(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試験対象物を測定用ソケットに押圧するための昇降手段と、
この昇降手段に少なくとも揺動体を介して前記試験対象物を保持する保持手段とを有する試験装置用ハンドであって、
前記揺動体は、揺動する揺動部本体と、
この揺動部本体を揺動させるための膜状に配置した膜状弾性部材と、
この膜状弾性部材を支持する支持部材と、
を備えることを特徴とする試験装置用ハンド。
【請求項２】
前記揺動体は、前記支持部材と前記膜状弾性部材及び／又は前記揺動部本体とにより密閉空間を形成し、
この密閉空間内の圧力を調整する圧力調整手段を備える
ことを特徴とする請求項１に記載の試験装置用ハンド。
【請求項３】
前記支持部材には、前記揺動部本体の一部を係止する係止部が形成されている
ことを特徴とする請求項２に記載の試験装置用ハンド。
【請求項４】
前記係止部と前記揺動部本体との間には、前記揺動部本体の揺動を規制するための揺動規制部が形成されている
ことを特徴とする請求項３に記載の試験装置用ハンド。
【請求項５】
前記揺動体に遊動手段を介して懸架される遊動体を、備えることを特徴とする請求項１ないし４に記載の試験装置用ハンド。
【請求項６】
前記遊動体と前記揺動部本体とは、前記遊動体の位置を復元するための復元手段によって固定されている
ことを特徴とする請求項５に記載の試験装置用ハンド。
【請求項７】
試験対象物を測定用ソケットに押圧するための昇降手段と、
この昇降手段に少なくとも揺動体を介して前記試験対象物を保持する保持手段とを有するハンドを備える試験装置であって、
前記揺動体は、揺動する揺動部本体と、
この揺動部本体を揺動させるための膜状に配置した膜状弾性部材と、
この膜状弾性部材を支持する支持部材と、
を備えることを特徴とする試験装置。
【請求項８】
前記揺動体は、前記支持部材と前記膜状弾性部材及び／又は前記揺動部本体とにより密閉空間を形成し、
この密閉空間内の圧力を調整する圧力調整手段を備える
ことを特徴とする請求項７に記載の試験装置。
【請求項９】
前記試験装置に複数の前記ハンドを備える
ことを特徴とする請求項７または８に記載の試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試験対象物を保持して押圧するために試験装置に用いられるハンドおよび試験装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
動作性能等を試験する試験対象物には、例えばＩＣ（半導体集積回路装置）などがある。そして、一般的にこのＩＣ等を試験する際には、そのＩＣ等を試験装置用ハンドで吸着保持等し、ＩＣ等の端子を測定基板上に配置した測定用ソケットに挿入押圧し、その後ＩＣ等に設けられた所定のリードに通電して電気的特性を試験したりする。
【０００３】
図１２は、このようなＩＣ２００を測定用ソケット１２０に押圧する際の試験装置用ハンド１００の断面図である。
この図では、先ず試験をするＩＣ２００の形状に照応した測定用ソケット１２０を電極１２６上に配置する。すなわち、試験対象物であるＩＣ２００の形状には、種類に応じて様々な形状のものがあるため、その形状に照応した測定用ソケット１２０に交換してから試験することとなる。
そして、ＩＣ等を試験装置用ハンド１００の吸着器１０２で吸着保持し、昇降アーム１０４が降下して測定用ソケット１２０に当接する。
【０００４】
しかしながら、上述のようにＩＣ２００の形状に合致した測定用ソケット１２０を交換する際に、なんらかの原因によりこの測定用ソケット１２０を傾けて載置してしまう場合がある。このような場合、交換後の測定用ソケット１２０の取付け精度がなくなる。これは、ＩＣ２００を測定用ソケット１２０面に押圧する力がばらつく原因となる。
特に、近年においては、電子機器等は小型化薄型化が要求され、この電子機器等に実装されるＩＣ２００も小型化薄型化が要求されるため、ＩＣ２００に設けられた端子２１０が小さく細くなり、各端子２１０間の幅も狭くなっている。また、ＩＣ２００のハウジングの形状も様々な形状を有する。したがって、このようなＩＣ２００に対応した測定用ソケット１２０を精度よく交換することが必要となる。
【０００５】
そのため、この図においては、昇降アーム１０４にバネ１０６を設け、このバネ１０６によって揺動することができる揺動体１０８を設けている。すなわち、測定用ソケット１２０が傾いて載置されたりしても、この揺動体１０８が揺動しながら測定用ソケット１２０の傾きに追従し、試験対象物を測定用ソケットの面に均一に押圧して、精度よく押圧することができる。また、このバネ１０６は、ＩＣ２００を押圧する推力ともなっている。
【０００６】
また、図１２においては、揺動体１０８にはベアリング１１０等を介してＸＹθ軸方向に遊動する遊動体１１２が設けられている。すなわち、ＩＣの端子２１０の位置と測定用ソケット１２０の凹部１２２の位置がＸＹθ軸方向にズレている場合には、この遊動体１１２がＸＹθ軸方向に遊動して、ＩＣの端子２１０を測定用ソケットの凹部１２２に挿入して押圧する。
そして、測定ソケット１２０に押圧された状態のＩＣ２００の端子２１０に、電極１２４，１２６を介して通電し、ＩＣ２００の電気的特性を試験する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述のように昇降アーム１０４の下にバネ１０６を垂下するように設け、そして、このバネ１０６の先に揺動体１０８を設け、この揺動体１０８の下に遊動体１１２を設けるように構成すると、昇降アーム１０４から揺動体１０８までの機構が直列に配置されることとなる。
そのため、試験装置用ハンド１００は大きくならざるを得ず、その結果、試験装置全体も広いスペースが必要となる。
特に、試験を早く終わらせて歩留まりを良くしようとすると、複数のＩＣ２００を同時に試験することが必要になり、複数の試験装置用ハンド１００を同一の試験装置内に収容することとなる。そうすると、この試験装置用ハンド１００の寸法が大きいと、更に試験装置が大型化し、経済効率が悪化する。
【０００８】
本発明の目的は、上述の課題を解決するためのものであり、試験対象物を精度よく測定用ソケットに押圧するとともに、試験装置も小型化できる試験装置用ハンド及び試験装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、請求項１の発明によれば、試験対象物を測定用ソケットに押圧するための昇降手段と、この昇降手段に少なくとも揺動体を介して前記試験対象物を保持する保持手段とを有する試験装置用ハンドであって、前記揺動体は、揺動する揺動部本体と、この揺動部本体を揺動させるための膜状に配置した膜状弾性部材と、この膜状弾性部材を支持する支持部材と、を備えることを特徴とする試験装置用ハンドにより達成される。
【００１０】
請求項１の構成によれば、試験装置用ハンドは、昇降手段と、この昇降手段に少なくとも揺動体を介して前記試験対象物を保持する保持手段とを有する。したがって、昇降手段で試験対象物を測定用ソケットに押圧することができ、また、例えば測定用ソケットが傾いて載置されたりしても、この揺動体が揺動しながら測定用ソケットの傾きに追従するために、試験対象物を測定用ソケットの面に均一に押圧することができる。
【００１１】
また、この揺動体は、揺動する揺動部本体と、この揺動部本体を揺動させるために膜状に配置した膜状弾性部材と、この膜状弾性部材を支持する支持部材とを備える。すなわち、揺動する揺動部本体は、支持部材に支持された弾性部材の弾力によって揺動するが、この弾性部材は、例えば昇降手段の昇降方向を上下とした場合に左右方向に膜状に配置される。そして、この膜状の弾性部材に揺動部本体を接着あるいは固定する等して、揺動部本体は配置される。
したがって、前記揺動体によれば、従来の垂下したバネの先端に揺動部本体を設けるような揺動体に比べて、昇降手段の昇降方向の厚みを極く薄く構成することができる。
これにより、本発明によれば、試験対象物を精度よく測定用ソケットに押圧するとともに、試験装置も小型化できる試験装置用ハンドを提供できる。
【００１２】
また、好ましくは、請求項２の発明によれば、請求項１の構成において、前記揺動体は、前記支持部材と前記膜状弾性部材及び／又は前記揺動部本体とにより密閉空間を形成し、この密閉空間内の圧力を調整する圧力調整手段を備えることを特徴とする。
【００１３】
請求項２の構成によれば、前記揺動体は、前記支持部材と前記膜状弾性部材及び／又は前記揺動部本体とにより密閉空間を形成する。すなわち、揺動体の内部には所定の密閉された空間が設けられるが、この空間を作る壁の一部は膜状弾性部材及び／又は揺動部本体によって形成される。
そして、請求項２の構成によれば、この密閉空間内の圧力を調整する圧力調整手段を備える。すなわち、上述の密閉空間内の圧力を加圧又は減圧することができる。そうすると、例えば、密閉空間内に正圧を供給すると、前記膜状弾性部材及び／又は揺動部本体等によって形成される密閉空間の容積が変化して推力が発生する。
【００１４】
一方、試験装置用ハンドは、上述のように、少なくとも揺動体を介して保持手段を有しており、また、膜状弾性部材は、例えば昇降手段の昇降方向を上下とした場合に左右方向に膜状に配置され、揺動部本体はこの膜状弾性部材に設けられている。
したがって、膜状弾性部材及び／又は揺動部本体は、例えば密閉空間内に正圧を供給すると、昇降手段の昇降方向を上下とした場合の下方に押し出され、この揺動部本体を介して配置される保持手段も下方に押し出される。
【００１５】
ここで、本試験装置で試験対象物の形状や端子数が異なる複数種の試験対象物の試験を行う場合に、この試験対象物を押圧する推力は、その試験対象物毎および測定用ソケット毎に異なる。
ところが、請求項２の構成によれば、上述のように密閉空間内に供給する圧力を調整することができるために、揺動部本体を下方に押し出す推力を調整することがきる。
これにより、請求項１と同様の作用を発揮し、さらに試験対象物の形状や物性等が異なる複数種の試験対象物を試験する場合であっても、この異なる複数種の試験対象物を適切に押圧をすることができる。
【００１６】
また、より好ましくは、請求項３の発明によれば、請求項２の構成において、
前記支持部材には、前記揺動部本体の一部を係止する係止部が形成されていることを特徴とする。
請求項３の構成によれば、前記支持部材に前記揺動部本体の一部を係止することができる係止部が設けられている。すなわち、前記密閉空間に膜状弾性部材の応力を超える所定の正圧を供給した場合に、この膜状弾性部材が撓んで膜状弾性部材に設けられた揺動部本体の一部が支持部材の係止部に係止され、揺動部本体は係止部によって規制される。そして、この係止された状態で、試験対象物が測定用ソケットに昇降手段により押圧されると、昇降手段の押圧力が、上述の正圧の供給により生じた推力よりも大きい場合には、揺動部本体は係止部から離れ、揺動しながら試験対象物を測定用ソケット面に均一に押圧する。
【００１７】
ここで、膜状弾性部材については、厚みが薄いほど本試験装置用ハンドを小型化できるが、厚みを薄くすればする程、耐用劣化に配慮しなければならない。
そこで、前記支持部材に前記揺動部本体の一部が係止することができる係止部を設けることで、上述のように揺動部本体は係止部によって規制され、無意味な膜状弾性部材の撓み等を防止することができる。
これにより、請求項２と同様の作用を発揮し、さらに試験装置用ハンドの小型化に伴う膜状弾性部材の劣化を防止して、精度よく試験対象物を押圧することができる。
【００１８】
より好ましくは、請求項４の発明によれば、請求項３の構成において、前記係止部と前記揺動部本体との間には、前記揺動部本体の揺動を規制するための揺動規制部が形成されていることを特徴とする。
【００１９】
請求項４の構成によれば、請求項３の構成において、前記係止部と前記揺動部本体との間には、前記揺動部本体の揺動を規制するための揺動規制部が形成されている。
すなわち、先ず係止部と揺動部本体との間に例えば所定の間隔を設け、この係止部に前記揺動規制部を設ける。したがって、揺動部本体が揺動する場合に、上述の所定の間隔内においては揺動するが、揺動しすぎると揺動規制部と揺動部本体とが接触して、それ以上の揺動部本体の揺動を抑える。
そうすると、揺動部本体に接着等された膜状弾性部材についても、必要以上に撓んだりすること等を抑えることができる。
これにより、請求項３と同様の作用を発揮し、さらにより効果的に膜状弾性部材の劣化を防止して、より精度よく試験対象物を押圧することができる。
【００２０】
また、請求項５の発明によれば、請求項１ないし４の構成において、前記揺動体に遊動手段を介して懸架される遊動体を備えることを特徴とする。
請求項５の構成によれば、前記揺動体に遊動手段を介して懸架される遊動体を備える。すなわち、遊動体は例えば鋼球などの遊動手段を介して懸架されている。そうすると、遊動体はＸ軸Ｙ軸θ軸方向に自在に移動することができ、この遊動体または遊動体を介して配置された保持手段もＸ軸Ｙ軸θ軸方向に自在に移動することができる。
これにより、請求項１ないし４と同様の作用を発揮し、さらに測定用ソケットをＸ軸Ｙ軸θ軸方向にずれて設置した場合であっても、より精度よく試験対象物を押圧することができる。
【００２１】
また、請求項６の発明によれば、請求項５の構成において、前記遊動体と前記揺動部本体とは、前記遊動体の位置を復元するための復元手段によって固定されていることを特徴とする。
請求項６の構成によれば、前記遊動体と前記揺動部本体とは、前記遊動体の位置を復元するための復元手段によって固定されている。具体的には、試験装置用ハンドには弾性体などの復元手段が配置されており、この復元手段の一部と遊動体とは固定されている。一方、この復元手段と揺動部本体も固定されている。
そして、上述のように、遊動手段により遊動体が移動すると、例えば弾性体などの復元手段は撓んだりして変形する。そうすると、遊動体が移動してもこの復元手段の応力等により、遊動体は元の位置に復元する。
これにより、請求項６と同様の作用を発揮し、さらに試験対象物の試験終了後に、遊動体を元の位置に復元し、以降の試験を容易にすることができる。
【００２２】
また、上述の目的は、請求項７の発明によれば、試験対象物を測定用ソケットに押圧するための昇降手段と、この昇降手段に少なくとも揺動体を介して前記試験対象物を保持する保持手段とを有するハンドを備える試験装置であって、前記揺動体は、揺動する揺動部本体と、この揺動部本体を揺動させるための膜状に配置した膜状弾性部材と、この膜状弾性部材を支持する支持部材と、を備えることを特徴とする試験装置により達成される。
請求項７の構成によれば、請求項１と同様に、試験対象物を精度よく測定用ソケットに押圧するとともに、試験装置も小型化できコストダウンが可能な試験装置となる。
【００２３】
また好ましくは、請求項８の発明によれば、請求項７の構成において、前記揺動体は、前記支持部材と前記膜状弾性部材及び／又は前記揺動部本体とにより密閉空間を形成し、この密閉空間内の圧力を調整する圧力調整手段を備えることを特徴とする。
請求項８の構成によれば、請求項２と同様に試験対象物の形状や物性等が異なる複数種の試験対象物を適切に押圧することができる。
【００２４】
また好ましくは、請求項９の発明によれば、請求項７または８の構成において、前記試験装置に複数の前記ハンドを備えることを特徴とする。
これにより、小型化した複数のハンドを用いて、一つの試験装置をもって複数の試験対象物の試験をすることができる。
したがって、請求項８または９と同様の作用を発揮し、さらに試験時間を短縮化して歩留まりを良くすることができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
図１は本試験装置の平面図であり、図２は図１のトップカバー５を取り外した概略平面図である。なお、この図における矢印は試験対象物であるＩＣの搬送過程を示す。
【００２６】
図１及び図２においては、先ずＹ軸上に移動することができる機構を有する供給側トレイローダ１０上にトレイ１２ａが載置されており、このトレイ１２ａ上には、試験対象物である例えばＩＣ（半導体集積回路装置）３が複数個載置されている。
この供給側トレイローダ１０の近傍には、図２に示されるように、加温器１４が配置されている。この加温器１４は、ＩＣ３を試験前に加温するためのものである。すなわち、ＩＣ３の試験をする前にＩＣ３を加温することで、ＩＣ３の高温下における電気的特性を試験することができる。
【００２７】
そして、この加温器１４の近傍には、搬送用シャトル１６ａと搬送用シャトル１６ｂとが配置されている。この搬送用シャトル１６ａ，１６ｂは、ＩＣ３を測定部２０の近傍に搬送し、また測定部２０で試験を終えたＩＣ３を搬送するためのシャトルである。
また、搬送用シャトル１６ａと搬送用シャトル１６ｂとは、測定部２０を挟んで平行に配置され、各々Ｘ軸方向に独立して移動を行うことができる。したがって、２つの搬送用シャトル１６ａ，１６ｂをもって、ＩＣ３を交互に測定部２０の近傍に移動させることで、ＩＣ３を効率よく測定部２０に移動させることができ、ＩＣ３の試験時間を短縮化して歩留まりを良くすることができる。
【００２８】
なお、供給側トレイローダ１０から加温器１４に、また加温器１４から搬送用シャトル１６ａ，１６ｂに、ＩＣ３を搬送するための手段として、Ｘ軸Ｙ軸Ｚ軸方向に移動することができる搬送ロボット１１が配置されている。
【００２９】
そして、この搬送用シャトル１６ａ，１６ｂの上方には、ＩＣ３を測定部２０まで移動することができる試験装置用ハンド３０が配置されている。また、搬送用シャトル１６ａ，１６ｂに挟まれて、ＩＣ３の試験を行うための測定部２０が配置されている。
図３はこの試験装置用ハンド３０が測定部２０の上方に移動した際の概略平面図であり、図４は試験装置用ハンド３０が測定部２０の上方に移動した際の概略正面図である。
【００３０】
この試験装置用ハンド３０は、ＩＣ３を保持して、このＩＣ３を測定用ソケット５２に挿入押圧するためのものであり、ＩＣ３を測定用ソケット５２に挿入押圧するために昇降手段、例えば昇降アーム６０が設けられている。
そして、この図では試験装置用ハンド３０には、昇降アーム６０の他に、測定用ソケット５２の傾きに追従してＩＣ３を測定用ソケット５２の面に均一に押圧するために揺動する揺動体３３を備えている。また、この揺動体３３に懸架することで配置されてＸ軸Ｙ軸θ軸方向に遊動する遊動体４０を備えている。また、この遊動体４０内に配置され、ＩＣ３を保持する保持手段である例えば吸着器４９を収容する圧接体４８を備えている。
この揺動体３３および遊動体４０等については、後で詳細に説明する。
【００３１】
また、測定部２０には、図４に示されるように、押圧されたＩＣ３のリード５に電気信号を送ってＩＣ３の電気的特性等を試験するための測定用ソケット５２、及び電気信号を制御するための基板５４、並びに測定用ソケット５２と基板５４を電気的に接続するためのレセプタクル（コネクタ）５１が配置されている。
なお、測定用ソケット５２は、レセプタクル（コネクタ）５１を介さずに、測定用ソケット５２と基板５４を電気的に接続配線してもよい。
この測定用ソケット５２は、ソケット取付板５０によって取付けられており、基板５４と着脱することができ、試験対象物であるＩＣ３の種類に応じて、形状等の異なる測定用ソケット５２と交換することができる。
測定用ソケット５２には、プローブまたはピン５６が設けられており、このプローブまたはピン５６にＩＣ３のリード５が押圧してＩＣ３の電気的特性等の試験を行う。
【００３２】
そして、図２では、搬送用シャトル１６ｂの近傍に、試験が終了したＩＣ３を載置する複数枚の収納トレイ１２ｂが配置され、この収納トレイ１２ｂをＹ軸上に移動させることができる機構を有する収納側トレイアンローダ１９が配置されている。
このように、複数枚の収納トレイ１２ｂを配置することで、測定部２０で試験を終えたＩＣ３を、試験結果によって良品,不良品それぞれ対応した収納トレイ１２ｂに収納することができる。
また、この収納側トレイアンローダ１９の近傍には、収納側トレイアンローダ１９上に載置されずＹ軸上に移動することがない固定トレイ１８が配置されており、この固定トレイ１８上にも、試験終了後のＩＣ３を載置することができる。
【００３３】
なお、搬送用シャトル１６ａ，１６ｂから収納側トレイ１２ｂ或いは固定トレイ１８に、ＩＣ３を搬送するための手段として、Ｘ軸Ｙ軸Ｚ軸方向に移動することができる搬送ロボット１３が配置されている。
【００３４】
次ぎに、試験装置用ハンド３０に関する実施形態を説明する。
図５および図６は図３のＡ−Ａ線拡大端面図であり、図５はハンド３２を測定用ソケット５２に押圧する前の図であり、図６はハンド３２を測定用ソケット５２に押圧した際の図である。なお、図示では測定用ソケットの傾きを極端な形で示しているが、この傾きは装置ごとに異なるものであり、この図に限定されるものではない。
この図において、ハンド３２は揺動体３３と、この揺動体３３に遊動手段４２を介して懸架した遊動体４０と、この遊動体４０に設けられ、保持手段例えば吸着器４９を収容した圧接体４８とを備えている。
【００３５】
ここで、揺動体３３は揺動しながら測定用ソケット５２の傾きに追従し、ＩＣ３を測定用ソケット５２の面に均一に押圧するための手段である。具体的には、揺動体３３は揺動する揺動部本体３４と、この揺動部本体３４の例えば表面に接着して揺動部本体３４を揺動させるための膜状弾性部材である例えばゴム膜３５と、このゴム膜３５を支持するための支持部材３６を備えている。
【００３６】
具体的には、この図における支持体３６は２つのパーツに分割されており、この２つのパーツにゴム膜３５を挟み込み、ネジ３７等でこの２つのパーツを結合させてることで、ゴム膜３５を支持している。
このように、ゴム膜３５を挟み込んでネジ３７で支持体３６の２つのパーツを結合させることにより、ゴム膜３５が経年劣化したりその他ゴム膜３５の交換をしたい場合に、容易に交換することができる。
【００３７】
そして、この支持体３６に支持されたゴム膜３５は、昇降アーム６０の昇降方向と直交する方向に薄膜状に配置され、このゴム膜３５に揺動部本体３４が接着等されている。これにより、ゴム膜３５は昇降アーム６０の昇降方向と直交する方向に薄膜状に配置されているので、ハンド３５の昇降方向の厚みを薄くすることができ、このハンド３５を有する試験装置を小型化して経済効率を上げることができる。
なお、図５および図６においては、ゴム膜３５は揺動部本体３４の上部表面に接着等されて配置しているが、このゴム膜３５の配置方法の変形例を示す図７（ａ）（ｂ）に示すように、ゴム膜３５を揺動部本体３４に通すように配置したり、揺動部本体３４の表面を覆うように配置してもよい。また、ゴム膜３５は揺動部本体３４と接着されていなくてもよい。
【００３８】
ここで、ゴム膜３５はバネ等の弾性体と比べて劣化する時間が早く、特に、本実施形態のように薄膜状に配置され、かつ揺動することになると尚更である。そして、ゴム膜３５が劣化すると、ＩＣ３を測定用ソケット５２面に均一に押圧して、精度よく押圧できなくなってしまう。
そのため、ゴム膜３５は劣化し難い材質のものを用いる必要があり、シリコーンゴム、フッ素ゴム、ニトリルゴム、或いはエピクロルヒドリンゴム等を用いることが望ましい。
【００３９】
しかし、このようなゴム膜３５を用いた場合であっても、揺動部本体３４が揺動しすぎると多少の劣化は避けられない。一方、近年のＩＣ３は小型化薄型化されていることから、ＩＣ３に係合した端子５が細く軟弱なために不均一に押圧すると端子５が屈曲してしまうなどの弊害が起きるため、ゴム膜３５の多少の劣化を回避する必要がある。
そこで、本実施形態においては、揺動部本体３４が必要以上揺動して、膜状弾性部材３５が撓んだりしすぎないように、図５および図６に示されるように、揺動部本体３４が支持部材３６に係止されるように係止部３９が設けられている。
【００４０】
さらに、本実施形態においては、以下のようにゴム膜３５の劣化を回避するために、揺動部本体３４が必要以上に揺動することを規制する揺動規制部を上記係止部３９に設けている。
図８はこの揺動規制部を説明するための図であり、揺動部本体３４が係止部３９に係止されていない図である。
この図においては、先ず係止部３９の中心に向かう内部側壁３６ａと、揺動部本体３４の内部側壁３６ａと対向する側壁３４ａに空間Ｓ１を設けている。すなわち、この空間Ｓ１は揺動部本体３４が揺動することができるための空間となる。
ところが、この空間Ｓ１を形成する係止部３９の内部側壁３６ａと揺動部本体３４の側壁３４ａとの距離Ｗ１が離れすぎていると、揺動部本体３４は無意味に揺動してゴム膜３５の劣化を早めることとなる。そのため、この図においては、係止部３９の内部側壁３６ａと揺動部本体３４の側壁３４ａとの距離Ｗ１の距離を、揺動部本体３４が最大でも角度が０．５度だけ揺動するように、適宜に設定した揺動規制部としての係止部３９の内部側壁３６ａを設ける。
【００４１】
また、図９は図８のＣ−Ｃ線端面図である。この図では、揺動部本体３４の一部に凹部３７が設けられている。そして、支持部材３６側にはこの凹部３７に入り込むように第２の揺動規制部としての凸部３８が設けられている。そうすると、揺動部本体３４がθ方向に回転すると、この凸部３８が凹部３７の壁面に当接し、揺動部本体３４が必要以上にθ方向に回転することを防止することができる。これにより、ゴム膜３５の必要以上の撓み等を防止して、ゴム膜３５の劣化を回避することができる。
【００４２】
また、図４ないし図６に示されるように、揺動体３３には、膜状弾性部材３５と支持部材３６とにより密閉空間Ｓ３が設けられている。そして、この密閉空間Ｓ３の上面には、圧力調整手段７０から空気が出入りするための空気孔７２が設けられている。すなわち、この密閉空間Ｓ３を作る壁の一部は膜状弾性部材によって形成されているため、この密閉空間Ｓ３に圧力調整手段から正圧を供給すると、この密閉空間Ｓ３の一部の壁を作る膜状弾性部材は、密閉空間Ｓ３を広げようとして下方に撓み、その結果、揺動部本体３４が下方に押出されようとする。
【００４３】
ところが、上述のように、支持部材３６には係止部３９が設けられているため、揺動部本体３４はこの係止部３９に係止される。
そして、この揺動部本体３４が係止部３９に係止された状態で昇降アーム６０が下降し、ハンド３２を測定用ソケット５２に圧力調整手段７０により加えた圧力よりも大きい力で押しつける。そうすると、図６に示すように、揺動部本体３４は係止部７９から離れて、揺動しながら測定用ソケット５２の傾きに追従し、ＩＣ３を測定用ソケット５２の面に均一に押圧することができる。
【００４４】
また、ＩＣ３の種類が異なるとＩＣ３を測定用ソケット５２に押圧する力も変更しなければならないことから、圧力調整手段７０は供給する圧力を調整することができる。
図１１は、この圧力調整手段７０の概略ブロック図である。
この図においては、データベース７２にはＩＣ３の種類毎に押圧すべき力、すなわち揺動部本体３４の推力が記憶されている。そして、入力部７４で試験を受けるＩＣ３の種類を入力すると、データベース７２がこの推力を制御部７６に出力する。そうすると、制御部７６は例えば密閉空間Ｓ３内に加える圧力を発生する空気量を計算する。すなわち、揺動部本体３４が下方に押出される推力は、膜状弾性部材３５の受圧面積と正圧の積で求められるが受圧面積は一定であるため、データベース７２から制御部７６に入力された推力から膜状弾性部材３５の受圧面積を割ることで正圧を求める。そして、この正圧に基いて駆動部７７がパイロット弁７８を駆動させ、所定の空気圧を密閉空間Ｓ３に加える。
【００４５】
このようにして、ＩＣ３の形状や物性等が異なる場合であっても、この異なるＩＣ３毎に適切に押圧することができる。
なお、本実施形態では上述の受圧面積は密閉空間Ｓ３を形成する膜状弾性部材３５の面積とイコールであるが、図７（ａ）に示すように、ゴム膜３５を揺動部本体３４に通すように配置した場合には、受圧面積は密閉空間Ｓ３を形成する膜状弾性部材３５と揺動部本体３４との面積を加算して求める。
【００４６】
また、図５または図６に示すように、このゴム膜３５に固定した揺動部本体３４と遊動体４０との間には遊動手段である例えばベアリング等の鋼球４２が配置され、この鋼球４２の周囲には空間Ｓ２が設けられている。したがって、遊動体４０はこの鋼球４２が転がるとともに空間Ｓ２をＸ軸Ｙ軸θ軸方向に移動することができる。これにより、遊動体４０に結合した圧接体４８内の吸着器４９、およびこの吸着器４９で保持されたＩＣ３がＸ軸Ｙ軸θ軸方向に移動し、測定用ソケットをＸ軸Ｙ軸θ軸方向にずれて載置した場合であっても、より精度よく試験対象物を押圧することができる。
【００４７】
また、ハンド３２には、遊動体４０がＸ軸Ｙ軸θ軸方向に移動したとしても、遊動体４０を元の位置に戻す復元手段が配置されている。
図１０はこの復元手段を説明するための図４のＢ−Ｂ線端面図である。この図において、揺動部本体３４は復元手段である例えば板バネ４４に４方向で接している。また、この板バネ４４は遊動体４０に設けられた固定ピン４６等とも固定されている。そうすると、遊動体４０が例えばＸ軸方向に移動すると、Ｙ軸方向にある板バネ４４がＸ軸方向に撓み、板バネ４４の応力により遊動体４０は元の位置に戻ろうとする。また、同様にして遊動体４０がＹ軸方向或いはθ軸方向に移動しても、板バネ４４の応力によって、遊動体４０は元の位置に戻ろうとする。
これにより、ＩＣ３の試験終了後に遊動体４０を元の位置に復元することで、次ぎに試験を受けるＩＣ３の吸着がし易くなり、勘合部の摩耗を低減することができる。
なお、本実施の形態では、復元手段に板バネを用いるが、その他にもコイルばね（圧縮ばね、引っ張りばね）、ゴム等の弾性体等を用いてもよい。
【００４８】
本実施の形態に係る試験装置１は以上のように構成されるが、以下、その動作等について、測定部２０を中心に説明する。
先ず、図１に示すように、先ず試験装置１のトップカバー５に覆われていない供給側トレイローダ１０の上にトレイ１２ａを載置する。このトレイ１２ａ上には、試験対象物である例えばＩＣ３がＸＹ軸上に複数列並んでいる。そうすると、図２に示されるように、供給側トレイローダ１０はトップカバー５に覆われるＹ軸方向に移動する。
その後、搬送ロボット１１が、供給側トレイローダ１０上のトレイ１２に載置されたＩＣ３を加温器１４に載置する。そして、ＩＣ３を加温すると、搬送ロボット１１がＩＣ３を例えば搬送用シャトル１６ａに搬送する。
【００４９】
その後、搬送用シャトル１６ａは測定部２０の近傍に移動する。そして、例えば４個のハンド３２を備える試験装置用ハンド３０が、測定部２０近傍に移動してきた４個のＩＣ３を、図４に示されるように吸着等して持ち上げて、測定部２０の上に移動する。
このように、試験装置用ハンド３０に複数のハンド３２を備え、これらのＩＣ３を同時に試験することで、試験時間を短縮化して歩留まりを良くすることができる。なお、ハンド３２とソケット５２は３個以下であっても、或いは５個以上であっても勿論よい。
【００５０】
この際、図５に示されるように、圧力調整手段７０で揺動体３３の内部に形成された密閉空間Ｓ３内に正圧が加えられている。そうすると、膜状弾性部材３５が下方に撓むとともに膜状弾性部材３５に固定した揺動部本体３４が下方に押され、揺動部本体３４は支持部材３６に設けられた係止部３９に懸架する。
この状態で、図４に示す昇降アーム６０が下降し、吸着器４９で保持されたＩＣ３を測定用ソケット５２に当接する。
【００５１】
その後、昇降アーム６０はさらに測定用ソケット５２にＩＣ３を押しつける。
そうすると、図６に示されるように、揺動部本体３４は係止部３９から離れ、膜状弾性部材３５が撓んだりしながら揺動部本体３４は揺動し、測定用ソケット５２が例えば傾いて載置されていた場合であっても、揺動しながら測定用ソケット５２の傾きに追従し、ＩＣ３を測定用ソケット５２面に均一に押圧する。
また、測定用ソケット５２がＸ軸Ｙ軸θ軸方向にズレて載置された場合であっても、揺動部本体３４と遊動体４０との間に配置された遊動手段である例えば鋼球４２が転がるとともに、この鋼球４２の周囲に設けられた空間Ｓ２を遊動体４０がＸ軸Ｙ軸θ軸方向に遊動し、ＩＣ３をより精度よく試験対象物を押圧することができる。そして、測定用ソケット５２に押圧したＩＣ３の試験を行う。
【００５２】
なお、この試験の間、搬送ロボット１１は加熱器１４上にあるＩＣ３を搬送用シャトル１６ｂに搬送しておき、搬送用シャトル１６ｂは測定部２０近傍に移動している。
そして、搬送用シャトル１６ａから搬送されたＩＣ３の試験が終了して、ＩＣ３が搬送用シャトル１６ａ上にあるトレイに戻されると、入れ替わるよう搬送用シャトル１６ｂの上にあるＩＣ３を試験装置用ハンド３０が吸着等して持ち上げ、測定部２０に配置された測定用ソケット５２にＩＣ３を上述と同様に押圧して電気的特性を試験する。
このように、搬送用シャトル１６ａ，１６ｂからＩＣ３を交互に測定部に移動させることで、ＩＣ３の試験時間を短縮化して歩留まりを良くすることができる。
【００５３】
その後、試験を終えたＩＣ３は、図２に示すように、搬送用シャトル１６ａまたは１６ｂで測定部２０近傍から搬出され、搬送ロボット１３により収納側トレイアンローダ１９に載置される。そして、この収納側トレイアンローダ１９がトップカバー５に覆われていないＹ軸方向に移動して本試験装置内の試験を終了する。
【００５４】
本発明の実施形態は、以上のように構成され、動作等するが、本発明においては、上記実施の形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。
そして、上記実施の形態の構成は、その一部を省略したり、上述していない他の任意の組合せに変更することができる。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、試験対象物を精度よく測定用ソケットに押圧する揺動体を構成し、かつ試験装置を小型化して経済効率を上げる試験装置用ハンドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  ハンドを備える試験装置の平面図。
【図２】  図１のトップカバーを取り外した概略平面図
【図３】  試験装置用ハンドが測定部の上方に移動した際の概略平面図。
【図４】  試験装置用ハンドが測定部の上方に移動した際の概略正面図
【図５】  図３のＡ−Ａ線拡大端面図であり、ハンドを測定用ソケットに押圧する前の図。
【図６】  図３のＡ−Ａ線拡大端面図であり、ハンドを測定用ソケットに押圧した際の図。
【図７】  ゴム膜の配置方法の変形例を示す図であり、（ａ）はゴム膜を揺動部本体に通すように配置した図、（ｂ）はゴム膜を揺動部本体の表面を覆うように配置した図。
【図８】  揺動規制部を説明するための揺動部本体が係止部に係止されていない図。
【図９】  図８のＣ−Ｃ線端面図
【図１０】  復元手段を説明するための図４のＢ−Ｂ線端面図
【図１１】  圧力調整手段の概略ブロック図
【図１２】  ＩＣを測定用ソケットに押圧する際の従来の試験装置用ハンドの断面図。
【符号の説明】
１・・・試験装置
３・・・ＩＣ
３０，１００・・・試験装置用ハンド
３２・・・ハンド
３３・・・揺動体
３４，１０８・・・揺動部本体
３５・・・膜状弾性部材
３９・・・係止部
３６ａ，３８・・・揺動規制部
Ｓ３・・・密閉空間
４０，１１２・・・遊動体
４２・・・遊動手段
４４・・・板バネ
４６・・・固定ピン
４９，１０２・・・吸着器
５２，１２０・・・測定用ソケット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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