(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
面の形状が矩形の圧電材料を用いて、焼成後の厚さＴと、前記矩形の長辺である最大長Ｌと、の比率Ｔ／Ｌが、０．０００００２以上、０．２以下である、グリーンシートを作製する過程と、
そのグリーンシートの少なくとも片面に、のちに薄板状焼成圧電体となる部分を避け、点対称となるように、散在させた焼成用補強部材を配設した後に、焼成をして、焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体を得る過程と、
を有する薄板状焼成圧電体の製造方法。
【請求項２】
前記比率Ｔ／Ｌが、０．００１以上、０．０６以下である請求項１に記載の薄板状焼成圧電体の製造方法。
【請求項３】
前記焼成用補強部材を、連続する格子形状を分断しその一部を除去した形状で、前記グリーンシートの少なくとも片面に散在させる請求項１又は２に記載の薄板状焼成圧電体の製造方法。
【請求項４】
前記焼成用補強部材を、スクリーン印刷法で形成して、前記グリーンシートの少なくとも片面に配設する請求項１〜３の何れか一項に記載の薄板状焼成圧電体の製造方法。
【請求項５】
予め前記グリーンシートより厚い焼成用補強板の上に、前記焼成用補強部材を散在させて配設した後で、その焼成用補強板の前記焼成用補強部材が配設された面を、前記グリーンシートに接合することによって、前記グリーンシートの少なくとも片面に焼成用補強部材を配設する請求項１〜４の何れか一項に記載の薄板状焼成圧電体の製造方法。
【請求項６】
前記焼成用補強部材が、前記グリーンシートより厚い請求項１〜５の何れか一項に記載の薄板状焼成圧電体の製造方法。
【請求項７】
前記焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体を得る過程の後、切断により、焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体から、焼成用補強部材を除去して、薄板状焼成圧電体を得る過程を有し、
前記切断の方法が、砥石法、ウォータージェット法、エッチング法、サンドブラスト法からなる切断手段群から選ばれる何れか１である請求項１〜６の何れか一項に記載の薄板状焼成圧電体の製造方法。
【請求項８】
請求項１〜６の何れか一項に記載の薄板状焼成圧電体の製造方法を用いて、前記焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体を得て、
その焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体におけるのちに薄板状焼成圧電体となる部分に、膜状の電極を形成する過程を有する圧電素子の製造方法。
【請求項９】
前記膜状の電極が、スピンコート法、スパッタ法、ディップ法、非接触塗布法からなる膜形成手段群から選ばれる何れか１によって形成される請求項８に記載の圧電素子の製造方法。
【請求項１０】
切断により、膜状の電極が形成された焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体から、焼成用補強部材を除去して、圧電素子を得る過程を有し、
前記切断の方法が、砥石法、ウォータージェット法、エッチング法、サンドブラスト法からなる切断手段群から選ばれる何れか１である請求項８又は９に記載の圧電素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、両面が焼成面で構成され、平面度に優れた、薄い板状の圧電体を製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、光学、精密機械、半導体製造等の分野において、サブミクロンのオーダーで光路長や位置を調整する、変位制御デバイスが所望されるようになってきている。これに応え、圧電デバイスの開発が進められている。この圧電デバイスは、強誘電体や反強誘電体に電界を加えたときに起こる逆圧電効果等に基づく歪み（変形）を利用した圧電アクチュエータや、同様の効果に基づいて強誘電体／反強誘電体に応力を加えたときに起こる電荷発生を利用した圧電センサ等である。そして、これら圧電デバイスの中核をなすものは、焼成された圧電体、及び、それを電極で挟んでなる圧電素子である。【０００３】
焼成された圧電体（焼成圧電体）は、高温で焼成して作製することが可能である。そして、この焼成圧電体は、添加物の種類を適切に選定することによって、圧電定数が高い、大きな変位を得られるものとすることが出来る。このような焼成圧電体で構成される圧電素子は、小型であっても大きな変位を得ることが出来るので、上記変位制御デバイスの駆動部として、好適に採用される。【０００４】
圧電体を製造する方法についての先行文献としては、次の特許文献１，２を挙げることが出来る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−０５１２３８号公報
【特許文献２】特開平９―２２９０１３号公報
【発明の概要】
【０００６】
しかしながら、従来の圧電体の製造方法は、以下のような問題を抱えている。即ち、圧電体が、１層又は数層であり、全体の厚さが２０μｍ以下であるような、薄板状である場合には、焼成による変形が大きく、平面度の高い圧電体が得られない。加えて、その変形があるために、ハンドリングする際に割れが発生し易い。又、廃棄する材料が多大となったり、高額な金型等を使用せざるを得ない場合がある。
【０００７】
先行文献に基づく具体的な問題を挙げる。先ず、上記特許文献１では、２層構造で２層目が窓形状（閉空間）であるダイヤフラム構造体を製造する方法が開示されている。この特許文献１においては、セッター等に載せて焼成するときに、１層目のダイヤフラム部の表裏面において、焼成雰囲気が異なるものとなり、焼結状態に微妙な差が生じて、ダイヤフラム部が所望形状とならないことが懸念される。
【０００８】
次に、上記特許文献２では、マルチダイヤフラム構造体を製造する方法が開示されており、その中で、３層構造のうち２層目を印刷で形成することが記載されている。このマルチダイヤフラム構造体は、１層目を振動板とし、２層目を印刷でパターニングし（閉空間を形成し）、３層目を貫通穴が形成された基板として、作製されるものである。ダイヤフラムは１層目と２層目で構成され、３層目の貫通孔は外部に連通している。このようなマルチダイヤフラム構造体を製造する方法においては、３層目が存在するので、これがのちに製品として使用しない部分となり、廃棄する材料の量が多くなることが懸念される。又、３層目に貫通孔を形成するので、圧電素子の高密度化及びそれに伴う製造における多個取り化が進むにつれ、貫通孔を形成すること自体がコスト増を招来する懸念がある。
【０００９】
特許文献２に対して検討するに、先ず、２層目の印刷パターンは、少なくとも１箇所、同一の平面に開口を持つため、３層目は不要とすることも可能と考えられる。又、焼成後に１層目（薄板部）を切り出すようにすれば、切り出す部分以外が廃棄対象になるので、廃棄する材料の量を減らすことが出来ると思われる。更には、薄板部の平面度を向上させるため、３層目を補強として使用すれば、貫通孔が不要となって、貫通孔を形成するための金型を使用する必要はなくなり、工数を低減することが出来ると考えられる。
【００１０】
本発明は、上記のような検討に加えて、更なる研究を積み重ねてなされたものであり、その課題とするところは、平面度に優れた、薄い板状の圧電体を、安価に製造する手段を提供することである。検討及び研究の結果、圧電体となるグリーンシートに、離島状の焼成用補強部材を接合して、焼成時の変形を防止し、焼成後に、焼成用補強部材部分ではない（元はグリーンシートであった）薄板部分を切り出すことによって、上記課題が解決され、安価に、平面度に優れた薄板状焼成圧電体を得られることが、見出された。
【００１１】
即ち、先ず、本発明によれば、圧電材料を用いて、焼成後の厚さＴが、０．１μｍ以上、２０μｍ以下であり、厚さＴと、面内の最大長Ｌと、の比率Ｔ／Ｌが、０．０００００２以上、０．２以下である、グリーンシートを作製する過程と、そのグリーンシートの少なくとも片面に、のちに薄板状焼成圧電体となる部分を避けるように散在させた焼成用補強部材を配設した後に、焼成をして、焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体を得る過程と、を有する薄板状焼成圧電体の製造方法が提供される。
【００１２】
少なくとも片面に、であるから、グリーンシートの両面に焼成用補強部材を配設してもよい。
【００１３】
後述するように、焼成後に、焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体から、焼成用補強部材を取り除けば、薄板状焼成圧電体が得られる。
【００１４】
グリーンシートの厚さＴ及び面内の最大長Ｌは、高温の焼成によって縮むため、得ようとする薄板状焼成圧電体の厚さ及び面内の最大長を基にして、収縮率を考慮し、グリーンシートの厚さＴ及び面内の最大長Ｌを決定すればよい。
【００１５】
グリーンシートは、のちに薄板状焼成圧電体となる部分を含む、焼成前の圧電セラミック材料からなるシートである。焼成用補強部材は、実質的には、そのグリーンシートと同様に、焼成前のセラミック材料からなるシート（同じくグリーンシート）である。焼成用補強部材のセラミック材料は、薄板状焼成圧電体となるグリーンシートの圧電セラミック材料と、同じであっても異なっていてもよいが、より平面度の高いものを得ようとする場合には、同一の材料であることが好ましい。
【００１６】
本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法においては、上記比率Ｔ／Ｌが、０．００１以上、０．０６以下であることが好ましい。
【００１７】
本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法では、焼成用補強部材は、グリーンシートの少なくとも片面に、散在して配設される。散在するのであるから、焼成用補強部材は複数である。散在して、とは、離島のように、分離、独立して存在する態様を意味する。好ましい散在の態様は、具体的には以下のようなものである。
【００１８】
即ち、本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法においては、焼成用補強部材を、点対称となるように、グリーンシートの少なくとも片面に散在させることが好ましい。点対称となるように散在させるとは、散在させた全ての焼成用補強部材のうちから選択した複数の焼成用補強部材の配置（の形状）が、対称点を有しており、その対称点を中心に１８０°回転させても、その配置（の形状）が不変であることを意味する。
【００１９】
本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法においては、焼成用補強部材を、連続する格子形状を分断しその一部を除去した形状で、グリーンシートの少なくとも片面に散在させることが好ましい。このような態様は、多数の焼成用補強部材を用い、薄板状焼成圧電体多個取りする場合に、好ましく採用される。
【００２０】
本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法においては、焼成用補強部材を、スクリーン印刷法で形成して、グリーンシートの少なくとも片面に配設することが好ましい。
【００２１】
本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法においては、予めグリーンシートより厚い焼成用補強板の上に、焼成用補強部材を散在させて配設した後で、その焼成用補強板の焼成用補強部材が配設された面を、グリーンシートに接合することによって、グリーンシートの少なくとも片面に焼成用補強部材を配設することが好ましい。
【００２２】
本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法においては、焼成用補強部材が、グリーンシートより厚いことが好ましい。具体的には、例えば、グリーンシートの厚さを１０μｍとすれば、焼成用補強部材は１０μｍ超であって、数十μｍ（例えば５０μｍ〜９０μｍ）であることが好ましい。百μｍオーダーであってもよい。
【００２３】
本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法においては、焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体を得る過程の後、切断により、焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体から、焼成用補強部材を除去して、薄板状焼成圧電体を得る過程を有し、切断の方法が、砥石法、ウォータージェット法、エッチング法、サンドブラスト法からなる切断手段群から選ばれる何れか１であることが好ましい。
【００２４】
次に、本発明によれば、上記した（切断により焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体から焼成用補強部材を除去して薄板状焼成圧電体を得る過程を有しない、その前の過程からなる）薄板状焼成圧電体の製造方法を用いて、焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体を得て、その焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体におけるのちに薄板状焼成圧電体となる部分に、膜状の電極を形成する過程を有する圧電素子の製造方法が提供される。
【００２５】
本発明に係る圧電素子の製造方法においては、上記膜状の電極が、スピンコート法、スパッタ法、ディップ法、非接触塗布法からなる膜形成手段群から選ばれる何れか１によって形成されることが好ましい。
【００２６】
本発明に係る圧電素子の製造方法においては、切断により、膜状の電極が形成された焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体から、焼成用補強部材を除去して、圧電素子を得る過程を有し、切断の方法が、砥石法、ウォータージェット法、エッチング法、サンドブラスト法からなる切断手段群から選ばれる何れか１であることが好ましい。
【００２７】
本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法は、圧電材料を用いて、焼成後の厚さＴが、０．１μｍ以上、２０μｍ以下であり、厚さＴと、面内の最大長Ｌと、の比率Ｔ／Ｌが、０．０００００２以上、０．２以下である、グリーンシートを作製し、そのグリーンシートの少なくとも片面に、のちに薄板状焼成圧電体となる部分を避けるように散在させた焼成用補強部材を配設した後に焼成をするので、焼成時に、焼成用補強部材が散在することによって、局所的に焼成時の雰囲気が異なることがなく、グリーンシート周辺の雰囲気を均一にし易く、表裏面で同一焼結状態の薄板状焼成圧電体を得ることが出来る。そして、その結果、平面度に優れた薄い板状の圧電体を得ることが可能となる。又、本発明に係る圧電素子の製造方法では、グリーンシートの少なくとも片面に、のちに薄板状焼成圧電体となる部分を避けるように散在させた焼成用補強部材を配設した後に焼成をし、その後、更に、電極を焼成させるが、その際の熱による変形量を低減することが出来るので、平面度に優れた薄い板状の圧電体を有する圧電素子を得ることが可能となる。平面度とは、平面であるべき薄板状焼成圧電体の表面の、幾何学的平面からの狂いの大きさのことをいう。
【００２８】
本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法において、グリーンシートの両面に焼成用補強部材を配設した場合に、特に、両面に、グリーンシートに対して対称となるように焼成用補強部材を配置することによって、そうしない場合より、表裏面で焼結状態の差がない薄板状焼成圧電体を得ることが出来る。
【００２９】
本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法は、その好ましい態様において、焼成用補強部材を、点対称となるように、グリーンシートの少なくとも片面に散在させるので、焼成時に、グリーンシート（薄板状焼成圧電体）に与えられる応力が点対象となり、局所的な変形の発生を低減することが出来る。
【００３０】
本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法は、その好ましい態様において、焼成用補強部材を、スクリーン印刷法で形成するので、様々な焼成用補強部材のパターンを、安価に実現することが出来る。焼成用補強部材のパターンとは、焼成用補強部材の形状及び焼成用補強部材の配置態様の何れか又は両方である。
【００３１】
本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法は、その好ましい態様において、予めグリーンシートより厚い焼成用補強板の上に、焼成用補強部材を散在させて配設した後で、その焼成用補強板の焼成用補強部材が配設された面を、グリーンシートに接合することによって、グリーンシートの少なくとも片面に、焼成用補強部材を配設する。そして、その後、焼成されるので、グリーンシートと焼成用補強板が、それらに挟まれた焼成用補強部材を介して接合された状態で、焼成される。従って、焼成後の、グリーンシート及び焼成用補強板並びにそれらに挟まれた焼成用補強部材を含む全体の反りを、低減することが可能である。
【００３２】
本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法は、その好ましい態様において、焼成用補強部材がグリーンシートより厚いので、薄い場合より剛性を高くすることが出来、焼成時の反りを低減することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】図１は、本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法における一の実施形態を表す断面図であり、工程（１）〜（４）を示す図である。
【図２】図２は、本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法の一の実施形態を表す図であり、使用するグリーンシートを表す斜視図である。
【図３Ａ】図３Ａは、本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法の一の実施形態を表す図であり、製造過程で得られる焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体を表す裏面図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、図３Ａに示されるＡＡ断面を表す断面図であり、上側を表面とし、下側を裏面（図３Ａに表された面）として表した図である。
【図４Ａ】図４Ａは、焼成用補強部材のパターンの一例を示す図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、焼成用補強部材のパターンの他例を示す図である。
【図４Ｃ】図４Ｃは、焼成用補強部材のパターンの他例を示す図である。
【図５】図５は、本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法における他の実施形態を表す断面図であり、工程（１）〜（５）を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、本発明の実施の形態について、適宜、図面を参酌しながら説明するが、本発明はこれらに限定されて解釈されるべきものではなく、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々の変更、修正、改良を加え得るものである。例えば、図面は、好適な本発明の実施の形態を表すものであるが、本発明は図面に表される態様や図面に示される情報により制限されない。本発明を実施し又は検証する上では、本明細書中に記述されたものと同様の手段若しくは均等な手段が適用され得るが、好適な手段は以下に記述される手段である。
【００３５】
最初に、本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法における一の実施形態について、図１〜図４Ｃを参酌しながら説明する。尚、図１は、薄板状焼成圧電体を１個得るための図として（他を省略して）描かれ、図３Ａ及び図３Ｂは、薄板状焼成圧電体を９個得るための図として描かれている。本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法は、９個以上の多個取りが可能であり、一枚のグリーンシートから、数〜数百オーダーの薄板状焼成圧電体を作成することが可能なことはいうまでもない。
【００３６】
先ず、圧電材料を用いてグリーンシート２１を作製する（図１の工程（１）及び図２を参照）。このグリーンシート２１は、単層の薄板状を呈し、厚さＴが、０．１μｍ以上、２０μｍ以下であり、厚さＴと、面内の最大長Ｌと、の比率Ｔ／Ｌが、０．０００００２以上、０．２以下である。具体的には、例えば、ジルコン酸チタン酸鉛等のセラミックス粉末にバインダ、溶剤、分散剤、可塑剤等を添加混合してスラリーを作製し、これを脱泡処理後、リバースロールコーター法、ドクターブレード法等の方法によって、上記の厚さを有するグリーンシートを作製し、その後、金型を用いた打ち抜き、レーザー加工等の方法により、厚さと面内の最大長との比率が上記となるような大きさのグリーンシート２１を得ることが出来る。
【００３７】
のちに薄板状焼成圧電体となる部分を含むグリーンシート２１の平面形状は、図２に示されるように長方形であるが、本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法において、グリーンシートの外形は、特に限定されるものではない。生産性が向上するので、機械加工で加工出来る外形形状が望ましい。生産性を考慮すると、直線で形成される形状、例えば多角形、特に長方形が好ましい。
【００３８】
次に、グリーンシート２１の片面（例えば、下面（裏面））に、のちに薄板状焼成圧電体となる部分（図１の工程（２）、図３Ａ及び図３Ｂを参照）を避けるように散在させた焼成用補強部材２２を、（例えば）スクリーン印刷法で形成して、配設する。図３Ａの破線で四角囲いしたＢ部分が、のちに薄板状焼成圧電体となる部分である。具体的には、例えば、同じジルコン酸チタン酸鉛等のセラミックス粉末に、バインダ、溶剤、分散剤、可塑剤等を添加混合しペーストを作製し、これを脱泡処理する。その後、そのペーストを、スクリーン印刷機（スクリーン印刷用製版）を使用して、グリーンシート２１の面上に印刷し、厚い印刷膜を所望のパターンで形成し、これを焼成用補強部材２２とする。又、テープ上にパターンを形成してから、転写してもよい。
【００３９】
焼成用補強部材２２（印刷膜）のパターンは、図３Ａに示されるように、十字形の焼成用補強部材２２を等間隔で配置したものでもよく、図４Ａに示されるように、２つの十字形を接続した焼成用補強部材を配置したものでもよく、図４Ｂに示されるように、２組の棒状の焼成用補強部材をそれぞれ対向させて平行に配置したものでもよく、図４Ｃに示されるように、円形の焼成用補強部材を正方形の頂点に相当する位置に配置したものでもよい。何れのパターンにおいても、のちに薄板状焼成圧電体となる部分が正方形又は長方形で確保されるとともに、４つ又は２つの焼成用補強部材が、対称点Ｐを有する点対称となるように配置される。このような配置は、（連続する）格子形状を分断しその一部を除去した形状でもある。
【００４０】
そして、グリーンシート２１と焼成用補強部材２２を接合した後に、使用する圧電材料に基づき８００〜１６００℃の範囲の適切な温度で、焼成をして、焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体２３を得る。その後、砥石法、ウォータージェット法、サンドブラスト法等の機械的方法、又は、エッチング法等の化学的方法によって、切断により焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体から焼成用補強部材を除去し、薄板状焼成圧電体１を得る（図１の工程（３）、（４）を参照）。
【００４１】
次に、本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法における他の実施形態について、図５を参酌しながら説明する。先ず、のちに示すグリーンシート２１より厚い焼成用補強板５１を用意する（図５の工程（１）を参照）。例えば、焼成用補強板５１は、焼成用補強部材２２と同一材料であるか又はその材料に組成が近いものを使用して、予めドクターブレード法等のテープ成形法で形成したもの又はスクリーン印刷法で形成したものが好ましい。次いで、焼成用補強板５１の片面（例えば、上面（表面））に、のちにグリーンシート２１を接合したときにそのグリーンシート２１の薄板状焼成圧電体となる部分を避けるように散在させた焼成用補強部材２２を、（例えば）スクリーン印刷法で形成して、配設する（図５の工程（２）を参照）。具体的には、例えば、ジルコン酸チタン酸鉛等のセラミックス粉末に、バインダ、溶剤、分散剤、可塑剤等を添加混合しペーストを作製し、これを脱泡処理する。その後、そのペーストを、スクリーン印刷機（スクリーン印刷用製版）を使用して、焼成用補強板５１の面上に印刷し、厚い印刷膜を所望のパターンで形成し、これを焼成用補強部材２２とする。
【００４２】
又、別途、圧電材料を用いて、グリーンシート２１を作製する。このグリーンシート２１は、単層の薄板状を呈し、厚さＴが、０．１μｍ以上、２０μｍ以下であり、厚さＴと、面内の最大長Ｌと、の比率Ｔ／Ｌが、０．０００００２以上、０．２以下である。具体的には、例えば、ジルコン酸チタン酸鉛等のセラミックス粉末にバインダ、溶剤、分散剤、可塑剤等を添加混合してスラリーを作製し、これを脱泡処理後、リバースロールコーター法、ドクターブレード法等の方法によって、上記の厚さを有するグリーンシートを作製し、その後、金型を用いた打ち抜き、レーザー加工等の方法により、厚さと面内の最大長との比率が上記となるような大きさのグリーンシート２１を得ることが出来る。
【００４３】
そして、先に得られた、焼成用補強板５１の焼成用補強部材２２が配設された面を、グリーンシート２１に接合する（図５の工程（３）を参照）。この接合は、加熱し荷重を加え圧着することで行う。そして、使用する圧電材料に基づき８００〜１６００℃の範囲の適切な温度で、焼成をして、焼成用補強板が更に付いた焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体２４を得る。その後、砥石法、ウォータージェット法等の機械的方法、又は、エッチング法等の化学的方法によって、切断により、焼成用補強板が更に付いた焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体から、焼成用補強板及び焼成用補強部材を除去し、薄板状焼成圧電体１を得る（図５の工程（４）、（５）を参照）。
【００４４】
次に、本発明に係る圧電素子の製造方法について説明する。本発明に係る圧電素子の製造方法は、上記した何れかの本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法を用いる方法である。圧電素子は、電極が形成された薄板状焼成圧電体のことを示す。本発明に係る圧電素子の製造方法は、薄板状焼成圧電体となる部分に膜状の電極を形成する過程が、本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法に付加された方法である。本発明に係る薄板状焼成圧電体の製造方法によって、焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体（あるいは焼成用補強板が更に付いた焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体）を得て、それを切断する前に、スピンコート法、スパッタ法、ディップ法、非接触塗布法等の膜形成手段によって、のちに薄板状焼成圧電体となる部分に膜状の電極を形成し、その後、切断によって、焼成用補強部材を除去して、圧電素子（電極が形成された薄板状焼成圧電体）を得ることが出来る。
【００４５】
次に、薄板状焼成圧電体及び圧電素子に用いられる材料について説明する。先ず、薄板状焼成圧電体の材料（圧電材料）について説明する。材料としては、圧電効果若しくは電歪効果等の電界誘起歪みを起こす材料であれば、問われるものではない。半導体セラミック、強誘電体セラミック、及び反強誘電体セラミックを用いることが可能であり、用途に応じて適宜選択し採用すればよい。又、分極処理が必要な材料であっても必要がない材料であってもよい。
【００４６】
具体的には、好ましい材料として、ジルコン酸鉛、チタン酸鉛、マグネシウムニオブ酸鉛、ニッケルニオブ酸鉛、ニッケルタンタル酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、マンガンニオブ酸鉛、アンチモンスズ酸鉛、マンガンタングステン酸鉛、コバルトニオブ酸鉛、マグネシウムタングステン酸鉛、マグネシウムタンタル酸鉛、チタン酸バリウム、チタン酸ナトリウムビスマス、チタン酸ビスマスネオジウム（ＢＮＴ）、ニオブ酸カリウムナトリウム、タンタル酸ストロンチウムビスマス、銅タングステンバリウム、鉄酸ビスマス、あるいはこれらのうちの２種以上からなる複合酸化物を挙げることが出来る。又、これらの材料には、ランタン、カルシウム、ストロンチウム、モリブデン、タングステン、バリウム、ニオブ、亜鉛、ニッケル、マンガン、セリウム、カドミウム、クロム、コバルト、アンチモン、鉄、イットリウム、タンタル、リチウム、ビスマス、スズ、銅等の酸化物が固溶されていてもよい。これらの材料選定にあたっては、デバイスとしての必要性能を満たすものであれば、特に限定されるものではないが、例えば、ジルコン酸鉛、チタン酸鉛、マグネシウムニオブ酸鉛、及びニッケルニオブ酸鉛の複合酸化物は、高い材料特性を発現出来るので好ましい。更に、上記材料等に、ビスマス酸リチウム、ゲルマン酸鉛等を添加した材料、例えば、ビスマス酸リチウム乃至ゲルマン酸鉛を添加した材料は、圧電体の低温焼成を実現しつつ高い材料特性を発現出来るので、更に好ましい。
【００４７】
尚、焼成用補強部材の材料についても、上記の圧電材料を用いることが出来る。熱膨張の程度を同じにすべく、薄板状焼成圧電体（グリーンシート）と同じ材料を用いることが好ましい。
【００４８】
又、焼成用補強板の材料についても、上記の圧電材料を用いることが出来る。熱膨張の程度を同じにすべく、薄板状焼成圧電体（グリーンシート）、焼成用補強部材と同じ材料を用いることが好ましい。
【００４９】
次に、電極の材料としては、導電性の金属が採用される。例えば、アルミニウム、チタン、クロム、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、ニオブ、モリブデン、ルテニウム、パラジウム、ロジウム、銀、スズ、タンタル、タングステン、イリジウム、白金、金、又は鉛等の金属単体又はこれら２種類以上からなる合金、例えば、銀−白金、白金−パラジウム、銀−パラジウム等を１種単独で又は２種類以上を組み合わせたものを用いることが好ましい。又、これらの材料と、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化ケイ素、酸化セリウム、ガラス、又は圧電材料等との混合物、サーメットであってもよい。これらの材料の選定にあたっては、圧電材料の種類に応じて選択することが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明に係る薄板状焼成圧電体は、計測器、光変調器、光スイッチ、マイクロバルブ、搬送装置、画像表示装置（ディスプレイ、プロジェクタ等）、画像描画装置、マイクロポンプ、液滴吐出装置、微小混合装置、微小撹拌装置、微小反応装置、等に適用される各種の圧電アクチュエータや、流体特性、音圧、微小重量、加速度等の検出に用いられる各種の圧電センサに設けられる、圧電素子の主構成要素（変位発生部）として、好適に利用される。
【符号の説明】
【００５１】
１：薄板状焼成圧電体
２１：グリーンシート
２２：焼成用補強部材
２３：焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体
２４：（焼成用補強板が更に付いた）焼成用補強部材付薄板状焼成圧電体
５１：焼成用補強板
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５】
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