(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚の単板ディスクを液体状の接着剤を使用して貼り合わせ、１枚の貼り合わせディスクを作る光ディスクの貼り合わせ方法において、
上記２枚の単板ディスクの内、下側単板ディスクの接着面を上向きにして、そこに接着剤を円環状に吐出し、円環状の液膜を形成する段階と、
上側単板ディスクの接着面に接着剤を仮想円上に複数の点状に付着させて点状の液膜を形成する段階と、
上記２枚の単板ディスクの接着面同士を対向させた状態で接近させて、上記円環状の液膜と上記点状の液膜とを接触させる際、上記２枚の単板ディスクの間に、その中心部から外周方向に向けて気流を発生させる段階と、
上記円環状の液膜と上記点状の液膜とを接触させて上記２枚の単板ディスクを重ねる段階と、
上記重ねた２枚の単板ディスクを回転させて上記接着剤を所定の領域まで広げる段階と、
を備え、
上記上側単板ディスクの接着面に形成された上記点状の液膜の頂部は、上記下側単板ディスクの接着面に形成された上記円環状の液膜の頂部よりも外側に位置しており、上記円環状の液膜の外周に跨って上記点状の液膜を接触させる際、上記円環状の液膜の内周部に上記気流の押圧力を加え、上記円環状の液膜の外周部を上記点状の液膜に接触させて重ねることを特徴とする光ディスクの貼り合わせ方法。
【請求項２】
２枚の単板ディスクを液体状の接着剤を使用して貼り合わせ、１枚の貼り合わせディスクを作る光ディスクの貼り合わせ装置において、
上記２枚の単板ディスクの内、下側単板ディスクの接着面を上向きにして、そこに接着剤を円環状に吐出し、円環状の液膜を形成する手段と、
上側単板ディスクの接着面に接着剤を仮想円上に複数点状に付着させ、点状の液膜を形成する手段と、
上記２枚の単板ディスクの接着面同士を上下に対向させた状態で接近させて、上記円環状の液膜と上記点状の液膜とを接触させる際、上記２枚の単板ディスクの間に、その中心部から外周方向に向けて気流を発生させる手段と、
上記円環状の液膜と上記点状の液膜とを接触させて上記２枚の単板ディスクを重ねる手段と、
上記重ねた２枚の単板ディスクを回転させて上記接着剤を所定の領域まで広げる手段と、
を備え、
上記上側単板ディスクの接着面に形成された上記点状の液膜の頂部は、上記下側単板ディスクの接着面に形成された上記円環状の液膜の頂部よりも外側に位置しており、上記円環状の液膜の外周に跨って上記点状の液膜を接触させる際、上記円環状の液膜の内周部に上記気流の押圧力を加え、上記円環状の液膜の外周部を上記点状の液膜に接触させて重ねることを特徴とする光ディスクの貼り合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は光ディスクの製造、中でも２枚のディスクを貼り合わせて１枚のディスクを作る貼り合わせ方法および装置に関する。
【０００２】
【従来技術】
液体状の接着剤を使用した光ディスク貼り合わせ装置においては、貼り合わせた後の接着剤の層に気泡がないようにすることが重要で、そのために従来から種々の装置が考えられてきた。以下、図番の後半の番号の、図１１、図１２、図１３、図１４を参照して従来技術について説明する。
【０００３】
図１１は、そのような従来の貼り合わせ装置の一例であり、光ディスク貼り合わせ装置５０において、ターンテーブル５１上の位置Ｑ１に、図示しない供給装置にて、下側単板ディスクＤＬが接着面を上向きにした状態で載置される。その後、位置Ｑ１上の下側単板ディスクＤＬは、ターンテーブル５１により位置Ｑ２を通って位置Ｑ３に送られる。このとき位置Ｑ２において、ノズルＮ３により、接着剤が円環状に吐出される。
【０００４】
一方、ターンテーブル５２上の位置Ｑ４に、図示しない供給装置にて、上側単板ディスクＤＵが接着面を上向きにした状態で載置される。その後、位置Ｑ４上の上側単板ディスクＤＵは、ターンテーブル５２により位置Ｑ５を通って位置Ｑ６に送られる。このとき位置Ｑ５において、ノズルＮ４により、接着剤が円環状に吐出される。さらに位置Ｑ６の上側単板ディスクＤＵは、反転アーム５３により裏返されて、接着面を下向きにした状態で位置Ｑ７に載置される。
【０００５】
位置Ｑ３の下側単板ディスクＤＬは、搬送アーム５４によって位置Ｑ８に設置されるスピンナーＳＰ１に送られる。その後、位置Ｑ７の上側単板ディスクＤＵが、搬送アーム５５によってスピンナーＳＰ１に送られ、下側単板ディスクＤＬの上に重ねられる。
【０００６】
スピンナーＳＰ１上で重ねられた下側単板ディスクＤＬと上側単板ディスクＤＵは、回転をかけられて、その間の接着剤を所定の領域まで広げられる。ここでの処理が完了した後、下側単板ディスクＤＬと上側単板ディスクＤＵ薄い接着剤の層によって密着して、簡単には剥離しない状態になる。以後これを密着ディスクＤＤと呼ぶ。
【０００７】
次に、搬送アーム５６により、スピンナーＳＰ１上の密着ディスクＤＤはターンテーブル５７上の位置Ｑ９に送られる。その後、密着ディスクＤＤは、ターンテーブル５７により位置Ｑ１０を通って位置Ｑ１１に送られる。このとき位置Ｑ１０において、紫外線照射装置５８によって紫外線照射を受け、接着剤の層が硬化される。以後この状態のディスクを貼り合わせディスクＤＢと呼ぶ。なおターンテーブル５７は、紫外線漏洩防止のため、遮光カバー５９にて覆われている。
【０００８】
位置Ｑ１１の貼り合わせディスクＤＢは、図示しない排出装置によって取り出される。
【０００９】
図１２は、スピンナーＳＰ１において、下側単板ディスクＤＬの上に、搬送アーム５５によって上側単板ディスクＤＵを重ねようとする状態を示す図である。ここでは、下側単板ディスクＤＬと上側単板ディスクＤＵの双方の接着面に、円環状の液膜６０，６１が形成されており、そこを接触させることで気泡防止を図っている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような従来例には下記のような問題点がある。まず第１には、微視的に見ると液膜６０と液膜６１の形状が不均一であり、接触が開始される部位がランダムに生じる。そのランダムに生じた接触部分が広がって行く内に、空気を巻き込むことがあり、巻き込まれた空気が気泡として接着液の層に残ることである。
【００１１】
第２には、微視的に見ると、接触する部分はほぼ平面同士であり、接触した瞬間に、液膜６０と液膜６１の間にあった空気の一部が閉じ込められて気泡を作る場合があることである。
【００１２】
発明者の得た知見によれば、この従来例において、液膜同士が接触した瞬間に作られる気泡は、直径０．０５ｍｍから０．１ｍｍ程度の微小なものが多い。これは、ぬれやすいもの同士の接触であることが原因と考えられるが、以下のような問題を起こす。すなわち、この実施例ではディスクを回転させて接着剤を所定の領域まで広げる工程を含むので、この回転時に気泡を飛ばすことができれば問題にならないのであるが、気泡が微小な場合には、これが難しくなることである。この現象を、以下、図１３、図１４を参照して説明する。
【００１３】
図１３は、ディスクが回転して遠心力が紙面の右方向に作用している状態を示す。図１３(A) は、接着剤の液膜６２の中に大きな気泡６３が存在する場合を示す図で、このとき気泡６３に作用する遠心力をｆとし、その気泡６３と同じ大きさで同じ位置にあると仮定した想像上の液の球６４に作用する遠心力をＦとする。ただし見やすくするため、気泡６３と想像上の接着剤の球６４の位置をずらして描いてある。実際には両者は完全に重なることになる。
【００１４】
図１３(B) は、遠心力が作用して液膜６２が流動するときに、気泡６３に作用する力の関係を描いた図である。この流れの場においては、遠心力に起因する力として、遠心力と反対方向にＦ−ｆの大きさの力が気泡６３に作用する。遠心力は、それが作用する物体の質量に比例するが、空気の質量は液膜６２の質量に比べて小さいので、気泡６３には周囲よりも小さい遠心力しか作用しない。つまり上記の事項は、遠心力によって液膜６２のみ流れてしまって気泡６３は取り残される傾向が、本質的にあることを示している。
【００１５】
一方、液膜６２は粘性を持っており、その粘性に起因する摩擦力Ｒが、遠心力と同じ方向に作用する。結局のところ、気泡６３が液膜６２とともに流れ去って排除されるか否かは、遠心力と同じ方向に作用する力Ｒ＋ｆ−Ｆの大きさ、つまり粘性に起因する摩擦力がどのぐらい作用するかに依存する。図６３の例は気泡６３が大きいので、流れに対する投影面積Ａ１が大きく、したがって液膜６２の粘性に起因する摩擦力Ｒも大きくなって、気泡に遠心力と同じ方向、すなわちディスクの外周方向に大きな力が作用する。これが気泡を排除する力となる。
【００１６】
図１４はディスクが回転して遠心力が紙面の右方向に作用している状態であって、微小な気泡６５に作用する力の関係を描いた図である。この場合は、図１３(B) の例と同様に、気泡６５には遠心力に起因する力Ｆ’−ｆ’と液膜６２の粘性に起因する摩擦力Ｒ’が作用する。ただしこの場合、気泡６５の流れに対する投影面積Ａ２がかなり小さいので、液膜６２の粘性に起因する摩擦力Ｒ’も小さくなる。つまり、気泡６５をディスク外周方向に排除する力が小さいことがわかる。上記のような理由で、気泡が微小なものであると、ディスク回転によって気泡を排除しようとする場合に不利であることがわかる。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の課題を解決するため、上記２枚の単板ディスクの内、下側単板ディスクの接着面を上向きにして、そこに接着剤を円環状に吐出し、円環状の液膜を形成する段階及び手段と、上側単板ディスクの接着面に接着剤を仮想円上に複数の点状に付着させて点状の液膜を形成する段階及び手段と、上記２枚の単板ディスクの接着面同士を対向させた状態で接近させて、上記円環状の液膜と上記点状の液膜とを接触させる際、上記２枚の単板ディスクの間に、その中心部から外周方向に向けて気流を発生させる段階及び手段と、上記円環状の液膜と上記点状の液膜とを接触させて上記２枚の単板ディスクを重ねる段階及び手段と、上記重ねた２枚の単板ディスクを回転させて上記接着剤を所定の領域まで広げる段階及び手段と、を備え、上記上側単板ディスクの接着面に形成された上記点状の液膜の頂部は、上記下側単板ディスクの接着面に形成された上記円環状の液膜の頂部よりも外側に位置しており、上記円環状の液膜の外周に跨って上記点状の液膜を接触させる際、上記円環状の液膜の内周部に上記気流の押圧力を加え、上記円環状の液膜の外周部を上記点状の液膜に接触させて重ねることを特徴とする光ディスクの貼り合わせ方法及び装置を提案するものである。
【００１８】
すなわち、下側単板ディスク面上の円環状の液膜と、上側単板ディスク面の仮想円上の点状の液膜とを接触させることにより、点接触に近い状況を出現させて、これらの液膜同士が接触する瞬間に発生する気泡、特に微小な気泡を生じさせないようにし、かつ接触部分が液膜全体へ広がるときに、液膜の間の空気を排除するようにできるので、このときの気泡の発生も防止できる光ディスク貼り合わせ方法および装置を提案するものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図１により、本発明に係る光ディスク貼り合わせ方法とその装置の実施の形態について説明する。光ディスク貼り合わせ装置１において、単板ディスクを１枚ずつ定ピッチ送りするスライダー２上の位置Ｐ１に、図示しない供給装置によって、上側単板ディスクＤＵが接着面を下向きにした状態で載置される。その後、位置Ｐ１上の上側単板ディスクＤＵは、スライダー２により位置Ｐ２を通って位置Ｐ３に送られる。
【００２０】
一方、単板ディスクを一枚ずつ定ピッチ送りするスライダー３上の位置Ｐ４には、図示しない供給装置によって、下側単板ディスクＤＬが接着面を上向きにした状態で載置される。その後、位置Ｐ４上の下側単板ディスクＤＬは、スライダー３により位置Ｐ５を通って位置Ｐ６に送られる。このとき位置Ｐ５において、ノズルＮ１により、下側単板ディスクＤＬには、その接着面上に接着剤が供給される。なお、ノズルＮ１は回転式のノズルであり、位置Ｐ５に下側単板ディスクＤＬが静止したとき、回転しながら接着剤を吐出して、下側単板ディスクＤＬ上に円環状の液膜を形成する。
【００２１】
位置Ｐ３上の上側単板ディスクＤＵと、位置Ｐ６上の下側単板ディスクＤＬは、移載機構４によって、上下に重ねられた状態で、位置Ｐ７にあるスピンナー５、または位置Ｐ８にあるスピンナー６へ送られる。この移載機構４の構造を図２によって説明する。
【００２２】
図２は、移載機構４のディスク保持部７の構造を示す図である。ディスク保持部７は、上側単板ディスクＤＵを真空吸着にて保持する吸着部材８と、下側単板ディスクＤＬの中心穴をつかむチャック９およびそれを駆動するエアーシリンダ１０によって構成される。なお、このチャック９は３本ツメにて構成される場合が多いが、作図表現の都合上、２本ツメ構成で略して描いてある。
【００２３】
図１も再び参照して、移載機構４は、位置Ｐ３において上側単板ディスクＤＵを真空吸着にて保持した後、位置Ｐ６において下側単板ディスクＤＬをチャックでつかんで、スピンナー５または６へ送る。ここで、位置Ｐ３には後述する上方吐出機構Ｎ２が設置され、上側単板ディスクＤＵの下面、すなわち接着面に点状の接着剤の液膜を仮想円上に複数個形成する。また上記のように、位置Ｐ６の下側単板ディスクＤＬ上には、円環状の接着剤の液膜が形成されている。したがって、移載機構４により上側単板ディスクＤＵと下側単板ディスクＤＬとが保持されるとき、その間に接着剤の液膜１２が介在している。
【００２４】
スピンナー５および６では、液膜１２を介して重ねられた上側単板ディスクＤＵと下側単板ディスクＤＬに回転を与えて、液膜１２を所定の領域まで広げる。ここでの処理が完了した後、上側単板ディスクＤＵと下側単板ディスクＤＬは、密着ディスクＤＤとなる。
【００２５】
スピンナー５または６上の密着ディスクＤＤは、搬送アーム１３によって位置Ｐ９に送られる。位置Ｐ９上の密着ディスクＤＤは、次に搬送アーム１４によって位置Ｐ１０に送られる。なお位置Ｐ１０は、ターンテーブル１５上にある。
【００２６】
位置Ｐ１０上の密着ディスクＤＤは、ターンテーブル１５によって、位置Ｐ１１を通って位置Ｐ１２へ送られる。このとき密着ディスクＤＤは、位置Ｐ１１において紫外線照射装置１６によって紫外線照射を受け、接着剤の層が硬化して貼り合わせディスクＤＢとなる。なお、ターンテーブル１５は、紫外線漏洩防止のため、遮光カバー１７にて覆われている。その後、位置Ｐ１２上の貼り合わせディスクＤＢは、図示しない排出装置によって取り出される。
【００２７】
図３及び図４は、それぞれ上方吐出機構Ｎ２の外観とその内部構造を示す図である。上方吐出機構Ｎ２は、上側単板ディスクＤＵを載置するステージ部１８と、接着剤を吐出する多点ノズル部１９、余剰の接着剤を回収する液回収部２０および図示しない昇降機構部にて構成される。
【００２８】
ステージ部１８は、ベースシート２１と、チャック９のツメがはまり込む切欠２２を有する突起２３によって構成される。上側単板ディスクＤＵは、その中心穴が突起２３と嵌合した状態で、ベースシート２１上に載置される。なお、ベースシート２１に吸着穴を配置して、上側単板ディスクＤＵを真空吸着する場合もある。
【００２９】
多点ノズル部１９は、液供給配管２４と継手２５、液供給流路２６およびノズル部材２７によって構成される。図３に示す実施例では、ノズル部材２７は円環状に１６個装備されている。またノズル部材２７は、下側単板ディスクＤＬ上に形成される液膜より外の位置に設置される。液供給配管２４は、図示しないバルブを介して図示しない加圧タンクへ接続される。
【００３０】
液回収部２０は、壁２８と液回収溝２９、液回収流路３０、継手３１および液回収配管３２によって構成される。液回収配管３２は、図示しない回収タンクへ接続される。
【００３１】
図５は、上方吐出機構Ｎ２の動作を説明するための図であり、(A) 、(B) 、(C) 、(D) の工程順序にて動作する。図５(A) は上側単板ディスクＤＵを載置した状態で、この後、上方吐出機構Ｎ２は移載機構４に向かって上昇する。図５(B) は上方吐出機構Ｎ２が上限に達した状態で、移載機構４の真空が入り上側単板ディスクＤＵを吸着する。図５(C) は、図示しないバルブが開いて、多点ノズル部が吐出を開始した状態である。この後、設定された時間が経過すると吐出が停止する。図５(D) は、吐出が停止し、上方吐出機構Ｎ２が下降した状態である。このとき、余剰な接着剤はノズル部材２７と共に下方に引かれて落ち、上側単板ディスクＤＵには、ほぼ一定の体積の接着剤の液膜３３が形成される。この液膜３３の量は、接着剤の粘度および表面張力、上側単板ディスクＤＵとノズル部材２７との間隔、吐出圧力によって定まる。この実施の態様に使用される接着剤の粘度は２００センチポアズから１０００センチポアズ程度のものが多いが、その場合、上側単板ディスクＤＵとノズル部材２７の間隔は０．５ｍｍから２ｍｍ程度が好適である。
【００３２】
図６は、位置Ｐ６に設置される昇降ステージ３４の動作を示す図で、(A) 、(B) 、(C) 、(D) の順に動作する。この図を参照して、上側単板ディスクＤＵと下側単板ディスクＤＬを重ねる動作を説明する。図６(A) は、昇降ステージ３４上に下側単板ディスクＤＬを載置した状態で、この下側単板ディスクＤＬ上には円環状の接着剤の液膜３５が形成されている。また、昇降ステージ３４の上方には、上側単板ディスクＤＵを保持した移載機構４が待機しているが、上側単板ディスクＤＵの下面には液膜３３が形成されている。図６(B) は液膜３３と液膜３５が接触する瞬間を示す。ここで液膜３３と液膜３５は、それぞれ中心からずれた位置で接触している。図６(C) は、昇降ステージ３４が上限に達した状態で、この後、移載機構４のチャック９が開いて下側単板ディスクＤＬをつかむ。図６(D) は、下側単板ディスクＤＬが移動載機構４につかまれた後、昇降ステージ３４が下降した状態である。
【００３３】
図７及び図８は、それぞれ、液膜３３と液膜３５が接触する瞬間を水平方向から見た図と、それを垂直方向から見た図である。これらの図から液膜３３と液膜３５の接触の仕方について、理解できる。すなわち、液膜３３の接触部は液膜３５に向かって凸の曲面であり、液膜３５の接触部も液膜３３に向かって凸の曲面であるので、両者の接触部３６は点状になることがわかる。
【００３４】
図９は、上記接触部３６の広がり方を示す図で、(A) 、(B) 、(C) 、(D) 、(E) の順に広がる。図９(A) は、接触した瞬間を示す。図９(B) は、接触部３６が液膜３５の外周に沿って、広がり始めた状態を示す。図９(C) は、液膜３５の外周に沿って広がった接触部３６がつながって、１本の円環になった状態を示す。ここで接触部同士がつながるとき、接触部３６の位置が液膜３５の外周部分と一定していること、および接触部３６の幅が狭いことから、接触部端の凸部同士が接触することになり、その間の空気を排除でき、気泡を発生させることがない。
【００３５】
図９(D) は、１本につながった接触部３６が、半径方向に広がって行く状態を示す。接触部３６がつながったのは、液膜３５の外周部分であるが、内側方向は接着剤の液同士の接触なのでぬれ性がよく、広がり方も早い。一方、外周側は接着剤の液とディスク面の接触なので、ぬれ性が落ちて広がり方も遅い。したがって接触部３６の内外周端への到達時間のバランスがとれている。  図９(E) は、接触部３６が全体に広がった状態を示す。図９(C) から(E) までは、空気を排除しながら接触部３６が広がるので、気泡が発生しない。
【００３６】
ところで、成形後長時間経過した単板ディスクを貼り合わせる場合、ディスク面のぬれ性が悪くなることがある。その場合、図９(C) から図９(E) に至る外周側への接触部３６の広がり方が、一部で遅くなり、空気を閉じ込めて気泡を作ることがある。その場合でも下記の理由で、気泡を排除できる。すなわち、この実施の態様ではディスクに回転をかけて接着剤を広げる工程があり、上記気泡が発生するのは、接着剤の液膜の内の大部分よりも外側であるため、容易に外周部へ押し出されてしまうからである。
【００３７】
図１０は従来の問題点を本発明と対比して説明するための図であり、接触部の幅が広い場合の液膜の状態を示す図である。幅広い接触部３７が広がって行くと、図１０(A) に示すように先端の凸部３８の位置が合わなかったり、複数の凸部３８ができてしまう場合がある。このとき、凸部３８同士がすれ違う形になったり、囲い込む形になったりして空気を閉じ込めやすい。これにより気泡３９が発生しやすくなる。図９に示す本発明のものと対比すると、本発明の特徴がよく理解できる。
【００３８】
図１５は本発明における、更に別の実施の形態を示す図である。
【００３９】
図１５は、図１に示すような光ディスク貼り合わせ装置において、図６（Ｂ）の直前の状態、すなわち上側単板ディスクＤＵの接着面上の点状の液膜３３と、下側単板ディスクＤＬの接着面上の円環状の液膜３５が接触する直前の状態を示す。
【００４０】
まず図１５に示す実施例の構造を説明する。図１５に示す実施例においては、ディスク保持部７０の構造が、図２に示すディスク保持部７と異なる。すなわち、吸着部材７１に気流を導入するための流路７２が形成されており、そこに気流を供給する配管および配管継手が接続される。また流路７１は、チャック９を下方へ出すための中心穴７３につながっている。
【００４１】
ところで、図５および図６からわかるように、昇降ステージ３４は、上方吐出機構Ｎ２のステージ部１８と同様に、下方にチャック９が突き出した構造の移載機構４に対して、下方から下側単板ディスクＤＵを渡さねばならないので、中心部に突起７４および切欠７５を有する。これらの機能は図３および図４に示す突起２３と切欠２２と同じである。すなわち、昇降ステージ３４が下側単板ディスクＤＵを持ち上げて行き、移載機構４に渡す時には、ディスク保持部７０の中心穴７３に昇降ステージ３４の突起７４が嵌合し、かつチャック９は切欠７５の中に入る。
【００４２】
ふたたび、図１５に戻って説明する。
【００４３】
図１５に示す実施例の動作を説明する。図１５は、上側単板ディスクＤＵ上の液膜３３と下側単板ディスクＤＬ上の液膜３５が接触する直前であるから、昇降ステージ３４が下側単板ディスクＤＵを真空吸着にて保持した状態で移載機構４に渡す位置に近接しており、中心穴７３に突起７４が嵌合し、チャック９が切欠７５の中に入っている。この状態では流路７２、中心穴７３、切欠７５がつながっている。また切欠７５は、上側単板ディスクＤＵと下側単板ディスクＤＬっで囲まれる空間にも開いているので、ここで図示しない供給装置により気流を供給すれば、図１５の破線が示す方向に気流が発生する。すなわち、上側単板ディスクＤＵと下側単板ディスクＤＬの間に、その中心部から外周方向に向かって気流を発生させることができる。、実際には、昇降ステージ３４が上昇途中で、上側単板ディスクＤＵと下側単板ディスクＤＬがまだ離れている時点からこの気流の供給が開始され、液膜３３と液膜３５の接触の直前に停止されることになる。上側単板ディスクＤＵと下側単板ディスクＤＬが離れている状態では、この気流による影響は無いので、気流供給開始時期を正確に制御する必要は無く、気流停止時期の制御だけに留意すればよい。
【００４４】
なお、ここで、昇降ステージ３４が下側単板ディスクＤＬを真空吸着せず、単に載置しただけの状態で、上記動作を行う場合もある。これは、例えば単板ディスクの変形が大きく、真空吸着によっても局所的なディスクの接着面の曲がりを矯正し切れないような場合に有効である。すなわち、図９（Ｂ）に示す接液部３６の広がりがディスク接着面の曲がりによって阻害されることを、液の表面張力によって下側単板ディスクＤＬが若干持ち上がることによって防止し、空気の巻き込みによる気泡発生を防ぐためである。
【００４５】
次に、図１６により図１５に示す実施例の作用を説明する。図１６は昇降ステージ３４が上昇するにしたがって、液膜３３および液膜３５の変化を示す図であり、（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）の順序にて推移する。
【００４６】
図１６（Ａ）は昇降ステージ３４が上昇を開始した時点を示す。
【００４７】
図１６（Ｂ）は液膜３３と液膜３５が接近した時点を示す図で、ここで上側単板ディスクＤＵと下側単板ディスクＤＬの間の空間に、その中心部から外周方向に向かって気流が発生している。液膜３３は点状、液膜３５は円環状であり、かつ液膜３３の方が液膜３５よりも外側に位置していることから、この気流によって液膜３５の外周部分を盛り上げて、外周方向に押し付け、液膜３３に強制的に接触させている。この作用により、図７に示す例よりも上側単板ディスクＤＵと下側単板ディスクＤＬの間隔が広い状態で、液膜３３と液膜３５が接触する。
【００４８】
図１６（Ｃ）は更に昇降ステージ３４が上昇した状態を示す図で、この時点では気流は既に停止している。この状態は図９（Ｃ）に示すものとほぼ同じで、接触した液膜が内周方向にぬれ広がってゆく。
【００４９】
図１６（Ｄ）は昇降ステージ３４の上限に到達した時点を示す。
【００５０】
上記のように、本実施例では上側単板ディスクＤＵと下側単板ディスクＤＬの間隔が比較的広い状態で、それぞれの接着面上の液膜３３および３５が接触できるので、例えば単板ディスクの変形が大きくて点状の液膜３３の大きさが均一にし難い場合でも、液膜とディスク面が接触する前に確実に液膜同士を接触させることができ、気泡の発生を防止できる。
【００５１】
【発明の効果】
本発明は以上述べたような特徴を有しているので、気泡の発生のない光ディスク貼り合わせ方法および装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置の実施の態様の例を示す図である。
【図２】  本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置の一部分の構造を示す図である。
【図３】  本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置の一部分の外観を示す図である。
【図４】  本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置の一部分の構造を示す図である。
【図５】  本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置の動作を説明するための図である。
【図６】  本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置の動作を説明するための図である。
【図７】  本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置の作用を説明するための図である。
【図８】  本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置の作用を説明するための図である。
【図９】  本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置の作用を説明するための図である。
【図１０】  従来の問題点を説明するための図である。
【図１１】  従来の貼り合わせ装置の一例を示す図である。
【図１２】  従来例の動作を説明するための図である。
【図１３】  従来例の問題点を説明するための図である。
【図１４】  従来例の問題点を説明するための図である。
【図１５】  本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置の一部分の構造を示す図である。
【図１６】  本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置の作用を説明するための図である。
【符号の説明】
１…光ディスク貼り合わせ装置          ２…スライダー
３…スライダー                        ４…移載機構
５…スピンナー                        ６…スピンナー
７…ディスク保持部                    ８…吸着部材
９…チャック                          １０…エアーシリンダ
１２…液膜
１３…搬送アーム                      １４…搬送アーム
１５…ターンテーブル                  １６…紫外線照射装置
１７…遮光カバー                      １８…ステージ部
１９…多点ノズル部                    ２０…液回収部
２１…ベースシート                    ２２…切欠
２３…突起                            ２４…液供給配管
２５…継手                            ２６…液供給流路
２７…ノズル部材                      ２８…壁
２９…液回収溝                        ３０…液回収流路
３１…継手                            ３２…液回収配管
３３…液膜                            ３４…昇降ステージ
３５…液膜                            ３６…接触部
３７…幅広い接触部                    ３８…凸部
３９…気泡
５０…光ディスク貼り合わせ装置        ５１…ターンテーブル
５２…ターンテーブル                  ５３…反転アーム
５４…搬送アーム                      ５５…搬送アーム
５６…搬送アーム                      ５７…ターンテーブル
５８…紫外線照射装置                  ５９…遮光カバー
６０…液膜                            ６１…液膜
６２…液膜                            ６３…大きな気泡
６４…想像上の液の球                  ６５…微小な気泡
７０…ディスク保持部                  ７１…吸着部材
７２…流路                            ７３…中心穴
７４…突起                            ７５…切欠
ＤＵ…上側単板ディスク                ＤＬ…下側単板ディスク
ＤＤ…密着ディスク                    ＤＢ…貼り合わせディスク
Ｎ１…ノズル                          Ｎ２…上方吐出機構
Ｎ３…ノズル                          Ｎ４…ノズル
ＳＰ１…スピンナー
Ｆ…想像上の液の球に作用する遠心力    ｆ…大きな気泡に作用する遠心力
Ｒ…大きな気泡に作用する摩擦力
Ｆ’…想像上の微小な液の球に作用する遠心力
ｆ’…微小な気泡に作用する遠心力      Ｒ’…微小な気泡に作用する摩擦力
Ａ１…大きな気泡の投影面積            Ａ２…微小な気泡の投影面積
Ｐ１〜Ｐ１２…光ディスク貼り合わせ装置内のディスク位置を示す符号
Ｑ１〜Ｑ１１…光ディスク貼り合わせ装置内のディスク位置を示す符号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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