(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スキャンパターンデータを含む試験用パターンデータから反復するデータを除いたデータを第１のメモリに記憶し、
データの反復を指令する反復信号及びスキャンパターンを指令する制御信号を第２のメモリに記憶し、
反復信号によりデータの反復が指令されたとき、前記第１のメモリから読み出されたデータ及び前記第２のメモリから読み出された制御信号を反復し、
制御信号によりスキャンパターンが指令されたとき、指令前に前記第１のメモリから読み出されたデータを保持し、反復されたデータからスキャンパターンデータを検出し、保持されたデータのうちスキャンパターン対象ピンのデータを検出されたスキャンパターンデータと置き換えることを特徴とするパターン発生方法。
【請求項２】
反復信号がデータの反復回数を指令し、前記第１のメモリから読み出されたデータ及び前記第２のメモリから読み出された制御信号を反復信号で指令された回数反復することを特徴とする請求項１に記載のパターン発生方法。
【請求項３】
反復されたデータをパラレル／シリアル変換してスキャンパターンデータを検出することを特徴とする請求項２に記載のパターン発生方法。
【請求項４】
スキャンパターンデータを含む試験用パターンデータから反復するデータを除いたデータを記憶する第１のメモリと、
データの反復を指令する反復信号及びスキャンパターンを指令する制御信号を記憶する第２のメモリと、
反復信号によりデータの反復が指令されたとき、前記第１のメモリから読み出されたデータ及び前記第２のメモリから読み出された制御信号を反復する反復手段と、
制御信号によりスキャンパターンが指令されたとき、指令前に前記第１のメモリから読み出されたデータを保持する保持手段と、
前記反復手段で反復されたデータからスキャンパターンデータを検出する検出手段と、
制御信号によりスキャンパターンが指令されたとき、前記保持手段で保持されたデータのうちスキャンパターン対象ピンのデータを前記検出手段で検出されたスキャンパターンデータと置き換える選択手段とを備えたことを特徴とするパターン発生装置。
【請求項５】
反復信号がデータの反復回数を指令し、前記反復手段が前記第１のメモリから読み出されたデータ及び前記第２のメモリから読み出された制御信号を反復信号で指令された回数反復することを特徴とする請求項４に記載のパターン発生装置。
【請求項６】
前記検出手段は、前記反復手段で反復されたデータをパラレル／シリアル変換するパラレル／シリアル変換器であることを特徴とする請求項５に記載のパターン発生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体試験装置の試験用パターンを発生するパターン発生方法及びパターン発生装置に係り、特にスキャンパターンを発生するのに好適なパターン発生方法及びパターン発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体集積回路（ＩＣデバイス）の電気的特性を検査する半導体試験装置は、被測定デバイスへ所定の試験用パターンを与え、それによる被測定デバイスの出力データを読み取り、予め用意した期待値データと比較することによって、被測定デバイスの基本的動作及び機能に問題が無いかどうかを検査する装置である。半導体試験装置内のパターン発生装置は、試験用パターンデータをＤＲＡＭ等のメモリに記憶し、記憶したデータをメモリから読み出して試験用パターンを発生している。
【０００３】
試験用パターンは通常、被測定デバイスの試験を行う基本的動作及び機能に応じたランダムパターンであり、被測定デバイスの全てのピンへ同時に供給される。ランダムパターンデータは、ＩＣデバイスの開発者が、ＩＣデバイスの試験を行う基本的動作及び機能に応じて作成しなければならない。これに対し、論理回路を有するロジックＩＣでは、テスト専用ピンを備え、ランダムパターンによる試験の他に、ＩＣデバイス内部の論理素子単体の試験を行えるようにしたものがある。このようなテスト専用ピンへ供給される試験用パターンは、スキャンパターンと呼ばれている。スキャンパターンデータは、ＩＣデバイス内部の回路構造の情報から、ソフトウエアにより自動的に作成することができる。スキャンパターンデータは、ランダムパターンデータに比べて、対象となるピン数は少ないがデータが長いという特徴がある。スキャンパターンの実施中、テスト専用ピン以外のピンへ供給されるランダムパターンデータは、ほとんど変化しない。
【０００４】
従来のランダムパターン及びスキャンパターンを発生するパターン発生装置は、ランダムパターンデータ用のメモリとスキャンパターンデータ用のメモリとを別々に用意するか、あるいはランダムパターンデータを記憶するメモリにスキャンパターンデータを一緒に記憶していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ランダムパターンデータ用のメモリとスキャンパターンデータ用のメモリとを別々に用意すると、メモリ制御回路をそれぞれ設けなければならないため、メモリ制御回路が複雑化するという問題があった。特に、高速化、大容量化のためにＤＲＡＭを使用する場合、メモリ制御回路はＤＲＡＭのリフレッシュ機能が必要なため、メモリ制御回路の複雑化は大きな問題となる。
【０００６】
これに対し、ランダムパターンデータとスキャンパターンデータとを同じメモリに記憶すると、メモリ制御回路は複雑化しない。しかしながら、スキャンパターンデータをそのままランダムパターンデータ用のメモリに記憶すると、スキャンパターン実施中にテスト専用ピン以外のピンへ供給するランダムパターンデータをスキャンパターンデータと同じアドレス内に記憶しなければならないため、必要なメモリ容量が増大化するという問題があった。
【０００７】
本発明は、メモリ制御回路の複雑化及びメモリ容量の増大化を抑制することのできるパターン発生方法及びパターン発生装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るパターン発生方法は、スキャンパターンデータを含む試験用パターンデータから反復するデータを除いたデータを第１のメモリに記憶し、データの反復を指令する反復信号及びスキャンパターンを指令する制御信号を第２のメモリに記憶し、反復信号によりデータの反復が指令されたとき、第１のメモリから読み出されたデータ及び第２のメモリから読み出された制御信号を反復し、制御信号によりスキャンパターンが指令されたとき、指令前に第１のメモリから読み出されたデータを保持し、反復されたデータからスキャンパターンデータを検出し、保持されたデータのうちスキャンパターン対象ピンのデータを検出されたスキャンパターンデータと置き換えるものである。
【０００９】
本発明に係るパターン発生装置は、スキャンパターンデータを含む試験用パターンデータから反復するデータを除いたデータを記憶する第１のメモリと、データの反復を指令する反復信号及びスキャンパターンを指令する制御信号を記憶する第２のメモリと、反復信号によりデータの反復が指令されたとき、第１のメモリから読み出されたデータ及び第２のメモリから読み出された制御信号を反復する反復手段と、制御信号によりスキャンパターンが指令されたとき、指令前に第１のメモリから読み出されたデータを保持する保持手段と、反復手段で反復されたデータからスキャンパターンデータを検出する検出手段と、制御信号によりスキャンパターンが指令されたとき、保持手段で保持されたデータのうちスキャンパターン対象ピンのデータを検出手段で検出されたスキャンパターンデータと置き換える選択手段とを備えたものである。
【００１０】
本発明に係るパターン発生方法及びパターン発生装置では、ランダムパターンデータ及びスキャンパターンデータを同じメモリに記憶するので、メモリ制御装置の複雑化が抑制される。その際、試験用パターンデータから反復するデータを除いたデータをメモリに記憶するので、必要なメモリ容量の増大化が抑制される。制御信号によりスキャンパターンが指令されたとき、指令前に第１のメモリから読み出されたデータにはスキャンパターン実施中に反復するデータが含まれ、反復信号により反復されたデータにはスキャンパターンデータが含まれる。従って、指令前に第１のメモリから読み出されたデータを保持し、反復されたデータからスキャンパターンデータを検出し、保持されたデータのうちスキャンパターン対象ピンのデータを検出されたスキャンパターンデータと置き換えることで、スキャンパターンデータとスキャンパターン実施中に反復するデータとからなる試験用パターンデータを発生する。
【００１１】
また、本発明のパターン発生方法及びパターン発生装置は、反復信号がデータの反復回数を指令し、第１のメモリから読み出されたデータ及び第２のメモリから読み出された制御信号を反復信号で指令された回数反復するものである。試験用パターンデータが複数回連続して反復するデータを含むとき、反復信号でデータの反復回数を指令することにより、メモリに記憶するデータから複数回連続して反復するデータを全て除くことができ、必要なメモリ容量の増大化がさらに抑制される。
【００１２】
さらに、本発明のパターン発生方法及びパターン発生装置は、反復されたデータをパラレル／シリアル変換してスキャンパターンデータを検出するものである。これにより、スキャンパターンデータを簡単な構成で検出することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に従って説明する。図１は、本発明の一実施の形態によるパターン発生装置のブロック図である。本実施の形態によるパターン発生装置２０は、コントロールパターンメモリ２１、ランダムパターンメモリ２２、リピート制御回路２３、データホールド回路２４、パラレル／シリアル変換器２５、及びマルチプレクサー２６を備える。図２は、本発明の一実施の形態によるパターン発生装置２０のコントロールパターンメモリ２１に記憶される信号及びランダムパターンメモリ２２に記憶されるデータの一例を示す図である。
【００１４】
コントロールパターンメモリ２１は、データの反復を指令するアドレスリピート信号ＲＰＴ及びスキャンパターンを指令するスキャン制御信号ＳＰＭを記憶する。アドレスリピート信号ＲＰＴは、「０」のときは反復を指令せず、「１」のときは１回の反復を指令し、「２」のときは２回の反復を指令し、以下同様に「３」，「４」…と反復回数を指令する。スキャン制御信号ＳＰＭは、「０」のときはランダムパターンを指令し、「１」のときはスキャンパターンを指令する。
【００１５】
本実施の形態では、スキャン制御信号ＳＰＭによりスキャンパターンが指令されるときは、必ずアドレスリピート信号ＲＰＴによりデータの反復が指令される。図２の例では、コントロールパターンメモリ２１のアドレス「４」にアドレスリピート信号ＲＰＴ「３」とスキャン制御信号ＳＰＭ「１」とが記憶され、アドレス「５」にアドレスリピート信号ＲＰＴ「１」とスキャン制御信号ＳＰＭ「１」とが記憶されている。
【００１６】
また、本実施の形態では、スキャン制御信号ＳＰＭによりランダムパターンが指令されるときも、アドレスリピート信号ＲＰＴによりデータの反復が指令されることがある。これは、試験用パターンデータがスキャンパターンとは無関係に反復するランダムパターンデータを含む場合に行われる。図２の例では、コントロールパターンメモリ２１のアドレス「２」にアドレスリピート信号ＲＰＴ「２」とスキャン制御信号ＳＰＭ「０」とが記憶されている。
【００１７】
ランダムパターンメモリ２２は、試験用パターンデータのランダムパターンデータ及びスキャンパターンデータを記憶する。ただし、試験用パターンデータのうち反復するデータは除かれ記憶されない。図２の例は被測定デバイスの４本のピンに与えられる試験用パターンデータのみを示しており、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４はそれぞれ被測定デバイスの第１ピン，第２ピン，第３ピン，第４ピンに対応する。この例は、第１ピンＰ１がスキャンパターン対象ピンであり、スキャンパターン実施中に第１ピンＰ１へスキャンパターンデータ「Ａ４」，「Ｂ４」，「Ｃ４」，「Ｄ４」，「Ａ５」，「Ｂ５」が順次供給され、その間第２ピンＰ２，第３ピンＰ３，第４ピンＰ４へそれぞれランダムパターンデータ「Ｂ３」，「Ｃ３」，「Ｄ３」が連続して反復して供給される場合を示している。この場合、ランダムパターンメモリ２２のアドレス「４」にはスキャンパターンデータ「Ａ４」，「Ｂ４」，「Ｃ４」，「Ｄ４」が記憶され、アドレス「５」にはスキャンパターンデータ「Ａ５」，「Ｂ５」とランダムパターンデータ「Ｃ５」，「Ｄ５」とが記憶される。スキャンパターン実施中に連続して反復するランダムパターンデータ「Ｂ３」，「Ｃ３」，「Ｄ３」は、アドレス「３」に１回だけ記憶される。
【００１８】
まず、パターン発生装置２０の動作について説明する。図１において、パターンプログラムの流れ（シーケンス）を制御するシーケンスパターン発生器１０から、パターン発生装置２０のコントロールパターンメモリ２１及びランダムパターンメモリ２２へアドレス信号が入力される。コントロールパターンメモリ２１は、アドレス信号で指定されたアドレスに記憶されたアドレスリピート信号ＲＰＴ及びスキャン制御信号ＳＰＭを出力する。ランダムパターンメモリ２２は、アドレス信号で指定されたアドレスに記憶された試験用パターンデータＰＴＤを出力する。
【００１９】
コントロールパターンメモリ２１からのアドレスリピート信号ＲＰＴとスキャン制御信号ＳＰＭ、及びランダムパターンメモリ２２からの試験用パターンデータＰＴＤは、リピート制御回路２３へ入力される。リピート制御回路２３は、アドレスリピート信号ＲＰＴによりデータの反復が指令されないときは、試験用パターンデータＰＴＤ及びスキャン制御信号ＳＰＭをそのまま試験用パターンデータＰＴＸ及びスキャン制御信号ＳＰＭＸとして出力する。アドレスリピート信号ＲＰＴによりデータの反復が指令されたときは、試験用パターンデータＰＴＤ及びスキャン制御信号ＳＰＭを反復信号で指令された回数反復して、試験用パターンデータＰＴＸ及びスキャン制御信号ＳＰＭＸとして出力する。
【００２０】
リピート制御回路２３からの試験用パターンデータＰＴＸ及びスキャン制御信号ＳＰＭＸは、データホールド回路２４へ入力される。データホールド回路２４は、スキャン制御信号ＳＰＭＸによりランダムパターンが指令されたときは、試験用パターンデータＰＴＸをそのまま試験用パターンデータＲＰＤとして出力する。スキャン制御信号ＳＰＭＸによりスキャンパターンが指令されたときは、指令前の試験用パターンデータＰＴＸを保持して試験用パターンデータＲＰＤとして出力する。このとき、保持された試験用パターンデータＲＰＤには、スキャンパターン実施中に反復するデータが含まれる。
【００２１】
また、リピート制御回路２３からの試験用パターンデータＰＴＸは、パラレル／シリアル変換器２５へ入力される。パラレル／シリアル変換器２５は、試験用パターンデータＰＴＸをパラレル／シリアル変換してシリアルデータＳＳＰとして出力し、パターン発生装置２０へ異なるアドレス信号が入力されるとリセットがかかるように構成されている。従って、パラレル／シリアル変換器２５は、異なる試験用パターンデータＰＴＸが続いて入力されたときは、試験用パターンデータＰＴＸの先頭のデータだけを出力し、同じ試験用パターンデータＰＴＸが続いて入力されたときは、続いた数だけのデータを試験用パターンデータＰＴＸの先頭から順番に出力する。スキャン制御信号ＳＰＭによりスキャンパターンが指令されたとき、試験用パターンデータＰＴＤにはスキャンパターンデータが含まれ、リピート制御回路２３はスキャンパターンデータが含まれた試験用パターンデータＰＴＤを反復信号で指令された回数反復するので、パラレル／シリアル変換器２５はリピート制御回路２３で反復された試験用パターンデータＰＴＸからスキャンパターンデータを検出することができる。
【００２２】
リピート制御回路２３からのスキャン制御信号ＳＰＭＸ、データホールド回路２４からの試験用パターンデータＲＰＤ、及びパラレル／シリアル変換器２５からのシリアルデータＳＳＰは、マルチプレクサー２６へ入力される。マルチプレクサー２６は、スキャン制御信号ＳＰＭＸによりランダムパターンが指令されたときは、試験用パターンデータＲＰＤをそのまま試験用パターンデータＴＰＤとして出力する。スキャン制御信号ＳＰＭＸによりスキャンパターンが指令されたときは、試験用パターンデータＲＰＤのうち、制御手段５０からレジスタ４０を介して入力されたピンセレクト信号で選択されスキャンパターン対象ピンのデータを、シリアルデータＳＳＰと置き換えて、試験用パターンデータＴＰＤとして出力する。マルチプレクサー２６からの試験用パターンデータＴＰＤは印加波形生成手段３０へ入力され、印加波形生成手段３０で被測定デバイスへ供給する印加波形が作成される。
【００２３】
次に、図２の例の場合における、パターン発生装置２０の各信号及びデータの例を説明する。図３は、本発明の一実施の形態によるパターン発生装置２０の各信号及びデータの一例を示す図である。図３の例は図２の例に対応して被測定デバイスの４本のピンに与えられる試験用パターンデータのみを示しており、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４はそれぞれ被測定デバイスの第１ピン，第２ピン，第３ピン，第４ピンに対応し、第１ピンＰ１がスキャンパターン対象ピンである。
【００２４】
まず、ステップ０では、アドレス信号「０」が入力される。図２のコントロールパターンメモリ２１のアドレス「０」から読み出されたスキャン制御信号ＳＰＭは「０」であり、図２のランダムパターンメモリ２２のアドレス「０」から読み出された試験用パターンデータＰＴＤ（「Ａ０」，「Ｂ０」，「Ｃ０」，「Ｄ０」）は、そのまま試験用パターンデータＰＴＸ，ＲＰＤ，ＴＰＤとなる。このとき、図２のコントロールパターンメモリ２１のアドレス「０」から読み出されたアドレスリピート信号ＲＰＴは「０」であり、次のステップでデータの反復は行われない。ステップ１では、アドレス信号「１」が入力され、ステップ０と同様である。
【００２５】
ステップ２では、アドレス信号「２」が入力される。図２のコントロールパターンメモリ２１のアドレス「２」から読み出されたスキャン制御信号ＳＰＭは「０」であり、図２のランダムパターンメモリ２２のアドレス「２」から読み出された試験用パターンデータＰＴＤ（「Ａ２」，「Ｂ２」，「Ｃ２」，「Ｄ２」）は、そのまま試験用パターンデータＰＴＸ，ＲＰＤ，ＴＰＤとなる。そして、図２のコントロールパターンメモリ２１のアドレス「２」から読み出されたアドレスリピート信号ＲＰＴが「２」のため、次の２つのステップ３，４でデータの反復が行われる。これは、スキャンパターンとは無関係にランダムパターンデータ「Ａ２」，「Ｂ２」，「Ｃ２」，「Ｄ２」が２回反復した場合である。ステップ５では、アドレス信号「３」が入力され、ステップ０と同様である。
【００２６】
ステップ６では、アドレス信号「４」が入力される。図２のコントロールパターンメモリ２１のアドレス「４」から読み出されたスキャン制御信号ＳＰＭが「１」のため、試験用パターンデータＲＰＤは指令前のステップ５のデータ「Ａ３」，「Ｂ３」，「Ｃ３」，「Ｄ３」を保持する。一方、試験用パターンデータＰＴＸは、図２のランダムパターンメモリ２２のアドレス「４」から読み出された試験用パターンデータＰＴＤ（「Ａ４」，「Ｂ４」，「Ｃ４」，「Ｄ４」）となり、シリアルデータＳＳＰは、試験用パターンデータＰＴＸから検出されたスキャンパターンデータ「Ａ４」となる。従って、試験用パターンデータＴＰＤでは、ステップ５のデータが保持された試験用パターンデータＲＰＤのうち、第１ピンＰ１のデータ「Ａ３」が検出されたスキャンパターンデータ「Ａ４」に置き換えられる。そして、図２のコントロールパターンメモリ２１のアドレス「４」から読み出されたアドレスリピート信号ＲＰＴが「３」のため、次の３つのステップ７〜９でデータの反復が行われる。
【００２７】
次の３つのステップ７〜９では、試験用パターンデータＰＴＸはステップ６のデータ「Ａ４」，「Ｂ４」，「Ｃ４」，「Ｄ４」を反復し、試験用パターンデータＲＰＤはステップ５のデータ「Ａ３」，「Ｂ３」，「Ｃ３」，「Ｄ３」を保持する。そして、ステップ７では、シリアルデータＳＳＰが試験用パターンデータＰＴＸから検出されたスキャンパターンデータ「Ｂ４」となる。従って、ステップ７の試験用パターンデータＴＰＤでは、ステップ５のデータが保持された試験用パターンデータＲＰＤのうち、第１ピンＰ１のデータ「Ａ３」が検出されたスキャンパターンデータ「Ｂ４」に置き換えられる。同様にして、ステップ８では第１ピンＰ１のデータ「Ａ３」がスキャンパターンデータ「Ｃ４」に置き換えられ、ステップ９ではスキャンパターンデータ「Ｄ４」に置き換えられる。
【００２８】
ステップ１０では、アドレス信号「５」が入力される。図２のコントロールパターンメモリ２１のアドレス「５」から読み出されたスキャン制御信号ＳＰＭが「１」のため、試験用パターンデータＲＰＤは指令前のステップ９のデータ「Ａ３」，「Ｂ３」，「Ｃ３」，「Ｄ３」を保持する。一方、試験用パターンデータＰＴＸは、図２のランダムパターンメモリ２２のアドレス「５」から読み出された試験用パターンデータＰＴＤ（「Ａ５」，「Ｂ５」，「Ｃ５」，「Ｄ５」）となり、シリアルデータＳＳＰは、試験用パターンデータＰＴＸから検出されたスキャンパターンデータ「Ａ５」となる。従って、試験用パターンデータＴＰＤでは、ステップ９のデータが保持された試験用パターンデータＲＰＤのうち、第１ピンＰ１のデータ「Ａ３」が検出されたスキャンパターンデータ「Ａ５」に置き換えられる。そして、図２のコントロールパターンメモリ２１のアドレス「５」から読み出されたアドレスリピート信号ＲＰＴが「１」のため、次の１つのステップ１１でデータの反復が行われる。
【００２９】
ステップ１１では、試験用パターンデータＰＴＸはステップ１０のデータ「Ａ５」，「Ｂ５」，「Ｃ５」，「Ｄ５」を反復し、試験用パターンデータＲＰＤはステップ９のデータ「Ａ３」，「Ｂ３」，「Ｃ３」，「Ｄ３」を保持する。そして、シリアルデータＳＳＰが試験用パターンデータＰＴＸから検出されたスキャンパターンデータ「Ｂ５」となる。従って、試験用パターンデータＴＰＤでは、ステップ９のデータが保持された試験用パターンデータＲＰＤのうち、第１ピンＰ１のデータ「Ａ３」が検出されたスキャンパターンデータ「Ｂ５」に置き換えられる。ステップ１２，１３では、アドレス信号「６」，「７」が入力され、ステップ０と同様である。
【００３０】
以上説明した様に、図３の試験用パターンデータＴＰＤを発生する場合、従来は図３の試験用パターンデータＴＰＤを全て記憶しておかなければならなかったのに対し、本実施の形態では図２に示した信号及びデータを記憶するだけでよい。
【００３１】
【発明の効果】
本発明のパターン発生方法及びパターン発生装置によれば、ランダムパターンデータ及びスキャンパターンデータを同じメモリに記憶することにより、メモリ制御装置の複雑化を抑制することができる。そして、試験用パターンデータから反復するデータを除いたデータをメモリに記憶することにより、必要なメモリ容量の増大化を抑制することができる。スキャンパターンを発生するとき、スキャンパターン指令前に第１のメモリから読み出されたデータを保持し、反復されたデータからスキャンパターンデータを検出し、保持されたデータのうちスキャンパターン対象ピンのデータを検出されたスキャンパターンデータと置き換えることにより、スキャンパターンデータとスキャンパターン実施中に反復するデータとからなる試験用パターンデータを発生することができる。
【００３２】
さらに、本発明のパターン発生方法及びパターン発生装置によれば、ランダムパターンを発生するときも、反復信号によりデータの反復を指令することができる。従って、試験用パターンデータがスキャンパターンとは無関係に反復するランダムパターンデータを含むとき、メモリに記憶する試験用パターンデータから反復するデータを除き、必要なメモリ容量を減らすことができる。
【００３３】
また、本発明のパターン発生方法及びパターン発生装置によれば、試験用パターンデータが複数回連続して反復するデータを含むとき、反復信号でデータの反復回数を指令することにより、メモリに記憶するデータから複数回連続して反復するデータを全て除くことができるので、必要なメモリ容量の増大化をさらに抑制することができる。
【００３４】
さらに、本発明のパターン発生方法及びパターン発生装置によれば、反復されたデータをパラレル／シリアル変換してスキャンパターンデータを検出することにより、スキャンパターンデータを簡単な構成で検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施の形態によるパターン発生装置のブロック図である。
【図２】  本発明の一実施の形態によるパターン発生装置のコントロールパターンメモリに記憶される信号及びランダムパターンメモリに記憶されるデータの一例を示す図である。
【図３】  本発明の一実施の形態によるパターン発生装置の各信号及びデータの一例を示す図である。
【符号の説明】
１０…シーケンスパターン発生器、２０…パターン発生装置、
２１…コントロールパターンメモリ、２２…ランダムパターンメモリ、
２３…リピート制御回路、２４…データホールド回路、
２５…パラレル／シリアル変換器、２６…マルチプレクサー、
３０…印加波形生成手段、４０…レジスタ、５０…制御手段
【図１】
0003697171.tif 000002
【図２】
0003697171.tif 000003
【図３】
0003697171.tif 000004