(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の基板を積層収納するカセットをカセット載置台に載置し、前記カセットに収納された基板の位置を基板検出手段によって検出し、前記カセット載置台の一方側から基板搬送手段を進退させて基板を搬送する基板搬送装置において、
前記カセット載置台にカセットを載置したり、前記カセット載置台のカセットを取り外す際には、前記カセット載置台の一方側を遮断し、載置されたカセットに対して基板検出手段が基板の検出動作を開始した後は、前記カセット載置台の一方側を開放して前記基板搬送手段の進退を許容するように昇降する第１の危険防止板を備え、
前記基板検出手段を昇降自在に構成するとともに、前記第１の危険防止板を前記基板検出手段に連動連結したことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記カセット載置台にカセットを載置したり、前記カセット載置台のカセットを取り外す際には、前記カセット載置台の他方側を開放し、載置されたカセットに対して基板検出手段が基板の検出動作を開始した後は、前記カセット載置台の他方側を遮断してカセットの取り外しを規制するように昇降する第２の危険防止板を備えていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
複数枚の基板を積層収納するカセットをカセット載置台に載置し、前記カセットに収納された基板の位置を基板検出手段によって検出し、前記カセット載置台の一方側から基板搬送手段を進退させて基板を搬送する基板搬送装置において、
前記カセット載置台にカセットを載置したり、前記カセット載置台のカセットを取り外す際には、前記カセット載置台の一方側を遮断し、載置されたカセットに対して基板検出手段が基板の検出動作を開始した後は、前記カセット載置台の一方側を開放して前記基板搬送手段の進退を許容するように昇降する第１の危険防止板と、
前記カセット載置台にカセットを載置したり、前記カセット載置台のカセットを取り外す際には、前記カセット載置台の他方側を開放し、載置されたカセットに対して基板検出手段が基板の検出動作を開始した後は、前記カセット載置台の他方側を遮断してカセットの取り外しを規制するように昇降する第２の危険防止板と
を備えていることを特徴とする基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハや液晶表示器用のガラス基板などの基板を積層収納したカセットから基板を取り出して搬送する基板搬送装置に係り、特にカセットに収納された基板の位置を基板検出手段で検出し、カセット載置台の一方側から基板搬送手段を進退させて基板を搬送する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種の基板搬送装置としては、例えば、基板に塗布被膜を形成するスピンコータ、プリベーク処理やポストベーク処理などを行うベークユニット、露光された基板の現像を行う現像ユニットなどを一体化してなる基板処理装置に配備されているものが挙げられる。
【０００３】
このような基板搬送装置は、基板を積層収納したカセットを複数個載置するカセット載置台と、各カセットに収納されている基板の位置を検出する基板検出部と、カセット載置台の一方側で複数個のカセットに沿って移動自在に構成され、各カセットとの間で基板の収納／取り出しを行う基板搬送部とを備え、カセットにおける基板の収納位置を基板検出部で検出した後に、基板搬送部がカセットのその位置に進退し、基板を取り出して基板処理装置に搬送するようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、カセット載置台へのカセットの載置およびカセット載置台からのカセットの取り外しはオペレータが手作業で行うものであるが、カセット載置台の一方側では他のカセットの基板搬送のために基板搬送部が移動しているので、例えば、オペレータがカセットをカセット載置台に載置する際に、基板搬送部により手を挟まれるなどの危険を生じる恐れがある。
【０００５】
このような危険を未然に防止するために、カセット載置台の他方側にエリアセンサなどを配設しておき、オペレータの手などが検出された時点で搬送動作を一時的に停止させるように構成したものがある。しかしながら、このように危険防止のために搬送動作を停止させると、一時的にとはいえカセットを交換するたびに搬送が滞ることになるので、基板の搬送効率が著しく低下するという問題が生じる。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、基板搬送手段の進退側を遮断／開放することによって、オペレータの危険を防止しつつも搬送効率を向上させることができる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の基板搬送装置は、複数枚の基板を積層収納するカセットをカセット載置台に載置し、前記カセットに収納された基板の位置を基板検出手段によって検出し、前記カセット載置台の一方側から基板搬送手段を進退させて基板を搬送する基板搬送装置において、前記カセット載置台にカセットを載置したり、前記カセット載置台のカセットを取り外す際には、前記カセット載置台の一方側を遮断し、載置されたカセットに対して基板検出手段が基板の検出動作を開始した後は、前記カセット載置台の一方側を開放して前記基板搬送手段の進退を許容するように昇降する第１の危険防止板を備え、前記基板検出手段を昇降自在に構成するとともに、前記第１の危険防止板を前記基板検出手段に連動連結したことを特徴とするものである。
【０００８】
また、請求項２に記載の基板搬送装置は、請求項１に記載の基板搬送装置において、前記カセット載置台にカセットを載置したり、前記カセット載置台のカセットを取り外す際には、前記カセット載置台の他方側を開放し、載置されたカセットに対して基板検出手段が基板の検出動作を開始した後は、前記カセット載置台の他方側を遮断してカセットの取り外しを規制するように昇降する第２の危険防止板を備えていることを特徴とするものである。
【０００９】
また、請求項３に記載の基板搬送装置は、複数枚の基板を積層収納するカセットをカセット載置台に載置し、前記カセットに収納された基板の位置を基板検出手段によって検出し、前記カセット載置台の一方側から基板搬送手段を進退させて基板を搬送する基板搬送装置において、前記カセット載置台にカセットを載置したり、前記カセット載置台のカセットを取り外す際には、前記カセット載置台の一方側を遮断し、載置されたカセットに対して基板検出手段が基板の検出動作を開始した後は、前記カセット載置台の一方側を開放して前記基板搬送手段の進退を許容するように昇降する第１の危険防止板と、前記カセット載置台にカセットを載置したり、前記カセット載置台のカセットを取り外す際には、前記カセット載置台の他方側を開放し、載置されたカセットに対して基板検出手段が基板の検出動作を開始した後は、前記カセット載置台の他方側を遮断してカセットの取り外しを規制するように昇降する第２の危険防止板とを備えていることを特徴とするものである。
【００１０】
【作用】
請求項１に記載の発明の作用は次のとおりである。
オペレータがカセット載置台にカセットを載置する際には、第１の危険防止板によってカセット載置台の一方側が遮断されているので、オペレータの手が基板搬送手段に巻き込まれるような危険がない。載置されたカセットにおける基板の収納位置を検出するために基板検出手段が基板の検出動作を開始した後は、第１の危険防止板により遮断されているカセット載置台の一方側が開放されるので、基板搬送手段の進退が許容されて基板の搬送が行われる。また、カセット載置台のカセットをオペレータが取り外す際には、第１の危険防止板によって再びカセット載置台の一方側が遮断されるので、オペレータに危険が及ぶことはない。したがって、カセットの載置／取り外し時に、他のカセットのために動作している基板搬送手段を停止することなく危険を防止することができる。
また、カセットに積層収納されている基板を検出する昇降自在の基板検出手段に第１の危険防止板を連動連結したので、第１の危険防止板のための特別な駆動手段を設けることなく、第１の危険防止板を昇降させることができる。
【００１１】
なお、上記の第１の危険防止板は、完全な板部材である必要はなく、オペレータの手などの進入を規制することができる程度の部材、例えば、網目状、格子状の部材であってもよい。
【００１２】
また、請求項２に記載の発明によれば、オペレータがカセット載置台にカセットを載置する際には、第１の危険防止板によってカセット載置台の一方側が閉塞されているとともに、第２の危険防止板によって他方側が開放されているので、オペレータの手が基板搬送手段に巻き込まれる危険を防止してカセットを載置することができる。載置されたカセットにおける基板の収納位置を検出するために基板検出手段が基板の検出動作を開始した後は、第１の危険防止板により遮断されているカセット載置台の一方側が開放されるとともに、第２の危険防止板によってカセット載置台の他方側が遮断されるので、不用意にカセットに手が触れたりしてカセットの位置がずれるような不都合が防止でき、基板搬送手段の進退が許容されて基板の搬送が正確に行われる。また、カセット載置台のカセットをオペレータが取り外す際には、第１の危険防止板によって再びカセット載置台の一方側が遮断され、第２の危険防止板により再び他方側が開放されるので、オペレータに危険が及ぶことを防止しつつもカセットを取り外すことができる。したがって、カセットの載置／取り外し時に、他のカセットのために動作している基板搬送手段を停止することなく危険を防止することができる。
【００１３】
また、請求項３に記載の発明によれば、オペレータがカセット載置台にカセットを載置する際には、第１の危険防止板によってカセット載置台の一方側が閉塞されているとともに、第２の危険防止板によって他方側が開放されているので、オペレータの手が基板搬送手段に巻き込まれる危険を防止してカセットを載置することができる。載置されたカセットにおける基板の収納位置を検出するために基板検出手段が基板の検出動作を開始した後は、第１の危険防止板により遮断されているカセット載置台の一方側が開放されるとともに、第２の危険防止板によってカセット載置台の他方側が遮断されるので、不用意にカセットに手が触れたりしてカセットの位置がずれるような不都合が防止でき、基板搬送手段の進退が許容されて基板の搬送が正確に行われる。また、カセット載置台のカセットをオペレータが取り外す際には、第１の危険防止板によって再びカセット載置台の一方側が遮断され、第２の危険防止板により再び他方側が開放されるので、オペレータに危険が及ぶことを防止しつつもカセットを取り外すことができる。したがって、カセットの載置／取り外し時に、他のカセットのために動作している基板搬送手段を停止することなく危険を防止することができる。
【００１４】
なお、上記の第１の危険防止板と第２の危険防止板は、それぞれ完全な板部材である必要はなく、オペレータの手などの進入を規制することができる程度の部材、例えば、網目状、格子状の板材であってもよい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
図１は、本発明に係る基板搬送装置を備えた基板処理装置の概略構成を示す斜視図であり、図２は、基板搬送装置が備えている基板検出機構の一例を示す斜視図である。
【００１６】
この基板処理装置は、基板搬送装置１（インデクサユニットとも呼ばれる）と、Ｘ方向に沿って直線的に複数個の処理部を積層配備した第１の処理ユニット５と、Ｘ，Ｙ方向に二次元的に複数個の処理部を積層配備した第２の処理ユニット７と、第１，第２の処理ユニット５，７の間に配設された基板搬送ロボット９とを一体化して構成されている。基板搬送装置１から取り出された基板Ｗは、基板搬送ロボット９によって搬送され、第１の処理ユニット５や第２の処理ユニット７によって各種の処理が施される。そして、処理を施された基板Ｗは、基板搬送装置１に回収されるようになっている。なお、第１の処理ユニット５には、基板Ｗを回転させつつ塗布液を供給して被膜形成処理を施すスピンコータＳＣや、露光済の基板Ｗに現像液などを供給して現像処理を施すデベロッパーＳＤなどがある。また、第２の処理ユニット７には、基板を加熱処理する加熱ユニットや、基板を冷却処理する冷却ユニットがある。
【００１７】
基板搬送装置１は、基板Ｗを収納するための複数個のカセット段を形成されたカセットＣを載置するためのカセット載置台１１と、このカセット載置台１１に載置されたカセットＣとの間で基板Ｗの収納／取り出しを行うとともに、基板搬送ロボット９との間で基板Ｗの受け渡しを行う基板搬入出ロボット１５とから構成されている。なお、基板搬入出ロボット１５は、本発明における基板搬送手段に相当する。
【００１８】
本実施例に係る基板搬送装置１は、そのカセット載置台１１が、一例としてＹ方向に沿って４個のカセットＣを直線的に載置可能に構成されている。カセット載置台１１の一方側にあたる奥側には、全てのカセットＣにアクセス可能なようにＹ方向に水平移動自在で、かつ、Ｚ方向に昇降自在に構成された基板搬入出ロボット１５が配設されており、この基板搬入出ロボット１５に配備された進退アーム１５ａがカセット載置台１１の奥側から進退して、カセットＣ内の未処理基板Ｗを取り出したり、カセットＣ内に処理済基板Ｗを載置するようになっている。
【００１９】
カセット載置台１１の他方側にあたる手前側には、カセットＣの基板Ｗに対する処理開始を指示するためのスタートスイッチＳＷが、各カセットＣごとに対応して配設されている。基板Ｗを収納したカセットＣをカセット載置台１１に載置した後、スタートスイッチＳＷを押下すると、本発明における基板検出手段に相当する基板検出機構２０が作動してカセットＣ内に収納された各基板Ｗの（高さ）位置を検出する。なお、基板搬送装置１の手前側を除く周囲は、二点鎖線で示すようにカバーで囲われており、オペレータは手前側からのみカセットＣを載置したり取り出したりできるようになっている。
【００２０】
基板検出機構２０は、平面視コの字状の検出アーム２０ａと、検出アーム２０ａを構成する腕部分に対向して埋設された投光部２０ｂおよび受光部２０ｃからなる基板検出センサ２０ｄと、検出アーム２０ａを片持ち支持する支持部材２０ｅと、支持部材２０ｅごと検出アーム２０ａを昇降駆動するエアシリンダ２０ｆと、カセットＣに形成されているカセット段に対応した複数個のスリットを有する位置固定のスリットプレート２０ｇと、支持部材２０ｅとともに昇降しながらスリットプレート２０ｇの個々のスリットを検出するカセット段検出センサ２０ｈとから構成されている。
【００２１】
なお、上記のエアシリンダ２０ｆには、図３に示すようにソレノイドバルブ２０ｉを介して圧縮空気が導入／排出されるようになっている。ソレノイドバルブ２０ｉは、スタートスイッチＳＷ、基板検出センサ２０ｄ、カセット段検出センサ２０ｈとともにインターフェイス２３に接続されており、ＰＩＯ２５を介してＣＰＵ２７によって制御される。
【００２２】
本実施例では、スタートスイッチＳＷがオペレータによって押下されるとエアシリンダ２０ｆが伸長動作し、検出アーム２０ａを一定の速度で最上位まで上昇させてゆく。このときカセット段検出センサ２０ｈも上昇するので、ＣＰＵ２７がこの出力と基板検出センサ２０ｄの出力とを監視することによって、基板Ｗが収納されているカセットＣのカセット段を検出することができる。検出されたカセット段は、メモリ２９に書き込まれ、基板搬入出ロボット１５の高さ制御に利用される。なお、上記のように基板Ｗの検出動作を行った後、検出アーム２０ａは最上位で待機しているが、処理を終えた基板Ｗが全てカセットＣに収納されると検出アーム２０ａが最下位に下降するようになっている。
【００２３】
上記の検出アーム２０ａの一対の腕部分には、プラスチックや金属などの板部材からなる矩形状の第１の危険防止板３１及び第２の危険防止板３２が取り付けられている。第１の危険防止板３１は、その下端部が検出アーム２０ａの奥側面にネジ３１ａで固定され、第２の危険防止板３２は、その上端部が検出アーム２０ａの手前側面にネジ３２ａで固定されている。
【００２４】
なお、第１の危険防止板３１の高さはカセットＣより高く設定され、第２の危険防止板３２の高さはカセットＣよりやや高く、かつ、エアシリンダ２０ｆのストロークよりも長く設定されている。また、第１，第２の危険防止板３１，３２は、このような板部材に限定されるものではなく、オペレータの手などが進入することを規制できる部材であればよい。例えば、網状や格子状の板部材であってもよい。
【００２５】
次に、上記のように構成されている基板処理装置について、図４および図５を参照しつつ主として基板搬送装置１の動作を詳細に説明する。
【００２６】
未処理の基板を積層収納したカセットＣをカセット載置台１１に載置するときあるいは載置した直後には、図４のように基板検出機構２０の検出アーム２０ａが最下位に下降した状態である。つまり、カセット載置台１１の奥側が第１の危険防止板３１によって遮断されている一方で、手前側は開放された状態である。したがって、オペレータがカセットＣを手で持った状態でカセット載置台１１に載置する際に、その奥側に手指が入り過ぎるようなことが防止でき、他のカセットＣへのアクセスのために稼働している基板搬入出ロボット１５の移動により怪我をするようなことを防止することができる。
【００２７】
カセットＣをカセット載置台１１に載置した後、処理を開始するために対応するスタートスイッチＳＷを押下すると、基板検出機構２０が一定速度で上昇を開始し、カセットＣのどのカセット段に基板が収納されているかを調べる。基板を収納していると判断されたカセット段に関する情報は、上述したようにメモリ２９に書き込まれる。基板検出機構２０が一定速度で上昇を開始すると、検出アーム２０ａに取り付けられた第１，第２の危険防止板３１，３２も連動して上昇し、図５に示すように最上位で停止する。
【００２８】
このように検出アーム２０ａが最上位で停止すると、カセット載置台１１の奥側が開放された状態となるので、メモリ２９の情報に基づいて高さ調節された基板搬入出ロボット１５の進退アーム１５ａがカセットＣ内に進入することができる。したがって、基板搬入出ロボット１５がカセットＣと基板搬送ロボット９との間で基板搬送を行うことができる。
【００２９】
その一方、第２の基板防止板３２によってカセット載置台１１の手前側が遮断された状態となり、オペレータが手前側からカセットＣに対して触れることはできない。したがって、基板搬入出ロボット１５によって基板の搬送が開始されたカセットＣに不用意に手が触れてカセットＣの載置位置がずれ、搬送に支障を来すような事態を回避することができる。その結果、基板の搬送を正確に行うことが可能となる。
【００３０】
また、カセットＣから搬出された全ての基板が処理を終えて収納された場合には、最上位にある検出アーム２０ａがカセット載置台１１に下降する（図５の状態から図４の状態）。従来例ではこの下降時に検出アーム２０ａの手前側でオペレータが手を挟まれる恐れがあるが、本実施例によると検出アーム２０ａの下部が第２の危険防止板３２によって常に遮断された状態であるので、そのような危険を回避することができる。
【００３１】
上記のようにカセットＣの基板に対する処理が完了すると、オペレータはそのカセットＣをカセット載置台１１から取り外すことになるが、その奥側は第１の危険防止板３１により遮断されているので、基板搬入出ロボット１５による危険は生じない。
【００３２】
上述したようにカセットＣを載置したり取り外す際には、カセット載置台１１の奥側（一方側）が第１の危険防止板３１により遮断されて、基板搬入出ロボット１５の進退を規制してオペレータの危険を防止し、基板検出機構２０による収納位置の検出動作が開始された後は、奥側が第１の危険防止板３１によって開放されて基板の搬送が許容される。したがって、危険防止のために基板搬入出ロボット１５を停止する必要がなく、オペレータの危険を防止しながらも基板の搬送効率を向上させることができる。
【００３３】
また、カセットＣを載置したり取り外す際には、第２の危険防止板３２によってカセット載置台１１の手前側（他方側）が開放されてその操作を許容し、基板検出機構２０による収納位置の検出動作が開始された後は、手前側が遮断されてカセットＣの取り外しが規制される。したがって、カセットＣの位置ずれが防止でき正確に基板搬送を行うことができる。
【００３４】
なお、本実施例装置では、第１，第２の危険防止板３１，３２が基板検出機構２０の検出アーム２０ａに連動連結されているので、特別に駆動手段を必要としない。したがって、簡単な構成で上記の効果を得ることができる。
【００３５】
しかしながら、また、第１，第２の危険防止板３１，３２を基板検出機構２０に連動して昇降駆動するための駆動手段を別途配設するようにしてもよい。
【００３６】
また、上記の実施例では、危険防止板として第１，第２の危険防止板３１，３２を備えた装置を例に採って説明したが、第１の危険防止板３１さえあれば基板搬入出ロボット１５による危険を防止できるので、第２の危険防止板３２を必ずしも備える必要はない。
【００３７】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項１に記載の発明によれば、カセット載置台の一方側を第１の危険防止板によって遮断／開放することによって、他のカセットのために動作している基板搬送手段を停止することなくカセットの載置／取り外し時の危険を防止することができる。したがって、オペレータの危険を防止しつつも搬送効率を向上させることができる。
また、特別な駆動手段を設けることなく、第１の危険防止板を昇降させることができるので、簡易な構成で同様の効果を得ることができる。
【００３８】
また、請求項２に記載の発明によれば、カセット載置台の一方側を第１の危険防止板によって遮断／開放することにより基板搬送手段を停止することなく危険を防止することができ、また、他方側を第２の危険防止板で開放／遮断することによって、基板搬送時にカセットの位置ずれを防止できて、基板の搬送を正確に行うことができる。
【００３９】
また、請求項３に記載の発明によれば、カセット載置台の一方側を第１の危険防止板によって遮断／開放することにより基板搬送手段を停止することなく危険を防止することができ、また、他方側を第２の危険防止板で開放／遮断することによって、基板搬送時にカセットの位置ずれを防止できて、基板の搬送を正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板搬送装置を備えた基板処理装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】基板検出機構の一例を示す斜視図である。
【図３】制御系を示すブロック図である。
【図４】初期状態を示す側面図である。
【図５】基板の搬入出時の状態を示す側面図である。
【符号の説明】
Ｗ  …  基板
Ｃ  …  カセット
５  …  第１の処理ユニット
７  …  第２の処理ユニット
９  …  基板搬送ロボット
１１  …  カセット載置台
１５  …  基板搬入出ロボット（基板搬送手段）
２０  …  基板検出機構（基板検出手段）
２０ａ  …  検出アーム
２０ｄ  …  基板検出センサ
３１  …  第１の危険防止板
３２  …  第２の危険防止板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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