(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送指示情報と生産指示情報とを出力する管理手段と、
前記搬送指示情報に応じて生産ロットを搬送し、前記生産ロットの搬送状態を示す第１の状態情報を出力する搬送手段と、
前記生産指示情報に応じて選択された前記生産ロットを含む生産ロット群にバッチ処理を施す製造装置を含み、前記生産ロットの製造処理状態を示す第２の状態情報を出力する製造手段と、
を含む生産管理装置であって、
前記管理手段は、前記生産ロットに付与された第１の優先度を用いて、前記第１の状態情報と前記第２の状態情報と前記生産ロットの属性を含むロット情報とのうちの少なくともいずれか一つに応じて、前記生産ロット群の第２の優先度を生成し、前記第２の優先度に対応した前記搬送指示情報と前記生産指示情報とを出力するものであることを特徴とする生産管理装置。
【請求項２】
請求項１記載の生産管理装置において、
前記第２の優先度は、前記ロット情報と前記第１の状態情報と前記第２の状態情報とのうちの少なくともいずれか一つに応じて選択される、最大値選択ルールと平均値選択ルールと合計値選択ルールと荷重平均値選択ルールとのいずれか一つによって算出されるものであることを特徴とする生産管理装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の生産管理装置において、
前記管理手段は、前記第１の状態情報と前記第２の状態情報とに応じて前記ロット情報を更新し、
前記搬送指示情報と前記生産指示情報とは、前記ロット情報を含むことを特徴とする生産管理装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の生産管理装置において、
前記ロット情報は、生産ロットの種類、生産ロットの納期、生産ロットに加える前記バッチ処理の内容、生産ロットに加える前記バッチ処理の進捗状況、生産ロットの保管場所及び生産ロットの搬送先の情報の少なくともいずれか一つを含むことを特徴とする生産管理装置。
【請求項５】
搬送指示情報と生産指示情報とを出力する第１の過程と、
前記搬送指示情報に応じて生産ロットを搬送し、前記生産ロットの搬送状態を示す第１の状態情報を出力する第２の過程と、
前記生産指示情報に応じて選択された前記生産ロットを含む生産ロット群にバッチ処理を施し、前記生産ロットの製造処理状態を示す第２の状態情報を出力する第３の過程と、
を含む生産管理方法であって、
前記第１の過程において、前記生産ロットの属性を示すロット情報と前記第１の状態情報と前記第２の状態情報のうちの少なくともいずれか一つに応じて、前記生産ロット群の優先度を生成し、前記第２の優先度に対応した前記搬送指示情報と前記生産指示情報とを出力することを特徴とする生産管理方法。
【請求項６】
請求項５記載の生産管理方法において、
前記第２の優先度は、前記ロット情報と前記第１の状態情報と前記第２の状態情報とのうちの少なくともいずれか一つに応じて選択される、最大値選択ルールと平均値選択ルールと合計値選択ルールと荷重平均値選択ルールとのいずれか一つによって算出されるものであることを特徴とする生産管理方法。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の生産管理方法において、
前記第１の過程は、前記第１の状態情報と前記第２の状態情報とに応じて前記ロット情報を更新し、
前記搬送指示情報と前記生産指示情報とは、前記ロット情報を含むことを特徴とする生産管理方法。
【請求項８】
請求項５から７のいずれかに記載の生産管理方法において、前記ロット情報は、生産ロットの種類、生産ロットの納期、生産ロットに加える前記一括処理の内容、生産ロットに加える前記一括処理の進捗状況、生産ロットの保管場所及び生産ロットの搬送先の情報のうち少なくともいずれか一つを含むことを特徴とする生産管理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、例えば、単一の生産ラインにおいて多品種の集積回路を混合して生産する半導体プロセス等に用いて好適な生産管理装置および該装置を用いた生産管理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知のように、近年では、コンピュータと生産設備とをリンクさせ、生産計画から生産工程までをこのコンピュータによって一元的に管理するシステムが各種開発されている。このようなシステムは、例えば、メモリＩＣ等の集積回路を生産するプロセスにも適用されている。ここで言うプロセスとは、集積回路が形成されるウエハ上に絶縁膜を堆積させるＣＶＤ工程や、半導体表面に不純物を導入させる拡散工程などである。これら工程では、各品種に対応した生産ロットのウエハが混合した状態で半導体製造装置に搬入され、前処理、炉処理および後処理が順次施される。
【０００３】
ところで、上記各工程では、各品種に対応した生産ロット毎のウエハが半導体製造装置において一括して処理されるため、この半導体製造装置でなされる一連の処理は、バッチ処理と総称されている。このバッチ処理は、各生産ライン毎に配設される半導体製造装置において各々行われる。したがって、生産ライン全体では、異なった処理条件のバッチ処理が複数同時に行われるため、並列処理として見なせる。そこで、このような並列処理を効率良く実行させる生産管理システムが必要になる訳である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来の生産管理システムにあっては、半導体製造装置においてなされるバッチ処理が複数同時に存在する場合、どのバッチ処理を優先して実行するかを選択する必要がある。すなわち、このような場合、ホストコンピュータは予め定められた選択ルールに従い、複数存在するバッチ処理に対して各々優先度を付与し、この内、最も優先度の高いバッチ処理を選択して実行させるようにしている。
【０００５】
以下では、この選択ルールについて順次説明を加える。なお、この説明では、次の定義に基づく用語を用いる。まず、複数存在するバッチ処理の個々を「処理バッチ」と称する。したがって、この「処理バッチ」は、上述したように、各品種に対応した複数の生産ロットから形成されるものである。次に、選択ルールの代表例について示す。
【０００６】
▲１▼最大値選択ルール：このルールでは、まず、処理バッチを形成する各生産ロット毎の優先度を求め、この中で最も高い優先度をその処理バッチの優先度として代表させる。次いで、こうして優先度が規定された各処理バッチの内、最も高い優先度を持つ処理バッチが選択される。
【０００７】
▲２▼平均値選択ルール：この場合、各生産ロット毎の優先度の平均値を求め、この平均値をその処理バッチの優先度として代表させる。次いで、こうして優先度が規定された各処理バッチの内、最も高い優先度を持つ処理バッチが選択される。
【０００８】
▲３▼合計値選択ルール：この場合、各生産ロット毎の優先度の合計値を求め、この合計値をその処理バッチの優先度として代表させる。次いで、こうして優先度が規定された各処理バッチの内、最も高い優先度を持つ処理バッチが選択される。
【０００９】
これら各ルールは、それぞれに特有の性質を有しており、例えば、上記▲１▼項に示した最大値選択ルールは、生産ロット数の大小に関係なく、一意的に最も高い優先度の処理バッチを選択するので、生産効率よりも納期を重視する際に適用されることになる。また、上記▲２▼〜▲３▼項に示すルールでは、生産量と各生産ロットの優先度とを考慮したものになる。
【００１０】
ところで、従来の生産管理システムでは、上述した各種ルールの内のいずれかを固定的に用いる場合が多い。すなわち、生産ロット数が一定で生産量も変動しない定常的な生産ラインでは、所望の生産形態をとるようなルールを１つ定めておけば良いからである。しかしながら、生産ロット数および生産量の両者が共に大きく変動する現状においては、生産状況に応じて最適な優先順位を設定することができないという問題がある。
【００１１】
この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、時々刻々と変化する生産状況に応じて最適な優先順位を設定することができる生産管理装置および該装置を用いた生産管理方法を提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
（１）  本発明の生産管理装置は、
搬送指示情報と生産指示情報とを出力する管理手段と、
前記搬送指示情報に応じて生産ロットを搬送し、前記生産ロットの搬送状態を示す第１の状態情報を出力する搬送手段と、
前記生産指示情報に応じて選択された前記生産ロットを含む生産ロット群にバッチ処理を施す製造装置を含み、前記生産ロットの製造処理状態を示す第２の状態情報を出力する製造手段と、
を含む生産管理装置であって、
前記管理手段は、前記生産ロットに付与された第１の優先度を用いて、前記第１の状態情報と前記第２の状態情報と前記生産ロットの属性を含むロット情報とのうちの少なくともいずれか一つに応じて、前記生産ロット群の第２の優先度を生成し、前記第２の優先度に対応した前記搬送指示情報と前記生産指示情報とを出力するものであることを特徴とする。
（２）  また、本発明の生産管理装置は、上記（１）に記載の生産管理装置において、
前記第２の優先度は、前記ロット情報と前記第１の状態情報と前記第２の状態情報とのうちの少なくともいずれか一つに応じて選択される、最大値選択ルールと平均値選択ルールと合計値選択ルールと荷重平均値選択ルールとのいずれか一つによって算出されるものであることを特徴とする。
（３）  また、本発明の生産管理装置は、上記（１）又は（２）に記載の生産管理装置において、
前記管理手段は、前記第１の状態情報と前記第２の状態情報とに応じて前記ロット情報を更新し、
前記搬送指示情報と前記生産指示情報とは、前記ロット情報を含むことを特徴とする。
【００１３】
（４）また、本発明の生産管理装置は、上記（１）から（３）のいずれかに記載の生産管理装置において、
前記ロット情報は、生産ロットの種類、生産ロットの納期、生産ロットに加える前記バッチ処理の内容、生産ロットに加える前記バッチ処理の進捗状況、生産ロットの保管場所及び生産ロットの搬送先の情報の少なくともいずれか一つを含むことを特徴とする。
【００１４】
（５）  また、本発明の生産管理方法は、
搬送指示情報と生産指示情報とを出力する第１の過程と、
前記搬送指示情報に応じて生産ロットを搬送し、前記生産ロットの搬送状態を示す第１の状態情報を出力する第２の過程と、
前記生産指示情報に応じて選択された前記生産ロットを含む生産ロット群にバッチ処理を施し、前記生産ロットの製造処理状態を示す第２の状態情報を出力する第３の過程と、
を含む生産管理方法であって、
前記第１の過程において、前記生産ロットの属性を示すロット情報と前記第１の状態情報と前記第２の状態情報のうちの少なくともいずれか一つに応じて、前記生産ロット群の優先度を生成し、前記第２の優先度に対応した前記搬送指示情報と前記生産指示情報とを出力することを特徴とする。
（６）  また、本発明の生産管理方法は、上記（５）に記載の生産管理方法において、
前記第２の優先度は、前記ロット情報と前記第１の状態情報と前記第２の状態情報とのうちの少なくともいずれか一つに応じて選択される、最大値選択ルールと平均値選択ルールと合計値選択ルールと荷重平均値選択ルールとのいずれか一つによって算出されるものであることを特徴とする。
（７）  また、本発明の生産管理方法は、上記（５）又は（６）に記載の生産管理方法において、
前記第１の過程は、前記第１の状態情報と前記第２の状態情報とに応じて前記ロット情報を更新し、
前記搬送指示情報と前記生産指示情報とは、前記ロット情報を含むことを特徴とする。
【００１５】
（８）  また、本発明の生産管理方法は、上記（５）から（７）のいずれかに記載の生産管理方法において、
前記ロット情報は、生産ロットの種類、生産ロットの納期、生産ロットに加える前記一括処理の内容、生産ロットに加える前記一括処理の進捗状況、生産ロットの保管場所及び生産ロットの搬送先の情報のうち少なくともいずれか一つを含むことを特徴とする。
【００１６】
【作用】
この発明による生産管理装置によれば、管理手段が生産ロットの優先度を含むロット情報と生産状況とに応じて生産指示情報を発生し、搬送手段がこの生産指示情報に従って所定の生産ロットを搬送すると共に、生産状況を表す第１の状態情報を出力する。一方、製造手段は搬送手段によって搬送される生産ロットに対し、前記生産指示情報に応じた内容の製造処理を施すと共に、生産状況を表す第２の状態情報を出力する。そして、管理手段は、同時に処理すべき複数の製造処理が存在する場合、これら製造処理の各々に対し、前記優先度と前記生産状況とに基づく新たな優先順位を設定する。
【００１７】
また、この発明による生産管理方法によれば、第１の過程では、優先度を含むロット情報と生産状況とに応じて生産指示情報が形成され、第２の過程では、この生産指示情報に従って所定の生産ロットが搬送されると共に、生産状況を表す第１の状態情報が生成される。さらに、第３の過程では、第２の過程において搬送された生産ロットに対し、前記生産指示情報に応じた内容の製造処理を施すと共に、生産状況を表す第２の状態情報が生成される。また、第１の過程においては、同時に処理すべき複数の製造処理が存在する場合、これら製造処理の各々に対し、前記優先度と前記生産状況とに基づく優先順位を設定する。
【００１８】
【実施例】
以下、図面を参照してこの発明の実施例について説明する。
【００１９】
Ａ．実施例の構成
図１はこの発明の一実施例である生産管理システムの概略構成を示すブロック図である。なお、この図に示す実施例は、半導体プロセス工場に適用した場合のシステム構成を示すものである。図において、１はシステム各部を監視および制御するホストコンピュータである。２はこのホストコンピュータ１とイーサネットＥＮ（イーサネットは登録商標である）を介して接続される搬送制御コンピュータである。
【００２０】
３は搬送装置であり、搬送制御コンピュータ２の指示の下に生産ロットを搬送する。４はイーサネットＥＮ（イーサネットは登録商標である）を介してホストコンピュータ１と接続される製造装置コントローラである。５−１〜５−Ｎは、それぞれ各生産ライン毎に配設される半導体製造装置であり、搬送装置３によって搬送された生産ロットに対し、前述したバッチ処理（半導体プロセス）を施す。
【００２１】
１ａは、ホストコンピュータ１によってアクセスされるロット情報管理ファイルである。ロット情報管理ファイル１ａには、各品種毎のロット情報がデータベースとして登録されている。このロット情報とは、予め策定された生産計画に基づいてホストコンピュータ１が生成した各生産ロット毎の識別データから構成されるものである。この識別データは、例えば、各生産ロット毎にその種類、優先度および納期を表すデータ、当該生産ロットに加えるバッチ処理の内容を示すデータ、あるいはバッチ処理の進捗状況を示すデータ、当該生産ロットの保管場所を示すデータ等から形成されている。
【００２２】
１ｂはイベント履歴ファイルである。このイベント履歴ファイル１ｂには、後述する生産イベントデータＩｓと搬送イベントデータＩｈとが登録される。生産イベントデータＩｓとは、製造装置コントローラ４から供給される情報であり、半導体製造装置５の生産状況を表すものである。また、搬送イベントデータＩｈとは、搬送制御コンピュータ２から供給される情報であり、搬送装置３の搬送状況を表すものである。これらデータは、イベント報告毎にイーサネットＥＮ（イーサネットは登録商標である）を介してホストコンピュータ１に供給され、その度毎にイベント履歴ファイル１ｂに更新登録される。こうしたファイル１ｂにより、ホストコンピュータ１は常にシステム全体の状態を把握することが可能になる。
【００２３】
ホストコンピュータ１は、イベント履歴ファイル１ｂの内容に基づき搬送装置３と半導体製造装置５との処理状況を把握すると共に、この把握した処理状況とロット情報管理ファイル１ａの内容とに応じて後述する生産指示データＤｓと搬送指示データＤｈとを発生する。また、これらデータを発生する際には、バッチ処理の優先度が付与される。
【００２４】
生産指示データＤｓは、製造装置コントローラ４に供給されるものであり、上述した各生産ロット毎の識別データに対してバッチ処理の優先度を付与させたものである。こうした生産指示データＤｓは、例えば、一日当り処理すべき生産ロット数分がリアルタイムでホストコンピュータ１から製造装置コントローラ４へ転送される。この転送された生産指示データＤｓは、一旦、製造装置コントローラ４に取込まれた後、生産指示ファイル４ａに格納される。
【００２５】
製造装置コントローラ４は、半導体製造装置５−１〜５−Ｎと接続され、これらの稼働状態をオンラインでモニタすると共に、それぞれの負荷状態を生産指示ファイル４ａの所定エリアに登録する。また、該コントローラ４は、各半導体製造装置５の負荷状態を勘案し、優先度に応じた生産指示データＤｓを所定の半導体製造装置５に供給する。例えば、最も高い優先度に設定されている生産指示データＤｓが軽負荷状態の半導体製造装置５に供給される。
【００２６】
半導体製造装置５−１〜５−Ｎは、供給された生産指示データＤｓを解釈し、バッチ処理を実行する。すなわち、生産指示データＤｓには、前述したように、搬入される生産ロットの種類や、処理条件などを表すデータが含まれているため、これらを解釈する訳である。また、この半導体製造装置５−１〜５−Ｎは、それぞれ自身の処理状況を製造装置コントローラ４側へ報告する。
【００２７】
この報告は、例えば、処理工程が移行したり、所定ロットの処理が完了した時などイベントが発生した場合になされるものである。なお、こうしたイベント報告は、該コントローラ４を介して生産指示ファイル４ａに更新登録される。そして、この更新登録の時点で、該コントローラ４が前述した生産イベントデータＩｓを生成し、これをホストコンピュータ１へ出力する。
【００２８】
次に、搬送指示データＤｈは、搬送制御コンピュータ２に供給されるものであり、上述した各生産ロット毎の識別データの内、生産ロットの保管場所や搬送先を表すデータを抽出し、これにバッチ処理の優先度を付与させたものである。こうした搬送指示データＤｈは、例えば、一日当り処理すべき生産ロット数分がリアルタイムでホストコンピュータ１から搬送制御コンピュータ２へ転送される。
この転送された搬送指示データＤｈは、一旦、搬送制御コンピュータ２に取込まれた後、搬送指示ファイル２ａに格納される。
【００２９】
搬送制御コンピュータ２は、搬送指示ファイル２ａに格納された搬送指示データＤｈを読み出し、これを搬送装置３に供給する。また、該コンピュータ２は、搬送装置３の稼働状態をオンラインでモニタし、各生産ラインへの搬送状態を搬送指示ファイル２ａの所定エリアに書込む。一方、搬送装置３は、供給された搬送指示データＤｈに基づき、所定の生産ロットを半導体製造装置５−１〜５−Ｎへ搬送する。
【００３０】
また、この搬送装置３は、自身の状態が変化した時、すなわち、搬送開始／搬送完了時に搬送制御コンピュータ２側へイベント報告する。こうしたイベント報告は、該コンピュータ２を介して搬送指示ファイル２ａに更新登録される。そして、この更新登録の時点で、該コンピュータ２が前述した搬送イベントデータＩｈを発生し、これをホストコンピュータ１へ出力する。
【００３１】
Ｂ．実施例の動作
次に、上記構成による実施例の動作について図２〜図１０を参照し、説明する。なお、ここでは、既に生産管理システムが稼働している状態にあり、ホストコンピュータ１が生産状況に応じてバッチ処理の優先度を決める動作について示す。この動作は、後述するメインルーチンと、バッチ化時刻計算ルーチンと、バッチ化ルーチンと、最優先バッチ決定ルーチンとから達成される。以下、これらルーチンの動作について順次説明を加える。
【００３２】
▲１▼メインルーチンの動作
システム各部の初期設定を経て各生産ラインが稼働されると、ホストコンピュータ１では、図２に示すメインルーチンが起動される。このメインルーチンが起動されると、図２に示すステップＳａ１に処理が進む。ステップＳａ１では、まず、仕掛りバッチ数が１以下であるか否かを判断する。すなわち、ホストコンピュータ１は、前述した生産イベントデータＩｓに基づき、各半導体製造装置５−１〜５−Ｎの処理状況をチェックする。
【００３３】
ここで、半導体製造装置５に生産指示を受けたバッチ処理が２つ以上あると、次のバッチ処理を指示することができないため、待機状態となる。なお、バッチ処理が２つ以上存在する場合とは、一方が仕掛り中にあり、他方が予約中にある場合を指す。そして、これに対し、仕掛りバッチ数が「０」、すなわち、半導体製造装置５に対して次の生産指示を与えていない場合には、後述のステップＳａ７に進む。
【００３４】
また、仕掛りバッチ数が「１」、すなわち、処理中のバッチ処理が存在する場合には、次のステップＳａ２に進む。ステップＳａ２では、仕掛りとなっているバッチ処理が拡散炉工程の処理を開始したか否かを判断する。ここで、半導体製造装置５が拡散炉による処理を開始していない場合には、この判断結果が「ＮＯ」となり、次のステップＳａ３に進み、拡散炉工程が開始される時期まで待機する。
【００３５】
一方、炉の処理が開始されている場合には、ステップＳａ２での判断結果が「ＹＥＳ」となり、ステップＳａ４に進む。ステップＳａ４では、バッチ化時刻計算ルーチンが実行され、次のバッチ処理を投入するタイミングが算出される。なお、このバッチ化時刻計算ルーチンの詳細については後述する。
【００３６】
次に、ステップＳａ５では、上記バッチ化時刻計算ルーチンにおいて算出されたバッチ化時刻になったか否かを判断する。ここで、バッチ化時刻になっていない場合には、この判断結果が「ＮＯ」となり、ステップＳａ６に進み、バッチ化時刻まで待機後、ステップＳａ７に進む。一方、バッチ化時刻になった場合には、判断結果が「ＹＥＳ」となり、ステップＳａ７に進む。
【００３７】
ステップＳａ７では、今回のバッチ化が最初のものであるか否かを判断する。
このバッチ化とは、後述するように、ホストコンピュータ１がロット情報に基づき生産指示データＤｓを発生する作業である。ここで、最初のバッチ化である場合、すなわち、生産ラインの立上がり時点では、生産状況に変化が起こらないなので、判断結果が「ＹＥＳ」となり、そのままバッチ化されるようになっている。一方、２回目以降のバッチ化では、生産状況の変化に対応したバッチ化が必要になるため、この判断結果が「ＮＯ」になり、次のステップＳａ８に進む。
【００３８】
すなわち、ステップＳａ８では、上記生産状況の変化に対応するため、在庫ロットの増加があるか否かを判断する。なお、この在庫ロットの変動は、ロット情報管理ファイル１ａを検索することで可能になる。ここで、在庫ロットの増加がない場合には、ロット情報管理ファイル１ａが更新登録されるまで待機し、一方、在庫ロットが増加されている場合には、判断結果が「ＹＥＳ」となり、次のステップＳａ９に進む。ステップＳａ９では、後述するバッチ化ルーチンが起動され、ロット情報に基づき生産指示がなされる。
【００３９】
そして、これ以後、上述したステップＳａ１〜Ｓａ９が繰返されることで、各生産ラインの生産状況が管理されることになる。なお、ホストコンピュータ１では、前述した生産イベントデータＩｓおよび搬送イベントデータに基づき生産完了毎にロット情報を更新しておき、この更新されたロット情報に従って、上述したバッチ化時刻計算やバッチ化がなされる。つまり、このメインルーチンは、時々刻々と変化する生産状況に対応する動作を規定している。
【００４０】
▲２▼バッチ化時刻計算ルーチンの動作
ホストコンピュータ１の処理が上述したステップＳａ４に進むと、図３に示すバッチ化時刻計算ルーチンが起動し、ステップＳｂ１が実行される。このステップＳｂ１では、現在、半導体製造装置５で処理中のバッチ処理が終了する終了予定時刻Ｔ１（図４参照）を算出する。次に、ステップＳｂ２に進むと、バッチ処理を構成する前処理工程の内で最も長いプロセス時間をロット情報から検索し、これを最長前処理時間Ｔｄ１（図４参照）として設定する。なお、ここで言う前処理工程とは、前述した拡散炉工程に移行する以前のウエハ洗浄処理などを指している。
【００４１】
次いで、ステップＳｂ３に進むと、上記最長前処理時間Ｔｄ１に対して補正を加えて補正最長前処理時間Ｔｄ２（図４参照）を算出し、次のステップＳｂ４に進む。なお、この補正とは、半導体製造装置５の負荷状況に対応した遅れ要素に相当する時間である。次に、ステップＳｂ４では、次のバッチ処理を投入するタイミングとなるバッチ化時刻Ｔｂを算出する。すなわち、上述した終了予定時刻Ｔ１から補正最長前処理時間Ｔｄ２を差し引き、さらに、設定可能な調整時間としてオフセット時間Ｔｏｓ分を差し引き、これによりバッチ化時刻Ｔｂ（図４参照）を求める。
【００４２】
このオフセット時間Ｔｏｓとは、次のバッチ処理を投入するタイミングについてマージンとなるものである。このようにしてバッチ化時刻Ｔｂを算出するのは、現在処理中のバッチ処理が終了すると同時に、すなわち、ジャスト・イン・タイムで次のバッチ処理を行わせるためである。このようにすることで、生産ラインの無駄を省くことが可能になり、効率良い生産形態となる。
【００４３】
▲３▼バッチ化ルーチンの動作
ホストコンピュータ１の処理が前述したステップＳａ９に進むと、図５に示すバッチ化ルーチンが起動し、ステップＳｃ１が実行される。ステップＳｃ１に進むと、次のバッチ処理を形成する生産ロットの候補リストを作成する。つまり、ホストコンピュータ１は、イベント履歴ファイル１ｂに登録されたイベント履歴から各生産ラインの生産状況を把握し、生産状況に対応した処理可能な生産ロットをロット情報管理ファイル１ａから読み出してリストアップする。
【００４４】
次いで、ステップＳｃ２，Ｓｃ３に進むと、リストアップされた生産ロットを各工程順に分類し、各工程毎のバッチリストを作成する。このバッチリストは、前述した生産指示データＤｓに相当するものである。次に、ステップＳｃ４に進むと、このバッチリストを構成する処理バッチの内、最も高い優先度の処理バッチを決める最優先バッチ決定ルーチンを実行する。この最優先バッチ決定ルーチンの動作については、後述する。
【００４５】
続いて、ステップＳｃ５に進むと、上記決定ルーチンにおいて定められた最優先度の処理バッチを形成する各生産ロットを半導体製造装置５へ搬送開始するか否か、すなわち、前述した搬送指示データＤｈを搬送制御コンピュータ２側へ供給するか否かを判断する。ここで、搬送指示を行うタイミングにない場合には、この判断結果が「ＮＯ」となり、このルーチンを完了し、メインルーチンへ復帰する。
【００４６】
一方、搬送を開始する状態にあると、判断結果が「ＹＥＳ」となり、次のステップＳｃ６に進む。ステップＳｃ６では、最優先度に設定された処理バッチを構成する各生産ロットに対し、モニタ用ロットあるいはダミーロットを付加する。
次いで、ステップＳｃ７に進むと、出庫を指示する搬送指示データＤｈが搬送制御コンピュータ２側へ供給される。これにより、搬送装置３は該コンピュータ２の制御の下に最優先度の各生産ロットを指定の半導体製造装置５へ搬送することになる。
【００４７】
▲４▼最優先バッチ決定ルーチンの動作
ホストコンピュータ１の処理が上述したステップＳｃ４に進むと、図６に示す最優先バッチ決定ルーチンが起動し、ステップＳｄ１が実行される。ステップＳｄ１に進むと、上述したバッチリストの中から短納期とされている処理バッチが有るか否かを判断する。ここで、短納期のものがある場合、判断結果が「ＹＥＳ」となり、次のステップＳｄ２に進む。このステップＳｄ２では、前述した最大値選択ルールが採択され、このルーチンを完了する。
【００４８】
ここで、最大値選択ルールの動作について図７を参照し、説明する。この図において、Ａ〜Ｄはバッチリストに登録される処理バッチである。この内、処理バッチＡ〜Ｃは、生産ロットａ〜ｆで構成され、処理バッチＤは、生産ロットａ〜ｃにより構成されるものとする。これら各生産ロットａ〜ｆの優先度は、「１」〜「５」のいずれかに設定されており、「１」が最も優先度が低く、「５」が最も優先度が高いものとする。
【００４９】
このような状況において、この最大値選択ルールが採択されると、処理バッチＡ〜Ｄを構成している全生産ロット中の優先度の内、最大値が各処理バッチＡ〜Ｄの優先度と見做される。したがって、この場合、製造工程全体の生産量、生産能力よりも、各生産ロットの優先度が重視される。このため、生産量を落としても、納期が限られた生産ロットの処理を優先する必要がある状況下では、このルールが選択される。
【００５０】
一方、バッチリスト中に短納期とされている処理バッチが無い場合には、ステップＳｄ１の判断結果が「ＮＯ」となり、次のステップＳｄ３に進む。ステップＳｄ３では、処理バッチを構成する生産ロットの数が同一であるか否かを判断する。ここで、例えば、図８に示すように、処理バッチＡ〜Ｃが同一の構成ロット数である場合には、判断結果が「ＹＥＳ」となり、次のステップＳｄ４に進む。
次に、ステップＳｄ４では、処理バッチを構成する生産ロットに「欠け」が有るか否かを判断する。なお、この生産ロットの「欠け」とは、構成ロット数が定義されているにもかかわらず、候補ロットが構成ロット数に満たない場合における不足ロットを指す。例えば、これは図８に示す処理バッチＣにおける生産ロットｅ，ｆに相当する。こうした生産ロットの欠けがある場合には、判断結果が「ＹＥＳ」となり、ステップＳｄ５に進む。ステップＳｄ５では、前述した合計値選択ルールが採択される。
【００５１】
図８に示す状況において、この合計値選択ルールが適用された場合、処理バッチＡの優先度の合計値は「１２」、処理バッチＢの優先度の合計値は「１７」、処理バッチＣの優先度の合計値は「１２」となり、合計値が最も大きい処理バッチＢが選択されることになる。このように処理バッチを構成する各生産ロットの優先度の合計値で比較すると、平均的に高い優先度の生産ロットを有する処理バッチが選択され、しかも構成ロットに欠けがある処理バッチを選択する可能性が押さえられる。この結果、平均的に優先度の高い生産ロットを処理しつつ、生産量をも確保することが可能になる。
【００５２】
ところで、上述したステップＳｄ４において処理バッチを構成する生産ロットに欠けがない場合には、判断結果が「ＮＯ」となり、ステップＳｄ６に進み、前述した平均値選択ルールが採択される。このルールの場合、例えば、図９に示す状況であると、各生産ロットの優先度の平均値が最も高い処理バッチＣが選択される。このように、平均値選択ルールの下では、全般に優先度の高い生産ロットを持つ処理バッチが選択されるようになっている。
【００５３】
これまでに説明した各ルールは、いずれも構成ロット数が同一の場合である。
これに対し、処理条件あるいは工程の違いにより構成ロットが同一でない場合には、ステップＳｄ３の判断結果が「ＮＯ」となり、ステップＳｄ７に進み、加重平均値選択ルールが採択される。この加重平均値選択ルールとは、処理バッチを構成する各生産ロットの優先度の合計値を構成ロット数で割った値を、その処理バッチの優先度と見なすものである。
【００５４】
例えば、図１０に示す関係で処理バッチＡ〜Ｄが存在する場合、それぞれの加重平均値は「２」，「２．８」，「２」，「３」となり、この内最も高い優先度となる処理バッチＤが選択されることになる。このように、加重平均値を用いて処理バッチの優先度を代表させると、処理条件あるいは工程の違いによる構成ロット数の違いに影響されず、比較的優先度の高い生産ロットを多く含む処理バッチが選択される。このようにすることで、平均的に優先度の高い生産ロットを半導体製造装置５に投入することになるため、該装置５が効率良く稼働することになる。
【００５５】
以上のように、上記実施例による生産管理システムにあっては、ホストコンピュータ１が予め策定された生産計画に沿うように搬送装置３と各半導体製造装置５−１〜５−Ｎとを制御し、特に、複数の処理バッチが同時に存在する場合、生産状況に応じた処理バッチを選択するようにしたので、常に効率良い生産形態を維持することが可能になる。すなわち、ホストコンピュータ１は、搬送装置３と半導体製造装置５−１〜５−Ｎとの稼働状態をモニタし、これら装置に待ち時間や空きを作らないよう適正な負荷を与えるように、処理バッチを選択することになる。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、管理手段は、同時に処理すべき複数の製造処理が存在する場合、これら製造処理の各々に対し、ロット情報に含まれる優先度と現在の生産状況とを勘案した新たな優先順位を設定するので、時々刻々と変化する生産状況に応じて最適な優先順位を設定することができ、この新たな優先順位に従って処理することで効率良い生産形態が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の一実施例の全体構成を示すブロック図。
【図２】  同実施例におけるメインルーチンの動作を示すフローチャート。
【図３】  同実施例におけるバッチ化時刻計算ルーチンの動作を示すフローチャート。
【図４】  同実施例におけるバッチ化時刻Ｔｂを説明するための図。
【図５】  同実施例におけるバッチ化ルーチンの動作を示すフローチャート。
【図６】  同実施例における最優先バッチ決定ルーチンの動作を示すフローチャート。
【図７】  同実施例における最大値選択ルールを説明するための図。
【図８】  同実施例における合計値選択ルールを説明するための図。
【図９】  同実施例における平均値選択ルールを説明するための図。
【図１０】  同実施例における加重平均値選択ルールを説明するための図。
【符号の説明】
１  ホストコンピュータ（管理手段）
１ａ  ロット情報管理ファイル（管理手段）
１ｂ  イベント履歴ファイル（管理手段）
２  搬送制御コンピュータ（搬送手段）
３  搬送装置（搬送手段）
４  製造装置コントローラ（製造手段）
５−１〜５−Ｎ  半導体製造装置（製造手段）
【図１】
0003693030.tif 000002
【図２】
0003693030.tif 000003
【図３】
0003693030.tif 000004
【図４】
0003693030.tif 000005
【図５】
0003693030.tif 000006
【図６】
0003693030.tif 000007
【図７】
0003693030.tif 000008
【図８】
0003693030.tif 000009
【図９】
0003693030.tif 000010
【図１０】
0003693030.tif 000011