(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対のシリンダ室を備えるとともにこれらのシリンダ室間の差圧により伸縮作動する油圧シリンダと、
この油圧シリンダへの油圧の供給を制御するサーボ弁と、
このサーボ弁のスプールを駆動する駆動手段と、
前記油圧シリンダのシリンダストロークを検出する検出手段と、
シリンダストロークの目標値とこの検出手段からのシリンダストロークの検出値とが入力されるとともに、この目標値と検出値との偏差に基づいて前記駆動手段へ制御入力を出力して駆動手段を最適制御理論に基づいて制御する制御手段と、
を備えた油圧アクチュエータの制御システムにおいて、
前記油圧シリンダのシリンダストロークと目標値との偏差と制御対象特性を用いて前記制御入力から演算される少なくとも一つの状態変数の推定値とからなる評価関数を最小化するように決定された補償器を備えたことを特徴とする油圧アクチュエータの制御システム。
【請求項２】
前記評価関数が、
【数１】
0003675585.tif 000012
（ただし、ｅ′は前記シリンダストロークの検出値と目標値との偏差の積分信号、ｐb′は前記制御入力から前記シリンダ室間の差圧までの制御対象特性を用いて制御入力から演算されたシリンダ室間の推定差圧とする。）
であることを特徴とする請求項１に記載の油圧アクチュエータの制御システム。
【請求項３】
前記評価関数が、
【数２】
0003675585.tif 000013
（ただし、ｅ′は前記シリンダストロークの検出値と目標値との偏差の積分信号、ｘs′は前記制御入力から前記サーボ弁のスプール変位までの制御対象特性を用いて制御入力から演算されたサーボ弁の推定スプール変位とする。）
であることを特徴とする請求項１に記載の油圧アクチュエータの制御システム。
【請求項４】
前記評価関数が、
【数３】
0003675585.tif 000014
（ただし、ｅ′は前記シリンダストロークの検出値と目標値との偏差の積分信号、ｐb′およびｘs′は、それぞれ、前記制御入力から前記シリンダ室間の差圧および前記サーボ弁のスプール変位までの制御対象特性を用いて制御入力から演算されたシリンダ室間の推定差圧およびサーボ弁の推定スプール変位とする。）
であることを特徴とする請求項１に記載の油圧アクチュエータの制御システム。
【請求項５】
前記油圧アクチュエータが航空機の舵面を操作するものであるとともに、前記評価関数が、
【数４】
0003675585.tif 000015
（ただし、ｅ′は前記シリンダストロークの検出値と目標値との偏差の積分信号、ｐb′、ｘs′、（ｄｘl／ｄｔ）′は、それぞれ、前記制御入力から前記シリンダ室間の差圧、前記サーボ弁のスプール変位および前記舵面の舵面速度までの制御対象特性を用いて制御入力から演算されたシリンダ室間の推定差圧、サーボ弁の推定スプール変位および推定舵面速度とする。）
であることを特徴とする請求項１に記載の油圧アクチュエータの制御システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば航空機の舵面を操作する舵面アクチュエータ等の油圧アクチュエータの制御システムの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、図１０に示すような最適レギュレータを用いた制御手法が知られている。これについては、例えば、次の参考文献に説明がなされている。
【０００３】
＊参考文献１：小郷寛、美多勉「システム制御理論入門」実教出版  １１４〜１２１頁、１５６〜１６２頁
図１０において、ｘは制御対象の状態変数、ｕは制御入力、ＡとＢは制御対象を表す定数行列である。また、Ｆはフィードバックゲイン行列で、閉ループ系の特性を改善する定数行列である。
【０００４】
このフィードバックゲイン行列Ｆが次式（１）で表される評価関数
【０００５】
【数５】
0003675585.tif 000002
【０００６】
を最小化するように設定されるとき、図１０のシステムは最適レギュレータとなる。ただし、式（１）において、ＱとＲは重み行列である。なお、このような評価関数を最小化するフィードバックゲイン行列Ｆは、いわゆる最適制御理論によって求められる。
【０００７】
次に、図１０の最適レギュレータを、図９に示すような航空機の舵面操作システムに適用することを考える。このような舵面操作システムでは、低い舵面剛性という条件下で高応答化が要求される。
【０００８】
まず、図９の舵面操作システムについて説明すれば、ｘ1は舵面等価質量４ａと舵面等価弾性４ｂとの組み合わせで表現される舵面４の変位、ｘpは舵面４を操作する油圧シリンダ３のシリンダストローク（ロッド３ａの伸縮ストーク）である。
【０００９】
機体５に固定された油圧シリンダ３は、摺動自在なピストン３ａにより画成された第１、第２のシリンダ室３１、３２を備えている。これら第１、第２のシリンダ室３１、３２には、油圧源１からの作動油が、この作動油の流れを調整するスプール２ａを備えたサーボ弁２を介して供給され、シリンダ室３１、３２の圧力ｐb1、ｐb2の差圧（油圧シリンダ差圧）ｐb＝ｐb1−ｐb2によってピストンが駆動され、ロッド３ｂが伸縮するようになっている。
【００１０】
一方、コントローラ６は、シリンダストロークｘpの目標値ｒが入力されるとともに、シリンダストローク検出器９からのシリンダストロークｘpの検出値と、スプール変位検出器１０からのサーボ弁スプール変位ｘsの検出値が入力され、これらに基づいて、モータ駆動回路７に制御入力（例えば制御電圧）ｖrを入力する。
【００１１】
制御入力ｖrを受けたモータ駆動回路７は、スプール駆動モータ８にモータ入力（例えば駆動電流）ｉを出力する。スプール駆動モータ８はこのモータ入力ｉにしたがって、サーボ弁２のスプール２ａを駆動し、スプール２ａはスプール変位ｘsをとる。なお、ｖiはモータ駆動回路７の状態を特徴づける量である。
【００１２】
さて、このような図９の舵面操作システムに、図１０の最適レギュレータを適用する場合には、状態変数ｘ、制御入力ｕ、偏差ｅを、それぞれ、
ｘ＝［ｘl  ｘp  ｘs  （ｄｘl／ｄｔ）  （ｄｘp／ｄｔ）  （ｄｘs／ｄｔ）  ｐb  ｉ  ｖi］T  …（２）
ｕ＝ｖr  …（３）
ｅ＝ｒ−ｘp  …（４）
とすればよい。
【００１３】
さらに、この場合、制御系を目標値に追従するサーボ系とするためには１形レギュレータとする必要があり、また、考えられ得る状態変数のすべてが観測される訳ではないことからオブザーバを併用するという理由から、制御系の構成を図１１に示す拡大標準系に修正する必要がある。
【００１４】
この図１１において、Ｐ（ｓ）は、制御対象を表す伝達関数行列であり、図１０のＡ、Ｂに相当する。また、Ｋ（ｓ）は、図１０のＦとオブザーバを含む伝達関数行列であり、図９のコントローラ６に補償器として実装されるものである。また、ｅ′は制御系を１形レギュレータとしたために生成される偏差ｅの積分信号である。
【００１５】
さらに、この場合の評価式は、次式（５）となる。
【００１６】
【数６】
0003675585.tif 000003
【００１７】
このように、偏差に相当するｅ′と制御入力ｖrとからなる評価式（５）を最小化する補償器Ｋ（ｓ）を求めることにより、制御入力ｖrが抑制されるとともに、シリンダストロークｘpが目標値ｒに追従するサーボ系が実現できる。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図１１に示す拡大標準系に基づく制御系設計は、前述のように、制御入力ｖrとシリンダストロークｘpからなる評価式（５）を最小化する補償器Ｋ（ｓ）を求めるものであるので、評価式（５）に含まれず、最小化の対象となっていないサーボ弁スプール変位ｘsと油圧シリンダ差圧ｐbの挙動を抑制できず、アクチュエータの高応答化を図れないという問題点があった。
【００１９】
具体的には、図１１に示す拡大標準系では、シリンダストロークｘpは図１２に示すように、また、制御入力ｖrは図１３に示すように、それぞれ挙動が抑制され、短時間で一定値に収束する。
【００２０】
これに対して、油圧シリンダ３の油圧シリンダ差圧ｐbは図１４に示すように、また、サーボ弁２のスプール変位ｘsは図１５に示すように、それぞれ挙動が安定せず、このままで舵面アクチュエータの高応答化を図ろうとすると、制御系は不安定なものとなってしまう。
【００２１】
本発明はこのような問題点に着目してなされたもので、例えばサーボ弁のスプール変位と油圧シリンダ差圧のように、制御システムの所定の状態変数の挙動を抑制するとともに、油圧アクチュエータの高応答化を図り得る油圧アクチュエータの制御システムを提供することを目的とする。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
第１の発明は、一対のシリンダ室を備えるとともにこれらのシリンダ室間の差圧により伸縮作動する油圧シリンダと、この油圧シリンダへの油圧の供給を制御するサーボ弁と、このサーボ弁のスプールを駆動する駆動手段と、前記油圧シリンダのシリンダストロークを検出する検出手段と、シリンダストロークの目標値とこの検出手段からのシリンダストロークの検出値とが入力されるとともに、この目標値と検出値との偏差に基づいて前記駆動手段へ制御入力を出力して駆動手段を最適制御理論に基づいて制御する制御手段とを備えた油圧アクチュエータの制御システムにおいて、前記油圧シリンダのシリンダストロークと目標値との偏差と制御対象特性を用いて前記制御入力から演算される少なくとも一つの状態変数の推定値とからなる評価関数を最小化するように決定された補償器を備えた。
【００２３】
第２の発明は、前記評価関数が、
【００２４】
【数７】
0003675585.tif 000004
【００２５】
（ただし、ｅ′は前記シリンダストロークの検出値と目標値との偏差の積分信号、ｐb′は前記制御入力から前記シリンダ室間の差圧までの制御対象特性を用いて制御入力から演算されたシリンダ室間の推定差圧とする。）
である。
【００２６】
第３の発明は、前記評価関数が、
【００２７】
【数８】
0003675585.tif 000005
【００２８】
（ただし、ｅ′は前記シリンダストロークの検出値と目標値との偏差の積分信号、ｘs′は前記制御入力から前記サーボ弁のスプール変位までの制御対象特性を用いて制御入力から演算されたサーボ弁の推定スプール変位とする。）
である。
【００２９】
第４の発明は、前記評価関数が、
【００３０】
【数９】
0003675585.tif 000006
【００３１】
（ただし、ｅ′は前記シリンダストロークの検出値と目標値との偏差の積分信号、ｐb′およびｘs′は、それぞれ、前記制御入力から前記シリンダ室間の差圧および前記サーボ弁のスプール変位までの制御対象特性を用いて制御入力から演算されたシリンダ室間の推定差圧およびサーボ弁の推定スプール変位とする。）
である。
【００３２】
第５の発明は、前記油圧アクチュエータが航空機の舵面を操作するものであるとともに、前記評価関数が、
【００３３】
【数１０】
0003675585.tif 000007
【００３４】
（ただし、ｅ′は前記シリンダストロークの検出値と目標値との偏差の積分信号、ｐb′、ｘs′、（ｄｘl／ｄｔ）′は、それぞれ、前記制御入力から前記シリンダ室間の差圧、前記サーボ弁のスプール変位および前記舵面の舵面速度までの制御対象特性を用いて制御入力から演算されたシリンダ室間の推定差圧、サーボ弁の推定スプール変位および推定舵面速度とする。）
である。
【００３５】
【作用】
第１の発明では、検出手段により油圧シリンダのシリンダストロークが検出され、この検出値が所定の目標値と一致するように制御手段が駆動手段へと制御入力を出力することでサーボ弁のスプール変位が制御される結果、油圧シリンダのシリンダストロークがフィードバック制御されるが、制御システムは、抑制すべき所定の状態変数を取り込んだ評価関数を最小化するように求められた補償器を備えているので、この評価関数に取り込んだ状態変数の挙動を抑制して、制御システムの安定性を保ちつつ、油圧シリンダの高応答化を達成できる。
【００３６】
第２の発明では、評価関数には油圧シリンダのシリンダ室間の差圧の演算値が取り込まれるので、シリンダストロークのフィードバック制御において、シリンダ室間の差圧の挙動を抑制でき、また、このようにシリンダ室間の差圧の挙動を抑制することで、このシリンダ室間の差圧の時間微分に直達項のみで関係を持つサーボ弁のスプール変位の挙動も抑制される。これにより、油圧シリンダのシリンダ室間の差圧およびサーボ弁のスプール変位の挙動を抑制して、制御システムの安定性を保ちつつ、油圧シリンダの高応答化を達成できる。
【００３７】
第３の発明では、評価関数には、サーボ弁のスプール変位の演算値が取り込まれるので、シリンダストロークのフィードバック制御において、サーボ弁のスプール変位の挙動を抑制でき、また、このようにサーボ弁のスプール変位の挙動を抑制することで、このサーボ弁のスプール変位にメカニカルに直接の相関関係を持つ油圧シリンダのシリンダ室間の差圧の挙動も抑制される。これにより、油圧シリンダのシリンダ室間の差圧およびサーボ弁のスプール変位の挙動を抑制して、制御システムの安定性を保ちつつ、油圧シリンダの高応答化を達成できる。
【００３８】
第４の発明では、評価関数には、油圧シリンダのシリンダ室間の差圧およびサーボ弁のスプール変位の演算値が取り込まれるので、シリンダストロークのフィードバック制御において、油圧シリンダのシリンダ室間の差圧およびサーボ弁のスプール変位の挙動を抑制でき、制御システムの安定性を保ちつつ、油圧シリンダの高応答化を達成できる。
【００３９】
第５の発明では、油圧シリンダは航空機の舵面を操作する舵面アクチュエータとして使用されるが、評価関数には、油圧シリンダのシリンダ室間の差圧、サーボ弁のスプール変位および舵面速度の演算値が取り込まれるので、これら油圧シリンダのシリンダ室間の差圧、サーボ弁のスプール変位および舵面速度の挙動を抑制することができ、航空機舵面のように低い剛性を持つ対象を操作する場合でも、制御システムの安定性を保ちつつ、舵面アクチュエータの高応答化が達成できる。
【００４０】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて、本発明の実施の形態について説明する。
【００４１】
図１は、本発明の実施の形態を示す構成図であり、最適レギュレータを図９に示す舵面操作システムに適用するために修正された拡大標準系である。
【００４２】
この図１の拡大標準系において、Ｐ（ｓ）は制御対象を表す伝達関数行列である。また、Ｋ（ｓ）はＦとオブザーバを含む伝達関数行列であり、コントローラ６に補償器として実装されるものである。また、ｅ′は、油圧シリンダ３のシリンダストロークｘpと目標値ｒとの偏差ｅの積分信号である。
【００４３】
また、Ｐb（ｓ）は制御入力ｖrから油圧シリンダ差圧ｐbまでの制御対象特性であり、ｐb′は制御入力ｖrから制御対象特性Ｐb（ｓ）を用いて演算される油圧シリンダ差圧（以下、「推定油圧シリンダ差圧」と言う）である。
【００４４】
この場合の評価式は、次式（６）
【００４５】
【数１１】
0003675585.tif 000008
【００４６】
となる。このように、評価式（６）は、制御入力ｖrの代わりに、この推定油圧シリンダ差圧ｐb′を含むものとされ、油圧シリンダ差圧ｐbの挙動の抑制が図られている。
【００４７】
つぎに作用を説明する。
【００４８】
本発明は、図９に示すような舵面操作システムに適用され、このシステムのコントローラ６は、ストローク検出器９から入力される油圧シリンダ３のシリンダストロークｘpの検出値が目標値ｒと一致するように、モータ駆動回路７、スプール駆動モータ８、サーボ弁２を介して、油圧シリンダ３をフィードバック制御する。
【００４９】
これにより、図２に示すように、シリンダストロークｘpの挙動は抑制され、目標値に収束して行く。また、図３に示すように、コントローラ６から出力される制御入力ｖrの挙動も抑制される。
【００５０】
さらに本発明では、コントローラ６に実装される補償器Ｋ（ｓ）は、偏差に相当するｅ′（シリンダストロークｘpと目標値ｒとの偏差ｅの積分値）と推定油圧シリンダ差圧ｐb′とからなる評価式（６）を最小化するように求められたものであるので、図４に示すように、油圧シリンダ差圧ｐbの挙動を抑制することができる。
【００５１】
また、このように油圧シリンダ差圧ｐbの挙動が抑制されれば、この油圧シリンダ差圧ｐbの時間微分（ｄｐb／ｄｔ）に直達項のみで関係を持つサーボ弁スプール変位ｘsの挙動も、図５に示すように、同時に抑制されることになる。
【００５２】
このように本発明では、図２、図３にそれぞれ示されるように、制御入力ｖrとシリンダストロークｘpの挙動が抑制できるとともに、図４、図５にそれぞれ示されるように、サーボ弁スプール変位ｘsと油圧シリンダ差圧ｐbの挙動をも抑制することができ、油圧シリンダ３（舵面アクチュエータ）の高応答化を図ることが可能となる。
【００５３】
図６は、本発明の他の実施の形態の拡大標準系を示す構成図である。
【００５４】
この実施の形態では、図１の制御対象特性Ｐb（ｓ）を、制御入力ｖrからサーボ弁スプール変位ｘsまでの制御対象特性Ｐs（ｓ）に変更している。ここで、ｘs′は制御入力ｖrから制御対象特性Ｐs（ｓ）を用いて演算されるサーボ弁スプール変位（以下、「推定サーボ弁スプール変位」と言う）である。
【００５５】
また、この場合の評価式は、次式（７）となる。
【００５６】
【数１２】
0003675585.tif 000009
【００５７】
このように、この実施の形態では、シリンダストロークの偏差の積分値ｅ′と推定スプール変位ｘs′からなる評価式（７）を最小化するように補償器Ｋ（ｓ）を求めるので、サーボ弁のスプール変位ｘsの挙動の抑制が可能となる。また、この場合、このスプール変位ｘsにより決定される油圧シリンダ差圧ｐbの挙動も抑制されることとなり、結局、油圧シリンダ３の高応答化が可能となる。
【００５８】
図７は、本発明のさらに他の実施の形態の拡大標準系を示す構成図である。
【００５９】
この実施の形態では、図１の制御対象特性Ｐb（ｓ）を、制御入力ｖrから油圧シリンダ差圧ｐbおよびサーボ弁スプール変位ｘsまでの制御対象特性Ｐps（ｓ）に変更している。
【００６０】
また、この場合の評価式は、次式（８）
【００６１】
【数１３】
0003675585.tif 000010
【００６２】
となり、これには、制御対象特性Ｐps（ｓ）を用いて制御入力ｖrから演算される推定油圧シリンダ差圧ｐb′とサーボ弁スプール変位ｘs′が、制御入力ｖrの代わりに取り込まれている。
【００６３】
したがって、この実施の形態では、油圧シリンダ３のシリンダストロークｘpとともに、油圧シリンダ差圧ｐbおよびサーボ弁スプール変位ｘsの挙動が抑制され、油圧シリンダ３の高応答化が可能となる。
【００６４】
図８は、本発明のさらに他の実施の形態の拡大標準系を示す構成図である。
【００６５】
この実施の形態では、図１の制御対象特性Ｐb（ｓ）を、制御入力ｖrから油圧シリンダ差圧ｐb、サーボ弁スプール変位ｘsおよび舵面速度（ｄｘl／ｄｔ）までの制御対象特性Ｐpsl（ｓ）に変更している。
【００６６】
また、この場合の評価式は、次式（９）
【００６７】
【数１４】
0003675585.tif 000011
【００６８】
となり、これには、制御対象特性Ｐpsl（ｓ）を用いて制御入力ｖrから演算される推定油圧シリンダ差圧ｐb′、推定サーボ弁スプール変位ｘs′および推定舵面速度（ｄｘl／ｄｔ）′が、制御入力ｖrの代わりに取り込まれている。
【００６９】
したがって、この実施の形態では、油圧シリンダ３のシリンダストロークｘpとともに、油圧シリンダ差圧ｐb、サーボ弁スプール変位ｘsおよび舵面速度（ｄｘl／ｄｔ）の挙動が抑制され、油圧シリンダ３の高応答化が可能となる。
【００７０】
以上のように、本発明において評価式に取り込まれて抑制される状態変数の種類および個数は特に制限されるものではなく、抑制したい任意の種類の状態変数が任意の個数で組合わされて評価式内に取り込まれるように、制御系の設計を行うようにすればよい。
【００７１】
【発明の効果】
第１の発明によれば、検出手段により油圧シリンダのシリンダストロークが検出され、この検出値が所定の目標値と一致するように制御手段が駆動手段へと制御入力を出力することでサーボ弁のスプール変位が制御される結果、油圧シリンダのシリンダストロークがフィードバック制御されるが、制御システムは、抑制すべき所定の状態変数を取り込んだ評価関数を最小化するように求められた補償器を備えているので、この評価関数に取り込んだ状態変数の挙動を抑制して、制御システムの安定性を保ちつつ、油圧シリンダの高応答化を達成できる。
【００７２】
第２の発明によれば、評価関数には油圧シリンダのシリンダ室間の差圧の演算値が取り込まれるので、シリンダストロークのフィードバック制御において、シリンダ室間の差圧の挙動を抑制でき、また、このようにシリンダ室間の差圧の挙動を抑制することで、このシリンダ室間の差圧にメカニカルに直接の相関関係を持つサーボ弁のスプール変位の挙動も抑制される。これにより、油圧シリンダのシリンダ室間の差圧およびサーボ弁のスプール変位の挙動を抑制して、制御システムの安定性を保ちつつ、油圧シリンダの高応答化を達成できる。
【００７３】
第３の発明によれば、評価関数には、サーボ弁のスプール変位の演算値が取り込まれるので、シリンダストロークのフィードバック制御において、サーボ弁のスプール変位の挙動を抑制でき、また、このようにサーボ弁のスプール変位の挙動を抑制することで、このサーボ弁のスプール変位にメカニカルに直接の相関関係を持つ油圧シリンダのシリンダ室間の差圧の挙動も抑制される。これにより、油圧シリンダのシリンダ室間の差圧およびサーボ弁のスプール変位の挙動を抑制して、制御システムの安定性を保ちつつ、油圧シリンダの高応答化を達成できる。
【００７４】
第４の発明によれば、評価関数には、油圧シリンダのシリンダ室間の差圧およびサーボ弁のスプール変位の演算値が取り込まれるので、シリンダストロークのフィードバック制御において、油圧シリンダのシリンダ室間の差圧およびサーボ弁のスプール変位の挙動を抑制でき、制御システムの安定性を保ちつつ、油圧シリンダの高応答化を達成できる。
【００７５】
第５の発明によれば、油圧シリンダは航空機の舵面を操作する舵面アクチュエータとして使用されるが、評価関数には、油圧シリンダのシリンダ室間の差圧、サーボ弁のスプール変位および舵面速度の演算値が取り込まれるので、これら油圧シリンダのシリンダ室間の差圧、サーボ弁のスプール変位および舵面速度の挙動を抑制することができ、航空機舵面のように低い剛性を持つ対象を操作する場合でも、制御システムの安定性を保ちつつ、舵面アクチュエータの高応答化が達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示す構成図である。
【図２】同じく油圧シリンダのシリンダストロークの時間変化を示す特性図である。
【図３】同じくコントローラからモータ駆動回路へ入力される制御入力の時間変化を示す特性図である。
【図４】同じく油圧シリンダのシリンダ室間の差圧の時間変化を示す特性図である。
【図５】同じくサーボ弁のスプール変位の時間変化を示す特性図である。
【図６】本発明の他の実施の形態を示す構成図である。
【図７】本発明のさらに他の実施の形態を示す構成図である。
【図８】本発明のさらに他の実施の形態を示す構成図である。
【図９】舵面操作システムを示す構成図である。
【図１０】最適レギュレータを示す構成図である。
【図１１】従来例の拡大標準系を示す構成図である。
【図１２】従来例の油圧シリンダのシリンダストロークの時間変化を示す特性図である。
【図１３】同じくコントローラからモータ駆動回路へ入力される制御入力の時間変化を示す特性図である。
【図１４】同じく油圧シリンダのシリンダ室間の差圧の時間変化を示す特性図である。
【図１５】同じくサーボ弁のスプール変位の時間変化を示す特性図である。
【符号の説明】
１  油圧源
２  サーボ弁
２ａ  スプール
３  油圧シリンダ
４  舵面
５  機体
６  コントローラ
７  モータ駆動回路
８  スプール駆動モータ
９  ストローク検出器
【図１】
0003675585.tif 000016
【図２】
0003675585.tif 000017
【図３】
0003675585.tif 000018
【図４】
0003675585.tif 000019
【図５】
0003675585.tif 000020
【図６】
0003675585.tif 000021
【図７】
0003675585.tif 000022
【図８】
0003675585.tif 000023
【図９】
0003675585.tif 000024
【図１０】
0003675585.tif 000025
【図１１】
0003675585.tif 000026
【図１２】
0003675585.tif 000027
【図１３】
0003675585.tif 000028
【図１４】
0003675585.tif 000029
【図１５】
0003675585.tif 000030