(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
素材収容空間と圧力媒体収容空間とを備えてなり、かつ前記素材収容空間と圧力媒体収容空間とを隔絶し、圧力媒体収容空間内に圧入された圧力媒体の圧力を素材収容空間内に配置された素材に伝達する弾性部材を有する圧力伝達手段を備えてなる圧力容器本体と、
前記圧力容器本体内を加熱する加熱手段と、
前記素材収容空間に挿入される突出部、および前記素材収容空間内に圧入気体を導入し、かつ排出する気体導入排出手段を備えてなる蓋部材と、
前記素材収容空間内を気体導入排出手段により減圧にするときに、前記素材収容空間に収容された素材の前記圧力伝達手段に向かう面と、前記圧力伝達手段の前記素材収容空間に向かう面との間に気体の排出を可能にする空間を確保し、素材収容空間内の気体を前記気体導入排出手段により排出可能にする通気確保手段と、
素材の加圧成形時に圧力容器本体に装着された蓋部材を、前記素材収容空間内から突出部が突出不可能に、固定する固定手段とを備えてなることを特徴とする加圧成形体製造装置。
【請求項２】
圧力伝達手段が、前記素材収容空間と圧力媒体収容空間とを隔てて配設され、かつ多数の貫通穴を備えてなる支持部材と、前記支持部材の素材収容空間側の表面に配設されたシール部材と、前記シール部材の表面に配設された弾性部材とを備えてなる前記請求項１に記載の加圧成形体製造装置。
【請求項３】
前記通気確保手段が、前記圧力伝達手段の前記素材収容空間に向かう面に形成された溝である前記請求項１または２に記載の加圧成形体製造装置。
【請求項４】
前記通気確保手段が、前記圧力伝達手段の前記素材収容空間に向かう面であって、素材の載置される領域以外の領域に形成された溝である前記請求項１〜３のいずれかに記載の加圧成形体製造装置。
【請求項５】
前記通気確保手段が、素材を収容可能とした開口空間部を備えて前記素材収容空間内で前記圧力伝達手段の上面に配置可能に形成されたスペーサの蓋部材に向かう面に形成された溝である前記請求項１または２に記載の加圧成形体製造装置。
【請求項６】
前記通気確保手段が、素材を収容可能とした開口空間部を備えて前記素材収容空間内で前記圧力伝達手段の上面に配置可能に形成されたスペーサの蓋部材に向かう面に設けられた網部材である前記請求項１または２に記載の加圧成形体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は加圧成形体製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】
従来の積層体の一例として積層コンデンサが知られている。この積層コンデンサはセラミックユニットの内部に複数層の内部電極が形成され、その両端部に内部電極と電気的に接続された外部電極とを形成してなる。
【０００３】
このような積層コンデンサを製造する方法として、従来では、セラミック製のグリーンシートを複数枚積層してなる積層シートを剛体プレスで圧着する方法が知られている。剛体プレスによる圧着工程では、金型における下型内に積層した積層体成形用試料を装填し、上型で積層シートを加圧することにより、内部電極を有するグリーンシート同士あるいは内部電極を有しないグリーンシートとを圧着し、これを一体化する。圧着一体化した後は、得られたセラミックス積層体を所定の形状例えば直方体に切断してチップにし、これを焼成した後に両側に外部電極を形成している。
【０００４】
しかしながら、内部電極の形成された部分と形成されていない部分とでシートの厚みに差が生じるので、剛体プレスを用いて圧着する方法では、内部電極の形成されていない部分の成形密度が上がらず、この部分で層剥れが生じ易いという問題がある。
【０００５】
特に、グリーンシートの積層枚数が増える程、圧着時における密度差が顕著になるので、その影響が大きい。このために、多層の積層コンデンサなどの積層体を製造する場合には、圧着不良による不良品が数多く生じ易く、歩留が悪くなるという問題がある。
【０００６】
また、剛体プレスによる圧着方法は、加圧した時に金型に歪みを生じるので、上型と下型との作用位置によって力の加わり方が異なることになり、加圧力の不均一を生じ易くなり、これまた層剥れの原因になっている。
【０００７】
さらに、剛体プレスで圧着すると、焼成後のチップがほぼ完全な直方体になるので、これに外部電極を形成すると外部電極の厚み分だけ直方体から突出するようになるから、基板への実装性が低下するという問題もある。
【０００８】
この発明者は、このような問題点を解消する加圧成形体製造装置として、凹陥部を有する圧力容器本体と、前記凹陥部に密嵌される突出部を備えた蓋部材と、前記凹陥部に張設され、突出部側に形成されたところの、積層シートを収容する積層シートを収容する積層シート収容空間と圧力媒体収容空間とに区画する弾性部材と、加圧成形時に突出部が凹陥部から飛び出ることがないように蓋部材を規制あるいは固定する固定部材とを備えてなる加圧成形体製造装置について検討し、その改良を鋭意行っている。なお、この従来技術の欄において以下に説明する加圧成形体製造装置は、この出願時において未だ公知になっていない。
【０００９】
この加圧成形体製造装置においては、前記積層シート収容空間内に複数のグリーンシートからなる積層シートを収容し、前記圧力媒体収容空間内に圧力媒体を圧入することにより、前記弾性部材と突出部の前記弾性部材に対面する面とで前記積層シートが加圧され、所定時間の加圧の後に積層体が形成される。
【００１０】
このような加圧成形体製造装置で製造される積層体の厚みは、その一例を挙げると、１〜５ｍｍであり、積層体の一辺の長さは５０〜３００ｍｍである。したがって、このような大きさの積層体を製造するための前記凹陥部の直径は、装置規模により変化するものの、多くの場合、７〜５０ｃｍである。またその凹陥部の深さは１〜７ｃｍである。このような規模の凹陥部に密嵌される突出部を備えた蓋部材の外径は通常１０〜７０ｃｍである。この蓋部材は、片持ち状態で支持され、しかもこの蓋部材は支持部材を中心にして前記圧力容器本体の開口部上方からそれを退避した位置へと、またその逆方向に回動することができるようになっている。
【００１１】
蓋部材が片持ち状態で支持されているから、蓋部材はごくわずかに傾斜した状態になることが多い。片持ち状態で支持されることによりごくわずかに傾斜した状態となっている蓋部材を下降させて、突出部を凹陥部内に挿入しようとすると、突出部が円滑に凹陥部内に挿入されず、突出部の縁が凹陥部の内周面にぶつかることが多々あった。突出部の縁が凹陥部の内周面にぶつかったまま無理に突出部を凹陥部内に挿入すると凹陥部の内周面に傷がついて、凹陥部に突出部を装着したときの密嵌性が損なわれると言う問題を生じる。
【００１２】
また、凹陥部内に突出部を装着する場合、凹陥部内の空気の逃げ場がないので、凹陥部内の空気が突出部の挿入により圧縮されることになる。この圧縮空気の抵抗が大きくて、突出部を凹陥部内に完全に挿入するのに相当の力を要し、その分装置の大型化を余儀なくされる。凹陥部内に突出部を完全に挿入し終えたとしても、次に凹陥部から突出部を引き抜くときに、突出部の引き抜きにより凹陥部内が減圧になるから、突出部の引き抜きが非常に困難になる。
【００１３】
凹陥部内に圧力媒体収容空間と積層シート収容空間とを形成するために凹陥部内に弾性部材が張設されている場合に、凹陥部内から突出部を引き抜くときに、積層シート収容空間内が減圧になることと、圧力媒体収容空間内に収容されている圧力媒体に残圧があることとによって、弾性部材が積層シート収容空間側に膨れ上がり、この膨れ上がりによって弾性部材がしばしば亀裂してしまうことがある。この凹陥部内から突出部を引き抜く毎に弾性部材が亀裂を生じると、引き続いて積層体を製造するために、破損した弾性部材を凹陥部内から取りはずし、新たな弾性部材を凹陥部内に張設し直さねばならない。したがって、弾性部材の亀裂は、次々と積層体を製造しようとする場合には、作業の大幅な遅延の原因になる。
【００１４】
このようなことから、この発明者らは、この種の加圧成形体製造装置においては、蓋部材における突出部を圧力容器本体における凹陥部内への装着および脱着を容易にするために、積層シート収容空間内を減圧にすることができるように蓋部材に気体導入排出手段を設ける工夫を行った。この気体導入排出手段は、具体的には、蓋部材における突出部を圧力容器本体における凹陥部内に装着する際、あるいは装着した後に、積層シート収容空間内の気体を排気することができるように蓋部材に形成された手段である。この気体導入排出手段の具体的な一例としては、気体を圧送することのできる気体送出ポンプ、気体送出ポンプから送出される気体を素材収容空間内に導入し、素材収容空間内の気体を排出するように形成された気体導入排出路、および素材収容空間内の気体を吸引する吸引ポンプ等を備えてなる。
【００１５】
この気体導入排出路を通じて積層シート収容空間内の圧力を減少させつつ、突出部材を凹陥部内に装着させようとすると、その装着が非常に円滑に行うことができ、また、この気体導入排出路を通じで積層シート収容空間内の圧力を増加させつつ、凹陥部に装着された突出部を脱着しようとすると、その脱着が非常に円滑に行われることができる。この気体導入排出路は、前述のように、蓋部材における突出部を圧力容器本体における凹陥部に装着し、あるいは脱着するときにのみ有用であるのではなく、加圧成形処理に際しても有用である。
【００１６】
つまり、加圧成形の際に、加圧積層シートから加熱により発生するガスを前記気体導入排出路から除去することができるので、得られる積層体にガス発生による気泡痕やボイドの発生がなく、非常に良好な積層体が得られるはずである。
【００１７】
ところが、この発明者らにより開発途上にある加圧成形体製造装置においては、加圧成形時に、加圧により膨れ上がった弾性部材が気体導入排出手段による気体排気を疎外することのあることが、判明した。
【００１８】
この発明は前記事情に基づいて完成された。
【００１９】
すなわち、この発明の目的は、前記問題点を解決することにある。
【００２０】
この発明の目的は、装置トラブルを起こすことなく、加圧成形体例えば積層体の製造を迅速にしかも繰り返して行うことのできる加圧成形体製造装置を提供することにある。
【００２１】
この発明の目的は、圧力容器本体における凹陥部つまり素材収容空間内に蓋部材の突出部を装着し、あるいは脱着する際にトラブルを生じることがなく、前記凹陥部への蓋部材の装着および脱着を容易かつ円滑に行うことのできる加圧成形体製造装置を提供することにある。
【００２２】
この発明の目的は、前記素材収容空間内に蓋部材の突出部を装着するに当たり、あるいは素材収容空間内に蓋部材の突出部を装着してから、素材収容空間内を円滑に減圧状態にすることのできる加圧成形体製造装置を提供することにある。
【００２３】
この発明の目的は、素材収容空間内に蓋部材の突出部を装着してから素材収容空間内を減圧状態にしても、素材収容空間内に設けられた弾性部材の破損を生じることなく、しかもボイドや気泡などの傷のない積層体を製造することのできる加圧成形体製造装置を提供することにある。
【００２４】
【前記課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための加圧成形体製造装置は、素材収容空間と圧力媒体収容空間とを備えてなり、かつ前記素材収容空間と圧力媒体収容空間とを隔絶し、圧力媒体収容空間内に圧入された圧力媒体の圧力を素材収容空間内に配置された素材に伝達する弾性部材を有する圧力伝達手段を備えてなる圧力容器本体と、
前記圧力容器本体内を加熱する加熱手段と、
前記素材収容空間に挿入される突出部、および前記素材収容空間内に圧入気体を導入し、かつ排出する気体導入排出手段を備えてなる蓋部材と、
前記素材収容空間内を気体導入排出手段により減圧にするときに、前記素材収容空間に収容された素材の前記圧力伝達手段に向かう面と、前記圧力伝達手段の前記素材収容空間に向かう面との間に気体の排出を可能にする空間を確保し、素材収容空間内の気体を前記気体導入排出手段により排出可能にする通気確保手段と、
素材の加圧成形時に圧力容器本体に装着された蓋部材を、前記素材収容空間内から突出部が突出不可能に、固定する固定手段とを備えてなることを特徴とする。
【００２５】
前記加圧成形体製造装置の一態様として、圧力伝達手段が、前記素材収容空間と圧力媒体収容空間とを隔てて配設され、かつ多数の貫通穴を備えてなる支持部材と、前記支持部材の素材収容空間側の表面に配設されたシール部材と、前記シール部材の表面に配設された弾性部材とを備えてなるところの、加圧成形体製造装置があり、
前記加圧成形体製造装置の一態様として、前記通気確保手段が、前記圧力伝達手段の前記素材収容空間に向かう面に形成された溝であるところの、加圧成形体製造装置があり、
前記加圧成形体製造装置の一態様として、前記通気確保手段が、前記圧力伝達手段の前記素材収容空間に向かう面であって、素材の載置される領域以外の領域に形成された溝であるところの、加圧成形体製造装置があり、
前記加圧成形体製造装置の一態様として、前記通気確保手段が、素材を収容可能とした開口空間部を備えて前記素材収容空間内で前記圧力伝達手段の上面に配置可能に形成されたスペーサの蓋部材に向かう面に形成された溝であるところの、加圧成形体製造装置があり、
前記加圧成形体製造装置の一態様として、前記通気確保手段が、素材を収容可能とした開口空間部を備えて前記素材収容空間内で前記圧力伝達手段の上面に配置可能に形成されたスペーサの蓋部材に向かう面に設けられた網部材であるところの、加圧成形体製造装置がある。
【００２６】
【作用】
この加圧成形体製造装置を用いて以下のようにして加圧成形体例えば積層体が製造される。
【００２７】
素材収容空間における圧力伝達手段に素材を載置する。次いで素材収容空間に蓋部材における突出部を挿入する。この突出部を挿入する際に、気体導入排出手段により圧力伝達手段と蓋部材の突出部で挟まれてなる素材収容空間内を排気する。この排気により素材収容空間内が減圧状態になるので、大気圧に押された蓋部材における突出部が素材収容空間内に円滑に、迅速にしかも完全に挿入される。
【００２８】
蓋部材における突出部が素材収容空間内に装着された後において、前記気体導入排出手段により素材収容空間内の気体を排気し続ける場合に、前記圧力伝達手段における弾性部材が圧力媒体収容空間内の圧力が素材収容空間内の減圧度と同じ減圧状態ではないから、むしろ、圧力媒体収容空間内に圧力媒体が圧入されていない状態では少なくとも１気圧の圧力がかかっているから、圧力伝達手段における弾性部材が圧力媒体収容空間側の圧力に押されて前記弾性部材が突出部に向かって膨満する。
【００２９】
ところで、素材を収容し、これを所定の箇所に配置してなる素材収容空間内においては、後述するスペーサを設けていない場合と、スペーサを設ける場合とがある。
【００３０】
いずれの場合においても、前記圧力伝達手段として、前記素材収容空間と圧力媒体収容空間とを隔てて配設され、かつ多数の貫通穴を備えてなる支持部材と、前記支持部材の素材収容空間側の表面に配設されたシール部材と、前記シール部材の表面に配設された弾性部材とを備えてなる構成を採用することができる。
【００３１】
前記支持部材が存在すると、素材は確固として支持され、シール部材があるので素材収容空間と圧力媒体収容空間とが液密に隔絶され、圧力媒体収容空間内の圧力媒体が素材収容空間内に漏洩することがない。圧力媒体収容空間内に圧入された加圧媒体の圧力が前記支持部材における多数の貫通穴を通じて、前記シール部材および弾性部材に加わり、このシール部材および弾性部材を介して素材に圧力媒体の圧力が伝達される。
【００３２】
さて、素材収容空間内にスペーサを設けていないときには、突出部を素材収容空間内に装着した場合に、素材が配置されていない前記圧力伝達手段の領域と突出部との間に空間が存在する。
【００３３】
このとき、蓋部材を素材収容空間内に装着する場合に、気体導入排出手段により素材収容空間内の気体を排気すると、弾性部材が突出部に向かって膨満し、弾性部材が突出部材に接触することになっても、この発明に係る加圧成形体製造装置においては、通気確保手段が設けられているので、気体導入排出手段による素材収容空間内の気体排気が阻害されることがない。
【００３４】
この通気確保手段としては、前記弾性部材の素材空間に向かう面に設けられた溝を挙げることができる。弾性部材の素材空間に向かう面に溝が設けられていると、気体導入排出手段により素材空間内が減圧になった場合に、膨満する弾性部材が突出部に接触しても、弾性部材における溝を通じて、素材の存在する部位の気体が気体導入排出手段により排気される。この状態のまま、圧力媒体収容空間内に圧力媒体を圧入することにより、素材を圧力伝達部材と突出部とで加圧しても、加圧成形時に加熱手段による加熱により発生する素材からのガスが、前記溝を通して気体導入排出手段により、排気される。したがって、加圧成形時に発生するガスが残留することにより発生するボイドのない積層体が製造される。
【００３５】
積層体を加圧成形するとき、圧力媒体収容空間内に圧入される圧力媒体の高圧力により、素材収容空間内に装着されている突出部が素材収容空間内から押し出される力を受けるのであるが、固定手段により蓋部材が固定された状態になっているので、素材収容空間から突出部が押し出され、これによって蓋部材が素材収容空間から脱出することが、防止される。また見方を変えると、この固定手段が存在するから、圧力媒体収容空間ない圧入された圧力媒体の圧力を伝達する圧力伝達部材と、固定手段で規制された蓋部材における突出部とで、素材が加圧成形され、積層体が製造されるのである。
【００３６】
加熱手段により素材空間内に配置された素材が加熱され、また圧力媒体収容空間内に圧入される圧力媒体による加圧力および固定手段により固定された蓋部材による加圧力によって、素材が加熱加圧されて加圧成形体が形成される。
【００３７】
素材収容空間内にスペーサを設ける場合、このスペーサは圧力伝達手段の素材収容空間に向かう面に配置され、換言すると、素材収容空間内において、圧力伝達手段と蓋部材の突出部とに挟まれた状態で配置されるので、加圧成形時に、圧力伝達手段における弾性部材全体の膨満を有効に防止し、しかも素材の加圧を効率的に行うことができるようになる。
【００３８】
この発明においては、通気確保手段として、このスペーサの蓋部材における突出部に向かう面に設けられた溝で、構成することができる。
【００３９】
スペーサの表面に溝を設けておくと、蓋部材を素材収容空間内に装着するとき、および素材を加圧成形するときに、気体導入排出手段で、素材収容空間内を高減圧にしても、素材収容空間内の排気状態を有効に確保することができる。
【００４０】
また、通気確保手段として、このスペーサの蓋部材における突出部に向かう面に配置された網部材で構成することもできる。
【００４１】
網部材においても前記溝と同様の作用効果を奏することができる。
【００４２】
【実施例】
以下にこの発明の一実施例を図面を用いて説明する。この発明は以下の実施例に限定されず。この発明の要旨の範囲内で適宜に設計変更をすることができることは言うまでもない。
【００４３】
（実施例１）
図１に示すように、加圧成形体製造装置は、圧力容器本体１と、蓋部材２と、弾性部材３と、スペーサ４と、固定手段であるヨーク５とを有する。
【００４４】
圧力容器本体１の外径は、その高さに比してはるかに大きく、全体として円盤状である。もっとも、この圧力容器本体１は円盤状である必要は特になく、設計上四角盤状であっても良い。
【００４５】
圧力容器本体１は、第１本体６を第２本体７の上に重ね合わせて構成され、内部に凹陥部を有する。
【００４６】
図２に示すように、第１本体６は内部に円盤状空間８を備え、上端および下端に開口部を有する。
【００４７】
図２に示すように、第２本体７は、第１本体６を積み重ねることができるように形成され、しかも前記第１本体６の円盤状空間８と同じ直径を有する開口部を備えた凹部９を有する。この第２本体７に第１本体６を積み重ねたときに第１本体６の下端面に接触する第２本体７の上端面には、図２に示すように、凹部９側に向かって傾斜し、凹部９を囲繞するように環状に形成された環状テーパ面１０と、その環状テーパ面１０の下端から水平に前記凹部９に連続するように環状に形成された環状水平面１１とが設けられている。この第２本体７の上端に第１本体６の下端を乗せるように第２本体７に第１本体６を積み重ねると、図２に示すように、その縦断面において、第１本体６の下端面とその下端面に対して平行になっている環状水平面１１、および環状テーパ面１０とで間隙が形成される。第１本体６の下端面と第２本体７の上端に形成された前記環状テーパ面１０とで、縦断面がくさび型になったバックアップリング装着部１２が形成され、第１本体６の下端面と第２本体７の上端に形成された前記環状水平面１１とでシール部材装着部１３が形成される。
【００４８】
前記バックアップリング装着部１２には断面くさび型のバックアップリング１４が装着される。このくさび型のバックアップリング１４は、加圧成形時に塑性変形可能な、あるいは弾性変形可能な材質で形成されていれば特にその材質に制限があるわけではない。断面くさび型のバックアップリング１４の材質として、各種の熱可塑性樹脂、各種の金属、各種のゴムなどを挙げることができる。そして、加圧力に応じてその適正な材質が適宜に選択される。この実施例においては金属製のバックアップリングが使用される。
【００４９】
前記シール部材装着部１３には弾性部材１５Ａの周縁部が装着される。シール部材１５としては、弾性および耐圧性を有し、加圧媒体による圧力を伝達可能な材質であれば特に制限がないのであるが、通常はゴム製である。
【００５０】
このシール部材１５は、その平面形状が円形であり、その周縁部が裏側に折り返されてなる。そしてそのシール部材１５の折り返し部分に、円盤状の支持部材１６の縁が装着されることにより、シール部材１５と支持部材１６とが一体になっている。この支持部材１６は、多数の開口部１７を有する。この支持部材１６は、シール部材１５を圧力容器本体１内の凹陥部に張設したときにその中央部が下方に垂れ下がり、あるいは下方に湾曲するのを防止し、圧力媒体収容空間１８に圧入された圧力媒体１９の圧力を前記開口部１７を介してシール部材１５に伝達するために設けられる。
【００５１】
支持部材１６を一体に有するこのシール部材１５はその周縁部を前記シール部材装着部１３に装着することにより、圧力容器本体１内に張設される。
【００５２】
このシール部材１５の上面には、更に弾性部材１５Ａが載置される。この弾性部材１５Ａは、弾性および耐圧性を有し、加圧媒体の圧力を伝達することのできる限りその材質に特に制限がなく、例えばゴムで形成することができる。
【００５３】
弾性部材１５Ａは、図３および図４にも示すように、円盤状をなし、その上面に、すなわち後述する突出部２８に向かう面に、この円盤状の弾性部材１５Ａの中心点から放射状に配列された溝１５Ｂを有する。この溝１５Ｂは、円盤状の弾性部材１５Ａの周縁部からの所定の長さＬを有する。換言すると、この弾性部材１５Ａの上面に、加圧成形する素材である積層シート２４を載置する領域以外の領域に形成されるように前記長さＬが決定されている。
【００５４】
なお、この発明においては、前記支持部材１６、シール部材１５および弾性部材１５Ａにより圧力伝達手段が形成されているが、場合によっては、前記弾性部材１５Ａを省略して、前記支持部材１６およびシール部材１５とで圧力伝達手段が形成されることもある。この場合、前記シール部材１５がこの発明における圧力伝達手段における弾性部材となる。
【００５５】
圧力伝達手段である支持部材１６、シール部材１５および弾性部材１５Ａを設けることにより、第１本体６と第２本体７とで形成される圧力容器本体１における凹陥部が二分され、第２本体７の凹部９と弾性部材１５Ａとで圧力媒体収容空間１８が形成され、第１本体６の円盤状空間８と弾性部材１５Ａとで素材収容空間２０が形成される。
【００５６】
図１に示すように、この圧力容器本体１には、第２本体７の凹部９の底面において開口する圧力媒体導入排出路２１が設けられる。
【００５７】
更に詳述すると、図１および図３に示すように、圧力容器本体１を構成する第２本体７には、その底面に開口する第１開口部２２と第２本体７の外周面に開口する第２開口部２３とを連絡する圧力媒体導入排出路２１と、図５に示すように、圧力容器本体１の外部に設置された、たとえば圧力媒体貯留槽２１Ａと、圧力媒体貯留槽２１Ａから第２開口部２３へ圧力媒体を導入する配管Ｐ、およびこの配管Ｐの途中に設けられ、圧力媒体１９を前記圧力媒体導入排出路２１に圧送し、および強制排出する第１ポンプ２１Ｂと、前記配管Ｐの途中で分岐し、前記圧力媒体貯留槽２１Ａに連絡する第２配管Ｐ２  と、この第２配管Ｐ２  の途中に設けられたバルブＶと第２ポンプ２１Ｃとを備えた圧力媒体供給手段２１Ｅにより、圧力媒体収容空間１８内に圧力媒体１９が圧入されるようになっている。
【００５８】
この実施例においては、素材収容空間２０にはスペーサが配置されていない。
【００５９】
蓋部材２は、図１および図６に示すように、蓋部材本体２９と突出部２８とを有する。
【００６０】
蓋部材本体２９は、平面が円盤状である。蓋部材本体２９の上面における所定周縁部で、蓋部材本体２９は支持体３０に結合される。この支持体３０は、更に垂直に立設する支持棒体３１に、ベアリング３２を介して回動可能に保持される。この支持棒体３１は、これを支持する基礎部材３３に立設する。この基礎部材３３は、シリンダー３４に装着されたプランジャー３５に結合され、プランジャー３５の垂直昇降により上下動可能になっている。また、この基礎部材３３は、垂直に立設するレール（以下において垂直レール３６と称する。）に跨座するガイド３７を有する。
【００６１】
このような構造により、前記プランジャー３５が上昇あるいは下降すると、ガイド３７に案内されて基礎部材３３が昇降し、基礎部材３３の昇降により蓋部材本体２９が昇降するようになっている。蓋部材本体２９は、手動操作により、水平面内で支持棒体３１を中心にして回動することができるようにもなっている。なお、この蓋部材本体２９は手動により水平面内で回動することができるのであるが、モータなどの駆動手段を設けることにより、自動的かつ電動的に回動させることができるようにしても良い。
【００６２】
蓋部材本体２９の上面は平らに形成されている。蓋部材本体２９の上面が平らであると、後述するヨーク５で蓋部材２を固定するのに都合が良い。
【００６３】
突出部２８は、蓋部材本体２９の下面に設けられ、円盤状をなす。突出部２８の直径、厚み等の寸法は、突出部２８を圧力容器本体１の凹陥部に挿入したときに、突出部２８の下面、凹陥部の内周面と弾性部材１５Ａおよびシール部材１５とにより形成される素材収容空間２０が、突出部２８の外周面に設けられたＯリング３８と相俟って気密構造になるように、しかも、突出部２８の下面が、シール部材１５上に配置された積層シート２４の上面に接するように、他の部材の寸法等を考慮して、適宜に設計される。なお、この突出部２８を素材収容空間２０に挿入した場合、この突出部２８の外周面と第１本体６における内周面とでは極めてわずかのクリアランス（加工精度によってはミクロンオーダのクリアランス）が生じている。
【００６４】
この実施例においては、図１および図３に示すように、突出部２８の外周面にＯリング３８が装着されていて、突出部２８を圧力容器本体１の凹陥部に挿入したときにおける、突出部２８の下面、凹陥部の内周面およびシール部材１５により形成される素材収容空間２０の気密性が確保されている。
【００６５】
図１および図３に示すように、突出部２８には、第１本体６の内周面に向かうように突出部２８の周面において開口する第３開口部３９と蓋部材本体２９の外周面に開口する第４開口部４０とを連絡する気体導入排出路４１が設けられ、この気体導入排出路４１には、前記第４開口部４０に接続された配管Ｐ１  、その配管Ｐ１  の一端に接続されたところの、気体を送り出し、また気体を排出することのできるポンプ（図示せず。）を備えた気体供給排出装置（図示せず。）が結合されている。この実施例では、気体導入排出手段が、気体供給排出装置および気体導入排出路４１を有して形成される。
【００６６】
前記第３開口部３９は、突出部２８が素材収容空間２０内に挿入されたときに、素材収容空間２０内に装着したスペーサ４における環状溝２６に臨むように開設される。
【００６７】
図１および図７に示すように、前記ヨーク５は、垂直に立設された一対の垂直部４２と、その垂直部４２の上部および下部で水平に架け渡すように平行に設けられた上部水平部４３および下部水平部４４とを有し、これら一対の垂直部４２、上部水平部４３および下部水平部４４は一体になっている。この上部水平部４３および下部水平部４４と一対の垂直部４２で形成される開口部（以下においてこの開口部を作用開口部４５と称する。）は、蓋部材２を装着した圧力容器本体１を収容するに必要な大きさを有する。換言すると、蓋部材２を装着した圧力容器本体１をこの作用開口部４５内に収容した場合に、上部水平部４３の下面が蓋部材２の上面よりわずかのクリアランスをもって高い位置にあり、下部水平部４４の上面が圧力容器本体１の下面に位置し、一対の垂直部４２の相互の間隔が前記圧力容器本体１の直径よりも十分に大きな長さになるように設計される。なお、圧力容器本体１は、適宜の手段例えばフレーム（図示せず。）などによって支持される。
【００６８】
このヨーク５は、図７に示すように、たとえば水平に配置された一対のレール（以下において水平レール４６と称する。）上を跨座して摺動するガイド４７を備えることなどによって水平移動自在に構成される。そして、圧力容器本体１の素材収容空間２０内に積層シート２４を配置するときには、圧力容器本体１から蓋部材２を取り外す必要から、この圧力容器本体１から退避した位置にヨーク５が待機し、加圧成形をするときにはこのヨーク５の作用開口部４５に、蓋部材２を装着した圧力容器本体１を収容するようにヨーク５が移動する。このヨーク５の駆動源としては、特に制限がないのであるが、この実施例においては、シリンダー４８が使用される。このヨーク５の駆動源として、電動モータを使用しても差し支えない。
【００６９】
このヨーク５には、加熱手段が設けられる。加熱手段としては、圧力容器本体１内に収容された積層シート２４を加圧操作する間に、この積層シート２４を加熱することができるように構成される限り、その構造には特に制限がない。この実施例においては、ヨーク５における一対の垂直部４２、上部水平部４３および下部水平部４４に電熱ヒータ（図示せず。）を設けることにより加熱手段が構成される。
【００７０】
なお、図７において、４９は装置全体を支持し、固定するための基礎フレームであり、５０は装置全体の動作を制御し、また動作制御を支持するため操作ボックスである。
【００７１】
以上構成の加圧成形体製造装置を用いた積層体の製造について以下に説明する。
【００７２】
まず、初期状態としてヨーク５は圧力容器本体１から退避した位置に待機している。
【００７３】
図７に示すように、圧力容器本体１の上面から蓋部材２を取り外しておくことにより、圧力容器本体１の凹陥部を開口し、露出させておく。次いで、圧力容器本体１の素材収容空間２０におけるシール部材１５上に弾性部材１５Ａ上に安置する。このとき、シール部材１５は、円盤状の支持部材１６と一体になっているので、シール部材１５上に弾性部材１５Ａを安置しても、シール部材１５が下方に下がることもなく、確固としてシール部材１５上に安置される。次いで、弾性部材１５Ａ上に積層シート２４を挿入する。
【００７４】
ここで、積層シート２４は、表面に導電性層を設けたセラミック製のグリーンシートを所定枚数重ねてなり、多くの場合、複数枚のグリーンシートを圧着するなどして、各グリーンシートが分離しないように処理されている。もっとも、複数のグリーンシートを分離しないように仮圧着をせずに、それぞれ分離して存在するグリーンシートを一枚一枚弾性部材１５Ａ上に配置しても良い。
【００７５】
このグリーンシートは、通常、セラミックスとバインダーとを有する坏土を所定の厚みに成形してから所定の大きさに切り出すなどして得られた所定形状の（多くの場合は、方形あるいは長方形である。）セラミックスシートの表面に、導電性塗料などで導電性層を形成してなる。
【００７６】
また別の態様としての積層シート２４として、セラミックス製の薄いシートを積み重ね、必要に応じて軽く押圧することによりシート相互を接着させてなり、あるいは必要に応じて軽く焼成することによりシート相互を結着させてなり、あるいはシートの形成に使用されたバインダーによってシート相互が軽く接着されてなる積層物を挙げることができる。
【００７７】
スペーサ４の開口部２５内に積層シート２４を収容した後に、蓋部材２を回動して蓋部材２を圧力容器本体１の上方に位置させる。
【００７８】
シリンダーを駆動することによりプランジャー３５を下降させ、これによって蓋部材２を下降させる。このとき、気体供給排出手段を駆動することにより、気体導入排出路４１を通じて、気体を吸引排気する。突出部２８材の下端部が圧力容器本体１の凹陥部に嵌め込まれると、突出部２８の下端面、第１本体６の内周面および弾性部材１５Ａで形成される素材収容空間２０内の気体が、気体導入排出路４１を通じて排気される。素材収容空間２０内の気体が排気されると、素材収容空間２０内が減圧になるので、蓋部材２が大気圧に押圧されて、直ちに突出部２８が圧力容器本体１の凹陥部内に引き込まれ、突出部２８の凹陥部内への装着が直ちに完了する。
【００７９】
またこのとき、素材収容空間８内が減圧になることにより弾性部材１５Ａが、突出部２８に向かって膨満し、場合によっては弾性部材１５Ａの上表面が突出部２８の下面に接着することすらある。その場合、弾性部材１５Ａの上面には溝１５Ｂが形成されているから、例えば弾性部材１５Ａの上表面が突出部２８の下面に接着することがあっても、この溝１５Ｂを通じて素材収容空間８内全体にわたって気体が円滑に支障なく排気される。
【００８０】
さらに、気体導入排出路４１の第３開口部３９が突出部２８の外周面に開口しているので、膨満する弾性部材１５Ａが突出部２８の下面に接着することがあったとしても、素材収容空間内を有効に排気することができる。換言すると、第３開口部３８が突出部２８の下面に開口しているとすれば、膨満する弾性部材１５Ａが第３開口部３８を閉塞したであろう不都合が、突出部３８の周面に第３開口部３９を開口することにより解消される。
【００８１】
突出部２８の凹陥部内への装着が完了した後においても、気体導入排出路４１を通じて素材収容空間２０内の気体を排気し続ける。
【００８２】
気体を排気し続ける場合、前述したように、弾性部材１５Ａの上表面が突出部２８の下面に接着していたとしても、弾性部材１５Ａの上面に形成してなる溝１５Ｂにより、素材収容空間８内の気体が円滑に排気される。
【００８３】
次に、ヨーク５を移動させて、ヨーク５の作用開口部４５に、蓋部材２を装着した圧力容器本体１を配置する。この配置状態では、ヨーク５における上部水平部４３の下面が蓋部材２の上面に殆ど接する位に近接した状態にあり、またヨーク５の下部水平部４４の上面は圧力容器本体１の下面に殆ど接する位に近接した状態にある。
【００８４】
この状態で次のようにして、積層シート２４の加圧成形を行う。
【００８５】
圧力媒体供給手段により圧力媒体導入排出路２１を介して圧力媒体収容空間１８内に圧力媒体１９を圧入する。圧力媒体収容空間１８内の圧力が所定圧力に到達すると、圧力媒体供給手段による圧力媒体収容空間１８内への圧力媒体１９の圧入を停止する。圧力媒体１９の所定圧力は、支持部材１６における開口部１７を通して弾性部材１５Ａに印加される。圧力媒体１９の所定圧力は、弾性部材１５Ａ及び積層シート２４を介して蓋部材２を押し上げるように作用するが、蓋部材２は、ヨーク５に規制されているので上昇することができない。したがって、圧力媒体１９の所定圧力により、積層シート２４は、弾性部材１５Ａと蓋部材２、特に突出部２８の下端面とで加圧されることになる。この加圧中において、前述したように、加熱されたヨーク５の熱が、蓋部材２及び圧力容器本体１に伝導し、これによって積層シート２４が加熱される。
【００８６】
積層シート２４の加熱により、積層シート２４中からガスが発生することがある。前述したように、気体供給排出装置により素材収容空間２０内の気体を排気しているので、発生したガスは、弾性部材１５Ａの上表面に形成された溝１５Ｂおよび気体導入排出路４１を通じて系外に排出される。したがって、加熱加圧中に積層シート２４内で発生するガスが残留することによりボイドや亀裂などを有する積層体の不良品発生が防止される。
【００８７】
このような加圧加熱処理をすることにより、積層シート２４が一体に圧着して積層体が形成される。
【００８８】
所定時間の加圧加熱処理が終了すると、シリンダー４８を再び駆動することにより、ヨーク５を退避させる。ヨーク５の退避により蓋部材２の上面の規制がなくなる。
【００８９】
次いで、圧力媒体供給装置を駆動することにより、圧力媒体導入排出路２１を通じて圧力媒体収容空間１８内に圧入されている圧力媒体１９を、圧力媒体収容空間１８内の圧力が常圧に戻るまで、排出する。この圧力媒体１９の排出と共に、あるいは圧力媒体収容空間１８内の圧力が常圧に戻ってから、気体供給排出装置を駆動することにより、素材収容空間２０内に気体を圧入する。詳述すると、気体供給排出装置により供給される気体が、気体導入排出路４１、環状溝２６および直線溝２７を通じて、積層体の収容されている空間に導入される。
【００９０】
この気体の導入により、素材収容空間２０側に膨満していた弾性部材１５Ａが支持部材１６側に押し戻され、もとの平坦な上平面を有するように、元に戻る。
【００９１】
また、シリンダー３４を駆動することにより蓋部材２を上方に持ち上げるようにすると、素材収容空間２０内が気体により加圧状態になっているので、極めて簡単に突出部２８が凹陥部内から抜け出て、蓋部材２の脱着が短時間の内に完了する。この突出部２８が凹陥部内から抜け出る際に、凹陥部内には気体が圧入されているので、突出部２８が抜け出るときに弾性部材１５Ａが凹陥部側に引っ張られることもないので、弾性部材１５Ａの亀裂を生じることもない。
【００９２】
蓋部材２を取り外すと、スペーサ４および積層体が露出するので、これらを取り出す。
【００９３】
スペーサ４および積層体を凹陥部内から取り出した状態においては、弾性部材１５Ａの凹陥部側平面が膨れ上がっていず、平らな平面状態になっており、また亀裂等の損傷もないので、直ちに次の積層体の製造工程が開始される。
【００９４】
以上に説明したように、上記実施例の加圧成形体製造装置には、（１）  蓋部材を圧力容器本体に装着するのが容易であり、短時間の内に（瞬時と言っても良い。）突出部を凹陥部内に挿入することができ、（２）  突出部を凹陥部内に挿入する際、片持ちの蓋部材によりわずかに蓋部材が傾斜していても、凹陥部の内周面を傷つけることがなく、（３）  弾性部材の上表面に溝を設けているので、素材収容空間内を減圧にすることにより弾性部材が膨満して弾性部材の上表面が蓋部材における突出部の下面に接着するようなことがあったとしても、素材を収容した空間を有効に所定の減圧度にすることができ、（４）  加圧成形の際に加熱により発生するガスが、弾性部材に設けた溝を通じて除去されるので、ボイドや気泡のない積層体を製造することができ、（５）  加圧操作の後に蓋部材を容易に脱着することができ、（６）  蓋部材における突出部を凹陥部から引き抜くときに、弾性部材を引っ張ることにより弾性部材を破損すると言う不都合がなく、（７）  加圧操作の終了後には、弾性部材の加圧操作による膨れが解消しているので、弾性部材を交換することなく次の積層シートの加圧成形操作を開始することができ、したがって、多数の積層シートを次々に加圧処理をして多数の積層体を迅速に製造することができるなどの数々の優れたメリットがある。
【００９５】
（実施例２）
この実施例に係る加圧成形体製造装置は、前記実施例１に係る装置とは異なり、蓋部材が下方に、圧力容器本体が上方に位置する態様を有する。
【００９６】
図８に示すように、加圧成形体製造装置は、圧力容器本体１と、蓋部材２と、弾性部材３と、固定手段であるヨーク５とを有する。
【００９７】
圧力容器本体１の形状は前記実施例１に係る加圧成形体製造装置における圧力容器本体１と同様である。ただし、この実施例においては、圧力容器本体における凹陥部の開口部は下方に向かって開口していることが前記実施例１におけるのと大きく異なる。この圧力容器本体１は、前記実施例１におけるのと同様の第１本体６に第２本体７が積み重ねられた構成となっている。
【００９８】
第１本体６および第２本体７の構成は、前記実施例１におけるのと同様である。また、第２本体７に設けられた環状テーパ面および環状水平面、ならびにバックアップリング装着部および弾性部材装着部についても前記実施例１におけるのと同様である。前記バックアップリング装着部に設けられる断面くさび型のリングについても前記実施例１におけるのと同様である。
【００９９】
ただし、この実施例２における圧力伝達手段も、前記実施例１におけるのと同様に、支持部材、シール部材および弾性部材にて構成される。その構成は、前記実施例１におけるのと同様である。もっとも、シール部材の端縁部に形成されたシール部材装着部に支持部材の端縁部が装着されることにより、シール部材が支持部材の下面に張りつけられ、シール部材の下面に弾性部材が装着されている。これを更に簡単に言うと、前記実施例１における圧力伝達手段は、支持部材の上面にシール部材が張設され、シール部材の上面に弾性部材が設けられてなる構造を有するが、実施例２における圧力伝達手段は、支持部材の下面にシール部材が張設され、シール部材の下面に弾性部材が設けられてなる構造を有するのである。また、前記実施例１においては、通気確保手段である溝が弾性部材の上表面に形成されているが、この実施例２においては、弾性部材の下表面に溝が形成されている。
【０１００】
なお、図８においては圧力伝達手段を具体的に描いていないけれど、図２および図３を参照することにより、容易にその構造を理解することができる。
【０１０１】
前記弾性部材の材質等に関しては、前記実施例１におけるのと同様である。
【０１０２】
この弾性部材が圧力容器本体内の凹陥部内に張設されることにより、第１本体６と第２本体７とで形成される圧力容器本体１における凹陥部が二分され、第２本体７の凹部９と弾性部材１５Ａとで圧力媒体収容空間１８が形成され、第１本体６の円盤状空間８と弾性部材１５Ａとで素材収容空間２０が形成される。
【０１０３】
蓋部材２は、図８および図９に示すように、蓋部材本体２９と突出部２８とを有し、蓋部材本体２９の上面に突出部２８が突出形成されていることが、前記実施例１における蓋部材と相違する。
【０１０４】
その余の点に関し、この蓋部材２は前記実施例１におけるのと同様である。
【０１０５】
ヨーク５は、前記実施例１におけるのと同様の構成を有する。
【０１０６】
簡単かつ大まかに言うと、この実施例２に係る加圧成形体製造装置が実施例１に係る加圧成形体製造装置と大きく異なるところは、蓋部材が、蓋部材本体とその上面に突出形成された突出部とを備え、圧力容器本体が、その凹陥部の開口部が下に向けて開口するように設置固定されてなことである。
【０１０７】
図８、９および図１０において、前記実施例１における各部と同様の部材については前記実施例１におけるのと同じ番号を付してある。
【０１０８】
以上構成の加圧成形体製造装置の作用を以下に説明する。
【０１０９】
まず、初期状態としてヨーク５は圧力容器本体１から退避した位置に待機している。
【０１１０】
圧力容器本体１の下面から蓋部材２を取り外しておき、蓋部材２を圧力容器本体１の下方から退避した位置に回動しておくことにより、圧力容器本体１の凹陥部を開口し、露出させておく。次いで、突出部２８の上面に積層シート２４を安置する。この突出部２８の上面に積層シート２４を安置する操作は、前記実施例１における積層シート２４の安置操作に比べて非常に容易である。窪んだ場所に複数枚の積層シート２４を揃えてこれらを安置する場合と、平らなオープンの状態になった所に複数枚の積層シート２４を安置する場合とを想起するとその理由を容易に理解することができる。
【０１１１】
突出部２８を水平に回動して、圧力容器本体１の真下に位置させる。
【０１１２】
シリンダーを駆動することによりプランジャー３５を上昇させ、これによって蓋部材２を上昇させる。このとき、気体供給排出手段を駆動することにより、気体導入排出路４１を通じて、気体を吸引排気する。突出部２８の下端部が圧力容器本体１の凹陥部に嵌め込まれると、突出部２８の下端面、第１本体６の内周面および弾性部材１５Ａで形成される素材収容空間２０内の気体が、気体導入排出路４１を通じて排気される。素材収容空間２０内の気体が排気されると、素材収容空間２０内が減圧になるので、蓋部材２が大気圧に押圧されて、直ちに突出部２８が圧力容器本体１の凹陥部内に引き込まれ、突出部２８の凹陥部内への装着が直ちに完了する。
【０１１３】
突出部２８が凹陥部内に挿入された状態においては、突出部２８と、第１本体６の内周面と、弾性部材１５Ａを有する圧力伝達手段とで形成される空間が減圧になっているので、図１０に示すように、膨満した弾性部材１５Ａの下面が突出部２８の上面に接着することがある。弾性部材１５Ａの下面が突出部２８の上面に接着したとしても、弾性部材１５Ａの下面に溝が形成されているので、この溝を通じて素材収容空間内の気体が有効に排気される。
【０１１４】
また、第３開口部３８が突出部２８の周側面に開口しているので、前記弾性部材１５Ａの下面が突出部３８の上面に接着するとしても、素材収容空間内の排気になんらの支障も生じない。
【０１１５】
突出部２８の凹陥部内への装着が完了した後においても、気体導入排出路４１を通じて素材収容空間２０内の気体を排気し続ける。このとき、弾性部材１５Ａの下面に溝が設けられているので、素材収容空間２０内の排気を支障なく継続することができる。
【０１１６】
ヨーク５を移動させて、ヨーク５の作用開口部４５に、蓋部材２を装着した圧力容器本体１を配置する。この配置状態では、ヨーク５における下部水平部４４の上面が蓋部材２の下面に殆ど接する位に近接した状態にあり、またヨーク５の上部水平部４３の下面は圧力容器本体１の上面に殆ど接する位に近接した状態にある。
【０１１７】
この状態で次のようにして、積層シート２４の加圧成形を行う。
【０１１８】
圧力媒体供給手段により圧力媒体導入排出路２１を介して圧力媒体収容空間１８内に圧力媒体１９を圧入する。圧力媒体収容空間１８内の圧力が所定圧力に到達すると、圧力媒体供給手段による圧力媒体収容空間１８内への圧力媒体１９の圧入を停止する。圧力媒体１９の所定圧力は、弾性部材１５Ａに印加される。図１０に示すように、スペーサの存在しない部位では、弾性部材１５Ａは圧力媒体１９により突出部２８に向かって膨張し、突出部２８と密着する。圧力媒体１９の所定圧力は、弾性部材１５Ａ及び積層シート２４を介して蓋部材２を押し下げるように作用するが、蓋部材２は、ヨーク５に規制されているので下降することができない。したがって、圧力媒体１９の所定圧力により、積層シート２４は、弾性部材１５Ａと蓋部材２、特に突出部２８の上面とで加圧されることになる。この加圧中において、前述したように、加熱されたヨーク５の熱が、蓋部材２及び圧力容器本体１に伝導し、これによって積層シート２４が加熱される。
【０１１９】
積層シート２４の加熱により、積層シート２４中からガスが発生することがある。前述したように、気体供給排出装置により素材収容空間２０内の気体を排気しているので、また、弾性部材１５Ａの下面に溝を形成しているので、発生したガスは、溝１５Ｂおよび気体導入排出路４１を通じて系外に排出される。したがって、加熱加圧中に積層シート２４内で発生するガスが残留することによりボイドや亀裂などを有する積層体の不良品発生が防止される。
【０１２０】
このような加圧加熱処理をすることにより、積層シート２４が一体に圧着して積層体が形成される。
【０１２１】
所定時間の加圧加熱処理が終了すると、シリンダー４８を再び駆動することにより、ヨーク５を退避させる。ヨーク５の退避により蓋部材２の上面の規制がなくなる。
【０１２２】
次いで、圧力媒体供給装置を駆動することにより、圧力媒体導入排出路２１を通じて圧力媒体収容空間１８内に圧入されている圧力媒体１９を、圧力媒体収容空間１８内の圧力が常圧に戻るまで、排出する。圧力媒体収容空間１８内の圧力が常圧に戻ってから、好ましくはこの圧力媒体１９の排出と共に、気体供給排出装置を駆動することにより、素材収容空間２０内に気体を圧入する。詳述すると、気体供給排出装置により供給される気体が、気体導入排出路４１および溝１５Ａを通じて、積層体の収容されているスペーサ４の開口部２５内に導入される。
【０１２３】
この気体の導入により、弾性部材１５Ａにおける突出部２８の上面に密着していた部分が支持部材１６側に押し戻され、もとの平坦な状態になり、元に戻る。
【０１２４】
また、シリンダー３４を駆動することにより蓋部材２を下方に下げるようにすると、素材収容空間２０内が気体により加圧状態になっているので、極めて簡単に突出部２８が凹陥部内から抜け出て、蓋部材２の脱着が短時間の内に完了する。この突出部２８が凹陥部内から抜け出る際に、凹陥部内には気体が圧入されているので、突出部２８が抜け出るときに弾性部材１５Ａが素材収容空間２０側に引っ張られることもないので、弾性部材１５Ａの亀裂を生じることもない。
【０１２５】
蓋部材２を下降させて圧力容器本体１から取り外すと、積層体が露出するので、これらを取り出す。
【０１２６】
積層体を凹陥部内から取り出した状態においては、弾性部材１５Ａの凹陥部側平面が膨れ上がっていず、平らな平面状態になっており、また亀裂等の損傷もないので、直ちに次の積層体の製造工程が開始される。
【０１２７】
以上に説明したように、この加圧成形体製造装置には、（１）  蓋部材を圧力容器本体に装着するのが容易であり、短時間の内に（瞬時と言っても良い。）突出部を凹陥部内に挿入することができ、（２）  突出部を凹陥部内に挿入する際、片持ちの蓋部材によりわずかに蓋部材が傾斜していても、凹陥部の内周面を傷つけることがなく、（３）  弾性部材の下面に溝を設けているので、素材収容空間内を減圧に排気する際、弾性部材の膨満により排気が阻害されることがなく、（４）  加圧成形の際に加熱により発生するガスが前記溝を通じて除去されるので、ボイドや気泡のない積層体を製造することができ、（５）  加圧操作の後に蓋部材を容易に脱着することができ、（６）  蓋部材における突出部を凹陥部から引き抜くときに、弾性部材を引っ張ることにより弾性部材を破損すると言う不都合がなく、（７）  加圧操作の終了後には、弾性部材の加圧操作による膨れが解消しているので、弾性部材を交換することなく次の積層シートの加圧成形操作を開始することができ、したがって、多数の積層シートを次々に加圧処理をして多数の積層体を迅速に製造することができ、（８）  蓋部材における突出部の上面に、被加圧処理物である積層シートを載置する方式を採用しているので、前記実施例１におけるような凹陥部内に積層シートを嵌め込む方式に比べて、操作が容易であり、例えば自動搬送装置により搬送されてきた積層シートを、自動ハンドリング装置により把持して突出部の上面に載置し、積層シートの加圧成形処理により得られた積層体を、突出部の上面から自動ハンドリング装置により他の搬送装置に移送するようにすると、全自動の積層体製造装置を組み上げることができる。つまり、突出部の上面に積層シートを載置して加圧成形処理をするこの実施例装置は、全自動化を容易に達成することができる。
【０１２８】
（実施例３）
この実施例は、スペーサを有する加圧成形体製造装置に関する。この実施例３に係る加圧成形体製造装置は、弾性部材１５Ａの突出部２８に向かう面に溝が形成されていないこと、突出部２８を素材収容空間内に挿入あるいは装着した場合に、弾性部材１５Ａの上面と突出部２８とに挟まれた空間内の、積層シート２４が占めていない領域に、スペーサ４が介装されていること、およびこのスペーサ４の突出部２８に向かう面に溝４Ａが設けられていることが、前記実施例１に係る加圧成形体製造装置の構成と異なるところである。
【０１２９】
このスペーサ４は図１１および図１２にも示すように、環状の板状体であり、その表面に断面Ｖ字形の溝４Ａを有する。そして、このスペーサ４は、積層シート２４の平面形状よりも大きな平面形状たとえば方形あるいは円形（この実施例では円形である。）の収容開口部４Ｂを備えてなる。このスペーサ４の材質としては硬質ゴムなどを挙げることができる。また、溝４Ａは、素材を収容する空間、換言すると収容開口部４Ｂから気体を有効に排除することのできる機能を有する限り、どのような断面形状を有していようが、スペーサ４の表面に何本形成されようがそれは問題にならない。例えばスペーサ４の表面に、内側から外側に向かって放射状に複数本の溝が形成されていても良く、また、溝４Ａの断面は、図１３に示すように方形であっても半円形であっても良い。
【０１３０】
このようにスペーサ４を設けておくと、前記実施例１におけるように、素材収容空間内を減圧にし、加圧成形時に加圧媒体収容空間内に加圧媒体を圧入することにより、弾性部材１５Ａが膨満し、膨満した弾性部材１５Ａが突出部２８の下面に接着する程の過度の変形を受けることが、防止される。スペーサ４を介装することにより、弾性部材１５Ａが過度の変形あるいは歪みを生じないので、弾性部材１５Ａの破損をそれだけ少なくすることができる。
【０１３１】
スペーサ４の上面には溝４Ａが設けられているので、素材収容空間内を減圧にすることにより、スペーサ４の上面と突出部２８の下面とが密着するとしても、溝４Ａを通じて、積層シート２４の存在する領域の気体を有効に排出することができる。これによって、加熱加圧成形時に、積層シート２４から発生するガスを有効に系外に排出することができ、ボイドや亀裂のない積層体を容易に製造することができる。
【０１３２】
（実施例４）
図１４に示すように、この実施例に係る加圧成形体製造装置は、積層シート２４の平面形状と実質的に同じ平面形状の収容空間４Ｂを有するスペーサ４を使用することの外は、前記実施例３に係る加圧成形体製造装置と、実質的に同じ構成を有する。
【０１３３】
この実施例装置においても、スペーサ４に溝４Ａを設けているので、前記実施例３におけるのとほぼ同様の作用効果が奏される。
【０１３４】
この実施例装置において特筆する作用効果は、弾性部材１５Ａと突出部２８とにより挟まれた空間全体が実質的に積層シート２４とスペーサ４とで占められているので、加圧成形時あるいは、非加圧成形時における減圧操作時に、弾性部材１５Ａの膨満が極力抑制されるから、弾性部材１５Ａの変形疲労による破損が極力少なくなる。換言すると、この実施例装置においては、弾性部材の破損が極めて少なく、弾性部材１５Ａを長持ちさせることができる。
【０１３５】
（実施例５）
図１５および図１６に示すように、この実施例に係る加圧成形体製造装置は、積層シート２４の平面形状と実質的に同じ平面形状の収容空間４Ｂを有するスペーサ４として、外側スペーサ４Ｃと内側スペーサ４Ｄとの二枚一組からなる。そして、内側スペーサ４Ｄは、積層シート２４の平面形状と実質的に同じ平面形状を有する収容空間４Ｂを有し、円形盤状体である。この内側スペーサ４Ｄの上面に複数の溝４ａが刻設されてなる。一方、外側スペーサ４Ｃは、前記内側スペーサ４Ｄの平面形状と実質的に同じ円形の開口部を有する環状盤体である。この外側スペーサ４Ｃにおいてもその上面に複数の溝４Ａが刻設されてなる。そして、この溝４ａおよび溝４Ａは、外側スペーサ４Ｃの開口部に内側スペーサ４Ｄを嵌め込んだときに、一連の溝となるように、設けられている。
【０１３６】
この二枚一組のスペーサ４の利点は、次のとおりである。収容空間４Ｂの異なる複数種の内側スペーサ４Ｄを多数用意しておくと、外側スペーサ４Ｃの開口部に適宜に選択した内側スペーサ４Ｄを取り替えるだけで、同じ加圧成形体製造装置を使用して大きさの異なる積層体を製造することができる。
【０１３７】
（実施例６）
この実施例が前記実施例５に係る加圧成形体製造装置と異なるところは、溝を備えた内側スペーサを使用する代わりに、溝を設けていない内側スペーサ４Ｆを使用し、その内側スペーサ４Ｆの、突出部２８に向かう面に網部材４Ｇ例えば金網を配置したことである。
【０１３８】
この網部材４ｇおよび外側スペーサ４Ｃにおける溝４Ａは通気確保手段を構成する。
【０１３９】
この網部材４ｇの利点は、溝を設けた内側スペーサと溝を設けた外側スペーサとを使用するときには、溝の位置合わせが必要であるが、網部材４Ｇを設けることによりそのような位置合わせが不溶になることである。
【０１４０】
（実施例７）
この実施例７に係る加圧成形体製造装置が前記実施例１における加圧成形体製造装置と異なるところは、実施例１における加圧成形体製造装置における圧力媒体供給手段２１Ｅが２基のポンプ２１Ｂ，２１Ｃを使用するに対し、この実施例７に係る加圧成形体製造装置における圧力媒体供給手段２１Ｆは１基のポンプを使用するという点である。
【０１４１】
この実施例７に係る加圧成形体製造装置における圧力媒体供給手段２１Ｆは、第２開口部２３に接続されて圧力媒体貯留槽２１Ａに至る配管Ｐの途中に第１ポンプ２１Ｂを介装し、その第１ポンプ２１Ｂと前記第２開口部２３との間の配管Ｐに第１バルブＶ１  を介装し、その第１ポンプ２１Ｂと圧力媒体貯留槽２１Ａとの間の配管に第２バルブＶ２  を介装し、第１バルブＶ１  と第２開口部２３との間の配管Ｐに、第３バルブＶ３  を介装する迂回管Ｐ３  の一端を接続し、その迂回管Ｐ３  の他端は、第１ポンプ２１Ｂと第２バルブＶ２  との間の配管Ｐに接続し、第１ポンプ２１Ｂと第１バルブＶ１  との間の配管Ｐには、先端を圧力媒体貯留槽２１Ａに引き込み、かつ途中に第４バルブＶ４  を介装する支管Ｐ４  を結合してなる。
【０１４２】
このような圧力媒体供給手段２１Ａにおいては、圧力媒体収容空間１８内に圧力媒体１９を圧入するときには、第１バルブＶ１  および第２バルブＶ２  を開放状態にし、その余のバルブＶ３  ，Ｖ４  を閉鎖状態にする。そして、第１ポンプ２１Ｂを駆動すると、配管Ｐを介して圧力媒体収容空間１８内に圧力媒体１９が圧入される。圧力媒体収容空間１８内に圧入されている圧力媒体１９を排出するには、第１バルブＶ１  および第２バルブＶ２  を閉鎖状態にし、その余のバルブＶ３  およびＶ４  を開放状態にする。そうすると、圧力媒体１９は迂回管Ｐ３  、第１ポンプ２１Ｂおよび支管Ｐ４  を通って圧力媒体貯留槽２１Ａに排出される。
【０１４３】
この実施例に示されるような圧力媒体供給手段を採用すると、ポンプの数を１基にすることができるので、装置構成の簡単化および装置の小型化を達成することができる。
【０１４４】
以上の実施例においては、素材として積層シートを取り上げて説明したが、この発明の加圧成形体製造装置は、粉体の成形にも適する。
【０１４５】
【発明の効果】
この発明に係る加圧成形体製造装置によると、（１）  蓋部材の圧力容器本体への装着あるいは脱着が容易であり、短時間の内に（瞬時と言っても良い。）突出部を凹陥部内に挿入し、あるいは挿入された突出部を取り出すことができ、（２）  突出部を凹陥部内に挿入する際、わずかに蓋部材が傾斜していても、凹陥部の内周面を傷つけることがなく、蓋部材の突出部を圧力容器本体の凹陥部内に挿入させることができ、逆に、凹陥部から突出部を引き抜くときにおいても凹陥部の内周面を傷付けることがなく、（３）  蓋装着の際あるいは加圧成形の際に素材収容空間内を支障なく減圧にし、あるいは減圧状態を支障なく維持することができ、（４）  加圧成形の際に発生するガスが除去されるので、ボイドや気泡のない積層体を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１はこの発明の一実施例である加圧成形体製造装置を示す概略断面説明図である。
【図２】図２はこの発明の一実施例である加圧成形体製造装置における第１本体と第２本体との重ね合わせ部分を示す部分断面説明図である。
【図３】図３は、弾性部材を装着した状態を示す一部断面説明図である。
【図４】図４は、上表面に溝を刻設してなる弾性部材の一部を示す斜視図である。
【図５】図５は、２基のポンプを採用してなる圧力媒体供給手段を示す説明図である。
【図６】図６は、この発明の一実施例である加圧成形体製造装置における蓋部材とこの蓋部材を支持し、上下動を可能にする機構とを合わせ示す概略正面図である。
【図７】図７は、この発明の一実施例である加圧成形体製造装置を示す概略平面図である。
【図８】図８は、この発明の他の実施例である加圧成形体製造装置を示す概略断面説明図である。
【図９】図９は、この発明の他の実施例である加圧成形体製造装置における蓋部材とこの蓋部材を支持し、上下動を可能にする機構とを合わせ示す概略正面図である。
【図１０】図１０は、この発明の他の実施例である加圧成形体製造装置の作用を示す概略断面説明図である。
【図１１】図１１は、この発明の他の実施例であり、溝を有するスペーサを使用した加圧成形体製造装置を示す断面説明図である。
【図１２】図１２は、溝を有するスペーサを示す一部斜視図である。
【図１３】図１３は、スペーサに設けられた溝の形態を示す断面説明図である。
【図１４】図１４は、この発明の他の実施例であり、他の形態のスペーサを使用した加圧成形体製造装置を示す断面説明図である。
【図１５】図１５は、溝を有する内側スペーサと外側スペーサとからなる２枚一組のスペーサを使用した加圧成形体製造装置を示す断面説明図である。
【図１６】図１６は、前記２枚一組のスペーサを示す斜視部分図である。
【図１７】図１７は、溝を有する外側スペーサと網部材を有する内側スペーサとからなるスペーサを示す斜視部分図である。
【図１８】図１８は、１基のポンプを採用してなる圧力媒体供給手段を示す説明図である。
【符号の説明】
１・・・圧力容器本体、２・・・蓋部材、３・・・弾性部材、４・・・スペーサ、５・・・ヨーク、６・・・第１本体、７・・・第２本体、８・・・円盤状空間、９・・・凹部、１０・・・環状テーパ面、１１・・・環状水平面、１２・・・リング状装着部、１３・・・弾性部材装着部、１４・・・くさび形のリング、１５・・・シール部材、１６・・・支持部材、１７・・・開口部、１８・・・圧力媒体収容空間、１９・・・圧力媒体、２０・・・素材収容空間、２１・・・圧力媒体導入排出路、２２・・・第１開口部、２３・・・第２開口部、Ｐ・・・配管、２４・・・積層シート、２５・・・方形開口部、２６・・・環状溝、２７・・・直線状溝、２８・・・突出部、２９・・・蓋部材本体、３０・・・支持体、３１・・・支持棒体、  ３２・・・ベアリング、３３・・・基礎部材、３４・・・シリンダー、３５・・・プランジャー、３６・・・垂直レール、３７・・・ガイド、３８・・・Ｏリング、３９・・・第３開口部、４０・・・第４開口部、４１・・・気体導入排出路、４２・・・垂直部、４３・・・上部水平部、４４・・・下部水平部、４５・・・作用開口部、４６・・・レール、４７・・・ガイド、４８・・・シリンダー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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