(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板上に、第２の方向に延在し、前記第２の方向と交差する第１の方向に併設される複数のＸ電極と、
前記基板上に、前記Ｘの電極と交差して前記第１の方向に延在し、前記第２の方向に併設される複数のＹ電極とを有し、
前記複数のＹ電極の片側から駆動電圧を供給する静電容量方式のタッチパネルであって、
前記複数のＹ電極の一方の端部には、それぞれ引き出し配線が交互に接続され、
前記各引き出し配線は、有効タッチ領域の外側に形成されるとともに、前記基板の一辺に形成された、それぞれの引き出し配線に対応する端子に接続され、
前記各Ｙ電極の引き出し配線が接続されていない側の端部には、それぞれ前記各Ｙ電極に接続される検査パッドが形成され、
前記複数の検査パッドは、有効タッチ領域の外側で前記引き出し配線が形成される領域上に形成され、
前記引き出し配線と前記各検査パッドとの間にシールド電極を有し、
前記シールド電極には、前記Ｙ電極に供給する駆動電圧と同相の電圧を供給することを特徴とするタッチパネル。
【請求項２】
前記各Ｘ電極、前記Ｙ電極、前記検査パッド、およびシールド電極は、透明導電膜で形成され、
前記各引き出し配線は、メタル層で形成されていることを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項３】
前記各Ｘ電極と前記各Ｙ電極は、それぞれ、延在方向にパッド部と細線部とが交互に並ぶようにして形成され、
平面的に観た場合に、前記各Ｘ電極のパッド部と前記各Ｙ電極のパッド部は重畳することなく配置され、かつ、前記各Ｘ電極の前記細線部と、前記各Ｙ電極の前記細線部とは交差しており、
前記各Ｘ電極の前記パッド部と前記細線部、および前記Ｙ電極の前記パッド部は、同じ層に形成され、
前記各Ｙ電極の前記細線部は、前記各Ｙ電極のパッド部よりも下層に形成され、前記各Ｙ電極のパッド部と前記各Ｙ電極の前記細線部との間の絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記各Ｙ電極のパッド部に接続されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のタッチパネル。
【請求項４】
前記各検査パッドは、前記Ｙ電極の前記パッド部と、同じ層に形成されており、
前記シールド電極は、前記Ｙ電極の前記パッド部が形成される層と、前記Ｙ電極の前記細線部が形成される層との間に形成されていることを特徴とする請求項３に記載のタッチパネル。
【請求項５】
前記各Ｘ電極と前記各Ｙ電極は、それぞれ、延在方向にパッド部と細線部とが交互に並ぶようにして形成され、
平面的に観た場合に、前記各Ｘ電極のパッド部と前記各Ｙ電極のパッド部は重畳することなく配置され、かつ、前記各Ｘ電極の前記細線部と、前記各Ｙ電極の前記細線部とは交差しており、
前記Ｘ電極と前記Ｙ電極とは、絶縁膜を挟んで異なる層に形成され、前記Ｘ電極は、前記Ｙ電極よりも下層に形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のタッチパネル。
【請求項６】
前記各検査パッドは、前記Ｙ電極の前記パッド部と、同じ層に形成されており、
前記シールド電極は、前記Ｙ電極が形成される層と、前記Ｘ電極が形成される層との間に形成されていることを特徴とする請求項５に記載のタッチパネル。
【請求項７】
基板と、
前記基板上に、第２の方向に延在し、前記第２の方向と交差する第１の方向に併設される複数のＸ電極と、
前記基板上に、前記Ｘの電極と交差して前記第１の方向に延在し、前記第２の方向に併設される複数のＹ電極とを有し、
前記複数のＹ電極の片側から駆動電圧を供給する静電容量方式のタッチパネルであって、
前記複数のＹ電極の一方の端部には、それぞれ引き出し配線が交互に接続され、
前記各引き出し配線は、有効タッチ領域の外側に形成されるとともに、前記基板の一辺に形成された、それぞれの引き出し配線に対応する端子に接続され、
前記各Ｙ電極の引き出し配線が接続されていない側の端部には、それぞれ前記各Ｙ電極に接続される検査用引き出し配線が形成されており、
前記複数の検査用引き出し配線は、前記基板の一辺に形成された、それぞれの検査用引き出し配線に対応する検査用パッドに接続され、
前記複数の検査用引き出し配線は、有効タッチ領域の外側で前記引き出し配線が形成される領域上に形成され、
前記引き出し配線と前記各検査用引き出し配線との間にシールド電極を有し、
前記シールド電極には、前記Ｙ電極に供給する駆動電圧と同相の電圧を供給することを特徴とするタッチパネル。
【請求項８】
前記各Ｘ電極、前記Ｙ電極、前記検査用引き出し配線、およびシールド電極は、透明導電膜で形成され、
前記各引き出し配線は、メタル層で形成されていることを特徴とする請求項７に記載のタッチパネル。
【請求項９】
前記各Ｘ電極と前記各Ｙ電極は、それぞれ、延在方向にパッド部と細線部とが交互に並ぶようにして形成され、
平面的に観た場合に、前記各Ｘ電極のパッド部と前記各Ｙ電極のパッド部は重畳することなく配置され、かつ、前記各Ｘ電極の前記細線部と、前記各Ｙ電極の前記細線部とは交差しており、
前記各Ｘ電極の前記パッド部と前記細線部、および前記Ｙ電極の前記パッド部は、同じ層に形成され、
前記各Ｙ電極の前記細線部は、前記各Ｙ電極のパッド部よりも下層に形成され、前記各Ｙ電極のパッド部と前記各Ｙ電極の前記細線部との間の絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記各Ｙ電極のパッド部に接続されていることを特徴とする請求項７または請求項８に記載のタッチパネル。
【請求項１０】
前記各検査用引き出し配線は、前記Ｙ電極の前記パッド部と、同じ層に形成されており、
前記シールド電極は、前記Ｙ電極の前記パッド部が形成される層と、前記Ｙ電極の前記細線部が形成される層との間の層に形成されていることを特徴とする請求項９に記載のタッチパネル。
【請求項１１】
前記各Ｘ電極と前記各Ｙ電極は、それぞれ、延在方向にパッド部と細線部とが交互に並ぶようにして形成され、
平面的に観た場合に、前記各Ｘ電極のパッド部と前記各Ｙ電極のパッド部は重畳することなく配置され、かつ、前記各Ｘ電極の前記細線部と、前記各Ｙ電極の前記細線部とは交差しており、
前記Ｘ電極と前記Ｙ電極とは、絶縁膜を挟んで異なる層に形成され、前記Ｘ電極は、前記Ｙ電極よりも下層に形成されていることを特徴とする請求項７または請求項８に記載のタッチパネル。
【請求項１２】
前記各検査パッドは、前記Ｙ電極の前記パッド部と、同じ層に形成されており、
前記シールド電極は、前記Ｙ電極が形成される層と、前記Ｘ電極が形成される層との間に形成されていることを特徴とする請求項１１に記載のタッチパネル。
【請求項１３】
表示パネルと、
前記表示パネルの観察者側に配置されるタッチパネルとを備え、
前記タッチパネルは、請求項１ないし請求項１２のいずれか１項に記載のタッチパネルであることを特徴とする表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネル、および表示装置に係わり、特に、有効タッチ領域の外側の額縁領域の幅を狭くする際に有効な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示画面に使用者の指またはペンなどを用いてタッチ操作（接触押圧操作、以下、単にタッチと称する）して情報を入力する装置（以下、タッチセンサ又はタッチパネルとも称する）を備えた表示装置は、ＰＤＡや携帯端末などのモバイル用電子機器、各種の家電製品、現金自動預け払い機（Automated Teller Machine）等に用いられている。
このようなタッチパネルとして、タッチされた部分の抵抗値変化を検出する抵抗膜方式、あるいは容量変化を検出する静電容量方式、または光量変化を検出する光センサ方式などが知られている。
静電容量方式は、抵抗膜方式や光センサ方式と比較した場合に次のような利点がある。例えば、抵抗膜方式や光センサ方式では透過率が８０％程度と低いのに対し静電容量方式は約９０％と透過率が高く表示画質を低下させない点で有利である。また、抵抗膜方式では抵抗膜の機械的接触によりタッチ位置を検知するため、抵抗膜が劣化または破損するおそれがあるのに対し、静電容量方式では検出用電極が他の電極などと接触するような機械的接触がなく、耐久性の点からも有利である。
静電容量方式のタッチパネルとしては、例えば、下記特許文献１で開示されているような方式がある。この開示された方式では、縦横二次元マトリクス状に配置した検出用縦方向の電極（以下、Ｘ電極という。）と検出用横方向の電極（以下、Ｙ電極という。）とを設け、入力処理部で各電極の容量を検出する。タッチパネルの表面に指などの導体が接触した場合には、各電極の容量が増加するため、入力処理部でこれを検知し、各電極が検知した容量変化の信号を基に入力座標を計算する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−３１０５５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述の特許文献１に示す静電容量の方式のタッチパネルでは、Ｙ電極の一方の側から配線（以下、引き出し配線という。）を引き出し、フレキシブル配線基板と接続される端子に接続することにより、Ｙ電極の片側から駆動電圧を供給している。以下、このような方式を片側給電方式のタッチパネルという。
この片側給電方式のタッチパネルでは、Ｙ電極と、Ｙ電極の引き出し配線の断線を検査するために、Ｙ電極の他方の側に検査パッドを設けている。
そして、片側給電方式のタッチパネルにおいて、有効タッチ領域の外側の額縁の幅を左右均等かつ最小幅とするために、引き出し配線を交互に引き出すことが望ましい。しかしながら、有効タッチ領域の外側に設けた引き出し配線と、検査パッドとの間の容量結合により、タッチパネルのタッチ位置の誤認識を防止するために、検査パッドのさらに外側の領域に引き出し配線を配置している。
したがって、額縁の幅が広くなってしまい、そこで、額縁を狭くするために検査パッドを省略すると、Ｙ電極と、Ｙ電極の引き出し配線の断線検査ができないという問題点があった。
本発明は、前記従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、検出用電極の他方の側に検査パッドを配置し、検出用電極の一方の側から給電するタッチパネルにおいて、有効タッチ領域の外側の額縁領域の幅を狭くすることが可能となる技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかにする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記の通りである。
（１）基板と、前記基板上に、第２の方向に延在し、前記第２の方向と交差する第１の方向に併設される複数のＸ電極と、前記基板上に、前記Ｘの電極と交差して前記第１の方向に延在し、前記第２の方向に併設される複数のＹ電極とを有し、前記複数のＹ電極の片側から駆動電圧を供給する静電容量方式のタッチパネルであって、前記複数のＹ電極の一方の端部には、それぞれ引き出し配線が交互に接続され、前記各引き出し配線は、有効タッチ領域の外側に形成されるとともに、前記基板の一辺に形成された、それぞれの引き出し配線に対応する端子に接続され、前記各Ｙ電極の引き出し配線が接続されていない側の端部には、それぞれ前記各Ｙ電極に接続される検査パッドが形成され、前記複数の検査パッドは、有効タッチ領域の外側で前記引き出し配線が形成される領域上に形成され、前記引き出し配線と前記各検査パッドとの間にシールド電極を有し、前記シールド電極には、前記Ｙ電極に供給する駆動電圧と同相の電圧を供給する。
【０００６】
（２）基板上に、前記基板上に、第２の方向に延在し、前記第２の方向と交差する第１の方向に併設される複数のＸ電極と、前記基板上に、前記Ｘの電極と交差して前記第１の方向に延在し、前記第２の方向に併設される複数のＹ電極とを有し、前記複数のＹ電極の片側から駆動電圧を供給する静電容量方式のタッチパネルであって、前記複数のＹ電極の一方の端部には、それぞれ引き出し配線が交互に接続され、前記各引き出し配線は、有効タッチ領域の外側に形成されるとともに、前記基板の一辺に形成された、それぞれの引き出し配線に対応する端子に接続され、前記各Ｙ電極の引き出し配線が接続されていない側の端部には、それぞれ前記各Ｙ電極に接続される検査用引き出し配線が形成されており、前記複数の検査用引き出し配線は、前記基板の一辺に形成された、それぞれの検査用引き出し配線に対応する検査用パッドに接続され、前記複数の検査用引き出し配線は、有効タッチ領域の外側で前記引き出し配線が形成される領域上に形成され、前記引き出し配線と前記各検査用引き出し配線との間にシールド電極を有し、前記シールド電極には、前記Ｙ電極に供給する駆動電圧と同相の電圧を供給する。
【発明の効果】
【０００７】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである。
本発明によれば、検出用電極の他方の側に検査パッドを配置し、検出用電極の一方の側から給電するタッチパネルにおいて、有効タッチ領域の外側の額縁領域の幅を狭くすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施例１のタッチパネルを説明するための図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図である。
【図３】本発明の実施例２のタッチパネルを説明するための図である。
【図４】図３のＡ−Ａ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図である。
【図５】本発明の実施例１、実施例２のタッチパネルの変形例を説明するための図である。
【図６】図５のＦ−Ｆ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図である。
【図７】図５のＧ−Ｇ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図である。
【図８】本発明の実施例３のタッチパネルのＸ電極を説明するための図である。
【図９】本発明の実施例４のタッチパネルのＸ電極を説明するための図である。
【図１０】本発明の実施例３のタッチパネルの問題点を説明するための図である。
【図１１】本発明の実施例５のタッチパネルのＸ電極を説明するための図である。
【図１２】本発明の実施例６のタッチパネルの引き出し配線を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
なお、実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。また、以下の実施例は、本発明の特許請求の範囲の解釈を限定するためのものではない。
［実施例１］
図１は、本発明の実施例１のタッチパネルを説明するための図であり、図２は、図１のＡ−Ａ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図である。
図１に示すように、本実施例のタッチパネルは、第２の方向（Ｙ方向）に延在し、第２の方向と交差する第１の方向（Ｘ方向）に所定の配列ピッチで併設される複数のＸ電極（Ｘ１〜Ｘ５）と、このＸ電極と交差して第１の方向に延在し、第２の方向に所定の配列ピッチで併設される複数のＹ電極（Ｙ１〜Ｙ６）とを有する。なお、図１の点線枠で示す部分が、有効タッチ領域である。
複数のＸ電極の各々は、細線部１ａと、この細線部１ａの幅よりも広い幅のパッド部１ｂとが第２の方向に交互に複数配置された電極パターンを有する。
図２に示すように、複数のＸ電極は、絶縁膜１２上に配置され、その上層に形成された保護膜１３で覆われている。
【００１０】
Ｙ電極の各々は、細線部２ａと、この細線部２ａの幅よりも広い幅のパッド部２ｂとが、第１の方向に交互に複数配置された電極パターンを有する。
平面的に観た場合に、各Ｘ電極のパッド部１ｂと各Ｙ電極のパッド部２ｂとは重畳することなく配置され、かつ、各Ｘ電極の細線部１ａと各Ｙ電極の細線部２ａとは交差している。
図２に示すように、複数のＹ電極の各々の細線部２ａは、Ｘ電極の細線部１ａとパッド部１ｂとは異なる層に形成され、Ｘ電極の細線部１ａと平面的に交差している。複数のＹ電極の各々のパッド部２ｂは、Ｘ電極の細線部１ａとパッド部１ｂと同一の層に、Ｘ電極のパッド部１ｂとは分離して形成されている。本実施例において、Ｘ電極の細線部１ａは、Ｙ電極の細線部２ａよりも上層に形成されている。
複数のＹ電極の各々のパッド部２ｂは、Ｘ電極と同様に保護膜１３で覆われている。Ｙ電極の細線部２ａは基板１１上に形成され、細線部２ａを挟んで隣り合う２つのパッド部２ｂに、絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ａを介してそれぞれ電気的に接続されている。なお、基板１１としては、例えばガラス等の透明な絶縁性基板が使用される。また、Ｘ電極と、Ｙ電極は、高い透過性を有する材料、例えばＩＴＯ（Ｉndium Ｔin Ｏxide）等の透明性導電材料で形成される。
【００１１】
本実施例のタッチパネルも、片側給電方式のタッチパネルであり、図１に示すように、Ｘ電極は、Ｘ１からＸ５の５本のＸ電極で構成されており、それぞれのＸ電極は、引き出し配線（ＬＸ１〜ＬＸ５）に接続され、基板１１の一辺に形成されたそれぞれの端子部（ＴＸ１〜ＴＸ５）に接続されている。
Ｙ電極は、Ｙ１からＹ６の６本のＹ電極で構成されており、それぞれのＹ電極の一方の端部は、引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）に接続され、基板１１の一辺に形成されたそれぞれの端子部（ＴＹ１〜ＴＹ６）に接続されている。Ｙ電極の引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）は、左右交互にそれぞれ互い違いに引き出されている。さらに、Ｙ電極の他方の端部は、電気的な導通を検査するための検査パット（ＰＹ１〜ＰＹ６）にそれぞれ接続されている。なお、引き出し配線（ＬＸ１〜ＬＸ５，ＬＹ１〜ＬＹ６）は、有効タッチ領域（図２の矢印Ａで示す領域）外の領域に形成され、銀合金膜などのメタル層で形成される。
図２に示すように、本実施例では、検査パッド（ＰＹ１〜ＰＹ６）は、左右交互にそれぞれ互い違いに引き出されたＹ電極の引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）の上に配置されている。そして、検査パッド（ＰＹ１〜ＰＹ６）と、Ｙ電極の引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）との間には、アクティブシールド電極（ＡＳＣ）が形成されている。このように、本実施例では、検査パッド（ＰＹ１〜ＰＹ６）と、Ｙ電極の引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）との間に、アクティブシールド電極（ＡＳＣ）を挟んだ構造となっている。
本実施例では、検査パッド（ＰＹ１〜ＰＹ６）は、Ｘ電極の細線部１ａとパッド部１ｂ、およびＹ電極のパッド部２ｂと同じ層で、Ｘ電極とＹ電極と同様、ＩＴＯ等の透明導電膜で形成される。これにより、新たな検査パッドのための成膜や加工をする必要はない。
【００１２】
タッチパネルは、指タッチによる各電極の容量の変化を検出可能とするために、Ｘ電極とＹ電極が、それぞれ引き出し配線により、基板の一辺に設けた端子部に確実に接続されていることが必要であり、各電極上や、各引き出し配線の途中に断線があると指タッチによる容量の検出ができなくなる。
したがって、本実施例では、製品の製造時には、各端子部（ＴＹ１〜ＴＹ６）と検査パッド（ＰＹ１〜ＰＹ６）との間の電気的導通を検査して、途中の断線が認められたタッチパネルを不良品として排除することができ、製造時の歩留まりの高いタッチパネルを実現することができる。
また、通常の動作時には、Ｙ電極（Ｙ１〜Ｙ６）に供給する駆動電圧と同一の電圧をアクティブシールド電極（ＡＳＣ）に供給する。これにより、検査パッド（ＰＹ１〜ＰＹ６）とＹ電極の引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）との間の容量結合を抑制することができ、Ｙ電極間の容量結合を抑制することができる。その結果、同様に位置判定の精度の高いタッチパネルが実現きる。
たとえば、Ｙ６のＹ電極の引き出し配線（ＬＹ６）の上には、Ｙ５のＹ電極の他端に配置された検査パッド（ＰＹ５）が配置されているが、その間にアクティブシールド電極（ＡＳＣ）を配置しているの、Ｙ５のＹ電極と、Ｙ６のＹ電極との間の容量結合によるクロストークを抑制することができる。同様に、各Ｙ電極の引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）上には他のＹ電極の検査パッド（ＰＹ１〜ＰＹ６）が配置されるが、その間にアクティブシールド電極（ＡＳＣ）を配置したことにより、各Ｙ電極の引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）と他のＹ電極との間の容量結合によるクロストークを抑制できる。
【００１３】
仮に、Ｙ６のＹ電極上に指タッチをしたとき、指タッチによる容量変化がＹ６のＹ電極上に生じる。これをタッチパネルコントローラは検知してＹ６のＹ電極上に指タッチがなされたと判定する。
このような場合、仮に、Ｙ６のＹ電極とＹ５のＹ電極との間にクロストークが発生した場合、Ｙ５のＹ電極上の容量もわずかに変化しているとタッチパネルコントローラは検知する。そのため、Ｙ５のＹ電極とＹ６のＹ電極との間に指タッチがあったと誤って判定する。
このように、クロストークが発生した場合、本来指タッチした位置に対してずれた位置を判定することにより、位置判定の精度が損なわれてしまう。
したがって、アクティブシールド電極（ＡＳＣ）を、検査パッド（ＰＹ１〜ＰＹ６）とＹ電極の引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）との間に挟んだ構造とすることで、上記クロストークを抑制することができるため、位置判定の精度の高いタッチパネルが実現きる。
さらに、本来必要な引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）上に、検査パッド（ＰＹ１〜ＰＹ６）を配置するので、検査パッド（ＰＹ１〜ＰＹ６）のための額縁領域を広げる必要はなく、デザイン性の高いタッチパネルを実現することができる。
しかも、アクティブシールド電極（ＡＳＣ）は、Ｘ電極とＹ電極の交差部を形成するためのＹ電極の細線部２ａと、同一の工程で形成することができる。これにより、アクティブシールド電極（ＡＳＣ）を形成するために、新たに、導電膜（例えば、ＩＴＯ）を成膜する必要はなく、製造工程を簡略化することができる。
【００１４】
次に、本実施例のタッチパネルの製造方法について、図１、図２を参照して説明する。
まず、基板１１の観察者側の面上に、金属膜（例えば、銀合金膜）を形成する。ホトリソグラフィ工程でレジスト膜を形成し、合金膜をパターンニングして、Ｘ電極の引き出し配線（ＬＸ１〜ＬＸ５）と、Ｙ電極の引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）を形成する。
次に、Ｘ電極の引き出し配線（ＬＸ１〜ＬＸ５）と、Ｙ電極の引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）上を絶縁膜で覆い、基板１１の観察者側の面上に、透明性導電材料（例えばＩＴＯ）からなる第１の導電膜を形成する。ホトリソグラフィ工程でレジスト膜を形成し、第１の導電膜をパターンニングして、Ｙ電極の細線部２ａと、アクティブシールド電極（ＡＳＣ）を形成する。
次に、Ｘ電極の引き出し配線（ＬＸ１〜ＬＸ５）と、Ｙ電極の引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）、Ｙ電極の細線部２ａ、アクティブシールド電極（ＡＳＣ）を含む基板１１上に、例えばネガ型レジストからなる絶縁膜１２を形成する。
次に、絶縁膜１２の必要な部分にコンタクトホール１２ａを形成し、その後、コンタクトホール１２ａ内を含む絶縁膜１２上に、透明性導電材料（例えばＩＴＯ）からなる第２の導電膜を形成する。ホトリソグラフィ工程でレジスト膜を形成し、第２の導電膜をパターンニングして、Ｘ電極の細線部１ａとパッド部１ｂ、およびＹ電極のパッド部２ｂ、並びに検査パッド（ＰＹ１〜ＰＹ６）を形成する。
この工程において、上層のＹ電極のパッド部２ｂは、コンタクトホール１２ａを介して下層のＹ電極の細線部２ａと電気的に接続される。また、上層のＸ電極の細線部１ａは、下層のＹ電極の細線部２ａと交差する。
その後、Ｘ電極の細線部１ａとパッド部１ｂ、およびＹ電極のパッド部２ｂ、並びに検査パッド（ＰＹ１〜ＰＹ６）を含む絶縁膜１２上に、検査パッド（ＰＹ１〜ＰＹ６）の一部が露出するように、例えばネガ型レジストからなる保護膜１３を形成することにより、図１、図２に示す構造となる。
なお、Ｘ電極の引き出し配線（ＬＸ１〜ＬＸ５）と、Ｙ電極の引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）は、絶縁膜１２に形成されたスルーホール（図示せず）を介して、Ｘ電極（Ｘ１〜Ｘ５）とＹ電極（Ｙ１〜Ｙ６）のそれぞれの一方の端部に接続される。
【００１５】
［実施例２］
図３は、本発明の実施例２のタッチパネルを説明するための図であり、図４は、図３のＡ−Ａ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図である。
本実施例は、基板の端子部が形成される一辺の、端子部（ＴＸ１〜ＴＸ５，ＴＹ１〜ＴＹ６）の外側に、検査パッド（ＰＹ１〜ＰＹ６）を形成し、この検査パッド（ＰＹ１〜ＰＹ６）と、Ｙ電極の他方の端部との間を、検査用引き出し配線（ＬＰＹ１〜ＬＰＹ６）で接続するようにしたものである。
検査用引き出し配線（ＬＰＹ１〜ＬＰＹ６）は、Ｘ電極の細線部１ａとパッド部１ｂ、およびＹ電極のパッド部２ｂと同じ層で、Ｘ電極とＹ電極と同様、ＩＴＯ等の透明導電膜で形成される。これにより、新たな検査パッドのための成膜や加工をする必要はない。
本実施例でも、検査用引き出し配線（ＬＰＹ１〜ＬＰＹ６）を、アクティブシールド電極（ＡＳＣ）上に配置して、金属層から成るＹ電極の引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）とともに、２層の配線構造としている。
【００１６】
したがって、製品の製造時には、検査用引き出し配線（ＬＰＹ１〜ＬＰＹ６）を利用して、検査パッド（ＰＹ１〜ＰＹ６）と、端子部（ＴＹ１〜ＴＹ６）との間の電気的導通を検査して、途中の断線が認められたタッチパネルを不良品として排除することができ、製造時の歩留まりの高いタッチパネルを実現することができる。
また、通常の動作時には、Ｙ電極（Ｙ１〜Ｙ６）に供給する駆動電圧と同一の電圧をアクティブシールド電極（ＡＳＣ）に供給する。これにより、検査用引き出し配線（ＬＰＹ１〜ＬＰＹ６）と、アクティブシールド電極（ＡＳＣ）との間の容量結合を抑制することができ、Ｙ電極間の容量結合を抑制することができる。その結果、同様に位置判定の精度の高いタッチパネルが実現きる。
さらに、また、検査用引き出し配線（ＬＰＹ１〜ＬＰＹ６）と、Ｙ電極の引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）との間に、アクティブシールド電極（ＡＳＣ）を設けたことにより、Ｙ電極間の容量結合を抑制することができる。その結果、同様に位置判定の精度の高いタッチパネルが実現きる。
さらに、このような構造を採用することにより、検査パッド（ＰＹ１〜ＰＹ６）のための額縁領域を広げる必要はなく、デザイン性の高いタッチパネルを実現できる。
しかも、アクティブシールド電極（ＡＳＣ）は、Ｘ電極とＹ電極の交差部を形成するためのＹ電極の細線部２ａと、同一の工程で形成することができる。これにより、アクティブシールド電極（ＡＳＣ）を形成するために新たに、導電膜（例えば、ＩＴＯ）を成膜する必要はなく、製造工程を簡略化することができる。
【００１７】
なお、前述の各実施例では、Ｘ電極の他方の端部は、電気的な導通を検査するための検査パット（ＰＸ１〜ＰＸ５）にそれぞれ接続されている。
これにより、前述の各実施例では、製品の製造時に、各端子部（ＴＸ１〜ＴＸ５）と検査パッド（ＰＸ１〜ＰＸ５）との間の電気的導通を検査して、途中の断線が認められたタッチパネルを不良品として排除することができ、製造時の歩留まりの高いタッチパネルを実現することができる。検査パット（ＰＸ１〜ＰＸ５）は、Ｘ電極とＹ電極と同様、ＩＴＯ等の透明導電膜で形成される。
［実施例１、実施例２のタッチパネルの変形例］
図５は、本発明の実施例１、実施例２のタッチパネルの変形例を説明するための図であり、図６は、図５のＦ−Ｆ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図、図７は、図５のＧ−Ｇ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図である。
図５ないし図７に示すタッチパネルにおいても、平面的に観た場合に、各Ｘ電極のパッド部１ｂと各Ｙ電極のパッド部２ｂとは重畳することなく配置され、かつ、各Ｘ電極の細線部１ａと各Ｙ電極の細線部２ａとは交差している。
図５ないし図７に示すタッチパネルでは、図５ないし図７に示すように、Ｘ電極とＹ電極とを絶縁膜１２を挟んで異なる層に形成したものであり、Ｘ電極が、Ｙ電極よりも下層で、Ｘ電極、Ｙ電極の引き出し配線と同様、ガラス基板１１上の観察者側の面に形成されている。
【００１８】
［実施例３］      
図８は、本発明の実施例３のタッチパネルのＸ電極を説明するための図である。
静電容量方式タッチパネルは、指タッチによるＸ電極、Ｙ電極の容量の変化で、指タッチの有無を判定している。このときの感度は、Ｘ電極、Ｙ電極自体の容量と抵抗の大きさに影響され、容量が大きいと、タッチしたときの容量変化を捕らえることができない。抵抗が大きい場合は、電極（Ｘ電極、Ｙ電極）に十分に充電が行えないことから、指タッチに対して反応値が小さくなり感度が悪くなる。
また、指タッチの反応値が、有効タッチ領域内でばらつくと部分的に感度が悪い領域が生じ、操作に影響を与える。特に、片側給電方式のタッチパネルでは、タッチパネルの長辺に平行な電極（本実施例では、Ｘ電極）は、配線長さが長いため、給電端から遠い遠端で負荷が増え、前述したような現象が現れる場合がある。
そこで、本実施例では、指タッチの反応値の遠近端差をなくすために、抵抗値に大きく関与する電極間をつなぐ細線部１ａに着目して、図８に示すように、給電端から離れるに従い細線部１ａの幅を太くし、最遠端の細線部１ａｆの幅を、最近端の細線部１ａｎの幅の２倍（図８において、Ｂ≧２×Ａ）以上としている。これにより、給電端から遠い遠端側と、給電端に近い近短側とで、指タッチに対する反応値を均一化することができる。
なお、前述の実施例では、Ｘ電極の細線部１ａについて、給電端から離れるに従い細線部１ａの幅を太くし、最遠端の細線部１ａの幅を、最近端の２倍（図８において、Ｂ≧２×Ａ）以上としたが、Ｙ電極の細線部２ａについても、給電端から離れるに従い細線部２ａの幅を太くし、最遠端の細線部２ａの幅を、最近端の細線部２ａの幅の２倍としてもよい。
【００１９】
［実施例４］
図９は、本発明の実施例４のタッチパネルのＸ電極を説明するための図である。
本実施例では、図９に示すように、Ｘ電極における、給電端に最も近い近端側のパッド部１ｂｎの寸法（または面積）に比して、給電端から最も遠い遠端側のパッド部１ｂｆの寸法（または面積）を小さくし、さらに、浮遊電極１ｃを付加したものである。
これにより、充電時間を短くし、さらに、隣接間容量を小さくできるので、Ｘ電極における、給電端から最も遠いパッド部１ｂｆの、タッチに対する反応値を向上させることができる。
なお、前述の実施例では、Ｘ電極における、給電端から遠端側のパッド部１ｂｆの寸法（または面積）を小さくし、さらに、浮遊電極１ｃを付加するようにしたが、Ｙ電極における、給電端から遠端側のパッド部２ｂの寸法（または面積）を小さくし、さらに、浮遊電極を付加するようにしてもよい。
なお、本実施例では、Ｘ電極（またはＹ電極）における、給電端から最も遠い遠端側のパッド部１ｂ（またはパッド部２ｂ）の寸法（または面積）を小さくし、さらに、浮遊電極１ｃを付加するようにしたが、Ｘ電極（またはＹ電極）における、給電端から遠い遠端側の複数のパッド部１ｂ（またはパッド部２ｂ）の寸法（または面積）を小さくし、さらに、浮遊電極１ｃを付加するようにしてもよい。この場合、寸法（または面積）を小さくし、さらに、浮遊電極１ｃを付加するパッド部１ｂ（またはパッド部２ｂ）の個数は、Ｘ電極（またはＹ電極）において、指タッチに対する反応値が均一化されるように設定すればよい。また、Ｘ電極（またはＹ電極）のパッド部１ｂ（またはパッド部２ｂ）の寸法（または面積）を、給電端から遠ざかるにつれて、漸次小さくし、浮遊電極１ｃの寸法（または面積）を、給電端から遠ざかるにつれて、漸次大きくするようにしてもよい。
また、前述の実施例３の構成に、本実施例の構成を付加することにより、給電端から最も遠いパッド部１ｂｆの、タッチに対する反応値を向上させることができる。図９では、この場合の構成を図示している。
【００２０】
［実施例５］
前述の実施例３の電極構造の場合、Ｘ電極の細線部１ａについて、給電端から離れるに従い細線部１ａの幅を太くするようにしているので、図１０に示すように、Ｘ電極における、給電端から最も遠い細線部１ａと交差する細線部２ａを持つＹ電極のパッド部２ｂの面積も小さくなる。なお、図１０は、本発明の実施例３のタッチパネルの問題点を説明するための図である。
図１１は、本発明の実施例５のタッチパネルのＸ電極を説明するための図である。
本実施例では、図１１のＡに拡大して示すように、Ｘ電極における、給電端から最も遠い細線部１ａに金属層ＭＴを積層して低抵抗化したものである。これにより、図８に示す前述の実施例３の場合と比して、Ｘ電極における、給電端から最も遠い細線部１ａの配線幅を細くできるので、Ｘ電極、Ｙ電極をより認識し難くすることが可能である。さらに、Ｘ電極、Ｙ電極の大きさを均一にできるため、リニアリティを向上させることが可能である。
なお、前述の実施例では、Ｘ電極における、給電端から最も遠い細線部１ａに金属層ＭＴを積層して低抵抗化したが、Ｙ電極における、給電端から最も遠い細線部２ａに金属層ＭＴを積層して低抵抗化するようにしてもよい。
なお、本実施例において、Ｘ電極（またはＹ電極）における、給電端から最も遠い細線部１ａ（または細線部２ａ）に金属層ＭＴを積層して低抵抗化する代わりに、Ｘ電極（またはＹ電極）における、給電端から最も遠い細線部１ａ（または細線部２ａ）の膜厚を厚くして低抵抗化するようにしてもよい。この場合にも、Ｘ電極、Ｙ電極をより認識し難くすることが可能である。さらに、Ｘ電極、Ｙ電極の大きさを均一にできるため、リニアリティを向上させることが可能である。
なお、図１１では、Ｘ電極（またはＹ電極）における、給電端から最も遠い細線部１ａ（または細線部２ａ）に金属層ＭＴを積層するようにしたが、Ｘ電極（またはＹ電極）における、給電端から遠い遠端側の複数の細線部１ａ（または細線部２ａ）に金属層ＭＴを積層するようにしてもよい。この場合、金属層ＭＴを積層する細線部１ａ（または細線部２ａ）の個数は、Ｘ電極、Ｙ電極の大きさが均一になるように設定すればよい。
また、本実施例は、通常のタッチパネル、即ち、Ｘ電極（またはＹ電極）の細線部１ａ（または細線部２ａ）が均一の幅タッチパネルにも適用可能である。
【００２１】
［実施例６］      
図１２は、本発明の実施例６のタッチパネルの引き出し配線を説明するための図である。
図１２に示すように、本実施例では、引き出し配線（ＬＸ１〜ＬＸ５，ＬＹ１〜ＬＹ６）に、１００ｋΩ以上の抵抗（Ｒ１）を接続し、有効タッチ領域内において、Ｘ電極の抵抗値のバラツキ、あるいはＹ電極の抵抗値のバラツキが表面化しないようにして、有効タッチ領域内における、タッチに対する反応値を均一化するようにしたものである。さらに、本実施例は、ノイズに対しても効果的である。
なお、前述の実施例１、実施例２に示すタッチパネルでは、周辺部のＸ電極のパッド部１ｂ、およびＹ電極のパッド部２ｂの形状は、中央部のパッド部の半分となっている。
ところで、前述したように、指タッチの反応値がばらつく原因の一つは、給電端から遠い遠端で負荷が増えることである。しかしながら、実施例１、実施例２に示すタッチパネルでは、Ｘ電極またはＹ電極における、給電端から最も遠いパッド部（１ｂ，２ｂ）は、半分の形状となっているので、負荷も略半分となる。そのため、前述の実施例３乃至実施例５が適用される細線部（１ａ，２ａ）、あるいはパッド部（１ｂ，２ｂ）は、Ｘ電極またはＹ電極における、給電端から最も遠い細線部の一つ前の細線部（１ａ，２ａ）、あるいはパッド部（１ｂ，２ｂ）であってもよい。
さらに、前述の実施例３乃至実施例６は、基板１１上に、Ｘ電極の細線部１ａとパッド部１ｂ、および、複数のＹ電極のパッド部２ｂを形成し、複数のＹ電極の細線部２ａを絶縁膜１２上に形成したタッチパネルにも適用可能である。
なお、前述したように、前述の各実施例のタッチパネルは、液晶表示装置、あるいは、有機ＥＬ表示装置の表示パネル上に配置され、表示画面に使用者の指またはペンなどを用いてタッチ操作により情報を入力する装置として使用される。
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
【符号の説明】
【００２２】
１ａ，２ａ  細線部
１ｂ，２ｂ  パッド部
１ｃ  浮遊電極
１１  基板
１２  絶縁膜
１２ａ  コンタクトホール
１３  保護膜
Ｘ１〜Ｘ５  Ｘ電極
Ｙ１〜Ｙ６  Ｙ電極
ＬＸ１〜ＬＸ５，ＬＹ１〜ＬＹ６  引き出し配線
ＴＸ１〜ＴＸ５，ＴＹ１〜ＴＹ６  端子部
ＰＸ１〜ＰＸ５，ＰＹ１〜ＰＹ６  検査パッド
ＡＳＣ  アクティブシールド電極
ＭＴ  金属層
Ｒ１  抵抗
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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