(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体又は液体の試料が付着した部材を気化手段に導入し、気化手段の周囲の雰囲気ガスを部材の導入口から吸い込み検出手段に搬送し、該検出手段で前記部材に付着した固体又は液体の成分を検出することを特徴とする気化ガス検出方法。
【請求項２】
固体又は液体の試料が付着した部材を気化手段に導入し、気化手段の周囲の雰囲気ガスを部材の導入口から吸い込み検出手段に搬送し、該検出手段で前記部材に付着した固体又は液体の成分を検出し、検出の終了した部材を搬送排出すると共に、新たな試料部材を該気化手段に導入することを特徴とする気化ガス検出方法。
【請求項３】
固体または液体の試料が付着した部材が導入されるとともに、該部材に付着した試料を加熱して気化する気化手段と、気化した試料ガスの成分を検出する検出手段と、前記気化手段から前記検出手段まで試料ガスをキャリアガスによって輸送する配管とを有する気化ガス検出装置において、前記気化手段は、前記部材が導入される開口を有するとともに、前記検知手段を雰囲気圧力より負圧とすることにより、該開口から雰囲気ガスを吸気してキャリアガスとし、該キャリアガスによって、試料が加熱気化されて発生した試料ガスを配管を通過して検出手段まで輸送し、該検出手段によって検出することを特徴とする気化ガス検出装置。
【請求項４】
請求項３において、前記気化手段が、前記配管が接続される吸気加熱板と、該吸気加熱板と所定の間隔を隔てて配置される対向加熱板とで構成され、所定の温度に保持された前記加熱板の間に試料が付着した部材が導入されることにより試料を加熱気化することを特徴とする気化ガス検出装置。
【請求項５】
請求項４において、前記吸気加熱板と対向加熱板の間隔が可変であることを特徴とする気化ガス検出装置。
【請求項６】
請求項５において、試料が付着した部材が導入された後、前記吸気加熱板と対向加熱板の間隔を狭めることにより試料の加熱速度を上昇させることを特徴とする気化ガス検出装置。
【請求項７】
固体または液体の試料が付着した部材が導入されるとともに、該部材に付着した試料を加熱して気化する気化手段と、気化した試料ガスの成分を検出する検出手段と、前記気化手段から前記検出手段まで試料ガスをキャリアガスによって輸送する配管とを有する気化ガス検出装置において、前記気化手段は、前記部材が導入される開口を有するとともに、前記検知手段を雰囲気圧力より負圧とすることにより、該開口から雰囲気ガスを吸気してキャリアガスとし、該キャリアガスによって、試料が加熱気化されて発生した試料ガスを配管を通過して検出手段まで輸送し、該検出手段によって検出し、前記気化手段が、前記配管が接続される吸気加熱板と、該吸気加熱板と所定の間隔を隔てて配置される対向加熱板とで構成され、所定の高温度に保持された前記加熱板の間に試料が付着した部材が導入されることにより試料を加熱気化し、該吸気加熱板の加熱面外周には複数の一定高さの突起を中心から円周方向に設け、該突起部と対向加熱板により試料が付着した部材をはさむ構造とし、該吸気加熱板の突起部間の隙間から雰囲気ガスを吸気して、試料を加熱気化することを特徴とする気化ガス検出装置。
【請求項８】
固体または液体の試料が付着した部材を搬送する手段と、該搬送手段によって前記部材が導入されるとともに該部材に付着した試料を加熱して気化する気化手段と、気化した試料ガスの成分を検出する検出手段と、前記気化手段から前記検出手段まで試料ガスをキャリアガスによって輸送する配管とを有する気化ガス検出装置において、前記気化手段は、前記部材が導入される開口を有するとともに、前記検知手段を雰囲気圧力より負圧とすることにより、該開口から雰囲気ガスを吸気してキャリアガスとし、該キャリアガスによって、試料が加熱気化されて発生した試料ガスを配管を通過して検出手段まで輸送し、該検出手段によって検出するものであって、前記搬送手段は試料が付着した部材または該部材を保持した保持具をセットするための保持機構と、保持された部材を保持機構からはずし該加熱器まで運ぶ搬送媒体と、測定が終わった部材を該加熱器から外部に排出する手段で構成されたことを特徴とする気化ガス検出装置。
【請求項９】
請求項８において、試料が付着した部材は、該部材を固定し搬送するための繰返し使用可能な保持具によって固定されることを特徴とする気化ガス検出装置。
【請求項１０】
請求項９において、繰返し使用可能な該保持具は試料が付着した部分に触らないようにして部材を挟み込む構造とし、部材を挟み込むときに試料部を引き伸ばすように作用する突起を保持具に設けたことを特徴とする気化ガス検出装置。
【請求項１１】
請求項１０において、試料が付着した部材がセット保持されたことを検知する手段と、該試料部材が該加熱器の所定の位置まで来たことを検知する手段と、該加熱器での測定が終了したことを検知する手段を備えることにより、連続的に自動で搬送，検出を行うことを特徴とする気化ガス検出装置。
【請求項１２】
請求項８において、搬送媒体はベルト類とし、測定が終わった部材の搬送排出と新たな試料部材の該加熱器への搬送をほぼ同期して行うことを特徴とする気化ガス検出装置。
【請求項１３】
請求項８において、搬送媒体は回転板とし、測定が終わった部材の搬送排出と新たな試料部材の該加熱器への搬送をほぼ同期して行うことを特徴とする気化ガス検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体または液体の試料を気化させて検出する気化ガス検出装置に係り、特に、該装置において試料を加熱して気化する気化手段の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来技術によるこの種の気化ガス検出装置としては、例えば、米国特許公報
５５５２６００号に開示されたものがある。この従来技術による気化ガス検出装置は、気化手段として鉛直方向に伸びた配管を有し、該配管を上下に二分することにより開口を形成し、該開口の側方から試料を付着させたシート状の部材を水平方向に導入した後、該部材に前記開口を形成する配管の分断面を押しつけることで密閉する。しかる後、下部配管内部に配設された加熱手段を動作させて前記試料を加熱気化して試料ガスを発生させる一方、同じく下部配管からキャリアガスを供給して前記部材の下面から上面に向かってキャリアガスを透過させて、前記試料ガスを上部配管を経由して検出手段であるイオン移動度分光装置へ輸送して、該イオン移動度分光装置によって試料ガス成分を検出している。
【０００３】
また、試料部材の自動搬送による連続測定の実施例はない。
【０００４】
【特許文献１】
米国特許公報５５５２６００号
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来装置では、試料ガスの検出時において、試料が付着した部材が導入される開口を密閉する必要があり、これを実現するために上下配管の形状寸法や位置決め寸法を高精度にする必要があるなど、装置構造が制限されるという問題があった。また、キャリアガスを透過させる必要があることから、試料を付着させる部材の材質は通気性のあるものに限られていた。更に、前記開口を密閉する前と後とでは気化手段近傍でのガス流経路が変化するため、密閉後しばらくの間はガス流が安定せず、検出の信頼性が劣化するという問題があった。
【０００６】
したがって本発明の目的は、気化手段において、試料が付着した部材が導入される開口の密閉を不要として装置構造の自由度を増し、また、試料を付着させる部材として通気性の無いものでも使用可能であり、更には、部材が導入された直後からガス流が安定して検出の信頼性が良好である気化ガス検出装置を提供することにある。
【０００７】
また本発明の他の目的は、試料に蒸気圧が異なる複数の物質が含まれる場合であっても、それらを容易に検出可能な気化ガス検出装置を提供することにある。
【０００８】
さらに、試料部材の自動搬送を行うことにより、スループットを上げた気化ガス検出装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の気化ガス検出装置は、固体または液体の試料が付着した部材が導入される開口を有するとともに、該開口から導入された部材に付着した試料を加熱して気化する気化手段と、気化した試料ガスの成分を検出する検出手段と、前記気化手段と前記検出手段を接続する配管と、前記検知手段の内部を雰囲気圧力より負圧とすることにより、該検出手段と配管を通じて接続された前記検出手段の開口より雰囲気ガスを吸入し、該雰囲気ガスをキャリアガスとして試料ガスを前記気化手段から配管を経由して検出手段の内部まで輸送する排気手段とを有するものである。
【００１０】
また、上記他の目的を達成するために、本発明の気化ガス検出装置は、固体または液体の試料が付着した部材が導入される開口を有するとともに、該開口から導入された部材に付着した試料を加熱して気化する気化手段と、気化した試料ガスの成分を検出する検出手段と、前記気化手段と前記検出手段を接続する配管と、前記検知手段の内部を雰囲気圧力より負圧とすることにより、該検出手段と配管を通じて接続された前記検出手段の開口より雰囲気ガスを吸入し、該雰囲気ガスをキャリアガスとして試料ガスを前記気化手段から配管を経由して検出手段の内部まで輸送する排気手段とを有するとともに、前記気化手段を、前記配管が接続される吸気加熱板と、該吸気加熱板と所定の間隔を隔てて配置される対向加熱板とで構成し、これら加熱板の間隙を前記試料が付着した部材が導入される開口と成し、更に、必要に応じ前記所定の間隔を可変としたものである。
【００１１】
また、スループット向上の目的のために搬送手段は試料が付着した部材または該部材を保持した保持具をセットするための保持機構と、保持された部材を保持機構からはずし該加熱器まで運ぶ搬送媒体と、測定が終わった部材を該加熱器から外部に排出する手段で構成したものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１の実施例につき、図１乃至図３を用いて説明する。図１は、本発明の第１の実施例を示す気化ガス検出装置の全体構成図、図２は図１に示した気化ガス検出装置の要部断面図、図３は図１に示した気化ガス検出装置の要部平面図である。図１に示す通り、本実施例の気化ガス検出装置は、吸気加熱板１と、該吸気加熱板１から所定間隔離れた下方位置に配設された対向加熱板２と、前記吸気加熱板１に一端が接続されている配管６と、該配管６のもう一方の端に接続された検出手段４と、該検出手段４に接続された排気手段５で構成されている。そして前記吸気加熱板１と、対向加熱板２とにより気化手段３が構成されている。
【００１３】
上記気化ガス検出装置における検出動作を以下説明する。吸気加熱板１及び対向加熱板２は図示されていない温度調節手段により予め所定の高温度に維持されている。また、排気手段５により検出手段４の内部が排気され雰囲気圧力より負圧とされていることにより、該検出手段４の内部と配管６を介して連結している前記気化手段の開口、即ち、吸気加熱板１と対向加熱板２との間から、雰囲気ガスが吸気されている。
【００１４】
そして、前記吸気加熱板１と対向加熱板２の間から、試料７を付着させた部材８が、その試料の付着面を上とし、また、最終的に該付着面と吸気加熱板１とが所定の間隙を有する様に、図示されていない搬送手段によって水平方向に導入される。図２，図３はそれぞれ、この部材８が導入された状態での気化手段付近の断面図，平面図を示している。
【００１５】
すると、前記高温に維持された吸気加熱板１及び対向加熱板２からの熱伝導や輻射等により、試料７が加熱気化されて試料ガスが発生する。一方、排気手段５により検出手段４の内部が排気され雰囲気圧力より負圧とされていることにより、前記所定の間隙から部材８の表面に沿って放射状に雰囲気ガスが吸入されている。この雰囲気ガスがキャリアガス１０となって、前記試料ガスを含んだキャリアガス１１が配管６を通過して検出手段４の内部に流入し、これにより試料ガスを輸送する。そして、該検出手段４において試料ガスの成分が検出されるものである。
【００１６】
以上説明した如く、本実施例装置においては、試料を付着させた部材が導入される気化手段の開口から雰囲気ガスを吸気してキャリアガスとして用いるので、従来技術による気化ガス発生装置と異なり、該開口の密閉を要しない。これにより、試料が付着した部材が導入される開口を密閉する構造が不要となり、装置構造の自由度を増すことが出来る。また、吸気加熱板と部材との間に間隙を形成し、該間隙から雰囲気ガスを吸気してキャリアガス１０としているので、試料を付着させる部材として通気性の無いものでも使用可能である。更に、部材８が気化手段に導入される前と後とで気化手段近傍のガス流経路がほとんど変化しないため、部材８を導入直後からガス流が安定し、検出の信頼性を良好なものとすることができる。
【００１７】
次に、本発明の第２の実施例につき、図４乃至図８を用いて説明する。図４は、本発明の第２の実施例を示す気化ガス検出装置の全体構成図である。本実施例装置が前記第１の実施例装置と異なるのは、駆動装置９を新たに有しており、該駆動装置９により対向加熱板２が上下方向に可動となっている点である。これにより、吸気加熱板と対向加熱板との間隔を変更することが可能となっている。そして、図５は試料が付着した部材が導入された状態での、図４に示した気化ガス装置の気化手段近傍の断面を示したものであり、（ａ）は吸気加熱板１と対向加熱板２との間隔が所定の値ｄ１である場合、（ｂ）は吸気加熱板１と対向加熱板２との間隔がｄ１と比較して小さな値ｄ２である場合を示している。
【００１８】
上記気化ガス検出装置における検出動作を、図５乃至図８を用いて以下説明する。なお、本説明においては、同一温度における蒸気圧が異なる２種類の物質
（相対的に蒸気圧が高い方を物質Ａ、低い方を物質Ｂと呼ぶ）がそれぞれ所定量だけ試料７の中に入っているものとする。
【００１９】
先ず、図４において駆動装置９を用いて対向加熱板２を上下方向に動かし、最終的に図５（ａ）に示す位置に固定した状態、即ち、吸気加熱板１と対向加熱板２との間隔を所定の値ｄ１に固定した状態で、試料７が付着した部材８を導入した場合について説明する。このときに気化手段から検出手段の内部に輸送される前記物質のガス濃度の時間経過グラフを図６（ａ）に示す。なお、本グラフにおいては、気化手段に部材が導入された時刻を０として示してある。また、ガス濃度は、物質の種類に応じて異なるところの検出下限値で各々規格化して示してある。この規格化により、グラフ上で一定値となる検出下限を点線で表示している。ところで、検出手段においては通常、間欠的に検出動作が行われる。そこで、本実施例の検出手段における間欠的な検出動作の時刻をグラフ上一点鎖線で表示している。
【００２０】
一般に、検出手段の内部に導入される物質のガス濃度が、検出動作周期よりも長い間連続して検出下限を超えていれば何れかの検出動作時刻において該物質を検出することができる。一方、試料導入後何れの経過時間においても物質のガス濃度が検出下限を超えない場合には、該物質を検出することができない。図６
（ａ）においては物質Ａが前者に、物質Ｂが後者にあたっている。この様に、物質の蒸気圧の違いによってガス濃度の時間経過の波形が異なるのは、蒸気圧が高い物質ほど気化手段における気化速度が速く、短い時間に高濃度のガスが発生する一方、蒸気圧が低い物質は気化手段における気化速度が遅く、長い時間に渡って低濃度のガスが発生することによるものである。
【００２１】
次に、図４において駆動装置９を用いて対向加熱板２を上下方向に動かし、最終的に図５（ｂ）に示す位置に固定した状態、即ち、吸気加熱板１と対向加熱板２との間隔を所定の値ｄ２に固定した状態で、試料が付着した部材を導入した場合について説明する。このときに気化手段から検出手段の内部に輸送される前記物質のガス濃度の時間経過グラフを図６（ｂ）に示す。前記図６（ａ）に示した場合と比較し、吸気加熱板１と対向加熱板２との間隔が狭く、試料の加熱速度が速くなることから、物質Ａ，物質Ｂとも、発生ガス濃度の最大値は大きくなるとともに、発生時間は短くなっている。そして図６（ｂ）においては、物質Ｂが検出されるようになる一方、これよりも蒸気圧の高い物質Ａについては検出動作周期よりも短い時間に試料ガスの発生が終了することにより、検出動作のタイミングから外れて検出されないことが生じている。また、対向加熱板２が部材８の試料７がついていない面に接触することが加熱速度を最も高めることは言うまでも無い。
【００２２】
以上説明したように、本実施例装置においては、駆動装置を用いて対向加熱板を上下方向に動かすことで、吸気加熱板と対向加熱板との間隔を変更できるので、気化手段における試料の加熱速度を変化させることができる。これにより、所定の蒸気圧を有する物質の検出に好適な加熱速度を容易に実現できる。
【００２３】
次に、図４に示す実施例装置において、試料７が付着した部材８を導入した時点で図５（ａ）に示す状態となり、しかる後、駆動装置９を動作させて対向加熱板を上昇させることで、図５（ｂ）に示す状態となる場合について説明する。この場合の吸気加熱板と対向加熱板との間隔の時間経過グラフを図７に、検出手段の内部に輸送される物質のガス濃度の時間経過グラフを図８にそれぞれ示す。吸気加熱板と対向加熱板との間隔がｄ１となっている時点で、物質Ａが検出され、しかる後、駆動装置により対向加熱板を上昇させて、吸気加熱板と対向加熱板との間隔を狭くしｄ２とすることにより、加熱速度が上昇し、相対的に蒸気圧の低い物質Ｂが検出されている。この様に、試料を導入した後に吸気加熱板と対向加熱板との間隔を狭くし、試料の加熱速度を上昇させることを行えば、同一試料に含まれた蒸気圧の異なる種々の物質を容易に検出することが実現できる。
【００２４】
さらに、気化手段の他の実施例を図９，図１０に示す。本実施例は試料が付着した部材を上下加熱板で挟み込んで固定し、試料を加熱気化するようにしたものである。吸気加熱板１の加熱面の円周部には複数の一定高さの突起１２を中心から円周方向に設けている。突起１２の間は雰囲気のガスを吸引できるよう溝になった吸気口１３が形成される。吸気口１３は必要とされる流量が確保でき加熱面内部に通じていれば、特に形状は問わない。試料が付着した部材８が吸気加熱板１の下に導かれると、対向加熱板２が上昇し、部材８を持ち上げ吸気加熱板１に接触固定させる。部材８が柔らかく、保持が不安定な場合は測定面近傍を固定することにより、フラットな安定した状態で保持できる。この状態で雰囲気のキャリアガスを吸い込むと、キャリアガス１０は吸気加熱板１の突起部１２の隙間である吸気口１３から加熱面内部に導かれ、試料７を気化して検出器４に導かれる。図１０では対向加熱板２はフラットで部材８を直接接触させて加熱速度を速める構造としているが、加熱速度を遅くするには対向加熱板２を凹形状にし（図示せず）、部材８との間隔をあければよい。このように、部材８を固定することにより、特に柔らかい部材の保持状態をフラットに保てるため、加熱器間の隙間を常に一定に保つことができ、試料の気化を安定に、ばらつきの無い測定が可能となる。
【００２５】
次に搬送手段の一実施例を説明する。図１１に搬送手段の全体構成を示す。すでに説明してきた気化手段は中央に位置し、図の左側から部材を投入し、気化手段まで搬送され、気化手段で測定後、図右側に排出され回収される構成となっている。以下詳細に構成を説明する。試料７のついた部材８ａは、部材上下駆動装置２４の上に保持されると、部材保持検出器２６で部材が保持されたかどうかを検出する構造になっている。当然、部材が裏表逆，左右前後が間違っていると検出されないようになっている。部材８は部材上下駆動装置２４の下降により搬送ベルト２３ａ，２３ｂに乗るような位置関係になっており、部材上下駆動装置
２４が下降しきった時は部材８ａが部材上下駆動装置２４から離れる構造となっている。下降の検出は部材下降検出器２５で行っている。また部材上下駆動装置２４はソレノイドやモータ、時にはエアーシリンダで構成される。搬送ベルト
２３ａ，２３ｂは搬送駆動プーリ２１や複数の従動プーリ２２を介して部材搬送装置２０で回転または平行に移動するようになっている。本実施例では部材８を気化手段で測定さらに排出できるよう平行移動とした。搬送ベルトはＯリングや帯ベルトなど適当な摩擦が得られるゴム系が望ましい。搬送ベルト２３ａ，23ｂに乗った部材８ａは部材搬送装置２０により気化手段３に運ばれ、吸気加熱板１と対向加熱板２の間にはさまれる位置で止まる構造にしている。気化手段３の正しい位置で静止したかは部材加熱部検出器３０で検出している。測定時は、対向加熱板上下駆動装置２７が上昇することにより、部材８ｂと吸気加熱板１と対向加熱板２の隙間が一定間隔を保持できる構造としている。対向加熱板２が上昇しているとき、つまり測定時は対向加熱板上昇検出器２９で、対向加熱板２が下降している時は対向加熱板下降検出器２８で状態を検出している。部材搬送装置
２０および対向加熱板上下駆動装置２７はソレノイドやモータ、時にはエアーシリンダで構成されるが、正確な位置決めを行う場合や複数点を制御する場合にはＡＣサーボモータやパルスモータなどが有効である。測定後、対向加熱板上下駆動装置２７は下降し、部材８ｂは搬送ベルト２３ａ，２３ｂによって図右側に排出され、部材回収ボックス３１に収納される構造となっている。搬送ベルト23ａ，２３ｂでは今から測定する部材８ａと測定が終わった部材８ｂを同時に移動できる。
【００２６】
以下、図１１により動作説明をする。スタート時は部材上下駆動装置２４は上部にあり部材８が乗せられる状態で待機している。部材８ａが乗せられると、部材保持検出器２６により部材８ａが置かれたことを検出する。検出後、部材上下駆動装置２４が下降し、部材８ａを搬送ベルト２３ａ，２３ｂに乗せる。さらに部材上下駆動装置２４が下降すると部材保持検出器２６は部材８ａが離れるためＯＦＦとなり、部材上下駆動装置２４も停止する。この時下降終了の検出は部材下降検出器２５で行う。搬送ベルト２３ａ，２３ｂに乗せられた部材８ａは部材搬送装置２０により、気化手段３の吸気加熱板１と対向加熱板２の間の定められた位置まで移動する。正しい位置で静止したかは部材加熱部検出器３０で検出している。移動後、対向加熱板上下駆動装置２７により吸気加熱板１との定められた間隔まで対向加熱板２が上昇する。定められた間隔は実施例の図５や図９で示したように、固定であればＯＮ／ＯＦＦの駆動系を、可変であれば位置制御のできる駆動系を使えばいい。上昇の確認は対向加熱板上昇検出器２９で行い、測定を開始する。気化が速い物質も想定して、対向加熱板上下駆動装置２７が上昇をはじめたときから測定を開始しても問題ない。数秒から数十秒の気化、測定後、対向加熱板上下駆動装置２７が下降し、対向加熱板下降検出器２８で確認する。その後、搬送ベルト２３ａ，２３ｂにより、部材８ｂを図右方向に排出し、部材回収ボックス３１に収納されて一連のシーケンスが終了する。前記駆動系と検出器を使うことによりこれらの動作を自動で行うことが可能となる。ここで、部材８ｂの気化、測定中は次の新しい部材８ａを部材上下駆動装置２４にセットしておくことができ、測定の終わった部材８ｂを排出するときは、同時に新しい部材８ａを気化手段３まで移動できるので大幅な時間の短縮を図ることができる。また、一旦セットされた部材は自動的に部材回収ボックス３１に回収されるので、測定終了まで待たなくてもいい。後でまとめて回収すればいい。つまり、連続で部材をセットする行為のみ行えばいいのでスループットを向上でき、さらに回収待ちが不要なので作業効率を向上することができるという効果がある。
【００２７】
他の実施例として、図１２，図１３は搬送手段の部材保持具を使用した実施例を示す。特に部材８が柔らかい場合やそれ自体搬送に適してない場合に好適な保持具で、以下説明する。部材保持具３４は上部部材保持具３５と下部部材保持具３６をヒンジ４０によって折りたたみ、その間に部材８を挟む構造としている。保持具は繰返し使用可能で熱にも強く搬送ベルト２３ａ，２３ｂとも適切な摩擦力が働く材料とする。それぞれの上下保持具中央には気化手段が部材８のみを加熱し、部材保持具３４は加熱されない程度の大きさの穴３７，３８があいている。穴の形状は丸でも角でも気化手段の形状に合わせれば問題ない。しかし、柔らかい部材８は対象物の拭取り時にしわになり、そのままでは吸気，対向加熱板１，２の隙間をコントロールすることができず精度のよい測定ができないだけでなく、周辺をこすってコンタミを増やすことになる。そのため、上部部材保持具
３５または下部部材保持具３６に突起３９を設け、部材８を絞り込み引き伸ばす構造とした。突起３９は図示のように中央穴３７または３８の周辺に設けるか、部材８のエリア内で突起を設け、部材８を引き伸ばせる構造とすればいい。図
１３のように、吸気加熱板１と対向加熱板２の間の部材８は保持具と突起により、絞込み引き伸ばされた状態になり、吸気，対向加熱板１，２と部材８の間隔を一定に保つことになるので精度，信頼性のよい測定が可能となる。また、周辺をこすることも無いのでコンタミを低減できるという効果がある。
【００２８】
さらに他の搬送手段の実施例として、図１４に示す。これは搬送手段を直線から回転に替えたものである。搬送ベルト３２の替わりに回転板４２を搬送媒体として使う。回転板４２の駆動は回転板駆動装置４１を使い、部材８を部材セット位置から気化手段３へ、さらには部材回収ボックスへと移動する。それぞれの移動量を同じにしておけば図１１で前述したように同時に新しい部材８ａと測定が終わった部材８ｂを同時に搬送できるので図１１ど同じ効果が得られる。搬送ベルトによる直線移動か、回転板による回転移動にするかは装置のスペース，構造を考慮して適宜選択できる。
【００２９】
【発明の効果】
以上の通り、本発明の気化ガス処理装置においては、試料が付着した部材が導入される気化手段の開口を密閉する必要が無く、装置構造の自由度が増し、また、試料を付着させる部材として通気性の無いものでも使用可能であり、更には、部材が導入された直後からガス流が安定して検出の信頼性を良好とすることができる。
【００３０】
また、試料に蒸気圧が異なる複数の物質が含まれる場合であっても、それらを容易に検出することができる。
【００３１】
さらには前述した自動搬送を組み合わせることにより、スループットを上げ、回収待ちが不要なので作業効率を向上することができるという効果がある。また、繰返し可能な部材保持具を使うことにより、精度，信頼性を上げ、コンタミを減らすという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示す気化ガス検知装置の全体構成図である。
【図２】本発明の第１の実施例を示す気化ガス検知装置の要部断面図である。
【図３】本発明の第１の実施例を示す気化ガス検知装置の要部平面図である。
【図４】本発明の第２の実施例を示す気化ガス検知装置の全体構成図である。
【図５】本発明の第２の実施例を示す気化ガス検知装置の要部断面図である。
【図６】本発明の第２の実施例を示す気化ガス検知装置の検出動作説明図である。
【図７】本発明の第２の実施例を示す気化ガス検知装置の対向加熱板動作説明図である。
【図８】図７の対向加熱板動作に対応した本発明の第２の実施例を示す気化ガス検知装置の検出動作説明図である。
【図９】本発明の第３の実施例を示す吸気加熱板の要部図である。
【図１０】本発明の第３の実施例を示す気化ガス検知装置の要部断面図である。
【図１１】本発明の搬送手段の搬送媒体として搬送ベルトを用いる実施例を示す気化ガス検知装置の要部図である。
【図１２】本発明の搬送手段として用いる部材保持具の実施例を示す構成図である。
【図１３】本発明の搬送手段として用いる部材保持具の実施例を示す断面図である。
【図１４】本発明の搬送手段の搬送媒体として回転板を用いる実施例を示す気化ガス検知装置の要部図である。
【符号の説明】
１…吸気加熱板、２…対向加熱板、３…気化手段、４…検出器、５…排気手段、６…配管、７…試料、８ａ，８ｂ，８ｃ…部材、９…駆動装置、１０…キャリアガス、１１…試料ガスを含んだキャリアガス、１２…突起部、１３…吸気口、２０…部材搬送装置、２１…搬送駆動プーリ、２２…従動プーリ、２３ａ，23ｂ…搬送ベルト、２４…部材上下駆動装置、２５…部材下降検出器、２６…部材保持検出器、２７…対向加熱板上下駆動装置、２８…対向加熱板下降検出器、２９…対向加熱板上昇検出器、３０…部材加熱部検出器、３１…部材回収ボックス、３４…部材保持具、３５…上部部材保持具、３６…下部部材保持具、３７…上部部材保持具穴、３８…下部部材保持具穴、３９…突起、４０…ヒンジ、４１…回転板駆動装置、４２…回転板。
【図１】
0003673789.tif 000002
【図２】
0003673789.tif 000003
【図３】
0003673789.tif 000004
【図４】
0003673789.tif 000005
【図５】
0003673789.tif 000006
【図６】
0003673789.tif 000007
【図７】
0003673789.tif 000008
【図８】
0003673789.tif 000009
【図９】
0003673789.tif 000010
【図１０】
0003673789.tif 000011
【図１１】
0003673789.tif 000012
【図１２】
0003673789.tif 000013
【図１３】
0003673789.tif 000014
【図１４】
0003673789.tif 000015