(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面にＮ極とＳ極を着磁された磁気スケールと、
前記磁気スケールに対して対向配置される磁気センサと、
を備える磁気エンコーダにおいて、
前記磁気スケールは、
ネオジム粉末を樹脂に含有させて形成すると共に表面にＮ極とＳ極を着磁した第一シート磁石と、
フェライト系磁性粉末を樹脂に含有させて形成すると共に前記第一シート磁石の裏面に固着された第二シート磁石と、
を有し、
前記第一シート磁石が前記磁気センサに対して対向配置され、
前記第二シート磁石が前記磁気センサに対して相対移動するベース部材に固定されることを特徴とする磁気エンコーダ。
【請求項２】
表面にＮ極とＳ極を着磁された磁石部と、
複数のコイルを前記磁石部に対向して配列したコイル部と、
前記磁石部と前記コイル部と相対位置を検出するエンコーダと、
を備え、
前記エンコーダの検出結果に基づいて前記磁石部と前記コイル部の相対移動を制御するアクチュエータにおいて、
前記エンコーダとして、請求項１に記載の磁気エンコーダを用いることを特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気エンコーダ、アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
帯状の磁性体部材の表面に、Ｎ極とＳ極を交互に着磁したリニア磁気スケールが知られている。
このリニア磁気スケールは、リニア磁気エンコーダの一部として用いられる。すなわち、リニア磁気スケールに対してＭＲセンサ等の磁気センサを対向配置して相対移動させることで、磁気スケールと磁気センサの相対位置を検出する。例えば、リニアモータの可動部の位置等を検出するリニア磁気エンコーダとして用いられる。
【０００３】
リニアモータ等に用いられるリニア磁気エンコーダとしては、外部磁界の影響を受けにくいことが要請される。すなわち、リニア磁気スケールからの磁気出力が大きく安定していることが要請される。このため、ネオジム磁石等の強い磁力を有する磁石が用いられる。
【０００４】
また、リニア磁気スケールは、曲線部分の計測等に用いるために、湾曲可能であることも要請される場合もある。このため、ボンド磁石と呼ばれる柔軟性のある磁石が用いられる。ボンド磁石は、磁石を砕いてゴムやプラスチックに練り込んだものであり、ゴム磁石、塩ビ磁石又はプラスチック磁石などとも呼ばれる。
【０００５】
ところが、ネオジム磁石等をゴム等に練り込んだボンド磁石は、脆いという性質がある。このため、ネオジム磁石等を含むシート状のボンド磁石の裏面側に補強部材としてステンレス板等の金属板を貼り付けたものが用いられている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−１４８８４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ネオジム磁石等を含むシート状のボンド磁石の裏面側に金属板等の補強部材を貼り付けたものでは、ボンド磁石本来の柔軟性・可撓性が損なわれてしまう。また、重量化、錆つき、温度変形、高コスト化等の問題が発生する。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、強い磁力を有すると共に柔軟性に富む磁気エンコーダ、アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
本発明に係る磁気エンコーダは、表面にＮ極とＳ極を着磁された磁気スケールと、前記磁気スケールに対して対向配置される磁気センサと、を備える磁気エンコーダにおいて、前記磁気スケールは、ネオジム粉末を樹脂に含有させて形成すると共に表面にＮ極とＳ極を着磁した第一シート磁石と、フェライト系磁性粉末を樹脂に含有させて形成すると共に前記第一シート磁石の裏面に固着された第二シート磁石と、を有し、前記第一シート磁石が前記磁気センサに対して対向配置され、前記第二シート磁石が前記磁気センサに対して相対移動するベース部材に固定されることを特徴とする。
本発明に係るアクチュエータは、表面にＮ極とＳ極を着磁された磁石部と、複数のコイルを前記磁石部に対向して配列したコイル部と、前記磁石部と前記コイル部と相対位置を検出するエンコーダと、を備え、前記エンコーダの検出結果に基づいて前記磁石部と前記コイル部の相対移動を制御するアクチュエータにおいて、前記エンコーダとして、上記磁気エンコーダを用いることを特徴とする。
本発明に係る可撓性マグネットは、希土類磁性粉末を樹脂に含有させて形成すると共に表面にＮ極とＳ極を着磁した第一シートと、フェライト系磁性粉末を樹脂に含有させて形成すると共に前記第一シートの裏面に固着された第二シートと、を有することを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る可撓性マグネットの製造方法は、ネオジム粉末を樹脂に含有させて第一シート磁石を形成する工程と、フェライト系磁性粉末を樹脂に含有させて第二シート磁石を形成する工程と、前記第一シート磁石及び前記第二シート磁石を重ね合わせて固着する工程と、前記第一シート磁石の表面にＮ極とＳ極を着磁する工程と、を有し、前記第一シート磁石が磁気センサ又は複数のコイルからなるコイル部に対して対向配置され、前記第二シート磁石が前記磁気センサ又は前記コイル部に対して相対移動する部材に固定されることを特徴とする。
【００１１】
本発明に係る磁気エンコーダは、表面にＮ極とＳ極を着磁された磁気スケールと、前記磁気スケールに対して対向配置される磁気センサと、を備える磁気エンコーダにおいて、前記磁気スケールとして、上記可撓性マグネット若しくは上記可撓性マグネットの製造方法により製造された可撓性マグネットを用いることを特徴とする。
【００１２】
本発明に係るアクチュエータは、表面にＮ極とＳ極を着磁された磁石部と、複数のコイルを前記磁石部に対向して配列したコイル部と、を備え、前記磁石部の磁界と前記コイルに流れる電流とにより前記磁石部と前記コイル部と相対移動させるアクチュエータにおいて、前記磁石部として、上記可撓性マグネット若しくは上記可撓性マグネットの製造方法により製造された可撓性マグネットを用いることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る可撓性マグネット、可撓性マグネットの製造方法によれば、第二シートが第一シートの補強部材として機能するので、可撓性マグネットを曲げたり捻ったりした場合であっても、第一シートが割れたり裂けたりすることがない。
また、可撓性マグネットは、高強度の磁力を有する第一シートを有するので、磁気スケール等に好適に用いることができる。また、高い柔軟性・可撓性を有するので、可撓性マグネットを湾曲した部位等にその形状に倣って密着して取り付けることができる。
【００１４】
本発明に係る磁気エンコーダ、アクチュエータによれば、第一シートが強い磁力を発生するので、磁気エンコーダは検出精度の向上や安定化を図ることができ、アクチュエータは高い推進力を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係るアクチュエータ（リニアモータ）の概略構成を示す斜視図である。
【図２】ベース及びテーブルを示す拡大斜視図（一部断面図）である。
【図３】アクチュエータの概略構成を示す断面図である。
【図４】コイル部を示す斜視図である。
【図５】リニアガイドの構成を示す断面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る可撓性マグネットの構成を示す斜視図及び断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施形態に係るアクチュエータＡ（リニアモータ５）の概略構成を示す斜視図である。
図２は、ベース１０及びテーブル２０を示す拡大斜視図（一部断面図）である。
図３は、リニアモータ５の概略構成を示す断面図である。
【００１７】
アクチュエータＡは、リニアモータ５と、それを制御するモータドライバ８０（制御装置）と、モータドライバ８０に接続されたユーザー端末９０（情報処理装置）と、を備える。
リニアモータ５は、一軸方向（Ｘ方向）に細長く伸びるベース１０と、ベース１０に対して摺動自在に設けられたテーブル２０と、からなる。
また、ベース１０とテーブル２０の間には、一対のリニアガイド５０が設けられ、ベース１０に対してテーブル２０が円滑に摺動可能となっている。
【００１８】
ベース１０に対するテーブル２０の位置・速度・加速度は、リニア磁気エンコーダ６０により検出される（図３参照）。リニア磁気エンコーダ６０は、例えば、１μｍ程度の分解能を有している。
リニア磁気エンコーダ６０は、ベース１０に取り付けられた磁気スケール６１と、テーブル２０に取り付けられた磁気センサ６２等とから構成される。
【００１９】
磁気スケール６１は、細長い矩形の磁性体からなり、その上面を、Ｎ極とＳ極が交互に一定のピッチ（例えば２ｍｍ）になるように着磁したものである。
磁気スケール６１は、ベース１０の側壁部１２の外面側に、ベース１０の長手方向（Ｘ方向）に沿って密着配置される。
【００２０】
この磁気スケール６１として、可撓性マグネットＭが用いられる（図６参照）。
可撓性マグネットＭは、強い磁力を有する第一シート１と、第一シート１の裏面１ｂに溶着された弱い磁力を有する第二シート２の二層構造に形成されたボンド磁石である。第一シート１の表面（上面）にＮ極とＳ極を交互に一定のピッチで長手方向に沿って着磁される。可撓性マグネットＭの詳細構成については後述する。
そして、可撓性マグネットＭは、ベース１０の長手方向（Ｘ方向）に沿って固定される。具体的には、裏面側の第二シート２をベース１０の側壁部１２の外面側に両面テープや接着剤を配置して密着固定する。これにより、表側の第一シート１が磁気スケールとして機能する。
【００２１】
磁気センサ６２は、ＭＲ素子により磁気スケール６１の磁気を検出し、磁気スケール６１に沿って相対移動することで正弦波信号を出力するものである。
磁気センサ６２が検出した信号は、不図示の信号処理部を介して、モータドライバ８０に送られる。そして、モータドライバ８０は、ユーザー端末９０からの位置指令に基づいてテーブル２０が指令位置に移動するように、コイル部４０に供給する電流を制御する。このようにして、リニアモータ５の制御が行われる。
【００２２】
リニアモータ５の制御方法としては、フィードバック制御等が行われる。すなわち、磁気センサ６２が検出したテーブル２０の位置情報、速度情報、加速度情報をモータドライバ８０に送り、目標値（指令値）との差分を算出し、テーブル２０の位置、速度、加速度が目標値に近づくようにコイル部４０の３つのコイル４１に対する三相交流電流を制御する。
【００２３】
ベース１０は、細長い矩形の底壁部１１と、この底壁部１１の幅方向（Ｙ方向）の両端に垂直に設けられた一対の側壁部１２とから形成される。ベース１０は、例えば、鉄鋼等の磁性体材料又はアルミニウム等の非磁性体材から形成される。
ベース１０の底壁部１１の上面には、複数のマグネットが配列された磁石部３０が取り付けられる。
また、ベース１０の側壁部１２のそれぞれの上面には、リニアガイド５０の軌道レール５１が一軸方向に沿って配置される。この２本の軌道レール５１は平行に配置され、それぞれ２つの移動ブロック５２が取り付けられる。
【００２４】
テーブル２０は、アルミニウム等の非磁性材料からなり、矩形の板状に形成される。
テーブル２０の下面２０ｂの四隅には、リニアガイド５０の移動ブロック５２が取り付けられる。そして、この移動ブロック５２は、上述した２本の軌道レール５１に取り付けられる。すなわち、テーブル２０は、一対のリニアガイド５０により、ベース１０に直線運動可能に支持される。
【００２５】
また、テーブル２０の下面のうち、４つの移動ブロック５２の間には、３つのコイル４１等からなるコイル部４０が吊り下げられる。この３つのコイル４１は三相コイル（電機子）として機能する。
そして、ベース１０に取り付けられた磁石部３０と、テーブル２０に取り付けられたコイル部４０との間には、ギャップｇが設定される。このギャップｇは、テーブル２０が一対のリニアガイド５０によりベース１０に対して直線運動しても一定に維持される。
【００２６】
磁石部３０は、コイル部４０に向けて磁界を発生させるものである。具体的には、磁石部３０は、細長い矩形板状に形成された磁石であり、その表面（上面）がＮ極とＳ極を交互に一定のピッチでベース１０の長手方向（Ｘ方向）に沿って着磁したものである。
【００２７】
この磁石部３０として、可撓性マグネットＭが用いられる（図６参照）。
磁石部３０に用いられる可撓性マグネットＭは、磁気スケール６１に用いられる可撓性マグネットＭと同一構成を有する。もっとも、形状寸法、磁力及び着磁ピッチなどは、磁石部３０の要求仕様に合わせて変更されたものとなっている。
そして、可撓性マグネットＭは、ベース１０の長手方向（Ｘ方向）に沿って固定される。具体的には、裏面側の第二シート２とベース１０の底壁部１１の間に両面テープや接着剤を配置して密着固定する。これにより、表側の第一シート１からコイル部４０に向けて磁界を発生させる。
【００２８】
図４は、コイル部４０を示す斜視図である。
テーブル２０の下面の中央部には、三相コイルとして機能する３つのコイル４１とコア４２からなる電機子としてのコイル部４０が取り付けられる。コア４２の材質は、ケイ素鋼等の磁性体である。コア４２は、三相コイル（コイル４１）に発生する磁界を強める３つの櫛歯４２ａ，４２ｂ，４２ｃを有する。
３つのコイル４１は、コア４２の３つの櫛歯４２ａ，４２ｂ，４２ｃの周囲にそれぞれ巻かれ、Ｕ相コイル４１ａ、Ｖ相コイル４１ｂ、Ｗ相コイル４１ｃとなる。３つのコイル４１は、テーブル２０の移動方向に沿って並べられる。
【００２９】
そして、３つのコイル４１には、１２０度ずつ位相が異なる三相交流電流が流される。これにより、コイル部４０から進行磁界が発生する。これにより、磁石部３０に発生する磁界との作用により、コイル部４０（テーブル２０）に推力が発生する。
コイル部４０の３つのコイル４１に流れる電流は、モータドライバ８０によって制御される。
【００３０】
図５は、リニアガイド５０の斜視図を示す。
リニアガイド５０は、ベース１０の側壁部１２の上面に取り付けられた軌道レール５１を有する。
軌道レール５１には、長手方向に所定のピッチで複数の取付け孔５１ｂが開けられる。取付け孔５１ｂにボルトを通し、ボルトをベース１０の側壁部１２のねじ孔にねじ込むことによって、軌道レール５１が側壁部１２に固定される。
軌道レール５１には、長手方向に沿ってボール５５が転がる複数条のボール転走溝５１ａが形成される。ボール転走溝５１ａの断面形状は、ボール５５の半径よりも僅かに大きい単一の円弧からなるサーキュラーアーク溝形状、または二つの円弧からなるゴシックアーチ溝形状である。
ボール転走溝５１ａは、軌道レール５１の側面だけでなく、軌道レール５１の上面にも形成されている。軌道レール５１の上面にボール転走溝５１ａを形成することで、リニアガイド５０の垂直方向の剛性を高めることができる。
【００３１】
移動ブロック５２は、軌道レール５１を跨る鞍形状に形成される。移動ブロック５２には、軌道レール５１のボール転走溝５１ａに対向する負荷ボール転走溝５２ａが形成されると共に、負荷ボール転走溝５２ａを含むボール循環路が形成される。
移動ブロック５２の一軸方向の各端面にはエンドプレート５３が取り付けられる。ボール循環経路は、負荷ボール転走溝５２ａと、負荷ボール転走溝５２ａと平行に伸びるボール戻し路５２ｂと、エンドプレート５３に形成されて負荷ボール転走溝５２ａの端部とボール戻し路５２ｂの端部とを接続するＵ字状の方向転換路５２ｃと、から構成され、全体がサーキット状に形成される。
そして、ボール循環経路には複数のボール５５が配列・収容される。
移動ブロック５２には、テーブル２０を取り付けるための取付けねじ５２ｄが加工される。そして、移動ブロック５２は、テーブル２０の下面２０ｂにねじ止めされる。
【００３２】
軌道レール５１に対して移動ブロック５２を相対的に移動させると、軌道レール５１のボール転走溝５１ａと移動ブロック５２の負荷ボール転走溝５２ａとの間に介在されたボール５５が転がり運動する。負荷ボール転走溝５２ａの一端まで転がったボール５５は、方向転換路５２ｃに導かれ、ボール戻し路５２ｂ及び反対側の方向転換路５２ｃを経由した後、負荷ボール転走溝５２ａの他端に戻される。軌道レール５１と移動ブロック５２との間にボール５５を介在させることによって、軌道レール５１に対して移動ブロック５２が移動するときの抵抗を低減できる。
【００３３】
次に、可撓性マグネットＭの詳細構成について説明する。
図６は、本発明の実施形態に係る可撓性マグネットＭの構成を示す斜視図及び断面図である。
可撓性マグネットＭは、細長い矩形板状に形成されたシート状のボンド磁石である。可撓性マグネットＭは、強い磁力を有する第一シート１と、第一シート１の裏面１ｂに溶着された弱い磁力を有する第二シート２とから構成される。すなわち、可撓性マグネットＭは、第一シート１と第二シート２の二層構造に形成されたボンド磁石である。
【００３４】
第一シート１は、例えば、短手方向が１０ｍｍ、長手方向が１ｍ、厚みが１ｍｍに形成される。また、第一シート１の表面１ａは、長手方向に例えば２ｍｍピッチで、Ｎ極とＳ極が交互に着磁される。
第一シート１は、希土類磁性粉末を加硫ゴムやエラストマー等のバインダー樹脂に練り込んで細長い矩形板状に形成したものである。希土類磁性粉末としては、ネオジム、サマリウム−コバルト又はサマリウム−窒化鉄等の粉末が用いられる。したがって、第一シート１は、高強度の磁力を発生する。
【００３５】
第二シート２は、第一シート１と同一形状に形成される。すなわち、第二シート２は、例えば、短手方向が１０ｍｍ、長手方向が１ｍに形成される。第二シート２の厚みは、第一シート１よりも厚く形成される。例えば、第二シート２の厚みは、３ｍｍに形成される。
第二シート２は、フェライト系磁性粉末を加硫ゴムやエラストマー等のバインダー樹脂に練り込んで細長い矩形板状に形成したものである。
フェライト系磁性粉末としては、マンガン亜鉛フェライト、ニッケル亜鉛フェライト、銅亜鉛フェライト等の粉末が用いられる。したがって、第二シート２は、第一シート１に比べて弱い磁力を発生する。
【００３６】
可撓性マグネットＭは、以下の工程を経て製造される。
まず、第一シート１と第二シート２は、それぞれ別個に形成される。つまり、磁性粉末を加硫ゴム等のバインダー樹脂に練り込んで細長い矩形板状に形成する。この際、第一シート１と第二シート２に用いるバインダー樹脂は、同一であることが好ましい。第一シート１と第二シート２の硬度、柔軟性、可撓性を一致させるためである。
バインダー樹脂に対する磁性粉末（ネオジム、フェライト等）の含有率は、任意に設定することができる。例えば、８０パーセント以上の磁性粉末を含有させることで、十分な磁力を得ることができる。
【００３７】
次に、第一シート１と第二シート２を重ね合わせた上で、加熱して、第一シート１と第二シート２を溶着する。例えば、プレス成形機を用いて第一シート１と第二シート２を溶着する。第一シート１の厚みが１ｍｍ、第二シート２の厚みが３ｍｍの場合には、４ｍｍ厚の可撓性マグネットＭが得られる。
【００３８】
最後に、第一シート１の表面１ａに、Ｎ極とＳ極を交互に着磁する。Ｎ極とＳ極の配置ピッチは、任意に設定することができる。
前述するように、可撓性マグネットＭを磁気スケールとして用いる場合には、例えば２ｍｍピッチ、リニアモータの磁石部として用いる場合には、例えば数ｍｍ〜数十ｍｍピッチで着磁する。
なお、第一シート１の表面１ａを着磁する際に、第二シート２が同時に着磁されても構わない。
【００３９】
可撓性マグネットＭは、高強度の磁力を有する第一シート１を有する。したがって、磁石部３０や磁気スケール６１等に好適に用いることができる。
その一方で、第一シート１は、ネオジム等の磁性粉末を含有するため脆いという性質を有するが、第一シート１に対して第二シート２を重ねて溶着しているので、可撓性マグネットＭを曲げたり捻ったりした場合であっても、第一シート１が割れたり裂けたりすることがない。すなわち、第二シート２が第一シート１の補強部材として機能する。
【００４０】
さらに、第二シート２は、第一シート１のバックヨークとしても機能する。つまり、第一シート１からの磁力線を集中させる継鉄として機能する。したがって、第一シート１は、その表面１ａから強く安定した磁力を発生できる。
特に、第一シート１の補強部材として、ボンド磁石である第二シート２を用いたので、可撓性マグネットＭの柔軟性・可撓性は、ボンド磁石本来のものとなる。つまり、補強部材として金属板を用いた従来例に比べて、高い柔軟性・可撓性を有する。したがって、可撓性マグネットＭを、湾曲した部位等にその形状に倣って密着して取り付けることができる。
【００４１】
そして、このような可撓性マグネットＭは、リニアモータ５の磁石部３０やリニア磁気エンコーダ６０の磁気スケール６１等に好適に用いることができる。
特に、第一シート１が強い磁力を発生するので、リニアモータ５は高い推進力を得ることができ、リニア磁気エンコーダ６０（磁気スケール６１）は検出精度の向上や安定化を得ることができる。
【００４２】
上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００４３】
第一シート１の表面に、一方向に沿って、Ｎ極とＳ極を交互に着磁する場合について説明したが、これに限らない。すなわち、第一シート１の表面に、任意の磁気パターンを形成してもよい。
また、例えば、第一シート１の表面に、任意の曲線に沿って、Ｎ極とＳ極を交互に着磁する場合であってもよい。
また、例えば、第一シート１の表面に、二方向に沿ってＮ極とＳ極を交互に着磁する場合であってもよい。例えば、平面モータの磁石部や、二方向の位置検出を行う磁気エンコーダの磁気スケールとして用いることができる。
【００４４】
また、第一シート１の表面に着磁するＮ極とＳ極は、一定ピッチに限らず、任意の間隔で着磁してもよい。
【００４５】
可撓性マグネットＭを直線形状の磁石部３０や磁気スケール６１に用いる場合について説明したが、これらが湾曲したり、折れ曲がったりする形状の場合であってもよい。
【００４６】
また、リニアガイド５０の転動体として複数のボール５５が用いられる場合に限らず、ローラ等の転動体を用いても構わない。また、リニアガイド５０に代えて、すべり案内機構を用いてもよい。
【００４７】
第二シート２の厚みを第一シート１のよりも厚くする場合について説明したが、両者の厚みを同一にしてもよい。
もっとも、第二シート２を第一シート１よりも厚くする方が好ましい。なぜなら、第二シート２の厚みが薄すぎると、第一シート１から出た磁束（磁力線）が第二シート２を抜けて外部への漏れ磁束となるからである。つまり、第二シート２（フェライト）は、第一シート１（ネオジム等）に比べて飽和磁束密度が小さいので、第一シート１からの磁束を外部へ漏らさないためには、第二シート２を第一シート１よりも厚くして第二シート２の内部を通過できる磁束を増やす必要があるからである。
【００４８】
可撓性マグネットＭを固定する際に、両面テープや接着剤を用いる場合について説明したが、これに限らない。可撓性マグネットＭを磁性体材料（鉄鋼など）に固定する場合には、ボルト等の締結部材や接着剤などを用いずに、可撓性マグネットＭ（第二シート２）自身の磁気を利用して、磁性体材料に密着固定してもよい。この場合には、可撓性マグネットＭの取り付け位置の修正や可撓性マグネットＭの交換を容易に行うことができ、メンテナンス性に優れる。
【符号の説明】
【００４９】
Ｍ…可撓性マグネット、  １…第一シート、  １ｂ…裏面、  ２…第二シート、  Ａ…アクチュエータ、  ５…リニアモータ、  ３０…磁石部、  ６０…リニア磁気エンコーダ、  ６１…磁気スケール、  ６２…磁気センサ
【図１】
0005509049.tif 000002
【図２】
0005509049.tif 000003
【図３】
0005509049.tif 000004
【図４】
0005509049.tif 000005
【図５】
0005509049.tif 000006
【図６】
0005509049.tif 000007