(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤により貼り合わされたディスク基板と該ディスク基板とほぼ同様な形状、大きさ及び厚みを有する樹脂製の基板からなるダミー部材との間を、それらの中央開口側から剥離するディスク基板の剥離方法において、
前記ディスク基板と前記ダミー部材との間であって、前記中央開口側にある前記接着剤が形成されていない円環状の空間内部に、複数に分割された２５〜４５度の範囲の角度からなる楔状の部材を前記ディスク基板に対して水平方向に入れ込んで、前記中央開口側から機械的に押し開いて前記ディスク基板と前記ダミー部材とを剥離することを特徴とするディスク基板の剥離方法。
【請求項２】
接着剤により貼り合わされたディスク基板と該ディスク基板とほぼ同様な形状、大きさ及び厚みを有する樹脂製の基板からなるダミー部材との間を、それらの中央開口側から剥離するディスク基板の剥離方法において、
前記ディスク基板と前記ダミー部材との間であって、前記中央開口側の前記接着剤が形成されていない円環状の空間内部に、複数に分割された２５〜４５度の範囲の角度からなる楔状の部材を前記ディスク基板に対して水平方向に入れ込んで、前記中央開口側から機械的に押し開いて前記ディスク基板と前記ダミー部材との少なくとも一部分を剥離する第１の工程と、
その第１の工程で部分的に剥離され拡げられた前記ディスク基板と前記ダミー部材との間に圧搾空気を供給して前記ディスク基板と前記ダミー部材とを剥離する第２の工程と、
からなることを特徴とするディスク基板の剥離方法。
【請求項３】
接着剤により貼り合わされたディスク基板と該ディスク基板とほぼ同様な形状、大きさ及び厚みを有する樹脂製の基板からなるダミー部材との間を、それらの中央開口側から剥離するディスク基板の剥離装置において、
前記ディスク基板と前記ダミー部材の前記中央開口において拡縮動作を行う複数に分割された２５〜４５度の範囲の角度からなる楔部材を備え、前記楔部材が径を拡大する拡径動作を行って、前記楔部材が前記ディスク基板と前記ダミー部材との間の前記接着剤が形成されていない円環状の空間内部に、前記ディスク基板に対して水平方向に入り込むことにより、前記中央開口側から押し開いて前記ディスク基板から前記ダミー部材を部分的又は全体的に剥離する機械的剥離手段を備えたことを特徴とするディスク基板の剥離装置。
【請求項４】
接着剤により貼り合わされたディスク基板と該ディスク基板とほぼ同様な形状、大きさ及び厚みを有する樹脂製の基板からなるダミー部材との間を、それらの中央開口側から剥離するディスク基板の剥離装置において、
前記ディスク基板と前記ダミー部材の前記中央開口において拡縮動作を行う複数に分割された２５〜４５度の範囲の角度からなる楔部材を備え、前記楔部材が径を拡大する拡径動作を行って、前記楔部材が前記ディスク基板と前記ダミー部材との間の前記接着剤が形成されていない円環状の空間内部に、前記ディスク基板に対して水平方向に入り込むことにより、前記中央開口側から押し開いて前記ディスク基板から前記ダミー部材を部分的又は全体的に剥離する機械的剥離手段と、
該機械的剥離手段により部分的に剥離され拡げられた前記ディスク基板と前記ダミー部材との間に圧搾気体を供給して前記ディスク基板から前記ダミー部材を剥離する気体剥離手段と、
を備えたことを特徴とするディスク基板の剥離装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記気体剥離手段は、前記ディスク基板と前記ダミー部材の前記中央開口からそれら基板間に通じる圧力チャンバ、及び該圧力チャンバに前記圧搾気体を供給する圧搾気体供給源を備えたことを特徴とするディスク基板の剥離装置。
【請求項６】
請求項４において、
前記機械的剥離手段の一部分が前記ディスク基板と前記ダミー部材との間に入り込んだ状態で、前記圧搾気体供給源から前記ディスク基板と前記ダミー部材との間に圧搾気体を供給することを特徴とするディスク基板の剥離装置。
【請求項７】
請求項４において、
前記気体剥離手段は、
前記接着剤により貼り合わされた前記ディスク基板と前記ダミー部材の前記ダミー部材側の中央開口の周囲に当接して吸着する吸着部材と、
前記圧搾気体を供給する圧搾気体供給源と、該圧搾気体供給源に接続された圧搾気体供給路と、
を備え、拡径動作を行った前記機械的剥離手段の複数の前記楔部材が前記ディスク基板と前記ダミー部材との間に入り込んだ状態で、前記気体剥離手段の前記吸着部材が前記ダミー部材の前記中央開口の周囲を吸着して、拡径状態にある複数の前記楔部材間の間隙を通って前記ディスク基板と前記ダミー部材との間に前記圧搾気体を供給することを特徴とするディスク基板の剥離装置。
【請求項８】
片面に情報が記録されたディスク基板と、片面に情報が記録され、前記ディスク基板とほぼ同様な形状、大きさ及び厚みを有する樹脂製の基板からなるダミー部材とを接着剤により貼り合わせる貼り合わせ装置と、
該貼り合わせ装置から貼り合わされた前記ディスク基板と前記ダミー部材を受け取って前記ディスク基板を吸着する手段をもつ受け台と、
前記ディスク基板と前記ダミー部材の前記中央開口において拡縮動作を行う複数に分割された２５〜４５度の範囲の角度からなる楔部材を備え、前記楔部材が径を拡大する拡径動作を行って、前記楔部材が前記ディスク基板と前記ダミー部材との間の前記接着剤が形成されていない円環状の空間内部に、前記ディスク基板に対して水平方向に入り込むことにより、前記中央開口側から押し開いて前記ディスク基板から前記ダミー部材を部分的に剥離する機械的剥離手段と、
該機械的剥離手段により部分的に剥離され拡げられた前記ディスク基板と前記ダミー部材との間に圧搾気体を供給して前記ディスク基板から前記ダミー部材を剥離する気体剥離手段と、
を備えたことを特徴とする光ディスクの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の記録面を有する光ディスクの製造の過程におけるディスク基板の剥離及び光ディスクの製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光ディスクにより、記録容量を増大させる技術が発展普及してきており、さらにその記録容量をより高密度化する傾向にある。例えば、４層の構造で、両面から２層づつ記録している光ディスクでＤＶＤ−１８と称する17GBの記録容量のものがある。この種の光ディスクの製造方法としては、例えば特開平10- 283682号公報又は特公平8-23941 号公報に示されているものがある。これらに示される光ディスクの製造方法においては、いずれかの記録面の製造工程において、各層ごとにスタンパを用い、このスタンパと接着層との界面を剥離してその接着層にピット列による情報を転写し、そのピットの形成された接着層面に反射膜を形成している。
【０００３】
このような製造方法では、複数回のスタンパによる工程を順次行わなければならないため、全製造工程の長さがそれだけ長くなる。また、スタンパによる工程は、クリーンルームにおいて厳重な管理を行う必要があり、工程の性質の異なる貼り合わせの工程と交互にこのスタンパによる工程を設けることは効率的ではない。
【０００４】
このような問題を解決するために、次のようなディスクの製造方法が提案されている。この製造方法は、図９にディスクの断面を示すように、最終的に情報ディスクの一方側となるディスク基板１と後の工程で引き剥がされて除去されるダミーディスク２とを用いる。ディスク基板１は通常のものと同じであり、ポリカーボネイトのような透明性のあるプラスチック材料からなり、一方の面に情報を記録するピット１ａなどと金を薄く蒸着してなる光半透過性の反射膜１ｂを備える。
【０００５】
ダミーディスク２は、ポリメチル・メタクリレート樹脂のような材料を成型したものからなり、その片面には情報を記録するピット２ａなどとアルミニウムを薄く蒸着してなる反射膜２ｂを備える。このダミーディスク２は、ディスク基板１とほぼ同様な形状、大きさ、厚みを有する。
【０００６】
これらディスク基板１とダミーディスク２は、それぞれの反射膜１ｂと２ｂ面が紫外線硬化型の接着剤からなる接着層３を介して接着されている。この場合、ディスク基板１と反射膜１ｂとの界面の接着強度は、ダミーディスク２が反射膜２ｂに対して剥がれ易いポリメチル・メタクリレート樹脂のような材質でできているので、ダミーディスク２とその反射膜２ｂとの境界の接着強度、接着層３とディスク基板１の反射膜１ｂとの界面の接着強度、接着層３と反射膜２ｂとの境界の接着強度のいずれよりも小さく、剥がれ易くなっている。なお、４はディスク基板１とダミーディスク２の中央穴を示す。
【０００７】
このようにディスク基板１とダミーディスク２とを貼り合わせた後、これらの間に引き剥がし力を加えて、ダミーディスク２とその反射膜２ｂとの間でダミーディスク２を引き剥がし、除去する。この状態では、ディスク基板１の一方の面に順に、ピットなどの記録層１ａ、反射膜１ｂ、接着層３、記録層２ａ、及び反射膜２ｂが備えられる。このような構造のディスク基板を２枚、記録層や反射膜が内側に位置するよう貼り合わせることにより、冒頭で述べたようなＤＶＤ−１８と称する１７ＧＢの記録容量のＤＶＤが得られる。
【０００８】
しかしながら、ダミーディスク２と反射膜２ｂとの界面の接着強度を十分に小さくすることは現実問題として不可能であるので、ある程度以上の大きさの引き剥がし外力との間に加えなければならない。この際、ダミーディスク２の引き剥がし時にディスク基板１に悪影響を与えず、しかも量産に適した引き剥がし方法でなければならない。また、必要に応じてダミーディスクと接着剤又は反射膜と接着剤との間で引き剥がす場合も同様である。なお、ここでダミーディスクの厚みは任意であって良い。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
したがって本発明は、前述のようなダミーディスクのようなダミー部材の引き剥がしの際に、ディスク基板の記録膜や反射膜に実質的に悪影響を与えず、かつ量産に適したディスクの剥離方法及び剥離装置、並びに情報ディスクの製造を提供することを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、請求項１に係る発明は、接着剤により貼り合わされたディスク基板と該ディスク基板とほぼ同様な形状、大きさ及び厚みを有する樹脂製の基板からなるダミー部材との間を、それらの中央開口側から剥離するディスク基板の剥離方法において、前記ディスク基板と前記ダミー部材との間であって、前記中央開口側にある前記接着剤が形成されていない円環状の空間内部に、複数に分割された２５〜４５度の範囲の角度からなる楔状の部材を前記ディスク基板に対して水平方向に入れ込んで、前記中央開口側から機械的に押し開いて前記ディスク基板と前記ダミー部材とを剥離することを特徴とするディスク基板の剥離方法を提案するものである。
【００１１】
請求項２に係る発明は、接着剤により貼り合わされたディスク基板と該ディスク基板とほぼ同様な形状、大きさ及び厚みを有する樹脂製の基板からなるダミー部材との間を、それらの中央開口側から剥離するディスク基板の剥離方法において、前記ディスク基板と前記ダミー部材との間であって、前記中央開口側の前記接着剤が形成されていない円環状の空間内部に、複数に分割された２５〜４５度の範囲の角度からなる楔状の部材を前記ディスク基板に対して水平方向に入れ込んで、前記中央開口側から機械的に押し開いて前記ディスク基板と前記ダミー部材との少なくとも一部分を剥離する第１の工程と、その第１の工程で部分的に剥離され拡げられた前記ディスク基板と前記ダミー部材との間に圧搾空気を供給して前記ディスク基板と前記ダミー部材とを剥離する第２の工程と、からなることを特徴とするディスク基板の剥離方法を提案するものである。
【００１２】
請求項３に係る発明は、接着剤により貼り合わされたディスク基板と該ディスク基板とほぼ同様な形状、大きさ及び厚みを有する樹脂製の基板からなるダミー部材との間を、それらの中央開口側から剥離するディスク基板の剥離装置において、前記ディスク基板と前記ダミー部材の前記中央開口において拡縮動作を行う複数に分割された２５〜４５度の範囲の角度からなる楔部材を備え、前記楔部材が径を拡大する拡径動作を行って、前記楔部材が前記ディスク基板と前記ダミー部材との間の前記接着剤が形成されていない円環状の空間内部に、前記ディスク基板に対して水平方向に入り込むことにより、前記中央開口側から押し開いて前記ディスク基板から前記ダミー部材を部分的又は全体的に剥離する機械的剥離手段を備えたことを特徴とするディスク基板の剥離装置を提案するものである。
【００１３】
請求項４に係る発明は、接着剤により貼り合わされたディスク基板と該ディスク基板とほぼ同様な形状、大きさ及び厚みを有する樹脂製の基板からなるダミー部材との間を、それらの中央開口側から剥離するディスク基板の剥離装置において、前記ディスク基板と前記ダミー部材の前記中央開口において拡縮動作を行う複数に分割された２５〜４５度の範囲の角度からなる楔部材を備え、前記楔部材が径を拡大する拡径動作を行って、前記楔部材が前記ディスク基板と前記ダミー部材との間の前記接着剤が形成されていない円環状の空間内部に、前記ディスク基板に対して水平方向に入り込むことにより、前記中央開口側から押し開いて前記ディスク基板から前記ダミー部材を部分的又は全体的に剥離する機械的剥離手段と、該機械的剥離手段により部分的に剥離され拡げられた前記ディスク基板と前記ダミー部材との間に圧搾気体を供給して前記ディスク基板から前記ダミー部材を剥離する気体剥離手段と、を備えたことを特徴とするディスク基板の剥離装置を提案するものである。
【００１４】
請求項５に係る発明は、請求項４において、前記気体剥離手段は、前記ディスク基板と前記ダミー部材の前記中央開口からそれら基板間に通じる圧力チャンバ、及び該圧力チャンバに前記圧搾気体を供給する圧搾気体供給源を備えたことを特徴とするディスク基板の剥離装置を提案するものである。
【００１５】
請求項６に係る発明は、請求項４において、前記機械的剥離手段の一部分が前記ディスク基板と前記ダミー部材との間に入り込んだ状態で、前記圧搾気体供給源から前記ディスク基板と前記ダミー部材との間に圧搾気体を供給することを特徴とするディスク基板の剥離装置を提案するものである。
【００１６】
請求項７に係る発明は、請求項４において、前記気体剥離手段は、前記接着剤により貼り合わされた前記ディスク基板と前記ダミー部材の前記ダミー部材側の中央開口の周囲に当接して吸着する吸着部材と、前記圧搾気体を供給する圧搾気体供給源と、該圧搾気体供給源に接続された圧搾気体供給路と、を備え、拡径動作を行った前記機械的剥離手段の複数の前記楔部材が前記ディスク基板と前記ダミー部材との間に入り込んだ状態で、前記気体剥離手段の前記吸着部材が前記ダミー部材の前記中央開口の周囲を吸着して、拡径状態にある複数の前記楔部材間の間隙を通って前記ディスク基板と前記ダミー部材との間に前記圧搾気体を供給することを特徴とするディスク基板の剥離装置を提案するものである。
【００１７】
請求項８に係る発明は、片面に情報が記録されたディスク基板と、片面に情報が記録され、前記ディスク基板とほぼ同様な形状、大きさ及び厚みを有する樹脂製の基板からなるダミー部材とを接着剤により貼り合わせる貼り合わせ装置と、該貼り合わせ装置から貼り合わされた前記ディスク基板と前記ダミー部材を受け取って前記ディスク基板を吸着する手段をもつ受け台と、前記ディスク基板と前記ダミー部材の前記中央開口において拡縮動作を行う複数に分割された２５〜４５度の範囲の角度からなる楔部材を備え、前記楔部材が径を拡大する拡径動作を行って、前記楔部材が前記ディスク基板と前記ダミー部材との間の前記接着剤が形成されていない円環状の空間内部に、前記ディスク基板に対して水平方向に入り込むことにより、前記中央開口側から押し開いて前記ディスク基板から前記ダミー部材を部分的に剥離する機械的剥離手段と、該機械的剥離手段により部分的に剥離され拡げられた前記ディスク基板と前記ダミー部材との間に圧搾気体を供給して前記ディスク基板から前記ダミー部材を剥離する気体剥離手段と、を備えたことを特徴とする光ディスクの製造装置を提案するものである。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１から図６は、本発明に係る光ディスクの製造時におけるディスク基板とダミー部材との剥離の実施例を実現するための剥離方法及び剥離装置の実施の形態を示す図である。以下これらの図に基づいて説明する。
【００２３】
先ず図１は本発明に係る剥離装置が用いられる製造装置の全体図の概略を示すものであり、１０は図９に示したディスク基板１とダミー部材２とを接着層３で貼り合わせる通常の貼り合わせ装置、１１はこれから述べる複数の機能ポジションを有するターンテーブル、１２は貼り合わされたディスク基板１とダミー部材２を貼り合わせ装置１０からターンテーブル１１のディスク受領ポジション１１ａに移載するディスク移載機構、１３は、ターンテーブル１１の回転に伴ってディスクが受領ポジション１１ａから接着剤除去ポジション１１ｂにきたとき、ディスク基板１とダミー部材２との間からはみ出している接着剤を除去する接着剤除去機構、１４はクリーニングポジション１１ｃでディスクに付着したホコリなどを除去する除電・クリーニング機構、１５はディスクがターンテーブル１１上を受領ポジション１１ａから反転ポジション１１ｄに至るまでに損傷を受けないようダミー部材２を下側に、ディスク基板１を上側にして搬送するため、これらを反転ポジション１１ｄで反転してダミー部材２を上側にする反転機構である。
【００２４】
次に、１６は本発明にかかる機械的予備剥離機構であり、後で詳述するように予備剥離ポジション１１ｅでディスク基板１とダミー部材２との間に機械的に力を加えて部分的に剥離させる。１７は機械的予備剥離機構１６により部分的に剥離されたディスク基板１とダミー部材２との間に圧搾気体を吹き込んで完全にそれらを剥離させ、剥離されたダミー部材２を剥離ポジション１１ｆからリサイクルボックス１８に排出する気体圧剥離機構、１９はディスクの帯電電荷やホコリを除電ポジション１１ｇで除去するための除電・クリーニング機構、２０はディスク基板１の内周部、外周部の接着剤を処理して、前述のように２枚のディスク基板１を貼り合わせたときＤＶＤとして支障ないようにする接着剤処理機構である。
【００２５】
以下、図２ないし図６により機械的予備剥離機構１６の具体的な構成と予備剥離方法の一実施例について説明する。なお、図３、図４で示される三つの楔部分１６ａ１，１６ａ２，１６ａ３は同一構成で等しい動作を行うので、説明の都合上、他の図面では楔部分１６ａとして扱う。図２は予備剥離ポジション１１ｅの状態を示し、ターンテーブル１１が予備剥離ポジション１１ｅで停止したとき、ターンテーブル１１の開口（図示せず）を通してディスク受台２１と機械的予備剥離機構１６が上昇し、ターンテーブル上の貼り合わされたディスク基板１とダミー部材２とがディスク受台２１に支承され、この状態では機械的予備剥離機構１６の頭部である楔部分１６ａがディスク基板１とダミー部材２の中央穴４内に位置するようになっている。機械的予備剥離機構１６の楔部分１６ａの先端部１６ａ’レベルはディスク基板１とダミー部材２の中央穴４内においてそれらの間隙の範囲にあるように設定される。
【００２６】
機械的予備剥離機構１６の主要部分は図３及び図４に示すような同一構成の三つの拡縮動作可能な楔部分１６ａ１，１６ａ２，１６ａ３から構成され、これら楔部はそれぞれ１２０度の角度で広がる扇形となる平面図形をもつ。三つの楔部分１６ａ１，１６ａ２，１６ａ３はそれぞれ対応する支柱部分１６ｂと一体的に構成されて支承される。そして、三つの支柱部分１６ｂは図示していない通常の駆動機構に結合され、拡縮動作と上昇・下降動作を行えるようになっている。また、三つの楔部分１６ａ１，１６ａ２、１６ａ３が縮径、つまり互いに当接している状態ではそれら楔部分の最大径はディスク基板１とダミー部材２の中央穴４及びディスク受台２１の開口の内径よりも小さくなるように製作されている。
【００２７】
ここで、ディスク基板１の三つの楔部分１６ａの角度θは、例えば３０度であり、ディスク基板１の中央穴４の直径を考慮すると２５度から４５度の範囲が好ましい。しかし、楔部分１６ａの楔形状を図示のものに限る必要はなく、ほぼ上下対称の角度のものでも良い。
【００２８】
ターンテーブル１１が予備剥離ポジション１１ｅで停止したとき、図示していないが、縮径状態の三つの楔部分１６ａはターンテーブル１１とディスク受台２１の開口を通して上昇し、各楔部分１６ａの先端１６ａ’がディスク基板１とダミー部材２の内周面１ａ、２ａに接触することなく、図２に示すようにターンテーブル上のディスク受台２１に支承された、貼り合わされたディスク基板１とダミー部材２との間の空隙Ｘに楔部分の先端１６ａ’が位置するレベルで停止する。この状態では、ディスク受台２１に設けられた吸引通路２２を通して吸引が行われているので、ディスク基板１はディスク受台２１に吸着され、安定に位置している。
【００２９】
次に、図示されていない駆動装置により、三つの楔部分１６ａは、図４及び図５に示すように拡径動作、つまり放射外方向に動作を行い、それぞれの楔部分の先端１６ａ’がディスク基板１とダミー部材２との間の空隙Ｘに入り込み、押し広げる力を与える。この結果、図５の左側だけを拡大した図６で示すように、ディスク基板１とその反射膜１ｂとの境界の接着強度、接着層３とディスク基板１の反射膜１ｂとの界面の接着強度、接着層３と反射膜２ｂとの境界の接着強度のいずれよりも接着強度の小さいダミー部材２と反射膜２ｂとの界面の内周部分で剥がれＹが生じる。
【００３０】
ここで大切なことは、拡径状態の三つの楔部分１６ａの円弧状外周がほぼ仮想の同一円周上に存在する点である。これにより、三つの楔部分１６ａがディスク基板１とダミー部材２との間の空隙Ｘに内周に沿ってほぼ均一な力を与えることができ、ディスク基板１の一部分だけに外力が集中したり、外力が強くなることがないので、ディスク基板１とダミー部材２との間でその内周に沿ってほぼ均一な剥がれが生ずる。このことは、ディスク基板１に悪影響を与えずに済み、かつ次に説明するディスク基板１とダミー部材２との完全な引き剥がしを容易なものにする。
【００３１】
次に、前述のように機械的に予備引き剥がしされたディスク基板１とダミー部材２は、図７に示すような装置により完全に引き剥がされる。断面図である。この引き剥がし装置２５は、大別して、ディスク基板１とダミー部材２を載せるヘッド２６とヘッドピン２７とから構成される。ヘッド２６は、いわゆるレコード用のターンテーブルに似た円盤状の上面構造を有する金属性の円筒型物体であり、中央上部に加圧チャンバ２６Ａが設けられている。この加圧チャンバ２６Ａに接続されて空気圧を与えるための空気通路として作用するインレット２６Ｂを設ける。ヘッド２６の上面には、加圧チャンバ２６Ａを囲む環状のリム２６Ｃがあり、このリム２６Ｃの外円周は、ディスク基板１の中心穴４が内接する。そして、リム２６Ｃの外周には環状の逃げ溝２６Ｄが設けられる。逃げ溝２６Ｄのさらに外側の円盤部には、例えば前記中心穴と同心円状の４５°間隔の位置に吸着穴２６Ｅが垂直に貫通している。このヘッド２６の底部は、真空チャンバ２８を形成しながら、相互の嵌合部２９において図示しないボルトにて締め付けられて、ベースブロック３０と気密嵌合している。
【００３２】
ヘッドピン２７は、金属性のコマ状の物体で、直径がディスク基板１とダミー部材２の中央穴４の径よりも若干だけ小さい頭部２７Ａと，頭部２７Ａを軸承する軸部２７Ｂと、軸部２７Ｂをヘッド２６の加圧チャンバ２６Ａの底部に、図示しないネジ部により固定する固定部２７Ｃとからなる。軸部２７Ｂは、ディスク基板１とダミー部材２の中央穴４の径よりも小さな直径の円柱状で、ヘッド２６の垂直内壁との間に加圧チャンバ２６Ａを形成する。
【００３３】
また、頭部２７Ａは、ディスク基板１とダミー部材２の中央穴４の内周壁に対して、滑動できる寸法とする。したがって、ヘッドピン２７の上方からディスク基板１とダミー部材２の中央穴４を通してヘッド２６の上に載置することができ、このとき頭部２７Ａがガイドとして役割をするとともに、ダミー部材２の中心穴の縁が頭部２７Ａと接しているため、加圧チャンバ２６Ａはほぼ気密室を構成する。
【００３４】
このように構成された引き剥がし装置２５を用いてダミー部材２を引き剥がすに当たり、先ずベースブロック３０に形成された気流通路３０Ａから図示しない真空源によって真空引きして、これに接続された真空チャンバ２８を真空引きすることにより、ディスク基板１とダミー部材２は各吸着穴２６Ｅにより吸引され、ヘッド２６の上面に吸着固定される。
【００３５】
しかる後、図示しない圧縮空気源からインレット２６Ｂを通して、例えば５ｋｇ／平方センチメートルの空気圧が印加されると、この圧縮空気は矢印の経路を通って加圧チャンバ２６Ａの中に供給される。図７からも分かるように、ディスク基板１とダミー部材２の中心穴４側には、その中心穴から所定寸法だけ情報記録層及び接着層が形成されていないために、双方のディスク間に空間が存在し、加圧チャンバ２６Ａからの圧縮空気はその空間に入ってディスク基板１とダミー部材２との間を中心穴側から拡げるように作用する。
【００３６】
そして、前述したように機械的な予備剥離により、ディスク基板１とダミー部材２の中心穴４側の間隙Ｙは、既にダミー部材２そのものの面と反射膜２ｂとの界面の内周部分で部分的に剥がれているから、このような圧縮空気の押し拡げる力によりダミー部材２は反射膜２ｂから容易に剥がれる。この界面剥離は、まず加圧チャンバ２６Ａの接する付近の剥離している界面から剥離して、順次ほぼ同心円状に放射外方向に急速に広がる。この剥離は空気圧により行われるため、界面の反射膜２ｂに損傷を与える可能性は、極めて小さい。
【００３７】
しかる後、図示していない駆動機構によりベースブロック３０及びヘッド２６が降下し、その降下過程でディスク基板１とダミー部材２をターンテーブル１１上に載置する。そして、引き剥がされたダミー部材２はリサイクルボックス１８に排出され、反射膜１ｂと接着剤３の表面に残された反射膜２ｂを有するディスク基板１がターンテーブル１１上に残され、次の除電・クリーニングポジション１１ｇに送られる。
【００３８】
なお、図示しないが，このように形成された２枚のディスク基板１を接着剤により反射膜２ｂ同士が向き合うように貼り合わすことにより，ＤＶＤ−１８型光ディスクを得ることができる。
【００３９】
次に本発明の別の実施例について説明する。この実施例は前記実施例における機械的な予備剥離と流体による剥離を同一ポジションで行い、機械的な力による部分剥離によってディスク基板１とダミー部材２の中央開口周辺を機械的な力で拡げた状態で圧搾気体をディスク基板１とダミー部材２との間に吹き込んでダミー部材２をその反射膜から引き剥がすものである。
【００４０】
図８によりこの実施例について説明する。この実施例は図５と図６に示したような機械的な部分剥離機構１６’に加えて、その機械的な部分剥離機構１６’を加圧空間Ｓ内に選択的に保持できるブローヘッド３１を備えている。ブローヘッド３１は図示していない圧搾空気供給源に接続される圧搾空気供給路３１ａ、通常の吸着パッド３１ｂ、吸着パッド３１ｂにダミー部材２を吸着させるための吸引通路３１ｃ、及び機械的部分剥離機構１６’が納まり、拡縮径動作ができるような空間Ｓを形成するために断面台形状の凹所を有している。圧搾空気供給路３１ａは図示されていないノズルに結合されている。
【００４１】
そのノズルは、機械的部分剥離機構１６’の３個の楔部１６’ａが図４に示したように拡径状態にあるとき、３個の各楔部１６’ａ間の間隙に入る三つの方向に向いた小径のノズル先端部を有する。その等間隔に三つの方向に向いたノズル先端部は圧搾空気を直接ディスク基板１とダミー部材２との間に吹き込めるレベルにある。そして、ブローヘッド３１は図示していないスプリングコイル、空気シリンダのような弾性装置を介して図示していない駆動機構に結合され、その駆動機構の働きによって上下動できるようになっている。
【００４２】
前に述べたように、機械的な部分剥離機構１６’の３個の楔部１６’ａとその支柱部分１６’ｂはディスク受台２１の中央穴の中で拡縮径動作を行うので、圧搾空気がディスク受台２１の下部などから逃げないようにする必要がある。したがって、この実施例では鎖線で示すように部分剥離機構１６’を拡径動作させるエアシリンダのような駆動機構３２を、上方を除いて閉じられたディスク受台２１の下部１６’ｃの内部に収納している。そして、駆動機構３２を駆動するためのエア供給管が下部１６’ｃの側壁に設けられたパッキング（図示せず）を通して外部に導出される。
【００４３】
次に引き剥がし動作について説明する。先ず前に述べたように、駆動機構３２により機械的部分剥離機構１６’を動作させ、３個の楔部１６’ａを拡径させてディスク基板１とダミー部材２との間にそれら先端を割り込ませて内側を部分的に剥離する。一方、部分剥離機構１６’が動作してその楔部１６’ａが拡径した後にブローヘッド３１をダミー部材２の上面に当接させて図示しない前記ノズル及びそのノズル先端部を楔部１６’ａ間に入れる。この状態で吸引通路３１ｃから吸引を行うことにより吸着パッド３１ｂがダミー部材２を吸着する。次に圧搾空気が圧搾空気供給路３１ａから供給され、ノズル先端部から圧搾空気がディスク基板１とダミー部材２との間に吹きつけられる。ここでブローヘッド３１がダミー部材２に与える加圧力は、圧搾空気の圧力よりも小さなものであり、前記弾性装置の弾性力はこのように設定されている。
【００４４】
前記圧搾空気は、機械的部分剥離機構１６’の複数の楔部１６’ａの拡径動作によりディスク基板１とダミー部材２との間の剥離された空間に入り込み、ブローヘッド３１とそれに吸着されているダミー部材２を押し上げながらダミー部材２をその反射膜２ｂから剥離する。しかる後にブローヘッド３１はダミー部材２を吸着保持した状態で上昇し、ダミー部材２を除去する。このときブローヘッド３１の上昇による機械的な力でダミー部材２をその反射膜２ｂから剥離させないのが良い。
【００４５】
なお、この実施例において、ブローヘッド３１が図示していないスプリング又はシリンダのような弾性装置を介して図示していない駆動機構に結合されておらず、その駆動機構に直接結合されている場合には、ブローヘッド３１がダミー部材２の上面に当接した状態で圧搾空気を圧搾空気供給路３１ａに供給し、この後にブローヘッド３１を上昇させるるような向きの弱い力を与えることにより、ダミー部材２の剥離に伴い圧搾空気がダミー部材２とその反射膜２ｂ間を通ってダミー部材２を剥離する。
【００４６】
また、機械的部分剥離機構１６’の楔部１６’ａは必ずしも３分割されたものではなくても良く、４分割以上でも良い。さらに、ノズルは必ずしも必要ではなく、ノズルが無くとも空間Ｓの圧力を圧搾空気により適当に高めることでダミー部材２の剥離は可能である。さらにまた、上記実施例に限ることなく、剥離箇所はディスク基板とダミー部材間の比較的剥離し易い箇所ならばどこでも全く同様に剥離することができることは容易に理解できよう。また、ディスク基板１とダミー部材２との間が容易に剥がれ易い場合には、機械的予備剥離機構又は機械的部分剥離機構、あるいは気体圧剥離機構単独で剥離可能な場合もあることは容易に理解できよう。
【００４７】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、ＤＶＤ−１８型光ディスクなどの製作工程におけるダミー部材の引き剥がしの際に、ディスク基板の記録膜や反射膜に実質的に悪影響を与えずに自動的に引き剥がすことができ、かつ量産に適した情報ディスクの製造を実現する剥離方法及び剥離装置、並びに製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る光ディスクの予備剥離機構を含む光ディスクの製造装置を説明するための図である。
【図２】  本発明に係る光ディスクの予備剥離機構の実施の形態を説明するための一部断面図（縮径状態）である。
【図３】  本発明に係る光ディスクの予備剥離機構の実施の形態を説明するための上面図（縮径状態）である。
【図４】  本発明に係る光ディスクの予備剥離機構の実施の形態を説明するための上面図（拡径状態）である。
【図５】  本発明に係る光ディスクの予備剥離機構の実施の形態を説明するための一部断面図（拡径状態）である。
【図６】  本発明に係る光ディスクの予備剥離機構の実施の形態を説明するための一部拡大断面図（拡径状態）である。
【図７】  本発明を説明するための気体による引き剥がし機構の一部断面を示す図である。
【図８】  本発明に係る光ディスクの剥離機構の別の実施の形態を説明するための一部断面図（拡径状態）である。
【図９】  本発明の実施の形態を説明するための光ディスクを示す図である。
【符号の説明】
１・・・ディスク基板                  ２・・・ダミー部材
３・・・接着剤                        ４・・・デイスクの中央穴
１０・・・貼り合わせ装置              １１・・・ターンテーブル
１２・・・ディスク移載機構            １３・・・接着剤除去機構
１４・・・除電・クリーニング機構      １５・・・反転機構
１６・・・機械的予備剥離機構          １６’・・機械的部分剥離機構
１６ａ・・楔部分                      １６ｂ・・支柱部分
１７・・・気体圧剥離機構              １８・・・リサイクルボックス
１９・・・除電・クリーニング機構      ２０・・・接着剤処理機構
２１・・・ディスク受台                ２２・・・吸引通路
２５・・・引き剥がし装置              ２６・・・ヘッド
２６Ａ・・加圧チャンバ２６Ａ          ２６Ｂ・・インレット
２６Ｃ・・リム                        ２６Ｄ・・逃げ溝
２６Ｅ・・吸着穴
２７・・・ヘッドピン                  ２８・・・真空チャンバ
２９・・・嵌合部                      ３０・・・ベースブロック
３１・・・ブローヘッド                ３２・・・機構１６’の駆動装置
３１ａ・・圧搾空気供給路              ３１ｂ・・吸着パッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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