(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置決めする対象物と支持機構との間に固着して前記対象物の位置決めを行うための、圧電現象を利用したアクチュエータであって、当該アクチュエータの固着部及び電極部を除く少なくとも一部表面が自己潤滑性を有する被覆材料で構成された被覆膜によって覆われていることを特徴とする微小位置決めアクチュエータ。
【請求項２】
前記被覆膜が、当該アクチュエータの、固着部及び電極部を除く前記対象物側の表面の全て及び固着部及び電極部を除く前記支持機構側の表面の全てを覆うものであることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記被覆膜が、当該アクチュエータの固着部及び電極部を除く全ての表面を覆うものであることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記被覆膜の厚さが、当該アクチュエータと前記支持機構との固着間隙にほぼ等しいことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記被覆膜の厚さが、前記対象物と当該アクチュエータとの固着間隙にほぼ等しいことを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。
【請求項６】
少なくとも１つの薄膜磁気ヘッド素子を有する磁気ヘッドスライダと支持機構との間に固着して前記薄膜磁気ヘッド素子の位置決めを行うための、圧電現象を利用したアクチュエータであって、当該アクチュエータの固着部及び電極部を除く少なくとも一部表面が自己潤滑性を有する被覆材料で構成された被覆膜によって覆われていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド素子の位置決め用アクチュエータ。
【請求項７】
前記被覆膜が、当該アクチュエータの、固着部及び電極部を除く前記磁気ヘッドスライダ側の表面の全て及び固着部及び電極部を除く前記支持機構側の表面の全てを覆うものであることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ。
【請求項８】
前記被覆膜が、当該アクチュエータの固着部及び電極部を除く全ての表面を覆うものであることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ。
【請求項９】
前記被覆膜の厚さが、当該アクチュエータと前記支持機構との固着間隙にほぼ等しいことを特徴とする請求項６から８のいずれか１項に記載のアクチュエータ。
【請求項１０】
前記被覆膜の厚さが、前記磁気ヘッドスライダと当該アクチュエータとの固着間隙にほぼ等しいことを特徴とする請求項９に記載のアクチュエータ。
【請求項１１】
少なくとも１つの薄膜磁気ヘッド素子を有する磁気ヘッドスライダと、該磁気ヘッドスライダに固着されており前記薄膜磁気ヘッド素子の位置決めを行う圧電現象を利用したアクチュエータと、該アクチュエータが固着されており該アクチュエータを支持するための支持機構と、該アクチュエータの固着部及び電極部を除く少なくとも一部表面を覆う自己潤滑性を有する被覆材料で構成された被覆膜とを備えたことを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【請求項１２】
前記被覆膜が、前記アクチュエータの、固着部及び電極部を除く前記磁気ヘッドスライダ側の表面の全て及び固着部及び電極部を除く前記支持機構側の表面の全てを覆うものであることを特徴とする請求項１１に記載のヘッドサスペンションアセンブリ。
【請求項１３】
前記被覆膜が、前記アクチュエータの固着部及び電極部を除く全ての表面を覆うものであることを特徴とする請求項１１に記載のヘッドサスペンションアセンブリ。
【請求項１４】
前記被覆膜の厚さが、当該アクチュエータと前記支持機構との固着間隙にほぼ等しいことを特徴とする請求項１１から１３のいずれか１項に記載のヘッドサスペンションアセンブリ。
【請求項１５】
前記被覆膜の厚さが、前記磁気ヘッドスライダと当該アクチュエータとの固着間隙にほぼ等しいことを特徴とする請求項１４に記載のヘッドサスペンションアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、対象物の微小位置決めアクチュエータ、磁気ディスク装置に用いられる薄膜磁気ヘッド素子の位置決め用アクチュエータ及びこのアクチュエータを備えたヘッドサスペンションアセンブリに関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク装置では、ヘッドサスペンションアセンブリのサスペンションの先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、回転する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状態で、この磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘッド素子により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気ディスクからの再生が行われる。
【０００３】
近年、磁気ディスク装置の大容量化及び高密度記録化に伴い、ディスク半径方向（トラック幅方向）の密度の高密度化が進んできており、従来のごときボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）のみによる制御では、磁気ヘッドの位置を正確に合わせることが難しくなってきている。
【０００４】
磁気ヘッドの精密位置決めを実現する手段の一つとして提案されているのが、従来のＶＣＭよりさらに磁気ヘッドスライダ側にもう１つのアクチュエータ機構を搭載し、ＶＣＭで追従しきれない微細な精密位置決めを、そのアクチュエータによって行なう技術である（例えば、特開平６−２５９９０５号公報、特開平６−３０９８２２号公報、特開平８−１８０６２３号公報参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
圧電素子によるこの種のアクチュエータを用いた場合、圧電素子の粒子が脱落する（脱粒する）問題である。即ち、圧電材料自体が脆弱な材料であるため、通常の使用状態であっても素子自身の欠けやクラックが発生する確率が高く、ましてや長期間の動作により結晶等の粒界が剥離して脱粒が発生し易くなる。磁気ディスク上に配置されるこの種のアクチュエータにおいては、いかなる脱粒をも許されるものではない。
【０００６】
また、ヘッドサスペンションアセンブリにおいては、アクチュエータの動きを阻害しないために、磁気ヘッドスライダ及びアクチュエータ間、並びにアクチュエータ及びサスペンション間に間隙を置いて組み立てる必要があるが、このような間隙を設けることは、耐衝撃性を悪化させるのみならず、組み立てにあたって間隙を一定とするための管理が必要となる。
【０００７】
従って本発明は、従来技術の上述した問題点を解消するものであり、その目的は、圧電材料を用いた場合にも脱粒を防止できる微小位置決めアクチュエータ、薄膜磁気ヘッド素子の位置決め用アクチュエータ及びこのアクチュエータを備えたヘッドサスペンションアセンブリを提供することにある。
【０００８】
本発明の他の目的は、アクチュエータの動作を阻害することなくしかも組み立て作業が簡易化できる微小位置決めアクチュエータ、薄膜磁気ヘッド素子の位置決め用アクチュエータ及びこのアクチュエータを備えたヘッドサスペンションアセンブリを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、位置決めする対象物と支持機構との間に固着して対象物の位置決めを行うための、圧電現象を利用したアクチュエータであって、このアクチュエータの固着部及び電極部を除く少なくとも一部表面が自己潤滑性を有する被覆材料で構成された被覆膜によって覆われている微小位置決めアクチュエータが提供される。
【００１０】
さらに本発明によれば、少なくとも１つの薄膜磁気ヘッド素子を有する磁気ヘッドスライダと支持機構との間に固着して薄膜磁気ヘッド素子の位置決めを行うための、圧電現象を利用したアクチュエータであって、このアクチュエータの固着部及び電極部を除く少なくとも一部表面が自己潤滑性を有する被覆材料で構成された被覆膜によって覆われている薄膜磁気ヘッド素子の位置決め用アクチュエータが提供される。
【００１１】
またさらに本発明によれば、少なくとも１つの薄膜磁気ヘッド素子を有する磁気ヘッドスライダと、磁気ヘッドスライダに固着されており薄膜磁気ヘッド素子の位置決めを行う圧電現象を利用したアクチュエータと、アクチュエータが固着されておりアクチュエータを支持するための支持機構と、アクチュエータの固着部及び電極部を除く少なくとも一部表面を覆う自己潤滑性を有する被覆材料で構成された被覆膜とを備えたヘッドサスペンションアセンブリが提供される。
【００１２】
アクチュエータの固着部及び電極部を除く少なくとも一部表面が被覆膜によって覆われているため、少なくともその被覆膜の部分では脱粒が無くなる。特に本発明では、被覆膜が、自己潤滑性を有する被覆材料で構成されていることにより、耐衝撃性を緩和すべくアクチュエータと支持機構との間隙及び／又は磁気ヘッドスライダ若しくは対象物とアクチュエータとの間隙を狭くするかゼロとして両者に接触が生じた場合にも、アクチュエータと支持機構及び／又は磁気ヘッドスライダとの摩擦がほとんど発生せず、アクチュエータの動きが阻害されることは無い。
【００１３】
被覆膜が、アクチュエータの、固着部及び電極部を除く対象物側又は磁気ヘッドスライダ側の表面の全て及び固着部及び電極部を除く支持機構側の表面の全てを覆うものであることが好ましい。
【００１４】
被覆膜が、アクチュエータの固着部及び電極部を除く全ての表面を覆うものであることも好ましい。電極部は金属層で覆われており、また、固着部はアクチュエータを実装した場合に接着剤で覆われるので、アクチュエータの全てが被覆されることとなるから、脱粒が皆無となる。
【００１６】
被覆膜の厚さが、アクチュエータと支持機構との固着間隙にほぼ等しいこと及び／又は磁気ヘッドスライダ若しくは対象物とアクチュエータとの固着間隙にほぼ等しいことが好ましい。被覆膜の厚さをこのように設定すれば、アクチュエータ実装時の位置決めが非常に容易となり、組み立て作業の簡易化を図ることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施形態として、ヘッドサスペンションアセンブリの全体をスライダ側から見た平面図であり、図２は図１の実施形態におけるアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダのフレクシャへの取り付け構造を示す分解斜視図であり、図３は同じく図１の実施形態におけるアクチュエータの構造を示しており、（Ａ）は支持機構側から見た平面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は底面図である。さらに、図４は図１の実施形態におけるアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダのフレクシャへの取り付け構造を示す側面図である。
【００１８】
これらの図に示すように、ヘッドサスペンションアセンブリは、サスペンション１０の先端部に磁気ヘッド素子の精密位置決めを行うためのアクチュエータ１１を取り付け、そのアクチュエータ１１に磁気ヘッド素子を有するスライダ１２を固着して構成される。
【００１９】
周知のように、磁気ディスク駆動装置には、このようなヘッドサスペンションアセンブリを取り付けた駆動アームを変位させてアセンブリ全体を動かす主アクチュエータ（ＶＣＭ）が設けられている。アクチュエータ１１は、そのような主アクチュエータでは駆動できない微細な変位を可能にするために設けられている。
【００２０】
このアクチュエータ１１は、後述するように、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧電・電歪材料層を含む多層構造であり、磁気ヘッドスライダ１２とは機械的に、サスペンション１０とは電気的及び機械的に接続されている。その大きさは、例えば、１．２５ｍｍ×１．０ｍｍ×０．３ｍｍの磁気ヘッドスライダ１２とほぼ同等の大きさである。アクチュエータ１１の配置位置としては、本実施形態では、アクチュエータ１１の機械的、電気的性能を考慮して、サスペンション１０の先端部の磁気ヘッドスライダ１２からやや後方にずらした位置としている。
【００２１】
本実施形態では、アクチュエータ１１及び磁気ヘッドスライダ１２が、共に、磁気ディスク媒体の表面に対向するように、サスペンション１０の磁気ディスク媒体と対向する側の面上に取り付けられている。なお、図示されていないが、サスペンション１０の途中にヘッド駆動用ＩＣチップを装着してもよい。
【００２２】
サスペンション１０は、アクチュエータ１１を介してスライダ１２を一方の端部に設けられた舌部１６で担持する弾性を有するフレクシャ１３と、フレクシャ１３を支持固着しておりこれも弾性を有するロードビーム１４と、ロードビーム１４の基部に設けられたベースプレート１５とから主として構成されている。
【００２３】
ロードビーム１４は、アクチュエータ１１を介してスライダ１２を磁気ディスク方向に押さえつけるための弾性を持っている。
【００２４】
一方、フレクシャ１３は、ロードビーム１４に設けられたディンプルに押圧される軟らかい舌部１６を持ち、この舌部１６でアクチュエータ１１を介してスライダ１２を柔軟に支えるような弾性を持っている。本実施形態のように、フレクシャ１３とロードビーム１４とが独立した部品である３ピース構造のサスペンションでは、フレクシャ１３の剛性はロードビーム１４の剛性より低くなっている。
【００２５】
フレクシャ１３は、本実施形態では、厚さ約２５μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）によって構成されている。
【００２６】
フレクシャ１３上には、積層薄膜パターンによる複数のリード導体を含む可撓性の配線部材１７が形成されている。即ち、配線部材１７は、フレクシブルプリント回路（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔ  Ｃｉｒｃｕｉｔ、ＦＰＣ）のごとく金属薄板上にプリント基板を作成するのと同じ公知のパターニング方法で形成されている。例えば、厚さ約５μｍのポリイミド等の樹脂材料による第１の絶縁性材料層、パターン化された厚さ約４μｍのＣｕ層（リード導体層）及び厚さ約５μｍのポリイミド等の樹脂材料による第２の絶縁性材料層をこの順序でフレクシャ１３側から順次積層することによって形成される。ただし、磁気ヘッド素子及び外部回路と接続するための接続パッドの部分は、Ｃｕ層上にＡｕ層が積層形成されており、その上に絶縁性材料層は形成されていない。
【００２７】
本実施形態においてこの配線部材１７は、磁気ヘッド素子に接続される片側２本、両側で計４本のリード導体を含む第１の配線部材１７ａと、アクチュエータ１１に接続される片側２本、両側で計４本のリード導体を含む第２の配線部材１７ｂとから構成されている。
【００２８】
第１の配線部材１７ａのリード導体の一端は、フレクシャ１３の先端部に設けられた接続パッド１８に接続されている。接続パッド１８は、磁気ヘッドスライダ１２の端子電極に金ボンディング、ワイヤボンディング又はステッチボンディング等により接続されている。第１の配線部材１７ａのリード導体の他端は外部回路と接続するための接続パッド１９に接続されている。
【００２９】
第２の配線部材１７ｂのリード導体の一端は、フレクシャ１３の舌部１６に形成された接続パッドに接続されており、この接続パッドはアクチュエータ１１の端子電極に接続されている。第２の配線部材１７ｂのリード導体の他端は外部回路と接続するための接続パッド１９に接続されている。
【００３０】
ロードビーム１４は、先端に向けて幅が狭くなる形状の約６０〜６５μｍ厚の弾性を有するステンレス鋼板で構成されており、フレクシャ１３をその全長に渡って支持している。ただし、フレクシャ１３とロードビーム１４との固着は、複数の溶接点によるピンポイント固着によってなされている。
【００３１】
ベースプレート１５は、ステンレス鋼又は鉄で構成されており、ロードビーム１４の基部に溶接によって固着されている。このベースプレート１５を取り付け部２０で固定することによって、サスペンション１０の可動アーム（図示なし）への取り付けが行われる。なお、フレクシャ１３とロードビーム１４とを別個に設けず、ベースプレートとフレクシャ−ロードビームとの２ピース構造のサスペンションとしてもよい。
【００３２】
図２により詳細に示すように、アクチュエータ１１は、固定部１１ａ及び可動部１１ｂを有し、さらに、これらを接続する２本の棒状の変位発生部１１ｃ及び１１ｄを有する。変位発生部１１ｃ及び１１ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少なくとも１層設けられており、電極層に電圧を印加することにより伸縮を発生する構成となっている。圧電・電歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧電・電歪材料からなる。固定部１１ａには、上述の電極層に接続されている３つの端子電極１１ｅ〜１１ｇが形成されている。
【００３３】
特に本実施形態では、図３（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、アクチュエータ１１の上面（フレクシャに固着される側の面）において固着面１１ｈと端子電極１１ｅ〜１１ｇの部分とを除く全ての表面と、アクチュエータ１１の下面（磁気ヘッドスライダに固着される側の面）の固着面１１ｉを除く全ての表面とが被覆膜２１及び２２によってそれぞれ覆われている。被覆膜２１及び２２は、例えばテフロン膜、最上層をＤＬＣ（ダイアモンドライクカーボン）膜とした多層膜、フッ素樹脂膜のごとき表面が自己潤滑性を有する膜で構成されており、その厚さはアクチュエータ１１とフレクシャ又は磁気ヘッドスライダ１２との所望の固着間隙に合わせた値に設定されており、通常は、２５〜３５μｍ程度の厚さに形成されている。
【００３４】
図４に示すように、フレクシャ１３の舌部１６には、アクチュエータ１１の固定部１１ａにおける固着面１１ｈが接着剤２３によって接着されている。アクチュエータ１１の固着方法としては、その他に、アクチュエータ１１の固定部１１ａに設けられた端子電極１１ｅ〜１１ｇをフレクシャ１３の舌部１６に形成された接続パッドにハンダ接続すること、又は固定部１１ａに設けられた端子電極１１ｅ〜１１ｇをフレクシャ１３の舌部１６に形成された接続パッドに導電接着剤を用いて接着することであっても良い。アクチュエータ１１の可動部１１ｂは、磁気ヘッドスライダ１２の後端側（磁気ヘッド素子１２ｂの形成端側）の所定部１２ａに固着面１１ｉが接着剤２４により接着されることによって固着されている。
【００３５】
上述のごとく、変位発生部１１ｃ及び１１ｄの一端は固定部１１ａを介してフレクシャ１３に連結され、変位発生部１１ｃ及び１１ｄの他端は可動部１１ｂを介してスライダ１２に連結されている。従って、変位発生部１１ｃ及び１１ｄの伸縮によりスライダ１２が変位して、磁気ヘッド素子が磁気ディスクの記録トラックと交差するように弧状に変位する。
【００３６】
以下、アクチュエータ１１の構造についてより詳しく説明する。
【００３７】
変位発生部１１ｃ及び１１ｄにおける圧電・電歪材料層がＰＺＴ等のいわゆる圧電材料から構成されている場合、この圧電・電歪材料層には、通常、変位性能向上のための分極処理が施されている。この分極処理による分極方向は、アクチュエータ１１の厚さ方向である。電極層に電圧を印加したときの電界の向きが分極方向と一致する場合、両電極間の圧電・電歪材料層はその厚さ方向に伸長（圧電縦効果）し、その面内方向では収縮（圧電横効果）する。一方、電界の向きが分極方向と逆である場合、圧電・電歪材料層はその厚さ方向に収縮（圧電縦効果）し、その面内方向では伸長（圧電横効果）する。そして、一方の変位発生部と他方の変位発生部とに、収縮を生じさせる電圧を交互に印加すると、一方の変位発生部の長さと他方の変位発生部の長さとの比率が変化し、これによって両変位発生部はアクチュエータ１１の面内において同方向に撓む。この撓みによって、固定部１１ａに対し可動部１１ｂが、電圧無印加時の位置を中央として図２の矢印２５の方向に揺動することになる。この揺動は、可動部１１ｂが、変位発生部１１ｃ及び１１ｄの伸縮方向に対しほぼ直交する方向に弧状の軌跡を描く変位であり、揺動方向はアクチュエータの面内に存在する。従って、磁気ヘッド素子も弧状の軌跡を描いて揺動することになる。このとき、電圧と分極とは向きが同じなので、分極減衰のおそれがなく、好ましい。なお、両変位発生部に交互に印加する電圧が変位発生部を伸長させるものであっても、同様な揺動が生じる。
【００３８】
アクチュエータ１１としては、両変位発生部に、互いに逆の変位が生じるような電圧を同時に印加してもよい。即ち、一方の変位発生部と他方の変位発生部とに、一方が伸長したとき他方が収縮し、一方が収縮したとき他方が伸長するような交番電圧を同時に印加してもよい。このときの可動部１１ｂの揺動は、電圧無印加時の位置を中央とするものとなる。この場合、駆動電圧を同じとしたときの揺動の振幅は、電圧を交互に印加する場合の約２倍となる。ただし、この場合、揺動の一方の側では変位発生部を伸長させることになり、このときの駆動電圧は分極の向きと逆となる。このため、印加電圧が高い場合や継続的に電圧印加を行う場合には、圧電・電歪材料の分極が減衰するおそれがある。従って、分極と同じ向きに一定の直流バイアス電圧を加えておき、このバイアス電圧に前記交番電圧を重畳したものを駆動電圧とすることにより、駆動電圧の向きが分極の向きと逆になることがないようにする。この場合の揺動は、バイアス電圧だけを印加したときの位置を中央とするものとなる。
【００３９】
アクチュエータ１１は、所定箇所に電極層を設けた圧電・電歪材料の板状体に孔部および切り欠きを形成することにより、変位発生部１１ｃ及び１１ｄ、固定部１１ａ並びに可動部１１ｂを一体的に形成した構造となっている。従って、アクチュエータの剛性および寸法精度を高くでき、組立誤差が生じる心配もない。また、アクチュエータ自体の製造に接着剤を用いないため、変位発生部の変形によって応力が生じる部分に接着剤層が存在しない。このため、接着剤層による伝達ロスや、接着強度の経年変化などの問題も生じない。
【００４０】
なお、圧電・電歪材料とは、逆圧電効果または電歪効果により伸縮する材料を意味する。圧電・電歪材料は、上述したようなアクチュエータの変位発生部に適用可能な材料であれば何であってもよいが、剛性が高いことから、通常、ＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３］、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）等のセラミックス圧電・電歪材料が好ましい。
【００４１】
図５は本実施形態におけるヘッドサスペンションアセンブリの一製造過程を説明するためのフローチャートである。
【００４２】
まず、前述のごとく固着面及び電極部分を除く上面と固着面を除く下面とが、テフロン、ＤＬＣ、フッ素樹脂のごとき自己潤滑性を有する材料の被覆膜２１及び２２で覆われたアクチュエータ１１を用意する（ステップＳ１）。
【００４３】
一方、サスペンション側においては、用意されたサスペンション（ステップＳ２）のフレクシャ１３の舌部１６の接着部に接着剤を塗布する（ステップＳ３）。
【００４４】
次いで、これらアクチュエータ１１とサスペンションとの組み立てを行い（ステップＳ４）、その後、紫外線を照射して接着剤をある程度硬化させ、仮接着を行う（ステップＳ５）。
【００４５】
従来技術においては、アクチュエータとサスペンションとの固着間隙を３０μｍ程度とするため、両者間にスペーサを挿入して組み立てることが必要であり、また、接着剤の塗布量及び塗布個所に厳密な制御が必要であった。このため、工程管理が難しく、さらにスペーサ及びスペーサ挿入用の治具を使うことから製造の歩留が悪化していた。しかしながら本実施形態では、アクチュエータ１１の上面に所定厚さの被覆膜２１が形成されているので、組み立て時のアクチュエータの位置決めが非常に容易となり、固着間隙及び平行度の管理が容易となると共に歩留が向上する。また、接着剤の塗布量及び塗布個所に厳密な制御が不要となるので、その意味でも工程管理が容易となる。
【００４６】
次いで、アクチュエータ１１の端子電極１１ｅ〜１１ｇをフレクシャ１３の舌部１６に形成された接続パッドに接続すべく、対応する部分に銀ペーストを塗布し（ステップＳ６）、加熱して銀ペーストを焼成すると共に接着剤を完全に熱硬化させる（ステップＳ７）。
【００４７】
その後、このようにして組み立てたアクチュエータ−サスペンションアッシーにおけるアクチュエータ１１の固着面１１ｉ上に接着剤を塗布する（ステップＳ８）。
【００４８】
次いで、これらアクチュエータ−サスペンションアッシー上に磁気ヘッドスライダ１２を載置してヘッドサスペンションアセンブリの組み立てを行い（ステップＳ９）、その後、紫外線を照射して接着剤をある程度硬化させ、仮接着を行った（ステップＳ１０）後、さらに、加熱して接着剤を完全に熱硬化させる（ステップＳ１１）。
【００４９】
従来技術においては、アクチュエータ及びサスペンションの場合と同様に、アクチュエータと磁気ヘッドスライダとの固着間隙を３０μｍ程度とするため、両者間にスペーサを挿入して組み立てることが必要であり、また、接着剤の塗布量及び塗布個所に厳密な制御が必要であった。このため、工程管理が難しく、さらにスペーサ及びスペーサ挿入用の治具を使うことから製造の歩留が悪化していた。しかしながら本実施形態では、アクチュエータ１１の下面に所定厚さの被覆膜２２が形成されているので、組み立て時の磁気ヘッドスライダとアクチュエータとの位置決めが非常に容易となり、固着間隙及び平行度の管理が容易となると共に歩留が向上する。また、接着剤の塗布量及び塗布個所に厳密な制御が不要となるので、その意味でも工程管理が容易となる。
【００５０】
その後、磁気ヘッドスライダ１２の端子電極をフレクシャ１３の先端部に設けられた接続パッド１８に接続する処理を行う（ステップＳ１２）。
【００５１】
被覆膜２１及び２２が、テフロン、ＤＬＣ、フッ素樹脂のごとき自己潤滑性を有する材料で構成されているので、アクチュエータ１１とフレクシャ１３とが、又はアクチュエータ１１と磁気ヘッドスライダ１２とが接触している場合にも、両者間には摩擦がほとんど発生せず、アクチュエータ１１の動きが阻害されることは無い。
【００５２】
また、本実施形態においては、アクチュエータ１１の上面及び下面が被覆膜２１及び２２、接着剤並びに電極で覆われているため、脆弱な材料である圧電材料で形成してもこの部分で脱粒の生じることがない。
【００５３】
図６は本発明の他の実施形態におけるアクチュエータの構造を示しており、（Ａ）は支持機構側から見た平面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は底面図である。
【００５４】
同図に示すように、アクチュエータ６１は、固定部６１ａ及び可動部６１ｂを有し、さらに、これらを接続する２本の棒状の変位発生部６１ｃ及び６１ｄを有する。変位発生部６１ｃ及び６１ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少なくとも１層設けられており、電極層に電圧を印加することにより伸縮を発生する構成となっている。圧電・電歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧電・電歪材料からなる。固定部６１ａには、上述の電極層に接続されている３つの端子電極６１ｅ〜６１ｇが形成されている。
【００５５】
本実施形態では、特に、アクチュエータ６１の上面（フレクシャに固着される側の面）の固着面６１ｈ及び端子電極６１ｅ〜６１ｇの部分と、アクチュエータ６１の下面（磁気ヘッドスライダに固着される側の面）の固着面６１ｉとを除く全ての表面が被覆膜７１によって覆われている。被覆膜７１は、テフロン、ＤＬＣ（ダイアモンドライクカーボン）、フッ素樹脂のごとき自己潤滑性を有する材料で構成されており、その厚さはアクチュエータ６１とフレクシャ又は磁気ヘッドスライダとの所望の固着間隙に合わせた値に設定されている。通常は、２５〜３５μｍ程度の厚さに形成されている。ただし、ＤＬＣを用いる場合は、そのような厚さを確保することが難しいので、多層膜とし最上層をＤＬＣ膜とする必要がある。
【００５６】
このように、アクチュエータ６１の全ての表面が被覆膜７１、接着剤並びに電極で覆われているため、脆弱な材料である圧電材料で形成しても脱粒は完全に抑えられる。
【００５７】
本実施形態のその他の構成及び作用効果は、図１の実施形態の場合と全く同様であるため、説明を省略する。
【００５８】
以上、薄膜磁気ヘッド素子の位置決め用アクチュエータを備えたヘッドサスペンションアセンブリを用いて本発明を説明したが、本発明は、このようなアクチュエータにのみ限定されるものではなく、薄膜磁気ヘッド素子以外のあらゆる対象物について微小位置決めするアクチュエータにも適用可能である。
【００５９】
以上述べた実施形態は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【００６０】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本発明によれば、アクチュエータの固着部及び電極部を除く少なくとも一部表面が被覆膜によって覆われているため、少なくともその被覆膜の部分では脱粒が無くなる。特に、被覆膜が、自己潤滑性を有する被覆材料で構成されているので、耐衝撃性を緩和すべくアクチュエータと支持機構との間隙及び／又は磁気ヘッドスライダ若しくは対象物とアクチュエータとの間隙を狭くするかゼロとして両者に接触が生じた場合にも、両者間に摩擦がほとんど発生せず、アクチュエータの動きが阻害されることは無い。
【００６１】
被覆膜が、アクチュエータの固着部及び電極部を除く全ての表面を覆うものであれば、電極部は金属層で覆われており、また、固着部はアクチュエータを実装した場合に接着剤で覆われるので、アクチュエータの全てが被覆されることとなるから、脱粒が皆無となる。
【００６３】
被覆膜の厚さを、アクチュエータと支持機構との固着間隙及び／又は磁気ヘッドスライダ若しくは対象物とアクチュエータとの固着間隙にほぼ等しく設定すれば、アクチュエータ実装時の位置決めが非常に容易となり、組み立て作業の簡易化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態として、ヘッドサスペンションアセンブリの全体をスライダ側から見た平面図である。
【図２】図１の実施形態におけるアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダのフレクシャへの取り付け構造を示す分解斜視図である。
【図３】図１の実施形態におけるアクチュエータの構造を示しており、（Ａ）は支持機構側から見た平面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は底面図である。
【図４】図１の実施形態におけるアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダのフレクシャへの取り付け構造を示す側面図である。
【図５】図１の実施形態におけるヘッドサスペンションアセンブリの一製造過程を説明するためのフローチャートである。
【図６】本発明の他の実施形態におけるアクチュエータの構造を示しており、（Ａ）は支持機構側から見た平面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は底面図である。
【符号の説明】
１０  サスペンション
１１  アクチュエータ
１１ａ  固定部
１１ｂ  可動部
１１ｃ、１１ｄ  変位発生部
１１ｅ、１１ｆ、１１ｇ  端子電極
１１ｈ、１１ｉ  固着面
１２  磁気ヘッドスライダ
１３  フレクシャ
１４  ロードビーム
１５  ベースプレート
１６  舌部
１７  配線部材
１７ａ  第１の配線部材
１７ｂ  第２の配線部材
１８、１９  接続パッド
２０  取り付け部
２１、２２、７１  被覆膜
２３、２４  接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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