(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学素子と、前記光学素子を保持する保持部と、前記保持部の両側に固着され、前記光学素子を第１の軸まわりに回転可能に支持する２つの支持部材と、前記支持部材の他端側が固着されるベースと、前記光学素子を前記第１の軸まわりに回転させる駆動手段と、を有する光路偏向装置において、
前記２つの支持部材は、互いに同一形状であって、
前記光学素子における光の入射する面にほぼ垂直であって前記第１の軸に平行な平面内にて延在し、前記２つの支持部材の中間で、前記第１の軸及び前記平面に垂直な第２の軸を中心とする回転対称形状になるように、かつ、
前記２つの支持部材の個々の支持部材は、前記第１の軸を境に非対称形状になるように、前記保持部の側面にそれぞれ固着されていることを特徴とする光路偏向装置。
【請求項２】
光学素子と、前記光学素子を保持する保持部と、前記保持部の両側にそれぞれ固着され、前記光学素子を第１の軸まわりに回転可能に支持する２つの支持部材と、前記支持部材の他端側が固着されるベースと、前記光学素子を前記第１の軸まわりに回転させる駆動手段と、を有する光路偏向装置において、
前記２つの支持部材は、互いに同一形状であり、
前記第１の軸及び第１の軸と直交する第２の軸を含む平面内にて延在し、前記平面上に位置し、前記第１の軸上における前記２つの支持部材の中間で、前記第２の軸と平行な第３の軸を中心とする線対称形状になるように、かつ、
前記２つの支持部材の個々の支持部材は、前記第１の軸を境に非対称形状になるように、前記保持部の側面にそれぞれ固着されていることを特徴とする光路偏向装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば、光磁気ディスクドライブ、追記型ディスクドライブ、相変化型ディスクドライブ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、光カード等の光記録媒体に対して情報を記録および／または再生する情報記録再生装置や、光スキャナー等の光学装置に使用する光束の方向を制御する光路偏向装置（ミラー式偏向装置）に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光磁気ディスクドライブ、追記型ディスクドライブ、相変化型ディスクドライブ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、光カード等の光記録媒体に対して情報を記録および／または再生する情報記録再生装置等の光学装置や光スキャナー等の光学装置においては、光束を傾けるためにガルバノミラー等の光路偏向装置が使用される。光路偏向装置としては、例えば、特開平７−７２４０９号公報において開示されているようなものが提案されている。図９，図１０（９図の一部をＺ方向から見た参考図）は、前記公報に開示されている光路偏向装置を示したものである。
【０００３】
駆動手段は静電型シコリンねじり振動子であり、シリコン振動子１００は可動板１０１とスパンバウンド１０２と枠１０３からなり、厚さ０．３mmのシリコンからエッチングにより一体成形している。可動板１０１、スパンバウンド１０２の厚さは２０μm であり、シリコン振動子１００は電極を形成したガラス基板１０４にスペーサ１０５を挟んで接着構成されている。
ここではＸＹＺの座標を図９に示すように設定し、可動板１０１が回転する際の軸Ｃに平行な方向をＸ軸とし、可動板１０１の反射面上にＸＹ平面をとっている。そして、可動板１０１は回転する際、軸Ｃを中心に回転する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
図９に示す装置においては、スパンバウンド１０２は可動板１０１が回転する際の軸Ｃに平行な方向の両側に２組配置されている。このスパンバウンド１０２は図１０に示すようにコの字を２つ連結したような形状であり、１つのスパンバウンド１０２はその厚み方向（Ｚ方向）から見て軸Ｃを含むＸＺ平面に対して非対称な形状である。
そのため１つのスパンバウンド１０２は、これを構成している屈曲した１本１本のバネ定数の違い、スパンバウンド１０２に付着させるダンピング材の作用具合等によってＸＺ平面に対してＹ方向の剛性、変形態様が異なってしまう。
【０００５】
また、２つのスパンバウンド１０２を見ると同じ形状であるが、軸Ｃに垂直なＹＺ平面に対して非対称に配置されている。
そのため、可動板１０１を回転したときに実際に回転する際の軸Ｃ′は、前記軸Ｃに対して図１０に示すようにＺ軸回りに傾いてしまいやすい。可動板１０１が傾くと可動板１０１による反射光は所望の方向であるθｘ方向だけでなく、それと直交するθｙ方向に傾いてしまう量が増えてくる欠点を有する。また、可動板１０１の回転の際Ｙ軸回りに回転する振動モードが存在するので、可動板１０１がθｙ方向に傾くとこの振動モードが誘起され易い欠点もある。
【０００６】
本発明は、こうした問題点に着目してなされたもので、所望の方向と異なる方向の傾きの少ない光路偏向装置を提供することを目的とする。言いかえれば光学素子の前記Ｚ軸回りは、エラーとならないような光路偏向装置とすることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記目的を達成するため、
１．光学素子と、前記光学素子を保持する保持部と、前記保持部の両側に固着され、前記光学素子を第１の軸まわりに回転可能に支持する２つの支持部材と、前記支持部材の他端側が固着されるベースと、前記光学素子を前記第１の軸まわりに回転させる駆動手段と、を有する光路偏向装置において、
前記２つの支持部材は、互いに同一形状であって、
前記光学素子における光の入射する面にほぼ垂直であって前記第１の軸に平行な平面内にて延在し、前記２つの支持部材の中間で、前記第１の軸及び前記平面に垂直な第２の軸を中心とする回転対称形状になるように、かつ、
前記２つの支持部材の個々の支持部材は、前記第１の軸を境に非対称形状になるように、前記保持部の側面にそれぞれ固着した。
２．  光学素子と、前記光学素子を保持する保持部と、前記保持部の両側にそれぞれ固着され、前記光学素子を第１の軸まわりに回転可能に支持する２つの支持部材と、前記支持部材の他端側が固着されるベースと、前記光学素子を前記第１の軸まわりに回転させる駆動手段と、を有する光路偏向装置において、
前記２つの支持部材は、互いに同一形状であり、
前記第１の軸及び第１の軸と直交する第２の軸を含む平面内にて延在し、前記平面上に位置し、前記第１の軸上における前記２つの支持部材の中間で、前記第２の軸と平行な第３の軸を中心とする線対称形状になるように、かつ、
前記２つの支持部材の個々の支持部材は、前記第１の軸を境に非対称形状になるように、前記保持部の側面にそれぞれ固着した。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を詳細に説明していく。図１〜図６は、請求項１の実施形態を示したもので、光磁気ディスクを記録媒体とする情報記録再生装置の光ピックアップ装置に本発明の光路偏向装置を適用した例を示している。
図１は、光ピックアップ装置の光学素子の配置関係を示した斜視図である。光源であるレーザダイオード１から出射した光は、出射方向に位置するビームスプリッタ２の表面で一部の光が反射され、反射方向に位置するコリメートレンズ３に入射し平行光にされる。その透過光は、光進行方向に位置するミラー４で反射され、さらに反射方向に位置するミラー５（光学素子）で反射され反射方向に位置する対物レンズ６に入射する。対物レンズ６で集光された光は、光磁気ディスク７の記録面８に光スポットを結ぶ。２０は光軸を示している。
【０００９】
光磁気ディスク７の記録面８で反射した反射光は、対物レンズ６に入射しミラー５、ミラー４、コリメートレンズ３を経て光透過方向に位置するビームスプリッタ２に至る。ビームスプリッタ２を透過した光はフォトディテクター９に入射する。そして、フォトディテクター９の出力により情報再生信号、フォーカシングエラー信号、トラッキングエラー信号を得ることができるようになっている。ミラー４は、図示していない駆動機構により駆動可能なガルバノミラー１５（光路偏向装置）の構成部材であり、ＸＹＺの座標を図示のように設定する。つまり、ミラー４の反射面４ａ（光の入射する面）上にＸＹ平面をとり、ＸＹ平面に垂直な方向をＺとする。原点はミラー４に入射する光の光軸位置とし、ガルバノミラー１５はＸ軸に平行な軸回りに回転するようになっている。
なお、ミラー４は、ガラスの平板ミラーであり、反射面４ａは反射コートをされ反射率を高くされている。
【００１０】
前記対物レンズ６と反射ミラー５は一体で、ディスク７の半径方向（矢印Ｗ方向）に駆動されるように支持され、その他の光学素子は固定されている。いわゆる分離光学系である。
また図示されていないが、対物レンズ６にはディスク７に対して垂直方向に支持駆動する焦点制御機構が設けられている。さらに、対物レンズ６と反射ミラー５にはこれらを一体でディスク７の半径方向に支持駆動するアクセス制御機構が設けられている。これらの機構については従来より種々提案されている（例えば特開平７−１５３０８５）ので説明を省略する。
【００１１】
図２はガルバノミラー１５の詳細を示した斜視図であり、図３はマグネットを除いたガルバノミラー１５の構成部材の分解斜視図である。ホルダー１１はＬＣＰ，ＰＰＳ，ＰＥＩ，ＰＣ等の非導電性プラスチックで成形されており、略四角な枠状の形状をしている。このホルダー１１に支持されるミラー４はホルダー１１の上面１１ａにミラー外周の４面を基準にして接着固定される。
このミラー４の外周を取り囲むような位置に、４角に巻回されたコイル１０がホルダー１１の立ち上がり部１１ｅに接着固定される。したがって、ミラー４とコイル１０は直接接触しないで、間にホルダー１１の立ち上がり部１１ｅを介して位置するようになっている。
【００１２】
前記ミラー４、コイル１０を有する可動部１４を回転可能に支持する支持部材である２枚のバネ１２（１２−１，１２−２）は、ベリリウム銅の厚さ０．０５mmの薄板をエッチング加工して形成されている。なお、バネ形状は１２−１と１２−２は同一の形状であり、共通の部材である。バネ両端には、固定部１２ａ，１２ｂが形成され、その間はバネ部１２ｅで連結されている。このバネ部１２ｅにはＹ方向から見ると、中央部が略Ｕ字状のＵ字状部１２ｅ−１と、その両端にＸ軸に平行な平行部１２ｅ−２が形成されている。
なお、バネ部１２ｅの幅は０．１mm程度としてある。また、バネ部１２ｅの表面には硬化したシリコーンゲルを付着させバネ部１２ｅの振動を抑制している。
【００１３】
バネ１２と可動部１４との連結は、バネ１２の固定部１２ａに形成された孔１２ｃに、ホルダー１１のＸ方向両側に立ち上げ形成された固定部１１ｂに形成されたボス１１ｃを嵌合させて位置決めし接着固定して行う。
一方、バネ１２と後述するベース１３との連結は、バネ１２の他方の固定部１２ｂに形成された孔１２ｄに、ベース１３のＸ方向両端に立ち上げ形成された固定部１３ｂに形成されたボス１３ｃを嵌合させて位置決めし接着固定して行う。
【００１４】
２枚のバネ１２−１，１２−２のそれぞれの形状は、バネの厚み方向であるＹ方向（２枚のバネを左右に見る方向）からみて（図４参照）、回転する際の軸Ｃ（第１の軸）に対して非対称な形状になるように可動部１４の側面に固着されている。例えば、バネ１２−１では軸Ｃに対してバネ部１２ｅが下側に位置しており、軸Ｃに対して非対称な形状になっている。
【００１５】
また、バネ１２−１，１２−２は、ＸＺ平面に延在するように可動部に固着されている。そして、２枚のバネ１２−１，１２−２のそれぞれのバネ部１２ｅは、バネ１２−１，１２−２の中間で、ＸＺ平面と軸Ｃとに垂直な軸（図４において点Ｇを含むＹ軸と平行な軸）に対して回転対称形状になるように配設されている。つまり、２枚のバネ１２−１，１２−２のそれぞれのバネ部１２ｅは、軸Ｃに対して垂直な平面であるＹＺ面に対して鏡対称な形状に配置されていない。
【００１６】
次に、ベース１３はＬＣＰ，ＰＰＳ，ＰＥＩ，ＰＣ等の非導電性プラスチックで形成されている。この場合、温度による膨張率を同じにしバネ１１の変形を防ぐためにホルダー１１とベース１３は同じ材質、同程度の線膨張率を有する材質の方がよい。ベース１３の中央部には組み立て用の孔１３ｄが開けられている。
ベース１３のＹ方向両端の取り付け部１３ａには、背面にヨーク１７を固定されたマグネット１６が接着されている。２つのマグネット１６は図２のように異極が向かい合うように着磁されており、マグネット１６はコイル１０のＹ方向側の辺に向かい合うように位置している。
【００１７】
以上のミラー４、コイル１０、ホルダー１１、バネ１２の固定部１２ａで可動部１４が構成される。そして、２つのバネ１２のＸ軸に平行な４箇所の部分１２ｅ−２は、軸Ｃ上に並んでおり、この軸Ｃは可動部１４が回転するときの回転中心軸となる。
また、Ｙ方向から見て軸Ｃ上に可動部１４の重心Ｇが位置し、可動部１４の慣性主軸が軸Ｃに一致するように構成してある。したがって、可動部１４は軸Ｃに関して、静バランスと動バランスがとれているようになっている。さらに、コイル１０の力が発生する２辺１０ａの中心が軸Ｃの上にあり、２辺１０ａの中心とマグネット１６の中心が一致している。つまり、２辺１０ａに発生する回転トルクの中心は軸Ｃの上にあり、軸Ｃに対して駆動バランスがとれるようになっている。
【００１８】
ここで、図４、図５にしたがいバネ１２の組立について説明する。先ず、バネ１２の固定部１２ａ，１２ｂをホルダー１１とベース１３に固定するには、図５に示すような組立ジグを用いる。組立ジグは、固定ピン２１の先端面２１ａに第１の段差部２１ｂが形成され、この第１の段差部２１ｂの先端面２１ｃに第２の段差部２１ｄが形成され、２段の段差がつけられている。
そこで、図４に示すように固定ピン２１の先端面２１ａにベース１３の底面を当てつけ、段差部２１ｂをベースの孔１３ｄに嵌合させ、固定ピン２１に対してベース１３を位置決めする。この場合、図示しないピンによりベース１３が固定ピン２１に押圧される。
【００１９】
次に、ミラー４をホルダー１１に接着固定したものを、固定ピン２１の第２の段差部２１ｄにミラー４の背面を当てつけ、先端部２１ｃをホルダー１１の孔１１ｄに嵌合させることにより、固定ピン２１に対してホルダー１１とミラー４を位置決めする。この場合、ミラー４の反射面４ａは、ピン２２により固定ピン２１側に押される。なおピン２２の先端は凹形成されており、ミラー４の反射面４ａの光束が当たる有効部にピン２２の先端が当たり汚れることを防止している。
こうして、ベース１３とホルダー１１、ミラー４との相対位置が決まる。この状態でバネ１２の固定部１２ａをホルダー１１の固定部１１ｂ（図４では見えない）に、バネ１２の固定部１２ｂをベース１３の固定部１３ｂ（図４では見えない）に、それぞれの孔をボスに嵌合させ取り付け接着固定する。
その後、コイル１０の２本の端末を前記２つの固定部１２ａに１本ずつ半田付けし、ピン２２を外し固定ピン２１からベース１３とホルダー１１を外すと、ガルバノミラー１５が構成される。
【００２０】
このように可動部１４をベース１３に組み付けるとき、ミラー４を位置決めに使用したのでベース１３に対するミラー４の位置と傾きの精度がよい。なお、ミラー４の反射面４ａを前記実施例とは反対側の面とし、ベース１３の孔１３ｄから光束をミラー４に入射するように構成することもできる。そして、図５の組立ジグを用いると、ベース１３とミラー４の反射面の位置と傾きの精度がさらに向上する。
また、ベース１３に孔１３ｄをあけて可動部１４を位置決めするピン２１ｂを通すようにしたので、固定ピン２１のスペースが小さくバネ１２の取り付け作業が容易になる。さらに、１本の固定ピン２１でベース１３と可動部１４を位置決めするのでベースと可動部の精度を容易にだせる。
【００２１】
次に図６にしたがい、本発明のガルバノミラー１５の作用を説明する。ガルバノミラー１５の外部の駆動回路から支持部材である２つのバネ１２を介してコイル１０に電流を供給する。
コイル１０に電流を流すと、マグネット１６に向かい合ったコイル１０の２辺１０ａ，１０ａにＺ方向で逆向きの力が発生し、可動部１４をＸ軸回りに回転させる。そのときの回転軸Ｘ軸は、ほぼ軸Ｃと平行である。こうしてガルバノミラー１５によりミラー４がＸ軸に平行な軸Ｃ回りに回転すると、ミラー４の反射光が傾き対物レンズ６に入射する光も傾く。すると、ディスク７上の光スポットがディスク７の記録面８上に形成された記録トラックに対してディスク７の半径方向（Ｗ方向）に移動し、トラッキング動作を行える（図１）。
【００２２】
前記のように可動部１４は軸Ｃに対して、軸Ｃの回りの静バランスと動バランスがとれるように構成されている。またコイル１０の力が発生する２辺１０ａの中心が、軸Ｃの上にある。つまり、２辺１０ａに発生する回転トルクの中心は軸Ｃの上にあり、軸Ｃに関して駆動バランスがとれている。
そのため、可動部１４を回転したときに回転する軸が、軸Ｃとずれたり、傾いたりすることがなく良好な駆動特性を得られる。また、可動部１４が軸Ｃの回りに回転する振動モード以外の振動モード、例えば可動部１４がＺ方向に移動する振動モード等が生じにくくなる。
【００２３】
また、２枚のバネの形状及びその配置を前述したようにしたので、２枚のバネ１２−１，１２−２の変形はＹＺ面に関して非対称になりやすく、ミラー４を傾けたときの実際に回転する際の軸Ｃ′は図４に示すように軸ＣからＹ軸回りに傾いた方向になる。従って、ミラー４は所望の回転方向であるＸ軸に平行な軸Ｃ回りの回転だけでなく、所望の方向ではないそれと直交するＺ軸回りの回転成分も有することになる。
ところが、Ｚ軸はミラー４の反射面４ａに対して垂直方向であるので、反射面４ａがＺ軸回りに傾いても反射面４ａに平行に回転するだけなので反射光は傾かない。つまり、ミラー４のＺ軸回りはエラーとならないのである。
【００２４】
このように、ガルバノミラー１５のミラー４を傾けた時に、対物レンズ６の光スポットはトラッキング方向にのみ移動し、それと直交するタンジェンシャル方向に移動しない。仮に光スポットがタンジェンシャル方向に移動してしまうと、信号にジッター成分が増え正確な記録再生が行えなくなるのである。
この点、本実施の形態では、信号にジッター成分が増えず正確な記録再生を行える。
【００２５】
また、Ｙ軸回りに回転する可動部の振動モードが存在するが、この振動モードが誘起されない。
また、支持部材であるバネをコイルの側面に配設したので、支持部材の回転中心軸とコイルに発生する力の中心を一致させることができ、共振の少ない良好な応答特性が得られる。
【００２６】
また、ミラーとコイルは直接接触しないで、その間にホルダーの一部が位置するようになっているため、ホルダーが断熱材となりコイルに電流を流したときの発熱がミラーに伝わりにくくなり、ミラーがコイルの熱により変形して対物レンズの光スポットの収差が大きくなるのを防ぐ。
また、ミラーの周囲をコイルが囲むように配設したので、ミラーをコイルで補強するような構成となり、可動部の剛性が高くなる。
【００２７】
また、可動部をベースに組み付けるとき、ミラーを位置決めに使用したので、ベースに対するミラーの位置と傾きの精度がよい。また、ミラーの反射面を実施例とは反対側の面としベースの孔から光束をミラーに入射するように構成してもよく、この場合前記の組立ジグを用いると、ベースとミラーの反射面の位置と傾きの精度がさらによくなる。
【００２８】
また、ベースに孔をあけて可動部を位置決めするピンを通すようにしたので治具のスペースが小さくバネの取り付け作業が容易になる。
さらに、１本のピンでベースと可動部を位置決めするのでベースと可動部の精度を容易に出せる。
【００２９】
なお、本実施の形態は以上の構成に限定されるものではなく、例えば本実施の形態ではバネの厚み方向を正確にミラー反射面に平行に配設したが、バネの厚み方向をミラー反射面に対して４５度以下程度に設定してもミラーの所望方向以外の回転を小さくできる。
また、バネの形状は互いに同一形状であって、Ｙ軸方向から見て左右のバネ形状が回転対称形状であれば任意の形状でよい。
【００３０】
図７，８は、請求項２の発明の実施形態を示したもので、請求項１の実施形態の変形例に相当する。請求項１の実施形態と同機能部位は同付番とし説明部以外は全て請求項１の実施形態と同様である。
本実施の形態の構成上の特徴は、請求項１の実施形態に比較しバネの形状と、バネのミラーに対する配置の角度が異なっている点である。
【００３１】
先ずバネの形状であるが、２枚のバネ１２（１２−１，１２−２）（支持部材）は、ベリリウム銅の厚さ０．０５mmの薄板をエッチング加工してあり、互いに同一形状の部材である。両端には固定部１２ａ，１２ｂが形成され、その間はバネ部１２ｅで連結されている。バネ部１２ｅはＺ方向から見て２つの略Ｕ字状部を連結した略Ｓ字形状としてある。そして、バネ部１２ｅの周囲には硬化したシリコーンゲルが付着され、バネ部１２ｅの振動を抑制するようになっている。
また、バネ１２−１，１２−２のそれぞれの形状は、バネの厚み方向であるＺ方向からみて軸Ｃ（第１の軸）を含む面であるＸＺ平面に対して非対称な形状としている。
【００３２】
また、バネ１２−１，１２−２はＸＹ面（ミラー反射面）に平行で軸Ｃを含む平面内に延在するように配設されている。さらに、２枚のバネ１２−１，１２−２は、軸Ｃの軸上における２枚のバネ１２−１，１２−２の中間で軸Ｃに直交する軸、すなわちＹ軸に関し線対称形状になるよう配設されている。
また、２枚のバネ１２−１，１２−２はＹＺ平面に関して面対称形状になるように配設されている。
【００３３】
本実施の形態は、前記のように２枚のバネ１２（１２−１，１２−２）を構成しているので、２枚のバネ１２−１，１２−２の変形はＸＺ面に関して非対称になりやすい。しかし、Ｙ軸に関し線対称形状に配設してあるので、ミラー４（光学素子）を傾けたとき実際に回転する際の軸Ｃ′は、図８に示すように軸ＣからＹ方向に平行に移動した軸Ｃ′になる。このミラー反射面４ａ上の光スポットの平行移動によっては反射光は傾かず、ミラー４は所望の回転方向であるＸ軸に平行な軸Ｃ′回りに傾くだけで、Ｙ軸Ｚ軸回りには傾かない。また、２枚のバネ１２−１，１２−２はＹＺ面に関しても面対称になるように配設されているため、前述した作用と同様の作用によりＹ軸Ｚ軸まわりには傾かない。
【００３４】
そのため、ガルバノミラー１５のミラー４を傾けた時に、対物レンズの光スポットはトラッキング方向にのみ移動し、それと直交するタンジエンシャル方向に移動しない。仮に、光スポットがタンジェンシャル方向に移動すると、信号にジッター成分が増え正確な記録再生が行えないが、本実施の形態では信号にジッター成分が増えず正確な記録再生が行えるのである。
また、バネ１２の固定部１２ａ，１２ｂはバネ部１２ｅに対して軸Ｃの方向ではなく、それと直交するＹ方向に位置している。そのため、バネ１２の固定部１２ａ，１２ｂによりガルバノミラー１５がミラー４の軸Ｃ方向に大きくなることを防止している。
【００３５】
なお、本実施の形態は以上の構成に限定されるものではなく、例えば本実施の形態ではバネの厚み方向はＺ方向としているが、Ｙ方向でも、Ｙ方向とＺ方向の中間の角度であってももよい。つまり、本実施の形態のようにミラー面に対して垂直なＹＺ面に対して２つのバネを面対称になるように配置し、さらに９０度Ｘ軸回りにバネを回転させて配設し、第１実施の形態のようにバネの厚み方向をＹ方向に向けてもよい。
【００３６】
さらに、各実施の形態に共通の変形例について述べると、光学素子として平板状のミラーへの適用を説明したが、凹面ミラー、ホログラム、プリズム等他の光学素子を回転、傾き駆動する装置に適用してもよい。また、駆動する光学素子は１つに限らず複数であってもよい。
また、ガルバノミラーのミラーと保持部材はプラスチック、ガラス等で一体成形されていてもよい。このように構成すると部品点数が少なくなり、位置精度がよくなる利点がある。  また、支持部材上にミラー面を形成してもよい。
また、光ディスク以外のスキャナー等に用いるガルバノミラーに適用してもよい。
また、ミラーを駆動する手段は、ムービングマグネット、静電駆動等任意に選択すればよい。
また、バネの材質は金属に限らず、シリコーン、プラスチック等任意に選択すればよい。
また、請求項１の実施形態のバネを請求項２の実施形態のバネのように配設してもよい。
【００３７】
以上の実施の形態に記載された内容は、以下の発明としても捉えることができる。
１．光学素子と、前記光学素子を保持する保持部と、前記保持部の両側に固着され、前記光学素子を第１の軸まわりに回転可能に支持する２つの支持部材と、前記支持部材の他端側が固着されるベースと、前記光学素子を前記第１の軸まわりに回転させる駆動手段と、を有する光路偏向装置において、
前記２つの支持部材は、互いに同一形状であって、
前記光学素子における光の入射する面にほぼ垂直であって前記第１の軸に平行な平面内にて延在し、前記２つの支持部材の中間で、前記第１の軸及び前記平面に垂直な第２の軸を中心とする回転対称形状になるように、かつ、
前記２つの支持部材の個々の支持部材は、前記第１の軸を境に非対称形状になるように、前記保持部の側面にそれぞれ固着されていることを特徴とする光路偏向装置。
第１項によれば、第１の軸まわりに可動部を回動することができ、光学素子を傾けることができる。なお、第１の軸及び第２の軸と直交する軸まわりにも光学素子は傾いてしまうが、この軸まわりの回動は光学素子の光学特性に影響を及ぼすことがない。例えば、第１の実施形態で説明したようにミラーは軸Ｃまわり以外にもＺ軸まわりに回動してしまうが、Ｚ軸はミラー反射面に垂直であるので、ミラー反射面がＺ軸まわりに傾いてもミラー反射面による反射光は傾かず影響を受けない。
そのため、対物レンズの光スポットはトラッキング方向にのみ移動し、それと直交するタンジェンシャル方向に移動せず信号にジッター成分が増えず正確な記録再生が行える。また、Ｙ軸回りに回転する可動部の振動モードが存在するが、この振動モードが誘起されないという効果を奏する。
【００３８】
２．前記支持部材の個々の形状はＵ字状に形成したことを特徴とする第１項の光路偏向装置。
第２項によれば、支持部材の変形部をＵ字状に屈曲させたため、支持部材の変形部が直線状のものに比べて支持部材の外形状を小さくでき、光路偏向装置を小型にできる。
【００３９】
３．光学素子と、前記光学素子を保持する保持部と、前記保持部の両側にそれぞれ固着され、前記光学素子を第１の軸まわりに回転可能に支持する２つの支持部材と、前記支持部材の他端側が固着されるベースと、前記光学素子を前記第１の軸まわりに回転させる駆動手段と、を有する光路偏向装置において、
前記２つの支持部材は、互いに同一形状であって、
前記第１の軸及び第１の軸と直交する第２の軸を含む平面内にて延在し、前記平面上に位置し、前記第１の軸上における前記２つの支持部材の中間で、前記第２の軸と平行な第３の軸を中心とする軸対称形状になるように、かつ、
前記２つの支持部材の個々の支持部材は、前記第１の軸を境に非対称形状になるように、前記保持部の側面にそれぞれ固着されていることを特徴とする光路偏向装置。
第３項によれば、第１の軸と平行な軸まわりに可動部を回動することができ、光学素子を傾けることができる。例えば、第２の実施形態で説明したように、ミラーは軸Ｃと平行な軸Ｃ′まわりに回動する。つまり、光ディスクの記録再生装置の光スポットのトラッキング制御に使用した場合、対物レンズの光スポットはトラッキング方向にのみ移動し、それと直交するタンジエンシャル方向に移動しない。したがって、信号にジッター成分が増えず正確な記録再生が行えるという効果を奏する。
【００４０】
４．前記支持部材の個々の形状はＳ字状に形成したことを特徴とする第３項の光路偏向装置。
第４項によれば、支持部材の変形部をＳ字状に屈曲させたため、支持部材の変形部が直線状のものに比べ、支持部材の支持部分の有効長さを長くとれるにもかかわらず支持部材の外形状を小さくでき、光路偏向装置を小型にできる。
【００４１】
５．光学素子と、
前記光学素子を保持する保持部と、
前記保持部の両側にそれぞれ固着され、前記光学素子を第１の軸まわりに回転可能に支持する２つの支持部材と、
前記支持部材の他端側が固着されるベースと、
前記光学素子を前記軸まわりに回転させる駆動手段と、
を有する光路偏向装置において、
前記２つの支持部材は、互いに同一形状であり、
前記第１の軸及び該第１の軸と直交する第２の軸を含む第１の平面（ＸＹ面）内にて延在し、前記第１の軸上における前記２つの支持部材の中間で、前記第１の軸に直交する第２の平面（ＹＺ面）に関し面対称形状になるように、かつ、
前記２の支持部材の個々の支持部材は、前記第１の軸を境に非対称形状になるように、前記保持部の側面にそれぞれ固着されていることを特徴とする光路偏向装置。
【００４２】
６．光学素子と、
前記光学素子を保持する保持部と、
前記保持部の両側にそれぞれ固着され、前記光学素子を第１の軸まわりに回転可能に支持する２つの支持部材と、
前記支持部材の他端側が固着されるベースと、
前記光学素子を前記軸まわりに回転させる駆動手段と、
を有する光路偏向装置において、
前記２つの支持部材は、互いに同一形状であり、
前記光学素子における光の入射される面とほぼ平行であって、前記２つの支持部材が前記保持部の両側に位置するように見える方向から見たとき、前記２つの支持部材は互いに点対称形状になるように、かつ、個々の支持部材は前記第１の軸に対し非対称形状となるように、前記保持部の側面に固着されていることを特徴とする光路偏向装置。
【００４３】
７．光学素子と、
前記光学素子を保持する保持部と、
前記保持部の両側にそれぞれ固着され、前記光学素子を第１の軸まわりに回転可能に支持する２つの支持部材と、
前記支持部材の他端側が固着されるペースと、
前記光学素子を前記軸まわりに回転させる駆動手段と、
を有する光路偏向装置において、
前記２つの支持部材は、互いに同一形状であり、
前記２つの支持部材が前記保持部の両側に位置するように見える方向から見たとき、前記２つの支持部材は互いに面対称形状になるように、かつ、個々の支持部材は前記第１の軸に対し非対称形状となるように、前記保持部の側面に固着されていることを特徴とする光路偏向装置。
【００４４】
８．少なくとも光学素子を有する可動部と、前記光学素子を軸回りに回転可能に支持する複数の支持部材と、前記支持部材の一部を固定するベースと、前記光学素子を前記軸回りに回転させる駆動手段とを有する光路偏向装置において、
前記支持部材の前記可動部及び／又はベースへの取り付け部は、前記軸と直交方向に位置させたことを特徴とする光路偏向装置。
第７項によれば、光路偏向装置の回転軸方向の寸法を小さくできる。
【００４５】
９．少なくとも光学素子を有する可動部と、前記光学素子を軸回りに回転可能に支持する複数の支持部材と、前記支持部材の一部を固定するベースと、前記光学素子を前記軸回りに回転させる駆動手段とを有する光路偏向装置において、
前記支持部材の前記可動部及び／又はベースへの取り付け部は、前記支持部材の延在方向に対して直交方向に配列されていることを特徴とする光路偏向装置。
第８項によれば、光路偏向装置の回転軸方向の寸法を小さくできる。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば以下の効果を奏する。
請求項１及び請求項２の光路偏向装置によれば、第１の軸まわりに保持部を回動させることができ、光学素子を第１の軸まわりに傾けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】光ピッックアップ装置の光学素子の配置関係を示した斜視図である。
【図２】第１の実施の形態のガルバノミラーの詳細を示した斜視図である。
【図３】マグネットを除いた構成部材の分解斜視図である。
【図４】バネの組み立てを示す断面図である。
【図５】バネの組み立てに用いるジグの斜視図である。
【図６】ガルバノミラーの作用を説明する断面図である。
【図７】第２の実施の形態のガルバノミラーの詳細を示した斜視図である。
【図８】一部拡大平面図である。
【図９】従来例の斜視図である。
【図１０】一部拡大平面図である。
【符号の説明】
４  ミラー
４ａ  反射面
１０  コイル
１１  ホルダー
１１ｅ  立ち上がり部
１２−１，１２−２  バネ
１３  ベース
１３ａ  取り付け部
１３ｄ  孔
１４  可動部
１５  ガルバノミラー
１６  マグネット
１７  ヨーク
２０  光軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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