(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体と、
外部の磁気記録媒体に対向する媒体対向面を有し、当該媒体対向面に臨むように設けられた機能部によって前記磁気記録媒体に対する書き込みおよび再生のうち少なくともいずれか一方を行う磁気記録素子を備え、前記支持体上に着設されたコアチップと、
前記コアチップとは別体で前記支持体上に着設されたスライダであって、前記支持体に着設される面からそれとは反対側の前記磁気記録媒体に対向する面まで貫通するように設けられた開口を有し、前記開口に前記コアチップを嵌入させて当該コアチップの前記媒体対向面を露出させるように前記支持体上に着設されたスライダと
を備えたことを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】
前記コアチップは、アルティック基板を材料として形成してなるものである
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項３】
前記スライダは、概形が偏平な略直方体状で、略中央部に前記開口を有し、かつ気流中に置かれた際に少なくとも当該スライダ自体に空気力学的な揚力を発生させるための空気導入部を備えた
ことを特徴とする請求項１または２に記載の磁気ヘッド。
【請求項４】
前記支持体およびこれに支持されている前記スライダならびに前記コアチップが、ハード・ディスク駆動装置に組み込まれて用いられるように設定されたものである
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の磁気ヘッド。
【請求項５】
磁気記録媒体に対向する媒体対向面を有するコアチップに、書き込みおよび再生のうち少なくともいずれか一方の機能を有する磁気記録素子を、その機能部が前記媒体対向面に臨むように形成する工程と、
前記コアチップを、支持体に着設する工程と、
前記コアチップとは別体で、前記支持体に着設される面からそれとは反対側の前記磁気記録媒体に対向する面まで貫通するように開口を設けてスライダを作製する工程と、
前記開口に前記コアチップを嵌入させて当該コアチップの前記媒体対向面を露出させるように、前記スライダを前記支持体上に着設する工程と
を含むことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スライダに支持されたコアチップに磁気記録素子を有する磁気ヘッドおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コンピュータなどの記憶装置として用いられるハード・ディスク駆動装置（Ｈａｒｄ  Ｄｉｓｃ  Ｄｒｉｖｅｒ，以下、ＨＤＤと略称する）に代表される磁気記録装置は、近年、大容量化、高密度記録化に対応することや、磁気記録の読み出し／書き込み機能の高速化が進められると共に、装置全体の小型化が進められている。それに伴って、磁気記録装置に用いられる磁気ヘッド、更には、スライダに支持された磁気記録素子の高感度化や微細化も進められている。
【０００３】
すなわち、磁気ヘッドでは、大容量な磁気ディスク等の磁気記録媒体に対して、磁気記録信号を高密度に記録すると共に、書き込みや読み出しを正確かつ高速に行うために、磁気記録素子の高感度化、およびその磁気記録素子の外形や素子構造の微細化が必要となる。
【０００４】
このような磁気ヘッドを実現するために、従来、磁気記録素子を含むスライダは、アルティック基板を用いて集積回路形成技術によって製作されている。すなわち、アルティック基板に、個々の磁気記録素子を含むスライダを複数個形成し、それを機械加工によって個々に分離して個々のスライダを得るものである。
【０００５】
ところで、このようなアルティック基板を用いてスライダを形成する場合、アルティック基板という材料自体が比較的高価である上に、半導体集積回路の製造工程と同様の微細加工技術が用いられるので、スライダの一つ一つが高価なものとなる傾向にある。このため１枚のアルティック基板にできるだけ多数個のスライダを形成し、スライダの小型化、更には磁気ヘッド全体の小型化を図ることが要望されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特にＨＤＤに用いられるような高密度記録対応の磁気ヘッドでは、微細加工技術によって磁気記録素子の小型化が図られたとしても、スライダおよびヘッド全体としての小型化および低廉化が困難であるという問題があった。
【０００７】
すなわち、ＨＤＤ用の磁気ヘッドは、一般に、例えば特開平１１−６６５１７号公報に開示されているように、流体力学的な浮上機能を持った形状の浮上式スライダを備えている。この浮上式スライダでは、磁気記録媒体の回転（あるいは移動）に伴ってその表面付近に発生する空気の伴流を利用し、流体力学的な揚力（正または負の揚力）を生じさせることにより、磁気記録媒体表面との間が所定の距離に保たれる。従って、浮上式スライダでは、このような流体力学的な機能を実現するための形状やそれに適した外形寸法が要求され、その分、スライダ全体としての外形寸法の小型化が制約されることになる。その結果、１枚のアルティック基板中に形成可能なスライダの個数を増やすことができなくなり、スライダの製造コストの低廉化が困難なものになる。
【０００８】
なお、スライダにおいては、上記のような浮上機能を付加するため以外にも、塵埃や剥離したチッピングなどの浮遊異物やパーティクル等から微細で高感度な磁気記録素子を守るため、あるいは磁気記録媒体との接触に対する機械的強度を補助する等のために、研磨加工（面取り加工）等の加工が施される。これらの加工によっても、スライダの外形寸法の小型化が制約され、小型化および低廉化が困難なものになる。
【０００９】
また、そのようなアルティック基板を材料として用いてスライダ中に形成される磁気記録素子は、微細で高感度なものであるため、アルティック基板中に一旦形成された後には、できるだけ他の加熱工程や発熱工程に晒されないことが望ましい。
【００１０】
しかしながら、従来の磁気ヘッドでは、上記のようにスライダの形状を流体力学的な形状に加工するためや、スライダの端面や各辺（稜線）部分のチッピング等を除去するために研磨加工を施すことなどが必要である。そのような工程は、一般に摩擦加工法を用いているので、不可避的に発熱や静電気の発生を伴う。そのため、このような発熱に起因して、極めて微細で熱に敏感な磁気記録素子が変質してその特性劣化を引き起こしたり、あるいは破壊されてしまう確率が高いという問題がある。また、静電気に起因して、極めて微細で電気的に高感度な磁気記録素子が静電破壊されてしまう確率が高いという問題がある。
【００１１】
上述のような発熱や静電気の発生を避けるために、エッチングやイオンミリングなどのケミカルミリング（化学的加工）法を用いることも考えられるが、その場合にはエッチング液のような化学薬品や気体エッチャントなどに磁気記録素子が晒されて変質を引き起こすという問題がある。また、このような問題を避けるためには磁気記録素子をレジスト等で被覆しておくことなどの方策も考えられるが、レジスト工程をさらに付加することは極めて煩雑である。
【００１２】
また、特に、空気ベアリング面やそのレール構造のような機械的な部分を形成するために、スライダ表面に研磨加工や切削加工を施す工程では、磁気記録素子が露出している部分を避けて摩擦加工や切削加工を施すことが必要である。これは、スライダ表面を研磨あるいは切削する際に、磁気記録素子が少しでも研磨あるいは切削されると、それが微細で高感度な磁気記録素子にとっては致命的な損傷となるからである。
【００１３】
しかしながら、そのような微細な磁気記録素子の部分のみを避けるように精密に制御しながらスライダ表面を研磨することは、実際上極めて困難である。そのため、スライダ表面の機械的な部分を研磨加工や切削加工で形成する際に、磁気記録素子を損傷させる確率が極めて高くなる。
【００１４】
このように、従来の磁気ヘッドおよびその製造方法では、スライダ全体としての小型化が困難であることに起因して、１枚のアルティック基板に形成可能なスライダの個数を増やすことができず、その結果、個々の磁気ヘッドの製造コストの低廉化が妨げられてしまうという問題があった。また、浮上式スライダのように機械的あるいは流体力学的な機能をスライダに持たせるためや、面取加工を施すために、スライダを切削工程や研磨工程等に通すことに起因して、微細で高感度な磁気記録素子に致命的な損傷を与える確率が高いという問題があった。そのため、スライダあるいは磁気ヘッドの歩留まりが低くなり、磁気ヘッドとしての信頼性が劣化するという問題があった。
【００１５】
なお、特開平６−３６２５４号公報には、スリットを有するスライダに対してコアチップを挿入固定する浮上型磁気ヘッドが開示されているが、この磁気ヘッドにおいては、コアチップの側面部分が露出しているため、組立工程において機械的な損傷を受けやすく、歩留りが低くなるという問題があった。
【００１６】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その第１の目的は、１枚のアルティック基板から形成可能な個数をさらに増やすことを可能とすることで、個々の製造コストの低廉化を実現できる磁気ヘッドおよびその製造方法を提供することにある。
【００１７】
また、本発明の第２の目的は、電磁気的特性や外形寸法の最適化と、流体力学的な特性や機械的な耐久性の最適化とを、互いに何ら制約し合うことなく実現することができる磁気ヘッドおよびその製造方法を提供することにある。
【００１８】
更に、本発明の第３の目的は、スライダを切削工程や研磨工程等に通しても、高い歩留まりで製造することができ、信頼性の高い磁気ヘッドおよびその製造方法を提供することにある。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気ヘッドは、支持体と、外部の磁気記録媒体に対向する媒体対向面を有し、当該媒体対向面に臨むように設けられた機能部によって前記磁気記録媒体に対する書き込みおよび再生のうち少なくともいずれか一方を行う磁気記録素子を備え、前記支持体上に着設されたコアチップと、前記コアチップとは別体で前記支持体上に着設されたスライダであって、前記支持体に着設される面からそれとは反対側の前記磁気記録媒体に対向する面まで貫通するように設けられた開口を有し、前記開口に前記コアチップを嵌入させて当該コアチップの前記媒体対向面を露出させるように前記支持体上に着設されたスライダとを備えた構成を有している。
【００２０】
本発明による磁気ヘッドでは、コアチップをアルティック基板を材料として形成されたものとしても良く、更に、スライダを、気流中に置かれた際に少なくともスライダ自体に空気力学的な揚力を発生させる形状とするようにしてもよい。
【００２１】
また、本発明による磁気ヘッドは、支持体およびこれに支持されているスライダ並びにコアチップが、例えば、ＨＤＤ（ハード・ディスク駆動装置）に組み込まれて用いられる。
【００２２】
本発明による磁気ヘッドの製造方法は、磁気記録媒体に対向する媒体対向面を有するコアチップに、書き込みおよび再生のうち少なくともいずれか一方の機能を有する磁気記録素子を、その機能部が前記媒体対向面に臨むように形成する工程と、前記コアチップを、支持体に着設する工程と、前記コアチップとは別体で、前記支持体に着設される面からそれとは反対側の前記磁気記録媒体に対向する面まで貫通するように開口を設けてスライダを作製する工程と、前記開口に前記コアチップを嵌入させて当該コアチップの前記媒体対向面を露出させるように、前記スライダを前記支持体上に着設する工程とを含むものである。
【００２３】
本発明による磁気ヘッドおよびその製造方法では、磁気記録素子が形成されているコアチップと、そのコアチップの周囲を囲むような形状のスライダとが別体として形成される。ここで、スライダとコアチップとが「別体」とは、それら両者がそれぞれ独立した別の部品であって、それらは独立した工程で、互いに異なった材料，形状，寸法に形成することが可能である、ということを意味している。従って、磁気記録素子が形成されたコアチップと、揚力を得る機能や強度を補強するなど機械的な機能を果たすスライダとを、それぞれに最適な工程によって、それぞれに最適な材料、形状、寸法に独立して形成することが可能になる。特に、磁気記録素子を備えたコアチップは、機械的なスライダの形状や外形寸法の制約を受けることがなくなる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００２５】
［磁気ヘッドの主要部の構成］
図１は本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドの主要部の構成を表すものである。図２はこの磁気ヘッドの特にコアチップおよびスライダが形成されている支持体の先端部の構造を一部拡大して表している。また、図３はコアチップとスライダとの構造を、図３（Ａ），図３（Ｂ）としてそれぞれ別に示すものであり、図４はそのコアチップおよびスライダが組み合わされた状態を表している。なお、図２乃至図４は磁気ヘッドの構造をさらに詳細に示すために、一部透視図法を用いて描かれている。
【００２６】
本実施の形態に係る磁気ヘッド１は、支持体１１と、この支持体１１の先端部に設けられたコアチップ１２と、コアチップ１２とは別体つまり別部品として形成されたスライダ１３とから、その主要部が構成されている。
【００２７】
支持体１１は、一般にアームと呼ばれるアーム部材２７と、このアーム部材２７の先端部のいわゆるサスペンションと呼ばれる支持ばね１４とを有している。支持体１１の先端部、つまり支持ばね１４上には、コアチップ１２およびスライダ１３が接着されて支持されている。
【００２８】
支持体１１の先端部とは反対側の根元部分１５には嵌合孔１６が形成されている。この嵌合孔１６により、支持体１１がＨＤＤ本体（図示せず）に組み込まれて用いられる際に、ＨＤＤ本体側のサーボ機構の回動軸と機械的に結合することができるようになっている。支持体１１の根元部分１５には、更に、ＨＤＤ本体側との電気的接続を取るための接続パッド１７が複数個（ここでは４個）列設されている。
【００２９】
支持体１１の根元部分１５と先端部のコアチップ１２が支持された部分との間には配線１８が設けられている。配線１８は、複数の接続パッド１７のそれぞれに対してその一端が接続されている一方、他端はコアチップ１２の側に設けられた接続パッド１９と接続されており、根元側の接続パッド１７と先端部側の接続パッド１９とを電気的に接続している。
【００３０】
支持体１１のアーム部材２７と、その先端の支持ばね１４とは、互いに異なる材質のものを用いて形成され、別部品となっている。すなわち、より正確な位置決め精度を得るためや、支持体１１の先端部の振動や捩れを防ぐためには、支持体１１のうち、特に、アーム部材２７は、ある程度の厚みを有するスチロール樹脂や鍛造アルミニウムなどの機械的な剛性の高い材料で形成することが望ましい。一方、支持体１１の先端部については、磁気ヘッド１の振動や位置の変位に対するダンピング等を行うために適度な弾性を有することが必要である。従って、支持体１１の先端部の支持ばね１４は、例えばＪＩＳ（日本工業規格）で規定されているＳＵＳ３０１〜３０４（ステンレス鋼）などのような適度な弾性を備えた金属材料を用いて形成することが望ましい。但し、この他にも、支持体１１の全体にわたって、適度な弾性を備えた金属材料を用いると共に、所定の許容捩れ以上に捩れることのないような構造に形成することなども可能である。
【００３１】
コアチップ１２は、後述のように例えばアルティック基板を切断加工することにより略立方体形状に形成されたもので、図３（Ａ）および図４に示したように、磁気記録再生機能および磁気記録書き込み機能を有する（すなわち、再生素子および書込み素子の双方を含む）磁気記録素子２０を備えている。なお、磁気記録素子２０は、磁気記録再生および磁気記録書き込みのいずれか一方の機能を有するもの、すなわち、再生素子あるいは書込み素子としてもよい。
【００３２】
このコアチップ１２の側面には、複数（例えば４個）の接続パッド２１が列設されている。これらの接続パッド２１は、コアチップ１２が支持体１１上に実装されたときに、その支持体１１側に設けられている接続パッド１９との間で電気的な接続が取られるような形状および位置に形成されている。接続パッド２１と接続パッド１９との間の電気的な接続は、いわゆるボンディングワイヤ方式（ボンディングワイヤを用いた接続方法および接続構造形式）、あるいはボールボンディング方式やその他の接続方式により行われる。
【００３３】
コアチップ１２における磁気記録媒体に対向する媒体対向面１２ａには、磁気記録素子２０の再生および書き込みの機能を果たす部分（以下、機能部２２という）が形成されている。ここで、機能部２２とは、磁気記録素子２０がＭＲ（Ｍａｇｎｅｔｏ  Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）やＧＭＲ（Ｇｉａｎｔ  Ｍａｇｎｅｔｏ  Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）等の再生素子の場合には、外部磁界によりその電気抵抗が変化する磁気抵抗効果膜に対応する部分であり、磁気記録素子２０が書込み素子の場合には、磁極部分に相当する部分であり、いずれも磁力線の出入りする部分に対応する。コアチップ１２は、この機能部２２が形成されている媒体対向面１２ａ側が、図２中で上向きとなるように、支持ばね１４の先端に接着されるものである。
【００３４】
コアチップ１２の支持ばね１４に対する接着には、例えばポリイミド系接着剤のような電気的、磁気的絶縁性の高い接着剤を用いることが望ましい。すなわち、支持ばね１４は一般に金属材料で形成され、支持ばね１４を伝って電気的、磁気的ノイズがコアチップ１２に侵入する確率が高いので、電気的、磁気的絶縁性の高い接着剤によって電磁気的絶縁効果を得るものである。しかし、接着手段としては、これのみには限定されず、その他の接着剤や、ボールボンディング法のような他の接合方式を用いても良いことは言うまでもない。
【００３５】
次に、スライダ１３は、図３（Ｂ）および図４に示したように、コアチップ１２とは全くの別体つまり別部品として形成されたものであり、全体が箱型形状をなしている。スライダ１３のほぼ中央部には上下に貫通する四角形状の開口２３が設けられており、この開口２３内にコアチップ１２が収容できるようになっている。すなわち、コアチップ１２は、その側面の周囲を同じく支持ばね１４の先端部に接着されたスライダ１３によって囲まれた状態となっている。
【００３６】
スライダ１３の下面側（媒体対向面に対して反対側）には開口２３の一壁面２４に対して連通するように切り欠き部２５が設けられており、この切り欠き部２５により内部のコアチップ１２の接続パッド２１の部分が露出されるようになっている。開口２３は、その寸法や形状を適宜にコアチップ１２の形状や寸法に対応したものとすれば良い。切り欠き部２５についても、その寸法や形状を適宜にコアチップ１２側に設けられた接続パッド２１の形状、寸法や位置に対応したものとすれば良い。
【００３７】
また、このスライダ１３における、磁気記録媒体に対して対向する媒体対向面（すなわち浮上面１３ａ）の先端部分には傾斜面からなる空気導入部２６が設けられている。この空気導入部２６によって、スライダ１３が浮上式スライダとして流体力学的に機能するようになっている。
【００３８】
なお、スライダ１３は、耐摩耗性などの機械的な耐久性が高く、かつ加工性も比較的良好なセラミック材料や、耐摩耗性などの機械的な耐久性が高く、高い表面平滑度を得ることができ、加工性も良好である各種合金を用いて形成することができる。
【００３９】
本実施の形態に係る磁気ヘッド１では、コアチップ１２とスライダ１３とを、互いに独立な別体とすると共にスライダ１３に開口２３を設け、この開口２３内にコアチップ１２を収容するようにしたので、スライダ１３の形状およびその寸法は、コアチップ１２とは全く独立に自由に形成することができ、コアチップ１２の形状およびその寸法についても、スライダ１３とは全く独立に自由に形成することができる。このようにコアチップ１２とスライダ１３とを別体とすることによって、それぞれに最適な材料を用いて、それぞれ独立に最適な形状および寸法に形成することが可能となる。これにより、コアチップ１２の電磁気的特性や外形寸法の最適化と、スライダ１３の流体力学的な特性や機械的な耐久性の最適化とを、互いに何ら制約し合うことなく実現することが可能となる。また、スライダ１３はコアチップ１２の周囲の全体を囲むような形状となっているので、コアチップ１２の耐摩耗性や耐衝撃性などの機械的強度を補助するという役割をも果たしている。
【００４０】
［磁気ヘッドの主要部の製造方法］
次に、図５乃至図７を参照して、本実施の形態に係る磁気ヘッド１の製造方法について説明する。
【００４１】
図５（Ａ），（Ｂ）はアルティック基板１０１を用いてコアチップ１２を形成する工程を説明するための図である。まず、図５（Ａ）に示したように、１枚のアルティック基板１０１に、トランスデューサのような磁気記録素子２０を複数個列設する。この磁気記録素子２０の製作には、磁気書き込み／読み出しを行う磁気記録素子の一般的な製造方法を好適に用いることができる。
【００４２】
続いて、図５（Ｂ）に示したように、アルティック基板１０１を例えばダイアモンドカッタにより縦横に切断加工して、個別に切り離されたコアチップ１２を得る。このコアチップ１２の一つ一つに、磁気記録素子２０が形成されている。そして必要に応じて、このチップ状のコアチップ１２の各辺（稜線）やコーナ部分の面取り加工すなわち研磨加工を施す。但し、切断時点で既に各辺やコーナ部分が十分に平滑化されており、チッピングや欠けなどが発生していない場合には、面取り加工などは省略しても良い。本実施の形態では、面取り加工を施している。
【００４３】
本実施の形態では、このコアチップ１２は、磁気ヘッドの用途に対応したものとして最も好適な材料やその加工方法を、スライダ１３との関連は考慮せずとも自由に選択して用いることができる。
【００４４】
前述のように、コアチップの形状や寸法は、できるだけ小型で１枚のアルティック基板中にできるだけ多数個形成しやすいように形成することが強く要請される。このような小型化の要請に対して、本実施の形態のコアチップ１２は十分に対応することができる。
【００４５】
すなわち、本実施の形態では、従来の磁気記録素子内蔵型のスライダのようなスライダ１３の外形寸法という制約を全く受けることなく、磁気記録素子２０を内蔵したコアチップ１２としての最適な形状や最小の外形寸法に形成することができる。これにより、このコアチップ１２の外形寸法を必要最小限まで小型化して、１枚のアルティック基板中に最大多数個形成できる個数を最大化することができる。その結果、個々のコアチップ１２の製造コストの低廉化を図ることができ、ひいては磁気ヘッドの製造コストの低廉化を実現することができる。
【００４６】
本実施の形態では、上記のようにコアチップ１２を形成する一方、これとは別に、図６および図７（Ａ）に一部を拡大して示したように、支持体１１のアーム部材２７、およびアーム部材２７の先端部に組み付けられる支持ばね１４を製作する。あるいは、この支持体１１が、本実施の形態とは異なりアーム部材２７と支持ばね１４とが同一の材料を用いて一体形成されている形式の場合には、根元部分１５から先端部までの支持体１１を一体形成する。
【００４７】
続いて、この支持体１１に配線１８を形成する。この配線１８は、いわゆるプリント配線技術（印刷配線技術）を用いて支持体１１の表面上に形成しても良く、あるいはリード配線のような配線部材を用いて形成しても良い。ただし、近年の磁気ヘッド全体や支持体のさらなる小型化や、磁気記録素子のさらなる微細化などを考慮すると、それに対応可能なプリント配線技術を用いて支持体１１の表面上に配線１８を形成することが、より望ましい。
【００４８】
次に、図７（Ｂ）に示したように、このように形成された支持体１１の先端部の支持ばね１４上にコアチップ１２を接着させる。その接着には、例えばポリイミド系接着剤のような電気的絶縁性の高い接着剤を用いることが望ましいことは、既述の通りである。コアチップ１２を接着させた後、コアチップ１２の一面に列設された接続パッド２１と、支持体１１側に設けられている接続パッド１９との間をボンディングワイヤ方式などによって接続させる。
【００４９】
このようにコアチップ１２や支持体１１を形成し、コアチップ１２を支持体１１に接着させる一方、これとは別に、前述のセラミック材料等によってスライダ１３を形成する。また、このスライダ１３の中央部に、コアチップ１２を露出させるための四角形の開口２３を形成する。この開口２３の寸法や形状は、コアチップ１２の形状や寸法に対応したものとする。また、スライダ１３の開口２３の一壁面２４の下部には、コアチップ１２の接続パッド２１を露出させるための切り欠き部２５を形成する。この切り欠き部２５についても、その寸法や形状を適宜にコアチップ１２側に設けられた接続パッド２１の形状や寸法や位置に対応したものとする。また、このスライダ１３の浮上面１３ａの先端部分に対して、斜面形状の空気導入部２６を形成する。
【００５０】
このようなスライダ１３をセラミック材料のような型押成型やエンジリアリングプラスチックあるいは金属ダイキャストのような射出成型で製作する場合には、上記のような形状の型を用いて形成すれば良い。一方、スライダ１３を合金材料などを用いて形成する場合には、直方体のようなチップ状に合金材料を一旦切り出しておき、それに上記のような開口２３や切り欠き部２５や空気導入部２６などを鍛造法あるいは切削加工法などにより形成すれば良い。
【００５１】
それらのいずれの場合でも、その磁気ヘッドの用途に対応したスライダ１３として最も好適な材料やその加工方法を、コアチップ１２との関連は考慮せずとも自由に選択して用いることができることは前述の通りである。
【００５２】
このようにしてスライダ１３を形成した後、図７（Ｃ）に示したように、スライダ１３を、コアチップ１２を囲むような形で支持体１１の先端の支持ばね１４上に接着剤によって接着させる。このようにして磁気ヘッド１の主要部分を作製することができる。
【００５３】
このように、本実施の形態においては、磁気記録素子２０を備えるコアチップ１２とスライダ１３とを独立に製作することができるので、スライダ１３を切削工程や研磨工程等に通しても、その工程で発生する熱や静電気による悪影響を磁気記録素子２０が受けることは全く無くなる。また、従来の製造方法のような磁気記録素子を精密に回避しながらスライダに切削加工や研磨加工を施す、といった煩雑な制約が全く無くなり、スライダ１３を短時間で自由に加工することができる。このため、高い歩留まりで磁気ヘッドを製造することができ、またそれによって得られる磁気ヘッドの信頼性を高いものとすることができる。
【００５４】
なお、上記実施の形態では、スライダ１３がコアチップ１２を囲むような構造としたが、スライダ１３の形状およびコアチップ１２との位置関係はこれのみには限定されない。この他にも、スライダ１３の平面的形状をコの字型に形成し、そのコの字の中央部の空隙部分にコアチップ１２が位置するようにすることなども可能である。いずれの場合でも、スライダ１３がコアチップ１２とは別体であれば良く、更には、コアチップ１２の耐摩耗性のような機械的強度を補助する機能や、流体力学的な浮上特性などの機能を十分に果たすことができるような形状に、スライダ１３が形成されていることが望ましい。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１乃至４のいずれか１に記載の磁気ヘッドまたは請求項５に記載の磁気ヘッドの製造方法によれば、コアチップをスライダとを別体の構成とし、スライダによりコアチップの側面を囲むようにしたので、１枚のアルティック基板から形成可能な磁気ヘッドの個数をさらに増やすことが可能となり、その結果、個々の磁気ヘッドの製造コストの低廉化を実現することができる。また、コアチップの電磁気的特性や外形寸法の最適化と、スライダの流体力学的な特性や機械的な耐久性の最適化とを、互いに何ら制約し合うことなく実現することができる。
【００５６】
また、磁気記録素子はスライダとは別体のコアチップの方に形成されているので、スライダを切削工程や研磨工程等に通しても、その工程で発生する熱や静電気による悪影響を磁気記録素子が受けることが無くなる。あるいは、磁気記録素子を精密に回避しながらスライダに切削加工や研磨加工を施すといった煩雑な制約が無くなり、スライダを短時間で自由に加工することができる。その結果、高い歩留まりで磁気ヘッドを製造することができ、またそれによって得られる磁気ヘッドの信頼性を高いものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドの構成の主要部を表す図である。
【図２】磁気ヘッドの特にコアチップおよびスライダが形成されている支持体の先端部の構造を一部拡大して表す斜視図である。
【図３】コアチップとスライダとの構造を、図３（Ａ），図３（Ｂ）としてそれぞれ別に示す斜視図である。
【図４】図３に示したコアチップおよびスライダが組み合わされている構造を示す図である。
【図５】図１に示した磁気ヘッドの主要部の製造工程を示す図である。
【図６】図５に続く製造工程を説明するための図である。
【図７】図６に続く製造工程を説明するための図である。
【符号の説明】
１…磁気ヘッド、１１…支持体、１２…コアチップ、１３…スライダ、１４…支持ばね、１８…配線、２０…磁気記録素子、２２…機能部
【図１】
0003630289.tif 000002
【図２】
0003630289.tif 000003
【図３】
0003630289.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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