(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線板のパターンを検査するパターン検査装置であって、
プリント配線板を撮像し、プリント配線板の画像を多値画像データとして出力する撮像手段と、
前記撮像手段から出力された多値画像データを２値化して２値画像データを得る２値化処理手段と、
前記２値化処理手段により得られた２値画像データに基づいてプリント配線板のパターンの良否を判定する判定手段とを備え、
前記２値化処理手段は、
前記多値画像データを所定のしきい値で２値化して２値データを得る第１の２値化手段と、
前記多値画像データを所定のしきい値よりも高いしきい値で２値化して２値データを得る第２の２値化手段と、
前記第２の２値化手段により得られた２値データに基づいて前記第１の２値化手段により得られた２値データにおいてパターン部外の裏写り部分を除去する除去手段とを備え、
前記除去手段は、
前記第２の２値化手段により得られた２値データに膨張処理を行う膨張処理手段と、
前記膨張処理手段により得られた２値データに収縮処理を行う収縮処理手段と、
前記収縮処理手段により得られた２値データのパターン部内の領域において前記第１の２値化手段により得られた２値データを選択するとともに前記収縮処理手段により得られた２値データのパターン部外の領域において前記第２の２値化手段により得られた２値データを選択することにより２値データを得る論理処理手段とを含むことを特徴とするパターン検査装置。
【請求項２】
前記除去手段の機能を任意のタイミングで有効または無効にする除去機能制御手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１記載のパターン検査装置。
【請求項３】
プリント配線板のパターンを検査するパターン検査方法であって、
プリント配線板を撮像し、プリント配線板の画像を多値画像データとして出力する工程と、
出力された多値画像データを２値化して２値画像データを得る工程と、
得られた２値画像データに基づいてプリント配線板のパターンの良否を判定する工程とを備え、
前記２値画像データを得る工程は、
前記多値画像データを所定のしきい値で２値化して第１の２値データを得る工程と、
前記多値画像データを所定のしきい値よりも高いしきい値で２値化して第２の２値データを得る工程と、
前記第２の２値データに基づいて前記第１の２値データにおいてパターン部外の裏写り部分を除去する工程とを備え、
前記除去する工程は、
前記第２の２値データに膨張処理を行う工程と、
前記膨張処理により得られた２値データに収縮処理を行う工程と、
前記収縮処理により得られた２値データのパターン部内の領域において前記第１の２値データを選択するとともに前記収縮処理により得られた２値データのパターン部外の領域において前記第２の２値データを選択することにより２値データを得る工程とを含むことを特徴とするパターン検査装置。
【請求項４】
多値画像データを２値化して２値画像データを得る２値化処理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、
前記２値化処理プログラムは、
前記多値画像データを所定のしきい値で２値化して第１の２値データを得る処理と、
前記多値画像データを所定のしきい値よりも高いしきい値で２値化して第２の２値データを得る処理と、
前記第２の２値データに基づいて前記第１の２値データにおいてパターン部外の裏写り部分を除去する処理とを、コンピュータに実行させ、
前記除去する処理は、
前記第２の２値データに膨張を行う処理と、
前記膨張により得られた２値データに収縮を行う処理と、
前記収縮により得られた２値データのパターン部内の領域において前記第１の２値データを選択するとともに前記収縮により得られた２値データのパターン部外の領域において前記第２の２値データを選択することにより２値データを得る処理とを含むことを特徴とする２値化処理プログラムを記録した記録媒体。
【請求項５】
プリント配線板のパターンを検査するパターン検査装置であって、
プリント配線板を撮像し、プリント配線板の画像を多値画像データとして出力する撮像手段と、
前記撮像手段から出力された多値画像データを２値化して２値画像データを得る２値化処理手段と、
前記２値化処理手段により得られた２値画像データに基づいてプリント配線板のパターンの良否を判定する判定手段とを備え、
前記２値化処理手段は、
前記多値画像データを所定のしきい値で２値化して２値データを得る第１の２値化手段と、
前記多値画像データを所定のしきい値よりも高いしきい値で２値化して２値データを得る第２の２値化手段と、
前記第２の２値化手段により得られた２値データに基づいて前記第１の２値化手段により得られた２値データにおいてパターン部外の裏写り部分を除去する除去手段と、
前記除去手段により得られた２値データに基づいて前記パターン部内の抜け部分に対応する穴埋め用パターンを作成する穴埋め用パターン作成手段と、
前記穴埋め用パターン作成手段により作成された穴埋め用パターンを用いて前記除去手段により得られた２値データにおいて前記抜け部分を埋める穴埋め手段とを備え、
前記除去手段は、
前記第２の２値化手段により得られた２値データに膨張処理を行う第１の膨張処理手段と、
前記第１の膨張処理手段により得られた２値データに収縮処理を行う第１の収縮処理手段と、
前記第１の収縮処理手段により得られた２値データのパターン部内の領域において前記第１の２値化手段により得られた２値データを選択するとともに前記第１の収縮処理手段により得られた２値データのパターン部外の領域において前記第２の２値化手段により得られた２値データを選択することにより２値データを得る第１の論理処理手段とを含み、
前記穴埋め用パターン作成手段は、
前記第１の論理処理手段により得られた２値データに膨張処理を行う第２の膨張処理手段と、
前記第２の膨張処理手段により得られた２値データに収縮処理を行う第２の収縮処理手段と、
前記第１の論理処理手段により得られた２値データを反転させる反転手段と、
前記第２の収縮処理手段により得られた２値データのパターン部内の領域において前記反転手段により得られた２値データを選択することにより前記穴埋め用パターンを作成する第２の論理処理手段とを含むことを特徴とするパターン検査装置。
【請求項６】
前記除去手段の機能を任意のタイミングで有効または無効にする除去機能制御手段をさらに備えたことを特徴とする請求項５記載のパターン検査装置。
【請求項７】
前記穴埋め手段の機能を任意のタイミングで有効または無効にする穴埋め機能制御手段をさらに備えたことを特徴とする請求項５または６記載のパターン検査装置。
【請求項８】
プリント配線板のパターンを検査するパターン検査方法であって、
プリント配線板を撮像し、プリント配線板の画像を多値画像データとして出力する工程と、
出力された多値画像データを２値化して２値画像データを得る工程と、
得られた２値画像データに基づいてプリント配線板のパターンの良否を判定する工程とを備え、
前記２値画像データを得る工程は、
前記多値画像データを所定のしきい値で２値化して第１の２値データを得る工程と、
前記多値画像データを所定のしきい値よりも高いしきい値で２値化して第２の２値データを得る工程と、
前記第２の２値データに基づいて前記第１の２値データにおいてパターン部外の裏写り部分を除去して第３の２値データを得る工程と、
前記第３の２値データに基づいて前記パターン部内の抜け部分に対応する穴埋め用パターンを作成する工程と、
前記穴埋め用パターンを用いて前記第３の２値データにおいて前記抜け部分を埋める工程とを備え、
前記裏写りパターンを除去して第３の２値データを得る工程は、
前記第２の２値データに膨張処理を行う工程と、
前記膨張処理により得られた２値データに第１の収縮処理を行う工程と、
前記第１の収縮処理により得られた２値データのパターン部内の領域において前記第１の２値データを選択するとともに前記第１の収縮処理により得られた２値データのパターン部外の領域において前記第２の２値データを選択することにより２値データを得る工程とを含み、
前記穴埋め用パターンを作成する工程は、
前記第２の２値データを選択することにより得られた２値データに第２の膨張処理を行う工程と、
前記第２の膨張処理により得られた２値データに第２の収縮処理を行う工程と、
前記第２の２値データを選択することにより得られた２値データを反転させる工程と、
前記第２の収縮処理により得られた２値データのパターン部内の領域において前記反転により得られた２値データを選択することにより前記穴埋め用パターンを作成する工程とを含むことを備えたことを特徴とするパターン検査方法。
【請求項９】
多値画像データを２値化して２値画像データを得る２値化処理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、
前記２値化処理プログラムは、
前記多値画像データを所定のしきい値で２値化して第１の２値データを得る処理と、
前記多値画像データを所定のしきい値よりも高いしきい値で２値化して第２の２値データを得る処理と、
前記第２の２値データに基づいて前記第１の２値データにおいてパターン部外の裏写り部分を除去して第３の２値データを得る処理と、
前記第３の２値データに基づいて前記パターン部内の抜け部分に対応する穴埋め用パターンを作成する処理と、
前記穴埋め用パターンを用いて前記第３の２値データにおいて前記抜け部分を埋める処理とを、コンピュータに実行させ、
前記裏写りパターンを除去して第３の２値データを得る処理は、
前記第２の２値データに膨張を行う処理と、
前記膨張により得られた２値データに第１の収縮を行う処理と、
前記第１の収縮により得られた２値データのパターン部内の領域において前記第１の２値データを選択するとともに前記第１の収縮により得られた２値データのパターン部外の領域において前記第２の２値データを選択することにより２値データを得る処理とを含み、
前記穴埋め用パターンを作成する処理は、
前記第２の２値データを選択することにより得られた２値データに第２の膨張を行う処理と、
前記第２の膨張により得られた２値データに第２の収縮を行う処理と、
前記第２の２値データを選択することにより得られた２値データを反転させる処理と、
前記第２の収縮により得られた２値データのパターン部内の領域において前記反転により得られた２値データを選択することにより前記穴埋め用パターンを作成する処理とを含むことを特徴とする２値化処理プログラムを記録した記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント配線板のパターン検査装置、パターン検査方法および２値化処理プログラムを記録した記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子回路の高密度化および低コスト化を図るために、ビルドアップ配線板と呼ばれる多層構造のプリント配線板が用いられる。このビルドアップ配線板の製造方法の１つとしてフォトビアプロセスが開発されている。フォトビアプロセスは、感光性樹脂を用いて層間絶縁膜と層間の導通ビアホールとを同時に形成する技術である。
【０００３】
フォトビアプロセスでは、両面板または積層板をベース基板として用いる。このベース基板に感光性樹脂を塗布して感光性樹脂層を形成し、この感光性樹脂層を露光および現像してビアホール（ビア孔）を形成する。次に、銅メッキおよび配線パターンの形成により上層の配線パターンと下層の配線パターンとを層間接続する。この層間接続のための導通部分はフォトビアと呼ばれる。すなわち、フォトビアとは、ビルドアップ配線板において絶縁層を介した配線パターン間を接続するビアのうちフォトリソグラフィ工程または類似の工程で形成されるビアをいう。
【０００４】
図１５はフォトビアの斜視図、図１６は図１５のフォトビアが形成されたプリント配線板の断面図である。
【０００５】
図１５に示すように、フォトビア２００の中央部は円形の凹部となっており、その周囲が環状のランド２０１で取り囲まれている。図１６に示すように、ベース基板１００上に感光性樹脂層１０１が形成され、ベース基板１００と感光性樹脂層１０１との間に下層の配線パターン１０２，１０３が形成されている。感光性樹脂層１０１にフォトビア２００が形成され、このフォトビア２００を通して上層の配線パターン１０４と下層の配線パターン１０２とが接続される。
【０００６】
プリント配線板の配線パターンに欠陥が有るか否かを検査する方法として、画像処理を用いた方法がある。画像処理によるパターン検査方法では、プリント配線板を撮像し、得られた多値画像を所定のしきい値で２値化することにより２値画像に変換する。この２値画像を検査パターンとして予め用意されたマスタパターンと比較することにより、プリント配線板の配線パターンの欠陥の有無を検出することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
図１７は図１５のフォトビア２００の画像におけるＸ−Ｘ線断面の輝度分布を示す図である。図１７に示すように、フォトビア２００の画像では、フォトビア２００のエッジ部で輝度が落ち込む。また、感光性樹脂層１０１の裏面に配線パターン１０３が存在する箇所では、裏面の配線パターン１０３での光の反射により輝度の浮き上がりが生じる。
【０００８】
これらの結果、多値画像を所定のしきい値ＴＨで２値化することにより得られた２値画像では、フォトビア２００のエッジ部での円弧状のパターン抜けや、裏面の配線パターン１０３による裏写りやが生じる。このようなパターン抜けや裏写りにより誤った検査結果が得られることがある。
【０００９】
本発明の目的は、プリント配線板のパターンを正確に検査することができるパターン検査装置、パターン検査方法および２値化処理プログラムを記録した記録媒体を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
（１）第１の発明
第１の発明に係るパターン検査装置は、プリント配線板のパターンを検査するパターン検査装置であって、プリント配線板を撮像し、プリント配線板の画像を多値画像データとして出力する撮像手段と、撮像手段から出力された多値画像データを２値化して２値画像データを得る２値化処理手段と、２値化処理手段により得られた２値画像データに基づいてプリント配線板のパターンの良否を判定する判定手段とを備え、２値化処理手段は、多値画像データを所定のしきい値で２値化して２値データを得る第１の２値化手段と、多値画像データを所定のしきい値よりも高いしきい値で２値化して２値データを得る第２の２値化手段と、第２の２値化手段により得られた２値データに基づいて第１の２値化手段により得られた２値データにおいてパターン部外の裏写り部分を除去する除去手段とを備え、除去手段は、第２の２値化手段により得られた２値データに膨張処理を行う膨張処理手段と、膨張処理手段により得られた２値データに収縮処理を行う収縮処理手段と、収縮処理手段により得られた２値データのパターン部内の領域において第１の２値化手段により得られた２値データを選択するとともに収縮処理手段により得られた２値データのパターン部外の領域において第２の２値化手段により得られた２値データを選択することにより２値データを得る論理処理手段とを含むものである。
【００１１】
本発明に係るパターン検査装置においては、撮像手段によりプリント配線板が撮像され、プリント配線板の画像が多値画像データとして出力される。撮像手段から出力された多値画像データは、２値化処理手段により２値化され、２値画像データが得られる。２値化処理手段により得られた２値画像データに基づいて判定手段によりプリント配線板のパターンの良否が判定される。
【００１２】
２値化処理手段においては、第１の２値化手段により多値画像データが所定のしきい値で２値化され、２値データが得られる。また、第２の２値化手段により多値画像データが所定のしきい値よりも高いしきい値で２値化され、２値データが得られる。
【００１３】
そして、第２の２値化手段により得られた２値データに基づいて第１の２値化手段により得られた２値データにおいてパターン部外の裏写り部分が除去手段によって除去される。
【００１４】
この場合、除去手段においては、第２の２値化手段により得られた２値データに膨張処理手段によって膨張処理が行われ、膨張処理手段により得られた２値データに収縮処理手段によって収縮処理が行われる。これにより、高いしきい値で２値化された２値データにおいてパターン部内の抜け部分が除去される。この２値データにおいては、高いしきい値で２値化されているので、裏写り部分も現れていない。
【００１５】
そして、収縮処理手段により得られた２値データのパターン部内の領域において第１の２値化手段により得られた２値データが選択されるとともに収縮処理手段により得られた２値データのパターン部外の領域において第２の２値化手段により得られた２値データが選択されることにより、論理処理手段によって２値データが得られる。この２値データにおいては、パターン部外の裏写り部分が現れていない。
【００１６】
このようにして、パターン部外の裏写り部分が除去された２値画像データが得られる。したがって、プリント配線板のパターンを正確に検査することができる。
【００１７】
（２）第２の発明
第２の発明に係るパターン検査装置は、第１の発明に係るパターン検査装置の構成において、除去手段の機能を任意のタイミングで有効または無効にする除去機能制御手段をさらに備えたものである。
【００１８】
この場合、多値画像データの所望の箇所で裏写り部分の除去機能を働かせることができる。それにより、プリント配線板のパターンをさらに正確に検査することが可能となる。
【００１９】
（３）第３の発明
第３の発明に係るパターン検査方法は、プリント配線板のパターンを検査するパターン検査方法であって、プリント配線板を撮像し、プリント配線板の画像を多値画像データとして出力する工程と、出力された多値画像データを２値化して２値画像データを得る工程と、得られた２値画像データに基づいてプリント配線板のパターンの良否を判定する工程とを備え、２値画像データを得る工程は、多値画像データを所定のしきい値で２値化して第１の２値データを得る工程と、多値画像データを所定のしきい値よりも高いしきい値で２値化して第２の２値データを得る工程と、第２の２値データに基づいて第１の２値データにおいてパターン部外の裏写り部分を除去する工程とを備え、除去する工程は、第２の２値データに膨張処理を行う工程と、膨張処理により得られた２値データに収縮処理を行う工程と、収縮処理により得られた２値データのパターン部内の領域において第１の２値データを選択するとともに収縮処理により得られた２値データのパターン部外の領域において第２の２値データを選択することにより２値データを得る工程とを含むものである。
【００２０】
本発明に係るパターン検査方法においては、プリント配線板が撮像され、プリント配線板の画像が多値画像データとして出力される。出力された多値画像データは２値化され、２値画像データが得られる。２値画像データに基づいてプリント配線板のパターンの良否が判定される。
【００２１】
２値画像データを得る工程では、多値画像データが所定のしきい値で２値化され、第１の２値データが得られる。また、多値画像データが所定のしきい値よりも高いしきい値で２値化され、第２の２値データが得られる。そして、第２の２値データに基づいて第１の２値データにおいてパターン部外の裏写り部分が除去される。
【００２２】
この場合、除去する工程においては、第２の２値データに膨張処理が行われ、膨張処理により得られた２値データに収縮処理が行われる。これにより、高いしきい値で２値化された２値データにおいてパターン部内の抜け部分が除去される。この２値データにおいては、高いしきい値で２値化されているので、裏写り部分も現れていない。
【００２３】
そして、収縮処理により得られた２値データのパターン部内の領域において第１の２値データが選択されるとともに収縮処理により得られた２値データのパターン部外の領域において第２の２値データが選択されることにより、２値データが得られる。この２値データにおいては、パターン部外の裏写り部分が現れていない。
【００２４】
このようにして、パターン部外の裏写り部分が除去された２値画像データが得られる。したがって、プリント配線板のパターンを正確に検査することができる。
【００２５】
（４）第４の発明
第４の発明に係る記録媒体に記録した２値化処理プログラムは、多値画像データを２値化して２値画像データを得る２値化処理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、２値化処理プログラムは、多値画像データを所定のしきい値で２値化して第１の２値データを得る処理と、多値画像データを所定のしきい値よりも高いしきい値で２値化して第２の２値データを得る処理と、第２の２値データに基づいて第１の２値データにおいてパターン部外の裏写り部分を除去する処理とを、コンピュータに実行させ、除去する処理は、第２の２値データに膨張を行う処理と、膨張により得られた２値データに収縮を行う処理と、収縮により得られた２値データのパターン部内の領域において第１の２値データを選択するとともに収縮により得られた２値データのパターン部外の領域において第２の２値データを選択することにより２値データを得る処理とを含むものである。
【００２６】
本発明に係る記録媒体に記録された２値化処理プログラムをコンピュータで実行すると、多値画像データが所定のしきい値で２値化され、第１の２値データが得られる。また、多値画像データが所定のしきい値よりも高いしきい値で２値化され、第２の２値データが得られる。そして、第２の２値データに基づいて第１の２値データにおいてパターン部外の裏写り部分が除去される。
【００２７】
この場合、除去する処理においては、第２の２値データに膨張処理が行われ、膨張処理により得られた２値データに収縮処理が行われる。これにより、高いしきい値で２値化された２値データにおいてパターン部内の抜け部分が除去される。この２値データにおいては、高いしきい値で２値化されているので、裏写り部分も現れていない。
【００２８】
そして、収縮処理により得られた２値データのパターン部内の領域において第１の２値データが選択されるとともに収縮処理により得られた２値データのパターン部外の領域において第２の２値データが選択されることにより、２値データが得られる。この２値データにおいては、パターン部外の裏写り部分が現れていない。
【００２９】
このようにして、パターン部外の裏写り部分が除去された２値画像データが得られる。
【００３０】
（５）第５の発明
第５の発明に係るパターン検査装置は、プリント配線板のパターンを検査するパターン検査装置であって、プリント配線板を撮像し、プリント配線板の画像を多値画像データとして出力する撮像手段と、撮像手段から出力された多値画像データを２値化して２値画像データを得る２値化処理手段と、２値化処理手段により得られた２値画像データに基づいてプリント配線板のパターンの良否を判定する判定手段とを備え、２値化処理手段は、多値画像データを所定のしきい値で２値化して２値データを得る第１の２値化手段と、多値画像データを所定のしきい値よりも高いしきい値で２値化して２値データを得る第２の２値化手段と、第２の２値化手段により得られた２値データに基づいて第１の２値化手段により得られた２値データにおいてパターン部外の裏写り部分を除去する除去手段と、除去手段により得られた２値データに基づいてパターン部内の抜け部分に対応する穴埋め用パターンを作成する穴埋め用パターン作成手段と、穴埋め用パターン作成手段により作成された穴埋め用パターンを用いて除去手段により得られた２値データにおいて抜け部分を埋める穴埋め手段とを備え、除去手段は、第２の２値化手段により得られた２値データに膨張処理を行う第１の膨張処理手段と、第１の膨張処理手段により得られた２値データに収縮処理を行う第１の収縮処理手段と、第１の収縮処理手段により得られた２値データのパターン部内の領域において第１の２値化手段により得られた２値データを選択するとともに第１の収縮処理手段により得られた２値データのパターン部外の領域において第２の２値化手段により得られた２値データを選択することにより２値データを得る第１の論理処理手段とを含み、穴埋め用パターン作成手段は、第１の論理処理手段により得られた２値データに膨張処理を行う第２の膨張処理手段と、第２の膨張処理手段により得られた２値データに収縮処理を行う第２の収縮処理手段と、第１の論理処理手段により得られた２値データを反転させる反転手段と、第２の収縮処理手段により得られた２値データのパターン部内の領域において反転手段により得られた２値データを選択することにより穴埋め用パターンを作成する第２の論理処理手段とを含むものである。
【００３１】
本発明に係るパターン検査装置においては、撮像手段によりプリント配線板が撮像され、プリント配線板の画像が多値画像データとして出力される。撮像手段から出力された多値画像データは、２値化処理手段により２値化され、２値画像データが得られる。２値化処理手段により得られた２値画像データに基づいて判定手段によりプリント配線板のパターンの良否が判定される。
【００３２】
２値化処理手段においては、第１の２値化手段により多値画像データが所定のしきい値で２値化され、２値データが得られる。また、第２の２値化手段により多値画像データが所定のしきい値よりも高いしきい値で２値化され、２値データが得られる。
【００３３】
そして、第２の２値化手段により得られた２値データに基づいて第１の２値化手段により得られた２値データにおいてパターン部外の裏写り部分が除去手段によって除去される。さらに、除去手段により得られた２値データに基づいてパターン部内の抜け部分に対応する穴埋め用パターンが穴埋め用パターン作成手段によって作成される。穴埋め用パターン作成手段により作成された穴埋め用パターンを用いて除去手段により得られた２値データにおいて抜け部分が穴埋め手段によって埋められる。
【００３４】
この場合、除去手段においては、第２の２値化手段により得られた２値データに第１の膨張処理手段によって膨張処理が行われ、第１の膨張処理手段により得られた２値データに第１の収縮処理手段によって収縮処理が行われる。これにより、高いしきい値で２値化された２値データにおいてパターン部内の抜け部分が除去される。この２値データにおいては、高いしきい値で２値化されているので、裏写り部分も現れていない。
【００３５】
そして、第１の収縮処理手段により得られた２値データのパターン部内の領域において第１の２値化手段により得られた２値データが選択されるとともに第１の収縮処理手段により得られた２値データのパターン部外の領域において第２の２値化手段により得られた２値データが選択されることにより、第１の論理処理手段によって２値データが得られる。この２値データにおいては、パターン部外の裏写り部分は現れず、パターン部内の抜け部分が現れている。
【００３６】
また、穴埋め用パターン作成手段においては、第１の論理処理手段により得られた２値データに第２の膨張処理手段によって膨張処理が行われ、第２の膨張処理手段により得られた２値データに第２の収縮処理手段によって収縮処理が行われる。得られた２値データにおいては、パターン部外の裏写り部分は現れず、パターン部内の抜け部分が除去されている。
【００３７】
そして、第１の論理処理手段により得られた２値データが反転手段によって反転され、第２の収縮処理手段により得られた２値データのパターン部内の領域において反転手段により得られた２値データが選択されることにより、第２の論理処理手段によって穴埋め用パターンが作成される。この穴埋め用パターンは、パターン部内の抜け部分に対応する。
【００３８】
このようにして、パターン部外の裏写り部分が除去されるとともにパターン部内の抜け部分が埋め込まれた２値画像データが得られる。したがって、プリント配線板のパターンを正確に検査することができる。
【００３９】
（６）第６の発明
第６の発明に係るパターン検査装置は、第５の発明に係るパターン検査装置の構成において、除去手段の機能を任意のタイミングで有効または無効にする除去機能制御手段をさらに備えたものである。
【００４０】
この場合、多値画像データの所望の箇所で裏写り部分の除去機能を働かせることができる。それにより、プリント配線板のパターンをさらに正確に検査することが可能となる。
【００４１】
（７）第７の発明
第７の発明に係るパターン検査装置は、第５または第６の発明に係るパターン検査装置の構成において、穴埋め手段の機能を任意のタイミングで有効または無効にする穴埋め機能制御手段をさらに備えたものである。
【００４２】
この場合、多値画像データの所望の箇所で抜け部分を埋めることができる。それにより、プリント配線板のパターンをさらに正確に検査することが可能となる。
【００４３】
（８）第８の発明
第８の発明に係るパターン検査方法は、プリント配線板のパターンを検査するパターン検査方法であって、プリント配線板を撮像し、プリント配線板の画像を多値画像データとして出力する工程と、出力された多値画像データを２値化して２値画像データを得る工程と、得られた２値画像データに基づいてプリント配線板のパターンの良否を判定する工程とを備え、２値画像データを得る工程は、多値画像データを所定のしきい値で２値化して第１の２値データを得る工程と、多値画像データを所定のしきい値よりも高いしきい値で２値化して第２の２値データを得る工程と、第２の２値データに基づいて第１の２値データにおいてパターン部外の裏写り部分を除去して第３の２値データを得る工程と、第３の２値データに基づいてパターン部内の抜け部分に対応する穴埋め用パターンを作成する工程と、穴埋め用パターンを用いて第３の２値データにおいて抜け部分を埋める工程とを備え、裏写りパターンを除去して第３の２値データを得る工程は、第２の２値データに膨張処理を行う工程と、膨張処理により得られた２値データに第１の収縮処理を行う工程と、第１の収縮処理により得られた２値データのパターン部内の領域において第１の２値データを選択するとともに第１の収縮処理により得られた２値データのパターン部外の領域において第２の２値データを選択することにより２値データを得る工程とを含み、穴埋め用パターンを作成する工程は、第２の２値データを選択することにより得られた２値データに第２の膨張処理を行う工程と、第２の膨張処理により得られた２値データに第２の収縮処理を行う工程と、第２の２値データを選択することにより得られた２値データを反転させる工程と、第２の収縮処理により得られた２値データのパターン部内の領域において反転により得られた２値データを選択することにより穴埋め用パターンを作成する工程とを含むものである。
【００４４】
本発明に係るパターン検査方法においては、プリント配線板が撮像され、プリント配線板の画像が多値画像データとして出力される。出力された多値画像データは２値化され、２値画像データが得られる。２値画像データに基づいてプリント配線板のパターンの良否が判定される。
【００４５】
２値画像データを得る工程では、多値画像データが所定のしきい値で２値化され、第１の２値データが得られる。また、多値画像データが所定のしきい値よりも高いしきい値で２値化され、第２の２値データが得られる。
【００４６】
そして、第２の２値データに基づいて第１の２値データにおいてパターン部外の裏写り部分が除去され、第３の２値データが得られる。さらに、第３の２値データに基づいてパターン部内の抜け部分に対応する穴埋め用パターンが作成される。穴埋め用パターンを用いて第３の２値データにおいて抜け部分が埋められる。
【００４７】
この場合、裏写りパターンを除去して第３の２値データを得る工程においては、第２の２値データに第１の膨張処理が行われ、第１の膨張処理により得られた２値データに第１の収縮処理が行われる。これにより、高いしきい値で２値化された２値データにおいてパターン部内の抜け部分が除去される。この２値データにおいては、高いしきい値で２値化されているので、裏写り部分も現れていない。
【００４８】
そして、第１の収縮処理により得られた２値データのパターン部内の領域において第１の２値データが選択されるとともに第１の収縮処理により得られた２値データのパターン部外の領域において第２の２値データが選択されることにより、２値データが得られる。この２値データにおいては、パターン部外の裏写り部分は現れず、パターン部内の抜け部分が現れている。
【００４９】
このようにして、パターン部外の裏写り部分が除去されるとともにパターン部内の抜け部分が埋め込まれた２値画像データが得られる。したがって、プリント配線板のパターンを正確に検査することができる。
【００５０】
（９）第９の発明
第９の発明に係る記録媒体に記録した２値化処理プログラムは、多値画像データを２値化して２値画像データを得る２値化処理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、２値化処理プログラムは、多値画像データを所定のしきい値で２値化して第１の２値データを得る処理と、多値画像データを所定のしきい値よりも高いしきい値で２値化して第２の２値データを得る処理と、第２の２値データに基づいて第１の２値データにおいてパターン部外の裏写り部分を除去して第３の２値データを得る処理と、第３の２値データに基づいてパターン部内の抜け部分に対応する穴埋め用パターンを作成する処理と、穴埋め用パターンを用いて第３の２値データにおいて抜け部分を埋める処理とを、コンピュータに実行させ、裏写りパターンを除去して第３の２値データを得る処理は、第２の２値データに膨張を行う処理と、膨張により得られた２値データに第１の収縮を行う処理と、第１の収縮により得られた２値データのパターン部内の領域において第１の２値データを選択するとともに第１の収縮により得られた２値データのパターン部外の領域において第２の２値データを選択することにより２値データを得る処理とを含み、穴埋め用パターンを作成する処理は、第２の２値データを選択することにより得られた２値データに第２の膨張を行う処理と、第２の膨張により得られた２値データに第２の収縮を行う処理と、第２の２値データを選択することにより得られた２値データを反転させる処理と、第２の収縮により得られた２値データのパターン部内の領域において反転により得られた２値データを選択することにより穴埋め用パターンを作成する処理とを含むものである。
【００５１】
本発明に係る記録媒体に記録された２値化処理プログラムをコンピュータで実行すると、多値画像データが所定のしきい値で２値化され、第１の２値データが得られる。また、多値画像データが所定のしきい値よりも高いしきい値で２値化され、第２の２値データが得られる。
【００５２】
そして、第２の２値データに基づいて第１の２値データにおいてパターン部外の裏写り部分が除去され、第３の２値データが得られる。さらに、第３の２値データに基づいてパターン部内の抜け部分に対応する穴埋め用パターンが作成される。穴埋め用パターンを用いて第３の２値データにおいて抜け部分が埋められる。
【００５３】
この場合、裏写りパターンを除去して第３の２値データを得る処理においては、第２の２値データに第１の膨張処理が行われ、第１の膨張処理により得られた２値データに第１の収縮処理が行われる。これにより、高いしきい値で２値化された２値データにおいてパターン部内の抜け部分が除去される。この２値データにおいては、高いしきい値で２値化されているので、裏写り部分も現れていない。
【００５４】
そして、第１の収縮処理により得られた２値データのパターン部内の領域において第１の２値化により得られた２値データが選択されるとともに第１の収縮処理により得られた２値データのパターン部外の領域において第２の２値化により得られた２値データが選択されることにより、２値データが得られる。この２値データにおいては、パターン部外の裏写り部分は現れず、パターン部内の抜け部分が現れている。
【００５５】
このようにして、パターン部外の裏写り部分が除去されるとともにパターン部内の抜け部分が埋め込まれた２値画像データが得られる。
【００５６】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施例におけるパターン検査装置の構成を示すブロック図である。
【００５７】
図１のパターン検査装置は、撮像部１および欠陥検出部２を備える。撮像部１は、検査対象となるプリント配線板１０が載置されるステージ１１、照明部１２およびＣＣＤ（電荷結合素子）カメラ１３を備える。欠陥検出部２は、２値化処理部２０、スイッチ２１、画像メモリ２２、比較検査部２３、出力部２４および制御部２５を備える。制御部２５は、欠陥検出部２内の各部を制御する。
【００５８】
まず、撮像部２のステージ１１上に欠陥を有さないプリント配線板１０が載置される。ステージ１１上のプリント配線板１０は照明部１２により照明され、ＣＣＤカメラ１３により撮像される。ＣＣＤカメラ１３により得られた多値画像は多値画像データとして欠陥検出部２に送られる。ＣＣＤカメラ１３により得られた多値画像データは２値化処理部２０により２値画像データに変換され、スイッチ２１を介して画像メモリ２２にマスタパターンとして記憶される。あるいは、ＣＡＤ（Computer Aided Design)により作成された２値画像データからなるマスタパターンが予め画像メモリ２２に記憶される。
【００５９】
検査時には、検査対象となるプリント配線板１０が撮像部１のステージ１１上に載置され、ＣＣＤカメラ１３により撮像される。ＣＣＤカメラ１３により得られた多値画像データは２値化処理部２０により２値画像データに変換され、スイッチ２１を介して比較検査部２３に被検査パターンとして与えられる。
【００６０】
比較検査部２３は、被検査パターンを画像メモリ２２に記憶されるマスタパターンと比較し、比較結果に基づいてプリント配線板１０のパターンに欠陥があるか否かを判別し、検査結果を出力部２４に出力する。出力部２４は与えられた検査結果を表示する。
【００６１】
本実施例では、ＣＣＤカメラ１３が撮像手段に相当し、２値化処理部２０が２値化処理手段に相当し、比較検査部２３が判定手段に相当する。
【００６２】
図２は図１のパターン検査装置における２値化処理部２０の構成を示すブロック図である。
【００６３】
図２の２値化処理部２０は、２値化部３１，３２，３３、遅延部３４，３７，３８，４１、膨張処理部３５，３９、収縮処理部３６，４０、インバータ５１，５５，５９，６２，６３、ＯＲゲート５２，５４，５８，６１，６４，６６、ＮＡＮＤゲート５３、ＡＮＤゲート５６，５７，６０，６５を含む。遅延部３４，３７，３８，４１は２値データの位置合わせの機能も有する。
【００６４】
入力端子ＮＩには、図１のＣＣＤカメラ１３から出力される多値画像データＤＭが与えられる。また、出力端子ＮＯから２値画像データＤＤが出力される。多値画像データＤＭは２値化部３１，３２，３３に入力される。
【００６５】
本実施例では、２値化部３３が第１の２値化手段に相当し、２値化部３２が第２の２値化手段に相当し、膨張処理部３５、収縮処理部３６、ＯＲゲート５４，５８、ＡＮＤゲート５６，５７およびインバータ５５が除去手段に相当し、膨張処理部３９、収縮処理部４０、インバータ５９およびＡＮＤゲート６０が穴埋め用パターン作成手段に相当し、ＡＮＤゲート６５およびＯＲゲート６６が穴埋め手段に相当する。
【００６６】
また、インバータ５１、ＯＲゲート５２およびＮＡＮＤゲート５３が除去機能制御手段に相当し、インバータ６３およびＯＲゲート６４が穴埋め機能制御手段に相当する。
【００６７】
さらに、膨張処理部３５が第１の膨張処理手段に相当し、収縮処理部３６が第１の収縮処理手段に相当し、ＯＲゲート５４，５８、ＡＮＤゲート５６，５７およびインバータ５５が第１の論理処理手段に相当する。また、膨張処理部３９が第２の膨張処理手段に相当し、収縮処理部４０が第２の収縮処理手段に相当し、インバータ５９およびＡＮＤゲート６０が第２の論理処理手段に相当する。
【００６８】
本実施例の２値化処理部２０による２値化処理の基本的な概念を説明する。裏写り除去のために基準のしきい値ＴＨよりも高いしきい値ＴＨＨで多値画像を２値化する。この場合、得られた２値画像において、フォトビアのエッジ、パターン上のごみ、錆またはディッシュダウン（凹み）によりパターン抜けが起こり、ランド部と直線部との連結部分でパターン細りが生じる。
【００６９】
このようなパターン細りおよびパターン抜けは大きくないと仮定する。その場合、高いしきい値ＴＨＨでの２値化により得られた２値画像を膨張および収縮させることにより、パターン抜けやパターン細りの部分まで論理値"１"となる。
【００７０】
したがって、収縮後の２値画像の論理値"１"の部分に対応する多値画像の領域を基準のしきい値ＴＨで２値化し、収縮後の２値画像の論理値"０"の部分に対応する多値画像の領域を高いしきい値ＴＨＨで２値化することにより、裏写りの影響を除去しながらパターン部を正確に２値化することができる。
【００７１】
次に、パターン抜けを除去するために、上記のようにして得られた２値画像からパターン抜けの部分に対応する穴埋め用パターンを作成し、その穴埋め用パターンを用いてパターン抜けの部分の穴埋めを行なう。その結果、裏写りおよびパターン抜けが除去された２値画像が得られる。
【００７２】
次に、図３および図４の２値データおよび２値画像を参照しながら図２の２値化処理部２０の動作を説明する。図３において、Ｙは図１５のフォトビア２００の画像におけるＸ−Ｘ線断面の輝度分布を示し、図３のＡ〜Ｇおよび図４のＨ〜Ｋは図２の各部分の２値データを示し、図３のＡ０〜Ｇ０および図４のＨ０〜Ｋ０はそれらの２値データに対応する２値画像を示す。
【００７３】
以下の説明では、画像のパターン部の画素の論理値を"１"とし、パターン部以外の部分（以下、ベース部と呼ぶ）の画素の論理値を"０"とする。
【００７４】
まず、２値化部３３は、多値画像データＤＭを基準のしきい値ＴＨで２値化し、２値データＡを出力する。これにより、２値画像Ａ０が得られる。この２値画像Ａ０では、裏写り３０１、フォトビアのエッジのパターン抜け３０２および凹みによるパターン抜け３０３が現れている。２値化部３３から出力される２値データＡは、遅延部３７を介してＡＮＤゲート５７の一方の入力端子に与えられる。
【００７５】
一方、２値化部３２は、基準のしきい値ＴＨよりも高いしきい値ＴＨＨで多値画像データＤＭを２値化し、２値データＢを出力する。これにより、２値画像Ｂ０が得られる。この２値画像Ｂ０では、裏写り３０１は現れず、パターン抜け３０２，３０３が現れている。２値化部３２から出力された２値データＢは、遅延部３４を介してＡＮＤゲート５６の一方の入力端子に入力されるとともに膨張処理部３５に入力される。
【００７６】
膨張処理部３５は、２値データＢに所定画素数の膨張処理を行い、２値データＣを出力する。それにより、２値画像Ｂ０を膨張させた２値画像Ｃ０が得られる。多値画像データＤＭを基準のしきい値ＴＨで２値化することにより得られるパターンを破線で示す。この２値画像Ｃ０では、膨張処理によりパターン抜け３０２，３０３が埋められている。膨張処理部３５から出力される２値データＣは収縮処理部３６に与えられる。
【００７７】
収縮処理部３６は、２値データＣに膨張処理時よりも少ない画素数の収縮処理を行い、２値データＤを出力する。それにより、２値画像Ｃ０を収縮させた２値画像Ｄ０が得られる。この場合、基準のしきい値ＴＨで２値化することにより得られるパターンよりも大きめのパターンが得られる。この２値画像Ｄ０においても、パターン抜け３０２，３０３が現れていない。収縮処理部３６から出力された２値データＤはＯＲゲート５４の一方の入力端子に与えられる。
【００７８】
ＮＡＮＤゲート５３の一方の入力端子には裏写り除去有効信号ＶＢＫが与えられる。ＯＲゲート５２の一方の入力端子には裏写り除去イネーブル有効信号ＶＥＮＢＫがインバータ５１を介して与えられ、ＯＲゲート５２の他方の入力端子には裏写り除去イネーブル信号ＥＮＢＫが与えられる。ＯＲゲート５２の出力信号はＮＡＮＤゲート５３の他方の入力端子に与えられる。
【００７９】
裏写り除去有効信号ＶＢＫを有効状態"１"にすると、裏写り除去機能が有効になる。ここでは、裏写り除去有効信号ＶＢＫが有効状態"１"となっており、裏写り除去イネーブル有効信号ＶＥＮＢＫが無効状態"０"となっているものとする。これにより、ＮＡＮＤゲート５３の出力信号は"０"となっている。ＮＡＮＤゲート５３の出力信号はＯＲゲート５４の他方の入力端子に与えられる。
【００８０】
それにより、収縮処理部３６から出力される２値データＤがＯＲゲート５４を介してＡＮＤゲート５７の他方の入力端子に与えられるとともにインバータ５５を介してＡＮＤゲート５６の他方の入力端子に与えられる。
【００８１】
この場合、ＡＮＤゲート５７は、２値化部３３から出力される２値データＡと収縮処理部３６から出力される２値データＤとの論理積をとる。これにより、２値画像Ｄ０の論理値"１"のパターン部において２値化部３３からの２値データＡが出力される。本来のパターンのエッジよりも大きめの領域まで基準のしきい値ＴＨで２値化することにより、できるだけ底部までパターンとして捕らえることができる。
【００８２】
また、ＡＮＤゲート５６は、２値化部３２から出力される２値データＢと収縮処理部３６から出力される２値データＤの反転信号との論理積をとる。これにより、２値画像Ｄ０の論理値"０"のベース部において２値化部３２からの２値データＢが出力される。本来のパターンのエッジよりも少し離れたベース部の領域で高いしきい値ＴＨＨで２値化することにより、裏写りを抑制することができる。
【００８３】
ＯＲゲート５８は、ＡＮＤゲート５６の出力信号とＡＮＤゲート５７の出力信号との論理和をとり、２値データＥを出力する。これにより、２値画像Ｅ０が得られる。これらの結果、２値画像Ｄ０の論理値"１"のパターン部では基準のしきい値ＴＨで２値化された２値画像Ａ０が出力され、２値画像Ｄ０の論理値"０"のベース部では高いしきい値ＴＨＨで２値化された２値画像Ｄ０が出力される。この２値画像Ｅ０では、２値画像Ａ０の裏写り３０１が除去され、パターン抜け３０２，３０３が現れている。
【００８４】
裏写り除去有効信号ＶＢＫを無効状態"０"にすると、裏写り除去機能が無効になり、ＯＲゲート５４の出力信号は常に"１"となる。その場合、ＡＮＤゲート５６の出力信号が常に"０"となり、ＡＮＤゲート５７からは常に２値データＡが出力される。それにより、ＯＲゲート５８からは基準のしきい値ＴＨで２値化された２値データＡが出力される。
【００８５】
裏写り除去イネーブル有効信号ＶＥＮＢＫを有効状態"１"にすると、裏写り除去イネーブル信号ＥＮＢＫが有効状態"１"になっている箇所のみ裏写り除去機能が働く。また、裏写り除去イネーブル有効信号ＶＥＮＢＫを無効状態"０"にすると、全面に裏写り除去機能が働く。
【００８６】
ＯＲゲート５８から出力される２値データＥは膨張処理部３９に与えられる。膨張処理部３９は、２値データＥに所定画素数の膨張処理を行い、２値データＦを出力する。それにより、２値画像Ｅ０を膨張させた２値画像Ｆ０が得られる。この２値画像Ｆ０では、パターン抜け３０２，３０３が埋め込まれている。膨張処理部３９から出力される２値データＦは収縮処理部４０に与えられる。
【００８７】
収縮処理部４０は、２値データＦに膨張処理時よりも多い画素数の収縮処理を行い、２値データＧを出力する。それにより、２値画像Ｆ０を収縮させた２値画像Ｇ０が得られる。２値画像Ｅ０のパターンを破線で示す。この場合、２値画像Ｇ０のパターン部のエッジは２値画像Ｅ０のパターン部のエッジよりも小さくなる。この２値画像Ｇ０では、パターン抜け３０２，３０３が埋め込まれている。収縮処理部４０から出力される２値データＧはＡＮＤゲート６０の一方の入力端子に与えられる。
【００８８】
一方、ＯＲゲート５８から出力される２値データＥは、遅延部４１を介してインバータ５９およびＯＲゲート６６の一方の入力端子に与えられる。インバータ５９は、２値データＥを反転させ、２値データＨを出力する。これにより、２値画像Ｅ０を反転させた２値画像Ｈ０が得られる。インバータ５９から出力される２値データＨはＡＮＤゲート６０の他方の入力端子に与えられる。
【００８９】
ＡＮＤゲート６０は、２値データＧと２値データＨとの論理積をとり、２値データＩを出力する。これにより、２値画像Ｉ０が得られる。この２値画像Ｉ０では、パターン抜け３０２，３０３に対応する穴埋め用パターン３１２，３１３が現れる。ＡＮＤゲート６０から出力される２値データＩはＡＮＤゲート６５の１つの入力端子に与えられる。
【００９０】
一方、２値化部３１は、基準のしきい値ＴＨよりも低いしきい値ＴＨＬで多値画像データＤＭを２値化し、２値データＪを出力する。それにより、２値画像Ｊ０が得られる。この２値画像Ｊ０では、２値画像Ａ０のパターン抜け３０２，３０３が現れず、裏写り３０１が現れている。２値化部３１から出力される２値データＪは、遅延部３８を介してＯＲゲート６１の一方の入力端子に与えられる。
【００９１】
一方、ＯＲゲート６１の他方の入力端子にはインバータ６２を介して低しきい値画像選択信号ＴＨＬＳが与えられる。ここでは、低しきい値画像選択信号ＴＨＬＳが選択状態"１"となっているものとする。それにより、ＯＲゲート６１の出力信号は２値データＪとなる。ＯＲゲート６１の出力信号は、ＡＮＤゲート６５の１つの入力端子に与えられる。
【００９２】
ＡＮＤゲート６５の他の１つの入力端子には穴埋め有効信号ＶＨＯが与えられる。また、ＯＲゲート６４の一方の入力端子に穴埋めイネーブル有効信号ＶＥＮＨがインバータ６３を介して与えられ、ＯＲゲート６４の他方の入力端子に穴埋めイネーブル信号ＥＮＨＯが与えられる。
【００９３】
ここでは、穴埋め有効信号ＶＨＯが有効状態"１"となり、穴埋めイネーブル有効信号ＶＥＮＨが有効状態"１"となっているものとする。それにより、穴埋めイネーブル信号ＥＮＨＯがイネーブル状態"１"のときにＯＲゲート６４の出力信号が"１"となる。ＯＲゲート６４の出力信号は、ＡＮＤゲート６５の１つの入力端子に与えられる。
【００９４】
それにより、穴埋めイネーブル信号ＥＮＨＯが"１"のときにのみＡＮＤゲート６５から２値データＩが出力される。ＡＮＤゲート６５の出力信号はＯＲゲート６６の他方の入力端子に与えられる。
【００９５】
ＯＲゲート６６は、ＡＮＤゲート６５の出力信号と２値データＥとの論理和をとり、２値データＫを出力する。すなわち、ＯＲゲート６６は、穴埋めイネーブル信号ＥＮＨＯが"１"のときに、２値データＩと２値データＪとの論理積をとり、その結果と２値データＥとの論理和をとる。ここで、２値データＩと２値データＪの論理積をとる理由は低いしきい値で２値化しても抜けとなる部分を穴埋めしないためである。それにより、２値画像Ｋ０が得られる。この２値画像Ｋ０では、２値画像Ｅのパターン抜け３０１が穴埋め用パターン３１２で埋められている。
【００９６】
この２値データＫが２値画像データＤＤとして出力端子ＮＯからが出力される。このようにして、裏写り３０１およびパターン抜け３０２を除去しつつ多値画像データの２値化を行うことができる。
【００９７】
低しきい値画像選択信号ＴＨＬＳが非選択状態"０"となっている場合は、ＯＲゲート６１の出力信号が"１"となる。その結果、２値データＩの穴埋めパターン３１２で２値データＪにかかわらず穴埋めされる。
【００９８】
穴埋め有効信号ＶＨＯを無効状態"０"にすると、ＡＮＤゲート６５の出力信号は"０"となるため、穴埋め機能が働かない。また、穴埋め有効信号ＶＨＯを有効状態"１"とし、穴埋めイネーブル有効信号ＶＥＮＨを有効状態"１"にすると、穴埋めイネーブル信号ＥＮＨＯがイネーブル状態"１"の箇所でのみ穴埋め機能が働く。穴埋め有効信号ＶＨＯを有効状態"１"とし、穴埋めイネーブル有効信号ＶＥＮＨを無効状態"０"にすると、全面に穴埋め機能が働く。これにより、軽度な凹みや錆によるパターン抜けを埋めることができる。
【００９９】
なお、裏写り除去イネーブル信号ＥＮＢＫおよび穴埋めイネーブル信号ＥＮＨＯは、それらを作用させる２値データと位相が合っているものとする。
【０１００】
図５は高いしきい値で２値化された２値画像に大きな凹みが生じた場合の処理を説明するための図である。
【０１０１】
図５に示すように、高いしきい値ＴＨＨで２値化された２値画像Ｂ０に大きな凹み４０１が発生した場合、膨張処理後の２値画像Ｃ０において凹み４０１が完全に除去されない。このような場合、収縮処理後の２値画像Ｄにおいて凹み４０１が拡大される。この２値画像Ｄ０と基準のしきい値ＴＨで２値化された２値画像Ａ０との論理積をとると、得られる２値画像Ｅ０に凹み４０１が残る。
【０１０２】
このような場合には、裏写り除去イネーブル信号ＥＮＢＫを凹み４０１の箇所で"０"に設定することにより、裏写り除去機能を凹み４０１の箇所で無効にすることができる。この場合には、凹み４０１の箇所で図２のＯＲゲート５４の出力信号が"１"となり、ＡＮＤゲート５７およびＯＲゲート５８から２値データＡが出力される。これにより、凹み４０１の箇所で基準のしきい値で２値化された２値画像Ａ０が２値画像Ｅ０として得られる。
【０１０３】
図６は２値画像のパターンが鋭角に交差する部分を有する場合の処理を説明するための図である。
【０１０４】
図６に示すように、２値画像Ｅ０のパターンが鋭角に交差する部分を有する場合、その２値画像Ｅ０に膨張処理を行って２値画像Ｆ０を生成し、その２値画像Ｆ０に収縮処理を行って２値画像Ｇ０を生成すると、鋭角に交差する部分の内側にパターンのはみ出し部分４０５が生じる。これにより、２値画像Ｅ０を反転することにより得られる２値画像Ｈ０と２値画像Ｇ０との論理積をとると、得られた２値画像Ｉ０にはみ出し部分４０５が残ってしまう。
【０１０５】
このような場合には、パターンが鋭角に交差する部分の内側で穴埋めイネーブル信号ＥＮＨＯを"０"にすることにより、穴埋め機能を無効にする。それにより、パターンが鋭角に交差する部分の内側でのみ図２のＯＲゲート６４の出力信号が"０"となり、ＡＮＤゲート６５の出力信号も"０"となり、パターンが鋭角に交差する部分の内側でのみ２値データＥがＯＲゲート６６から出力される。それにより、はみ出し部分４０５が生じない２値画像Ｉ０が得られる。
【０１０６】
図２では、２値化処理部２０をハードウェアにより構成した例を示したが、図２の２値化処理部２０の各部をソフトウェアにより構成することもできる。この場合、図２の２値化処理部２０の機能を実行する２値化処理プログラムがハードディスク、フロッピィディスク等の記録媒体に記録され、記録媒体に記録された２値化処理プログラムがコンピュータで実行される。
【０１０７】
図７は記録媒体に記録される２値化処理プログラムの概略処理を示すフローチャートである。
【０１０８】
まず、多値画像データＤＭを基準のしきい値ＴＨで２値化し、図２の２値データＡを得る（ステップＳ１）。また、多値画像データＤＭを基準のしきい値ＴＨよりも高いしきい値ＴＨＨで２値化し、図２の２値データＢを得る（ステップＳ２）。
【０１０９】
そして、図２の２値化処理部２０と同様にして２値データＢに膨張処理および収縮処理を行うことにより２値データＤを生成し、２値データＡ，Ｂ，Ｄに基づいて裏写りの除去処理を行い、２値データＥを得る（ステップＳ３）。
【０１１０】
次に、２値データＥに膨張処理および収縮処理を行うことにより２値データＧを生成するとともに、２値データＥを反転させることにより２値データＨを生成し、２値データＧ，Ｈに基づいて穴埋め用パターンを作成する（ステップＳ４）。
【０１１１】
そして、２値データＥおよび穴埋め用パターンを用いて２値データＥにおけるパターン抜けの穴埋めを行う（ステップＳ５）。それにより、２値データＫが得られる。
【０１１２】
このようにして、裏写りおよびパターン抜けを除去しつつ多値画像データの２値化を行うことができる。
【０１１３】
図８は本発明の参考例におけるパターン検査装置の２値化処理部２０の構成を示すブロック図である。本参考例のパターン検査装置の他の部分の構成は図１に示したパターン検査装置の構成と同様である。
【０１１４】
図８の２値化処理部２０は、２値化部７１，７２，７３、遅延部７４，７７，８０、膨張処理部７５，７９、収縮処理部７６，７８、スイッチＳＷ１，ＳＷ２，ＳＷ３，ＳＷ４、インバータ８１，８５，８７、ＡＮＤゲート８２，８３，８６，８９、ＯＲゲート８４、およびＮＡＮＤゲート８９を含む。遅延部７４，７７，８０は２値データの位置合わせの機能も有する。
【０１１５】
入力端子ＮＩには、図１のＣＣＤカメラ１３から出力される多値画像データＤＭが与えられる。また、出力端子ＮＯから２値画像データが出力される。
【０１１６】
本参考例では、２値化部７１が２値化手段に相当し、膨張処理部７５、収縮処理部７６、インバータ８１、ＡＮＤゲート８２およびＡＮＤゲート８３が穴埋め用パターン作成手段に相当し、収縮処理部７８、膨張処理部７９、インバータ８５、ＡＮＤゲート８６およびＮＡＮＤゲート８８が裏写り除去用パターン作成手段に相当し、ＯＲゲート８９が穴埋め手段に相当し、ＡＮＤゲート８９が除去手段に相当する。
【０１１７】
また、スイッチＳＷ１およびＡＮＤゲート８３が穴埋め機能制御手段に相当し、スイッチＳＷ３およびＮＡＮＤゲート８８が除去機能制御手段に相当する。
【０１１８】
さらに、膨張処理部７５が第１の膨張処理手段に相当し、収縮処理部７６が第１の収縮処理手段に相当し、インバータ８１、ＡＮＤゲート８２およびＡＮＤゲート８３が第１の論理処理手段に相当する。また、収縮処理部７８が第２の収縮処理手段に相当し、膨張処理部７９が第２の膨張処理手段に相当し、インバータ８５、ＡＮＤゲート８６およびＮＡＮＤゲート８８が第２の論理処理手段に相当する。
【０１１９】
本参考例の２値化処理部２０による２値化処理の基本的な概念を説明する。ここで、裏写りやパターン抜けは大きくないと仮定する。
【０１２０】
まず、パターン抜けの除去のために、基準のしきい値ＴＨでの２値化により得られた２値画像を膨張させる。それにより、パターン抜けやパターン細りの部分まで論理値"１"となる。その後、得られた２値画像を収縮させる。その結果、パターン抜けやパターン細りが除去された２値画像が得られる。基準のしきい値ＴＨでの２値化により得られた２値画像とパターン抜けやパターン細りが除去された２値画像とに基づいてパターン抜けの部分に対応する穴埋め用パターンを作成する。
【０１２１】
次に、裏写りの除去のために、基準のしきい値ＴＨでの２値化により得られた２値画像を収縮させる。それにより、裏写りの部分まで論理値"０"となる。その後、得られた２値画像を膨張させる。その結果、裏写りが除去された２値画像が得られる。基準のしきい値ＴＨでの２値化により得られた２値画像と裏写りが除去された２値画像とに基づいて裏写りの部分に対応する裏写り除去用パターンを作成する。
【０１２２】
その後、基準のしきい値ＴＨでの２値化により得られた２値画像のパターン抜けを穴埋め用パターンを用いて穴埋めするとともに、裏写りを裏写り除去用パターンを用いて除去する。その結果、裏写りおよびパターン抜けが防止された２値画像が得られる。
【０１２３】
次に、図９、図１０および図１１の２値データおよび２値画像を参照しながら図８の２値化処理部２０の動作を説明する。図９において、Ｙは図１５のフォトビア２００の画像のＸ−Ｘ線断面における輝度分布を示し、図９のａ〜ｆ、図１０のｇ，ｈおよび図１１のｉ〜ｑは図８の各部分の２値データを示し、図９のａ０〜ｆ０、図１０のｇ０，ｈ０および図１１のｉ０〜ｑ０はそれらの２値データに対応する２値画像を示す。
【０１２４】
まず、２値化部７１は、多値画像データＤＭを基準のしきい値ＴＨで２値化し、２値データａを出力する。これにより、２値画像ａ０が得られる。この２値画像ａ０では、裏写り６０１、フォトビアのエッジのパターン抜け６０２および凹みによるパターン抜け６０３が現れている。２値化部７１から出力された２値データａは、膨張処理部７５および収縮処理部７８に与えられるとともに、遅延部７４を介してインバータ８１、ＯＲゲート８４の一方の入力端子およびＡＮＤゲート８６の一方の入力端子に与えられる。
【０１２５】
膨張処理部７５は、２値データａに所定画素数の膨張処理を行い、２値データｂを出力する。それにより、２値画像ａ０を膨張させた２値画像ｂ０が得られる。この２値画像ｂ０では、膨張処理によりパターン抜け６０２，６０３が埋まっている。膨張処理部７５から出力された２値データｂは収縮処理部７６に与えられる。
【０１２６】
収縮処理部７６は、２値データｂに収縮処理を行い、２値データｃを出力する。それにより、２値画像ｂ０を収縮させた２値画像ｃ０が得られる。この場合、膨張処理時の画像数よりも多い画素数分収縮させる。ここで、２値画像ａ０パターンを破線で示す。この２値画像ｃ０では、パターン抜け６０２，６０３が現れていない。
【０１２７】
収縮処理部７６から出力された２値データｃは、ＡＮＤゲート８２の一方の入力端子に与えられる。インバータ８１は、２値データａを反転させ、２値データｄを出力する。それにより、２値画像ｄ０が得られる。インバータ８１から出力された２値データｄは、ＡＮＤゲート８２の他方の入力端子に与えられる。
【０１２８】
ＡＮＤゲート８２は、２値データｃと２値データｄとの論理積をとり、２値データｅを出力する。これにより、２値画像ｅ０が得られる。この２値画像ｅ０では、パターン抜け６０２，６０３に対応する穴埋め用パターン６１２，６１３が現れている。ＡＮＤゲート８２から出力された２値データｅは、ＡＮＤゲート８３の１つの入力端子に与えられる。
【０１２９】
一方、２値化部７２は、基準のしきい値ＴＨよりも低いしきい値ＴＨＬで多値画像データＤＭを２値化し、２値データｆを出力する。これにより、２値画像ｆ０が得られる。この２値画像ｆ０では、裏写り６０１が現れ、パターン抜け６０２，６０３が現れていない。２値化部７２から出力された２値データｆは、遅延部７７を介してスイッチＳＷ２の一方の端子Ｓ０に与えられる。スイッチＳＷ２の他方の端子Ｓ１には論理値"１"が与えられている。スイッチＳＷ２の共通端子はＡＮＤゲート８３の１つの入力端子に接続されている。ここでは、スイッチＳＷ２は、端子Ｓ０の側に設定されているものとする。
【０１３０】
ＡＮＤゲート８３の１つの入力端子には穴埋め有効信号ＶＨＯが与えられ、他の１つの入力端子はスイッチＳＷ１の共通端子に接続されている。スイッチＳＷ１の一方の端子Ｓ０には穴埋めイネーブル信号ＥＮＨＯが与えられ、他方の端子Ｓ１には論理値"１"が与えられている。ここでは、穴埋め有効信号ＶＨＯが有効状態"１"となっているものとする。それにより、穴埋め機能が有効になっている。
【０１３１】
スイッチＳＷ１が端子Ｓ０の側に設定されている場合には、穴埋めイネーブル信号ＥＮＨＯが"１"の箇所で穴埋め機能が有効になる。ここでは、フォトビアの領域でのみ穴埋め機能が有効になるように穴埋めイネーブル信号ＥＮＨＯが設定される。ＡＮＤゲート８３は、穴埋めイネーブル信号ＥＮＨＯが"１"のときに２値データｆと２値データｅとの論理積をとる。ＯＲゲート８４は、ＡＮＤゲート８３の出力信号と２値データａとの論理和をとり、２値データｇを出力する。これにより、穴埋め用パターン６１２で２値画像ａが穴埋めされた２値画像ｇ０が得られる。この２値画像ｇ０では、裏写り６０１およびパターン抜け６０３が現れ、フォトビアの領域のパターン抜け６０２が現れていない。
【０１３２】
スイッチＳＷ１が端子Ｓ１の側に設定されている場合には、全面で穴埋め機能が有効になる。ＡＮＤゲート８３は２値データｆと２値データｅとの論理積をとる。ＯＲゲート８４は、ＡＮＤゲート８３の出力信号と２値データａとの論理和をとり、２値データｈを出力する。これにより、穴埋め用パターン６１２，６１３で２値画像ａ０が穴埋めされた２値画像ｈ０が得られる。したがって、この２値画像ｈ０では、裏写り６０１が現れ、パターン抜け６０２，６０３が現れていない。
【０１３３】
一方、収縮処理部７８は、２値データａに所定画素数の収縮処理を行い、２値データｉを出力する。これにより、２値画像ａ０を収縮させた２値画像ｉ０が得られる。２値画像ｉ０では、２値画像ａ０の裏写り６０１が除去され、パターン抜け６０２，６０３が現れている。収縮処理部７８から出力された２値データｉは膨張処理部７９に与えられる。
【０１３４】
膨張処理部７９は、２値データｉに膨張処理を行い、２値データｊを出力する。これにより、２値画像ｉ０を膨張させた２値画像ｊ０が得られる。この場合、収縮処理時の画像数よりも多い画素数分膨張させる。ここで、２値画像ａ０パターンを破線で示す。膨張処理部７９から出力された２値データｊはインバータ８５に与えられる。
【０１３５】
インバータ８５は、２値データｊを反転させ、２値データｋを出力する。それにより、２値画像ｊ０を反転させた２値画像ｋ０が得られる。この２値画像ｋ０では、パターン抜け６０２，６０３に対応するパターンが現れている。インバータ８５から出力された２値データｋは、ＡＮＤゲート８６の他方の入力端子に与えられる。
【０１３６】
ＡＮＤゲート８６は、２値データａと２値データｋとの論理積をとり、２値データＬを出力する。それにより、２値画像Ｌ０が得られる。この２値画像Ｌ０には、裏写り６０１に対応するパターンが現れる。ＡＮＤゲート８６から出力された２値データＬはＡＮＤゲート８８の１つの入力端子に与えられる。
【０１３７】
一方、２値化部７３は、基準のしきい値ＴＨよりも高いしきい値ＴＨＨで多値画像データＤＭを２値化し、２値データｍを出力する。それにより、２値画像ｍ０が得られる。この２値画像ｍ０では、裏写り６０１が現れず、パターン抜け６０２，６０３が現れている。２値化部７３から出力された２値データｍは、遅延部８０を介してスイッチＳＷ４の一方の端子Ｓ１に与えられる。スイッチＳＷ４の他方の端子Ｓ０には、論理値"０"が与えられている。スイッチＳＷ４の共通端子は、インバータ８７に接続されている。ここでは、スイッチＳＷ４が端子Ｓ１の側に設定されているものとする。
【０１３８】
インバータ８７は、２値データｍを反転させ、２値データｎを出力する。それにより、２値画像ｍ０を反転させた２値画像ｎ０が得られる。インバータ８７から出力された２値データｎはＮＡＮＤゲート８８の１つの入力端子に与えられる。
【０１３９】
ＮＡＮＤゲート８８の他の１つの入力端子には裏写り除去有効信号ＶＢＫが与えられる。スイッチＳＷ３の一方の端子Ｓ０には裏写り除去イネーブル信号ＥＮＢＫが与えられ、他方の端子Ｓ１には論理値"１"が与えられる。スイッチＳＷ３の共通端子はＮＡＮＤゲート８８の他の１つの入力端子に接続されている。
【０１４０】
裏写り除去有効信号ＶＢＫが有効状態"１"の場合には、裏写り除去機能が有効となる。スイッチＳＷ３が端子Ｓ１の側に設定されている場合には、全面で裏写り除去機能が働く。スイッチＳＷ３が端子Ｓ０の側に設定されている場合には、裏写り除去イネーブル信号ＥＮＢＫが"０"の箇所でのみ裏写り除去機能が働く。ここでは、スイッチＳＷ３が端子Ｓ１の側に設定されているものとする。
【０１４１】
ＮＡＮＤゲート８８は、２値データＬと２値データｎとの否定論理積をとり、２値データｏを出力する。それにより、２値画像ｏ０が得られる。この２値画像ｏ０においては、２値画像ａの裏写り６０１に対応するパターン抜けが生じている。この２値画像ｏ０が裏写り除去用パターンとなる。ＮＡＮＤゲート８８から出力された２値データｏ０は、ＡＮＤゲート８９の他方の入力端子に与えられる。
【０１４２】
ＡＮＤゲート８９は、スイッチＳＷ１が端子Ｓ０に設定されている場合には、２値データｇと２値データｏとの論理積をとり、２値データｐを出力する。それにより、２値画像ｇ０の裏写り６０１が裏写り除去用パターンで除去され、２値画像ｐ０が得られる。この２値画像ｐ０では、裏写り６０１およびパターン抜け６０２が現れておらず、パターン抜け６０３が現れている。
【０１４３】
また、ＡＮＤゲート８９は、スイッチＳＷ１が端子Ｓ１の側に設定されている場合には、２値データｈと２値データｏとの論理積をとり、２値データｑを出力する。それにより、２値画像ｈ０の裏写り６０１が裏写り除去用パターンで除去され、２値画像ｑ０が得られる。この２値画像ｑ０では、裏写り６０１およびパターン抜け６０２，６０３が現れていない。
【０１４４】
この２値データｐまたはｑが２値画像データＤＤとして出力端子ＮＯからが出力される。このようにして、裏写りおよびパターン抜けを除去しつつ多値画像データの２値化を行うことができる。
【０１４５】
上記のように、通常は、スイッチＳＷ２を端子Ｓ０の側に設定することにより、低いしきい値ＴＨＬで２値化された２値画像ｆ０のパターン部でのみ穴埋めを行う。これにより、輝度レベルのかなり低い領域では、穴埋めが行われないことになり、輝度の低い領域をパターン部と誤認識することが防止される。
【０１４６】
また、スイッチＳＷ２を端子Ｓ０の側に設定し、スイッチＳＷ１を端子Ｓ１の側に設定することにより、軽度な凹みや錆によるパターン抜けを埋めることができる。
【０１４７】
さらに、通常は、スイッチＳＷ４を端子Ｓ１の側に設定することにより、高いしきい値ＴＨＨで２値化された２値画像ｍ０のベース部でのみ裏写り除去を行う。これにより、輝度レベルの高い領域では、裏写り除去が行われないことになり、輝度の高い領域をベース部と誤認識することが防止される。
【０１４８】
図１２は裏写りが本来のパターンに近接している場合の処理を説明するための図である。
【０１４９】
図１２に示すように、基準のしきい値ＴＨで２値化された２値画像ａ０に現れる裏写り６０１と本来のパターンとが近接している場合、膨張後の２値画像ｂ０において裏写り６０１と本来のパターンとがつながってしまう。収縮後の２値画像ｃ０においても裏写り６０１と本来のパターンとのつながり部分が残ってしまう。この場合、２値画像ａ０を反転させた２値画像ｄ０と２値画像ｃ０と低いしきい値ＴＨＬで２値化された２値画像ｆ０との論理積をとると、裏写りの部分と本来のパターンの部分との間隙部に穴埋め用パターン６３０が作成されてしまう。
【０１５０】
このような場合、裏写り６０１と本来のパターンとの間の箇所で穴埋めイネーブル信号ＥＮＨＯを"０"に設定することにより、裏写り６０１と本来のパターンとの間の箇所で穴埋め機能が働かなくなる。
【０１５１】
図１３はパターン部のエッジの近くにパターン抜けが存在する場合の処理を説明するための図である。
【０１５２】
図１３に示すように、基準のしきい値ＴＨで２値化された２値画像ａ０のパターン部のエッジの近くにパターン抜け６５０が存在する場合、収縮後の２値画像ｉ０においてパターン抜け６５０がベース部につながってしまう。この場合には、膨張後の２値画像ｊ０においても、パターン抜け６５０がベース部とつながってしまう。これにより、反転後の２値画像ｋ０と２値画像ａ０との論理積をとると、パターン部のエッジに不要なパターン６６０が生じる。
【０１５３】
このような場合には、スイッチＳＷ３を端子Ｓ０の側に設定し、パターン部のエッジ近くの箇所で裏写り除去イネーブル信号ＥＮＢＫを"０"に設定することにより、パターン部のエッジ近くの箇所で裏写り除去機能が働かなくなる。
【０１５４】
図８では、２値化処理部２０をハードウェアにより構成した例を示したが、図８の２値化処理部２０の各部をソフトウェアにより構成することもできる。この場合、図８の２値化処理部２０の機能を実行する２値化処理プログラムがハードディスク、フロッピィディスク等の記録媒体に記録され、記録媒体に記録された２値化処理プログラムがコンピュータで実行される。
【０１５５】
図１４は記録媒体に記録される２値化処理プログラムの概略処理を示すフローチャートである。
【０１５６】
まず、多値画像データＤＭを基準のしきい値ＴＨで２値化し、図８の２値データａを得る（ステップＳ１１）。
【０１５７】
次に、２値データａに膨張処理および収縮処理を行うことにより２値データｃを生成し、２値データａ，ｃに基づいて穴埋め用パターンを作成する（ステップＳ１２）。
【０１５８】
そして、穴埋め用パターンを用いて２値データａにおいてパターン抜けの穴埋めを行う（ステップＳ１３）。
【０１５９】
また、２値データａに収縮処理および膨張処理を行うことにより２値データｊを生成し、２値データａ，ｊに基づいて裏写り除去用パターンを作成する（ステップＳ１４）。
【０１６０】
そして、裏写り除去用パターンを用いてステップＳ１３で穴埋めされた２値画像の裏写りを除去する（ステップＳ１５）。
【０１６１】
このようにして、裏写りおよびパターン抜けを除去しつつ多値画像データの２値化を行うことができる。
【０１６２】
なお、上記実施例では、本発明をフォトリソグラフィまたは類似のプロセスにより形成されるフォトビアのパターンの検査に適用する場合を説明したが、本発明は、フォトリソグラフィ以外のレーザ等のプロセスで形成されるビアのパターンを検査する場合にも適用することができる。
【０１６３】
また、本発明は、完成されたプリント配線板の表面のパターンの検査のみならず、完成前のプリント配線板のパターンの検査にも適用することができる。例えば、本発明は、４層以上のパターン層を有するプリント配線板において内層間を接続するＩＶＨ（インナビアホール）のパターンの検査にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施例におけるパターン検査装置の構成を示すブロック図である。
【図２】  図１のパターン検査装置における２値化処理部の構成を示すブロック図である。
【図３】  図２の２値化処理部の動作を説明するための２値化データおよび２値画像を示す図である。
【図４】  図２の２値化処理部の動作を説明するための２値化データおよび２値画像を示す図である。
【図５】  高いしきい値で２値化された２値画像に大きな凹みが生じた場合の処理を説明するための図である。
【図６】  ２値画像のパターンが鋭角に交差する部分を有する場合の処理を説明するための図である。
【図７】  記録媒体に記録される２値化処理プログラムの概略処理を示すフローチャートである。
【図８】  参考例におけるパターン検査装置における２値化処理部の構成を示すブロック図である。
【図９】  図８の２値化処理部の動作を説明するための２値データおよび２値画像を示す図である。
【図１０】  図８の２値化処理部の動作を説明するための２値データおよび２値画像を示す図である。
【図１１】  図８の２値化処理部の動作を説明するための２値データおよび２値画像を示す図である。
【図１２】  裏写りが本来のパターンに近接している場合の処理を説明するための図である。
【図１３】  パターン部のエッジの近くにパターン抜けが存在する場合の処理を説明するための図である。
【図１４】  記録媒体に記録される２値化処理プログラムの概略処理を示すフローチャートである。
【図１５】  フォトビアの斜視図である。
【図１６】  図１５のフォトビアが形成されたプリント配線板の断面図である。
【図１７】  図１６のフォトビアの画像におけるＸ−Ｘ線断面の輝度分布を示す図である。
【符号の説明】
１  撮像部
２  欠陥検出部
１０  プリント配線板
１３  ＣＣＤカメラ
２０  ２値化処理部
２１  スイッチ
２２  画像メモリ
２３  比較検査部
２４  出力部
２５  制御部
３１，３２，３３，７１，７２，７３  ２値化部
３５，３９，７５，７９  膨張処理部
３６，４０，７６，７８  収縮処理部
３４，３７，３８，４１，７４，７７，８０  遅延部
５１，５５，５９，６２，６３，８１，８５，８７  インバータ
５２，５４，５８，６１，６４，６６，８４  ＯＲゲート
５６，５７，６０，６５，８２，８３，８６，８９  ＡＮＤゲート
５３，８８  ＮＡＮＤゲート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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