(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサー光の投光部(10)と受光部(20)とを対峙して配設し、その間に被検出物を通過させながら、被検出物の検出を行うべく構成した部品検出センサー装置であって、
投光部(10)及び／または受光部(20)の先端部近傍にエアーを送気し、同エアーによりエアーパージ状態を形成すべく構成してなる部品検出センサー装置において、
投光部(10)の先端部分にはエアーケース(13)を設けてエアー貯留空間(11)を形成し、このエアー貯留空間(11)にエアー送気路(12)を連通させてエアーを送給するとともに、投光部(10)と対面するエアーケース壁面に光軸穴(14)を設けてエアー排出孔とし、
及び／または受光部(20)の先端部分にはエアーケース(23)を設けてエアー貯留空間(21)を形成し、このエアー貯留空間(21)にエアー送気路(22)を連通させてエアーを送給するとともに、受光部(20)と対面するエアーケース壁面に光軸穴(24)を設けてエアー排出孔とし
ていることを特徴とする部品検出センサー装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、部品検出のためのセンサー装置に関し、特に半導体部品や電子部品等の部品の製造ラインで使用されるセンサー装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体部品や電子部品の製造ラインにおいて、製品のライン通過の有無検出、通過個数の検出、電子部品の品種判別等にファイバーセンサー装置が使用されることが多い。
【０００３】
このファイバーセンサー装置は、装置本体と、グラスファイバーでつながれた投光部と、受光部とにより構成され、グラスファイバーを透過するセンサー光が前記投光部から投射され、前記受光部で受光されるように、それぞれ投光部と受光部とを対峙して配設される。
【０００４】
検出作業に際しては、投光部と受光部の間に搬送手段を介して被検出物を搬送しながら、ファイバーセンサー装置の前記投光部からのセンサー光が被検出物により遮断されることにより、被検出物の通過の有無検出や、通過個数の検出、あるいは、電子部品の品種判別等ができるようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、図４に示すように、特にリードフレーム300 を用いる電子部品の製造ラインでは、搬送されるリードフレーム300 の上下方向にファイバーセンサー装置の投光部100 及び受光部200 を対峙して配設するとともに、ファイバーセンサー装置の光軸穴の径が小さいため、下方に配設された受光部200 では、リードフレーム300 等に付着していた粉体異物や大気中の粉塵等400 が光軸穴に堆積しやすく、閉塞されるおそれがあった。
【０００６】
この粉体異物や大気中の粉塵等400 が、投光部100 または受光部200 の光軸穴の一部あるいは全部を閉塞すると、センサー光が正確に投光または受光されず、リードフレーム300 等の未検出や電子部品の品種誤判別を生起し、搬送ラインの異状検知停止や次工程での加工不良を生起するおそれがあった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明では、センサー光の投光部と受光部とを対峙して配設し、その間に被検出物を通過させながら、被検出物の検出を行うべく構成した部品検出センサー装置において、投光部及び／または受光部の先端部近傍にエアーを送気し、同エアーによりエアーパージ状態を形成すべく構成してなる部品検出センサー装置を提供せんとするものである。
【０００８】
特に、投光部の先端部分にはエアーケースを設けてエアー貯留空間を形成し、このエアー貯留空間にエアー送気路を連通させてエアーを送給するとともに、投光部と対面するエアーケース壁面に光軸穴を設けてエアー排出孔とし、及び／または受光部の先端部分にはエアーケースを設けてエアー貯留空間を形成し、このエアー貯留空間にエアー送気路を連通させてエアーを送給するとともに、受光部と対面するエアーケース壁面に光軸穴を設けてエアー排出孔としていることを特徴とする部品検出センサー装置を提供せんとするものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明のセンサー装置では、単なるリードフレームや、同リードフレーム上にチップを載置したワークや、リードにワイヤーボンディングされたワーク電子部品の製造ラインにおいて、前記リードフレームが所要の搬送手段において搬送される際、工程通過の有無検出や、通過個数の検出、あるいは、電子部品の品種判別が行われる。
【００１０】
この場合の実施の形態は次のようになっている。
【００１１】
電子部品の製造ラインには、グラスファイバーを利用したファイバーセンサー装置の投光部と受光部とが、被検出物たるリードフレームを挟み、上下に対峙して所要の位置に配設されており、リードフレームは前記投光部と受光部間を搬送手段により搬送されながら、各種の検出、判定が行われる。
【００１２】
前記投光部及びまたは受光部の先端部分には、それぞれエアー貯留空間が形成され、同エアー貯留空間にはそれぞれ側方からエアーが供給されている。
【００１３】
さらにそれぞれのエアー貯留空間を形成するエアーケース壁面には、前記投光部から受光部までセンサー光が通過できるように、エアーの排出孔ともなる光軸穴がそれぞれ形成されており、同光軸穴からは、側方からのエアー送気路を介して供給されたエアーが各エアー貯留空間を介して排出される。
【００１４】
従って、センサー光の光軸域を形成する光軸穴はエアーの吹出流路も形成することになり、この吹出流路によりエアーパージ状態が形成される。
【００１５】
従って、この光軸穴に、リードフレームに付着した粉体異物や大気中の粉塵等が堆積し、投光部及び受光部を閉塞することはなく、センサー光が正確に投光、受光される。
【００１６】
従って、センサー装置がセンサー光の投光量不足や受光量不足により誤検出することがなくなり、誤検出の緊急事態による搬送ラインの異状停止や、次工程における加工不良を防止することができる。
【００１７】
【実施例】
本発明の実施例について図面を参照して説明する。
【００１８】
図１は、本発明のファイバーを用いたセンサー装置を配設した製造ラインの断面を示しており、同製造ラインにおいて被検出物としてのリードフレームＡは搬送ベルト（図示せず）に載置され搬送される。
【００１９】
被検出物であるリードフレームＡは、搬送方向に多数個連結した長手状になっており、同リードフレームＡにはセンサー光が透過して検出を行うための透光孔Ｂが所定の位置に形成される。
【００２０】
検出のための透光孔Ｂは、円形開口、方形開口または切欠等、センサー光の透光による判定が可能なものならば、その形状、大きさは問わない。
【００２１】
図２は、本発明のファイバーセンサー装置の配設状態を示している。
【００２２】
ファイバーセンサー装置では、投光部10が同リードフレームＡの上部所要位置に配設され、受光部20が前記投光部10に対峙して同リードフレームＡの下部に配設されている。
【００２３】
さらに、投光部10の下部及び受光部20の上部には、それぞれ上部エアー貯留空間11及び下部エアー貯留空間21が設けられ、各エアー貯留空間11,21 にはエアーを供給するための上部エアー送気路12と下部エアー送気路22とが接続されている。
【００２４】
図１及び２では、上部エアー送気路12と下部エアー送気路22はそれぞれ各エアー貯留空間11,21 に側方より接続しているが、各エアー貯留空間11,21 に確実にエアーを供給できるならば、各エアー送気路12,22 は各エアー貯留空間11,21 のどの部分から接続してもよく、また、各エアー送気路12,22 をひとつにまとめてセンサー装置の外部に導出するべく構成してもよい。
【００２５】
上部エアー貯留空間11を形成する上部エアーケース13の下側面には、投光部10と対面する部分に、センサー光が通過するとともにエアー排出孔ともなる上部光軸穴14が設けられており、同様に、下部エアー貯留空間21を形成する下部エアーケース23の上側面には、受光部20と対面する部分に、センサー光が通過するとともにエアー排出孔ともなる下部光軸穴24が設けられている。
【００２６】
従って、上下部光軸穴14,24 は、前記上下部エアー貯留空間11,21 に供給されたエアーのエアー排出孔を兼ねているため、この上下部光軸穴14,24 の開口部にエアーパージ状態を形成することができる。
【００２７】
従って、被検出物たるリードフレームＡがファイバーセンサー装置に搬送移動される際に、上部及び下部光軸穴14,24 は、リードフレームＡに付着していた粉体異物や大気中の粉塵により閉塞されようとするが、同粉体異物や粉塵はエアーパージ状態により飛散させられ、同上下部光軸穴14,24 は閉塞されることなく、センサー光は投光部10及び受光部20から正確に投光及び受光される。
【００２８】
このファイバーセンサー装置では、投光部10と受光部20とをそれぞれ上下方向で対峙して配設したものについて説明したが、これはリードフレームの搬送形態に対応させたためであり、被検出物の大きさ、形状、および搬送形態によっては、上下方向のみでなく、水平方向、あるいは斜め方向等、様々な方向に配設してもよい。
【００２９】
そして、前記投光部10及び／または受光部20の先端部分には、それぞれエアー貯留空間11,21 とエアー送気路12,22 に連通したエアー排出孔とを設けることにより、エアーパージ状態を形成するようにしているため、投光部10及び／または受光部20の先端部分は常に清浄化され、ファイバーセンサー装置のセンサー光は、投光量不足、受光量不足を生じることがなく、また清掃及びメンテナンス等の労力も低減することができる。
【００３０】
また、本実施例では、投光部10及びまたは受光部20に各エアー貯留空間11,21 を設けてエアーパージ状態を形成する方法について述べたが、他の実施例として、図３に示すように、前記各エアー貯留空間11,21 を設けず、エアー送気路40,50 からのエアーを投光部10及び／または受光部20、さらにはリードフレームＡに直接吹付け、リードフレームＡに付着している粉体異物や大気中の粉塵をエアーパージさせてもよい。
【００３１】
さらに、本実施例で示したファイバーを用いたセンサー装置だけでなく、センサー光の光軸穴の径が小さいフォトインターラプタや、フォトカプラ等のセンサー装置に対して応用してもよい。
【００３２】
【発明の効果】
この発明によれば、投光部及び／または受光部の先端部近傍にエアーを送気し、エアーパージ状態を形成するべく構成することにより、被検出物に付着した粉体異物や大気中の粉塵等が投光部及び／または受光部に吸着、堆積することを防止できるので、センサー光の光軸が遮断されることがなく、センサー光は確実に投光または受光されることができる。
【００３３】
また、センサー装置の投光部と受光部の先端に、エアー送気路に連通したエアー貯留空間をそれぞれ配設するとともに、同空間を形成するエアーケースにそれぞれエアー排出孔ともなる光軸穴を設けることにより、同光軸穴からの排出エアーによりエア−パージ状態の形成を容易に実施することができる。
【００３４】
これにより、リードフレーム等の被検出物の誤検出や電子部品の品種誤判別が防止でき、搬送ラインの異状停止や次工程での加工不良の発生をなくすことができる。
【００３５】
また、投光部及び／または受光部はエアーパージ状態により常に清浄な状態を保持されているため、清掃及びメンテナンスの労力を低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るファイバーセンサー装置の配設状態の断面図である。
【図２】本発明に係るファイバーセンサー装置の配設状態の斜視図である。
【図３】他の実施例の断面図である。
【図４】従来のファイバーセンサー装置の配設状態の断面図である。
【符号の説明】
Ａ  リードフレーム
Ｂ  透光孔
10  投光部
20  受光部
11  上部エアー貯留空間
12  上部エアー送気路
13  上部エアーケース
14  上部光軸穴
21  下部エアー貯留空間
22  下部エアー送気路
23  下部エアーケース
24  下部光軸穴
【図１】
0003648058.tif 000002
【図２】
0003648058.tif 000003
【図３】
0003648058.tif 000004
【図４】
0003648058.tif 000005