(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検眼と所定の軸線を持つ検査装置との三次元的な位置合わせを必要とする眼科検査装置において、前記検査装置の軸線を中心として対称的な投影光軸を持つ１対の有限の第１指標を所定の投影角度で被検眼角膜に向けて投影する第１指標投影光学系と、前記検査装置の軸線を中心として対称的な投影光軸を持ち、第１指標投影光学系の投影角度より大きい投影角度でかつ第１指標に対して光学距離が遠い１対の第２指標を被検眼角膜に向けて投影する第２指標投影光学系と、を有し、第１指標投影光学系及び第２指標投影光学系の投影光軸は被検眼角膜の同一経線上に位置するアライメント用指標投影光学系と、該アライメント用指標投影光学系による第１指標及び第２指標の角膜反射像を検出する検出光学系を有し、第１指標相互の間隔と第２指標相互の間隔を得るアライメント用指標検出手段と、第１指標相互の間隔と第２指標相互の間隔の割合に基づいて、被検眼と検査装置の作動距離情報を得る判断手段と、を備えたことを特徴とする眼科検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、略球面または略ト−リック面状の反射面を持つ被検物と測定系等のアライメント状態を検出する眼科検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
被検物の光学的特性を検査する検査装置としては、眼屈折力測定装置、角膜形状測定装置等の眼科装置や、レンズメータ等がある。眼科装置のアライメント状態の検出機構としては、観察用のＴＶモニタに映出された被検眼像と、アライメント指標投影によって被検眼に形成された角膜反射輝点とを利用する機構が知られている。このアライメントは、ＴＶモニタに映出された角膜反射輝点を観察し、ＴＶモニタ上のレチクルに対して角膜反射輝点が所定の位置関係になるように上下左右方向調整を行い、角膜反射輝点にピントが合うようにして作動距離（前後）の調整を行う。
【０００３】
このようなアライメント検出は、上下左右方向の調整は比較的容易に行うことができるが、作動距離方向の調整はどちらの方向に動かせばピントが合うようになるかその判断が容易ではない。
【０００４】
そこで、作動距離方向のアライメント検出機構としては、被検眼の斜め方向からアライメント光束を投射し、角膜頂点からの反射光束を測定光学系の光軸を挟んで対称な光軸上に配置された受光素子により検出することにより、アライメント状態を判定するものが提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような作動距離方向の検出機構は、作動距離検出用のアライメント光束と、上下左右検出用のアライメント光束とを選択してそれぞれ検出する専用の光学系が必要であり、光学系が複雑になるという欠点があった。
【０００６】
また、上記のような作動距離方向の検出機構は、アライメント検出域が狭いという欠点もあった。
【０００７】
本発明は、上記従来装置の欠点に鑑み、簡単な構造で、特に作動距離方向のアライメントが容易に行える眼科検査装置を提供することを技術課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とする。
【０００９】
（１）  被検眼と所定の軸線を持つ検査装置との三次元的な位置合わせを必要とする眼科検査装置において、前記検査装置の軸線を中心として対称的な投影光軸を持つ１対の有限の第１指標を所定の投影角度で被検眼角膜に向けて投影する第１指標投影光学系と、前記検査装置の軸線を中心として対称的な投影光軸を持ち、第１指標投影光学系の投影角度より大きい投影角度でかつ第１指標に対して光学距離が遠い１対の第２指標を被検眼角膜に向けて投影する第２指標投影光学系と、を有し、第１指標投影光学系及び第２指標投影光学系の投影光軸は被検眼角膜の同一経線上に位置するアライメント用指標投影光学系と、該アライメント用指標投影光学系による第１指標及び第２指標の角膜反射像を検出する検出光学系を有し、第１指標相互の間隔と第２指標相互の間隔を得るアライメント用指標検出手段と、第１指標相互の間隔と第２指標相互の間隔の割合に基づいて、被検眼と検査装置の作動距離情報を得る判断手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１９】
【実施例】
以下、本発明の一実施例として眼屈折力測定装置を例に挙げ、図面に基づいて説明する。
【００２０】
［全体構成］
図１に実施例の装置の外観概略図を示す。１は基台であり、基台１には被検眼を固定するための顎台２が固設されている。３は本体部、４は後述する光学系を収納した測定部である。５は本体部３と測定部４を移動するためのジョイスティックであり、ジョイスティック５の操作により本体部３は基台１の水平面上を前後左右に摺動し、測定部４は本体部３に対して上下動する（ジョイスティック機構の詳細については、本出願人による特開平６−７２９２号を参照されたい）。
【００２１】
［光学系］
図２は実施例の装置の光学系を上から見たときの概略配置図である。装置の光学系を測定光学系、固視標光学系、アライメント指標投影光学系および観察・指標検出光学系に分けて説明する。
【００２２】
（測定光学系）
１１は赤外領域に波長を持つ２個の測定用光源であり、光軸を中心に回動可能に配置されている。１２は集光レンズであり、その前側焦点位置に光源１１が位置する。１３は測定用指標（スポット開口）を有し、被検眼Ｅの眼底と共役な位置に配置されるべく移動可能な測定用ターゲット板である。１４は後述する正面指標投影光学系の光軸と測定光学系の光軸Ｌ１  とを同軸にするビームスプリッタである。１５は投影レンズであり、投影レンズ１５は被検眼眼底に測定用指標を投影する。
【００２３】
１６、１７はビームスプリッタである。１８、１９はリレーレンズ、２０は被検眼Ｅの角膜と共役な位置に配置されている帯状の角膜反射除去マスク、２１はターゲット板１３とともに移動する移動レンズ、２２は結像レンズである。２３は測定用受光素子であり、受光素子２３は測定用光源１１及び角膜反射除去マスク２０と同期して光軸を中心に回動する。
【００２４】
（固視標光学系）
３０はミラー、３１は光軸上を移動可能な第１リレーレンズで、第１リレーレンズ３１は光軸上を移動することによって被検眼の雲霧を行う。３２は第２リレーレンズ、３３は第２リレーレンズ３２の焦点位置に配置されている固視標、３４は集光レンズ、３５は照明ランプである。
【００２５】
（アライメント指標投影光学系）
アライメント指標投影光学系は、視軸方向から指標を投影する正面指標投影光学系と、作動距離検出のための作動距離指標投影光学系とから構成される。
【００２６】
正面指標投影光学系は次の構成を持つ。３６は赤外光の光を出射する点光源であり、点光源３６はビームスプリッタ１４を介して投影レンズ１５の前側焦点位置に配置されている。点光源３６を出射した光束はビームスプリッタ１４で反射して投影レンズ１５により平行光束となり、測定光軸Ｌ１に沿って被検眼Ｅに投影され、角膜反射により点光源像を作る。
【００２７】
作動距離指標投影光学系４０は、測定光軸Ｌ１  を挟んで所定の角度で対称に配置された２組の第１投影光学系４０ａ、４０ｂと、この第１投影光学系４０ａ，４０ｂより広い角度に配置された光軸を持ち測定光軸を挟んで対称に配置された２組の第２投影光学系４０ｃ，４０ｄを備える。第１投影光学系４０ａ，４０ｂは赤外光を出射する点光源４１ａ，４１ｂを持ち、被検眼Ｅに対して発散光束により有限遠の指標を投影する。第２投影光学系４０ｃ，４０ｄは、測定光軸Ｌ１  に対して点光源４１ａ，４１ｂよりも外側に離れた距離に位置し赤外光を出射する点光源４１ｃ，４１ｄと、コリメーティングレンズ４２ｃ，４２ｄをそれぞれ持ち、被検眼Ｅに対して無限遠の指標を投影する。また、これらの指標投影光学系４０ａ〜４０ｄは被検眼に対して水平方向の同一経線上に指標を投影する配置としている。これにより、被検眼が角膜乱視を持つような場合でも、その影響を少なくして後述する作動距離検出を精度良く行えるようにする。
【００２８】
さらにまた、点光源４１ａ〜４１ｄは、被検眼前眼部を照明する照明光源を兼ねる。
【００２９】
（観察・指標検出光学系）
被検眼前眼部からの光束は、ビームスプリッタ１６で反射された後、対物レンズ４５、ミラー４６、テレセントリック絞り４７を介してＣＣＤカメラ４８に撮像される。ＣＣＤカメラ４８に撮像された被検眼Ｅの前眼部像、及び４つの光源４１ａ〜４１ｄと光源３６の角膜反射像は、ＴＶモニタ６に映し出される。また、ＣＣＤカメラ４８に撮像された角膜反射像の位置により、アライメント状態が検出される。
【００３０】
［電気系］
図３は実施例の装置の電気系ブロック図の要部である。
【００３１】
ＣＣＤカメラ４８からのビデオ信号は、Ａ／Ｄ変換器６１によりデジタル化され、タイミングジェネレータ６２の信号に同期してフレームメモリ６３に取り込まれる。フレームメモリ６３に取り込まれた画像は、Ｄ／Ａ変換回路６４、画像合成回路６５を介してＴＶモニタ６にリアルタイムに映出される。
【００３２】
６６はフレームメモリ６３に取り込まれた画像を解析してアライメント指標像を検出する画像処理・解析回路であり、マイクロコンピュータ６０は画像処理・解析回路６６からの信号により指標像の座標位置を得る。
【００３３】
６７はＴＶモニタ６上に表示する照準マークや図形、文字情報等を生成するための表示回路であり、表示回路６７からの信号は合成回路６５によりＣＣＤカメラ４８からの映像信号と合成され、ＴＶモニタ６に映出される。
【００３４】
また、受光素子２３からの信号はＡ／Ｄ変換器６８によりデジタル化された後、検出処理回路６９により所定の処理が施されてマイクロコンピュータ６０に入力される。
【００３５】
次に、作動距離のアライメント状態の検出方法について説明する。図４は左右上下のアライメントが完了したときのＴＶモニタ６の表示例を示す図でる。８０は前眼部像、８１は電気的に形成された照準マークである（照準マークは光学的に形成するようにしても良い）。８２は角膜反射により形成された正面指標投影光学系の光源３６の指標像であり、８３ａ〜８３ｄは作動距離指標投影光学系４０の点光源４１ａ〜４１ｄの角膜反射による指標像である。作動距離のアライメント状態の判定は、指標像８３ａと８３ｂとの距離ａ、指標像８３ｃと８３ｄとの距離ｂに基づいて行う（光軸Ｌ１  からの各指標像のずれに基づいて行っても良い）。
【００３６】
まず、実施例に示した光学系によるアライメント状態の判定について説明する。指標像８３ｃ、８３ｄは光学的に無限遠距離にある光源４１ｃ，４１ｄの像であるので、装置が作動距離方向にずれていてもその間隔はほとんど変化しない。これに対して、指標像８３ａ、８３ｂは有限距離にある光源４１ａ，４１ｂの発散光束による像であるので、被検眼と装置の作動距離が遠くなるにしたがって指標間隔距離ａは短くなる（像高さが低くなる）ように変化する。したがって、ａ／ｂの比は図５のように変化するので、この関係の特性を利用して作動距離のアライメント状態を判定できる。すなわち、被検眼と装置との適正作動距離をａ／ｂ＝Ｓとなるよう設定すると（Ｓはアライメント精度との関係により設定される幅を持った値である）、作動距離のアライメント状態は次のように判定できる。
（イ）ａ／ｂ＞Ｓの場合は、被検眼が装置に近い。
（ロ）ａ／ｂ＝Ｓの場合は、作動距離の位置合わせが完了。
（ハ）ａ／ｂ＜Ｓの場合は、被検眼が装置から遠い。
【００３７】
また、作動距離のずれ量も、図５に示すような作動距離のずれ量に対するａ／ｂの値との関係の情報を予め求めておく（不揮発性メモリ等に記憶しておく）ことにより、知ることができる。
【００３８】
次に、作動距離指標投影光学系４０における第２投影光学系４０ｃ，４０ｄを、第１投影光学系４０ａ、４０ｂと同様に発散光束により軸線方向での光学的距離が同じ有限遠の指標を投影するようにした場合について説明する。
【００３９】
いま、図６に示すように、角膜半径をＲｃ（＝７．８（ｍｍ）  ）、指標（光源）Ｓの光軸Ｌ１  からの高さ距離をＹｓ  、指標Ｓの角膜による反射像高さをｈとし、Ｙｓ  を２０（ｍｍ）、４０（ｍｍ）、６０（ｍｍ）、８０（ｍｍ）、１００（ｍｍ）  と変化させるものとする。このときの作動距離方向の変化と反射像高さの変化率（ｈ／ｈ０  ）の関係を示したものが図７である（光軸Ｌ１  方向での基準位置から指標Ｓまで距離ｄが基準距離ｄ０  ＝４０（ｍｍ）のときの像高さをｈ０  としている）。図７から分かるように、指標の高さ距離Ｙｓ  が高いほど（光軸Ｌ１  と投影光軸が成す角度が大きいほど）像高さの変化率は小さく、指標の高さが低いほど像高さの変化率は大きい。したがって、実施例の第２投影光学系４０ｃ，４０ｄの構成を第１投影光学系４０ａ、４０ｂと同様にした場合（発散光束により指標を投影する場合）、それぞれの像間隔のａ／ｂの比は図５と同様に変化する（ただし、傾きは異なる）。このため、作動距離のアライメント状態も上記の（イ）、（ロ）、（ハ）のようにして判定できる。
【００４０】
また、測定光軸からの高さが異なる（投影角度が異なる）それぞれの指標は、内側の指標投影をできるだけ光軸寄りに、外側の指標投影をできるだけ光軸から離して配置すると、両者の変化率の開きが大きくなり、図５に示すａ／ｂのグラフの傾きが大きくなるので、より敏感に作動距離の検出を行うことができる。ただし、内側の指標投影を測定光軸に近付けすぎると、光軸Ｌ１  に対する反射像の高さも低くなり作動距離の変化を検出しにくくなる。また、外側の指標投影を光軸Ｌ１  からあまり大きく離すと、反射像が得られなくなったり、角膜の非球面性による影響を受けて検出誤差が大きくなる。したがって両指標の配置距離は、装置の諸条件を勘案して適宜設定する。
【００４１】
次に、第１指標投影光学系に対して第２指標投影光学系による指標投影の光学的距離を遠くすると、作動距離の検出が容易になる理由について説明する。
【００４２】
前述の説明で使用した図６において、光軸から指標高さＹｓ  ＝５０（ｍｍ）として、基準位置からの指標までの基準距離ｄ０  を１０（ｍｍ）〜７０（ｍｍ）の範囲で範囲で変化させてみる。このときの反射像高さの変化の結果を図８に示す。図８のグラフから、被検眼に対して軸線方向での指標Ｓが近いほど反射指標像の高さの変化のし方（グラフの微分の値）が大きいことが分かる。したがって、この結果と前述の指標配置の高さの関係から、外側の指標に対して内側の指標の光学的距離を被検眼側に近付けた方が、作動距離のずれに対する像高さ（距離ａ）の変化がより大きくなるので、図５に示すａ／ｂのグラフの傾きが大きくなり、作動距離検出がしやすくなる。また、外側に配置する指標の作動距離のずれに対する像高さ（距離ｂ）の変化を小さくしても同様に作動距離検出がしやすくなる。すなわち、内側の第１投影光学系による指標距離を短くし、反対に外側の第２投影光学系による指標距離を長くとるようにすると良い。第２投影光学系は図２に示したようにコリメーティングレンズを使用することにより、無限遠の距離に指標を容易に置くことができる（なお、第１投影光学系も無限遠距離の指標を投影するようにすると、両者とも作動距離に対する指標像の変化がほとんどなくなるので、少なくとも一方は光学的に有限距離の指標を投影する）。
【００４３】
またさらに、外側の第２投影光学系はコリメーティングレンズに代えて集光レンズを配置して収束光にすると、作動距離に対する図４上の距離ｂの長さ変化は、距離ａの変化と逆になるので、ａ／ｂのグラフの傾きがより大きくなり、作動距離検出がしやすくなる。ただし、収束光にすると検出範囲が狭まるため、集光レンズの口径を大きくしたり、収差の影響を取り除く等の配慮が必要になる。
【００４４】
次に、実施例の装置の動作を説明する。検者は顎台２により被検眼Ｅを所定の位置に位置させ、各光源を点灯する。点光源４１ａ〜４１ｄにより照明された前眼部像、及び各指標投影光学系による光源３６、４１ａ〜４１ｄの角膜反射像がＣＣＤカメラ４８にとらえられ、ＴＶモニタ６上に映出される。検者はＴＶモニタ６を見ながら、ジョイスティック５の操作により本体部３を前後左右に移動し、また、回転ノブ５ａの操作により測定部４を本体部３に対して上下に移動して、前眼部像８０の中央付近に位置する視標像８２が照準マーク８１内に入るようにアライメント調整を行う。マイクロコンピュータ６０は、画像処理・解析回路６６からの信号により検出された５つの指標像の内、中央に位置する指標像８２を抽出処理してその位置を求め、被検眼に対する測定部４（測定光学系）の上下左右方向のアライメント状態を検知して光軸からの指標像の偏位を得る。なお、上下左右方向のアライメント検知については、正面指標投影光学系を設けなくても指標像８３ａ〜８３ｄの位置から中心座標を求め、測定光軸の位置に対する中心座標位置から偏位情報を得るようにしても良い。
【００４５】
指標像８２（または指標像８３ａ〜８３ｄの中心座標位置）が所定の許容範囲内に入ると、装置は作動距離指標投影光学系による指標像を検出することにより、前述したような方法により作動距離のアライメント状態の情報を得る。マイクロコンピュータ６０は、作動距離のアライメント状態の情報に基づき表示回路６７に指令を行い、測定部４を移動すべき方向を検者に報知するインジケータをＴＶモニタ６上に表示する。図９はその表示例である。（ａ）は装置が被検眼に対して近いときであり、斜め下矢印のインジケータ９１が照準マーク８１のすぐ横の両側に表示され、これは被検眼に対して本体部３とともに測定部４を遠ざける方向（検者方向）に移動する旨を意味している。（ｂ）は装置が被検眼に対して遠いときであり、斜め上矢印のインジケータ９２が照準マーク８１のすぐ横の両側に表示される。これは被検眼に対して測定部４を近付ける方向（被検者方向）に移動する旨を意味している。（ｃ）は作動距離の位置合わせが完了しているときであり、横バーのインジケータ９３が照準マーク８１のすぐ横の両側に表示される。
【００４６】
検者はこのような作動距離のアライメントの指示に従い、ジョイスティック５を操作して本体部３を前後に移動することにより、作動距離方向のアライメント調整を完了させる。
【００４７】
マイクロコンピュータ６０は、作動距離のアライメントが完了したと判定し、かつ上下左右方向のアライメント状態も所定の許容範囲にあることを確認したら、測定開始信号を自動的に発して測定を実行する（アライメントが完了した旨をＴＶモニタ６に表示、又は音により検者に報知し、これにより検者が測定開始スイッチ７を押して測定を実行しても良い）。測定用光源１１の点灯により被検眼眼底にはターゲット像が投影され、眼底で反射したターゲット像は受光素子２３により検出される。受光素子２３の信号に基づき移動レンズ２１、ターゲット板１３を眼底と共役な位置にくるように移動する。次に、第１リレーレンズ３１を移動して固視標３３と被検眼Ｅの眼底とを共役な位置においた後、さらにこれを適当なディオプタ分だけ雲霧がかかるようにこれを移動させる。被検眼Ｅに雲霧がかかった状態で、測定用光源１１、角膜反射除去マスク２０及び受光素子２３を光軸回りに１８０度回転させる。回転中、受光素子２３からの信号によりタ−ゲット板１３及び移動レンズ２１が移動し、その移動量をポテンショメータ７８が検出して各経線方向の屈折力値を求める。マイクロコンピュータ６０は、この屈折力値に所定の処理を施すことによって被検眼の屈折力を得る。測定結果はＴＶモニタ６上に表示される。
【００４８】
なお、測定時には（特に、検者が測定開始スイッチ７を押して測定を実行する場合には）、作動距離のアライメントが厳密に完了していなくても、前述したように作動距離のずれ量が分かるので、このずれ量に基づいて測定値を補正するようにしても良い。屈折力の測定値の補正は次のようにして行うことができる。測定により得られた屈折力値をＤｘ  （ディオプタ）、適性作動距離に対する測定時の作動距離のずれ量をｘ（ｍ）、適性作動距離における被検眼の真の屈折力値をＤ（ディオプタ）とすると、
Ｄ＝１／｛（１／Ｄｘ  ）−ｘ｝
と表すことができ、補正した屈折力値を得ることができる。
【００４９】
以上のアライメント操作はジョイスティック５等の操作により検者が手動で行うものとしたが、測定部４をそれぞれの方向又は一部の方向にモータ等により電動で移動する移動機構を設け、アライメント状態の検出結果に基づいて自動的にアライメント調整をさせることもできる。また、実施例では据え置き型の装置を例にとって説明したが、本発明は手持ちタイプの装置にも同様に使用できる。
【００５０】
上記の実施例においては、被検眼の乱視の影響を最小限にするために角膜頂点を通る同一経線上にアライメント光源を配置し、指標像が同一直線上に形成されるようにしたが、大きな曲率の変化がなければ必ずしも同一経線上に配置しなくても作動距離の検出が可能である。
【００５１】
以上のように作動距離のアライメント状態の判定は、第１指標投影光学系による指標像の高さと第２指標投影光学系による指標像の高さとの比（ａ／ｂ）に基づいて行うので、角膜曲率半径の個体差の影響をほとんど受けずに精度良く行える。しかし、これは角膜曲率半径に多少依存した検出方法であるので、厳密にいえば多少の誤差を含むともいえる。角膜曲率半径の違いによる検出誤差は次のようにして求めることができる。前述したように、図２で示した第２投影光学系４０ｃ，４０ｄは所定の角度の投影光軸で無限遠の指標を投影するので、作動距離方向がずれていてもその指標像高さはほとんど変化しない。したがって、指標像高さを検出することにより曲率半径が得られる。次に、得られた曲率半径とある基準の曲率半径とのずれ量を求め、このずれ量からａ／ｂの作動距離の誤差が得られる。これにより、アライメント状態の情報を修正してより精度の良いアライメントを可能にすることができる。また、測定実行により得られる測定値を作動距離の誤差分を加味して補正するようにしても良い。
【００５２】
本発明は上記の他、次のような変容が可能である。上記の説明では作動距離指標投影用の光源を４つとしたが、測定光軸からの距離の異なる少なくとも一対の指標を被検眼に投影するようにして、それぞれの反射指標像の高さを測定光軸からのずれにより求めれば、実施例と同様に作動距離の検出が可能である。
【００５３】
また、作動距離検出用の投影指標は、斜め方向から光軸外側にリング像を投影したり、光軸からの距離高さ距離が異なるスリット像を投影するようにしても良い。これらの場合、指標像を二次元位置検出素子により検出した後、画像処理を施して特定の方向の像を抽出して前述と同様に作動距離の検出に用いる。
【００５４】
以上、眼屈折力測定装置を例にとって説明したが、本発明は被検眼と測定系や検査系等とを所定の位置関係にすることが必要な種々の眼科装置に使用することができる。例えば、角膜形状測定装置においては、実施例の作動距離指標投影光学系で使用した第２投影光学系４０ｃ，４０ｄと同じものを９０度回転させた位置に置き、測定時には第２投影光学系を角膜形状測定用の指標投影光学系として兼用させることができる。角膜形状の測定は、特開昭６１−８５９２０等に記載されるように少なくとも３点の角膜投影の指標像が検出されれば、角膜形状を算出できる。
【００５５】
本発明は、上述したように種々の変容例が考えられ、技術思想を同じくするものは本発明に含まれる。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、簡単な構成でアライメント状態の検出を精度良く行うことができる。これにより、経済的に有利な装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例の装置の外観概略図を示す図である。
【図２】実施例の装置の光学系を上から見たときの概略配置図である。
【図３】装置の制御系の要部構成を示す図である。
【図４】アライメント時の画面例を示す図である。
【図５】異なる角度で投影された視標像間隔の変化率のグラフを示す図である。
【図６】光源と測定光軸からの距離に対する指標像の形成位置の説明図である。
【図７】発散光束により光学的距離が同じ有限遠の指標を投影する場合の、視標像高さの変化を説明する図である。
【図８】投影する視標の光学的距離を異なるようにしたときの、作動距離の検出を説明する図である。
【図９】作動距離方向における本体部を移動すべき方向のインジケータがＴＶモニタ上に表示された表示例を示す図である。
【符号の説明】
４  測定部
１１  測定用光源
２３  受光素子
３６  第１アライメント光源
４０ａ、４０ｂ  第１投影光学系
４０ｃ，４０ｄ  第２投影光学系
４８  ＴＶカメラ
６０  マイクロコンピュータ
６６  画像処理回路
【図１】
0003630884.tif 000002
【図２】
0003630884.tif 000003
【図３】
0003630884.tif 000004
【図４】
0003630884.tif 000005
【図５】
0003630884.tif 000006
【図６】
0003630884.tif 000007
【図７】
0003630884.tif 000008
【図８】
0003630884.tif 000009
【図９】
0003630884.tif 000010