(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報記録用トラックをグルーブとし、プリフォーマット情報が位相ピットとして形成され、注目グルーブに対して特定の側に形成された注目位相ピットは、グルーブ溝深さと同じ溝深さであり、前記注目グルーブに対して前記注目位相ピット側に隣接するグルーブとは半径方向に、前記位相ピットと前記隣接するグルーブとが繋がるとともに前記注目グルーブと前記注目位相ピットとの間には半径方向に隔壁が生ずる形状に形成されている光情報記録媒体の前記プリフォーマット情報を検出するプリフォーマット情報検出方法において、
前記隔壁に光ビームが到達した時に発生するプッシュプル信号のピークを前記プリフォーマット情報として検出するプリフォーマット情報検出方法。
【請求項２】
前記隔壁の半径方向の幅ΔとトラックピッチＴＰとが、
Δ／ＴＰ≧０．１
なる関係を満たす光情報記録媒体に対して前記プリフォーマット情報の検出を行う請求項１記載のプリフォーマット情報検出方法。
【請求項３】
前記位相ピットの幅Ｗｐ、その円周方向の長さＬｐ、トラックピッチＴＰ、記録再生用ビームのスポット径ＢＤが、
Ｌｐ／ＢＤ＜１．０
０．８≦Ｗｐ／ＴＰ≦０．９
なる関係を満たす光情報記録媒体に対して前記プリフォーマット情報の検出を行う請求項１記載のプリフォーマット情報検出方法。
【請求項４】
前記位相ピットの幅Ｗｐ、その円周方向の長さＬｐ、トラックピッチＴＰ、記録再生用ビームのスポット径ＢＤが、
１．０≦Ｌｐ／ＢＤ
０．５≦Ｗｐ／ＴＰ≦０．８
なる関係を満たす光情報記録媒体に対して前記プリフォーマット情報の検出を行う請求項１記載のプリフォーマット情報検出方法。
【請求項５】
前記位相ピットの幅Ｗｐ、その円周方向の長さＬｐ、トラックピッチＴＰ、記録再生用ビームのスポット径ＢＤが、
１．０≦Ｌｐ／ＢＤ
０．８≦Ｗｐ／ＴＰ≦０．９
なる関係を満たす光情報記録媒体に対して前記プリフォーマット情報の検出を行う請求項１記載のプリフォーマット情報検出方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリフォーマット情報検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、書き込み可能型の光情報記録媒体では、位置検索のための同期信号やアドレス情報（以下、これらの情報を「プリフォーマット情報」という）が、予め、位相溝としてディスク基板上に形成されている。このようなプリフォーマット情報を位相溝として形成する手法としては、溝を蛇行（ウォブリング）させる手法や、不連続な溝（以下、この溝を「位相ピット」という）の長さ、間隔、位置を変化させる手法がある。
【０００３】
光ディスクの記録容量を大きくするためには、情報記録用トラックとなるグルーブの間隔（以下、この間隔を「トラックピッチ」という）を狭くした場合、ウォブリングさせる手法によると十分なＣ／Ｎがとれず、記録容量にも制約がある。
【０００４】
そこで、特許文献１によれば、グルーブ間に位置するランド上に位相ピットを形成することが提案されている。図１１はこの考えの光情報記録媒体を模式的に示すもので、グルーブＧ間の部分なるランドＬ上に位相ピットＰが形成されている。図示の如く、この位相ピットＰは隣接するトラックのグルーブＧ同士をつないだ形、即ち、梯子状となる。
【０００５】
一方、このような位相ピットＰを再生する手法としては、光ディスクの半径方向（トラック方向に直交する方向）に２分割されたフォトダイオードを受光系に配置し、このフォトダイオードから光電変換されて得られる信号の差信号として検出する方法がある（詳細には特許文献１中の図８及び対応する説明参照）。また、グルーブＧを挾んで左右に位置するランドＬ上にともに位相ピットＰが存在する場合、プリフォーマット情報が同時に読み出されて干渉してしまう（クロストーク）ので、位相ピットＰで形成されるプリフォーマット情報のパターンを偶数用ＥＶＥＮ、奇数用ＯＤＤの２種類用意しておき、クロストークが発生するような配置になった場合にはこれらのパターンを切換えて使用するようにしている（同公報中の図２及び対応する説明参照）。この手法により、クロストークの問題は解消される。
【０００６】
【特許文献１】
特開平９−１７０２９号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
前述した公報では、クロストーク問題のために位相ピットＰで形成されるプリフォーマット情報のパターンを２種類用意しておき、クロストークが発生する配置になったらパターンを切換えて使用するようにしているので、クロストーク問題の解決手段としては有効といえる。
【０００８】
ところが、クロストークが発生する位置（即ち、グルーブＧを挾んで左右に位置するランドＬに同時に位相ピットＰが存在する位置）を原盤露光中に検出しながら、偶数用ＥＶＥＮパターンと奇数用ＯＤＤパターンとを切換えて露光することは技術的に非常に難しいといえる。即ち、露光原盤の回転数に誤差がなければ、計算でクロストークの発生する位置を求めて偶数用ＥＶＥＮパターンと奇数用ＯＤＤパターンとを切換えたプリフォーマット情報の位相ピットパターンをエンコードすることができるが、露光原盤の回転数には小さいながらも誤差（一般的には、０．１％以下）があるため、計算による手法をとることができない。そこで、実際には、露光原盤の回転数をモニタリングしながらクロストークが発生する位置を検出し、偶数用ＥＶＥＮパターンと奇数用ＯＤＤパターンとを切換えて露光する必要がある。しかし、位相ピットＰのトラック方向の長さはサブミクロンオーダであり、極めて短いため、回転数の誤差検出を少なくともｎｓオーダで行なわなくてはならず、回転数検出装置自体が持つ誤差によっても、クロストークが発生する位置検出に誤差を生じてしまう。
【０００９】
また、前述した公報中では詳細には述べられていないが、位相ピットＰで形成されたプリフォーマット情報を再生する手法として、プッシュプル信号（Ｐush-Ｐull 信号＝差信号）を用いる手法がある。その再生原理を図１２及び図１３を参照して説明する。図１２（ｂ）は同図（ａ）に示すように再生ビームＢがディスク半径方向を横切る場合に梯子状の位相ピットＰ付近で生じるプッシュプル信号の波形を示す。この場合のプッシュプル信号はトラックピッチＴＰを１周期とする正弦波となるが、位相ピットＰが存在する梯子状部分では半径方向の断面形状が破線で示すトラック中心に対して非対称であるため、位相ピットＰの中心（図中、１点鎖線で示す）がグルーブＧのトラック中心に対して半径方向に寸法ｓだけずれた位置となる。このため、図１３（ａ）に示すようにグルーブＧに沿ってトラッキング制御しながら信号を再生する場合に、位相ピットＰの位置では同図（ｂ）に示すようにプッシュプル信号に大きさＡで示すようなピークが生じるので、このＡのようなピークの有無或いは発生位置を検出すれば、位相ピットＰで形成されたプリフォーマット情報を再生することができる。図１４はこの方式の場合の位相ピットＰの信号波形例を示す。
【００１０】
ところが、グルーブＧを挾んで左右に位置するランドＬ上に位相ピットＰが同時に存在する個所（図１１（ｂ）に示すトラックＴｒ３，Ｔｒ４の断面位置、図１５（ａ）参照）では、位相ピットＰが存在しても梯子状部分の半径方向の断面形状が非対称とはならないので（図１５（ｂ）のプッシュプル信号からも判るように位相ピットＰの中心にずれｓを生じない）、グルーブＧに沿ってトラッキング制御しながら信号を再生する場合のプッシュプル信号にＡのようなピークを生じない。つまり、グルーブＧを挾んで左右に位置するランドＬ上に位相ピットＰが同時に存在する場合には、位相ピットＰで形成されたプリフォーマット情報を検出することができない問題を生ずる。よって、この問題を解決するため、プッシュプル信号で再生する際にも、位相ピットＰで形成されプリフォーマット情報のパターンを偶数用ＥＶＥＮ、奇数用ＯＤＤの２種類用意しておき、クロストークが発生するような配置になった場合にはこれらのパターンを切換えて使用する必要がある。
【００１１】
また、グルーブＧに情報を記録すると、記録マークＭの半径方向の広がりはグルーブＧとランドＬとの壁で遮断されることが知られている。前述した公報例のように形成された位相ピット部分付近に対して記録を行なうと、図１６に示すように記録マークＭがランドＬに形成された位相ピットＰ側に広がり、記録マークＭのはみ出し現象が起こる。このはみ出し現象は、位相ピット信号に対して悪影響を及ぼし、図１６（ｂ）〜（ｄ）に示すケースのように、位相ピット信号が歪んだり、信号振幅の低下を生ずる。この結果、再生時に位相ピットＰを検出できず、アドレス情報が再生できないという致命的な問題が発生する。
【００１２】
ところで、上述したように、グルーブＧを挾んで左右に位置するランドＬ上に位相ピットＰが同時に存在する場合でも、位相ピットＰで形成されたプリフォーマット情報を検出し得るように構成した光情報記録媒体が本出願人により特願平９−２３０６９６号として提案されている。図１７はその一例を示すもので、位相ピットＰを常に半径方向に非対称な形状に形成したものである。即ち、位相ピットＰを完全には梯子状には形成せず、トラックピッチより短い長さとしたものである。図１８はその位相ピットＰの信号波形例を示すものである。この提案例によれば、隣接トラックに位相ピットが存在する場合でも必ず位相ピットのトラック中心とグルーブＧのトラック中心とがｓだけずれる構成となり、位相ピットＰの検出が可能となる。ところが、この提案例による場合も、上述した記録時の記録マークＭの広がりに関しては、同じ問題が生ずる。
【００１３】
そこで、本発明は、グルーブを挟んで左右に位置するランド上に位相ピットが存在しても干渉を受けず、かつ、記録後でも位相ピットで構成されるアドレス情報等を正確に再生し得る光情報記録媒体のプリフォーマット情報検出方法を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、情報記録用トラックをグルーブとし、プリフォーマット情報が位相ピットとして形成され、注目グルーブに対して特定の側に形成された注目位相ピットは、グルーブ溝深さと同じ溝深さであり、前記注目グルーブに対して前記注目位相ピット側に隣接するグルーブとは半径方向に、前記位相ピットと前記隣接するグルーブとが繋がるとともに前記注目グルーブと前記注目位相ピットとの間には半径方向に隔壁が生ずる形状に形成されている光情報記録媒体の前記プリフォーマット情報を検出するプリフォーマット情報検出方法において、前記隔壁に光ビームが到達した時に発生するプッシュプル信号のピークを前記プリフォーマット情報として検出するようにした。
【００１６】
従って、注目トラックにおいてその注目グルーブと注目位相ピットとの間には隔壁が介在して直接繋がっていないので、グルーブを挟んで左右に位置するランド上に位相ピットが存在しても干渉を受けないのはもちろん、隔壁の効果で、記録後の位相ピット信号が劣化することなく、安定した位相ピット信号を得ることができ、アドレス情報を正しく再生することができる。
【００１７】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のプリフォーマット情報検出方法において、前記隔壁の半径方向の幅ΔとトラックピッチＴＰとが、Δ／ＴＰ≧０．１なる関係を満たす光情報記録媒体に対してプリフォーマット情報の検出を行うようにした。
【００１８】
従って、隔壁の半径方向の幅Δを、記録マークの広がりを遮断し得る範囲に設定しているので、隔壁効果を確実に発揮させて、記録後の位相ピット信号の劣化を防止できる。
【００１９】
請求項３記載の発明は、請求項１記載のプリフォーマット情報検出方法において、前記位相ピットの幅Ｗｐ、その円周方向の長さＬｐ、トラックピッチＴＰ、記録再生用ビームのスポット径ＢＤが、Ｌｐ／ＢＤ＜１．０、  ０．８≦Ｗｐ／ＴＰ≦０．９なる関係を満たす光情報記録媒体に対してプリフォーマット情報の検出を行うようにした。
【００２０】
従って、位相ピットの幅Ｗｐを位相ピットの信号振幅を十分大きくとれる範囲内に設定しているので、安定した位相ピット信号を得ることができ、アドレス情報を正しく再生することができる。
【００２１】
請求項４記載の発明は、請求項１記載のプリフォーマット情報検出方法において、前記位相ピットの幅Ｗｐ、その円周方向の長さＬｐ、トラックピッチＴＰ、記録再生用ビームのスポット径ＢＤが、１．０≦Ｌｐ／ＢＤ、  ０．５≦Ｗｐ／ＴＰ≦０．８なる関係を満たす光情報記録媒体に対してプリフォーマット情報の検出を行うようにした。
【００２２】
従って、位相ピットの円周方向の長さＬｐを位相ピットの信号振幅を十分大きくとれる範囲内に設定しているので、安定した位相ピット信号を得ることができ、アドレス情報を正しく再生することができる。
【００２３】
請求項５記載の発明は、請求項１記載のプリフォーマット情報検出方法において、前記位相ピットの幅Ｗｐ、その円周方向の長さＬｐ、トラックピッチＴＰ、記録再生用ビームのスポット径ＢＤが、１．０≦Ｌｐ／ＢＤ、  ０．８≦Ｗｐ／ＴＰ≦０．９なる関係を満たす光情報記録媒体に対してプリフォーマット情報の検出を行うようにした。
【００２４】
従って、位相ピットの幅Ｗｐ及びその円周方向の長さＬｐを位相ピットの信号振幅を十分大きくとれる範囲内に設定しているので、安定した位相ピット信号を得ることができ、アドレス情報を正しく再生することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態を図１ないし図８に基づいて説明する。なお、本実施の形態でも、情報記録用トラックとなるグルーブをＧ、グルーブＧ間部分のランドをＬ、プリフォーマット情報を表す位相ピットをＰで示すものとする。また、グルーブＧの溝幅をＷｇ、位相ピットＰの溝幅をＷｐで示すものとする。
【００２６】
本実施の形態の光情報記録媒体では、基本的には、図１に示すように位相ピットＰを完全には梯子状には形成せず、トラックピッチより短い長さとして形成することで、位相ピットＰのトラック中心とグルーブＧのトラック中心とがｓだけずれた構成とされている。即ち、外見上、図１７に示した既提案例と殆ど同一構成である。
【００２７】
ここに、本実施の形態においては、図２に示すように、記録・再生の対象となる或るトラック▲１▼（注目トラック）のグルーブＧ（注目グルーブ）と同一トラック上に配設される位相ピット▲１▼（注目位相ピットＰ）とは半径方向に繋がっておらず、隔壁１が存在し、この位相ピット▲１▼はトラック▲１▼に対して位相ピット▲１▼側に隣接するトラック▲３▼のグルーブＧ（隣接グルーブ）と繋がるような形状に形成されている。ちなみに、図１７の提案例の場合には、図１８に示すように、記録・再生の対象となる或るトラック▲１▼（注目トラック）のグルーブＧ（注目グルーブ）と同一トラック上に配設される位相ピット▲１▼（注目位相ピットＰ）とが半径方向に繋がっており、隣接するトラックのグルーブＧとの間に隔壁が存在するような形状に形成されている。つまり、半径方向に対する位相ピットＰの向きが、本実施の形態と既提案例とでは逆向きとされている。
【００２８】
このような構成において、トラック▲１▼を図２中に矢印で示す方向に再生した場合、位相ピットＰから発生するプッシュプル信号のピークは、図１８に示した既提案例の場合と極性（紙面上のピークの向きで示される）が同じになって現れる。ピークの極性は、グルーブＧに対して左右どちら側に位相ピットＰが存在するかによって決まる信号である。このため、隔壁１の有無の差はあるものの、本実施の形態による場合と既提案例の場合とでは位相ピットＰがグルーブＧに対して同じ側に配設しているので、既提案例の場合と同様に、ピークの極性が同じになる優位性を維持できる。よって、基本的に、グルーブＧを挾んで左右に位置するランドＬ上に位相ピットＰが同時に存在する場合でも、位相ピットＰで形成されたプリフォーマット情報を検出できる。
【００２９】
また、隔壁１の効果として、図３に示すように、トラック▲１▼のグルーブＧへ記録した記録マークＭが、この記録・再生の対象となるトラック▲１▼のアドレス情報を示す位相ピット▲１▼側へ広がることが防止される。つまり、図１６で説明したように記録マークＭの位相ピットＰ側へのはみ出しを生じない。もっとも、図２において、トラック▲１▼に隣接するトラック▲３▼のグルーブＧ上に記録した場合には、その記録マークは位相ピット▲１▼にはみ出すこととなるが、一般的に、再生ビームの径はトラックピッチＴＰ程度を使用するため、トラック▲１▼を再生するときに位相ピット▲１▼にはみ出した記録マーク部分は、再生ビームの光強度が無い裾部分に位置するため、隣接トラックから漏れてくる信号（クロストーク信号）の影響は低く、図１６（ｂ）〜（ｄ）のような位相ピット信号の劣化は発生しない。このようにして、本実施の形態によれば、隔壁１の効果で記録後の位相ピット信号の劣化が起きず、安定した位相ピット信号が得られるので、アドレス情報を正しく再生することができる。
【００３０】
このような本実施の形態の基本構成例に対する幾つかの工夫例を以下に説明する。
【００３１】
工夫例１
図２に示す本実施の形態や図１８に示した既提案例の場合のようにグルーブＧと位相ピットＰとを配置させたとき、トラック▲１▼を再生すると、位相ピット▲１▼と位相ピット▲２▼から発生するプッシュプル信号のピーク極性は、正負、逆になる。また、再生トラックのグルーブと位相ピットとが繋がった配置（グルーブＧのトラック中心に対して位相ピットが近い位置にある）の方が、ピーク値（位相ピット信号の振幅）が大きくなる。このため、図１８では位相ピット▲１▼の信号振幅をＡ１、位相ピット▲２▼の信号振幅をＡ２とすると、Ａ１＞Ａ２なる関係にある。一方、本実施の形態を示す図２において、位相ピット▲１▼の信号振幅をＢ１、位相ピット▲２▼の信号振幅をＢ２とすると、Ｂ１＜Ｂ２なる関係にあり、図１８の場合とは信号振幅の大きさの関係が逆の関係となる。
【００３２】
ここで、仮に図２と図１８とではグルーブＧと位相ピットＰとに関する形状（溝深さ及び溝幅）が同じであるとすると、Ａ１＝Ｂ２，Ａ２＝Ｂ１なる関係が成立する。また、記録・再生の対象となる注目トラックをトラック▲１▼とすると、Ａ１＞Ｂ１となる。このように、本実施の形態による場合、位相ピットＰが記録再生対象となるグルーブＧのトラック中心に対して、図１８の場合よりも半径方向に離れて存在するため、位相ピットＰの信号振幅が図１８の場合よりも低下してしまう懸念がある。図４は、位相ピットＰの円周方向の長さＬｐと記録再生用ビームのスポット径ＢＤとがＬｐ／ＢＤ＝０．５の場合において、図１８の場合（既提案例を従来方式▲２▼とする）と図２の場合との位相ピット信号振幅を対比して示すグラフである。なお、図４における位相ピット信号振幅は、図２におけるプッシュプル信号出力値Ｂ１を和信号Ｒｆで割って規格化した数値を示す。位相ピットＰがグルーブＧと完全に繋がらない状態（Ｗｐ／ＴＰ＜１なる範囲）では、本実施の形態を示す図２の場合の方が位相ピット信号振幅が低下することが分かる。
【００３３】
この点、図４によれば、図２の場合、位相ピットが隣接するグルーブと繋がった状態（Ｗｐ／ＴＰ＝１）で位相ピット信号振幅が最大となる。記録マークＭの広がりを遮断する隔壁１を設ける条件（Ｗｐ／ＴＰ＜１なる範囲）になると、位相ピット信号振幅が低下する。実験において、隔壁１の半径方向の幅Δ（図６参照）は、最低でも、Δ／ＴＰ＝０．１（Ｗｐ／ＴＰ＝０．９）があれば、記録マークＭの広がりを防止できることが確認できた。そこで、本実施の形態においても、Δ／ＴＰ＝０．１程度に設定すれば、図４からもＷｐ／ＴＰ＝０．９付近では図１８の場合に比して位相ピット信号振幅の差があまりない領域にあることが分かる。この結果、本実施の形態における位相ピット信号振幅の低下を最小限度に抑えることができる。
【００３４】
工夫例２
工夫例１のように、Ｗｐ／ＴＰ＝０．９程度に設定すれば、位相ピット信号振幅の低下を抑制し得る。しかし、反面、隔壁１の幅Δが非常に狭いため、マスタリング工程で安定した溝形成を行なうことが難しくなる。マスタリングのし易さの観点からすると、Ｗｐ／ＴＰ＝０．６〜０．９程度に設定するのが望ましい。もっとも、Ｗｐ／ＴＰ＝０．６〜０．９程度に設定するだけでは図４からも分かるように位相ピット信号振幅の低下が大きすぎるため、その低下分を補う対策が必要となる。この場合、Ｌｐ／ＢＤ≧１．０とすることで対処し得る。図５を参照してこの点を説明する。この図５はＷｐ／ＴＰ＝０．７の場合を例にとり、位相ピットＰの円周方向の長さＬｐとスポット径ＢＤとの比を変化させた場合の位相ピット信号振幅の変化の様子を示すグラフである。なお、図５における位相ピット信号振幅も、図２におけるプッシュプル信号出力値Ｂ１を和信号Ｒｆで割って規格化した数値を示す。このグラフによれば、Ｌｐ／ＢＤ≧１．０とすることで振幅の大きな位相ピット信号を安定して得ることができ、位相ピット信号振幅の低下の問題を回避し得ることが分かる。また、このような条件によれば、マスタリング工程の製造マージンも大きくなり、歩留まりの高い光情報記録媒体の製造工程を提供できる。
【００３５】
工夫例３
これらの点を考慮して、最も大きな位相ピット信号振幅を得るためには、Ｗｐ／ＴＰ＝０．９（工夫例１）とＬｐ／ＢＤ≧１．０（工夫例２）との組合せ条件にすればよいといえる。しかし、この組合せだけではマスタリング工程の製造マージンが少なくなる可能性がある。この工夫例３では、隔壁１の幅Δを高精度に調整するマスタリング方法（原盤露光方法）を図６及び図７を参照して明らかにする。
【００３６】
図６において、断面▲１▼はグルーブＧと位相ピットＰとが存在する領域、断面▲２▼はグルーブＧだけが存在する領域を示す。グルーブＧと位相ピットＰとが同時に存在する領域では、グルーブ用の露光ビームと位相ピット用の露光ビームとの２本の露光ビームを同時に使ってレジスト原盤２の露光を行ない、グルーブＧだけが存在する領域では、グルーブ用の露光ビームのみを使ってレジスト原盤２の露光を行なう。このとき、隔壁１の半径方向の幅をΔ、２本の露光ビームのスポット間隔をＬ、グルーブ用の露光ビームのスポット径をＢＤ１、位相ピット用の露光ビームのスポット径をＢＤ２（図７参照）とすると、マスタリングで形成される溝幅と原盤露光用ビームのスポット径とがほぼ等しいので、
Δ＝Ｌ−（ＢＤ１／２）−（ＢＤ２／２）
なる関係が成立することが分かる。この関係式から、必要な隔壁１の幅Δに対して、グルーブ用の露光ビームと位相ピット用の露光ビームとのスポット径ＢＤ１，ＢＤとそれらのスポット間隔Ｌとを適宜選択すればよいことが分かる。この関係式は、上述の工夫例１，２にも応用できる。
【００３７】
このようなマスタリング工程の製造マージンを確保するためには、隔壁１の幅Δを任意かつ高精度に調整し得ることが重要である。一般に、レーザビームのスポット径を調整するには、対物レンズに入射するビーム径を変更する方法が用いられる。図８に示す露光光学系によれば、レーザ光源３から出射されたビームを偏光ビームスプリッタ４によりグルーブ用の露光ビームと位相ピット用の露光ビームとに分岐させた後、グルーブ用の露光ビームはビームエキスパンダ５、偏向プリズム６，７及び対物レンズ８を介してレジスト原盤２のレジスト膜９上に照射し、位相ピット用の露光ビームは偏向プリズム１０及び光変調器１１を経た後、ビームエキスパンダ１２、偏向プリズム１３，６，７及び対物レンズ８を介して原盤２のレジスト９上に照射させる構成とされている。ここに、ビームエキスパンダ５，１２などの手段を利用してビーム径を広げたり狭くするわけであるが、これでは、レーザ光軸のずれの影響が大きくて隔壁１の幅Δの調整精度を上げにくい。この点、この工夫例３では、２本の露光ビームのスポット径ＢＤ１，ＢＤ２を固定とし、一方の露光ビームの光路中（例えば、図示例はグルーブ用側であるが、位相ピット用側であってもよい）に光偏向素子１４を介在させて対物レンズ８への入射角を可変させることでスポット間隔Ｌを調整するものである。これによれば、光偏向素子１４に対する電圧値を変更するだけで、簡単かつ高精度に隔壁１の幅Δを調整することができる。
【００３８】
【参照例】
上述した説明に基づく光情報記録媒体の具体的な製造方法及び製造された結果物について、参照例１，２として説明する。
【００３９】
参照例１
一般に、このような光情報記録媒体のプラスチック基板は、スタンパと称される金型から射出成形法により大量複製される。スタンパは、図９に示すスタンパ製造プロセス（マスタリング）に従い作製される。このプロセスでは、まず、ガラス基板１５にフォトレジスト膜９を塗布・ベークしてレジスト原盤２を作製する（レジスト原盤作製工程…図９（ａ））。つづいて、レジスト原盤２を集光されたレーザビーム、ここでは、Ａｒレーザ３（図８参照）により露光することで潜像形成する（原盤露光工程…図９（ｂ））。露光されたレジスト原盤２を現像し、フォトレジスト膜９上に溝パターン１６を形成する（現像工程…図９（ｃ））。フォトレジスト膜９上に溝パターン１６が形成されたレジスト原盤２の表面にＮｉ膜をスパッタリングして導電皮膜１７を形成する（導電皮膜処理工程…図９（ｄ））。この導電皮膜１７上にＮｉを積層し、Ｎｉ電鋳板１８を形成する（Ｎｉ電鋳工程…図９（ｅ））。このＮｉ電鋳板１８をガラス基板１５から剥離し、洗浄、裏面研磨、内外径加工の処理を経てスタンパ１９として完成させる（剥離、洗浄、裏面研磨、加工工程…図９（ｆ））。
【００４０】
ここで、図９（ｂ）に示す原盤露光工程のモデルを図１０に示す。この原盤露光は、レジスト原盤２をターンテーブル２０により回転させながら横送りさせて、レジスト原盤２上にＡｒレーザ４のレーザビームを集光照射させることで、グルーブ用の溝パターン１６がスパイラル状に形成される。８は対物レンズである。
【００４１】
このような原理で行なわれる原盤露光に関して、前述した実施の形態中の工夫例１，２，３のような位相ピットＰを含むグルーブＧを原盤露光する場合、図８で説明したように、グルーブ用と位相ピット用との２本の露光ビームを用いる。これらの２本の露光ビームを半径方向にずらして配置させ、同時にレジスト原盤２上に集光させて原盤露光する。よって、原盤露光時には、露光中のグルーブ（注目グルーブ）に対応するアドレス情報は、同時に原盤露光される位相ピット（注目位相ピット）によって記録されることになる。また、スパイラル状に連続した溝を形成するため、グルーブ用の露光ビームはレジスト原盤２上に連続照射されることになるが、位相ピット用の露光ビームは位相ピットＰを配設させる部分でのみ間欠的に照射される（光変調器１１によりオン・オフ制御される）。
【００４２】
このような方法を用いて工夫例２で説明したような光情報記録媒体を作製し、その評価を行なった。ここでは、グルーブＧ及び位相ピットＰの溝深さを約６００Å、グルーブＧの溝幅Ｗｇを約０．３μｍ、位相ピットＰの溝幅Ｗｐを約０．５μｍ、位相ピットＰの円周方向の長さＬｐを約１μｍ、トラックピッチＴＰを０．７４μｍ、隔壁１の半径方向の幅Δを約０．２μｍとした。また、記録再生用の半導体レーザの波長を６３５ｎｍ、対物レンズ８の開口数ＮＡ＝０．６０、記録再生用のビームスポット径を約０．８μｍとした。さらに、光情報記録媒体の記録材料として、相変化材料（ＡｇＩｎＳｂＴｅ）を用いた。この結果、このような光情報記録媒体に関して、位相ピット信号振幅として０．２程度の強度が得られ、記録後でも位相ピット信号振幅の波形に歪みがなく、アドレス情報を安定して再生できることが確認できた。
【００４３】
参照例２
ここでは、工夫例３の場合の実際のマスタリング条件について説明する。グルーブＧ及び位相ピットＰの溝深さを約６００Å、グルーブＧの溝幅Ｗｇを約０．３μｍ、位相ピットＰの溝幅Ｗｐを約０．６５μｍ、位相ピットＰの円周方向の長さＬｐを約１μｍ、トラックピッチＴＰを０．７４μｍ、隔壁１の半径方向の幅Δを約０．１μｍとした。このときのマスタリング条件として、グルーブ用の露光ビームのスポット径ＢＤ１と位相ピット用の露光ビームのスポット径ＢＤ２とはほぼ等しく約０．３μｍでスポット間隔Ｌを約０．４μｍとした。また、記録再生用の半導体レーザの波長を６３５ｎｍ、対物レンズ８の開口数ＮＡ＝０．６０、記録再生用のビームスポット径を約０．８μｍとした。さらに、光情報記録媒体の記録材料として、相変化材料（ＡｇＩｎＳｂＴｅ）を用いた。この結果、このような光情報記録媒体に関して、位相ピット信号振幅として０．３５程度の強度が得られ、記録後でも位相ピット信号振幅の波形に歪みがなく、アドレス情報を安定して再生できることが確認できた。
【００４４】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、注目トラックにおいてその注目グルーブと注目位相ピットとの間には隔壁が介在して直接繋がっておらず、このような隔壁に光ビームが到達した時に発生するプッシュプル信号のピークをプリフォーマット情報として検出するようにしたので、グルーブを挟んで左右に位置するランド上に位相ピットが存在しても干渉を受けないのはもちろん、隔壁の効果で、記録後の位相ピット信号が劣化することなく、安定した位相ピット信号を得ることができ、アドレス情報を正しく再生することができる。
【００４５】
請求項２記載の発明によれば、隔壁の半径方向の幅Δが記録マークの広がりを遮断し得る範囲に設定され、このような隔壁に光ビームが到達した時に発生するプッシュプル信号のピークをプリフォーマット情報として検出するようにしたので、隔壁効果を確実に発揮させて、記録後の位相ピット信号の劣化を防止することができる。
【００４６】
請求項３記載の発明によれば、位相ピットの幅Ｗｐが位相ピットの信号振幅を十分大きくとれる範囲内に設定され、隔壁に光ビームが到達した時に発生するプッシュプル信号のピークをプリフォーマット情報として検出するようにしたので、安定した位相ピット信号を得ることができ、アドレス情報を正しく再生すことができる。
【００４７】
請求項４記載の発明によれば、位相ピットの円周方向の長さＬｐが位相ピットの信号振幅を十分大きくとれる範囲内に設定され、隔壁に光ビームが到達した時に発生するプッシュプル信号のピークをプリフォーマット情報として検出するようにしたので、安定した位相ピット信号を得ることができ、アドレス情報を正しく再生することができる。
【００４８】
請求項５記載の発明によれば、位相ピットの幅Ｗｐ及びその円周方向の長さＬｐが位相ピットの信号振幅を十分大きくとれる範囲内に設定され、隔壁に光ビームが到達した時に発生するプッシュプル信号のピークをプリフォーマット情報として検出するようにしたので、安定した位相ピット信号を得ることができ、アドレス情報を正しく再生することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の光情報記録媒体を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）はその▲１▼位置での断面図、（ｃ）は▲２▼位置での断面図である。
【図２】位相ピットと位相ピット信号波形との関係を示す模式図である。
【図３】その隔壁の効果を説明するための模式図である。
【図４】位相ピットの幅と位相ピット信号振幅との関係を示すグラフである。
【図５】位相ピットの長さと位相ピット信号振幅との関係を示すグラフである。
【図６】位相ピットの原盤露光方法を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は露光ビームの露光ビームの説明図、（ｃ）は（ａ）の▲１▼位置での露光状態の断面図、（ｄ）は（ａ）の▲２▼位置での露光状態の断面図である。
【図７】２本の露光ビームのスポット径とスポット間隔を示す説明図である。
【図８】原盤露光用の光学系を示す構成図である。
【図９】スタンパ製造プロセスを示す工程図である。
【図１０】原盤露光モデルを示す斜視図である。
【図１１】従来の光情報記録媒体を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）はその▲１▼位置での断面図、（ｃ）は▲２▼位置での断面図である。
【図１２】位相ピット再生原理を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）はプッシュプル信号の波形図である。
【図１３】トラッキングに伴う位相ピット再生原理を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）はプッシュプル信号の波形図である。
【図１４】その位相ピットと位相ピット信号波形との関係を示す模式図である。
【図１５】位相ピットを再生できない場合を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）はプッシュプル信号の波形図である。
【図１６】記録マークはみ出しによる位相ピット信号波形の歪みを示す説明図である。
【図１７】既提案例の光情報記録媒体を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は▲１▼位置での断面図、（ｃ）は▲２▼位置での断面図である。
【図１８】その位相ピットと位相ピット信号波形との関係を示す模式図である。
【符号の説明】
１      隔壁
１４      光偏向素子
Ｇ      グルーブ
Ｐ      位相ピット
Ｗｇ    グルーブの溝幅
Ｗｐ    位相ピットの溝幅
Ｌｐ    位相ピットの長さ
【図１】
0003729268.tif 000002
【図２】
0003729268.tif 000003
【図３】
0003729268.tif 000004
【図４】
0003729268.tif 000005
【図５】
0003729268.tif 000006
【図６】
0003729268.tif 000007
【図７】
0003729268.tif 000008
【図８】
0003729268.tif 000009
【図９】
0003729268.tif 000010
【図１０】
0003729268.tif 000011
【図１１】
0003729268.tif 000012
【図１２】
0003729268.tif 000013
【図１３】
0003729268.tif 000014
【図１４】
0003729268.tif 000015
【図１５】
0003729268.tif 000016
【図１６】
0003729268.tif 000017
【図１７】
0003729268.tif 000018
【図１８】
0003729268.tif 000019