(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気することにより排ガス中に含まれる微粒子を除去する排ガス処理装置において、
フィルタ再生手段として、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度でフィルタ付着物を加熱する再生加熱手段と、圧縮ガスによりフィルタを逆洗してフィルタに付着しているすすを払い落とす逆洗手段とを備えたこと、
再生加熱手段は、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度の加熱再生ガスをフィルタに流し、この加熱再生スによってフィルタ付着物を加熱する加熱再生ガス供給手段であること、
加熱再生ガスをフィルタ全体に均一に分配する加熱再生ガス分配手段を、フィルタの上流側に配置したこと、
フィルタの排ガス通気方向はアップフローであり、
加熱再生ガス分配手段は、フォーク状に分岐した複数の分岐部を有するとともに各分岐部の間には隙間を有し且つ各分岐部の噴出孔が下流側にいくほど大きくて各噴出孔から噴出される加熱再生ガス量が等しくなるように形成されている加熱再生ガス分配管であり、この加熱再生ガス分配管をフィルタの下側に配置したことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項２】
エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気することにより排ガス中に含まれる微粒子を除去する排ガス処理装置において、
フィルタ再生手段として、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度でフィルタ付着物を加熱する再生加熱手段と、圧縮ガスによりフィルタを逆洗してフィルタに付着しているすすを払い落とす逆洗手段とを備えたこと、
再生加熱手段は、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度の加熱再生ガスをフィルタに流し、この加熱再生ガスによってフィルタ付着物を加熱する加熱再生ガス供給手段であること、
加熱再生ガス中に不燃ガスを混入して加熱再生ガスの酸素濃度を低減することにより、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度を高めたことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載の排ガス処理装置において、
加熱再生ガスの酸素濃度は体積比で５％以下とし、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度を４００〜６００℃としたことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項４】
エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気することにより排ガス中に含まれる微粒子を除去する排ガス処理装置において、
フィルタ再生手段として、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度でフィルタ付着物を加熱する再生加熱手段と、圧縮ガスによりフィルタを逆洗してフィルタに付着しているすすを払い落とす逆洗手段とを備えたこと、
フィルタ再生時には除塵処理時に比べて逆洗手段による逆洗間隔を短くし又は逆洗パルス噴射時間を長くするように構成したことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項５】
エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気して排ガス中に含まれる微粒子をフィルタでろ過して除去する排ガス処理装置において、
フィルタ再生手段として、外気を吸引してフィルタに流す再生用外気吸引手段と、圧縮ガスによりフィルタを逆洗してフィルタに付着しているすすを払い落とす逆洗手段とを備えたこと、
フィルタ再生時には除塵処理時に比べて逆洗手段による逆洗間隔を短くし又は逆洗パルス噴射時間を長くするように構成したことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項６】
エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気することにより排ガス中に含まれる微粒子を除去する排ガス処理装置において、
フィルタ再生手段として、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度でフィルタ付着物を加熱する再生加熱手段と、圧縮ガスによりフィルタを逆洗してフィルタに付着しているすすを払い落とす逆洗手段とを備えたこと、
フィルタ再生時に逆洗圧力を除塵処理時よりも高圧に切り換える逆洗圧力切換手段を備えたことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項７】
エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気して排ガス中に含まれる微粒子をフィルタでろ過して除去する排ガス処理装置において、
フィルタ再生手段として、外気を吸引してフィルタに流す再生用外気吸引手段と、圧縮ガスによりフィルタを逆洗してフィルタに付着しているすすを払い落とす逆洗手段とを備えたこと、
フィルタ再生時に逆洗圧力を除塵処理時よりも高圧に切り換える逆洗圧力切換手段を備えたことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項８】
エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気することにより排ガス中に含まれる微粒子を除去する排ガス処理装置において、
フィルタ再生手段として、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度でフィルタ付着物を加熱することにより、前記すすは燃焼させずに前記オイルミストの揮発だけを行う再生加熱手段と、前記オイルミストの揮発により粘着力を失った前記すすを、圧縮ガスによりフィルタを逆洗して払い落とす逆洗手段とを備えたことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項９】
請求項８に記載の排ガス処理装置において、
フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度を、３２０〜４００℃の範囲としたことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１０】
請求項８又は９に記載の排ガス処理装置において、
再生加熱手段は、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度の加熱再生ガスをフィルタに流し、この加熱再生ガスによってフィルタ付着物を加熱する加熱再生ガス供給手段であることを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の排ガス処理装置において、
加熱再生ガスをフィルタ全体に均一に分配する加熱再生ガス分配手段を、フィルタの上流側に配置したことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の排ガス処理装置において、
フィルタの排ガス通気方向はアップフローであり、
加熱再生ガス分配手段は、フォーク状に分岐した複数の分岐部を有するとともに各分岐部の間には隙間を有し且つ各分岐部の噴出孔が下流側にいくほど大きくて各噴出孔から噴出される加熱再生ガス量が等しくなるように形成されている加熱再生ガス分配管であり、この加熱再生ガス分配管をフィルタの下側に配置したことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１３】
請求項８,９,１０,１１又は１２に記載の排ガス処理装置において、
フィルタの外周面を加熱して同外周面からの放熱を防止するフィルタ外周面加熱手段を備えたことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１４】
請求項１０,１１又は１２に記載の排ガス処理装置において、
加熱再生ガス中に不燃ガスを混入して加熱再生ガスの酸素濃度を低減することにより、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度を高めたことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の排ガス処理装置において、
加熱再生ガスの酸素濃度は体積比で５％以下とし、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度を４００〜６００℃としたことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１６】
請求項１０,１１,１２,１４又は１５に記載の排ガス処理装置において、
加熱再生ガス供給手段は、フィルタの下流側からガスを吸気して加熱し、この加熱再生ガスをフィルタの上流側へ戻してフィルタへ流す加熱再生ガス循環手段であることを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１７】
エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気して排ガス中に含まれる微粒子をフィルタでろ過して除去する排ガス処理装置において、
フィルタ再生手段として、外気を吸引して加熱せずにフィルタに流すことにより、フィルタに付着しているオイルミストを揮発させる再生用外気吸引手段と、前記オイルミストの揮発により粘着力が低減されたフィルタに付着しているすすを、圧縮ガスによりフィルタを逆洗して払い落とす逆洗手段とを備えたことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１８】
請求項８,９,１０,１１,１２,１３,１４,１５,１６又は１７に記載の排ガス処理装置において、
フィルタ再生時には除塵処理時に比べて逆洗手段による逆洗間隔を短くし又は逆洗パルス噴射時間を長くするように構成したことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１９】
請求項８,９,１０,１１,１２,１３,１４,１５,１６,１７又は１８に記載の排ガス処理装置において、
フィルタ再生時に逆洗圧力を除塵処理時よりも高圧に切り換える逆洗圧力切換手段を備えたことを特徴とする排ガス処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は排ガス処理装置に関し、除塵装置に備えたセラミックフィルタなどのフィルタの付着物（すす及びオイルミスト）を除去してフィルタを再生する場合に適用して有用なものである。
【０００２】
【従来の技術】
ディーゼルエンジンの排ガスは排ガス処理装置で処理された後に大気中に放出されるが、このとき排ガス中に含まれる微粒子（すす）はセラミックフィルタなどのフィルタを備えたろ過式の除塵装置によって除去される。
【０００３】
かかる排ガス処理装置では、ディーゼルエンジンの運転時間の経過とともにフィルタ付着物の量が増加して（フィルタの目詰まりが進んで）フィルタ差圧が増加するため、フィルタの再生が必要となる。このため排ガス処理装置では、圧縮エアを貯溜する逆洗用エアタンクを装備しており、この逆洗用エアタンクに貯溜された圧縮エアでフィルタを逆洗することによってフィルタ付着物を除去している。ところが、フィルタ付着物にはすすだけでなくオイルミストも存在し、このオイルミストが混ざったフィルタ付着物は粘着力が高いため圧縮エアによる逆洗だけでは除去することが困難である。そこで、従来は圧縮エアによる逆洗だけでなく、フィルタ付着物を電気ヒータやバーナで加熱して燃焼させる付着物燃焼再生方法も採用されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の付着物燃焼再生方法では、フィルタ付着物を燃焼させることにより、フィルタ差圧の回復（低減）は可能であるが、フィルタ付着物の燃焼によって生じるフィルタ内の温度差（温度勾配）による熱衝撃（熱応力）でフィルタが破損するおそれがあるという問題を抱えている。つまり、燃焼再生時にはフィルタ全体の付着物が同時に燃焼するのではなく燃焼条件に達した部分から燃え始めて全体に燃え広がるため、フィルタ内にホットスポットが生じ、これによる熱衝撃でフィルタが破損する場合がある。
【０００５】
従って本発明は上記の問題点に鑑み、フィルタ付着物の燃焼にともなう熱衝撃によってフィルタを破損させることなくフィルタの再生を行うことができる排ガス処理装置を提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する第１発明の排ガス処理装置は、エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気することにより排ガス中に含まれる微粒子を除去する排ガス処理装置において、
フィルタ再生手段として、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度でフィルタ付着物を加熱する再生加熱手段と、圧縮ガスによりフィルタを逆洗してフィルタに付着しているすすを払い落とす逆洗手段とを備えたこと、
再生加熱手段は、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度の加熱再生ガスをフィルタに流し、この加熱再生スによってフィルタ付着物を加熱する加熱再生ガス供給手段であること、
加熱再生ガスをフィルタ全体に均一に分配する加熱再生ガス分配手段を、フィルタの上流側に配置したこと、
フィルタの排ガス通気方向はアップフローであり、
加熱再生ガス分配手段は、フォーク状に分岐した複数の分岐部を有するとともに各分岐部の間には隙間を有し且つ各分岐部の噴出孔が下流側にいくほど大きくて各噴出孔から噴出される加熱再生ガス量が等しくなるように形成されている加熱再生ガス分配管であり、この加熱再生ガス分配管をフィルタの下側に配置したことを特徴とする。
また、第２発明の排ガス処理装置は、エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気することにより排ガス中に含まれる微粒子を除去する排ガス処理装置において、
フィルタ再生手段として、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度でフィルタ付着物を加熱する再生加熱手段と、圧縮ガスによりフィルタを逆洗してフィルタに付着しているすすを払い落とす逆洗手段とを備えたこと、
再生加熱手段は、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度の加熱再生ガスをフィルタに流し、この加熱再生ガスによってフィルタ付着物を加熱する加熱再生ガス供給手段であること、
加熱再生ガス中に不燃ガスを混入して加熱再生ガスの酸素濃度を低減することにより、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度を高めたことを特徴とする。
また、第３発明の排ガス処理装置は、第２発明の排ガス処理装置において、
加熱再生ガスの酸素濃度は体積比で５％以下とし、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度を４００〜６００℃としたことを特徴とする。
また、第４発明の排ガス処理装置は、エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気することにより排ガス中に含まれる微粒子を除去する排ガス処理装置において、
フィルタ再生手段として、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度でフィルタ付着物を加熱する再生加熱手段と、圧縮ガスによりフィルタを逆洗してフィルタに付着しているすすを払い落とす逆洗手段とを備えたこと、
フィルタ再生時には除塵処理時に比べて逆洗手段による逆洗間隔を短くし又は逆洗パルス噴射時間を長くするように構成したことを特徴とする。
また、第５発明の排ガス処理装置は、エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気して排ガス中に含まれる微粒子をフィルタでろ過して除去する排ガス処理装置において、
フィルタ再生手段として、外気を吸引してフィルタに流す再生用外気吸引手段と、圧縮ガスによりフィルタを逆洗してフィルタに付着しているすすを払い落とす逆洗手段とを備えたこと、
フィルタ再生時には除塵処理時に比べて逆洗手段による逆洗間隔を短くし又は逆洗パルス噴射時間を長くするように構成したことを特徴とする。
また、第６発明の排ガス処理装置は、エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気することにより排ガス中に含まれる微粒子を除去する排ガス処理装置において、
フィルタ再生手段として、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度でフィルタ付着物を加熱する再生加熱手段と、圧縮ガスによりフィルタを逆洗してフィルタに付着しているすすを払い落とす逆洗手段とを備えたこと、
フィルタ再生時に逆洗圧力を除塵処理時よりも高圧に切り換える逆洗圧力切換手段を備えたことを特徴とする。
また、第７発明の排ガス処理装置は、エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気して排ガス中に含まれる微粒子をフィルタでろ過して除去する排ガス処理装置において、
フィルタ再生手段として、外気を吸引してフィルタに流す再生用外気吸引手段と、圧縮ガスによりフィルタを逆洗してフィルタに付着しているすすを払い落とす逆洗手段とを備えたこと、
フィルタ再生時に逆洗圧力を除塵処理時よりも高圧に切り換える逆洗圧力切換手段を備えたことを特徴とする。
また、第８発明の排ガス処理装置は、エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気することにより排ガス中に含まれる微粒子を除去する排ガス処理装置において、
フィルタ再生手段として、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度でフィルタ付着物を加熱することにより、前記すすは燃焼させずに前記オイルミストの揮発だけを行う再生加熱手段と、前記オイルミストの揮発により粘着力を失った前記すすを、圧縮ガスによりフィルタを逆洗して払い落とす逆洗手段とを備えたことを特徴とする。
また、第９発明の排ガス処理装置は、第８発明の排ガス処理装置において、
フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度を、３２０〜４００℃の範囲としたことを特徴とする。
また、第１０発明の排ガス処理装置は、第８又は第９発明の排ガス処理装置において、
再生加熱手段は、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度の加熱再生ガスをフィルタに流し、この加熱再生ガスによってフィルタ付着物を加熱する加熱再生ガス供給手段であることを特徴とする。
また、第１１発明の排ガス処理装置は、第１０発明の排ガス処理装置において、
加熱再生ガスをフィルタ全体に均一に分配する加熱再生ガス分配手段を、フィルタの上流側に配置したことを特徴とする。
また、第１２発明の排ガス処理装置は、第１１発明の排ガス処理装置において、
フィルタの排ガス通気方向はアップフローであり、
加熱再生ガス分配手段は、フォーク状に分岐した複数の分岐部を有するとともに各分岐部の間には隙間を有し且つ各分岐部の噴出孔が下流側にいくほど大きくて各噴出孔から噴出される加熱再生ガス量が等しくなるように形成されている加熱再生ガス分配管であり、この加熱再生ガス分配管をフィルタの下側に配置したことを特徴とする。
また、第１３発明の排ガス処理装置は、第８,第９,第１０,第１１又は第１２発明の排ガス処理装置において、
フィルタの外周面を加熱して同外周面からの放熱を防止するフィルタ外周面加熱手段を備えたことを特徴とする。
また、第１４発明の排ガス処理装置は、第１０,第１１又は第１２発明の排ガス処理装置において、
加熱再生ガス中に不燃ガスを混入して加熱再生ガスの酸素濃度を低減することにより、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度を高めたことを特徴とする。
また、第１５発明の排ガス処理装置は、第１４発明の排ガス処理装置において、
加熱再生ガスの酸素濃度は体積比で５％以下とし、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度を４００〜６００℃としたことを特徴とする。
また、第１６発明の排ガス処理装置は、第１０,第１１,第１２,第１４又は第１５に記載の排ガス処理装置において、
加熱再生ガス供給手段は、フィルタの下流側からガスを吸気して加熱し、この加熱再生ガスをフィルタの上流側へ戻してフィルタへ流す加熱再生ガス循環手段であることを特徴とする。
また、第１７発明の排ガス処理装置は、エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気して排ガス中に含まれる微粒子をフィルタでろ過して除去する排ガス処理装置において、
フィルタ再生手段として、外気を吸引して加熱せずにフィルタに流すことにより、フィルタに付着しているオイルミストを揮発させる再生用外気吸引手段と、前記オイルミストの揮発により粘着力が低減されたフィルタに付着しているすすを、圧縮ガスによりフィルタを逆洗して払い落とす逆洗手段とを備えたことを特徴とする。
また、第１８発明の排ガス処理装置は、第８,第９,第１０,第１１,第１２,第１３,第１４,第１５,第１６又は第１７発明の排ガス処理装置において、
フィルタ再生時には除塵処理時に比べて逆洗手段による逆洗間隔を短くし又は逆洗パルス噴射時間を長くするように構成したことを特徴とする。
また、第１９発明の排ガス処理装置は、第８,第９,第１０,第１１,第１２,第１３,第１４,第１５,第１６,第１７又は第１８発明の排ガス処理装置において、
フィルタ再生時に逆洗圧力を除塵処理時よりも高圧に切り換える逆洗圧力切換手段を備えたことを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。
【００１９】
＜実施の形態１＞
図１は本発明の実施の形態１に係る排ガス処理装置の構成図である。図１ではディーゼルエンジン１が、発電機２の駆動源として用いられている。このディーゼルエンジン１の排ガスは過給機３に供給されてタービン３ａを回転させた後、排熱ボイラ４に供給される。排熱ボイラ４ではポンプ５によって供給される水を排ガスの熱で水蒸気とし、この水蒸気で発電機６の駆動源である蒸気タービン７を回転させる。なお、プラントによっては排熱ボイラがない場合もある。
【００２０】
その後、排ガスは矢印Ａのように排ガスライン８を下流側へと流れて排ガス処理装置へと導かれる。
【００２１】
本排ガス処理装置では４台の除塵装置１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄを有している。これらの除塵装置１１Ａ〜１１Ｄはセラミックフィルタ１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ，１８Ｄを備えたろ過式のものであり、排ガスライン８に並列に配置されている。各除塵装置１１Ａ〜１１Ｄの上流側と下流側にはダンパ１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄとダンパ１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃ，１７Ｄとがそれぞれ設けられている。
【００２２】
除塵装置１１Ａ〜１１Ｄの下流側にはブロア１４が配置されており、除塵装置１１Ａ〜１１Ｄの下流側とブロア１４の吸い込み側とが排ガスライン８を介して接続されている。ブロア１４の吐出側は排ガスライン８を介して煙突につながっている。従って、ディーゼルエンジン１の排ガスはブロア１４に吸引されて除塵装置１１Ａ〜１１Ｄに導入され、除塵装置１１Ａ〜１１Ｄで排ガス中のすすなどが除去された後、煙突１５から大気中に放出される（集塵処理条件は後述）。
【００２３】
また、本排ガス処理装置には逆洗手段として逆洗用エアタンク１２が装備されている。逆洗用エアタンク１２はバルブ１９Ａ，１９Ｂ，１９Ｃ，１９Ｄを介して各除塵装置１１Ａ〜１１Ｄに接続されている。逆洗用エアタンク１２には圧縮機で圧縮されたエアが所定圧力に調整（減圧）されて貯溜されている。
【００２４】
そして、本排ガス処理装置では再生加熱手段（加熱再生ガス供給手段）として、再生用加熱空気供給装置１３を備えている。再生用加熱空気供給装置１３はダンパ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄを介して各除塵装置１１Ａ〜１１Ｄの上流側に接続されている。再生用加熱空気供給装置１３はブロア（図示せず）を備えており、このブロアによって吸引した外気（空気）を電気ヒータやバーナなどの加熱装置２１によって加熱した後、加熱再生ガスとして各除塵装置１１Ａ〜１１Ｄのセラミックフィルタ１８Ａ〜１８Ｄへ供給する。
【００２５】
この場合、加熱再生ガスは制御装置２２でダンパ２０Ａ〜２０Ｄの開閉制御を行うことにより、フィルタ再生を行う除塵装置にのみ選択的に供給される。制御装置２２ではダンパ１６Ａ〜１６Ｄ，１７Ａ〜１７Ｄ及びバルブ１９Ａ〜１９Ｄの開閉制御や再生用加熱空気供給装置１３の起動停止制御なども行うようになっている。ダンパ１６Ａ〜１６Ｄ及びダンパ２０Ａ〜２０Ｄは所定のフィルタ再生タイミングで開閉制御され（加熱再生条件は後述）、バルブ１９Ａ〜１９Ｄは所定の逆洗タイミングで開閉制御される（逆洗条件は後述）。
【００２６】
例えば除塵装置１１Ａのセラミックフィルタ１８Ａを再生するときには、ダンパ１６Ａを閉め、他のダンパ１６Ｂ〜１６Ｄを開けた状態とし、且つ、ダンパ２０を開け、他のダンパ２０Ｂ〜２０Ｄは閉めた状態とする。その結果、除塵処理は除塵装置１１Ｂ〜１１Ｄで行われ、除塵装置１１Ａには再生用加熱空気供給装置１３から加熱再生ガスが供給される。このため、除塵装置１１Ａのセラミックフィルタ１８Ａに加熱再生ガスが流れ、この加熱再生ガスによってセラミックフィルタ１８Ａの付着物（すす及びオイルミスト）が加熱される。
【００２７】
そして、このときの加熱再生ガスの温度はセラミックフィルタ１８Ａに付着したオイルミストは揮発し且つセラミックフィルタ１８Ａに付着したすすは燃焼しない温度とする。かかる温度の加熱再生ガスによってセラミックフィルタ１８Ａの付着物が加熱されると、セラミックフィルタ１８Ａに付着していたオイルミストは揮発して加熱再生ガスとともに排出され、すすは燃焼せずにセラミックフィルタ１８Ａに残るが、このときのすすはオイルミストの揮発により粘着力を失ってセラミックフィルタ１８Ａから剥離し易い状態となる。
【００２８】
このため、バルブ１９Ａを開いて逆洗用エアタンク１２の圧縮エアによりセラミックフィルタ１８Ａを逆洗するだけで簡単にすすを払い落とすことができる。なお、オイルミストは揮発し且つすすは燃焼しない加熱再生ガス温度の具体的な値としては３２０〜４００℃の範囲とするのがよく、望ましくは３５０℃とするのがよい。
【００２９】
具体的な説明は省略するが、他の除塵装置１１Ｂ〜１１Ｄのセラミックフィルタ１８Ｂ〜１８Ｄを再生する場合にも、除塵装置１１Ａのセラミックフィルタ１８Ａの場合と同様、再生用加熱空気供給装置１３からの加熱再生ガスによりセラミックフィルタ１８Ｂ〜１８Ｄの付着物を加熱してセラミックフィルタ１８Ｂ〜１８Ｄに付着しているオイルミストを揮発し、圧縮エアの逆洗によってセラミックフィルタ１８Ｂ〜１８Ｄに付着しているすすを払い落とす。なお、払い落とされたすすは図示しない排出孔から排出できるようになっている。
【００３０】
ここで、本実施の形態の排ガス処理装置における集塵処理条件、逆洗条件及び加熱再生条件について説明する。
【００３１】
集塵処理条件は次のとおりである。
（１）処理ガス温度（除塵装置のセラミックフィルタに流入する排ガスの温度）は、２５０℃（１５０〜３５０℃）。
（２）ろ過流速（除塵装置のセラミックフィルタを流れる排ガスの流速）は、１．５ｍ／ｍｉｎ（０．５〜３ｍ／ｍｉｎ）。
（３）再生時間間隔（各除塵装置のセラミックフィルタが除塵処理を連続して行う時間）は、３時間（２〜１０時間）。
【００３２】
逆洗条件は次のとおりである。
（１）逆洗圧（除塵装置のセラミックフィルタに吹き付ける圧縮エアの圧力）は、０．７ＭＰａ（０．２〜１．０ＭＰａ）。
（２）逆洗間隔（除塵装置のセラミックフィルタに圧縮エアを吹き付ける時間間隔）は、１０ｍｉｎ（５〜３０ｍｉｎ）。逆洗はフィルタ再生時と除塵処理時の何れにおいても行う。
（３）逆洗パルス噴射時間（除塵装置のセラミックフィルタに圧縮エアを噴射し続ける時間）は、０．２ｓｅｃ（０．１〜０．３ｓｅｃ）。
【００３３】
加熱再生条件は次のとおりである。
（１）加熱再生温度（除塵装置のセラミックフィルタに供給する加熱再生ガスの温度）は、３５０℃（３２０〜４００℃）。
（２）再生ガスろ過流速（除塵装置のセラミックフィルタを流れる加熱再生ガスの流速）は、０．５ｍ／ｍｉｎ（０．２〜１．５ｍ／ｍｉｎ）。
（３）加熱再生時間（除塵装置のセラミックフィルタに加熱再生ガスを流してセラミックフィルタを再生させる時間）は、１時間（０．５〜３時間）。
【００３４】
なお、集塵処理条件における再生時間間隔と加熱再生条件における加熱再生時間とによって除塵装置（セラミックフィルタ）の必要台数は決まり、再生時間間隔を３時間とし加熱再生時間を１時間とする場合には、図１に示すように４台の除塵装置１１Ａ〜１１Ｄ（セラミックフィルタ１８Ａ〜１８Ｄ）を設ければよい。
【００３５】
以上のように、本実施の形態１の排ガス処理装置では、フィルタ再生手段として再生用加熱空気供給装置１３と逆洗用エアタンク１２とを備えており、再生用加熱空気供給装置１３の加熱再生ガスによって、すすは燃焼させずにオイルミストの揮発だけを行い、オイルミストが揮発して剥離し易くなったすすを逆洗用エアタンク１２の圧縮エアによる逆洗で払い落とすため、即ち、フィルタ付着物を燃焼させることなく除去することができるため、フィルタ付着物の燃焼にともなう熱衝撃によってセラミックフィルタ１１Ａ〜１１Ｄが破損することはない。
【００３６】
ここで、図２〜図５に基づき、フィルタ再生試験の結果について説明する。
【００３７】
図２には３００℃連続集塵（除塵）処理時のフィルタ差圧推移を示す。集塵処理試験条件としては処理ガス温度（排ガス温度）を３００℃、ろ過流速（排ガス流速）を１．０ｍ／ｍｉｎとし、フィルタ再生方法としては０．７ＭＰａの逆洗圧（圧縮エア圧力）で逆洗のみを行った。この場合、図２に示すように圧縮エアによる逆洗のみではフィルタ再生が不十分であるためにフィルタ差圧が上昇しつづけるため、連続安定運転は不可能である。
【００３８】
図３には３５０℃連続集塵（除塵）処理時のフィルタ差圧推移を示す。集塵処理試験条件としては処理ガス温度（排ガス温度）を３５０℃、ろ過流速（排ガス流速）を１．５ｍ／ｍｉｎとし、フィルタ再生方法としては０．７ＭＰａの逆洗圧（圧縮エア圧力）で逆洗のみを行った。この場合には図３に示すように圧縮エアによる逆洗のみでもセラミックフィルタは再生され、連続安定運転が可能である。
【００３９】
図４には連続加熱再生集塵（除塵）処理時のフィルタ差圧推移を示し、図５には連続加熱再生集塵（除塵）処理時のフィルタ内温度推移を示す。集塵処理試験条件としては処理ガス温度（排ガス温度）を２５０℃、ろ過流速（排ガス流速）を１．５ｍ／ｍｉｎとし、フィルタ再生方法としては圧縮エアによる逆洗と加熱再生とを行った。逆洗圧（圧縮エア圧力）は０．７ＭＰａ、加熱再生温度（加熱再生ガス温度）は３５０℃、加熱再生ろ過流速（加熱再生ガス流速）は０．８ｍ／ｍｉｎである。このように処理ガス温度２５０℃での集塵処理と、加熱再生温度３５０℃でのフィルタ加熱再生とを繰り返した場合、図４に示すようにフィルタ差圧は安定し、また、図５に示すようにフィルタ温度は３５０℃を越えない。
【００４０】
このことから、フィルタ付着物（すす及びオイルミスト）の燃焼は生じておらず（フィルタ付着物が燃焼すれば加熱再生ガス温度３５０℃以上にフィルタ内温度が上昇する）、加熱再生ガスによるオイルミストの揮発のみが行われ、オイルミストの揮発によって剥離し易くなったすすが圧縮エアによる逆洗によって払い落とされたことがわかる。従って、この場合には連続安定運転が可能である。
【００４１】
＜実施の形態２＞
図６は本発明の実施の形態２に係る排ガス処理装置の構成図である。また、図７（ａ）はセラミックフィルタの通気方向がアップフローの場合のセラミックフィルタや加熱再生ガス分配管の構成を示す斜視図、図７（ｂ）は前記加熱再生ガス分配管の上面図である。
【００４２】
図６に示すように、本実施の形態２の排ガス処理装置では加熱再生ガス分配手段として、平板状の整流体３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄを備えている。これらの整流体３１Ａ〜３１Ｄはセラミックフィルタ１１Ａ〜１１Ｄの上流側（直前）に配置されており、それぞれ複数の通気孔３１Ａ−１，３１Ｂ−１，３１Ｂ−１，３１Ｃ−１，３１Ｄ−１が、再生用加熱空気供給装置１３から供給された加熱再生ガスをセラミックフィルタ１１Ａ〜１１Ｄ全体に均一に分配することができる配列で開けられている。
【００４３】
例えば、セラミックフィルタ１１Ａ〜１１Ｄがハニカム型ウォールスルーセラミックフィルタ（図７参照）である場合には、このハニカム型ウォールスルーセラミックフィルタの各フィルタ部に対応する配列となるように通気孔３１Ａ−１〜３１Ｄ−１を開ければよい。
【００４４】
また、図７に示すように、セラミックフィルタ１８の排ガス通気方向が矢印Ｂのように下から上に向かう方向（アップフロー）である場合には、加熱再生ガス分配手段として加熱再生ガス分配管７１を用いることが望ましい。
【００４５】
詳述すると、セラミックフィルタ１８はフィルタケース１８ａに収容された四角柱状のフィルタ部１８ｂが縦横に複数配列されてハニカム状に形成されたもの（ハニカム型ウォールスルーセラミックフィルタ）であり、各フィルタ部１８ｂの排ガス通気方向が鉛直方向となるように除塵装置１１の容器１１ａ内に設置されている。容器１１ａの下部には排ガス入口１１ｂ、上部には排ガス出口１１ｃを有しており、排ガス入口１１ｂから容器１１ａ内に流入した排ガスが、セラミックフィルタ１８の各フィルタ部１８ａを下から上へと流れて排ガス出口１１ｃから容器１１ａ外へと流出するようになっている。
【００４６】
そして、セラミックフィルタ１１の下側（直下）には加熱再生ガス分配管７１が配置されている。加熱再生ガス分配管７１はフォーク状に分岐した複数の分岐部７１ａを有しており、各分岐部７１ａの間には隙間を有し、且つ、各分岐部７１ａには加熱再生ガスの噴出孔７１ｂが形成されている。また、各分岐部７１ａの噴出孔７１ｂは、セラミックフィルタ１８の各フィルタ部１８ａの位置に対応して開けられており、且つ、圧力損失を考慮して下流側（図中左側）にいくほど大きくすることにより各噴出孔７１ｂから噴出される加熱再生ガス量が等しくなるようにしている。
【００４７】
なお、本排ガス処理装置の他の構成や集塵処理条件、逆洗条件及び加熱再生条件などについては、上記実施の形態１と同様であるため（図１参照）、ここでの説明は省略する。
【００４８】
以上のように、本実施の形態２の排ガス処理装置では、加熱再生ガスを各セラミックフィルタ１８Ａ〜１８Ｄ全体に均一に分配する整流体３１Ａ〜３１Ｄを各セラミックフィルタ１８Ａ〜１８Ｄの上流側に設けたため、加熱再生ガスによって各セラミックフィルタ１８Ａ〜１８Ｄ全体を均一に加熱再生することができる。
【００４９】
また、セラミックフィルタ１８のようにアップフローの場合には図７に示すような加熱再生ガス分配管７１を用いることにより、加熱再生ガスによってセラミックフィルタ１８全体を均一に加熱して再生させることができ、且つ、圧縮エアによる逆洗によって払い落とされたすすが加熱再生ガス分配管７１上に堆積するのを防止することができる。つまり、整流体のようなものをセラミックフィルタ１８の下側（上流側）に配置すると、その上に逆洗で払い落とされたすすが堆積してしまうおそれがあるが、加熱再生ガス分配管７１であれば、逆洗で払い落とされたすすが各分岐部７１ａ間の隙間から下に落ちるため各分岐部７１ａの上に堆積することはない。なお、払い落とされたすすは図示しない排出孔から排出できるようになっている。
【００５０】
＜実施の形態３＞
図８は本発明の実施の形態３に係る排ガス処理装置の構成図である。同図に示すように、本実施の形態３の排ガス処理装置ではフィルタ外周面加熱手段として、電気ヒータ８１Ａ，８１Ｂ，８１Ｃ，８１Ｄを備えている。これらの電気ヒータ８１Ａ〜８１Ｄはセラミックフィルタ１１Ａ〜１１Ｄの周囲に配置され、フィルタ再生中にセラミックフィルタ１１Ａ〜１１Ｄの外周面を加熱して同外周面からの放熱を防止する。これらの電気ヒータ８１Ａ〜８１Ｄの動作タイミング（フィルタ再生時の加熱開始や加熱終了）も制御装置２２によって制御される。なお、電気ヒータ８１Ａ〜８１Ｄの加熱温度はセラミックフィルタ１１Ａ〜１１Ｄに付着したすすは燃焼しない温度とする必要があり、望ましくはセラミックフィルタ１１Ａ〜１１Ｄに付着したオイルミストは揮発し且つセラミックフィルタ１１Ａ〜１１Ｄに付着したすすは燃焼しない温度とする。
【００５１】
なお、本排ガス処理装置の他の構成や集塵処理条件、逆洗条件及び加熱再生条件などについては、上記実施の形態１及び２と同様であるため（図１，図６，図７参照）、ここでの説明は省略する。
【００５２】
以上のように、本実施の形態３の排ガス処理装置では、電気ヒータ８１Ａ〜８１Ｄでセラミックフィルタ１１Ａ〜１１Ｄの外周面を加熱して同外周面からの放熱を防止することにより、セラミックフィルタ１１Ａ〜１１Ｄの外周部の温度低下を防止することができるため、加熱再生ガスによって各セラミックフィルタ１８Ａ〜１８Ｄ全体を均一に加熱再生させることができる。
【００５３】
＜実施の形態４＞
図９は本発明の実施の形態４に係る排ガス処理装置の構成図である。同図に示すように、本実施の形態４の排ガス処理装置では、不燃ガス供給手段として窒素ＰＳＡ（Pressure Swing Absorption ）９１を備えている。窒素ＰＳＡ９１では不燃ガスとして窒素を再生用加熱空気供給装置１３へ供給する。再生用加熱空気供給装置２１では、ブロアで吸引した外気（空気）と窒素ＰＳＡ９１から供給された窒素とを混合し、この混合気体を加熱装置２１によって加熱した後、加熱再生ガスとして各除塵装置１１Ａ〜１１Ｄのセラミックフィルタ１８Ａ〜１８Ｄへ供給する。
【００５４】
このことによって加熱再生ガスにおける酸素濃度が低減されるため、セラミックフィルタ１１Ａ〜１１Ｄに付着したオイルミストは揮発し且つセラミックフィルタ１１Ａ〜１１Ｄに付着したすすは燃焼しない温度を高くすることができる。この場合、加熱再生ガスにおける酸素濃度の具体的な値としては体積比で５％以下とするのがよい。また、加熱再生ガスの温度は４００℃〜６００℃の範囲とするのがよく、望ましくは５００℃とするのがよい。
【００５５】
なお、本排ガス処理装置の他の構成や集塵処理条件、逆洗条件及び加熱再生条件などについては、上記実施の形態１と同様であるため（図１参照）、ここでの説明は省略する。
【００５６】
以上のように、本実施の形態４の排ガス処理装置では、加熱再生ガス中に不燃ガス（窒素）を混入して加熱再生ガスの酸素濃度を低減したことにより、フィルタ付着物（すす）の燃焼温度が高くなるため、セラミックフィルタ１８Ａに付着したオイルミストは揮発し且つセラミックフィルタ１８Ａに付着したすすは燃焼しない温度（加熱再生温度）を、上記実施の形態１などの場合よりも高くすることができる。このため、セラミックフィルタ１１Ａ〜１１Ｄの付着物に沸点の高いオイルミストが存在する場合にも、オイルミストを完全に揮発させることができて、圧縮エアによる逆洗によりすすを払い落とすことができる。
【００５７】
＜実施の形態５＞
図１０は本発明の実施の形態５に係る排ガス処理装置の構成図である。同図に示すように、本実施の形態５の排ガス処理装置では再生加熱手段として、熱風発生循環装置１０１を備えている。
【００５８】
熱風発生循環装置１０１はブロア１０２と再生用空気加熱装置１０３とを有ししている。ブロア１０２は、吸い込み側がダンパ１０４Ａ，１０４Ｂ，１０４Ｃ，１０４Ｄを介して各除塵装置１１Ａ〜１１Ｄの下流側に接続されており、吐出側が再生用空気加熱装置１０３に接続されている。再生用空気加熱装置１０３は電気ヒータやバーナなどの加熱手段を備えたものであり、ダンパ１０５Ａ，１０５Ｂ，１０５Ｃ，１０５Ｄを介して各除塵装置１１Ａ〜１１Ｄの上流側に接続されている。
【００５９】
制御装置２２ではダンパ１０４Ａ〜１０４Ｄ，１０５Ａ〜１０５Ｄの開閉制御やブロア１０２及び再生用空気加熱装置１０３の起動停止制御なども行うようになっており、ダンパ１０４Ａ〜１０４Ｄ，１０５Ａ〜１０５Ｄについてはフィルタ再生を行う除塵装置に接続されたダンパだけを開ける。例えば、除塵装置１１Ａのセラミックフィルタ１８Ａを再生するときには、除塵装置１１Ａの上流側と下流側のダンパ１６Ａとダンパ１７Ａとを閉じるとともにダンパ１０４Ａとダンパ１０５Ａとを開ける。
【００６０】
この状態でブロア１０２を起動することより、ダンパ１６Ａ，１６Ｂの間（除塵装置１１Ａ部等）に存在する空気（排ガス）をセラミックフィルタ１８Ａの下流側から吸引して再生用空気加熱装置１０３へ送り、再生用空気加熱装置１０３で加熱した後、加熱再生ガスとしてセラミックフィルタ１８Ａへ上流側から供給することにより、セラミックフィルタ１８Ａの付着物を加熱する。以後、セラミックフィルタ１８Ａの再生が終了するまでこの熱風発生循環が継続される。セラミックフィルタ１８Ａに付着しているすすは、バルブ１９Ａを開いて圧縮エアによる逆洗で払い落とす。このときの加熱再生ガスの温度はセラミックフィルタ１８Ａに付着したオイルミストは揮発し且つセラミックフィルタ１８Ａに付着したすすは燃焼しない温度（３５０℃（３２０〜４００℃））とする  。
【００６１】
具体的な説明は省略するが、他の除塵装置１１Ａ〜１１Ｄのセラミックフィルタ１８Ａ〜１８Ｄを再生する場合にも、除塵装置１１Ａのセラミックフィルタ１８Ａの場合と同様に熱風発生循環装置１０１によって熱風発生循環が行われる。
【００６２】
なお、本排ガス処理装置の他の構成や集塵処理条件、逆洗条件及び加熱再生条件などについては、上記実施の形態１〜３と同様であるため（図１，図６，図７，図８参照）、ここでの説明は省略する。
【００６３】
以上のように、本実施の形態５の排ガス処理装置では、フィルタ再生手段として熱風発生循環装置１０１と逆洗用エアタンク１３とを備えており、熱風発生循環装置１０１によって循環する加熱再生ガスにより、すすは燃焼させずにオイルミストの揮発だけを行い、オイルミストが揮発して剥離し易くなったすすを逆洗用エアタンク１２の圧縮エアによる逆洗で払い落とすため、即ち、フィルタ付着物を燃焼させることなく除去することができるため、フィルタ付着物の燃焼にともなう熱衝撃によってセラミックフィルタ１１Ａ〜１１Ｄが破損することはない。しかも、加熱再生ガスに対しては循環中に放熱する熱量に若干の熱量を加えた分だけを補って（加熱）して加熱再生温度とすればよいため、再生用空気加熱装置１０３の容量を低減することができる。
【００６４】
＜実施の形態６＞
図１１は本発明の実施の形態６に係る排ガス処理装置の構成図である。同図に示すように、本実施の形態５の排ガス処理装置では、再生用外気吸引手段として、再生用外気吸引装置１１１を備えている。再生用外気吸引装置１１１は、ダンパ１１２Ａ，１１２Ｂ，１１２Ｃ，１１２Ｄを介して各除塵装置１１Ａ〜１１Ｄの上流側に接続されている。
【００６５】
そして、再生用外気吸引装置１１１ではブロア（図示せず）を備えており、このブロアで外気を吸引して各除塵装置１１Ａ〜１１Ｄのセラミックフィルタ１８Ａ〜１８Ｄへ流すことにより、セラミックフィルタ１８Ａ〜１８Ｄに付着したオイルミストを揮発させる。外気を加熱せず常温のままセラミックフィルタ１８Ａ〜１８Ｄに流すだけでも、オイルミストを蒸気圧分揮発させることができるため、すすの粘着力を低減することができる。制御装置２２ではダンパ１１２Ａ〜１１２Ｄの開閉制御や再生用外気吸引装置１１１の起動停止制御も行うようになっている。
【００６６】
例えば、除塵装置１１Ａのセラミックフィルタ１８Ａを再生する場合、除塵装置１１Ａで一定時間除塵後（フィルタ差圧上昇後）、除塵装置１１Ａの上流側のダンパ１６Ａを閉じ、ダンパ１１２Ａを開けた後、再生用外気吸引装置１１１のブロアを起動して外気を吸引し、セラミックフィルタ１８Ａに流すことにより、セラミックフィルタ１８Ａに付着しているオイルミストを揮発させる。セラミックフィルタ１８Ａに付着しているすすは、バルブ１９Ａを開いて逆洗用エアタンク１２の圧縮エアによりセラミックフィルタ１８Ａを逆洗することによって払い落とす。具体的な説明は省略するが、他の除塵装置１１Ｂ〜１１Ｄのセラミックフィルタ１８Ｂ〜１８Ｄを再生する場合にも、除塵装置１１Ａのセラミックフィルタ１８Ａの場合と同様に行う。
【００６７】
なお、本排ガス処理装置の他の構成や集塵処理条件及び逆洗条件などについては、上記実施の形態１と同様であるため（図１参照）、ここでの説明は省略する。
【００６８】
以上のように、本実施の形態６の排ガス処理装置では、外気を吸引してセラミックフィルタ１８Ａ〜１８Ｄに流す再生用空気加熱装置１１１を備えた構成とすることにより、加熱再生ガスを生成するためのヒータの設置や加熱用の電力を必要としないため、構成が簡易で安価である。
【００６９】
＜実施の形態７＞
図１２は本発明の実施の形態７に係る排ガス処理装置の構成図である。同図に示すように、本実施の形態７の排ガス処理装置では逆洗圧力切換手段として、２つの逆洗用エアタンク１２Ａ，１２Ｂを備えている。逆洗用エアタンク１２Ａは１２１Ａ，１２１Ｂ，１２１Ｃ，１２１Ｄを介して各除塵装置１１Ａ〜１１Ｄの下流側に接続され、逆洗用エアタンク１２Ｂはバルブ１２２Ａ，１２２Ｂ，１２２Ｃ，１２２Ｄを介して各除塵装置１１Ａ〜１１Ｄの下流側に接続されている。これらのバルブ１２１Ａ〜１２１Ｄ，１２２Ａ〜１２２Ｄも制御装置２２によって開閉制御されるようになっている。
【００７０】
そして、逆洗用エアタンク１２Ａには除塵処理時の逆洗に用いられる圧縮エアが貯溜され、逆洗用エアタンク１２Ｂにはフィルタ再生時に用いられる圧縮エアが貯溜されており、逆洗用エアタンク１２Ｂの圧縮エアの圧力（０．８ＭＰａ）のほうが逆洗用エアタンク１２Ａの圧縮エアの圧力（０．７ＭＰａ）よりも高くなっている。例えば圧縮機で圧縮した圧縮エアを、逆洗用エアタンク１２Ａには０．７ＭＰａまで減圧して貯溜し逆洗用エアタンク１２Ｂには０．８ＭＰａまで減圧して貯溜する。また、制御装置２２でのバルブ１２１Ａ〜１２１Ｄ，１２２Ａ〜１２２Ｄの開閉制御のタイミングを変えることにより、除塵処理時とフィルタ再生時とで逆洗間隔及び逆洗パルス噴射時間も変えるようになっている。逆洗間隔については除塵処理時に１０ｍｉｎ、フィルタ再生時に５ｍｉｎとし、逆洗パルス噴射時間については除塵処理時に０．２ｓｅｃ、フィルタ再生時に０．３ｓｅｃとする。
【００７１】
なお、本排ガス処理装置の他の構成や集塵処理条件及び逆洗条件などについては、上記実施の形態１及び５と同様であるため（図１，図１０参照）、ここでの説明は省略する。
【００７２】
以上のように、本実施の形態７の排ガス処理装置では、２台の逆洗用エアタンク１２Ａ，１２Ｂを備えることにより、フィルタ再生時には逆洗圧力を除塵処理時よりも高圧に切り換え、また、フィルタ再生時には除塵処理時に比べて逆洗間隔を短くし且つ逆洗パルス噴射時間を長くする。このため、除塵処理時に比べてフィルタ再生時の逆洗力を高くすることができるため、より確実にすすを払い落としてセラミックフィルタ１８Ａ〜１８Ｄを再生することができる。
【００７３】
なお、上記実施の形態１〜７の構成は適宜組み合わせることもできる。例えば、上記実施の形態６（図１１）の排ガス処理装置において、上記実施の形態２に示すような整流体３１Ａ〜３１Ｄや加熱再生ガス分配管７１などのような加熱再生ガス分配手段を設けてもよい。
【００７４】
また、上記実施の形態１などでは再生用加熱空気供給装置１３により外気（空気）を加熱したものを加熱再生ガスとして用いているが、必ずしもこれに限定するものではなく、他の気体を加熱再生ガスとして利用してもよい。例えば排ガスの一部を分流し、この分流排ガスを、適宜加熱してフィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度とすることにより加熱再生ガスとして利用してもよい。
【００７５】
また、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度に加熱する再生加熱手段としては、フィルタ全体の付着物を加熱することが容易であることなどから上記にように加熱再生ガスを用いることが望ましいと考えられるが、必ずしもこれに限定するものではなく、電気ヒータなどの他の加熱手段を用いてもよい。
【００７６】
【発明の効果】
以上、発明の実施の形態とともに具体的に説明したように、第１発明の排ガス処理装置は、エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気することにより排ガス中に含まれる微粒子を除去する排ガス処理装置において、フィルタ再生手段として、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度でフィルタ付着物を加熱する再生加熱手段と、圧縮ガスによりフィルタを逆洗してフィルタに付着しているすすを払い落とす逆洗手段とを備えたこと、再生加熱手段は、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度の加熱再生ガスをフィルタに流し、この加熱再生スによってフィルタ付着物を加熱する加熱再生ガス供給手段であること、加熱再生ガスをフィルタ全体に均一に分配する加熱再生ガス分配手段を、フィルタの上流側に配置したこと、フィルタの排ガス通気方向はアップフローであり、加熱再生ガス分配手段は、フォーク状に分岐した複数の分岐部を有するとともに各分岐部の間には隙間を有し且つ各分岐部の噴出孔が下流側にいくほど大きくて各噴出孔から噴出される加熱再生ガス量が等しくなるように形成されている加熱再生ガス分配管であり、この加熱再生ガス分配管をフィルタの下側に配置したことを特徴とする。
従って、この第１発明の排ガス処理装置によれば、加熱再生ガス分配管によって加熱再生ガスをフィルタ全体に均一に分配するため、フィルタ全体を均一に加熱再生することができ、しかも、逆洗によって落としたすすが各分岐部間の隙間から下に落ちるため各分岐部上に堆積することはない。
また、第２発明の排ガス処理装置は、エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気することにより排ガス中に含まれる微粒子を除去する排ガス処理装置において、フィルタ再生手段として、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度でフィルタ付着物を加熱する再生加熱手段と、圧縮ガスによりフィルタを逆洗してフィルタに付着しているすすを払い落とす逆洗手段とを備えたこと、再生加熱手段は、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度の加熱再生ガスをフィルタに流し、この加熱再生ガスによってフィルタ付着物を加熱する加熱再生ガス供給手段であること、加熱再生ガス中に不燃ガスを混入して加熱再生ガスの酸素濃度を低減することにより、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度を高めたことを特徴とする。
また、第３発明の排ガス処理装置は、第２発明の排ガス処理装置において、加熱再生ガスの酸素濃度は体積比で５％以下とし、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度を４００〜６００℃としたことを特徴とする。
従って、この第２又は第３発明の排ガス処理装置によれば、加熱再生ガスの酸素濃度を低減して加熱再生温度（フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度）を高くすることにより、フィルタの付着物に沸点の高いオイルミストが存在する場合にも、オイルミストを完全に揮発させることができて、逆洗によりすすを払い落とすことができる。
また、第４発明の排ガス処理装置は、エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気することにより排ガス中に含まれる微粒子を除去する排ガス処理装置において、フィルタ再生手段として、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度でフィルタ付着物を加熱する再生加熱手段と、圧縮ガスによりフィルタを逆洗してフィルタに付着しているすすを払い落とす逆洗手段とを備えたこと、フィルタ再生時には除塵処理時に比べて逆洗手段による逆洗間隔を短くし又は逆洗パルス噴射時間を長くするように構成したことを特徴とする。
また、第５発明の排ガス処理装置は、エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気して排ガス中に含まれる微粒子をフィルタでろ過して除去する排ガス処理装置において、フィルタ再生手段として、外気を吸引してフィルタに流す再生用外気吸引手段と、圧縮ガスによりフィルタを逆洗してフィルタに付着しているすすを払い落とす逆洗手段とを備えたこと、フィルタ再生時には除塵処理時に比べて逆洗手段による逆洗間隔を短くし又は逆洗パルス噴射時間を長くするように構成したことを特徴とする。
従って、この第４又は第５発明の排ガス処理装置によれば、フィルタ再生時には除塵処理時に比べて逆洗手段による逆洗間隔を短くし又は逆洗パルス噴射時間を長くすることにより、除塵処理時に比べてフィルタ再生時の逆洗力を高くすることができるため、より確実にすすを払い落としてフィルタを再生することができる。
また、第６発明の排ガス処理装置は、エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気することにより排ガス中に含まれる微粒子を除去する排ガス処理装置において、フィルタ再生手段として、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度でフィルタ付着物を加熱する再生加熱手段と、圧縮ガスによりフィルタを逆洗してフィルタに付着しているすすを払い落とす逆洗手段とを備えたこと、フィルタ再生時に逆洗圧力を除塵処理時よりも高圧に切り換える逆洗圧力切換手段を備えたことを特徴とする。
また、第７発明の排ガス処理装置は、エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気して排ガス中に含まれる微粒子をフィルタでろ過して除去する排ガス処理装置において、フィルタ再生手段として、外気を吸引してフィルタに流す再生用外気吸引手段と、圧縮ガスによりフィルタを逆洗してフィルタに付着しているすすを払い落とす逆洗手段とを備えたこと、フィルタ再生時に逆洗圧力を除塵処理時よりも高圧に切り換える逆洗圧力切換手段を備えたことを特徴とする。
従って、この第６又は第７発明の排ガス処理装置によれば、フィルタ再生時に逆洗圧力を除塵処理時よりも高圧に切り換えるとにより、除塵処理時に比べてフィルタ再生時の逆洗力を高くすることができるため、より確実にすすを払い落としてフィルタを再生することができる。
また、第８発明の排ガス処理装置は、エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気することにより排ガス中に含まれる微粒子を除去する排ガス処理装置において、フィルタ再生手段として、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度でフィルタ付着物を加熱することにより、前記すすは燃焼させずに前記オイルミストの揮発だけを行う再生加熱手段と、前記オイルミストの揮発により粘着力を失った前記すすを、圧縮ガスによりフィルタを逆洗して払い落とす逆洗手段とを備えたことを特徴とする。
また、第９発明の排ガス処理装置は、第８発明の排ガス処理装置において、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度を、３２０〜４００℃の範囲としたことを特徴とする。
従って、この第８又は第９発明の排ガス処理装置によれば、再生加熱手段による加熱によってすすは燃焼させずにオイルミストの揮発だけを行い、オイルミストが揮発して剥離し易くなったすすを逆洗で払い落とすため、即ち、フィルタ付着物を燃焼させることなく除去することができるため、フィルタ付着物の燃焼にともなう熱衝撃によってフィルタが破損することはない。
また、第１０発明の排ガス処理装置は、第８又は第９発明の排ガス処理装置において、再生加熱手段は、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度の加熱再生ガスをフィルタに流し、この加熱再生ガスによってフィルタ付着物を加熱する加熱再生ガス供給手段であることを特徴とする。
従って、この第１０発明の排ガス処理装置によれば、加熱再生ガスによってすすは燃焼させずにオイルミストの揮発だけを行い、オイルミストが揮発して剥離し易くなったすすを逆洗で払い落とすため、フィルタ付着物の燃焼にともなう熱衝撃によってフィルタが破損することはない。しかも、加熱再生ガスを用いることにより、フィルタ全体の付着物を加熱することが容易である。
また、第１１発明の排ガス処理装置は、第１０発明の排ガス処理装置において、加熱再生ガスをフィルタ全体に均一に分配する加熱再生ガス分配手段を、フィルタの上流側に配置したことを特徴とする。
従って、この第１１発明の排ガス処理装置によれば、加熱再生ガス分配手段によって加熱再生ガスをフィルタ全体に均一に分配するため、フィルタ全体を均一に加熱再生することができる。
また、第１２発明の排ガス処理装置は、第１１発明の排ガス処理装置において、フィルタの排ガス通気方向はアップフローであり、加熱再生ガス分配手段は、フォーク状に分岐した複数の分岐部を有するとともに各分岐部の間には隙間を有し且つ各分岐部の噴出孔が下流側にいくほど大きくて各噴出孔から噴出される加熱再生ガス量が等しくなるように形成されている加熱再生ガス分配管であり、この加熱再生ガス分配管をフィルタの下側に配置したことを特徴とする。
従って、この第１２発明の排ガス処理装置によれば、加熱再生ガス分配管によって加熱再生ガスをフィルタ全体に均一に分配するため、フィルタ全体を均一に加熱再生することができ、しかも、逆洗によって落としたすすが各分岐部間の隙間から下に落ちるため各分岐部上に堆積することはない。
また、第１３発明の排ガス処理装置は、第８,第９,第１０,第１１又は第１２発明の排ガス処理装置において、フィルタの外周面を加熱して同外周面からの放熱を防止するフィルタ外周面加熱手段を備えたことを特徴とする。
従って、この第１３発明の排ガス処理装置によれば、フィルタの外周面を加熱して同外周面からの放熱を防止することにより、フィルタの外周部の温度低下を防止することができるため、フィルタ全体を均一に加熱再生させることができる。
また、第１４発明の排ガス処理装置は、第１０,第１１又は第１２発明の排ガス処理装置において、加熱再生ガス中に不燃ガスを混入して加熱再生ガスの酸素濃度を低減することにより、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度を高めたことを特徴とする。
また、第１５発明の排ガス処理装置は、第１４発明の排ガス処理装置において、加熱再生ガスの酸素濃度は体積比で５％以下とし、フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度を４００〜６００℃としたことを特徴とする。
従って、この第１４又は第１５発明の排ガス処理装置によれば、加熱再生ガスの酸素濃度を低減して加熱再生温度（フィルタに付着したオイルミストは揮発し且つフィルタに付着したすすは燃焼しない温度）を高くすることにより、フィルタの付着物に沸点の高いオイルミストが存在する場合にも、オイルミストを完全に揮発させることができて、逆洗によりすすを払い落とすことができる。
また、第１６発明の排ガス処理装置は、第１０,第１１,第１２,第１４又は第１５に記載の排ガス処理装置において、加熱再生ガス供給手段は、フィルタの下流側からガスを吸気して加熱し、この加熱再生ガスをフィルタの上流側へ戻してフィルタへ流す加熱再生ガス循環手段であることを特徴とする。
従って、この第１６発明の排ガス処理装置によれば、加熱再生ガスを循環することから、循環中に放熱する熱量に若干の熱量を加えた分だけ加熱再生ガスの加熱を行えばよいため、ヒータなどの加熱手段の容量を低減することができる。
また、第１７発明の排ガス処理装置は、エンジンの排ガスを除塵装置のフィルタに通気して排ガス中に含まれる微粒子をフィルタでろ過して除去する排ガス処理装置において、フィルタ再生手段として、外気を吸引して加熱せずにフィルタに流すことにより、フィルタに付着しているオイルミストを揮発させる再生用外気吸引手段と、前記オイルミストの揮発により粘着力が低減されたフィルタに付着しているすすを、圧縮ガスによりフィルタを逆洗して払い落とす逆洗手段とを備えたことを特徴とする。
従って、この第１７発明の排ガス処理装置によれば、吸引した外気をそのままフィルタに流してオイルミストを揮発させるため、加熱再生ガスを生成するためのヒータの設置や加熱用の電力を必要としないため、構成が簡易で安価である。
また、第１８発明の排ガス処理装置は、第８,第９,第１０,第１１,第１２,第１３,第１４,第１５,第１６又は第１７発明の排ガス処理装置において、フィルタ再生時には除塵処理時に比べて逆洗手段による逆洗間隔を短くし又は逆洗パルス噴射時間を長くするように構成したことを特徴とする。
従って、この第１８発明の排ガス処理装置によれば、フィルタ再生時には除塵処理時に比べて逆洗手段による逆洗間隔を短くし又は逆洗パルス噴射時間を長くすることにより、除塵処理時に比べてフィルタ再生時の逆洗力を高くすることができるため、より確実にすすを払い落としてフィルタを再生することができる。
また、第１９発明の排ガス処理装置は、第８,第９,第１０,第１１,第１２,第１３,第１４,第１５,第１６,第１７又は第１８発明の排ガス処理装置において、フィルタ再生時に逆洗圧力を除塵処理時よりも高圧に切り換える逆洗圧力切換手段を備えたことを特徴とする。
従って、この第１９発明の排ガス処理装置によれば、フィルタ再生時に逆洗圧力を除塵処理時よりも高圧に切り換えるとにより、除塵処理時に比べてフィルタ再生時の逆洗力を高くすることができるため、より確実にすすを払い落としてフィルタを再生することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る排ガス処理装置の構成図である。
【図２】３００℃連続集塵（除塵）処理時のフィルタ差圧推移を示す図である。
【図３】３５０℃連続集塵（除塵）処理時のフィルタ差圧推移を示す図である。
【図４】連続加熱再生集塵（除塵）処理時のフィルタ差圧推移を示す図である。
【図５】連続加熱再生集塵（除塵）処理時のフィルタ内温度推移を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態２に係る排ガス処理装置の構成図である。
【図７】（ａ）はセラミックフィルタの通気方向がアップフローの場合のセラミックフィルタや加熱再生ガス分配管の構成を示す斜視図、（ｂ）は前記加熱再生ガス分配管の上面図である。
【図８】本発明の実施の形態３に係る排ガス処理装置の構成図である。
【図９】本発明の実施の形態４に係る排ガス処理装置の構成図である。
【図１０】本発明の実施の形態５に係る排ガス処理装置の構成図である。
【図１１】本発明の実施の形態６に係る排ガス処理装置の構成図である。
【図１２】本発明の実施の形態７に係る排ガス処理装置の構成図である。
【符号の説明】
１  ディーゼルエンジン
２  発電機
３  過給機
３ａ  タービン
４  排ガスボイラ
５  ポンプ
６  発電機
７  蒸気タービン
８  排ガスライン
１１  除塵装置
１１ａ  容器
１１ｂ  排ガス入口
１１ｃ  排ガス出口
１１Ａ〜１１Ｄ  除塵装置
１２  逆洗用エアタンク
１２Ａ，１２Ｂ  逆洗用エアタンク
１３  再生用加熱空気供給装置
１４  ブロア
１５  煙突
１６Ａ〜１６Ｄ  ダンパ
１７Ａ〜１７Ｄ  ダンパ
１８  セラミックフィルタ
１８ａ  フィルタケース
１８ｂ  フィルタ部
１８Ａ〜１８Ｄ  セラミックフィルタ
１９Ａ〜１９Ｄ  バルブ
２０Ａ〜２０Ｄ  ダンパ
２１  加熱装置
２２  制御装置
３１Ａ〜３１Ｄ  整流体
３１Ａ−１〜３１Ｄ−１  通気孔
７１  加熱再生ガス分配管
７１ａ  分岐部
７１ｂ  噴出孔
８１Ａ〜８１Ｂ  電気ヒータ
９１  窒素ＰＳＡ
１０１  熱風発生循環装置
１０２  ブロア
１０３  再生用空気加熱装置
１０４Ａ〜１０４Ｄ  ダンパ
１０５Ａ〜１０５Ｄ  ダンパ
１１１  再生用外気吸引装置
１１２Ａ〜１１２Ｄ  ダンパ
１２１Ａ〜１２１Ｄ  バルブ
１２２Ａ〜１２２Ｄ  バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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