(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｔｃ秒毎にラッチ信号を生成するラッチ信号生成回路と、
Ｔｃ秒未満の遅延時間のデータを保持する遅延時間保持回路と、
１ライン分の画素データを保持可能で、前記ラッチ信号により外部から画素データをラッチする複数の第１のラッチ回路と、
複数の第２のラッチ回路群に分けられており、前記ラッチ信号が送られてから、前記第２のラッチ回路群毎に、前記遅延時間保持回路に保持されているデータの前記遅延時間経過後に、前記複数の第１のラッチ回路に保持されている画素データをラッチする複数の第２のラッチ回路と、
長さがＴｃ秒以下の駆動信号のデータを保持しており、前記ラッチ信号が送られてから、前記第２のラッチ回路群毎に、前記遅延時間保持回路に保持されているデータの前記遅延時間およびＴｃ秒未満の所定時間を合わせた合計の時間の経過後に、前記第２のラッチ回路群の前記第２のラッチ回路に保持されている画像データに基づいて前記駆動信号を送る駆動信号送信回路と
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドを駆動するための駆動装置。
【請求項２】
互いに平行な複数の直線状の液体吐出孔列を構成しているとともに、一方方向に等間隔で、かつ前記一方方向に直交する方向に見て重ならないように配置されている複数の液体吐出孔が開口している液体吐出孔開口面、
前記複数の液体吐出孔からそれぞれ液体を吐出させる複数の駆動部、
記録媒体を前記液体吐出孔開口面に対して搬送する搬送部、
画像を構成する画素データを保持している記憶部、
およびＴｃ秒毎にラッチ信号を生成するラッチ信号生成回路と、
Ｔｃ秒未満の遅延時間のデータを保持している遅延時間保持回路と、
前記複数の液体吐出孔と同数の画素データを保持可能で、前記ラッチ信号により記憶部から画素データをラッチする複数の第１のラッチ回路と、
複数の第２のラッチ回路群に分けられており、前記ラッチ信号が送られてから、前記第２のラッチ回路群毎に前記遅延時間保持回路に保持されているデータの前記遅延時間経過後に、前記複数の第１のラッチ回路に保持されている画素データをラッチする複数の第２のラッチ回路と、
長さがＴｃ秒以下の駆動信号のデータを保持しており、前記ラッチ信号が送られてから、前記第２のラッチ回路群毎に前記遅延時間保持回路に保持されているデータの前記遅延時間およびＴｃ秒未満の所定時間を合わせた合計の時間の経過後に、１つの前記第２のラッチ回路群の前記第２のラッチ回路に保持されている画素データに基づいた前記駆動信号を、１つの前記液体吐出孔列に対応する複数の前記駆動部に同時に送る駆動信号送信回路とを有する制御部を
備えることを特徴とする記録装置。
【請求項３】
前記第２のラッチ回路群毎に前記遅延時間保持回路に保持されている前記遅延時間のデータは、前記第２のラッチ回路群に対応する前記液体吐出孔列の前記液体吐出孔から吐出された液体が着弾する前記記録媒体までの飛翔距離が短いほど、前記遅延時間が長いデータであることを特徴とする請求項２に記載の記録装置。
【請求項４】
前記駆動信号送信回路は、吐出する液体の量および前記飛翔距離に応じて複数の前記駆動信号のデータを保持しているとともに、前記駆動信号のデータは、吐出する液体の量が多いほど、前記駆動信号における最初の電圧変化が起きるまでの初期待機時間が長いデータであるとともに、前記飛翔距離が異なる前記駆動信号のデータを比較すると、前記飛翔距離が長いほど、液体の吐出量が異なる前記駆動信号における前記初期待機時間の差が大きいデータであることを特徴とする請求項３に記載の記録装置。
【請求項５】
前記駆動信号送信回路は、吐出する液体の量に応じて複数の前記駆動信号のデータを保持しているとともに、前記駆動信号のデータは、吐出する液体の量が多いほど、前記駆動信号における最初の電圧変化が起きるまでの初期待機時間が長いデータであることを特徴とする請求項２または３に記載の記録装置。
【請求項６】
前記駆動信号送信回路は、前記駆動信号における最初の電圧変化が起きるまでの初期待機時間が異なる前記駆動信号のデータを複数保持しており、前記液体吐出孔列における隣接した前記液体吐出孔に対応した前記駆動部に送る前記駆動信号として、前記初期待機時間が異なる前記起動信号を送ることを特徴とする請求項２に記載の記録装置。
【請求項７】
互いに平行な複数の直線状の液体吐出孔列を構成しているとともに、一方方向に等間隔で、かつ前記一方方向に直交する方向に見て重ならないように配置されている複数の液体吐出孔が開口している液体吐出孔開口面、
複数の駆動部、
および前記複数の液体吐出孔と同数の画素データを保持可能な複数の第１のラッチ回路と、
該複数の第１のラッチ回路にそれぞれ繋がっている複数の第２のラッチ回路と、
長さがＴｃ秒以下の駆動信号のデータを保持しており、該駆動信号を前記複数の駆動部へ送る駆動信号送信回路とを有している制御部を備える記録装置を用いる記録方法であって、
前記複数の第２のラッチ回路を複数の第２のラッチ回路群に分けて、該複数の第２のラッチ回路群に対してＴｃ秒未満の遅延時間をそれぞれ設定しておき、Ｔｃ秒毎にラッチ信号を生成して、画素データを前記複数の第１のラッチ回路にラッチし、前記ラッチ信号が送られてから前記第２のラッチ回路群毎に設定されている遅延時間経過後に、前記第１のラッチ回路に保持されている画素データを前記複数の第２のラッチ回路にラッチし、前記ラッチ信号が送られてから、前記第２のラッチ回路群毎に設定されている前記遅延時間およびＴｃ秒未満の所定時間を合わせた合計の時間の経過後に、１つの前記第２のラッチ回路群の前記第２のラッチ回路に保持されている画素データに基づいた前記駆動信号を、１つの前記液体吐出孔列に対応する複数の前記駆動部に同時に送り、前記液体吐出孔開口面に対して相対的に搬送されている記録媒体に向けて液体を吐出することを特徴とする記録方法。
【請求項８】
前記第２のラッチ回路群毎に設定する前記遅延時間を、前記第２のラッチ回路群に対応する前記液体吐出孔列の前記液体吐出孔から吐出された液体が着弾する前記記録媒体までの飛翔距離が短いほど、長くすることを特徴とする請求項７に記載の記録方法。
【請求項９】
前記駆動信号のデータとして、吐出する液体の量および前記飛翔距離に応じて複数の種類を準備するとともに、前記駆動信号として、吐出する液体の量が多いほど、前記駆動信号における最初の電圧変化が起きるまでの初期待機時間が長くなっているとともに、前記飛翔距離が異なる前記駆動信号を比較すると、前記飛翔距離が長いほど、液体の吐出量が異なる前記駆動信号における前記初期待機時間の差が大きい駆動信号を用いることを特徴とする請求項８に記載の記録装置。
【請求項１０】
前記駆動信号のデータを吐出する液体の量に応じて複数の種類を準備するとともに、前記駆動信号として、吐出する液体の量が多いほど、前記駆動信号における最初の電圧変化が起きるまでの初期待機時間が長い駆動信号を用いることを特徴とする請求項７または８に記載の記録方法。
【請求項１１】
前記駆動信号のデータとして、前記駆動信号における最初の電圧変化が起きるまでの初期待機時間が異なるものを複数準備するとともに、前記液体吐出孔列における隣接した前記液体吐出孔に対応した前記駆動部に送る前記駆動信号を、前記初期待機時間が異なる駆動信号にすることを特徴とする請求項７に記載の記録方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出させる液体吐出ヘッドを駆動するための駆動装置、およびそれを用いた液体吐出ヘッドならびに記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェットプリンタやインクジェットプロッタなどの、インクジェット記録方式を利用した印刷装置が、一般消費者向けのプリンタだけでなく、例えば電子回路の形成や液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造、有機ＥＬディスプレイの製造といった工業用途にも広く利用されている。【０００３】
このようなインクジェット方式の印刷装置には、液体を吐出させるための液体吐出ヘッドが印刷ヘッドとして搭載されている。この種の印刷ヘッドには、インクが充填されたインク流路内に加圧手段としてのヒータを備え、ヒータによりインクを加熱、沸騰させ、インク流路内に発生する気泡によってインクを加圧し、インク吐出孔より、液滴として吐出させるサーマルヘッド方式と、インクが充填されるインク流路の一部の壁を変位素子によって屈曲変位させ、機械的にインク流路内のインクを加圧し、インク吐出孔より液滴として吐出させる圧電方式が一般的に知られている。【０００４】
また、このような液体吐出ヘッドには、記録媒体の搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に液体吐出ヘッドを移動させつつ記録を行なうシリアル式、および記録媒体より主走査方向に長い液体吐出ヘッドを固定した状態で、副走査方向に搬送されてくる記録媒体に記録を行なうライン式がある。ライン式は、シリアル式のように液体吐出ヘッドを移動させる必要がないので、高速記録が可能であるという利点を有する。【０００５】
シリアル式、ライン式のいずれの方式の液体吐出ヘッドであっても、液滴を高い密度で印刷するには、液体吐出ヘッドに形成されている、液滴を吐出する液体吐出孔の密度を高くする必要がある。【０００６】
そこで一方方向の長い液体吐出ヘッドを、マニホールド（共通流路）およびマニホールドから複数の液体加圧室をそれぞれ介して繋がる液体吐出孔を有した流路部材と、前記液体加圧室をそれぞれ覆うように設けられた複数の変位素子を有するアクチュエータユニットとを積層して構成したものが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。この液体吐出ヘッドでは、複数の液体吐出孔にそれぞれ繋がった液体加圧室がマトリックス状に配置され、それを覆うように設けられたアクチュエータユニットの変位素子を変位させ、互いに平行な複数の直線状の液体吐出孔列を構成しているとともに、一方方向に等間隔で、かつ前記一方方向に直交する方向に見て重ならないように配置されている液体吐出孔からインクを吐出させ、主走査方向に６００ｄｐｉ、かつ副走査方向に６００ｄｐｉの解像度で印刷が可能とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−３０５８５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に記載の液体吐出ヘッドを用いて印刷する場合、液体吐出孔と同じ数のラッチ回路にデータを保持し、各液体吐出孔に繋がっている液体加圧室を加圧する加圧部を駆動する駆動信号を送ることが考えられるが、そのような構成では、吐出のタイミングに制限があり、良好な画像が得られないことがあった。【０００９】
具体的な問題点を図１０のタイミングチャートで説明する。図１０では、液体吐出孔と同じ数のラッチ回路とそのラッチ回路に保持されている画像の画素データに基づいて、駆動部に駆動信号を送る駆動信号送信回路とを含む制御部のタイミングチャートである。ラッチ回路は、Ｔｃ秒毎のラッチ信号（LATCH）により、外部から画素データをラッチする。駆動信号送信回路は、ラッチ信号からいくらかのディレイ時間を経過した後、ラッチ回路に保持されているデータに基づいて駆動信号を送る。送られる駆動信号は、例えば、液体を吐出する際には長さがＴ秒の吐出駆動信号であり、液体を吐出しない際には、駆動電圧の変化の無い非吐出駆動信号である。【００１０】
この様な場合、ディレイ時間は０〜（Ｔｃ−Ｔ）秒に制限される。ディレイ時間の最短は０秒（実際にはラッチ動作が終了するまでのシステムのクロックの経過が必要である）である。ディレイ時間の最長は、（Ｔｃ−Ｔ）秒であり、ラッチ信号が送られた時刻ｔ０から（Ｔｃ−Ｔ）秒経過後の時刻ｔ１から送られる駆動信号は、ラッチ回路に保持されている画素データが次のデータに変わる前に送信が終了し、吐出あるいは非吐出が正常に行なわれる。【００１１】
これに対し、時刻ｔ０から（Ｔｃ−Ｔ）秒よりも長い時間が経過した時刻ｔ２から駆動信号を送り始めると、最初のラッチ信号からＴｃ秒経過した時刻ｔ３には、次のラッチ信号によりラッチ回路に保持されている画素データが、次の画素データに変わってしまう。保持されている画素データの値が異なれば、駆動部に送られる駆動信号が変わってしまい、正常な吐出あるいは非吐出とはならない。【００１２】
そして、平面上を搬送されている記録媒体に印刷する場合と、円筒形のドラム上を搬送されている記録媒体などの平面でない記録媒体に印刷する場合では、ディレイを変える必要がある。また、６００×６００ｄｐｉ（以下で、Ａ×Ｂｄｐｉは主走査方向にＡｄｐｉ、副走査方向にＢｄｐｉであることを表す）の解像度での印刷する場合と、６００×４５０ｄｐｉの解像度で印刷しようとする場合では、ディレイを変える必要がある。これらの場合にディレイ時間として設定可能な時間が０〜（Ｔｃ−Ｔ）秒に制限されてしまうと、本来の適切なディレイ時間とは異なるディレイ時間で駆動せざるを得なくなり、結果として記録媒体上の着弾位置がずれてしまい、良好な印刷ができなくなる。【００１３】
したがって、本発明の目的は、さまざまな条件で精度よく印刷ができる液体吐出ヘッドを駆動するための駆動装置、およびそれを用いた液体吐出ヘッドならびに記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の液体吐出ヘッドを駆動するための駆動装置は、Ｔｃ秒毎にラッチ信号を生成するラッチ信号生成回路と、Ｔｃ秒未満の遅延時間のデータを保持する遅延時間保持回路と、１ライン分の画素データを保持可能で、前記ラッチ信号により外部から画素データをラッチする複数の第１のラッチ回路と、複数の第２のラッチ回路群に分けられており、前記ラッチ信号が送られてから、前記第２のラッチ回路群毎に、前記遅延時間保持回路に保持されているデータの前記遅延時間経過後に、前記複数の第１のラッチ回路に保持されている画素データをラッチする複数の第２のラッチ回路と、長さがＴｃ秒以下の駆動信号のデータを保持しており、前記ラッチ信号が送られてから、前記第２のラッチ回路群毎に、前記遅延時間保持回路に保持されているデータの前記遅延時間およびＴｃ秒未満の所定時間を合わせた合計の時間の経過後に、前記第２のラッチ回路群の前記第２のラッチ回路に保持されている画像データに基づいて前記駆動信号を送る駆動信号送信回路とを有することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の記録装置は、互いに平行な複数の直線状の液体吐出孔列を構成しているとともに、一方方向に等間隔で、かつ前記一方方向に直交する方向に見て重ならないように配置されている複数の液体吐出孔が開口している液体吐出孔開口面、前記複数の液体吐出孔からそれぞれ液体を吐出させる複数の駆動部、記録媒体を前記液体吐出孔開口面に対して搬送する搬送部、画像を構成する画素データを保持している記憶部、およびＴｃ秒毎にラッチ信号を生成するラッチ信号生成回路と、Ｔｃ秒未満の遅延時間のデータを保持している遅延時間保持回路と、前記複数の液体吐出孔と同数の画素データを保持可能で、前記ラッチ信号により記憶部から画素データをラッチする複数の第１のラッチ回路と、複数の第２のラッチ回路群に分けられており、前記ラッチ信号が送られてから、前記第２のラッチ回路群毎に前記遅延時間保持回路に保持されているデータの前記遅延時間経過後に、前記複数の第１のラッチ回路に保持されている画素データをラッチする複数の第２のラッチ回路と、長さがＴｃ秒以下の駆動信号のデータを保持しており、前記ラッチ信号が送られてから、前記第２のラッチ回路群毎に前記遅延時間保持回路に保持されているデータの前記遅延時間およびＴｃ秒未満の所定時間を合わせた合計の時間の経過後に、１つの前記第２のラッチ回路群の前記第２のラッチ回路に保持されている画素データに基づいた前記駆動信号を、１つの前記液体吐出孔列に対応する複数の前記駆動部に同時に送る駆動信号送信回路とを有する制御部を備えることを特徴とする。【００１６】
前記第２のラッチ回路群毎に前記遅延時間保持回路に保持されている前記遅延時間のデータは、前記第２のラッチ回路群に対応する前記液体吐出孔列の前記液体吐出孔から吐出された液体が着弾する前記記録媒体までの飛翔距離が短いほど、前記遅延時間が長いデータであることが好ましい。【００１７】
前記駆動信号送信回路は、吐出する液体の量および前記飛翔距離に応じて複数の前記駆動信号のデータを保持しているとともに、前記駆動信号のデータは、吐出する液体の量が多いほど、前記駆動信号における最初の電圧変化が起きるまでの初期待機時間が長いデータであるとともに、前記飛翔距離が異なる前記駆動信号のデータを比較すると、前記飛翔距離が長いほど、液体の吐出量が異なる前記駆動信号における前記初期待機時間の差が大きいデータであることが好ましい。【００１８】
前記駆動信号送信回路は、吐出する液体の量に応じて複数の前記駆動信号のデータを保持しているとともに、前記駆動信号のデータは、吐出する液体の量が多いほど、前記駆動信号における最初の電圧変化が起きるまでの初期待機時間が長いデータであることが好ましい。【００１９】
前記駆動信号送信回路は、前記駆動信号における最初の電圧変化が起きるまでの初期待機時間が異なる前記駆動信号のデータを複数保持しており、前記液体吐出孔列における隣接した前記液体吐出孔に対応した前記駆動部に送る前記駆動信号として、前記初期待機時間が異なる前記起動信号を送ることが好ましい。【００２０】
本発明の記録方法は、互いに平行な複数の直線状の液体吐出孔列を構成しているとともに、一方方向に等間隔で、かつ前記一方方向に直交する方向に見て重ならないように配置されている複数の液体吐出孔が開口している液体吐出孔開口面、複数の駆動部、および前記複数の液体吐出孔と同数の画素データを保持可能な複数の第１のラッチ回路と、該複数の第１のラッチ回路にそれぞれ繋がっている複数の第２のラッチ回路と、長さがＴｃ秒以下の駆動信号のデータを保持しており、該駆動信号を前記複数の駆動部へ送る駆動信号送信回路とを有している制御部を備える記録装置を用いる記録方法であって、前記複数の第２のラッチ回路を複数の第２のラッチ回路群に分けて、該複数の第２のラッチ回路群に対してＴｃ秒未満の遅延時間をそれぞれ設定しておき、Ｔｃ秒毎にラッチ信号を生成して、画素データを前記複数の第１のラッチ回路にラッチし、前記ラッチ信号が送られてから前記第２のラッチ回路群毎に設定されている遅延時間経過後に、前記第１のラッチ回路に保持されている画素データを前記複数の第２のラッチ回路にラッチし、前記ラッチ信号が送られてから、前記第２のラッチ回路群毎に設定されている前記遅延時間およびＴｃ秒未満の所定時間を合わせた合計の時間の経過後に、１つの前記第２のラッチ回路群の前記第２のラッチ回路に保持されている画素データに基づいた前記駆動信号を、１つの前記液体吐出孔列に対応する複数の前記駆動部に同時に送り、前記液体吐出孔開口面に対して相対的に搬送されている記録媒体に向けて液体を吐出することを特徴とする。【００２１】
前記第２のラッチ回路群毎に設定する前記遅延時間を、前記第２のラッチ回路群に対応する前記液体吐出孔列の前記液体吐出孔から吐出された液体が着弾する前記記録媒体までの飛翔距離が短いほど、長くすることが好ましい。【００２２】
前記駆動信号のデータとして、吐出する液体の量および前記飛翔距離に応じて複数の種類を準備するとともに、前記駆動信号として、吐出する液体の量が多いほど、前記駆動信号における最初の電圧変化が起きるまでの初期待機時間が長くなっているとともに、前記飛翔距離が異なる前記駆動信号を比較すると、前記飛翔距離が長いほど、液体の吐出量が異なる前記駆動信号における前記初期待機時間の差が大きい駆動信号を用いることが好ましい。【００２３】
前記駆動信号のデータを吐出する液体の量に応じて複数の種類を準備するとともに、前記駆動信号として、吐出する液体の量が多いほど、前記駆動信号における最初の電圧変化が起きるまでの初期待機時間が長い駆動信号を用いることが好ましい。【００２４】
前記駆動信号のデータとして、前記駆動信号における最初の電圧変化が起きるまでの初期待機時間が異なるものを複数準備するとともに、前記液体吐出孔列における隣接した前記液体吐出孔に対応した前記駆動部に送る前記駆動信号を、前記初期待機時間が異なる駆動信号にすることが好ましい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の液体吐出ヘッドを駆動するための駆動装置によれば、どのようなタイミングで駆動信号を送信しても、送信される駆動信号を送信中に第２のラッチ回路のデータは書き換えられることがないので、正常な駆動信号となる。【００２６】
また、本発明の記録装置は、どのようなタイミングで駆動信号を送信しても、送信される駆動信号を送信中に第２のラッチ回路のデータは書き換えられることがないので、正常な駆動信号となり、良好な記録ができる。【００２７】
また、本発明の記録方法によれば、どのようなタイミングで駆動信号を送信しても、送信される駆動信号を送信中に第２のラッチ回路のデータは書き換えられることがないので、正常な駆動信号となり、良好な記録ができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施形態に係る記録装置であるプリンタの概略構成図である。
【図２】図１の液体吐出ヘッドを構成する流路部材および圧電アクチュエータの平面図である。
【図３】図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。
【図４】図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。
【図５】図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。
【図６】（ａ）は、印刷動作を説明するための液体吐出孔の配置状態を示す模式図であり、（ｂ）は（ａ）に示した液体吐出孔からの吐出を制御する液体吐出ヘッドを駆動するための駆動装置の一部の模式図である。
【図７】（ａ−１）から（ａ−４）は、平面状の記録媒体に印刷する際の縦断面図であり、（ｂ−１）から（ｂ−４）は、凸面状の記録媒体に印刷する際の縦断面図である。
【図８】図６（ｂ）に示した液体吐出ヘッドを駆動するための駆動装置の動作のタイミングチャートである。
【図９】印刷途中の状態の縦断面図である。
【図１０】従来の動作の問題点を示すタイミングチャートである。
【図１１】（ａ）、（ｂ）は本発明の他の実施形態の駆動方法を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
図１は、本発明の一実施形態による液体吐出ヘッドを含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。このカラーインクジェットプリンタ１（以下、プリンタ１とする）は、４つの液体吐出ヘッド２を有している。これらの液体吐出ヘッド２は、紙などの記録媒体Ｐの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ１に固定されている。液体吐出ヘッド２は、図１の手前から奥へ向かう方向に細長い形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。
【００３０】
プリンタ１では、記録媒体Ｐはローラ８１ａ、ｂの間を通った後、円筒形のドラム８０に沿って搬送され、ローラ８２ａ、ｂの間を通り、ドラム８０を搬送されている間に、液体吐出ヘッド２により印刷をされる。なお、ここでは凸面状の搬送面として円筒形であるドラム８０を例示しているが、凸面状の搬送面は液体吐出ヘッド２の方に凸である搬送面であれば他の形状のものでもかまわない。また、プリンタ１には、液体吐出ヘッド２やドラムなどのプリンタ１の各部における動作を制御するための制御部１００が設けられている。
【００３１】
４つの液体吐出ヘッド２は、記録媒体Ｐの搬送方向に沿って互いに近接して配置されている。各液体吐出ヘッド２は、下端にヘッド本体１３を有している。ヘッド本体１３の下面には、液体を吐出する多数の液体吐出孔８が設けられている液体吐出孔開口面４ａとなっている（図５参照）。図示した液体吐出孔開口面４ａは平面であるが、長手方向に湾曲していなければ、短手方向に湾曲していてもよい。例えば標準的に使用するドラム８０の直径に合わせて湾曲した面にすれば、その際のディレイ制御は行なわなくてよくなる。
【００３２】
１つの液体吐出ヘッド２に設けられた液体吐出孔８からは、同じ色の液滴（インク）が吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド２の液体吐出孔８は一方方向（記録媒体Ｐと平行で記録媒体Ｐ搬送方向に直交する方向であり、液体吐出ヘッド２の長手方向）に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド２から吐出される液体の色は、それぞれ、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。各液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体１３の下面の液体吐出孔開口面４ａとドラム８０の搬送面との間にわずかな隙間をおいて配置されている。
【００３３】
ドラム８０によって搬送された記録媒体Ｐは、液体吐出ヘッド２とドラム８０との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド２を構成するヘッド本体１３から記録媒体Ｐの上面に向けて液滴が吐出される。これによって、記録媒体Ｐの上面には、制御部１００によって記憶された画素データに基づくカラー画像が形成される。
【００３４】
次に本発明の液体吐出ヘッド２について説明する。液体吐出ヘッド２は液体吐出ヘッド本体１３と筐体とを含んでいる。筐体は金属製であり、一部に駆動信号が伝達される信号ケーブルが通る孔が開口している。孔は制御部１００と繋がる駆動信号が伝達される信号ケーブルが通っており、樹脂製のふたなどで塞がれる。液体吐出ヘッド本体１３には外部からチューブなどで液体が供給される。
【００３５】
また、制御部１００から送られる駆動信号が後述の圧電アクチュエータユニット２１の変位素子５０を駆動し、流路部材４内部の液体を加圧することにより、液滴が吐出される。制御部１００は、液体吐出ヘッド２の外部にある部分、そこから信号ケーブルを介して繋がっているドライバＩＣを含んでいる。ドライバＩＣは後述の駆動装置である。液体吐出ヘッド２の外部にある制御部１００から送られた画素データは駆動装置であるドライバＩＣで処理され、処理後の駆動信号は信号伝達部を通じて、変位素子５０を駆動するのである。なお、信号伝達部は、例えば、フレキシブルフラットケーブルである。
【００３６】
次に本発明の液体吐出ヘッドを構成する流路部材４について説明する。図２は、液体吐出ヘッド本体１３のうち流路部材４および圧電アクチュエータ２１を示す平面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図であり、液体吐出ヘッド本体１３の一部である。図４は、図３と同じ位置の拡大透視図で、液体吐出孔８の位置が分かりやすいように、一部の流路を省略して描いている。なお、図３および図４において、図面を分かりやすくするために、圧電アクチュエータユニット２１の下方にあって破線で描くべき液体加圧室１０（液体加圧室群９）、しぼり１２および液体吐出孔８を実線で描いている。図５は図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。
【００３７】
ヘッド本体１３は、平板状の流路部材４と、流路部材４上に、加圧部を含む圧電アクチュエータユニット２１を有している。圧電アクチュエータユニット２１は台形形状を有しており、その台形の１対の平行対向辺が流路部材４の長手方向に平行になるように流路部材４の上面に配置されている。また、流路部材４の長手方向に平行な２本の仮想直線のそれぞれに沿って２つずつ、つまり合計４つの圧電アクチュエータユニット２１が、全体として千鳥状に流路部材４上に配列されている。流路部材４上で隣接し合う圧電アクチュエータユニット２１の斜辺同士は、流路部材４の短手方向について部分的にオーバーラップしている。このオーバーラップしている部分の圧電アクチェータユニット２１を駆動することにより印刷される領域では、２つの圧電アクチュエータユニット２１により吐出された液滴が混在して着弾することになる。
【００３８】
流路部材４の内部にはマニホールド５が形成されている。マニホールド５は流路部材４の長手方向に沿って延び細長い形状を有しており、流路部材４の上面にはマニホールド５の開口５ｂが形成されている。開口５ｂは、流路部材４の長手方向に平行な２本の直線（仮想線）のそれぞれに沿って５個ずつ、合計１０個形成されている。開口５ｂは、４つの圧電アクチュエータユニット２１が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド５には開口５ｂを通じて図示されていない液体タンクから液体が供給されるようになっている。
【００３９】
流路部材４内に形成されたマニホールド５は、複数本に分岐している（分岐した部分のマニホールド５を副マニホールド５ａということがあり、開口５ｂから副マニホールド５ａまでのマニホールド５を液体供給路５ｃということがある）。開口５ｂに繋がる液体供給路５ｃは、圧電アクチュエータユニット２１の斜辺に沿うように延在しており、流路部材４の長手方向と交差して配置されている。２つの圧電アクチュエータユニット２１に挟まれた領域では、１つのマニホールド５が、隣接する圧電アクチュエータユニット２１に共有されており、副マニホールド５ａがマニホールド５の両側から分岐している。これらの副マニホールド５ａは、流路部材４の内部の各圧電アクチュエータユニット２１に対向する領域に互いに隣接してヘッド本体１３の長手方向に延在している。すなわち、副マニホールド５ａの両端は、液体供給路５ｃに繋がっている。
【００４０】
流路部材４は、複数の液体加圧室１０がマトリクス状（すなわち、２次元的かつ規則的）に形成されている４つの液体加圧室群９を有している。液体加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。液体加圧室１０は流路部材４の上面に開口するように形成されている。これらの液体加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータユニット２１に対向する領域のほぼ全面にわたって配列されている。したがって、これらの液体加圧室１０によって形成された各液体加圧室群９は圧電アクチュエータユニット２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、各液体加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータユニット２１が接着されることで閉塞されている。
【００４１】
本実施形態では、図３に示されているように、マニホールド５は、流路部材４の短手方向に互いに平行に並んだ４列のＥ１〜Ｅ４の副マニホールド５ａに分岐し、各副マニホールド５ａに繋がった液体加圧室１０は、等間隔に流路部材４の長手方向に並ぶ液体加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に４列配列されている。副マニホールド５ａに繋がった液体加圧室１０の並ぶ列は副マニホールド５ａの両側に２列ずつ配列されている。
【００４２】
全体では、マニホールド５から繋がる液体加圧室１０は、等間隔に流路部材４の長手方向に並ぶ液体加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に１６列配列されている。各液体加圧室列に含まれる液体加圧室１０の数は、加圧部である変位素子５０の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。液体吐出孔８もこれと同様に配置されている。これによって、全体として長手方向に６００ｄｐｉの解像度で画像形成が可能となっている。
【００４３】
つまり、流路部材４の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように液体吐出孔８を投影すると、図３に示した仮想直線のＲの範囲で、４つの副マニホールド５ａにそれぞれ繋がっている４つの液体吐出孔８、つまり全部で１６個の液体吐出孔８が、６００ｄｐｉの等間隔になっている。また、各副マニホールド５ａには平均すれば１５０ｄｐｉに相当する間隔で個別流路３２が接続されている。これは、６００ｄｐｉ分の液体吐出孔８を４つ列の副マニホールド５ａに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド５ａに繋がる個別流路３２が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド５ａの延在方向、すなわち主走査方向に平均１７０μｍ（１５０ｄｐｉならば２５．４ｍｍ／１５０＝１６９μｍ間隔である）以下の間隔で個別流路３２が形成されている。
【００４４】
圧電アクチュエータユニット２１の上面における各液体加圧室１０に対向する位置には後述する個別電極３５がそれぞれ形成されている。個別電極３５は液体加圧室１０より一回り小さく、液体加圧室１０とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータユニット２１の上面における液体加圧室１０と対向する領域内に収まるように配置されている。
【００４５】
流路部材４の下面の液体吐出面には多数の液体吐出孔８が形成されている。これらの液体吐出孔８は、流路部材４の下面側に配置された副マニホールド５ａと対向する領域を避けた位置に配置されている。
【００４６】
また、これらの液体吐出孔８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータユニット２１と対向する領域内に配置されている。これらの液体吐出孔８は、１つの群として圧電アクチュエータユニット２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータユニット２１の変位素子５０を変位させることにより液体吐出孔８から液滴が吐出できる。液体吐出孔８の配置については後で詳述する。そして、それぞれの領域内の液体吐出孔８は、流路部材４の長手方向に平行な複数の直線１５ａ〜ｄに沿って等間隔に配列されている。
【００４７】
液体吐出ヘッド本体１３に含まれる流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャ（しぼり）プレート２４、サプライプレート２５、２６、マニホールドプレート２７、２８、２９、カバープレート３０およびノズルプレート３１である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路３２および副マニホールド５ａを構成するように、位置合わせして積層されている。ヘッド本体１３は、図５に示されているように、液体加圧室１０は流路部材４の上面に、副マニホールド５ａは内部の下面側に、液体吐出孔８は下面にと、個別流路３２を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、液体加圧室１０を介して副マニホールド５ａと液体吐出孔８とが繋がる構成を有している。
【００４８】
各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第１に、キャビティプレート２２に形成された液体加圧室１０である。第２に、液体加圧室１０の一端から副マニホールド５ａへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート２３（詳細には液体加圧室１０の入り口）からサプライプレート２５（詳細には副マニホールド５ａの出口）までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート２４に形成されたしぼり１２と、サプライプレート２５、２６に形成された個別供給流路６とが含まれている。
【００４９】
第３に、液体加圧室１０の他端から液体吐出孔８へと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載においてディセンダ（部分流路）と呼称される。ディセンダは、ベースプレート２３（詳細には液体加圧室１０の出口）からノズルプレート３１（詳細には液体吐出孔８）までの各プレートに形成されている。
【００５０】
第４に、副マニホールド５ａを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート２７〜２９に形成されている。
【００５１】
このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド５ａからの液体の流入口（副マニホールド５ａの出口）から液体吐出孔８に至る個別流路３２を構成している。副マニホールド５ａに供給された液体は、以下の経路で液体吐出孔８から吐出される。まず、副マニホールド５ａから上方向に向かって、個別供給流路６を通り、しぼり１２の一端部に至る。次に、しぼり１２の延在方向に沿って水平に進み、しぼり１２の他端部に至る。そこから上方に向かって、液体加圧室１０の一端部に至る。さらに、液体加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、液体加圧室１０の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した液体吐出孔８へと進む。
【００５２】
圧電アクチュエータユニット２１は、図５に示されるように、２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電アクチュエータユニット２１全体の厚さは４０μｍ程度である。圧電セラミック層２１ａ、２１ｂのいずれの層も複数の液体加圧室１０を跨ぐように延在している（図３参照）。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる。
【００５３】
圧電アクチュエータユニット２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極３４およびとＡｕ系などの金属材料からなる個別電極３５を有している。個別電極３５は上述のように圧電アクチュエータユニット２１の上面における液体加圧室１０と対向する位置に配置されている。個別電極３５の一端は、液体加圧室１０と対向する領域外に引き出されて接続電極３６が形成されている。この接続電極３６は例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。また、接続電極３６は、信号伝達部に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極３５には、制御部１００から信号伝達部を通じて駆動信号が送信される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。
【００５４】
この駆動信号の送信については後述するが、液体吐出ヘッド２全体がＴｃ秒毎（例えば１０〜１００ｋＨｚ程度の周期）に生成されるラッチ信号を起点にして一連の駆動信号が送信されることになる。長手方向に平行な１つの液体吐出孔列からは同時に液滴が吐出されるように、吐出あるいは非吐出の駆動信号が送られる。各液体吐出孔列に送られる吐出あるいは非吐出の駆動信号はＴｃ秒毎になる。
【００５５】
共通電極３４は、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極３４は、圧電アクチュエータユニット２１に対向する領域内の全ての液体加圧室１０を覆うように延在している。共通電極３４の厚さは２μｍ程度である。共通電極３４は図示しない領域において接地され、グランド電位に保持されている。本実施形態では、圧電セラミック層２１ｂ上において、個別電極３５からなる電極群を避ける位置に個別電極３５とは異なる表面電極（不図示）が形成されている。表面電極は、圧電セラミック層２１ｂの内部に形成されたスルーホールを介して共通電極３４と電気的に接続されているとともに、多数の個別電極３５と同様に、信号伝達部上の別の電極と接続されている。
【００５６】
図５に示されるように、共通電極３４と個別電極３５とは、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみを挟むように配置されている。圧電セラミック層２１ｂにおける個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域は活性部と呼称され、その部分の圧電セラミックスには分極が施されている。本実施形態の圧電アクチュエータユニット２１においては、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみが活性部を含んでおり、圧電セラミック２１ａは活性部を含んでおらず、振動板として働く。この圧電アクチュエータユニット２１はいわゆるユニモルフタイプの構成を有している。
【００５７】
なお、後述のように、個別電極３５に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極３５に対応する液体加圧室１０内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路３２を通じて、対応する液体吐出口８から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータユニット２１における各液体加圧室１０に対向する部分は、各液体加圧室１０および液体吐出口８に対応する個別の変位素子５０（アクチュエータ）に相当する。つまり、２枚の圧電セラミック層からなる積層体中には、図５に示されているような構造を単位構造とする圧電アクチュエータである変位素子５０が液体加圧室１０毎に、液体加圧室１０の直上に位置する振動板２１ａ、共通電極３４、圧電セラミック層２１ｂ、個別電極３５により作り込まれており、圧電アクチュエータユニット２１には加圧部である変位素子５０が複数含まれている。なお、本実施形態において１回の吐出動作によって液体吐出口８から吐出される液体の量は５〜７ｐｌ（ピコリットル）程度である。
【００５８】
多数の個別電極３５は、個別に電位を制御することができるように、それぞれが信号伝達部および配線を介して、個別に制御部１００に電気的に接続されている。
【００５９】
本実施形態における圧電アクチュエータユニット２１においては、個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ｂに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この時圧電セラミック層２１ｂは、その厚み方向すなわち積層方向に伸長または収縮し、圧電横効果により積層方向と垂直な方向すなわち面方向には収縮または伸長しようとする。一方、残りの圧電セラミック層２１ａは、個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域を持たない非活性層であるので、自発的に変形しない。つまり、圧電アクチュエータユニット２１は、上側（つまり、液体加圧室１０とは離れた側）の圧電セラミック層２１ｂを、活性部を含む層とし、かつ下側（つまり、液体加圧室１０に近い側）の圧電セラミック層２１ａを非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。
【００６０】
この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部１００により個別電極３５を共通電極３４に対して正または負の所定電位とすると、圧電セラミック層２１ｂの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ａは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ｂは液体加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。
【００６１】
本実施の形態における実際の駆動手順は、予め個別電極３５を共通電極３４より高い電位とする第１の電圧Ｖ１Ｖ（ボルト、以下で省略することがある）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極３５を共通電極３４とを一旦、第１の電圧Ｖ１よりも低い第２の電圧を加えて低電位、例えば同じ電位にし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極３５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、ｂが元の形状に戻り、液体加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。このとき、液体加圧室１０内に負圧が与えられ、液体がマニホールド５側から液体加圧室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、ｂが液体加圧室１０側へ凸となるように変形し、液体加圧室１０の容積減少により液体加圧室１０内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極３５に供給することになる。このパルス幅は、液体加圧室１０内において圧力波がマニホールド５から液体吐出孔８まで伝播する時間長さであるＡＬ（Acoustic Length）が理想的である。これによると、液体加圧室１０内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。
【００６２】
また、階調印刷においては、液体吐出孔８から連続して吐出される液滴の数、つまり液滴吐出回数で調整される液滴量（体積）で階調表現が行われる。このため、指定された階調表現に対応する回数の液滴吐出を、指定されたドット領域に対応する液体吐出孔８から連続して行なう。一般に、液体吐出を連続して行なう場合は、液滴を吐出させるために供給するパルスとパルスとの間隔をＡＬとすることが好ましい。これにより、先に吐出された液滴を吐出させるときに発生した圧力の残余圧力波と、後に吐出させる液滴を吐出させるときに発生する圧力の圧力波との周期が一致し、これらが重畳して液滴を吐出するための圧力を増幅させることができる。なお、この場合後から吐出される液滴の速度が速くなると考えられるが、その方が複数の液滴の着弾点が近くなり好ましい。
【００６３】
また、上述のような駆動信号を与えた後、個別流路３２内の液体に残っている残留振動を少なくするようにキャンセル信号を加えてもよい。
【００６４】
以上のような液体吐出ヘッド２を用いて印刷する場合、液体吐出孔８が液体吐出孔開口面４ａに２次元的に分布しているため、記録媒体の形状や、副走査方向の解像度などが変わった際に、吐出タイミングを変えないと良好な記録が得られない。
【００６５】
説明を簡単にするため、図６（ａ）に示す液体吐出孔１０８の配置の液体吐出ヘッドで、吐出タイミングの変更が必要であることを説明する。液体吐出孔１０８は、液体吐出孔開口面１０４ａに開口しており、２次元的な広がりを持つとともに一方方向に長い配置をしている。液体吐出孔１０８は４つの液体吐出孔列である直線Ｌ１〜Ｌ４上に並んでいる。直線Ｌ１〜Ｌ４上の間隔は等しくなっており、直線Ｌ１〜Ｌ４の間隔はｐ（ｍｍ、以下で単位を省略することがある）で、等しくなっているが、これらは必ずしも必要ではない。液体吐出孔１０８は長手方向に等間隔ｄ（ｍｍ、以下で単位を省略することがある）で並んでおり、これにより液体吐出孔１０８全体で、等間隔ｄで印刷することが可能になる。この際、各直線上の液体吐出孔１０８から吐出される液滴の吐出速度は製造上のバラツキの範囲内で同じ吐出速度にされる。
【００６６】
このような液体吐出ヘッドを使用して、平面状の記録媒体Ｐ１に印刷する過程を、図７（ａ−１）から（ａ−４）で説明する。この液体吐出ヘッドでは、平面状に記録媒体Ｐ１への印刷が良好になるように吐出のタイミングが調整されているとする。また、ここでは、長手方向に平行な幅１画素の線を印刷する。図中の矢印は記録媒体Ｐ１の搬送方向である。またＨａ（ｍｍ、以下で単位を省略することがある）は、液体吐出孔開口面１０４ａと記録媒体Ｐ１の距離であり、Ｌ１〜Ｌ４で全て同じである。ここでの距離は、液滴の飛翔距離であり、ここでは液滴が液体吐出孔開口面１０４ａに直交する方向に吐出されるため、液滴が液体吐出孔開口面１０４ａから直行する方向に記録媒体体Ｐ１に到達するまでの距離である。飛翔方向が直交する方向でない場合、その方向に向かって記録媒体体Ｐ１に到達するまでの距離である。飛翔方向は液体吐出孔１０８に繋がっているノズルの方向になる。
【００６７】
図７（ａ−１）では、記録媒体Ｐ１が所定の位置に搬送されてきたため、直線Ｌ１上の液体吐出孔１０８から液滴Ｄａ１が吐出されている。液滴Ａは、液体吐出孔開口面１０４ａに直交する方向に飛翔する。液体吐出孔１０８に繋がるノズルの方向である。
【００６８】
図７（ａ−２）では、直線Ｌ２上の液体吐出孔１０８から液滴Ｄａ２が、直線Ｌ３上の液体吐出孔１０８から液滴Ｄａ３が、直線Ｌ４上の液体吐出孔１０８から液滴Ｄａ４が順次吐出されて、飛翔している。そして、液滴Ａは記録媒体Ｐ１に着弾している。
【００６９】
図７（ａ−３）では、液滴Ｄａ２が記録媒体Ｐ１の液滴Ｄａ１が着弾した直線上に着弾している。図では液滴Ｄａ１と液滴Ｄａ２とは重なっているが、実際は図の手前と奥とにずれた位置に着弾している。
【００７０】
図７（ａ−４）では、同様に液滴Ｄａ３およびＤａ４が、記録媒体Ｐ１の液滴Ｄａ１およびＤａ２が着弾した直線上に着弾している。これにより１つの直線が印刷される。逆に言えば、１つの直線に印刷されるように直線Ｌ１〜Ｌ４上の液体吐出孔１０８はそれぞれ異なったタイミングで吐出される。
【００７１】
同様の印刷を凸面状の記録媒体Ｐ２に行なっているのが図７（ｂ−１）から（ｂ−４）である。ここでは、Ｌ１からの液滴の飛翔方向は、記録媒体Ｐ２が搬送されているドラムの中心に向かう方向であり、液体吐出孔開口面１０４ａから記録媒体Ｐ２への距離が一番短くなっており、その距離はＨｂ１（ｍｍ、以下で単位を省略することがある）である。そして、Ｌ４からの飛翔距離が最も長くなっており、Ｈｂ４（ｍｍ、以下で単位を省略することがある）である。
【００７２】
ここでは、直線Ｌ１上の液体吐出孔１０８から液滴Ｄｂ１が、直線Ｌ２上の液体吐出孔１０８から液滴Ｄｂ２が、直線Ｌ３上の液体吐出孔１０８から液滴Ｄｂ３が、直線Ｌ４上の液体吐出孔１０８から液滴Ｄｂ４が順次吐出されている。吐出のタイミングは図７（ａ−１）から（ａ−４）の場合と同様である。
【００７３】
図７（ｂ−３）では、液滴Ｄｂ２は、記録媒体Ｐ２が平面状であれば着弾する位置まで飛翔しているが、記録媒体Ｐ２が凸面状であるため、飛翔距離が長くなっているので、まだ着弾していない。この後、液滴Ｄｂ２が着弾するまで、記録媒体Ｐ２が搬送されるので、その分着弾位置がずれる。以降、液滴Ｄｂ３およびＤｂ４についても同様であり、  図７（ｂ−４）に示したように着弾位置がずれてしまう。
【００７４】
このように、記録媒体の形状が異なる際に、同じ吐出タイミングで吐出を行なうと、着弾位置精度が悪くなることがある。
【００７５】
そこで、本発明では、制御部１００の中に図６（ｂ）に示すような駆動装置を持つことにより、各液体吐出孔列Ｌ１〜Ｌ４から任意の吐出タイミングで液体を吐出できるようにする。図６（ｂ）では、第１のラッチ回路６０、第２のラッチ回路７０および変位素子１５０の接続の関係を模式的に示している。変位素子１５０の配置は図６（ａ）の液体吐出孔１０８の配置に対応している。なお、実際には、図示しない駆動信号送信回路が、第２のラッチ回路７０に保持されている値に基づいて、変位素子１５０を駆動するのであるが、その部分は省略して模式的に示している。
【００７６】
また、図８はこの駆動装置のタイミングチャートである。タイミングチャートで示したラッチ信号（LATCH）、ストローブ信号（STROBE、STROBE L1〜4）、ファイア信号（FIRE）は制御部１００内部の信号であり、これらを生成するのは駆動装置内部の回路であってもよいし、制御部１００内で駆動装置外の回路であってもよい。駆動信号（FIRE L1〜4）は駆動装置から変位素子１５０へ送られる信号である。そして、仮想直線Ｌ１〜Ｌ４に対応した変位素子１５０、第２のラッチ回路７１はそれぞれ同じタイミングで動作する。すなわち、仮想直線Ｌ１に対応する変位素子１５０はFIRE L1で駆動され、第２のラッチ回路７１−１はSTROBE L1によりラッチが行なわれる。なお、FIRE L1は第２のラッチ回路７１−１に保持されたデータに対応した駆動信号になるため、駆動信号は同じタイミングで送られるが、駆動信号そのものは異なったものになる。なお駆動信号の長さは、５ｍ秒〜５０ｍ秒程度であり、これに対してラッチ信号、ストローブ信号およびファイア信号は、通常μ秒オーダー程度のパルス幅であるが、図ではパルス幅を強調して示している。
【００７７】
なお、図６（ｂ）では、説明を簡単にするため図６（ａ）に示した液体吐出孔１０８からの吐出ができるように、第２のラッチ回路群７１が４個である例を示している。しかし、図２〜５に示した液体吐出ヘッド２の１つの圧電アクチュエータユニット２１を駆動する為には、１つの圧電アクチュエータユニット２１に対応して存在する１６列の液体吐出孔列１５ａ、ｂ、ｃ、ｄを同じように駆動するためには１６個の第２のラッチ回路群が必要である。さらに、図２〜５に示した液体吐出ヘッド２を駆動するためには、千鳥に配置した圧電アクチュエータユニット２１それぞれに１６個の第２のラッチ回路群が必要なので、全体で３２個の第２のラッチ回路群が必要になる。
【００７８】
駆動装置は半導体上にＩＣとして作成することで小型化できる。図２〜５に示した液体吐出ヘッド２を駆動するために、４つ圧電アクチュエータユニット２１に対応した４つのＩＣを使用するとコストが削減できるので好ましい。この場合各ＩＣは、１６個の第２のラッチ回路群を有することになる。また、この場合、１つの圧電アクチュエータユニット２１が印刷するラインは、その端が、隣の圧電アクチュエータユニット２１の印刷するラインがと重なるようになっている。そのため、１つの圧電アクチュエータユニット２１が印刷するラインは、その端が不連続になるが、このような場合のラインも本発明の１ライン分に含まれる。
【００７９】
図６（ｂ）に示した駆動装置は、１６個の第１のラッチ回路６０を有している。これは図６（ａ）に示した液体吐出ヘッドの液体吐出孔１０８と同数であり、この液体吐出ヘッドの長手方向に印刷可能な１ラインの画素数でもある。第１のラッチ回路６０か制御部１００が発生させるラッチ信号（LATCH）を受けて、図示しない外部回路から画素データをラッチする。保持される画素データは、画素を印刷するかどうかを表す二値のデータでもよいし、画素の濃度を表す多値のデータでもよい。
【００８０】
なお、第１のラッチ回路６０は、全体で１ラインの画素データを保持可能であるが、実際の使用状態に置いては、印刷される画像の１ラインのデータが保持されるとは限らない。実際に保持されるのは、次の吐出タイミングで吐出されるべき画素データであり、例えば、仮想直線Ｌ１に対応した第１のラッチ回路６０には画像の一端から２０番目のラインの画素データ、仮想直線Ｌ２に対応した第１のラッチ回路６０には画像の一端から１６番目のラインの画素データ、仮想直線Ｌ３に対応した第１のラッチ回路６０には画像の一端から１２番目のラインの画素データ、仮想直線Ｌ４に対応した第１のラッチ回路６０には画像の一端から８番目のラインの画素データが保持される。このように適切なラインの画素データを保持させるように、制御部１００は、第１のラッチ回路６０がラッチする画素データを準備する。
【００８１】
駆動信号送信回路はこの画素データに対応したものが記録されている。例えば、画素データが画素を印刷するかどうかを表す二値のデータであれば、画素を印刷する吐出駆動信号、あるいは画素を印刷しない出駆動信号が送られる。吐出駆動信号は、例えば前述の引き打ちの駆動信号である。非吐出駆動信号は、単に電圧を変化させないものであっても良いし、液体が吐出しない信号であって、クロストークの抑制や流路内の残留振動を低減させるような信号であってもよい。画素データが画素の濃度を表す多値のデータであれば、その値に応じて、吐出量が異なったり、吐出される液滴の数が異なったりする駆動信号が送られる。このような駆動信号のうち時間がもっとも長いものをＴ（秒、以下で単位を省略することがある）以下とする。
【００８２】
なお、図８のFIRE L1〜4に示しているのは全て吐出駆動信号であり、幅がＡＬの主パルスの後にキャンセルパルスが送られる、全体でＴ秒の吐出駆動信号である。階調表現をする場合には、最長の吐出駆動信号が主パルス３つの後にキャンセルパルスが続く駆動信号など、複数の主パルルを含む駆動信号を用いることもあり、そのように駆動信号が長くなると、ディレイを変えた際に次のラッチ信号の前に駆動信号の送信が終わらないことが起こりやすくなるので、そのような場合に本発明の駆動装置は特に有用である。
【００８３】
ラッチ信号はＴ秒以上のサイクルで生成される。ここではサイクルをＴｃ秒とする。ラッチ信号からＴｓ秒後にストローブ信号が生成される。ここでＴｓはＴｃ未満である。また、駆動装置には、第２のラッチ回路７０それぞれに対してディレイ時間Ｄ１〜Ｄ４秒が保存されている。この値は、印刷条件を変える際には、変更することができる。
【００８４】
ラッチ信号からＴｓ＋Ｄ１秒後、ストローブＬ１信号が生成される。Ｔｓはあらかじめ定められた値である。この信号により、仮想直線Ｌ１に対応した第２のラッチ回路群７１−１に含まれる第２のラッチ回路７０は、第２のラッチ回路７０にそれぞれ繋がった第１のラッチ回路６０の画素データをラッチする。この後同様に、Ｔｓ＋Ｄ２秒後、Ｔｓ＋Ｄ３秒後、Ｔｓ＋Ｄ４秒後に、ストローブＬ２〜Ｌ４信号により、仮想直線Ｌ２〜Ｌ４に対応した第２のラッチ回路群７１−２〜４は、第２のラッチ回路７０にそれぞれ繋がった第１のラッチ回路６０の画素データをラッチする。このとき、ラッチ信号からの経過時間は長くてもＴｃ秒以下である。すなち、Ｄ４が最も大きければ、Ｔｓ＋Ｄ４＜Ｔｃである。ＴｓはＤ４を長く設定できるように短い方が良い。
【００８５】
続いて、ストローブ信号からＴｆ秒後にファイア信号が生成される。Ｔｆはあらかじめ定められた値である。ここで、Ｔｓ＋Ｔｆ＜Ｔｃである。また、Ｔｆ＋Ｔ＜Ｔｃである。
【００８６】
ファイア信号からディレイ時間Ｄ１秒後、すなわちラッチ信号からＴｓ＋Ｔｆ＋Ｄ１秒後、仮想直線Ｌ１に対応した変位素子１５０に、第２のラッチ回路群７１−１に属する第２のラッチ回路７０に保持された画素データに基づいて駆動信号Ｌ１（FIRE L1）が送られる。駆動信号Ｌ１は最長Ｔ秒間にわたって送られる。この間第２のラッチ回路群７１−１に属する第２のラッチ回路７０に保持されている画素データは変わることがない、すなわち、第２のラッチ回路群７１−１に属する第２のラッチ回路７０が、ストローブＬ１信号により第１のラッチ回路６０の画素データをラッチすることがないので、駆動信号Ｌ１は正常な状態で送られる。
【００８７】
続いて、ファイア信号からディレイ時間Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４秒後、すなわちラッチ信号からＴｓ＋Ｔｆ＋Ｄ２秒後、Ｔｓ＋Ｔｆ＋Ｄ３秒後、Ｔｓ＋Ｔｆ＋Ｄ４秒後、にそれぞれ仮想直線Ｌ２〜４に対応した変位素子１５０に、第２のラッチ回路群７１−２〜４に属する第２のラッチ回路７０に保持された画素データに基づいて駆動信号Ｌ２〜４（FIRE L2〜4）が送られる。
【００８８】
このようにすることにより、最もディレイ時間が長い駆動信号Ｌ４（FIRE 4）が送られている時間、すなわち時刻ｔＬ４ＦｓからｔＬ４Ｆｅまでの間のその間にストローブＬ４信号が送られることはない。つまり、第２のラッチ回路群７１−４に属する第２のラッチ回路７０が、ストローブＬ４信号により第１のラッチ回路６０の画素データをラッチすることがないので、駆動信号Ｌ４は正常な状態で送られる。もし、直接第１のラッチ回路６０の画素データに基づいて駆動信号Ｌ４を送ろうとすると、既に先ほど第１のラッチ回路６０に画素データをラッチしたラッチ信号の次のラッチ信号が生成されているため、第１のラッチ回路６０に保持されているデータは変わってしまうことになるので、適切な画素データに基づく駆動信号とはならない。
【００８９】
以上の駆動方法を別の表現で表すと、Ｔｃ秒毎に生成されるラッチ信号により、画素データを第１のラッチ回路６０にラッチし、ラッチ信号から、それぞれ遅延時間Ｔｓ＋Ｄ１、Ｔｓ＋Ｄ２、Ｔｓ＋Ｄ３、Ｔｓ＋Ｄ４経過後に、第２のラッチ回路群７２−１〜４に属する第２のラッチ回路７０は、第１のラッチ回路に保持されている画素データをラッチし、前記ラッチ信号からＴ秒未満の所定時間Ｔｆおよび前記遅延時間Ｔｓ＋Ｄ１、Ｔｓ＋Ｄ２、Ｔｓ＋Ｄ３、Ｔｓ＋Ｄ４経過後に、それぞれ第２のラッチ回路群７２−１〜４に属する第２のラッチ回路７０に保持されている画素データに基づいて前記駆動信号を送信するということである。具体的に説明したSTROBE L1〜4などは、この動作をさせるための一つの方法であり、この動作を実行できれば、内部的な動作は他の方法であってもかまわない。
【００９０】
以上の説明ではＤ１＜Ｄ２＜Ｄ３＜Ｄ４の場合を示したが、これに限らずＤ１〜Ｄ４はＴｃ−Ｔｓ以下の任意の値にすることができる。また、ディレイをＴｃ−Ｔｓを越える値にする必要があれば制御回路１００が準備する画素データを調整いして、第１のラッチ回路６０がラッチする画素データをずらせばよい。そのような調整をすれば、駆動装置内でラッチの動作が行なわれる僅かな時間を除けば各仮想直線Ｌ１〜Ｌ４に属する液体吐出孔１０８から列毎に任意のタイミングで吐出を行なうことができる。
【００９１】
このような駆動装置を用いてディレイ時間を調整すれば、次のような印刷が可能となる。任意の直径の円筒形、あるいは他の凹凸形状の記録媒体への印刷が可能となる。副走査方向への任意の解像度での印刷、例えば、６００×６００ｄｐｉ用に設計されて液体吐出孔の配置の液体吐出ヘッドを用いて、６００×３６０ｄｐｉの印刷が可能となる。
【００９２】
また、液体吐出孔の配置の調整とともに行なえば、次のような印刷が可能となる。液体吐出孔の位置を副走査方向にずらし、その分ディレイを変えることにより、駆動のタイミングを変えて、隣接する液体加圧室が加圧される時間をずらしてクロストークを抑える。また、そのような液体吐出ヘッドを用いて、往復動作させる印刷を行なうと行きと帰りで着弾位置がずれるが、行きと帰りでディレイを変えれば、そのズレをなくすことができる。
【００９３】
さらに、製造上のばらつきで、圧電アクチュエータの中で対応する液体吐出孔列によって液滴の吐出速度が異なる場合にその速度分ディレイを調整することで着弾精度を上げることができる。
【００９４】
図９では、着弾位置の精度が悪くなるもう一つの原因について説明する。図８では飛翔距離が長くなった分、ディレイを調整が必要であることを示している。ディレイを調整すると、液滴は直線Ｌ１から液体吐出孔開口面１０４ａ上で距離３ｐ離れた直線Ｌ４の位置から液体吐出孔開口面１０４ａに直交する方向の位置Ｔに着弾する。しかし、記録媒体Ｐ３上の直線Ｌ１から液体吐出孔開口面１０４ａに直交する方向に上の点Ｏから記録媒体Ｐ３に沿って距離３ｐの点は点Ｓであるため、着弾位置は距離ＳＴだけずれる。より着弾精度を上げるためには、記録媒体Ｐ３が距離ＳＴ進む時間の分だけ、直線Ｌ４上の液体吐出孔１０８から吐出されるタイミングを遅くすればよい。
【００９５】
つまり、第２のラッチ回路群７１−１〜４毎に設定する遅延時間を、第２のラッチ回路群７１−１〜４に対応する液体吐出孔列Ｌ１〜４の液体吐出孔１０８から吐出された液体が着弾する記録媒体までの飛翔距離が短いほど、長くすることで着弾位置を近づける。
【００９６】
さらに考慮した方が好ましいこととして、飛翔中の液滴の減速がある。吐出された液滴は、飛翔しながら空気抵抗により減速する。減速のする割合は、液滴の量が小さいほど激しい。つまり、諧調表現などをするために、異なる量の液滴を吐出すると、吐出時点の飛翔速度がほぼ同じであっても、小さい液滴の方が飛翔中の減速が大きいため、着弾位置がずれてしまうのである。
【００９７】
このずれを少なくするためには、駆動信号を早く送ればいいのであるが、そのようにするためには液体吐出孔１０８のそれぞれにディレイを与えるような回路を設計する必要がある。そのような回路を含むドライバＩＣは回路規模が大きくなり、コストが高くなるとともに、発熱量も多くなって、液体吐出ヘッドの特性を劣化させることにもなるので、好ましくない。
【００９８】
そこで、駆動信号として、最初に待機電圧からの電圧変化がない時間（以下で初期待機時間と呼ぶ）のある（時間ゼロの場合を含む）駆動信号を準備しておき、液体吐出孔１０８毎にディレイをいれるのではなく、初期待機時間を変えることで吐出タイミングをずらす。すなわち、駆動部に送られる駆動信号としは、同じタイミングで駆動信号が送られるのであるが、一部の駆動信号については、初期待機時間が設けられているため、実際の駆動が行われる時間をずらすことができるのである。
【００９９】
つまり、前記駆動信号のデータを吐出する液滴の量に応じて複数の種類を準備しており、駆動信号として、吐出する液滴の量が多いほど、前記駆動信号における最初の電圧変化が起きるまでの初期待機時間が長い駆動信号を用いれば、液滴の減速割合の差の影響を少なくできる。
【０１００】
なお、ここで言う液滴の量は、１つの画素を形成する液滴のことであり、諧調表現を行う際に複数の液滴を吐出することにより行なう液体吐出ヘッドにおいては、吐出後に飛翔中に一体化した後の液滴の量のことである。
【０１０１】
また、上述の初期待機時間のある駆動波形を用いることで、クロストークを低減させることもできる。これを図１１を用いて説明する。液体吐出孔列Ｌ１〜４に繋がっている液体加圧室１０は、菱形の角部分で隣り合う構造になっており、液体加圧室１０の菱形の辺部分で隣り合う液体加圧室１０と比較すれば少ないが、クロストークの影響を受ける。これらについて、個別にディレイを入れればクロストークは低減できるが、そのようにすると回路規模が大きくなってしまうのは、上述の場合と同様である。  図１１（ａ）は初期待機時間の異なる駆動信号１、駆動信号２を示している。駆動信号１は、信号の初めから電圧変化があるのに対して、駆動信号２は最初に初期待機時間が設けられている。図１１（ｂ）では液体吐出孔列Ｌ４に含まれる液体吐出孔１０８において、隣接した液体吐出孔１０８には、初期待機時間が異なる駆動信号が送られることを示している。これにより駆動芯信号を同時に送るシンプルな回路構成で、実際の駆動開始時間をずらすことができ、クロストークを低減できる。
【０１０２】
以上について、別の表現をすれば、駆動装置としては、１ライン分の画素データを保持可能な複数の第１のラッチ回路と、該複数の第１のラッチ回路にそれぞれ繋がっている複数の第２のラッチ回路と、長さがＴｃ秒以下の駆動波形を保持しており、該駆動波形を送信する駆動波形送信回路とを有する駆動装置であって、前記複数の第２のラッチ回路全体は複数の第２のラッチ回路群に分けられており、該複数の第２のラッチ回路群は、それぞれ前記第２のラッチ回路を複数含んでいるとともに、前記複数の第２のラッチ回路群に対してＴｃ秒未満の遅延時間がそれぞれ設定されており、Ｔｃ秒毎に生成されるラッチ信号により、画素データを前記複数の第１のラッチ回路にラッチし、前記ラッチ信号から前記遅延時間経過後に、前記第１のラッチ回路に保持されている画素データを前記複数の第２のラッチ回路にラッチし、前記ラッチ信号から前記遅延時間およびＴｃ秒未満の所定時間を合わせた合計の時間の経過後に、前記複数の第２のラッチ回路に保持されている画素データに基づいて前記駆動波形を送信することを特徴としている。
【０１０３】
また、液体吐出ヘッドとしては、液滴を吐出する複数の液体吐出孔が開口している液体吐出孔開口面と、前記複数の液体吐出孔からそれぞれ液体を吐出させる複数の駆動部と、前記第２のラッチ回路に保持されている画素データに基づいて前記複数の駆動部をそれぞれ駆動する請求項１に記載の液体吐出ヘッドを駆動するための駆動装置とを有する液体吐出ヘッドであって、前記複数の液体吐出孔は、互いに平行な複数の直線状の液体吐出孔列を構成しているとともに、一方方向に等間隔で、かつ前記一方方向に直交する方向に見て重ならないように配置されており、一つの前記液体吐出孔列に含まれる前記液体吐出孔から液体を吐出させる前記駆動部は、１つの前記第２のラッチ回路群に含まれる前記第２のラッチ回路に保持されている画素データに基づいてそれぞれ駆動されることを特徴としている。
【０１０４】
さらに、記録装置としては前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して相対的に搬送する搬送部とを備えていることを特徴とする。
【０１０５】
またさらに、本発明の駆動装置は、第１のラッチ回路、第２のラッチ回路および駆動信号送信回路を備えた装置であり、制御信号生成回路から、第１のラッチ回路へラッチ信号を送り、第２のラッチ回路へストローブ信号を送り、駆動信号送信回路へファイア信号を送ることにより動作する装置であり、ラッチ信号、ストローブ信号、ファイア信号を設定した間隔にしたがって送ったり、ディレイを加えて送る構成を有している。
【０１０６】
以上のような液体吐出ヘッド２は、例えば、以下のようにして作製する。
【０１０７】
ロールコータ法、スリットコーター法などの一般的なテープ成形法により、圧電性セラミック粉末と有機組成物からなるテープの成形を行ない、焼成後に圧電セラミック層２１ａ、２１ｂとなる複数のグリーンシートを作製する。グリーンシートの一部には、その表面に共通電極３４となる電極ペーストを印刷法等により形成する。また、必要に応じてグリーンシートの一部にビアホールを形成し、その内部にビア導体を充填する。
【０１０８】
ついで、各グリーンシートを積層して積層体を作製し、加圧密着を行なう。加圧密着後の積層体を高濃度酸素雰囲気下で焼成し、その後有機金ペーストを用いて焼成体表面に個別電極３５を印刷して、焼成した後、Ａｇペーストを用いて接続電極３６を印刷し、焼成することにより、圧電アクチュエータユニット２１を作製する。
【０１０９】
次に、流路部材４を、圧延法等により得られプレート２２〜３１を接着層を介して積層して作製する。プレート２２〜３１に、マニホールド５、個別供給流路６、液体加圧室１０およびディセンダなどとなる孔を、エッチングにより所定の形状に加工する。
【０１１０】
これらプレート２２〜３１は、Ｆｅ―Ｃｒ系、Ｆｅ−Ｎｉ系、ＷＣ−ＴｉＣ系の群から選ばれる少なくとも１種の金属によって形成されていることが望ましく、特に液体としてインクを使用する場合にはインクに対する耐食性の優れた材質からなることが望ましため、Ｆｅ−Ｃｒ系がより好ましい。
【０１１１】
圧電アクチュエータユニット２１と流路部材４とは、例えば接着層を介して積層接着することができる。接着層としては、周知のものを使用することができるが、圧電アクチュエータユニット２１や流路部材４への影響を及ぼさないために、熱硬化温度が１００〜１５０℃のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも１種の熱硬化性樹脂系の接着剤を用いるのがよい。このような接着層を用いて熱硬化温度にまで加熱することによって、圧電アクチュエータユニット２１と流路部材４とを加熱接合することができる。
【０１１２】
次に圧電アクチュエータユニット２１と制御回路１００とを電気的に接続するために、接続電極３６に銀ペーストを供給し、あらかじめドライバＩＣを実装した信号伝達部であるＦＰＣを載置し、熱を加えて銀ペーストを硬化させて電気的に接続させる。なお、ドライバＩＣの実装は、信号伝達部に半田で電気的にフリップチップ接続した後、半田周囲に保護樹脂を供給して硬化させた。
【符号の説明】
【０１１３】
１・・・プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
４・・・流路部材
４ａ・・・液体吐出孔開口面
４ｂ・・・液体加圧室面
５・・・マニホールド
５ａ・・・副マニホールド
５ｂ・・・マニホールドの開口（液体導入孔）
５ｃ・・・液体供給路
６・・・個別供給流路
８・・・液体吐出孔
９・・・液体加圧室群
１０・・・液体加圧室
１１ａ、ｂ、ｃ、ｄ・・・液体加圧室列
１２・・・しぼり
１３・・・液体吐出ヘッド本体
１５ａ、ｂ、ｃ、ｄ・・・液体吐出孔列
２１・・・圧電アクチュエータユニット
２１ａ・・・圧電セラミック層（振動板）
２１ｂ・・・圧電セラミック層
２２〜３１・・・プレート
３２・・・個別流路
３４・・・共通電極
３５・・・個別電極
３６・・・接続電極
５０・・・変位素子（駆動部）
６０・・・第１のラッチ回路
７０・・・第２のラッチ回路
７１・・・第２のラッチ回路群
７１−１・・・仮想直線Ｌ１上の変位素子に対応する第２のラッチ回路群
７１−２・・・仮想直線Ｌ２上の変位素子に対応する第２のラッチ回路群
７１−３・・・仮想直線Ｌ３上の変位素子に対応する第２のラッチ回路群
７１−４・・・仮想直線Ｌ４上の変位素子に対応する第２のラッチ回路群
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0005509316.tif 000008
【図８】
0005509316.tif 000009
【図９】
0005509316.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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