(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する一対の加熱されたラミネーションロール間に、基板搬送面に沿って基板を送り込み、且つ、該基板のフィルム張付面側のラミネーションロールの外周に沿って、前記基板と同期して、前記フィルム張付面に重なるようにしてフィルムを送り込み、該フィルムを前記フィルム張付面に張り付けるフィルム張付装置において、前記フィルム張付面側のラミネーションロールにおける、前記基板搬送面に対するフィルム入側の近傍位置から、前記ラミネーションロールの回転方向と反対方向に円周角が３０°〜９０°の範囲の外周面と前記基板搬送面との間の隙間に出入り自在であって、前記外周面と略等しい半径の凹円弧状面と、この凹円弧状面に形成され、気体を吹き出す多数の小孔とを備えた気体吹き付け部材を設けてなり、前記小孔は凹円弧状面における円周方向に３列以上に配置されると共に、各小孔は、基板幅方向中心位置に対して左右対称に、且つ、前記ラミネーションロールの回転中心軸と平行な直線に対して傾斜した仮想傾斜線上に等ピッチで位置し、前記回転中心軸と直交する同一断面内に１個のみ存在するように配置されたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項２】
回転する一対の加熱されたラミネーションロール間に、基板搬送面に沿って基板を送り込み、且つ、該基板のフィルム張付面側のラミネーションロールの外周に沿って、前記基板と同期して、前記フィルム張付面に重なるようにしてフィルムを送り込み、該フィルムを前記フィルム張付面に張り付けるフィルム張付装置において、前記フィルム張付面側のラミネーションロールにおける、前記基板搬送面に対するフィルム入側の近傍位置から、前記ラミネーションロールの回転方向と反対方向に円周角が３０°〜９０°の範囲の外周面と前記基板搬送面との間の隙間に出入り自在であって、前記外周面と略等しい半径の凹円弧状面と、この凹円弧状面に形成され、気体を吹き出す多数の小孔とを備えた気体吹き付け部材を設けてなり、該気体吹き付け部材は、前記フィルム張付面側のラミネーションロールの軸方向両端近傍位置での外周面に転接可能であって、転接時に凹円弧状面と前記外周面間の距離を所定値に維持する一対の位置決めローラを備えたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項３】
請求項２において、前記小孔は凹円弧状面における円周方向に３列以上に配置され、且つ、各小孔は、前記ラミネーションロールの回転中心軸と直交する同一断面内に１個のみ存在するように配置されたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項４】
請求項２又は３において、前記気体吹き付け部材は、前記位置決めローラと反対側であって、且つ、前記基板搬送面に沿う位置に、前記一対のラミネーションロール間に基板先端を案内するガイドローラを備えたことを特徴とするフィルム張付装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、プリント配線板用基板あるいは液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラス基板に例示される基板の表面にフィルムを張付けるためのフィルム張付装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コンピュータ等の電子機器に使用されるプリント配線板の製造過程において、プリント配線板用基板の表面の導電層に、透光性支持フィルム（通常はポリエステルに代表される透光性樹脂フィルム）上に直接又は介在層を介して感光性樹脂層が形成され、且つ、これがカバーフィルムによって覆われた積層体フィルムを、カバーフィルムを剥して張付ける。そして、この後、配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光性支持フィルムを通して、感光性樹脂層を所定時間露光する。次いで、透光性支持フィルムを剥した後、露光された感光性樹脂層を現像してエッチングマスクパターンを形成し、この後、前記導電層の不必要部分をエッチングにより除去し、これにより、所定の配線パターンを有するプリント配線板が形成される。又、液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラス基板に表示セルを形成する工程で同様の積層体フィルムが張付けられる。
【０００３】
上記のような積層体フィルムを張り付けるためのフィルム張付装置としては、フィルムロールから連続フィルムを巻き出し、これを、基板搬送面上を搬送手段により間欠的に順次搬送されてくる複数の基板のフィルム張付面に沿って、その感光性樹脂層が該フィルム張付面側になるようにして、両者を重ねた状態で加熱されたラミネーションロール間に通し、フィルムを複数の基板に連続的に熱圧着しつつ基板を搬送するようにした、いわゆる連続張りタイプのものがある。
【０００４】
又、フィルムロールから巻き出した積層体フィルムを、対応する基板の長さに応じて切断し、切断された各積層体フィルムの先端を基板の先端に仮付けして、ラミネーションロール間に通して積層体フィルムを基板に張り付けるようにしたものがある。
【０００５】
上記のように、透光性支持フィルムを通して感光性樹脂層を露光する場合、透光性支持フィルムを通過する光がここでわずかに屈折されるので、基板上に形成されるパターンを高精細化するためには、透光性支持フィルムにおける屈折をできるだけ低減させる必要があり、このために、該透光性支持フィルムを薄くするようになっている。
【０００６】
ところが、透光性支持フィルムを、例えば厚さ２０μｍ以下に薄くすると、フィルム表面にわずかな温度分布のむらが発生しても、該フィルムを基板表面に、加熱されたラミネーションロール（温度は通常１００℃〜１５０℃）によって張り付けた場合に微小な皺等の不均一表面が発生し易くなるという問題点がある。
【０００７】
従って、積層体フィルムを、ラミネーションロール通過の際にその表面における温度分布を均一にする必要がある。
【０００８】
このための手段としては、従来、例えば特開平９−１１７９６１号公報に開示されるように、積層体フィルムを対応する基板の長さに応じて切断してから基板に張り付けるタイプのフィルム張付装置において、ラミネーションロールに密着し難いフィルム後端部を、ラミネーションロールの表面の曲面と実質的に同じ曲面形状の気体吹き出し面を持ち、且つラミネーションロールに対して前進と後退が可能なフィルムシート後端部保持装置を設けて、積層体フィルム後端の、ラミネーションロールへの密着を補助するようにしたものがある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のようなフィルムシート後端部保持装置を、いわゆる連続張りタイプのフィルム張付装置に適用しようとすると、積層体フィルムの送り方向の筋状のしわや、気泡が発生してしまうという問題点を生じる。
【００１０】
又、前記フィルムシート後端部保持装置は、単に気体吹き出し面をラミネーションロールに対して進退させるのみの構成であるので、ラミネーションロール表面との距離の制御が困難であり、積層体フィルム表面における温度分布、特にフィルム送り方向の温度分布が不均一となり易いという問題点がある。
【００１１】
又、前述のように、上記フィルムシート後端部保持装置は、あくまでも積層体フィルムを基板の長さに応じて切断した場合、そのフィルム後端部をラミネーションロールに押し付けるためのものであるので、基板を間欠的且つ連続的に搬送しつつ、これら複数の基板にフィルムを連続的に張り付ける、いわゆる連続張りタイプに用いた場合であって、更にフィルムを基板の下側に張り付ける場合、基板を案内するための搬送ローラと、フィルムシート後端部保持装置とが干渉してしまうことから、該フィルムシート後端部保持装置近傍の搬送ローラを省略しなければならないが、このようにすると、基板を連続的に搬送する場合に、ラミネーションロール入側近傍におけるガイドローラが不足するために、基板を基板搬送面に沿って円滑に搬送することができないという問題点が生じてしまう。
【００１２】
この発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、連続張りタイプのものであっても、積層体フィルムを基板に張り付けたとき、しわや気泡が発生しないようにしたフィルム張付装置を提供することを目的とする。
【００１３】
又、フィルムを基板の下側に張り付ける場合に用いても、基板を安定して案内することができるようにした、フィルム張付装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
この発明は、本発明者の分析の結果、前記しわや気泡の原因が、気体が、積層体フィルムをその幅方向に偏りなくラミネーションロールに押し付け、且つ、冷却していないためであるとの知見に到達したことにもとづくものである。
【００１５】
すなわち、積層体フィルムをラミネーションロールに押し付ける気体によって、積層体フィルムの幅方向一部のみが押し付けられ、且つ、過剰に冷却された結果、積層体フィルムがその幅方向に、応力及び熱のばらつきを生じ、そのままラミネーションロールによって基板に圧着されると、幅方向に十分に引張られていない部分及び過剰に冷却されていて熱による伸び代が大きい部分にしわや気泡が発生する。
【００１６】
なお、前記フィルムシート後端部保持装置により、積層体フィルムの後端部のみをラミネーションロールに押し付ける場合は、冷却される範囲が短く、又、パターン形成領域外の部分が多いので問題が生じない。
【００１７】
この発明は、請求項１のように、回転する一対の加熱されたラミネーションロール間に、基板搬送面に沿って基板を送り込み、且つ、該基板のフィルム張付面側のラミネーションロールの外周に沿って、前記基板と同期して、前記フィルム張付面に重なるようにしてフィルムを送り込み、該フィルムを前記フィルム張付面に張り付けるフィルム張付装置において、前記フィルム張付面側のラミネーションロールにおける、前記基板搬送面に対するフィルム入側の近傍位置から、前記ラミネーションロールの回転方向と反対方向に円周角が３０°〜９０°の範囲の外周面と前記基板搬送面との間の隙間に出入り自在であって、前記外周面と略等しい半径の凹円弧状面と、この凹円弧状面に形成され、気体を吹き出す多数の小孔とを備えた気体吹き付け部材を設けてなり、前記小孔は凹円弧状面における円周方向に３列以上に配置されると共に、各小孔は、基板幅方向中心位置に対して左右対称に、且つ、前記ラミネーションロールの回転中心軸と平行な直線に対して傾斜した仮想傾斜線上に等ピッチで位置し、前記回転中心軸と直交する同一断面内に１個のみ存在するように配置されたことを特徴とするフィルム張付装置により、上記目的を達成するものである。
【００１８】
又、請求項２のように、回転する一対の加熱されたラミネーションロール間に、基板搬送面に沿って基板を送り込み、且つ、該基板のフィルム張付面側のラミネーションロールの外周に沿って、前記基板と同期して、前記フィルム張付面に重なるようにしてフィルムを送り込み、該フィルムを前記フィルム張付面に張り付けるフィルム張付装置において、前記フィルム張付面側のラミネーションロールにおける、前記基板搬送面に対するフィルム入側の近傍位置から、前記ラミネーションロールの回転方向と反対方向に円周角が３０°〜９０°の範囲の外周面と前記基板搬送面との間の隙間に出入り自在であって、前記外周面と略等しい半径の凹円弧状面と、この凹円弧状面に形成され、気体を吹き出す多数の小孔とを備えた気体吹き付け部材を設けてなり、該気体吹き付け部材は、前記フィルム張付面側のラミネーションロールの軸方向両端近傍位置での外周面に転接可能であって、転接時に凹円弧状面と前記外周面間の距離を所定値に維持する一対の位置決めローラを備えたことを特徴とするフィルム張付装置により、上記目的を達成するものである。
【００１９】
請求項３のように、前記小孔は凹円弧状面における円周方向に３列以上に配置され、且つ、各小孔は、前記ラミネーションロールの回転中心軸と直交する同一断面内に１個のみ存在するように配置するようにしてもよい。
【００２０】
更に、請求項４のように、前記気体吹き付け部材は、前記位置決めローラと反対側であって、且つ、前記基板搬送面に沿う位置に、前記一対のラミネーションロール間に基板先端を案内するガイドローラを備えるようにしてもよい。
【００２１】
この発明においては、フィルムをラミネーションロールに押し付けるようにフィルムに対して気体を吹き付けるための多数の小孔は、凹円弧状面における円周方向に３列以上に配置されると共に、各小孔は、基板幅方向中心位置に対して左右対称に、且つ、前記ラミネーションロールの回転中心軸と平行な直線に対して傾斜した仮想傾斜線上に等ピッチで位置し、前記回転中心軸と直交する同一断面内に１個のみ存在するように配置したので、吹き付けられる気体によってフィルムがその幅方向に偏りなくラミネーションロールに押し付けられ、又フィルム送り方向の線状に過冷却されることがない。
【００２２】
又、気体吹き付け部材に、ラミネーションロールに転接する位置決めローラを設けて、気体吹き付け部材とラミネーションロールとの距離を、ラミネーションロール回転中に常時最適値に設定することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態の例を図面を参照して説明する。
【００２４】
この発明に係るフィルム張付装置１０は、図１に示されるように、フィルム供給源であるフィルムロール１２から積層体フィルム１４を巻き出し、該積層体フィルム１４を構成するカバーフィルム１４Ｃ（後述）をカバーフィルム剥離装置１６によって剥離した後、基板搬送装置１８によって順次間欠的に搬送されてくる複数の基板２０の下面に重ねて、該基板２０と共に上下一対のラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間に通して基板２０に積層体フィルム１４を圧着するようにされている。
【００２５】
前記積層体フィルム１４は、図２に示されるように、透光性支持フィルム１４Ａ、この透光性支持フィルム１４Ａに積層された感光性樹脂層１４Ｂ、及び、この感光性樹脂層１４Ｂを被って積層されたカバーフィルム１４Ｃからなり、帯状に巻かれたフィルムロール１２から連続的に巻き出されるようになっている。ここで、透光性支持フィルム１４Ａにおける「透光性」とは、感光性樹脂層１４Ｂを露光させる光あるいはビーム、即ち、可視光線、紫外光、Ｘ線、電子線等を透過できることを意味する。
【００２６】
前記カバーフィルム剥離装置１６は、分離部材１６Ａを経て感光性樹脂層１４Ｂから引き剥がしたカバーフィルム１４Ｃを巻き取りロール１６Ｂによって巻き取るようにされている。
【００２７】
積層体フィルム１４は、カバーフィルム１４Ｃが剥離されて感光性樹脂層１４Ｂが露出した状態で、該感光性樹脂層１４Ｂ側を基板２０の下側面に向けて圧着される。
【００２８】
前記基板搬送装置１８は、複数の搬送ローラ１９を含んで構成され、各搬送ローラ１９の上面によって構成される基板搬送面１８Ａが、前記一対のラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂにおける下側のラミネーションロール２２Ｂの上端に接して通過するように配置されている。なお、搬送ローラ１９は、円盤状であり、基板２０の幅方向両端部のみをその下側から、円盤の外周面により回転しつつ支持するものである。
【００２９】
ラミネーションロール２２Ａは、ロール開閉装置２６によって、図１で実線で示される「開」状態で待機され、基板２０の先端から後端がラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間を通過するとき、２点鎖線で示される「閉」位置に駆動され、基板２０と、カバーフィルム１４Ｃが剥離された積層体フィルム１４とを挟み込むようにされている。
【００３０】
ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂとしては、ヒータを内蔵した金属製円筒部材の表面を耐熱性ゴムにより例えば厚さ２ｍｍ程度で被覆し、直径は８０〜１６０ｍｍ、長さ５００〜１２００ｍｍのものが通常使用される。
【００３１】
又、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂによるフィルム圧着の圧力は計算上４ｋｇ／ｃｍ〜２０ｋｇ／ｃｍ、フィルム張付速度は通常０．５〜２ｍ／分とする。更に、上記直径はロール軸方向に等しくしてもよいが、ロール軸方向中央部のたわみを考慮して、中央部の直径を軸方向両端よりもわずかに大きくしてもよい。
【００３２】
前記ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの基板搬送方向入側には、カバーフィルム１４Ｃが剥離された積層体フィルム１４を下側のラミネーションロール２２Ｂの外周面に押し付けるように積層体フィルム１４に気体を吹き付けるための気体吹き付け部材２８が設けられている。
【００３３】
この気体吹き付け部材２８は、図３〜図５、特に図５に拡大して示されるように、ラミネーションロール２２Ｂにおける、前記基板搬送面１８Ａの近傍位置からフィルム入側の略３０°の円周角の範囲の外周面と前記基板搬送面１８Ａとの間の略三角形状の隙間に、基板搬送方向に出入り自在であって、前記ラミネーションロール２２Ｂと略等しい半径の凹円弧状面３０及びこの凹円弧状面３０に形成され、気体を吹き出す多数の小孔３２を備えている。
【００３４】
前記小孔３２は、図３に示されるように、ラミネーションロール２２Ｂの円周方向に５列に、且つ、各列において複数配置され、更に、ラミネーションロール２２Ｂの回転中心軸と直交する同一断面内に複数の小孔３２が存在しないように、基板幅方向（ラミネーションロール軸方向）に位置調整して配置されている。
【００３５】
更に詳細には、各小孔３２は基板幅方向中心位置に対して左右対称に、且つ、図３に示されるように、水平線に対して、約３０°に傾斜した仮想傾斜線３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃ……上に等ピッチで位置するように配置されている。
【００３６】
前記気体吹き付け部材２８は、図１に示されるように、エアシリンダ装置３４によって前記基板搬送面１８Ａに沿って、且つラミネーションロール２２Ｂに対して進退自在とされ、図１の実線で示されるように、ラミネーションロール２２Ｂから離間した待機位置と、図１において二点鎖線及び図５、図６に示されるように、ラミネーションロール２２Ｂに最も接近した状態である吹き付け位置との間で移動されるようになっている。
【００３７】
又、前記気体吹き付け部材２８には、基板２０の幅方向両外側となる位置に、吹き付け位置で、前記ラミネーションロール２２Ｂに外接して、該ラミネーションロール２２Ｂが回転するとき、これに転接する左右一対の位置決めローラ３６が設けられている。
【００３８】
この位置決めローラ３６は、ラミネーションロール２２Ｂに転接することによって、前記凹円弧状面３０と該ラミネーションロール２２Ｂの外周との隙間が最適値となるように設定されている。
【００３９】
又、前記吹き付け部材２８の、ラミネーションロール２２Ｂと反対側の位置には、前記基板搬送面１８Ａに対して下方からこれに外接する位置にガイドローラ３８が設けられている。
【００４０】
このガイドローラ３８は、基板搬送装置１８における搬送ローラ１９と略同一サイズで基板幅方向に同一位置に配置され、基板搬送装置１８と共に基板搬送面１８Ａを形成するようにされている。なお図６に示されるように、ガイドローラ３８の上端は基板搬送面１８Ａよりもやや低くされているが、これは垂れ下がって進行してくる基板２０の先端をガイドできるようにするためである。
【００４１】
前記気体吹き付け部材２８は、図５に拡大して示されるように、加圧気体導入管４０によって加圧気体が導入される圧力室４２を備え、前記小孔３２は、一端がこの圧力室４２に開口され、他端が凹円弧状面３０に開口されている。又、各小孔３２は、図５に示されるように、ラミネーションロール２２Ｂに最接近した吹き付け位置において、その軸線即ち気体吹き出し方向がラミネーションロール２２Ｂの中心２３に向かうように形成されている。
【００４２】
図１、図３、図４、図６及び図７における符号４４は、気体吹き付け部材２８の左右両端位置に配置され、前記位置決めローラ３６及びガイドローラ３８を支持するためのローラ支持部材を示す。
【００４３】
このローラ支持部材４４は、図４に示されるように、平面視で略Ｌ字形状とされ、気体吹き付け部材２８の後端から突出した端部に、ラミネーションロール２２Ｂと平行な支持軸３８Ａを支持し、ここに、前記ガイドローラ３８を回転自在に支持するものである。なお、図４においてガイドローラ３８は一対のカラー３８Ｂにより、ラミネーションロール２２Ｂに沿って基板幅方向に位置調節して固定されるようになっている。
【００４４】
又、図３〜図５及び図７において、符号４６は前記圧力室４２を形成する空間を上方から閉じる蓋体を示す。この蓋体４６は、薄い板状であって、この上側に前記基板搬送面１８Ａが通過するようにして、基板２０との干渉を回避するようにされている。蓋体４６は気体吹付部材２８に沈頭皿ねじ４６Ａによりねじ止めされている。図３、図４の符号４７は、加圧気体導入管４０が設けられるとともに、蓋体４６の幅方向両端を位置決め固定するための取付部材を示す。
【００４５】
又、図１の符号４８はフィルムガイドロールを示す。このフィルムガイドロール４８は、前記下側のラミネーションロール２２Ｂの入側近傍位置に配置され、図１において実線で示される位置に駆動装置（図示省略）によって駆動されたとき、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂに対して積層体フィルム１４が非接触となるように、これを案内し、又図１の二点鎖線の位置に駆動されたとき、積層体フィルム１４が下側のラミネーションロール２２Ｂに巻き掛けられるようにするものである。
【００４６】
又、図１の符号５０は、前記ガイドロール４８とフィルム分離部材１６Ａとの間で、積層体フィルム１４が巻き掛けられる固定ガイドロールを示す。
【００４７】
この固定ガイドロール５０は、積層体フィルム１４を案内する機能のみを有するものでもよいが、これに加え、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂに送り込まれる積層体フィルム１４の張力を一定に制御する機能も備えるようにすると好ましい。
【００４８】
この場合、例えば特開平９−１７４７９７号公報に開示されるように、表面に負圧が印加される多数の細孔を備えた回転ドラムを用い、負圧により積層体フィルムを吸引しつつ送る。
【００４９】
次に、上記フィルム張付装置１０の作用について説明する。
【００５０】
フィルムロール１２から巻き出した積層体フィルム１４の先端からカバーフィルム１４Ｃを剥離して、カバーフィルム剥離装置１６によって巻き取るようにしておいて、該カバーフィルム１４Ｃが剥離された積層体フィルム１４を、図１の実線で示されるように、フィルムガイドロール４８に、透光性支持フィルム１４Ａ側を接触させた状態で巻き掛ける。
【００５１】
次に、積層体フィルム１４と同期しつつ基板２０を図１において右方向に搬送開始する。
【００５２】
同時に、前記フィルムガイドロール４８を図１において二点鎖線の待機位置まで揺動させ、積層体フィルム１４がラミネーションロール２２Ｂに巻き掛かるようにする。次に、基板２０が搬送されてくると同時又は搬送されてくる前に、エアシリンダ装置３４によって気体吹き付け部材２８を図１の実線の位置から二点鎖線の位置（図６参照）にまで前進させる。このとき、位置決めローラ３６がラミネーションロール２２Ｂの外周に接触した時点で、エアシリンダ装置３４を停止させる。
【００５３】
従って、気体吹き付け部材２８における凹円弧状面３０と、ラミネーションロル２２Ｂとの隙間が最適な状態にセットされることになる。
【００５４】
この状態で、加圧気体導入管４０から、例えば圧縮空気等の加圧気体を圧力室４２内に導入し、凹円弧状面３０における各小孔３２から加圧気体を噴出させる。
【００５５】
従って、カバーフィルム１４Ｃが剥離された状態の積層体フィルム１４は、各小孔３２から噴出する加圧気体によってラミネーションロール２２Ｂの表面に押し付けられる。
【００５６】
前述のように、小孔３２はラミネーションロール２２Ｂの回転方向に５列であって、どの列の小孔３２も、他の列の小孔３２とラミネーションロール２２Ｂの軸方向位置が一致しないように配置されているので、積層体フィルム１４は、ラミネーションロール２２Ｂ軸方向の特定の位置で、他の軸方向位置よりも過剰に冷却されることがない。
【００５７】
従って、積層体フィルム１４は、吹き付け部材２８の凹円弧状面３０の位置で、小孔３２から噴き出す加圧気体により、ラミネーションロール２２Ｂの軸方向（基板幅方向）に偏りなくラミネーションロール２２Ｂ表面に押圧され、且つ、冷却される。
【００５８】
このように、ラミネーションロール２２Ｂに偏りなく押圧された状態の積層体フィルム１４は、その感光性樹脂層１４Ｂを外側にして、ラミネーションロール２２Ｂと共に回転し、基板搬送面１８Ａに沿って搬送されてくる基板２０と共にラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間の位置に至る。
【００５９】
基板２０の先端がラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの間の位置に到達すると、ロール開閉装置２６によって上側のラミネーションロール２２Ａが図１の実線の位置から、図１で２点鎖線で示される位置（図６の位置）に駆動され、ラミネーションロール２２Ｂとの間に、基板２０及び積層体フィルム１４を挟み込み、これによって、カバーフィルム１４Ｃが剥離された積層体フィルム１４は、感光性樹脂層１４Ｂ側において、基板２０の下側面に圧着される。
【００６０】
前述の如く、積層体フィルムは、基板幅方向に偏りなくラミネーションロール２２Ｂに押し付けられ、且つ温度分布も偏りなく、ヒートスポットがないので、基板２０に張り付けられた後、皺が発生したりすることがない。
【００６１】
なお、上記位置決めローラ３６によって決定される凹円弧状面３０とラミネーションロール２２Ｂ表面との隙間は、通常１〜５ｍｍであり、前記凹円弧状面３０の、ラミネーションロール２２Ｂの円周方向の範囲は、該ラミネーションロール２２Ｂの円周角が３０°〜９０°の範囲であればよい。
【００６２】
又、小孔３２が形成されている凹円弧状面３０の基板幅方向範囲は、積層体フィルム１４の全幅を被う長さ又はそれよりも若干長い範囲とする。
【００６３】
例えば、積層体フィルム１４の幅が６４０ｍｍのとき、凹円弧状面３０の小孔３２が設けられている幅方向範囲は７００ｍｍとする。更に、前記小孔３２は、その孔径が通常１〜３ｍｍ、好ましくは２ｍｍ程度とする。
【００６４】
又、上記小孔３２の、ラミネーションロール円周方向の列数は５列とされているが、本発明はこれに限定されるものでなく、３列以上であればよい。
【００６５】
更に、凹円弧状面３０における小孔３２の総開孔面積は、凹円弧状面３０と、これと対向するラミネーションロールとの間のスペース（隙間）の四周（隙間の上下左右の開口部）の総面積に対して２５〜５０％に設定するとよい。
【００６６】
又、小孔３２から噴出させる気体は、積層体フィルム１４や周囲の部材との間で化学反応を起こすような気体でない限り、特に限定されない。例えば、窒素ガス、二酸化炭素等が用いられ、通常は空気が用いられる。
【００６７】
又、噴出気体の温度は、加圧気体導入管４０に供給する位置で２０℃〜５０℃とする。この場合、気体吹き付け部材２８はラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂからの熱を受けて加熱されるので、小孔３２から噴出されるときの加圧気体は前記供給温度よりも若干昇温された状態となる。
【００６８】
又、小孔３２から噴出される気体は、積層体フィルム１４をラミネーションロール２２Ｂに吹き付けなければならないので、その噴出圧力が問題となるが、通常は、０．５〜３ｋｇｆ／ｃｍ2 が望ましい。
【００６９】
又、上記実施の形態の例においては、前記小孔３２はラミネーションロール２２Ｂの軸方向及び円周方向共に均一に加圧気体を噴出するようにされているが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば、ラミネーションロール２２Ｂの軸方向中央部の表面に沿って流れる加圧気体の流量が、軸方向両端近傍よりも少ないので、この部分での積層体フィルム１４をラミネーションロール２２Ｂに押し付ける力及び冷却が不十分となる可能性がある。
【００７０】
従って、この場合は、例えば図７に示されるように、小孔３２の孔径をラミネーションロール２２Ｂの軸方向両端近傍よりも中央部側の方が大きくなるように設定して、該中央部側からの加圧気体の流量を多くし、押し付ける力及び冷却が均一になるようにしてもよい。
【００７１】
又、ラミネーションロール２２Ｂ軸方向中央部における加圧気体の噴出量を増大する手段として、該中央部近傍での小孔３２の配設密度を両端近傍よりも大にしてもよい。更に、例えば前記圧力室４２をラミネーションロール２２Ｂ軸方向に複数に分割し、且つ、軸方向中央部における加圧気体の圧力を高くして、噴出量を他の部分よりも増大するようにしてもよい。
【００７２】
又、前記気体吹き付け部材２８は、蓋体４６の上側近傍に、前記基板搬送面１８Ａが位置するように配置しているが、基板２０が薄くて、その幅方向中央部が垂れ下がり易い場合は、これとの干渉を回避するために、図８に示されるように、図１と比較して下方に位置させてもよい。なお、ガイドローラ３８は基板搬送面１８Ａの位置にしておく。
【００７３】
この場合、図１の気体吹き付け部材２８をそのまま下方にずらすと、図８のように凹円弧上面３０とラミネーションロール２２Ｂとの隙間３１の下端が広く、上端が狭くなる。従って、小孔３２から噴出した気体の大部分が隙間３１の下端から排出され、この際に積層体フィルム１４を、一対のラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの接触部から、しわ伸ばしするように加圧気体が作用し、積層体フィルム１４をより偏りなくラミネーションロール２２Ｂに押し付けることができる。なお、隙間３１の上端を広く、下端を狭くしてもよい。
【００７４】
上記位置決めローラ３６は、加熱されるラミネーションロール２２Ｂと転接するので、金属あるいは、耐熱性に優れた弗素樹脂、ポリエーテルエーテルケトン等の合成樹脂を用いるとよい。又、前記ガイドローラ３８も、位置決めローラ３６と同様の材質で構成するとよい。
【００７５】
又、気体吹き付け部材２８のガイド機構の剛性が充分に大きい場合は、図８に示されるようにガイドローラ３８を省略してもよい。
【００７６】
又、上記各実施の形態の例においては、基板２０に張り付けられる積層体フィルム１４は、カバーフィルム１４Ｃを剥離して感光性樹脂層１４Ｂを露出した状態のものであるが、本発明はこれに限定されるものでなく、感光性樹脂層等の粘着力によることなく、そのフィルムを基板に張り付ける場合についても一般的に適用されるものである。更にフィルムを基板の上面に張り付ける場合についても当然適用されるものである。
【００７７】
【発明の効果】
本発明は、上記のように構成したので、薄いフィルムをその幅方向に偏りがなく押圧した状態及び温度分布状態で基板に張り付けることができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の例に係るフィルム張付装置を示す略示側面図
【図２】同フィルム張付装置によって基板に張り付けられる前のフィルムを拡大して示す断面図
【図３】同フィルム張付装置における気体吹き付け部材を示す第１図のIII −III 線に沿う拡大断面図
【図４】図１のIV−IV線に沿う拡大断面図
【図５】気体吹き付け部材とラミネーションロールとの関係を拡大して示す断面図
【図６】気体吹き付け部材によりフィルムに気体を吹き付ける状態を示す拡大側面図
【図７】本発明の他の実施の形態の例に係る気体吹き付け部材を示す図３と同様の側面図
【図８】本発明の更に他の実施の形態の例を示す図５と同様の断面図
【符号の説明】
１０…フィルム張付装置
１４…積層体フィルム
１８…基板搬送装置
１８Ａ…基板搬送面
２０…基板
２２Ａ、２２Ｂ…ラミネーションロール
２３…中心
２６…ロール開閉装置
２８…気体吹き付け部材
３０…凹円弧状面
３２…小孔
３４…エアシリンダ装置
３６…位置決めローラ
３８…ガイドローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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