(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下方向に複数の収納空間が区画形成され前面と後面が開放された収納部の後面側に側面チャンバーを配置し、該側面チャンバーにフィルタと複数個のファンから成り前記収納部側に向けて水平方向に清浄エアを吹き出すファンフィルタユニットを複数段配設して成るクリーン装置付き収納設備において、前記側面チャンバー内にエア吹出面に略垂直に仕切板を立設することによって、該チャンバーをエア吹出面に平行な同一高さ空間領域において上段側のファンフィルタユニット用とその他のファンフィルタユニット用の２系統に分割したことを特徴とするクリーン装置付き収納設備。
【請求項２】
前記上段側のファンフィルタユニット並びにその他のファンフィルタユニットの少なくとも各最上段のファンフィルタユニットのファンとして、それ以外のファンフィルタユニットのファンよりも高いエア圧力を形成可能なファンを用いたことを特徴とする請求項１記載のクリーン装置付き収納設備。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、例えば半導体のような塵埃を極端に嫌う製品等の保管に採用されるクリーン装置付き収納設備に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のクリーン装置付き収納設備としては、例えば前面と後面とを開放した収納部の後面側に側面チャンバーを配置し、該側面チャンバーにフィルタと複数個のファンから成るファンフィルタユニットを複数段配設して成るクリーン装置付き収納設備が知られている。そして、このようなクリーン装置付き収納設備では通常は側面チャンバーの下部にエア吸込口を連通させ、そこからエアを側面チャンバー内に導入するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来のようなクリーン装置付き収納設備では、前記のとおり側面チャンバーの下部に連通されたエア吸込口から側面チャンバー内に吸引されたエアをファンフィルタユニットを介して収納部の前面の作業空間に吹き出すようにするものであるが、ファンフィルタユニットのファン同士が近接しているために互いに緩衝し合い、その結果上段へ行く程ファンの数による抵抗が増大するとともに側面チャンバーの距離による抵抗が増大して必要な吹出速度が得られないという不都合を有する。
そこで、本発明は前記クリーン装置付き収納設備において、収納設備の上下全域に亘って必要な吹出速度が得られるクリーン装置付き収納設備を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記目的を達成するべく上下方向に複数の収納空間が区画形成され前面と後面が開放された収納部の後面側に側面チャンバーを配置し、該側面チャンバーにフィルタと複数個のファンから成り前記収納部側に向けて水平方向に清浄エアを吹き出すファンフィルタユニットを複数段配設して成るクリーン装置付き収納設備において、前記側面チャンバー内にエア吹出面に略垂直に仕切板を立設することによって、該チャンバーをエア吹出面に平行な同一高さ空間領域において上段側のファンフィルタユニット用とその他のファンフィルタユニット用の２系統に分割したことを特徴とする。
尚、クリーン装置付き収納設備全体のエアの吹出速度を上げたい場合は、前記上段側のファンフィルタユニット並びにその他のファンフィルタユニットの少なくとも各最上段のファンフィルタユニットのファンとして、それ以外のファンフィルタユニットのファンよりも高いエア圧力を形成可能なファンを用いることが好ましい。
【０００５】
【作用】
側面チャンバーを上段側のファンフィルタユニット用とその他のファンフィルタユニット用の２系統に分割することにより、上段側のファンフィルタユニットはその他のファンフィルタユニットの緩衝を受けず、しかも必要な風量が確保され、従来の上段に行くにつれてファン及び通路抵抗が増大することで必要な風量が確保できず吹出速度が遅くなるといった問題が解決される。
さらに、前記上段側のファンフィルタユニット並びにその他のファンフィルタユニットの少なくとも各最上段のファンフィルタユニットのファンとして、それ以外のファンフィルタユニットのファンよりも高いエア圧力を形成可能なファンを用いることにより、言い換えれば、各分割された側面チャンバーの最下流側に高いエア圧力を形成可能なファンを配置することにより、クリーン装置付き収納設備全体のエアの吹出速度を上げることができる。
尚、２系統に分割するファンフィルタユニットの個数と、高いエア圧力を形成可能なファンで構成するファンフィルタユニットの個数とは必ずしも一致させる必要はない。
また、前記２系統に分割された側面チャンバーは、完全に独立状態に分割される場合のみならず、例えば分割された各側面チャンバーをその下流側で合流させる等、実質的に２系統に分割されるものであればよい。
【０００６】
【実施例】
以下、本発明のクリーン装置付き収納設備の実施例を図面に基づき説明する。図示のクリーン装置付き収納設備は、クリーンルーム内で使用される上面開放式の荷保管装置として構成されたものであり、箱状の本体１内には、上下方向に複数の収納空間２を区画形成した収納部３がその前面の作業空間４を介して左右一対に対向配置させて設けられている。前記収納部３は、前面３ａと後面３ｂとが開放され、後面３ｂ側全体に亘り複数個のファンフィルタユニット５が配設されるとともに、これらファンフィルタユニット５の後方には側面チャンバー６が形成されている。
【０００７】
前記各ファンフィルタユニット５は、４個の軸流ファン５ａと１つのフィルタ５ｂによって構成され、フィルタ５ｂは６１０ｍｍ×６１０ｍｍ×６５ｍｍの大きさであり、これにφ１７２ｍｍ、幅１５０ｍｍ、厚み５１ｍｍの軸流ファン４個を取り付けたものである。図示のものでは、各側面チャンバー６に前記ファンフィルタユニット５を５段重ねに設けた構成とした。
【０００８】
尚、前記各側面チャンバー６は縦３０９０ｍｍ、横６９０ｍｍ、巾１１２ｍｍに構成されており、厚み約１ｍｍの仕切板７によって、左右各９０ｍｍの通風巾とした外側チャンバー６ａと通風巾５０６ｍｍとした内側チャンバー６ｂの２系統に分割され、外側チャンバー６ａは最上段のファンフィルタユニット５Ａのみに、そして内側チャンバー６ｂはその他のファンフィルタユニット５Ｂ、５Ｃ，５Ｄ，５Ｅに連通されている。
前記外側チャンバー６ａと内側チャンバー６ｂは図示のものでは通風断面比を２６：７４程度に設定したが、ファンフィルタユニット５の能力や側面チャンバーの長さにより適宜選択して調整すればよい。
【０００９】
尚、前記各側面チャンバー６ａ，６ｂの下端には区画室８が連通され、該区画室８の作業空間４側には吸込口９を設けるとともに吸込口９にはプレフィルタ１０が設けてある。
この区画室８は、作業空間４内に作業高さを設け、さらには側面チャンバー６に層流を形成するのに好適なものであるが、本発明のクリーン装置付き収納設備にとって必須な構成ではない。
【００１０】
尚、前記実施例では、軸流ファンで構成されたファンフィルタユニットで説明したが、本発明におけるファンフィルタユニットは軸流ファンに限られるものではなく、斜流ファン、シロッコファンで構成されるファンフィルタユニットであっても構わない。また、ファンフィルタユニットのケーシングにファンが内蔵されても、ケーシングの外側にファンが取り付けられても構わない。
また、前記実施例では、最上段のファンフィルタユニットにのみ外側チャンバーを連通させたが、外側チャンバーを連通させる上段側のファンフィルタユニットは１個に限られるものではない。
【００１１】
次に、前記クリーン装置付き収納設備の作動について説明する。
作業空間４より吸引口９，９介して吸い込まれたエアは各プレフィルタ１０，１０によって大きな塵埃を除去され、さらに各区画室８内で緩衝され、各側面チャンバー６に供給され、各ファンフィルタユニット５を介して作業空間４側に吹き出される。
このとき、最上段のファンフィルタユニット５Ａには外側チャンバー６ａよりエアが供給され、またその他のファンフィルタユニット５Ｂ，５Ｃ，５Ｄ，５Ｅには内側チャンバー６ｂよりエアが供給される。
【００１２】
【実施例】
次により具体的な実施例を比較例と共に説明する。
（実施例１）
前記図示実施例のクリーン装置付き収納設備における各ファンフィルタユニットを構成する軸流ファンとして全てファン静圧８ｍｍＡｑのものを用い、これを実施例１とした。
【００１３】
（比較例１）
実施例１のクリーン装置付き収納設備において、仕切板を取り外し、外側チャンバーと内側チャンバーとを一体の側面チャンバーに構成した以外は前記実施例１と同様の構成とし、これを比較例１とした。
次に、これら各実施例並びに比較例のクリーン装置付き収納設備の各ファンフィルタユニットの吹出風速を測定し、その測定結果を下記表１に示す。
【００１６】
【表１】
0003630702.tif 000002
【００１７】
前記表１から明らかなとおり、比較例に比し、本実施例のクリーン装置付き収納設備ではファンフィルタユニットの吹出風速の不足が生じないことが分かる。
【００１８】
【発明の効果】
このように、本発明のクリーン装置付き収納設備によれば、上段側のファンフィルタユニットはその他のファンフィルタユニットの緩衝を受けず、しかも必要な風量が確保され、収納設備の上下全域に亘って必要な吹出速度が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明クリーン装置付収納設備の一実施例の縦断面図
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図
【図３】図１のＢ−Ｂ線断面図
【符号の説明】
１    本体
２    収納空間
３ａ  前面
３ｂ  後面
４    作業空間
５    ファンフィルタユニット
５ａ  軸流ファン
５ｂ  フィルタ
６    側面チャンバー
６ａ  外側チャンバー
６ｂ  内側チャンバー
７    仕切板
８    区画室
９    吸込口
１０    プレフィルタ
【図１】
0003630702.tif 000003
【図２】
0003630702.tif 000004
【図３】
0003630702.tif 000005