(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータ及びクランクを配設したハウジングと、上記ハウジングの頂部に固定プレートを介して固定されたシリンダと、上記シリンダ内を往復動するピストンと、上記クランクと連動し、上記ピストンに一端が連結され上記ハウジングを貫通するピストンロッドと、オイルシール用ベローズとを備えたスターリング冷凍機であって、
上記オイルシール用ベローズは、その上端部が上部取付環に固定され、その下端部が下部取付環に固定され、
上部取付環は上部シール材を介して上記ピストンロッドのフランジ部に締着されており、
下部取付環は、下部シール材を介して上記固定プレート及び／又はハウジングに締着されていることを特徴とするスターリング冷凍機。
【請求項２】
モータ及びクランクを配設したハウジングと、上記ハウジングの頂部に固定プレートを介して固定されたシリンダと、上記シリンダ内を往復動するピストンと、上記クランクと連動し、上記ピストンに一端が連結され上記ハウジングを貫通するピストンロッドと、オイルシール用ベローズとを備えたスターリング冷凍機であって、
上記オイルシール用ベローズは、その上端部が上部取付環に固定され、その下端部が環状取付板に溶着され、
上部取付環は上部シール材を介して上記ピストンロッドのフランジ部に締着されており、
環状取付板は、上記固定プレートに溶着されていることを特徴とするスターリング冷凍機。
【請求項３】
上記上部シール材は、Ｏリング、又は金属製若しくは樹脂製のガスケットであることを特徴とする請求項１又は２記載のスターリング冷凍機。
【請求項４】
上記下部シール材は、Ｏリング、又は金属製若しくは樹脂製のガスケットであることを特徴とする請求項１記載のスターリング冷凍機。
【請求項５】
上記クランクは複数設けられ、該複数のクランクに対応して複数のシリンダ及びピストンを備えており、複数のピストンは互いに位相差をもって往復動することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のスターリング冷凍機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スターリング冷凍に関し、特に油上がり防止用のロッドシールとして取り付けられるオイルシール用ベローズの取付構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、地球環境問題におけるフロン代替の冷凍装置として、又従来の冷却装置より使用温度が広範囲で、従って、冷凍庫、冷蔵庫、投げ込み式クーラ等の業務用又は家庭用の冷熱利用機器をはじめとして、低温液循環器、低温恒温器、恒温槽、ヒートショック試験装置、凍結乾燥機、温度特性試験装置、血液・細胞保存装置、コールドクーラ、その他各種の冷熱装置等のあらゆる産業分野の冷熱利用機器に適用可能な、コンパクトで、しかも成績係数が高く、エネルギー効率が良好となる冷凍機として、スターリング冷凍機が脚光を浴びている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
スターリング冷凍機では、ピストンロッドに沿ってクランク室から油やオイルミストが上昇する、いわゆる油上がりという問題がある。この油上がりは、油やオイルミストがシリンダに入るとその内面に付着し、ピストンリングのシール性に影響を与え、耐久性、信頼性を著しく低減させるだけでなく、スターリング冷凍機を構成する熱交換器の性能を低下させ、結果的には冷凍機性能を劣下させる原因となる。この油上がりの問題を解決するために、従来、ピストンロッドは、オイルリングシールによりシールされている。
【０００４】
ところで、このオイルリングシールは、一般的にはゴム製であり、構造及び材料面でいろいろな開発が行われているが、必ずしもシール性能、耐久性において十分とはいえない。
【０００５】
本発明の課題は、スターリング冷凍機の油上がりを防止し、かつ長寿命なロッドシールを実現し、スターリング冷凍機の性能向上を図り、信頼性、耐久性の向上を図ることができるオイルシール用ベローズの取付を確実にすることである。
【０００６】
発明者らは、スターリング冷凍機のロッドシールとして、オイルシール用のベローズの構成（特願平１０−３６５３７１号参照。）を提案している。この特願平１０−３６５３７１号に係る発明では、スターリング冷凍機のハウジング内の空間と、圧縮シリンダ及び膨張シリンダとの間に、オイルシール用の金属ベローズを設け、ピストンロッドの表面に沿ってクランク室から圧縮シリンダ及び膨張シリンダ内に流入する油上がりを防止するものである。
【０００７】
このような先行発明のオイルシール用ベローズでは、下端部をシールを介してハウジングやシリンダブロックに固定すると、オイルシール用ベローズが本来有するその優れた密封性を十分発揮できない。本発明では、オイルシール用ベローズをより確実なシール方法によって、ハウジングやシリンダブロックに固定し、オイルシール用ベローズの密封性を十分活かして、より完璧に密封した構造を実現しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するために、モータ及びクランクを配設したハウジングと、上記ハウジングの頂部に固定プレートを介して固定されたシリンダと、上記シリンダ内を往復動するピストンと、上記クランクと連動し、上記ピストンに一端が連結され上記ハウジングを貫通するピストンロッドと、オイルシール用ベローズとを備えたスターリング冷凍機であって、上記オイルシール用ベローズは、その上端部が上部取付環に固定され、その下端部が下部取付環に固定され、上部取付環は上部シール材を介して上記ピストンロッドのフランジ部に締着されており、下部取付環は、下部シール材を介して上記固定プレート及び／又はハウジングに締着されていることを特徴とするスターリング冷凍機を提供する。
【０００９】
本発明は上記課題を解決するために、モータ及びクランクを配設したハウジングと、上記ハウジングの頂部に固定プレートを介して固定されたシリンダと、上記シリンダ内を往復動するピストンと、上記クランクと連動し、上記ピストンに一端が連結され上記ハウジングを貫通するピストンロッドと、オイルシール用ベローズとを備えたスターリング冷凍機であって、上記オイルシール用ベローズは、その上端部が上部取付環に固定され、その下端部が環状取付板に溶着され、上部取付環は上部シール材を介して上記ピストンロッドのフランジ部に締着されており、環状取付板は、上記固定プレートに溶着されていることを特徴とするスターリング冷凍機を提供する。
【００１０】
上記上部シール材は、Ｏリング、又は金属製若しくは樹脂製のガスケットである。
【００１１】
上記下部シール材は、Ｏリング、又は金属製若しくは樹脂製のガスケットである。
【００１２】
上記クランクは複数設けられ、該複数のクランクに対応して複数のシリンダ及びピストンを備えており、複数のピストンは互いに位相差をもって往復動することを特徴とするスターリング冷凍機である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を実施例に基づき図面を参照して以下に説明する。図１はスターリング冷凍機の全体構成を説明する正面図である。図２はスターリング冷凍機の要部を説明する図であり、図３は一部が断面の右側面図である。本発明の特徴は、オイルシール用ベローズの取付構造であり、図４〜６で夫々異なるオイルシール用ベローズの取付構造を示している。以下、スターリング冷凍機の全体構成を図１〜３で説明し、オイルシール用ベローズの取付構造については図４〜６で説明する。
【００１４】
スターリング冷凍機１の本体をなすハウジング２は、鋳物で形成され、その内部は密閉状態に保持される。このハウジング２内には、区画壁３を介して互いに連通するモータ室４とクランク室５とを有する。このモータ室４には正逆回転可能なモータ６が配設されており、又クランク室５には、モータ６で回転駆動されるクランクシャフト７、コンロッド８、９と、クロスガイドヘッド１０、１１等の駆動機構が配設されている。
【００１５】
クランクシャフト７の二つのクランク部１２、１３は、モータ６の正転時にクランク部１３がクランク部１２より先行して移動するように、位相差を付けて形成されている。この位相差は、一般的には約９０度の位相差が採用される。クランク部１２、１３には、コンロッド８、９が取り付けられ、さらにこのコンロッド８、９にクロスガイドヘッド１０、１１が取り付けられている。
【００１６】
ハウジング２におけるクランク室５の上部には、固定プレート１４を介してシリンダブロック１５がボルト１６で取付られている。シリンダブロック１５は、圧縮シリンダ１７を形成するとともに、膨張シリンダ１８の一部（下部）を形成している。
【００１７】
圧縮シリンダ１７内では圧縮ピストン１９が往復動する。圧縮シリンダ１７内の圧縮ピストン１９の上方空間（圧縮空間）が高温室２０であり、この中で作動ガスは圧縮されて高温となる。圧縮ピストンロッド２１は、圧縮ピストン１９とクロスガイドヘッド１０を連結し、クランク室５から圧縮シリンダ１７へ伸びるように設けられている。オイルシール用ベローズ２２が圧縮ピストンロッド２１とハウジング２の上部の間に取り付けられ、圧縮シリンダ１７とクランク室５の間をシールし、クランク室５からの油上がりを防止している。
【００１８】
一方、膨張シリンダ１８は、その下部は上述の通りシリンダブロック１５で構成し、その上部は、後述する放熱用熱交換器２９の内側シリンダ２３と冷却用熱交換器の内筒２４とから構成している。この膨張シリンダ１８内を膨張ピストン２５が往復摺動しており、膨張シリンダ１８における膨張ピストン２５の上方空間（膨張空間）が低温室２６であり、この中で作動ガスが膨張し低温となる。
【００１９】
膨張ピストンロッド２７は、膨張ピストン２５とクロスガイドヘッド１１とを連結し、クランク室５から膨張シリンダ１８内に伸びている。オイルシール用ベローズ２８が、膨張ピストンロッド２７とハウジング２の上部の間に取り付けられ、膨張シリンダ１８とクランク室５の間をシールしクランク室５からの油上がりを防止している。膨張ピストン２５は、圧縮ピストン１９より９０度の位相だけ先行して移動する。
【００２０】
膨張シリンダ１８を囲むように、放熱用熱交換器（高温側熱交換器）２９、再生器３０及び冷却用熱交換器（低温側熱交換器）３１が互いに連通して環状に配設されている。放熱用熱交換器２９の下端、かつ膨張シリンダ１８の周囲に、マニホールド（作動ガス用の流路）３２が形成されている。
【００２１】
そして、圧縮シリンダ１７の上端部には、高温室２０とマニホールド３２とを連通する連通孔３３が形成されている。高温室２０と低温室２６は、連通孔３３、マニホールド３２、放熱用熱交換器２９、再生器３０及び冷却用熱交換器３１を通して互いに順次連通するように構成されている。
【００２２】
シリンダブロック１５は、その上部に放熱用熱交換ハウジング３４を有する。この放熱用熱交換ハウジング３４と内側シリンダ２３との間には、熱交換器筒３７が嵌合し、放熱用熱交換器（高温側熱交換器）２９を構成している。熱交換器筒３７は、その内面には、作動ガスの流路を形成する細溝３５を有し、外面に放熱フィン３６を有する。
【００２３】
作動ガスは細溝３５を通り、放熱用熱交換ハウジング３４と放熱フィン３６との間の放熱路３８は冷却水が流れこれにより、作動ガスの温熱が冷却水に放熱される。シリンダブロック１５の左右両側面には、蓋板３９が水密的に固定されており、この蓋板３９とシリンダブロック１５との間に冷却水路４０を形成している。この冷却水路４０は、入口４１と通して放熱路３８に連通するとともに、圧縮シリンダ１７及び膨張シリンダ１８を囲むように形成されている。
【００２４】
放熱路３８に冷却水の流入口４２が設けられており、冷却水路４０には流出口４３が設けられ、流入口４０と流出口４３は、図示はしないが、冷却水循環路及び冷却水循環用ポンプを介して、冷却ファンを有する空冷の放熱器（ラジエータ）に接続されている。
【００２５】
内筒２４の下部は、内側シリンダ２３と嵌合し膨張シリンダ１８の一部を構成しているが、この内筒２４の上部外周側に冷却用熱交換ハウジング４４が配設され、シリンダブロック１５の放熱用熱交換ハウジング３４の上面に着脱可能に固着されている。冷却用熱交換ハウジング４４は、その内面には複数の細溝４５を有し、内筒２４と嵌合して作動ガス流路４６を形成し、その外面には冷却フィン４７を有する。これにより、冷却用熱交換器（低温側熱交換器）３１を構成している。
【００２６】
この冷却用熱交換器３１は、本発明のスターリング冷凍機の冷熱を利用する冷熱利用機器の冷熱冷媒の冷却を行う。冷熱冷媒としては、空気、水、アルコール、ＨＦＥ、ＰＦＣ等が使用される。
【００２７】
内筒２４と冷却用熱交換ハウジング４４との間の環状空間には、金属メッシュ等の蓄冷材から成る再生器３０が配設されている。
【００２８】
オイルシール用ベローズ２８と膨張ピストン２５との間の空間（オイルシール用ベローズ２５と圧縮ピストン１５との間の空間についても同じ）は、バファ空間（バッファ室）４８と呼ばれている。バッファ空間４８は、管４９によりバッファタンク５１に接続され、バッファタンク５１は、管５０によりハウジング２のクランク室５（モータ室４でもよい。）に接続されている。
【００２９】
ここで本発明に係るスターリング冷凍機の特徴的な構成であるオイルシール用ベローズの取付構造について説明する。前述の通り、夫々異なった態様のオイルシール用ベローズの取付構造を図４〜６で夫々示しているが、まず共通する構成について図４〜６で説明する。
【００３０】
オイルシール用ベローズ２２、２８は、金属材料をプレス加工により一体成形した金属成形ベローズ又は溶接により組み立てた溶接ベローズ等が使用される。図４〜６において、圧縮ピストンロッド２１及び膨張ピストンロッド２７は、夫々ハウジング２の頂壁の開口２’、２’を通過して伸びている。オイルシール用ベローズ２２、２８は、開口２’、２’を封止するものである。
【００３１】
オイルシール用ベローズ２２の上端部５２は、図４〜６の夫々の（ａ）、（ｂ）に示す環状の上部取付環５３に溶着される。上部取付環５３は、圧縮ピストンロッド２１のフランジ部５４上に載置され、圧縮ピストン１９で上方から挟持されてボルトで５５で締着される。オイルシール用ベローズ２８の上端部についても、同様に上部取付環５３に溶着され、上部取付環５３は、膨張ピストンロッド２７のフランジ部５６と、筒体５７を介して膨張ピストン２５との間でボルト５８で締着されている。
【００３２】
ここで、図４に示すオイルシール用ベローズ２２、２８の特有な取付構造について説明する。フランジ部５４、５６には、図４（ｂ）に示すように、Ｏリング５９（上部シール材）が装着されており、フランジ部５４、５６と上部取付環５３との間のシール（完全に密封すること）を行っている。
【００３３】
オイルシール用ベローズ２２の下端部６０は、図４（ａ）、（ｃ）に示す環状の下部取付環６１の上部６２に溶着される。オイルシール用ベローズ２８の下端部６０についても、同様に環状の下部取付環６１の上部６２に溶着される。下部取付環６１のフランジ６３は、ハウジング２の頂部の開口２’の周縁の上面に載置されるとともに、ハウジング２とシリンダブロック１５との間に介装された固定プレート１４で挟持され、ボルト１６で締着される。
【００３４】
フランジ６３の溝６４内にには、図４（ｃ）に示すように、Ｏリング６５（下部シール材）が装着されており、下部取付環６１と固定プレート１４とのシール（完全に密封すること）を行っている。
【００３５】
次に、図５のオイルシール用ベローズ２２、２８の特有な取付構造について説明する。フランジ部５４、５６と上部取付環５３との間には、図４（ｂ）に示すように、金属製又は樹脂製のガスケット６６（上部シール材）が装着されており、フランジ部５４、５６と上部取付環５３との間のシール（完全に密封すること）を行っている。
【００３６】
オイルシール用ベローズ２２の下端部６０は、図５（ａ）、（ｃ）に示す環状の下部取付環６１の上部６２に溶着される。オイルシール用ベローズ２８の下端部６０についても、同様に環状の下部取付環６１の上部６２に溶着される。下部取付環６１のフランジ６７は、ハウジング２の頂部の開口２’の周縁の上面に載置されるとともに、ハウジング２とシリンダブロック１５の間に介装された固定プレート１４により挟持され、ボルト１６で締着されている。
【００３７】
フランジ６７と固定プレート１４との間には、図５（ｃ）に示すように、金属製又は樹脂製のガスケット６８（下部シール材）が装着されており、下部取付環６１と固定プレート１４との間のシール（完全に密封すること）を行っている。
【００３８】
次に、図６のオイルシール用ベローズ２２、２８に特有な取付構造について説明する。フランジ部５４、５６と上部取付環５３との間には、図６（ｂ）に示すように、金属製又は樹脂製のガスケット６６（上部シール材）が装着されており、フランジ部５４と上部取付環５３との間のシール（完全に密封すること）を行っている。
【００３９】
オイルシール用ベローズ２２の下端部６０は、図６（ａ）、（ｃ）に示すように、薄板から成る環状取付板６９に溶着されている。さらに環状取付板６９は、固定プレート１４’の開口部の内周面７０に溶着されている。オイルシール用ベローズ２８の下端部６０についても、同様に環状取付板６９に溶着されており、固定プレート１４’の開口部の内周面７０に溶着されている。固定プレート１４’は、ハウジング２とシリンダブロック１５との間に介装され、ボルト１６で締着されている。
【００４０】
（作用）
次に、以上の構成から成る本発明の実施例のスターリング冷凍機の作用を説明する。モータ６によってクランクシャフト７が正方向に回転し、クランク室５内のクランク部１０、１１が９０度位相がずれて回転する。このクランク部１０、１１に連結されたコンロッド８、９、クロスガイドヘッド１９、１１、圧縮ピストンロッド２１及び膨張ピストンロッド２７を介して、圧縮ピストン１９及び膨張ピストン２５が、互いに９０度の位相差をもって往復動する。
【００４１】
膨張ピストン２５が９０度先行して上死点付近でゆっくりと移動中、圧縮ピストン１９は中間付近を上死点に向かって急速に移動して作動ガスの圧縮動作を行う。圧縮された作動ガスは、連通孔３３及びマニホールド３２を通り放熱用熱交換器２９の細溝３５内に流入し、放熱路３８を流れる冷却水に放熱する。さらに作動ガスは、再生器３０に蓄熱された冷熱で冷却され、細溝４５内を通って低温室２６（膨張空間）内に流入する。
【００４２】
圧縮ピストン１９が上死点近辺でゆっくりと移動している時に膨張ピストン２５は急激に下死点に向かって移動し、低温室２６（膨張空間）に流入した作動ガスは急激に膨張し冷熱が発生する。これにより冷却用熱交換器３１を含むヘッド部（コールドヘッドと言う。）４８は冷却されて低温となる。
【００４３】
そして、冷却用熱交換器３１において、冷却フィン４７に接する冷熱利用機器の冷熱冷媒を冷却する。膨張ピストン２５が下死点から上死点に移動するときには圧縮ピストン１９は中間位置から下死点に向かっており、作動ガスは低温室２６より冷却用熱交換器の細溝４５を通り再生器３０に流入し作動ガスの有する冷熱を再生器３０に蓄熱する。再生器３０に蓄熱された冷熱は、上記のように高温室２０から放熱用熱交換器２９を通して送られてくる作動ガスを、再度冷却するために再利用される。
【００４４】
スターリング冷凍機１の冷却用熱交換器３１で冷却された冷熱冷媒は、流出パイプ７１を通して各種の冷熱利用機器に供給される。例えば、冷熱冷媒は、冷凍庫等の冷熱利用機器内の熱交換器に送られ、冷熱利用機器内で冷凍あるいは冷却作用を行う。そして、冷熱利用機器で冷熱が利用された後、冷熱冷媒は冷熱利用機器から流入パイプ７２を通してスターリング冷凍機１の冷却用熱交換器３１に循環して戻される。
【００４５】
放熱器（ラジエータ）から送られてくる冷却水は、流入口４２から放熱用熱交換器３８内に流入し、放熱路３８を通過して作動ガスを冷却する。さらに、この冷却水は冷却水路４０に流入し、圧縮シリンダ１７及び膨張シリンダ１８の周囲を流れる。これによって、シリンダブロック１５の内側に形成されている圧縮シリンダ１７及び膨張シリンダ１８を周囲から冷却する。この後、冷却水は、流出口４３から流出して、放熱器において冷却ファンで冷却され、再度、放熱用熱交換器２９へと循環する。
【００４６】
バッファタンク５１は、バッファ空間４８とハウジング２を均等な圧力とし、バッファ空間４８内の圧力変動を吸収するとともに、ハウジング２内の圧力変動を吸収し、バッファ空間にその影響を及ぼさないような緩衝機能を有する。
【００４７】
本発明では、オイルシール用ベローズ２２、２８の上端部５２及び下端部６０が、夫々上部取付環５３及び下部取付環６１（図６に示すものは環状取付板６９）に溶着されており、さらに上部取付環５３及び下部取付環６１（図６に示すものは環状取付板６９）は、ピストンロッド（圧縮ピストンロッド２１、膨張ピストンロッド２７）及び固定プレート１４に、Ｏリングやガスケットを介してシールされて（図６に示すものは直接溶着で）固定されている。
【００４８】
このようなオイルシール用ベローズ２２、２８の取付構造のために、圧縮シリンダ１７及び膨張シリンダ１８と、ハウジング２のクランク室５とが、互いに完全に封止され、クランク室５から圧縮シリンダ１７及び膨張シリンダ１８内への油上がりが完全に防止される。
【００４９】
以上本発明の実施の形態を実施例に基づいて具体的に説明したが、本発明は特許請求の範囲に記載されている範囲内でその技術思想を具現化するために、上記実施例に限られることなく、いろいろな実施の態様があることはい言うまでもない。例えば、本発明に係るオイルシール用ベローズの取付構造は、スターリング冷凍機以外に、気体圧縮機（気体コンプレッサ）、真空ポンプ等の気体送流機にも適用できる。
【００５０】
【発明の効果】
以上の構成の本発明に係るスターリング冷凍機によると、ロッドシールであるオイルシール用ベローズは、その上下において、夫々ピストンに固定された取付環、及びハウジングに固定される固定プレートに溶着されているから、ハウジングとロッド間では完全に封止されているので、油上がりの問題を解決でき、これににより、圧縮シリンダ及び膨張シリンダ内面や、ピストン、各種の熱交換器、ピストンリングへのオイルの付着による性能劣化や耐久性の低減を防止できる。この結果、耐久性にすぐれたオイルシールを実現し、この面からもメインテナンスフリーで長寿命のスターリング冷凍機を実現することができる。
【００５１】
なお、オイルシール用ベローズの上部又は下部の取付環の取付部に使用されるシールとして、金属製若しくは樹脂製のガスケット等が利用されているから、耐久性の向上が十分図られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の適用されるスターリング冷凍機を説明する全体図である。
【図２】図１のスターリング冷凍機の要部を示す図である。
【図３】図１のスターリング冷凍機の正面一部破断図である。
【図４】（ａ）は本発明のオイルシールベローズの取付構造の一つの態様の要部を示す図であり、（ｂ）、（ｃ）は夫々、Ａ、Ｂの拡大図である。
【図５】（ａ）は本発明のオイルシールベローズの取付構造の別の態様の要部を示す図であり、（ｂ）、（ｃ）は夫々、Ａ、Ｂの拡大図である。
【図６】（ａ）は本発明のオイルシールベローズの取付構造のさらに別の態様の要部を示す図であり、（ｂ）、（ｃ）は夫々、Ａ、Ｂの拡大図である。
【符号の説明】
１    スターリング冷凍機
２    ハウジング
３    区画壁
４    モータ室
５    クランク室
６    モータ
７    クランクシャフト
８、９    コンロッド
１０、１１    クロスガイドヘッド
１２、１３    クランク部
１４、１４’    固定プレート
１５    シリンダブロック
１６、５５、５８    ボルト
１７    圧縮シリンダ
１８    膨張シリンダ
１９    圧縮ピストン
２０    高温室
２１    圧縮ピストンロッド
２２    （圧縮側）オイルシールベローズ
２３    （放熱用熱交換器の）内側シリンダ
２４    （冷却用熱交換器の）内筒
２５    膨張ピストン
２６    低温室
２７    膨張ピストンロッド
２８    （膨張側）オイルシールベローズ
２９    放熱用熱交換器
３０    再生器
３１    冷却用熱交換器
３２    マニホールド
３３    連通孔
３４    （シリンダブロックの）放熱用熱交換ハウジング
３５    （熱交換器筒の内面の）細溝
３６    放熱フィン
３７    熱交換器筒
３８    放熱路
３９    蓋板
４０    冷却水路
４１    入口
４２    流入口
４３    流出口
４４    冷却用熱交換ハウジング
４５    （冷却用熱交換ハウジングの）細溝
４６    作動ガス流路
４７    冷却フィン
４８    バッファ室
４９、５０    管
５１    バッファタンク
５２    オイルシール用ベローズ上端部
５３    上部取付環
５４、５６    ピストンロッドのフランジ部
５７    筒体
５９、６５    Ｏリング
６０    オイルシール用ベローズの下端部
６１    下部取付環
６２    上部
６３    下部取付環のフランジ
６４    溝
６６、６８    ガスケット
６７    下部取付環のフランジ
６９    環状取付板
７０    固定プレートの内周面
７１    流出パイプ
７２    流入パイプ
【図１】
0003723473.tif 000002
【図２】
0003723473.tif 000003
【図３】
0003723473.tif 000004
【図４】
0003723473.tif 000005
【図５】
0003723473.tif 000006
【図６】
0003723473.tif 000007