(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
大気圧以下に減圧可能なエッチング室と、半導体基板を搬送する搬送機構とを有する半導体基板の表面エッチング装置であって、
前記エッチング室は、前記半導体基板の表面にプラズマにより活性イオンとすることなくエッチングガスを噴射する複数の第１開口部と、前記半導体基板の表面に冷却ガスを噴射する複数の第２開口部とを備え、
前記第１開口部と前記第２開口部とが搬送方向に沿って規則的に交互に配列されている、
半導体基板の表面エッチング装置。
【請求項２】
前記第１開口部は、パイプ状の部材、又は、平板状の部材に設けられた複数個の貫通孔である、請求項１記載の半導体基板の表面エッチング装置。
【請求項３】
前記搬送機構に冷却機構が備わる、請求項１又は２に記載の半導体基板の表面エッチング装置。
【請求項４】
大気圧以下に減圧可能なエッチング室内で半導体基板を搬送するステップと、
前記半導体基板を搬送させながら前記半導体基板の表面に冷却ガスを噴射して前記半導体基板を冷却するステップと、
前記半導体基板を搬送させながら、エッチングガスをプラズマによって活性イオンとすることなく、前記半導体基板表面に前記エッチングガスを吹き付けるステップとを含み、
前記冷却するステップおよび前記エッチングガスを吹き付けるステップは、規則的に交互に行われる、
半導体基板の表面エッチング方法。
【請求項５】
前記エッチングガスは、ＣｌＦ3，ＸｅＦ2，ＢｒＦ3およびＢｒＦ5のうちの少なくとも一つのガスである、
請求項４記載の半導体基板の表面エッチング方法。
【請求項６】
前記エッチングガスは、さらに酸素原子を含有するガスを含む、請求項５記載の半導体基板の表面エッチング方法。
【請求項７】
前記エッチングガスは、さらに窒素ガスまたは不活性ガスが希釈ガスとして混合される、請求項６記載の半導体基板の表面エッチング方法。
【請求項８】
半導体基板のエッチング処理されない面に不活性ガスを吹きつける、請求項４〜７の何れか一項に記載の表面エッチング方法。
【請求項９】
エッチング中の半導体基板の温度は、１２℃以上１３０℃以下に保持される、請求項４〜８の何れか一項に記載の表面エッチング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板の表面エッチング装置及び表面エッチング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコン太陽電池（光電変換素子）などにおいて、シリコン基板の受光面にテクスチャと称される凹凸形状を設けて、入射光の反射を抑え、かつシリコン基板に取り込んだ光を外部に漏らさないようにしている。
【０００３】
シリコン基板の表面へのテクスチャ形成は、一般的にアルカリ（ＫＯＨ）水溶液をエッチャントとするウェットプロセスにより行われている。ウェットプロセスによるテクスチャ形成は、後処理としてフッ化水素による洗浄工程や、熱処理工程などが必要とされる。そのため、シリコン基板表面を汚染する恐れがあるばかりか、コスト面からも不利な点があった。
【０００４】
一方で、シリコン基板の表面へのテクスチャ形成をドライプロセスにて行う方法も提案されている。例えば、１）プラズマによる反応性イオンエッチング（Ｒｅａｃｔｉｖｅ  Ｉｏｎ  Ｅｔｃｈｉｎｇ）といわれる手法を用いる方法、２）シリコン基板のある大気圧雰囲気下の反応室に、ＣｌＦ3，ＸｅＦ2，ＢｒＦ3およびＢｒＦ5のいずれかのガスを導入することで、シリコン基板表面をエッチングする方法が提案されている（特許文献１を参照）。
【０００５】
また、半導体基板のエッチングシステムであって、エッチングフィーチャーを測定するための光学測定ツールを具備するシステムが知られている（特許文献２を参照）。特許文献２の装置によれば、エッチングの寸法制度を高めることができるとされている。また、搬送チャンバーと処理チャンバーとを有する基板処理装置であって、搬送チャンバーと処理チャンバーとの間に、排気系を備えたバッファーチャンバーを設けることが提案されている（特許文献３を参照）。バッファーチャンバーを設けることで、処理チャンバー内の雰囲気の汚染を防止することができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−３１３１２８号公報
【特許文献２】特開２００５−１２９９０６号公報
【特許文献３】特開２００１−１８５５９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
プラズマによる反応性イオンエッチングを用いると、シリコン基板の表面がプラズマによってダメージを受けやすく、デバイス（例えば太陽電池）としての性能に悪影響を及ぼすことがあった。また、プラズマ発生装置などが必要なため、装置コストが高くなるという問題もあった。
【０００８】
一方で、特許文献１に記載のように、ＣｌＦ3，ＸｅＦ2，ＢｒＦ3およびＢｒＦ5のガスを用いることでシリコン基板表面をエッチングすることができるが、そのエッチング反応は発熱反応であり、シリコン基板の温度が上昇すると所望のエッチングができない。そのため、エッチング工程と冷却工程とを繰り返しながらシリコン基板表面をエッチングしなければならず、量産化に適した方法ではない面があった。
【０００９】
そこで本発明は、半導体基板と発熱反応を起こすガスをエッチングガスとして用いつつ、量産化に対応可能な半導体基板表面をエッチングする装置および方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
すなわち本発明は、以下に示す表面エッチング装置に関する。
【００１１】
大気圧以下に減圧可能なエッチング室と、半導体基板を搬送する搬送機構とを有する半導体基板の表面エッチング装置であって、エッチング室は、半導体基板の表面にプラズマにより活性イオンとすることなくエッチングガスを噴射する複数の第１開口部と、半導体基板の表面に冷却ガスを噴射する複数の第２開口部とを備え、第１開口部と第２開口部とが搬送方向に沿って規則的に交互に配列されている、表面エッチング装置。
【００１２】
また、以下に示す表面エッチング方法に関する。
【００１３】
大気圧以下に減圧可能なエッチング室内で半導体基板を搬送するステップと、前記半導体基板を搬送させながら前記半導体基板の表面に冷却ガスを噴射して前記半導体基板を冷却するステップと、半導体基板を搬送させながら、エッチングガスをプラズマによって活性イオンとすることなく、半導体基板表面にエッチングガスを吹き付けるステップとを含み、冷却するステップおよびエッチングガスを吹き付けるステップは、規則的に交互に行われる、半導体基板の表面エッチング方法。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の表面エッチング装置及び方法によれば、半導体基板の表面を効率的にドライエッチングすることができる。しかも、プロセス中の半導体基板の温度上昇を抑制することができるので量産化にも対応できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の本発明の表面エッチング装置の第一の例の概要を示す図である。図１（Ａ）は、装置を側面から見たときの透視図；図１（Ｂ）は、装置を上面から見たときの透視図
【発明を実施するための形態】
【００１６】
１．表面エッチング装置について
本発明の表面エッチング装置は、大気圧以下に減圧可能なエッチング室と、半導体基板を搬送するための搬送機構と、半導体基板を冷却するための冷却機構とを有する（図１（Ａ）（Ｂ）を参照）。
【００１７】
搬送機構は半導体基板を搬送する部材であり、例えばローラ搬送機、ラックアンドピニオン、ベルトコンベアー、エア浮上、ロボットアームなどである。
【００１８】
半導体基板は、エッチング処理中に発熱して、反りを生じさせることがある。また、半導体基板の裏面（エッチング処理されない面）に、エッチングガスが接触することで、半導体基板の裏面が意図しないエッチングを受けることがある。半導体基板の裏面（エッチング処理されない面）に不活性ガスを吹きつけることで、半導体基板の過剰な発熱を抑制し、かつ半導体基板の温度分布を均一にする（温度ムラを低減する）ことで、半導体基板の反りを抑制し；かつ半導体基板の裏面にガスが接触することも抑制できる。
【００１９】
半導体基板は、後述のエッチング室におけるエッチングプロセスにおいて発熱反応を起こす。半導体基板の温度が過剰に高まると、所定のエッチング反応が進行しなくなり、所望の形状が半導体基板表面に形成できなくなる。
【００２０】
本発明の表面エッチング装置のエッチング室は、搬送機構によって搬送された半導体基板をエッチングするための空間である。エッチング室の内部は、減圧状態にすることができ、減圧条件下にてエッチングプロセスを行う。エッチングプロセス中の反応室の内部圧力は、１ＫＰａ〜１００ＫＰａの範囲に調整され、通常１０ＫＰａ〜９０ＫＰａに制御され、好ましくは３０ＫＰａ〜６０ＫＰａに制御される。
【００２１】
エッチング室において半導体基板を搬送する搬送機構は冷却されていてもよい。それにより、エッチング室において半導体基板が発熱するのを抑制することができる。
【００２２】
エッチング室には、エッチングガスを噴射する開口部が具備される。開口部とは、ガスを吹き付けるためのパイプ状の部材であってもよいし、シャワープレートのような平板状の部材に設けられた複数個の貫通孔であってもよい。
【００２３】
エッチングガスは、半導体基板の材質などによって適宜選択されるが；典型的には、ＣｌＦ3，ＸｅＦ2，ＢｒＦ3およびＢｒＦ5のうちの少なくとも一つのガスを含む。これらのガス分子は、半導体基板の表面に物理吸着して、エッチングサイトに移動する。エッチングサイトに到達したガス分子は分解し、半導体材料（典型的にはシリコン）と反応して揮発性のフッ素化合物を生成する。それにより、半導体基板表面がエッチングされる。
【００２４】
エッチングガスには、その分子内に酸素原子を含有するガスが含まれていることが好ましい。酸素原子を含有するガスとは、典型的には酸素ガス（Ｏ2）であるが、二酸化炭素（ＣＯ2）などであってもよい。
【００２５】
エッチングガスにおける酸素原子含有ガスの濃度（体積濃度）は、ＣｌＦ3，ＸｅＦ2，ＢｒＦ3およびＢｒＦ5のガスの合計濃度の２倍以上であることが好ましい。その理由は、必ずしも明らかではないが、例えばＣｌＦ3ガスがシリコン表面に物理吸着すると、シリコンと反応してＳｉＦ4となってガス化する。このとき、シリコンネットワーク構造のダングリングボンドに酸素原子がターミネートすることで、Ｓｉ−Ｏ結合が部分的に構成される。
【００２６】
それにより、エッチングされやすい領域（Ｓｉ−Ｓｉ）と、エッチングされにくい領域（Ｓｉ−Ｏ）とができる。そのエッチングレートの差でケミカルな反応が促進され、形状制御が可能となると考えられる。
【００２７】
さらに、エッチングガスには窒素ガスまたは不活性ガスが含まれていてもよい。エッチングガスにおけるＣｌＦ3，ＸｅＦ2，ＢｒＦ3およびＢｒＦ5の濃度が高すぎると、等方的にエッチングが進行しやすい場合がある。そのため、窒素ガスまたは不活性ガスを希釈ガスとして混合させる場合がある。
【００２８】
本発明の表面エッチング装置のエッチング室には、冷却ガスを噴射する開口部が具備されることが好ましい。冷却ガスとは、半導体基板の材質と発熱反応しないガスであればよく、窒素ガスや不活性ガス（ヘリウムガスやアルゴンガスなど）などが例示される。前述の通り、ＣｌＦ3，ＸｅＦ2，ＢｒＦ3およびＢｒＦ5は半導体と反応するが、その反応は発熱反応であるため、半導体基板温度が上昇する。半導体基板温度が上昇すると、等方的にエッチングが進行しやすくなる。
【００２９】
そのため、エッチング反応によって発熱した半導体基板に冷却ガスを吹き付けることで、半導体基板を冷却する。エッチングプロセス中に発熱して、過剰に半導体基板の温度が上昇する恐れがある。そこで、半導体基板表面にエッチングガスと冷却ガスとを吹き付ける、好ましくは交互に吹き付けることで、半導体基板の発熱を抑制することが好ましい。
【００３０】
エッチング中の半導体基板の温度は、１３０℃以下に保持されることが好ましく、１００℃以下に保持されることがより好ましく、８０℃以下に保持されることがさらに好ましい。一方、半導体基板の温度は、噴射されるエッチングガスの沸点以上に保持されていればよい。例えばＣｌＦ3の沸点は約１２℃であるので、ＣｌＦ3を用いる場合には、半導体基板の温度を１２℃以上に保持する。
【００３１】
エッチング室には、エッチングガスを噴射する開口部が２つ以上具備されていることが好ましく、冷却ガスを噴射する開口部も２つ以上具備されていることが好ましい。各開口部の配列は、特に限定されないものの、半導体基板の搬送方向（半導体基板の相対移動方向）に沿って配列されていることが好ましい。
【００３２】
エッチングガスを噴射する開口部と冷却ガスを噴射する開口部とは、規則的に配列していることが好ましい。例えば、搬送方向に沿って、エッチングガスを噴射する開口部と冷却ガスを噴射する開口部とが交互に配列していてもよい。あるいは、搬送方向に沿って、エッチングガスを噴射する開口部と複数の冷却ガスを噴射する開口部とが、繰り返して配置されていてもよい。ただし、通常は、２つのエッチングガスを噴射する開口部が連続して配列されないことが好ましい。
【００３３】
また、各開口部の形状は特に制限されないが、半導体基板表面の広面積にガスを吹き付けることができるように、開口部の吐出口にむかって末広がりになっていると好ましい場合がある。
【００３４】
本発明の表面エッチング装置は、マスク形成用ガスを噴射する開口部を有していてもよい。マスク形成用ガスはフッ化炭素ガスであることが好ましく、フッ化炭素ガスの例には４フッ化メタン（ＣＦ4）や、６フッ化エタン（Ｃ2Ｆ6）などが含まれる。マスク形成用ガスの分子が半導体基板表面に吸着すると、その吸着部分はエッチングされにくくなる。そのため、選択的に半導体基板表面をエッチングすることができる。
【００３５】
一方で、エッチング室にプラズマ手段が具備されている必要はない。本発明の表面エッチング装置は、エッチングガスと半導体基板との化学反応によって、半導体基板表面をエッチングする。そのため、ガスをプラズマによって活性イオンとする必要はない。
【００３６】
半導体基板とは、典型的にはシリコン基板であるが、ゲルマニウム基板、シリコンカーバイドなどであってもよい。さらに、表面エッチングされる基板は、半導体基板以外のサファイア基板などであってもよい。また、シリコン基板は、通常は単結晶シリコンであるが、多結晶シリコンであっても、アモルファスシリコンであってもよい。
【００３７】
単結晶シリコン基板は、基板面方位（１００）のシリコン基板であってもよいし、基板面方位（１１１）のシリコン基板であってもよいし、他の基板面方位のシリコン基板であってもよい。半導体基板は、半導体ウェハであってもよいし、他の基板に成膜された半導体薄膜であってもよい。
【００３８】
２．エッチング方法について
本発明の表面エッチング装置を用いて、まず、半導体基板を、搬送機構でエッチング室に搬送する。エッチング室は減圧されていることが好ましい。エッチング室に搬送された半導体基板に、エッチングガスを噴射する開口部からエッチングガスを吹き付ける。このとき、搬送機構によって、半導体基板と開口部との相対位置を制御して、半導体基板表面の所望の位置にエッチングガスを吹き付ける。エッチング室において、冷却ガスを噴射する開口部から冷却ガスを吹き付けてもよい。
【００３９】
エッチング室において、半導体基板の温度を１３０℃以下、好ましくは１００℃以下、より好ましくは８０℃以下に保持することが好ましい。
【００４０】
搬送機構で半導体基板を搬送しながら、半導体基板を振動させてもよいし、あるいは開口部を振動させてもよい。また、半導体基板の相対移動は、一方向である必要はなく、２次元方向に移動してもよいし、３次元方向に移動してもよい。さらに、搬送は往復移動をしてもよい。
【００４１】
エッチング室において搬送機構で搬送中の半導体基板を冷却してもよい。それによって、半導体基板の過剰な発熱をより効果的に抑制する。
【００４２】
［実施の形態１］
図１（Ａ）および図１（Ｂ）には、本発明の表面エッチング装置の概要が示される。図１（Ａ）は、装置を側面から見たときの透視図であり；図１（Ｂ）は、装置を上面から見たときの透視図である。
【００４３】
図１（Ａ）および図１（Ｂ）に示される表面エッチング装置は、ロードロック室１０と、エッチング室２０と、アンロードロック室３０とを有する。ロードロック室１０と、エッチング室２０と、アンロードロック室３０の内部は、いずれも減圧されることができる。つまり、ロードロック室１０にはドライポンプ１２と、バルブ１３と、ゲートバルブ１４が設けられ；アンロードロック室３０にはドライポンプ３２と、バルブ３３と、ゲートバルブ３４が設けられている。
【００４４】
ロードロック室１０には、基板供給部５から半導体基板１が供給される。半導体基板１は、ステージに載置されてロードロック室１０に供給される。ロードロック室１０からエッチング室２０を経てアンロードロック室３０にまで、搬送機構となるローラ搬送機５０が設けられている。ローラ搬送機５０にセットされた半導体基板１は、ロードロック室１０からエッチング室２０を経てアンロードロック室３０にまで搬送されることができる。
【００４５】
エッチング室２０には、エッチングガス供給ノズル６０が設けられ、さらに冷却ガス供給ノズル７０も設けられていることが好ましい。これらのノズルからのガスを、エッチング室２０の内部に供給し、搬送される半導体基板１の表面に接触させることができる。エッチングガス供給ノズル６０と冷却ガス供給ノズル７０とは、搬送方向に沿って、交互に設けられている。また、エッチング室２０にはドライポンプ２２と、バルブ２３とが設けられており、エッチング反応で発生したガスなどを排気することができる。
【００４６】
ローラ搬送機５０は、ロードロック室１０からアンロードロック室３０にまで一方向に半導体基板１を搬送してもよいが、往復移動させながら（図において左右に移動させながら）搬送してもよい。
【００４７】
アンロードロック室３０にまで搬送された半導体基板１’は、基板排出部３５に排出されて回収される。その後、半導体基板１’は、必要に応じて水素ガス雰囲気下で残留したフッ素成分を除去するための処理を施されてもよい。例えば、高温アニールを施されたり、プラズマ処理を施されたりする。
【００４８】
図１（Ａ）および図１（Ｂ）に示される表面エッチング装置において、エッチング室２０で半導体基板を搬送する搬送機構に冷却機構を設けて半導体基板１を冷却してもよい。エッチング室２０における搬送機構で半導体基板１を冷却するには、搬送機構を構成する搬送ローラの温度を下げたり、ベルトコンベアーのベルトを冷却したりすることが考えられる。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明の表面エッチング装置によれば、半導体基板の表面を効率的にドライエッチングすることができる。しかも、プロセス中の半導体基板の温度上昇を抑制することができるので量産化にも対応できる。
【符号の説明】
【００５０】
１  半導体基板
１’  半導体基板
５  基板供給部
１０  ロードロック室
１２  ドライポンプ
１３  バルブ
１４  ゲートバルブ
２０  エッチング室
２２  ドライポンプ
２３  バルブ
３０  アンロードロック室
３２  ドライポンプ
３３  バルブ
３４  ゲートバルブ
３５  基板排出部
６０  エッチングガス供給ノズル
７０  冷却ガス供給ノズル
【図１】
0005488758.tif 000002