(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光部と、
この発光部から照射された光線をＭ系列情報に従って透過・遮光させる回転角度検出用のＭ系列トラックと、このＭ系列トラックを透過した光線による出力信号から正規の出力信号を選択するために使用されるトラックであって光線の透過部及び遮光部が交互に配置されたＭ系列信号選択用トラックとを有し、かつ、回転角度の検出対象である回転体の軸を中心として回転する回転スリット板と、
前記発光部から照射されて前記Ｍ系列トラック及びＭ系列信号選択用トラックを透過した光線を受光する受光部と、
を備えたアブソリュートエンコーダにおいて、
前記受光部は、
前記Ｍ系列トラックと対向する位置に配置され、かつ、それぞれが複数個の受光素子からなる２つのＭ系列検出用受光素子群と、
前記Ｍ系列信号選択用トラックと対向する位置に配置され、かつ、それぞれが複数個の受光素子からなる２つのＭ系列信号選択用受光素子群と、
前記Ｍ系列検出用受光素子群を構成する各受光素子を流れる光電流をそれぞれ増幅する複数の増幅素子と、
を備え、２つのＭ系列検出用受光素子群を構成する各受光素子どうし、及びこれらの受光素子に接続された各増幅素子どうしをそれぞれ千鳥状に配置したことを特徴とするアブソリュートエンコーダ。
【請求項２】
請求項１記載のアブソリュートエンコーダにおいて、
前記回転体の軸から外周部に向かう方向に沿って、前記Ｍ系列信号選択用受光素子群、Ｍ系列検出用受光素子群、及び複数の増幅素子を順次配置したことを特徴とするアブソリュートエンコーダ。
【請求項３】
請求項１または２記載のアブソリュートエンコーダにおいて、
前記増幅素子を前記受光部内にモノリシックにて形成したことを特徴とするアブソリュートエンコーダ。
【請求項４】
請求項１，２または３記載のアブソリュートエンコーダにおいて、
前記２つのＭ系列検出用受光素子群を円周方向に沿って二列並べて配置し、また、２つのＭ系列信号選択用受光素子群を円周方向に沿って一列に並べて配置することを特徴とするアブソリュートエンコーダ。
【請求項５】
請求項１，２，３または４記載のアブソリュートエンコーダにおいて、
前記回転スリット板を透過した光が複数の増幅素子に当たらないようにこれらの増幅素子を遮光することを特徴とするアブソリュートエンコーダ。
【請求項６】
請求項５記載のアブソリュートエンコーダにおいて、
前記回転スリット板に一連の遮光トラックを形成することを特徴とするアブソリュートエンコーダ。
【請求項７】
請求項５記載のアブソリュートエンコーダにおいて、
前記増幅素子が形成されている領域を含む前記受光素子の光不感帯領域を、蒸着膜により遮光したことを特徴とするアブソリュートエンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転体の回転角度を絶対量として検出するための光学式アブソリュートエンコーダに関し、特に受光部の構成に特徴を有するアブソリュートエンコーダに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図７は、従来のｎビットＭ系列アブソリュートエンコーダの概略的な構成を示している。ここで、ｎビットのＭ系列とは、１回転あたり２n個の１，０情報（コード）の組み合わせからなる簡単な規則によって作られる確定的系列である。このＭ系列は、外観上、不規則な系列にも見えるが、この系列の特定位置から連続するｎ個の１，０コードは、この系列内で１つしか存在しないため、この系列は２n個の重複しない情報を持っている。
本明細書におけるエンコーダのＭ系列トラック（回転角度検出用トラック）とは、このＭ系列の「１」を光線の透過部、「０」を遮光部とする２ｎ個の明暗格子を回転スリット板の外周部に設けたものである。
【０００３】
図７において、中空軸５の一端には、ｎビットのＭ系列トラックと光線を透過・遮光させる透過領域・遮光領域を一定ピッチで交互に配置したトラック（後述するＭ系列信号選択トラック）とを有する回転スリット板６が取り付けられている。回転スリット板６の上記両トラックを照明できる位置には、発光部としてのＬＥＤ２がエンコーダケース１内に配置されており、回転スリット板６を介した反対側には受光部５６が配置されている。また、この受光部５６はプリント板８に実装されている。
なお、３，４は、詳述しないが回転体の回転数を検出するためのコイル、５００は後述する固定スリット板である。
【０００４】
図８は、上記受光部５６の構成を示しており、受光部５６を回転スリット板６側から見た状態の図である。この図の下方向（矢印２００）はエンコーダの内周側（回転スリット板６の回転軸側）、上方向（矢印２０１）はエンコーダの外周側（回転スリット板６の外周縁側）、左右方向（矢印２０２）はエンコーダの円周方向（回転スリット板６の回転方向）である。
また、斜線を付した部分は受光素子としてのフォトダイオード２１〜３４であり、それ以外の領域は図７に示した固定スリット板５００によって遮光される。
【０００５】
受光部５６の全体構成を述べると、受光部５６は、それぞれが電気的に独立している、例えば４ビットの８個のＭ系列検出用フォトダイオード２１〜２８と、６個のＭ系列信号選択用フォトダイオード２９〜３４とを有している。
【０００６】
Ｍ系列検出用フォトダイオード２１〜２８は、上下各４個のフォトダイオード群から構成されており、ここでは、便宜上、図８の上側（外周側）のフォトダイオード２１〜２４をＡ群１１０、下側（内周側）のフォトダイオード２５〜２８をＢ群１１１ということにする。
フォトダイオード２１〜２４及び２５〜２８のそれぞれのピッチ１２０は、機械角で３６０／ｘ〔Deg〕であり、ｎビットのアブソリュートエンコーダの場合、ｘ＝２nである。また、１ピッチ１２０を電気角で３６０〔Deg〕とすると、Ａ群１１０とＢ群１１１との位相差１２１は電気角で１８０〔Deg〕である。
【０００７】
Ｍ系列信号選択用フォトダイオード２９〜３４は、Ｍ系列検出用フォトダイオード２１〜２８の内側に配置されており、図８の左側３個のフォトダイオード２９〜３１からなるＡ’群１１２と、右側３個のフォトダイオード３２〜３４からなるＢ’群１１３とから構成される。
フォトダイオード２９〜３１及び３２〜３４のそれぞれのピッチ１２２は、機械角で３６０／ｘ〔Deg〕であり、上記１ピッチ１２２を電気角で３６０〔Deg〕とすると、Ａ’群１１２とＢ’群１１３との位相差１２３は電気角で９０〔Deg〕である。
また、Ｍ系列検出用フォトダイオード２１〜２４からなるＡ群１１０とＭ系列信号選択用フォトダイオード２９〜３１からなるＡ’群１１２とは、適当な位相差にて配置されている。
【０００８】
図９は、上記受光部５６及びその周辺部品の回路構成図である。
まず、すべてのフォトダイオード２１〜３４のカソードは電源端子Ｖccに接続されている。Ｍ系列検出用フォトダイオード２１〜２８のアノードは電流電圧信号変換用抵抗７１〜７８を介してそれぞれグランドに接続されている。また、抵抗７１〜７８のフォトダイオード２１〜２８側の各一端はコンパレータ７９を介してＣＰＵ１００に接続されており、コンパレータ７９の出力である１または０の信号がＣＰＵ１００に取り込まれるように構成されている。
【０００９】
Ｍ系列信号選択用フォトダイオード２９〜３１のアノードは一括して接続され、電流電圧信号変換用抵抗８１を介してグランドに接続されていると共に、抵抗８１のフォトダイオード２９〜３１側の一端はＣＰＵ１００内のＡ／Ｄ変換器（図示せず）に接続されている。
同様に、Ｍ系列信号選択用フォトダイオード３２〜３４のアノードは一括して接続され、電流電圧信号変換用抵抗８２を介してグランドに接続されていると共に、フォトダイオード３２〜３４側の抵抗８２の一端はＣＰＵ１００内のＡ／Ｄ変換器（図示せず）に接続されている。
【００１０】
次に、この従来技術の動作原理を説明する。
図７に示したように、ＬＥＤ２から照射された光線は、回転スリット板６のＭ系列トラック及びＭ系列信号選択トラックを透過した後、固定スリット板５００を介して受光部５６に到達する。
受光部５６内で図９のＭ系列検出用フォトダイオード２１〜２８に到達した光線は、それぞれ受光光量に対応する大きさの光電流に変換され、各フォトダイオード２１〜２８のアノード側の電流電圧信号変換用抵抗７１〜７８により電流／電圧変換され、コンパレータ７９を介しＡ群１１０、Ｂ群１１１のＭ系列信号としてＣＰＵ１００に取り込まれる。
【００１１】
他方、Ｍ系列信号選択用フォトダイオード２９〜３４に到達した光線は、同様に光電流に変換された後、電流電圧信号変換用抵抗８１，８２により電流／電圧変換され、ＣＰＵ１００内のＡ／Ｄ変換器を介しＡ’群１１２、Ｂ’群１１３の選択用信号としてＣＰＵ１００に取り込まれる。
【００１２】
図１０に、回転スリット板６のＭ系列トラック３００及びＭ系列信号選択用トラック３０１と受光部５６との関係を示す。この図は、図７における矢印Ｃ方向から回転スリット板６及び受光部５６を見た図に相当する。
図１０において、Ｍ系列トラック３００内の網掛けされた領域は遮光領域３０２であり、それ以外は透過領域３０３である。前記遮光領域３０２に覆われたフォトダイオードはＬＥＤ２からの照射光を受光することができない。
同様にして、Ｍ系列信号選択用トラック３０１内の網掛けされた領域は遮光領域３０４であり、それ以外は透過領域３０５である。
【００１３】
例えば、図１０に示すように、Ｂ群１１１のＭ系列検出用フォトダイオード２５〜２８をＭ系列トラック３００の遮光領域３０２がほぼ半分遮光している場合、これらのフォトダイオード２５〜２８は光線が透過しているのか遮光されているのか判定ミスを起こす恐れがある。
これに対しＡ群１１０では、Ｍ系列検出用フォトダイオード２１は完全に遮光、フォトダイオード２２は完全に透過、フォトダイオード２３は完全に遮光、フォトダイオード２４は完全に透過状態であり、すべてのフォトダイオード２１〜２４において完全に遮光か透過かの何れかである。
このため、図１０の例では、Ａ群１１０のＭ系列検出用フォトダイオード２１〜２４の出力信号を正しいＭ系列信号として処理すれば、回転角度を誤検出することはない。
【００１４】
ここで、Ａ群１１０のＭ系列検出用フォトダイオード２１〜２４の出力信号を正しいＭ系列信号として検出するためには、例えば、図１０に示すごとく、Ｂ’群１１３のＭ系列信号選択用フォトダイオード３２〜３４が完全に遮光されているタイミングにて、Ａ群１１０のＭ系列検出用フォトダイオード２１〜２４の出力信号を正しいＭ系列信号であるとＣＰＵ１００が認識すればよい。
すなわち、Ｂ’群１１３のＭ系列信号選択用フォトダイオード３２〜３４の出力信号がＡ’群１１２のＭ系列信号選択用フォトダイオード２９〜３１の出力信号よりも小さいとき、ＣＰＵ１００はＡ群１１０のＭ系列検出用フォトダイオード２１〜２４の出力信号を正しいＭ系列信号として選択すればよい。
【００１５】
次に、図１１は、図１０の状態から回転スリット板６が右方向に若干移動した状態を示している。
このとき、図１０とは逆に、Ｂ群１１１のＭ系列検出用フォトダイオード２５〜２８は完全に遮光か透過かの何れかの状態になる。その際、Ｂ’群１１３のＭ系列信号選択用フォトダイオード３２〜３４は完全に透過の状態になる。
このことから、例えばＢ’群１１３のＭ系列信号選択用フォトダイオード３２〜３４の出力信号がＡ’群１１２のＭ系列信号選択用フォトダイオード２９〜３１の出力信号よりも大きいとき、ＣＰＵ１００はＢ群１１１のＭ系列検出用フォトダイオード２５〜２８の出力信号を正しいＭ系列信号として選択すればよい。
【００１６】
そしてＣＰＵ１００は、正しいと認識したＭ系列信号を、メモリに予め格納された変換テーブルにより角度情報に変換して出力する。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術において、アブソリュートエンコーダの小形化、高分解能化には、フォトダイオードの面積を小さくする必要があるが、面積を小さくすると得られる光電流が小さくなる。このため、Ｍ系列信号をＣＰＵに取り込むことができるように、数ＭΩ以上の電流電圧信号変換用抵抗を使用しなければならなくなり、回路の信頼性、応答性、Ｓ／Ｎ比が著しく低下するという問題があった。
【００１８】
そこで本発明は、電流電圧信号変換用抵抗を大きくすることなく、十分に大きな光電流を得ることができるアブソリュートエンコーダを提供しようとするものである。
【００２０】
【解決を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、発光部と、
この発光部から照射された光線をＭ系列情報に従って透過・遮光させる回転角度検出用のＭ系列トラックと、このＭ系列トラックを透過した光線による出力信号から正規の出力信号を選択するために使用されるトラックであって光線の透過部及び遮光部が交互に配置されたＭ系列信号選択用トラックとを有し、かつ、回転角度の検出対象である回転体の軸を中心として回転する回転スリット板と、
前記発光部から照射されて前記Ｍ系列トラック及びＭ系列信号選択用トラックを透過した光線を受光する受光部と、
を備えたアブソリュートエンコーダにおいて、
前記受光部は、
前記Ｍ系列トラックと対向する位置に配置され、かつ、それぞれが複数個の受光素子からなる２つのＭ系列検出用受光素子群と、
前記Ｍ系列信号選択用トラックと対向する位置に配置され、かつ、それぞれが複数個の受光素子からなる２つのＭ系列信号選択用受光素子群と、
前記Ｍ系列検出用受光素子群を構成する各受光素子を流れる光電流をそれぞれ増幅する複数の増幅素子と、
を備え、２つのＭ系列検出用受光素子群を構成する各受光素子どうし、及びこれらの受光素子に接続された各増幅素子どうしをそれぞれ千鳥状に配置したものである。
【００２１】
なお、請求項２に記載するように、前記回転体の軸から外周部に向かう方向に沿って、前記Ｍ系列信号選択用受光素子群、Ｍ系列検出用受光素子群、及び複数の増幅素子を順次配置したものである。さらに、これら増幅素子は、請求項３に記載するように、前記増幅素子を前記受光部内にモノリシックにて形成したものである。
【００２２】
また、請求項４に記載するように、前記２つのＭ系列検出用受光素子群を円周方向に沿って二列並べて配置し、また、２つのＭ系列信号選択用受光素子群を円周方向に沿って一列に並べて配置すると良い。
【００２３】
更に、請求項５に記載するように、前記回転スリット板を透過した光が複数の増幅素子に当たらないようにこれらの増幅素子を遮光することが望ましい。
その具体的方法としては、請求項６に記載するごとく、前記回転スリット板に一連の遮光トラックを形成したり、請求項７に記載するごとく、前記増幅素子が形成されている領域を含む前記受光素子の光不感帯領域を、アルミニウム等の蒸着膜により遮光すると良い。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、図に沿って本発明の第１実施形態を説明する。なお、この実施形態も４ビットのＭ系列アブソリュートエンコーダに関するものであり、従来技術と同一の構成要素には同一の参照符号を付すこととする。
【００２５】
図１は前述の図８に相当する受光部５６Ａの構成図であり、図の下方向（矢印２００）はエンコーダの内周側、上方向（矢印２０１）はエンコーダの外周側、左右方向（矢印２０２）はエンコーダの円周方向である。
また、斜線を付した部分は前記同様に受光素子としてのフォトダイオード２１〜３４であり、それ以外の領域は固定スリット板５００（後述する図３を参照）によって遮光されている。
【００２６】
前述のごとく、受光部５６Ａは、それぞれが電気的に独立した、例えば４ビットの８個のＭ系列検出用フォトダイオード２１〜２８と、６個のＭ系列信号選択用フォトダイオード２９〜３４とを有している。
Ｍ系列検出用フォトダイオード２１〜２８は、図１の上側（外周側）のフォトダイオード２１〜２４からなるＡ群１１０と、下側（内周側）のフォトダイオード２５〜２８からなるＢ群１１１とに分けられる。なお、フォトダイオード２１〜２８はいわゆる千鳥状に配置されている。
【００２７】
フォトダイオード２１〜２４及び２５〜２８のそれぞれのピッチ１２０は、機械角で３６０／ｘ〔Deg〕であり、ｎビットのアブソリュートエンコーダの場合、ｘ＝２nである。また、１ピッチ１２０を電気角で３６０〔Deg〕とすると、Ａ群１１０とＢ群１１１との位相差１２１は電気角で１８０〔Deg〕である。
【００２８】
Ｍ系列信号選択用フォトダイオード２９〜３４は、Ｍ系列検出用フォトダイオード２１〜２８の内側に配置されており、図１の左側３個のフォトダイオード２９〜３１からなるＡ’群１１２と、右側３個のフォトダイオード３２〜３４からなるＢ’群１１３とに分けられる。
フォトダイオード２９〜３１及び３２〜３４のそれぞれのピッチ１２２は、機械角で３６０／ｘ〔Deg〕であり、上記１ピッチ１２２を電気角で３６０〔Deg〕とすると、Ａ’群１１２とＢ’群１１３との位相差１２３は電気角で９０〔Deg〕である。
また、上記Ａ群１１０とＡ’群１１２とは、適当な位相差にて配置されている。
【００２９】
さて、この実施形態では、受光部５６Ａ内の前記Ａ群１１０の外側に位置するほぼ扇形の領域５５に、モノリシックにてトランジスタ６１〜６８が互いに千鳥状に配置、形成されており、これらのトランジスタ６１〜６８はＭ系列検出用フォトダイオード２１〜２８のアノード（図１には示されていない）にそれぞれ接続されている。図示されていない回転スリット板には、トランジスタ６１〜６８に光が当たらないように遮光用塗料を塗布してなる一連の遮光トラック（後述する図４、図５参照）が形成されている。
【００３０】
図２は、図１の受光部５６Ａ及びその周辺回路の説明図である。図９と異なるのは、前述したトランジスタ６１〜６８がＭ系列検出用フォトダイオード２１〜２８に接続されている点であり、その他は図９と同一である。トランジスタ６１〜６８の接続状態を具体的に述べると、各トランジスタ６１〜６８のベースがフォトダイオード２１〜２８のアノードに接続され、コレクタが電源端子Ｖccに接続されているとともに、エミッタが電流電圧信号変換用抵抗７１〜７８の各一端に接続されている。
【００３１】
なお、電流電圧信号変換用抵抗７１〜７８には図９と同一の参照符号を用いているが、トランジスタ６１〜６８の電流増幅作用によりフォトダイオード２１〜２８を流れる光電流を増幅して抵抗７１〜７８に流すことができ、言い替えれば抵抗値を同じとした時にコンパレータ７９に入力される電圧を大きくできるため、抵抗７１〜７８の値は図９に比べて遥かに小さくて良い。
【００３２】
図３は本実施形態のアブソリュートエンコーダの全体構成を概略的に示したもので、トランジスタ６１〜６８を備えた受光部５６Ａ及び遮光トラックを備えた回転スリット板６Ａ以外は、実質的に図７と同一の構成である。
【００３３】
次に、この実施形態の動作原理を略述すると、図２のＭ系列検出用フォトダイオード２１〜２８に到達した光線は、それぞれ受光光量に対応する大きさの光電流に変換され、ベース電流として各トランジスタ６１〜６８に流れる。この光電流はトランジスタ６１〜６８により増幅されて電流電圧信号変換用抵抗７１〜７８を流れることにより電流／電圧変換され、コンパレータ７９を介しＡ群１１０、Ｂ群１１１のＭ系列信号としてＣＰＵ１００に取り込まれる。
【００３４】
他方、Ｍ系列信号選択用フォトダイオード２９〜３４に到達した光線は、光電流に変換された後、そのまま電流電圧信号変換用抵抗８１，８２により電流／電圧変換されてＡ’群１１２、Ｂ’群１１３のＭ系列選択用信号としてＣＰＵ１００のＡ／Ｄ変換器に取り込まれる。
【００３５】
図４、図５は、従来技術として述べた図１０、図１１に対応するもので、回転スリット板６ＡのＭ系列トラック３００及びＭ系列信号選択用トラック３０１と受光部５６Ａとの関係を示している。
なお、図４、図５における６００はトランジスタ６１〜６８を遮光するための一連の遮光トラックである。
ここで、トランジスタ６１〜６８を遮光するのは、光線の照射により各トランジスタ６１〜６８内部の接合部に電子正孔対が形成されて電流が流れるのを防止するためである。
【００３６】
この実施形態における回転角度検出原理は図１０、図１１と同様であり、重複を避けるために詳述はしないが、例えば図４の状態では、Ｂ’群１１３のＭ系列信号選択用フォトダイオード３２〜３４の出力信号がＡ’群１１２のＭ系列信号選択用フォトダイオード２９〜３１の出力信号よりも小さいとき、ＣＰＵ１００はＡ群１１０のＭ系列検出用フォトダイオード２１〜２４の出力信号を正しいＭ系列信号として選択する。
【００３７】
また、回転スリット板６Ａが図４の場合よりも右方向に移動した図５の状態では、Ｂ’群１１３のＭ系列信号選択用フォトダイオード３２〜３４の出力信号がＡ’群１１２のＭ系列信号選択用フォトダイオード２９〜３１の出力信号よりも大きいとき、ＣＰＵ１００はＢ群１１１のＭ系列検出用フォトダイオード２５〜２８の出力信号を正しいＭ系列信号として選択する。
【００３８】
そしてＣＰＵ１００は、正しいと認識したＭ系列信号を、メモリに予め格納された変換テーブルにより角度情報に変換して出力する。
【００３９】
次いで、図６は本発明の第２実施形態を示すものである。
この実施形態では、受光部５６Ａの表面（回転スリット板６Ａ側）に形成したアルミニウム等の蒸着膜５０１により、第１実施形態における固定スリット板５００及び回転スリット板６Ａ上の遮光トラック６００の作用を果たさせたものである。
【００４０】
すなわち、この蒸着膜５０１により、受光部５６Ａの表面におけるフォトダイオード２１〜３４以外の光不感帯領域（トランジスタ６１〜６８が形成されている領域も含む）を覆うことにより、固定スリット板５００及び遮光トラック６００の両方の機能を果たすことができる。なお、その他の構造並びに回転角度の検出原理は第１実施形態と同様である。
【００４１】
上記各実施形態において、Ｍ系列信号選択用フォトダイオード２９〜３４の代わりに、Ａ群１１０，Ｂ群１１１のＭ系列検出用フォトダイオード２１〜２８の出力信号を加工して電気角で９０〔Deg〕の位相差を持つ信号を得ても良い。
また、Ｍ系列のビット数は、上記実施形態における４に限定されないことは言うまでもない。
【００４２】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、電流電圧信号変換用の抵抗を大きくしなくても十分に大きな光電流を得ることができ、回転角度の検出に当たって信頼性、応答性、Ｓ／Ｎ比の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態を示す受光部の構成図である。
【図２】図１の受光部及びその周辺回路の説明図である。
【図３】本発明の第１実施形態を備えたアブソリュートエンコーダの概略構成図である。
【図４】本発明の第１実施形態における回転スリット板と受光部との位置関係の説明図である。
【図５】本発明の第１実施形態における回転スリット板と受光部との位置関係の説明図である。
【図６】本発明の第２実施形態を備えたアブソリュートエンコーダの概略構成図である。
【図７】従来技術の受光部を備えたアブソリュートエンコーダの概略構成図である。
【図８】従来技術を示す受光部の構成図である。
【図９】図７の受光部及びその周辺回路の説明図である。
【図１０】従来技術における回転スリット板と受光部との位置関係の説明図である。
【図１１】従来技術における回転スリット板と受光部との位置関係の説明図である。
【符号の説明】
１  エンコーダケース
２  ＬＥＤ
３，４  コイル
５  中空軸
６Ａ  回転スリット板
８  プリント板
２１〜２８  Ｍ系列検出用フォトダイオード
２９〜３４  Ｍ系列信号選択用フォトダイオード
５５  領域
５６Ａ  受光部
６１〜６８  トランジスタ
７１〜７８，８１，８２  電流電圧信号変換用抵抗
７９  コンパレータ
１００  ＣＰＵ
１１０  Ａ群
１１１  Ｂ群
１１２  Ａ’群
１１３  Ｂ’群
１２０，１２２  ピッチ
１２１，１２３  位相差
３００  Ｍ系列トラック
３０１  Ｍ系列信号選択用トラック
３０２，３０４  遮光領域
３０３，３０５  透過領域
５００  固定スリット板
６００  遮光トラック
【図１】
0003659029.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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