(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライスベースが剥離されたウェーハのスライスベース剥離部に残存する接着剤を除去するウェーハ接着剤除去装置において、
複数枚のウェーハを、そのスライスベース剥離部の方向を一定にして格納するカセットと、
前記カセットに格納されたウェーハのスライスベース剥離部と対向する位置に配置されたブラシと、
前記ブラシを回転させる回転駆動手段と、
前記ブラシを前記カセットに格納されたウェーハのスライスベース剥離部に対して進退移動させる進退移動手段と、
前記ブラシを前記カセットに格納されたウェーハのスライスベース剥離部に沿って移動させる移動手段と、
からなり、前記ブラシを前記ウェーハのスライスベース剥離部に当接し、該ブラシを回転させながら前記ウェーハのスライスベース剥離部に沿って摺動させることにより、前記ウェーハのスライスベース剥離部に残存する接着剤を除去することを特徴とするウェーハ接着剤除去装置。
【請求項２】
前記ウェーハ接着剤除去装置は、熱水が貯留された熱水槽を有しており、該熱水中にスライスベースに接着されたウェーハを浸漬させ、そのスライスベースから自然剥離して落下するウェーハを前記カセット内に格納することを特徴とする請求項１記載のウェーハ接着剤除去装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はウェーハ接着剤除去装置に係り、特にスライスベースが剥離されたウェーハに残存する接着剤を除去するウェーハ接着剤除去装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インゴットの切断を行う場合、その切り終わり部分の欠損を防止するために、インゴットにスライスベースを接着して切断する。このスライスベースは、切断後に、ウェーハから剥離されるが、その剥離方法には、熱水式、加熱式、乾式等様々な方式のものがある。
【０００３】
しかし、いずれの方式を採用する場合であっても、剥離後のウェーハに、スライスベースを接着する際に用いた接着剤が残存するという問題があった。
このため、従来は、ウェーハからスライスベースを剥離した後、作業者が、ウェーハのスライスベースが接着されていた部分をブラシで擦ることによって、接着剤を除去していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記のごとく作業者が１枚１枚手作業で接着剤を除去する方法では、処理に時間がかかり、生産効率がきわめて悪いという問題があった。
本発明は、このような事情を鑑みてなされたもので、スライスベース剥離後にウェーハに残存した接着剤を自動で除去することができるウェーハ接着剤除去装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記目的を達成するために、スライスベースが剥離されたウェーハのスライスベース剥離部に残存する接着剤を除去するウェーハ接着剤除去装置において、複数枚のウェーハを、そのスライスベース剥離部の方向を一定にして格納するカセットと、前記カセットに格納されたウェーハのスライスベース剥離部と対向する位置に配置されたブラシと、前記ブラシを回転させる回転駆動手段と、前記ブラシを前記カセットに格納されたウェーハのスライスベース剥離部に対して進退移動させる進退移動手段と、前記ブラシを前記カセットに格納されたウェーハのスライスベース剥離部に沿って移動させる移動手段と、からなり、前記ブラシを前記ウェーハのスライスベース剥離部に当接し、該ブラシを回転させながら前記ウェーハのスライスベース剥離部に沿って摺動させることにより、前記ウェーハのスライスベース剥離部に残存する接着剤を除去することを特徴とする。
【０００６】
本発明によれば、ウェーハのスライスベース剥離部に残存する接着剤は、回転しながら、そのスライスベース剥離部に沿って摺動するブラシに擦り取られて、ウェーハから除去される。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って本発明に係るウェーハ接着剤除去装置の好ましい実施の形態について詳説する。
図１は、本発明に係るウェーハ接着剤除去装置の実施の形態の構成を示す正面図であり、図２はその側面図である。
【０００８】
図１及び図２に示すように、熱水が貯留された熱水槽１０内には、カセット設置台１２が設けられている。このカセット設置台１２上には、ウェーハＷを格納するカセット１４が着脱自在に設置されている。四角形状をしたウェーハＷは、このカセット１４内に、そのスライスベース剥離部（スライスベースが接着されていた部分）の方向を上側にして格納されている（図３参照）。
【０００９】
前記熱水槽１０の近傍には、支柱１６が垂直に立設されている。この支柱１６には、一対のガイドレール１８、１８が配設されており、該ガイドレール１８、１８には、スライダ２０、２０を介して昇降テーブル２２が昇降自在に支持されている。
前記支柱１６の上端部近傍には、前記ガイドレール１８、１８の配設方向に沿って昇降用油圧シリンダ２４が設置されている。この昇降用油圧シリンダ２４のロッドは、前記昇降テーブル２２に連結されている。前記昇降テーブル２２は、この昇降用油圧シリンダ２４を駆動することにより、前記ガイドレール１８、１８に沿って昇降移動する。
【００１０】
前記昇降テーブル２２の下面には、図中Ｙ方向に沿って一対のガイドレール２６、２６が配設されている。このガイドレール２６、２６には、スライダ２８、２８を介してスライドフレーム３０がスライド自在に支持されている。
一方、前記昇降テーブル２２の上面には、前記ガイドレール２６、２６に沿って、スライド用油圧シリンダ３２が配設されている。このスライド用油圧シリンダ３２のロッドは、連結部材３４を介して前記スライドフレーム３０に連結されている。前記スライドフレーム３０は、このスライド用油圧シリンダ３２を駆動することにより、前記ガイドレール２６、２６に沿って図中Ｙ方向にスライド移動する。
【００１１】
前記スライドフレーム３０は門型状に形成されており、その下部にはブラシ３６が回動自在に支持されている。このブラシ３６の軸心３６ａには、前記スライドフレーム３０に設けられたギアボックス３８の出力軸が連結されており、該ギアボックス３８の入力軸にはモータ４０が連結されている。前記ブラシ３６は、このモータ４０を駆動することにより回転する。
【００１２】
なお、ここで使用するブラシ３６は、従来よりブラシの素材として用いられている不織布表面処理材を使用する。この不織布表面処理材は、繊維の１本１本に接着剤で研磨砥粒が付着されたナイロン繊維を多数絡み合わせて布状に形成したものであり、前記ブラシ３６は、この不織布表面処理材をローラ状に形成したものを用いる。この不織布表面処理材は、弾性力があり非研磨物の形状によく馴染むという特質を有している。
【００１３】
前記のごとく構成された本発明に係るウェーハ接着剤除去装置の実施の形態の作用は次の通りである。
まず、所定枚数のウェーハＷを、そのスライスベース剥離部の方向を上側にしてカセット１４内に格納する。そして、そのウェーハＷが格納されたカセット１４を熱水槽１０内のカセット設置台１２上に設置する。
【００１４】
なお、この際、昇降テーブル２２は、カセット１４の設置作業の邪魔にならないように、熱水槽１０の上方に設定された待機位置に待機させておく。
以上のように、熱水槽１０内にカセット１４が設置されると、そのカセット１４内に格納されたウェーハＷは、熱水中に浸漬されるとともに、そのスライスベース剥離部が図中Ｙ方向に沿って配置される。そして、この後、ウェーハ接着剤除去装置が稼働される。
【００１５】
まず、昇降用油圧シリンダ２４が駆動され、昇降テーブル２２が熱水槽１０に向かって下降する。
前記昇降用油圧シリンダ２４の駆動は、そのロッドが所定量伸張すると停止され、この結果、前記昇降テーブル２２の下部に支持されたブラシ３６が、熱水槽１０内に設置されたウェーハＷの上部、すなわちスライスベース剥離部に当接する。
【００１６】
なお、このウェーハＷに当接するブラシ３６は、前述したように、弾性力を有しているため、適度な押圧力を持ってウェーハＷに当接する。
前記昇降用油圧シリンダ２４の駆動が停止されると、次いで、ブラシ３６に連結されたモータ４０が駆動され、この結果、ブラシ３６が回転を開始する。
また、前記モータ４０の駆動開始とともに、スライドフレーム３０に連結されたスライド用油圧シリンダ３２が駆動され、この結果、前記ブラシ３６が図中Ｙ方向に沿ってスライド移動を開始する。
【００１７】
以上の結果、前記ブラシ３６は、図３に示すように、回転しながらウェーハＷのスライスベース剥離部に沿って摺動する。そして、前記ウェーハＷのスライスベース剥離部に残存した接着剤Ｂは、この回転しながら摺動するブラシ３６に擦り取られてウェーハＷから除去される。
なお、前記ウェーハＷに付着した接着剤Ｂは、前記ウェーハＷが熱水中に浸漬されることにより熱軟化するため、前記のごとく回転しながら摺動するブラシ３６が接触すると容易にウェーハＷから剥がれ落ちる。したがって、前記ブラシ３６を一度通過させることにより、大部分の接着剤Ｂは除去することができるが、より完全を期するために、ブラシ３６は２〜４回程度往復させる。
【００１８】
前記ブラシ３６の往復操作は、前記スライド用油圧シリンダ３２のロッドを伸縮させることにより行うことができ、このブラシ３６が所定回往復した後、除去作業を終了する。すなわち、モータ４０とスライド用油圧シリンダ３２の駆動を停止したのち、昇降用油圧シリンダ２４を駆動して昇降テーブル２２を待機位置まで上昇させる。そして、熱水槽１０からカセット１４を取り出す。
【００１９】
このように、本実施の形態のウェーハ接着剤除去装置によれば、自動で接着剤の除去を行うことができるとともに、一度に多数のウェーハＷを処理することができる。したがって、インゴットから切断された後の一連の処理作業をきわめて効率的に行うことができる。この結果、ウェーハの生産効率が向上する。
なお、本実施の形態の接着剤除去装置では、スライスベースの剥離作業と組み合わせて行うと、より効率的なウェーハの処理が可能になる。すなわち、次の手順に従ってスライスベースの剥離と接着剤の除去を、前述した接着剤除去装置を用いて行う。
【００２０】
図４及び図５に示すように、まず、ウェーハＷを格納するカセット１４を予め熱水槽１０内のカセット設置台１２上にセットしておく。
次に、ワイヤソー等によって櫛刃状に切断されたウェーハＷを、熱水槽１０の上方に位置したアーム４２で支持し（アーム４２については後述）、前記熱水槽１０内に浸漬させる。このとき、ウェーハＷは、前記熱水槽１０内にセットしたカセット１４内に収容されるようにして熱水中に浸漬させる。
【００２１】
スライスベースに接着されているウェーハＷは、熱水中に浸漬させておくことにより、その接着剤が熱軟化して自然にウェーハＷから剥離する。剥離したウェーハＷは、熱水中を落下してカセット１４内に収容される。
このカセット１４内に収容されたウェーハＷは、全てそのスライスベース剥離部の方向が上側を向くので、全てのウェーハＷが自然剥離した後は、上述した手順で接着剤の除去作業を行えばよい。
【００２２】
これにより、スライスベースＳの剥離と同時に接着剤除去作業を行うことができるので、きわめて効率的である。
なお、前記ウェーハＷを支持するアーム４２は、図示しない昇降手段により前記熱水槽１０に対して昇降自在に設けられており、また、前記昇降テーブル２２と接触しないように熱水槽１０上から進退自在に設けられている。したがって、スライスベースＳの剥離作業が終了したあとは、熱水槽１０の上方から退避すれば、接着剤除去作業時に昇降テーブル２２等の移動に障害となることはない。
【００２３】
また、ウェーハＷに接着されスライスベースＳは、さらにマウンティングブロックＭに接着されているので、前記アーム４２でウェーハＷを支持するときは、このマウンティングブロックＭの両端部を保持する。
次に、本発明に係るウェーハ接着剤除去装置の第２の実施の形態について説明する。
【００２４】
図６は、本発明に係るウェーハ接着剤除去装置の第２の実施の形態の構成を示す正面図であり、図７は、その側面図である。
図６及び図７に示すように、熱水が貯留された熱水槽５０内には、カセット設置台５２が設けられている。このカセット設置台５２上には、ウェーハＷを格納するカセット５４が、縦置きの状態で設置されている。四角形状をしたウェーハＷは、このカセット５４内に多数積層された状態で格納され、そのスライスベース剥離部の方向をすべて一方向（図７において左方向）に向けられている。
【００２５】
前記熱水槽５０の近傍には、支柱５６が垂直に立設されている。この支柱５６には、一対のガイドレール５８、５８が配設されており、該ガイドレール５８、５８には、スライダ６０、６０を介して昇降テーブル６２が昇降自在に支持されている。
前記支柱５６の上端部近傍には、前記ガイドレール５８、５８の配設方向に沿って昇降用油圧シリンダ６４が設置されている。この昇降用油圧シリンダ６４のロッドは、前記昇降テーブル６２に連結されている。前記昇降テーブル６２は、この昇降用油圧シリンダ６４を駆動することにより、前記ガイドレール５８、５８に沿って昇降移動する。
【００２６】
前記昇降テーブル６２の下面には、図中Ｙ方向に沿って一対のガイドレール６６、６６が配設されている。このガイドレール６６、６６には、スライダ６８、６８を介して進退スライドフレーム７０がスライド自在に支持されている。
一方、前記昇降テーブル６２の上面には、前記ガイドレール６６、６６に沿って、進退スライド用油圧シリンダ７２が配設されている。この進退スライド用油圧シリンダ７２のロッドは、Ｌ字状に形成された連結部材７４を介して前記進退スライドフレーム７０に連結されている。前記進退スライドフレーム７０は、この進退スライド用油圧シリンダ７２を駆動することにより、前記ガイドレール６６、６６に沿って図中Ｙ方向にスライド移動する。
【００２７】
前記進退スライドフレーム７０は、逆Ｌ字状に形成されており、その正面部７０Ａには、図中Ｘ方向に沿ってガイドレール７６が配設されている。このガイドレール７６には、スライダ７８を介してスライドベース８０がスライド移動自在に支持されている。
また、前記進退スライドフレーム７０の正面７０Ａには、前記ガイドレール７６に沿って、スライド用油圧シリンダ８２が配設されている。このスライド用油圧シリンダ８２のロッドは、前記スライドベース８０に連結されている。前記スライドベース８０は、このスライド用油圧シリンダ８２を駆動することにより、前記ガイドレール７６に沿って図中Ｘ方向にスライド移動する。
【００２８】
前記スライドベース８０には、モータ８４が、そのスピンドル８４ａの方向を鉛直下向きにして設置されている。このモータ８４のスピンドル８４ａには、ブラシ８６の軸心８６ａが連結されており、該ブラシ８６は、前記モータ８４を駆動することにより回転する。
なお、このブラシ８６の構成については、前記第１の実施の形態のブラシ３６の構成と同一である。
【００２９】
前記のごとく構成された本発明に係るウェーハ接着剤除去装置の第２の実施の形態の作用は次の通りである。
まず、所定枚数のウェーハＷを、そのスライスベース剥離部の方向が一定になるように積層してカセット５４内に格納する。そして、そのウェーハＷが格納されたカセット５４を熱水槽５０内のカセット設置台５２上に設置する。
【００３０】
なお、この際、昇降テーブル６２は、カセット５４の設置作業の邪魔にならないように、熱水槽５０の上方に設定された待機位置に待機させておく。
以上のように、熱水槽５０内にカセット５４が設置されると、そのカセット５４内に格納されたウェーハＷは、熱水中に浸漬されるとともに、そのスライスベース剥離部が、図中Ｘ方向に沿って配置される。そして、この後、ウェーハ接着剤除去装置が稼働される。
【００３１】
まず、昇降用油圧シリンダ６４が駆動され、昇降テーブル６２が熱水槽５０に向かって下降する。
前記昇降用油圧シリンダ６４の駆動は、そのロッドが所定量伸張すると停止され、この結果、ブラシ８６が、前記熱水槽５０内に設置されたウェーハＷの正面、すなわちスライスベース剥離部の正面に所定の間隔をもって位置する。
【００３２】
前記昇降用油圧シリンダ６４の駆動が停止されると、次いで、進退スライド用油圧シリンダ７２が駆動され、進退スライドフレーム７０が図中Ｙ方向（図７において右方向）にスライドする。
前記進退スライド用油圧シリンダ７２の駆動は、そのロッドが所定量伸張すると停止され、この結果、前記ブラシ８６が前記スライスベース剥離部に当接する。
【００３３】
前記進退スライド用油圧シリンダ７２の駆動が停止されると、次いで、ブラシ８６に連結されたモータ８４が駆動され、この結果、ブラシ８６が回転を開始する。
また、前記モータ８４の駆動開始とともに、スライドベース８０に連結されたスライド用油圧シリンダ８２が駆動され、この結果、前記ブラシ８６が図中Ｘ方向に沿ってスライド移動を開始する。
【００３４】
以上の結果、前記ブラシ８６は、回転しながらウェーハＷのスライスベース剥離部に沿って摺動する。そして、前記ウェーハＷのスライスベース剥離部に残存した接着剤は、この回転しながら摺動するブラシ８６に擦り取られてウェーハＷから除去される。
前記ブラシ８６が２〜４回程度往復したところで除去作業は終了する。除去作業の終了は、まず、モータ８４とスライド用油圧シリンダ８２の駆動が停止されついで、進退スライド用油圧シリンダ７２が駆動されてブラシ８６がウェーハＷから退避する。そして、昇降用油圧シリンダ６４を駆動されて昇降テーブル６２が待機位置まで上昇する。
【００３５】
以上一連操作により接着剤除去作業は終了し、除去の終えたウェーハＷを熱水槽５０からカセット５４ごと取り出す。
このように、本実施の形態のウェーハ接着剤除去装置によれば、前記第１の実施の形態と同様に、自動で接着剤の除去を行うことができるとともに、一度に多数のウェーハＷを処理することができるため、ウェーハの処理作業を効率的に進めることができる。この結果、ウェーハの生産効率が向上する。
【００３６】
なお、本実施の形態では、ブラシ３６、８６に不織布表面処理材をローラ状に形成したものを用いているが、これに限定されるものではなく、ワイヤブラシや円筒状に形成された研磨砥石等を用いてもよい。
また、本実施の形態では、ウェーハＷを熱水中に浸漬させた状態で接着剤の除去作業を行っているが、これは、熱水中に浸漬させることにより、接着剤が熱軟化して除去し易くなるからである。したがって、ブラシ３６、８６の往復回数を増加させれば、空気中で行っても同様に接着剤の除去を行うことができる。
【００３７】
また、本実施の形態では、角形のウェーハＷに付着した接着剤を除去する場合について説明したが、本発明は、丸形のウェーハＷについても適用することができる。この場合、ブラシ３６で接着剤を除去する際にウェーハＷが回転するのでこれを防止する必要がある。
前記第１の実施の形態で説明したウェーハＷを横置きにするタイプの接着剤除去装置では、図８に示すように、カセット１４内に収容されたウェーハＷ、Ｗ、…の一方端をゴム等の弾性体で形成されたパッド９０で押圧し、ウェーハＷ、Ｗ、…をカセット１４の内壁とで挟持する。これにより、カセット１４内に収容されたウェーハＷ、Ｗ、…は固定され回転が防止される。
【００３８】
なお、同図に示すように、パッド９０の駆動は、パッド９０に連結された油圧シリンダ９２で行い、該油圧シリンダ９２を駆動することにより、前記パッド９０はウェーハＷの端面に向かって進退移動する。
前記第１の実施の形態で説明したウェーハＷを横置きにするタイプの接着剤除去装置では、図８に示すように、カセット１４内に収容されたウェーハＷ、Ｗ、…の一方端をゴム等の弾性体で形成されたパッド９０で押圧し、ウェーハＷ、Ｗ、…をカセット１４の内壁とで挟持する。これにより、カセット１４内に収容されたウェーハＷ、Ｗ、…は固定され回転が防止される。
【００３９】
なお、同図に示すように、パッド９０の駆動は、パッド９０に連結された油圧シリンダ９２で行い、該油圧シリンダ９２を駆動することにより、前記パッド９０はウェーハＷの端面に向かって進退移動する。
また、前記第２の実施の形態で説明したウェーハＷを縦置きにするタイプの接着剤除去装置では、図９に示すように、カセット１４内に収容されたウェーハＷ、Ｗ、…の両側部をゴム等の弾性体で形成された一対のパッド９４、９４で挟持する。これにより、カセット５４内に収容されたウェーハＷ、Ｗ、…は固定され回転が防止される。
【００４０】
なお、パッド９４、９４の駆動は、次のように行われる。図９に示すように、前記パッド９４、９４には、それぞれアーム９６、９６が連結されており、該アーム９６、９６は、ガイドレール９８、９８上をスライド移動自在に支持されたラック部材１００、１００に連結されている。このラック部材１００、１００には、ピニオンギア１０２が噛合されており、該ピニオンギア１０２には、モータ１０４が連結されている。前記一対のパッド９４、９４は、前記モータ１０４を駆動することにより、互いに近づく方向に移動して、前記ウェーハＷ、Ｗ、…を挟持する。これにより、ウェーハＷ、Ｗ、…の回転が防止される。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、自動で接着剤の除去を行うことができるとともに、一度に多数のウェーハＷを処理することができるため、きわめて効率的にウェーハの処理作業を進めることができる。この結果、ウェーハの生産効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るウェーハ接着剤除去装置の第１の実施の形態の正面図
【図２】図２の側面図
【図３】本発明に係るウェーハ接着剤除去装置の作用を説明する説明図
【図４】本発明に係るウェーハ接着剤除去装置の他の実施の形態の正面図
【図５】図５の側面図
【図６】本発明に係るウェーハ接着剤除去装置の第２の実施の形態の正面図
【図７】図６の側面図
【図８】本発明に係るウェーハ接着剤除去装置の他の実施の形態の側面図
【図９】本発明に係るウェーハ接着剤除去装置の他の実施の形態の平面図
【符号の説明】
１０、５０…熱水槽
１４、５４…カセット
１６、５６…支柱
２２、６２…昇降テーブル
２４、６４…昇降用油圧シリンダ
３０…スライドフレーム
３２…スライド用油圧シリンダ
３６、８６…ブラシ
４０、８４…モータ
７０…進退スライドフレーム
７２…進退スライド用油圧シリンダ
８０…スライドベース
８２…スライド用油圧シリンダ
Ｂ…接着剤
Ｓ…スライスベース
Ｗ…ウェーハ
【図１】
0003716541.tif 000002
【図２】
0003716541.tif 000003
【図３】
0003716541.tif 000004
【図４】
0003716541.tif 000005
【図５】
0003716541.tif 000006
【図６】
0003716541.tif 000007
【図７】
0003716541.tif 000008
【図８】
0003716541.tif 000009
【図９】
0003716541.tif 000010