(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向して配置された可動ステージ部及び固定ステージ部と、
前記可動ステージ部を昇降させるステージ駆動部と、
前記可動ステージ部と前記ステージ駆動部とを連結する連結部と、
前記連結部の運動方向を制限するガイド部と、
前記固定ステージ部が配置された成形室と、
前記成形室外の上面に取付けられた支持ベース部と、
前記支持ベース部により支持され、該支持ベース部に対する前記ガイド部の傾きを調整するための傾き調整機構と、を備え、
前記ガイド部は、前記傾き調整機構を介して前記支持ベース部に連結され、
前記傾き調整機構は、前記支持ベース部に対する前記ガイド部の傾きを連続的に調整し、調整状態を維持する、光学素子の製造装置。
【請求項２】
請求項１記載の光学素子の製造装置において、
前記ガイド部の傾きは、互いに異なる複数方向に、前記傾き調整機構によって調整される、光学素子の製造装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載の光学素子の製造装置において、
前記支持ベース部は、前記傾き調整機構を支持すると共に前記ステージ駆動部を支持する、光学素子の製造装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項記載の光学素子の製造装置において、
前記可動ステージ部は、複数設けられ、
前記ガイド部の傾きは、少なくとも、複数の前記可動ステージ部の配列方向に、前記傾き調整機構によって調整される、光学素子の製造装置。
【請求項５】
請求項４記載の光学素子の製造装置において、
前記ガイド部の傾きは、前記複数の可動ステージ部の配列方向のみに、前記傾き調整機構によって調整される、光学素子の製造装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１項記載の光学素子の製造装置において、
前記傾き調整機構は、
前記ガイド部に直接的又は間接的に連結された傾き調整プレートと、
該傾き調整プレートを回動自在に支持する回動軸ピンと、
前記傾き調整プレートを位置決めする複数のプレート位置決め部材と、を有する、光学素子の製造装置。
【請求項７】
請求項１から請求項５のいずれか１項記載の光学素子の製造装置において、
前記傾き調整機構は、
前記ガイド部に直接的又は間接的に連結された傾き調整プレートと、
該傾き調整プレートを回動自在に支持する回動軸ピンと、
前記傾き調整プレートを位置決めするプレート位置決め部材と、
前記傾き調整プレートを前記プレート位置決め部材の位置決め方向と反対方向又は同一方向に弾性で動かす弾性部材と、を有する、光学素子の製造装置。
【請求項８】
請求項６又は請求項７記載の光学素子の製造装置において、
前記プレート位置決め部材は、前記傾き調整プレートの位置を調整する部材、又は、前記傾き調整プレートの位置を調整する範囲を制限する部材である、光学素子の製造装置。
【請求項９】
請求項８記載の光学素子の製造装置において、
前記プレート位置決め部材は、ネジ、粗微動ネジ及びマイクロメータヘッドのうちのいずれかである、光学素子の製造装置。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれか１項記載の光学素子の製造装置において、
前記傾き調整機構は、前記ガイド部の傾きを調整するための操作が行われる操作方向に対し傾斜した傾斜面が形成された調整方向変換部材を有し、
前記ガイド部の傾きは、前記調整方向変換部材によって、前記操作方向とは異なる方向に調整される、光学素子の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズ、プリズム、ミラー等の光学素子を製造する光学素子の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光学素子の製造装置では、互いに対向して配置された可動ステージ部と固定ステージ部との間で、成形型を介して光学素子素材を加熱し、加圧成形し、冷却することで、光学素子が製造されている。
【０００３】
このように製造される光学素子は、可動ステージ部と固定ステージ部とが互いに平行になっていないと、偏心精度が悪化する。
【０００４】
可動ステージ部と固定ステージ部との平行度を調整するために、可動ステージ部と駆動部とを連結する連結部をガイドするガイドテーブルを、シムを用いて位置調整する手法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−７８９５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、シムを用いたガイドテーブルの位置調整は、シムの厚さと挿入枚数とにより位置が決定されるため、位置調整量が断続的になり、精密な位置調整が困難である。またシムが変形することもある。そのため、可動ステージ部と固定ステージ部とを互いに平行にして、光学素子の偏心精度を高精度にすることは困難である。
【０００７】
また、シムを用いるとシムの選択等に時間を要するため、一対のステージ部の平行度調整が作業負担となっていた。
【０００８】
本発明の目的は、一対のステージ部の平行度調整に要する作業負担を軽減することができると共に高精度な光学素子を製造することができる光学素子の製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の光学素子の製造装置は、互いに対向して配置された可動ステージ部及び固定ステージ部と、上記可動ステージ部を昇降させるステージ駆動部と、上記可動ステージ部と上記ステージ駆動部とを連結する連結部と、上記連結部の運動方向を制限するガイド部と、支持ベース部と、上記支持ベース部により支持され、この支持ベース部に対する上記ガイド部の傾きを調整するための傾き調整機構と、を備える。
【００１０】
また、上記光学素子の製造装置において、上記ガイド部の傾きは、互いに異なる複数方向に、上記傾き調整機構によって調整される構成とするとよい。
また、上記光学素子の製造装置において、上記支持ベース部は、上記傾き調整機構を支持すると共に上記ステージ駆動部を支持する構成とするとよい。
【００１１】
また、上記光学素子の製造装置において、上記可動ステージ部は、複数設けられ、上記ガイド部の傾きは、少なくとも、複数の上記可動ステージ部の配列方向に、上記傾き調整機構によって調整される構成とするとよい。
【００１２】
また、上記光学素子の製造装置において、上記ガイド部の傾きは、上記複数の可動ステージ部の配列方向のみに、上記傾き調整機構によって調整される構成とするとよい。
また、上記光学素子の製造装置において、上記傾き調整機構は、上記ガイド部に直接的又は間接的に連結された傾き調整プレートと、この傾き調整プレートを回動自在に支持する回動軸ピンと、上記傾き調整プレートを位置決めする複数のプレート位置決め部材と、を有する構成とするとよい。
【００１３】
また、上記光学素子の製造装置において、上記傾き調整機構は、上記ガイド部に直接的又は間接的に連結された傾き調整プレートと、この傾き調整プレートを回動自在に支持する回動軸ピンと、上記傾き調整プレートを位置決めするプレート位置決め部材と、上記傾き調整プレートを上記プレート位置決め部材の位置決め方向と反対方向又は同一方向に弾性で動かす弾性部材と、を有する構成とするとよい。
【００１４】
また、上記光学素子の製造装置において、上記プレート位置決め部材は、上記傾き調整プレートの位置を調整する部材、又は、上記傾き調整プレートの位置を調整する範囲を制限する部材である構成とするとよい。
【００１５】
また、上記光学素子の製造装置において、上記プレート位置決め部材は、ネジ、粗微動ネジ及びマイクロメータヘッドのうちのいずれかである構成とするとよい。
また、上記光学素子の製造装置において、上記傾き調整機構は、上記ガイド部の傾きを調整するための操作が行われる操作方向に対し傾斜した傾斜面が形成された調整方向変換部材を有し、上記ガイド部の傾きは、上記調整方向変換部材によって、上記操作方向とは異なる方向に調整される構成とするとよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、一対のステージ部の平行度調整に要する作業負担を軽減することができると共に高精度な光学素子を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る光学素子の製造装置を示す概略正面図である。
【図２Ａ】成形前の型セットを示す断面図である。
【図２Ｂ】成形後の型セットを示す断面図である。
【図２Ｃ】製造された光学素子を示す断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る光学素子の製造装置の加熱ステージを示す側面断面図である。
【図４Ａ】本発明の第１の実施の形態に係る光学素子の製造装置の加熱ステージの傾き調整機構を示す概略背面図である。
【図４Ｂ】図４ＡのＡ−Ａ´断面図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係る光学素子の製造装置の加熱ステージの傾き調整機構を示す概略背面図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態に係る光学素子の製造装置の加熱ステージの傾き調整機構を示す概略背面図である。
【図７Ａ】本発明の第４の実施の形態に係る光学素子の製造装置の加熱ステージの傾き調整機構を示す概略背面図である。
【図７Ｂ】図７ＡのＢ−Ｂ´断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造方法及び光学素子の製造装置について、図面を参照しながら説明する。
【００１９】
＜第１の実施の形態＞
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る光学素子の製造装置１０を示す概略正面図である。
【００２０】
図２Ａは加圧成形前の型セット１を示す断面図であり、図２Ｂは加圧成形後の型セット１を示す断面図である。図２Ｃは、製造された光学素子を示す断面図である。
図３は、光学素子の製造装置１０の加熱ステージ２０を示す側面断面図である。
【００２１】
図１に示すように、光学素子の製造装置１０（以下、単に「製造装置１０」と記す。）は、加熱ステージ２０と、加圧成形ステージ３０と、冷却ステージ４０と、第１の予備ステージ５０と、第２の予備ステージ６０と、成形室７０と、予備室８０と、を備える。
【００２２】
詳しくは後述するが、製造装置１０は、図２Ａに示す型セット１に収容された光学素子素材７を、加熱ステージ２０において加熱し、加圧成形ステージ３０において図２Ｂに示すように加圧成形し、冷却ステージ４０において冷却することで、図２Ｃに示す光学素子８を製造する。
【００２３】
図２Ａ及び図２Ｂに示すように、型セット１は、一対の成形型である上型（第１の成形型）２及び下型（第２の成形型）３と、胴型４と、補助型５と、を有する。
上型２と下型３とは、円柱形状を呈し、互いに対向して配置されている。上型２の底面及び下型３の上面には、光学素子素材７に両凸形状を転写するための凹成形面２ａ，３ａが形成されている。また、上型２の上端及び下型３の下端には、他の部分よりも大径の大径部２ｂ，３ｂが形成されている。
【００２４】
胴型４は、円筒形状を呈し、上型２の大径部２ｂと下型３の大径部３ｂとの間に配置されている。また、胴型４には、上型２及び下型３が摺動自在に挿入されている。
補助型５は、リング状を呈し、上型２と下型３との間に配置されている。また、補助型５は、その内周面において、光学素子素材７の外周面に曲面形状を転写する。
【００２５】
型セット１は、図示しない搬送装置によって、製造装置１０の内部に搬入され、予備室８０の第１の予備ステージ５０、並びに、成形室７０の加熱ステージ２０、加圧成形ステージ３０、冷却ステージ４０及び第２の予備ステージ６０に順次搬送された後、製造装置１０の外部に搬出される。
【００２６】
なお、成形室７０及び予備室８０の内部は、図示しない供給源から供給される窒素等の非酸化性ガスで満たされている。また、成形室７０には、搬入口シャッタ７１及び搬出口シャッタ７２が設けられ、予備室８０には、搬入口シャッタ８１が設けられている。これらの搬入口シャッタ７１，８１及び搬出口シャッタ７２は、型セット１を通過させる上方の開放位置と、成形室７０又は予備室８０の気密性を確保する図１に示す下方の閉鎖位置とに上下動する。
【００２７】
図１に示すように、加熱ステージ２０、加圧成形ステージ３０及び冷却ステージ４０には、それぞれ、互いに対向して配置された可動ステージ部２１，３１，４１及び固定ステージ部２２，３２，４２と、ステージ駆動部２３，３３，４３と、連結部２４，３４，４４と、が配置されている。
【００２８】
加熱ステージ２０のもののみ図３に示すが、加熱ステージ２０、加圧成形ステージ３０及び冷却ステージ４０のそれぞれには、ガイド部２５と、傾き調整機構２６と、支持ベース部２７と、が配置されている。
【００２９】
加圧成形ステージ３０及び冷却ステージ４０の構成は、加熱ステージ２０の構成と同一であるため、以下では、加熱ステージ２０を例に説明する。
図３に示すように、加熱ステージ２０の可動ステージ部２１は、ヒータブロック２１ａと、断熱ブロック２１ｂと、プレート２１ｃと、を有する。
【００３０】
可動ステージ部２１のヒータブロック２１ａには、ヒータ２１ｄが配置されている。ヒータブロック２１ａは、断熱ブロック２１ｂの下部に取付けられている。この断熱ブロック２１ｂは、プレート２１ｃの下部に取付けられている。
【００３１】
固定ステージ部２２は、ヒータブロック２２ａと、断熱ブロック２２ｂと、プレート２２ｃと、を有する。
固定ステージ部２２のヒータブロック２２ａには、ヒータ２２ｄが配置されている。ヒータブロック２２ａは、断熱ブロック２２ｂの上部に取付けられている。この断熱ブロック２２ｂは、プレート２２ｃの上部に取付けられている。プレート２２ｃは、成形室７０内の底面に取付けられている。
ステージ駆動部２３は、駆動ロッド２３ａを有する例えばエアシリンダである。駆動ロッド２３ａは、連結部２４の上端に連結されている。この連結部２４の下端は、可動ステージ部２１のプレート２１ｃに連結されている。
【００３２】
ステージ駆動部２３は、駆動ロッド２３ａを昇降させることで、連結部２４及び可動ステージ部２１を昇降させる。
ガイド部２５は、連結部２４に固定された、例えば、ガイドブロックがガイドレール上をスライドするリニアガイドである。また、ガイド部２５は、例えば、後述する傾き調整機構２６のＸ方向傾き調整プレート２６ａに設けられた図示しないガイドレールに沿って上下に移動する。これにより、ガイド部２５は、連結部２４の運動方向を制限する。
【００３３】
傾き調整機構２６では、支持ベース部２７に対するガイド部２５の傾きを調整することで、連結部２４の傾き、ひいては可動ステージ部２１と固定ステージ部２２との平行度を調整するための操作が行われる。
支持ベース部２７は、成形室７０の上面に取付けられ、ステージ駆動部２３及び傾き調整機構２６を支持する。また、支持ベース部２７は、例えば、前面部と上面部と背面部とを有し、右側面及び左側面に開口している。
【００３４】
図４Ａは、光学素子の製造装置１０の加熱ステージ２０の傾き調整機構２６を示す概略背面図である。図４Ｂは、図４ＡのＡ−Ａ´断面図である。
図４Ａ及び図４Ｂに示すように、傾き調整機構２６は、傾き調整プレートとしてのＸ方向傾き調整プレート２６ａ及びＹ方向傾き調整プレート２６ｂと、回動軸ピンとしてのＸ方向回動軸ピン２６ｃ及びＹ方向回動軸ピン２６ｄと、プレート位置決め部材である調整部材としてのＸ方向調整ネジ２６ｅ及びＹ方向調整ネジ２６ｆと、プレート位置決め部材である固定部材としてのＸ方向固定ネジ２６ｇ及びＹ方向固定ネジ２６ｈと、を有する。
【００３５】
支持ベース部２７には、Ｘ方向調整ネジ２６ｅが貫通するＸ方向調整ネジ用台座２７ａと、Ｘ方向固定ネジ２６ｇが貫通し且つ螺合するＸ方向固定ネジ用台座２７ｂと、Ｙ方向回動軸ピン２６ｄを回動可能に支持する一対のＹ方向回動軸ピン用台座２７ｃ，２７ｄとが、正面側の内壁面から背面側に突出するように形成されている。Ｘ方向調整ネジ用台座２７ａの両端面が、例えば、Ｘ方向調整ネジ２６ｅと一体化したプレート等で挟み込まれることにより、Ｘ方向調整ネジ２６ｅは、前後進できないよう位置固定されることができる。
【００３６】
図４Ｂに示すように、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａは、その下部において、互いに面接触するＹ方向傾き調整プレート２６ｂに固定されＹ方向に延びるＸ方向回動軸ピン２６ｃによって、Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂに対し回動可能に連結されている。そのため、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａがＸ方向回動軸ピン２６ｃを中心に回動することで、連結部２４は、ガイド部２５を介してＸ方向の傾きが調整される。
【００３７】
図４Ａ及び図４Ｂに示すように、Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂには、その下部において、Ｘ方向に延びるＹ方向回動軸ピン２６ｄが貫通して固定されている。また、Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂは、Ｙ方向回動軸ピン２６ｄを支持するＹ方向回動軸ピン用台座２７ｃ，２７ｄ（支持ベース部２７）に対し回動可能に連結されている。そのため、Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂがＹ方向回動軸ピン２６ｄを中心に回動することで、連結部２４は、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａ及びガイド部２５を介してＹ方向の傾きが調整される。なお、Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂと支持ベース部２７の前面部との間には、Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂがＹ方向に回動するための僅かな間隙が設けられている。
【００３８】
なお、上述のように、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａに設けられた図示しないガイドレールに沿ってガイド部２５が上下に移動するため、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａはガイド部２５に直接的に連結され、Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂはＸ方向傾き調整プレート２６ａを介してガイド部２５に間接的に連結されているといえる。
【００３９】
図４Ａに示すように、Ｘ方向調整ネジ２６ｅは、Ｘ方向調整ネジ用台座２７ａを貫通してＸ方向傾き調整プレート２６ａの右側部（図４Ａの紙面における左側）に螺合している。一方、Ｘ方向固定ネジ２６ｇは、Ｘ方向固定ネジ用台座２７ｂに貫通して螺合し、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａの左側部（図４Ａの紙面における右側）に当接している。Ｘ方向調整ネジ２６ｅとＸ方向固定ネジ２６ｇとは互いに対向して配置されている。
【００４０】
Ｘ方向傾き調整プレート２６ａが、その下部においてＸ方向回動軸ピン２６ｃによって回動可能に支持されており、上述したようにＸ方向調整ネジ２６ｅが前後に位置固定されているため、Ｘ方向調整ネジ２６ｅが時計回りに回転してＸ方向傾き調整プレート２６ａを引っ張るとＸ方向傾き調整プレート２６ａはＸ負方向に回転する。一方、Ｘ方向調整ネジ２６ｅが反時計回りに回転してＸ方向傾き調整プレート２６ａを押圧するとＸ方向傾き調整プレート２６ａはＸ正方向に回転する。
【００４１】
このように、Ｘ方向調整ネジ２６ｅは、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａの位置を調整する。一方、Ｘ方向固定ネジ２６ｇは、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａに当接することで、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａの位置を調整する範囲を制限するとともに、調整状態を維持する。
【００４２】
図４Ｂに示すように、Ｙ方向調整ネジ２６ｇは、支持ベース部２７を正面側（図４Ｂの紙面における左側）から貫通してＹ方向傾き調整プレート２６ｂの前部に螺合している。一方、Ｙ方向固定ネジ２６ｈは、支持ベース部２７に正面側から貫通して螺合し、Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂの前部に設けられた溝に当接している。Ｙ方向調整ネジ２６ｆとＹ方向固定ネジ２６ｇとは同一方向に配置されている。
【００４３】
Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂが、その下部においてＹ方向回動軸ピン２６ｄによって回動可能に支持されており、Ｙ方向調整ネジ２６ｆが前後に位置固定されているため、Ｙ方向調整ネジ２６ｆが時計回りに回転してＹ方向傾き調整プレート２６ｂを引っ張るとＹ方向傾き調整プレート２６ｂはＸ方向傾き調整プレート２６ａと共にＹ負方向に回転する。一方、Ｙ方向調整ネジ２６ｆが反時計回りに回転してＹ方向傾き調整プレート２６ｂを押圧するとＹ方向傾き調整プレート２６ｂはＸ方向傾き調整プレート２６ａと共にＹ正方向に回転する。
【００４４】
このように、Ｙ方向調整ネジ２６ｆは、Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂの位置を調整する。一方、Ｙ方向固定ネジ２６ｈは、Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂに当接することで、Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂの位置を調整する範囲を制限するとともに、調整状態を維持する。
【００４５】
以下、傾き調整機構２６を用いた可動ステージ部２１と固定ステージ部２２との平行度調整について説明する。
図示しない傾き測定部によって測定される可動ステージ部２１、連結部２４等の傾き、或いは、図２Ｃに示す製造された光学素子８の偏心精度等に基づき、ガイド部２５、ひいては連結部２４のＸ方向及びＹ方向の傾きを調整することで、可動ステージ部２１と固定ステージ部２２との平行度が調整される。
【００４６】
まず、Ｘ方向の傾き調整のうちＸ正方向の傾き調整について説明する。
図４Ａに示すように、操作者は、Ｘ方向固定ネジ２６ｇを後退方向に回転させることで、Ｘ方向固定ネジ２６ｇを、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａを調整する範囲以上にＸ方向傾き調整プレート２６ａから遠ざける。
【００４７】
そして、操作者がＸ方向調整ネジ２６ｅを反時計回りに回転させてＸ方向傾き調整プレート２６ａを押圧すると、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａは、その下部に設けられたＸ方向回動軸ピン２６ｃを中心に回転し、Ｘ正方向に移動する。これにより、ガイド部２５、ひいては連結部２４をＸ正方向に傾かせることができる。
【００４８】
Ｘ方向傾き調整プレート２６ａが所定量Ｘ正方向に移動した後、操作者は、Ｘ方向固定ネジ２６ｇを前進方向に回転させてＸ方向傾き調整プレート２６ａに当接させる。これにより、Ｘ正方向の調整が終了する。
【００４９】
次に、Ｘ負方向の傾き調整について説明する。
図４Ａに示すように、操作者がＸ方向調整ネジ２６ｅを時計回りに回転させてＸ方向傾き調整プレート２６ａを引っ張ると、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａは、その下部に設けられたＸ方向回動軸ピン２６ｃを中心に回転し、Ｘ負方向に移動する。これにより、ガイド部２５、ひいては連結部２４をＸ負方向に傾かせることができる。
【００５０】
Ｘ方向傾き調整プレート２６ａが所定量Ｘ負方向に移動した後、操作者は、Ｘ方向固定ネジ２６ｇを前進方向に回転させてＸ方向傾き調整プレート２６ａに当接させる。これにより、Ｘ負方向の調整が終了する。
【００５１】
次に、Ｙ正方向の傾き調整について説明する。
図４Ｂに示すように、操作者がＹ方向調整ネジ２６ｆを反時計回りに回転させてＹ方向傾き調整プレート２６ｂを押圧すると、Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂは、その下部に設けられたＹ方向回動軸ピン２６ｄを中心に、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａと共に回転し、Ｙ正方向に移動する。これにより、ガイド部２５、ひいては連結部２４をＹ正方向に傾かせることができる。
【００５２】
Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂが所定量Ｙ正方向に移動した後、操作者は、Ｙ方向固定ネジ２６ｈを前進方向に回転させることでＹ方向傾き調整プレート２６ｂを押圧する。これにより、Ｙ正方向の調整が終了する。なお、Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂを挟んでＹ方向固定ネジ２６ｈの反対側にはガイド部２５及び連結部２４が位置するため、Ｙ方向固定ネジ２６ｈによって、Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂを操作方向と同一方向のＹ正方向に押圧しても、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａ及びＹ方向傾き調整プレート２６ｂは、ガイド部２５及び連結部２４とＹ方向固定ネジ２６ｈとに挟まれて位置決めされる。
【００５３】
次にＹ負方向の傾き調整について説明する。
図４Ｂに示すように、操作者は、Ｙ方向固定ネジ２６ｈを後退方向（反時計回り）に回転させて、Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂを調整する範囲以上にＹ方向固定ネジ２６ｈをＹ方向傾き調整プレート２６ｂから遠ざける。
【００５４】
そして、図４Ｂに示すように、操作者がＹ方向調整ネジ２６ｆを時計回りに回転させてＹ方向傾き調整プレート２６ｂを引っ張ると、Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂは、その下部に設けられたＹ方向回動軸ピン２６ｄを中心に、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａと共に回転し、Ｙ負方向に移動する。これにより、ガイド部２５、ひいては連結部２４をＹ負方向に傾かせることができる。
【００５５】
Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂが所定量Ｙ正方向に移動した後、操作者は、Ｙ方向固定ネジ２６ｈを前進方向に回転させることでＹ方向傾き調整プレート２６ｂに当接させる。これにより、Ｙ負方向の調整が終了する。なお、このときのＸ方向傾き調整プレート２６ａ及びＹ方向傾き調整プレート２６ｂも、ガイド部２５及び連結部２４とＹ方向固定ネジ２６ｈとに挟まれて位置決めされる。
【００５６】
以下、製造装置１０を用いた光学素子の製造方法の概略について説明する。なお、製造装置１０の後述する動作は、図示しない制御部によって制御されているものとする。
まず、図示しない搬送ロボットによって、図２Ａに示すように光学素子素材７を収容した型セット１は、図１に示す予備室８０の第１の予備ステージ５０上に搬送される。この第１の予備ステージ５０上に搬送された型セット１は、次に、成形室７０の加熱ステージ２０に搬送される。
【００５７】
そして、型セット１は、加熱ステージ２０において、可動ステージ部２１及び固定ステージ部２２からの熱伝導によって、光学素子素材７が例えばガラス転移点温度以上になるまで加熱される（加熱工程）。
次に、加圧成形ステージ３０に搬送された型セット１は、可動ステージ部２１と固定ステージ部２２との間で、図２Ｂに示すように、光学素子素材７が所定厚さとなるまで加圧成形される（加圧成形工程）。
【００５８】
次に、冷却ステージ４０に搬送された型セット１は、可動ステージ部２１及び固定ステージ部２２への熱伝導等によって、光学素子素材７が例えばガラス転移点温度以下になるまで冷却される（冷却工程）。
冷却ステージ４０で冷却された型セット１は、第２の予備ステージ６０に搬送され、その後、製造装置１０から搬出される。製造装置１０から搬出された型セット１は、上型２が取り外され、図２Ｃに示す製造された光学素子８が取り出される。
【００５９】
以上説明した第１の実施の形態では、ガイド部２５は、傾き調整機構２６によって、支持ベース部２７に対する傾きを調整される。そのため、従来のシムを用いた位置調整に比較して、ガイド部２５の傾き、ひいては連結部２４の傾きを連続的に調整することが可能となる。
【００６０】
よって、本実施の形態によれば、一対のステージ部である可動ステージ部２と固定ステージ部３との平行度調整に要する作業負担を軽減することができると共に高精度な光学素子８を製造することができる。
【００６１】
また、本実施の形態では、ガイド部２５は、互いに異なる複数方向（Ｘ方向・Ｙ方向）に、傾き調整機構２６によって傾きを調整される。そのため、より高精度に平行度を調整することができ、したがって、より高精度な光学素子８を製造することができる。
【００６２】
また、本実施の形態では、支持ベース部２７は、傾き調整機構２６を支持すると共にステージ駆動部２３を支持する。そのため、簡素な構成で、作業負担を軽減することができると共に高精度な光学素子８を製造することができる。
【００６３】
また、本実施の形態では、ガイド部２５は、少なくとも、複数の可動ステージ部２１，３１，４１の配列方向であるＸ方向に、傾き調整機構２６によって傾きを調整される。そのため、可動ステージ部２１，３１，４１の互いの間隔が狭く、シムを出し入れする十分なスペースが存在しなくとも、平行度調整を行うことができる。
【００６４】
また、本実施の形態では、傾き調整機構２６は、ガイド部２５に直接的に連結されたＸ方向傾き調整プレート２６ａ及び間接的に連結されたＹ方向傾き調整プレート２６ｂと、これら傾き調整プレート２６ａ，２６ｂを回動自在に支持するＸ方向回動軸ピン２６ｃ及びＹ方向回動軸ピン２６ｄと、傾き調整プレート２６ａ，２６ｂを位置決めする複数のプレート位置決め部材（調整ネジ２６ｅ，２６ｆ及び固定ネジ２６ｇ，２６ｈ）と、を有する。そのため、簡素な構成で、より高精度に平行度を調整することができ、したがって、より高精度な光学素子８を製造することができる。
【００６５】
また、本実施の形態では、プレート位置決め部材として、傾き調整プレート２６ａ，２６ｂの位置を調整する調整部材（調整ネジ２６ｅ，２６ｆ）、及び、傾き調整プレート２６ａ，２６ｂの位置を調整する範囲を制限する固定部材（固定ネジ２６ｇ，２６ｈ）が用いられている。そのため、より高精度に平行度を調整することができ、したがって、より高精度な光学素子８を製造することができる。
【００６６】
なお、本実施の形態では、調整部材としてＸ方向調整ネジ２６ｅ及びＹ方向調整ネジ２６ｆを例に、固定部材としてＸ方向固定ネジ２６ｇ及びＹ方向固定ネジ２６ｈを例に説明したが、粗微動ネジやマイクロメータヘッドを用いることで、より高精度に平行度を調整することができる。
【００６７】
また、本実施の形態では、加熱ステージ２０、加圧成形ステージ３０及び冷却ステージ４０を備え、これらのステージに型セット１を順次搬送する製造装置１０について説明したが、単一のステージで光学素子素材７の加熱、加圧成形及び冷却を行う製造装置に上述の傾き調整機構等を配置するようにしてもよい。
【００６８】
また、本実施の形態では、傾き調整機構２６によってＸ方向及びＹ方向のガイド部２５の傾き、ひいては連結部２４の傾きを調整しているが、Ｘ方向のみ又はＹ方向のみの傾きを調整するようにすることでも、平行度を調整して高精度な光学素子８を製造することができる。
【００６９】
例えば、加熱ステージ２０、加圧成形ステージ３０及び冷却ステージ４０の可動ステージ部２１，３１，４１の配列方向のみ、即ちＸ方向のみで、ガイド部２５の傾きを調整する場合には、従来のシムを用いた平行度調整では困難であった可動ステージ部２１，３１，４１の配列方向の調整を簡素な構成で行うことができる。
【００７０】
また、本実施の形態では、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａ及びＹ方向傾き調整プレート２６ｂをそれぞれ回動させることで、ガイド部２５の傾きを調整する例について説明した。しかしながら、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａ及びＹ方向傾き調整プレート２６ｂをガイドする構成を傾き調整機構２６に配置し、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａをＸ方向（Ｘ正方向及びＸ負方向）に平行に移動させ、Ｙ方向傾き調整プレート２６ｂをＹ方向（Ｙ正方向及びＹ負方向）に平行に移動させることでも、ガイド部２５の傾き調整を行うことは可能である。
【００７１】
＜第２の実施の形態＞
図５は、本発明の第２の実施の形態に係る製造装置１０の加熱ステージ２０の傾き調整機構１０６を示す概略背面図である。
【００７２】
本実施の形態では、第１の実施の形態の傾き調整機構２６のＸ方向固定ネジ２６ｇをＸ方向弾性部材１０６ｇに変更した傾き調整機構１０６を用いた点のみ、第１の実施の形態と相違するため、相違点以外の説明は省略する。
【００７３】
図５に示すように、傾き調整機構１０６は、傾き調整プレートとしてのＸ方向傾き調整プレート１０６ａ及びＹ方向傾き調整プレート１０６ｂと、回動軸ピンとしてのＸ方向回動軸ピン１０６ｃ及びＹ方向回動軸ピン１０６ｄと、プレート位置決め部材である調整部材としてのＸ方向調整ネジ１０６ｅ及びＹ方向調整ネジ１０６ｆと、弾性部材としてのＸ方向弾性部材１０６ｇと、プレート位置決め部材である固定部材としてのＹ方向固定ネジ１０６ｈと、を有する。
【００７４】
Ｘ方向弾性部材１０６ｇは、支持ベース部２７の正面側の内壁面から背面側に突出するように形成されたＸ方向弾性部材用台座２７ｂ´と、Ｘ方向傾き調整プレート１０６ａの左側部（図５の紙面における右側）との間に配置され、Ｘ方向傾き調整プレート１０６ａを常にＸ方向調整ネジ１０６ｅ側に付勢する（弾性で動かす）。
【００７５】
このように、Ｘ方向弾性部材１０６ｇは、Ｘ方向傾き調整プレート１０６ａをＸ方向調整ネジ１０６ｅの位置決め方向（Ｘ正方向）と反対方向に付勢するため、Ｘ方向調整ネジ１０６ｅによってＸ方向傾き調整プレート１０６ａの位置を調整する際に、常にＸ方向傾き調整プレート１０６ａを位置決めすることができる。なお、Ｙ方向の傾き調整は、第１の実施の形態と同様である。
【００７６】
なお、Ｙ方向固定ネジ１０６ｈに代えてＹ方向弾性部材を用いる場合には、Ｙ方向弾性部材は、Ｙ方向傾き調整プレート１０６ｂをＹ方向調整ネジ１０６ｆの位置決め方向（Ｙ正方向）と同一方向に付勢させるようにするとよい。
【００７７】
＜第３の実施の形態＞
図６は、本発明の第３の実施の形態に係る製造装置１０の加熱ステージ２０の傾き調整機構１１６を示す概略背面図である。
【００７８】
本実施の形態では、第１の実施の形態の傾き調整機構２６のＸ方向調整ネジ２６ｅをＸ方向固定ネジ１１６ｅに変更した傾き調整機構１１６を用いた点のみ、第１の実施の形態と相違するため、相違点以外の説明は省略する。
【００７９】
図６に示すように、傾き調整機構１１６は、傾き調整プレートとしてのＸ方向傾き調整プレート１１６ａ及びＹ方向傾き調整プレート１１６ｂと、回動軸ピンとしてのＸ方向回動軸ピン１１６ｃ及びＹ方向回動軸ピン１１６ｄと、プレート位置決め部材である調整部材としてのＹ方向調整ネジ１１６ｆと、プレート位置決め部材である固定部材としてのＸ方向固定ネジ１１６ｅ，１１６ｇ及びＹ方向固定ネジ１１６ｈと、を有する。
【００８０】
Ｘ方向固定ネジ１１６ｅ，１１６ｇは、互いに対向して配置され、支持ベース部２７の正面側の内壁面から背面側に突出するように形成されたＸ方向固定ネジ用台座２７ａ´，２７ｂに貫通して螺合し、Ｘ方向傾き調整プレート２６ａの左側部及び右側部に当接している。
【００８１】
このように、Ｘ方向傾き調整プレート１１６ａの位置を調整する範囲を制限するＸ方向固定ネジ１１６ｅ，１１６ｇをＸ方向傾き調整プレート１１６ａを挟んで設けることでも、Ｘ方向固定ネジ１１６ｅ，１１６ｇによって、Ｘ方向傾き調整プレート１１６ａをＸ方向に回動させると共に位置決めすることができる。なお、Ｙ方向の傾き調整は、第１の実施の形態と同様である。
【００８２】
＜第４の実施の形態＞
図７Ａは、本発明の第４の実施の形態に係る製造装置１０の加熱ステージ２０の傾き調整機構１２６を示す概略背面図である。
図７Ｂは、図７ＡのＢ−Ｂ´断面図である。
【００８３】
本実施の形態では、第１の実施の形態の傾き調整機構２６のＸ方向調整ネジ２６ｅ及びＸ方向固定ネジ２６ｇをＹ方向に延びるＸ方向調整ネジ１２６ｅ，１２６ｇに変更すると共に調整方向変換部材１２６ｉ，１２６ｊを設けた傾き調整機構１２６を用いた点のみ、第１の実施の形態と相違するため、相違点以外の説明は省略する。
【００８４】
図７Ａ及び図７Ｂに示すように、傾き調整機構１２６は、傾き調整プレートとしてのＸ方向傾き調整プレート１２６ａ及びＹ方向傾き調整プレート１２６ｂと、回動軸ピンとしてのＸ方向回動軸ピン１２６ｃ及びＹ方向回動軸ピン１２６ｄと、プレート位置決め部材である調整部材としてのＸ方向調整ネジ１２６ｅ，１２６ｇ及びＹ方向調整ネジ１２６ｆと、プレート位置決め部材である固定部材としてのＹ方向固定ネジ１２６ｈと、調整方向変換部材１２６ｉ，１２６ｊと、を有する。
【００８５】
Ｘ方向調整ネジ１２６ｅ，１２６ｇは、本実施の形態ではＹ方向調整ネジ１２６ｆ及びＹ方向固定ネジ１２６ｈと平行なＹ方向に延び、支持ベース部２７に正面側から貫通して螺合している。また、Ｘ方向調整ネジ１２６ｅ，１２６ｇは、調整方向変換部材１２６ｉ，１２６ｊを貫通している。
【００８６】
Ｘ方向傾き調整プレート１２６ａの左右側部のそれぞれには、ガイド部１２５の傾きを調整するための操作が行われる操作方向（即ち、Ｘ方向調整ネジ１２６ｅ，１２６ｇの延び方向であるＹ方向）に対し傾斜し、Ｙ方向傾き調整プレート１２６ｂと遠ざかるほどＸ方向傾き調整プレート１２６ａの左右の幅を狭くさせる傾斜面１２６ｋ，１２６ｌが形成されている。また、調整方向変換部材１２６ｉ，１２６ｊには、傾斜面１２６ｋ，１２６ｌに当接し傾斜面１２６ｋ，１２６ｌと平行な傾斜面１２６ｍ，１２６ｎが設けられている。
【００８７】
また、Ｘ方向調整ネジ１２６ｅ，１２６ｇには、先端に大径部分が設けられており、Ｘ方向調整ネジ１２６ｅ，１２６ｇを後退方向に回転させると、調整方向変換部材１２６ｉ，１２６ｊを引っ張ることができる。
一方のＸ方向調整ネジ１２６ｇが前進方向に回転してＸ方向調整ネジ１２６ｇによるＸ方向傾き調整プレート１２６ａの引っ張りが解除された状態で、他方のＸ方向調整ネジ１２６ｅを後退方向に回転させると、調整方向変換部材１２６ｉが傾斜面１２６ｍにおいてＸ方向傾き調整プレート１２６ａの傾斜面１２６ｋをＸ正方向に押圧し、Ｘ方向傾き調整プレート１２６ａがＸ正方向に回動する。
【００８８】
また、Ｘ方向調整ネジ１２６ｅが前進方向に回転してＸ方向調整ネジ１２６ｅによるＸ方向傾き調整プレート１２６ａの引っ張りが解除された状態で、Ｘ方向調整ネジ１２６ｇを後退方向に回転させると、調整方向変換部材１２６ｊが傾斜面１２６ｎにおいてＸ方向傾き調整プレート１２６ａの傾斜面１２６ｌをＸ負方向に押圧し、Ｘ方向傾き調整プレート１２６ａがＸ負方向に回動する。なお、Ｙ方向の傾き調整は、第１の実施の形態と同様である。
【００８９】
本実施の形態では、調整方向変換部材１２６ｉ，１２６ｊによって、調整方向（Ｘ方向）を、この調整方向とは異なる操作方向（Ｙ方向）から操作することができ、したがって、平行度調整に要する作業負担をより一層軽減することができると共に、設計の自由度が増す。
【００９０】
本実施の形態では、Ｘ方向及びＹ方向の両方の調整をＹ方向から操作させているが、Ｘ方向及びＹ方向の両方の調整をＸ方向その他の方向から操作させるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００９１】
１      型セット
２      上型
２ａ      凹成形面
２ｂ      大径部
３      下型
３ａ      凹成形面
３ｂ      大径部
４      胴型
５      補助型
７      光学素子素材
８      光学素子
１０      光学素子の製造装置
２０      加熱ステージ
２１      可動ステージ部
２１ａ      ヒータブロック
２１ｂ      断熱ブロック
２１ｃ      プレート
２１ｄ      ヒータ
２２      固定ステージ部
２２ａ      ヒータブロック
２２ｂ      断熱ブロック
２２ｃ      プレート
２２ｄ      ヒータ
２３      ステージ駆動部
２３ａ    駆動ロッド
２４      連結部
２５      ガイド部
２６      傾き調整機構
２６ａ      Ｘ方向傾き調整プレート
２６ｂ      Ｙ方向傾き調整プレート
２６ｃ      Ｘ方向回動軸ピン
２６ｄ      Ｙ方向回動軸ピン
２６ｅ      Ｘ方向調整ネジ
２６ｆ      Ｙ方向調整ネジ
２６ｇ      Ｘ方向固定ネジ
２６ｈ      Ｙ方向固定ネジ
２７      支持ベース部
２７ａ      Ｘ方向調整ネジ用台座
２７ｂ      Ｘ方向固定ネジ用台座
２７ｃ，２７ｄ      Ｙ方向回動軸ピン用台座
３０      加圧成形ステージ
３１      可動ステージ部
３２      固定ステージ部
３３      ステージ駆動部
３４      連結部
４０      冷却ステージ
４１      可動ステージ部
４２      固定ステージ部
４３      ステージ駆動部
４４      連結部
５０      第１の予備ステージ
６０      第２の予備ステージ
７０      成形室
７１      搬入口シャッタ
７２      搬出口シャッタ
８０      予備室
８１      搬入口シャッタ
１０６      傾き調整機構
１０６ａ      Ｘ方向傾き調整プレート
１０６ｂ      Ｙ方向傾き調整プレート
１０６ｃ      Ｘ方向回動軸ピン
１０６ｄ      Ｙ方向回動軸ピン
１０６ｅ      Ｘ方向調整ネジ
１０６ｆ      Ｙ方向調整ネジ
１０６ｇ      Ｘ方向弾性部材
１０６ｈ      Ｙ方向固定ネジ
１１６      傾き調整機構
１１６ａ      Ｘ方向傾き調整プレート
１１６ｂ      Ｙ方向傾き調整プレート
１１６ｃ      Ｘ方向回動軸ピン
１１６ｄ      Ｙ方向回動軸ピン
１１６ｅ      Ｘ方向固定ネジ
１１６ｆ      Ｙ方向調整ネジ
１１６ｇ      Ｘ方向固定部材
１１６ｈ      Ｙ方向固定ネジ
１２６      傾き調整機構
１２６ａ      Ｘ方向傾き調整プレート
１２６ｂ      Ｙ方向傾き調整プレート
１２６ｃ      Ｘ方向回動軸ピン
１２６ｄ      Ｙ方向回動軸ピン
１２６ｅ      Ｘ方向調整ネジ
１２６ｆ      Ｙ方向調整ネジ
１２６ｇ      Ｘ方向調整部材
１２６ｈ      Ｙ方向固定ネジ
１２６ｉ，１２６ｊ      調整方向変換部材
１２６ｋ，１２６ｌ，１２６ｍ，１２６ｎ      傾斜面
【図１】
0005523133.tif 000002
【図２Ａ】
0005523133.tif 000003
【図２Ｂ】
0005523133.tif 000004
【図２Ｃ】
0005523133.tif 000005
【図３】
0005523133.tif 000006
【図４Ａ】
0005523133.tif 000007
【図４Ｂ】
0005523133.tif 000008
【図５】
0005523133.tif 000009
【図６】
0005523133.tif 000010
【図７Ａ】
0005523133.tif 000011
【図７Ｂ】
0005523133.tif 000012