(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの基板を対向させ、交流電界により電子を加速してガス原子又はガス分子に衝突させ、発生した紫外光を蛍光体により可視光変換してカラー画像表示を行うＡＣ型プラズマディスプレイパネルであって、
一方の基板には、列方向に延設された複数本のデータ電極と、前記データ電極と直交する行方向に延設された複数本のスキャン電極とを備え、
他方の基板には、前記スキャン電極と平行する行方向に延設された複数本のコモン電極を備え、前記スキャン電極とコモン電極の端子接続部をそれぞれの前記電極が形成されたそれぞれの前記基板の行方向反対側の端部に設け、
前記一方の基板と前記他方の基板との間に、蛍光体層と、放電空間を形成する隔壁とを備えることを特徴とするＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記データ電極上に第１誘電体層を有し、前記第１誘電体層上に前記スキャン電極を有し、前記スキャン電極上に第２誘電体層を有し、前記第２誘電体層上に前記隔壁を有し、前記隔壁側面を含む前記第２誘電体層上に第１保護層と蛍光体層を有し、
前記コモン電極上に第３誘電体層を有することを特徴とする請求項１記載のＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記データ電極上に第４誘電体層を有し、前記第４誘電体層上に前記スキャン電極を有し、前記スキャン電極上に第５誘電体層を有し、
前記コモン電極上に第６誘電体層を有し、前記第６誘電体層上に前記隔壁を有し、
前記隔壁側面を含む前記第６誘電体層上に前記蛍光体層を有することを特徴とする請求項１記載のＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
２つの基板を対向させ、交流電界により電子を加速してガス原子又はガス分子に衝突させ、発生した紫外光を蛍光体により可視光変換してカラー画像表示を行うＡＣ型プラズマディスプレイパネルであって、
一方の基板にデータ電極を有し、前記データ電極上に第７誘電体層を有し、前記第７誘電体層上に前記データ電極と直交するスキャン電極を有し、前記スキャン電極上に第８誘電体層を有し、
他方の基板にコモン電極を有し、前記コモン電極上に第９誘電体層を有し、前記スキャン電極とコモン電極の端子接続部をそれぞれの前記電極が形成されたそれぞれの前記基板の行方向反対側の端部に設け、
前記一方の基板と前記他方の基板との間に放電空間を形成するとともにセルを区画し、前記蛍光体層が形成された孔状又は溝状の開口部を有するセンターシートを有することを特徴とするＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
前記隔壁の断面形状の一部に傾斜形状を有することを特徴とする請求項１記載のＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
前記センターシートの開口部の断面形状の一部に傾斜形状を有することを特徴とする請求項４記載のＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【請求項７】
前記隔壁の平面形状の一部にｎ角形（ｎ≧３）形状又は曲線形状を有することを特徴とする請求項１記載のＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【請求項８】
前記センターシートの平面形状の一部にｎ角形（ｎ≧３）形状又は曲線形状を有することを特徴とする請求項４記載のＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【請求項９】
前記隔壁の高さは、１５０μｍ以上で１０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１記載のＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【請求項１０】
前記センターシートの高さは、１５０μｍ以上で１０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項４記載のＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【請求項１１】
前記コモン電極は、透明電極と、金属のバス電極とから成ることを特徴とする請求項１，４のいずれか一つに記載されたＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【請求項１２】
前記データ電極及び前記スキャン電極は共に、透明電極と、金属のバス電極とから成ることを特徴とする請求項１，４のいずれか一つに記載されたＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【請求項１３】
前記データ電極又は前記スキャン電極は共に、透明電極と、金属のバス電極とから成ることを特徴とする請求項１，４のいずれか一つに記載されたＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【請求項１４】
前記コモン電極、前記データ電極及び前記スキャン電極は共に、金属電極であることを特徴とする請求項１，４のいずれか一つに記載されたＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【請求項１５】
前記一方の基板と前記他方の基板とでパネルを構成し、
前記スキャン電極を取り出す端子接続部を前記パネルの一方の辺に設け、前記コモン電極を取り出す端子接続部を前記パネルの前記一方の辺の反対側の辺に設けることを特徴とする請求項１，４のいずれか一つに記載されたＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【請求項１６】
前記スキャン電極と前記コモン電極とを、放電空間を隔てて同じ位置に形成することを特徴とする請求項１，４のいずれか一つに記載されたＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【請求項１７】
前記スキャン電極と前記コモン電極とを、放電空間を隔てて異なる位置に形成することを特徴とする請求項１，４のいずれか一つに記載されたＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【請求項１８】
前記スキャン電極と前記コモン電極とのズレ幅を、前記スキャン電極と前記コモン電極のどちらか一方の幅よりも大きくすることを特徴とする請求項１７記載のＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【請求項１９】
２つの基板を対向させ、交流電界により電子を加速してガス原子又はガス分子に衝突させ、発生した紫外光を蛍光体により可視光変換してカラー画像表示を行うＡＣ型プラズマディスプレイパネルであって、
一方の基板には、列方向に延設された複数本のデータ電極と、前記データ電極と直交する行方向に延設された複数本のスキャン電極とを備え、
他方の基板には、前記スキャン電極と平行する行方向に延設された複数本のコモン電極を備え、前記スキャン電極とコモン電極の端子接続部をそれぞれの前記電極が形成されたそれぞれの前記基板の行方向反対側の端部に設け、
前記一方の基板と前記他方の基板との間に、蛍光体層と、放電空間を形成する隔壁とを備えたＡＣ型プラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記一方の基板上に複数本の前記データ電極を形成する工程と、
前記データ電極上に第１誘電体層を形成する工程と、
前記第１誘電体層上に複数本の前記スキャン電極を形成する工程と、
前記スキャン電極上に第２誘電体層を形成する工程と、
前記第２誘電体層上に前記隔壁を形成する工程と、
前記隔壁側面を含む前記第２誘電体層上に前記蛍光体層を形成する工程と、
前記他方の基板に複数本の前記コモン電極を形成する工程と、
前記コモン電極上に第３誘電体層を形成する工程と、
を含むことを特徴とするＡＣ型プラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２０】
２つの基板を対向させ、交流電界により電子を加速してガス原子又はガス分子に衝突させ、発生した紫外光を蛍光体により可視光変換してカラー画像表示を行うＡＣ型プラズマディスプレイパネルであって、
一方の基板には、列方向に延設された複数本のデータ電極と、前記データ電極と直交する行方向に延設された複数本のスキャン電極とを備え、
他方の基板には、前記スキャン電極と平行する行方向に延設された複数本のコモン電極を備え、前記スキャン電極とコモン電極の端子接続部をそれぞれの前記電極が形成されたそれぞれの前記基板の行方向反対側の端部に設け、
前記一方の基板と前記他方の基板との間に、蛍光体層と、放電空間を形成する隔壁とを備えたＡＣ型プラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記一方の基板上に複数本の前記データ電極を形成する工程と、
前記データ電極上に第４誘電体層を形成する工程と、
前記第４誘電体層上に複数本の前記スキャン電極を形成する工程と、
前記スキャン電極上に前記第５誘電体層を形成する工程と、
前記他方の基板上に複数本の前記コモン電極を形成する工程と、
前記コモン電極上に第６誘電体層を形成する工程と、
前記第６誘電体層上に隔壁を形成する工程と、前記隔壁を含む前記第６誘電体層上に前記蛍光体層を形成する工程と、
を含むことを特徴とするＡＣ型プラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２１】
２つの基板を対向させ、交流電界により電子を加速してガス原子又はガス分子に衝突させ、発生した紫外光を蛍光体により可視光変換してカラー画像表示を行うＡＣ型プラズマディスプレイパネルであって、
一方の基板には、列方向に延設された複数本のデータ電極と、前記データ電極と直交する行方向に延設された複数本のスキャン電極とを備え、
他方の基板には、前記スキャン電極と平行する行方向に延設された複数本のコモン電極を備え、前記スキャン電極とコモン電極の端子接続部をそれぞれの前記電極が形成されたそれぞれの前記基板の行方向反対側の端部に設け、
前記一方の基板と前記他方の基板との間に放電空間を形成するとともにセルを区画し、前記蛍光体層が形成された孔状又は溝状の開口部を有するセンターシートを備えたＡＣ型プラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記一方の基板上に複数本の前記データ電極を形成する工程と、
前記データ電極上に第７誘電体層を形成する工程と、
前記第７誘電体層上に複数本の前記スキャン電極を形成する工程と、
前記スキャン電極上に第８誘電体層を形成する工程と、
前記他方の基板上に複数本の前記コモン電極を形成する工程と、
前記コモン電極上に第９誘電体層を形成する工程と、
前記一方の基板と前記他方の基板との間に前記センターシートを形成する工程と、
を含むことを特徴とするＡＣ型プラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２２】
２つの基板を対向させ、交流電界により電子を加速してガス原子又はガス分子に衝突させ、発生した紫外光を蛍光体により可視光変換してカラー画像表示を行うＡＣ型プラズマディスプレイパネルであって、
一方の基板には、列方向に延設された複数本のデータ電極と、前記データ電極と直交する行方向に延設された複数本のスキャン電極とを備え、
他方の基板には、前記スキャン電極と平行する行方向に延設された複数本のコモン電極を備え、前記スキャン電極とコモン電極の端子接続部をそれぞれの前記電極が形成されたそれぞれの前記基板の行方向反対側の端部に設け、
前記一方の基板と前記他方の基板との間に、蛍光体層と、放電空間を形成する隔壁とを備えたＡＣ型プラズマディスプレイパネルの駆動方法であって、
前記データ電極と前記スキャン電極とに同一タイミングで逆極性の信号電圧パルスと書込電圧パルスとをそれぞれ印加して、選択された画素に書込放電を発生させる表示書込動作と、
前記スキャン電極と前記コモン電極に異なるタイミングで同一極性の維持電圧パルスを印加して、選択された画素に維持放電を発生させる発光維持動作とを行うことを特徴とするＡＣ型プラズマディスプレイパネルの駆動方法。
【請求項２３】
前記信号電圧パルスの波高値Ｖｄの絶対値｜Ｖｄ｜と前記書込電圧パルスの波高値Ｖｗの絶対値｜Ｖｗ｜との和が（｜Ｖｄ｜＋｜Ｖｗ｜）、
前記スキャン電極に印加される前記維持電圧パルスの波高値Ｖｓｓの絶対値が｜Ｖｓｓ｜、
前記コモン電極に印加される前記維持電圧パルスの波高値Ｖｓｃの絶対値が｜Ｖｓｃ｜であり、
｜Ｖｄ｜＋｜Ｖｗ｜  ＜  ｜Ｖｓｃ｜であることを特徴とする請求項２２記載のＡＣ型プラズマディスプレイパネルの駆動方法。
【請求項２４】
２つの基板を対向させ、交流電界により電子を加速してガス原子又はガス分子に衝突させ、発生した紫外光を蛍光体により可視光変換してカラー画像表示を行うＡＣ型プラズマディスプレイパネルであって、
一方の基板には、列方向に延設された複数本のデータ電極と、前記データ電極と直交する行方向に延設された複数本のスキャン電極とを備え、
他方の基板には、前記スキャン電極と平行する行方向に延設された複数本のコモン電極を備え、前記スキャン電極とコモン電極の端子接続部をそれぞれの前記電極が形成されたそれぞれの前記基板の行方向反対側の端部に設け、
前記一方の基板と前記他方の基板との間に、蛍光体層と、放電空間を形成する隔壁とを備えたＡＣ型プラズマディスプレイパネルの駆動方法であって、
前記データ電極と前記スキャン電極とに同一タイミングで逆極性の信号電圧パルスと書込電圧パルスとをそれぞれ印加して、選択された画素に書込放電を発生させる表示書込動作と、
前記コモン電極に両極性の維持電圧パルスを印加して、選択された画素に維持放電を発生させる発光維持動作とを行うことを特徴とするＡＣ型プラズマディスプレイパネルの駆動方法。
【請求項２５】
前記信号電圧パルスの波高値Ｖｄの絶対値｜Ｖｄ｜と前記書込電圧パルスの波高値Ｖｗの絶対値｜Ｖｗ｜との和が（｜Ｖｄ｜＋｜Ｖｗ｜）、
前記コモン電極に印加される前記両極性維持電圧パルスの、正極側波高値又は負極側波高値の絶対値のうちいずか大きい方が｜Ｖｓ｜であり、
｜Ｖｄ｜＋｜Ｖｗ｜  ＜  ｜Ｖｓ｜であることを特徴とする請求項２４記載のＡＣ型プラズマディスプレイパネルの駆動方法。
【請求項２６】
２つの基板を対向させ、交流電界により電子を加速してガス原子又はガス分子に衝突させ、発生した紫外光を蛍光体により可視光変換してカラー画像表示を行うＡＣ型プラズマディスプレイパネルであって、
一方の基板には、列方向に延設された複数本のデータ電極と、前記データ電極と直交する行方向に延設された複数本のスキャン電極とを備え、
他方の基板には、前記スキャン電極と平行する行方向に延設された複数本のコモン電極を備え、前記スキャン電極とコモン電極の端子接続部をそれぞれの前記電極が形成されたそれぞれの前記基板の行方向反対側の端部に設け、
前記一方の基板と前記他方の基板との間に、蛍光体層と、放電空間を形成する隔壁とを備えたＡＣ型プラズマディスプレイパネルの駆動装置であって、
前記データ電極と前記スキャン電極とに同一タイミングで逆極性の信号電圧パルスと書込電圧パルスとをそれぞれ印加して、選択された画素に書込放電を発生させる表示書込動作と、
前記スキャン電極と前記コモン電極に異なるタイミングで同一極性の維持電圧パルスを印加して、選択された画素に維持放電を発生させる発光維持動作とを行うことを特徴とするＡＣ型プラズマディスプレイパネルの駆動装置。
【請求項２７】
前記信号電圧パルスの波高値Ｖｄの絶対値｜Ｖｄ｜と前記書込電圧パルスの波高値Ｖｗの絶対値｜Ｖｗ｜との和が（｜Ｖｄ｜＋｜Ｖｗ｜）、
前記スキャン電極に印加される前記維持電圧パルスの波高値Ｖｓｓの絶対値が｜Ｖｓｓ｜、
前記コモン電極に印加される前記維持電圧パルスの波高値Ｖｓｃの絶対値が｜Ｖｓｃ｜であり、
｜Ｖｄ｜＋｜Ｖｗ｜  ＜  ｜Ｖｓｃ｜であることを特徴とする請求項２６記載のＡＣ型プラズマディスプレイパネルの駆動装置。
【請求項２８】
２つの基板を対向させ、交流電界により電子を加速してガス原子又はガス分子に衝突させ、発生した紫外光を蛍光体により可視光変換してカラー画像表示を行うＡＣ型プラズマディスプレイパネルであって、
一方の基板には、列方向に延設された複数本のデータ電極と、前記データ電極と直交する行方向に延設された複数本のスキャン電極とを備え、
他方の基板には、前記スキャン電極と平行する行方向に延設された複数本のコモン電極を備え、前記スキャン電極とコモン電極の端子接続部をそれぞれの前記電極が形成されたそれぞれの前記基板の行方向反対側の端部に設け、
前記一方の基板と前記他方の基板との間に、蛍光体層と、前記各色を区画するとともに放電空間を形成する隔壁とを備えたＡＣ型プラズマディスプレイパネルの駆動装置であって、
前記データ電極と前記スキャン電極とに同一タイミングで逆極性の信号電圧パルスと書込電圧パルスとをそれぞれ印加して、選択された画素に書込放電を発生させる表示書込動作と、
前記コモン電極に両極性の維持電圧パルスを印加して、選択された画素に維持放電を発生させる発光維持動作とを行うことを特徴とするＡＣ型プラズマディスプレイパネルの駆動装置。
【請求項２９】
前記信号電圧パルスの波高値Ｖｄの絶対値｜Ｖｄ｜と前記書込電圧パルスの波高値Ｖｗの絶対値｜Ｖｗ｜との和が（｜Ｖｄ｜＋｜Ｖｗ｜）、
前記コモン電極に印加される前記両極性維持電圧パルスの、正極側波高値又は負極側波高値の絶対値のうちいずれか大きい方が｜Ｖｓ｜であり、
｜Ｖｄ｜＋｜Ｖｗ｜  ＜  ｜Ｖｓ｜であることを特徴とする請求項２８記載のＡＣ型プラズマディスプレイパネルの駆動装置。
【請求項３０】
前記書込放電は面放電であり、前記維持放電は対向放電であることを特徴とする請求項２２、２４のいずれか一つに記載されたＡＣ型プラズマディスプレイパネルの駆動方法。
【請求項３１】
前記書込放電は面放電であり、前記維持放電は対向放電であることを特徴とする請求項２６、２８のいずれか一つに記載されたＡＣ型プラズマディスプレイパネルの駆動装置。
【請求項３２】
２つの基板を対向させ、交流電界により電子を加速してガス原子又はガス分子に衝突させ、発生した紫外光を蛍光体により可視光変換してカラー画像表示を行うＡＣ型プラズマディスプレイパネルであって、
一方の基板には、列方向に延設された複数本のデータ電極と、前記データ電極と直交する行方向に延設された複数本のスキャン電極とを備え、
他方の基板には、前記スキャン電極と平行する行方向に延設された複数本のコモン電極を備え、前記スキャン電極とコモン電極の端子接続部をそれぞれの前記電極が形成されたそれぞれの前記基板の行方向反対側の端部に設け、
前記一方の基板と前記他方の基板との間に、蛍光体層と、放電空間を形成する列方向に形成される隔壁とを備えることを特徴とするＡＣ型プラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネルに関し、特に低電圧駆動、高速書込を可能とし、さらに、高輝度、高効率、長寿命化を実現できるパネル構造とその製造方法、その駆動方法、及びその駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電界により電子を加速してガス原子あるいはガス分子に衝突させ、発生した紫外光を蛍光体により可視光変換してカラー画像表示を行うプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、大画面・大容量表示の可能なフラットパネルディスプレイとして知られている。従来、この種のＰＤＰとしては、例えば図１５や図１６、図１７や図１８に示すようなものが知られている。これらの図を用いて従来技術を説明する。なお、図１５や図１６、図１７や図１８では主として電極に関係する部分を図示している。
【０００３】
図１５に示す構造では、後面ガラス基板１上にデータ電極２が基板列方向に形成されており、その上方には誘電体層３が形成されている。誘電体層３上にはスキャン電極４が基板行方向に形成されており、その上方には誘電体層５が形成されている。そして、互いの電極が交差する部分で単位セル（画素）が構成されている。このような構造のＰＤＰでは、同一基板上に形成されたデータ電極２とスキャン電極４の交差部でセル選択用の書込放電２１（面放電）を発生させた後、発光表示用の維持放電２２（面放電）も発生させる。このような構造は、クロス（十字）面放電型と呼ばれ、図１６に示すクロス対向放電型とは異なり、片側の基板にのみ電極が形成されている特徴がある。
【０００４】
しかし、この構造では、書込放電２１と維持放電２２とが同一箇所で発生するため、放電時に保護層７（図示せず）が被るイオン衝撃、すなわち電界により加速されて高い運動エネルギーを持った電離したガス原子又はガス分子による衝撃もまた同一箇所に重畳され、保護層７の劣化に起因した動作寿命が短い問題がある。特に面放電の場合は、後述するように対向放電の場合とは異なり、電極エッジ部における電界の歪み（電気力線１７の集中）が大きく、電極エッジ部近傍の保護層に高エネルギーのイオンが集中し、且、イオンが保護層７へ斜めから入射するために、イオン衝撃による保護層７の損傷が一層顕在化する。また、放電領域が狭いために、発光輝度（以下輝度）や発光効率（以下効率）が低い問題もある。さらに、書込放電２１と維持放電２２を起こす電極対が同一であるために、駆動および駆動回路が複雑になる問題もある。その上、ＰＤＰは、電極抵抗や静電容量のために、分布定数回路的な性質を持っており、特に放電に付随してパルス的に大きなピーク電流が流れる交流（ＡＣ）放電方式ＰＤＰの大画面化にともない、例えば外部駆動回路との接続部、すなわち端子部に近いセルと遠いセルとの間で維持パルス２０の波高値に差が生じる結果、各セル間で大きな輝度差が発生して画質が低下する問題もある。
【０００５】
これに対し、図１６に示す構造では、後面ガラス基板１上にデータ電極２が基板列方向に形成されており、その上方には、誘電体層３が形成されている。そして、前面ガラス基板１０上にスキャン電極４が基板行方向に形成されており、その上方には、誘電体層１３が形成されている。このような構造のＰＤＰでは、放電空間を隔てて別基板上に形成されたデータ電極２とスキャン電極４の間で書込放電２１（対向放電）を発生させた後、維持放電２２（対向放電）も発生させる。この場合、各放電の形態が対向放電となるため、図１５に示す構造よりもイオン衝撃による保護層（図示せず）の損傷が小さい利点がある。また、電極間距離を広げることによって放電領域を広げられるため、輝度や効率を改善できる可能性がある。但し、この場合は、非常に大きな駆動電圧が必要となる。
【０００６】
図１６に示した構造も図１５に示す構造と同様に、イオン衝撃が同一個所に重畳されることによる短寿命化の問題がある。又、書込放電２１と維持放電２２とを起こす電極対が同一になることによる駆動及び駆動回路の複雑化の問題がある。更には、端子部に近いセルと遠いセルとの間で、大きな輝度差が生じるという問題がある。尚、ＡＣ放電方式の場合は、各電極が誘電体層により被覆されているのに対し、直流（ＤＣ）放電方式の場合は、各電極が露出している。
【０００７】
一方、図１７に示す構造では、後面ガラス基板１上にデータ電極２が基板列方向に形成されており、その上方には、誘電体層３が形成されている。誘電体層３上には、スキャン電極４とコモン電極１１が基板行方向に形成されており、その上方には、誘電体層１３が形成されている。そして、互いの電極が交差する部分で単位セルが構成されている。このような構造のＰＤＰでは、同一基板上に形成されたデータ電極２とスキャン電極４の交差部で書込放電２１（面放電）を発生させた後、スキャン電極４とコモン電極１１の間で維持放電２２（面放電）を発生させる。この場合、書込放電２１と維持放電２２を起こす電極対が別となるために、駆動および駆動回路が単純になる利点がある。又、図示しない保護層の寿命が、図１５や図１６の場合より延びるという利点もある。
【０００８】
しかし、図１７に示した構造では、一方の基板に全ての電極を形成する利点はあるものの、データ電極２とスキャン電極４、コモン電極１１間の静電容量が大きく、駆動負荷が増加するという問題がある。特にこれは、大画面のパネルで深刻な問題となる。また、各放電の形態が面放電となるために、図示しない保護層の劣化による短寿命化の問題も十分解決されていない。
【０００９】
これに対し、図１８に示す構造では、後面ガラス基板１上にデータ電極２が基板列方向に形成されており、その上方には、誘電体層３が形成されている。そして、前面ガラス基板１０上にスキャン電極４とコモン電極１１が基板行方向に形成されており、その上方には、誘電体層１３が形成されている。このような構造のＰＤＰでは、放電空間を隔てて別基板上に形成されたデータ電極２とスキャン電極４の間で書込放電２１（対向放電）を発生させた後、同一基板上に形成されたスキャン電極４とコモン電極１１の間で維持放電２２（面放電）を発生させる。この場合、書込放電２１と維持放電２２を起こす電極対が別となるために、駆動および駆動回路が単純になる利点がある。また、データ電極２が後面ガラス基板１側に形成されているため、図１７に示す構造に比較して、データ電極２とスキャン電極４、コモン電極１１間の静電容量を小さくできる利点もある。さらに、書込放電２１が対向放電となるため、図１７に示す構造よりもイオン衝撃による保護層（図示せず）の損傷が軽減される利点もある。同種のＰＤＰとしては、反射型（維持放電を前面ガラス基板側で行う）と透過型（維持放電を後面ガラス基板側で行う）が知られているが、反射型の方が輝度、効率、寿命の点で優れている。但し、いずれの場合もＡＣ放電方式となっている。
【００１０】
以上のような背景から、現在では、図１８に示すような３電極形式によるＡＣ放電方式の反射型ＰＤＰが主流を占めるに至っている。図１９は、その代表的なパネル構造を示す斜視図である。また、図２０は、単位セル構造を示す分解斜視図である。これらの図を用いて図１８に示す従来技術を更に説明する。
【００１１】
後面ガラス基板１上には、金属等から成るデータ電極２が基板列方向に形成されており、その上方には、金属酸化物等から成る誘電体層３が形成されている。誘電体層３上には、金属酸化物等から成るストライプ状の隔壁６が基板列方向に形成されており、隔壁側面を含む誘電体層３上には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色を発光する蛍光体層８が形成されている。一方、前面ガラス基板１０上には、金属酸化物等から成る透明導電性のスキャン電極４とコモン電極１１とが対を成して基板行方向に形成されており、低抵抗化を目的とした金属等から成るバス電極１２が電気的に接続されている。バス電極１２を含むスキャン電極４とコモン電極１１上には、金属酸化物等から成る誘電体層１３と保護層７が順次積層されている。そして、後面ガラス基板１と前面ガラス基板１０とは、互いの構造物を内側にして張り合わされ、その内部には、希ガス等から成る放電用のガスが封入されている。尚、図１９中のＲ，Ｇ，Ｂは、カラー化のための赤色発光単位セル、緑色発光単位セル、青色発光単位セルをそれぞれ表している。
【００１２】
図２１に示すように、このような構造のＰＤＰでは、書込パルス１９と信号パルス１８によって図１８に示した書込放電２１を起こし、維持パルス２０によって図１８に示した維持放電２２を起こす。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、図２２に示したＰＤＰには、以下の問題がある。
【００１４】
第１の問題は、書込電圧（書込パルス１８と信号パルス１９の波高値の差、言い換えるとそれぞれの絶対値の和）が高い、ということである。その理由は、書込期間（書込パルス１８と信号パルス１９を印加している時間）が短いことに加え、データ電極２とスキャン電極４の間が広く空間的に隔絶していることにある。このため、従来は、図２４に示すように書込電圧には維持電圧（維持パルス２０の波高値）よりも高い電圧が必要であった。この傾向は、書込時間が短くなればなるほど、隔壁６の高さが高くなればなるほど顕著となる、従来は、データ電極２とスキャン電極４に電圧パルスを印加する駆動回路に安価な低耐圧回路を使用することができず、高価な高耐圧回路を使用しなければならない。これは、最終的に製造コストを増加させる結果となる。
【００１５】
書込電圧を低くするためには、パッシェンの法則、すなわち、電界および温度が一定の下で火花放電を起こすのに必要な最小電圧すなわち火花電圧が、ガス圧力ｐと電極間距離ｄの積の関数として与えられる法則、に従って、電極間距離、すなわち、隔壁６の高さを低くすればよいが、隔壁６の高さを低くすると放電空間が狭くなり、維持電圧が上昇する弊害が生じる。
【００１６】
これは、図２２に示すようにスキャン電極４とコモン電極１１の間で生じる電気力線２３が大きく湾曲しており、隔壁６高さを低くすると維持放電を起こすのに必要な有効な体積が減少し、電気力線２３の密度等が減少するからである。このような空間体積あるいは電極面積によって放電の起こり易さが変化する現象を放電の体積効果あるいは面積効果と呼ぶ。一般に空間体積や電極面積が大きいほど絶縁破壊しうる経路が統計的に増加するため、放電は起こりやすくなる。したがって、条件が同じならば面放電よりも対向放電の方が発生しやすい。
【００１７】
前述の放電空間の減少は、放電領域、言い換えるとプラズマ体積の減少をもたらし、結果的に紫外光量の減少による輝度や効率の低下をも引き起こす。また、維持放電２２の領域が蛍光体層８に接近するため、プラズマ中で生成したイオンや電子の荷電粒子衝撃によって蛍光体層８が劣化しやすい弊害も生じる。
【００１８】
第２の問題は、書込期間が短縮しにくい、ということである。その理由は、前述の問題と同様にデータ電極２とスキャン電極４の間が広く離間しているからである。このため、放電確率が低くなり、短い時間で十分に書込放電２１を起こすことが困難となっていた。
【００１９】
書込期間は、画素数が多くなるほど短くなり、また、大画面になるほど電極長が延びるため、その直列抵抗成分による電圧降下によってパルス遅延（電圧パルス波形のなまり）が大きくなる。したがって、高精細・大画面になるほど書込にくくなる。この問題を抑制するため、隔壁６の高さを低くして書込放電２１を起こしやすくするとその他の特性が損なわれるため、限られた時間でパネル全面にわたり均一性よく十分な書込放電２１を起こそうとすると書込電圧を高くせざるを得なくなる。
【００２０】
第３の問題は、駆動マージンを改善することが困難であるということである。その理由は、書込放電２１を起こしにくいためである。つまり、この問題は、前述の二つの問題と強く関係している。
【００２１】
書込放電２１は、同じタイミングで信号パルス１８を印加されたデータ電極２と書込みパルス１９を印加されたスキャン電極４との交点にあたる単位セルを選択状態にして、それに引き続く維持放電２２により発光表示を行わせるための重要な放電である。書込放電１８が起こるとそのセル内では壁電荷が蓄積されたり、電子やイオンのプライミング粒子（放電のトリガとなる粒子）が供給されて選択されていないセルよりも放電が起こりやすくなる。つまり、選択されたセルは、選択されていないセルよりも低い電圧で放電を起こすことができる。したがって、同じ維持電圧が加えられているセルであっても書込放電２１が起こらなければ維持放電２２は発生しない。このため、書込放電２１が不十分であるとそれに引き続く維持放電２２が起こりにくくなる。しかし、この問題を避けようとして維持電圧を上げると、選択されていないセルにおいても放電が起こりやすくなり、誤点灯あるいは誤消灯が発生して画質を低下させる結果となる。これは、つまり、駆動マージンの圧迫を意味している。
【００２２】
第４の問題は、放電空間が拡張できないということである。その理由は、書込電圧によって隔壁６の高さが制限されるからである。
【００２３】
セルサイズが一定の下で放電空間を広げようとすると隔壁６を高くする必要がある。しかしながら、前述の理由からも明らかなように書込放電２１の関係上、隔壁６をあまり高くすることはできない。このため、放電空間とともに放電領域もまた制限されて、輝度や効率を改善することが困難となる。輝度や効率が高いと少ない電力でも明るい画像表示ができるため、輝度や効率の高いＰＤＰほど消費電力を低くすることが可能となる。すなわち、この問題は、最終的に低消費電力化の妨げとなっている。
【００２４】
第５の問題は、保護層７の損傷が大きいということである。その理由は、電極エッジ部に電気力線２３が集中し、電界の歪みが大きくなって、電極エッジ部近傍の保護層７に高エネルギーのイオンが集中しやすいためと、イオンが保護層７に斜めから入射してしまうためである。
【００２５】
保護層７は、単にプラズマに曝される構成要素をイオンや電子の荷電粒子衝撃から守るだけではなく、二次電子供給を促進して放電を起こしやすくしたり、さらには自続しやすくする役目も負っている。このため、保護層７の寿命、言い換えれば損傷度あるいは劣化度は、ＰＤＰの動作寿命を決定する重要な因子となっている。
【００２６】
図２２に示すように、従来は、繰り返し放電回数の多い維持放電が面放電となっている。面放電の場合、スキャン電極４とコモン電極１１の間に生じる電気力線２３が大きく湾曲し、電位差の生じる両電極エッジ部には電気力線２３が密に集中するようになる。このため、両電極間、特に両電極エッジ部の電界が著しく歪み、両電極エッジ部近傍の電界強度が増す結果となる。電界強度が増すと保護層７へ入射するイオンの運動エネルギーが増加し、結果的にイオンが保護層７へ与える損傷度が増加することになる。その上、イオンは、電気力線２３に沿って保護層７へ飛来するため、結果的にイオンは、０°以上、９０°以下の角度を持って保護層７へ斜め入射（２４）するようになる。イオンが斜め入射（２４）すると入射イオンから保護層７を構成する原子へのエネルギー付与率、つまり、エネルギーの伝達効率がよくなるために、保護層７の損傷度はより深刻なものとなる。
【００２７】
図２３は、入射角が０°におけるキセノン（Ｘｅ）イオンの酸化マグネシウム（ＭｇＯ）に対するスパッタリング収量Ｙ（０）のイオンエネルギー依存性を示すシミュレーション結果である。この図から、スパッタリング収量は、イオンエネルギーが１００ｋｅＶまでは単調に増加することがわかる。つまり、入射イオンのエネルギーが大きいほど保護層７が受ける損傷度は大きくなる。なお、１００ｋｅＶ以上のエネルギーでスパッタリング収量が減少傾向を示すのは、Ｘｅのような重イオンであっても注入モードが支配的となるためである。ＸｅとＭｇＯは、それぞれカラーＰＤＰで一般的に使用されている紫外光発生用のガス原子と保護層７である。また、Ｘｅは、通常用いられているガス種の中で最も重い元素であり、一般に入射イオンの質量が重いほど保護層７へ与える損傷度は大きくなる。
【００２８】
図２４は、入射角が０°におけるＸｅイオンのＭｇＯに対するスパッタリング収量Ｙ（０）で規格化した入射角θにおけるスパッタリング収量Ｙ（θ）を示すシミュレーション結果である。実際には、６０〜７０°付近で極大となった後、急激に減少して９０°で０となる。この図から明らかなように、イオンが斜め入射する場合ではそうでない場合に比べて保護層７の損傷度が大きくなる。つまり、イオンが保護層７に斜め入射する回数が多いほど動作寿命は短くなる。
【００２９】
このように、面放電では、対向放電（電界の歪みが少なく、イオンが斜め入射しにくい）に比べて保護層７の損傷度が著しく大きくなる。したがって、少なくとも維持放電２２だけでも対向放電とした方が面放電の場合よりも動作寿命は長くなる。
【００３０】
そこで、本発明は、カラー表示が可能なＰＤＰにおいて、従来に比べて書込電圧が低く、書込期間も短縮でき、駆動マージンの広いＰＤＰを提供することを課題としている。
【００３１】
又、本発明は、従来に比べて輝度や効率の高いカラーＰＤＰを提供することを課題としている。
【００３２】
又、本発明は、従来に比べて寿命の長いカラーＰＤＰを提供することを課題としている。
【００３３】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するための本発明のＡＣ型プラズマディスプレイパネルは、２つの基板を対向させ、交流電界により電子を加速してガス原子又はガス分子に衝突させ、発生した紫外光を蛍光体により可視光変換してカラー画像表示を行うＡＣ型プラズマディスプレイパネルであって、一方の基板には、列方向に延設された複数本のデータ電極と、前記データ電極と直交する行方向に延設された複数本のスキャン電極とを備え、他方の基板には、前記スキャン電極と平行する行方向に延設された複数本のコモン電極を備え、前記スキャン電極とコモン電極の端子接続部をそれぞれの前記電極が形成されたそれぞれの前記基板の行方向反対側の端部に設け、前記一方の基板と前記他方の基板との間に、蛍光体層と、放電空間を形成する隔壁とを備えている。
【００３４】
又、本発明のＡＣ型プラズマディスプレイパネルにおいては、前記一方の基板に前記データ電極を有し、前記データ電極上に誘電体層を有し、その誘電体層上に前記スキャン電極を有し、前記スキャン電極上に他の誘電体層を有し、前記他方の基板に前記コモン電極を有し、前記コモン電極上に別の誘電体層を有し、前記一方の基板と前記他方の基板との間に放電空間を形成するとともに赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、及び青（Ｂ）の各色のセルを区画し、前記蛍光体層が形成された孔状又は溝状の開口部を有するセンターシートを設けてもよい。
【００３５】
又、本発明のＡＣ型プラズマディスプレイパネルの製造方法は、データ電極及びスキャン電極を形成した基板側に隔壁を形成するＡＣ型プラズマディスプレイパネルの製造方法である。すなわち、本発明の製造方法は、２つの基板を対向させ、交流電界により電子を加速してガス原子又はガス分子に衝突させ、発生した紫外光を蛍光体により可視光変換してカラー画像表示を行うＡＣ型プラズマディスプレイパネルであって、一方の基板には、列方向に延設された複数本のデータ電極と、前記データ電極と直交する行方向に延設された複数本のスキャン電極とを備え、他方の基板には、前記スキャン電極と平行する行方向に延設された複数本のコモン電極を備え、前記スキャン電極とコモン電極の端子接続部をそれぞれの前記電極が形成されたそれぞれの前記基板の行方向反対側の端部に設け、前記一方の基板と前記他方の基板との間に、蛍光体層と、放電空間を形成する隔壁とを備えたＡＣ型プラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記一方の基板上に複数本の前記データ電極を形成する工程と、前記データ電極上に第１誘電体層を形成する工程と、前記第１誘電体層上に複数本の前記スキャン電極を形成する工程と、前記スキャン電極上に第２誘電体層を形成する工程と、前記第２誘電体層上に前記隔壁を形成する工程と、前記隔壁側面を含む前記第２誘電体層上に前記蛍光体層を形成する工程と、前記他方の基板に複数本の前記コモン電極を形成する工程と、前記コモン電極上に第３誘電体層を形成する工程と、を含んでいる。
【００３６】
又、本発明のＡＣ型プラズマディスプレイパネルの他の製造方法は、コモン電極を形成した基板側に隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記一方の基板上に複数本の前記データ電極を形成する工程と、前記データ電極上に第４誘電体層を形成する工程と、前記第４誘電体層上に複数本の前記スキャン電極を形成する工程と、前記スキャン電極上に前記第５誘電体層を形成する工程と、前記他方の基板上に複数本の前記コモン電極を形成する工程と、前記コモン電極上に第６誘電体層を形成する工程と、前記第６誘電体層上に隔壁を形成する工程と、前記記隔壁を含む前記第６誘電体層上に前記蛍光体層を形成する工程と、を含んでいる。
【００３７】
又、本発明のＡＣ型プラズマディスプレイの別の製造方法は、上述した隔壁に替えて、センターシートを備え、そのセンターシートは、前記一方の基板と前記他方の基板との間に放電空間を形成するとともに赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、及び青（Ｂ）の各色のセルを区画し、前記蛍光体層が形成された孔状又は溝状の開口部を有するものであるＡＣ型プラズマディスプレイの製造方法であって、前記一方の基板上に複数本の前記データ電極を形成する工程と、前記データ電極上に第７誘電体層を形成する工程と、前記第７誘電体層上に複数本の前記スキャン電極を形成する工程と、前記スキャン電極上に第８誘電体層を形成する工程と、前記他方の基板上に複数本の前記コモン電極を形成する工程と、前記コモン電極上に第９誘電体層を形成する工程と、前記一方の基板と前記他方の基板との間に前記センターシートを形成する工程と、を含んでいる。
【００３８】
又、本発明のＡＣ型プラズマディスプレイパネルの駆動方法は、前記データ電極と前記スキャン電極とに同一タイミングで逆極性の信号電圧パルスと書込電圧パルスとをそれぞれ印加して、選択された画素に書込放電を発生させる表示書込動作と、前記スキャン電極と前記コモン電極に異なるタイミングで同一極性の維持電圧パルスを印加して、選択された画素に維持放電を発生させる発光維持動作とを含んでいる。
【００３９】
又、本発明のＡＣ型プラズマディスプレイパネルの駆動方法における発光維持動作においては、前記コモン電極に両極性の維持電圧パルスを印加して、選択された画素に維持放電を発生させてもよい。
【００４０】
又、本発明のＡＣ型プラズマディスプレイパネルの駆動装置は、上述した駆動方法を実現する駆動装置である。
【００４１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００４２】
［実施形態１］
図１は、本発明のプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の分解斜視図である。また、図２は、本発明のＰＤＰの単位セル構造を示す分解斜視図である。これらの図を用いて本発明の構造を説明する。後面ガラス基板１上には、金属等から成るデータ電極２が基板列方向に形成されており、その上方には、金属酸化物等から成る誘電体層３が形成されている。誘電体層３上には、金属等から成るスキャン電極４が基板行方向に形成されており、その上方には、金属酸化物等から成る誘電体層５が形成されている。誘電体層５上には、金属酸化物等から成るストライプ状の隔壁６が基板列方向に形成されており、隔壁６側面を含む誘電体層５上には、保護層７と蛍光体層８が順次積層されている。
【００４３】
一方、前面ガラス基板１０上には、金属酸化物等から成る透明導電性のコモン電極１１と、そのコモン電極１１に電気的に接続された金属等から成るバス電極１２がスキャン電極４と対面して基板行方向に形成されており、その上方には、金属酸化物等から成る誘電体層１３と保護層７が順次積層されている。そして、後面ガラス基板１と前面ガラス基板１０とは、気密封止用の不利とガラスシール等を用いて、互いの構造物を内側にして張り合わされており、その内部には、希ガス等から成る放電用のガス、すなわちヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）、キセノン（Ｘｅ）等のいずれかの単一組成ガス、又は２成分以上から成る混合ガスが封入されている。
【００４４】
図３は、本発明のＰＤＰの単位セルの製造工程を示す断面図である。まず、前面ガラス基板１０側の工程について説明する。はじめに、前面ガラス基板１０上にコモン電極１１を形成する。その際、塗布法（スプレー、スピンコーター、コンマコーター等を用いる被着法）、印刷法（スクリーン印刷や凸版印刷等を用いた選択的パターン形成法）、感光性樹脂法（感光性樹脂の露光による選択的パターン形成法）、真空成膜法（蒸着、スパッタ、化学気相成膜：ＣＶＤ等による被着工程とフォトリソ等によるマスク加工工程から成るパターン形成法）、メッキ法（電界および無電解メッキによる選択的パターン形成法あるいはフォトリソ等によるマスク加工工程と組み合わせたパターン形成法）、描画法（インクジェット等による選択的、且つ直接的パターン形成法）等を用いる。その後、コモン電極１１上に、バス電極１２を形成する。その際、塗布法、印刷法、感光性樹脂法、真空成膜法、メッキ法、描画法等を用いる（図３（ａ））。
【００４５】
次に、コモン電極１１及びバス電極１２上に誘電体層１３を、塗布法、印刷法、感光性樹脂法、真空成膜法、メッキ法、描画法等を用いて形成する。その後、真空蒸着法や塗布法等を用いて、誘電体層１３上に保護層７を形成する（図３（ｂ））。
【００４６】
次に、後面ガラス基板１側の工程について説明する。初めに、後面ガラス基板１上にデータ電極２を、印刷法、感光性樹脂法、真空成膜法、メッキ法、描画法等を用いて形成する。その後、塗布法、印刷法、感光性樹脂法、真空成膜法等を用いて、データ電極２上に誘電体層３を形成する（図３（ｃ））。
【００４７】
次に、誘電体層３上にスキャン電極４を印刷法、感光性樹脂法、真空成膜法、メッキ法、描画法等を用いて、誘電体層３上にスキャン電極４を形成する。その後、塗布法、印刷法、感光性樹脂法、真空成膜法等を用いて、スキャン電極４上に誘電体層５を形成する（図３（ｄ））。
【００４８】
次に、誘電体層５上に隔壁６を形成する。その際、印刷法、感光性樹脂法、真空成膜法、アディティブ法（感光性樹脂等により形成した凹パターン部に素材を埋め込むパターン形成法）、サンドブラスト法（マスクを用いた切削によるパターン形成法）、プレス成型法（鋳型、金型等を用いた一括パターン形成法）等を用いる。その後、誘電体層５及び隔壁６上に、真空成膜法や塗布法等を用いて、保護層７を形成する。更に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色に対応したセルにそれぞれ赤色発光用、緑色発光用、青色発光用の各蛍光体層８を、印刷法、感光性樹脂法、描画法等を用いて形成する（図３（ｅ））。
【００４９】
次に、パネル組立工程について説明する。はじめに、前面ガラス基板１０又は後面ガラス基板１のどちらか一方の基板周縁部にフリットガラスシール等を設け、対を成すスキャン電極４とコモン電極１１とが互いに対面するように、前面ガラス基板１０と後面ガラス基板１とを張り合わせて、気密封止する。その後、パネル周辺部に設けたガス排気・吸気用管路を用いて、パネル内部の有機物等の残留不純物をベーキングや放電洗浄等によって除去し、パネル内部の真空排気を行う。そして、最後に、同管路から放電用のガスを導入し、同管路を気密封止してパネル製造工程を終了する（図３（ｆ））。
【００５０】
図４は、本発明のＰＤＰの駆動方法を説明するための電圧波形図である。また、図５は、本発明のＰＤＰの放電発生領域を説明するための斜視図である。なお、図５では、主として電極に関係する部分を図示している。まず、図４（ａ）の駆動方法について説明する。発光表示を行わせたいセルのデータ電極２とスキャン電極４とにそれぞれ同じタイミングで逆極性の信号パルス１８（Ｖｄ）と書込パルス１９（Ｖｗ）を印加して書込放電２１（面放電）を発生させた後、スキャン電極４とコモン電極１１とにそれぞれ異なるタイミングで同極性の維持パルス２０（Ｖｓ）を交互に印加して維持放電２２（対向放電）を発生させる。
【００５１】
ここに、信号パルス１８は、書込期間（所定のセルを選択状態、つまり、発光予備状態にする期間）中にデータ電極２に独立に印加される電圧パルスであり、所定のセルを選択状態にする電圧パルスである。また、書込パルス１９は、書込期間中にスキャン電極４に線順次で印加され、信号パルス１８が印加されたセルを選択状態にする電圧パルスである。また、維持パルス２０は、維持期間（選択されたセルを発光状態にする期間）中にスキャン電極４とコモン電極１１とに交互に印加される電圧パルスであり、選択状態とされたセルを表示状態とする電圧パルスである。なお、スキャン電極とコモン電極に印加される維持電圧の波高値は必ずしも同じである必要はない。
【００５２】
本発明のプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の特徴の一つは、従来の面放電型のＰＤＰに比べて、維持放電電圧と書込放電電圧の比をより大きくすることができることにある。たとえば、従来の面放電型のＰＤＰでは、書込みパルスＶｗ、」信号パルスＶｄ、スキャン電極に印加される維持パルスＶｓｓ、コモン電極に印加される維持パルスＶｓｃとした場合に、誤放電の発生を防止するためには、少なくとも、｜Ｖｓｓ｜及び｜Ｖｓｃ｜は、（｜Ｖｄ｜＋｜Ｖｗ｜）より小さくなければならない。
【００５３】
これに対して、本発明のＰＤＰにおいては、その電極配置から、特にコモン電極に印加される維持パルスＶｓｃを大きくすることが可能であり、｜Ｖｓｃ｜を（｜Ｖｄ｜＋｜Ｖｗ｜）より大きくすることができる。スキャン電極に印加される維持パルスＶｓｓをあまり大きくすると、スキャン電極とデータ電極との間で維持期間中に誤放電が発生する。従って、Ｖｓｓを、Ｖｓｃ程大きくすることは難しいが、維持期間中でバイアスすることにより、Ｖｓｓを増大することができる。同様に、コモン電極に印加される前記両極性維持電圧パルスの、正極側波高値又は負極側波高値の絶対値のうちいずか大きい方を｜Ｖｓ｜とすると、｜Ｖｄ｜＋｜Ｖｗ｜  ＜  ｜Ｖｓ｜としてもよい。
【００５４】
図４には、書込パルス１９と維持パルス２０とを分離した駆動方法を示したが、当然これ以外に書込パルス１９と維持パルス２０とを混合する等の駆動方法を使用しても同様である。また、駆動を確実に行うために、例えば特開平３−２１９２８６号公報に開示されているような書込放電２１に先だって予備放電等の準備シーケンスを付与してもよい。さらに、維持パルス２０は、図４（ａ）のように、スキャン電極４とコモン電極１１に位相をずらして交互に印加する交番電圧印加の方法以外にも、図４（ｂ）のように一方の電極に両（正・負）極性の維持パルス２０を印加してもよい。
【００５５】
特に、図４（ｂ）に示すように、スキャン電極４とデータ電極２を同一電圧あるいは小さな電圧差（データ電極２とスキャン電極４との間で放電が発生しない電圧）とし、コモン電極１１に両極性の維持パルス２０を印加する方法を採用することにより、データ電極２とスキャン電極４との間で維持パルス２０を印加した時に意図しない放電が発生することを抑制できる効果がある。この駆動方法は、特に、データ電極２とスキャン電極４との間の（面放電による）書込放電２１に要する放電開始電圧が、スキャン電極４とコモン電極１１との間の（対向放電による）維持放電２２に要する放電開始電圧よりも相当小さく設計された場合に非常に有効である。なお、図４に示した電圧は、接地電位を基準にする必要はなく、使用する回路素子等の都合により、例えば全て正極性となるように全体的にバイアスされた状態で使用されてもよい。また、相対的な電位関係が保たれていればよい。
【００５６】
さらに、本発明の駆動方法においては、図４（ｂ）に示すように、ＩＣ（集積回路）を必要としないコモン電極１１側だけでも維持放電動作をさせることができるようになる。このことは、スキャン電極４側の駆動回路においても、安価な低耐圧駆動ＩＣが使用できることを意味している。
【００５７】
本発明のＰＤＰにおいては、データ電極２とスキャン電極４とが同一基板上に直交して形成されるため、その電極間隔、すなわち、書込放電ギャップは、電極交差部を中心にして連続的に変化することになる。したがって、パッシェンの法則で与えられる最小火花電圧付近で書込放電２１を起こすことのできる放電ギャップが必ず複数存在することになり、放電確率が飛躍的に改善される。このため、図１６や図１８に示す従来構造とは異なり、隔壁６の高さを低くすることなく、書込電圧を低くすることが可能となる。この結果、データ電極２とスキャン電極４に接続されるデータドライバーＩＣやスキャンドライバーＩＣ等の駆動回路を従来の高価な高耐圧回路から安価な低耐圧回路にすることができ、駆動回路に関わる製造コストを低減することができる。また、統計的な放電確率が上がるため、セルの選択期間、すなわち、書込電圧を印加している時間を従来よりも短くすることができる。この結果、従来よりも大画面で高精細のパネルを実現することができる。さらに、書込放電２１を十分に発生させることができるため、それに引き続く維持放電２２を発生させることも容易となり、従来よりも駆動マージンを広げることができる。この結果、従来よりも高品位な画質を達成することができる。これらの効果は、図１６や図１８に示す従来構造では得られないものである。その上、書込電圧により隔壁６の高さが制限されることはないため、従来よりも放電空間を広げることができる。つまり、本発明の構造では、放電領域の拡大による放射光量の増加が図りやすい。この結果、従来よりも輝度や効率を向上させることができ、消費電力を低減することができる。このことは、図１５や図１６、図１７や図１８に示す従来構造では不可能である。加えて、図１５、図１７、図１８に示す従来構造とは違い、維持放電２２が対向放電となるため、局所的な電界の歪み（電気力線の集中）とイオンが保護層７へ斜め入射することが少なくなり、従来よりも保護層７の照射損傷を低減することが可能となる。この結果、保護層７の劣化にともなう電圧変動が抑制され、従来よりもパネルとしての動作寿命を延ばすことができる。このことは、維持放電２２が面放電となる図１５、図１７、図１８に示す従来構造では不可能である。
【００５８】
また、例えば図１８に示すような従来の構造では、スキャン電極４とコモン電極１１とが表示面側の前面ガラス基板１０側に設けられているため、両電極は発光表示の妨げとならないよう透明である必要があった。しかしながら、一般に、金属酸化物等から成る透明導電性の材料は、金属材料に比べてその電気抵抗値が数桁高いため、それ単体ではパルス遅延による画質低下が著しい問題があり、従来は、放電電極用のスキャン電極４とコモン電極１１とは別に、低抵抗化を目的とした金属等から成る電圧パルス伝達用のバス電極１２をスキャン電極４やコモン電極１１に沿設する必要があった。しかし、バス電極１２自体は不透光性であるために、セルの開口率が低下してしまい、これによってバス電極１ライン当たりの電極幅も制限される結果となっていた。これらは、つまり、電極抵抗とセル開口率の制限を意味し、大画面・高精細化の障害となることを露わにしている。これに対し、本発明のＰＤＰにおいては、低抵抗化が要求されるデータ電極２とスキャン電極４とが表示面側とは反対の後面ガラス基板１側に設けられているため、つまり、発光表示の妨げとはならないため、透明である必要がなく、その結果として低抵抗で不透明な金属材料を使用することができる。一方、表示面側にはコモン電極１１しか存在しないので、図１に示すように、仮にコモン電極１１にバス電極１２を設けたとしても、従来より開口率の低下を低く抑えることができる。また、バス電極１ライン当たりの電極幅を広くすることができるので、結果的にコモン電極１１も低抵抗化することが可能となる。すなわち、本発明の構造は、従来の構造よりも大画面・高精細化に適している。その上、前述したように、本発明の構造では十分高い輝度が得られることから、コモン電極１１を金属材料だけで形成することも可能である。この場合、バス電極１２は不要となるため、その分の製造工程数が削減できる。さらに、全電極材料を同一金属材料に統一できるため、製造設備や使用材料に関わるコストも削減できるようになる。
【００５９】
本発明のＰＤＰでは、図１７や図１８に示す従来構造に比べて、縦方向に隣接するセル間の放電干渉による誤点灯・誤消灯が起こりにくい。それは、図５に示すように、書込放電２１がデータ電極２とスキャン電極４の交差部に集約されることに加えて、維持放電２２を発生させる電気力線がスキャン電極４とコモン電極１１の間にほぼ垂直に生じ、縦方向に隣接するセルへのプラズマの拡散が起こりにくいためである。この結果、従来よりも駆動マージンを改善することができる。また、相対的に維持放電２２を起こしやすい利点もある。それは、図１７や図１８に示す従来構造とは異なり、維持放電２２が対向放電となるために、対面するスキャン電極４とコモン電極１１の間が全て有効な放電ギャップとして作用することに加えて、その重なり面積もまた全て有効な放電面積として機能するからである。このため、いわゆる放電の体積効果、面積効果によって放電確率が高くなり、維持電圧の上昇を抑制できるようになる。この結果、極端な維持電圧の上昇を招かずに従来よりもスキャン電極４とコモン電極１１の間隔を広げることができ、放電領域の拡大による輝度、効率の改善を図ることが可能となる。その上、電極面積が有効に使えるということは、それだけ狭い空間でも放電を起こしやすいということであるから、従来より微小なセルであっても十分な駆動マージンを確保できるようになる。このため、従来よりも高精細のパネルを実現しやすい。
【００６０】
図６に示す表は、従来構造と本発明の構造の構成を比較したものである。この表からもわかるように、本発明の構造は、従来知られているどの構造にも合致しない。
【００６１】
また、図７に示す表は、従来構造と本発明の構造の特徴を比較したものである。この表からも明らかなように、本発明の構造は、従来知られているどの構造よりも優れている。
【００６２】
各中のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅは、図１５，図１６，図１７，図１８，図５に示す構造とそれぞれ対応している。また、図６中の電極配置記号は、パネル正面から見た単位セル内の電極配置の形状を模式的に表したものである。
【００６３】
本発明のＰＤＰの製造方法においては、書込電圧を左右する誘電体層３，５の厚さと維持電圧を左右する隔壁６の高さを同一基板工程で規定できる。つまり、図１６や図１８に示すような従来構造とは違い、各電圧を決めるパラメーターが別基板にまたがらず、片側基板のみによって調整できるため、パネル面内、さらには製造ロット毎の書込電圧と維持電圧のばらつきを小さくでき、その再現性も改善できる。その上、単位セル毎に書込放電２１を起こす必要があるデータ電極２とスキャン電極４とが同一基板上に形成できるため、各電極の位置決めを精度良く行うことができる。加えて、全製造工程における製造精度の大半を片側基板（図３中では、後面ガラス基板１）に偏重できるため、その製造歩留まりを容易に改善することができる。そして、両基板工程それぞれに高い製造精度が不要となるため、全体的な製造コストの低減やスループットの改善を図ることが可能となる。
【００６４】
本発明のＰＤＰにおいては、誘電体層３，５厚さを調整して書込電圧を維持電圧と同程度かそれ以下にすることができる。つまり、本発明の駆動方法では、例えば図１６や図１８に示すような従来構造の場合とは異なり、書込電圧を維持電圧と同程度かそれ以下にする。この結果、データ電極２とスキャン電極４の駆動回路に加わる負荷が軽減され、その信頼性を向上させることができる。また、印加できる書込電圧値に十分な余裕が残るため、容易に書込電圧を高くして書込特性を改善することが可能となる。
【００６５】
本発明の構造におけるデータ電極２およびスキャン電極４としては、低抵抗で紫外光や可視光の反射率が高いものが好ましい。それは、パルス遅延による画質低下を抑制できると同時に、紫外光や可視光を表示面側（図３中では、前面ガラス基板１０側）に反射して輝度や効率を改善できるからである。特に、抵抗率が１０μΩ・ｃｍ以下、紫外光から可視光までの反射率が８０％以上であれば最適である。また、その構造は、単層であってもよいし、多層であってもかまわない。多層構造の場合、全ての層が導電性を有している必要はないが、少なくとも表示面側の層は高反射率を有していることが望ましい。
【００６６】
誘電体層３，５としては、紫外光や可視光を散乱するものが好ましい。それは、紫外光や可視光を表示面側に散乱して輝度や効率を改善できるからである。また、その構造は、単層でもよいし、多層であってもかまわない。多層構造の場合、少なくとも表示面側の層は、光散乱性を有しているものが望ましい。さらに、後面ガラス基板１全面に形成してもよいし、データ電極２やスキャン電極４だけを被覆するように部分的に形成してもよい。但し、全面に形成した方がムラ無く光を散乱させることができる。
【００６７】
隔壁６としては、紫外光や可視光を散乱できるものが好ましい。それは、紫外光や可視光を表示面側に散乱して輝度や効率を改善できるからである。また、誘電率が誘電体層３，５，１３よりも低ければ、隔壁容量の充電による電力損失や隔壁側面の壁電荷による横方向隣接セル間の誤点灯・誤消灯が抑制できる。さらに、その断面形状は、図３に例示するような直方体である必要はなく、傾斜あるいは湾曲した部位を持つ略台形状であってもかまわない。この場合、蛍光体層８の形成面積が増加するために、プラズマから放射される紫外光の可視光変換量が増大して輝度や効率を改善できる。一方、その平面形状は、何も図１に例示するようなストライプ（帯）状に限定されるものではない。例えば図９に例示するようなグリッド（格子）状の隔壁を用いると、セル内側を取り囲むように蛍光体層８を形成できるため、図１の場合よりも輝度や効率を改善できる。そして、個々のセルの平面形状は、長方形状である必要はなく、例えば正方形状や３角以上の多角形状であってもかまわない。また、円形状や楕円形状であってもかまわない。これら平面形状と前述の断面形状（略台形状）とを組み合わせれば、隔壁構造を立体的な略すり鉢状にすることができるため、より一層輝度や効率を改善できる。なお、これらの隔壁は、後面ガラス基板１側だけではなく、前面ガラス基板１０側に設けてもよいし、双方のガラス基板に設けてもかまわない。
【００６８】
隔壁６に関しては、以上のことに加え、その高さもまた重要な要素となる。
【００６９】
図８は、図中に示すテストセルにおける１ｋＨｚ当たりの輝度の隔壁高さ（ｄ）依存性を示したものである。一般に、表示装置の輝度としては、５ｃｄ／ｍ2以上、より望ましくは、８ｃｄ／ｍ2以上であることが要求される。この図からわかるように、本発明の構造では、隔壁高さが１００μｍ以上であれば５ｃｄ／ｍ2以上の輝度が得られる。特に、１５０μｍ以上であれば８ｃｄ／ｍ2以上の輝度が得られる。
【００７０】
従来、図１８に示すような構造のＰＤＰでは、維持放電２２を担うスキャン電極４とコモン電極１１との間隔、つまり、放電距離は、セルサイズにより制限されてしまうため、特に、高解像度のパネルでは、放電距離が短くならざるを得ない。これに対して本発明の構造では、放電距離がセルサイズによって制限されないため、例えば高解像度のパネルでも隔壁を高くすることにより１ｍｍ以上の放電距離を実現することができる。このような長い放電長を利用することにより、陽光柱領域からの紫外光量の増大やタウンゼント放電形態の利用が可能となるため、劇的に輝度や効率を向上させることができる。この場合、当然維持電圧を高くする必要は生じるが、ＩＣを使用して発生させる信号パルス１８や書込パルス１９とは異なり、維持パルス２０は、ＦＥＴ（電界効果トランジスター）等で発生させるため、高電圧を使用することの工業的な問題は少ない。また、維持パルス２０を繰り返し印加する際に問題となる充放電電力損失は、印加電圧の２乗に比例するが、本発明の構造では、従来の面放電型の場合と異なり対向放電型であり、スキャン電極４とコモン電極１１間の静電容量は格段に小さい。このため、充放電電力損失も小さくなる。また、スキャン電極４やコモン電極１１の電極抵抗も小さく、電荷回収回路の回収効率も高くすることができるため、充放電電力損失はむしろ少なくすることができる。
【００７１】
保護層７としては、機械強度に優れ、二次電子放出係数が高いものが望ましい。それは、イオン衝撃に対する材料寿命が長いことに加えて、放電が起こりやすくなるためである。さらに、無孔質で表面平坦度が高く、熱的にも化学的にも安定であれば好適である。この場合、余計な不純物を吸着したり、変質したりしないため、パネル全体としての特性や信頼性を向上できる。なお、図１中に例示する本発明の構造では、データ電極２とスキャン電極４との交差部の蛍光体層８に開口部９が設けられ、保護層７が露出した構造となっている。このような構造では、保護層７からの二次電子供給があるため、放電が起こりやすく、また、自続もしやすくなる。さらに、イオン衝撃による蛍光体層８の劣化やＲ，Ｇ，Ｂの各蛍光体層８に起因した各セル間の電圧ばらつき等も低減できる利点がある。しかし、蛍光体層８は、隔壁６を含む誘電体層５上の全面に形成されていてもかまわない。また、後面ガラス基板１側ではなく、前面ガラス基板１０側に設けてもよいし、双方のガラス基板上に設けてもかまわない。この時、前面ガラス基板１０側に設けた蛍光体層８が、後面ガラス基板１側から発光された可視光を阻害しない程度の透過率を有していれば、より輝度や効率を改善できる。一方、保護層７は、別に蛍光体層８を覆うように形成されていてもよい。蛍光体層８を被覆するように形成した場合には、書込放電２１および維持放電２２を起こす部位の蛍光体層８を削除しなくても放電が起こりやすくなり、また、イオン衝撃による蛍光体層８の劣化も抑制できるようになる。但し、この時の保護層７は、紫外光を透過できる材料であることが望ましい。それは、保護層７中で紫外光が吸収されてしまうと、蛍光体層８による紫外光の可視光変換量が著しく減少してしまうからである。これは、結果的に著しい輝度や効率の低下をもたらしてしまう。したがって、保護層７の光学的バンドギャップは、６ｅＶ以上であることが好ましい。特に、８ｅＶ以上であれば、波長が１５０ｎｍ以下の紫外光まで透過することができるので、励起状態の希ガス原子（Ｈｅ，Ｎｅ，Ａｒ，Ｋｒ，Ｘｅ）から放射される紫外光まで有効利用できるようになる。
【００７２】
コモン電極１１としては、低抵抗で可視光の透過率が高いものが望ましい。それは、パルス遅延による画質低下が抑制できると同時に、蛍光体層８により可視光変換された光を表示面側に効率よく取り出すことができ、輝度や効率が改善されるためである。特に、可視光の透過率が８０％以上であれば好適である。さらに、スキャン電極４とコモン電極１１が図１に示したような独立したライン状の場合には、図３に示すように、それぞれの電極を各々反対側から取り出してもよい。つまり、スキャン電極４の端子接続部１５とコモン電極１１の端子接続部１６を各々反対側に設ける。この場合、端子接続等の工程上の利点もあるが、それ以外に維持放電発光の均一性の点で大きな利点がある。
【００７３】
バス電極１２としては、低抵抗で可視光の反射率が低いことが好ましい。それは、パルス遅延による画質低下が抑制できると同時に、外光反射によるコントラストの低下が抑制できるからである。特に、抵抗率が１０μΩ・ｃｍ以下、可視光の反射率が２０％以下であれば好適である。また、その構造は、単層でもよいし、多層であってもかまわない。多層の場合、少なくとも表示面側の層が低反射率を有していることが望ましい。なお、図１中には、金属から成るバス電極１２が透明導電膜から成るコモン電極１１上に形成されている構造を例示しているが、別にバス電極１２は、コモン電極１１の下であってもかまわない。この場合、化学的に安定な金属酸化物であるコモン電極１１により腐食しやすいバス電極１２が保護されるため、バス電極１２が製造工程中に種々の薬品や大気中の水分等から受ける変質等の劣化を抑制できて都合がよい。また、その形成位置は、コモン電極１１中央部でもよいし、端部でもよい。さらに、コモン電極１１端面に接して形成してもよい。一方、コモン電極１２に電気的に接続される本数や接続箇所についても制限はなく、単数であってもよいし、複数であってもかまわない。
【００７４】
誘電体層１３としては、可視光の透過率が高いものが好ましい。それは、蛍光体層８により可視光変換された光を表示面側に効率よく取り出すことができ、輝度や効率が改善されるためである。特に、可視光の透過率が８０％以上であれば好適である。さらに、気泡や表面凹凸等による光の散乱がないものであれば都合がよい。また、その構造は、単層でもよいし、多層であってもかまわない。
【００７５】
以上の他に、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色に対応して前面ガラス基板１０側にカラーフィルターを設けてもよい。この場合、色度およびコントラストが改善される利点がある。また、蛍光体層８の下層に紫外光や可視光を反射する散乱層を設けてもよい。この場合、蛍光体層８を通過した紫外光ならびに可視光を再び表示面側に反射できるため、より一層輝度、効率が改善される。さらに、データ電極２とスキャン電極４を前面ガラス基板１０側に、金属から成るコモン電極１１を後面ガラス基板側に設けてもよい。この場合、コモン電極１１は不透光性であってもかまわないが、表示面側に形成されるデータ電極２とスキャン電極４については、少なくともその一部分が透明導電性を有していることが望ましい。したがって、データ電極２とスキャン電極４は、透明導電膜と金属から成るバス電極とで形成されることになる。この場合、セルの開口率低下が防止でき、結果的に輝度や効率の低下を抑制できる。もちろん、この場合であっても全電極を金属だけで形成することが可能である。
【００７６】
また、図４に示す各電圧パルスの極性は、各々逆極性であってもかまわない。そして、十分な書込放電２１と維持放電２２が起こせるような電圧パルスであれば、その波形やタイミングは制限されるものではない。
【００７７】
［実施形態２］
図９は、本発明の別のＰＤＰの斜視図である。また、図１０は、単位セル構造を示す斜視分解図である。実施形態２は、実施形態１とは異なり、前面ガラス基板１０と後面ガラス基板１の２ピースから成るのではなく、両基板の間にセンターシート１７を有する３ピースから成っている。これらの図を用いて本発明の別の構造を説明する。後面ガラス基板１上には、金属等から成るデータ電極２が基板列方向に形成されており、その上方には、金属酸化物等から成る誘電体層３が形成されている。誘電体層３上には、金属等から成るスキャン電極４が基板行方向に形成されており、その上方には、金属酸化物等から成る誘電体層５と保護層７が形成されている。
【００７８】
一方、前面ガラス基板１０上には、金属酸化物等から成る透明導電性のコモン電極１１と、そのコモン電極１１に電気的に接続された金属等から成るバス電極１２とがスキャン電極４と対面して基板行方向に形成されており、その上方には、金属酸化物等から成る誘電体層１３と保護層７が形成されている。
【００７９】
そして、前面ガラス基板１０と後面ガラス基板１との間には、金属酸化物、例えばセラミックやガラス等から成り、Ｒ，Ｇ，Ｂの各セルを区画できる開口部と、その開口部に蛍光体層８を有したセンターシート１７が挟持されている。両基板は、センターシート１７を挟んで気密封止用のフリットガラスシール等を用いて互いの構造物を内側にして張り合わされており、その内部には、希ガス等から成る放電用のガスが封入されている。なお、図１中のＲ，Ｇ，Ｂは、カラー化のための赤色発光単位セル，緑色発光単位セル，青色発光単位セルをそれぞれ表している。
【００８０】
図１１は、本発明の別のＰＤＰの製造工程を示す断面図である。まず、前面ガラス基板１０側の工程について説明する。はじめに、前面ガラス基板１０上にコモン電極１１を塗布法、印刷法、感光性樹脂法、真空成膜法、メッキ法、描画法等を用いて形成した後、コモン電極１１上にバス電極１２を塗布法、印刷法、感光性樹脂法、真空成膜法、メッキ法、描画法等を用いて形成する（図１１（ａ））。
【００８１】
次に、コモン電極１１およびバス電極１２上に誘電体層１３を塗布法、印刷法、感光性樹脂法、真空成膜法等を用いて形成した後、誘電体層１３上に保護層７を真空成膜法や塗布法等を用いて形成する（図１１（ｂ））。
【００８２】
次に、後面ガラス基板１側の工程について説明する。はじめに、後面ガラス基板１上にデータ電極２を印刷法、感光性樹脂法、真空成膜法、メッキ法、描画法等を用いて形成した後、データ電極２上に誘電体層３を塗布法、印刷法、感光性樹脂法、真空成膜法等を用いて形成する（図１１（ｃ））。
【００８３】
次に、誘電体層３上にスキャン電極４を印刷法、感光性樹脂法、真空成膜法、メッキ法、描画法等を用いて形成した後、スキャン電極４上に誘電体層５を塗布法、印刷法、感光性樹脂法、真空成膜法等を用いて形成し、誘電体層５上に保護層７を真空成膜法や塗布法等を用いて形成する（図１１（ｄ））。
【００８４】
次に、センターシート１７側の工程について説明する。センターシート１７は、あらかじめＲ，Ｇ，Ｂの各セルに対応した開口部を一括成形したセラミックシートやガラスシートを用いて、孔状あるいは溝状の開口部にＲ，Ｇ，Ｂに対応した赤色発光用，緑色発光用，青色発光用の各蛍光体層８を印刷法、感光性樹脂法、描画法等を用いて形成してもよいし、後から開口部を設けて、その開口部に各蛍光体層８を形成してもよい（図１１（ｅ））。
【００８５】
次に、パネル組立工程について説明する。はじめに、前面ガラス基板１０あるいは後面ガラス基板１のどちらか一方にセンターシート１７を配置する。
【００８６】
次に、前面ガラス基板１０あるいは後面ガラス基板１のどちらか一方の基板周辺部にフリットガラスシール等を設け、対を成すスキャン電極４とコモン電極１１とが互いに対面するように、前面ガラス基板１０と後面ガラス基板１とを張り合わして気密封止する。
【００８７】
次に、パネル周辺部に設けたガス排気およびガス吸気用の管路からパネル内部の残留不純物（有機物等）をベーキングや放電洗浄等を用いて除去した後、パネル内部の真空排気を行う。
【００８８】
最後に、同管路から放電用の希ガスを導入し、同管路を気密封止してパネル製造工程を終了する（図１１（ｆ））。
【００８９】
センターシート１７の役割は、実施形態１の隔壁６と同等である。したがって、センターシート１７においても先の実施形態の隔壁６で好適とした材料や条件等が当てはまることは言うまでもない。
【００９０】
また、センターシート１７を用いることで、先の実施の形態とは異なり、後面ガラス基板１側に形成した保護層７以降の製造工程（蛍光体層８の形成工程）が省略できるため、特に、後面ガラス基板１側に形成した保護層７のその後の製造工程における特性劣化を抑制できる利点がある。
【００９１】
その上、ＰＤＰの製造工程において最も重要で、困難な隔壁と蛍光体の形成工程が両ガラス基板から分離され、専用工程で製造することができるため、結果的にパネル全体での製造歩留まりを改善することも可能となる。
【００９２】
［実施形態３］
図１２は、本発明の別のＰＤＰの斜視図である。また、図１３は、単位セル構造を示す斜視分解図である。実施形態３は、実施形態１や実施形態２とは異なり、前面ガラス基板１０側に形成されたコモン電極１１と後面ガラス基板１側に形成されたスキャン電極４とが正対面の位置にはなく、互いにセル縦方向にズレて形成されている。なお、本発明の構造は、実施形態１で述べた製造方法を用いて製造した場合を例示している。
【００９３】
本発明の構造では、スキャン電極４とコモン電極１１との間で維持放電２２が斜めに発生する。従って、維持放電２２がセル縦方向に伸長したようになる。このため、同じ隔壁６の高さであっても実効的な放電長が延びるため、放電領域が広がり、その結果として放射光量が増えるとともに、広い面積にわたって蛍光体層８に紫外光が照射されるようになるため、図１の構造よりも輝度や効率を向上させることができる。
【００９４】
図１４は、図中に示すテストセルにおける１ｋＨｚ当たりの輝度のスキャン電極４とコモン電極１１のズレ幅（ｌ）依存性を示したものである。テストセルのその他のディメンジョンは、図８と同じである。この図からわかるように、本発明の構造では、そのズレ幅が互いの電極幅の半分以上であれば輝度が向上する。特に、互いの電極幅以上であれば有意な輝度改善が図られる。なお、図中では、ズレ幅が４００μｍまでのデータしか示していないが、そのズレ幅はこれに制限されるものではない。例えばズレ幅を１ｍｍ以上にした場合には、維持電圧は上昇してしまうものの、放電領域、特に、陽光柱領域からの紫外光量が増加するため、輝度や効率を向上することができる。
【００９５】
以上の他に、本発明の構造においても先の実施の形態で好適とした材料や条件等が当てはまることは言うまでもない。
【００９６】
なお、特開平４−１８１６３３号公報において、データ電極とスキャン電極とが絶縁体層を隔てて直交して形成され、その上に第１の誘電体層が形成された後面基板と、第２の誘電体層によって被覆された透明電極が形成された前面基板とから成るＰＤＰについて開示されているが、本発明とは異なり、隔壁や蛍光体が存在しないＮｅガス等のモノクロ画像表示用のパネルを対象としており、駆動においてもメモリー効果のないリフレッシュ型のＡＣ方式ＰＤＰに対するものであり、上述した本発明の作用・効果が得られるものではない。
【００９７】
以上のように、本発明のＰＤＰは、表示性能や寿命特性に優れ、特に、壁掛けテレビ等の大画面ディスプレイを実現するものとして工業的価値は大きい。
【００９８】
【発明の効果】
以上説明した本発明によれば、第１の効果は、従来よりも書込電圧を低くできることである。このため、従来よりも安価な低耐圧回路を使用することができ、駆動回路に関わる製造コストを削減することができる。その理由は、パッシェンの法則で与えられる最小火花電圧付近で書込放電２１を起こすことができるからである。
【００９９】
第２の効果は、従来よりも書込期間を短くできることである。このため、従来よりも大画面で高精細なパネルが実現できる。その理由は、書込電圧が下がるとともに、統計的な放電確率が上がるためである。
【０１００】
第３の効果は、従来よりも駆動マージンを広げられることである。このため、従来よりも高品位な画質が実現できる。その理由は、書込放電２１が十分に発生する確率が高くなるため、それに引き続く維持放電２２が発生する確率もまた高くなるためである。
【０１０１】
第４の効果は、従来よりも放電空間を広げられることである。このため、放電領域の拡大による放射光量を増加でき、従来よりも輝度、効率を向上させることができる。この結果、従来よりも消費電力を低減することが可能となる。その理由は、従来のように書込電圧によって隔壁の高さが制限されないからである。
【０１０２】
第５の効果は、従来よりも保護層７の照射損傷を低減できることである。このため、従来よりもパネルの動作寿命を延ばすことができる。その理由は、イオン衝撃回数が最も多くなる維持放電２２が対向放電となるために、局所的な電界の歪みとイオンが保護層７へ斜め入射することが少なくなり、保護層７の劣化にともなう電圧変動が抑制されるからである。
【０１０３】
第６の効果は、従来よりも電極抵抗の減少とセル開口率の増加が可能になることである。このため、従来よりも大画面・高精細なパネルが実現できる。その理由は、表示面側にコモン電極１１しか存在しないことに加えて、全電極配線を低抵抗な金属材料だけで形成できるからである。
【０１０４】
第７の効果は、縦方向に隣接するセル間の放電干渉による誤点灯・誤消灯が起こりにくいことである。このため、従来よりも駆動マージンが改善できる。その理由は、書込放電２１がデータ電極２とスキャン電極４との交差部に集約されることに加えて、維持放電２２を起こすスキャン電極４とコモン電極１１とが放電空間を隔てて互いに対面しているために、片方の電極から出射した電気力線は、ほぼ垂直にもう片方の電極へと入射するようになり、特に、縦方向に隣接するセルへの電気力線の漏れ、ひいてはプラズマの拡散が少なくなるためである。
【０１０５】
第８の効果は、従来よりも相対的に維持放電２２が起こしやすいことである。このため、極端な維持電圧の上昇を招かずに、従来よりもスキャン電極４とコモン電極１１との間隔を広げることができる。この結果、放電領域の拡大による輝度、効率の改善が図られる。その理由は、対面するスキャン電極４とコモン電極１１との間が全て有効な放電ギャップとして作用すると同時に、その重なり面積が全て有効な放電面積として機能するからである（放電の体積効果、面積効果）。
【０１０６】
第９の効果は、従来より微小なセルであっても十分な駆動マージンを確保できることである。このため、従来よりも高精細なパネルが実現できる。その理由は、従来より狭い空間でも放電を起こしやすいからである。
【０１０７】
第１０の効果は、同体積のセルにおける放電領域、すなわち、放射光量を増加できることである。このため、従来よりも一層の高輝度、高効率化が達成できる。その理由は、維持放電２２を行うスキャン電極４とコモン電極１１とが放電空間を隔てて斜め方向にズレて形成されているためである。
【０１０８】
第１１の効果は、書込電圧と維持電圧を左右する誘電体層３，５の厚さと隔壁６の高さを同一基板工程で規定できることである。このため、従来よりもパネル面内、さらには製造ロット毎の書込電圧と維持電圧のばらつきを小さくでき、電圧特性の再現性も高くできる。その理由は、各電圧値を決めるディメンジョンファクターが別基板にまたがらず、片側基板のみに集約されているためである。
【０１０９】
第１２の効果は、製造精度と製造歩留まりを改善できることである。このため、製造コストの低減が可能となる。その理由は、位置決めに精度を要求される工程が片側基板に集約され、重ね合わせ時のズレ等による特性への影響が出にくいためである。
【０１１０】
第１３の効果は、後面ガラス基板１側に形成した保護層７の製造工程中での劣化を抑制できることである。このため、保護層７の劣化による電圧上昇や信頼性の低下を軽減することができる。その理由は、センターシート１７を用いることによって後面ガラス基板１側に形成した保護層７以降の製造工程（蛍光体層８の形成工程）を省略できるからである。
【０１１１】
第１４の効果は、パネル全体での製造歩留まりを改善できることである。このため、製造コストの低減が可能となる。その理由は、センターシート１７を用いることによってＰＤＰの製造工程において最も重要で、困難な隔壁と蛍光体の形成工程を両ガラス基板の製造工程から分離でき、専用工程でセンターシート１７を製造することができるためである。
【０１１２】
第１５の効果は、書込電圧を維持電圧と同程度かそれ以下にできることである。このため、データ電極２およびスキャン電極４に接続する駆動回路の信頼性と電圧特性を改善できる。その理由は、書込放電２１を起こすデータ電極２とスキャン電極４とが誘電体層３，５を介して同一基板上に形成されているためである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のパネル構造を示す斜視図である。
【図２】本発明の単位セル構造を示す斜視分解図である。
【図３】本発明の製造方法を示す断面図である。
【図４】本発明の駆動方法を示す電圧波形図である。
【図５】本発明の放電領域を示す斜視図である。
【図６】従来と本発明の構成を比較した表である。
【図７】従来と本発明の特徴を比較した表である。
【図８】本発明の構造における輝度の隔壁高さ依存性を示す図である。
【図９】本発明の別のパネル構造を示す斜視図である。
【図１０】本発明の別の単位セル構造を示す斜視分解図である。
【図１１】本発明の別の製造方法を示す断面図である。
【図１２】本発明の別のパネル構造を示す斜視図である。
【図１３】本発明の別の単位セル構造を示す斜視分解図である。
【図１４】本発明の別の構造における輝度の電極ズレ幅依存性を示す図である。
【図１５】従来の構造を示す斜視図である。
【図１６】従来の構造を示す斜視図である。
【図１７】従来の構造を示す斜視図である。
【図１８】従来の構造を示す斜視図である。
【図１９】図１８の詳細なパネル構造を示す斜視図である。
【図２０】図１９の詳細な単位セル構造を示す斜視分解図である。
【図２１】従来の駆動方法を示す電圧波形図である。
【図２２】面放電における電気力線とイオンの入射方向を示す模式図である。
【図２３】スパッタリング収量のイオンエネルギー依存性を示す図である。
【図２４】スパッタリング収量のイオン入射角依存性を示す図である。
【符号の説明】
１  後面ガラス基板
２  データ電極
３  誘電体層（後面ガラス基板側）
４  スキャン電極
５  誘電体層（後面ガラス基板側）
６  隔壁
７  保護層
８  蛍光体層
９  蛍光体層の開口部
１０  前面ガラス基板
１１  コモン電極
１２  バス電極
１３  誘電体層（前面ガラス基板側）
１４  フリットガラスシール
１５  スキャン電極の端子接続部
１６  コモン電極の端子接続部
１７  センターシート
１８  信号パルス
１９  書込パルス
２０  維持パルス
２１  書込放電
２２  維持放電
２３  電気力線
２４  イオンの入射方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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