(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を所定の速度で搬送する送りローラーと、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配線板の進行方向に平行またはある角度で配管された複数のノズルパイプと、ノズルパイプの揺動機構と、処理液を前記ノズルパイプに供給するポンプと、前記複数の各ノズルパイプとポンプとの間に耐圧フレキシブルチューブと、各ノズルパイプと耐圧フレキシブルチューブ及びポンプとの個々の流路に圧力調整バルブと圧力計と、個々のノズルパイプにプリント配線板の進行方向に対して左右上下方向に移動可能な機構とを備え、前記ノズルパイプの揺動機構は、各ノズルパイプ毎に独立し、かつ揺動角度および揺動速度が可変であり、前記左右上下方向に移動可能な機構は、個々のノズルパイプが揺動可能な状態で支持された第１の支持部材と、前記第１の支持部材が左右方向に移動可能な状態で支持された第２の支持部材と、前記第２の支持部材が上下方向に移動可能な状態で支持された機構であることを特徴とするプリント配線板の製造装置。
【請求項２】
請求項１に記載のプリント配線板の製造装置の左右上下方向に移動可能な機構により中央のノズルパイプの位置を両側のノズルパイプの位置より基板搬送面側に近づけた位置に設定し、各ノズルパイプ毎に備えられた圧力調整バルブと圧力計を用いて、中央のノズルパイプの圧力を両側のノズルパイプの圧力よりも大となるように設定し、各ノズルパイプ毎に備えられた揺動機構で、中央のノズルパイプの揺動角度を両側のノズルパイプの揺動角度よりも小となるように設定し、ノズルパイプ毎に独立して設定した揺動速度にて揺動し、エッチング液を基板に吹き付けながら所定の速度で搬送することにより基板をエッチングすることを特徴とするプリント配線板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は各種電子機器等に使用されるプリント配線板の製造装置およびそれを用いたプリント配線板の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、各種電子機器等に数多く使用されているプリント配線板は電子機器の小型化や多機能化に伴い、配線の高密度化とともに高い信頼性が要求されるようになってきている。
【０００３】
以下に、従来のプリント配線板の導体パターン形成に用いられる製造装置において、特にエッチング装置について説明する。
【０００４】
図６は従来のプリント配線板の製造装置としてのエッチング装置の概略を示すものである。図６において、３１はスプレーノズル、３２は上面用ノズルパイプ、３３は下面用ノズルパイプ、３４は上面用圧力計、３５は下面用圧力計、３６は上面用圧力調整バルブ、３７は下面用圧力調整バルブ、３８は上面用スプレーポンプ、３９は下面用スプレーポンプ、４０は送りローラー、４１はエッチングブース、４２はプリント配線板である。
【０００５】
以上のように構成されたエッチング装置におけるプリント配線板のエッチング方法について、以下に説明する。
【０００６】
まず、所定の大きさに切断された銅張積層板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真法などによりエッチングレジストを形成したプリント配線板４２をエッチングブース４１内にプリント配線板４２の進行方向に対して平行またはある角度に配管された上面用ノズルパイプ３２及び下面用ノズルパイプ３３の間に送りローラー４０上で所定の速度で搬送し、上下面に塩化第２銅などのエッチング液をスプレーノズル３１から吹き付けてエッチングレジスト非形成部分の露出した銅を溶解（以下、エッチングと称す）し、導体パターンを得る。この際、上面用ノズルパイプ３２及び下面用ノズルパイプ３３はプリント配線板４２の進行方向に対して４５°〜６０°の角度で揺動（オシレーション）させることも可能である。その後、エッチングレジストの剥離や水洗・乾燥などの工程を経て銅張積層板より導体パターンを形成している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のエッチング装置及びエッチング方法では、基板の上下面とも精度よく、かつ均一な銅のエッチングを行うことは困難であり、特に、プリント配線板の上面と下面ではエッチングスピードに大きな差が生じやすい。これはプリント配線板上面においては、その中央部に溶解した銅を多量に含む劣化したエッチング液が滞留しやすいが、その周辺部分の劣化したエッチング液は、直ちにプリント配線板上より流れ落ちるため滞留することがなく、またプリント配線板下面ではエッチング液の滞留がなく、常にエッチング能力の高い新液状態のエッチング液がその下面に供給されるためである。
【０００８】
これにより上面のプリント配線板中央部と周辺部では導体パターンのエッチング精度に大きな差が生じ、さらに上下面ではその差は著しく、高密度・高精度のプリント配線板の導体パターンのエッチングは極めて困難となり、工程歩留りを著しく悪化させ、プリント配線板の板厚が薄く、導体パターンが密であるほど顕著であるという問題点を有していた。
【０００９】
これらの問題の解決方法として、従来はプリント配線板を傾斜させたり垂直に立て、横方向のスプレーノズルからエッチング液を噴出させ、エッチング液の滞留をなくす方法が考案されたが、プリント配線板の搬送及びエッチング条件の設定も困難であり、その生産性は著しく阻害され、また製造装置の製造コスト高騰を招くことにより、一般的に普及していないのが現状である。
【００１０】
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、製造装置の製造コスト高騰を招くことなく簡便かつ普及が容易なプリント配線板の製造装置とそれを用いたプリント配線板の製造方法を提供するものであり、これによりプリント配線板のエッチングの生産性を低下させることなく上下面のエッチング精度を均一にし、高密度・高精度のプリント配線板を歩留りよく生産することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために本発明は、基板を所定の速度で搬送する送りローラーと、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配線板の進行方向に平行またはある角度で配管された複数のノズルパイプと、ノズルパイプの揺動機構と、処理液を前記ノズルパイプに供給するポンプと、前記複数の各ノズルパイプとポンプとの間に耐圧フレキシブルチューブと、各ノズルパイプと耐圧フレキシブルチューブ及びポンプとの個々の流路に圧力調整バルブと圧力計と、個々のノズルパイプにプリント配線板の進行方向に対して左右上下方向に移動可能な機構とを備え、前記ノズルパイプの揺動機構は、各ノズルパイプ毎に独立し、かつ揺動角度および揺動速度が可変であり、前記左右上下方向に移動可能な機構は、個々のノズルパイプが揺動可能な状態で支持された第１の支持部材と、前記第１の支持部材が左右方向に移動可能な状態で支持された第２の支持部材と、前記第２の支持部材が上下方向に移動可能な状態で支持された機構であることを特徴とするプリント配線板の製造装置を用いて、製造装置の左右上下方向に移動可能な機構により中央のノズルパイプの位置を両側のノズルパイプの位置より基板搬送面側に近づけた位置に設定し、各ノズルパイプ毎に備えられた圧力調整バルブと圧力計を用いて、中央のノズルパイプの圧力を両側のノズルパイプの圧力よりも大となるように設定し、各ノズルパイプ毎に備えられた揺動機構で、中央のノズルパイプの揺動角度を両側のノズルパイプの揺動角度よりも小となるように設定し、ノズルパイプ毎に独立して設定した揺動速度にて揺動し、エッチング液を基板に吹き付けながら所定の速度で搬送することにより基板をエッチングするというものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、基板を所定の速度で搬送する送りローラーと、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配線板の進行方向に平行またはある角度で配管された複数のノズルパイプと、ノズルパイプの揺動機構と、処理液を前記ノズルパイプに供給するポンプと、前記複数の各ノズルパイプとポンプとの間に耐圧フレキシブルチューブと、各ノズルパイプと耐圧フレキシブルチューブ及びポンプとの個々の流路に圧力調整バルブと圧力計と、個々のノズルパイプにプリント配線板の進行方向に対して左右上下方向に移動可能な機構とを備え、前記ノズルパイプの揺動機構は、各ノズルパイプ毎に独立し、かつ揺動角度および揺動速度が可変であり、前記左右上下方向に移動可能な機構は、個々のノズルパイプが揺動可能な状態で支持された第１の支持部材と、前記第１の支持部材が左右方向に移動可能な状態で支持された第２の支持部材と、前記第２の支持部材が上下方向に移動可能な状態で支持された機構であることを特徴とするプリント配線板の製造装置というものである。この構成により、個々のノズルパイプを揺動可能な状態で保持しながら、基板の進行方向に対して左右上下に移動することが可能となり、また各ノズルパイプとポンプとの間に耐圧フレキシブルチューブを備えることで、ノズルパイプの左右上下の位置、圧力、揺動角度、揺動速度の条件を各ノズルパイプ毎に独立して設定することが可能となる。
【００１３】
また、プリント配線板上のエッチング液の流れをエッチング力が均一になるように設定し、基板上の位置によりエッチング液の当たり具合や基板上の場所の違いによる液量を調整することで、高精度の導体パターンを実現できるプリント配線板の製造装置を提供するものである。
【００１４】
本発明の請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のプリント配線板の製造装置の左右上下方向に移動可能な機構により中央のノズルパイプの位置を両側のノズルパイプの位置より基板搬送面側に近づけた位置に設定し、各ノズルパイプ毎に備えられた圧力調整バルブと圧力計を用いて、中央のノズルパイプの圧力を両側のノズルパイプの圧力よりも大となるように設定し、各ノズルパイプ毎に備えられた揺動機構で、中央のノズルパイプの揺動角度を両側のノズルパイプの揺動角度よりも小となるように設定し、ノズルパイプ毎に独立して設定した揺動速度にて揺動し、エッチング液を基板に吹き付けながら所定の速度で搬送することにより基板をエッチングすることを特徴とするプリント配線板の製造方法というものであり、中央のノズルパイプの位置を基板搬送面側に近づけ、また中央のノズルパイプの揺動角度を両側のノズルパイプの揺動角度よりも小となるように設定することによって、基板中央部のエッチング液の当たりを周辺部より強くすることで、これによりプリント配線板の上面中央部にエッチング液を滞留させずに効率的かつ即効的に流れ落ち、中央部と周辺部及び上下面のエッチング速度の均一化を図り高精度の導体パターンを形成することができる。
【００１５】
また、中央のノズルパイプの圧力を両側のノズルパイプの圧力より高くなるように、圧力計の表示を確認しながら圧力調整バルブの開閉の割合で容易に設定することができ、また、基板全面を均一なエッチング速度とするため、各ノズルパイプの間隔、基板搬送面との距離、あるいはノズルパイプの揺動角度と揺動速度を概ね設定することで、従来の基板中央部における液溜まりを解消することができる。これにより各ノズルパイプの圧力設定の範囲を広く取ることができる。
【００１６】
さらに、各ノズルパイプに取り付けられた複数のスプレーノズルへの噴射圧力が極端に低くならないようにできるため、スプレーノズルのエッチング液噴射口の異物の詰まりによるトラブルが発生する確率を低くすることができ、両側の圧力を圧力調整バルブを閉めることで、エッチングの流路をせばめることによる流体損失を低くすることができエネルギー効率を高めるという効果がある。
【００１７】
（実施の形態）
以下本発明の一実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図１は本発明の一実施の形態におけるプリント配線板の製造装置としてのエッチング装置の概略を示す図であり、図２、図３は、本発明の一実施の形態におけるプリント配線板の製造装置の独立したノズルパイプの詳細を示す図であり、図４、図５は本発明の一実施の形態におけるプリント配線板の製造装置の条件設定を示す図である。
【００１８】
図１〜図５において、１はスプレーノズル、２ａ〜２ｆはスプレーノズル１を複数個取り付けかつプリント配線板の進行方向に平行またはある角度に配管された複数の上面用ノズルパイプ、３ａ〜３ｆは上面用圧力計、４ａ〜４ｆはスプレー圧力の調整可能な手段としての上面用圧力調整バルブ、５は処理液としてのエッチング液をノズルパイプ２ａ〜２ｆに供給する上面用スプレーポンプ、６は送りローラー、７はエッチングブース、８は基板としてのプリント配線板、９ａ〜９ｆは上面用ノズルパイプの揺動機構、１０は制御用モータ、１１はカム、１２ａはリンク機構、１２ｂは回転板とリンク機構の支点、１３はインバータ回路、１４ａ〜１４ｆは耐圧フレキシブルチューブ、１５ａは第１の支持部材、１５ｂは第２の支持部材、１６ａは第１の蛇腹状部材、１６ｂは第２の蛇腹状部材、１７はフレキシブルワイヤ、１８ａ，１８ｂはリニアモーションとしての電動シリンダ、１９は制御回路、２０ａは入力手段、２０ｂはデータ格納手段である。
【００１９】
まず、本発明の実施の形態におけるプリント配線板の製造装置としてのエッチング装置について説明する。
【００２０】
本発明の実施の形態におけるエッチング装置の構成は、従来と同様に上面及び下面からの両面同時にエッチングできる構成の装置であり、上面と下面の構成は基本的に同じである。したがって、本発明の説明を容易にするため、上面の構成のみを図面を用いて説明する。
【００２１】
図１に示すように、エッチングブース７内にプリント配線板８の進行方向に平行または１〜５°の角度で上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆが配管され、各々上面用ノズルパイプは耐圧フレキシブルチューブ１４ａ〜１４ｆを介して、上面用スプレーポンプ５に接続されている。また上記の各ノズルパイプと耐圧フレキシブルチューブ１４ａ〜１４ｆ及び上面用スプレーポンプ５との個々の流路には上面用圧力計３ａ〜３ｆと上面用圧力調整バルブ４ａ〜４ｆを備えている。
【００２２】
また図２に示すように、各ノズルパイプは、第１の支持部材１５ａを貫通し、さらに揺動できるように支持されている。第１の支持部材１５ａは、第２の支持部材１５ｂ内を左右方向に平行に移動が可能なように第２の支持部材１５ｂに支持されている。また第２の支持部材１５ｂは、エッチングブース７の前壁面と後壁面（図示せず）の移動領域を垂直上下に平行に移動できるように支持されている。
【００２３】
上記第１の支持部材１５ａ及び第２の支持部材１５ｂのそれぞれの移動領域には、図２に示すように、第１の支持部材１５ａの左右方向の移動領域に第１の蛇腹部材１６ａを設け、第２の支持部材１５ｂの垂直上下方向の移動領域には第２の蛇腹部材１６ｂを設けている。この構成により上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆが左右、上下に移動しても、耐圧フレキシブルチューブ１４ａ〜１４ｆの存在により、配管に亀裂や破損を生じることもなく、さらに蛇腹部材の存在により、エッチングブース７内のエッチング液やエッチングガスが外部に流出漏洩することもなく、所定の上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆの間隔及びプリント配線板８との距離を近づけたり、遠ざけたりすることができる。
【００２４】
上記の各ノズルパイプの移動を自動的に行う方法として、図３に示すように、第１の支持部材１５ａ及び第２の支持部材１５ｂを移動する手段としてリニアモーションを用いる。本実施の形態においては電動シリンダ１８ａで支持部材１５ａを、電動シリンダ１８ｂで第２の支持部材１５ｂをそれぞれ移動させる構成を示した。特に電動シリンダ１８ａは、隣り合うノズルパイプと接触しないように取り付け位置を考慮する必要がある。
【００２５】
上記の電動シリンダ１８ａ，１８ｂは制御回路１９にて移動する位置を制御し、制御回路１９は、入力手段２０ａからの信号により動作する構成となっている。この構成により各ノズルパイプの移動を自動的に行うことが可能となる。
【００２６】
また入力手段２０ａをプリント配線板の寸法データを入力・変換することのできる寸法データ格納手段２０ｂとして置き換え、それに寸法データを入力することも可能である。
【００２７】
これによりプリント配線板の基板サイズに応じて各ノズルパイプの間隔を自動で設定することが可能となる。
【００２８】
その寸法として、予め進行方向に対して横方向のプリント配線板の寸法を計測し、それを寸法データ格納手段２０ｂへ入力し、前記寸法データに対応して各ノズルパイプ間の間隔を移動・設定した後、エッチングを行うことである。すなわち横方向が６００ｍｍの寸法を有するプリント配線板をエッチングする際に比較して、４００ｍｍの寸法を有するプリント配線板のエッチングの場合は、各ノズルパイプ間の間隔は狭く設定される。
【００２９】
このことからプリント配線板の寸法に応じて最もエッチング効率の高い条件でプリント配線板を製造することができるものである。
【００３０】
さらに上記の上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆは各々独立した揺動機構を備えている。
【００３１】
各上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆに対応し独立した揺動機構９は、図２に示すようにカム１６とリンク機構１２ａで構成され、回転板とリンク機構の支点１２ｂの位置を移動することによって、揺動角度を変えることができる。またカム（回転板）１１は、制御用モータ１０に直接またはベルトやギアにより連動し、制御用モータ１０はインバータ回路にて回転数を容易に変更できる。
【００３２】
揺動角度のみを各ノズルパイプ毎に変更する場合は、制御用モータ１０は１つだけ用い、設備コストを低減することも可能である。
【００３３】
さらに上記の独立したノズルパイプは、図２に示すように、第１の支持部材１５ａに支持され、かつ揺動可能な状態で同じく第１の支持部材１５ａ上に一部を固定され、かつ上記の回転板とリンク機構の支点１２ｂの位置と連動しているフレキシブルワイヤ１７で連結され、ワイヤ線の入出により揺動する機構を備えている。このフレキシブルワイヤ１７のワイヤ線の入出の移動距離は、リンク機構の支点１２ｂの位置を移動することによって替わり、これにより揺動角度を変えることができる。またワイヤ線の入出の速度はカム（回転板）１１の回転数によって変更できる。これらの構造により、ノズルパイプが左右及び垂直上下に移動しても、各ノズルパイプの揺動機構における揺動角度と揺動速度の独立を保つことが可能である。
【００３４】
以上のように構成されたエッチング装置におけるプリント配線板のエッチング方法について、以下に説明する。
【００３５】
まず、銅張積層板に感光性のエッチングレジストを露光、現像工程を経て形成した基板をエッチング装置へ搬送しエッチングする前に、本発明のエッチング装置におけるエッチング条件の設定について述べる。
【００３６】
まず基本のエッチング条件の設定について、通常は上下面のエッチング条件の設定を行うが、本発明の実施の形態の説明では、上面のエッチング条件の設定についてのみ特に詳細に述べる。
【００３７】
その理由として通常エッチング精度は上面のばらつきが大きく、そのメカニズムは、従来の課題にて述べた通りである。これに対し下面は上面でみられるようなエッチング液の基板中央部の液溜まりが発生することはなく、基板を搬送するローラーの存在より噴射されるエッチング液の基板への当たりが遮られ、これによるバラツキが生じることがある。これらについては後述するものとし、以下本発明の実施の具体例においては、基板上面に
おいて、（１）ノズルパイプの間隔、揺動角度、揺動速度、及び圧力を設定する場合、（２）ノズルパイプの基板搬送面からの距離、揺動角度、揺動速度、及び圧力を設定する場合の２通りのエッチング装置における条件設定について述べる。
【００３８】
（１）ノズルパイプの間隔、揺動角度、揺動速度、及び圧力を設定する場合について説明する。
【００３９】
まず、第１の設定として、各ノズルパイプの間隔について述べる。
【００４０】
図４に示すように、中央のノズルパイプ２ｃと２ｄの配管の間隔は、他のノズルパイプ２ａと２ｂ及び２ｅと２ｆの間隔に比較して約３０〜５０％狭くしており、必要に応じて中央に近いノズルパイプ２ｂと２ｃ及び２ｄと２ｅの間隔も１０〜３０％程度狭く配管されている。
【００４１】
この中央に位置するほど狭い間隔でノズルパイプを配管する構造により、プリント配線板上の中央部へ吹き付けるエッチングの液量を増加させることができる。
【００４２】
次に、第２の設定として、ノズルパイプの揺動角度と揺動速度について述べる。
【００４３】
図２に示した構造において、中央のノズルパイプ２ｃと２ｄの揺動角度を揺動機構におけるカム、リンク機構のカムとリンク支点の位置を移動することによって、それに連動するフレキシブルワイヤ１７のワイヤ線の入出の移動距離の変位量が大きくなり、他のノズルパイプ２ａと２ｂ及び２ｅと２ｆの揺動角度を程度大きくなるように設定する。
【００４４】
さらに中央のノズルパイプ２ｃと２ｄまた揺動速度を他のノズルパイプ２ａと２ｂ及び２ｅと２ｆに比較して大なるようにインバータ回路、電流または電圧制御回路にて設定する。
【００４５】
さらに、上記のエッチング装置の設定のもとにおける第３の設定として各ノズルパイプのスプレー圧力を次の通り、設定する。
【００４６】
エッチング装置の圧力設定として、上面用圧力計３ａ〜３ｆに表示される圧力は、中央のノズルパイプが高くなるようにそれぞれ３ａは１．２ｋｇ／ｃｍ2、３ｂは１．６ｋｇ／ｃｍ2、３ｃは２．０ｋｇ／ｃｍ2、３ｄは２．０ｋｇ／ｃｍ2、３ｅは１．６ｋｇ／ｃｍ2、３ｆは１．２ｋｇ／ｃｍ2になるように、上面用圧力調整バルブ４ａ〜４ｆの開閉の割合で調整する。
【００４７】
このプリント配線板８は、エッチングブース７内に進行方向に平行またはある角度に配管された上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆ及び下面用ノズルパイプの間に構成された送りローラー６上で所定の速度で搬送させ、上下面に塩化第２銅などのエッチング液をスプレーノズル１から吹き付けてエッチングを行う。エッチング実施の際、上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆ及び下面用ノズルパイプは、プリント配線板進行方向に対して中央のノズルパイプ２ｃと２ｄを４５°に、他のノズルパイプ２ａと２ｂ及び２ｅと２ｆを６０°に設定し、それぞれ独立した揺動角度及び揺動速度で揺動（オシレーション）させ、また上面用スプレーポンプ５から上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆへ供給されるエッチング液は、上面用圧力調整バルブ４ａ〜４ｆの開閉の割合で上面用圧力計３ａ〜３ｆに示すスプレー圧力を調整する。
【００４８】
以上のノズルパイプの揺動角度及び揺動速度並びにスプレー圧力設定によりエッチングを実施すると、従来のエッチング装置及びエッチング方法によるエッチング後の導体パターン幅は設定値に対して、プリント配線板の上下面及び中央部と周辺部でそのバラツキは５０〜１００μｍであるが、本発明でのエッチング装置及びエッチング方法ではバラツキが１０〜２０μｍと極端に減少できる。
【００４９】
（２）ノズルパイプの基板搬送面からの距離、揺動角度、揺動速度、及び圧力を設定する場合について説明する。
【００５０】
次に上記（１）の第１の設定であるノズルパイプの間隔を変更することにかわって、本条件設定においては、中央のノズルパイプを垂直方向に移動させた場合における、各ノズルパイプの基板搬送面との距離について述べる。
【００５１】
図５に示すように、中央のノズルパイプ２ｃと２ｄの基板搬送面との距離は、他のノズルパイプ２ａと２ｂ及び２ｅと２ｆの距離に比較して約３０〜５０％短くしており、必要に応じて中央に近いノズルパイプ２ｂと２ｃ及び２ｄと２ｅの基板搬送面からの距離も１０〜３０％程度短く設定されている。この中央に位置するほど基板搬送面に近づける位置でノズルパイプを設定する構造により、プリント配線板上の中央部へ吹き付けるエッチングの液量を増加させることができる。
【００５２】
さらに、上記のエッチング装置の設定のもとにおける第３の設定として各ノズルパイプのスプレー圧力を次の通り設定する。
【００５３】
上面用圧力計３ａ〜３ｆに表示される圧力は、中央のノズルパイプが高くなるようにそれぞれ３ａは１．２ｋｇ／ｃｍ2、３ｂは１．６ｋｇ／ｃｍ2、３ｃは２．０ｋｇ／ｃｍ2、３ｄは２．０ｋｇ／ｃｍ2、３ｅは１．６ｋｇ／ｃｍ2、３ｆは１．２ｋｇ／ｃｍ2になるように、上面用圧力調整バルブ４ａ〜４ｆの開閉の割合で調整する。
【００５４】
（１）の場合と同様に、本条件においても中央の２本のノズルパイプの圧力を他のノズルパイプの圧力よりも、高めに設定しているが、（１）の場合と異なることは、比較値として中央の圧力値を低く設定することができ、さらに他のノズルパイプの圧力を高く設定することが可能となり、全体としてのエッチング速度を向上させることができ、（１）の場合に比較して生産性を高めることが可能となる。
【００５５】
また中央のノズルパイプをさらに基板搬送面上に近づけたり、中央の両側のノズルパイプも最両端のノズルパイプよりも近づけたり、あるいは、各ノズルパイプの揺動角度、揺動速度を調整することで、各ノズルパイプの圧力設定範囲を広くとることが可能となる。
【００５６】
このプリント配線板８は、エッチングブース７内に進行方向に平行またはある角度に配管された上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆ及び下面用ノズルパイプの間に構成された送りローラー６上で所定の速度で搬送させ、上下面に塩化第２銅などのエッチング液をスプレーノズル１から吹き付けてエッチングを行う。
【００５７】
エッチング実施の際、上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆ及び下面用ノズルパイプは、プリント配線板進行方向に対して中央のノズルパイプ２ｃと２ｄを４５°に、他のノズルパイプ２ａと２ｄ及び２ｅと２ｆを６０°に設定し、それぞれ独立した揺動角度及び揺動速度で揺動（オシレーション）させ、また上面用スプレーポンプ５から上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆへ供給されるエッチング液は、上面用圧力調整バルブ４ａ〜４ｆの開閉の割合で上面用圧力計３ａ〜３ｆに示すスプレー圧力を調整する。
【００５８】
以上のノズルパイプの揺動角度及び揺動速度並びにスプレー圧力設定によりエッチングを実施すると、従来のエッチング装置及びエッチング方法によるエッチング後の導体パターン幅は設定値に対して、プリント配線板の上下面及び中央部と周辺部でそのバラツキは５０〜１００μｍであるが、本発明でのエッチング装置及びエッチング方法ではバラツキが１０〜２０μｍと極端に減少できる。
【００５９】
次に上記の（１），（２）の組み合わせによる利点について説明する。
【００６０】
これによる利点効果としては、各ノズルパイプに取り付けられた複数のスプレーノズル１への噴射圧力が極端に低くならないようにできるため、スプレーノズル１のエッチング液噴射口の異物の詰まりによるトラブルが発生する確率を低くすることができる。また両側の圧力を圧力調整バルブを閉めることで、エッチングの流路をせばめることによる流体損失を低くすることができエネルギー効率を高めるという利点がある。
【００６１】
また、基板全面を均一なエッチング速度とするため、各ノズルパイプの間隔、基板搬送面との距離、あるいはノズルパイプの揺動角度と揺動速度を概ね設定することで、従来の基板中央部における液溜まりを解消することができる。これにより各ノズルパイプの圧力設定の範囲を広く取ることができる。
【００６２】
以上のことから種々の基板サイズや、要求される導体回路の仕上がり精度に応じて、各ノズルパイプの圧力設定を微調整に用いることができ、さらにその条件設定も各ノズルパイプ毎の圧力計の表示を確認しながら、圧力調整バルブにより容易に設定することができる。
【００６３】
上記の条件設定における本発明の実施の形態の事例については、主に基板上面について述べた。
【００６４】
基板の下面における条件の設定は、送りローラーの数や、ローラーのピッチ、取り付け位置についてエッチング装置ごとに異なるのが一般的である。
【００６５】
それぞれのエッチング装置における基板下面のエッチング条件の設定も、ノズルパイプ
の間隔、基板搬送面との距離、あるいはノズルパイプの揺動角度、揺動速度などを調整して行う。そして基板全面において概ね均一なエッチング条件を設定した後、上記の基板上面の例と同様に、各ノズルパイプ毎の圧力を再調整することで微調整を図ることができる。
【００６６】
このためエッチング装置毎に異なる送りローラー、ローラーのピッチ、ローラー数においても対応することができる。
【００６７】
以上のことから、従来下面のエッチング精度を基板全面において均一にするため行っていた送りローラーのピッチ検討や、位置の変更、ローラーの個数の調整作業等を行う必要がなく、上記エッチング装置の各パラメータの設定、及び圧力による微調整により、容易に条件設定を行うことができる。
【００６８】
なお、本発明の実施の形態においては、（１）ノズルパイプの間隔、揺動角度、揺動速度、及び圧力を設定する場合と、（２）ノズルパイプの基板搬送面からの距離、揺動角度、揺動速度、及び圧力を設定する場合の２通りのエッチング装置における条件設定について述べたが、別の組み合わせ例えば、（３）ノズルパイプの間隔、基板搬送面からの距離、圧力を設定する場合や、（４）ノズルパイプの間隔、基板搬送面からの距離、揺動角度、揺動速度を設定する場合でエッチング条件を設定してもよく、さらに全ての条件、すなわち（５）ノズルパイプの間隔、基板搬送面からの距離、揺動角度、揺動速度、圧力等を用いて条件設定を行うことも可能である。
【００６９】
さらに本発明の実施の形態においては、プリント配線板の製造装置の中で、特に銅はく等のエッチングを行うエッチング装置について説明したが、本発明は、感光性レジストの未露光部を現像・除去するための現像装置としても用いることもできる。
【００７０】
【発明の効果】
以上のように本発明は、各ノズルパイプとポンプとの間に耐圧フレキシブルチューブを備え、個々のノズルパイプ間の間隔を可変とし、垂直上下に可変可能としたプリント配線板の製造装置を用いて、所定の揺動角度と揺動速度でノズルパイプを揺動し処理液としてのエッチング液を基板に吹き付けながら所定の速度で搬送し、プリント配線板をエッチングすることによって、プリント配線板のエッチングの生産性を低下させることなくプリント配線板上面の中央部と周辺部及び上下面のエッチング精度を均一にし、高密度・高精度のプリント配線板を歩留りよく生産することができるものであり、さらに装置の製造コスト高騰を招くことなく容易に普及しうる簡易な製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態におけるプリント配線板のエッチング装置の概略図
【図２】本発明の一実施の形態におけるプリント配線板のエッチング装置の独立したノズルパイプの詳細図
【図３】本発明の一実施の形態におけるプリント配線板のエッチング装置の独立したノズルパイプの詳細図
【図４】本発明の一実施の形態におけるプリント配線板のエッチング装置の条件設定を示す図
【図５】本発明の一実施の形態におけるプリント配線板のエッチング装置の条件設定を示す図
【図６】従来のプリント配線板のエッチング装置の概略図
【符号の説明】
１  スプレーノズル
２ａ〜２ｆ  上面用ノズルパイプ
３ａ〜３ｆ  上面用圧力計
４ａ〜４ｆ  上面用圧力調整バルブ
５  上面用スプレーポンプ
６  送りローラー
７  エッチングブース
８  プリント配線板
９ａ〜９ｆ  上面用ノズルパイプの揺動機構
１０  制御用モータ
１１  カム
１２ａ  リンク機構
１２ｂ  回転板とリンク機構の支点
１３  インバータ回路
１４ａ〜１４ｆ  耐圧フレキシブルチューブ
１５ａ  第１の支持部材
１５ｂ  第２の支持部材
１６ａ  第１の蛇腹状部材
１６ｂ  第２の蛇腹状部材
１７  フレキシブルワイヤ
１８ａ，１８ｂ  電動シリンダ
１９  制御回路
２０ａ  入力手段
２０ｂ  データ格納手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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