(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録トラック、該記録トラックの両側に配置され該記録トラックとは熱特性の異なる非記録帯からなる記録媒体と、
前記記録トラックと前記非記録帯との境界部の上方に配置可能な温度センサ、前記記録トラックに記録された情報を読み出すための読み出し手段を備えたヘッドと、
前記ヘッドの位置を前記記録媒体の表面上において駆動・制御するヘッド駆動・制御機構とを含み、前記駆動・制御に際し、前記温度センサの出力をトラッキング信号として用いることを特徴とする情報再生装置。
【請求項２】
前記ヘッドは、前記記録トラックに情報を書き込むための書き込み手段を更に備えていることを特徴とする請求項１記載の情報再生装置。
【請求項３】
記録トラック、該記録トラックの両側に配置され該記録トラックとは熱特性の異なる非記録帯からなる記録媒体に記録された情報を読み出すことが可能なドライブ装置であって、
前記記録トラックと前記非記録帯との境界部の上方に配置可能な温度センサ、前記記録トラックに記録された情報を読み出すための読み出し手段を備えたヘッドと、
前記ヘッドの位置を前記記録媒体の表面上において駆動・制御するヘッド駆動・制御機構とを含み、前記駆動・制御に際し、前記温度センサの出力をトラッキング信号として用いることを特徴とする情報再生装置。
【請求項４】
前記ヘッドは、前記記録トラックに情報を書き込むための書き込み手段を更に備えていることを特徴とする請求項３記載の情報再生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高密度情報記録が可能な情報再生装置のトラッキング技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
パソコン等情報処理機器の飛躍的な機能向上により、ユーザの扱う情報量は著しく増大してきている。このような状況により、従来より飛躍的に記録密度の高い情報記録再生装置に対する期待は高まりつつある。記録密度を向上させるためには、情報記録媒体において記録を書き込む単位である一つの記録マークの大きさを微小化することが必要である。しかし、従来の記録再生装置において記録マークの微小化は大きな困難に直面している。記録密度を上げるためにはトラック幅を小さくする必要があるが、必然的に隣接トラック間との干渉が大きくなり、クロスイレースやクロストークの問題が生じる。これを解決する手段として、例えば特開平７−２１０８６３号公報や特開平９−７１４３号公報等で、磁気記録トラックが非磁性帯で分離されたディスクリート記録媒体が提案されている。
【０００３】
また、磁気記録媒体を用いた磁気記録の場合には、記録層には粒度分布の広い多結晶体を用いている。しかし結晶の熱揺らぎのため、小さい多結晶体では記録が不安定となる。記録セルが大きい場合は問題ないが、記録マークが小さいと記録の不安定性やノイズの増大が生じてしまう。これは記録マークに含まれる結晶粒の数が少なくなるためでありまた、記録マーク間の相互作用が相対的に大きくなることも要因となる。これを防ぐためには熱揺らぎに強い結晶粒の小さくそろった記録媒体を用いていれば良い。しかしながら、そのような記録媒体では書き込みに非常に大きな磁界が必要になり、結果的に書き込めなくなる等の問題が生じる。
【０００４】
そのような熱揺らぎに強く結晶粒の小さくそろった記録媒体に対しては、加熱して保磁力を低下させて書き込み、急冷することによってその記録を保持させる方法が提案され、「熱アシスト磁気記録」と呼ばれている。熱を与える手段としては近接場光を照射する方法や電子線を照射する方法が、加熱スポットを小さくできることから高密度情報記録に有利である。
【０００５】
しかしながら、厳密な熱設計が必要であると共に、記録密度を上げるためにはトラック幅を小さくする必要がある。このため、必然的に隣接トラック間との干渉が大きくなり、加熱によるクロスイレースが特に問題となる。この解決にもディスクリート記録媒体は有効である。
【０００６】
凹凸を有するディスクリート記録媒体では、凹部による静電容量や反射光をトラッキングに用いている。更に、凹部にトラッキング用の磁気信号を付与することにより一つの読み出しヘッドによるトラッキング方式が提案されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、静電容量や反射光によるトラッキング方法では、検出のために磁気センサとは異なる複雑なセンサを製造するため機械構成が複雑となり、一体型のヘッドを製造しにくい問題点がある。このため、従来のディスクリート磁気記録媒体を用いた情報再生装置は、製造や操作が複雑になり、コスト高になる不具合を有する。
【０００８】
また、凹部にトラッキング用の磁気信号を付与するのは操作が複雑になる。更に、一つの読み出しヘッドによるトラッキングではトラッキング幅が１００ｎｍ以下になると十分にトラッキング出来ないという問題点がある。このため、従来のディスクリート磁気記録媒体を用いた情報再生装置においては、狭トラック幅では十分なトラッキングが行えない等の問題がある。
【０００９】
上記問題点を鑑み、本発明に係る情報再生装置は、製造や操作が容易で、狭トラック幅でも十分にトラッキングが可能な情報再生装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の第１の特徴は、記録媒体、この記録媒体に記録された情報を読み出すための読み出し手段とを備えたヘッド、ヘッドの位置を記録媒体の表面上において駆動・制御するヘッド駆動・制御機構とを含む情報再生装置に関する。記録媒体は、記録トラックと、この記録トラックの両側に配置され、この記録トラックとは熱特性の異なる非記録帯とからなる。ヘッドは、温度センサと、記録トラックに記録された情報を読み出すための読み出し手段とを備えている。温度センサは、記録トラックと非記録帯との境界部の上方に配置されている。そして、ヘッドに搭載された温度センサの出力を、ヘッドの位置の駆動・制御に際してトラッキング信号として用いる情報再生装置であることを要旨とする。ここで、「記録トラックとは熱特性の異なる」とは、例えば、記録トラックの熱伝導率と非記録帯の熱伝導率とが異なるような材料で構成された構造の場合が該当する。或いは、記録トラックを凸部、非記録帯を凹部とすれば、ヘッドと記録媒体との間の気流の線速が、記録トラックの上部では速く、非記録帯の上部では遅くなる。即ち、「記録トラックとは熱特性の異なる」とは、記録トラックの上部と非記録帯の上部における温度センサの冷却速度が異なるような構造を意味する。記録トラックの上部と非記録帯の上部における温度センサの冷却速度が異なるような構造にしておき、記録トラックと非記録帯との境界部に温度センサを配置しておけば、ヘッドと記録トラックとの相対的な位置のずれを温度の変化として検出出来る。特に、読み出し対象としている記録トラックに隣接する２つの他の記録トラックと、読み出し対象としている記録トラックを挟む２つの非記録帯とのそれぞれの境界部に第１及び第２の温度センサを配置する構成が好ましい。即ち、第１及び第２の温度センサの出力を差動増幅することにより、高感度な位置検出が可能となる。この結果、狭トラック幅でも十分にトラッキングが可能な情報再生装置を、簡単な構造で実現出来、その操作も容易である。
【００１１】
本発明の第１の特徴において、ヘッドが、記録トラックに情報を書き込むための書き込み手段を更に備えれば、書き込み／読み出し可能な情報再生装置が提供出来る。
【００１２】
本発明の第１の特徴に係る温度センサを用いた位置検出は、情報の読み出し以外にも、情報の書き込みに対しても用いることが出来、更に情報の書き込み／読み出しの両方に対しても用いることが出来る。
【００１３】
本発明の第２の特徴は、本発明の第１の特徴で述べた記録媒体と同様な構造の記録媒体を外部から挿入し、この記録媒体に記録された情報を読み出することが可能なドライブ装置に関する。即ち、このドライブ装置は、読み出し手段を備えたヘッドと、ヘッドの位置を記録媒体の表面上において駆動・制御するヘッド駆動・制御機構を有する。そして、ヘッドには、第１の特徴と同様に、記録トラックと非記録帯との境界部の上方に配置可能な温度センサが更に備えられている。読み出し手段は、外部から挿入された記録媒体の記録トラックに記録された情報を読み出す。そして、ヘッドの位置の駆動・制御に際して、温度センサの出力をトラッキング信号として用いる情報再生装置であることを要旨とする。第１の特徴で述べたように、記録トラックの上部と非記録帯の上部における温度センサの冷却速度が異なるようにされているので、記録トラックと非記録帯との境界部に温度センサを配置しておけば、ヘッドと記録トラックとの相対的な位置のずれを温度の変化として検出出来る。
【００１４】
本発明の第２の特徴によれば、狭トラック幅でも十分にトラッキングが可能なドライブ装置としての情報再生装置を、簡単な構造で実現出来、その操作も容易である。
【００１５】
また、本発明の第２の特徴において、ヘッドが、記録トラックに情報を書き込むための書き込み手段を更に備えれば、書き込み／読み出し可能な情報再生装置が提供出来ることは勿論である。
【００１６】
本発明の第２の特徴に係る温度センサを用いた位置検出は、情報の読み出し以外にも、情報の書き込みに対しても用いることが出来、更に情報の書き込み／読み出しの両方に対しても用いることが出来る。
【００１７】
【発明の実施の形態】
次に、図面を参照して、本発明の第１及び第２の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関係、各層の厚みの比率等は現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な厚みや寸法は以下の説明を参酌して判断すべきものである。また図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１８】
（第１の実施の形態）
図１に本発明の第１の実施の形態に係る情報再生装置におけるヘッド構成部と記録媒体との相対的な位置関係の概略を示す。
【００１９】
図１の平面図に示すように、第１の実施の形態に係る記録媒体は、実質的に平行に走行する複数の磁気記録トラック１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，・・・・・が、この磁気記録トラックとは熱特性が異なる非記録帯（非磁性帯）１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，・・・・・で分離され、複数のトラックを構成している。即ち、トラック間のクロスイレースを、非記録帯（非磁性帯）１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，・・・・・で防止するように構成されている。本発明の第１の実施の形態に係る記録媒体は、表面が凹凸構造を有し、凸部に磁気記録トラック１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，・・・・・が形成されているディスクリート磁気記録媒体でも良い。表面に凹凸構造を有することにより、磁気記録トラック１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，・・・・・と非記録帯（非磁性帯）１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，・・・・・で熱伝導率や気流が異なる。「気流が異なる」とは、図２に示すヘッド６と記録媒体２１との間の気流の線速が、磁気記録トラック１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，・・・・・の上部では速く、非記録帯（非磁性帯）１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，・・・・・の上部では遅くなるという意味である。したがって、この熱伝導率や気流の線速の相違に起因した温度変化を、第１の温度センサ１５ａ、第２の温度センサ１５ｂが検出し、これを差動増幅してトラッキング信号として用いることが可能である。表面に凹凸構造を有する場合は、非記録帯（非磁性帯）１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，・・・・・としては空気のような気体であっても良い。一方、金等の非磁性金属、ＳｉＯ２やＡｌ２Ｏ３、ポリマー等の誘電体で、複数の磁気記録トラック１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，・・・・・の間を埋め込んで、平坦な構造としても良い。非磁性金属や誘電体で埋め込んで平坦な構造とした場合でも、埋め込む非記録帯（非磁性帯）１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，・・・・・の熱伝導率を選ぶことにより熱設計はより容易となる。非記録帯（非磁性帯）１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，・・・・・の下部に磁性膜があっても良い。
【００２０】
第１の実施の形態に係る情報再生装置に用いる記録媒体の形状としてはディスク状、カード状等の種々の形状が採用可能である。ディスク状の場合は、磁気記録トラック１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，・・・・・は同心円状若しくはスパイラル状が好ましい。カード状の場合は磁気記録トラック１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，・・・・・は平行直線状が好ましい。
【００２１】
この記録媒体（ディスク）２１の上を、移動するヘッド１６は、図２及び図３に示すように、書き込み手段（磁場印加部）１３、読み出し手段（磁気センサ）１４、第１の温度センサ１５ａ，第２の温度センサ１５ｂとを備え、これらが一体化するように組み立てられている。なお、読み出し専用の情報再生装置であれば、書き込み手段１３は、省略可能である。図２のヘッド１６の断面は、図３のＡ−Ａ方向に沿った断面図である。ヘッド１６は、図示を省略した筐体の底蓋上に固定された回転軸の回りに、軸受部材を介して回動自在に支持されたシーク機構によって駆動される。シーク機構は、圧電素子を構成要素とする２段アクチュエータ（図示省略）によって制御され、ヘッド１６の位置決めをするヘッド駆動・制御機構である。ヘッド１６が、その回動範囲の端点において最小限の衝撃で停止するために、弾性部材にて形成された緩衝部材（図示省略）が設けられている。そして、図２に示すように、記録媒体（ディスク）２１は、筐体の底蓋上に設けたスピンドルモータ２６上に押圧板（図示省略）等により固定され、このスピンドルモータ２６により駆動され、回転する。
【００２２】
本発明の第１の実施の形態に係る情報再生装置は、記録媒体（ディスク）２１を常時スピンドルモータ２６上に固定した使用態様の他、記録媒体（ディスク）２１を外部から挿入し、書き込み／読み出しをするドライブ装置としての態様も可能である。後者の場合は、記録媒体２１は、収納皿等に搭載されて、ドライブ装置の内部に挿入される。記録媒体２１を搭載した収納皿は、ドライブ装置の筐体のベースプレートの内側両側面に設けられたガイド部材にスライド状に案内され、ドライブ装置内の所定の位置に導かれる。そして、記録媒体２１は、筐体の底蓋上に設けたスピンドルモータ２６上に押圧板等により固定され、このスピンドルモータ２６により駆動され、回転する。所定の読み出し、若しくは書き込みの終了後、スピンドルモータ２６による駆動が停止する。そして、バネの付勢力等によって押圧板等によるロックを解放し、インジェクタ等を介してドライブ装置外に押し出される。
【００２３】
ヘッド１６の平面構造の概略は図３に示すように、縦８０ｎｍ、幅２０ｎｍの単磁極書き込み手段（磁場印加部）１３、縦８０ｎｍ、幅２０ｎｍの読み出し手段（ＧＭＲ素子）１４、幅４０ｎｍ、長さ２００ｎｍの温度感知部（抵抗体部）４２を持つＳｉ半導体温度センサ１５ａ，１５ｂからなる。温度感知部（抵抗体部）４２の周りは中空部４１になっている。ＧＭＲ素子１４はプレーナ型の素子であり、同一の基板から製造する。読み出し手段（ＧＭＲ素子）１４と書き込み手段（単磁極書き込み部）１３は２００ｎｍ離れている。
【００２４】
第１の温度センサ１５ａ及び第２の温度センサ１５ｂからの信号を差動増幅し、その出力が極小となるように制御することにより、図１に一点鎖線で示したヘッド１６のトラッキング制御をすることが可能となる。即ち、第１の温度センサ１５ａ、第２の温度センサ１５ｂの周りの気流の線速や、下地記録媒体への熱伝導が記録トラック１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，・・・・・と非記録帯（非磁性帯）１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，・・・・・とで異なることに着目してトラッキング制御している。即ち磁気記録トラック１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，・・・・・の上では、ヒートシンクとなる記録媒体への熱伝導が大きくなり、また気流の線速も早くなるため、非磁性帯（非記録帯）１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，・・・・・の上に比して、第１の温度センサ１５ａ、第２の温度センサ１５ｂ部が冷却されやすくなる。このため、第１の温度センサ１５ａ、第２の温度センサ１５ｂにより、トラック方向に垂直方向の冷却速度の変化を、温度変化として検出し、トラッキング制御出来る。
【００２５】
図４に示すように、第１の温度センサ１５ａ、第２の温度センサ１５ｂのそれぞれの温度感知部（抵抗体部）４２は、熱容量の大きいヘッド１６に接触しないように中空部４１に浮かすのが高感度検出のためには好ましい。本発明の第１の実施の形態に係る情報再生装置のヘッド１６に搭載される第１の温度センサ１５ａ、第２の温度センサ１５ｂは、温度により電気抵抗が変化する材料により形成することが可能である。即ち、温度センサ１５ａ，１５ｂとしては電気抵抗の温度変化を用いたものや、熱起電力を検出するものが、簡単に製造出来るので好ましい。更に、半導体の電気抵抗の温度変化を利用したものは、Ｓｉプロセスで製造出来、磁気センサ等との集積化や軽量化のため最も好ましい。また温度により電気抵抗が変化する材料としては半導体若しくは、Ｓｂ−Ｔｅ等のカルコゲン合金類が好ましい。特にカルコゲン合金類はアモルファス・溶融状態と結晶状態では電気抵抗が大きく異なる。
【００２６】
第１の実施の形態では、トラッキング用の第１の温度センサ１５ａ及び第２の温度センサ１５ｂの出力を差動増幅した結果が０になるように、ヘッド１６の位置を制御することにより、垂直磁気記録媒体材料ＣｏＣｒＰｔの場合で、読み出し速度２００Ｍｂｐｓ以上でトラッキングが可能である。
【００２７】
一方、同じ垂直磁気記録媒体材料ＣｏＣｒＰｔを用いた均一記録媒体系を用いた情報再生装置では、トラックの垂直方向で、熱の流れの不均一性が得られないので、温度センサによるトラッキングは不能である。このため、通常のサーボライタを用いたサーボ信号を用いてトラッキングする必要がある。ＧＭＲ読み出しヘッドによる通常のサーボライタを用いたトラッキングでは、読み出し速度１００Ｍｂｐｓが限度である。
【００２８】
本発明の第１の実施の形態に係る記録媒体の磁気記録トラック１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，・・・・・は、図５及び図６を用いて説明するような金型６１を用いてレジストに凹凸を製造する工程を経て製造することが可能である。即ち、以下に説明するように、均一に堆積された磁性体膜（記録媒体層）４３の上にレジスト４５ａを塗布し、それに金型６１を押しつけてレジスト４５ａに凹凸を製造し、それをマスクとして磁性体膜（記録媒体層）４３をエッチングすることにより凹部に磁性体膜（記録媒体層）４３がないディスクリート記録媒体を得ることができる。
【００２９】
（イ）まず、直径２．５インチのガラスディスク基板４１上に、Ｐｄ下地層４２を３０ｎｍを堆積する。更に連続して、垂直磁気記録媒体材料ＣｏＣｒＰｔを膜厚５０ｎｍ堆積し記録媒体層４３を製造する。その上に、図５（ａ）に示すようにアルミナ膜４４を膜厚５ｎｍ堆積する。
【００３０】
（ロ）一方、電子線リソグラフィー及びメッキにより間隔７０ｎｍ、幅４０ｎｍ、高さ５０ｎｍのスパイラル形状凸部を持つＮｉ金型６１を用意しておく。そして、アルミナ膜４４の上にレジスト膜４５ａをスピンコートし、この別途用意したＮｉ金型６１を、レジスト膜４５ａに押しつけ、図５（ｂ）に示すような凹凸パターンを転写する。
【００３１】
（ハ）凹凸パターンを転写されたレジスト膜４５ａをエッチングマスクとして用い、ＲＩＥにより記録媒体層４３にまで達するまでアルミナ層４４のエッチングを行い、図５（ｃ）に示すようにアルミナ層４４に溝構造を形成する。レジスト膜４５ａは目減りして薄いレジスト膜４５ｂとなる。
【００３２】
（ニ）レジスト膜４５ｂを除去して、アルミナ層４４をマスクとしたＡｒイオンミリングにより、図６（ｄ）に示すように、記録媒体層４３をエッチングし、Ｐｄ下地層４２に達する溝部を形成する。
【００３３】
（ホ）そして、図６（ｅ）に示すように、溝部を埋め込むようにして、全面にダイヤモンドライクカーボン保護膜４５を堆積する。更に、化学的機械研磨（ＣＭＰ）等の手法により、図６（ｅ）に示すように、表面を平坦化すれば、記録媒体が完成する。埋め込まれたダイヤモンドライクカーボン保護膜４５が非記録帯（非磁性帯）として機能する。
【００３４】
或いは、光ディスクを製造するように、金型を用いたポリマーの射出成形を用いて、凹凸を転写する方法でも良い。ポリマーの射出成形で得た凹凸面に磁気記録媒体を堆積すると、凹凸面とも磁気記録媒体が作成されたディスクリート記録媒体が作成される。いずれの方法も、大量生産に向いた方法であり、かつ記録トラック幅を狭くできるため特に好ましい。
【００３５】
このようにして作成した記録媒体を原子間力顕微鏡により観察すれば、幅７０ｎｍの磁気記録トラック４４が、幅４０ｎｍのダイヤモンドライクカーボンからなる非磁性帯４５で分離された凹凸のスパイラルが形成されているのが確認出来る。
【００３６】
更に、本発明の第１の実施の形態に係るディスクリート磁気記録媒体の製造方法としては、光リソグラフィーや電子線リソグラフィーを用いる方法も可能である。更に、原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡、近接場光顕微鏡等の超微細な走査型プローブを用いて、機械的に加工する方法も採用可能である。光リソグラフィーは生産性に富むが磁気記録トラック１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，・・・・・の幅を狭くすることが困難である。電子線リソグラフィーや走査型プローブを用いた方法は記録トラック幅を狭くできるが、生産性に劣る。
【００３７】
ヘッド１６の平面構造は、種々のトポロジーが採用可能である。図１〜図３に示す構造では、第１の温度センサ１５ａ及び第２の温度センサ１５ｂは、書き込み手段１３を挟まない位置に配置されていた。しかし、図７に示すように、第１の温度センサ１５ａ及び第２の温度センサ１５ｂを、書き込み手段１３を挟む位置に配置しても良い。更に、図示を省略しているが、第１の温度センサ１５ａ及び第２の温度センサ１５が、書き込み手段１３及び読み出し手段１４の両方を挟む位置に配置されても構わない。
【００３８】
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態に係る情報再生装置は、磁気記録トラック１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，・・・・・を加熱する手段を有する。加熱する手段としてはサーマルヘッド、レーザー光照射、近接場光照射、電子線照射等があるが、加熱領域を小さくできる近接場光照射若しくは電子線照射が最も好ましい。本発明の第２の実施の形態に係る情報再生装置においては、このうち、近接場光照射部１７を有するヘッド１６について説明する。また、本発明の第２の実施の形態に係る情報再生装置は、読み出し手段（磁気センサ）１４としてプレーナ型のＧＭＲ素子を使用している。プレーナ型ＧＭＲ素子はウエハー面が記録媒体対向面となるため、本発明のように近接場光照射手段や光センサが必要な場合、同一基板に製造することができ、またヘッド実装が簡単になる。
【００３９】
第２の実施の形態に係る記録装置の断面図を図９に示す。ヘッド１６の平面構造の概略を図１０に示す。第１の温度センサ１５ａ、第２の温度センサ１５ｂ、近接場光照射部１７、読み出し手段（ＧＭＲ素子）１４及び書き込み手段（磁場印加部）１３と磁気記録トラック１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，・・・・・との相対的配置関係を図８に示す。第２の実施の形態に係る記録装置においては、ディスク（記録媒体）２１に対し、図９に示すようにヘッド１６が配置される。ヘッド１６には、近接場光照射部１７、書き込み手段（磁場印加部）１３、読み出し手段（ＧＭＲ素子）１４、第１の温度センサ１５ａ、第２の温度センサ１５ｂが一体化されて、搭載されている。
【００４０】
ヘッド１６は、図示を省略した筐体の底蓋上に固定された回転軸の回りに、軸受部材を介して回動自在に支持されたシーク機構によって駆動される。シーク機構は、圧電素子を構成要素とする２段アクチュエータ（図示省略）によって制御され、ヘッド１６の位置決めをするヘッド駆動・制御機構である。そして、図９に示すように、記録媒体（ディスク）２１は、筐体の底蓋上に設けたスピンドルモータ２６上に押圧板（図示省略）等により固定され、このスピンドルモータ２６により駆動され、回転する。近接場光照射部１７は波長６５０ｎｍの面発光レーザー３１を光源に用いている。
【００４１】
ヘッド１６の平面構造の概略は図１０に示すとおりである。即ち、縦７０ｎｍ、幅１００ｎｍの近接場光照射部１７、縦８０ｎｍ、幅２０ｎｍの単磁極書き込み手段（磁場印加部）１３、縦８０ｎｍ、幅２０ｎｍの読み出し手段（ＧＭＲ素子）１４、幅４０ｎｍ、長さ２００ｎｍの温度感知部を持つカルコゲン合金からなる第１の温度センサ１５ａ、第２の温度センサ１５ｂとから構成されている。第２の実施の形態では近接場光照射部１７から発生する熱を用いてカルコゲン合金温度感知部を、相変化付近の温度にまで上げ、記録媒体２１の熱伝導度の変化を高感度に検出する。ＧＭＲ素子１４はプレーナ型の素子である。ヘッド１６と磁気記録トラック１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，・・・・・の配置は図８に示すように、磁気記録トラック１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，・・・・・、非磁性帯（非記録帯）１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，・・・・・、近接場光照射部１７、単磁極書き込み手段（磁場印加部）１３、読み出し手段（ＧＭＲ素子）１４、第１の温度センサ１５ａ、第２の温度センサ１５ｂからなる。近接場光照射部１７と単磁極書き込み手段（磁場印加部）１３は１００ｎｍ離れており、読み出し手段（ＧＭＲ素子）１４と単磁極書き込み手段（磁場印加部）１３は２００ｎｍ離れている。
【００４２】
第２の実施の形態では、トラッキング用の第１の温度センサ１５ａ及び第２の温度センサ１５ｂが検出する信号の差が０になるように、ヘッド１６の位置を制御することにより読み出し速度１５０Ｍｂｐｓでトラッキングが可能である。更に、第２の実施の形態では、面発光レーザー３１の照射パワーを５ｍＷに上げて、書き込み速度７０Ｍｂｐｓで情報の書き込みが可能である。隣接するトラック中の磁気信号のクロスイレースも０．００１％以下である。
【００４３】
本発明の第２の実施の形態に係る記録媒体も、第１の実施の形態と同様に、金型６１を用いてレジストに凹凸を製造する工程を経て製造することが可能である。即ち、
（イ）まず、直径２．５インチのガラスディスク基板４１上にＰｄ下地層４２を３０ｎｍ、更に熱アシスト用垂直磁気記録媒体材料ＴｂＦｅＣｏからなる膜厚５０ｎｍの記録媒体層４３を製造する。その上に、図１１（ａ）に示すようにシリコン酸化膜（ＳｉＯ２膜）５４を膜厚５０ｎｍで堆積する。
【００４４】
（ロ）そして、ＳｉＯ２膜５４の上にレジスト膜４５ａをスピンコートする。電子線リソグラフィー、メッキにより製造した間隔７０ｎｍ、幅４０ｎｍ、高さ５０ｎｍのスパイラル形状凸部を持つＮｉ金型６１をレジスト膜４５ａに押しつけ、図１１（ｂ）に示すように、凹凸パターンを転写する。
【００４５】
（ハ）凹凸パターンが転写されたレジスト膜４５ａをエッチングマスクとして用い、ＲＩＥによりＳｉＯ２層５４を記録媒体層４３が露出するまで、エッチングする。この結果、図１１（ｃ）に示すように、ＳｉＯ２層５４に溝構造が形成される。レジスト膜４５ａはＲＩＥで目減りし、薄いレジスト膜４ｂになる。
【００４６】
（ニ）薄いレジスト膜４ｂを除去後、ＳｉＯ２層５４をマスクとして、Ａｒイオンミリングをすることにより、図１２（ｄ）に示すように記録媒体層４３をエッチングし、溝部を形成する。
【００４７】
（ホ）次にこの溝部の上からアルミナ膜５５を、図１２（ｅ）に示すように厚さ５０ｎｍで堆積する。この後、ＣＭＰにより平坦化し、図１２（ｆ）に示す構造の記録媒体が完成する。
【００４８】
このようにして作成した記録媒体を磁気力顕微鏡により観察すれば、幅７０ｎｍの磁気記録トラック５４が、幅４０ｎｍのアルミナの非磁性帯５５で分離されたスパイラルが形成されているのが確認出来る。
【００４９】
ヘッド１６の平面構造は、種々のトポロジーが採用可能である。図８〜図１０に示す構造では、第１の温度センサ１５ａ及び第２の温度センサ１５ｂが、近接場光照射部１７を挟み込み、書き込み手段１３及び読み出し手段１４を挟まない位置に配置されていた。しかし、図１３〜図１５に示すように、第１の温度センサ１５ａ及び第２の温度センサ１５ｂが、近接場光照射部１７を挟み込まず、書き込み手段１３及び読み出し手段１４を挟み込む位置に配置しても構わない。更に図示を省略しているが、図８〜図１０に示すトポロジーと図１３〜図１５に示すトポロジーとの中間的な位置に第１の温度センサ１５ａ及び第２の温度センサ１５ｂを配置しても構わない。
【００５０】
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明は第１及び第２の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【００５１】
【発明の効果】
本発明では、加熱によるクロスイレースが少なく、狭トラック幅でも十分にトラッキングが可能な情報再生装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る情報再生装置におけるヘッド構成部と記録媒体との相対的な位置関係を示す図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る情報再生装置の断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る情報再生装置におけるスライダヘッドの平面構造の概略図である。
【図４】図４（ａ）は、本発明の第１の実施の形態に係るスライダヘッドに搭載される温度センサの平面図で、図４（ｂ）は、この温度センサの断面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る記録媒体の製造方法を説明するための工程断面図である（その１）。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る記録媒体の製造方法を説明するための工程断面図である（その２）。
【図７】本発明の第１の実施の形態の変形例に係る情報再生装置におけるヘッド構成部と記録媒体との相対的な位置関係を示す図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る情報再生装置におけるヘッド構成部と記録媒体との相対的な位置関係を示す図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係る情報再生装置の断面図である。
【図１０】本発明の第２の実施の形態に係る情報再生装置におけるスライダヘッドの平面構造の概略図である。
【図１１】本発明の第２の実施の形態に係る記録媒体の製造方法を説明するための工程断面図である（その１）。
【図１２】本発明の第２の実施の形態に係る記録媒体の製造方法を説明するための工程断面図である（その２）。
【図１３】本発明の第２の実施の形態の変形例に係る情報再生装置におけるヘッド構成部と記録媒体との相対的な位置関係を示す図である。
【図１４】本発明の第２の実施の形態の変形例に係る情報再生装置の断面図である。
【図１５】本発明の第２の実施の形態の変形例に係る情報再生装置におけるスライダヘッドの平面構造の概略図である。
【符号の説明】
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ  磁気記録トラック
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ  非磁性帯（非記録帯）
１３  書き込み手段（磁場印加部）
１４  読み出し手段（磁気センサ）
１５ａ，１５ｂ  温度センサ
１６  ヘッド
１７  近接場光照射部
２１  ディスク（記録媒体）
２５  スライダヘッド
２６  スピンドルモータ
【図１】
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【図２】
0003702192.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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