(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性の基板であって、少なくとも片方の基板に情報が記録された層または記録再生可能な層が形成されたディスク基板を２枚貼り合わせて形成する光ディスクの製造方法であって、
上記２枚の基板間に配置された紫外線硬化型の接着剤を上記基板に対して上記ディスク基板の表面と大略平行な方向から紫外線を照射し硬化させる際に、上記２枚の基板をそれぞれ吸着プレートの吸着平面上で吸着させながら硬化させることを特徴とする光ディスクの製造方法。
【請求項２】
上記２枚の基板をそれぞれ上記吸着プレートの吸着平面上で吸着させながら硬化させる際に、上記吸着プレートを回転させながら行う請求項１に記載の光ディスクの製造方法。
【請求項３】
透光性の基板であって、少なくとも片方の基板に情報が記録された層または記録可能な層が形成されたディスク基板を２枚貼り合わせて形成する光ディスクの製造方法であって、
上記２枚の基板間に紫外線硬化型の接着剤を配置する工程と、
上記ディスク基板の上面または下面あるいは上下面から紫外線を照射して上記ディスク基板の情報が記録された層または記録可能な層が形成されておらず紫外線透過性を有する部分のみの接着剤を硬化させる工程と、
紫外線透過性を有する部分のみの接着剤を硬化させた上記ディスク基板を複数枚積層させて構成するディスク基板に対して上記ディスク基板の表面と大略平行な方向から紫外線を照射し未硬化の部分の接着剤を硬化させる工程と、を備えることを特徴とする光ディスクの製造方法。
【請求項４】
上記ディスク基板の上面または下面あるいは上下面から紫外線を照射しディスク基板の情報が記録された層または記録可能な層が形成されておらず紫外線透過性を有する部分のみの接着剤を硬化させる際に、上記２枚の基板をそれぞれ吸着プレートの表面に吸着させながら硬化させるようにした請求項３に記載の光ディスクの製造方法。
【請求項５】
上記２枚の基板をそれぞれ吸着プレート上で吸着させながら硬化させる際に、上記吸着プレートを上記基板の軸回りに回転させながら行うようにした請求項３に記載の光ディスクの製造方法。
【請求項６】
上記複数枚積層されたディスク基板の上記ディスク基板の表面と大略平行な方向から紫外線を照射する際に、上記ディスク基板をその軸回りに回転させながら行うようにした請求項３に記載の光ディスクの製造方法。
【請求項７】
２枚のディスク基板を貼り合わせる装置であって、
上記２枚の基板間に接着剤が配置された２枚の基板をそれぞれ吸着固定し、ディスク基板の情報が記録された層または記録可能な層が形成されておらず紫外線透過性を有する部分に紫外線を照射できる吸着プレートと、
上記２枚のディスク基板の上面または下面あるいは上下面から紫外線を照射できる紫外線照射機と、
紫外線透過性を有する部分のみの接着剤を硬化させたディスク基板を複数枚積層し保持できる照射ステージと、
上記複数枚積層されたディスク基板に対して上記ディスク基板の表面と大略平行な方向から紫外線を照射する紫外線照射機とを備えるようにしたことを特徴とする光ディスクの製造装置。
【請求項８】
上記吸着プレートを上記基板の軸回りに上記基板とともに回転させる回転機構を備える請求項７に記載の光ディスクの製造装置。
【請求項９】
上記照射ステージが、上記基板の軸回りに上記基板を回転させる回転機構を備える請求項７に記載の光ディスクの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスク装置の製造方法および製造装置に関するものであり、さらに詳しくは、ディスク基板の貼り合わせに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年の情報化社会において、大容量の記録メディアが注目されており、ＰＤ（相変化書換え型ディスク）、ＭＯ（Magneto-Optical disk）など数１００ＭＢの記録容量をメディアが実用化されている。しかしながら、画像圧縮の技術なども進歩し、数ＧＢ以上のメディアが要望されている。ＲＯＭ（読み出し専用）については、ＤＶＤ（ディジタル・ビデオ・ディスク）が実用化され最大９ＧＢもの大容量を実現している。一方、ＲＡＭ（読み書き両用）については、前述のＰＤやＭＯの６００ＭＢ程度が最大であり、さらなる大容量化を目指して、ＤＶＤ−ＲＡＭの開発が注目されている。
【０００３】
ＤＶＤは、０．６mm厚みの樹脂基板を２枚貼り合わせて、１枚のディスクを構成している。ＤＶＤ−ＲＯＭの場合は、情報のピットが形成された樹脂基板に読みとりのレーザーを反射する反射膜が形成された構造になっており、２枚の内どちらか１枚に光透過性があるため、貼り合わせに用いる接着剤の硬化方法に紫外線硬化法を用いることができる。
【０００４】
図７（ａ）〜（ｃ）にその製造方法の概略図を示す。情報ディスク基板４０１は、厚さ０．６mmで、直径約１２０mm、中心部に直径約１５mmの孔が形成されたリング状の形状でその表面に記録情報のピットが形成されている。貼り合わせディスク基板４０２は情報が記録されていない基板である。テーブル４００上の情報ディスク基板４０１に塗布ノズル４０３により接着剤４０４を情報ディスク基板４０１を回転させながらリング状に塗布する（図７（a）参照）。貼り合わせディスク基板４０２を重ね合わせて高速回転（例えば約３０００rpm）にて接着剤４０４を基板全体に広げ、膜厚が５０μm程度になるまで回転させる（図７（ｂ）参照）。その後、貼り合わせディスク基板４０２の上面から、紫外線を約５００mＷ／cm2の照度で１０秒間照射し接着剤を硬化させる（図７（ｃ）参照）。
【０００５】
ところが、ＤＶＤ−ＲＡＭの場合は、光透過性がない記録膜が形成されているため、光透過性がない。そのため、紫外線型の接着剤を用いることができない。紫外線硬化型の接着剤の代わりに、２液反応型、嫌気反応型、遅効反応型、又は接着テープなどが検討されている。
２液反応型:  ２枚の基板のそれぞれに、２液のＡ剤、Ｂ剤を塗布した後、貼り合わせ、反応硬化させる。反応硬化のため、硬化時間がかかり、また、２液の接触が不完全の場合、反応が起こらず、未反応で残る場合がある。
嫌気反応型:  空気を遮断することで反応が進行するが、反応速度が遅く、接着剤自身が腐食性を持っているため、ディスクの記録膜や反射膜にダメージを与えるため、保護膜が必要となる。
遅効反応型:  エポキシのカチオン型の樹脂が用いられることが多く、片方の基板に接着剤を塗布した後、紫外線を照射し活性化処理を行う。その後、２枚の基板を貼り合わせると、反応硬化が起こる。この場合、反応時間が長く、また、嫌気反応型と同様に腐食性があるため、保護膜が必要である。
接着テープ:  ベースフィルムに熱可塑性の樹脂を粘着剤として塗布し、粘着剤の上面に保護フィルムを貼る。工程としては、保護フィルムを剥がし、片方のディスクに貼りつけた後、ベースフィルムを剥がし、もう片方のディスクを貼り付ける。熱可塑性の樹脂が粘着剤になっているため、耐熱性に乏しく、ベースフィルムや保護フィルムなど間接部材が多く、コスト的に不利である。また、貼り合わせ時に、気泡を抱き込みやすく、腐食の原因となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、光透過性の無い記録膜を成膜する基板に対応する方法として、いくつか提案されているが、いずれも、▲１▼硬化に時間がかかる、▲２▼接着剤の腐食性などで保護膜が必要、などの課題がある。
【０００７】
本発明は、記録膜に光透過性のないＤＶＤ−ＲＡＭのような基板を貼り合わせるのに、短時間で硬化でき、しかも保護膜が必要としない上に、基板を矯正した状態で貼り合わせることができてチルト性能の良い光ディスクの製造方法およびその製造装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
本発明の第１態様によれば、透光性の基板であって、少なくとも片方の基板に情報が記録された層または記録再生可能な層が形成されたディスク基板を２枚貼り合わせて形成する光ディスクの製造方法であって、
上記２枚の基板間に配置された紫外線硬化型の接着剤を上記基板に対して上記ディスク基板の表面と大略平行な方向から紫外線を照射し硬化させる際に、上記２枚の基板をそれぞれ吸着プレートの吸着平面上で吸着させながら硬化させることを特徴とする光ディスクの製造方法を提供する。
本発明の第２態様によれば、上記２枚の基板をそれぞれ上記吸着プレートの吸着平面上で吸着させながら硬化させる際に、上記吸着プレートを回転させながら行う第１態様に記載の光ディスクの製造方法を提供する。
本発明の第３態様によれば、透光性の基板であって、少なくとも片方の基板に情報が記録された層または記録可能な層が形成されたディスク基板を２枚貼り合わせて形成する光ディスクの製造方法であって、
上記２枚の基板間に紫外線硬化型の接着剤を配置する工程と、
上記ディスク基板の上面または下面あるいは上下面から紫外線を照射して上記ディスク基板の情報が記録された層または記録可能な層が形成されておらず紫外線透過性を有する部分のみの接着剤を硬化させる工程と、
紫外線透過性を有する部分のみの接着剤を硬化させた上記ディスク基板を複数枚積層させて構成するディスク基板に対して上記ディスク基板の表面と大略平行な方向から紫外線を照射し未硬化の部分の接着剤を硬化させる工程と、を備えることを特徴とする光ディスクの製造方法を提供する。
本発明の第４態様によれば、上記ディスク基板の上面または下面あるいは上下面から紫外線を照射しディスク基板の情報が記録された層または記録可能な層が形成されておらず紫外線透過性を有する部分のみの接着剤を硬化させる際に、上記２枚の基板をそれぞれ吸着プレートの表面に吸着させながら硬化させるようにした第３態様に記載の光ディスクの製造方法を提供する。
本発明の第５態様によれば、上記２枚の基板をそれぞれ吸着プレート上で吸着させながら硬化させる際に、上記吸着プレートを上記基板の軸回りに回転させながら行うようにした第３態様に記載の光ディスクの製造方法を提供する。
本発明の第６態様によれば、上記複数枚積層されたディスク基板の上記ディスク基板の表面と大略平行な方向から紫外線を照射する際に、上記ディスク基板をその軸回りに回転させながら行うようにした第３態様に記載の光ディスクの製造方法を提供する。
本発明の第７態様によれば、２枚のディスク基板を貼り合わせる装置であって、
上記２枚の基板間に接着剤が配置された２枚の基板をそれぞれ吸着固定し、ディスク基板の情報が記録された層または記録可能な層が形成されておらず紫外線透過性を有する部分に紫外線を照射できる吸着プレートと、
上記２枚のディスク基板の上面または下面あるいは上下面から紫外線を照射できる紫外線照射機と、
紫外線透過性を有する部分のみの接着剤を硬化させたディスク基板を複数枚積層し保持できる照射ステージと、
上記複数枚積層されたディスク基板に対して上記ディスク基板の表面と大略平行な方向から紫外線を照射する紫外線照射機とを備えるようにしたことを特徴とする光ディスクの製造装置を提供する。
本発明の第８態様によれば、上記吸着プレートを上記基板の軸回りに上記基板とともに回転させる回転機構を備える第７態様に記載の光ディスクの製造装置を提供する。
本発明の第９態様によれば、上記照射ステージが、上記基板の軸回りに上記基板を回転させる回転機構を備える第７態様に記載の光ディスクの製造装置を提供する。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面にづいて詳細に説明する。
【００１０】
図１に、本発明の第一及び第二の実施形態にかかる光ディスクの製造方法およびその製造装置により製造される光ディスクの断面構造を示す。図２および図３に本発明の第一の実施形態の光ディスクの製造方法の製造工程とその製造装置の概略図を、図４〜図６に本発明の第二の実施形態の光ディスクの製造方法の製造工程とその製造装置の概略図を示す。
【００１１】
図１において、光ディスク１０１は、ディスク基板１０２を２枚向かい合わせに接着剤１０３を用いて貼り合わせた構造になっており、ディスク基板１０２は、透光性樹脂基板１０４上に誘電体膜１０５、光透過性が無い記録膜１０６、誘電体膜１０７、反射膜１０８の順に積層されて構成されている。ここで、一例として、透光性樹脂基板１０４としてポリカーボネート、誘電体膜１０５、１０７としてＺnＳ−ＳｉＯ２、記録膜１０６としてＧeＳbＴe、反射膜１０８としてＡｌ−２％Ｓｉを用いることができる。
【００１２】
（第一の実施形態）
図２を用いて、本発明の第一の実施形態の光ディスクの製造方法を説明する。ディスク基板１０２は、一例として、厚さ０．６mmで、直径約１２０mm、中心部に直径約１５mmの孔が形成されたリング状の形状である。この２枚のディスク基板１０２を反射膜１０８を向かい合わせて、基板間に膜厚が５０μm程度になるように、接着剤１０３を塗布する（図２（ａ）参照）。その後、２枚のディスク基板１０２を吸着プレート１０９にそれぞれ吸着させ（図２（ｂ）参照）、ディスク基板１０２の側面から、紫外線照射機１１０により紫外線を約５００mＷ／cm2の照度で１０秒間照射し接着剤を硬化させる（図２（ｃ）参照）。
【００１３】
上下の吸着プレート１０９の具体的な構成を、下側の吸着プレート１０９を代表として図８及び図９に示す。上側の吸着プレート１０９は下側の吸着プレート１０９と同一構造であるため、説明を省略する。図８の吸着プレート１０９は、吸着表面全面が１つの平面で構成され、かつ、その面精度は例えば少なくとも５／１００ｍｍ程度は必要である。吸着面としては、吸着表面全面が１つの平面で構成される必要がないが、少なくとも記録膜が無い中心孔部分には平面が必要である。例えば、図９に示すように、記録膜が無い中心孔部分と外周部分に、吸引孔１０９ａを有する円環状の吸着平面を配置するようにしてもよい。なお、２９０は吸引孔１０９ａから吸引駆動するための吸引装置である。この吸引装置２９０を駆動して、吸引孔１０９ａから吸引して、ディスク基板１０２を吸着プレート１０９に吸着させることができる。吸引圧は、吸着プレート１０９の形状にもよるが、吸引圧が大きすぎると孔形状や溝形状が基板に転写されてしまうため、−３０ｍｍＨｇ以上が望ましい。
吸着面に形成する吸引孔の形状や密度については特に限定は無いが、吸着しながら硬化させるため、孔のエッジがきつい場合には、基板に傷が生じる可能性があるため好ましくない。吸着プレートの材質は、紫外線による熱で変形する可能性があるので、これを防止するため、金属であればよい。
【００１４】
図３は、第一の実施形態の製造方法を実施するために用いる製造装置の概略図を示す。
【００１５】
この装置は、下基板用の吸着プレート２０１と、上基板用の吸着プレート２０２と、接着剤２４０を供給する塗布ノズル２０３と、紫外線照射機２０４と、モータ等から構成されて下基板用の吸着プレート２０１を軸方向に進退駆動しかつ回転駆動する下側駆動装置２５５と、モータ等から構成されて上基板用の吸着プレート２０２を軸方向に進退駆動しかつ回転駆動する上側駆動装置２５７と、塗布ノズル２０３を上下基板２０５、２０６間に対して進退させるとともに塗布ノズル２０３の先端から接着剤２４０を塗布させる塗布ノズル駆動装置２５１と、２つの駆動装置２５５、２５７の駆動と塗布ノズル駆動装置２５１の駆動を制御する制御装置２５０とを備えている。
【００１６】
図３（ａ）に示すように、下基板用の吸着プレート２０１および上基板用の吸着プレート２０２にそれぞれ下基板２０５と上基板２０６とをそれぞれ設置した後、２つの駆動装置２５５、２５７の駆動により、下基板２０５と上基板２０６との間を所定の間隔に保持する。そして、下基板用の吸着プレート２０１および上基板用の吸着プレート２０２はそれぞれ制御装置２５０の制御のもとに駆動装置２５５、２５７により同期回転駆動される。制御装置２５０の制御のもとで、塗布ノズル２０３を塗布ノズル駆動装置２５１の駆動により上下基板２０５、２０６間に挿入し、駆動装置２５５、２５７と塗布ノズル駆動装置２５１と制御装置２５０とにより、上下基板２０５、２０６を回転させながら上下基板２０５、２０６間に塗布ノズル２０３から接着剤２４０を吐出させて、リング状に塗布する。その後、図３（ｂ）に示すように、下と上の基板２０５、２０６は吸着プレート２０１、２０２に吸着させたまま、駆動装置２５５、２５７により所定の回転数で回転させつつ過剰の接着剤２４０を振り切りながら、所定の厚みになるまで回転させる。図３（ｃ）に示すように、紫外線照射機２０４は、３個のスポットタイプの照射機で回転軸回りに所定間隔離れた３方向から下と上の基板２０５、２０６間の接着剤２４０に照射できるようになっており、基板２０５、２０６に対し上記ディスク基板の表面と大略平行な方向（例えば、基板２０５、２０６の回転軸が鉛直方向沿いの場合には水平方向）から照射して基板２０５、２０６間の接着剤２４０を硬化させる。
【００１７】
なお、本実施形態では、接着剤２４０の塗布形成と、過剰な接着剤２４０の排出と、接着剤２４０の硬化とを同一設備上で行ったが、別々のステージで行ってもかまわない。この場合には、図３（ｂ），（ｃ）に示すように、駆動装置２５７，２５５のような駆動装置２５９，２６０により２つの基板２０５、２０６を各工程でそれぞれ同期回転駆動する。
【００１８】
このようにして、作成した光ディスクの信頼性評価を８０℃湿度８５％で９６時間の条件（ＤＶＤにおける高温高湿試験の標準試験条件）で行ったが、チルト特性および記録再生特性ともに、問題の発生は無かった。
【００１９】
上記第一実施形態にかかる光ディスクの製造方法及び装置によれば、ディスク基板を吸着プレート１０９又は２０１、２０２に吸着することで基板１０２又は２０５、２０６のうねりを矯正した状態で貼り合わせることができ、チルト特性の良好な光ディスクを得ることができる。よって、ＤＶＤ−ＲＯＭの片面２層方式のようにディスク基板間の接着剤の膜厚精度が要求される場合でも、問題なく対応することができる。
【００２０】
（第二の実施形態）
図４に、本発明の第二実施形態の光ディスクの製造方法を示す。
ディスク基板１０２は、第一の実施形態で用いたものと同じもので、厚さ０．６mmで、直径約１２０mm、中心部に直径約１５mmの孔が形成されたリング状の形状である。この２枚のディスク基板１０２を反射膜１０８を向かい合わせて、基板間に膜厚が５０μm程度になるように、接着剤１０３を塗布する（図４（a）参照）。その後、２枚のディスク基板１０２の内外周にある紫外線透過部分に紫外線照射機１１０で紫外線を約５００mＷ／cm2の照度で３秒間照射して接着剤１０３を硬化させる（図４（b）参照）。その後、図４（b）の工程を経たディスク１９０を複数枚積層させ、ディスク１９０に上記ディスク基板の表面と大略平行な方向（例えば、ディスク１９０の回転軸が鉛直方向沿いの場合には水平方向）から紫外線照射機１１１で紫外線を照射して未硬化の接着剤１０３を硬化させる（図４（c）参照）。
【００２１】
なお、図４（ｃ）では３枚のディスクを大略等間隔に配置していますが、必ずしも等間隔にする必要はない。ただし、隙間なく積み重ねると、下側基板に荷重がかかり変形する可能性があるので、記録膜が無い中心部分にスペーサを入れて積み重ねるほうがよい。
【００２２】
このように、第２実施形態では、図４（b）の工程で接着剤をすべて硬化させることなく、ディスク１９０を複数枚積層させたのちに硬化させるのは、横方向から紫外線を当てて、ディスク中心部まで硬化させるのに時間がかかるため、複数枚積層させたのちに硬化させれば生産効率を向上させることができるからである。ただし、一部だけでも先に硬化させるのは、積み重ねたときのディスクの変形を避けるためである。
【００２３】
図５及び図６は、第二の実施形態の製造方法で用いる製造装置の概略図を示す。
【００２４】
この製造装置は、塗布した接着剤３０５のうちの紫外線透過部分を硬化させた部分硬化ディスク３９０を作成する第一のステージ３０１のための装置と、部分硬化ディスク３９０の接着剤３０５のうちの未硬化部分を完全硬化させる第二のステージ３０２のための装置とを備える。
【００２５】
第一のステージ３０１で使用する装置は、図５（ａ），(ｂ)，図６（ａ）に示すように、下基板用の吸着プレート３０３と、上基板用の吸着プレート３０４と、接着剤３０５を供給する塗布ノズル３０６と、および第一の紫外線照射機３０７と、モータ等から構成されて下基板用の吸着プレート３０３を軸方向に進退駆動しかつ回転駆動する下側駆動装置２５５と、モータ等から構成されて上基板用の吸着プレート３０４を軸方向に進退駆動しかつ回転駆動する上側駆動装置２５７と、塗布ノズル３０６を上下基板３１１、３１０間に対して進退させるとともに塗布ノズル３０６先端から接着剤３０５を塗布させる塗布ノズル駆動装置２５１と、２つの駆動装置２５５、２５７の駆動と塗布ノズル駆動装置２５１の駆動を制御する制御装置２５０とを備える。
【００２６】
また、第二のステージ３０２で使用する装置は、図６（ｂ）に示すように、部分硬化ディスク３９０を複数枚保持回転できるテーブル３０８と、第二の紫外線照射機３０９とを備える。
【００２７】
第一のステージ３０１では、図５(ａ)に示すように、下基板用の吸着プレート３０３および上基板用の吸着プレート３０４にそれぞれ下基板３１０及び上基板３１１を設置した後、第一実施形態と同様な駆動装置２５５、２５７と制御装置２５０とにより、下基板３１０及び上基板３１１との間を所定の間隔に保持する。塗布ノズル駆動装置２５１と制御装置２５０とにより、塗布ノズル３０６を上下基板３１１、３１０間に挿入し、駆動装置２５５、２５７と塗布ノズル駆動装置２５１と制御装置２５０とにより、上下基板３１１、３１０を回転させながら塗布ノズル３０６から接着剤３０５を吐出させ、リング状に塗布する。その後、図５（ｂ）に示すように、上下基板３１１、３１０は吸着プレート３０４、３０３に吸着させたまま、駆動装置２５５、２５７により所定の回転数で回転させつつ過剰の接着剤３０５を振り切りながら、所定の厚みになるまで回転させる。図６（ａ）に示すように、第一の紫外線照射機３０７は、スポットタイプの照射機であって３分岐できるようになっており、そのうちの一本の照射機３０７ａは吸着プレート３０４の軸の中に、残りの二本の照射機３０７ｂは基板３１１、３１０の外周部を例えば１８０度間隔互いに離れて照射するように設置し、上下基板３１１、３１０を吸着プレート３０４、３０３吸着させたまま、所定の回転数で回転させながら、紫外線を照射し、基板３１１、３１０の内周部と外周部の記録膜が形成されておらず紫外線の透過性がある部分の接着剤３０５を硬化させる。
【００２８】
第二のステージ３０２では、図６(ｂ)に示すように、第一のステージ３０１で部分硬化された部分硬化ディスク３９０を複数枚、例えば図６(ｂ）では３枚、テーブル３０８のセンターポール３１２に挿入設置し、部分硬化ディスク３９０に対して上記ディスク３９０の表面と大略平行な方向（例えば、部分硬化ディスク３９０の回転軸が鉛直方向沿いの場合には水平方向）から第二の紫外線照射機３０９で紫外線を約５００mＷ／cm2の照度で約２０秒間照射しながら、テーブル３０８を回転させて、部分硬化ディスク３９０の接着剤３０５のうちの未硬化の接着剤３０５を完全硬化させる。
【００２９】
上記第二実施形態にかかる光ディスクの製造方法では、ディスク基板３１０、３１１を吸着プレート３０３、３０４に吸着することで基板３１０、３１１のうねりを矯正した状態で貼り合わせることができ、チルト特性の良好な光ディスクを得ることができる。よって、ＤＶＤ−ＲＯＭの片面２層方式のようにディスク基板間の接着剤の膜厚精度が要求される場合でも、問題なく対応することができる。
【００３０】
【発明の効果】
本発明に係わる光ディスクの製造方法では、ディスク基板を吸着プレートに吸着することで基板のうねりを矯正した状態で貼り合わせることができ、チルト特性の良好な光ディスクを得ることができる。よって、ＤＶＤ−ＲＯＭの片面２層方式のようにディスク基板間の接着剤の膜厚精度が要求される場合でも、問題なく対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施形態にかかる光ディスクの製造方法およびその製造装置により製造される光ディスクの断面構造図である。
【図２】  （ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ本発明にかかる第一の実施形態の光ディスクの製造方法の製造工程を説明する図である。
【図３】  （ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ本発明にかかる第一の実施形態の光ディスクの製造方法を実施するための製造装置の概略図である。
【図４】  （ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ本発明にかかる第二の実施形態の光ディスクの製造方法の製造工程を説明する図である
【図５】  （ａ），（ｂ）はそれぞれ本発明にかかる第二の実施形態の光ディスクの製造方法を実施するための製造装置の概略図である。
【図６】  （ａ），（ｂ）は、それぞれ、図５（ａ），（ｂ）に引き続き、本発明にかかる第二の実施形態の光ディスクの製造方法を実施するための製造装置の概略図である。
【図７】  （ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ従来の光ディスクの製造工程を説明する図である。
【図８】  上記製造装置の吸着プレートの斜視図である。
【図９】  上記製造装置の吸着プレートの変形例の斜視図である。
【符号の説明】
１０１…光ディスク、
１０２…ディスク基板、
１０３…接着剤、
１０４…透光性樹脂基板、
１０５…誘電体膜、
１０６…記録膜、
１０７…誘電体膜、
１０８…反射膜、
１０９…吸着プレート、
１１０…紫外線照射機、
１９０…ディスク、
２０１…下基板の吸着プレート、
２０２…上基板の吸着プレート、
２０３…接着剤を供給する塗布ノズル、
２０４…紫外線照射機、
２０５…下基板、
２０６…上基板、
２４０…接着剤、
２５０…制御装置、
２５１…塗布ノズル駆動装置、
２５５…下側駆動装置、
２５７…上側駆動装置、
２９０…吸引装置、
３０１…第一のステージ、
３０２…第二のステージ、
３０３…下基板の吸着プレート、
３０４…上基板の吸着プレート、
３０５…接着剤、
３０６…接着剤を供給する塗布ノズル、
３０７…第一の紫外線照射機、
３０８…テーブル、
３０９…第二の紫外線照射機、
３１０…上基板、
３１１…下基板、
３１２…センターポール、
３９０…部分硬化ディスク。
【図１】
0003675635.tif 000002
【図２】
0003675635.tif 000003
【図３】
0003675635.tif 000004
【図４】
0003675635.tif 000005
【図５】
0003675635.tif 000006
【図６】
0003675635.tif 000007
【図７】
0003675635.tif 000008
【図８】
0003675635.tif 000009
【図９】
0003675635.tif 000010