(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体に記録された磁気信号を検出する再生素子及び前記記録媒体に磁気信号を記録する記録素子が設けられたスライダと、前記スライダを支持する弾性支持部材と、前記弾性支持部材上に搭載され、該弾性支持部材に歪みを与えて前記スライダの位置を変化させる圧電素子とが備えられてなる磁気ヘッド装置であり、
前記圧電素子は圧電体層と該圧電体層を挟む一対の電極層からなり、前記弾性支持部材は、固定基端部と、該固定基端部に連結されて前記スライダを支持するとともに前記圧電素子によって前記固定基端部に対して揺動自在な揺動部とから構成され、
前記圧電素子の前記一方の電極層が前記固定基端部及び前記揺動部の側に対向した状態で、前記圧電素子が前記固定基端部と前記揺動部とを掛け渡すように配置され、
前記一方の電極面と前記固定基端部及び前記揺動部とが導電性接着樹脂を介して接合されるとともに、前記圧電素子の伸縮方向両側の端面と前記固定基端部及び前記揺動部とが非導電性接着樹脂を介して接合されることを特徴とする磁気ヘッド装置。
【請求項２】
前記圧電素子が、前記固定基端部と前記揺動部との間で、伸縮自在に掛け渡されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ヘッド装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図６は、従来のハードディスク装置の一例を示す平面図である。このハードディスク装置は、磁気ディスク１０１と、該磁気ディスク１０１を回転駆動するスピンドルモータ１０２と、キャリッジ１０３と、ロードビーム１０４と、スライダ１０５と、ボイスコイルモータ１０６が備えられて構成されている。磁気ヘッド装置は、ロードビーム１０４とスライダ１０５から概略構成されている。
剛体であるキャリッジ１０３の先端部１０３ａには弾性支持部材であるロードビーム１０４の基端部１０４ｂが連結され、ロードビーム１０４の先端１０４ａにはフレキシャ（図示せず）を介してスライダ１０５が取り付けられている。
【０００３】
キャリッジ１０３及びロードビーム１０４は、ボイスコイルモータ１０６により、磁気ディスク１０１の半径方向に駆動され、スライダ１０５に搭載された再生素子及び記録素子を任意の記録トラック上に移動させるシーク動作、並びに前記再生素子及び記録素子の位置を記録トラックの中心線上に保たせるように微調整するトラッキング動作が行なわれる。
【０００４】
記録密度の向上に対応するには、ボイスコイルモータ１０６の駆動周波数を高めてトラッキング動作の精度を向上させる必要があるが、ロードビーム１０４の共振周波数との関係から、ボイスコイルモータ１０６の駆動周波数の向上には上限があり、トラッキング動作の精度向上には限界がある。
そこで、ロードビーム１０４に微動アクチュエータを搭載し、この微動アクチュエータによりロードビーム１０４の先端部のみを動かしてトラッキング動作ができるようになっている磁気ヘッド装置が開発されている。
【０００５】
図７にはロードビーム１０４の斜視図を示す。また図８は、図７の要部を示す断面図である。
このロードビーム１０４はステンレスの板ばね材によって形成されており、キャリッジによって保持される固定基端部１１１ａと固定基端部１１１ａに対して水平方向に揺動可能な揺動部１１１ｂとを有している。固定基端部１１１ａの前端部両脇には、固定基端部１１１ａの長手方向に延びる腕部１１１ｃ、１１１ｃが形成されている。また、揺動部１１１ｂは弾性支持部１１１ｄ、１１１ｄを介して、腕部１１１ｃ、１１１ｃに連結されている。
揺動部１１１ｂと固定基端部１１１ａ上には、微動アクチュエータである圧電素子１１２、１１３が空隙部１１１ｅ上に架け渡されて設置されている。
圧電素子１１２、１１３は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層１１２ａ、１１３ａと、これら圧電体層１１２ａ、１１３ａの上下にそれぞれ成膜された金膜等からなる電極層１１２ｂ、１１２ｃ、１１３ｂ、１１３ｃとから構成されている。
そして図８に示すように、圧電素子１１２、１１３の電極層１１２ｃ、１１３ｃと揺動部１１１ｂ及び固定基端部１１１ａとが、導電性接着樹脂１１５により接合されている。
なお、図７中、符号１２１は、揺動部１１１ｂの先端にフレキシャ（図示せず）を介して取付けられたスライダである。
【０００６】
また、ロードビーム１０４は図８に示すようにアースに接続されている。また図７に示すように、圧電素子１１２、１１３の電極層１１２ｂ、１１３ｂ同士が金線１１４ａにより接続され、更に図７及び図８に示すように、圧電素子１１３の電極層１１３ｂには別の金線１１４ｂが接続され、この金線１１４ｂが制御回路１１４ｃに接続されている。以上の構成により、制御回路１１４ｃから圧電素子１１２、１１３に対して制御電圧を印加できるようになっている。
【０００７】
圧電素子１１２、１１３は、電極層１１２ｂ、１１２ｃ、１１３ｂ、１１３ｃを介して電圧が加えられると歪みを発生させる素子である。
圧電素子１１２、１１３の圧電体層１１２ａ、１１３ａは膜厚方向に分極するが、その分極方向は圧電素子１１２及び１１３とで逆方向となっている。従って、電極層１１２ｃ、１１３ｃに同じ制御電圧をかけたときに、一方の圧電素子は長手方向に伸長し、他方の圧電素子は長手方向に収縮するという性能がある。
その結果、弾性支持部１１１ｄ、１１１ｄが歪み、揺動部１１１ｂの先端部に取りつけられたスライダ１２１の位置が変化する。すなわち、揺動部１１１ｂの先端部に取りつけられるスライダ１２１をトラック幅方向に微小に動かして、精密なトラッキング動作が行えるようになっている。
磁気ディスク１０１の記録密度の向上につれて、トラッキング動作の精度を向上させる必要があるが、上記のロードビーム１０４によれば、精密なトラッキング動作が可能であり、記録密度の向上にも対応可能である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記の導電性接着樹脂１１５には、ロードビーム１０４と圧電素子１１２、１１３との導通を確保するとともに、ロードビーム１０４と圧電素子１１２、１１３との接着強度を高くして圧電素子１１２、１１３の変位をロードビームに確実に伝達させる機能が求められる。
【０００９】
しかし、通常用いられる導電性接着樹脂１１５は、エポキシ系接着樹脂に金属フィラー等を混合したものであるが、金属フィラーの混合により接着強度が低下するので、圧電素子１１２、１１３の変位をロードビーム１０４に確実に伝達させることができず、正確なトラッキング動作が行えないという問題があった。
【００１０】
また、導電性接着樹脂１１５は高温で劣化しやすいため、例えば磁気ヘッド装置が長時間に渡って連続運転された場合、磁気ヘッド装置全体の温度が上昇して導電性接着樹脂１１５の接着強度が低下し、トラッキング動作を正確に行えないという問題もあった。
【００１１】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、圧電素子とロードビームとの接着強度を高めてトラッキング動作を正確に行うことが可能な磁気ヘッド装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
本発明の磁気ヘッド装置は、記録媒体に記録された磁気信号を検出する再生素子及び前記記録媒体に磁気信号を記録する記録素子が設けられたスライダと、前記スライダを支持する弾性支持部材と、前記弾性支持部材上に搭載され、該弾性支持部材に歪みを与えて前記スライダの位置を変化させる圧電素子とが備えられてなる磁気ヘッド装置であり、前記圧電素子は圧電体層と該圧電体層を挟む一対の電極層からなり、前記弾性支持部材は、固定基端部と、該固定基端部に連結されて前記スライダを支持するとともに前記圧電素子によって前記固定基端部に対して揺動自在な揺動部とから構成され、前記圧電素子の前記一方の電極層が前記固定基端部及び前記揺動部の側に対向した状態で、前記圧電素子が前記固定基端部と前記揺動部とを掛け渡すように配置され、前記一方の電極面と前記固定基端部及び前記揺動部とが導電性接着樹脂を介して接合されるとともに、前記圧電素子の伸縮方向両側の端面と前記固定基端部及び前記揺動部とが非導電性接着樹脂を介して接合されることを特徴とする。
前記圧電素子は、前記固定基端部と前記揺動部との間で、伸縮自在に掛け渡されていることが好ましい。
【００１３】
係る磁気ヘッド装置によれば、圧電素子が固定基端部及び揺動部に対し、導電性接着樹脂及び非導電性接着樹脂によって接合されているので、導電性接着樹脂単独の場合よりも接合強度を向上させることができ、圧電素子の変形量を弾性支持部材に確実に伝達させることができ、これにより、トラッキング動作の精度を向上させることが可能になる。
また、非導電性接着樹脂は圧電素子の伸縮方向の両端部に接合しているので、圧電素子の伸縮動作を妨害することがなく、トラッキング動作の精度を向上させることが可能になる。
更に、非導電性接着樹脂が圧電素子の伸縮方向両側の端面に接合される際に、非導電性接着樹脂が圧電体層を挟む一対の電極層の双方に接合されたとしても、非導電性接着樹脂は導電性を有していないため、電極層同士をショートさせることがない。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は本発明の実施形態の磁気ヘッド装置が備えられたハードディスク装置の一例を示す平面図であり、図２は本実施の形態の磁気ヘッド装置の斜視図であり、図３及び図４は図２のＡ−Ａ’線に沿う拡大断面図である。尚、図１〜図４は、本発明の内容の理解を容易にするために模式的に表したものであり、各部の寸法関係は図１〜４に示す内容に限定されるものではない。
【００１７】
図１に示すハードディスク装置には、円盤状の磁気ディスク１と、磁気ディスク１を回転駆動するスピンドルモータ２と、キャリッジ３と、弾性支持部材であるロードビーム１１と、スライダ２１と、ボイスコイルモータ６とが備えられている。
なお、ロードビーム１１は、剛性支持部材であるキャリッジ３の先端部３ａに連結されて支持されている。キャリッジ３の基端部３ｂにはボイスコイルモータ６が取りつけられている。
そして本発明に係る磁気ヘッド装置１０は、ロードビーム１１とスライダ２１とから概略構成されている。
【００１８】
スライダ２１は、セラミック材料により形成され、ロードビーム１１の先端に取り付けられている。またスライダ２１のトレーリング側端面Ｔには図２に示されるごとく薄膜素子２１ａが設けられ、スライダ２１の記録媒体との対向面側にはＡＢＳ面（浮上面）が形成されている。
【００１９】
図２に示す薄膜素子２１ａは、記録媒体に記録された磁気記録信号を再生する再生素子（ＭＲヘッド）と、記録媒体に磁気信号を記録する記録素子（インダクティブヘッド）との双方を含む、いわゆる複合型薄膜素子である。再生素子は、例えばスピンバルブ膜に代表される磁気抵抗効果を利用した磁気抵抗効果素子と磁性材料のシールド層とを有して構成され、また記録素子は、磁性材料のコアとコイルとがパターン形成された構成となっている。
【００２０】
スライダ２１を支持する弾性支持部材であるロードビーム１１は、図２に示すように圧電素子１２、１３を搭載したものである。
このロードビーム１１は、ステンレスの板ばね材によって形成されており、キャリッジ３によって保持される固定基端部１１ａとこの固定基端部１１ａに対して水平方向に揺動可能な揺動部１１ｂとを有している。固定基端部１１ａと揺動部１１ｂの間には空隙部１１ｅが設けられており、また固定基端部１１ａの前端部両脇には、固定基端部１１ａの長手方向に延びる腕部１１ｃ、１１ｃが形成されている。また、揺動部１１ｂは弾性支持部１１ｄ、１１ｄを介して腕部１１ｃ、１１ｃに連結されている。
【００２１】
さらに、揺動部１１ｂと固定基端部１１ａ上に、圧電素子１２、１３が空隙部１１ｅに架け渡されて設置されている。
圧電素子１２、１３は、図２及び図３に示すように、チタン酸ジルコン酸鉛（ジルコン酸チタン酸鉛）等の圧電材料を主体とする圧電体層１２ａ、１３ａと、この圧電体層１２ａ、１３ａを挟む一対の電極層１２ｂ、１２ｃ、１３ｂ、１３ｃとから構成されている。
【００２２】
図２及び図３により圧電素子１２、１３とロードビームとの接合構造を更に詳細に説明する。圧電素子１３は、電極層１３ｂ、１３ｃに電圧が加えられると、歪みを発生させる素子であり、圧電素子１３の長手方向に伸縮する性能がある。この圧電素子１３は、図２に示すように、電極層１３ｃが固定基端部１１ａ及び揺動部１１ｂ側に向いた状態で、固定基端部１１ａ及び揺動部１１ｂに掛け渡されて配置されている。更に圧電素子１３の電極面１３ｃと固定基端部１１ａ及び揺動部１１ｂの間には、導電性接着樹脂１５が塗布されており、圧電素子１３はこの導電性接着樹脂１５を介して固定基端部１１ａ及び揺動部１１ｂに接合されている。
【００２３】
また図２及び図３に示すように、圧電素子１３の伸縮方向両側（図３中圧電素子１３の長手方向両側）の端面１３ｄ、１３ｅ（両端部）の外側には、非導電性接着樹脂１６が盛られており、この非導電性接着樹脂１６が端面１３ｄ、１３ｅに接合している。このようにして非導電性接着樹脂１６を介して圧電素子１３の端面１３ｄ、１３ｅと固定基端部１１ａ及び揺動部１１ｂとが接合されている。図３に示す非導電性接着樹脂１６と圧電素子１３との接合構造は、圧電素子１３の両端面１３ｄ、１３ｅにのみ非導電性接着樹脂１６が接合した構造であり、非導電性接着樹脂が電極面１３ｂに接する構造ではない。
また仮に、非導電性接着樹脂１６が圧電素子１３の電極層１３ｂ、１３ｃの双方に接合されたとしても、非導電性接着樹脂１６は導電性を有していないため、電極層１３ｂ、１３ｃ同士をショートさせることがない。
【００２４】
また非導電性接着樹脂１６は、圧電素子１３の伸縮方向両側に盛られることが好ましい。圧電素子の両端部１３ｄ、１３ｅで非導電性接着樹脂１６が圧電子素子１３の幅方向に多少はみ出てもかまわないが、両端部１３ｄ、１３ｅ以外の部分で圧電素子１３の幅方向外側に盛られると、非導電性接着樹脂１６が圧電素子１３の伸縮動作を妨害するおそれがあるので好ましくない。
更に非導電性接着樹脂１６は、両端面１３ｄ、１３ｅの両方に接合されていることが好ましい。いずれか一方の端面のみに接合された状態では、圧電素子とロードビームとの接合強度が不十分になるので好ましくない。
【００２５】
導電性接着樹脂１５は、例えば、金属フィラーや炭素粒子を接着樹脂に混合したものを例示でき、接着樹脂としては、熱硬化性のエポキシ樹脂、その他ポリエステル系、アクリル系、ポリオレフィン系、ポリウレタン系の接着樹脂を例示できるが、特にエポキシ樹脂が好ましい。
また、非導電性接着樹脂１６は、光硬化型の接着樹脂を用いることが好ましく、例えば紫外線硬化型の接着樹脂を用いることが好ましい。中でも、ポリエステル系またはアクリル系の紫外線硬化型の接着樹脂を用いることが好ましい。
【００２６】
以上のようにこの圧電素子１３は、２種類の接着樹脂１５、１６によりロードビーム１１に接合されている。
尚、図３には圧電素子１３のみを示しているが、もう一つの圧電素子１２の接合構造も図３に示す構造と同一である。
導電性接着樹脂１５は、圧電素子１３を、固定基端部１１ａ及び揺動部１１ｂに固定するとともに、これらの間の導通を確保する機能がある。
また、非導電性接着樹脂１６は、圧電素子１３を、固定基端部１１ａ及び揺動部１１ｂに固定し、導電性接着樹脂１５による接合を補強する機能がある。
【００２７】
次に、圧電素子１２、１３及びロードビーム１１の電気的な接続構造を、図２及び図３により説明する。
前述のように、圧電素子１２、１３はロードビーム１１に導通した状態で接合されており、更にロードビーム１１はアースに接続されている。また、圧電素子１２、１３の電極層１２ｂ、１３ｂ同士は金線ワイヤ１４ａで接続されており、更に圧電素子１３には別の金線ワイヤ１４ｂが接続されており、この金線ワイヤ１４ｂは制御回路１４ｄに接続されている。
尚、図３に示すように、金線ワイヤ１４ｂは、接続部１４ｃを介して圧電素子１３の電極面１３ｂに接合されている。
以上の構成により、圧電素子１２、１３には制御回路１４ｄから制御電圧が印加できるようになっている。
【００２８】
圧電素子１２、１３は、電極層１２ｂ、１２ｃ、１３ｂ、１３ｃに制御電圧が加えられると、歪みを発生させ、その長手方向に伸縮する素子である。電圧の印加により、圧電素子１２、１３の圧電体層１２ａ、１３ａは膜厚方向に分極するが、その分極方向は圧電素子１２、１３とで逆方向になっている。従って、電極層１２ｃ、１３ｃに、金線ワイヤ１４ｂを介して同じ電位をかけたときに、一方の圧電素子は長手方向に伸長し、他方の圧電素子は長手方向に収縮する。
【００２９】
その結果、弾性支持部１１ｄ、１１ｄが歪み、揺動部１１ｂの先端部に取りつけられたスライダ２１の位置が変化する。すなわち、揺動部１１ｂの先端部に取りつけられたスライダ２１をトラック幅方向（図２中、両矢印方向）に動かして、トラッキング動作を行わせることが可能となる。
【００３０】
このとき、圧電素子１２、１３が固定基端部１１ａ及び揺動部１１ｂに対し、導電性接着樹脂１５及び非導電性接着樹脂１６によって接合されており、非導電性接着樹脂１６によって接合強度が補強されているので、導電性接着樹脂１５単独の場合よりも接合強度が向上し、圧電素子１２、１３の変形量をロードビーム１１に確実に伝達させることができ、これによりスライダ２１のトラック幅方向への変位量が大きくなって、トラッキング動作の精度を向上できる。
【００３１】
次に、圧電素子１２、１３とロードビーム１１との接合構造は、図４に示す構造であってもよい。尚、図４には圧電素子１３のみを示しているが、もう一つの圧電素子１２の接合構造も図４に示す構造と同一であり、この圧電素子１３についての構造により得られる効果も、圧電素子１２において同一である。
図４に示す圧電素子１３は、電極層１３ｃが固定基端部１１ａ及び揺動部１１ｂ側に向いた状態で、固定基端部１１ａ及び揺動部１１ｂに掛け渡されて配置されている。更に圧電素子１３の電極面１３ｃと固定基端部１１ａ及び揺動部１１ｂの間には、導電性接着樹脂１５が塗布されており、圧電素子１３はこの導電性接着樹脂１５を介して固定基端部１１ａ及び揺動部１１ｂに接合されている。
【００３２】
また図４に示すように、圧電素子１３の伸縮方向両側（図３中圧電素子１３の長手方向両側）にある端面１３ｄ、１３ｅ（両端部）の外側には、非導電性接着樹脂１７が盛られており、この非導電性接着樹脂１７が端面１３ｄ、１３ｅに接合している。
更に非導電性接着樹脂１７は、両端面１３ｄ、１３ｅから電極層１３ｂの一部を覆うように盛られている。そして非導電性接着樹脂１７が金線ワイヤ１４ｂの接続部１４ｃを被覆している。
また非導電性接着樹脂１７は、圧電素子１３の伸縮方向両側に盛られることが好ましい。圧電素子の両端部１３ｄ、１３ｅで非導電性接着樹脂１７が圧電子素子１３の幅方向に多少はみ出てもかまわないが、両端部１３ｄ、１３ｅ以外の部分で圧電素子１３の幅方向外側に盛られると、非導電性接着樹脂１７が圧電素子１３の伸縮動作を妨害するおそれがあるので好ましくない。
【００３３】
このようにして、非導電性接着樹脂１７を介して圧電素子１３の両端面１３ｄ、１３ｅと固定基端部１１ａ及び揺動部１１ｂとが接合されている。
【００３４】
上記構造を有する磁気ヘッド装置においては、非導電性接着樹脂１７が金線ワイヤ１４ｂの接続部１４ｃを被覆することにより、接続部１４ｃと電極層１３ｂとの接合強度を補強することができ、金線ワイヤ１４ｂと電極層１３ｂとの断線を防止することができる。
また、非導電性接着樹脂１７は圧電素子１２、１３の電極層１２ｂ、１２ｃ、１３ｂ、１３ｃの双方にそれぞれ接合されるが、非導電性接着樹脂１７は導電性を有していないため、電極層同士をショートさせることがない。
【００３５】
【実施例】
非導電性接着樹脂による補強前後におけるスライダの変位量を調査した。
図２に示すロードビームの先端にスライダを取り付け、更にロードビームの揺動部及び固定基端部に導電性接着樹脂を塗布した後、圧電素子を取り付けた。更に加熱により導電性接着樹脂を熱硬化させることによりロードビームに圧電素子を接合させて、試料１−１〜２０−１の磁気ヘッド装置を製造した。導電性接着樹脂は、エポキシ系接着樹脂に金属フィラーを混合したものを用いた。
この磁気ヘッド装置は、非導電性接着樹脂による補強がなされていないもので、補強前の磁気ヘッド装置である。
【００３６】
次に、図２に示すロードビームの先端にスライダを取り付け、更にロードビームの揺動部及び固定基端部に導電性接着樹脂を塗布した後に圧電素子を取り付けた。そして、この圧電素子の長手方向の両端部に紫外線硬化型の非導電性接着樹脂を盛りつけた。そして、紫外線照射して非導電性接着樹脂を硬化させた後に、加熱して導電性接着樹脂を熱硬化させることにより圧電素子をロードビームに接合して、試料１−２〜２０−２の磁気ヘッド装置を製造した。
この磁気ヘッド装置は、非導電性接着樹脂による補強がなされたもので、補強後の磁気ヘッド装置である。
【００３７】
上記の補強前後の磁気ヘッド装置を図１に示すハードディスク装置にそれぞれ組み込み、圧電素子に±３０Ｖ（周波数５００Ｈｚ）の電圧を印加してスライダのトラッキング動作を行い、このときのスライダの変位量を測定した。結果を表１及び図５に示す。
【００３８】
【表１】
0003631688.tif 000002
【００３９】
図５は、補強前後の磁気ヘッド装置のスライダ変位量の関係を示すグラフであり、横軸に補強前の磁気ヘッド装置のスライダ変位量を示し、縦軸に補強後の磁気ヘッド装置のスライダ変位量を示すものである。
表１及び図５の黒塗りひし形のプロットで示すように、補強前の試料１−１〜１０−１の磁気ヘッド装置では０．４８〜０．５０μｍ程度の変位量を示すのに対し、補強後の試料１−２〜１０−２の磁気ヘッド装置では０．６９〜０．７４μｍ程度の変位量を示しており、補強前後で変位量が０．２μｍ程度増加していることがわかる。
同様に、表１及び図５の黒塗り正方形のプロットで示すように、補強前の試料１１−１〜２０−１の磁気ヘッド装置では１．０７〜１．１３μｍ程度の変位量を示すのに対し、補強後の試料１１−２〜２０−２の磁気ヘッド装置では１．２９〜１．３７μｍ程度の変位量を示しており、補強前後で変位量が０．２μｍ程度増加していることがわかる。
【００４０】
このように、圧電素子とロードビームとの接合強度を非導電性接着樹脂で補強することにより、圧電素子の変形量がロードビームに確実に伝達されてスライダの変位量が増加し、これによりトラッキング動作に精度を向上できることがわかる。
【００４１】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明の磁気ヘッド装置によれば、圧電素子が固定基端部及び揺動部に対し、導電性接着樹脂及び非導電性接着樹脂によって接合されているので、導電性接着樹脂単独の場合よりも接合強度を向上させることができ、圧電素子の変形量を弾性支持部材に確実に伝達させることができ、これにより、トラッキング動作の精度を向上できる。
また、非導電性接着樹脂は圧電素子の伸縮方向両側の端面に接合しているので、圧電素子の伸縮動作を妨害することがなく、トラッキング動作の精度を向上できる。
更に、非導電性接着樹脂が圧電素子の伸縮方向両側の端面に接合される際に、非導電性接着樹脂が圧電体層を挟む一対の電極層の双方に接合されたとしても、非導電性接着樹脂は導電性を有していないため、電極層同士をショートさせることがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の磁気ヘッド装置が備えられたハードディスク装置の例を示す平面図である。
【図２】本発明の実施形態の磁気ヘッド装置の斜視図である。
【図３】図２のＡ−Ａ’線に沿う拡大断面図である。
【図４】図２のＡ−Ａ’線に沿う拡大断面図である。
【図５】補強前後の磁気ヘッド装置のスライダ変位量の関係を示すグラフである。
【図６】従来のハードディスク装置の例を示す平面図である。
【図７】従来の磁気ヘッド装置の斜視図である。
【図８】図５に示す磁気ヘッド装置の要部を示す拡大断面図である。
【符号の説明】
１０  磁気ヘッド装置
１１  ロードビーム（弾性支持部材）
１１ａ  固定基端部
１１ｂ  揺動部
１２、１３  圧電素子
１２ａ、１３ａ  圧電体層
１２ｂ、１３ｂ  電極層（他方の電極層）
１２ｃ、１３ｃ  電極層（一方の電極層）
１３ｄ、１３ｅ  端部（両端部）
１４ａ、１４ｂ  金線ワイヤ（リード）
１４ｃ  接続部
１５  導電性接着樹脂
１６、１７  非導電性接着樹脂
２１  スライダ
【図１】
0003631688.tif 000003
【図２】
0003631688.tif 000004
【図３】
0003631688.tif 000005
【図４】
0003631688.tif 000006
【図５】
0003631688.tif 000007
【図６】
0003631688.tif 000008
【図７】
0003631688.tif 000009
【図８】
0003631688.tif 000010