(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂部品を熱媒体を介して熱処理することにより、樹脂部品から成形による残留応力を除去する樹脂部品のアニール方法において、
前記熱媒体に液状熱媒体を用いて、加熱した液状熱媒体中に樹脂部品を浸漬することにより熱処理を行うと共に、
前記液状熱媒体に高沸点洗浄液を用いて樹脂部品の洗浄を同時に行うことを特徴とする樹脂部品のアニール方法。
【請求項２】
請求項１に記載の樹脂部品のアニール方法を行う装置であって、
液状熱媒体を貯留可能で、且つ、貯留された液状熱媒体に樹脂部品を浸漬可能な熱媒体貯槽と、該熱媒体貯槽内の液状熱媒体を加熱する熱媒体加熱装置とを備えたことを特徴とする樹脂部品のアニール装置。
【請求項３】
液状熱媒体に使われる高沸点洗浄液が、フッ素系洗浄液であることを特徴とする請求項２記載の樹脂部品のアニール装置。
【請求項４】
前記熱媒体貯槽と、熱媒体加熱装置とを、密閉可能なケーシング内に収容すると共に、該ケーシングに、熱媒体貯槽から出た熱媒体を回収可能な熱媒体回収機構を設けたことを特徴とする請求項２または３に記載の樹脂部品のアニール装置。
【請求項５】
前記熱媒体回収機構が、前記ケーシングの底面部に設けられた熱媒体受部と、該熱媒体受部に設けられた熱媒体回収口とを有することを特徴とする請求項４に記載の樹脂部品のアニール装置。
【請求項６】
前記熱媒体回収機構が、前記ケーシングの少なくとも上面部に設けられた熱媒体冷却装置であることを特徴とする請求項４または５のいずれか１項に記載の樹脂部品のアニール装置。
【請求項７】
前記熱媒体回収機構が、前記ケーシング内に設置されて、樹脂部品に付着した熱媒体を脱水可能な脱水装置であることを特徴とする請求項４ないし６のいずれか１項に記載の樹脂部品のアニール装置。
【請求項８】
前記熱媒体加熱装置を、前記ケーシング内の熱媒体から隔離可能な隔離室に収容すると共に、該隔離室に、熱媒体の隔離室への内部侵入を防止可能な熱媒体侵入防止機構を設けたことを特徴とする請求項４ないし７のいずれか１項に記載の樹脂部品のアニール装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、樹脂部品のアニール方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、樹脂部品を熱処理することにより、樹脂部品から成形による残留応力を除去する処理（いわゆるアニール処理）が行われている。
【０００３】
このようなアニール処理には、従来、恒温槽に樹脂部品を装入して、恒温槽内の加熱した空気によって樹脂部品を熱処理する気中アニールが知られている。
【０００４】
しかし、恒温槽を用いた気中アニールには、樹脂部品を昇温する熱媒体が気体（空気）であるため、樹脂部品の昇温工程が非効率的であり、処理時間が長くかかるという問題や、その分、電力料が高く付くという問題があった。また、恒温槽を用いた気中アニールは、通常、大型の恒温槽を用いた大ロット処理などとされているため、熱処理の前後の工程における在庫量が多くなるという問題があった。
【０００５】
そこで、上記したような問題の少ない、遠赤外線加熱機を用いた気中アニールなども行われている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
遠赤外線加熱機を用いた気中アニールは、要するに、樹脂部品をコンベアで移送しつつ、コンベア上の樹脂部品を遠赤外線ランプで加熱することによって熱処理を行わせるようにしたものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特公平７−１１９０６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、遠赤外線加熱機を用いた気中アニールには、主に、以下のような問題があった。即ち、遠赤外線加熱機を用いた気中アニールでは、上記したように、コンベアで樹脂部品を移送することが必須であり、且つ、コンベアに沿って多数の遠赤外線ランプを設置しなければならないため、装置構成が大規模化すると共に、設備費用が高くなる。また、遠赤外線ランプの熱が樹脂部品に対して均等に当るようにするためには、コンベアに対して樹脂部品を、互いに重ならないよう、平面的に配置する必要があり、処理能力が低くなる。そのため、遠赤外線加熱機は、成形装置ごとに設置する必要が生じ、多大な設備費用や設置スペースを要するという問題がある。
【０００９】
更に、恒温槽を用いた気中アニールや遠赤外線加熱機を用いた気中アニールは、単に、残留応力を除去する処理しか行うことができなかった。よって、例えば、残留応力の除去と同時に樹脂部品を洗浄するなどの、複数の処理を同時に行うことはできなかった。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、請求項１に記載された発明は、樹脂部品を熱媒体を介して熱処理することにより、樹脂部品から成形による残留応力を除去する樹脂部品のアニール方法において、前記熱媒体に液状熱媒体を用いて、加熱した液状熱媒体中に樹脂部品を浸漬することにより熱処理を行うと共に、前記液状熱媒体に高沸点洗浄液を用いて樹脂部品の洗浄を同時に行う樹脂部品のアニール方法を特徴としている。
【００１１】
請求項２に記載された発明は、請求項１に記載の樹脂部品のアニール方法を行う装置であって、液状熱媒体を貯留可能で、且つ、貯留された液状熱媒体に樹脂部品を浸漬可能な熱媒体貯槽と、該熱媒体貯槽内の液状熱媒体を加熱する熱媒体加熱装置とを備えた樹脂部品のアニール装置を特徴としている。
【００１２】
請求項３に記載された発明は、上記において、液状熱媒体に使われる高沸点洗浄液が、フッ素系洗浄液であることを特徴としている。
【００１３】
請求項４に記載された発明は、上記において、前記熱媒体貯槽と、熱媒体加熱装置とを、密閉可能なケーシング内に収容すると共に、該ケーシングに、熱媒体貯槽から出た熱媒体を回収可能な熱媒体回収機構を設けたこと特徴としている。
【００１４】
請求項５に記載された発明は、上記において、前記熱媒体回収機構が、前記ケーシングの底面部に設けられた熱媒体受部と、該熱媒体受部に設けられた熱媒体回収口とを有することを特徴としている。
【００１５】
請求項６に記載された発明は、上記において、前記熱媒体回収機構が、前記ケーシングの少なくとも上面部に設けられた熱媒体冷却装置であることを特徴としている。
【００１６】
請求項７に記載された発明は、上記において、前記熱媒体回収機構が、前記ケーシング内に設置されて、樹脂部品に付着した熱媒体を脱水可能な脱水装置であることを特徴としている。
【００１７】
請求項８に記載された発明は、上記において、前記熱媒体加熱装置を、前記ケーシング内の熱媒体から隔離可能な隔離室に収容すると共に、該隔離室に、熱媒体の隔離室への内部侵入を防止可能な熱媒体侵入防止機構を設けたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１の発明によれば、上記構成によって、以下のような作用効果を得ることができる。即ち、樹脂部品を熱媒体を介して熱処理することにより、樹脂部品から成形による残留応力を除去することができる。この際、熱媒体に空気よりも熱伝導度の高い液状熱媒体を用いて、液状熱媒体中に樹脂部品を浸漬することにより、樹脂部品を液状熱媒体で効率的に昇温して処理時間を短縮することができ、その分、電力料を削減することができる。また、樹脂部品を液状熱媒体中に浸漬することにより、樹脂部品を一度に大量に処理することができ、その分、処理前後の工程における在庫量を減らすことができる。しかも、遠赤外線加熱機を用いた気中アニールの場合と比べて、コンベアや多数の遠赤外線ランプなどの設備が不要であり、また、樹脂部品の重なりによる（部分的な）加熱不足や加熱ムラなどの問題もないので、アニール装置の構成も簡単（小規模）で且つ安価なものとすることができ、しかも、上記したように大量処理が可能なので、複数の成形装置で共用し得る装置構成を得ることができる。更に、液状熱媒体に高沸点洗浄液を用いることにより、残留応力の除去と同時に樹脂部品の洗浄を行うなどの複数の処理を同時に行うことができるようになるため、別工程で樹脂部品を洗浄処理する必要をなくすことができ、樹脂部品の製造工程の簡略化を図ることができる。
【００１９】
請求項２の発明によれば、上記構成によって、以下のような作用効果を得ることができる。即ち、熱媒体貯槽に貯留した液状熱媒体を、熱媒体加熱装置で加熱することにより、樹脂部品の熱処理に必要な高温環境を簡単に作り出すことができる。そして、加熱された液状熱媒体中に樹脂部品を浸漬することにより、上記請求項１と同様の作用効果が得られ、以て、樹脂部品の熱処理を効率的に行うことができる。
【００２０】
請求項３の発明によれば、上記構成によって、以下のような作用効果を得ることができる。即ち、液状熱媒体に使われる高沸点洗浄液が、フッ素系洗浄液であることにより、樹脂部品に対する残留応力の除去と洗浄とを同時に行うことを、具体的に実現することができる。
【００２１】
請求項４の発明によれば、上記構成によって、以下のような作用効果を得ることができる。即ち、熱媒体貯槽と、熱媒体加熱装置とを、密閉可能なケーシング内に収容することにより、ケーシング外部への熱媒体の流出や放出などを防止することができる。そして、ケーシングに熱媒体回収機構を設けることにより、熱媒体貯槽から出た熱媒体を確実に回収することができる。これらにより、熱媒体（高価な高沸点洗浄液など）の損失を低減することができる。また、熱媒体を回収して再使用することができるようになり、以て、洗浄能力の維持、継続を図ることができる。
【００２２】
請求項５の発明によれば、上記構成によって、以下のような作用効果を得ることができる。即ち、熱媒体回収機構が、ケーシングの底面部に設けられた熱媒体受部と、熱媒体受部に設けられた熱媒体回収口とを有することにより、熱媒体貯槽から出てケーシングの底面部の熱媒体受部に溜まった熱媒体を、熱媒体回収口から回収することができる。
【００２３】
請求項６の発明によれば、上記構成によって、以下のような作用効果を得ることができる。即ち、熱媒体回収機構が、ケーシングの少なくとも上面部に設けられた熱媒体冷却装置であることにより、熱媒体貯槽から蒸発、放出した熱媒体の蒸気を、熱媒体冷却装置により、ケーシングの少なくとも上面部で冷却、凝縮して、ケーシングの底面部へと滴下させるなどし、熱媒体を回収することが可能となる。これにより、熱媒体が蒸気となって放散され目減りしてしまうのを防止することができる。
【００２４】
請求項７の発明によれば、上記構成によって、以下のような作用効果を得ることができる。即ち、熱媒体貯槽で残留応力を除去された樹脂部品を脱水装置で脱水することにより、樹脂部品を乾燥させると共に、樹脂部品に付着した熱媒体を積極的に回収することが可能となる。これにより、熱媒体貯槽内の熱媒体が樹脂部品に同伴されて減少するのを防止することができる。
【００２５】
請求項８の発明によれば、上記構成によって、以下のような作用効果を得ることができる。即ち、熱媒体加熱装置を、ケーシング内の熱媒体から隔離可能な隔離室に収容すると共に、該隔離室に、熱媒体の隔離室への内部侵入を防止可能な熱媒体侵入防止機構を設けたことにより、熱媒体加熱装置に熱媒体が直接接触するのを防止することができ、以て、熱媒体が熱媒体加熱装置の熱によって変質または分解するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施例にかかる樹脂部品のアニール装置の構成図である。
【図２】図１のアニール装置の運転状況を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
本発明は、主に、構成を簡略化すると共に効率的に樹脂部品を熱処理し得るようにすることを目的としている。
【００２８】
以下、本発明を具体化した実施例について、図示例と共に説明する。
【実施例】
【００２９】
図１、図２は、この発明の実施例を示すものである。
【００３０】
＜構成＞まず、構成について説明する。
【００３１】
樹脂部品１を熱媒体２を介して熱処理することにより、樹脂部品１から成形による残留応力を除去する処理（いわゆるアニール処理）を行う。
【００３２】
（１）この実施例の樹脂部品１のアニール処理の方法（アニール方法）では、熱媒体２に液状熱媒体３を用いて、加熱した液状熱媒体３（高温熱媒液）中に樹脂部品１を浸漬することにより熱処理を行うようにする（液中アニール）。そして、特に、液状熱媒体３に高沸点洗浄液４を用いて樹脂部品１の洗浄を同時に行うようにする。
【００３３】
ここで、樹脂部品１には、主として、非結晶性樹脂が用いられる。非結晶性樹脂には、例えば、ＰＣ樹脂や、ＡＢＳ樹脂になどが含まれる。
【００３４】
上記した熱処理は、樹脂部品１を構成する樹脂材料のガラス転移温度より約２０℃低い温度（熱処理温度またはアニール温度）で行うようにする。ガラス転移温度とは、非結晶性樹脂が固体の状態から急速に剛性と粘度が低下して流動性が増す温度のことである。ガラス転移温度は、樹脂部品１を構成する樹脂ごとに異なる。例えば、上記したＰＣ樹脂や、ＡＢＳ樹脂の場合、ガラス転移温度は、共にほぼ１４５℃であり、熱処理温度またはアニール温度がほぼ１２５℃であることは、一般的に知られている。また、上記した熱処理の時間（熱処理時間またはアニール時間）は、上記したＰＣ樹脂や、ＡＢＳ樹脂の場合、３mm程度の厚さのものでは所定の温度（熱処理時間またはアニール時間）に達した後、ほぼ５分間であることは、一般的に知られている。
【００３５】
液状熱媒体３は、文字どおり、液体状の熱媒体２のことである。この場合、液状熱媒体３には、上記した熱処理温度で、液体として安定しているものが使用される。
【００３６】
高沸点洗浄液４とは、上記した熱処理温度よりも沸点が高い洗浄液のことである。なお、高沸点洗浄液４については、後述する。
【００３７】
（２）上記した（１）の樹脂部品１のアニール方法を行う装置（アニール装置１１）は、内部に液状熱媒体３（特に、高沸点洗浄液４。以下同様）を貯留可能で、且つ、貯留された液状熱媒体３に樹脂部品１を浸漬可能な構造を有する熱媒体貯槽１２（または、液状熱媒体貯槽、高沸点洗浄液貯槽と言い換えることもできる。以下同様）を備えている。また、このアニール装置１１は、熱媒体貯槽１２内の液状熱媒体３を（上記した熱処理温度に）加熱（して高温熱媒液と）する熱媒体加熱装置１３（または、液状熱媒体加熱装置、高沸点洗浄液加熱装置と言い換えることもできる。以下同様）とを備えている。
【００３８】
ここで、熱媒体貯槽１２の槽本体は、例えば、底面部１２ａと側面部１２ｂとを有し、上面部に樹脂部品１を浸漬するための開口部１２ｃを有するものとされている。熱媒体貯槽１２およびその上面部の開口部１２ｃは、熱処理を行う樹脂部品１の装入に適した形状や大きさなどとする。この場合には、熱媒体貯槽１２は、直方体状とされ、開口部１２ｃは、熱媒体貯槽１２の上面部とほぼ等しい長方形状とされている。但し、熱媒体貯槽１２の形状や大きさはこれに限るものではない。この熱媒体貯槽１２は、その底面部１２ａまたは下部を、支持部材１４にて支持されている。この支持部材１４は、支持枠部または支持脚部などとされている。なお、熱媒体貯槽１２には、必要に応じて、熱媒体２（または、液状熱媒体３、高沸点洗浄液４と言い換えることもできる。以下同様）を補充するための熱媒体補充口１２ｄを設けることができる。この場合、熱媒体補充口１２ｄは、熱媒体貯槽１２の側面部１２ｂからほぼ上方へ向けて延設された補充用枝管部などとして構成されている。
【００３９】
樹脂部品１は、個別に熱媒体貯槽１２内の熱媒体２に浸漬させるようにしても良いが、大量に熱処理するためには、多数の樹脂部品１をまとめて一度に浸漬処理可能な浸漬用器具１５を用いるようにすることもできる。この浸漬用器具１５は、少なくとも、多数の樹脂部品１を（整然と、または、ランダムに）収容保持可能な収容部と、この収容部に対する樹脂部品１の出し入れが可能な出入部と、熱媒体貯槽１２内の熱媒体２を収容部内へ導入可能な熱媒体導入部とを有すると共に、それ自体が熱媒体２の影響を受けないものなどとされる。この場合、浸漬用器具１５には、金属製の篭状部材などの部品収納容器が用いられている。この篭状部材は、例えば、矩形状をした、金網や面格子やパンチングプレートなどを六面体状に組み合わせて、上記した収容部と熱媒体導入部とを有するように構成したものとされている。この篭状部材には、少なくとも一面に、上記した出入部として、樹脂部品１を出入可能な開閉扉または蓋部などが設けられる。但し、浸漬用器具１５は、篭状部材に限るものではない。
【００４０】
熱媒体加熱装置１３は、文字どおり、熱媒体２を（上記した熱処理温度に）加熱するための装置である。熱媒体加熱装置１３には、熱源１３ａとして、例えば、（遠）赤外線ランプやハロゲンランプなどの発熱光源や、ニクロム線ヒーターやセラミックヒーターやカーボンヒーターなどの電熱体や、または、これらと同等のものなどを使用することができる。この場合には、熱源１３ａとして赤外線ランプが使用されている。この場合、熱媒体加熱装置１３は、熱媒体貯槽１２の底面部１２ａの下側に、熱媒体貯槽１２に対し僅かな間隔を有して熱源１３ａを離間させた状態で設置される。
【００４１】
また、熱媒体加熱装置１３の熱源１３ａには、発生した熱を熱媒体貯槽１２へ向け反射させることにより、熱効率を向上させるための反射板１３ｂを付設することができる。反射板１３ｂは、熱を熱媒体貯槽１２へ向け反射させるための反射面として、熱媒体貯槽１２側の面に鏡面部を有する金属板によって構成される。反射板１３ｂは、熱源１３ａを包囲して、熱源１３ａから発生した熱を効率的に熱媒体貯槽１２へ向けて反射させ得るようにするために、上記した鏡面部が凹面鏡となるように上記した金属板を曲げ加工してなる曲面形状（凹形状）などを有している。この場合、反射板１３ｂは、熱媒体貯槽１２の底面部１２ａの下側に対し、熱源１３ａを凹形状の内側に収容した状態で設置される。また、反射面の凹形状側に対し、冷却フィンなどの放熱部を一体に設けて、後述する隔離室４１内への内圧調整用の通風によって、反射板１３ｂの冷却を行い得るようにすることができる。この冷却フィンなどの放熱部は、反射板１３ｂに対する補強部（補強リブ）としても機能させることができる。
【００４２】
（３）上記において、液状熱媒体３に使われる高沸点洗浄液４を、フッ素系洗浄液とする。
【００４３】
ここで、洗浄液には、水系、準水系、炭化水素系、アルコール系、塩素系、周素系、フッ素系など各種のものが存在しているが、調べた結果、この中で、上記した熱処理温度よりも高い沸点を有するものは、フッ素系洗浄液のみであった。
【００４４】
そして、フッ素系洗浄液は、沸点が高く、熱媒体２として使用するには好適であり、実際に、樹脂部品１の熱処理を行うことが可能であった。フッ素系洗浄液は、また、細部洗浄が可能、蒸気洗浄が可能、油分除去能力が高い、乾燥速度が早い、安全性が高く（不燃性、人体に無害）、環境特性に優れている（低地球温暖化係数、オゾン破壊係数０）などの有利な特徴も備えている。このフッ素系洗浄液は、空気のほぼ１２倍程度の比重を有している。具体的には、例えば、電子部品用に用いられている住友３Ｍ社製のＨＦＥ（ハイドロフルオロエーテル）７６００（沸点が約１３１℃で、熱伝導度が０．０７１Ｗ／ｍＫ）などが挙げられる。
【００４５】
（４）上記において、熱媒体貯槽１２と、熱媒体加熱装置１３とを、密閉可能なケーシング１７内に収容する。そして、ケーシング１７に、熱媒体貯槽１２から出た熱媒体２を回収可能な熱媒体回収機構１８（または、液状熱媒体回収機構、高沸点洗浄液回収機構と言い換えることもできる。以下同様）を設ける。
【００４６】
或いは、アニール装置１１が、熱媒体貯槽１２および熱媒体加熱装置１３を収容可能なケーシング１７と、ケーシング１７内の熱媒体貯槽１２から出た熱媒体２を回収可能な熱媒体回収機構１８とを備えるようにする。
【００４７】
ここで、ケーシング１７は金属製とされると共に、ケーシング１７の本体（ケーシング本体）は、底面部１７ａと側面部１７ｂとを有し、上面部に樹脂部品１を出入するための開口部１７ｃを有するものとされている。ケーシング１７上面部の開口部１７ｃには、開閉可能な蓋体１９が取付けられている。この場合、蓋体１９は、上面部またはその他の部分に把持部１９ａを有する金属製のハッチなどとされている。開口部１７ｃの周縁部、または、蓋体１９の周縁部（即ち、開口部１７ｃと蓋体１９との当接部分）の少なくとも一方には、ケーシング１７を密閉するためのシール部材２１が取付けられる。このシール部材２１には、例えば、弾性を有するパッキンなどを使用することができる。この場合、ケーシング１７は、直方体状とされ、開口部１７ｃおよび蓋体１９は、ケーシング１７の上面とほぼ等しい長方形状とされている。但し、ケーシング１７の形状や大きさはこれに限るものではない。このケーシング１７は、その底面部１７ａまたは下部を、支持部材２２にて支持されている。この支持部材２２は、支持枠部または支持脚部などとされている。
【００４８】
なお、熱媒体貯槽１２をケーシング１７に収容した場合には、上記した熱媒体補充口１２ｄは、ケーシング１７の内側から熱媒体２を補充し得るようにしたり、或いは、特に図示しないが、ケーシング１７の外側から熱媒体２を補充し得るようにしたりすることもできる。外側から補充し得るようにする場合には、熱媒体補充口１２ｄの先端部を、ケーシング１７の外側に開口するように構成し、熱媒体補充口１２ｄ先端の開口には、開閉可能な蓋部を設けるようにする。また、熱媒体貯槽１２内の熱媒体２の液面レベルを確認するためのレベル確認機構などを設けるようにしも良い。
【００４９】
（５）上記において、熱媒体回収機構１８を、ケーシング１７の底面部１７ａに設けられた熱媒体受部２３（または、液状熱媒体受部、高沸点洗浄液受部と言い換えることもできる。以下同様）と、熱媒体受部２３に設けられた熱媒体回収口２４（または、液状熱媒体回収口、高沸点洗浄液回収口と言い換えることもできる。以下同様）とを有するものとする。
【００５０】
この場合、熱媒体受部２３と熱媒体回収口２４とは、第一の熱媒体回収機構１８として設けられる。
【００５１】
ここで、熱媒体受部２３は、文字どおり、熱媒体２を受ける受皿状の部材である。例えば、熱媒体受部２３は、ケーシング１７の底面部１７ａを防水パンとすることによって構成する。この防水パンにケーシング１７の内外間を上下方向に貫通する熱媒体回収口２４を形成する。熱媒体回収口２４は、ケーシング１７の外側または下側に突出する短い筒口を有するものなどとすることができる。防水パンには、熱媒体回収口２４に向かって下り勾配となる排水勾配を設けることができる。
【００５２】
そして、熱媒体回収口２４の出口部分（ケーシング１７の外側または下側）には、熱媒体２をろ過再生可能なフィルター装置２５と、フィルター装置２５でろ過再生された熱媒体２を回収可能な回収タンク２６とを設けることができる。フィルター装置２５および回収タンク２６は、熱媒体回収口２４の部分に対して着脱交換可能なものとする。フィルター装置２５は、樹脂部品１の破片や、樹脂部品１に付着した油分などを分離除去できる機能を有するものなどとする。
【００５３】
或いは、更に、特に図示しないが、フィルター装置２５でろ過再生された熱媒体２、または、更に回収タンク２６に回収された熱媒体２を、熱媒体貯槽１２に（自動で）循環可能な熱媒体循環装置を設けることができる。この熱媒体循環装置は、熱媒体回収口２４（フィルター装置２５の出口または回収タンク２６）と熱媒体貯槽１２との間を結ぶ熱媒体循環経路と、この熱媒体循環経路の途中に設けられた熱媒体循環ポンプとを備えるものなどとする。
【００５４】
（６）上記において、熱媒体回収機構１８を、ケーシング１７の少なくとも上面部に設けられた熱媒体冷却装置２８（または、液状熱媒体冷却装置、高沸点洗浄液冷却装置と言い換えることもできる。以下同様）とすることができる。
【００５５】
この場合、熱媒体冷却装置２８は、第二の熱媒体回収機構１８として設けられる。
【００５６】
ここで、熱媒体冷却装置２８は、文字どおり、熱媒体２を冷却する装置である。特に、熱媒体冷却装置２８は、熱媒体貯槽１２の上面部の開口部１２ｃから蒸発された熱媒体２の蒸気２ａを冷却、凝縮させて液滴２ｂとし得るものとされる。熱媒体冷却装置２８は、ケーシング１７の上面部に設けられた開口部１７ｃに取付けられる蓋体１９に対して設置されている。この熱媒体冷却装置２８は、蓋体１９の内部に設置された冷却ジャケットなどとされている。この冷却ジャケットは、蓋体１９の内部に適宜張り巡らされた冷却管２８ａに対して冷却媒体２９を給排させ得るようにしたものである。冷却管２８ａは、例えば、蓋体１９の一辺とほぼ平行な方向へ延びるよう往復折返してほぼ蓋体１９の形状に曲げ形成して成る面状の蛇行管とすることができる。或いは、冷却管２８ａは、例えば、蓋体１９の対向する一対の辺に沿ってそれぞれ延びる一対のヘッダー管と、これら一対のヘッダー管の間を連結する複数本の連結管とを有するものとすることができる。但し、冷却ジャケットは、蓋体１９の下面側に取付けるようにすることもできる。冷却媒体２９には、例えば、冷却水やその他の冷却液を用いることができる。また、熱媒体冷却装置２８には、上記した冷却ジャケットに代えて、ペルチェ素子などの電気的な冷却用デバイスなどを使用することもできる。
【００５７】
なお、熱媒体冷却装置２８（を備えた蓋体１９）は、空気よりも重い熱媒体２の蒸気２ａの（上記した熱処理温度における）最大到達高さよりも低い位置に設置して、熱媒体２の蒸気２ａをより多く蓋体１９に接触させ得るようにするのが、蓋体１９の下面に対する熱媒体２の蒸気２ａの冷却、凝縮を促進させる上で効果的である。そのために、好ましくは、例えば、熱媒体冷却装置２８（を備えた蓋体１９）を、熱媒体２の蒸気２ａのうちの約５割〜６割程度が到達する高さに設置する。これは、蓋体１９を、それよりも高い位置に設置すると、蓋体１９に対する蒸気２ａの付着量が低下して熱媒体冷却装置２８による熱媒体２の回収効果が低下し、それよりも低い位置に設置すると、蓋体１９と熱媒体貯槽１２との距離が近く狭くなり過ぎて、熱媒体冷却装置２８の冷却効果が熱媒体貯槽１２の熱媒体２に及んで熱効率が悪くなることによる。
【００５８】
また、熱媒体冷却装置２８（を備えた蓋体１９）は、水平配置とすることもできるが、傾斜配置にして、蓋体１９の下面に冷却、凝縮された熱媒体２の液滴２ｂを蓋体１９に沿い流下させて、ケーシング１７の側面に到達させ、更に、ケーシング１７の側面に沿い流下させて、ケーシング１７の底面部１７ａまで到達させ得るように構成するのが、熱媒体２に対する回収効率を向上する上で、効果的である。そのために、好ましくは、蓋体１９を、付着した熱媒体２の液滴２ｂが流下するのに最適な傾斜角度を有して傾斜配置させるようにする。この場合の蓋体１９の傾斜角度は、液状熱媒体３の粘性に応じて設定する。この場合、液状熱媒体３として使用する高沸点洗浄液４（フッ素系洗浄液）は、粘度がそれほど高くないので、傾斜角度を余り大きくしなくとも、液滴２ｂの流下を生じさせることができる。更に、蓋体１９の下面に対して、熱媒体２を撥水する素材を使用したり、表面処理を施したりすることもできる。
【００５９】
なお、上記した熱媒体冷却装置２８は、ケーシング１７の側面部１７ｂや後述する仕切部３２に対しても、上記と同様にして設けることができる。
【００６０】
（７）上記において、熱媒体回収機構１８を、ケーシング１７内に設置されて、樹脂部品１に付着した熱媒体２を脱水可能な脱水装置３１とすることができる。
【００６１】
この場合、脱水装置３１は、第三の熱媒体回収機構１８として設けられる。脱水装置３１は、例えば、樹脂部品１に付着した熱媒体２を遠心分離によって脱水可能な遠心分離機とすることができる。
【００６２】
より具体的には、先ず、ケーシング１７の内部（空間）を、仕切部３２を用いて、熱処理部３３と、脱水処理部３４とに仕切る。仕切部３２は、例えば、ケーシング１７の内部を分割可能な仕切板によって構成する。この仕切板は、ほぼ上下方向へ延びて、ケーシング１７の内部を仕切ることにより、熱処理部３３と脱水処理部３４とを横方向に隣接させるものである。そして、熱処理部３３に熱媒体貯槽１２を設置し、脱水処理部３４に脱水装置３１を設置する。なお、熱媒体受部２３の熱媒体回収口２４が、ケーシング１７に１箇所のみ設けられている場合、即ち、熱媒体回収口２４が熱処理部３３と脱水処理部３４とのどちらか一方にのみ設けられている場合には（この場合、脱水処理部３４の側に設けられている）、仕切板は、熱処理部３３と脱水処理部３４との下部間を完全に分離することによって熱媒体受部２３に溜まった熱媒体２を堰止めてしまうことがないように、その底部の少なくとも一部に、切欠部や貫通孔などの連通部３２ａを設けるようにする。または、熱媒体受部２３と熱媒体回収口２４と（更に、フィルター装置２５や回収タンク２６）を、熱処理部３３と脱水処理部３４との両方にそれぞれ設けるようにすれば、仕切板で、熱処理部３３と脱水処理部３４との下部間を完全に分離するようにしても良い。
【００６３】
脱水装置３１としての遠心分離機は、回転部３１ａと、駆動装置３１ｂと、駆動力伝達装置３１ｃとを備えている。この場合、回転部３１ａは、浸漬用器具１５を着脱可能に取付けて浸漬用器具１５ごと内部に収容され樹脂部品１を回転（遠心分離）し得るものとされる。駆動装置３１ｂは、回転部３１ａを回転駆動するものとされる。駆動装置３１ｂには、例えば、電動モータが用いられる。電動モータは、ケーシング１７の内部に取付けるようにしても、ケーシング１７の外部に取付けるようにしても良い。但し、電動モータをケーシング１７の内部に取付ける場合には、電動モータは、熱媒体２の影響を受けないものとする。この場合には、電動モータを、ケーシング１７の内部に取付けるようにしている。駆動力伝達装置３１ｃは、回転部３１ａの回転中心軸部と、駆動装置３１ｂの出力軸部との間に取付けられた一対のプーリーと、この一対のプーリー間に掛け渡されたベルトとによって構成することができる。また、一対のプーリーの大きさによって駆動力伝達装置３１ｃによる減速比を設定することができる。駆動力伝達装置３１ｃは、上記以外に、歯車機構などを用いることができる。回転部３１ａや駆動装置３１ｂなどは、フレーム３１ｄに取付けられる。なお、遠心分離機は、縦回転型または横回転型のどちらとしても良い。この場合、縦回転型とされている。
【００６４】
そして、ケーシング１７の内部に脱水処理部３４を設けた場合には、上記した蓋体１９は熱処理部３３から脱水処理部３４へ向けて下り勾配となるように傾斜配置させる（即ち、熱処理部３３側が高く、脱水処理部３４側が低くなるように傾斜させる）のが、熱媒体冷却装置２８による熱媒体２の回収効率を高める上で好ましい。この場合には、上記した熱媒体冷却装置２８の冷却ジャケットは、脱水処理部３４側から熱処理部３３側へ向けて冷却媒体２９を流通させるようにするのが、熱媒体２に対する冷却効果を向上する上で好ましい。
【００６５】
なお、上記した第一〜第三の熱媒体回収機構１８は、全て備えるようにするのが最適であるが、必要に応じて、これらを単独で使用したり、組合せて使用したりすることも可能である。
【００６６】
（８）上記において、熱媒体加熱装置１３を、ケーシング１７内の熱媒体２から隔離可能な隔離室４１に収容する。そして、隔離室４１に、熱媒体２の隔離室４１への内部侵入を防止可能な熱媒体侵入防止機構４２を設けるようにする。
【００６７】
ここで、隔離室４１は、熱源１３ａと反射板１３ｂとを同時に、収容し得るものとする。隔離室４１は、例えば、底面部と、側面部とを有する箱状とし、その上面部に熱媒体貯槽１２の底面部１２ａに向かって開口する開口部を有するように構成する。この隔離室４１は、上面部の開口部を熱媒体貯槽１２の底面部１２ａに当接させた状態で設置する。隔離室４１には、内部の温度変化による内圧の上昇を緩和、調整するための内圧調整部４３が設けられる。この内圧調整部４３は、隔離室４１からケーシング１７の外側へ延びて外部に連通する内圧調整管４４とされる。なお、隔離室４１は、支持部材１４の内側に収容設置されるようにする。
【００６８】
そして、上記した熱媒体侵入防止機構４２として、先ず、隔離室４１の側面部または開口部と、熱媒体貯槽１２の側面または底面との間（当接部分）には、図示しないシール機構が設けられる。このシール機構は、隔離室４１の開口部の周縁部に沿って取付けられるパッキンなどを有している。
【００６９】
また、上記とは別の熱媒体侵入防止機構４２として、隔離室４１には、内圧によって熱媒体２（の蒸気２ａ）の（熱媒体加熱装置１３への）内部侵入を防止可能な内圧発生機構４５が設けられる（第二の熱媒体侵入防止機構４２）。この内圧発生機構４５は、文字どおり、隔離室４１の内部の圧力が外部の圧力よりも高くなるようにする（内外間に差圧を発生させる）機構である。具体的には、例えば、内圧発生機構４５として、隔離室４１に設けられる内圧調整管４４を、外気吸入管４４ａと、内気排出管４４ｂとに分け（給排分離構造）、外気吸入管４４ａを内気排出管４４ｂよりも径が大きくなるようにして（通路断面積に差を設けて）、排気量よりも吸気量が多くなる吸気過多の状態を作り得るように構成する。なお、隔離室４１の内部に発生する加熱された空気の対流を利用し得るように、外気吸入管４４ａを隔離室４１の低い位置に接続し、内気排出管４４ｂを隔離室４１の低い位置に接続するようにする。また、外気吸入管４４ａには外気を吸入可能で内気を排出不能な吸気弁（一方向弁）を取付け、内気排出管４４ｂには外気を吸入不要で内気を排出可能な排気弁（一方向弁）を取付けるようにする。なお、この吸排気による通風によって、冷却フィンなどの放熱部を備える反射板１３ｂは、同時に、放熱により冷却され、熱源の耐久性が確保、向上される。
【００７０】
（９）更に、アニール装置１１に対し、制御機構４７を設けて、上記したアニール装置１１の運転を制御し得るようにする。この制御機構４７は、起動スイッチ部、電源回路部、ＡＣ／ＤＣコンバータ部、温度センサー、熱源制御回路、モータ制御回路、タイマー装置、警報装置、表示装置などで構成される。
【００７１】
ここで、起動スイッチ部は、アニール装置１１をオン、オフするための電源ボタンを備えている。電源回路は、アニール装置１１に対して電源を供給するものである。電源回路には、例えば、交流１００Ｖのものが用いられる。ＡＣ／ＤＣコンバータは、電源回路から供給された電源を直流から交流に変換するためのものである。温度センサーは、熱媒体貯槽１２内の熱媒体２の温度を検出するためのものである。熱源制御回路は、温度センサーの検出温度に基づいて熱媒体貯槽１２内の熱媒体２の温度を調整するために、熱媒体加熱装置１３の熱源１３ａを制御する回路である。熱源制御回路には、熱処理温度を設定可能な温度設定部などが設けられる。モータ制御回路は、脱水装置３１の駆動装置３１ｂ（電動モータ）を制御する回路である。タイマー装置は、熱媒体加熱装置１３や脱水装置３１の運転時間をカウントして、熱源制御回路や、モータ制御回路に制御信号を送るものである。警報装置は、運転状況に応じて必要な警報や警告音などを発生するものである。警報装置には、ブザーなどの音源が備えられる。表示装置は、運転情報を表示するためのものである。表示装置は、例えば、電流、電圧、熱媒体２の温度、運転状況などの情報を表示することができる。
【００７２】
＜作用＞次に、この実施例の作用について説明する。
【００７３】
先ず、樹脂部品１に対する熱処理について説明する。
【００７４】
アニール装置１１を運転する場合、先ず、予め、熱媒体貯槽１２内に熱媒体２（液状熱媒体３、高沸点洗浄液４、フッ素系洗浄液）を所要量注入しておく。
【００７５】
次に、ケーシング１７に蓋体１９を取付け（或いは、ケーシング１７を閉じ）、電源を投入して、熱媒体加熱装置１３により、熱媒体貯槽１２内の熱媒体２を、加熱し（図２中、線ａ）、上記した熱処理温度にまで加熱する（図２中、線ｂ）。以上により、アニール装置１１は、樹脂部品１の熱処理が可能な状態に立上がる。
【００７６】
次に、成形装置で成形された樹脂部品１を、篭状部材に対して、所定の状態で多数個収容させるようにする。例えば、浸漬用器具１５（篭状部材）に対し、樹脂部品１を整然と収容させるようにする。或いは、浸漬用器具１５（篭状部材）が一杯になるまで樹脂部品１をランダムに詰込むようにする。
【００７７】
そして、蓋体１９を開けて、この樹脂部品１が詰まった篭状部材を、ケーシング１７の上面部の開口部１７ｃ、および、熱媒体貯槽１２の上面の開口部１２ｃを介して、熱媒体貯槽１２の内部へ浸漬させた後、蓋体１９を閉じる。
【００７８】
そして、蓋体１９の開閉および篭状部材の浸漬により、熱媒体貯槽１２内の熱媒体２は、一旦、温度が若干低下するが（図２中、線ｃ）、すぐに、上記した熱処理温度に戻るよう制御されるので（図２中、線ｄ）、上記した熱処理温度に戻ってから、上記した熱処理時間（約５分）が経過するまで、上記浸漬状態を保持することにより、樹脂部品１の熱処理が完了する（図２中、線ｅ）。この場合、例えば、１回の熱処理サイクル（図２中、区間ｆ）が、約７．５分となる。この熱処理により、樹脂部品１は、残留応力が除去される。これにより、樹脂部品１の歪みなどをなくして、寸法精度の向上を図ることができる。同時に、熱媒体２に高沸点洗浄液４を用いることにより、樹脂部品１は、洗浄された状態となる。これにより、別工程で樹脂部品１を洗浄する必要がなくなり、例えば、熱処理後に、そのまま塗装工程で樹脂部品１を塗装することなどが可能となる。
【００７９】
こうして、樹脂部品１の熱処理が完了したら、蓋体１９を開けて、処理済みの樹脂部品１が入った篭状部材を熱媒体貯槽１２から引上げ、脱水装置３１にセットする。そして、次に処理する樹脂部品１が入った篭状部材を熱媒体貯槽１２の内部へ浸漬させた後、蓋体１９を閉じる。
【００８０】
すると、上記と同様にして、後の篭状部材に入った樹脂部品１の熱処理が行われると共に、先の篭状部材に入った樹脂部品１が脱水装置３１で脱水される。
【００８１】
以下、上記を繰返すことにより、樹脂部品１の熱処理と、脱水とが同時に行われる。
【００８２】
なお、熱媒体貯槽１２を複数個の篭状部材を浸漬可能な大きさにすると共に、脱水装置３１を、熱媒体貯槽１２に浸漬可能な篭状部材の個数分の処理能力を有するか、または、上記篭状部材の個数分の台数となるよう複数化することにより、アニール装置１１の処理能力拡大を図ることも可能である。
【００８３】
次に、熱媒体２について説明する。
【００８４】
先ず、熱媒体貯槽１２内への熱媒体２の注入は、蓋体１９を外してケーシング１７を開け、ケーシング１７の上面部の開口部１７ｃ、および、熱媒体貯槽１２の上面の開口部１２ｃを介して、直接注入するようにしても良いし、熱媒体補充口１２ｄから注入するようにしても良い。熱媒体補充口１２ｄが外部に開口されている場合には、蓋体１９を開かずに外部から注入することも可能である。または、両者を併用して注入するようにしても良い。
【００８５】
そして、熱媒体加熱装置１３で、熱媒体貯槽１２内の熱媒体２を加熱することにより、加熱された熱媒体２から発生した蒸気２ａは、空気よりも比重が重いので、その大半は熱媒体貯槽１２から出た直後に僅かに上昇または即座に下降してケーシング１７の底面部１７ａの熱媒体受部２３にほぼ直接的に到達するが、一部は、上昇して蓋体１９の内面（下面）に付着する。そこで、蓋体１９の内部に設けた熱媒体冷却装置２８を作用させて、蓋体１９に付着した蒸気２ａを冷却、凝縮することにより、付着した蒸気２ａを液滴２ｂ化させる。すると、蓋体１９の内面に付着された熱媒体２の液滴２ｂは、直接ケーシング１７の底面部１７ａの熱媒体受部２３に落下するか、ケーシング１７の側面に沿い流下して、ケーシング１７の底面部１７ａの熱媒体受部２３に到達し、熱媒体回収口２４から排出されることになる。この際、蓋体１９を傾斜配置としておくことにより、蓋体１９に付着している液滴２ｂの流下、回収を促進することができる。
【００８６】
また、熱媒体貯槽１２から直接下降した熱媒体２の蒸気２ａは、熱媒体貯槽１２の下側に設置された熱媒体加熱装置１３の位置を通過するが、熱媒体加熱装置１３は、隔離室４１に収容されると共に隔離室４１には熱媒体侵入防止機構４２が設けられているので、熱媒体２の蒸気２ａが熱媒体加熱装置１３の熱源１３ａに直接接触して、熱媒体２が変質または分解（以下、同様）してしまうことが防止される。
【００８７】
そして、篭状部材を浸漬することによって、熱媒体貯槽１２から熱媒体２が溢れ出た場合、熱媒体２は、熱媒体貯槽１２の側面に沿い流下して、ケーシング１７の底面部１７ａの熱媒体受部２３に到達し、熱媒体回収口２４から排出されることになる。この場合にも、隔離室４１により、溢れ出た熱媒体２が熱媒体加熱装置１３の熱源１３ａに直接接触して、熱媒体２が変質してしまうことが防止される。なお、熱媒体貯槽１２から熱媒体２がふきこぼれた場合についても同様である（但し、熱媒体２は吹きこぼれることがないように温度制御されているので、このようなことは稀である）。
【００８８】
更に、脱水装置３１で、樹脂部品１から脱水された熱媒体２の液滴２ｂは、跳ね飛ばされて蓋体１９の内面やケーシング１７の側面や仕切部３２に付着されるが、他の液滴２ｂと同様に、蓋体１９の内面やケーシング１７の側面や仕切部３２に沿い流下して、ケーシング１７の底面部１７ａの熱媒体受部２３に到達し、熱媒体回収口２４から排出されることになる。
【００８９】
そして、熱媒体回収口２４から排出された熱媒体２は、フィルター装置２５でろ過再生され、回収タンク２６に回収される。回収された熱媒体２は、熱媒体貯槽１２に補充したり循環させたりすることにより、アニール装置１１に再利用することができるので、経済的である。
【００９０】
そして、この実施例によれば、以下のような作用効果を得ることができる。
【００９１】
（１）樹脂部品１を熱媒体２を介して熱処理することにより、樹脂部品１から成形による残留応力を除去することができる。この際、熱媒体２に空気よりも熱伝導度の高い液状熱媒体３を用いて、液状熱媒体３中に樹脂部品１を浸漬することにより、樹脂部品１を液状熱媒体３で効率的に昇温して処理時間を短縮することができ、その分、電力料を削減することができる。また、樹脂部品１を液状熱媒体３中に浸漬することにより、樹脂部品１を一度に大量に処理することができ、その分、処理前後の工程における在庫量を減らすことができる。しかも、遠赤外線加熱機を用いた気中アニールの場合と比べて、コンベアや多数の遠赤外線ランプなどの設備が不要であり、また、樹脂部品１の重なりによる（部分的な）加熱不足や加熱ムラなどの問題もないので、アニール装置１１の構成も簡単（小規模）で且つ安価なものとすることができ、しかも、上記したように大量処理が可能なので、複数の成形装置で共用し得る装置構成を得ることができる。更に、液状熱媒体３に高沸点洗浄液４を用いることにより、残留応力の除去と同時に樹脂部品１の洗浄を行うなどの複数の処理を同時に行うことができるようになるため、別工程で樹脂部品１を洗浄処理する必要をなくすことができ、樹脂部品１の製造工程の簡略化を図ることができる。
【００９２】
（２）熱媒体貯槽１２に貯留した液状熱媒体３を、熱媒体加熱装置１３で加熱することにより、樹脂部品１の熱処理に必要な高温環境を簡単に作り出すことができる。そして、加熱された液状熱媒体３中に樹脂部品１を浸漬することにより、上記（１）と同様の作用効果が得られ、以て、樹脂部品１の熱処理を効率的に行うことができる。
【００９３】
（３）液状熱媒体３に使われる高沸点洗浄液４が、フッ素系洗浄液であることにより、樹脂部品１に対する残留応力の除去と洗浄とを同時に行うことを、具体的に実現することができる。
【００９４】
（４）熱媒体貯槽１２と、熱媒体加熱装置１３とを、密閉可能なケーシング１７内に収容することにより、ケーシング１７外部への熱媒体２（熱媒体２の蒸気２ａや液滴２ｂ、液状熱媒体３など）の流出や放出などを防止することができる。そして、ケーシング１７に熱媒体回収機構１８を設けることにより、熱媒体貯槽１２から出た熱媒体２を確実に回収することができる。これらにより、熱媒体２（高価な高沸点洗浄液４など）の損失を低減することができる。また、熱媒体２を回収して再使用することができるようになり、以て、洗浄能力の維持、継続を図ることができる。
【００９５】
（５）熱媒体回収機構１８が、ケーシング１７の底面部１７ａに設けられた熱媒体受部２３と、熱媒体受部２３に設けられた熱媒体回収口２４とを有することにより、熱媒体貯槽１２から出てケーシング１７の底面部１７ａの熱媒体受部２３に溜まった熱媒体２を、熱媒体回収口２４から回収することができる。
【００９６】
（６）熱媒体回収機構１８が、ケーシング１７の少なくとも上面部に設けられた熱媒体冷却装置２８であることにより、熱媒体貯槽１２から蒸発、放出した熱媒体２の蒸気２ａを、熱媒体冷却装置２８により、ケーシング１７の少なくとも上面部で冷却、凝縮して、ケーシング１７の底面部１７ａへと滴下させるなどし、熱媒体２を回収することが可能となる。これにより、熱媒体２が蒸気２ａとなって放散され目減りしてしまうのを防止することができる。
【００９７】
（７）熱媒体貯槽１２で残留応力を除去された樹脂部品１を脱水装置３１で脱水することにより、樹脂部品１を乾燥させると共に、樹脂部品１に付着した熱媒体２を積極的に回収することが可能となる。これにより、熱媒体貯槽１２内の熱媒体２が樹脂部品１に同伴されて減少するのを防止することができる。
【００９８】
（８）熱媒体加熱装置１３を、ケーシング１７内の熱媒体２から隔離可能な隔離室４１に収容すると共に、隔離室４１に、熱媒体２の隔離室４１への内部侵入を防止可能な熱媒体侵入防止機構４２を設けたことにより、熱媒体加熱装置１３に熱媒体２が直接接触するのを防止することができ、以て、熱媒体２が熱媒体加熱装置１３の熱によって変質するのを防止することができる。
【００９９】
以上、この発明の実施例を図面により詳述してきたが、実施例はこの発明の例示にしか過ぎないものであるため、この発明は実施例の構成にのみ限定されるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれることは勿論である。また、例えば、各実施例に複数の構成が含まれている場合には、特に記載がなくとも、これらの構成の可能な組合せが含まれることは勿論である。また、複数の実施例や変形例が示されている場合には、特に記載がなくとも、これらに跨がった構成の組合せのうちの可能なものが含まれることは勿論である。また、図面に描かれている構成については、特に記載がなくとも、含まれることは勿論である。更に、「等」の用語がある場合には、同等のものを含むという意味で用いられている。また、「ほぼ」「約」「程度」などの用語がある場合には、常識的に認められる範囲や精度のものを含むという意味で用いられている。
【符号の説明】
【０１００】
１  樹脂部品
２  熱媒体
２ａ  蒸気
２ｂ  液滴
３  液状熱媒体
４  高沸点洗浄液（フッ素系洗浄液）
１１  アニール装置
１２  熱媒体貯槽（液状熱媒体貯槽、高沸点洗浄液貯槽）
１２ａ  底面部
１２ｂ  側面部
１２ｃ  開口部
１２ｄ  熱媒体補充口（補充用枝管部）
１３  熱媒体加熱装置（液状熱媒体加熱装置、高沸点洗浄液加熱装置）
１３ａ  熱源（発熱光源、電熱体）
１３ｂ  反射板
１４  支持部材（支持枠部、支持脚部）
１５  浸漬用器具（部品収納容器、篭状部材）
１７  ケーシング
１７ａ  底面部
１７ｂ  側面部
１７ｃ  開口部
１８  熱媒体回収機構（液状熱媒体回収機構、高沸点洗浄液回収機構）
１９  蓋体（ハッチ）
１９ａ  把持部
２１  シール部材（パッキン）
２２  支持部材（支持枠部または支持脚部）
２３  熱媒体受部（液状熱媒体受部、高沸点洗浄液受部、防水パン）
２４  熱媒体回収口（液状熱媒体回収口、高沸点洗浄液回収口）
２５  フィルター装置
２６  回収タンク
２８  熱媒体冷却装置（液状熱媒体冷却装置、高沸点洗浄液冷却装置、冷却ジャケット）
２８ａ  冷却管
２９  冷却媒体（冷却液、冷却水）
３１  脱水装置（遠心分離機）
３１ａ  回転部
３１ｂ  駆動装置（電動モータ）
３１ｃ  駆動力伝達装置
３１ｄ  フレーム
３２  仕切部（仕切板）
３２ａ  連通部
３３  熱処理部
３４  脱水処理部
４１  隔離室
４２  熱媒体侵入防止機構
４３  内圧調整部
４４  内圧調整管
４４ａ  外気吸入管
４４ｂ  内気排出管
４５  内圧発生機構
【図１】
0005501789.tif 000002
【図２】
0005501789.tif 000003