(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１半導体チップの表面側に複数個の第２半導体チップがそれぞれの電極端子を介して接続され、かつ、該第２半導体チップの内の少なくとも２個は電極端子を介して直接電気的に接続される構造を有する半導体装置であって、前記直接電気的に接続される２個の第２半導体チップの電極端子のそれぞれに対応する部分における前記第１半導体チップのパシベーション膜の最表面に、バンプ電極がそれぞれ設けられ、かつ、該バンプ電極と同じ材料で該２つのバンプ電極を接続する配線が前記パシベーション膜の最表面に形成されることにより、前記２個の第２半導体チップが接続されてなる半導体装置。
【請求項２】
第１半導体チップの表面側に複数個の第２半導体チップがそれぞれの電極端子を介して接続され、かつ、該第２半導体チップの内の少なくとも２個は電極端子を介して直接電気的に接続される構造を有する半導体装置であって、前記直接電気的に接続される２個の第２半導体チップの電極端子のそれぞれにバンプ電極が形成され、該バンプ電極のそれぞれに対応する部分における前記第１半導体チップのパシベーション膜の最表面に電極端子が形成され、該電極端子同士を連結する配線が、バリアメタル層を介して前記第２半導体チップのバンプ電極と接合し得る材料により前記第１半導体チップのパシベーション膜の最表面に形成されることにより、前記２個の第２半導体チップが接続されてなる半導体装置。
【請求項３】
前記バンプ電極が少なくともＡｕ層を有する請求項１または２記載の半導体装置。
【請求項４】
前記第１半導体チップと第２半導体チップの電極端子の接続部が、Ａｕ-Ｓｎ合金層を介して接続されてなる請求項１ないし３のいずれか１項記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の半導体チップを対面させて電気的に接続する、いわゆるチップオンチップ（chip on chip、以下ＣＯＣという）タイプの半導体装置に関する。さらに詳しくは、マルチチップ化し、第１の半導体チップの表面に複数個の第２の半導体チップが直接接続される場合に、第２の半導体チップ間同士で接続する配線が、第１の半導体の内部設計に依存することなく、第２の半導体チップ間で自由に接続を変更し得る半導体装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、たとえばメモリ素子とその論理回路の組合せなどのように、回路の組合せにより半導体装置が構成される場合、立体化による占有面積の縮小化、高周波回路の寄生容量などの低減化、回路の一部の汎用化（たとえばメモリ素子部を汎用化して駆動回路部分を用途に応じて変更する）、大集積回路では、その回路部分により製造条件の厳しさが異なり１チップ化が困難な場合があるなどのため、半導体回路を複数個のチップにより製造し、一方の半導体チップ（親チップ）上に他の半導体チップ（子チップ）を接続する構造の、ＣＯＣタイプの半導体装置が用いられることがある。近年では、図１１に示されるように、この子チップが複数個設けられるマルチチップ化の傾向にある。
【０００３】
図１１において、第１半導体チップ（親チップ）１の電極端子１２上に第２半導体チップ（子チップ）２ａ、２ｂの電極端子２２が、それぞれのバンプ電極１１、２１を介して接続されている。親チップ１は、リードフレームからなる図示しないアイランドにボンディングされ、親チップ１の外周側に設けられる図示しない各電極パッドは、アイランドの周囲に設けられる図示しないリードとそれぞれ金線などのワイヤにより電気的に接続され、その周囲が図示しない樹脂によりモールドされる。なお、１７はパシベーション膜である。
【０００４】
このように、ＣＯＣタイプの半導体装置は、親チップ１と子チップ間はそれぞれ電極端子上に設けられるバンプ電極１１、２１などを介して接続され、親チップ１の周囲に設けられる電極パッドを介して、外部リードとワイヤを介して接続されている。したがって、親チップ１と子チップ２間の信号伝達に関しては、それぞれのバンプ電極を介して信号の授受が行われる。しかし、複数個ある子チップ２ａ、２ｂ間で信号の授受を行う場合、親チップ１の半導体層中、または半導体層表面の絶縁膜中に配線を形成しておき、その配線の一部を電極端子として絶縁膜から露出させ、前述の子チップの電極端子と接続することによりお互いに信号の授受を行っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前述のように、ＣＯＣタイプの半導体装置で、親チップと子チップ間で信号の授受を行う場合には、親チップと子チップとのバンプ電極により接続することで問題ないが、複数個ある子チップ間で信号を授受する場合、一々親チップ内に形成される配線を介して行わなければならない。そのため、せっかく親チップなどを汎用化して、用途に応じた回路を子チップで形成するような場合でも、搭載する子チップに応じて、親チップ内に配線を形成する必要があり、親チップの汎用化に制約を受けるという問題がある。
【０００６】
さらに、子チップの１つに外部から信号を伝達する必要のある場合があるが、その場合でも、親チップの電極パッドを介して親チップ内の配線を通じて子チップに伝達しなければならず、親チップの汎用性の妨げとなっている。
【０００７】
さらに、前述の親チップと子チップとの接続は、Ａｕなどのバンプ電極を介して行われるため、４５０℃程度の高温で行わないと、良好な電気的接続が得られない。しかし、その際、半導体基板も高温になると共に、バンプ電極にかかる圧力が半導体基板にもかかるため、バンプ電極の下側には、双方のチップ共に素子を形成することができず、半導体基板の利用効率が低下するという問題がある。
【０００８】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたもので、ＣＯＣタイプの半導体装置において、第１半導体チップ内部の汎用化を図りながら、その上に搭載する第２半導体チップ間同士で信号の授受を行う必要のある場合でも、第１半導体チップの半導体装置内の設計を変更することなく、直接第２半導体チップ間で信号の授受を行えるような半導体装置を提供することを目的とする。
【００１０】
本発明のさらに他の目的は、親チップと子チップとを接続する際に、高温で、バンプ電極部分に大きな圧力がかからなくすることにより、電極端子の下の半導体層にも素子を形成し得るようにし、集積度を充分に上げることができる半導体装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明による半導体装置は、第１半導体チップの表面側に複数個の第２半導体チップがそれぞれの電極端子を介して接続され、かつ、該第２半導体チップの内の少なくとも２個は電極端子を介して直接電気的に接続される構造を有する半導体装置であって、前記直接電気的に接続される２個の第２半導体チップの電極端子のそれぞれに対応する部分における前記第１半導体チップのパシベーション膜の最表面に、バンプ電極がそれぞれ設けられ、かつ、該バンプ電極と同じ材料で該２つのバンプ電極を接続する配線が前記パシベーション膜の最表面に形成されることにより、前記２個の第２半導体チップが接続されている。ここに半導体チップとは、半導体集積回路（ＩＣ）のみならず、トランジスタ、ダイオード、キャパシタなどのディスクリート部品を含み、基板もシリコン基板やＧａＡｓなどの半導体基板に限らず、他の基板上に形成される電子部品を意味する。
【００１３】
この構造にすることにより、配線がパシベーション膜の最表面に形成されているため、大きな第１半導体チップ上にマウントされる第２半導体チップ間同士の接続が異なる場合でも、第１半導体チップの設計を変えて製造することなく、表面の電極端子にバンプ電極または第２半導体チップのバンプ電極と接合し得る金属膜を形成する際に、そのバンプ電極材料または金属膜の材料により、必要な電極端子間を接続する配線を形成することができ、所望の接続をすることができる。そのため、第２半導体チップを変更したり、第２半導体チップ間での接続構造を変えるような場合でも、第１半導体チップの設計を変更することなく汎用化することができ、非常に自由度が増す。
【００１４】
また、第１半導体チップの表面側に複数個の第２半導体チップがそれぞれの電極端子を介して接続され、かつ、該第２半導体チップの内の少なくとも２個は電極端子を介して直接電気的に接続される構造を有する半導体装置であって、前記直接電気的に接続される２個の第２半導体チップの電極端子のそれぞれにバンプ電極が形成され、該バンプ電極のそれぞれに対応する部分における前記第１半導体チップのパシベーション膜の最表面に電極端子が形成され、該電極端子同士を連結する配線が、バリアメタル層を介して前記第２半導体チップのバンプ電極と接合し得る材料により前記第１半導体チップのパシベーション膜の最表面に形成されることにより、前記２個の第２半導体チップが接続されてもよい。ここに接合し得る材料とは、第２半導体チップのバンプ電極材料と同じ材料とか、ハンダに対するＣｕのようにバンプ電極材料と合金化しやすいなどの、低い温度でバンプ電極と接合しやすい材料を意味する。前記バンプ電極が少なくともＡｕ層を有することが温度、湿度などに対する信頼性も高く好ましい。
【００１７】
前記第１半導体チップと第２半導体チップの電極端子の接続部が、Ａｕ-Ｓｎ合金層を介して接続されることにより、３００℃程度以下の低い温度で合金化して溶融し、回路素子に影響を及ぼすような温度にする必要がなく、電極端子の下側の半導体層にも素子を形成することができ、非常に高効率に回路素子を形成することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
つぎに、図面を参照しながら本発明の半導体装置およびその製法について説明をする。本発明による半導体装置は、図１にその一実施形態である断面構造ならびに配線部の断面および平面の説明図が示されるように、第１半導体チップ１の表面側に複数個の第２半導体チップ２ａ、２ｂがバンプ電極１１、２１を介して接合される場合に、複数個の第２半導体チップのうち、２個の第２半導体チップ２ａ、２ｂの電極端子２２ａ、２２ｂ同士を直接接続する配線９が、第１半導体チップ１のパシベーション膜１７の最表面に形成されている。
【００２３】
図１に示される例では、その配線部の拡大説明図が図１（ｂ）に示されるように、第１半導体チップ１および第２半導体チップ２ａ、２ｂ共に、バンプ電極１１、２１が５〜３０μｍ程度の厚さに形成され、第１半導体チップ１のバンプ電極１１の形成と同時に、第２半導体チップ２ａ、２ｂ間で直接接続する必要のある電極端子２１ａ、２１ｂに対応する電極端子１２ａ間に配線９が形成されている。バンプ電極１１、２１自身は、従来と同様に形成され、たとえば図１（ｂ）に示されるように、Ａｌなどからなる電極端子１２上に、バリアメタル層１４がスパッタリング、真空蒸着などにより２層または３層構造で成膜してパターニングすることにより形成される。バリアメタル層１４の第１層にはＴｉまたはＣｒが、第２層にはＷ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉなどが、第３層にはＡｕなどが用いられ、全体で０.２〜２μｍ程度の厚さに形成される。そして、その上にバンプ電極１１が、Ａｕ、Ｃｕなどの金属を電解メッキなどの方法により前述の厚さに形成される。なお、第２半導体チップ２のバンプ電極２１も同様に形成される。なお、図１では、電極端子が直接半導体層に設けられているように示されているが、半導体層に接続される場合も、層間絶縁膜内の配線に接続される場合もある。
【００２４】
このバンプ電極１１を形成する際に、第２半導体チップ２ａ、２ｂを直接接続する必要のある電極端子２２ａ、２２ｂに対応する第１半導体チップ１の電極端子１２ａ同士が連結されるように、バリアメタル層１４およびバンプ電極材料が設けられることにより、配線９が形成されている。したがって、バリアメタル層１４をパターニングする際に、配線が形成されるようにパターニングするだけで、従来のバンプ電極１１形成工程の作業だけで同時に配線９を形成することができる。この配線９は、バンプ電極１１のように幅広に形成する必要はなく、図１（ｃ）に配線９部の平面説明図が示されるように、配線部の幅が狭くなるようにパターニングされてもよい。
【００２５】
バンプ１１、２１の接続部は、図２に説明図が示されるように、Ａｕからなるバンプ電極１１上にＳｎ被膜１１ａが設けられることにより、Ａｕの融点は、１０６４℃程度（同一金属同士であるため、加圧しながら加熱することにより、４５０℃程度で融着する）であるのに対して、Ｓｎの融点は、２３２℃程度であり、２３０℃程度になると溶融し、Ａｕと共晶を形成して合金化し、２８０℃程度でＡｕ-Ｓｎ合金からなる合金層３がその接合面に形成されて、両者のバンプ電極１１、２１が溶着する。すなわち、半導体基板に形成される回路素子などに対しては支障のない低い温度で両バンプ電極１１、２１を融着させることができる。
【００２６】
このように、バンプ電極１１、２１には融点の高い金属を用い、融点の低い金属と合金化しやすい金属被膜をその接合面に設けて合金化させることにより、低い温度で接着することができ、しかもバンプとしては融点の高い金属で高い強度を維持することができる。すなわち、ハンダ付けの温度に対しては支障のない低い温度で両バンプ電極１１、２１を融着させることができる。なお、配線９上にはＳｎ被膜が設けられないようにしてもよいし、設けられても構わない。また、第２半導体チップ側のバンプ電極のみにＳｎ被膜を設けるようにしてもよい。また、この観点からは、ＡｕとＳｎとに限られるものではない。
【００２７】
前述の図２に示されるように、Ｓｎ被膜１１ａは一方のバンプ電極１１のみに形成されることが、接合面の合金層を形成しやすいため好ましい。すなわち、ＡｕとＳｎとの接触部が合金化して接合するため、両方のバンプにＳｎ被膜が設けられていると、Ｓｎ被膜とＳｎ被膜との接触部が直ちには接合せず、バンプ電極表面のＡｕ層とＳｎ被膜との接触部から合金化し、Ａｕが接合部に拡散して合金化することにより接合するため、Ａｕ層とＳｎ被膜とが接触するように形成されることが好ましい。しかし、両方のバンプ電極に設けるＳｎ被膜を非常に薄くすることにより、容易にＡｕが拡散するため、両方のバンプ電極に形成してもよい。また、接合するバンプ電極同士に大小がある場合、小さい方のバンプ電極にＳｎ被膜を設ける方が、接合部の合金化部分が少なく、後で分離する可能性のある場合には都合がよい。
【００２８】
一方、接合した２つの半導体チップを取り外す可能性がなく、しっかりと接続するためには、図３に示されるように、バンプ電極１１の上面だけではなく、側面周囲全体も被覆するようにＳｎ被膜１１ａを形成することにより、合金化すれば合金層３は小さいバンプ電極１１の周囲から大きい方のバンプ電極２１にフィレット３ａを形成し、強力に接合することができる。なお、図３において、電極パッドなどは省略して図示すると共に、図２と同じ部分には同じ符号を付してある。また、前述のバンプ電極の上面のみにＳｎ被膜を設ける場合でも、バンプ電極に大小がある場合、大きい方のバンプ電極に形成すれば、接着強度を強くすることができる。
【００２９】
前述の合金層は、完全な共晶合金になると、Ａｕ８０ｗｔ％（重量％、以下同じ）、Ｓｎ２０ｗｔ％になるが、接合時に充分に温度を上げる訳ではないため、接合部は完全な共晶合金にはなりにくい。しかし、完全な共晶合金にならなくても、Ａｕが６５ｗｔ％以上であれば、強固な接合が得られると共に、分離する場合でも３００℃程度に加熱することにより、接合部のみを分離することができる。また、合金層を形成しないで、Ａｕ層のみが存在することが、機械的強度が強く好ましい。ＳｎよりＡｕの拡散が１０倍程度以上大きいため、たとえば接合時の温度、時間、Ｓｎ層の量などの調整により、Ａｕが６５ｗｔ％以上の合金層で、Ａｕ層が１００ｗｔ％の部分が残るように接合することができる。さらに好ましくは、Ａｕ-Ｓｎ共晶層が０.８μｍ以上５μｍ以下であることが好ましい。このようにするには、Ｓｎ被膜の厚さを０.１〜４μｍ程度にすることにより得られる。この際、完全なＡｕ層を残すためには、Ａｕ層（バンプ電極）の厚さを厚く形成することにより得られる。
【００３０】
第１半導体チップ１は、たとえばデジタル信号プロセッサなどの論理回路などが半導体基板に形成され、その表面には層間絶縁膜や配線膜などが設けられ、最終的にメモリ素子などの第２半導体チップ２との接続用電極端子１２と、外部リードとの接続用の電極パッド１３がＡｌなどによりその表面に形成されている。この際、その表面に接続する第２半導体チップと直接には接続する必要はないが、複数の第２半導体チップ２ａ、２ｂ間で接続する電極端子２２ａ、２２ｂに対応する部分にも電極端子１２ａを形成しておく。この電極端子１２、１２ａ上に前述のようにバリアメタル層１４を介してバンプ電極１１が形成されると共に、第２半導体チップ２ａ、２ｂ間で接続する電極端子２２ａ、２２ｂに対応する電極端子１２ａ同士を接続する配線９を、バンプ電極１１と同じ材料で同時に形成する。なお、通常の第２半導体チップ２ａ、２ｂと直接接続する電極端子１２には、配線は形成されないで、バンプ電極１１のみが形成される。この回路素子（半導体素子）や半導体基板の表面に形成される配線、電極端子、絶縁膜などは、通常の半導体装置の製造工程と同様に形成される。なお、通常のシリコン基板でなくても、ＧａＡｓなど化合物半導体基板に形成されてもよい。
【００３１】
第２半導体チップ２は、たとえばメモリ素子がマトリクス状に形成されたもので、第１半導体チップ１と接続される部分、複数個ある第２半導体チップ同士で接続される部分、外部リードなどに接続される部分などが電極端子２２として半導体基板の表面に形成され、その電極端子２２の表面にも前述の第１半導体チップ１と同様に、Ａｕなどによりバンプ電極２１が形成されている。このバンプ電極２１の表面にも、前述のＳｎ被膜が形成されていてもよい。また、第１半導体チップ１にはＳｎ皮膜が形成されないで、第２半導体チップ２のバンプ電極２１のみにＳｎ被膜が形成されてもよい。この第２半導体チップ２は、このようなＩＣでなくても、トランジスタ、ダイオード、キャパシタなどのディスクリート部品などで、半導体基板に形成されないものでもかまわない。とくに、静電破壊防止用の複合半導体装置にする場合、ディスクリートの保護ダイオードなどを第２半導体チップとして搭載することが、大容量の保護素子を内蔵することができるため好ましい。
【００３２】
この第１半導体チップ１と第２半導体チップ２のバンプ電極１１、２１同士の接続は、たとえば第１半導体チップ１を加熱し得る基板ステージ上に載置して、マウンターにより第２半導体チップ２をそのバンプ同士が一致するように位置合せをして、加圧しながら３００℃程度に加熱することにより、融着することができる。
【００３３】
第１および第２の半導体チップ１、２の隙間には、後述するように、エポキシ樹脂、エポキシ-フェノール樹脂またはエラストマーなどからなる絶縁性樹脂が充填される。この接合された半導体チップ１、２ａ、２ｂは、通常の半導体装置の製造と同様に、リードフレームからなるダイアイランド４上にボンディングされ、さらに各リード５と金線などのワイヤ６によりボンディングされ、モールド成形により樹脂パッケージ８が形成される。そして、リードフレームから各リードが切断分離された後に、フォーミングされることにより、図１（ａ）に示されるような形状の半導体装置が得られる。
【００３４】
図１に示される例は、第２半導体チップ２ａ、２ｂの電極端子の接続部のみが示されているが、図４に、第１半導体チップ１の平面説明図が示されるように、第１半導体チップ１の電極パッド１３ａから、第１半導体チップ１の内部配線を経由しないで、直接第２半導体チップ２ｂ、２ｃに接続する配線９ｃを形成することもできるが、この点については後述する図９で詳述する。すなわち、図４に示される例では、たとえば３個の第２半導体チップ２ａ〜２ｃが搭載される構造になっており、第２半導体チップ２ａ、２ｂ、２ｃ間、および第２半導体チップ２ｂ、２ｃと電極パッド１３ａ間での電極端子の接続が複数組形成されており、このような場合でも、その第２半導体チップ２ａと２ｂ、２ｂと２ｃ同士で接続する電極端子に対応する第１半導体チップ１の電極端子１２ａ間、および電極端子１２ｂと電極パッド１３ａとの間を接続する配線９、９ｃが、そのバンプ電極１１と同時に形成されている。なお、図４では、バンプ電極１１の下側の電極端子１２、１２ａ、１２ｂの符号も付してある。図４において、１３は通常の外部リードと接続用の電極パッドである。
【００３５】
本発明の半導体装置によれば、第１半導体チップ上に複数個の第２半導体チップを接続するＣＯＣタイプで、第２半導体チップ同士を接続する必要のある電極端子を、それぞれの電極端子に対応する第１半導体チップの部分に電極端子を形成しておき、その電極端子にバンプを形成する際、またはバンプと接合し得る金属膜を形成する際に、そのバンプまたは金属膜と同じ材料で、同時にその電極端子間を接続する配線を形成し、バンプ電極により第１半導体チップと第２半導体チップとを接合することにより、第２半導体チップ間の接続を行っているため、第２半導体チップの内容を変えることにより第２半導体チップ間の接続関係が変化させても、第１半導体チップの配線設計などを変更することなく、バンプ形成の際のパターニングを変えるだけで所望の接続をすることができる。
【００３６】
すなわち、半導体層、またはその表面の絶縁膜中に配線を形成する方法では、第１半導体装置の設計を変形する必要があり、第１半導体チップの設計を変更しなければならないが、本発明によれば、パシベーション膜の最表面に接続用の配線を形成しているため、バンプ電極またはバンプ電極と接合し得る金属膜を設ける際に所望のパターンの配線を形成するだけで、第１半導体チップの設計仕様を全然変更する必要がない。
【００３７】
前述の例では、第１半導体チップ１および第２半導体チップ２（２ａ、２ｂ）の両方の電極端子にバンプ電極１１、２１が形成されていたが、バンプ電極はその接続部にあれば一方だけでもよい。また、配線９は、前述のようにバンプ電極１１の厚さと同じ厚さにする必要はなく、通常の配線と同様の数μｍ以下でよい。この観点から、たとえば図５に示されるように、バンプ電極は第２半導体チップ２（２ａ、２ｂ）のみに設け、第１半導体チップ１には、バリア層１４と第２半導体チップ２のバンプ電極と同じ材料であるＡｕ膜１５を形成し、配線９もバリア層１４とＡｕ膜１５により形成されてもよい。
【００３８】
すなわち、図５において、第２半導体チップ２ａ、２ｂ間を直接接続する電極端子２２ａ、２２ｂに対応する第１の半導体チップ１における電極端子１２ａの上およびその間には、バリアメタル層１４を介して、たとえばＡｕなどからなる０.２〜０.７μｍ程度の厚さの金属膜（Ａｕ膜）１５が設けられている（バリア層１４は前述の例と同じ）。そして、第２半導体チップ２には、前述と同様にＡｕからなるバンプ電極２１およびＳｎ被膜２３が形成されており、そのバンプ電極２１と電極端子１２ａ上のＡｕ膜１５とが融着する構造になっている。この例では、バンプ電極２１上にＳｎ被膜２３が形成されているが、このようにバンプ電極２１上またはＡｕ膜１５上にＳｎ被膜が形成されることにより、バンプとの融着温度を下げることができる。なお、図示しない第１半導体チップ１と第２半導体チップ２との間で接続する電極端子１２も同様にバリア層１４およびＡｕ膜１５が形成され、Ｓｎ被膜などを介して第２半導体チップ２側に設けられるバンプ電極２１とにより融着される。
【００３９】
また、図６に示される例は、両方にバンプ電極がなく、配線同士のみで接続する例である。すなわち、第１半導体チップ１の配線９ａと第２半導体チップ２の配線９ｂとがその一部の表面にＳｎ被膜が形成され、他の部分には、たとえばポリイミド、ＳｉＯ2などの絶縁膜３１が設けられることにより、Ｓｎ被膜の設けられた部分のみで接合部３２が形成され、接続することができる。この構造では、配線のＡｕ層がバンプのように厚くなく、薄くなるため、接合後にＳｎが拡散しないＡｕ層のみの部分ができない可能性が大きいが、わざわざバンプ電極を形成しなくてもよいため、工数低減を図れると共に、絶縁層を介して接合されるため、接合部のみに力がかかるという問題もなくなる。
【００４０】
前述のように、第１半導体チップ１と第２半導体チップ２との間隙部には、絶縁性樹脂が充填されることが好ましい。すなわち、図７に示されるように、第１半導体チップ１と第２半導体チップ２とを接合した後に、その間隙部にポリイミドなどからなる絶縁性樹脂を滴下して硬化させることにより、アンダーフィル（絶縁性樹脂層）７を形成する。このようなアンダーフィル７が形成されることにより、面全体で両チップが接触するため、パンプ電極の下側の半導体層に形成される素子に損傷を来すという問題がなくなる。すなわち、半導体チップ周囲がモールド樹脂によりパッケージングされる際に、半導体チップ間の隙間にはモールド樹脂が侵入し難い。そのため、隙間が生じていると樹脂パッケージ８により両半導体チップが押し付けられ、バンプ電極部分のみでその圧力を吸収する必要があるため、前述のような問題が生じるが、アンダーフィル７が設けられることにより、そのような問題を引き起こすことがなくなる。
【００４１】
この場合、ポリイミド（弾性率４.５ＧＰａ）を用いることがＡｕの弾性率と近いため好ましい。アンダーフィル７の弾性率がバンプ電極１１、２１と近いと、バンプ電極を融着してから温度が下がった場合でも、バンプ電極にかかる圧縮力と半導体チップの他の部分にかかる圧縮力とが均等になるため、力が分散してバンプ電極と共に面として第２半導体チップ２を支持することができ、バンプ電極部分のみに特別な力がかかることがなくなる。
【００４２】
さらに、アンダーフィル７として使用する樹脂は、熱収縮率（熱膨張率）が４％以下のものを使用することが好ましい。熱収縮率が大きいと、硬化時に３００℃程度に上げた温度が室温に下がったときに、バンプ電極であるＡｕの熱収縮率より大きくなり、バンプ電極部分のみに圧縮力として働き、その下の半導体層へのダメージが大きくなるからである。
【００４３】
また、図１に示される例では、電極パッド１２ａ表面と絶縁膜１７表面とで段差があり、その上に設けられる配線９も平坦にならないため、接合を行いにくいという問題がある。これを解消するため、図８に示されるように、絶縁膜１７上に、たとえばポリイミドなどからなる絶縁膜３３を形成してから、配線９を形成することにより平坦な配線９となり、接合しやすくなるというメリットがある。
【００４４】
上述の各例は、子チップである第２半導体チップ同士を配線で接続する例であったが、第２半導体チップに直接外部から信号を伝達したい場合もある。そのような場合でも、従来は、親チップである第１半導体チップにその接続用配線を絶縁膜内、または半導体層中に形成しておき、その配線端部の電極端子に第２半導体チップの電極端子を接続しなければならなかった。このような問題を解決する実施形態が図９に示されている。すなわち、第１半導体チップ１および第２半導体チップ２の接続は図１に示される例と同様であるが、第１半導体チップ１の外部接続用電極パッド１３ａに接続して、絶縁膜１７の最表面に図１に示される配線９と同様の配線９ｃが形成され、第２半導体チップ２ｃが接続されることにより、電極パッド１３ａに接続される外部リードから直接第２半導体チップ２ｃに信号を伝達することができる。なお、６は外部リードと接続するワイヤであり、この配線９ｃおよび電極パッド１３ａは、図４の平面説明図に同じ符号で示されている部分と対応する。
【００４５】
なお、このワイヤ６をボンディングする電極パッド１３ａにも、図９に示されるように、配線９ｃを連続して形成し、Ａｕ層およびＳｎ被膜を形成しておくことにより、ワイヤボンディングの際に、超音波などで表面を擦りながらボンディングしなくても、容易にワイヤボンディングすることができる。
【００４６】
この構造にすることにより、親チップである第１半導体チップの設計変更をすることなく、子チップである第２半導体チップの変更により、直接第２半導体チップに信号を外部から伝達する必要のある場合でも、第１半導体チップの外表面に配線を形成することにより、直接信号を伝達できるようになる。なお、この配線９ｃも、前述の図１に示される配線９と同様に、バンプ形成の際に同時に形成することができる。
【００４７】
このワイヤボンディングをする外部接続用電極パッド１３ａの表面にＡｕ層とＳｎ被膜とを設ける方法は、ＣＯＣタイプの半導体装置に限らず、また、絶縁膜最表面に配線を形成する半導体装置に限らず、通常の半導体装置に適用することができる。すなわち、図１０に示されるように、ＣＯＣタイプでなくても、半導体装置では必ず外部リードとＡｕ線などで接続するため、ワイヤボンディングされる電極パッドを有しているが、このワイヤボンディングをする場合、超音波で擦りつけながら加熱して行っている。そのため、半導体層にも圧力がかかり、外部接続用電極パッド１３ａの下の半導体層にはトランジスタなどの素子を形成することはできず、半導体チップの縮小化に限界がある。しかし、この電極パッド１３ａ上にもＡｕ層１９ａを０.５〜１μｍ程度、Ｓｎ被膜１９ｂを０.２〜０.４μｍ程度づつ設けておくことにより、前述のバンプ電極の接続と同様に、ワイヤボンディング時の２５０〜３５０℃への加熱によりＡｕ-Ｓｎ合金層が形成され、超音波で擦ることなく、容易にボンディングすることができる。なお、図１０において、１４は前述と同様のＴｉＷなどからなるバリアメタル層である。
【００４８】
この構造にすることにより、電極パッド１３ａ下の半導体層にトランジスタなどの回路素子２０を形成しても、破損させたり、特性変動を来すことはない。その結果、ワイヤボンディング工程が容易になると共に、接着の信頼性が向上すると共に、その電極パッドの下にも素子形成をすることができるため、集積度の向上を図ることができる。
【００４９】
以上の各例では、第１半導体チップ１の電極端子にバリア層とＡｕ膜を設けたが、Ａｕ膜には限定されず、第２半導体チップ２に設けられるバンプ電極と融着しやすいバンプと接合し得る材料であればよい。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、第１半導体チップ上に２個以上の第２半導体チップをマウントするＣＯＣタイプの半導体装置で、複数個の第２半導体チップ間で接続する必要がある場合でも、第１半導体チップのパシベーション膜の最表面に配線を形成することにより接続しているため、第２半導体チップを変更することに伴う第２半導体チップ間同士の配線仕様が異なっても、第１半導体チップの内部設計などを変更することなく、簡単に組み立てることができる。その結果、第１半導体チップの汎用性が向上し、種々のタイプの半導体装置に用いることができる。
【００５１】
また、第２半導体チップ間の接続のみならず、外部リードとの接続用電極パッドと第２半導体チップを接続するための電極端子との間にも、絶縁膜の最表面に配線を形成することにより、第２の半導体チップに直接外部から信号を伝達する場合でも、第１半導体チップをそれ専用に作製しなくても、簡単に外部から信号を伝送することができる。
【００５２】
さらに、接続部にＡｕ層とＳｎ層またはＡｕ-Ｓｎ合金層を設けて行うことにより、Ａｕ-Ｓｎ共晶合金層が低温で形成されるため、接続の際に、超音波などをかけたり、高温にしなくてもよいため、電極パッドの直ぐ下の半導体層にも素子形成をすることができ、集積密度を向上させることができる。
【００５３】
また、ワイヤボンディングをするための電極パッドにもＡｕ層とＳｎ層またはＡｕ-Ｓｎ合金層を設けることにより、ワイヤボンディング時に超音波などにより圧力をかけなくても容易にワイヤボンディングをすることができる。その結果、電極パッドの下まで素子を形成することができ、半導体素子の集積度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による半導体装置の一実施形態を示す断面説明図および配線部の拡大説明図である。
【図２】バンプ電極の接合部をＡｕ-Ｓｎ合金層で形成した場合の説明図である。
【図３】図１のバンプ電極にＳｎ被膜を一方のバンプ電極の全面に設ける場合の説明図である。
【図４】本発明による半導体装置の第１半導体チップの平面説明図である。
【図５】本発明による半導体装置の他の実施形態を示す配線部の拡大説明図である。
【図６】第１半導体チップと第２半導体チップとの接合部にバンプを形成しないで接合する例の説明図である。
【図７】第１半導体チップと第２半導体チップとの隙間に絶縁性樹脂を充填した例の説明図である。
【図８】図１に示される例の変形例を示す説明図である。
【図９】本発明による半導体装置の他の実施形態を説明する図である。
【図１０】ワイヤボンディング用電極パッドにＡｕ層とＳｎ層とを設けてワイヤボンディングする例の説明図である。
【図１１】従来のＣＯＣタイプで２個のチップを１個のチップにマウントした例のチップ間の接続部を説明する図である。
【符号の説明】
１    第１半導体チップ
２(2a,2b) 第２半導体チップ
９    配線
１１    バンプ電極
１２    電極端子
１７    パシベーション膜
２１    バンプ電極
２２    電極端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0003723453.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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