(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶表示パネルを配置する検査ステージと、検査用のプローブユニットを支持する支持手段であって前記検査ステージが配置された支持手段と、前記検査ステージ及び前記支持手段が配置された筐体とを含み、該支持手段は、前記プローブユニットを、該プローブユニットが前記液晶表示パネルの検査のために配置される検査位置であって前記検査ステージに対応する検査位置と、前記プローブユニットが前記検査ステージへの前記液晶表示パネルの配置作業を妨げない退避位置とに選択的に移動可能に支持し、前記筐体は、液晶表示パネルの受け渡しに用いる第１の開口と、該第１の開口から前記検査ステージに配置された液晶表示パネルと平行な面内を一方向へ伸びる帯状の第２の開口であってフラットケーブルが前記筐体の内外に伸びることを許す第２の開口とを有するベースプレートを備える、液晶表示パネルの検査装置。
【請求項２】
前記退避位置は前記検査位置から前記検査ステージに配置された液晶表示パネルと平行の水平方向へ離れており、前記支持手段は、前記検査ステージが配置された筐体と、該筐体に組み付けられかつ前記プローブユニットを前記検査位置および前記退避位置に選択的に移動可能に受けるガイドとを備える、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記支持手段は、さらに、前記プローブユニットを前記ガイドに沿って前記第１および退避位置に選択的に移動させるユニット移動機構を備える、請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記支持手段は、前記プローブユニットを傾斜した状態または水平の状態に受ける、請求項１，２または３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記支持手段は、さらに、前記検査ステージに対応する箇所に開口を有する平板を備え、前記検査位置および前記退避位置は前記平板に形成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項６】
前記検査ステージは、前記液晶表示パネルを傾斜した状態または水平の状態に受けるワークテーブルと、該ワークテーブルを、前記液晶表示パネルと直交する軸線の周りに角度的に回転させるとともに、前記液晶表示パネルの面内の直交する２方向および前記軸線の方向へ３次元的に移動させるテーブル移動機構とを備える、請求項１〜５のいずれか１項に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネルの良否を検査する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示パネルの検査装置の１つとして、液晶表示パネルの受渡しをする受渡しステーションと、液晶表示パネルの点灯試験をする検査ステーションとをフレームすなわち筐体に形成し、検査用のプローブユニットを検査ステーションに取り外し可能に組み付け、液晶表示パネルを検査ステージのワークテーブルに載置し、検査ステージを液晶表示パネルとともに受渡しステーションと検査ステーションとに移動させる装置がある。
【０００３】
この検査装置において、検査ステージを形成する１つのステージ（Ｘステージ）は、液晶表示パネルを受渡しステーションと検査ステーションとに選択的に移動させるための搬送ステージと、液晶表示パネルの運搬方向におけるアライメントのためのアライメントステージとを兼ねている。
【０００４】
しかし、アライメントが一般に数ミクロン以下の精度を要求されているから、搬送ステージも数ミクロン以下の精度を要求される。このため、搬送ステージとアライメントステージとを兼ねた検査装置では、搬送ステージを液晶表示パネルの搬送範囲全体にわたって数ミクロン以下という高精度に維持しなければならないから、高価になる。特に最近では、液晶表示パネルが大型化しているから、そのような大型の液晶表示パネルの検査に適用するためには、液晶表示パネルの搬送範囲を大きくしなければならず、したがってさらに高価になる。
【０００５】
液晶表示パネルの検査装置の他の１つとして、検査ステージを検査ステーションに配置し、液晶表示パネルをアームにより受渡しステーションと検査ステーションとに移動させる装置がある（特開平５−１３４２２７号公報）。この検査装置によれば、液晶表示パネルの搬送をアームにより行うから、検査ステージの移動範囲を狭くすることができ、それだけ廉価になる。しかし、この検査装置では、検査ステーションにおいて検査ステージのワークテーブルと受渡し用のアームとの間で液晶表示パネルの移し換えをしなければならないから、移し換え時にワークテーブルに対する液晶表示パネルの位置がずれることがあり、また移し換えの時間が無駄である。
【０００６】
【解決しようとする課題】
本発明の目的は、検査ステージによる液晶表示パネルの移動範囲を大きくすることなく、検査ステージにおける液晶表示パネルの移し換えをなくすことにある。
【０００７】
【解決手段、作用、効果】
本発明の検査装置は、液晶表示パネルを配置する検査ステージと、検査用のプローブユニットを支持する支持手段であって前記検査ステージが配置された支持手段と、前記検査ステージ及び前記支持手段が配置された筐体とを含む。支持手段は、前記プローブユニットを、該プローブユニットが前記液晶表示パネルの検査のために配置される検査位置であって前記検査ステージに対応する検査位置と、前記プローブユニットが前記検査ステージへの前記液晶表示パネルの配置作業を妨げない退避位置とに選択的に移動可能に支持する。前記筐体は、液晶表示パネルの受け渡しに用いる第１の開口と、該第1の開口から前記検査ステージに配置された液晶表示パネルと平行な面内を一方向へ伸びる帯状の第２の開口であってフラットケーブルが前記筐体の内外に伸びることを許す第２の開口とを有するベースプレートを備える。
【０００８】
プローブユニットは、液晶表示パネルを検査するときに検査位置へ移動され、液晶表示パネルを検査ステージに配置するときおよび液晶表示パネルを検査ステージから除去するときに退避位置へ移動される。このため、プローブユニットが検査ステージに対する液晶表示パネルの配置および除去の妨げにならないし、検査ステージによる液晶表示パネルの移動範囲を狭い範囲に制限することができる。
【０００９】
本発明によれば、プローブユニットを検査位置および退避位置へ選択的に移動可能に支持手段に支持させたから、検査ステージによる液晶表示パネルの移動範囲を狭くすることができるにもかかわらず、アームを用いて検査ステージに対する液晶表示パネルの移し換えをする必要がない。また、受け渡し用の第１の開口から検査ステージに配置された液晶表示パネルと平行な面内を一方向へ伸びる帯状の第２の開口がベースプレートに形成されているから、第２の開口を経るフラットケーブルはプローブユニットの移動にともなって第２の開口内を移動し、その結果筐体に対するフラットケーブルの移動が容易になる。
【００１０】
退避位置を検査位置から検査ステージに配置された液晶表示パネルと平行の水平方向へ離れた位置とし、支持手段に、検査ステージが配置された筐体と、該筐体に組み付けられかつプローブユニットを第１および退避位置に選択的に移動可能に受けるガイドとを備えることができる。このようにすれば、プローブユニットの移動が安定する。
【００１１】
プローブユニットを手動で移動させてもよい。しかし、ユニット移動機構により、プローブユニットをガイドに沿って検査位置および退避位置に選択的に移動させることが好ましい。このようにすれば、プローブユニットの移動が自動化され、検査効率が向上する。
【００１２】
支持手段は、プローブユニットを傾斜した状態または水平の状態に受けることができる。好ましい実施例においては、支持手段は、さらに、検査ステージに対応する箇所に開口を有する平板を備え、検査位置および退避位置は前記平板に形成されている。
【００１３】
好ましい実施例においては、前記検査ステージは、液晶表示パネルを傾斜した状態または水平の状態に受けるワークテーブルと、該ワークテーブルを、液晶表示パネルと直交する軸線の周りに角度的に回転させるとともに、液晶表示パネルの面内の直交する２方向および前記軸線の方向へ３次元的に移動させるテーブル移動機構すなわちアライメントステージとを備える。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１〜図６を参照するに、検査システム１０は、四角形の液晶表示体すなわち液晶表示パネルの検査に用いる検査装置１２と、複数のプローブユニット１４と、該プローブユニットを保管する保管庫１６とを含む。図１においては、保管庫１６を図６における１−１線に沿って得た断面図として示す。
【００１５】
液晶表示パネルは、四角形の隣り合う複数の辺に対応する各端縁部に複数の電極を有するパネルである。以下、液晶表示パネルおよび検査装置のいずれにおいても、液晶表示パネルの長い端縁の方向（左右方向）をＸ方向といい、液晶表示パネルの短い端縁の方向をＹ方向といい、液晶表示パネルの表示面と直角の方向をＺ方向という。
【００１６】
検査装置１２は、フレームすなわち筐体２０を含む。筐体２０は、アングル材のような複数の鋼材と、該鋼材に複数のねじ部材により取り付けられた複数の板材により箱の形に形成されており、またキャスタのような複数の車輪２２により床上を移動可能に形成されている。筐体２０の前面上部は、傾斜した平板すなわちベースプレート２４により傾斜部とされている。
【００１７】
ベースプレート２４は、液晶表示パネルの受渡しに用いる四角形の開口２６をＸ方向における一方側（図示の例では右方側）に有するとともに、開口２６からＸ方向における他方側（図示の例では左方側）へ伸びる帯状の開口２８をＸ方向における他方側（図示の例では左方側）に有する。
【００１８】
ベースプレート２４には、一対のガイド３０が複数のねじ部材によりベースプレート２４の表側に取り付けられている。両ガイド３０は、図示の例ではガイドレールであり、またプローブユニット１４をＸ方向へ移動可能に受けるように開口２６，２８を間にしてＸ方向へ平行に伸びている。両ガイド３０は、ガイドロッド、ガイド溝等であってもよい。
【００１９】
筐体２０内のうち、開口２６に対応する部位は、液晶表示パネルの検査をする検査ステージ３２が配置された検査ステーションとされている。図５に示すように、検査ステージ３２は、液晶表示パネルを傾斜した状態に受けるワークテーブル３４と、該ワークテーブルを、液晶表示パネルと直交するＺ軸線の周りに角度的に回転させるとともに、液晶表示パネルの面内の直交する２方向（Ｙ，Ｘ方向）およびＺ軸線の方向へ３次元的に移動させるアライメントステージすなわちテーブル移動機構を形成する４つのステージ３６，３８，４０，４２を含む。
【００２０】
ステージ３６，３８，４０および４２は、それぞれ、Ｚ軸線の周りに角度的に回転させるθステージ、ワークテーブル３４をＺ軸線の方向へ移動させるＺステージ、ワークテーブル３４をＹ軸線の方向へ移動されるＹステージ、および、ワークテーブル３４をＸ軸の方向へ移動させるＸステージである。ワークテーブル３４、θステージ３６、Ｚステージ３８およびＹステージ４０は、それぞれ、ステージ３６，３８，４０および４２に支持されている。
【００２１】
検査ステージ３２は、長方形の基板４４の一方の面にＸステージ４２において組み付けられている。基板４４は、筐体２０内をＸ方向へ伸びかつワークテーブル３４が開口２６の側となるように、傾斜部を形成するベースプレート２４に複数のポール４６により組み付けられている。
【００２２】
ワークテーブル３４は、液晶表示パネルを傾斜した状態に受けかつ支持するように、ベースプレート２４の側に開口する直方体状の箱の形をしており、またその開口を形成する４つの端縁のうち、液晶表示パネルの電極が形成された端縁部に対応する各端縁に溝４８を有する。各溝４８は、液晶表示パネルの対応する端縁部の裏面を真空吸着する真空チャックとして作用するようにバキュームポンプのような図示しない真空源に連通される。
【００２３】
ワークテーブル３４内には、図示しないバックライトユニットが液晶表示パネルを背面から照明するように収容されている。ワークテーブル３４には、液晶表示パネルの粗い位置決めをするための一対の細長い板状のストッパ５０が配置されている。ストッパ５０は、それぞれ、溝４８が形成された隣り合う２つの端縁の外側面に、一部がベースプレート２４の側に僅かに突出した状態に複数のねじ部材により取り付けられており、ワークテーブル３４ひいてはプローブユニット１４に対する液晶表示パネルの粗い位置合せのために用いられる。
【００２４】
プローブユニット１４は、長方形の板の形をしたプローブベース５２と、１以上のねじ部材によりプローブベース５２に組み付けられたＬ字状の複数のプローブブロック５４と、テレビカメラのような一対のアライメントカメラ５６と、複数の配線を有するフラットケーブル５８とを備える。
【００２５】
プローブベース５２は、検査すべき液晶表示パネルと相似形の長方形の開口６０を中央に有するとともに、ガイド３０をＸ方向へ相対的に移動可能に受け入れる一対の溝６２を裏面に有する。このため、プローブユニット１４は、検査ステージ３２に対応しかつ液晶表示パネルの検査のために配置される検査位置と、プローブユニット１４が検査ステージ３２への液晶表示パネルの配置作業を妨げない退避位置（待機位置）と、検査装置１２と保管庫１６との間でプローブユニット１４の受渡しをする受渡し位置とに選択的に移動可能である。図示の例では、退避位置と受渡し位置とは同じ位置であるが、異なる位置であってもよい。
【００２６】
各プローブブロック５４は、一端部が開口６０を介してプローブベース５２の裏側に達するようにプローブベース５２の表側に組み付けられている。各プローブブロック５４は、複数のプローブを一端部に有する。各プローブは、フラットケーブル５８の配線に接続されている。
【００２７】
各アライメントカメラ５６は、プローブユニット１４が検査位置に移動されたとき、検査ステージ３２の液晶表示パネルの位置合せマークを開口６０を介して撮影するように、プローブベース５２に組み付けられている。アライメントカメラ５６の出力信号は、プローブユニット１４に対する液晶表示パネルの精密な位置合せのために用いられる。
【００２８】
フラットケーブル５８は、プローブベース５２から開口２８を経て筐体２０内へ伸び、Ｘ方向へのプローブユニット１４の移動にともなって開口２８内を移動する。開口２８は、筐体２０に対するフラットケーブル５８の移動を容易にする。
【００２９】
検査装置１２は、また、プローブユニット１４を傾斜した状態でガイド３０に沿ってＸ方向へ移動させるユニット移動機構６４を含む、ユニット移動機構６４は、筐体２０の上部に支持されており、また検査装置１２に配置されたプローブユニット１４の上部に複数のねじ部材６６により可動部６８を分離可能に連結される。ユニット移動機構６４は、検査装置１２におけるプローブユニット１４の位置を感知する図示しない１以上のセンサの出力信号を用いる図示しない制御装置により制御されて、プローブユニット１４を、退避位置、受渡し位置または検査位置へ移動させる。
【００３０】
ユニット移動機構６４の可動部６８を移動させる手段として、リニアモータ、シリンダ機構、回転源と１以上の歯車とを用いた機構、回転源とピニオンとラックとを用いた機構、回転源とボールねじとを用いた機構等、適宜な機構を用いることができる。
【００３１】
保管庫１６は、フレームすなわち筐体７０と、該筐体に受け入れられた複数の引き出し７２とを含む。筐体７０は、アングル材のような複数の鋼材と、該鋼材に複数のねじ部材により取り付けられた複数の板材により形成されており、またキャスタのような複数の車輪７４により床上を移動可能に形成されている。
【００３２】
筐体７０は、それぞれがブローブユニット１４を傾斜した状態に保管する複数の保管部７６を引き出し７２の上方に有する。各保管部７６には、一対のガイド７８がブローブユニット１４を傾斜した状態でＸ方向へ移動可能に受けるように配置されている。各保管部７６の両ガイド７８は、検査装置１２の両ガイド３０に対応されている。保管部７６に収納されたブローブユニット１４は、図示しないストッパにより、移動不能に維持される。
【００３３】
各ガイド７８は、筐体７０に形成された傾斜部に取り付けられている。筐体７０の傾斜部の傾斜角度は筐体２０の傾斜部すなわちベースプレート２４のそれと同じであり、また保管庫１６のガイド７８の位置は検査装置１２のガイド３０のそれと同じである。それゆえに、両ガイド７８は、検査装置１２の両ガイド３０と同様に、ブローブユニット１４の溝６２に相対的移動可能に受け入れられるようにＹ方向に間隔をおいてＸ方向へ伸びる。
【００３４】
各保管部７６の両ガイド７８は、保管庫１６が検査装置１２の左端に図１に示すように配置されたとき、両ガイド７８の位置が対応する両ガイド３０の位置と整合するように筐体７０に取り付けられている。このため、各ブローブユニット１４は、両ガイド３０に支持されたときと同じ傾斜状態に両ガイド７８に取り付けられている。
【００３５】
保管庫１６は、検査装置１２の側部に設けられた突起８０を受け入れる複数の凹所８２を有する。各凹所８２は、保管部７６に対応されている。保管庫１６が検査装置１２の左端に図１に示すように配置されたとき、突起８０はいずれかの凹所８２に受け入れられ、その凹所８２に対応する保管部７６のガイド７８は検査装置１２のガイド３０と整合する。これにより、その保管部７６に保管されているプローブユニット１４を検査装置に移動させることができるし、検査装置１２に移されているプローブユニット１４をその保管部７６に移動させることができる。
【００３６】
通常、１つのプローブユニット１４が検査装置に装着されている。保管庫１６は、検査装置１２に連結されていてもよいし、検査装置１２に連結されていなくてもよい。しかし、複数の検査装置１２が設置された検査設備の場合、保管庫１６を用いて１つの検査装置１２でプローブユニット１４の交換をしている間、他の検査装置１２で検査を実行するように、１つの保管庫１６を複数の検査装置１２で共通に利用することが好ましい。
【００３７】
検査装置１２に装着されたプローブユニット１４は、ねじ部材６６によりユニット移動機構６４の可動部６８に分離可能に連結されている。保管庫１６の各保管部７６の両側面は、保管部７６へのプローブユニット１４の出し入れを容易にするように、開放されている。しかし、各保管部７６の両側面または一方の側面を蓋により開放可能に閉鎖してもよい。
【００３８】
検査時、先ず、検査ステージ３２が開口２６を介して露出するように、検査装置１２に装着されたプローブユニット１４が図３に示す退避位置にユニット移動機構６４により移動される。これにより、そのプローブユニット１４は、検査ステージ３２に対する液晶表示パネルの配置および除去を妨げない。
【００３９】
次いで、検査すべき液晶表示パネルが検査ステージ３２に人手または機械により配置される。このとき、液晶表示パネルは、隣り合う２つの縁部がストッパ５０に当接するように、ワークテーブル３４に配置される。これにより、液晶表示パネルは、ワークテーブル３４に対して位置決められる。この位置決めは、液晶表示パネルに形成されている各位置合せマークがアライメントカメラ５６の視野に入るように位置決める一種の粗い位置合せである。
【００４０】
次いで、プローブユニット１４がユニット移動機構６４により図４に示す検査位置に移動される。これにより、プローブユニット１４は、検査ステージ３２の斜め上方に移動され、検査ステージ３２にセットされた液晶表示パネルを開口６０および２６を介してアライメントカメラ５６により撮影可能になる。プローブユニット１４が検査位置を越えてさらに右方へ移動することを阻止する１以上のストッパ、またはプローブユニット１４を検査位置に位置決める１以上のストッパを、筐体２０、ベースプレート２４またはガイド３０に配置してもよい。
【００４１】
次いで、プローブユニット１４に対する液晶表示パネルの位置合せが行われる。この位置合せは、液晶表示パネルをアライメントカメラ５６で撮影し、その液晶表示パネルの各位置合せマークがアライメントカメラ５６の視野内の所定の位置になるように、ワークテーブル３４をθ，ＹおよびＸのステージ３６，４０および４２により変位させることにより行われる。これにより、液晶表示パネルは、位置合せマークがプローブユニット１４に対し所定の位置関係となるように、位置決められる。
【００４２】
次いで、ワークテーブル３４がＺステージ３８によりプローブユニット１４の側へ移動される。これにより、液晶表示パネルの端子がプローブユニット１４のプローブに押圧され、液晶表示パネルへの通電が可能になる。
【００４３】
次いで、液晶表示パネルの検査が実行される。この検査は、たとえば、プローブユニット１４を介して液晶表示パネルに通電することにより液晶表示パネルを所定のパターンに点灯させ、作業者が点灯パターンを目視することにより、または点灯パターンを他のテレビカメラで撮影し、その画像信号を電気的に処理することにより、行われる。
【００４４】
次いで、ワークテーブル３４がＺステージ３８により斜め下方へ下げられる。これにより、検査ステージ３２上の液晶表示パネルがプローブユニット１４から離される。
【００４５】
次いで、プローブユニット１４がユニット移動機構６４により退避位置へ移動され、液晶表示パネルが検査ステージ３２から除去される。その後は上記工程が繰り返される。
【００４６】
プローブユニット１４の交換時、先ず、突起８０を所定の凹所８２に嵌合させることにより、プローブユニット１４を収納していない空の保管部７６のガイド７８が検査装置１２のガイド３０と整合するように、保管庫１６が検査装置１２に連結され、検査装置１２側のプローブユニット１４が空の保管部７６に人手または機械により移動される。この作業は、検査装置１２側のプローブユニット１４が検査装置１２からその側方へ突出しない位置に維持された状態で行われ、また検査装置１２側のプローブユニット１４を保管庫１６に収納するだけの場合にも行われる。
【００４７】
次いで、次のプローブユニットを収納している保管部７６のガイド７８が検査装置１２のガイド３０と整合するように、保管庫１６が検査装置１２に連結し直され、その保管部７６内のプローブユニット１４が検査装置１２側に人手または機械により移動される。この作業は、保管庫１６側のプローブユニット１４を検査装置１２にセットするだけの場合にも行われる。
【００４８】
プローブユニット１４を検査位置から待機位置または受渡し位置におよびその逆に移動させるとき、プローブユニット１４をガイド３０に沿って移動させればよいから、プローブユニットの移動が安定する。同様に、検査装置１２と保管庫１６との間でプローブユニット１４の受渡しをするとき、プローブユニット１４をガイド３０，７８に沿って移動させればよいから、プローブユニットの移動が安定するのみならず、プローブユニット１４の受渡しが容易になる。
【００４９】
プローブユニット１４を検査装置１２の側から保管庫１６の側へおよびその逆に移動させるとき、突起８０が所定の凹所８２に嵌合される。このため、検査装置１２に対する保管庫１６の位置決めが容易である。また、移し換え時、プローブユニット１４をガイド３０，７６に沿って移動させるだけでよいから、プローブユニット１４の移し換えを人手により行うとしても、その移し換え作業が容易になる。
【００５０】
検査システム１０によれば、プローブユニット１４を検査位置と退避位置とに移動させるようにしたから、検査ステージ３２による液晶表示パネルの移動範囲を狭い範囲に制限することができ、その結果プローブユニット１４が検査ステージ３２に対する液晶表示パネルの配置および除去の妨げにならないこととあいまって、検査ステージ３２による液晶表示パネルの移動範囲を狭くすることができるにもかかわらず、従来装置のようにアームを用いて検査ステージ３２に対する液晶表示パネルの移し換えをする必要がない。また、プローブユニットをユニット移動機構６４によりガイドに沿って移動させるから、プローブユニット１４の移動が自動化され、検査効率が向上する。しかし、プローブユニット１４を手動で移動させてもよい。
【００５１】
図７〜図１０を参照するに、検査システム１００で用いる保管庫１０２は、架台１０４と、該架台に移動可能に載置された筐体１０６と、該筐体を架台１０４に対して移動させる駆動機構１０８とを備える。しかし、検査システム１００で用いる検査装置１２は、突起８０の位置が異なる点を除いて、検査システム１０で用いる装置と同じである。
【００５２】
架台１０４は、キャスタのような複数の車輪１１０により床上を移動可能に形成されており、また筐体１０６のための一対のガイドレール１１２を上面に有するとともに、検査装置１２に突起８０を受け入れる一対の凹所８２を側部に有する。ガイドレール１１２は、架台１０４の上面の左右方向に間隔をおいた位置を前後方向へ平行に伸びる。
【００５３】
筐体１０６は、引き出し７２およびそれらの収納部、車輪７４、ならびに、凹所８２を備えていない代わりに、ガイドレール１１２に移動可能に嵌合される溝を有するガイド１１４を備えることを除いて、前記した保管庫１６の筐体７０と同じである。
【００５４】
駆動機構１０８は、架台１０４に収容された制御装置１１６により制御される。駆動機構１０８として、リニアモータ、シリンダ機構、回転源と１以上の歯車とを用いた機構、回転源とピニオンとラックとを用いた機構、回転源とボールねじとを用いた機構等、適宜な機構を用いることができる。
【００５５】
プローブユニット１４の交換時、先ず、保管庫１００が突起８０を凹所８２に受け入れた状態に検査装置１２に連結され、空の保管部７６のガイド７８が検査装置１２のガイド３０と整合するように、筐体１０６が駆動機構１０８により架台１０４に対して移動され、その後検査装置１２の側のプローブユニット１４が空の保管部７６に手動によりまたは機械的に移動される。
【００５６】
次いで、所定のプローブユニット１４を収納している保管部７６のガイド７８が検査装置１２のガイド３０と整合するように、筐体１０６が駆動機構１０８により架台１０４に対して移動され、その後その保管部７６内のプローブユニット１４が検査装置１２の側に手動によりまたは機械的に移動される。
【００５７】
架台１０４に対する筐体１０６の位置は、手動により調整してもよいし、１以上のセンサを用いて電気的に制御してもよい。
【００５８】
図１１および図１２を参照するに、検査装置１２０は、プローブユニット１４をベースプレート２４の内側（裏側）に配置している点で検査装置１２と相違する。プローブユニット１４は、筐体２０の上板の下側に配置されたユニット移動機構６４により支持されているとともに、ベースプレート２４の内側（裏側）に配置された一対のガイド１２２とにより支持されている。
【００５９】
検査装置１２０において、プローブユニット１４は、図１１に実線で示す検査位置と、図１１に２点鎖線で示す退避位置（受渡し位置）とに選択的に移動される。退避位置において、プローブユニット１４の一部は、筐体２０から突出する。このため、筐体２０は、プローブユニット１４の一部が突出することを許すとともに、プローブユニット１４を受渡しのために出し入れする開口を左側部に有する。
【００６０】
上記の各実施例のように、プローブユニット１４をユニット移動機構６４により検査位置および退避位置に選択的に移動させるならば、プローブユニットの移動が自動化され、検査効率が向上する。しかし、プローブユニットを手動で移動させてるようにしてもよい。また、突起を保管庫に設け、凹所を検査装置に設けてもよい。さらに、プローブユニットを検査装置および保管庫に水平の状態に支持するようにしてもよい。
【００６１】
なお、フラットケーブル５８が一般に筐体２０に配置された電気回路にコネクタにより分離可能に接続されていることから、プローブユニット１４の交換時には、フラットケーブルを電気回路から分離する作業とフラットケーブルを電気回路に接続する作業とが行われる。しかし、フラットケーブル５８がプローブユニットに分離可能に接続されている場合には、プローブユニットのフラットケーブルを、交換時に交換すべきプローブユニットに対し分離する作業と接続する作業とを行ってもよい。
【００６２】
本発明は、上記実施例に限定されない。たとえば、本発明は、長方形の隅角部を弧状または直線状に切除した液晶表示パネルの検査装置にも適用することができるし、四角形の液晶表示パネルのみならず、六角形、八角形等の他の多角形の液晶表示パネルの検査装置にも適用することができる。また、保管庫を必ずしも必要ではない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の検査装置を用いた検査システムの一実施例を示す正面図であってプローブユニットを検査装置から外しかつ保管庫の保管部を断面した図である。
【図２】図１の２−２線に沿って得た図である。
【図３】本発明の検査装置の一実施例を示す正面図であって検査装置に装着したプローブユニットを退避位置（受渡し位置）へ移動させた状態の図である。
【図４】図３の検査装置の正面図であって検査装置に装着したプローブユニットを検査位置へ移動させた状態の図である。
【図５】図４の５−５線に沿って得たプローブユニット近傍の断面図である。
【図６】図１の検査システムで用いる保管庫の一実施例を示す右側面図である。
【図７】本発明の検査装置を用いた検査システムの他の実施例を示す正面図であってプローブユニットを検査装置から外しかつ保管庫の保管部を断面した図である。
【図８】図７の検査システムで用いる保管庫の一実施例を示す右側面図である。
【図９】図７の検査システムの左側面図である。
【図１０】図７の検査システムの正面図であって検査装置に装着したプローブユニットを退避位置（受渡し位置）へ移動させた状態の図である。
【図１１】本発明の検査装置の他の実施例を示す正面図であって検査装置に装着したプローブユニットを検査位置へ移動させた状態の図である。
【図１２】図１１の検査装置におけるプローブユニット近傍の断面図である。
【符号の説明】
１０，１００  検査システム
１２，１２０  検査装置
１４  プローブユニット
１６，１０２  保管庫
２０  検査装置の筐体
２４  ベースプレート（傾斜部）
２６，２８  開口
３０  ガイド
３２  検査ステージ
６４  ユニット移動機構
【図１】
0003673022.tif 000002
【図２】
0003673022.tif 000003
【図３】
0003673022.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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