(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に樹脂が露出する微小粒子の表面にアルカリ溶液を接触させ、前記微小粒子の表面を親水化する親水化処理工程と、
親水化された前記微小粒子の表面に金属被膜を形成する被膜形成工程とを有し、
前記親水化処理工程の際には、前記微小粒子の表面にウレタン結合を有するアクリル樹脂を露出させておく導電性粒子の製造方法。
【請求項２】
前記ウレタン結合を有するアクリル樹脂の樹脂材料として、ウレタン結合を有する第一の（メタ）アクリレートと、ウレタン結合を有しない第二の（メタ）アクリレートとを用い、前記第一、第二の（メタ）アクリレートを重合させて前記微小粒子を形成する微小粒子の形成工程を有する請求項１記載の導電性粒子の製造方法。
【請求項３】
前記微小粒子形成工程は、前記第一、第二の（メタ）アクリレートを有する処理液を、前記処理液に対して親和性の低い媒体液に分散させて前記処理液の液滴を形成し、前記第一、第二の（メタ）アクリレートの重合によって前記液滴を硬化させ、前記微小粒子を形成する請求項２記載の導電性粒子の製造方法。
【請求項４】
前記被膜形成工程は、前記微小粒子を金属塩が溶解した無電解めっき溶液に浸漬し、前記微小粒子表面に前記金属塩中の金属を析出させ、前記金属被膜を形成する請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の導電性粒子の製造方法。
【請求項５】
前記金属塩としてニッケル塩を用い、ニッケルを主成分とする金属被膜を形成する請求項４記載の導電性粒子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は異方導電性接着剤の技術に関し、特に、異方導電性接着剤に含有される導電性粒子を製造する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の導電性粒子には、樹脂粒子の表面に導電性層が形成されたものがある（例えば、特許文献１）。
【０００３】
樹脂粒子を構成する樹脂には、ベンゾグアナミン、ジビニルベンゼン等が用いられているが、これらの樹脂は柔軟性が低いので、樹脂粒子の表面に導電層を形成して導電性粒子とした場合、該導電性粒子が接続端子に挟まれたときの変形量が小さく、接続端子と導電性粒子との接触面積が小さくなり、結果として端子間の接続信頼性が低くなってしまう。
【０００４】
（メタ）アクリレートのモノマーやオリゴマーを重合させて形成されるアクリル樹脂粒子は、上述した樹脂に比べて柔軟性が高いので、変形量が大きい導電性粒子を得ることができる。しかし、そのようなアクリル樹脂粒子は金属被膜のような導電層との接着性が低いので、導電性粒子を接着剤に分散させる工程で、導電層が樹脂粒子が剥がれることがある。
【０００５】
樹脂粒子に導電層を形成する前に、エッチング等の処理によって樹脂粒子の表面を粗雑化し、導電層との密着性を高くする方法がある（例えば、特許文献２、３参照。）。しかし、このような粗雑化方法では、上述したアクリル樹脂粒子は粗雑化されず、また、アクリル樹脂粒子が粗雑化されるほどの強い条件でエッチングを行うと、樹脂粒子の特性に影響が生じる場合がある。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１１−７３８１７（第４頁、右欄）
【特許文献２】
特開昭５５−７９８７１号公報（第２頁、左上欄）
【特許文献３】
特公平６−８９０６９号公報（第３頁、左欄）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、樹脂材料として（メタ）アクリレートを用いた柔軟性の高い微小粒子に、密着性が高い金属被膜を形成することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
親水基を多く有する樹脂は金属との密着性が高いので、樹脂材料として親水基を多く有するモノマーを用いて樹脂粒子を作製すれば、金属被膜との密着性が高くなると考えられる。
【０００９】
しかし、モノマーを媒体液に分散させて縣濁液を作製し、該縣濁液中のモノマーの液滴を重合させる縣濁重合法により樹脂粒子を作成する場合、モノマーが親水基を多く有すると、均一な縣濁液が得られず、得られる樹脂粒子の粒径が極端に不揃いになるという欠点がある。
【００１０】
本発明者等が更に検討を行った結果、樹脂材料としてウレタン（メタ）アクリレートのように親水性の低いモノマーを用い、粒径の揃った樹脂粒子を作製した後、その樹脂粒子の表面にアルカリ溶液を接触させれば、樹脂粒子の表面が親水化されるので、柔軟性が高く、かつ、金属被膜との密着性が高い樹脂粒子が得られることが分かった。
【００１１】
かかる知見にもとづいてなされた請求項１記載の発明は、表面に樹脂が露出する微小粒子の表面にアルカリ溶液を接触させ、前記微小粒子の表面を親水化する親水化処理工程と、親水化された前記微小粒子の表面に金属被膜を形成する被膜形成工程とを有し、前記親水化処理工程の際には、前記微小粒子の表面にウレタン結合を有するアクリル樹脂を露出させておく導電性粒子の製造方法である。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の導電性粒子の製造方法であって、前記ウレタン結合を有するアクリル樹脂の樹脂材料として、ウレタン結合を有する第一の（メタ）アクリレートと、ウレタン結合を有しない第二の（メタ）アクリレートとを用い、前記第一、第二の（メタ）アクリレートを重合させて前記微小粒子を形成する微小粒子の形成工程を有する導電性粒子の製造方法である。
請求項３記載の発明は、請求項２記載の導電性粒子の製造方法であって、前記微小粒子形成工程は、前記第一、第二の（メタ）アクリレートを有する処理液を、前記処理液に対して親和性の低い媒体液に分散させて前記処理液の液滴を形成し、前記第一、第二の（メタ）アクリレートの重合によって前記液滴を硬化させ、前記微小粒子を形成する導電性粒子の製造方法である。
請求項４記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の導電性粒子の製造方法であって、前記被膜形成工程は、前記微小粒子を金属塩が溶解した無電解めっき溶液に浸漬し、前記微小粒子表面に前記金属塩中の金属を析出させ、前記金属被膜を形成する導電性粒子の製造方法である。
請求項５記載の発明は、請求項４記載の導電性粒子の製造方法であって、前記金属塩としてニッケル塩を用い、ニッケルを主成分とする金属被膜を形成する導電性粒子の製造方法である。
【００１２】
尚、本発明で（メタ）アクリレートとは、メタクリレートとアクリレートの両方を意味する。
本発明は上記のように構成されており、ウレタン結合を有するアクリル樹脂を例として親水化処理工程を説明すると、微小粒子表面のアクリル樹脂にアルカリが接触することで、アクリル樹脂中のウレタン結合が加水分解される。
【００１３】
アクリル樹脂中のウレタン結合が加水分解されると、微小粒子の表面にカルボキシル基のような親水基が形成される。即ち、本発明の導電性粒子の製造方法では、微小粒子の表面に露出する樹脂を加水分解することで親水基が形成され、微小粒子の表面が親水化する。
【００１４】
特に、無電解めっき法により、ニッケル等の金属被膜を親水化処理された微小粒子の表面に形成すると、金属被膜と微小粒子との密着力が高い導電性粒子が得られる。
そのような導電性粒子を接着性樹脂を含有する接着材料に分散して異方導電性接着剤を作製し、配線板等の接続端子を該異方導電性接着剤を用いて接続して電気装置を作製する場合、導電性粒子が接続端子間に挟まれて変形しても金属被膜が微小粒子から剥がれ難いので、導通信頼性の高い電気装置が得られる。
【００１５】
本発明に用いる微小粒子は、ウレタン結合を有する第一の（メタ）アクリレート、即ち、ウレタン（メタ）アクリレートを単独重合させて構成することもできるが、処理液をウレタン（メタ）アクリレートのみで構成すると処理液の粘度が高くなりすぎ、乳化が困難になる。
【００１６】
従って、縣濁重合法、特に膜乳化法により微小粒子を形成する場合には、第一の（メタ）アクリレートに、ウレタン（メタ）アクリレート以外のアクリレートである第二の（メタ）アクリレートを添加して処理液の粘度を調整すれば、液滴の粒径が均一になり、結果として粒径が均一な微小粒子を得ることができる。
【００１７】
導電性粒子を含有する異方性導電性接着剤で接続端子を接続する場合、導電性粒子の微小粒子は適度な柔軟性を有し、かつ適度な強度を有する必要がある。このような特性を考慮すると、微小粒子をアクリル樹脂で構成することが望ましい。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の導電性粒子の製造方法の一例について詳細に説明する。
図１の符号１０は微小粒子の製造工程に用いる微小粒子製造装置を示している。微小粒子製造装置１０は乳化槽２０と、媒体液タンク１１と、処理液タンク１２とを有している。
【００１９】
乳化槽２０は外筒２１と、外筒２１に隙間を持って挿入された内筒２２とを有しており、外筒２１と内筒２２の両端は蓋２７、２８によって液密に塞がれている。予め、処理液タンク１２には処理液が配置され、媒体液タンク１１には処理液との親和性が低い媒体液が配置されている。
【００２０】
媒体液タンク１１には循環ポンプが接続されており、循環ポンプを起動すると、媒体液タンク１１の媒体液が、内筒２２の内部空間２６に送られる。
他方、処理液タンク１２には窒素ガスボンベが接続されており、内筒２２はＳＰＧ（Ｓｈｉｒａｓｕ  Ｐｏｒｏｕｓ  Ｇｌａｓｓ）膜のような細孔を有する多孔質膜で構成されているので、該窒素ガスボンベから処理液タンク１２に窒素ガスを送ると、窒素ガスの圧力により処理液が処理液タンク１２から押し出され、外筒２１と内筒２２の間の空間２５に送られ、多孔質膜の細孔を通過し、内筒２２の内部空間２６を流れる媒体液中に注入されるように構成されている。
【００２１】
媒体液を処理液との親和性が低い液体で構成された場合は、媒体液中に注入された処理液は媒体液と混ざらず、液滴となって媒体液中に分散される。
処理液を媒体液に注入しながら、循環ポンプを動作させ、内部空間２６内を通過した媒体液を媒体液タンク１１に戻すと共に、戻った媒体液を再び内部空間２６内を通過させると、媒体液は液滴が増えながら循環するので、液滴の濃度が高くなる。
【００２２】
この微小粒子製造装置１０を用いて微小粒子を製造するには、先ず、処理液タンク１２に配置する処理液として重合可能な樹脂材料を用い、該処理液と親和性の低い媒体液を用い、上記のように処理液を媒体液に注入する。
【００２３】
図２は処理液を注入中の状態の乳化槽２０の断面図を示している。図２の符号３５は媒体液３１と液滴３３とからなる乳濁液を示している。内筒２２を構成する多孔質膜の細孔径は０．１〜２０μｍ程度であり、形成される液滴３３の径は細孔径の約３〜４倍程度になるので、液滴３３の平均粒径は０．３〜８０μｍ程度と小さくなる。
【００２４】
媒体液３１を循環させながら処理液３２の注入を続け、その液滴３３濃度が所定濃度に達したところで、媒体液３１の循環と処理液３２の注入を止め、乳濁液３５を乳化槽２０から取り出す。
【００２５】
ここでは、処理液３２を構成する樹脂材料は、ウレタン（メタ）アクリレートである第一の（メタ）アクリレートと、ウレタン（メタ）アクリレート以外のアクリレートである第二の（メタ）アクリレートとの混合物であるモノマー液に、重合開始剤が添加されて構成されており、乳濁液３５を所定温度に加熱すると、液滴３３中の第一、第二の（メタ）アクリレートが重合して液滴３３が硬化し、アクリル樹脂からなる微小粒子が形成される。
【００２６】
図３の符号３０はその微小粒子を示している。上述したように、液滴３３の粒径は０．３〜８０μｍ程度なので、形成される微小粒子の粒径も０．３〜８０μｍ程度になる。また、ＳＰＧ膜の細孔分布は非常に狭いので、微小粒子３０の粒径も均一になる。
次いで、微小粒子３０を媒体液３１からろ別し、ろ別した微小粒子３０を洗浄して媒体液を洗い流した後、乾燥し、微小粒子製造工程を終了する。
【００２７】
次に、上記工程で作製された微小粒子の表面を親水化する親水化工程について説明する。水酸化ナトリウムのようなアルカリを水に溶解させたアルカリ溶液を、予め所定温度に加熱しておき、所定重量の微小粒子３０を該アルカリ溶液に浸漬し、アルカリ溶液の温度を所定温度に維持しながら所定時間攪拌する。
【００２８】
ウレタン（メタ）アクリレートのウレタン結合は、第一、第二の（メタ）アクリレートが重合するときに化学的に変化しないので、微小粒子３０を構成するアクリル樹脂中にはウレタン結合が残っており、微小粒子３０がアルカリ溶液に浸漬されると、その表面に露出するアクリル樹脂のウレタン結合が加水分解され、微小粒子３０の表面にカルボキシル基のような親水基が形成される。
【００２９】
また、上述したようにウレタン結合は（メタ）アクリレートの重合反応に関与しておらず、ウレタン結合が加水分解されたとしても、親水化処理で微小粒子の物性が受ける影響が少ない。
【００３０】
次に、微小粒子３０をアルカリ溶液からろ別し、水洗した後、酸溶液に浸漬して微小粒子３０表面に付着したアルカリ溶液を中和させる。微小粒子３０を酸溶液からろ別し、水洗し、親水化工程を終了する。その状態では、微小粒子３０の表面には親水基が露出しているので、微小粒子３０の表面は親水化されている。
【００３１】
次に、親水化された微小粒子の表面に金属被膜を形成する工程について説明する。金属塩と、還元剤と、錯化剤とを水に溶解して無電解めっき溶液を作製しておき、親水化工程後の微小粒子３０に前処理を行った後、予め所定温度に加熱した無電解溶液中に浸漬し、その温度を所定温度に維持しなが所定時間攪拌すると、微小粒子３０の表面に金属が析出し、金属被膜が形成される。
【００３２】
金属被膜が所定膜厚まで成長したところで、微小粒子３０を無電解めっき溶液からろ別し、水洗して余分な無電解めっき溶液を洗い流すと、図４に示すような導電性粒子３７が得られる。この導電性粒子３７は、金属被膜３６を構成する金属が、微小粒子３０表面の親水基と結合しているため、金属被膜３６の付着力が非常に高くなっている。
【００３３】
次に、この導電性粒子３７を用いて異方導電性接着剤を製造する工程について説明する。熱硬化性樹脂であるエポキシ樹脂のような接着性樹脂と、該エポキシ樹脂を硬化させる硬化剤と、粘度を調整するための有機溶剤とを混合し、ペースト状の接着材料を作製する。
【００３４】
この接着材料に、上述した製造方法で製造された導電性粒子３７を分散させてペースト状の異方導電性接着剤を製造した後、該異方導電性接着剤をフィルム状に成形する。図５の符号３９はフィルム状に成形された異方導電性接着剤からなる接着フィルムを示しており、接着材料３８中に導電性粒子３７が分散されている。
【００３５】
次に、この接着フィルム３９を用いて電気装置を製造する工程について説明する。２枚の配線板４１、４５の間に上述した接着フィルム３９を配置し、図６（ａ）に示すように、配線板４１、４５の金属配線４３、４７が配置された面で接着フィルム３９を挟み込む。
【００３６】
その状態で配線板４１、４５を加熱押圧すると、加熱によって接着フィルム３９の接着材料３８が軟化し、押圧によって金属配線４３、４７が軟化した接着材料３８を押し退け、接着材料３８に分散された導電性粒子３７が金属配線４３、４７に挟み込まれる。
【００３７】
微小粒子３０を構成するアクリル樹脂は柔軟性が高いので、導電性粒子３７が金属配線４３、４７に挟み込まれた状態で押圧を続けると、押圧によって、微小粒子３０が変形することで導電性粒子３７全体が変形し、金属被膜３６と金属配線４３、４７との接触面積が大きくなる（図６（ｂ））。
【００３８】
上述したように、本発明により製造された導電性粒子３７では、金属被膜３６の微小粒子３０に対する付着性が高いので、導電性粒子３７が変形するときに、金属被膜３６が微小粒子３０から剥がれることがない。更に、加熱を続けると、導電性粒子３７が金属配線４３、４７に挟み込まれた状態で、熱硬化性樹脂が重合して接着材料３８が硬化し、配線板４１、４５が固定される。
【００３９】
図６（ｃ）の符号４０は硬化した接着材料４８によって２枚の配線板４１、４５が接続された電気装置を示している。この電気装置４０では硬化した接着材料４８によって配線板４１、４５が機械的に接続されただけではなく、導電性粒子３７を介して電気的にも接続されている。上述したように、本発明により製造された導電性粒子３７は、金属被膜３６が微小粒子３０から剥がれることがないので、電気装置４０の導通信頼性も高い。
【００４０】
【実施例】
ウレタンアクリレート（共栄社化学（株）社製の商品名「ＡＨ６００」）を加熱により重合させて、ウレタンアクリレートの重合物からなる樹脂フィルムを６枚作製し、それらの樹脂フィルムの水に対する接触角（°）を測定した。次に、各樹脂フィルムを２０重量％の水酸化ナトリウム水溶液に１０分間浸漬して親水化処理をし、親水化処理後の水に対する接触角（°）を測定した。
親水化処理する前の接触角（未処理）と、親水化処理後の接触角をそれぞれ下記表１に記載する。
【００４１】
【表１】
0003725859.tif 000002
【００４２】
上記表１に示すように、未処理の樹脂フィルムの接触角の平均は６０．２°であったのに対し、親水化処理後の樹脂フィルムの接触角の平均は４２．１°であった。水との接触角が小さいほど水に対する濡れ性が大きく、即ち親水性が高いことを示すので、上述した親水化処理により、樹脂の親水性が高くなることが確認された。
【００４３】
次に、本発明の導電性粒子の製造方法について更に詳細に説明する。
＜実施例１〜６＞
水１００重量部に対し、アニオン界面活性剤であるＳＤＢＳ（ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム）を０．０６重量部添加し、媒体液を作製した。
【００４４】
第一の（メタ）アクリレートとしてウレタンアクリレート▲１▼、▲２▼と、第二の（メタ）アクリレートとして多官能アクリレートである１,６−ＨＤＤＡ（１,６−ヘキサジオールジアクリレート）と、１，９−ＮＤＡ（１，９−ノナンジオールジアクリレート）とを下記表２の組成欄に示す割合で配合して疎水性のモノマー溶液を作製し、該モノマー溶液１００重量部に重合開始剤である２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を１重量部添加して処理液を作製した。
【００４５】
【表２】
0003725859.tif 000003
【００４６】
ウレタンアクリレート▲１▼、▲２▼をそれぞれ下記化学式（１）、（２）に示す。
【００４７】
【化１】
0003725859.tif 000004
【００４８】
【化２】
0003725859.tif 000005
【００４９】
ウレタンアクリレート▲１▼はウレタン結合を２つ有するアクリレートであり、その分子量は６１２である。ウレタンアクリレート▲２▼はウレタン結合を４つ有するアクリレートであり、その分子量は７６２である。
【００５０】
微小粒子製造工程は、多孔質膜として平均細孔径が１．２μｍのＳＰＧ膜を用い、上述した処理液を媒体液中に分散させた乳濁液１００重量部に、高分子分散安定剤であるポリビニルアルコールを０．５重量部添加した後、液滴３３中の処理液３２を硬化させた。
シースフロー電気抵抗式粒度分布測定装置（シスメックス（株）社製の商品名「ＳＤ−２０００」）を用いて測定した微小粒子３０の平均粒径（μｍ）を上記表２に記載した。
【００５１】
親水化工程は、アルカリ溶液として水酸化ナトリウムの５％水溶液を用い、アルカリ溶液の温度が８０℃の条件で、上記表２の「親水化時間」の欄に記載した時間攪拌し、１０ｇの微小粒子３０を親水化した。
被膜形成工程の前処理は、奥野製薬工業（株）社製の商品名「コンディライザーＳＰ」１０ｍｌを水１９０ｍｌに加えて表面処理液を作製しておき、親水化処理された微小粒子３０を表面処理液に浸漬して１０分間攪拌し、塩化パラジウム水溶液（０．７ｇ／ｌ）と塩酸水溶液（１５ｍｌ／ｌ）からなる触媒付与液６０ｍｌをその表面処理液に投入し、更に１０分間攪拌を続けた後、次亜りん酸ナトリウム水溶液４０ｍｌを投入し、３０分間攪拌した後、微小粒子３０をろ別し、水洗した。
【００５２】
被膜形成工程は、金属塩である硫酸ニッケルの水溶液（１８ｇ／ｌ）と、還元剤である次亜りん酸ナトリウムの水溶液（３２ｇ／ｌ）と、錯化剤である酒石酸ナトリウムの水溶液（１０ｇ／ｌ）とを混合した無電解めっき溶液（ｐＨ＝９．５）を用い、無電解めっき溶液の温度６５℃の条件で１０分間攪拌を行い、膜厚７０ｎｍのニッケル被膜からなる金属被膜３６を形成した。
実施例１〜６の製造方法で作製された導電性粒子３７を用い、下記に示す「付着力試験」を行った。
【００５３】
〔付着力試験〕
１ｇの導電性粒子３７をエタノール１ｍｌに分散させ、ジルコニアビーズ９０ｇを入れ、回転数２００ｒｐｍの条件で５分間攪拌した後、導電性粒子３７をろ別した。ろ別した導電性粒子３７を電子顕微鏡で観察した。
【００５４】
粒子全体の半分以上にまたがって割れが生じた状態を、金属被膜３６が剥がれたこととし、金属被膜３６が剥がれた導電性粒子３７の数を数えた。１００個の導電性粒子３７中に、金属被膜３６が剥がれた個数が０個から２個以下であった場合を「◎」とし、３個以上１０個以下であった場合を「○」とし、１１個以上２０個以下であった場合を「△」とし、２１個以上であった場合を「×」として評価した。その評価結果と、金属被膜３６が剥がれた個数とを上記表２に記載した。
【００５５】
＜比較例１＞
処理液にウレタンアクリレートを用いない以外は実施例１と同じ条件で導電性粒子を製造した。
【００５６】
＜比較例２＞
親水化処理を行わない以外は実施例１と同じ条件で導電性粒子を製造した。
これら比較例１、２の製造方法で製造された導電性粒子を用いて、上記実施例１〜６と同じ条件で「付着力試験」を行った。比較例１、２の付着力試験の結果を上記表２に記載した。
【００５７】
また、実施例１、３と比較例１の製造方法で作製された導電性粒子３７を、ジルコニアビーズと共に攪拌した後の電子顕微鏡写真を図７〜９に記載する。
上記表２から明らかなように、本発明の製造方法により製造された実施例１〜６の導電性粒子３７は、比較例１、２に比べて金属被膜３６がはがれた個数が少なく、金属被膜３６と微小粒子３０との密着性が高いことが確認された。
【００５８】
第一の（メタ）アクリレートとして同じ種類のウレタンアクリレートを用いた実施例１〜４を比較すると、ウレタンアクリレートの配合量が４０重量部と大きい実施例１は、実施例２〜４に比べて金属被膜３６の付着力が大きく、疎水性モノマー中のウレタン（メタ）アクリレートの配合量が大きい程、金属被膜３６の付着力が大きくなることがわかる。
【００５９】
実施例３と実施例５を比較すると、実施例３、５は用いたウレタンアクリレートの種類が異なるが、共に付着性が高く、ウレタン（メタ）アクリレートの種類やそのウレタン結合の数にかかわらず、本発明によれば金属被膜３６と微小粒子３０との付着性が高い導電性粒子を得られることが確認された。
【００６０】
また、実施例３と実施例６を比較すると、実施例３、６は第二の（メタ）アクリレートである多官能アクリレートの種類が異なるが、共に付着性が高く、本発明によれば、第二（メタ）アクリレートの種類にかかわらず、金属被膜３６と微小粒子３０との付着性が高い導電性粒子が得られることが確認された。
【００６１】
他方、比較例１、２は実施例１〜６に比べて金属被膜３６が剥がれた個数が多く、特に、ウレタン（メタ）アクリレートを有しない処理液を用いた比較例１では、金属被膜が剥がれた個数が１００個中５０個と非常に大きかった。このとこから、ウレタン結合のように、アルカリによって加水分解される構造を有しないアクリル樹脂は、アルカリ溶液に接触しても金属被膜との密着性が高くならないことがわかる。
【００６２】
＜その他の実施例＞
内筒２２を構成する多孔質膜もＳＰＧ膜に限定されるものではなく、ＰＴＦＥ（四弗化エチレン）膜等の有機系多孔質膜や、種々の多孔質セラミック膜を用いることができる。外筒２１や内筒２２の形状も特に限定されるものではなく、円筒形状や角柱状など種々の形状のものを用いることができる。
【００６３】
処理液を媒体液に分散させる工程は、上述したように多孔質膜の細孔を介して処理液を媒体液に注入する所謂膜乳化法に限定されるものではなく、処理液を媒体液に添加した後、ホモジナイザー等で攪拌して処理液を媒体液中に機械的に分散させる機械的分散方法も用いることができる。
【００６４】
処理液に用いる第二の（メタ）アクリレートは特に限定されるものではないが、第一の（メタ）アクリレートとの重合性を考慮すると、アクリロイル基、またはメタクリロイル基を２つ以上有する多官能（メタ）アクリレートを用いることが好ましい。
【００６５】
第二の（メタ）アクリレートに用いる多官能（メタ）アクリレートは１，６−ＨＤＤＡ以外にも、例えば１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，９−ノナンジオールジアクリレート、１，１０−デカンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジアクリレート、ポリテトラメチレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート等のアクリレート、１，４−ブタンジオールジメタクリレート、１，６−ヘキサンジオールジメタクリレート、１，９−ノナンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート等のメタクリレートなど種々のものを用いることができる。
【００６６】
第一の（メタ）アクリレートとして用いるウレタン（メタ）アクリレートも特に限定されるものではなく、その構造中に含まれるウレタン結合の数も特に限定されるものではない。
【００６７】
処理液に添加する重合開始剤は特に限定されるものではなく、ラウロイルパーオキサイド、１，１、３，３、−テトラメチルブチルパーオキシ-２-エチルヘキサンエート、ｔ−ヘキシルパーオキシ-２-エチルヘキサンエート、ｔ-ヘキシルパーオキシ-２-エチルヘキサンエート、２，２’-アゾビス（２-メチルプチロニトリル）など種々のものを用いることができる。
【００６８】
以上は、液滴３３中の（メタ）アクリレートを加熱により重合させる場合について説明したが、例えば、予め処理液に光重合開始剤を添加しておき、液滴３３中の（メタ）アクリレートを紫外線照射により重合させることもできる。
【００６９】
微小粒子は樹脂で構成されるものに限定されず、その表面にウレタン結合を有するアクリル樹脂が露出したものであれば、例えばセラミックや金属からなる芯材に樹脂被膜を形成したものも本発明には含まれる。
【００７０】
以上は媒体液の主成分として水を用いる場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、処理液に対して親和性の低い溶媒であれば種々のものを用いることができる。
【００７１】
媒体液に添加する高分子分散安定剤もポリビニルアルコールに限定されるものではなく、例えば、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアセトアミド、ポリビニルアルキルエーテルなど種々のものを用いることができる。高分子分散安定剤の添加量は特に限定されるものではないが、媒体液１００重量部に対し、０．３重量部以上１．０重量部以下が好ましい。
【００７２】
親水化処理に用いるアルカリ溶液も特に限定されるものではなく、水酸化ナトリウム以外にも水酸化カリウム等種々のアルカリの溶液を用いることができる。親水化処理の処理時間が長くなる程、金属被膜３６の付着力が大きくなる傾向があるが、処理時間が長くなりすぎると微小粒子３０の機械的強度が弱くなる。
【００７３】
金属被膜を形成するのに用いる無電解めっき溶液には、還元剤や錯化剤以外にも、ｐＨ緩衝剤、安定剤等種々の添加剤を添加することができる。金属塩も特に限定されず、塩酸ニッケル等種々の金属塩を用いることができる。
【００７４】
また、金属被膜の形成方法としては、無電解めっき法以外にも浸漬めっき法等種々の方法を用いることができる。金属被膜を構成する金属材料はニッケルに限定されるものではなく、銅、アルミニウム等の金属や、Ｎｉ−Ｐ合金やＮｉ−Ｂ合金等の合金等種々の金属材料を用いることができる。また、金属材料以外にもカーボン等の導電材料を用いることもできる。
【００７５】
【発明の効果】
本発明によれば、金属被膜と微小粒子との密着性が高い導電性粒子が得られる。このような導電性粒子を接着剤に分散させた異方導電性接着剤を用いて接続端子を接続する場合、接続端子間に挟まれた導電性粒子が変形しても、金属被膜が微小粒子から剥がれないので、導通信頼性の高い電気装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に用いる微小粒子製造装置の一例を示す断面図
【図２】処理液を媒体液に注入した状態を示す断面図
【図３】液滴が硬化し、微小粒子が形成された状態を示す図
【図４】本発明により製造された導電性粒子を説明する図
【図５】本発明の導電性粒子を用いた異方導電性接着剤の一例を説明する図
【図６】（ａ）〜（ｃ）：異方導電性接着剤を用いて配線板を接続する工程を説明する図
【図７】実施例１の製造方法で作製された導電性粒子をジルコニアビーズと共に攪拌した後の電子顕微鏡写真
【図８】実施例２の製造方法で作製された導電性粒子をジルコニアビーズと共に攪拌した後の電子顕微鏡写真
【図９】比較例１の製造方法で作製された導電性粒子をジルコニアビーズと共に攪拌した後の電子顕微鏡写真
【符号の説明】
３０……微小粒子
３２……処理液
３３……処理液の液滴
３５……乳濁液
３６……金属被膜
３７……導電性粒子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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