(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板型の第１部材と第２部材とを具備し、該第１部材と第２部材はともに絶縁部材中に所定ピッチで３相の電極を埋め込んで構成される静電アクチュエータにおいて、
前記第１部材の電極は直線状平行帯状電極を有し、前記第２部材の電極はＷ型の平行帯状電極を有し、スキュー値を１．５に設定することを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】
第１部材と第２部材とを具備し、該第１部材と第２部材はともに絶縁部材中に所定ピッチで３相の電極を埋め込んで構成される静電アクチュエータにおいて、
前記第１部材と第２部材は円板からなり、前記部材の一方の電極は前記部材の中心部から延びる放射状帯状電極を有し、もう一方の部材の電極は前記部材の中心部から延びる前記部材の電極に対して傾斜する直線からなる放射状平行帯状電極を有し、スキュー値を１．５に設定することを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項３】
第１部材と第２部材とを具備し、該第１部材と第２部材はともに絶縁部材中に所定ピッチで３相の電極を埋め込んで構成される静電アクチュエータにおいて、
前記第１部材は円筒体からなり、前記第２部材は前記円筒体の第１部材に対応して同心円状に配置される円筒体からなり、前記第１部材の電極は螺旋状電極を有し、前記第２部材の電極は前記第１部材の電極に対して傾斜する螺旋状電極を有し、スキュー値を１．５に設定することを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１から３のうちいずれか１項記載の静電アクチュエータにおいて、電極は３相を除く多相としたことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１記載の静電アクチュエータにおいて、１組の平板からなる静電アクチュエータを複数段に積層して、リニア駆動を行うことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項６】
請求項２記載の静電アクチュエータにおいて、１組の円板からなる静電アクチュエータを複数段に積層して、回転駆動を行うことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項７】
請求項３記載の静電アクチュエータにおいて、１組の円筒状の静電アクチュエータを複数段に積層して、リニア駆動を行うことを特徴とする静電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄型のフィルムを利用した静電アクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、このような分野の先行技術としては、例えば、以下に示すようなものがあった。
【０００３】
図１７に示すように、静電アクチュエータは、第１部材２０１と第２部材３０１と呼ばれる、３相からなる等ピッチの平行帯状電極２０３，３０３を埋め込んだ絶縁部材のフィルム２０２，３０２からなり、それをそれぞれの帯状電極２０３，３０３が平行になるように重ね合わせることにより構成されていた。
【０００４】
一つの簡単な駆動方法として、本願の発明者等は、図１８に示すように、第１部材２０１と、第２部材３０１のそれぞれの３相電極２０３ａ，２０３ｂ，２０３ｃと、３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃとが互いに逆順になるように、３相交流４０１を印加する方式を提案した〔例えば、特開平６−７８５６６号公報（米国特許第５，４４８，１２４号）参照〕。
【０００５】
これにより、３相交流の変化に伴い、それぞれの３相電極では電位分布が変化し、静電気力により移動子が駆動されることになる。ここでは、移動子・固定子は同等なものであるが、便宜上、固定されている側を固定子、駆動される側を移動子と呼ぶ。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
静電アクチュエータは、上記したような電圧印加により駆動されるが、３相交流の位相の変化に対して推力の発生は一定ではなく、大きな変動が生じる。このため、一定周波数の印加に対して一定速度の駆動が得られず、図１９に示すように、電極ピッチ毎に速度変化を伴う駆動となってしまい、十分に滑らかな駆動が得られないといった問題があった。
【０００７】
また、これに伴い、移動子の位置制御が困難になってしまう。従って、静電アクチュエータの容易な駆動方法である３相交流を逆順に接続する駆動方法は、制御性の低いものとなるといった問題があった。
【０００８】
本発明は、上記問題点を除去し、静電アクチュエータを構成する移動子と固定子の間に、特定の傾斜（スキュー）を持たせることにより、移動子と固定子との位置関係による推力の変動を低減し、制御性の向上を図ることができる静電アクチュエータを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
〔１〕平板型の第１部材と第２部材とを具備し、これらの第１部材と第２部材はともに絶縁部材中に所定ピッチで３相の電極を埋め込んで構成される静電アクチュエータにおいて、前記第１部材の電極は直線状平行帯状電極を有し、前記第２部材の電極はＷ型の平行帯状電極を有し、スキュー値を１．５に設定するようにしたものである。
【００１０】
〔２〕第１部材と第２部材とを具備し、該第１部材と第２部材はともに絶縁部材中に所定ピッチで３相の電極を埋め込んで構成される静電アクチュエータにおいて、前記第１部材と第２部材は円板からなり、前記部材の一方の電極は前記部材の中心部から延びる放射状帯状電極を有し、もう一方の部材の電極は前記部材の中心部から延びる前記部材の電極に対して傾斜する直線からなる放射状平行帯状電極を有し、スキュー値を１．５に設定するようにしたものである。
【００１１】
〔３〕第１部材と第２部材とを具備し、該第１部材と第２部材はともに絶縁部材中に所定ピッチで３相の電極を埋め込んで構成される静電アクチュエータにおいて、前記第１部材は円筒体からなり、前記第２部材は前記円筒体の第１部材に対応して同心円状に配置される円筒体からなり、前記第１部材の電極は螺旋状電極を有し、前記第２部材の電極は前記第１部材の電極に対して傾斜する螺旋状電極を有し、スキュー値を１．５に設定するようにしたものである。
【００１２】
〔４〕上記〔１〕から〔３〕のうちいずれか１項記載の静電アクチュエータにおいて、電極は３相を除く多相とするようにしたものである。
【００１３】
〔５〕上記〔１〕記載の静電アクチュエータにおいて、１組の平板からなる静電アクチュエータを複数段に積層して、リニア駆動を行うようにしたものである。
【００１４】
〔６〕上記〔２〕記載の静電アクチュエータにおいて、１組の円板からなる静電アクチュエータを複数段に積層して、回転駆動を行うようにしたものである。
【００１５】
〔７〕上記〔３〕記載の静電アクチュエータにおいて、１組の円筒状の静電アクチュエータを複数段に積層して、リニア駆動を行うようにしたものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図を参照しながら詳細に説明する。
【００１７】
図１は本発明の原理を示す静電アクチュエータの構成図、図２はその静電アクチュエータのスキュー値と推力の関係を表す図である。
【００１８】
本発明は３相交流を逆順に接続する駆動方法を用いることにより、従来課題となっていた３相交流の位相変化に対する推力の変動を低減し、制御性の向上を図るものである。従来、固定子電極と移動子電極は平行な状態で駆動していたが、本発明ではこれを傾斜させた状態で駆動する。
【００１９】
この傾斜の決定にあたっては、電極の位置関係と３相交流の各電極への印加状況の全てにわたっての状態での推力とモーメントの解析によって行われる。この傾斜の表し方は、移動子の一本の電極に注目して、その電極の一方の端からもう一方の端までの間に固定子の電極をどれだけ跨がせるかを指標にすることで、電極の幅やピッチによらず相対的な位置関係を一様に表すことができる。この値をスキュー値と定義する。
【００２０】
解析の結果スキュー値が、１．５、４．３、７．４、１０．４、…（以降ほぼ３．０毎）の時に推力の変動が減少することが分かった。
【００２１】
また、スキュー値が、４．３、７．４、１０．４、１３．４、…（以降、ほぼ３．０毎）の時に、その傾斜付近で安定するようにモーメントが働くことがモーメントの解析で分かっている。
【００２２】
そこで、図１に示すように、固定子電極１と移動子電極２とに傾斜をつけて、配置したときの移動子の進行方向は、固定子軸線３と移動子軸線４とすると、Ａの方向である。また、スキュー値と推力の関係は図２に表されている。
【００２３】
図２において、横軸はスキュー値（Ｓｋｅｗ  Ｆａｃｔｏｒ）、左縦軸はモータの推力を示し、電極平行配置時の引上げ推力を１．０としている。右縦軸はモータの推力のリプル率（％）を示している。
【００２４】
図２において、ａはリプル率、ｂは推力の最大値、ｃは推力の最小値を示している。リプル率ａの小さいところが推力変動の小さいところである。推力の最小値ｃはスキュー値１．５の時は平行な時より大きな値をとる。推力の最小値ｃは常に発生させ得る最小限の力と言える。スキュー値が増えるに従い、安定傾斜点での推力の最小値は低下していく。これにより、スキュー値１．５の状態を利用することで推力変動が少なく、また、常に出せる力は最大値をとることができる。
【００２５】
安定傾斜点ではないスキュー値１．５を利用するには、Ｖ字もしくはへの字形の電極を利用することで実現できる。このスキュー値の時は平行電極の傾斜配置だけでは電極が平行になるようにモーメントが働いてしまう。このモーメントを打ち消すように線対称に電極を配置することで、スキュー値１．５で安定させることができる。
【００２６】
ここで、本発明の静電アクチュエータとしては、平板型のリニアモータ、円板型の回転モータ、円筒型のリニアモータなどとして実施することができる。
【００２７】
以下、それらのモータについて順を追って詳細に説明する。
【００２８】
図３は本発明の第１実施例を示す平板型の静電リニアモータの構成図であり、図３（ａ）はその静電リニアモータの移動子の平面図、図３（ｂ）はその静電リニアモータの固定子の平面図、図３（ｃ）はその静電リニアモータの固定子と移動子を重ね合わせた状態を示す拡大平面図である。
【００２９】
図３（ｂ）に示すように、第１部材としての平板からなる固定子１１は、絶縁部材１２中に等ピッチの３相の平行帯状電極１３を埋め込んで構成される。また、図３（ａ）に示すように、第２部材としての平板からなる移動子１４は、絶縁部材１５中に等ピッチの傾斜を有する３相の平行帯状電極１６を埋め込んで構成される。
【００３０】
そこで、図３（ｃ）に示すように、固定子１１上に移動子１４を重ね合わせると、３相の平行帯状電極１３に対して３相の平行帯状電極１６は傾斜（スキュー）することになる。
【００３１】
これにより、上記したように、静電リニアモータは、固定子と移動子の電極を平行に配置した時より推力変動の少ない滑らかなリニア駆動が得られる。
【００３２】
また、スキュー値が１．５の時には常に発生させ得る最低限の力が最大になる（図２参照）。
【００３３】
図４は本発明の第２実施例を示す平板型の静電リニアモータの構成図であり、図４（ａ）はその静電リニアモータの移動子の平面図、図４（ｂ）はその静電リニアモータの固定子の平面図、図４（ｃ）はその静電リニアモータの固定子と移動子を重ね合わせた状態を示す拡大平面図である。
【００３４】
図４（ｂ）に示すように、第１部材としての平板からなる固定子２１は、絶縁部材２２中に等ピッチの３相の平行帯状電極２３を埋め込んで構成される。また、図４（ａ）に示すように、第２部材としての平板からなる移動子２４は、絶縁部材２５中に、への字もしくはＶ形で等ピッチの３相の平行帯状電極２６を埋め込んで構成される。
【００３５】
そこで、図４（ｃ）に示すように、固定子２１上に移動子２４を重ね合わせると、３相の平行帯状電極２３に対して、３相の平行帯状電極２６は傾斜（スキュー）することになる。
【００３６】
図５は本発明の第３実施例を示す平板型の静電リニアモータの構成図である。
【００３７】
この実施例においては、固定子は図示していないが、図３及び図４と同様であり、第１部材としての固定子が、絶縁部材中に等ピッチの３相の平行帯状電極を埋め込んで構成される。
【００３８】
つまり、図５に示すように、第２部材としての平板からなる移動子３１は、絶縁部材３２中にＷ形で等ピッチの３相の平行帯状電極３３を埋め込んで構成される。
【００３９】
そこで、固定子上に移動子３１を重ね合わせると、固定子の平行帯状電極に対して、３相の平行帯状電極３３は傾斜（スキュー）することになる。
【００４０】
図６は本発明の第４実施例を示す平板型の静電リニアモータの構成図である。
【００４１】
この実施例においても、固定子は図示していないが、図３及び図４と同様であり、第１部材としての固定子が、絶縁部材中に等ピッチの３相の平行帯状電極を埋め込んで構成される。
【００４２】
つまり、図６に示すように、第２部材としての移動子３４は、絶縁部材３５中に直線部３６ａと、その両側に形成される山の形状部３６ｂ，３６ｃを形成する。
【００４３】
そこで、固定子上に移動子３４を重ね合わせると、固定子の平行帯状電極に対して、３相の平行帯状電極３６は傾斜（スキュー）することになる。すなわち、山の形状部３６ｂにスキュー部Ａ，Ｂ、山の形状部３６ｃにスキュー部Ｃ，Ｄが形成される。
【００４４】
図７は本発明の第５実施例を示す円板型の静電回転型モータの構成図であり、図７（ａ）はその静電回転型モータの移動子の平面図、図７（ｂ）はその静電回転型モータの固定子の平面図である。
【００４５】
図７（ｂ）に示すように、第１部材としての円板からなる固定子４１は、絶縁部材４２中に放射状で等ピッチの３相の帯状電極４３を埋め込んで構成される。また、図７（ａ）に示すように、第２部材としての円板からなる回転子４４が絶縁部材４５中に略放射状で等ピッチの傾斜を有する３相の帯状電極４６を埋め込んで構成される。
【００４６】
そこで、固定子４１上に回転子４４を重ね合わせると、３相の帯状電極４３に対して３相の帯状電極４６は傾斜（スキュー）することになる。
【００４７】
これにより、上記したように、静電リニアモータは、固定子と回転子の電極を平行に配置した時よりトルク変動の少ない滑らかな回転駆動が得られる。
【００４８】
また、スキュー値が１．５の時には常に発生させ得る最低限のトルクが最大になる（図２参照）。
【００４９】
なお、上記実施例では、第１部材としての固定子４１は円板として示したが、必ずしも円板でなくとも矩形板などでもよいことは言うまでもない。このことは、以下の実施例の円板回転型モータにおいても同様である。
【００５０】
図８は本発明の第６実施例を示す円板型の静電回転型モータの構成図であり、図８（ａ）はその静電回転型モータの回転子の平面図、図８（ｂ）はその静電回転型モータの固定子の平面図である。
【００５１】
図８（ｂ）に示すように、第１部材としての円板からなる固定子５１は、絶縁部材５２中に放射状で等ピッチの３相の帯状電極５３を埋め込んで構成される。また、図８（ａ）に示すように、第２部材としての円板からなる回転子５４は、絶縁部材５５中にへの字もしくはＶ形の放射状で等ピッチの３相の帯状電極５６を埋め込んで構成される。
【００５２】
そこで、固定子５１上に回転子５４を重ね合わせると、３相の帯状電極５３に対して３相の帯状電極５６は傾斜（スキュー）することになる。
【００５３】
図９は本発明の第７実施例を示す円板型の静電回転型モータの構成図であり、図９（ａ）はその静電回転型モータの回転子の平面図、図９（ｂ）はその静電回転型モータの固定子の平面図である。
【００５４】
図９（ｂ）に示すように、第１部材としての円板からなる固定子６１は、絶縁部材６２中に放射状で等ピッチの３相の帯状電極６３を埋め込んで構成される。また、図９（ａ）に示すように、第２部材としての円板からなる回転子６４が絶縁部材６５中にＷ形で等ピッチの３相の帯状電極６６を埋め込んで構成される。
【００５５】
そこで、固定子６１上に回転子６４を重ね合わせると、３相の帯状電極６３に対して３相の帯状電極６６は傾斜（スキュー）することになる。
【００５６】
図１０は本発明の第８実施例を示す円板型の静電回転型モータの構成図であり、図１０（ａ）はその静電回転型モータの回転子の平面図、図１０（ｂ）はその静電回転型モータの固定子の平面図である。
【００５７】
図１０（ｂ）に示すように、第１部材としての円板からなる固定子７１は、絶縁部材７２中に放射状で等ピッチの３相の帯状電極７３を埋め込んで構成される。また、図１０（ａ）に示すように、第２部材としての円板からなる回転子７４が絶縁部材７５中に波形からなる３相の帯状電極７６を埋め込んで構成される。
【００５８】
そこで、固定子７１上に回転子７４を重ね合わせると、３相の帯状電極７３に対して３相の帯状電極７６は傾斜（スキュー）することになる。
【００５９】
図１１は本発明の第９実施例を示す円板型の静電回転型モータの構成図であり、図１１（ａ）はその静電リニアモータの回転子の平面図、図１１（ｂ）はその静電リニアモータの固定子の平面図である。
【００６０】
図１１（ｂ）に示すように、第１部材としての円板からなる固定子８１は、絶縁部材８２中に放射状で等ピッチの３相の帯状電極８３を埋め込んで構成される。また、図１１（ａ）に示すように、第２部材としての円板からなる回転子８４が絶縁部材８５中に曲線状からなる３相の帯状電極８６を埋め込んで構成される。
【００６１】
そこで、固定子８１上に回転子８４を重ね合わせると、３相の帯状電極８３に対して３相の帯状電極８６は傾斜（スキュー）することになる。
【００６２】
なお、図６に対応するように、円板状の回転子の電極を形成する、つまり回転子の電極は、中央部分は直線部からなり、この直線部の両側に山の形状部からなる放射状帯状電極を有し、回転駆動を行うように構成してもよい。
【００６３】
図１２は本発明の第１０実施例を示す円筒型の静電リニアモータの構成図であり、図１２（ａ）はその静電リニアモータの回転子の斜視図、図１２（ｂ）はその静電リニアモータの固定子の斜視図である。
【００６４】
図１２（ｂ）に示すように、第１部材としての円筒体からなる固定子９１は、絶縁部材９２中に等ピッチの３相の螺旋状電極９３を埋め込んで構成される。また、図１２（ａ）に示すように、固定子９１の径より僅かに径が大きい円筒体からなる第２部材としての移動子９４が、絶縁部材９５中に螺旋状電極９３に対して傾斜を有する３相の螺旋状電極９６を埋め込んで構成される。
【００６５】
そこで、固定子９１上に移動子９４を重ね合わせると、３相の螺旋状電極９３に対して３相の螺旋状電極９６は傾斜（スキュー）することになる。
【００６６】
図１３は本発明の第１１実施例を示す円筒型の静電リニアモータの構成図であり、図１３（ａ）はその静電リニアモータの移動子の斜視図、図１３（ｂ）はその静電リニアモータの固定子の斜視図である。
【００６７】
図１３（ｂ）に示すように、第１部材としての円筒体からなる固定子１０１は、絶縁部材１０２中に等ピッチの３相の螺旋状電極１０３を埋め込んで構成される。また、図１３（ａ）に示すように、固定子１０１の径より僅かに径が大きい円筒体からなる第２部材としての移動子１０４が、絶縁部材１０５中に波形の３相の螺旋状電極１０６を埋め込んで構成される。
【００６８】
そこで、固定子１０１上に移動子１０４を重ね合わせると、３相の螺旋状電極１０３に対して３相の螺旋状電極１０６は傾斜（スキュー）することになる。
【００６９】
図１４は本発明の第１２実施例を示す平板積層型の静電リニアモータの構成図であり、上記した平板型の静電アクチュエータを積層した構造を有する。
【００７０】
図１４に示すように、上記した平板型の静電アクチュエータの固定子１１１上に、移動子１１２を少なくとも一部を重ね合わせて、それらの組を多段に積層する。
【００７１】
このように構成することにより、移動子１１２は、推力変動の少ない滑らかな、かつ高い推力を出力することができ、推力変動の少ない滑らかなリニア駆動を行うことができる。
【００７２】
図１５は本発明の第１３実施例を示す円板積層型の静電回転型モータの構成図であり、上記した円板型の静電アクチュエータを積層した構造を有する。
【００７３】
図１５に示すように、上記した円板型の静電アクチュエータにおける固定子１２１上に回転子１２２を少なくとも一部を重ね合わせて、それらの組を多段に積層する。
【００７４】
このように構成することにより、トルク変動の少ない滑らかな、かつ高い回転トルクを出力することができる。
【００７５】
なお、この第１３実施例においては、固定子１２１は円板でなく矩形をしているが、円形やその他の形状であってもよい。
【００７６】
図１６は本発明の第１４実施例を示す円筒積層型の静電リニアモータの構成図であり、円筒型の静電アクチュエータを積層した構造を有する。
【００７７】
図１６に示すように、円筒型の静電アクチュエータにおける固定子１３１上に移動子１３２を少なくとも一部を重ね合わせて、それらの組を多段に積層する。
【００７８】
このように構成することにより、移動子１３２は、推力変動の少ない滑らかな、かつ高いトルクを出力可能な静電リニアモータを得ることができる。
【００７９】
なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能であり、それらを本発明の範囲から排除するものではない。
【００８０】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、以下のような効果を奏することができる。
【００８１】
（１）請求項１記載の発明によれば、静電アクチュエータを構成する平板からなる移動子と固定子の一方のＷ型の形状部からなる特定の傾斜（スキュー）を持たせることにより、移動子と固定子との位置関係によるリニア駆動における推力の変動を低減し、制御性の向上を図ることができる。
【００８２】
（２）請求項２記載の発明によれば、静電アクチュエータを構成する円板からなる移動子と固定子の電極間に特定の傾斜（スキュー）を持たせることにより、移動子と固定子との位置関係による回転駆動における推力の変動を低減し、制御性の向上を図ることができる。
【００８３】
（３）請求項３記載の発明によれば、静電アクチュエータを構成する円筒体からなる固定子と円筒体からなる移動子の一方に他方の電極と交差する螺旋状電極を設け、特定の傾斜（スキュー）を持たせることにより、移動子と固定子との位置関係によるリニア駆動における推力の変動を低減し、制御性の向上を図ることができる。
【００８４】
（４）請求項４記載の発明によれば、電極に印加する交流を３相に代えて３相を除く多相によって駆動することにより、推力の変動を低減し、制御性の向上を図ることができる。
【００８５】
（５）請求項５記載の発明によれば、各段における平板からなる静電アクチュエータの推力の変動を低減し、制御性の向上を図り得る高出力のリニア駆動型の静電アクチュエータを提供することができる。
【００８６】
（６）請求項６記載の発明によれば、各段における円板からなる静電アクチュエータのトルクの変動を低減し、制御性の向上を図り得る高出力の回転駆動型の静電アクチュエータを提供することができる。
【００８７】
（７）請求項７記載の発明によれば、各段における円筒状静電アクチュエータの推力の変動を低減し、制御性の向上を図り得る高出力のリニア駆動型の静電アクチュエータを提供することができる。
【００８８】
このように、本発明によれば、推力乃至はトルクの変動を低減し、推力リプル乃至はトルクリプルの少ない静電アクチュエータを得ることができ、構成が簡単であるにもかかわらず、その効果は著大である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の原理を示す静電アクチュエータの構成図である。
【図２】  本発明の静電アクチュエータのスキュー値と推力の関係を表す図である。
【図３】  本発明の第１実施例を示す平板型の静電リニアモータの構成図である。
【図４】  本発明の第２実施例を示す平板型の静電リニアモータの構成図である。
【図５】  本発明の第３実施例を示す平板型の静電リニアモータの構成図である。
【図６】  本発明の第４実施例を示す平板型の静電リニアモータの構成図である。
【図７】  本発明の第５実施例を示す円板型の静電回転型モータの構成図である。
【図８】  本発明の第６実施例を示す円板型の静電回転型モータの構成図である。
【図９】  本発明の第７実施例を示す円板型の静電回転型モータの構成図である。
【図１０】  本発明の第８実施例を示す円板型の静電回転型モータの構成図である。
【図１１】  本発明の第９実施例を示す円板型の静電回転型モータの構成図である。
【図１２】  本発明の第１０実施例を示す円筒型の静電リニアモータの構成図である。
【図１３】  本発明の第１１実施例を示す円筒型の静電リニアモータの構成図である。
【図１４】  本発明の第１２実施例を示す平板積層型の静電リニアモータの構成図である。
【図１５】  本発明の第１３実施例を示す円板積層型の静電回転型モータの構成図である。
【図１６】  本発明の第１４実施例を示す円筒積層型の静電リニアモータの構成図である。
【図１７】  従来の静電アクチュエータの構成図である。
【図１８】  従来の静電アクチュエータの電極を示す斜視図である。
【図１９】  従来の静電アクチュエータの移動子の位置変化を示す図である。
【符号の説明】
１    固定子電極
２    移動子電極
３    固定子軸線
４    移動子軸線
１１，２１，４１，５１，６１，７１，８１，９１，１０１，１１１，１２１，１３１    固定子
１２，１５，２２，２５，３２，３５，４２，４５，５２，５５，６２，６５，７２，７５，８２，８５，９２，９５，１０２，１０５    絶縁部材
１３，１６，２３，２６，３３，３６    ３相の平行帯状電極
１４，２４，３１，３４，９４，１０４，１１２，１３２    移動子
４４，５４，６４，７４，８４，１２２    回転子
３６ａ    直線部
３６ｂ，３６ｃ    山の形状部
４３，４６，５３，５６，６３，６６，７３，７６，８３，８６    ３相の帯状電極
９３，９６，１０３，１０６    ３相の螺旋状電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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