(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円板状のワークの表裏各面における所定領域に夫々対向するとともに、このワークの中心軸方向への変位を規制する一対の支持パッドと、
前記ワークの端面に当接して回転することにより、当該ワークを回転させる駆動ローラと、
前記ワークの端面に当接して従動的に回転可能な被動ローラと、
前記被動ローラの回転数を検出する検出器と、
前記検出器から検出された被動ローラの回転数に基づき、前記ワークが所定の回転数で回転するように、前記駆動ローラを回転させる制御部と
を備えたことを特徴とするワークホルダ。
【請求項２】
前記制御部は、前記被動ローラの回転数に基づいてワークの回転数を算出し、算出したワークの回転数が前記所定の回転数に達していない場合には、前記駆動ローラを増速させ、算出したワークの回転数が前記所定の回転数を超えている場合には、前記駆動ローラを減速させる
ことを特徴とする請求項１記載のワークホルダ。
【請求項３】
前記ワークは、該ワークの端面に当接して回転する少なくとも３つのローラにより保持されていて、これら各ローラのうちの少なくとも１つが前記駆動ローラであり、これら各ローラのうちの少なくとも１つが前記被動ローラである
ことを特徴とする請求項１又は２記載のワークホルダ。
【請求項４】
前記被動ローラは、複数設けられ、
前記検出器は、これら各被動ローラに夫々対応させて複数設けられた
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のワークホルダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコンウエハやガラスディスク等の円板状のワークを加工する加工装置に適用され、このワークを自転させた状態で保持するワークホルダに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、円板状の薄型ワークを加工するための装置として、両頭研削盤が知られている。この両頭研削盤は、研削作用面同士を同軸かつ平行に対向させた一対のカップ形砥石，及び，これら各砥石を同軸に高速回転させる駆動機構を備えている。また、この両頭研削盤は、ワークを自転させた状態で保持するとともに当該ワークを両砥石間に挿入するワークホルダを、備えている。
【０００３】
そして、この両頭研削盤は、そのワークホルダによりワークを両砥石間に挿入させた状態において、これら各砥石を夫々高速回転させた状態で相近接させることにより、当該ワークの両面における全領域を均等に研削する。
【０００４】
このように、ワークホルダは、ワークを回転させた状態で保持し、当該ワークを両砥石間に挿入しなければならない。このワークホルダとしては、キャリア駆動方式，デバイス面駆動方式，及び端面駆動方式によるものが、知られている。
【０００５】
キャリア駆動方式には、ワークを嵌合させるキャリアが用いられる。このキャリアは、ワークよりもやや大径かつ薄型の略円板状であり、ワークと同じ形状にくりぬかれた嵌合穴が形成されている。また、このキャリアの外周には駆動ピニオンと噛合する歯車が切られている。そして、このキャリアは、ワークを嵌合固定した状態で駆動ピニオンにより駆動されることにより、自ら回転するとともに当該ワークを回転させることができるのである。
【０００６】
但し、このキャリア駆動方式では、ワークは、キャリアの嵌合穴に嵌め込まれることにより固定されている。従って、ワークには、予め、Ｖノッチやオリエンテーションフラット等が形成されていなければ、キャリアに対しての固定が不可能になる。しかし、両頭研削盤が組み込まれた加工システムでは、ワークが１枚ずつ取り扱われるいわゆる枚様式の処理が行われる。この枚様式の場合、ワークのＶノッチやオリエンテーションフラットは、加工システムにおける研削以外の工程において取扱上の障害になる可能性があり、好ましくない。即ち、ワークの形状は、Ｖノッチやオリエンテーションフラット等のない円板状であることが好ましいのである。
【０００７】
一方、デバイス面駆動方式では、ワークの表面（デバイス面）に駆動用のローラを当接させて該ローラを回転させることにより、このワークを回転させている。このため、デバイス面駆動方式では、Ｖノッチやオリエンテーションフラット等のない円板状のワークが取扱可能である。しかし、ワークのデバイス面にローラの接触によるダメージが残ってしまう可能性がある。
【０００８】
これに対し、端面駆動方式では、Ｖノッチやオリエンテーションフラット等のない円板状のワークが取扱可能であるとともに、ワークのデバイス面にダメージを与えることがない。この端面駆動方式によるワークホルダは、ワークの端面に当接するとともにこのワークを回転させる複数のローラ，及び，このワークの表裏各面に対向して該ワークがその中心軸方向に変位しないようにガイドする一対の流体静圧式支持パッドを、有している。このワークホルダは、その各支持パッド間に流体静圧膜を介してワークを保持した状態で、その各ローラによりワークを回転させるのである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
このように、ワークホルダにおけるワークの駆動方式としては、上記の端面駆動方式が好ましいが、この端面駆動方式には、回転ムラが生じやすいという問題がある。この端面駆動方式では、ワークは、その端面においてのみ各ローラに接触している。また、このワークは、薄型であるため、その端面と各ローラとの接触面積は小さい。そして、ワークは、この小さい接触面積において摩擦駆動されているので滑りが生じやすく、定常的に回転しにくい。即ち、たとえ各ローラが等速回転していても、ワーク自体の回転にはムラが生じてしまうのである。
【００１０】
このように、ワークに回転ムラが生じていると、両頭研削盤は、このワークを効率良く研削できないばかりか、加工後のワーク表裏面にもムラができて加工精度が低下するおそれがある。
【００１１】
そこで、実際のワークの回転状況を常に正確に検出しながらワークを回転させるワークホルダを提供することを、本発明の課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために、以下のような構成を採用した。
【００１３】
即ち、本発明のワークホルダは、円板状のワークの表裏各面における所定領域に夫々対向するとともに、このワークの中心軸方向への変位を規制する一対の支持パッドと、前記ワークの端面に当接して回転することにより、当該ワークを回転させる駆動ローラと、前記ワークの端面に当接して従動的に回転可能な被動ローラと、前記被動ローラの回転数を検出する検出器と、前記検出器から検出された被動ローラの回転数に基づき、前記ワークが所定の回転数で回転するように、前記駆動ローラを回転させる制御部とを、備えていてもよい。
【００１４】
このように構成されると、制御部は、被動ローラの回転数に基づいてワークの回転数を取得することができる。被動ローラは、従動的に回転しているので、ワークとの間にすべり等が発生しにくいので、制御部は、常に、正確なワークの回転数を認識して制御を行うことができる。この制御部は、前記被動ローラの回転数に基づいてワークの回転数を算出し、算出したワークの回転数が所定の回転数に達していない場合には、前記駆動ローラを増速させ、算出したワークの回転数が前記所定の回転数を超えている場合には、前記駆動ローラを減速させてもよい。
【００１５】
さらに、前記ワークは、該ワークの端面に当接して回転する少なくとも３つのローラにより保持されていて、これら各ローラのうちの少なくとも１つが前記駆動ローラであり、これら各ローラのうちの少なくとも１つが前記被動ローラであってもよい。なお、前記前記被動ローラが複数設けられた場合、前記検出器（例えばエンコーダ）は、これら各前記被動ローラに夫々対応させて複数設けられてもよい。また、検出器は、複数の各被動ローラから選択される任意の数のローラに対応させて、設けられてもよい。
【００１６】
そして、このワークホルダは、互いに平行に対向して同軸に回転する一対の作用面を有する加工装置におけるこれら両作用面間に、前記ワークを挿入可能であってもよい。この加工装置は、両頭研削盤であってもよい。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の一実施形態を説明する。図１は、両頭研削盤を示す概略構成図である。まず、この図１を参照して、両頭研削盤の全体構成について説明する。この両頭研削盤は、第１のスピンドル装置１及び第２のスピンドル装置２，並びに，本実施形態によるワークホルダ３１を有するワーク保持装置３を、備えている。なお、この両頭研削盤は、加工装置に相当する。
【００１８】
第１のスピンドル装置１は、カップ形砥石１１，及びこの砥石１１を高速回転させる外輪部１２を有している。このカップ型砥石１１は、その先端面がリング状の平坦面に形成されており、この平坦面が研削作用面になっている。
【００１９】
また、スピンドル装置１は、先端が円柱状に突出した回転対称な外形の内輪部１３を、有している。この内輪部１３は、スピンドル装置１のハウジングに対して、回転はせずに、図示せぬ駆動機構によりその中心軸方向に移動可能である。外輪部１２は、この内輪部１３の外側にその中心軸を中心として高速回転可能に嵌合している。但し、外輪部１２は、内輪部１３に対して、その中心軸方向には移動しないように規制されている。そして、砥石１１は、その中心軸を外輪部１２の回転軸に一致させて、該外輪部１２の先端に固定されている。
【００２０】
そして、外輪部１２は、図示せぬモータに駆動されて高速回転することにより、砥石１１を高速回転させる。この状態において、内輪部１３がその中心軸方向に移動すると、外輪部１２は高速回転した状態で該内輪部１２とともに移動する。このため、砥石１１も高速回転した状態でその回転軸方向に移動するのである。
【００２１】
第２のスピンドル装置２は、第１のスピンドル装置１と同様の構成になっている。即ち、このスピンドル装置２は、砥石２１，外輪部２２，及び内輪部２３を有する。
【００２２】
これら各スピンドル装置１，２は、その砥石１１，２１を同軸に相対向させた状態で、夫々ベッド４上に固定されている。そして、各スピンドル装置１，２は、図示せぬ駆動機構により、内輪部１３，２３を夫々図１の左右方向に移動させることができる。これら各内輪部１３，２３が夫々移動すると、外輪部１２，２２も移動することになる。このため、各外輪部１２，２２に砥石１１，２１が夫々固定された状態において、作業者は、これら両砥石１１，２１の間隔を自在に調整することができるのである。
【００２３】
ワーク保持装置３は、ワークＷを自転させた状態で保持するワークホルダ３１，及び，このワークホルダ３１を各スピンドル装置１，２間に配置するホルダ移動機構３２を、有する。なお、ワークホルダ３１の構成については後において詳述する。
【００２４】
ホルダ移動機構３２は、平板状のテーブル，及びこのテーブルに対してワークホルダ３１を取り付ける連結部材を、有する。このホルダ移動機構３２のテーブルは、両スピンドル装置１，２の相対向する外輪部１２，２２の下方におけるベッド４上に、図１の紙面に対して垂直な方向へスライド移動可能に、配置されている。そして、このホルダ移動機構３２は、スライドすることにより、ワークホルダ３１に保持されたワークＷを両砥石１１，２１間に挿入させることができる。なお、ワークＷを両砥石１１，２１間に挿入した場合のワークホルダ３１の位置を、研削位置という。また、ワークＷを両砥石１１，２１間の位置から所定の位置へ退避させた場合のワークホルダ３１の位置を、退避位置という。
【００２５】
次に、図２を参照して、ワーク保持装置３におけるワークホルダ３１の構成について説明する。なお、図２には、ワークホルダ３１とともに第１のスピンドル装置１が部分的に示されている。このワークホルダ３１は、フレーム３１１，一対の支持パッド３１２，３１２，及び，ワーク駆動部３１３を、有する。
【００２６】
フレーム３１１は、ワークＷの外周における略半周の領域に対して対向した状態で当該ワークＷを収容可能な切欠が形成された略Ｃ字状の保持部３１１ａ，及び，この保持部３１１ａの外周中央部分から外方へ向けて突出した取付部３１１ｂによりなる。
【００２７】
また、このフレーム３１１の保持部３１１ａには、その切欠内にワークＷが格納された状態において該ワークＷの縁辺に当接する複数の駆動ローラＲ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４が、取り付けられている。駆動ローラＲ１と駆動ローラＲ４とは、保持部３１１ａの中心軸Ｌに対して相対称に、夫々配置されている。また、駆動ローラＲ２と駆動ローラＲ３とは、各ローラＲ１，Ｒ４の内側において、保持部３１１ａの中心軸Ｌに対して相対称に、夫々配置されている。
【００２８】
さらに、この保持部３１１ａの一端には、第１のワーク支持機構Ｈ１が取り付けられている。第１のワーク支持機構Ｈ１は、略「く」の字状のリンク部材Ｈ１１，被動ローラＨ１２，及びシリンダ部Ｈ１３を、有する。リンク部材Ｈ１１は、その屈曲した部分において、保持部３１１ａの先端に回転可能に軸支されている。なお、リンク部材Ｈ１１は、その屈曲した部分を保持部３１１ａの内側へ向けて、配置されている。また、リンク部材Ｈ１１は、図２の紙面内において回転変位可能である。
【００２９】
被動ローラＨ１２は、その回転軸を図２の紙面に対して垂直に向けてリンク部材Ｈ１１の一端部において軸支されている。また、リンク部材Ｈ１１における他端部は、シリンダ部Ｈ１３に連結されており、このシリンダ部Ｈ１３に駆動されて、当該リンク部材Ｈ１１を回転変位させる。そして、このリンク部材Ｈ１１が回転変位することにより、被動ローラＨ１２は、保持部３１１ａ内に格納されたワークＷの端面に回転可能に当接した保持位置，又は，ワークＷから離反した開放位置のいずれかをとることになる。
【００３０】
同様に、第２のワーク支持機構Ｈ２は、リンク部材Ｈ２１，被動ローラＨ２２，及びシリンダ部Ｈ２３を有し、保持部３１１ａの他端に取り付けられている。なお、図２には、ワーク保持装置３が研削位置をとった状態におけるワーク保持装置３１が示されているが、このワーク保持装置３が退避位置をとり、各シリンダ部Ｈ１３，Ｈ２３が、夫々、リンク部材Ｈ１１，Ｈ２１を介して被動ローラＨ１２，Ｈ２２を開放位置に配置した状態において、ワークＷは、フレーム３１１の保持部３１１ａに対して挿抜される。
【００３１】
各支持パッド３１２，３１２は、平板状に形成されるとともに、フレーム３１１の保持部３１１ａ内にワークＷが収容された状態において、該ワークＷの表裏各面における支持部３１１ｂに近接した側の略半円状の領域に対して対向可能な形状を有する。
【００３２】
さらに、各支持パッド３１２，３１２は、フレーム３１１の外方へ突出するように形成された突出部分を夫々３つずつ有し、これら各突出部分においてフレーム３１１の保持部３１１ａに、夫々取り付けられている。なお、各支持パッド３１２，３１２は、保持部３１１ａ内に格納されたワークＷの中心部分に干渉しないように、その先端が緩い弧状に切り欠かかれた形状を有する。また、各支持パッド３１２，３１２は、その相対向する面に夫々形成された複数の図示せぬポケットを有する。各ポケットは、浅く平坦に形成された溝であり、その中央部分には加圧された流体を噴出させるための供給孔が開口している。
【００３３】
そして、保持部３１１ａ内にワークＷが保持された状態において、各支持パッド３１２，３１２は、夫々、このワークＷに対して僅かな間隙をあけて対向する。この状態において、各ポケットには供給孔を通じて流体が供給される。すると、この流体は、各ポケット内に満たされるとともに、各支持パッド３１２，３１２とワークＷとの間隙を通じて流れてゆく。即ち、ワークＷは、両支持パッド３１２，３１２間において、流体静圧により保持されることになる。なお、この流体としては、水その他の研削液を利用することができる。
【００３４】
ワーク駆動部３１３は、図示せぬモータ及び減速器に駆動されて夫々回転する一対の駆動プーリＲＤ１，ＲＤ２を、有する。また、各ローラＲ１〜Ｒ４は、従動プーリを有している。さらに、駆動プーリＲＤ１，及び各ローラＲ１，Ｒ２の従動プーリには、ベルトが巻き掛けられている。同様に、駆動プーリＲＤ２，及び各ローラＲ３，Ｒ４の従動プーリには、ベルトが巻き掛けられている。そして、各ローラ駆動部Ｒ１，Ｒ２がそのプーリを互いに同方向に回転させると、各ローラＲ１〜Ｒ４は、夫々、互いに同方向に回転する。
【００３５】
なお、ワークホルダ３１は、ワークＷを保持した場合に該ワークＷが両砥石１１，２１の研削作用面に対して平行になるように、その取付部３１１ｂにおいてホルダ移動機構３２に取り付けられている。
【００３６】
また、ワークホルダ３１がワークＷを保持するとともに研削位置をとった状態において、当該ワークＷは、その図２における最も右側の端部が各スピンドル装置１，２の内輪部１３，２３の中央近傍に達するように、配置される。このとき、ワークＷの中央部は、各砥石１１，２１に対向する位置に配置される。
【００３７】
さらに、スピンドル装置１の内輪部１３には、第３のワーク支持機構Ｈ３が取り付けられている。このワーク支持機構Ｈ３は、一対の被動ローラＨ３１，Ｈ３２，短冊状に形成された一対の軸支部材Ｈ３３，Ｈ３３，及びスプリングＨ３４を、有する。このワーク支持機構Ｈ３における各軸支部材Ｈ３３，Ｈ３３は、互いに交差した状態で、当該交差部分Ｓにおいて回転変位可能にスピンドル装置１の内輪部１３に対して取り付けられている。
【００３８】
なお、これら各軸支部材Ｈ３３，Ｈ３３の一端には、夫々、各被動ローラＨ３１，Ｈ３２が、その回転軸を図２の紙面に対して垂直に向けて回転可能に軸支されている。また、各軸支部材Ｈ３３，Ｈ３３の他端同士は、スプリングＨ３４により互いに近接するように付勢されている。このため、被動ローラＨ３１は、交差部分Ｓを中心として図２の紙面内における反時計方向へ付勢され、被動ローラＨ３２は、交差部分Ｓを中心として図２の紙面内における時計方向へ付勢されている。
【００３９】
これら各被動ローラＨ３１，Ｈ３２は、ワークホルダ３１が研削位置に配置された状態において、該ワークホルダ３１に保持されたワークＷの図２における右側の端部近傍に夫々回転可能に圧接するように、配置されている。
【００４０】
次に、本実施形態の制御系について、説明する。図３は、この制御系を模式的に示すブロック線図である。検出器としてのエンコーダＥは、各被動ローラＨ１２，Ｈ２２，Ｈ３１，Ｈ３２から選択される所定の被動ローラに対応させて設けられている。なお、エンコーダＥは、１つの被動ローラに対応させて１つ設けられてもよく、複数の被動ローラに夫々対応させて複数設けられてもよい。以下、例えば、各被動ローラＨ２２，Ｈ３２に夫々対応させて、一対のエンコーダＥ，Ｅが設けられたこととして、説明する。この場合、各エンコーダＥ，Ｅは、各被動ローラＨ２２，Ｈ３２の回転数を夫々検出することになる。
【００４１】
ワーク駆動部３１３は、モータＭ，及びモータドライバＭＤを有しており、該モータＭは、モータドライバＭＤから供給される駆動電流により各駆動プーリＲＤ１，ＲＤ２を夫々回転させる。
【００４２】
制御部Ｔは、各エンコーダＥから出力された各被動ローラＨ２２，Ｈ３２の回転数を取得する。そして、この制御部Ｔは、各被動ローラＨ２２，Ｈ３２の回転数を基にワークＷの回転数を算出し、このワークＷが所定の回転数で回転しているか否かを判別して、モータドライバＭＤを制御する。
【００４３】
即ち、この制御部Ｔは、各エンコーダＥからの出力信号をフィードバック信号として利用することにより、ワークＷを等速回転させる。より具体的には、この制御部Ｔは、ワークＷの回転数が所定の回転数に達していなければ、モータドライバＭＤによるモータＭへの駆動電流を増加させ、ワークＷの回転数が所定の回転数を超えていれば、モータドライバＭＤによるモータＭへの駆動電流を減少させるのである。なお、制御部Ｔは、ワークＷの回転数が所定の回転数に保たれていれば、モータＭをそのままの状態で回転させる。
【００４４】
このように制御されると、ワークＷの回転数が所定の回転数に達していなければ、ローラＲ１〜Ｒ４は、増速するように制御され、ワークＷの回転数が所定の回転数を超えていれば、ローラＲ１〜Ｒ４は、減速するように制御されるので、ワークＷは、常に（所定の回転数で）等速回転することになる。なお、このワークＷの「所定の回転数」は、研削のために最も好ましい値に、予め設定されている。
【００４５】
なお、複数のエンコーダＥが用いられている場合には、制御部Ｔは、例えば、各エンコーダＥからの回転数に基づいてワークＷの回転数を夫々算出し、得られたワークＷの回転数のうちの最大値を、制御に利用する代表的なワークＷの回転数として取得してもよい。
【００４６】
また、この制御部Ｔは、ＣＲＴやＬＣＤその他の図示せぬ表示装置を備えていてもよい。そして、この制御部Ｔは、その表示装置の画面上に、ワークＷへの指令回転数である上記所定の回転数，及び，各被動ローラＨ２２，Ｈ３２の回転数を基に算出したワークＷの実際の回転数を、表示することとしてもよい。
【００４７】
さらに、この制御部Ｔは、ワークＷの実際の回転数と所定の回転数との比が、所定の値未満となった場合に、各駆動ローラＲ１〜Ｒ４による駆動力が正常にワークＷへ伝達されずにすべりが生じていると判断し、音や画面表示によるアラームを発することにより、このすべりが発生している旨を作業者等に通知することとしてもよい。例えば、この制御部Ｔは、ワークＷの実際の回転数と所定の回転数との比が１０％未満になった場合に、アラームを発することとしてもよい。
【００４８】
以下に、本実施形態の動作について説明する。まず、ワークホルダ３１に対して未加工のワークＷを装填する場合には、予め、ホルダ移動機構３２は、ワークホルダ３１をその退避位置に移動させておく。また、各シリンダ部Ｈ１３，Ｈ２３は、各被動ローラＨ１２，Ｈ２２を夫々開放位置に設定しておく。この状態において、図示せぬロボットにより搬送されたワークＷは、両支持パッド３１２間に挿入される。
【００４９】
そのうえで、各シリンダ部Ｈ１３，Ｈ２３は、各被動ローラＨ１２，Ｈ２２を夫々閉鎖位置に移動させる。そして、ホルダ移動機構３２は、ワークホルダ３１を研削位置に移動させる。
【００５０】
また、ワーク駆動部３１３は、各駆動ローラＲ１〜Ｒ４を夫々回転させる。すると、ワークＷは、その端面を各駆動ローラＲ１〜Ｒ４，及び各被動ローラＨ１２，Ｈ２２，Ｈ３１，Ｈ３２に当接させた状態で、各駆動ローラＲ１〜Ｒ４により駆動されて自転することになる。なお、このとき、各支持パッド３１２，３１２の各ポケットには流体が供給される。従って、ワークＷは、流体静圧によって各支持パッド３１２，３１２に当接することなく、自転した状態で支持されるのである。
【００５１】
ここで、両スピンドル装置１，２は、その外輪部１２，２２を夫々高速回転させた状態で、その内輪部１３，２３を相近接させてゆく。すると、各スピンドル装置１，２の砥石１１，２１は、その研削作用面をワークＷの表裏面に夫々当接させることにより、研削を開始する。なお、ワークＷは、所定の回転数で定常に自転しているので、その各面における全領域が均等に研削される。
【００５２】
そして、両スピンドル装置１，２は、両砥石１１，２１の間隔が所定の間隔に達したところで、研削処理を終了する。この状態において、ワークＷの表裏面は、ムラなく平坦に仕上げられている。
【００５３】
そのうえで、各スピンドル装置１，２は、その内輪部１３，２３を離反させる。また、制御部Ｔは、モータＭを停止させる。そして、ホルダ移動機構３２は、ワークホルダ３１をその退避位置に移動させる。そして、各シリンダ部Ｈ１３，Ｈ２３は、各被動ローラＨ１２，Ｈ２２を夫々開放位置に移動させる。この状態において、図示せぬロボットは、仕上げられたワークＷを搬出する。搬出されたワークＷは、後続の洗浄及び乾燥工程において処理されることになる。
【００５４】
上述のように、ワークＷは、常に等速回転するように制御されている。たとえ、各駆動ローラＲ１〜Ｒ４が空回りしてその回転が正しくワークＷに伝達されなかったとしても、ワークＷは、常に等速回転する。即ち、各駆動ローラＲ１〜Ｒ４が滑ると、ワークＷの回転数は減少することになるが、この場合、制御部Ｔは、ワークＷの回転数が減少したことを認識して駆動ローラＲ１〜Ｒ４を増速させるので、ワークＷの回転数は所定の値に復帰する。なお、駆動ローラＲ１〜Ｒ４が増速した結果、ワークＷの回転数が所定の値を超えてしまった場合には、制御部Ｔは、ワークＷの回転数が増加したことを認識して、各駆動ローラＲ１〜Ｒ４を減速させるので、ワークの回転数は所定の値に復帰するのである。
【００５５】
このように、ワークＷは、常に等速回転しているので、その各面における全領域が均等に研削されて、所望の形状及び状態に仕上げられるのである。
【００５６】
【発明の効果】
以上のように構成された本発明のワークホルダは、実際のワークの回転状況を常に正確に検出しながらワークを回転させることができる。このため、このワークホルダは、実際のワークの回転数を検出することにより、当該ワークを常に所定の回転数で回転させることができる。このような状態のワークが加工装置により処理されると、当該ワークは、ムラなく所望の形状に加工される。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態による両頭研削盤を示す概略構成図
【図２】  本発明の一実施形態によるワークホルダを示す構成図
【図３】  本発明の一実施形態による制御系を示すブロック線図
【符号の説明】
１，２      スピンドル装置
１１，２１  砥石
１２，２２  外輪部
１３，２３  内輪部
３          ワーク保持装置
３１        ワークホルダ
３１２      支持パッド
３１３      ワーク駆動部
Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３  支持機構
Ｈ１２，Ｈ２２，Ｈ３１，Ｈ３２  被動ローラ
Ｒ１〜Ｒ４  駆動ローラ
Ｅ          エンコーダ
Ｔ          制御部
Ｗ          ワーク
【図１】
0003648120.tif 000002
【図２】
0003648120.tif 000003
【図３】
0003648120.tif 000004