(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
砥石台、
被研削体を研削するために前記砥石台に回転自在に支持されかつ流体が直接供給されることによって回転駆動する砥石、および
前記砥石に前記流体を直接供給する流体供給手段を備える、研削装置。
【請求項２】
砥石台、
被研削体を研削するために前記砥石台に回転自在に支持されかつ外周面に突起を有し当該突起に流体が供給されることによって回転駆動する砥石、および
前記砥石の前記突起に前記流体を供給する流体供給手段を備える、研削装置。
【請求項３】
前記砥石台は、基台と、前記砥石を支持する砥石支持アームとを含み、
前記砥石支持アームは、前記被研削体の内部に入って前記被研削体を研削する前記砥石を支持するために前記基台から突出して設けられる、請求項１または２に記載の研削装置。
【請求項４】
前記突起は、湾曲面を含む凹部を有する、請求項２に記載の研削装置。
【請求項５】
前記砥石は回転軸を一体的に備える、請求項１から４のいずれかに記載の研削装置。
【請求項６】
さらに、前記砥石が取り付けられる回転軸、および前記砥石と前記回転軸との間に設けられる軸受けを備え、
前記軸受けは、単列の転動体を有する複数の軸受けおよび複列の転動体を有する軸受けのうち少なくともいずれか一方を含む、請求項１から４のいずれかに記載の研削装置。
【請求項７】
さらに、前記砥石が取り付けられる回転軸を備え、
単列の転動体を有する軸受けが前記砥石と前記回転軸との間に１つだけ設けられる、請求項１から４のいずれかに記載の研削装置。
【請求項８】
前記流体は、液体および気体の少なくともいずれか一方を含む、請求項１から７のいずれかに記載の研削装置。
【請求項９】
砥石台、および
被研削体を研削するために前記砥石台に回転自在に支持されかつ流体を直接受けることによって回転駆動される砥石を備える、砥石ユニット。
【請求項１０】
砥石台、および
被研削体を研削するために前記砥石台に回転自在に支持されかつ外周面に突起を有し当該突起に流体が供給されることによって回転駆動する砥石を備える、砥石ユニット。
【請求項１１】
砥石によって被研削体を研削する研削方法であって、
前記被研削体を固定する第１工程、
前記砥石に流体を直接供給することによって前記砥石を回転駆動させる第２工程、および
前記砥石を前記被研削体に対して相対移動させて前記砥石によって前記被研削体を研削する第３工程を備える、研削方法。
【請求項１２】
外周面に突起を有する砥石によって被研削体を研削する研削方法であって、
前記被研削体を固定する第１工程、
前記砥石の前記突起に流体を供給することによって前記砥石を回転駆動させる第２工程、および
前記砥石を前記被研削体に対して相対移動させて前記砥石によって前記被研削体を研削する第３工程を備える、研削方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、研削装置、研削ユニットおよび研削方法に関し、より特定的には砥石を被研削体の内部に入れて被研削体を研削する研削装置、研削ユニットおよび研削方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この発明が効果的に適用される被研削体の一例として、エアコン用ロータリーコンプレッサーのシリンダを図８に示す。シリンダ１は、貫通孔２を有する筒形に形成され、内周面にベーン取付溝３を備える。
エアコン用ロータリーコンプレッサーには、環境対策および省エネ対策の一環で益々高能率化、高精度化が要求されている。中でも触媒を圧縮する部品であるシリンダ１には、ベーン取付溝３の側壁面４の平行度、平面度、表面粗さの向上が要求されている。
【０００３】
一般的に、ベーン取付溝３のような深溝の対向する側壁面を研削する研削装置として、台板と台板の外周部側面に設けられる砥粒とを含む砥石を備え、砥石の回転軸の両端部に回転軸を回転自在に支持する軸受支持部が設けられ、さらに回転軸の一端部にプーリなどの駆動機構部が設けられたものが従来より知られている。
ベーン取付溝３の側壁面４を研削するためには、ベーン取付溝３はシリンダ１の内周面に設けられているため、砥石をベーン取付溝３と貫通孔２に入れる必要がある。しかし、一般的にシリンダ１の内径は３０〜４０ｍｍ、ベーン取付溝３の幅は３〜４ｍｍと非常に狭い。このため、砥石自体は入っても、軸受支持部や駆動機構部が貫通孔２内に入らず、従来の研削装置ではベーン取付溝３の研削ができなかった。
【０００４】
このため、従来、ベーン取付溝３は、ブローチ加工されるのみであった。このブローチ加工は切削加工の一種であるため、加工精度に限界があった。
そこで、ベーン取付溝３を研削する手段として、実開平３−７９２５４号公報に記載の技術がすでに提案されている。ここでは、砥石の外周面にベルト溝を設けてベルトを掛け渡しベルト駆動する手段や、砥石の外周面に歯車の歯を設けて歯車駆動する手段が開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ベルト駆動では、砥石の厚さはベーン取付溝３の幅（一般的に３〜４ｍｍ）に合わせる必要があるため非常に薄く、したがって砥石に掛け渡すベルトの幅もそれに合わせて非常に細くする必要がある。
また、構造上、ベルトにカバーをすることができないため、ベルトはクーラントや研削屑にさらされて回転することとなる。そのため、ベルトの耐久性が非常に低く、コストが高くなってしまう。
【０００６】
さらに、所定の精度を得るためには、研削時の砥石の周速は最低でも１０００〜１５００ｍ／ｍｉｎ程度確保したいところであり、そのためには５０００ｒｐｍ以上の砥石の回転数が必要である。しかし、上述のようにベルトが非常に細くその強度が低いため、ベルト駆動では回転数を上げることができない。したがって、低い周速で砥石を回転させて研削するため、砥石の磨耗が早く砥石の寿命が短くなり、この点でもコストが高くなってしまう。その上、砥石の周速が低いため研削精度も悪くなる。
【０００７】
また、歯車駆動では、大きな振動や騒音が発生するとともに、ベルト駆動にも増して砥石の周速を上げることができない。このため、砥石の磨耗が早くなるとともに、研削精度も悪くなる。さらに、歯車の歯は、ベルト駆動の場合と同様にクーラントや研削屑にさらされて回転することとなるため、歯車の歯の磨耗が早く、コストが高くなってしまう。
それゆえにこの発明の主たる目的は、精度がよくかつコストを低くおさえることができる研削装置、砥石ユニットおよび研削方法を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の研削装置は、砥石台、被研削体を研削するために砥石台に回転自在に支持されかつ流体が直接供給されることによって回転駆動する砥石、および砥石に流体を直接供給する流体供給手段を備える。
請求項２に記載の研削装置は、砥石台、被研削体を研削するために砥石台に回転自在に支持されかつ外周面に突起を有し当該突起に流体が供給されることによって回転駆動する砥石、および砥石の突起に流体を供給する流体供給手段を備える。
請求項３に記載の研削装置は、請求項１または２に記載の研削装置において、砥石台は、基台と、砥石を支持する砥石支持アームとを含み、砥石支持アームは、被研削体の内部に入って被研削体を研削する砥石を支持するために基台から突出して設けられることを特徴とする。
【０００９】
請求項４に記載の研削装置は、請求項２に記載の研削装置において、突起は、湾曲面を含む凹部を有することを特徴とする。
請求項５に記載の研削装置は、請求項１から４のいずれかに記載の研削装置において、砥石は回転軸を一体的に備えることを特徴とする。
請求項６に記載の研削装置は、請求項１から４のいずれかに記載の研削装置において、さらに、砥石が取り付けられる回転軸、および砥石と回転軸との間に設けられる軸受けを備え、軸受けは、単列の転動体を有する複数の軸受けおよび複列の転動体を有する軸受けのうち少なくともいずれか一方を含むことを特徴とする。
【００１０】
請求項７に記載の研削装置は、請求項１から４のいずれかに記載の研削装置において、さらに、砥石が取り付けられる回転軸を備え、単列の転動体を有する軸受けが砥石と回転軸との間に１つだけ設けられることを特徴とする。
請求項８に記載の研削装置は、請求項１から７のいずれかに記載の研削装置において、流体は、液体および気体の少なくともいずれか一方を含むことを特徴とする。
請求項９に記載の砥石ユニットは、砥石台、および被研削体を研削するために砥石台に回転自在に支持されかつ流体を直接受けることによって回転駆動される砥石を備える。
請求項１０に記載の砥石ユニットは、砥石台、および被研削体を研削するために砥石台に回転自在に支持されかつ外周面に突起を有し当該突起に流体が供給されることによって回転駆動する砥石を備える。
【００１１】
請求項１１に記載の研削方法は、砥石によって被研削体を研削する研削方法であって、被研削体を固定する第１工程、砥石に流体を直接供給することによって砥石を回転駆動させる第２工程、および砥石を被研削体に対して相対移動させて砥石によって被研削体を研削する第３工程を備える。
請求項１２に記載の研削方法は、外周面に突起を有する砥石によって被研削体を研削する研削方法であって、被研削体を固定する第１工程、砥石の突起に流体を供給することによって砥石を回転駆動させる第２工程、および砥石を被研削体に対して相対移動させて砥石によって被研削体を研削する第３工程を備える。
【００１２】
請求項１，２に記載の研削装置では、たとえばベルトや歯車などのような駆動力伝達部材を用いることなく、流体が供給されることによって砥石が回転駆動するため、駆動力伝達部材の耐久性に制限されるということはなく高速で砥石を回転駆動させることができる。また、上述のような駆動力伝達部材を必要としないため装置をシンプルに構成できる。さらに、駆動力を伝達するベルトや歯車などが磨耗、損傷するということがないため、コストを低くおさえることができる。請求項１１，１２に記載の研削方法についても同様である。
また、請求項２に記載の研削装置では、突起が流体を受け止めるため、流体の運動エネルギーが効率良く砥石に伝達される。したがって、砥石を高速で回転させることができるとともに、流体供給手段の作動に必要なコストを低くおさえることができる。
【００１３】
請求項３に記載の研削装置では、被研削体の内部というスペースの制約がある場所であっても砥石を入れて被研削体を研削することができる。また、砥石は流体が供給されることによって回転駆動し、流体は狭い隙間からでも容易に排出される。したがって、被研削体の内部という狭いスペースの下でも流体を高圧供給することができ、砥石を所望の周速で高速回転させることができる。このため、研削精度が向上するとともに、砥石の磨耗度が低下し砥石の寿命を長くできるのでコストを低くおさえることができる。
【００１４】
請求項４に記載の研削装置では、突起が凹部を備え、さらに凹部が湾曲面を有するため、供給された流体が凹部の湾曲面によってより確実に受け止められる。したがって、流体の運動エネルギーがさらに効率良く砥石に伝達され、砥石は高速で回転することができる。
【００１５】
請求項５に記載の研削装置では、砥石が回転軸を一体的に備えるため、台板の両側面に間座を設ける必要がない。したがって、砥石を装置に取り付けるためには、従来のように砥石と回転軸とが別体であれば、まず一方の軸受けに回転軸の一端部を嵌め合わせ、つぎに回転軸に間座と台板を取り付けた後さらに間座を取り付け、そして回転軸の他端部を他方の軸受けに嵌め合わせるという煩雑な作業が必要であったのに対し、この発明では、回転軸の両端部をそれぞれ軸受けに嵌め合わせるのみでよい。このように砥石の取り付け作業が非常に容易となる。なお、砥石を取り外す場合も同様のことがいえる。
【００１６】
請求項６に記載の研削装置では、台板と回転軸との間に転動体が複数列介在し、スラスト方向の荷重を複数列の転動体で受ける。このため、スラスト方向の荷重に対する耐久力を大きくでき砥石の研削面が傾くのを抑制でき、精度よく研削することができる。
一方、請求項７に記載の研削装置では、台板と回転軸との間に転動体が１列のみ介在するため、スラスト方向の荷重に対抗する力が弱くなり、砥石の研削面を被研削体の加工面に倣わせることができる。したがって、効果的に加工面の表面粗さを向上させることができる。
【００１７】
請求項８に記載の研削装置では、流体は、狭いスペースの下で砥石に供給されても狭い隙間からでも容易に排出されるため、研削の妨げになることがない。さらに、流体が液体である場合には、流体は砥石に回転駆動力を与えるのみならず、クーラントとしての役割をも果たすため、精度を向上させることができるとともに被研削体の加工面の表面粗さを向上させることができる。また、流体は回収して繰り返し使用可能なため、省エネルギー化を図ることができコストを低くおさえることができる。また、流体がたとえば空気などの気体である場合には、身近で安価に入手でき容易に利用できる上、環境汚染を防止できる。
【００１８】
請求項９，１０に記載の砥石ユニットでは、流体が供給されることによって砥石が回転駆動するため、たとえばベルトや歯車などのような駆動力伝達部材の耐久性に制限されることなく高速で砥石を回転駆動させることができる。また、上述のような駆動力伝達部材を必要としないため装置をシンプルに構成できる。したがって、駆動力を伝達するベルトや歯車などが磨耗、損傷するということがないため、コストを低くおさえることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、この発明の実施の形態について説明する。
図１および図２を参照して、この発明の一実施形態の研削装置１０は、砥石ユニット１２および流体供給装置１４を含む。
砥石ユニット１２は、一対のレール１６を含む。一対のレール１６は、研削装置１０が配置される地面Ｇ上に互いに平行に配置される。一対のレール１６上には、スライドテーブル１８が配置される。スライドテーブル１８は、レール１６上を転動するコロ２０を有し、図示しないサーボモータによってレール１６に沿って矢印Ｙ方向に移動可能である。
【００２０】
スライドテーブル１８上にはベース２２が配置される。ベース２２は、３本のボルト２４によってスライドテーブル１８に取り付けられる。また、ベース２２は、スライドテーブル１８上面に頭部を突出させて固定される支点ピン２６の頭部を覆うように配置され、支点ピン２６と係合する。ベース２２は、支点ピン２６が設けられる位置と対向する辺側に凸部２８を有する。凸部２８の両脇にはそれぞれ、ボルト固定具３０が配置される。ボルト固定具３０は、凸部２８に対して所定間隔をあけてスライドテーブル１８に固定される。ボルト固定具３０は、矢印Ｙと平行方向に雌ネジ孔を有する。ボルト固定具３０の雌ネジ孔にはそれぞれボルト３２が挿通される。一対のボルト３２は、凸部２８を矢印Ｙと平行方向に挟み付ける。
したがって、一方のボルト３２を緩めるとともに他方のボルト３２を締め付けることによって、ベース２２を矢印Ｓの方向に旋回させ、ベース２２の向きを微調整することができる。
【００２１】
ベース２２上には一対のレール３４が、レール１６と直交する方向に、互いに平行に配置される。
一対のレール３４上には、スライドテーブル３６が配置される。スライドテーブル３６は、レール３４上を転動するコロ３８を有し、図示しないサーボモータによってレール３４に沿って矢印Ｘ方向に移動可能である。
【００２２】
スライドテーブル３６上には砥石台４０が配置される。砥石台４０は、基台４２と、基台４２から水平方向に突出して設けられる砥石支持アーム４４と、噴射ノズル４６とを含む。基台４２は、スライドテーブル３６に４本のボルト４８によって固定される。
噴射ノズル４６は、流体供給装置１４に連結され流体供給装置１４から供給される流体（この実施形態では水溶性クーラント）５０を噴射するためのものであり、基台４２上に固定される噴射ノズルホルダ５２によって、後述する砥石５４に対する噴射角度・噴射距離を任意に調整可能に保持される。
【００２３】
砥石支持アーム４４は、アーム本体５６およびカバー５８を含む。アーム本体５６の基端部は基台４２に支持される。カバー５８は、アーム本体５６にボルト６０によって着脱自在に取り付けられる。アーム本体５６は、カバー５８との間に砥石５４を収納するための空隙６２を形成する凹部６４を有する。
図３を参照して、アーム本体５６およびカバー５８にはそれぞれ、砥石５４の回転軸６６を支持する軸受け６８および７０が取り付けられる。
【００２４】
砥石５４は、円板形の台板７２と、台板７２の外周部両側面に設けられる砥粒７４および７６とを備える。砥粒７４の研削面と砥粒７６の研削面との間隔は、被研削体であるベーン取付溝３の仕上げ寸法幅に設定される。
台板７２は、外周面に等間隔おきに設けられる突起７８と、回転中心に一体的に設けられる回転軸６６とを含む。
回転軸６６の両端部はそれぞれ、軸受け６８および７０によって支持される。
図４（ａ）および（ｂ）ならびに図５に示すように、突起７８はそれぞれ、噴射ノズル４６に対向する面側にバケット状の凹部８０を有する。さらに凹部８０は、噴射ノズル４６に対向する湾曲面８２を有する。これによって、突起７８は、噴射ノズル４６から噴射される流体５０を効率良く受け止めることができる。
【００２５】
図１に戻って、流体供給装置１４は、流体５０を貯留するタンク８４、モータ８６によって作動し圧力調整機能を有するポンプ８８、ポンプ８８と噴射ノズル４６とを連結するホース９０、および流量調整弁９２を含む。
流体供給装置１４は、タンク８４内に貯留される流体５０をポンプ８８によってホース９０を介して噴射ノズル４６に供給し、噴射ノズル４６から砥石５４の突起７８に向けて流体５０を噴射させる。噴射される流体５０の圧力は、流量調整弁９２によって調整される。すなわち、砥石５４の回転速度は、流量調整弁９２によって調整される。なお、噴射された流体５０は、回収されて再利用される。
【００２６】
研削装置１０は、たとえば図８に示すようなシリンダ１の貫通孔２内周面に設けられるベーン取付溝３の対向する側壁面４の研削に使用される。
まず、シリンダ１のベーン取付溝３は、仕上げ幅よりも研削代の分だけ狭い幅に切削されている。また、砥石５４の研削面の幅は、上述のようにベーン取付溝３の仕上げ寸法幅に予め設定される。そして、シリンダ１は、図示しない所定のクランプ装置によって、貫通孔２を砥石支持アーム４４側に向けて所定位置にクランプされる。
つぎに、砥石支持アーム４４が貫通孔２内に入り砥石５４の研削面がベーン取付溝３の側壁面４の仕上がり面に合うように、スライドテーブル１８が矢印Ｙの方向に適宜に移動される。そしてさらに、一対のボルト３２を操作することによって、スライドテーブル１８の向きが微調整される。
【００２７】
砥石５４は、流体供給装置１４によって供給され噴射ノズル４６から高圧噴射される流体５０を、突起７８の凹部８０の湾曲面８２で受け止める。これによって砥石５４は、研削時において高速回転される。
この実施形態では、流体５０は１〜５ＭＰａの圧力で砥石５４に向けて噴射され、これによって砥石５４は回転数５０００ｒｐｍ以上で効率良く高速回転し、１０００〜１５００ｍ／ｍｉｎの周速が得られる。
【００２８】
そして、スライドテーブル３６とともに砥石台４０が矢印Ｘの方向に移動され、砥石５４は、待機位置Ａからベーン取付溝３を通過した研削終了位置Ｂまで移動される。このとき、砥石支持アーム４４が貫通孔２内に入るとともに砥石５４がベーン取付溝３内に入り、ベーン取付溝３の対向する両側壁面４が、砥石５４の両側面の砥粒７４および７６によって同時に研削される。そしてさらに、砥石５４は研削終了位置Ｂから待機位置Ａまで移動され、ベーン取付溝３は往復で２回研削される。なお、砥石台４０の矢印Ｘ方向の移動速度は、研削条件に合わせて適宜に変速設定可能である。
上述のようにして１つのシリンダ１に対する研削が終了する。そして、研削済みのシリンダ１をつぎの研削待ちのシリンダ１と交換し、上述のような研削を繰り返す。
【００２９】
このような研削装置１０によれば、砥石５４は基台４２から突出して設けられる砥石支持アーム４４に支持されるため、シリンダ１の貫通孔２内というスペースの制約がある場所であっても砥石５４を入れてベーン取付溝３を研削することができる。また、砥石５４は流体５０が噴射されることによって回転駆動し、流体５０は狭い隙間からでも容易に排出される。したがって、シリンダ１の貫通孔２内という狭いスペースの下でも流体５０を高圧噴射することができ、砥石５４を所望の周速で高速回転させることができる。このため、研削精度が向上するとともに、砥石５４の磨耗度が低下し砥石の寿命を長くできるのでコストを低くおさえることができる。
【００３０】
また、流体供給装置１４で流体５０が供給されることによって砥石５４が回転駆動するため、たとえばベルトや歯車などのような駆動力伝達部材の耐久性に制限されることなく高速で砥石を回転駆動させることができる。また、上述のような駆動力伝達部材を必要としないため装置１０をシンプルに構成できる。したがって、駆動力を伝達するベルトや歯車などが磨耗、損傷するということがないため、コストを低くおさえることができる。
【００３１】
さらに、突起５４が流体５０を受け止めるため、流体５０の運動エネルギーが効率良く砥石５４に伝達される。したがって、砥石５４を高速で回転させることができるとともに、流体供給装置１４の作動に必要なコストを低くおさえることができる。また、突起７８が凹部８０を備え、さらに凹部８０が湾曲面８２を有するため、供給された流体５０が凹部８０の湾曲面８２によってより確実に受け止められる。したがって、流体５０の運動エネルギーがさらに効率良く砥石５４に伝達され、砥石５４は高速で回転することができる。
【００３２】
また、流体５０は、狭いスペースの下で砥石５４に供給されても狭い隙間からでも容易に排出されるため、研削の妨げになることがない。さらに、この実施形態では流体５０としてクーラントを使用しており、流体５０は砥石５４に回転駆動力を与えるのみならず、クーラントとしての役割をも果たすため、精度を向上させることができるとともにシリンダ１のベーン取付溝３の側壁面４の表面粗さを向上させることができる。また、流体５０は回収して繰り返し使用可能なため、省エネルギー化を図ることができコストを低くおさえることができる。
【００３３】
また、砥石５４が回転軸６６を一体的に備えるため、台板７２の両側面に間座を設ける必要がない。したがって、回転軸６６の両端部をそれぞれ軸受け６８および７０に嵌め合わせるのみでよい。このように砥石５４の取り付け作業が非常に容易となる。なお、砥石支持アーム４４から砥石５４を取り外す場合も同様のことがいえる。
【００３４】
なお、砥石５４の両側面の砥粒７４および７６の研削面同士の幅を、ベーン取付溝３の仕上げ寸法幅よりも小さく設定することによって、つぎのような研削をすることができる。
まず、待機位置Ａから研削終了位置Ｂへの往路でベーン取付溝３の一方の側壁面４を研削し、砥石５４が研削終了位置Ｂにある状態のままでスライドテーブル１８を矢印Ｙの方向に所定量移動し、研削終了位置Ｂから待機位置Ａへの復路で他方の側壁面４を研削する。これによれば、ベーン取付溝３の仕上げ寸法幅を任意の寸法に仕上げることができる。
【００３５】
また、突起７８が砥石５４の外周面に設けられるピッチは、適宜に設計するとよい。さらに、突起７８は、歯車の歯状に形成されてもよい。
流体５０は、水溶性クーラントを用いることに限定されず、油性クーラントを用いてもよく、または空気などの気体を用いてもよい。流体５０としてたとえば空気を用いれば、身近で安価に入手できかつ容易に利用できる上に、環境汚染を防止できる。
流体５０は、上述のように高圧噴射される場合に限定されず、砥石５４を回転駆動させるのに必要な標準気圧以上の圧力で供給されればよい。
【００３６】
また、上述の実施形態では、砥石５４を移動させることによって研削を行うが、これに限定されず、シリンダ１をクランプするクランプ装置を砥石５４に対して移動させることによって研削してもよい。
また、研削装置１０は、図８に示すようなシリンダ１のベーン取付溝３の研削に使用されることに限定されるものではなく、砥石５４が被研削体の内部に入って研削を行う必要のあるその他の加工面の研削に使用されても有効な効果を奏するものである。
なお、上述のようなバリエーションは、研削装置１０に後述する砥石１００または１２０を用いた場合にも同様に適用できる。
【００３７】
つぎに、図６を参照して、この発明の他の実施形態に用いられる砥石１００について説明する。なお、上述の砥石５４と同様の構成については詳しい説明を省略するとともに、説明の便宜上同じ符号を使用する。
砥石１００は、円板形の台板１０２と、台板１０２の外周部両側面に設けられる砥粒７４および７６とを備える。
台板１０２は、外周面に等間隔おきに設けられる突起７８と、ボス１０４とを含む。
ボス１０４は、砥粒７４の研削面と砥粒７６の研削面との間隔よりも、回転軸１０６と平行方向の幅が厚く形成される。
【００３８】
ボス１０４と回転軸１０６との間には、転動体として機能する単列の玉を有する２つの単列玉軸受け１０８および１１０が介装される。
回転軸１０６の両端部は、アーム本体５６とカバー５８とによって支持される。
軸受け１０８の内輪とアーム本体５６との間には間座１１２が配置され、軸受け１１０の内輪とカバー５８との間には間座１１４が配置され、砥石１００が回転軸１０６と平行方向へずれるのを防止できる。
【００３９】
これによって、砥石１００は、回転軸１０６の回りを軸受け１０８および１１０を介して回転する。砥石１００がベーン取付溝３の側壁面４の研削を行うとボス１０４にスラスト方向（回転軸１０６と平行方向）の荷重がかかるが、ボス１０４はスラスト方向に配列された２つの軸受け１０８および１１０によって支持されるため、スラスト方向の荷重に対する耐久力が大きい。したがって、砥石１００の研削面が傾くのを抑制でき、精度よく研削することができる。
【００４０】
なお、軸受けは、上述のように複数の単列の軸受け１０８および１１０であることに限定されず、複列の転動体を有する１つまたは複数の軸受けであってもよい。さらには、単列の軸受けと複列の軸受けとをともに用いてもよい。また、軸受けは、玉軸受けに限定されず、転動体を有する軸受けであればよく、たとえばコロ軸受けであってもよい。
【００４１】
つぎに、図７を参照して、この発明のさらに他の実施形態に用いられる砥石１２０について説明する。なお、上述の砥石５４または１００と同様の構成については詳しい説明を省略するとともに、説明の便宜上同じ符号を使用する。
砥石１２０は、円板形の台板１２２と、台板１２２の外周部両側面に設けられる砥粒７４および７６とを備える。
台板１２２は、外周面に等間隔おきに設けられる突起７８と、ボス１２４とを含む。
ボス１２４は、砥粒７４の研削面と砥粒７６の研削面との間隔と比較して、回転軸１０６と平行方向の幅が同じ若しくは小さく形成される。
【００４２】
ボス１２４と回転軸１０６との間には、１つの単列玉軸受け１２６が介装される。
軸受け１２６の内輪とアーム本体５６との間には間座１２８が配置され、軸受け１２６の内輪とカバー５８との間には間座１３０が配置されて、砥石１２０が回転軸１０６と平行方向へずれるのを防止できる。
【００４３】
これによって、砥石１２０は、回転軸１０６の回りを軸受け１２６を介して回転する。砥石１２０がベーン取付溝３の側壁面４の研削を行うとボス１２４にスラスト方向の荷重がかかるが、台板１２２と回転軸１０６との間には転動体が１列のみ介在するため、スラスト方向の荷重に対抗する力が弱くなり、砥石１２０の研削面をベーン取付溝３の側壁面４に倣わせることができる。したがって、効果的にベーン取付溝３の側壁面４の表面粗さを向上させることができる。
なお、軸受け１２６は、玉軸受けに限定されず、転動体を有する軸受けであればよく、たとえばコロ軸受けであってもよいことは、上述の軸受け１０８および１１０と同様である。
【００４４】
【発明の効果】
この発明によれば、流体が供給されることによって砥石が回転駆動するため、たとえばベルトや歯車などのような駆動力伝達部材の耐久性に制限されることなく高速で砥石を回転駆動させることができる。また、上述のような駆動力伝達部材を必要としないため装置をシンプルに構成できる。したがって、駆動力を伝達するベルトや歯車などが磨耗、損傷するということがないため、コストを低くおさえることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態に係る研削装置を示す正面図である。
【図２】図１に示す研削装置のうちの砥石ユニットを示す平面図である。
【図３】使用状態における要部拡大断面図である。
【図４】（ａ）は図１に示す研削装置の要部拡大図であり、（ｂ）はその底面図である。
【図５】砥石の突起を示す拡大斜視図である。
【図６】他の実施形態の使用状態における要部拡大断面図である。
【図７】さらに他の実施形態の使用状態における要部拡大断面図である。
【図８】この発明が効果的に適用される被研削体の一例を示す正面図である。
【符号の説明】
１        シリンダ
２        貫通孔
３        ベーン取付溝
１０      研削装置
１２      砥石ユニット
１４      流体供給装置
４０      砥石台
４２      基台
４４      砥石支持アーム
５４，１００，１２０      砥石
６６，１０６      回転軸
６８，７０，１０８，１１０，１２６      軸受け
７２，１０２，１２２      台板
７４，７６      砥粒
７８      突起
８０      凹部
８２      湾曲面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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