(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
発泡倍率が少なくとも５倍以上、圧縮強度が０．０８８ＭＰａ以上１．０８ＭＰａ以下のポリオレフィンビーズ発泡体からなる４個で一組の梱包を行う緩衝材であって、断面がガラス基板の角部の形状に従って略Ｌ字形を呈し、該Ｌ字に沿って内側にはガラス基板の角部を形成する２側端を固定する基板挿入溝を複数本設け、該基板挿入溝の側壁が開口部付近で溝の外側方向に湾曲し、底部の幅が基板の厚みよりも若干狭く形成され、且つ少なくとも片側の該基板挿入溝が該Ｌ字形の角部にまで形成されていないことを特徴とする緩衝材。
【請求項２】
複数の基板を所定の間隔をもって平行配置して立方体を形成し、各基板の角部をそれぞれ請求項１記載の緩衝材の基板挿入溝に挿入して該基板表面に対して直交する上記立方体の４辺を上記緩衝材により嵌合固定してなることを特徴とする包装体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス等不導体の基体上に半導体装置等電子部品を形成してなるガラス基板を、輸送時の振動等による損傷から保護する輸送用緩衝材に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年半導体装置の発達に伴って、その梱包や輸送などの周辺技術の開発が要求されている。ガラス等の基体上に半導体装置等電子部品を組み込んでなるガラス基板は薄く衝撃等に弱い上、その構成が非常に微細なため、外部からの影響を受け易く、取扱が難しい。特に、最終的な製品になる前の、中間部品の状態で輸送する場合には、上記電子部品が剥き出しの状態で扱われるため静電気や埃などの影響をより強く受けてしまう。
【０００３】
図３に従来のガラス基板の梱包方法を示した。図中２１はガラス基板、３１は緩衝材である。緩衝材３１は外周がガラス基板２１の外周よりも一回り大きく、且つ内周が一回り小さい口字形のポリスチレン等の低発泡体からなる緩衝板で、図３に示した様に、緩衝材３１とガラス基板２１を順に複数枚重ね、例えば１０枚を１セットとして周囲をさらに緩衝板等で保護し、ゴム或いはテープ等で固定する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら図３に示したような緩衝材では、口字形の打ち抜き加工で粉の発生が生じ、複数枚の集合体を固定する際、或いは輸送時の振動等により、緩衝材とガラス基板とが摺擦し合い、ガラス基板上の電子部品を広範囲に損傷してしまう。また、同時に緩衝材も損傷して微細な粉塵を生じ、これが電子部品に付着し、表面の機能を損傷するという問題も有った。そのため、高機能を付与した該ガラス基板では、従来の梱包法で要求を達成でき得なかった。従って、複数枚のガラス基板が接触せず容易に空中固定し、且つ、クリーンルーム内で取り扱うためコンパクトで粉塵発生が無く、耐薬品性の強い保護緩衝材が求められていた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、発泡倍率が少なくとも５倍以上、圧縮強度が０．０８８ＭＰａ以上１．０８ＭＰａ以下のポリオレフィンビーズ発泡体からなる４個で一組の梱包を行う緩衝材１であって、断面がガラス基板の角部の形状に従って略Ｌ字形を呈し、該Ｌ字に沿って内側にはガラス基板の角部を形成する２側端を固定する基板挿入溝２、２’を複数本設け、該基板挿入溝２、２’の側壁が開口部付近で溝の外側方向に湾曲し、底部の幅が基板の厚みよりも若干狭く形成され、且つ少なくとも片側の該基板挿入溝が該Ｌ字形の角部にまで形成されていないことを特徴とする緩衝材である。さらに本発明は、複数の基板を所定の間隔をもって平行配置して立方体を形成し、各基板の角部をそれぞれ上記本発明の緩衝材の基板挿入溝に挿入して該基板表面に対して直交する上記立方体の４辺を上記緩衝材により嵌合固定してなることを特徴とする包装体である。本発明においては、上記Ｌ字の外側にゴム、テープ等の固定具２２を案内する固定具案内溝３を少なくとも１本設けることが望ましい。
【０００６】
本発明の緩衝材は、ガラス基板の角部を基板挿入溝に挿着することによりガラス基板を空中固定させると同時に隣接するガラス基板との接触が妨げられる。また、挿入溝以外にガラス基板が緩衝材に接触する部分がなく、ガラス基板の周縁に必要なデッドスペースは基板挿入溝に相当する領域のみで充分である。
【０００７】
また、本発明の緩衝材が目的とするガラス基板は、高性能な機能を付与するため、或いは付与された状態で輸送されるため、輸送用緩衝材は使用前に厳重なる品質管理状態を維持しなければならない。そのため使用前に洗浄液に対し耐薬品性能が有り、粉塵の発生が無いことが要求される。それ故該緩衝材は、クリーンルーム内での取扱が容易で、洗浄・クリーンルーム内取扱・輸送等の繰り返しサイクルに耐えることが必須の条件となっている。本発明においては、ポリオレフィン発泡体を使用することで、ガラスのカット面等鋭利な刃物状の面により、繰り返し切り裂くような衝撃を受けても、ポリオレフィンが有する柔軟性で上記衝撃を吸収し、且つ、ビーズの最大の特徴である表皮の厚みが厚いことにより、粉塵の発生が著しく少ない。通常汎用的に使用されているポリスチレン系樹脂（例：ＥＰＳ）ビーズ、ポリスチレン−ポリエチレン共重合樹脂発泡体等では、輸送時に樹脂特有の剛性による粉塵の発生が多く、ガラス基板に損傷が発生する。また、ポリオレフィンは耐薬品性に優れることから、洗浄にも耐え、上記した繰り返しサイクルに充分適応することができる。
【０００８】
しかも、本発明の緩衝材においては、基板挿入溝２、２′の側壁が溝の開口部付近で溝の外側方向に湾曲しているため、ガラス基板を該基板挿入溝に挿入する際に、ガラス基板の端部が緩衝材を引っ掛けることなくスムーズに溝内に進入し、固定される。さらに、固定された後にガラス基板に外力が加わって傾いた場合にも、開口部付近で溝が広がっているため緩衝材に加わる応力は小さく、緩衝材の該開口部付近が押しつぶされてガラス基板の把持作用が低下する恐れがない。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１に本発明の緩衝材の一実施形態を示す。図中１は本発明の緩衝材、２及び２’は基板挿入溝、３は固定具案内溝である。また、本実施形態を用いてガラス基板を梱包した本発明の一実施形態を図２に示す。図中２１はガラス基板、２２は固定具である。
【００１０】
図２に示す様に、本発明の緩衝材は、ガラス基板の角部を保護し且つ、空中固定するもので、従って最少単位４個で一組の梱包を行なう。図１に示す様に、本発明の緩衝材はガラス基板の角部の形状に従って断面が略Ｌ字形を呈し、基板の角部を形成する２側端を固定するべく該Ｌ字に沿って基板挿入溝２及び２’が設けられている。挿入溝２及び２’の幅は、本発明の緩衝材を利用し得るガラス基板の厚みから、適宜選択されるが、その底部が基板の厚みよりも若干狭く形成され、発泡体の弾性を利用してガラス基板を挿入・固定する。
【００１１】
また、本発明において、隣接する基板挿入溝の距離は好ましくは０．５ｍｍ以上に形成される。０．５ｍｍ未満では輸送時に基板の撓み等でガラス基板同士が接触する可能性が高く好ましくない。さらに好ましくは１ｍｍ以上で１０ｍｍ以下の範囲である。１ｍｍ以上では、輸送時の撓み等による隣接するガラス基板同士の接触の心配が全く無い。また、１０ｍｍを越えると嵩高くなり搬送量が少なくなるため好ましくない。
【００１２】
本発明においては、ガラス基板を挿着した状態で、隣接するガラス基板の面と面の間が０．５ｍｍ以上、好ましくは１ｍｍ以上開いていることが望ましい。また、基板挿入溝の深さも、ガラス基板の大きさや厚さにより適宜選択されるところであるが、少なくとも１ｍｍあれば良く、好ましくは２〜１０ｍｍである。
【００１３】
さらに、本発明においては、図１に示す様に、挿入溝２、２′の側壁を該溝の開口部付近で溝の外側方向に湾曲させて形成しているため、ガラス基板の着脱が容易で、挿入溝開口部付近での粉塵の発生を激減させることができる。本発明においてはガラス基板を少なくとも５枚以上、好ましくは１０〜１００枚の範囲で同時梱包する。従って、基板挿入溝の本数も、５本以上必要である。場合によっては梱包するガラス基板の枚数に対し、基板挿入溝を２本多く形成した緩衝材を用意し、両端にダミー基板を挿着して内側に挿着したガラス基板を保護する。
【００１４】
本発明においては、片側の基板挿入溝２’が角部にまで形成されていない。これは本発明の緩衝材１の角部における可撓性を高めて着脱を容易ならしめ、且つ粉塵の発生を激減せしめるためである。
【００１５】
また、固定を強化する必要が有る場合には、図１に示す様に、テープやゴム等の固定具を案内するための固定具案内溝３を少なくとも１本設け、図２に示す様に、本発明の緩衝材をガラス基板に挿着した後、外側から固定を強固にすることが望ましい。但し、本発明は図１に示された実施形態に限定されるものではない。
【００１６】  本発明の緩衝材は、ポリオレフィンのビーズ発泡体により形成される。ポリオレフィンとして好ましくはポリエチレン、或いはポリプロピレンが挙げられる。具体的には、メフ（登録商標、旭化成工業株式会社製）が好適に用いられる。本発明において、発泡体の発泡倍率は少なくとも５倍以上、好ましくは１０〜３０倍である。また、圧縮強度は０．０８８ＭＰａ（０．９ｋｇｆ／ｃｍ2）以上１．０８ＭＰａ（１１ｋｇｆ／ｃｍ2）以下である。圧縮強度が１．０８ＭＰａを越えると、落下時に破損し易い。好ましくは０．０８８〜０．３０４ＭＰａ（０．９〜３．１ｋｇｆ／ｃｍ2）である。０．３０４ＭＰａ以下にするとガラスの破損が激減するが、０．０８８ＭＰａ未満では、ガラスの自重で永久歪みが発生し易くなる。
【００１７】
また本発明においては、ガラス基板を扱うことから帯電防止剤を添加するのが好ましい。帯電防止剤としては一般に用いられているものがそのまま使用可能で、例えばイオン系活性剤や非イオン系活性剤、両性系活性剤等が好適に用いられる。しかしながら、表面塗布タイプでは、繰り返し使用と洗浄液による洗浄で帯電防止性能が低下するため、半永久的に性能維持させるためには練り込みタイプのビーズ発泡体を使用することが好ましい。例えば、メフＣＢ（登録商標、旭化成工業株式会社製）が良好に用いられる。
【００１８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の緩衝材は、複数のガラス基板を容易に且つ確実に保護して梱包することができる。本発明の緩衝材を用いてガラス基板を梱包すると、ガラス基板と緩衝材とが摺擦し合うことがないため、ガラス基板上の電子部品の損傷が防止される。さらに、ポリオレフィンを用いたことから、粉塵によるガラス基板への影響がなく、また洗浄して再使用が可能となったため経済的である上、環境問題から考えても非常に有用である。
【００１９】
さらに本発明の緩衝材は、基板挿入溝がガラス基板を挿入し易く且つ損傷しにくい形状が形成されており、該損傷によって粉塵が発生したり、ガラス基板が固定されずに輸送中に該ガラス基板が損傷する事故が防止される。
【００２０】
本発明の緩衝材は、多種多様なガラス基板に利用することができるが、中でも最近開発が著しい液晶分野において、特に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を作り込んだＴＦＴ基板は製造レベルでの歩留が低いことが問題となっているが、本発明の緩衝材を用いることにより輸送時のＴＦＴ基板の損傷を防止して歩留を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の緩衝材の一実施形態の斜視図である。
【図２】図１に示した本発明の実施形態を用いた本発明の包装体の一実施形態の斜視図である。
【図３】従来の緩衝材の使用状態を示す図である。
【符号の説明】
１  緩衝材
２、２’  基板挿入溝
３  固定具案内溝
２１  ガラス基板
２２  固定具
３１  緩衝材
【図１】
0003648049.tif 000002
【図２】
0003648049.tif 000003
【図３】
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