(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータ本体（３）と、そのロータ本体（３）の外周部に取付けられた複数の磁石ユニット（４）とを備え、
各磁石ユニット（４）は、複数の鋼板（１６）を積層して構成され前記ロータ本体（３）に取付けられる台座（１３）と、その台座（１３）に、加熱下で、希土類元素系合金よりなるろう材（２０）よりなる接合層（１４）を介して接合された希土類元素含有の永久磁石（１５）とより構成され、
前記台座（１３）の少なくとも鋼板積層方向（ａ）両端部側において、相隣る両鋼板（１６）間に、加熱接合により生じた間隙（ｂ）が存することを特徴とする回転機用ロータ。
【請求項２】
前記ろう材（２０）は、合金元素ＡＥとしてＣｕ、Ａｌ、Ｇａ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ａｇ、Ｎｉ、Ａｕ、Ｍｎ、Ｚｎ、Ｐｄ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｐｂ、Ｂｉ、ＧｅおよびＩｎから選択される少なくとも一種を５原子％≦ＡＥ≦５０原子％含有する、請求項１記載の回転機用ロータ。
【請求項３】
希土類元素を含有する永久磁石（１５）と、複数の鋼板（１６）を積層してなる台座（１３）との間に、希土類元素系合金よりなるろう材（２０）を介在させて複数の重ね合せ物（２１）を得る第１の工程と、
それら重ね合せ物（２１）を加熱して、前記永久磁石（１５）と台座（１３）とを前記ろう材（２０）よりなる接合層（１４）を介して接合した複数の磁石ユニット（４）を得る第２の工程と、
ロータ本体（３）の外周部に、各磁石ユニット（４）をその台座（１３）を介して取付ける第３の工程とを用い、
各磁石ユニット（４）においては、前記台座（１３）の少なくとも鋼板積層方向（ａ）両端部側において、相隣る両鋼板（１６）間に、前記第２の工程における加熱接合により生じた間隙（ｂ）が存することを特徴とする、回転機用ロータの製造方法。
【請求項４】
前記ろう材（２０）は、合金元素ＡＥとしてＣｕ、Ａｌ、Ｇａ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ａｇ、Ｎｉ、Ａｕ、Ｍｎ、Ｚｎ、Ｐｄ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｐｂ、Ｂｉ、ＧｅおよびＩｎから選択される少なくとも一種を５原子％≦ＡＥ≦５０原子％含有する、請求項３記載の回転機用ロータの製造方法。
【請求項５】
複数の鋼板（１６）を積層してなる台座（１３）と、その台座（１３）に、加熱下で、希土類元素系合金よりなるろう材（２０）よりなる接合層（１４）を介して接合された希土類元素含有の永久磁石（１５）とより構成され、
前記台座（１３）の少なくとも鋼板積層方向（ａ）両端部側において、相隣る両鋼板（１６）間に、加熱接合により生じた間隙（ｂ）が存することを特徴とする磁石ユニット。
【請求項６】
前記ろう材（２０）は、合金元素ＡＥとしてＣｕ、Ａｌ、Ｇａ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ａｇ、Ｎｉ、Ａｕ、Ｍｎ、Ｚｎ、Ｐｄ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｐｂ、Ｂｉ、ＧｅおよびＩｎから選択される少なくとも一種を５原子％≦ＡＥ≦５０原子％含有する、請求項５記載の磁石ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は回転機用ロータ、そのロータの製造方法および磁石ユニットに関する。この回転機にはモータおよびジェネレータが含まれる。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種ロータとしては、永久磁石を鋼製ロータ本体に合成樹脂接着剤を用いて接合したものが知られている（例えば、特公昭６１−３３３３９号公報参照）。
【０００３】
このように合成樹脂接着剤を用いる理由は、永久磁石、特に、希土類元素を含む永久磁石は、非常に脆いため機械加工性が悪く、また高温下に曝されると、金属組織が変化するのでそれに伴い磁気特性が影響を受ける、といった性質を有し、そのため、永久磁石を鋼製ロータ本体に取付ける場合、あり差し構造、ねじ止め、溶接等の取付手段を採用することができないからである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、合成樹脂接着剤による接合では、回転機の運転に伴いそのロータの温度が上昇し、例えばロータ温度が１００℃になると、永久磁石の接合強度が著しく低下する、といった問題がある。このような状況下ではモータの高速回転化の要請に到底対応することはできない。
【０００５】
本発明は前記に鑑み、各永久磁石の接合強度が高く、またロータ温度が上昇しても、各永久磁石の接合強度が損われることがなく、しかも各永久磁石の接合構造に対する信頼性の高い前記回転機用ロータを提供することを目的とする。
【０００６】
また本発明は前記回転機用ロータの生産性および歩留りを向上させることのできる前記製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
さらに本発明は、回転機用ロータの生産性向上に寄与し、またロータ温度の上昇、降下に伴う永久磁石の割れ発生を回避し得る前記磁石ユニットを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る回転機用ロータは、ロータ本体と、そのロータ本体の外周部に取付けられた複数の磁石ユニットとを備え、各磁石ユニットは、複数の鋼板を積層して構成され前記ロータ本体に取付けられる台座と、その台座に、加熱下で、希土類元素系合金よりなるろう材よりなる接合層を介して接合された希土類元素含有の永久磁石とより構成され、前記台座の少なくとも鋼板積層方向両端部側において、相隣る両鋼板間に、加熱接合により生じた間隙が存することを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る回転機用ロータの製造方法は、希土類元素を含有する永久磁石と、複数の鋼板を積層してなる台座との間に、希土類元素系合金よりなるろう材を介在させて複数の重ね合せ物を得る第１の工程と、それら重ね合せ物を加熱して、前記永久磁石と台座とを前記ろう材よりなる接合層を介して接合した複数の磁石ユニットを得る第２の工程と、ロータ本体の外周部に、各磁石ユニットをその台座を介して取付ける第３の工程とを用い、各磁石ユニットにおいては、前記台座の少なくとも鋼板積層方向両端部側において、相隣る両鋼板間に、前記第２の工程における加熱接合により生じた間隙が存することを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る磁石ユニットは、複数の鋼板を積層してなる台座と、その台座に、加熱下で、希土類元素系合金よりなるろう材よりなる接合層を介して接合された希土類元素含有の永久磁石とより構成され、前記台座の少なくとも鋼板積層方向両端部側において、相隣る両鋼板間に、加熱接合により生じた間隙が存することを特徴とする。
【００１１】
【作用】
前記ロータにおいて、希土類元素を含有し非常に脆い各永久磁石の接合には、希土類元素系合金よりなる高活性なろう材による接合方式が採用されているので、各永久磁石は、これが希土類元素を含有し非常に脆いものであっても、その接合強度が高く、また回転機の運転に伴いロータ温度が合成樹脂接着剤の接合強度を低下させる温度、例えば１００℃に上昇しても、各永久磁石の接合強度が損われることはない。
【００１２】
しかも、各磁石ユニットにおいて、台座に対する永久磁石の接合状態を確認した上で、各磁石ユニットのロータ本体への取付けを行うことが可能であるから、ロータにおいて各永久磁石の接合構造に対する信頼性が高い。
【００１３】
前記製造方法において、各磁石ユニットの製造に当っては、各台座の熱容量が比較的小さいので、接合に必要な加熱温度までの昇温および加熱接合後の冷却を比較的短時間のうちに行うことが可能であり、これにより接合処理に要する時間が短縮される。
【００１４】
またロータ本体への各磁石ユニットの取付けを台座を介して行うので、その取付手段の選択自由度が高く、例えば、あり−あり溝による嵌合、溶接、ねじ止め、かしめ等の手段を採用することが可能であり、前記取付けを容易に行うことができる。
【００１５】
これにより、ロータの生産性の向上が図られる。
【００１６】
さらに各磁石ユニットの製造に当っては、永久磁石、ろう材および台座よりなる重ね合せ物を加熱する、といった手段を採用するので、各重ね合せ物の加熱状態を均一化して接合不良の発生を極力抑制することができ、これにより磁石ユニット、延いてはロータの歩留りの向上が図られる。
【００１７】
例えば、ロータ本体の外周部に複数の永久磁石をろう材を用いて直接的に加熱接合する方式を採用すると、ロータ本体の熱容量が比較的大きいため、接合処理に要する時間が、同一永久磁石数において、磁石ユニットを得る場合の約２倍となり、また１つの永久磁石に割れが生じた場合には、そのロータが不良品となる、といった無駄を生じるが、前記磁石ユニットを製造し、且つ使用すれば、前記問題を回避し得る。
【００１８】
前記磁石ユニットにおいて、その磁石ユニットは、台座を介してロータ本体に容易に取付けられるので、ロータの生産性向上に寄与する。
【００１９】
また、ロータ温度の上昇、降下に伴い、台座の鋼板積層方向両端部側には熱応力が集中するが、これら両端部側においては相隣る両鋼板間に間隙が存するので、それら鋼板の膨脹、収縮は前記間隙により吸収され、これにより前記両端部側における熱応力を緩和して永久磁石の割れ発生を回避し得る。
【００２０】
【実施例】
図１，２において、回転機としてのモータ用ロータ１は、複数の円形鋼板２を積層して構成された円筒形ロータ本体３と、そのロータ本体３の外周部に取付けられた複数の磁石ユニット４とを備えている。ロータ本体３の中心に存するスプライン孔５に、ロータ軸６のスプライン軸部７が圧入され、スプライン孔５の両開口縁部はロータ軸６にそれぞれ溶接部８を介して固着される。
【００２１】
ロータ本体３は、スプライン孔５を備えたボス部９と、そのボス部９外周面から放射状に延びる複数のアーム部１０と、各アーム部１０に連設されたリム部１１とからなる。リム部１１に、その外周面母線方向に延びる複数のあり溝１２が形成されている。
【００２２】
図３に示すように、各磁石ユニット４は断面あり形をなす台座１３と、その台座１３の短平行辺側の接合面に、加熱下で、ろう材よりなる接合層１４を介して接合された永久磁石１５とより構成される。
【００２３】
各磁石ユニット４は、その台座１３をロータ本体３のあり溝１２に嵌合させてロータ本体３に取付けられている。
【００２４】
ロータ１において、各永久磁石１５の接合にはろう材による接合方式が採用されているので、各永久磁石１５の接合強度が高く、またモータの運転に伴いロータ温度が合成樹脂接着剤の接合強度を低下させる、例えば１００℃に上昇しても、各永久磁石１５の接合強度が損なわれることはない。
【００２５】
しかも、各磁石ユニット４において、台座１３に対する永久磁石１５の接合状態を確認した上で、各磁石ユニット４のロータ本体３への取付けを行うことが可能であるから、ロータ１において各永久磁石１５の接合構造に対する信頼性が高い。
【００２６】
図３に明示するように、台座１３は複数のあり形鋼板１６を積層して構成され、各鋼板１６の接合にはかしめ手段１７が採用されている。
【００２７】
図４に示すように、台座１３において、その少なくとも鋼板積層方向ａ両端部側、図示例では前記方向ａの略全長に亘って、相隣る両鋼板１６間に、加熱接合により生じた間隙ｂが存する。
【００２８】
ロータ１において、ロータ温度の上昇、降下に伴い、台座１３の鋼板積層方向ａ両端部側には熱応力が集中する。前記構成によれば、これら両端部側においては相隣る両鋼板１６間に間隙ｂが存するので、それら鋼板１６の膨脹、収縮は前記間隙ｂにより吸収され、これにより前記両端部側における熱応力を緩和して各永久磁石１５の割れ発生を回避することができる。
【００２９】
ロータ１の製造に当っては、図５に示すように、永久磁石１５の接合面１８  と台座１３の短平行辺側の接合面１９との間に薄板状、箔状等のろう材２０を介在させて複数の重ね合せ物２１（図７（ａ）参照）を得る工程と、それら重ね合せ物２１を真空加熱炉内に設置し、加熱下で、ろう材２０を、例えば液相状態、または固相と液相とが共存する固液共存状態にして永久磁石１５と台座１３とをろう材２０よりなる接合層１４を介して接合した複数の磁石ユニット４を得る工程と、図６に示すようにロータ本体３の外周部に存する各あり溝１２に、各磁石ユニット４の台座１３を嵌合して、各磁石ユニット４をロータ本体３に取付ける工程と、が用いられる。
【００３０】
前記製造方法において、各磁石ユニット４の製造に当っては、各台座１３の熱容量が比較的小さいので、接合に必要な加熱温度までの昇温および加熱接合後の冷却を比較的短時間のうちに行うことが可能であり、これにより接合処理に要する時間が短縮される。
【００３１】
またロータ本体３への各磁石ユニット４の取付けを台座１３を介して行うので、その取付手段の選択自由度が高く、前記のようなあり（台座１３）−あり溝１２による嵌合の外に、溶接、ねじ止め、かしめ等の手段を採用することが可能である。したがって、各磁石ユニット４は、その台座１３を介してロータ本体３に容易に取付けられる。
【００３２】
これにより、ロータ１の生産性の向上が図られる。なお、あり−あり溝嵌合方式を採用した場合には、必要に応じて、各台座１３とロータ本体３とは溶接される。
【００３３】
さらに各磁石ユニット４の製造に当っては、永久磁石１５、ろう材２０および台座１３よりなる重ね合せ物２１を加熱する、といった手段を採用するので、各重ね合せ物２１の加熱状態を均一化して接合不良の発生を極力抑制することができ、これにより磁石ユニット４、延いてはロータ１の歩留りの向上が図られる。
【００３４】
次に磁石ユニット４における加熱接合メカニズムを図４，図７により説明する。図７（ａ）の加熱前においては、重ね合せ物２１を形成する永久磁石１５と台座１３の長さｃ１  は等しい。図７（ｂ）の加熱中においては、永久磁石１５および台座１３が膨脹し、それらの長さが加熱前よりも長くなり、ｃ２  ＞ｃ１  、ｃ３  ＞ｃ１  （ただし、ｃ３  ＞ｃ２  ）となる。冷却後においては、図４に示すように冷却工程で、熱膨脹率が大きい方の台座１３における各鋼板１６が収縮すると共に永久磁石１５に接合されるので、永久磁石１５側において相隣る両鋼板１６間に間隙ｂが生じ、その結果、台座１３の永久磁石１５側は、加熱前の長さｃ１  よりも長い状態に拘束され、ｃ４  ＞ｃ１  （例えば、ｃ４  ≒１．０１×ｃ１  ）となる。
【００３５】
これにより、加熱中における台座１３の長さｃ３  が、冷却後において加熱前の長さｃ１  に略復元する場合に比べ、接合層１４に発生する熱応力が緩和されるので、永久磁石１５が脆くても、それに割れが生じる、といった不具合を回避することができる。
【００３６】
永久磁石１５としては、ＮｄＦｅＢ系永久磁石、ＳｍＣｏ系永久磁石等の希土類元素を含むものが用いられる。このような永久磁石１５は、接合処理時の加熱温度ＴがＴ＞６５０℃になると、その磁気特性、特に、着磁後の保磁力  ＩＨｃ  （磁化の長さＩ＝０）が低下傾向となる。ただし、残留磁束密度Ｂｒおよび保磁力  ＢＨｃ  （磁束密度Ｂ＝０）は殆ど変わらず、したがって最大磁気エネルギ積（ＢＨ）ｍａｘは略一定である。
【００３７】
ろう材２０としては、前記のような希土類元素を含む永久磁石１５の磁気特性を低下させない加熱温度Ｔ、つまりＴ≦６５０℃で接合力を発揮するものでなければならない。また、この接合力は、加熱下において、ろう材２０が固相状態である場合にはその拡散性により発現し、一方、ろう材２０が液相状態または固液共存状態である場合にはその濡れ性により発現することが必要である。
【００３８】
このような観点から、ろう材２０としては、希土類元素系合金より構成された高活性なものが用いられる。
【００３９】
この希土類元素系合金における希土類元素には、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕから選択される少なくとも一種が該当し、それらは単体、または混合物であるＭｍ（ミッシュメタル）、Ｄｉ（ジジミウム）の形態で用いられる。また合金元素ＡＥは希土類元素と共晶反応を行うもので、その合金元素ＡＥには、Ｃｕ、Ａｌ、Ｇａ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ａｇ、Ｎｉ、Ａｕ、Ｍｎ、Ｚｎ、Ｐｄ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｐｂ、Ｂｉ、ＧｅおよびＩｎから選択される少なくとも一種が該当する。合金元素ＡＥの含有量は５原子％≦ＡＥ≦５０原子％に設定される。二種以上の合金元素ＡＥを含有する場合には、それらの合計含有量が５原子％≦ＡＥ≦５０原子％となる。ただし、合金元素ＡＥの含有量がＡＥ＞５０原子％では希土類元素系合金の活性が損われ、一方、ＡＥ＜５原子％では、固液共存状態において液相を確保することが難しくなる。
【００４０】
希土類元素系合金における共晶合金を例示すれば表１の通りである。
【００４１】
【表１】
0003631808.tif 000002
【００４２】
また希土類元素系合金における亜、過共晶合金としては以下のものを挙げることができる。各化学式において、数値の単位は原子％であり、これは以下同じである。
（ａ）  Ｎｄ６０Ｃｕ４０合金、Ｎｄ７５Ｃｕ２５合金、Ｎｄ８０Ｃｕ２０合金、Ｎｄ５０Ｃｕ５０合金……液相発生温度５２０℃（図８参照）
（ｂ）  Ｓｍ７５Ｃｕ２５合金、Ｓｍ６５Ｃｕ３５合金……液相発生温度５９７℃
（ｃ）  Ｎｄ９０Ａｌ１０合金（液相発生温度６３４℃）、Ｎｄ８０Ｃｏ２０合金（液相発生温度５９９℃）、Ｌａ８５Ｇａ１５合金（液相発生温度５５０℃）
さらに三元系合金としては、Ｎｄ６５Ｆｅ５  Ｃｕ３０合金（液相発生温度５０１℃）およびＮｄ７０Ｃｕ２５Ａｌ５  合金（液相発生温度４７４℃）を挙げることができる。
【００４３】
磁石ユニット４の接合過程における加熱時間ｈは、それが長過ぎる場合には台座１３および永久磁石１５の特性に影響を与えるので、ｈ≦１０時間であることが望ましく、生産性向上の観点からはｈ≦１時間である。
【００４４】
なお、永久磁石２に対する着磁処理は各磁石ユニット４をロータ本体３に取付けた後行われる。
【００４５】
以下、ロータ１の具体的製造例について説明する。
【００４６】
ロータ本体３として、図１，６に示すように、厚さ０．４ｍｍの複数の円形冷間圧延鋼板２を積層して構成され、外径が１３６ｍｍ、長さが１００ｍｍ、あり溝１２の数が１２個、そのあり溝１２の開口幅ｄがｄ＝２２ｍｍ、底面幅ｅがｅ＝３０ｍｍ、深さｆがｆ＝５ｍｍ、母線方向の長さｇがｇ＝１００ｍｍであって、ロータ軸６を備えたものを用意した。
【００４７】
台座１３として、図５に示すように、厚さ０．４ｍｍのあり形冷間圧延鋼板１６を積層して構成され、短平行辺長さｈがｈ＝２１．８ｍｍ、長平行辺長さｋがｋ＝２９．８ｍｍ、高さｍがｍ＝４．９ｍｍ、長さｎがｎ＝１００ｍｍであるものを用意した。
【００４８】
ろう材２０として、Ｎｄ７０Ｃｕ２５Ａｌ５  合金よりなり、縦１００ｍｍ、横２２ｍｍ、厚さ０．１ｍｍの箔状ろう材を用意した。
【００４９】
永久磁石１５として、縦１００ｍｍ、横２２ｍｍ、厚さ６ｍｍのＮｄＦｅＢ系永久磁石（住友特殊金属社製、商品名ＮＥＯＭＡＸ−２８ＵＨ、キュリー点３１０℃）を選定した。
【００５０】
図５，７（ａ）に示すように、台座１３の上向きの接合面１９上に箔状ろう材２０を重ね合せ、そのろう材２０の上に永久磁石１５をその接合面１８を下向きにして重ね合せて重ね合せ物２１を作製し、同様の手順で合計１２個の重ね合せ物２１を作製した。その後、全部の重ね合せ物２１を真空加熱炉内に設置して、加熱温度Ｔ＝５３０℃、加熱時間ｈ＝１５分間の加熱工程、それに次ぐ炉冷よりなる接合処理を行って、図３に示すように永久磁石１５を接合層１４を介し台座１３に接合した１２個の磁石ユニット４を得た。この接合処理においては、加熱温度Ｔが５３０℃であって、ろう材２０の前記液相発生温度４７４℃を超えているので、ろう材２０は液相状態となる。
【００５１】
これらの磁石ユニット４においては、相隣る両鋼板１６間の全てに間隙ｂが存在しており、その間隙ｂにおける両鋼板１６の先端縁間の平均長さｂ１  は約４μｍであった。また各磁石ユニット４において永久磁石１５に割れの発生はなかった。
【００５２】
図６に示すように、ロータ本体３の各あり溝１２に各磁石ユニット４の台座１３を嵌合してロータ１を得た。
【００５３】
ロータ１の耐熱性を調べるため、ロータ１を加熱炉内に設置して１５０℃で、１時間加熱し、次いで室温下にて冷却したところ、各永久磁石１５に割れの発生はなかった。
【００５４】
またロータ１においては、それが１００００ｒｐｍ  以上で高速回転してもロータ本体３からの永久磁石１５の脱落は皆無であった。
【００５５】
さらに、ロータ１の歩留りを調べるため、１００個のロータ１に対応すべく１２００個の磁石ユニット４を製造したところ、３個の磁石ユニット４において接合不良が発生した。
【００５６】
このことから、磁石ユニット４の歩留りＲは、Ｒ＝｛（１２００−３）／１２００｝×１００≒９９．８％であり、したがってロータ１の歩留りを大いに向上させ得ることが判明した。
【００５７】
【発明の効果】
本発明によれば、ロータにおいて、希土類元素を含有し非常に脆い各永久磁石の接合には、希土類元素系合金よりなる高活性なろう材による接合方式が採用されているので、回転機の運転に伴いロータ温度が上昇しても希土類元素含有の永久磁石の接合強度が損われることがなく、しかも各永久磁石の接合構造に対する信頼性の高い回転機用ロータを提供することができる。
【００５８】
また本発明によれば、前記のような特定の手段を採用することによって、回転機用ロータの生産性および歩留りを向上させることが可能な製造方法を提供することができる。
【００５９】
さらに本発明によれば、磁石ユニットを前記のように構成することによって、回転機用ロータの生産性向上に寄与することができ、また特に台座を積層鋼板とした上で、その台座の少なくとも鋼板積層方向両端部側において、相隣る両鋼板間に、台座に加熱下で永久磁石をろう材を介して接合（即ち加熱接合）することにより生じた間隙が存するようにしたので、ロータ温度の上昇、降下に伴い台座の鋼板積層方向両端部側に発生する熱応力を緩和して、永久磁石の割れ発生を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ロータの一例を示す断面図で、図２の１−１線断面図に相当する。
【図２】図１の２−２線断面図である。
【図３】磁石ユニットの斜視図である。
【図４】磁石ユニットの構造を説明する断面図である。
【図５】台座に対する永久磁石およびろう材の重ね合せ方を示す斜視図である。
【図６】ロータ本体に対する磁石ユニットの取付け方を示す斜視図である。
【図７】加熱接合メカニズムを説明するための断面図である。
【図８】Ｎｄ−Ｃｕ系状態図の要部を示す。
【符号の説明】
１      ロータ
３      ロータ本体
４      磁石ユニット
１３    台座
１４    接合層
１５    永久磁石
１６    鋼板
２０    ろう材
２１    重ね合せ物
ａ      鋼板積層方向
ｂ      間隙
【図１】
0003631808.tif 000003
【図２】
0003631808.tif 000004
【図３】
0003631808.tif 000005
【図４】
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【図５】
0003631808.tif 000007
【図６】
0003631808.tif 000008
【図７】
0003631808.tif 000009
【図８】
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