(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気空隙を形成する永久磁石およびヨークが配設されたバランサーと、前記磁気空隙内に配置される磁界発生用のコイルが固着されておりかつ光偏向用部材を構成した動作物と、サポートベースとを具備するとともに、前記の動作物とバランサーとが共振可能にサポートベースに接続されていることを特徴とする光偏向用共振型揺動モーター。
【請求項２】
磁気空隙を形成する永久磁石およびヨークが配設されておりかつ光偏向用部材を構成した動作物と、前記磁気空隙内に配置される磁界発生用のコイルが固着されたバランサーと、サポートベースとを具備するとともに、前記の動作物とバランサーとが共振可能にサポートベースに接続されていることを特徴とする光偏向用共振型揺動モーター。
【請求項３】
前記の動作物とサポートベースとの間およびバランサーとサポートベースとの間が各々バネで接続されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の光偏向用共振型揺動モーター。
【請求項４】
バネが板バネであることを特徴とする請求項３記載の光偏向用共振型揺動モーター。
【請求項５】
ヨークが強磁性のＥ字形ヨークからなるとともに、永久磁石がＥ字形ヨークの両端部の突起の内側面に固着され、かつ前記の永久磁石とＥ字形ヨークの中央部の突起とを対向させて磁気空隙を形成したことを特徴とする請求項１または２記載の光偏向用共振型揺動モーター。
【請求項６】
バネが板バネであって、ヨークが強磁性のＥ字形ヨークからなるとともに、永久磁石がＥ字形ヨークの両端部の突起の内側面に固着され、かつ前記の永久磁石とＥ字形ヨークの中央部の突起とを対向させて磁気空隙を形成したことを特徴とする請求項３記載の光偏向用共振型揺動モーター。
【請求項７】
振動開始から共振到達までの遷移時間を１．０（ｓｅｃ．）以下としたことを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の光偏向用共振型揺動モーター。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、ファクシミリ、複写機、プリンター等の記録媒体への書き込みやペンスキャナー、バーコード等の読み取りに用いる走査光学装置等に有用な防振性に優れた高精度の位置決め機能を有する光偏向用の共振型の揺動モーターに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図９に従来の走査光学装置の例（特開昭６１−９７６２１号公報参照）を示す。図９では、発生する振動が光学定盤１３１に伝達するのを防止するために板バネ１３０を使用し、光学定盤１３１に固定された基板１３２に板バネ１３０ａを介して補助板１３３が取り付けられるとともに、補助板１３３と架台１３４とを板バネ１３０ｂを介して取り付け、さらに架台１３４に保持部材１３５が立設されている。また、保持部材１３５に回転多面鏡７０を回転自在に支持するための支持軸１３６が設けられている。この構成により、回転多面鏡７０の振動が光学定盤１３１を介して図示されない光学系に伝達するのが防止される。
【０００３】
図１０に従来の走査光学装置の他の例（実開平３−１１４８５４号公報参照）を示す。図１０において、ポリゴンスキャナモータ１４０を駆動することによりポリゴンミラー１１３が回転し、図示されないレーザーユニットから発せられるレーザー光がポリゴンミラー１１３、フォーカスレンズ１５０，１６０、折返しミラー１７０，１８０を通って感光体９０上を走査してデータの書き込みが行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図９では、固有振動数（共振周波数ともいう。）を考慮した板バネの選択が煩雑になることや装置が大型化する等の問題がある。
さらに、図１０では、ポリゴンスキャナモータ１４０の回転時に同モータのロータの不釣合により振動が発生し、この振動がフランジ部１１４ａを通して光学ハウジング１１０に伝達されてしまい、折返しミラー１７０，１８０に悪影響を与え、記録画像に乱れを発生する、といった問題がある。このため、前記の光学ハウジングとポリゴンスキャナモータのフランジ部との間にゴム等の防振部材を介装したり、前記スキャナモータを前記ハウジングに取付ける取付け部材に段差を設ける等の防振対策が必要となり、装置構成の複雑化、大型化の問題を併有する。
【０００５】
本発明は、上記従来の問題点を解決し、優れた防振性を有することによって高精度の位置決めに適するとともに、少消費電力型であり、さらに小型化が可能でかつ安価な光偏向用の共振型の揺動モーターを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の光偏向用共振型揺動モーターは、磁気空隙を形成する永久磁石およびヨークが配設されたバランサーと、前記磁気空隙内に配置される磁界発生用のコイルが固着されておりかつ光偏向用部材を構成した動作物と、サポートベースとを具備するとともに、前記の動作物とバランサーとが共振可能にサポートベースに接続されている、という技術的手段を採用した。
また本発明の光偏向用共振型揺動モーターでは、磁気空隙を形成する永久磁石およびヨークが配設されておりかつ光偏向用部材を構成した動作物と、前記磁気空隙内に配置される磁界発生用のコイルが固着されたバランサーと、サポートベースとを具備するとともに、前記の動作物とバランサーとが共振可能にサポートベースに接続されている、という技術的手段を採用した。
【０００７】
本発明では、前記の動作物とサポートベースとの間およびバランサーとサポートベースとの間が各々バネで接続されていることが好ましい。
また、バネが板バネであることが好ましい。
また、ヨークが強磁性のＥ字形ヨークからなるとともに、永久磁石がＥ字形ヨークの両端部の突起の内側面に固着され、かつ前記の永久磁石とＥ字形ヨークの中央部の突起とを対向させて磁気空隙を形成させることが好ましい。
また、バネが板バネであって、ヨークが強磁性のＥ字形ヨークからなるとともに、永久磁石がＥ字形ヨークの両端部の突起の内側面に固着され、かつ前記の永久磁石とＥ字形ヨークの中央部の突起とを対向させて磁気空隙を形成させることが好ましい。
また、本発明の光偏向用共振型揺動モーター（以後、共振型揺動モーターという。）は振動開始から共振到達までの遷移時間が１．０（ｓｅｃ．）以下であることを特徴としている。
【０００８】
本発明は、いわゆる揺動型アクチュエータの駆動系にバネ（好ましくは板バネ）を組み合わせた独特の振動系からなる揺動モーターにおいて、共振振動を採用する事によって、振動の振幅および周波数を制御するとともにサポートベースへの振動伝達を抑制し、高精度の位置決め機能を付与することができる。
本発明の共振型揺動モーターの特徴は（１）共振振動系のため、高精度の位置決め機能が付与される動作物および／またはバランサーの振動の振幅量を、動作物およびバランサーの各々の質量と両者に接続されるバネのバネ定数とによって調整できるとともに、サポートベースへの振動伝達が非常に小さく抑制される。したがって、サポートベースおよびサポートベースに接続される部材（動作物とバランサーとを除く。）が優れた防振性を示し、高精度の位置決めが可能となる。（２）振動開始から共振に至る遷移時間を１．０（ｓｅｃ．）以下とすることができ、立上がり性が飛躍的に向上する。このために、キッカー電流を入力する。（３）共振振動の減衰分のエネルギー供給方式として減衰補充電流を周期的に供給する、という少消費電力型のエネルギー供給方式を採用している。
なお、前記のキッカー電流と減衰補充電流とは少消費電力とするために、片波電流で ｄｕｔｙ  ｔｉｍｅ  の短縮された形で入力される。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図面により本発明の共振型揺動モーターを説明する。
図１（ａ）は本発明の共振型揺動モーターを走査光学装置に用いた一実施例を示す要部断面図である。
同図において、動作物１は図示されない光源から出射される光ビームを偏向走査するミラー７（例えば、公知のガラス体の表面にＡｌが蒸着され、反射率９２％、吸収波長６５０ｎｍに設定されている。寸法は３０ｍｍ×２０ｍｍ×１．０ｍｍの板状に形成されている。）と、ミラー７に固着された略環状形のコイル８とを具備して構成される。２はバランサーであり、Ｅ字形の強磁性ヨーク１２（例えば、ＳＳ４００製。）と永久磁石１０，１０（例えば、日立金属（株）製Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系異方性焼結磁石：ＨＳ３７ＢＨであり、表面にＮｉメッキ等の耐酸化皮膜を有する。）とウェイト１４（例えば、Ａ５０５２Ｐ製。）とを具備する。ここで、Ｅ字形の強磁性ヨーク１２の両端部に形成された突起１２ａおよび１２ｃの各々の内側面には図示の磁極Ｎ，Ｓが付与された永久磁石１０，１０がエポキシ系接着剤（例えば、アラルダイトＡＶ１３８等。）を用いて固着され、この固着された永久磁石１０，１０とＥ字形の強磁性ヨーク１２の中央の突起１２ｂとが対向して磁気空隙６，６を形成するように配置されている。さらに、強磁性ヨーク１２の突起のない側にはバランサー２全体の質量すなわち重量を調整するためのウェイト１４が配設されている。３はサポートベース（例えば、ポリカーボネート製。）である。サポートベース３と動作物１とは板バネ４を介して接続されている。また、サポートベース３とバランサー２とは板バネ５を介して接続されている。ここで、サポートベース３は板バネ４，５を介して各々動作物１とバランサー２とを支持する固定部分であるとともに、例えば、図示されない光学走査装置の光学ハウジングの一部を構成する部分であって非常に厳しい防振性が付与されている。板バネ４，５は断面形状が矩型状であり、かつ長さ方向の形状が略直線状に形成されている。そして、板バネ４，５の作用効果は渦巻きバネ（らせんバネ）とほぼ同一であり、本発明の共振型揺動モーターの共振を円滑に維持することを可能とする。上記の構成によって、動作物１とバランサー２とサポートベース３と板バネ４，５とを具備する本発明の共振型揺動モーター５０が構成される。
そして、この共振型揺動モーター５０の静止時には、動作物１とサポートベース３とが板バネ４との支点４ａ、４ｂによって支持されるとともに、バランサー２とサポートベース３とが板バネ５との支点５ａ、５ｂによって支持される結果、動作物１とバランサー２とが間隔１３をあけて静止するように構成される。なお、図１（ａ）は動作物１側を光ビームの偏向部材として利用した例である。
また、図１（ａ）において、サポートベース３を図示されない光学ハウジング等の非常に厳しい防振性を要求される部分に公知のネジ留め等の固定手段を用いて締結することもできる。
【００１０】
次に、図１（ｂ）に、動作物１とバランサー２の静止および共振状態における各々の相対位置の一例を概念的に示す。図１（ｂ）において、図１（ａ）と同一参照符号のものは図１（ａ）と同一の構成部分を表わす。
図１（ｂ）において、図示省略のコイル８に後述の共振のための駆動電流が供給されると、コイル８の磁界と図示省略の永久磁石１０，１０の磁界との相互作用によって、動作物１とバランサー２との間に大きさが等しく反対方向の駆動力（Ｆ）が発生する。この駆動力Ｆによって、動作物１とバランサー２とが４ａ，４ｂおよび５ａ，５ｂを支点として各々振動を開始し、極めて短時間（１ｓｅｃ以下）の間に、動作物１とバランサー２とはある時点では動作物１’とバランサー２’に位置し、また別の時点では動作物１''とバランサー２''に位置するというように、各々の振幅を有する共振状態に到達し、以後、後述する共振減衰分のエネルギーが供給されながら、この共振状態に保持されるのである。ここで、動作物１およびバランサー２からサポートベース３に伝達される振動は非常に小さく、したがって、動作物１およびバランサー２以外のサポートベース３に接続される部材を介して、またはサポートベース３に直接接続される光ビームの書き込みや読み取りに関係する部分への振動伝達が防止されて、光ビームの偏向を高精度に行うことができる。
【００１１】
本発明の共振型揺動モーター５０は、図１に示すように、２個のバネ４，５で接続された共振振動系であるので、動作物１側およびバランサー２側の共振周波数（fo）は、fo＝（１／２π）×（√Ｋｄ／√ｍｄ）＝（１／２π）×（√Ｋｂ／√ｍｂ）で表わされる。ここで、（Ｋｄ）は板バネ４のバネ定数、（ｍｄ）は動作物１の質量、（Ｋｂ）は板バネ５のバネ定数、（ｍｂ）はバランサー２の質量である。したがって、動作物１とバランサー２とが振動周波数foで共振する場合、Ｋｄ／ｍｄ＝Ｋｂ／ｍｂが成立する。さらに、共振状態において、動作物１の振幅（ｗｄ）はｗｄ＝（Ｆ／ｍｄ）×（１／２πfo）２で与えられ、バランサー２の振幅（ｗｂ）はｗｂ＝（Ｆ／ｍｂ）×（１／２πfo）２で与えられる。ここで、前述した通り、駆動力Ｆの大きさは動作物１とバランサー２との間で等しい（なお、Ｆの向きは両者間で反対に作用する）ので、
（ｗｄ／ｗｂ）＝（１／ｍｄ）／（１／ｍｂ）＝（ｍｂ／ｍｄ）となる。
このように、本発明の共振型揺動モーター５０においては、共振周波数foおよび共振の振幅比（ｗｄ／ｗｂ）を、板バネ４，５のばね定数と、動作物１およびバランサー２における質量（すなわち重量）とで調整できるという優れた特徴を有する。
そして、Ｋｄ／Ｋｂ＝ｍｄ／ｍｂ＜１となるように構成すると、
（ｗｄ／ｗｂ）＝（ｍｂ／ｍｄ）＞１となり、動作物１がバランサー２に対して軟振動系となり、動作物１の振幅をバランサー２に対して大に構成することができる。実用性の点から、Ｋｄ／Ｋｂ＝ｍｄ／ｍｂ＝０．０１〜０．８０とすると特に好ましい。
また、Ｋｄ／Ｋｂ＝ｍｄ／ｍｂ＞１となるように構成すると、
（ｗｄ／ｗｂ）＝（ｍｂ／ｍｄ）＜１となり、動作物１に対してバランサー２が軟振動系となり、バランサー２の振幅を動作物１に対して大に構成することができる。実用性の点から、Ｋｄ／Ｋｂ＝ｍｄ／ｍｂ＝１．２５〜１００とすると特に好ましい。また、Ｋｄ／Ｋｂ＝ｍｄ／ｍｂ＝１となるように構成することも自在である。
【００１２】
次に、図１（ｂ）において、入射された光ビーム９が共振状態の動作物１のミラー７ａ部分で偏向され（同図において、入射角θ１’（θ１''）＝反射角θ２’（θ２''）である。）、偏向ビーム１１’（１１''）となる。
【００１３】
次に、本発明の共振型揺動モーター５０において、共振周波数を５０．０±０．１（Ｈｚ）とした場合の板バネ４の寸法、重量の一例を表１に、板バネ５の寸法、重量の一例を表２に示す。
【００１４】
【表１】
0003659519.tif 000002
【００１５】
【表２】
0003659519.tif 000003
【００１６】
本発明の共振型揺動モーター５０の共振周波数を５０．０±０．１（Ｈｚ）に調整するために、室温におけるヤング率が１０，０００〜２５，０００ｋｇｆ／ｍｍ2の範囲にある素材（例えば、ＳＵＳ３０４ＣＰ等。）を用いて表１および表２の仕様の板バネ４，５を製作し、本発明の共振型揺動モーター５０に用いた。
【００１７】
本発明の共振型揺動モーターに用いるバネとしては公知のバネを使用できる。具体例としては、例えば、円筒型圧縮コイルバネ、非円筒型圧縮コイルバネ、円筒型引張コイルバネ、ネジリコイルバネ、偏平波形コイルバネ、ガータスプリング、ヨリ線バネ等のコイルバネ；接触形渦巻きバネ、非接触形渦巻きバネ等の渦巻きバネ；等ピッチ角形、不等ピッチ角形等の竹ノ子バネ；単一板バネ、重ね板バネ等の板バネ、円すいサラバネ、円板サラバネ等のサラバネ；輪バネ；トーションバー等の金属バネが挙げられる。また、圧縮形、せん断形、圧縮せん断形、ねじり形等のゴムバネ等が挙げられる。また、圧縮空気等を利用する空気バネ等が挙げられる。これらのうち、バネ定数の設定の容易な金属バネが好ましく、バネ定数の設定の非常に容易な板バネが特に好ましい。この板バネの断面形状は正方形、矩形、円形、台形、平行四辺形、Ｈ型、不定形状の何れでもよい。
そして、上記金属バネは、炭素鋼、Ｍｎ鋼、Ｓｉ−Ｍｎ鋼、Ｍｎ−Ｃｒ鋼、Ｍｎ−Ｃｒ−Ｂ鋼、ＳｉーＣｒ鋼、Ｃｒ−Ｖ鋼、ステンレス鋼等のバネ鋼、およびりん青銅等のＣｕ−Ｓｎ−Ｐ合金、および洋白等のＣｕ−Ｎｉ−Ｚｎ合金、およびベリリウム銅等のＣｕ−Ｂｅ、Ｃｕ−Ｂｅ−Ｃｏ合金等の公知素材から適宜選択して形成できる。
また、上記バネの断面形状は正方形、矩形、円形、台形、平行四辺形、Ｈ型、不定形状の何れでもよい。
【００１８】
本発明の共振型揺動モーターに用いるヨークは、公知の強磁性および／または非磁性素材から形成できるが、永久磁石から発生した磁束の磁路となりかつ磁気空隙形成に有効に寄与する公知の強磁性材料を用いることが好ましい。具体例を挙げれば、純鉄、軟鉄、炭素鋼、フェライト系やマルテンサイト系の磁性ステンレス鋼等、および鋳鉄や鋳鋼等の鉄系鋳物、およびＭｎ−Ｚｎフェライト等の公知のソフトフェライト、およびパーマロイ等のＦｅ−Ｎｉ合金、コバールなどのＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金、およびこれら強磁性材料の微粉末と高分子化合物とを主体として構成されるいわゆる樹脂接着型の軟質磁性材料等を使用できる。
これらのうち、安価で高透磁率の炭素鋼が特に好ましい。さらに、ラミネート構造のヨークを用いてもよい。
【００１９】
本発明の共振型揺動モーターに用いる永久磁石としては、公知の製造方法（例えば焼結法、鋳造法、熱間圧延法、超急冷法、ボンド磁石法等）によるものを使用できる。そして、永久磁石としてその基本組成を表す一般式がＲ−Ｆｅ−Ｂ系およびＳｍ−Ｃｏ5系、Ｓｍ2ーＣｏ17系、Ｓｍ−Ｆｅ−Ｎ系（ＲはＹを含むＮｄ，Ｄｙ等の希土類元素のうちの１種または２種以上であり、必要に応じてＣｏ、Ａｌ、Ｎｂ、Ｇａ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｎｉ、Ｓｉ等の磁気特性に有効な公知の添加元素の１種または２種以上およびＯ、Ｃ、Ｈ、Ｎ等の不可避不純物元素を含有できる。）等で表される希土類磁石およびフェライト磁石、アルニコ磁石、Ｍｎ−Ａｌ−Ｃ系磁石、Ｆｅ−Ｃｒ−Ｃｏ系磁石等の公知の永久磁石材料を用いて製作できる。
【００２０】
図２は本発明の共振型揺動モーター５０における動作物１の振幅、振動周波数等の測定手段の一実施例を概念的に説明する図である。図２において、図１（ｂ）と同一参照符号のものは図１（ｂ）と同一の構成部分である。動作物１は４ａ、４ｂを支点として、所定の共振角度θ（例えば、θ＝２０°）間すなわち振幅１９間を５０．０±０．１（Ｈｚ）の共振周波数で往復運動する。この往復運動は、振幅１９の中立点１７に対して略対称形（θ／２）になっている。そして、動作物１のミラー７ａ側における支点４ａ側から２０ｍｍの位置Ａにレーザービーム１６を照射して、反射されたレーザービーム１６を図示されない公知のレーザービーム測長器により検出して振幅、振動周波数等の測定を行う。
ここで、共振角度θ＝０．１〜１７９゜を形成できるが、実用性の点からθ＝７〜２０゜とするのが好ましい。また、振幅１９は設計条件等を考慮して適宜決定できるが、上記図１および図２においては、動作物１の振幅をバランサー２の振幅の４〜５倍になるように板バネ４，５のバネ定数および動作物１とバランサー２の各質量（すなわち各重量）を設定している。すなわち、動作物１側がバランサー２側に対して軟振動系となり、動作物１の（振幅／入力電力）比がバランサー２の（振幅／入力電力）比に対して４〜５倍という大きさに設定されている。なお、図１の実施例では共振周波数を５０．０±０．１（Ｈｚ）に設定したが、本発明の共振型揺動モーターにおける固有振動数を考慮すると、共振周波数を１（Ｈｚ）〜５０（ＫＨｚ）に設定するのが好ましく、実用性の点から１０〜１０００（Ｈｚ）にするのが特に好ましい。
【００２１】
図３は、本発明の共振型揺動モーターにおいて、磁界発生用のコイル（例えば、図１ではコイル８に相当する。）に供給する駆動電流の波形パターンの一実施例を概念的に説明する図である。
図３において、キッカー電流２０は１２０（ｍＡ），１０（ｍｓｅｃ．）の１パルスの略矩形波電流であり、共振型揺動モーターの振動開始時に印加される。減衰補充電流２１は６０（ｍＡ），１〜２（ｍｓｅｃ．）の多パルスの略矩形波電流であって印加周期２２で繰り返し印加される。この印加周期２２は共振周波数に等しく設定され、例えば図１では２０（ｍｓｅｃ．）すなわち共振周波数の５０（Ｈｚ）に設定されている。また、キッカー電流２０と第１番目の減衰補充電流２１との間の休止時間は１５（ｍｓｅｃ．）に設定されている。
キッカー電流２０は、１〜１０，０００（ｍＡ），０．１〜２５０（ｍｓｅｃ．）が実用性の点から好ましいが、１０〜５００（ｍＡ），５〜５０（ｍｓｅｃ．）とすると共振の立上がり性および低消費電力の点から特に好ましい。
また、減衰補充電流２１は１〜１０，０００（ｍＡ），０．０２〜１０００（ｍｓｅｃ）が実用性の点から好ましいが、共振型揺動モーターの固有振動数との整合性および共振の減衰分の供給エネルギーを低消費電力とする点から１０〜５００（ｍＡ），１〜２００（ｍｓｅｃ．）が特に好ましい。
【００２２】
図４は本発明の共振型揺動モーター５０において、コイル８に通電する駆動電流の制御回路の一実施例を示す図である。
図４では、標準電源として直流電源５（Ｖ）を用いている。そして、ポート１に、例えば、１２０（ｍＡ）,１０（ｍｓｅｃ．）のキッカー電流２０に相当する電圧信号が入力されて、トランジスタＱ１がオンされる。１５ｍｓｅｃ経過後、次に、ポート２に、例えば、６０（ｍＡ）,２（ｍｓｅｃ．）の減衰補充電流２１に相当する電圧信号が入力されて、トランジスタＱ２がオンされる。そして、同時にコイル８から発生する逆起電圧ＶM（逆起電流ＩM）はダイオード３０により抑制される。このようにして、コイル８に流れる駆動電流が制御されるのである。なお、Ｒ1は抵抗を示し、トランジスタＱ1およびＱ2の一端は接地されている。
【００２３】
図５は本発明の共振型揺動モーター５０における動作物１の振動開始から共振に至る振動遷移領域を説明する図であり、縦軸にコイル８の駆動電流（ｍＡ）および動作物１の振幅（ｍｍ）をとり、横軸に時間（ｍｓｅｃ．）をとっている。図５の振幅曲線１９において、点Ｏは動作物１の振動開始点を、点Ｐは振幅の第１周期の第１ピークを、点Ｑは振幅の第１周期の第２ピークを、点Ｒ、Ｓ、Ｔは各々振幅の第２周期〜第４周期の開始点を示す。このように、図３で説明したキッカー電流２０および減衰補充電流２１が印加されて、動作物１が振幅曲線１９の振幅挙動を示し、所定の振幅と振動周波数とを有する共振に至るのである。ここで、キッカー電流２０の印加は振幅曲線１９の第１周期の第１ピーク点Ｐまでに完了させることが極めて重要である。仮に、キッカー電流２０の印加が第１ピーク点Ｐを越えて行なわれた場合、キッカー電流２０により共振型揺動モーター５０に供給されるエネルギーが振幅曲線１９の位相に対して不整合となるため、共振の立上がり性を悪化させる。すなわち、振動開始から共振に至る所用時間が長くなり好ましくない。
また、上述した通り、振幅の第１周期における第２ピーク点Ｑ以降の時期に第１番目の減衰補充電流２１を印加するとともに、振幅の第２周期以降は第１番目の減衰補充電流２１に対して共振周期２２（例えば５０（Ｈｚ））の間隔で第２番目以降の減衰補充電流２１を供給することによって極めて短時間（１ｓｅｃ以下）のうちに共振に至ることができる。
そして、上述のキッカー電流２０および減衰補充電流２１の供給によって、本発明の共振型揺動モーター５０の平均消費電力を３（ｍＷ）以下にでき、少消費電力化が達成された。
【００２４】
図６は本発明の共振型揺動モーター５０における動作物１の良好な共振の立上がり性の一実施例を示す図であり、縦軸に動作物１の振幅（ｍｍ）、横軸に時間（ｍｓｅｃ．）を各々とっている。
図６において、２３が振動開始から共振に至る遷移領域、２４が共振領域である。図６より、遷移領域２３の所要時間が約０．５（ｓｅｃ．）に設定されていることがわかる。なお、上述のキッカー電流２０を印加しない場合は、図６における遷移領域２３が約５（ｓｅｃ．）に悪化し、共振の立上がり性が著しく阻害されることが確認された。
【００２５】
図７に、ミラー７と強磁性ヨーク１２と永久磁石１０，１０とを具備する動作物１と、ウェイト１４とコイル８とを具備するバランサー２と、サポートベース３と、板バネ４，５とで構成される揺動モーター６０の一例を示す。図７において、図１（ａ）と同一参照符号のものは図１（ａ）と同一の構成部分を表す。
図７の揺動モーター６０の共振周波数を５０．０±０．１（Ｈｚ）とし、さらに、図１の揺動モーター５０の場合と同様に動作物１の振幅をバランサー２の振幅の４〜５倍になるように設定することによって、動作物１側がバランサー２側に対して軟振動系となり、したがって動作物１の（振幅／入力電力）比をバランサー２に対して大に構成することができ、図１（ａ）の揺動モーター５０と同様の作用効果を奏することが確認された。
【００２６】
図８に、本発明の共振型揺動モーターを電動ひげそりに用いた参考例を示す。図８において、図１（ａ）と同一参照符号のものは図１（ａ）と同一の構成部分を表す。
図８において、動作物１とバランサー２とは共振周波数２００（Ｈｚ）に設定され、かつ動作物１およびバランサー２の振幅が等しくすなわち共振角度θが等しく、例えばθ＝１５゜に設定されている。また、サポートベース３は板バネ４，５を介して各々動作物１およびバランサー２を支持する防振性の固定部分であるとともに、例えば、図８の電動ひげそりにおける図示されない把持部分の一部を構成する。そして、サポートベース３の両端部に立設されたフレーム２６，２６（例えば、ガラス入りポリカボネート製。）の先端部に安全カバー２７（例えば、ＳＵＳ３０４製。）が設けられ、この安全カバー２７には例えばひげ等の毛が侵入するための微小孔が多数形成されるとともに、顔面等に安全カバー２７の２７ａ側を押圧すると前記微小孔から侵入したひげが動作物１およびバランサー２の先端部に各々設けられた刃２５，２５によって切断されるのである。このように本発明の共振型揺動モーターの構成を電動ひげそり等に使用することができる。なお、図８では、より強力な磁気空隙６，６を形成するために、永久磁石１０，１０の異なる磁極同志を対向配置させている。
【００２７】
上記実施例においては、板バネ２個と、１個のコイルと、２個または４個の永久磁石と、１個のウェイトとからなる共振振動系を記載したが、これらの数は限定されるものではなく、これらのより多数を用いて本発明の共振型揺動モーターを構成することができる。
さらに、動作物、バランサー、サポートベース等の形状および個数も本発明の範囲内において、限定されるものではない。
また、バネ（好ましくは板バネ）の寸法、形状等を適宜選択することによって、小型から大型までの共振型揺動モーターをフレキシブルに製作できる。
また、上記実施例では、バランサー側を単独で位置決めに利用することを記載していないが、バランサー側を単独で利用でき得ることは本発明の記載から明らかである。
【００２８】
【発明の効果】
本発明の共振型揺動モーターは共振を利用しているため、動作物とバランサーとの共振によって振動をバランスでき、したがって、サポートベースへの振動伝達を抑制できるという優れた防振機能を有する。このため、光ビーム偏向装置等の高精度の位置決め機能を要する装置に極めて有用のものである。また、動作物をバランサーに対して軟振動系に設定できるので、動作物の（振幅量／入力電力）の比率を大きくとれるという効果を奏する。また、バランサーを動作物に対して軟振動系に設定することも可能で、バランサーの（振幅量／入力電力）の比率を大きくとれるという効果を奏することもできる。また、動作物とバランサーの振幅を等しく設定して、両者を共振させて利用することも自在である。
また、本発明のエネルギー供給方式とすれば、共振の立上がり性が大幅に改善されるとともに、共振の減衰分のエネルギーを補うだけの少消費電力方式とすることができる。
さらに、寸法対応性に富み、かつ簡略な構成であるため、低価格化が図れるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の共振型揺動モーターの一実施例における要部断面図（ａ）および共振状態を説明する図（ｂ）である。
【図２】  本発明の共振型揺動モーターにおける動作物の振幅、振動周波数等の測定手段の一実施例を説明する図である。
【図３】  本発明の共振型揺動モーターにおいて、印加するキッカー電流および減衰補充電流の波形パターンの一実施例を示す図である。
【図４】  本発明の共振型揺動モーターにおける制御回路の一実施例を示す図で
ある。
【図５】  本発明の共振型揺動モーターにおける振動開始から共振に至る遷移領域の一実施例を示す図である。
【図６】  本発明の共振型揺動モーターにおける共振の立上がり性の一実施例を示す図である。
【図７】  本発明の共振型揺動モーターの他の実施例を示す要部断面図である。
【図８】  参考例を示す要部断面図である。
【図９】  従来の位置決め装置を説明する図である。
【図１０】  従来の位置決め装置を説明する図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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