(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像画素単位が縦横にマトリックス状に配列された撮像部を有し画像信号を出力する固体撮像装置において、
前記撮像部に、前記撮像画素単位毎に、回路の電源ノード又は接地ノードの電位を読み出しモニター用パッドに伝達するモニター用スイッチと前記モニター用スイッチのゲートを開閉するスイッチ選択回路を有し、
タイミングジェネレータで駆動される垂直走査回路と水平走査回路を含むスイッチ選択信号発生回路を有し、
前記垂直走査回路の垂直制御線を前記撮像部の行方向に配列する前記スイッチ選択回路に接続し、
前記水平走査回路の水平制御線を前記撮像部の列方向に配列する前記スイッチ選択回路に接続し、
前記垂直走査回路と前記水平走査回路が前記垂直制御線と前記水平制御線へ読出しパルスを送信して前記スイッチ選択回路を選択することで前記モニター用スイッチのゲートを開くことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】
請求項１記載の固体撮像装置において、前記撮像画素単位毎の前記モニター用スイッチのゲートを開いて前記撮像画素単位の回路の電源ノード又は接地ノードの電位をモニター用パッドに伝達するタイミングを、前記画像信号を出力するタイミングに同期させたことを特徴とする固体撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大規模な固体撮像装置の内部電源配線の電圧状態を簡単な手法でモニターし、内部回路の動作状態を判定するモニター回路のシステムを有する固体撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ＣＭＯＳイメージセンサは、マトリックス状に配置された複数の撮像画素単位から成る撮像部を有する。撮像画素単位は、フォトダイオードと、それに蓄積された受光量信号電荷を読出す為の読出し用トランジスタを有し、読出し用トランジスタのゲートには垂直走査回路の読出しクロック線が接続されトランジスタのオンオフが制御される。ここで、受光量信号電荷の読出し動作において、読出し後のフォトダイオードに受光量信号電荷が残ることによる残像現象が発生しないようにする為には、（フォトダイオード空乏化電位＜ゲート下限電位）の関係を保つことが肝要である。この関係が保てないと受光量信号電荷の総量を読出すことができずＣＭＯＳイメージセンサの残像特性が劣化してしまう。そのため、特許文献１等のように、フォトダイオードの電位レベルを正確に測定することで、電源電圧を最適に調整していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１８９１８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような、ＣＭＯＳイメージセンサ等の固体撮像装置の半導体チップの微細プロセスを開発する場合においては、センサー部分である撮像画素単位の特性を測定し、最適な電源電圧等を定めるための基礎特性を得る必要がある。そのために、種々の寸法の撮像画素単位を評価するＴＥＧ(Test Element Group)を作成して大量生産に耐えうる撮像画素単位を有する固体撮像装置を得るべく開発が進められている。そのプロセス開発において、個々の撮像画素単位のトランジスタの特性の評価解析を行い、最適なプロセスとトランジスタを設定してきた。
【０００５】
しかし、ＣＭＯＳイメージセンサの撮像画素単位数が増大し、１撮像画素単位を構成するトランジスタのサイズを小さくするにつれて、位置によるトランジスタのばらつきが無視できなくなってきた。また、撮像画素単位から得た受光量信号のＡＤ変換を行う複数のＡＤ変換回路を備えた固体撮像装置では、ＡＤ変換回路毎に電源電位の違いがあると、各ＡＤ変換回路の出力するデジタルデータの値に違いを生じ、固体撮像装置が出力する画像イメージに、ＤＮＬ（Differential non linearity：微分非直線性誤差）とＩＮＬ（Integral non linearity：積分非直線性誤差）を生じ、その画像イメージに違和感を生じる問題があった。
【０００６】
そのため、各撮像画素単位の位置及びＡＤ変換回路の電源電位とグラウンド電位を測定して固体撮像装置の回路に適正な電源電圧を供給する必要があった。その電源電位の測定のためには、固体撮像装置のチップのパッシベーション膜（保護膜）を剥離して、タングステン等の針を確認したい箇所に当て、電圧を測定していた。しかし、この手法では、大掛かりな装置を必要とし、時間もかかり、大変な労力を要する問題があった。また、測定の精度が悪い問題もあった。そのため、本発明は、固体撮像装置の各撮像画素単位毎の電圧状態を簡単な手法でモニターし内部の回路の動作状態を判定するモニター回路システム
を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するために、撮像画素単位が縦横にマトリックス状に配列された撮像部を有し画像信号を出力する固体撮像装置において、前記撮像部に、前記撮像画素単位毎に、回路の電源ノード又は接地ノードの電位を読み出しモニター用パッドに伝達するモニター用スイッチと前記モニター用スイッチのゲートを開閉するスイッチ選択回路を有し、タイミングジェネレータで駆動される垂直走査回路と水平走査回路を含むスイッチ選択信号発生回路を有し、前記垂直走査回路の垂直制御線を前記撮像部の行方向に配列する前記スイッチ選択回路に接続し、前記水平走査回路の水平制御線を前記撮像部の列方
向に配列する前記スイッチ選択回路に接続し、前記垂直走査回路と前記水平走査回路が前記垂直制御線と前記水平制御線へ読出しパルスを送信して前記スイッチ選択回路を選択することで前記モニター用スイッチのゲートを開くことを特徴とする固体撮像装置である。
【０００８】
また、本発明は、上記の固体撮像装置において、上記撮像画素単位毎の上記モニター用スイッチのゲートを開いて上記撮像画素単位の回路の電源ノード又は接地ノードの電位をモニター用パッドに伝達するタイミングを、上記画像信号を出力するタイミングに同期させたことを特徴とする固体撮像装置である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、固体撮像装置において、撮像画素単位毎に、回路に電圧モニター用スイッチの電圧測定端子を接続し、モニター用スイッチのゲートを開いてその電圧測定端子の接続する回路の電位をモニター用パッドに伝達することで、回路の被測定箇所の電位をモニター用パッドから外部に引き出して読み出せるようにする。それにより、固体撮像装置の試作段階で、撮像画素単位部が検知する受光量信号の確からしさを撮像部の回路の各部の電位と比較してテストし、電源電位の動作マージンが確認できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の固体撮像装置の回路のブロック図である。
【図２】本発明の固体撮像装置の撮像部における撮像画素単位と、モニター用スイッチの設置位置を示す回路図である。
【図３】本発明のモニター回路の回路図である。
【図４】本発明のモニター回路の結線の回路の全体レイアウト図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下においては、Ｘ−Ｙアドレス型の固体撮像装置１の一例であるＣＭＯＳ撮像素子に適用した場合を例に説明する。
【００１２】
＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の一実施形態による固体撮像装置１の回路のブロック図である。この固体撮像装置１は、単結晶シリコンなどの半導体領域に一体的に形成された固体撮像装置として構成される。
【００１３】
（固体撮像装置）
本実施形態において、固体撮像装置１は、図１に示すように、撮像部１００に、複数の撮像画素単位１０が行および列に（すなわち縦横にマトリクス状に）配列される。また、垂直走査回路２００が、クロック信号ＣＬＫに同期して駆動するタイミングジェネレータ５００で制御されて、垂直制御線１１に、配列された所定の行の撮像画素単位１０を選択する行選択信号を順次に送信することで行を選択し、その行の撮像画素単位１０の信号を
一斉に垂直信号線１２に読み出す垂直走査を行う。また、垂直信号線１２に読み出した信号の電圧を列増幅回路３０１が増幅し、それをＡＤ変換回路３０２がデジタル信号に変換して、各列毎のデジタル信号を水平走査回路４００のバッファメモリに記憶する。水平走査回路４００が、タイミングジェネレータ５００で制御されて、バッファメモリが記憶したデジタル信号を順に取り出す水平走査を行う。図１では、簡単のため行および列の一部を省略して示しているが、現実には、各行や各列には、数十から数千の撮像画素単位１０が配置される。
【００１４】
図１のように、垂直走査回路２００が、図２に示すような読出しクロック線Ｔｒａｎｓとリセットクロック線Ｒｅｓｅｔとから成る垂直制御線１１を介して、撮像画素単位１０に接続される。また、図１のように、撮像画素単位１０が、垂直信号線１２を介して列増幅回路３０１に、次にＡＤ変換回路３０２に接続される。水平走査回路４００及び垂直走査回路２００は、たとえばシフトレジスタによって構成され、タイミングジェネレータ５００から与えられる駆動パルスに応答してシフト動作（走査）を開始するようになっている。垂直制御線１１は、図２のように、撮像画素単位１０のフォトダイオード１３から浮き拡散容量１４へ電荷を移動させる読出しクロック線Ｔｒａｎｓと、浮き拡散容量１４の電荷をリセットするリセットクロック線Ｒｅｓｅｔとから成る。水平走査回路４００からは、デジタル信号を列の順に取り出してシリアルな画像信号にして出力端子Ｄｏｕｔ０〜Ｄｏｕｔ１５から出力する。
【００１５】
この動作は、先ず、垂直走査回路２００が垂直制御線１１に読出しパルスを送信して、その垂直制御線１１に接続する１行分の撮像画素単位１０群からの出力信号（電圧信号）を、垂直信号線１２を介してパラレルに列増幅回路３０１に入力し、その増幅結果の出力信号をＡＤ変換回路３０２でデジタル信号に変換する。その列増幅回路３０１群のデジタル信号群をパラレルに、シフトレジスタで構成する水平走査回路４００のバッファメモリに送信して記憶させる。次に、水平走査回路４００が、バッファメモリに記憶したデジタル信号を順次に取り出してシリアルな画像信号にして出力端子Ｄｏｕｔ０〜Ｄｏｕｔ１５から出力する。
【００１６】
（撮像画素単位）
図２に、第１実施形態の固体撮像装置１の撮像部１００の１つの撮像画素単位１０（一部周辺部を含む）の基本的な回路図を示す。撮像画素単位１０は、光を電荷に変換する光電変換機能とともに、その電荷を蓄積する電荷蓄積機能の各機能を兼ね備えたフォトダイオード１３と浮き拡散容量１４を有する。これにより、ＦＤＡ（Ｆｌｏａｔｉｎｇ  Ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ  Ａｍｐ）構成を成す。そして、フォトダイオード１３に蓄積された電荷を画素信号ノードＳＥＮＳに取り出して浮き拡散容量１４に蓄積する読出し用トランジスタＴｒ１と、浮き拡散容量１４（画素信号ノードＳＥＮＳ）に蓄積した電荷を電源ノードＶＤＤに掃き出して電源ノードＶＤＤの電位にリセットするリセットトランジスタＴｒ２と、そして、浮き拡散容量１４の電位変化を検知するソースフォロア構成の増幅用トランジスタＴｒ３との３つのＭＯＳトランジスタを有する。
【００１７】
フォトダイオード１３のアノード電極を接地ノードＶＳＳに接続し、そのカソード電極には読出し用トランジスタＴｒ１のソース電極を接続する。読出し用トランジスタＴｒ１のドレイン電極を画素信号ノードＳＥＮＳに接続し、画素信号ノードＳＥＮＳには、その他に、浮き拡散容量１４の１つの電極とリセットトランジスタＴｒ２のソース電極と増幅用トランジスタＴｒ３のゲート電極を接続する。浮き拡散容量１４のもう１つの電極を接地ノードＶＳＳに接続し、リセットトランジスタＴｒ２のドレイン電極と増幅用トランジスタＴｒ３のドレイン電極を電源ノードＶＤＤに接続する。増幅用トランジスタＴｒ３のソース電極を垂直信号線１２に接続する。リセットトランジスタＴｒ２のゲート電極はリセットパルスが入力されるリセットクロック線Ｒｅｓｅｔに接続する。読出し用トランジ
スタＴｒ１のゲート電極には、読出パルスを伝送する読出しクロック線Ｔｒａｎｓを接続する。読出し用トランジスタＴｒ１のゲート電極には読出しクロック線Ｔｒａｎｓを通じて読出パルスが入力され、リセットトランジスタＴｒ２のゲート電極にはリセットクロック線Ｒｅｓｅｔを通じてリセットパルスが入力される。
【００１８】
（固体撮像装置の動作）
撮像画素単位１０のフォトダイオード１３を露光することでフォトダイオード１３に受光量信号電荷を生成させ、次に、垂直走査回路２００が所定の行の垂直制御線１１（読出しクロック線Ｔｒａｎｓとリセットクロック線Ｒｅｓｅｔ）に、以下の手順で行選択信号を送信することで、その行の撮像画素単位１０のフォトダイオード１３の電荷を以下の手順で浮き拡散容量１４（画素信号ノードＳＥＮＳ）に転送する。
【００１９】
先ず、垂直走査回路２００が所定の行を選択する。そして、垂直走査回路２００がリセットパルスをその行のリセットクロック線Ｒｅｓｅｔに送信し、その行の撮像画素単位１０のリセットトランジスタＴｒ２のゲートを開く。それにより、浮き拡散容量１４（画素信号ノードＳＥＮＳ）に蓄積されていた電荷をリセットトランジスタＴｒ２を通して電源ノードＶＤＤに掃き出させてリセットする。次に、垂直走査回路２００が読出パルスをその行の読出しクロック線Ｔｒａｎｓに送信し、その行の撮像画素単位１０の読出し用トランジスタＴｒ１のゲートを開く。それにより、その行の撮像画素単位１０のフォトダイオード１３の受光量信号電荷を浮き拡散容量１４に転送させる。浮き拡散容量１４は、転送された電荷を画素信号ノードＳＥＮＳに蓄積し、その電荷量に応じて画素信号ノードＳＥＮＳの電位を変える。画素信号ノードＳＥＮＳをゲート電極に接続する増幅用トランジスタＴｒ３のソース電極には、浮き拡散容量１４の画素信号ノードＳＥＮＳの電位に応じた信号電圧が現れ、その信号電圧を垂直信号線１２へ出力する。垂直信号線１２が入力端子に接続するＡＤ変換回路４００が、その信号電圧をデジタル信号に変換する。
【００２０】
従来の固体撮像装置１は、撮像画素単位１０が配置される位置に依存して特性のバラツキがある問題があったが、その特性のバラツキを正確に解析するには膨大な数の撮像画素単位１０の位置における測定が必要であり、従来は、その膨大な数の測定が不可能である問題があった。
【００２１】
（モニター回路）
この問題を解決するために、本実施形態では、図３に示すスイッチ選択信号発生回路６００とモニター用スイッチ群Ｓ−Ｓ１（０）〜Ｓ−Ｓ１（ｕ）、Ｓ−ＶＤＤ（０）〜Ｓ−ＶＤＤ（ｕ）等からなるモニター回路を固体撮像装置１に組み込む。撮像画素単位１０毎にスイッチ選択回路ＳＥＬを設置し、固体撮像装置１にスイッチ選択回路ＳＥＬ（０）からＳＥＬ（ｕ）を設置する。そして、図４のように、スイッチ選択信号発生回路６００の垂直走査回路６２０の垂直制御線６２１を行方向に配列する撮像画素単位１０の位置のスイッチ選択回路ＳＥＬに接続し、水平走査回路６３０の水平制御線６３１を列方向に配列するスイッチ選択回路ＳＥＬに接続する。また、モニター用スイッチのゲートの開閉は、図３のように、スイッチ選択回路ＳＥＬの２つの出力端子の信号によって、各モニター用スイッチＳ−Ｓ１、Ｓ−Ｓ２、Ｓ−ＶＤＤ、Ｓ−ＶＳＳのゲートを開閉する。
【００２２】
電源電位モニター用スイッチＳ−ＶＤＤの電圧測定端子は撮像画素単位１０の電源ノードＶＤＤに接続し、接地電位モニター用スイッチＳ−ＶＳＳの電圧測定端子は撮像画素単位１０の接地ノードＶＳＳに接続し、第１の信号電位モニター用スイッチＳ−Ｓ１の電圧測定端子は撮像画素単位１０のフォトダイオード１３のカソード電極に接続し、第２の信号電位モニター用スイッチＳ−Ｓ２の電圧測定端子は撮像画素単位１０の画素信号ノードＳＥＮＳに接続する。こうして、撮像画素単位１０毎のモニター用スイッチのゲートを、撮像画素単位１０毎のスイッチ選択回路ＳＥＬで開くことで、撮像画素単位１０毎の回路
の電位をモニター用パッドＰＡＤに伝達する。
【００２３】
一方、垂直信号線１２に接続した列増幅回路３０１とＡＤ変換回路３０２の組み合わせ毎に、水平走査用のスイッチ選択回路ＳＥＬを設置する。水平走査用のスイッチ選択回路ＳＥＬの入力端子には、水平走査回路６３０の水平制御線６３１のみを接続し垂直制御線６２１を接続しないで駆動する。水平走査用のスイッチ選択回路ＳＥＬの２つの出力端子の信号により、図２に示す、垂直信号線１２毎の列増幅回路３０１の入力端子の位置に設置した第３の信号電位モニター用スイッチＳ−Ｓ３と、列増幅回路３０１の出力端子の位置に設置した第４の信号電位モニター用スイッチＳ−Ｓ４のゲートを開閉する。その第３の信号電位モニター用スイッチＳ−Ｓ３の電圧測定端子を列増幅回路３０１の入力端子に接続し、第４の信号電位モニター用スイッチＳ−Ｓ４の電圧測定端子を列増幅回路３０１の出力端子に接続する。更に、水平走査用のスイッチ選択回路ＳＥＬに接続するモニター用スイッチとして、列増幅回路３０１及びＡＤ変換回路３０２の電源ノードＶＤＤ及び接地ノードＶＳＳの電位を測定するモニター用スイッチを設置することもできる。
【００２４】
図３のように、各モニター用スイッチＳ−Ｓ１（０）〜Ｓ−Ｓ１（Ｕ）及びＳ−ＶＤＤ（０）〜Ｓ−ＶＤＤ（ｕ）は、Ｎチャネル型のトランジスタとＰチャネル型のトランジスタで構成する。スイッチ選択信号発生回路６００は、タイミングジェネレータ５００で駆動されるシフトレジスタ等から成る垂直走査回路６２０と水平走査回路６３０を有する。これにより、タイミングジェネレータ５００が、撮像部１００の垂直走査と水平走査に同期させて、スイッチ選択信号発生回路６００の垂直走査回路６２０と水平走査回路６３０を駆動し、垂直走査回路６２０が垂直制御線６２１に順次にモニター用スイッチの配列の行を選択する読出パルスを送信し、水平走査回路６３０が水平制御線６３１に順次にモニター用スイッチの配列の列を選択する読出パルスを送信し、モニター用スイッチの配列の行と列を選択する。そして、撮像画素単位１０の位置で交差する垂直制御線６２１と水平制御線６３１を、スイッチ選択回路ＳＥＬの２つの入力端子に接続し、それをスイッチ選択回路ＳＥＬのＡＮＤゲート６４１とＮＡＮＤゲート６４２の２つ入力端子それぞれに接続する。
【００２５】
スイッチ選択回路ＳＥＬのＡＮＤゲート６４１とＮＡＮＤゲート６４２の出力端子から、モニター用スイッチのＮチャネル型のトランジスタ用の信号とＰチャネル型のトランジスタ用の信号を、ハイレベルとロウレベルとを反転させて作成し、それぞれの信号を、モニター用スイッチのＮチャネル型のトランジスタのゲート電極と、Ｐチャネル型のトランジスタのゲート電極に入力する。これにより、垂直走査回路６２０と水平走査回路６３０の読出しパルスによって配置位置が選ばれたスイッチ選択回路ＳＥＬが、選ばれた位置のモニター用スイッチＳ−Ｓ１、Ｓ−Ｓ２、Ｓ−ＶＳＳ、Ｓ−ＶＤＤのゲートを撮像画素単位１０毎に開いて、電圧測定端子が接続した撮像画素単位１０の回路の電位をモニター用パッドＳ１−ＰＡＤ、Ｓ２−ＰＡＤ、ＧＮＤ−ＰＡＤ、ＶＤＤ−ＰＡＤに伝達する。
【００２６】
また、水平走査回路６３０の読出しパルスによって選ばれた列の列増幅回路３０１の位置に設置されたスイッチ選択回路ＳＥＬが、選ばれた列の列増幅回路３０１の入力端子と出力端子のモニター用スイッチＳ−Ｓ３、Ｓ−Ｓ４のゲートを開いて、その入力端子と出力端子の電位をモニター用パッドＳ３−ＰＡＤ、Ｓ４−ＰＡＤに伝達する。更に、列増幅回路３０１及びＡＤ変換回路３０２の電源ノードＶＤＤ及び接地ノードＶＳＳの電位を測定するモニター用スイッチを設置しても良い。その場合は、それらのモニター用スイッチのゲートを、列増幅回路３０１の位置に設置されたスイッチ選択回路ＳＥＬで開いて、それらの電源ノードＶＤＤ及び接地ノードＶＳＳの電位をモニター用パッドＰＡＤに伝達することができる。
【００２７】
これらのモニター用スイッチの測定点の電位を各モニター用パッドＰＡＤに伝達するタ
イミングは、タイミングジェネレータ５００が垂直走査回路２００と水平走査回路４００を駆動して画像信号を出力端子Ｄｏｕｔ０〜Ｄｏｕｔ１５から出力するタイミングに同期して順番に測定することができる。これは、タイミングジェネレータ５００が、垂直走査回路６２０と水平走査回路６３０を駆動して、スイッチ選択回路ＳＥＬを選択してモニター用スイッチが各モニター用パッドＰＡＤへ回路の電位を出力するタイミングを制御しているからである。
【００２８】
これにより、回路の電位の分布の測定値のデータを二次元の画像にして、撮像画素単位３が検出した受光量信号の出力端子Ｄｏｕｔ０〜Ｄｏｕｔ１５から出力される二次元の画像信号と比較して、測定結果を容易に解析できる効果がある。すなわち、撮像部１００の撮像画素単位１０の回路の各部の電源ノードＶＤＤと接地ノードＶＳＳの測定結果及び信号の電位の測定結果と列増幅回路３０１の回路の各部の信号電位等の測定結果をあらわす二次元画像を、ＡＤ変換回路３０２の出力のデジタルデータにした画像信号があらわす二次元画像と比較して、固体撮像装置１の回路の動作を多面的に解析することができる効果がある。こうして、固体撮像装置１の内部の各撮像画素単位１０毎の回路の電位の状態を簡単な手法でモニターし、固体撮像装置１の内部の回路の動作状態を二次元画像であらわしてビジュアルに判定することができる効果がある。
【００２９】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明の固体撮像装置１は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることができる。すなわち、本発明の固体撮像装置１はＣＭＯＳイメージセンサに限らず、ＣＣＤイメージセンサにも同様にモニター回路を設置することができ、固体撮像装置１の各撮像画素単位１０毎の回路の電位の状態を簡単な手法で、モニターし、固体撮像装置１の内部の回路の動作状態をビジュアルに判定することができる効果が得られる。
【符号の説明】
【００３０】
１・・・固体撮像装置、
１０・・・撮像画素単位
１１・・・垂直制御線
１２・・・垂直信号線
１３・・・フォトダイオード
１４・・・浮き拡散容量
１００・・・撮像部
２００・・・垂直走査回路
３０１・・・列増幅回路
３０２・・・ＡＤ変換回路
４００・・・水平走査回路
５００・・・タイミングジェネレータ
６００・・・スイッチ選択信号発生回路
６２０・・・垂直走査回路
６２１・・・垂直制御線
６３０・・・水平走査回路
６３１・・・水平制御線
６４１・・・ＡＮＤゲート
６４２・・・ＮＡＮＤゲート
ＣＬＫ・・・クロック信号
Ｄｏｕｔ、Ｄｏｕｔ０、Ｄｏｕｔ１５・・・出力端子
Ｒｅｓｅｔ・・・リセットクロック線
ＳＥＬ、ＳＥＬ（０）、ＳＥＬ（ｕ）・・・スイッチ選択回路
ＳＥＮＳ・・・画素信号ノード
Ｓ−Ｓ１、Ｓ−Ｓ１（０）、Ｓ−Ｓ１（ｕ）、Ｓ−Ｓ２、Ｓ−Ｓ３、Ｓ−Ｓ４、Ｓ−ＶＳＳ、Ｓ−ＶＤＤ、Ｓ−ＶＤＤ（０）、Ｓ−ＶＤＤ（ｕ）・・・モニター用スイッチ
Ｓ１−ＰＡＤ、Ｓ２−ＰＡＤ、Ｓ３−ＰＡＤ、Ｓ４−ＰＡＤ、ＧＮＤ−ＰＡＤ、ＶＤＤ−ＰＡＤ・・・モニター用パッド
Ｔｒａｎｓ・・・読出しクロック線
Ｔｒ１・・・読出し用トランジスタ
Ｔｒ２・・・リセットトランジスタ
Ｔｒ３・・・増幅用トランジスタ
ＶＤＤ・・・電源ノード
ＶＳＳ・・・接地ノード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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