(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々の先端で被洗浄基板を下方側から支持する複数の支持体と、前記被洗浄基板の底面に沿って移動するとともに前記被洗浄基板の底面に対して洗浄液を供給する洗浄用ノズルとを有し、該洗浄用ノズルの移動方向前方の前記支持体を移動する洗浄用ノズルと干渉しないよう該洗浄用ノズルの移動と連動して昇降動させる支持体の昇降動駆動装置とを有し、
前記駆動装置が、前記各支持体を上方に付勢する支持体保持部材と、前記支持体に設けた受圧体と、前記洗浄用ノズルに設けられて該洗浄用ノズルの移動方向前方に向かって延び、該洗浄用ノズルの移動に従いその移動方向前方の支持体の前記受圧体に当接しながら前記支持体保持部材の付勢力に抗しつつ前記前方の支持体を押し下げる押し下げ体とを有することを特徴とする基板洗浄装置。
【請求項２】
各々の先端で被洗浄基板を下方側から支持する複数の支持体と、前記被洗浄基板の底面に沿って移動するとともに前記被洗浄基板の底面に対して洗浄液を供給する洗浄用ノズルとを有し、該洗浄用ノズルの移動方向前方の前記支持体を移動する洗浄用ノズルと干渉しないよう該洗浄用ノズルの移動と連動して昇降動させる支持体の昇降動駆動装置とを有し、
前記被洗浄基板の下方には、全ての前記支持体が降下したときに前記被洗浄基板を保持可能な第１の基板ホルダが備えられ、該第１の基板ホルダの前記被洗浄基板側に前記被洗浄基板を支持する別の支持ピンが設けられるとともに、該第１の基板ホルダの前記被洗浄基板と反対側には前記第１基板ホルダを回転自在に支持するホルダ回転シャフトが設けられ、
前記洗浄用ノズルによる洗浄後に、前記第１の基板ホルダによって前記被洗浄基板をスピン乾燥させるように構成されたことを特徴とする基板洗浄装置。
【請求項３】
各々の先端で被洗浄基板を下方側から支持する複数の支持体と、前記被洗浄基板の底面に沿って移動するとともに前記被洗浄基板の底面に対して洗浄液を供給する洗浄用ノズルとを有し、該洗浄用ノズルの移動方向前方の前記支持体を移動する洗浄用ノズルと干渉しないよう該洗浄用ノズルの移動と連動して昇降動させる支持体の昇降動駆動装置とを有し、
前記被洗浄基板の下方には第２の基板ホルダが備えられ、該第２の基板ホルダには、前記支持体が昇降自在に通される挿通孔が設けられるとともに、前記支持体の先端が前記挿通孔内に降下されたときに前記先端に対して不活性ガスを供給して前記先端を清浄するためのガス供給孔が前記挿通孔に連通して設けられていることを特徴とする基板洗浄装置。
【請求項４】
前記洗浄用ノズルが、一側に洗浄液を導入する導入通路と他側に洗浄後の洗浄液を排出する排出通路とを具備するとともに、これら導入通路と排出通路との間に、前記被処理基板に対して前記導入通路から導入した洗浄液をガイドしかつ前記被処理基板を洗浄処理するガイド部材を具備してなることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板洗浄装置。
【請求項５】
前記洗浄用ノズルが、前記被洗浄基板に超音波振動を付与する超音波付与手段を有することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板洗浄装置。
【請求項６】
前記被洗浄基板の上面に沿って移動するとともに前記被洗浄基板の前記上面に対して洗浄液を供給する洗浄用ノズルを少なくとも一つ具備することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板洗浄装置。
【請求項７】
純水に水素ガスまたはオゾンガスを溶解させた洗浄液を製造する洗浄液製造手段と、前記洗浄液を前記洗浄用ノズルに供給する洗浄液供給手段とを有することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板洗浄装置。
【請求項８】
前記被洗浄基板を洗浄した後の使用済み洗浄液を回収する洗浄液回収手段と、該洗浄液回収手段を通して回収された洗浄液を再生する洗浄液再生手段と、該洗浄液再生手段で再生された洗浄液を前記洗浄用ノズルに供給する再生洗浄液供給手段とを有することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板洗浄装置に関し、特に各種電子機器用基板として用いる半導体基板やガラス基板等の洗浄に用いて好適な基板洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイス、液晶表示パネル等の電子機器の分野においては、その製造プロセス中に被処理基板である半導体基板やガラス基板を洗浄処理する工程が必須である。その場合、基板上の洗浄除去すべき対象として、クリーンルーム内の雰囲気中のパーティクル、フォトレジスト片等の有機物等、種々の物質があり、それぞれの除去対象に最適な洗浄液や洗浄方法が従来から検討されている。例えば、流水洗浄などが一般的であるが、その他の洗浄方法としては、超音波洗浄等をはじめとする物理洗浄、紫外線照射により有機物等からなる被除去物を分解する光洗浄、等がある。
【０００３】
ところで上記被処理基板を流水洗浄する従来の基板洗浄装置としては、被処理基板の表面に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルが備えられた基板洗浄部と、該基板洗浄部で洗浄された被処理基板を乾燥する乾燥部と、これら基板洗浄部と乾燥部に順次被処理基板を搬送するコロとが備えられてなるものが用いられている。このような構成の基板洗浄装置を用いて被処理基板を流水洗浄するには、該装置を製造ラインに設置し、コロにより被処理基板を上記基板洗浄部に搬送し、さらにコロにより被処理基板を搬送しながら上記洗浄液供給ノズルから供給された洗浄液で上記基板の表面を洗浄し、この後、さらにコロにより洗浄した被処理基板を上記乾燥部に搬送し、乾燥させていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上述のような構成の従来の基板洗浄装置においては、コロにより被処理基板を搬送しながら洗浄するものであるので、製造ライン中の基板洗浄装置の長さが８〜１０ｍと長く、クリーンルーム内の装置の占有スペースが大きくなり、また、洗浄工程における被処理基板の搬送距離も長くなってしまうため、洗浄工程だけで多大な設備費を費やしてしまい、極めて非合理的である。
また、半導体デバイス、液晶表示パネル等の分野においては、近年、基板がますます大型化する傾向にあるが、大型の基板洗浄用の装置となればそれだけ装置の占有スペースも大きくなるため、上記問題点がより顕著になってくる。
【０００５】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、装置の占有スペースを減少でき、製造ライン等に用いて合理的な基板洗浄装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の基板洗浄装置は、各々の先端で被洗浄基板を下方側から支持する複数の支持体と、上記被洗浄基板の底面に沿って移動するとともに上記被洗浄基板の底面に対して洗浄液を供給する洗浄用ノズルとを有し、該洗浄用ノズルの移動方向前方の上記支持体を移動する洗浄用ノズルと干渉しないよう該洗浄用ノズルの移動と連動して昇降動させる支持体の昇降動駆動装置とを有し、前記駆動装置が、前記各支持体を上方に付勢する支持体保持部材と、前記支持体に設けた受圧体と、前記洗浄用ノズルに設けられて該洗浄用ノズルの移動方向前方に向かって延び、該洗浄用ノズルの移動に従いその移動方向前方の支持体の前記受圧体に当接しながら前記支持体保持部材の付勢力に抗しつつ前記前方の支持体を押し下げる押し下げ体とを有することを特徴とするものである。
また本発明の基板洗浄措置は、各々の先端で被洗浄基板を下方側から支持する複数の支持体と、前記被洗浄基板の底面に沿って移動するとともに前記被洗浄基板の底面に対して洗浄液を供給する洗浄用ノズルとを有し、該洗浄用ノズルの移動方向前方の前記支持体を移動する洗浄用ノズルと干渉しないよう該洗浄用ノズルの移動と連動して昇降動させる支持体の昇降動駆動装置とを有し、前記被洗浄基板の下方には、全ての前記支持体が降下したときに前記被洗浄基板を保持可能な第１の基板ホルダが備えられ、該第１の基板ホルダの前記被洗浄基板側に前記被洗浄基板を支持する別の支持ピンが設けられるとともに、該第１の基板ホルダの前記被洗浄基板と反対側には前記第１基板ホルダを回転自在に支持するホルダ回転シャフトが設けられ、前記洗浄用ノズルによる洗浄後に、前記第１の基板ホルダによって前記被洗浄基板をスピン乾燥させるように構成されたことを特徴とするものである。
更に、本発明の基板洗浄装置は、各々の先端で被洗浄基板を下方側から支持する複数の支持体と、前記被洗浄基板の底面に沿って移動するとともに前記被洗浄基板の底面に対して洗浄液を供給する洗浄用ノズルとを有し、該洗浄用ノズルの移動方向前方の前記支持体を移動する洗浄用ノズルと干渉しないよう該洗浄用ノズルの移動と連動して昇降動させる支持体の昇降動駆動装置とを有し、前記被洗浄基板の下方には第２の基板ホルダが備えられ、該第２の基板ホルダには、前記支持体が昇降自在に通される挿通孔が設けられるとともに、前記支持体の先端が前記挿通孔内に降下されたときに前記先端に対して不活性ガスを供給して前記先端を清浄するためのガス供給孔が前記挿通孔に連通して設けられていることを特徴とするものである。
【０００７】
すなわち、本発明の基板洗浄装置においては、複数の支持体の各々の先端が被処理基板の下方側から支持でき、しかも上記被処理基板の底面に対して洗浄液を供給する洗浄用ノズル（底面洗浄用ノズル）が上記被処理基板の底面に沿って移動でき、さらに支持体の昇降動駆動装置は、上記洗浄用ノズルの移動方向前方の上記支持体が移動する洗浄用ノズルと干渉しないように該洗浄用ノズルの移動と連動して昇降動できる構成とした。そのため、上記複数の支持体の各々の先端で被処理基板をこれの下方側から支持し、上記洗浄用ノズルを上記被処理基板の底面に沿って移動させると、該洗浄用ノズルの移動方向前方の上記支持体が下降するので移動する洗浄用ノズルと干渉することがなく、また、下降した支持体は洗浄用ノズルの通過後に上昇し、その先端で上記被処理基板を再度支持できる。
【０００８】
本発明の基板洗浄装置では、被処理基板をコロにより搬送しながら洗浄する従来の基板洗浄装置と異なり、上記洗浄用ノズルを上記被処理基板の底面に沿って移動させることで、被処理基板を殆ど移動させることなく、被処理基板の底面を洗浄できる。従って、本発明の基板洗浄装置によれば、製造ライン中の基板洗浄装置の長さを短縮して装置の占有スペースを減少でき、洗浄工程における被処理基板の搬送距離も大幅に短くでき、また、洗浄用ノズルの移動範囲は上記被処理基板面の大きさ分程度で済むので、洗浄工程に多大な設備費や占有スペースを費やすこともなく、合理的な装置とすることができる。
【０００９】
また、上記洗浄用ノズルの構成として以下のものを採用することが好ましい。
第１に、上記洗浄用ノズルを、一側に洗浄液を導入する導入通路と他側に洗浄後の洗浄液を排出する排出通路とを具備するとともに、これら導入通路と排出通路との間に、上記被処理基板に対して上記導入通路から導入した洗浄液をガイドしかつ上記被処理基板を洗浄処理するガイド部材を具備した構成とすることが望ましい。
このような構成の洗浄用ノズルは、本出願人が既に出願済みの洗浄装置に用いたノズル（省流体型ノズル）を用いることが好ましい。従来一般の洗浄用ノズルを用いた洗浄では、洗浄液が基板表面に供給された後、洗浄液が被除去物を基板表面から剥離させ、被除去物を含んだ洗浄液が基板上を流れる、という過程をとる。この際、被除去物が基板表面に再付着するため、従来のノズルでは被除去物の除去率に限界があった。そこで、本出願人提案の洗浄装置のノズルの場合、導入通路から洗浄液を基板表面に供給したら、その洗浄液を供給した部分以外の基板表面に洗浄液を接触させることなく、排出通路から被除去物を含んだ洗浄液を外部に排出する構成となっている。この構成により、従来一般の洗浄用ノズルを用いた洗浄装置に比べて洗浄後の基板の清浄度を著しく向上させることができた、というものである。
【００１０】
また、従来一般の洗浄装置では、清浄度を上げるために多量の洗浄液を必要とするが、本出願人提案の洗浄装置では、上記作用により充分な清浄度が得られるとともに、ガイド部材に設けたノズル開口部での洗浄液の圧力に対して排出口からの吸引力を制御することで洗浄液をノズルの外部に漏らすことなく、排出することができる。その結果、洗浄液の使用量を大きく削減することができ、その意味で「省流体型ノズル」ということができる。
【００１１】
第２に、上記洗浄用ノズルを、上記被洗浄基板に超音波振動を付与する超音波付与手段を有する構成とすることが望ましい。
この構成により、被処理基板が洗浄用ノズルから供給された洗浄液で洗浄されている間、該洗浄液と被処理基板に超音波が付与されるので、超音波が付与されない場合に比べて、被処理基板に付着した被除去物の除去効率が良く、洗浄後の基板の洗浄度を向上できる。
第３に、上記洗浄用ノズルは、複数設けられていることが望ましい。
この構成により、複数の洗浄用ノズルの各々が被洗浄基板を複数種の異なる洗浄方法により洗浄処理するため、本装置１台で種々の洗浄を行うことができ、パーティクル、有機物等、種々の除去対象があっても、これらを確実に洗浄除去することができる。
第４に、上記洗浄用ノズルには、上記導入通路と上記排出通路がそれぞれ複数設けられていることが望ましい。
この構成により、一つの洗浄用ノズルで複数種の異なる洗浄方法により被処理基板を洗浄処理でき、洗浄部に設ける洗浄用ノズルの数を少なくでき、その結果、洗浄用ノズルの収納スペースを減少でき、装置の占有スペースを減少できる。
【００１２】
さらに、上記駆動装置の構成として以下のものを採用してもよい。
第１に、上記駆動装置が、上記洗浄用ノズルの移動速度及び所定の移動時間の乗算値に基づいて該洗浄用ノズルの移動方向前方にあたる上記支持体を下降させる駆動信号を出力し、ついで上記洗浄用ノズルが上記下降した支持体の上方を通過した後に該支持体を上昇させる駆動信号を出力する制御手段と、上記制御手段から上記下降駆動信号が入力された際に上記支持体を下降させ、ついで入力した上記上昇駆動信号によって上記洗浄用ノズルが上記下降した支持体の上方を通過した後に該支持体を上昇させる支持体駆動手段とを有する構成するものであってもよい。
【００１３】
第２に、上記駆動装置が、上記洗浄用ノズルが移動中所定の位置に到達した際に、上記洗浄用ノズルの移動方向前方にあたる上記支持体を下降させる駆動信号を出力し、ついで上記洗浄用ノズルが上記下降した支持体の上方を通過した後に該支持体を上昇させる駆動信号を出力する駆動信号発生手段と、該駆動信号発生手段からの下降駆動信号が入力された際に上記支持体を下降させ、ついで入力した上記上昇駆動信号によって上記洗浄用ノズルが上記下降した支持体の上方を通過した後に該支持体を上昇させる支持体駆動手段とを有する構成とするものであってもよい。
【００１４】
また、基板洗浄装置のその他の構成要素として、以下のものを設けてもよい。
第１に、上記被洗浄基板の上面に沿って移動するとともに上記被洗浄基板の上記上面に対して洗浄液を供給する洗浄用ノズル（上面洗浄用ノズル）を少なくとも一つ設けてもよい。
底面洗浄用ノズル以外に上記のような上面洗浄用ノズルを設けた場合、被処理基板の両面を一度に洗浄できるので、被洗浄基板の底面を洗浄する洗浄用ノズルだけを設けた場合と比べて、被処理基板の洗浄効率が向上し、洗浄工程に要する時間を短縮できる。
【００１５】
第２に、純水に水素ガスまたはオゾンガスを溶解させた洗浄液を製造する洗浄液製造手段と、上記洗浄液を上記洗浄用ノズルに供給する洗浄液供給手段とを設けてもよい。
このような手段を設けた場合、純水中に水素ガスを溶かし込んだいわゆる水素水や、純水中にオゾンガスを溶かし込んだいわゆるオゾン水と呼ばれる洗浄液を用いて効率的な洗浄を行うことができる。
第３に、上記被洗浄基板を洗浄した後の使用済み洗浄液を回収する洗浄液回収手段と、該洗浄液回収手段を通して回収された洗浄液を再生する洗浄液再生手段と、該洗浄液再生手段で再生された洗浄液を上記洗浄用ノズルに供給する再生洗浄液供給手段とを設けてもよい。
その場合、一旦使用した洗浄液を回収し、再生して再利用することができるので、洗浄液の使用量を削減することができる。洗浄液の再生手段としては、例えば洗浄液中に含まれたパーティクルや異物を濾過するフィルタ、洗浄液中の気体を除去するための脱気装置等が挙げられる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
［第１の実施の形態］
以下、本発明の第１の実施の形態を図１ないし図１４を参照して説明する。
図１は本実施の形態の基板洗浄装置１の全体構成を示す図であって、数百ｍｍ角程度の大型のガラス基板（以下、単に基板という、被洗浄基板）を枚葉洗浄するための装置である。
図中符号２は洗浄部、３は基板保持部、４，５，６，７は洗浄用ノズル、８は基板搬送ロボット、９はローダカセット、１０はアンローダカセット、１１は水素水・オゾン水生成部（洗浄液製造手段）、１２は洗浄液再生部（洗浄液再生手段）、Ｗは基板である。
【００１７】
図１に示すように、装置上面中央が洗浄部２となっており、基板Ｗを保持する基板保持部３が設けられている。
基板保持部３は、図２に示すように、第一の基板ホルダ１３と、この第一の基板ホルダ１４の下方に設けられた第二の基板ホルダ１４が備えられている。
第一の基板ホルダ１３は、主にスピン乾燥時に基板Ｗを保持するために設けられたものであり、図２と図３に示すように上面に複数の支持ピン１３ａが設けられており、後述の第二の基板ホルダ１４に設けられた複数の支持ピン（支持体）１４ａを第一の基板ホルダ１３より下降させたときに、複数の支持ピン１３ａの各々の先端で基板Ｗを下方側から支持できるようになっている。
【００１８】
また、図３に示すように、第一の基板ホルダ１３の上面の端部に、複数の基板固定用ピン１３ｂが設けられており、後述する基板Ｗの乾燥工程において第一の基板ホルダ１３の回転時に、複数の支持ピン１３ａの各々の先端に支持された基板Ｗがこれら複数の基板固定用ピン１３ｂにより側方から支持されて、第一の基板ホルダ１３から飛び出すのを防止されるようになっている。
また、図２と図３に示すように、第一の基板ホルダ１３に複数のピン挿通孔１３ｃと複数のピン挿通用切欠１３ｄが後述する第二の基板ホルダ１４の複数の支持ピン１４ａに対応して設けられており、各ピン挿通孔１３ｃと各切欠１３ｄには対応する支持ピン１４ａが通るようになっている。
また、図２に示すように、第一の基板ホルダ１３の底面からホルダ回転用シャフト１３ｅが突出している。ホルダ回転用シャフト１３ｅは、第二の基板ホルダ１４に設けられたシャフト受孔１４ｄに、回転可能で、かつ上下に昇降可能に嵌められている。
ホルダ回転用シャフト１３ｅの下端に、図示しないモータやシリンダ等のシャフト駆動源が設けられ、このシャフト駆動源の作動により、シャフト１３ｅが回転して第一の基板ホルダ１３が回転するようになっているので、第一の基板ホルダ１３上に載せられた基板Ｗもホルダ１３の回転と共に回転し、基板Ｗに残留している水分等を飛ばして、基板Ｗを移動させることなくスピン乾燥させることができる。
【００１９】
第二の基板ホルダ１４は、洗浄時に基板Ｗを保持するために設けられたものであり、図２と図４に示すようにホルダ１４の幅方向（横方向）すなわち後述する洗浄用ノズルの長手方向（洗浄用ノズルの移動方向と直交する方向）に沿って並べられた複数のピン挿通孔１４ｃがホルダ１４の縦方向すなわち後述する洗浄用ノズルの移動方向に複数列設けられている。さらに、各ピン挿通孔１４ｃに、合成樹脂等からなる支持ピン（支持体）１４ａが通されているので、ホルダ１４の幅方向（横方向）すなわち後述する洗浄用ノズルの長手方向（洗浄用ノズルの移動方向と直交する方向）に沿って並べられた複数の支持ピン１４ａがホルダ１４の縦方向すなわち後述する洗浄用ノズルの移動方向に複数列設けられた状態となっている。
これら複数の支持ピン１４ａの各々の先端は、ピン挿通孔１４ｃと、これに対応して設けられたピン挿通孔１３ｃ又はピン挿通用切欠１３ｄを通って第一の基板ホルダ１３と基板Ｗとの間の空間に突出し、各々の先端で基板Ｗを下方側から支持できるようになっている。
各支持ピン１４ａの先端は、基板Ｗと点接触となる先窄まり形状であり、基板Ｗへの粒子付着は極めて少ない。
【００２０】
各支持ピン１４ａの下端は、図示しない支持ピンの昇降駆動装置（支持体の昇降駆動装置）の支持ピン駆動ソレノイド（支持体駆動手段）と接続されている。また、図４に示すように第二の基板ホルダ１４の各コーナ部に、ホルダ支持板１４ｆが設けられている。これらホルダ支持板１４ｆには、基板位置調整機構としてシリンダ等の駆動源（図示略）が設けられ、該駆動源の作動により支持板１４ｆを前後左右に動かすことにより、第二の基板ホルダ１４の水平位置を調整し、支持ピン１４ａの先端に支持された基板Ｗの位置を微調整できるようになっている。
【００２１】
図１に示すように、基板保持部３を挟んで対向する位置に一対のラックベース１６が設けられ、これらラックベース１６間に洗浄用ノズル４，５，６，７が架設されている。洗浄用ノズルは並列配置された複数（本実施の形態の場合、４本）のノズルからなり、各洗浄用ノズル４，５，６，７が異なる洗浄方法により洗浄を行うものとなっている。本実施の形態の場合、これら４本のノズルは、基板Ｗの底面にオゾンを供給するとともに紫外線ランプ（図示略）から紫外線を照射することによって主に有機物を分解除去する紫外線洗浄用ノズル４、図５と図６に示したように基板Ｗの底面に水素水を供給しつつ超音波素子（超音波付与手段）２５により超音波振動を付与して洗浄する水素水超音波洗浄用ノズル５、基板Ｗの底面にオゾン水を供給しつつ超音波素子により超音波振動を付与して洗浄するオゾン水超音波洗浄用ノズル６、基板Ｗの底面に純水を供給してリンス洗浄を行う純水リンス洗浄用ノズル７、である。
これら４本のノズルが複数の支持ピン１４ａの各々の先端で支持された基板Ｗの底面と基板保持部３との間で、基板Ｗとの間隔を一定に保ちながらラックベース１６上のリニアガイド１７に沿って順次移動できる構成となっている。
【００２２】
ここでのノズルの移動手段としては、図５と図６に示すように、各ラックベース１６上のリニアガイド１７に沿って水平移動可能とされたスライダ１８がそれぞれ設けられ、各スライダ１８の上面に支柱１９がそれぞれ立設され、これら支柱１９に各洗浄用ノズル４，５，６，７の両端部が固定されている。各スライダ１８上にはモータ２０等の駆動源が設置されており、各スライダ１８がラックベース１６上を自走する構成となっている。そして、装置の制御部（図示略）から供給される制御信号により各スライダ１８上のモータ２０がそれぞれ作動することによって、各洗浄用ノズル４，５，６，７が個別に水平移動する構成となっている。また、支柱１９にはシリンダ（図示略）等の駆動源が設けられ、支柱１９が上下動することにより各洗浄用ノズル４，５，６，７の高さ、すなわち各洗浄用ノズルと基板Ｗとの間隔が調整可能となっている。このようなノズルの移動手段による洗浄用ノズルの移動速度は、基板Ｗが１ｍ角のものである場合、１〜５０ｍｍ／秒程度である。
【００２３】
図５と図６は４本の洗浄用ノズルのうち、例えば水素水超音波洗浄用ノズル５の構成例を示す図であるが、他のノズルも基本形状は同様であるため、これを用いて説明する。
この洗浄用ノズル５は、一側に洗浄液を導入するための導入口２１ａを有する導入通路２１と他側に洗浄後の洗浄液を排出するための排出口２２ａを有する排出通路２２とを形成し、これら導入通路２１と排出通路２２との間に導入通路２１から導入した洗浄液をガイドし、かつ基板Ｗを洗浄処理するガイド部材２３を設け、このガイド部材２３は基板Ｗに向けて開口する開口部２４を有するものであり、プッシュ・プル型ノズル（省流体型ノズル）と呼ばれるものである。この場合、開口部２４は、洗浄用ノズル４，５，６，７の並列方向と交差する方向に少なくとも基板Ｗの幅以上の長さに延びている（本実施の形態の場合、１本の洗浄用ノズルにつき、ガイド部材２３および開口部２４は３組設けられており、３組合わせて開口部２４が基板Ｗの幅以上の長さに延びている）。また、圧力制御部（図示略）が、基板Ｗに接触した洗浄液が洗浄後に排出通路２２に流れるように、開口部２４の大気と接触している洗浄液の圧力（洗浄液の表面張力と基板の被洗浄面の表面張力も含む）と大気圧との均衡がとれるように排出通路２２側に設けられている。
【００２４】
上記圧力制御部は排出口２２ａ側に設けられた減圧ポンプにより構成されている。したがって、排出通路２２側の圧力制御部に減圧ポンプを用いて、この減圧ポンプでガイド部材２３の洗浄液を吸引する力を制御して、開口部２４の大気と接触している洗浄液の圧力（洗浄液の表面張力と基板Ｗの被洗浄面の表面張力も含む）と大気圧との均衡をとるようになっている。つまり、開口部２４の大気と接触している洗浄液の圧力Ｐw（洗浄液の表面張力と基板Ｗの被洗浄面の表面張力も含む）と大気圧Ｐaの値をほぼ等しくすることにより、開口部２４を通じて基板Ｗに供給され、基板Ｗに接触した洗浄液は、洗浄用ノズルの外部に漏れることなく、排出通路２２に排出される。すなわち、洗浄用ノズルから基板Ｗ上に供給した洗浄液は、基板Ｗ上の洗浄液を供給した部分（開口部２４）以外の部分に接触することなく、基板Ｗ上から除去される。
上記のような構成の洗浄用ノズル５に洗浄液を供給する際は、洗浄用ノズル５の移動方向Ｓと、洗浄用ノズル５内の洗浄液の流れる向きｆ1が反対向きになるように供給する方が、洗浄用ノズル５の移動方向Ｓと洗浄液の流れる向きｆ1を同じ方向とするよりも、基板の清浄度を向上できる点で好ましい。
【００２５】
なお、洗浄用ノズルの接液面は、ＰＦＡ等のフッ素樹脂や、用いる洗浄液によっては最表面がクロム酸化物のみからなる不動態膜面のステンレス、あるいは酸化アルミニウムとクロム酸化物の混合膜を表面に備えたステンレス、オゾン水に対しては電解研磨表面を備えたチタン等とすることが、洗浄液への不純物の溶出がないことから好ましい。接液面を石英により構成すれば、フッ酸を除く全ての洗浄液の供給に好ましい。
【００２６】
さらに、ガイド部材２３の下方に基板Ｗに対向するように超音波素子（超音波付与手段）２５が設けられており、基板Ｗが洗浄されている間、洗浄液と基板Ｗに超音波が付与されるようになっている。この超音波素子２５は、１９ＫＨｚ以上の周波数の超音波を出力可能なものであり、特に、保持可能な洗浄液層の厚さの観点から０．２ＭＨｚ以上の周波数が好ましい。
【００２７】
本実施の形態における洗浄用ノズルの構成においては、水素水超音波洗浄用ノズル５とオゾン水超音波洗浄用ノズル６とが上述した構成の通りのものであり、これらは使用する洗浄液が水素水とオゾン水と異なるだけである。また、紫外線洗浄用ノズル４の場合、図６の超音波素子２５に代えて紫外線ランプを設け、ノズル内にオゾンガスを供給する構成とすればよい。この構成により、基板Ｗにオゾンガスが供給されると同時に紫外線が照射され、発生するヒドロキシラジカルの作用によって特に有機物が分解除去される。オゾンガスの外部への漏洩を防止したい場合にはエアカーテン機構等を設ければよい。また、純水リンス洗浄用ノズル７に関しては、図６の超音波素子２５を削除し、ノズル内に単に純水を供給、排出する構成とすればよい。
【００２８】
なお、洗浄用ノズル４，５，６，７の開口部２４と基板Ｗとの間の距離Ｈは、８ｍｍ以下で基板Ｗと接触しない範囲がよく、好ましくは５ｍｍ以下で基板Ｗと接触しない範囲、より好ましくは３ｍｍ以下で基板Ｗと接触しない範囲とするのがよい。８ｍｍを越えると、基板Ｗと洗浄用ノズルとの間に所望の洗浄液を満たすことが困難となり、洗浄が難しくなるからである。したがって、ラックベース１６、スライダ１８、支柱１９等をはじめとする洗浄用ノズルの支持、移動機構は、この程度の間隔を基板Ｗと洗浄用ノズルとの間に常に維持し得る構成とする必要がある。したがって、場合によっては、基板Ｗと洗浄用ノズルとの間隔をモニターする距離センサ等を設けてもよい。
本実施形態の基板洗浄装置１では、各洗浄用ノズル４，５，６，７はその両端が支柱１９により支持された両持ち支持構造であり、しかも、ラックベース１６、スライダ１８、モータ２０等からなるノズル移動手段が各洗浄用ノズルを基板との間隔を一定に保ちつつ水平移動させることにより基板Ｗの被洗浄面全域を洗浄処理できるため、洗浄中の洗浄用ノズルと基板Ｗとの距離を精度よく調整することができる。特に本実施の形態では、洗浄用ノズルの開口部２４と基板Ｗとの間隔Ｈを数ｍｍ程度で０．１ｍｍのオーダーで精密に制御する必要があるプッシュ・プル型の洗浄用ノズルを用いているため、洗浄用ノズルを両持ち支持構造としたことで、プッシュ・プル型ノズルの洗浄効率の良い利点を充分に発揮させることができる。
【００２９】
本実施の形態における支持ピンの昇降駆動装置は、各洗浄用ノズル４，５，６，７が基板Ｗの底面に沿って順次移動してくると、各洗浄用ノズル４，５，６，７が移動してくる度に該洗浄用ノズルの移動方向前方の複数の支持ピン１４ａが移動する洗浄用ノズルと干渉しないよう該洗浄用ノズルの移動と連動して昇降動させるためのものである。
第一の実施形態での支持ピンの昇降駆動装置の概略構成は、各スライダ１８をラックベース１６上のリニアベース１７に沿って走行させるモータ２０等の駆動源と接続された装置の制御部と接続された図示しないシーケンサ（制御手段）と、このシーケンサに接続された支持ピン駆動ソレノイド（支持体駆動手段）とを有している。
上記シーケンサは、上記洗浄用ノズルの移動速度及び所定の移動時間の乗算値に基づいて該洗浄用ノズルの移動方向前方にあたる支持ピン１４ａを下降させるパルス信号（駆動信号）を出力し、ついで上記洗浄用ノズルが下降した支持ピン１４ａの上方を通過した後に支持ピン１４ａを上昇させるパルス信号（駆動信号）を出力するものである。
上記支持ピン駆動ソレノイドは、上記シーケンサから上記下降パルス信号（下降駆動信号）が入力された際に支持ピン１４ａを下降させ、ついで入力した上記上昇パルス信号（上昇駆動信号）によって洗浄用ノズルが下降した支持ピン１４ａの上方を通過した後に支持ピン１４ａを上昇させるものである。
【００３０】
ここで洗浄用ノズルの移動速度及び所定の移動時間の乗算値、すなわち洗浄用ノズルの位置は、例えば、後述する洗浄用ノズル５が取り付けられたスライダ１８がラックベース１６上のリニアベース１７に沿って水平移動する際のスライダ１８の移動速度および移動時間の乗算値から検出できるようになっている。そして、この検出値に基づいて洗浄用ノズル５の移動方向前方の複数の支持ピン１４ａが移動する洗浄用ノズル５と干渉しないよう洗浄用ノズル５の移動と連動して昇降動させるには、予め、複数の支持ピン１４ａの各列の位置を上記シーケンサに記憶させておき、また、洗浄用ノズル５が取り付けられたスライダ１８の移動速度と移動時間の乗算値から検出した洗浄用ノズルの移動速度及び所定の移動時間の乗算値から移動してくる洗浄用ノズル５と支持ピン１４ａの各列との間の距離が判るように設定しておく。
【００３１】
さらに、所定の速度で水平移動してくる洗浄用ノズル５と、洗浄用ノズル５の移動方向前方の支持ピン１４ａの列が所定距離より近づいて支持ピン１４ａを列ごと下降させ始めるときの洗浄用ノズル５と支持ピン１４ａの列との間の距離（下降開始距離）と、下降した支持ピン１４ａの列上を通過した洗浄用ノズル５と下降した支持ピン１４ａの列が所定距離より離れて支持ピン１４ａを列ごと上昇させ始めるときの洗浄用ノズル５と支持ピン１４ａの列との間の距離（上昇開始距離）を設定しておく。そして、基板Ｗの洗浄時には、上記シーケンサにより、水平移動してくるスライダ１８の移動速度および移動時間の乗算値より洗浄用ノズル５と支持ピン１４ａの各列との距離を検出し、該検出値が上記下降開始距離以下になったときに上記シーケンサから下降パルス信号を上記支持ピン駆動ソレノイドに出力して、洗浄用ノズル５の移動方向前方の支持ピン１４ａを列ごと下降させ、ついで上記検出値が上昇開始距離以上になったときに上記シーケンサから上昇パルス信号を上記支持ピン駆動ソレノイドに出力して、下降した支持ピン１４ａを列ごと上昇させることができる。
【００３２】
図１に示すように、洗浄部２の側方に、水素水・オゾン水生成部１１（洗浄液製造手段）と洗浄液再生部１２（洗浄液再生手段）とが設けられている。水素水・オゾン水生成部１１には、本装置で洗浄液として用いる水素水の生成装置２７とオゾン水の生成装置２８とが組み込まれている。いずれの洗浄液も、純水中に水素ガスやオゾンガスを溶解させることによって生成することができる。そして、水素水生成装置２７で生成された水素水が、水素水供給配管２９の途中に設けられた送液ポンプ３０により水素水超音波洗浄用ノズル５に供給されるようになっている（洗浄液供給手段）。同様に、オゾン水生成装置２８で生成されたオゾン水が、オゾン水供給配管３１の途中に設けられた送液ポンプ３２によりオゾン水超音波洗浄用ノズル６に供給されるようになっている（洗浄液供給手段）。なお、紫外線洗浄用ノズル４には任意のオゾンガス供給源（図示略）からオゾンガスが供給され、純水リンス洗浄用ノズル７には製造ライン内の純水供給用配管（図示略）から純水が供給されるようになっている。
【００３３】
また、洗浄液再生部１２には、使用後の洗浄液中に含まれたパーティクルや異物を除去するためのフィルタ３３、３４が設けられている。水素水中のパーティクルを除去するための水素水用フィルタ３３と、オゾン水中のパーティクルを除去するためのオゾン水用フィルタ３４が別系統に設けられている。すなわち、水素水超音波洗浄用ノズル５の排出口から排出された使用後の水素水は、水素水回収配管３５の途中に設けられた送液ポンプ３６により水素水用フィルタ３３に回収されるようになっている（洗浄液回収手段）。同様に、オゾン水超音波洗浄用ノズル６の排出口から排出された使用後のオゾン水は、オゾン水回収配管３７の途中に設けられた送液ポンプ３８によりオゾン水用フィルタ３４に回収されるようになっている（洗浄液回収手段）。
【００３４】
各フィルタ３３、３４は図７に示すような構造となっており、中央に使用後の洗浄液を流通させるとともに管壁から洗浄液を透過させる機能を持つ管体３９が配置され、その周囲にテフロン樹脂等からなる濾材４０が多数配置されるとともに、管体３９内部の洗浄液の流通を遮断するバッフル板４１が設けられている。したがって、フィルタ３３、３４の導入口４２から使用済みの洗浄液を導入すると、図７中の矢印Ｆの方向に沿って洗浄液が流れるうちに濾材４０により濾過が進み、洗浄液が再度管体３９内に戻ったときにはパーティクルが除去された清浄な洗浄液となり、排出口４３から排出される。
【００３５】
そして、図１に示すように、水素水用フィルタ３３を通した後の水素水は、再生水素水供給配管４４の途中に設けられた送液ポンプ４５により水素水超音波洗浄用ノズル５に供給されるようになっている（再生洗浄液供給手段）。同様に、オゾン水用フィルタ３４を通した後のオゾン水は、再生オゾン水供給配管４６の途中に設けられた送液ポンプ４７によりオゾン水超音波洗浄用ノズル６に供給されるようになっている（再生洗浄液供給手段）。また、水素水供給配管２９と再生水素水供給配管４４は水素水超音波洗浄用ノズル５の手前で接続され、弁６２によって水素水超音波洗浄用ノズル５に新しい水素水を導入するか、再生水素水を導入するかを切り換え可能となっている。同様に、オゾン水供給配管３１と再生オゾン水供給配管４６はオゾン水超音波洗浄用ノズル６の手前で接続され、弁６３によってオゾン水超音波洗浄用ノズル６に新しいオゾン水を導入するか、再生オゾン水を導入するかを切り換え可能となっている。なお、各フィルタ３３、３４を通した後の水素水やオゾン水は、パーティクルが除去されてはいるものの、液中気体含有濃度が低下しているため、配管を通じて再度水素水生成装置２７やオゾン水生成装置２８に戻し、水素ガスやオゾンガスを補充するようにしてもよい。
【００３６】
図１に示すように、洗浄部２の側方に、ローダカセット９、アンローダカセット１０が着脱可能に設けられている。これら２つのカセット９、１０は、複数枚の基板Ｗが収容可能な同一の形状のものであり、ローダカセット９に洗浄前の基板Ｗを収容し、アンローダカセット１０には洗浄済の基板Ｗが収容される。そして、洗浄部２とローダカセット９、アンローダカセット１０の中間の位置に基板搬送ロボット８が設置されている。基板搬送ロボット８はその上部に伸縮自在なリンク機構を有するアーム４８を有し、アーム４８は回転可能かつ昇降可能となっており、アーム４８の先端部で基板Ｗを支持、搬送するようになっている。
【００３７】
図８と図９は、基板搬送ロボット８のアーム４８が基板保持部３上方に延びた状態を示す図である。
図８に示すように、アーム４８の先端のフォーク４９が第一の基板ホルダ１３のピン挿通孔１３ｃやピン挿通用切欠１３ｄから突出した支持ピン１４ａが並ぶ列の間に位置するようになっている。ローダカセット９から洗浄前の基板Ｗを受け取った基板搬送ロボット８がその基板Ｗを基板保持部３上に搬送する際には、図９に示すように、支持ピン１４ａが上昇した状態で基板Ｗを支持したアーム４８が基板保持部３の上方に進入し、アーム４８が下降して複数の支持ピン１４ａの先端上に基板Ｗを載置する。その後、アーム４８がさらに若干下降して基板保持部３の外方まで後退すると、図２に示したように複数の支持ピン１４ａの先端上に基板Ｗが載置、保持される。なお、基板搬送ロボット８のアーム４８先端のフォーク４９は、上面の凸部４９ａで基板と点接触する構成となっているため、基板Ｗへの異物付着は極めて少ない。
【００３８】
上記構成の洗浄装置１は、例えば洗浄用ノズル４，５，６，７と基板Ｗとの間隔、洗浄用ノズルの移動速度、洗浄液の流量等、種々の洗浄条件をオペレータが設定する他は、各部の動作が制御部により制御されており、自動運転する構成になっている。したがって、この洗浄装置１を使用する際には、洗浄前の基板Ｗをローダカセット９にセットし、オペレータがスタートスイッチを操作すれば、基板搬送ロボット８によりローダカセット９から基板保持部３上に基板Ｗが搬送され、図１０に示すように基板Ｗが第一の基板ホルダ１３のピン挿通孔１３ｃとピン挿通用切欠１３ｄから突出した複数の支持ピン１４ａの各々の先端で保持される。そして、ラックベース１６の一端側から他端側に洗浄用ノズル４，５，６、７を基板Ｗの底面に沿って順次送り出すと、図１１に示すように各洗浄用ノズルが近接してくる度に洗浄用ノズルの移動方向前方の複数の支持ピン１４ａが列ごとに下降するが、このとき下降しない複数の支持ピン１４ａの各々の先端には基板Ｗが保持されている。ついで、図１２に示すように各洗浄用ノズルの通過の度に下降した支持ピン１４ａが列ごと上昇してその先端で基板Ｗを再度保持する。従って、４本の洗浄用ノズル４，５，６，７が支持ピン１４ａと干渉することなく、基板Ｗと第一の基板ホルダ１３との間を基板Ｗの底面を洗浄しながら順次通過し、基板Ｗの底面全域が洗浄用ノズル４，５，６，７により紫外線洗浄、水素水超音波洗浄、オゾン水超音波洗浄、リンス洗浄が順次自動的に行われる。図１３に示すように基板洗浄後の各洗浄用ノズル４，５，６，７は、ラックベース１６の他端側に配置される。
【００３９】
リンス洗浄後、支持ピン１４ａを下降させて、第二の基板ホルダ１４のピン挿通孔１４ｃ内に埋没させると、図１４に示すように基板Ｗの底面が第一の基板ホルダ１３の複数の支持ピン１３ａの先端で支持されるとともに固定ピン１３ｂで支持される。そして、ホルダ回転用シャフト１３ｅに接続されたシャフト駆動源を作動させて第一の基板ホルダ１３を回転させて、基板Ｗをスピン乾燥させる。乾燥後の基板Ｗは、基板搬送ロボット８によりアンローダカセット１０に収容される。
【００４０】
本実施の形態の洗浄装置１においては、複数の支持ピン１４ａの各々の先端が基板Ｗの下方側から支持でき、しかも基板Ｗの底面に対して洗浄液を供給する洗浄用ノズル４，５，６，７が基板Ｗの底面に沿って移動でき、さらに上記支持ピンの昇降動駆動装置は、上記洗浄用ノズルの移動方向前方の支持ピン１４ａが移動する洗浄用ノズルと干渉しないように該洗浄用ノズルの移動と連動して昇降動できる構成としたため、複数の支持ピン１４ａの各々の先端で基板Ｗをこれの下方側から支持し、洗浄用ノズル４，５，６，７を基板Ｗの底面に沿って順次移動させると、洗浄用ノズルの移動方向前方の支持ピン１４ａが下降するので移動する洗浄用ノズルと干渉することがなく、また、下降した支持ピン１４ａは洗浄用ノズルの通過後に上昇し、その先端で基板Ｗを再度支持できる。
従って、本実施の形態の基板洗浄装置１によれば、基板をコロにより搬送しながら洗浄する従来の基板洗浄装置と異なり、洗浄用ノズル４，５，６，７を基板Ｗの底面に沿って移動させることで、基板Ｗを殆ど移動させることなく、基板Ｗの底面を洗浄でき、製造ライン中の基板洗浄装置の長さを短縮して装置の占有スペースを減少でき、また、洗浄工程における基板Ｗの搬送距離も大幅に短くでき、洗浄用ノズルの移動範囲は上記基板面の大きさ分程度で済むので、洗浄工程に多大な設備費や占有スペースを費やすこともなく、合理的な装置とすることができる。
【００４１】
さらに、本実施の形態の基板洗浄装置１では、４本の洗浄用ノズル４，５，６，７の各々が、紫外線洗浄、水素水超音波洗浄、オゾン水超音波洗浄、リンス洗浄といった異なる洗浄方法により洗浄処理する構成であるため、本装置１台で種々の洗浄方法を実施することができる。したがって、例えば紫外線洗浄により有機物の除去を行った後、水素水超音波洗浄、オゾン水超音波洗浄により微細な粒径のパーティクルを除去し、さらにリンス洗浄で基板表面に付着した洗浄液も洗い流しながら仕上げの洗浄を行う、というように種々の被除去物を充分に洗浄除去することができる。その結果、パーティクル、有機物等の種々の除去対象があってもこれらを確実に洗浄除去することができる。また、複数の洗浄方法を行っても洗浄工程に多大な設備費や占有スペースを費やすこともなく、合理的な装置とすることができる。
【００４２】
また、本実施の形態の基板洗浄装置１の場合、洗浄用ノズルとして上述のような構成のプッシュ・プル型ノズルを用いたことにより、導入通路２１から洗浄液を基板Ｗの表面に供給すると、その洗浄液を供給した部分以外の基板表面に洗浄液を接触させることなく、排出通路２２から被除去物を含んだ洗浄液を外部に排出できるので、従来一般の洗浄用ノズルを用いた基板洗浄装置に比べて洗浄後の基板Ｗの清浄度を著しく向上させることができる。また、従来一般の洗浄用ノズルを用いた基板洗浄装置では、清浄度を上げるために多量の洗浄液を必要とするが、本実施の形態の基板洗浄装置１では、上記作用により充分な清浄度が得られるとともに、ノズル開口部２４での洗浄液の圧力に対して排出口２２ａからの吸引力を制御することで洗浄液をノズルの外部に漏らすことなく、排出することができるので、洗浄液の使用量を大きく削減することができる。
さらに、本実施の形態の基板洗浄装置１の場合、洗浄用ノズル５，６に、基板Ｗに超音波振動を付与する超音波素子２５が設けられたことにより、基板Ｗが各洗浄用ノズルから供給された洗浄液で洗浄されている間、該洗浄液と基板Ｗに超音波が付与されるので、超音波が付与されない場合に比べて、基板Ｗに付着した被除去物の除去効率が良く、洗浄後の基板Ｗの洗浄度を向上できる。
【００４３】
また、本実施の形態の装置１の場合、水素水・オゾン水生成部１１が設けられ、洗浄装置内にオゾン水生成装置２８が一体に組み込まれているが、特にオゾン水の寿命は短いため、オゾン水の品質を維持した状態で洗浄に使用することができ、オゾン水超音波洗浄を有効に行うことができる。さらに、洗浄液再生部１２が具備され、一旦使用した水素水やオゾン水等の洗浄液を回収し、再生して再利用することができるので、洗浄液の使用量を削減することができる。
本実施の形態の装置１は、液晶表示パネル等の製造ラインにおいて基板の洗浄工程に常設して用いることができるが、上述のように小型であるので必要な箇所に適宜移動させて用いることも可能である。
【００４４】
なお、本実施の形態の装置１においては、基板Ｗの底面を洗浄する底面洗浄用ノズルとして上述のような構成の洗浄用ノズル４，５，６，７を設けた場合について説明したが、さらに図２と図１０乃至図１５に二点鎖線で示したように基板Ｗの上面に沿って移動するとともに基板Ｗの上面に対して洗浄液を供給する上面洗浄用ノズルとして、紫外線洗浄用ノズル４ａ，水素水超音波洗浄用ノズル５ａ，オゾン水超音波洗浄用ノズル６ａ，純水リンス洗浄用ノズル７ａを設けてもよい。このように底面洗浄用ノズル４，５，６，７以外に上記のような上面洗浄用ノズル４ａ，５ａ，６ａ，７ａを設けた場合、基板Ｗの両面を一度に洗浄できるので、基板の底面を洗浄する洗浄用ノズルだけ設けた場合と比べて、基板Ｗの洗浄効率が向上し、洗浄工程に要する時間を短縮できる。
【００４５】
また、本実施の形態の装置１においては、支持ピン１４ａの先端は、基板Ｗと点接触となる先窄まりの形状であるため基板Ｗへの粒子付着は極めて少ないが、図１５に示すように第二の基板ホルダ１４に、ピン挿通孔１４ｃに連通するガス供給孔７１を設けた構成であってもよい。このような構成の装置によれば、各支持ピン１４ａをピン挿通孔１４ｃに埋没させた状態で、図示しないガス供給源からガス供給孔７１に窒素ガス等の不活性ガスを供給して、支持ピン１４ａの先端に付着した被除去物等を支持ピン１４ａの先端から除去することが可能となり、支持ピン１４ａの先端の清浄度を向上でき、基板Ｗを再汚染することを防止できる。
【００４６】
［第２の実施の形態］
以下、本発明の第２の実施の形態を図１６と図図１７を参照して説明する。  本実施の形態の洗浄装置も、第１の実施の形態と同様、大型ガラス基板用洗浄装置である。本実施の形態の装置が第１の実施の形態の装置と異なる点は、支持ピンの昇降駆動装置（支持体の昇降駆動装置）の構成のみであり、ローダ、アンローダ、搬送ロボット等の基板搬送系、洗浄液生成部、洗浄液再生部等、洗浄部の基板保持部、その他の構成は第１の実施の形態とほぼ同様である。よって、図１６では洗浄部のみを図示し、図１７では、図１６のXVI−XVI線断面図のみを図示し、他の部分は省略する。
第２の実施形態での支持ピンの昇降駆動装置の概略構成は、ラックベース１６上でリニアガイド１７に沿って設けられた複数の近接スイッチ（駆動信号発生手段）８１と、スライダ１８の底面に設けられた近接スイッチ押圧部（近接スイッチ）８２と、複数の支持ピン１４ａの下端部に接続された図示しない支持ピン駆動ソレノイド（支持体駆動手段）を有してなるものである。
【００４７】
各近接スイッチ８１は、複数の支持ピン１４ａの列に対応して設けられている。近接スイッチ押圧部８２は、スライダ１８がラックベース１６のリニアガイド１７に沿って移動して、ラックベース１６上に設けられた複数の近接スイッチ８１上を順次通過すると、これら近接スイッチ８１を順次押圧するようになっている。近接スイッチ８１は、押圧部８２に押圧されるとオンになり、スライダ１８に取り付けられた洗浄用ノズル５の移動方向前方にあたる支持ピン１４ａを下降させる駆動信号を出力する。この際、次の近接スイッチ８１が押されると、先に押された近接スイッチ８１からの下降駆動信号により下降した支持ピン１４ａを上昇させる駆動信号を出力するようになっている。
ここでの支持ピン駆動ソレノイドは、近接スイッチ８１からの下降駆動信号が入力された際に支持ピン１４ａを列ごと下降させ、ついで入力した上昇駆動信号によって洗浄用ノズル５が下降した支持ピン１４ａの列の上方を通過した後に支持ピン１４ａを列ごと上昇させるものである。
【００４８】
第２の実施形態の基板洗浄装置によれば、上記の構成としたことにより、複数の支持ピン１４ａの各々の先端で基板Ｗをこれの下方側から支持し、洗浄用ノズル４，５，６，７を基板Ｗの底面に沿って順次移動させると、近接スイッチ８１からの駆動信号により洗浄用ノズルの移動方向前方の支持ピン１４ａが下降するので移動する洗浄用ノズルと干渉することがなく、また、下降した支持ピン１４ａは洗浄用ノズルの通過後に上昇し、その先端で基板Ｗを再度支持できる。
従って、第２の実施形態の基板洗浄装置においても、第１の実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００４９】
［第３の実施の形態］
以下、本発明の第３の実施の形態を図１８と図１９を参照して説明する。
本実施の形態の洗浄装置も、第１の実施の形態と同様、大型ガラス基板用洗浄装置である。本実施の形態の装置が第１の実施の形態の装置と異なる点は、支持ピンの昇降駆動装置（支持体の昇降駆動装置）の構成のみであり、洗浄部の基板保持部、ローダ、アンローダ、搬送ロボット等の基板搬送系、洗浄液生成部、洗浄液再生部等、その他の構成は第１の実施の形態とほぼ同様である。
よって、図１８では洗浄用ノズルの移動方向と交差する方向から視た洗浄部の基板Ｗの下方のみを図示し、図１９では洗浄用ノズルの移動方向に沿った方向から視た洗浄部の洗浄用ノズル５およびその周辺部と、この洗浄用ノズルが移動する際の支持ピン１４ａの動作のみを図示し、他の部分は省略する。
【００５０】
第３の実施の形態での支持ピンの昇降駆動装置の概略構成は、各支持ピン（支持体）１４ａを上方に付勢する支持ピン保持部材（支持体保持部材）８５と、支持ピン１４ａに設けた受圧体９０と、洗浄用ノズル５に設けられて該洗浄用ノズル５の少なくとも移動方向前方（図１８では移動方向前方および後方）に向かって延び、洗浄用ノズル５の移動に従いその移動方向前方の支持ピン１４ａの受圧体９０に当接しながら支持ピン保持部材８５の付勢力に抗しつつ上記前方の支持ピン１４ａを押し下げる押し下げ体９５とを有してなるものである。
第３の実施の形態での各支持ピン１４ａの下端部は、ピン保持板８９に通されている。このピン支持板８９と第二の基板ホルダ１４の間に支持ピン保持部材８５が設けられている。
【００５１】
支持ピン保持部材８５は、ピン保持板８９側から順に第一のバネ部材８６、バネ部材取付板８７、一対の第二のバネ部材８８からなり、支持ピン１４ａはこれら第一のバネ部材８６とバネ部材取付板８７に通されるともに一対の第二のバネ部材８８の間に在る。
第一のバネ部材８６の下端部はピン保持板８９に取り付けられ、上端部はバネ部材取付板８７に取り付けられており、このバネ取付板８７は支持ピン１４ａに固定されており、さらにこのバネ部材取け板８７に一対の第二のバネ部材８９の下端部がそれぞれ取り付けられ、その上端部がそれぞれ第二の基板ホルダ１４に取り付けられている。また、一対の第二のバネ部材８６と支持ピン１４ａとの間には、第一のバネ部材８６の伸びる量を制限して、支持ピン１４ａの上昇時の位置決めをするためのリミッタ８８ａが介在されている。
【００５２】
一方、第一の基板ホルダ１３から突出する各支持ピン１４ａには、受圧体９０が設けられている。受圧体９０は、支持ピン１４ａに取り付けられたコロ支持板９１と、コロ支持板９１に設けられた一対のコロ９２からなるものである。これら一対のコロ９２は、後述する押し下げ体９５の一対のカム９６に設けられた溝に嵌まるようになっている。
押し下げ体９５は、下方に凸の一対のカム９６と、一対のカム９６にそれぞれ設けられた溝に一対のコロ９２を案内するガイド板９７からなるものである。
【００５３】
第３の実施形態の基板洗浄装置では、上述のような構成の支持ピンの昇降駆動装置が設けられているので、図１９に示すように洗浄用ノズル５がＳ方向に移動すると、その移動方向前方の支持ピン１４ａに設けられた一対のコロ９２が洗浄用ノズル５に設けられたガイド板９７に押圧されて一対のカム９６に設けられた溝に導かれる。さらに、洗浄用ノズル５が移動すると、一対のコロ９２上をカム９６の前端部（進行方向の端部）から最下部が通るが、この際、カム９６による押圧力が増大していくのでコロ支持板９１が徐々に押し下げられ、第一のバネ部材８６が縮んでいき、これに伴って第二のバネ部材８８が伸びていき、支持ピン１４ａが徐々に押し下げられる。さらに、洗浄用ノズル５が移動すると、一対のコロ９２上をカム９６の最下部から後端部が通る。この際、カム９６による押圧力が減少していき、また、支持ピン１４ａは支持ピン保持部材８５により上方に付勢されているので、コロ支持板９１が徐々に上昇し、第一のバネ部材８６と第二のバネ部材８８が徐々に元に戻り、支持ピン１４ａが徐々に上昇する。
【００５４】
第３の実施形態の基板洗浄装置によれば、上記の構成としたことにより、複数の支持ピン１４ａの各々の先端で基板Ｗをこれの下方側から支持し、洗浄用ノズル４，５，６，７を基板Ｗの底面に沿って順次移動させると、洗浄用ノズルの移動に従いその移動方向前方の支持ピン１４ａが洗浄用ノズルに設けられた押し下げ体９５により押し下げられて、下降するので、移動する洗浄用ノズルと干渉することがなく、また、下降した支持ピン１４ａは支持体保持部材８５により付勢力が付けられているので、洗浄用ノズルの通過に伴って上昇し、その先端で基板Ｗを再度支持できる。
従って、第３の実施形態の基板洗浄装置においても、第１の実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００５５】
［第４の実施の形態］
以下、本発明の第４の実施の形態を図２０と図２１を参照して説明する。本実施の形態の洗浄装置も、第１の実施の形態と同様、大型ガラス基板用洗浄装置である。本実施の形態の装置が第１の実施の形態の装置と異なる点は、洗浄用ノズルの構成であり、ローダ、アンローダ、搬送ロボット等の基板搬送系、洗浄液生成部、洗浄液再生部等、洗浄部の基板保持部と支持ピンの昇降駆動装置、その他の構成は第１の実施の形態とほぼ同様である。
よって、図２０では洗浄部の洗浄用ノズルとその移動手段のみ図示し、図２１では洗浄用ノズルの移動方向に沿った方向から視た洗浄部の洗浄用ノズルと基板のみを図示し、他の部分は省略する。
【００５６】
第４の実施の形態では、第１の実施形態の洗浄用ノズル５に代えて図２０と図２１に示されるような洗浄用ノズル５ｃが備えられている。この洗浄用ノズル５ａｃ第一の実施の形態の装置に備えられる洗浄用ノズル５と異なるところは、一つの開口部２４に洗浄液を導入する導入通路が複数（図面では２本）設けられ、かつ洗浄後の洗浄液を排出する排出通路が複数（図面では２本）設けられた構成となっており、具体的には、各導入通路２１にバルブ２１ｄを介して第一と第二の導入管２１ｂ，２１ｃが設けられ、各排出通路２２にバルブ２２ｄを介して第一と第二の排出管２２ｂ，２２ｃが設けられている点である。
【００５７】
また、第一と第二の導入管２１ｂ，２１ｃは、水素水供給配管２９、オゾン水供給配管３１にそれぞれ接続されている。
また、第一と第二の排出管２２ｂ，２２ｃは、水素水回収配管３５、オゾン水回収配管３７にそれぞれ接続されている。
このような構成の洗浄用ノズル５ａは、バルブ２１ｄを調整することにより、開口部２４に供給される洗浄液を水素水からオゾン水に変更できるようになっており、また、バルブ２２ｄを調整することにより、開口部２４に供給された洗浄液が水素水のときは基板Ｗを洗浄後の洗浄液が第一の排出管２２ｂを経て水素水回収配管３５に送り出され、オゾン水のときは基板Ｗを洗浄後の洗浄液が第二の排出管２２ｃを経てオゾン水回収配管３７に送り出されるようになっている。
【００５８】
第４の実施の形態の基板洗浄装置によれば、特に、各導入通路２１にバルブ２１ｄを介して第一と第二の導入管２１ｂ，２１ｃが設けられ、各排出通路２２にバルブ２２ｄを介して第一と第二の排出管２２ｂ，２２ｃが設けられた洗浄用ノズル５ｃが備えられているので、開口部２４に異なる種類の洗浄液を供給でき、基板Ｗの洗浄後は、各洗浄液に応じた回収配管に送り出すことができる。従って、この洗浄用ノズル５ｃは、第一の実施形態の水素水超音波洗浄用ノズル５とオゾン水超音波洗浄用ノズル６の両方の機能を備えているので、一つの洗浄用ノズルで、水素水超音波洗浄、オゾン水超音波洗浄といった異なる洗浄方法により洗浄処理でき、洗浄部に設ける洗浄用ノズルの数を少なくでき、その結果、洗浄用ノズルの収納スペースを減少でき、装置の占有スペースを減少できる。
【００５９】
なお、第４の実施形態の基板洗浄装置においては、一つの開口部２４に洗浄液を導入する導入通路が２本設けられ、かつ洗浄後の洗浄液を排出する排出通路が２本設けられた構成の場合について説明したが、導入通路と排出通路はそれぞれ３本以上設けてもよく、また、第一と第二の導入管２１ｂ，２１ｃは、異なる種類の洗浄液の供給配管に接続され、第一と第二の排出管２２ｂ，２２ｃは、異なる種類の洗浄液の回収配管に接続された場合について説明したが、第一と第二の導入管２１ｂ，２１ｃは、それぞれ、洗浄液の供給配管と、純水供給用配管またはオゾンガス供給源に接続され、第一と第二の排出管２２ｂ，２２ｃは、それぞれ、洗浄液の回収配管と、純水の回収配管またはオゾンガス回収配管に接続されていてもよい。
【００６０】
［第５の実施の形態］
以下、本発明の第５の実施の形態を図２２乃至図２４を参照して説明する。本実施の形態の洗浄装置は、円形の半導体基板（以下、単に基板という。）を枚葉洗浄するための装置である。
本実施の形態の装置が第１の実施の形態の装置と異なる点は、基板保持部の構成のみであり、ローダ、アンローダ、搬送ロボット等の基板搬送系、洗浄液生成部、洗浄液再生部等、洗浄部の洗浄用ノズルと支持ピンの昇降駆動装置、その他の構成は第１の実施の形態とほぼ同様である。
よって、図２２では基板保持部、図２３では第一の基板ホルダ、図２４では第二の基板ホルダのみを図示し、他の部分は省略する。
【００６１】
第５の実施形態での基板保持部１０３は、図２２に示すように、第一の基板ホルダ１１３と、この第一の基板ホルダ１１３の下方に設けられた第二の基板ホルダ１１４が備えられている。
第一の基板ホルダ１１３は、図２２と図２３に示すように上面に複数の支持ピン１１３ａが設けられており、後述の第二の基板ホルダ１１４に設けられた複数の支持ピン（支持体）１１４ａを第一の基板ホルダ１１３より下降させたときに、複数の支持ピン１１３ａの各々の先端部に設けられた鍔部１１３ｇで基板Ｗ1を下方側から支持できるようになっている。
【００６２】
また、図２２に示すように、第一の基板ホルダ１１３に複数のピン挿通孔１１３ｃが後述する第二の基板ホルダ１１４の複数の支持ピン１１４ａに対応して設けられており、各ピン挿通孔１１３ｃには対応する支持ピン１１４ａの下端部が通るようになっている。
また、図２２に示すように、第一の基板ホルダ１１３の底面からホルダ回転用シャフト１１３ｅが突出している。ホルダ回転用シャフト１１３ｅは、第二の基板ホルダ１１４に設けられたシャフト受孔１１４ｄに回転可能で、かつ上下に昇降可能に嵌められている。
ホルダ回転用シャフト１１３ｅの下端に、第一の実施形態と同様にシャフト駆動源が設けられており、このシャフト駆動源の作動により、第一の基板ホルダ１１３の回転と共に第一の基板ホルダ１１３上に載せられた基板Ｗ1も回転し、基板Ｗ1を移動させることなくスピン乾燥させることができる。
【００６３】
第二の基板ホルダ１１４は、洗浄時に基板Ｗ1を保持するために設けられたものであり、図２４に示すようにホルダ１１４の円周に沿って並べられた複数のピン挿通孔１１４ｃが複数列設けられている。さらに、各ピン挿通孔１４ｃに、合成樹脂等からなる支持ピン（支持体）１１４ａの下端部が通されているので、複数の支持ピン１１４ａがホルダ１１４の円周に沿って並べられた状態となっている。
これら複数の支持ピン１１４ａの各々の先端部には、鍔部１１４ｇが設けられている。
これら複数の支持ピン１１４ａの各々の先端の鍔部１１４ｇは、第一の基板ホルダ１１３と基板Ｗ1との間の空間に突出しており、各々の鍔部１１４ｇで基板Ｗ1を下方側から支持できるようになっている。
【００６４】
複数の支持ピン１１４ａの下端は、第一の実施形態と同様の図示しない支持ピンの昇降駆動装置（支持体の昇降駆動装置）の支持ピン駆動ソレノイド（支持体駆動手段）と接続されている。
また、図２４に示すように第二の基板ホルダ１１４の各コーナ部に、支持板１１４ｆが設けられている。これら支持板１１４ｆには、第一の実施形態と同様に基板位置調整機構としてシリンダ等の駆動源（図示略）が設けられており、支持ピン１１４ａの鍔部１１４ｇに支持された基板Ｗ1の位置を微調整できるようになっている。
【００６５】
第５の実施形態の基板洗浄装置によれば、上記の構成としたことにより、複数の支持ピン１１４ａの各々の先端部に設けられた鍔部１１４ｇが半導体基板Ｗ1の下方側から支持でき、しかも基板Ｗ1の底面に対して洗浄液を供給する洗浄用ノズルが基板Ｗ1の底面に沿って移動でき、さらに上記支持ピンの昇降動駆動装置は、上記洗浄用ノズルの移動方向前方の支持ピン１１４ａが移動する洗浄用ノズルと干渉しないように該洗浄用ノズルの移動と連動して昇降動できる構成としたため、複数の支持ピン１１４ａの各々の鍔部１１４ｇで基板Ｗ1をこれの下方側から支持し、洗浄用ノズルを基板Ｗ1の底面に沿って順次移動させると、洗浄用ノズルの移動方向前方の支持ピン１１４ａが下降するので移動する洗浄用ノズルと干渉することがなく、また、下降した支持ピン１１４ａは洗浄用ノズルの通過後に上昇し、その先端で基板Ｗ1を再度支持できる。
従って、第５の実施形態の基板洗浄装置においても、第１の実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００６６】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば第１乃至第５の実施の形態では、複数の支持ピンの下端部がそれぞれ支持体駆動手段に接続され、これら複数の支持ピンがそれぞれ昇降可能な構成とされた場合について説明したが、これに限ることはなく、同じ列にある支持ピン（支持体）の下端部が同じ支持ピン支持板に取り付け、このような支持ピン支持板を上記支持ピンの列の数に応じて設け、各支持ピン支持板を上記支持体駆動手段に接続し、該支持体駆動手段により上記支持ピン支持板を昇降することにより、これに取り付けられた支持ピンが列ごとに昇降するような構成を採用してもかまわない。また、上記第１、第２、第３、第５の実施の形態では、ともに洗浄用ノズルが４本のノズルからなる例を示したが、ノズルの本数に関しては４本に限ることは勿論なく、適宜変更してもよい。そして、各洗浄用ノズルの形態としてプッシュ・プル型ノズルの例を示したが、本発明の基板洗浄装置に適用し得るノズルはプッシュ・プル型ノズルに限ることはなく、図２５に示したように、スリット状の開口部６１を有し、この開口部６１から洗浄液を吐出させる形の従来一般のノズル６０を採用してもかまわない。
【００６７】
また、使用する洗浄液の例として、水素水、オゾン水の例を示したが、その他、水の電気分解時に陰極に発生する、いわゆるカソード水等を用いることもできる。その場合、洗浄液製造装置として電気分解装置を設けてもよい。洗浄液の再生手段としては、洗浄液中のパーティクルや異物を濾過するフィルタの他、洗浄液中の気体を除去するための脱気装置等を用いることもできる。その他、装置内に洗浄後に基板を乾燥するＩＰＡ乾燥等の乾燥部を設けてもよい。また、洗浄部に備えられるノズルが洗浄のみの機能を備えたものである例を示したが、洗浄と乾燥の両方の機能を備えたノズルであってもよく、その場合は、第一の基板ホルダは設けなくてもよい。
また、上記実施の形態では、基板洗浄装置単体として説明したが、例えば本発明の基板洗浄装置をウェットエッチング装置等と連設するととともに装置間に自動搬送機構を設け、ウェットエッチング・洗浄連続処理設備とすることなども可能である。
【００６８】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように本発明の基板洗浄装置によれば、複数の支持体の各々の先端が被処理基板の下方側から支持でき、しかも上記被処理基板の底面に対して洗浄液を供給する洗浄用ノズル（底面洗浄用ノズル）が上記被処理基板の底面に沿って移動でき、さらに支持体の昇降動駆動装置は、上記洗浄用ノズルの移動方向前方の上記支持体が移動する洗浄用ノズルと干渉しないように該洗浄用ノズルの移動と連動して昇降動できる構成としたことにより、記複数の支持体の各々の先端で被処理基板をこれの下方側から支持し、上記洗浄用ノズルを上記被処理基板の底面に沿って移動させると、該洗浄用ノズルの移動方向前方の上記支持体が下降するので移動する洗浄用ノズルと干渉することがなく、また、下降した支持体は洗浄用ノズルの通過後に上昇し、その先端で上記被処理基板を再度支持できる。
【００６９】
本発明の基板洗浄装置は、被処理基板をコロにより搬送しながら洗浄する従来の基板洗浄装置と異なり、上記洗浄用ノズルを上記被処理基板の底面に沿って移動させることで、被処理基板を殆ど移動させることなく、被処理基板の底面を洗浄できる。
従って、本発明の基板洗浄装置によれば、製造ライン中の基板洗浄装置の長さを短縮して装置の占有スペースを減少でき、また、洗浄工程における被処理基板の搬送距離も大幅に短くでき、洗浄用ノズルの移動範囲は上記被処理基板面の大きさ分程度で済むので、洗浄工程に多大な設備費や占有スペースを費やすこともなく、合理的な装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施の形態である基板洗浄装置の全体構成を示す平面図である。
【図２】  同装置の基板保持部の構成を示す縦断面図である。
【図３】  同装置の基板保持部の第一の基板ホルダの構成を示す平面図である。
【図４】  同装置の基板保持部の第二の基板ホルダの構成を示す平面図である。
【図５】  同装置の洗浄用ノズルを基板保持部側から見たときの平面図である。
【図６】  図５のＶ−Ｖ線に沿う一部を破断視した側面図である。
【図７】  同装置のフィルタの構成を示す一部を破断視した側面図である。
【図８】  同装置の基板搬送用ロボットの動作を説明するための図であって、基板を支持したアームが基板保持部上に進入した状態を示す平面図である。
【図９】  図８のVIII−VIII線に沿う縦断面図である。
【図１０】  同装置の動作を説明するための図であって、基板が複数の支持ピンの各々の先端で保持されている状態を示す縦断面図である。
【図１１】  同装置の動作を説明するための図であって、洗浄用ノズルの移動方向前方の複数の支持ピンが下降し、洗浄用ノズルの移動方向後方の複数の支持ピンの各々の先端に基板が保持されている状態を示す縦断面図である。
【図１２】  同装置の動作を説明するための図であって、洗浄用ノズルの近接により下降した支持ピンが上昇してその先端で基板を再度保持している状態を示す縦断面図である。
【図１３】  同装置の動作を説明するための図であって、基板洗浄後の各洗浄用ノズルがラックベースの他端側に配置されている状態を示す縦断面図である。
【図１４】  同装置の動作を説明するための図であって、基板の底面が第一の基板ホルダの複数の支持ピンの先端で支持されるとともに固定ピンで支持されている状態を示す縦断面図である。
【図１５】  同装置の基板保持部に設けられたガス供給孔を説明するための図であって、基板保持部の縦断面図である。
【図１６】  本発明の第２の実施の形態である基板洗浄装置の洗浄部を基板側から見た平面図である。
【図１７】  図１６のXVI−XVI線に沿う縦断面図である。
【図１８】  本発明の第３の実施の形態である基板洗浄装置の洗浄部を説明するための図であって、洗浄用ノズルの移動方向と交差する方向から視た洗浄部の基板の下方を示す縦断面図である。
【図１９】  図１８の洗浄用ノズルの移動方向に沿った方向から視た洗浄部の洗浄用ノズルが移動する際の支持ピンの動作を説明するための図である。
【図２０】  本発明の第４の実施の形態である基板洗浄装置の洗浄部の洗浄用ノズルとその移動手段を基板保持側から見た平面図である。
【図２１】  図２０の洗浄部を洗浄用ノズルの移動方向に沿う一部を破断視した側面図である。
【図２２】  本発明の第５の実施の形態である基板洗浄装置の基板保持部の構成を示す縦断面図である。
【図２３】  同装置の基板保持部の第一の基板ホルダの構成を示す平面図である。
【図２４】  同装置の基板保持部の第二の基板ホルダの構成を示す平面図である。
【図２５】  上記実施の形態の洗浄装置に適用可能な洗浄用ノズルの他の形態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１・・・基板洗浄装置、２・・・洗浄部、３，１０３・・・基板保持部、４・・・紫外線洗浄用ノズル（底面洗浄用ノズル）、４ａ・・・紫外線洗浄用ノズル（上面洗浄用ノズル）、５，５ｃ・・・水素水超音波洗浄用ノズル（底面洗浄用ノズル）、５ａ・・・水素水超音波洗浄用ノズル（上面洗浄用ノズル）、６・・・オゾン水超音波洗浄用ノズル（底面洗浄用ノズル）、６ａ・・・オゾン水超音波洗浄用ノズル（上面洗浄用ノズル）、７・・・純水リンス洗浄用ノズル（底面洗浄用ノズル）、    ７ａ・・・純水リンス洗浄用ノズル（底面洗浄用ノズル）、１１・・・水素水・オゾン水生成部（洗浄液製造手段）、１２・・・洗浄液再生部（洗浄液再生手段）、    １３，１１３・・・第一の基板ホルダ、１３ａ・・・支持ピン、１３ｂ・・・固定用ピン、１３ｃ，１１３ｃ・・・支持ピン挿通孔、１３ｄ・・・ピン挿通用切欠、
１３ｅ，１１３ｅ・・・ホルダ回転用シャフト、１４，１１４・・・第二の基板ホルダ、１４ａ，１１４ａ・・・支持ピン（支持体）、１４ｃ，１１４ｃ・・・ピン挿通孔、１４ｄ，１１４ｄ・・・シャフト受孔、１４ｆ，１１４ｆ・・・ホルダ支持板、    １６・・・ラックベース（ノズル移動手段）、１８・・・スライダ（ノズル移動手段）、１９・・・支柱（ノズル移動手段）、２０・・・モータ（ノズル移動手段）、２１・・・導入通路、２１ａ・・・導入口、２１ｂ・・・第一導入管、２１ｃ・・・第二導入管、２１ｄ・・・バルブ、２２・・・排出通路、２２ａ・・・排出口、２２ｂ・・・第一排出管、２２ｃ・・・第二排出管、２２ｄ・・・バルブ、２３・・・ガイド部材、２４・・・開口部、２７・・・水素水生成装置（洗浄液製造手段）、２８・・・オゾン水生成装置（洗浄液製造手段）、２９・・・水素水供給配管（洗浄液供給手段）、３０，３２・・・送液ポンプ（洗浄液供給手段）、３１・・・オゾン水供給配管（洗浄液供給手段）、  ３３・・・水素水用フィルタ（洗浄液再生手段）、３４・・・オゾン水用フィルタ（洗浄液再生手段）、３５・・・水素水回収配管（洗浄液回収手段）、３６，３８・・・送液ポンプ（洗浄液回収手段）、３７・・・オゾン水回収配管（洗浄液回収手段）、３９・・・管体、４０・・・濾材、４１・・・バッフル板、４２・・・導入口、４４・・・再生水素水供給配管（再生洗浄液供給手段）、４５，４７・・・送液ポンプ（再生洗浄液供給手段）、４６・・・再生オゾン水供給配管（再生洗浄液供給手段）、    ４８・・・アーム、４９・・・フォーク、６０・・・ノズル、６１・・・開口部、６２・・・弁、６３・・・弁、７１・・・ガス供給孔、８１・・・近接スイッチ（駆動信号発生手段）、８２・・・近接スイッチ押圧部（近接スイッチ入力機構）、８５・・・支持ピン保持部材（支持体保持部材）、８６・・・第一のバネ部材、８７・・・バネ部材取付板、８８・・・第二のバネ部材、８８ａ・・・リミッタ、８９・・・ピン保持板、９０・・・受圧体、９２・・・コロ、９１・・・コロ支持体、９５・・・押し下げ体、９６・・・カム、９７・・・ガイド板、１１３ｇ・・・鍔部、１１４ｇ・・・鍔部、Ｆ・・・フィルタ中の洗浄液の流れ、ｆ1・・・洗浄液の流れる方向、Ｈ・・・開口部と基板との間の距離、Ｓ・・・ノズル移動方向、Ｗ，Ｗ1・・・基板（被洗浄基板）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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