(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
偏光方向が異なる被測定光とサンプリング光を偏波合成手段（３，４）で合成し、その強度相関信号を非線形光学素子（８）によって和周波光として出力する光サンプリングヘッド（１）において、
前記偏波合成手段（３，４）を収納し、前記偏波合成手段からの光を出射する出射開口（１２）を備えた第１筐体（２）と、
前記非線形光学素子を収納し、前記偏波合成手段からの光を前記非線形光学素子（８）に導く入射開口（１３）を備えた第２筐体（７）と、
前記第２筐体の前記入射開口の周囲に設けられた球面の一部をなす接触部（１５）と、
前記第１筐体の前記出射開口の周囲に固定されて前記接触部に少なくとも３つの位置で接触する接続部材（２０）とを備え、
前記偏波合成手段から出射する光の出射軸と前記非線形光学素子へ入射する光の入射軸を所望の関係に調整した状態で前記第１筐体と前記第２筐体を連結した光サンプリングヘッド。
【請求項２】
前記接続部材（２０）が、前記接触部（１５）に周状に接触する環状部（２１）と、前記第１筐体の前記出射開口の周囲に固定されるフランジ部（２２）とからなることを特徴とする請求項１記載の光サンプリングヘッド。
【請求項３】
前記第２筐体（７）に対して前記非線形光学素子（８）を前記入射軸の方向に移動可能とする位置調整手段（７ａ）と、前記第１筐体（２）に前記出射軸の方向に移動可能に設けられた集光レンズ（１０）の少なくともいずれか一方を有する請求項１記載の光サンプリングヘッド（１）。
【請求項４】
請求項１記載の光サンプリングヘッド（１）の前記第１筐体（２）と前記第２筐体（７）を、互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚの各軸方向と、前記Ｚ，Ｙ，Ｘの各軸方向に直交する各平面内におけるθ１，θ２，θ３の各回転方向に関して、所望の姿勢となるように組み立てる光サンプリングヘッドの組み立て装置であって、
取り付け基板（３１）と、
前記Ｚ軸方向に移動可能となるように前記取り付け基板に設けられ、前記出射軸が前記Ｚ軸に沿って上向きとなるように前記第１筐体（２）が取り付けられるＺ軸変位ステージ（３７）と、
前記取り付け基板を前記回転方向θ１について回転させる第１回転ステージ（４１）と、
前記取り付け基板を前記回転方向θ２について回転させる第２回転ステージ（４２）と、
前記取り付け基板を前記回転方向θ３について回転させる第３回転ステージ（４３）と、
前記取り付け基板を前記Ｘ軸方向に移動させるＸ軸変位ステージ（３５）と、前記取り付け基板を前記Ｙ軸方向に移動させるＹ軸変位ステージ（３６）と、前記取り付け基板の上方に配置され、前記入射軸が前記Ｚ軸に沿って下向きとなるように前記第２筐体が取り付けられる固定治具（５０）と、
を有する光サンプリングヘッドの組み立て装置（３０）。
【請求項５】
請求項１記載の光サンプリングヘッド（１）の前記第１筐体（２）と前記第２筐体（７）を、互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚの各軸方向と、前記Ｚ，Ｙ，Ｘの各軸方向に直交する各平面内におけるθ１，θ２，θ３の各回転方向に関して、所望の姿勢となるように組み立てて固定する光サンプリングヘッドの製造方法であって、
前記出射開口（１２）と前記入射開口（１３）が向き合うように前記第１筐体（２）と前記第２筐体（７）を間隔をおいて配置し、
前記第１筐体と前記第２筐体を前記Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸方向と前記θ１，θ２，θ３の各回転方向について必要に応じて相対的に変位させ、前記光サンプリングヘッドとして前記非線形光学素子（８）の出力が好適となるような所望の位置関係を定め、
前記第１筐体と前記第２筐体の間に前記接続部材（２０）を設け、該接続部材と前記第１筐体及び該接続部材と前記第２筐体の接触部をそれぞれ結合することを特徴とする光サンプリングヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主に、被測定光をサンプリングする光サンプリングヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図５は、和周波光発生を利用した光サンプリング波形測定において用いられている従来の光サンプリングヘッドを例示する図である。この光サンプリングヘッドは、サンプリング光がポートａ、被測定光がポートｂから導入され、偏波合成を行なう偏光ビームスピリッタであるＰＢＳに導かれ、レンズを介して非線形光学材料であるＫＴＰにて位相整合を達成した後、フィルタから出力されて後段の図示しない信号処理部に導かれる。
しかしながら、上述した従来の光サンプリングヘッドでは、ＰＢＳを透過するサンプリング光の消光比は略４０ｄＢであるが、ＰＢＳにて反射する被測定光の消光比は略２０ｄＢしかない。これにより、両方向の光のレベル比である偏光消光比は約２０ｄＢとなってＫＴＰの特性を十分に引き出すことができずに信号処理後のノイズが多くなってしまうという問題があった。
これに対し、上記ＰＢＳに置き換えて複屈折性光学結晶を用いることにより、偏光消光比を約４０ｄＢとしてノイズを減らすことができるが、この複屈折性光学結晶は、コストを押さえるために結晶の有効長を短くせざるを得ない。このため、ウォークオフ角（偏波分離角）が小さく、入射側での分離幅が例えば略２ｍｍ程であるため分離幅が十分にとれず実用が難しいという問題がある。
そこで、上記課題を解消するために、ウォークオフ角の小さい複屈折性光学結晶を偏波合成手段として実用することができる光サンプリングヘッドを案出した。
図４は、本願出願人が本願と同日付で出願した前述の案出した光サンプリングヘッドを例示する図である。被測定光とサンプリング光はポートａ，ｂから導入され、偏波合成を行なう複屈折性の光学結晶であるルチル１００にプリズム１０５を介して導かれ、レンズ１０１を介して非線形光学材料であるＫＴＰ１０２にて位相整合を達成した後、フィルタ１０３から出力されて後段の図示しない信号処理部に導かれる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前述した光サンプリングヘッドでは、ＫＴＰ１０２で所定の偏光方向の入射光のみに対して位相整合を生じさせ、最も高いエネルギー効率で和周波光を取り出せるようにするため、ルチル１００からレンズ１０１を介して出射する光の出射軸と、ＫＴＰ１０２に入射する光の入射軸との関係を、実際にＫＴＰ１０２の出力状況を見ながら種々に調整して最適な状態を決める必要があった。
【０００４】
具体的には、少なくとも、ルチル１００からレンズ１０１を介して出射する光の偏光方向と、ＫＴＰ１０２の偏波方位角を合わせるために光の入射軸を中心とした回転方向を調整し、また最大の出力を得るために使用する波長の帯域に応じてＫＴＰ１０２に対する入射角度を調整し、さらに入射光がＫＴＰ１０２に焦点を結ぶようにＫＴＰ１０２とルチル１００の光軸方向における相対位置を調整する必要がある。
【０００５】
しかし、特にＫＴＰ１０２は小さな光学素子であり、これをルチル１００に対して多方向について微妙な調整を行い、これら両光学結晶（１０２，１００）の各光軸の関係を所望の状態に定めることは煩雑で手間がかかる困難な作業であり、また最適な状態で固定することも難しかった。
【０００６】
そこで本発明は、偏光方向が異なる被測定光とサンプリング光を偏波合成手段で合成して非線形光学素子に入射させ、和周波光として出力する光サンプリングヘッドにおいて、偏波合成手段と非線形光学素子の光学的な位置関係を簡単に調整することができるようにすることを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載された光サンプリングヘッド１は、偏光方向が異なる被測定光とサンプリング光を偏波合成手段３，４で合成し、その強度相関信号を非線形光学素子８によって和周波光として出力する光サンプリングヘッドにおいて、前記偏波合成手段３，４を収納し、前記偏波合成手段３，４からの光を出射する出射開口１２を備えた第１筐体２と、前記非線形光学素子８を収納し、前記偏波合成手段３，４からの光を前記非線形光学素子８に導く入射開口１３を備えた第２筐体７と、前記第２筐体７の前記入射開口１３の周囲に設けられた球面の一部をなす接触部１５と、前記第１筐体２の前記出射開口１２の周囲に固定されて前記接触部１５に少なくとも３つの位置で接触する接続部材２０とを備え、前記偏波合成手段３，４から出射する光の出射軸と前記非線形光学素子８へ入射する光の入射軸を所望の関係に調整した状態で前記第１筐体２と前記第２筐体７を連結するものである。
【０００８】
請求項２に記載された光サンプリングヘッドは、請求項１記載の光サンプリングヘッド１において、前記接続部材２０が、前記接触部１５に周状に接触する環状部２１と、前記第１筐体２の前記出射開口１２の周囲に固定されるフランジ部２２とからなることを特徴としている。
【０００９】
請求項３に記載された光サンプリングヘッドは、請求項１記載の光サンプリングヘッド１において、前記第２筐体７に対して前記非線形光学素子８を前記入射軸の方向に移動可能とする位置調整手段７ａと、前記第１筐体２に前記出射軸の方向に移動可能に設けられた集光レンズ１０の少なくともいずれか一方を有することを特徴としている。
【００１０】
請求項４に記載された光サンプリングヘッドの組み立て装置３０は、請求項１記載の光サンプリングヘッド１の前記第１筐体２と前記第２筐体７を、互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚの各軸方向と、前記Ｚ，Ｙ，Ｘの各軸方向に直交する各平面内におけるθ１，θ２，θ３の各回転方向に関して、所望の姿勢となるように組み立てる光サンプリングヘッドの組み立て装置であり、次の各部を有している。
まず、取り付け基板３１を有している。
また、前記Ｚ軸方向に移動可能となるように前記取り付け基板３１に設けられ、前記出射軸が前記Ｚ軸に沿って上向きとなるように前記第１筐体２が取り付けられるＺ軸変位ステージ３７を有している。
また、前記取り付け基板３１を前記回転方向θ１について回転させる第１回転ステージ４１と、前記取り付け基板３１を前記回転方向θ２について回転させる第２回転ステージ４２と、前記取り付け基板３１を前記回転方向θ３について回転させる第３回転ステージ４３を有している。
また、前記取り付け基板３１を前記Ｘ軸方向に移動させるＸ軸変位ステージ３５と、前記取り付け基板３１を前記Ｙ軸方向に移動させるＹ軸変位ステージ３６を有している。
そして、前記取り付け基板３１の上方に配置され、前記入射軸が前記Ｚ軸に沿って下向きとなるように前記第２筐体７が取り付けられる固定治具５０を有している。
【００１１】
請求項５に記載された光サンプリングヘッドの製造方法は、請求項１記載の光サンプリングヘッド１の前記第１筐体２と前記第２筐体７を、互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚの各軸方向と、前記Ｚ，Ｙ，Ｘの各軸方向に直交する各平面内におけるθ１，θ２，θ３の各回転方向に関して、所望の姿勢となるように組み立てて固定する光サンプリングヘッドの製造方法である。本方法は、前記出射開口１２と前記入射開口１３が向き合うように前記第１筐体２と前記第２筐体７を間隔をおいて配置し、前記第１筐体２と前記第２筐体７を前記Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸方向と前記θ１，θ２，θ３の各回転方向について必要に応じて相対的に変位させ、前記光サンプリングヘッドとして前記非線形光学素子８の出力が好適となるような所望の位置関係を定め、前記第１筐体２と前記第２筐体７の間に前記接続部材２０を設け、該接続部材２０と前記第１筐体２及び該接続部材２０と前記第２筐体７の接触部１５をそれぞれ結合することを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態の一例を図１〜図３を参照して説明する。なお、後述する光サンプリングヘッド１の組み立て時の姿勢調整の変位方向を示すために、図１〜図３には各図に共通の方向表示を示した。即ち、Ｘ，Ｙ，Ｚの３軸直交座標系と、この３軸直交座標系により規定されるＸＹ，ＹＺ，ＺＸの各面内における回転方向θ１，θ３，θ２である。
【００１３】
まず、光サンプリングヘッド１の全体の構造を図１を参照して説明する。
この光サンプリングヘッド１の第１の筐体２の内部には、その一端側に被測定光とサンプリング光の光路変更手段であるＰＢＳ３（偏光ビームスプリッタ）が取り付けられている。筐体２の内部において、このＰＢＳ３の隣には、このＰＢＳ３から出射した被測定光とサンプリング光を偏波合成する偏波合成手段としてのルチル４が取り付けられている。筐体２の内部において、ＰＢＳ３と反対の側には、レンズホルダ５に保持された集光レンズ６が設けられている。レンズホルダ５は筐体２に対して光軸方向に移動可能であり、集光レンズ６による焦点位置を光軸方向の前後に移動させることが可能であり、且つ、ビーム径を調整することが可能である。
【００１４】
筐体２の他端側（前記レンズホルダ５側）の外側には、第２の筐体であるＫＴＰホルダ７が取り付けられている。ＫＴＰホルダ７には、ＫＴＰ８が位置調整手段７ａを介して光軸方向に移動可能に設けられている。ＫＴＰ８は、筐体２の側から前記被測定光と前記サンプリング光が入射され、その強度相関信号を和周波光として出力する。なお、本例ではＫＴＰ８は第２種の非線形光学結晶であり、被測定光と偏光方向が異なるサンプリング光が入射した場合に和周波光が出射されるが、本発明は第１種の非線形光学結晶を用いる光サンプリングヘッドにも適用できる。ＫＴＰホルダ７には受光素子ホルダ９が取り付けられている。受光素子ホルダ９のＫＴＰホルダ７と反対側には、集光レンズ１０と受光素子１１とショートパスフィルタ１４が設けられており、この受光素子１１が図示しない信号処理部に接続されている。
【００１５】
次に、光サンプリングヘッド１における第１の筐体である筐体２と第２の筐体であるＫＴＰホルダ７の結合構造を図２を参照して説明する。
筐体２のＫＴＰホルダ７側には、前記ルチル４からの光を出射する出射開口１２が形成されている。ルチルの出射軸は（集光レンズ６の光軸）は出射開口１２を通過する。ＫＴＰホルダ７の筐体２側の端部には、前記ルチル４からの光を前記ＫＴＰ８に導くための入射開口１３が形成されている。ＫＴＰホルダ７の筐体２側の端部である入射開口１３の周囲の領域は、球面の一部からなる接触部１５であり、後述する接続部材に当接している。
【００１６】
前記筐体２とＫＴＰホルダ７は、接続部材２０で結合されている。接続部材２０は、ＫＴＰホルダ７の球面状の接触部１５に固定される環状部２１と、筐体２の出射開口１２の周囲に固定されるフランジ部２２を有している。前記ＫＴＰホルダ７の接触部１５は球面状であり、環状部２１の半径は接触部１５の曲率半径よりも小さいので、接触部１５は環状部２１に対して全周にわたって円形の接触線で接している。筐体２及びＫＴＰホルダ７と接続部材２０との固定方法は特に問わないが、一例を挙げればＹＡＧレーザーによるスポット溶接などが好適である。溶接個所は、接触部１５と環状部２１の周状の触線部の数箇所、フランジ部２１と筐体２の周状の触線部の数箇所でよい。
【００１７】
上記のように、本例では環状部２１に対してＫＴＰホルダ７の球面状の接触部１５が当接しているので、溶接により固定する前は、接触部１５を環状部２１に接触させた安定した状態でＫＴＰホルダ７の接続部材２０に対する姿勢を連続的に変位させて微妙な調整を行なうことが可能である。即ち、筐体２側の出射軸に対してＫＴＰホルダ７の入射軸をあらゆる方向に揺動させて相互の位置関係を定めることができる。また、筐体２の外端面に対する接続部材２０の位置を調整することによって、光軸に直交する面内での両光軸の位置関係を調整し定めることができる。また、環状部２１の光軸方向の長さや直径を適宜選択することにより（即ち環状部２１の光軸方向の長さや直径が異なる数種類の接続部材２０の中から適当なものを選択することによって）、筐体２とＫＴＰホルダ７の光軸方向の位置関係を設定することも出来る。
【００１８】
上記の位置調整において、図２に示すように出射軸及び入射軸が略一致した状態となるようルチルとＫＴＰを間隔をおいて対面させた状態におき、これら光軸が一の座標軸Ｚ軸と略一致するような互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚの三軸からなる直交座標系を想定した場合、ルチルに対してＫＴＰを変位させて姿勢を調整する方向としては、まず前記Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸方向の直線方向の変位がある。また、前記Ｚ，Ｙ，Ｘの各軸方向に直交する各平面内においてθ１，θ２，θ３の各回転方向が想定でき、これらの回転方向の変位も行なうことができる。
【００１９】
本例の光サンプリングヘッド１では、筐体２とＫＴＰホルダ７の相対位置関係を少なくとも次のような３つの方向に相対的に変位させて調整しなければならない。まず、レンズ６から出射される光の偏光方向とＫＴＰ８の偏波方位角を合わせるためにＸＹ面内での回転方向θ１の変位を行う。また、最大の出力を得るべく使用波長帯域に応じてＫＴＰ８に対する入射角度を調整するため、ＺＸ面内での回転方向θ２の変位とＹＺ面内での回転方向θ３の変位を行なう。さらに、入射光がＫＴＰ８に焦点を結ぶようにＫＴＰ８とルチル４の光軸方向における相対位置の調整を行なうべく、Ｚ軸方向の変位行なう。実際には、ある特性の調整のために一方向について変位させると、他の特性も変化を受けるため、当該他の特性を主として調整する他の方向についての変位が必要になり、従って、上記光サンプリングヘッド１の特性を左右するＫＴＰ８に関する調整は、光サンプリングヘッド１の出力を観察しながら上記調整のための各方向について総合的に行なわなければならない。
【００２０】
ここで本例の光サンプリングヘッド１によれば、環状部２１の高さが適当な接続部材２０を選択し、球面状の接触部１５を環状部２１に接触させた安定した状態でＫＴＰホルダ７の姿勢を任意に変位させれば、上述した複数の各方向についての変位による微妙な調整を行なうことができ、筐体２の出射軸とＫＴＰホルダ７の入射軸の位置・角度関係を所望の状態に定めることが比較的容易となる。なお、Ｚ軸方向については、上記位置関係を定めて筐体２と接続部材２０とＫＴＰホルダ７を接続固定した後に、筐体２内のレンズホルダ５を光軸方向に移動させて微調整することもできる。また、位置調整手段７ａによりＫＴＰホルダ７に対してＫＴＰ８を光軸方向に移動させて微調整することもできる。
【００２１】
以上説明した例では、球面状の接触部１５を環状部２１に接触させていたが、上記のように２つの筐体を安定的な可動状態で接触させて種々の方向に必要に応じて相対的に動かし、これによって２つの光学素子の安定した相対的な位置調整を行うためには、接続部材２０が接触部１５に少なくとも周上の３つの位置で接触する構成とすればよい。より具体的には、球面の一部をなす接触部１５に対し、接触部１５の球面の直径よりも小さい直径である一の周上に配置した３つの支持部からなる部材で前記接続部材２０を構成しても良い。さらに具体的には、この３つの支持部は、前記一の周上に等間隔（周方向に関して中心について１２０度間隔）で配置された３つの棒、ピン、微小球、突起等であればよい。姿勢調整時の運動の円滑性を十分に確保するには、これら支持部の先端は滑らかで被支持体が大きな摩擦なく容易に運動しうる形状・材質等であることがさらに望ましい。
【００２２】
次に、前述した構造の光サンプリングヘッドにおいて、筐体２とＫＴＰホルダ７を、所望の姿勢となるように組み立てる光サンプリングヘッドの組み立て装置３０について図３を参照して説明する。この組み立て装置３０は、ＫＴＰホルダ７を固定し、これに対して筐体２を変位させるものである。筐体２の変位のために、互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚの各軸方向と、前記Ｚ，Ｙ，Ｘの各軸方向に直交する各平面内におけるθ１，θ２，θ３の各回転方向に関して変位させる複数の移動手段を有している。
【００２３】
この組み立て装置３０は、互いに直交して連結された水平板３２と垂直板３３からなる略Ｌ字形の取り付け基板３１を有している。この取り付け基板３１の垂直板３３の水平板３２側には、Ｚ軸変位ステージ３７が設けられている。Ｚ軸変位ステージ３７は、垂直板３３に沿って前記Ｚ軸方向に移動可能である。Ｚ軸変位ステージ３７には、前記出射軸が前記Ｚ軸に沿って上向きとなるように前記筐体２が取り付けられる。
【００２４】
取り付け基板３１の水平板３２の下面側には、上から順に、前記取り付け基板３１を前記回転方向θ３について回転させる第３回転ステージ４３と、前記取り付け基板３１を前記回転方向θ２について回転させる第２回転ステージ４２と、前記取り付け基板３１を前記Ｘ軸方向に移動させるＸ軸変位ステージ３５と、前記取り付け基板３１を前記Ｙ軸方向に移動させるＹ軸変位ステージ３６とが積層して設けられており、さらに、位置・姿勢調整として最も下部の機構として、前記取り付け基板３１を前記回転方向θ１について回転させる第１回転ステージ４１がベース３８の上に設けられている。これらの機構は図示しない駆動源と駆動機構を備えており、これにより、各方向について取り付け基板３１の位置・姿勢調整が行なえる。
【００２５】
前記取り付け基板３１の上方には、固定治具５０が設けられている。固定治具５０は、前記入射軸が前記Ｚ軸に沿って下向きとなるようにＫＴＰホルダ７が取り付けられる。固定治具５０の位置は、取り付け基板３１のＸＹ方向の基準位置に対して固定である。
【００２６】
次に、前述した構造の光サンプリングヘッドの組み立て装置３０を用いて、筐体２とＫＴＰホルダ７を所望の姿勢となるように組み立てる工程について説明する。
まず、ＫＴＰホルダ７を下向きにして（前記入射開口１３を下向きにして）固定治具５０に固定する。Ｚ軸変位ステージ３５に、前記出射開口１２を上向きにして筐体２を取り付ける。第２筐体とＫＴＰホルダ７は、前記出射開口１２と前記入射開口１３が向き合うように間隔をおいて配置される。
【００２７】
第１、第２、第３の各回転ステージ３５，３６，３７と、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸の各変位ステージ４１，４２，４３により、前記ＫＴＰホルダ７に対して筐体２をＸ，Ｙ，Ｚの各軸方向とθ１，θ２，θ３の各回転方向について相対的に変位させる。ＫＴＰ８からの出力をモニターしながら光サンプリングヘッドとしてＫＴＰ８の出力が好適となるような所望の位置関係を定める。
【００２８】
位置関係が決まったら当該位置から、一旦Ｚ軸方向について筐体２を下降させる。上記決められた位置関係における筐体２とＫＴＰホルダ７のＺ軸方向の間隔に適した接続部材２０を選択し、これを両者の間 (具体的には筐体２の出射開口１２を囲む端面の上）に設ける。再び、筐体２をＺ軸方向に上昇させ、上記決められた位置関係に戻す。これで、筐体２と接続部材２０とＫＴＰホルダ７は所望の位置関係で互いに接触した状態となる。ここで、さらに必要であれば、筐体２内のレンズホルダ５を光軸方向に移動させるか、又は位置調整手段７ａによりＫＴＰホルダ７に対してＫＴＰ８を光軸方向に移動させて微調整することもできる。
【００２９】
調整が完了したら、接続部材２０と筐体２及び接続部材２０とＫＴＰホルダ７の各接触部１５をそれぞれ結合する。本例では、接触部１５と環状部２１の周状の触線部のうちの複数箇所、フランジ部２１と筐体２の周状の触線部の複数箇所をＹＡＧレーザーにより溶接する。上記複数個所とは、溶接による固定が確実となる数であればよく、少なくとも３箇所以上が好ましいが、作業効率等も加味すれば３箇所が適当である。
【００３０】
本例では、ＫＴＰホルダ７を固定とし、ルチル４の収納された筐体２側を移動させたが、もちろん逆にしてもよい。
【００３１】
【発明の効果】
本発明によれば、偏光方向が異なる被測定光とサンプリング光を合成手段で合成して非線形光学素子に入射させ、和周波光として出力する光サンプリングヘッドにおいて、合成手段と非線形光学素子がそれぞれ収納されている光サンプリングヘッドの２つの筐体を安定した状態で接触させながら任意の姿勢を定めて固定できるようにしたので、合成手段と非線形光学素子の光学的な位置関係を簡単に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の一例である光サンプリングヘッドの水平断面図である。
【図２】本発明の実施の形態の一例である光サンプリングヘッドにおける筐体とＫＴＰホルダ７の連結部分付近を示す拡大断面図である。
【図３】本発明の実施の形態の一例である光サンプリングヘッドの組み立てに使用する組み立て装置３０の斜視図である。
【図４】本発明以前に案出した光サンプリングヘッドの一例の水平断面図である。
【図５】従来の光サンプリングヘッドの一例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
１…光サンプリングヘッド、２…第１の筐体、４…偏波合成手段としてのルチル、６…集光レンズ、７…第二の筐体としてのＫＴＰホルダ、７ａ…位置調整手段、８…非線形光学素子としてのＫＴＰ、１０…集光レンズ、１２…出射開口、１３…入射開口、１５…接触部、２０…接続部材、２１…環状部、２２…フランジ部、３０…組み立て装置、３１…取り付け基板、３５…Ｘ軸変位ステージ、３６…Ｙ軸変位ステージ、３７…Ｚ軸変位ステージ、４１…第１回転ステージ、４２…第２回転ステージ、４３…第３回転ステージ、５０…固定治具。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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