(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンの不良を検知するための電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置であって、
搬送される電子部品実装用フィルムキャリアテープを支持案内するとともに、検査用の開口部が形成されたアパチャーゲート部を備え、
前記アパチャーゲート部が、電子部品実装用フィルムキャリアテープの表面に対して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向にわたって当接して、電子部品実装用フィルムキャリアテープを当接方向に付勢する略板状のテープ矯正部材を備えることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
【請求項２】
前記テープ矯正部材が、弾性部材を介して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの表面に付勢されていることを特徴とする請求項１に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
【請求項３】
前記テープ矯正部材は、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの表面を付勢する際に、ストッパ部材によって該テープ矯正部材の付勢面が位置決めされるように構成されていることを特徴とする請求項１から２のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
【請求項４】
前記テープ矯正部材が、昇降部材によって上下動するように構成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
【請求項５】
前記昇降部材によってテープ矯正部材が当接方向に移動して、ストッパ部材によって位置決めされた後、さらに昇降部材が当接方向に移動することによって、昇降部材とテープ矯正部材とが接続されていない状態になるように構成されていることを特徴とする請求項４に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
【請求項６】
前記テープ矯正部材が、上下動自在に構成されたテープ矯正部材ホルダに装着されるとともに、
前記テープ矯正部材ホルダが、弾性部材を介して当接方向に付勢され、
前記テープ矯正部材ホルダとテープ矯正部材との間に弾性部材が介装されて、テープ矯正部材が当接方向に付勢されるように構成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
【請求項７】
前記テープ矯正部材の搬送方向隅角部が、丸く形成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
【請求項８】
前記テープ矯正部材が、光を透過可能な部材で形成されていることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
【請求項９】
前記テープ矯正部材に対し、当接方向に光を照射する透過光照射装置が配置されていることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
【請求項１０】
前記テープ矯正部材と前記透過光照射装置との間に、光拡散部材が配置されていることを特徴とする請求項９に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
【請求項１１】
前記テープ矯正部材は、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターン表面で反射した反射光により、該配線パターンの不良検査が可能となるように構成されていることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
【請求項１２】
前記テープ矯正部材によって付勢された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対し、光を直接照射する反射光照射装置が配置されていることを特徴とする請求項１から７，１１のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
【請求項１３】
前記アパチャーゲート部には、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向略中央部を支持するテープ支持部材が設けられていることを特徴とする請求項１から１２のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
【請求項１４】
前記テープ支持部材の搬送方向隅角部が丸く形成されていることを特徴とする請求項１３に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
【請求項１５】
電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンの不良を検知する電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法であって、
検査用の開口部が形成されたアパチャーゲート部によって、搬送される電子部品実装用フィルムキャリアテープを支持案内するとともに、
前記アパチャーゲート部が備える略板状のテープ矯正部材が、電子部品実装用フィルムキャリアテープの表面に対して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向にわたって当接して、電子部品実装用フィルムキャリアテープを当接方向に付勢して検査を行うことを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
【請求項１６】
前記テープ矯正部材が、弾性部材を介して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの表面に付勢されていることを特徴とする請求項１５に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
【請求項１７】
前記テープ矯正部材は、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの表面を付勢する際に、ストッパ部材によって該テープ矯正部材の付勢面が位置決めされるように構成されていることを特徴とする請求項１５から１６のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
【請求項１８】
前記テープ矯正部材が、昇降部材によって上下動するように構成されていることを特徴とする請求項１５から１７のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
【請求項１９】
前記昇降部材によってテープ矯正部材が当接方向に移動して、ストッパ部材によって位置決めされた後、さらに昇降部材が当接方向に移動することによって、昇降部材とテープ矯正部材とが接続されていない状態になるように構成されていることを特徴とする請求項１８に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
【請求項２０】
前記テープ矯正部材が、上下動自在に構成されたテープ矯正部材ホルダに装着されるとともに、
前記テープ矯正部材ホルダが、弾性部材を介して当接方向に付勢され、
前記テープ矯正部材ホルダとテープ矯正部材との間に弾性部材が介装されて、テープ矯正部材が当接方向に付勢されるように構成されていることを特徴とする請求項１５から１９のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
【請求項２１】
前記テープ矯正部材の搬送方向隅角部が丸く形成されていることを特徴とする請求項１５から２０のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
【請求項２２】
前記テープ矯正部材が、光を透過可能な部材で形成されていることを特徴とする請求項１５から２１のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
【請求項２３】
前記テープ矯正部材に対し、当接方向に光を照射する透過光照射装置が配置されていることを特徴とする請求項１５から２２のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
【請求項２４】
前記テープ矯正部材と前記透過光照射装置との間に、光拡散部材が配置されていることを特徴とする請求項２３に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
【請求項２５】
前記テープ矯正部材は、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターン表面で反射した反射光により、該配線パターンの不良検査が可能となるように構成されていることを特徴とする請求項１５から２１のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
【請求項２６】
前記テープ矯正部材によって付勢された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対し、光を直接照射する反射光照射装置が配置されていることを特徴とする請求項１５から２１，２５のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
【請求項２７】
前記アパチャーゲート部には、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向略中央部を支持するテープ支持部材が設けられていることを特徴とする請求項１５から２６のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
【請求項２８】
前記テープ支持部材の搬送方向隅角部が丸く形成されていることを特徴とする請求項２７に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品実装用フィルムキャリアテープ（ＴＡＢ(Tape Automated Bonding)テープ、Ｔ−ＢＧＡ(Tape Ball Grid Array)テープ、ＣＳＰ（Chip Size Package）テープ、ＡＳＩＣ(Application Specific Integrated Circuit)テープ、ＣＯＦ（Chip On Film）テープ、２メタル（両面）テープ、多層配線用テープなど）（以下、単に「電子部品実装用フィルムキャリアテープ」という）の配線パターンの不良を検知するための電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置および検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
エレクトロニクス産業の発達に伴い、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）等の電子部品を実装するプリント配線板の需要が急激に増加しているが、電子機器の小型化、軽量化、高機能化が要望され、これら電子部品の実装方法として、最近ではＴＡＢテープ、Ｔ−ＢＧＡテープ、ＡＳＩＣテープ、ＣＯＦテープ、２メタル（両面）テープ、および多層配線用テープ等を用いた実装方式が採用されている。特に、パーソナルコンピュータなどのように、高精細化、薄型化、液晶画面の額縁面積の狭小化が要望されている液晶表示素子（ＬＣＤ）を使用する電子産業においてその重要性が高まっている。
【０００３】
このようなテープの品質検査を実施する検査装置として、従来より、図９に示したような自動検査装置（Automated Optical Inspection装置）１００（以下、検査装置１００ともいう）が用いられている。
【０００４】
この検査装置１００には、リール１１４に巻装された電子部品実装用フィルムキャリアテープ１１６を送り出すための送り出し部１１８と、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１１６を矢印方向に搬送する一対のスプロケット１２２，１２４と、テープ１１６の表面に形成されたパターンの欠陥を検査する検査部１３０と、テープ１１６を巻取る巻取り部１４４が一体的に構成されている。
【０００５】
リール１１４から送出された電子部品実装用フィルムキャリアテープ１１６は、テープ１１６に形成された図示しないスプロケットホールにスプロケット１２２，１２４の歯が噛み合わさり、スプロケットの回転駆動により矢印方向に搬送される。
【０００６】
スプロケット１２２から出たテープ１１６は、一対の押えローラ１３２，１３３によって位置Ｆから位置Ｆ'に押圧されることにより、反りや弛みが矯正され、支持部１３５，１３６に固定される。
【０００７】
この一対の支持部１３５，１３６で固定されたテープ１１６を、その下部に配置された一対のＣＣＤカメラ１３８，１３９を走査し、配線パターンを撮像（取り込む）することによって配線パターンの不良を自動的に検査している。
【０００８】
このように、ＣＣＤカメラ１３８，１３９により配線パターンを撮像（取り込む）して、その配線パターン不良を検査するには、テープ１１６を反りや弛みが無いフラットな状態にすることが重要である。
【０００９】
しかしながら、このような検査部１３０においては、テープ１１６は搬送方向の反りや弛みは矯正されるものの、幅方向におけるテープ１１６の反りや弛みについては依然として問題があった。
【００１０】
このような問題を解決する検査部として、図１０に示したような検査部（概略上面図）が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。
【００１１】
この検査部１５０は、一対の押えローラ１５２，１５２と、テープ１５４の両端側に分離された支持部１５６，１５８を有している。このローラ１５２と支持部１５６，１５８とは、テープ１５４を介して離間している。
【００１２】
したがって、テープ１１６の幅方向において反りや弛みが生じているような場合には、図示しない駆動装置によって、支持部１５６，１５８を各々Ｇ方向、Ｈ方向に移動させ、テープ１１６を幅方向に引っ張ることにより幅方向に生じた反りや弛みを矯正することができる。つまり、このような検査部１５０においては、テープ１５４は幅方向における反りや弛みも矯正される。
【００１３】
【特許文献１】
特開２００２−２１７２４９号公報（請求項１、図１〜３）
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、電子部品実装用フィルムキャリアテープとして、最近では、絶縁フィルムにデバイスホールを形成せず、絶縁フィルムの実装面に電子部品の端子と接続する端子を設けたＣＯＦなどに代表される薄膜の絶縁フィルムが用いられ、特にその厚さが７５μｍ以下、特に５０μｍ以下の薄物のフィルムキャリアテープなどが使用されている。
【００１５】
ＣＯＦフィルムキャリアテープは、デバイスホールを有していないために、形成される配線パターンの線幅を細くすることができ、電子機器の小型化、軽量化に特に適している。
【００１６】
このような膜厚の薄いフィルムキャリアテープを、図９、１０に示したような検査部を備える電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置で検査した場合、フィルムキャリアテープをローラで部分的に押圧しているため、その押圧されている部分にしわが発生したり、またローラ間でテープが盛り上がってしわが発生するという問題があった。
【００１７】
さらに、膜厚の薄いフィルムキャリアテープにおいては、幅方向両端部（特に、スプロケットホール周辺部）が、わかめの周縁部のような凹凸を持った波打ち形状となりやすく、このような形状は従来の検査装置では解消されず問題となっていた。
【００１８】
またさらに、電子部品実装用フィルムキャリアテープが、図８に示すようなテープＴ'とテープＴ"を接着テープＵで接続されたスプライス部Ｖを有している場合、接着テープＵの厚みは、通常約１００〜２００μｍであるため、従来の検査装置では、ローラがスプライス部Ｖを通過する際に障害となり、ローラがテープに損傷を与えるという問題もあった。
【００１９】
本発明は、このような現状を考慮して、ＣＯＦなどの薄膜である電子部品実装用フィルムキャリアテープを用いた場合であっても、搬送方向および幅方向に反りや弛みが発生することがなく、さらに電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向両端部に波打ちが発生している場合であっても、テープを容易に平坦にすることができ、またさらに電子部品実装用フィルムキャリアテープが、テープとテープの継ぎ目であるスプライス部を有している場合であっても、テープの走行に障害とならず、テープに損傷を与えることがない電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置および検査方法を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明なされたものであって、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置は、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンの不良を検知するための検査装置であって、
搬送される電子部品実装用フィルムキャリアテープを支持案内するとともに、検査用の開口部が形成されたアパチャーゲート部を備え、
前記アパチャーゲート部が、電子部品実装用フィルムキャリアテープの表面に対して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向にわたって当接して、電子部品実装用フィルムキャリアテープを当接方向に付勢する略板状のテープ矯正部材を備えることを特徴とする。
【００２１】
一方、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法は、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンの不良を検知する検査方法であって、
検査用の開口部が形成されたアパチャーゲート部によって、搬送される電子部品実装用フィルムキャリアテープを支持案内するとともに、
前記アパチャーゲート部が備える略板状のテープ矯正部材が、電子部品実装用フィルムキャリアテープの表面に対して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向にわたって当接して、電子部品実装用フィルムキャリアテープを当接方向に付勢して検査を行うことを特徴とする。
【００２２】
このような検査装置（方法）によれば、略板状のテープ矯正部材が、電子部品実装用フィルムキャリアテープの表面に当接し、当接方向に付勢するので、ＣＯＦなどの薄膜である電子部品実装用フィルムキャリアテープを用いた場合であっても、電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方向や幅方向に反りや弛みが発生することがなく、さらに電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向両端部に波打ちが発生している場合であっても、テープを容易に平坦にすることができる。
【００２３】
従って、テープの反りや弛みによる検査への影響がないため、迅速で正確な品質検査を実施することができる。
【００２４】
前記テープ矯正部材が、弾性部材を介して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの表面に付勢されていることが好ましい。
【００２５】
そのため、電子部品実装用フィルムキャリアテープが、その継ぎ目にスプライス部を有している場合においても、テープ矯正部材がスプライス部の上面から、テープ表面に移動（落下）する際にテープに加わる力は弾性部材の弾性力であるため、テープ矯正部材がテープに損傷を与えることがなく、さらに、テープ矯正部材の姿勢を安定させることができる。
【００２６】
従って、電子部品実装用フィルムキャリアテープがスプライス部を有している場合でもテープの走行に障害とならず、テープに損傷を与えることがないため、迅速で正確な品質検査を実施することができる。
【００２７】
前記テープ矯正部材が、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの表面に付勢する際に、ストッパ部材によって該テープ矯正部材の付勢面が位置決めされるように構成されていることも好ましい。
【００２８】
そのため、電子部品実装用フィルムキャリアテープの膜厚に応じて、適宜、テープ矯正部材の位置を調整することができる。
【００２９】
前記テープ矯正部材が、昇降部材によって上下動するように構成されていることが望ましい。
【００３０】
前記昇降部材によってテープ矯正部材が当接方向に移動して、ストッパ部材によって位置決めされた後、さらに昇降部材が当接方向に移動することによって、昇降部材とテープ矯正部材とが接続されていない状態になるように構成されていることが好ましい。
【００３１】
このようにテープ矯正部材が構成されていることにより、昇降部材の影響を受けることなく、テープ矯正部材の付勢面が位置決めされる。
【００３２】
前記テープ矯正部材が、上下動自在に構成されたテープ矯正部材ホルダに装着されるとともに、
前記テープ矯正部材ホルダが、弾性部材を介して当接方向に付勢され、
前記テープ矯正部材ホルダとテープ矯正部材との間に弾性部材が介装されて、テープ矯正部材が当接方向に付勢されるように構成されていることが望ましい。
【００３３】
このように、テープ矯正部材ホルダおよびテープ矯正部材を、弾性部材により当接方向に付勢することにより、テープ矯正部材の付勢面が確実に位置決めされる。
【００３４】
前記テープ矯正部材の搬送方向隅角部が丸く形成されていることが好ましい。
【００３５】
そのため、テープ矯正部材が、電子部品実装用フィルムキャリアテープを当接方向に付勢する際にも、テープ表面に損傷を与えることはない。
【００３６】
前記テープ矯正部材が、光を透過可能な部材で形成されていることが好ましい。
【００３７】
前記テープ矯正部材に対し、当接方向に光を照射する透過光照射装置が配置されていることが好ましい。
【００３８】
そのため、テープ矯正部材を透過した透過光により、電子部品実装用フィルムキャリアテープのリードの配線パターン不良を検知することができる。
【００３９】
前記テープ矯正部材と前記透過光照射装置との間に、光拡散部材が配置されていることが好ましい。
【００４０】
そのため、透過光照射装置からの光が、電子部品実装用フィルムキャリアテープ表面に均一に拡散され、配線パターン不良を精度良く検査することができる。
【００４１】
前記テープ矯正部材は、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターン表面で反射した反射光により、該配線パターンの不良検査が可能となるように構成されていることが好ましい。
【００４２】
さらに、前記テープ矯正部材によって付勢された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対し、光を直接照射する反射光照射装置が配置されていることも好ましい。
【００４３】
そのため、反射光を用いても配線パターン不良を検査することができる。
【００４４】
前記アパチャーゲート部には、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向略中央部を支持するテープ支持部材が設けられていることが好ましい。
【００４５】
そのため、電子部品実装用フィルムキャリアテープが幅の広い形状（多条テープ）であってもテープ支持部材により支持されるので、テープに反りや弛みが発生することがない。
【００４６】
また、前記テープ支持部材の搬送方向隅角部が丸く形成されていることが好ましい。
【００４７】
そのため、電子部品実装用フィルムキャリアテープがテープ支持部材の搬送方向隅角部に接する場合であっても該テープに損傷を与えることがない。
【００４８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。
【００４９】
図１は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置の正面図である。図１に示したように、１０は全体で本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置を示している。
【００５０】
電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置１０は、図１に示したように、送り出し装置２０と、不良パターン検知装置３０と、マーキング装置４０と、巻き取り装置５０とを備えている。
【００５１】
送り出し装置２０には、例えば、フィルムキャリアにデバイスホールが形成されておらず、かつ絶縁フィルム上に直接配線パターンが形成されているCOF（Chip On Film）のようなタイプの電子部品実装用フィルムキャリアテープであって、配線パターンが形成されている電子部品実装用フィルムキャリアテープＴ（以下、テープＴともいう）が、スペーサＳを介して巻装されたリールＲが、送り出し駆動軸２２に装着されている。
【００５２】
そして、図示しない駆動モータの駆動により、送り出し駆動軸２２が回転して、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴがリールＲからスペーサＳとともに繰り出されて、案内ローラ２４を介して、不良パターン検知装置３０へと供給されるようになっている。
【００５３】
なお、送り出し装置２０には、図１に示したように、上下方向に３個の位置センサー２６が設けられており、下方の位置センサーによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴの弛み部分の下端Ｔ１が検知された際には、送り出し装置２０の駆動モータの駆動を停止して、電子部品実装用フィルムキャリアテープが弛みすぎて床に接触して損傷するのを防止するようになっている。また、上方の位置センサーによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴの弛み部分の下端Ｔ１が検知された際には、送り出し装置２０の駆動モータの駆動を開始して一定の電子部品実装用フィルムキャリアテープの弛みを維持するようになっている。
【００５４】
電子部品実装用フィルムキャリアテープＴは、案内ローラ３１を介して不良パターン検知装置３０に供給される。不良パターン検知装置３０においては、バックテンションギア３２とドライブギア３４との間にアパチャゲート部６０が設置され、テープＴがアパチャゲート部６０を通過する際に、テープＴの下方に配置されたＣＣＤカメラ３８によりリードの配線パターンの不良が検知されるように構成されている。このアパチャゲート部６０を、図を用いて説明する。
【００５５】
図２はアパチャゲート部６０の電子部品実装用フィルムキャリアテープ搬送方向から見た断面図、図３は図２におけるＡ-Ａ線断面図、図４は図２におけるＢ-Ｂ線断面図、図５は図２におけるＣ-Ｃ線断面図、図６は図２に示すアパチャゲート部６０におけるＩ部の拡大図であり、同図（１）は電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査時の状態、同図（２）は電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査前等の状態を示す。
【００５６】
図２に示されるように、アパチャゲート部６０には、テーブル６２上に立設されたフランジ６４，６４間に横架シャフト７７が略水平方向に設けられている。
【００５７】
この横架シャフト７７には、所定間隔離間して一対のスライド部７６，７６が摺動自在に嵌挿され、このスライド部７６，７６は、図示しない駆動手段によって互いに同じ距離を接離自在に移動するように構成されており、任意の幅のテープに対応できるようになっている。
【００５８】
このスライド部７６，７６の対向する面には、図２に示すように、ガイド部７８，７８が下方向に取り付けられている。このガイド部７８は、図２、図４（Ｂ-Ｂ線断面図）に示されるように、板状の構造を有し、その面はテープＴの搬送方向と略平行となるように構成されている。さらに、ガイド部７８は、下方において幅広の形状となっている。
【００５９】
図４に示すように、このガイド部７８の幅広の形状部分の略中央部には、略矩形状の空洞部７９が形成されている。さらに、ガイド部７８は、図２に示すように、テーブル６２の下方で下端部が内方向にＬ字状に曲げられており、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴの両側端部および下面両側部を案内することによりテープＴを搬送方向に導くことができるように構成されている。
【００６０】
一方、図２に示すように、ガイド部７８の外部下方向で、かつテーブル６２の下方にテープ矯正部材用ホルダ８２が設けられている。図３に示すように、テーブル６２の下面から支柱８８，８８が下方向に設けられ、この支柱８８，８８はテープ矯正部材用ホルダ８２の両端部を挿通している。
【００６１】
このテープ矯正部材用ホルダ８２と支柱８８とが接する部分には、図３に示すように、ボールガイド部８３が設けられ、テープ矯正部材用ホルダ８２は支柱８８，８８対して摺動可能となっている。
【００６２】
さらに、図３に示すように、支柱８８，８８の間に、テーブル６２の下面から下方向に２つの第２スプリング８６，８６が設けられ、この第２スプリング８６によって、テープ矯正部材用ホルダ８２は、下方に付勢した状態に介装されている。
【００６３】
したがって、テープ矯正部材用ホルダ８２は、支柱８８とボールガイド部８３との抵抗などの影響は問題とされることなく、第２スプリング８６の復元力およびテープ矯正部材用ホルダ８２の自重などによって下方に押し下げられている。
【００６４】
また、テープ矯正部材用ホルダ８２を貫通した支柱８８，８８は、図２，３に示すように、その下端部において下板９６に接続している。したがって、下板９６は、その四隅が支柱８８に支持され、略水平方向に配置される。
【００６５】
また、図３に示すように、テープ矯正部材用ホルダ８２は下向き略コ字形状であり、さらに支柱８８，８８の間の下面において、図示しない固着手段によって調整ブロック９２が固着されている。これにより、テープ矯正部材用ホルダ８２の下部に凸形状の空洞部８５が形成される。この調整ブロック９２は、図６に示すように、テープ矯正部材用ホルダ８２の下面に固着され、凸形状の空洞部８５において、調整ブロック９２の上面でテープ矯正部材９０を支持している。
【００６６】
このテープ矯正部材用ホルダ８２の内方向に一定距離離間して設けられた一対の上記ガイド部７８は、上述したように下方に略矩形状の空洞部７９が形成されており、図４に示すように、この２つの空洞部７９，８５を通過してテープ矯正部材９０がテープ矯正部材用ホルダ８２，８２の間に差し渡されている。
【００６７】
このテープ矯正部材９０は、図３に示すように、テープ矯正部材用ホルダ８２の凸状空洞部の上端部から下方向に設けられた第１スプリング８４により、下方に付勢した状態に介装されている。したがって、テープ矯正部材９０に加わる衝撃を吸収することができる。
【００６８】
また、図３に示すように、このテープ矯正部材９０の下面は、テープＴの搬送方向に対向する端部９０a、９０bの底辺が丸みを帯びている。したがって、テープ矯正部材９０を当接方向に押し下げ、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴの上面とテープ矯正部材９０の下面が接した状態でテープＴが搬送されても、テープ矯正部材９０の底辺がテープＴ表面に傷つけることがない。
【００６９】
本発明において当接方向とは、テープＴの表面に対しテープ矯正部材９０が当接する方向を意味する。
【００７０】
また、フィルムキャリアテープＴ上面に接するテープ矯正部材９０の下面の表面粗さは、１０点平均の表面粗さＲｚにおいて０．５〜５μｍ、好ましくは１〜３μｍであることが望ましい。テープ矯正部材９０の下面の表面粗さがこのような範囲にあることにより、該下面の摩擦抵抗が小さくなるため、テープＴはテープ矯正部材９０と密着することなく、アパチャゲート部６０を容易に通過することができ、さらにテープＴ上面に傷が付くことがない。
【００７１】
このようなテープ矯正部材９０を用いることにより、ＣＯＦなどの膜厚の薄いフィルムキャリアテープであっても、搬送方向や幅方向に反りや弛みが発生することがない。さらにスプロケットホールの周辺部においてもテープの反りや弛みが発生することがない。またさらに、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向両端部に波打ちが発生している場合であっても、テープを容易に平坦にすることができる。
【００７２】
このようなテープ矯正部材９０は、光を透過可能な部材で形成されている。なお、本発明において、「光を透過可能」とは、光を半透過する場合を含むものである。そのような光を透過可能な部材としては、ガラス、アクリル樹脂などの樹脂等で形成された光を透過する部材、あるいは半透過の部材が挙げられる。
【００７３】
また、図２，図５に示すように、ガイド部７８とテープ矯正部材用ホルダ８２との間には、一定距離離間して一対の板状の昇降アーム７４，７４が設けられ、この昇降アーム７４，７４は、図示しない駆動装置に上方で連結しており、上下動可能に構成されている。
【００７４】
図２および図６（１）に示すように、昇降アーム７４，７４は、テープ矯正部材用ホルダ８２のテープＴ側の側面に形成されたガイドピン８９，８９の下方で、その下端部がＬ字状に外方向に曲げられＬ字状部７４'が形成されている。昇降アーム７４は、図示しない駆動装置を駆動することにより上方に移動し、図６（２）に示すように、ガイドピン８９，８９と昇降アーム７４のＬ字状部７４'の上面とが当接し、テープ矯正部材用ホルダ８２、テープ矯正部材９０、調整ブロック９２が上昇するように構成されている。
【００７５】
また、図３，６に示すように、下板９６の幅方向端部の上面には各々２つのストッパ部材９３が突設して設けられており、ストッパ部材９３，９３の上部に調整ブロック９２の下面が当接するまで、テープ矯正部材用ホルダ８２が下降できるように構成されている。
【００７６】
このテープ矯正部材用ホルダ８２の下面に固着された調整ブロック９２は、交換可能に構成されており、図示しない固着手段を外して、高さの異なる調整ブロックに交換することにより、テープ矯正部材用ホルダ８２およびテープ矯正部材９０の位置を調整することができる。このように構成することにより、電子部品実装用フィルムキャリアテープの膜厚に応じて、適宜、テープ矯正部材９０の位置を調整することができる。
【００７７】
また、調整ブロック９２を用いることなく、テープ矯正部材９０と調整ブロック９２とが一体になった形状、すなわちテープ矯正部材の端部が厚くなったテープ矯正部材を用いてもよい。
【００７８】
また、調整ブロック９２を用いることなく、全体の厚みを大きくしたテープ矯正部材を用いてもよい。このような端部や全体の厚みを種々変化させたテープ矯正部材９０を準備し、検査するテープＴに応じて、適宜交換することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープの膜厚に応じて、テープ矯正部材９０の位置を調整することもできる。
【００７９】
また、下板９６は、図７（Ａ）にその下面図を示したように、その中央部に略矩形状に開口部９５が設けられている。開口部９５が設けられていることにより、テープ矯正部材９０の上方から透過光が照射されても、テープ矯正部材９０およびテープＴを透過した光が、図１に示されるＣＣＤカメラ３８によって受光され、テープＴの配線パターンの不良を検知することができる。
【００８０】
さらに、図７（Ａ）に下板９６の下面図および図７（Ｂ）にその側面図を示したように、下板９６の上面の略中央部にはテープサポート部９４がテープＴの搬送方向に略平行となるように設けられている。
【００８１】
このテープサポート部９４は搬送される電子部品実装用フィルムキャリアテープＴの下面に接触するように設けられている。
【００８２】
このようなテープサポート部９４を用い、配線パターンの形成されていない領域を通過させることにより、テープＴが幅の広い形状（多条用テープ）であっても、多条用テープを下から支持することができるため、多条用テープに反りや弛みが発生することがない。
【００８３】
また、このテープサポート部９４は、鏡面仕上げされ、搬送方向隅角部が丸く形成されている。そのため、電子部品実装用フィルムキャリアテープがテープ支持部材の搬送方向隅角部に接する場合であっても該テープに損傷を与えることがない。
【００８４】
本実施例においてはテープサポート部９４を有する場合を例にとって説明するが、本発明においては特に限定されるものではなく、テープサポート部９４は設けられていなくてもよい。本発明においては、テープサポート部９４は１つ以上設けられていることが好ましい。
【００８５】
また、図２に示すように、テープ矯正部材９０の上方には一定距離離間して拡散板７５が設けられている。拡散板７５は、その端部が昇降アーム７４に接続され、テープ矯正部材９０と略平行となるようにテープＴの幅方向に配置されている。さらに、拡散板７５の上方には一定距離離間して透過光照射部９１が設置されている。
【００８６】
拡散板７５が配置されていることにより、透過光照射部９１からの光が均一にテープ矯正部材９０の上面に照射され、さらに光が透過可能な部材で形成されているテープ矯正部材９０、さらにテープＴを透過して、その透過光をＣＣＤカメラ３８で受像することによりテープＴの配線パターンの不良を検査することができる。
【００８７】
この拡散板７５は、光を透過し拡散することができれば特に限定されず、乳白色のアクリル樹脂などから形成される。なお、テープ矯正部材９０が透明でない場合、例えばテープ矯正部材９０が乳白色のアクリル樹脂である場合には、この拡散板７５は省略してもよい。
【００８８】
本実施例においては、透過光を用いた例により説明するが、透過光ではなく反射光を用いても良い。
【００８９】
反射光を用いる場合には、下板９６の下方に配置されたＣＣＤカメラ３８の近傍に反射光照射部（図示せず）を設ける。この場合、テープ矯正部材９０をアルミニウム、ＳＵＳなどの金属部材やアクリル樹脂などの樹脂部材等で形成したり、または、ガラスなどの光を透過する部材で形成されたテープ矯正部材９０の上面に金属板を設置してもよい。このような反射光を用いる場合には、テープ矯正部材９０や金属板の表面色はつや消しの黒色とすることが好ましい。なお、反射光を用いる場合には、拡散板７５を設ける必要がない。
【００９０】
次に、このような構成のアパチャゲート部６０における、電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法について説明する。
【００９１】
まず、アパチャゲート部６０における、検査前等と検査時での、テープ矯正部材用ホルダ８２、テープ矯正部材９０、調整ブロック９２の配置を、図３、図６を参照しながら説明する。
【００９２】
図６は、図２に示すアパチャゲート部６０におけるＩ部の拡大図である。
【００９３】
同図（１）は「テープの検査時」の状態を示し、同図（２）は「電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査前」、「電子部品実装用フィルムキャリアテープを逆送する時」、「テープをセットする時」、「テープの検査完了時」等の状態を示す。
【００９４】
図６（２）に示すように、検査前においては、第１スプリング８４の作用等により、テープ矯正部材９０の端部は、テープ矯正部材用ホルダ８２の下面に固着された調整ブロック９２の上面に当接している。
【００９５】
次いで、図６（２）に示される矢印方向に、昇降アーム７４を下降させると、第２スプリング８６の作用等により、図３、図６（１）に示すように、この調整ブロック９２の下面が下板９６に設けられたストッパ部材９３に当接し、調整ブロック９２が所定の位置に位置決めされる。
【００９６】
このように調整ブロック９２が位置決めされると、テープ矯正部材９０は調整ブロック９２に当接しているため、テープ矯正部材９０も所定の位置に位置決めされる。つまり、テープ矯正部材９０の下面の位置は、調整ブロック９２の高さによって調節されている。
【００９７】
このようなアパチャゲート部６０における、電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法は、具体的には、まず、図２に示す一対のスライド部７６を、図示しない移動手段によって横架シャフト７７上を互いに内方向に摺動させ、ガイド部７８，７８相互の幅をテープＴの幅と略同一となるように移動させる。
【００９８】
次いで、図示しない駆動装置を駆動させ、図６（２）に示すように、昇降アーム７４，７４を下方に移動させる。
【００９９】
昇降アーム７４が下方向に移動すると、第２スプリング８６の復元力、およびテープ矯正部材用ホルダ８２と、テープ矯正部材９０と、調整ブロック９２等との重量によって、テープ矯正部材用ホルダ８２はボールガイド部８３を介して支柱８８を下方向に摺動する。
【０１００】
この昇降アーム７４は、調整ブロック９２の下面が下板９６に設けられたストッパ部材９３に当接した後もさらに下降を続け、図６（１）に示すように昇降アーム７４のＬ字状部７４'とガイドピン８９とが所定距離離間するまで下降させる。このように所定距離離間させることにより、昇降アーム７４の影響を受けずにテープ矯正部材用ホルダ８２およびテープ矯正部材９０の下面が位置決めされる。
【０１０１】
ストッパ部材９３および調整ブロック９２により設定された位置までテープ矯正部材９０を下降させると、図４に示すように、テープ矯正部材９０の下面はテープＴの上面に当接し、テープＴを所定距離押し下げる。
【０１０２】
本実施例においては、テープ矯正部材９０によりテープＴを所定距離押し下げる場合を例にとって説明するが、特に限定されるものではなく、テープＴの検査面に反りや弛みが発生せずフラットな状態となるのであれば、テープＴの表面に接触していればよい。
【０１０３】
このように、テープ矯正部材９０は、テープＴの表面と面で当接し、テープＴに加わる力が分散されるため、ＣＯＦなどの薄膜である電子部品実装用フィルムキャリアテープを用いた場合であっても、搬送方向および幅方向に反りや弛みが発生することがない。さらにスプロケットホールの周辺部においてもテープの反りや弛みが発生することがない。またさらに、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向両端部に波打ちが発生している場合であっても、テープを容易に平坦にすることができる。
【０１０４】
また、このテープ矯正部材９０は、図３に示すように、テープ矯正部材用ホルダ８２の凸状空洞部８５の上端部から下方向に設けられた第１スプリング８４により、下方に付勢した状態に介装されているため、テープ矯正部材９０の下面両端部は調整ブロック９２の上面に確実に押し付けられている。
【０１０５】
したがって、図８に示すように、テープＴの継ぎ目にスプライス部Ｖを有している場合においても、テープ矯正部材９０がスプライス部Ｖで引っかかることが無く、さらにテープ矯正部材９０がスプライス部Ｖの上面から、テープＴ表面に移動（落下）する際にテープＴに加わる力は第１スプリング８４の弾性力であるため、テープ矯正部材９０がテープＴに損傷を与えることがなく、さらに、テープ矯正部材９０の姿勢を安定させることもできる。
【０１０６】
このような構成であるアパチャゲート部６０に、テープＴが順次供給され、透過光照射部９１から、拡散板７５を介してテープ矯正部材９０に照射される。そして、テープ矯正部材９０と電子部品実装用フィルムキャリアテープＴとを透過した透過光が、不良パターン検知装置３０内の電子部品実装用フィルムキャリアテープＴの下方に配置されたラインセンサーと呼ばれるＣＣＤカメラ３８によって受光されるようになっている。
【０１０７】
本実施例においては、テープ矯正部材９０によりテープＴを下方に付勢するように構成されたアパチャゲート部６０を例にとって説明したが、この逆に、テープ矯正部材によりテープＴを上方に付勢するようにアパチャゲート部を構成することも可能である。このような場合、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴの下方に透過光照射装置を配置し、テープ矯正部材９０の上方にＣＣＤカメラ３８を配置して、テープ矯正部材９０によりテープＴを上方に付勢して、テープＴの配線パターンの不良を検査する。さらに、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴの送給方向を、表裏が逆になるように送給すればよい。
【０１０８】
また、本実施例においては、透過光照射装置を用いる例により説明したが、反射光照射装置を用いることもできる。この場合、ＣＣＤカメラがテープの下方に配置されている場合には、反射光照射装置は電子部品実装用フィルムキャリアテープＴの下方に配置される。
【０１０９】
このように透過光または反射光を撮像することによって、ＣＣＤカメラ３８によって認識されたリードの配線パターンが、制御装置３９に入力され、制御装置３９内のＲＡＭなどの記憶部に予め入力された正常な配線パターン（マスターパターン）と比較され、不良と判断した場合には、不良部分の位置、すなわち、不良部分のテープの長手方向の位置、幅方向の位置が、別途インキング、パンチングなどによって電子部品実装用フィルムキャリアテープに不良マークを施すマーキング装置４０の制御装置へ出力されるようになっている。
【０１１０】
なお、このＣＣＤカメラ３８によって撮像した（取り込んだ）配線パターンの情報は、例えば、特開平６−２７３１２号公報、特開平７−１１０８６３号公報のようにＡ／Ｄ変換器でデジタル情報化するとともに、濃淡画像情報に変換してエッジデータを得、これと予め記憶された良品のマスターパターンのエッジデータ（二値化情報）と比較することなどによって、配線パターンの不良を検査するようになっている。
【０１１１】
しかしながら、本発明では、このような処理に何ら限定されるものではなく、例えば、取り込んだ配線パターンの情報を、各種計測法やパターン相関マッチングによって、マスターパターンと比較するなど種々の処理が適用可能である。
【０１１２】
また、透過光としては、特に限定されるものではなく、ハロゲンランプなどが使用可能である。さらに、透過光照射装置９１と電子部品実装用フィルムキャリアテープＴの間の距離としては、透過光でのパターンと電子部品実装用フィルムキャリアテープＴの輝度のＳ／Ｎ（Signal／Noise）がとれる距離であればよく、特に限定されるものではない。
【０１１３】
また、このような透過光による認識による品質検査を行うためには、電子部品実装用フィルムキャリアテープの絶縁フィルムの厚さが、１２．５μｍ〜７５μｍ、好ましくは、２５μｍ〜４０μｍであるのが望ましい。
【０１１４】
このような厚さの電子部品実装用フィルムキャリアテープであれば、電子部品実装用フィルムキャリアテープを透過する透過光の輝度がＣＣＤカメラで電圧変換処理できる範囲内なので、迅速で正確な品質検査を実施することができるからである。
【０１１５】
また、電子部品実装用フィルムキャリアテープが、フィルムキャリアにデバイスホールが形成されておらず、かつ絶縁フィルム上に直接配線パターンが形成されているCOF（Chip On Film）であるのが望ましい。
【０１１６】
このようなCOFであれば、デバイスホールが無いので、製品全面の透過率が同一となり透過光による品質検査を迅速に製品全面を正確に行うことができるために好適である。
【０１１７】
このような本発明で用いるCOF（Chip On Film）としては、フィルムキャリアにデバイスホールが形成されておらず、絶縁フィルムの少なくとも一方の表面に配線パターンが形成された電子部品実装用フィルムキャリアテープから構成することができる。
【０１１８】
このように、不良パターン検知装置４０によって、配線パターンの不良が検査されたテープＴは、続いて、案内ローラ３５，４２を介して、マーキング装置４０に供給されるようになっている。
【０１１９】
そして、マーキング装置４０に供給されたテープＴは、図１に示したように、案内ローラ４２から案内ローラ４４を通過する間に、不良パターン検知装置３０で検知された不良箇所の検知情報に基づいて、不良箇所にインキ、パンチングなどによるマーキングが施されるようになっている。このように、マーキング装置４０によって、テープＴの表面または裏面の不良箇所の所定位置に、マーキングが施された後、テープＴは、案内ローラ４４を通過して、次の巻き取り装置５０に供給される。
【０１２０】
図１に示したように、巻き取り装置５０に供給されたテープＴは、巻き取り駆動軸５２に装着されたリールＲに、案内ローラ５４を介して、図示しない駆動モータの駆動により巻き取り軸５２が回転することにより、テープＴが巻き取られる。この際、送り出し装置２０のリールＲから繰り出されたスペーサＳが、案内ローラ５７、５８及びダンサーローラ５９を介して、巻き取り装置５０のリールＲに供給されテープＴの間に介装され、テープＴ同士が接触して損傷しないように保護するようになっている。
【０１２１】
なお、巻き取り装置５０には、図１に示したように、送り出し装置２０と同様に、上下方向に３個の位置センサー５６が設けられており、下方の位置センサーによって、テープＴの弛み部分の下端Ｔ１が検知された際には、巻き取り装置５０の駆動モータの駆動を停止して、テープＴが弛みすぎて床に接触して損傷するのを防止するようになっている。また、上方の位置センサーによって、テープＴの弛み部分の下端Ｔ１が検知された際には、巻き取り装置５０の駆動モータの駆動を開始して一定のテープの弛みを維持するようになっている。
【０１２２】
上記実施例では、検査装置１０を、図１に示したように、送り出し装置２０と、不良パターン検知装置３０と、マーキング装置４０と、巻き取り装置５０とから構成したが、例えば、マーキング装置４０を省略して、送り出し装置２０と、不良パターン検知装置３０と、巻き取り装置５０とから、別体でまたは一体にして検査装置のみとして、この検査装置で検査した情報を、別途別に構成したマーキング装置に入力することも可能である。
【０１２３】
以上、本発明の好ましい実施例を説明したが、本発明はこれに限定されることはなく、例えば、上記の説明は、絶縁フィルムにデバイスホールを有しておらず、絶縁フィルムに接着剤層を介することなく導電性金属を直接配置した２層ベースフィルムから形成されるフィルムキャリアテープ（ＣＯＦ）を中心にした説明であるが、デバイスホールを有するフィルムキャリアテープを製造する場合についても、また絶縁フィルム上に接着剤層を介して導電性金属箔を貼着した３層構成のベースフィルムを用いてフィルムキャリアテープを製造する場合についても適用することができるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【０１２４】
【発明の効果】
本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置および検査方法によれば、略板状のテープ矯正部材が、その下面全体で電子部品実装用フィルムキャリアテープの表面に当接し、当接方向に付勢するので、ＣＯＦなどの薄膜である電子部品実装用フィルムキャリアテープを用いた場合であっても、電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方向や幅方向に反りや弛みが発生することがなく、さらに電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向両端部に波打ちが発生している場合であっても、テープを容易に平坦にすることができる。従って、テープの反りや弛みによる検査への影響がないため、迅速で正確な品質検査を実施することができる。
【０１２５】
また、本発明によれば、前記テープ矯正部材が、弾性部材を介して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの表面に付勢されているため、電子部品実装用フィルムキャリアテープの継ぎ目にスプライス部を有している場合においても、テープ矯正部材がスプライス部の上面から、テープ表面に移動（落下）する際にテープに加わる力は弾性部材の弾性力であるため、テープ矯正部材がテープに損傷を与えることがなく、さらに、テープ矯正部材の姿勢を安定させることができる。従って、テープがスプライス部を有している場合でも、テープの走行に障害とならず、さらに電子部品実装用フィルムキャリアテープに損傷を与えることがないため、迅速で正確な品質検査を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置の正面図である。
【図２】図２は、アパチャゲート部６０を電子部品実装用フィルムキャリアテープ搬送方向から見た断面図である。
【図３】図３は、図２におけるＡ-Ａ線断面図である。
【図４】図４は、図２におけるＢ-Ｂ線断面図である。
【図５】図５は、図２におけるＣ-Ｃ線断面図である。
【図６】図６（１）は電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査時の図２におけるＩ部の拡大図であり、図６（２）は電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査前等の図２におけるＩ部の拡大図である。
【図７】図７（Ａ）は下板９６の下面図、図７（Ｂ）はその側面図である。
【図８】図８は、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプライス部を表わす図である。
【図９】図９は、従来の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置を説明する概略図である。
【図１０】図１０は、従来の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置を説明する概略図である。
【符号の説明】
１０，１００    電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置
２０            送り出し装置
２２            送り出し駆動軸
２４，３１，３５，４２，４４，５４，５７，５８      案内ローラ
２６，５６      位置センサー
３０            不良パターン検知装置
３２            バックテンションギア
３４            ドライブギア
３８，１３８，１３９      ＣＣＤカメラ
３９            制御装置
４０            マーキング装置
５０            巻き取り装置
５２            巻き取り駆動軸
５９            ダンサーローラ
６０            アパチャゲート部
６２            テーブル
６４            フランジ
７４            昇降アーム
７４'          Ｌ字状部
７６            スライド部
７７            横架シャフト
７８            ガイド部
７９            空洞部
８２            テープ矯正部材用ホルダ
８４            第１スプリング
８５            凸形状の空洞部
８６            第２スプリング
８８            支柱
８９            ガイドピン
９０            テープ矯正部材
９０ａ，９０ｂ  テープ矯正部材の端部
９２            調整ブロック
９３            ストッパ部材
９４            テープサポート部
９５            開口部
９６            下板
１１４          リール
１１６，１５４，Ｔ      電子部品実装用フィルムキャリアテープ
１１８          送り出し部
１２２，１２４  スプロケット
１３０，１５０  検査部
１３２，１３３  押えローラ
１３５，１３６，１５６，１５８      支持部
１４４          巻取り部
１５２          ローラ
Ｒ              リール
Ｓ              スペーサ
Ｕ              接着テープ
Ｖ              スプライス部
【図１】
0003716413.tif 000002
【図２】
0003716413.tif 000003
【図３】
0003716413.tif 000004
【図４】
0003716413.tif 000005
【図５】
0003716413.tif 000006
【図６】
0003716413.tif 000007
【図７】
0003716413.tif 000008
【図８】
0003716413.tif 000009
【図９】
0003716413.tif 000010
【図１０】
0003716413.tif 000011