(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ビームを走査光学系によって感光体上で走査させる光ビーム走査装置において、
光ビームを互いに直交する２方向にそれぞれ偏向する音響光学偏向素子からなる２次元光偏向素子と、
前記走査光学系に起因する光ビームの変動を補正するための偏向データを出力する偏向データ出力手段と、
前記光偏向素子の一方向への偏向駆動に伴って他方向に発生する偏向を打消すための補正データを記憶するルックアップテーブルで形成され前記補正データを出力する補正データ出力手段と、
各偏向方向ごとに対応する前記偏向データと補正データとを加算する加算器と、
この加算値に基づき前記光偏向素子を２次元に偏向駆動する駆動手段と、
を備えることを特徴とする光ビーム走査装置の補正装置。
【請求項２】
前記ルックアップテーブルは、光偏向素子による偏向を一定に固定して走査光学系で走査した時に得られる走査線の変動に基づいて求められた偏向データを記憶する請求項１の光ビーム走査装置の補正装置。
【請求項３】
請求項１または２の光ビーム走査装置の補正装置を備えることを特徴とする円筒内面走査型画像記録装置。
【請求項４】
光ビームを走査光学系によって感光体上で走査させる光ビーム走査装置において、
光ビームを互いに直交する軸を中心にして揺動するミラーからなる２次元偏向素子と、
前記走査光学系に起因する光ビームの変動を補正するための偏向データを出力する偏向データ出力手段と、
前記偏向素子の一方向への偏向駆動に伴って他方向に発生する偏向を打消すための補正データを記憶するルックアップテーブルで形成され前記補正データを出力する補正データ出力手段と、
各偏向方向ごとに対応する前記偏向データと補正データとを加算する加算器と、
この加算値に基づき前記光偏向素子を２次元に偏向駆動する駆動手段と、
を備えることを特徴とする光ビーム走査装置の補正装置。
【請求項５】
請求項４の光ビーム走査装置の補正装置を備えることを特徴とする円筒内面走査型画像記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、光ビームの走査光学系に、光ビームを２次元に偏向する光偏向素子を介在させて、適正な走査線からの光ビームのずれを補正する光ビーム走査装置の補正装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
レーザなどの光ビームを、走査光学系によって感光体上に導き、走査させて感光体を露光させることにより画像を形成する光ビーム走査装置が公知である。
【０００３】
例えば円筒内面走査型の装置に用いるスピナや、平面走査型の装置に用いるピエゾミラー、ガルバノミラーを用いた走査光学系がある。これらの走査光学系スピナやミラーの回転中心が回転に伴って変動することがある（ウォブル）。このような回転中心の変動があると、光ビームの走査軌跡である走査線が直線にならず、僅かに弓状に湾曲することになる。そこで高品質な画像を得るためにこのような走査光学系に起因する走査線の変動を無くして走査線を正しい直線に修正することが必要になる。そのために、光ビームを１次元光偏向素子によって偏向させることが従来より知られている。
【０００４】
一方、円筒内面走査型画像記録装置において、走査ビームを複数として出力の高速化を図ることが知られている。この場合複数の光ビームによる走査線が互いに平行な直線となることが必要である。また各光ビームが同時に書込む点は副走査方向に並んでいなければならない。換言すれば各光ビームは主走査方向に位相が揃っていて、各走査線が同じ長さとなるようにすることが必要である。そこで、各光ビームを２次元光偏向素子により２次元に偏向させることを、本願の出願人は提案した（米国特許第５５０２７０９号参照）。
【０００５】
【従来技術の問題点】
従来広く用いられている１次元光偏向素子としては、ピエゾ効果を利用してミラーを偏向させるピエゾミラー方式、ガルバノメータの原理を用いてミラーを偏向させるガルバノミラー方式、音響光学（Ａ／Ｏ）素子や電気光学（Ｅ／Ｏ）素子を用いる方式などがある。
【０００６】
しかし従来の光偏向素子で光ビームを１次元に偏向させるように駆動した時には、光ビームはこの偏向方向に直交する方向にも僅かに偏向されることが避けられない。例えばピエゾミラーあるいはガルバノミラー方式ではミラーの回転軸の僅かな変動などによりこのような問題が生じるものと考えられる。また音響光学素子を用いたものでは、一方向への偏向を発生させるように超音波を加えると、この偏向方向に直交する方向にも僅かに偏向が発生することが解った。このため高精度な偏向制御ができず、画質が劣化するという問題があった。
【０００７】
また複数の光ビームで同時に走査する前記円筒内面走査型の装置で、２次元光偏向素子を用いる場合には、実際に走査して得た走査線の直線からのずれと、各光ビームが書込む点の主走査方向のずれ（すなわち位相のずれ）とに基づいて光偏向素子の直交する２方向の偏向量を求めていた。しかし実際の２次元光偏向素子では、１方向への偏向量から駆動量を決めると他方向への偏向が発生してしまい、高精度な偏向制御ができず、やはり画質が劣化するという問題があった。
【０００８】
【発明の目的】
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであり、光ビームの走査光学系に起因する走査線のずれを光偏向素子を用いて補正する場合に、高精度な偏向制御ができ画質の劣化を防ぐことができる光ビーム走査装置の補正装置を提供することを第１の目的とする。またこの補正装置を備える円筒内面走査型画像記録装置を提供することを第２の目的とする。
【０００９】
【発明の構成】
この発明によれば第１の目的は、光ビームを走査光学系によって感光体上で走査させる光ビーム走査装置において、
光ビームを互いに直交する２方向にそれぞれ偏向する音響光学偏向素子からなる２次元光偏向素子と、
前記走査光学系に起因する光ビームの変動を補正するための偏向データを出力する偏向データ出力手段と、
前記光偏向素子の一方向への偏向駆動に伴って他方向に発生する偏向を打消すための補正データを記憶するルックアップテーブルで形成され前記補正データを出力する補正データ出力手段と、
各偏向方向ごとに対応する前記偏向データと補正データとを加算する加算器と、
この加算値に基づき前記光偏向素子を２次元に偏向駆動する駆動手段と、
を備えることを特徴とする光ビーム走査装置の補正装置により達成される。
【００１０】
ここに偏向データ出力手段は、光偏向素子による偏向を一定に固定した状態で走査した時に得られた走査線から偏向データを求めて記憶しておき、走査角度に追従して偏向データを出力するものとすることができる。
【００１１】
補正データ出力手段は、光偏向素子を一方向にのみ偏向駆動した時に他方向に発生する偏向を打消すための補正データをルックアップテーブルに記憶しておくものとすることができる。この時走査光学系を停止させて補正データを求めることができる。
【００１２】
２次元光偏向素子は音響光学（Ａ／Ｏ）素子とすることができる。２次元光偏向素子は、光ビームに略直交する軸を中心として揺動するミラー、例えばピエゾミラー、ガルバノミラーなどであってもよい。この場合ミラーは光ビームに対し直交する２つの軸回りに揺動するようにジンバルで支持することができる。第２の目的は、これらの補正装置を備える円筒内面走査型画像記録装置により達成される。
【００１３】
【作用】
走査光学系による走査中においては、走査角度に対応した光ビームの偏向量が直交する２方向（Ｘ、Ｙ方向とする）に対して別々に偏向データ出力手段から読出される。一方向（例えばＸ方向）への偏向駆動に対して光偏向素子が他方向（例えばＹ方向）へ僅かな偏向を発生させるから、この他方向に発生した偏向を打消すことが必要である。このための補正データは補正データ出力手段から得ることができる。
【００１４】
そこでこの他方向（Ｙ方向）への補正データを前記他方向（Ｙ方向）への偏向データに加算することにより、同様に一方向（Ｘ方向）への補正データを一方向（Ｘ方向）への偏向データに加算することにより、光偏向素子による異なる方向間での偏向の混入による問題を除去することができる。
【００１５】
【実施態様】
図１はこの発明の一実施態様である円筒外面走査型の装置を示す図、図２は補正データ出力手段に記憶する補正データの説明図である。
【００１６】
図１において符号１０はレーザなどの光源であり、この光源１０が出力する光ビームＬは、走査光学系を介して、後記感光体２０に導かれる。すなわち光ビームＬは、光変調器１２、２次元光偏向素子としての音響光学素子（ＡＯＤ）１４、ポリゴン１６に導かれる。このポリゴン１６のミラーで反射された光ビームＬは、ｆ・θレンズ１８を介して感光体２０に導かれる。なおこの感光体２０はドラム２２の外周面に固定され、ドラム２２と共に回転する。
【００１７】
この結果光ビームＬは画像信号発生部（図示せず）から送られる画像信号に基づいて、光変調器１２でオン・オフ制御され、ポリゴン１６の回転に伴って感光体２０上を走査する。２４はその時の走査線である。ポリゴン１６はモータと一体化され、ドライバ２６により一定の回転速度で回転する。なおこのポリゴン１６のモータの回転角度はロータリーエンコーダ（図示せず）で検出される。すなわちこのエンコーダは、ポリゴン１６の基準位置および所定微少回転角度毎にそれぞれ信号（エンコーダ信号）を出力する。
【００１８】
２次元ＡＯＤ１４は２次元光偏向装置３０によって制御され、光ビームＬを光ビームＬに直交する面内で互いに直交する２方向（Ｘ、Ｙ方向）に偏向する。ＡＯＤ１４は、例えば１次元のみに偏向する２つのＡＯＤを互いに偏向方向が直交するように組合せ固着したものである。また１つの結晶の互いに直交する面に電歪材（トランスデューサ）を貼り付けた構造のものでもよい。
【００１９】
２次元光偏向装置３０は、一方向（Ｘ方向）への偏向を制御する部分と他方向（Ｙ方向）への偏向を制御する部分とを持ち、両部分は同様に構成されている。ルックアップテーブルＬＵＴ２とＬＵＴ６とは、本発明における偏向データ出力手段となるものであり、走査光学系による走査線２４のずれを補正するためのＸ方向およびＹ方向の偏向データを記憶するメモリである。
【００２０】
これらの偏向データは、ＡＯＤ１４による偏向を一定に固定した状態で、走査光学系のみを作動させて得た走査線２４と基準となる直線との間隔に基づいて例えばＹ方向の偏向データを設定する。また光ビームＬが走査線２４上を走査する速度が走査線２４の位置により変化する場合に、この走査速度の変化を修正するためにＸ方向の偏向データを設定することができる。
【００２１】
ルックアップテーブルＬＵＴ１とＬＵＴ５は、本発明の補正データ出力手段となるものであり、ＡＯＤ１４の一方向への偏向駆動が他方向への偏向に及ぼす影響を補正する（打消す）ための補正データを記憶するメモリである。すなわちＬＵＴ５は、ＡＯＤ１４により光ビームＬをＸ方向へ所定量偏向させた時にＹ方向に発生する偏向を打消すために必要なＹ方向の補正データを記憶する。同様にＬＵＴ１はＡＯＤ１４により光ビームＬをＹ方向へ所定量偏向させた時にＸ方向に発生する偏向を打消すために必要なＸ方向の補正データを記憶する。これら補正データは走査光学系を停止した状態で求めるのがよい。
【００２２】
図２に基づきこれらＬＵＴ１、５の設定手順をさらに詳細に説明する。今ＡＯＤ１４がＸＹ２方向間の相互の影響が生じない理想的なものであるとして、Ｘ方向のみに偏向するように偏向データを加えて駆動すれば、光ビームＬの走査点（基準位置Ｏにある）は感光体２０上で基準位置Ｏから実線のＸ軸上で移動する（図２（Ａ））。同様にＹ方向にのみ偏向データを加えれば光ビームＬの走査点はＹ軸上で移動する。さらにＸ、Ｙ両方向に同じ量の偏向データを加えれば、光ビームＬの走査点は原点Ｏを通る４５°の直線Ｓ１、またはＳ２上を移動する。
【００２３】
しかし実際のＡＯＤ１４では、ＸＹ２方向間の相互の影響が生じるから、前記の偏向方向は例えばそれぞれ破線で示すＸ′軸、Ｙ′軸、Ｓ１′、Ｓ２′にずれる。すなわちＸ方向の偏向データ（Ｘ偏向データ）を加えたときにはＸ′軸方向にずれ、Ｙ方向成分△Ｙが発生する。そこでＹ′軸をＹ軸に戻すためにＹ方向に加えた偏向データ（Ｙ偏向データ）から△Ｙを減算する（−△Ｙを加算する）補正を行う（図２の（Ｂ））。従ってＬＵＴ５にはこの図２の（Ｂ）に示す特性が記憶される。同様にＬＵＴ１にはＸ′軸をＸ軸に戻すためにＸ方向に加えた偏向データ（Ｘ偏向データ）に加算すべき補正データ（−△Ｘ）を記憶する。
【００２４】
ＬＵＴ２とＬＵＴ６はポリゴン１６の回転角度を示すエンコーダ信号に対応したＸ偏向データおよびＹ偏向データを出力する。これらＸ、Ｙ偏向データは加算器３２、３４に入力される一方、ＬＵＴ５、ＬＵＴ１に入力される。ＬＵＴ５およびＬＵＴ１では、Ｘ偏向データおよびＹ偏向データに対応したＹ補正データ（−△Ｙ）およびＸ補正データ（−△Ｘ）を加算器１４、３２に出力する。
【００２５】
従って加算器３２はＸ偏向データとＸ補正データ（−△Ｘ）との和（Ｔｘ）を求め、加算器３４はＹ偏向データとＹ補正データ（−△Ｙ）との和（Ｔｙ）を求める。これらの和（Ｔｘ、Ｔｙ）に基づき、ＡＯＤ１４は以下に示す駆動手段によって２次元に偏向駆動される。すなわちこれらの和（Ｔｘ、Ｔｙ）は、まずそれぞれルックアップテーブルＬＵＴ３、ＬＵＴ７によってこれら和の大きさに対応した周波数のデジタル信号（Ｄｘ、Ｄｙ）に変換される。
【００２６】
これらのデジタル信号（Ｄｘ、Ｄｙ）はそれぞれデジタル・アナログ変換器ＤＡＣ１、ＤＡＣ２においてデジタル信号（Ｄｘ、Ｄｙ）の周波数に対応したアナログ電圧信号（Ａｘ、Ａｙ）に変換される。このアナログ電圧信号（Ａｘ、Ａｙ）は電圧制御発振器ＶＣＯ１、ＶＣＯ２において入力電圧に対応した周波数の高周波信号（Ｈｘ、Ｈｙ）に変換される。
【００２７】
この高周波信号（Ｈｘ、Ｈｙ）は可変減衰器ＡＴＴ１、ＡＴＴ２で所定信号レベルに設定された後、増幅器ＡＭＰ１、ＡＭＰ２で増幅されてＡＯＤ１４のＸ方向およびＹ方向の偏向を発生させる電歪材に印加される。この結果ＡＯＤ１４は光ビームＬをＸ方向およびＹ方向に所定量偏向する。
【００２８】
なお前記ＡＴＴ１、ＡＴＴ２はＶＣＯ１、ＶＣＯ２からＡＯＤ１４のＸ方向およびＹ方向の偏向用電歪材に至るまでの特性を補正するものである。すなわちＬＵＴ３、７の出力であるデジタル信号データ（Ｄｘ、Ｄｙ）を補正データ変換テーブルＬＵＴ４、ＬＵＴ８と、デジタル・アナログ変換器ＤＡＣ２、ＤＡＣ４とを介してＡＴＴ１、ＡＴＴ２に導く。ＡＴＴ１、ＡＴＴ２は、これらＤＡＣ２、４の出力電圧に対応した減衰率でＶＣＯ１、ＶＣＯ２の出力を減衰させる。
【００２９】
従って図２の（Ｄ）に示すように、この光偏向装置３０により光ビームＬをＸ、Ｙ方向に偏向させれば、Ｘ、Ｙ方向の一方の偏向が他方の偏向に及ぼす影響を除去することができる。すなわち図２の（Ｄ）に破線で示す実際の光ビームの偏向方向を、実線で示す理想的な偏向方向に一致させることができる。このため走査線の直線性を良くし、高精度の偏向制御が可能になり、画質を向上させることができる。
【００３０】
この実施態様では、ＬＵＴ１、５にはＹ偏向データおよびＸ偏向データの大きさに対して、それぞれＸ方向の偏向およびＹ方向の偏向を打消すための補正データを記憶した。すなわちＬＵＴ１、５はＹ偏向データ、Ｘ偏向データを入力としていた。しかしこれらＬＵＴ１、５はエンコーダ信号を入力として補正データを出力するものであってもよい。この場合にはＬＵＴ１、５にはエンコーダ信号により設定されるＹ偏向データおよびＸ偏向データを予測して偏向を補正するデータを記憶させておけばよい。
【００３１】
この実施態様では、ｆθレンズ１８を用いるが、このｆθレンズ１８の作用をＡＯＤ１４に持たせることもできる。この場合ｆθレンズ１８に代えて光ビームを感光体２０に集光させるための集光レンズを用いる。以上の実施態様は平面走査型の装置に適用したものであるが、本発明は円筒内面走査型や円筒外面走査型などの装置にも適用でき、これらを含む。次に円筒内面走査型の実施態様につき説明する。
【００３２】
【他の実施態様】
図３は、円筒内面走査型画像記録装置を示す概念図である。この図３において５０（５０ａ、５０ｂ、５０ｃ）は光ビーム出力手段としての３個のレーザダイオードであり、これらは同一波長かつ同一強度のレーザビームＬ（Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃ）を出力する。これらのレーザビームＬａ、Ｌｂ、ＬｃはそれぞれコリメートレンズＬ１（Ｌ１ａ、Ｌ１ｂ、Ｌ１ｃ）、２次元音響光学偏向素子ＡＯＤ（ＡＯＤａ、ＡＯＤｂ、ＡＯＤｃ）、ＡＯＤ射出レンズＬ２（Ｌ２ａ、Ｌ２ｂ、Ｌ２ｃ）、０次光カット板Ｐ１（Ｐ１ａ、Ｐ１ｂ、Ｐ１ｃ）およびコリメートレンズＬ３（Ｌ３ａ、Ｌ３ｂ、Ｌ３ｃ）を介し、合波光学系５２により合波される。
【００３３】
なおレーザビームＬ（Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃ）は、コリメートレンズＬ１で平行光線にされ、ＡＯＤで偏向された後ＡＯＤ射出レンズＬ２と０次光カット板Ｐ１で１次回折光だけが選択される。そしてコリメートレンズＬ３で再び平行光線に戻され合波光学系５２に導かれる。
【００３４】
ＡＯＤは後記するように所定周波数の超音波がトランスデューサより発生されることにより駆動され、この時の１次回折光が０次光カット板Ｐ１で選択されるものである。なお２値画像信号がオフの時にはレーザダイオード５０の出力がオフとなる。
【００３５】
３つのＡＯＤは、この実施態様ではそれぞれレーザビームＬａ、Ｌｂ、ＬｃをＸ軸方向およびＹ軸方向に２次元的に偏向させるものである。すなわち、ＡＯＤにより、レーザビームＬを互いに直交する２つの方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）に偏向させ、主走査線の湾曲と、間隔と、各レーザビームＬが同時に書込む点の主走査方向のずれとを修正するものである。
【００３６】
合波光学系５２は、全反射ミラーＭと、偏光ビームスプリッタＰＢＳと、ビームスプリッタＢＳとで形成される。前記レーザダイオード５０ａ、５０ｂ、５０ｃは直線偏光のレーザビームを出力し、これらの偏光方向はそれぞれ図３に矢印で示す方向に設定されている。
【００３７】
すなわちレーザダイオード５０ａと５０ｃは、ビームスプリッタＢＳおよび全反射ミラーＭに対する入射平面波の電界の振動面が入射面（入射光と反射光を含む平面）に平行な偏光（Ｐ偏光という）となるように、その取付角度が設定されている。またレーザダイオード５０ｂは、偏光ビームスプリッタＰＢＳに対する入射平面波の電界の振動面が入射面に垂直となる偏光（Ｓ偏光という）となるように、その取付角度が設定されている。
【００３８】
そしてレーザビームＬａ、Ｌｂ、Ｌｃはこの合波光学系５２によりほぼ１つのレーザビームＬｏに合波される。なおこの合波されたレーザビームＬｏは図３では１本のビームとして表しているが、実際には互いに分かれた３本の共軸ではないビームから成るものである。
【００３９】
この合波レーザビームＬｏは、さらにビームエキスパンダレンズＬ4およびＬ5においてビーム径の拡大・変更が行われる。その後開口板Ｐ２においてフレア光（迷光）の除去と光束径の制御とが行われる。このビームＬｏはドラム（円筒）Ｄの中心軸に沿ってドラムＤ内に導かれる。ドラムＤの中心軸上には、光走査器としてのスピナーＳＰが設けられている。
【００４０】
このスピナーＳＰは中心軸（回転軸）に対して４５°の反射面を持ち、モータにより高速回転される。なおこのモータにはロータリーエンコーダＥＮが取付けられ、スピナーＳＰの回転角（θ＝ωｔ）が検出される。すなわち所定回転角ごとに出力されるパルス信号ｐと、１回転の基準位置を示す基準位置信号ｐ０とが出力される。なおこのスピナーＳＰに導かれるビームＬは、回転軸上にある集光レンズＬ6によって、ドラムＤの内周面あるいは記録シートＳに合焦する。
【００４１】
図３において符号５４は制御手段であり、このスピナーＳＰの回転角θに同期してＡＯＤを制御する。図４は制御手段５４の回路構成例を示す図である。この図４では説明を簡単にするため１つのＡＯＤａのみの駆動回路を示すが、実際はこの図と同様な回路が他のＡＯＤｂ、ＡＯＤｃに対して別々に設けられる。
【００４２】
この図４において５６はクロック回路であり、エンコーダＥＮがスピナーＳＰの一定回転角度ごとに出力するパルス信号ｐと基準位置信号ｐｏとに基づいて、制御クロック信号を出力する。５８は正弦波生成回路、６０は余弦波生成回路であり、これらは前記図１に示すＬＵＴ２、ＬＵＴ６に対応する。
【００４３】
これら正弦波生成回路５８と余弦波生成回路６０は、それぞれＸ方向およびＹ方向の偏向データを出力するものである。これらの偏向データは、主走査線の湾曲と間隔と各レーザビームＬが同時に書込む点の主走査方向のずれとを修正するために、レーザビームＬをＸ軸方向およびＹ軸方向に偏向させるためにＡＯＤの駆動周波数に付加するものである。
【００４４】
６２、６４はＡＯＤの一方向への偏向駆動が他方向への偏向に及ぼす影響を打消すための補正データを記憶し出力する補正データ出力手段であり、前記図１におけるＬＵＴ１、５に対応するものである。ここではこの補正データ出力手段６２、６４に記憶する補正データは正弦波生成回路５８および余弦波生成回路６０が出力する偏向データを予測して補正するものであり、クロック信号に基づいて所定の補正データを出力する。
【００４５】
正弦波生成回路５８が出力するＸ偏向データには、補正データ出力手段６２が出力するＸ補正データが加算器６６で加算される。同様に余弦波生成回路６０の出力であるＹ偏向データには、補正データ出力手段６４が出力するＹ補正データが加算器６８で加算される。
【００４６】
７０、７２は電圧制御発振器（ＶＣＯ）であり、加算器６６、６８の出力の電圧変化に対応して周波数が変化する周波数変調信号Ｆ（Ｆｘ、Ｆｘ）を出力する。この信号Ｆは、それぞれ別々に増幅器（ＡＭＰ）７４、７６で増幅された後、対応するＡＯＤに導かれレーザビームをＸ方向およびＹ方向に偏向させる。ここに増幅器７４、７６は、ＶＣＯ７０、７２とＡＯＤとの周波数特性の補正も同時に行う。
【００４７】
７８は２値画像信号生成回路であり、図示しない画像処理回路から入力される画像信号に基づいて、３本のレーザビームＬで記録する３本の主走査線を書込むための２値画像信号を出力する。これらの２値画像信号はレーザダイオード５０（５０ａ、５０ｂ，５０ｃ）に入力される。この結果各レーザダイオード５０は、２値画像信号がオンの時にレーザビームを射出し、各ＡＯＤは、レーザビームＬの一次回折光をＸ、Ｙ両方向に偏向させる。この結果記録シートＳには図３に示すような直線状の３本の主走査線を等間隔に記録させることができる。
【００４８】
【発明の効果】
請求項１の発明は以上のように、音響光学偏向素子からなる２次元光偏向素子を一方向に偏向駆動した時に他方向への偏向が生じる場合に、この他方向への偏向を打ち消すための補正データをルックアップテーブルから出力して偏向データに付加することにより、他方向への不必要な偏向が生じるのを防ぐものであるから、走査線のひずみを除去し高精度な偏向制御が可能になり、画質の向上が可能になる。
【００４９】
この場合に走査光学系に起因する光ビームの変動を補正するための偏向データを偏向データ出力手段に記憶させ、光偏向素子の一方向への偏向駆動に伴って他方向に発生する偏向を打消すための補正データをルックアップテーブルからなる補正データ出力手段に記憶させたから、これら偏向データと補正データとを別々に求めて容易に設定することが可能になる。
【００５０】
また２次元光偏向素子に固有な補正データは、通常経時的変化をほとんど考慮する必要がないから、走査光学系の経時的変化に対して偏向データだけを経時的に修正すればよい。このため偏向データの修正が容易になる。
【００５１】
偏向データは、例えば２次元光偏向素子の偏向を一定に固定した状態で走査光学系だけを作動させることにより得た走査線に基づいて、容易に求めることができる（請求項２）。すなわちこの走査線の湾曲の振幅や主走査方向の走査速度の変化などに基づき、求めることができる。
【００５２】
２次元光偏向素子は、光ビームに略直交する軸を中心にして揺動するミラーで構成することもできる（請求項４）。請求項３，５の発明によれば、この補正装置を備えた円筒内面走査型画像記録装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施態様を示す図
【図２】補正データの求め方を説明する図
【図３】他の実施態様を示す図
【図４】その制御手段を示す図
【符号の説明】
１０  光源
１４  ２次元光偏向素子としてのＡＯＤ
２４  走査線
３０  光偏向装置
３２、３４、６６、６８  加算器
５０  レーザダイオード
５２  光学系
５４  制御手段
５８  偏向データ出力手段としての正弦波生成回路
６０  偏向データ出力手段としての余弦波生成回路
６２、６４  補正データ出力手段
ＬＵＴ１、ＬＵＴ５  補正データ出力手段としてのルックアップテーブル
ＬＵＴ２、ＬＵＴ６  偏向データ出力手段としてのルックアップテーブル
【図１】
0003685350.tif 000002
【図２】
0003685350.tif 000003
【図３】
0003685350.tif 000004
【図４】
0003685350.tif 000005