(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マニュアル的にコントロールされる座標測定機による加工物の測定法であって、該座標測定機は、複数個の空間方向へ可動に支承された、走査器（１０）のための支持体（７）を有し、該支持体（７）は変位可能な走査ピン（１１）において接触走査体（走査球１２）を支持している形式の前記の測定法において、
該接触走査体（１２）を、測定されるべき、加工物の幾何学的要素（３１，３２，３３）と接触させ、
走査ピン変位を測定する、走査ピン（１１）の変位の際に発生される前記走査器（１０）の測定値発信器（１３ａ，１３ｂ，２３）の信号（Ｕ，Ｖ，Ｗ）から、または前記支持体（７）の運動の際に発生される座標測定装置の信号（φ，ψ，Ｚ）および走査ピン変位を測定する、走査ピン（１１）の変位の際に発生される前記走査器（１０）の測定値発信器（１３ａ，１３ｂ，２３）の信号（Ｕ，Ｖ，Ｗ）から制御信号（８０〜８４）を導出し、該制御信号（８０〜８４）は、幾何学的要素における走査過程の開始および終了を、または座標測定値（Ｘ，Ｙ，Ｚ）の有効性を示すことを特徴とする、マニュアル的にコントロールされる座標測定機による加工物の測定法。
【請求項２】
付加的に、操作力を測定するセンサ（Ｓ１）の信号を評価して、制御信号の導出のために用いる、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記座標測定値の有効性を示す制御信号（８１，８２）を、前記走査ピン（１１）が前記支持体（７）に対して変位する際に発生される前記測定値発信器（１３ａ，１３ｂ，２３）の信号（Ｕ，Ｖ，Ｗ）から導出する、請求項１又は２記載の方法。
【請求項４】
測定値の有効性を示す判定尺度として、測定力（１１）または走査ピン変位（Ｕ，Ｖ，Ｗ）の所定の限界値（Ｌ１，Ｌ２）を上回る状態を、および／または下回る状態を用いる、請求項１から３までのいずれか１項記載の方法。
【請求項５】
限界値（Ｌ１，Ｌ２）を上回った状態または下回った状態を、例えば音響信号（５３）により示す、請求項４記載の方法。
【請求項６】
走査過程の開始と終了を示す制御信号（８０）を、前記支持体（７）の運動の際に発生される前記座標測定装置の信号（φ，ψ，Ｚ）と、所定の閾値（Ｌ０）を上回わる前記走査ピン（１１）の変位の際に発生する前記測定値発信器（１３ａ／ｂ，２３）の信号との結合から形成する、請求項１から５までのいずれか１項記載の方法。
【請求項７】
走査過程の前、間中、後に発生される前記座標測定装置の信号（φ，ψ，Ｚ）ならびに所属の走査ピン変位の測定値（Ｕ，Ｖ，Ｗ）を記憶する、請求項１から６までのいずれか１項記載の方法。
【請求項８】
走査過程の開始と終了の間に発生された有効な座標測定値から、簡単な幾何学的要素（円３１，面３２，円筒３３、方形、だ円等）を求め、または測定値に対応付け（配属し）、ならびに座標測定値の、幾何学的要素の理想的な輪郭からの偏差を表示する、請求項１から７までのいずれか１項記載の方法。
【請求項９】
加工物を測定する座標測定機において、
全部で３つの空間方向に可動する支持体（７）が設けられており、該支持体（７）に座標測定装置（３，１６／２６，１８／２８）が配属されており、
該支持体（７）に取り付けられた、少なくとも２つの空間方向へ変位する走査ピン（１１）が設けられており、該走査ピン（１１）に、変位（Ｕ，Ｖ，Ｗ）を検出する測定値発信器（１３ａ，１３ｂ，２３）が配属されており、
前記走査ピン（１１）の変位の際に発生される測定値発信器の信号（Ｕ，Ｖ，Ｗ）から、または前記支持体（７）の運動の際に発生される座標測定装置（３，１６／２６，１８／２８）の信号および前記走査ピン（１１）の変位の際に発生される測定値発信器の信号（Ｕ，Ｖ，Ｗ）から、制御信号（８０〜８４）を生成する装置（４１）が設けられており、
前記制御信号は幾何学要素での走査過程の開始および終了、または座標測定値の有効性をあらわし、
該装置（４１）は、発生された座標測定値（φ，ψ，Ｚ）およびこれに所属の走査器変位（Ｕ，Ｖ，Ｗ）を記憶するメモリ（５０）と接続されていることを特徴とする、座標測定機。
【請求項１０】
前記走査ピン（１１）に操作グリップ（１９，１１９）が配属されており、該操作グリップは少なくとも運動の幾つかの自由度に関して、前記走査ピン（１１）または該走査ピン（１１）の支持体（走査器１０）から力に関して分離されている、請求項９記載の座標測定機。
【請求項１１】
前記操作グリップは、前記走査ピン（１１）の支持体（１０）にリンク（関着）的に取り付けられている、該走査ピン（１１）を少なくとも部分的に囲むリング（１９）または半リングである、請求項１０記載の座標測定機。
【請求項１２】
前記操作グリップは走査ピン（１１）にフレキシブルに支承されたスリーブ（１１９）である、請求項１０記載の座標測定機。
【請求項１３】
前記走査器（１０）は、該走査器（１０）の走査ピン（１１）の方向（Ｗ）へ変位し、これに関連する案内体（９ａ／９ｂ）がクランプする、請求項９記載の座標測定機。
【請求項１４】
可視信号または音響信号を帰還結合する装置（５２／５３）が設けられており、該信号は座標測定値の有効性を、および／または走査器変位（Ｕ，Ｖ，Ｗ）の所定の限界値（Ｌ１, Ｌ２） を上回るか下回るかの状態を表示する、請求項９から１３までのいずれか１項記載の座標測定機。
【請求項１５】
前記操作グリップ（１９，１１９）に、操作の際に応動するセンサ（Ｓ１）が配属されており、該センサ（Ｓ１）は、制御信号を生成する装置（４１）と接続されている、請求項１０から１２までのいずれか１項記載の座標測定機。
【請求項１６】
前記走査ピン（１１）または該走査ピン（１１）の支持体（１０）に操作グリップ（１９）が配属されており、該操作グリップ（１９）は１つまたは複数個のセンサ（２３）と作用接続されており、該センサ（２３）の信号（Ｗ）は、走査ピン（１１）のための支持体（７）を追従制御する駆動装置（２）へ導びかれる、請求項９記載の座標測定機。
【請求項１７】
付加的に、記憶されている前記座標測定装置の信号から簡単な幾何学的要素を自動的に識別する装置が設けられている、請求項９記載の座標測定機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、マニュアル的にコントロールされる座標測定機による加工物の測定法および座標測定機に関する。
【０００２】
【従来技術】
マニュアル的にコントロールされる座標測定機は従来は、著しく正確な測定結果が必要とされる時はいずれにしてもほとんどすべて、いわゆる切り換え式の走査ヘッドを備えている。測定過程は次のように進行する。即ち座標測定機の測定アームが、このアームに取り付けられている切り換え式走査ヘッドと共に操作者により加工物へ運動され、最後に、弾性的に支承された走査器がその走査球により加工物表面と接触される。この最初の接触の際に感応センサから切り換え信号が座標測定機の制御装置へ通報される。この信号は、座標測定装置すなわち物指し（尺度体）から供給される座標測定値の保持のために用いられる。同様に次の測定点が検出され、相次いで点状に接触走査された加工物における個所の和から、加工物の形状または許容誤差が座標測定機の評価計算器により求められる。
【０００３】
加工物の線状の測定すなわちいわゆる走査形の測定式走査ヘッドを用いての加工物表面上の測定点の準連続的な検出は、種々の理由から手動操作の座標測定機の場合は従来は可能ではなかった。その理由は一つには、測定範囲−この中で少数の公知の測定式走査器が走査器変位に比例する信号を送出する−が著しく小さいからである。そのため座標測定機の著しく大きい慣性質量を手動で次のように運動させることは、即ち走査器が走査器変位の所定の狭い限界内で加工物表面に沿って案内するように運動させることは、不可能ではないにしても、著しく困難である。さらに手動案内により相異なる力とトルクが座標測定機の測定アームへ及ぼされる。しかしこれにより座標測定機の案内部は、正確な測定が行なえない位に変形される。後者は当然、さらに手動で案内される測定機による加工物の測定に対して、および座標測定技術の初期の頃に多く使用された簡単な剛性の走査器に対して一層よくあてはまる。
【０００４】
そのため準連続的走査モードで今日では、全部で３つの軸線においてだけモータで駆動されるＣＮＣ制御の座標測定機が動作する。相応の走査法は例えば米国特許第４７６９７６３号公報、第５３３４９１８号公報ならびにドイツ連邦共和国出願公開公報第４２１２４５５号に示されている。
【０００５】
この走査法によりＣＮＣで制御されて未知の加工物が測定される限り、この方法プロセスは著しく緩慢に動作経過する。何故ならば制御計算器は走査過程の以後の進行路を、常時、再び既に経過された変位路から導出しなければならないからである。
【０００６】
ドイツ連邦共和国特許出願公開公報第４２３８１３９号に軽快に運動されるように案内される、著しく小さい案内部質量を有する座標測定機が公知であり、これにより加工物における直線走行路も手動案内の下に検出できる。しかしこの公知の測定機器の場合も、これが操作者により加えられる力により変形し、その結果、測定結果が不正確になる。さらに測定点の検出は、測定過程の開始と終了が操作者により測定機の制御装置へ通報される必要があるという点で煩雑である。しかも相応の信号装置の操作が加工物表面のせん細な走査を妨げる。
【０００７】
【発明の解決すべき課題】
本発明の課題は、手動で案内される座標測定機による加工物表面の簡単かつ迅速な測定を高い精度で実施可能にする方法と、この方法に最適の装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この課題は、マニュアル的にコントロールされる座標測定機による加工物の測定法であって、該座標測定機は、複数個の空間方向へ可動に支承された、走査器のための支持体を有し、該支持体は変位可能な走査ピンにおいて接触走査体（走査球）を支持している形式の前記の測定法において、該接触走査体を、測定されるべき、加工物の幾何学的要素と接触させ、前記走査ピンの変位を測定する、走査ピンの変位の際に発生される前記走査器の測定値発信器の信号から、または前記支持体の運動の際に発生される座標測定装置の信号および前記走査ピンの変位を測定する、走査ピンの変位の際に発生される前記走査器の測定値発信器の信号から制御信号を導出し、該制御信号は、幾何学的要素における走査過程の開始および終了を、または座標測定値の有効性を示すことを特徴とする、マニュアル的にコントロールされる座標測定機による加工物の測定方法および加工物を測定する座標測定機において、全部で３つの空間方向に可動する支持体が設けられており、該支持体に座標測定装置が配属されており、該支持体に取り付けられた、少なくとも２つの空間方向へ変位する走査ピンが設けられており、該走査ピンに、変位を検出する測定値発信器が配属されており、前記走査ピンの変位の際に発生される測定値発信器の信号から、または前記支持体の運動の際に発生される座標測定装置の信号および前記走査ピンの変位を測定する、走査ピンの変位の際に発生される測定値発信器の信号から、制御信号を生成する装置が設けられており、前記制御信号は幾何学要素での走査過程の開始および終了ないし座標測定値の有効性をあらわし、該装置は、発生された座標測定値およびこれに所属の走査器変位を記憶するメモリと接続されていることを特徴とする座標測定機によって解決される。
【０００９】
本発明はマニュアル的にコントロールされる座標測定機による加工物の測定法に関する。この座標測定機は、複数個の空間方向において可動の走査器に関して変位可能な走査ピンを有しており、該走査ピンは通常は走査球である接触走査体を支持している。
【００１０】
本発明によれば、この接触走査体を測定されるべき、加工物の幾何学的要素と沿って接触させ、走査ピンの変位の際に発生される、走査器の測定値発信器の信号から、または支持体の運動の際に発生される、座標測定装置の信号および走査ピンの変位の際に発生される、走査器の測定値発信器の信号から制御信号を導出し、この制御信号は、幾何学的要素における走査過程の開始および終了を、または座標測定値の有効性を特徴づける。
【００１１】
【発明の効果】
座標測定機の制御装置は走査の開始と終了を自動的に識別するため、操作者は加工物における各幾何学的要素の走査だけに専念できて、走査の開始と終了をもはや信号化する必要がない。同時に、測定結果は、接触走査体が加工物表面との接触から外れた時に、または過剰な圧力が加工物表面に作用した時に生ずる、有効でない測定値により劣化されないことが保証される。即ちそのため加工物は本発明による方法により手動で著しく迅速かつ高い精度で測定可能となる。
【００１２】
多くの走査器における走査ピンの変位はいずれにしても測定力に比例するので、多くの場合、走査ピンの変位の際に発生される信号は、前述の制御信号を生成するためには十分であるが、さらにマニュアルコントロールの操作力を測定するセンサの信号を評価し、制御信号の導出に付加的に使用して、これにより走査の開始と終了を信号化し、他方、走査器変位、すなわちこれから導出された信号を座標測定値の有効性を特徴づけるために用いると好適である。
【００１３】
走査過程の開始と終了の間に発生された有効な座標測定値を、所属の走査器変位の測定値を含めて記憶すると有利である。何故ならばこれらの記憶された測定値からエクスパートシステムによる適切な評価プログラムにより自動的に、走査された幾何学的要素の形状を識別できる、すなわち走査された線が円を示したのか、平面上にあるか、円筒、方形またはだ円を周回したかを識別できるからである。そのため操作者は測定過程の終りに示された幾何学的要素を同意の下に簡単に確認して、次にその大きさ、偏差、許容誤差等が表示またはプリントアウトされる。
【００１４】
この方法は、いわゆる切り換え式走査器と関連づけて多少変形された形式で使用することもできる。この変形は、走査器の変位に比例するアナログ信号を送出するのではなく、加工物と走査器との接触の時点だけを信号化する。この場合、点状に測定された幾何学的要素の形状を接触走査点だけから、場合によっては測定点の間に走査器により走行された変位路の記憶された座標を考慮して求めるだけで十分である。
【００１５】
この方法を実施するのに適している座標測定機は、走査ピンの変位の際に発生される測定値発信器の信号から、または支持体の運動の際に発生される座標測定装置の信号および走査ピンの変位の際に発生される測定値発信器の信号から、制御信号を生成する装置を有し、この制御信号を生成する装置は、発生された座標測定値と所属の走査器変位とを記憶するメモリと接続されている。さらに走査器に操作グリップが配属されており、該グリップは少なくとも運動の複数個の自由度に関して、走査ピンまたはそれを支持する測定アームから力に関して分離されている。操作グリップは、操作力が測定機への案内装置の方向へ導びかれること、および強制力、トルク等が座標測定機の案内装置へ作用されないことを保証する。操作グリップのための好適な構成は従属形式の請求項に記載されていて実施例に示されている。
【００１６】
操作性と有効な測定値の生成のために次の構成は著しく有利である。即ち座標測定機に可視信号または音響信号を帰還結合する装置が設けられており、この信号は座標測定値の有効性を、および／または走査器変位の所定の変位を上回わるか下回わるかを、表示する。これによって、操作者が座標測定機のいわゆる力調整ループ（Ｋｒａｆｔｒｅｇｌｋｒｅｉｓ）へ関係づけられることにより、操作者は一定の操作力で加工物表面に沿って操縦することができる。
【００１７】
軽快な走行性と質量の小さい案内部材に関連づけて次の構成は有利である。即ち座標測定機の走査器が相続く旋回軸を介してリンク（関着）的に、高さ調整される支持体と結合されている構成である。
【００１８】
この座標測定機は、ドイツ連邦共和国特許出願公開公報第４２３８１３９号に示されている様な構成を有する。リンク（関着）的な走査器は例えば、ドイツ連邦共和国特許出願公開公報第１８０４２５３号に示されているように、材料狭幅個所として構成されているカルダン継手を介してそのシャフト方向へ垂直に変位可能に支承されている。
【００１９】
本発明の別の利点は添付の図面の図１〜８図を用いて実施例の以下の説明に示されている。
【００２０】
【実施例】
図１に示されている座標測定機は、垂直のＺ方向案内体として構成されている支柱１を有する。この支柱には支持体４が駆動装置２を用いて可動に支承されている。垂直方向のＺ位置は物差３を用いて光電的に読み取れる。
【００２１】
支持体４に旋回軸６が取り付けられており、この旋回軸を中心として第１のヒンジアーム５が平面（ｘ，ｙ）において旋回できる。旋回角度を、同じく光電的に読み取られる、軸６の上の部分円１６が示す。
【００２２】
第１のヒンジアーム５に垂直軸６に平行な第２の並列軸８が取り付けられている。この軸８に第２のヒンジアーム７が同じく旋回可能に支承されている。この第２の旋回軸８の旋回運動を検出する目的で部分円１８が、図示されていない光電走査装置と共働して用いられる。
【００２３】
第２のヒンジアーム７は同時に走査器１０のための支持体を構成する。走査器は両方のジョイント的な脚９ａ，９ｂを有するばね平行四辺形を介して支持体４に支承されている。ばね平行四辺形９ａ，９ｂを介して走査器１０は垂直方向に運動する。ばね平行四辺形の変位Ｗは測定装置２３を介して検出され、さらに増幅器１５を介してモータ２へ通報される。モータは平行四辺形のより大きい変位を支持体４の追従走行により補償する。
【００２４】
走査ピン１１は走査器１０において弾性のカルダン継手１４を介して平面（Ｘ，Ｙ）において変位可能である。変位の値は、２つの互いに垂直に配置されている測定装置１３ａ，１３ｂを介して検出される。そのためＸＹ平面における走査球１２の位置は角度測定装置１６，１８の測定値φ，ψから、両方のヒンジアーム５と７の長さＲ１，Ｒ２を用いて、次の式により求められる。この式は図１を用いて簡単に導出できる：
Ｘ＝Ｒ１・ｃｏｓφ＋Ｒ２・ｃｏｓ（φ＋ψ）
Ｙ＝Ｒ１・ｓｉｎφ＋Ｒ２・ｓｉｎ（φ＋ψ）
ただしＲ２とψはさらに走査ピン１１の変位Ｕ，Ｖ，Ｗに依存する。
【００２５】
図２のブロック図に示されている様に３つの測定値発信器１３ａ，１３ｂ，２３の信号出力Ｕ，Ｖ，Ｗは機能ユニット４３へ導びかれる。この機能ユニットは例えば各１つの搬送周波測定増幅器６１，６２，６３および後置接続のアナグロ／ディジタル変換器を有する。測定値発信器１３ａ，１３ｂ，２３としては、搬送周波法により動作する誘導式測定装置が用いられる。走査ピン変位のディジタル化された測定値は迅速形マイクロプロセッサ４１のデータ入力側へ加えられる。マイクロプロセッサ４１には座標測定装置の測定値も、即ちＺ変位を測定する測定物差／発信器装置３の測定値と両方の角度発信器１６，１８の測定値も供給される。後者はそれぞれ旋回軸の両側に設けられた２つの読み出しヘッド２６ａ／２６ｂ，２８ａ／２８ｂによるセンタリング誤差の回避のために読み出される。角度測定信号φとψの対、すなわちインクリメント式角度測定装置のサイン／コサイン信号は、補間器回路６６，６８において８０回補間されて、多重計数器ユニット６９，７０において計数される。補間器６５，６６，６７，６８と計数器６９，７０は機能ユニット“変位測定”４４としてまとめられている。２つの加算回路４５，４６は発信器の対２６ａ／ｂおよび２８ａ／ｂの角度測定値の平均値を形成する。これにより得られた実際のディジタル形式の角度測定値φとψならびに測定値Ｚは、マイクロプロセッサ４１の３つのディジタル入力側へ導びかれる。
【００２６】
同時に走査器変位Ｗの測定値とＺ測定値は駆動制御回路４７へ達する。この制御回路はデジタル形式の調整信号を形成する。この調整信号はディジタル／アナログ変換器４８を介してサーボ増幅器４９へ導びかれる。サーボ増幅器はさらにモータ２の回転数発信器に接続されている。駆動制御装置４７は次の動作を引き受ける。即ちモータ２が測定機の支持体４を常にばね平行四辺形９ａ，９ｂの変位に追従制御させ、この変位Ｗを補償する動作を引き受ける。
【００２７】
データバスを介して、マクロプロセッサ４１は評価計算器５１−市販のＰＣ−へ接続されている。マイクロプロセッサへさらにメモリユニット５０が配属されている。メモリユニットの中にマイクロプロセッサにより受信された測定値Ｕ，Ｖ，Ｗとφ，ψ，Ｚが後述のように記憶できる。
【００２８】
マイクロプロセッサ４１はさらに周波発生器５２とスピーカ５３に接続されている。それらの役割は、そのファームウェアにおける相応の評価プログラムを介して走査ピン変位Ｕ，Ｖ，Ｗを監視して音響信号を生成することである。この音響信号の周波数は、信号Ｕ，ＶまたはＷの１つが所定の最大許容値Ｌ２を上回わるか否か、または全部の信号Ｕ，Ｖ，Ｗが走査器変位のための下側閾値Ｌ１を下回わるか否かに依存する。両方の場合とも音響信号が送出される。その目的は、使用者が有効な測定値の検出のために許容される範囲を外れたことを、使用者に示すためである。
【００２９】
図１と図２を用いて示された測定機による測定方法の詳述に立ち入る前に、ここで測定機の走査器を図６と図７を用いて説明する。図６と図７に示された両方の実施例は、走査器すなわち走査ピンへ結合された操作取手だけに関して相異なる。
【００３０】
図６に示されている走査器１０は支持体７に、すなわち図１の測定機のヒンジアームに、両方の脚９ａと９ｂを有する並行四辺形を介してジョイント連節的に結合されている。支持体７に結合されているロッド２０と走査器１０に結合されているロッド１７との間のばね１５は走査器１０の重量軽減のために用いられ、走査器を、簡単に示された誘導式測定装置２３のゼロ位置に保持する。走査器の垂直方向の変位Ｗはこの誘導式測定装置により測定される。
【００３１】
走査器１０の延長部材１０ａは、クランプ装置２２を用いて、支持体７と結合されている曲げビーム２１の端部へ結合可能である。垂直方向におけるクランプを介して後述のように、加工物における輪郭を所定の高さにおいて走査できる。
【００３２】
走査器１０とも、走査球１２を有する走査ピン１１は結合されている。走査ピン１１は材料切欠により構成されるカルダン継手１４を介して水平の平面（Ｘ，Ｙ）において変位可能に支持されている。鉛直線に垂直な平面における走査器変位を検出するために、両方の誘導式測定装置１３ａ，１３ｂが用いられる。
【００３３】
操作者によりグリップ１９を用いて走査器１０が運動され、このグリップは板ばね２４を介して垂直方向にフレキシブルに走査器１０に支承されている。板ばね２４とグリップ１９との結合部２９の中へさらに２つのヒンジ２７ａ，２７ｂが組み込まれている。これらのヒンジはグリップ１９を曲げの力に関して走査器１０から分離させる。グリップ１９は、走査ピン１１を囲むリングスリーブとして構成されている。走査器とグリップ１９の結合部２９との間のスイッチＳ１を介して、垂直方向における操作力が所定の閾値Ｌ０を上回ったことを信号化することができる。
【００３４】
図７に示されている走査器のための実施例においてグリップ１１９は、同じく走査器１０から曲げの力に関して分離されている。図７において、図６におけるのと同じ部材には同じ参照符号を付してあるため、ここでは再度の説明はしない。グリップ１１９はリング状のディスク１２４を用いて走査ピン１１に直接支承されている。ディスクは両側で複数個の個所において複数のばね１２７ａ〜１２７ｄによって、リング状の円筒スリーブとして構成されているグリップ１１９の内側にクランプされている。
【００３５】
この場合もスイッチＳ１が設けられている。このスイッチはグリップ１１９と走査ピン１１との間の垂直方向の操作力ないしは最小の力Ｌ０を上回ったことを信号化する。
【００３６】
前述の測定機により相異なる幾何学的要素を測定する際は次のように実施される：例えばＸＹ平面に設けられている孔が、または図３の（Ａ）に示されている軸３１が走査されると、走査ピン１１の変位Ｕ，Ｖが測定装置１３ａ，１３ｂにより求められ、同時にリンク（関着）的なカルダン継手１４の弾性特性を介して、この場合に加えられる力も得られる。この場合、垂直方向へは力が生じない。何故ならば図２を用いて説明されたサーボ制御装置が、測定装置２３により示された各々の変位Ｗを、支持体４の相応の追従走行により補償するからである。
【００３７】
所定の高さにおいて孔または軸３１を走査すべき時は、前もってばね平行四辺形９ａ，９ｂの変位をクランプ装置２２を介して阻止して、Ｚスライダ４のサーボ制御を遮断する。次に垂直方向に操作力も加えられると、この操作力は曲げビーム２１の曲げを生ぜしめる。この曲げは測定装置２３により検出される。この曲げビーム２０の弾性特性を介して、走査器１０の支持体７へ作用する垂直のＺ方向の力も測定される。このようにして、加工物における走査球１２の接触から生ずる全部の力またはトルクもわかるため、走査ピン１１の曲げまたはヒンジアーム４〜９の変形の補正のために使用できる。このことは本出願人により同日に提出された出願である発明（名称「２つの回転軸による座標測定機の較正法」）に示されている。そのためこの座標測定機によって、測定されるべき幾何学的要素をこの走査方法で線状に高い測定精度で著しく良好に走査することができる。
【００３８】
ＸＹ平面に存在する面たとえば図３の（Ｂ）に示されている面３２が走査されると、面３２上での走査ピン１１の移動の際のＺ方向の接触走査力は、走査球１２と面３２との間のまさつ力だけを介して測定装置２３ａ，２３ｂの変位を生じさせる。他方、走査ピン１１と走査器１０との間に作用するＺ方向の力はわからない。この状態は、力が小さくてまさつ係数が小さい場合は信頼性を損なう可能性がある。何故ならば例えば段階状の孔の中で孔壁と階段面を同時に接触走査すると、この場合、孔の内壁においてだけでなく階段面においても走査球１２への接触が生じているか否かが全くわからない。このことは、垂直のＺ方向において所定の力を上回わる時にだけ当てはまり、このことはスイッチＳ１の閉成により信号化される。
【００３９】
図３の（Ｃ）に示された円筒３３の軸線位置を測定すべき時は、円筒外側面が相異なる高さにおいて例えばらせん状に接触走査される。この間中、クランプ装置２２は作動されず、モータ２はヒンジアームの支持体４を手動で案内される走査ピン１１へ追従走行させる。
【００４０】
前述の測定機による測定は次の時に特に操作性が良好である。即ち例えば後述の方法を用いて説明されるように幾何学的素子における走査過程の始めと終りを自動的に識別して、さらに所定の限界Ｌ１，Ｌ２の中にある接触操作力により検出された測定点だけを評価することを保証すると、操作性が良好である。何故ならばこれにより、一方では測定の際に走査球が加工物表面と接触したことを保証し、他方では力が、確実な補正のために許容される範囲を上回わらなかったことを保証するからである。この自動的な方法は、例えば図５のフローチャートに示されている様にマイクロプロセッサ４１（図２）のファームウェアの相応のプログラミングにより実現できる。
【００４１】
例えば走査球１２が図３の（Ａ）〜（Ｃ）に示されている、測定機の測定範囲内のいずれの場所でも加工物とは接触しない位置Ａにある時に、測定機は準備状態にある。このモード“測定準備状態”において、連続的に２つの判定尺度が試験される。即ち走査器の支持体７が何らかの様に運動するか、および最小の閾値（Ｌ０）を上回わる測定装置の変位（ＵまたはＶまたはＷ）により測定力の発生、即ち加工物との接触が信号化されるか否かが、検査される。第１の判定尺度は、走査球がその休止位置Ａから出て運動されると、直ちに充足される。第２の判定尺度は、図３の（Ａ）または（Ｂ）または（Ｃ）の位置Ｂにおいて幾何学的要素（円３１），（面３２）、または（円筒３３）の表面に接触した瞬間に、充足される。この瞬間から、空間における支持体７の運動を記述する座標測定値φ，ψ，Ｚと、測定された走査ピン変位Ｕ，Ｖ，Ｗが同時に高い点密度で記憶される。同時に各々の測定点（ｎ）のために次のことが検査される。即ち接触走査力が、変位方向のいずれかに対して最小の閾値Ｌ１を上回わるか、および変位ＵとＶにおいて、設定された最大の閾値Ｌ２を下回わるか否かが検査される。両方の条件が充足されている時にだけ測定値が有効であるとマーキングされ、次の測定値（ｎ＋１）が記憶される。
【００４２】
前述の両方の条件のうちの１つが充足されていない時は、相応の測定値が有効ではないとマーキングされて、次の測定点が記憶される。同時に連続する有効でない測定値ｍの個数の数が数えられて、この値ｍが設定されるべき上側限界Ｘを上回わったか否かが検査される。このことは例えば、測定されるべき幾何学的要素から離れる（図３のＡ，Ｂ，Ｃにおける位置Ｄ）時に、当てはまる。この瞬間に測定力が消滅して、全部の後続の点が有効でないとマーキングされ、走査球が次に例えば加工物表面から２ｃｍ離れている位置Ｅへ移動されると、例えば連続する２００の有効でない測定点が検出されていると、このことが走査の終了を信号化する。
【００４３】
図３の（Ａ）に示されている円形の幾何学的要素の接触走査の際に、図４に示された極座標において、例えばここに示された測定力ＭＫを表わす曲線が得られる。個所７０と７１において走査ピン変位が、したがって測定力ＭＫが、設定された閾値Ｌ２，Ｌ１により定められた許容範囲を越えている。この超過または不足は操作者に、既に加工物表面の接触走行中にスピーカ５３（図２）から高い信号音または低い信号音により示されている。これにもとづいて操作者は加工物への圧力を減少または増加させる。所属の測定値は有効でないものとしてマーキングされており、さらに残りの測定値からプログラムが自動的に、測定値にできるだけ良好に近似する幾何学的要素−この実施例において円−を算出する。この幾何学的要素は操作者に評価計算器５１のモニタにおいて測定結果として提供されて是認される。操作者が提供された幾何学的要素を是認すると、続いて操作者に公知のように測定値が、必要に応じて前もって与えられる許容誤差等も含めて、測定プロトコルの形式でプリントアウトされる。次に測定機は再び測定準備状態に置かれて次の幾何学的要素が測定可能となる。操作者が提供された幾何学的素子を是認しないと、操作者は別の要素の選択を要求されて、例えば円筒を選択する。この場合に測定結果は、円筒軸の位置を求めるのには十分でなく、プログラムは操作者に、円筒を第２の高さの線へ引き上げさせて測定準備状態モードへ移行する。
【００４４】
走査過程の開始と終了の間に発生された有効な座標測定値から、簡単な幾何学的要素（円３１，面３２，円筒３３、方形、だ円等）を求め、または測定値に対応付け（配属し）、ならびに座標測定値の、幾何学的要素の理想的な輪郭からの偏差を表示することが可能である。
【００４５】
図８の構成図において詳細に示されている測定機の走査ヘッドは、操作者による力とトルクの実質的な回避して、測定されるべき加工物の著しくせん細な手動走査を可能にする。図において１０７によって取り付け部が示されており、これにより走査ヘッドは第２の旋回軸８に保持されている。走査ヘッドの垂直のＺ方向の変位を保証するばね平行四辺形は、方形の横断面を有する２つの管１０９ａと１０９ｂにより構成されている。管の端部はねじ留めされた板ばね１３９ａ，１３９ｂ，１３９ｃを介して、走査ピン用の取り付け部１０７または支持体１１０と結合されている。対角線状にクランプされたばね１１５は支持体１１０の重量低減化のために用いられる。支持体１１０に、Ｚ方向変位のための誘導式測定装置のコア１２３ｂも取り付けられている。他方、コイル部１２３ａは管１２０の端部により支持されている。この管は取り付け部１０７と固定的に結合されている。
【００４６】
走査ピン支持体１１０の上側端部に旋回部１１０ａがねじで取り付けられている。この旋回部の中へリング溝１１０ｂが切欠形成されている。そのため材料の切欠個所１１４が形成される。この材料切欠個所は、これに懸架されている走査器１１１のためのリンク（関着）的なカルダン継手として用いられる。走査器１１１の取り付けのために旋回部１１０ａのディスク状の下側部材へ支持部２１１が継ぎ足されている。この支持部は２つのスリーブ２１１ａ，２１１ｂを有しており、このスリーブの中へ走査器のシャフト１１１が挿入されている。この走査器シャフト１１１の中で下側端部において、走査球１１２ｂを有する本来の走査ピン１１２ａがねじ止めされている。１１３ａと１１３ｂでコイル部と両方の測定装置のうちの一方の測定装置のコアが示されている。両方の測定装置は、材料切欠個所１１４を中心とする走査器シャフト１１１の変位の測定のために用いられる。両方の測定装置はその軸線が図面平面に４５°の角度で取り付けられている。
【００４７】
走査器シャフト１１１を中心としてグリップ２１９が取り付けられている。このグリップは次の構成素子を有する：走査器シャフトにおけるスリーブ２００に外側へ突出する板ばね２０１ａ，２０１ｂ，２０１ｃ，２０１ｄが取り付けられている。これらの板ばねに第２の外側のスリーブ２０２がシャフト方向にリンク（関着）的に懸架されている。この第２のスリーブ２０２は外側で球キャップの形状を有し、この球キャップ上にリング２０９がはめられている。リングの内側面は球キャップの半径に合わされている。そのためリング２０９は走査器シャフトを中心に旋回可能であり走査器シャフトの軸線に対して傾斜できる。リング２０９は、測定されるべき加工物の走査走行の際に操作者によりつかまれる本来の操作グリップである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  ２つの平行の旋回軸を有する座標測定機の運動を示す斜視図である。
【図２】  図１の測定機および、これに接続される評価−および制御電子装置のブロック図である。
【図３】  幾何学的要素の手動接触走査を示す経過図である。
【図４】  円形の幾何学的要素の接触走査の際に加えられた測定力の記入されている極座標図である。
【図５】  図１に示された測定機のための測定プログラムのフローチャートである。
【図６】  図１に示された測定機のための走査器の第１実施例の運動に関する概略図である。
【図７】  図１に示された測定機のための走査器の第２実施例の運動に関する概略図である。
【図８】  図１に示された測定機のための、特別に有利な実施例による走査ヘッドの構成図である。
【符号の説明】
４    支持体
５，７    ヒンジアーム
６，８    旋回軸
１０    走査器
１１    走査ピン
１４    カルダン継手
１５    増幅器
１６，１８    角度測定装置
１９    グリップ
２０    曲げビーム
４１    マイクロプロセッサ
４３    機能群
４７    駆動制御装置
４８    ディジタル・アナログ変換器
４９    サーボ増幅器
５０    メモリユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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