(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面外周側に開口した複数の空気孔と、この空気孔に連通するエア流通路とを備えた複数のエアチャックユニットを係止固定具によってガラス製の測定テーブルに固定する取付構造において、
前記エアチャックユニットは、上下方向に積層される平板状の一対の上，下ガラス板と、  これらの上，下ガラス板間に介装される紫外線硬化型の接着剤とを備え、
前記エア流通路を、前記上ガラス板の裏面側に一端が開口するように凹設し、前記空気孔の一端が前記上ガラス板の上面に開口するように設け、前記取付孔を前記エア流通路の外側に配置し、
前記測定テーブルの隣接する２辺の外周縁と前記エアチャックユニットの隣接する２辺の外周縁とにそれぞれ前記係止固定具の取付孔を設けるとともに、前記測定テーブルの２辺に設けた取付孔が、複数の前記エアチャックユニットの取付孔に一致するようにし、測定対象物の測定エリアに応じて前記エアチャックユニットを選択することを特徴とするエアチャックユニットの取付構造。
【請求項２】
上面外周側に開口した複数の空気孔と、この空気孔に連通するエア流通路とを備えた複数のエアチャックユニットを係止固定具によってガラス製の測定テーブルに固定する取付構造において、
前記エアチャックユニットは、中空角型の枠体を有し、
前記エア流通路を前記枠体の内周に形成するとともに、前記空気孔を前記枠体の上面に開口させ、
前記測定テーブルの隣接する２辺の外周縁と前記エアチャックユニットの隣接する２辺の外周縁とにそれぞれ前記係止固定具の取付孔を設けるとともに、前記測定テーブルの２辺に設けた取付孔が、複数の前記エアチャックユニットの取付孔に一致するようにし、測定対象物の測定エリアに応じて前記エアチャックユニットを選択することを特徴とするエアチャックユニットの取付構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、エアチャックユニットの取付構造に関し、特に、光透過型のエアチャックユニットの取付構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
集積回路の製造用に用いられるフォトマスクは、非常に微細なパターンが焼き付けられていて、高精度が要求されており、このようなフォトマスクの原画は、通常、温度に対して寸法が安定しているガラス乾板に焼き付けられている。ところで、ガラス乾板に焼き付けられているパターンは、製造に使用する前に、その寸法形状が設計図面と一致しているかどうかの検査が行なわれる。
【０００３】
この検査には、例えば、特開平７−１２５１２号公報に開示されているような二次元座標測定機が用いられる。この公報に開示されている測定機では、ガラス製の測定テーブルの下方からガラス乾板に向けて照明光を照射し、ガラス乾板の上面側に、例えば、顕微鏡を設置して、顕微鏡によりパターンの形状や寸法が測定される。
【０００４】
このような検査方法においては、ガラス乾板の固定手段が重要な技術的課題となる。すなわち、例えば、透過照明が可能なガラス板製の測定テーブル上に単にガラス乾板を載せただけで測定すると、テーブルとガラス乾板との間に不均一な隙間が発生して、測定誤差の原因となる。
ところが、このような誤差の原因を排除するために、テーブルに対してガラス乾板を機械的に固定する手段では、ガラス乾板に焼き付けられているバターンを損傷する恐れがあるので望ましくない。そこで、例えば、特開昭６１−１５２４９９号公報に開示されているようなエア吸着により、ガラス乾板の裏面側を固定することが考えられ、このようなエアチャック手段によれば、ガラス乾板のパターンに非接触状態で固定できるので、上述した問題がなくなる。
【０００５】
しかし、エアチャックによりガラス乾板を固定する場合には、次のような技術的な課題があった。すなわち、ガラス乾板を固定するテーブルの材質としては、光の透過性、温度に対する寸法安定性などの点からガラス板が望ましいが、ガラス板をエアチャック手段として使用する際には、ガラス板の厚み方向に複数の空気孔を穿設し、ガラス板の面方向に、これらの空気孔間を接続する連通孔を形しなければならない。
【０００６】
ところが、ガラス板に空気孔を穿設することは、比較的簡単であるが、空気孔間を連通する長い連通孔を形成することは、非常に難しく、このためガラス板製のエアチャックテーブルは、現在まで実用化されていない。そこで、本発明者らは、裏面側にエア流通路が凹設され、上面側に一端が開口して、他端側がエア流通路と連通する複数の空気孔が設けられた上ガラス板と、平板状の下ガラス板とを紫外線硬化型の接着剤で接着するエアチャックテーブルを開発した。
【０００７】
しかしながら、このような構造のエアチャックテーブルにも以下に説明する技術的な課題があった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
すなわち、集積回路のパターンなどが焼き付けられたガラス乾板などの測定対象物の形状寸法には、種々大きさがあり、測定するパターンの外周にある程度の余裕が設けられているものの、その大きさを統一することは非常に難しく、しかも、上述した構造のエアチャックテーブルでは、エア流通路を測定対象物の測定に影響を及ぼさない位置に設けなければならない。このため、エアチャックテーブルは、特定の測定対象物に対して使用可能な専用品となる。
【０００９】
ところが、このような専用品形態のエアチャックテーブルでは、設計変更があると使用不能になることもあって、非常に高価になるという問題があった。
本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、複数種の測定対象物に対して適合させることができ、しかも、設計変更に対しても対応することができるエアチャックユニットの取付構造を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、第一の発明は、上面外周側に開口した複数の空気孔と、この空気孔に連通するエア流通路とを備えた複数のエアチャックユニットを係止固定具によってガラス製の測定テーブルに固定する取付構造において、前記エアチャックユニットは、上下方向に積層される平板状の一対の上，下ガラス板と、これらの上，下ガラス板間に介装される紫外線硬化型の接着剤とを備え、前記エア流通路を、前記上ガラス板の裏面側に一端が開口するように凹設し、前記空気孔の一端が前記上ガラス板の上面に開口するように設け、前記取付孔を前記エア流通路の外側に配置し、前記測定テーブルの隣接する２辺の外周縁と前記エアチャックユニットの隣接する２辺の外周縁とにそれぞれ前記係止固定具の取付孔を設けるとともに、前記測定テーブルの２辺に設けた取付孔が、複数の前記エアチャックユニットの取付孔に一致するようにし、測定対象物の測定エリアに応じて前記エアチャックユニットを選択することを特徴とする。
また、第二の発明は、上面外周側に開口した複数の空気孔と、この空気孔に連通するエア流通路とを備えた複数のエアチャックユニットを係止固定具によってガラス製の測定テーブルに固定する取付構造において、前記エアチャックユニットは、中空角型の枠体を有し、前記エア流通路を前記枠体の内周に形成するとともに、前記空気孔を前記枠体の上面に開口させ、前記測定テーブルの隣接する２辺の外周縁と前記エアチャックユニットの隣接する２辺の外周縁とにそれぞれ前記係止固定具の取付孔を設けるとともに、前記測定テーブルの２辺に設けた取付孔が、複数の前記エアチャックユニットの取付孔に一致するようにし、測定対象物の測定エリアに応じて前記エアチャックユニットを選択することを特徴とする。
【００１１】
【作用】
上記構成のエアチャックユニットの取付構造によれば、測定テーブルの隣接する２辺の外周縁と、エアチャックユニットの隣接する２辺の外周縁とにそれぞれ係止固定具の取付孔を設けるとともに、測定テーブルの２辺に設けた取付孔が、複数のエアチャックユニットの取付孔に一致するようにし、測定対象物の測定エリアに応じてエアチャックユニットを適宜選択するので、複数種の測定対象物に対してエアチャックユニットが使用できるとともに、測定対象物に設計変更があったとしても、他のエアチャックユニットを選択すれば、測定が可能になる。
【００１２】
【実施例】
以下本発明の好適な実施例について添附図面を参照して詳細に説明する。図１から図３は、本発明にかかるエアチャックユニットの取付構造の一実施例を示している。同図に示す取付構造は、エアチャックユニット１０を測定テーブル１２に固定する場合を示している。エアチャックユニット１０は、上下方向に対面状態で積層される略正方形状の一対の上，下ガラス板１０ａ，１０ｂを有している。
【００１３】
これらの上，下ガラス板１０ａ，１０ｂは、これらの間に介装される紫外線硬化型の接着剤１０ｃにより相互に接着される。上ガラス板１０ａには、その裏面側に一端が開口する凹溝状のエア流通路１０ｄが設けられている。このエア流通路１０ｄは、上ガラス板１０ａの外周側に周回するように形成されている。このように形成されたエア流通路１０ｄの一端には、エアの排気および供給口１０ｅが設けられている。
【００１４】
また、エア流通路１０ｄの適宜個所には、下端がこのエア流通路１０ｄに連通し、上端が上ガラス板１０ａの上面に開口する複数の空気孔１０ｆが形成されている。各空気孔１０ｆは、上ガラス板１０ａを上下に貫通するものであって、エア流通路１０ｄの幅よりもかなり小さい直径を有している。
この実施例では、エア流通路１０ｄは、紫外線硬化型の接着剤１０ｃで上，下ガラス板１０ａ，１０ｂを接着する前に、上ガラス板１０ａの裏面に貼着されたシート１０ｇでその一端開口が閉塞される。このシート１０ｇは、例えば、エア流通路１０ｄの横幅よりも若干幅が広いフィルム状の粘着シートであり、その厚みは、接着剤１０ｃの厚みよりも薄いものが望ましい。
【００１５】
特に、色彩が施されたシート１０ｇを使用すると、上ガラス板１０ａ上に測定対象物１４を載せる際に、このテープ１０ｇを位置決め目標とすることができるとともに、複数のエアチャックユニット１０から測定対象物１４の大きさに対応して、エア流通路１０ｄが影響しないものを選択する際の指標ともなる。
上，下ガラス板１０ａ，１０ｂを接着する際には、下ガラス板１０ｂの上面全域に液状の紫外線硬化型接着剤１０ｃを塗布し、この接着剤１０ｃの上に上ガラス板１０ａを載せて押圧し、この状態で接着剤１０ｃに紫外線を照射することにより硬化させる。
【００１６】
紫外線硬化型の接着剤１０ｃは、その粘度が小さく、流動性に富んでいるので、上ガラス板１０ａを下ガラス板１０ｂ上に押圧したときに、過剰の接着剤１０ｃがガラス板１０ａ，１０ｂの界面から排除され、その結果、非常に薄い膜状の接着剤層が形成されて、上，下ガラス板１０ａ，１０ｂが強固に接着される。
このとき、エア流通路１０ｄは、紫外線硬化型の接着剤１０ｃで上，下ガラス板１０ａ，１０ｂを接着する前に、上ガラス板１０ａの裏面に貼着されたシート１０ｇでその一端開口が閉塞されているので、エア流通路１０ｄ内に紫外線硬化型の接着剤１０ｃの流入を阻止できる。
【００１７】
このように構成されたエアチャックユニット１０には、その隣接する２辺に沿って複数の取付孔１０ｈが、上，下ガラス板１０ａ，１０ｂを貫通するようにして、エア流通路１０ｄの外側に設けられている。そして、上記構成のエアチャックユニット１０は、縦横の寸法が異なるものが複数準備される。この場合、複数のエアチャックユニット１０において、取付孔１０ｈは、同一の位置に設けられる。
【００１８】
また、前記エアチャックテーブル１２は、大きさを変える他に、エア流通路１０ｄの配置と長さを変えることにより複数準備する方法でもよい。すなわち、エアチャックユニット１０の外周側に長いエア流通路１０ｄを設ければ、測定エリアの大きいエアチャックユニット１０を、エアチャックユニット１０の中心よりに短いエア流通路１０ｄを設ければ、測定エリアの小さいエアチャックユニット１０を作ることができる。
【００１９】
一方、測定テーブル１２は、平板状の透明ガラス板１２ａと、このガラス板１２ａの隣接する２辺に沿ってその外周側に設けられた複数の取付孔１２ｂと、ガラス板１２ａの隣接する２辺に沿ってその外周側裏面に固着された一対の細幅な金属板１２ｃと、この金属板１２ｃに貫通形成されたネジ孔１２ｄとから構成されている。
【００２０】
各取付孔１２ｂは、エアチャックユニット１０側の取付孔１０ｈと位置対応しており、かつ、同じ孔径になっている。また、ネジ孔１２ｄは、取付孔１２ｂと位置対応している。
エアチャックユニット１０を使用して測定対象物１４の焼付けパターンの寸法を測定する際には、まず、測定対象物１４の大きさに対応して、複数のエアチャックユニット１０から１つが選択される。このときの選択は、エアチャックユニット１０のエア流通路１０ｄの内周側に測定対象物１４の測定エリアが入るようなものが選ばれる。
【００２１】
エアチャックユニット１０の選択が終了すると、選択されたエアチャックユニット１０が測定テーブル１２に固定される。この固定には、図３に示すような係止固定具、具体的には、Ｏリング１６が付設されたボルト１８が使用され、このボルト１８をユニット１０側の取付孔１０ｈとテーブル１２側の取付孔１２ｂに挿通し、下端側をネジ孔１２ｄに螺着することにより行なわれる。
【００２２】
このようにしてエアチャックユニット１０の選択，固定が完了すると、ユニット１０の上ガラス板１０ａ上に測定対象物１４が載置され、エア流通路１０ｄを介して、その内部のエアを排気口１０ｅから排気することで、測定対象物１４を上ガラス板１０ａ上に吸着固定する。
そして、下ガラス板１０ｂの下方から照射する透過照明により測定対象物１４の測定が終了すると、エア流通路１０ｄにエアを送り込んで、空気孔１０ｆからこれを噴射させると、上ガラス板１０ａから測定対象物１４を脱着することができる。なお、図１に符号１０ｉで示した部分は、脱着された測定対象物１４を掴むために上ガラス板１０ａの上面に設けられた指挿入用凹部である。
【００２３】
さて、以上のように構成されたエアチャックユニット１０の取付構造によれば、測定対象物１４の測定エリアに応じてエアチャックユニット１０を選択するので、複数種の測定対象物１４に対してエアチャックユニット１０が使用できるとともに、測定対象物１４に設計変更があったとしても、他のエアチャックユニット１０を選択すれば、測定が可能になる。
【００２４】
図４および図５は、この発明にかかるエアチャックユニットの取付構造の他の実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、同符号を付し、その詳細な説明を省略するとともに、以下にその特徴点についてのみ説明する。同図に示した実施例では、測定テーブル１２は、上記実施例と同一構成になっているが、エアチャックユニットの構造が異なっている。
【００２５】
この実施例のエアチャックユニット１００は、中空角型の枠体１００ａを有していて、この枠体１００ａの内周空間がエア流通路１００ｂになっている。枠体１００ａの上面には、エア流通路１００ｂと連通する空気孔１００ｃが貫通形成されている。枠体１００ａの隣接する２辺には、それぞれフランジ１００ｄが固設され、各フランジ１００ｄには、取付孔１００ｅが貫通形成されている。
【００２６】
取付孔１００ｅは、測定テーブル１２側の取付孔１２ｂと位置対応している。このように構成されたエアチャックユニット１００は、上記実施例と同様に寸法が異なるものが複数準備されるとともに、複数のエアチャックユニット１００の取付孔１００ｅは、測定テーブル１２側の取付孔１２ｂと一致するように設けられる。
【００２７】
なお、図４，５に示した１００ｃは、測定対象物１４を吸着するための空気孔で、前記実施例の１０ｆと同じ作用構成を有している。また、１００ｄは、エアの排気および供給口であり、前記実施例の１０ｅと同じ作用構成を有している。この実施例のエアチャックユニット１００では、枠体１０の内周空間が測定対象物１４の測定エリアとなるので、測定対象物１４の大きさに対応した内周空間を有するエアチャックユニット１００が複数のものから選択され、選択されたユニット１００は、上記実施例と同様にボルト１８で測定テーブル１２に取り付けられる。
【００２８】
このように構成されたエアチャックユニットの取付構造によっても上記実施例と同等の作用効果が得られる。
【００２９】
【発明の効果】
以上、実施例で詳細に説明したように、本発明にかかるエアチャックユニットの取付構造によれば、複数種の測定対象物に対して適合させることができ、しかも、設計変更に対しても対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるエアチャックユニットの取付構造の一実施例を示す分解斜視図である。
【図２】図１のエアチャックユニットの要部断面図である。
【図３】図１のエアチャックユニットと測定テーブルの取付部の断面図である。
【図４】本発明にかかるエアチャックユニットの取付構造の他の実施例を示す分解斜視図である。
【図５】図４のエアチャックユニットの要部断面図である。
【符号の説明】
１０，１００        エアチャックユニット
１０ａ              上ガラス板
１０ｂ              下ガラス板
１０ｃ              接着剤
１０ｄ，１００ｂ    エア流通路
１０ｆ，１００ｃ    空気孔
１０ｈ，１００ｅ    取付孔
１２                測定テーブル
１２ｂ              取付孔
１４                測定対象物
１８                ボルト（係止固定具）
【図１】
0003725578.tif 000002
【図２】
0003725578.tif 000003
【図３】
0003725578.tif 000004
【図４】
0003725578.tif 000005
【図５】
0003725578.tif 000006