(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
略平坦な物体（１０）を、搬送及び操作するシステムであって、前記システムは、
少なくとも１つの真空予圧駆動ホイール（１２０）と少なくとも１つのカウンタプレート（２００）から構成される１つまたは複数の駆動ユニット、及び、
前記物体（１０）を支持するための少なくとも１列の複数ホイール（１２０ａ）又は空力レール（３００）、を備え、
前記カウンタプレート（２００）は前記真空予圧駆動ホイール（１２０）の両側に配置され、前記カウンタプレート（２００）のそれぞれは前記物体（１０）を吸引するための、１つまたは複数の真空ポート（２１０）を含み、前記真空ポート（２１０）は前記真空予圧駆動ホイール（１２０）に隣接しており、
前記カウンタプレート（２００）、及び、
前記真空予圧駆動ホイール（１２０）、及び、前記少なくとも１列の複数ホイール（１２０ａ）又は空力レール（３００）、
のうちの一方のみを昇降できるように、前記カウンタプレート（２００）は前記真空予圧駆動ホイール（１２０）、及び、前記少なくとも１列の複数ホイール（１２０ａ）又は空力レール（３００）とは分離して支持され、
各駆動ユニットの前記真空ポート（２１０）は、制御可能な弁（１２１１）を通じて真空源に接続できる主真空管路（１２１０）に流体工学的に接続され、
前記カウンタプレート（２００）には、周辺圧力ポート（３１０）が更に含まれ、前記周辺圧力ポート（３１０）が圧力源に接続されると、支持エアクッションが局所的に作成されて前記物体に反発力が付与され、前記物体と前記システムとの間の物理的接触が防止され、前記周辺圧力ポート（３１０）は前記真空予圧駆動ホイール（１２０）との位置関係において前記真空ポート（２１０）よりも遠くに配置されており、
前記主真空管路（１２１０）が前記真空源に接続されると、前記物体（１０）を前記真空予圧駆動ホイール（１２０）に向かって吸引する力が強まり、その結果、前記物体（１０）を水平方向に駆動する力が強まることを特徴とするシステム。
【請求項２】
制御可能な弁（１２３１）を介して前記主真空管路に接続する加圧エア供給配管（１２３０）を更に備える、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記真空ポートは、流量制限器（２１９）を介して前記真空源に連通すること、を特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記周辺圧力ポート（３１０）は、流量制限器（３１９）を介して前記圧力源と連通すること、を特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記駆動ユニットには、共通シャフト（１２３）を有して並列に配列した真空予圧駆動ホイール（１２０）を含むこと、を特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記共通シャフトの真空予圧駆動ホイールと前記シャフトを一体化し、単一の金属片から機械加工で作成すること、を特徴とする請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
前記共通シャフトの各真空予圧駆動ホイールには、摩擦を高める非金属製リング（１５６，１６６）を備えること、を特徴とする請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
各駆動ユニットを、モータ（１２２）で別々に駆動すること、を特徴とする請求項５に記載のシステム。
【請求項９】
各駆動ユニットの前記モータ（１２２）を、前記駆動ユニットの共通シャフトに直接接続すること、を特徴とする請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
２つ以上の隣接した駆動ユニットを、共通のモータ（１２２）で駆動すること、を特徴とする請求項５に記載のシステム。
【請求項１１】
２つ以上の隣接した駆動ユニットを、別々のモータ（１２２ａ、１２２ｂ）で駆動し、電子的に同期させること、を特徴とする請求項５に記載のシステム。
【請求項１２】
２つ以上の駆動ユニットを、共通軸に沿って略平行に整列させ、別々に動作可能にして差動駆動させること、を特徴とする請求項５に記載のシステム。
【請求項１３】
少なくとも幾つかの前記駆動ユニットには、運動制御用エンコーダ（１２２２）を更に備えること、を特徴とする請求項５に記載のシステム。
【請求項１４】
各駆動ユニット（４００）には、次々と配列する真空予圧駆動ホイールを含むこと、を特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項１５】
前記駆動ユニットを、容易に２方向以上に搬送するよう配列すること、を特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項１６】
前記駆動ユニット（１１００，１２００）を、容易に略直交方向に搬送するよう配列すること、を特徴とする請求項１５に記載のシステム。
【請求項１７】
少なくとも１つの回転駆動ユニットには、円に沿って分布し、前記円の接線と同方向に駆動し、容易に前記物体を回転させる真空予圧駆動ホイール（１３１０）を含むこと、を特徴とする請求項１５に記載のシステム。
【請求項１８】
前記少なくとも１つの回転駆動ユニットを、ベベルギヤ伝動ボックス（１３２０）で駆動させること、を特徴とする請求項１７に記載のシステム。
【請求項１９】
昇降機構を、前記１つ又は複数の駆動ユニットの１つ又は複数に備えて、前記駆動ユニットを昇降させること、を特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項２０】
昇降機構を、前記１つ又は複数の駆動ユニットの１つ又は複数に備えて、前記真空予圧駆動ホイールを昇降させること、を特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項２１】
各駆動ユニットの動作を制御する制御ユニット（１２２２）を更に備えること、を特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項２２】
近接センサを更に備えること、を特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項２３】
前記１つ又は複数の駆動ユニット（５５０）を、前記システムから分離可能にすること、を特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項２４】
前記真空予圧駆動ホイールは、前記１つ又は複数のカウンタプレートの上面から上に５０〜５００μｍの範囲で突出すること、を特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項２５】
駆動ユニットの前記真空予圧駆動ホイールには、各々二重ホイール（８２０ｃ）を含むこと、を特徴とする請求項１に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送システムに関する。特には、本発明は、非接触搬送モジュールを伴うコンベアの性能を向上させるシステム及び方法、及び工程中に非接触空力プラットフォームで支持する基板に正確な直線運動を付与する機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンベアは、多くの分野で使用されている。本発明は、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）、太陽電池基板、印刷板等の大型の略平坦な物体の他、シリコンウエハや他の同様な物体等の平坦な基板に関するコンベアの性能を向上させることを目的とする。一般に、こうした平坦な物体を、コンベア表面から突出する複数のホイール上で搬送するが、該ホイールは該物体下で回転して、所望の方向に該物体を進める。しかしながら、軽量物体の場合には、又はこれら物体を主にエアクッション（又は空力プラットフォーム）上に支持する場合には、ホイールが、それらが支持する物体下で、全体的に低摩擦となるため滑ってしまい、その結果該物体の把持が緩くなり、該物体を進められない、或は誤った方向に指向させる可能性がある。
【特許文献１】国際公開第ＷＯ０３／０６０９６１号
【特許文献２】国際公開第ＷＯ０１／１４７８２号
【特許文献３】米国特許第ＵＳ６６４４７０３号
【特許文献４】米国特許第ＵＳ６５２３５７２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の目的は、コンベア装置の搬送性能を強化することである。
【０００４】
本発明の別の目的は、主に略大型で且つ薄型の物体（例えば、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用ガラス）だが、それらに限定しない物体を、正確な空力プラットフォーム上で操作するロバストな直線駆動機構を、提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の主な態様では、略平坦な物体を操作する、又は正確に直線運動させる、搬送性能を強化したコンベアシステムを提供する。特に、このシステムには、空力プラットフォーム及び搬送モジュールを伴い、該システムでは、物体を接触させずにエアクッション上に支持する。特に、本発明に関する“物体”は、薄く（従って比較的可撓性で）幅広型の基板、例えばフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用ガラス（典型的には、０．４ｍｍ〜１．２ｍｍ幅、最大３２００ｍｍＸ２６００ｍｍサイズの第１０世代ガラス）及び太陽電池基板（ガラス又はシリコン）等に関する。搬送性能の強化を、１つ又は複数の駆動ホイール付近に真空ポートを加えて、真空予圧を行い、達成する。真空押下力を重力に加えると、真空予圧したホイールに作用する荷重力が増大し、それに従い水平方向の駆動力（摩擦力）が（基板とホイールとの間の摩擦係数に応じて）増大する。真空予圧概念を採用した場合には、重力は駆動力全体に対して軽微な影響しか与えないかも知れない。重量は、空力プラットフォームに対しては、基板重量を主にエアクッションで担持するため、かなり重要となる。コンベアの駆動ホイール又は、正確な直線運動システムを含む直線（又は回転）運動システムの駆動ホイールを予圧する、真空予圧概念を用いることで、搬送力を重力から切り離せる。従って、本発明の用途によっては、非水平方向で基板を操作する必要がある。
【０００６】
本発明の用途としては、物体を支持する駆動ホイールを用いた搬送システム、及び物体を搬送する駆動ホイールを用いた搬送システムの両方が、特に、空力支持手段（基板を支持するためにエアクッションを生成する非接触プラットフォーム）を使用して、基板を支持しながら、真空予圧駆動ホイールで駆動するプラットフォーム上で搬送する搬送システムが適当である。
【０００７】
本発明により、駆動力強化、力制御可能な能力を実現し、高性能の空力システム用搬送（非接触搬送装置及び、正確な直線運動システムを必要とする工程機械用非接触プラットフォームを含む、非接触プラットフォーム）を提供するが、こうした搬送は、特に幅広型で薄い基板、例えばＦＰＤや他の同様な平坦な物体等に適している。駆動ホイールに真空予圧概念を採用することで、幅広型の薄い基板が、基板の搬送中（即ち運動中）に非平坦となるのを、従来のホイールコンベアに対して１０分の１程度に抑制できる。
【０００８】
本発明による真空予圧搬送システムの駆動機構では、駆動ホイールが大幅に少なくて済み、該搬送システムが連続ホイール構造を採用した場合、従来のコンベアが第８〜１０世代ＦＰＤ用ガラスで６〜１０列必要なのに対して、典型的には、２列（各列を、真空予圧駆動ホイールユニットとする）が必要となるだけである。或は、共通シャフトを有する８〜１６列並列した駆動ホイール（真空予圧駆動ホイールユニットと呼ぶ）が、従来のコンベアが第８〜１０世代ＦＰＤ用ガラスで１５０〜２５０列必要なのに対して、必要となるだけである。
【０００９】
本発明の実施形態によっては、空力プラットフォームを含む。この場合、従来のホイールコンベアを使用する場合、ホイールを上昇させ、それにより搬送システムに荷重する（重力を唯一の押下力として）必要があったが、真空予圧を採用する場合、ホイールを上昇させる必要はない。その上、重力のみが関与する場合には、駆動力が限定的であったが、真空予圧駆動ホイールコンベアを使用すると、極めて高速な搬送速度及び速度アップ（即ち加速）を信頼でき且つ安全な方法で、獲得できる。従って、本発明による強化した真空予圧コンベアは、費用効果に優れ、速く、接触や汚染が少ない。本発明の真空予圧コンベアは、工程を実施する際に、非接触プラットフォーム上で基板を操作する、例えば、空力プラットフォーム上で基板を載脱荷する動作及び／又は正確に直線運動させるのに、極めて有用となり得る。ＦＰＤ又は太陽電池製造ラインに亘り、モジュールを移送及び自動化するのにも、極めて有用となり得る（即ち、工程機械間でＦＰＤ又は太陽電池基板等の基板を、費用効果良く操作できる）。
【００１０】
真空予圧コンベアの基本原理について、本発明の好適な実施形態に関して、図１ａで説明する。真空予圧を付与して、コンベア（例えば図２ａに示すホイールコンベア等）の搬送性能（主に駆動力に関して）を強化する。薄い可撓性の基板（例えば、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）、又は太陽電池基板）等の、物体１０を、ホイールコンベア（図２ａ参照）で支持して、前方へ搬送する。しかしながら、ここでは略平坦で薄い可撓性の基板について注目したが、一般に真空予圧概念では、多様な物体を搬送可能である点は強調しておく必要がある。図１ａは、典型的なホイールコンベアの横断面図であり、該コンベアでは、１列又は複数列の駆動ホイール（図２ａ、４００ａ参照）で、真空予圧概念を適用し、他の列の駆動ホイール（ホイール１２０ａ）を標準的な列（即ち、真空予圧無し）としている。直線運動を付与して、基板を直線的に前方に搬送するために、全ホイールを、駆動機構１２２に接続する共通シャフト１２３によって駆動する。
【００１１】
従来のホイールコンベアでは、水平方向の駆動力（即ち、重力と垂直な）を、物体の重量（Ｆｇ）にホイール１２１と基板１０との間の摩擦係数を乗じて求めるが、該基板は、典型的には非金属製で、無菌室に対応可能な材料製とする。水平方向駆動力を強化及び／又は制御するために、真空予圧概念を、列４００の駆動ホイール１２０付近で適用する（図２ａ参照）。カウンタプレート２００をホイール１２０に隣接させ、そこで１つ又は複数の真空ポート（２１０）を配設して、基板とホイール１２０との間の垂直抗力を増大させる。カウンタプレートを、ホイール１２０の最上部より低く、典型的には５０〜５００μｍの範囲の間隙に、調整する。真空ポート２１０を真空源（図示せず）に接続する場合、大気圧以下の圧力を、カウンタプレート２００とホイール１２０で支持する基板１０との間の薄い体積部２０１に導入する。従って、ホイール１２０に、重力（Ｆｇ）に対して極めて高い押下力（Ｆｖ）を付与することになる。実際には、真空予圧概念を（例えば、図２ａで示すように５列中２列だけに）適用すると、ＦｖをＦｇに対して、２〜１０倍（必要ならば、それ以上）大きくできる（真空レベルを高くして、間隙を狭くすればする程、押下力は大きくなる）。
【００１２】
図２ａでは、本発明の好適な実施形態による、基板１０を支持する５列のホイールを有するホイールコンベアモジュールの平面図を説明しており、両側の列４００に、真空予圧概念を適用している（列４００ａには、従来の駆動ホイール１２０ａを含む）。このコンベアを、基礎構造部（図示せず）で、床（レベリング機能付）上に所望の高さに支持する。全列を、駆動装置１２２に接続する共通シャフト１２３で駆動する。５列各列（即ち、真空予圧を適用する両側列を含む）の全ホイールを、可撓性ベルト１４０を緊張させた状態で、駆動する。ホイールを運動させるには多くの選択肢があり、ベルト駆動は単なる一例に過ぎない（例として挙げるだけでも、タイミングベルトも適用できる、或は、当該技術分野で既知のように、機械的又は磁気機構とすることができる）点は、強調しておく必要がある。
【００１３】
図２ｂでは、本発明の別の好適な実施形態による、空力コンベアモジュールの平面図を説明するが、該モジュールには（図２ａのホイールコンベアと同様に）、基板駆動用に両側の２列４００を備え、該列では真空予圧概念を適用している（列４００ａには、従来の駆動ホイール１２０ａを含む）。これら両側列を、駆動ユニット１２２に接続する共通シャフト１２３で駆動する。しかしながら、ホイールコンベアの内側３列のホイールの代わりに、３本の長尺の空力支持する“レール”３００を、設けている。空力レール３００により基板１０を、空力レール３００上面と基板１０との間に展開するエアクッションによって、接触させずに支持する（図１ｂ参照）。基板１０重量を、該２列のホイール４００と、３本の空力レール３００との両方で支持する。従って、重量による駆動力（ホイールに付与される押下力に直線的に関係し、該ホイールは基板重量の一部だけを支持する）が減少するが（また一定でなくなる可能性もある）、このように真空予圧概念では重力があまり重要でなくなるため、真空予圧概念は空力コンベアの直線的駆動力強化に対して一層効果的である。
【００１４】
図１ｂでは、空力コンベアでの真空予圧概念の実施例について、本発明の別の好適な実施形態に関して、説明するが、該実施例では空力コンベアの駆動力を強化及び／又は制御する（例えば、図２ｂに示すように）ことを目的とする。図１ｂは、典型的な空力コンベアの横断面図であり、該コンベアでは、１列又は複数列の駆動ホイール列（図２ｂ、４００を参照）で、真空予圧概念を適用して、それにより駆動力を増大させている。空力レール３００を適用して、基板１０をエアクッション３０１によって接触させずに支持するが、該エアクッション（例えば、ＰＡ式エアクッション等、国際公開第ＷＯ０３／０６０９６１号（特許文献１）を参照、該文献を参照により本明細書に組込む。ＰＡ式流体クッションを、複数の圧力ポート及び排気口を備えた上面を用いて生成し、そこで流体を周囲に排出可能にする）を、圧力ポート３１０を通るエアによって供給する。典型的なエアクッション３０１の空隙を、１００〜５００μｍの範囲とし（空隙を大きくすればする程、質量流量が大きくなる）。駆動ホイール１２０への真空予圧概念の実施例は、図１ａの駆動ホイール１２０と同様である。
【００１５】
図１ｃでは、真空予圧概念の局所的な実施例を、本発明の別の好適な実施形態に関して、説明しており、１つ又は複数の真空ポート２１０を備えた小型カウンタプレート２００を２枚、駆動ホイール１２０の両側から、典型的にはホイールからの真空ポートの距離を８〜１５ｍｍとし、カウンタプレート２００をホイールから１〜２ｍｍの距離に（ホイール先端から５０〜５００μｍ下に）設置する。真空ポートの典型的直径を、２〜６ｍｍの範囲とする。真空ポートに提供する典型的真空レベルを、５００〜９００ｍｂａｒ（絶対圧）の範囲とする。
【００１６】
図１ｄでは、本発明の別の好適な実施形態に関して、真空予圧概念の一般的な実施例について説明する。１枚の一般的なカウンタプレート２００を駆動ホイールの列に対して使用し（連続ホイール構成を図１ｄで示す）、ホイール１２０を、カウンタプレート２００を貫通させて作成したスリット２０２の中心に配置し、そこでホイールの先端部を約５０〜５００μｍ、カウンタプレート２００上面の上方に存在させる。カウンタプレート２００に作成し、各ホイール１２０の傍に配置する１つ又は複数の真空ポート２１０に加えて、複数の圧力ポート３１０を設け、それにより特にＦＰＤ用ガラスのような可撓性基板を搬送する場合に、接触を防ぐ。このような構成のカウンタプレート２００の典型的な幅を８０〜１２０ｍｍとし、圧力ポート３１０（実際に、エアクッションを補助する）を、真空ポートとそれに近いホイール先端との間の距離に関して、典型的にはホイール先端から４〜８倍以上離して配置する。
【００１７】
この構成は、複数の搬送モジュールと協働可能なため、スタンドアロン又はプラグ・アンド・プレイの“真空予圧搬送ユニット”として見なすことができる点を、強調しておく必要がある。これにより、故障した真空予圧搬送ユニットを迅速に除去でき、別のユニットと交換でき、或は容易に簡便にメンテナンスができる。
【００１８】
図１ｅでは、本発明の別の好適な実施形態に関して、真空予圧概念の実施例について、カウンタ部分を、空力プラットフォームの一体的部分とした（即ち１部分として作製した）構成として、説明する。この一体化した構成では、真空予圧コンベアのカウンタプレート２００を、非接触支持するプラットフォームの２セクション３００ａ間に作成するが、該プラットフォームではエアクッションによる支持を、基板（例えばＰＡ式エアクッション）下方で生成する。細長セクション３００ａと２００との間に、大気孔３８２へ排気するための細長面溝３８１を作成し、それにより局所的な-バランス-を取り（国際公開第ＷＯ０３／０６０９６１号（特許文献１）を参照、該文献を参照によって本明細書に組込む）、それにより幅広型基板を平坦に保つことを、明示している。真空予圧概念に関する他の全詳細については、図１ｄに関して行った説明と同様である。
【００１９】
図２ｃでは真空予圧概念の実施例について、本発明の別の好適な実施形態に関して、真空予圧コンベアに、運動方向に垂直な共通シャフト１２３を用いて並列な駆動ホイール１２０を備えた構成で、説明する。図２ｃでは、２つの連続した真空予圧搬送モジュール（Ａ及びＢ）を示し、各モジュールには、１つの交差する真空予圧コンベアユニット４９８と（例えばＰＡ式エアクッションに基づく）５本の非接触支持空力レール３００を含む。各交差真空予圧コンベアユニット４９８は、１枚のカウンタプレート２００、及びモータ１２２に直接接続する共通シャフト１２３を有する並列ホイール１２０列を備える。ホイール間の距離を、典型的には６０ｍｍ以上（ホイール数を多くすればする程駆動力が大きくなるが、質量流量は増大する）とすることができ、必要であれば、ホイール間の距離は均等にせずともよい。詳細Ｃでは、各ホイール１２０付近に、真空ポート２１０及び圧力ポート３１０を設けることを示す。モジュール上で円滑な運動を可能にするために、シャフト間（即ち、Ａのシャフト１２３とＢのシャフト１２３との間）の距離を、基板１０の長さから僅かに（典型的には５０〜１００ｍｍ）短くする必要がある点は、強調しておかねばならない。
【００２０】
図２ｄでは、共通シャフト１５０に係合した並列真空予圧駆動ホイール１５２及び１５４の列について説明している。ホイールを、２群に分けている。Ａ群では、ホイール１５２を１材料（典型的には、機械加工で製作した金属）から作成する。Ｂ群では、ホイールを２種類の材料から作成し、内側部分１５４を例えば金属製とし、外側部分１５６には接触面を備え、無菌室対応可能な材料製、例えばガラスと接触する際に高摩擦係数となる特徴があるＰＥＥＫ（非金属製）から作成することができる。（明らかに、Ａ又はＢ群のどちらかを、１ホイール列に適用する）。この種の設計により剛性が与えられ、適宜部分１５６を交換できる。こうした剛性は、図２ｅで示すように、高精度の直線運動機構が要求される場合には、極めて重要となる。図２ｅでは、外側部分１６６及び交差真空予圧駆動機構のシャフト１６０を備えたホイール１６４について示している。以下の工程を、高精度にするために実施してもよい：
ホイール１６４及びシャフト１６０を、同じ材料（１部分として、典型的には金属）から、機械加工で作製する。
外側リング１６６の組立てを次に行う。
最後に、外側接触面の第２機械加工段階を、行う。
【００２１】
それでも、正確に機械加工するだけが完成品に影響を及ぼすわけではない、というのもベアリングや駆動も、運動の真直度及び速度変動に影響を及ぼすからである。
【００２２】
図２ｆ-２ｈでは、本発明の好適な実施形態に関して、正確に基板を操作するための、複数の選択的な交差真空予圧コンベアユニットの配列について、説明する。図２ｆでは、複数のホイール１２０と、運動システム１２２で直接駆動させる１本の共通シャフト１２３とを有する機構を示す。このシステムには典型的にギヤボックスを設け、及び運動を制御するエンコーダを任意で設ける。ＡＣモータ、ＤＣモータ及びステップモータを使用することができる。シャフト１２３を、コンベアモジュール構造体（図示せず）に取着するベアリング１２４によって複数箇所で支持する。図２ｇでは、２本の平行なシャフト１２３を有し、各該シャフトを両端部からベアリング１２４で支持する交差真空予圧コンベアの（例えば、図２ｅで表した設計等の）機構について示す。シャフトを、３偏揺伝達ボックス１２５を介して運動システム１２２に接続する。図２ｈでは、１列に並べた２セクションに分割した交差真空予圧コンベアの機構について示している。各セクションを、専用の直接駆動運動システム（１２２ａ、１２２ｂ）によって動作させる。運動制御ユニット１２２２を更に設けて、直線運動中に該２運動システムを同期させる、或は（運動の真直度を制御するために）微回転可能にする。
【００２３】
図３ａでは、本発明の好適な実施形態に関して、“スタンドアロン”の真空予圧コンベア４００（連続ホイール構成）の側面図を示す。コンベヤ４００のカウンタプレート２００を、ベアリング１２１のハウジングも支持する側板４２０で支持する。ホイール１２０の最上部を、典型的にはカウンタプレート２００上面上方に５０〜５００μｍ突出させる（これを、例えば、図示しない、レベリング調整用固定ネジを用いて達成する）。開口部（スロット）２０５をホイール１２０用にカウンタプレート２００に設ける。カウンタプレート２００に設ける真空ポート及び他の空力の詳細については、この図では簡潔さのために図示しない（図４ａ参照）。ホイールを回転させる駆動力を、シャフト１２３によってホイール１つに付与し、全ホイールをベルト４３０で駆動させる。調整用アイドラ４２５を設けて、ベルト張力を維持する。真空予圧コンベア４００を、昇降機構４５０で支持し、該昇降機構４５０を基礎構造部２０で支持する。昇降機構を使用して、駆動ホイール４００（カウンタプレートを含む）を昇降させてもよい。
【００２４】
図３ｂでは、本発明の好適な実施形態に関して、真空予圧コンベア４００ａ（連続ホイール構成）の側面図を示す。このバージョンは、“スタンドアロン”の真空予圧コンベア４００と、極めて類似している。異なる点は、図３ｂで示す実施例の場合、カウンタプレート２００ａを静止させたまま、該カウンタプレートを任意に空力プラットフォームの一体的部分として（図１ｅ参照）、駆動機構のみを昇降する点である。他の詳細については、図３ａに関して記述した詳細と同様である。
【００２５】
図４ａでは、本発明の好適な実施形態に関して、連続ホイール構成で、“スタンドアロン”の真空予圧コンベア５５５の全体図を示す。真空予圧コンベア５５５には、カウンタプレート２００及び駆動ホイール１２０の列を含む。各ホイールの傍又はホイール間に、少なくとも１つの真空ポート（２１０、２１０ａ）を設けて、押下真空力（真空予圧概念）を付与する。真空ポートの数及び真空ポートの位置については、基板の可撓性に関して、所望する駆動力によって予め決定する。しかしながら、基板が可撓性の場合、カウンタプレート２００の縁部に圧力ポート３１０を、また同様にホイール間にも圧力ポート（３１０ａ、この場合真空ポート２１０ａの代わりに）を加え、それにより基板の撓みによる接触（押下屈曲力が真空ポートによって誘発される場合）を防止する目的でエアクッション支持部を作成する。真空予圧コンベア５５５には主真空管１２１０を設けて、該コンベア５５５の真空ポートの各々に真空を供給する。主真空管路１２１０を、弁１２１１を介して真空源（図示せず）に接続し、様々な動作モードを可能にする。真空予圧コンベア５５５には、主加圧エア管路１２２０を更に設けて、該コンベア５５５の圧力ポート各々にエアを供給する。任意で、真空予圧コンベア５５５には、制御弁１２３１を介して主真空管路１２１０と連通する別の主加圧エア管路１２３０を設ける。この仕組みを提供して非接触を確保するが、該仕組みについては図６ｃに関して以下で説明する。
【００２６】
図４ｂ及び図４ｃでは、本発明の好適な実施形態に関して、並列ホイール構成を備える“スタンドアロン”の真空予圧コンベア５５５ａの全体図について説明する。図４ｂでは、真空予圧コンベア５５５ａの平面図について説明する。該コンベアにはカウンタプレート２００及び１列の並列な真空予圧駆動ホイール１２０を含み、該駆動ホイールをカウンタプレート２００に設けたスロット２０２に配置する。各駆動ホイールの傍に、１真空ポートを設けて、真空押下力を付与する。しかしながら、基板が可撓性な場合には、圧力ポート３１０をカウンタプレート２００の縁部に、またホイール間にも加える必要があるかも知れない。図４ｃでは、カウンタプレートで被覆する真空予圧コンベア５５５ａ機構について説明する。該コンベア５５５ａの駆動ホイール１２０には、電動システム１２２（例えばモータ及びギア）に直接接続する共通シャフト１２３を備えて、該シャフトをベアリング１２４でカウンタプレート２００（破線で示す）に支持するのが、明らかに分かる。
【００２７】
図４ｄでは、本発明の好適な実施形態に関して、無菌室環境で動作する真空予圧コンベア用磁気伝達ユニットに基づく任意の駆動機構（例えば、図４ａに示す真空予圧コンベアの駆動機構となる）について、説明している。共通シャフト１８０を、交差シャフト１８１（各駆動ホイールに１本）に磁気伝達ユニット１８２で接続する。第２磁気伝達ユニット１８３を、交差シャフト１８１と各駆動ホイール１２０との間に設ける。
【００２８】
図５ａでは、本発明の好適な実施形態に関して、“プラグ・アンド・プレイ”の真空予圧搬送モジュールを備えた工程システムの非接触空力プラットフォームの平面図について示している。非接触空力プラットフォーム５２０には、昇降機構（図３ａ〜図３ｂ参照）を有する交換可能な２真空予圧搬送ユニット５５０（図４ａの５５５も参照）、及び３空力セクション５００及び５０１を含む。空力プラットフォーム５２０には、例えばＰＡ式エアクッションを適用してもよい。空力セクション５００と５０１との間に、細長スロットを作成して、“プラグ・アンド・プレイ”の搬送ユニット５５０を受容する。２つの搬送ユニット５５０を内側に設置して、様々な幅の基板（それでも２ユニット５５０間の距離より幅広な基板とし、それによりシステム全体に亘り連続的に運動可能にする）を支持する。プラットフォーム５２０の平行に整列させた２真空予圧搬送ユニット５５０は、載脱荷進行中又はバイパスモード動作時に、動作する。基板を積載後に、該基板を精密な直線運動機構５６５によってクランプ固定するが、該機構には、クランプ固定する真空パッド５６６及び空力セクション５００に作成した細長スロット５６７下に配設する細長スライダを有する（パッド５６６でクランプ固定した後に、ユニット５５０を昇降機構で下降させる）。正確な運動が要求される場合には、動作モードで、直線運動機構５６５によってガラスを操作し、工程が完了すると、真空予圧コンベアを上昇させて、再び作動させて、基板を脱荷する。この手順は、ＦＡＢのインライン製造に役立つ工程システムに対応可能である。
【００２９】
図５ｂでは、本発明の別の好適な実施形態に関して、プラットフォーム５２０（図５ａ参照）と同様な、一体化した真空予圧駆動ユニット５６０を備えた空力プラットフォーム５３０の平面図を示している。“一体化した”は、非接触プラットフォーム５３０の上面５１０と真空予圧駆動ユニット５６０のカウンタプレートが共通のプレートから成ることを、意味する。他の全詳細については、殆ど図５ａに関して記述したプラットフォームと同様である。この場合、ユニット５６０の各駆動ホイールを１直線にして、非接触プラットフォーム５３０の天板上方に（例えば１００μｍ）突出させる（１００μｍは、非接触プラットフォーム５３０に亘り基板を支持するエアクッションの典型的なエア間隙部の半分以下と関係する）。空力プラットフォーム５３０の中心には、正確な工程ゾーン５１０を設けて、基板の正確な浮上間隙を、例えば、ＰＶ式エアクッションを適用して、獲得する。空力プラットフォーム５２０（図５ａ）に関して、この場合、真空予圧駆動ユニット５６０を２セクションに分けて、工程ゾーン領域を貫通させない点に、注意されたい。その結果、ユニット５６０の駆動ホイールによって発生する可能性がある障害が、工程領域５１０に及ぶのを、防げる。しかしながら、直線駆動機構５６５は工程領域を横断しており、従って、プラットフォームの全体的な正確さ（即ち、基板の平坦さ）は駆動システム５６５で決まる。
【００３０】
従って、動作モードでは、一体化した真空予圧駆動ユニット５６０を使用して、例えば基板の載脱荷を行う場合、真空予圧駆動ユニット５６０の真空ポートを真空源に流体工学的に接続し、その結果、可撓性基板（例えば厚さ０．７ｍｍのＦＰＤ用ガラス等）が真空引下げ力によって撓み、基板と駆動ホイールの対向する上面との間で発生させた所望の押下力で、接触する。動作していない場合、真空の供給を閉じ、基板を周囲のエアクッションで押上げ、基板は駆動ホイールの最上部の上方に安全に浮上する（図６ａ〜図６ｃも参照）。従って、選択的用途によっては、昇降機構（及び費やす時間）を省いてもよい（しかし、幾つかの他の用途では、ホイールの昇降機構を使用する必要がある）。
【００３１】
真空予圧駆動ユニット５６０の動作モードについて更に図６ａ〜図６ｃで、本発明の好適な実施形態に従い、説明するが、該図では、真空予圧駆動ユニット５６０用昇降機構を不要にしている。ユニット５６０付近の非接触プラットフォーム６００の横断面図を、図６ａに示す。この図では、真空をホイール１２０両側の真空ポート２１０に供給する。従って、体積部２０１で大気圧以下状態を進行させ、可撓性基板１０（例えば、幅広型０．７ｍｍＦＰＤ用ガラス）を引下げて、定格浮上状態から撓ませ（図６ｂ参照）、基板１０を所望の押下力（Ｆｖ）でホイール１２０と接触させる。ユニット５６０の周りに、非接触プラットフォーム６００には複数の圧力ポートを有して、エアクッション３０１を作成し、基板１０を支持して基板１０と非接触プラットフォーム６００の上面との間の接触を防ぐ。図６ｂは、その全要素に関して、図６ａと同様とするが、真空を、一体化した真空予圧駆動ユニット５６０の真空ポートに供給していない。この状況（定格浮上状態）では、基板１０は重力によって僅かに撓む可能性があるものの、依然としてユニット５６０周りに非接触プラットフォーム６００で作成したエアクッション３０１で、ホイール１２０の最上部から安全な浮上距離で基板１０を支持する。しかしながら、図６ｃでは、基板１０とホイール１２０の最上部との間の安全距離を増大する選択について表す。この選択を、真空供給（ユニット５６０の真空ポートに接続した）から加圧エア供給に切替え、それにより真空予圧した駆動ホイール付近により押上力を得ることで行える。こうして延長する安全距離は、加圧レベルによって異なる。従って、ユニット５６０の真空ポートへの真空供給をオン／オフ切替するだけで、基板１０と真空予圧駆動ホイール１２０とを接触させ、水平方向の駆動力を発生させる。
【００３２】
基板を搬送し、該基板で真空予圧駆動ユニットの一部だけを被覆すると、かなりの数の真空ポートが非被覆状態になり、周囲の圧力状態（即ち大気条件）に曝され、従って、質量流量が大幅に増大する可能性がある。無用な質量流による損失を防ぐために、１選択肢として、真空予圧駆動ユニット５６０の各真空ポートと流体連通する流量制限器２１９を使用して、そうすることで真空ポートが非被覆状態になった場合に流れを制限する（図６ａ）。かかる流量制限器を、自己適合細分化オリフィス（Ｓｅｌｆ-Ａｄａｐｔｉｖｅ  Ｓｅｇｅｍｅｎｔｅｄ  Ｏｒｉｆｉｃｅ（ＳＡＳＯ））流量制限器（国際公開第ＷＯ０１／１４７８２号（特許文献２）、米国特許第ＵＳ６６４４７０３号（特許文献３）及び第ＵＳ６５２３５７２号（特許文献４）参照、これら全てを参照により本明細書に組込む）として、これを使用してもよい。本発明の好適な実施形態による非接触プラットフォームにはまた、流量制限器３１９（ＳＡＳＯノズル又は類似物等）を各圧力ポート３１０に備えて、それにより全体的な流量を制限し、接触に対して相当抵抗を高くする。
【００３３】
図７ａ〜図７ｄでは、幾つかの本発明の好適な実施形態に関して、連続ホイール構成（図３ａ参照）を有した１つ又は複数の一体化真空予圧駆動ユニットを備える空力プラットフォームの幾つかの構成について説明する。かかるプラットフォームには、図５ａに関して記述したように、精密な直線駆動システムを含んでもよい。図７ａでは、真空予圧駆動ユニット７１０を備える非接触プラットフォーム７０１について説明する。ユニット７１０には、プラットフォーム７０１両側に、２列の駆動ホイールを有する。図７ｂでは、真空予圧駆動ユニット７２０を備える非接触プラットフォーム７０２を示す。ユニット７２０には、プラットフォーム７０２の中心線で、２列の隣接する駆動ホイール列を有する。図７ｃでは、真空予圧駆動ユニット７３０を備える非接触プラットフォーム７０３について説明する。ユニット７３０には、プラットフォーム７０３に２列の駆動ホイールを有する。図７ｄでは、真空予圧駆動ユニット７４０を備える非接触プラットフォーム７０４について記述する。ユニット７４０には、３列の駆動ホイールを、２列をプラットフォーム７０４の両側に、１列をプラットフォーム７０４の中心線に夫々有する。
【００３４】
図７ｅ〜図７ｈでは、本発明の幾つかの好適な実施形態による、正確なＰＡ-ＰＶ（２１００-２２００）空力プラットフォームの幾つかの構成について、説明するが、該プラットフォームには、載脱荷、通過等の搬送任務を果たす連続ホイール構造（図４ａ参照）を有する１つ又は複数の真空予圧駆動ユニット７７０、或は搬送任務を果たす並列ホイール構成７８０（図４ｂ参照）と、図５ａで表した精密な直線運動機構５６５と任意に交換して、精密な直線運動を提供する正確なシステムバージョン７９０（例えば、図２ｅに示したシャフトを備える図４ｂに示した真空予圧駆動ユニット）とを、備える。図７ｅ〜図７ｆの空力プラットフォームは、ＰＡ-ＰＶ-ＰＡ式であり、該プラットフォームでは、短手方向に伸長した工程ゾーンをＰＶ領域２０００の中心に配設している。これらの場合、基板のストロークは、基板長より僅かに長くなる。図７ｅは、プラットフォームの上流、下流に配設した２つの載脱荷用搬送ユニット７８０を有する。２精密ユニット７９０を、同期して動作させ、基板への工程を行う際に、基板を前方（又は必要ならば、後方）に駆動する。図７ｆは図７ｅと同様だが、ユニット７８０を使用する代わりに、真空予圧駆動ユニット７７０（連続ホイール構成で）を提供する。図７ｇ〜図７ｈの空力プラットフォームは、ＰＡ-ＰＶ-ＰＡ-ＰＶ-ＰＡ式であり、該プラットフォームでは、短手方向に伸長した２工程ゾーンをＰＶ領域２２００の中心に配設し、該２ゾーンの間隔を基板長の約半分としている。これらの場合、基板ストロークは、基板長の半分より多少長くなる。図７ｇには、１つの精密な真空予圧駆動ユニット７９０を有して、両工程ゾーン２２００で同時に行う可能性がある工程期間中に、基板を正確に操作し、また２つの真空予圧駆動ユニット７８０を有して、載脱荷を行う。図７ｈには、３つの同期して動作する精密な真空予圧駆動ユニット７９０を有する。従って、正確な運動の他に載脱荷も、この３シャフト駆動システムで行う。
【００３５】
図７ｋでは、本発明の好適な実施形態に従う、三方ギヤボックス７５４を有する単一運動システム７５２によって駆動する、任意の真空予圧機構について説明するが、該機構は選択的には、図７ｆで表したような、正確なプラットフォームの真空予圧駆動機構とする。該機構には、２つの平行した正確な真空予圧搬送ユニット７５６ａ、７５６ｂ（並列構成）、載脱荷用真空予圧搬送ユニット７５０ａ、７５０ｂを含み、（並列構成では）駆動力を、該ユニット７５６ａ，７５６ｂのシャフトで、ベルトを介して提供する。各セクタの動作を、以下の段落で記述するように、真空を切替えるだけで実施できる点に注意されたい。
【００３６】
駆動力を、真空を真空予圧駆動ユニットの真空ポートに導入することでコンベヤに導入する点（図６ａ〜図６ｃ参照）は、強調しておく必要がある。切替を、以下の部分的に関係した状況で適用してもよい：
基板が真空ポートを被覆しないとき、真空のスイッチを入れる。
基板が真空ポートの幾つかのみを被覆するとき、真空のスイッチを入れる。
基板が全真空ポートを被覆する（これは、並列ホイール構成に関する場合である）とき、真空のスイッチを入れる。
基板が移動しないとき、真空のスイッチを入れる。
基板がプラットフォーム上で搬送されているとき、真空のスイッチを入れる。
駆動ホイールが回転していないとき、真空のスイッチを入れる。
駆動ホイールが回転しているとき、真空のスイッチを入れる。
【００３７】
図８ａ〜図８ｃでは、本発明の幾つかの好適な実施形態に関して、真空予圧概念全般に対して、特に一体化した真空予圧駆動ユニットに対して選択的に適用する、幾つかの駆動ホイールの構成について説明する。図８ａでは、真空予圧駆動ユニットを非接触プラットフォームの中心領域で、支持した基板１０の下に設ける場合に使用する、駆動ホイール８２０ａについて表す。図８ｂでは、真空予圧駆動ユニットを非接触プラットフォームの縁部（図７ａ参照）に設け、基板１０の縁部を支持する場合に使用する駆動ホイール８２０ｂについて表す。接触を防止するために、エアクッション支持部（３１０）を、真空ポート付近に設ける点に注意されたい。ホイール８２０ａのフランジ８２１を、動力的ガイド要素として設け-それにより運動中に基板を“インライン”に確保する。図８ｃでは、二重駆動ホイール８２０ｃを１部品として形成してこれを表し、真空予圧駆動ユニットの真空ポート２１０をホイール間に配置している（図７ｂ参照）。このバージョンは、基板が極めて可撓性な場合に有用である。
【００３８】
一般性を制限することなく、図９ａ〜図９ｃでは、幾つかの本発明の好適な実施形態による、真空予圧駆動ユニットのホイール周りでの真空ポートの幾つかの配列について、説明する。かかる配列は、搬送する基板の様々な弾性特性に関係する。図９ａでは、ホイール１２０の両側から、複数の真空ポート９１１（例として３個を示す）の配列について表す。ホイール１２０の両側に１真空ポート９１２だけを使用することは、運動方向に最小の曲げモーメントを基板に付与するため、極めて実用的である。図９ｂでは、ホイール１２０の片側だけから、１つ又は複数の真空ポート９２１（例として３個を示す）の配列について表す。図９ｃでは、連続する２ホイール間で（好適には、出来るだけ近付けて）、複数の真空ポート９３１（例として４個を示す）の配列について表す。図９ｄでは、連続する２ホイール間で（好適には、出来るだけ近付けて）、ホイール１２０の両側に１つ又は複数の真空ポート９４１、及び１つ又は複数の真空ポート９４２を組み合わせた配列について表す。図９ｅでは、隣接する２ホイール間の複数の真空ポート９５１の配列（図７ｂ及び図８ｃ参照）について表す。
【００３９】
図１０ａでは、幾つかの本発明の好適な実施形態に関して、真空予圧駆動概念に基づく、ＦＰＤ用ガラス等の基板を、操作し、搬送し、回転させ、指向させる自動推進式モジュール１０００について、説明する。モジュール１０００には、非接触プラットフォーム１００１及び３つの個別な真空予圧駆動ユニットを含む  -  ２つの交差する直線の真空予圧駆動ユニット１１００及び１２００（連続ホイール構成）、及び４ホイール１３０１を有する１真空予圧回転ユニット１３００を含む。真空予圧回転ユニット１３００のホイール１３０１は、４つの別々のモータで選択的に同期して動作させてもよい。かかるモジュールを用いて、１駆動ユニットから別の駆動ユニットへの切替えを、単に真空を“オン”から“オフ”に切替えて、実行してもよい。こうしたモジュールには、幾つかの位置決めセンサ（図示せず）、及びアライナ等の付属手段を有して、様々な有効な基板操作任務（図示せず）を制御する。かかる空力ロボットモジュールの使用例として、以下のものがある：
基板をモジュール１０００全体で、Ｙ方向に能動的に真空予圧駆動ユニット１２００で（能動的は、真空“オン”を意味する）搬送する。
基板をモジュール１０００全体で、Ｘ方向に能動的に真空予圧駆動ユニット１１００で（能動的は、真空“オン”を意味する）搬送する。
基板を、真空予圧駆動ユニット１２００で（Ｙ方向に）、モジュール１０００の中心に搬送し、次にユニット１２００の駆動ホイールを停止させる。その後、基板を引続き、Ｘ方向に（真空予圧駆動ユニット１１００の真空を、“オン”に設定し、真空予圧駆動ユニット１２００の真空を“オフ”に設定し、次にユニット１１００の駆動ホイールを動作させる）に移動させる。
基板を、（ａ）真空予圧駆動ユニット１２００によって（Ｙ方向に）モジュール１０００の中心に移送し（駆動ホイール停止し）、（ｂ）真空予圧回転ユニット１３００への真空を“オン”に設定し、その後ユニット１１００への真空を“オフ”にして、休止させずにハンドシェークさせ、（ｃ）ホイール１３０１を動作させて基板を完全に９０度回転させ、（ｄ）ユニット１１００への真空を“オン”にし、回転ユニット１３００への真空を“オフ”にし、（ｅ）ユニット１２００のホイールの駆動を作動させて、Ｘ方向に基板を移送する。
基板を、Ｘ方向に、真空予圧駆動ユニット１２００で、モジュール１０００の中心に搬送し、停止、回転して、引続きＸ方向を出る。
【００４０】
こうした駆動ホイール列が交差点では、交差するホイールが、破線で囲んだ４駆動ホイール１２３０で見られるように、接近し過ぎると、真空押下力が原因で基板を交差するホイールと接触させる可能性があるため、リンク不良が発生するかもしれない点は、強調しておく必要がある。このような問題は、同じ列の少なくとも２ホイールを除去する、又は群１２３０の４ホイール全てを除去するだけで、簡単に解決する可能性がある。
【００４１】
図１０ｂでは、本発明の好適な実施形態に関して、別の設計の自動推進式モジュール１０００ａ（図１０ａで説明した自動推進式モジュール１０００に関して）について説明するが、該モジュールを使用して、真空予圧駆動概念に基づいて、ＦＰＤ用ガラス等の基板を、操作し、搬送し、回転させ、指向させる。モジュール１０００ａには、非接触プラットフォーム１００１ａ及び５つの個別な真空予圧駆動ユニット、Ｘ方向の直線運動を提供する２並列構成ユニット（１１１０ａ、１１１０ｂ）、Ｙ方向の直線運動を提供する２並列構成ユニット（１２１０ａ、１２１０ｂ）、及び１真空予圧回転ユニット１３００ａを含む。真空予圧回転ユニット１３００ａの駆動ホイール１３１０を、共通のベベルギヤ伝動ボックス１３２０によって、個別のシャフト１３３０を介して動作させる。この種の設計は、極めて費用効果が良く、図１０ａで説明したモジュール１０００に関して記述したのと同じ動作モードを提供する。同様に、また、様々な任務の制御を、真空を“オン”から“オフ”への切替、及び“オフ”から“オン”への切替によって、実施できる。
【００４２】
図１１では、本発明の好適な実施形態に関して、非接触トラック２０００に基づくシステムについて、説明するが、該システムは、細長空力プラットフォーム２００１上方に配設する、３つの連続する工程（２０２０、２０４０及び２０６０）に対応する。真空予圧操作システムを設けたトラック２０００は、並列構成の５真空予圧ユニットから成る。該システムには、載脱荷する、及び正確な直線運動を提供するための真空予圧駆動ユニットを含む。真空予圧搬送ユニット２１００を設けて、載脱荷任務を（基板１０を２００ｃｍ／秒以上の典型的速度で移送させて）行う。工程中の正確な直線運動を、３つの正確な真空予圧搬送ユニット２２００で提供し、正確な位置決め、及び安定した精密な速度（典型的には、５ｃｍ／秒〜５０ｃｍ／秒の範囲で）を提供する。工程を、基板を空力プラットフォーム上で浮上させながら、正確に直線的に移送させて、実行する。工程中、ガラス上方に配設する工程工具の少なくとも１つを、基板１０の上面に極めて近くに配設する可能性があり、そのため極めて正確な空力プラットフォーム、即ちエアクッション（例えば真空予圧（ＰＶ）エアクッション）（ＰＶ式流体クッションは、複数の圧力ポート及び真空源に接続した排気口を有する能動面で生成する真空予圧流体クッションであり、従って過剰な流体を真空によって排気する。参照によって本明細書に組込む国際公開第ＷＯ０３／０６０９６１号（特許文献１）を参照）であって正確で安定したエア間隙を提供する該エアクッションを、付与する必要がある。容易に連続移送するために、各真空予圧ユニット間の距離を、僅かに基板長より短くする必要がある。システム２０００には、上位中央制御部（３９９９）と通信する制御ボックス３０００を更に設ける。制御ボックス３０００を、各真空予圧駆動ユニットに、圧力／真空供給と関係するライン３１００及び運動システムと関連するラインによって（検知手段、例えば近接センサ又はエンコーダ等に接続を含む）接続する。制御ボックス３０００はまた、関係する全フィードバックセンサを含む、空力プラットフォーム２００１（ライン３３００）の巡回パラメータを制御する。加えて、制御ボックス３０００を工程工具２０２０、２０４０及び２０６０と通信させる（ライン３４００）。
【００４３】
並列の正確な真空予圧駆動ユニット（例えば、図７ｅ〜図７ｈ及び図１１に示すような）の使用に関する効果を、従来の直線駆動システム（例えば、図５ｂに示すような）と比較して、強調することは極めて重要である。並列の真空予圧駆動ユニットを使用して、基板を正確な空力プラットフォーム上で操作することで、正確な工程ゾーンが、スロット又は交差溝の無い均質な非接触支持部となり、直線運動システムで誘発する可能性がある動的変動が無くなる。
【００４４】
従って、正確な（並列構成の）真空予圧駆動ユニットにより、局所的にも動的にも障害のない工程ゾーンを、工程ゾーンを横断する従来の直線駆動システムに対して、提供する。正確な真空予圧駆動ユニットの典型的性能は、以下の通りである：
１ｍのストロークに対して約１０μｍの位置決め精度。
２０ｃｍ／秒より高速で１％未満の速度リップル。
０．５Ｇまで加速（ホイール数によって異なる）。
最高約１００ｃｍ／秒までの速度。
【００４５】
図１２では、本発明の好適な実施形態に関して、駆動ホイール１２００を有する真空予圧プラットフォーム５０００について説明するが、該駆動ホイールを、プラットフォーム上面全体に分布させ、該プラットフォームは、真空予圧概念に関するカウンタプレート２００としても機能する。一般性を制限することなく、駆動ホイールの千鳥配列を図面に示すが、任意の他の二次元配列も代わりに適用してもよい。１駆動ホイール１２０の周囲についての詳細図では、駆動ホイール１２０用にカウンタプレート２００に作成したスロット２０２、及び駆動ホイール１２０付近に真空ポート２１０を示している。このプラットフォームを比較的厚い基板に使用してもよく、該プラットフォームは、かかる基板（例えば厚い太陽電池用ガラス）を平坦にする能力を提供することを目的とする。このバージョンには圧力ポートを有さない点に注意されたい。
【００４６】
本明細書を通して、用語“空力プラットフォーム”、“非接触プラットフォーム”、“モジュール”、“搬送モジュール”は、示唆しない限り、交換可能である。本明細書を通して、用語“空力プラットフォーム”は、示唆しない限り、通常非接触搬送装置を、又は工程機械の非接触プラットフォームを指す。用語“運動”は、直線運動、正確な直線運動、回転運動、又は同様な運動を意味する。
【００４７】
本明細書を通して、用語“駆動ホイールユニット”、“真空予圧駆動ユニット”、汎用又は正確な駆動ユニットは、示唆しない限り、交換可能である。“ホイール”は、殆どの場合、駆動ホイール又は真空予圧駆動ホイールを意味する。
【００４８】
明確にすべきは、本明細書で記載した実施例及び添付図に関する記述は、本発明を一層理解するのに用いただけであって、本発明の範囲を限定するものではない。
【００４９】
更に明確にすべきは、当業者は、本明細書の読後、添付図及び上記実施例に対して調整又は変更を行えるが、それらもまた本発明に包含されるものとする。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１ａ】本発明の好適な実施形態による真空予圧コンベアシステムの横断面図であり、基板を支持及び搬送する駆動ホイールを採用し、真空予圧を選択的なホイールに行っている。
【図１ｂ】本発明の好適な実施形態による真空予圧コンベアシステムの横断面図であり、支持用エアクッション及び真空予圧駆動ホイールを採用して、必要な駆動力を生成している。
【図１ｃ】別々のカウンタプレートを有する真空予圧コンベアの詳細図である。
【図１ｄ】真空ポートと圧力ポートを備えた、共通のカウンタプレートを有するスタンドアロンの真空予圧コンベアユニットの詳細図である。
【図１ｅ】図２ｄに示す真空予圧コンベアと同様な真空予圧コンベアの詳細図であるが、カウンタプレートを空力プラットフォームの一体的セクションとしている。
【図２ａ】本発明の好適な実施形態による真空予圧コンベアシステムの正面図であり、該システムでは、駆動ホイール列を用いて基板を支持及び搬送し、両側列のホイールを真空予圧している（図１ａ参照）。
【図２ｂ】本発明の好適な実施形態による真空予圧コンベアシステムの正面図であり、該システムでは、両側２列に、基板を支持するためにエアクッション支持要素を組込んだ真空予圧駆動ホイールを有している。
【図２ｃ】本発明の好適な実施形態による長尺の真空予圧コンベアシステムの正面図である。該システムには、横２列に並列な真空予圧駆動ホイールを有し、非接触支持要素を組込んでいる。
【図２ｄ】図２ｃで示した並列な駆動ホイールの側面図である。
【図２ｅ】正確な基板運動が必要な場合に使用される、図２ｃで示した並列な駆動ホイールの横断面図である。
【図２ｆ】図２ｃで示した並列な駆動ホイールに関する機構の平面図であり、該機構には該ホイールの共通シャフト用の直動モータ及びボールベアリング支持体を有する。
【図２ｇ】伝動ボックスで係合し、共通モータで動作する２列の平行な、並列駆動ホイールに関する機構の平面図である。
【図２ｈ】１直線に整列させた２セクションに分割した並列駆動ホイールに関する機構の平面図である。各セクションを、専用直動モータで動作させ、直線運動中及び回転中共に同期可能にして（運動の真直度を制御する）。
【図３ａ】真空予圧コンベア（連続ホイール構成）の側面図を示し、該コンベアには、駆動機構とカウンタプレートの両方を昇降させる昇降機構を備える、本発明の好適な実施形態による駆動ベルト機構を有する。
【図３ｂ】本発明の好適な実施形態による真空予圧コンベア（連続ホイール構成）の側面図を示し、該コンベアには、駆動機構のみを昇降させる昇降機構を備える、駆動ベルト機構を有する。
【図４ａ】本発明の好適な実施形態による、“スタンドアロン”の真空予圧コンベア（連続ホイール構成）の等角図を示す。
【図４ｂ】本発明の好適な実施形態による、“スタンドアロン”の真空予圧コンベア（連続ホイール構成）の平面図を示す。
【図４ｃ】本発明の好適な実施形態による、“スタンドアロン”の真空予圧コンベア（連続ホイール構成）の平面図を示す。
【図４ｄ】磁気伝達体を備える、本発明の好適な実施形態による、真空予圧コンベアのホイール列の等角図を示す。
【図５ａ】空力プラットフォームを組込む、本発明の好適な実施形態による、“スタンドアロン”の交換可能な（プラグ・アンド・プレイ）真空予圧コンベアの正面図を示す。
【図５ｂ】本発明の好適な実施形態による、真空予圧コンベアの正面図を示しており、該コンベアでは、カウンタプレートを空力プラットフォームの一体化した部分（又はセクション）とする。
【図６ａ】本発明の好適な実施形態による、真空予圧コンベアの動作モードについて説明しており、エアクッションを用いて、搬送する基板を支持し、真空を用いて摩擦力を強化している。
【図６ｂ】本発明の好適な実施形態による、真空予圧コンベアの受動的モードについて説明しており、エアクッションを用いて搬送する物体を支持している（真空は提供しない）。
【図６ｃ】本発明による、真空予圧コンベアのセーフモードについて説明しており、加圧エアを真空ポートを介して供給し、それにより基板をホイールから更に離して（上方に）持上げている。
【図７ａ】本発明の幾つかの好適な実施形態による、真空予圧コンベアの様々な構成について、非接触搬送装置と一体化させてこれらを説明している。
【図７ｂ】本発明の幾つかの好適な実施形態による、真空予圧コンベアの様々な構成について、非接触搬送装置と一体化させてこれらを説明している。
【図７ｃ】本発明の幾つかの好適な実施形態による、真空予圧コンベアの様々な構成について、非接触搬送装置と一体化させてこれらを説明している。
【図７ｄ】本発明の幾つかの好適な実施形態による、真空予圧コンベアの様々な構成について、非接触搬送装置と一体化させてこれらを説明している。
【図７ｅ】本発明の幾つかの好適な実施形態による、非接触の正確なプラットフォームと一体化させた真空予圧コンベアの様々な構成について、説明している。
【図７ｆ】本発明の幾つかの好適な実施形態による、非接触の正確なプラットフォームと一体化させた真空予圧コンベアの様々な構成について、説明している。
【図７ｇ】本発明の幾つかの好適な実施形態による、非接触の正確なプラットフォームと一体化させた真空予圧コンベアの様々な構成について、説明している。
【図７ｈ】本発明の幾つかの好適な実施形態による、非接触の正確なプラットフォームと一体化させた真空予圧コンベアの様々な構成について、説明している。
【図７ｋ】本発明の幾つかの好適な実施形態による、正確な直動コンベアと載脱荷用真空予圧コンベアの両方を有する真空予圧コンベアの典型的機構について、説明している。
【図８ａ】コンベアホイール付近での、幾つかの任意な真空ポートの仕組みの断面図を示す。
【図８ｂ】コンベアホイール付近での、幾つかの任意な真空ポートの仕組みの断面図を示す。
【図８ｃ】コンベアホイール付近での、幾つかの任意な真空ポートの仕組みの断面図を示す。
【図９ａ】コンベアホイール付近での、幾つかの任意な真空ポートの仕組みの正面図を示す。
【図９ｂ】コンベアホイール付近での、幾つかの任意な真空ポートの仕組みの正面図を示す。
【図９ｃ】コンベアホイール付近での、幾つかの任意な真空ポートの仕組みの正面図を示す。
【図９ｄ】コンベアホイール付近での、幾つかの任意な真空ポートの仕組みの正面図を示す。
【図９ｅ】コンベアホイール付近での、幾つかの任意な真空ポートの仕組みの正面図を示す。
【図１０ａ】２つの交差する真空予圧コンベア（連続ホイール構成）と真空予圧回転機構を有する非接触分配モジュール１０００について説明している。各真空予圧回転ホイールには、個別の駆動装置を備えている。全ホイールの駆動装置は、電子的に同期する。
【図１０ｂ】２つの交差する真空予圧コンベア（並列構成）と真空予圧回転機構を有する非接触分配モジュール１００１について説明している。真空予圧回転機構の全ホイールを、共通のベベルギヤ伝動ボックスで駆動する。
【図１１】載脱荷用装置と正確な直線運動用装置の両方を含む真空予圧操作システムを備えた、３連続工程に対応する非接触トラックについて説明している。
【図１２】真空予圧プラットフォームの上面全体に分布させた駆動ホイールを備える該プラットフォームについて説明している。
【符号の説明】
【００５１】
１０    基板
２０    基礎構造部
１２０、８２０ａ、８２０ｂ、８２０ｃ    駆動ホイール
１２１、１６４、１３０１    ホイール
１２２    駆動機構
１２３、１８０    シャフト
１２４    ベアリング
１２５    ３偏揺伝達ボックス
１５４    内側部分
１５６、１６６    外側部分
１８１    交差シャフト
１８２    磁気伝達ユニット
１８３    第２磁気伝達ユニット
２００    カウンタプレート
２０１    体積部
２０５    開口部（スロット）
２１０    真空ポート
３００    空力レール
３０１    エアクッション
３１０    圧力ポート
３１９    流量制限器
３８２    大気孔
４００    列
４２０    側板
４２５    調整用アイドラ
４３０    ベルト
４９８    真空予圧コンベヤユニット
５００、５０１    空力セクション
５１０    上面
５２０    非接触空力プラットホーム
５３０、６００、７０１、７０２、７０４、１００１、１００１ａ    非接触プラットホーム
５５０、７５６ａ、７５６ｂ    真空予圧搬送ユニット
５５５    真空予圧コンベヤ
５６０、７１０、７２０、７３０、７４０、７７０、７８０、７９０、１１００、１２００    真空予圧駆動ユニット
５６５    直線運動機構
５６６    真空パッド
５６７    細長スロット
７５２    単一運動システム
７５４    三方ギヤボックス
９１１、９１２、９２１、９３１、９４１、９４２、９５１    真空ポート
１０００、１０００ａ    モジュール
１２１０    主真空管路
１１１０ａ、１１１０ｂ、１２１０ａ、１２１０ｂ    並列構成ユニット
１２１１    弁
１２２０、１２３０    主加圧エア管路
１３００、１３００ａ    真空予圧回転ユニット
２０００    非接触トラック
３０００    制御ボックス
【図１ａ】
0005610330.tif 000002
【図１ｂ】
0005610330.tif 000003
【図１ｃ】
0005610330.tif 000004
【図１ｄ】
0005610330.tif 000005
【図１ｅ】
0005610330.tif 000006
【図２ａ】
0005610330.tif 000007
【図２ｂ】
0005610330.tif 000008
【図２ｃ】
0005610330.tif 000009
【図２ｄ】
0005610330.tif 000010
【図２ｅ】
0005610330.tif 000011
【図２ｆ】
0005610330.tif 000012
【図２ｇ】
0005610330.tif 000013
【図２ｈ】
0005610330.tif 000014
【図３ａ】
0005610330.tif 000015
【図３ｂ】
0005610330.tif 000016
【図４ａ】
0005610330.tif 000017
【図４ｂ】
0005610330.tif 000018
【図４ｃ】
0005610330.tif 000019
【図４ｄ】
0005610330.tif 000020
【図５ａ】
0005610330.tif 000021
【図５ｂ】
0005610330.tif 000022
【図６ａ】
0005610330.tif 000023
【図６ｂ】
0005610330.tif 000024
【図６ｃ】
0005610330.tif 000025
【図７ａ】
0005610330.tif 000026
【図７ｂ】
0005610330.tif 000027
【図７ｃ】
0005610330.tif 000028
【図７ｄ】
0005610330.tif 000029
【図７ｅ】
0005610330.tif 000030
【図７ｆ】
0005610330.tif 000031
【図７ｇ】
0005610330.tif 000032
【図７ｈ】
0005610330.tif 000033
【図７ｋ】
0005610330.tif 000034
【図８ａ】
0005610330.tif 000035
【図８ｂ】
0005610330.tif 000036
【図８ｃ】
0005610330.tif 000037
【図９ａ】
0005610330.tif 000038
【図９ｂ】
0005610330.tif 000039
【図９ｃ】
0005610330.tif 000040
【図９ｄ】
0005610330.tif 000041
【図９ｅ】
0005610330.tif 000042
【図１０ａ】
0005610330.tif 000043
【図１０ｂ】
0005610330.tif 000044
【図１１】
0005610330.tif 000045
【図１２】
0005610330.tif 000046