(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アーク放電を行うための金属溶化物、水銀、希ガスの少なくとも１つが封入される発光管と、この発光管内に電極を支持するリード棒と、このリード棒の端部側を気密封止しかつ前記発光管から一体に延びる封止管と、この封止管内の前記リード棒の端部が挿入されるビーズ管と、このビーズ管内に挿入された前記リード棒の端部を支持するベース部材と、前記リード棒に導通しかつ前記封止管との間の前記ベース部材の外周部に添設される複数のシール用金属箔と、これら各シール用金属箔のそれぞれに導通する複数の集電部材と、これら各集電部材を集束させて接続される給電用リード線とを備え、
前記ベース部材の後端部外周上に、その直径方向に縮径して形成された複数の凹陥部を有し、これら凹陥部が前記シール用金属箔の枚数以上であり、前記凹陥部に前記集電部材の一部を配置することを特徴とする放電灯。
【請求項２】
アーク放電を行うための金属溶化物、水銀、希ガスの少なくとも１つが封入される発光管と、この発光管内に電極を支持するリード棒と、このリード棒の端部側を気密封止しかつ前記発光管から一体に延びる封止管と、この封止管内の前記リード棒の端部が挿入されるビーズ管と、このビーズ管内に挿入された前記リード棒の端部を支持するベース部材と、前記リード棒に導通しかつ前記封止管との間の前記ベース部材の外周部に添設される複数のシール用金属箔と、これら各シール用金属箔のそれぞれに導通する複数の集電部材と、これら各集電部材を集束させて接続される給電用リード線とを備え、
前記ベース部材の後端部外周上に、その直径方向に縮径して形成された複数の平面状の当接部を有し、これら当接部が前記シール用金属箔の枚数以上であり、前記当接部に前記集電部材の一部を配置することを特徴とする放電灯。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光産業分野、半導体デバイスの製造分野などで使用される放電灯に係り、さらに詳しくは、箔シール構造を有し電極マウント部に特徴のある放電灯に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ショートアーク型放電灯などに代表される放電灯は、ワークに対して紫外線を放射して利用される分野、例えば、半導体デバイスの製造分野などで広く用いられている。そして、放電灯の電極マウント部について様々な構成を備えるものが提案されている。
【０００３】
図１１に示すように、従来の放電灯における電極１０３のマウント部１１０の構造は、その先端に該電極１０３を有するリード棒１０８が、石英ガラス製のビーズ管１０４を挿通し、真空気密封止部を構成する石英ガラス製のベース部材１０５の前端面にて集電円盤１０９Ａ、シール用金属箔１１２と導通している。そしてベース部材１０５の後端面において、集電板１０９Ｂを介して外部リード棒１０７および給電用リード線１７１と導通し、この給電用リード線１７１に口金１０６が設けられている。なお、他の電極１０２側においても、前記電極１０３側と同様の構成となっている。
【０００４】
また、他の例として、図１２、図１３に示すような電極２０３のマウント部２１０もある。このマウント部２１０は、その先端に該電極２０３を有するリード棒２０８が、石英ガラス製のビーズ管２０４に挿入され、真空気密封止部を構成する石英ガラス製のベース部材２０５の前端面にて集電円盤２０９Ａ、シール用金属箔２１２と導通している。そして、シール用金属箔２１２の後端部において、複数の集電部材２８０が接続されており、この集電部材２８０はベース部材２０５の後端面側（マウント部末端）にて束ねられ給電用リード線２７１と接続されている。
【０００５】
そして、図１１の従来例において、封止管１１１の内部へのマウント部１１０の封着は、通常、以下に示す手順により行なわれる。
▲１▼端部を封じ切った状態にある封止管１１１の内部にマウント部１１０を挿入する。
▲２▼発光管１０１および封止管１１１の内部を負圧にする。
▲３▼発光管軸を中心として封止管１１１を回転させる。
▲４▼封止管１１１外部からバーナであぶって、そのあぶった領域を縮径させながら、マウント部１１０の位置を調整し、封止管１１１内へ封着する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記した放電灯では以下に示す問題点が存在した。従来の放電灯のマウント部における封着について前記手順による場合、シール用金属箔１１２は、集電円盤１０９Ａと集電板１０９Ｂにつながれているのみで、石英ガラス製のベース部材１０５に固定されていないために、封着時の回転により、ベース部材１０５の外周上で容易にずれてしまう。よって、シール用金属箔１１２にヨレおよび重なりが生じてしまうという問題があった。
【０００７】
また、容積の小さい（重量が軽い）電極１０２のマウント部１１０の封着においては、シール用金属箔１１２のヨレおよび重なりはまれにしか発生しないが、容積の大きい（重量が重い）電極１０３のマウント部１１０の封着においては、封着時の回転によりマウント部１１０が大きくぶれるため、シール用金属箔１１２のヨレおよび重なりが顕著に発生してしまう。そうすると、金属箔１１２のヨレおよび重なりは、電気抵抗が生じることによって熱により溶断してしまい、立ち消えを発生させる。また、ヨレおよび重なりが元で、封止管１１１にクラックを発生させ、外観も悪くなり、商品価値を低下させる。さらに、シール用金属箔１１２の重なりは、発光管１０１内部の気密を悪くするため、封止管１１１にリークが発生したり、シール用金属箔１１２の重なり箇所の膨張により、封止管１１１のクラック、破裂などを引き起こす可能性がある。
【０００８】
そして、図１２、図１３の従来例においても前記の図１１の例と同様に、封止管２１１外部からバーナであぶって、そのあぶった領域を縮径させ、マウント部２１０を封止管２１１内面に封着し、発光管２０１内の気密は保たれている。そして、シール用金属箔２１２は石英ガラス製のベース部材２０５に沿って配置されているが、シール用金属箔２１２は集電円盤２０９Ａにて固定されているに過ぎず、石英ガラス製のベース部材２０５に固定されていないために、封着時の回転により、ベース部材２０５の外周上で容易にずれてしまう。よって、前記の図１１の例と同様に、シール用金属箔２１２に切れ、ヨレおよび重なりが生じてしまうという問題があった。
【０００９】
そこで、本発明は、このような問題点を解決すべく創案されたもので、マウント部を封止管内に封着する際、シール用金属箔に切れ、ヨレおよび重なりを発生させない放電灯を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、アーク放電を行うための金属溶化物、水銀、希ガスの少なくとも１つが封入される発光管と、この発光管内に電極を支持するリード棒と、このリード棒の端部側を気密封止しかつ前記発光管から一体に延びる封止管と、この封止管内の前記リード棒の端部が挿入されるビーズ管と、このビーズ管内に挿入された前記リード棒の端部を支持するベース部材と、前記リード棒に導通しかつ前記封止管との間の前記ベース部材の外周部に添設される複数のシール用金属箔と、これら各シール用金属箔のそれぞれに導通する複数の集電部材と、これら各集電部材を集束させて接続される給電用リード線とを備え、前記ベース部材の後端部外周上に、その直径方向に縮径して形成された複数の凹陥部を有し、これら凹陥部が前記シール用金属箔の枚数以上であり、前記凹陥部に前記集電部材の一部を配置する放電灯として構成したものである。
【００１１】
前記の構成において、ベース部材の後端部外周上に、その直径方向に縮径して形成されたシール用金属箔の枚数以上の凹陥部を有し、これら凹陥部に、シール用金属箔の後端部に接続された集電部材の一部を配置することにより、凹陥部が集電部材のベース部材外周上でのずれを抑制し、集電部材がベース部材に直接固定される。集電部材に接続されたシール用金属箔もベース部材に直接固定され、回転を伴う封着作業において、ベース部材外周上でずれない。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、アーク放電を行うための金属溶化物、水銀、希ガスの少なくとも１つが封入される発光管と、この発光管内に電極を支持するリード棒と、このリード棒の端部側を気密封止しかつ前記発光管から一体に延びる封止管と、この封止管内の前記リード棒の端部が挿入されるビーズ管と、このビーズ管内に挿入された前記リード棒の端部を支持するベース部材と、前記リード棒に導通しかつ前記封止管との間の前記ベース部材の外周部に添設される複数のシール用金属箔と、これら各シール用金属箔のそれぞれに導通する複数の集電部材と、これら各集電部材を集束させて接続される給電用リード線とを備え、前記ベース部材の後端部外周上に、その直径方向に縮径して形成された複数の平面状の当接部を有し、これら当接部が前記シール用金属箔の枚数以上であり、前記当接部に前記集電部材の一部を配置する放電灯として構成したものである。
【００１３】
前記の構成において、ベース部材の後端部外周上に、その直径方向に縮径して形成されたシール用金属箔の枚数以上の平面状の当接部を有し、これら当接部に、シール用金属箔の後端部に接続された集電部材の一部を配置することにより、当接部が集電部材のベース部材外周上でのずれを抑制し、集電部材がベース部材に直接固定される。集電部材に接続されたシール用金属箔もベース部材に直接固定され、回転を伴う封着作業において、ベース部材外周上でずれない。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１の実施形態を図面に基づき説明する。図１は放電灯の電極マウント部を示す斜視図、図２は放電灯の電極マウント部を示す断面図、図３（ａ）（ｂ）は放電灯のベース部材の正面図および斜視図、図８は集電部材として金属成型体を使用した斜視図、図９および図１０は本発明の集電部材の斜視図。なお、図１〜図１０における各構成の径、長さ、厚み等の寸法については、発明の構成が理解しやすいように強調しているので、図面の寸法に本発明は特定されない。
【００１５】
図１に示す直流型放電灯または交流型放電灯の構造は、石英ガラス製の放電空間を取り囲む発光管１の中に電極３と他の電極（図示せず）が対向配置されている。前記電極３はマウント部１０にて支持され、マウント部１０は発光管１から一体に延びる封止管１１の中に封着され、マウント部の末端部にて給電用リード線７１に連結され、給電用リード線７１は、適宜、電源供給用ベース（図示せず）に接続される。なお、他の電極側も前記電極３側と同一構造とすることができる。発光管１内には、金属溶化物（例えばガリウム、鉄、ヨウ化銀等の溶化物）、水銀、キセノンやアルゴンなどの希ガスの少なくとも１つが適量封入されており、電極３と他の電極の間に生じるアーク放電によって発光する。また、電極の配置については対向配置に限定されず、発光管等の形状により、適宜、変更しても構わない。
【００１６】
このマウント部１０の封止管１１内への封着作業は、通常、次の手順により行なわれる。
▲１▼端部を封じ切った状態にある封止管１１の内部にマウント部１０を挿入する。
▲２▼発光管１および封止管１１の内部を負圧にする。
▲３▼発光管軸を中心として封止管１１を回転させる。
▲４▼封止管１１外部からバーナであぶって、そのあぶった領域を縮径させながら、集電部材８０を外部から把持してマウント部１０の位置を調整し、マウント
部１０を封止管１１内へ封着する。
【００１７】
図２に示すように、電極３のマウント部１０は、電極３に圧入されたリード棒８の端部が挿入されるビーズ管４と、このビーズ管４内に挿入されたリード棒８の端部を支持するベース部材５と、リード棒８に導通し、かつ、封止管１１との間のベース部材５の外周部に添設される複数のシール用金属箔１２と、これら各シール用金属箔１２のそれぞれに導通する複数の集電部材８０と、これら各集電部材８０を集束させて接続される給電用リード線７１とを備え、ベース部材５の後端部外周上に、その直径方向に縮径して形成されたシール用金属箔１２の枚数以上の凹陥部５ａを有し、これら凹陥部５ａに集電部材８０の一部が配置されている。
【００１８】
また、リード棒８、シール用金属箔１２、集電部材８０、給電用リード線７１は電気的に連結した構造である。ビーズ管４とベース部材５との間に集電円盤（従来例の図１１、図１２、図１３の１０９Ａ、２０９Ａ）を介在させて、リード棒８とシール用金属箔１２を導通させた構造でも構わない。
【００１９】
ビーズ管４は、石英ガラス等で形成され，その内側に貫通孔を有し、同軸上に形成されたベース部材５の前端面に形成された嵌合孔と協同して、電極３に圧入されたリード棒８を嵌合支持している。リード棒８の支持形態は特に図１、図２に限定されず、前記した集電円盤をビーズ管４とベース部材５との間に介在した形態、ベース部材５に嵌合孔を形成せずに、集電円盤あるいはベース部材５の端面にリード棒８の端面が直接固定された形態であっても良い。
【００２０】
複数のシール用金属箔１２は、その前端部がビーズ管４とベース部材５と間で挟持固定され、リード棒８に電気的に接続されている。固定形態は図１、図２に限定されず、前記したように集電円盤を用いて、シール用金属箔１２をビーズ管４と集電円盤との間に挟持固定した形態でも良い。通常、シール用金属箔１２、集電円盤にはモリブデンやタングステンなどの高融点金属が用いられる。
【００２１】
また、シール用金属箔１２の後端部には複数の集電部材８０が接続されている。この接続形態もまた図１、図２に限定されず、シール用金属箔１２と集電部材８０の端面での接続形態、シール用金属箔１２の外面に集電部材８０が接続された形態、シール用金属箔１２の内面に集電部材８０が接続された形態のいずれでも良い。しかしながら、シール用金属箔１２のベース部材５への固定力の強さ、作業性の面からは、シール用金属箔１２の外面に集電部材８０が接続された形態が好ましい。
【００２２】
さらに、シール用金属箔１２のベース部材５の外周上での配置間隔については、放電灯の用途に対応して、適宜、決定すれば良く、例えば、大電流を要する放電灯であれば、シール用金属箔１２の配置間隔を均等にする。これにより、封止部１１の熱歪み、またはこれに起因するクラック、破裂等が抑制される。
【００２３】
図１に示すように、複数の集電部材８０は、前記のとおり、その前端部がシール用金属箔１２の後端部に接続されており、１枚のシール用金属箔１２に対して複数の集電部材８０が、例えば３枚の集電部材８０が接続されている。また、集電部材８０の後端部は、例えば、銀ロウを用いて給電用リード線７１に接続されている。
【００２４】
また、集電部材８０にはモリブデンやタンタルなどの高融点金属が用いられ、その形状は、図９（ａ）（ｂ）に示すような棒状形状８０ａ、板状形状８０ｂが、加工コスト、作業性の面から良く、図１０に示す形状８０ｃでは、点灯中に熱膨張によるクラックの発生を防止するために、厚みを薄くする等の工夫が必要である。熱膨張によるクラックは、集電部材８０とベース部材５あるいは封止管１１の熱膨張係数の違いに起因するもので、石英ガラス等で構成されたベース部材５あるいは封止管１１が、点灯中の熱による集電部材８０の膨張を吸収できずに発生するものである。
【００２５】
さらに、集電部材８０の配置位置については、特に限定されないが、図１に示すように、同一のシール用金属箔１２に接続された集電部材８０は、同一の凹陥部５ａ内に配置するのが、ベース部材５への固定力の強さ、作業性の面から好ましい。
【００２６】
図３（ａ）（ｂ）に示すような凹陥部５ａをベース部材５の外周上に形成する理由は、以下のとおりである。すなわち、図８に示す様に、ベース部材５の後端面に多角形の凹陥部５ｇを設け、ここに挿入する金属成型体８３（本発明の集電部材８０に相当）にシール用金属箔１２を接続すると、回転を伴う封着作業において、金属成型体８３が回転しないので、封着後の時点ではシール用金属箔１２にずれはなく、シール用金属箔１２に切れ、ヨレ、重なりが生じない。しかしながら、金属成型体８３と石英ガラス製のベース部材５は熱膨張係数が異なるため、点灯時、金属成型体８３の膨張に耐え切れず、石英ガラス製のベース部材５にクラックが発生してしまう。石英ガラス製の封止管１１との関係においても同様で、熱膨張係数の違いに起因するクラックが発生する。また、石英ガラス製のベース部材５の後端面に多角形の凹陥部５ａを施すのは、コストが高いという問題もある。よって凹陥部５ａは、ベース部材５の外側すなわち外周上に形成する。
【００２７】
また、凹陥部５ａに集電部材８０の一部を配置してシール用金属箔１２をベース部材５に固定する理由は、凹陥部５ａに直接シール用金属箔１２を沿わせて、シール用金属箔１２とベース部材５を固定すると、封着時の回転によって、シール用金属箔１２に大きな負担がかかり、結果、切れが生じてしまうからである。
【００２８】
さらに、凹陥部５ａの数については、各種の放電灯の用途に対応できるように、シール用金属箔１２の枚数以上とする。例えば、大電流を要する放電灯のように、封止部の熱歪み等の問題から、シール用金属箔１２を均等に配置する必要がある場合には、シール用金属箔１２と同数あるいは倍数の凹陥部５ａを設ける。また逆に、封着作業時の作業性からシール用金属箔１２の配置間隔に不均一性を持たせる必要がある場合にも、シール用金属箔１２の枚数以上の凹陥部５ａを設けることで対応できる。
【００２９】
前記、本発明の第１の実施形態において、シール用金属箔１２の枚数以上の凹陥部５ａに集電部材８０の一部が配置されることにより、凹陥部５ａが集電部材８０のベース部材５外周上でのずれを抑制し、集電部材８０がベース部材５に直接固定される。その結果、集電部材８０に接続されたシール用金属箔１２がベース部材５に直接固定され、回転を伴う封着作業において、シール用金属箔１２がベース部材５の外周上でずれない。よって、シール用金属箔１２の切れ、ヨレおよび重なりが発生しなくなる。
【００３０】
また、シール用金属箔１２の枚数以上の凹陥部５ａを設けることにより、ベース部材５外周上でのシール用金属箔１２の配置位置を、適宜、変更することが可能で自由度が増し、各放電灯の用途に対応した配置設計が可能になる。
【００３１】
図４、図５および図６は他の凹陥部５ｂ、凹陥部５ｃおよび凹陥部５ｄを有するベース部材５の正面図および斜視図である。図４に示すような凹陥部５ｂは、シール用金属箔１２がずれないので、切れ、ヨレおよび重なりを抑制する効果はあるが、ベース部材５の後端部外周上への凹陥部５ｂの加工方法のコスト面からの検討が必要である。また、図５に示すような凹陥部５ｃの場合には、凹陥部５ｃ表面が円弧形状なので、シール用金属箔１２が接続された集電部材８０のずれが発生する危惧が少しある。そのために図６（ａ）（ｂ）に示すように凹陥部５ｄに平面部５ｅを設ければ、平面部５ｅに集電部材８０が配置されることによりシール用金属箔１２がずれる危惧はなくなる。
【００３２】
次に、本発明の第２の実施形態は、前記の第１の実施形態における凹陥部５ａに代えて、ベース部材５の直径方向に縮径して形成された平面状の当接部５ｆを使用するもので、他の構成は第１の実施形態と同一である。図７に平面状の当接部５ｆを有するベース部材５の正面図および斜視図を示す。
【００３３】
第２の実施形態においても、これら平面状の当接部５ｆに集電部材８０の一部を配置することにより、当接部５ｆが集電部材８０のベース部材５外周上でのずれを抑制し、集電部材８０がベース部材５に直接固定される。その結果、集電部材８０に接続されたシール用金属箔１２がベース部材５に直接固定され、回転を伴う封着作業において、シール用金属箔１２がベース部材５の外周上でずれない。よって、シール用金属箔１２の切れ、ヨレおよび重なりが発生しなくなる。
【００３４】
【実施例】
前記を確認するため、図１〜図３、図７に示すような本発明のショートアーク型放電灯（以下、サンプルと称する。）を作成した（実施例１〜１０）。その主要な仕様を下記に示す。
【００３５】
・ベース部材：外径φ２５ｍｍ、全長５０ｍｍの石英ガラス棒を使用した。
・ベース部材の形状：実施例１〜５は図３に示す凹陥部５ａ（ａ１：１０ｍｍ、ａ２：３ｍｍ、ａ３：５ｍｍ）を有する。実施例６〜１０は図７に示す当接部５ｆ（ｂ１：１５ｍｍ、ｂ２：１５ｍｍ、ｂ３：１５ｍｍ）を有する。
・シール用金属箔：幅１０ｍｍ、厚さ０．０５ｍｍのモリブデン製箔を４枚使用した。
・集電部材：１枚のシール用金属箔につき給電用リード線側端部に外径φ０．８ｍｍのモリブデン製棒状体を３ヶ取り付けた。
・封入物：キセノンガス（封入時圧力は１０１３２５Ｐａ｛１．０ａｔｍ｝）、水銀０．５ｇ
・電極間距離：６ｍｍ
・定格電流：１４０Ａ
・定格電圧：３０Ｖ
・定格入力電力：４２００Ｗ
【００３６】
また、対象として図１２、図１３に示す従来のショートアーク型放電灯（以下、サンプルと称す。）を作成した（比較例１〜３）。ベース部材の後端部に凹陥部５ａ、当接部５ｆを有しないこと以外は、本発明と同一の仕様とした。
【００３７】
本発明および従来のマウント部をもつサンプルの、封着後と点灯５００時間後のシール用金属箔の様子を比較した結果を表１に記す。
【００３８】
【表１】
0003670994.tif 000002
【００３９】
表１により、本発明による、凹陥部５ａを有するベース部材５を用いたサンプルは、問題なく点灯５００時間を終了した（実施例１〜５）。また、当接部５ｆが施されたベース部材５を用いたサンプルも、問題なく点灯５００時間を終了した（実施例６〜１０）。これに対しして、凹陥部５ａあるいは平面状の当接部５ｆが無いサンプルは、封着後に何らかの不具合が生じた（比較例１〜３）。この内、２本は点灯５００時間に満たない内に消灯してしまった（比較例１、２）。
【００４０】
なお、放電灯としてショートアーク型放電灯を例にあげて説明したが、ロングアーク型放電灯、コンパクトアーク型放電灯、メタルハライド型放電灯等の同様の電極マウント部の構成を備えるものであれば、特に限定されるものではない。
【００４１】
【発明の効果】
以上の通り、本発明においては、マウント部を構成するベース部材の後端部外周上に、シール用金属箔の枚数以上の凹陥部または当接部を有し、これら凹陥部または当接部に集電部材の一部を配置することによって、凹陥部または当接部が集電部材のベース部材外周上でのずれを抑制し、ベース部材と集電部材を直接固定できるため、集電部材に接続されたシール用金属箔もベース部材に直接固定され、回転を伴う封着工程において、シール用金属箔がベース部材の外周上でずれない。その結果、シール用金属箔の切れ、ヨレおよび重なりが発生することがない。
また、製造中にシール用金属箔に不具合が生じない為に、歩留まりが大幅に向上する。さらに、シール用金属箔の切れ、ヨレおよび重なりが発生しない為に、マウント部は封止管としっかり封着でき、破裂やリークによる立ち消えを抑制することができる。さらに、外観が良くなり商品価値を上げることができる。
また、シール用金属箔の枚数以上の凹陥部または平面状の当接部を有することにより、シール用金属箔の配置の自由度が増し、各放電灯の用途に対応した設計が可能になる。たとえば、大電流を要する放電灯については、シール用金属箔の配置間隔を均等にすることができるため、封止部の熱歪み、またこれに起因するクラック、破裂等を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の放電灯における電極マウント部の斜視図を示す。
【図２】図１の電極マウント部の断面図を示す。
【図３】本発明の放電灯における凹陥部を有するベース部材の（ａ）正面図、（ｂ）斜視図を示す。
【図４】本発明の放電灯における他の凹陥部を有するベース部材の（ａ）正面図、（ｂ）斜視図を示す。
【図５】本発明の放電灯における他の凹陥部を有するベース部材の（ａ）正面図、（ｂ）斜視図を示す。
【図６】図５の凹陥部に平面部を設けたベース部材の正面図を示す。
【図７】本発明の放電灯における平面状の当接部を有するベース部材の（ａ）正面図、（ｂ）斜視図を示す。
【図８】多角形の凹陥部を端面に有するベース部材と金属成型体の（ａ）組合せ前、（ｂ）組合せ後の斜視図を示す。
【図９】本発明の放電灯における（ａ）棒状形状（ｂ）板状形状の集電部材の斜視図を示す。
【図１０】図９の集電部材の別形状の斜視図を示す。
【図１１】従来の放電灯の断面図を示す。
【図１２】従来の他の放電灯における電極マウント部の斜視図を示す。
【図１３】図１２の電極マウント部の断面図を示す。
【符号の説明】
１    発光管
３    電極
４    ビーズ管
５    ベース部材
５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｇ  凹陥部
５ｅ  平面部
５ｆ  当接部
８    リード棒
１０  マウント部
１１  封止管
１２  シール用金属箔
７１  給電用リード線
８０、８０ａ、８０ｂ、８０ｃ  集電部材
８３  金属成型体
【図１】
0003670994.tif 000003
【図２】
0003670994.tif 000004
【図３】
0003670994.tif 000005
【図４】
0003670994.tif 000006
【図５】
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【図６】
0003670994.tif 000008
【図７】
0003670994.tif 000009
【図８】
0003670994.tif 000010
【図９】
0003670994.tif 000011
【図１０】
0003670994.tif 000012
【図１１】
0003670994.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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