(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電によりレーザ媒質を励起する気体レーザ装置のアノード側電極およびカソード側電極の少なくともいずれか一方の電極に用いられる気体レーザ用電極であって、長方形状の１枚の金属板の対向する１組の辺に対称的に複数の切り込みを入れることによって前記１組の各辺に複数の係合片を形成し、前記金属板をまるめて前記１組の辺のうち一方の辺の係合片と他方の辺の係合片が互い違いに係合するようにして形成した筒形の第１の電極と、この第１の電極の内面との間に円周方向に一様に分散される隙間が形成されるように前記第１の電極の内側に設置され、前記第１の電極と同電位となる金属からなる筒形の第２の電極と、を備えていることを特徴とする気体レーザ用電極。
【請求項２】
前記第２の電極は、外面に複数の突起が設けられており、この突起によって前記隙間が前記第１の電極の内面と前記第２の電極の外面の間に形成されることを特徴とする請求項１記載の気体レーザ用電極。
【請求項３】
前記第２の電極には周方向にほぼ等間隔に配置される複数の孔が開けられていることを特徴とする請求項１または２記載の気体レーザ用電極。
【請求項４】
前記第２の電極は、軸方向に分割されて配置された複数の筒型の副電極を有し、これらの副電極は金属板によって連結されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の気体レーザ用電極。
【請求項５】
前記第２の電極は、周方向に一様に分散され、軸方向に延びた複数枚の金属板を有し、前記隙間は前記金属板と前記第１の電極の内面との間に形成されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の気体レーザ用電極。
【請求項６】
放電によりレーザ媒質を励起する気体レーザ装置のアノード側電極およびカソード側電極の少なくともいずれか一方の電極に用いられる気体レーザ用電極であって、金属からなる筒形の電極の内側に、表面に複数の突起を有する細長い金属板を、前記突起が前記電極の内面に接するようにスパイラル状に設置して、前記電極と前記金属板との間に周方向に一様に分散された隙間を形成したことを特徴とする気体レーザ用電極。
【請求項７】
放電によりレーザ媒質を励起する気体レーザ装置のアノード側電極およびカソード側電極の少なくともいずれか一方の電極に用いられる気体レーザ用電極であって、金属からなる筒形の電極に周方向に一様に分散する軸方向の切れ目を入れ、この切れ目に金属板を編み込み、前記電極と前記金属板との間に周方向に一様に分散された隙間を形成したことを特徴とする気体レーザ用電極。
【請求項８】
放電によりレーザ媒質を励起する気体レーザ装置のアノード側電極およびカソード側電極の少なくともいずれか一方の電極に用いられる気体レーザ用電極であって、金属からなる筒形の電極の内側に金属メッシュがまるめられて前記金属メッシュの一部が前記電極に接するように設置し、前記電極と前記金属メッシュの前記一部以外の部分との間に周方向に一様に分散された隙間を形成したことを特徴とする気体レーザ用電極。
【請求項９】
放電によりレーザ媒質を励起する気体レーザ装置のアノード側電極およびカソード側電極の少なくともいずれか一方の電極に用いられる気体レーザ用電極であって、金属板から形成された筒形の電極と、この電極の周方向に一様に分散するように形成された金属からなる複数の切り開き部と、を備え、前記切り開き部の切り開いた部分は前記電極の内側に曲げることにより周方向に一様に分散された隙間を形成したことを特徴とする気体レーザ用電極。
【請求項１０】
放電によりレーザ媒質を励起する気体レーザ装置のアノード側電極およびカソード側電極の少なくともいずれか一方の電極に用いられる気体レーザ用電極であって、ブロック状の金属材料から形成された筒形の電極と、この電極の内面に周方向に形成された複数の溝とを備えていることを特徴とする気体レーザ用電極。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は気体レーザ用電極に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
気体レーザ用電極が用いられる気体レーザ装置の一般的な構成を図１８に示す。この気体レーザ装置９０は放電容器９１を有しており、この放電容器９１内の両端部に円筒型の気体レーザ用電極９２が対向配置されている。
【０００３】
また、放電容器９１内には軸方向に延びたレーザ管９４が設けられており、このレーザ管９４の外壁は断熱材９５で被覆されている。そして上記気体レーザ用電極９２は高電圧電源９９に接続されているとともに、レーザ用電極９２の先端部分がレーザ管９４内に入り込むような構成となっている。なお、レーザ管９４内にはレーザ媒質となる銅片９６が配設されている。また、放電容器９１の一端の外側には反射ミラー９７が、他端の外側には出力ミラー９８が設けられている。
【０００４】
次に上記気体レーザ装置９０の動作を説明する。まず放電容器９１の給気ポート９３ａを介して、図示しないガスボンベからバッファガスとしてネオンガスが供給され、排気ポート９３ｂから排出されることにより、放電容器９１内は一定の圧力に保たれている。
【０００５】
このような状態で気体レーザ用電極９２に高電圧電源９９からの高電圧が印加されると、電極９２間でネオン放電が生じる。このネオン放電が継続するとレーザ管９４が加熱されて銅片９６が溶け銅蒸気が発生し、更に加熱を続けると、レーザ媒質である銅原子が励起され、光が発生する。この光が反射ミラー９７と出力ミラー９８との間を往復することにより増幅され出力ミラー９８からレーザ光が発振される。
【０００６】
断熱材９５は熱が外部に逃げることを防ぐのに用いられる。また電極９２の先端がレーザ管９４内に入れられているのは、電極９２の先端付近の温度がなるべく下がらないようにしてレーザ発振に有効な温度領域（例えば約１４５０℃以上の温度領域）が長くなるようにするためである。したがって電極９２は高温となるため、電極材として高融点金属、例えばモリブデンが用いられる。
【０００７】
従来、高融点金属で円筒型の気体レーザ用電極９２を製作する場合は、その加工のし易さとコストの面から金属板をまるめて円筒にし、この円筒を電極としている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
このように従来の円筒型の気体レーザ用電極９２は高融点金属板をまるめて製作するためにまるめて継いだときの継目に放電が集中し易い。継目に放電が集中すると、電極９２の寿命が短くなるばかりか、レーザ出力の低下や、レーザ出力の不安定性を招くという問題が生じる。
【０００９】
本発明は上記事情を考慮してなされたものであって、放電の集中が起こりにくい気体レーザ用電極を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明による気体レーザ用電極の第１の態様は、筒形の第１の電極と、この第１の電極の内面との間に円周方向に一様に分散される隙間が形成されるように前記第１の電極の内側に設置された筒形の第２の電極と、を備えていることを特徴とする。
【００１１】
また本発明による気体レーザ用電極の第２の態様は、第１の態様の気体レーザ用電極において、前記第１の電極は、長方形状の１枚の金属板の対向する１組の辺に対称的に複数の切り込みを入れることによって前記１組の各辺に複数の係合片を形成し、前記金属板をまるめて前記１組の辺のうち一方の辺の係合片と他方の辺の係合片が互い違いに係合するようにして形成したことを特徴とする。
【００１２】
また本発明による気体レーザ用電極の第３の態様は、第１の態様の気体レーザ用電極において、前記第１の電極はブロック状の金属材料から形成されたことを特徴とする。
【００１３】
また本発明による気体レーザ用電極の第４の態様は、第１乃至第３のいずれかの態様の気体レーザ用電極において、前記第２の電極は、外面に複数の突起が設けられており、この突起によって前記隙間が前記第１の電極の内面と前記第２の電極の外面の間に形成されることを特徴とする。
【００１４】
また本発明による気体レーザ用電極の第５の態様には、第１乃至第４のいずれかの態様の気体レーザ用電極において、前記第２の電極は周方向にほぼ等間隔に配置される複数の孔が開けられていることを特徴とする。
【００１５】
また本発明による気体レーザ用電極の第６の態様は、第１乃至第５のいずれかの態様の気体レーザ用電極において、前記第２の電極は、軸方向に分割されて配置された複数の筒型の副電極を有し、これらの副電極は金属板によって連結されていることを特徴とする。
【００１６】
また本発明による気体レーザ用電極の第７の態様は、第１乃至第５のいずれかの態様の気体レーザ用電極において、前記第２の電極は、周方向に一様に分散され、軸方向に延びた複数枚の金属板を有し、前記隙間は前記金属板と前記第１の電極の内面との間に形成されることを特徴とする。
【００１７】
また本発明による気体レーザ用電極の第８の態様は、筒形の電極の内側に、表面に複数の突起を有する細長い金属板を、前記突起が前記電極の内面に接するようにスパイラル状に設置したことを特徴とする。
【００１８】
また本発明による気体レーザ用電極の第９の態様は、筒形の電極に、周方向に一様に分散する、軸方向の切れ目を入れ、この切れ目に金属板が編み込まれていることを特徴とする。
【００１９】
また本発明による気体レーザ用電極の第１０の態様は、筒形の電極の内側に金属メッシュが接するように設置されていることを特徴とする。
【００２０】
また本発明による気体レーザ用電極の第１１の態様は、金属板から形成された筒形の電極と、この電極の周方向に一様に分散するように形成された複数の切り開き部と、を備え、前記切り開き部の切り開いた部分は前記電極の内側に曲げられていることを特徴とする。
【００２１】
また本発明による気体レーザ用電極の第１２の態様は、ブロック状の金属材料から形成された筒形の電極と、この電極の内側に周方向に形成された複数の溝とを備えていることを特徴とする。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明による気体レーザ用電極の第１の実施の形態の構成を図１に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は外筒２と内筒１０とを備えている。外筒２は図２（ａ）の展開図に示すように高融点金属板２の一辺にほぼ同じ長さの複数の切込み３ａ１  ，…３ａ４  を入れることにより係合片２ａ１  ，…２ａ５  を形成するとともに上記一辺に対向する他辺に、上記切込み３ａ１  ，…３ａ４  に対称的にほぼ同じ長さの複数の切込み３ｂ１  ，…３ｂ４  を入れることにより係合片２ｂ１  ，…２ｂ５  を形成し、続いて上記金属板２をまるめて上記一辺上の係合辺２ａ１  ，…２ａ５  と上記他辺上の係合片２ｂ１  ，…２ｂ５  が互い違いに係合するようにして円筒を形成したものである。例えば上記一辺の係合片２ａ１  ，２ａ３  ，２ａ５  が外筒２の外側の位置にあれば、係合片２ａ２  ，２ａ４  は外筒２の内側に位置し、このとき上記他辺の係合片２ｂ１  ，２ｂ３  ，２ｂ５  は内側に、係合片２ｂ２  ，２ｂ４  は外側に位置することになる。このときの外筒２の断面を図２（ｂ）に示す。なお図２（ｂ）において符号４は継目である。
【００２３】
一方内筒１０は図３の展開図に示すような形状の高融点金属板１０から形成される。この金属板１０は主要部１１と、継目保護部１２とを備えている。主要部１１には複数の孔１３が設けられているとともに複数の突起１４が設けられている。
【００２４】
そしてこの金属板１０を突起１４が外側を向くように矢印の方向にまるめ、金属板１０の主要部１１の端部と外筒２の端部が一致するようにして外筒２の内側に挿入する。すると、弾性力により金属板１０が外側に広がろうとして動作し、金属板１０の突起１４が外筒２の内周に接触して上記広がろうとする動作が停止し、図１に示す気体レーザ用電極１が形成される。なお、継目保護部１２は外筒２の、内筒１０によって被われていない継目を被覆するように配置される。一般に高電圧電源には外筒２が接続される。
【００２５】
この気体レーザ用電極１においては、上記突起１４によって外筒１２の内周と内筒１０の外周との間に一様な隙間が形成される。このため、電極１の先端の周方向の狭い隙間、および内筒１０の孔１３の周囲と外筒２との間の狭い隙間で電子の発生率が高まり、放電が一箇所、例えば外筒２の継目に集中するのを抑えることができる。
【００２６】
なお、内筒１０は重なりが生じないように金属板１０の周方向の長さを調製することにより、図１に示すように切れ目２１を設けた方が良い。これは内筒１０の重なった部分に放電が集中することを避けるためである。また切れ目２１を設ける代わりに内筒１０を構成する金属板１０を外筒２の内側に一周以上巻くことにより周方向に更に一様に狭い隙間を形成しても良い。
【００２７】
また、内筒１０を構成する金属板１０自体の広がる力だけで金属板１０は外筒２の内側に設置されるが、リベット２２１  ，２２２  等を用いることにより、内筒１０を外筒２に固定し、内筒１０の自重あるいは放電による損傷で内筒１０の先端が外筒より離れることを防止するようにしても良い。
【００２８】
また放電が外筒２の継目に集中しないようにするため、外筒２の先端部分に切り欠き８を入れ、継目４が電極１の先端に現われないようにするとともに、リベット２２３  によって継目が離れないようにしても良い。
【００２９】
なお、内筒１０の継目保護部１２は外筒２の、内筒１０によって被われていない継目４に放電が集中するのを防止するために設けたものであり、放電が集中しないようであれば、内筒１０を構成する金属板１０（図３参照）から取り除いても良い。
【００３０】
なお、内筒１０の軸方向の長さは、放電が安定に持続されれば、外筒２の軸方向の長さより短くて良い。この場合熱伝導による熱の損失が少なくなる。
【００３１】
なお外筒２を薄い金属板を用いて形成することにより熱伝導を少なくし、放電による損傷の大きい内筒１０を厚い金属板を用いて形成した方が良い。また内筒１０は外筒２の材料とは異なる、放電による損傷がより少ない金属を用いても良い。
【００３２】
なお、上記実施の形態の気体レーザ用電極１においては、隙間を形成するための突起１４は内筒１０の外側に設けたが、外筒２の内側に設けても良い。また上記隙間は突起１４の高さによって調整することが可能である。突起１４の高さはどれも同じにするのが一般的であるが、部分的に高さを変え、隙間の狭い所と広い所を形成するようにすると、気体レーザ装置９０の放電容器９１内の圧力が高いときは放電が狭い隙間に、圧力が低いときには広い隙間に集中し易いため、広い圧力範囲に適応することが可能となる。
【００３３】
また上記実施の形態の気体レーザ用電極１においては、外筒２と内筒１０の電気的接触は突起１４やリベット２２１  ，２２２  ，２２３  で保っているが、電気的接触をより確実にするため、突起１４の頭を円筒に合せた面形状にしたり、リベット止めの数を増やしたり、金属のスペーサを入れたりしても良い。
【００３４】
次に本発明による気体レーザ用電極の第２の実施の形態を図４を参照して説明する。この実施の形態の気体レーザ用電極は１枚の金属板から形成され、この電極の展開図を図４に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極は、第１の実施の形態の気体レーザ用電極と同様に、外筒２と、内筒１０と、継目保護部１２とを有している（図４参照）。外筒２を構成することになる金属板の部分２には第１の実施の形態と同様に切り込み（図示せず）が入れられている。
【００３５】
また、内筒１０を構成することになる金属板の部分１０には第１の実施の形態の場合と同様に複数の穴１３と、突起１４が設けられている。
【００３６】
このような図４に示す金属板を矢印の方向にまるめることによって図１に示すような外筒２の内側に、この外筒２に沿って内筒１０が設けられている構造の気体レーザ用電極を形成することができる。
【００３７】
この第２の実施の形態の気体レーザ用電極も第１の実施の形態の電極と同様の効果を奏することは云うまでもない。さらに本実施例では、一枚の板金から電極が製作できるため、外筒と内筒の電気的接触が確実となる。
【００３８】
次に本発明による気体レーザ用電極の第３の実施の形態の構成を図５に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は、外筒２と、内筒１０とを備えている。この外筒２は図１に示す第１の実施の形態の外筒２とは異なり、ブロック状の金属材料から製作したものである。また内筒１０は高融点金属板あるいはブロック状の金属材料から製作され、孔１３と突起１４が設けられている。そしてこの内筒１０は突起１４が外側となるように（金属板から製作される場合はまるめられて）外筒２の内側に挿入される。これにより第１の実施の形態の場合と同様に外筒２と内筒との間には突起１４によって形成される隙間が設けられることになる。
【００３９】
この実施の形態の気体レーザ用電極では第１の実施の形態の場合と同様の理由から放電の集中が起こりにくい。また、外筒２がブロック状の金属材料から成形されることにより継目がなく、第１の実施の形態に比べて放電が集中しにくい。
【００４０】
次に本発明による気体レーザ用電極の第４の実施の形態の構成を図６に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は、外筒２と分割された複数の内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃとを備えている。外筒２は第１の実施の形態の場合と同様に高融点金属板から製作される。また各内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃは突起を有する高融点金属板をまるめることにより製作され、突起１４を外側にして外筒２の内側に挿入される。
【００４１】
またこれらの内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃは接続板３１によって連続されている。これらの内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃには突起１４のみが設けられているが、必要であれば第１の実施の形態と同様に孔を設けても良い。またこれらの各内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃおよび接続板３１は一枚の金属板から製作しても良い。この場合の展開図を図７に示す。なお、図７において符号１２は継目保護部であり、接続板３１とともに外筒２の継目に放電が集中するのを防止する。なお図６に示す気体レーザ用電極１は各内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃおよび接続板３１が一枚の金属板から製作されているものを示している。
【００４２】
この第４の実施の形態の気体レーザ用電極１においては、分割された内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃと、外筒との間に、突起１４による一様な隙間が周方向に形成されることにより、放電の集中を避けることができる。
【００４３】
なお、この第４の実施の形態においては、第１の実施の形態の場合と同様に外筒２と、各内筒とをリベット等で固定しても良い。また、外筒２をブロック状の金属材料から形成しても良い。
【００４４】
次に本発明による気体レーザ用電極の第５の実施の形態の構成を図８に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は円筒電極２を有しており、この円筒電極２は図１に示す第１の実施の形態の外筒２と同様にして一枚の高融点金属板から製作される。そしてこの円筒電極２の内側に、軸方向に延びた細長い金属板４１が周方向にほぼ等間隔に複数枚配置された構成となっている。この複数枚の金属板４１は接続円筒４２によって連結されている。なお、複数枚の金属板４１および接続円筒４２は１枚の金属板をまるめることによって製作しても良い。この場合の展開図を図９に示す。
【００４５】
この第５実施の形態の気体レーザ用電極１においては、細長い金属板４１と円筒電極２の間が全体として周方向に一様な狭い隙間となるため、放電が一箇所に集中しにくい構造となっている。細長い金属板４１の幅を太くし、円筒電極２の継目４を被覆するようにすると、更に一様な放電を得ることができる。
【００４６】
なお、細長い金属板４１はリベット等を用いて円筒電極２に固定するようにしても良い。また、細長い金属板４１に孔や突起を設けるようにしても良い。また、円筒電極２はブロック状の金属材料から形成するようにしても良い。
【００４７】
次に本発明による気体レーザ用電極の第６の実施の形態の構成を図１０に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は円筒電極２を有し、この円筒電極２は図１に示す第１の実施の形態の外筒２と同様にして一枚の高融点金属板から製作される。なお、図１に示す継目４等は図１０においては図示していない。
【００４８】
この円筒電極２は、周方向に切られた切れ目５２を軸方向に２箇所入れたものの組を周方向に一様に複数組配置したものであり、これらの各組の切れ目５２には細長い金属板５３が通されている。
【００４９】
このように構成することにより、円筒電極２の内側と細長い金属板５２との間には隙間が形成され、この隙間が円筒電極２の周方向にほぼ等間隔に配置されるため、放電が一箇所に集中しにくくなる。
【００５０】
次に本発明による気体レーザ用電極の第７の実施の形態の構成を図１１（ａ）に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は、図１１（ｂ）に示す金属板をまるめることにより形成される。この金属板は円筒電極となる長方形状の主要部２と、この主要部２の一辺から延びた細長い複数枚の板部５とを有している。なお、主要部２には対向する辺に複数個の切り込み３ａ，３ｂが設けられている。
【００５１】
まず金属板をまるめる前に板部５を主要部に折り重なるように折り曲げ、その後に矢印方向に金属板をまるめて、第１の実施の形態の外筒と同様にして円筒形状の電極１を形成する。なお折り曲げた板部５はリベット等によって円筒２に固定しても良い。
【００５２】
この実施の形態の気体レーザ用電極１も、円筒２と板５との間の隙間が電極１の先端部付近の周方向にほぼ等間隔に形成されるため、放電が分散され放電が集中するのを防止することができる。
【００５３】
次に本発明による気体レーザ用電極の第８の実施の形態の構成を図１２に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は図１に示す実施の形態の外筒２と同様にして製作される円筒電極２を有しており、この円筒電極２の内側に、表面に突起１４を有する細長い金属板６１をスパイラル状に設置したものである。突起１４により円筒電極２と金属板６１との間に狭い隙間が形成されるため、放電が分散され、放電が集中するのを防止することができる。なお、金属板６１の先端６２を円筒電極２の継目（図示せず）に近付けないようにすると、放電を更に効果的に分散させることができる。
【００５４】
なお、金属板６１には孔を設けても良い。また、円筒電極２をブロック形状の金属材料から形成しても良いことは言うまでもない。
【００５５】
次に本発明による気体レーザ用電極の第９の実施の形態の構成を図１３に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は、図１に示す第１の実施の形態の外筒２と同様にして形成される円筒電極２を有し、この円筒電極２の、軸方向に切られた切れ目７１に金属板７０が編み込まれている。なお、切れ目７１は円筒電極２の先端から入れられている。
【００５６】
この実施の形態の気体レーザ用電極１においては、金属板７０と円筒電極２との間に周方向に一様な狭い隙間７２が形成されるため、放電が一様に分散され、放電の集中を防止することができる。なお、編み込みは２箇所以上作っても良い。
【００５７】
また、図１４に示すように円筒電極２の先端より少し離れた位置から切れ目７１を入れ、この切れ目に金属板７０を編み込むようにしても良い。この場合、円筒電極２の先端が固定されて動かないため、狭い隙間を周方向に一様に作り易く、また放電による変形が少ない。
【００５８】
なお、図１３および図１４に示す気体レーザ用電極１の円筒電極２はブロック形状の金属材料から形成しても良い。
【００５９】
次に本発明による気体レーザ用電極の第１０の実施の形態の構成を図１５に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は円筒電極２を有し、この円筒電極２の内側の面に沿って格子形状の金属部材（メッシュともいう）８０が設置されている。この円筒電極２に直接接していない金属部材８０の部分が円筒電極２との間に狭い隙間が形成され、これにより電子の発生率が高まり、放電の集中を防止できる。
【００６０】
なお、２枚以上のメッシュを重ねてメッシュの目の開口率を調整することができる。
【００６１】
また、円筒電極２は図２に示す第１の実施の形態の外筒２と同様に１枚の金属板から形成しても良いし、ブロック状の金属材料から形成しても良い。
【００６２】
次に本発明による気体レーザ用電極の第１１の実施の形態の構成を図１６に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は図１に示す第１の実施の形態と外筒２と同様に１枚の金属板から形成された円筒電極２を有し、この円筒電極２には周上にほぼ等間隔に複数の切り開き部８５が設けられている。そして切り開いた部分を円筒電極２の内側に曲げることにより、円筒電極２との間に狭い隙間を形成したものである。
【００６３】
これにより、放電が分散され、放電の集中を防止することができる。
【００６４】
なお、上記第１０の実施の形態の気体レーザ用電極１においては複数の切り開き部８５を設け、切り開いた部分を曲げることにより狭い隙間を形成したが、円筒電極２に孔を開け、このときにできる「バリ」を曲げて隙間を形成しても良い。
【００６５】
次に本発明による気体レーザ用電極の第１２の実施の形態の構成を図１７に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１はブロック状の金属材から形成される円筒電極２を有し、この円筒電極２の内側には周方向に溝８７が形成されている。
【００６６】
このように周方向に形成された溝により一様な狭い隙間が形成されることにより放電が分散され、放電の集中を防止することができる。
【００６７】
なお、溝８７は円筒電極２の先端部だけにあれば良い。また溝８７はスパイラル状に形成しても良い。
【００６８】
以上説明した実施の形態の気体レーザ用電極を組み合わせ用いても良い。
【００６９】
また、円筒電極（外筒）２の内側に２個以上の内筒１０を重ねるように挿入して気体レーザ用電極を形成しても良い。
【００７０】
なお、上記実施の形態の気体レーザ用電極１は銅蒸気レーザ装置ばかりでなく大部分の金属レーザ装置、更には電極を有する放電装置にも用いても良い。また、カソード側の電極として用いるばかりでなくアノード側の電極として用いても良い。
【００７１】
また、上記各実施の形態においては気体レーザ用電極１の形状は円筒形状のものについて説明したが、断面が多角形の柱状の電極を用いても良い。
【００７２】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、放電の集中が起こりにくい気体レーザ用電極が実現する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による気体レーザ用電極の第１の実施の形態の構成を示す構成図。
【図２】第１の実施の形態の電極の外筒の展開図。
【図３】第１の実施の形態の電極の内筒の展開図。
【図４】第２の実施の形態の気体レーザ用電極の展開図。
【図５】第３の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図６】第４の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図７】第４の実施の形態にかかる内筒の展開図。
【図８】第５の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図９】第５の実施の形態の気体レーザ用電極にかかる内筒の展開図。
【図１０】第６の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図１１】第７の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図１２】第８の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図１３】第９の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図１４】第９の実施の形態の変形例の構成図。
【図１５】第１０の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図１６】第１１の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図１７】第１２の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図１８】気体レーザ装置の構成図。
【符号の説明】
１  気体レーザ用電極
２  外筒（円筒電極）
２ａｉ  （ｉ＝１，…５）  係合片
２ｂｉ  （ｉ＝１，…５）  係合片
３ａｉ  （ｉ＝１，…４）  切り込み
３ｂｉ  （ｉ＝１，…４）  切り込み
４  継目
８  切り欠き
１０  内筒
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ  内筒
１１  主要部
１２  継目保護部
１３  孔
１４  突起
２１  切れ目
２２ｉ  （ｉ＝１，２，３）リベット
３１  接続板
４１  金属板
４２  接続円筒
５２  切れ目
５３  金属板
６１  金属板
６２  金属板の先端部
７０  金属板
７１  切れ目
７２  狭い隙間
８０  金属部材（メッシュ）
８５  切り開き部
８７  溝
９０  気体レーザ装置
９１  放電容器
９２  気体レーザ用電極
９３ａ  給気ポート
９３ｂ  排気ポート
９４  レーザ管
９５  断熱材
９６  銅片
９７  反射ミラー
９８  出力ミラー
９９  高電圧電源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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