(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクル枠の上端面にペリクル膜を張設すると共に、下端面にレチクル貼着用粘着剤層を形成し、該レチクル貼着用粘着剤層の下端面にライナーを剥離可能に貼着してペリクルを製造するに際し、上記ライナーとして、ペリクル枠下端面に形成された粘着剤層に対応した四角枠状を有し、反り量が３ｍｍ以下で、該四角枠の各辺の中間部に対し角部が上記粘着剤層より離間するように反ったライナーを用いて該粘着剤層に剥離可能に貼着したことを特徴とするペリクルの製造方法。
【請求項２】
反り量が１ｍｍ以下のライナーを用いた請求項１記載のペリクルの製造方法。
【請求項３】
ペリクル枠の上端面にペリクル膜を張設すると共に、下端面にレチクル貼着用粘着剤層を形成したペリクルにおける上記粘着剤層に剥離可能に貼着されるライナーであって、ペリクル枠下端面に形成された粘着剤層に対応した四角枠状を有し、該粘着剤層に貼着される側に離型層が形成され、反り量が３ｍｍ以下で、上記粘着剤層側に突出して該四角枠の各辺の中間部に対し角部が上記粘着剤層より離間するような反りを有することを特徴とするペリクルのレチクル貼着用粘着剤層への貼着用ライナー。
【請求項４】
反り量が１ｍｍ以下である請求項３記載のライナー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特にＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置や液晶表示板を製造する際の異物よけとして使用される、実質的に波長５００ｎｍ以下の光を用いる露光方式に有用なペリクルの製造方法及びペリクルのレチクル貼着用粘着剤層への貼着用ライナーに関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置あるいは液晶表示板などの製造においては、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に光を照射してパターニングを作成するのであるが、この場合に用いる露光原板（以下、レチクルという）に異物が付着していると、この異物が光を吸収したり、光を曲げてしまうため、転写したパターニングが変形したり、エッジががさついたものになる上、白地が黒く汚れるなどの問題が生じ、寸法、品質、外観などが損なわれ、半導体装置や液晶表示板などの性能や製造歩留まりの低下をきたすという問題があった。
【０００３】
このため、これらの作業は通常クリーンルーム内で行われているが、クリーンルーム内でもレチクルを常に清浄に保つことは難しい。そこで、通常、レチクルには、異物をよけるために露光用の光を良く通過させるペリクルを装着して使用している。
【０００４】
ペリクルを装着すると、異物はレチクルの表面に直接付着せず、ペリクル上に付着する。従って、レチクルのパターンに焦点を合わせて露光を行えば、ペリクル上の異物とは無関係に転写を行うことができる。
【０００５】
ここでペリクルは、光を良く通過させるニトロセルロース、酢酸セルロースなどからなる透明なペリクル膜を、アルミニウム、ステンレス、ポリエチレンなどからなるペリクル枠の上端面に張設、接着すると共に、その下端面には、レチクルに貼着するためのポリブデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂などからなるレチクル貼着用粘着剤層（以下、粘着剤層という）が形成され、この粘着剤層の下端面には、粘着剤層の粘着面を保護するライナー（離型層）が施されてなるものである。
【０００６】
このようなペリクルをレチクルに貼り付けるには、ライナーを剥がし、ライナーと接していた粘着剤層の下端面を、レチクルの定位置に合わせて押し当てればよいが、粘着剤層は精密なパターンの描かれたレチクルに貼り付けるため、また、レチクルに歪を生じさせないようできるだけ小さい貼付圧力で接着が行われることが望ましい。また、接着の際には粘着剤層全周に亘って均一に密着し、ペリクル枠の内側と外側とで通気源となるエアパスのないことが必須である。かかる点から、粘着剤層は上述したような適度な柔らかさを持つ粘着剤を使用し、均一な厚みを持つように形成される。
【０００７】
しかしながら、製造直後のペリクルが均一厚さを有する粘着剤層を有しているにも拘らず、収納ケースに保管している間に粘着剤層が変形することがあり、使用時にしばしばエアパスによる貼付不良が発生している。また、このようなエアパスは、主にペリクル枠のコーナー部に発生している。従って、保管の間に粘着剤層の変形がなく初期の均一厚さを維持し、エアパスなく均一に密着してレチクルに貼着し得るペリクルが望まれる。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑みなされたもので、粘着剤層を変形させることなく、製造直後の均一厚さのまま長期間保持することができ、使用時に簡単かつ安定してレチクルに貼り付けることができるペリクルの製造方法及びこれに用いるライナーを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】
本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意検討を行った結果、ペリクルの粘着剤層が変形する主な原因は、粘着剤層に貼り付けるライナーが、ロール状で保管されたプラスチックフィルムを切断して使用されることに起因し、巻癖がつきやすく反りが残留しやすいこと、このためこれを伸ばして貼り付けても、残留応力が働いて粘着剤層を変形させるものであることを突き止めた。
【００１０】
即ち、ライナーは通常ＰＥＴに代表されるプラスチックフィルムに離型剤を塗布し、ペリクル枠形状（四角枠状）に切断したものが用いられるが、ライナーを形成するプラスチックフィルムは、ペリクル枠形状に切断するまでの製造時は通常ロール状に保管されているため、フィルムに巻癖がつき、これをペリクル枠形状に切断した後も巻癖に起因する反りが残留し易い。そして、これをそのまま粘着剤層に貼着し、保管すると、その残留応力が粘着剤層に作用されてこれを変形させてしまうことが、上述したエアパス発生の原因であること、また、ライナーを粘着剤層に貼着する際、ライナーの反り方向が上述したコーナー部のエアパス発生に影響を及ぼすこと、そして使用時まで良好な粘着剤層形状を維持するためには、ライナー平面度及びライナーの反りの向きを管理することが重要であることを見出した。
【００１１】
かかる点から更に検討を進めた結果、ライナーとして反り量が３ｍｍ以下、特に１ｍｍ以下のものを使用することにより、ペリクルの保管後においても粘着剤層の変形が殆どなく、エアパスなく均一にレチクルにペリクルを密着し得ることを知見した。またこの場合、ライナーを粘着剤層に貼着するに際しては、四角枠状のライナーの各辺中間部より角部が粘着剤層から離間するように反ったペリクルを使用し、これを貼着することが、特にコーナー部におけるエアパスを防止する上で有利であることを知見し、本発明をなすに至った。
【００１２】
従って、本発明は、ペリクル枠の上端面にペリクル膜を張設すると共に、下端面にレチクル貼着用粘着剤層を形成し、該レチクル貼着用粘着剤層の下端面にライナーを剥離可能に貼着してペリクルを製造するに際し、上記ライナーとして、ペリクル枠下端面に形成された粘着剤層に対応した四角枠状を有し、反り量が３ｍｍ以下で、該四角枠の各辺の中間部に対し角部が上記粘着剤層より離間するように反ったライナーを用いて該粘着剤層に剥離可能に貼着したことを特徴とするペリクルの製造方法、及びペリクル枠の上端面にペリクル膜を張設すると共に、下端面にレチクル貼着用粘着層を形成したペリクルにおける上記粘着剤層に剥離可能に貼着されるライナーであって、ペリクル枠下端面に形成された粘着剤層に対応した四角枠状を有し、該粘着剤層に貼着される側に離型層が形成され、反り量が３ｍｍ以下で、上記粘着剤層側に突出して該四角枠の各辺の中間部に対し角部が上記粘着剤層より離間するような反りを有することを特徴とするペリクルのレチクル貼着用粘着剤層への貼着用ライナーを提供する。
【００１３】
なお、本発明において、ライナーの反り量とは、ライナーを真平面に置いた時の真平面からの最大高さ（ｍｍ）を意味する。従って、ライナーを真平面に置いた際に複数箇所で真平面から突出している場合にあっても、その最大突出部の突出高さを反り量と定義する。
【００１４】
以下、本発明につき更に詳しく説明する。
本発明のペリクルは、図１に示すように、四角枠状ペリクル枠１の上端面にペリクル膜２が張設され、かつ下端面にレチクル貼着用粘着剤層３が形成されると共に、該レチクル貼着用粘着剤層３の下端面にライナー４を貼着してなるものである。この場合、これら部材の大きさは通常のペリクルと同様であり、またその材質は上述したような公知の材質とすることができる。なお、ライナーは、通常、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等のプラスチックフィルムの片面又は両面にシリコーン離型剤等の離型剤を塗布したものが用いられる。
【００１５】
而して、本発明においては、ライナーとして反り量が３ｍｍ以下、特に１ｍｍ以下であるものを使用する。反り量が３ｍｍ以下のライナーを使用することにより、粘着剤層の変形によるレチクル貼付時のエアパスを防止することが可能となり、更に１ｍｍ以下とすることによって粘着剤層の変形をより確実に防止し、より良好なレチクルへの貼付を行うことが可能になる。
【００１６】
ここで、このような小さな反り量のライナーは、ライナーを形成するプラスチックフィルムをプレスしたり、プラスチックフィルムをライナー形状に切断した後にホットプレート上に乗せ、フィルム材質のガラス転移温度以上に加熱して反りを矯正する方法などがあるが、ライナー離型層に与えるダメージが小さいものであればいずれの方法でもよく、特に制限されるものではない。但し、反りを一時的に矯正しても残留応力がなくならないため、例えば真空チャック、静電チャック等で単に貼着時に一時的に反りを矯正した状態で粘着剤層に貼着しても本発明の目的は達成されず、反りの矯正は実質的に永続的になされることが好適である。
【００１７】
また、上記ライナーを粘着剤層に貼着する場合、図２に示すように、四角枠状のライナー４の各辺の中間部より角部が粘着剤層３からより離間するような反りを有するライナー、即ち上述したようにライナー４は、プラスチックフィルム４ａの一面に離型剤を塗布することによって離型層４ｂが形成されており、この離型層４ｂを粘着剤層３側に配置して粘着剤層３に貼着されるが、ライナー４の一辺の中間部４ｃを粘着剤層３に貼着した場合、角部４ｄ，４ｄが粘着剤層３と離間した状態となるようなライナーを使用し、この図２の状態において、角部４ｄ，４ｄを粘着剤層３のコーナー部に貼着することが、コーナー部におけるエアパスを確実に防止してライナーを粘着剤層に貼着し得る点から推奨される。
【００１８】
【実施例】
以下、実施例と比較例及び参考例を示して本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。
【００１９】
［実施例，比較例］
表面がアルマイト処理され、高さ６．３ｍｍ、端面の外周１２０ｍｍ角、内周１１０ｍｍ角のアルミフレームを用意した。このアルミフレームの上端面にペリクル膜を張設すると共に、下端面にシリコーン粘着剤ＫＲ−１２０（信越化学工業（株）製）を厚さ０．６ｍｍのテープ状になるように塗布し、１２０℃、３０分でキュアして粘着剤層を形成した。これに、フレーム端面と同形状で厚さ１００μｍのＰＥＴフィルムに離型剤を塗布したライナーを、図２で説明したように、ライナーの反りが辺中央の粘着剤を押し付けるように貼り付け、ペリクルを得た。このペリクルを３ケ月室温で保管した。
【００２０】
その後、このペリクルからライナーを剥離し、レチクル上に２０ｋｇ，１分の荷重で貼り付け、エアパスの発生を下記基準により評価した。結果を表１に示す。
貼付結果
○  優（エアパスがなく、良好な貼付状態）
△  良（エアパスはないが、貼付部が一部不完全）
×  不良（エアパス発生）
【００２１】
【表１】
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注：反り量はレーザー式変位計を用いて測定した。
【００２２】
［参考例］
上記実施例と同様なペリクルを作製した。この場合、ライナーの反りが５±０．５ｍｍのものを選び、▲１▼ライナーの反りが辺中央の粘着剤層を押し付ける向きに貼り付けたもの（図２）、▲２▼ライナーの反りがコーナー部の粘着剤層を押し付ける向きに貼り付けたもの（図３）について、収納ケースに３ケ月保管したものの貼付性を比較した。結果を表２に示す。この結果より、▲１▼ではコーナー部のエアパスが発生しなかったのに対し、▲２▼では２箇所にコーナー部のエアパスが発生した。
【００２３】
【表２】
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【００２４】
【発明の効果】
本発明のペリクルは、長期保管してもレチクル貼着用粘着剤層が変形なく均一厚さで安定に保持されるので、その使用時にエアパスが発生することなく密着よく良好にレチクルに貼り付けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示すペリクルの斜視図である。
【図２】ライナーの粘着剤層への貼着状態の好適例を説明する部分断面図である。
【図３】ライナーの粘着剤層への貼着状態の他の例を説明する部分断面図である。
【符号の説明】
１  ペリクル枠
２  ペリクル膜
３  粘着剤層
４  ライナー
４ａ  プラスチックフィルム
４ｂ  離型層
４ｃ  辺中間部
４ｄ  角部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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