(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
周部に切り欠きを有し、略鉛直方向に起立して主面と直交する方向に複数並んだ状態にある円盤状の基板を支持し、前記各基板の切り欠きの位置を所定位置に整列させる基板整列装置であって、
前記複数の基板が基板の並び方向において占める距離より長い距離を隔てて設けられた一対の第1保持ブロックおよび第２保持ブロックと、
前記第1保持ブロックと第２保持ブロックとの間において、基板の並び方向に移動可能な状態で保持され、下方から基板の端部を支持する支持部材と、
基板の並び方向と平行な方向の内、第２保持ブロックから第１保持ブロックに向かう付勢方向に前記支持部材を付勢する付勢手段と、
前記付勢手段の付勢力による前記支持部材の前記付勢方向への移動を規制することにより、前記支持部材を、当該支持部材が基板を支持する所定の移動前位置と、当該移動前位置に対して基板の並び方向と平行な方向に所定距離ずれた移動後位置との二箇所の位置で停止させる規制手段とを有し、
前記第1保持ブロックおよび第２保持ブロックは前記支持部材を、前記移動前位置と前記移動後位置とで保持する基板整列装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板整列装置において、
前記第1保持ブロックおよび第２保持ブロックはそれぞれ支持部材が貫通する第1貫通穴および第2貫通穴を有し、
前記支持部材は第1端部が第1貫通穴から突出し、第2端部が第2貫通穴から突出した状態で前記第1保持ブロックおよび第２保持ブロックの間に保持され、
前記付勢手段は第1保持ブロックと前記支持部材の第1端部との間に設けられ支持部材を付勢方向に付勢するばねであり、
前記規制手段は前記支持部材の第2端部に設けられ第2端部が第2貫通穴から抜けることを防止するストッパと、
ストッパと第2保持ブロックとの間に取り外し可能に設けられ、基板の並び方向において前記所定距離の長さを有するスペーサとを有する基板整列装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板整列装置において、
前記支持部材は基板の並び方向に長手方向を有し、基板の切り欠きと係合する略円柱状の部材である基板整列装置。
【請求項４】
周部に切り欠きを有し、略鉛直方向に起立して主面と直交する方向に複数並んだ状態にある円盤状の基板を支持し、前記各基板の切り欠きの位置を所定位置に整列させる基板整列装置であって、
前記複数の基板が基板の並び方向において占める距離より長い距離を隔てて設けられた一対の第1保持ブロックおよび第２保持ブロックと、
前記第1保持ブロックと第２保持ブロックとの間において、基板の並び方向に移動可能な状態で保持され、下方から基板の端部を支持する支持部材とを有し、
前記第1保持ブロックおよび第２保持ブロックは前記支持部材を、該支持部材が基板を支持する所定の移動前位置と移動前位置に対して基板の並び方向と平行な方向に複数の基板同士の間隔の半分の距離ずれた移動後位置とで保持する基板整列装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は切り欠きを有するウエハ等、円盤状の基板を整列させる基板整列装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の基板整列装置１００を図９に示す。
図９（ａ）（ｂ）のように、基板整列装置１００は水平方向（図９においては紙面と垂直な方向）に延設された係合ローラ１０１と、係合ローラ１０１の下方で係合ローラ１０１と接触しており、係合ローラ１０１と平行に延設された駆動ローラ１０２とを有する。駆動ローラ１０２は図示せぬ駆動機構により回転させられる。
そして、この基板整列装置１００では紙面と垂直な方向に複数の基板Ｗが並んだ状態で、該基板Ｗが係合ローラ１０１上に支持される。複数の基板Ｗには切り欠きＮが設けられており、前記係合ローラ１０１と係合可能である。
このような基板整列装置１００の動作について説明する。
【０００３】
まず、図９（ａ）のように、駆動ローラ１０２が時計回りに回転すると、係合ローラ１０１が反時計回りに回転する。これによって、基板Ｗが時計回りに回転する。回転が進行すると、図９（ｂ）のように基板Ｗに設けられた切り欠きＮと係合ローラ１０１とが係合し、当該基板Ｗはそれ以上回転しなくなる。そして、この基板整列装置１００では複数の基板Ｗ全ての切り欠きＮが係合ローラ１０１と係合するであろう時間、具体的には基板Ｗが１回以上回転する時間を駆動時間として予め決めておき、前記駆動時間だけ係合ローラ１０１を回転する。なお、駆動時間に達するより前に切り欠きＮが係合ローラ１０１と係合した場合は、係合ローラ１０１は切り欠きＮと係合した状態で空回りしている。
【０００４】
こうして、複数の基板Ｗはそれぞれが有する切り欠きＮの位置が係合ローラ１０１の位置に配された状態に整列させられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記基板整列装置１００では、運転時間を経るにつれて係合ローラ１０１の基板Ｗと接触する部分が摩滅する。係合ローラ１０１が摩滅して直径が小さくなってしまうと、回転する基板Ｗの切り欠きＮが係合ローラ１０１を飛び越してしまい、切り欠きＮを係合ローラ１０１の位置で停止させることができなくなり、その結果基板の整列が不可能になってしまう。
このため係合ローラ１０１は摩滅するとすぐに交換が必要になる。その結果、部品交換が頻発し、ランニングコストを抑制することができなくなってしまう。
【０００６】
本発明の目的は基板整列装置のランニングコストを抑制することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１の基板整列装置は周部に切り欠きを有し、略鉛直方向に起立して主面と直交する方向に複数並んだ状態にある円盤状の基板を支持し、前記各基板の切り欠きの位置を所定位置に整列させる基板整列装置であって、前記複数の基板が基板の並び方向において占める距離より長い距離を隔てて設けられた一対の第1保持ブロックおよび第２保持ブロックと、前記第1保持ブロックと第２保持ブロックとの間において、基板の並び方向に移動可能な状態で保持され、下方から基板の端部を支持する支持部材と、基板の並び方向と平行な方向の内、第２保持ブロックから第１保持ブロックに向かう付勢方向に前記支持部材を付勢する付勢手段と、前記付勢手段の付勢力による前記支持部材の前記付勢方向への移動を規制することにより、前記支持部材を、当該支持部材が基板を支持する所定の移動前位置と、当該移動前位置に対して基板の並び方向と平行な方向に所定距離ずれた移動後位置との二箇所の位置で停止させる規制手段とを有し、前記第1保持ブロックおよび第２保持ブロックは前記支持部材を、前記移動前位置と前記移動後位置とで保持する基板整列装置である。
【０００８】
請求項２の基板整列装置は請求項１に記載の基板整列装置において、前記第1保持ブロックおよび第２保持ブロックはそれぞれ支持部材が貫通する第1貫通穴および第2貫通穴を有し、前記支持部材は第1端部が第1貫通穴から突出し、第2端部が第2貫通穴から突出した状態で前記第1保持ブロックおよび第２保持ブロックの間に保持され、前記付勢手段は第1保持ブロックと前記支持部材の第1端部との間に設けられ支持部材を付勢方向に付勢するばねであり、前記規制手段は前記支持部材の第2端部に設けられ第2端部が第2貫通穴から抜けることを防止するストッパと、ストッパと第2保持ブロックとの間に取り外し可能に設けられ、基板の並び方向において前記所定距離の長さを有するスペーサとを有する基板整列装置である。
【０００９】
請求項３の基板整列装置は請求項１または２に記載の基板整列装置において、前記支持部材は基板の並び方向に長手方向を有し、基板の切り欠きと係合する略円柱状の部材である基板整列装置である。
【００１０】
請求項４の基板整列装置は、周部に切り欠きを有し、略鉛直方向に起立して主面と直交する方向に複数並んだ状態にある円盤状の基板を支持し、前記各基板の切り欠きの位置を所定位置に整列させる基板整列装置であって、前記複数の基板が基板の並び方向において占める距離より長い距離を隔てて設けられた一対の第1保持ブロックおよび第２保持ブロックと、前記第1保持ブロックと第２保持ブロックとの間において、基板の並び方向に移動可能な状態で保持され、下方から基板の端部を支持する支持部材とを有し、前記第1保持ブロックおよび第２保持ブロックは前記支持部材を、該支持部材が基板を支持する所定の移動前位置と移動前位置に対して基板の並び方向と平行な方向に複数の基板同士の間隔の半分の距離ずれた移動後位置とで保持する基板整列装置である。
【００１１】
【発明の実施の形態】
＜基板整列装置の概要＞
【００１２】
図１は、本発明の基板整列装置１の斜視図である。なお、矢印Ｆで示される面を基板整列装置１の正面とする。
基板整列装置１は基板Ｗの整列を行う。基板Ｗは図示のように周部に切り欠きＮを有した略円盤状のもので、略鉛直方向に起立して主面と直交する方向において複数並んだ状態にある。そして基板整列装置１は基板Ｗを円周方向に回転させて各基板Ｗの切り欠きＮの位置を所定位置に整列させるものである。
なお、前記複数の基板Ｗはそれぞれ間隔Ｐを隔てて並べられ、主面と直交する方向において距離ＷＬにわたって並べられている。また複数の基板Ｗの並び方向のことを以下、基板並び方向と称する。
【００１３】
基板整列装置１はエアシリンダ６１を有する。該エアシリンダ６１上には台板１０が水平状態で固定されており、エアシリンダ６１によって台板１０が基板Ｗの下方において昇降可能となっている。
台板１０上には複数の基板Ｗが基板並び方向において占める距離ＷＬよりも長い距離を隔てて第1保持ブロック１３ａ、第2保持ブロック１３ｂが設けられており、該第1保持ブロック１３ａ、第2保持ブロック１３ｂの間には第１駆動ローラ２１、第２駆動ローラ２２、支持棒２３、係合ローラ２４、フリーローラ２５が支持されている。
【００１４】
第１駆動ローラ２１の一方の軸端は第１保持ブロック１３ａの外部に突出しており、該軸端には第１従動スプロケット２１ａが固定されている。第２駆動ローラ２２の一方の軸端もまた第１保持ブロック１３ａの外部に突出しており、該軸端には第２従動スプロケット２２ａが固定されている。第２駆動ローラ２２の外周には係合ローラ２４の外周が接触しており、第２駆動ローラ２２が回転すると係合ローラ２４に回転力が伝わり係合ローラ２４が回転する構造となっている。
【００１５】
また、台板１０にはモータ３０が固定されている。モータ３０にはシャフト３１が結合され、該シャフト３１には第１保持ブロック１３ａと第2保持ブロック１３ｂとの間の空間にて駆動ギア３２が設けられ、第１保持ブロック１３ａの外部にて第１駆動スプロケット３３が固定されている。
そして、第１スプロケット３３と第１従動スプロケット２１ａとの間には無端ベルトである第１ベルト３４が掛けまわされている。
【００１６】
前記駆動ギア３２には反転ギア３５が噛み合っており、反転ギア３５に結合されているシャフト３６は第１保持ブロック１３ａの外側に突出し、その端部には弟２駆動スプロケット３７が固定されている。
【００１７】
第２駆動スプロケット３７と第２従動スプロケット２２ａとの間には無端ベルトである第２ベルト３８が掛けまわされている。
【００１８】
フリーローラ２５は第１保持ブロック１３ａ、第2保持ブロック１３ｂに対して回転自在に設けられている。また、支持棒２３は第１保持ブロック１３ａ、第2保持ブロック１３ｂに固定されている。
【００１９】
このような構成により、モータ３０を正面視で反時計回りに駆動すると基板Ｗは正面視で時計回りに回転する。
【００２０】
一方、図示しない機枠には投光素子４１と受光素子４２とが固定されており、投光素子４１から発射された光線Ｒが受光素子４２に至る構造となっている。
【００２１】
前記光線Ｒは基板並び方向と平行に設定されている。なお、光線Ｒが配される場所については後述する。
【００２２】
図２は基板整列装置１の制御に関するブロック図である。
【００２３】
ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、タイマーを有している制御部５０にはスタートスイッチ５１、投光素子４１、受光素子４２、モータ３０、エアシリンダ６１が接続されている。
【００２４】
以上のような基板整列装置１は図３（ａ）のように２対のガイド５５ａ、５５ｂによって保持された基板Ｗの整列を行う。
【００２５】
ガイド５５ａ、５５ｂは図１のように基板並び方向に延びる長手部材であって、鉛直方向に延びる複数の溝５６ａ、５６ｂを有し、該複数の溝５６ａ、５６ｂによって基板Ｗを保持している。この溝５６ａ、５６ｂはそれぞれ基板並び方向において間隔Ｐごとに形成されている。なお、図１ではガイド５５ａ、５５ｂそれぞれの対において、一方のガイド５５ａ、５５ｂのみを図示し、他方の図示を省略している。
【００２６】
このようなガイド５５ａ、５５ｂは基板Ｗの基板並び方向における動きを規制し、基板Ｗが略鉛直方向に起立した状態でかつ間隔Ｐをもって複数並んだ状態にて保持する。
【００２７】
次に図３（ａ）（ｂ）、および、図４（ａ）（ｂ）を参照して基板整列装置１の動作について説明する。なお、図３（ａ）（ｂ）、図４（ａ）（ｂ）ともに基板整列装置１の要部の正面図である。
【００２８】
最初、図３（ａ）のようにガイド５５ａ、５５ｂに保持されている基板Ｗの下方に基板整列装置１が配置される。そしてスタートスイッチ５１がｏｎにされると制御部５０はエアシリンダ６１を駆動して台板１０を上昇させる。これにより、図３（ｂ）のように基板整列装置１がガイド５５ａ、５５ｂに保持されている基板Ｗを突き上げて支持する。このとき、基板Ｗは第１駆動ローラ２１と係合ローラ２４とによって支持される。
【００２９】
次に制御部５０は投光素子４１から光線Ｒを発射し、受光素子４２に光線Ｒが到達しているかどうかの監視を開始するとともに、モータ３０を駆動して図４（ａ）のように基板Ｗを時計回りに回転させる。
【００３０】
そして基板Ｗが回転して切り欠きＮが係合ローラ２４と係合すると図４（ｂ）のように基板Ｗは
【００３１】
係合ローラ２４上に乗り上げ、支持棒２３、係合ローラ２４、フリーローラ２５によって支持される。このとき、支持棒２３およびフリーローラ２５は回転力を基板Ｗにくわえるものではなく、また、係合ローラ２４は切り欠きＮと係合した状態で空転する。従って、基板Ｗは回転を停止する。
【００３２】
また、切り欠きＮが係合ローラ２４と係合すると基板Ｗはその主面が含まれる面内で図４（ｂ）のように変位する。すなわち、整列前位置ＷＡから整列後位置ＷＢにかけて変位する。
【００３３】
ここで、光線Ｒが配される位置について説明すると、光線Ｒは図４（ｂ）のように基板Ｗの変位前は基板Ｗが存在し、変位後は基板Ｗが存在しなくなる位置に配されている。なお、光線Ｒは基板Ｗの変位前は基板Ｗが存在し、変位後は基板Ｗが存在しなくなる位置に配されればどこでも良く、具体的には図４（ｂ）において斜線で示す基板有無領域ＷＲ内であればどこでもよい。
【００３４】
さて、全ての基板Ｗが変位すると、基板Ｗによって遮られていた光線Ｒが受光素子４２に到達可能となる。そして、制御部５０が受光素子４２での光線Ｒの受光を確認すると該制御部５０はタイマーのカウントを始める。そして所定時間が経過した後、制御部５０はもう一度、光線Ｒが受光素子４２に到達しているかどうかを確認し、到達していれば、全ての基板Ｗの整列が完了したと判断してモータ３０の駆動を停止し、投光素子４１からの光線Ｒの発射を停止する。そして、制御部５０はエアシリンダ６１を駆動して台板１０を降下させることによって、基板整列装置１が支持していた基板Ｗをガイド５５ａ、５５ｂに渡す。
【００３５】
また、前記所定時間経過後にもう一度受光素子４２に光線Ｒが到達しているかどうかを確認したとき、受光素子４２に光線Ｒが到達していなければ、それは偶然、光線Ｒの光軸上に全ての基板Ｗの切り欠きＮが揃ったことになるので引き続き投光素子４１からの光線Ｒの発射および、モータ３０の駆動を続行し、再び受光素子４２への光線Ｒの到達の有無を監視する状態に戻る。
【００３６】
ここで、前記所定時間について説明する。
【００３７】
基板整列装置１に１枚だけ基板Ｗを支持させ、該基板Ｗが光線Ｒを遮った状態にして基板Ｗを回転させ始めたとき、切り欠きＮが光線Ｒの通過している部分に到来して光線Ｒが切り欠きＮを通過したときの時刻をｔ０、さらに基板Ｗを回転させて切り欠きＮが光線Ｒの通過している部分を通り過ぎ、光線Ｒが再び基板Ｗに遮られるようになったときの時刻をｔｌ、さらに基板Ｗを回転させて、切り欠きＮが光線Ｒの通過している部分に再び到来し、光線Ｒが切り欠きＮを通過するようになったときの時刻をｔ３としたとき、前記所定時間は（ｔｌ−ｔ０）以上で、かつ、（ｔ３−ｔｌ）より短い時間である。
【００３８】
次に係合ローラ２４を移動させる構造について説明する。
図５は図１におけるＶ−Ｖ断面図である。図のように第1保持ブロック１３ａと第2保持ブロック１３ｂにはそれぞれベアリング７８、７９が設けられており、ベアリング７８、７９は第２駆動ローラ２２を保持している。
【００３９】
また前記第1保持ブロック１３ａと第2保持ブロック１３ｂにはそれぞれベアリング７１、７２が設けられており、係合ローラ２４を保持している。
ベアリング７１、７２はそれぞれ第1貫通穴７１Ａ、第２貫通穴７２Ａを有し、該第1貫通穴７１Ａ、第２貫通穴７２Ａに挿通される状態で係合ローラ２４が保持されている。なお、係合ローラ２４はベアリング７１、７２に対して基板並び方向には移動自在に保持されている。
【００４０】
係合ローラ２４はセラミック製の棒状部材で、基板Ｗを支持する領域にわたって四フッ化エチレン−パーフロロアルコキシポリマー（以下、ＰＦＡという。）がコーティングされたものである。
【００４１】
そして、係合ローラ２４が有する２つの端部である第１軸端部２４Ａ、第２軸端部２４Ｂはそれぞれ第1保持ブロック１３ａおよび第2保持ブロック１３ｂから突出した状態で保持されている。
【００４２】
係合ローラ２４の２つの端部のうち第１保持ブロック１３ａから突出している第１軸端部２４Ａには第１貫通穴７１Ａの直径よりも大きいリング状の部材である第１ストッパ７３が固着されていて、第１ストッパ７３と第１保持ブロック１３ａとの間には圧縮ばね７４が配置されている。
圧縮ばね７４は螺旋状に巻かれたばねで、係合ローラ２４が内部を通るように設けられており、第１保持ブロック１３ａと第１ストッパ７３との間で伸張することによって係合ローラ２４を第２保持ブロック１３ｂから第１保持ブロック１３ａに向かう付勢方向Ｔに付勢している。
【００４３】
一方、係合ローラ２４の２つの端部のうち第２保持ブロック１３ｂから突出している第２軸端部２４Ｂには第２貫通穴７２Ａの直径よりも大きいリング状の部材である第２ストッパ７５が固着されている。
そして、第２ストッパ７５と第２保持ブロック１３ｂとの間にはスペーサ７６が配置されている。
【００４４】
スペーサ７６は図６に示すような略リング状のＰＦＡ製の弾性部材で、係合ローラ２４が挿通される挿通穴７６Ａと挿通穴７６Ａと連通するスリット７６Ｂとを有し、スリット７６Ｂを開くことによって、係合ローラ２４に対して着脱が可能である。
【００４５】
また、スペーサ７６は基板並び方向において、基板Ｗ同士の間隔Ｐの半分であるＰ／２の長さを有する。
以上のような基板整列装置１において、係合ローラ２４に関するメンテナンスについて説明する。ここでは摩滅した係合ローラ２４を付勢方向Ｔに移動させることでメンテナンスを行うがこれについて図７、図８を参照して説明する。
【００４６】
図７、図８は図５の一部拡大図であるが、便宜上、第２駆動ローラ２２等の図示を省略している。
【００４７】
基板整列装置１を長期にわたって使用すると、図７のように係合ローラ２４の基板Ｗと接触する部分が摩滅してへこみ、当該部分の直径が小さくなってしまう。そうすると基板整列装置１を運転したとき基板Ｗの切り欠きＮが係合ローラ２４を飛び越してしまい、正常な基板の整列が行えなくなる。このような場合はスペーサ７６を係合ローラ２４から取り外す。ここで係合ローラ２４は圧縮ばね７４によって第1ストッパ７３を介して付勢方向Ｔに付勢されているので図８のように付勢方向Ｔに距離Ｐ／２だけ移動する。
係合ローラ２４の第2軸端部には第2ストッパ７５が設けられているので係合ローラ２４が第2貫通穴７２Ａから脱落することなく距離Ｐ／２だけ移動して停止する。
【００４８】
係合ローラ２４を移動させると、係合ローラ２４が新たに基板Ｗを支持する部分は全く摩滅していないので正常に基板の整列を行うことができる。
【００４９】
以上のように、係合ローラ２４を移動させれば係合ローラ２４の交換頻度を少なくすることができるので基板整列装置１のランニングコストを抑制することができる。
なお、上記実施形態では係合ローラ２４の移動距離ｄをＰ／２としているので、確実に係合ローラ２４の未使用の部分で基板Ｗを支持できる。
【００５０】
なお、係合ローラ２４が所定の直径を保っている部分で基板Ｗを支持できれば移動距離ｄはＰ／２でなくてもよく、具体的には基板Ｗの厚みをｔとすると前記移動距離ｄはｔ≦ｄ≦（Ｐ−ｔ）であればよい。従って、係合ローラ２４の移動距離ｄを規定しているスペーサ７６の基板並び方向における長さｌもｔ≦ｌ≦（Ｐ−ｔ）であればよい。
【００５１】
また上記実施形態では基板並び方向における長さがＰ／２であるスペーサ７６を１個だけ使用したが、基板並び方向における長さをＰ／２より小さくして複数設けておき、保守のたびに順次１個ずつ取り外してもよい。そうすれば係合ローラ２４の交換頻度をより少なくできる。
【００５２】
【発明の効果】
請求項１の基板整列装置によれば、支持部材は移動前位置と移動後位置とで保持される。このため、支持部材が移動前位置において基板と接触していた部分と移動後位置において基板と接触していた部分とを異ならせることができる。よって、移動前位置と移動後位置とにおいて支持部材を使用することができ、支持部材の交換頻度を抑制できる。従って、基板整列装置のランニングコストを抑制することができる。
【００５３】
また、支持部材は付勢手段によって付勢されており、また、規制手段によって移動前位置と移動後位置とに位置を規制されている。よって規制手段を操作すれば移動前位置にある支持部材を容易に移動後位置に移動させることができる。
【００５４】
請求項２の基板整列装置によれば、スペーサがストッパと第2保持ブロックとの間にあるときは支持部材は移動前位置に規制されている。またスペーサを外すと支持部材は付勢方向に移動するとともに、ストッパによって移動後位置に規制される。このようにしてスペーサを取り外すだけで容易に支持部材を移動前位置と移動後位置とに移動させることができる。
【００５５】
請求項３の基板整列装置によれば、支持部材は切り欠きと係合する部材なので、基板との接触による摩耗が激しいが当該支持部材を移動前位置と移動後位置とに移動させることで交換頻度を抑制できる。
【００５６】
請求項４の基板整列装置によれば、前記所定距離複数の基板同士の間隔の半分の距離であるので支持部材を移動後位置に移動させたとき、確実に支持部材の未使用の部分で基板を支持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る基板整列装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】  基板整列装置の制御に関するブロック図である。
【図３】  基板整列装置の要部正面図である。
【図４】  基板整列装置の要部正面図である。
【図５】  基板整列装置の要部断面図である。
【図６】  スペーサの斜視図である。
【図７】  図５の一部拡大図である。
【図８】  図５の一部拡大図である。
【図９】  従来の基板整列装置の図である。
【符号の説明】
１ 基板整列装置
１３ａ 第１保持ブロック
１３ｂ 第2保持ブロック
２１ 第１駆動ローラ
２２ 第２駆動ローラ
２４ 係合ローラ
３０ モータ
４１ 投光素子
４２ 受光素子
５０ 制御部
６１ エアシリンダ
７３ 第１ストッパ
７４ 圧縮ばね
７５ 第２ストッパ
７６ スペーサ
Ｎ 切り欠き
Ｒ 光線
Ｗ 基板
【図１】
0003645747.tif 000002
【図２】
0003645747.tif 000003
【図３】
0003645747.tif 000004
【図４】
0003645747.tif 000005
【図５】
0003645747.tif 000006
【図６】
0003645747.tif 000007
【図７】
0003645747.tif 000008
【図８】
0003645747.tif 000009
【図９】
0003645747.tif 000010