(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライダと、
前記スライダをディスク媒体に押圧するサスペンションとを備え、
前記スライダは、前記ディスク媒体に対向するように形成され、空気流によって前記スライダを前記ディスク媒体から浮上させるための空気潤滑面と、
前記空気流が流入する側に形成される流入端と、
前記空気流が流出する側に形成される流出端と、
前記ディスク媒体の内周側に形成される内周端と、
前記ディスク媒体の外周側に形成される外周端と、
前記ディスク媒体との間で記録再生を行うためのヘッドとを有し、
前記空気潤滑面は、正圧力を発生するための第１の高さを有する上段面を有し、
前記スライダは、前記スライダの前記内周端および外周端に沿って仮想される中心軸を有し、
前記上段面は、前記中心軸よりも前記内周端側で前記流入端から前記流出端に向かって形成された内周側サイドレールを有し、前記内周側サイドレールの前記内周側に第１のエッジが形成され、
前記第１エッジは、前記流入端から前記流出端に向かって前記外周端に近づくように形成され、
前記第１エッジは、前記第１エッジのすべての個所で定義される接線と前記中心軸とのなす角が前記スライダが前記ディスク媒体上で最内周に位置する際のスキュー角の絶対値よりも大きくなるように形成されるヘッドスライダ。
【請求項２】
前記空気潤滑面は、前記第１の高さより低い第２の高さを有する中段面を有する、請求項１記載のヘッドスライダ。
【請求項３】
前記上段面と前記中段面との少なくともいずれかに囲まれるように形成される負圧発生凹部をさらに有する、請求項２記載のヘッドスライダ。
【請求項４】
前記上段面は、前記中心軸よりも前記外周端側で前記流入端から前記流出端に向かって形成された外周側サイドレールを有し、前記外周側サイドレールの前記内周側に第２のエッジが形成され、
前記第２エッジは、前記流入端から前記流出端に向かって前記外周端に近づくように形成され、
前記第２エッジは、前記第２エッジのすべての個所で定義される接線と前記中心軸とのなす角が前記スライダが前記ディスク媒体上で最内周に位置する際のスキュー角の絶対値よりも大きくなるように形成される、請求項１記載のヘッドスライダ。
【請求項５】
前記上段面は、前記スライダが前記サスペンションによって押圧される位置よりも前記流入端側から形成される、請求項１記載のヘッドスライダ。
【請求項６】
スライダと、
前記スライダをディスク媒体に押圧するサスペンションとを備え、
前記スライダは、前記ディスク媒体に対向するように形成され、空気流によって前記スライダを前記ディスク媒体から浮上させるための空気潤滑面と、
前記空気流が流入する側に形成される流入端と、
前記空気流が流出する側に形成される流出端と、
前記ディスク媒体の内周側に形成される内周端と、
前記ディスク媒体の外周側に形成される外周端と、
前記ディスク媒体との間で記録再生を行うためのヘッドとを有し、
前記空気潤滑面は、正圧力を発生するための第１の高さを有する上段面を有し、
前記空気潤滑面は、第１の高さより低い第２の高さを有する中段面と、
前記上段面と前記中段面との少なくともいずれかに囲まれるように形成される負圧発生凹部とを有し、
前記スライダは、前記スライダの前記内周端および外周端に沿って仮想される中心軸を有し、
前記上段面は、前記負圧発生凹部に対して前記流入端側に形成されるクロスレールを有し、
前記クロスレールは、前記クロスレールに対して前記流入端側に形成されるエッジを有し、
前記エッジは、前記中心軸に対して前記外周端側に形成される切り込みを有するヘッドスライダ。
【請求項７】
前記切り込みは、平面形状が三角形である、請求項６記載のヘッドスライダ。
【請求項８】
前記中心軸から前記切り込みの頂部までの距離は、前記中心軸から前記負圧発生凹部の外周側境界エッジまでの距離とほぼ等しい、請求項６記載のヘッドスライダ。
【請求項９】
スライダと、
前記スライダをディスク媒体に押圧するサスペンションとを備え、
前記スライダは、前記ディスク媒体に対向するように形成され、空気流によって前記スライダを前記ディスク媒体から浮上させるための空気潤滑面と、
前記空気流が流入する側に形成される流入端と、
前記空気流が流出する側に形成される流出端と、
前記ディスク媒体の内周側に形成される内周端と、
前記ディスク媒体の外周側に形成される外周端と、
前記ディスク媒体との間で記録再生を行うためのヘッドとを有し、
前記空気潤滑面は、正圧力を発生するための第１の高さを有する上段面を有し、
前記空気潤滑面は、第１の高さより低い第２の高さを有する中段面と、
前記上段面と前記中段面との少なくともいずれかに囲まれるように形成される負圧発生凹部とを有し、
前記スライダは、前記スライダの前記内周端および外周端に沿って仮想される中心軸を有し、
前記上段面は、前記負圧発生凹部に対して前記流入端側に形成されるクロスレールを有し、
前記クロスレールは、前記クロスレールに対して前記流入端側に形成されるエッジを有し、
前記エッジは、前記中心軸に対して前記内周端側に形成される突出形状を有するヘッドスライダ。
【請求項１０】
前記突出形状は、平面形状が三角形である、請求項９記載のヘッドスライダ。
【請求項１１】
前記中心軸から前記突出形状頂部までの距離は、前記中心線から前記負圧発生凹部の内周側境界エッジまでの距離とほぼ等しい、請求項９記載のヘッドスライダ。
【請求項１２】
前記エッジは、前記中心軸に対して前記外周端側に形成される切り込みをさらに有する、請求項９記載のヘッドスライダ。
【請求項１３】
スライダと、
前記スライダをディスク媒体に押圧するサスペンションとを備え、
前記スライダは、前記ディスク媒体に対向するように形成され、空気流によって前記スライダを前記ディスク媒体から浮上させるための空気潤滑面と、
前記空気流が流入する側に形成される流入端と、
前記空気流が流出する側に形成される流出端と、
前記ディスク媒体の内周側に形成される内周端と、
前記ディスク媒体の外周側に形成される外周端と、
前記ディスク媒体との間で記録再生を行うためのヘッドとを有し、
前記空気潤滑面は、正圧力を発生するための第１の高さを有する上段面と、
第１の高さより低い第２の高さを有する中段面と、
前記上段面と前記中段面との少なくともいずれかに囲まれるように形成される負圧発生凹部とを有し、
前記スライダは、前記スライダの前記内周端および外周端に沿って仮想される中心軸を有し、
前記上段面は、前記負圧発生凹部に対して前記流入端側に形成されるクロスレールを有し、
前記中段面は、前記クロスレールと前記負圧発生凹部との間に形成され、
前記中段面は、前記中段面のスライダ長手方向の長さが、前記内周端に最も近い位置で最大となり、前記外周端に最も近い位置で最小となるように形成されるヘッドスライダ。
【請求項１４】
前記中段面は、前記スライダ長手方向の長さが、前記内周端側から前記外周端側に向かって短くなるように形成される、請求項１３記載のヘッドスライダ。
【請求項１５】
スライダと、
前記スライダをディスク媒体に押圧するサスペンションとを備え、
前記スライダは、前記ディスク媒体に対向するように形成され、空気流によって前記スライダを前記ディスク媒体から浮上させるための空気潤滑面と、
前記空気流が流入する側に形成される流入端と、
前記空気流が流出する側に形成される流出端と、
前記ディスク媒体の内周側に形成される内周端と、
前記ディスク媒体の外周側に形成される外周端と、
前記ディスク媒体との間で記録再生を行うためのヘッドとを有し、
前記空気潤滑面は、正圧力を発生するための第１の高さを有する上段面と、
前記第１の高さより低い第２の高さを有する中段面と、
前記上段面と前記中段面との少なくともいずれかに囲まれるように形成される負圧発生凹部とを有し、
前記スライダは、前記スライダの前記内周端および外周端に沿って仮想される中心軸を有し、
前記中段面は、前記負圧発生凹部に対して前記流入端側に形成されるクロスレールを有し、
前記クロスレールは、前記クロスレールに対して前記流入端側に形成されるエッジを有し、
前記エッジは、前記中心軸に対して前記外周端側に形成される切り込みを有するヘッドスライダ。
【請求項１６】
スライダと、
前記スライダをディスク媒体に押圧するサスペンションとを備え、
前記スライダは、前記ディスク媒体に対向するように形成され、空気流によって前記スライダを前記ディスク媒体から浮上させるための空気潤滑面と、
前記空気流が流入する側に形成される流入端と、
前記空気流が流出する側に形成される流出端と、
前記ディスク媒体の内周側に形成される内周端と、
前記ディスク媒体の外周側に形成される外周端と、
前記ディスク媒体との間で記録再生を行うためのヘッドとを有し、
前記空気潤滑面は、正圧力を発生するための第１の高さを有する上段面と、
前記第１の高さより低い第２の高さを有する中段面と、
前記上段面と前記中段面との少なくともいずれかに囲まれるように形成される負圧発生凹部とを有し、
前記スライダは、前記スライダの前記内周端および外周端に沿って仮想される中心軸を有し、
前記中段面は、前記負圧発生凹部に対して前記流入端側に形成されるクロスレールを有し、
前記クロスレールは、前記クロスレールに対して前記流入端側に形成されるエッジを有し、
前記エッジは、前記中心軸に対して前記内周端側に形成される突出形状を有するヘッドスライダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスク装置等に用いられているヘッドスライダに関し、特に負圧を利用する負圧利用型ヘッドスライダに関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク装置は、磁気ディスク媒体の両面に対してデータの記録再生を行なう磁気ヘッドを備えている。磁気ディスク装置では、磁気ヘッドはスライダと称するセラミック材質等の支持体に実装されており、磁気ディスク媒体のデータ記録面に対して、所定の間隔を以て浮上した状態で支持されている。
【０００３】
磁気ディスク装置は、１枚あるいは数枚の磁気ディスク媒体を包含している。それらの磁気ディスク媒体は互いに接触しないように間隔を空けて主軸上に積み重ねられてある。
【０００４】
それぞれの磁気ディスク媒体の表面は、見掛け上同一である。しかし実際には、それぞれの表面は、トラックと呼ばれる区画に分割されており、そこにデータが記憶される。これらのトラックは、木の年輪のように同心状の円として配置されている。磁気ディスク装置のトラックは、本質的には、４５回転のレコードの溝を置き換えたものである。磁気ディスク装置中のそれぞれのトラックは、更にセクターに分割されており、それらが同心状の一つのトラックの中のまさにセクションとなっている。
【０００５】
磁気ディスク媒体は、金属、樹脂、ガラス等の種々の材料から作られている。磁気ディスク媒体では、一般にトランスとして知られている電磁石によってデータを記憶し検索する。
【０００６】
磁気ディスク媒体上にデータを記憶するためには、一般にヘッドスライダと呼ばれる小さなセラミックのブロックを用いて磁気ディスク媒体表面を磁化する。そのヘッドスライダは、いわゆる書込み磁気ヘッドである磁気変換器を内蔵している。更に特記すると、その書き込み磁気ヘッドを内蔵するヘッドスライダは、磁気ディスク媒体表面から数百ｎｍから数十ｎｍの高さに浮いていて、そしてその磁気ヘッドはいくつかの状態に励起され、その下に位置するトラックをデータに対応するように磁化する。
【０００７】
磁気ディスク媒体上に記憶されたデータを検索するためには、読取り磁気ヘッドを内蔵するヘッドスライダを磁気ディスク媒体上で浮動させる。この時、トラック上の磁化された部分によって、読取り磁気ヘッド内に電流が誘起される。この読取り磁気ヘッドから出力される電流を解析することによりコンピュータシステムは、磁気ディスク媒体上に記憶されたデータを再生し利用することができる。
【０００８】
いくつかの磁気ディスク装置は、別々の読取りと書込み磁気ヘッドを用いるが、現在のほとんどの磁気ディスク装置は、読取りと書込みの両方の動作をする磁気ヘッドを用いている。また，読み取り磁気ヘッドとして最近は，磁気抵抗効果素子やインダクタンス素子が用いられている。
【０００９】
レコードと同様に、磁気ディスク媒体の両面も通常、データまたは他の磁気ディスク装置の操作に必要な情報を記憶するために使われる。磁気ディスク媒体は積層されておりかつ互いに間隔をあけているため、積層された磁気ディスク媒体の一枚一枚の表面と裏面の両方に固有の読取り書込み磁気ヘッドを有している。これはあたかも、両面にそれぞれレコード針を備えたステレオ装置が同時にレコードの両面を再生できるようなものである。
【００１０】
回転型のアクチュエータを備えた磁気ディスク装置とリニア型のアクチュエータを備えた磁気ディスク装置との二種類の磁気ディスク装置がある。回転型のアクチュエータは、レコードプレーヤのトーンアームに似たアクチュエータ・アームを持っている。トーンアームのように、そのアクチュエータ・アームは、読取り書込み磁気ヘッドを内蔵したヘッドスライダが磁気ディスク媒体上の色々なトラックの上の位置に移動できるように回転する。このようにして、読取り書込み磁気ヘッドは、データに対応するパターンに磁気ディスク媒体の表面のトラックを磁化したり、トラック上の磁化されたパターンを検出したりするのに用いることができる。例えば、必要とされるデータが、ある磁気ディスク媒体の二つの異なるトラック上に記憶されているとすると、磁気的にデータを表しているものを読取るために、アクチュエータ・アームは一方のトラックから他方のトラックへと回転する。この発明は、回転型アクチュエータ・磁気ディスク装置に関連するものである。
【００１１】
リニア型アクチュエータも、類似のアクチュエータ・アームを有しているが、位置の移動は、回転ではなく直線的動きによって行なわれる。
【００１２】
今日の磁気ディスク装置は、リニア型アクチュエータを用いた直径の大きい磁気ディスク装置とは大きく異なっている。現在の磁気ディスクは、非常に小さくてデータのアクセスも高速である。現在のところ、磁気ディスク装置は、５．２５”、３．５０”、２．５０”、１．８０”の直径のディスクを処理し、速いアクセス速度を得るために回転型アクチュエータを備えている。
【００１３】
主に回転型アクチュエータを使用していることにより、ヘッドスライダと磁気ディスク媒体との摺動およびヘッドスライダ下の空気流はもはや本質的に一方向的ではなくなり、ヘッドスライダの縦軸に関してさまざまな角度に広がっている。
【００１４】
加えて、アクセス中のアクチュエータの高速な探索動作が、ヘッドスライダと磁気ディスク媒体との間の摺動方向およびヘッドスライダ下を流れる空気流の方向が縦軸に対して傾く原因となっている。
【００１５】
従って、近年の回転型アクチュエータ・磁気ディスク装置においては、摺動方向は、もはやヘッドスライダの前方から後方への縦軸方向、あるいはわずかにそれから逸れる程度とは考えられない。
【００１６】
ヘッドスライダの縦軸に対する磁気ディスク媒体の摺動方向の角度は、スキュー角と呼ばれる。摺動方向が、ヘッドスライダの外側の端または外にあたるようにアクチュエータ・アームが位置しているときは、スキュー角は正である。スライダの内側の端またはハブにあたるようにアクチュエータ・アームが位置しているときは、スキュー角は負である。
【００１７】
磁気ディスク装置のアクチュエータ・アームは、その先端にヘッドスライダが取り付けられており、その中に読取り書込み磁気ヘッドを内蔵している。また、ヘッドスライダには圧力発生面が形成されている。磁気ディスク媒体の回転に伴って発生する空気流を圧力発生面と磁気ディスク媒体表面の間に引き込み、それによってヘッドスライダは磁気ディスク媒体から浮上している。
【００１８】
こうしてヘッドスライダは、上述したように回転する磁気ディスク媒体上を浮動する。その浮動高度は、空気潤滑膜の厚さであり、即ち磁気ディスク媒体表面とヘッドスライダとの距離である。
【００１９】
このように、ヘッドスライダの磁気ディスク媒体に対向する面は圧力発生面を有する空気潤滑面をなし、ヘッドスライダと磁気ディスク媒体記憶面との間の自己加圧式の空気潤滑膜を形成しかつこれを維持している。この空気潤滑膜によって、磁気ディスク媒体回転中にヘッドスライダと磁気ディスク媒体が機械的に接触しにくくなり、摩擦および摩耗が抑制されている。
【００２０】
ヘッドスライダが磁気ディスク媒体との非接触状態を形成するために、圧力発生面の空気流入端側のエッジには空気流の流入を促すためのテーパ加工が施されている。
【００２１】
このテーパの形成は、通常、機械加工によって行われるものであるため、テーパ加工のばらつき、例えばテーパ部の長さあるいは角度のばらつきがヘッドスライダの浮上特性に大きく影響する。従来のヘッドスライダにおいては、テーパ加工に精度の高い作業が要求され、低コスト化の妨げとなっていた。
【００２２】
テーパ加工のばらつきが浮上特性に大きく影響することのないヘッドスライダが特開平８−２５５３３１号公報によって開示されている。特開平８−２５５３３１号公報によれば、圧力発生面の空気流入端側に形成されたテーパの終端を圧力発生面の幅が空気流入端から空気流出端に向かうに従って減少している位置にあるようにすることで、テーパの長さのばらつきが浮上特性に影響しにくくすることが可能であると記載されている。
【００２３】
また特開平１０−２５５４２５号公報には、第１の高さの圧力発生面の空気流入端側に第１の高さの圧力発生面より高さの小さい第２の高さの圧力発生面を隣接配置することにより、機械加工によるテーパの形成をすることなく、圧力発生面への空気の流入を促す作用が得られ、精度の高い作業が要求される機械加工によるテーパの形成が不要となることが記載されている。
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】
ヘッドスライダは磁気ディスク媒体の回転にともなって発生する空気流によって磁気ディスク媒体から浮上するため、磁気ディスク媒体が回転停止している状態下では、磁気ディスク媒体から浮上できない。
【００２５】
そこで多くの磁気ディスク装置は、ＣＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）方式と呼ばれる起動停止方式を採用している。ＣＳＳ方式においては磁気ディスク媒体が回転停止している状態下では磁気ディスク媒体の表面と接触していたヘッドスライダが磁気ディスク媒体の回転数が高まるのにともなって徐々に浮上し、磁気ディスク媒体と磁気ヘッドとの間で記録再生が行われる一定の回転数、例えば、７２００ｒｐｍの回転数に達したときには、ヘッドスライダが磁気ディスク媒体の表面から完全に浮上する。
【００２６】
さらに、ＣＳＳ方式は磁気ディスク媒体内周部に配設されたＣＳＳゾーンと呼ばれる領域で行われ、ＣＳＳゾーンには例えば高さ１０ｎｍの周期的なバンプと呼ばれる突起が形成されており、ヘッドスライダと磁気ディスク媒体が吸着しないようにされている。
【００２７】
ＣＳＳ方式を採用している磁気ディスク装置では、磁気ディスク媒体の回転開始時あるいは停止時の比較的回転数の小さい領域では磁気ディスク媒体とヘッドスライダの圧力発生面との間で摺動接触を繰り返すこととなるので、ヘッドスライダの圧力発生面の摩耗は避けられない。
【００２８】
ＣＳＳ方式を行っている状態下では、圧力発生面のディスク摺動方向に対向するエッジ部分が磁気ディスク媒体表面に形成されているバンプと特に激しく衝突するため、空気流入端側に位置するエッジ部分の摩耗量は圧力発生面の他の部分と比較しても大きい。
【００２９】
空気流入端側に位置するエッジ部分が摩耗することでテーパの作用が現れ、ヘッドスライダの浮上特性が大きく変化し、磁気ディスク装置の信頼性の確保が困難となる。
【００３０】
また，近年の磁気ディスク装置では磁気ディスク媒体の回転速度の高速化により磁気ディスク媒体の内周部と外周部とでのヘッドスライダの浮上量変動が大きいという課題が有る．
本発明はこのような不都合に鑑みて創案されたものであって、ＣＳＳ方式による圧力発生面のエッジの摩耗を抑制し、ヘッドスライダの浮上特性の経時変化を最小限にするヘッドスライダの提供を目的としている。
【００３１】
さらに、本発明は、磁気ディスク媒体の内周部と外周部でのヘッドスライダの浮上量変動を最小にするヘッドスライダの提供を目的としている。
【００３２】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るヘッドスライダは、スライダと、前記スライダをディスク媒体に押圧するサスペンションとを備え、前記スライダは、前記でぃすく媒体に対向するように形成され、空気流によって前記スライダを前記ディスク媒体から浮上させるための空気潤滑面と、前記空気流が流入する側に形成される流入端と、前記空気流が流出する側に形成される流出端と、前記ディスク媒体の内周側に形成される内周端と、前記ディスク媒体の外周側に形成される外周端と、前記ディスク媒体との間で記録再生を行うためのヘッドとを有し、前記空気潤滑面は、正圧力を発生するための第１の高さを有する上段面を有し、前記スライダは、前記スライダの前記内周端および外周端に沿って仮想される中心軸を有し、前記上段面は、前記中心軸よりも前記内周端側で前記流入端から前記流出端に向かって形成された内周側サイドレールを有し、前記内周側サイドレールの前記内周側に第１のエッジが形成され、前記第１エッジは、前記流入端から前記流出端に向かって前記外周端に近づくように形成され、前記第１エッジは、前記第１エッジのすべての個所で定義される接線と前記中心軸とのなす角が前記スライダが前記ディスク媒体上で最内周に位置する際のスキュー角の絶対値よりも大きくなるように形成され、そのことにより上記目的が達成される。
【００３３】
前記空気潤滑面は、前記第１の高さより低い第２の高さを有する中段面を有してもよい。
【００３４】
前記上段面と前記中段面との少なくともいずれかに囲まれるように形成される負圧発生凹部をさらに有してもよい。
【００３５】
前記上段面は、前記中心軸よりも前記外周端側で前記流入端から前記流出端に向かって形成された外周側サイドレールを有し、前記外周側サイドレールの前記内周側に第２のエッジが形成され、前記第２エッジは、前記流入端から前記流出端に向かって前記外周端に近づくように形成され、前記第２エッジは、前記第２エッジのすべての個所で定義される接線と前記中心軸とのなす角が前記スライダが前記ディスク媒体上で最内周に位置する際のスキュー角の絶対値よりも大きくなるように形成されてもよい。
【００３６】
前記上段面は、前記スライダが前記サスペンションによって押圧される位置よりも前記流入端側から形成されてもよい。
【００３７】
本発明に係る他のヘッドスライダは、スライダと、前記スライダをディスク媒体に押圧するサスペンションとを備え、前記スライダは、前記ディスク媒体に対向するように形成され、空気流によって前記スライダを前記ディスク媒体から浮上させるための空気潤滑面と、前記空気流が流入する側に形成される流入端と、前記空気流が流出する側に形成される流出端と、前記ディスク媒体の内周側に形成される内周端と、前記ディスク媒体の外周側に形成される外周端と、前記ディスク媒体との間で記録再生を行うためのヘッドとを有し、前記空気潤滑面は、正圧力を発生するための第１の高さを有する上段面を有し、前記空気潤滑面は、第１の高さより低い第２の高さを有する中段面と、前記上段面と前記中段面との少なくともいずれかに囲まれるように形成される負圧発生凹部とを有し、前記スライダは、前記スライダの前記内周端および外周端に沿って仮想される中心軸を有し、前記上段面は、前記負圧発生凹部に対して前記流入端側に形成されるクロスレールを有し、前記クロスレールは、前記クロスレールに対して前記流入端側に形成されるエッジを有し、前記エッジは、前記中心軸に対して前記外周端側に形成される切り込みを有し、そのことにより上記目的が達成される。
【００３９】
前記切り込みは、平面形状が三角形であってもよい。
【００４０】
前記中心軸から前記切り込みの頂部までの距離は、前記中心軸から前記負圧発生凹部の外周側境界エッジまでの距離とほぼ等しくてもよい。
【００４１】
本発明に係るさらに他のヘッドスライダは、スライダと、前記スライダをディスク媒体に押圧するサスペンションとを備え、前記スライダは、前記ディスク媒体に対向するように形成され、空気流によって前記スライダを前記ディスク媒体から浮上させるための空気潤滑面と、前記空気流が流入する側に形成される流入端と、前記空気流が流出する側に形成される流出端と、前記ディスク媒体の内周側に形成される内周端と、前記ディスク媒体の外周側に形成される外周端と、前記ディスク媒体との間で記録再生を行うためのヘッドとを有し、前記空気潤滑面は、正圧力を発生するための第１の高さを有する上段面を有し、前記空気潤滑面は、第１の高さより低い第２の高さを有する中段面と、前記上段面と前記中段面との少なくともいずれかに囲まれるように形成される負圧発生凹部とを有し、前記スライダは、前記スライダの前記内周端および外周端に沿って仮想される中心軸を有し、前記上段面は、前記負圧発生凹部に対して前記流入端側に形成されるクロスレールを有し、前記クロスレールは、前記クロスレールに対して前記流入端側に形成されるエッジを有し、前記エッジは、前記中心軸に対して前記内周端側に形成される突出形状を有し、そのことにより上記目的が達成される。
【００４３】
前記突出部は、平面形状が三角形であってもよい。
【００４４】
前記中心軸から前記突出形状頂部までの距離は、前記中心線から前記負圧発生凹部の内周側境界エッジまでの距離とほぼ等しくてもよい。
【００４５】
前記エッジは、前記中心軸に対して前記外周端側に形成される切り込みをさらに有してもよい。
【００４６】
本発明に係るさらに他のヘッドスライダは、スライダと、前記スライダをディスク媒体に押圧するサスペンションとを備え、前記スライダは、前記ディスク媒体に対向するように形成され、空気流によって前記スライダを前記ディスク媒体から浮上させるための空気潤滑面と、前記空気流が流入する側に形成される流入端と、前記空気流が流出する側に形成される流出端と、前記ディスク媒体の内周側に形成される内周端と、前記ディスク媒体の外周側に形成される外周端と、前記ディスク媒体との間で記録再生を行うためのヘッドとを有し、前記空気潤滑面は、正圧力を発生するための第１の高さを有する上段面と、第１の高さより低い第２の高さを有する中段面と、前記上段面と前記中段面との少なくともいずれかに囲まれるように形成される負圧発生凹部とを有し、前記スライダは、前記スライダの前記内周端および外周端に沿って仮想される中心軸を有し、前記上段面は、前記負圧発生凹部に対して前記流入端側に形成されるクロスレールを有し、前記中段面は、前記クロスレールと前記負圧発生凹部との間に形成され、前記中段面は、前記中段面のスライダ長手方向の長さが、前記内周端に最も近い位置で最大となり、前記外周端に最も近い位置で最小となるように形成され、そのことにより上記目的が達成される。
【００４７】
前記中段面は、前記スライダ長手方向の長さが、前記内周端側から前記外周端側に向かって短くなるように形成されてもよい。
【００４８】
本発明に係るさらに他のヘッドスライダは、スライダと、前記スライダをディスク媒体に押圧するサスペンションとを備え、前記スライダは、前記ディスク媒体に対向するように形成され、空気流によって前記スライダを前記ディスク媒体から浮上させるための空気潤滑面と、前記空気流が流入する側に形成される流入端と、前記空気流が流出する側に形成される流出端と、前記ディスク媒体の内周側に形成される内周端と、前記ディスク媒体の外周側に形成される外周端と、前記ディスク媒体との間で記録再生を行うためのヘッドとを有し、前記空気潤滑面は、正圧力を発生するための第１の高さを有する上段面と、前記第１の高さより低い第２の高さを有する中段面と、前記上段面と前記中段面との少なくともいずれかに囲まれるように形成される負圧発生凹部とを有し、前記スライダは、前記スライダの前記内周端および外周端に沿って仮想される中心軸を有し、前記中段面は、前記負圧発生凹部に対して前記流入端側に形成されるクロスレールを有し、前記クロスレールは、前記クロスレールに対して前記流入端側に形成されるエッジを有し、前記エッジは、前記中心軸に対して前記外周端側に形成される切り込みを有し、そのことにより上記目的が達成される。
【００４９】
本発明に係るさらに他のヘッドスライダは、スライダと、前記スライダをディスク媒体に押圧するサスペンションとを備え、前記スライダは、前記ディスク媒体に対向するように形成され、空気流によって前記スライダを前記ディスク媒体から浮上させるための空気潤滑面と、前記空気流が流入する側に形成される流入端と、前記空気流が流出する側に形成される流出端と、前記ディスク媒体の内周側に形成される内周端と、前記ディスク媒体の外周側に形成される外周端と、前記ディスク媒体との間で記録再生を行うためのヘッドとを有し、前記空気潤滑面は、正圧力を発生するための第１の高さを有する上段面と、前記第１の高さより低い第２の高さを有する中段面と、前記上段面と前記中段面との少なくともいずれかに囲まれるように形成される負圧発生凹部とを有し、前記スライダは、前記スライダの前記内周端および外周端に沿って仮想される中心軸を有し、前記中段面は、前記負圧発生凹部に対して前記流入端側に形成されるクロスレールを有し、前記クロスレールは、前記クロスレールに対して前記流入端側に形成されるエッジを有し、前記エッジは、前記中心軸に対して前記内周端側に形成される突出形状を有し、そのことにより上記目的が達成される。
【００５０】
本発明によれば、ＣＳＳ動作による上段面のエッジの摩耗を抑制し、ヘッドスライダの浮上特性の経時変化を最小限にできるという優れた効果が得られる。
【００５１】
また本発明によれば、中心線よりも空気潤滑面の外周側での上段面と負圧発生凹部に流入する空気流の量を調整することが可能となり、記録再生時のスキュー角による空気潤滑面の外周側の浮上量変動を最小にすることが可能になるという優れた効果が得られる。
【００５２】
さらに本発明によれば、中心線より空気潤滑面の外周側で発生する負圧力と中心線より空気潤滑面の内周側で発生する負圧力のバランスをとることが可能となり、スライダの安定した浮上姿勢が得られるという優れた効果が得られる。
【００５３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００５４】
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１に係る磁気ディスク装置１００の内部の斜視図である。図２は磁気ディスク装置１００の断面図である。磁気ディスク装置１００はハウジングカバー（図示せず）により覆われている。アクチュエータ軸２０に回転可能に取り付けられたアクチュエータ・アーム５の先端には、サスペンション１４が取り付けられている。それぞれのサスペンション１４の先端には、磁気変換器あるいは読み取り書き込みヘッド９９（図７で後述する）を運ぶヘッドスライダ３が取り付けられている。
【００５５】
ハウジング７内には主軸１が装着されている。主軸１には、複数の磁気ディスク媒体２が回転可能に間隔をあけて取り付けられている。磁気ディスク媒体２は、モーター８によって回転する主軸１とともに矢印Ａで示す方向に回転する。ヘッドスライダ３の中にあって、アクチュエータ・アーム５で位置決めされるヘッド９９（図示せず）によって、情報が磁気ディスク媒体２上に書き込まれあるいは磁気ディスク媒体２から読み取られる。
【００５６】
磁気ディスク媒体２のそれぞれの表面と裏面の両方にヘッドスライダ３が設けられており，各磁気ディスク媒体２の表面と裏面とに情報が書き込まれあるいは磁気ディスク媒体２から読み取られる。
【００５７】
ボイスコイルモータ６によって、アクチュエータ５に動力があたえられ、アクチュエータアーム５はアクチュエータ軸２０の周りを回転する。
【００５８】
ヘッドスライダ３とそれに一体化された磁気変換器（図示せず）は、データの磁気的表示を磁気ディスク媒体２上のどのトラックにでも記憶できるように磁気ディスク媒体２の表面上を動く。磁気ディスク装置中では、この変換器の動きは、アクチュエータ軸２０周りの回転によるものである。アクチュエータ・アーム５を回転させることで、ヘッドスライダ３及びその中のヘッド９９は、磁気ディスク媒体２の表面上のどのトラックの上にでも位置することができる。
【００５９】
図３は、磁気ディスク媒体２の中の一枚を上から見た詳細図である。磁気ディスク装置の技術としてよく知られているように、それぞれの磁気ディスク媒体２には、磁気情報が記録される同心状のトラックの列がある。内直径（ＩＤ）トラック１１は、データが記憶される最も内側の同心トラックである。外直径（ＯＤ）トラック１２は、データが記憶される最も外側の同心トラックである。
【００６０】
ＣＳＳゾーン１３は、ＩＤトラック１１の内側に形成されている。磁気ディスク媒体２の回転が停止している状態では、ヘッドスライダ３はＣＳＳゾーン１３上に接触状態で待機している。
【００６１】
図４、図５および図６は、ＣＳＳ方式を説明する模式図である。ＣＳＳゾーン１３には磁気ディスク媒体２とヘッドスライダ３との吸着を防ぐために磁気ディスク媒体２表面上にバンプ２Aと呼ばれる突起が周期的に形成されていて、本実施の形態１におけるバンプ２Aの高さHは１０ｎｍである。
【００６２】
また磁気ディスク媒体２とヘッドスライダ３との吸着を防ぐために、ヘッドスライダ３の磁気ディスク媒体２と対向する空気潤滑面３０には、クラウンと呼ばれる凸面処理が施されている。本実施の形態１におけるクラウンの寸法D３は３０ｎｍである。
【００６３】
図４に示すように、磁気ディスク媒体２が回転停止している状態では、ヘッドスライダ３はサスペンション１４によってピボット１５を介して磁気ディスク媒体２の表面に押圧されていて、空気潤滑面３０のピボット１５に対向する位置が磁気ディスク媒体２と接触する。
【００６４】
図５に示すように、磁気ディスク媒体２が回転を始めると、空気流Aが磁気ディスク媒体２の表面と空気潤滑面３０との間に流入し、空気潤滑面３０の磁気ディスク媒体２に接触する位置は、磁気ディスク媒体２の回転速度の増加にともなって、空気流出端４２方向に移動する。
【００６５】
図６に示すように、磁気ディスク媒体２の回転速度が所定の回転速度、本実施の形態１では３０００ｒｐｍより大きくなった際には、ヘッドスライダ３は磁気ディスク媒体２の表面から浮上し、非接触の状態となり、記録再生を行う一定の回転速度、本実施の形態１では７２００ｒｐｍまで加速される。
【００６６】
このように空気潤滑面３０のピボット１５より空気流出端４２側の部分は、ＣＳＳ方式による動作を行う度に磁気ディスク媒体２と接触摺動を行う。
【００６７】
図７に、ヘッドスライダ３の空気潤滑面３０の形状を示す。空気潤滑面３０は、ヘッドスライダ３の下面に形成され、磁気ディスク媒体２に対向している。空気潤滑面３０の形状は、型成形、エッチング、レーザ切削加工、イオン粉砕加工、汎用の機械加工、あるいは他の種々の方法によって形成される。
【００６８】
空気潤滑面３０は上段面３１、中段面３２、下段面３３の３段階の互いに略平行な、平坦面で構成されている。本実施の形態１では上段面３１には３０ｎｍのクラウン加工が施されている。
【００６９】
空気潤滑面３０の構造を説明する。空気潤滑面３０には、空気流入端４１と空気流出端４２と内周側端４３とから所定間隔を隔てて形成したクロスレール３４と、空気流入端４１と内周側端４３とから所定間隔を隔てて空気流出端４２まで形成された内側のサイドレール３５と、空気流入端４１と外周側端４４とから所定間隔を隔てて空気流出端４２まで形成された外側のサイドレール３６とから成る中段面３２が形成されている。
【００７０】
中段面３２上には、クロスレール３７と内側のサイドレール３８と外側のサイドレール３９とから成る上段面３１が形成されている。中段面３２に囲まれるように負圧発生凹部４８が形成されている。
【００７１】
上段面３１は、ヘッドスライダ３がサスペンジョンによて押圧されるピボット位置４５よりも空気流入端４１側から形成される。
【００７２】
磁気ディスク媒体２が回転すると、空気流が空気潤滑面３０下に空気流入端４１から流入する。空気流により空気潤滑面３０に発生する圧力でヘッドスライダ３を磁気ディスク媒体２から遠ざける方向に作用する圧力を正圧と呼び、ヘッドスライダ３を磁気ディスク媒体２に近づける方向に作用する圧力を負圧と呼ぶ。
【００７３】
読み取り書き込みヘッド９９は、通常、上段面３１の空気流出端４２近傍に位置している。
【００７４】
本実施の形態１では、上段面３１と中段面３２との落差は１μｍであり、中段面３２と下段面３３との落差は３μｍである。
【００７５】
図７には、ピボット位置４５を通りヘッドスライダ３に仮想される縦軸５０と横軸５１とを示している。縦軸５０の方向と磁気ディスク媒体２の摺動方向とが成す角度はスキュー角と呼ばれる。スキュー角は、ヘッドスライダ３がＣＳＳゾーン１３からＩＤトラック１１、ＯＤトラック１２にいたるまでの間で大きく変化する。またスキュー角は、回転アクチュエータ軸２０へのアクチュエータ・アーム５の取り付け位置に依存する。
【００７６】
スキュー角は、正にも負にもなる。磁気ディスク媒体２の摺動方向がヘッドスライダ３の外周側端４４にあたるようにアクチュエータ・アーム５が位置している場合には、スキュー角は正である。摺動方向がヘッドスライダ３２の内周側端４３にあたるようにアクチュエータ・アーム５が位置している場合には、スキュー角は負である。
【００７７】
本実施の形態１においては、回転型アクチュエータ・アクチュエータアーム５は、ＯＤトラック１２においてスキュー角が最大となり、ＣＳＳゾーン１３においてスキュー角が最小となるように設置されている。なおＯＤトラック１２でのスキュー角は１４度、ＩＤトラック１１でのスキュー角は−９度、ＣＳＳゾーン１３でのスキュー角は−１４度である。
【００７８】
磁気ディスク媒体２とヘッドスライダ３とが摺動接触を行うＣＳＳゾーン１３での磁気ディスク媒体２の摺動方向を図７中矢印Ｂで示す。
【００７９】
ピボット位置４５を通りヘッドスライダ３に仮想される横軸５１よりも空気流出端４２側では、上段面３１を構成する内周側サイドレール３８の内周側エッジ５２と、上段面３１を構成する外周側サイドレール３９の内周側エッジ５３とは縦軸５０に対してそれぞれ角度θ１、θ２を有している。
【００８０】
図８に、ＩＤトラック１１におけるヘッドスライダ３の浮上量とＣＳＳ動作の回数との関係を示す。図８に実線８１で示されているのが本実施の形態１でθ１＝−１５度、θ２＝−１６度と設定した場合のものである。図８に破線８２で示されているのはθ１＝０度、θ２＝０度と設定した場合のものである。
【００８１】
本実施の形態１ではＩＤトラック１１でのスキュー角は−９度、ＣＳＳゾーン１３でのスキュー角は−１４度である。また、磁気ディスク媒体２の回転速度は７２００ｒｐｍで一定であり、浮上量はヘッド９９の位置で測定したものである。
【００８２】
破線８２に示すように、θ１＝０度、θ２＝０度に設定した場合の浮上量はＣＳＳ動作の回数の増加とともに大きくなっている。それに対し実線８１に示すように、θ１＝−１５度、θ２＝−１６度とした場合の浮上量は、ＣＳＳ動作の回数とは関係なくほぼ一定の値を保っている。
【００８３】
θ１＝０度、θ２＝０度に設定した場合の浮上量がＣＳＳ動作の回数の増加とともに大きくなるのは、サイドレール３８、３９の内周側エッジ５２、５３がＣＳＳゾーン１３に形成されたバンプ２Aと激しく衝突することで摩耗し、エッジが不鮮明になることで、サイドレール３８、３９にあたかもテーパが形成されているかのように空気流の流入を促進するためである。
【００８４】
θ１＝―１５度、θ２＝−１６度とした場合は、内周側エッジ５２、５３がＣＳＳゾーン１３でのスキュー角−１４度より小さく設定されているため、内周側エッジ５２、５３がバンプ２Aと激しく衝突することはない。
【００８５】
以上のように本実施の形態１によれば、上段面３１を構成するサイドレール３８、３９の内周側エッジ５２、５３と縦軸５０とのなす角を、ＣＳＳゾーン１３でのスキュー角よりも小さく設定することで、ＣＳＳ動作時の内周側エッジ５２、５３の摩耗を抑制することが可能となり、ＣＳＳ動作の回数による浮上量の変化を低減できるという優れた効果を確保できる。さらに、摩耗自体を低減することができるので、摩耗粉の発生による、記録再生の信号への悪影響を低減することが可能となる。
【００８６】
次に記録再生時のスキュー角の変化による浮上量変動を説明する。図７を参照すると、上段面３１を構成するクロスレール３７の空気流入端４１側のエッジには、縦軸５０より外周側端４４側で前縁部５５と前縁部５６とで形成される三角状の切り込み５５Aが形成されている。さらに縦軸５０より内周側端４３側で前縁部５４と前縁部５５とで形成される三角状の突出５５Bが形成されている。
【００８７】
このようにクロスレール３７の空気流入端４１側のエッジは、平面形状が頂点５５A、５５Bおよび５５Cから成る三角形状および頂点５５A、５５Bおよび５５Dから成る三角形状を有する。
【００８８】
縦軸５０から切り込みの頂部までの距離D１は、縦軸５０から負圧発生凹部の外周側境界エッジまでの距離D２とほぼ等しい。
【００８９】
本実施の形態１における記録再生時の磁気ディスク媒体２の回転速度は７２００ｒｐｍで一定である。ヘッドスライダ２がＩＤトラック１１にあるとき、スキュー角は−９度となり、ヘッドスライダ３と磁気ディスク媒体２との相対速度は最小となる。ＯＤトラック１２にあるとき、スキュー角は１４度となり、相対速度は最大となる。空気潤滑面３０への空気流の流入量はＩＤトラック１１で最小、ＯＤトラック１２で最大となる。
【００９０】
図７にはＩＤトラック１１での空気流の方向を矢印Ｃ、ＯＤトラック１２での空気流の方向を矢印Ｄで示している。
【００９１】
図９に、スキュー角と浮上量との関係を示す。図９中で実線９１で示されているのが本実施の形態１のヘッドスライダ３の浮上量であり、図９中で破線９２で示されているのは、クロスレール３７の前縁部を空気流入端４１に対して実質的に平行な直線で形成した場合の浮上量である。
【００９２】
破線９２に示すようにクロスレール３７の前縁部を空気流入端４１に対して実質的に平行な直線で形成した場合には、スキュー角−９度つまりＩＤトラック１１で浮上量が最小となり、スキュー角６度付近で浮上量最大となる。これに比較して実線９１に示すように、本実施の形態１のように構成した際には、ＩＤトラック１１での浮上量が破線９２よりも大きくなり、ＯＤトラック１２での浮上量の増加も破線９２より小さくなることで、ヘッドスライダ３の浮上量の変動幅は小さくなる。
【００９３】
図７を用いて説明する。クロスレール３７の前縁部５５に衝突した空気流がクロスレール３７上を通過した後、負圧発生凹部４８に流入すると、ヘッドスライダ３を磁気ディスク媒体２の方向に近づける方向に作用する負圧が発生する。
【００９４】
しかしながら、上述のように前縁部５５と前縁部５６とで三角状の切り込み５５Aを形成してあるので、ヘッドスライダ３がＩＤトラック１１にある際には、前縁部５５に衝突した空気流の一部はクロスレール３７上を通過せず、前縁部５５に沿って流れ、三角状の切り込み５５Aの頂部付近から、外周側サイドレール３９上に流入する。
【００９５】
ヘッドスライダ３がＯＤトラック１２にある際には、前縁部５６に衝突した空気流の一部は外周側サイドレール３９上には流入せず前縁部５６に沿って流れ、前縁部５５と前縁部５６とで形成される三角状の切り込み５５Aから、クロスレール３７上を通過した後、負圧発生凹部４８に流入する。
【００９６】
従って、空気の流入量の少ないＩＤトラック１１では、ヘッドスライダ３に作用する負圧が減少するとともに、正圧が増加し、ＯＤトラック１２では、ヘッドスライダ３に作用する負圧が増加するとともに、正圧が減少する。
【００９７】
以上のように実施の形態１によれば、空気流入量が少ないＩＤトラック１１での浮上量を増加させることが可能となり、また空気流入量が多いために浮上量が大きくなるＯＤトラック１２での浮上量を減少させることが可能となるので、ＩＤトラック１１からＯＤトラック１２までの間での浮上量変動を小さくすることができる。
【００９８】
外周側サイドレール３９で発生する正圧と負圧発生凹部４８で発生する負圧とを調整されるので、特にヘッドスライダ３の外周側での浮上量変動の小さいヘッドスライダ３を提供することが可能となる。
【００９９】
したがって実施の形態１によれば、ヘッド９９が空気潤滑面３０の外周側に形成されているのであれば、前縁部５５と前縁部５６によって形成された切り込み５５Aだけで、ヘッド９９の位置での磁気ディスク媒体２からの浮上量変動を抑制することが可能となる。
【０１００】
さらに実施の形態１によれば、前縁部５４と前縁部５５とで三角状の突出５５Bを形成してあるので、ヘッドスライダ３がＩＤトラック１１にある際には、前縁部５４に衝突した空気流は内周側サイドレール３８上に流入する。また、ヘッドスライダ３がＯＤトラック１２にある際には、前縁部５４に衝突した空気流の一部は内周側サイドレール３８上に流入することなく前縁部５４に沿って流れ、内周側端４３から空気潤滑面３０の外に流出する。
【０１０１】
このため、空気の流入量の少ないＩＤトラック１１では、ヘッドスライダ３に作用する負圧が減少するとともに、正圧が増加し、ＯＤトラック１２では、ヘッドスライダ３に作用する負圧が増加するとともに、正圧が減少する。
【０１０２】
以上のように実施の形態１によれば、空気流入量が少ないＩＤトラック１１での浮上量を増加させることが可能となり、また空気流入量が大きいために浮上量が大きくなるＯＤトラック１２での浮上量を減少させることが可能となるので、ＩＤトラック１１からＯＤトラック１２までの間での浮上量変動を小さくすることができる。
【０１０３】
内周側サイドレール３８で発生する正圧と負圧発生凹部４８で発生する負圧とが調整されるので、特にヘッドスライダ３の内周側での浮上量変動の小さいヘッドスライダ３を提供することが可能となる。ヘッド９９が空気潤滑面３０の内周側に位置しているヘッドスライダにおいては、ヘッド９９の位置での磁気ディスク媒体２からの浮上量変動を抑制することが可能である。
【０１０４】
図７を参照すると、上段面３１を形成するクロスレール３７の空気流出端４２側に形成された中段面３２の圧力調整部５７は、内周側から外周側に向かうにしたがって、縦軸５０方向の幅が小さくなるように形成されている。空気潤滑面３０を流れる空気流は、内周側端４３から外周側端４４に向かうにしたがって速度が大きくなっている。このため内周側サイドレール３８で発生する正圧よりも外周側サイドレール３９で発生する正圧が大きくなる。
【０１０５】
図７に示すように、圧力調整部５７は内周側から外周側に向かうにしたがって、縦軸５０方向の幅が小さくなるように形成されるので、負圧発生部４８で発生する負圧は内周側端４３側から外周側端４４側に向かうにしたがい大きくなる。
【０１０６】
正圧の大きい外周側で負圧を大きくし、正圧の小さい内周側で負圧を小さくすることで空気潤滑面３０の内周側と外周側のそれぞれで正圧と負圧とのバランスをとり、安定した浮上姿勢が得られる。
【０１０７】
さらに実施の形態１では前縁部５４、前縁部５５および前縁部５６を鋸歯状に形成して、空気潤滑面３０の内周側と外周側でバランスのとれた浮上量変動の抑制を行っているので、圧力調整部５７の効果とあいまって、さらに安定した浮上姿勢が得られるという効果が発揮される。
【０１０８】
（実施の形態２）
本発明は、実施の形態１の空気潤滑面３０の形状に限定されるものではなく、図１０、図１１、図１２および図１３に示すのスライダによってもいくつかの課題は克服できる。
【０１０９】
図１０に示す空気潤滑面３０Aでは、上段面３１Aを形成するサイドレール３８A、３９Aおよび中段面３２Aを形成するサイドレール３５A、３６Aを空気流出端４２まで形成せず、ヘッド９９の位置する上段面３１Aの流出部レール８２と、そのまわりに中段面３２Aの流出部レール８１を形成している。
【０１１０】
これにより、ヘッド９９の位置する上段面３１Aの流出部レール８２に、正圧発生効果が得られ、より低い回転速度で磁気ディスク媒体２から浮上することができる。これによりＣＳＳ動作時の摩耗を抑制することが可能となる。
【０１１１】
図１１に示す空気潤滑面３０Bは、上段面３１Bを形成するサイドレール３８B、３９Bの外周側エッジ９１、９２のそれぞれが縦軸５０となす角θ３、θ４をヘッドスライダ３がＯＤトラック１２に位置するときのスキュー角、本実施例では１４度より大きく設定している。
【０１１２】
これにより、ＣＳＳ動作時の磨耗のみならず、磁気ディスク装置が記録再生を行っている状態での、磁気ディスク媒体２とヘッドスライダ３との不慮の接触による摩耗を抑制することが可能となる。
【０１１３】
図１２に示す空気潤滑面３０Cでは、横軸５１より空気流出端４２側での上段面３１Cを形成するサイドレール３８C、３９Cの内周側エッジ１０１、１０２を曲線で形成している。
【０１１４】
内周側エッジ１０１、１０２のすべての個所で定義される接線と縦軸５０とのなす角を、ヘッドスライダ３がＣＳＳゾーン１３にある際のスキュー角、本実施例では−１４度より小さくしてあるので、内周側エッジ１０１、１０２のＣＳＳ動作による摩耗を抑制し浮上量の経時変化を抑制することが可能である。
【０１１５】
図１３に示すように、空気潤滑面３０Dにおいて、上段面３１Dを形成するクロスレール３７Dの空気流入端４１側のエッジ１１１を曲面で形成していても、浮上量変動を抑制する効果が得られる。クロスレール３７Dの空気流出端側に形成された中段面３２Dの圧力調整部５７は曲面であっても、浮上姿勢を安定させる効果は得られる。
【０１１６】
図１４に示すように中段面３２Eを形成するクロスレール３４Eの空気流入端４１側のエッジ１２１によって、スキュー角による浮上量変動を抑制することが可能となる。
【０１１７】
なお実施の形態１および２では、ヘッドは磁気ヘッドを例に挙げて説明したが、ヘッドは例えば光ヘッドであってもよいことは勿論である。
【０１１８】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、圧力発生面のエッジの摩耗を抑制し、ヘッドスライダの浮上特性の経時変化を最小限にするヘッドスライダを提供することができる。
【０１１９】
また本発明によれば、磁気ディスク媒体の内周部と外周部でのヘッドスライダの浮上量変動を最小にするヘッドスライダを提供することができる。
【０１２０】
さらに本発明によれば、ヘッドスライダの浮上姿勢を安定にすることができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１に係る磁気ディスク装置の斜視図である。
【図２】実施の形態１に係る磁気ディスク装置の断面図である。
【図３】実施の形態１に係る磁気ディスク媒体の中の１枚を上から見た詳細図である。
【図４】実施の形態１に係るＣＳＳ方式を説明する模式図である。
【図５】実施の形態１に係るＣＳＳ方式を説明する模式図である。
【図６】実施の形態１に係るＣＳＳ方式を説明する模式図である。
【図７】実施の形態１に係るヘッドスライダの空気潤滑面の形状の説明図である。
【図８】実施の形態１に係るＣＳＳ回数と浮上量との関係を示すグラフである。
【図９】実施の形態１に係るスキュー角と浮上量との関係を示すグラフである。
【図１０】実施の形態２に係るヘッドスライダの空気潤滑面の形状の説明図である。
【図１１】実施の形態２に係る他のヘッドスライダの空気潤滑面の形状の説明図である。
【図１２】実施の形態２に係るさらに他のヘッドスライダの空気潤滑面の形状の説明図である。
【図１３】実施の形態２に係るさらに他のヘッドスライダの空気潤滑面の形状の説明図である。
【図１４】実施の形態２に係るさらに他のヘッドスライダの空気潤滑面の形状の説明図である。
【符号の説明】
３０  空気潤滑面
３１  上段面
４１  流入端
４２  流出端
４３  内周端
４４  外周端
５０  中心軸
５２  第１エッジ
【図１】
0003724629.tif 000002
【図２】
0003724629.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
0003724629.tif 000012
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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