(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部と、可動部と、前記固定部に前記可動部を揺動可能に軸支するトーションバーとを半導体基板で一体形成し、前記可動部上に設ける駆動コイル部と、前記駆動コイル部を前記固定部に配置した外部電極端子に電気的に接続するよう前記トーションバー部分を介して配線する引出し配線部とからなる導電パターンを有し、前記駆動コイル部に電流を供給することにより発生する電磁力により前記可動部を駆動するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、
前記駆動コイル部及び前記引出し配線部からなる前記導電パターンにおける引出し配線部を浮かしたことを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項２】
前記導電パターンは、前記駆動コイル部と前記引出し配線部とを同一材料で一体形成した請求項１に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項３】
前記導電パターンは、前記引出し配線部のトーションバー配線部分とその他の導電パターン部分を別材料で形成し、前記トーションバー配線部分をヤング率の高い材料で形成した請求項１に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項４】
前記導電パターンを、前記半導体基板に直接形成する構成である請求項１〜３のいずれか１つに記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項５】
前記導電パターンは、可撓性絶縁シートに形成し、該可撓性絶縁シートを前記半導体基板上に接着する構成である請求項１又は２に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項６】
固定部と、可動部と、前記固定部に前記可動部を揺動可能に軸支するトーションバーとを半導体基板で一体形成し、前記可動部上に設ける駆動コイル部と、前記駆動コイル部を前記固定部に配置した外部電極端子に電気的に接続するよう前記トーションバー部分を介して配線する引出し配線部とからなる導電パターンを有し、前記駆動コイル部に電流を供給することにより発生する電磁力により前記可動部を駆動するプレーナ型電磁アクチュエータの製造方法において、
少なくとも引出し配線部のトーションバー配線部分を、ヤング率の高い材料で形成した導電パターンを設け、前記可動部をトーションバーの軸回りに揺動させることにより、前記引出し配線部のトーションバー配線部分を、前記トーションバーから剥離させて浮かすことを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータの製造方法。
【請求項７】
固定部と、可動部と、前記固定部に前記可動部を揺動可能に軸支するトーションバーとを半導体基板で一体形成し、前記可動部上に設ける駆動コイル部と、前記駆動コイル部を前記固定部に配置した外部電極端子に電気的に接続するよう前記トーションバー部分を介して配線する引出し配線部とからなる導電パターンを有し、前記駆動コイル部に電流を供給することにより発生する電磁力により前記可動部を駆動するプレーナ型電磁アクチュエータの製造方法において、
前記駆動コイル部及び前記引出し配線部からなる前記導電パターンを可撓性絶縁シートに形成し、該可撓性絶縁シートにおける前記引出し配線部のトーションバー配線部に対応するシート部分を、前記トーションバーの上方側に撓ませた状態で、前記可撓性絶縁シートを、前記半導体基板の前記可動部と固定部に接着することにより、前記引出し配線部のトーションバー配線部分を、前記トーションバーから浮かすことを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造技術を利用して製造したプレーナ型電磁アクチュエータ及びその製造方法に関し、特に、可動部の駆動効率を向上させる技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のプレーナ型電磁アクチュエータとしては、例えば特許文献１に記載されたように、半導体基板を異方性エッチングして、枠状の固定部と、可動部と、固定部に可動部を揺動可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、可動部に駆動コイルを設け、トーションバーの軸方向と平行な可動部両端縁部の駆動コイル部分に静磁界を作用させる静磁界発生手段（例えば永久磁石）を設け、外部の駆動回路から駆動コイルに電流を供給すると、駆動コイルに発生する磁界と永久磁石の静磁界との相互作用により発生する駆動力（ローレンツ力）が可動部に作用し、可動部がトーションバーの軸回りに駆動する構成である。そして、回動動作する可動部上の駆動コイルへの電流供給は、トーションバー上に配線した引出し配線部により、駆動コイルと固定部に設けた外部接続端子とを電気的に接続するようにしている。
【特許文献１】特許第２７２２３１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１のように、トーションバー上に配線する構成では、可動部が揺動動作する際に、配線部の応力（配線上に保護膜（例えばポリイミド）が被覆されている場合には配線と保護膜の応力）によりトーションバーの動き（捩れ）が阻害される。このため、トーションバー上に配線部がない場合に比較して駆動効率が低下するという問題がある。
【０００４】
本発明は上記問題点に着目してなされたもので、駆動コイルと外部接続端子とを電気的に接続する引出し配線部に起因する駆動効率の低下を抑制可能なプレーナ型電磁アクチュエータ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このため、本発明は、固定部と、可動部と、前記固定部に前記可動部を揺動可能に軸支するトーションバーとを半導体基板で一体形成し、前記可動部上に設ける駆動コイル部と、前記駆動コイル部を前記固定部に配置した外部電極端子に電気的に接続するよう前記トーションバー部分を介して配線する引出し配線部とからなる導電パターンを有し、前記駆動コイル部に電流を供給することにより発生する電磁力により前記可動部を駆動するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、前記駆動コイル部及び前記引出し配線部からなる前記導電パターンにおける引出し配線部を浮かしたことを特徴とする。
かかる構成では、引出し配線部のトーションバー配線部分により、トーションバーの動きが拘束されない。
【０００６】
請求項２のように、前記導電パターンは、前記駆動コイル部と前記引出し配線部とを同一材料で一体形成するとよい。
【０００７】
請求項３のように、前記導電パターンは、前記引出し配線部のトーションバー配線部分とその他の導電パターン部分を別材料で形成し、前記トーションバー配線部分をヤング率の高い材料で形成してもよい。
【０００８】
請求項４のように、前記導電パターンを、前記半導体基板に直接形成する構成でもよく、また、請求項５のように、前記導電パターンは、可撓性絶縁シートに形成し、該可撓性絶縁シートを前記半導体基板上に接着する構成でもよい。
【００１０】
また、本発明の製造方法は、請求項６のように、固定部と、可動部と、前記固定部に前記可動部を揺動可能に軸支するトーションバーとを半導体基板で一体形成し、前記可動部上に設ける駆動コイル部と、前記駆動コイル部を前記固定部に配置した外部電極端子に電気的に接続するよう前記トーションバー部分を介して配線する引出し配線部とからなる導電パターンを有し、前記駆動コイル部に電流を供給することにより発生する電磁力により前記可動部を駆動するプレーナ型電磁アクチュエータの製造方法において、少なくとも引出し配線部のトーションバー配線部分を、ヤング率の高い材料で形成した導電パターンを設け、前記可動部をトーションバーの軸回りに揺動させることにより、前記引出し配線部のトーションバー配線部分を、前記トーションバーから剥離させて浮かすことを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の製造方法は、請求項７のように、固定部と、可動部と、前記固定部に前記可動部を揺動可能に軸支するトーションバーとを半導体基板で一体形成し、前記可動部上に設ける駆動コイル部と、前記駆動コイル部を前記固定部に配置した外部電極端子に電気的に接続するよう前記トーションバー部分を介して配線する引出し配線部とからなる導電パターンを有し、前記駆動コイル部に電流を供給することにより発生する電磁力により前記可動部を駆動するプレーナ型電磁アクチュエータの製造方法において、前記駆動コイル部及び前記引出し配線部からなる導電パターンを可撓性絶縁シートに形成し、該可撓性絶縁シートにおける前記引出し配線部のトーションバー配線部に対応するシート部分を、前記トーションバーの上方側に撓ませた状態で、前記可撓性絶縁シートを、前記半導体基板の前記可動部と固定部に接着することにより、前記引出し配線部のトーションバー配線部分を、前記トーションバーから浮かすことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のプレーナ型電磁アクチュエータによれば、半導体製造技術を用いて形成した駆動コイル部及び引出し配線部からなる導電パターンにおける引出し配線部を浮かしたので、前記引出し配線部によりトーションバーの動きが拘束されることがない。従って、少ない供給電流で従来と同じ可動部の振れ角を得ることができ、電磁アクチュエータの駆動効率を向上できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明に係るプレーナ型電磁アクチュエータの第１実施形態の平面図である。図２は、図１のＡ−Ａ矢視断面図である。
本実施形態のプレーナ型電磁アクチュエータ１は、枠状の固定部２に一対のトーションバー３，３を介して揺動可能に軸支される可動部４と、通電により磁界を発生する駆動コイル５Ａと、駆動コイル５Ａに静磁界を作用させる静磁界発生手段として例えば永久磁石６，６とを備え、通電により駆動コイル５Ａに発生する磁界と永久磁石６，６の静磁界との相互作用によりトーションバー３，３の軸方向と平行な可動部４の両端縁部に駆動力（ローレンツ力）を作用させて可動部４を回動させるものである。
【００１４】
前記固定部２、トーションバー３，３及び可動部４は、例えばシリコン基板等の半導体基板を異方性エッチングして一体に形成する。
【００１５】
前記駆動コイル５Ａは、図１に示すように可動部４の周縁に沿って巻回し、トーションバー３，３部分を介して配線した引出し配線部５Ｂにより、固定部２に形成した一対の外部接続端子７，７に電気的に接続する。これら駆動コイル５Ａ、引出し配線部５Ｂ及び外部接続端子７，７は、後述するようにトーションバー３，３部分を除いてシリコン基板表面に設けられるＳｉＯ2絶縁層８（図２に示す）上に形成され、シリコン基板と電気的に絶縁されている。前記引出し配線分５Ｂは、図２に示すように、そのトーションバー配線部分が、ＳｉＯ2絶縁層８を除去したトーションバー３，３から浮いた状態で設けられている。これら駆動コイル５Ａと引出し配線部５Ｂは、例えばフォトリソグラフィ等の半導体製造技術を用いて形成する導電パターン５からなっている。尚、本実施形態は、駆動コイル５Ａ、引出し配線部５Ｂからなる導電パターン５を、保護膜が不要な腐食し難い金等で形成した例を示している。図２中、９は、光走査用の反射ミラーであるが、言うまでもないが、光走査が不要な用途に利用する電磁アクチュエータの場合は、反射ミラー９を設ける必要はない。
【００１６】
前記永久磁石６，６は、図示のように可動部４を挟んで互いに反対磁極が対向するようにして固定部２の外側に設けられている。尚、静磁界発生手段として電磁石を用いることも可能である。
【００１７】
本実施形態のプレーナ型電磁アクチュエータの動作を説明する。
可動部４の駆動原理は従来と同様であり、図示しない外部の駆動回路から、外部接続端子７，７、引出し配線部５Ｂを介して可動部４上の駆動コイル５Ａに電流を供給すると磁界が発生する。この磁界と永久磁石６，６による静磁界との相互作用により、トーションバー３，３の軸方向と平行な可動部４の両端縁部に互いに逆方向の駆動力（ローレンツ力）が発生し、トーションバー３，３を軸中心として可動部４が回動する。この回動動作に伴ってトーションバー３，３が捩られトーションバー３，３にばね力が発生し、このばね力と発生した駆動力とが釣合う位置まで可動部４は回動する。駆動コイル５Ａに正弦波等の交流電流を流せば可動部４を揺動動作させることができる。これにより、図２のように可動部４に反射ミラー９を設ければ光ビームを偏向走査することが可能となり、駆動コイル５Ａに供給する交流電流の周波数を可動部４の揺動運動の共振周波数に設定すれば、一定周期で連続走査可能な光走査デバイスが実現できる。
【００１８】
そして、本実施形態では、図２に示すように、引出し配線部５Ｂをトーションバー３，３から浮かした構造では、引出し配線部５Ｂの捩り応力がトーションバー３，３に直接作用せず、引出し配線部５Ｂの応力によってトーションバー３，３の動きが拘束されることがない。このため、従来構造に比べて同じ供給電流でも大きな振れ角で可動部４を回動することができる。言い換えれば、可動部４を従来と同じ振れ角で駆動する場合に、少ない電流量で済むことになり、電磁アクチュエータ１の駆動効率が向上し消費電力の低減を図ることができる。
【００１９】
次に、引出し配線部５Ｂのトーションバー配線部分を浮かした構造を有する、本発明の電磁アクチュエータの製造方法について説明する。
第１の方法として犠牲層エッチングによる方法について説明する。
図３は、シリコン基板の酸化により形成される絶縁層としてのＳｉＯ2膜８を、犠牲層として用いる場合の例である。尚、半導体基板としてＳＯＩ（Silicon On Insulator）基板を用いた。
【００２０】
図１の電磁アクチュエータ１のように、腐食の虞れがない金等の金属材料で導電パターン５（駆動コイル５Ａ、引出し配線部５Ｂ）を形成した場合について説明する。
トーションバー３，３部分のＳｉＯ2絶縁層８を除去する工程までは従来と同様に製造する。例えば、シリコン基板の上面を熱酸化してＳｉＯ2絶縁層８を形成した後、ＳｉＯ2絶縁層８全面に金の薄膜をスパッタリング等の既知の成膜技術で形成し、その上にレジストを塗布し駆動コイル５Ａ、引出し配線部５Ｂ及び外部電極端子部７，７の配線部のレジストを残してレジストパターンを形成する。これをマスクとして金薄膜をエッチングして、ＳｉＯ2絶縁層８上に駆動コイル５Ａ、引出し配線部５Ｂ及び外部接続端子７，７を形成する。次に、シリコン基板下面の固定部２、トーションバー３，３及び可動部４に対応する部分をレジストマスクで覆い、異方性エッチングにより、固定部２、一対のトーションバー３，３及び可動部４を形成し、図１のような平面形状が形成される。反射ミラー９を設ける場合は、可動部４裏面側に、アルミニウム等の反射ミラー９を蒸着等により形成すればよい。これにより、図３の状態の電磁アクチュエータが出来上がる。
【００２１】
本実施形態では、更に、トーションバー３，３部分のＳｉＯ2絶縁層８を除いて、ＳｉＯ2絶縁層８全体をレジストでマスクした後、ウェットエッチングまたはドライエッチングにより、トーションバー３，３部分のＳｉＯ2絶縁層８を除去する。これにより、図２のように、引出し配線部５Ｂのトーションバー配線部分とトーションバー３，３との間に、空間部１０が形成され、引出し配線部５Ｂのトーションバー配線部分が、トーションバー３，３から浮いた状態の電磁アクチュエータ１が形成される。
【００２２】
上の例では、犠牲層としてＳｉＯ2絶縁層８を利用する例を説明したが、犠牲層としてＳｉＯ2絶縁層８とは別にレジスト等の有機物を設け、これを除去する方法でもよい。
【００２３】
この場合は、上述において駆動コイル５Ａ、引出し配線部５Ｂ及び外部接続端子７，７の配線パターンを形成する以前に、ＳｉＯ2絶縁層８全面にレジストを塗布した後、エッチング処理により、トーションバー３，３部分のＳｉＯ2絶縁層８上だけに犠牲層としてレジストを残す。その後、駆動コイル５Ａ、引出し配線部５Ｂ及び外部接続端子７，７を形成する。この段階では、図４の（Ａ）に示すように、トーションバー３，３と引出し配線部５Ｂとの間にレジスト犠牲層１１（図中の斜線部分）が残った状態の電磁アクチュエータができる。その後、そのレジスト犠牲層１１を除去することにより、図４（Ｂ）のような、引出し配線部５Ｂのトーションバー配線部分に空間部１０が形成され、引出し配線部５Ｂのトーションバー配線部分がトーションバー３，３から浮いた状態の電磁アクチュエータ１が形成される。
【００２４】
次に、腐食する虞れがあり保護膜を必要とする金属材料、例えば、アルミニウムや銅等で導電パターン５（駆動コイル５Ａ、引出し配線部５Ｂ）を形成した場合の電磁アクチュエータについて説明する。
【００２５】
図５に、本発明の第２実施形態としてこのような電磁アクチュエータの平面図を示す。
電磁アクチュエータ２０は、駆動コイル５Ａ、引出し配線部５Ｂからなる導電パターン５が、例えばポリイミド等からなる保護膜２１で覆われている以外は、図１の電磁アクチュエータ１と同じ構成である。尚、図５では、永久磁石６，６は図示を省略してある。また、図１と同一要素には同一符号を付してある。
【００２６】
保護膜２１の形成は、従来と同様である。例えば、ＳｉＯ2絶縁層８を形成後、感光性ポリイミドをシリコン基板上面全面に塗布する。ここで、例えばポジ型のポリイミドを使用した場合には、外部接続端子７，７と、可動部４及びトーションバー３，３部分と、固定部２の引出し配線部分に相当する部分とを、マスクして紫外線露光する。ポジ型の感光性ポリイミドの場合は、露光部分が現像液に溶解するため、マスク部分以外の部分の感光性ポリイミドが現像することにより除去される。次いで、外部接続端子７，７、駆動コイル５Ａ、引出し配線部５Ｂを形成し、その後、前述と同様にして、外部接続端子７，７を除き、可動部４及びトーションバー３，３部分と、固定部２の引出し配線部分に相当する部分とに、感光性ポリイミドの保護膜を形成する。これにより、図６に示すような保護膜２１で覆われた駆動コイル５Ａ、引出し配線部５Ｂが形成される。
【００２７】
この場合も、第１実施形態の場合と同様にして、トーションバー３，３表面のＳｉＯ2絶縁層８を除去すれば、図６に示すように、トーションバー３，３と引出し配線部５Ｂのトーションバー配線部分との間に空間部１０が形成され、引出し配線部５Ｂのトーションバー配線部分がトーションバー３，３から浮いた構造になる。図６は、図５のＢ−Ｂ矢視断面図を示す。
【００２８】
また、保護膜２１を設ける電磁アクチュエータ２０の場合で、図７のようにレジスト等の犠牲層１１を設け、その後に犠牲層１１を除去して製造してもよい。
【００２９】
次に、第２の方法として、引出し配線部５Ｂのトーションバー配線部分をトーションバーから剥離する方法について説明する。
この場合は、少なくとも引出し配線部５Ｂのトーションバー配線部分を、ヤング率の高い金属材料、例えばチタン（Ｔｉ）やタングステン（Ｗ）等で形成する。尚、導電パターン５の駆動コイル５Ａ及び引出し配線部５Ｂ全体を、ヤング率の高い金属材料で一体形成してもよい。
【００３０】
この方法は、電磁アクチュエータを形成した後に、可動部４を揺動駆動することで、引出し配線部５Ｂのトーションバー配線部分を、トーションバー３，３表面から剥離させる。これにより、図８及び図９のように、引出し配線部５Ｂのトーションバー配線部分が、トーションバー３，３から浮いた構造となり、その間に空間部１０が形成される。図８は、引出し配線部５Ｂのトーションバー配線部分に保護膜２１を設けない場合の例であり、図９は、引出し配線部５Ｂのトーションバー配線部分にも保護膜２１を設けた場合の例であり、ＳｉＯ2絶縁層８を設けず、保護膜２１を絶縁層としている。
【００３１】
尚、図９では、保護膜２１として接着性の弱い材料を使用することが望ましく、この場合、保護膜全体を接着性の弱い材料としてもよく、引出し配線部５Ｂのトーションバー配線部分の保護膜だけ接着性の弱い材料を使用するようにしてもよい。
【００３２】
次に、第３の方法として、可撓性絶縁シートに駆動コイル５Ａ及び引出し配線部５Ｂの導電パターン５を形成したフレキシブルプリント基板（以下、ＦＰＣと称す）を、別途作製し、このＦＰＣを半導体基板に貼付ける方法について説明する。
【００３３】
この方法は、半導体基板を異方性エッチングして、固定部２、トーションバー３，３及び可動部４を形成する一方、図１０のような可撓性絶縁シートに駆動コイル５Ａ及び引出し配線部５Ｂの導電パターン５を形成したＦＰＣ３１を別途作製する。そして、作製したＦＰＣ３１の引出し配線部５Ｂのトーションバー配線部に対応するシート部分を、図１１に示すようにトーションバー３，３の上方側に撓ませた状態で、半導体基板の可動部４と固定部２に接着剤３２で接着する。これにより、引出し配線部５Ｂのトーションバー配線部分が、トーションバー３，３から浮いた構造となり、その間に空間部１０が形成される。
【００３４】
上述の実施形態では、１次元駆動型の電磁アクチュエータの例を示したが、本発明は２次元駆動型の電磁アクチュエータにも適用できることは言うまでもない。
【００３５】
図１２及び図１３に、２次元駆動型電磁アクチュエータの一例を示す。
図１２は、２次元駆動型のプレーナ型電磁アクチュエータの実施形態の平面図である。図１３は、図１２のＣ−Ｃ矢視断面図である。尚、図１の実施形態と同一要素には同一符号を付してある。
【００３６】
本実施形態の２次元駆動型電磁アクチュエータ４０は、可動部として固定部２に外側トーションバー３Ａ，３Ａを介して揺動可能に軸支される枠状の外側可動部４Ａと、外側可動部４Ａに外側トーションバー３Ａ，３Ａと軸方向が直角な内側トーションバー３Ｂ，３Ｂを介して揺動可能に軸支される内側可動部４Ｂとを備える。また、導電パターンは、外側可動部４Ａ上に設ける外側駆動コイル５Ａ（図の簡略化のため図中１本線で示す）と、この外側駆動コイル５Ａを固定部２に設けた一対の外部接続端子７Ａ，７Ａに電気的に接続する外側引出し配線部５Ｂとからなる外側導電パターン５と、内側可動部４Ｂ上に設ける内側駆動コイル５Ａ′（図の簡略化のため図中１本線で示す）と、この内側駆動コイル５Ａ′を固定部２に設けた一対の外部接続端子７Ｂ，７Ｂに電気的に接続する内側引出し配線部５Ｂ′とからなる内側導電パターン５′とを備える。
【００３７】
前記外側導電パターン５は、外側駆動コイル５Ａが、枠状の外側可動部４Ａの周縁に沿って巻回され、外側引出し配線部５Ｂが、外側トーションバー３Ａ，３Ａの一方（図の下側）を介して固定部２側に引出され、外部接続端子７Ａ，７Ａに前記外側駆動コイル５Ａを接続している。
【００３８】
前記内側導電パターン５′は、前記内側駆動コイル５Ａ′が、図１と同様に内側可動部４Ｂの周縁に巻回され、内側引出し配線部５Ｂ′が、両内側トーションバー３Ｂ，３Ｂ、外側可動部４Ａ、外側トーションバー３Ａ，３Ａの他方（図の上側）を介して固定部２側に引出され、外部接続端子７Ｂ，７Ｂに前記内側駆動コイル５Ａ′を接続している。
【００３９】
そして、これら両導電パターン５，５′の引出し配線部５Ｂ，５Ｂ′は、図１３に示すように、そのトーションバー配線部分が、半導体基板上に形成したＳｉＯ2絶縁層８を犠牲層エッチングすることによって形成された空間部１０を介して、外側トーションバー３Ａ，３Ａ及び内側トーションバー３Ｂ，３Ｂから浮いた状態で設けられている。尚、本実施形態は、図１の実施形態と同様に、各導電パターンを、保護膜が不要な腐食し難い金等の金属材料で形成した場合の例である。
【００４０】
尚、図示しないが、固定部２の外側において、外側可動部４Ａと内側可動部４Ｂを挟んで互いに反対磁極が対向するそれぞれ一対の静磁界発生手段（永久磁石や電磁石等）が、互いに直交方向に配置され、外側トーションバー３Ａ，３Ａの軸方向と平行な外側可動部４Ａの両端縁部における外側駆動コイル５Ａ部分及び内側トーションバー３Ｂ，３Ｂの軸方向と平行な内側可動部４Ｂの両端縁部における内側駆動コイル５Ａ′部分に静磁界を作用させる構成である。
【００４１】
図１２では、前述した第１の方法（犠牲層エッチングによる方法）によって、引出し配線部のトーションバー配線部分をトーションバーから浮かす例を示したが、２次元駆動型電磁アクチュエータについても、前述した第２の方法（可動部の揺動動作により剥離する方法）及び第３の方法（ＦＰＣを貼付ける方法）が適宜適用できることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明に係る１次元駆動型電磁アクチュエータの一実施形態を示す平面図。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視断面図。
【図３】本発明の第１の製造方法である犠牲層エッチングによる方法の説明図。
【図４】犠牲層エッチングによる別の方法の説明図。
【図５】本発明に係る１次元駆動型電磁アクチュエータの別の実施形態を示す平面図。
【図６】図５のＢ−Ｂ矢視断面図。
【図７】図５の電磁アクチュエータに対する犠牲層エッチングによる別の方法の説明図。
【図８】本発明の第２の製造方法である可動部揺動動作により剥離する方法の説明図。
【図９】保護膜がある場合の可動部揺動動作により剥離する方法の説明図。
【図１０】フレキシブルプリント基板の例を示す図。
【図１１】本発明の第３の製造方法であるフレキシブルプリント基板を貼付ける方法の説明図。
【図１２】本発明に係る２次元駆動型電磁アクチュエータの実施形態を示す平面図。
【図１３】図１２のＣ−Ｃ矢視断面図。
【符号の説明】
【００４３】
１，２０，４０    電磁アクチュエータ
２    固定部
３    トーションバー
４    可動部
５    導電パターン
５Ａ  駆動コイル
５Ｂ  引出し配線部
６    永久磁石
７    外部接続端子
８    ＳｉＯ2絶縁層（犠牲層）
９    反射ミラー
１０  空間部
１１  レジスト犠牲層
２１  保護膜
３１  フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）
３２  接着剤
【図１】
0005383065.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
0005383065.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
0005383065.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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