(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子回路を有する被試験体と、前記被試験体との間で信号の送受を行うことにより前記被試験体の試験を行う試験機とを電気的に接続する試験治具の配線を検査する試験治具の検査方法であって、
前記試験機に前記試験治具を装着し、前記試験機を利用して前記試験治具の配線を検査する工程を含み、
前記試験機を利用して前記試験治具の配線を検査する工程は、
前記試験治具の配線中、前記試験機内の電源に接続されている配線の電位を短絡故障を検出できる論理値に設定する工程と、
前記試験機内の試験チャネル中、前記試験治具の配線に接続されている受信可能な試験チャネルの出力の論理値を判定する工程とを含んでいる
ことを特徴とする試験治具の検査方法。
【請求項２】
前記試験機内の試験チャネル中に、前記試験治具の配線に接続されている送信専用の試験チャネルがある場合には、前記試験治具の配線に接続されている送信専用の試験チャネルの出力状態をハイインピーダンス状態に設定するか、又は、前記試験治具の配線に接続されている送信専用の試験チャネルの出力を前記短絡故障を検出できる論理値と反対の論理値に設定する工程を含んでいる
ことを特徴とする請求項１記載の試験治具の検査方法。
【請求項３】
前記試験機内の試験チャネル中に、前記試験治具の送信専用とされている配線に接続されている送受可能な試験チャネルがある場合には、前記送受可能な試験チャネルを送信専用の試験チャネルとして扱う
ことを特徴とする請求項１記載の試験治具の検査方法。
【請求項４】
電子回路を有する被試験体と、前記被試験体との間で信号の送受を行うことにより前記被試験体の試験を行う試験機とを電気的に接続する試験治具の配線を検査する試験治具の検査方法であって、
前記試験機に前記試験治具を装着し、前記試験機を利用して前記試験治具の配線を検査する工程を含み、
前記試験機を利用して前記試験治具の配線を検査する工程は、
前記試験治具の前記被試験体との接続ピン中、前記試験機内の受信可能な試験チャネルに接続されている接続ピンを１個ずつ選択し、選択した接続ピンから所定論理値の信号を前記試験機に対して送信する工程と、
前記試験機内の試験チャネル中、前記試験治具の配線に接続されている受信可能な試験チャネルの出力の論理値を判定する工程とを含んでいる
ことを特徴とする試験治具の検査方法。
【請求項５】
前記試験治具の前記被試験体との接続ピン中、前記試験機内の受信可能な試験チャネルに接続されている接続ピンを１個ずつ選択し、選択した接続ピンから所定論理値の信号を前記試験機に対して送信する工程は、
前記試験機内のプローブ専用試験チャネルからプローブを介して行う
ことを特徴とする請求項４記載の試験治具の検査方法。
【請求項６】
前記試験治具の前記被試験体との接続ピン中、前記試験機内の受信可能な試験チャネルに接続されている接続ピンを１個ずつ選択し、選択した接続ピンから所定論理値の信号を前記試験機に対して送信する工程は、
前記試験機内の空き試験チャネルからプローブを介して行う
ことを特徴とする請求項４記載の試験治具の検査方法。
【請求項７】
電子回路を有する被試験体と、前記被試験体との間で信号の送受を行うことにより前記被試験体の試験を行う試験機とを電気的に接続する試験治具の配線を検査する試験治具の検査方法であって、
前記試験機に前記試験治具を装着し、前記試験機を利用して前記試験治具の配線を検査する工程を含み、
前記試験機を利用して前記試験治具の配線を検査する工程は、
前記試験機内の試験チャネル中、前記試験治具の配線に接続されている送信専用の試験チャネルを１個ずつ選択し、選択した送信専用の試験チャネルから所定論理値の信号を前記試験治具に対して送信する工程と、
前記試験機内の試験チャネル中、前記試験治具の配線に接続されている受信可能な試験チャネルの出力の論理値を判定する工程とを含んでいる
ことを特徴とする試験治具の検査方法。
【請求項８】
電子回路を有する被試験体と、前記被試験体との間で信号の送受を行うことにより前記被試験体の試験を行う試験機とを電気的に接続する試験治具の配線を検査する試験治具の検査方法であって、
前記試験機に前記試験治具を装着し、前記試験機を利用して前記試験治具の配線を検査する工程を含み、
前記試験機を利用して前記試験治具の配線を検査する工程は、
前記試験機内の試験チャネル中、前記試験治具の配線に接続されている送信専用の複数の試験チャネルから異なる並列論理パターン信号を１パターンずつ順に前記試験治具に対して送信する工程と、
前記試験治具の前記被試験体との接続ピン中、前記試験機内の送信専用の試験チャネルに接続されている接続ピンに出力される信号の論理値を判定する工程とを含んでいる
ことを特徴とする試験治具の検査方法。
【請求項９】
電子回路を有する被試験体と、前記被試験体との間で信号の送受を行うことにより前記被試験体の試験を行う試験機とを電気的に接続する試験治具の配線を検査する試験治具の検査方法であって、
前記試験機に前記試験治具を装着し、前記試験機を利用して前記試験治具の配線を検査する工程を含み、
前記試験機を利用して前記試験治具の配線を検査する工程は、
前記試験機内の試験チャネル中、前記試験治具の配線に接続されている送信専用の試験チャネルから所定論理値の信号を前記試験治具に対して送信する工程と、
前記試験治具の前記被試験体との接続ピン中、前記試験機内の送信専用の試験チャネルに接続されている接続ピンに出力される信号の論理値を判定する工程とを含んでいる
ことを特徴とする試験治具の検査方法。
【請求項１０】
前記試験治具の前記被試験体との接続ピン中、前記試験機内の送信専用の試験チャネルに接続されている接続ピンに出力される信号の論理値を判定する工程は、
前記試験治具の前記被試験体との接続ピン中、前記試験機内の送信専用の試験チャネルに接続されている接続ピンに出力される信号をプローブを介して前記試験機内のプローブ専用試験チャネル又は空き試験チャネルに伝送して行う
ことを特徴とする請求項８又は９記載の試験治具の検査方法。
【請求項１１】
前記試験機内の試験チャネル中に、前記試験治具の送信専用とされている配線に接続されている送受可能な試験チャネルがある場合には、前記送受可能な試験チャネルを送信専用の試験チャネルとして扱う
ことを特徴とする請求項８、９又は１０記載の試験治具の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント基板試験機、インサーキット試験機、論理回路試験機等のような試験機と被試験体とを電気的に接続する試験治具の配線を検査する試験治具の検査方法に関する。
【０００２】
例えば、ＬＳＩ等の電子回路部品や、同部品が搭載された電子回路ユニットを試験する場合、試験機と被試験体とを電気的に接続し、試験機から被試験体への試験信号の伝達および被試験体から試験機への信号の伝達を行うための試験治具を必要とする。
【０００３】
この試験治具の配線に断線や短絡や誤配線などの不良があると、被試験体について、正常な試験を行うことができないことになるので、試験治具の配線を検査する必要がある。
【０００４】
【従来の技術】
図３１は試験機と被試験体とを電気的に接続する試験治具の概念を示す図であり、図３１中、１は試験機、２は試験治具、３は被試験体である。
【０００５】
試験機１において、４は被試験体３への試験信号の送信および被試験体３からの信号の受信を行う試験チャネル群、５は電源電圧を被試験体３に供給する電源装置、６、７は試験治具２との接続を図るコネクタである。
【０００６】
また、試験治具２において、８、９は試験機１との接続を図るコネクタ、１０は配線群、１１、１２は被試験体３との接続を図るコネクタであり、被試験体３において、１３は回路部、１４、１５は試験治具２との接続を図るコネクタである。
【０００７】
ところで、被試験体３には色々な種類があり、種類によって形状、コネクタの仕様およびコネクタ内の接続ピンに対する信号や電源の割り付けパターンが異なっているが、試験機１では、コネクタの仕様およびコネクタ内の接続ピンに対する信号や電源への割り付けパターンは固定とされている。
【０００８】
このため、試験機１と被試験体３との間に介在させ、試験機１から被試験体３への試験信号の伝達および被試験体３から試験機１への信号の伝達を行うための試験治具２が必要となる。
【０００９】
図３１に示す試験治具２は、試験機１のコネクタ６、７に対応するコネクタ８、９及び被試験体３のコネクタ１４、１５に対応するコネクタ１１、１２を有し、コネクタ８、９とコネクタ１１、１２との間を配線群１０で接続する構成とされているが、被試験体３との接続をコネクタではなく、多数のプローブで行うタイプの試験治具もある。
【００１０】
従来、このような試験治具の検査方法として、マルチメータやブザーを用い、ネットリスト等の試験治具の製造情報をもとに配線の電気的導通チェックを人手で行い、作業者が良否判定を行う方法や、フライングプローバ等の配線検査装置による検査方法が採用されていた。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
マルチメータやブザーを用いる試験治具の検査方法は、紙ベースの情報を使用することになるので、情報の読み取りミス等により、検査もれを起こす場合があるという問題点や、短絡故障の検出が困難であり、短絡故障の検出を実行しようとすると極めて手間がかかるという問題点があった。
【００１２】
また、フライングプローバ等の配線検査装置を使用する試験治具の検査方法は、配線検査装置にかけるためのデータの作成やプログラムの作成が必要であり、それらの作成に多大な手間や時間を要し、また、配線検査装置の購入、維持に多大な費用を必要とするという問題点があった。
【００１３】
本発明は、かかる点に鑑み、フライングプローバ等のような特別な配線検査装置を必要とせず、試験治具の配線検査を確実、かつ、容易に行うことができる試験治具の検査方法を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明中、第１の発明は、電子回路を有する被試験体と、被試験体との間で信号の送受を行うことにより被試験体の試験を行う試験機とを電気的に接続する試験治具の配線を検査する試験治具の検査方法であって、試験機に試験治具を装着し、試験機を利用して試験治具の配線を検査する工程を含んでいるというものである。
【００１５】
本発明中、第１の発明によれば、試験機に試験治具を装着し、試験機を利用して試験治具の配線を検査する工程を含んでいるので、制御コンピュータを使用することにより、フライングプローバ等のような特別な配線検査装置を使用する必要がなく、試験治具の配線検査を確実、かつ、容易に行うことができる。
【００１６】
本発明中、第２の発明は、第１の発明において、試験機を利用して試験治具の配線を検査する工程は、試験治具の配線中、試験機内の電源に接続されている配線の電位を短絡故障を検出できる論理値に設定する工程と、試験機内の試験チャネル中、試験治具の配線に接続されている受信可能な試験チャネルの出力の論理値を判定する工程とを含んでいるというものである。
【００１７】
本発明中、第２の発明によれば、試験治具の配線中、試験機内の受信可能な試験チャネルに接続されている配線の電源／グラウンド短絡故障を検出することができる。
【００１８】
本発明中、第３の発明は、第２の発明において、試験機内の試験チャネル中に、試験治具の配線に接続されている送信専用の試験チャネルがある場合には、試験治具の配線に接続されている送信専用の試験チャネルの出力状態をハイインピーダンス状態に設定するか、又は、試験治具の配線に接続されている送信専用の試験チャネルの出力を短絡故障を検出できる論理値と反対の論理値に設定する工程を含んでいるというものである。
【００１９】
本発明中、第３の発明によれば、試験機内の送信専用の試験チャネルに接続されている試験治具の配線と、試験機内の受信可能な試験チャネルに接続されている配線との間に短絡故障が存在する場合であっても、これを隠して、試験機内の受信可能な試験チャネルに接続されている配線の電源／グラウンド短絡故障を検出することができる。
【００２０】
本発明中、第４の発明は、第２の発明において、試験機内の試験チャネル中に、試験治具の送信専用とされている配線に接続されている送受可能な試験チャネルがある場合には、送受可能な試験チャネルを送信専用の試験チャネルとして扱うというものである。
【００２１】
本発明中、第４の発明によれば、試験治具に被試験体に伝送すべき試験信号を増幅するバッファを備えている場合において、このバッファに接続され、送信専用とされている配線と、試験機内の受信可能な試験チャネルに接続されている配線との間に短絡故障が存在する場合であっても、これを隠して、試験機内の受信可能な試験チャネルに接続されている配線の電源／グラウンド短絡故障を検出することができる。
【００２２】
本発明中、第５の発明は、第１の発明において、試験機を利用して試験治具の配線を検査する工程は、試験治具の被試験体との接続ピン中、試験機内の受信可能な試験チャネルに接続されている接続ピンを１個ずつ選択し、選択した接続ピンから所定論理値の信号を試験機に対して送信する工程と、試験機内の試験チャネル中、試験治具の配線に接続されている受信可能な試験チャネルの出力の論理値を判定する工程とを含んでいるというものである。
【００２３】
本発明中、第５の発明によれば、試験治具の配線中、試験機内の受信可能な試験チャネルに接続されている配線の断線故障、同種配線間の短絡故障および誤配線を検出することができる。
【００２４】
本発明中、第６の発明は、第５の発明において、試験治具の被試験体との接続ピン中、試験機内の受信可能な試験チャネルに接続されている接続ピンを１個ずつ選択し、選択した接続ピンから所定論理値の信号を試験機に対して送信する工程は、試験機内のプローブ専用試験チャネルからプローブを介して行うというものである。
【００２５】
本発明中、第７の発明は、第５の発明において、試験治具の被試験体との接続ピン中、試験機内の受信可能な試験チャネルに接続されている接続ピンを１個ずつ選択し、選択した接続ピンから所定論理値の信号を試験機に対して送信する工程は、試験機内の空き試験チャネルからプローブを介して行うというものである。
【００２６】
本発明中、第８の発明は、第１の発明において、試験機を利用して試験治具の配線を検査する工程は、試験機内の試験チャネル中、試験治具の配線に接続されている送信専用の試験チャネルを１個ずつ選択し、選択した送信専用の試験チャネルから所定論理値の信号を試験治具に対して送信する工程と、試験機内の試験チャネル中、試験治具の配線に接続されている受信可能な試験チャネルの出力の論理値を判定する工程とを含んでいるというものである。
【００２７】
本発明中、第８の発明によれば、試験治具の配線中、試験機内の送信専用の試験チャネルに接続されている配線と、試験機内の受信可能な試験チャネルに接続されている配線との間の短絡故障を検出することができる。
【００２８】
本発明中、第９の発明は、第１の発明において、試験機を利用して試験治具の配線を検査する工程は、試験機内の試験チャネル中、試験治具の配線に接続されている送信専用の複数の試験チャネルから異なる並列論理パターン信号を１パターンずつ順に試験治具に対して送信する工程と、試験治具の被試験体との接続ピン中、試験機内の送信専用の試験チャネルに接続されている接続ピンに出力される信号の論理値を判定する工程とを含んでいるというものである。
【００２９】
本発明中、第９の発明によれば、試験治具の配線中、試験機内の送信専用の試験チャネルに接続されている配線の断線故障、同種配線間の短絡故障および誤配線を検出することができる。
【００３０】
本発明中、第１０の発明は、第１の発明において、試験機を利用して試験治具の配線を検査する工程は、試験機内の試験チャネル中、試験治具の配線に接続されている送信専用の試験チャネルから所定論理値の信号を試験治具に対して送信する工程と、試験治具の被試験体との接続ピン中、試験機内の送信専用の試験チャネルに接続されている接続ピンに出力される信号の論理値を判定する工程とを含んでいるというものである。
【００３１】
本発明中、第１０の発明によれば、試験治具の配線中、試験機内の送信専用の試験チャネルに接続されている配線の断線故障を検出することができる。
【００３２】
本発明中、第１１の発明は、第９又は第１０の発明において、試験治具の被試験体との接続ピン中、試験機内の送信専用の試験チャネルに接続されている接続ピンに出力される信号の論理値を判定する工程は、試験治具の被試験体との接続ピン中、試験機内の送信専用の試験チャネルに接続されている接続ピンに出力される信号をプローブを介して試験機内のプローブ専用試験チャネル又は空き試験チャネルに伝送して行うというものである。
【００３３】
本発明中、第１２の発明は、第９、第１０又は第１１の発明において、試験機内の試験チャネル中に、試験治具の送信専用とされている配線に接続されている送受可能な試験チャネルがある場合には、送受可能な試験チャネルを送信専用の試験チャネルとして扱うというものである。
【００３４】
本発明中、第１２の発明によれば、試験治具に被試験体に伝送すべき試験信号を増幅するバッファを備えている場合において、このバッファに接続され、送信専用とされている配線についても、断線故障、短絡故障、誤配線を検出することができる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施形態を説明するための回路図である。図１中、２０は検査対象である試験治具であり、本発明の一実施形態においては、制御コンピュータ２１と、試験機２２と、プローブ装置２３とを用意する。
【００３６】
試験機２２において、２４−１〜２４−ｎは被試験体（図示せず）に対する試験信号の送信および被試験体からの信号の受信を行うことができるようにされた送受可能な試験チャネル、２５−１〜２５−ｎは試験チャネル２４−１〜２４−ｎに対応して設けられた接続ピンである。
【００３７】
また、２６−１〜２６−ｍは被試験体に対して試験信号の送信のみを行うことができるようにされた送信専用の試験チャネル、２７−１〜２７−ｍは試験チャネル２６−１〜２６−ｍに対応して設けられた接続ピンである。
【００３８】
また、２８−１〜２８−ｐは被試験体からの信号の受信のみを行うことができるようにされた受信専用の試験チャネル、２９−１〜２９−ｐは試験チャネル２８−１〜２８−ｐに対応して設けられた接続ピンである。
【００３９】
また、３０は被試験体に電源電圧を供給するための電源、３１は電源３０に対応して設けられた接続ピン、３２は被試験体に対する試験信号の送信および被試験体からの信号の受信を行うことができるようにされた送受可能な試験チャネル、３３は試験チャネル３２に対応して設けられた接続ピンである。
【００４０】
例えば、プリント配線板の論理機能試験機は、試験チャネルとして、一般信号用の送受可能な試験チャネルを数百チャネル、クロックやスキャンテスト入力用の送信専用の試験チャネルを数十チャネル、スキャンテスト出力用の受信専用の試験チャネルを数十チャネル有している。
【００４１】
ここに、試験チャネル２４−１〜２４−ｎ、２６−１〜２６−ｍ、３２の送信部は、論理０（Ｌレベル）又は論理１（Ｈレベル）の信号を送信することができるように構成されているが、論理０の送信信号と論理１の送信信号とが短絡した場合には、論理０の送信信号の方が強く、論理１の送信信号が出力された配線は、論理０の送信信号が出力された状態となる。
【００４２】
また、試験チャネル２４−１〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐ、３２の受信部は、受信信号が論理０であるか論理１であるかを識別することができるように構成されているが、受信信号が無い場合には、論理１の受信信号が受信された場合と同様の状態となるように構成されている。
【００４３】
したがって、本発明の一実施形態においては、後述するように、試験治具２０の配線検査を行うための試験信号として論理０の信号を使用することになる。
【００４４】
また、試験治具２０において、３４−１〜３４−ｎ、３７−１〜３７−ｍ、４０−１〜４０−ｐ、４３は試験機２２に接続される接続ピンである。
【００４５】
また、３５−１〜３５−ｎ、３８−１〜３８−ｍ、４１−１〜４１−ｐ、４４は接続ピン３４−１〜３４−ｎ、３７−１〜３７−ｍ、４０−１〜４０−ｐ、４３に接続された配線である。
【００４６】
また、３６−１〜３６−ｎ、３９−１〜３９−ｍ、４２−１〜４２−ｐ、４５は配線３５−１〜３５−ｎ、３８−１〜３８−ｍ、４１−１〜４１−ｐ、４４が接続された被試験体との接続ピンである。
【００４７】
また、プローブ装置２３において、４６はケーブル、４７はケーブル４６の一端に接続されたプローブ、４８はケーブル４６の他端に設けられた試験機２２との接続ピンである。
【００４８】
このように、検査対象たる試験治具２０に対して、制御コンピュータ２１と、試験機２２と、プローブ装置２３とを用意し、図２に示すように、試験治具２０およびプローブ装置２３を試験機２２に装着する場合には、表１に示すような検査１〜検査４を実行することができる。
【００４９】
なお、この例は、試験チャネル３２が空きチャネルとなっている例であるが、プローブ機能を備えている試験機、プローブ専用試験チャネルを備えている試験機を使用する場合には、試験機に備えられているプローブを使用することができる。
【００５０】
【表１】
0003659007.tif 000002
【００５１】
ここに、検査１は、試験治具２０の配線３５−１〜３５−ｎ、３８−１〜３８−ｍ、４１−１〜４１−ｐ、４４のうち、受信可能な試験チャネル２４−１〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐに接続されている配線（以下、受信可能配線という）３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐの電源／グラウンド短絡故障を検査するものである。
【００５２】
また、検査２は、受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐの断線故障、受信可能配線間の短絡故障および誤配線を検査するものである。
【００５３】
また、検査３は、試験治具２０の配線３５−１〜３５−ｎ、３８−１〜３８−ｍ、４１−１〜４１−ｐ、４４のうち、送信専用の試験チャネル２６−１〜２６−ｍに接続されている配線（以下、送信専用配線という）３８−１〜３８−ｍと受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐとの間の短絡故障を検査するものである。
【００５４】
また、検査４は、送信専用配線３８−１〜３８−ｍの電源／グラウンド短絡故障、断線故障、送信専用配線間の短絡故障および誤配線を検査するものである。
【００５５】
図３は本発明の一実施形態の内容を概略的に示すフローチャートであり、本発明の一実施形態は、検査１〜検査４を図３に示すような手順で行うというものである。
【００５６】
即ち、本発明の一実施形態においては、まず、作業者は、図２に示すように、試験機２２の接続ピン２５−１〜２５−ｎ、２７−１〜２７−ｍ、２９−１〜２９−ｐ、３１に試験治具２０の接続ピン３４−１〜３４−ｎ、３７−１〜３７−ｍ、４０−１〜４０−ｐ、４３を接続し、試験治具２０を試験機２２に装着する（ステップＳ１）。
【００５７】
続いて、同じく、図２に示すように、作業者は、試験機２２の接続ピン３３にプローブ装置２３の接続ピン４８を接続して、プローブ装置２３を試験機２２に装着し（ステップＳ２）、制御コンピュータ２１に検査開始の指示を与える（ステップＳ３）。
【００５８】
制御コンピュータ２１に対する検査開始の指示（ステップＳ３）は、例えば、図４に示すように、検査実行コマンド名、配線情報ファイル名（試験治具２０の配線情報［ネットリスト］のファイル名）、プローブ接続チャネル番号（プローブ装置２３を接続した試験チャネルのチャネル番号［本発明の一実施形態の場合は、試験チャネル３２のチャネル番号］）を入力することにより行うことができる。
【００５９】
ここに、制御コンピュータ２１は、検査開始指示を受けると、試験治具２０の配線情報の読み込みを行い（ステップＳ４）、検査の種類に応じて検査対象配線の決定を行う（ステップＳ５）。
【００６０】
なお、配線情報の読み込み（ステップＳ４）は、配線情報のファイル情報を読出し、全ての配線の試験チャネルおよび被試験体側の接続ピン名を求めることにより行われる。
【００６１】
図５は配線情報例を示す図であり、１行で１配線分の情報が記述されるが、各行のレコード形式は、図６に示すように、「被試験体の接続ピン名／試験機との接続ピン名、試験チャネル番号」を記述することにより行われる。
【００６２】
例えば、図５に示す配線情報例において、２行目に示す「ＬＡ０１−０１」は被試験体の接続ピン名であり、「ＬＡ０１」はコネクタ名、「０１」はコネクタＬＡ０１内のピン番号である。また、「ＥＸ１」は試験機２２との接続ピン名、「１」は試験チャネル番号を示している。
【００６３】
制御コンピュータ２１において、検査対象配線の決定（ステップＳ５）が行われると、検査の種類からして、プローブ４７を試験治具２０の接続ピンにコンタクトさせる必要があるか否かが判断され（ステップＳ６）、プローブ４７を試験治具２０の接続ピンにコンタクトさせる必要がない場合（検査１又は検査３を行う場合）には、制御コンピュータ２１は、試験機２２に検査の種類に応じた試験信号の送受を行わせることになる（ステップＳ９）。
【００６４】
これに対して、プローブ４７を試験治具２０の接続ピンにコンタクトさせる必要がある場合（検査２又は検査４を行う場合）には、制御コンピュータ２１は、プローブ４７のコンタクト指示を出すことになる（ステップＳ７）。
【００６５】
プローブ４７のコンタクト指示は、試験治具２０の被試験体との接続ピン名と、プローブ４７をコンタクトする旨のメッセージを表示装置面に表示することにより行われる。
【００６６】
図７はプローブ４７のコンタクト指示のメッセージ例を示す図であり、図７中、「contact to」はプローブ４７をコンタクトする旨のメッセージ、「JA33-01」はプローブ４７をコンタクトすべき接続ピン名であり、「JA33」はコネクタ名、「01」はコネクタＪＡ３３内のピン名である。また、「(129)」は、これから検査する配線がチャネル番号１２９の試験チャネルに接続されているべき配線であることを示している。
【００６７】
制御コンピュータ２１は、プローブ４７のコンタクト指示を出した後、プローブ４７が指示した接続ピンにコンタクトされたか否かを確認し（ステップＳ８）、コンタクトされた場合には、試験機２２に対して検査の種類に応じた試験信号の送受を行わせることになる（ステップＳ９）。
【００６８】
試験信号の送信は、試験チャネル２６−１〜２６−ｍから直接又は試験チャネル３２からプローブ装置２３を介して試験治具２０に対して試験信号の送出を行うことにより行われ、試験信号の受信は、試験治具２０から出力される試験信号を試験チャネル２４−１〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐで直接受信するか又はプローブ装置２３を介して試験チャネル３２で受信することにより行われる。
【００６９】
試験機２２において、試験信号の送受（ステップＳ９）が終了すると、制御コンピュータ２１で検査対象配線の故障の解析が行われ（ステップＳ１０）、故障解析結果が通知される（ステップＳ１１）。
【００７０】
そして、作業者からの検査を続行するか否かの指示を待ち、検査を終了するか否かを判断し（ステップＳ１２）、作業者から検査を続行する場合の指示があった時は、ステップＳ５に戻り、作業者から検査終了の指示があった時は、試験を終了させることになる。
【００７１】
なお、故障解析（ステップＳ１０）は、試験信号の送受結果を解析し、故障の有無を調べることにより行われ、故障を検出した場合には、故障個所の特定と故障モードが分類され、故障解析結果の通知（ステップＳ１１）は、表示装置面に故障解析結果を表示することにより行われる。
【００７２】
図８は故障解析結果の通知例を示す図であり、図８中、「Test2 : wiring verify check」は試験項目を示し、「contact to JA33-11(138)」はプローブ４７をチャネル番号１３８の試験チャネルに接続されているべきコネクタＪＡ３３の接続ピン１１にコンタクトさせる指示を示し、「ＯＫ」は検査した配線に故障がなかったことを示している。
【００７３】
また、「contact to JA33-12 (139)」はプローブ４７をチャネル番号１３９の試験チャネルに接続されているべきコネクタＪＡ３３の接続ピン１２にコンタクトさせる指示を示し、「ＯＫ」は検査した配線に故障がなかったことを示している。
【００７４】
また、「contact to JA33-13 (140)」はプローブ４７をチャネル番号１４０の試験チャネルに接続されているべきコネクタＪＡ３３の接続ピン１３にコンタクトさせる指示を示し、「ＮＧ」は検査した配線に故障があったことを示している。
【００７５】
そして、「Shorted JA34-45 (441)」はプローブ４７をコンタクトさせた接続ピン（コネクタＪＡ３３の接続ピン１３）に接続されている配線と、チャネル番号４４１の試験チャネルとコネクタＪＡ３４の接続ピン４５とを接続している配線との間に短絡故障が存在していることを示している。
【００７６】
また、「contact to JA33-14 (141)」はプローブ４７をチャネル番号１４１の試験チャネルに接続されているべきコネクタＪＡ３３の接続ピン１４にコンタクトさせる指示を示し、「ＮＧ」は検査した配線に故障があったことを示している。
【００７７】
そして、「Unexpect JA33-15 (142)」はプローブ４７をコンタクトさせた接続ピン（コネクタＪＡ３３の接続ピン１５）がチャネル番号１４２の試験チャネルに接続されており、コネクタＪＡ３３の接続ピン１５に接続されるべき配線と誤配線されていることを示している。
【００７８】
図９は検査１（試験治具２０の受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐの電源／グラウンド短絡故障の検査）の手順を示すフローチャート、図１０〜図１２は検査１を説明するための回路図である。
【００７９】
検査１を実行する場合には、まず、試験機２２の電源３０の出力を論理０とするか、又は、接続ピン３１を接地して、図１０に示すように、接続ピン３１に論理０が出力される状態とする（ステップＮ１−１）。
【００８０】
次に、送信専用の試験チャネル２６−１〜２６−ｍの出力状態をハイインピーダンス状態とするか、又は、図１０に示すように、送信専用の試験チャネル２６−１〜２６−ｍの出力を論理１に設定する（ステップＮ１−２）。
【００８１】
次に、送受可能な試験チャネル２４−１〜２４−ｎおよび受信専用の試験チャネル２８−１〜２８−ｐを受信状態に設定し（ステップＮ１−３）、試験チャネル２４−１〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号の論理値を判定する（ステップＮ１−４）。
【００８２】
ここに、受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐが配線４４と短絡していなければ、図１１に示すように、試験チャネル２４−１〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号は、全て論理１となる。
【００８３】
これに対して、受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐの中に配線４４又はグラウンドと短絡しているものがあると、配線４４又はグラウンドに短絡している受信可能配線に接続されている試験チャネルの受信信号は論理０となる。
【００８４】
例えば、図１２に示すように、試験チャネル２４−１の受信信号＝論理０、試験チャネル２４−２〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号＝論理１の場合には、受信可能配線３４−１は配線４４に短絡していることになる。
【００８５】
このように、検査１を実行する場合には、試験治具２０の受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐの電源／グラウンド短絡故障を検出することができる。
【００８６】
また、図１３は検査２（受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐの断線故障、受信可能配線間の短絡故障および誤配線の検査）の手順を示すフローチャート、図１４〜図１７は検査２を説明するための回路図である。
【００８７】
検査２を実行する場合には、まず、送受可能な試験チャネル２４−１〜２４−ｎおよび受信専用の試験チャネル２８−１〜２８−ｐを受信状態とし（ステップＮ２−１）、プローブ４７を試験治具２０の接続ピン３６−１〜３６−ｎ、４２−１〜４２−ｐの中の指示された接続ピンにコンタクトさせる（ステップＮ２−２）。
【００８８】
そして、試験チャネル３２から論理０の信号を送信し（ステップＮ２−３）、試験チャネル２４−１〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号の論理値を判定する（ステップＮ２−４）。以下、検査を終了させない限り、プローブ４７をコンタクトさせるべき接続ピンを変えながら、ステップＮ２−２〜Ｎ２−４を繰り返す。
【００８９】
ここに、プローブ４７をコンタクトさせた接続ピンに接続されている受信可能配線に接続されている試験チャネルのみでプローブ４７からの送信信号を受信した場合には、その受信可能配線には、断線故障、受信可能配線間の短絡故障、誤配線は存在しないと判断することができる。
【００９０】
例えば、図１４に示すように、プローブ４７を接続ピン３６−１にコンタクトさせて、試験チャネル３２から論理０の信号を送信した場合、試験チャネル２４−１の受信信号＝論理０、試験チャネル２４−２〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号＝論理１であった場合には、受信可能配線３５−１には、断線故障、受信可能配線間の短絡故障、誤配線は存在しないと判断することができる。
【００９１】
これに対して、試験チャネル２４−２〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐのいずれにおいても、プローブ４７からの送信信号が受信されなかった場合には、コンタクトさせた接続ピンに接続されている受信可能配線に断線故障があると判断することができる。
【００９２】
例えば、図１５に示すように、プローブ４７を接続ピン３６−１にコンタクトさせて、試験チャネル３２から論理０の信号を送信した場合、試験チャネル２４−１〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号＝論理１であった場合、受信可能配線３５−１に断線故障が存在すると判断することができる。
【００９３】
また、プローブ４７をコンタクトさせた接続ピンに接続されている受信可能配線に接続されている試験チャネルと、他の試験チャネルとで同時にプローブ４７からの送信信号を受信した場合には、プローブ４７をコンタクトさせた接続ピンに接続されている受信可能配線と、送信信号を受信した他の試験チャネルに接続されている受信可能配線との間に短絡故障が存在すると判断することができる。
【００９４】
例えば、図１６に示すように、プローブ４７を接続ピン３６−１にコンタクトさせて、試験チャネル３２から論理０の信号を送信した場合、試験チャネル２４−１、２８−１の受信信号＝論理０、試験チャネル２４−２〜２４−ｎ、２８−２〜２８−ｐの受信信号＝論理１であった場合には、受信可能配線３５−１、４１−１間に短絡故障が存在すると判断することができる。
【００９５】
また、プローブ４７をコンタクトさせた接続ピンに接続されているべき配線に接続されている試験チャネルでは送信信号が受信されず、他の試験チャネルでプローブ４７からの送信信号を受信した場合には、受信可能配線に誤りがあると判断することができる。
【００９６】
例えば、図１７に示すように、プローブ４７を接続ピン３６−１にコンタクトして、試験チャネル３２から論理０の信号を送信した場合、試験チャネル２４−１の受信信号＝論理１、試験チャネル２４−２の受信信号＝論理０、試験チャネル２４−３（図示せず）〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号＝論理１であった場合には、配線３５−１、３５−２は、誤配線されていると判断することができる。
【００９７】
このように、検査２を実行する場合には、試験治具２０の受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐの断線故障、受信可能配線間の短絡故障および誤配線を検出することができる。
【００９８】
また、図１８は検査３（送信専用配線３８−１〜３８−ｍと受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐとの間の短絡故障の検査）の手順を示すフローチャート、図１９、図２０は検査３を説明するための回路図である。
【００９９】
検査３を実行する場合には、まず、送受可能な試験チャネル２４−１〜２４−ｎおよび受信専用の試験チャネル２８−１〜２８−ｐを受信状態とする（ステップＮ３−１）。
【０１００】
次に、プローブ４７をコンタクトさせない状態で、送信専用の試験チャネル２６−１〜２６−ｍの中の１個の試験チャネルの出力を論理０とし、他の試験チャネルの出力を論理１とする（ステップＮ３−２）。
【０１０１】
そして、試験チャネル２４−１〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号の論理値を判定する（ステップＮ３−３）。以下、検査を終了させない限り、論理０を出力させる試験チャネルを変えながら、ステップＮ３−２、Ｎ３−３を繰り返す。
【０１０２】
ここに、試験チャネル２６−１〜２６−ｍの中の１個の試験チャネルの出力を論理０、他の試験チャネルの出力を論理１とした場合において、試験チャネル２４−１〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号＝論理１であった場合には、論理１を送信した試験チャネルに接続されている送信専用配線と受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐとの間に短絡故障は存在しないと判断することができる。
【０１０３】
たとえば、図１９に示すように、試験チャネル２６−１の送信信号＝論理０、試験チャネル２６−２〜２６−ｍの送信信号＝論理１とした場合、試験チャネル２４−１〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号＝論理１であった場合には、送信専用配線３８−１と受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐとの間には短絡故障は存在しないと判断することができる。
【０１０４】
これに対して、試験チャネル２６−１〜２６−ｍの中の１個の試験チャネルの出力を論理０、他の試験チャネルの出力を論理１とした場合において、試験チャネル２４−１〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号のいずれかが論理０であった場合には、論理０の信号を送信した送信専用配線と、論理０の信号を受信した試験チャネルに接続されている受信可能配線との間に短絡故障が存在すると判断することができる。
【０１０５】
例えば、図２０に示すように、試験チャネル２６−１の送信信号＝論理０、試験チャネル２６−２〜２６−ｍの送信信号＝論理１とした場合、試験チャネル２４−１の受信信号＝論理０、試験チャネル２４−２〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号＝論理１であった場合には、送信専用配線３８−１と受信可能配線３５−１との間に短絡故障が存在すると判断することができる。
【０１０６】
このように、検査３を実行する場合には、試験治具２０の送信専用配線３８−１〜３８−ｍと受信可能な配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐとの間の短絡故障を検出することができる。
【０１０７】
また、図２１は検査４（送信専用配線３８−１〜３８−ｍの電源／グラウンド短絡故障、断線故障、送信専用配線間の短絡故障および誤配線の検査）の手順を示すフローチャート、図２２〜図２６は検査４を説明するための回路図である。
【０１０８】
検査４を実行する場合には、試験チャネル３２を受信状態とし（ステップＮ４−１）、続いて、電源３０の出力を論理０とし（ステップＮ４−２）、プローブ４７を接続ピン３９−１〜３９−ｍの中の指示された接続ピンにコンタクトする（ステップＮ４−３）。
【０１０９】
次に、試験チャネル２６−１〜２６−ｍから表２に示すような第１パターン〜第ｍパターンの試験信号を順に送信する。即ち、試験チャネル２６−１、２６−２、・・・２６−ｍからそれぞれ信号［０１１１・・・１］、［１０１１・・・１］、・・・［１１１１・・・０］を同時に送信する（ステップＮ４−４）。
【０１１０】
そして、試験チャネル３２の受信信号の論理値を判定する（ステップＮ４−５）。以下、検査を終了させない限り、プローブ４７をコンタクトさせる接続ピンを変えながら、ステップＮ４−３〜Ｎ４−５を繰り返す。
【０１１１】
【表２】
0003659007.tif 000003
【０１１２】
ここに、試験チャネル２６−１〜２６−ｍから表２に示すような第１パターン〜第ｍパターンを順に送信した場合において、試験チャネル３２の受信信号がプローブ４７をコンタクトさせた接続ピンに期待される受信信号であった場合には、プローブ４７をコンタクトさせた送信専用配線には、電源／グラウンド短絡故障、断線故障、送信専用配線間の短絡故障および誤配線は存在しないと判断することができる。
【０１１３】
例えば、図２２に示すように、プローブ４７を接続ピン３９−１にコンタクトさせた場合において、試験チャネル３２の受信信号が［０１１１・・・１］であった場合には、送信専用配線３８−１には、電源／グラウンド短絡故障、断線故障、送信専用配線間の短絡故障および誤配線は存在しないと判断することができる。
【０１１４】
これに対して、試験チャネル３２の受信信号が全ビットを論理０とする信号［００００・・・０］であった場合には、プローブ４７をコンタクトさせた接続ピンに接続されている送信専用配線は、配線４４又はグラウンドに短絡していると判断することができる。
【０１１５】
例えば、図２３に示すように、プローブ４７を接続ピン３９−１にコンタクトさせた場合、試験チャネル３２の受信信号が［００００・・・０］であった場合には、送信専用配線３８−１には電源／グラウンド短絡故障が存在すると判断することができる。
【０１１６】
また、試験チャネル３２の受信信号が全ビットを論理１とする信号［１１１１・・・１］であった場合には、プローブ４７をコンタクトさせた接続ピンに接続されている送信専用配線に断線故障が存在すると判断することができる。
【０１１７】
例えば、図２４に示すように、プローブ４７を接続ピン３９−１にコンタクトさせた場合、試験チャネル３２の受信信号＝［１１１１・・・１］であった場合には、送信専用配線３８−１に断線故障が存在すると判断することができる。
【０１１８】
また、試験チャネル３２の受信信号の中の期待されたビットと期待されないビットに論理０が含まれていた場合には、プローブ４７をコンタクトさせた接続ピンに接続されている送信専用配線は、期待されないビットに論理０を含む試験信号を出力する試験チャネルに接続されている送信専用配線と短絡故障していると判断することができる。
【０１１９】
例えば、図２５に示すように、プローブ４７を接続ピン３９−１にコンタクトさせた場合において、試験チャネル３２の受信信号＝［００１１・・・１］であった場合には、送信専用配線３８−１、３８−２間に短絡故障が存在すると判断することができる。
【０１２０】
また、試験チャネル３２の受信信号が、プローブ４７をコンタクトさせた接続ピンに接続されている試験チャネル以外の試験チャネルから送信された試験信号であった場合には、プローブ４７をコンタクトさせた接続ピンに接続されている送信専用配線と、受信した試験信号を送信した試験チャネルに接続されている送信専用配線とが誤配線されていると判断することができる。
【０１２１】
例えば、図２６に示すように、プローブ４７を接続ピン３９−１にコンタクトさせた場合、試験チャネル３２の受信信号＝［１０１１・・・１］であった場合には、送信専用配線３８−１、３８−２は、誤配線されていると判断することができる。
【０１２２】
このように、検査４を実行する場合には、試験治具２０の送信専用配線３８−１〜３８−ｍの電源／グラウンド短絡故障、断線故障、送信専用配線間の短絡故障および誤配線を検出することができる。
【０１２３】
なお、送信専用配線３８−１〜３８−ｍの断線故障の検査は、図２７に示す手順で行うこともできる。即ち、まず、試験チャネル３２を受信状態とし（ステップＮ５−１）、試験チャネル２６−１〜２６−ｍから論理０の送信信号が送出されるように設定する（ステップＮ５−２）。
【０１２４】
次に、プローブ４７を接続ピン３９−１〜３９−ｍの中の指示された接続ピンにコンタクトさせ（ステップＮ５−３）、試験チャネル３２の受信信号の論理値を判定する（ステップＮ５−４）。以下、検査を終了させない限り、プローブ４７をコンタクトさせる接続ピンを変えながら、ステップＮ５−３、Ｎ５−４を繰り返す。
【０１２５】
ここに、試験チャネル３２の受信信号が論理０であった場合には、プローブ４７をコンタクトさせた接続ピンに接続されている送信専用配線に断線故障は存在しないと判断することができる。
【０１２６】
例えば、図２８に示すように、プローブ４７を接続ピン３９−１にコンタクトさせた場合、試験チャネル３２の受信信号が論理０であった場合には、送信専用配線３８−１に断線故障は存在しないと判断することができる。
【０１２７】
これに対して、試験チャネル３２の受信信号が論理１であった場合には、プローブ４７をコンタクトさせた接続ピンに接続されている送信専用配線に断線故障が存在すると判断することができる。
【０１２８】
例えば、図２９に示すように、プローブ４７を接続ピン３９−１にコンタクトさせた場合、試験チャネル３２の受信信号が論理１であった場合には、送信専用配線３８−１に断線故障が存在すると判断することができる。
【０１２９】
このように、図２７に示す手順を実行することによっても、送信専用配線３８−１〜３８−ｍの断線故障の検出を行うことができる。
【０１３０】
なお、図３０（Ａ）に示すように、試験治具２０の配線５０、５１がドライバ（バッファ）５２を介在させている場合において、配線５０が試験機２２内の送受可能な試験チャネル５３に接続された場合には、送受可能な試験チャネル５３を送信専用の試験チャネルとして扱うことで、配線５０、５１を送信専用配線として検査することができる。
【０１３１】
これに対して、図３０（Ｂ）に示すように、試験治具２０の配線５４、５５がレシーバ（レベル変換回路）５６を介在させている場合において、配線５５が試験機２２内の送受可能な試験チャネル５７に接続された場合には、試験チャネル５７をそのまま送受可能な試験チャネルとして扱うことができ、配線５４、５５を受信可能配線として検査することができる。
【０１３２】
以上のように、本発明の一実施形態によれば、試験治具２０について、▲１▼受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐの電源／グラウンド短絡故障、▲２▼受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐの断線故障、受信可能配線間の短絡故障および誤配線、▲３▼送信専用配線３８−１〜３８−ｍと受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐとの間の短絡故障、▲４▼送信専用配線３８−１〜３８−ｍの断線故障、送信専用配線間の短絡故障および誤配線を検出することができるので、試験治具２０の不良による被試験体の試験時の障害を防止することができる。
【０１３３】
しかも、本発明の一実施形態によれば、試験治具２０を使用する試験機２２を使用して検査を行うとしているので、プローブ装置２３を容易すれば足り、フライングプローバ等の特別な配線検査装置を必要としない。
【０１３４】
また、試験治具２０の配線情報を使用して試験治具２０の検査を行うとしているので、プローブ４７のコンタクト指示を確実に行うことができ、検査もれを防止し、試験治具２０の検査を確実に行うことができる。また、プローブ４７のコンタクト指示を制御コンピュータ２１により行うとしているので、試験治具２０の検査を容易に行うことができる。
【０１３５】
また、試験機２２内に送信専用の試験チャネルおよび受信専用の試験チャネルが存在する場合であっても試験治具２０の検査を行うことができるので、試験治具２０に内蔵させたバッファやレシーバにより試験信号の送受方向が限定された場合でも試験治具２０の検査を行うことができる。
【０１３６】
なお、本発明の一実施形態においては、プローブ４７を作業者が扱うようにした場合について説明したが、自動プローバを使用するように構成しても良く、このようにする場合には、試験治具２０の検査をより容易に行うことができる。
【０１３７】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、試験機に試験治具を装着し、試験機を利用して試験治具の配線を検査するとしているので、制御コンピュータを使用することにより、フライングプローバ等のような特別な配線検査装置を必要とせず、試験治具の配線検査を確実、かつ、容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を説明するための回路図である。
【図２】本発明の一実施形態を説明するための回路図である。
【図３】本発明の一実施形態の内容を概略的に示すフローチャートである。
【図４】本発明の一実施形態を説明するための図である。
【図５】本発明の一実施形態で使用される配線情報例を示す図である。
【図６】本発明の一実施形態で使用される配線情報例で使用される各行のレコード形式を示す図である。
【図７】本発明の一実施形態で使用されるプローブのコンタクト指示のメッセージ例を示す図である。
【図８】本発明の一実施形態で使用される故障解析結果の通知例を示す図である。
【図９】本発明の一実施形態で行われる検査１の手順を示すフローチャートである。
【図１０】本発明の一実施形態で行われる検査１を説明するための回路図である。
【図１１】本発明の一実施形態で行われる検査１を説明するための回路図である。
【図１２】本発明の一実施形態で行われる検査１を説明するための回路図である。
【図１３】本発明の一実施形態で行われる検査２の手順を示すフローチャートである。
【図１４】本発明の一実施形態で行われる検査２を説明するための回路図である。
【図１５】本発明の一実施形態で行われる検査２を説明するための回路図である。
【図１６】本発明の一実施形態で行われる検査２を説明するための回路図である。
【図１７】本発明の一実施形態で行われる検査２を説明するための回路図である。
【図１８】本発明の一実施形態で行われる検査３の手順を示すフローチャートである。
【図１９】本発明の一実施形態で行われる検査３を説明するための回路図である。
【図２０】本発明の一実施形態で行われる検査３を説明するための回路図である。
【図２１】本発明の一実施形態で行われる検査４の手順を示すフローチャートである。
【図２２】本発明の一実施形態で行われる検査４を説明するための回路図である。
【図２３】本発明の一実施形態で行われる検査４を説明するための回路図である。
【図２４】本発明の一実施形態で行われる検査４を説明するための回路図である。
【図２５】本発明の一実施形態で行われる検査４を説明するための回路図である。
【図２６】本発明の一実施形態で行われる検査４を説明するための回路図である。
【図２７】試験治具の送信専用配線の断線故障検査の他の方法を示すフローチャートである。
【図２８】試験治具の送信専用配線の断線故障検査の他の方法を説明するための回路図である。
【図２９】試験治具の送信専用配線の断線故障検査の他の方法を説明するための回路図である。
【図３０】本発明の一実施形態を説明するための回路図である。
【図３１】試験機と被試験体とを電気的に接続する試験治具の概念を示す図である。
【符号の説明】
２４−１〜２４−ｎ  送受可能な試験チャネル
２６−１〜２６−ｍ  送信専用の試験チャネル
２８−１〜２８−ｐ  受信専用の試験チャネル
３２  送受可能な試験チャネル
【図１】
0003659007.tif 000004
【図２】
0003659007.tif 000005
【図３】
0003659007.tif 000006
【図４】
0003659007.tif 000007
【図５】
0003659007.tif 000008
【図６】
0003659007.tif 000009
【図７】
0003659007.tif 000010
【図８】
0003659007.tif 000011
【図９】
0003659007.tif 000012
【図１０】
0003659007.tif 000013
【図１１】
0003659007.tif 000014
【図１２】
0003659007.tif 000015
【図１３】
0003659007.tif 000016
【図１４】
0003659007.tif 000017
【図１５】
0003659007.tif 000018
【図１６】
0003659007.tif 000019
【図１７】
0003659007.tif 000020
【図１８】
0003659007.tif 000021
【図１９】
0003659007.tif 000022
【図２０】
0003659007.tif 000023
【図２１】
0003659007.tif 000024
【図２２】
0003659007.tif 000025
【図２３】
0003659007.tif 000026
【図２４】
0003659007.tif 000027
【図２５】
0003659007.tif 000028
【図２６】
0003659007.tif 000029
【図２７】
0003659007.tif 000030
【図２８】
0003659007.tif 000031
【図２９】
0003659007.tif 000032
【図３０】
0003659007.tif 000033
【図３１】
0003659007.tif 000034