(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理ガスに含まれる被処理成分を吸着する吸着剤を備えた吸着塔と、
前記吸着塔に被処理ガスを導入するガス入口部と、
前記吸着塔により処理された処理済みガスを放出する処理済みガス出口部と、
前記吸着剤を加熱するヒータと、
前記吸着塔に接続した温度調節可能な減圧タンクと、
前記減圧タンクに接続した真空ポンプと、
前記真空ポンプの排気口に接続した被処理成分分解装置と、
前記分解装置に接続した分解後の清浄ガスを放出する出口部とを備え、
前記吸着剤の被処理成分の吸着能力が低下したときに前記被処理ガスの吸着塔への導入を停止するとともに前記ヒータおよび真空ポンプを稼動させ吸着剤を減圧下加熱し、前記被処理成分をガスとして脱着させ、脱着された被処理成分を前記減圧タンク内に拡散させ、前記減圧タンク内の被処理成分を所定の温度に維持し、その後被処理成分を前記真空ポンプにより吸引しその排気口から前記被処理成分分解装置に導入し、これを分解するようにしたことを特徴とするガス処理装置。
【請求項２】
前記被処理成分の脱着時には、前記吸着剤が前記吸着塔の内壁に接触しない状態で露出可能にしたことを特徴とする請求項１に記載のガス処理装置。
【請求項３】
前記吸着塔が、分割可能に構成され、かつその少なくとも一部は前記減圧タンク内に収容され、被処理成分の脱着時には、吸着剤が前記減圧タンク内で露出可能にしたことを特徴とする請求項１に記載のガス処理装置。
【請求項４】
被処理ガスの実質上全部が前記吸着剤と接触するように、前記吸着剤が吸着塔の内部に設置されている請求項３に記載のガス処理装置。
【請求項５】
前記吸着塔を減圧タンク内部で分割してスライドさせることにより、前記吸着剤の露出が行われる請求項３または４に記載のガス処理装置。
【請求項６】
通気可能なフィルタにより前記吸着剤が覆われ、前記フィルタが支持部材によって前記減圧タンクの内部に固定されている請求項５に記載のガス処理装置。
【請求項７】
（１）吸着剤が充填された吸着塔に被処理ガスを導入し、前記被処理ガスに含まれる被処理成分を吸着させる工程；
（２）前記（１）の工程により処理された処理済みガスを大気中に放出する工程；
（３）前記（１）の工程を経た後、前記吸着剤の被処理成分の吸着能力が低下したときに、前記被処理ガスの吸着塔への導入を停止するとともに前記吸着剤を減圧下加熱し、前記被処理成分をガスとして脱着させる工程；
（４）前記（３）の工程により脱着された被処理成分を温度調節された減圧タンク内に拡散させ、前記減圧タンク内の被処理成分を所定の温度に維持する工程；および
（５）前記（４）の工程を経た被処理成分を真空ポンプにより吸引し、前記真空ポンプの排気口から被処理成分分解装置に導入し、分解する工程
を有することを特徴とするガス処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス処理装置およびガス処理方法に関するものであり、詳しくは、被処理ガスが腐食性であっても装置の構成部品、例えば真空ポンプおよび減圧タンクを腐食する恐れのないガス処理装置およびガス処理方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
トンネル、地下駐車場、発電所、ボイラー、焼却炉、ビルディング等から排出されるＮＯガス、ＮＯ２ガス、硝酸ガス等（以下ＮＯｘという）、ＳＯ２ガス、また工場等から排出されるＰＦＣ（パーフルオロコンパウンド）ガスは、酸性雨の原因となることが知られており、そのため該ガスを処理する装置は従来から幾つか提案されている。
【０００３】
例えば特開平４−３１７７２０号公報には、ＮＯｘを吸着剤を用いて濃縮し、この濃縮ＮＯｘ含有ガスを燃焼域に導いて分解する方法が開示されている。
図８は、特開平４−３１７７２０号公報に開示されたガス処理装置を説明するための図である。図７において、３１は吸着塔、３２は大気放出のためのブロア、３３は真空ポンプ、３４、３５、３６はバルブ、３７はガス分解装置である。ＮＯｘをガス入口Ｆから吸着塔３１に引き込み、ＮＯｘを吸着塔内に設置された吸着剤で吸着し、浄化したガスをブロア３２によりガス出口Ｇから排出する。吸着剤に吸着されたＮＯｘは真空ポンプ３３により脱着され、高濃度濃縮ガスとなる。脱着時、通常吸着剤は加熱され、バルブ３４、３５はクローズに、バルブ３６はオープンになっている。高濃度濃縮ガスは、後段のガス分解装置３７により燃焼され、無害化され、清浄ガス出口Ｈから排出される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
前記の従来のガス処理装置にあっては、ＮＯｘが例えばＮＯ２や硝酸ガス等である場合、吸着剤の脱着再生のために３００℃以上の加熱が必要である。またＮＯ２や硝酸ガスは腐食性ガスであり、この高温、腐食性のガスが真空ポンプを腐食し、損傷させるという問題があった。
したがって本発明の目的は、被処理ガスが腐食性であっても装置の構成部品、例えば真空ポンプ、減圧タンク等を腐食する恐れのないガス処理装置およびガス処理方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、被処理ガスに含まれる被処理成分を吸着する吸着剤を備えた吸着塔と、
前記吸着塔に被処理ガスを導入するガス入口部と、
前記吸着塔により処理された処理済みガスを放出する処理済みガス出口部と、
前記吸着剤を加熱するヒータと、
前記吸着塔に接続した温度調節可能な減圧タンクと、
前記減圧タンクに接続した真空ポンプと、
前記真空ポンプの排気口に接続した被処理成分分解装置と、
前記分解装置に接続した分解後の清浄ガスを放出する出口部とを備え、
前記吸着剤の被処理成分の吸着能力が低下したときに前記被処理ガスの吸着塔への導入を停止するとともに前記ヒータおよび真空ポンプを稼動させ吸着剤を減圧下加熱し、前記被処理成分をガスとして脱着させ、脱着された被処理成分を前記減圧タンク内に拡散させ、前記減圧タンク内の被処理成分を所定の温度に維持し、その後被処理成分を前記真空ポンプにより吸引しその排気口から前記被処理成分分解装置に導入し、これを分解するようにしたことを特徴とするガス処理装置である。
請求項２の発明は、前記被処理成分の脱着時には、前記吸着剤が前記吸着塔の内壁に接触しない状態で露出可能にしたことを特徴とする請求項１に記載のガス処理装置である。
請求項３の発明は、前記吸着塔が、分割可能に構成され、かつその少なくとも一部は前記減圧タンク内に収容され、被処理成分の脱着時には、吸着剤が前記減圧タンク内で露出可能にしたことを特徴とする請求項１に記載のガス処理装置である。
請求項４の発明は、被処理ガスの実質上全部が前記吸着剤と接触するように、前記吸着剤が吸着塔の内部に設置されている請求項３に記載のガス処理装置である。
請求項５の発明は、前記吸着塔を減圧タンク内部で分割してスライドさせることにより、前記吸着剤の露出が行われる請求項３または４に記載のガス処理装置である。
請求項６の発明は、通気可能なフィルタにより前記吸着剤が覆われ、前記フィルタが支持部材によって前記減圧タンクの内部に固定されている請求項５に記載のガス処理装置である。
請求項７の発明は、（１）吸着剤が充填された吸着塔に被処理ガスを導入し、前記被処理ガスに含まれる被処理成分を吸着させる工程；
（２）前記（１）の工程により処理された処理済みガスを大気中に放出する工程；
（３）前記（１）の工程を経た後、前記吸着剤の被処理成分の吸着能力が低下したときに、前記被処理ガスの吸着塔への導入を停止するとともに前記吸着剤を減圧下加熱し、前記被処理成分をガスとして脱着させる工程；
（４）前記（３）の工程により脱着された被処理成分を温度調節された減圧タンク内に拡散させ、前記減圧タンク内の被処理成分を所定の温度に維持する工程；および
（５）前記（４）の工程を経た被処理成分を真空ポンプにより吸引し、前記真空ポンプの排気口から被処理成分分解装置に導入し、分解する工程
を有することを特徴とするガス処理方法である。
【０００６】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は本発明の一実施形態を説明するための図である。図１において、１は吸着塔、２、３、４、５、８はバルブ、6は減圧タンク、７は真空ポンプ、９は分解装置、１０は温調器、１１は濃度センサ、１２は希釈ガス供給装置である。
吸着塔１には被処理ガスに含まれる被処理成分を吸着する吸着剤が設置されている。被処理ガスは、ガス入口部Ａから吸着塔１内に導入され、被処理成分が吸着除去される。処理された処理済みガスは処理済みガス出口部Ｂから排出される。この工程において、バルブ２およびバルブ３はオープンとなっており、バルブ４およびバルブ５はクローズされている。
【０００７】
前記吸着工程が繰り返され、吸着塔１内に設置された吸着剤の被処理成分の吸着能力が低下した場合、真空加熱法により吸着剤を再生する。すなわち、被処理ガスの吸着塔１への導入を停止するとともに吸着剤をヒータにより減圧下加熱し、被処理成分をガスとして脱着させ、吸着剤を再生する。具体的にはまず、吸着塔１および減圧タンク６内を真空ポンプ７で減圧する。このときバルブ５およびバルブ８はオープン、バルブ２、バルブ３およびバルブ４はクローズとなっている。真空ポンプ７の排気口は、分解装置９と接続されているが、この工程で分解装置９は停止している。吸着塔１と減圧タンク６が所定の圧力に減圧されると、バルブ８をクローズして吸着塔１内部のヒータを加熱する。吸着剤は加熱されることで被処理成分をガスとして放出し、このガスは吸着塔１と減圧タンク６に拡散していく。吸着塔１および減圧タンク６があらかじめ減圧されていることで、これらの内部に充満していたガスの分子数が減少しており、吸着剤から放出された被処理成分を希釈するガス分子数が少ないことから、放出された被処理成分は、高濃度に吸着塔１および減圧タンク６に蓄えられる効果がある。
【０００８】
減圧タンク６に拡散した被処理成分が例えば常温で液化する性質を持つガスである場合、温調器１０を作動させて減圧タンク６を加温し、該ガスが液化しないような温度に減圧タンク６を維持する。なお、被処理成分がＮＯｘであり、かつ吸着塔１内部の吸着剤が水分を吸着した場合、真空加熱法により吸着剤から同時にＮＯｘおよび水が脱着することがあるが、この場合も減圧タンク６を加温しておくことで、ＮＯｘおよび水を液化させずに両者を蓄えておくことが可能になる。これによって減圧タンク６内壁の結露を防ぎ、かつＮＯｘと水の反応による液体状の硝酸を生成することを防ぎ、減圧タンク６内部の腐食を防ぐ効果を得ることが可能である。
【０００９】
また、減圧タンク６に拡散したガス成分が大量にあり、吸着塔１で加熱された温度と同じガス温度で減圧タンク６に拡散して行く場合、温調器１０を冷却器として作動させて、このガス温度の温度を低下させる。これによって次の工程で再び使用する真空ポンプ７を保護する効果を得ることが可能となる。
例えば、被処理成分がＮＯｘである場合、耐熱性、耐腐食性をもつ真空ポンプ7の、一般的な使用温度例は２００℃以下である。この理由から、減圧タンク６内部のＮＯｘガス温度を温調器１０で２００℃以下に冷却し維持することで、耐熱性、耐腐食性の真空ポンプを使用することが可能で、次に説明する工程を実行することが可能である。
【００１０】
吸着剤の再生の完了は、減圧タンク６に備えられた濃度センサ１１により知ることができる。すなわち、濃度センサ１１により、時間の関数として被処理成分の濃度変化を測定し、時間が経過しても被処理成分の濃度が増加しなくなった場合、吸着剤の再生が完了したと判断することができる。再生後は、被処理成分を真空ポンプ７により吸引しその排気口から被処理成分の分解装置９に導入し、分解する。
ここで濃度センサ１１としては、例えばガスを光で測定する紫外−可視光吸光光度計もしくは、赤外線吸光光度計が望ましい。
【００１１】
ここで、吸着剤としてゼオライトを採用し、被処理成分をＮＯｘとした場合における、ゼオライトの吸着性能について説明する。
図２は、ゼオライトを４５０℃まで加熱した場合のゼオライト温度と加熱時間との関係を示す図であり、図３は、図２の加熱形態における吸着塔１および減圧タンク６内部の圧力変化と時間との関係を示す図であり、図４は、図２の加熱形態における吸着塔１および減圧タンク６内部の被処理成分の濃度変化と時間との関係を示す図である。なお、吸着塔１および減圧タンク６内部の圧力は、ｔ＝０ｓｅｃで１気圧（＝760Torr）であり、その後真空ポンプ７を稼動して約１０Torrまで減圧した。減圧後はバルブ８をクローズした。図２および図３から、ゼオライト温度の上昇につれて、ＮＯｘと水分が脱着され、圧力が上昇していることが判る。また図４から、ゼオライト温度の上昇とともにＮＯｘ濃度も増加し、ｔ＝３０００ｓｅｃにおいて濃度約15％でほぼ一定となったことが判る。この時点でＮＯｘはほぼ全量脱着されたが、水分は脱着し続けるため圧力は少しずつ上昇し続けている。
【００１２】
分解工程は、バルブ８をオープンにするとともに真空ポンプ7および分解装置９を作動させる。真空ポンプ７は被処理成分を吸引し、その排気口から被処理成分を分解装置９に搬送する。分解装置９では、被処理成分を分解・清浄化することが可能であり、清浄されたガスは清浄ガス出口Ｃより排出される。
例えば、分解装置９は公知の熱プラズマ分解装置または触媒型分解装置であることができる。マイクロ波熱プラズマトーチで3,000〜10,000℃のプラズマフレームを生成する熱プラズマ分解装置である場合、被処理成分のガス濃度が高ければ高いほど、これを清浄ガスに転化する率が増加する傾向にある。本実施の形態によれば高濃度の被処理成分ガスを得ることができ、清浄ガスへの転化率も増加する効果が得られる。
さらに熱プラズマ分解装置は、プラズマフレームを安定に生成するために、一定流量のガスを供給する必要があるが、吸着塔１と減圧タンク６内部のガスが不足し、一定流量供給できなくなった場合は、分解装置９を停止し、同時にバルブ４をオープンにして、希釈ガス供給装置１２を作動させ、空気、純チッ素、純酸素および希ガス類等の無害ガスを吸着塔１および減圧タンク６内部に導入し、被処理成分である有害ガスを環境基準以下の濃度まで希釈して清浄ガス出口Ｃより排出することが可能である。
【００１３】
続いて、前記操作において、吸着塔１および減圧タンク６内部が希釈ガスで置換された後は、バルブ４、５、８をクローズし、真空ポンプ７および希釈ガス供給装置１２を停止し、続いてバルブ２、３をオープンにして、ガス入口部Ａから被処理ガスを吸着塔１内に導入し、被処理成分を吸着除去し、処理済みガスを処理済みガス出口部Ｂから排出する。その後は、前記の工程を再び行うことができる。
【００１４】
吸着剤としては、活性炭やゼオライトを用いることが可能であり、被処理成分、例えば有害ガスは一般的に水分を含んでいるため、疎水性ゼオライトが好ましい。さらには有害ガスが自動車排気ガスである場合は、細孔径が5Å以上を有するフォージャサイト型もしくはMFI型構造を持つ疎水性ゼオライトを用いることが好ましい。
【００１５】
図５は、本実施の形態の減圧タンク６を詳細に説明するための図である。図５において、１３は窓、１４、１５は接続口、１６は配水管、１７は熱交換器であり、その他の符号は図１と同様である。
図５によれば減圧タンク6に窓１３が設置され、この窓１３を介して減圧タンク６内部に光を入射することができ、窓１３付近に設置された濃度センサ１１（図示せず）により、前述のように時間の関数として被処理成分の濃度変化を測定し、時間が経過しても被処理成分の濃度が増加しなくなった場合、吸着剤の再生が完了したと判断することができる。また接続口１４はバルブ５を介して吸着塔１と接続し、接続口１５はバルブ８を介して真空ポンプ７と接続する。減圧タンク６の側部には温調器１０が備えられ、この温調器で温調された水を減圧タンク６へ供給する配水管１６が設けられている。減圧タンク６の内部は、熱交換器１７が備えられており、温調された水が配水管１６を通って熱交換器１７に供給される。熱交換器１７は減圧タンク6内部のガス温度を調整するために用いられる。
【００１６】
実施の形態２．
図６は、本発明の別の実施形態を説明するための図である。図６において、１８は吸着剤、１９は円柱状のフィルタ、２０は支持リング、２１は支柱、２２は減圧タンク、２３はヒータ、２４、２５は吸着塔、２６、２７はオーリング、２８、２９はゲートバルブ、３０は接続口である。
図６ａは吸着塔および減圧タンクの断面図であり、吸着塔２４、２５の少なくとも１部が減圧タンク２２内に収容されている。吸着剤１８は通気可能な円柱状のフィルタ１９で上下および側面部を覆われており、さらにフィルタ１９は支持リング２０および支柱２１からなる支持部材によって減圧タンク２２の内部に支持・固定されている。図６ｂは図６ａのＥ−Ｅ’断面図であり、吸着剤１８、フィルタ１９、支柱２１および減圧タンク２２の位置関係を説明するものである。吸着剤１８の内部にはヒータ２３が埋め込まれている。
【００１７】
図６ａにおいて、吸着塔２４、２５は減圧タンク２２の上下部でオーリング２６および２７を介して減圧タンク２２に支持されている。ここでオーリング２６、２７は吸着塔２４、２５を支持するのみならず、減圧タンク２２内部の気密を保つようにパッキングしている。吸着塔２４、２５の端部にはそれぞれ流体の移動を制止するゲートバルブ２８、２９が設けられている。このゲートバルブ２８を通して被処理ガスが導入され、吸着剤１８と接触し、被処理成分が吸着剤１８に吸着され、清浄ガスがゲートバルブ２９を通して排出される。このとき、吸着塔２４、２５は支持リング２０と密着しているため、被処理成分が減圧タンク２２内に入っていくことはない。また、吸着剤１８は、被処理ガスの実質上全部が吸着剤１８と接触するように、吸着塔２４、２５の内部に設置されている。
【００１８】
吸着工程が繰り返され、吸着剤１８の被処理成分の吸着能力が低下した場合、実施の形態１と同様に真空加熱法により吸着剤を再生する。図６ｃは吸着剤１８の再生工程を説明するための図である。再生工程において、まず、ゲートバルブ２８、２９をクローズする。次に吸着塔２４、２５を減圧タンク２２内部で分割してスライドさせ、吸着剤１８の露出を行う。このとき、吸着塔２４、２５は減圧タンク２２から外側に突出し、吸着剤１８は減圧タンク２２の内部で露出した状態になる。続いて、接続口３０に接続された真空ポンプ（図示せず）を作動させて減圧タンク２２および吸着塔２４、２５内部を減圧する。さらに吸着剤１８をヒータ２３で加熱することにより、吸着塔２４、２５および減圧タンク２２内部に高濃度の被処理成分のガスを蓄えることが可能となる。
この高濃度の被処理成分ガスは、実施の形態１と同様に、接続口３０をバルブ８、真空ポンプ7および分解装置9に接続することで、分解が達成される。
【００１９】
本実施の形態において、吸着剤の再生工程では吸着剤１８がフィルタ１９を介して減圧タンク２２内部に露出していることから、被処理成分の放出が良好に達成される。被処理成分の放出および拡散の物理現象は、ガスの濃度拡散で説明される。ガスの濃度拡散はガス濃度の高いところから低いほうへ向かって、ガス分子が移動する現象である。吸着剤を円筒型の吸着塔に充填した場合、通常吸着剤の側面は円筒型吸着塔が形成する壁部と接触している。この壁部は被処理成分の脱着時に吸着剤から放出されたガス分子を停滞させる。これにより局所的にガス濃度が上昇し、この方向へのガスの濃度拡散を阻害する。よってガスの濃度拡散をスムーズに行うためには該壁部が存在しないほうがよい。本実施の形態によれば、脱着時に吸着塔２４、２５を分割しスライドさせることで、吸着剤周辺の癖部が存在せず、脱着されたガスはスムーズに短時間に吸着塔２４、２５および減圧タンク２２内部に放出される効果を得ることが可能となる。
【００２０】
実施の形態３．
なお、実施の形態２で説明した吸着塔を分割・スライドさせる手段は、前記実施の形態１においても好適に適用することができる。すなわち、被処理成分の脱着時には、吸着剤が前記吸着塔の内壁に接触しない状態で露出可能にしておけば、被処理成分の放出が良好に達成され好ましい。
図７は、本実施の形態を説明するための図である。図７において、１１８は吸着剤、１１９は円柱状のフィルタ、１２０は支持リング、１２１は支柱、１２３はヒータ、１２２、１２４、１２５は吸着塔、１２６、１２７はオーリングである。
図７ａは吸着塔および減圧タンクの断面図であり、吸着塔１２２内に吸着塔１２４、１２５が収容されている。吸着剤１１８は通気可能な円柱状のフィルタ１１９で上下および側面部を覆われており、さらにフィルタ１１９は支持リング１２０および支柱１２１からなる支持部材によって吸着塔１２２の内部に支持・固定されている。図７ｂは図７ａのＥ−Ｅ’断面図であり、吸着剤１１８、フィルタ１１９、支柱１２１および吸着塔１２２の位置関係を説明するものである。吸着剤１１８の内部にはヒータ１２３が埋め込まれている。
【００２１】
図７ａにおいて、吸着塔１２４、１２５は吸着塔１２２の上下部でオーリング１２６および１２７を介して吸着塔１２２に支持されている。ここでオーリング１２６、１２７は吸着塔１２４、１２５を支持するのみならず、吸着塔１２２内部の気密を保つようにパッキングしている。また、吸着剤１１８は、被処理ガスの実質上全部が吸着剤１１８と接触するように、吸着塔１２４、１２５の内部に設置されている。
【００２２】
吸着工程が繰り返され、吸着剤１１８の被処理成分の吸着能力が低下した場合真空加熱法により吸着剤を再生する。図７ｃは吸着剤１１８の再生工程を説明するための図である。再生工程において、吸着塔１２４、１２５を吸着塔１２２内部で分割してスライドさせ、吸着剤１１８の露出を行う。このとき、吸着塔１２４、１２５は吸着塔１２２から外側に突出し、吸着剤１１８は吸着塔１２２の内壁に接触せずに内部で露出した状態になる。続いて、真空ポンプ（図示せず）を作動させて吸着塔１２２、１２４、１２５内部を減圧する。さらに吸着剤１１８をヒータ１２３で加熱することにより、吸着塔１２２、１２４、１２５内部に高濃度の被処理成分のガスを蓄えることが可能となる。
【００２３】
【発明の効果】
請求項１の発明は、被処理ガスに含まれる被処理成分を吸着する吸着剤を備えた吸着塔と、
前記吸着塔により処理された処理済みガスを放出する処理済みガス出口部と、
前記吸着剤を加熱するヒータと、
前記吸着塔と接続した温度調節可能な減圧タンクと、
前記減圧タンクに接続した真空ポンプと、
前記真空ポンプの排気口と接続した被処理成分分解装置とを備え、
前記吸着剤の被処理成分の吸着能力が低下したときに前記被処理ガスの吸着塔への導入を停止するとともに前記ヒータおよび真空ポンプを稼動させ吸着剤を減圧下加熱し、前記被処理成分をガスとして脱着させ、脱着された被処理成分を前記減圧タンク内に拡散させ、前記減圧タンク内の被処理成分を所定の温度に維持し、その後被処理成分を前記真空ポンプにより吸引しその排気口から前記被処理成分分解装置に導入し、これを分解するようにしたことを特徴とするガス処理装置であるので、被処理ガスが腐食性であっても装置の構成部品、例えば真空ポンプを腐食する恐れがない。また減圧タンクの腐食も防止することができる。
【００２４】
請求項２の発明は、前記被処理成分の脱着時には、前記吸着剤が前記吸着塔の内壁に接触しない状態で露出可能にしたことを特徴とする請求項１に記載のガス処理装置であるので、脱着時は吸着剤の周囲に障害物がないので、スムーズかつ短時間の被処理成分の脱着が可能である。
【００２５】
請求項３の発明は、前記吸着塔が、分割可能に構成され、かつその少なくとも一部は前記減圧タンク内に収容され、被処理成分の脱着時には、吸着剤が前記減圧タンク内で露出可能にしたことを特徴とする請求項１に記載のガス処理装置であるので、被処理ガスが腐食性であっても装置の構成部品、例えば真空ポンプを腐食する恐れがない。また減圧タンクの腐食も防止することができる。さらに、脱着時は吸着剤の周囲に障害物がないので、スムーズかつ短時間の被処理成分の脱着が可能である。
【００２６】
請求項４の発明は、被処理ガスの実質上全部が前記吸着剤と接触するように、前記吸着剤が吸着塔の内部に設置されている請求項３に記載のガス処理装置であるので、被処理ガスが腐食性であっても装置の構成部品、例えば真空ポンプを腐食する恐れがない。また減圧タンクの腐食も防止することができる。さらに、吸着効率も高まる。
【００２７】
請求項５の発明は、前記吸着塔を減圧タンク内部で分割してスライドさせることにより、前記吸着剤の露出が行われる請求項３または４に記載のガス処理装置であるので、被処理ガスが腐食性であっても装置の構成部品、例えば真空ポンプを腐食する恐れがない。また減圧タンクの腐食も防止することができる。さらに、脱着時は吸着剤の周囲に障害物がないので、スムーズかつ短時間の被処理成分の脱着が可能である。
【００２８】
請求項６の発明は、通気可能なフィルタにより前記吸着剤が覆われ、前記フィルタが支持部材によって前記減圧タンクの内部に固定されている請求項５に記載のガス処理装置であるので、被処理ガスが腐食性であっても装置の構成部品、例えば真空ポンプを腐食する恐れがない。また減圧タンクの腐食も防止することができる。さらに、脱着時は吸着剤の周囲に障害物がないので、スムーズかつ短時間の被処理成分の脱着が可能である。
【００２９】
請求項７の発明は、（１）吸着剤が充填された吸着塔に被処理ガスを導入し、前記被処理ガスに含まれる被処理成分を吸着させる工程；
（２）前記（１）の工程により処理された処理済みガスを大気中に放出する工程；
（３）前記（１）の工程を経た後、前記吸着剤の被処理成分の吸着能力が低下したときに、前記被処理ガスの吸着塔への導入を停止するとともに前記吸着剤を減圧下加熱し、前記被処理成分をガスとして脱着させる工程；
（４）前記（３）の工程により脱着された被処理成分を温度調節された減圧タンク内に拡散させ、前記減圧タンク内の被処理成分を所定の温度に維持する工程；および
（５）前記（４）の工程を経た被処理成分を真空ポンプにより吸引し、前記真空ポンプの排気口から被処理成分分解装置に導入し、分解する工程
を有することを特徴とするガス処理方法であるので、被処理ガスが腐食性であっても装置の構成部品、例えば真空ポンプを腐食する恐れがない。また減圧タンクの腐食も防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態を説明するための図である。
【図２】  ゼオライトを４５０℃まで加熱した場合のゼオライト温度と加熱時間との関係を示す図である。
【図３】  図２の加熱形態における吸着塔および減圧タンク内部の圧力変化と時間との関係を示す図である。
【図４】  図２の加熱形態における吸着塔および減圧タンク内部の被処理成分の濃度変化と時間との関係を示す図である。
【図５】  実施の形態１の減圧タンクを詳細に説明するための図である。
【図６】  本発明の別の実施形態を説明するための図である。
【図７】  本発明の別の実施形態を説明するための図である。
【図８】  従来技術に開示されたガス処理装置を説明するための図である。
【符号の説明】
１  吸着塔、２，３，４，５，８  バルブ、6  減圧タンク、７  真空ポンプ、９  分解装置、１０  温調器、１１  濃度センサ、１２  希釈ガス供給装置、１３  窓、１４，１５  接続口、１６  配水管、１７  熱交換器、１８，１１８吸着剤、１９，１１９  フィルタ、２０，１２０  支持リング、２１，１２１支柱、２２，１２２  減圧タンク、２３，１２３  ヒータ、２４，２５，１２２，１２４，１２５  吸着塔、２６，２７，１２６，１２７  オーリング、２８，２９  ゲートバルブ、３０  接続口、Ａ  ガス入口部、Ｂ  ガス出口部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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