(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォトレジストが塗布されたガラス原盤を露光するレーザ光を出射するレーザ光源と、連続一定周期のパルス列で構成される基本クロックに対応させて前記ガラス原盤を露光する露光信号を発生する露光信号発生装置と、前記露光信号に基づき前記レーザ光源から出射されたレーザ光をオン・オフさせる光変調器と、この光変調器によりオン・オフされたレーザ光を前記ガラス原盤上に露光スポットとして集光照射させる集光光学系を含む光ピックアップと、回転自在に保持された前記ガラス原盤を回転駆動するスピンドルモータと、前記光ピックアップを前記ガラス原盤の半径方向に移動させるスライダと、前記スピンドルモータの回転に応じ等回転角ごとにパルスを出力するスピンドル回転エンコーダと、前記ガラス原盤上における前記露光スポットの位置に応じたパルスを出力するリニアエンコーダと、回転指令及び前記スピンドル回転エンコーダのパルス出力に基づき前記スピンドルモータの回転をフィードバック制御する回転制御ループと、移動指令及び前記リニアエンコーダのパルス出力に基づき前記スライダの移動をフィードバック制御する移動制御ループとを備え、前記スピンドルモータ及び前記スライダをＣＬＶ駆動させるようにした光ディスク原盤露光装置において、
前記スピンドル回転エンコーダのパルス列出力を用いて或る任意に設定されたスピンドルモータ回転角毎に回転角パルスを出力させるとともに、前記基本クロック又はその整数倍クロックをカウントパルスとして任意に設定された任意周期長分を連続して繰り返し計数して、計数されたカウントパルス数を前記回転角パルス毎にラッチし、ラッチされた任意周期長計数値として得られるカウントパルス数である位相データの差である位相差データと当該位相差データと対応する理想的な計算値による位相差データとの比較により前記スピンドルモータのＣＬＶ駆動誤差を検出するようにしたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価方法。
【請求項２】
前記回転角パルスを出力させる任意のスピンドルモータ回転角をスピンドルモータ１回転分としたことを特徴とする請求項１記載の光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価方法。
【請求項３】
フォトレジストが塗布されたガラス原盤を露光するレーザ光を出射するレーザ光源と、連続一定周期のパルス列で構成される基本クロックに対応させて前記ガラス原盤を露光する露光信号を発生する露光信号発生装置と、前記露光信号に基づき前記レーザ光源から出射されたレーザ光をオン・オフさせる光変調器と、この光変調器によりオン・オフされたレーザ光を前記ガラス原盤上に露光スポットとして集光照射させる集光光学系を含む光ピックアップと、回転自在に保持された前記ガラス原盤を回転駆動するスピンドルモータと、前記光ピックアップを前記ガラス原盤の半径方向に移動させるスライダと、前記スピンドルモータの回転に応じたパルスを出力するスピンドル回転エンコーダと、前記ガラス原盤上における前記露光スポットの位置に応じ前記スライダの一定移動長毎にパルスを出力するリニアエンコーダと、回転指令及び前記スピンドル回転エンコーダのパルス出力に基づき前記スピンドルモータの回転をフィードバック制御する回転制御ループと、移動指令及び前記リニアエンコーダのパルス出力に基づき前記スライダの移動をフィードバック制御する移動制御ループとを備え、前記スピンドルモータ及び前記スライダをＣＬＶ駆動させるようにした光ディスク原盤露光装置において、
前記リニアエンコーダのパルス列出力を用いて或る任意に設定されたスライダ移動距離毎に移動長パルスを出力させるとともに、前記基本クロック又はその整数倍クロックをカウントパルスとして任意に設定された任意周期長分を連続して繰り返し計数して、計数されたカウントパルス数を前記移動長パルス毎にラッチし、ラッチされた任意周期長計数値として得られるカウントパルス数である位相データの差である位相差データと当該位相差データと対応する理想的な計算値による位相差データとの比較により前記スライダのＣＬＶ駆動誤差を検出するようにしたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置におけるスライダのＣＬＶ駆動精度評価方法。
【請求項４】
フォトレジストが塗布されたガラス原盤を露光するレーザ光を出射するレーザ光源と、連続一定周期のパルス列で構成される基本クロックに対応させて前記ガラス原盤を露光する露光信号を発生する露光信号発生装置と、前記露光信号に基づき前記レーザ光源から出射されたレーザ光をオン・オフさせる光変調器と、この光変調器によりオン・オフされたレーザ光を前記ガラス原盤上に露光スポットとして集光照射させる集光光学系を含む光ピックアップと、回転自在に保持された前記ガラス原盤を回転駆動するスピンドルモータと、前記光ピックアップを前記ガラス原盤の半径方向に移動させるスライダと、前記スピンドルモータの回転に応じ等回転角ごとにパルスを出力するスピンドル回転エンコーダと、前記ガラス原盤上における前記露光スポットの位置に応じたパルスを出力するリニアエンコーダと、回転指令及び前記スピンドル回転エンコーダのパルス出力に基づき前記スピンドルモータの回転をフィードバック制御する回転制御ループと、移動指令及び前記リニアエンコーダのパルス出力に基づき前記スライダの移動をフィードバック制御する移動制御ループとを備え、前記スピンドルモータ及び前記スライダをＣＬＶ駆動させるようにした光ディスク原盤露光装置において、
前記スピンドル回転エンコーダのパルス列出力を用いて或る任意に設定されたスピンドルモータ回転角毎に回転角パルスを出力させるとともに、前記基本クロック又はその整数倍クロックをカウントパルスとして任意に設定された任意周期長分を連続して繰り返し計数して、計数されたカウントパルス数を前記回転角パルス毎にラッチし、ラッチされた任意周期長計数値として得られるカウントパルス数である位相データの差である位相差データと当該位相差データと対応する理想的な計算値による位相差データとの比較により前記スピンドルモータのＣＬＶ駆動誤差を検出し、検出されたＣＬＶ駆動誤差を前記回転制御ループへフィードバックさせるようにしたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータの駆動制御方法。
【請求項５】
前記回転角パルスを出力させる任意のスピンドルモータ回転角をスピンドルモータ１回転分としたことを特徴とする請求項４記載の光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータの駆動制御方法。
【請求項６】
フォトレジストが塗布されたガラス原盤を露光するレーザ光を出射するレーザ光源と、連続一定周期のパルス列で構成される基本クロックに対応させて前記ガラス原盤を露光する露光信号を発生する露光信号発生装置と、前記露光信号に基づき前記レーザ光源から出射されたレーザ光をオン・オフさせる光変調器と、この光変調器によりオン・オフされたレーザ光を前記ガラス原盤上に露光スポットとして集光照射させる集光光学系を含む光ピックアップと、回転自在に保持された前記ガラス原盤を回転駆動するスピンドルモータと、前記光ピックアップを前記ガラス原盤の半径方向に移動させるスライダと、前記スピンドルモータの回転に応じたパルスを出力するスピンドル回転エンコーダと、前記ガラス原盤上における前記露光スポットの位置に応じ前記スライダの一定移動長毎にパルスを出力するリニアエンコーダと、回転指令及び前記スピンドル回転エンコーダのパルス出力に基づき前記スピンドルモータの回転をフィードバック制御する回転制御ループと、移動指令及び前記リニアエンコーダのパルス出力に基づき前記スライダの移動をフィードバック制御する移動制御ループとを備え、前記スピンドルモータ及び前記スライダをＣＬＶ駆動させるようにした光ディスク原盤露光装置において、
前記リニアエンコーダのパルス列出力を用いて或る任意に設定されたスライダ移動距離毎に移動長パルスを出力させるとともに、前記基本クロック又はその整数倍クロックをカウントパルスとして任意に設定された任意周期長分を連続して繰り返し計数して、計数されたカウントパルス数を前記移動長パルス毎にラッチし、ラッチされた任意周期長計数値として得られるカウントパルス数である位相データの差である位相差データと当該位相差データと対応する理想的な計算値による位相差データとの比較により前記スライダのＣＬＶ駆動誤差を検出し、検出されたＣＬＶ駆動誤差を前記移動制御ループへフィードバックさせるようにしたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置におけるスライダの駆動制御方法。
【請求項７】
フォトレジストが塗布されたガラス原盤を露光するレーザ光を出射するレーザ光源と、連続一定周期のパルス列で構成される基本クロックに対応させて前記ガラス原盤を露光する露光信号を発生する露光信号発生装置と、前記露光信号に基づき前記レーザ光源から出射されたレーザ光をオン・オフさせる光変調器と、この光変調器によりオン・オフされたレーザ光を前記ガラス原盤上に露光スポットとして集光照射させる集光光学系を含む光ピックアップと、回転自在に保持された前記ガラス原盤を回転駆動するスピンドルモータと、前記光ピックアップを前記ガラス原盤の半径方向に移動させるスライダと、前記スピンドルモータの回転に応じ等回転角ごとにパルスを出力するスピンドル回転エンコーダと、前記ガラス原盤上における前記露光スポットの位置に応じたパルスを出力するリニアエンコーダと、回転指令及び前記スピンドル回転エンコーダのパルス出力に基づき前記スピンドルモータの回転をフィードバック制御する回転制御ループと、移動指令及び前記リニアエンコーダのパルス出力に基づき前記スライダの移動をフィードバック制御する移動制御ループとを備え、前記スピンドルモータ及び前記スライダをＣＬＶ駆動させるようにした光ディスク原盤露光装置において、
前記スピンドル回転エンコーダのパルス列出力を入力として或る任意に設定されたスピンドルモータ回転角毎に回転角パルスを出力する任意角パルス生成回路、前記基本クロック又はその整数倍クロックがカウントパルスとして入力され任意に設定された任意周期長分を連続して繰返し計数する任意周期長カウンタ、及び、この任意周期長カウンタにより計数されたカウントパルス数を回転角パルス毎にラッチするラッチ回路を有する位相データ取込回路と、
この位相データ取込回路中の前記ラッチ回路にラッチされた任意周期長計数値として得られるカウントパルス数である位相データの差である位相差データと当該位相差データと対応する理想的な計算値による位相差データとの比較により前記スピンドルモータのＣＬＶ駆動誤差を検出するＣＬＶ駆動精度評価手段と、
を備えたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価装置。
【請求項８】
前記任意角パルス生成回路から前記回転角パルスを出力させる任意のスピンドルモータ回転角をスピンドルモータ１回転分としたことを特徴とする請求項７記載の光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価装置。
【請求項９】
フォトレジストが塗布されたガラス原盤を露光するレーザ光を出射するレーザ光源と、連続一定周期のパルス列で構成される基本クロックに対応させて前記ガラス原盤を露光する露光信号を発生する露光信号発生装置と、前記露光信号に基づき前記レーザ光源から出射されたレーザ光をオン・オフさせる光変調器と、この光変調器によりオン・オフされたレーザ光を前記ガラス原盤上に露光スポットとして集光照射させる集光光学系を含む光ピックアップと、回転自在に保持された前記ガラス原盤を回転駆動するスピンドルモータと、前記光ピックアップを前記ガラス原盤の半径方向に移動させるスライダと、前記スピンドルモータの回転に応じたパルスを出力するスピンドル回転エンコーダと、前記ガラス原盤上における前記露光スポットの位置に応じ前記スライダの一定移動長毎にパルスを出力するリニアエンコーダと、回転指令及び前記スピンドル回転エンコーダのパルス出力に基づき前記スピンドルモータの回転をフィードバック制御する回転制御ループと、移動指令及び前記リニアエンコーダのパルス出力に基づき前記スライダの移動をフィードバック制御する移動制御ループとを備え、前記スピンドルモータ及び前記スライダをＣＬＶ駆動させるようにした光ディスク原盤露光装置において、
前記リニアエンコーダのパルス列出力を入力として或る任意に設定されたスライダ移動距離毎に移動長パルスを出力する任意長パルス生成回路、前記基本クロック又はその整数倍クロックがカウントパルスとして入力され任意に設定された任意周期長分を連続して繰返し計数する任意周期長カウンタ、及び、この任意周期長カウンタにより計数されたカウントパルス数を前記移動長パルス毎にラッチするラッチ回路を有する位相データ取込回路と、
この位相データ取込回路中の前記ラッチ回路にラッチされた任意周期長計数値として得られるカウントパルス数である位相データの差である位相差データと当該位相差データと対応する理想的な計算値による位相差データとの比較により前記スライダのＣＬＶ駆動誤差を検出するＣＬＶ駆動精度評価手段と、
を備えたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置におけるスライダのＣＬＶ駆動精度評価装置。
【請求項１０】
フォトレジストが塗布されたガラス原盤を露光するレーザ光を出射するレーザ光源と、連続一定周期のパルス列で構成される基本クロックに対応させて前記ガラス原盤を露光する露光信号を発生する露光信号発生装置と、前記露光信号に基づき前記レーザ光源から出射されたレーザ光をオン・オフさせる光変調器と、この光変調器によりオン・オフされたレーザ光を前記ガラス原盤上に露光スポットとして集光照射させる集光光学系を含む光ピックアップと、回転自在に保持された前記ガラス原盤を回転駆動するスピンドルモータと、前記光ピックアップを前記ガラス原盤の半径方向に移動させるスライダと、前記スピンドルモータの回転に応じ等回転角ごとにパルスを出力するスピンドル回転エンコーダと、前記ガラス原盤上における前記露光スポットの位置に応じたパルスを出力するリニアエンコーダと、回転指令及び前記スピンドル回転エンコーダのパルス出力に基づき前記スピンドルモータの回転をフィードバック制御する回転制御ループと、移動指令及び前記リニアエンコーダのパルス出力に基づき前記スライダの移動をフィードバック制御する移動制御ループとを備え、前記スピンドルモータ及び前記スライダをＣＬＶ駆動させるようにした光ディスク原盤露光装置において、
前記スピンドル回転エンコーダのパルス列出力を入力として或る任意に設定されたスピンドルモータ回転角毎に回転角パルスを出力する任意角パルス生成回路、前記基本クロック又はその整数倍クロックがカウントパルスとして入力され任意に設定された任意周期長分を連続して繰返し計数する任意周期長カウンタ、及び、この任意周期長カウンタにより計数されたカウントパルス数を回転角パルス毎にラッチするラッチ回路を有する位相データ取込回路を前記回転制御ループ中に設け、前記ラッチ回路にラッチされた任意周期長計数値として得られるカウントパルス数である位相データの差である位相差データと当該位相差データと対応する理想的な計算値による位相差データとの比較により前記スピンドルモータのＣＬＶ駆動誤差を検出し、検出されたＣＬＶ駆動誤差を前記回転制御ループへフィードバックさせるようにしたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項１１】
前記任意角パルス生成回路から前記回転角パルスを出力させる任意のスピンドルモータ回転角をスピンドルモータ１回転分としたことを特徴とする請求項１０記載の光ディスク原盤露光装置。
【請求項１２】
フォトレジストが塗布されたガラス原盤を露光するレーザ光を出射するレーザ光源と、連続一定周期のパルス列で構成される基本クロックに対応させて前記ガラス原盤を露光する露光信号を発生する露光信号発生装置と、前記露光信号に基づき前記レーザ光源から出射されたレーザ光をオン・オフさせる光変調器と、この光変調器によりオン・オフされたレーザ光を前記ガラス原盤上に露光スポットとして集光照射させる集光光学系を含む光ピックアップと、回転自在に保持された前記ガラス原盤を回転駆動するスピンドルモータと、前記光ピックアップを前記ガラス原盤の半径方向に移動させるスライダと、前記スピンドルモータの回転に応じたパルスを出力するスピンドル回転エンコーダと、前記ガラス原盤上における前記露光スポットの位置に応じ前記スライダの一定移動長毎にパルスを出力するリニアエンコーダと、回転指令及び前記スピンドル回転エンコーダのパルス出力に基づき前記スピンドルモータの回転をフィードバック制御する回転制御ループと、移動指令及び前記リニアエンコーダのパルス出力に基づき前記スライダの移動をフィードバック制御する移動制御ループとを備え、前記スピンドルモータ及び前記スライダをＣＬＶ駆動させるようにした光ディスク原盤露光装置において、
前記リニアエンコーダのパルス列出力を入力として或る任意に設定されたスライダ移動距離毎に移動長パルスを出力する任意長パルス生成回路、前記基本クロック又はその整数倍クロックがカウントパルスとして入力され任意に設定された任意周期長分を連続して繰返し計数する任意周期長カウンタ、及び、この任意周期長カウンタにより計数されたカウントパルス数を前記移動長パルス毎にラッチするラッチ回路を有する位相データ取込回路を前記移動制御ループ中に設け、前記ラッチ回路にラッチされた任意周期長計数値として得られるカウントパルス数である位相データの差である位相差データと当該位相差データと対応する理想的な計算値による位相差データとの比較により前記スライダのＣＬＶ駆動誤差を検出し、検出されたＣＬＶ駆動誤差を前記移動制御ループへフィードバックさせるようにしたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＣＬＶフォーマットの光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータ又はスライダのＣＬＶ駆動精度評価方法、駆動制御方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、光ディスク原盤等のディスクを回転させる場合には、角速度を一定に保持させつつ回転させる、いわゆるＣＡＶ（Ｃonstant Ａnguler Ｖelocity）方式と、回転における線速度を半径方向の位置によらず一定に保持させつつ回転させる、いわゆるＣＬＶ（Ｃonstant Ｌinear Ｖelocity） 方式とがある。
【０００３】
この内、ＣＬＶ方式を用いたディスクにおいては、ディスク外周部になる程、回転数が減少することとなるので、単位時間毎に区切られた記録情報を順次記録していく場合を考えると、ＣＡＶ方式に比べて記録可能な情報量が多くなり、長時間記録が可能になるという利点がある。このようなことから、ディスクの有効利用により大容量化を図る上で有利なＣＬＶ方式が多用されている。
【０００４】
ところで、近年、大容量の光ディスク媒体として、ＤＶＤ（Ｄigital Ｖersatile Ｄisk）‐ＲＯＭ（Ｒead Ｏnly Ｍemory），ＤＶＤ‐Ｒ（Ｒecordable），ＤＶＤ‐ＲＷ（Ｒewritable)（＝ＤＶＤ‐ＲＡＭ）等が注目されている。この種のＤＶＤ系に関するＤＶＤ規格においては、トラックピッチ；０．７４μｍ、最小ピット長；０．４μｍの如く規定されており、現行のＣＤ規格におけるトラックピッチ；１．６μｍ、最小ピット長；０．８７μｍに比べ、約半分の微小構造のプリフォーマットを光ディスク原盤上に形成しなければならなくなっている。記憶容量の増大化への要求により、今後益々、狭ピッチ化、小ピット化が求められ、より高精度、高品質な光ディスクカッティングマシン（光ディスク原盤露光装置）が必要になってきている。
【０００５】
このような状況の下、ＣＬＶフォーマットの光ディスク原盤、特に、両面同時記録再生可能な光ディスク原盤のカッティングに際し、光ディスクカッティングマシンでは、スピンドルモータ及びスライダに関してより高精度なＣＬＶ駆動制御が要求される。特に、ＣＬＶフォーマットの光ディスクカッティングマシンにおいては、カッティング位置（露光位置）の半径位置によらず、光ディスク原盤に対するカッティング線速度を一定に保つ必要があるので、そのスピンドルモータの回転数及びスライダの移動速度は、図１５に示すように、半径位置ｒの変化に反比例して連続的に減少するように制御しなくてはならない。
【０００６】
このような制御を実現するための従来例として、特公平６−３６２７２号公報や特開平８−２３５７６９号公報に示されるものがある。
【０００７】
前者の特公平６−３６２７２号公報によれば、光ピックアップの存在する半径位置に対応する値を有する半径信号に反比例して出力周波数を変化させる可変周波数発生器から得られるパルス列を用いて、スピンドルモータの軸上に取付けられた回転パルス発生器（エンコーダ）から得られる回転パルスの１周期を一定値で計数し、その誤差を速度へフィードバックさせることにより、任意トラック上での線速度が一定となるように制御することで、スピンドルモータのＣＬＶ駆動制御を実現している。
【０００８】
後者の特開平８−２３５７６９号公報によれば、半径方向の位置に対応した理想的なスピンドルモータの回転数変化に対して、実際の回転数が予め設定された誤差範囲内とするために、半径方向の位置に対して一定の変化率で回転数を変化させたり、回転数が一定の変化率で変化する区間と一定の回転数で回転させる区間（ＣＡＶ区間）とを交互に存在させて理想的な半径位置と回転数との関係に近付ける制御方法が示されている。
【０００９】
また、実際の光ディスクカッティングマシンとしては、図１６に示すようなものもある。図１６は従来の光ディスクカッティングマシンの基本構成を示すもので、カッティング対象となるフォトレジストが塗布されたガラス原盤１はスピンドルモータ２により回転駆動されるターンテーブル３上に吸着保持される。このようなガラス原盤１を露光するためのレーザ光を出射するＫｒレーザ等のレーザ光源４が設けられ、このレーザ光源４から出射されたレーザ光を整形し、かつ、ガラス原盤１上に常に微小な露光スポットとして集光照射させる集光光学系を含む光ピックアップ５が設けられている。この光ピックアップ５中にはレーザ光の微小な露光スポットなるビームウエスト位置をガラス原盤１のフォトレジスト層位置に保つようフォーカス制御するフォーカスアクチュエータ６及びそのサーボ制御系が含まれている。また、この光ピックアップ５における光路中には、レーザ光源４からのレーザ光をフォーマッタ（露光信号発生装置）７からのフォーマット信号Ｆout に基づいてオン・オフさせる光変調器８が設けられている。フォーマッタ７はガラス原盤１上にプリエンボスピットやグルーブを形成するためのフォーマット信号Ｆout を、基本クロック発生器９からの基本クロックＦclk にに対応させて出力する。光ピックアップ５はガラス原盤１の半径方向にスライド自在に設けられており、この光ピックアップ５を半径方向にスライド移動させるエアスライダ（スライダ）１０が設けられている。
【００１０】
一方、スピンドルモータ２の軸上にはその回転に応じたパルス列をスピンドルエンコーダパルスＳＰenc として出力するスピンドルエンコーダ１１が取付けられている。同様に、スライダ１０に対しては、このスライダ１０の位置を通じてガラス原盤１上の露光スポットの半径方向の位置に応じたパルス列をリニアエンコーダパルスＳＬenc として出力するリニアエンコーダ１２が設けられている。また、駆動系全体を制御する駆動系コントローラ１３からの回転指令に基づきスピンドルモータ２の回転動作を制御し駆動させるための制御回路１４及びドライバ１５が設けられている。制御回路１４にはスピンドルエンコーダ１１からのスピンドルエンコーダパルスＳＰenc がフィードバックされており、スピンドルモータ２の回転動作をフィードバック制御する回転制御ループ１６が形成されている。同様に、駆動系コントローラ１３からの移動指令に基づきスライダ１０の移動動作を制御し駆動させるための制御回路１７及びドライバ１８が設けられている。制御回路１７にはリニアエンコーダ１２からのリニアエンコーダパルスＳＬenc がフィードバックされており、スライダ１０の移動動作をフィードバック制御する移動制御ループ１９が形成されている。駆動系コントローラ１３からフォーマッタ７へ与えられる信号Ｆgoはフォーマッタスタート信号である。なお、リニアエンコーダの値をプリセットするための絶対位置を検出するためのセンサは省略してある。また、光ディスクカッティングマシンは、現実には、各種ディスクフォーマットに対応して、２ビーム露光、露光ビームの蛇行（ウォブリング）等の設定が必要になるが、それらに要する各種露光光学系等は、ここでは直接関係しないので、省略してある。
【００１１】
このような光ディスクカッティングマシンにおけるスピンドルモータ２のＣＬＶ駆動は、以下のように行われる。まず、駆動系コントローラ１３はリニアエンコーダ１２から現在の露光スポットの半径位置ｒを読み取る。次に、露光線速Ｖ１の指定に従いＶ１＝ｒ・ω＝一定なる関係を満足するようにスピンドルモータ２の回転数ωを制御する。スライダ１０のＣＬＶ駆動については、同様に、半径位置ｒの値からＶ１＝Ｖｓ・ｒ・２π／Ｐ＝一定なる関係を満足するように移動速度Ｖｓを制御する方法（Ｐはスパイラルピッチ）、或いは、スピンドルモータ２の１回転中にスパイラルピッチＰ分だけスライダ１０を移動させるような制御を行う方法等がある。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
特公平６−３６２７２号公報に示される方法においては、ＣＬＶ駆動の基準としているパルス列は、半径位置を検出する手段（ポテンショメータ）と可変周波数発生手段とにより生成されている。よって、このようなパルス列中には、半径位置の検出誤差や発生周波数の設定誤差が含まれることになる。この方法により、従来のＣＤ規格対応等のＣＬＶ駆動制御に要求される精度は達成し得るとしても、ＤＶＤ規格対応等の、より高精度なＣＬＶ駆動制御を実現する上では、これらの誤差も無視することはできず、排除する必要がある。
【００１３】
また、一般に回転パルス発生器（エンコーダ）は、周知の如く、多数のスリットが放射状に等間隔で形成されたスリット円盤をスピンドル軸上に取付け、スリットを挾んで光源と光ディテクタとを対向配置させ、スピンドル軸の回転に伴う光の入射・遮光によって回転パルスを得るものである。この場合、スリットが正確に放射状に等間隔で配設されていたとしても、スピンドル軸へのスリット円盤の取付け偏心により、得られる回転パルス列には、図１７に誇張して示すように見掛け上の速度変動Δωが観察されてしまう。このような回転パルス列をそのまま回転駆動制御のためにフィードバックさせて使用すると、却って、制御精度を低下させてしまうことになる。
【００１４】
特開平８−２３５７６９号公報に示される方法でも、ＣＬＶ駆動の回転数制御は、半径位置を基準として、この値から、或る一定変化率の回転数パターン等の発生・切換えを行っており、よりＣＬＶ回転精度を上げようとすれば、同様に、半径位置を検出するリニアスケール（リニアエンコーダ）の高精度化、切換え点の多点化を図る必要がある。
【００１５】
図１６に示したような光ディスクカッテングマシンにおけるＣＬＶ駆動方法においても、露光スポットの半径位置情報の誤差或いは変動は、スピンドルモータ２の回転制御に直接影響してしまい、ＣＬＶフォーマットの各セクタの正確な配置については制御しきれない状況にある。
【００１６】
さらには、何れの制御方式にしても、高精度なＣＬＶ駆動制御を実現するためには、高精度なＣＬＶ駆動精度の評価が実現できなければならないが、従来のＣＬＶ駆動精度の評価は、
Ａ．露光スポットの半径位置に対するスピンドルモータの回転速度の測定と、スピンドルモータの１回転毎の露光スポット位置の測定とによるピッチ測定による評価
Ｂ．ＣＬＶ駆動開始時からの経過時間に対するスピンドルモータの回転数及びスライダの移動距離の測定或いはスピンドルモータの総回転回数及び露光スポット半径位置の測定による評価
Ｃ．ＣＬＶフォーマットの最終セクタ或いは任意セクタの或る半径位置を光学顕微鏡等を用いて測長し、計算によって求める値と比較することによる評価（ＣＬＶ露光終了後の評価）
のような方法によるものであり、露光スポットの半径位置、回転速度或いは移動速度等の測定には、各測定器の分解能、測定の時間差等により、真の値に対して常に誤差を伴い正確なデータを得ることができない。このような評価レベルであっても、従来のＣＤ規格レベルであれば、ＣＬＶフォーマットに対して或る線速範囲内で露光されていれば問題なしとされ、セクタの配置までは問題とされず、この程度の評価で十分であるが、理想的なＣＬＶ駆動の下に露光されたＣＬＶフォーマットの各セクタ間の位置関係まで問題にしようとすると、従来のＣＬＶ駆動精度評価法では不十分である。
【００１７】
そこで、本発明は、理想的なスピンドルモータのＣＬＶ駆動によって得られるＣＬＶフォーマットの各セクタ間の位置関係をリアルタイムで高精度に評価し得る光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価方法及びその装置を提供することを目的とする。
【００１８】
また、本発明は、リニアエンコーダの分解能を上げることなく、高精度にスライダのＣＬＶ駆動を評価し得る光ディスク原盤露光装置におけるスライダのＣＬＶ駆動精度評価方法及びその装置を提供することを目的とする。
【００１９】
本発明は、高精度なスピンドルモータのＣＬＶ駆動精度の評価結果に基づきスピンドルモータのＣＬＶ駆動をフィードバック制御することで、より高精度にスピンドルモータを回転駆動させることができ、ＣＬＶフォーマットの各セクタの円周方向の各配置を理想的なものとし、両面同時記録再生可能なＣＬＶディスクのマスタリングも可能となる光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータのＣＬＶ駆動制御方法及びその装置を提供することを目的とする。
【００２０】
本発明は、高精度なスライダのＣＬＶ駆動精度の評価結果に基づきスライダのＣＬＶ駆動をフィードバック制御することで、より高精度にスライダを移動させることができ、リニアエンコーダの分解能を超えた精度のスパイラルピッチを得ることができる光ディスク原盤露光装置におけるスライダのＣＬＶ駆動制御方法及びその装置を提供することを目的とする。
【００２１】
本発明は、ＣＬＶ駆動動作が有効に機能しない、目標回転数或いは目標移動速度でのスムーズな立上げ動作、立下げ動作或いはＣＡＶ駆動動作をも併せて行わせ得る光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータ又はスライダのＣＬＶ駆動制御方法及びその装置を提供することを目的とする。
【００２２】
さらに、本発明は、スピンドルエンコーダから得られるパルス列信号に関して生じ得る取付け偏心に伴う見掛け上の変動を排除することができ、安定したスピンドルモータの回転制御を実現し得る光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価方法、駆動制御方法及びその装置を提供することを目的とする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、何れも、フォトレジストが塗布されたガラス原盤を露光するレーザ光を出射するレーザ光源と、基本クロックに対応させて前記ガラス原盤を露光する露光信号を発生する露光信号発生装置と、前記露光信号に基づき前記レーザ光源から出射されたレーザ光をオン・オフさせる光変調器と、この光変調器によりオン・オフされたレーザ光を前記ガラス原盤上に露光スポットとして集光照射させる集光光学系を含む光ピックアップと、回転自在に保持された前記ガラス原盤を回転駆動するスピンドルモータと、前記光ピックアップを前記ガラス原盤の半径方向に移動させるスライダと、前記スピンドルモータの回転に応じたパルスを出力するスピンドルエンコーダと、前記ガラス原盤上における前記露光スポットの位置に応じたパルスを出力するリニアエンコーダと、回転指令及び前記スピンドルエンコーダのパルス出力に基づき前記スピンドルモータの回転をフィードバック制御する回転制御ループと、移動指令及び前記リニアエンコーダのパルス出力に基づき前記スライダの移動をフィードバック制御する移動制御ループとを備え、前記スピンドルモータ及び前記スライダをＣＬＶ駆動させるようにした光ディスク原盤露光装置を前提とする。
【００２４】
請求項１記載の発明の光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価方法は、スピンドル回転エンコーダにスピンドルモータの等回転角ごとにパルスを出力させ、そのスピンドル回転エンコーダのパルス列出力を用いて或る任意に設定されたスピンドルモータ回転角毎に回転角パルスを出力させるとともに、基本クロック又はその整数倍クロックをカウントパルスとして任意に設定された任意周期長分を連続して繰り返し計数して、計数されたカウントパルス数を回転角パルス毎にラッチし、ラッチされた任意周期長計数値として得られるカウントパルス数である位相データの差である位相差データと当該位相差データと対応する理想的な計算値による位相差データとの比較によりスピンドルモータのＣＬＶ駆動誤差を検出し、検出されたＣＬＶ駆動誤差を回転制御ループへフィードバックさせるようにした。請求項７記載の発明の光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価装置は、スピンドル回転エンコーダにスピンドルモータの等回転角ごとにパルスを出力させ、そのスピンドル回転エンコーダのパルス列出力を入力として或る任意に設定されたスピンドルモータ回転角毎に回転角パルスを出力する任意角パルス生成回路、基本クロック又はその整数倍クロックがカウントパルスとして入力され任意に設定された任意周期長分を連続して繰返し計数する任意周期長カウンタ、及び、この任意周期長カウンタにより計数されたカウントパルス数を回転角パルス毎にラッチするラッチ回路を有する位相データ取込回路と、この位相データ取込回路中のラッチ回路にラッチされた任意周期長計数値として得られるカウントパルス数である位相データの差である位相差データと当該位相差データと対応する理想的な計算値による位相差データとの比較によりスピンドルモータのＣＬＶ駆動誤差を検出するＣＬＶ駆動精度評価手段と、を備えた。
【００２５】
ＣＬＶ駆動により形成される等ピッチのスパイラルトラックにおいては、隣接トラック間の線路長差は常に一定であり、この関係は、任意回転角で区切ってなる隣接セグメント間の線路長差でも同様に常に一定である。このように隣接セグメント間の線路長差が一定であるので、一定線速でこのトラック線上を移動した場合には、対応する任意周期長カウンタにおける一定位相差の増加となり、セグメント毎に所要時間も一定時間ずつ増加することになる。このような一定時間の増加は、任意周期長カウンタの計数値を位相データとしたとき、一定の割合で位相差が増加することに対応する。このように測定された位相差データと理想的なＣＬＶ駆動の計算値として得られた位相差データとの差がスピンドルモータのＣＬＶ駆動誤差として評価される。従って、露光信号発生装置用の基本クロック或いはそれ以上の周波数でのパルス数位置誤差としてスピンドルモータのＣＬＶ駆動誤差を検出することが可能であり、極めて高精度に評価できる。
【００２６】
請求項３記載の発明の光ディスク原盤露光装置におけるスライダのＣＬＶ駆動精度評価方法は、リニアエンコーダにスライダの一定移動長毎にパルスを出力させ、そのリニアエンコーダのパルス列出力を用いて或る任意に設定されたスライダ移動距離毎に移動長パルスを出力させるとともに、基本クロック又はその整数倍クロックをカウントパルスとして任意に設定された任意周期長分を連続して繰り返し計数して、計数されたカウントパルス数を移動長パルス毎にラッチし、ラッチされた任意周期長計数値として得られるカウントパルス数である位相データの差である位相差データと当該位相差データと対応する理想的な計算値による位相差データとの比較により前記スライダのＣＬＶ駆動誤差を検出するようにした。請求項９記載の発明の光ディスク原盤露光装置におけるスライダのＣＬＶ駆動精度評価装置は、リニアエンコーダにスライダの一定移動長毎にパルスを出力させ、そのリニアエンコーダのパルス列出力を入力として或る任意に設定されたスライダ移動距離毎に移動長パルスを出力する任意長パルス生成回路、基本クロック又はその整数倍クロックがカウントパルスとして入力され任意に設定された任意周期長分を連続して繰返し計数する任意周期長カウンタ、及び、この任意周期長カウンタにより計数されたカウントパルス数を前記移動長パルス毎にラッチするラッチ回路を有する位相データ取込回路と、この位相データ取込回路中のラッチ回路にラッチされた任意周期長計数値として得られるカウントパルス数である位相データの差である位相差データと当該位相差データと対応する理想的な計算値による位相差データとの比較によりスライダのＣＬＶ駆動誤差を検出するＣＬＶ駆動精度評価手段と、を備えた。
【００２７】
理想的なＣＬＶ駆動が実現されている場合、等ピッチのスパイラルトラックであれば、スピンドルモータの一定の任意回転角に対してはスライダは一定移動長で移動するため、スライダの一定移動長に対してスピンドルモータの一定の回転角が対応することになる。よって、スライダの一定移動長毎に取り込まれる位相データ及び位相差データについても、スピンドルモータの場合と同じ関係が成立し、露光信号発生装置用の基本クロック或いはそれ以上の周波数でのパルス数位置誤差としてスライダのＣＬＶ駆動誤差を検出することが可能であり、極めて高精度に評価できる。
【００２８】
請求項４記載の発明の光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータの駆動制御方法は、スピンドル回転エンコーダにスピンドルモータの等回転角ごとにパルスを出力させ、そのスピンドル回転エンコーダのパルス列出力を用いて或る任意に設定されたスピンドルモータ回転角毎に回転角パルスを出力させるとともに、基本クロック又はその整数倍クロックをカウントパルスとして任意に設定された任意周期長分を連続して繰り返し計数して、計数されたカウントパルス数を回転角パルス毎にラッチし、ラッチされた任意周期長計数値として得られるカウントパルス数である位相データの差である位相差データと当該位相差データと対応する理想的な計算値による位相差データとの比較によりスピンドルモータのＣＬＶ駆動誤差を検出し、検出されたＣＬＶ駆動誤差を前記回転制御ループへフィードバックさせるようにした。請求項１０記載の発明の光ディスク原盤露光装置は、スピンドル回転エンコーダにスピンドルモータの等回転角ごとにパルスを出力させ、そのスピンドル回転エンコーダのパルス列出力を入力として或る任意に設定されたスピンドルモータ回転角毎に回転角パルスを出力する任意角パルス生成回路、基本クロック又はその整数倍クロックがカウントパルスとして入力され任意に設定された任意周期長分を連続して繰返し計数する任意周期長カウンタ、及び、この任意周期長カウンタにより計数されたカウントパルス数を回転角パルス毎にラッチするラッチ回路を有する位相データ取込回路を回転制御ループ中に設け、ラッチ回路にラッチされた任意周期長計数値として得られるカウントパルス数である位相データの差である位相差データと当該位相差データと対応する理想的な計算値による位相差データとの比較によりスピンドルモータのＣＬＶ駆動誤差を検出し、検出されたＣＬＶ駆動誤差を回転制御ループへフィードバックさせるようにした。
【００２９】
従って、スピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価に準じて露光信号発生装置用の基本クロック或いはそれ以上の周波数でのパルス数位置誤差レベルでスピンドルモータのＣＬＶ駆動制御を高精度に行えるため、ＣＬＶフォーマットの各セクタを円周方向の理想的な位置に配置させることができ、よって、両面同時記録再生可能なＣＬＶディスクのマスタリングも可能となり、高速データ転送レートを持たせることもできる。
【００３０】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価方法において、回転角パルスを出力させる任意のスピンドルモータ回転角をスピンドルモータ１回転分とした。請求項８記載の発明は、請求項７記載の光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価装置において、任意角パルス生成回路から回転角パルスを出力させる任意のスピンドルモータ回転角をスピンドルモータ１回転分とした。請求項５記載の発明は、請求項４記載の光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータの駆動制御方法において、回転角パルスを出力させる任意のスピンドルモータ回転角をスピンドルモータ１回転分とした。請求項１１記載の発明は、請求項１０記載の光ディスク原盤露光装置において、任意角パルス生成回路から回転角パルスを出力させる任意のスピンドルモータ回転角をスピンドルモータ１回転分とした。
【００３１】
従って、スピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価或いはＣＬＶ駆動制御に際して、スピンドルエンコーダの取付け偏心に伴う見掛け上の回転変動を排除し、スピンドルモータの回転に同期したＣＬＶ駆動誤差に基づいた回転制御となるので、安定したスピンドルモータの回転制御となる。
【００３２】
請求項６記載の発明の光ディスク原盤露光装置におけるスライダの駆動制御方法は、リニアエンコーダにスライダの一定移動長毎にパルスを出力させ、そのリニアエンコーダのパルス列出力を用いて或る任意に設定されたスライダ移動距離毎に移動長パルスを出力させるとともに、基本クロック又はその整数倍クロックをカウントパルスとして任意に設定された任意周期長分を連続して繰り返し計数して、計数されたカウントパルス数を移動長パルス毎にラッチし、ラッチされた任意周期長計数値として得られるカウントパルス数である位相データの差である位相差データと当該位相差データと対応する理想的な計算値による位相差データとの比較によりスライダのＣＬＶ駆動誤差を検出し、検出されたＣＬＶ駆動誤差を前記移動制御ループへフィードバックさせるようにした。請求項１２記載の発明の光ディスク原盤露光装置は、リニアエンコーダにスライダの一定移動長毎にパルスを出力させ、そのリニアエンコーダのパルス列出力を入力として或る任意に設定されたスライダ移動距離毎に移動長パルスを出力する任意長パルス生成回路、前記基本クロック又はその整数倍クロックがカウントパルスとして入力され任意に設定された任意周期長分を連続して繰返し計数する任意周期長カウンタ、及び、この任意周期長カウンタにより計数されたカウントパルス数を移動長パルス毎にラッチするラッチ回路を有する位相データ取込回路を前記移動制御ループ中に設け、前記ラッチ回路にラッチされた任意周期長計数値として得られるカウントパルス数である位相データの差である位相差データと当該位相差データと対応する理想的な計算値による位相差データとの比較により前記スライダのＣＬＶ駆動誤差を検出し、検出されたＣＬＶ駆動誤差を前記移動制御ループへフィードバックさせるようにした。
【００３３】
従って、スライダのＣＬＶ駆動精度評価に準じて露光信号発生装置用の基本クロック或いはそれ以上の周波数でのパルス数位置誤差レベルでスライダのＣＬＶ駆動制御を高精度に行えるため、リニアエンコーダの分解能以上に極めて高精度なスパイラルピッチでトラックを形成することができる。
【００３５】
従って、基本的な高精度なＣＬＶ駆動制御を維持しつつ、スピンドルモータの目標回転数やスライダの目標移動速度への立上げ動作等に関しても支障なく動作させることができる。
【００３６】
【発明の実施の形態】
本発明の第一の実施の形態を図１ないし図４に基づいて説明する。図１５ないし図１７で示した部分と同一部分は同一符号を用いて示し、説明も省略する（以降の各実施の形態でも、順次同様とする）。本実施の形態は、ＤＶＤ系用の光ディスクカッティングマシンのＣＬＶ駆動精度評価系に適用されている。光ディスクカッティングマシン自体の構成及び動作は、図１６に示したものと同様であり、このような光ディスクカッティングマシンに対して、図１に示すように、ＣＬＶ駆動精度評価を行うためのスピンドル位相データ取込回路２１とＣＬＶ駆動精度評価手段としてのＣＬＶ駆動精度評価ユニット２２とが付加されている（図中のスライダ位相データ取込回路は次の実施の形態で使用される）。
【００３７】
図２に位相データ取込回路としてのスピンドル位相データ取込回路２１の構成例を示す。このスピンドル位相データ取込回路２１は、任意角パルス生成回路２３と任意周期長カウンタ２４とラッチ回路２５とより構成されている。任意角パルス生成回路２３は、スピンドルエンコーダ１１から出力されるスピンドルエンコーダパルスＳＰenc なるパルス列を入力として、或る任意のスピンドルモータ回転角毎に、回転角パルスＰθsをラッチ回路２５に対して出力する。任意周期長カウンタ２４は、フォーマッタ７を駆動させるための基本クロックＦclk （又は、その整数倍クロック）がカウントパルスとして基本クロック発生器９から入力され、任意周期長分を繰返し計数するカウンタ回路である。この任意周期は、ＣＬＶフォーマットにおけるセクタ長であってもよく、又は、それ以外の値であってもよい。この任意周期長カウンタ２４の計数値は、回転角パルスＰθsによってラッチ回路２５にラッチされ、スピンドル用の位相データＳＰpha としてＣＬＶ駆動精度評価ユニット２２へ取り込まれる。この“位相データＳＰpha ”は、任意周期長分の計数を１周期として、読み取られた０から任意周期長カウンタ値までの値（計数値）をこの位相データとしている。このような位相データＳＰpha がＣＬＶ駆動精度評価ユニット２２内で処理されて位相差データに変換される。
【００３８】
ここで、ＣＬＶ駆動精度評価ユニット２２内での処理に先立ち、ＣＬＶ駆動におけるトラック線路長関係の特質について説明する。まず、ＣＬＶ駆動によって形成される等ピッチのスパイラルトラックにおいて、その全トラック線路長Ｌは、スパイラルトラックの開始半径位置をＲ0 、線路長を測定しようとしているスパイラルトラックの半径位置をｒ、トラックピッチをＰ、トラック数をｎとすると、
Ｌ＝π（ｒ2 −Ｒ02）／Ｐ              …………………………（１）
ｒ＝Ｒ0 ＋ｎＰ    （ｎ＝１，２，３，…）    …………………（２）
なる数式で表される。これらの（１）（２）式から、
Ｌ＝２ｎπＲ0＋ｎ2πＰ    （ｎ＝１，２，３，…）  …………（３）
なる数式に変形できる。
【００３９】
また、この（３）式から、各トラックの線路長Ｌn は、
Ｌn ＝２πＲ0＋(２ｎ−１)πＰ  （ｎ＝１，２，３，…） ……（４）
で表される。この（４）式から、隣接トラック間の線路長差は、
隣接トラック間の線路長差＝２πＰ＝一定      …………………（５）
で表されるように、常に一定であることが分かる。
【００４０】
ここに、（２）式は、求めようとするスパイラル軌跡を、トラック単位として（即ち、スパイラルの中心から線路に沿って軌跡の回転角が２π＝１回転を１単位として）表現している。その結果、トラック毎に２πＰずつトラック線路長が増加していくという結果が得られる。
【００４１】
２π＝１回転の代わりに、或る任意の角度θc を１単位とすると、（２）式は、  ｒ＝Ｒ0 ＋ｓθc Ｐ／（２π）（ｓ＝１，２，３，…)  …………（６）
で表される。なお、角度θc は２πより大きくても小さくてもよい。また、本発明では、このような角度θc によって切り出されるスパイラルトラック上の線分を“セグメント”と称するものとする（ｓはセグメント数である）。
【００４２】
（１）式と（６）式とによれば、
0003693813.tif 000002
なる関係が成立する。（８）式から、隣接セグメント間の線路長差は、
隣接セグメント間の線路長差＝Ｐθc2／（２π）＝一定   ………（９）
で表されるように、常に一定であることが分かる。
【００４３】
本実施の形態及び以降の各実施の形態では、このような隣接間の線路長差が常に一定であるという関係を利用して、高精度なＣＬＶ駆動精度の評価ないしは駆動制御を実現するものである。
【００４４】
図１に戻り、ＣＬＶ駆動精度評価ユニット２２ではスピンドル位相データ取込回路２１から得られる位相データＳＰpha に基づき位相差データに変換する。この変換処理を含むＣＬＶ駆動精度評価処理を図３に示すフローチャートを参照して説明する。ここに、位相差は現セグメント位置での位相と１つ前のセグメント位置での位相との間の距離で表すものとする。従って、位相差のグラフは直線で増加し続けるのではなく、図４に示す場合と同様に、任意周期長カウンタ２４のカウンタ長の１／２の位置で折り曲がる。まず、位相データを１つ前のセグメント位置での位相データＰb から現セグメント位置での位相データＰc に書換えるものとし、この位相データの取込点になった時点で、現セグメント位置での位相データＰc をラッチ回路２５にラッチする（Ｐb ，Ｐc は本実施の形態では、位相データＳＰpha に相当する）。次いで、｜Ｐc −Ｐb ｜min により位相差データを算出する。一方、理想的なＣＬＶ駆動時に得られる位相差データΔＰt を求める。この理想的な位相差データΔＰt と実際に測定された位相差データ｜Ｐc−Ｐb ｜min とを比較することで、ＣＬＶ駆動誤差が求まる。
【００４５】
（９）式によれば、隣接セグメント間の線路長差は常に一定であるので、一定線速（ＣＬＶ駆動）でこの線路上を移動した場合、一定時間、即ち任意周期長カウンタ２４における一定位相差の増加となる。例えば、線速をＶ1 とし、隣接セグメント間の線路長差に伴うセグメント毎に要する所要時間の増加時間をＴ0 とすると、
Ｔ0 ＝（隣接セグメント間の線路長差）／Ｖ1 …………………（10）
となる。これにより、或る時点におけるセグメント所要時間を基準にして、ｓセグメント先のセグメントにおける所要時間の増加時間Ｔs は、
Ｔs ＝Ｔ0 （１＋２＋３＋…………＋ｓ）
＝Ｔ0 （１＋ｓ）ｓ／２ …………………（11）
となる。
【００４６】
そこで、隣接セグメント間の所要時間差Ｔd を求めると、
Ｔd ＝Ｔ0 ｓ                …………………………………………（12）
となり、セグメント毎に所要時間がＴ0 ずつ増加していくことが分かる。この一定時間Ｔ0 の増加は、任意周期長カウンタ２４のカウンタ長データを位相データとしたとき、一定の割合で位相差が増加することに対応する。
【００４７】
図４は隣接任意角間の位相差変化（計算値）の様子を示すグラフである。ここで、任意周期長カウンタ２４のカウンタ長に相当する光ディスク（ガラス原盤１）上の物理的線路長（この長さは、ＣＬＶ駆動されるので常に一定）を（９）式の隣接セグメント間の線路長差で割った値を“Ｎs ”とすると、位相差ΔＰt （計算値）はθc Ｎs 毎に同じ変化を繰り返す。正確なＣＬＶ駆動制御がなされていれば、図１、図２に示した構成及び図３に示したフローチャートに従い求められる位相差データは、各々の線速及び任意周期長カウンタ２４のカウンタ長に応じて（９）式から求められる図４のグラフ上に乗る筈である（ただし、横軸方向は測定開始した時点に応じてシフトする）。つまり、図４に示す隣接任意角間の位相差変化のグラフと、実際に測定された位相差データとの差がスピンドルモータ２の駆動精度誤差として評価できる。本実施の形態の方式によれば、評価測定をいつの時点で開始させてもよく、任意のその時点から正確な測定・評価を行うことができる。
【００４８】
このように、本実施の形態によれば、スピンドルモータ２の１回転毎にフォーマッタ７用の基本クロックＦclk 又はその整数倍なるそれ以上の周波数でのパルス数位置誤差として検出・評価可能であり、スピンドルモータ２のＣＬＶ駆動における線速誤差を従来になく高精度に評価することができる。
【００４９】
本発明の第二の実施の形態を図１及び図３ないし図６に基づいて説明する。本実施の形態は、光ディスクカッティングマシンのＣＬＶ駆動精度評価系に適用されている。光ディスクカッティングマシン自体の構成及び動作は、図１６に示したものと同様であり、図１に示すように、ＣＬＶ駆動精度評価を行うためのスライダ位相データ取込回路２６とＣＬＶ駆動精度評価手段としてのＣＬＶ駆動精度評価ユニット２２とが付加されている。
【００５０】
図５に位相データ取込回路としてのスライダ位相データ取込回路２６の構成例を示す。このスライダ位相データ取込回路２６は、任意長パルス生成回路２７と任意周期長カウンタ２８とラッチ回路２９とより構成されている。任意長パルス生成回路２７は、スライダ１０の移動をモニタするリニアエンコーダ１２から出力されるリニアエンコーダパルスＳＬenc なるパルス列を入力として、或る任意のスライダ移動長毎に、移動長パルスＰLsをラッチ回路２９に対して出力する。任意周期長カウンタ２８は、フォーマッタ７を駆動させるための基本クロックＦclk （又は、その整数倍クロック）がカウントパルスとして基本クロック発生器９から入力され、任意周期長分を繰返し計数するカウンタ回路である。この任意周期は、ＣＬＶフォーマットにおけるセクタ長であってもよく、又は、それ以外の値であってもよく、さらには、図２中に示した任意周期長カウンタ２４の任意周期と同じであっても異なっていてもよい。この任意周期長カウンタ２８の計数値は、移動長パルスＰLsによってラッチ回路２９にラッチされ、スライダ用の位相データＳＬpha としてＣＬＶ駆動精度評価ユニット２２へ取り込まれる。
【００５１】
ここに、理想的なＣＬＶ駆動が実現されているならば、等ピッチのスパイラルトラックを前提としているので、スピンドルモータ２の回転角θspとスライダ１０の移動距離Ｌs との間には、（６）式より、
Ｌs ＝θspＰ／（２π）        ……………………………………（13）
が成立する。これにより、スピンドルモータ２の任意の一定回転角θspに対しては、スライダ１０は一定移動長Ｌs で移動することが分かる。図６はこの様子を示すグラフである。
【００５２】
即ち、スライダ１０の一定移動長Ｌs に対してスピンドルモータ２の一定回転角θspが対応することになり、スライダ１０の一定移動長Ｌs 毎に位相データ（移動長パルス）ＰLs及び位相差データについても、前述した第一の実施の形態のスピンドルモータ２系で得られた関係と同じ関係が得られることになる。従って、スライダ１０系についても、正確なＣＬＶ駆動がなされていれば、図１，図５に示した構成及び図３に示したフローチャートの処理で得られる位相差データは、各々の線速及び任意周期長カウンタ２８のカウンタ長に応じた図４のグラフと同様のグラフ線上に乗る筈である（ただし、横軸方向は測定開始した時点に応じてシフトする）。つまり、図４に示す隣接任意角間の位相差変化のグラフと同様なグラフと、実際に測定された位相差データとの差がスライダ１０の駆動精度誤差として評価できる。本実施の形態の方式によれば、評価測定をいつの時点で開始させてもよく、任意のその時点から正確な測定・評価を行うことができる。
【００５３】
このように、本実施の形態によれば、スライダ１０のＣＬＶ駆動に関してフォーマッタ７用の基本クロックＦclk 又はその整数倍なるそれ以上の周波数でのパルス数位置誤差として検出・評価可能であり、スライダ１０のＣＬＶ駆動における線速誤差を従来になく高精度に評価することができる。
【００５４】
本発明の第三の実施の形態を図７及び図８に基づいて説明する。本実施の形態は、光ディスクカッティングマシンのＣＬＶ駆動制御系に適用されている。本実施の形態の光ディスクカッティングマシンでは、例えば、図１及び図２に示したようなスピンドル位相データ取込回路２１が付加されて構成されている。ここに、スピンドルエンコーダ１１から得られるスピンドルエンコーダパルスＳＰenc は制御回路１４へは入力されず、スピンドル位相データ取込回路２１にのみ入力されている。また、スピンドル位相データ取込回路２１からの位相データＳＰpha は駆動系コントローラ１３に入力されている。即ち、スピンドル位相データ取込回路２１は回転制御ループ１６中に組込まれている。
【００５５】
駆動系コントローラ１３内では、スピンドル位相データ取込回路２１から得られる位相データＳＰpha 等に基づき、図８のフローチャートに示すような制御処理を実行することで、回転制御ループ１６を通じてスピンドルモータ２の回転速度に関してＣＬＶ駆動制御を高精度に行う。即ち、基本的にはＣＬＶ駆動精度評価ユニット２２における評価処理と同様であるが、理想的なＣＬＶ駆動時に得られる位相差データΔＰt と現実の位相差データ｜Ｐc −Ｐb ｜min との差が０であれば、理想通りであるのでそのままとなる。そして、図４においてグラフが右上がりである部分では、理想的な位相差データΔＰt よりも小さい場合にはスピンドルモータ２の回転速度を上げるように制御回路１４に指令を出し、逆に理想的な位相差データΔＰt よりも大きい場合にはスピンドルモータ２の回転速度を下げるように制御回路１４に指令を出す。図４においてグラフが右下がりである部分では、ΔＰt と｜Ｐc −Ｐb ｜min との差と、スピンドルモータ２の回転速度の制御との方向性は、上記の場合と逆となる。そして、このようなフィードバック制御を繰返すことで、理想的な位相差データΔＰt との差がなくなるように制御する
【００５６】
なお、本実施の形態のフィードバック用の回転制御ループ系では、データのサンプリングが離散的となるので、遅れ等を十分に考慮した制御回路１４として構成することが望まれる。また、制御の基準となる位相差データの計算については、図８に示すフローチャートを１回まわる毎に計算するようにしてもよく、或いは、予め計算しておいてもよい。この場合の計算の精度は、最近における高性能なＣＰＵ等によれば、演算精度に伴う誤差が位相差データに現われないようにすることは容易である。
【００５７】
本実施の形態の光ディスクカッティングマシンにより、スピンドルモータ２のＣＬＶ駆動制御を適正に行いながらＣＬＶフォーマットのカッティングを行えば、各セクタの円周方向の配置を一律に同一配置とさせることができる。よって、例えば両面同時記録再生可能なＣＬＶフォーマットのディスクのマスタリングが可能となり、高速データ転送レートを有するＤＶＤ系の光ディスクを提供できる。即ち、本実施の形態のようなスピンドルモータ２の理想的なＣＬＶ駆動制御により、ＣＬＶフォーマットのカッティングによって配置される各セクタの角度位置を、異なるスタンパ間でも一致させることができるので、転送レートが向上する両面同時記録再生可能なＣＬＶフォーマットの光ディスクを製造することができる。
【００５８】
なお、本実施の形態においては、ＣＬＶフォーマット開始時には、スピンドルモータ２の回転に関して、１トラック内に存在するフォーマッタ７用の基本クロックＦclk 数が同一となっていることが必要である。このような制御は、目標とする回転数近傍において位相差データが或る値で一定（“或る値”とは、スピンドルモータ２の回転数とカウントパルスの周波数と任意周期長カウンタ２４の周期長と任意角の回転角パルスＰθsとにより一意的に決まる値である）となるように制御すること（例えば、ＣＡＶ回転駆動制御）により実現できる。
【００５９】
本発明の第四の実施の形態を図９に基づいて説明する。本実施の形態は、光ディスクカッティングマシンのＣＬＶ駆動制御系に適用されている。本実施の形態の光ディスクカッティングマシンでは、例えば、図１及び図５に示したようなスライダ位相データ取込回路２６が付加されて構成されている。ここに、リニアエンコーダ１２から得られるリニアエンコーダパルスＳＬenc は制御回路１７へは入力されず、駆動系コントローラ１３及びスライダ位相データ取込回路２６へ入力されている。また、スライダ位相データ取込回路２６からの位相データＳＬpha は駆動系コントローラ１３に入力されている。即ち、スライダ位相データ取込回路２６は移動制御ループ１９中に組込まれている。なお、スピンドル位相データ取込回路２１に関しては第三の実施の形態の場合と同様である。
【００６０】
駆動系コントローラ１３内では、スライダ位相データ取込回路２６から得られる位相データＳＬpha 等に基づき、図８のフローチャートに示したスピンドルモータ２のＣＬＶ駆動制御の場合と同様な制御処理を実行することで、移動制御ループ１９を通じてスライダ１０の移動に関してＣＬＶ駆動制御をフィードバック制御により高精度に行う。
【００６１】
本実施の形態の光ディスクカッティングマシンにより、スライダ１０のＣＬＶ駆動制御を適正に行いながらＣＬＶフォーマットのカッティングを行えば、スライダ１０のＣＬＶ駆動制御を十分な精度で行うことができる。即ち、ＣＬＶ駆動誤差の分解能は、フォーマッタ７用の基本クロックＦclk 或いはその整数倍なる周波数以上で設定可能であり、これはリニアエンコーダ１２の分解能を遥かに上回る値となる。逆にいえば、リニアエンコーダ１２のエンコードパルス発生位置のばらつきが小さければスライダ移動のＣＬＶ駆動精度を、リニアエンコーダ１２の分解能は低くても高精度に実現できることを意味する。また、ＣＬＶフォーマット開始時の等速移動については、スピンドルモータ２の場合と同様に、目標とする回転数近傍において位相差データが或る値で一定（“或る値”とは、スライダ１０の移動速度とカウントパルスの周波数と任意周期長カウンタ２４の周期長と任意長の移動長パルスＰLsとにより一意的に決まる値である）となるように制御すること（例えば、等速移動駆動）により実現できる。
【００６２】
本発明の第五の実施の形態を図１０に基づいて説明する。本実施の形態は、スピンドル用の位相データ取込回路２１の任意角パルス生成回路２３における回転角パルスＰθsを出力させるタイミングをスピンドルモータ２の１回転分（＝２π）としたものであり、図１０はそのタイミング例を模式的に示すタイムチャートである
本実施の形態によれば、スピンドルエンコーダ１１の取付け偏心に伴う見掛け上の回転変動を排除することができ、スピンドルモータ２の回転に同期した誤差データに基づいた回転制御を行うことができ、安定した回転制御となる。
【００６３】
なお、本実施の形態は第一、三の何れの実施の形態にも適用できる。また、本実施の形態におけるタイミングに関して、スピンドルエンコーダ１１から得られる１周当たり複数個のパルス列を分周して得るようにしてもよく、或いは、１周当たり１パルス出力される原点パルスをそのまま任意角パルスとして利用するようにしてもよい。
【００６４】
本発明の第六の実施の形態を図１１に基づいて説明する。本実施の形態は、第二又は第四の実施の形態において、スライダ１０用の位相パルス取込回路２６の任意長パルス生成回路２７における任意長パルスＰLsの移動長を変えることで、絶えず、スピンドルモータ２の１回転近傍で位相データを取り込むようにしたものである。
【００６５】
図１１は、任意長パルスＰLsをトラックピッチＰ近傍としたときの位相データの取込タイミング例を模式的に示すタイムチャートである。即ち、リニアエンコーダ１２から出力されるリニアエンコーダパルスＳＬenc なるパルス列の内、最もトラックピッチＰ位置近くに発生するパルスを移動長パルスＰLsとして、位相データの取り込みを行わせる。絶えず長さの変わる移動長パルスＰLsの発生は、図５中に示した任意長パルス生成回路２７を分周回路で構成し、駆動系コントローラ１３からその分周値を移動長パルスＰLsの発生毎に設定し直すことにより行われる。駆動系コントローラ１３は、現在の分周値、トラックピッチＰ及びリニアエンコーダパルスＳＬenc のパルス間最小距離を用いて、正確にトラックピッチＰ近傍に移動長パルスＰLsを発生させることができる。
【００６６】
従って、本実施の形態によれば、スライダ１０のＣＬＶ制御等に際して、スピンドルモータ２の回転に同期した見掛け上の変動を排除した評価ないしは駆動制御を行えるので、スライダ１０のより安定したＣＬＶ制御が可能となる。
【００６７】
本発明の第七の実施の形態を図１２及び図１３に基づいて説明する。本実施の形態は、第五又は第六の実施の形態において、その位相データの取込点をスピンドルモータ２の１回転内で複数点設けるようにしたものである。図１２はスピンドル用の位相データ取込回路２１の任意角パルス生成回路２３における任意角パルスＰθs＝２πの発生タイミング例を示す。この場合、前述した実施の形態との違いは、スピンドルモータ２の１回転中に複数の位相取込点が有る点である。例えば、位相取込点Ｐ0 ，Ｐ1 ，Ｐ2 は各々スピンドルモータ２の１回転の或る角度位置に固定され、位相差データの生成はＰ00とＰ01、Ｐ10とＰ11、Ｐ20とＰ21から、というようにスピンドルモータ２の回転に伴う変動の影響を受けにくい同一回転位置からの位相データを用いて行われる。このような位相差データを用いることにより、より詳細なＣＬＶ駆動精度の評価やＣＬＶ駆動制御を実現できる。
【００６８】
図１３はスピンドル用を例に採り、本実施の形態を実現するための回路構成例を説明する。即ち、位相データ取込回路２１中の任意角パルス生成回路２３に代えて、複数の任意角パルスＰ0 ，Ｐ1 ，Ｐ2 を生成する複数任意角パルス生成回路３０が用いられている。また、ラッチ回路としては各々の任意角パルスに対応させたラッチ回路２５ａ，２５ｂ，２５ｃが設けられている。ラッチ回路２５ａは任意角パルスＰ0 用とされ、Ｐ0 用位相データを駆動系コントローラ１３或いはＣＬＶ駆動精度評価ユニット２２に出力し、ラッチ回路２５ｂは任意角パルスＰ1 用とされ、Ｐ1 用位相データを駆動系コントローラ１３或いはＣＬＶ駆動精度評価ユニット２２に出力し、ラッチ回路２５ｃは任意角パルスＰ2 用とされ、Ｐ2 用位相データを駆動系コントローラ１３或いはＣＬＶ駆動精度評価ユニット２２に出力するように構成されている。もっとも、これらのラッチ回路２５ａ，２５ｂ，２５ｃに関し、回路構成自体は１つのラッチ回路構成としてもよい。また、このような構成及び作用は、スライダ１０用の位相データ取込回路２６についても全く同様に適用し得るのはもちろんである。
【００６９】
本発明の第八の実施の形態を図１４に基づいて説明する。本実施の形態は、例えば前述した第三又は第四の実施の形態における駆動開始時等の改良を図ったものである。即ち、第三又は第四の実施の形態に示したようなＣＬＶ駆動制御は、ＣＬＶ駆動動作に対しては有効に機能するが、ＣＬＶ駆動開始時のスピンドルモータ２の回転数やスライダ１０の移動速度を立上げることについては有効に機能しない。これは、図１８に示すＣＬＶ駆動時のスピンドルモータ２の回転数と位相差との関係からも分かる。即ち、位相データ取込回路２１における任意周期長カウンタ２４のカウンタ長はフォーマッタ７用の基本クロックＦclk でセクタ長相当に設定される。このとき、位相差は回転数の変化に伴い同じ変化を繰返す。従って、このような状態では、或る位相差Ｐa を設定してもこれに相当する回転数はＮa ，Ｎb ，Ｎc ，…で示すように複数個存在することになり、特定できない。この結果、スピンドルモータ２に関しては正常な立上げ動作（ＣＡＶ駆動動作）を実現できず、スライダ１０に関しては正常な立ち上げ動作（等速移動動作）を実現できない。
【００７０】
そこで、本実施の形態では、例えば第三又は第四の実施の形態に示したハードウェア構成のまま、任意周期長カウンタ２４又は２８のカウント周期を可変とし、このカウント長を適宜設定することで、スピンドルモータ２やスライダ１０の立上げ動作、立下げ動作、ＣＡＶ駆動動作或いは等速移動動作（ＣＬＶ駆動動作）を実現するようにしたものである。図１４に本実施の形態の方式によるスピンドルモータ２の回転数と位相差との関係を示す。ここでは、図１４との比較上、横軸を半径方向の位置ｒとしてＣＬＶ駆動時の関係として示してある（これは、スライダ１０の移動速度と位相差との関係についても同様である）。このような関係は、任意周期長カウンタ２４又は２８のカウント周期を大きく設定することによって、ハードウェア構成の変更なしに実現できる。従って、このカウント長を適宜設定し直すことにより、スピンドルモータ２やスライダ１０の立上げ動作、立下げ動作、ＣＡＶ駆動動作或いは等速移動動作（ＣＬＶ駆動動作）を実現できる。
【００７１】
本発明の第九の実施の形態を説明する。本実施の形態も第八の実施の形態と同じ目的のためのものであるが、ここでは、任意周期長カウンタ２４又は２８に対する入力側（前段側）にカウントパルスＦclk を分周する分周回路（図示せず）を介在させ、この分周回路の分周数の設定を変えて周波数を変えることで、図１４に示した場合と同様なスピンドルモータ２の回転数と位相差との関係（スライダ１０についても同様）が得られるようにしたものである。
【００７２】
従って、この分周回路の分周数を適宜設定し直すことにより、スピンドルモータ２やスライダ１０の立上げ動作、立下げ動作、ＣＡＶ駆動動作或いは等速移動動作（ＣＬＶ駆動動作）を実現できる。
【００７３】
【発明の効果】
請求項１及び７記載の発明の光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価方法及びその装置によれば、露光信号発生装置用の基本クロック或いはそれ以上の周波数でのパルス数位置誤差としてスピンドルモータのＣＬＶ駆動誤差を検出することが可能であり、理想的なスピンドルモータのＣＬＶ駆動によって得られるＣＬＶフォーマットの各セクタ間の位置関係をリアルタイムで高精度に評価することができる。
【００７４】
請求項３及び９記載の発明の光ディスク原盤露光装置におけるスライダのＣＬＶ駆動精度評価方法及びその装置によれば、スライダの一定移動長に対してスピンドルモータの一定の回転角が対応することを利用することで、スライダの一定移動長毎に取り込まれる位相データ及び位相差データについても、スピンドルモータの場合と同じ関係が成立することから、露光信号発生装置用の基本クロック或いはそれ以上の周波数でのパルス数位置誤差としてスライダのＣＬＶ駆動誤差を検出することができ、極めて高精度に評価することができる。
【００７５】
請求項４及び１０記載の発明の光ディスク原盤露光装置におけるスピンドルモータの駆動制御方法及びその装置によれば、スピンドルモータの高精度なＣＬＶ駆動精度評価に準じて露光信号発生装置用の基本クロック或いはそれ以上の周波数でのパルス数位置誤差レベルでスピンドルモータのＣＬＶ駆動制御を高精度に行えるため、ＣＬＶフォーマットの各セクタを円周方向の理想的な位置に配置させることができ、よって、両面同時記録再生可能なＣＬＶディスクのマスタリングも可能となり、高速データ転送レートを持たせることもできる。
【００７６】
請求項２，８，５及び１１記載の発明によれば、上記各請求項記載の発明におけるスピンドルモータのＣＬＶ駆動精度評価或いはＣＬＶ駆動制御に際して、スピンドルエンコーダの取付け偏心に伴う見掛け上の回転変動を排除することができ、よって、スピンドルモータの回転に同期したＣＬＶ駆動誤差に基づいた回転制御となるので、安定したスピンドルモータの回転制御を行える。
【００７７】
請求項６及び１２記載の発明の光ディスク原盤露光装置におけるスライダの駆動制御方法及びその装置によれば、スライダの高精度なＣＬＶ駆動精度評価に準じて露光信号発生装置用の基本クロック或いはそれ以上の周波数でのパルス数位置誤差レベルでスライダのＣＬＶ駆動制御を高精度に行えるため、リニアエンコーダの分解能以上に極めて高精度なスパイラルピッチでトラックを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一及び第二の実施の形態のＣＬＶ駆動精度評価系を含む光ディスクカッティングマシン構成を示すブロック構成図である。
【図２】スピンドル用の位相データ取込回路を示すブロック図である。
【図３】ＣＬＶ駆動精度評価処理を示すフローチャートである。
【図４】隣接任意角間の位相差の変化（計算値）の様子を示すグラフである。
【図５】本発明の第二の実施の形態におけるスライダ用の位相データ取込回路を示すブロック図である。
【図６】位相データの取込タイミング例を示すタイムチャートである。
【図７】本発明の第三の実施の形態のＣＬＶ駆動制御系を含む光ディスクカッティングマシン構成を示すブロック構成図である。
【図８】そのＣＬＶ駆動制御処理を示すフローチャートである。
【図９】本発明の第四の実施の形態のＣＬＶ駆動制御系を含む光ディスクカッティングマシン構成を示すブロック構成図である。
【図１０】本発明の第五の実施の形態の位相データの取込タイミング例を示すタイムチャートである。
【図１１】本発明の第六の実施の形態の位相データの取込タイミング例を示すタイムチャートである。
【図１２】本発明の第七の実施の形態の位相データの取込タイミング例を示すタイムチャートである。
【図１３】その位相データ取込回路を示すブロック図である。
【図１４】本発明の第八の実施の形態のＣＬＶ駆動時のスピンドル回転数と位相差との関係を示すグラフである。
【図１５】一般的なＣＬＶ駆動特性を示すグラフである。
【図１６】従来の光ディスクカッティングマシン構成を示すブロック構成図である。
【図１７】スピンドルエンコーダの取付け偏心に伴う見掛け上の回転速度変動を示すグラフである。
【図１８】ＣＬＶ駆動時のスピンドル回転数と位相差との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１      ガラス原盤
２      スピンドルモータ
４      レーザ光源
５      光ピックアップ
７      露光信号発生装置
８      光変調器
１０      スライダ
１１      スピンドルエンコーダ
１２      リニアエンコーダ
１６      回転制御ループ
１９      移動制御ループ
２１      位相データ取込回路
２２      ＣＬＶ駆動精度評価手段
２３      任意角パルス生成回路
２４      任意周期長カウンタ
２５      ラッチ回路
２６      位相データ取込回路
２７      任意長パルス生成回路
２８      任意周期長カウンタ
２９      ラッチ回路
【図１】
0003693813.tif 000003
【図２】
0003693813.tif 000004
【図３】
0003693813.tif 000005
【図４】
0003693813.tif 000006
【図５】
0003693813.tif 000007
【図６】
0003693813.tif 000008
【図７】
0003693813.tif 000009
【図８】
0003693813.tif 000010
【図９】
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【図１０】
0003693813.tif 000012
【図１１】
0003693813.tif 000013
【図１２】
0003693813.tif 000014
【図１３】
0003693813.tif 000015
【図１４】
0003693813.tif 000016
【図１５】
0003693813.tif 000017
【図１６】
0003693813.tif 000018
【図１７】
0003693813.tif 000019
【図１８】
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