(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板表面に１次元または２次元に配列した略球面状または略円柱状の複数の凹部を有し、前記ガラス基板よりも屈折率の高い透明材料を前記凹部に充填することにより得られる凸レンズまたはレンチキュラーレンズを備えた平板型レンズアレイにおいて、
前記透明材料は、電気泳動電着法による透明金属酸化物粒子の凝集体膜からなることを特徴とする平板型レンズアレイ。
【請求項２】
請求項１に記載の平板型レンズアレイにおいて、
前記ガラス基板は低膨張ガラス基板であり、前記金属酸化物粒子は前記ガラス基板の屈折率よりも０．０５〜０．８高い屈折率を有する金属酸化物粒子である平板型レンズアレイ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の平板型レンズアレイにおいて、
前記金属酸化物粒子は、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、Ａｌ2Ｏ3、もしくはＳｂ2Ｏ5のいずれかの単一金属の酸化物粒子、あるいはＳｉＯ2−ＴｉＯ2、ＳｉＯ2−ＺｒＯ2、ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3、ＳｉＯ2−Ｓｂ2Ｏ5、ＴｉＯ2−ＺｒＯ2、ＴｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3、ＴｉＯ2−Ｓｂ2Ｏ5、ＺｒＯ2−Ａｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2−Ｓｂ2Ｏ5、Ａｌ2Ｏ3−Ｓｂ2Ｏ5、ＢａＴｉＯ3、もしくはＰｂＴｉＯ3のいずれかの複合金属酸化物粒子である平板型レンズアレイ。
【請求項４】
請求項１または２に記載の平板型レンズアレイにおいて、
前記金属酸化物粒子は、前記単一金属酸化物粒子および複合金属酸化物粒子のうち少なくとも２種以上を含む混合物である平板型レンズアレイ。
【請求項５】
請求項１から４に記載の平板型レンズアレイにおいて、
前記凹部は前記金属酸化物凝集体膜で充填されており、さらに引き続きその上に前記金属酸化物凝集体膜が所定の厚みの堆積されている平板型レンズアレイ。
【請求項６】
ガラス基板表面に１次元または２次元に配列した略球面状または略円柱状の複数の凹部を有し、前記凹部表面に透明導電性薄膜を形成し、さらに前記ガラス基板よりも屈折率の高い透明金属酸化物粒子を電気泳動電着法にて充填することで、凸レンズまたはレンチキュラーレンズを備えた平板型レンズアレイの製造方法であって、
以下の工程を含むことを特徴とする平板型レンズアレイの製造方法。
（ａ）前記ガラス基板上に耐フッ酸性保護膜を形成する工程
（ｂ）前記保護膜に、所望の開口パターンを形成する工程
（ｃ）前記ガラス基板を、フッ酸を含むエッチング液に浸漬する工程
（ｄ）前記凹部形成側ガラス表面に透明導電性薄膜を形成する工程
（ｅ）前記ガラス基板を、金属酸化物粒子を分散させた電気泳動電着浴に浸漬し、さらに前記基板と対向電極の間に電圧を印加することにより、前記金属酸化物粒子を電気泳動させ電着し、前記凹部を充填する工程
（ｆ）前記ガラス基板を焼成する工程
（ｇ）前記ガラス基板を研磨する工程
【請求項７】
ガラス基板表面に１次元または２次元に配列した略球面状または略円柱状の複数の凹部を有し、前記ガラス基板よりも屈折率の高い透明金属酸化物粒子が前記凹部に電気泳動電着法により充填することにより得られる凸レンズまたはレンチキュラーレンズを備えた平板型レンズアレイを用いた液晶表示素子であって、
前記金属酸化物膜表面に液晶表示素子の対向基板の透明電極を有し、
かつ多結晶シリコン（ｐ−Ｓｉ）ＴＦＴ方式の画素電極が形成された第２の基板と、前記透明電極間に液晶を挟み込んだ構造を有することを特徴とする液晶表示素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、平板型レンズアレイとそれを用いた液晶表示素子に関するものであり、特に液晶表示素子の光利用効率を向上させる目的として使用される平板型レンズアレイに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ガラス等の透明基板に多数のレンズを配列したレンズアレイとしては、ソーダライムガラスにＴｉ等の耐蝕性保護皮膜（マスク膜）を成膜し、周知のフォトリソグラフィ技術を用いて、円形あるいは直線スリット状の開口を設け、これを溶融塩に浸漬して開口部からイオン交換を行う、いわゆるイオン交換法により、その断面が略半円状の屈折率分布を形成した平板マイクロレンズアレイが知られている（例えば、特開昭５７−５３７０２号）。
【０００３】
また、ソーダライムガラス基板上にレンズアレイを作製し、この上に光硬化性樹脂で樹脂層を形成し、その樹脂層厚みをビーズによって制御したことを特徴とする液晶素子が、特開平５−２７３５１２号で開示されている。
【０００４】
さらに、透明ガラス基板の少なくとも片面側に、ほぼ半球状の凹部を形成し、この凹部に前記ガラス基板とは屈折率の異なる透明樹脂材料を充填してレンズアレイとする平板マイクロレンズの製造方法が開示されている（特開昭６０−１５５５２号）。さらに、前記レンズ面側に別の透明ガラス基板を接合してなる平板レンズが開示されている（特開平３−２３１７０１号）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
イオン交換法による平板マイクロレンズの作製においては、基板ガラスにアルカリイオンを含むことが必須であり、このようなアルカリ含有ガラス（例えば、ソーダライムガラス）を用いてレンズを構成した場合、多結晶シリコン（ｐ−Ｓｉ）ＴＦＴ方式の液晶表示素子のセル基板である石英ガラスなどに対して熱膨張係数の差があることから、温度が変化した場合に液晶表示素子の明るさにムラが生じたり、またガラス基板中のアルカリイオンが溶出してＴＦＴの特性を劣化させるという問題点がある。特に、この熱膨張率差の問題は重大である。
【０００６】
また、ソーダライムガラス基板上にレンズアレイを作製し、この上に光硬化性樹脂で樹脂層を形成し、その樹脂レンズ部厚みをビーズによって制御するような場合には、任意の直径を有するビーズの入手が容易ではない。また、このレンズアレイ基板を液晶表示素子の対向基板として内蔵して使用する場合には、樹脂が直接液晶と接触するため、信頼性の確保が難しいという問題点がある。
【０００７】
他方、特開昭６０−１５５５２号等に示された樹脂充填型レンズにおいては、充填する透明樹脂の耐熱性に乏しい場合が多く、さらに高屈折率をも兼ね備えた樹脂がなかなか存在せず、目的とするレンズ性能を持ったものを得ることが困難な場合があるという問題点があった。さらに、前記樹脂充填型レンズにおいて、前記凹部側の面に他の透明ガラス基板を接合してなる平板レンズの場合には、接合するカバーガラスの厚みが通常非常に薄いものとなるため、薄板の研磨コストが高いことや、製造工程で欠陥を発生しやすく歩留りが上がらないこと等の問題点がある。
【０００８】
そこで本発明は、特開昭６０−１５５５２号等に示された樹脂充填型レンズにおける充填材料の制約の問題点や、特開平３−２３１７０１号に示された平板レンズにおけるカバーガラスの問題点を解決した平板型レンズアレイを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上述した問題点を解決するために、本発明ではその表面に１次元または２次元に配列した略球面状または略円柱状の複数の凹部表面に透明導電性薄膜を有するガラス基板において、前記透明導電性薄膜の上に前記凹部が平坦となるように、前記ガラス基板よりも屈折率が高い透明材料として金属酸化物粒子を充填している。
【００１０】
この金属酸化物粒子を充填する方法としては、前記ガラス基板を、金属酸化物粒子を分散させた電気泳動電着浴に浸漬し、さらに前記基板と対向電極の間に電圧を印加することにより、前記金属酸化物粒子を電気泳動させ電着することで行うことができる。
【００１１】
また、前記ガラス基板を低膨張無アルカリガラス基板とし、前記金属酸化物粒子の電気泳動電着膜が前記ガラス基板の屈折率よりも０．０５〜０．８高い屈折率を有する金属酸化物粒子である平板型レンズアレイとしている。
【００１２】
本発明で用いるガラス基板としては、石英ガラス、ソーダライムガラス、アルカリアルミノシリケートガラス、アルカリボロシリケートガラス、多成分無アルカリガラス、低膨張結晶化ガラスが挙げられる。
【００１３】
本発明で使用する透明導電性薄膜としては、酸化インジウム錫、酸化錫の薄膜が挙げられる。前記薄膜は、金属有機化合物の塗膜熱分解、スパッタリング法、蒸着法により形成することができる。中でも、金属有機化合物の塗膜熱分解法は、成膜コストが安いので量産を行う上で好ましい。膜厚は、膜のシート抵抗率と可視光透過率から決められる。シート抵抗率は１０4 Ω／□以下、可視光透過率は８０％以上にすることが好ましい。
【００１４】
本発明の電気泳動電着を行う金属酸化物粒子としては、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ｓｂ2Ｏ5などの単一金属の酸化物や、 ＳｉＯ2−ＴｉＯ2、ＳｉＯ2−ＺｒＯ2、ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3、ＳｉＯ2−Ｓｂ2Ｏ5、ＴｉＯ2−ＺｒＯ2、ＴｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3、ＴｉＯ2−Ｓｂ2Ｏ5、ＺｒＯ2−Ａｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2−Ｓｂ2Ｏ5、Ａｌ2Ｏ3−Ｓｂ2Ｏ5、ＢａＴｉＯ3、ＰｂＴｉＯ3 などの複合金属酸化物が挙げられる。また、この金属酸化物粒子は、それぞれ単独で用いられてもよいし、前記単一金属および複合金属酸化物粒子のうち少なくとも２種類以上の粒子を含む混合物として用いられてもよい。
【００１５】
各金属酸化物粒子の屈折率について述べる。ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ｓｂ2Ｏ5は、それぞれｎ＝２．２，２．０，１．６，１．９程度の屈折率を有している。さらに、これらの組合せでは、その混合比率を適当に選んでやれば、屈折率をｎ＝１．６〜２．２で変化させた金属酸化物凝集体膜を得ることができる。またさらに、ＳｉＯ2 （ｎ＝１．４６）との組合せて、その混合比率を適当に選んでやれば、屈折率をｎ＝１．４６〜２．２で変化させた金属酸化物凝集体膜を得ることができる。
【００１６】
これらの金属酸化物粒子は、ＣＶＤ法等により気相で調製することにより得られる。また、液相中で加水分解されたゾルを成長させこれを遠心分離することによっても得られる。複合金属酸化物の粒子は、液相からの方が調製し易い。前記遠心分離された粒子は必要に応じて表面の性質を制御するために焼成する。これら気相および液相から得られた粒子は所定の方法で溶媒に分散して用いられる。
【００１７】
金属酸化物粒子は、ガラス基板の屈折率よりも０．０５から０．８程度高いものを選定するのが、得られる平板マイクロレンズの集光性能の観点から好ましい。粒子の大きさは、任意の粒径のものが目的に応じて使用できる。一般に、平均粒径を１〜５００ｎｍ程度にすることが好ましい。
【００１８】
金属酸化物粒子の電気泳動電着溶液中の濃度は、０．１重量％から１５重量％の範囲にすることが好ましい。さらに１重量％程度が実用上好ましい。さらにこの電気泳動電着溶液には、有機溶媒、水、塩基、界面活性剤、乾燥抑制剤、バインダー等が含まれる。
【００１９】
有機溶媒は、金属酸化物粒子を分散させるためであり、有機金属化合物、水および塩基と相溶するものであれば特に限定されない。具体的には、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類等が用いられる。
【００２０】
塩基は、電気泳動電着液のｐＨを調整するために添加される。添加する塩基としては一般にアンモニア水が用いられ、前記アンモニア水のｐＨはｐＨ＝１１．７程度が好ましい。
【００２１】
乾燥抑制剤は、電気泳動電着された金属酸化物粒子の凝集体膜が、電着後に空気にさらされて乾燥し、クラックの発生を防ぐために用いられる。具体的な乾燥抑制剤としては、１．４−ジオキサン、メチルトリエトキシシラン等の有機金属化合物が挙げられる。さらに、前記乾燥抑制剤の電気泳動電着溶液中の濃度は、０．１重量％から１０重量％の範囲にすることが好ましい。さらに１重量％前後が実用上好ましい。
【００２２】
本発明で用いるバインダーとしては、ポリアクリル酸等の有機高分子が挙げられる。
【００２３】
本発明の電気泳動に用いられる対向電極としては、アルカリに侵食されにくい白金、ステンレススチール、黒鉛、チタニウム等が使用できる。またその極性は具体的には以下のようにする。ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2 等の溶液中で負に帯電する金属酸化物粒子を電気泳動させ電着充填させる場合には、ガラス基板側が陽極となるように電場をかける。またＡｌ2Ｏ3、ＩＴＯなどの溶液中で正に帯電する金属酸化物粒子を電気泳動させ電着充填させる場合には、ガラス基板側がが陰極となるように電場をかける。いずれの場合にも、電圧は５〜２００Ｖの範囲とし、直流でもパルス電流のいずれであってもよい。
【００２４】
本発明の製法で用いる耐食性保護膜材料は、用いるエッチャントに対する耐性、フォトリソパターニングの作業性および成膜コストによって、適当なものを選定することができる。また形成する膜厚も目的に応じて任意に選定することができ、組成の異なる膜材料を多層に積層充填することもできる。例えば、耐食性保護膜材料としてクロム、ニッケル、タンタル、シリコン、金等の金属およびその酸化物または窒化物が挙げられる。これら耐食性保護膜は、スパッタリング法、蒸着法などによって形成することができる。
【００２５】
本発明の製法で使用するガラス基板のエッチャントの組成は、エッチングを行うガラス基板の組成によって選定する。例えば、石英ガラス基板をエッチングする場合には、フッ化水素とドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム等の界面活性剤を含有する水溶液がエッチャントとして用いられる。また、ソーダライムガラス基板をエッチングする場合には、フッ化水素に加えて硫酸等の鉱酸、酢酸等の有機酸を加えることが多く、必要に応じてドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム等の界面活性剤を加えるとよい。
【００２６】
本発明における金属酸化物粒子の電気泳動電着凝集体膜の厚みは、特に限定されない。一般には、成膜焼成後マイクロレンズの集光性能が発揮できる厚みを有していればよい。
【００２７】
【作用】
本発明によれば、ガラス基板の表面に１次元または２次元に配列した略球面状または略円柱状の複数の凹部表面に透明導電性薄膜を形成することにより導電性を基板に付与し、これにより電気泳動電着法による金属酸化物粒子の積層充填を可能にしている。さらに、前記金属酸化物粒子として、ガラス基板よりも屈折率が高い材料を選択しているため、凸またはレンチキュラーレンズとする平板型レンズアレイが得られる。
【００２８】
【実施例】
以下、本発明を図面に基づき詳細に説明する。
図１に、本発明による平板型レンズアレイの一般的な断面構造を示す。石英基板等のガラス基板１１の片側に、１次元または２次元に配列した略球面状または略円柱状の滑らかな曲面をなす凹部１３を、例えば後述する化学的エッチング法などにより形成する。この凹部１３は、隣接する凹部間の境界稜線１６が、平面視で図２の（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すような、正方格子、六方稠密格子であるハニカムあるいは縞など、一般的に同一形状の多角形の稠密充填となるように形成する。
【００２９】
次に、前記各凹部１３表面に、透明導電性薄膜２０を形成し、屈折率が基板１１よりも大きな金属酸化物粒子の電気泳動電着凝集体膜３０を積層充填してレンズアレイの各レンズ部１２とし、さらにそれに連続して金属酸化物粒子の電気泳動電着凝集体膜３０を設け、焼成によって電気泳動電着凝集体膜３０を焼結したのち、研磨等によって前記レンズ面と対向する面を平坦にし、前記基板から入射した平行光線が、前記電気泳動電着凝集体膜の表面近傍に集光する厚みを有するように制御し平板型レンズアレイ１０が得られる。
【００３０】
図３に電気泳動電着法の原理図を示す。なお、電気泳動電着法の原理については、特開平５−２４６７０１号や、１９９４年日本セラミックス協会年会講演予稿集  ２Ｈ０８  Ｐ．５１３に詳しく開示されている。
【００３１】
図４は、本発明の平板型レンズアレイを用いた液晶表示素子の概略図を示すものである。あらかじめレンズアレイ１０のレンズの配列ピッチを、液晶表示素子５０の画素ピッチに合わせておくことにより、照明光が平板型レンズアレイ１０の各レンズ１２で集光されて、液晶表示素子の各画素の透過開口部５１を透過し、従来の液晶表示素子では電極、ＴＦＴ等の不透光の画素配線部５２で遮断されていた照明光が有効に表示に寄与し、極めて鮮明度の高い画像が得られる。またこれにより、液晶素子の加熱による劣化を低減することができる。
【００３２】
（具体例１）
図５に、本発明による平板型レンズアレイの作製工程の一例を示す。
石英ガラス基板１１の表面に、スパッタリング法により耐フッ酸性保護膜として、Ｃｒ膜４０を形成した。次に、フォトレジストを塗布、露光、現像をおこなうフォトリソグラフィによって、Ｃｒ膜４０に所定のレンズ配列パターンで小開口４１を形成した（図５（イ））。形成した小開口配列は、図６に示す六方格子配列であり、これにより、図２（ｂ）に示したようなハニカム型レンズアレイが得られる。この小開口４１の直径は、最終的に得ようとするレンズの径よりも十分小さいことが望ましい。
【００３３】
前記小開口４１を有するＣｒ膜付き基板を、フッ酸（ＨＦ）および界面活性剤としてドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムを含むエッチャントに浸漬して、化学エッチングを行った（図５（ロ））。ここで、フッ酸およびドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムの濃度は、それぞれ１０重量％および０．１重量％とした。これにより、Ｃｒ膜の小開口４１を始点として、石英ガラス基板の表面が等方的にエッチングされ、図５（ロ）のように、ほぼ球体の一部分である凹部１４が得られる。この第１段階のエッチングは、隣接する凹部１４間に若干の幅をもった平坦な境界部１５を残した状態で止める（図５（ハ）参照）。
【００３４】
次いで、石英ガラス基板表面からＣｒ膜４０を除去した後（図５（ハ））、先のエッチャントに再び浸漬して基板表面全体をエッチングした。この２段階エッチングにより、凹部周辺部でのエッチングが進行して、隣接凹部間の境界部１５は、上端が先鋭な稜線１６となった（図５（ニ））。すなわち、平面視でそれぞれが同一の６角形をなし、隣接する凹部同士が密接した稠密充填配列となった。なお、形成された凹部の深さは約１５μｍであった。
【００３５】
前記２段階エッチングの処理後、凹部１４に塗膜熱分解法により透明導電性薄膜として酸化インジウム錫膜２０を形成した。ここで、塗布溶液はインジウムの金属有機化合物と錫の金属有機化合物を含むものであり、これを基板にスピンコート法により形成した後５００℃で３０分間大気中で熱処理を行うことにより有機成分を燃焼分解させ金属酸化物としたものである。前記焼成後塗膜の膜厚は１００ｎｍ程度、比抵抗は４×１０-2Ωｃｍになっていた。
【００３６】
前記透明導電性薄膜付き石英ガラス基板を、以下に示す電気泳動電着浴に浸漬し、基板が陽極となるように直流電圧を印加した（図３参照）。
【００３７】
ここで電気泳動電着浴には、金属アルコキシドの共加水分解−縮重合によって調製したシリカ−チタニア複合金属酸化物粒子（平均粒径１０ｎｍ）をメチルトリエトキシシラン、アンモニア水、ジメチルアセトアミドの混合溶液に界面活性剤と有機高分子バインダーを微量添加した分散媒に添加し、室温で１時間攪拌することにより均一に分散させたものを用い、電気泳動条件は直流電圧５０Ｖ−１０分間とした。
【００３８】
前記操作によって、膜厚が約２００μｍのシリカ−チタニア複合金属酸化物粒子よりなる電気泳動電着凝集体膜付き石英ガラス基板が得られた。得られた凝集体膜は石英ガラス基板表面の凹部を透明導電性膜を介して完全に埋めており、また２００μｍの膜厚は前述した凹部の深さに比べて十分に厚いので、その表面はほぼ平坦になっていた（図５（ホ））。さらに、この厚みは後述する焼成のよる凝集体膜の収縮を考慮して設定しておけばよい。なお、焼成による収縮は、その焼成条件によって変化することはいうまでもない。
【００３９】
前記電気泳動電着シリカ−チタニア凝集体膜付き石英基板を、４００℃で１時間さらに１０００℃で１時間焼成し、前記凝集体膜を焼結した。前記焼結によってその厚みは約１００μｍ、屈折率は１．６２になった。以上によって、シリカ−チタニア複合金属酸化物粒子は、石英ガラス基板表面のその深さ約１５μｍの凹部を完全に充填し、さらにその上に１００μｍ厚みを有する透光性基板の機能をも兼ね備える。したがって、薄肉のカバーガラスは不要となる。
【００４０】
また、前記電着凝集体膜の膜厚はマイクロレンズの集光性能が発揮できる厚みとなっている。さらに前記電着凝集体膜表面の平坦性を改善するために、その表面を５μｍ程度研磨してもよい。つまり、前記凝集体膜の膜厚は、前記基板から入射した平行光線が、前記電着凝集体膜表面近傍に集光するように制御されていればよい。
【００４１】
今回作製したレンズアレイのレンズ凸部の曲率半径は約２０μｍであり、前記レンズの焦点距離ｆは約１２０μｍになっており、良好な集光特性を示した。
【００４２】
（応用例）
具体例１で得られた平板型レンズアレイの平面側に透明電導性膜ＩＴＯを真空成膜法により形成し、対向電極を形成した。さらにこれを、別途多結晶シリコン（ｐ−Ｓｉ）ＴＦＴ方式の画素電極が形成された第２の基板とギャップを持たせて貼り合わせ、前記ギャップに液晶を注入して液晶表示素子を形成した。
【００４３】
レンズアレイのレンズの配列ピッチは、液晶表示素子の画素ピッチに合わせてあるため、照明光が平板型レンズアレイの各レンズで集光されて液晶層と液晶表示素子の各画素の画素電極を透過し、電極、ＴＦＴ等の不透光部分で遮断されていた照明光が有効に表示に寄与し、極めて鮮明度の高い画像が得られた。
【００４４】
【発明の効果】
本発明では、ガラス基板凹部にガラス基板よりも屈折率が高い透明材料を充填して得られる平板型レンズアレイにおいて、前記透明材料は電気泳動電着法によって金属酸化物粒子を充填し凝集体膜としている。この金属酸化物粒子としては、幅広い範囲の屈折率のものを選択することができるので、レンズ設計の制約が少なくなる。また、金属酸化物粒子は無機物であるので、この平板型レンズアレイはより信頼性の高いものとなる。
【００４５】
さらに、この金属酸化物粒子凝集体膜には、カバーガラスとしての役割を持たせることができるので、高価な薄板カバーガラスを使用する必要がなく、安価な平板型レンズアレイが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明による平板型レンズアレイの一般的な断面構造。
【図２】平板型レンズアレイの平面図の例。
【図３】電気泳動電着法の原理を説明する図。
【図４】本発明の平板型レンズアレイを用いた液晶表示素子の概略図。
【図５】本発明による平板型レンズアレイの作製工程を説明する図。
【図６】Ｃｒ膜に形成した六方配列の小開口。
【符号の説明】
１０    平板型レンズアレイ
１１    石英基板等のガラス基板
１２    電気泳動電着凝集体膜で充填されたレンズアレイの各レンズ部
１３    略球面状または略円柱状の曲面を有する凹部
１４    １段目エッチングによって得られるほぼ球体の一部分である凹部
１５    隣接凹部間の境界部
１６    隣接する凹部間の境界稜線
２０    透明導電性薄膜
３０    電気泳動電着凝集体膜
４０    エッチャントに対する耐蝕性保護Ｃｒ膜
４１    Ｃｒ膜に形成した小開口
５０    液晶表示素子
５１    画素開口部
５２    画素配線部
６０    電気泳動法による電着浴
７０    電源
８０    対向電極
９０    金属酸化物粒子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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