(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状のキャリアフィルムにセラミックスラリーを塗布してセラミックグリーンシートを製造する方法であって、
キャリアフィルムをその長手方向に搬送する工程と、
支持ロールによりキャリアフィルムの搬送方向を変更するようにキャリアフィルムを支持ロールに支持しつつ、該支持ロールの外周面にキャリアフィルムが接触されている部分で異物除去装置により、キャリアフィルムの支持ロールと接触している側とは反対側の面の異物を除去する工程と、
前記異物除去後にキャリアフィルムの少なくとも一方面上にセラミックスラリーを付与してセラミックグリーンシートを形成する工程とを備えることを特徴とする、セラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項２】
前記異物除去装置により異物を除去する部分が、支持ロールの外周面にキャリアフィルムが接触している部分のキャリアフィルム長さ方向中央付近であることを特徴とする、請求項１に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項３】
前記キャリアフィルムの異物が除去された面上に前記セラミックスラリーを塗工することを特徴とする、請求項１または２に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項４】
前記キャリアフィルムの異物が除去された面とは反対側の面にセラミックスラリーを塗工することを特徴とする、請求項１または２に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項５】
長尺状キャリアフィルムを供給するための繰り出しロールと、
前記繰り出しロールから引き出されたキャリアフィルムをその長手方向に搬送する搬送手段と、
前記キャリアフィルムの搬送方向を変更するようにかつキャリアフィルムをその外周面で支持する支持ロールと、
前記支持ロールの外周面にキャリアフィルムが支持されている部分で、キャリアフィルムの支持ロールに接触している面とは反対側の面の異物を除去するように配置された異物除去装置と、
前記異物除去装置により異物が除去されたキャリアフィルムの一方面にセラミックスラリーを塗工してセラミックグリーンシートを形成するためのセラミックスラリー塗布装置とを備えることを特徴とする、セラミックグリーンシート製造装置。
【請求項６】
前記異物除去装置が、支持ロールに接触されているキャリアフィルム部分の該キャリアフィルムの長さ方向中央付近においてキャリアフィルムの一方面の異物を除去するように配置されている、請求項５に記載のセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項７】
前記異物除去装置が、キャリアフィルムの一方面に接触して異物を除去する接触式異物除去装置である、請求項５または６に記載のセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項８】
前記異物除去装置が、支持ロールに支持されているキャリアフィルムとは非接触状態でキャリアフィルムの一方面の異物を除去する非接触式異物除去装置である、請求項５または６に記載のセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項９】
前記支持ロールが回転駆動源に連結された駆動ロールであり、該駆動ロールが前記搬送手段の少なくとも一部を兼ねている、請求項５〜８のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項１０】
前記セラミックスラリー塗布装置が、異物が除去されたキャリアフィルム面にセラミックスラリーを塗布するように配置されている、請求項５〜９のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項１１】
前記セラミックスラリー塗布装置が、異物が除去されたキャリアフィルム面とは反対側のキャリアフィルム面にセラミックスラリーを塗工するように配置されている、請求項５〜９のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば積層コンデンサなどのセラミックグリーンシートの製造に用いられるセラミックグリーンシートの製造方法及び該セラミックグリーンシート製造装置に関し、より詳細には、キャリアフィルムに支持されたセラミックグリーンシートを製造するための製造方法及び製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、積層コンデンサなどの積層セラミック電子部品では、内部電極間のセラミック層の厚みが薄くなってきている。そのため、使用されるセラミックグリーンシートの厚みも薄くなってきている。そこで、合成樹脂フィルムからなるキャリアフィルム上にセラミックグリーンシートを形成し、該キャリアフィルムに支持された状態でセラミックグリーンシートを取り扱うのが一般的である。
【０００３】
キャリアフィルム上にセラミックスラリーを塗布し、セラミックグリーンシートを形成する場合、キャリアフィルムは清浄に保たれていなければならない。そのため、従来、キャリアフィルム表面のゴミなどの異物を除去するために、種々の方法が採用されていた。
【０００４】
図７は、従来のキャリアフィルム上の異物を除去する第１の方法を説明するための略図的側面図である。ここでは、キャリアフィルム５１が図示の矢印Ａ方向、すなわちその長さ方向に搬送されている。搬送されているキャリアフィルム５１の一方面５１ａに粘着ロール５２が接触され、該粘着ロール５２の表面の粘着力によりキャリアフィルムの一方面５１ａの異物が除去される。
【０００５】
他方、図８は、従来のキャリアフィルム上の異物を除去する第２の方法を説明するための略図的側面図である。ここでは、キャリアフィルム５３が図示の矢印Ａ方向に搬送されている。そして、キャリアフィルム５３の一方面５３ａ上のゴミなどの異物を除去するために、吸引ノズル５４が面５３ａ近傍に配置されている。吸引ノズル５４の吸引力により、キャリアフィルム５３の一方面５３ａ上の異物が吸引され、除去される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
図７に示した粘着ロール５２や図８に示した吸引ノズル５４などの異物除去機構を用いる場合、搬送されているキャリアフィルム５１，５３のパスラインが安定せず、搬送速度変動やテンション変動を生じ、それによってセラミックグリーンシートの厚みばらつきが生じるという問題があった。
【０００７】
すなわち、搬送されているキャリアフィルム５１，５３は不安定な状態にある。従って、例えば図７に示す方法では、粘着ロール５２の粘着力のばらつきにより、キャリアフィルム５１が図示の矢印Ｂ方向すなわち厚み方向に変動し、キャリアフィルム５１のパスラインが安定しなかった。そのため、異物除去後にセラミックスラリーを塗布した場合、塗布ばらつきが生じ、最終的に得られるセラミックグリーンシートに厚みばらつきが生じざるを得なかった。
【０００８】
同様に、図８に示した方法においても、吸引ノズル５４の吸引力のばらつきにより、キャリアフィルム５３のパスラインが安定せず、やはり得られたセラミックグリーンシートに厚みばらつきが生じざるを得なかった。
【０００９】
特に、セラミックグリーンシートの厚みを薄くした場合、上記キャリアフィルム５１，５３のパスラインの変動による影響はより顕著となり、セラミックグリーンシートの厚みばらつきがより大きな問題となってきている。
【００１０】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、除塵効果を低下させることなく、キャリアフィルムの異物除去装置に起因するパスラインの変動を抑制することができ、従って厚みばらつきの少ないセラミックグリーンシートを安定に得ることを可能とするセラミックグリーンシートの製造方法及び製造装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の広い局面によれば、長尺状のキャリアフィルムにセラミックスラリーを塗布してセラミックグリーンシートを製造する方法であって、キャリアフィルムをその長手方向に搬送する工程と、支持ロールによりキャリアフィルムの搬送方向を変更するようにキャリアフィルムを支持ロールに支持しつつ、該支持ロールの外周面にキャリアフィルムが接触されている部分で異物除去装置により、キャリアフィルムの支持ロールと接触している側とは反対側の面の異物を除去する工程と、前記異物除去後にキャリアフィルムの少なくとも一方面上にセラミックスラリーを付与してセラミックグリーンシートを形成する工程とを備えることを特徴とする方法が提供される。
【００１２】
好ましくは、前記異物除去装置により異物を除去する部分は、支持ロールの外周面にキャリアフィルムが接触している部分のキャリアフィルム長さ方向中央付近である。
【００１３】
本発明の製造方法の特定の局面では、前記キャリアフィルムの異物が除去された面にセラミックスラリーが塗工される。
本発明のさらに他の特定の局面では、前記キャリアフィルムの異物が除去された面とは反対側の面にセラミックスラリーが塗工される。
【００１４】
本発明の別の広い局面によれば、長尺状キャリアフィルムを供給するための繰り出しロールと、前記繰り出しロールから引き出されたキャリアフィルムをその長手方向に搬送する搬送手段と、前記キャリアフィルムの搬送方向を変更するようにかつキャリアフィルムをその外周面で支持する支持ロールと、前記支持ロールの外周面にキャリアフィルムが支持されている部分で、キャリアフィルムの支持ロールに接触している面とは反対側の面の異物を除去するように配置された異物除去装置と、前記異物除去装置により異物が除去されたキャリアフィルムの一方面にセラミックスラリーを塗工してセラミックグリーンシートを形成するためのセラミックスラリー塗布装置とを備えることを特徴とする、セラミックグリーンシート製造装置が提供される。
【００１５】
好ましくは、前記異物除去装置は、支持ロールに接触されているキャリアフィルム部分の該キャリアフィルムの長さ方向中央付近においてキャリアフィルムの一方面の異物を除去するように配置されている。
【００１６】
本発明に係るセラミックグリーンシート製造装置の特定の局面では、前記異物除去装置は、キャリアフィルムの一方面に接触して異物を除去する接触式異物除去装置である。
【００１７】
本発明に係るセラミックグリーンシート製造装置の他の特定の局面では、前記異物除去装置は、支持ロールに支持されているキャリアフィルムとは非接触状態でキャリアフィルムの一方面の異物を除去する非接触式異物除去装置である。
【００１８】
本発明のさらに他の特定の局面では、前記支持ロールが回転駆動源に連結された駆動ロールであり、該駆動ロールが前記搬送手段の少なくとも一部を兼ねている。
【００１９】
本発明に係るセラミックグリーンシート製造装置の他の特定の局面では、前記セラミックスラリー塗布装置は、異物が除去されたキャリアフィルム面にセラミックスラリーを塗布するように配置されている。
【００２０】
本発明に係るセラミックグリーンシート製造装置のさらに他の特定の局面では、前記セラミックスラリー塗布装置は、異物が除去されたキャリアフィルム面とは反対側のキャリアフィルム面にセラミックスラリーを塗工するように配置されている。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の具体的な実施例を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２２】
図１は、本発明の一実施例に係るセラミックグリーンシートの製造方法及び製造装置を説明するための概略構成図である。
第１の実施例のセラミックグリーンシート製造装置は、長尺状のキャリアフィルム１が巻回されている繰り出しロール２を有する。キャリアフィルム１としては、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどの伸びが少ない適宜の合成樹脂フィルムが用いられる。
【００２３】
他方、繰り出しロール２と隔てられた位置に、巻き取りロール３が配置されている。繰り出しロール２と巻き取りロール３は、図示しないモータなどの回転駆動源に連結されており、キャリアフィルムのテンションを一定になるよう制御して、キャリアフィルム１を繰り出しロール２から巻き取りロール３側に搬送するように構成されている。従って、上記繰り出しロール２、巻き取りロール３並びに繰り出しロール２及び巻き取りロール３に連結された回転駆動源が本発明における搬送手段を構成している。
【００２４】
繰り出しロール２と巻き取りロール３との間には、支持ロール４が配置されている。本実施例では、支持ロール４は、回転自在のロールにより構成されており、キャリアフィルム１が支持ロール４の外周面に接触されて、キャリアフィルム１の搬送に伴って、支持ロール４が図示の矢印Ｃ方向に回転されるように構成されている。支持ロール４は、キャリアフィルム１の搬送方向を変更するように配置されている。すなわち、繰り出しロール２から搬送されてきたキャリアフィルム１が支持ロール４を通過することにより、本実施例では、約９０°の方向にキャリアフィルム１の搬送方向が変更される。もっとも、キャリアフィルム１の搬送方向の変更程度については、特に限定されるものではなく、９０°より大きくともよく、あるいは９０°未満であってもよい。
【００２５】
従って、支持ロール４の外周面に、キャリアフィルム１が接触しつつ、キャリアフィルム１が巻き取りロール３側に搬送される。
他方、支持ロール４の外周面にキャリアフィルム１が接触している部分のキャリアフィルム１の長さ方向中央において、キャリアフィルム１の支持ロール４の外周面に接触している側とは反対側の面に粘着ロール５が接触され、該粘着ロール５の粘着力により、キャリアフィルム１の一方面の塵埃などの異物が除去される。
【００２６】
粘着ロール５は、外周面が粘着性を有するように構成されており、かつキャリアフィルム１を挟んで支持ロール４に接触し得るように構成されている。
本実施例では、異物除去装置として接触式の粘着ロール５が用いられているが、該粘着ロール５がキャリアフィルム１に接触している部分は、キャリアフィルム１の反対側の面が支持ロール４により支持されている。従って、粘着ロール５の粘着性表面の粘着力にばらつきが生じていたとしても、キャリアフィルム１の搬送に際してのパスラインの変動は生じ難い。
【００２７】
粘着ロール５との接触により異物が除去されたキャリアフィルム１は、巻き取りロール３側に搬送される。この支持ロール４と巻き取りロール３との間に、セラミックスラリー塗工装置６が配置されている。
【００２８】
本実施例では、ドクターブレード法によるセラミックスラリー７の塗布を行うために、セラミックスラリー塗工装置６が配置されている。なお、塗工方式は、ロール方式、ダイ方式などのエクストルージョン方式でもよい。搬送されてきたキャリアフィルム１の異物除去された側の面に、上記セラミックスラリー塗工装置６によりセラミックスラリー７が所定の厚みに塗工され、セラミックグリーンシートが形成される。このようにして、キャリアフィルム１上にセラミックグリーンシートが形成され、巻き取りロール３により巻き取られる。
【００２９】
本実施例によれば、上記のように粘着ロール５がキャリアフィルム１に接触されている部分が、搬送されているキャリアフィルム１のパスラインの変動を殆ど生じさせないので、異物が除去されたキャリアフィルム面にセラミックスラリーを高精度に塗工することができる。従って、異物が少なく、かつ厚みのばらつきの少ないセラミックグリーンシートを容易に得ることができる。
【００３０】
なお、上記粘着ロール５がキャリアフィルム１に接触する部分は、本実施例では、支持ロール４の外周面にキャリアフィルム１が接触している領域のキャリアフィルム１の長さ方向中央部分とされていた。これを、図２を参照してより詳細に説明する。図２は、支持ロール４及び粘着ロール５の間をキャリアフィルム１が通過する部分を拡大して示す模式的側面図である。キャリアフィルム１の搬送方向を変更するように、支持ロール４の外周面にキャリアフィルム１が接触した状態でキャリアフィルム１が搬送される。この場合、キャリアフィルム１が支持ロール４の外周面に接触している角度範囲を、図２に示す抱き角Ｙとする。第１の実施例では、上記抱き角Ｙの中心付近において、粘着ロール５がキャリアフィルム１に圧接されている。従って、キャリアフィルム１のパスラインの変動をより効果的に抑制することができる。
【００３１】
もっとも、図２からも明らかなように、粘着ロール５が、上記抱き角Ｙの範囲でキャリアフィルム１に接触している限り、パスラインの変動のばらつきは生じ難い。
【００３２】
なお、上記抱き角Ｙが大きい程、キャリアフィルム１のパスラインの変動を抑制することができる。従って、好ましくは、上記抱き角Ｙは、９０°以上とされる。
【００３３】
また、上記キャリアフィルム１の搬送に際してのテンションが大きい程、粘着ロール５の圧接による影響を受け難いため、キャリアフィルムのテンションを高めてキャリアフィルム１を搬送することが望ましい。
【００３４】
図３は、本発明の第２の実施例に係るセラミックグリーンシートの製造方法及び製造装置を説明するための概略構成図である。
第２の実施例に係る製造装置では、繰り出しロール２１からキャリアフィルム１が繰り出される。繰り出しロール２１は、第１の実施例で用いた繰り出しロール２と同様に構成されている。また、繰り出しロール２１と距離を隔てて巻き取りロール２３が配置されている。巻き取りロール２３は、第１の実施例の巻き取りロール３と同様に構成されており、従って搬送手段を構成している。キャリアフィルム１は、図示の矢印Ｘ方向に搬送される。
【００３５】
繰り出しロール２１の下流には、支持ロール２４及び粘着ロール２５が配置されている。支持ロール２４及び粘着ロール２５は第１の実施例と同様に構成されている。従って、キャリアフィルム１は、支持ロール２４の外周面と接触されて、支持ロール２４に搬送方向を変更されつつ搬送される。また、粘着ロール２５により、キャリアフィルム１の支持ロール２４と接触されている側の面とは反対側の面の異物が除去される。
【００３６】
第２の実施例が第１の実施例と異なるところは、上記支持ロール２４及び粘着ロール５の下流に、バッキングロール２６が配置されていることにある。バッキングロール２６は、粘着ロール５により異物が除去されたキャリアフィルム面がバッキングロール２６の外周面に接触するように配置されている。すなわち、本実施例では、異物が除去されたキャリアフィルム面がバッキングロール２６の外周面に接触された状態でキャリアフィルム１が搬送される。そして、該バッキングロール２６の外周面にキャリアフィルムが接触されている部分において、セラミックスラリー塗工装置６によりセラミックスラリー７が塗布され、キャリアフィルム１の一方面にセラミックグリーンシートが形成される。
【００３７】
上記のように、第２の実施例では、バッキングロール２６によりキャリアフィルム１が反転されるので、異物が除去されたキャリアフィルム面とは反対側の面にセラミックスラリーが塗工されて、セラミックグリーンシートが形成される。従って、バッキングロール２６の外周面とキャリアフィルム１のバッキングロール２６に接触する面との間に異物が生じ難いため、それによって局部的なセラミックグリーンシートの膜厚のばらつきを抑制することができる。
【００３８】
これを、図４を参照して説明する。図４（ａ）及び（ｂ）は、バッキングロール２６を用いてセラミックスラリー７をセラミックスラリー塗工装置６により塗工する工程を説明するための各部分切欠断面図である。
【００３９】
図６（ａ）に示すように、バッキングロール２６に対して、キャリアフィルム１の一方面２ａ上に異物２７が存在するとする。この場合、異物２７が存在する部分で、キャリアフィルム１が外側に膨らむことになる。そのため、図４（ｂ）に示すように、セラミックスラリー７を塗工ブレードを用いて塗工した場合、異物２７が存在する部分では、セラミックスラリーの塗工厚みが小さくなり、矢印Ｚで示す塗布欠陥が生じる。すなわち、得られたセラミックグリーンシート２８に、非常に薄い塗工欠陥が生じる。
【００４０】
これに対して、第２の実施例では、バッキングロール２６に供給されるキャリアフィルム１のバッキングロール２６の外周面に当接される面が、予め粘着ロール５により清浄化されているので、上記のような塗布欠陥が生じ難い。従って、第２の実施例においても、厚みばらつきの少ないセラミックグリーンシートを提供することができる。
【００４１】
しかも、第２の実施例においても、粘着ロール２５は、第１の実施例と同様にキャリアフィルム１が支持ロール２４と接触している領域においてキャリアフィルム１に接触されているので、粘着ロール２５によるキャリアフィルム１のパスラインの変動が抑制され、それによっても塗布ばらつきを低減することができる。
【００４２】
第１，第２の実施例では、支持ロール４，２４は、回転自在なロールにより構成されていたが、支持ロールを図示しない回転駆動源に連結して駆動ロールとしてもよい。図５に支持ロールが駆動ロールである変形例を示す。
【００４３】
図５に示すように、駆動ロール３４は、図示しない回転駆動源により図示の矢印方向に、すなわちキャリアフィルム１を搬送させる方向に駆動される。この場合、駆動ロール３４は、搬送手段の一部をも構成することになる。もっとも、駆動ロール３４の後段でキャリアフィルム１にセラミックスラリーを塗布し、巻き取りロールにより巻き取るには、第１，第２の実施例のように巻き取りロール３，２３を図示しない回転駆動源に連結し、キャリアフィルム１を巻き取ることが望ましい。従って、駆動ロール３４を搬送手段の一部として用いた場合においても、巻き取りロール３，２３を主たる搬送手段として用いることが望ましい。
【００４４】
図５に示した変形例では、駆動ロール３４が積極的に回転駆動されるので、駆動ロール３４によるキャリアフィルム１のグリップ力が高められ、さらに駆動ロール３４と粘着ロール３５とでキャリアフィルム１が挟持されるので、キャリアフィルム１を安定に搬送することができ、かつ搬送速度の制御も行い得る。
【００４５】
第１，第２の実施例及び上記変形例では、異物除去装置として粘着ロールを用いたが、粘着ロールに代えて、布や紙などを用いた拭き取りパッド、あるいは異物拭き取りブレードなどを用いてもよい。また、これらのキャリアフィルム１の表面に接触して異物を除去する接触式の異物除去装置に限らず、吸引ノズル、圧縮ガスにより異物を吹き飛ばす装置のような非接触式異物除去装置を用いてもよい。例えば、図６に示すように、吸引ノズル４４を用い、キャリアフィルム１の支持ロール４の外周面に接触している部分において吸引によりキャリアフィルム１の一方面に付着している塵埃を吸引・除去してもよい。この場合においても、図６に示すように、支持ロール４の外周面において、キャリアフィルム１が接触している部分のキャリアフィルム長さ方向中央付近、すなわち前述した抱き角Ｙの中心近傍において異物を除去するように吸引ノズル４４を配置することが望ましい。
【００４６】
【発明の効果】
本発明に係るセラミックグリーンシートの製造方法では、キャリアフィルムの一方面にセラミックスラリーを付与するに先立ち、異物除去装置によりキャリアフィルムが支持ロールに接触している部分において、キャリアフィルムが支持ロールと接触している側とは反対側の面の異物が除去される。従って、キャリアフィルム面から異物を確実に除去し得るので、厚みのばらつきの少ないセラミックグリーンシートを得ることができる。
【００４７】
加えて、上記異物除去装置は、キャリアフィルムの支持ロールの外周面に接触している領域においてキャリアフィルム面から異物を除去するように配置されているので、異物除去装置により搬送されているキャリアフィルムのパスラインの変動が生じ難い。従って、パスラインの変動が生じ難いことによって、より一層厚みのばらつきの少ないセラミックグリーンシートを安定に製造することができる。
【００４８】
特に、キャリアフィルムが支持ロールの外周面に接触している領域のキャリアフィルム長さ方向中央部分において異物を除去する場合には、キャリアフィルムのパスラインの変動をより確実に防止することができ、より一層厚みばらつきの少ないセラミックグリーンシートを得ることができる。
【００４９】
キャリアフィルムの異物が除去された面にセラミックスラリーを塗布する場合、キャリアフィルムの清浄な面にセラミックスラリーが塗布されるので、セラミックスラリーの塗布厚みを制御するだけで厚みばらつきの少ないセラミックグリーンシートを提供することができる。
【００５０】
また、キャリアフィルムの異物が除去された面とは反対側の面にセラミックスラリーを塗布する場合、キャリアフィルムの背面側に異物が付着していないため、例えばバッキングロールでキャリアフィルムを支持してセラミックスラリーを塗布する場合、セラミックスラリーの塗布欠陥を抑制することができ、やはり厚みばらつきの少ないセラミックグリーンシートを提供することができる。
【００５１】
本発明に係るセラミックグリーンシート製造装置では、繰り出しロール、搬送手段、支持ロール、及び異物除去装置を備えるので、本発明の方法に従って、支持ロールの外周面にキャリアフィルムが支持されている部分でキャリアフィルムの支持ロールと接触している面とは反対側の面の異物が異物除去装置を用いて除去される。従って、本発明の製造方法に従って、キャリアフィルムのパスラインの変動を抑制しつつ、キャリアフィルム面から異物を確実に除去し得るので、セラミックスラリー塗布装置を用いて、厚みばらつきの少ないセラミックグリーンシートを安定に得ることが可能となる。
【００５２】
特に、上記異物除去装置は、キャリアフィルムの支持ロールの外周面と接触している部分のキャリアフィルム長さ方向中央付近において異物を除去するように構成されている場合には、異物除去装置によるキャリアフィルムのパスラインの変動をより確実に抑制することができ、より一層厚みばらつきの少ないセラミックグリーンシートを得ることができる。
【００５３】
上記異物除去装置として、キャリアフィルムに接触する接触式異物除去装置を用いた場合には、キャリアフィルム表面の異物を確実に除去することができる。
異物除去装置として、非接触式異物除去装置を用いた場合には、キャリアフィルム表面に傷等を与えることなく、キャリアフィルム表面の異物を除去することができる。
【００５４】
支持ロールが回転駆動源に連結された駆動ロールであり、搬送手段の一部を構成している場合には、駆動ロールによりキャリアフィルムのグリップ力が高められ、それによってキャリアフィルムを安定に搬送することができる。特に、駆動ロールと、接触式異物除去装置とを用いた場合には、キャリアフィルムが駆動ロールと接触式異物除去装置で挟まれることになるため、キャリアフィルムの搬送速度を高精度に制御することも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例に係るセラミックグリーンシート製造方法及び製造装置を説明するための概略構成図。
【図２】第１の実施例において、支持ロールとキャリアフィルムとが接触している領域と異物除去装置としての粘着ロールとの位置関係を説明するための部分拡大側面図。
【図３】第２の実施例に係るセラミックグリーンシートの製造方法及び製造装置を説明するための概略構成図。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、キャリアフィルムの背面に異物が付着している場合にセラミックグリーンシートの厚みばらつきが生じることを説明するための各部分切欠側面断面図。
【図５】支持ロールが回転駆動源に連結されて駆動ロールとされている場合の該駆動ロールと異物除去装置としての粘着ロールとがキャリアフィルムを搬送する工程を説明するための略図的部分切欠側面図。
【図６】異物除去装置としての吸引ノズルを用いた場合の支持ロールと吸引ノズルの位置関係を説明するための部分切欠側面図。
【図７】従来のセラミックグリーンシートの製造方法において異物を除去するための方法の一例を説明するための側面図。
【図８】従来のセラミックグリーンシートの製造方法において異物を除去するための方法の他の例を説明するための側面図。
【符号の説明】
１…キャリアフィルム
２…繰り出しロール
３…巻き取りロール
４…支持ロール
５…異物除去装置としての粘着ロール
６…セラミックスラリー塗工装置
７…セラミックスラリー
２１…繰り出しロール
２３…巻き取りロール
２４…支持ロール
２５…粘着ロール
２６…バッキングロール
２７…セラミックスラリー塗工装置
３４…駆動ロール
３５…粘着ロール
４４…吸引ノズル
【図１】
0003630065.tif 000002
【図２】
0003630065.tif 000003
【図３】
0003630065.tif 000004
【図４】
0003630065.tif 000005
【図５】
0003630065.tif 000006
【図６】
0003630065.tif 000007
【図７】
0003630065.tif 000008
【図８】
0003630065.tif 000009