Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハをエッチングするためのプラズマガスが注入されるチャンバと、前記チャンバの外周縁にコーティングされてプラズマが発散するエネルギーのチャンバ外部への放出を遮断する反射膜と、前記反射膜がコーティングされたチャンバの外周縁に巻かれて所定のレベルを有する電圧が供給されるコイルとから構成されたことを特徴とするプラズマエッチング装置。
【請求項２】
前記チャンバの外周縁にコーティングされている反射膜が金属膜であることを特徴とする請求項１記載のプラズマエッチング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体製造工程において使用されるプラズマエッチング装置に関し、より詳しくは、チャンバの外周縁に反射膜をコーティングしてイオン化効率を向上させるプラズマエッチング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体製造工程においてウェーハをエッチングするときに用いられる従来のプラズマエッチング装置は、図２に示したように石英チャンバ１の外周縁にコイル２が巻かれ、ジェネレータからの電圧の供給を受けて磁界を発生して、チャンバ１の内部でプラズマが発生するように構成されている。
【０００３】
このような構成をもつプラズマエッチング装置は、チャンバ１内が励起状態にあるときチャンバ１から発生したプラズマのエネルギーがチャンバ１の石英膜を通過して外部へ漏れることがある。しかし、チャンバ１の内部圧力は一定値以上である必要があり、このような場合にはウェーハをエッチングするときウェーハが損傷を受けることもある。また、プラズマが発散するエネルギーがチャンバ外部へ放出されるのでエネルギー損失があるといった問題点があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は前記のような問題点を解消するために案出されたものである。本発明の目的は、チャンバの外周縁に反射膜を形成してチャンバ外部へ放出されるプラズマが発散するエネルギーを遮断してイオン化効率を向上させることができるプラズマエッチング装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記のような目的を達成するために本発明に係るプラズマエッチング装置は、ウェーハをエッチングするためのプラズマガスが注入されるチャンバと、チャンバの外周縁にコーティングされてプラズマが発散するエネルギーの放出を遮断する反射膜と、反射膜がコーティングされたチャンバの外周縁に巻かれて所定のレベルを有する電圧が供給されるコイルとから構成されたことを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面に基づき本発明をより詳しく説明する。
【０００７】
図１は本発明に係るプラズマエッチング装置の要部を示した図であって、チャンバ１０はウェーハをエッチングするためのプラズマガスが注入されるように構成されている。反射膜２０はアルミニウムや銀などの金属材料を用いてチャンバ１０の外周縁にコーティングされてプラズマが発散するエネルギーの放出を遮断するようになっている。
【０００８】
一方、コイル３０は反射膜２０がコーティングされたチャンバ１０の外周縁に巻かれて、ジェネレータ（図示せず）から出力される電圧が供給されるように構成されている。
【０００９】
前記のような構成をもつプラズマエッチング装置を用いてウェーハをエッチングする過程を詳細に述べると次のようである。
【００１０】
図１に示したチャンバ１０内部にウェーハを安着させた後、チャンバ１０内部へプラズマガスを注入すると共にジェネレータを作動させて、反射膜２０がコーティングされたチャンバ１０の外周縁に巻かれたコイル３０に所定の電圧を供給する。
【００１１】
コイル３０に電圧が供給されるとチャンバ１０の内部電位が励起状態から基底状態に落ちるときチャンバ１０の外部へプラズマが発散するエネルギーが放出される。
【００１２】
しかし、反射膜２０を用いているので、チャンバ１０の外部へ放出されるプラズマが発散するエネルギーが反射膜２０により遮断されてエネルギー損失が低減し、より高密度のプラズマを維持することができるようになる。
【００１３】
【発明の効果】
上述の本発明によれば、プラズマの発散エネルギー損失を極力抑えてイオン化効率を向上させて高密度のプラズマを維持し、このため低い圧力でもウェーハをエッチングすることができる。また、このためにウェーハが受ける衝撃も極力抑えることができるので生産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るプラズマエッチング装置の要部を示した断面図である。
【図２】従来プラズマエッチング装置のチャンバを示した斜視図である。
【符号の説明】
１０  チャンバ
２０  反射膜
３０  コイル
【図１】
0003670413.tif 000002
【図２】
0003670413.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケース本体（１）の内部に情報記録媒体（２）が収容してある情報記録用カートリッジであって、
ケース本体（１）の外面に、インクジェット印刷法によって印刷表示（９）を印刷するための下地層（８）が設けられており、
下地層（８）が、吸水性を備えたプロテイン粉末および白色顔料を含むインクを用いて印刷されており、下地層（８）の厚み寸法が、３〜１０μｍに設定されていることを特徴とする情報記録用カートリッジ。  
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ディスクカートリッジやテープカートリッジなどの情報記録用カートリッジに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、ミニディスク（ＭＤ）等のディスクカートリッジにおいては、ケース本体の外面に商品名や商品仕様、あるいは装飾模様等の印刷表示を施すが、この種の印刷表示はパッド印刷法によって印刷することが多い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
パッド印刷法は、凹凸面や曲面でも支障なく印刷を行えるが、転写時のパッドの弾性変形による位置ずれや線の歪みを避けられないため、十分な印刷精度が得られず、細部を明確に表現できない。とくに多色印刷を行う場合に色ずれを生じやすいので、印刷精度はさらに低下する。また、各デザイン毎に専用の原版が不可欠であるため、その分だけ余分なコストが掛かるうえ、印刷の発注から納品に至る期間をある程度見込む必要があり、新規商品の展開に時間を要する。
【０００４】
上記のようなパッド印刷法の不具合を解消するために、本発明者はカラー解像度が高く、原版の不要なインクジェット印刷法の導入を検討した。しかし、インクジェット印刷法では、微細なインク液滴を噴出しながら印刷を行う必要上、印刷用インクとして流動性の高い染料系の水性インクしか使用できない。そのため、ケース本体の表面にインクジェット法によって印刷を施しても、インク液滴が吸収されずに流動するので、位置ずれや色むらを生じてしまう点に問題がある。因に、印刷表示をインクジェット印刷法で形成することは特開平８−４５２３６号公報にみることができるが、上記のように十分な印刷品質が得られない旨の記載がある。
【０００５】
この発明の目的は、情報記録用カートリッジのケース表面に、インクジェット印刷法によって高細精度の印刷表示を形成できるようにし、これにより精確で多彩な印刷表示を備えた情報記録用カートリッジを低コストでしかも短時日に形成することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明の情報記録用カートリッジは、ケース本体１の内部に情報記録媒体２が収容してある。ケース本体１の外面には、商品名、商品仕様、装飾模様等の印刷表示９を印刷するための下地層８を設ける。下地層８はプロテイン粉末を含むインクを用いて印刷してある。具体的には、下地層８は白色顔料を含むインクを用いて白色に仕上げる。
【０００７】
【作用】
下地層８を形成するインクに含まれるプロテイン粉末は、牛皮や絹などの動物性タンパク質を粉末化したもので吸水性を備えている。そのため、ケース表面に印刷した下地層８は紙に似た吸水性を発揮し、その表面に付着したインク液滴を直ちに吸着できる。従って、下地層８の表面にインクジェット印刷法によって印刷表示９を形成すると、紙面上に印刷を行ったのと同様の高細精度の印刷を行える。もちろん多色での印刷表現も支障なく行える。下地層８の地色はインクに含まれる顔料の色によって自由に設定できるが、白色顔料を用いて地色を白色に仕上げると、印刷表示９の呈色状態を鮮明にできる。
【０００８】
【実施例】
図１および図２はこの発明をディスクカートリッジに適用した実施例を示す。ディスクカートリッジはミニディスク（ＭＤ）であって、薄い角箱状のケース本体１の内部に、信号の読み書きが可能な光磁気ディスク（情報記録媒体）２が収容してある。ケース本体１の一側表裏には、信号読み書き用の窓３を開口してあり、この窓３は往復スライドするシャッター４で開閉できる。シャッター４のスライド領域は浅い凹部５になっている。ケース本体１は、ポリカーボネイト製の上下ケースを蓋合わせ状に結合して形成してある。
【０００９】
凹部５に隣接するケース本体１の表面一側に、左右に長いラベルエリア６を設け、残りの逆Ｌ字状のケース本体１の表面部分に下地層８を設けている。下地層８は、ケース本体１の外面にパッド印刷あるいはスクリーン印刷を施して形成してある。具体的には、プロテイン粉末としてシルク粉末３０重量％、白色顔料３５重量％を配合したインクを用いて呈色状態が白色の下地層８を形成する。その厚み寸法は５μｍとする。なお、下地層８の厚み寸法は、インク吸収を確実に行うには少なくとも３μｍが必要であるが、厚みが増すと印刷が難しくなり、コストも嵩むので、１０μｍ以下に設定するのが好ましい。
【００１０】
上記の下地層８の表面に、インクジェット印刷法によって、商品名、商品仕様、装飾模様等の印刷表示９を形成して仕上げる。このように、下地層８を形成したうえでその表面に印刷表示９を形成すると、インクノズルから噴き出されたインク液滴を下地層８に含まれるシルク粉末で吸着できるので、印刷表示９の印刷品質を高精度で微細なものとすることができる。印刷のための原版を用意する必要がないので、印刷作業を短時日で行えるうえ、デザインの変更や表示の追加等にも即応できる。必要があれば、印刷表示９を含む下地層８の全体に透明インクを印刷して、保護層を形成してもよい。
【００１１】
上記の実施例以外に、プロテイン粉末として牛皮等の獣皮を原料とするプロテイン粉末を適用できる。この発明はディスクカートリッジ以外にテープカートリッジやフロッピーディスクのケース外面に印刷表示９を施す場合にも同様に適用できる。下地層８は複数個所に分けて設けることができ、その外形は任意形状に設定できる。
【００１２】
【発明の効果】
この発明では、プロテイン粉末を含む印刷インクを用いてケース表面に下地層８を形成することにより、下地層８が吸水性を発揮できるようにした。従って、下地層８の表面にインクジェット印刷法によって商品名や商品仕様等の印刷表示９を印刷することにより、印刷表示９を高精度でしかも細部にわたって明確に印刷でき、従来のパッド印刷法で形成した印刷表示に比べて、印刷品質を格段に高度化できる。これにより精確で多彩な印刷表示９が形成してある情報記録用カートリッジを、より低コストで形成できるうえ、その納期を短縮してデザインの変更や表示の追加に速やかに対応できる。情報記録用カートリッジの装飾効果を向上して、購買者に対する訴求力を増加できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ディスクカートリッジの斜視図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【符号の説明】
１  ケース本体
２  情報記録媒体
８  下地層
９  印刷表示
【図１】
0003670476.tif 000002
【図２】
0003670476.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミナ質充填材および多結晶質アルミナ繊維が均一混合状態でムライトまたは／およびコランダムにより結合されてなる無機質成形体からなる基材層、セラミック繊維製クロスからなる中間層、および嵩密度が１.０〜２.０g/cm3のアルミナ・シリカ質表面被覆層の３層よりなる積層構造物であることを特徴とする気相化学反応用装置構成材料。
【請求項２】
アルミナ質充填材および多結晶質アルミナ繊維が均一混合状態でムライトまたは／およびコランダムにより結合されてなる嵩密度０.３〜０.８g/cm3の無機質成形体からなる基材層、セラミック繊維製クロスからなる中間層、および嵩密度が１.０〜２.０g/cm3でビッカース硬度Ｈvが５０〜１００のアルミナ・シリカ質表面被覆層の３層よりなる積層構造物であることを特徴とする気相化学反応用装置構成材料。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、気相化学反応用装置構成材料に関するものであり、特に光ファイバ母材の製造装置用のものに適した反応器壁構成材料に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光ファイバ母材製造装置のように、ハロゲン、ハロゲン化水素等の酸性または酸化性の気体が関与して高温で行われる気相化学反応においては、反応気体と接する反応器構成材料に高度の耐食性と耐熱性が要求される。また、反応生成物を汚染させないよう、表面が粉塵化しにくく、かつ微量でもその気相化学反応に有害な成分を放出しないものであることも必要である。
【０００３】
このような要求が特に厳格な場合、反応器構成材料としては従来ニッケル合金や石英などからなるものを用いることが多かったが、これらは著しく高価であり、また、用途によっては腐食・劣化が著しく、反応生成物を汚染することもあったりして、満足できるものではなかった。金属材料の表面にセラミック質のコーティングを施して表面特性の向上を図ったものもあったが、コーティングによる被覆層がはがれ易く、耐久性に難がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、光ファイバ母材製造装置のような腐食性気体が関与する高温気相反応装置に使用可能な、耐食性、耐熱性、耐熱衝撃性、表面の耐久性等に優れたセラミックス系反応器壁構成材料を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明により提供された気相化学反応用装置構成材料は、アルミナ質充填材および多結晶質アルミナ繊維が均一混合状態でムライトまたは／およびコランダムにより結合されてなる（好ましくは嵩密度０.３〜０.８g/cm3の）無機質成形体からなる基材層、セラミック繊維製クロスからなる中間層、および嵩密度が１.０〜２.０g/cm3で好ましくはビッカース硬度Ｈvが５０〜１００のアルミナ・シリカ質表面被覆層の３層よりなる積層構造物であることを特徴とする。
【０００６】
この材料は、緻密なアルミナ・シリカ質表面被覆層側が反応器内面になって反応気体と接するように使われる。耐食性、耐熱性、耐久性および非汚染性に優れるこの層が中間層により機械的強度と耐熱衝撃性を補われ、さらに基材層により断熱性と機械的強度を補われることにより、あらゆる点で優れた性能を示す材料となっている。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、製造法を説明しつつ本発明の材料をさらに詳細に説明する。
本発明の材料は、まず基材層とする無機質成形体を用意し、その片面に、中間層とするセラミック繊維製クロスを接着し、接着されたクロス層の露出面にアルミナ質皮膜を形成可能なコーティング剤を塗布、焼成して製造される。
【０００８】
基材層とする無機質成形体としては、アルミナ質充填材および多結晶質アルミナ繊維が均一混合状態でムライトまたは／およびコランダムにより結合されてなるものを用いる。基材層は熱容量があまり大きくないものであることが望ましく、またある程度の断熱性や機械的強度も必要であるから、これらを考慮すると、嵩密度が０.３〜０.８g/cm3程度のものを用いることが望ましい。
【０００９】
このような無機質成形体は市販されており（たとえばニチアス株式会社のＴ／＃５４６１ＲＦボード）、また、特開平２−８８４５２号公報に開示されている方法により製造することもできる。すなわち、なるべくアルミナ含有率の高い補強用アルミナ繊維と好ましくは平均粒子径が１０〜５０μmの、且つなるべく高純度のアルミナ粉末とを、重量比で約７０：３０ないし１０：９０で混合し、さらに結合剤として、好ましくはコロイダルアルミナ、またはこれとコロイダルシリカとの混合物を、成形材料全体の約３〜１５重量％になるように加え、湿式成形する。得られた成形体を乾燥し、最後に約１２００℃以上で焼成する。
【００１０】
基材層用無機質成形体は、複数の分割片を組み合わせて反応装置を構成するのに必要な形状に合わせて成形しておくか、ボード状またはブロック状の成形体を切削加工して必要な形状にしておく。
【００１１】
中間層とするセラミック繊維製クロスとしては、好ましくはＡl2Ｏ3含有率が６５重量％以上のアルミナ長繊維からなるものを用いる。
【００１２】
表面被覆層形成用の材料は、最終的に嵩密度が１.０〜２.０g/cm3の、好ましくはビッカース硬度Ｈvが５０〜１００の、緻密なアルミナ・シリカ質被覆層をセラミック繊維製クロスからなる中間層の表面に形成可能なものでなければならない。使用可能な材料の具体例としては、接着剤として使われているコロイダルシリカにアルミナ粉末等の充填材を混入したもの（好ましくは固形物中の全Ａl2Ｏ3が８０重量％以上のもの。市販品ではたとえばニチアス株式会社のＦＦ接着剤）がある。
【００１３】
必要な形状に成形または加工された基材層用無機質成形体の、反応気体と接することになる表面に、アルミナゾル、シリカゾル等の無機質接着剤を用いて中間層用セラミック繊維製クロスを接着し、次いで表面被覆層形成材料を塗布して乾燥し、約１３００℃以上の高温で焼成すれば、本発明の材料が得られる。
【００１４】
各層の厚さは、基材層が約５mm以上３０mm程度まで、表面被覆層が約０.５〜３mmであることが望ましい。これよりも基材層が薄いと機械的強度と断熱性が不足する。表面被覆層は、厚さが０.５mm未満だと表面の耐久性が不十分なものとなるばかりか、基材層の亀裂発生による剥落が早まるなど、材料全体の耐久性にも問題を生じる。一方、表面被覆層が厚すぎても、耐熱衝撃性が悪くなってクラックを生じやすくなる。中間層の厚さは用いるクロスの厚さによっておのずから決まる。
【００１５】
本発明による材料は、それ単独で反応器を構成することができるものであるが、必要ならば、任意の材料からなるバックアップ材と組み合わせて使用してもよい。たとえば、反応器の形状に作られた金属板製の支持壁内面に本発明の材料を、基材層側表面を接着面にして貼りめぐらすことにより、本発明による材料のみでは無理なような大型の反応装置を作ることができる。
【００１６】
【発明の効果】
本発明による気相化学反応用装置構成材料は、上述のように耐食性、耐熱性、耐熱衝撃性、表面の耐久性等に優れ、反応生成物を汚染することもないから、これを用いることにより気相化学反応装置の長寿命化と製品品質の向上が可能になる。
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラスチック管差込み時の位置決めとなる段状の受け部を奥側に形成したエレクトロフュージョン継手において、受け部に軸方向のスリットを周方向に適当間隔で形成したことを特徴とするエレクトロフュージョン継手。
【請求項２】
プラスチック管差込み時の位置決めとなる段状の受け部を奥側に形成したエレクトロフュージョン継手において、受け部を一ないし周方向に適当間隔を有する複数の内向きに突出するリブで形成したことを特徴とするエレクトロフュージョン継手。
【請求項３】
上記受け部がリブ若しくはピンである請求項１記載のエレクトロフュージョン継手。
【請求項４】
プラスチック管差込み時の位置決めとなる段状の受け部を奥側に形成し、プラスチック管が両側より差し込まれエレクトロフュージョン継手において、受け部の一端が一ないし周方向に適当間隔を有する複数の内向きに突出するリブで、他端がピンで形成されることを特徴とするエレクトロフュージョン継手。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、プラスチック管が差し込まれる内周面に電熱線を一定ピッチで螺旋状に埋設し、差し込まれたプラスチック管との融着を通電によって行うソケット系のエレクトロフュージョン継手に関する。
【０００２】
【従来技術】
この種のエレクトロフュージョン継手は既知で、ソケット継手（図１）、エルボ継手（図２）、レジューサ継手（図３）、キャップ継手（図４）など種々のタイプのものがあり、大半の継手が奥側に内径を小さくして段状をなす位置決め用の受け部１を有しており、プラスチック管２を差し込むときには、受け部１に突き当たるまで差し込んで一定の差込み量を確保し、差込み不足を生じないようにしてある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上述するようなソケット系のエレクトロフュージョン継手のうち、受け部を有する継手では、融着時の溶融樹脂は図５に示すように、内側へは受け部によって樹脂の流れが止められるが、外側へは流れを止めるものがないため、外側に向かって流れる傾向を有する。
【０００４】
そのため上述するようなソケット系のエレクトロフュージョン継手では、融着時に電熱線が外側に向かって移動し易く、その結果、図６に示すように、電熱線３同志が接触してショートを起こし易いという不具合を有している。
本発明は、こうした受け部を有するソケット系エレクトロフュージョン継手の不具合を解消することを目的としてなされたものである。
【０００５】
【課題の解決手段及び作用】
本発明のエレクトロフュージョン継手は、上記の目的を達成するための手段として、奥側の段状をなす受け部に周方向に適当間隔で軸方向のスリットを形成するか、或いは受け部を一ないし周方向に適当間隔を有する複数の内向きに突出するリブ若しくはピンで形成してなるものである。
【０００６】
【作  用】
融着時には、スリットを通して或いはリブやピン以外の箇所より樹脂が流れ、受け部で樹脂が閉塞して流れが止められることがないため、外側及び内側に向かう樹脂の流れが均一となり、電熱線の流れが減少して電熱線同志の接触によるショートが減少する。
【０００７】
【実施例】
図７及び図８は、レジューサ継手５の受け部６に軸方向のスリット７を周方向に一定間隔で多数形成してなるものであり、図９は、同継手の受け部を内向きに上下対称形をなして突出するリブ８により形成したものである。
また図１０は、受け部を図９のリブの代わりに大径側においてはテーパ状のリブ１１により、小径側においては、ピン１２により形成したものである。同図に示されるように、融着時においては、内側に外側と同様に樹脂が流れる。
【０００８】
【発明の効果】
本発明のエレクトロフュージョン継手によれば、融着時に溶融樹脂が受け部で閉塞して、その流れを止められることがないため、内側にも外側と同様の樹脂の流れを生じるようになり、樹脂は両側へ均一に流れるようになるため、電熱線の流れが減少し、電熱線同志の接触によるショートを著しく減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  ソケット継手の断面図。
【図２】  エルボ継手の断面図。
【図３】  レジューサ継手の断面図。
【図４】  キャップ継手の断面図。
【図５】  レジューサ継手における融着時の樹脂の流れを示す図。
【図６】  電熱線同志が接触してショートしたときの状態を示す図。
【図７】  本発明に係るレジューサ継手の断面図。
【図８】  図７のＡ−Ａ線断面図。
【図９】  別の実施例の断面図。
【図１０】  更に別の実施例の断面図。
【符号の説明】
１・・受け部                ２・・プラスチック管
３・・電熱線                ５・・レジューサ継手
６・・受け部                ７・・スリット
８、１１・・リブ            １２・・ピン
【図１】
0003670323.tif 000002
【図２】
0003670323.tif 000003
【図３】
0003670323.tif 000004
【図４】
0003670323.tif 000005
【図５】
0003670323.tif 000006
【図６】
0003670323.tif 000007
【図７】
0003670323.tif 000008
【図８】
0003670323.tif 000009
【図９】
0003670323.tif 000010
【図１０】
0003670323.tif 000011
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
反応管内で、ウェーハが載置されるボートを回転機構の回転軸により回転して、ウェーハを処理する半導体製造方法において、
前記回転軸を磁性流体シールと反応管下端に設けられるシールキャップとを貫通させて前記ボートの設置台に連結し、前記磁性流体シールと前記シールキャップの間の回転軸を囲繞する回転軸取付けフランジを設け、前記磁性流体シールと前記シールキャップと前記回転軸取付けフランジとで回転軸囲繞空間を形成して、該回転軸囲繞空間にパージ用ポートを接続し、前記反応管のクリーニング時に、前記ポートから前記回転軸囲繞空間にパージガスを供給することを特徴とする半導体製造方法。
【請求項２】
反応管と、反応管下端に設けられるシールキャップと、該反応管内に挿設されウェーハが載置されるボートと、該ボートを回転させる回転軸を有する回転機構であって、前記回転軸の先端側が前記シールキャップを貫通して前記ボートの設置台に連結される回転機構と、前記回転軸の軸方向に前記シールキャップから離間されて設けられ前記回転軸が貫通する磁性流体シールと、前記磁性流体シールと前記シールキャップとの間における前記回転軸を囲繞し、前記磁性流体シールと前記シールキャップと共に回転軸囲繞空間を形成する回転軸取付けフランジと、前記回転軸取付けフランジに取り付けられて前記回転軸囲繞空間にパージガスを供給するパージ用ポートとを備えてなる半導体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造方法及び半導体製造装置に関し、特に半導体製造装置の回転軸シールをパージする方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図２は従来の半導体製造装置の１例の要部を示す断面図である。
図２において１は外側反応管、２は内側反応管、３は内側反応管２内に挿設され，多数枚のウェーハを載置するボートで、設置台７上に取付けられる。８は設置台７を回転するための回転機構１４の回転軸で、シールキャップ１２に貫通している。回転機構１４は、シールキャップ１２の下部に設けられており、気密を保持しつつ、その回転軸８を内側反応管２内のボート３の設置台７に連結している。４は回転軸シール（磁性流体シール）、５は回転軸取付けフランジ、９は炉口部フランジ、１０，１１はそれぞれガス導入口及びガス排気口、１３は炉口部フランジ９とシールキャップ１２の間に設けられたＯリングである。
【０００３】
この従来例は、内側反応管２内のボート３に載置されたウェーハをヒータ１５により加熱すると共に、ガス導入口１０より反応ガスを導入して内側反応管２内を流通させ、外，内側反応管１，２間を経てガス排気口１１より排気し、ボート３の設置台７を回転機構１４により回転することによりウェーハを均一に熱処理するものである。
このように回転機構１４は、ボート３に支持されたウェーハを回転させながら熱処理加工に供するものである。ウェーハを例えばＣＶＤ法により成膜処理した時はその膜厚均一性が向上し、又、ウェーハを拡散処理法により不純物拡散処理した時はその拡散の均一性が向上することになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来例にあっては、ＣｌＦ3 ガスを用いて外，内側反応管１，２及びボート３等のセルフクリーニングを行う場合、ＣｌＦ3 ガスが腐食性ガスであるため、トータル処理時間が長くなると回転軸シール４を腐食するという課題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明方法は、上記の課題を解決するため、反応管内で、ウェーハが載置されるボートを回転機構の回転軸により回転して、ウェーハを処理する半導体製造方法において、前記回転軸を磁性流体シールと反応管下端に設けられるシールキャップとを貫通させて前記ボートの設置台に連結し、前記磁性流体シールと前記シールキャップの間の回転軸を囲繞する回転軸取付けフランジを設け、前記磁性流体シールと前記シールキャップと前記回転軸取付けフランジとで回転軸囲繞空間を形成して、該回転軸囲繞空間にパージ用ポートを接続し、前記反応管のクリーニング時に、前記ポートから前記回転軸囲繞空間にパージガスを供給することを特徴とする。
また、本発明装置は、反応管と、反応管下端に設けられるシールキャップと、該反応管内に挿設されウェーハが載置されるボートと、該ボートを回転させる回転軸を有する回転機構であって、前記回転軸の先端側が前記シールキャップを貫通して前記ボートの設置台に連結される回転機構と、前記回転軸の軸方向に前記シールキャップから離間されて設けられ前記回転軸が貫通する磁性流体シールと、前記磁性流体シールと前記シールキャップとの間における前記回転軸を囲繞し、前記磁性流体シールと前記シールキャップと共に回転軸囲繞空間を形成する回転軸取付けフランジと、前記回転軸取付けフランジに取り付けられて前記回転軸囲繞空間にパージガスを供給するパージ用ポートとを備えてなるものである。
【０００６】
このように反応管及びボート３等のセルフクリーニング時に、回転軸取付けフランジ５に設けたパージ用ポート６からパージガスを供給することによりクリーニング用ガスをパージして、該クリーニング用ガスが回転軸シール４に流入せず、回転軸シール４が腐食されることはない。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図１は本発明が実施される半導体製造装置の要部を示す断面図である。
本発明は、内側反応管２内のボート３に載置されたウェーハをヒータ１５により加熱すると共に、ガス導入口１０より反応ガスを導入して内側反応管２内を流通させ、外，内側反応管１，２間を経てガス排気口１１より排気し、ボート３の設置台７を回転機構１４により回転することによりウェーハを均一に熱処理する半導体製造装置において、回転機構１４の回転軸８を回転軸シール４を介して取付ける回転軸取付けフランジ（管状部材）５にパージ用ポート６を設け、外，内側反応管１，２及びボート３等のセルフクリーニング時に、このポート６からパージガスとしてＮ2 ガスを供給してクリーニング用ガス、例えばＣｌＦ3 ガスをパージするようにする方法及び装置である。
【０００８】
このような方法及び装置であるから、外，内側反応管１，２及びボート３等を、ＣｌＦ3 ガスをガス導入口１０より導入して流通させ、ガス排気口１１より排気することによりセルフクリーニングする時に、パージ用ポート６からＮ2 ガスを供給することによりＣｌＦ3 ガスがＮ2 ガスによりパージされて、回転軸シール４に流入せず、回転軸シール４が腐食されることはない。
ＣｌＦ3 ガスの代りにＮＦ3 等の弗素系ガスやＨＣｌ，Ｃｌ2 等の塩素性系ガスを用いることができる。
【０００９】
【発明の効果】
上述のように本発明によれば、回転軸シールを腐食させずにＣｌＦ3 等のクリーニングガスによる反応管及びボート等のセルフクリーニングを実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明方法が実施される半導体製造装置の要部を示す断面図である。
【図２】従来の半導体製造装置の１例の要部を示す断面図である。
【符号の説明】
１  外側反応管
２  内側反応管
３  ボート
４  回転軸シール
５  回転軸取付けフランジ
６  パージ用ポート
７  設置台
８  回転軸
９  炉口部フランジ
１０  ガス導入口
１１  ガス排気口
１２  シールキャップ
【図１】
0003670360.tif 000002
【図２】
0003670360.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子機器をＤＩＮレールに取り付ける電子機器取付装置であって、略矩形状の電子機器の外周面に対して上下いずれの向きにも嵌合可能な略矩形筒状の取付アダプタを装着し、この取付アダプタの少なくとも隣接する二つの面のいずれかに選択的に取付具を装着し、この取付具を前記ＤＩＮレールに装着してなる電子機器取付装置。
【請求項２】
請求項１において、取付具は取付アダプタに対して所定の範囲でスライド可能に装着されるものである電子機器取付装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子機器をＤＩＮレールに取り付ける電子機器取付装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の電子機器取付装置では、電子機器の所定の面に取付具を固定し、この取付具を介して電子機器をＤＩＮレールに取り付ける手法がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ＤＩＮレールがどのように設置されるかはユーザーによってまちまちのため、電子機器を見やすいあるいは、操作しやすい向きに取り付けられない事態を招くことも往々にしてあり、ユーザーにとって非常に不便であるという解決すべき課題があることに着目されるべきである。本発明はこのような解決すべき課題を鑑み、ＤＩＮレールの設置状況に、より自由度のある電子機器取付装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
請求項に示した通りである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態を説明するが、それはあくまで本発明に基づいて採択された例示的な実施形態であり、本発明をその実施形態に特有な事項に基づいて限定解釈してはならず、本発明の技術的範囲は、請求項に示した事項さらにはその事項と実質的に等価である事項に基づいて定めなければならない。
【０００６】
図示の実施形態は、電子機器１をＤＩＮレール２に取り付ける電子機器取付装置であって、図１〜図３は電子機器１の左側において縦方向にＤＩＮレール２がある場合、図４〜図６は電子機器１の上側において横方向にＤＩＮレール２がある場合、図７は電子機器１の下側において横方向にＤＩＮレール２がある場合を示す。そして、略矩形状の電子機器１の外周面に対して上下いずれの向きにも嵌合可能な略矩形筒状の取付アダプタ３を装着し、この取付アダプタ３の少なくとも隣接する二つの面のいずれかに選択的に取付具４を装着し、この取付具４を前記ＤＩＮレール２に装着している。好ましくは、取付具４が取付アダプタ３に対して所定の範囲でスライド可能に装着されるとよい。
【０００７】
さらに詳述すれば、電子機器１は例えば圧力検出器であり、前面には測定された圧力値の表示部とか操作ボタンを備えている。弾性のある合成樹脂製の取付アダプタ３をスライドして電子機器１の外周面に装着すると、取付アダプタ３に形成した弾性のある係止片５の先端付近の係止爪６（図６に示す）が電子機器１の表面に形成した細かな凹凸７（電子機器１の上下面にそれぞれ形成される）に係止されて、取付アダプタ３が電子機器１に装着される。取付アダプタ３を電子機器１から取り外すには係止片５を外側にわずかに変位させてから取付アダプタ３を後方へ引き出すとよい。
【０００８】
図１〜図６における取付アダプタ３の姿勢では、取付アダプタ３の上面と左側面にそれぞれ、対向する溝８、８と溝８、８間に位置する係止片９が形成されている。一方、取付具４の片面には溝８、８の後端からスライド挿入されて溝８、８間に係止されるやや外側に傾斜した凸条１０、１０が形成されるとともに、凸条１０、１０間に位置する多数の凹凸１１が形成され、この凹凸１１は、凸条１０、１０を溝８、８間に係止すると、係止片９に係止される。そして、凹凸１１はかなり長めの範囲に渡って形成されるため、取付具４は取付アダプタ３に対して、ほぼその範囲でスライド可能に装着され、凸条１０、１０の前端が溝８、８の前端において終端された部分に当て止めされると、取付具４は、それ以上前方へはスライドされないようになる。なお、取付具４を取付アダプタ３から取り外すには、係止片９と凹凸１１の係止力に逆らって取付具４を後方に向かって引き抜けば可能である。取付具４をＤＩＮレール２に取り付ける手段は公知のものと別段変わらず、取付具４の他面にある固定爪１２と図示されないバネで内向きに付勢された可動爪１３でＤＩＮレール２の両側を抱え込むものである。
【０００９】
図７では図１〜図６と異なり、取付アダプタ３を電子機器１の外周面に対して上下逆の向きに嵌合してあり、そうすると取付アダプタ３の下面に溝８、８と係止片９が位置するため、図７のように電子機器１の下側において横方向にＤＩＮレール２がある場合に適している。また、図示されないものの電子機器１の右側において縦方向にＤＩＮレール２がある場合は、取付アダプタ３の向きはこのままで、取付アダプタ３の右側面にある溝８、８と係止片９を利用すればよい。なお、取付アダプタ３において、溝８、８と係止片９を他の面に追加形成してもよい。
【００１０】
以上述べた実施形態によれば、ＤＩＮレール２の設置状況の自由度が向上するため、ユーザーにとって非常に有用なものであることは明らかである。また、取付具４と取付アダプタ３が所定の範囲でスライド可能に装着されるものであると、電子機器１の位置を調整できるため、これまた、ユーザーにとって非常に有用なものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】一使用状態を示す分解斜視図
【図２】同組立斜視図
【図３】同横断面図
【図４】他の使用状態を示す分解斜視図
【図５】同組立斜視図
【図６】同縦断面図
【図７】（Ａ）さらに他の使用状態を示す正面図
（Ｂ）同縦断面図
【符号の説明】
１  電子機器
２  ＤＩＮレール
３  取付アダプタ
４  取付具
【図１】
0003729710.tif 000002
【図２】
0003729710.tif 000003
【図３】
0003729710.tif 000004
【図４】
0003729710.tif 000005
【図５】
0003729710.tif 000006
【図６】
0003729710.tif 000007
【図７】
0003729710.tif 000008
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
バッテリフォークリフトに搭載されたバッテリケースを交換するために用いられるバッテリ交換補助具であって、上記バッテリケースの底面を底上げ構造とすると共に、上記補助具を上記バッテリケースの底面の底上げ部に着脱可能に嵌合される板状部材とフォークリフトのフォークが挿入可能な筒状部材とから構成して該筒状部材を該板状部材の底面に固着し、該筒状部材に上記フォークを挿入して持ち上げることにより、上記バッテリケースを交換できるようにしたことを特徴とするフォークリフトのバッテリ交換補助具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フォークリフトに搭載するバッテリを別のフォークリフトを用いて交換を行う際に便利なフォークリフトのバッテリ交換補助具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
バッテリフォークリフトの動力源であるバッテリは、通常フォークリフトに搭載した状態で充電する。しかし、充電には時間が掛かるため、稼働率が高い場合では、放電した空バッテリを予め充電した予備バッテリと交換し、空バッテリは、所定の充電設備で充電され、予備バッテリとして保管される。
【０００３】
標準型フォークリフト１のバッテリ交換は、図５のようにバッテリケース２の側面上部に設けた穴３に天井クレーンの吊り具４を係合し、バッテリケース２を吊り上げて交換する。しかしながら、このような天井クレーン等の設備が無い場合は、図６のようにバッテリケース６の側面下部に差込口７を設けて、その差込口７に別のフォークリフトのフォーク２３を挿入し、バッテリケース６を持ち上げて交換するいわゆる下部差込式フォークリフト５が用いられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
前記した下部差込式フォークリフト５は、フォークを挿入する差込口７をバッテリケース６の側面下部に設けるため、差込口７の高さ分だけ高くなった専用のバッテリケース６を搭載する。該バッテリケース６はバッテリケース２とは互換性が無く、標準型フォークリフト１に搭載することはできない。したがって、下部差込式フォークリフト５と標準型フォークリフト１を所有する場合は、各フォークリフトについて、予備バッテリを用意しなければならないので費用やメンテナンスの面で不利になっていた。
【０００５】
本発明は、標準型フォークリフトのバッテリを無改造で下部差込式フォークリフトに搭載可能としたバッテリ交換補助具を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のバッテリ交換補助具は、バッテリフォークリフトに搭載されたバッテリケースを交換するために用いられるバッテリ交換補助具であって、上記バッテリケースの底面を底上げ構造とすると共に、上記補助具を上記バッテリケースの底面の底上げ部に着脱可能に嵌合される板状部材とフォークリフトのフォークが挿入可能な筒状部材とから構成して該筒状部材を該板状部材の底面に固着し、該筒状部材に上記フォークを挿入して持ち上げることにより、上記バッテリケースを交換できるようにしたことを特徴としている。
【０００７】
なお、上記筒状部材は、フォークを挿入可能とするための手段を特定するものでない。例えば上記筒状部材の代わりに、コ字形部材を上記板状部材の底面にＵ字、あるいは逆Ｕ字に固着したものなどが考えられる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１において、下部差込式フォークリフト５は、車体前部に荷物を積載するフォーク１２と該フォーク１２を上下するマスト１３と車体後部にウエイト１４及び運転者を保護するためのヘッドガード１５を備える。
【０００９】
動力源であるバッテリを図２に示す。バッテリケース２は、標準型フォークリフト１に搭載されるものと同一であって、上面を開放した箱形であると共に底板１６が図３のように底上げされている。バッテリ交換補助具１７は、バッテリケース２の底上げ部に嵌合可能な板状部材１８とフォークが挿入可能であると共に該板状部材１８の左右方向長さを有するコ字形部材１９からなり、該板状部材１８の底面に該コ字形部材１９を２本並列に固着したものである。バッテリケース２はバッテリ交換補助具１７に載せられ、板状部材１８が底上げ部に嵌合することにより位置決めされ、下部差込式フォークリフト５のフレーム部材で形成されたバッテリ収納部に搭載される。
【００１０】
バッテリケース２の上面はバッテリカバー２０で塞がれ、該バッテリカバー２０は、後端がヒンジ（図示略）により車体へ開閉自在に支持されると共に前端が止め具２１によりバッテリケース２に固定される。
【００１１】
下部差込式フォークリフト５のバッテリ交換は、図４に示すようにバッテリカバー２０を開放し、バッテリが取り出し可能な状態とする。そして、バッテリ交換補助具１７の差込口２２に別のフォークリフトのフォーク２３を挿入し、放電した空バッテリを車体から取り出した後、逆の手順にて充電済みバッテリを車体に搭載する。
【００１２】
上記下部差込式フォークリフト５のバッテリは、バッテリ交換補助具１７を取り除くことにより標準型フォークリフト１への搭載が可能となる。
【００１３】
【発明の効果】
本発明によれば標準型フォークリフト１と下部差込式フォークリフト５のバッテリを共用することができるため、各フォークリフトごとにバッテリの管理をする必要がなくなり、コスト及びメンテナンスの面で有利になる。また、極めて簡単な構造のバッテリ交換補助具と、標準型バッテリケースで構成されるため、安価な下部差込式フォークリフトのバッテリケースを提供することができる。
【００１４】
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のバッテリ交換補助具を使用した下部差込式フォークリフトを示す側面図。
【図２】  本発明のバッテリ交換補助具とバッテリケースを示す斜視図。
【図３】  図２の符号Ａの部分を拡大表示したバッテリケースの一部破断斜視図。
【図４】  本発明のバッテリ交換補助具を用いたバッテリ交換方法を示す側面図。
【図５】  従来の天井クレーンを用いたバッテリ交換方法を示す側面図。
【図６】  従来の差込口を有するバッテリケースを搭載した下部差込式フォークリフトの斜視図。
【符号の説明】
２  バッテリケース
５  下部差込式フォークリフト
１６  底板
１７  バッテリ交換補助具
１８  板状部材
１９  コ字形部材
２２  差込口
【図１】
0003729715.tif 000002
【図２】
0003729715.tif 000003
【図３】
0003729715.tif 000004
【図４】
0003729715.tif 000005
【図５】
0003729715.tif 000006
【図６】
0003729715.tif 000007
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
炊飯米の加工方法であって、炊飯米を短時間で凍結させ、この凍結させた炊飯米を水分１５％以下に脱水させ、この凍結及び脱水させた炊飯米を自然乾燥するか若しくは焼き上げることを特徴とする炊飯米の加工方法。
【請求項２】
請求項１記載の炊飯米の加工方法において、凍結手段として、液体窒素若しくはドライアイスを採用して炊飯米を凍結させ、且つ、脱水手段として、エチルアルコールを採用して前記凍結させた炊飯米を脱水させることを特徴とする炊飯米の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、炊飯米の加工方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
従来から、炊飯米を保存することを目的としたり、炊飯米をいつでも手軽に食べることができるようにすることを目的として炊飯米を適宜加工せしめた加工米が種々提案されている（尚、本明細書中の「炊飯米」とは、米を炊飯した状態のものを指す。）。
【０００３】
ところで、従来からの加工法（以下、従来法という。）により製造される加工米は、時間が経つにつれうま味がなくなる、悪臭がする、ボロボロして舌触りが悪くなるなど、米を炊飯したての炊飯米の状態に比して極めて味が落ちてしまうという問題点がある。
【０００４】
本発明は、上記問題点を解決するもので、炊飯したての米飯と同様に美味しく食べることができ、しかも長時間の保存が可能となる実用性に秀れた炊飯米の加工方法を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の要旨を説明する。
【０００６】
炊飯米の加工方法であって、炊飯米を短時間で凍結させ、この凍結させた炊飯米を水分１５％以下に脱水させ、この凍結及び脱水させた炊飯米を自然乾燥するか若しくは焼き上げることを特徴とする炊飯米の加工方法に係るものである。
【０００７】
また、請求項１記載の炊飯米の加工方法において、凍結手段として、液体窒素若しくはドライアイスを採用して炊飯米を凍結させ、且つ、脱水手段として、エチルアルコールを採用して前記凍結させた炊飯米を脱水させることを特徴とする炊飯米の加工方法に係るものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明者は、〔従来の技術〕の項で述べた従来法で炊飯米を加工した場合に起きる問題点の原因として炊飯米の老化が原因であることに着目した。
【０００９】
炊飯米の老化とは、例えば炊飯米を一晩放置したときに、冷えた炊飯米がボロボロしたりする状態、即ち、炊飯米を米粒内に水分を存在させたままで放置することにより、炊飯米から徐々に水分が蒸発して生米の状態となることである。
【００１０】
詳述すると、米粒の中に多く含まれる成分のデンプン粒が、炊飯直後において見せる一様に膨れた網状形態（可食化状態）を形成し、このデンプン粒の網状形態は時間が経つにつれ（炊飯米が冷えるにつれ）互いのデンプン粒が密に接触することになる為、間隔が小さくなり凝縮して網状形態が減少してしまうことである。
【００１１】
そこで、種々の研究を行った結果、炊飯米の老化が起きる条件としては、温度が８０℃から徐々に下がり、温度０℃で水分３０〜６０％の状況下となった時が最も老化し易いことを発見し、よって、炊飯米の老化を防止する条件としては、炊飯米の温度を素早く０℃以下に下げるとともに炊飯米の水分を１５％以下に下げることが最適条件であることを確認した。
【００１２】
従って、先ず、炊飯米を加工するに際して、炊飯米をドライアイスなどの適宜な凍結手段により短時間で凍結させる。
【００１３】
続いて、この凍結させた炊飯米をアルコール脱水などの適宜な脱水手段により炊飯米に含まれる水分を１５％以下に脱水させる。
【００１４】
続いて、この凍結及び脱水させた炊飯米を自然環境下で乾燥させるか若しくは焼き上げて加工する。
【００１５】
本発明は上述のようにするから、いつでも美味しく食べることができ、しかも、長期間の保存が可能となるなど極めて品質の高い加工米を提供し得る炊飯米の加工方法となる。
【００１６】
【実施例】
〔特許請求の範囲〕でいう「炊飯米」とは、米を炊飯した状態のものを指している。
【００１７】
本実施例は、既存の炊飯器で炊飯した炊飯米を適宜な凍結手段としての液体窒素若しくはドライアイスの冷却効果により短時間で凍結させ、この凍結させた炊飯米を適宜な脱水手段としてのエチルアルコール（エタノール）により水分１５％以下に脱水させ、この凍結及び脱水させた炊飯米を自然乾燥若しくは焼き上げて炊飯米を加工するものである。
【００１８】
液体窒素は物体を冷却し得る無色透明の無害物質であり、ドライアイスは常圧では固体から直接気化するので無湿の状態で物体を冷却でき、−８０℃の低温を得ることができる。
【００１９】
エチルアルコールは、無色透明の特有の香，味をもつ液体で、物体を脱水させる性質を有するものである。
【００２０】
以下に、より具体的に詳述する。
【００２１】
先ず、炊飯米を液体窒素若しくはドライアイスの冷却効果により短時間で凍結させる。
【００２２】
続いて、上記凍結手段により凍結させた炊飯米をエチルアルコールに入れ、およそ一晩脱水させる（脱水完了の目安としては、凍結炊飯米が白色不透明に変われば十分である。）。
【００２３】
続いて、この凍結及び脱水させた炊飯米をそのまま自然環境下で乾燥させて保存米とするか、若しくは、例えば電子レンジで１７０℃〜２１０℃（実際には、１０５℃以上であれば可能である。）で焼き上げる。
【００２４】
尚、自然環境下で乾燥せしめた加工米は、炊飯米の状態に比して三分の一の容積に減り、しかも、水に浸す（１５分程度で良い）だけで再び炊飯米の状態に復元するα米（可食化状態の米）のまま保存することができる。
【００２５】
本実施例は上述のようにするから、加工米の製造時における炊飯米の老化を確実に防止することができ、従来法により製造された加工米がもつ問題点を確実に解消するとともに、加工米を水に浸す（１５分程度）だけで炊飯した直後の炊飯米と比べても、味，匂い共に何ら変わらない極めて品質の高い炊飯米に復元することができ、しかも、自然環境下で乾燥せしめた加工米は容積も三分の一に減り、例えば乾燥剤を入れた缶などに詰めるなどすれば長期間の保存が可能となるなど、非常に商品価値の高いものになる。
【００２６】
また、焼き上げ加工せしめた炊飯米は所謂焼き菓子として製造することができ、この焼き菓子を乾燥剤を入れた缶の中に適宜収納するなどすれば長期間の保存が可能となる。
【００２６】
また、本実施例において適宜な凍結手段として使用した液体窒素若しくはドライアイスは、前述の実験の結果において今現在まで最適のものと考えられるが、この他にも、例えば無質無害で凍結効果のあるものであれば適宜採用し得るものであり、また、適宜な脱水手段においても、本実施例において使用したエチルアルコールの採用に限られるものではなく、市販用の消毒アルコールなどでも十分可能である。また、濃度は高濃度ほど好ましい（尚、上記凍結手段並びに脱水手段の採用には、食料品を加工するものであるから、害質のない素材並びに濃度を考慮して適宜採用するのは勿論である。）。
【００２７】
また、本実施例に使用する炊飯米は炊き上げ直後の状態のものほど良いが、冷えていても炊飯米の老化が起きていない状態であるのなら十分に加工し得るものである。