(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１分子中に下記式（１）の構造単位を２個以上有するエポキシ樹脂又はフェノール樹脂と、下記平均組成式（２）で表されるオルガノポリシロキサンとを反応させて得られるシリコーン変性エポキシ樹脂又はシリコーン変性フェノール樹脂であって、シリコーン変性エポキシ樹脂又はシリコーン変性フェノール樹脂中のオルガノポリシロキサン成分の含有量が８０重量％以下であり、かつ組成物中の有機樹脂成分全体における該オルガノポリシロキサン成分の含有量が３０重量％以上であり、これを単独で硬化させた場合、及びこれをエポキシ樹脂及び／又はフェノール樹脂に添加して硬化させた場合、硬化物中でオルガノポリシロキサン成分が相分離構造を形成しないシリコーン変性エポキシ樹脂又はシリコーン変性フェノール樹脂を含有することを特徴とする樹脂組成物。
【化１】
0003685253.tif 000028
（Ｒ1）a（Ｒ2）bＳｉＯ(4-a-b)/2                  （２）
（但し、式中Ｒ1はアミノ基、エポキシ基、ヒドロキシ基若しくはカルボキシル基を含有する１価の有機基、水素原子、ヒドロキシ基、アルコキシ基又はアルケニルオキシ基を示し、Ｒ2は非置換又は置換の一価炭化水素基を示し、ａ，ｂは０．００１≦ａ≦１、１≦ｂ≦２．５、１≦ａ＋ｂ≦３を満足する正数である。また、１分子中のケイ素原子の数は２〜１０００の整数であり、１分子中のケイ素原子に直結した官能基Ｒ1の数は１以上の整数である。）
【請求項２】
１分子中に式（１）の構造単位を２個以上有するエポキシ樹脂又はフェノール樹脂が、下記一般式（３），（４）又は（５）で示されることを特徴とする請求項１記載の樹脂組成物。
【化２】
0003685253.tif 000029
【請求項３】
請求項１又は２記載の樹脂組成物の硬化物で半導体素子の表面が被覆又は封止された半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、柔軟性・耐衝撃性に優れるシリコーン樹脂の特性と、接着性・耐熱性・耐湿性に優れるエポキシ樹脂又はフェノール樹脂の特性とを兼ね備えた硬化物を与える硬化性樹脂組成物及びこの組成物の硬化物で被覆又は封止された半導体装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
エポキシ樹脂及びフェノール樹脂は、接着性・耐熱性・耐湿性に優れており、その応用分野は接着剤や塗料はもとより、近年では半導体装置の封止材というハイテク分野にも拡大されている。しかし、剛直・脆いといった欠点を有し、特に自動車や航空機等の過酷な環境下では使用に耐えない場合がある。
【０００３】
これまでにも、様々な手法でエポキシ樹脂及びフェノール樹脂の硬化物の柔軟化が検討されている。その一つとして、本発明者らは、予めシリコーンと反応させた変性樹脂を用いる方法を提案している（特公昭６１−４８５４４号公報、特公昭６２−３６０５０号公報、特公昭６３−６３８０７号公報等）。これは、主成分であるエポキシ樹脂及びフェノール樹脂と変性成分であるシリコーンの相溶性を制御して相分離構造を形成し、この相分離が適度に微細である場合はこれが衝撃を吸収し、樹脂硬化物の柔軟化・強度向上に貢献するものである。しかし、この方法は低応力化の範疇にとどまるものであり、例えばシリコーン樹脂の柔軟性には及ばない。
【０００４】
一方、シリコーン樹脂では、エポキシ樹脂及びフェノール樹脂の接着性・耐熱性・耐湿性には遠く及ばない。
【０００５】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、エポキシ樹脂又はフェノール樹脂の接着性・耐熱性・耐湿性と、シリコーン樹脂の柔軟性・耐衝撃性とを兼ね備えた硬化物を与えるシリコーン変性エポキシ樹脂又はシリコーン変性フェノール樹脂を含有する樹脂組成物、並びにこの組成物の硬化物で被覆又は封止された半導体装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】
本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意検討を重ねた結果、１分子中に下記式（１）の構造単位を２個以上有するエポキシ樹脂又はフェノール樹脂と、下記平均組成式（２）で表されるオルガノポリシロキサンとを反応させて得られるシリコーン変性エポキシ樹脂又はシリコーン変性フェノール樹脂であって、シリコーン変性エポキシ樹脂又はシリコーン変性フェノール樹脂中のオルガノポリシロキサン成分の含有量が８０重量％以下であり、かつ組成物中の有機樹脂成分全体における該オルガノポリシロキサン成分の含有量が３０重量％以上であり、これを単独で硬化させた場合、及びこれを他のエポキシ樹脂及び／又はフェノール樹脂に添加して硬化させた場合、硬化物中でオルガノポリシロキサン成分が相分離構造を形成しないシリコーン変性エポキシ樹脂又はシリコーン変性フェノール樹脂を用いることにより、エポキシ樹脂又はフェノール樹脂の接着性・耐熱性・耐湿性と、シリコーン樹脂の柔軟性・耐衝撃性とを兼ね備えた硬化物が得られることを見出し、本発明をなすに至ったものである。
【０００７】
従って、本発明は、
１分子中に下記式（１）の構造単位を２個以上有するエポキシ樹脂又はフェノール樹脂と、下記平均組成式（２）で表されるオルガノポリシロキサンとを反応させて得られるシリコーン変性エポキシ樹脂又はシリコーン変性フェノール樹脂であって、シリコーン変性エポキシ樹脂又はシリコーン変性フェノール樹脂中のオルガノポリシロキサン成分の含有量が８０重量％以下であり、かつ組成物中の有機樹脂成分全体における該オルガノポリシロキサン成分の含有量が３０重量％以上であり、これを単独で硬化させた場合、及びこれをエポキシ樹脂及び／又はフェノール樹脂に添加して硬化させた場合、硬化物中でオルガノポリシロキサン成分が相分離構造を形成しないシリコーン変性エポキシ樹脂又はシリコーン変性フェノール樹脂を含有することを特徴とする樹脂組成物、
【０００８】
【化３】
0003685253.tif 000002
【０００９】
（Ｒ1）a（Ｒ2）bＳｉＯ(4-a-b)/2                  （２）
（但し、式中Ｒ1はアミノ基、エポキシ基、ヒドロキシ基若しくはカルボキシル基を含有する１価の有機基、水素原子、ヒドロキシ基、アルコキシ基又はアルケニルオキシ基を示し、Ｒ2は非置換又は置換の一価炭化水素基を示し、ａ，ｂは０．００１≦ａ≦１、１≦ｂ≦２．５、１≦ａ＋ｂ≦３を満足する正数である。また、１分子中のケイ素原子の数は２〜１０００の整数であり、１分子中のケイ素原子に直結した官能基Ｒ1の数は１以上の整数である。）
及びこの組成物の硬化物で半導体素子の表面が被覆又は封止された半導体装置を提供する。
【００１０】
以下、本発明につき更に詳しく説明する。
本発明に用いられるシリコーン変性エポキシ樹脂又はシリコーン変性フェノール樹脂は、１分子中に上記式（１）の構造単位を２個以上、好ましくは２〜１０個、より好ましくは２〜５個有するエポキシ樹脂又はフェノール樹脂と、上記平均組成式（２）で表されるオルガノポリシロキサンとを反応させて得られるものである。
【００１１】
本発明に用いられるシリコーン変性樹脂の原料となるエポキシ樹脂又はフェノール樹脂は、１分子中に下記式（１）の構造単位を２個以上有するものである。
【００１２】
【化４】
0003685253.tif 000003
【００１３】
ここで、Ｒ4の一価炭化水素基としては、炭素数１〜６、特に１〜３のものが好ましく、例えばメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基等のアルキル基、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ブテニル基等のアルケニル基、フェニル基等のアリール基などや、これらの炭化水素基の水素原子の一部又は全部をハロゲン原子などで置換したハロゲン置換一価炭化水素基を挙げることができる。
【００１４】
上記式（１）の構造単位を２個以上有することの理由は、以下の通りである。上記のエポキシ樹脂又はフェノール樹脂をオルガノポリシロキサンと反応させる場合、式（１）中のＲ3又はＲ4のいずれか一方が後述する式（２）中の官能基であるＲ1と反応する。ここで式（１）の構造単位が１個であり、かつＲ3と官能基Ｒ1が反応する場合、式（１）の部位からエポキシ基或いはフェノール性水酸基が失われ、エポキシ樹脂或いはフェノール樹脂としての機能を失う。また、式（１）の構造単位が１個であり、かつＲ4と官能基Ｒ1が反応する場合、同一のベンゼン環上にエポキシ基又はフェノール性水酸基とオルガノポリシロキサンとの両方が存在することになり、立体因子により反応性が低下する。一方、式（１）の構造単位が２個以上である場合、エポキシ樹脂又はフェノール樹脂とオルガノポリシロキサンとの配合比を制御すれば、一部のベンゼン環上ではエポキシ基又はフェノール性水酸基とオルガノポリシロキサンの一方のみが存在することが可能になり、反応性を維持することが可能となる。また、式（１）の構造単位が１個である場合よりも２個以上である場合の方が、シリコーン変性樹脂の官能基数が増大して硬化物の架橋密度が向上し、その結果、機械的強度・耐熱性・耐湿性が向上する。
【００１５】
上記のエポキシ樹脂及びフェノール樹脂の中でも、特に下記一般式（３），（４）又は（５）で示されるものが望ましい。
【００１６】
【化５】
0003685253.tif 000004
【００１７】
上記式（３），（４）又は（５）で示されるエポキシ樹脂及びフェノール樹脂として、より具体的には、以下の構造の化合物が挙げられる。
【００１８】
【化６】
0003685253.tif 000005
【００１９】
【化７】
0003685253.tif 000006
【００２０】
【化８】
0003685253.tif 000007
【００２１】
【化９】
0003685253.tif 000008
【００２２】
これらのエポキシ樹脂及びフェノール樹脂の分子量は、特に限定されるものではないが、シリコーン変性樹脂の粘度を低くし、樹脂組成物の作業性を向上させるためには、なるべく低分子量であることが望ましい。具体的には、ｎは０〜１０、ｍは０〜５、特にｎは０〜５（Ｒ5：−ＣＨ2−の場合）、或いは
【００２３】
【化１０】
0003685253.tif 000009
【００２４】
本発明に用いられるシリコーン変性樹脂の原料となるオルガノポリシロキサンは、下記平均組成式（２）で示される構造を有するものである。
【００２５】
（Ｒ1）a（Ｒ2）bＳｉＯ(4-a-b)/2                  （２）
（但し、式中Ｒ1はアミノ基、エポキシ基、ヒドロキシ基若しくはカルボキシル基を含有する１価の有機基、水素原子、ヒドロキシ基、アルコキシ基又はアルケニルオキシ基を示し、Ｒ2は非置換又は置換の一価炭化水素基を示し、ａ，ｂは０．００１≦ａ≦１、１≦ｂ≦２．５、１≦ａ＋ｂ≦３を満足する正数である。また、１分子中のケイ素原子の数は２〜１０００の整数であり、１分子中のケイ素原子に直結した官能基Ｒ1の数は１以上の整数である。）
【００２６】
上記式中、Ｒ1のアミノ基含有１価有機基としては、下記のもので例示される、アミノ基又はＮ−置換アミノ基で置換されたアルキル基などが挙げられる。
【００２７】
【化１１】
0003685253.tif 000010
（但し、ｋ＝１，２又は３である。）
【００２８】
エポキシ基含有１価有機基としては、下記のもので例示される、グリシジルオキシ基又は３，４−エポキシシクロヘキシル基で置換されたアルキル基などが挙げられる。
【００２９】
【化１２】
0003685253.tif 000011
（但し、ｋ＝１，２又は３である。）
【００３０】
ヒドロキシ基含有１価有機基としては、下記のもので例示されるヒドロキシ基又はヒドロキシフェニル基で置換されたアルキル基などが挙げられる。
【００３１】
【化１３】
0003685253.tif 000012
（但し、ｋ＝１，２又は３、ｒ＝０，１，２又は３である。）
【００３２】
カルボキシル基含有１価有機基としては、下記のもので例示される末端カルボキシル基置換アルキル基などが挙げられる。
【００３３】
【化１４】
0003685253.tif 000013
（但し、ｘは０〜１０の整数である。）
【００３４】
官能基Ｒ1としては、上記の他に水素原子、ヒドロキシ基、アルコキシ基、アルケニルオキシ基であり、水素原子、ヒドロキシ基はそれぞれケイ素原子に結合してヒドロシリル基（ＳｉＨ基）、シラノール基（ＳｉＯＨ基）を形成するものである。
【００３５】
また、アルコキシ基としては、炭素数１〜８、特に１〜４のものが好ましく、例えば、メトキシ基、エトキシ基、ｉｓｏ−プロポキシ基、ｎ−プロポキシ基、ｓｅｃ−プロポキシ基，ｎ−ブトキシ基、ｓｅｃ−ブトキシ基、ｉｓｏ−ブトキシ基、ｔｅｒｔ−ブトキシ基、ｎ−ペンチルオキシ基、ｓｅｃ−ペンチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、ｎ−ヘキシルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基等の直鎖状、分岐状もしくは環状のものが挙げられる。好ましくは、下記のものが挙げられる。
【００３６】
【化１５】
0003685253.tif 000014
（但し、ｋ＝１，２又は３である。）
【００３７】
アルケニルオキシ基としては、炭素数２〜６、特に２〜４のものが好ましく、例えば、アルケニルオキシ基の例としては、ビニルオキシ基、プロペニルオキシ基、イソプロペニルオキシ基、イソブテニルオキシ基等が挙げられる。
【００３８】
また、Ｒ2の置換又は非置換の一価炭化水素基としては、炭素数１〜１０、特に１〜６のものが好ましく、例えばメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、オクチル基、デシル基等のアルキル基、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ブテニル基等のアルケニル基、フェニル基、トリル基等のアリール基、ベンジル基、フェニルエチル基等のアラルキル基等や、これらの炭化水素基の水素原子の一部又は全部をハロゲン原子などで置換したハロゲン置換一価炭化水素基を挙げることができる。
【００３９】
更に、ａ，ｂは０．００１≦ａ≦１、１≦ｂ≦２．５、１≦ａ＋ｂ≦３を満足する正数であるが、特に０．０１≦ａ≦０．１、１．８≦ｂ≦２、１．８５≦ａ＋ｂ≦２．１の正数であることが好ましい。また、１分子中のケイ素原子数は２〜１０００であり、好ましくは２〜１００、より好ましくは５〜６０の整数であることが望ましく、１分子中のケイ素原子に直結した官能基Ｒ1の数は１以上、好ましくは２〜５の整数、更に好ましくは２である。
【００４０】
このようなオルガノポリシロキサンとしては、例えば下記式（６）で示されるオルガノハイドロジェンポリシロキサンや下記式（７）で示されるアミノ基、エポキシ基、ヒドロキシ基又はカルボキシル基含有オルガノポリシロキサンなどが挙げられる。
【００４１】
【化１６】
0003685253.tif 000015
【００４２】
上記式（６），（７）において、Ｒ2は式（３）のＲ2と同じ非置換又は置換の一価炭化水素基、好ましくはメチル基又はフェニル基を示し、Ｘはアミノ基、エポキシ基、ヒドロキシ基又はカルボキシル基含有一価炭化水素基などを示し、式（２）のＲ1に示されるものと同様のものを挙げることができる。ｐは０〜９８、特に３〜５８の整数であることが望ましく、ｑは０〜２０、特に０〜５の整数であることが望ましい。
【００４３】
上記式（６），（７）で示される化合物として、具体的には下記のオルガノポリシロキサンを挙げることができる。なお、各式におけるシロキサン単位の繰り返し数は一例として示したものであり、それぞれ上記ｐ，ｑに相当する範囲で任意の整数であってもよい。
【００４４】
【化１７】
0003685253.tif 000016
【００４５】
これらのオルガノポリシロキサンの分子量は、特に限定されるものではないが、１００〜１００００、特に５００〜５０００が望ましい。オルガノポリシロキサンの分子量が上記範囲にある場合、シリコーン変性樹脂の硬化物は相分離を起こさず均一であり、柔軟性・耐衝撃性に優れるシリコーン樹脂の特性と、接着性・耐熱性・耐湿性に優れるエポキシ樹脂又はフェノール樹脂の特性を兼ね備えることが可能となる。ここで、分子量が１００未満であると得られる硬化物が剛直で脆くなるおそれがあり、分子量が１００００より大きければ、相分離が起こる場合がある。
【００４６】
上記オルガノポリシロキサンの配合量は、特に制限されるものではなく、後述するシリコーン変性樹脂中のオルガノポリシロキサン成分の含有量が８０重量％以下を満足する量であることが望ましい。
【００４７】
本発明のシリコーン変性エポキシ樹脂及びシリコーン変性フェノール樹脂を得る方法としては、特に制限されるものではなく、公知の方法が採用されるが、特に、アルケニル基含有エポキシ樹脂或いはアルケニル基含有フェノール樹脂中のアルケニル基と、ケイ素原子に結合した水素原子（ＳｉＨ基）を少なくとも１個含有するオルガノポリシロキサン（即ち、オルガノハイドロジェンポリシロキサン）中のＳｉＨ基とのヒドロシリル化付加反応により得られたものであることが好ましい。
【００４８】
本発明の樹脂組成物においては、その硬化物中のオルガノポリシロキサン成分が相分離構造を形成せず、均一であることが必須である。この相分離を支配する要因としては、シリコーン変性樹脂（シリコーン変性エポキシ樹脂又はシリコーン変性フェノール樹脂）中のオルガノポリシロキサン成分の含有量と、樹脂組成物中に含有する有機樹脂成分全体（即ち、シリコーン変性エポキシ樹脂、シリコーン変性フェノール樹脂と、後述する任意成分としてのエポキシ樹脂及び／又はフェノール樹脂との合計）におけるオルガノポリシロキサン成分の含有量の２つが挙げられる。
【００４９】
ここで、上記で得られたシリコーン変性エポキシ樹脂及びシリコーン変性フェノール樹脂中のオルガノポリシロキサン成分の含有量は、８０重量％以下、特に７０重量％以下であることが望ましい。含有量が８０重量％よりも多い場合、シリコーン変性樹脂中でオルガノポリシロキサン成分が相分離構造を形成して不均一になるおそれがあり、これを樹脂組成物中に添加すると、やはりオルガノポリシロキサン成分が相分離構造を形成して不均一になる。その結果、オルガノポリシロキサン成分の含有量が多いために柔軟性・耐衝撃性に優れるシリコーン樹脂の特性は維持されるものの、接着性・耐熱性・耐湿性に優れるエポキシ樹脂又はフェノール樹脂の特性が失われる。なお、この下限は特に限定されないが、１０重量％以上、好ましくは２０重量％以上、より好ましくは３０重量％以上であることが望ましい。このオルガノポリシロキサン成分の含有量が少なすぎると、後述する有機樹脂成分全体におけるオルガノポリシロキサン成分の含有量を好適な範囲に制御することが困難になる場合がある。
【００５０】
また、樹脂組成物中の有機樹脂成分全体（シリコーン変性エポキシ樹脂、シリコーン変性フェノール樹脂と、後述する任意成分としてのエポキシ樹脂及び／又はフェノール樹脂との合計）におけるオルガノポリシロキサン成分の含有量は、３０重量％以上である。含有量が１０重量％よりも少ない場合、オルガノポリシロキサン成分が相分離構造を形成して不均一になるおそれがある。その結果、オルガノポリシロキサン成分の含有量が少ないために、接着性・耐熱性・耐湿性に優れるエポキシ樹脂又はフェノール樹脂の特性は維持されるものの、剛直で脆くなり、柔軟性・耐衝撃性に優れるシリコーン樹脂の特性が失われる。なお、この上限は特に制限されないが、前述したシリコーン変性樹脂中でのオルガノポリシロキサン成分の含有量と同様の理由で、８０重量％以下であることが好ましい。
【００５１】
上記で得られたシリコーン変性エポキシ樹脂の粘度及びエポキシ当量或いはシリコーン変性フェノール樹脂の粘度及びフェノール性水酸基当量は、特に限定されるものではなく、室温で液状のものから固体状のものまで用途に応じて任意に設定し得るものである。特に室温で液状の樹脂組成物に関しては、シリコーン変性エポキシ樹脂の粘度は、２５℃において０．０１〜１００Ｐａ・ｓ（パスカル・秒）、特に０．１〜２０Ｐａ・ｓであることが好ましく、また、シリコーン変性エポキシ樹脂のエポキシ当量は、１００〜２，０００、特に２００〜１，０００であることが好ましい。
【００５２】
シリコーン変性フェノール樹脂の粘度は、２５℃において０．０１〜２００Ｐａ・ｓ、特に０．１〜１００Ｐａ・ｓであることが好ましく、また、シリコーン変性フェノール樹脂のフェノール性水酸基当量は、１００〜２，０００、特に２００〜１，０００であることが好ましい。
【００５３】
本発明の樹脂組成物において、シリコーン変性エポキシ樹脂とシリコーン変性フェノール樹脂とは併用することが好ましい。
【００５４】
本発明の樹脂組成物における上記シリコーン変性エポキシ樹脂及びシリコーン変性フェノール樹脂の配合量は、特に限定されるものではないが、上述した樹脂組成物中の有機樹脂成分全体（シリコーン変性エポキシ樹脂、シリコーン変性フェノール樹脂と、後述する任意成分としてのエポキシ樹脂及び／又はフェノール樹脂との合計）におけるオルガノポリシロキサン成分の含有量が、１０重量％以上となる量であることが望ましい。含有量が１０重量％未満であると得られる硬化物が剛直で脆くなるおそれがある。
【００５５】
本発明の樹脂組成物には、上記のシリコーン変性樹脂に加えて、公知のエポキシ樹脂やフェノール樹脂を用いることができる。
【００５６】
エポキシ樹脂としては、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有するものであれば、分子構造、分子量等に制限はなく、従来から知られている種々のエポキシ樹脂の中から適宜選択して使用することができる。使用するエポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、トリフェノールプロパン型エポキシ樹脂等のトリフェノールアルカン型エポキシ樹脂及びその重合物、ビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂、ナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン−フェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環型エポキシ樹脂、ハロゲン化エポキシ樹脂等が挙げられ、これらのエポキシ樹脂は単独又は２種以上混合して用いることができる。
【００５７】
また、フェノール樹脂としては、１分子中にフェノール性水酸基を２個以上有するフェノール樹脂を好適に使用することができ、具体的には、ビスフェノールＡ型樹脂、ビスフェノールＦ型樹脂等のビスフェノール型樹脂、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂等のノボラック樹脂、トリフェノールメタン型樹脂、トリフェノールプロパン型樹脂等のトリフェノールアルカン型樹脂、レゾール型フェノール樹脂、フェノールアラルキル樹脂、ビフェニル型フェノール樹脂、ナフタレン型フェノール樹脂、シクロペンタジエン型フェノール樹脂などが挙げられる。これらの硬化剤は単独又は２種以上混合して用いることができる。
【００５８】
これらエポキシ樹脂及びフェノール樹脂の配合量は、上記シリコーン変性樹脂を考慮して決定され、シリコーン変性エポキシ樹脂及びエポキシ樹脂中のエポキシ基とシリコーン変性フェノール樹脂及びフェノール樹脂中のフェノール性水酸基のモル比が、０．８≦（エポキシ基）／（フェノール性水酸基）≦１．２５であることが望ましく、特に０．９≦（エポキシ基）／（フェノール性水酸基）≦１．１であることが望ましい。上記モル比がこの範囲にない場合は一部未反応になり、硬化物の特性、更にはこれを用いる半導体装置の性能に支障をきたすおそれがある。
【００５９】
本発明の樹脂組成物には、更に硬化促進剤を用いることが好ましい。硬化促進剤としては、シリコーン変性エポキシ樹脂、エポキシ樹脂と、シリコーン変性フェノール樹脂、フェノール樹脂との硬化反応を促進させるものならば特に限定されず、具体的にはイミダゾール化合物、３級アミン化合物、有機リン系化合物から選ばれる１種又は２種以上が挙げられるが、特に耐湿信頼性を考慮すると有機リン系化合物が望ましい。
【００６０】
ここで、イミダゾール化合物としては、２−メチルイミダゾール、２−エチルイミダゾール、４−メチルイミダゾール、４−エチルイミダゾール、２−フェニルイミダゾール、２−フェニル−４−メチルイミダゾール、２−フェニル−４−ヒドロキシメチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−メチルイミダゾール、２−フェニル−４−メチル−５−ヒドロキシメチルイミダゾール、２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。
【００６１】
また、３級アミン化合物としては、トリエチルアミン、ベンジルジメチルアミン、ベンジルトリメチルアミン、α−メチルベンジルジメチルアミン等の窒素原子に結合する置換基としてアルキル基やアラルキル基を有するアミン化合物、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］ウンデセン−７及びそのフェノール塩、オクチル酸塩、オレイン酸塩などのシクロアミジン化合物やその有機酸との塩、或いは下記式の化合物などのシクロアミジン化合物と４級ホウ素化合物との塩又は錯塩などが挙げられる。
【００６２】
【化１８】
0003685253.tif 000017
【００６３】
また、有機リン系化合物としては、トリフェニルホスフィン、トリブチルホスフィン、トリ（ｐ−メチルフェニル）ホスフィン、トリ（ノニルフェニル）ホスフィン、トリフェニルホスフィン・トリフェニルボラン等のトリオルガノホスフィン化合物やテトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート等の４級ホスホニウム塩などが挙げられる。
【００６４】
これらの硬化促進剤の添加量は、上記有機樹脂成分全体（シリコーン変性エポキシ樹脂、シリコーン変性フェノール樹脂と、任意成分としてのエポキシ樹脂及び／又はフェノール樹脂との合計）１００重量部に対して、通常１０重量部以下（０〜１０重量部）、望ましくは０．１〜１０重量部、より望ましくは０．５〜５重量部が好ましい。硬化促進剤が０．１重量部未満である場合は樹脂組成物が硬化不十分になるおそれがあり、また１０重量部より多い場合は樹脂組成物の保存性に支障をきたすおそれがある。
【００６５】
本発明の樹脂組成物には、用途に応じてシリカ、アルミナ、タルク、マイカ、窒化ケイ素、窒化ホウ素、銀等の無機質充填剤、その他に難燃剤、イオントラップ剤、ワックス、着色剤、接着助剤等を本発明の目的を損なわない範囲で添加することができる。
【００６６】
本発明の樹脂組成物の各成分は、公知の方法により混合することができ、例えば、シリコーン変性エポキシ樹脂、シリコーン変性フェノール樹脂及び必要に応じてエポキシ樹脂、フェノール樹脂、硬化促進剤、無機質充填剤などを同時に又は別々に必要により加熱処理を加えながら撹拌、溶解、混合、分散させることにより製造することができる。上記成分を混合する混合機としては、樹脂組成物がペースト状である場合はミキサー等を用いることができ、固形である場合はロール、ルーダー等を用いることができる。必要に応じて混合順序、時間、温度、気圧等の条件を選定することにより、目的とする樹脂組成物を得ることができる。
【００６７】
なお、本発明の樹脂組成物の粘度は、特に限定されるものではなく、室温で固体状のものから液状のものまで用途に応じて任意に設定されるものであるが、特に液状の樹脂組成物の場合には２５℃において１０〜１，０００Ｐａ・ｓであることが好ましい。
【００６８】
本発明の樹脂組成物は、半導体素子の表面を被覆・封止するのに好適に用いられる。半導体装置の種類としては、特に限定されるものではないが、ＣＯＦやＣＯＢ等のように柔軟な基材と硬いチップを接着させる用途に好適に用いることができる。
【００６９】
本発明の樹脂組成物を用いて半導体を被覆又は封止する場合の方法、条件は、常法とすることができるが、この加熱硬化条件としては、８０〜２００℃で、３０〜３００分とすることが好ましい。
【００７０】
ここで、本発明の樹脂組成物においては、その硬化物中のオルガノポリシロキサン成分が相分離構造を形成せず、均一であることが必須であり、硬化物中のオルガノポリシロキサン成分が均一であることは、その外観によって判断され、透明である場合は均一、不透明である場合は不均一である。
【００７１】
本発明の樹脂組成物は、従来公知の半導体封止用樹脂組成物の接着性・耐熱性・耐湿性を損なうことなく、かつ極めて柔軟性・耐衝撃性に優れる硬化物となるため、機械的・熱的挙動の大きく異なる部品の接着界面において、両者間に生じるストレスを十分に吸収・緩和し得る。
【００７２】
【実施例】
以下、合成例及び実施例と比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。
【００７３】
シリコーン変性樹脂の合成
以下の合成例１〜１２で得られたシリコーン変性エポキシ樹脂（化合物Ａ〜Ｆ）及びシリコーン変性フェノール樹脂（化合物Ｇ〜Ｌ）は、いずれも原料のオルガノハイドロジェンポリシロキサン中のケイ素原子結合水素原子（ＳｉＨ基）と、エポキシ樹脂或いはフェノール樹脂中の芳香族環に結合したアルケニル基（アリル基）とがヒドロシリル化付加反応により生成した付加反応物である（−ＳｉＨ＋ＣＨ2＝ＣＨＣＨ2−  →  −ＳｉＣＨ2ＣＨ2ＣＨ2−）。
【００７４】
［合成例１］
撹拌羽根、滴下漏斗、温度計、エステルアダプターと環流管を取り付けたフラスコに、下記式（８）のエポキシ樹脂４２．０ｇ（０．１０ｍｏｌ）とトルエン１６８．０ｇを入れ、１３０℃／２時間で共沸脱水を行った。これを１００℃に冷却し、触媒（信越化学工業（株）製ＣＡＴ−ＰＬ−５０Ｔ）０．５ｇを滴下し、直ちに下記式（１４）のオルガノポリシロキサン３６．３ｇ（０．０５ｍｏｌ）とトルエン１４５．２ｇの混合物を３０分程度で滴下し、更に１００℃／６時間で熟成した。これからトルエンを除去し、黄色透明液体（η＝５Ｐａ・ｓ／２５℃，エポキシ当量４００，オルガノポリシロキサン含有量４６．４重量％）を得た。これを化合物Ａとする。
【００７５】
【化１９】
0003685253.tif 000018
【００７６】
［合成例２］
撹拌羽根、滴下漏斗、温度計、エステルアダプターと環流管を取り付けたフラスコに、前記式（８）のエポキシ樹脂４２．０ｇ（０．１０ｍｏｌ）とトルエン１６８．０ｇを入れ、１３０℃／２時間で共沸脱水を行った。これを１００℃に冷却し、触媒（信越化学工業（株）製ＣＡＴ−ＰＬ−５０Ｔ）０．５ｇを滴下し、直ちに下記式（１５）のオルガノポリシロキサン１１０．３ｇ（０．０５ｍｏｌ）とトルエン４４１．２ｇの混合物を３０分程度で滴下し、更に１００℃／６時間で熟成した。これからトルエンを除去し、黄色透明液体（η＝２Ｐａ・ｓ／２５℃，エポキシ当量７７０，オルガノポリシロキサン含有量７２．４重量％）を得た。これを化合物Ｂとする。
【００７７】
【化２０】
0003685253.tif 000019
【００７８】
［合成例３］
撹拌羽根、滴下漏斗、温度計、エステルアダプターと環流管を取り付けたフラスコに、前記式（８）のエポキシ樹脂４２．０ｇ（０．１０ｍｏｌ）とトルエン１６８．０ｇを入れ、１３０℃／２時間で共沸脱水を行った。これを、１００℃に冷却し、触媒（信越化学工業（株）製ＣＡＴ−ＰＬ−５０Ｔ）０．５ｇを滴下し、直ちに下記式（１６）のオルガノポリシロキサン２２１．３ｇ（０．０５ｍｏｌ）とトルエン８８５．２ｇの混合物を３０分程度で滴下し、更に１００℃／６時間で熟成した。これからトルエンを除去し、黄色不透明液体（η＝１Ｐａ・ｓ／２５℃，エポキシ当量７７０，オルガノポリシロキサン含有量８４．０重量％）を得た。これを化合物Ｃとする。
【００７９】
【化２１】
0003685253.tif 000020
【００８０】
［合成例４］
撹拌羽根、滴下漏斗、温度計、エステルアダプターと環流管を取り付けたフラスコに、前記式（８）のエポキシ樹脂４２．０ｇ（０．１０ｍｏｌ）とトルエン１６８．０ｇを入れ、１３０℃／２時間で共沸脱水を行った。これを１００℃に冷却し、触媒（信越化学工業（株）製ＣＡＴ−ＰＬ−５０Ｔ）０．５ｇを滴下し、直ちに下記式（１７）のオルガノポリシロキサン１２２．９ｇ（０．０５ｍｏｌ）とトルエン４９１．６ｇの混合物を３０分程度で滴下し、更に１００℃／６時間で熟成した。これからトルエンを除去し、黄色透明液体（η＝４Ｐａ・ｓ／２５℃，エポキシ当量８３０，オルガノポリシロキサン含有量７４．５重量％）を得た。これを化合物Ｄとする。
【００８１】
【化２２】
0003685253.tif 000021
【００８２】
［合成例５］
撹拌羽根、滴下漏斗、温度計、エステルアダプターと環流管を取り付けたフラスコに、下記式（９）のエポキシ樹脂３７．８ｇ（０．１０ｍｏｌ）とトルエン１５１．２ｇを入れ、１３０℃／２時間で共沸脱水を行った。これを１００℃に冷却し、触媒（信越化学工業（株）製ＣＡＴ−ＰＬ−５０Ｔ）０．５ｇを滴下し、直ちに前記式（１４）のオルガノポリシロキサン３６．３ｇ（０．０５ｍｏｌ）とトルエン１４５．２ｇの混合物を３０分程度で滴下し、更に１００℃／６時間で熟成した。これからトルエンを除去し、黄色透明液体（η＝３Ｐａ・ｓ／２５℃，エポキシ当量３７０，オルガノポリシロキサン含有量４９．０重量％）を得た。これを化合物Ｅとする。
【００８３】
【化２３】
0003685253.tif 000022
【００８４】
［合成例６］
撹拌羽根、滴下漏斗、温度計、エステルアダプターと環流管を取り付けたフラスコに、下記式（１０）のエポキシ樹脂５８．０ｇ（０．１０ｍｏｌ）とトルエン２３２．０ｇを入れ、１３０℃／２時間で共沸脱水を行った。これを１００℃に冷却し、触媒（信越化学工業（株）製ＣＡＴ−ＰＬ−５０Ｔ）０．５ｇを滴下し、直ちに前記式（１５）のオルガノポリシロキサン１１０．３ｇ（０．０５ｍｏｌ）とトルエン４４１．２ｇの混合物を３０分程度で滴下し、更に１００℃／６時間で熟成した。これからトルエンを除去し、黄色透明液体（η＝５Ｐａ・ｓ／２５℃，エポキシ当量８５０，オルガノポリシロキサン含有量６５．５重量％）を得た。これを化合物Ｆとする。
【００８５】
【化２４】
0003685253.tif 000023
【００８６】
［合成例７］
撹拌羽根、滴下漏斗、温度計、エステルアダプターと環流管を取り付けたフラスコに、下記式（１１）のフェノール樹脂３０．８ｇ（０．１０ｍｏｌ）とトルエン１２３．２ｇを入れ、１３０℃／２時間で共沸脱水を行った。これを１００℃に冷却し、触媒（信越化学工業（株）製ＣＡＴ−ＰＬ−５０Ｔ）０．５ｇを滴下し、直ちに前記式（１４）のオルガノポリシロキサン３６．３ｇ（０．５ｍｏｌ）とトルエン１４５．２ｇの混合物を３０分程度で滴下し、更に１００℃／６時間で熟成した。これからトルエンを除去し、褐色透明液体（η＝２０Ｐａ・ｓ／２５℃，フェノール当量３４０，オルガノポリシロキサン含有量５４．１重量％）を得た。これを化合物Ｇとする。
【００８７】
【化２５】
0003685253.tif 000024
【００８８】
［合成例８］
撹拌羽根、滴下漏斗、温度計、エステルアダプターと環流管を取り付けたフラスコに、前記式（１１）のフェノール樹脂３０．８ｇ（０．１０ｍｏｌ）とトルエン１２３．２ｇを入れ、１３０℃／２時間で共沸脱水を行った。これを１００℃に冷却し、触媒（信越化学工業（株）製ＣＡＴ−ＰＬ−５０Ｔ）０．５ｇを滴下し、直ちに前記式（１５）のオルガノポリシロキサン１１０．３ｇ（０．０５ｍｏｌ）とトルエン４４１．２ｇの混合物を３０分程度で滴下し、更に１００℃／６時間で熟成した。これからトルエンを除去し、褐色透明液体（η＝１０Ｐａ・ｓ／２５℃，フェノール当量７２０，オルガノポリシロキサン含有量７８．２重量％）を得た。これを化合物Ｈとする。
【００８９】
［合成例９］
撹拌羽根、滴下漏斗、温度計、エステルアダプターと環流管を取り付けたフラスコに、前記式（１１）のフェノール樹脂３０．８ｇ（０．１０ｍｏｌ）とトルエン１２３．２ｇを入れ、１３０℃／２時間で共沸脱水を行った。これを１００℃に冷却し、触媒（信越化学工業（株）製ＣＡＴ−ＰＬ−５０Ｔ）０．５ｇを滴下し、直ちに前記式（１６）のオルガノポリシロキサン２２１．３ｇ（０．０５ｍｏｌ）とトルエン８８５．２ｇの混合物を３０分程度で滴下し、更に１００℃／６時間で熟成した。これからトルエンを除去し、褐色不透明液体（η＝６Ｐａ・ｓ／２５℃，フェノール当量７２０，オルガノポリシロキサン含有量８７．８重量％）を得た。これを化合物Ｉとする。
【００９０】
［合成例１０］
撹拌羽根、滴下漏斗、温度計、エステルアダプターと環流管を取り付けたフラスコに、前記式（１１）のフェノール樹脂３０．８ｇ（０．１０ｍｏｌ）とトルエン１２３．２ｇを入れ、１３０℃／２時間で共沸脱水を行った。これを１００℃に冷却し、触媒（信越化学工業（株）製ＣＡＴ−ＰＬ−５０Ｔ）０．５ｇを滴下し、直ちに前記式（１７）のオルガノポリシロキサン１２２．９ｇ（０．０５ｍｏｌ）とトルエン４９１．６ｇの混合物を３０分程度で滴下し、更に１００℃／６時間で熟成した。これからトルエンを除去し、褐色透明液体（η＝１６Ｐａ・ｓ／２５℃，フェノール当量７７０，オルガノポリシロキサン含有量８０．０重量％）を得た。これを化合物Ｊとする。
【００９１】
［合成例１１］
撹拌羽根、滴下漏斗、温度計、エステルアダプターと還流管を取り付けたフラスコに、下記式（１２）のフェノール樹脂２６．６ｇ（０．１０ｍｏｌ）とトルエン１０６．４ｇを入れ、１３０℃／２時間で共沸脱水を行った。これを１００℃に冷却し、触媒（信越化学工業（株）製ＣＡＴ−ＰＬ−５０Ｔ）０．５ｇを滴下し、直ちに前記式（１４）のオルガノポリシロキサン３６．３ｇ（０．０５ｍｏｌ）とトルエン１４５．２ｇの混合物を３０分程度で滴下し、更に１００℃／６時間で熟成した。これからトルエンを除去し、褐色透明液体（η＝１２Ｐａ・ｓ／２５℃，フェノール当量３１５，オルガノポリシロキサン含有量５８．１重量％）を得た。これを化合物Ｋとする。
【００９２】
【化２６】
0003685253.tif 000025
【００９３】
［合成例１２］
撹拌羽根、滴下漏斗、温度計、エステルアダプターと環流管を取り付けたフラスコに、下記式（１３）のフェノール樹脂４１．２ｇ（０．１０ｍｏｌ）とトルエン１６４．８ｇを入れ、１３０℃／２時間で共沸脱水を行った。これを１００℃に冷却し、触媒（信越化学工業（株）製ＣＡＴ−ＰＬ−５０Ｔ）０．５ｇを滴下し、直ちに前記式（１５）のオルガノポリシロキサン１１０．３ｇ（０．０５ｍｏｌ）とトルエン４４１．２ｇの混合物を３０分程度で滴下し、更に１００℃／６時間で熟成した。これからトルエンを除去し、褐色透明液体（η＝２０Ｐａ・ｓ／２５℃，フェノール当量７６０，オルガノポリシロキサン含有量７２．８重量％）を得た。これを化合物Ｌとする。
【００９４】
【化２７】
0003685253.tif 000026
【００９５】
樹脂組成物の製造
［実施例１〜５、比較例１〜３］
上述の化合物Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇ，Ｈ，Ｉ，Ｊ，Ｋ，Ｌ、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂Ｍ（η＝１５Ｐａ・ｓ／２５℃，エポキシ当量１８０）、フェノールノボラック樹脂Ｎ（軟化点５５℃，フェノール当量１００）、ＴＰＰ（トリフェニルホスフィン）、シリカ（球状溶融シリカ，平均粒径２μｍ，最大粒径１０μｍ）、カーボンブラック及びＫＢＭ−４０３（信越化学工業（株）製シランカップリング剤、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン）を、それぞれ表１に示す通りに配合し、ミキサーを用いて混合して、実施例１〜５、比較例１〜３の樹脂組成物を得た。これらの樹脂組成物について、以下の（ａ）〜（ｆ）の諸試験を行い、表１に記す結果を得た。なお、オルガノポリシロキサン含有量は、合成例の配合量から算出した。また、硬化条件は、すべて１５０℃／４時間である。
【００９６】
（ａ）硬化物の外観
表１の配合よりシリカ、カーボンブラック、ＫＢＭ−４０３を除いたものを１ｍｍ厚の膜状の試験片とし、これについて外観観測を行った。ここで、透明なものは相分離構造を形成せず均一なものであり、不透明なものは相分離構造を形成するものである。
【００９７】
（ｂ）硬化物のガラス転移温度（Ｔｇ）
５ｍｍ×５ｍｍ×１５ｍｍの試験片を作製し、これをＴＭＡで毎分５℃で昇温した場合のガラス転移温度（Ｔｇ）の値を測定した。
【００９８】
（ｃ）硬化物の吸水率
５０ｍｍφ×３ｍｍの試験片を作製し、これと１２１℃／１００％ＲＨ／２ａｔｍ／７２時間放置した後との重量変化を測定した。
【００９９】
（ｄ）硬化物の引張弾性率
ＪＩＳ  Ｋ  ７１１３に基づき２５℃の曲げ弾性率を測定した。
【０１００】
（ｅ）耐湿信頼性
表１の樹脂組成物を用いて１４ｐｉｎＤＩＰ（アルミ配線を施したシリコンチップを４２アロイ製のフレームに搭載し金ワイヤで配線する）を封止した半導体装置を作製し、この半導体装置２０個を１２１℃／１００％ＲＨ／２ａｔｍ／１００時間、３００時間、１０００時間放置した後、断線により異常値を示すパッケージ数／総パッケージ数を測定した。
【０１０１】
（ｆ）耐冷熱サイクル性
ＢＴ基板及びＵＰＩＬＥＸ（宇部興産製５０μｍ厚）に表１の樹脂組成物を８ｍｍ×８ｍｍ×５０μｍで塗布し、この上から７ｍｍ×７ｍｍ×０．３ｍｍのシリコンチップを搭載し、樹脂組成物を硬化させた試験片２０個を２４０℃半田浴／１０秒と液体窒素／１０秒を１０回、３０回、１００回往復させ、その後のクラック、剥離発生試験片数／総試験片数を測定した。
【０１０２】
【表１】
0003685253.tif 000027
【０１０３】
【発明の効果】
本発明の樹脂組成物は、エポキシ樹脂又はフェノール樹脂の接着性・耐熱性・耐湿性と、シリコーン樹脂の柔軟性・耐衝撃性とを兼ね備えた硬化物を与えるもので、この硬化物により被覆又は封止された半導体装置は、機械的・熱的挙動の大きく異なる部品の接着界面に生じるストレスを十分に吸収・緩和し得る。