(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
次の（イ）乃至（ニ）の構成を備え，（ホ）及び（ヘ）の特徴を備える表示パネル基板の検査装置。
（イ）水平面に対して傾斜した検査部であって、プローブ装置とこれに対向する測定ステージとを有する検査部。
（ロ）表示パネル基板を載せるための搭載面を有するワークテーブル。
（ハ）前記ワークテーブルを前記測定ステージに着脱可能に結合するための結合機構。
（ニ）前記検査部の手前かつ下方にある基板セット領域と前記検査部との間で前記ワークテーブルを搬送する搬送機構であって、ワークテーブルが前記基板セット領域にあるときはワークテーブルの搭載面が水平状態になるように構成された搬送機構。
（ホ）前記搬送機構は、前記基板セット領域から前記検査部の付近まで延びる１対の搬送レールと、これらの搬送レールに沿って移動する搬送体と、この搬送体に設けられていて前記ワークテーブルを着脱可能に保持できる保持機構とを備えている。
（ヘ）前記搬送レールは、前記基板セット領域にあって水平に延びる水平部と、前記検査部の付近にあって前記測定ステージの表面に平行に延びる傾斜部と、前記水平部と傾斜部とを滑らかにつなぐ曲線部とからなる。
【請求項２】
前記搬送機構は、前記搬送レールの傾斜部に平行な駆動レールと、この駆動レールに沿って摺動するローディングホルダーと、このローディングホルダーに回転可能に連結されているクランクアームとを備え、このクランクアームが前記搬送体に回転可能に連結されていることを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
前記ワークテーブルに、液晶基板の点灯検査のためのバックライトを設けたことを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【請求項４】
前記測定ステージに、液晶基板の点灯検査のためのバックライトを設けたことを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【請求項５】
次の（イ）乃至（ホ）の各段階を備え，（ヘ）の特徴を備える表示パネル基板の検査方法。
（イ）検査部の手前かつ下方にある基板セット領域において水平状態のワークテーブルの搭載面に表示パネル基板を載せる段階。
（ロ）表示パネル基板を搭載した状態の前記ワークテーブルを、前記基板セット領域から、水平面に対して傾斜した検査部まで、搬送機構によって搬送する段階。
（ハ）前記搬送機構から前記検査部の測定ステージに前記ワークテーブルを受け渡す段階。
（ニ）前記検査部において、前記ワークテーブル上の表示パネル基板をプローブ装置に接触させて、表示パネル基板を点灯表示させる段階。
（ホ）前記検査部から前記基板セット領域まで前記搬送機構で前記ワークテーブルを戻す段階。
（ヘ）前記表示パネル基板は液晶基板であり、液晶基板の点灯検査のためのバックライトを前記測定ステージに設けて、液晶基板のサイズを変更しても前記バックライトを変更せずに、液晶基板のサイズに合わせて前記ワークテーブルの構成だけを変更する。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、水平面に対して傾斜した検査部において表示パネル基板の点灯状態を目視で検査するようにした検査方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１３は液晶表示パネルの基板（以下、液晶基板という。）を検査するための従来の検査装置の側面断面図、図１４はその正面図である。図１３において、測定ステージ１０とプローブ装置１２は、共に、水平面に対して傾斜している。図１４において、検査装置の右側の開口部１４には、バックライト１１を備えた測定ステージ１０が待機している。オペレータはこの測定ステージ１０に液晶基板を載せる。測定ステージ１０の外周部にはガイド板１５、１６があって、液晶基板の端部をこのガイド板１５、１６に合わせることによって、液晶基板の位置決めを行う。液晶基板は、バックライト１１の外周部に設けられた吸着溝１８（負圧が供給される。）に吸着固定される。液晶基板を搭載した測定ステージ１０は、そのＸ軸ステージが左方向に移動することにより、プローブ装置１２の下方に搬送される。次に、プローブ装置１２に設けられたアライメントカメラ２０によりファインアライメントが行われ、プローブ針と液晶基板の電極との位置合わせが完了する。
【０００３】
それから、Ｚ軸ステージが上昇して測定ステージ１０が上昇し、液晶基板の電極にプローブ針がコンタクトする。ＬＣＤパターン発生器からの信号により液晶基板は全面点灯して、テストパターンを映し出す。オペレータは、液晶基板のテストパターンを自分の目で観察して、液晶基板の良品、不良品の判断をする。検査が終了した液晶基板は、右側の開口部１４に搬送されて、オペレータにより測定ステージ１０から外され、次の液晶基板がセットされる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の検査装置は、液晶基板を測定ステージにセットするための基板セット領域（装置右側の開口部１４に露出している部分）と、液晶基板を点灯して検査を行う点灯検査部とが左右に並んでいる。したがって、オペレータは基板セット領域と検査部とを絶えず行き来しなくてはならず、一連の作業は立ち作業となり疲労が多いなど、作業性に問題がある。また、この検査装置は、基板セット領域と検査部とが左右に並んでいるので、プローブ装置の約２倍の左右幅を必要とし、装置の占有面積が大きくなる。さらに、基板セット領域において測定ステージ面が水平面から傾斜しているので、オペレータが液晶基板をセットするときに液晶基板を落として破損させるおそれがあり、液晶基板の取り扱いに不安がある。
【０００５】
この発明は上述の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、オペレータの作業性が良く、占有面積が小さく、液晶基板のセットも容易でかつ安全な、表示パネル基板の検査方法および装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明の表示パネル基板の検査装置は、次の（イ）乃至（ニ）の構成を備え，（ホ）及び（ヘ）の特徴を備えいる。（イ）水平面に対して傾斜した検査部であって、プローブ装置とこれに対向する測定ステージとを有する検査部。（ロ）表示パネル基板を載せるための搭載面を有するワークテーブル。（ハ）前記ワークテーブルを前記測定ステージに着脱可能に結合するための結合機構。（ニ）前記検査部の手前かつ下方にある基板セット領域と前記検査部との間で前記ワークテーブルを搬送する搬送機構であって、ワークテーブルが前記基板セット領域にあるときはワークテーブルの搭載面が水平状態になるように構成された搬送機構。（ホ）前記搬送機構は、前記基板セット領域から前記検査部の付近まで延びる１対の搬送レールと、これらの搬送レールに沿って移動する搬送体と、この搬送体に設けられていて前記ワークテーブルを着脱可能に保持できる保持機構とを備えている。（ヘ）前記搬送レールは、前記基板セット領域にあって水平に延びる水平部と、前記検査部の付近にあって前記測定ステージの表面に平行に延びる傾斜部と、前記水平部と傾斜部とを滑らかにつなぐ曲線部とからなる。
【０００７】
検査部の手前の基板セット領域において、表示パネル基板を水平状態でワークテーブルにセットすると、このワークテーブルは搬送機構によって、傾斜した検査部まで搬送される。このような装置構成を採用したことにより、基板セット領域と検査部を左右に配置した従来装置と比較して、検査装置の占有面積が小さくなる。また、表示パネル基板を水平状態でセットできるので、傾斜した測定ステージ面にセットする従来装置に比べて、基板のセット作業が安定する。さらに、オペレータは、基板のセット作業及び取り外し作業の場所と、点灯検査作業の場所とを往復移動する必要がなく、オペレータの疲労が少ない。
【０００８】
この検査装置の測定対象は、点灯表示状態をオペレータが観察して良否を判定する必要のある表示パネル基板であり、代表的には、液晶表示パネルやプラズマディスプレーパネルなどのフラットディスプレーパネルの基板である。
【０００９】
この検査装置では、検査部の手前かつ下方に基板セット領域があるが、「手前」とは、点灯状態を観察するためにオペレータが検査装置に向き合ったときに、検査装置からオペレータに向かう方向を意味する。
【００１１】
この発明は、本願出願人が出願した特願平８−５２５４２号の発明（以下、先願発明という。）を改良したものである。この先願発明と本願発明との違いを以下に説明する。先願発明では、基板セット領域の基板設置台に表示パネル基板を水平状態で設置してから、この基板設置台から搬送体へと表示パネル基板を受け渡している。そして、この搬送体を検査部まで搬送して、搬送体から測定ステージへと表示パネル基板を受け渡している。すなわち、表示パネル基板の受け渡し作業が２回必要になる。この２回の受け渡し作業は、表示パネル基板の位置ずれの原因となる。位置ずれが大きくなると、表示パネル基板が測定ステージに吸着固定された状態で、表示パネル基板のアライメントマークがアライメントカメラの視野に入らなくおそれがある。特に、吸着パッドで吊り下げた状態の表示パネル基板を、水平面から傾斜した状態で、測定ステージに受け渡すときに、吸着パッドのゴムが歪むなどして、位置ずれが発生しやすい。これに対して、本願発明では、表示パネル基板を最初からワークテーブルにセットしているので、表示パネル基板の位置ずれの原因となる受け渡し作業は、ワークテーブルをθ回転ステージに受け渡す作業の１回だけとなる。しかも、吸着パッドで表示パネル基板を吊り下げる構造を採用していないので、傾斜状態での上述のゴムの歪みの問題もなく、また、表示パネル基板が吸着パッドから落下する危険もない。さらに、受け渡し作業が１回なので、検査のサイクルタイムも短くなる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明の検査装置の第１の実施形態の側面断面図、図２はその正面図である。図１において、この検査装置は、大きく分けて、検査部４０と基板セット領域４２とその間の搬送機構４４とからなる。基板セット領域４２は検査部４０の手前（オペレータの側）かつ下方に位置しており、この基板セット領域４２は前面テーブル４３のところに位置している。
【００１３】
検査部４０には、測定ステージ２２とプローブ装置２４があり、両者は共に水平面に対して同じ角度だけ傾斜している。装置フレームに取り付けられた基台２１の上には、Ｘ軸ステージ２６、Ｙ軸ステージ２８、Ｚ軸ステージ３０、θ回転ステージ３２がある。θ回転ステージ３２の表面には、ワークテーブルを吸着保持するための吸着溝３４（図３参照）がある。この吸着溝３４には負圧が供給される。
【００１４】
検査部４０の上部には、枠状のベースプレート３６が４本の支柱３８によって基台２１に固定されている。このベースプレート３６にプローブ装置２４が取り付けられている。プローブ装置２４はθ回転ステージ３２に対向している。
【００１５】
図２に示すように、プローブ装置２４には複数のプローブブロック４６が固定されている。このプローブブロック４６は、液晶基板の全ての電極にプローブ針（またはその他の接触手段）が同時にコンタクトできるように、プローブ針がＴＡＢ単位にブロック化されたものである。各プローブブロック４６のプローブ針は、フレキシブル配線板により、液晶駆動回路を経由して、ＬＣＤパターン発生器につながっている。このプローブ装置２４にはアライメントを行うためのＣＣＤカメラ４８が２台取り付けられている。
【００１６】
図３、図４、図５は基板セット領域４２と搬送機構４４とθ回転ステージ３２とを示す斜視図であり、図３は、搬送体７０によってワークテーブル４１を基板セット領域まで搬送してきた状態、図４は搬送体７０によってワークテーブル４１をθ回転ステージ３２のところまで搬送した状態、図５は搬送体７０を待機位置に待機させた状態をそれぞれ示す。
【００１７】
図３において、ワークテーブル４１は、その上面が液晶基板５０の搭載面になっていて、この搭載面の周辺部には、液晶基板５０を吸着固定するための吸着溝５２が形成されている。この吸着溝５２には負圧が供給される。吸着溝５２の内側には、液晶基板を点灯検査するときに使うバックライト５３が設置されている。ワークテーブル４１の互いに隣り合う二つの辺にはガイド板５４、５５が搭載面から上方に突き出すように固定されている。第１のガイド板５４は液晶基板の左右方向の位置決めをするものであり、第２のガイド板５５は液晶基板の前後方向の位置決めをするものである。液晶基板５０をこのガイド板５４、５５に突き当てることで、ワークテーブル４１の搭載面上の所定位置に液晶基板５０を位置決めできる。
【００１８】
図５に良く示されているように、基板セット領域４２と検査部４０の間には搬送機構４４がある。この搬送機構４４は、１対の互いに平行な搬送レール６４、６６を備えている。この搬送レール６４、６６は、基板セット領域４２のところでは水平方向に延びており（水平部）、検査部４０のところではθ回転ステージ３２の表面に平行になるように水平面に対して傾斜している（傾斜部）。そして、搬送レール６４、６６の水平部と傾斜部の間は曲線部で滑らかにつながっている。搬送レール６４、６６の内面にはローラ溝６８が形成されており、このローラ溝６８の内部を搬送体７０のローラ７２が転がることができる。これにより、搬送体７０は搬送レール６４、６６に沿って摺動する。
【００１９】
搬送体７０はコの字状のフレーム７１を備えており、このフレーム７１の内面には、互いに対向する１対の搬送板７３が進退可能に取り付けられている。搬送板７３は、２本のガイドシャフト７６で案内されながら、エアーシリンダ７４によって矢印７５の方向に進退できる。フレーム７１の左右の外面には、それぞれ２個のローラ７２が回転可能に取り付けられている。
【００２０】
右側の搬送レール６６の外側には駆動レール８２があり、この駆動レール８２に沿ってローディングホルダー８４が摺動する。駆動レール８２は搬送レール６６の傾斜部と平行に配置されている。ローディングホルダー８４と、搬送体７０のフレーム７１は、クランクアーム８６を介して連結されている。ローディングホルダー８４とクランクアーム８６の間、及び、クランクアーム８６とフレーム７１の間は、回転可能に連結されている。ローディングホルダー８４が駆動レール８２に沿って斜め上方に摺動すると、クランクアーム８６を介してフレーム７１が引っ張られることにより、搬送体７０が搬送レール６４、６６に沿って移動する。この実施形態では、ローディングホルダー８４の駆動は、パルスモータの回転運動を直線運動に変換することで、駆動レール８２上を移動するようにしているが、ボールねじやエアーシリンダなどのその他の駆動機構を用いてローディングホルダー８４を駆動してもよい。
【００２１】
図６は搬送体７０とワークテーブル４１とを着脱可能に保持するための保持機構を示す平面図である。搬送体７０のコの字形のフレーム７１の左右の外面にはエアーシリンダ７４が固定されていて、そのピストン７７は、フレーム７１の貫通孔を通過してから搬送板７３に固定されている。搬送板７３には１対のガイドシャフト７６が固定されていて、このガイドシャフト７６はフレーム７１のガイド孔に案内されている。エアーシリンダ７４のピストン７７が進退すると、搬送板７３はワークテーブル４１に近づいたり遠ざかったりする。搬送板７３のほぼ中央には結合ピン７８が突き出している。一方、ワークテーブル４１の左右の側面にはそれぞれ結合穴７９が形成されている。左右の搬送板７３がワークテーブル４１に近づくと、各搬送板７３の結合ピン７８がワークテーブル４１の左右の結合穴７９に入り、搬送板７３とワークテーブル４１が結合される。この実施形態では、搬送体７０とワークテーブル４１とを着脱可能に保持する保持機構は、進退する１対の搬送板７３と、この搬送板７３を駆動および案内するエアーシリンダ７４やガイドシャフト７６と、結合ピン７８と結合穴７９の組み合わせとから成る。
【００２２】
図７はθ回転ステージ３２とワークテーブル４１とを着脱可能に結合する結合機構を示す断面図である。この断面図は図４の矢印６０の方向から見たものである。θ回転ステージ３２の上面には１対の結合ピン５６が上方に突き出すように固定されている。一方、ワークテーブル４１の底面には１対の結合穴５７が形成されている。Ｚ軸ステージ３０の駆動によりθ回転ステージ３２が上昇すると、結合ピン５６が結合穴５７に入り、ワークテーブル４１がθ回転ステージ３２に結合する。それから、θ回転ステージ３２の表面の吸着溝３４（図３を参照）に負圧を供給すると、ワークテーブル４１がθ回転ステージ３２に吸着固定される。
【００２３】
この図７では、搬送板７３の結合ピン７８がワークテーブル４１の結合穴７９に結合する様子も示している。また、ワークテーブル４１の上面の吸着溝５２とバックライト５３も示している。さらに、フレーム７１の外面のローラ７２がレール６４のローラ溝６８に入っている様子も示している。
【００２４】
次に、図３〜図５を参照して、この検査装置の動作を説明する。この検査装置は、初期状態では、図３に示すように、搬送体７０がワークテーブル４１を保持した状態で基板セット領域４２に位置している。このとき、ワークテーブル４１の搭載面は水平になっている。この状態で、オペレータは、ワークテーブル４１の搭載面に液晶基板５０を載せる。そして、２個のガイド板５４、５５に液晶基板５０の端部を押し当てることによって、液晶基板５０を位置決めする。それから、吸着溝５２に負圧を供給して、液晶基板５０をワークテーブル４１に吸着固定する。このようにして、液晶基板５０はワークテーブル４１に対して正確に位置決めされ、この位置決め状態が、検査が完了してワークテーブル４１が基板セット領域４２に戻ってくるまで維持される。すなわち、液晶基板５０自体の受け渡し作業は不要になる。
【００２５】
次に、オペレータが操作パネルのスタートスイッチを押すと、ローディングホルダー８４が駆動レール８２に沿って上限位置まで上昇し、搬送体７０は、図４に示すように、θ回転ステージ３２の上方に来る。θ回転ステージ３２はこのとき、図７に示すように、Ｚ軸ステージ３０により下限位置まで下がった状態にある。それから、θ回転ステージ３２がＺ軸ステージ３０の駆動により上昇して、搬送体７０に保持されているワークテーブル４１が、θ回転ステージ３２に結合する。それからθ回転ステージ３２の吸着溝３４に負圧を供給してワークテーブル４１をθ回転ステージ３２に吸着固定する。次に、搬送体７０のエアーシリンダ７４のピストンを収縮して、左右の搬送板７３を開くと、搬送板７３の結合ピン７８がワークテーブル４１の結合穴７９から抜ける。その後、図５に示すように、ローディングホルダー８４を下げて、搬送体７０を待機位置、すなわち検査部４０と基板セット領域４２の中間位置、まで下げて、この場所に待機させる。
【００２６】
次に、図１に示すように、ワークテーブル４１を受け取った測定ステージ２２は、２個のアライメントカメラ４８（図２を参照）と、Ｘ軸ステージ２６、Ｙ軸ステージ２８、θ回転ステージ３２とを用いて、ファインアライメントを実施する。このファインアライメントが完了したら、Ｚ軸ステージ３０の駆動によりワークテーブル４１が上昇して、液晶基板の電極にプローブ装置２４のプローブ針がコンタクトして、ＬＣＤパターン発生器からの信号により液晶基板はテストパターンを表示する。オペレータは、バックライトを点灯させた状態で、このテストパターンを観察して液晶基板の良否の検査を行う。
【００２７】
検査が終了したら、オペレータが終了スイッチを押すことにより、図５において、待機位置にあった搬送体７０が検査部４０まで上昇して、ワークテーブル４１は上述と逆の順序で、θ回転ステージ３２から搬送体７０に受け渡されて、図３に示すように、基板セット領域４２まで戻ってくる。それから、オペレータはワークテーブル４１から液晶基板５０を取り外して、次の液晶基板５０をワークテーブル４１にセットする。このようにして、液晶基板５０を次々と検査できる。
【００２８】
図８〜１０は、この発明の第２の実施形態の図３〜図５と同様の図面である。図８において、この実施形態では、ワークテーブル４１ａにはバックライトが設けられておらず、拡散板８８だけが設けられている。そして、θ回転ステージ３２ａにバックライト５３ａが設けられている。したがって、この第２の実施形態では、ワークテーブル４１ａの厚さは第１の実施形態のものよりも薄くなっており、重量も軽くなっている。なお、θ回転ステージ３２ａにバックライト５３ａと拡散板８８の両方を設けてもよい。
【００２９】
図１１は、θ回転ステージ３２ａとワークテーブル４１ａとを着脱可能に結合する結合機構を示す断面図である。この断面図は図９の矢印６０ａの方向から見たものである。θ回転ステージ３２ａの上面は矩形になっていて（図８を参照）、その左右両端に一段下がった肩部６１が形成されている。この肩部６１の上面に２個の結合穴６２と吸着溝３４ａ（図８を参照）が形成されている。一方、ワークテーブル４１ａの左右両端部の底面にはそれぞれ１対の（合計で４個の）結合ピン６３が下方に突き出すように固定されている。ワークテーブル４１ａの中央部分は拡散板８８になっている。Ｚ軸ステージ３０の駆動によりθ回転ステージ３２ａが上昇すると、結合穴６２に結合ピン６３がに入り、ワークテーブル４１ａがθ回転ステージ３２ａに結合される。それから、θ回転ステージ３２ａの肩部６１の表面の吸着溝３４ａ（図８を参照）に負圧を供給すると、ワークテーブル４１ａがθ回転ステージ３２ａに吸着固定される。
【００３０】
この第２の実施形態では、液晶基板のサイズを変更する場合、θ回転ステージ３２ａに設けたバックライト５３ａよりも小さいサイズであれば、ワークテーブル４１の構成を変更するだけでよい。この点について図１２を参照して説明する。
【００３１】
図１２（Ａ）は、図１１に示したワークテーブル４１ａとその着脱保持機構を示す平面図である。２個のガイド板５４ａ、５５ａはワークテーブル４１ａの二つの辺に沿って固定されており、吸着溝５２ａはワークテーブル４１ａの周辺の近傍に形成されている。そして、吸着溝５２ａの内側に拡散板８８が配置されている。このワークテーブル４１ａに載せる液晶基板のサイズは、ワークテーブル４１ａの外形寸法とほぼ同じである。
【００３２】
これに対して、液晶基板のサイズを小さくした場合は、ワークテーブルの構成は図１２（Ｂ）に示すようになる。このワークテーブル４１ｂは、外形寸法については、図１２（Ａ）に示すワークテーブル４１ａと同じであって、同じ着脱保持機構を使うことができる。ただし、ガイド板と吸着溝と拡散板が異なっている。すなわち、ワークテーブル４１ｂでは、ガイド板５４ｂ、５５ｂは、ワークテーブル４１ｂの各辺から所定距離だけ中央寄りに配置されていて、吸着溝５２ｂも、このガイド５４ｂ、５５ｂの内側に形成されている。そして、吸着溝５２ｂの内側に拡散板８８ｂが配置されている。
【００３３】
このように、第２の実施形態では、ワークテーブル４１ａからバックライト５３ａを分離して、θ回転ステージ３２ａの側にバックライト５３ａを設けたことにより、液晶基板のサイズを変更しても、バックライト５３ａのサイズよりも液晶基板の表示面が小さい限りにおいて、バックライト５３ａを交換することなく、ワークテーブルのガイド板と吸着溝と拡散板の構成を変更するだけで足りる。したがって、θ回転ステージ３２ａとそれに設けるバックライト５３ａは、検査する可能性のある一番大きな液晶基板に対応できるような大きさにしておけばよい。
【００３４】
この第２の実施形態は、ワークテーブル４１ａとθ回転ステージ３２ａの構造以外は、上述の第１の実施形態と基本的に同じ構造であり、その動作も同様である。
【００３５】
【発明の効果】
この発明は、検査部の手前の基板セット領域で表示パネル基板を水平状態でワークテーブルにセットして、このワークテーブルを、水平面に対して傾斜した検査部に搬送するようにしたので、検査装置の占有面積が小さくなる。また、表示パネル基板を水平状態でセットできるので、傾斜した測定ステージ面にセットする従来装置に比べて、基板のセット作業が安定する。さらに、オペレータは、基板のセット作業及び取り外し作業の場所と、点灯検査作業の場所との間を往復移動する必要がなく、作業性が良くなる。オペレータは、椅子に座った状態で一連の作業を実施することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の検査装置の第１の実施形態の側面断面図である。
【図２】図１の検査装置の正面図である。
【図３】ワークテーブルを基板セット領域にもって来た状態の、基板セット領域と搬送機構とを示す斜視図である。
【図４】ワークテーブルを検査部まで搬送した状態の、基板セット領域と搬送機構とを示す斜視図である。
【図５】搬送体を待機位置に待機させた状態の、基板セット領域と搬送機構とを示す斜視図である。
【図６】搬送体とワークテーブルとを着脱可能に保持するための保持機構を示す平面図である。
【図７】θ回転ステージとワークテーブルとを着脱可能に結合する結合機構を示す断面図である。
【図８】この発明の第２の実施形態の図３と同様の斜視図である。
【図９】第２の実施形態の図４と同様の斜視図である。
【図１０】第２の実施形態の図５と同様の斜視図である。
【図１１】第２の実施形態の図７と同様の断面図である。
【図１２】第２の実施形態の図６と同様の平面図である。
【図１３】液晶基板を検査するための従来の検査装置の側面断面図である。
【図１４】図１３に示す従来の検査装置の正面図である。
【符号の説明】
２２  測定ステージ
２４  プローブ装置
２６  Ｘ軸ステージ
２８  Ｙ軸ステージ
３０  Ｚ軸ステージ
３２  θ回転ステージ
３４  吸着溝
４０  検査部
４１  ワークテーブル
４２  基板セット領域
４４  搬送機構
４６  プローブブロック
５０  液晶基板
５２  吸着溝
５３  バックライト
５４、５５  ガイド板
５６  結合ピン
５７  結合穴
６４、６６  搬送レール
６８  ローラ溝
７０  搬送体
７１  フレーム
７２  ローラ
７３  搬送板
７４  エアーシリンダ
７６  ガイドシャフト
７８  結合ピン
７９  結合穴
８２  駆動レール
８４  ローディングホルダー
８６  クランクアーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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