(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板と、
前記圧電基板上において弾性表面波の伝搬方向に沿って順に配置された第１〜第３のＩＤＴとを備えた第１，第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタが２段縦続接続されており、
第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第２のＩＤＴの一端が不平衡信号端子に接続されており、
第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第２のＩＤＴの一端及び他端が第１，第２の平衡信号端子に接続されており、
第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第１のＩＤＴの一端と第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第１のＩＤＴの一端とが第１の信号ラインにより、第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第３のＩＤＴの一端と第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第３のＩＤＴの一端とが第２の信号ラインによりそれぞれ接続されており、
前記第１の信号ラインを伝搬する電気信号の位相と、前記第２の信号ラインを伝搬する電気信号の位相とが逆位相であり、平衡−不平衡変換機能を有しており、
前記第１，第２の平衡信号端子のうち一方に遅延線またはリアクタンス成分が付加されていることを特徴とする、弾性表面波装置。
【請求項２】
圧電基板と、
前記圧電基板上において弾性表面波の伝搬方向に沿って順に配置された第１〜第３のＩＤＴとを備えた第１，第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタが２段縦続接続されており、
第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第２のＩＤＴの一端が不平衡信号端子に接続されており、
第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第２のＩＤＴの一端及び他端が第１，第２の平衡信号端子に接続されており、
第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第１のＩＤＴの一端と第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第１のＩＤＴの一端とが第１の信号ラインにより、第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第３のＩＤＴの一端と第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第３のＩＤＴの一端とが第２の信号ラインによりそれぞれ接続されており、
前記第１の信号ラインを伝搬する電気信号の位相と、前記第２の信号ラインを伝搬する電気信号の位相とが逆位相であり、平衡−不平衡変換機能を有しており、
前記第１，第２の平衡信号端子の双方に遅延線またはリアクタンス成分が付加されており、前記第１の平衡信号端子に付加されている遅延線またはリアクタンス成分と、前記第２の平衡信号端子に付加されている遅延線またはリアクタンス成分が異なっていることを特徴とする、弾性表面波装置。
【請求項３】
圧電基板と、該圧電基板上に配置された少なくとも１つのＩＤＴとを備え、入力端子及び出力端子の少なくとも一方が第１，第２の平衡信号端子を有する弾性表面波装置において、
前記第１，第２の平衡信号端子間にキャパシタンス成分が付加されていることを特徴とする、弾性表面波装置。
【請求項４】
マイクロストリップラインが形成されているパッケージ、または前記圧電基板がマイクロストリップラインを備え、前記遅延線またはリアクタンス成分が前記マイクロストリップラインにより構成されている、請求項１  または２に記載の弾性表面波装置。
【請求項５】
前記圧電基板上にＩＤＴが形成されている構造が、該ＩＤＴが形成されている面からフェイスダウン方式で前記パッケージ内に収納されている、請求項４に記載の弾性表面波装置。
【請求項６】
電極が形成されているパッケージをさらに備え、前記パッケージの電極と前記第１，第２の平衡信号端子を有する入力端子及び出力端子の少なくとも一方とがボンディングワイヤにより電気的に接続されており、前記遅延線またはリアクタンス成分が前記ボンディングワイヤにより構成されている、請求項１または２に記載の弾性表面波装置。
【請求項７】
前記弾性表面波装置が、弾性表面波伝搬方向に沿って少なくとも３個のＩＤＴが配置されている縦結合共振子型弾性表面波フィルタである、請求項１〜６のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項８】
前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタが複数組み合わされている、請求項７に記載の弾性表面波装置。
【請求項９】
前記第１，第２の平衡信号端子間に電気的中性点を持たないことを特徴とする、請求項１〜８のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の弾性表面波装置を有する通信機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばバンドパスフィルタとして用いられる弾性表面波装置に関し、より詳細には、入力端子及び／または出力端子が一対の平衡信号端子を有する弾性表面波装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、携帯電話機の小型化及び軽量化が進んでいる。そこで、携帯電話機は、構成部品点数の削減、部品の小型化及び機能の複合化が進んでいる。
【０００３】
上記のような状況に鑑み、携帯電話機のＲＦ段に用いられる弾性表面波フィルタに平衡−不平衡変換機能、いわゆるバランの機能を持たせたものが種々提案されている。
【０００４】
図３０は、従来の平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。
ここでは、弾性表面波伝搬方向に沿って第１〜第３のＩＤＴ１０１〜１０３が配置されている。ＩＤＴ１０１〜１０３が設けられている領域の表面波伝搬方向両側に反射器１０４，１０５が配置されている。ＩＤＴ１０１とＩＤＴ１０２との間隔、及びＩＤＴ１０２とＩＤＴ１０３との間隔は、ＩＤＴ１０１〜１０３の電極指ピッチで定められる波長λＩとした場合、いずれも０．７５λＩとされている。ＩＤＴ１０２の両端の電極指１０９，１１０を太くすることにより、ＩＤＴ−ＩＤＴ間のフリーな部分が小さくされ、バルク波の放射による損失が低減されている。なお、図３０において、端子１０６，１０７は、平衡信号端子であり、端子１０８が不平衡信号端子である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタでは、不平衡信号端子１０８と平衡信号端子１０６との間及び不平衡信号端子１０８と平衡端子１０７との間のそれぞれの通過帯域内における伝送特性が、振幅特性において等しくかつ位相が１８０°反転していることが要求される。この振幅特性が等しい条件を振幅平衡度といい、位相が１８０°反転していることの程度が位相平衡度と呼ばれている。
【０００６】
上記振幅平衡度及び位相平衡度は、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタを、３ポートのデバイスと考え、例えば不平衡入力端子をポート１、平衡出力端子のそれぞれをポート２，ポート３とした場合、以下のように定義される。
【０００７】
振幅平衡度＝｜Ａ｜、但し、Ａ＝｜２０ｌｏｇＳ２１｜−｜２０ｌｏｇＳ３１｜
位相平衡度＝｜Ｂ−１８０｜、但し、Ｂ＝｜∠Ｓ２１−∠Ｓ３１｜
なお、Ｓ２１はポート１からポート２への伝達係数を、Ｓ３１はポート１からポート３への伝達係数を示す。
【０００８】
理想的には、フィルタの通過帯域内において振幅平衡度が０ｄＢであり、位相平衡度は０度とされる必要がある。しかしながら、図３０に示した構成において、平衡−不平衡変換機能を有するフィルタを得ようとすると、ＩＤＴ１０２の電極指の本数が奇数本であるため、平衡信号端子１０６につながっている電極指の数が、平衡信号端子１０７に接続されている電極指の数よりも１本多くなり、平衡度が悪くなるという問題があった。この問題は、特に、フィルタの中心周波数が高くなるほど顕著に現れ、ＤＣＳ用やＰＣＳ用のように１．９ＧＨｚ付近が中心周波数となるフィルタでは、十分な平衡度を得ることができなかった。
【０００９】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、一対の平衡信号端子間の平衡度が改善された弾性表面波装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本願の第１の発明は、圧電基板と、前記圧電基板上において弾性表面波の伝搬方向に沿って順に配置された第１〜第３のＩＤＴとを備えた第１，第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタが２段縦続接続されており、第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第２のＩＤＴの一端が不平衡信号端子に接続されており、第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第２のＩＤＴの一端及び他端が第１，第２の平衡信号端子に接続されており、第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第１のＩＤＴの一端と第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第１のＩＤＴの一端とが第１の信号ラインにより、第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第３のＩＤＴの一端と第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第３のＩＤＴの一端とが第２の信号ラインによりそれぞれ接続されており、前記第１の信号ラインを伝搬する電気信号の位相と、前記第２の信号ラインを伝搬する電気信号の位相とが逆位相であり、平衡−不平衡変換機能を有しており、第１，第２の平衡信号端子のうち一方に遅延線またはリアクタンス成分及び遅延線が付加されていることを特徴とする、弾性表面波装置である。
【００１１】
本願の第２の発明は、圧電基板と、前記圧電基板上において弾性表面波の伝搬方向に沿って順に配置された第１〜第３のＩＤＴとを備えた第１，第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタが２段縦続接続されており、第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第２のＩＤＴの一端が不平衡信号端子に接続されており、第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第２のＩＤＴの一端及び他端が第１，第２の平衡信号端子に接続されており、第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第１のＩＤＴの一端と第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第１のＩＤＴの一端とが第１の信号ラインにより、第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第３のＩＤＴの一端と第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの第３のＩＤＴの一端とが第２の信号ラインによりそれぞれ接続されており、前記第１の信号ラインを伝搬する電気信号の位相と、前記第２の信号ラインを伝搬する電気信号の位相とが逆位相であり、平衡−不平衡変換機能を有しており、前記第１の平衡信号端子に付加されている遅延線またはリアクタンス成分と、前記第２の平衡信号端子に付加されている遅延線またはリアクタンス成分が異なっていることを特徴とする、弾性表面波装置である。
【００１２】
本願の第３の発明は、圧電基板と、該圧電基板上に配置された少なくとも１つのＩＤＴとを備え、入力端子及び出力端子の少なくとも一方が第１，第２の平衡信号端子を有する弾性表面波装置において、前記第１，第２の平衡信号端子間にキャパシタンス成分が付加されていることを特徴とする弾性表面波装置である。
【００１３】
第１，第２の発明の弾性表面波装置の特定の局面では、マイクロストリップラインが形成されているパッケージ、または前記圧電基板がマイクロストリップラインが備えられ、前記遅延線またはリアクタンス成分がマイクロストリップラインにより構成されている。
【００１４】
第１，第２の発明に係る弾性表面波装置のより特定の局面では、圧電基板上にＩＤＴが形成されている構造が、該ＩＤＴが形成されている面からフェイスダウン方式でパッケージ内に収納される。
【００１５】
第１，第２の発明の弾性表面波装置の他の局面によれば、電極が形成されているパッケージがさらに備えられ、パッケージの電極と前記第１，第２の平衡信号端子を有する入力端子及び出力端子の少なくとも一方とがボンディングワイヤにより電気的に接続されており、前記遅延線またはリアクタンス成分が前記ボンディングワイヤにより構成されている。
【００１６】
本発明（第１〜第３の発明）の特定の局面では、前記弾性表面波装置が、弾性表面波伝搬方向に沿って少なくとも３個のＩＤＴが配置されている縦結合共振子型弾性表面波フィルタが構成される。
【００１７】
本発明のより限定的な局面では、上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタが複数接続されている。
本発明の弾性表面波装置の他の特定の局面では、第１，第２の平衡信号端子間に電気的中性点を有しないように構成される。
【００１８】
本発明のさらに他の特定の局面によれば、本発明に係る弾性表面波装置を有する通信機が提供される。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の具体的な実施例を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２０】
図１〜図４を用いて、本発明の第１の実施例に係る弾性表面波装置を説明する。なお、本実施例及び以後の実施例では、ＡＭＰＳ用受信フィルタに応用される弾性表面波装置を例にとり説明する。
【００２１】
本実施例では、４０±５°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ3基板からなる圧電基板２上において、図１に示す電極構造が形成されて弾性表面波装置１が形成されている。
【００２２】
図１において、弾性表面波装置１では、圧電基板２上に第１，第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ３，４が構成されている。
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ３では、表面波伝搬方向に沿って第１〜第３のＩＤＴ５〜７が配置されている。ＩＤＴ５〜７の設けられている領域の両側に、反射器８，９が配置されている。縦結合共振子型弾性表面波フィルタ４においても、表面波伝搬方向に沿って第１〜第３のＩＤＴ１０〜１２が配置されており、ＩＤＴ１０〜１２が設けられている領域の両側に反射器１３，１４が配置されている。
【００２３】
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ３，４は同じ構造を有し、縦続接続されている。
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ３の第２のＩＤＴ６の一端が不平衡信号端子１５に接続されている。ＩＤＴ６の他端はグラウンド電位に接続されている。また、ＩＤＴ５，７の一端がグラウンド電位に接続されており、ＩＤＴ５，７の他端が、それぞれ、ＩＤＴ１０，１２の一端に接続されている。ＩＤＴ１０，１２の他端はグラウンド電位に接続されている。ＩＤＴ１１の一端が平衡信号端子１６に、他端が平衡信号端子１７に接続されている。
【００２４】
本実施例では、平衡信号端子１６，１７間に電気的中性点を有しないように構成されている。
また、ＩＤＴ５とＩＤＴ７とが逆位相とされており、ＩＤＴ１０，１２も逆位相とされている。従って、ＩＤＴ５とＩＤＴ１０とを接続している信号ライン１８を流れる信号の位相と、ＩＤＴ７，１２を接続している信号ライン１９を流れる信号の位相とが逆とされている。
【００２５】
ＩＤＴ５のＩＤＴ６と隣り合う電極指５ａはグラウンド電位に接続されており、ＩＤＴ７のＩＤＴ６と隣り合う電極指７ａはグラウンド電位に接続されており、電極指５ａ，７ａが同じ極性とされている。
【００２６】
同様に、第２のＩＤＴ１１に隣り合うＩＤＴ１０の電極指１０ａと、ＩＤＴ１２のＩＤＴ１１に隣り合う電極指１２ａは、いずれもグラウンド電位に接続されており、同極性とされている。
【００２７】
弾性表面波装置１の具体的な設計条件を以下に示す。
電極指交叉幅Ｗ＝４９．０λＩ
ＩＤＴ５，１０の電極指の本数＝２４本
ＩＤＴ６，１１の電極指の本数＝３４本
ＩＤＴ７，１２の電極指の本数＝２５本
ＩＤＴの波長λＩ＝４．４９μｍ
反射器の波長λＩ＝４．６４μｍ
反射器の電極指の本数＝１２０本
ＩＤＴ−ＩＤＴ間隔＝０．７９λＩ
ＩＤＴ−反射器間隔＝０．４７λＲ
なお、ＩＤＴ−ＩＤＴ間隔及びＩＤＴ−反射器間隔とは、それぞれ、隣り合うＩＤＴの隣接している電極指中心間距離及び隣り合うＩＤＴと反射器の電極指中心間距離をいうものとする。
【００２８】
ＩＤＴのデューティー＝０．７３
反射器のデューティー＝０．５５
但し、デューティーとは、電極指の幅方向寸法すなわち表面波伝搬方向寸法の電極指の幅と電極指間ギャップとの和に対する割合をいうものとする。
【００２９】
電極膜厚＝０．０８λＩ
なお、図１から明らかなように、中央の第２のＩＤＴ６，１１の両端の電極指６ａ，６ｂ，１１ａ，１１ｂの幅が太くされており、それによってＩＤＴ−ＩＤＴ間隔における自由表面部分が小さくされている。
【００３０】
上記弾性表面波装置１の圧電基板２上における実際のレイアウトを図２に略図的平面図で示す。図２において、ＩＤＴ５〜７、１０〜１２及び反射器８，９，１３，１４は、略図的に矩形の形状で示されている。また、図２に示す端子２１〜２３は、グラウンド電位に接続される端子である。図２において、不平衡信号端子１５、平衡信号端子１６，１７及び端子２１〜２３は矩形形状を有するように図示されているが、この部分が、バンプボンディングによりパッケージの電極と導通が図られる電極パッドを示し、この矩形の電極パッドの中央に描かれている○がバンプ３７ａ〜３７ｈを示す。
【００３１】
なお、不平衡信号端子１５及び平衡信号端子１７の設けられている部分では、２個の電極パッド１５ａ，１５ｂ，１７ａ，１７ｂが導電路２４，２５を介して接続されており、すなわち不平衡信号端子１５及び平衡信号端子１７では、それぞれ２つの電極パッドを用いてパッケージの電極と導通が図られている。
【００３２】
図３は、上記弾性表面波装置１がパッケージ内に収納されている状態を示す略図的正面断面図である。パッケージ３１は、底板３２と、側壁３３と、蓋材３４とを有する。底板３２上に矩形枠状の側壁３３が接合されて、収納空間３５が構成されている。この収納空間３５内に弾性表面波装置１が収納されており、かつ蓋材３４により収納空間３５が密閉されている。
【００３３】
弾性表面波装置１はフェイスダウン方式で、すなわち圧電基板２の電極が形成されている面が下面となるように底板３２上にバンプにより接合されている。すなわち、底板３２の上面には、導電膜よりなるダイアタッチ部３６が形成されている。このダイアタッチ部３６に、バンプ３７ｄ，３７ｆ等により弾性表面波装置１の前述した電極パッドが接合されている。
【００３４】
上記ダイアタッチ部３６の平面形状を図４に示す。ダイアタッチ部３６は、互いに分離された電極３６ａ〜３６ｅを有する。電極３６ａは、図２に示した不平衡信号端子１５に電気的に接続される部分であり、○で示すバンプ３７ａ，３７ｂにより不平衡信号端子１５に接合される。電極３６ｂは、図２に示した端子２１〜２３にバンプ３７ｃ〜３７ｅにより電気的に接続される。また、電極３６ｃは、バンプ３７ｆにより平衡信号端子１６に電極的に接続される。電極３６ｄは、バンプ３７ｇ，３７ｈにより平衡信号端子１７に接合される。
【００３５】
ところで、電極３６ｃには、マイクロストリップライン３６ｅが連ねられている。すなわち、平衡信号端子１６には、マイクロストリップライン３６ｅが直列に接続されている。
【００３６】
マイクロストリップライン３６ｅは、ＡＭＰＳ受信用フィルタの通過帯域の周波数帯ではリアクタンス成分として働く。本実施例では、上記マイクロストリップライン３６ｅは、平衡信号端子１６に約０．８ｎＨ程度のリアクタンス成分を付加するように構成されている。
【００３７】
また、上記マイクロストリップライン３６ｅは、遅延線としても機能する。
上記電極３６ａ〜３６ｄ及びマイクロストリップライン３６ｅは、図５に示す外部端子に電気的に接続されている。図５は、パッケージ３１の底板３２の下面に形成されている外部端子を略図的に示す平面図である。なお、図５では、底板３２を透かして外部端子３８ａ〜３８ｆが示されている。外部端子３８ａは、電極３６ａに電気的に接続されており、外部端子３８ｄ，３８ｆは、それぞれ、平衡信号端子に接続されているマイクロストリップライン３６ｅ及び電極３６ｄに電気的に接続されている。外部端子３８ｂ，３８ｃ，３８ｅは、グラウンド電位に接続される外部端子であり、前述した電極３６ｂに電気的に接続されている。
【００３８】
電極３６ａ，３６ｂ，３６ｄ及びマイクロストリップライン３６ｅと、外部端子３８ａ〜３８ｆとの電気的接続は、底板３２に底板３２を貫くスルーホール電極を形成することにより、あるいは上面と下面の電極を底板３２の側面を経由する導電膜を形成することにより果たし得る。
【００３９】
本実施例の弾性表面波装置の特徴は、上記マイクロストリップライン３６ｅが、一方の平衡信号端子１６に直列に接続されていることにある。
本実施例の弾性表面波装置の振幅平衡度−周波数特性及び位相平衡度−周波数特性を、それぞれ、図６及び図７に実線で示す。比較のために、マイクロストリップライン３６ｅが形成されていないことを除いては上記と同様にして構成された弾性表面波装置（従来例と略す）の振幅平衡度−周波数特性及び位相平衡度−周波数特性を図６及び図７に破線で示す。
【００４０】
なお、上記従来例におけるパッケージの底板上面に形成されている電極形状を図８に示す。図８から明らかなように、平衡信号端子に接続される電極３６Ｃの形状は、図４に示した電極３６ｃと異ならされており、かつマイクロストリップライン３６ｅは接続されていない。この電極３６ｃは、外部端子３８ｅに接続されている。また、マイクロストリップラインを設けなかったため、グラウンド電位に接続される電極３６ｂの形状は、図４の場合と異ならされている。この電極３６ｂは、外部端子３８ｂ，３８ｃ，３８ｄに接続されている。さらに、電極３６ａは、外部端子３８ａに接続されている。
【００４１】
ＡＭＰＳ受信用フィルタにおける通過帯域の周波数範囲は８６９〜８９４ＭＨｚである。この範囲における最大振幅平衡度は、図６から明らかなように、従来例では０．９ｄＢであるのに対し、本実施例では０．７５ｄＢであり、約０．１５ｄＢだけ振幅平衡度が改善している。また、図７から明らかなように、従来例では、最大の位相平衡度は８°であるのに対し、本実施例では３°であり、位相平衡度が約５°改善されている。
【００４２】
このように平衡度が改善されるのは、パッケージ３１に、リアクタンス成分及び遅延線として作用するマイクロストリップライン３６ｅが形成されて、平衡信号端子１６にリアクタンス成分及び遅延線が付加されているため、平衡信号端子１６，１７間の周波数特性のずれが修正されているためである。上記リアクタンス成分は、主に振幅平衡度を改善する効果を有し、上記遅延線は位相平衡度を改善する効果を有する。
【００４３】
すなわち、第１，第２の平衡信号端子１６，１７間の周波数特性のずれ方は、弾性表面波素子の構成、パッケージ３１における電極レイアウトや設計パラメータによって変わるが、上記のように一方の平衡信号端子にリアクタンス成分及び遅延線を付加することにより、平衡度を改善することができる。言い換えれば、第１，第２の平衡信号端子間の周波数特性のずれに応じ、該ずれを補正するように一方の信号端子にリアクタンス成分及び遅延線を付加することにより、平衡度を改善することができる。
【００４４】
従って、本実施例によれば、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置において、２つの平衡信号端子の一方に、パッケージに形成されているマイクロストリップラインのリアクタンス成分及び遅延線を付加することにより、従来例に比べて平衡度を効果的に改善することができる。
【００４５】
本実施例では、平衡信号端子１６，１７間に電気的中性点を持たない構成としたが、電気的中性点を有する弾性表面波装置においても同様の効果が得られる。これを、図９を参照して説明する。
【００４６】
図９に示す変形例の弾性表面波装置では、第１〜第４の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ４１〜４４が用いられて、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置が構成されている。縦結合共振子型弾性表面波フィルタ４１〜４４は、それぞれ、表面波伝搬方向に沿って配置された第１〜第３のＩＤＴを有する３ＩＤＴタイプの縦結合共振子型弾性表面波フィルタである。縦結合共振子型弾性表面波フィルタ４１，４３の中央の第２のＩＤＴ４１ｂ，４３ｂの一端が共通接続されて不平衡信号端子４５に接続されている。ＩＤＴ４１ｂ，４３ｂの他端はグラウンド電位に接続されている。また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ４１の第１，第３のＩＤＴ４１ａ，４１ｃの各一端がグラウンド電位に接続されており、各他端が、それぞれ、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ４２の第１，第３のＩＤＴ４２ａ，４２ｃの一端に接続されている。ＩＤＴ４２ａ，４２ｃの他端はグラウンド電位に接続されている。ＩＤＴ４２ｂの一端がグラウンド電位に、他端が平衡信号端子４６に電気的に接続されている。
【００４７】
同様に、ＩＤＴ４３ａ，４３ｃの一端がグラウンド電位に接続されており、他端が、それぞれ、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ４４の第１，第３のＩＤＴ４４ａ，４４ｃの一端に接続されている。ＩＤＴ４４ａ，４４ｃの他端はグラウンド電位に接続されている。ＩＤＴ４４の中央の第２のＩＤＴ４４ｂの一端がグラウンド電位に、他端が平衡信号端子４７に電気的に接続されている。
【００４８】
ここでは、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ４２，４４間で、中央の第２のＩＤＴ４２ｂ，４４ｂの位相が反転されている。図９に示す弾性表面波装置４０においても、平衡信号端子４６または平衡信号端子４７に、周波数特性のずれに応じてリアクタンス成分及び遅延線を付加することにより平衡度を改善することができる。
【００４９】
同様に、図１０に示すように、２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ５１，５２を２段縦続接続してなる弾性表面波装置５０においても、平衡信号端子５４，５５の一方にリアクタンス成分及び遅延線を付加することにより平衡度を改善することができる。なお、弾性表面波装置５０では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ５１の中央のＩＤＴ５１ｂの一端に不平衡信号端子５３が接続されている。また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ５２の中央のＩＤＴ５２ｂの１つのくし歯電極が分割されて、一対の分割された部分に平衡信号端子５４，５５が接続されている。そして、ＩＤＴ５１ａ，５１ｃとＩＤＴ５２ａ，５２ｃとが電気的に接続されて、平衡−不平衡変換機能を有するように構成されている。
【００５０】
図１１及び図１２は、本発明が適用される平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置のさらに他の変形例を説明するための各模式的平面図である。
図１１に示す弾性表面波装置６０では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ６１は、第１〜第３のＩＤＴ６１ａ〜６１ｃを有し、第１〜第３のＩＤＴ６１ａ，６１ｃの一端が弾性表面波共振子６２を介して不平衡信号端子６３に接続されている。中央の第２のＩＤＴ６１ｂの一端が平衡信号端子６４に、他端がもう一方の平衡信号端子６５に接続されている。ここでも、平衡信号端子６４，６５の一方にリアクタンス成分及び遅延線を付加することにより平衡度を改善することができる。
【００５１】
なお、図１１では、弾性表面波共振子６２が縦結合共振子型弾性表面波フィルタ６１に直列に接続されていたが、弾性表面波共振子が並列に接続されていてもよく、あるいは直列及び並列の双方に弾性表面波共振子が接続されている構造にも、本発明を適用することができる。
【００５２】
さらに、本発明は、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置に限定されず、図１２に示すように、入力端子及び出力端子の双方が一対の平衡信号端子を有する弾性表面波装置にも適用することができ、その場合においても上記実施例と同様に平衡度を改善することができる。図１２に示す弾性表面波装置７０では、第１〜第３のＩＤＴ７０ａ〜７０ｃは表面波伝搬方向に沿って配置されている。ＩＤＴ７０ａ〜７０ｃが設けられている領域の両側には反射器７０ｄ，７０ｅが配置されている。
【００５３】
第１，第３のＩＤＴ７０ａ，７０ｃの一端が平衡信号端子７２に、他端が平衡信号端子７３に接続されている。第２のＩＤＴ７０ｂの一端が平衡信号端子７４に、他端が平衡信号端子７５に接続されている。但し、入力側及び出力側のいずれもが第１，第２の平衡信号端子を有する。この場合においても、入力側及び／または出力側の一対の平衡信号端子間において、一方の平衡信号端子にリアクタンス成分及び遅延線を付加することにより平衡度を改善することができる。
【００５４】
なお、上述してきた実施例及び本発明が適用される弾性表面波装置は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いて、平衡信号を入力または出力する構造を中心として説明したきたが、本発明は、横結合共振子型弾性表面波フィルタやトランスバーサル型弾性表面波フィルタを用いて平衡信号を出力または入力する構造にも適用することができる。
【００５５】
また、上記実施例では、パッケージ３１にマイクロストリップラインを形成したが、マイクロストリップラインは、圧電基板上に形成してもよい。
また、上記実施例では、パッケージ３１にマイクロストリップライン３６ｅをダイアタッチ部３６に形成したが、本発明において、マイクロストリップラインを形成する方法はこれに限定されるものではない。例えば、図１３に示すように、パッケージ３１の底板３２と側壁３３との間にマイクロストリップライン３６ｉを形成してもよく、図１４に示すように、底板３２の下面に、さらに基板層３２ａを形成し、該基板層３２ａと底板３２の下面との間にマイクロストリップライン３６ｊを形成してもよい。この場合、マイクロストリップライン３６ａと、ダイアタッチ部３６との電気的接続は、底板３２に設けられたスルーホール電極３２ｂを用いて行えばよい。
【００５６】
図１３及び図１４からも明らかなように、パッケージ側に構成されるリアクタンス成分及び遅延線を付加するためのマイクロストリップラインの形成位置については、特に限定されるものではない。
【００５７】
また、第１の実施例では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ３と縦結合共振子型弾性表面波フィルタ４とは同じ構造とされていたが、必要に応じて電極指交叉幅などの設計パラメータが異なっているものであってもよい。
【００５８】
さらに、圧電基板２として４０±５°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ3基板を用いたが、本発明においては、圧電基板はこれに限定されず、例えば、６４〜７２°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3基板、４１°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3基板などの適宜の圧電基板を用いることができる。
【００５９】
図１５は、本発明の第２の実施例に係る弾性表面波装置を説明するための模式的平面図である。
第１の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィルタでは、圧電基板２上に構成されている各電極がバンプによりパッケージの電極と電気的に接続されていたが、本発明においては、ボンディングワイヤによりパッケージの電極と弾性表面波素子とが電気的に接続されていてもよい。図１５に示す第２の実施例では、このように弾性表面波フィルタ素子がボンディングワイヤによりパッケージの電極と電気的に接続されている。
【００６０】
図１５において、弾性表面波装置１の電極構造は、第１の実施例とほぼ同様に構成されている。従って、同一部分については、同一の参照番号を付することにより、その説明を省略する。
【００６１】
第２の実施例では、パッケージ８１が、中央に収納空間８２を有する。この収納空間８２に圧電基板２が絶縁性接着剤（図示せず）を用いて固定されている。収納空間８２の両側には段部８１ａ，８１ｂが形成されている。段部８１ａ，８１ｂの高さは、弾性表面波装置１が収納されている部分よりも高くされている。また、図示を省略されているが、収納空間８２を閉成するように蓋材が段部８１ａ，８１ｂ間にまたがるように固定される。
【００６２】
段部８１ａ，８１ｂ上には、電極８３ａ〜８３ｆが形成されている。電極８３ａ〜８３ｆは、弾性表面波装置を外部と電気的に接続するための外部端子として機能する。
【００６３】
なお、圧電基板２上におけるＩＤＴに接続されている電極パッドの位置は、図２に示した電極パッドと若干異ならされている。もっとも、電極パッドの位置については特に意味はなく、ボンディングワイヤによる接続を容易とする適宜の位置に形成される。
【００６４】
パッケージ８１に設けられた電極８３ｂが、不平衡信号端子１５にボンディングワイヤ８４ｂを介して電気的に接続されている。また、電極８３ｄ，８３ｆが、それぞれ、平衡信号端子１６，１７にボンディングワイヤ８４ｅ，８４ｆを介して電気的に接続されている。電極８３ａ，８３ｃ，８３ｅは、グラウンド電位に接続される電極であり、そのうち電極８３ａにボンディングワイヤ８４ａを介して電極パッド８５が電気的に接続されている。電極パッド８５は、ＩＤＴ５，７の一端に接続されている。電極８３ｃが、ボンディングワイヤ８４ｃを介して電極パッド８６に電気的に接続されている。電極パッド８６は、ＩＤＴ６に電気的に接続されている。
【００６５】
電極８３ｃは、ボンディングワイヤ８４ｄを介して電極パッド８７に電気的に接続されている。電極パッド８７は、ＩＤＴ１０，１２に電気的に接続されている。
【００６６】
本実施例では、ボンディングワイヤ８４ｅ，８４ｆの長さが異ならされている。すなわち、ボンディングワイヤ８４ｅがボンディングワイヤ８４ｆに比べて長くされており、それによって、一方の平衡信号端子１６に平衡信号端子１７に比べて大きなリアクタンス成分及び遅延線が付加されて、両平衡信号端子１６，１７間の周波数のずれが補われ、平衡度が高められている。
【００６７】
より具体的には、本実施例では、ボンディングワイヤ８４ｅは約１．０ｎＨ、ボンディングワイヤ８４ｆは約０．５ｎＨのリアクタンス成分及び遅延線を付加するような長さとされている。従って、平衡信号端子１６側に、平衡信号端子１７側に比べて大きなリアクタンス成分及び遅延線が付加されて、第１の実施例のマイクロストリップライン３６ｅと同様に機能する。
【００６８】
本実施例の弾性表面波装置の振幅平衡度−周波数特性及び位相平衡度−周波数特性を図１６及び図１７に実線で示す。
比較のために、図１８に示した弾性表面波装置９０を用意した。ここでは、ボンディングワイヤ９１ａ，９１ｂの長さが等しくされている。すなわち、平衡信号端子１６，１７に接続されているボンディングワイヤの長さが等しくされている。その他の点については、第２の実施例と同様に構成されている。比較のために用意した図１８に示した弾性表面波装置の振幅平衡度−周波数特性及び位相平衡度−周波数特性を図１６及び図１７に破線で示す。
【００６９】
図１６から明らかなように、ＡＭＰＳ受信用フィルタにおける通過帯域の周波数範囲である８６９〜８９４ＭＨｚにおける最大振幅平衡度は、従来例では０．９ｄＢであるのに対し、第２の実施例では０．７ｄＢであり、約０．２ｄＢだけ振幅平衡度が改善している。また、図１７から明らかなように、最大の位相平衡度では、従来例では８°であるのに対し、第２の実施例では５°となり、位相平衡度が約３°改善されていることがわかる。
【００７０】
すなわち、上記のように平衡信号端子１６，１７に接続されるボンディングワイヤの長さを異ならせたため、一方の平衡信号端子１６に大きなリアクタンス成分及び遅延線が付加されて、平衡信号端子１６，１７間の周波数特性のずれが修正されていることにより、平衡度が改善されている。
【００７１】
なお、第２の実施例では、平衡信号端子１６に大きなリアクタンス成分及び遅延線を付加したが、平衡信号端子１６，１７間の周波数特性のずれ方が逆の場合には、平衡信号端子１７側に大きなリアクタンス成分及び遅延線を付加すればよい。
【００７２】
図１９は、本発明の第３の実施例に係る弾性表面波装置の電極構造を示す略図的平面図である。
第３の実施例の弾性表面波装置２０１は、平衡信号端子１６，１７間に、コンデンサ２０２が外付けで付加されていることを除いては、図１に示した弾性表面波装置１と同様に構成されている。コンデンサ２０２の静電容量は１ｐＦとされている。
【００７３】
第３の実施例の弾性表面波装置の振幅平衡度−周波数特性及び位相平衡度−周波数特性を、それぞれ、図２０及び図２１に実線で示す。また、図２０及び２１に、コンデンサ２０２が付加されていないことを除いては同様に構成された弾性表面波装置の振幅平衡度−周波数特性及び位相平衡度−周波数特性を破線で示す。
【００７４】
ＡＭＰＳ受信用フィルタにおける通過帯域の周波数範囲における最大振幅平衡度は、図２０から明らかなように、破線で示した特性を有する弾性表面波装置では０．９ｄＢであるのに対し、本実施例では０．５ｄＢであり、約０．４ｄＢだけ振幅平衡度が改善されていることがわかる。
【００７５】
また、図２１から明らかなように、コンデンサ２０２が外付けされていない弾性表面波装置では、最大位相平衡度は８°であるのに対し、本実施例では７°であり、約１°位相平衡度が改善されていることがわかる。
【００７６】
このように、第３の実施例において平衡度が改善されるのは、平衡信号端子１６，１７間にキャパシタンス成分が付加されているため、平衡信号端子１６，１７間の周波数特性のずれが修正されているためである。
【００７７】
上記のように、平衡信号端子間にキャパシタンス成分を付加することにより、通過帯域内における平衡度を改善することができるが、逆に、通過帯域内のＶＳＷＲが悪化するおそれがある。そこで、図１９において付加されるコンデンサの容量値を変化させた場合のＶＳＷＲ、振幅平衡度及び位相平衡度を調べた。結果を図２２〜図２４に示す。
【００７８】
図２４から明らかなように、コンデンサの容量が大きくなるに従って、ＶＳＷＲが悪化することがわかる。また、図２３及び図２４から明らかなように、位相平衡度はコンデンサの容量値が大きくなることにより改善されるが、振幅平衡度は容量値が１〜２ｐＦの範囲で最も優れており、この範囲外では悪化する傾向がある。従って、これらを考慮すると、付加されるコンデンサの容量値は２ｐＦ以下であることが望ましいことがわかる。
【００７９】
上記第３の実施例では、キャパシタンス成分を付加するためのコンデンサは外付けされているが、パッケージ内において平衡信号端子１６，１７間のキャパシタンス成分を大きくすることによっても同様の効果が得られる。例えば、図８に示す構成において、平衡信号端子に接続される電極３６，３６ｄ間のアース電極ラインを除去し、図２５に示すように、電極３６ｃ，３６ｄが隣り合うように配置することによっても、平衡信号端子１６，１７間のキャパシタンス成分を大きくすることができる。
【００８０】
また、平衡信号端子１６，１７間に付加されるキャパシタンス成分２０３，２０４は図２６に示すようにアース電位を介して付加されてもよく、その場合においても同様の効果が得られる。より具体的には、例えば、図２７に示すように、パッケージ内に、アース電極２０５を形成し、アース電極２０５を平衡信号端子の下方に位置するように付加することにより、平衡信号端子１６，１７間のキャパシタンス成分を大きくすることができ、それによって弾性表面波装置の平衡度を改善することができる。
【００８１】
図２８及び図２９は、本発明に係る弾性表面波装置を用いた通信機１６０を説明するための各概略ブロック図である。
図２８において、アンテナ１６１に、ディプレクサ１６２が接続されている。ディプレクサ１６２と受信側ミキサ１６３との間に、弾性表面波フィルタ１６４及び増幅器１６５が接続されている。また、ディプレクサ１６２と送信側のミキサ１６６との間には、増幅器１６７及び弾性表面波フィルタ１６８が接続されている。このように、増幅器１６５が平衡信号に対応されている場合、本発明に従って構成された弾性表面波装置を上記弾性表面波フィルタ１６４として好適に用いることができる。
【００８２】
また、図２９に示すように、受信側において用いられている増幅器１６５Ａが不平衡信号対応の場合にも、本発明に従って構成された弾性表面波装置を弾性表面波フィルタ１６４Ａとして好適に用いることができる。
【００８３】
【発明の効果】
第１の発明に係る弾性表面波装置では、入力端子及び出力端子の少なくとも一方が第１，第２の平衡信号端子を有する構成において、第１，第２の平衡信号端子のうちの一方に、リアクタンスまたは遅延線が付加されている。従って、第１，第２の平衡信号端子間の周波数特性のずれに応じたリアクタンス成分または遅延線を付加することにより、振幅平衡度や位相平衡度などの平衡度を効果的に改善することができる。
【００８４】
また、第２の発明においては、入力端子及び出力端子の少なくとも一方が第１，第２の平衡信号端子を有する構成において、第１の平衡信号端子に付加されているリアクタンス成分または遅延線の大きさと、第２の平衡信号端子に付加されているリアクタンス成分または遅延線の大きさとが異なっているので、第１，第２の平衡信号端子間の周波数特性のずれに応じて、両者に付加されるリアクタンス成分または遅延線の大きさを異ならせることにより、第１の発明と同様に振幅平衡度や位相平衡度を効果的に改善することができる。
【００８５】
圧電基板を収納しており、マイクロストリップラインが形成されているパッケージがさらに備えられており、該マイクロストリップラインにより上記リアクタンス成分または遅延線が構成されている場合には、パッケージ側に必要とするリアクタンス成分または遅延線の大きさに応じたマイクロストリップラインを形成するだけで、容易に本発明に係る弾性表面波装置を構成することができる。
【００８６】
また、マイクロストリップラインを用いて上記リアクタンス成分または遅延線を構成した場合には、マイクロストリップラインがパッケージ内に構成されるので、弾性表面波装置の実装面積を大きくすることなく、平衡度を改善することができる。
【００８７】
圧電基板上にＩＤＴが形成されている弾性表面波素子が、ＩＤＴが形成されている面からフェイスダウン方式でパッケージ内に収納されている場合には、本発明に従って、小型であり、平衡度に優れた弾性表面波装置を提供することができる。
【００８８】
圧電基板上にＩＤＴが構成されている弾性表面波素子を収納し、かつ電極が形成されているパッケージをさらに備え、パッケージの電極と弾性表面波素子とがボンディングワイヤにより電気的に接続されている場合には、一対の平衡信号端子に接続されるボンディングワイヤの長さを調整することにより上記リアクタンス成分または遅延線の大きさを調整することができ、本発明に従って平衡度が改善された弾性表面波装置を容易に提供することができる。
【００８９】
ボンディングワイヤの長さにより上記リアクタンス成分または遅延線を付加した場合には、パッケージの寸法を変更する必要はないため、実装面積を大きくすることなく、平衡度を改善することができる。
【００９０】
第３の発明では、入力端子及び出力端子の少なくとも一方が第１，第２の平衡信号端子を有する構成において、第１，第２の平衡信号端子間にキャパシタンス成分が付加されているので、第１，第２の平衡信号端子間の周波数特性のずれが修正され、それによって振幅平衡度や位相平衡度が効果的に改善され得る。
【００９１】
本発明において、表面波伝搬方向に沿って、少なくとも３個のＩＤＴが配置されている縦結合共振子型弾性表面波フィルタを構成した場合には、本発明に従って振幅平衡度及び位相平衡度が改善された縦結合共振子型弾性表面波フィルタを得ることができ、この場合縦結合共振子型弾性表面波フィルタは複数段接続されていてもよい。
【００９２】
また、本発明においては、第１，第２の平衡信号端子間に電気的中性点を持たないことが好ましい。もっとも、電気的中性点が構成されていてもよい。いずれの場合においても、本発明に従って、振幅平衡度や位相平衡度が改善された弾性表面波装置を構成することができる。
【００９３】
本発明に係る弾性表面波装置を用いて構成された通信機では、一対の平衡信号端子間における平衡度が改善されるので、平衡度に優れた周波数特性を有する通信機を構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例に係る弾性表面波装置の電極構造を示す模式的平面図。
【図２】本発明の第１の実施例における圧電基板上に構成された電極構造のレイアウトを説明するための模式的平面図。
【図３】本発明の第１の実施例の弾性表面波装置の構造を示す正面断面図であり、弾性表面波フィルタ素子がパッケージ内に収納されている状態を示す図。
【図４】第１の実施例で用いられているパッケージに形成されている電極を説明するための模式的平面図。
【図５】第１の実施例のパッケージにおいて、底板の下面に形成されている外部端子を説明するための模式的平面図。
【図６】第１の実施例及び従来例の振幅平衡度−周波数特性を示す図。
【図７】第１の実施例及び従来例の位相平衡度−周波数特性を示す図。
【図８】第１の実施例の比較のために用意した従来例におけるパッケージに形成されている電極を説明するための模式的平面図。
【図９】本発明が適用される弾性表面波装置の他の例を説明するための模式的平面図。
【図１０】本発明が適用される弾性表面波装置のさらに他の例を説明するための模式的平面図。
【図１１】本発明が適用される弾性表面波装置の他の例を説明するための模式的平面図。
【図１２】本発明が適用される弾性表面波装置のさらに他の例を示し、入力側及び出力側のいずれが平衡信号端子とされている弾性表面波装置を示す図。
【図１３】第１の実施例の変形例の弾性表面波装置を示す模式的正面断面図。
【図１４】第１の実施例の他の変形例を説明するための模式的正面断面図。
【図１５】本発明の第２の実施例に係る弾性表面波装置を説明するための平面図。
【図１６】第２の実施例及び比較のために用意した従来の弾性表面波装置の振幅平衡度−周波数特性を示す図。
【図１７】第２の実施例及び比較のために用意した従来の弾性表面波装置の位相平衡度−周波数特性を示す図。
【図１８】第２の実施例と比較するために用意した従来の弾性表面波装置の模式的平面図。
【図１９】第３の実施例に係る弾性表面波装置の電極構造を示す略図的平面図。
【図２０】第３の実施例及び従来例の弾性表面波装置の振幅平衡度−周波数特性を示す図。
【図２１】第３の実施例及び従来例の弾性表面波装置の位相平衡度−周波数特性を示す図。
【図２２】第３の実施例において付加されるコンデンサの容量値とＶＳＷＲとの関係を示す図。
【図２３】第３の実施例の構造において付加されるコンデンサの容量値と振幅平衡度との関係を示す図。
【図２４】第３の実施例の構造において付加されるコンデンサの容量値と位相平衡度との関係を示す図。
【図２５】第３の実施例においてキャパシタンス成分を付加する一例として、パッケージ側の電極間によりキャパシタンス成分を構成する例を示す模式的平面図。
【図２６】第３の実施例の変更例を説明するための略図的平面図。
【図２７】図２６に示した変形例を構成するための一構造例を示す模式的断面図。
【図２８】本発明に係る弾性表面波装置が用いられている通信機を説明するための概略ブロック図。
【図２９】本発明に係る弾性表面波装置が用いられている通信機の他の例を説明するための概略ブロック図。
【図３０】従来の弾性表面波装置を説明するための模式的平面図。
【符号の説明】
１…弾性表面波装置
２…圧電基板
３，４…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
５〜７…第１〜第３のＩＤＴ
５ａ，６ａ，６ｂ，７ａ…電極指
８，９…反射器
１０〜１２…第１〜第３のＩＤＴ
１０ａ，１１ａ，１１ｂ，１２ａ…電極指
１３，１４…反射器
１５…不平衡信号端子
１５ａ，１５ｂ…電極パッド
１６，１７…平衡信号端子
１７ａ，１７ｂ…電極パッド
２１〜２３…端子
２４，２５…導電路
３１…パッケージ
３２…底板
３３…側壁
３４…蓋材
３５…収納空間
３６ａ〜３６ｄ…電極
３６ｅ…マイクロストリップライン
３６ｉ，３６ｊ…マイクロストリップライン
３７ａ〜３７ｈ…バンプ
３８ａ〜３８ｆ…外部端子
４０…弾性表面波装置
４１〜４４…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
４１ａ〜４１ｃ〜４４ａ〜４４ｃ…第１〜第３のＩＤＴ
４５…不平衡信号端子
４６，４７…平衡信号端子
５０…弾性表面波装置
５１，５２…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
５１ａ〜５１ｃ…第１〜第３のＩＤＴ
５２ａ〜５２ｃ…第１〜第３のＩＤＴ
５３…不平衡信号端子
５４，５５…平衡信号端子
６０…弾性表面波装置
６１…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
６１ａ〜６１ｃ…ＩＤＴ
６２…弾性表面波共振子
６３…不平衡信号端子
６４，６５…平衡信号端子
７０…弾性表面波装置
７１ａ〜７１ｃ…第１〜第３のＩＤＴ
７１ｄ，７１ｅ…反射器
７２，７３，７４，７５…平衡信号端子
８０…弾性表面波装置
８１…パッケージ
８２…収納空間
８３ａ〜８３ｆ…電極
８４ａ〜８４ｆ…ボンディングワイヤ
８５〜８７…電極パッド
９１ａ，９１ｂ…ボンディングワイヤ
１６０…通信機
１６１…アンテナ
１６２…ディプレクサ
１６３，１６６…ミキサ
１６４…弾性表面波フィルタ
１６５…増幅器
１６７…弾性表面波フィルタ
１６８…増幅器
２０１…弾性表面波装置
２０２…コンデンサ
２０３，２０４…コンデンサ
２０５…アース電極
【図１】
0003729081.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
0003729081.tif 000020
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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