(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体との間に生じる空気流のそれぞれ上流側及び下流側に位置する流入端及び流出端並びに上記磁気記録媒体に対向する浮上面を有するスライダ本体と、
該スライダ本体の上記浮上面に設けられた少なくとも２本の浮上力発生のためのレールと、
上記スライダ本体の上記流出端に設けられたデータ記録／再生のための磁気ヘッドとを備え、
上記レール間の溝の幅を上記流入端から上記流出端に向かって変化させることによって上記浮上面と上記磁気記録媒体の間には吸引力が発生し、
上記レールは上記流入端から上記流出端に向かうに従って厚みが増大するテーパ部を有し、
該テーパ部の終端は、上記レールの幅が上記流入端から上記流出端に向かうに従って減少している位置にあり、
上記レールは第１及び第２のサイドレールと、上記スライダ本体の上記浮上面における上記第１及び第２のサイドレール間の上記流入端側にのみ設けられた流入端センターレールとからなり、
上記溝は上記第１及び第２のサイドレール間に幅方向にわたり連続して形成されており、
上記第１及び第２のサイドレールと上記流入端センターレールとの間にそれぞれ形成される流入端を除き幅が概略一定の第１及び第２の狭い溝が上記スライダ本体の側面と平行でない、磁気ヘッドスライダ。
【請求項２】
磁気記録媒体との間に生じる空気流のそれぞれ上流側及び下流側に位置する流入端及び流出端並びに上記磁気記録媒体に対向する浮上面を有するスライダ本体と、
該スライダ本体の上記浮上面に設けられた浮上力発生のための第１及び第２のサイドレールと、
該スライダ本体の上記浮上面における上記第１及び第２のサイドレール間の上記流入端側にのみ設けられた流入端センターレールとを備え、
上記第１及び第２レール間に幅方向にわたり連続して形成された溝の幅を上記流入端から上記流出端に向かって変化させることによって上記浮上面と上記磁気記録媒体の間には吸引力が発生し、
上記第１及び第２のサイドレールと上記流入端センターレールとの間にそれぞれ形成される流入端を除き幅が概略一定の第１及び第２の狭い溝が上記スライダ本体の側面と平行でない磁気ヘッドスライダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は磁気ディスク装置等の磁気記憶装置に用いられる負圧型磁気ヘッドスライダに関する。
【０００２】
近年の磁気ディスク装置用の磁気ヘッドスライダにおいては、記録密度の増加のために低浮上量化が進められている。また、アクセスの高速化のため、アクセス方向に大きな加速度がかけられるので、浮上安定性に優れたスライダが求められている。さらに、装置の小型化、機構の単純化のために、回転型ポジショナが広く用いられ、ヨー角変化による浮上量変動の少ない磁気ヘッドスライダが望まれている。
【０００３】
【従来の技術】
浮上安定性に優れた負圧型磁気ヘッドスライダとして、磁気記録媒体との間に生じる空気流のそれぞれ上流側及び下流側に位置する流入端及び流出端並びに磁気記録媒体に対向する浮上面を有するスライダ本体と、スライダ本体の浮上面に設けられた少なくとも２本の浮上力発生のためのレールと、スライダ本体の流出端に設けられたデータ記録／再生のための磁気ヘッドとを備えたものが知られている。
【０００４】
この磁気ヘッドスライダにおいては、レール間の溝の幅を流入端から流出端に向かって変化させることによって、浮上面と磁気記録媒体との間に吸引力（負圧）が発生するようにされている。
【０００５】
この種の従来の磁気ヘッドスライダの特徴の１つとして、流入端側のレール幅の細りがある。これによりヨー角変化による浮上量変動を抑制することができる。特徴の他の１つは、例えば、レールの流入端に形成されたテーパである。このテーパの存在によって、塵埃等がレールに付着したときの浮上変動を抑制することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述したレールにおけるテーパの形成は、通常、機械加工による。このため、テーパ加工のばらつき、例えばテーパ部の長さのばらつきが磁気ヘッドスライダの浮上特性に大きく影響する。このように、従来の磁気ヘッドスライダにおいては、テーパ加工に精度の高い作業が要求され、低コスト化の妨げとなっていた。
【０００７】
よって、本発明の目的は、テーパ加工のばらつきが浮上特性に大きく影響することのない磁気ヘッドスライダを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明によると、磁気記録媒体との間に生じる空気流のそれぞれ上流側及び下流側に位置する流入端及び流出端並びに上記磁気記録媒体に対向する浮上面を有するスライダ本体と、該スライダ本体の上記浮上面に設けられた少なくとも２本の浮上力発生のためのレールと、上記スライダ本体の上記流出端に設けられたデータ記録／再生のための磁気ヘッドとを備え、上記レール間の溝の幅を上記流入端から上記流出端に向かって変化させることによって上記浮上面と上記磁気記録媒体の間には吸引力が発生し、上記レールは上記流入端から上記流出端に向かうに従って厚みが増大するテーパ部を有し、該テーパ部の終端は、上記レールの幅が上記流入端から上記流出端に向かうに従って減少している位置にあり、上記レールは第１及び第２のサイドレールと、上記スライダ本体の上記浮上面における上記第１及び第２のサイドレール間の上記流入端側にのみ設けられた流入端センターレールとからなり、上記溝は上記第１及び第２のサイドレール間に幅方向にわたり連続して形成されており、上記第１及び第２のサイドレールと上記流入端センターレールとの間にそれぞれ形成される流入端を除き幅が概略一定の第１及び第２の狭い溝が上記スライダ本体の側面と平行でない、磁気ヘッドスライダが提供される。
【０００９】
【作用】
本発明の磁気ヘッドスライダにおいては、テーパ部の終端が、レールの幅が流入端から流出端に向かうに従って減少している位置にあるので、テーパ部の長さのばらつきが浮上特性に影響しにくい。さらに、本発明によると高剛性な負圧スライダを提供することができ、大きな負圧を容易に得ることができる。
【００１０】
【実施例】
以下、本発明の実施例を添付図面に沿って詳細に説明する。
図１は本発明の第１実施例を示す磁気ヘッドスライダの平面図、図２は同スライダを斜め上方から見た斜視図、図３は同スライダを斜め下方から見た斜視図である。
【００１１】
符号２は概略直方体のスライダ本体を表し、このスライダ本体２の材質は例えばＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣである。スライダ本体２は、図示しない磁気記録媒体（例えば回転駆動される磁気ディスク）との間に生じる空気流のそれぞれ上流側及び下流側に位置する流入端４及び流出端６と磁気記録媒体に対向する浮上面８とを有している。
【００１２】
スライダ本体２の流出端６には、データ記録／再生のための磁気ヘッド部１０が設けられている。
スライダ本体２の浮上面８には、少なくとも２本の浮上力発生のためのレールが設けられている。このレールは、この実施例では、磁気記録媒体が回転駆動される磁気ディスクである場合における磁気ディスクの回転中心側に位置するインナサイドレール１２と、同じく外側に位置するアウタサイドレール１４と、両サイドレール１２及び１４間の流入端４側に設けられた流入端センターレール１６とからなる。流入端センターレール１６に対応して流出端センターレールが設けられていてもよい。
【００１３】
インナサイドレール１２は、流入端４から流出端６に向かって、それぞれ、幅が増大する第１部分１２Ａと、幅が減少する第２部分１２Ｂと、幅が一定な第３部分１２Ｃと、幅が増大する第４部分１２Ｄとを幅が連続するように一体にして形成されている。アウタサイドレール１４は、この実施例ではスライダ本体２に対してインナサイドレール１２と対称な位置に対称な形状で設けられており、第１部分１４Ａと第２部分１４Ｂと第３部分１４Ｃと第４部分１４Ｄとからなる。
【００１４】
流入端センターレール１６は、流入端４から流出端６に向かってそれぞれ幅が増大する第１部分１６Ａと幅が減少する第２部分１６Ｂとからなる。
図２に示されるように、磁気ヘッド部１０は、流出端６におけるインナサイドレール１２及びアウタサイドレール１４に対応する位置に例えば薄膜型の磁気ヘッド１８を内蔵している。符号２０は磁気ヘッド１８の信号端子である。
【００１５】
図３において、磁気記録媒体を流入端４から流出端６に向かってこの磁気ヘッドスライダに対して相対的に移動させると、流入端４から流出端６に向かって空気流が生じ、これにより矢印Ａで示されるような正圧による浮上力と矢印Ｂで示されるような負圧による吸引力とがこの磁気ヘッドスライダに作用する。負圧が作用するのは、レール間の溝の幅を流入端から流出端に向かって変化させているからである。
【００１６】
再び図１を参照すると、インナサイドレール１２、アウタサイドレール１４及び流入端センターレール１６は、流入端４から流出端６に向かうに従って厚みが増大するそれぞれテーパ部１２Ｔ、１４Ｔ及び１６Ｔを流入端４側に有している。各レールのテーパ部以外の部分（非テーパ部）は浮上面８と平行な平坦面である。
【００１７】
各テーパ部の角度は０．５〜４．０°であり、テーパ部の長さはサイドレール全長の１／１０〜１／２０である。このようなテーパを各レールに形成しておくことによって、テーパにより発生する正圧によってレール先端への汚れの付着を防止することができる。
【００１８】
この実施例では、各サイドレールのテーパ部１２Ｔ及び１４Ｔの終端は、流入端４から流出端６に向かうに従って幅が減少しているそれぞれ第２部分１２Ｂ及び１４Ｂ上に位置している。また、流入端センターレールのテーパ部１６Ｔの終端も幅が流入端４から流出端６に向かうに従って減少している第２部分１６Ｂ上に位置している。
【００１９】
このようにレールのテーパ部の終端をレールの幅が流入端から流出端にむかうに従って減少している位置に設けることによって、加工公差によってテーパ部の長さが増減した場合でも浮上変動を小さく抑えることができる。
【００２０】
スライダサイズは２ｍｍ×１．６ｍｍ或いは１．２５ｍｍ×１ｍｍと小さく、レール幅は最も細い部分で百数十μｍとなるため、各レールはフォトリソグラフィ技術を適用して形成される。レジストで所望のレールパターンを形成した後、イオンミリングによってレール間の溝を形成する。テーパ部は各レールを形成する前或いは後に例えば機械加工によって形成する。
【００２１】
図４は本発明の第２実施例を示す磁気ヘッドスライダの平面図である。全図を通して実質的にほぼ同等の部分には同一の符号が付されており、以下に用いる各図においては図面の明瞭さを確保するために磁気ヘッド部の図示が省略されている。
【００２２】
この実施例では、インナサイドレール１２と流入端センターレール１６との間に形成される第１の狭い溝２２と、アウタサイドレール１４と流入端センターレール１６との間に形成される第２の狭い溝２４とが、それぞれスライダ本体２の側面と平行でない。また、インナサイドレール１２とアウタサイドレール１４のテーパ部１２Ｔ，１４Ｔの終端は、第１実施例におけるのと同様に流入端４から流出端６に向かうに従ってレールの幅が減少する部分に位置している。
【００２３】
このように狭い溝２２及び２４を形成することにより、レール間距離の最も狭い部分がスライダ本体２の側面に対して傾斜することとなり、気流の圧縮・膨張率が高くなり、容易に高剛性な負圧スライダを提供することができる。また、容易に大きな負圧を得ることができる。
【００２４】
さらに、流入端センターレール１６を除き、第１実施例におけるのと同じようにテーパ部の終端の位置を決めているので、テーパ加工に際してのばらつきが浮上特性に影響しにくい。
このような狭い溝の傾斜は、それだけでも効果を発揮し得る。これを図５により説明する。
【００２５】
図５は本発明の第３実施例を示す磁気ヘッドスライダの平面図である。この実施例では、テーパ部１２Ｔ及び１４Ｔの終端はレールの幅が流入端４から流出端６に向かうに従って増大している位置にある磁気ヘッドスライダにおいて、インナサイドレール１２及びアウタサイドレール１４と流入端センターレール１６との間にそれぞれ形成される第１及び第２の狭い溝２２及び２４がスライダ本体２の側面と平行でないようにしている。これにより、レール間距離の最も狭い部分がスライダ本体の側面に対して傾斜することとなり、気流の圧縮・膨張率が高くなり、容易に高剛性な負圧スライダを提供することができる。
【００２６】
ところで、回転型のポジショナが用いられている場合、ヨー角変動による磁気ヘッドスライダの浮上量の変動を小さく抑えるために、スライダをポジショナのアームに取り付けるに際して数°のオフセットをかけることがある。これによって、ヨー角０°のポイントを磁気ディスクのデータ面の中心近傍に設定し、ヨー角の最大値を小さくしている。
【００２７】
しかしながら、オフセットをかけると特開昭６０−１０４７２号等に開示されているようなタイミングサーボを用いないと、サーボ制御が困難になることがあり、オフセットをかけないこともある。この場合、回転型ポジショナの可動範囲が１０°であるとすると、ヨー角の範囲は例えば７°／−９°〜−３°／−１９°となり、浮上特性（特にローリング）が悪くなる。
【００２８】
この問題を解決するためには、例えば、図５の第３実施例において、インナサイドレール１２及びアウタサイドレール１４の形状を非対称にするか、或いは、インナサイドレール１２及びアウタサイドレール１４の配置位置がスライダ本体２に対して非対称となるようにするとよい。具体的には次の通りである。
【００２９】
ローリング特性を改善することができる本発明の第４乃至第１１実施例を図６の（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）及び（Ｄ）並びに図７の（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）及び（Ｄ）に示す。図において“ｉｎｎｅｒ”は回転駆動される磁気ディスクに対して内側であることを示し、“ｏｕｔｅｒ”は外側であることを示す。
【００３０】
図６の（Ａ）及び（Ｂ）にそれぞれ示される第４実施例及び第５実施例は、インナーレール１２及びアウターレール１４の配置位置がスライダ本体２に対して非対称であることにより特徴付けられる。（Ａ）に示される第４実施例においては、各レールをアウター側にずらし、インナサイドレール１２とスライダ本体２の側面との間の幅（インナーレール脇幅）がアウタサイドレール１４とスライダ本体２の側面との間の幅（アウターレール脇幅）よりも大きくなるようにしている。これによって、ヨー角が片方向に大きく設定されている場合であっても、アウタサイドレール１４の脇に発生する吸引力によって磁気ヘッドスライダのローリングを抑えることができる。
【００３１】
（Ｂ）に示される第５実施例においては、各レールをインナー側にずらし、アウターレール脇幅がインナーレール脇幅よりも大きくなるようにしている。これにより、ヨー角が片方向に大きく偏っている場合であっても、アウタサイドレール１４の脇に発生する正圧によって磁気ヘッドスライダのローリングを抑えることができる。
【００３２】
図６の（Ｃ）及び（Ｄ）にそれぞれ示される第６及び第７実施例と図７の（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）及び（Ｄ）にそれぞれ示される第８、第９、第１０及び第１１実施例は、インナサイドレール１２及びアウタサイドレール１４の形状が非対称であることによって特徴付けられる。
【００３３】
図６の（Ｃ）に示される第６実施例においては、インナサイドレール１２の流出端６側の部分をアウター側にずらすことによって、インナーレール脇幅がアウターレール脇幅よりも大きくなるようにしている。
【００３４】
図６の（Ｄ）に示される第７実施例においては、アウタサイドレール１４の流出端６側の部分をインナー側にずらすことによって、アウターレール脇幅がインナーレール脇幅よりも大きくなるようにしている。
【００３５】
図７の（Ａ）に示される第８実施例においては、インナサイドレール１２の流入端４側の部分を小さくすることによって、インナーレール脇幅がアウターレール脇幅よりも大きくなるようにしている。
【００３６】
図７の（Ｂ）に示される第９実施例においては、アウタサイドレール１４の流入端４側の部分を小さくすることによって、アウターレール脇幅がインナーレール脇幅よりも大きくなるようにしている。
【００３７】
図７の（Ｃ）に示される第１０実施例においては、インナサイドレール１２の概略中央の細長い部分をアウター側にずらすことによって、インナーレール脇幅がアウターレール脇幅よりも大きくなるようにしている。
【００３８】
図７の（Ｄ）に示される第１１実施例においては、アウタサイドレール１４の概略中央の細長い部分をインナー側にずらすことによって、アウターレール脇幅がインナーレール脇幅よりも大きくなるようにしている。
【００３９】
第６、第８及び第１０実施例においては、第４実施例における原理に準じた原理に従って磁気ヘッドスライダのローリングが抑制される。また、第７、第９及び第１１実施例においては、第５実施例における原理に準じた原理に従って磁気ヘッドスライダのローリングが抑制される。
【００４０】
次に、ローリングを抑制するための他の２つの実施例を図８により説明する。図８の（Ａ）及び（Ｂ）はそれぞれ本発明の第１２及び第１３実施例を示す平面図である。
【００４１】
これらの実施例においては、インナサイドレール１２及びアウタサイドレール１４がそれぞれ受ける圧力が、流入端センターレール１６が受ける圧力よりも大きくなるようにすることによって、ローリング剛性を高めている。これにより、ヨー角変化によって生じる磁気ヘッドスライダのローリングを小さくすることができる。
【００４２】
図８の（Ａ）に示される第１２実施例においては、インナサイドレール１２及びアウタサイドレール１４のそれぞれのテーパ部１２Ｔ及び１４Ｔの面積は流入端センターレール１６のテーパ部１６Ｔの面積にほぼ等しく、インナサイドレール１２及びアウタサイドレール１４のそれぞれのテーパ角度（テーパ部と非テーパ部とが成す角度）が流入端センターレール１６のテーパ角度よりも小さくなるようにしている。これにより、インナサイドレール１２及びアウタサイドレール１４がそれぞれ受ける圧力は、流入端センターレール１６が受ける圧力よりも大きくなる。
【００４３】
図８の（Ｂ）に示される実施例においては、インナサイドレール１２及びアウタサイドレール１４のそれぞれのテーパ角度は流入端センターレール１６のテーパ角度にほぼ等しく、インナサイドレール１２及びアウタサイドレール１４のそれぞれのテーパ部１２Ｔ及び１４Ｔの面積が流入端センターレール１６のテーパ部１６Ｔの面積よりも大きくなるようにされている。これにより、インナサイドレール１２及びアウタサイドレール１４がそれぞれ受ける圧力は、流入端センターレール１６が受ける圧力よりも大きくなる。
【００４４】
ところで、レールのテーパ部が例えば機械加工により形成される場合、テーパ部の終端にはテーパ角度が不連続にならないように曲面部（Ｒ部）が形成されていることがある。そして、この曲面部の形態によって磁気ヘッドスライダの浮上特性が大きく左右される。
【００４５】
そこで、本発明の次の実施例の目的は、曲面部（Ｒ部）の加工公差による浮上変動を抑制した磁気ヘッドスライダを提供することにある。
本発明のこの実施例によると、磁気記録媒体との間に生じる空気流のそれぞれ上流側及び下流側に位置する流入端及び流出端並びに上記磁気記録媒体に対向する浮上面を有するスライダ本体と、該スライダ本体の上記浮上面に設けられた少なくとも２本の浮上力発生のためのレールと、上記スライダ本体の上記流出端に設けられたデータ記録／再生のための磁気ヘッドとを備え、上記レール間の溝の幅を上記流入端から上記流出端に向かって変化させることによって上記浮上面と上記磁気記録媒体の間には吸引力が発生し、上記レールは上記流入端から上記流出端に向かうに従って厚みが増大するテーパ部を有し、上記テーパ部の終端には、テーパ角度が不連続にならないように曲面部が形成され、該曲面部のほぼ中央における接線と上記レールの非テーパ部とがなす角度は上記テーパ角度の３分の１よりも大きい磁気ヘッドスライダが提供される。具体的には次の通りである。
【００４６】
図９の（Ａ）は本発明の第１４実施例を示す磁気ヘッドスライダの側面図、図９の（Ｂ）は（Ａ）において符号２６で示される部分の拡大図である。図においては、アウタサイドレール１４のみが図示されているが、他のレールのテーパ部についても同様である。
【００４７】
図９の（Ｂ）に示されるように、テーパ部１４Ｔの終端には、テーパ角度が不連続にならないように曲面部２８が形成されている。即ち、テーパ部１４Ｔと非テーパ部は曲面部２８により接続されており、曲面部２８における局部的なテーパ角度はテーパ部１４Ｔから非テーパ部に向かって連続的に変化して０に収束している。
【００４８】
符号θはテーパ部１４Ｔのテーパ角度を表しており、φは曲面部２８のほぼ中央における接線３０と非テーパ部とが成す角度を表している。この角度φは曲面部２８における平均テーパ角度にほぼ等しいので、この角度φを「平均テーパ角度」と称することがある。また、符号Ｌは曲面部２８の非テーパ部と平行な方向における長さを表している。
【００４９】
テーパ部１４Ｔのテーパ角度θと曲面部２８の平均テーパ角度φは次の関係を満たす。
θ／３＜φ
そうした理由は次の通りである。曲面部２８は一般にその平均テーパ角度が小さい（例えば０．５°程度）ため、レールにおけるテーパ部の役割を果たしてしまい、このため、テーパ部における正圧が小さいと、曲面部における正圧が支配的となる。その結果、機械加工によって形成される曲面部の平均テーパ角度の許容範囲が狭くなり、製造上の問題となる。
【００５０】
そこで、上述の条件を満足させることによって、曲面部２８における正圧が支配的になることを阻止し、曲面部の加工公差による浮上変動の抑制を図っているのである。
【００５１】
図１０はテーパ角度θが３°のときの浮上特性を示すグラフである。実験には３．５インチの磁気ディスクを用いている。（Ａ）は磁気ヘッドスライダが磁気ディスクのインナー側（Ｒ＝２０ｍｍのトラック上）に位置するときの浮上特性、（Ｂ）は磁気ヘッドスライダが磁気ディスクのアウター側（Ｒ＝４５ｍｍのトラック上）に位置するときの浮上特性を示している。
【００５２】
それぞれのグラフにおいて、縦軸は浮上量（μｍ）、横軸は曲面部の長さＬ（ｍｍ）である。図中実線はアウタサイドレールの流出端側の浮上量を示し、破線はインナサイドレールの流出端側の浮上量を示している。
【００５３】
いずれのグラフにおいても、浮上量が曲面部の長さＬに依存して大きく変化していることが明らかである。
図１１の（Ａ）及び（Ｂ）は、テーパ角度が１．５°のときの浮上特性を図１０の（Ａ）及び（Ｂ）にそれぞれ対応させて示したものである。テーパ角度θが１．５°の場合、曲面部の長さＬが変化しても浮上量がほぼ一定であることが明らかである。
【００５４】
このように、テーパ角度を２°よりも小さくすることによって、曲面部の加工公差による浮上量の変動を抑制することができる。
続いて、ローリング特性を改善した磁気ヘッドスライダについて説明する。即ち、本発明のある側面によると、最大ヨー角の大きさが１０°以上の条件が適用される磁気ヘッドスライダであって、磁気記録媒体との間に生じる空気流のそれぞれ上流側及び下流側に位置する流入端及び流出端並びに上記記録媒体に対向する浮上面を有するスライダ本体と、該スライダ本体の浮上面に設けられたアウタサイドレール及びインナサイドレールと、上記スライダ本体の上記流出端における上記アウタサイドレールに対応する部分に設けられたデータ記録／再生のための磁気ヘッドとを備え、上記アウタサイドレール及びインナサイドレール間の溝の幅を上記流入端から上記流出端に向かって変化させることによって上記浮上面と上記磁気記録媒体の間には吸引力が発生し、上記インナサイドレールの後端と上記流出端の距離は上記アウタレールの後端と上記流出端の距離よりも大きい磁気ヘッドスライダが提供される。その具体例を図１２により説明する。
【００５５】
図１２は本発明の第１５実施例を示す磁気ヘッドスライダの平面図である。この実施例は、図４の第２実施例と対比して、インナサイドレール１２の後端３２が流出端６に一致せず、流入端４側に後退している点で特徴付けられる。即ち、インナサイドレール１２の長さはアウタサイドレール１４の長さよりも短い。
【００５６】
この実施例によると、磁気ヘッドスライダが回転駆動される磁気ディスクのアウター側に位置するときに、アウタサイドレール１４の浮上量を高めにし、インナサイドレール１２の浮上量を低めに調整することができ、磁気ヘッドスライダのローリングを低減することができる。
【００５７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によると、テーパ部の加工ばらつきが浮上特性に影響しにくい磁気ヘッドスライダと、ローリング特性が良好な磁気ヘッドスライダと、曲面部の加工ばらつきが浮上特性に影響しにくい磁気ヘッドスライダの提供が可能になるという効果が生じる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を示す磁気ヘッドスライダの平面図である。
【図２】図１の磁気ヘッドスライダを斜め上方から見た斜視図である。
【図３】図１の磁気ヘッドスライダを斜め下方から見た斜視図である。
【図４】本発明の第２実施例を示す磁気ヘッドスライダの平面図である。
【図５】本発明の第３実施例を示す磁気ヘッドスライダの平面図である。
【図６】本発明の第４乃至第７実施例を示す磁気ヘッドスライダの平面図である。
【図７】本発明の第８乃至第１１実施例を示す磁気ヘッドスライダの平面図である。
【図８】本発明の第１２及び第１３実施例を示す磁気ヘッドスライダの平面図である。
【図９】本発明の第１４実施例を示す磁気ヘッドスライダの側面図である。
【図１０】テーパ角度が３°のときの浮上特性を示す図である。
【図１１】テーパ角度が１．５°のときの浮上特性を示す図である。
【図１２】本発明の第１５実施例を示す磁気ヘッドスライダの平面図である。
【符号の説明】
２  スライダ本体
４  流入端
６  流出端
８  浮上面
１０  磁気ヘッド部
１２  インナサイドレール
１４  アウタサイドレール
１６  流入端センターレール
１８  磁気ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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