(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の薬液収納容器に収納された薬液を各々基板処理部に送液することにより、基板に所望の薬液を供給して処理を行う基板処理装置において、
前記薬液収納容器と接続されることにより当該薬液収納容器から前記基板処理部に薬液を送液するための薬液供給管と、
前記薬液収納容器に収納された薬液の種類を示すデータを表示するため、前記薬液収納容器に付設されたデータ表示部と、
前記データ表示部に表示された薬液の種類を示すデータを読み取る読取手段と、
前記読取手段により読み取られた薬液収納容器における薬液の種類を示すデータに基づき、前記薬液収納容器とこの薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管との接続情報として、この薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管を表示する表示手段と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記表示手段は、前記薬液収納容器を設置すべき場所を表示することにより、この薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管を表示する基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハや液晶表示パネル用ガラス基板あるいは半導体製造装置用マスク基板等の基板を処理する基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
このような基板処理装置においては、ガロン瓶やコート瓶と呼称される薬液収納容器に収納された薬液を、薬液供給管を介して、スピンコータやスピンデベロッパ等の基板処理部に送液することにより、基板に所望の薬液を供給する構成となっている。そして、薬液収納容器内の薬液が空になった場合には、オペレータが新たな薬液収納容器を薬液供給管に接続するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
近年、一つの基板処理ラインで複数種の基板を処理するケースが増加している。このような場合には、各基板の種類に応じて使用する薬液が各々異なることから、一つの基板処理装置において極めて多数の薬液が使用されることになる。
【０００４】
このため、薬液収納容器の交換時に、薬液収納容器を本来接続すべき薬液供給管とは異なる薬液供給管に接続してしまうという薬液収納容器と薬液供給管との接続ミスが発生する場合がある。このような接続ミスが発生した場合には、その薬液で処理された基板を廃棄せざるを得ず、また、薬液供給管の洗浄も必要になるという問題を生ずる。
【０００５】
この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、薬液収納容器と薬液供給管との接続ミスを有効に防止することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、複数の薬液収納容器に収納された薬液を各々基板処理部に送液することにより、基板に所望の薬液を供給して処理を行う基板処理装置において、前記薬液収納容器と接続されることにより当該薬液収納容器から前記基板処理部に薬液を送液するための薬液供給管と、前記薬液収納容器に収納された薬液の種類を示すデータを表示するため、前記薬液収納容器に付設されたデータ表示部と、前記データ表示部に表示された薬液の種類を示すデータを読み取る読取手段と、前記読取手段により読み取られた薬液収納容器における薬液の種類を示すデータに基づき、前記薬液収納容器とこの薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管との接続情報として、この薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管を表示する表示手段とを備えたことを特徴とする。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板処理装置において、前記表示手段は、前記薬液収納容器を設置すべき場所を表示することにより、この薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管を表示する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１はこの発明の第１実施形態に係る基板処理装置の要部を示す説明図である。
【０００９】
この基板処理装置は、基板１を処理するための基板処理部２と、薬液を収納した薬液収納容器３と、薬液収納容器３から基板処理部２へ薬液を送液するための薬液供給管４とを備える。
【００１０】
前記基板処理部２は、基板１をその下面より吸着保持した状態で鉛直軸１１のまわりを回転するスピンチャック１２と、スピンチャック１２に保持されて回転する基板１の表面に薬液を吐出するための薬液吐出ノズル１５とを有する。薬液吐出ノズル１５から基板１の表面に吐出された薬液は、基板１の回転に伴う遠心力により、基板１の表面で薄膜を形成する。
【００１１】
前記薬液収納容器３は、その内部に基板処理部２で使用される薬液を貯留するものである。この薬液収納容器３の側面には、この薬液収納容器３に収納された薬液の種類を示すバーコードを表示したデータ表示部５が付設されている。
【００１２】
前記薬液供給管４は、その先端部を薬液収納容器３内に挿入してこの薬液収納容器３と接続されることにより、薬液収納容器３から基板処理部２へ薬液を送液するためのものである。この薬液供給管４には、薬液収納容器３内の薬液の有無を検出するための薬液検出部９と、薬液を圧送するためのポンプ１４とが配設されている。また、薬液検出部９は、薬液収納容器３から送液された薬液を一時的に貯留する貯留部１６と、この貯留部１６内の薬液の液位を検出するセンサ１７とを備える。
【００１３】
この薬液供給管４における薬液収納容器３との接続部付近には、読取部６が配設されている。この読取部６は、図２に示すように、薬液収納容器３のデータ表示部５に表示されたバーコードを読み取るためのバーコードリーダ８を有する。この読取部６は、配線２８を介して、後述する制御部２４と接続されている。
【００１４】
図３は、この基板処理装置の主要な電気的構成を示すブロック図である。
【００１５】
この基板処理装置は、装置の制御に必要な動作プログラムが格納されたＲＯＭ２１と、制御時にデータ等が一時的にストアされるＲＡＭ２２と、論理演算を実行するＣＰＵ２３とから成る制御部２４を備える。この制御部２４は、インターフェース２５を介して、上述した読取部６および薬液検出部９と接続されている。また、この制御部２４は、薬液収納容器３と薬液供給管４との接続の適否を表示するための警告灯やＣＲＴ等を備えた表示部１０と接続されている。
【００１６】
なお、上述した説明においては、薬液収納容器３および薬液供給管４を、各々１個のみ図示しているが、この基板処理装置には、薬液収納容器３および薬液供給管４がそれぞれ複数個配設されている。
【００１７】
このような基板処理装置において、基板１の処理を継続するに伴い、薬液収納容器３内の薬液がなくなったことを薬液検出部９が検出すれば、制御部２４の制御により表示部１０に薬液がなくなった旨の警告表示が表示される。これにより、オペレータは空になった薬液収納容器３を新たな薬液収納容器３と交換する。
【００１８】
この交換時においては、オペレータは、新たな薬液収納容器３のデータ表示部５に表示されたバーコードを、薬液供給管４に配設された読取部６におけるバーコードリーダ８により読み取る。読取部６は、データ表示部５におけるバーコードの情報から、この薬液収納容器３が読取部６が配設された薬液供給管４と接続すべきものか否かを判断し、その結果を制御部２４に送信する。そして、表示部１０には、制御部２４の制御により、薬液収納容器３と薬液供給管４との接続の適否が表示される。
【００１９】
このため、薬液収納容器３の交換時に、薬液収納容器３を本来接続すべき薬液供給管４とは異なる薬液供給管に接続してしまうという薬液収納容器３と薬液供給管４との接続ミスを防止することが可能となる。
【００２０】
なお、上述した表示部１０は、警告灯やＣＲＴ等の薬液収納容器３と薬液供給管４との接続の適否を視覚的に表示するものに限らず、ブザー等の薬液収納容器３と薬液供給管４との接続の適否を音で表示するものを使用してもよい。
【００２１】
次に、この発明の他の実施の形態について説明する。図４はこの発明の第２実施形態に係る基板処理装置に使用される読取部７の斜視図である。
【００２２】
この読取部７には、第１実施形態に係る読取部６と同様、薬液収納容器３のデータ表示部５に表示されたバーコードを読み取るためのバーコードリーダ８が配設されている。また、この読取部７には、緑色のＬＥＤ２１と赤色のＬＥＤ２２とから成る表示部２０が配設されている。なお、この読取部７および表示部２０は、図３に示す制御部２４と接続されている。
【００２３】
この第２実施形態に係る基板処理装置において、オペレータが空になった薬液収納容器３を新たな薬液収納容器３と交換する場合においては、オペレータは、新たな薬液収納容器３のデータ表示部５に表示されたバーコードを、薬液供給管４に配設された読取部７におけるバーコードリーダ８により読み取る。読取部７は、データ表示部５におけるバーコードの情報から、この薬液収納容器３が読取部７が配設された薬液供給管４と接続すべきものか否かを判断する。
【００２４】
そして、この薬液収納容器３が読取部７が配設された薬液供給管４に接続すべきものである場合には、表示部２０における緑色のＬＥＤ２１を点灯する。また、この薬液収納容器３が読取部７が配設された薬液供給管４に接続すべきものではない場合には、表示部２０における赤色のＬＥＤ２２を点灯する。
【００２５】
このため、第１実施形態の場合と同様、薬液収納容器３の交換時における薬液収納容器３と薬液供給管４との接続ミスを防止することが可能となる。
【００２６】
次に、この発明のさらに他の実施の形態について説明する。図５はこの発明の第３実施形態に係る基板処理装置に使用される薬液収納容器３の設置部２６付近を示す拡大図である。
【００２７】
この基板処理装置における薬液収納容器３の設置部２６には、各薬液供給管４と接続すべき薬液収納容器３を載置するための複数の凹部２７が形成されている。そして、この凹部２７の側方には、各々ランプを有する複数の表示部３０が配設されている。また、この設置部２６内には、第１実施形態と同様の読取部６が配設されている。この読取部６は、配線２８を介して、図３に示す制御部２４と接続されている。
【００２８】
この第３実施形態に係る基板処理装置において、オペレータが空になった薬液収納容器３を新たな薬液収納容器３と交換する場合においては、オペレータは、新たな薬液収納容器３のデータ表示部５に表示されたバーコードを、設置部２６内に配設された読取部６におけるバーコードリーダ８により読み取る。読取部６は、データ表示部５におけるバーコードの情報から、この薬液収納容器３が接続されるべき薬液供給管４を判断し、その結果を制御部２４に送信する。
【００２９】
一方、制御部２４は、読取部６から送信された情報に基づいて、この薬液収納容器３が接続されるべき薬液供給管４と対応する凹部２７の側方に配設された表示部３０におけるランプを点灯する。オペレータは、ランプが点灯した表示部３０の側方の凹部２７に薬液収納容器３を載置し、この薬液収納容器３とそこに対応する薬液供給管４とを接続する。
【００３０】
このため、第１、第２実施形態の場合と同様、薬液収納容器３の交換時における薬液収納容器３と薬液供給管４との接続ミスを防止することが可能となる。
【００３１】
なお、上述した実施の形態においては、いずれも、薬液収納容器３の表示部５として、バーコードを表示したものを使用し、読取部６、７に配設されたバーコードリーダ８によりこのバーコードを読み取る場合について説明したが、表示部５には、薬液収納容器３に収納された薬液の種類を示す何らかのデータが表示されていればよく、また、読取部６、７は、このデータを読取可能な何らかの構成を有すればよい。
【００３２】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明によれば、読取手段により読み取られた薬液の種類を示すデータに基づき、薬液収納容器とこの薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管との接続情報を表示する表示手段とを備えたことから、薬液収納容器の交換時における薬液収納容器と薬液供給管との接続ミスの発生を有効に防止することが可能となる。
【００３３】
また、請求項１に記載の発明によれば、表示手段が薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管を表示することから、薬液収納容器を接続すべき薬液供給管を容易に特定することができる。
【００３４】
請求項２に記載の発明によれば、表示手段が薬液収納容器を設置すべき場所を表示することによりこの薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管を表示することから、薬液収納容器を接続すべき薬液供給管をさらに容易に特定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の第１実施形態に係る基板処理装置の要部を示す説明図である。
【図２】  読取部６の斜視図である。
【図３】  基板処理装置の主要な電気的構成を示すブロック図である。
【図４】  読取部７の斜視図である。
【図５】  この発明の第３実施形態に係る基板処理装置に使用される薬液収納容器３の設置部２６付近を示す拡大図である。
【符号の説明】
１      基板
２      基板処理部
３      薬液収納容器
４      薬液供給管
５      データ表示部
６      読取部
７      読取部
８      バーコードリーダ
９      薬液検出部
１０    表示部
２０    表示部
２１    ＬＥＤ
２２    ＬＥＤ
２４    制御部
３０    表示部
【図１】
0003673081.tif 000002
【図２】
0003673081.tif 000003
【図３】
0003673081.tif 000004
【図４】
0003673081.tif 000005
【図５】
0003673081.tif 000006