(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウォータジェットを噴射するバリ取り位置にパッケージ受け板が配置され、かつ該パッケージ受け板を挟んで両側にモールド済みリードフレームの搬送手段が配置され、
前記搬送手段の一方側が中実のゴムベルトコンベアを上下２段に設けて形成され、
前記搬送手段の他方側が中実のゴム製ローラを上下２段に設けて形成され、
かつ、前記２段のベルトコンベアのうち上段ベルトコンベアにおけるパッケージ受け板隣接側が下段ベルトコンベア側へ押圧される付勢手段を備え、かつ前記２段のローラのうち上段ローラが下段ローラ側へ押圧される付勢手段を備えていることを特徴としたウォータジェット樹脂バリ取り装置。
【請求項２】
請求項１記載のウォータジェット樹脂バリ取り装置において、前記バリ取り位置がリードフレームの搬送方向に前後して２個所設けられ、搬入側のバリ取り位置には搬送位置より下方から上向きにウォータジェットを噴射するノズルが設けられ、搬出側のバリ取り位置には搬送位置より上方から下向きにウォータジェットを噴射するノズルが設けられていることを特徴としたウォータジェット樹脂バリ取り装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のウォータジェット樹脂バリ取り装置において、前記ローラに代えベルトコンベアが配置されていることを特徴としたウォータジェット樹脂バリ取り装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造時にＩＣチップのモールド用パッケージ回りの樹脂バリ等をウォータジェットで除去するようにしたウォータジェット樹脂バリ取り装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置はＩＣチップのモールド後、モールドパッケージ回りの樹脂バリ除去工程があり、この従来の樹脂バリ除去工程で使用される装置として、上下一対のスポンジローラを、噴射ノズルと噴射受け治具を備えた加工処理部の両側であって搬送方向に複数個板状ワークの長さより短い間隔で列設させた板状ワーク搬送機構があった（実開平３−１７６３号公報参照）。
【０００３】
この従来の板状ワーク搬送機構では、板状ワークの幅、厚み、ないしは形状の異なる板状ワークを、特にベルト等搬送部分の段取り替えを行うことなく搬送、つまり加工処理部で超高圧水を受けさせながら板状ワークをスムーズに通過させるようになされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
半導体装置は大量生産され、それに係わってモールドパッケージ回りのバリ取りも平行して行われるが、従来のように、スポンジローラだとヘタリが早く細身になって適正な挟持力が得られなくなる。特に、近年の半導体装置は多様化され１ｍｍ厚程度のモールドパッケージを備えたものも製造されており、これだと搬送時にスリップを起して正しいバリ取りを行えないという問題があった。
【０００５】
本発明は、かかる従来の問題点を解決するためになされたものであって、その目的とするところは、半導体装置のモールドパッケージ回りのバリ取り時、薄肉のモールドパッケージでも常にスリップさせることなく搬送し、正しくバリ取りを行えるようにしたウォータジェット樹脂バリ取り装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための手段として本発明請求項１記載のウォータジェット樹脂バリ取り装置では、ウォータジェットを噴射するバリ取り位置にパッケージ受け板が配置され、かつ該パッケージ受け板を挟んで両側にモールド済みリードフレームの搬送手段が配置され、前記搬送手段の一方側が中実のゴムベルトコンベアを上下２段に設けて形成され、前記搬送手段の他方側が中実のゴムローラを上下２段に設けて形成され、かつ、前記２段のベルトコンベアのうち上段ベルトコンベアにおけるパッケージ受け板隣接側が下段ベルトコンベア側へ押圧される付勢手段を備え、かつ前記２段のローラのうち上段ローラが下段ローラ側へ押圧される付勢手段を備えている構成とした。
【０００７】
請求項２記載のウォータジェット樹脂バリ取り装置では、請求項１記載のウォータジェット樹脂バリ取り装置において、前記バリ取り位置がリードフレームの搬送方向に前後して２個所設けられ、搬入側のバリ取り位置には搬送位置より下方から上向きにウォータジェットを噴射するノズルが設けられ、搬出側のバリ取り位置には搬送位置より上方から下向きにウォータジェットを噴射するノズルが設けられている構成とした。
【０００８】
請求項３記載のウォータジェット樹脂バリ取り装置では、請求項１または２記載のウォータジェット樹脂バリ取り装置において、前記ローラに代えベルトコンベアが配置されている構成とした。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１はウォータジェット樹脂バリ取り装置Ａを示す斜視図、図２は使用状態を示す説明図である。
【００１０】
図中１，２は所定の水平線上に前後して設けたバリ取り位置、３は前記バリ取り位置のうち搬入側のバリ取り位置１に配置され下方から上向きにウォータジェットを揺動して噴射する上向きノズル、４は同様に搬出側のバリ取り位置２に配置され上方から下向きにウォータジェットを揺動して噴射する下向きノズルである。
【００１１】
５は前記バリ取り位置１の搬入側に配置されたコンベア搬送部であり、前記バリ取り位置１，２の水平線上を搬送面６上とした搬送用ベルトコンベア７と、この上段に配置された押圧用ベルトコンベア８とで構成されている。
図中９は前記搬送用ベルトコンベア７の搬送面６を形成する中実ゴム製の歯付きベルト、１０ａ，１０ｂは前記歯付きベルト９を掛止する歯付きプーリであり、いずれも機体フレーム１１側に回転自在に軸支されている。このうち歯付きプーリ１０ａは、前記バリ取り位置１の搬入側に近接して配置されている。
【００１２】
また、図中１２は前記押圧用ベルトコンベア８の中実ゴム製の歯付きベルト、１３ａ，１３ｂは前記歯付きベルト１２を掛止する歯付きプーリであり、このうち、歯付きプーリ１３ｂは、前記機体フレーム１１に回動自在に軸支されている。
尚、この押圧用ベルトコンベア８は、モールド済みリードフレーム１７のバリ取り側だけに配置されるように、歯付きプーリ１３ａ，１３ｂの軸間距離が搬送用ベルトコンベア７における歯付きプーリ１０ａ，１０ｂの軸間距離より短く設定されている。
【００１３】
１４は一端側を水平軸１５で前記機体フレーム１１に回動自在に軸支されたスイングアーム、１６はこのスイングアーム１４の先端側を下向きに付勢するスプリングであり、前記スイングアーム１４の先端には、前記押圧用ベルトコンベア８の歯付きプーリ１３ａが回動自在に軸支されている。
そして、このスイングアーム１４は、下向きスイング時に前記歯付きプーリ１３ａを前記搬送用ベルトコンベア７における歯付きプーリ１０ａと略同一垂直面内で一致させるように設定されている。
【００１４】
また、図中１８は前記バリ取り位置１の搬出側に配置されたローラ搬送部であり、外周面上辺を前記搬送用ベルトコンベア７の搬送面６と一致させた状態で前記機体フレーム１１に回動自在に軸支された搬送用ローラ１９と、この上段に配置された押圧用ローラ２０とで構成されている。両ローラ１９，２０は、いずれも中実のゴム製ローラであり、このため、上段の押圧用ローラ２０は、前記押圧用ベルトコンベア８と同様にスイングアーム２１先端に回動自在に軸支されている。２２はこのスイングアーム２１の水平軸、２３は付勢用スプリングであり、これ等はスイングアーム１４と同様の作用を行うものである。
【００１５】
また、２４はバリ取り位置１に配置されたパッケージ受け板であり、その下面が前記搬送用ベルトコンベア７における搬送面６からモールドパッケージ部１７ａの厚さと略同一寸法だけ上方に、かつバリ取り位置１の横幅いっぱいに設けられている。
【００１６】
２５は前記バリ取り位置１の後方に引き続き設けられたバリ取り位置２の搬入側に配置されたローラ搬送部、２６は前記ローラ搬送部の搬送用ローラ、２７はその搬送用ローラ２６の上段に配置された押圧用ローラ、２８は前記押圧用ローラを先端側に軸支したスイングアーム、２９は同じく水平軸、３０は付勢用スプリングであり、これ等は前記ローラ搬送部１８と同様の作用を行うものである。
【００１７】
３１はバリ取り位置２の搬出側に配置されたコンベア搬送部、３２はそのコンベア搬送部３１の搬送用ベルトコンベア、３３は押圧用ベルトコンベア、３４は前記搬送用ベルトコンベア３２の歯付きベルト、３５ａ，３５ｂは同じく歯付きプーリ、３６は前記押圧用ベルトコンベア３３の歯付きベルト、３７ａ，３７ｂは同じく歯付きプーリ、３８は前記歯付きプーリのうちバリ取り位置２の搬出側に配置された歯付きプーリ３７ｂを軸支したスイングアーム、３９はこのスイングアームの水平軸、４０は同じく付勢用スプリングであり、スイングアーム３８は前記ベルト搬送部５のスイングアーム１４と同様の作用を行うものである。
【００１８】
４１は前記バリ取り位置２に配置されたパッケージ受け板であり、このバリ取り位置２では、その上方でノズル４が下向きに設けられているため、その上面が前記搬送面６と同一位置に、かつバリ取り位置２の横幅いっぱいに設けられている。
【００１９】
４２は洗浄ノズル、４３は上下一組の脱水用スポンジローラ、４４は搬出用ベルトコンベア、４５はこの搬出用ベルトコンベア等の駆動部、４６は前記搬出用ベルトコンベア４４の速度制御用速度検出部であり、前記駆動部４５は、前記搬出用ベルトコンベア４４の他、前記搬送用ベルトコンベア７，３２、押圧用ベルトコンベア８，３３、搬送用ローラ１９，２６の全てを同一搬送速度となるように駆動する。４７は投入されたモールド済みリードフレーム１７の入口側確認センサ、４８は同じく搬出されるモールド済みリードフレーム１７の出口側確認センサである。
【００２０】
次に、作用を説明する。
バリ取り前のモールド済みリードフレーム１７は、搬送用ベルトコンベア７の始端側に一枚ずつ適宜間隔を設けて人手投入される。この投入されたモールド済みリードフレーム１７は、搬送面６上で押圧用ベルトコンベア８との間に形成される隙間に進入し、その歯付きプーリ１３ａ側で押圧されながらパッケージ受け板２４の下面側に搬送される。このとき、押圧用ベルトコンベア８は、モールド済みリードフレーム１７のモールドパッケージ部１７ａの厚さにより、スイングアーム１４がスプリング１６や自重による付勢力を保持しながら逃げ方向にスイングし、洗浄位置１側へのスムーズな繰り出しと繰り出し方向への動きのみを確保する。
【００２１】
洗浄位置１では、繰り出されたモールド済みリードフレーム１７の先端が搬送用ローラ１９と押圧用ローラ２０との間で掴まれ動きが搬送方向のみに限定された状態となる。このとき、上向きノズル３はウオータジェットをパッケージ受け板２４に向け揺動させながら噴射しており、この位置に来たモールドパッケージ部１７ａは、その上面側をパッケージ受け板２４にて保持されながらウオータジェットを受け、その下面側からバリ取りされる。
【００２２】
この様にしてバリ取り位置１をモールドパッケージ部１７ａが次々と通過し、それぞれバリ取りされながら次のバリ取り位置２へ搬送される。このとき、押圧用ローラ２０は前記押圧用ベルトコンベア８と同様にモールドパッケージ部１７ａの厚さにより、スイングアーム２１がスプリング２３や自重による付勢力を保持しながら逃げ方向にスイングし、洗浄位置２側へのスムーズな繰り出しと繰り出し方向への動きのみを確保する。
【００２３】
この洗浄位置２側では、ローラ搬送部２５の搬送用ローラ２６と押圧用ローラ２７とによってモールド済みリードフレーム１７が繰り出され、その先端部がコンベア搬送部３１の搬送用コンベア３２と押圧用コンベア３３との間で掴まれ動きが搬送方向のみに限定された状態となる。このとき、下向きノズル４はウオータジェットをパッケージ受け板４１に向け揺動させながら噴射しており、この位置に来たモールドパッケージ部１７ａは、その下面側をパッケージ受け板４１にて保持されながらウオータジェットを受け、その上面側からバリ取りされる。
【００２４】
全てのモールドパッケージ部１７ａがバリ取り位置２を通過後、モールド済みリードフレーム１７は搬送用ベルトコンベア３２で脱水用スポンジローラ４３側へ搬送され、その途中で洗浄水ノズル４２で洗浄され、先端部から脱水用スポンジローラ４３，４３の間に進入し、そこで水切りされた後、搬出用コンベア４４で次工程側へ搬出される。
【００２５】
以上説明してきたように、本ウオータジェット樹脂バリ取り装置Ａにあっては、そのバリ取り位置１では、モールド済みリードフレーム１７を押圧用ベルトコンベア８、または押圧用ローラ２０で掴み保持した状態でモールドパッケージ部１７ａの下面側からバリ取りし、バリ取り位置２では押圧用ローラ２７または押圧用ベルトコンベア３３で掴み保持した状態でモールドパッケージ部１７ａの上面側からバリ取りするため、モールド済みリードフレーム１７が変動することがなく正確にバリ取りすることができる。
搬送用及び押圧用のベルト９，１２，３４，３６またはローラ１９，２０，２６，２７は全て中実のゴム製としたため、大量処理してもスポンジのように細身になることもなく常に正確にバリ取りし搬送させることができる。
押圧部分はスイングアーム１４，２１，２８，３８でモールドパッケージの厚さに応じてスイングさせ、スプリング１６，２３，３０，４０と自重により付勢力を付与しているから、モールドパッケージ１７ａを保護しながら薄いものから厚いものまでスムーズに対応し適正に送ることができる。
【００２６】
以上、実施の形態を説明してきたが、本発明のウオータジェット樹脂バリ取り装置Ａはこの実施の形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等があっても本発明に含まれる。
【００２７】
例えば、歯付きベルト９，１２，３４，３６やローラ１９，２０，２６，２７等は合成ゴムや合成樹脂によるもの等を使用することができる。
【００２８】
【発明の効果】
以上、説明してきたように本発明請求項１記載のウオータジェット樹脂バリ取り装置にあっては、前記構成としたため、モールド済みリードフレームを搬送手段が押圧しながらバリ取り位置に繰り出すので、前記モールド済みリードフレームを変動させることがなく、正確にバリ取りさせることができる。
また搬送手段は中実のゴム製としたので、スポンジローラのように細身になることもなく、常に適正に掴み送ることができる等の効果が得られる。
【００２９】
請求項２記載のウオータジェット樹脂バリ取り装置にあっては、前記構成としたため、モールドパッケージ部の両側からそれぞれ正確にウオータジェットを当て効率良く正確にバリ取りを行うことができるという効果が得られる。
【００３０】
請求項３記載のウオータジェット樹脂バリ取り装置にあっては、前記構成としたため、バリ取り位置の両側でベルトコンベアがモールド済みリードフレームを掴み保持した状態にしながらバリ取り位置に繰り出すので、前記モールド済みリードフレームを変動させることがなく、正確にバリ取りさせることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明実施の形態におけるウオータジェット樹脂バリ取り装置を示す斜視図である。
【図２】実施の形態におけるウオータジェット樹脂バリ取り装置の使用状態を示す説明図である。
【符号の説明】
Ａ  実施の形態におけるウオータジェット樹脂バリ取り装置
１  バリ取り位置
２  バリ取り位置
３  上向きノズル（ウオータジェット）
４  下向きノズル（ウオータジェット）
５，３１  コンベア搬送部（搬送手段）
６  搬送面（搬送位置）
７，３２  搬送用ベルトコンベア
８，３３  押圧用ベルトコンベア
９，１２，３４，３６  歯付きベルト
１４，２１，２８，３８  スイングアーム
１６，２３，３０，４０  スプリング
１７  モールド済みリードフレーム
１７ａ  モールドパッケージ部
１８，２５  ローラ搬送部
１９，２６  搬送用ローラ
２０，２７  押圧用ローラ
２４，４１  パッケージ受け板
【図１】
0003725226.tif 000002
【図２】
0003725226.tif 000003