(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェットヘッド本体の前面にノズルプレートの背面を接着して構成されるインクジェットヘッドの製造方法において、
インクジェットヘッド本体の前面とポリイミド基材からなるノズルプレートの背面とのいずれか一方又は両方に接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、ノズルプレートの前面よりも小さい押圧面を備えた押圧具を介してノズルプレートの背面をインクジェットヘッド本体の前面に密着させ、押圧具の直下に位置しないノズルプレート周辺部分に余剰の接着剤を溜める密着工程と、を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記密着工程は、シリコンカーバイトで構成された押圧具を介してノズルプレートの背面をインクジェットヘッド本体の前面に密着させる工程であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記密着工程は、ノズルプレートの前面との対向面及び側面がポリテトラフルオロエチレンにより構成された押圧具を介してノズルプレートの背面をインクジェットヘッド本体の前面に密着させる工程であることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
インクジェットヘッド本体の前面にノズルプレートの背面を接着して構成されるインクジェットヘッドの製造方法において、
インクジェットヘッド本体の前面とノズルプレートの背面とのいずれか一方又は両方に接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、押圧具を介してノズルプレートの背面をインクジェットヘッド本体の前面に当接させる工程と、ノズルプレートの背面をインクジェットヘッド本体の前面に当接させている状態で押圧具を上昇させノズルプレートの前面に該ノズルプレートの前面の面積よりも広い面積の難接着性部材を配置し、この上から押圧具を介してノズルプレートの背面をインクジェットヘッド本体の前面に密着させる密着工程と、を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記密着工程は、ノズルプレートの前面との間に難接着性部材であるテフロンシートを配置した押圧具を介してノズルプレートの背面をインクジェットヘッド本体の前面に密着させる工程であることを特徴とする請求項４に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記接着材塗布工程は、インクジェットヘッド本体の前面とノズルプレートの背面とのいずれか一方又は両方にフィルム状接着剤を付着する工程であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のインクジェットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、インクジェットプリンタに用いられ、インクジェットヘッド本体にノズルプレートを接着して構成されるインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インク室が形成されたインクジェットヘッド本体の前面に対してノズルが形成されたノズルプレートの背面を接着して構成されるインクジェットヘッドは、従来より、図３に示す方法によって製造されていた。
【０００３】
即ち、図３（Ａ）に示すように、平板状のノズルプレート１０の前面との対向面がノズルプレート１０の前面よりも大きな面積の押圧具４１を用いて、押圧具４１の対向面に真空吸着したノズルプレート１０と、熱硬化性接着剤３０が塗布された前面を上方に向けてボンディングステージ上に固定されたインクジェットヘッド本体２０と、の位置合わせを行う。
【０００４】
さらに、図３（Ｂ）に示すように、押圧具４１をノズルプレート１０とともに下降させてノズルプレート１０の背面をインクジェットヘッド２０の前面に圧接させた状態で、押圧具４１に内蔵されたヒータを介して加熱することによって熱硬化性接着剤３０を硬化させ、インクジェットヘッド本体２０の前面にノズルプレート１０の背面を接着する。
【０００５】
このとき、余剰の熱硬化性接着剤３０は、ノズルプレート１０の背面とインクジェットヘッド本体２０の前面との間からノズルプレート１０の周囲に漏出してフィレット３０ａを形成し、ノズルプレート１０の背面とインクジェットヘッド本体２０の前面との接着性の機械的強度を向上させる。
【０００６】
この後、押圧具４１によるノズルプレート１０の真空吸着を解除して押圧具４１を上昇させる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ノズルプレート１０は、通常５０μｍ程度の厚さに形成されており、フィレット３０ａの上面がノズルプレート１０の側面を這い上がって押圧具４１の対向面に付着した後に硬化する場合がある。この状態で、押圧具４１におけるノズルプレート１０の真空吸着を解除して押圧具４１を上昇させると、フィレット３０ａの上面が押圧具４１の対向面から剥がれる際に、１）押圧具４１が破損する、２）押圧具４１の対向面にフィレット３０ａの一部が残留することにより平滑性が劣化してノズルプレート１０を安定した状態で吸着することができなくなる、３）図３（Ｃ）に示すように、ノズルプレート１０の周縁部がインクジェットヘッド本体２０の前面から剥がれて製品の歩留りが低下する、等の問題を生じる。
【０００８】
この発明の目的は、押圧具を介してノズルプレートの背面をインクジェットヘッド本体の前面に圧接させた際に接着剤のフィレットが押圧具の対向面に付着しないようにし、押圧具の破損、押圧具の対向面の平滑性の劣化、及び、インクジェットヘッド本体の前面からのノズルプレートの剥離を確実に防止し、生産性を向上できるインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この発明は、上記の課題を解決するための手段として、以下の構成を備えている。
【００１０】
（１）インクジェットヘッド本体の前面にノズルプレートの背面を接着して構成されるインクジェットヘッドの製造方法において、
インクジェットヘッド本体の前面とポリイミド基材からなるノズルプレートの背面とのいずれか一方又は両方に接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、ノズルプレートの前面よりも小さい押圧面を備えた押圧具を介してノズルプレートの背面をインクジェットヘッド本体の前面に密着させ、押圧具の直下に位置しないノズルプレート周辺部分に余剰の接着剤を溜める密着工程と、を含むことを特徴とする。
【００１１】
この構成においては、インクジェットヘッド本体の前面との間に接着剤を介在させた状態で、ノズルプレートの背面がノズルプレートの前面よりも小さい押圧面を備えた押圧具を介してインクジェットヘッド本体の前面に押圧される。したがって、インクジェットヘッド本体の前面とノズルプレートの背面との間からノズルプレートの周縁部に漏出した余剰の接着剤はノズルプレートの側面を這い上がったとしても押圧具の対向面に付着することがない。このため、接着剤の硬化後にノズルプレートから離間する押圧具の対向面から接着剤が剥離することもなく、押圧具の破損、押圧具の対向面の平滑性の劣化、及び、インクジェットヘッド本体の前面からのノズルプレートの剥離を生じることがない。
【００１２】
（２）前記密着工程は、シリコンカーバイトで構成された押圧具を介してノズルプレートの背面をインクジェットヘッド本体の前面に密着させる工程であることを特徴とする。
【００１３】
この構成においては、インクジェットヘッド本体の前面との間に接着剤を介在させた状態で、ノズルプレートの背面がノズルプレートの前面よりも小さい押圧面を備えたシリコンカーバイトの押圧具を介してインクジェットヘッド本体の前面に押圧される。したがって、インクジェットヘッド本体の前面とノズルプレートの背面との間からノズルプレートの周縁部に漏出した余剰の接着剤がノズルプレートの側面を這い上がって押圧具に付着したとしても、硬化した接着剤が容易に押圧具から剥離し、ノズルプレートから押圧具が離間する際の押圧具の破損、押圧具の対向面の平滑性の劣化、及び、インクジェットヘッド本体の前面からのノズルプレートの剥離を生じることがない。
【００１４】
（３）前記密着工程は、ノズルプレートの前面との対向面及び側面がポリテトラフルオロエチレンにより構成された押圧具を介してノズルプレートの背面をインクジェットヘッド本体の前面に密着させる工程であることを特徴とする。
【００１５】
この構成においては、インクジェットヘッド本体の前面との間に接着剤を介在させた状態で、ノズルプレートの背面がノズルプレートの前面よりも小さい押圧面を備えるとともに対向面及び側面がポリテトラフルオロエチレンで構成された押圧具を介してインクジェットヘッド本体の前面に押圧される。したがって、インクジェットヘッド本体の前面とノズルプレートの背面との間からノズルプレートの周縁部に漏出した余剰の接着剤がノズルプレートの側面を這い上がって押圧具に付着したとしても、硬化した接着剤が容易に押圧具から剥離し、ノズルプレートから押圧具が離間する際の押圧具の破損、押圧具の対向面の平滑性の劣化、及び、インクジェットヘッド本体の前面からのノズルプレートの剥離を生じることがない。
【００１６】
（４）インクジェットヘッド本体の前面にノズルプレートの背面を接着して構成されるインクジェットヘッドの製造方法において、
インクジェットヘッド本体の前面とノズルプレートの背面とのいずれか一方又は両方に接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、押圧具を介してノズルプレートの背面をインクジェットヘッド本体の前面に当接させる工程と、ノズルプレートの背面をインクジェットヘッド本体の前面に当接させている状態で押圧具を上昇させノズルプレートの前面に該ノズルプレートの前面の面積よりも広い面積の難接着性部材を配置し、この上から押圧具を介してノズルプレートの背面をインクジェットヘッド本体の前面に密着させる密着工程と、を含むことを特徴とする。
【００１７】
この構成においては、インクジェットヘッド本体の前面との間に接着剤を介在させた状態で、ノズルプレートの背面が難接着性部材を介して押圧具によりインクジェットヘッド本体の前面に押圧される。したがって、インクジェットヘッド本体の前面とノズルプレートの背面との間からノズルプレートの周縁部に漏出した余剰の接着剤はノズルプレートの側面を這い上がったとしても難接着性部材に付着し、押圧具の対向面に付着することがない。このため、接着剤の硬化後にノズルプレートから離間する押圧具の対向面から接着剤が剥離することもなく、押圧具の破損、押圧具の対向面の平滑性の劣化、及び、インクジェットヘッド本体の前面からのノズルプレートの剥離を生じることがない。また、硬化した接着剤は、難接着性部材から容易に剥離する。
【００１８】
（５）前記密着工程は、ノズルプレートの前面との間に難接着性部材であるテフロンシートを配置した押圧具を介してノズルプレートの背面をインクジェットヘッド本体の前面に密着させる工程であることを特徴とする。
【００１９】
この構成においては、インクジェットヘッド本体の前面との間に接着剤を介在させた状態で、ノズルプレートの背面がテフロンシートを介して押圧具によりインクジェットヘッド本体の前面に押圧される。したがって、インクジェットヘッド本体の前面とノズルプレートの背面との間からノズルプレートの周縁部に漏出した余剰の接着剤はノズルプレートの側面を這い上がったとしてもテフロンシートに付着し、押圧具の対向面に付着することがない。このため、接着剤の硬化後にノズルプレートから離間する押圧具の対向面から接着剤が剥離することもなく、押圧具の破損、押圧具の対向面の平滑性の劣化、及び、インクジェットヘッド本体の前面からのノズルプレートの剥離を生じることがない。
【００２０】
（６）前記接着材塗布工程は、インクジェットヘッド本体の前面とノズルプレートの背面とのいずれか一方又は両方にフィルム状接着剤を付着する工程であることを特徴とする。
【００２１】
この構成においては、インクジェットヘッド本体の前面との間にフィルム状接着剤を介在させた状態で、ノズルプレートの背面が押圧具によりインクジェットヘッド本体の前面に押圧される。したがって、インクジェットヘッド本体に対してノズルプレートを押圧する前にインクジェットヘッド本体の前面上にノズルプレートを仮置きする際に、フィルム状接着剤の接着力によってノズルプレートが確実に保持され、ノズルプレートに湾曲等の変形を生じている場合でも、ノズルプレートの位置ずれ生じることがない。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を示す図である。平板状のポリイミド基材に複数のノズル１１が形成されたノズルプレート１０を複数のインク室２１が形成されたインクジェットヘッド本体２０の前面に接着する際には、先ず、図１（Ａ）に示すように、ノズルプレート１０の前面よりも面積の小さい押圧具１の対向面にノズルプレート１０の前面を真空吸着するとともに、接着剤塗布工程において、この発明の接着剤の一例としてエポキシ系接着剤３を３μｍの厚さに塗布した前面を上向きにしてインクジェットヘッド本体２０をボンディングステージに固定し、インクジェットヘッド本体２０の上方に位置するノズルプレート１０の各ノズル１１の中心とインクジェットヘッド２０の各インク室２１の中心とが一致するようにミラー２を介して位置合わせする。
【００２３】
次いで、図１（Ｂ）に示すように、ミラー２を退避させた後、密着工程において、ノズルプレート１０とともに押圧具１を下降させ、ノズルプレート１０の背面をインクジェットヘッド本体２０の前面に圧接させる。この状態で、押圧具１に内蔵されているヒータを介してエポキシ系接着剤３をノズルプレート１０とともに加熱し、ノズルプレート１０の背面とインクジェットヘッド本体２０の前面との間でエポキシ系接着剤３を硬化させる。この後、図１（Ｃ）に示すように、押圧具１によるノズルプレート１０の真空吸着を解除し、押圧具１を上昇させることにより、インクジェットヘッド本体２０の前面に対するノズルプレート１０の接着が完了する。
【００２４】
図１（Ｂ）に示す状態において、押圧具１を介してノズルプレート１０の背面をインクジェットヘッド本体２０の前面に圧接させた際に、両者の間において余剰のエポキシ系接着剤３がノズルプレート１０の背面とインクジェットヘッド本体２０の前面との間からノズルプレート１０の周縁部に漏出し、加熱による硬化前にノズルプレート１０の側面を這い上がる場合がある。しかし、押圧具１の対向面の面積は、ノズルプレート１０の前面の面積に比較して小さくされているため、ノズルプレート１０の側面から押圧具１までの間に十分な距離があり、ノズルプレート１０の側面を這い上がったエポキシ系接着剤３が押圧具１に付着することがない。
【００２５】
このため、接着剤の硬化後に押圧具１を上昇させてノズルプレート１０から離間させる際に、押圧具１からエポキシ系接着剤３が剥離することがなく、押圧具１に破損を生じることがないとともに、上昇する押圧具１に接着したエポキシ系接着剤３を介してノズルプレート１０の周縁部が引き上げられることもなく、インクジェットヘッド本体２０の前面からノズルプレート１０の周縁部が剥離することによる歩留りの低下を生じることもない。また、押圧具１の対向面の平滑性がエポキシ系接着剤３の付着によって劣化することがなく、ノズルプレート１０の吸着性を低下させることもない。
【００２６】
さらに、ノズルプレート１０の背面とインクジェットヘッド本体２０の前面との間からノズルプレート１０の周縁部に漏出したエポキシ系接着剤３は、ノズルプレート１０の側面において硬化してフィレット３ａを形成し、インクジェットヘッド本体２０の前面に対するノズルプレート１０の接着状態が堅牢に維持される。
【００２７】
なお、エポキシ系接着剤３として、１０００ｃｐｓ程度の粘度を有する接着剤を使用することにより、ノズルプレート１０の背面において押圧具１の直下に位置しない周辺部分では、中央部分に比較してインクジェットヘッド本体２０の前面との間の間隔が大きくなり、余剰の接着剤はこの周辺部分に溜まり、ノズルプレート１０の側面を這い上がることがない。これによって、押圧具１に対する接着剤の付着をより確実に防止することができる。
【００２８】
また、従来の押圧具１はステンレスを素材として形成されており、ノズルプレート１０上でブリードアウトした接着剤が押圧具１の表面に徐々に付着して押圧具１の表面の平滑性を劣化させる。このため、押圧具１の対向面の平滑性を維持するためには１００回に１度程度のクリーニング作業が必要になる。また、クリーニング作業では、ステンレス製の押圧具１の表面に強固に接着した接着剤のみを除去することは困難で、押圧具１の表面を研削する作業が行われていた。
【００２９】
そこで、押圧具１を接着性の弱いシリコンカーバイトを素材として形成するか、又は、押圧具１の表面を同じく接着性の弱いポリテトラフルオロエチレンでコートすることにより、ブリードアウトしたエポキシ系接着剤３の押圧具１に対する付着量を少なくしてクリーニング作業の頻度を１０００回に１度程度に減らすことができる。また、クリーニング作業自体もプラスチック片によって掻き落とすだけでよく、作業性が向上するとともに、押圧具１の寿命が著しく延びて生産コストの低廉化を実現できる。
【００３０】
図２は、この発明の第２の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を示す図である。この実施形態に係る製造方法では、先ず、図２（Ａ）に示すように、ノズルプレート１０の前面をプレイスメントツール４の対向面に真空吸着させるとともに、接着剤塗布工程において、この発明の接着剤の一例としてエポキシ系接着剤３を３μｍの厚さに塗布した前面を上向きにしてインクジェットヘッド本体２０をボンディングステージに固定し、インクジェットヘッド本体２０の上方に位置するノズルプレート１０の各ノズル１１の中心とインクジェットヘッド２０の各インク室２１の中心とが一致するようにミラー２を介して位置合わせする。
【００３１】
次いで、図２（Ｂ）に示すように、ミラー２を退避させた後に、密着工程において、ノズルプレート１０とともにプレイスメントツール４を下降させ、ノズルプレート１０の背面をエポキシ系接着剤３を挟んでインクジェットヘッド本体２０の前面に当接させる。さらに、図２（Ｃ）に示すように、プレイスメントツール４を上方に退避させるとともに、ノズルプレート１０の前面に押圧具６の対向面の面積よりも広い面積のテフロンシート５を載置し、テフロンシート５の上方から押圧具６を下降させる。この状態で、押圧具６に内蔵されているヒータを介してエポキシ系接着剤３をテフロンシート５及びノズルプレート１０とともに加熱し、ノズルプレート１０の背面とインクジェットヘッド本体２０の前面との間でエポキシ系接着剤３を硬化させる。この後、図２（Ｄ）に示すように、押圧具６を上昇させるとともにテフロンシート５を除去することにより、インクジェットヘッド本体２０の前面に対するノズルプレート１０の接着が完了する。
【００３２】
図２（Ｂ）に示す状態において、プレイスメントツール４からノズルプレート１０に作用するインクジェットヘッド本体２０の前面への当接力は極めて軽微であり、エポキシ系接着剤３は、ノズルプレート１０の背面とインクジェットヘッド本体２０の前面との間からノズルプレート１０の周縁部に殆ど漏出することがなく、ノズルプレート１０の側面を這い上がってプレイスメントツール４に付着することがない。
【００３３】
また、図２（Ｃ）に示す状態において、ノズルプレート１０と押圧具６との間には、エポキシ系接着剤３の接着性が極めて弱いとともに、押圧具６の対向面の面積よりも広い面積のテフロンシート５が介在している。このため、押圧具６によってノズルプレート１０をインクジェットヘッド本体２０の前面に押圧した際に、ノズルプレート１０の背面とインクジェットヘッド本体２０の前面との間からノズルプレート１０の周縁部に漏出した後にノズルプレート１０の側面を這い上がったエポキシ系接着剤３は、押圧具６に付着することがないとともにテフロンシート５に強固に接着することもない。
【００３４】
したがって、テフロンシート５及び押圧具６をインクジェットヘッド本体２０の前面に接着したノズルプレート１０から容易に分離することができ、エポキシ系接着剤３の硬化後に押圧具６を上昇させてノズルプレート１０から離間させる際に、押圧具６に破損を生じることがないとともに、上昇する押圧具６に接着したエポキシ系接着剤３を介してノズルプレート１０の周縁部が引き上げられることもなく、インクジェットヘッド本体２０の前面からノズルプレート１０の周縁部が剥離することによる歩留りの低下を生じることもない。また、押圧具６の対向面の平滑性がエポキシ系接着剤３の付着によって劣化することがなく、ノズルプレート１０を正確に押圧することができる。
【００３５】
さらに、ノズルプレート１０の背面とインクジェットヘッド本体２０の前面との間からノズルプレート１０の周縁部に漏出したエポキシ系接着剤３は、ノズルプレート１０の側面において硬化してフィレット３ａを形成し、インクジェットヘッド本体２０の前面に対するノズルプレート１０の接着状態が堅牢に維持される。
【００３６】
なお、エポキシ系接着剤３として、半硬化状態のフィルム状接着剤を用いることにより、図２（Ｂ）に示す状態において、インクジェットヘッド本体２０の前面上にノズルプレート１０を仮置きする際に、フィルム状接着剤の接着力によってノズルプレート１０を確実に保持することができ、ノズルプレート１０に湾曲等の変形を生じている場合でも、ノズルプレート１０の位置ずれを防止してインクジェットヘッド本体２０に対するノズルプレート１０の接着作業を正確に行うことができる。
【００３７】
【発明の効果】
この発明によれば、以下の効果を奏することができる。
【００３８】
（１）インクジェットヘッド本体の前面との間に接着剤を介在させた状態で、ノズルプレートの背面を、ノズルプレートの前面よりも小さい押圧面を備えた押圧具を介してインクジェットヘッド本体の前面に押圧することにより、インクジェットヘッド本体の前面とノズルプレートの背面との間からノズルプレートの周縁部に漏出した余剰の接着剤がノズルプレートの側面を這い上がったとしても押圧具の対向面に付着することを防止することができる。これによって、接着剤の硬化後にノズルプレートから離間する押圧具の対向面から接着剤が剥離することを防止でき、押圧具の破損、押圧具の対向面の平滑性の劣化、及び、インクジェットヘッド本体の前面からのノズルプレートの剥離を防止して生産性の向上を実現することができる。
また、ノズルプレートの背面において押圧具の直下に位置しない周辺部分では、中央部分に比較してインクジェットヘッド本体の前面との間の間隔が大きくなり、余剰の接着剤はこの周辺部分に溜まり、ノズルプレートの側面を這い上がりにくくなる。これによって、押圧具に対する接着剤の付着をより確実に防止することができる。
【００３９】
（２）インクジェットヘッド本体の前面との間に接着剤を介在させた状態で、ノズルプレートの背面を、ノズルプレートの前面よりも小さい押圧面を備えたシリコンカーバイトの押圧具を介してインクジェットヘッド本体の前面に押圧することにより、インクジェットヘッド本体の前面とノズルプレートの背面との間からノズルプレートの周縁部に漏出した余剰の接着剤がノズルプレートの側面を這い上がって押圧具に付着したとしても、硬化した接着剤を容易に押圧具から剥離することができる。これによって、ノズルプレートから押圧具が離間する際の押圧具の破損、押圧具の対向面の平滑性の劣化、及び、インクジェットヘッド本体の前面からのノズルプレートの剥離を防止して生産性の向上を実現することができる。
【００４０】
（３）インクジェットヘッド本体の前面との間に接着剤を介在させた状態で、ノズルプレートの背面を、ノズルプレートの前面よりも小さい押圧面を備えるとともに対向面及び側面がポリテトラフルオロエチレンで構成された押圧具を介してインクジェットヘッド本体の前面に押圧することにより、インクジェットヘッド本体の前面とノズルプレートの背面との間からノズルプレートの周縁部に漏出した余剰の接着剤がノズルプレートの側面を這い上がって押圧具に付着したとしても、硬化した接着剤を容易に押圧具から剥離することができる。これによって、、ノズルプレートから押圧具が離間する際の押圧具の破損、押圧具の対向面の平滑性の劣化、及び、インクジェットヘッド本体の前面からのノズルプレートの剥離を防止して生産性の向上を実現することができる。
【００４１】
（４）インクジェットヘッド本体の前面との間に接着剤を介在させた状態で、ノズルプレートの背面を、難接着性部材を介して押圧具によりインクジェットヘッド本体の前面に押圧することにより、インクジェットヘッド本体の前面とノズルプレートの背面との間からノズルプレートの周縁部に漏出した余剰の接着剤がノズルプレートの側面を這い上がったとしても難接着性部材に付着し、押圧具の対向面に付着することを防止できる。これによって、接着剤の硬化後にノズルプレートから離間する押圧具の対向面から接着剤が剥離することを防止でき、押圧具の破損、押圧具の対向面の平滑性の劣化、及び、インクジェットヘッド本体の前面からのノズルプレートの剥離を防止して生産性の向上を実現することができる。また、硬化した接着剤を、難接着性部材から容易に剥離することができ、生産性を低下させることもない。
【００４２】
（５）インクジェットヘッド本体の前面との間に接着剤を介在させた状態で、ノズルプレートの背面をテフロンシートを介して押圧具によりインクジェットヘッド本体の前面に押圧することにより、インクジェットヘッド本体の前面とノズルプレートの背面との間からノズルプレートの周縁部に漏出した余剰の接着剤がノズルプレートの側面を這い上がったとしてもテフロンシートに付着し、押圧具の対向面に付着することを防止できる。これによって、接着剤の硬化後にノズルプレートから離間する押圧具の対向面から接着剤が剥離することを防止でき、押圧具の破損、押圧具の対向面の平滑性の劣化、及び、インクジェットヘッド本体の前面からのノズルプレートの剥離を防止して生産性の向上を実現することができる。
【００４３】
（６）インクジェットヘッド本体の前面との間にフィルム状接着剤を介在させた状態で、ノズルプレートの背面を押圧具によりインクジェットヘッド本体の前面に押圧することにより、インクジェットヘッド本体に対してノズルプレートを押圧する前にインクジェットヘッド本体の前面上にノズルプレートを仮置きする際に、フィルム状接着剤の接着力によってノズルプレートを確実に保持することができ、ノズルプレートに湾曲等の変形を生じている場合でも、ノズルプレートの位置ずれ生じることを防止して、インクジェットヘッド本体に対するノズルプレートの接着作業を正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を示す図である。
【図２】この発明の第２の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を示す図である。
【図３】従来のインクジェットヘッドの製造方法を示す図である。
【符号の説明】
１，６−押圧具
２−ミラー
３−エポキシ系接着剤（接着剤）
３ａ−フィレット
４−プレイスメントツール
１０−ノズルプレート
２０−インクジェットヘッド本体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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