(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料取付基板のピン孔に試料となる複数の半導体素子のそれぞれのピンを差し込み貫通させてピン先端がピン孔から突出するように取付けると共に、ピン先端と電気的特性を計測する計測器とを配線で接続可能とし、
上記試料取付基板には該試料取付基板に取付られた隣接する半導体素子の間に固定ネジを設け、該固定ネジは試料取付基板と直交する方向に延びており、該固定ネジを加熱ブロックに形成されたネジ孔に螺合して上記試料取付基板を加熱体に対して高さ調節可能に取り付けると共に、前記複数の半導体素子の基板を上記試料取付基板と加熱体の上面とで隙間無く挟んで上記試料取付基板を加熱体に固定し、前記複数の半導体素子の基板を直接に加熱体に接触させて所定の高温を熱伝導させてなることを特徴とした試料加熱方法。
【請求項２】
固定ネジが、試料取付基板の中央に１つ配置されており、加熱ブロックに形成されたネジ孔が上記固定ネジに対応する位置に１つ形成されていることを特徴とする請求項１に記載の試料加熱方法。
【請求項３】
試験室内の試料の電気的特性評価を行う際に試料を加熱する試料加熱装置において、
試験室内にヒーターを内蔵し、試料を載せ直接に接触させて所定の高温を熱伝導させる加熱ブロックと、
該加熱ブロックに形成されて上面で開口するネジ孔と、
上記加熱ブロックと対峙する位置に配置され、試料となる複数の半導体素子のそれぞれのピンを差し込み貫通させてピン先端を突出させうるピン孔を有する試料取付基板と、
該試料取付基板で、該試料取付基板に取付られた隣接する半導体素子の間に配置されると共に、試料取付基板と直交する方向に延びて前記ネジ孔と螺合する固定ネジとからなって、
前記固定ネジをネジ孔に螺合して上記試料取付基板を加熱体に対して高さ調節可能に取り付けると共に、前記複数の半導体素子の基板を上記試料取付基板と加熱体の上面とで隙間無く挟んで上記試料取付基板を加熱体に固定し、前記複数の半導体素子の基板を直接に加熱体に接触させて所定の高温を熱伝導させ、前記ピン孔から突出するピン先端を電気的特性を計測する計測器に配線で接続しうることを特徴とした試料加熱装置。
【請求項４】
固定ネジが、試料取付基板の中央に１つ配置されており、加熱ブロックに形成されたネジ孔が上記固定ネジに対応する位置に１つ形成されていることを特徴とする請求項１に記載の試料加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、試料を加熱しながら電気的特性を評価するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体素子等の配線設計を確認する評価方法として、試料に加熱しながら電気
的特性評価を行う方法が知られている。
その加熱の方法として、従来は試料に高温の熱風を当てて加熱していた。
しかし、熱風を試験室内で循環させるために試料の近傍での温度調節が難しく、
試料に正確な温度を迅速に伝達させることは困難であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は上記事情に鑑みて創案されたものであって、その主たる課題は、試料を直接に加熱して正確な温度を迅速に伝達させる試料加熱方法および装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
この発明は上記課題を解決するため、請求項１の試料加熱方法の発明では、
試料取付基板のピン孔に試料となる複数の半導体素子のそれぞれのピンを差し込み貫通させてピン先端がピン孔から突出するように取付けると共に、ピン先端と電気的特性を計測する計測器とを配線で接続可能とし、
上記試料取付基板には該試料取付基板に取付られた隣接する半導体素子の間に固定ネジを設け、該固定ネジは試料取付基板と直交する方向に延びており、該固定ネジを加熱ブロックに形成されたネジ孔に螺合して上記試料取付基板を加熱体に対して高さ調節可能に取り付けると共に、前記複数の半導体素子の基板を上記試料取付基板と加熱体の上面とで隙間無く挟んで上記試料取付基板を加熱体に固定し、前記複数の半導体素子の基板を直接に加熱体に接触させて所定の高温を熱伝導させてなることを特徴とする。
また、請求項２の試料加熱方法の発明では、
前記固定ネジが、試料取付基板の中央に１つ配置されており、加熱ブロックに形成されたネジ孔が上記固定ネジに対応する位置に１つ形成されていることを特徴とする。
請求項３の試料加熱装置の発明では、
試験室内の試料の電気的特性評価を行う際に試料を加熱する試料加熱装置において、
試験室内にヒーターを内蔵し、試料を載せ直接に接触させて所定の高温を熱伝導させる加熱ブロックと、
該加熱ブロックに形成されて上面で開口するネジ孔と、
上記加熱ブロックと対峙する位置に配置され、試料となる複数の半導体素子のそれぞれのピンを差し込み貫通させてピン先端を突出させうるピン孔を有する試料取付基板と、
該試料取付基板で、該試料取付基板に取付られた隣接する半導体素子の間に配置されると共に、試料取付基板と直交する方向に延びて前記ネジ孔と螺合する固定ネジとからなって、
前記固定ネジをネジ孔に螺合して上記試料取付基板を加熱体に対して高さ調節可能に取り付けると共に、前記複数の半導体素子の基板を上記試料取付基板と加熱体の上面とで隙間無く挟んで上記試料取付基板を加熱体に固定し、前記複数の半導体素子の基板を直接に加熱体に接触させて所定の高温を熱伝導させ、前記ピン孔から突出するピン先端を電気的特性を計測する計測器に配線で接続しうることを特徴とする。
請求項４の発明では、前記固定ネジが、試料取付基板の中央に１つ配置されており、加熱ブロックに形成されたネジ孔が上記固定ネジに対応する位置に１つ形成されていることを特徴とする。
【０００５】
【作用】
この発明の試料加熱装置によれば、加熱した加熱体の上面へ直接に試料を接触させて高温を伝えるので、正確な高温を伝達することができる。
また、加熱体を直接に温度調節可能とすれば、試料への所望高温の温度供給が正確に行われる。
更に、試料取付基板を用いて試料を加熱体に軽く押し付け、試料を位置決めして、熱伝導が効率的行えるように保持することができる。
【０００６】
【実施例】
以下に、この発明の試料加熱方法およびその構造の好適実施例を図面を参照しつつ説明する。
図１から図３で示す試料加熱装置１では、断熱壁で囲まれた試験室３の底面の凹部に熱源からなる加熱体の一例として加熱ブロック５が固設されている。
【０００７】
この加熱ブロック５は、ヒーターＨをヒーターパネルで囲ってブロック状としたもので、温度コントローラ６によって直接に所望の高温度に制御される。
ここで加熱ブロック５は上記実施例に限らず、少なくとも試料７と接する面（図示例では上面）がムラなく均一の温度となる構造であれば、ケーシング内にヒーターを内蔵した保温材を収納した構造や、ブロック内に穴をあけニクロム線等のヒーターを通して内蔵した構造、その他の公知の加熱装置の構造を用いることができる。
【０００８】
次ぎに、この加熱ブロック５の上面は半導体素子等の試料７の接触側の面７’が隙間無く接触して熱が直接に伝導されるように試料７の接触側の面７’に合わせて同一面（本実施例では水平面）に設定されている。
ここで、試料７を載置しやすいように、加熱ブロック５の上面に試料７を嵌込む凹部を形成してもよい。
なお、図中２はコントローラであり、６、１３、１４はパネルに設けられた加熱装置や加熱ブロックのスイッチである。また３Ａは試験室の扉である。
【０００９】
次ぎに、試料７を加熱ブロック５に接触する際に、試料７を加熱ブロック５に軽く押圧するように載置すれば熱伝導効率が向上する。
そこで、試料７を支持板に取付け、該支持板を加熱ブロック５に衝合させて固定すれば、試料７を効果的に加熱ブロック５に接触させることができる。
図４および図５に示す実施例では、試料７のピン７ａを差し込むピン孔８ａを有し試料７を取付けることができる試料取付基板８が用いられる。
【００１０】
一方、上記加熱ブロック５上にはネジ孔５ａが設けられており、上記試料取付基板８の中央に設けられた孔１５ａに固定ネジ１５を通し、前記ネジ孔５ａに固定ネジ１５を上下に螺進退可能にネジ止めすることができる。
従って、この試料取付基板８のピン孔８ａに、加熱ブロック５上に載置された試料７のピン７ａを嵌込み接続し、その状態で試料７が加熱ブロック５に隙間無く衝合させて固定ネジ１５を締付け、試料取付基板８を加熱ブロック５上に固定する。
【００１１】
上記実施例では固定ネジを用いて試料取付基板８を加熱ブロック５に取付けたが、一方に凹凸やフックを１または複数有する係止爪部を設け、他方に上記凹凸やフックに係合する受孔や受部を設けて係脱可能となる構成や、その他の着脱可能な固定手段で加熱体に固定される構造であると、試験室の側壁や試験室に別に設けた支持体に着脱可能な固定手段で固定されるものであるとを問わず、要するに試料取付基板は、試料を取り付け該試料を加熱体に押し付けた位置で拘束される構造が好ましい。
また、試料取付基板を上記のように固定乃至拘束せず、自重だけで試料を加熱体上に衝合させる構造であってもよい。
【００１２】
これによって、試料７は試料取付基板８に取付けられ加熱ブロック５の上面に密着するよう衝合されて保持されるので、加熱ブロック５から試料７に高温が効率よく且つ均一に伝導される。
なお、このように加熱ブロック５上に保持された試料７は、試料取付基板８に嵌挿されたピン７ａに、電気的特性を計測する計測器と接続された配線を接続して、計測を行うことができる。
【００１３】
ここで計測器は配線を介して上記ピン７ａと接続されるが、計測器は試験室外部に設けられていてもよいが、加熱ブロック５を用いて試料７を加熱する構造であるので高熱を循環させる場合と異なり、加熱ブロック５から離れた位置では高温とならないので計測器や計測素子を試験室内に設けることが可能である。
しかしこの発明では、計測器との接続は特に限定されるものではなく各種方法を用いることができる。
【００１４】
【発明の効果】
以上のように、この試料加熱装置では、加熱した加熱体へ直接に試料を接触させて高温を伝えるので、正確な高温を伝達することができる。
また、試料取付基板を用いれば、試料を位置決めして加熱体に衝合して保持することができ一層効率的に試料を加熱させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の試料加熱装置の実施例を示す外観図である。
【図２】  図１の平面図である。
【図３】  図１の正面図である。
【図４】    加熱ブロックに試料を位置決めする場合の正面から見た図である。
【図５】  同側面から見た図である。
【符号の説明】
１・・・試料加熱装置
２・・・制御部
３・・・試験室
４・・・装置本体
５・・・加熱ブロック
６・・・温度制御部
７・・・試料
８・・・試料取付基板
１５・・・固定ネジ
【図１】
0003670704.tif 000002
【図２】
0003670704.tif 000003
【図３】
0003670704.tif 000004
【図４】
0003670704.tif 000005
【図５】
0003670704.tif 000006