(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプとアクチュエータとを結ぶ回路に挿入した弁手段と、
弁手段の開度を検出する手段と、
弁手段の上流と下流の圧力を検出する手段と、
弁手段とアクチュエータとの間に介装したオペレートチェック弁と、
コントローラからの入力信号と前記各検出手段からの信号に基づいて弁手段の開度を制御する手段とを備えた油圧制御装置において、
前記検出した弁開度と同じく圧力差とから流量を算出する手段と、
この算出流量を所定値と比較する手段と、
比較結果が所定値以下のときは前記入力信号にもとづく圧力指令値と負荷側の検出圧力が一致するように弁開度を制御する圧力制御手段と、
前記比較結果が所定値以上のときは前記入力信号にもとづく流量指令値と算出流量が一致するように弁開度を制御する流量制御手段とを備えることを特徴とする油圧制御装置。
【請求項２】
制御開始時に圧力指令値が負荷側圧力よりも低いときはオペレートチェック弁をオフに保持することを特徴とする請求項１に記載の油圧制御装置。
【請求項３】
制御開始時に圧力指令値が負荷側圧力よりも高いときにオペレートチェック弁をオンにすることを特徴とする請求項１に記載の油圧制御装置。
【請求項４】
コントローラからの入力信号は入力値に応じて変化する圧力指令値と、入力値に応じて変化する流量指令値とからなり、かつ圧力制御から流量制御に切換られるまでは圧力指令値、切換後は切換点の入力値から立ち上がる流量指令値となることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の油圧制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は油圧アクチュエータへの供給流量、圧力を制御する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば建設機械等の油圧アクチュエータの駆動制御としての、ロードセンシング制御方式では、負荷圧力と自己圧力に基づいてポンプレギュレータを制御し、ジョイスティックのストロークに応じて負荷圧力に関係なく、流量を制御できるようになっている。
【０００３】
また、ネガコン制御方式では、ポンプ吐出流量の一部をブリードすることにより、負荷圧力に応じてポンプ吐出流量を制御し、単一のジョイスティックのストロークに対応して流量制御と圧力制御とを同時に制御可能としている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のうち前者は、ジョイスティックストロークに対して所定の特性で流量制御はできるが、負荷に対応しての圧力制御ができないため、建設機械等の操作性に劣るという問題があり、また後者では、流量制御と圧力制御ができるので、この問題は解決しうるものの、負荷圧力によりポンプ吐出流量が変動するので、とくに負荷圧力が大きいときの流量特性の勾配が急になり、わずかなジョイスティックの操作量に対して流量が大きく変動し、油圧アクチュエータの微妙な速度制御等ができなくなるという問題があった。
【０００５】
建設機械等にあっては、使用目的によって油圧アクチュエータへの供給流量に基づいて作動速度を制御したり、あるいは供給圧力を制御して負荷を保持したりすることが要求されるが、一般に、圧力制御時は供給流量の絶対量を多く要求されることは少ない。つまり流量と圧力制御が要求されるものの、圧力制御については供給流量の少ない範囲でのみ、微妙な圧力制御ができればよく、また、流量制御時には圧力と関係なく、ジョイスティックストロークに対して所定の特性で流量制御できることが望ましい。
【０００６】
そこでこの発明は、入力信号の比較的小さい範囲では圧力制御を、それ以上の範囲では流量制御を行える油圧制御装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
第１の発明は、図１１に示すように、ポンプＰとアクチュエータＡとを結ぶ回路に挿入した弁手段５１と、弁手段５１の開度を検出する手段５２と、弁手段５１の上流と下流の圧力を検出する手段５３、５４と、弁手段５１とアクチュエータＡとの間に介装したオペレートチェック弁５５と、コントローラ５６からの入力信号と前記各検出手段からの信号に基づいて弁手段５１の開度を制御する手段５７とを備えた油圧制御装置において、前記検出した弁開度と同じく圧力差とから流量を算出する手段５８と、この算出流量を所定値と比較する手段５９と、比較結果が所定値以下のときは前記入力信号にもとづく圧力指令値と負荷側の検出圧力が一致するように弁開度を制御する圧力制御手段６０と、前記比較結果が所定値以上のときは前記入力信号にもとづく流量指令値と算出流量が一致するように弁開度を制御する流量制御手段６１とを備える。
【０００８】
第２の発明は、第１の発明において、制御開始時に圧力指令値が負荷側圧力よりも低いときはオペレートチェック弁５５をオフに保持する。
【０００９】
第３の発明は、第１の発明において、制御開始時に圧力指令値が負荷側圧力よりも高いときにオペレートチェック弁５５をオンにする。
【００１０】
第４の発明は、第１〜第３の発明において、コントローラ５６からの入力信号は入力値に応じて変化する圧力指令値と、入力値に応じて変化する流量指令値となり、かつ圧力制御から流量制御に切換られるまでは圧力指令値、切換後は切換点の入力値から立ち上がる流量指令値となる。
【００１４】
【作用】
したがって第１の発明では、制御時の流量が所定値以下のときは、入力値に基づいて負荷に対する圧力制御が行われ、所定値以上のときは、圧力制御から流量制御に切り換えられ、負荷圧力のいかんにかかわらず入力値に基づいて流量制御が行われる。
【００１５】
第２の発明では、制御開始時の負荷側圧力が圧力指令値よりも高いときは、オペレートチェック弁がオフとなり、単なるチェック弁として機能するので、負荷側からの逆流を阻止し、制御を開始した瞬間における不意な負荷の変位を防止できる。
【００１６】
第３の発明では、制御開始時の負荷側圧力が圧力指令値よりも低いときは、オペレートチェック弁がオンとなり、減圧制御を含む圧力制御が可能となる。
【００１７】
第４の発明では、コントローラからの入力値は、圧力指令値と流量指令値となり、かつ圧力制御を優先させるので、一つのコントローラからの信号により、混乱を起こすことなく、圧力、流量制御が行える。
【００２１】
【実施例】
図１において、１０は油圧アクチュエータとしての油圧シリンダ、１１は例えばエンジンで駆動されるポンプ、１２はタンクで、油圧シリンダ１０の左右の油室１０ａ、１０ｂと、油圧ポンプ１１並びにタンク１２とを結ぶ並列な駆動回路２１ａ，２１ｂには、それぞれに三方向弁４ａ，４ｂと、オペレートチェック弁３ａ，３ｂが設けられる。
【００２２】
三方向弁４ａ，４ｂはパイロット圧に応じて油圧シリンダ１０の供給または排出圧力・流量を制御（メータインあるいはメータアウト制御）するもので、バルブハウジング内を摺動するスプール２３と、このスプール２３にパイロット圧を及ぼす大小受圧面積の異なるパイロット室２４，２５と、スプール２３をパイロット室２５の圧力に対抗するように付勢するスプリング２６とが設けられる。受圧面積の小さいパイロット室２５にはポンプ１１の吐出圧が導かれるが、受圧面積の大きいパイロット室２４には、電磁比例弁５ａ，５ｂを介して制御されたパイロット圧が導入され、これらのバランスに応じてスプール２３の位置が変位し、スプール２３の周囲に開口するシリンダポートに対するポンプポートおよびタンクポートとの連通度合（開度）を調整する。
【００２３】
パイロット圧力を制御する電磁比例弁５ａ，５ｂは、ポンプ１１の吐出圧をパイロット室２４に導く供給ポジションＡと、同じくタンク側に開放する排出ポジションＣと、回路を遮断する中立ポジションＢを備え、コントローラ８の出力に応じてパイロット圧力を制御する。
【００２４】
オペレートチェック弁３ａ，３ｂは、図２にも示すように、バルブハウジング２９にポペット２７がスプリング２８と共に収装され、２つの油室ＸとＹを形成している。このうち、油室Ｙには油圧シリンダ１０に接続する通路Ｃ2が連通し、また、先端のシート面に三方向弁４ａまたは４ｂと接続する通路Ｃ1が開口し、ポペット２７がシートに着座すると互いの連通が遮断される。ポペット２７には油室ＸとＹを常時連通するオリフィス３０が形成され、また、油室Ｘにはドレーン側の通路Ｃ3が開口され、この通路Ｃ3をドレーンバルブ１３が開閉することにより、オペレートチェック弁３ａ，３ｂがオンオフする。
【００２５】
このドレーンバルブ１３はコントローラ８により制御され、ドレーバルブ１３を開くと、オペレートチェック弁３ａ，３ｂがオンとなり、作動油の可逆的な流通を許容すると共に、一部をドレーンさせることで負荷圧力の減圧制御を可能とし、またドレーバルブ１３を閉じると、オペレートチェック弁３ａ，３ｂはオフとなり、負荷側からの逆流を阻止するチェック弁として機能する。
【００２６】
図１において、１４ａ，１４ｂは油圧シリンダ１０の最大負荷圧を規制するリリーフ弁を示す。
【００２７】
次に油圧シリンダ１０の負荷圧力を検出するためオペレートチェック弁３ａ，３ｂと油圧シリンダ１０との間に圧力センサ３１が、また、三方向弁４ａ，４ｂとポンプ１１並びにタンク２２との間の圧力を検出するために圧力センサ３２がそれぞれの回路２１ａ，２１ｂに介装される。
【００２８】
また、三方向弁４ａ，４ｂの開度を検出するためのストロークセンサ３３がそれぞれ設けられる。
【００２９】
そして、ジョイスティックなどのメインコントローラ９からの圧力指令値または流量指令値に基づいて、メータインあるいはメータアウト制御時の圧力または流量を制御するためのコントローラ８が備えられ、このコントローラ８からの信号により駆動回路７ａ，７ｂを介して三方向弁４ａ，４ｂの電磁比例弁５ａ，５ｂ、また駆動回路６ａ，６ｂを介してオペレートチェック弁３ａ，３ｂのドレーンバルブ１３がそれぞれ制御される。
【００３０】
この場合、コントローラ８には、前記圧力センサ３１，３２と、ストロークセンサ３３から信号がフィードバックされ、油圧シリンダ１０のメータイン制御（流入制御）とメータアウト制御（流出制御）において、実際の圧力や流量が指令値と一致するように三方向弁４ａ，４ｂの開度を電磁比例弁５ａ，５ｂを介して制御し、また、オペレートチェック弁３ａ，３ｂのドレーンバルブ１３を制御する。
【００３１】
ここで、油圧シリンダ１０の油室１０ａに対してポンプ１１からの作動油を供給し、いわゆるメータイン制御する場合のコントローラ８の動作を、図３のフローチャートを参照しながら説明する。
【００３２】
まず、メインコントローラ９から入力される指令値は、この指令値によって図４にも示すように、圧力と流量の制御を行えるように、圧力指令値（I）と流量指令値（II）が独立した特性に設定されていて、ステップ１では指令値が入力されると、図４にしたがって圧力指令値Ｐｘを読み込み、ステップ２で圧力センサ３１の検出値からそのときに油圧シリンダ１０にかかっている実際の負荷圧力Ｐａを読み込む。
【００３３】
ステップ３でこれらＰｘとＰａとの差（Ｐｘ−Ｐａ）を算出し、実際の負荷圧力Ｐａが指令値Ｐｘよりも大きいときは、そのまま油圧シリンダ１０が負荷を支持するできるように、ステップ１に戻り、オペレートチェック弁３ａをオフに保持し、その負荷圧力Ｐａを保持し、油圧シリンダ１０からの逆流を阻止する。
【００３４】
圧力指令値Ｐｘが実際の負荷圧力Ｐａよりも低いときに、指令値Ｐｘとなるようにに圧力制御すると、負荷により油圧シリンダ１０が収縮し、操作上の思わぬ混乱を招かないようにするためである。
【００３５】
これに対して、負荷が不意に変位する恐れの無いとき、つまりＰｘ≧Ｐａのときはステップ４に移り、オペレートチェック弁３ａをオンにする。この状態では、負荷側の圧力が制御可能となり、ステップ５では負荷圧力Ｐａが指令値Ｐｘと一致するように圧力のフィードバック制御を行う。この圧力制御は、圧力センサ３１の出力をみながら三方向弁４ａの開度を制御することにより行う。この場合、電磁弁５ａを介してパイロット圧力を制御し、三方向弁４ａのポンプポート開度を増加させると、制御圧力は上昇する。また、三方向弁４ａの開度を減少させると、オペレートチェック弁３ａからドレーンされる作動油に応じて、制御圧力は低下する。このようにして三方向弁４ａは圧力指令値Ｐｘと検出した圧力Ｐａが一致する開度に制御される。
【００３６】
さらに、ステップ６で指令値＝０かどうかが判断され、もし、０のときはステップ７でオペレートチェック弁３ａをオフにして、圧力制御を中止し、ステップ１に戻るが、０で無いときはステップ８に移行し、そのときの三方向弁４ａを通過する作動油の流量Ｑｘを算出する。
【００３７】
この流量Ｑｘの算出は、ストロークセンサ３３により検出した三方向弁４ａの開度と、その前後の圧力差、つまり、上流と下流の圧力センサ３１と３２の検出値に基づいて演算される。
【００３８】
そして、ステップ９において、この算出流量Ｑｘを設定値Ｑａと比較し、Ｑｘ≦Ｑａのときは、ステップ５に戻り、そのまま圧力制御を継続する。
【００３９】
しかし流量Ｑｘが設定値Ｑａよりも大きくなると、ステップ１０に移行し、圧力制御から流量制御に切り替える。
【００４０】
圧力制御は油圧シリンダ１０への供給流量が所定値以下の領域でのみ行い、要求流量が大きいときは、圧力制御よりも流量を制御を優先させる。建設機械等にあっては、操作目的によって油圧シリンダ１０への供給流量に基づいて作動速度を制御したり、あるいは供給圧力を制御して負荷を保持したりすることが要求されるが、一般に、圧力制御時は供給流量の絶対量を多く要求されることが少なく、つまり圧力制御については供給流量の少ない範囲でのみ微妙な制御ができればよく、また、流量制御時には圧力と関係なく、ジョイスティックストロークに対して所定の特性で流量制御できることが望ましいからである。
【００４１】
メインコントローラ９から入力される指令値は、図４のように、圧力指令値（I）と流量指令値（II）が独立した特性に設定されていて、流量制御に切換られると、この切換点を起点として入力値に対応して立ち上がる、流量指令値（II）を平行移動した値に相当する流量指令値Ｑｙが読み出される。
【００４２】
ステップ１０ではこの指令値Ｑｙと算出された流量Ｑｘが一致するように、三方向弁４ａの開度をフィードバック制御する。なお、流量の増加は原則的に三方向弁４ａの開度を拡大することで、また流量の減少は開度を縮小することにより行われる。このようにして、ジョイスティックの操作量から決まる目標とする流量、換言すると油圧シリンダ１０の作動速度が目標どおりに制御される。
【００４３】
このようにして、油圧シリンダ１０に対する供給流量が所定値以下のときは負荷側の圧力制御を行い、所定値を越えると、圧力制御から流量制御に切換えて油圧シリンダ１０の作動速度を制御することができ、ジョイスティックの操作量の比較的小さな領域では圧力制御、大きな領域では流量制御とすることにより、さらには制御状態において負荷圧力と負荷流量をモニタすることも可能で、建設機械の制御等において良好な操作性を確保できる。また、制御開始時に負荷側圧力が圧力指令値よりも高いときは負荷圧力を保持し、負荷の落下など、不意な負荷変位を確実に防止できる。
【００４４】
なお、圧力、流量の指令値はコントローラ内のテーブル化されたデータであって、制御切換時の設定流量値を含めて、その特性等を必要に応じて自由に変更することができる。
【００４５】
また、この実施例では三方向弁４ａの開度を制御し、油圧シリンダ１０の油室１０ａに流入させる作動油のメータイン制御を説明したが（なお、このとき三方向弁４ｂは油室１０ｂをタンク側に解放）、油圧シリンダ１０の油室１０ｂから排出される作動油を制御するメータアウトの制御は、他方の三方向弁４ｂを制御することにより、同様に行うことができる。ただし、この場合圧力制御は、油圧シリンダ１０と三方向弁４ｂとの間の圧力センサ３１の出力に基づいて行う。
【００４６】
次に図５、図６の実施例を説明すると、これは、制御開始時の圧力指令値が負荷圧力よりも高いときは流量制御に入り、負荷圧力よりも低いときはこの負荷圧力を圧力指令値として、これを保持するようにしたのものである。
【００４７】
図５のフローチャートにしたがって制御動作を説明すると、まず、ステップ２１おいて、コントローラからの入力指令値を読み込み、ステップ２２でに入力指令値＝０かどうかを判断し、もしゼロならばステップ３０に進みオペレートチェック弁をオフにするが、ゼロで無いときは、ステップ２３に移り、圧力指令値Ｐｘを図６の特性にしたがって算出し、さらにステップ２４で負荷圧力Ｐａを検出する。
【００４８】
そして、ステップ２５で圧力指令値Ｐｘと負荷圧力Ｐａの大小を比較し、圧力指令値Ｐｘが大きいときは、ステップ２６、２７に移行して、負荷圧力Ｐａに相当する入力指令値を流量値＝０として立ち上がる流量指令値Ｑｙを、図６の流量特性にしたがって算出し、実際の流量がこの流量指令値Ｑｙと一致するように、三方向弁４ａの開度を調整し、かつ上流と下流の検出圧力に基づいてフィードバック制御を行う。
【００４９】
一方、圧力指令値Ｐｘが負荷圧力Ｐａよりも低いときは、ステップ２８、２９に移行し、負荷圧力を圧力指令値として、この負荷圧力を維持するように圧力制御を行う。
【００５０】
つまり、オペレートチェック弁３ａをオンとし、圧力制御を可能な状態にし、検出した負荷圧力Ｐａを圧力指令値Ｐｘに切換えて、この圧力指令値Ｐｘを維持するように実際の圧力を検出しながらフィードバック制御を行う。
【００５１】
なお、圧力指令値Ｐｘが負荷圧力Ｐａよりも高い値に切換えられれば、ステップ２６、２７に移行して流量のフィードバック制御に入る。
【００５２】
したがって圧力指令値が負荷圧力よりも高いときは流量制御に移行し、逆に低くなると、流量制御から圧力制御に切換えて負荷を変位させることなく保持することができる。
【００５３】
次に図７〜図１０に示す第３の実施例を説明すると、この実施例も第２の実施例と同じように、圧力指令値が負荷圧力よりも低いときは、負荷を急激に落下させることなく、圧力指令値と一致するまで減圧制御できるようにし、また圧力指令値が負荷圧力よりも高いときは流量制御を行うようにしてある。
【００５４】
ただし、この実施例では、図７にも示すように、圧力センサ３１はオペレートチェック弁３ａ，３ｂと、三方向弁４ａ，４ｂとの間に介装され、オペレートチェック弁３ａ，３ｂをオンしたときにのみ負荷圧力が検出されオフのときは負荷圧力の検出が不能となるようになっている。なお、その他の構成については、図１と同一である。
【００５５】
図８のフローチャートにしたがって制御動作を説明すると（ただし、油圧シリンダ１０の油室１０ａへのメータイン制御を例にする）、ステップ３１でコントローラからの指令値を読み取り、ステップ３２で指令値＝０ならば、ステップ３３に移り、オペレートチェック弁３ａをオフのまま保持する。
【００５６】
指令値がゼロでないときは、ステップ３４でオペレートチェック弁３ａをオンにして、図９のようなテーブル特性図に基づいて、指令値から圧力指令値Ｐｃｏｎを換算する。同時に、オペレートチェック弁３ａを開くことにより圧力センサ３１が検出する油圧シリンダ１０の負荷圧力Ｐｌｏａｄを検出する（ステップ３５，３６）。
【００５７】
そして、ステップ３７でこれら圧力指令値Ｐｃｏｎと負荷圧力値Ｐｌｏａｄの大小を比較し、ＰｃｏｎがＰｌｏａｄよりも高いときは、ステップ３８〜３９に進んで直ちに流量制御を開始する。この場合、コントローラの指令値（入力電圧値）Ｖｉｎを流量指令値Ｑｃｏｎに換算するため、Ｐｌｏａｄから入力電圧値Ｖｉｎ’を逆算し、Ｖｉｎ−Ｖｉｎ’＝Ｖｔｅｎｐとして、このＶｔｅｎｐにより、図１０のテーブル特性図に基づいて、流量指令値Ｑｃｏｎを算出する（ステップ４１）。
【００５８】
このようにして流量指令値Ｑｃｏｎを算出することにより、指令値Ｑｃｏｎはそのときの負荷圧力により相対的に変化し、圧力指令値Ｐｃｏｎが負荷圧力値Ｐｌｏａｄと等しいときの指令値を、流量＝０とし、そこから図１０の特性にしたがって立ち上がるようになる。このようにすることにより、制御を開始するときの負荷圧力によって、ジョイスティックの操作量に対する流量制御の特性が相違し、負荷の大きさをオペレータに感覚的に認識させることができる。もし、負荷圧力が高ければ、同一のジョイスティック操作量（入力電圧）に対する制御流量は小さくなり、負荷圧力が低ければ、制御流量が大きく、油圧シリンダ１０の作動速度を相対的に大きくできる。
【００５９】
この流量指令値Ｑｃｏｎに基づいて三方向弁４ａの開度が調整され、かつその上流と下流の実際の圧力に基づいてフィードバック制御がかけられ、供給流量が目標とする指令値Ｑｃｏｎと一致するように制御される（ステップ４２）。ただし、この場合には、圧力センサ３１がオペレートチェック弁３ａの上流にあり、下流のオペレートチェック弁３ａからのドレーン流量を測定することができないため、微量ではあるが、ドレーン流量分だけ相対的に実際の供給流量は減少することになる。
【００６０】
他方、ステップ３７において、圧力指令値Ｐｃｏｎが負荷圧力値Ｐｌｏａｄよりも低いときは、ステップ４０から４１に移行し、流量指令値Ｑｃｏｎ＝０に設定され、三方向弁４ａが閉じる。しかしこの状態ではオペレートチェック弁３ａは開いているため一部がドレーンされ、負荷圧力は徐々に低下していく。
【００６１】
そして以上のルーチンが繰り返されることにより、ステップ３７で負荷圧力が圧力指令値と一致するまで、減圧制御が継続される。
【００６２】
このようにして負荷圧力が圧力指令値と一致するまで減圧制御され、一致した時点ではステップ３８に移行して流量制御に切換わるが、その時点での流量指令値Ｑｃｏｎは、前記したとおり、Ｑｃｏｎ−Ｑｌｏａｄ＝０で、流量＝０となるから、油圧シリンダ１０は圧力指令値を維持しつつ、その位置に保持されることになる。
【００６３】
したがって、負荷圧力が圧力指令値よりも高圧のときは、油圧シリンダ１０を保持したまま減圧制御を行い、圧力指令値よりも低圧のときは、そのときの圧力に応じた特性により流量制御を行うことができる。
【００６４】
なお、以上の実施例では三方向弁４ａ，４ｂを備えた場合を説明したが、二方向弁によっても、制御の方向性は限られるが、同じような制御を行うことができる。
【００６５】
【発明の効果】
以上のように第１の発明によれば、制御流量が所定値以下の小流量域では、入力値に基づいて精度のよい圧力制御が行われ、所定値以上の大流量域では圧力制御から流量制御に切り換えられ、負荷圧力のいかんにかかわらず入力値に基づいて精度よく流量制御を行うことができる。
【００６６】
第２の発明によれば、制御開始時の負荷側圧力が圧力指令値よりも高いときは、オペレートチェック弁がオフとなり、単なるチェック弁として機能するので、負荷側からの逆流を阻止し、制御を開始した瞬間における不意な負荷の変位を防止できる。
【００６７】
第３の発明によれば、制御開始時の負荷側圧力が圧力指令値よりも低いときは、オペレートチェック弁がオンとなり、直ちに減圧制御を含む圧力制御が可能となる。
【００６８】
第４の発明によれば、コントローラからの入力値は、圧力指令値と流量指令値となり、かつ圧力制御を優先させるので、一つのコントローラからの入力信号により、混乱を起こすことなく、圧力と流量の両方の制御が行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例を示す回路構成図である。
【図２】同じくオペレートチェック弁の構成図である。
【図３】同じく制御内容を示すフローチャートである。
【図４】同じく流量と圧力の制御特性を示す特性図である。
【図５】他の実施例の制御内容を示すフローチャートである。
【図６】同じく流量と圧力の制御特性を示す特性図である。
【図７】他の実施例を示す回路構成図である。
【図８】同じく制御内容を示すフローチャートである。
【図９】同じく圧力の制御特性を示す特性図である。
【図１０】同じく流量の制御特性を示す特性図である。
【図１１】第１の発明を示す構成図である。
【図１２】第５の発明を示す構成図である。
【図１３】第７の発明を示す構成図である。
【符号の説明】
３ａ  オペレートチェック弁
３ｂ  オペレートチェック弁
４ａ  三方向弁
４ｂ  三方向弁
８  コントローラ
９  メインコントローラ
１０  油圧シリンダ
１１  ポンプ
３１  圧力センサ
３２  圧力センサ
３３  ストロークセンサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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