(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のインク吐出ノズルに個別に連通する複数のインク室及び各インク室を区画する隔壁が形成されたキャビティプレートと、
各インク室を選択的に個別に加圧する複数の駆動部及び各駆動部を分離する溝部が形成されたエネルギープレートと、
前記キャビティプレートと前記エネルギープレートとの間に挟持されるとともにキャビティプレートの前記各隔壁に接合され前記駆動部による加圧を対応するインク室に伝達する振動板と、を備えたインクジェットヘッドにおいて、
平板形状の素材に複数の孔又は櫛歯部を列をなして設けることで、複数の隙間部及び各隙間部を区画する接合部が形成された中間補強部材を備え、
前記中間補強部材は、前記隙間部に前記エネルギープレートの駆動部が貫通するとともに前記各接合部が前記エネルギープレートの溝部に位置するように、前記エネルギープレートと前記振動板との間に挟持され、その片面が前記溝部の底面に接合され、その反対面が前記振動板に接合されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載するインクジェットヘッドにおいて、
前記振動板が、前記複数の駆動部の両外側で前記キャビティプレートと前記エネルギープレートとに直接接合されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載するインクジェットヘッドにおいて、
前記振動板が、前記複数の駆動部の周囲で前記キャビティプレートと前記エネルギープレートとに直接接合されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
請求項１に記載するインクジェットヘッドにおいて、
前記中間補強部材が、セラミックもしくは金属材料で形成されており、
前記中間補強部材の熱膨張係数が前記エネルギープレートの材料の熱膨張係数の１／３〜３倍の範囲内であるとともに、前記中間補強部材の弾性係数が前記エネルギープレートの弾性係数以上であることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】
請求項１に記載するインクジェットヘッドにおいて、
前記中間補強部材が、アルミナセラミックで形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載するインクジェットヘッドにおいて、
前記中間補強部材の厚さが、前記エネルギープレートの溝部の深さと同寸法であることを特徴とするインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数のインク吐出ノズルから選択的にインクを吐出して印刷記録を行うインクジェットヘッドに関し、さらに詳細には、キャビティプレートとエネルギープレートとの間の接合面積を増加させて加圧によるキャビティプレートの歪をなくし、吐出特性の安定化を図ったインクジェットヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のインクジェットヘッドは、図９に概略を示すように、キャビティプレート１０１とエネルギープレート１０２とを振動板１０３を介して接合したものであった。ここで、キャビティプレート１０１には、多数のインク室１０５が形成されており、各インク室１０５は隔壁１０６によって区画され、この隔壁１０６が振動板１０３と接している。また、各インク室１０５には個別にインク吐出ノズル（図示略）が設けられている。一方、エネルギープレート１０２は、ＰＺＴのような電歪材料で形成されるとともに振動板１０３における各インク室１０５の反対面に接する駆動部１０８が形成されている。
【０００３】
このインクジェットヘッドでは、各駆動部１０８に選択的に駆動信号を印加すると、駆動信号を受けた駆動部１０８が伸長して振動板１０３を対応するインク室１０５の側へ押し付ける。このため、そのインク室１０５は加圧され、その圧力波により対応するインク吐出ノズルからインクが吐出されて印刷用紙等への印刷が行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来技術に係るインクジェットヘッドでは、インク吐出を行うために駆動部１０８を駆動すると、キャビティプレート１０１が歪んでしまい、駆動されるべきインク室１０５への加圧が不十分となる場合があった。キャビティプレート１０１に歪みが生ずる原因は、キャビティプレート１０１とエネルギープレート１０２との剛的な接合が両サイドの部分（図９中Ａで示す）のみでとられていることにある。即ち、各インク室１０５の部分では、エネルギープレート１０２側の駆動部１０８が伸縮可能であるために剛的な接合とはなりえないのである。
【０００５】
このため、特に多チャンネルを同時吐出させる場合には、伸長する駆動部１０８の数も多いことから、キャビティプレート１０１に大きな応力が掛かって歪みも大きくなる。従って、駆動チャンネル数が少ないときと多いときとでは吐出特性が変わってしまう結果となっていた。
【０００６】
これに対し特開平４−２１９２４５号公報や特公平７−３３０８７号公報等により、エネルギープレート１０２の各駆動部１０８間に駆動信号を受けない突起部１０９を設けることが提案されていた（図１０参照）。これらは、突起部１０９とキャビティプレート１０１の隔壁１０６とを振動板１０３を介して剛的に接合することにより、駆動部１０８が伸長してもキャビティプレート１０１が歪まないようにできるとするものである。しかしこのような手段をとると、エネルギープレート１０２の加工寸法が極度に微細化するので、加工コストが著しく上昇してしまい現実的でない。
【０００７】
本発明は前記従来の問題点を解消するためになされたものであり、多チャンネル同時駆動を行ってもキャビティプレートに歪みが生じて吐出特性が変わってしまうことのないインクジェットヘッドを、加工寸法の極端な微細化を要しないで提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため請求項１に係る発明は、複数のインク吐出ノズルに個別に連通する複数のインク室及び各インク室を区画する隔壁が形成されたキャビティプレートと、各インク室を選択的に個別に加圧する複数の駆動部及び各駆動部を分離する溝部が形成されたエネルギープレートと、前記キャビティプレートと前記エネルギープレートとの間に挟持されるとともにキャビティプレートの前記各隔壁に接合され前記駆動部による加圧を対応するインク室に伝達する振動板とを備えたインクジェットヘッドであって、平板形状の素材に複数の孔又は櫛歯部を列をなして設けることで、複数の隙間部及び各隙間部を区画する接合部が形成された中間補強部材を備え、前記中間補強部材は、前記隙間部に前記エネルギープレートの駆動部が貫通するとともに前記各接合部が前記エネルギープレートの溝部に位置するように、前記エネルギープレートと前記振動板との間に挟持され、その片面が前記溝部の底面に接合され、その反対面が前記振動板に接合されていることを特徴とする。
【０００９】
このインクジェットヘッドでは、エネルギープレートの各駆動部は、中間補強部材の各隙間部を通して振動板に接触し、キャビティプレートの各インク室と対面いている。各駆動部を選択的に駆動すると、駆動された駆動部が伸長し振動板を介して対応するインク室を加圧する。このとき、エネルギープレートの各溝部の底面に中間補強部材の接合部の片面が接合され、そしてその接合部の反対面に振動板が接合されているので、駆動部が伸長しても、振動板は中間補強部材との接合箇所において固定されており、キャビティプレートの隔壁が押圧されることはない。従って駆動部の伸長は、キャビティプレートを湾曲させようとする応力としては作用せずすべてがインク室の加圧に用いられる。このため、同時に駆動される駆動部の数にかかわらず同等の吐出特性をもって、駆動された駆動部に対応する吐出ノズルからインクが吐出される。
【００１０】
ここにおいて、前記中間補強部材の材質は、適度な剛性と加工性を備えていることが望ましく、軽量で熱伝導率がよければさらによい。そしてその形状としては、板状の部材に長尺状の多数の穴を並列に形成した形状が考えられる。この場合各穴が隙間部であり、穴と穴との間がそれぞれ接合部である。あるいは他の形状として、各穴の一方を開放させて櫛状にした形状も考えられる。この場合各櫛歯が接合部であり、櫛歯と櫛歯との間がそれぞれ隙間部である。
【００１１】
また、請求項２に係る発明は、請求項１に記載するインクジェットヘッドであって、前記振動板が、前記複数の駆動部の両外側で前記キャビティプレートと前記エネルギープレートとに直接接合されていることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載するインクジェットヘッドであって、前記振動板が、前記複数の駆動部を包囲して前記キャビティプレートと前記エネルギープレートとに直接接合されていることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項４に係る発明は、請求項１に記載するインクジェットヘッドであって、前記中間補強部材が、セラミックもしくは金属材料で形成されており、前記中間補強部材の熱膨張係数が前記エネルギープレートの材料の熱膨張係数の１／３〜３倍の範囲内であるとともに、前記中間補強部材の弾性係数が前記エネルギープレートの弾性係数以上であることを特徴とする。
【００１４】
すなわちインクジェットヘッドは、使用状態ではエネルギープレートの駆動部等が発熱して温度が上昇するので、中間補強部材とエネルギープレートとで熱膨張係数の差が大きいと、温度変化によりエネルギープレートの溝部の深さと中間補強部材の厚さとの間に寸法差が生じて振動板にストレスがかかって、インク室への加圧特性にくるいが生じたり、さらにはインクジェットヘッド自体の破損も起こりうる。この請求項はそうした弊害を防ぐものに他ならず、熱膨張係数の比が１／３〜３倍の範囲内であれば、事実上有意な寸法差が生じることはない。そしてこのことは、室温では個体であり１００℃程度に加熱溶融して用いられるホットメルトインク用のインクジェットヘッドでは特に重要である。
【００１５】
中間補強部材は、インクジェットヘッドの歪みを防止せんとするものであるから、剛性が要求されるのは当然であり、エネルギープレートの駆動部の伸縮に抗して振動板を定位置で保持しキャビティプレートに応力をかけないようにするため、エネルギープレートの弾性係数以上の弾性係数が必要なのである。
【００１６】
すなわちセラミックや金属材料は、その多くが高い剛性を有し、中間補強部材として適しているものである。
【００１７】
また、請求項５に係る発明は、請求項１に記載するインクジェットヘッドであって、前記中間補強部材が、アルミナセラミックで形成されていることを特徴とする。
【００１８】
すなわちアルミナセラミックは、高い剛性と好適な熱膨張係数を有し、中間補強部材として適しているものである。
【００１９】
また、請求項６に係る発明は、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載するインクジェットヘッドであって、前記中間補強部材の厚さが、前記エネルギープレートの溝部の深さと同寸法であることを特徴とする。
【００２０】
中間補強部材の厚さがエネルギープレートの溝部の深さと異なっていたのでは、振動板にストレスがかかって、インク室への加圧特性にくるいが生じる等の弊害があり、この請求項はそれを防ぐものである。ここで「同寸法」とは、厳密に同一の寸法であることを要求するものではなく、実質上同一であれば十分である。例えば、設計上同寸であれば公差の範囲内での差異は問題とならない。また、中間補強部材とエネルギープレートとの接合を接着剤で行う場合に接着剤の厚みを考慮して差を設けたりするのは、ここでいう「同寸法」の範囲を出ないものとする。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るインクジェットヘッドを具体化した実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。図１の側面方向断面図及び図２の正面方向断面図に示すように、インクジェットヘッド１は、概略、キャビティプレート４と圧電素子板２とを弾性体である振動板３を介して接合したものである。
【００２２】
キャビティプレート４の一端にはノズル孔５を形成したノズルプレート８が備えられており、そしてキャビティプレート４の内部にはノズル孔５に内側からインクを供給するインク室６が設けられている。このインク室６及びノズル孔５は、紙面の厚み方向に多チャンネル並列して設けられており、各インク室６は、隔壁７により互いに区画されている。また、各インク室６は振動板３を介して圧電素子板２と対面している。キャビティプレート４にはさらに、各インク室６への共通のインク供給経路であるインクマニホールド１３が形成されている。各インク室６及びインクマニホールド１３はインクで充填されている。
【００２３】
圧電素子板２は、ＰＺＴ等のピエゾ効果を有する素材で形成され、振動板３を介して各インク室６に対面する箇所に電極が設けられ振動部２ａとされている。振動部２ａは、各インク室６と同様に、紙面の厚み方向に多チャンネル並列して設けられ一対一で対応し、入力信号に応じて選択的に駆動されるようになっている。駆動された振動部２ａが伸長することにより、振動板３を介して各インク室６を選択的に加圧できるように構成したものである。そして圧電素子板２と振動板３との間には、中間補強部材１０が備えられている。中間補強部材１０は、圧電素子板２における各振動部２ａ間の隙間及びそれらの周辺に位置する部材である。なお、図２は図１ではＢ−Ｂ位置に該当し、一方図１は図２ではＣ−Ｃ位置に該当する。
【００２４】
中間補強部材１０は、図３の斜視図に示すように、多数の長方形の孔１０ａが形成された平板形状をなしている。そしてこれと組み合わされる圧電素子板２は、図４の斜視図に示すような形状である。すなわち、振動板３と接する面に、多数の振動部２ａを残してそれら相互の間隔及び周囲に溝２ｂが形成された形状である。図１に示す状態では、溝２ｂに中間補強部材１０がはめ込まれるとともに各振動部２ａが孔１０ａ内に位置している。なお図４では、圧電素子板２を図１及び図２に示す状態とは天地逆に描いている。
【００２５】
ここで、中間補強部材１０の厚さと溝２ｂの深さと振動部２ａ（非駆動時）の高さとは同一とされている。そしてそのことにより振動板３は、振動部２ａが駆動されていないときにはフラットに保持されている。また、圧電素子板２における各振動部２ａの成形ピッチ（図４中Ｄで示す）と中間補強部材１０における各孔１０ａの成形ピッチ（図３中Ｅで示す）とは互いに等しく、そしてこれらは、キャビティプレート４における各インク室６の成形ピッチやノズルプレート８における各ノズル孔５間の間隔とも等しい。すなわちこれらは、特に微細な加工であるわけではない。
【００２６】
また、中間補強部材１０の各孔１０ａの幅は、各振動部２ａの幅より少し大きい。このためインクジェットヘッド１を組んだ状態では、中間補強部材１０の各桁部分１０ｂ（各孔１０ａの間）と各振動部２ａとの間には、図２に示すように若干の隙間がある。図２において、中間補強部材１０の各桁部分１０ｂは、上面が圧電素子板２の振動部２ａ間の溝底２ｃに、下面が振動板３に、それぞれ接着されている。このため振動板３は、各桁部分１０ｂとの接着箇所にて、圧電素子板２に対し剛的に保持されている。
【００２７】
なお中間補強部材１０の材質として最も適しているのは、アルミナセラミックである。その理由は、主として熱膨張係数と剛性にある。
【００２８】
まず熱膨張係数について説明する。すなわちインクジェットヘッド１は、使用状態では圧電素子板２の振動部２ａの駆動により発熱して温度が上昇するので、中間補強部材１０と圧電素子板２とで熱膨張係数が大きく異なると、温度変化により圧電素子板２の溝部２ｂの深さと中間補強部材１０の厚さとの間に寸法差が生じてしまうのである。この寸法差により、インク室６への加圧特性にくるいが生じたり、差が著しい場合にはインクジェットヘッド１自体が破損することも考えられる。このことは、室温のまま印刷に供されるリキッドインクを用いるインクジェットヘッドではあまり問題にならないが、室温では個体であり１００℃程度に加熱溶融して印刷に供されるホットメルトインクを用いるインクジェットヘッドでは無視できない問題となる。このため、中間補強部材１０と圧電素子板２との熱膨張係数の比は１／３〜３の範囲内でなければならない。
【００２９】
そして圧電素子板２は、前記のようにＰＺＴ等のピエゾ材料であって、その熱膨張係数は２〜５×１０-6Ｋ-1（線膨張係数、以下同じ）程度である。この値は、金属材料一般の１０-5Ｋ-1程度と比較して１／１０〜１／２程度の小さい値である。アルミナセラミックは、圧電素子板２の熱膨張係数に対する好適な範囲内に入る６×１０-6Ｋ-1程度の熱膨張係数を有しており、適している。なお、金属系の材料であってもインバー合金のように、ピエゾ材料の熱膨張係数に近い熱膨張係数を有するものも存在する。
【００３０】
次に剛性について説明する。中間補強部材１０は、インクジェットヘッド１を剛的に補強して、圧電素子板２の振動部２ａの伸縮に基づく歪みを防止しようとするものであるから、少なくとも圧電素子板２の弾性係数以上の弾性係数を有していなければならない。従って、ゴムや樹脂のような柔軟な素材は不適当である。ガラス材料も一部の例外を除いて弾性係数が不足する。従って、セラミックや金属系の材料（一部の例外を除く）が適しているのである。
【００３１】
このように熱膨張係数と剛性とを考慮するとセラミックや金属系の材料が適しており、さらに加工性、生産性やコスト等をも考慮すると最も適しているのがアルミナセラミックである。
【００３２】
続いてインクジェットヘッド１の動作を説明する。インクジェットヘッド１の基本動作は、ノズル孔５からインクを吐出して行う印刷記録である。
【００３３】
圧電素子板２の振動部２ａに選択的に駆動信号を印加すると、図５及び図６に示すように、その振動部２ａ’が伸長し振動板３を介して対応するインク室６’を圧縮する。このためそのインク室６’には圧力波が発生し、対応するノズル孔５’に伝播してインク滴９が吐出される。このインク滴９が紙等の印刷媒体に付着してドットを形成することにより印刷がなされる。インク滴９の吐出によりインク量が減少したインク室６’にはインクマニホールド１３からインクが補充され、次回の吐出に備える。
【００３４】
このとき、圧電素子板２の振動部２ａ間の各溝底２ｃに高剛性の中間補強部材１０の各桁部分１０ｂの上面が接着され、そして各桁部分１０ｂの下面に振動板３が接着されることにより、振動板３が各桁部分１０ｂとの接着箇所にて圧電素子板２に対し剛的に保持されているので、図６に示すように、駆動された振動部２ａ’の伸長による振動板３の変形は、振動部２ａ’の両隣の桁部分１０ｂ、１０ｂを越えて左右に広がることはない。すなわち、インク室６’のみが押圧されることになる。従って、キャビティプレート４における各隔壁７は、押圧されたインク室６’の両隣のものを含めて、振動部２ａ’の伸長に起因する押圧力を受けることはない。
【００３５】
このため、振動部２ａ’が伸長してもキャビティプレート４に応力が加わることはなく、キャビティプレート４は歪まない。従って、振動部２ａ’の伸長は、キャビティプレート４の歪みにより緩和されることなくインク室６’の加圧に用いられる。このことは、図６に示すような１つのチャンネルのみが駆動された場合はもちろん、多チャンネルが同時に駆動された場合でも同様である。
【００３６】
このため、振動部２ａの伸長により対応するインク室６に発生する圧力波の大きさは、同時に駆動されたチャンネルの数によって影響を受けることはなく、１チャンネル駆動の場合から全チャンネル駆動の場合まで一定の液滴量及び液滴速度によるインク吐出がなされる。従って印刷品質が高い。
【００３７】
次に、第２の実施の形態について説明する。この実施の形態は、中間補強部材を図７に示す形状のものに変更したものであり、他には違いはない。図７に示す中間補強部材２０は、平板形状の素材を櫛状に加工したものである。すなわち中間補強部材２０には、多数の櫛歯部２０ｂが設けられており各櫛歯部２０ｂが図３の中間補強部材１０の桁部分１０ｂに相当する。また各櫛歯部２０ｂ間の隙間２０ａが中間補強部材１０の孔１０ａに相当する。かかる中間補強部材２０は、中間補強部材１０の各孔１０ａを一方に開放させたものであるといえる。
【００３８】
中間補強部材２０をインクジェットヘッド１に組み込んだ状態（図８を参照）では、圧電素子板２の溝２ｂに中間補強部材２０がはめ込まれるとともに各振動部２ａが隙間２０ａ内に位置している。また、中間補強部材２０の各櫛歯部２０ｂは、中間補強部材１０の各桁部分１０ｂと同様に、上下面がそれぞれ、振動部２ａ間の溝底と振動板３とに接着され、振動板３を接着箇所にて剛的に保持している。
【００３９】
従って、圧電素子板２の振動部２ａを駆動して伸長させても、振動板３の変形はその両隣の櫛歯部２０ｂとの接着箇所を越えて左右に広がることはなく、キャビティプレート４に応力が加わって歪むことはない。このため、第１の実施の形態と同様、１チャンネル駆動の場合から全チャンネル駆動の場合まで一定の液滴量及び液滴速度によるインク吐出がなされ、印刷品質が高い。
【００４０】
以上詳細に説明したように、前記各実施の形態によれば、圧電素子板２の各振動部２ａの部分の加工ピッチはノズル孔５のピッチと同一とし、中間補強部材１０（２０）を圧電素子板２の溝２ｂに配置して各桁部分１０ｂ（櫛歯部２０ｂ）を上下に接着して振動板３を接着箇所にて剛的に保持することとしたので、圧電素子板２の振動部２ａの伸長に起因してキャビティプレート４に応力が加わって歪むことのないインクジェットヘッド１が、加工寸法の極端な微細化を伴わずに提供されている。これにより、振動部２ａの伸長による加圧が、キャビティプレート４の歪みにより緩和されることなくインク室６内の圧力波発生に用いられ、同時に駆動されるチャンネル数にかかわらず一定の吐出特性が得られ印刷品質が良好なインクジェットヘッド１が実現されている。
【００４１】
また、中間補強部材１０（２０）の材質をアルミナセラミックとしたので、圧電素子板２と熱膨張係数が近似しており、ホットメルトインク用としてインクジェットヘッド１を構成した場合でも熱膨張の差異により振動板３にストレスが加わって吐出特性が変化したりあるいは破損に至ったりすることはない。さらに、中間補強部材１０の弾性係数が圧電素子板２の弾性係数より高いので、振動板３が剛的に保持され、キャビティプレート４の歪みがより確実に防止されている。
【００４２】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。例えば、前記実施の形態中に記した数値類や具体的材質は、単なる例示である。また、中間補強部材１０の厚さと溝２ｂの深さとが同一であるとしたのは、実質的な差がなければよいものであり、中間補強部材１０（２０）を圧電素子板２に接着する接着剤の厚みを考慮して差を設ける程度のことは、ここでいう同一の範囲内である。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したことから明かなように請求項１の発明によれば、振動板を中間補強部材との接合箇所にて固定するようにしたので、多チャンネル同時駆動を行ってもキャビティプレートに歪みが生じて１チャンネル駆動のときとは吐出特性が変わってしまうことのないインクジェットヘッドが、加工寸法の極端な微細化を要しないで実現されている。また、請求項２の発明によれば、振動板が、複数の駆動部の両外側でキャビティプレートとエネルギープレートとに直接接合されているので、剛性の高いものである。
【００４４】
そして請求項３の発明によれば、振動板が、複数の駆動部の周囲でキャビティプレートとエネルギープレートとに直接接合されているので、さらにインクジェットヘッドが剛的に補強されている。請求項４の発明によれば、中間補強部材とエネルギープレートとの熱膨張係数の比が所定の範囲内なので、ホットメルトインク用にも適用できるものである。さらに、中間補強部材がエネルギープレートの弾性係数より高い弾性係数を有するので、インクジェットヘッドが剛的に補強され、キャビティプレートの歪みが防止されている。中間補強部材がセラミックまたは金属材料で形成されているので、高剛性であり、インクジェットヘッドが剛的に補強されている。請求項５の発明によれば、中間補強部材がアルミナセラミックで形成されているので、高剛性であり、インクジェットヘッドが剛的に補強されている。さらに、請求項６の発明によれば、エネルギープレートの駆動部が駆動されていない状態では振動板がストレスなくフラットに保持される。
【図面の簡単な説明】
【図１】  実施の形態に係るインクジェットヘッドの側面方向断面図である。
【図２】  図１のインクジェットヘッドの正面方向断面図である。
【図３】  中間補強部材の斜視図である。
【図４】  圧電素子板における振動部付近の形状を示す斜視図である。
【図５】  振動部を駆動している状態を示す側面方向断面図である。
【図６】  振動部を駆動している状態を示す正面方向断面図である。
【図７】  第２の実施の形態に係る中間補強部材の斜視図である。
【図８】  図７の中間補強部材を用いたインクジェットヘッドの側面方向断面図である。
【図９】  従来のインクジェットヘッドの正面方向断面図である。
【図１０】  別の従来のインクジェットヘッドの正面方向断面図である。
【符号の説明】
１      インクジェットヘッド
２      圧電素子板（エネルギープレート）
２ａ    振動部（駆動部）
２ｂ    溝
２ｃ    溝底
３      振動板
４      キャビティプレート
５      ノズル孔
６      インク室
７      隔壁
１０    中間補強部材
１０ａ  孔（隙間部）
１０ｂ  桁部分（接合部）
２０    中間補強部材
２０ａ  隙間（隙間部）
２０ｂ  櫛歯部（接合部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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