(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヒーター及びエアー通路を有するヒーターブロックと、前記ヒーターブロックの下部に設けられ、かつ、高圧エアーを吹き付けられる二等面三角ブロックと、前記二等面三角ブロックを配置される三角溝及び高圧エアー噴出通路を有するベースと、前記ベース上に配置されて前記ヒーターブロックを被覆し、かつ、前記高圧エアーを誘導するエアーフィン及び高圧エアー排出口を有する断熱材プレートとから構成されることを特徴とする温風発生機における断熱構造。
【請求項２】
前記断熱材プレートに安全カバーを被覆したことを特徴とする請求項１記載の温風発生機における断熱構造。
【請求項３】
前記二等面三角ブロックの二面に前記高圧エアー噴出通路がそれぞれ複数個直角に対向していることを特徴とする請求項１記載の温風発生機における断熱構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、温風発生機における断熱構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の温風発生機を図２に示す。ベース３１の上に直方体形状のヒーターブロック１が固定されている。ヒーターブロック１の上部には、エアー通路２が貫通して設けられ、ヒーターブロック１の右側部に取り付けられた継手５により、エアーチューブ７がエアー通路２に接続されている。また、ヒーターブロック１の左側部に取り付けられた継手５により、吹き出しパイプ６がエアー通路２に接続されている。ヒーターブロック１の下部には、ヒーター３が収容されている。
【０００３】
ヒーター３を加熱すると、ヒーターブロック１全体が加熱される。エアーチューブ７から継手５を介して常温エアーをエアー通路２に吹き込むと、常温エアーは、エアー通路２を通過するときにヒーターブロック１の熱を奪い、温風エアーになる。ヒーターブロック１は、継手５と吹き出しパイプ６を介して温風エアーを吹き出す。
【０００４】
なお、特開昭６２−２５７７２２号公報には、底面に複数のパイプ構造体を設けられた中空円板でヒーター及び均熱管を支持することにより、伝達面積を小さくして熱漏洩量を低減し、熱処理に必要な消費電力を節減する半導体ウエハの加熱処理装置が、記載されている。
【０００５】
また、特開平４−３０６８２２号公報には、ヒーターをアウターチューブ内部に配置することにより、装置の小型化及び熱処理部への熱制御性の向上を図る熱処理装置が、記載されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来の温風発生機は、ヒーターブロック１が直接ベース３１に取り付けられているため、ヒーターブロック１の熱がベース３１に伝達して逃げてしまい、常温エアーを温風エアーに加熱する温度効率が低かった。また、ヒーターブロック１全体が高温になるため、人間又は他の物体がヒーターブロック１に接触したとき、火傷等の事故が起きる危険性があった。
【０００７】
そこで、本発明は、前記従来の温風発生機の欠点を改良し、常温エアーを温風エアーに加熱する温度効率が高く、しかも、火傷等の事故が起きない温風発生機における断熱構造を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するため、次の手段を採用する。
【０００９】
（１）ヒーター及びエアー通路を有するヒーターブロックと、前記ヒーターブロックの下部に設けられ、かつ、高圧エアーを吹き付けられる二等面三角ブロックと、前記二等面三角ブロックを配置される三角溝及び高圧エアー噴出通路を有するベースと、前記ベース上に配置されて前記ヒーターブロックを被覆し、かつ、前記高圧エアーを誘導するエアーフィン及び高圧エアー排出口を有する断熱材プレートとから構成される温風発生機における断熱構造。
【００１０】
（２）前記断熱材プレートに安全カバーを被覆した前記（１）記載の温風発生機における断熱構造。
【００１１】
（３）前記二等面三角ブロックの二面に前記高圧エアー噴出通路がそれぞれ複数個直角に対向している前記（１）記載の温風発生機における断熱構造。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態例について図１を参照して説明する。
【００１３】
直方体形状のヒーターブロック１の上部には、エアー通路２が貫通して設けられ、ヒーターブロック１の右側部に取り付けられた継手５により、エアーチューブ７がエアー通路２に接続されている。また、ヒーターブロック１の左側部に取り付けられた継手５により、吹き出しパイプ６がエアー通路２に接続されている。ヒーターブロック１の下部には、ヒーター３が収容されている。更に、ヒーターブロック１の下面には、二等面三角ブロック８が固定されている。
【００１４】
直方体形状のベース１２の上方には、箱型の断熱材プレート１０と断熱材プレート１０に外接する箱型の安全カバー１１が配置されており、断熱材プレート１０の内側に一対のエアーフィン９が設けられている。エアーチューブ７、吹き出しパイプ６及びヒーター３のコードは、それぞれ断熱材プレート１０と安全カバー１１に開けられた穴を貫通している。断熱材プレート１０及び安全カバー１１の各左右両側下端とベース１２の上面との間に、高圧エアー排出口１４が設けられている。
【００１５】
ベース１２の左右両側には、対称的に高圧エアー通路１３が設けられ、各高圧エアー通路１３から分岐した３本の高圧エアー噴出通路１５は、二等面三角ブロック８の隣接する二面に直角に対向している。ベース１２の左右両側部に取り付けられた継手４により、それぞれ高圧エアーチューブ１７が高圧エアー通路１３に接続されている。高圧エアーが給送されないときは、二等面三角ブロック８は、ベース１２の三角溝１６上に位置する。
【００１６】
ヒーター３を加熱すると、ヒーターブロック１全体が加熱される。エアーチューブ７から継手５を介して常温エアーをエアー通路２に吹き込むと、常温エアーは、エアー通路２を通過するときにヒーターブロック１の熱を奪い、温風エアーになる。ヒーターブロック１は、継手５と吹き出しパイプ６を介して温風エアーを吹き出す。
【００１７】
ヒーター３の加熱と同時に、ベース１２の左右両側から高圧エアーを高圧エアーチューブ１７と継手４を介してベース１２の内部の高圧エアー通路１３へ送り込む。高圧エアーは、各高圧エアー噴出通路１５から吹き出し、ヒーターブロック１の下面に固定された二等面三角ブロック８に当たり、ヒーターブロック１を浮揚させる。このとき、高圧エアーによる浮揚力とヒーターブロック１及び二等面三角ブロック８全体の重量とは、つり合っているため、ヒーターブロック１は、浮揚した状態で安定する。高圧エアー噴出通路１５から吹き出した高圧エアーは、二等面三角ブロック８の隣接する二面に沿って吹き上がり、各エアーフィン９により誘導されて各高圧エアー排出口１４から安全カバー１１の外部へ排出される。
【００１８】
ヒーター３の加熱により、ヒーターブロック１全体が加熱されるが、断熱材プレート１０の存在のため、熱が安全カバー１１へは伝達し難い。したがって、人間又は他の物体が安全カバー１１に接触しても、火傷等の事故が起きる危険性は少ない。
【００１９】
また、ヒーターブロック１と二等面三角ブロック８は、高圧エアーにより浮揚しており、周辺の各部とは接触していないから、熱が逃げ難い。したがって、高い温度効率で温風エアーが供給される。また、ベース１２には、熱が伝達し難いので、人間又は他の物体がベース１２に接触しても、火傷等の事故が起きる危険性は少ない。
【００２０】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、次の効果を奏することができる。
【００２１】
（１）高圧エアーを給送すると、ヒーターブロックが浮揚し、周辺部分と接触しないようになるので、熱がヒーターブロックから周辺部分へ伝達し難い。そのため、高い温度効率で温風エアーを供給することができる。
【００２２】
（２）熱がヒーターブロックから安全カバーとベースへ伝達し難いから、安全カバーとベースは、高温にならないので、火傷等の事故の発生は、少なくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態例の温風発生機における断熱構造の断面図である。
【図２】従来の温風発生機における断熱構造の断面図である。
【符号の説明】
１    ヒーターブロック
２    エアー通路
３    ヒーター
４    継手
５    継手
６    吹き出しパイプ
７    エアーチューブ
８    二等面三角ブロック
９    エアーフィン
１０    断熱材プレート
１１    安全カバー
１２    ベース
１３    高圧エアー通路
１４    高圧エアー排出口
１５    高圧エアー噴出通路
１６    三角溝
１７    高圧エアーチューブ
【図１】
0003645680.tif 000002
【図２】
0003645680.tif 000003