(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板の多数枚を収納するマガジンの上方に，昇降動及び横移動するように構成した搬送体を配設し，この搬送体に，下端に水平のクランプ支持板を取付けて成る鉛直軸を，当該鉛直軸の上端が搬送体の上面側に突出するように貫通して，この鉛直軸を，前記クランプ支持板の上面側において前記搬送体に軸受け部にて回転自在に軸支し，前記クランプ支持板の下面に，左右一対のクランプ体を支持部を介して左右方向に開閉自在に装着すると共に，この両クランプ体を同時に開閉作動するための開閉作動機構を設け，更に，前記クランプ支持板に，前記両クランプ体の支持部及び両クランプ体の開閉作動機構を覆うカバー体を，前記左右一対のクランプ体が当該カバーの外側に位置するように設ける一方，前記搬送体の上面側に，前記鉛直軸をその軸線回りに回転するための回転作動機構を設けると共に，この回転作動機構を覆うカバー体を設け，前記鉛直軸に，前記クランプ支持板のカバー体内と，前記搬送体のカバー体内とを連通する通路を穿設し，且つ，前記搬送体又はそのカバー体に，前記両カバー体内の空気をブロワー等の空気吸引手段にて吸引するための吸引口を設けたことを特徴とする半導体基板入りマガジンのクランプ搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は，半導体部品の製造に際して使用するシリコンウエハー等のような半導体基板の複数枚を収納したマガジンを，クランプして搬送するための装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に，半導体部品の製造に際して使用するシリコンウエハー等のような半導体基板は，その多数枚をマガジン内に多段状に収納し，この状態でマガジンごと各種の加工工程に順次搬送される。
この半導体基板入りマガジンを搬送するに際して，当該マガジンの上部をその上方に配設したクランプ機構にてクランプして持ち上げて搬送するように構成するように構成した場合には，以下に述べるような問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
すなわち，マガジンをクランプするクランプ機構は，回動又は摺動するように構成した少なくとも一対のクランプ体を備え，この両クランプ体を開閉するものであり，しかも，クランプした持ち上げたマガジンの方向を変えることのために鉛直線の回りに旋回するものであることにより，当該クランプ機構を，マガジンをクランプするために両クランプ体を開閉作動したときには，当該両クランプ体の回動部又は摺動部における磨滅等による塵埃が必然的に発生することになるし，しかも，クランプ機構を鉛直線の回りに旋回するための機構からも，磨滅等による塵埃が必然的に発生することになる。
【０００４】
従って，このクランプ機構を，半導体基板を入れたマガジンの上方に配設した場合には，当該クランプ機構における両クランプ体を開閉作動するとき，及び，クランプ機構を旋回するときに発生する塵埃が，その下方におけるマガジンに降りかかり，ひいては，このマガジン内に収納されている半導体基板の表面に降りかかることになるから，半導体基板にて半導体部品を製造する場合における歩留り率が低下するのである。
【０００５】
特に，半導体基板を使用して半導体部品を製造するクリーンルームでは，塵埃を極度に除去した清浄な空気を，当該クリーンルームにおける天井から床に向かって噴き出すと言ういわゆるダウンブロー方式が採用されていることから，前記クランプ機構における両クランプ体を開閉作動するに伴って発生する塵埃が半導体基板の表面に降りかかる現象は，一層，増大するのであった。
【０００６】
本発明は，半導体基板入りマガジンを，その上方に配設したクランプ機構にてクランプして搬送する場合において，前記のような問題を生じることがないようにした搬送装置を提供することを技術的課題とするものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
この技術的課題を達成するため本発明は，
「半導体基板の多数枚を収納するマガジンの上方に，昇降動及び横移動するように構成した搬送体を配設し，この搬送体に，下端に水平のクランプ支持板を取付けて成る鉛直軸を，当該鉛直軸の上端が搬送体の上面側に突出するように貫通して，この鉛直軸を，前記クランプ支持板の上面側において前記搬送体に軸受け部にて回転自在に軸支し，前記クランプ支持板の下面に，左右一対のクランプ体を支持部を介して左右方向に開閉自在に装着すると共に，この両クランプ体を同時に開閉作動するための開閉作動機構を設け，更に，前記クランプ支持板に，前記両クランプ体の支持部及び両クランプ体の開閉作動機構を覆うカバー体を，前記左右一対のクランプ体が当該カバーの外側に位置するように設ける一方，前記搬送体の上面側に，前記鉛直軸をその軸線回りに回転するための回転作動機構を設けると共に，この回転作動機構を覆うカバー体を設け，前記鉛直軸に，前記クランプ支持板のカバー体内と，前記搬送体のカバー体内とを連通する通路を穿設し，且つ，前記搬送体又はそのカバー体に，前記両カバー体内の空気をブロワー等の空気吸引手段にて吸引するための吸引口を設ける。」
と言う構成にした。
【０００８】
【作    用】
この構成において，両クランプ体をその開閉作動機構にて開いた状態にして，搬送体を，マガジンの真上まで横移動して下降動したのち，前記両クランプ体をその開閉作動機構にて閉じる作動することにより，マガジンをクランプすることができるから，以後は，前記搬送体を上昇動したのち横移動することにより，マガジンを所定の箇所に搬送することができる。また，前記搬送体の上昇動にてマガジンを持ち上げた状態で，鉛直軸を，その回転作動機構にて適宜回動することにより，マガジンを任意の方向に向けることができる。
【０００９】
この場合において，前記両クランプ体の支持部及び開閉作動機構を覆うカバー体内は，鉛直軸に穿設した通路を介して，搬送体の上面側における回転作動機構を覆うカバー体内に連通する一方，前記搬送体又はそのカバー体には，前記両カバー体内の空気をブロワー等の空気吸引手段にて吸引するための吸引口が設けられていることにより，前記両カバー体内の空気は換気されているから，前記クランプ支持板におけるカバー体内において前記両クランプ体の支持部及び開閉作動機構から発生する塵埃は，前記クランプ支持板におけるカバー体のうち左右一対のクランプ体の支持部が貫通する部分から当該カバー体の外に飛散することなく，全て，前記換気空気に乗って排気されることになり，また，前記搬送体におけるカバー体内において回転作動機構から発生する塵埃も，全て，前記換気空気に乗って排気されることになるから，下部におけるマガジンに前記塵埃が降りかかることを確実に防止できるのである。
【００１０】
【発明の効果】
従って，本発明のクランプ搬送装置によると，半導体基板の入ったマガジンを，その上方からクランプした状態で搬送することができるとともに，任意の方向に向けることができるものでありながら，前記マガジン内における半導体基板の表面にクランプ搬送装置で発生する塵埃が降りかかることを確実に防止できるから，クランプ搬送装置のために半導体部品を製造する場合における歩留り率が低下することを大幅に低減できる効果を有する。
【００１１】
【実施例】
以下，本発明の実施例を，図１及び図２の図面について説明する。
この図において符号１は，マガジンを示し，このマガジン１の内部には，シリコンウエハー２の多数枚を多段状に収納され，且つ，このマガジン１における上部左右両側面には，クランプ溝３，４が設けられている。
【００１２】
符号５は，前記マガジン１の上方に配設した板状の搬送体を示し，この搬送体５は，これを支持する移動部材２５等により，昇降動及び横移動するように構成されている。
この搬送体５には，この搬送体５を貫通する鉛直軸６が，当該鉛直軸６の下端が搬送体５の下面に，上端が搬送体５の上面に各々突出するような状態にして，後述する下端に取付けたクランプ支持板７の上面側において軸受け部にて回転自在に軸支されている。
この鉛直軸６の下端に水平にして取付けられたクランプ支持板７の下面には，左右一対のクランプ体８，９が，スライド式の支持部１０，１１にて左右方向に開閉自在に取付けられ，この両クランプ体８，９は，その各々に設けた空気圧シリンダ１２，１３にて開閉作動するように構成されている。
【００１３】
また，前記鉛直軸６の上端には，プーリ１４が嵌着され，このプーリ１４と，前記搬送体５に取付けてパルスモータ１５の出力軸上のプーリ１６との間にタイミングベルト１７を巻掛けすることにより，前記パルスモータ１５の回転で，前記鉛直軸６，ひいては，この鉛直軸６の下端にクランプ支持板７を介して取付く両クランプ体８，９を任意の方向に旋回するように構成されている。
【００１４】
そして，前記クランプ支持板７の下面に，前記両クランプ体８，９の支持部１０，１１及びその空気圧シリンダ１２，１３を覆うカバー体１８を，前記左右一対のクランプ体８，９が当該カバー１８の外側に位置するように着脱自在に取付ける一方，前記搬送体５の上面に，カバー体１９を，当該カバー体１８にてタイミングベルト１７を覆うように着脱自在に取付ける。
【００１５】
更に，前記鉛直軸６に，前記クランプ支持板７におけるカバー体１８内と，搬送体５におけるカバー体１９内とを連通する通路２０を穿設する一方，前記搬送体５又はそのカバー体１９に，前記両カバー体内の空気を図示しないブロワー等の空気吸引手段にて吸引するための吸引口２１を設ける。
なお，前記搬送体５には，前記両空気圧シリンダ１２，１３への圧縮空気の供給用ソケット２２が設けられ，このソケット２２から前記カバー体１９内及び通路２０内に配設したホース２３，２４を介して前記両空気圧シリンダ１２，１３に圧縮空気を供給するように構成されている。
【００１６】
この構成において，両クランプ体８，９をその各々の空気圧シリンダ１２，１３にて開いた状態にして，搬送体５を，マガジン１の真上まで横移動して下降動したのち，前記両クランプ体８，９をその各々の空気圧シリンダ１２，１３にて閉じる作動することにより，両クランプ体８，９の先端におけるクランプ片８ａ，９ａがマガジン１における両クランプ溝３，４内に嵌まるようにして，マガジン１をクランプすることができるから，以後は，前記搬送体５を上昇動したのち横移動することにより，マガジン１を所定の箇所に搬送することができる。
【００１７】
また，前記搬送体５の上昇動にてマガジン１を持ち上げた状態で，鉛直軸６を，パルスモータ１５にて適宜回動することにより，マガジン１を任意の方向に向けることができる。
この場合において，前記両クランプ体８，９の支持部１０，１１，及び両クランプ体８，９の開閉作動機構である両空気圧シリンダ１２，１３を覆うカバー体１８内は，鉛直軸６に穿設した通路２０を介して，搬送体５の上面側におけるタイミングベルト１７（回転作動機構）を覆うカバー体１９内に連通する一方，前記搬送体５又はそのカバー体１９には，ブロワー等の空気吸引手段への吸引口２１が設けられていることにより，前記両カバー体１８，１９内の空気は換気されているから，前記クランプ支持板７におけるカバー体１８内において前記両クランプ体８，９の支持部１０，１１及び両空気圧シリンダ１２，１３から発生する塵埃，及び，前記搬送体５におけるカバー体１９内において回転作動機構であるタイミングベルト１７から発生する塵埃は，これらのカバー体１８，１９の外に飛散することなく，全て，前記換気空気に乗って排気されることになり，下部におけるマガジン１に降りかかることを確実に防止できるのである。
【００１８】
なお，前記実施例のように，搬送体５の上面側に，鉛直軸６を回転するためのタイミングベルト１７等の回転作動機構を設けると共に，これを覆うカバー体１９を着脱自在に取付けた構成にすることにより，カバー体１９の着脱にて，タイミングベルト１７等の回転作動機構のメンテナンスが容易にでき，これに加えて，前記カバー体１９内及び通路２０内にホース２３，２４を配設することにより，両クランプ体８，９の開閉作動用の両空気圧シリンダ１２，１３への圧縮空気の供給を，構造の複雑化を招来することなく容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例を示す縦断正面図である。
【図２】  図１のII−II視拡大断面図である。
【符号の説明】
１                  マガジン
２                  シリコンウエハー
５                  搬送体
６                  鉛直軸
７                  クランプ支持板
８，９              クランプ体
１０，１１          支持部
１２，１３          開閉用空気圧シリンダ
１５                パルスモータ
１７                タイミングベルト
１８，１９          カバー体
２０                通路
２１                吸引口
【図１】
0003716008.tif 000002
【図２】
0003716008.tif 000003