(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
分離板形状に成形された金属母材上に金属層と炭素層を含むコーティング層を形成するが、
前記コーティング層を形成する前に前記金属母材の表面を洗浄した後、
前記金属母材の表面に形成された化合物層を除去し、母材表面の温度上昇及び酸化雰囲気を組成する過程を有しないものとして前記金属の表面をエッチングし、
前記エッチングはアルゴンガスを利用し、イオン銃に０．１５〜０．２５Ａの電流及び８００〜１６００Ｖの電圧を印加するイオン銃エッチング方式で実施し、
前記金属母材上に金属元素（Ｍｅ）をコーティングして前記金属層を０．０１〜５．０μｍの厚さで形成し、
前記金属層上に非晶質炭素層の形態で炭素層を０．０１〜５．０μｍの厚さで形成し、
製造される金属分離板を０．６〜６．２μＡ／ｃｍ2の腐食電流密度及び１４〜２２ｍΩ・ｃｍ2の接触抵抗を有するものとすることを特徴とする燃料電池用金属分離板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、燃料電池用金属分離板の製造方法に関するものであり、より詳しくは、分離板形状に成形された金属母材上に金属でバッファ層を先に形成し、その上に非晶質炭素等をコーティングすることにより、燃料電池用金属分離板の耐食性、伝導性、耐久性等の物性を向上させることができる燃料電池用金属分離板の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
燃料電池（Ｆｕｅｌ  Ｃｅｌｌ）とは、燃料の酸化によって生じる化学エネルギーを直接電気エネルギーに変換する電池であり、近年における化石燃料の枯渇問題、二酸化炭素発生による温室効果や地球温暖化等の問題点を克服するために太陽電池等と共に多くの研究が行われている。
【０００３】
燃料電池は、一般的に水素と酸素の酸化、還元反応を利用して、化学エネルギーを電気エネルギーに変換する。陰極（ａｎｏｄｅ）で水素が酸化して水素イオンと電子に分離され、水素イオンは電解質によって陽極（ｃａｔｈｏｄｅ）に移動する。このとき、電子は回路を通って陽極に移動する。陽極で水素イオン、電子及び酸素が反応して水になる還元反応が起こる。
【０００４】
燃料電池の単位セル（Ｕｎｉｔ  Ｃｅｌｌ）は、電圧が低く実用性に劣るため、一般的に数個あるいは数百個の単位セルを積層して使用する。単位セルの積層時、各単位セル間に電気的接続が起こるようにし、反応ガスを分離させる役割をするものが分離板（Ｓｅｐａｒａｔｏｒ）である。
【０００５】
燃料電池用分離板は、材質に応じてグラファイト分離板、金属分離板等に分けられる。
【０００６】
グラファイト分離板は、従来の燃料電池用分離板において多く採用されているものであり、グラファイト（Ｇｒａｐｈｉｔｅ）を流路形態に沿ってミーリング加工して作製していた。この場合、グラファイト材質の分離板が占める比重がスタック全体において費用は５０％、重さは８０％以上を占めていた。よって、グラファイト材質の分離板は、高コストおよび嵩が大きい等の問題点があった。
【０００７】
前記のグラファイト材質の分離板の問題点を克服するために金属材質の金属分離板が開発されたが、金属分離板は、加工性が容易で、且つ分離板の厚さ減少による燃料電池全体的な嵩の減少及び軽量化を図ることができ、大量生産が容易な点等の様々な長所がある。
【０００８】
しかし、燃料電池使用時に発生する金属の腐食は、膜電極集合体の汚染を誘発して燃料電池のスタック性能を低下させる要因として作用し、また長時間使用する場合は金属表面での厚い酸化膜の成長は燃料電池内部抵抗を増加させる要因として作用し得る。
【０００９】
よって、前記のように金属分離板での金属の腐食と、燃料電池の内部抵抗の増加を抑えて金属分離板の性能を向上させることができるように、高い耐食性と電気伝導性を有する燃料電池用金属分離板が要求されている。 
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、非晶質炭素コーティングや金属がドーピングされた炭素コーティングにより、薄いコーティング層でも高い耐食性及び伝導性を確保できる燃料電池用金属分離板の製造方法を提供するものである。
【００１１】
本発明の他の目的は、金属元素と炭素元素を分離板にコーティングするが、炭素元素が最外郭にコーティングされるようにコーティング量を調節したり、金属層と炭素層を順次にコーティングして、高い耐食性及び伝導性を確保できる燃料電池用金属分離板の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記の一つの目的を達成するための本発明の一参考例にかかる燃料電池用金属分離板は、分離板形状に成形された金属母材及び前記金属母材上に形成されるコーティング層を含み、前記コーティング層は厚さによって炭素元素（Ｃ）と金属元素（Ｍｅ）が濃度傾斜を有するが、前記金属母材から遠ざかるほど前記炭素元素が次第に多くなり（Ｃ−ｅｎｒｉｃｈ）、前記金属母材側に近づくほど前記金属元素が次第に多くなること（Ｍｅ−ｅｎｒｉｃｈ）を特徴とする。
【００１３】
前記の一つの目的を達成するための本発明の他の一実施例にかかる燃料電池用金属分離板は、分離板形状に成形された金属母材及び前記金属母材上に形成されるコーティング層を含み、前記コーティング層は前記金属母材上に金属元素（Ｍｅ）で形成される金属層と前記金属層上に炭素元素（Ｃ）を含んで形成される炭素層を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明にかかる燃料電池用金属分離板は、表面側に非晶質炭素層等を形成することにより、耐食性、伝導度、耐久性を向上させることができる。
【００１５】
また、本発明にかかる燃料電池用金属分離板は、低い工程コストでも高密度の非晶質炭素層等を形成でき、燃料電池用金属分離板の全体的な製造コストを節減でき、且つ燃料電池用金属分離板の厚さを減少させることができる。
【００１６】
さらに、本発明にかかる燃料電池用金属分離板の製造方法は、化学的洗浄、商業用脱脂、乾式蝕刻等の方法により金属母材の表面に存在する不純物を取り除くことにより、コーティング層形成時に金属母材とコーティング層との密着力を増大させることと併せて、不要な酸化雰囲気を形成しないという長所がある。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施例にかかる燃料電池用金属分離板を概略的に示した断面図である。
【図２】本発明の他の一実施例にかかる燃料電池用金属分離板を概略的に示した断面図である。
【図３】本発明の一実施例にかかる燃料電池用金属分離板の製造方法を概略的に示した順序図である。
【図４】本発明の他の一実施例にかかる燃料電池用金属分離板の製造方法を概略的に示した順序図である。
【図５】本発明にかかる燃料電池用金属分離板の接触抵抗を測定する接触抵抗測定装置を図示した図面である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の利点及び特徴、そしてそれらを達成する方法は、詳しく後述する実施例及び図面を参照すると明確になる。しかし、本発明は以下で開示する実施例に限定されるものではなく、相違する様々な形態に具現でき、但し本実施例は、本発明の開示が完全になるようにし、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に発明のカテゴリーを完全に教示するために提供するものであり、本発明は請求項の範疇によって定義されるに過ぎない。
【００１９】
以下では、本発明にかかる燃料電池用金属分離板及びその製造方法について詳しく説明する。
【００２０】
図１は、本発明の一参考例にかかる燃料電池用金属分離板を概略的に示す断面図である。
【００２１】
図１を参照すると、図示した金属分離板は、分離板形状に成形された金属母材１１０及びコーティング層１２０を含む。
【００２２】
金属母材１１０は、一般的な燃料電池用金属分離板に利用されるものであれば制限なく利用することができ、具体的な材質の例を挙げると、金属母材１１０はステンレススチール、アルミニウム、チタニウム、ニッケルや、これらのうち一つ以上を含む合金等の材質からなり得る。このうち、軽く且つ耐食性に優れたステンレススチール材質の金属母材が最も好ましいと見なせる。このとき、本発明での金属母材は分離板形状に成形されたものを利用する。
【００２３】
但し、これら金属母材１１０を構成する材質は、燃料電池の高温多湿の苛酷な環境下では耐食性及び電気伝導性特性が満足のいく水準を見せないため、本発明ではこのような点を補完するために金属母材１１０表面にコーティング層１２０を形成する。
【００２４】
このとき、コーティング層１２０は金属元素（Ｍｅ）１２１と、炭素元素（Ｃ）１２２で形成される。
【００２５】
金属元素（Ｍｅ）１２１は、電気伝導性に優れたジルコニウム（Ｚｒ）、銅（Ｃｕ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、クロム（Ｃｒ）、チタニウム（Ｔｉ）、スカンジウム（Ｓｃ）、バナジウム（Ｖ）、マンガン（Ｍｎ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）等から１種あるいは２種以上選択できる。
【００２６】
炭素元素（Ｃ）１２２は、耐食性、耐久性及び電気伝導性に優れたＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｌｉｋｅ  Ｃａｒｂｏｎ）のような非晶質炭素（Ａｍｏｒｐｈｏｕｓ  Ｃａｒｂｏｎ）の形態を有することが好ましい。炭素の場合、ダイヤモンド形態、非晶質炭素形態、グラファイト形態等を有することができるが、ダイヤモンド形態の場合は電気伝導性が非常に良くなく、グラファイト形態の場合は膜の緻密性が良くない。よって、本発明では分離板の耐久性及び伝導性を共に考慮してダイヤモンドとグラファイトの中間程度の物性を有する非晶質炭素を利用する。勿論、非晶質炭素で足りない電気伝導性は、金属等によって補完できる。
【００２７】
金属元素１２１は、金属母材１１０との付着性等を向上させ、金属母材１１０に集中する応力を緩和する役割をし、また電気伝導度を補完する役割をする。炭素元素１２２は、分離板の耐食性等を向上させる役割をする。このような点で金属元素１２１は、金属母材１１０の近くに集中的に形成され、炭素元素１２２は分離板の表面に集中的に形成されることが好ましい。
【００２８】
これにより、図１に図示した実施例では、前記コーティング層は厚さに応じて炭素元素（Ｃ）と金属元素（Ｍｅ）が濃度傾斜を有するように形成される。具体的には、金属母材１１０から遠ざかるほど炭素元素（Ｃ）が次第に多くなり（Ｃ−ｅｎｒｉｃｈ又はＣ−ｒｉｃｈ）、逆に、金属母材１１０側に近づくほど金属元素（Ｍｅ）が次第に多くなる（Ｍｅ−ｅｎｒｉｃｈ又はＭｅ−ｒｉｃｈ）。このとき、厚さによる炭素元素（Ｃ）と金属元素（Ｍｅ）の濃度傾斜は、必ずしも線状である必要はなく、コーティング層１２０の厚さ方向に炭素元素（Ｃ）と金属元素（Ｍｅ）の全体的な濃度勾配を有するもの、つまりコーティング層１２０の表面側に炭素元素（Ｃ）が集中し、金属母材１１０側に金属元素（Ｍｅ）が集中する形態であれば良い。
【００２９】
このとき、コーティング層１２０で炭素元素１２２が金属元素１２１よりも多い部分の厚さは０．０１〜５．０μｍであることが好ましい。炭素元素１２２が集中している部分の厚さが０．０１μｍ未満だと分離板の耐食性等の向上効果を期待できなく、逆に、炭素元素１２２が集中している部分の厚さが５．０μｍを超える場合は、金属分離板の製造コストが上昇し得る。
【００３０】
また、コーティング層１２０で金属元素１２１が炭素元素１２２よりも多い部分の厚さは０．０１〜５．０μｍであることが好ましい。金属元素１２１が集中している部分の厚さが０．０１μｍ未満だと表面に集中する炭素元素１２２の密着性等が低下し得、金属元素１２１が集中している部分の厚さが５．０μｍを超えると密着力が低下し得、また生産性が低下して劣り、製造コストが上昇し得る。
【００３１】
図２は、本発明の他の一実施例にかかる燃料電池用金属分離板を概略的に示す断面図である。
【００３２】
図２を参照すると、図示した燃料電池用金属分離板は、分離板形状に成形された金属母材２１０、金属層２２０及び炭素層２３０を含む。
【００３３】
前記図１に示した参考例は、 金属元素（Ｍｅ）と炭素元素（Ｃ）が濃度傾斜を有すると共に、一つのコーティング層で形成されるものに比べて、図２に示した実施例は分離板形状に成形された金属母材２１０上にほぼ完全に分けられる二つの層がコーティング層を形成する。
【００３４】
金属母材２１０上に形成される二つのコーティング層は、金属層２２０と炭素層２３０に分けられる。
【００３５】
金属層２２０は、炭素層２３０の密着力を向上させ、炭素層２３０形成時に金属母材２１０が受ける応力等を分散させるために金属母材２１０上に先に形成される。金属層２２０は、電気伝導性に優れたジルコニウム（Ｚｒ）、銅（Ｃｕ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、クロム（Ｃｒ）、チタニウム（Ｔｉ）、スカンジウム（Ｓｃ）、バナジウム（Ｖ）、マンガン（Ｍｎ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）等の材質で形成できる。
【００３６】
炭素層２３０は、分離板の耐食性、伝導性等を向上させるために金属層２２０上に炭素元素を含んで形成する。このとき、炭素層２３０は、非晶質炭素層の形態に形成でき、また、金属がドーピングされた炭素層の形態に形成できる。このとき、後者の場合は、炭素層にドーピングされる金属は金属層２２０を形成する金属元素と同様に、ジルコニウム（Ｚｒ）、銅（Ｃｕ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、クロム（Ｃｒ）、チタニウム（Ｔｉ）、スカンジウム（Ｓｃ）、バナジウム（Ｖ）、マンガン（Ｍｎ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）等から１種あるいは２種以上選択できる。
【００３７】
金属層２２０の厚さは、０．０１〜５．０μｍであることが好ましく、炭素層２３０の厚さは０．０１〜５．０μｍであることが好ましい。前述のとおり、金属層２２０のコーティング厚が０．０１μｍ未満だと炭素層２３０の密着性が低下し得、炭素層２３０のコーティング厚が０．０１μｍ未満だと分離板の耐食性、伝導性、耐久性向上の効果が不十分であり得る。そして、金属層２２０及び炭素層２３０のコーティング厚が前記の範囲を超えると、それ以上は効果が上昇せず、それだけ多くの炭素元素及び金属元素を必要とするため、全体的な分離板の製造コストが上昇することになる。
【００３８】
図３は、本発明の一参考例にかかる燃料電池用金属分離板の製造方法を概略的に示す順序図であり、図１に示した燃料電池用金属分離板を製造するための過程を示したものである。
【００３９】
図３を参照すると、図示した燃料電池用金属分離板は、金属母材表面洗浄段階Ｓ３０２、金属母材表面乾式蝕刻段階Ｓ３０４及びコーティング層形成段階Ｓ３１０を含む。
【００４０】
金属母材表面洗浄段階Ｓ３０２は、金属母材表面の有機物や無機物の洗浄のために実施するものであり、化学的洗浄、商業用脱脂、乾式蝕刻等の方法を一つ以上利用することができ、例えば、アセトンやエタノール、商業用脱脂剤を利用して５〜１０分程度実施できる。
【００４１】
乾式蝕刻段階Ｓ３０４は、コーティング層の形成Ｓ３１０前に金属母材表面の酸化膜や不純物を除去し、さらに、金属母材の表面活性化のためにアルゴンガス等を利用したイオン銃エッチングやスパッタエッチング方法により実施される。
【００４２】
乾式蝕刻方法のうちイオン銃エッチングは、反応チャンバーに４０〜６０ｓｃｃｍ程度のアルゴンを流し込み、イオン銃に８００〜１５００Ｖの電圧と０．１５〜０．２５Ａ程度の電流を印加してイオン銃によるエッチングを行うことができる。
【００４３】
このとき、印加電流が約０．２Ａのときにイオン銃に印加される電圧が８００Ｖ以下だとイオン銃エッチングの効果が低下するため、イオン銃に印加される電圧は８００Ｖ以上でなければならない。イオン銃エッチングは、約１０〜３０分間行われ得るが、金属母材表面の酸化膜等の厚さやエッチング速度等によってイオン銃エッチング時間が異なり得る。
【００４４】
イオン銃エッチングは、グラインディング方式に比べて化合物層を除去する速度が速く、工程中間に母材表面の温度上昇、及び酸化雰囲気を組成する不要な過程を除くことができ、コーティング時に付着力を阻害し得る粗度の差を最小化できるという長所がある。
【００４５】
前記の金属母材表面洗浄段階Ｓ３０２や乾式蝕刻段階Ｓ３０４は、必ずしも必須的なものではないが、金属母材上に形成されるコーティング層の密着力の向上等のために実施することがより好ましい。
【００４６】
コーティング層形成段階Ｓ３１０では、金属元素と炭素元素を金属母材上にコーティングしてコーティング層を形成する。コーティング層は、物理的気相蒸着（Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ；ＰＶＤ）方式、化学的気相蒸着法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ；ＣＶＤ）又は原子層蒸着方式（Ａｔｏｍｉｃ  Ｌａｙｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）等の様々な蒸着方式を利用できる。例えば、物理的蒸着方式の場合は、炭素元素ターゲット、金属元素ターゲット及びアルゴンガスを利用して金属母材上に炭素元素及び金属元素を蒸着できる。
【００４７】
このとき、コーティング層形成段階Ｓ３１０では分離板形状に成形された金属母材上に炭素元素（Ｃ）と金属元素（Ｍｅ）が厚さによって濃度傾斜を有するようにコーティング層を形成する。このとき、金属母材から遠ざかるほど炭素元素が次第により多くなり（Ｃ−ｅｎｒｉｃｈ或いはＣ−ｒｉｃｈ）、前記金属母材側に近づくほど金属元素がより多くなるように（Ｍｅ−ｅｎｒｉｃｈ或いはＭｅ−ｒｉｃｈ）する。このために、図３に示したように、炭素元素（Ｃ）のコーティング量をコーティング時間の経過に応じて漸進的に増加させ、金属元素（Ｍｅ）のコーティング量をコーティング時間の経過に応じて漸進的に減少させる。具体的には、コーティング初期には金属元素中心にコーティングを実施し、次第に金属元素のコーティング量を減らし、相対的に炭素元素のコーティング量を増加させることにより、コーティングの最終時期には炭素元素を中心にコーティングする。
【００４８】
前述の通り、コーティング前半部は金属元素が前記炭素元素よりも多い部分の厚さが０．０１〜５．０μｍになり、コーティング後半部は炭素元素が金属元素よりも多い部分の厚さが０．０１〜５．０μｍになるようにすることが好ましい。
【００４９】
図４は、本発明の他の一実施例にかかる燃料電池用金属分離板の製造方法を概略的に示す順序図であり、図２に示した燃料電池用金属分離板を製造するための過程を表したものである。
【００５０】
図４を参照すると、図示した燃料電池用金属分離板は、金属母材表面洗浄段階Ｓ４０２、金属母材表面乾式蝕刻段階Ｓ４０４及び金属層形成段階Ｓ４１０及び炭素層コーティング段階Ｓ４２０を含む。
【００５１】
金属母材表面洗浄段階Ｓ４０２及び乾式蝕刻段階Ｓ４０４は、図３で説明したものと同一なため、詳しい説明は省略する。
【００５２】
金属母材表面洗浄段階Ｓ４０２及び乾式蝕刻段階Ｓ４０４は、本実施例においても必ずしも必須的なものではないが、金属母材上に形成されるコーティング層の密着力向上等のために実施することがより好ましい。
【００５３】
図３に示した実施例では、コーティング層として金属元素と炭素元素を利用した一つの層を形成したが、本実施例ではコーティング層として金属層及び炭素層を形成する。
【００５４】
金属層形成段階Ｓ４１０では、金属母材上に金属元素（Ｍｅ）をコーティングしてバッファ層としての金属層を形成する。金属層形成段階Ｓ４１０によって形成される金属層は、炭素層の密着力を向上させ、炭素層形成時に金属母材等が受ける応力の集中を緩和する役割をする。
【００５５】
炭素層形成段階Ｓ４２０では、金属層上に炭素層を形成する。このとき、炭素層は非晶質炭素（ａｍｏｒｐｈｏｕｓ  Ｃａｒｂｏｎ）層の形態または金属がドーピングされた炭素（Ｍｅ  ｄｏｐｅｄ  Ｃａｒｂｏｎ）層の形態になり得る。
【００５６】
前記金属層形成段階Ｓ４２０でコーティングされる金属や、炭素層形成段階Ｓ４２０で金属ドーピングのために使用する金属は、電気伝導性に優れたジルコニウム（Ｚｒ）、銅（Ｃｕ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、クロム（Ｃｒ）、チタニウム（Ｔｉ）、スカンジウム（Ｓｃ）、バナジウム（Ｖ）、マンガン（Ｍｎ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）等であり得る。これら金属元素は、単独で利用でき、２種以上混用することもできる。
【実施例】
【００５７】
以下、本発明の好ましい実施例によって本発明の構成及び作用をより詳しく説明する。但し、これは本発明の好ましい例として提示したものであり、如何なる意味でもこれによって本発明が制限されると解釈してはならない。
【００５８】
ここに記載しない内容は、本技術分野の熟練者であれば十分に技術的に類推できるもののため、説明は省略する。
【００５９】
１．燃料電池用金属分離板の製造
分離板形状に成形された金属母材であり、ステンレススチール（３１６Ｌ，厚さ０．１ｍｍ）を使用し、表１に示した条件で実施例１〜１０及び比較例１〜１０に従った燃料電池用金属分離板を製造した。
【００６０】
【表１】
0005476328.tif 000002
【００６１】
２．物性評価
（１）  接触抵抗測定
図５は、本発明にかかる燃料電池用金属分離板の接触抵抗を測定する接触抵抗測定装置を図示した図面である。
【００６２】
図５を参照すると、燃料電池用金属分離板５００の接触抵抗測定のために、セル締結のための最適化された定数を得るために修正したデビッド方法（Ｄａｖｉｅｓ  ｍｅｔｈｏｄ）を金属分離板とカーボンペーパー間の接触抵抗を測定するために用いた。
【００６３】
接触抵抗は、４点法（ｆｏｕｒ−ｗｉｒｅ  ｃｕｒｒｅｎｔ−ｖｏｌｔａｇｅ）測定原理を利用してＺａｈｎｅｒ社のＩＭ６Ｄ装備で測定した。
【００６４】
測定方法は、定電流モードで測定領域ＤＣ  ５Ａ及びＡＣ  ０．５Ａにして１０ｋＨｚから１０ｍＨｚまでの範囲で接触抵抗を測定した。カーボンペーパーはＳＧＬ社の１０ＢＢを使用した。
【００６５】
前記接触抵抗測定装置５０は、カーボンペーパー５２０、金がメッキされた銅プレート５１０が試片５００を介してそれぞれ上下に備えられ、前記銅プレート５１０は電流供給装置５３０と電圧測定装置５４０に連結されている。
【００６６】
前記試片５００に電流を供給できる電流供給装置（５３０，Ｚａｈｎｅｒ社のＩＭ６）でＤＣ  ５Ａ/ＡＣ  ０．５Ａの電流を印加して電圧を測定した。
【００６７】
そして、前記接触抵抗測定装置５０の銅プレート５１０の上下で前記試片５００とカーボンペーパー５２０、銅プレート５１０が積層構造を有するように圧力を提供できる圧力機（Ｉｎｓｔｒｏｎ社モデル５５６６，圧縮維持試験）を準備する。前記圧力機は、前記接触抵抗測定装置５０に５０〜１５０Ｎ/ｃｍ2の圧力を提供する。
【００６８】
このように準備した接触抵抗測定装置５０で実施例１〜１０と比較例１〜１０の試片５００の接触抵抗を測定した。
【００６９】
（２）腐食電流密度の測定
実施例１〜１０及び比較例１〜１０による金属分離板の腐食電流密度を測定するための測定装備としては、ＥＧ＆Ｇ  ２７３Ａを使用した。腐食耐久性実験は、ＰＥＦＣ（Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｅｌｅｃｔｒｏｌｙｔｅ  Ｆｕｅｌ  Ｃｅｌｌ）の駆動雰囲気と類似環境下で行われた。
【００７０】
金属分離板腐食用実験溶液としては、８０℃の０．１Ｎ  Ｈ2ＳＯ4＋５ｐｐｍ  ＨＦ溶液を使用し、１時間のＮ2  ｂｕｂｂｌｉｎｇ後、ＯＣＰ（Ｏｐｅｎ  Ｃｉｒｃｕｉｔ  Ｐｏｔｅｎｔｉａｌ）−０．２５Ｖ〜１．２Ｖ  ｖｓ  ＳＣＥの範囲で測定した。
【００７１】
そして、ＰＥＦＣ  ａｎｏｄｅ環境に対して−０．２４Ｖ  ｖｓ  ＳＣＥ、ｃａｔｈｏｄｅ環境（ＳＣＥ：Ｓａｔｕｒａｔｅｄ  Ｃａｌｏｍｅｌ  Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）に対して０．６Ｖ  ｖｓ  ＳＣＥで物性測定をした。
【００７２】
ここで、前記物性測定の比較は、燃料電池環境と類似するｃａｔｈｏｄｅ環境の０．６Ｖ  ｖｓ  ＳＣＥの腐食電流密度データにより比較評価した。
【００７３】
前記ａｎｏｄｅ環境は、水素が膜‐電極集合体（Ｍｅｍｂｒａｎｅ  Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ  Ａｓｓｅｍｂｌｙ，ＭＥＡ）で水素イオンと電子に分離される反応が起こる環境であり、前記ｃａｔｈｏｄｅ環境は酸素が水素イオン及び電子と結合して水を生成する反応が起こる環境である。
【００７４】
ここで、前記の条件のようにｃａｔｈｏｄｅ環境の電位が高く、より苛酷な腐食条件のため、ｃａｔｈｏｄｅ環境を基準に耐食性を試験することが好ましい。
【００７５】
３．物性評価の結果
表１を参照すると、本発明の実施例１〜１０は、腐食電流密度が０．６〜６．２μＡ／ｃｍ2間の値を有していることが分かり、接触抵抗は１４〜２２ｍΩ・ｃｍ2の値を表していることが分かる。
【００７６】
その反面、比較例１〜１０は、腐食電流密度が１０〜３０μＡ／ｃｍ2間の値を有しており、接触抵抗は２４〜４０ｍΩ・ｃｍ2の値を表していることが分かる。
【００７７】
これは、洗浄及び乾式蝕刻を行い、金属層とコーティング層を共に形成した実施例の場合は、電気伝導性、耐食性及び耐久性が優れることを意味する。
【００７８】
その反面、炭素層及び金属層のうちいずれかが形成されなかったり、形成された場合でも厚さが０．０１μｍ未満または５．０μｍを超える場合は、薄膜の電流応力による剥離により腐食電流密度及び接触抵抗の測定ができなかった。
【００７９】
以上、添付の図面を参照して本発明の実施例を説明したが、本発明は前記実施例に限定されるのではなく、相違する様々な形態に変形でき、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者は本発明の技術的思想や必須的な特徴を変更せず他の具体的な形態で実施できるということが理解できる。そのため、以上に記述した実施例は、全ての面で例示的なものであり、限定的ではないことを理解しなければならない。
【符号の説明】
【００８０】
１１０，２１０：金属母材
１２０：コーティング層
１２１：金属元素
１２２：炭素元素
２２０：金属層
２３０：炭素層
Ｓ３０２，Ｓ４０２：金属母材表面洗浄
Ｓ３０４，Ｓ４０４：金属母材表面乾式蝕刻
Ｓ３１０：コーティング層形成段階
Ｓ４１０：金属元素コーティング段階
Ｓ４２０：炭素コーティング段階
【図１】
0005476328.tif 000003
【図２】
0005476328.tif 000004
【図３】
0005476328.tif 000005
【図４】
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【図５】
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