(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの天井面に設置されてクリーンルームにエアを吹き出すフィルタユニットのフィルタ性能評価装置において、
前記フィルタユニットから吹き出されたエアの流量、塵埃濃度等のフィルタ性能を測定するセンサーと
前記フィルタユニットのエア吹出面と平行な水平面を画成する枠体と、
前記枠体で画成された水平面内で前記センサーを移動させる面内移動手段と、
前記枠体を昇降させる昇降手段と、
前記センサーの測定値に基づいて前記フィルタ性能を評価する評価手段と、
前記面内移動手段と前記評価手段とが搭載された台車と、から成り、
前記面内移動手段は、交差して配置されるとともに、前記枠体に形成されたレールに沿って移動自在に設けられたＸロッド及びＹロッドと、
前記Ｘロッド及びＹロッドの交差位置に設けられ、前記Ｘロッド及びＹロッドに摺動自在に設けられるとともに、前記センサーが取り付けられた移動駒と、
前記枠体に設けられ、前記Ｘロッド、前記Ｙロッドを移動させて前記交差位置を変えることにより前記移動駒を介して前記センサーを前記枠体の水平面内で移動させる駆動手段と、
から成ることを特徴とするフィルタ性能評価装置。
【請求項２】
クリーンルームに設置されたフィルタユニットから吹き出されるエアの流量、塵埃濃度等を測定するセンサーと、
該センサーをフィルタユニットのエア吹出面に沿って水平移動させる水平移動手段とを備えたフィルタ性能評価装置において、
前記水平移動手段は、前記フィルタユニットのエア吹出面と平行な水平面を画成する枠体と、
前記枠体で画成された水平面内で前記センサーを移動させる面内移動手段と、を備え、  前記面内移動手段は、交差して配置されるとともに、前記枠体に形成されたレールに沿って移動自在に設けられたＸロッド及びＹロッドと、
前記Ｘロッド及びＹロッドの交差位置に設けられ、前記Ｘロッド及びＹロッドに摺動自在に設けられるとともに、前記センサーが取り付けられた移動駒と、
前記枠体に設けられ、前記Ｘロッド、前記Ｙロッドを移動させて前記交差位置を変えることにより前記移動駒を介して前記センサーを前記枠体の水平面内で移動させる駆動手段と、
から成ることを特徴とするフィルタ性能評価装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はフィルタ性能評価装置に係り、特にクリーンルームの天井面に設置されてクリーンルームにエアを吹き出すフィルタユニットのフィルタ性能評価装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工場等のクリーンルームの天井面には、複数のフィルタユニットが敷設され、これらのフィルタユニットによってエア中の塵埃が捕集されて、クリーンルーム内に清浄エアが供給される。従って、フィルタユニットの不良、例えば、フィルタとそれを支える枠との間に接着不良等が発生すると、エア中の塵埃が多量にクリーンルームに流入し、クリーンルームの清浄度は低下する。そこで、フィルタユニットから吹き出されるエアの流量や塵埃濃度等の評価項目を測定することにより、フィルタユニットの現在の性能を評価し、許容値から外れたフィルタユニットを修繕するようにしている。
【０００３】
従来のフィルタ性能評価装置は、前記評価項目を測定するセンサーを汎用ロボットのアーム先端で取り付け、このセンサーをフィルタユニットのエア吹出面に沿って水平移動させて前記評価項目を測定している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のフィルタ性能評価装置は、ロボットを使用しているため、非常に高価且つ重量物となり、また、ロボットのアーム先端をフィルタユニットのエア吹出面に沿って水平移動させるためのティーチング作業に手間がかかるという欠点があった。
【０００５】
また、従来装置では、測定位置によってセンサーに対するアームの位置が異なるために測定位置ごとにセンサーの周囲の気流が変化したり、センサーの近辺に設けられたアーム移動用の駆動ケーブルや駆動源がノイズを発生させたりし、フィルタユニットの評価精度が悪くなるという欠点があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ロボットを使用せずに簡素な機構でセンサーを移動でき、且つ正確な評価ができるフィルタ性能評価装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】
本発明は前記目的を達成する為に、クリーンルームの天井面に設置されてクリーンルームにエアを吹き出すフィルタユニットのフィルタ性能評価装置において、前記フィルタユニットから吹き出されたエアの流量、塵埃濃度等のフィルタ性能を測定するセンサーと、前記フィルタユニットのエア吹出面と平行な水平面を画成する枠体と、前記枠体で画成された水平面内で前記センサーを移動させる面内移動手段と、前記枠体を昇降させる昇降手段と、前記センサーの測定値に基づいて前記フィルタ性能を評価する評価手段と、前記面内移動手段と前記評価手段とが搭載された台車と、から成り、前記面内移動手段は、交差して配置されるとともに、前記枠体に形成されたレールに沿って移動自在に設けられたＸロッド及びＹロッドと、前記Ｘロッド及びＹロッドの交差位置に設けられ、前記Ｘロッド及びＹロッドに摺動自在に設けられるとともに、前記センサーが取り付けられた移動駒と、前記枠体に設けられ、前記Ｘロッド、前記Ｙロッドを移動させて前記交差位置を変えることにより前記移動駒を介して前記センサーを前記枠体の水平面内で移動させる駆動手段と、から成ることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明は前記目的を達成する為に、クリーンルームに設置されたフィルタユニットから吹き出されるエアの流量、塵埃濃度等を測定するセンサーと、該センサーをフィルタユニットのエア吹出面に沿って水平移動させる水平移動手段とを備えたフィルタ性能評価装置において、前記水平移動手段は、前記フィルタユニットのエア吹出面と平行な水平面を画成する枠体と、前記枠体で画成された水平面内で前記センサーを移動させる面内移動手段と、を備え、前記面内移動手段は、交差して配置されるとともに、前記枠体に形成されたレールに沿って移動自在に設けられたＸロッド及びＹロッドと、前記Ｘロッド及びＹロッドの交差位置に設けられ、前記Ｘロッド及びＹロッドに摺動自在に設けられるとともに、前記センサーが取り付けられた移動駒と、前記枠体に設けられ、前記Ｘロッド、前記Ｙロッドを移動させて前記交差位置を変えることにより前記移動駒を介して前記センサーを前記枠体の水平面内で移動させる駆動手段と、から成ることを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、フィルタユニットの吹出面と平行な水平面を画成する枠体を設け、エアの流量や塵埃濃度等を測定するセンサーを前記枠体の水平面内で移動させる。これにより、前記センサーは、前記枠体の水平面内で移動させるだけで、確実にフィルタユニットのエア吹出面と平行に移動できる。従って、ロボットを使用しなくても、簡素な機構によりセンサーを前記枠体の水平面内で移動することができる。
【０００９】
また、本発明によれば、前記枠体に移動自在に支持されると共に直交するＸ、Ｙの２軸を有する移動部材を設け、前記移動部材の２軸が交差する交差位置に前記センサーが取り付けられる移動駒をＸ軸及びＹ軸に摺動自在に設置する。そして、前記移動部材のＸ軸をＹ軸方向に、前記移動部材のＹ軸をＸ軸方向に移動して、前記交差位置を変えることにより、移動駒を介してセンサーを移動する。従って、本発明は、センサーの近辺に駆動源を設けずにセンサーを移動することができ、ノイズ等による測定誤差を抑えることができる。また、センサーは常にＸ軸、Ｙ軸を有する移動部材に支持され、センサーの位置によってセンサー周囲の気流が大きく異なることは無いので、フィルタ性能を正確に評価することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って、本発明に係るフィルタ性能評価装置の好ましい実施の形態について詳説する。本実施の形態では、クリーンルームの天井面に敷設されたフィルタユニットを評価する例で説明する。
図１は、本発明に係るフィルタ性能評価装置１０の斜視図である。
【００１１】
同図に示すように、フィルタ性能評価装置１０は主として、エア流量センサー１４、枠体１２、水圧シリンダ１６、評価装置１８及び台車２０で構成される。台車２０には、水圧シリンダ１６が、ロッド１７を鉛直方向に伸縮するように設置される。ポンプ５７は、台車２０に設置され、図示しないホースを介して水圧シリンダ１６及び水タンク５６に連結される。これにより、ポンプ５７を駆動すると、水タンク５６の水が水圧シリンダ１６に送り込まれてロッド１７が伸長し、ポンプ５７を停止すると水圧シリンダ１６の水が水タンク５６に戻ってロッド１７が収縮する。また、ポンプ５７は、信号ケーブルを介して制御装置５８に接続される。制御装置５８は、ポンプ５７の駆動又は停止信号をポンプに出力するように構成される。これにより、制御装置５８は、水圧シリンダ１６のロッド１７を伸縮することができる。
【００１２】
ロッド１７の上端には、凹状に形成された支持部材３０を介して枠体１２が設置される。枠体１２は、矩形に形成されると共に、その枠内で画成される平面がクリーンルームの天井面に敷設されたフィルタユニットのエア吹出面と平行に設置される。枠体１２の外部の一角部には、フィルタユニットに対する枠体１２の位置決め用のレーザーポインター５４が設置される。即ち、レーザーポインター５４からの出射光を天井面の所定のポイントに一致させると、フィルタユニットの一角と枠体１２の一角とを垂直方向に重ね合わせることができる。尚、フィルタユニットに対する枠体１２の位置決め機器としてレーザーポインター５４を用いたが、これに限定するものではない。
【００１３】
ここで、枠体１２の長辺１２Ａが示す方向をＸ軸、短辺１２Ｂが示す方向をＹ軸に設定する。長辺１２Ａ及び短辺１２Ｂの内側には、それぞれスライドレール２２Ａ及びスライドレール２２Ｂが設けられる。スライドレール２２Ａには、ライナー２４ＡがＸ軸方向にスライド自在に支持され、スライドレール２２Ｂには、ライナー２４ＢがＹ軸方向にスライド自在に支持される。また、対向するライナー２４Ａ、２４Ａには、２本のＹロッド（移動部材）２６ＡがＹ軸方向に架設され、対向するライナー２４Ｂ、２４Ｂには、２本のＸロッド（移動部材）２６ＢがＸ軸方向に架設される。これにより、Ｙロッド２６Ａは、Ｘ軸方向に移動することができ、Ｘロッド２６ＢはＹ軸方向に移動することができる。尚、スライドレール２２Ａとスライドレール２２Ｂは、Ｙロッド２６ＡとＸロッド２６Ｂが移動する際に干渉しないように設置され、例えば図１に示したように上下方向に位置をずらして設置される。
【００１４】
また、Ｙロッド２６ＡとＸロッド２６Ｂの交差位置には、移動駒２８が前記Ｙロッド２６Ａ及びＸロッド２６Ｂに摺動自在に設置される。これにより、Ｙロッド２６ＡやＸロッド２６Ｂを移動させて前記交差位置を変えると、移動駒２８が枠体１２で画成された水平面内で移動することができる。
移動駒２８には、エア流量センサー１４がエア吸気口を垂直上方に向けて取り付けられ、このエア流量センサー１４によってフィルタユニットから吹き出されるエアの流量が測定される。従って、エア流量センサー１４は、Ｙロッド２６ＡやＸロッド２６Ｂを移動することにより、移動駒２８を介して移動する。また、エア流量センサー１４は、信号ケーブルを介して評価装置１８に接続され、エア流量センサー１４で測定した測定値のデータが評価装置１８に出力される。
【００１５】
評価装置１８は、台車２０に設置され、信号ケーブルを介して制御装置５８に接続される。評価装置１８では、エア流量センサー１４の測定値が、評価装置１８に予め記録された許容値と比較される。そして、測定値が許容値を超えた際には、評価装置１８がアラームを発して作業者に知らせると共に、評価装置１８からエア流量センサー１４の移動を停止させる信号が制御装置５８に出力され、制御装置５８がエア流量センサー１４の移動を停止する。
【００１６】
図２は、エア流量センサー１４が枠体１２の水平面内を移動する面内移動機構の説明図である。図中、実線矢印は、Ｙロッド２６Ａを移動させるロープ３２Ａの移動方向を示し、点線矢印は、Ｘロッド２６Ｂを移動させるロープ３２Ｂの移動方向を示している。
図２に示すように、エア流量センサー１４の面内移動機構は、２本のロープ３２Ａ、３２Ｂ、２個のリール３４Ａ、３４Ｂ、２個のモーター３５Ａ、３５Ｂ及び複数のプーリから構成される。リール３４Ａに巻きかけられたロープ３２Ａは、プーリ３６、２段プーリ３８の下段プーリ、プーリ４０、３段プーリ４２の下段プーリ、２段プーリ４４の下段プーリ、２段プーリ４６の下段プーリ、３段プーリ４８の下段プーリ、プーリ５０、２段プーリ５２の下段プーリに巻きかけられた後、再びリール３４Ｂに巻き付けられる。
【００１７】
一方、リール３４Ｂに巻き付けられたロープ３２Ｂは、３段プーリ４２の上段プーリ、２段プーリ５２の上段プーリ、３段プーリ４２の中段プーリ、２段プーリ４４の上段プーリ、２段プーリ４６の上段プーリ、３段プーリ４８の上段プーリ、２段プーリ３８の上段プーリ及び３段プーリ４８の中段プーリに巻きかけられた後、リール３４Ｂに再び巻き付けらる。
【００１８】
リール３４Ａ、３４Ｂは、それぞれモーター３５Ａ、３５Ｂに連結され、モーター３５Ａ、３５Ｂの回転に連動するように構成される。モーター３５Ａ、３５Ｂは、正回転及び逆回転することが可能であり、例えば、モーター３５Ａを正回転するとロープ３２Ａは実線矢印方向に移動し、モーター３５Ｂを正回転するとロープ３２Ｂは点線方向に移動するように構成される。
【００１９】
また、前述したライナー２４Ａは、ロープＡの内側部分に固定され、対向する一対のライナー２４Ａ、２４Ａが同方向に移動するように構成される。同様に、ライナー２４Ｂは、ロープＢの内側部分に固定され、対向する一対のライナー２４Ｂ、２４Ｂが同方向に移動するように構成される。これにより、モーター３５Ａを回転させると、ライナー２４Ａ、２４Ａ及びロープ３２Ａを介してＹロッド２６ＡがＸ軸方向にスライドし、モーター３５Ｂを回転させると、ライナー２４Ｂ、２４Ｂ及びロープ３２Ｂを介してＸロッド２６ＢがＹ軸方向にスライドする。
【００２０】
従って、モーター３５Ａ、３５Ｂを駆動することにより、Ｙロッド２６ＡとＸロッド２６Ｂの交差位置が変わり、移動駒２８を介してエア流量センサー１４の位置が移動する。このように、フィルタ性能評価装置１０では、エア流量センサー１４の回りに駆動源を設けることなく、エア流量センサー１４を移動させることができる。尚、ライナー２４Ａとロープ３２Ａ、及びライナー２４Ｂとロープ３２Ｂとの固定方法は何でも良いが、例えば、ロープ３２Ａの一端を直接ライナー２４Ａに結び付け、他端をスプリングを介してライナー２４Ａに接続する。これにより、ロープ２４Ａの弛みを防止することも可能である。
【００２１】
また、モーター３５Ａ、３５Ｂは、信号ケーブルを介して制御装置５８に接続される。制御装置５８は、モーター３５Ａ、３５Ｂを正回転、逆回転又は停止させ、エア流量センサー１４を移動又は停止させる。また、制御装置５８には、エア流量センサー１４の移動経路が予めプログラムされ、エア流量センサー１４がフィルタユニットの測定に適した移動経路を自動的に通過するように設定される。即ち、枠体１２をレーザーポインタ５４によりフィルタユニットに対して位置決めした後に、フィルタユニットの長辺長さＬ及び短辺長さＷを制御装置５８に入力すると、制御装置５８がモーター３５Ａ及びモーター３５Ｂの回転量を操作して、エア流量センサー１４が自動的に移動するように構成される。
【００２２】
次に上記の如く構成されたフィルタ性能評価装置１０の作用を図面に沿って説明する。
先ず、台車２０を移動して、枠体１２をフィルタユニットに対して位置決めする。即ち、台車２０を移動してレーザーポインタ５４からの出射光を天井面の所定のポイントに一致させ、枠体１２の一角がフィルタユニットの一角と垂直方向に重なるようにする。
【００２３】
次に、制御装置５８でポンプ５７を制御して水圧シリンダ１６のロッド１７を伸長し、エア流量センサー１４が測定に適した高さになるまで枠体１２を上昇する。
次に、フィルタユニットの長辺長さＬと短辺長さＷを制御装置５８に入力した後、エア流量センサー１４の移動とエア流量センサー１４による流量測定を開始する。エア流量センサー１４は、前述したように制御装置５８がモーター３５Ａ、３５Ｂを駆動させることにより移動する。即ち、モーター３５Ａ、３５Ｂが駆動してリール３４Ａ、３４Ｂが回転すると、ロープ３２Ａ、３２Ｂを介してライナー２４Ａ、２４Ｂがスライドし、Ｙロッド２６ＡとＸロッド２６Ｂが移動する。これにより、Ｙロッド２６ＡとＸロッド２６Ｂの交差位置が変わり、移動駒２８に取り付けられたエア流量センサー１４が移動する。また、制御装置５８には、予めエア流量センサー１４の移動経路がプログラムされているので、エア流量センサー１４は、エア流量を測定しながら自動的にフィルタ性能の測定に適した経路を通過する。
【００２４】
ところで、エア流量センサー１４の移動中、評価装置１８は、常にエア流量センサー１４の測定値を評価している。そして、前記測定値が予め設定した許容値を超えると、評価装置１８が、アラームを発して作業者にフィルタユニットの不良を知らせると共に、制御装置５８がエア流量センサー１４の移動を停止する。これにより、正常なフィルタ部分よりもエア流量が大きいフィルタユニットの不良箇所を特定することができる。
【００２５】
このように、本発明の実施の形態のフィルタ性能評価装置１０では、フィルタユニットのエア吹出面に水平に枠体１２を設置し、この枠体１２で画成される水平面内でエア流量センサー１４を移動させたので、ロボットを使用しなくても簡素な機構でエア流量センサー１４を移動することができる。従って、フィルタ性能評価装置１０を小型化及び軽量化することができる。
【００２６】
また、エア流量センサー１４を取り付けた移動駒２８をＹロッド２６ＡとＸロッド２６Ｂにより支持したので、エア流量センサー１４の位置によってセンサー２８近辺の気流が大きく変わることなく、正確にフィルタを評価することができる。更に、Ｙロッド２６ＡとＸロッド２６Ｂを介してエア流量センサー１４を移動させるので、駆動源をエア流量センサー１４の近辺に設置せず、ノイズ等による測定誤差を減らすことができる。
【００２７】
尚、上述した実施の形態ではエア流量センサー１４を用いたが、これに限定するものではない。また、エア流量センサー１４は、軽量且つ小型であるので移動駒２８に取り付けられたが、塵埃濃度センサーのように重量物のセンサーや大型のセンサーを移動駒２８に取り付けると、移動駒２８がスムーズに動かなくなったり、センサー近辺に乱流が生じたりし、正確な測定ができない。そこで、これらの場合には、センサーを台車２０に設置し、そのエア吸引ノズルのみを移動駒２８に取り付ける。図３は、塵埃濃度センサー６２を用いた場合のフィルタ性能評価装置６０である。
【００２８】
図３に示すように、移動駒２８には、漏斗状に形成されたノズル６４が取り付けられる。塵埃濃度センサー６２は台車２０上に設置され、エアホース６６を介してノズル６４に連結される。これにより、フィルタユニットから吹き出されるエアは、ノズル６４から吸引され、塵埃濃度センサー６２で測定される。また、塵埃濃度センサー６２は信号ケーブルを介して評価装置１８に接続され、評価装置１８は、塵埃濃度センサー６２の測定値によってフィルタユニットを評価するように構成される。尚、他の構成は、上述したエア流量センサー１４を取り付けた場合のフィルタ性能評価装置１０と同様であり、説明を省略する。
【００２９】
上記の如く構成されたフィルタ評価装置６０では、フィルタ性能評価装置１０の場合と同様に操作することにより、フィルタユニットの不良箇所を特定することができる。即ち、フィルタユニットの不良箇所まで塵埃濃度センサー６２が移動すると塵埃濃度が急激に大きくなり、評価装置１８がアラームを発してフィルタの不良を作業者に知らせると共に、制御装置５８が塵埃濃度センサー６２の移動を停止する。
【００３０】
このように、塵埃濃度センサー６２を設置したフィルタ性能評価装置６０では、エア吸引用ノズルのみを移動駒２８に取り付けるので、移動駒２８にかかる負荷が軽減され、スムーズに移動することができ、作業効率を向上させることができる。尚、大型のセンサーを用いる場合にもフィルタ性能評価装置６０と同様に構成することで、センサー近辺の気流を大きく乱すことなく、正確にフィルタ性能を評価することができる。
【００３１】
また、上述した実施の形態では、移動駒２８をＹロッド２６ＡとＸロッド２６Ｂで支持したが、これに限定するものではない。例えば、移動駒２８をＹ軸方向に設置されたＹロッド２６Ａのみで支持し、移動駒２８がＸ軸方向にのみ移動するようにしてもよい。図４は、移動駒２８をＹロッド２６Ａのみで支持したフィルタ性能評価装置７０の枠体１２の斜視図である。尚、フィルタ性能評価装置７０では、フィルタ性能評価装置６０と同様に、塵埃濃度センサーを取り付けている。
【００３２】
同図に示すように、移動駒２８は、Ｙロッド２６Ａの中央に固定支持され、移動駒２８には、吸引口がスリット状に形成されたノズル７２が取り付けられる。ノズル７２は、その長辺が、Ｙ軸方向を示すと共にフィルタユニットの短辺よりも長くなるように形成される。また、ノズル７２は、エアホース７４を介して塵埃濃度センサー６２（図３参照）に連結される。また、Ｙロッド２６Ａは、図２に示した面内移動機構と同様に、ロープ３２Ａ、リール３４Ａ及びモーター３５Ａ等によってＸ軸方向にスライド自在に設置される。尚、他の構成は、フィルタ性能評価装置６０と同様であり、説明を省略する。
【００３３】
上記の如く構成されたフィルタ性能評価装置７０では、制御装置５８がリール３４Ａを回転させることにより、Ｙロッド２６Ａ及び移動駒２８を介してノズル７２がＸ軸方向に移動する。ノズル７２がフィルタユニットの不良箇所の真下まで移動すると、塵埃濃度が上昇するので、評価装置１８がアラームを発生して、ノズル７２が停止する。これにより、フィルタユニットの不良箇所をフィルタユニットの短辺方向で特定することができる。
【００３４】
このように、フィルタ性能評価装置７０では、スリット形状のノズル７２を移動駒２８に取り付け、移動駒２８をＸ軸方向に移動するので、より簡単な制御操作でフィルタユニットを評価でき、作業効率を向上させることができる。
尚、上述した実施の形態では、センサーやノズルを取り付けた移動駒２８を１個だけ設けたが、これに限定するものではなく、複数設置して同時に動かすことにより作業時間を短縮することができる。図５は、フィルタ性能評価装置７０においてノズル７２ををＸ軸方向に２個並設したフィルタ性能評価装置８０の枠体１２の斜視図である。
【００３５】
図５に示すように、フィルタ性能評価装置８０では、２個のノズル７２がＸ軸方向に並設される。ノズル７２、７２は、フィルタ性能評価装置７０と同様に、その長辺がＹ軸方向を示すと共にフィルタユニットの短辺よりも長くなるように形成される。ノズル７２、７２が取り付けられた移動駒２８、２８は、それぞれＹロッド２６Ａ、２６Ａの中央に固定され、ライナー２４Ａ、２４Ａ…を介してＸ軸方向に移動自在に設置される。枠体１２の内部には、図２で示した面内移動機構のうち、Ｙロッド２６Ａを移動させるための機構が設けられる。即ち、ライナー２４Ａ、２４Ａ…は、ロープ３２Ａに固定され、リール３４Ａの回転によりＸ軸方向に移動するように構成される。また、ライナー２４Ａ、２４Ａ…は、ロープ３２Ａに固定されているので、Ｙロッド２６Ａ、２６Ａ、は、一定間隔を保ったままＸ軸方向に移動するように構成されている。なお、ノズル７２、７２は、ノズル７２、７２同士の間隔が天井部に敷設されたフィルタユニットの間隔と一致するように設置される。
【００３６】
また、台車２０上には、２個の塵埃濃度センサー６２、６２が設置され、それぞれエアホース７４、７４を介してノズル７２、７２に連通すると共に、信号ケーブルを介して評価装置１８に接続される。評価装置１８は、塵埃濃度センサー６２、６２の２つの測定値のうちどちらか一方が許容値を超えると、アラームを発してどちらのフィルタユニットに不良が有るかを作業者に知らせると共に、ノズル７２、７２の移動を停止するように構成される。尚、他の構成は、フィルタ性能評価装置７０と同様であり、説明を省略する。
【００３７】
上記の如く構成されたフィルタ性能評価装置８０では、リール３４Ａを回転すると、ノズル７２、７２が同時にＸ軸方向に移動する。２個のノズル７２、７２の間隔はフィルタユニットの間隔と等しいので、塵埃濃度センサー６２、６２は、それぞれ別のフィルタユニットから吹き出されるエアの塵埃濃度を測定する。従って、２つのフィルタユニットを同時に評価することができる。即ち、どちらかのフィルタユニットに不良があると、評価装置１８がアラームを発して作業者に知らせると共に、ノズル７２、７２を同時に停止する。このとき、どちらのフィルタユニットに不良があるか分かるように構成されているので、フィルタユニットの不良箇所を特定することができる。
【００３８】
このように、フィルタ性能評価装置８０では、２つのフィルタユニットを同時に評価できるので、作業効率を向上させることができる。
尚、上述した実施の形態では、本発明にかかるフィルタ性能評価装置を、フィルタユニットの不良箇所を発見するために用いたが、これに限定するものではない。例えば、フィルタユニットから吹き出されるエアの流量分布や濃度分布を作成する場合に用いてもよい。この場合、評価装置１８はセンサーの測定値を記録するように構成すると、効率よく行うことができる。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のフィルタ性能評価装置では、フィルタユニットの吹出面に水平に枠体を設置し、この枠体の水平面内でセンサーを移動させたので、ロボットを使用しなくても簡素な機構でセンサーを移動することができる。また、センサーを取り付ける移動駒をＸ、Ｙの直交２軸を有する移動部材により支持したので、センサーの位置によって気流が大きく変わることはなく、正確にフィルタを評価することができる。更に、移動部材を移動させることによりセンサーを移動させるので、センサー近辺に駆動源を必要とせず、ノイズによる測定誤差を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るフィルタ性能評価装置の斜視図
【図２】図１のエア流量センサーの面内移動機構説明図
【図３】塵埃濃度センサーを用いたフィルタ性能評価装置の斜視図
【図４】図３のフィルタ性能評価装置において移動駒を１つの移動軸で支持した枠体の斜視図
【図５】図４においてノズルを２個並設したフィルタ性能評価装置の枠体の斜視図
【符号の説明】
１０…フィルタ性能評価装置
１２…枠体
１４…エア流量センサー
１６…水圧シリンダ
１８…評価装置
２０…台車
２６Ａ…Ｙロッド
２６Ｂ…Ｘロッド
２８…移動駒
５８…制御装置
【図１】
0003675165.tif 000002
【図２】
0003675165.tif 000003
【図３】
0003675165.tif 000004
【図４】
0003675165.tif 000005
【図５】
0003675165.tif 000006