(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定流体が流通する流管内に、流れに対向して設けられた渦発生体と、該渦発生体の両側面又は両側面近傍に導圧口をもち、該渦発生体の上流側に開口した流入口をもち、該流入口から各導圧口に連通する導管とを備え、該導管に配設したセンサに前記渦発生体で発生する渦を検出させて被測定流体の流量又は流速を測定する渦流量計であって、前記導管には、前記センサの上流側に並列な複数のフィルタが配設され、且つ各フィルタの上流側及び下流側にフィルタ交換用のバルブが配設され、前記流入口は前記流管内の高圧部に位置することを特徴とする渦流量計。
【請求項２】
各フィルタは、各々異なる網目をもつことを特徴とする請求項１記載の渦流量計。
【請求項３】
被測定流体が流通する流管内に、流れに対向して設けられた渦発生体と、該渦発生体の両側面又は両側面近傍に導圧口をもち、該渦発生体の上流側に開口した流入口をもち、該流入口から各導圧口に連通する複数の導管とを備え、該導管に配設したセンサに前記渦発生体で発生する渦を検出させて被測定流体の流量又は流速を測定する渦流量計であって、各導管には、前記センサの上流側に１つ又は並列な複数のフィルタが配設され、且つ各フィルタの上流側及び下流側にフィルタ交換用のバルブが配設され、前記流入口は前記流管内の高圧部に位置することを特徴とする渦流量計。
【請求項４】
各フィルタは、各導管の各々で又は各導管内の各々で異なる網目をもつことを特徴とする請求項３記載の渦流量計。
【請求項５】
被測定流体が流通する流管内に、流れに対向して設けられた渦発生体と、該渦発生体の両側面又は両側面近傍に導圧口をもち、該渦発生体の上流側に開口した流入口をもち、該流入口から各導圧口に連通する複数の導管とを備え、該導管に配設したセンサに前記渦発生体で発生する渦を検出させて被測定流体の流量又は流速を測定する渦流量計であって、前記導管は前記センサの上流側に各導管ごとに網目の異なるフィルタを配設し、前記流入口は前記流管内の高圧部に位置し、当該渦流量計は、各導管に配設したセンサの検出信号を比較する比較器と、該比較器により比較した各導管のセンサの検出信号の差が所定の閾値を越えた時に、警報信号を発信してフィルタの目詰まりを報知するフィルタ目詰報知器とをさらに備えることを特徴とする渦流量計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、渦流量計に関し、より詳細には、被測定流体中の不純物を取り除くためのフィルタを備えた渦流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に渦流量計は、管路に配設した渦発生体により被測定流体にカルマン渦列を発生させ、このカルマン渦列の渦を適宜な手段によって検出計数することにより流速或いは流量を知るように構成されている。したがって、管路中に臨まれる機械的構成部材は、渦発生体のみであり、構造が簡単であるため塵埃，固型物などの不純物を含有した気体，液体などの流量測定用に供することができると共に、測定精度も極めて高いので最近に至り広く実施されている。
【０００３】
ところで、この渦流量計の渦計測手段について、本出願人は特許第１２４１８８７号明細書において、分流されたバイパス管内におけるバイアス流のカルマン渦影響による圧力変動をサーミスタのようなセンサで敏感に検出して極めて高感度、高精度の流量計が得られる技術を記載した。現在、渦の検出素子としては、小型で安価という理由で熱線，金属箔，サーミスタ等の熱検出素子が多用されており、これらは定電圧，定電流源に接続されて加熱される。加熱された熱検出素子は、渦による流れ変動により放熱され、これにより生ずる抵抗値の変化を、ブリッジ回路等により電流、電圧変換するものであるが、変換された信号値は、同一流体で、流体温度，流量が等しい場合、一定電流又は電圧値が得られるが、流体が同一であっても、流体温度が変化したり、流体に含まれる塵埃の付着等による放熱係数の変化により変化する。同特許に係る渦流量計においては、分流手段を用いているので、被計測流体中の粗大塵埃など流量測定に重大な支障を与える固型物は完全に排除でき、不純物を混有する流体用として極めて有効であるが、微細な固型物がバイアス流内に混在することを避けることは不可能である。したがって、バイアス流を濾過するフィルタを設けても、どうしても目詰りを伴い次第に出力低下の傾向を生じ、遂には出力停止という状態に至る不都合が予測される。
【０００４】
このような不都合に対しては、フィルタの浄化，交換によって対処できるが、問題は、フィルタ点検時期の適切な検知或いは報知である。本出願人はこの問題を解消するために、実公昭６１−４３２０７号公報に記載の発明においてフィルタの目詰りを検知，報知し、カルマン渦の検出感度の低下、計測不良などの不都合を未然に防止してたえず適正な計測状態の下に保持できるようにした渦流量計におけるフィルタ目詰検知装置を提供した。
【０００５】
図３は、従来技術によるフィルタを備えた渦流量計の構成例を示す図で、実公昭６１−４３２０７号公報に記載のフィルタ目詰検知装置を備えた渦流量計の構成例を示す図である。図中、１は被測定流体（被計測流体）の流れる流路（管路）、２は管路１中に配設した断面形状が二等辺三角形を備えた渦発生体、２０は管路１の渦発生体２の上流側の流入口２１で一端を開口したバイパス管、１７ａｂ，１７ｃｄはバイパス管２０と分流点で分流される分流管、４ａ，４ｂは分流管１７ａｂの分流管、４ｃ，４ｄは分流管１７ｃｄの分流管である。分流管４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの端は、渦発生体２の流れに対向する面を前面として渦発生体２の両側面で導圧口３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄとして開口して形成してある。なお、導圧口３ａ，３ｂは渦発生体２の両側面の同じ位置に形成されており、導圧口３ｃ，３ｄについても同様である。管路１内を流れる被測定流体の内、バイパス管２０内に流入した流体は、分流点でその流れが二分されそれぞれ分流管１７ａｂ，１７ｃｄを通って、さらに分流管４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ内に流入し渦発生体２の後部両側に開口した導圧口３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを経て管路１内に帰流する。分流管４ａ，４ｂ（４ｃ，４ｄ）には、分流管１７ａｂ（１７ｃｄ）との交叉位置近傍にサーミスタのようなセンサ６ａｂ（６ｃｄ）が配設されている。分流管１７ａｂ，１７ｃｄには各々異なる網目を備えた取外交換自在のフィルタ１８ａｂ，１８ｃｄが配設されている。各分流管４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，１７ａｂ，１７ｃｄには各々バルブ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，１９ａｂ，１９ｃｄが設けられており、フィルタ交換を行う際に所定の分流管への被測定流体の流入を防ぐ。今、仮にフィルタ１８ａｂがフィルタ１８ｃｄより網目が小さく形成されていれば、フィルタ１８ａｂの方がフィルタ１８ｃｄよりも早く目詰まりすることとなり、両フィルタ１８ａｂ，１８ｃｄの目詰まり時間、すなわち、ダストの付着時間に差をもたせることとなる。
【０００６】
図４は、図３の渦流量計におけるフィルタ目詰検知装置の詳細な構成を示す図で、図中、２２ａｂ，２２ｃｄは各々センサ６ａｂ，６ｃｄのプリアンプ、２３ａｂ，２３ｃｄは周波数−電流変換器、又は周波数−電圧変換器のような変換器、２４は両変換器２３ａｂ，２３ｃｄよりの出力信号を比較判別する比較器、２５は警報信号出力端子、２６は両変換器２３ａｂ，２３ｃｄよりの信号を切換えることができる切換スイッチ、２７はパルス信号出力端子である。なお、比較器２４は偏差警報を発信できるようになっている。
【０００７】
管路１内を流れる被測定流体は、渦発生体２の前面を横切ると渦発生体２の下流両側に交互にカルマン渦を生成する。この渦発生体２の側面に交互に生じるカルマン渦の生成分離は圧力変動のため、バイパス管内のバイアス流の管路との合流端である開口部３ａ，３ｂ（３ｃ，３ｄ）における負荷変動として作用し、バイアス流の流速変化をカルマン渦周期と同期して発生させるものとなり、この流速変化は分流管４ａ，４ｂ（４ｃ，４ｄ）に伝達され、センサ６ａｂ（６ｃｄ）が敏感に検知し、プリアンプ２２ａｂ（２２ｃｄ），変換器２３ａｂ（２３ｃｄ）を経て、出力信号を取り出し、これにより管路１内を流れる流体の流速或いは流量を間接的に知ることができる。
【０００８】
なお、図示されていないが、例えば両センサ６ａｂ，６ｃｄは、各々が、一対のサーミスタとしてブリッジ回路を構成するものであり、定電流電源によりきわめて微弱な電流で加熱されており、流体が流れていない時はバイアス流路に流れが生じないため各々のブリッジは平衡を保って発信することがないが、流れが生ずるとバイアス流路のサーミスタセンサに流速変化が生じて一対のサーミスタは差動的に抵抗変化を生ずるのでブリッジ回路の平衡がくずれ一対の渦発生毎に一サイクルの交番電圧が発生し、これを増幅することにより渦の周波数に等しいほぼ正弦波に近い出力を得ることができ、この信号を検知して流速，流量を測定できる。このような流速，流量測定において、バイパス流路の分流管にはそれぞれ網目の大きさの異なるフィルタ１８ａｂ，１８ｃｄを配設してあり、分流された流体内の塵埃などを濾過しているので、次第に目詰まり現象を伴う。しかし、二個のフィルタ１８ａｂ，１８ｃｄはそれぞれ網目の大きさを異にしているので塵埃の付着時間には差を生ずることができる。しかも、偏差警報器２４によって両フィルタ１８ａｂ，１８ｃｄの目詰まり現象の感度低下をきわめて敏感に検知できる。ことに網目の小さいフィルタ１８ａｂは、網目の大きいフィルタ１８ｃｄより早く目詰まりすることは明らかであり、したがってフィルタ１８ａｂ側のセンサ６ａｂの方が早目に感度低下あるいは検出不能を起こす恐れがあるが、他のフィルタ１８ｃｄ側のセンサ６ｃｄは未だ十分に正常な動作を継続しているので、フィルタ１８ａｂを交換するのに必要なバルブ４ａ，４ｂ，１９ａｂを閉塞してフィルタ１８ａｂを浄化、交換するなどの適切な処置を施すことにより連続計測中にて再び正常な動作に復帰することができる。
【０００９】
一方、フィルタを用いずにセンサを保護するパージ式の渦流量計も多数提案されている。上述したように渦の検出素子として多用される小型で安価な熱線，金属箔，サーミスタ等の熱検出素子は、流体が同一であっても、流体に含まれる塵埃の付着等による放熱係数の変化により変化するが、これは、熱検出素子が直接流体に接触していることにより必然的に起こるものともいえる。このような問題を解決するために、渦変動圧力により変化する清浄な空気，窒素ガスのパージ流の変化としてパージ流を検出するパージ式渦流量計が用いられる。被測定流体の替わりにパージ流を測定することで検出センサが被測定流体に直接接触しなくなり、通常は測定不能なダーティな流体や高温，低温流体を測定することが可能となる。センサにて得られる検出信号の品質は、センサ表面を流れるパージ流量にも依存し、本管の流量が大きい程（カルマン渦による交番差圧が大きい程）センサ部は大きなパージ流量を必要とし、逆に本管の流量が低い程（カルマン渦による交番差圧が小さい程）センサ部のパージ流量は低くする必要がある。すなわち安定且つ良好なセンサ検出信号を得るためには本管の流量に同期してパージ流量も制御する必要がある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したフィルタを備えた渦流量計においては、バイパス管の全長が短いものを想定している。これは、渦発生体の上流遠方にバイパス管の流入口を設置した場合、或いは渦発生体近くに流入口を設けたとしてもバイパス管自体を長くした場合、フィルタ及びバイパス管路の摩擦や形状による抵抗により多大な圧力損失を生じ、結果としてバイパス管に流れ込む被測定流体が少なくなり、パージ式渦流量計に関して説明したような流管の流量に応じたパイパス流の変化が生じにくくなり、流量の広い範囲に亘って優れたＳ／Ｎの渦信号を得ることができないことから理解できる。すなわち、上述のフィルタ付き渦流量計においては、渦発生体前後の小さな差圧に対応するだけの形状をもつパイパス管しか設けられず、したがってフィルタを渦発生体近傍に設置する必要があり、大容量のフィルタを設置できず、フィルタの目詰まりが早くなりフィルタ交換の手間がかかる。さらに渦流量計の構成として、フィルタをその内部に設置することとなり、フィルタ交換が面倒となる。
【００１１】
一方、パージ式渦流量計は、Ｎ2ガス等の高価なガスを測定期間中常に供給していなければならず、コストがかかる上に、環境面でも好ましくない。通常、こうした渦流量計は、２４時間操業の電力設備等のプラントに設置されることも多く、パージ式の場合、ラインを止めるとパージ流の供給も止めなければならず面倒であり、コスト高，環境への影響をも考慮した場合、パージ式の渦流量計は採用しにくい。
【００１２】
本発明は、上述のごとき実状に鑑みてなされたものであり、別途パージ流の供給を必要とせず、また交換回数の少ないフィルタを備え、被測定流体に含まれる塵埃等の不純物によるカルマン渦の検出感度の低下，計測不良などの不都合を未然に防止してたえず適正な計測状態の下に保持することが可能な渦流量計を提供することをその目的とする。
【００１３】
また、本発明は、上述の渦流量計において、フィルタの目詰まりを検知することが可能な渦流量計を提供することを他の目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
第１の技術手段は、被測定流体が流通する流管内に、流れに対向して設けられた渦発生体と、該渦発生体の両側面又は両側面近傍に導圧口をもち、該渦発生体の上流側に開口した流入口をもち、該流入口から各導圧口に連通する導管とを備え、該導管に配設したセンサに前記渦発生体で発生する渦を検出させて被測定流体の流量又は流速を測定する渦流量計であって、前記導管には、前記センサの上流側に並列な複数のフィルタが配設され、且つ各フィルタの上流側及び下流側にフィルタ交換用のバルブが配設され、前記流入口は前記流管内の高圧部に位置することを特徴としたものである。
【００１５】
第２の技術手段は、第１の技術手段において、各フィルタは、各々異なる網目をもつことを特徴としたものである。
【００１６】
第３の技術手段は、被測定流体が流通する流管内に、流れに対向して設けられた渦発生体と、該渦発生体の両側面又は両側面近傍に導圧口をもち、該渦発生体の上流側に開口した流入口をもち、該流入口から各導圧口に連通する複数の導管とを備え、該導管に配設したセンサに前記渦発生体で発生する渦を検出させて被測定流体の流量又は流速を測定する渦流量計であって、各導管には、前記センサの上流側に１つ又は並列な複数のフィルタが配設され、且つ各フィルタの上流側及び下流側にフィルタ交換用のバルブが配設され、前記流入口は前記流管内の高圧部に位置することを特徴としたものである。
【００１７】
第４の技術手段は、第３の技術手段において、各フィルタは、各導管の各々で又は各導管内の各々で異なる網目をもつことを特徴としたものである。
【００１９】
第５の技術手段は、被測定流体が流通する流管内に、流れに対向して設けられた渦発生体と、該渦発生体の両側面又は両側面近傍に導圧口をもち、該渦発生体の上流側に開口した流入口をもち、該流入口から各導圧口に連通する複数の導管とを備え、該導管に配設したセンサに前記渦発生体で発生する渦を検出させて被測定流体の流量又は流速を測定する渦流量計であって、前記導管は前記センサの上流側に各導管ごとに網目の異なるフィルタを配設し、前記流入口は前記流管内の高圧部に位置し、当該渦流量計は、各導管に配設したセンサの検出信号を比較する比較器と、該比較器により比較した各導管のセンサの検出信号の差が所定の閾値を越えた時に、警報信号を発信してフィルタの目詰まりを報知するフィルタ目詰報知器とをさらに備えることを特徴としたものである。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の一実施形態に係る渦流量計の構成例を示す図である。
本発明の一実施形態に係る渦流量計は、被測定流体が流通する流管１内に、流れに対向して渦発生体２が設けられているものとする。さらにこの渦流量計は１つの導管、すなわち１つのバイパス管を備えるものとする。この導管は、バイパス管１０，分流管７ａｂ，分流管７ｃｄ，バイパス管１０′，分流管４ａ，４ｂからなり、渦発生体２の両側面又は両側面近傍に対となる導圧口３ａ，３ｂと、渦発生体２の上流側に開口した流入口（分流）１１とをもち、流入口１１から各導圧口３ａ，３ｂに連通している。バイパス管１０は管路１の渦発生体２の上流側の流入口１１で一端を開口した導管で、分流管７ａｂ，７ｃｄはバイパス管１０から分流点で分流し、各々後述のフィルタ８ａｂ，８ｃｄを経て合流点で合流する導管、バイパス管１０′は分流管７ａｂ，７ｃｄの合流点から分流管４ａ，４ｂへの分流点まで連通し、そこで分流する導管、分流管４ａ，４ｂはバイパス管１０′から分流点で分流した導管であり、分流管４ａ，４ｂの端は渦発生体２の流れに対向する面を前面として渦発生体２の両側面で、各々導圧口３ａ，３ｂとして開口して形成してある。なお、導圧口３ａ，３ｂは渦発生体２の両側面の同じ位置に形成されている。流路１内を流れる被測定流体の内、バイパス管１０内に流入した流体は、分流点でその流れが二分され、各々分流管７ａｂ，７ｃｄを通って、合流点でバイパス管１０′に流入し、さらに分流管４ａ，４ｂ内に流入し、渦発生体２の後部両側に開口した導圧口３ａ，３ｂを経て管路１内に帰流する。
【００２１】
流入口１１は流管１に設けた高圧部１′に位置するものとする。ここで流管１の高圧部１′とは、流入口１１を渦発生体２の十分上流側の流管壁又は流管壁近傍に設けるのであれば、流管１の形状を変えて管路抵抗を生じさせた部分であり、例えば直径の大きな流管から渦発生体２を設ける小さな直径をもつ流管１とを継ぐレデューザ，同径の流管と流管１とを継ぐエルボ等の管継手、オリフィス等の差圧発生機構などが挙げられる。また、圧力タップや温度タップを設ける場合には、その上流を高圧部１′として採用できる。さらには流入口１１を渦発生体２の十分上流側に動圧を生じさせるように設けるだけでもよく、その場合流入口１１が被測定流体の流れをせき止めるような位置及び形状をもっていればよい。流入口１１、すなわちフィルタの上流側での被測定流体の圧力が、導圧口３ａ，３ｂでの被測定流体の圧力に比べて、流入口１１から導圧口３ａ，３ｂに至る流管１の管壁による管路抵抗で生ずる減圧分だけでなく、さらに高い圧力を必要とし、その圧力を得るために高圧部１′が設けられている。ただし、いずれの構成で高圧部１′を作り出した場合にも、高圧部１′から流れが安定する距離だけ渦発生体２を離間しておく必要がある。この距離は整流効果をもつ管により短くすることは可能である。また、流入口１１に高圧部を設けなくとも、フィルタの上流側のバイパス管１０などにポンプを配設して被測定流体を汲み上げても同様の効果が得られる。
【００２２】
この渦流量計は、導管（バイパス管）に配設したセンサ６ａｂに渦発生体２で発生する渦を検出させて被測定流体の流量又は流速を測定する。すなわち、渦発生体２から発生する渦の信号を、渦変動圧力に応じて流動する導管内を通る被測定流体の流量又は流速の変動信号として検出する。センサ６ａｂ、渦の検出、及び流量又は流速の測定に関する詳細な説明は省略する。また、導管にはセンサ６ａｂの上流側に並列なフィルタ８ａｂ，８ｃｄが配設されているものとする。フィルタ付きの導管に流動する浄化された流体（ここでは被測定流体）で、渦発生体２で発生する渦を検出することから、本発明に係る渦流量計は自己パージ式の渦流量計ともいえる。図１で例示する渦流量計においては、分流管４ａ，４ｂにおいてバイパス管１０′との交叉位置近傍にサーミスタのようなセンサ６ａｂが配設されている。フィルタ８ａｂ，８ｃｄは、各々異なる網目を備え、取外交換自在のフィルタとし、各々分流管７ａｂ，７ｃｄに配設されている。また、各分流管７ａｂ，７ｃｄには、その各フィルタ８ａｂ，８ｃｄの上流側及び下流側に、各々上流側バルブ９ａｂ，９ｃｄ，下流側バルブ５ａｂ，５ｃｄが設けられており、フィルタ交換を行う際に所定の分流管への被測定流体の流入を防ぐ。２つの分流管７ａｂ，７ｃｄのうち一方のみを被測定流体の流管として利用するように、他方の分流管のバルブを閉じておけばよい。両方の分流管を使用して被測定流体を流動させる場合、仮にフィルタ８ａｂがフィルタ８ｃｄより網目が小さく形成されていれば、フィルタ８ａｂの方がフィルタ８ｃｄよりも早く目詰まりすることとなり、両フィルタ８ａｂ，８ｃｄの目詰まり時間、すなわち、ダストの付着時間に差をもたせることが可能となる。本実施形態によれば、センサが１箇所でも、バルブを閉めることによりフィルタ８ａｂ，８ｃｄのいずれかを計測中（運転中）に交換することが可能となる。さらに、フィルタ８ａｂ，８ｃｄを交互に使用することも可能である。
【００２３】
また、上述した渦流量計は、測定流体すべてが流量計の測定管を通過するような流量計としてもよいし、大口径の流管における流量を測定する場合に好適なように流管内に小口径の渦流量計を挿入し、その部分流速から全流量を求める挿入形渦流量計としてもよい。さらに渦発生体の形状も、図１で例示した三角柱状でなくとも渦発生体の両側で流れが剥離しカルマン渦が交番発生するような形状であればよい。
【００２４】
図２は、本発明の他の実施形態に係る渦流量計の構成例を示す図である。
本発明の他の実施形態に係る渦流量計は、図１に基づいて説明した実施形態に係る渦流量計では１つの導管を用いていたのに対し、複数の導管の各々に少なくとも１つのフィルタを設けた点が異なり、その他の構成は同様であり説明を省略する。
【００２５】
本発明の他の実施形態に係る渦流量計は複数の導管、すなわち複数のバイパス管を備えるものとする。バイパス管１０，分流管７ａｂ，分流管４ａ，４ｂからなる第１の導管は、渦発生体２の両側面又は両側面近傍に対となる導圧口３ａ，３ｂと、渦発生体２の上流側に開口した流入口（分流）１１とをもち、流入口１１から各導圧口３ａ，３ｂに連通している。同様に、バイパス管１０，分流管７ｃｄ，分流管４ｃ，４ｄからなる第２の導管は、導圧口３ｃ，３ｄと流入口（分岐）１１とをもち、流入口１１から各導圧口３ｃ，３ｄに連通している。すなわち、バイパス管１０は管路１の渦発生体２の上流側の流入口１１で一端を開口した導管で、分流管７ａｂ，７ｃｄはバイパス管１０から分流点で分流する導管、分流管４ａ，４ｂは分流管７ａｂから分流点で分流する導管、分流管４ｃ，４ｄは分流管７ｃｄから分流点で分流する導管であり、分流管４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの端は渦発生体２の流れに対向する面を前面として渦発生体２の両側面で、各々導圧口３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄとして開口して形成してある。なお、導圧口３ａ，３ｂは渦発生体２の両側面の同じ位置に形成されており、導圧口３ｃ，３ｄについても同様である。流路１内を流れる被測定流体の内、バイパス管１０内に流入した流体は、分流点でその流れが二分されそれぞれ分流管７ａｂ，７ｃｄを通って、さらに分流管４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ内に流入し、渦発生体２の後部両側に開口した導圧口３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを経て管路１内に帰流する。
【００２６】
この渦流量計は、各導管（バイパス管）に各々配設したセンサ６ａｂ，６ｃｄに渦発生体２で発生する渦を検出させて被測定流体の流量又は流速を測定する。また、第１の導管（第２の導管）にはセンサ６ａｂ（６ｃｄ）の上流側にフィルタ８ａｂ（８ｃｄ）が配設されているものとする。分流管７ａｂ，７ｃｄに各々配設されたフィルタ８ａｂ，８ｃｄは、取外交換自在のフィルタとする。各分流管７ａｂ，７ｃｄには各々上流側バルブ９ａｂ，９ｃｄ、下流側バルブ５ａ及び５ｂ，５ｃ及び５ｄが設けられており、フィルタ交換を行う際に所定の分流管への被測定流体の流入を防ぐ。フィルタ８ａｂとフィルタ８ｃｄとを各々異なる網目を備えてダストの付着時間に差をもたせることにより、バルブの閉鎖を行い、フィルタ８ａｂ，８ｃｄのいずれかを計測中（運転中）に交換することを可能としてもよい。なお、図１で説明した実施形態と図２で説明した実施形態とを組み合わせた形態も採り得る。
【００２７】
また、図２を参照して説明した渦流量計、特にフィルタが各導管ごとに網目の異なるフィルタである渦流量計において、各導管に配設したセンサの検出信号を比較する比較器と、比較器により比較した各導管のセンサの検出信号の差が所定の閾値を越えた時に、警報信号を発信してフィルタの目詰まりを報知するフィルタ目詰報知器とを備えるようにしてもよい。この比較器及びフィルタ目詰報知器は、図４のフィルタ目詰検知装置における比較器及び偏差警報器の説明を参照することにより理解可能であり、説明を省略する。
【００２８】
【発明の効果】
本発明によれば、渦流量計において、別途、Ｎ2ガス等の高価なガスによるパージ流の供給を必要とせず、また少ないフィルタ交換回数で長期間連続して流管に流れる被測定流体の流速，流量を測定することが可能となる。すなわち本発明に係る渦流量計では、大容量のフィルタを備えることが可能であり、かなりの割合の目詰まりが生じてもフィルタを交換することなしに測定が可能であり、さらに渦流量計本体の外部にフィルタを設けてフィルタ交換を簡単にすることも可能であり、そのようなフィルタを設けることにより被測定流体に含まれる塵埃等の不純物によるカルマン渦の検出感度の低下，計測不良などの不都合を未然に防止してたえず適正な計測状態の下に保持することが可能となる。
【００２９】
また、本発明によれば、上述の効果に加えてフィルタの目詰まりを検知することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態に係る渦流量計の構成例を示す図である。
【図２】  本発明の他の実施形態に係る渦流量計の構成例を示す図である。
【図３】  従来技術によるフィルタを備えた渦流量計の構成例を示す図である。
【図４】  図３の渦流量計におけるフィルタ目詰検知装置の詳細な構成を示す図である。
【符号の説明】
１…流管、１′…高圧部、２…渦発生体、３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ…導圧口、４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，７ａｂ，７ｃｄ…分流管、５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，９ａｂ，９ｃｄ…バルブ、６ａｂ，６ｃｄ…センサ、８ａｂ，８ｃｄ…フィルタ、１０，１０′…バイパス管、１１…流入口。
【図１】
0003675759.tif 000002
【図２】
0003675759.tif 000003
【図３】
0003675759.tif 000004
【図４】
0003675759.tif 000005