(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
負荷ビーム（72）とジンバル手段（40）とを備えて、ディスク駆動装置内のアクチュエータアームに取り付けるためのリード線一体型の磁気ヘッドサスペンションであって、
前記負荷ビーム（72）は、基端部（33）に前記アクチュエータアームを取付けるためのベース領域（35）を含むとともに、先端部の付近に負荷用の突起（60）を有しており、また、前記負荷ビーム（72）の表面上にパターン化された複数の導電トレース（71）を備え、該導電トレース（71）の少なくとも1つが、前記負荷ビーム（72）の表面から絶縁され、前記導電トレース（71）が、前記負荷ビーム（72）の先端部から突出して導電性及びばね性を有する一対の離間したフィンガ部分（47）を形成しており、
前記ジンバル手段（40）は、少なくとも、前記負荷ビーム（72）の先端部から離れて対向する横脚部材（51）に設けられかつヘッドスライダ（21）を取り付けるスライダ取付面を有する舌片部分（52）と、前記離間したフィンガ部分（47）とで構成され、前記舌片部分（52）は、前記負荷ビーム（72）の先端部から離れかつ前記負荷ビーム（72）の先端部から突出する前記フィンガ部分（47）を相互接続させる前記横脚部材（51）によって縦揺れ軸線回りに回動可能に支持され、また、前記離間したフィンガ部分（47）の少なくとも一方は、前記横脚部材（51）から電気的に絶縁されて前記舌片部分（52）の上に伸びており、
前記離間したフィンガ部分（47）は、ヘッドスライダ（21）を前記舌片部分（52）の前記スライダ取付面に取り付けた時に、前記ヘッドスライダ（21）が磁気媒体の表面に対して移動するのに伴って前記ヘッドスライダ（21）がジンバル手段（40）の長手方向の脚部間を回動移動できるように、前記負荷ビーム（72）の長手方向軸線に整列してそれから外側へ変位しており、
前記ジンバル手段（40）は、前記ヘッドスライダ（21）が前記舌片部分（52）に取り付けられたとき、前記負荷ビーム（72）の負荷用の前記突起（60）が、前記ヘッドスライダ（21）の空気力学による揚力の作用点で前記ヘッドスライダ（21）と係合するように、前記負荷ビーム（72）に整合しており、前記導電トレース（71）の少なくとも１つが前記ヘッドスライダ（21）に電気接続されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
導電トレース（71）は、ヘッドスライダ（21）の端部壁上の端子パッドに電気接続しやすくするために、負荷ビーム（72）及びＴ字形ジンバル手段（40）のヘッドスライダ取り付け側にパターン化して設けられることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
導電トレース（71）は、ヘッドスライダ（21）の上表面上の端子パッドに電気接続しやすくするために、負荷ビーム（72）及びＴ字形ジンバル手段（40）のヘッドスライダ取り付け側の反対側にパターン化して設けられることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
ジンバル手段（40）の前記舌片部分（52）に少なくとも１つの孔（53）を設けて、それによってヘッドスライダ（21）と舌片部分（52）との間の接着剤に放射線を当てて接着剤の硬化を容易にしていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
シンバル手段（40）は、さらにアイランド（49）を含み、該アイランドが前記フィンガ部分（47）の一部として構成されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
一対の平行なフィンガ部分（47）の少なくとも一方は、２つ以上の導電トレース（71）で構成されており、ジンバル手段（40）の横方向剛性を強化するために横方向剛性強化アイランドが隣接する導電トレース（71）に、それから絶縁した状態で接着されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項７】
導電トレース（71）の１つまたは複数の断面積が、ジンバル手段（40）の先端部付近で増加して、それによって負荷ビームの先端部の移行領域における一対の平行なフィンガ部分（47）を強化していることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、改良型磁気ヘッドサスペンションアセンブリ、特にヘッドサスペンションアセンブリ（ＨＳＡs)に使用される新しい積層体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
サスペンションアセンブリは、読取り／書込みヘッドアセンブリを回転ディスクまたは他のデータ記憶装置の高速回転する表面からナノメートルの単位で離れた位置に位置決めするディスク駆動装置内のばね構造体である。サスペンションアセンブリは、正確に決定された位置に正確な力を加えてヘッドをディスク表面の方へ押し付ける。ヘッドアセンブリは、サスペンションアセンブリの下向きの力と、ヘッドがディスクに接近する時に旋回中のディスクによって発生する空気流の漸増する揚力との均衡によって定められる高さでディスクの凹凸表面上を「浮動」する。
【０００３】
ヘッドサスペンションアセンブリ（ＨＳＡ）は、サスペンションアセンブリと、ヘッドアセンブリと、電気相互接続部アセンブリとを備えている。この相互接続部アセンブリは、データ信号をヘッドアセンブリへ送り、またそれから受け取るように構成された部品の集合体である。ＨＳＡは、今日では最も一般的である磁気ハードディスク駆動装置や、光学ディスク駆動装置等の他の形式の駆動装置に使用することができる。
【０００４】
サスペンションアセンブリは、２つのばね構造体、すなわち負荷ビームとジンバルとを備えており、その各々は剛性領域と可撓性ばね領域とを苦心して釣り合わせた結合体である。負荷ビームは、横方向のスティフネスを与えるように設計されてヘッドアセンブリに必要な負荷を加えるように調整された弾性ばねプレートである。
【０００５】
ジンバルは、サスペンションアセンブリ及び負荷ビームの先端部に配置されたばねである。ジンバルは、負荷ビームが撓んだりねじれた場合でもヘッドアセンブリをディスクの外形の上方に適当な向き（浮動姿勢）で一定距離の位置に保持する。ヘッドアセンブリはジンバルに取り付けられており、空気軸受スライダに取り付けられた「ヘッド」、すなわち高感度読取り／書込みトランスジューサを設けている。ヘッドアセンブリはまた、データの受信及び中継（信号の読み取り及び書き込み）を行うために相互接続部アセンブリと相互接続できる構造の電気端子を備えている。
【０００６】
磁気読取り／書込みトランスジューサが電気書き込み信号を小さい磁界に変換する。磁界が磁気ディスク上に磁区パターンを形成する。磁界及びそれに伴った配向のオーダによって、記憶データを表すビットコードが定められる。磁気読み取りトランスジューサが、これらの磁区の上方を浮動する時にそれらを読み取って電気信号に戻す。
【０００７】
サスペンションアセンブリは、その基端部で剛性アームに、または直接的に線形または回転移動アクチュエータに取り付けることができる。アクチュエータは、ＨＳＡをディスク上のいずれの半径方向位置の上方にも急速移動（続いて急停止）させる。そのようなＨＳＡの半径方向移動及びディスクの回転によって、ヘッドはディスク表面上のいずれの位置にも迅速に到達できる。急激な停止及び開始の動作によってＨＳＡに非常に高い応力が発生する。
【０００８】
ヘッドアセンブリが磁気ディスクの表面に接近して浮動するほど、より高密度に情報を記憶することができる（磁界の強さは浮動距離の二乗に比例するため、ヘッドの浮動隙間が小さいほど、情報の磁気「スポット」が小さくなる）。ディスク駆動装置の製造者は、100 ナノメートル＝0.1 マイクロメートル（人の毛髪が約100 マイクロメートルの厚さである）に近い浮動隙間を達成しようと努力している。しかし、回転しているディスク（約3600rpm 以上の速度で回転している）と衝突すれば、ヘッド、ディスクの表面及び記憶データが破壊されるため、ヘッドアセンブリはディスクに接触（「クラッシュ」）してはならない。
【０００９】
増幅及び制御電子回路は、データ信号の処理、ヘッドアセンブリへの送信及びそれからの受信を行う。信号を伝達するためには動的「浮動」ヘッドと回路との間に導体が必要である。従来のヘッドアセンブリは、一般的に銅線をプラスチックシート材に封入した２つの導体で読取り／書込み回路ループを完成している。最近の磁気抵抗ヘッドアセンブリは、４つ以上の独立的な導体を必要とする。相互接続部アセンブリは、導体とそれに付随した絶縁体及びコネクタを備えている。
【００１０】
ＨＳＡの設計者及び製造者は競合する制限的な設計の検討に直面する。作動中、サスペンションアセンブリはヘッドアセンブリの正確な位置決めを変化させる予測不可能な負荷及びバイアスを受けてはならない。サスペンションアセンブリは、ディスクの表面状態の変動に瞬時に応答しなければならない。ヘッドの浮動高さの変化はデータ密度及び正確度に重大な影響を与える可能性があり、衝突時にシステムを破壊することさえある。
【００１１】
剛性及びスティフネスは断面厚さの三乗に比例して増加する。空気流の変化に応答し、浮動ヘッドを適当な向きに保持するため、サスペンションアセンブリは特に高感度ばね及ジンバル領域付近で非常に薄く、高い可撓性を備えている。相互接続部アセンブリの導体はサスペンションアセンブリの性能に対して大きな影響力を持っている。導体のスティフネスだけが、ばね領域の剛性及び浮動性能に大きく影響する。薄いサスペンションの上部に載置された標準的な導体は、ばね領域のスティフネスを二倍以上にして、ディスクの表面のばらつき、振動及び移動に対するばね領域の調節能力を低下させる可能性がある。サスペンションアセンブリにおいて最も薄く最も繊細なばねであるジンバル領域に対する導体の影響はさらに顕著である。ばね領域上に載置された導体は、ばね領域がたわむ時に塑性変形（永久的に屈曲）してはならないが、それはそのような変形がばねの平常位置への戻りを妨害してサスペンションアセンブリに負荷を加えるからである。
【００１２】
理想的なＨＳＡは、質量が小さい部材で構成されている。過大な質量によって発生する過大な慣性運動量がオーバシュート誤差を生じる可能性がある。オーバシュート誤差は、位置決め移動中に運動量によってＨＳＡ全体が予定停止点を通過移動した時に発生する。低質量ＨＳＡは移動も容易になるため、多重プラッターディスク駆動装置において電力を節約することができる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
ＨＳＡの製造は、いずれの商品の場合も同様であるが、効率的でなければならない。製造段階の削減が望ましい。破損したり不整合状態の構成部材はバイアス及び負荷を招き、有効製造歩留まりを大幅に低下させる。複雑な形状や組み立て工程は高コストで、ＨＳＡ製造処理全体の信頼性を低下させる。
【００１４】
問題点や予測できない負荷及びバイアスを回避するため、正確な許容誤差が必要である。ＨＳＡの製造及び組み立て工程において、許容誤差限界からのずれの蓄積によって、ヘッドアセンブリの浮動姿勢に影響を与える可能性がある平面偏差が発生する。最終製品のＨＳＡにおける静的横揺れトルク及び静的縦揺れトルクのパラメータは、これらの本来備わっている製造及び組み立て許容誤差の蓄積に起因している。
【００１５】
現在の相互接続部アセンブリに用いるワイヤー導線の取り付け及び設置は、一般的に手作業で行われている。手作業での取り付けは不正確であると共に高コストである。敏感なジンバル領域では正確な導体配置が特に重要である。当該分野ではデータ記憶密度を増加させるためにスライダ／トランスジューサの寸法の小型化が進められているので、現在の相互接続装置の限界が読取り／書込み誤差の潜在性を増加させ、データ記憶密度の上限を制限している。
【００１６】
現在の相互接続技術を用いて、作業員は２〜５本のワイヤーをヘッドアセンブリに付着させるが、固定具を用いてワイヤーを操りながら、ヘッドアセンブリをステンレス製サスペンションに付着させる。次に、ピンセットや工具を用いてワイヤーを手作業で成形して、ヘッドアセンブリとサンスペンションアセンブリとの間にサービスループを形成し、またワイヤーをサスペンションアセンブリ上の所定のワイヤー経路に沿って位置決めできるようにする。接着剤またはサスペンションに形成されたワイヤー係留機構を用いてワイヤーをサスペンションに留め付ける。サービスループが引っ張られ過ぎないように、またはそれが緩み過ぎていないように特別な注意が払われる。緊張状態のサービスループは、浮動姿勢誤差を発生する望ましくないトルクをスライダに生じる。緩んだサービスループではワイヤーが垂れ下がって回転ディスクを擦る可能性がある。両状態共にディスクの駆動性能には最悪である。スライダ及びワイヤーの取り扱い処理中に、ワイヤーまたは繊細な負荷ビーム及びジンバルを破損させる危険がある。製造作業中に誤って曲がった負荷ビームまたはジンバルは廃棄される。多くの場合にヘッドアセンブリも修復が不可能で、ゴミの山を増やすことになる。
【００１７】
上記の事情に鑑みて、本発明は、ワイヤー導線の代わりに導電トレース(リード線）を用いてヘッドサスペンションと一体化した積層構造体からなる磁気ヘッドサスペンションを提供することを目的としている。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、ヘッドサスペンションアセンブリ（ＨＳＡ）に用いられる新規な積層構造体を有している。即ち、その構成は、負荷ビームとジンバル手段とを備えて、ディスク駆動装置内のアクチュエータアームに取り付けるためのリード線一体型の磁気ヘッドサスペンションであって、
前記負荷ビームは、基端部に前記アクチュエータアームを取付けるためのベース領域を含むとともに、先端部の付近に負荷用の突起を有しており、また、負荷ビームの表面上にパターン化された複数の導電トレースを備え、該導電トレースの少なくとも1つが、前記負荷ビームの表面から絶縁され、前記導電トレースが、前記負荷ビームの先端部から突出して導電性及びばね性を有する一対の離間したフィンガ部分を形成しており、
前記ジンバル手段は、少なくとも、前記負荷ビームの先端部から離れて対向する横脚部材に設けられかつヘッドスライダを取り付けるスライダ取付面を有する舌片部分と、前記離間したフィンガ部分とで構成され、前記舌片部分は、負荷ビームの先端部から離れかつ前記負荷ビームの先端部から突出する前記フィンガ部分を相互接続させる前記横脚部材によって縦揺れ軸線回りに回動可能に支持され、また、前記離間したフィンガ部分の少なくとも一方は、前記横脚部材から電気的に絶縁されて前記舌片部分の上に伸びており、
前記離間したフィンガ部分は、ヘッドスライダを前記舌片部分の前記スライダ取付面に取り付けた時に、前記ヘッドスライダが磁気媒体の表面に対して移動するのに伴って前記ヘッドスライダがジンバル手段の長手方向の脚部間を回動移動できるように、負荷ビームの長手方向軸線に整列してそれから外側へ変位しており、
前記ジンバル手段は、前記ヘッドスライダが前記舌片部分に取り付けられたとき、前記負荷ビームの負荷用の前記突起が、前記ヘッドスライダの空気力学による揚力の作用点で前記ヘッドスライダと係合するように、前記負荷ビームに整合しており、前記導電トレースの少なくとも１つが前記ヘッドスライダに電気接続されていることを特徴とする。
【００１９】
本発明は、ヘッドサスペンションアセンブリ（ＨＳＡ）に用いられる新規な積層構造体である。本発明の積層構造体は、相互接続部アセンブリ（シート状の導電トレース）とサスペンションアセンブリとを一体化することによって、導体の手作業による取り扱い処理をなくす。取り扱い処理を減らすことによって取り扱い処理による破損を最小限に抑えることができ、従って破損部品が減少し、製造歩留まりが増加する。サスペンションアセンブリ及び相互接続部アセンブリが一緒に製造されるため、部品の整合のばらつき（標準偏差）が最小になる。従って、機械的作業中のエラーが減少する。導体配置が常に正確であり、組み立て中のコスト及び時間が掛かる手作業による取り付けを必要としない。取り扱い処理が少なく、曲がった部品が少なく、また組み立て誤差が少ないことによって、浮動高さ性能の安定性が高まり、製造処理がさらに効率的になる。
【００２０】
また、積層構造体を製造する第１段階は、多層合わせシートを準備することである。シートは、金属ばね材からなる第１層と、電気絶縁性の、好ましくは接着性の材料からなる中間の第２層と、導電材料からなる第３層とを有している。第２層は、積層構造体全体に与えるばね特性が最小である。第３層は、ベリリウム銅等の導電性ばね材にすることができる。
【００２１】
第２段階は、層を外側から始めて複数の層を形成するものである。層に必要なパターンを形成する方法はエッチングによるものである。第１層のエッチングで主ばね部品が形成される。第３層のエッチングから少なくとも１つの導電トレースが形成され、この導電トレースにはヘッドアセンブリに電気接続でき、また選択領域において補助的な機械的ばね部品として機能できる形状の少なくとも１つの細長い導体が含まれる。第２層からは、第１及び第３層の部品を形成するエッチング後に残った構造部間の接触領域に一致した形状のパネルが形成される。
【００２２】
ヘッドサスペンションアセンブリ（ＨＳＡ）の製造を完了するため、積層構造体の導電トレースがヘッドアセンブリに電気接続され、積層構造体がＨＳＡの他の部品に取り付けられる。
【００２３】
積層構造体の形態として、相互接続部アセンブリ、相互接続部／サスペンションアセンブリ、及びジンバル／相互接続部アセンブリがある。相互接続部アセンブリは負荷ビームに取り付けられ、少なくとも１つの導電トレースを設けている。第２層が誘電体の電気絶縁体になり、第３層には支持及び剛直プレートを設けることができる。
【００２４】
相互接続部／サスペンションアセンブリは、相互接続部アセンブリとサスペンションアセンブリを有し、このサスペンションアセンブリには、ジンバルと、剛性領域及びばね領域を備えた負荷ビームとが設けられている。ジンバルは、第１層か、第３層、またはその両方から形成できる。負荷ビームのばね領域も、いずれか一方または両方の層から形成できる。
【００２５】
相互接続部／サスペンションアセンブリの第１の実施の形態は、ステンレス鋼からなる第１層と、ポリイミドからなる薄い第２層と、ベリリウム銅からなる第３層とを設けている。第１層は、剛性領域を含む平板状の負荷ビームプレートを設けている。第３層は、ヘッドアセンブリに電気接続するための少なくとも１つの導電トレースを設けており、各導電トレースは、先端部分にジンバル領域を、基端部分に負荷ビーム領域を備えている。ジンバル領域は、ジンバル長手方向アームを形成する形状になっている。第２層は少なくとも１つのパネルを設けており、そのパネルは、第１層及び第３層の重合部分間に配置されてそれらを互いに絶縁している。
【００２６】
【発明の効果】
本発明の磁気ヘッドサスペンションを構成する積層構造体は、相互接続部アセンブリの（シート状の導電トレース）とサスペンションアセンブリを一体化することによって、導体の手作業による取り扱い処理をなくす。取り扱い処理を減らすことによって取り扱い処理による破損を最小限に抑えることができ、従って破損部品が減少し、製造歩留まりが増加する。サスペンションアセンブリ及び相互接続部アセンブリが一緒に製造されるため、部品の整合のばらつき（標準偏差）が最小になる。従って、機械的作業中のエラーが減少する。導体配置が常に正確であり、組み立て中のコスト及び時間が掛かる手作業による取り付けを必要としない。取り扱い処理が少なく、曲がった部品が少なく、また組み立て誤差が少ないことによって、浮動高さ性能の安定性が高まり、製造処理がさらに効率的になる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
図１〜図３は、本発明に従って形成された、長手方向軸線18に整合させたＨＳＡ12を示している。ＨＳＡ12は、相互接続部／サスペンションアセンブリ14と、相互接続部／サスペンションアセンブリ14の先端部に取り付けられたヘッドアセンブリ20とを備えて居る。相互接続部／サスペンションアセンブリ14は、負荷ビーム72と、電気信号相互接続部アセンブリ15と、ジンバル40とを有している。
【００２８】
サスペンションアセンブリ14は、基端部33と、先端部34と、基端部33に近接したベース領域35と、剛性領域37と、ベース領域及び剛性領域37間のばね領域36とが設けられている。図１から明らかなように、負荷ビーム72は、剛性領域37、ばね領域36、及びベース領域35によって形成されている。ばね領域36には、ばね領域36のスティフネスを調節できるように選択できる相対寸法のばね開口38が形成されている。
【００２９】
相互接続アセンブリ15は、サスペンションアセンブリ14の全長に渡って延在しているプレート状の６つの導電トレース71、及び図３に示されている絶縁領域91、92及び93と、適当な電気回路接続手段(図示略)とを有している（他の形態では公知のコネクタ手段を設けることもできる）。
【００３０】
導電トレース71は、ヘッドアセンブリ20からの電気信号をＨＡＳ20に沿ってその基端部より先へ増幅及び制御電子機器（図示せず）まで接続する細長い弾性的な事前にパターン化した導電体である。導電トレース71には、基端部73と、負荷ビームの先端部付近の領域74とが設けられている。導電トレース71の幅及び厚さは、導電トレースの機械的スティフネス及びその電気抵抗の両方またはいずれか一方を変化させるために様々な領域で、または領域内で変えることができる。
【００３１】
図１に示すように、負荷ビーム72には、基部ベース領域75と、中間ばね領域76と、先端剛性領域77とが設けられている。本実施例では、導電トレース71のジンバル領域80がジンバルアセンブリ40の部品として機能する。導電トレース71に使用されているBeCu合金の機械的及び電気的特性によって、第３層70は電気相互接続部アセンブリ内の導電体として機能するだけでなく、機械的ばね部品としても機能することができる。本相互接続部アセンブリ15は、電気的相互接続部アセンブリ及び機械的ジンバルばねの両方として機能するため、それは一体型ジンバル／相互接続部アセンブリと呼ばれる。
【００３２】
本発明の形態では、導電トレース71の剛性領域77が、相互接続部／サスペンションアセンブリ14の剛性領域37に付加的な補助の剛性を与えることによって相互接続部／サスペンションアセンブリの共振応答を変化させる補強剛性領域としても機能している。図示の形態では、導電トレース71の剛性領域77が剛性領域37の補強を行い、従来の負荷ビームにその目的で通常使用されているレールまたはフランジをいずれも必要としない。他の用例では、サスペンションの所望性能特性を得るために剛性トレースと補強レールまたはフランジの両方を使用してもよい。
【００３３】
導電トレース71の剛性領域77の厚さ及び幅の両方またはいずれか一方を増大させることによって、それらの電気抵抗も減少させながらそれらのスティフネスを高くすることができる。図１では、導電トレース71がＨＳＡ12の基端部33からわずかに延出している。導電トレース71は、アクチュエータアーム（図示せず）上またはディスク駆動装置（図示せず）のフレーム上に設けられている増幅及び処理回路まで延在させて戻すか、必要に応じて中間配線ハーネスに接続することができる。
【００３４】
図２は、ジンバル40をスライダ21と共に分解して示す拡大詳細図である。ここに開示されているジンバルアセンブリは、いわゆる「Ｔ字形たわみ部」上にスライダ21を取り付けた「ワトラス形」ジンバルに似ており、ヘッドスライダ21は、横脚部材51から一端部で回動可能に懸架されている舌片部分52に取り付けられ、横脚部材51が、中央切り欠き領域において、前記舌片部分52を跨ぐ一対の平行フィンガ47の先端部に連結されている。
【００３５】
ジンバル40は、ヘッドスライダアセンブリ20のジンバル支持を与える。それは、アクチュエータの動作中にサスペンションアセンブリ14が受ける運動及びねじれ、またはディスク表面の位相のわずかな変化とは無関係に、ヘッドアセンブリ20を回転ディスクの記録表面に対して正確な取り付け向きでそれから最適距離に維持する。
【００３６】
ここに開示されている本発明の形態では、ジンバル40が開口41の２側部を囲む一対の平行な可撓性のフィンガ部分47を備えている。図示の形態では、可撓性のフィンガ部分47の各々は１群の導電トレースで構成されている。従来のワトラス形サスペンションでは、Ｔ字形たわみ部が別体として形成されて、一般的に溶接または他の方法で負荷ビームに永久的に固着されている。そのような従来型のワトラスたわみ部は、押し抜きまたはエッチング加工によって中央開口を囲む一対の平行なフィンガを形成している。そのような従来型のたわみ構造では、支持縦揺れ軸線ヒンジ回りに回動可能で、平行フィンガの先端部間を連結している横脚プレートから平行フィンガ間の開口内へ突出している舌片部分にスライダが取り付けられる。従来型のたわみ構造では、スライダの底面が一般的にたわみ部よりも相当に大きい。すなわち、スライダが開口及び平行外側フィンガの幅全体に渡るため、フィンガやスライダ及び負荷ビームの残りの部分の平面より上方に変位するように中央舌片の平面をずらしてスライダを形成することが必要である。
【００３７】
ここに開示されている形態では、ジンバル40がワトラスたわみ部と同様な機械的機能を行うだけでなく、従来技術では考えられなかった電気的機能も行うため、全体構造が非常に異なっている。例えば、本発明では、負荷ビームに溶接する必要がある別体のたわみ構造がまったくない。代わりに、導電トレース71の、サスペンションアセンブリ14の長手方向に沿った部分がサスペンションアセンブリ14の先端部から延出して、一対の平行フィンガ47としてたわみ領域内で機械的に作用している。
【００３８】
リード線、即ち導電トレース71の平行フィンガ（フィンガ部分）47は、それぞれ、集合的に従来のワトラスたわみ部の板金フィンガと同じ機械的ばね機能を行うことができる厚さ及び全体断面を備えている。
【００３９】
特に、図２に示されているように、平行フィンガ47はサスペンションアセンブリ14の主構造である負荷ビームの先端部48のシート材料によって支持されていない。それらは、たわみ領域内で絶縁領域90、91または92等の誘電材料の層を上に設けても、設けなくてもよい。図１〜図３に示されている形態では、たわみ領域（フィンガ部分）47内の無支持導電トレース71の上に誘電材料を設けていない。
【００４０】
図２に示されているように、導電トレース71の幅すなわち断面積は、サスペンションアセンブリ14の先端部で増加して、導電トレース71がサスペンションアセンブリ14で支持されている部分とそれが無支持たわみ部の平行フィンガ47として作用する部分との間の移行領域の強度を高めている。
【００４１】
ジンバル及びサスペンション全体の横方向ステイフネスをさらに向上させるため、横方向ステイフネスを強化したアイランド49が平行フィンガ47の構造の一部として示されている。アイランドは、構造負荷ビームと同じ素材のステンレス鋼合金製で、一般的に負荷ビームと同じ厚さであり、またステンレス製のアイランド49と導電トレース71の平行フィンガ47との間に誘電被膜が設けられている。アイランド49は、サスペンションの残りの部分を製造するために使用されるステンレス／誘電体／導体の積層材の同じエッチング処理の一部として製造するのが最も容易である。
【００４２】
横脚部材（横脚部プレート）51は、サスペンションの残りの部分を製造するために使用されるステンレス鋼合金の同じ初期材料から形成されるのが一般的である。横脚部材51の幅は平行フィンガ47の全幅より小さくてもよいが、図２に示されているように全幅にしてもよい。
【００４３】
ヘッドスライダ20は、横脚部材51から突出する舌片部分52に固着されるが、図２に示されているように、スライダを横脚部材51の舌片部分52に接着するために使用される接着剤にＵＶ硬化放射線を伝えやすくするために１つまたは複数の硬化孔53を舌片部分52に設けることができる。
【００４４】
スライダを舌片部分52に取り付けた後、スライダ20の端子23と導電トレース71との間を適当に電気接続するワイヤー接続方法が用いられる。
【００４５】
従来技術のワトラス形サスペンションの場合と同様に、サスペンションアセンブリ14の先端部分に負荷突起60が設けられており、これは、図１〜図３に示されている本発明の形態では、スライダアセンブリ20と直接的に係合、当接して、スライダの揚力中心に一致した点で適当な負荷力を加える。
【００４６】
また、図３に示すように、本発明の積層構造体を製造する第１段階は、多層合わせシートを準備することである。シートは、金属ばね材からなる第１層50と、電気絶縁性の、好ましくは接着性の材料からなる中間の第２層90と、導電材料からなる第３層70とを有している。第２層90は、積層構造体全体に与えるばね特性が最小である。第３層70は、ベリリウム銅等の導電性ばね材にすることができる。
【００４７】
図示の形態では、導電トレース71がサスペンションの上表面に載置されている。そのような配置は、端子バッド22及び23がスライダの端部壁上に位置している図示のスライダ20に接続するのに特に適している。端部壁取り付け形スライダパッドとの接続は、ワイヤーボンディング等の公知のブリッジング接続技法で容易に行われる。
【００４８】
あるいは、導電トレース71は、図１〜図３に示されている形態での取り付け側とは反対側でサスペンションに取り付けることもできる。そのような配置は、端子パッドが端部壁ではなく上表面に設けられている形状のスライダとの接続を容易にする。そのような構造では、スライダの上表面上のパッドにワイヤーボンディングでブリッジング接続しやすくするため、舌片部分52のほぼ表面全体を覆うように導電トレースを拡げてもよい。
【００４９】
本発明は、以上の詳細な説明に制限されるものではなく、特許請求の範囲から逸脱しない形式において様々な変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明によるヘッドサスペンションアセンブリの斜視図である。
【図２】図２は、図１に示されているヘッドサスペンションアセンブリのジンバルの詳細拡大図である。
【図３】図３は、図１に示されているサスペンションアセンブリの、第２層の露出部分をエッチングで取り除いたものの分解斜視図である。
【図面の符号】
１２  ヘッドサスペンションアセンブリ
２０  ヘッドスライダアセンブリ
２１  ヘッドスライダ
３５  ベース領域
３６  ばね領域
３７  剛性領域
４０  ジンバル（たわみ部）
４７  平行フィンガ
５１  横脚部材
５２  舌片部分
７１  導電トレース
７２  負荷ビーム
【図１】
0003716340.tif 000002
【図２】
0003716340.tif 000003
【図３】
0003716340.tif 000004