(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームにおいて、動力により回転自在となって保持される粘着ラバーロール、及びこの粘着ラバーロールの表面に対して密着するように回転自在に保持筒に保持される粘着テープロールから構成されるものを、洗浄すべき基板又はシートの上方に配置すると共に、当該基板又はシートの両端縁を下方より支持して搬送する搬送機構を配置し、当該搬送機構により搬送される基板又はシートの表面を粘着ラバーロールに当接させつつ通過させることによって、基板又はシートの表面に付着した塵埃等を粘着ラバーロールに転写、除去させ、更にこの粘着ラバーロールに転写、除去された基板又はシートの表面に付着した塵埃等を最終的に粘着テープロールに転写、除去することで除塵を行う基板又はシート表面洗浄装置において、
上記粘着ラバーロールが、中空円筒状の芯体と、該円筒状の芯体の両端を閉塞して中空部を形成するように配設されるとともに、フレームに取り付ける際に使用する保持体を軸外方向に付設する栓部と、芯体外側において両端縁のみを当該芯体に緊密に接合した粘着ラバー層とから構成され、
当該栓部の一方には、当該中空部に対して圧縮空気を外部から給排気してなる給排気孔を穿設し、前記中空部に対応する芯体の表面には、芯体半径外方向に突出する係合突起及び当該中空部と連通し、中空部内の圧縮空気を芯体外に噴出する噴気孔を配置し、
又、前記粘着ラバー層の内側面には、前記芯体の表面に配置される係合突起と芯体の半径方向に摺動自在に係合する係合凹部を設け、
芯体の噴気孔から噴出される圧縮空気により、芯体の表面に配置される係合突起と粘着ラバー層の内側面の係合凹部とが係合しつつ半径外方向に摺動することによって内部に圧縮空気を包含する応力緩和層を形成してなる
基板又はシート表面洗浄装置における粘着ラバーロール。
【請求項２】
上記芯体の表面に配置される係合突起が、芯体の半径外方向に突出する円柱状のピンであって、更に該係合突起である当該ピンに摺動自在に嵌合する粘着ラバー層の内側面に設けられた係合凹部が、同形状の円柱状の係合孔としてなるものである請求項１記載の基板又はシート表面洗浄装置における粘着ラバーロール。
【請求項３】
上記芯体の表面に配置される係合突起が、芯体軸方向に条設され、且つ、芯体の縦断面方向へ円周状に波形となる断面波形突起であって、更に該係合突起である断面波形突起に摺動自在に嵌合する粘着ラバー層の内側面に設けられた係合凹部が、上記芯体軸方向と同方向に条設され、且つ、同形状の断面波形の断面波形凹部としてなるものである請求項１記載の基板又はシート表面洗浄装置における粘着ラバーロール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
この発明は、基板やシートの表裏面に付着する塵埃や切断片等（以下、塵埃等と言う。）を除去してなる基板又はシート表面洗浄装置において、直接基板やシートの表面に密着して塵埃等を吸着除去してなる粘着ラバーロールに関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板やシートの表裏面に付着する塵埃等を粘着力を有する粘着ラバーロールにより直接吸着して除去する表面洗浄装置において、粘着ラバーロールは、円筒状の芯材と、この円筒状の芯材の表面に周設してなる肉厚のシリコンゴム等の吸着性を有する粘着ラバー層から構成されるものが一般的である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の粘着ラバーロールにおいては、直接基板やシート面に密着してその表裏面に付着する塵埃等を吸着除去するのは、弾性を有し、かつ肉厚のシリコンゴム等の粘着ラバー層であるため、粘着ラバーロールが直接密着することとなる基板又はシートが全くの平面であれば、確実に粘着ラバーロールは基板又はシート面に密着して、粘着ラバー層の有する吸着性を十分に発揮して塵埃等の吸着除去を行えるものである。
【０００４】
ところが、その被洗浄物たるシートは剛性が低い上、それを当該基板又はシート表面洗浄装置の粘着ラバーロールの接地位置まで搬送機構により搬送する際に、搬送機構によるシート面の汚損を防止するために、シート面と搬送機構との接触面積を最小限にすることが求められることから、当該粘着ラバーロールがシート面に密着しようとする時点で、既にシート面が湾曲していることが多くあった。又、基板においてもそれが薄く且つ大きくなると、シート同様に剛性が低くなり、やはり粘着ラバーロールが基板面に密着しようとする時点で、既に基板面が湾曲していることが多くあった。さらに、近年、多機能化等のため、基板又はシート面に対して多数の電子部品が装着されることが増えた。そのため、例えば一面に多数の電子部品を装着した基板又はシートの他面に付着した塵埃等を、従来の粘着ラバーロールを使用した基板又はシート表面洗浄装置により吸着除去しようとする際、当該基板又はシートは、その装着された電子部品に接触しないよう、その両端を搬送機構により保持されて当該粘着ラバーロールの接地位置へ搬送されることから、多数の電子部品を装着している当該基板又はシートは、その装着されている多数の電子部品の重み等により大きく湾曲することとなる。このように洗浄すべき基板又はシート自体が湾曲してしまうと、基板又はシートの表裏面に密着して塵埃等の吸着を行う粘着ラバーロールの粘着ラバー層が基板又はシートの表裏面に対して確実に密着することができなくなり、基板又はシート面に付着する塵埃等を完全に吸着除去することができなくなる。
【０００５】
そのため、洗浄すべき基板又はシートの湾曲への粘着ラバーロールの追従を期待して、粘着ラバーロールの有する重量を重くしたり別の加圧制御機構により粘着ラバーロール自体を積極的に基板又はシートに押し付けてなるものもある。このような場合、粘着ラバーロールの表面がシリコンゴム等の弾性を有する粘着ラバー層により構成されているので、基板又はシート表面の微妙な湾曲や凹凸程度であるならば、粘着ラバーロールの有する重量や別の加圧制御機構による押勢により、弾性を有する粘着ラバーロール自体が洗浄すべき基板又はシートに対して押勢することで、その基板又はシートを保持する搬送機構からの反作用によって粘着ラバー層が変形して、当該基板又はシートの表裏面に密着し追従することができるので、基板又はシートの表裏面に付着した塵埃等を確実に吸着除去することができるものとなる。
【０００６】
ところが、基板又はシートの湾曲が著しくなると、粘着ラバーロールを構成する粘着ラバー層も弾性があるとは言え肉厚のため変形がし難くいので、確実にその基板又はシート面に密着することができなくなる。そのため、上述のように、著しく湾曲した基板又はシートの面と粘着ラバーロールとを確実に密着させようとして、粘着ラバーロールの自重を更に重くしたり又は加圧制御機構によって更に圧力を増やすとすると、基板又はシート自体が薄くて弾性に欠けるものであるから、このような粘着ラバーロールによる基板又はシートに対する大きな圧力は、基板又はシートの変形や破損と同時にシート又は基板に装着される多くの電子部品の脱落や破損を招く原因となる。
【０００７】
又、基板やシートの一面に対して粘着ラバーロールを密着させて、当該一面に付着する塵埃等を吸着除去しようとする際には、被洗浄物たる基板またはシートに対して、粘着ラバーロールと対向する側からローラー等によって押圧することによって当該基板又はシートの湾曲を修正する方法もあるが、電子部品等が一面に装着された基板又はシートの他面を洗浄しようとする場合には、その電子部品の保護のためにローラー等によって押圧することが不可能となっている。
【０００８】
そこで、この発明は、上記従来のものの有する欠点を改善するものであり、基板やシートの表面に製造工程において付着する塵埃等を確実に吸着除去できるように、粘着ラバーロールを構成する粘着ラバー層を変形し易くして、大きく湾曲する基板又はシートの面に対してさえも追従を可能として、塵埃等の吸着除去を確実、かつ効率的に行えるようにしてなるものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
そのために、基板又はシート表面洗浄装置において、上記粘着ラバーロールが、中空円筒状の芯体と、該円筒状の芯体の両端を閉塞して中空部を形成するように配設されるとともに、フレームに取り付ける際に使用する保持体を軸外方向に付設する栓部と、芯体外側において両端縁のみを当該芯体に緊密に接合した粘着ラバー層とから構成され、当該栓部の一方には、当該中空部に対して圧縮空気を外部から給排気してなる給排気孔を穿設し、前記中空部に対応する芯体の表面には、芯体半径外方向に突出する係合突起及び当該中空部と連通し、中空部内の圧縮空気を芯体外に噴出する噴気孔を配置し、又、前記粘着ラバー層の内側面には、前記芯体の表面に配置される係合突起と芯体の半径方向に摺動自在に係合する係合凹部を設け、芯体の噴気孔から噴出される圧縮空気により、芯体の表面に配置される係合突起と粘着ラバー層の内側面の係合凹部とが係合しつつ半径外方向に摺動することによって内部に圧縮空気を包含する応力緩和層を形成してなるものである。
【００１０】
特に、上記芯体の表面に配置される係合突起が、芯体の半径外方向に突出する円柱状のピンであって、更に該係合突起である当該ピンに摺動自在に嵌合する粘着ラバー層の内側面に設けられた係合凹部が、同形状の円柱状の係合孔としてなるものである。
【００１１】
また、上記芯体の表面に配置される係合突起が、芯体軸方向に条設され、且つ、芯体の縦断面方向へ円周状に波形となる断面波形突起であって、更に該係合突起である断面波形突起に摺動自在に嵌合する粘着ラバー層の内側面に設けられた係合凹部が、上記芯体軸方向と同方向に条設され、且つ、同形状の断面波形の断面波形凹部としてなるものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
上記構成を具えるので、塵埃等を吸着除去する粘着ラバーロールは、芯体とこの芯体にその両端縁のみを緊密に接合されることとなる粘着ラバー層との間に、圧縮空気の給入によりその内部に圧縮空気を包含する応力緩和層を形成する。このとき、この応力緩和層はその内部に圧縮空気が包含されることから大きな弾性を有するので、洗浄すべき基板又はシートの表面に当接した際には、応力緩和層の内部の圧縮空気の有する弾性により応力緩和層が適宜変形し、粘着ラバーロール、特に粘着ラバー層は基板又はシートの表面と確実に密着して塵埃等を確実に吸着除去でるものとなる。また基板又はシートが著しく湾曲していても、上記粘着ラバーロール内に形成される応力緩和層の内部に包含される圧縮空気が、基板又はシート表面との密着により発生する圧力差に応じて、その圧力差を緩和するように応力緩和層内を移動して適宜変形することから、基板又はシートの湾曲に合わせて粘着ラバーロールの粘着ラバー層は表面形状を積極的に変形させ、粘着ラバーロールの粘着ラバー層は基板又はシートの表面が湾曲していても、その湾曲面に対して一定の圧力を以て常に密着するように追従し、湾曲した基板又はシート表面に付着する塵埃等でさえも確実に吸着除去することができるものである。
【００１３】
更に、粘着ラバーロールを構成する粘着ラバー層は、その内側面に設けられた係合凹部において芯体の表面に配設される係合突起と係合し、当該係合関係は、芯体の径方向へは応力緩和層の膨張、収縮に応じて摺動自在ではあるものの、応力緩和層内への圧縮空気の給入・排気に関係なく維持されることから、塵埃を吸着除去するため粘着ラバーロールの粘着ラバー層が基板又はシート表面と密着して回転することで上記粘着ラバー層に対して回転逆方向に捻れる力が加わっても、芯体の表面に配設される係合突起と粘着ラバー層の内側面の係合凹部との間の係合によって粘着ラバー層の捻れる力とは逆方向に対する抗力が発生することで、当該粘着ラバー層に発生する捻れる力は打ち消される。そのため、粘着ラバーロールを構成する粘着ラバー層の破損を防止することができると共に、常に粘着ラバー層は芯体に対して正確に保持されるので、粘着ラバーロールと基板又はシート表面との密着は正確に行われ、基板又はシートの表面に付着する塵埃等を確実に吸着除去することもできるものである。
【００１４】
【実施例】
この発明を図に示す実施例により更に説明する。図１は、この発明の実施例を具える基板又はシート表面洗浄装置（１）の概念図であり、図１に示す基板又はシート表面洗浄装置（１）は、フレーム（図示せず。）において、モーター等の動力（図示せず。）によりベルト（図示せず。）を介して回転自在となって保持される粘着ラバーロール（６）と、この粘着ラバーロール（６）の表面に対して上方向から密着するように回転自在に保持筒（３）に保持される粘着テープロール（２）、及び洗浄すべき基板又はシート（４）を装置内で搬送するために、その両端縁を、その内部のベルト支えベース（２０）の両端に配置するプーリー（２１）により駆動されるベルト（２２）によって下方より支持しつつ移動させてなる搬送機構（１９）から構成される。そして、表面を洗浄しようとする基板又はシート（４）を、当該基板又はシート（４）の両端縁を下方より支持する搬送機構（１９）のベルト（２２）に載置して該基板又はシート（４）の表面（４’）を粘着ラバーロール（６）に当接させつつ通過させることによって、基板又はシートの表面（４’）に付着した塵埃等（５）をまず粘着ラバーロール（６）に転写、吸着させた後、更にこの粘着ラバーロール（６）に転写、吸着された基板又はシート（４）の表面（４’）に付着した塵埃等（５）を、最終的に粘着テープロール（２）に転写、吸着させることで除塵を行うものである。
【００１５】
そして、この発明の実施例である粘着ラバーロール（６）は、図２乃至図５において示すように、芯体（７）と栓部（８）（８’）及び粘着ラバー層（１４）から構成されるものである。
まず、芯体（７）は鉄もしくはアルミニウムの中空円筒体であり、それに対して、フレームに取り付ける際に使用する保持体（９）（９’）を軸外方向に付設する栓部（８）（８’）を、両端を閉塞するように配設することで中空部（１０）を形成する。このとき、当該栓部（８）（８’）の一方に、当該中空部（１０）に対して圧縮空気を外部から給排気してなる給排気孔（１１）を穿設するものである。そして、当該中空部（１０）に対応する芯体（７）の表面（７’）において、芯体（７）の半径外方向に突出する係合突起、つまり円柱状のピン（１２）を設けると共に、中空部（１０）と連通し、中空部（１０）内の圧縮空気を芯体（７）外に噴出してなる噴気孔（１３）をそれぞれ等間隔に均一に複数個配置してなるものである。
また、粘着ラバー層（１４）は、両端縁のみを芯体（７）外側の両端に対して緊密に接合した上で、その内側面に当該芯体（７）の表面に配置されるピン（１２）と芯体（７）の半径方向に摺動自在に係合する同形状の係合孔（１５）を設けるものである。
そのため、上記芯体（７）と粘着ラバー層（１４）は、当該芯体（７）の噴気孔（１３）から噴出される圧縮空気によって、上記芯体（７）の中空部（１０）に対応する表面に配置されるピン（１２）と粘着ラバー層（１４）の内側面に設けられた係合孔（１５）とが係合しつつも半径外方向に摺動することにより、内部に圧縮空気を包含する応力緩和層（１６）を形成してなるものである。
【００１６】
この発明の実施例である粘着ラバーロール（６）は以上の構成を具えるものであるから、基板又はシート表面洗浄装置（１）によって、基板又はシート（４）の表面（４’）に付着した塵埃等（５）を吸着除去しようとする場合、上述のように、直接上記基板又はシート（４）の表面（４’）に密着することとなる粘着ラバーロール（６）において、芯体（７）の栓部（８）に穿設された給排気孔（１１）から圧縮空気を芯体（７）の中空部（１０）内に給入する。そして、この圧縮空気の当該芯体（７）の中空部（１０）への給入により、当該芯体（７）の中空部（１０）に対応した表面に配置された噴気孔（１３）から圧縮空気が噴出することで、上記芯体（７）の中空部（１０）に対応する表面に配置されるピン（１２）と粘着ラバー層（１４）の内側面の係合孔（１５）とが、粘着ラバーロール（６）の順逆回転方向へは係合しつつも半径外方向に摺動することにより、内部に圧縮空気を包含する応力緩和層（１６）が形成されることとなる。
【００１７】
このため、膨張した応力緩和層（１６）は、その内部に包含する圧縮空気により大きな弾性を有することから、この発明の実施例である粘着ラバーロール（６）が塵埃等（５）を吸着除去すべく、基板又はシート（４）の表面（４’）に当接した際には、上記応力緩和層（１６）の内部に包含される圧縮空気による弾性によって、上記粘着ラバーロール（６）の粘着ラバー層（１４）の外側形状は容易に変形し、粘着ラバーロール（６）は基板又はシート（４）の表面（４’）と確実に密着する。その結果、基板又はシート（４）の表面（４’）に付着している塵埃等（５）をまんべんなく吸着除去することができる。
【００１８】
そして、この装置（１）によって洗浄すべき基板又はシート（４）が傾斜したり、湾曲していても、この発明の実施例である粘着ラバーロール（６）は以下のようにして当該傾斜したり、湾曲している基板又はシート（４）の表面（４’）に対して密着して、当該基板又はシート（４）の表面（４’）に付着する塵埃等（５）を吸着除去することができる。
即ち、洗浄すべき基板又はシート（４）が粘着ラバーロール（６）に対して傾斜している場合には、粘着ラバーロール（６）と基板又はシート（４）の表面（４’）との密着において強く密着している側と弱く密着している側とが存在することになる。このとき、上記粘着ラバーロール（６）において、芯体（７）と粘着ラバー層（１４）により形成される応力緩和層（１６）では、粘着ラバーロール（６）と基板又はシート（４）の表面（４’）との密着が強く、基板又はシート（４）側からの圧力が高い側では応力緩和層（１６）の内部に包含される圧縮空気が強く押圧されるのに対し、密着が弱く圧力が低い側では応力緩和層（１６）の内部に包含される圧縮空気が弱くしか押圧されない。そのため、同じ応力緩和層（１６）内で圧力差が生じることから、この圧力差を緩和するために、粘着ラバーロール（６）と基板又はシート（４）の表面（４’）との密着が強く、基板又はシート（４）側からの圧力が高い側から、密着が弱く圧力が低い側へ応力緩和層（１６）内の圧縮空気が移動することになる。この結果、粘着ラバーロール（６）と基板又はシート（４）の表面（４’）との密着が強く圧力が高い側では圧縮空気が移動してしまうため圧力が低くなって密着が弱くなり、一方粘着ラバーロール（６）と基板又はシート（４）の表面（４’）との密着が弱く圧力が低い側では圧縮空気の圧力が高まって、粘着ラバー層（１４）自体の有する弾性変形と相まって、粘着ラバー層（１４）が外側へ膨出して基板又はシート（４）の表面（４’）との密着が強まるものである。
従って、洗浄すべき基板又はシート（４）が傾斜して、粘着ラバーロール（６）と基板又はシート（４）の表面（４’）との密着が不均一となっても、自動的に粘着ラバーロール（６）自体が基板又はシート（４）の表面（４’）との密着を均一にするよう調整することができる（図６参照）。
【００１９】
更に、洗浄すべき基板又はシート（４）が、例えば両端が反り上がるように湾曲している場合、粘着ラバーロール（６）がその両端が反り上がる基板又はシート（４）の表面（４’）に対して強く当接すると、粘着ラバーロール（６）と基板又はシート（４）の表面（４’）との密着は、その反り上がった両端において強くなるので粘着ラバーロール（６）の受ける圧力が高くなり、一方粘着ラバーロール（６）の中央では、両端に較べて粘着ラバーロール（６）と基板又はシート（４）の表面（４’）との密着が弱くなるため粘着ラバーロール（６）の受ける圧力が相対的に弱くなるものである。
従って、芯体（７）と粘着ラバー層（１４）とから形成される応力緩和層（１６）では、当該基板又はシート（４）の表面（４’）との当接により生じた圧力差を解消すべく、粘着ラバーロール（６）と基板又はシート（４）の表面（４’）との密着が強く、基板又はシート（４）側からの圧力が高い方、即ち粘着ラバーロール（６）の両端から、粘着ラバーロール（６）と基板又はシート（４）の表面（４’）との密着が弱く、基板又はシート（４）側からの圧力が低い方、即ち粘着ラバーロール（６）の中央側へ応力緩和層（１６）内の圧縮空気が移動することとなる。この結果、この応力緩和層（１６）の外側にある粘着ラバー層（１４）が、単にそれ自体の弾性変形だけでなく積極的に変形、即ち粘着ラバーロール（６）の中央が、その両端から移動してきた圧縮空気により更に半径外方向へ膨出するので、湾曲した基板又はシート（４）の表面（４’）に対して正確に追従して密着することができ、湾曲した基板又はシート（４）の表面（４’）に付着する塵埃等（５）も確実に吸着除去できるものである（図７参照）。
従って、洗浄すべき基板又はシートが湾曲して、粘着ラバーロール（６）と基板又はシート（４）の表面（４’）との密着が不均一となっても、自動的に粘着ラバーロール（６）自体が基板又はシート（４）の表面（４’）との密着を均一にするよう調整することができる（図７参照）。
【００２０】
なお、上記粘着ラバーロール（６）の粘着ラバー層（１４）は、芯体（７）との間に、内部に圧縮空気を包含する応力緩和層（１６）を有しているので、この粘着ラバーロール（６）の表面に吸着された塵埃等（５）を更に転写吸着してなる粘着テープロール（２）との密着する際の圧力は高まることから、粘着ラバーロール（６）の表面に吸着されている塵埃等（５）は確実に粘着テープロール（２）に転写吸着され、常に粘着ラバーロール（６）は清浄な状態で使用することができるものでもある。
【００２１】
更に、上記粘着ラバー層（１４）が芯体（７）との間で応力緩和層（１６）を形成するにあたって、当該芯体（７）の中空部（１０）より圧縮空気を噴出してなる芯体（７）表面（７’）の噴気孔（１３）を、特に当該芯体（７）の表面に対して等間隔に均一に配置することで、圧縮空気は均一に噴気孔（１３）より吹き出し応力緩和層（１６）は均一に膨張することとなる。このため、粘着ラバーロール（６）の粘着ラバー層（１４）の内、応力緩和層（１６）の外側部分は均一に外側へ膨出することとなり、より確実に基板又はシート（４）の表面（４’）に付着している塵埃等（５）を吸着除去することができるだけではなく、粘着ラバーロール（６）の粘着ラバー層（１４）と基板又はシート（４）の表面（４’）との当接において、この粘着ラバー層（１４）を膨出させている応力緩和層（１６）は、粘着ラバー層（１４）を通して敏感に基板又はシート（４）の表面（４’）の傾斜や湾曲を感知して、この基板又はシート（４）の表面（４’）の傾斜や湾曲により生じる応力緩和層（１６）内での圧力差を円滑に且つ確実に緩和できるように、迅速且つ正確に圧縮空気の移動を行うことができるようになるものである。
【００２２】
そこで、この発明の実施例である粘着ラバーロール（６）を用いて、汚染された基板又はシート（４）の表面（４’）に付着した塵埃等（５）、即ちゴミ粒子がどれほど吸着除去することができるか、粘着ラバーロール（６）内に給入される圧縮空気の空気圧Ｐを、０．３ｋｇｆ／ｃｍ２、０．５ｋｇｆ／ｃｍ２及び０．７ｋｇｆ／ｃｍ２（実験１乃至３）としつつ試験を行うと共に、比較として従来の粘着ラバーロールによっても同様に試験を行った（実験４参照）。この際、試験に供した湾曲した基板又はシート（４）は厚さ１．６ｍｍ、縦横２８０ｍｍの銅板であって、その搬送機構による保持は、該銅板の両端部各１０ｍｍの位置で行い、図７に示しような中央が下がったものである。ゴミ粒子（鉛よりなり、粒径を１００〜２００μｍとする。）数の測定は粘着ラバーロール（６）の両端（位置１及び位置３；銅板の両端部から各５０ｍｍの位置）と中央（位置２；銅板の両端から１４０ｍｍの中央部）で行った。その結果、この発明の実施例である粘着ラバーロール（６）は、空気圧を０．３ｋｇｆ／ｃｍ２、０．５ｋｇｆ／ｃｍ２及び０．７ｋｇｆ／ｃｍ２と換えても、従来の粘着ラバーロールであったなら最も不得意な粘着ラバーロール（６）中央におけるゴミ粒子の吸着除去が確実に行えることが認められた（図１１参照）。
【００２３】
ところで、基板又はシート（４）面に付着する塵埃等（５）を吸着除去するため粘着ラバーロール（６）の粘着ラバー層（１４）が基板又はシート（４）の表面（４’）と密着して回転することで、上記粘着ラバー層（１４）に対して回転逆方向に捻れる力が加わることとなる。このとき、粘着ラバーロール（６）を構成する粘着ラバー層（１４）は、その内側面に設けられた係合孔（１５）において芯体（７）の表面に配設されるピン（１２）と係合し、当該係合関係は応力緩和層（１６）内への圧縮空気の給入・排気に関係なく維持されることとなるため、芯体（７）の表面に配設されるピン（１２）と粘着ラバー層（１４）の内側面の係合孔（１５）との間の係合によって、粘着ラバー層（１４）の係合孔（１５）が若干変形することとなっても、粘着ラバー層（１４）の捻れる力とは逆方向に対する抗力が発生することになる。その結果、当該粘着ラバー層（１４）に発生する捻れる力は打ち消されるものである。従って、粘着ラバーロール（６）を構成する粘着ラバー層（１４）の破損を防止することができると共に、捻れる力により変形して皺などが形成されることなく粘着ラバー層（１４）の表面は滑らかに維持されるので、粘着ラバーロール（６）と基板又はシート（４）の表面（４’）との密着は正確となり、基板又はシート（４）の表面（４’）に付着する塵埃等（５）を確実に吸着除去できるものである（図８参照）。
【００２４】
このとき、粘着ラバー層（１４）の内側面に設けられた係合孔（１５）と係合する、芯体（７）の表面に配設されるピン（１２）を、芯体（７）の表面に対して特に等間隔に均一に配設することで、上述のように、基板又はシート（４）面に付着した塵埃等（５）を吸着除去するため粘着ラバーロール（６）の粘着ラバー層（１４）が基板又はシート（４）の表面（４’）と密着して回転することで粘着ラバー層（１４）に対して回転逆方向に捻れる力が加わっても、ピン（１２）と係合孔（１５）との係合により上記粘着ラバー層（１４）の捻れる力とは逆方向に生じる抗力は、粘着ラバー層（１４）の応力緩和層（１６）外側部分全体に対して均一に発生することとなるので、当該粘着ラバー層（１４）に発生する捻れる力はまんべんなく均一に打ち消されるものである。このため、粘着ラバー層（１４）に発生する捻れる力による破損を防止するだけでなく、例えば連続して使用しても粘着ラバー層（１４）の表面は変形することなく常に滑らかであって、粘着ラバーロール（６）の粘着ラバー層（１４）と基板又はシート（４）の表面（４’）との密着は常に正確となり、長時間に渡って基板又はシート（４）の表面（４’）に付着する塵埃等（５）を確実に吸着除去をすることもできるものである。
【００２５】
なお、この発明の実施例のように粘着ラバーロール（６）を構成する芯体（７）の中空部（１０）に対応する表面に円柱状のピン（１２）を配置する代わりに、芯体（７）軸方向に条設され、且つ、芯体（７）の外側を縦断面において円周状に波形となる断面波形突起（１７）とし、更に粘着ラバー層（１４）の内側面に設けられる係合孔（１５）を、上記芯体（７）軸方向と同方向に条設され、且つ、当該断面波形突起（１７）と同形状の断面波形であって摺動自在に嵌合しうる断面波形凹部（１８）としてもよいものである。即ち、上記同様に、粘着ラバーロール（６）の粘着ラバー層（１４）が基板又はシート（４）の表面（４’）と密着することで、上記粘着ラバー層（１４）に対して回転逆方向に捻れる力が加わっても、芯体（７）の表面に配設する断面波形突起（１７）と粘着ラバー層（１４）の内側面に設けられる断面波形凹部（１８）が互いに係合して、当該粘着ラバー層（１４）に発生する捻れる力を面で強固に支承することができる。尚、当然のことながら、断面波形突起（１７）と断面波形凹部（１８）との係合は、芯体（７）の半径方向には摺動自在である。このため粘着ラバー層（１４）ではその捻れる方向とは逆方向に、上記芯体（７）の断面波形突起（１７）と粘着ラバー層（１４）内側面に設けられる断面波形凹部（１８）が互いに当接・係合することで抗力が強力に発生し、上記粘着ラバー層（１４）の捻れる力が大きくても打ち消すことができる。従って、粘着ラバーロール（６）の変形は阻止されて粘着ラバー層（１４）の破損を防止できる。そして上記粘着ラバー層（１４）は、当該捻れる力によってもその表面に皺などの変形の発生がなく、常に滑らかとなるので、粘着ラバーロール（６）と基板又はシート（４）の表面（４’）との密着は確実となり、基板又はシート（４）の表面（４’）に付着する塵埃等（５）を確実に吸着除去できるものである（図９、図１０参照）。また、芯体（７）の中空部（１０）に対応する表面において、芯体（７）軸方向に条設される断面波形突起（１７）及び粘着ラバー層（１４）の内側面において同様に上記芯体（７）軸方向に条設されることとなる断面波形凹部（１８）は互いに当接・係合して、粘着ラバー層（１４）に発生する捻れる力を打ち消すように抗力を発生するもので有ればよいので、芯体（７）の断面波形突起（１７）及び粘着ラバー層（１４）の断面波形凹部（１８）の両方が芯体（７）の中空部（１０）に対応する表面及び粘着ラバー層（１４）の内側面の全面に渡って条設されている場合の他、互いに当接・係合できるように互いに対向する位置に芯体（７）の断面波形突起（１７）及び粘着ラバー層（１４）の断面波形凹部（１８）の両方が断続的に条設される場合であってもよいものである。
【００２６】
【発明の効果】
以上のとおり、基板又はシート表面洗浄装置において、基板又はシートに直接密着して基板又はシートの表裏面に付着する塵埃等を吸着除去してなる粘着ラバーロールを、圧縮空気により膨張させるものとすることで、全くの平滑な基板又はシートのみならず、傾斜や電子部品等の接合により湾曲した基板又はシートに対しても内部の圧縮空気を移動させて粘着ラバーロールの粘着ラバー層の形状を適宜変形させて、基板又はシートの形状に追従させて密着させることができるので、確実に基板又はシートの表裏面の塵埃等を吸着除去できるようになると共に、この粘着ラバーロールに密着して粘着ラバーロールに吸着除去された塵埃等を転写除去してなる粘着テープロールに対しての密着性も高まるので、効率よく粘着ラバーロールから塵埃等が転写除去され常に新しい状態での使用が可能になる上、基板又はシートと密着した際に粘着ラバーロールの粘着ラバー層に加わる捻れ方向の力に対して粘着ラバー層の係合凹部と芯体の係合突起との係合で逆方向に抗力を発生して打ち消すことができるので、粘着ラバー層は芯体に対してその表面が変形することなく滑らかに維持されて、基板又はシートに対して正確に密着し確実に洗浄を行えるものとなる優れた効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例を具える基板又はシート表面洗浄装置の概念図である。
【図２】この発明の実施例の粘着ラバーロールの全体斜視図である。
【図３】この発明の実施例の粘着ラバーロールの軸方向への断面図である。
【図４】この発明の実施例の粘着ラバーロールの膨張状態を示した軸方向への断面図である。
【図５】この発明の実施例の粘着ラバーロールの膨張状態を示した半径方向への断面図である。
【図６】この発明の実施例の粘着ラバーロールの傾いた基板又はシートに対する作動状態を示した軸方向への断面図である。
【図７】この発明の実施例の粘着ラバーロールの湾曲した基板又はシートに対する作動状態を示した軸方向への断面図である。
【図８】この発明の実施例の粘着ラバーロールに生じる捻れに対する芯体の係止突起及び粘着ラバーロールの係止凹部の動作を示した半径方向への断面図である。
【図９】この発明の実施例の変形例である粘着ラバーロールの作動状態を示した半径方向への断面図である。
【図１０】この発明の実施例の変形例である粘着ラバーロールに生じる捻れに対する芯体の断面波形突起及び粘着ラバーロールの断面波形凹部の動作を示した半径方向への断面図である。
【図１１】この発明の実施例である粘着ラバーロールの基板又はシートの洗浄試験の結果を示した図である。
【符号の説明】
１  基板又はシート表面洗浄装置
２  粘着テープロール
３  保持筒
４  基板又はシート
４（基板又はシートの）表面
５  塵埃等
６  粘着ラバーロール
７  芯体
７’  （芯体）の表面
８、８’  栓部
９、９’  保持体
１０  中空部
１１  給排気孔
１２  ピン
１３  噴気孔
１４  粘着ラバー層
１５  係合孔
１６  応力緩和層
１７  断面波形突起
１８  断面波形凹部
１９  搬送機構
２０  ベルト支えベース
２１  プーリー
２２  ベルト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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