(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
紙幣の有する磁気的特徴を非接触で検出し、前記紙幣の真贋性を検査する方法において、
紙幣を搬送路の所定の位置に沿って搬送し、
前記搬送路の所定の位置に前記搬送路に近接して、超微細結晶軟磁性材料を用いた非接触式薄膜磁気センサがブリッジ接続された非接触式ブリッジ型薄膜磁気センサを配設し、
前記紙幣が前記搬送路に沿って搬送されるにしたがって前記薄膜磁気センサから出力される信号と、予め記憶されている所定金種の基準値の信号とを比較し、前記信号が前記基準値に対し所定の許容範囲内にあるとき前記紙幣を真のものであるとする信号を出力する
ことを特徴とする紙幣の真贋性を検査する方法。
【請求項２】
紙幣の有する磁気的特徴を非接触で検出し、前記紙幣の真贋性を検査する装置において、
紙幣を所定の位置に沿って搬送する搬送路と、
前記搬送路の所定の位置に前記搬送路に近接して配設され、超微細結晶軟磁性材料を用いた非接触式薄膜磁気センサがブリッジ接続された非接触式ブリッジ型薄膜磁気センサと、
前記紙幣が前記搬送路に沿って搬送されるにしたがって前記薄膜磁気センサから出力される信号と、予め記憶されている所定金種の基準値の信号とを比較判定し、前記信号が前記基準値に対し所定の許容範囲内にあるとき前記紙幣を真のものであるとする信号を出力する比較判定手段と、
をそなえたことを特徴とする紙幣の真贋性を検査する装置。
【請求項３】
請求項２記載の紙幣の真贋性検査装置において、
前記薄膜磁気センサは、
高周波電流を磁性膜に印加することで、外部印加磁界の強さに応答して前記磁性膜内に生じる磁化容易方向の磁化ベクトルの回転変化に対する信号を、外部印加磁界による変化として検出する磁気インピーダンス型薄膜磁気センサであり、
前記磁気インピーダンス型薄膜磁気センサから出力される信号は紙幣に印刷された磁性インクの残留磁界の強さに応答して出力される信号から前記紙幣の真贋性を検査することを特徴とする紙幣の真贋性検査装置。
【請求項４】
請求項３記載の紙幣の真贋性検査装置において、
前記薄膜磁気センサの磁性膜は、できるだけ零磁歪に近い負磁歪特性を有する高透磁率磁性材料であることを特徴とする紙幣の真贋性検査装置。
【請求項５】
請求項３記載の紙幣の真贋性検査装置において、
前記薄膜磁気センサは、
前記磁性膜にバイアス磁界を印加するための磁化膜を、前記磁性膜に積層したことを特徴とする紙幣の真贋性検査装置。
【請求項６】
請求項３記載の紙幣の真贋性検査装置において、
前記薄膜磁気センサは、
前記紙幣表面と前記磁性膜表面とを対向するように配置したことを特徴とする紙幣の真贋性検査装置。
【請求項７】
請求項２記載の紙幣の真贋性検査装置において、
前記薄膜磁気センサは、
前記紙幣表面に磁性インクにより印刷された所定印刷部の配設位置に対応して配設され、前記薄膜磁気センサが前記紙幣の所定印刷部を走査することにより前記薄膜磁気センサから得られる信号に基づき前記紙幣の真贋性を検査することを特徴とする紙幣の真贋性検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、磁性インクにより印刷された紙幣における残留磁束の変化を非接触方式で検出し、紙幣の真贋性を検査する方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、自動販売機等が広く普及するに伴って自動販売機等に対する悪戯が増え、自動販売機内に設けられた紙幣識別機などの装置を騙して装置の中の釣り銭を奪うなどの悪戯が跡を絶たない。
【０００３】
また、紙幣の偽造による犯罪も増えてきているとともに、国際化に伴って諸外国から外国紙幣が持ち込まれ、それらの外国紙幣が故意または過誤により自動販売機に使われるケースが増えてきている。
【０００４】
そのような状況から、紙幣の印刷技術の向上を考慮して、紙幣識別装置にはセキュリティの向上と高精度の検査能力が望まれている。
【０００５】
紙幣の印刷技術の一つに磁性インクを用いる方法が知られており、磁性インクによって印刷された、例えば米国の１ドル紙幣などでは、その表面から約1mm 離れた空間で検出される残留磁気の強さは、約10-4 Oe ( エルステッド) ないし10-3 Oe ( エルステッド) である。これは、地磁気の1/100 ないし1/1000の強さに相当する。
【０００６】
従来の装置における磁性インクを検出する方法としては、磁気ヘッドを用いたものが一般的である。そして、従来の磁気ヘッドには、磁性材料による磁極にコイルを巻回したコイル型磁気ヘッド、あるいは磁気抵抗(MR)素子を用いたMR素子型磁気ヘッドなどが使用されている。これら両磁気ヘッドの内で、比較的感度の高いMR素子型の磁気ヘッドの感度は、10-2 Oe ( エルステッド) 程度である。
【０００７】
この程度の感度しか持たない従来の磁気ヘッドでは、できるだけ高感度化するために、磁気ヘッドを紙幣表面に印刷された磁性インク部に接触させている。さらに、紙幣と磁気ヘッドとの接触を確実なものにするために、紙幣を磁気ヘッドとローラにより挟み込むようにして取り付けて走査し、そのとき得られる信号から被検紙幣が真正か否かを検査するように構成していた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来の紙幣識別機においては、磁気ヘッドの感度が低いことから、紙幣表面の磁気インク部の磁気を検出するためには、磁気ヘッドを磁性インクの印刷部に接触させながら走査を行わなければならなかった。その結果、紙幣の表面には磁気ヘッド部を走査した痕跡が筋として残るため、当該装置が紙幣のどの部分を検出しているかが第三者に判ってしまう。これは、自動販売機に対して故意に悪戯を試みようとする者にとっては都合のよい目標となり、装置を騙すなどのセキュリティ上の問題が引き起こされていた。
【０００９】
一方、上述のように、紙幣を磁気ヘッドとローラとにより挟み込んで搬送するため、紙幣が磁気ヘッド部の搬送路で詰まり易くなるなどの問題があった。さらに、紙幣を磁気ヘッド部に接触させて搬送するため、磁気ヘッドの機械的摩耗が生じ、磁気ヘッドの寿命が短くなるとともに、紙幣の寿命を短くするという問題もあった。また、紙幣と磁気ヘッドおよびローラとを接触させて走査するため、埃が付着しやすく、著しい場合は所定の信号が得られないなどの問題が生じていた。
【００１０】
他方、紙幣表面に印刷された磁気インク部を非接触で検知するためには、S/N 比の良い高感度な磁気センサが必要となる。そのような磁気センサとして、特開平6-176930号公報および特開平6-283344号公報で公知である、磁気インピーダンス型磁気センサが期待できる。この磁気インピーダンス型磁気センサは、高周波の電流を磁性線に印加することによって生じる円周磁束の時間変化に対する電圧を、外部印加磁界による変化として検出することが知られている。
【００１１】
磁気インピーダンス型磁気センサの感度は非常に高く、高感度で知られるFG( フラックスゲート) 型磁気センサと同等、またはそれ以上の感度が得られることが知られている。そのような特徴を有する磁気インピーダンス型磁気センサは、室温で動作する高感度な磁気センサとして微弱な磁界測定等の利用が考えられている。
【００１２】
しかしながら、磁気インピーダンス型磁気センサは、問題点がある。すなわち、アモルファスなどのワイヤは、製造上取り扱いが難しく、特性が時間とともに劣化するなどの点である。
【００１３】
また従来の磁気インピーダンス型磁気センサは、バイアス磁界を印加するためのコイルを電線巻回による巻線によって作成していた。そのため、磁気センサ自体が大きくなり、装置の小型化が出来ないばかりか高価となってしまうなどの問題があった。
【００１４】
本発明は上述の点を考慮してなされたもので、動作が安定していて安価に構成でき高感度な磁気インピーダンス型薄膜磁気センサを用いて、非接触方式で紙幣の真贋性を検査する方法および装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明では、
紙幣の有する磁気的特徴を非接触で検出し、前記紙幣の真贋性を検査する方法において、紙幣を搬送路の所定の位置に沿って搬送し、前記搬送路の所定の位置に前記搬送路に近接して、超微細結晶軟磁性材料を用いた非接触式薄膜磁気センサがブリッジ接続された非接触式ブリッジ型薄膜磁気センサを配設し、前記紙幣が前記搬送路に沿って搬送されるにしたがって前記薄膜磁気センサから出力される信号と、予め記憶されている所定金種の基準値の信号とを比較し、前記信号が前記基準値に対し所定の許容範囲内にあるとき前記紙幣を真のものであるとする信号を出力することを特徴とする紙幣の真贋性を検査する方法、および
紙幣の有する磁気的特徴を非接触で検出し、前記紙幣の真贋性を検査する装置において、紙幣を所定の位置に沿って搬送する搬送路と、前記搬送路の所定の位置に前記搬送路に近接して配設され、超微細結晶軟磁性材料を用いた非接触式薄膜磁気センサがブリッジ接続された非接触式ブリッジ型薄膜磁気センサと、前記紙幣が前記搬送路に沿って搬送されるにしたがって前記薄膜磁気センサから出力される信号と、予め記憶されている所定金種の基準値の信号とを比較判定し、前記信号が前記基準値に対し所定の許容範囲内にあるとき前記紙幣を真のものであるとする信号を出力する比較判定手段と、をそなえたことを特徴とする紙幣の真贋性を検査する装置、
を提供するものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。
【００１７】
図１（ａ）、（ｂ）は、本発明に係わるブリッジ型薄膜磁気センサの一実施例を示す正面図および側面図で、図２は本発明に係わる図１のA-A断面の部分拡大図である。また、図３は、本発明に係わるブリッジ型薄膜磁気センサの等価回路図であり、図４は、本発明に係わるブリッジ型薄膜磁気センサの基本回路図である。
【００１８】
まず図１および図２を用いて薄膜磁気センサ1の構成を詳述する。図１および図２において、薄膜磁気センサ1は、ガラス基板1aにSiO2による下部絶縁層6b、銅箔部３および端子4a,4b,4c,4dを形成し、その上に磁性膜２a,2b,2c,2d{例えば、Fe73.5%,Si13.5%,B9%(何れもat%)を主成分としてCu,Nbなどの添加元素を含む、高透磁率材料より成る素子で、素子の寸法は、幅50ミクロン、長さ2ミリ｝を形成している。
【００１９】
磁性膜２は、その端部が銅箔部３の端部と導通するようにして、また磁性膜２がブリッジ回路を成すようにして形成される。さらに、磁性膜２の上にはSiO2の上部絶縁層6aを形成し、最上部には磁化膜5{例えば、Co，Crなどを主成分とする高保磁力材料}を形成して、このブリッジ型薄膜磁気センサ1を構成している。
【００２０】
薄膜磁気センサ1の磁性膜2は、できるだけ零磁歪に近い負磁歪特性を有する高透磁率材料のターゲットを用いてスパッタ法などにより成膜される。
【００２１】
次に、図３および図４を用いてブリッジ型薄膜磁気センサ1の基本回路について詳述する。図３および図４において、ブリッジ型薄膜磁気センサ1の磁性膜２は、インダクタンスおよび抵抗による直列回路と等価である。
【００２２】
いま磁性膜2aの等価回路インダクタンスL1および抵抗R1のインピーダンスをZ1、磁性膜2bの等価回路インダクタンスL2および抵抗R2のインピーダンスをZ2、磁性膜2cの等価回路インダクタンスL3および抵抗R3のインピーダンスをZ3、そして磁性膜2dの等価回路インダクタンスL4および抵抗R4のインピーダンスをZ4とすると、磁性膜2aないし2dが平衡状態にあるとき、次の式が成立する。
Ｚ１・Ｚ４＝Ｚ２・Ｚ３
(Ｒ１＋ｊωＬ１)(Ｒ４＋ｊωＬ４)＝(Ｒ２＋ｊωＬ２)(Ｒ３＋ｊωＬ３)
∴(Ｒ１＋ｊωＬ１)(Ｒ４＋ｊωＬ４)−(Ｒ２＋ｊωＬ２)(Ｒ３＋ｊωＬ３)＝０
周知のように、これらの数式が成り立つためには、ブリッジ型薄膜磁気センサ1の磁性膜2aないし2dの各素子の特性がほぼ等しいことが条件となる。
【００２３】
本発明による磁性膜2aないし2dは、上述のように薄膜により形成しているので、略特性の等しい素子を得ることができる。
【００２４】
次に、図５ないし図１０を用いて、薄膜磁気センサ1によって被検紙幣30の磁気印刷部32の残留磁界を検知するための構成および原理について詳述する。図５は、被検紙幣の真贋性検査回路の一構成例を示すブロック線図であり、図６ないし図１０による説明の後に、構成および動作を説明する。
【００２５】
まず、ある被検紙幣30の構成を図６を参照して説明する。この図６において、被検紙幣30の表面の印刷域31には絵柄、文字などが印刷されており、磁気インクによって印刷された磁気印刷部32を有する。磁気印刷部32には、磁気インク内の磁性粉によってもたらされる残留磁気が存在する。本発明の磁気センサは、磁気インピーダンス型の薄膜磁気センサとして構成され、残留磁気の強さを非接触で検出する。
【００２６】
図７は本発明に用いる薄膜磁気センサ１の一構成例を示す図、図８は薄膜磁気センサ１の原理を示す要部回路図、図９は薄膜磁気センサ１の特性図である。
【００２７】
図７において、薄膜磁気センサ１の磁性膜2は被検紙幣30の表面から所定間隔離し、且つ被検紙幣30の表面に対向するようにして配置している。磁性膜2の端子4a,4b,4c,4dには、リード線41が接続される。上述のように接続された薄膜磁気センサ１は、磁気シールド40が磁性膜2の側の面を開放するようにして、薄膜磁気センサ1を囲むように配設される。
【００２８】
磁気シールド40は、図示しない紙幣識別装置の電源または被検紙幣30を搬送する搬送モータ53(図１１)などから発生する漏洩磁束を遮断することができる。したがって、薄膜磁気センサ1から検出される信号のS/N比が改善され、検出精度が向上する。
【００２９】
図８において、薄膜磁気センサ1の磁性膜用端子4は、リード線41により高周波パルス発生手段10の出力および検波回路53に接続される。高周波パルス発生手段10は、高周波発振源50、キャパシタ51および抵抗52により構成される。一方、検波回路53は、カップリング用キャパシタ54、検波用のダイオード55，56および平滑用の抵抗57、キャパシタ58により構成している。
【００３０】
ここで、上述のように構成された薄膜磁気センサ1が、被検紙幣30の表面に印刷された磁気印刷部32の残留磁界を検知するための原理について詳述する。
【００３１】
図７において、磁気印刷部32には、インクに含まれる特殊な磁性粉が磁化されて残留磁界42が発生している。残留磁界42は、薄膜磁気センサ1の相対移動にともない、磁気印刷部32の磁化状態に対応した交番磁界となって現れる。
【００３２】
一方、薄膜磁気センサ1の磁性膜2aないし2dには、図８に示すように時間的に変化する高周波パルス電流が印加される。この高周波パルス電流の周波数は、数MHzないし数十MHz(ただし、それに限定されない)である。磁性膜2は、高周波パルス電流を印加することで、磁性膜内の磁化容易方向(磁性膜幅方向)の磁化ベクトルが、外部印加磁界の強さに応答して磁性膜長さ方向に回転し、磁性膜幅方向の透磁率μ0が減少することによって、磁性膜2のインピーダンスが変化するものと考えられている。
【００３３】
このように、薄膜磁気センサ1は、外部磁界によってインピーダンスが変化することを利用して、その変化を外部磁界の強さに比例する出力信号として取り出すことができる。
【００３４】
図９および図１０は、磁気インピーダン型薄膜磁気センサ１の特性を示すものである。図９において、薄膜磁気センサ１は外部印加磁界(−Hex〜+Hex)に対し双峰特性を示す。そして、図９に示すように、薄膜磁気センサ１の特性は、磁界の増加とともに一旦増加して、その後減少するものである。
【００３５】
磁気センサとして、外部磁界に対する変化を単調なものとして取り出すためには、単調増加(または減少)領域を使用して磁化バイアスすることで、紙幣30の磁気印刷部32における残留磁界42を検知することができる。
【００３６】
本発明による磁化バイアスのためのバイアス磁界は、各磁性膜2aないし2dのそれぞれについて磁化膜５を積層するようにして形成し、所定のバイアス磁界を得ている。磁化膜５は、磁性膜２の長手方向に極ができるようにして形成される。また磁化膜５の磁化の強さは、数Oe(ただし、これに限定されない)である。
【００３７】
次に、図５に戻って紙幣識別装置の回路の構成および動作について詳述する。この図５において、薄膜磁気センサ１の磁性膜２a,2b,2c,2dには、高周波パルス発生手段10および検査手段11が接続されている。検査手段11は、信号抽出手段12、比較判定手段13および基準値信号発生手段14により構成されている。信号抽出手段12の入力には磁性膜２が接続されていて、信号検出手段12の出力は比較判定手段13に入力される。比較判定手段13は、信号検出手段12から入力した信号と基準値信号発生手段14から入力した信号とを比較して、その結果を出力端子15へ出力する。
【００３８】
ここで、磁性インクによって印刷された、例えば米国の１ドル紙幣などは、その表面から約1mm離れた空間における残留磁気の強さは、約10-4 Oe (エルステッド)ないし10-3 Oe (エルステッド)である。このような残留磁気を有する紙幣30に対し、薄膜磁気センサ1の磁性膜２は、図７に示すように紙幣30の表面に対し磁性膜２の表面が略平行になるようにして、また薄膜磁気センサ1は紙幣30の表面から所定の距離離して紙幣面に対向配置している。
【００３９】
上述のように配置した薄膜磁気センサ1は、紙幣30の磁気印刷部32を走査する。そのとき薄膜磁気センサ1から得られる出力信号を、信号抽出手段12へ入力する。信号抽出手段12は、薄膜磁気センサ1が紙幣30の磁気印刷部32に応答して変化する信号を抽出する。信号抽出手段12の出力からは、図１０に示すような信号波形が得られる。信号抽出手段12の出力は、比較判定手段13へ入力される。また比較判定手段13は基準値信号発生手段14に接続されていて、この基準値信号発生手段14にはメモリが設けられており、このメモリに予め定められた所与の金種の受納可能紙幣における基準値(例えば上限値、下限値)が記憶されている。
【００４０】
基準値信号発生手段14に記憶されている基準値は、予め定められた所与の金種における受納可能な流通紙幣を、磁気センサ1を使って予め測定して得た統計データから求められた関数値である。比較判定手段13は、信号抽出手段12から入力された信号と、基準値信号発生手段14から入力された信号とを比較し、信号抽出手段12から入力された信号が基準値内であるか否かを判定し、この入力された信号が基準値内であれば、被検紙幣30が真のものであることを示す信号を図示しない外部装置に出力する。
【００４１】
他方、この信号が基準値を外れているときは、被検紙幣30が偽であることを示す信号を、図示しない外部装置に出力する。このようにして、被検紙幣30の真贋性を検査することができる。
【００４２】
また、本発明によるブリッジ型薄膜磁気センサは、磁性膜2aないし2dの素子に一様な外部磁界が与えられた場合、ブリッジ回路の平衡性によって不必要な外部磁界を相殺することができる。
【００４３】
次に、図１１および図１２を用いて、本発明に係わる紙幣識別装置の構成および動作を詳述する。ここで、図１１は、本発明に係わる紙幣識別装置の一実施例の概略構成を示す側面図、図１２はその平面図である。
【００４４】
この紙幣識別装置は、図１１および図１２に示すように、被検紙幣30を挿入口70から矢印方向に案内する搬送通路71、挿入口70から挿入された被検紙幣30を検出する入口センサ78-1,78-2、挿入口70から挿入された被検紙幣30を搬送通路71に沿って搬送する搬送ベルト76-1,76-2、およびローラ77-1,77-2,77-3,77-4,77-5,77-6,77-7,77-8,77-9,77-10,77-11,77-12により搬送される被検紙幣30に形成された磁気印刷部32(図６)を検出する薄膜磁気センサ1、搬送ベルト76-1,76-2に動力を伝達するウォームギヤ74-1,74-2、ウォームギヤ74-1,74-2を駆動するモータ73を具備している。
【００４５】
次に、この紙幣識別装置の動作を説明する。
【００４６】
挿入口70から挿入された被検紙幣30は、矢印方向に移動して光学センサの入口センサ78-1,78-2で検出され、この入口センサ78の出力する信号に基づいて図示しない制御手段によりモータ73を起動させる。モータ73の出力軸はウォームギヤ74-1, 74-2に連結されていて、モータ73の動力をプーリ75-1,75-3に伝達し、プーリ75-1,75-3を所定の方向に回転させる。
【００４７】
また、モータ73の動力により回転するプーリ75-1と所定距離離して配置されたプーリ75-2との間、およびプーリ75-3と所定の距離離して配置されたプーリ75-4との間には、それぞれ搬送ベルト76-1および76-2が掛けられていて、搬送ベルト76-1,76-2を駆動する。そして、搬送ベルト76-1,76-2には、所定の間隔で配置されたローラ77-1,77-2,77-3,77-4,77-5,77-6,77-7,77-8,77-9,77-10,77-11,77-12が設けられていて、ローラ77は被検紙幣30を挟み込むようにして押圧し、被検紙幣30を搬送している。
【００４８】
これにより、挿入口70から挿入された被検紙幣30は、矢印方向に移動し、やがて薄膜磁気センサ1に差し掛かってさらに移動する。このとき薄膜磁気センサ1は、移動する被検紙幣30に形成された磁気印刷部32(図６)を非接触で検出し、応答する信号を出力する。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、紙幣識別装置の紙幣搬送路に薄膜磁気センサを配設し、この薄膜磁気センサの検出出力に基づき、挿入された被検紙幣に所定の磁気印刷部が形成されているか否か、非磁気印刷部から磁気反応があるか否かの少なくとも一方につき非接触方式で検知するように構成したため、被検紙幣の表面に検出位置の奇跡が残らず、セキュリティの向上が図られる。また非接触方式で検出するため、磁気ヘッドの機械的摩耗がなく装置の寿命が永くなる。そして、磁気センサをブリッジ型に構成したため、外乱磁界の影響を受け難いという効果を奏する。
【００５０】
さらに、非接触によって紙幣自体の破損等による劣化を防止することができ、真正紙幣を破損して偽紙幣と認定することがなく、適正な処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（ａ）は本発明に係わるブリッジ型薄膜磁気センサの一実施例を示す正面図、および図１（ｂ）は同じく側面図。
【図２】図１のA-A断面に沿う部分拡大図。
【図３】本発明に係わるブリッジ型薄膜磁気センサの等価回路図。
【図４】図３の等価回路を書き直した基本回路図。
【図５】図１のセンサを用いた本発明に係わる真贋性検査回路の一構成例を示したブロック線図。
【図６】被検紙幣の一例を示した図。
【図７】図５の実施例に用いるブリッジ型薄膜磁気センサの一構成例を示す図。
【図８】本発明に係わるブリッジ型薄膜磁気センサの要部回路図。
【図９】薄膜磁気センサの特性図。
【図１０】薄膜磁気センサの出力波形を示す図。
【図１１】図５の回路を用いた紙幣識別装置の一実施例における概略機構の側面図。
【図１２】図１１に対応する平面図。
【符号の説明】
１  ブリッジ型薄膜磁気センサ
２  磁性膜
３  銅箔
４  端子
５  磁化膜
６  絶縁層
１０  高周波パルス発生手段
１１  検査手段
１２  信号抽出手段
１３  比較判定手段
１４  基準値信号発生手段
１５  出力端子
３０  紙幣
３１  印刷域
３２  磁気印刷部
４０  磁気シールド
４１  リード線(薄膜磁気センサの端子へ接続するための電線)
４２  残留磁界
５０  高周波発振源
５１  キャパシタ
５２  抵抗
５３  検波回路
５４  キャパシタ
５５  ダイオード
５６  ダイオード
５７  抵抗
５８  キャパシタ
６０  バイアス磁界ゼロ時における薄膜磁気センサ印加磁界−出力特性
６１  バイアス磁界ゼロの中心線
６２  −Ｈｂバイアス磁界印加時の中心線
６３  ＋Ｈｂバイアス磁界印加時の中心線
７０  挿入口
７１  搬送通路
７２−１，７２−２  通路壁
７３  モータ
７４−１，７４−２  ウォームギヤ
７５−１，７５−２，５５−３，５５−４  プーリ
７６−１，７６−２  搬送ベルト
７７−１，７７−２，７７−３，７７−４，７７−５，７７−６，７７−７，７７−８，７７−９，７７−１０，７７−１１，７７−１２  ローラ
７８−１，７８−２  入口センサ
【図１】
0003725361.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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