(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状胴部の外周面一側部に照明光を導光する照明光導入部を配した本体鏡筒を有し、前記筒状胴部内には、中心光軸上で前記照明光導入部に対して所定角度で対面させると共に、下面側の周囲部分に環状ミラー部、中心部分にハーフミラー部を形成したハーフミラー部材を設け、且つ該ハーフミラー部材を包括する中心光軸上の外周囲に照明切替え筒体を可回動的に配設させ、
また、前記ハーフミラー部材の下部側には、中心光軸上でハーフミラー部に対応させた対物レンズを含む撮像光学系、及び該撮像光学系の外側周囲部分を占めて環状ミラー部に対応させた環状集光レンズを配設させ、その下部側に、前記中心光軸上で観察対象としての被験体試料の被観察部表面に対面させる対物開口部を開口し、且つ前記環状集光レンズに対応させる集光ガイド部材を配設させ、
さらに、前記照明切替え筒体の周壁部分には、前記照明光導入部を通して導光される照明光を少なくとも側斜光用、偏斜光用、落射光用、及び側斜光・落射光合成用の何れかに変換する複数種類の照明制御スリット部材を配し、且つ前記偏斜光用の照明制御スリット部材については、前記照明光導入部の入射光軸に直交して可回動的に構成し、
必要に応じ、前記側斜光用、偏斜光用、落射光用、及び側斜光・落射光合成用の各照明制御スリット部材の何れかを前記照明光導入部に選択的に対面させて、前記被験体試料に対する側斜光、偏斜光、落射光、及び側斜光・落射光の合成光による照明をそれぞれに得られるようにし、併せて、前記偏斜光用の照明制御スリット部材が選択されたときには、該偏斜光用の照明制御スリット部材を前記照明光導入部の入射光軸上で選択的に回動させて、前記被験体試料に対する偏斜光照明角度を任意に設定し得るようにしたことを特徴とする観察・撮像装置の照明装置。
【請求項２】
前記各照明制御スリット部材が、前記照明光導入部を通して導光される照明光を平行光束にする集束光学系を内蔵していることを特徴とする請求項１に記載の観察・撮像装置の照明装置。
【請求項３】
前記側斜光用の照明制御スリット部材が、前記環状ミラー部に対応する部分にのみ光透過部としての集束レンズを有していることを特徴とする請求項１及び２に記載の観察・撮像装置の照明装置。
【請求項４】
前記偏斜光用の照明制御スリット部材が、前記環状ミラー部の一部に対応する部分にのみ光透過部としての集束レンズを有していることを特徴とする請求項１及び２に記載の観察・撮像装置の照明装置。
【請求項５】
前記落射光用の照明制御スリット部材が、前記ハーフミラー部に対応する部分にのみ光透過部としての集束レンズを有していることを特徴とする請求項１及び２に記載の観察・撮像装置の照明装置。
【請求項６】
前記側斜光・落射光合成用の照明制御スリット部材が、前記環状ミラー部とハーフミラー部とに対応する部分にのみ光透過部としての集束レンズを有していることを特徴とする請求項１及び２に記載の観察・撮像装置の照明装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、任意の各種被験体試料（以下、単に被験体試料という）の表面像を観察、もしくは撮像するために適用する観察・撮像装置の照明装置に関し、さらに詳しくは、観察対象としての被験体試料の被観察部表面の照明を、必要に応じて、側射光照明、落射光照明の何れか一方、もしくは双方によって行ない得るようにした観察・撮像装置の照明装置に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、この種の観察対象としての被験体試料における被観察部の表面に対面させた状態で、例えば、それぞれに投光照明手段を内蔵する照明ヘッド、もしくは撮像ヘッドを臨ませて配置し、当該被観察部を照明することによって、その表面像、ないしは拡大された表面像を直接的に観察する観察装置、もしくはモニタテレビの画面上に表示させて間接的に観察する撮像装置にあっては、該被験体試料の被観察部表面に対して、これに斜行する側面側から斜め方向に向う斜行光線のみを照射する照明、いわゆる側射光を主体とする照明を行うようにするか、あるいは該被観察部表面に対して、これに正対する平面側から垂直方向に向う平行光線のみを照射する照明、いわゆる落射光を主体とする照明を行なうようにしているのが一般的である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の側射光を主体とする照明手法、もしくは落射光を主体とする照明手法においては、例えば、観察対象となる被験体試料の平面部が比較的微細な凹凸のある形状である場合には、これらの各照明手法を個別に実行しても、該表面部の微細な凹凸形状を必ずしも精緻には観察できないという不利があり、また、これらの各照明手法を同時に実行する方法も考えられるが、装置自体の構成が徒らに複雑化するという問題点があった。
【０００４】
本発明は、従来のこのような問題点を解消するためになされたもので、その目的とするところは、観察対象としての被験体試料における被観察部表面が、たとえ、比較的微細な凹凸を有する平面形状であっても、該被観察部表面の個々の観察目的に対応して、全外周上の側斜光と一部外周上の偏斜光とを主体とする各照明、または同軸上の落射光を主体とする照明、ないしは側斜光と落射光との合成光による照明の各照明像の観察のそれぞれを合わせて、簡略化された同一構成内で有効かつ適切に行ない得るようにした、同一視野で各照明像を観察しうる観察・撮像装置の照明装置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明に係る観察・撮像装置の照明装置は、次のように構成したものである
【０００６】
即ち、本発明は、筒状胴部の外周面一側部に照明光を導光する照明光導入部を配した本体鏡筒を有し、前記筒状胴部内には、中心光軸上で前記照明光導入部に対して所定角度で対面させると共に、下面側の周囲部分に環状ミラー部、中心部分にハーフミラー部を形成したハーフミラー部材を設け、且つ該ハーフミラー部材を包括する前記中心光軸上の外周囲に照明切替え筒体を可回動的に配設させ、また、前記ハーフミラー部材の下部側には、中心光軸上でハーフミラー部に対応させた対物レンズを含む撮像光学系、及び該撮像光学系の外側周囲部分を占めて環状ミラー部に対応させた環状集光レンズを配設させ、その下部側に、前記中心光軸上で観察対象としての被験体試料の被観察部表面に対面させる対物開口部を開口し、且つ前記環状集光レンズに対応させる集光ガイド部材を配設させ、さらに、前記照明切替え筒体の周壁部分には、前記照明光導入部を通して導光される照明光を少なくとも側斜光用、偏斜光用、落射光用、及び側斜光・落射光合成用の何れかに変換する複数種類の照明制御スリット部材を配し、且つ前記偏斜光用の照明制御スリット部材については、前記照明光導入部の入射光軸に直交して可回動的に構成し、必要に応じ、前記側斜光用、偏斜光用、落射光用、及び側斜光・落射光合成用の各照明制御スリット部材の何れかを前記照明光導入部に選択的に対面させて、前記被験体試料に対する側斜光、偏斜光、落射光、及び側斜光・落射光の合成光による照明をそれぞれに得られるようにし、併せて、前記偏斜光用の照明制御スリット部材が選択されたときには、該偏斜光用の照明制御スリット部材を前記照明光導入部の入射光軸上で選択的に回動させて、前記被験体試料に対する偏斜光照明角度を任意に設定し得るようにしたことを特徴とする観察・撮像装置の照明装置である。
【０００７】
また、前記観察、撮像装置の照明装置の構成において、前記各照明制御スリット部材が、前記照明光導入部を通して導光される照明光を平行光束にする集束光学系を内蔵していることを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】
本発明においては、前記側斜光用、偏斜光用、落射光用、及び側斜光・落射光合成用の何れかの照明制御スリット部材を照明光導入部に選択的に対面させることで、該照明光導入部に導光される照明光を該当する側斜光、偏斜光、落射光、及び側斜光・落射光の合成光に変換して前記被験体試料の被観察部表面を照明し得るのであり、そして、偏斜光用の照明制御スリット部材が選択されたときは、これを回動させることで、被験体試料に対する偏斜光照明角度を任意に設定して同様に照明し得るのである。
【０００９】
また、前記各照明制御スリット部材に対して、前記照明光導入部を通して導光される照明光を平行光束にする集束光学系を内蔵させるときは、選択された側斜光、偏斜光、落射光、及び側斜光・落射光の合成光を平行光束にでき、前記被験体試料の被観察部表面を一層、効果的に照明し得る。
【００１０】
【実施例】
以下、本発明に係る観察・撮像装置の照明装置の一実施例につき、図１ないし図３、図４ないし図７を参照して詳細に説明する。
【００１１】
本実施例は、撮像装置に対して本照明装置を使用する場合であり、観察装置の照明装置としても適用可能なことは勿論である。
【００１２】
最初に、図１ないし図３に示す本実施例の撮像装置における照明装置の構成について述べる。
【００１３】
図１は、本発明の一実施例による照明装置を適用した撮像装置の概要構成を模式的に示す縦断面図、図２は、同上照明装置における照明切替え筒体を取り出して模式的に示す拡大横断面図である。
【００１４】
また、図３（ａ）ないし（ｄ）は、同実施例の照明切替え筒体における集束光学系内蔵型の各照明制御部材をそれぞれに展開して模式的に示すもので、同図３（ａ）は、側斜光用の照明制御スリット部材（以下、側斜光用スリット部材という）の正面説明図、同図３（ｂ）は、偏斜光用の照明制御スリット部材（以下、偏斜光用スリット部材という）の正面説明図、同図３（ｃ）は、落射光用の照明制御スリット部材（以下、落射光用スリット部材という）の正面説明図、同図３（ｄ）は、側斜光と落射光との合成光用の照明制御スリット部材（以下、側斜光・落射光の合成光用スリット部材という）の正面説明図である。
【００１５】
即ち、これらの図１ないし図３に示す実施例装置の構成において、撮像装置の本体鏡筒１１は、外周面一側部の所定位置に光ファイバー束１３ａを通して入射光軸Ｂ土の照明光を導光する照明光導入部１３を配した筒状胴部１２を有しており、該筒状胴部１２内には、中心光軸Ａ上で、前記照明光導入部１３に対して４５°の角度で対面し、且つ下面側の外側周囲部分に対して別に蒸着された環状ミラー部１５、中心部分にハーフミラー部１６をそれぞれに形成したハーフミラー部材１４を設けると共に、該ハーフミラー部材１４を包括する外周囲にあって、詳細については後述する切替え操作リング３２付きの照明切替え筒体３１を中心光軸Ａ上で可回動的に配設してある。
【００１６】
また、前記ハーフミラー部材１４の下部側には、中心光軸Ａ上で、前記ハーフミラー部材１４のハーフミラー部１６に対応させた対物レンズを含む撮像光学系１７、該撮像光学系１７の外側周囲部分を占めて前記環状ミラー部１５に対応させた環状集光レンズ１８をそれぞれに設け、さらに、その下部側にあって、観察対象としての被験体試料Ｃの被観察部表面に対面させる対物開口部２０を開口すると共に、前記環状集光レンズ１８に対応させた内側周囲部分に集光段部２１を形成した集光ガイド部材１９を設けてある。
【００１７】
一方、前記ハーフミラー部材１４の上部側には、同様に中心光軸Ａ上で、フォーカス操作リング２３によってフォーカス作動されるフォーカス機構（公知態様のものであってよいので、詳細については省略する）２２を介し、可変倍率機構（ここでも、公知態様のものであってよいので、詳細については省略する）２５を有するＣＣＤ素子２４を配設してある。
【００１８】
さらに、前記切替え操作リング３２付きの照明切替え筒体３１は、図２、図３（ａ）ないし（ｄ）から明らかなように、前記ハーフミラー部材１４の周囲を切替え操作リング３２によって中心光軸Ａ上で回動可能にした保持筒、この場合、好ましくは、直角（９０゜）の角度範囲毎に節度的に回動し得るようにされた保持筒３３を有しており、該保持筒３３の同様に該当角度範囲毎に４分割した各周壁部分にあって、前記照明光導入部１３を通して導光される照明光を平行光束にするための集束光学系をそれぞれに内蔵した側斜光用スリット部材４１、偏斜光用スリット部材５１、落射光用スリット部材６１、及び側斜光・落射光合成用スリット部材７１をそれぞれ個別に嵌設したもので、これらの各照明制御スリット部材４１、５１、６１、及び７１は、切替え操作リング３２の選択的な切替え操作で照明光導入部１３に対面させ得るようになっている。
【００１９】
ここで、前記側斜光用スリット部材４１については、図３（ａ）に示した如くに、前記ハーフミラー部材１４での環状ミラー部１５の全周囲に対応する部分においてのみ光透過部としての環状をした照明光束の集束レンズ４２を設け、且つ他の部分を非光透過部４３としてある。
【００２０】
前記偏斜光用スリット部材５１については、図３（ｂ）に示した如くに、前記ハーフミラー部材１４での環状ミラー部１５の一部周囲、この場合は、右半部に対応する部分においてのみ光透過部としての半環状をした照明光束の集束レンズ５２を設け、且つ他の部分を非光透過部５３としてあり、且つ一方では、入射光軸Ｂ上で該集束レンズ５２を任意に回動可能にする回動操作リング５４を有している。
【００２１】
前記落射光用スリット部材６１については、図３（ｃ）に示した如くに、前記ハーフミラー部材１４でのハーフミラー部１６に対応する部分においてのみ光透過部としての照明光束の集束レンズ６２を設け、且つ他の部分を非光透過部６３としてある。
【００２２】
前記側斜光・落射光の合成光用スリット部材７１については、図３（ｄ）に示した如くに、前記ハーフミラー部材１４での環状ミラー部１５とハーフミラー部１６の全周囲とに対応する部分においてのみ光透過部としての照明光束の集束レンズ７２を設け、且つ他の部分を非光透過部７３としてある。
【００２３】
次に、上記実施例構成による照明装置を用い、図４ないし図７の各照明態様で被験体試料Ｃを観察する場合の作用について順次に述べる。
【００２４】
そして、この場合には、これらの各照明形態により、本体鏡筒１１の対物開口部２０を対面させる被験体試料Ｃに対して、予め、フォーカス操作リング２３によるフォーカス機構２２のフォーカス作動Ｄと可変倍率機構２５の変倍作動Ｅとがそれぞれになされているものとし、ここでは、該各照明形態によって被験体試料Ｃを照明したときの撮像光ｂが、適正にＣＣＤ素子２４へ入射するように設定されているものとする。
【００２５】
先ず、図４（ａ）、（ｂ）は、同上実施例による撮像装置を側斜光主体の照明形態（以下、第１の照明形態という）で使用する場合の照明光と撮像光との光路態様を示す縦断面説明図、同上第１の照明形態で選択された側斜光用スリット部材と被験体試料に対する照明光、及び撮像光との関係を示す説明図である。
【００２６】
本第１の照明形態では、同図４（ａ）、（ｂ）に見られるように、切替え操作リング３２の選択切替え操作により、照明切替え筒体３１の側斜光用スリット部材４１を照明光導入部１３に対面させて使用する。
【００２７】
即ち、本第１の照明形態による場合、照明光導入部１３に導光される照明光ａは、先ず、側斜光用スリット部材４１の環状に形成した集束レンズ４２のみを通して、平行光束にされた上で、ハーフミラー部材１４の全周囲に亘って形成した環状ミラー部１５により、中心光軸Ａ上で下方へ向けて反射され、且つ環状集光レンズ１８を経た後に、集光段部２１から集光ガイド部材１９内に導入されると共に、該集光ガイド部材１９で集光ガイドされ、対物開口部２０の全内周面から全周囲に亘る側斜光ａ１として被験体試料Ｃの被観察部に照射されるもので、この場合には、該被験体試料Ｃの被観察部に対して、全周囲方向からの側斜光ａ１を用いた照明が独立的になされる。
【００２８】
次いで、被験体試料Ｃの被観察部で反射された撮像光ｂ１は、対物開口部２０から撮像光学系１７を通して導光され、ハーフミラー部材１４のハーフミラー部１６を経た後に、ＣＣＤ素子２４に入射されると共に、該ＣＣＤ素子２４により撮像光ｂ１が電気信号に変換され、且つこれを図示しないモニタテレビの画面上に表示させることによって、所期通りの側斜光ａ１による被観察部の照明像（観察像）、つまりは、第１の照明形態で照明された照明像を容易にしかも効果的に観察し得るのである。
【００２９】
次に、図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、同上実施例による撮像装置を偏斜光主体の照明形態（以下、第２の照明形態という）で使用する場合の照明光と撮像光との光路態様を示す縦断面説明図、同第２の照明形態で選択された偏斜光用スリット部材による照明光の照射範囲を示す説明図、同第２の照明形態で選択された偏斜光用スリット部材と被験体試料に対する照明光、及び撮像光との関係を示す説明図である。
【００３０】
本第２の照明形態では、同図５（ａ）、（ｂ）に見られるように、切替え操作リング３２の選択切替え操作により、照明切替え筒体３１の偏斜光用スリット部材５１を照明光導入部１３に対面させて使用する。
【００３１】
即ち、本第２の照明形態による場合にも、照明光導入部１３に導光される照明光ａは、先ず、偏斜光用スリット部材５１の右半部に相当する半環状に形成した集束レンズ５２のみを通して平行光束にされた上で、ハーフミラー部材１４の環状ミラー部１５の内の該当する右半部により、中心光軸Ａ上で下方へ向けて反射され、且つ同様に環状集光レンズ１８の右半部を経た後に、対応する集光段部２１から集光ガイド部材１９内に導入されると共に、該集光ガイド部材１９で集光ガイドされ、対物開口部２０の右半部該当の内周面から半周囲に亘る偏斜光ａ２として被験体試料Ｃの被観察部に照射されるもので、この場合には、該被験体試料Ｃの被観察部に対して、半周囲方向からの偏斜光ａ２を用いた照明が独立的になされる。
【００３２】
次いで、被験体試料Ｃの被観察部で反射された撮像光ｂ２は、ここでも、対物開口部２０から撮像光学系１７を通して導光され、ハーフミラー部材１４のハーフミラー部１６を経た後に、ＣＣＤ素子２４に入射されると共に、該ＣＣＤ素子２４により撮像光ｂ２が電気信号に変換され、且つこれを図示しないモニタテレビの画面上に表示させることによって、所期通りの偏斜光ａ２による被観察部の照明像（観察像）、つまりは、第２の照明形態で照明された照明像を容易にしかも効果的に観察し得るのである。
【００３３】
そして、本第２の照明形態による場合には、回動操作リング５４を入射光軸Ｂ上で任意選択的に回動操作することにより、前記した偏斜光ａ２による照明光の照射角度範囲を中心光軸Ａ上で変更して観察し得るのである。
【００３４】
次に、図６（ａ）、（ｂ）は、同実施例による撮像装置を落射光照明（以下、第３の照明形態という）で使用する場合の照明光と撮像光との光路態様を示す縦断面説明図、同第３の照明形態で選択された落射光用スリット部材と被験体試料に対する照明光、及び撮像光との関係を示す説明図である。
【００３５】
本第３の照明形態では、同図６（ａ）、（ｂ）に見られるように、切替え操作リング３２の選択切替え操作により、照明切替え筒体３１の落射光用スリット部材６１を照明光導入部１３に対面させて使用する。
【００３６】
即ち、本第３の照明形態による場合にも、照明光導入部１３に導光される照明光ａは、先ず、落射光用スリット部材６１の中心部に相当して形成した集束レンズ６２のみを通して平行光束にされた上で、ハーフミラー部材１４のハーフミラー部１６により、中心光軸Ａ上で下方に向けて反射され、且つ撮像光学系１７を経た後に、対物開口部２０から落射光ａ３として被験体試料Ｃの被観察部に照射されるもので、この場合には、該被験体試料Ｃの被観察部に対して、垂直方向からの落射光ａ３を用いた照明が独立的になされる。
【００３７】
次いで、被験体試料Ｃの被観察部で反射された撮像光ｂ３は、再度、対物開口部２０から撮像光学系１７を通して導光され、ハーフミラー部材１４のハーフミラー部１６を経た後に、ＣＣＤ素子２４に入射されると共に、該ＣＣＤ素子２４により撮像光ｂ３が電気信号に変換され、且つこれを図示しないモニタテレビの画面上に表示させることによって、所期通りの落射光ａ３による被観察部の照明像（観察像）、つまりは、第３の照明形態で照明された照明像を容易にしかも効果的に観察し得るのである。
【００３８】
次に、図７（ａ）、（ｂ）は、同実施例による撮像装置を側斜光と落射光の合成光照明（以下、第４の照明形態という）で使用する場合の照明光と撮像光との光路態様を示す縦断面説明図、同第４の照明形態で選択された落射光用スリット部材と被験体試料に対する照明光、及び撮像光との関係を示す説明図である。
【００３９】
本第４の照明形態では、同図７（ａ）、（ｂ）に見られるように、切替え操作リング３２の選択切替え操作により、照明切替え筒体３１の側斜光・落射光合成用スリット部材７１を照明光導入部１３に対面させて使用する。
【００４０】
即ち、本第４の照明形態による場合、照明光導入部１３に導光される照明光ａは、先ず、一方において、前記第１の照明形態による場合と同様に、側斜光・落射光合成用スリット部材７１の集束レンズ７２の内で、周囲相当の環状部分のみを通して、平行光束にされた上で、ハーフミラー部材１４の全周囲に亘って形成した環状ミラー部１５により、中心光軸Ａ上で下方へ向け側斜光ａ４ａとして反射され、また、他方において、前記第３の照明形態による場合と同様に、前記側斜光・落射光合成用スリット部材７１の集束レンズ７２の内で、中心部分のみを通して平行光束にされた上で、ハーフミラー部材１４の中心部分に形成したハーフミラー部１６により、中心光軸Ａ上で下方に向け落射光ａ４ｂとして反射されることになる。
【００４１】
そして、前記前者相当の一方の側斜光ａ４ａについては、環状集光レンズ１８を経た後に、集光段部２１から集光ガイド部材１９内に導入されると共に、該集光ガイド部材１９で集光ガイドされ、対物開口部２０の全内周面から全周囲に亘って被験体試料Ｃの被観察部に照射され、また、前記後者相当の他方の落射光ａ４ｂについては、撮像光学系１７を経た後に、対物開口部２０を通して垂直方向から被験体試料Ｃの被観察部に照射されることになり、この場合には、該被験体試料Ｃの被観察部に対して、全周囲方向からの側斜光ａ４ａを用いた照明と、垂直方向からの落射光ａ４ｂとの両者、つまり、これらの側斜光ａ４ａと落射光ａ４ｂとの合成光ａ４を用いた照明が独立的になされる。
【００４２】
次いで、被験体試料Ｃの被観察部で反射された撮像光ｂ４は、再度、対物開口部２０から撮像光学系１７を通して導光され、ハーフミラー部材１４のハーフミラー部１６を経た後に、ＣＣＤ素子２４に入射されると共に、該ＣＣＤ素子２４により撮像光ｂ４が電気信号に変換され、且つこれを図示しないモニタテレビの画面上に表示させることによって、所期通りの側斜光ａ４ａと落射光ａ４ｂとの合成光ａ４による被観察部の照明像（観察像）、つまりは、第４の照明形態で照明された照明像を容易にしかも効果的に観察し得るのである。
【００４３】
なお、前記実施例においては、各照明制御スリット部材に平行光束を得るための集光レンズを設けているが、照明光導入部との間にあって、照明光を平行光束にする光学系を介在させることにより、該集光レンズに代えて単なる導光スリットを設けるようにしてもよい。
【００４４】
【発明の効果】
以上、実施例、及び各使用形態例によって詳述したように、本発明によれば、筒状胴部の外周面一側部に照明光を導光する照明光導入部を配した本体鏡筒を設けて、筒状胴部内には、中心光軸上で照明光導入部に対し所定角度で対面させると共に、下面側の周囲部分に環状ミラー部、中心部分にハーフミラー部を形成したハーフミラー部材を設け、且つハーフミラー部材を包括する中心光軸上の外周囲に照明切替え筒体を可回動的に配設させ、ハーフミラー部材の下部側には、中心光軸上でハーフミラー部に対応させた対物レンズを含む撮像光学系、及び該撮像光学系の外側周囲部分を占めて環状ミラー部に対応させた環状集光レンズを配設させ、その下部側に、中心光軸上で観察対象としての被験体試料の被観察部表面に対面させる対物開口部を開口し、且つ環状集光レンズに対応させる集光ガイド部材を配設させ、照明切替え筒体の周壁部分には、照明光導入部を通して導光される照明光を少なくとも側斜光用、偏斜光用、落射光用、及び側斜光・落射光合成用の何れかに変換する複数種類の照明制御スリット部材を配し、且つ偏斜光用の照明制御スリット部材については、照明光導入部の入射光軸に直交して可回動的に構成し、必要に応じて、各照明制御スリット部材の何れかを照明光導入部に選択的に対面させ得るようにし、併せて、偏斜光用の照明制御スリット部材が選択されたときには、該偏斜光用の照明制御スリット部材を照明光導入部の入射光軸上で選択的に回動させて、前記被験体試料に対する偏斜光照明角度を任意に設定し得るようにしたから、観察目的に対応して、側斜光用、偏斜光用、落射光用、及び側斜光・落射光合成用の何れかの照明制御スリット部材を照明光導入部に選択的に対面させるだけの簡単な操作で、照明光導入部に導光される照明光を該当する側斜光、偏斜光、落射光、及び側斜光・落射光の合成光の何れかに変換して被験体試料の被観察部表面をそれぞれの目的に相応して効果的に照明でき、また、偏斜光用の照明制御スリット部材が選択されたときは、これを回動させることで、被験体試料に対する偏斜光照明角度を任意に設定して同様に観察し得るのであり、しかも装置構成自体も比較的簡単で容易に実施し得る等の優れた特長がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例による照明装置を適用した撮像装置の概要構成を模式的に示す縦断面図である。
【図２】同上実施例の照明装置における照明切替え筒体を取り出して模式的に示す拡大横断面図である。
【図３】同上実施例の照明切替え筒体における集束光学系内蔵型の各照明制御部材をそれぞれに展開して模式的に示すもので、（ａ）は、側斜光用の照明制御スリット部材の正面説明図、（ｂ）は、偏斜光用の照明制御スリット部材の正面説明図、（ｃ）は、落射光用の照明制御スリット部材の正面説明図、（ｄ）は、側斜光と落射光との合成光用照明制御スリット部材の正面説明図である。
【図４】（ａ）は、同上実施例による撮像装置を側斜光照明形態で使用する場合の照明光と撮像光との光路態様を示す縦断面説明図、（ｂ）は、同上照明形態で選択された側斜光用スリット部材と被験体試料に対する照明光、及び撮像光との関係を示す説明図である。
【図５】（ａ）は、同上実施例による撮像装置を偏斜光照明形態で使用する場合の照明光と撮像光との光路態様を示す縦断面説明図、（ｂ）は、同上照明形態で選択された偏斜光用スリット部材による照明光の照射範囲を示す説明図、（ｃ）は、同上照明形態で選択された偏斜光用スリット部材と被験体試料に対する照明光、及び撮像光との関係を示す説明図である。
【図６】（ａ）は、同上実施例による撮像装置を落射光照明形態で使用する場合の照明光と撮像光との光路態様を示す縦断面説明図、（ｂ）は、同上照明形態で選択された落射光用スリット部材と被験体試料に対する照明光、及び撮像光との関係を示す説明図である。
【図７】（ａ）は、同上実施例による撮像装置を側斜光と落射光の合成光照明形態で使用する場合の照明光と撮像光との光路態様を示す縦断面説明図、（ｂ）は、同上照明形態で選択された側斜光・落射光の合成光用スリット部材と被験体試料に対する照明光、及び撮像光との関係を示す説明図である。
【符号の説明】
１１  本体鏡筒
１２  筒状胴部
１３  照明光導入部
１３ａ  光ファイバー束
１４  ハーフミラー部材
１５  環状ミラー部
１６  ハーフミラー部
１７  撮像光学系
１８  環状集光レンズ
１９  集光ガイド部材
２０  対物開口部
２１  集光段部
２２  フォーカス機構
２３  フォーカス操作リング
２４  ＣＣＤ素子
２５  可変倍率機構
３１  照明切替え筒体
３２  切替え操作リング
３３  スリット保持筒
４１  側斜光用の照明制御スリット部材（側斜光用スリット部材）
４２  照明光束の集束レンズ
４３  非光透過部
５１  偏斜光用の照明制御スリット部材（偏斜光用スリット部材）
５２  照明光束の集束レンズ
５３  非光透過部
５４  回動操作リング
６１  落射光用の照明制御スリット部材（落射光用スリット部材）
６２  照明光束の集束レンズ
６３  非光透過部
７１  側斜光と落射光の合成光用の照明制御スリット部材  （側斜光・落射光の合成光用スリット部材）
７２  照明光束の集束レンズ
７３  非光透過部
Ａ  中心光軸
Ｂ  入射光軸
Ｃ  被験体試料
ａ  照明光
ａ１、ａ４ａ  側斜光
ａ２  偏斜光
ａ３、ａ４ｂ  落射光
ａ４  側斜光と落射光の合成光
ｂ１、ｂ２、ｂ３、ｂ４  撮像光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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