(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダと、支持機構と、該支持機構に固着されることにより前記ヘッド素子の微小位置決めを行うためのアクチュエータとを備えたヘッドジンバルアセンブリであって、前記アクチュエータが、前記支持機構に固定される基部と、該基部から突出しており駆動信号に従って変位可能な１対の可動アーム部とを備えており、該各可動アーム部が、可撓性を有するセラミック焼結体によるアーム部材と、該アーム部材の側面に形成された圧電駆動部と、該アーム部材の先端部に形成されており前記可動アーム部間に前記ヘッドスライダを挟設すべく該ヘッドスライダの側面が固着されるスライダ固着部とを備えており、該スライダ固着部と前記アーム部材との結合部における内側コーナーに第１のコーナー補強部が設けられていることを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項２】
前記アクチュエータの前記第１のコーナー補強部が、樹脂による補強部であることを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項３】
前記アクチュエータの前記第１のコーナー補強部が、前記スライダ固着部と前記アーム部材とを鈍角又は滑らかな平面形状に結合した結合部であることを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項４】
前記アクチュエータの前記基部が、弾性を有するセラミック焼結体から形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項５】
前記アクチュエータの前記基部と前記アーム部材との結合部における内側コーナーに第２のコーナー補強部が設けられていることを特徴とする請求項４に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項６】
前記アクチュエータの前記第２のコーナー補強部が、樹脂による補強部であることを特徴とする請求項５に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項７】
前記アクチュエータの前記第２のコーナー補強部が、前記スライダ固着部と前記アーム部材とを鈍角又は滑らかな平面形状に結合した結合部であることを特徴とする請求項５に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項８】
前記セラミック焼結体が、ＺｒＯ２であることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項９】
前記アクチュエータが、前記スライダ固着部を除く前記ヘッドスライダの側面と前記アーム部材との間が空隙となるような形状を有していることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１０】
前記アクチュエータの前記可動アーム部は、駆動信号に従って前記ヘッドスライダを横方向に直線的に揺動するように構成されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１１】
アクチュエータ全体の平面形状がコ字状であることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１２】
前記アクチュエータが、前記挟設されたヘッドスライダの厚さ以下の厚さを有していることを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１３】
前記アクチュエータの前記スライダ固着部間の間隔が、前記挟設されたヘッドスライダの幅より小さく設定されていることを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１４】
前記ヘッド素子が薄膜磁気ヘッド素子であることを特徴とする請求項１から１３のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１５】
前記アクチュエータの前記スライダ固着部と前記ヘッドスライダとが、接着剤によって固着されていることを特徴とする請求項１から１４のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１６】
前記アクチュエータと前記支持機構とが、接着剤及びはんだによって固着されていることを特徴とする請求項１から１５のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１７】
請求項１から１６のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセンブリを少なくとも１つ備えたことを特徴とするディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜磁気ヘッド素子又は光ヘッド素子等のヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）及びこのＨＧＡを備えたディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク装置では、ＨＧＡのサスペンションの先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、回転する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状態で、この磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘッド素子により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気ディスクからの再生が行われる。
【０００３】
近年、磁気ディスク装置の大容量化及び高密度記録化に伴い、ディスク半径方向（トラック幅方向）の密度の高密度化が進んできており、従来のごときボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）のみによる制御では、磁気ヘッドの位置を正確に合わせることが難しくなってきている。
【０００４】
磁気ヘッドの精密位置決めを実現する手段の一つとして提案されているのが、従来のＶＣＭよりさらに磁気ヘッドスライダ側にもう１つのアクチュエータ機構を搭載し、ＶＣＭで追従しきれない微細な精密位置決めを、そのアクチュエータによって行う技術である（例えば、特開平６−２５９９０５号公報、特開平６−３０９８２２号公報、特開平８−１８０６２３号公報参照）。
【０００５】
本出願人は、この種のアクチュエータとして、ピギーバック構造のアクチュエータを提案している。このピギーバック構造のアクチュエータは、サスペンションに固定される一方の端部と、磁気ヘッドスライダに固定される他方の端部と、これら端部を連結するピラー状の変位発生部とをＰＺＴによる圧電部材でＩ字形状に一体形成してなるものであり、サスペンション上にアクチュエータと磁気ヘッドスライダとが階段状に取り付けられる。即ち、サスペンションと磁気ヘッドスライダとの間にアクチュエータが挟まれた積上げ式のカンチレバー（片持ちはり）構造となっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このようなピギーバック構造のアクチュエータを用いたＨＧＡは、
（１）積上げた構造であるため、磁気ヘッドスライダ部分のＨＧＡの厚みがアクチュエータの分だけ増大する、
（２）アクチュエータ全体がもろい材質のＰＺＴ等の圧電部材で構成されていること、並びにアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダが階段状に積上げたカンチレバー構造となるため、モーメントで衝撃が働き、耐衝撃性が非常に低い、
（３）磁気ヘッドスライダの寸法によって、微小位置決め動作時のストロークが変わってしまい、十分なストロークを得られないことがある、
（４）立体的で複雑な取り付け構造を有しているため、組み立て時の取り扱いが非常に困難であり、従来のＨＧＡ組み立て装置を適用できず、生産性が非常に悪い、
（５）アクチュエータの動きを阻害しないために、磁気ヘッドスライダ及びアクチュエータ間、並びにアクチュエータ及びサスペンション間に間隙を置いて組み立てる必要があるが、このような間隙を設けることは、耐衝撃性をさらに悪化させるのみならず、組み立てにあたって間隙を一定としなければならないので、組み立て精度が低下する。特に、サスペンション、アクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの平行度が正確に保つことが難しいので、ヘッド特性が悪化する、
等の種々の問題点を有している。
【０００７】
従って本発明は、従来技術の上述した問題点を解消するものであり、その目的は、アクチュエータ装着によるＨＧＡの厚さ増大がないヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータを備えたＨＧＡ及びこのＨＧＡを備えたディスク装置を提供することにある。
【０００８】
本発明の他の目的は、耐衝撃性を大幅に向上できるヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータを備えたＨＧＡ及びこのＨＧＡを備えたディスク装置を提供することにある。
【０００９】
本発明のさらに他の目的は、ＨＧＡの生産性を大幅に向上でき、かつ品質向上も図ることができるヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータを備えたＨＧＡ及びこのＨＧＡを備えたディスク装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダと、支持機構と、支持機構に固着されることによりヘッド素子の微小位置決めを行うためのアクチュエータとを備えたＨＧＡであって、アクチュエータが、支持機構に固定される基部と、この基部から突出しており駆動信号に従って変位可能な１対の可動アーム部とを備えており、各可動アーム部が、可撓性を有するセラミック焼結体によるアーム部材と、アーム部材の側面に形成された圧電駆動部と、アーム部材の先端部に形成されており可動アーム部間にヘッドスライダを挟設すべくこのヘッドスライダの側面が固着されるスライダ固着部とを備えており、スライダ固着部とアーム部材との結合部における内側コーナーに第１のコーナー補強部が設けられているＨＧＡが提供される。
【００１１】
駆動信号に従って変位可能な１対の可動アーム部間にヘッドスライダを挟設するように構成しているため、アクチュエータを設けてもその部分でＨＧＡの厚みが増大するような不都合が生じない。このため、アクチュエータ装着による磁気ディスク装置の寸法変更等は不要となる。また、アクチュエータ及びヘッドスライダがカンチレバー構造とはならないため、耐衝撃性が大幅に向上する。しかも、可動アーム部間にヘッドスライダを挟設する構造としているため、変位を実際に与える可動アーム部の先端部がヘッドスライダの先端まで伸ばせることとなる。このため、ヘッドスライダの寸法が変った場合にも微小位置決め動作時に同じ大きさのストロークを提供できるから必要十分なストロークを得ることができる。特に本発明によれば、スライダ固着部とアーム部材との結合部における内側コーナーに第１のコーナー補強部が設けられているので、アーム部材を可撓性を有するセラミック焼結体によって形成した場合にも、アクチュエータ自体の耐衝撃性が大幅に向上する。
【００１２】
アクチュエータの第１のコーナー補強部が、樹脂による補強部であることが好ましい。
【００１３】
アクチュエータの第１のコーナー補強部が、スライダ固着部とアーム部材とを鈍角又は滑らかな平面形状に結合した結合部であることも好ましい。
【００１４】
アクチュエータが、そのスライダ固着部を除くヘッドスライダの側面と可動アーム部との間が空隙となるような形状を有していることがより好ましい。
【００１５】
アクチュエータの基部が、弾性を有するセラミック焼結体から形成されていることも好ましい。アクチュエータの主要部を剛性の高いＺｒＯ２等のセラミック焼結体とすることにより、アクチュエータ自体の耐衝撃性が向上する。
【００１６】
アクチュエータの可動アーム部は、駆動信号に従ってヘッドスライダを横方向に直線的に揺動するように構成されていることがより好ましい。角揺動ではなく、直線揺動であるため、ヘッド素子のより精度の高い位置決めが可能となる。
【００１７】
アクチュエータの基部と可動アーム部との結合部における内側コーナーに第２のコーナー補強部が設けられていることも好ましい。これにより、アクチュエータ自体の耐衝撃性がさらに向上する。この第２のコーナー補強部が、樹脂による補強部、又はスライダ固着部とアーム部材とを鈍角若しくは滑らかな平面形状に結合した結合部であることも好ましい。
【００１８】
アクチュエータ全体の平面形状が略コ字状であることも好ましい。
【００１９】
アクチュエータが、挟設されているヘッドスライダの厚さ以下の厚さを有していることも好ましい。
【００２０】
アクチュエータの１対の可動アーム部の先端部間の間隔が挟設されているヘッドスライダの幅よりやや小さく設定されていることが好ましい。
【００２１】
以上述べたヘッド素子が薄膜磁気ヘッド素子であることも好ましい。
【００２３】
アクチュエータの可動アーム部とヘッドスライダとが、接着剤によって固着されていることも好ましい。
【００２４】
アクチュエータと支持機構とが、接着剤及びはんだによって固着されていることも好ましい。
【００２５】
本発明によれば、さらにまた、以上述べた少なくとも１つのＨＧＡを備えたディスク装置が提供される。
【００３１】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施形態として、磁気ディスク装置の要部の構成を概略的に示す斜視図であり、図２はヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）全体を表す斜視図であり、図３及び図４は本実施形態におけるＨＧＡの先端部を互いに異なる方向から見た斜視図である。
【００３２】
図１において、１０は軸１１の回りを回転する複数の磁気ディスク、１２は磁気ヘッドスライダをトラック上に位置決めするためのアセンブリキャリッジ装置をそれぞれ示している。アセンブリキャリッジ装置１２は、軸１３を中心にして角揺動可能なキャリッジ１４と、このキャリッジ１４を角揺動駆動する例えばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）からなる主アクチュエータ１５とから主として構成されている。
【００３３】
キャリッジ１４には、軸１３の方向にスタックされた複数の駆動アーム１６の基部が取り付けられており、各駆動アーム１６の先端部にはＨＧＡ１７が固着されている。各ＨＧＡ１７は、その先端部に設けられている磁気ヘッドスライダが、各磁気ディスク１０の表面に対して対向するように駆動アーム１６の先端部に設けられている。
【００３４】
図２〜図４に示すように、ＨＧＡは、サスペンション２０の先端部に、磁気ヘッド素子を有する磁気ヘッドスライダ２１の側面を挟持している精密位置決めを行うためのアクチュエータ２２を固着して構成される。
【００３５】
図１に示す主アクチュエータ１５はＨＧＡ１７を取り付けた駆動アーム１６を変位させてアセンブリ全体を動かすために設けられており、アクチュエータ２２はそのような主アクチュエータ１５では駆動できない微細な変位を可能にするために設けられている。
【００３６】
サスペンション２０は、図２〜図４に示すように、第１及び第２のロードビーム２３及び２４と、これら第１及び第２のロードビーム２３及び２４を互いに連結する弾性を有するヒンジ２５と、第２のロードビーム２４及びヒンジ２５上に固着支持された弾性を有するフレクシャ２６と、第１のロードビーム２３の取り付け部２３ａに設けられた円形のベースプレート２７とから主として構成されている。
【００３７】
フレクシャ２６は、第２のロードビーム２４に設けられたディンプル（図示なし）に押圧される軟らかい舌部２６ａを一方の端部に有しており、この舌部２６ａ上には、ポリイミド等による絶縁層２６ｂを介してアクチュエータ２２の基部２２ａが固着されている。このフレクシャ２６は、この舌部２６ａでアクチュエータ２２を介して磁気ヘッドスライダ２１を柔軟に支えるような弾性を持っている。フレクシャ２６は、本実施形態では、厚さ約２０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）によって構成されている。なお、フレクシャ２６と第２のロードビーム２４及びヒンジ２５との固着は、複数の溶接点によるピンポイント固着によってなされている。
【００３８】
ヒンジ２５は、第２のロードビーム２４にアクチュエータ２２を介してスライダ２１を磁気ディスク方向に押えつける力を与えるための弾性を有している。このヒンジ２５は、本実施形態では、厚さ約４０μｍのステンレス鋼板によって構成されている。
【００３９】
第１のロードビーム２３は、本実施形態では、約１００μｍ厚のステンレス鋼板で構成されており、ヒンジ２５をその全面に渡って支持している。ただし、ロードビーム２３とヒンジ２５との固着は、複数の溶接点によるピンポイント固着によってなされている。また、第２のロードビーム２４も、本実施形態では、約１００μｍ厚のステンレス鋼板で構成されており、ヒンジ２５にその端部において固着されている。ただし、ロードビーム２４とヒンジ２５との固着も、複数の溶接点によるピンポイント固着によってなされている。なお、この第２のロードビーム２４の先端には、非動作時にＨＧＡを磁気ディスク表面から離しておくためのリフトタブ２４ａが設けられている。
【００４０】
ベースプレート２７は、本実施形態では、約１５０μｍ厚のステンレス鋼又は鉄で構成されており、第１のロードビーム２３の基部の取り付け部２３ａに溶接によって固着されている。このベースプレート２７が駆動アーム１６（図１）に取り付けられる。
【００４１】
フレクシャ２６上には、積層薄膜パターンによる複数のリード導体を含む可撓性の配線部材２８が形成又は載置されている。配線部材２８は、フレクシブルプリント回路（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔ  Ｃｉｒｃｕｉｔ、ＦＰＣ）のごとく金属薄板上にプリント基板を作成するのと同じ公知のパターニング方法で形成されている。この配線部材２８は、例えば、厚さ約５μｍのポリイミド等の樹脂材料による第１の絶縁性材料層、パターン化された厚さ約４μｍのＣｕ層（リード導体層）及び厚さ約５μｍのポリイミド等の樹脂材料による第２の絶縁性材料層をこの順序でフレクシャ２６側から順次積層することによって形成される。ただし、磁気ヘッド素子、アクチュエータ及び外部回路と接続するための接続パッドの部分は、Ｃｕ層上にＡｕ層が積層形成されており、その上に絶縁性材料層は形成されていない。
【００４２】
本実施形態においてこの配線部材２８は、磁気ヘッド素子に接続される片側２本、両側で計４本のリード導体を含む第１の配線部材２８ａと、アクチュエータ２２に接続される片側１本、両側で計２本のリード導体を含む第２の配線部材２８ｂとから構成されている。
【００４３】
第１の配線部材２８ａのリード導体の一端は、フレクシャ２６の先端部において、このフレクシャ２６から切り離されており自由運動できる分離部２６ｃ上に設けられた磁気ヘッド素子用接続パッド２９に接続されている。接続パッド２９は、磁気ヘッドスライダ２１の端子電極２１ａに金ボンディング、ワイヤボンディング又はステッチボンディング等により接続されている。第１の配線部材２８ａのリード導体の他端は外部回路と接続するための外部回路用接続パッド３０に接続されている。
【００４４】
第２の配線部材２８ｂのリード導体の一端は、フレクシャ２６の舌部２６ａの絶縁層２６ｂ上に形成されたアクチュエータ用接続パッド３１に接続されており、この接続パッド３１はアクチュエータ２２の基部２２ａに設けられたＡチャネル及びＢチャネル信号端子電極２２ｂ及び２２ｃにそれぞれ接続されている。第２の配線部材２８ｂのリード導体の他端は外部回路と接続するための外部回路用接続パッド３０に接続されている。
【００４５】
本発明のＨＧＡにおけるサスペンションの構造は、以上述べた構造に限定されるものではないことは明らかである。なお、図示されていないが、サスペンション２０の途中にヘッド駆動用ＩＣチップを装着してもよい。
【００４６】
図５は本実施形態におけるアクチュエータの構造を示す平面図であり、図６はこのアクチュエータの圧電素子部分の構造を示す断面図であり、図７はこのアクチュエータの動作を説明するための斜視図である。
【００４７】
図５に示すように、アクチュエータ２２は、その平面形状が略コ字状となっており、サスペンションに固着される基部５０（２２ａ）の両端から１対の可動アーム部５１及び５２が垂直に伸びている。可動アーム部５１及び５２の先端部には、磁気ヘッドスライダ２１の側面に固着されるスライダ固着部５３及び５４がそれぞれ設けられている。スライダ固着部５３及び５４間の間隔は、挟設すべき磁気ヘッドスライダの幅よりやや小さくなるように設定されている。アクチュエータ２２の厚さは、アクチュエータ実装によりＨＧＡの厚さを増大させないように、挟設すべき磁気ヘッドスライダの厚さ以下に設定されている。逆にいえば、アクチュエータ２２の厚さを挟設すべき磁気ヘッドスライダの厚さまで大きくすることによって、ＨＧＡの厚さを増大させることなくアクチュエータ自体の強度を上げることができる。
【００４８】
スライダ固着部５３及び５４は、磁気ヘッドスライダ２１方向に突出しており、これによって、この部分のみが磁気ヘッドスライダ２１の側面と固着され、磁気ヘッドスライダ側面と可動アーム部５１及び５２との間の残りの部分が空隙となるようになされている。
【００４９】
可動アーム部５１及び５２は、それぞれ、アーム部材５１ａ及び５２ａとこれらアーム部材５１ａ及び５２ａの側面に形成された圧電素子５１ｂ及び５２ｂとから構成されている。
【００５０】
基部５０並びにアーム部材５１ａ及び５２ａは、弾性を有するセラミック焼結体、例えばＺｒＯ２で一体的に形成されている。このように、アクチュエータの主要部を剛性の高い即ちたわみに対して強いＺｒＯ２等のセラミック焼結体とすることにより、アクチュエータ自体の耐衝撃性が向上する。
【００５１】
圧電素子５１ｂ及び５２ｂの各々は、図６に示すように、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧電・電歪材料層６０と信号電極層６１とグランド電極層６２とが交互に積層された多層構造となっている。信号電極層６１は図３及び図４に示すＡチャネル又はＢチャネル信号端子電極２２ｂ又は２２ｃに接続されており、グランド電極層６２はグランド端子２２ｄ又は２２ｅに接続されている。
【００５２】
圧電・電歪材料層６０がＰＺＴ等のいわゆる圧電材料から構成されており、通常、変位性能向上のための分極処理が施されている。この分極処理による分極方向は、圧電素子の積層方向である。電極層に電圧を印加したときの電界の向きが分極方向と一致する場合、両電極間の圧電・電歪材料層はその厚さ方向に伸長（圧電縦効果）し、その面内方向では収縮（圧電横効果）する。一方、電界の向きが分極方向と逆である場合、圧電・電歪材料層はその厚さ方向に収縮（圧電縦効果）し、その面内方向では伸長（圧電横効果）する。
【００５３】
圧電素子５１ｂ及び５２ｂに、収縮又は伸長を生じさせる電圧を印加すると、各圧電素子部分がその都度収縮又は伸長し、これによって可動アーム部５１及び５２の各々は、図７に示すようにＳ字状に撓みその先端部が横方向に直線的に揺動する。その結果、磁気ヘッドスライダ２１も同様に横方向に直線的に揺動する。このように、角揺動ではなく、直線揺動であるため、磁気ヘッド素子のより精度の高い位置決めが可能となる。
【００５４】
両圧電素子に、互いに逆の変位が生じるような電圧を同時に印加してもよい。即ち、一方の圧電素子と他方の圧電素子とに、一方が伸長したとき他方が収縮し、一方が収縮したとき他方が伸長するような交番電圧を同時に印加してもよい。このときの可動アーム部の揺動は、電圧無印加時の位置を中央とするものとなる。この場合、駆動電圧を同じとしたときの揺動の振幅は、電圧を交互に印加する場合の約２倍となる。ただし、この場合、揺動の一方の側では圧電素子を伸長させることになり、このときの駆動電圧は分極の向きと逆となる。このため、印加電圧が高い場合や継続的に電圧印加を行う場合には、圧電・電歪材料の分極が減衰するおそれがある。従って、分極と同じ向きに一定の直流バイアス電圧を加えておき、このバイアス電圧に上述の交番電圧を重畳したものを駆動電圧とすることにより、駆動電圧の向きが分極の向きと逆になることがないようにする。この場合の揺動は、バイアス電圧だけを印加したときの位置を中央とするものとなる。
【００５５】
なお、圧電・電歪材料とは、逆圧電効果または電歪効果により伸縮する材料を意味する。圧電・電歪材料は、上述したようなアクチュエータの変位発生部に適用可能な材料であれば何であってもよいが、剛性が高いことから、通常、ＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３］、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）等のセラミックス圧電・電歪材料が好ましい。
【００５６】
このように、本実施形態におけるアクチュエータ２２は、可動アーム部５１及び５２間に磁気ヘッドスライダ２１の側面を挟み込むように構成しているため、アクチュエータ２２を設けてもその部分でＨＧＡの厚みが増大しない。このため、アクチュエータ装着による磁気ディスク装置の寸法変更等は不要となる。また、アクチュエータ２２及び磁気ヘッドスライダ２１の複合体がカンチレバー構造とはなっていないため、耐衝撃性が大幅に向上する。しかも、可動アーム部５１及び５２間に磁気ヘッドスライダ２１を挟設する構造としているため、変位を実際に与える可動アーム部５１及び５２の先端部が磁気ヘッドスライダ２１の先端まで伸ばせることとなる。このため、磁気ヘッドスライダ２１の寸法が変った場合にも微小位置決め動作時に同じ大きさのストロークを提供できるから必要十分なストロークを得ることができる。
【００５７】
図８〜図１０は本実施形態におけるＨＧＡの製造工程の一部を説明する斜視図である。
【００５８】
まず、磁気ヘッドスライダ２１及びアクチュエータ２２を用意する。磁気ヘッドスライダ２１は公知の製造方法で形成する。アクチュエータ２２は、例えば、図５に示すごときコ字状の断面を有する一側面が開口した連続する筒状のブロックを弾性を有するセラミック焼結体（例えばＺｒＯ２）で形成し、その両側面に図６に示すような断面を有する連続する圧電素子を印刷形成した後、所定の幅でこれを輪切りにし、これに端子電極等を形成することによって製造する。
【００５９】
図８に示すように、まず、磁気ヘッドスライダ２１の両側面の固着部に例えば熱硬化性のエポキシ樹脂系接着剤等の接着剤８０を塗布する。この磁気ヘッドスライダ２１を、同じく平面板８１上に載置されているアクチュエータ２２の可動アーム部５１及び５２間に挿入する。
【００６０】
アクチュエータ２２の可動アーム部５１及び５２におけるスライダ固着部５３及び５４間の間隔ＷＡが磁気ヘッドヘッドスライダ２１の幅ＷＳよりやや小さくなるように設定されているので、可動アーム部５１及び５２の把持力で磁気ヘッドスライダ２１は、ホルダ等を用いることなく仮固定され、その後、接着剤８０を熱硬化させて本固定する。
【００６１】
これにより、磁気ヘッドスライダ２１とアクチュエータ２２との複合体８２が形成される。
【００６２】
このように、磁気ヘッドスライダ２１とアクチュエータ２２との組み立てが平面板上で作業できるから、位置決めが容易であり高精度の組み立てが可能となる。しかも、接着剤として、速効性に劣るが非常に硬化特性の良好な熱硬化型接着剤を使用できるため、高品質のヘッドスライダとアクチュエータとの複合体８２を得ることができる。
【００６３】
次いで、図９に示すように、磁気ヘッドスライダ２１とアクチュエータ２２との複合体８２を、サスペンション２０のフレクシャ２６上に固着する。より具体的には、フレクシャ２６の舌部２６ａにおける絶縁層２６ｂ上とフレクシャ２６の分離部２６ｃ上に接着剤９０及び９１をそれぞれ塗布しておき、複合体８２のアクチュエータ２２の基部２２ａ（５０）を絶縁層２６ｂ上に、複合体８２の磁気ヘッドスライダ２１の先端部を分離部２６ｃ上にそれぞれ接着固定する。
【００６４】
次いで、図１０（Ａ）に示すように、アクチュエータ用接続パッド３１とアクチュエータ２２のＡチャネル及びＢチャネル信号端子電極２２ｂ及び２２ｃとを、さらにグランド接続パッド１００とアクチュエータ２２のグランド端子電極２２ｄ及び２２ｅとを、はんだ又は銀含有エポキシ樹脂によって電気的に接続する。はんだを用いて接続を行えば、複合体８２とサスペンションとの接続強度が増大する。
【００６５】
その後、図１０（Ｂ）に示すように、磁気ヘッド素子用接続パッド２９と磁気ヘッドスライダ２１の端子電極２１ａとを例えば金ボール接合により電気的に接続する。
【００６６】
複合体８２とサスペンションとの上述した接着剤による固着及び電気的接続は、この複合体８２が単純な形状であるため、ＨＧＡ組み立て装置を用いて実施可能である。このように、ＨＧＡ組み立て装置を使用して実装できるので、生産性が非常に良好となり、製造コストの低減化が可能となる。
【００６７】
図１１は、本発明の他の実施形態におけるアクチュエータの構造を示す平面図である。
【００６８】
同図に示すように、このアクチュエータは、その平面形状が略コ字状となっており、サスペンションに固着される基部１１０の両端から１対の可動アーム部１１１及び１１２が垂直に伸びている。可動アーム部１１１及び１１２の先端部には、磁気ヘッドスライダ２１の側面に固着されるスライダ固着部１１３及び１１４がそれぞれ設けられている。
【００６９】
スライダ固着部１１３及び１１４は、磁気ヘッドスライダ２１方向に突出しており、これによって、この部分のみが磁気ヘッドスライダ２１の側面と固着され、磁気ヘッドスライダ側面と可動アーム部１１１及び１１２との間の残りの部分が空隙となるようになされている。
【００７０】
可動アーム部１１１及び１１２は、それぞれ、アーム部材１１１ａ及び１１２ａとこれらアーム部材１１１ａ及び１１２ａの側面に形成された圧電素子１１１ｂ及び１１２ｂとから構成されている。
【００７１】
基部１１０並びにアーム部材１１１ａ及び１１２ａは、弾性を有するセラミック焼結体、例えばＺｒＯ２で一体的に形成されている。このように、アクチュエータの主要部を剛性の高い即ちたわみに対して強いＺｒＯ２等のセラミック焼結体とすることにより、アクチュエータ自体の耐衝撃性が向上する。
【００７２】
圧電素子１１１ｂ及び１１２ｂの構造及び動作は図５に示したアクチュエータの場合と同様である。
【００７３】
本実施形態においては、可動アーム部１１１及び１１２と基部１１０との結合部における内側コーナー、並びに可動アーム部１１１及び１１２とスライダ固着部１１３及び１１４との結合部における内側コーナーが直角ではなく斜め即ち鈍角の平面形状となるようにコーナー補強部１１５〜１１８が基部１１０並びにアーム部材１１１ａ及び１１２ａと同じセラミック焼結体で一体的に形成されている。これにより、アクチュエータ自体の耐衝撃性がかなり向上する。
【００７４】
本実施形態のその他の構成及び作用効果は、図２の実施形態の場合と全く同様であるため、説明を省略する。
【００７５】
図１２は、本発明のさらに他の実施形態におけるアクチュエータの構造を示す平面図である。
【００７６】
同図に示すように、このアクチュエータは、その平面形状が略コ字状となっており、サスペンションに固着される基部１２０の両端から１対の可動アーム部１２１及び１２２が垂直に伸びている。可動アーム部１２１及び１２２の先端部には、磁気ヘッドスライダ２１の側面に固着されるスライダ固着部１２３及び１２４がそれぞれ設けられている。
【００７７】
スライダ固着部１２３及び１２４は、磁気ヘッドスライダ２１方向に突出しており、これによって、この部分のみが磁気ヘッドスライダ２１の側面と固着され、磁気ヘッドスライダ側面と可動アーム部１２１及び１２２との間の残りの部分が空隙となるようになされている。
【００７８】
可動アーム部１２１及び１２２は、それぞれ、アーム部材１２１ａ及び１２２ａとこれらアーム部材１２１ａ及び１２２ａの側面に形成された圧電素子１２１ｂ及び１２２ｂとから構成されている。
【００７９】
基部１２０並びにアーム部材１２１ａ及び１２２ａは、弾性を有するセラミック焼結体、例えばＺｒＯ２で一体的に形成されている。このように、アクチュエータの主要部を剛性の高い即ちたわみに対して強いＺｒＯ２等のセラミック焼結体とすることにより、アクチュエータ自体の耐衝撃性が向上する。
【００８０】
圧電素子１２１ｂ及び１２２ｂの構造及び動作は図５に示したアクチュエータの場合と同様である。
【００８１】
本実施形態においては、可動アーム部１２１及び１２２と基部１２０との結合部における内側コーナー、並びに可動アーム部１２１及び１２２とスライダ固着部１２３及び１２４との結合部における内側コーナーが直角ではなく滑らかな平面形状となるようにコーナー補強部１２５〜１２８が基部１２０並びにアーム部材１２１ａ及び１２２ａと同じセラミック焼結体で一体的に形成されている。これにより、アクチュエータ自体の耐衝撃性がかなり向上する。
【００８２】
本実施形態のその他の構成及び作用効果は、図２の実施形態の場合と全く同様であるため、説明を省略する。
【００８３】
図１３は、本発明のまたさらに他の実施形態におけるアクチュエータの構造を示す平面図である。
【００８４】
同図に示すように、このアクチュエータは、その平面形状が略コ字状となっており、サスペンションに固着される基部１３０の両端から１対の可動アーム部１３１及び１３２が垂直に伸びている。可動アーム部１３１及び１３２の先端部には、磁気ヘッドスライダ２１の側面に固着されるスライダ固着部１３３及び１３４がそれぞれ設けられている。
【００８５】
スライダ固着部１３３及び１３４は、磁気ヘッドスライダ２１方向に突出しており、これによって、この部分のみが磁気ヘッドスライダ２１の側面と固着され、磁気ヘッドスライダ側面と可動アーム部１３１及び１３２との間の残りの部分が空隙となるようになされている。
【００８６】
可動アーム部１３１及び１３２は、それぞれ、アーム部材１３１ａ及び１３２ａとこれらアーム部材１３１ａ及び１３２ａの側面に形成された圧電素子１３１ｂ及び１３２ｂとから構成されている。
【００８７】
基部１３０並びにアーム部材１３１ａ及び１３２ａは、弾性を有するセラミック焼結体、例えばＺｒＯ２で一体的に形成されている。このように、アクチュエータの主要部を剛性の高い即ちたわみに対して強いＺｒＯ２等のセラミック焼結体とすることにより、アクチュエータ自体の耐衝撃性が向上する。
【００８８】
圧電素子１３１ｂ及び１３２ｂの構造及び動作は図５に示したアクチュエータの場合と同様である。
【００８９】
本実施形態においては、可動アーム部１３１及び１３２と基部１３０との結合部における内側コーナー、並びに可動アーム部１３１及び１３２とスライダ固着部１３３及び１３４との結合部における内側コーナーに、エポキシ樹脂によるコーナー補強部１３５〜１３８が形成されている。これにより、アクチュエータ自体の耐衝撃性がかなり向上する。
【００９０】
本実施形態のその他の構成及び作用効果は、図２の実施形態の場合と全く同様であるため、説明を省略する。
【００９１】
以上、薄膜磁気ヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ及びこのアクチュエータを備えたＨＧＡを用いて本発明を説明したが、本発明は、このようなアクチュエータにのみ限定されるものではなく、薄膜磁気ヘッド素子以外の例えば光ヘッド素子等のヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ及びこのアクチュエータを備えたＨＧＡにも適用可能である。
【００９２】
以上述べた実施形態は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【００９３】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本発明によれば、アクチュエータを、駆動信号に従って変位可能な１対の可動アーム部間にヘッドスライダを挟設するように構成しているため、アクチュエータを設けてもその部分でＨＧＡの厚みが増大するような不都合が生じない。このため、アクチュエータ装着による磁気ディスク装置の寸法変更等は不要となる。また、アクチュエータ及びヘッドスライダがカンチレバー構造とはならないため、耐衝撃性が大幅に向上する。しかも、可動アーム部間にヘッドスライダを挟設する構造としているため、変位を実際に与える可動アーム部の先端部がヘッドスライダの先端まで伸ばせることとなる。このため、ヘッドスライダの寸法が変った場合にも微小位置決め動作時に同じ大きさのストロークを提供できるから必要十分なストロークを得ることができる。特に本発明によれば、スライダ固着部とアーム部材との結合部における内側コーナーに第１のコーナー補強部が設けられているので、アーム部材を可撓性を有するセラミック焼結体によって形成した場合にも、アクチュエータ自体の耐衝撃性が大幅に向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態として、磁気ディスク装置の要部の構成を概略的に示す斜視図である。
【図２】図１の実施形態におけるＨＧＡ全体を表す斜視図である。
【図３】図１の実施形態におけるＨＧＡの先端部の斜視図である。
【図４】図１の実施形態におけるＨＧＡの先端部を図３とは異なる方向から見た斜視図である。
【図５】図１の実施形態におけるアクチュエータの構造を示す平面図である。
【図６】図５のアクチュエータの圧電素子部分の構造を示す断面図である。
【図７】図５のアクチュエータの動作を説明するための斜視図である。
【図８】図１の実施形態におけるＨＧＡの製造工程の一部を説明する斜視図である。
【図９】図１の実施形態におけるＨＧＡの製造工程の一部を説明する斜視図である。
【図１０】図１の実施形態におけるＨＧＡの製造工程の一部を説明する斜視図である。
【図１１】本発明の他の実施形態におけるアクチュエータの構造を示す平面図である。
【図１２】本発明のさらに他の実施形態におけるアクチュエータの構造を示す平面図である。
【図１３】本発明のまたさらに他の実施形態におけるアクチュエータの構造を示す平面図である。
【符号の説明】
１０  磁気ディスク
１１、１３  軸
１２  アセンブリキャリッジ装置
１４  キャリッジ
１５  主アクチュエータ
１６  駆動アーム
１７  ＨＧＡ
２０  サスペンション
２１  磁気ヘッドスライダ
２１ａ  端子電極
２２  アクチュエータ
２２ａ、５０  基部
２２ｂ、２２ｃ  信号端子電極
２２ｄ、２２ｅ  グランド端子電極
２３  第１のロードビーム
２３ａ  取り付け部
２４  第２のロードビーム
２４ａ  リフトタブ
２５  ヒンジ
２６  フレクシャ
２６ａ  舌部
２６ｂ  絶縁層
２６ｃ  分離部
２７  ベースプレート
２８  配線部材
２８ａ  第１の配線部材
２８ｂ  第２の配線部材
２９  磁気ヘッド素子用接続パッド
３０  外部回路用接続パッド
３１  アクチュエータ用接続パッド
５１、５２、１１１、１１２、１２１、１２２、１３１、１３２  可動アーム部
５１ａ、５２ａ、１１１ａ、１１２ａ、１２１ａ、１２２ａ、１３１ａ、１３２ａ  アーム部材
５１ｂ、５２ｂ、１１１ｂ、１１２ｂ、１２１ｂ、１２２ｂ、１３１ｂ、１３２ｂ  圧電素子
５３、５４、１１３、１１４、１２３、１２４、１３３、１３４  スライダ固着部
６０  圧電・電歪材料層
６１  信号電極層
６２  グランド電極層
８０、９０、９１  接着剤
８１  平面板
８２  複合体
１００  グランド接続パッド
１１５、１１６、１１７、１１８、１２５、１２６、１２７、１２８、１３５、１３６、１３７、１３８  コーナー補強部
【図１】
0003675315.tif 000002
【図２】
0003675315.tif 000003
【図３】
0003675315.tif 000004
【図４】
0003675315.tif 000005
【図５】
0003675315.tif 000006
【図６】
0003675315.tif 000007
【図７】
0003675315.tif 000008
【図８】
0003675315.tif 000009
【図９】
0003675315.tif 000010
【図１０】
0003675315.tif 000011
【図１１】
0003675315.tif 000012
【図１２】
0003675315.tif 000013
【図１３】
0003675315.tif 000014