(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続供給される水素含有混合ガス中の水素濃度を測定するための水素連続分析装置であって、水素含有混合ガスから水素分子を分離して水素に富む試料ガスとして供給する水素分子分離器と、この水素分子分離器から供給される試料ガスの熱伝導率に基づいて試料ガスの水素濃度を求め、その試料ガスの水素濃度から前記水素含有混合ガス中の水素濃度を測定する熱伝導率検出器と、を含み、
前記水素分子分離器は、水素分子を選択的に透過させる半透過膜を介して分離された第１ガス室と第２ガス室とを有し、前記水素含有混合ガスは、前記第１ガス室を経由して外部に導かれ、その第１ガス室から前記半透過膜を通して第２ガス室へ透過した水素に富む透過ガスは、前記熱伝導率検出器へ導かれており、
前記水素分子分離器は、前記半透過膜を透過した水素に富む透過ガスに対してキャリアガスを混入する手段を更に備えている、水素連続分析装置。
【請求項２】
連続供給される水素含有混合ガス中の水素濃度を測定するための水素連続分析装置であって、水素含有混合ガスから水素分子を分離して水素に富む試料ガスとして供給する水素分子分離器と、この水素分子分離器から供給される試料ガスの熱伝導率に基づいて試料ガスの水素濃度を求め、その試料ガスの水素濃度から前記水素含有混合ガス中の水素濃度を測定する熱伝導率検出器とを含み、
前記水素分子分離器は、内管と外管とを有する２重管構造であって内管の少なくとも一部が水素分子を選択的に透過させる半透過膜により形成され、内管の内部が第１ガス室で、内管と外管との間の空間が第２ガス室に形成され、前記水素含有混合ガスは、前記第１ガス室を経由して外部に導かれ、その第１ガス室から前記半透過膜を通して第２ガス室へ透過した水素に富む透過ガスは、前記熱伝導率検出器へ導かれており、
前記水素分子分離器は、前記半透過膜を透過した水素に富む透過ガスに対してキャリアガスを混入する手段を更に備えている、水素連続分析装置。
【請求項３】
前記水素分子分離器は、
前記水素含有混合ガスを前記第１ガス室に供給する混合ガス供給管と、
前記第１ガス室から前記水素含有混合ガスを排出する混合ガス排出管と、をさらに有し、前記混合ガス排出管の内径は、前記混合ガス供給管の内径よりも小径である、請求項１または２に記載の水素連続分析装置。
【請求項４】
前記熱伝導率検出器は、検出した水素分子の濃度を記録する記録計を更に備えている、請求項１または２に記載の水素連続分析装置。
【請求項５】
前記熱伝導率検出器は、検出した水素分子の濃度を記録する記録計を更に備えている、請求項３に記載の水素連続分析装置。
【請求項６】
前記水素分子分離器は、前記水素含有混合ガスが第１ガス室を経由して外部に導かれる際の第１ガス室からの排出量を制御することで、第１ガス室の内圧を高める手段を更に備えている、請求項１〜４の何れかに記載の水素連続分析装置。
【請求項７】
前記水素分子分離器は、第１ガス室内における前記水素有混合ガスの温度を高めるための加熱手段を更に備えている、請求項１〜６の何れかに記載の水素連続分析装置。
【請求項８】
前記半透過膜が、式Ｉ
【化１】
0003659046.tif 000006
但しＲはそれぞれ独立に、水素、塩素、臭素又はＣ1-4のアルキルであり、Ｒ1は−ＣＯ−、−Ｓ−、−ＳＯ2−、−Ｏ−又はＣ1-6の２価の炭素水素基、Ｃ1-6の２価のフルオロカーボン基である、に相当するビスフェノールから誘導されたポリカーボネートポリマー（但し弁別膜中に存在する該ビスフェノールから誘導された部分の少なくとも２５重量％は専ら臭素又は塩素であるＲ基を有している）から主としてなる薄い弁別層を持ち且つ該膜が２５°Ｃの温度で少なくとも２５の水素と軽炭化水素間の分離係数をもつことを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の水素連続分析装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、連続供給される水素含有混合ガス中の水素濃度を連続的に測定するための水素連続分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、水素含有混合ガス中の水素分子の分析方法としては、燃焼法等の化学反応を利用するものや、ガスクロマトグラフィーによる定量などが知られている。いずれも採集ガスの分析は可能であるが、例えば移送されることで水素濃度が経時的に変化する混合ガスのように、水素濃度が連続的に変化するような混合ガスの分析は困難であった。
【０００３】
例えば、既存のＴＣＤ（熱伝導度検出器）は、リファレンスガス（参照ガス）との熱伝導度の差で試料ガスを検知しており、参照ガスと熱伝導度の異なるガスは全て検出する。つまり、ある特定の種類のガスについてのみ検知するといった様な検出の選択性はない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
こうした理由から、ＴＣＤを用いたガスクロマトグラフィーでは、カラムによって注入された混合ガスを時間的に各成分に分離することで、各成分の濃度の定量を可能にしている。しかしながら、この方法では、カラムにより混合ガスを分離する時間に加え、さらにＴＣＤで検出するための時間が必要で、混合ガスの連続分析（例えば、ＴＨＣ計やＮＯｘ計等の各種排ガス分析計のような連続分析）は不可能であった。
【０００５】
また、改良されたＴＣＤとして、特開平７−２４８３０４号公報に記載のものも提案されている。このＴＣＤは、各成分の濃度の定量に必要な検量線をあらかじめＲＯＭ（読み出し専用メモリ）として持っておくことで、濃度の定量を容易にしたものである。しかし、このＴＣＤによっても混合ガス中の水素を選択的に検出することはできないという問題がある。そのため、このＴＣＤを用いて混合ガス中の水素濃度の連続分析を行うことは依然として不可能である。
【０００６】
なお、ここで述べているＴＨＣ計、ＮＯｘ計とは、排気ガス分析用として、時間変化する排気ガス中の各成分の連続的な濃度分析が可能であり、その検出部にはＴＨＣ計ならＦＩＤ（Flame Ionization Detector）、ＮＯｘ計ならＣＬＤ
（ Chemi Luminecent Detector）を用い、排気ガスをサンプルするサンプル部や濃度を表示する表示部等から構成されたものである。
【０００７】
よって、本発明は、連続供給される水素含有混合ガス中の水素の連続的な濃度分析が行える水素連続分析装置を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、連続供給される水素含有混合ガス中の水素濃度を測定するための水素連続分析装置であって、水素含有混合ガスから水素分子を分離して水素に富む試料ガスとして供給する機能を持つ水素分子分離器と、この水素分子分離器から供給される試料ガスの熱伝導率に基づいて試料ガスの水素濃度を求め、その試料ガスの水素濃度から水素含有混合ガス中の水素濃度を測定する機能を持つ熱伝導率検出器とを含む構成とした。
【０００９】
その場合、水素分子分離器は、水素分子を選択的に透過させる半透過膜を介して分離された第１ガス室と第２ガス室とを有し、水素含有混合ガスは、第１ガス室を経由して外部に導かれ、その第１ガス室から半透過膜を通して第２ガス室へ透過した水素に富む透過ガスは熱伝導率検出器へ導かれる構成とすることもできる。
【００１０】
また、水素分子分離器は、内管と外管とを有する２重管構造であって内管の少なくとも一部が水素分子を選択的に透過させる半透過膜により形成され、内管の内部が第１ガス室で、内管と外管との間の空間が第２ガス室に形成され、水素含有混合ガスは第１ガス室を経由して外部に導かれ、その第１ガス室から半透過膜を通して第２ガス室へ透過した水素に富む透過ガスは熱伝導率検出器へ導かれている構成とすることもできる。
【００１１】
この熱伝導率検出器としては、検出した水素分子の濃度を記録する記録計を更に備えている構成とすることもできる。
【００１２】
水素分子分離器についても、水素含有混合ガスが第１ガス室を経由して外部に導かれる際の第１ガス室からの排出量を制御することで、第１ガス室の内圧を高める手段を更に備えている構成とすることもできる。
【００１３】
この水素連続分離器は、第１ガス室内における水素含有混合ガスの温度を高めるための加熱手段を更に備えている構成とすることもできる。
【００１４】
水素連続分離器は、半透過膜を透過した水素に富む透過ガスに対してキャリアガスを混入する手段を更に備えている構成とすることもできる。
【００１５】
半透過膜としては、式Ｉに示すものを好適にもちいることができる。
【化２】
0003659046.tif 000002
但しＲはそれぞれ独立に、水素、塩素、臭素又はＣ1-4のアルキルであり、Ｒ1は−ＣＯ−、−Ｓ−、−ＳＯ2−、−Ｏ−又はＣ1-6の２価の炭素水素基、Ｃ1-6の２価のフルオロカーボン基である、に相当するビスフェノールから誘導されたポリカーボネートポリマー（但し弁別膜中に存在する該ビスフェノールから誘導された部分の少なくとも２５重量％は専ら臭素又は塩素であるＲ基を有している）から主としてなる薄い弁別層を持ち且つ該膜が２５°Ｃの温度で少なくとも２５の水素と軽炭化水素間の分離係数をもつ。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照して説明する。
図１は本発明の実施の形態１に係る水素連続分析装置の概略構成図であり、図２はその熱伝導率検出器の構成を示す原理図である。
【００１７】
（実施の形態１）
この水素連続分析装置は、水素分子分離器１０と、熱伝導率検出器２０と、記録計３０とを備える。水素分子分離器１０は、水素含有混合ガスから水素分子を分離して水素に富む試料ガスとして熱伝導率検出器２０に供給する機能を備えている。熱伝導率検出器２０は、水素分子分離器１０から供給される試料ガスの熱伝導率に基づいて試料ガスの水素濃度を求め、その試料ガスの水素濃度から水素含有混合ガス中の水素濃度を推定する機能を備えている。
【００１８】
次いで、これらの詳細について説明する。水素分子分離器１０は、図１に示すように、水素を選択的に透過させる半透過膜Ｔを介して分離された第１ガス室１１と第２ガス室１２とを有する。これら第１ガス室１１及び第２ガス室１２は、この例では、内部中空な箱形のハウジング１３内に設けている。このハウジング１３を構成する材料としては、製作性の点で金属が好ましいが、気体が透過せずかつ適度な強度を有する材料であれば、他の材料で構成することもできる。
【００１９】
半透過膜Ｔは、ハウジング１３内の中央に設けてあり、ハウジング１３の内部を二分している。これにより、ハウジング１３内に独立した第１ガス室１１と第２ガス室１２を形成している。半透過膜Ｔをハウジング１３内に直接固定して位置決めする方法として、ハウジング１３が金属製である場合、半透過膜１の周囲を枠Ｗに固定し、その枠Ｗの周囲をハウジング１３の内面に溶接等により気密に固定する方法を採用することができる。ハウジング１３が例えば樹脂製の場合、枠Ｗを樹脂製として熱融着や超音波接着、接着剤等の方法で気密に固定することができる。
【００２０】
ハウジング１３には、分析対象となる水素含有混合ガスを第１ガス室１１を経由させて外部に導くための混合ガス供給管１４、及び混合ガス排出管１５が接続されている。このハウジング１３には、第２ガス室１２内にキャリアガスを供給する供給管１６と、第２ガス室１２内の水素に富む透過ガスにキャリアガスが混入されたものを試料ガスとして熱伝導率検出器（ＴＣＤ）２０に供給する接続管１７と、その排出管１７ａとが設けられている。さらに、熱伝導率検出器２０には、リファレンスガスを供給する参照ガス供給管１８と、その排出管１８ａとが接続されている。
【００２１】
半透過膜Ｔの材質については、テフロンチューブなどのように水素含有混合ガス中の水素分子を選択的に透過させる機能を持つものであれば特別に限定されないが、例えば特開平５−２３７３５３号公報に記載の素材からなる半透過膜を好適に用いることができる。この半透過膜は、テトラプロモビスフェノールのようなテトラハロビスフェノールから誘導されるポリカーボネートを主とする素材で形成されていて、高い分離係数とガス透過率をもって混合ガスから水素を分離する機能を有するものである。
【００２２】
より具体的には、該膜が式Ｉ
【化３】
0003659046.tif 000003
但しＲはそれぞれ独立に、水素、塩素、臭素又はＣ1-4のアルキルであり、Ｒ1は−ＣＯ−，−Ｓ−，−ＳＯ2−、−Ｏ−又はＣ1-6の２価の炭素水素基、Ｃ1-6の２価のフルオロカーボン基である、に相当するビスフェノールから誘導されたポリカーボネートポリマー（但し弁別膜中に存在する該ビスフェノール価ら誘導された部分の少なくとも２５重量％は専から臭素又は塩素であるＲ基を有している）から主としてなる薄い弁別層をもち且つ該膜が２５°Ｃの温度で少なくとも２５の水素と軽炭化水素間の分離係数をもつ。
【００２３】
この薄い弁別層は式
【化４】
0003659046.tif 000004
で示されるビスフェノール５０〜１００重量％及び式
【化５】
0003659046.tif 000005
で示されるビスフェノール０〜５０重量％、但しＲ1はＣ1-6の２価の炭化水素基、Ｒ2はＣ1-4のアルキル、そしてＸは塩素又は臭素である、から誘導されたポリカーボネートポリマーから主としてなる。
【００２４】
本発明で用いる膜はガス混合物からの水素の分離に対し意外にも高いガス分離係数と高い透過率とを示す。好ましい態様において、弁別層中に存在する式１から誘導された部分の少なくとも３５重量％が専ら臭素であるＲ基をもち，２５°Ｃにおける水素と軽炭化水素の分離係数が少なくとも１００を示す。また本発明で用いる膜はすぐれた機械的性質をもち、たとえば温度や圧力がより厳しい条件下でも有用である。
【００２５】
そして、この半透過膜Ｔの水素分離機能を効果的に発揮させるために、水素含有混合ガスを供給する第１ガス室１１が高圧に、第２ガス室１２が低圧になる加圧下において、半透過膜Ｔの片面を水素含有混合ガスと接触させ、高圧側から低圧側に半透過膜Ｔを通して水素が選択的に透過する条件下に半透過膜Ｔを横断する圧力差を維持するように設計している。具体的には、第１ガス室１１に連通する混合ガス排出管１５の内径を、混合ガス供給管１４よりも小径にすることで、その第１ガス室１１内の圧力を高めることができる。これにより、水素に富む透過ガスを第２ガス室１２から取り出し、水素が減少した非透過ガスを第１ガス室１１から取り出すことで混合ガスから水素を分離することができる。
【００２６】
熱伝導率検出器（ＴＣＤ）２０については既存の種々のタイプのＴＣＤを利用することができるが、ここでは説明の便宜上、原理として理解しやすい熱伝導率式水素計を図２に例示してある。
【００２７】
この図２において、１は接続管１７にて供給される試料ガスの供給通路に配置した第１の測温抵抗体であり、２は参照ガス供給管１８にて供給される熱伝導率が既知のリファレンスガスの供給通路に配置した第２の測温抵抗体である。また、Ｒ１、Ｒ２は抵抗、３は比較器、４は定電流源又は定電圧源であり、それら測温抵抗体１、２、抵抗Ｒ１、Ｒ２によりホイートストンブリッジが組まれている。
【００２８】
この水素計を用いた熱伝導率検出器２０においては、試料ガスが測温抵抗体１に供給されると、その熱伝導率に比例した熱を奪う。これにより測温抵抗体の発熱温度が変化し、その抵抗値が変化する。一方、測温抵抗体２にはリファレンスガス（例えばＮ２  ガス）が供給されている。この場合、リファレンスガスの熱伝導率は一定であるから、リファレンスガスによって奪われる熱も一定であり、測温抵抗体２の発熱温度は一定となり、その抵抗値は一定となる。
【００２９】
抵抗Ｒ１と測温抵抗体１との接続点に生ずる電圧は比較器３の非反転入力へ、抵抗Ｒ２と測温抵抗体２との接続点に生ずる電圧は比較器３の反転入力へ与えられる。これにより、試料ガスとリファレンスガスの熱伝導率の差に比例した抵抗値変化（発熱温度の差）が、不平衡電圧ΔＶとして検出される。
【００３０】
ここで、リファレンスガスを試料ガスに含まれる共存ガスと同一成分（Ｎ２ガス）とすれば、検出される不平衡電圧ΔＶに基づいて予め設定されている検量線を参照として、試料ガスに含まれているＨ２  ガスの濃度を測定することができる。
【００３１】
この測定されたＨ２  ガスの濃度は記録計３０に記録される。この記録計３０には、必要に応じて演算手段やその演算結果の表示手段及び記憶手段等が装備される。演算手段については、不平衡電圧ΔＶの入力に基づいて予め設定されている検量線データを参照として、試料ガスに含まれているＨ２  ガスの濃度を演算処理して表示手段に出力する機能を含ませておくのが好適である。勿論、単なる記録計のみの機能とし、演算手段は熱伝導率検出器２０に含ませた構成としても良い。
【００３２】
本実施の形態に係る水素連続分析装置において、混合ガス供給管１４から供給される水素含有混合ガスは、第１ガス室１１を経由し、混合ガス排出管１５から排出される。この際、混合ガス排出管１５の内径が混合ガス排出管１４の内径よりも小さいために、第１ガス室１１の内圧が上昇する。その上昇に伴って、混合ガス中の水素分子が半透過膜Ｔを介して第１ガス室１１から第２ガス室１２へと連続的に透過する。第１ガス室１１の内圧と、水素分子が半透過膜Ｔを透過する透過量との関係は、半透過膜Ｔの材質や厚さ、表面積等の関係においても左右されるが、第１ガス室１１と第２ガス室１２との内圧差が大きいほど、及び混合ガス中の水素濃度が高いほど水素分子の透過量が多くなる。したがって、水素濃度測定に際してはこれらの点に配慮して適宜に設定される。
【００３３】
第２ガス室１２へと透過した水素分子は、接続管１７によって熱伝導率検出器２０へと導かれ、排出管１７ａより排出される。その際、第２ガス室１２には、キャリアガスの供給用である供給管１６が接続されていてキャリアガス（例えばＮ２  ガス）が連続導入される。これにより、第２ガス室１２内の水素ガスはキャリアガスにより加圧され、熱伝導率検出器２０の第１測温抵抗体１へと円滑かつ連続的に流れ、排出管１７ａより外部へ排出される。また、熱伝導率検出器２０の第２測温抵抗体２にもリファレンスガスが参照ガス供給管１８にて連続供給され、排出管１８ａより外部へ排出、あるいは循環経路によって帰還させられる。このリファレンスガスの場合、別のリファレンスガスを用いない限り、循環させて使用するのが経済性の面で好ましい。
【００３４】
こうした水素濃度測定過程においては、試料ガスとリファレンスガスの熱伝導率の差に比例した抵抗値変化が比較器３から不平衡電圧ΔＶとして出力される。そして、この不平衡電圧ΔＶは、測定対象である水素含有混合ガスが第１ガス室１１に供給され続けている限り連続出力され、これにより混合ガスの水素濃度も連続測定可能となる。
【００３５】
なお、ＴＣＤのキャリアガスとしては、Ｎ２  以外ではＨｅ、Ｈ２  、Ａｒ等のガスも用いることができる。ＴＣＤの原理から、分析を行いたいガスであるＨ２  と熱伝導度の差が大きいガスを用いた方が、分析の感度は良くなる。この観点から、Ｈ２  分析用のキャリアガスとしてＮ２  あるいはＡｒが考えられる。また、Ｎ２  は排ガス中の成分として多く含まれ、排ガス中に含まれる他の成分であるＯ２  、ＣＯ、ＮＯ等と熱伝導度も近いため、これらのガスが分離膜（半透過膜Ｔ）を透過しても干渉影響が出にくいことを考慮し、ここではキャリアガスにＮ２  を選択している。
【００３６】
（実施の形態２）
図３は本発明の実施の形態２に係る水素分子分離器１０の概略断面図である。この例では、第１ガス室１１を高圧にする他の方法を示している。即ち、実施の形態１では、混合ガス排出管１５の内径を混合ガス供給管１４よりも小さくすることで、第１ガス室１１の内圧を高めるように構成したが、この図３に示す例では、混合ガス排出管１５の内径は混合ガス排出管１４と同径にし、その代わりに、混合ガス排出管１５の途中に絞り弁１５ａを設ける構成としたものである。このようにした場合、絞り弁１５ａを適宜に調整することで、第１ガス室１１の内圧を必要な圧力に容易に調整することができる。
【００３７】
（実施の形態３）
図４は本発明の実施の形態３に係る水素分子分離器１０の概略断面図である。この例では、第１ガス室１１を高圧にするさらに他の方法を示している。即ち、この図４に示す例では、ハウジング１３の周囲に、そのハウジング１３を加熱するための加熱手段１９を設けた構成としたものである。この加熱手段１９としては、伝熱ヒータ、熱風ヒータ、蒸気ヒータ等、種々の既存の加熱手段を用いることができる。
【００３８】
なお、この図４においては、加熱手段１９によりハウジング１３全体を加熱する構成としているが、第１ガス室１１の周囲に相当するハウジング部分のみを加熱する構成としてもよい。このようにハウジング１３を加熱することで、第１ガス室１１内の混合ガスも加熱され、その際の体積膨張により第１ガス室１１の内圧を高めることができる。勿論、実施の形態２及び実施の形態３の両方に係る技術を組み合わせて内圧を高めるように工夫しても良い。
【００３９】
（実施の形態４）図５は本発明の実施の形態４に係る水素分子分離器１０の構造を示す断面図である。ここに示す素分子分離器は、内管１１ｃと外管１２ｃとを有する２重管構造であって内管１１ｃの少なくとも一部（図では全部）が水素を選択的に透過させる半透過膜Ｔにより形成され、内管１１ｃの内部が第１ガス室１１で、内管と外管との間の空間が第２ガス室１２に形成され、水素含有混合ガスは、第１ガス室１１を経由して外部に導かれ、その第１ガス室１１から半透過膜Ｔを通して第２ガス室１２へ透過した水素に富む透過ガスは、熱伝導率検出器２０へ導かれている構成とすることもできる。
【００４０】
このような構成とした場合、内管１１ｃ自体を水素を選択的に透過させる性質をもつ半透過膜と同一材料にて形成することもできるから、半透過膜を主体とする水素分子分離器１０の構成を極めて簡易にすることができ、しかも、半透過膜の表面積も大きくして水素分子の透過性能を向上させること、あるいは小型化を図ることができる。
【００４１】
なお、熱伝導率検出器（ＴＣＤ）２０については既存の種々のタイプのＴＣＤを利用することができるが、固有の検量線を用いることなく測定対象ガスの濃度測定を可能とする構成のものを採用することもできる。例えば、特開平７ー２４８３０４号公報に記載のように、試料ガスの供給路に配置された測温抵抗体と、この測温抵抗体の温度変化を出力電圧Ｖの変化として出力し、この検出される出力電圧Ｖの変化に基づいて測温抵抗体へのエネルギーの供給量を制御し、その発熱温度を一定値に保つ制御手段と、この制御手段によりその発熱温度が一定値に保たれた状態での出力電圧Ｖを所定の演算式に代入して前記試料ガスの熱伝導率を算出する熱伝導率算出手段とを備えた構成の熱伝導率検出器を用いることもできる。
【００４２】
【発明の効果】
以上のように、本発明の水素連続分析装置によれば、水素含有混合ガスから水素分子を分離して水素に富む試料ガスとして供給する機能を持つ水素分子分離器と、この水素分子分離器から供給される試料ガスの熱伝導率に基づいて試料ガスの水素濃度を求め、その試料ガスの水素濃度から水素含有混合ガス中の水素濃度を測定する機能を持つ熱伝導率検出器とを含む構成としたので、今まで困難であった水素含有混合ガス中の水素濃度の連続分析を可能にすることができる。
【００４３】
また、水素分子分離器は、水素分子を選択的に透過させる半透過膜を介して分離された第１ガス室と第２ガス室とを有し、水素含有混合ガスは第１ガス室を経由して外部に導かれ、その第１ガス室から半透過膜を通して第２ガス室へ透過した水素に富む透過ガスは熱伝導率検出器へ導かれる構成としたので、水素に富む透過ガスを熱伝導率検出器に連続的に供給することができる。
【００４４】
また、水素分子分離器は、内管と外管とを有する２重管構造であって内管の少なくとも一部を水素分子を選択的に透過させる半透過膜により形成し、内管の内部が第１ガス室で、内管と外管との間の空間が第２ガス室に形成したので、水素分子分離器の構成を簡易化でき、しかも、半透過膜の表面積をより大きくすることができる。
【００４５】
この熱伝導率検出器としては、検出した水素分子の濃度を記録する記録計を更に備える構成とすることによって、混合ガス中の水素濃度を連続的に記録することも可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る熱伝導率分析装置の概略構成図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る熱伝導率検出器の構成図である。
【図３】本発明の実施の形態２に係る水素分子分離器の構成を示す断面図である。
【図４】本発明の実施の形態３に係る水素分子分離器の構成を示す断面図である。
【図５】本発明の実施の形態４に係る水素分子分離器の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
１、２  …測温抵抗体
３…比較器
４…定電流源又は定電圧源
１０…水素分子分離器
１１…第１ガス室
１１ｃ…内管
１２…第２ガス室
１２ｃ…外管
１３…ハウジング
１４…混合ガス供給管
１５…混合ガス排出管
１５ａ…絞り弁
１６…供給管
１７…接続管
１７ａ…排出管
１８…参照ガス供給管
１８ａ…排出管
１９…加熱手段
２０…熱伝導率検出器
Ｔ…半透過膜
Ｗ…枠
【図１】
0003659046.tif 000007
【図２】
0003659046.tif 000008
【図３】
0003659046.tif 000009
【図４】
0003659046.tif 000010
【図５】
0003659046.tif 000011