(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査品（Ｂ）に結合されてこの検査品（Ｂ）に検査流体を供給する検査装置用結合治具であって、
前記検査流体が流れる流路（１ａ）を備えたハウジング（１）と、
前記ハウジング（１）に備えられ外部から検査流体を前記流路（１ａ）に導入する流体導入部（５）と、
前記ハウジング（１）に移動可能に保持され、前記検査品（Ｂ）と結合されて前記流路（１ａ）から前記検査流体を前記検査品（Ｂ）に供給する複数個の可動結合体（２）と、
前記複数個の可動結合体（２）と前記ハウジング（１）とで構成された１つの連続した密閉空間から構成されて内部に液体が封入された液体封入室（３）とを備え、
前記複数個の可動結合体（２）に前記液体封入室（３）から同一圧力が作用することを特徴とする検査装置用結合治具。
【請求項２】
前記流路（１ａ）および前記流体導入部（５）は、前記複数個の可動結合体（２）毎に、独立して備えられていることを特徴とする請求項１記載の検査装置用結合治具。
【請求項３】
前記ハウジング（１）には前記液体封入室（３）につながる液体注入口（１ｃ）が設けられ、
前記注入口（１ｃ）には前記注入口（１ｃ）を塞ぐプラグ（６）が取付位置を調整可能に配設されていることを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置用結合治具。
【請求項４】
検査流体を供給する流体供給手段（１０〜１２）と、
前記検査品（Ｂ）を固定する検査品固定手段（３０）と、
複数個の請求項１ないし３のいずれか１つに記載の検査装置用結合治具（Ａ）から前記検査品（Ｂ）に対応したもの選択し、前記検査品（Ｂ）と接続可能な位置に移動させる治具移動手段（４０）と、
前記移動された検査装置用結合治具（Ａ）において、前記複数個の可動結合体（２）と前記検査品（Ｂ）とを接続するとともに、前記流体導入部（５）と前記流体供給手段（１０〜１２）とを接続する治具接続手段（５０）とが備えられていることを特徴とする検査装置用結合治具を用いた検査装置。
【請求項５】
前記治具移動手段（４０）および前記治具接続手段（５０）は、１個の前記検査品（Ｂ）の周囲に、互いに異なる位置に複数個配置されていることを特徴とする請求項４に記載の検査装置用結合治具を用いた検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査品の漏れ検査等を行う検査装置において、検査装置と検査品との間で検査流体を検査品に供給するための配管をするための検査装置用結合治具及びその治具を用いた検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、検査流体を検査装置から多種の検査品（例えば、油圧バルブ、インジェクタ等）に供給するための配管結合方法は、各検査品毎に、検査装置に配管された柔軟性を有する耐圧配管を手作業で結合していた。そして、この配管から検査流体（空気等）を検査品に供給し、検査品の漏れおよび検査品の作動中の圧力変動等を検査していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、検査品において、上記耐圧配管と結合される結合部位置は機械加工（ＮＣ機械加工等）の為、同一品番内でのばらつきはほとんど考えられないが、検査品には上記耐圧配管と接続するための別部品を組付（圧入）する為、結合部の長さ（上下方向に結合する場合は高さ）については最大１ｍｍ程度のばらつきが起こる。
【０００４】
この程度のばらつきがあっても、上記手作業による結合方法によれば、両者が結合部において均一に接触するように、すなわち均一な接触圧力（結合圧力）を得ることができるが、手作業では、作業能率が悪く検査時間が長くかかってしまう。
ここで、上記耐圧配管と検査品とを、作業能率向上のために自動で配管結合しようとすると、上記結合部の長さのばらつきのために両者が結合部において均一に接触しないため、接触圧力にばらつきが起こる。均一に接触しない場合、例えば、高圧（例えば２００ｋｇ／ｃｍ2 程度）の流体圧力が結合部にかかると、気密性と耐久性を共に確保することが難しくなり、結合部の頻繁な調整や交換が必要になり、作業効率が悪くなるという問題がある。
【０００５】
そこで、検査流体の流体圧力に対処するため、一番弱い結合部の接触圧力が所定の圧力以上になるように加圧する必要があるが、最大の加圧力がかかる結合部と、最小の加圧力がかかる結合部との差が大きくなり、片荷重がかかり、強度的に持たないという問題がある。
従って、検査品の結合部の長さばらつきを吸収する結合治具を用いて、検査装置と検査品とを結合（接続）するようにすれば、配管結合の自動化を図ることができると考えられる。
【０００６】
そこで、本発明は上記点に鑑みて、検査品の漏れ検査等を行う検査装置に用いられ、検査装置と検査品との間で検査流体を検査品に供給するための配管を行う治具であって、配管の際に検査品の結合部の長さばらつきを吸収して、結合部の気密性を確保できる検査装置用結合治具およびこの治具を用いた検査装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、検査流体を洩れなく密封する為に、配管結合具を長さばらつきに無関係に独立し、且つばらつきを吸収し密着できるようにすれば良いのではないかと考え、上記目的を達成することとした。
すなわち、請求項１記載の発明によれば、検査品（Ｂ）に結合されてこの検査品（Ｂ）に検査流体を供給する検査装置用結合治具であって、検査流体が流れる流路（１ａ）を備えたハウジング（１）と、このハウジング（１）に備えられ外部から検査流体を流路（１ａ）に導入する流体導入部（５）と、ハウジング（１）に移動可能に保持され、検査品（Ｂ）と結合されて流路（１ａ）から検査流体を検査品（Ｂ）に供給する複数個の可動結合体（２）と、複数個の可動結合体（２）とハウジング（１）とで構成された１つの連続した密閉空間から構成されて内部に液体が封入された液体封入室（３）とを備え、複数個の可動結合体（２）に液体封入室（３）から同一圧力が作用することを特徴とする。
【０００８】
それによって、液体封入室（３）は複数個の可動結合体（２）とハウジング（１）とで構成された１つの連続した密閉空間から構成されて内部に液体が封入されているため、この液体封入室（３）から複数個の可動結合体（２）に同一圧力が作用し、複数個の可動結合体（２）が検査品（Ｂ）と接触する接触圧力で全て同じになる。よって、接触位置の変化を吸収でき、配管の際に検査品（Ｂ）の結合部の長さばらつきを吸収して、結合部の気密性を確保できる。
【０００９】
従って、流体を用いた検査装置と検査品（Ｂ）の間の配管を確実に行うことができることから、正確な検査ができる検査装置用結合治具を提供することができる。
また、請求項２記載の発明によれば、流路（１ａ）および流体導入部（５）は、複数個の可動結合体（２）毎に、独立して備えられているから、各可動結合体（２）毎に違った検査流体を流すことができ、検査品（Ｂ）のそれぞれの配管内に違った検査流体を送り込むことができる。従って、検査品（Ｂ）のそれぞれの配管内の検査を独立して同時に実施することが可能な検査装置用結合治具を提供することができる。
【００１０】
さらに、請求項３記載の発明によれば、ハウジング（１）には液体封入室（３）につながる液体注入口（１ｃ）が設けられ、注入口（１ｃ）には注入口（１ｃ）を塞ぐプラグ（６）が取付位置を調整可能に配設されていることを特徴とする。それによって、プラグ（６）が注入口（１ｃ）の取付位置に対して、任意の位置で固定可能とできるから、位置調整により液体封入室（３）の圧力を任意に変えることができ、この圧力を受ける可動結合体（２）の初期位置を調整できる。
【００１１】
また、上記の請求項１ないし３のいずれか１つに記載の検査装置用結合治具（Ａ）（以下、本欄において治具（Ａ）とする）を用いた検査装置としては、次のようなものにできる。
すなわち、請求項４記載の発明によれば、検査流体を供給する流体供給手段（１０〜１２）と、検査品（Ｂ）を固定する検査品固定手段（３０）と、複数個の治具（Ａ）から検査品（Ｂ）に対応したもの選択し、検査品（Ｂ）と接続可能な位置に移動させる治具移動手段（４０）と、移動された治具（Ａ）において複数個の可動結合体（２）と検査品（Ｂ）とを接続するとともに、流体導入部（５）と流体供給手段（１０〜１２）とを接続する治具接続手段（５０）とが備えられていることを特徴とする。
【００１２】
それによって、検査すべき検査品（Ｂ）に対応した治具（Ａ）を選んで使用することにより、自動で多種の検査品に対応し、流体を用いた検査を実施することができる検査装置を提供できる。
さらに、請求項５記載の発明によれば、治具移動手段（４０）および治具接続手段（５０）は、１個の検査品（Ｂ）の周囲に互いに異なる位置に複数個配置されているから、１個の検査品（Ｂ）に対して複数個の治具（Ａ）を選択でき、結合部位置に応じて多方向から配管結合できる。
【００１３】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施形態について説明する。
図１は、本実施形態に係る検査装置用結合治具の内部構造を示す断面図である。図１においてＡは検査装置用結合治具（以下、治具という）である。治具Ａは検査品Ｂ（図２参照）に結合されてこの検査品Ｂに検査流体（空気等の気体および水、油等の液体等）を供給するものである。
【００１５】
検査品Ｂとしては、例えば、油圧バルブ、インジェクタ等の内部に高圧（例えば、２００ｋｇ／ｃｍ2 程度）の流体が作用する高圧流体機器等が挙げられ、その検査としては、漏れ検査、作動検査等が挙げられる。
図１において、１はベースとなるハウジングであり、内部に検査流体が流れる流路１ａが形成されている。このハウジング１は鉄系金属等からなり切削加工等により形成されている。
【００１６】
２は検査品Ｂと結合される部分である可動結合体であり、検査すべき検査品Ｂの複数個の結合部と同じ複数個（本例では２個）、ハウジング１に保持されている。可動結合体２は、本例では長手方向と直交する方向に突出した突出部２０が形成された柱形状を成しており、鉄系金属等の切削加工等により形成されている。また、外周には密閉性を確保するシールリング２１が設けられている。
【００１７】
可動結合体２は、ハウジング１に形成された穴１ｂに挿入され、穴１ｂの内面とシールリング２１を介して摺動可能に接し、ハウジング１に対して移動（図１の左右方向）可能となっている。ここで、図１に示すように、穴１ｂは突出部２０に対応して拡径した部分を有し、突出部２０がハウジング１内に納まるようになっている。
【００１８】
また、可動結合体２の内部には、検査流体が流通するための流路２２が形成されている。流路２２の一端は検査品Ｂと結合された際に検査品Ｂ内の配管と連通する開口部２２ａが形成され、他端は流路１ａと連通する開口部２２ｂが形成されている。
従って、可動結合体２が検査品Ｂと結合された際、検査流体は流路１ａから開口部２２ｂを通り、流路２２を流れて開口部２２ａから検査品Ｂに流入することで、検査品Ｂに供給されるようになっている。
【００１９】
なお、開口部２２ｂは、後述する液体封入室３の圧力と、後述するカバー４とによって規制される可動結合体２の移動範囲内においては、流路１ｂと連通状態を保つような開口面積としている。
上記液体封入室３は内部に圧力伝達媒体としての液体（例えば、油等）が封入された密閉空間であり、可動結合体２とハウジング１とによって、すなわち可動結合体２の突出部２０と、上記した穴１ｂにおける拡径部分の内面とによって構成されている。
【００２０】
さらに、液体封入室３は、その一部として、ハウジング１内に形成された連通路３ａを有し、連通路３ａにより各可動結合体２に位置する液体封入室３の各部分は連通している。また、液体封入室３は、密閉栓３ｂと後述するプラグ６とにより密閉されている。なお、連通路３ａは、上記した可動結合体２の移動範囲内において、上記液体封入室３の各部分の連通を確保できるようになっている。
【００２１】
従って、液体封入室３は１つの連続した密閉空間として構成されて内部に液体が封入されたものとなっており、複数個の可動結合体２に液体封入室３の液体から同一圧力が作用する。
上記カバー４は、可動結合体２の穴１ｂからの抜けを防止する鉄系金属等からなる板状のカバーであり、ハウジング１に接合固定されている。可動結合体２の突出部２０が、図１の左方向に移動しても、突出部２０はカバー４にぶつかって止まるようになっている。なお、図１の右方向への可動結合体２の移動は、液体封入室３により最大変位を規制される。
【００２２】
５は、外部から検査流体を流路１ａに導入する流体導入管（流体導入部）であり、検査装置における検査流体を供給する流体供給手段等に対して脱着可能に接続されるようになっている。流体導入管５は鉄系金属等からなり、ハウジング１にシールリングを介して挿入され、図示しないフランジ等を介してネジ等の締結部材により固定されている。
【００２３】
６はハウジング１に形成された液体注入口１ｃに挿入された鉄系金属等からなる上記プラグであり、柱状（本例では円柱状）をなしている。ここで、液体注入口１ｃは上記液体封入室３に連通して、液体封入室３に液体を注入できるようになっている。プラグ６は液体注入口１ｃを塞ぐようになっており、液体封入室３の密閉性を確保する。
【００２４】
また、プラグ６は液体注入口１ｃとネジ嵌合されており、長軸回りに回転させることで、プラグ６は図１の左右方向に移動できる、すなわち取付位置を調整可能となっている。そのため、プラグ６は位置調整により液体封入室３の体積を任意に変えることができ、この圧力を受ける可動結合体２の初期位置を調整できるようになっている。
【００２５】
次に、上記治具Ａを用いた検査装置について図２〜図４を参照して述べる。図２は本実施形態に係る検査装置１００の回路図であり、図３は検査装置１００における治具Ａと検査品Ｂとの接続部分の構成を説明する斜視図である。また、図４は図３の接続部分の詳細を示す構成図である。
検査装置１００は検査品Ｂと治具Ａとを接続して、治具Ａを介して検査品Ｂに高圧（例えば２００ｋｇ／ｃｍ2 程度）の検査流体を流すもので、検査品Ｂおよび検査内容としては、上記と同様にできる。
【００２６】
図２において、１０は高圧の検査流体（空気）を供給する流体源であり、例えば、大気から空気を取り込んで放出するエアーポンプおよび供給空気圧を一定に制御するレギュレータ等から構成される。１１はバルブで、たとえば電磁弁等からなり、流体源１０と治具Ａとの流体通路１２を開閉するようになっている。
本例では、これら流体源１０、バルブ１１および流体通路１２が検査流体を供給する流体供給手段として構成されている。なお、流体通路１２においてバルブ１１と治具Ａとの間には、逆止弁１３が介在しており治具Ａから流体源１０への逆流を防止するようになっている。
【００２７】
１４は圧力センサ（圧力計測手段）であり、流体通路１２のうち逆止弁１３と治具Ａとの間の部位に配設され、回路内の圧力変化を検出するようになっている。
１５は電気回路等から構成されるコントローラ（制御手段）であり、バルブ１１、圧力センサ１４および検査品Ｂの作動制御を行うとともに、後述する治具移動手段（第１の治具移動手段）４０および治具接続手段（第１の治具接続手段）５０の作動制御を行うようになっている。
【００２８】
図３において、３０は検査品固定手段であり、検査品Ｂを載せる固定台３１と、固定台３１に載せられた検査品Ｂを締付け固定することで保持するクランプ３２とを備えている。
ここで、検査品Ｂは、品番等の識別印が記されたパレット等に載せられてベルトコンベヤー等の検査品移動手段にて固定台３１に載せられる。上記コントローラ１５は、この品番等の識別印によって検査品Ｂの種類を識別できるようになっている。
【００２９】
なお、図３の検査品Ｂにおいて、結合部（可動結合体２が挿入されて結合される穴）Ｂ１は複数個ある。図３中、白抜き矢印Ｘ１方向からみた面に４個あるほか、白抜き矢印Ｘ２方向からみた面にも複数個ある。
４０は上記治具移動手段（第１の治具移動手段）であり、複数個（図３中、４個）の治具Ａから検査品Ｂに対応したもの選択し、選択された治具Ａを検査品Ｂと接続可能な位置に移動させるものである。治具移動手段４０は、複数個の治具Ａを保持するようになっており、コントローラ１５からの信号により、固定された検査品Ｂに対して移動（図３中の矢印Ｙ１の方向）可能となっている。
【００３０】
そして、コントローラ１５にて識別された検査品Ｂに応じた治具Ａを、検査品Ｂの結合部と対向する位置、すなわち検査すべき検査品Ｂと接続可能な位置に移動させるようになっている。
５０は上記治具接続手段（第１の治具接続手段）であり、検査品Ｂと接続可能な位置に移動された治具Ａにおいて、複数個の可動結合体２と検査品Ｂとを接続するとともに、流体導入管５と上記流体供給手段（１０、１１、１２）とを接続するものである。
【００３１】
図４は治具接続手段５０の詳細構成であるが、ここに示すように、治具接続手段５０は、流体導入管５と流体通路１２とを接続する接続部（カプラ部）５１、接続部５１に取り付けられ接続部５１とともに移動するガイド部５２、接続部５１およびガイド部５２を移動させるシリンダー５３を備えている。なお、図３ではガイド部５２は省略してある。
【００３２】
接続部５１は、流体通路１２をなす管の流体源１０と反対側の端部に取付けられている。そして、シリンダー５３とは別のシリンダー５１ａ（図３参照）によりガイド部５２のガイド本体５２ａ内を、図３および図４に示す矢印Ｙ３方向の移動可能となっており、流体導入管５と脱着可能に接続されるようになっている。この接続部５１の移動は、上記コントローラ１５により制御される。
【００３３】
ガイド部５２は、接続部５１および流体導入管５と接続部５１との接続の際に治具Ａを保持するガイド本体５２ａと、ガイド本体５２ａに取り付けられ、検査装置１００の適所に設けられたフレーム５２ｃ上のレール等に沿ってガイド本体５２ａを移動させるためのガイド５２ｂとを備えている。
シリンダー５３は、ガイド本体５２ａに取り付けられ、ガイド本体５２ａおよびガイド５２ｂを、フレーム５２ｃに沿って図３および図４に示す矢印Ｙ２方向に移動させるようになっている。ここで、上記治具移動手段および各シリンダー５１ａ、５３は、コントローラ１５からの信号を受けてモータ等を介して機械的に駆動されるものにできる。
【００３４】
なお、図３中図示していないが、上記治具移動手段４０と同様の治具移動手段（第２の治具移動手段）が、複数個の治具Ａを矢印Ｙ３の方向に移動可能に設けられ、また、上記治具接続手段５０と同様の治具接続手段（第２の治具接続手段）が、選択されて接続可能な位置に移動した治具Ａを白抜き矢印Ｘ２方向に移動可能に設けられている。
【００３５】
次に、上記治具Ａおよび検査装置１００の構成に基づき、本実施形態の作動を説明する。
図３に示すように、コントローラ１５により品番を識別された検査品Ｂが固定台３１にセットされると、コントローラ１５から治具移動手段４０に指令が送られる。そして、検査品Ｂに対応する治具Ａが選定され、治具移動手段４０が矢印Ｙ１方向に適宜移動して、選定された治具Ａの可動結合体２を検査品Ｂの結合部Ｂ１の配置に対向する位置にセットする。なお、図示しない第２の治具移動手段においては、図３に示す矢印Ｙ３方向に適宜移動して、可動結合体２を同様にセットする。
【００３６】
次に、コントローラ１５によって、接続部５１を矢印Ｙ３方向に適宜移動させ、治具Ａの流体導入管５に接続し、流体導入管５と流体通路１２とを連通させる。また、この時、ガイド本体５２ａは治具Ａを保持する。こうして、接続部５１と治具Ａとが一体になる。なお、図示しない第２の治具接続手段においても、第１の治具接続手段５０と同様に作動する。
【００３７】
続いて、シリンダー５３がコントローラ１５からの指令により、一体となった接続部５１および治具Ａと、ガイド本体５２ａおよびガイド５２ｂとを、矢印Ｙ２方向に適宜移動させ、複数個の可動結合体２と検査品Ｂの結合部Ｂ１とを接続する。こうして、治具Ａを介した流体供給手段と検査品Ｂとの接続が終了する。ところで、上記の検査品Ｂの複数個の結合部と治具Ａの複数個の可動結合体２との接続において、検査品Ｂの結合部に長さばらつき（結合ばらつき）があっても、その結合ばらつきを吸収し、結合部の気密性を確保できる。この治具Ａのばらつき吸収作用について、図５を参照して述べる。
【００３８】
図５は、治具接続手段５０を例にとって、上記治具Ａのばらつき吸収作用を説明する説明図である。ここで、εは検査品Ｂの結合部Ｂ１の長さばらつきであり、例えば最大１ｍｍ程度である。また、図５では、可動結合体２および結合部Ｂ１の数を共に２個として説明しており、２点鎖線は可動結合体２が結合部Ｂ１に挿入されて接続された状態を示す。
【００３９】
図５中、２個の可動結合体２が、図５の白抜き矢印Ｘ１方向へ移動すると、この長さばらつきεにより、検査品Ｂの２個の結合部Ｂ１のうち片方（図５では右側）に先に接触した後、他方（図５では左側）に接触する。
このとき、２個の可動結合体２は、液体封入室３の連通路３ａを介して同一圧力を受けているので、検査品Ｂの２個の結合部Ｂ１と接触する接触圧力は全て同じになる。よって、治具Ａと検査品Ｂとの接続において、接触位置の変化を吸収でき、配管の際に検査品Ｂの結合部の長さばらつきを吸収して、結合部の気密性を確保できる。なお、上記のばらつき吸収作用は、図３に示す白抜き矢印Ｘ２方向からの接続においても、同様に行われる。
【００４０】
こうして、検査品Ｂと治具Ａとを接続した後、すなわち治具Ａを介して流体供給手段と検査品Ｂとを接続した後、検査装置１００を以下のように作動させる（図２参照）。
コントローラ１５の指令により、流体源１０を作動させバルブ１１を開き、治具Ａの可動結合体２を通じて検査流体を検査品Ｂに供給する。圧力センサ１４にて流体通路１２内の圧力を検知し、所定圧力に達した後、バルブ１１を閉じて密封する。そして、圧力センサ１４およびコントローラ１５により回路内の圧力を検知して、検査品Ｂの漏れ検査を行う。
【００４１】
コントローラ１５で漏れがあると判断した場合は、検査を中止する。漏れの無い場合には、コントローラ１５にて検査品Ｂ内部の駆動部に指令することにより、検査品Ｂを駆動させる。コントローラ１５内に予め記憶された検査品Ｂの駆動時における正常圧力値と、検査駆動時の回路内の圧力値（圧力変動）を比較して、検査品Ｂの作動の良否判定を行う。
【００４２】
ところで、本実施形態によれば、治具Ａの長さばらつき吸収作用により、流体を用いた検査装置１００と検査品Ｂの間の配管を確実に行うことができることから、正確な検査ができる検査装置用結合治具を提供することができる。
また、本実施形態によれば、治具Ａを検査品Ｂの種類に応じて複数セット持ち、コントローラ１５で検査品Ｂの品番を識別して、検査すべき検査品Ｂに対応した治具Ａを選んで使用することにより自動的に多種の検査品に対応することが可能になる。
【００４３】
また、検査品Ｂにおいて、複数の方向（本実施形態では、図３に示す白抜き矢印Ｘ１およびＸ２方向）に結合部Ｂ１を有する場合であっても、これら多方向に応じて治具Ａを複数個選択して接続できる。
（他の実施形態）
なお、上記実施形態の治具Ａにおいて、ハウジング１内の流路１ａおよび流体導入管５は、複数個の可動結合体２毎に、独立して備えられたものとしてもよい。それによって、各可動結合体２毎に違った検査流体を流すことができ、検査品のそれぞれの配管内に違った検査流体を送り込むことができる。従って、検査品のそれぞれの配管内の検査を独立して同時に実施することが可能な検査装置用結合治具を提供することができる。
【００４４】
また、コントローラ１５による検査品Ｂの識別は、品番識別でなくともカメラ等による形状識別でもよい。
さらに、検査品固定手段３０として、固定台３１に回転可能なターンテーブルを用いたものとしてもよい。
このように、本発明について上記各実施形態をもとに述べてきたが、本発明における長さばらつき吸収作用による結合部の気密性確保向上効果は、特に、例えば、油圧バルブ、インジェクタ等の内部に高圧（例えば、２００ｋｇ／ｃｍ2 程度）の流体が作用する高圧流体機器等の検査品に用いて好適である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る検査装置用結合治具の内部構造を示す断面図である。
【図２】上記実施形態に係る検査装置の回路図である。
【図３】上記検査装置における検査品接続部分の構成を示す斜視図である。
【図４】図３の接続部分の詳細を示す構成図である。
【図５】上記検査装置用結合治具の結合ばらつき吸収作用の説明図である。
【符号の説明】
１…ハウジング、１ａ…流路、１ｃ…液体注入口、２…可動結合体、
３…液体封入室、５…流体導入管、６…プラグ、１０…流体源、１１…バルブ、１２…流体通路、３０…検査品固定手段、４０…治具移動手段、
５０…治具接続手段、Ａ…検査装置用結合治具、Ｂ…検査品。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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