(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
観測対象からの放射波動に対して２次元干渉測定を実施し、前記観測対象における波源像を可視化する方法であって、
前記２次元干渉測定の観測面に対する基準となる位置での放射波動を検出して第１の信号として出力する第１のセンサと、前記観測面内の任意の位置での放射波動を検出して第２の信号として出力する第２のセンサとを使用し、
前記第１の信号及び前記第２の信号をそれぞれフーリエ変換して第１のスペクトル及び第２のスペクトルを獲得し、
前記第１のスペクトルのパワースペクトルと、前記第２のスペクトルのパワースペクトルと、前記第１のスペクトルと前記第２のスペクトルの間のクロススペクトルとを求め、
前記クロススペクトルの平均値と前記各パワースペクトルから算出された平均値とに基づきコヒーレンス関数を決定し、
前記観測面内の点ごとに、前記クロススペクトルを得てこれを前記第１のスペクトルのパワースペクトルの平方根で規格化し、前記規格化されたクロススペクトルに対して観測周波数帯域内で前記コヒーレンス関数の値に応じた積分演算を実行して相関値を算出し、
前記観測対象と前記観測面との距離に応じて波源像の再生のための演算処理方法を選択し、前記各点ごとの相関値に基づいて波源像を再生する波源像可視化方法。
【請求項２】
前記相関値の算出に際し、前記コヒーレンス関数の値が所定のしきい値を越えている周波数範囲で前記積分演算を実行する請求項１に記載の波源像可視化方法。
【請求項３】
再生された波源像の位相情報と振幅情報とを同時に表示する請求項１または２に記載の波源像可視化方法。
【請求項４】
異なるトリガ条件で測定を実行して位相情報と振幅情報を比較し、時間的、空間的コヒーレンスを評価する請求項３に記載の波源像可視化方法。
【請求項５】
観測対象からの放射波動に対して２次元干渉測定を実施し、前記観測対象における波源像を可視化する装置であって、
前記２次元干渉測定の観測面に対する基準となる位置での放射波動を検出して第１の信号として出力する第１のセンサと、
前記観測面内の任意の位置での放射波動を検出して第２の信号として出力する第２のセンサと、
前記第１の信号及び前記第２の信号をそれぞれフーリエ変換して第１のスペクトル及び第２のスペクトルを算出するフーリエ変換手段と、
前記第１のスペクトルのパワースペクトルの平均値と、前記第２のスペクトルのパワースペクトルの平均値と、前記第１のスペクトルと前記第２のスペクトルの間のクロススペクトルの平均値とを求める平均値計算手段と、
前記クロススペクトルの平均値と前記各パワースペクトルから算出された平均値とに基づきコヒーレンス関数を決定するコヒーレンス関数計算手段と、
前記観測面内の点ごとに、前記クロススペクトルを得てこれを前記第１のスペクトルのパワースペクトルの平方根で規格化し、前記規格化されたクロススペクトルに対して観測周波数帯域内で前記コヒーレンス関数の値に応じた積分演算を実行して相関値を算出する相関値算出手段と、
前記観測対象と前記観測面との距離に応じて波源像の再生のための演算処理を選択し、前記各点ごとの相関値に基づいて波源像を再生する波源像再生処理手段と、を有する波源像可視化方法。
【請求項６】
前記第１の信号を蓄積して前記フーリエ変換手段に出力する第１のデータメモリと、前記第２の信号を蓄積して前記フーリエ変換手段に出力する第２のデータメモリと、前記第１のデータメモリ及び前記第２のデータメモリに対してデータ蓄積のためのトリガ信号を発生するトリガ回路と、を有する請求項５に記載の波源像可視化装置。
【請求項７】
前記波形像再生処理手段で再生された波源像について振幅情報と位相情報とを同時に表示する表示手段をさらに有する請求項５または６に記載の波源像可視化装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ホログラフィの原理に基づいて波源像を可視化する方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電波ホログラムや音波ホログラムを用いて波源像を可視化する技術が実用化され、例えば不要電磁波輻射の低減や騒音低減などのために使用されている。観測対象の物体の電波ホログラムを得て解析することにより、その物体のどこからどの程度の不要輻射が生じているかを知ることができ（輻射源分布の可視化）、いわゆるＥＭＩ(Electromagnetic Interference)対策を進める上で有効な情報を得ることができる。音波ホログラフィによる音源分布の可視化については、例えば、上羽  貞行、”音波ホログラフィと騒音源探査”、計測と制御、第１６巻第５号、４２７〜４３３頁、１９７７年に記載がある。
【０００３】
図２は、２次元干渉観測を行って２次元複素インタフェログラム（複素ホログラム）を求めこのインタフェログラムを再生することによって波源分布の表示を行う従来の波源像可視化装置の構成を示すブロック図であり、上述の参考文献に示されているものである。
【０００４】
観測対象５１に対して距離ｚ0だけ離れた場所に走査観測面５２を設定し、走査観測面５２内を移動する走査センサ５３を用い、走査観測面５２の各点において、観測対象５１からの電磁波や音波を検出して信号ｂ(ｔ)を得る。また、走査センサ５３とは別に固定センサ５４を設け、固定センサ５４でも観測対象５１からの電磁波や音波を検出して信号ａ(ｔ)を得る。なお、ｔは時刻を表わし、ｘ,ｙは走査観測面５２内での２次元座標を表わし、ｘ',ｙ'は観測対象５１での２次元座標を表わしている。
【０００５】
各センサ５３,５４からの信号ｂ(ｔ),ａ(ｔ)は、バンドパスフィルタ５５,５６で所定の周波数帯域に制限され、信号ｂ(ｔ)はロックインアンプ５８,５９に入力し、信号ａ(ｔ)は位相シフタ５７に入力する。位相シフタ５７からは、位相遅れのない信号（０°）が一方のロックインアンプ５８の参照信号として出力し、π／４だけ遅れた信号（９０°）が他方のロックインアンプ５８,５９の参照信号として出力する。したがって、一方のロックインアンプ５８から、走査観測面５２上の点(ｘ,ｙ)での相関値の実数成分ＪRe(ｘ,ｙ)が出力され、他方のロックインアンプ５９からは点(ｘ,ｙ)での相関値の虚数成分ＪIm(ｘ,ｙ)が出力されることになる。走査観測面５２の各点での相関値を得ることにより、２次元複素インタフェログラムが得られることになる。
【０００６】
このようにして得られた各点での相関値に基づき波源像再生処理部６０により波形像を再生し、この波形像を表示部６１に表示する。具体的には、観測対象５１上の点(ｘ',ｙ')における輻射の強度をＩ(ｘ',ｙ')で表わすと、この強度Ｉ(ｘ',ｙ')は、以下のように表わされる。ｊは虚数単位である。
【０００７】
【数１】
0003642844.tif 000002
波源像再生処理部６０は式(1)に表わされる計算を実行する。
【０００８】
ところで、式(1)の右辺は、波源がコヒーレントである場合には振幅を表わすが、波源がインコヒーレントである場合には振幅の平方を表わす。したがって、表示部６１において観測対象５１における振幅分布を表示させる場合、波源がコヒーレントである場合にはＩ(ｘ',ｙ')を表示部６１に対して出力し、波源がインコヒーレントの場合には
【０００９】
【外１】
0003642844.tif 000003
を表示部６１に対して出力する必要がある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の波源像可視化装置には、ロックインアンプの応答性の制限のために、速いスペクトル変動に追従できないという問題点がある。また、上述したように、波源がコヒーレントかインコヒーレントであるかによって再生像の解釈が異なり、事前にコヒーレント波源であるかインコヒーレント波源であるかを知らないと、再生像の解釈を行うことができないこともある。電子装置からの不要輻射の可視化の場合、時間、空間的に、コヒーレント、インコヒーレント、部分コヒーレントな成分が混在し、しかも事前にその割合等を予測することが困難なことが多いので、結局、従来の装置によっては定量的な解釈を行うことが難しい。さらに、従来の装置には、強度分布のみが求められるので、波源状態の時間、空間的なコヒーレンシを評価できないという問題点もある。
【００１１】
本発明の目的は、コヒーレンシに関する事前の知識を必要とせず、部分コヒーレントな波源分布の評価が可能であって、スペクトルの速い変化に追従できる波源可視化方法及び装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の波源可視化方法は、観測対象からの放射波動に対して２次元干渉測定を実施し、観測対象における波源像を可視化する方法であって、２次元干渉測定の観測面に対する基準となる位置での放射波動を検出して第１の信号として出力する第１のセンサと、観測面内の任意の位置での放射波動を検出して第２の信号として出力する第２のセンサとを使用し、第１の信号及び第２の信号をそれぞれフーリエ変換して第１のスペクトル及び第２のスペクトルを獲得し、第１のスペクトルのパワースペクトルと、第２のスペクトルのパワースペクトルと、第１のスペクトルと第２のスペクトルの間のクロススペクトルとを求め、クロススペクトルの平均値と各パワースペクトルから算出された平均値とに基づきコヒーレンス関数を決定し、観測面内の点ごとに、クロススペクトルを得てこれを第１のスペクトルのパワースペクトルの平方根で規格化し、規格化されたクロススペクトルに対して観測周波数帯域内でコヒーレンス関数の値に応じた積分演算を実行して相関値を算出し、観測対象と観測面との距離に応じて波源像の再生のための演算処理方法を選択し、各点ごとの相関値に基づいて波源像を再生する。
【００１３】
本発明において、放射波動としては、音波や電波など、２次元干渉測定が可能な任意の波動を用いることができる。マイクロ波帯の電波の波源像を求める場合には、いったん、受信信号を中間周波数帯の信号に周波数変換してからフーリエ変換を行うことも可能である。
【００１４】
本発明の方法において、相関値の算出に際しては、例えば、コヒーレンス関数の値が所定のしきい値を越えている周波数範囲内で積分演算を実行する。また、波源像再生のための演算処理方法としては、例えば、波動干渉における近傍界領域に対応するもの、フレネル領域に対応するもの、フラウンホーファー領域に対応するものなどを用意する。さらに、本発明の方法においては、再生された波源像の位相情報と振幅情報とを同時に表示することができ、この場合には、異なるトリガ条件で測定を実行して位相情報と振幅情報を比較することによって、時間的、空間的コヒーレンスを評価することが可能になる。
【００１５】
本発明の波源可視化装置は、観測対象からの放射波動に対して２次元干渉測定を実施し、観測対象における波源像を可視化する装置であって、２次元干渉測定の観測面に対する基準となる位置での放射波動を検出して第１の信号として出力する第１のセンサと、観測面内の任意の位置での放射波動を検出して第２の信号として出力する第２のセンサと、第１の信号及び第２の信号をそれぞれフーリエ変換して第１のスペクトル及び第２のスペクトルを算出するフーリエ変換手段と、第１のスペクトルのパワースペクトルの平均値と、第２のスペクトルのパワースペクトルの平均値と、第１のスペクトルと第２のスペクトルの間のクロススペクトルの平均値とを求める平均値計算手段と、クロススペクトルの平均値と各パワースペクトルから算出された平均値とに基づきコヒーレンス関数を決定するコヒーレンス関数計算手段と、観測面内の点ごとに、クロススペクトルを得てこれを第１のスペクトルのパワースペクトルの平方根で規格化し、規格化されたクロススペクトルに対して観測周波数帯域内でコヒーレンス関数の値に応じた積分演算を実行して相関値を算出する相関値算出手段と、観測対象と観測面との距離に応じて波源像の再生のための演算処理方法を選択し、各点ごとの相関値に基づいて波源像を再生する波源像再生処理手段と、を有する。
【００１６】
本発明の装置においては、第１の信号を蓄積してフーリエ変換手段に出力する第１のデータメモリと、第２の信号を蓄積してフーリエ変換手段に出力する第２のデータメモリと、第１のデータメモリ及び第２のデータメモリに対してデータ蓄積のためのトリガ信号を発生するトリガ回路とをさらに設けることができる。また、波形像再生処理手段で再生された波源像について振幅情報と位相情報とを同時に表示する表示手段をさらに設けることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。図１は本発明の実施の一形態の波源像可視化装置の構成を示すブロック図であり、この波源像可視化装置は、本発明の方法に基づいて可視化波源像を表示するものである。
【００１８】
複数の波源集合を有する観測対象１１に対して、距離ｚだけ離れた位置に走査観測面１２を設け、走査観測面１２内を移動する走査センサ１３を配置する。また、走査センサ１３とは別に、移動しない固定センサ１４を配置する。走査センサ１３は第２のセンサに対応し、固定センサ１４は第１のセンサに対応する。走査センサ１３と固定センサ１４は、観測波動が音波であるときには例えばマイクロホンであり、電波であるときにはアンテナである。以下の説明では、走査観測面１２での２次元座標をｘ,ｙで表わし、観測対象１１での２次元座標をｘ',ｙ'で表わす。また本発明では、観測対象１１と走査センサ１３や固定センサ１４との距離ｒが、可視化スペクトルの帯域幅Δω（観測周波数帯域の角周波数表示による帯域幅）に比べて十分小さい、すなわち、ｒ≪ｖ／Δω（ｖは波動の速度）であって、観測波動を平均波長λ0で扱えることを前提とする。
【００１９】
走査センサ１３及び固定センサ１４の出力側には、それぞれ、走査センサ１３及び固定センサ１４からの観測信号ｂ(ｔ),ａ(ｔ)のうちの所定の周波数帯域の成分のみを帯域通過させて中間周波数ＩＦの信号に変換する前変換部１５,１６が設けられている。各前変換部１５,１６には、基準周波数ｆrefが供給されている。前変換部１５,１６は、例えばＲＦスペクトラムアナライザをゼロスパンモードで基準周波数ｆrefに位相ロックさせることで実現できる。音波や比較的低い周波数の電波を観測波動とするような場合には、デジタル信号処理によって帯域制限や周波数変換処理を行う前変換部を使用してもよい。前変換部１５,１６の出力側には、前変換部１５,１６の出力をサンプリングして記憶するデータメモリ１８,１９が配置している。外部同期入力あるいは前変換部１５の出力に応じてトリガ信号を発生するトリガ回路１７が設けられており、各データメモリ１８,１９はトリガ信号に応じてデータのサンプリングを開始するように構成されている。また、各データメモリ１８,１９にはサンプリング周波数ｆSが供給されている。
【００２０】
フーリエ変換部２０は、サンプリングされてデータメモリ１８,１９に格納されたデータをそれぞれフーリエ変換してスペクトルＳa(ω),Ｓb(ω)を算出するためのものであり、フーリエ変換部２０の出力側には、スペクトルＳa(ω),Ｓb(ω)それぞれのパワースペクトルの平均値とこれらスペクトルＳa(ω),Ｓb(ω)のクロススペクトルの平均値を算出する平均値計算部２１が設けられている。ωは角周波数である。さらに、平均値計算部２１での算出結果に基づいてコヒーレンス関数γ2(ω)を算出する第１の演算部２２と、コヒーレンス関数γ2(ω)から定まる積分操作関数ｆ(ω)と平均値計算部２１での算出結果に基づいて相関値Ｃab(ｘ,ｙ)を算出する第２の演算部２３と、相関値Ｃabに基づいて波形像を再生する波形像再生処理部２４と、再生された波形像を表示する表示部２５とが設けられている。第１の演算部２２及び第２の演算部２３は、それぞれ、コヒーレンス関数計算手段、相関値算出手段に対応する。後述するように、距離ｚと観測波動の波長λ0との関係によって波形像の再生方法が異なるため、波形像再生処理部２４には距離ｚも入力している。上述のトリガ回路１７、各データメモリ１８,１９及びフーリエ変換部２０は、例えば、ＦＦＴスペクトラムアナライザ（デジタルスペクトラムアナライザ）を用いて実現できる。
【００２１】
次に、この装置を用いた波源像の可視化について説明する。
【００２２】
走査センサ１３を移動させることにより、走査観測面１２内の任意の点(ｘ,ｙ)において観測対象１１からの波動を受信して信号ｂ(ｔ)を取得し、同時に、固定センサ１４によっても波動を受信して信号ａ(ｔ)を取得する。そして、前変換部１５,１６により、所定の周波数帯域に帯域制限してから、信号ｂ(ｔ),ａ(ｔ)を中間周波数ＩＦの信号に周波数変換し、データメモリ１８,１９により、観測周波数帯域幅より十分に高いサンプリングレートによって、Ｔ秒間にわたり、これらの信号をサンプリングする。そして、サンプリングされたデータをフーリエ変換部２０によってフーリエ変換することにより、信号ａ(ｔ)に対するスペクトルＳa(ω)と信号ｂ(ｔ)に対するスペクトルＳb(ω)とを得る。スペクトルＳa(ω),Ｓb(ω)は平均値計算部２１に入力し、各スペクトルＳa(ω),Ｓb(ω)のパワースペクトルの平方根の平均値〈｜Ｓa(ω)｜〉,〈｜Ｓb(ω)｜〉や、スペクトルＳa(ω),Ｓb(ω)間のクロススペクトルのパワースペクトル〈Ｓa*(ω)Ｓb(ω)〉が算出される。ここで、〈・〉はアンサンブル平均を示し、*は複素共役を示している。
【００２３】
第１の演算部２２では、平均値計算部２１での計算結果を利用して、下記式に基づき、所定の観測周波数帯域におけるコヒーレンス関数γ2(ω)が計算される。
【００２４】
【数２】
0003642844.tif 000004
そして、このコヒーレンス関数関数γ2(ω)に対してしきい値αを設定することにより、積分操作関数ｆ(ω)が得られる。
【００２５】
【数３】
0003642844.tif 000005
第２の演算部２３では、下記式に基づき、走査観測面１２上での走査センサ１３の位置(ｘ,ｙ)ごとに、｜Ｓa(ω)｜で規格化された複素相関値Ｃab(ｘ,ｙ)が計算される。ω0は観測周波数帯域の中心角周波数である。
【００２６】
【数４】
0003642844.tif 000006
この相関値Ｃab(ｘ,ｙ)は、遅延時間τが０であるときの信号Ｓa(ｔ)と信号Ｓb(ｔ)との相互相関に相当する値となる。このとき、積分操作関数ｆ(ω)を得るために使用するコヒーレンス関数γ2(ω)は、走査センサ１３を移動する度に新しい値に更新してもよいし、走査観測面１２上の代表する点(ｘ0,ｙ0)で得た値を共通値として他の点で使用してもよい。また、相関値Ｃab(ｘ,ｙ)を得るために使用されるクロススペクトルと固定センサ１４の受信信号ａ(ｔ)のパワースペクトルの平方根とは、平均値操作を行わずに用いてもよい。これに対し、コヒーレンス関数γ2(ω)の演算には、必ず、平均化されたクロススペクトルと平均化されたパワースペクトル平方根を使用しなければならない。
【００２７】
走査観測面１２上の各点について相関値Ｃab(ｘ,ｙ)を求めたら、波形像再生処理部２４において、求めた相関値に基づき波形像を再生し、例えば鳥瞰図表示によって表示部２５に表示する。波形像の再生は、観測対象１１と走査観測面１２との距離ｚに応じて、近傍界領域での観測、フレネル(Fresnel)領域での観測、フラウンホーファー(Fraunhofer)領域での観測の３通りの方法で実行される。
【００２８】
観測波動の平均波長λ0に対してｚが著しく小さい場合（ｚ≪λ0）に代表される近傍界領域の観測では、相関値Ｃab(ｘ,ｙ)をそのままで表示するようにする。
【００２９】
近傍界領域とフラウンホーファー領域の中間の領域であるフレネル領域の観測では、
Ｆ-1[Ｆ[Ｃab(ｘ,ｙ)]・Ｆ[Ｐ(ｘ,ｙ;ｚ)]]
を表示するようにする。ここでＦ[・]はフーリエ変換、Ｆ-1[・]はフーリエ逆変換を示し、Ｐ(ｘ,ｙ;ｚ)は下記式で表わされる。
【００３０】
【数５】
0003642844.tif 000007
一方、ｚ≫λ0に代表されるフラウンホーファー領域の観測では、
【００３１】
【外２】
0003642844.tif 000008
で表わされる値に応じて表示が行われるようにする。ここでｋ0＝２π／λ0であり、ξとηはそれぞれ走査観測面１２から見た方位角と仰角であって、ξ＝ｘ'／ｚ、η＝ｙ'／ｚである。
【００３２】
このように再生される振幅値は、波源の空間コヒーレンシに関わりなく、ω0±(Δω／２)の範囲での絶対平均振幅値を与える。実際には、観測対象１１の大きさと観測波動の平均波長λ0との関係に応じて、距離ｚを定めるようにすることが望ましい。すなわち、平均波長λ0が観測面積に対して大きい場合には、ｚ＜λ0として近傍界領域で観測が行われるようにする。一方、観測対象１１の面積が走査観測面１２の面積よりも大きい場合には、ｚ≫λ0としてフラウンホーファー領域で観測が行われるようにし、これらの中間である場合にはフレネル領域での観測が行われるようにする。
【００３３】
表示部２５において各再生位置での振幅と位相を同時に示すことで、空間・時間的な波源のコヒーレンスを知ることができる。観測データを得るためのトリガ条件を変えながら観測を行った場合、トリガ条件ごとの振幅の変化の様子は時間コヒーレンシを示し、位相の変化の様子は空間コヒーレンシを示す。振幅と位相の同時表示は、例えば鳥瞰図表示を行う場合には、山の高さで振幅を表わし、色や明るさで位相を示すことによって行える。あるいは、振幅を明るさ、位相を色として２次元的に表現してもよいし、等高線図により振幅を等高線で表わし位相を色または明るさで表現してもよい。
【００３４】
ここで、本実施の形態における波源像の可視化に関する制約条件について説明する。観測周波数帯域幅Δωについては、観測対象１１と観測位置との距離をｒとして、この距離ｒにおいて帯域幅Δω内での周波数変動に対して位相がほぼ一定に見えるように設定する必要がある。また、コヒーレンス関数γ2(ω)での評価を行うために、走査センサ１３と固定センサ１４で同じ信号成分を受信し、走査センサ１３側の遅延時間と固定センサ１４側の遅延時間の差に比べてサンプリング時間Ｔが十分大きく、かつ、このサンプリング時間Ｔによって定まる周波数分解能によって、走査センサ１３からのスペクトルＳa(ω)と固定センサ１４からのスペクトルＳb(ω)とがスペクトル領域で識別できることが必要である。
【００３５】
以上の観点からすると、サンプリング周波数ｆSをできるだけ低く設定するためには、前変換部１５，１６での帯域制限の帯域幅と観測周波数帯域幅Δωとを等しくすればよい。しかしながら、帯域制限にはアナログ回路によるバンドパスフィルタを使用するのが一般的であり、前変換部１５と前変換部１６とでこのバンドパスフィルタの特性が異なる可能性がある。そこで、バンドパスフィルタの帯域幅を観測周波数帯域幅Δωよりも大きくし、バンドパスフィルタの周波数特性が比較的理想に近い部分で観測周波数帯域を設定するようにすればよい。
【００３６】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は走査観測面内を１個の走査センサを移動させて測定を行うことに限定されるものではない。例えば、走査観測面内に２次元的に複数の固定したセンサを配列し、これらセンサによって観測波動を同時に受信するようにしてもよい。この場合には、これら２次元的に配列したセンサの１つを上述の固定センサとしてもよいし、いくつかのセンサからの受信信号を加算して上述の信号ａ(ｔ)（固定センサからの信号に相当）を得るようにしてもよい。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、固定センサからの受信信号と走査センサからの受信信号のクロススペクトルやそれぞれのパワースペクトルを算出し、コヒーレンスの度合を示すコヒーレンス関数を計算し、クロススペクトルを得てこれを固定センサからの信号のパワースペクトルの平方根で規格化し、規格化されたクロススペクトルを所定の観測周波数帯域内でコヒーレンス関数の値に応じて積分演算を実行して相関値を算出するとともに、観測対象と走査観測面との距離に応じて波源像の再生のための演算処理方法を選択し、各点ごとの相関値に基づいて波源像を再生することにより、コヒーレンシに関する事前の知識を必要とせず、部分コヒーレントな波源分布の評価が可能であって、スペクトルの速い変化に追従できるようになるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態の波源可視化装置の構成を示すブロック図である。
【図２】従来の波源可視化装置の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１１    観測対象
１２    走査観測面
１３    走査センサ
１４    固定センサ
１５,１６     前変換部
１７    トリガ回路
１８,１９     データメモリ
２０    フーリエ変換部
２１    平均値計算部
２２,２３     演算部
２４    波形像再生処理部
２５    表示部
【図１】
0003642844.tif 000009
【図２】
0003642844.tif 000010