(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置において、
上記スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、
上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続される一方、
上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している一方、
上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成していることを特徴とする液晶表示装置。
【請求項２】
ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置において、
上記スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、
上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、層間絶縁膜に形成された貫通孔を介して上記画素電極に接続され、かつ、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している一方、
上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成していることを特徴とする液晶表示装置。
【請求項３】
ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置において、
上記スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向並列に設けられるとともに、
上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続されるとともに、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量をそれぞれ形成していることを特徴とする液晶表示装置。
【請求項４】
連結部及び別途連結部は、細線にて形成されていることを特徴とする請求項１、２又は３記載の液晶表示装置。
【請求項５】
電極は、パッド電極であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の液晶表示装置。
【請求項６】
スイッチング素子は、薄膜トランジスタであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の液晶表示装置。
【請求項７】
ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置の欠陥修正方法において、
上記スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、
上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続される一方、
上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している一方、
上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している一方、
上記補助容量電極と遠方側の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断し、さらに、上記遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離す一方、
上記補助容量電極延長部と近い方の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することを特徴とする液晶表示装置の欠陥修正方法。
【請求項８】
ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置の欠陥修正方法において、
上記スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、
上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、層間絶縁膜に形成された貫通孔を介して上記画素電極に接続され、かつ、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している一方、
上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している一方、
上記補助容量電極と遠方側の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断する一方、
上記補助容量電極延長部と近い方の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することを特徴とする液晶表示装置の欠陥修正方法。
【請求項９】
ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置の欠陥修正方法において、
上記スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向並列に設けられるとともに、
上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続されるとともに、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量をそれぞれ形成している一方、
上記２箇所の電極の内いずれか一方と補助容量電極とが短絡したときには、短絡している側の電極への連結部をレーザ光にて切断し、さらに、短絡している側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことを特徴とする液晶表示装置の欠陥修正方法。
【請求項１０】
ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置の欠陥修正方法において、
上記スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、
上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続される一方、
上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している一方、
上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している一方、
上記ソース配線と遠方側の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断し、さらに、上記遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことを特徴とする液晶表示装置の欠陥修正方法。
【請求項１１】
ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置の欠陥修正方法において、
上記スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、
上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、層間絶縁膜に形成された貫通孔を介して上記画素電極に接続され、かつ、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している一方、
上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している一方、
上記ソース配線と遠方側の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することを特徴とする液晶表示装置の欠陥修正方法。
【請求項１２】
ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置の欠陥修正方法において、
上記スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向並列に設けられるとともに、
上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続されるとともに、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量をそれぞれ形成している一方、
上記２箇所の電極の内いずれか一方と上記ソース配線とが短絡したときには、短絡している側の電極への連結部をレーザ光にて切断し、さらに、短絡している側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことを特徴とする液晶表示装置の欠陥修正方法。
【請求項１３】
連結部及び別途連結部は、細線にて形成されていることを特徴とする請求項７〜１２のいずれか１項に記載の液晶表示装置の欠陥修正方法。
【請求項１４】
電極は、パッド電極であることを特徴とする請求項７〜１３のいずれか１項に記載の液晶表示装置の欠陥修正方法。
【請求項１５】
スイッチング素子は、薄膜トランジスタであることを特徴とする請求項７〜１４のいずれか１項に記載の液晶表示装置の欠陥修正方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置及びその欠陥修正方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置の製造は、通常、フォトレジストの塗布、露光、現像エンチング、レジストの剥離等の一連のプロセスによって行われるが、このプロセス中において発生する異物付着、キズ、膜厚ムラ等に起因して配線の断線不良等が発生することがある。
【０００３】
そこで、このような場合には、例えば、特開平８−１８４８４２号公報に開示された配線の断線修正方法に示すように、配線の断線又は半断線部分に微量の金属錯体溶液を供給してレーザ光を照射する。これによって、その部分に熱分解反応を起こさせ、金属薄膜を析出させて、周囲に影響を及ぼすことなく、低抵抗で、かつ高信頼度で配線の断線又は半断線部分を接続できるものとなる。
【０００４】
ところで、従来の液晶表示装置における液晶パネル８０は、一般的に、例えば、図８に示すように、下ガラス基板８１及び上ガラス基板８２と、この下ガラス基板８１上に格子状に配列される、データ信号を供給するソース配線８３及び走査信号を供給するゲート配線８４と、各格子点毎に設けられたスイッチング素子である薄膜トランジスタ（以下、「ＴＦＴ：Thin Film Transistor」と称する。) ８５と、上記ソース配線８３からＴＦＴ８５、ドレイン電極８６及びコンタクトホール８７を介して接続される画素電極８８と、この画素電極８８に対して液晶層８９を介して対向する対向電極９０とを有している。
【０００５】
上記画素電極８８は、最近では、平坦化膜にて形成することが多くなっている。その結果、ＴＦＴ８５等の上層の絶縁保護膜９１と画素電極８８との間に、この画素電極８８を平坦化するための層間絶縁膜９２が設けられる。また、画素電極８８とドレイン電極８６とを接続するために、層間絶縁膜９２に貫通孔を開けたコンタクトホール８７が設けられており、このコンタクトホール８７はドレイン電極８６の延長部である接続電極８６ａに接触されている。
【０００６】
また、このコンタクトホール８７は、画素電極８８がドレイン電極８６に対して１箇所でも接触していれば電気的接続が可能であることから、図９に示すように、１画素に対して１個形成されるものとなっている。
【０００７】
一方、図８に示すように、上記ゲート配線８４と平行かつ同一面に補助容量電極９３が形成されており、この補助容量電極９３の対向面にはゲート絶縁膜９４を介してドレイン電極８６の延長部分に上記接続電極８６ａが形成され、この接続電極８６ａに上記コンタクトホール８７が接触している。
【０００８】
したがって、上記補助容量電極９３とドレイン電極８６の延長部分との重畳部分が蓄積容量９５として機能し、上記補助容量電極９３とドレイン電極８６の接続電極８６ａとの間に挟持されるゲート絶縁膜９４が、蓄積容量９５の誘電体層として作用する構造になっている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の液晶表示装置及びその欠陥修正方法では、補助容量電極９３とドレイン電極８６との間にリークが発生しても、そのリーク欠陥の修正は不可能であるという問題点を有している。すなわち、図９に示すドレイン電極８６の接続電極８６ａと補助容量電極９３との間にリークが発生したときに、ドレイン電極８６の細線部８６ｂを切断しても、画素電極８８の電位がコンタクトホール８７、接続電極８６ａを介して補助容量電極９３に落ち込み、その結果、画素電極８８の電位が保てず、その画素電極８８はＯＦＦ状態となり、そのような修正をしても無駄である。
【００１０】
また、ソース配線８３と接続電極８６ａとの間にリークが発生した場合にも、そのリークの修正は不可能である。すなわち、同様にして、ドレイン電極８６の細線部８６ｂを切断しても、画素電極８８の電位がコンタクトホール８７、接続電極８６ａを介してソース配線８３に落ち込み、その結果、画素電極８８の電位が保てず、その画素電極８８はＯＦＦ状態となり、そのような修正をしても無駄である。なお、上記は、リーク量が小さい場合を説明するものであるが、リーク量が大きい場合には、画素電極８８には常にソース配線８３に印加される信号が加わることになり、その結果、その画素電極８８は常にＯＦＦ状態となる。したがって、そのときに、ドレイン電極８６の細線部８６ｂを切断しても、同様に欠陥を修正することはできない。
【００１１】
一方、補助容量電極９３とドレイン電極８６との間のリークによる画素電極８８の電位の落ち込みを防止するために、画素電極８８のコンタクトホール８７の部分を剥ぎ取ったのでは、その画素は再生ができないことになる。
【００１２】
また、上記画素電極８８のコンタクトホール８７の部分を剥ぎ取った場合や、層間絶縁膜９２の形成工程において、コンタクトホール８７の形成に失敗した場合、つまり層間絶縁膜９２にコンタクトホール８７が開いていない状態となった場合には、ノーマリーホワイトモードでは、その画素は必ず輝点になりその欠陥が良く目立つという問題点を有している。
【００１３】
なお、この種のリーク欠陥修正方法として、例えば、特開平４−８０７２３号公報に開示されたものがあるが、この公報の技術は、修正前の開口率が狭いものである。そして、導電体にリーク欠陥が生じた場合には、当該導電体をレーザにて切断するとともに、その後、メルトによって他の代替導電体を接続する必要がある点で、修正は必ずしも容易ではなく、かつ修正の成功率も必ずしも高くはない。
【００１４】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、補助容量電極とドレイン電極とのリーク欠陥、及び／又はソース配線とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置及びその欠陥修正方法を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明の液晶表示装置は、上記課題を解決するために、ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置において、上記スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続される一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成していることを特徴としている。
【００１６】
上記発明によれば、液晶表示装置は、ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えている。
【００１７】
ところで、従来の液晶表示装置では、補助容量電極とドレイン電極との間にリークが発生しても、そのリーク欠陥の修正は不可能であるという問題点を有していた。また、ソース配線とドレイン電極との間にリークが発生した場合にも、そのリーク欠陥の修正は不可能であるという問題点を有していた。
【００１８】
しかし、本発明の液晶表示装置では、スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続される一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している。
【００１９】
このため、この液晶表示装置において、補助容量電極又はソース配線と遠方側の電極とが短絡したときには、後述するように、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断し、さらに、遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことによって、リーク欠陥を修正することができる。
【００２０】
また、このように、遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離す修正をしても、近い方の電極は、画素電極に接触しているので、その画素はドレイン電極との電気的接続が可能である。
【００２１】
一方、この液晶表示装置において、補助容量電極延長部と近い方の電極とが短絡したときには、後述するように、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することによって、リーク欠陥を修正することができる。
【００２２】
また、このように、連結部及び別途連結部を切断しても、画素電極は補助容量電極延長部と短絡した状態を維持するが、この補助容量電極延長部は、補助容量電極と切り離されており、ドレイン電極として作用することになるので、影響はない。
【００２３】
この結果、補助容量電極とドレイン電極とのリーク欠陥、及びソース配線とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置を提供することができる。
【００２４】
また、本発明の液晶表示装置は、上記課題を解決するために、ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置において、上記スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、層間絶縁膜に形成された貫通孔を介して上記画素電極に接続され、かつ、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成していることを特徴としている。
【００２５】
上記発明によれば、スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、層間絶縁膜に形成された貫通孔を介して上記画素電極に接続され、かつ、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している。
【００２６】
このため、この液晶表示装置において、補助容量電極又はソース配線と遠方側の電極とが短絡したときには、後述するように、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することによって、リーク欠陥を修正することができる。
【００２７】
また、このように、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断する修正をしても、近い方の電極は、画素電極に接触しているので、その画素はドレイン電極との電気的接続が可能である。
【００２８】
一方、この液晶表示装置において、補助容量電極延長部と近い方の電極とが短絡したときには、後述するように、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することによって、リーク欠陥を修正することができる。
【００２９】
また、このように、連結部及び別途連結部を切断しても、画素電極は補助容量電極延長部と短絡した状態を維持するが、この補助容量電極延長部は、補助容量電極と切り離されており、ドレイン電極として作用することになるので、影響はない。
【００３０】
この結果、補助容量電極とドレイン電極とのリーク欠陥、及びソース配線とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置を提供することができる。
【００３１】
また、本発明の液晶表示装置は、上記課題を解決するために、ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置において、上記スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向並列に設けられるとともに、上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続されるとともに、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量をそれぞれ形成していることを特徴としている。
【００３２】
上記発明によれば、スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向並列に設けられるとともに、上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続されるとともに、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量をそれぞれ形成している。
【００３３】
このため、この液晶表示装置において、２箇所の電極の内いずれか一方と補助容量電極又はソース配線とが短絡したときには、後述するように、短絡している側の電極への連結部をレーザ光にて切断し、さらに、短絡している側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことによって、リーク欠陥を修正することができる。
【００３４】
また、このように、連結部をレーザ光にて切断し、かつ短絡している側の電極と画素電極とを電気的に切り離す修正をしても、他の電極は、画素電極に接触しているので、その画素はドレイン電極との電気的接続が可能である。
【００３５】
この結果、補助容量電極とドレイン電極とのリーク欠陥、及びソース配線とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置を提供することができる。
【００３６】
また、本発明の液晶表示装置の欠陥修正方法は、上記課題を解決するために、ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置の欠陥修正方法において、上記スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続される一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している一方、上記補助容量電極と遠方側の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断し、さらに、上記遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離す一方、上記補助容量電極延長部と近い方の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することを特徴としている。
【００３７】
上記発明によれば、液晶表示装置は、ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えている。また、液晶表示装置は、スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続される一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している。
【００３８】
そして、この液晶表示装置において、補助容量電極と遠方側の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断し、さらに、遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離す。
【００３９】
また、このように、遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離す修正をしても、近い方の電極は、画素電極に接触しているので、その画素はドレイン電極との電気的接続が可能である。
【００４０】
一方、この液晶表示装置において、補助容量電極延長部と近い方の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することによって、リーク欠陥を修正することができる。
【００４１】
また、このように、連結部及び別途連結部を切断しても、画素電極は補助容量電極延長部と短絡した状態を維持するが、この補助容量電極延長部は、補助容量電極と切り離されており、ドレイン電極として作用することになるので、影響はない。
【００４２】
この結果、補助容量電極とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置の欠陥修正方法を提供することができる。
【００４３】
また、本発明の液晶表示装置の欠陥修正方法は、上記課題を解決するために、ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置の欠陥修正方法において、上記スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、層間絶縁膜に形成された貫通孔を介して上記画素電極に接続され、かつ、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している一方、上記補助容量電極と遠方側の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断する一方、上記補助容量電極延長部と近い方の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することを特徴としている。
【００４４】
上記発明によれば、液晶表示装置は、スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられる。
【００４５】
また、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、層間絶縁膜に形成された貫通孔を介して上記画素電極に接続され、かつ、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している。
【００４６】
さらに、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している。
【００４７】
そして、この液晶表示装置において、補助容量電極と遠方側の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することによって、リーク欠陥を修正することができる。
【００４８】
また、このように、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断する修正をしても、近い方の電極は、画素電極に接触しているので、その画素はドレイン電極との電気的接続が可能である。
【００４９】
一方、この液晶表示装置において、補助容量電極延長部と近い方の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することによって、リーク欠陥を修正することができる。
【００５０】
また、このように、連結部及び別途連結部を切断しても、画素電極は補助容量電極延長部と短絡した状態を維持するが、この補助容量電極延長部は、補助容量電極と切り離されており、ドレイン電極として作用することになるので、影響はない。
【００５１】
この結果、補助容量電極とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置の欠陥修正方法を提供することができる。
【００５２】
また、本発明の液晶表示装置の欠陥修正方法は、上記課題を解決するために、ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置の欠陥修正方法において、上記スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向並列に設けられるとともに、上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続されるとともに、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量をそれぞれ形成している一方、上記２箇所の電極の内いずれか一方と補助容量電極とが短絡したときには、短絡している側の電極への連結部をレーザ光にて切断し、さらに、短絡している側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことを特徴としている。
【００５３】
上記の発明によれば、液晶表示装置は、スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向並列に設けられるとともに、上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続されるとともに、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量をそれぞれ形成している。
【００５４】
そして、この液晶表示装置において、２箇所の電極の内いずれか一方と補助容量電極とが短絡したときには、短絡している側の電極への連結部をレーザ光にて切断し、さらに、短絡している側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことによって、リーク欠陥を修正することができる。
【００５５】
また、このように、連結部をレーザ光にて切断し、かつ短絡している側の電極と画素電極とを電気的に切り離す修正をしても、他の電極は、画素電極に接触しているので、その画素はドレイン電極との電気的接続が可能である。
【００５６】
この結果、補助容量電極とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置の欠陥修正方法を提供することができる。
【００５７】
また、本発明の液晶表示装置の欠陥修正方法は、上記課題を解決するために、ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置の欠陥修正方法において、上記スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続される一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している一方、上記ソース配線と遠方側の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断し、さらに、上記遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことを特徴としている。
【００５８】
上記の発明によれば、上記液晶表示装置において、ソース配線と遠方側の電極とが例えば膜残り等によって短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断し、さらに、上記遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことによって、リーク欠陥を修正することができる。
【００５９】
すなわち、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断し、かつ遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことによって、ソース配線の影響は孤立した遠方側の電極までに止まる。
【００６０】
また、このように、遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離す修正をしても、近い方の電極は、画素電極に接触しているので、その画素はドレイン電極との電気的接続が可能である。
【００６１】
この結果、ソース配線とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置の欠陥修正方法を提供することができる。
【００６２】
また、本発明の液晶表示装置の欠陥修正方法は、上記課題を解決するために、ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置の欠陥修正方法において、上記スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、層間絶縁膜に形成された貫通孔を介して上記画素電極に接続され、かつ、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している一方、上記ソース配線と遠方側の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することを特徴としている。
【００６３】
上記の発明によれば、上記液晶表示装置において、ソース配線と遠方側の電極とが例えば膜残り等によって短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することによって、リーク欠陥を修正することができる。
【００６４】
すなわち、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断し、かつ遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことによって、ソース配線の影響は孤立した遠方側の電極までに止まる。
【００６５】
また、このように、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断する修正をしても、近い方の電極は、画素電極に接触しているので、その画素はドレイン電極との電気的接続が可能である。
【００６６】
この結果、ソース配線とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置の欠陥修正方法を提供することができる。
【００６７】
また、本発明の液晶表示装置の欠陥修正方法は、上記課題を解決するために、ゲート配線とソース配線とが格子状に配列され、各格子点にはスイッチング素子と、上記スイッチング素子のドレイン電極に接続される画素電極と、上記画素電極に直列接続される蓄積容量を形成すべくゲート配線と同一工程にて形成され、かつ上記ゲート配線と平行に配線された補助容量電極とを備えた液晶表示装置の欠陥修正方法において、上記スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向並列に設けられるとともに、上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続されるとともに、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量をそれぞれ形成している一方、上記２箇所の電極の内いずれか一方と上記ソース配線とが短絡したときには、短絡している側の電極への連結部をレーザ光にて切断し、さらに、短絡している側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことを特徴としている。
【００６８】
上記の発明によれば、上記液晶表示装置において、２箇所の電極の内いずれか一方とソース配線とが短絡したときには、短絡している側の電極への連結部をレーザ光にて切断し、さらに、短絡している側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことによって、リーク欠陥を修正することができる。
【００６９】
すなわち、短絡している側の電極への連結部をレーザ光にて切断し、かつ短絡している側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことによって、ソース配線の影響は孤立した短絡している側の電極までに止まる。
【００７０】
また、このように、連結部をレーザ光にて切断し、かつ短絡している側の電極と画素電極とを電気的に切り離す修正をしても、他の電極は、画素電極に接触しているので、その画素はドレイン電極との電気的接続が可能である。
【００７１】
この結果、ソース配線とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置の欠陥修正方法を提供することができる。
【００７２】
また、本発明における上記記載の液晶表示装置及びその欠陥修正方法は、連結部及び別途連結部は、細線にて形成されていることを特徴としている。
【００７３】
上記の発明によれば、連結部及び別途連結部を細線にて形成することによって、この連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断する際に、細線を切断すれば良い。したがって、各短絡が生じたときに確実に容易に修正を行なうことができる。
【００７４】
また、本発明における上記記載の液晶表示装置及びその欠陥修正方法は、電極は、パッド電極であることを特徴としている。
【００７５】
上記の発明によれば、電極としてパッド電極を用いた液晶表示装置に対して、リーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置及びその欠陥修正方法を提供することができる。
【００７６】
また、本発明における上記記載の液晶表示装置及びその欠陥修正方法は、スイッチング素子は、薄膜トランジスタであることを特徴としている。
【００７７】
上記発明によれば、スイッチング素子として薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置に対して、リーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置及びその欠陥修正方法を提供することができる。
【００７８】
【発明の実施の形態】
〔実施の形態１〕
本発明の実施の一形態について図１及び図２に基づいて説明すれば、以下の通りである。
【００７９】
本実施の形態の液晶表示装置における液晶表示パネル１０は、図２に示すように、ガラス基板１と、このガラス基板１上に格子状に配列される、データ信号を供給するソース配線２及び走査信号を供給するゲート配線３と、各格子点毎に設けられたスイッチング素子である薄膜トランジスタ（以下、「ＴＦＴ：Thin Film Transistor」と称する。) ４と、上記ソース配線２からＴＦＴ４、ドレイン電極５、このドレイン電極５の延長上に形成される遠方側の電極としての接続電極５ａ及び貫通孔としてのコンタクトホール６ａを介して接続される画素電極７と、この画素電極７に対して図示しない液晶層を介して対向する対向電極とを有している。
【００８０】
上記画素電極７は、最近では、平坦化膜にて形成することが多くなっていることから、本実施の形態においても、そのように形成している。この理由は、液晶表示パネル１０の製造に際して、素子領域での深さ方向の段差により凹凸が激しく、特に、コンタクトホール６ａや配線パターン形成にドライエッチング技術を適用することが困難であるためである。
【００８１】
その結果、ＴＦＴ４やドレイン電極５等と画素電極７との間に、この画素電極７を平坦化しかつ両者を絶縁状態にして保つための層間絶縁膜８が設けられる。
【００８２】
また、画素電極７とドレイン電極５の接続電極５ａとを接続するために、層間絶縁膜８に穴を開けたコンタクトホール６ａが設けられており、このコンタクトホール６ａは、ドレイン電極５の接続電極５ａに接触されている。
【００８３】
一方、ガラス基板１には、上記ゲート配線３と同一面にかつ平行に補助容量電極１１ａが形成されており、この補助容量電極１１ａの対向面には絶縁膜としてのゲート絶縁膜１２を介して上記ドレイン電極５の接続電極５ａが形成され、この接続電極５ａにて上記コンタクトホール６ａが接触している。
【００８４】
したがって、上記補助容量電極１１ａとドレイン電極５の接続電極５ａとの重畳部分が蓄積容量１３ａとして機能し、上記補助容量電極１１ａとドレイン電極５の接続電極５ａとの間に挟持されるゲート絶縁膜１２が、蓄積容量１３ａの誘電体層として作用する構造になっている。
【００８５】
上記の蓄積容量１３ａを設けることによって、ＴＦＴ４のドレイン電極５からみた全容量が増加し、電荷保持の時定数が増える。このため、ＴＦＴ４のリーク電流等による画素電位の低下を防ぐことができる。またゲート電圧、ソース電圧の変化の際に画素電極７と、配線間との寄生容量により生じる画素電位の変動も、蓄積容量１３ａの導入により抑制できる。この結果、焼き付けフリッカ等の表示不良の発生を低減できる等の効果がある。
【００８６】
ここで、本実施の形態の液晶表示パネル１０では、図１にも示すように、ドレイン電極５の接続電極５ａの手前に近い方の電極としてのアイランド接続電極５ｂが形成されており、かつこのアイランド接続電極５ｂと上記接続電極５ａとは、１個の連結部としてのドレイン細線部５ｃにて接続されている。このドレイン細線部５ｃも上記ドレイン電極５と同一工程にて形成されるようになっている。
【００８７】
また、このアイランド接続電極５ｂの下方には、図２に示すように、別途蓄積容量としてのアイランド蓄積容量１３ｂを形成するために、上記ゲート配線３や補助容量電極１１ａと同一工程にて形成される補助容量電極延長部としてのアイランド補助容量電極１１ｂが形成されている。したがって、このアイランド補助容量電極１１ｂとアイランド接続電極５ｂとの間のゲート絶縁膜１２がアイランド補助容量電極１１ｂとして作用するものとなっている。なお、本発明においては上記アイランド補助容量電極１１ｂの形成は、必ずしも必要ではない。
【００８８】
上記のアイランド補助容量電極１１ｂは、図１に示すように、別途連結部としての補助容量電極細線部１１ｃにて１個の補助容量電極１１ａに接続されている。この補助容量電極細線部１１ｃも、上記ゲート配線３、アイランド補助容量電極１１ｂ及び補助容量電極１１ａと同一工程にて形成される。
【００８９】
さらに、上記のアイランド接続電極５ｂには、画素電極７の貫通孔としてのコンタクトホール６ｂが接触している。したがって、本実施の形態においては、画素電極７は上記コンタクトホール６ａ・６ｂにて、ドレイン電極５の接続電極５ａ又はアイランド接続電極５ｂの２箇所にて接触していることになる。
【００９０】
上記構成の液晶表示装置の液晶表示パネル１０における補助容量電極１１とドレイン電極５の接続電極５ａとのリーク欠陥に対する修正方法について説明する。
【００９１】
すなわち、先ず、液晶表示パネル１０について、画素電極７を形成した時点で、この画素電極７が欠陥を有していないかを検査する。その結果、補助容量電極１１とドレイン電極５の接続電極５ａとの間が短絡して補助容量電極１１と接続電極５ａとにおいてリークが発生したときには、本実施の形態の液晶表示パネル１０は、ノーマリーホワイトモードにてなっているので、そのまま、使用すると、ＴＦＴ４がＯＮのときに、補助容量電極１１ａに印加される信号がそのまま画素電極７に印加されるので、画素が輝点として現れる。
【００９２】
したがって、補助容量電極１１とドレイン電極５の接続電極５ａとの間が短絡して補助容量電極１１と接続電極５ａとにおいてリークが発生したときには、図１に示すように、接続電極５ａとアイランド接続電極５ｂとの間を接続するドレイン細線部５ｃと、補助容量電極１１ａとアイランド補助容量電極１１ｂとの間を接続する補助容量電極細線部１１ｃとをレーザ光にて照射して、その照射部１５にて切断する。
【００９３】
これによって、アイランド蓄積容量１３ｂは補助容量電極１１から分離される。また、このとき、アイランド蓄積容量１３ｂには補助容量電極１１からの信号は入らず、アイランド接続電極５ｂは、ドレイン電極５として駆動する。
【００９４】
次いで、コンタクトホール６ａが形成されている接続電極５ａの領域７ａをレーザ光を照射して剥がし取る。
【００９５】
このように、補助容量電極１１とドレイン電極５の接続電極５ａとのリーク欠陥が、補助容量電極１１上で発生した場合、上記ドレイン細線部５ｃ及び補助容量電極細線部１１ｃを切断しても、２つのコンタクトホール６ａ・６ｂから画素電極７を通じてドレイン電極５と補助容量電極１１とがリークするため、上述したように、補助容量電極１１上のコンタクトホール６ａ部分の画素電極７の領域７ａをレーザ照射により剥がし取ることにより、画素電極７とドレイン電極５の接続電極５ａとの接続を断つ。
【００９６】
以上の方法により、補助容量電極１１とドレイン電極５の接続電極５ａとのリークを断つことができる。
【００９７】
ところで、修正を行った画素はアイランド蓄積容量１３ｂと液晶容量とによって電荷化を十分量保持できず、低輝点が発生する場合がある。
【００９８】
このときには、ＴＦＴ４におけるソース配線２とドレイン電極５とを短絡させる修正により、画素の黒点化を行うことが可能である。
【００９９】
この結果、補助容量電極１１ａとドレイン電極５とのリーク欠陥の修正が可能となり、また、コンタクトホール６ａ・６ｂ形成不良による輝点を減少させることができ、液晶表示パネル１０の０輝点率、良品率及び無欠陥率を向上させることが可能である。
【０１００】
このように、本実施の形態の液晶表示装置及びその欠陥修正方法では、液晶表示パネル１０は、ゲート配線３…とソース配線２…とが格子状に配列され、各格子点にはＴＦＴ４…と、このＴＦＴ４のドレイン電極５に接続される画素電極７と、この画素電極７に直列接続される蓄積容量１３ａを形成すべくゲート配線３とと同一工程にて形成され、かつこのゲート配線３と平行に配線された補助容量電極１１ａとを備えている。
【０１０１】
ところで、従来の液晶表示装置では、補助容量電極１１ａとドレイン電極５の接続電極５ａとの間にリークが発生しても、そのリーク欠陥の修正は不可能であるという問題点を有していた。
【０１０２】
しかし、本実施の形態の液晶表示装置における液晶表示パネル１０では、ＴＦＴ４のドレイン電極５の延長部に、ドレイン細線部５ｃを介して互いに連結される２箇所の接続電極５ａ及びアイランド接続電極５ｂが延長方向直列に設けられるとともに、２箇所の接続電極５ａ及びアイランド接続電極５ｂは、層間絶縁膜８にそれぞれ形成したコンタクトホール６ａ・６ｂを介して画素電極７にそれぞれ接続される。
【０１０３】
また、ＴＦＴ４からみて遠方側の接続電極５ａは、補助容量電極１１ａとゲート絶縁膜１２を介して積層されて上記蓄積容量１３ａを形成している。
【０１０４】
さらに、アイランド接続電極５ｂは、上記補助容量電極１１ａに補助容量電極細線部１１ｃにて接続されるアイランド補助容量電極１１ｂとゲート絶縁膜１２を介して積層されてアイランド蓄積容量１３ｂを形成している。
【０１０５】
このため、この液晶表示装置の液晶表示パネル１０において、補助容量電極１１ａと接続電極５ａとが短絡したときには、ドレイン細線部５ｃ及び補助容量電極細線部１１ｃをレーザ光にて切断し、さらに、接続電極５ａと画素電極７とを電気的に切り離すことによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０１０６】
また、このように、接続電極５ａと画素電極７とを電気的に切り離す修正をしても、アイランド接続電極５ｂは画素電極７に接触しているので、その画素はドレイン電極５との電気的接続が可能である。
【０１０７】
この結果、補助容量電極１１ａとドレイン電極５の接続電極５ａとのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置及びその欠陥修正方法を提供することができる。
【０１０８】
ところで、この液晶表示装置の液晶表示パネル１０において、アイランド補助容量電極１１ｂとアイランド接続電極５ｂとが短絡したときには、ドレイン細線部５ｃ及び補助容量電極細線部１１ｃをレーザ光にて切断することによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０１０９】
また、このように、ドレイン細線部５ｃ及び補助容量電極細線部１１ｃを切断しても、画素電極７はアイランド補助容量電極１１ｂと短絡した状態を維持するが、このアイランド補助容量電極１１ｂは、補助容量電極１１ａと既に切り離されており、ドレイン電極５として作用することになるので、影響はない。
【０１１０】
この結果、アイランド補助容量電極１１ｂとドレイン電極５とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置を提供することができる。
【０１１１】
また、上記の液晶表示パネル１０及びその欠陥修正方法では、ドレイン細線部５ｃ及び補助容量電極細線部１１ｃは、細線にて形成されている。
【０１１２】
このため、このドレイン細線部５ｃ及び補助容量電極細線部１１ｃをレーザ光にて切断する際に、細線を切断すれば良い。したがって、各短絡が生じたときに確実に容易に修正を行なうことができる。ただし、本発明においては、必ずしもこれに限らず、細線とはいえない程度の線を使用することも可能である。
【０１１３】
また、上記の各液晶表示パネル１０及びその欠陥修正方法では、接続電極５ａ、アイランド接続電極５ｂは、パッド電極を用いている。このため、接続電極５ａ及びアイランド接続電極５ｂとしてパッド電極を用いた液晶表示パネル１０に対して、リーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置及びその欠陥修正方法を提供することができる。すなわち、パッド電極は、一定の領域からなる電極であるので、コンタクトホール６ａ・６ｂの形成が容易であるとともに、蓄積容量１３ａやアイランド蓄積容量１３ｂの形成が容易である。したがって、この種の液晶表示パネル１０に有効である。ただし、必ずしもこれに限らず、他の電極を使用することも可能である。
【０１１４】
また、上記の液晶表示パネル１０及びその欠陥修正方法では、スイッチング素子としてＴＦＴ４を用いた液晶表示パネル１０に対して、リーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置及びその欠陥修正方法を提供することができる。ただし、本発明においては、必ずしもこれに限らず、他のスイッチング素子を使用することも可能である。
【０１１５】
〔実施の形態２〕
本発明の他の実施の形態について図３に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記の実施の形態１の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。また、前記実施の形態１で述べた各種の特徴点については、本実施の形態についても組み合わせて適用し得るものとする。
【０１１６】
本実施の形態の液晶表示装置における液晶表示パネル２０は、図２に示すように、ドレイン電極５の接続電極５ａの手前にアイランド接続電極５ｂが形成されており、かつこのアイランド接続電極５ｂと上記接続電極５ａとは、１個のドレイン細線部５ｃにて接続されている。このドレイン細線部５ｃも上記ドレイン電極５と同一工程にて形成されるようになっている。
【０１１７】
また、このアイランド接続電極５ｂの下方には、前記実施の形態１と同様に、アイランド蓄積容量１３ｂを形成するために、上記ゲート配線３や補助容量電極１１ａと同一工程にて形成されるアイランド補助容量電極１１ｂが形成されている。したがって、このアイランド補助容量電極１１ｂとアイランド接続電極５ｂとの間の前記ゲート絶縁膜１２がアイランド補助容量電極１１ｂとして作用するものとなっている。
【０１１８】
上記のアイランド補助容量電極１１ｂは、補助容量電極細線部１１ｃにて１個の補助容量電極１１ａに接続されている。この補助容量電極細線部１１ｃも、上記ゲート配線３、アイランド補助容量電極１１ｂ及び補助容量電極１１ａと同一工程にて形成される。
【０１１９】
ここで、本実施の形態の液晶表示パネル２０では、上記のアイランド接続電極５ｂには、画素電極７の２個のコンタクトホール６ｂ・６ｃが接触している。ただし、本実施の形態においては、前記実施の形態１とは異なり、接続電極５ａ上に設けられていたコンタクトホール６ａは形成されていない。
【０１２０】
したがって、本実施の形態においては、画素電極７はアイランド接続電極５ｂにて２箇所のコンタクトホール６ｂ・６ｃにて接触していることになる。
【０１２１】
ただし、本発明においては、必ずしもこれに限らず、２箇所のコンタクトホール６ｂだけであっても足りる。また、上記アイランド補助容量電極１１ｂの形成も、本発明においては、必ずしも必要ではない。
【０１２２】
上記構成の液晶表示装置の液晶表示パネル２０における補助容量電極１１とドレイン電極５の接続電極５ａとのリーク欠陥に対する修正方法について説明する。
【０１２３】
すなわち、先ず、液晶表示パネル２０について、画素電極７を形成した時点で、この画素電極７が欠陥を有していないかを検査する。その結果、補助容量電極１１とドレイン電極５の接続電極５ａとの間が短絡して補助容量電極１１と接続電極５ａとにおいてリークが発生したときには、接続電極５ａとアイランド接続電極５ｂとの間を接続するドレイン細線部５ｃと、補助容量電極１１ａとアイランド補助容量電極１１ｂとの間を接続する補助容量電極細線部１１ｃとをレーザ光にて照射して、その照射部１５にて切断する。
【０１２４】
これによって、アイランド蓄積容量１３ｂは補助容量電極１１から分離される。また、このとき、アイランド蓄積容量１３ｂには補助容量電極１１からの信号は入らず、アイランド接続電極５ｂは、ドレイン電極５として駆動する。
【０１２５】
以上の方法により、補助容量電極１１とドレイン電極５の接続電極５ａとのリークを断つことができる。
【０１２６】
ところで、修正を行った画素はアイランド蓄積容量１３ｂと液晶容量とによって電荷化を十分量保持できず、低輝点が発生する場合がある。
【０１２７】
このときには、ＴＦＴ４におけるソース配線２とドレイン電極５とを短絡させる修正により、画素の黒点化を行うことが可能である。
【０１２８】
このように、本実施の形態の液晶表示装置の液晶表示パネル２０及びその欠陥修正方法では、ＴＦＴ４のドレイン電極５の延長部に、ドレイン細線部５ｃを介して互いに連結される２箇所の接続電極５ａ及びアイランド接続電極５ｂが延長方向直列に設けられる。
【０１２９】
また、上記２箇所の接続電極５ａ及びアイランド接続電極５ｂの内、ＴＦＴ４から見て近い方のアイランド接続電極５ｂは、層間絶縁膜８に形成されたコンタクトホール６ｂ・６ｃを介して画素電極７に接続される。さらに、アイランド接続電極５ｂは、補助容量電極１１ａに補助容量電極細線部１１ｃにて接続されるアイランド補助容量電極１１ｂとゲート絶縁膜１２を介して積層されてアイランド蓄積容量１３ｂを形成している。
【０１３０】
また、遠方側の接続電極５ａは、補助容量電極１１ａとゲート絶縁膜１２を介して積層されて蓄積容量１３ａを形成している。
【０１３１】
このため、この液晶表示装置の液晶表示パネル２０において、補助容量電極１１ａとＴＦＴ４から見て遠方側の接続電極５ａとが短絡したときには、ドレイン細線部５ｃ及び補助容量電極細線部１１ｃをレーザ光にて切断することによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０１３２】
また、このように、ドレイン細線部５ｃ及び補助容量電極細線部１１ｃをレーザ光にて切断する修正をしても、近い方のアイランド接続電極５ｂは、画素電極７に接触しているので、その画素はドレイン電極５との電気的接続が可能である。
【０１３３】
この結果、補助容量電極１１ａとドレイン電極５の接続電極５ａとのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置及びその欠陥修正方法を提供することができる。
【０１３４】
ところで、本実施の形態の液晶表示装置における液晶表示パネル２０において、アイランド蓄積容量１３ｂとアイランド接続電極５ｂとが短絡したときには、ドレイン細線部５ｃ及び補助容量電極細線部１１ｃをレーザ光にて切断することによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０１３５】
また、このように、ドレイン細線部５ｃ及び補助容量電極細線部１１ｃを切断しても、画素電極７はアイランド補助容量電極１１ｂと短絡した状態を維持するが、このアイランド補助容量電極１１ｂは、補助容量電極と既に切り離されており、ドレイン電極５として作用することになるので、影響はない。
【０１３６】
この結果、アイランド補助容量電極１１ｂとドレイン電極５とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置を提供することができる。
【０１３７】
また、上記の液晶表示パネル２０及びその欠陥修正方法では、ドレイン細線部５ｃ及び補助容量電極細線部１１ｃは、細線にて形成されている。
【０１３８】
このため、このドレイン細線部５ｃ及び補助容量電極細線部１１ｃをレーザ光にて切断する際に、細線を切断すれば良い。したがって、各短絡が生じたときに確実に容易に修正を行なうことができる。
【０１３９】
また、上記の各液晶表示パネル２０及びその欠陥修正方法では、接続電極５ａ、アイランド接続電極５ｂは、パッド電極を用いている。
【０１４０】
このため、接続電極５ａ及びアイランド接続電極５ｂとしてパッド電極を用いた液晶表示パネル２０に対して、リーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置及びその欠陥修正方法を提供することができる。
【０１４１】
また、上記の液晶表示パネル２０及びその欠陥修正方法では、スイッチング素子としてＴＦＴ４を用いた液晶表示パネル２０に対して、リーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置及びその欠陥修正方法を提供することができる。
【０１４２】
〔実施の形態３〕
本発明の他の実施の形態について図４に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記の実施の形態１及び実施の形態２の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。また、前記実施の形態１及び実施の形態２で述べた各種の特徴点については、本実施の形態についても組み合わせて適用し得るものとする。
【０１４３】
本実施の形態の液晶表示装置における液晶表示パネル３０は、図４に示すように、ドレイン電極５から延びて形成される２箇所の電極の内の一つとしての接続電極５ａは、従来と同様に、そのままドレイン細線部３１として延びて補助容量電極１１ａの上方位置に配される。そして、この接続電極５ａの上側には、画素電極７の貫通孔としてのコンタクトホール６ａがこの接続電極５ａに接触状態に設けられている。
【０１４４】
一方、本実施の形態では、上記のドレイン電極５から延びたドレイン細線部３１の途中の位置からドレイン分岐細線部３２が枝分かれしているとともに、このドレイン分岐細線部３２の末端には、２箇所の電極の内の一つとしての分岐側接続電極３３が補助容量電極１１ａの上方位置に配設されている。したがって、上記接続電極５ａ及び分岐側接続電極３３は、補助容量電極１１ａ上で横並びに設けられている。
【０１４５】
この結果、上記接続電極５ａと補助容量電極１１ａとの重畳部分が蓄積容量１３ａとして機能する一方、分岐側接続電極３３と補助容量電極１１ａとの重畳部分が分岐部蓄積容量１３ｃとして機能するものとなっている。
【０１４６】
そして、この分岐側接続電極３３の上側にも、画素電極７の貫通孔としてのコンタクトホール６ｄがこの分岐側接続電極３３に接触して設けられている。
【０１４７】
したがって、本実施の形態の液晶表示パネル３０においても、画素電極７は接続電極５ａのコンタクトホール６ａと分岐側接続電極３３のコンタクトホール６ｄとの２箇所にて接触していることになる。
【０１４８】
なお、上記の分岐側接続電極３３やドレイン分岐細線部３２及びコンタクトホール６ｄは、それぞれ接続電極５ａ、ドレイン電極５及びコンタクトホール６ａと同一工程にて形成されるものである。
【０１４９】
上記構成の液晶表示装置の液晶表示パネル３０における補助容量電極１１とドレイン電極５の接続電極５ａ又は分岐側接続電極３３とのリーク欠陥に対する修正方法について説明する。
【０１５０】
すなわち、先ず、液晶表示パネル３０について、画素電極７を形成した時点で、この画素電極７が欠陥を有していないかを検査する。
【０１５１】
その結果、先ず、補助容量電極１１とドレイン電極５の接続電極５ａとの間が短絡して補助容量電極１１と接続電極５ａとにおいてリークが発生したときには、ドレイン電極５と接続電極５ａとの間のドレイン細線部３１をレーザ光にて照射して、その照射部３４ａにて切断する。なお、この場合のドレイン細線部３１の切断箇所は、ドレイン分岐細線部３２の分岐部分よりも末端側となる。
【０１５２】
ところで、このときには、まだ、２つのコンタクトホール６ａ・６ｄから画素電極７を通じて補助容量電極１１ａとドレイン電極５の接続電極５ａとがリークしている。
【０１５３】
そこで、接続電極５ａに接触するコンタクトホール６ａ上の画素電極７をレーザ光を照射して領域７ａを剥がし取る。
【０１５４】
これによって、補助容量電極１１ａとドレイン電極５の接続電極５ａとのリークを断つことができる。また、この場合、分岐側接続電極３３と補助容量電極１１ａとの間に形成される分岐部蓄積容量１３ｃにて電荷が保持されるので、この容量を十分取ることにより正常絵素化が可能である。
【０１５５】
一方、上記分岐部蓄積容量１３ｃと液晶容量とによっては電荷を十分量保持できず、低輝点が発生する場合には、ＴＦＴ４のソース配線２とドレイン電極５とのを短絡させる修正を行い画素の黒点化を行うことが可能である。
【０１５６】
次に、補助容量電極１１とドレイン電極５の分岐側接続電極３３との間が短絡して補助容量電極１１と分岐側接続電極３３とにおいてリークが発生したときには、上記と同様にして、ドレイン電極５と分岐側接続電極３３との間のドレイン分岐細線部３２をレーザ光にて照射して、その照射部３４ｂにて切断する。
【０１５７】
このときは、まだ、２つのコンタクトホール６ａ・６ｄから画素電極７を通じて補助容量電極１１ａとドレイン電極５の分岐側接続電極３３とがリークしている。
【０１５８】
そこで、分岐側接続電極３３に接触するコンタクトホール６ｄ上の画素電極７をレーザ光を照射して領域７ｂを剥がし取る。
【０１５９】
これによって、補助容量電極１１ａとドレイン電極５の分岐側接続電極３３とのリークを断つことができる。また、この場合、接続電極５ａと補助容量電極１１ａとの間に形成される蓄積容量１３ａにて電荷が保持されるので、この容量を十分取ることにより正常絵素化が可能である。
【０１６０】
一方、上記蓄積容量１３ａと液晶容量とによっては電荷を十分量保持できず、低輝点が発生する場合には、ＴＦＴ４のソース配線２とドレイン電極５とのを短絡させる修正を行い画素の黒点化を行うことが可能である。
【０１６１】
このように、本実施の形態の液晶表示装置の液晶表示パネル３０及びその欠陥修正方法では、ＴＦＴ４のドレイン電極５の延長部に、ドレイン細線部３１及びドレイン分岐細線部３２を介して互いに連結される２箇所の接続電極５ａ及び分岐側接続電極３３が延長方向並列に設けられる。
【０１６２】
そして、２箇所の接続電極５ａ及び分岐側接続電極３３は、層間絶縁膜８にそれぞれ形成したコンタクトホール６ａ・６ｄを介して画素電極７にそれぞれ接続されるとともに、接続電極５ａ及び分岐側接続電極３３は、ゲート絶縁膜１２を介して積層されて蓄積容量１３ａ及び分岐部蓄積容量１３ｃをそれぞれ形成している。
【０１６３】
このため、この液晶表示装置の液晶表示パネル３０において、２箇所の接続電極５ａ及び分岐側接続電極３３の内いずれか一方と補助容量電極１１ａとが短絡したときには、短絡している側の接続電極５ａ又は分岐側接続電極３３へのドレイン細線部３１又はドレイン分岐細線部３２のいずれかをレーザ光にて切断し、さらに、短絡している側の接続電極５ａ又は分岐側接続電極３３と画素電極７とを電気的に切り離すことによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０１６４】
また、このように、ドレイン細線部３１又はドレイン分岐細線部３２をレーザ光にて切断し、かつ短絡している側の接続電極５ａ又は分岐側接続電極３３と画素電極７とを電気的に切り離す修正をしても、他の分岐側接続電極３３又は接続電極５ａは、画素電極７に接触しているので、その画素はドレイン電極５との電気的接続が可能である。
【０１６５】
この結果、補助容量電極１１ａとドレイン電極５の接続電極５ａ又は分岐側接続電極３３とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置及びその欠陥修正方法を提供することができる。
【０１６６】
また、上記の液晶表示パネル３０及びその欠陥修正方法では、ドレイン細線部３１及びドレイン分岐細線部３２は、細線にて形成されている。
【０１６７】
このため、このドレイン細線部３１及びドレイン分岐細線部３２をレーザ光にて切断する際に、細線を切断すれば良い。したがって、各短絡が生じたときに確実に容易に修正を行なうことができる。
【０１６８】
また、上記の各液晶表示パネル３０及びその欠陥修正方法では、接続電極５ａ、分岐側接続電極３３は、パッド電極を用いている。
【０１６９】
このため、接続電極５ａ及び分岐側接続電極３３としてパッド電極を用いた液晶表示パネル３０に対して、リーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置及びその欠陥修正方法を提供することができる。
【０１７０】
また、上記の液晶表示パネル３０及びその欠陥修正方法では、スイッチング素子としてＴＦＴ４を用いた液晶表示パネル３０に対して、リーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置及びその欠陥修正方法を提供することができる。
【０１７１】
〔実施の形態４〕
本発明の他の実施の形態について図５ないし図７に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記の実施の形態１ないし実施の形態３の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。また、前記実施の形態１ないし実施の形態３で述べた各種の特徴点については、本実施の形態についても組み合わせて適用し得るものとする。
【０１７２】
また、本実施の形態では、前記実施の形態１〜実施の形態３に示した液晶表示装置としての液晶表示パネル１０・２０・３０において、ソース配線２とＴＦＴ４からみて遠方側の電極及びドレイン電極としての接続電極５ａとが短絡した場合の欠陥修正方法について説明する。
【０１７３】
先ず、従来の液晶表示パネルにおいては、ソース配線２と接続電極５ａを含むドレイン電極５との間にリークが発生した場合には、そのリーク欠陥の修正は不可能であるという問題点を有していた。
【０１７４】
これに対して、液晶表示パネル１０・２０・３０は、前述した構成を有している。したがって、各液晶表示パネル１０・２０・３０において、上記のリーク欠陥が発生した場合には、以下のようにして対処することができる。
【０１７５】
すなわち、液晶表示パネル１０においては、図５に示すように、例えば、ソース配線２及び接続電極５ａの製造工程において、ソース配線２と接続電極５ａとの間に膜残り４１等があった場合には、ソース配線２と接続電極５ａとが短絡する欠陥が発生することがある。
【０１７６】
このような場合には、先ず、液晶表示パネル１０では、ドレイン細線部５ｃと別途連結部としての補助容量電極細線部１１ｃとをレーザ光にて切断し、さらに、接続電極５ａと画素電極７とを電気的に切り離すことによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０１７７】
すなわち、ドレイン細線部５ｃ及び補助容量電極細線部１１ｃをレーザ光にて切断し、かつ接続電極５ａと画素電極７とを電気的に切り離すことによって、ソース配線２の影響は孤立した接続電極５ａまでに止まる。
【０１７８】
また、このように、接続電極５ａと画素電極７とを電気的に切り離す修正をしても、ＴＦＴ４から見て近い方の電極としてのアイランド接続電極５ｂは、画素電極７に接触しているので、その画素はドレイン電極５との電気的接続が可能である。
【０１７９】
この結果、ソース配線２とドレイン電極５とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示パネル１０及びその欠陥修正方法を提供することができる。
【０１８０】
次に、液晶表示パネル２０においても同様に、図６に示すように、例えば、ソース配線２及び接続電極５ａの製造工程において、ソース配線２と接続電極５ａとの間に膜残り４１等があった場合には、ソース配線２と接続電極５ａとが短絡する欠陥が発生することがある。
【０１８１】
このような場合には、液晶表示パネル２０では、ドレイン細線部５ｃと補助容量電極細線部１１ｃとをレーザ光にて切断することによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０１８２】
すなわち、ドレイン細線部５ｃ及び補助容量電極細線部１１ｃをレーザ光にて切断し、かつ接続電極５ａと画素電極７とを電気的に切り離すことによって、ソース配線２の影響は孤立した接続電極５ａまでに止まる。
【０１８３】
また、このように、ドレイン細線部５ｃと補助容量電極細線部１１ｃとをレーザ光にて切断する修正をしても、近い方の電極としてのアイランド接続電極５ｂは、画素電極７に接触しているので、その画素はドレイン電極５との電気的接続が可能である。
【０１８４】
この結果、ソース配線２とドレイン電極５とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示パネル２０及びその欠陥修正方法を提供することができる。
【０１８５】
さらに、液晶表示パネル３０においても同様に、図７に示すように、例えば、ソース配線２、並びに２箇所の電極としての接続電極５ａ及び分岐側接続電極３３の製造工程において、ソース配線２、接続電極５ａ又は分岐側接続電極３３に膜残り４１等があった場合には、この膜残り４１等があった２箇所の接続電極５ａ又は分岐側接続電極３３の内のいずれか一方とソース配線２とが短絡する欠陥が発生することがある。
【０１８６】
このように、液晶表示パネル３０において、接続電極５ａ又は分岐側接続電極３３の内のいずれか一方とソース配線２とが短絡したときには、短絡している側の例えば接続電極５ａへのドレイン細線部３１をレーザ光にて切断し、さらに、短絡している側の接続電極５ａと画素電極７とを電気的に切り離す。これによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０１８７】
すなわち、短絡している側の接続電極５ａへのドレイン細線部３１をレーザ光にて切断し、かつ短絡している側の接続電極５ａと画素電極７とを電気的に切り離すことによって、ソース配線２の影響は孤立した短絡している側の接続電極５ａまでに止まる。
【０１８８】
また、このように、ドレイン細線部３１をレーザ光にて切断し、かつ短絡している側の接続電極５ａと画素電極７とを電気的に切り離す修正をしても、分岐側接続電極３３は画素電極７に接触しているので、その画素はドレイン電極５との電気的接続が可能である。
【０１８９】
この結果、ソース配線２とドレイン電極５とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示パネル３０及びその欠陥修正方法を提供することができる。
【０１９０】
また、上記の各液晶表示パネル１０・２０・３０の欠陥修正方法では、ドレイン細線部５ｃ及び補助容量電極細線部１１ｃは、細線にて形成されている。このため、このドレイン細線部５ｃ及び補助容量電極細線部１１ｃをレーザ光にて切断する際に、細線を切断すれば良い。したがって、各短絡が生じたときに確実に容易に修正を行なうことができる。ただし、本発明においては、必ずしもこれに限らず、他の配線を使用することも可能である。
【０１９１】
また、上記の各液晶表示パネル１０・２０・３０の欠陥修正方法では、接続電極５ａ、アイランド接続電極５ｂ及び分岐側接続電極３３は、パッド電極を用いている。このため、接続電極５ａ、アイランド接続電極５ｂ及び分岐側接続電極３３としてパッド電極を用いた液晶表示パネル１０・２０・３０に対して、リーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置の欠陥修正方法を提供することができる。ただし、他の電極を使用することも可能である。
【０１９２】
また、上記の各液晶表示パネル１０・２０・３０の欠陥修正方法では、スイッチング素子としてＴＦＴ４を用いた液晶表示パネル１０・２０・３０に対して、リーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置及びその欠陥修正方法を提供することができる。なお、本発明においては、必ずしもこれに限らず、他のスイッチング素子を使用することも可能である。
【０１９３】
【発明の効果】
本発明の液晶表示装置は、以上のように、スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続される一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成しているものである。
【０１９４】
それゆえ、この液晶表示装置において、補助容量電極又はソース配線と遠方側の電極とが短絡したときには、後述するように、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断し、さらに、遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０１９５】
また、このように、遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離す修正をしても、近い方の電極は、画素電極に接触しているので、その画素はドレイン電極との電気的接続が可能である。
【０１９６】
一方、この液晶表示装置において、補助容量電極延長部と近い方の電極とが短絡したときには、後述するように、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０１９７】
また、このように、連結部及び別途連結部を切断しても、画素電極は補助容量電極延長部と短絡した状態を維持するが、この補助容量電極延長部は、補助容量電極と切り離されており、ドレイン電極として作用することになるので、影響はない。
【０１９８】
この結果、補助容量電極とドレイン電極とのリーク欠陥、及びソース配線とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置を提供することができるという効果を奏する。
【０１９９】
本発明の液晶表示装置は、以上のように、スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、層間絶縁膜に形成された貫通孔を介して上記画素電極に接続され、かつ、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成しているものである。
【０２００】
それゆえ、この液晶表示装置において、補助容量電極又はソース配線と遠方側の電極とが短絡したときには、後述するように、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０２０１】
また、このように、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断する修正をしても、近い方の電極は、画素電極に接触しているので、その画素はドレイン電極との電気的接続が可能である。
【０２０２】
一方、この液晶表示装置において、補助容量電極延長部と近い方の電極とが短絡したときには、後述するように、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０２０３】
また、このように、連結部及び別途連結部を切断しても、画素電極は補助容量電極延長部と短絡した状態を維持するが、この補助容量電極延長部は、補助容量電極と切り離されており、ドレイン電極として作用することになるので、影響はない。
【０２０４】
この結果、補助容量電極とドレイン電極とのリーク欠陥、及びソース配線とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置を提供することができるという効果を奏する。
【０２０５】
本発明の液晶表示装置は、以上のように、スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向並列に設けられるとともに、上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続されるとともに、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量をそれぞれ形成しているものである。
【０２０６】
それゆえ、この液晶表示装置において、２箇所の電極の内いずれか一方と補助容量電極又はソース配線とが短絡したときには、後述するように、短絡している側の電極への連結部をレーザ光にて切断し、さらに、短絡している側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０２０７】
また、このように、連結部をレーザ光にて切断し、かつ短絡している側の電極と画素電極とを電気的に切り離す修正をしても、他の電極は、画素電極に接触しているので、その画素はドレイン電極との電気的接続が可能である。
【０２０８】
この結果、補助容量電極とドレイン電極とのリーク欠陥、及びソース配線とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置を提供することができる。
【０２０９】
本発明の液晶表示装置の欠陥修正方法は、以上のように、スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続される一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している一方、上記補助容量電極と遠方側の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断し、さらに、遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離す一方、上記補助容量電極延長部と近い方の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断する方法である。
【０２１０】
それゆえ、この液晶表示装置において、補助容量電極と遠方側の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断し、さらに、遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離す。
【０２１１】
また、このように、遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離す修正をしても、近い方の電極は、画素電極に接触しているので、その画素はドレイン電極との電気的接続が可能である。
【０２１２】
一方、この液晶表示装置において、補助容量電極延長部と近い方の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０２１３】
また、このように、連結部及び別途連結部を切断しても、画素電極は補助容量電極延長部と短絡した状態を維持するが、この補助容量電極延長部は、補助容量電極と切り離されており、ドレイン電極として作用することになるので、影響はない。
【０２１４】
この結果、補助容量電極とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置の欠陥修正方法を提供することができるという効果を奏する。
【０２１５】
本発明の液晶表示装置の欠陥修正方法は、以上のように、スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、層間絶縁膜に形成された貫通孔を介して上記画素電極に接続され、かつ、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している一方、上記補助容量電極と遠方側の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断する一方、上記補助容量電極延長部と近い方の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断する方法である。
【０２１６】
それゆえ、この液晶表示装置において、補助容量電極と遠方側の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０２１７】
また、このように、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断する修正をしても、近い方の電極は、画素電極に接触しているので、その画素はドレイン電極との電気的接続が可能である。
【０２１８】
一方、この液晶表示装置において、補助容量電極延長部と近い方の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０２１９】
また、このように、連結部及び別途連結部を切断しても、画素電極は補助容量電極延長部と短絡した状態を維持するが、この補助容量電極延長部は、補助容量電極と切り離されており、ドレイン電極として作用することになるので、影響はない。
【０２２０】
この結果、補助容量電極とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置の欠陥修正方法を提供することができるという効果を奏する。
【０２２１】
本発明の液晶表示装置の欠陥修正方法は、以上のように、スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向並列に設けられるとともに、上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続されるとともに、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量をそれぞれ形成している一方、上記２箇所の電極の内いずれか一方と補助容量電極とが短絡したときには、短絡している側の電極への連結部をレーザ光にて切断し、さらに、短絡している側の電極と画素電極とを電気的に切り離す方法である。
【０２２２】
それゆえ、この液晶表示装置において、２箇所の電極の内いずれか一方と補助容量電極とが短絡したときには、短絡している側の電極への連結部をレーザ光にて切断し、さらに、短絡している側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０２２３】
また、このように、連結部をレーザ光にて切断し、かつ短絡している側の電極と画素電極とを電気的に切り離す修正をしても、他の電極は、画素電極に接触しているので、その画素はドレイン電極との電気的接続が可能である。
【０２２４】
この結果、補助容量電極とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置の欠陥修正方法を提供することができるという効果を奏する。
【０２２５】
また、本発明の液晶表示装置の欠陥修正方法は、以上のように、スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続される一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している一方、上記ソース配線と遠方側の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断し、さらに、上記遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離す方法である。
【０２２６】
それゆえ、上記液晶表示装置において、ソース配線と遠方側の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断し、さらに、上記遠方側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０２２７】
この結果、ソース配線とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置の欠陥修正方法を提供することができるという効果を奏する。
【０２２８】
また、本発明の液晶表示装置の欠陥修正方法は、以上のように、スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向直列に設けられるとともに、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て近い方の電極は、層間絶縁膜に形成された貫通孔を介して上記画素電極に接続され、かつ、上記補助容量電極に別途連結部にて接続される補助容量電極延長部と絶縁膜を介して積層されて別途蓄積容量を形成している一方、上記２箇所の電極の内、スイッチング素子から見て遠方側の電極は、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量を形成している一方、上記ソース配線と遠方側の電極とが短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断する方法である。
【０２２９】
それゆえ、上記液晶表示装置において、ソース配線と遠方側の電極とが例えば膜残り等によって短絡したときには、連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断することによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０２３０】
この結果、ソース配線とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置の欠陥修正方法を提供することができるという効果を奏する。
【０２３１】
また、本発明の液晶表示装置の欠陥修正方法は、以上のように、スイッチング素子のドレイン電極の延長部に、連結部を介して互いに連結される２箇所の電極が延長方向並列に設けられるとともに、上記２箇所の電極は、層間絶縁膜にそれぞれ形成した貫通孔を介して上記画素電極にそれぞれ接続されるとともに、上記補助容量電極と絶縁膜を介して積層されて上記蓄積容量をそれぞれ形成している一方、上記２箇所の電極の内いずれか一方と上記ソース配線とが短絡したときには、短絡している側の電極への連結部をレーザ光にて切断し、さらに、短絡している側の電極と画素電極とを電気的に切り離す方法である。
【０２３２】
それゆえ、上記液晶表示装置において、２箇所の電極の内いずれか一方とソース配線とが短絡したときには、短絡している側の電極への連結部をレーザ光にて切断し、さらに、短絡している側の電極と画素電極とを電気的に切り離すことによって、リーク欠陥を修正することができる。
【０２３３】
この結果、ソース配線とドレイン電極とのリーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置の欠陥修正方法を提供することができるという効果を奏する。
【０２３４】
また、本発明における上記記載の液晶表示装置及びその欠陥修正方法は、連結部及び別途連結部は、細線にて形成されているもの及び方法である。
【０２３５】
それゆえ、連結部及び別途連結部を細線にて形成することによって、この連結部及び別途連結部をレーザ光にて切断する際に、細線を切断すれば良い。したがって、各短絡が生じたときに確実に容易に修正を行なうことができるという効果を奏する。
【０２３６】
また、本発明における上記記載の液晶表示装置及びその欠陥修正方法は、電極は、パッド電極であるもの及び方法である。
【０２３７】
それゆえ、電極としてパッド電極を用いた液晶表示装置に対して、リーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置及びその欠陥修正方法を提供することができるという効果を奏する。
【０２３８】
また、本発明における上記記載の液晶表示装置及びその欠陥修正方法は、スイッチング素子は、薄膜トランジスタであるもの及び方法である。
【０２３９】
それゆえ、スイッチング素子として薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置に対して、リーク欠陥を容易に修正して正常絵素化を図り得る液晶表示装置及びその欠陥修正方法を提供することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における液晶表示装置及びその欠陥修正方法の実施の一形態を示すものであり、液晶表示パネルを示す平面図である。
【図２】上記液晶表示パネルを示す断面図である。
【図３】本発明における液晶表示装置及びその欠陥修正方法の他の実施の一形態を示すものであり、液晶表示パネルを示す平面図である。
【図４】本発明における液晶表示装置及びその欠陥修正方法のさらに他の実施の一形態を示すものであり、液晶表示パネルを示す平面図である。
【図５】本発明における液晶表示装置の欠陥修正方法のさらに他の実施の一形態を示すものであり、図１に示す液晶表示パネルにおけるソース配線と接続電極との膜残りによる短絡状態を示す平面図である。
【図６】上記液晶表示装置の欠陥修正方法を示すものであり、図３に示す液晶表示パネルにおけるソース配線と接続電極との膜残りによる短絡状態を示す平面図である。
【図７】上記液晶表示装置の欠陥修正方法を示すものであり、図４に示す液晶表示パネルにおけるソース配線と接続電極との膜残りによる短絡状態を示す平面図である。
【図８】従来の液晶表示装置の液晶表示パネルを示す断面図である。
【図９】上記液晶表示装置の液晶表示パネルを示す平面図である。
【符号の説明】
２    ソース配線
３    ゲート配線
４    ＴＦＴ〔薄膜トランジスタ〕（スイッチング素子）
５    ドレイン電極
５ａ  接続電極（遠方側の電極、ドレイン電極、２箇所の電極の内の一つ）
５ｂ  アイランド接続電極（近い方の電極、ドレイン電極）
５ｃ  ドレイン細線部（連結部、ドレイン電極）
６ａ  コンタクトホール（貫通孔）
６ｂ  コンタクトホール（貫通孔）
６ｃ  コンタクトホール（貫通孔）
６ｄ  コンタクトホール（貫通孔）
７    画素電極
８    層間絶縁膜
１０    液晶表示パネル
１１ａ  補助容量電極
１１ｂ  アイランド補助容量電極（補助容量電極延長部）
１１ｃ  補助容量電極細線部（別途連結部、ドレイン電極）
１２    ゲート絶縁膜（絶縁膜）
１３ａ  蓄積容量
１３ｂ  アイランド蓄積容量（別途蓄積容量）
１３ｃ  分岐部蓄積容量
２０    液晶表示パネル
３０    液晶表示パネル
３１    ドレイン細線部（連結部、ドレイン電極）
３２    ドレイン分岐細線部（連結部、ドレイン電極）
３３    分岐側接続電極（ドレイン電極、２箇所の電極の内の一つ）
４１    膜残り
【図１】
0003645184.tif 000002
【図２】
0003645184.tif 000003
【図３】
0003645184.tif 000004
【図４】
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【図５】
0003645184.tif 000006
【図６】
0003645184.tif 000007
【図７】
0003645184.tif 000008
【図８】
0003645184.tif 000009
【図９】
0003645184.tif 000010