(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送対象物が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、前記第１ハンドおよび前記第２ハンドが回転可能に取り付けられるアームと、前記アームの基端部が回転可能に取り付けられる本体部とを備える産業用ロボットであって、
前記第１ハンドの基端部と前記第２ハンドの基端部とは、上下方向で重なるように前記アームの先端部に取り付けられ、
前記第１ハンドと前記第２ハンドとは、前記アームに対して個別に回転可能であるとともに、上下方向から見たときに前記アームに対して共通の回転中心を中心にして回転可能であり、かつ、上下方向から見たときに屈曲するように形成されるととともに、上下方向から見たときに前記回転中心を通過する所定の仮想線に対して略線対称に形成され、
前記産業用ロボットは、前記第１ハンドの先端側と前記第２ハンドの先端側とが上下方向で重なっている状態で、前記搬送対象物が上下方向で重なるように配置される第１配置位置からの前記搬送対象物の搬出および／または前記第１配置位置への前記搬送対象物の搬入を行うとともに、前記第１ハンドの先端側と前記第２ハンドの先端側とが上下方向で重なっていない状態で、前記搬送対象物が上下方向で重ならないように配置される第２配置位置からの前記搬送対象物の搬出および／または前記第２配置位置への前記搬送対象物の搬入を行い、
前記第１ハンドおよび前記第２ハンドは、さらに、前記第１配置位置に対する前記搬送対象物の搬送時の前記第１ハンドの先端側と前記第２ハンドの先端側とが互いに交差して重なるように形成されていることを特徴とする産業用ロボット。
【請求項２】
前記第１ハンドおよび前記第２ハンドは、前記第２配置位置に対する前記搬送対象物の搬送時の前記第１ハンドの基端側および前記第２ハンドの基端側が前記回転中心から互いに離れる方向に向かって伸びるように形成されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
【請求項３】
前記第１ハンドおよび前記第２ハンドは、前記第２配置位置に対する前記搬送対象物の搬送時の、前記第１ハンドに搭載される前記搬送対象物の中心と前記回転中心とを結ぶ線分と、前記第２ハンドに搭載される前記搬送対象物の中心と前記回転中心とを結ぶ線分とによって形成される三角形の領域の外側に、前記第１ハンドの屈曲部分および前記第２ハンドの屈曲部分が配置されるように形成されていることを特徴とする請求項２記載の産業用ロボット。
【請求項４】
前記第１ハンドは、上下方向から見たときに一方向へ屈曲するように形成され、前記第２ハンドは、上下方向から見たときに前記第１ハンドの屈曲方向と逆方向となる他方向へ屈曲するように形成され、
前記第１ハンドの先端側および前記第２ハンドの先端側は、第１搭載部および第２搭載部を有する二股状に形成され、
前記第１ハンドの前記第１搭載部は、前記第１ハンドの屈曲方向側に配置されるとともに、前記第１ハンドの前記第２搭載部は、前記第１ハンドの反屈曲方向側に配置され、
前記第２ハンドの前記第１搭載部は、前記第２ハンドの屈曲方向側に配置されるとともに、前記第２ハンドの前記第２搭載部は、前記第２ハンドの反屈曲方向側に配置され、
前記第１ハンドおよび前記第２ハンドは、前記第１配置位置に対する前記搬送対象物の搬送時の前記第１ハンドの前記第２搭載部の先端部と前記第２ハンドの前記第２搭載部の先端部とが重なるように形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。
【請求項５】
前記第１ハンドと前記第２ハンドとは、上下方向から見たときに所定の角度で１回屈曲するように形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の産業用ロボット。
【請求項６】
前記第１ハンドの屈曲部分よりも先端側の幅は略一定であり、前記第２ハンドの屈曲部分よりも先端側の幅は略一定であることを特徴とする請求項５記載の産業用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハ等を搬送する産業用ロボットとして、装置本体と、アームと、２個のハンドとを有する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットでは、アームの基端部が装置本体に回転可能に取り付けられ、２個のハンドの基端部が上下方向で重なるようにアームの先端部に取り付けられている。２個のハンドは、アームに対して個別に回転可能となっている。また、２個のハンドは、略同形状に形成されている。具体的には、ハンドの基端側部分は、直線状に形成され、ハンドの先端側部分は、二股状に形成されており、ハンドは、全体として略Ｙ形状に形成されている。また、この産業用ロボットでは、アームに連結されるハンドの基端部が直線状に動くように、アームが伸縮する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１３５６３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の産業用ロボットでは、２個のハンドがアームに対して個別に回転可能となっているため、上下方向で重なるように２個のハンドを配置すること、および、アームに連結されるハンドの基端部を除いた他の部分が上下方向で重ならないように２個のハンドを配置することが可能である。したがって、この産業用ロボットでは、半導体ウエハが上下方向で重なるように収納される収納位置から２枚の半導体ウエハを同時に搬出したり、この収納位置へ２枚の半導体ウエハを同時に搬入することが可能であり、かつ、半導体ウエハが上下方向で重ならないように配置される作業位置へ２枚の半導体ウエハを同時に搬入したり、この作業位置から２枚の半導体ウエハを同時に搬出することが可能である。
【０００５】
しかしながら、半導体ウエハが重ならないように配置される作業位置と産業用ロボットとの間には、２枚の半導体ウエハのそれぞれが通過可能な開口部が形成されたゲート部が配置されていることがある。作業位置と産業用ロボットとの間にゲート部が配置されている場合に、特許文献１に記載の産業用ロボットで、この作業位置に対する２枚の半導体ウエハの搬送を行おうとしても、略Ｙ形状に形成されたハンドの基端側部分と開口部の間の壁部とが干渉して、半導体ウエハの搬送ができないおそれがある。ここで、直線状に形成されたハンドの基端側部分の長さを長くすれば、ハンドの基端側部分と壁部との干渉を防止することは可能であるが、ハンドの基端側部分の長さを長くすると、装置本体に対してアームとともに旋回するハンドの装置本体に対する旋回半径がその分だけ大きくなる。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、搬送対象物が上下方向で重なるように配置される第１配置位置に対する搬送対象物の搬送および搬送対象物が上下方向で重ならないように配置される第２配置位置に対する搬送対象物の搬送が可能であり、かつ、産業用ロボットと第２配置位置との間にゲート部が配置されていても、本体部に対するハンドの旋回半径を小さくしつつ、ハンドとゲート部との干渉を防止することが可能な産業用ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、第１ハンドおよび第２ハンドが回転可能に取り付けられるアームと、アームの基端部が回転可能に取り付けられる本体部とを備える産業用ロボットであって、第１ハンドの基端部と第２ハンドの基端部とは、上下方向で重なるようにアームの先端部に取り付けられ、第１ハンドと第２ハンドとは、アームに対して個別に回転可能であるとともに、上下方向から見たときにアームに対して共通の回転中心を中心にして回転可能であり、かつ、上下方向から見たときに屈曲するように形成されるととともに、上下方向から見たときに回転中心を通過する所定の仮想線に対して略線対称に形成され、産業用ロボットは、第１ハンドの先端側と第２ハンドの先端側とが上下方向で重なっている状態で、搬送対象物が上下方向で重なるように配置される第１配置位置からの搬送対象物の搬出および／または第１配置位置への搬送対象物の搬入を行うとともに、第１ハンドの先端側と第２ハンドの先端側とが上下方向で重なっていない状態で、搬送対象物が上下方向で重ならないように配置される第２配置位置からの搬送対象物の搬出および／または第２配置位置への搬送対象物の搬入を行い、第１ハンドおよび第２ハンドは、さらに、第１配置位置に対する搬送対象物の搬送時の第１ハンドの先端側と第２ハンドの先端側とが互いに交差して重なるように形成されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明の産業用ロボットでは、第１ハンドの基端部と第２ハンドの基端部とが、上下方向で重なるようにアームの先端部に取り付けられている。また、第１ハンドと第２ハンドとは、アームに対して個別に回転可能であるとともに、上下方向から見たときにアームに対して共通の回転中心を中心にして回転可能である。そのため、搬送対象物が搭載される第１ハンドの先端側と第２ハンドの先端側とが上下方向で重なるように２個のハンド（第１ハンドおよび第２ハンド）を配置することで、搬送対象物が上下方向で重なるように配置される第１配置位置に対する搬送対象物の搬送が可能になり、第１ハンドの先端側と第２ハンドの先端側とが上下方向で重ならないように２個のハンドを配置することで、搬送対象物が上下方向で重ならないように配置される第２配置位置に対する搬送対象物の搬送が可能になる。
【００１０】
また、本発明では、第１ハンドと第２ハンドとは、上下方向から見たときに屈曲するように形成されるととともに、上下方向から見たときに回転中心を通過する所定の仮想線に対して略線対称に形成されている。そのため、第１ハンドおよび第２ハンドを所定の形状に屈曲させることで、産業用ロボットと第２配置位置との間にゲート部が配置されていても、産業用ロボットの径方向における第１ハンドおよび第２ハンドの長さを短くしつつ、第１ハンドおよび第２ハンドとゲート部との干渉を防止することが可能になる。すなわち、本発明では、産業用ロボットと第２配置位置との間にゲート部が配置されていても、本体部に対するハンドの旋回半径を小さくしつつ、ハンドとゲート部との干渉を防止することが可能になる。
【００１１】
本発明において、第１ハンドおよび第２ハンドは、第２配置位置に対する搬送対象物の搬送時の第１ハンドの基端側および第２ハンドの基端側が回転中心から互いに離れる方向に向かって伸びるように形成されていることが好ましい。このように構成すると、第２配置位置に対する搬送対象物の搬送時に、第１ハンドと第２ハンドとの間の隙間を大きくすることが可能になる。したがって、第１ハンドおよび第２ハンドとゲート部との干渉を確実に防止しやすくなる。
【００１２】
また、この場合には、第１ハンドおよび第２ハンドは、たとえば、第２配置位置に対する搬送対象物の搬送時の、第１ハンドに搭載される搬送対象物の中心と回転中心とを結ぶ線分と、第２ハンドに搭載される搬送対象物の中心と回転中心とを結ぶ線分とによって形成される三角形の領域の外側に、第１ハンドの屈曲部分および第２ハンドの屈曲部分が配置されるように形成されている。
【００１３】
本発明において、第１ハンドは、上下方向から見たときに一方向へ屈曲するように形成され、第２ハンドは、上下方向から見たときに第１ハンドの屈曲方向と逆方向となる他方向へ屈曲するように形成され、第１ハンドの先端側および第２ハンドの先端側は、第１搭載部および第２搭載部を有する二股状に形成され、第１ハンドの第１搭載部は、第１ハンドの屈曲方向側に配置されるとともに、第１ハンドの第２搭載部は、第１ハンドの反屈曲方向側に配置され、第２ハンドの第１搭載部は、第２ハンドの屈曲側に配置されるとともに、第２ハンドの第２搭載部は、第２ハンドの反屈曲方向側に配置され、第１ハンドおよび第２ハンドは、第１配置位置に対する搬送対象物の搬送時の第１ハンドの第２搭載部の先端部と第２ハンドの第２搭載部の先端部とが重なるように形成されていることが好ましい。このように構成すると、第１配置位置に対して搬送対象物を搬送する際に、搬送対象物の搬送方向に直交する方向における第１ハンドと第２ハンドとの重なり部分の幅を狭くすることが可能になる。したがって、搬送対象物が通過する開口部が形成されるゲート部が産業用ロボットと第１配置位置との間に配置されていても、このゲート部と屈曲したハンドとの干渉を防止することが可能になる。
【００１４】
本発明において、第１ハンドと第２ハンドとは、上下方向から見たときに所定の角度で１回屈曲するように形成されていることが好ましい。このように構成すると、第１ハンドと第２ハンドとが上下方向から見たときに複数回屈曲している場合と比較して、第１ハンドおよび第２ハンドの構成を簡素化することが可能になる。
【００１５】
本発明において、第１ハンドの屈曲部分よりも先端側の幅は略一定であり、第２ハンドの屈曲部分よりも先端側の幅は略一定であることが好ましい。このように構成すると、第１ハンドの屈曲部分よりも先端側の幅、および、第２ハンドの屈曲部分よりも先端側の幅が、ハンドの先端に向かって次第に広がっていく場合と比較して、搬送対象物の搬送方向に直交する方向における第１ハンドの幅および第２ハンドの幅を狭くすることが可能になる。したがって、産業用ロボットと第２配置位置との間や、産業用ロボットと第１配置位置との間にゲート部が配置されている場合であっても、ゲート部とハンドとの干渉を確実に防止しやすくなる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明の産業用ロボットでは、搬送対象物が上下方向で重なるように配置される第１配置位置に対する搬送対象物の搬送および搬送対象物が上下方向で重ならないように配置される第２配置位置に対する搬送対象物の搬送が可能であり、かつ、産業用ロボットと第２配置位置との間にゲート部が配置されていても、本体部に対するハンドの旋回半径を小さくしつつ、ハンドとゲート部との干渉を防止することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの側面図である。
【図２】図１に示す産業用ロボットの平面図である。
【図３】図２に示す第１ハンドおよび第２ハンドの平面図であり、（Ａ）は処理装置に対するウエハの搬送時の第１ハンドおよび第２ハンドの状態を示す図、（Ｂ）はカセットに対するウエハの搬送時の第１ハンドおよび第２ハンドの状態を示す図である。
【図４】図２に示すカセットから、第１ハンドの先端側と第２ハンドの先端側とが上下方向で重なっていない状態でウエハを取り出すときの状態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００１９】
（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の側面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の平面図である。
【００２０】
本形態の産業用ロボット１は、搬送対象物としての半導体ウエハ２（図２参照）を搬送するための多関節型のロボットである。この産業用ロボット１は、図１、図２に示すように、半導体ウエハ２が搭載される第１ハンド３および第２ハンド４の２個のハンドと、第１ハンド３および第２ハンド４が回転可能に取り付けられるアーム５と、アーム５の基端部が回転可能に取り付けられる本体部６とを備えている。なお、以下の説明では、産業用ロボット１を「ロボット１」とし、半導体ウエハ２を「ウエハ２」とする。
【００２１】
本体部６は、略円筒状に形成されている。本体部６の内部には、アーム５を昇降させる昇降機構（図示省略）が収納されている。アーム５は、第１アーム部７と第２アーム部８と第３アーム部９とから構成されている。第１アーム部７、第２アーム部８および第３アーム部９は、中空状に形成されている。第１アーム部７の基端部は、本体部６に回転可能に取り付けられている。第２アーム部８の基端部は、第１アーム部７の先端部に回転可能に取り付けられている。第３アーム部９の基端部は、第２アーム部８の先端部に回転可能に取り付けられている。本形態では、上下方向において、本体部６と第１アーム部７と第２アーム部８と第３アーム部９とが下側からこの順番で配置されている。
【００２２】
第１ハンド３の基端部および第２ハンド４の基端部は、上下方向で重なるように第３アーム部９の先端部に取り付けられている。また、第１ハンド３の基端部および第２ハンド４の基端部は、第３アーム部９の上面側に配置されている。本形態では、第１ハンド３の基端部が上側に配置され、第２ハンド４の基端部が下側に配置されている。すなわち、第１ハンド３は、第２ハンド４の上側に配置されている。第１ハンド３と第２ハンド４とは、アーム５に対して個別に回転可能となっている。また、第１ハンド３と第２ハンド４とは、上下方向から見たときに共通の回転中心Ｃ１を中心に回転可能となっている。第１ハンド３および第２ハンド４の詳細な構成については、後述する。
【００２３】
また、ロボット１は、第１アーム部７および第２アーム部８を回転させて第１アーム部７と第２アーム部８とからなる基端側アーム部を伸縮させる基端側アーム部駆動機構（図示省略）と、第３アーム部９を回転駆動する第３アーム部駆動機構（図示省略）と、第１ハンド３を回転駆動する第１ハンド駆動機構（図示省略）と、第２ハンド４を回転駆動する第２ハンド駆動機構（図示省略）とを備えている。
【００２４】
基端側アーム部駆動機構は、モータ、このモータの動力を減速して第１アーム部７に伝達する減速機、および、このモータの動力を減速して第２アーム部８に伝達する減速機等を備えている。第３アーム部駆動機構は、モータ、および、このモータの動力を減速して第３アーム部９に伝達する減速機等を備えている。第１ハンド駆動機構は、モータ、および、このモータの動力を減速して第１ハンド３に伝達する減速機等を備え、第２ハンド駆動機構は、モータ、および、このモータの動力を減速して第２ハンド４に伝達する減速機等を備えている。
【００２５】
本形態のロボット１は、半導体製造システムに組み込まれて使用される。たとえば、ロボット１は、半導体製造システムの入り口に配置されており、ウエハ２が所定のピッチで上下方向に重なるように配置されるカセット１１と、ウエハ２が上下方向で重ならないように配置される処理装置１２との間でウエハ２を搬送する（図２参照）。
【００２６】
カセット１１には、ゲート部１１ａが形成されている。ゲート部１１ａには、第１ハンド３および第２ハンド４の先端側が通過する開口部１１ｂが形成されている。処理装置１２には、複数の処理室１３が隣接するように形成されている。また、処理装置１２には、ゲート部１２ａが形成されている。ゲート部１２ａには、各処理室１３へ通じる複数の開口部１２ｂが形成されており、開口部１２ｂの間は、ゲート部１２ａの壁部１２ｃとなっている。
【００２７】
本形態では、ロボット１は、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが上下方向で重なっている状態で、カセット１１から２枚のウエハ２を同時に搬出し、また、カセット１１へ２枚のウエハ２を同時に搬入する。また、ロボット１は、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが上下方向で重なっていない状態で、２枚のウエハ２のそれぞれを２個の処理室１３のそれぞれへ同時に搬入し、また、２枚のウエハ２のそれぞれを２個の処理室１３のそれぞれから同時に搬出する。
【００２８】
カセット１１に対するウエハ２の搬送を行う際、および、処理装置１２に対するウエハ２の搬送を行う際には、第１ハンド３および第２ハンド４の回転中心Ｃ１の移動軌跡が直線状となるように、アーム５が伸縮する。本形態では、カセット１１の内部は、搬送対象物であるウエハ２が上下方向で重なるように配置される第１配置位置であり、処理装置１２の内部は、ウエハ２が上下方向で重ならないように配置される第２配置位置である。なお、本形態では、ロボット１は、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが上下方向で重なっていない状態で、カセット１１から１枚のウエハ２を搬出したり、カセット１１へ１枚のウエハ２を搬入することもある。
【００２９】
（第１ハンドおよび第２ハンドの構成）
図３は、図２に示す第１ハンド３および第２ハンド４の平面図であり、（Ａ）は処理装置１２に対するウエハ２の搬送時の第１ハンド３および第２ハンド４の状態を示す図、（Ｂ）はカセット１１に対するウエハ２の搬送時の第１ハンド３および第２ハンド４の状態を示す図である。
【００３０】
第１ハンド３および第２ハンド４は、上下方向から見たときに屈曲するように形成されている。具体的には、第１ハンド３および第２ハンド４は、上下方向から見たときに所定の角度で１回屈曲するように形成されている。また、第１ハンド３および第２ハンド４は、上下方向から見たときに回転中心Ｃ１を通過する所定の仮想線Ｌ１に対して略線対称に形成されている。すなわち、第１ハンド３の屈曲方向と第２ハンド４の屈曲方向とが逆方向となるように、第１ハンド３および第２ハンド４が形成されており、第１ハンド３は、その基端から先端に向かって一方向（図３の反時計方向）へ屈曲し、第２ハンド４は、その基端から先端に向かって他方向（図３の時計方向）へ屈曲している。
【００３１】
第１ハンド３は、基端側部分３ａと先端側部分３ｂとによって構成されている。また、第１ハンド３は、上下方向から見たときに基端側部分３ａと先端側部分３ｂとのなす角度が鈍角となるように、１回屈曲しており、全体として略Ｌ形状（あるいは略「く」の字形状）に形成されている。同様に、第２ハンド４は、基端側部分４ａと先端側部分４ｂとによって構成されている。また、第２ハンド４は、上下方向から見たときに基端側部分４ａと先端側部分４ｂとのなす角度が鈍角となるように、１回屈曲しており、全体として略Ｌ形状（あるいは略「く」の字形状）に形成されている。基端側部分３ａ、４ａと先端側部分３ｂ、４ｂとのなす角度は、たとえば、約１２０°である。基端側部分３ａ、４ａと先端側部分３ｂ、４ｂとの境界の折れ曲がった部分は、屈曲部分３ｃ、４ｃとなっている。また、ウエハ２は、先端側部分３ｂ、４ｂに搭載される。
【００３２】
基端側部分３ａ、４ａの厚さ（上下方向の厚さ）は、先端側部分３ｂ、４ｂの厚さよりも厚くなっている。基端側部分３ａ、４ａの幅は、先端側部分３ｂ、４ｂの幅よりも狭くなっている。また、基端側部分３ａ、４ａの幅は略一定であり、先端側部分３ｂ、４ｂの幅は略一定である。なお、本形態では、基端側部分３ａの幅は、基端側部分４ａの幅よりも狭くなっている。また、先端側部分３ｂの幅は、先端側部分４ｂの幅と等しくなっている。
【００３３】
先端側部分３ｂ、４ｂの先端側は、ウエハ２の一部が搭載される第１搭載部３ｄ、４ｄと第２搭載部３ｅ、４ｅとを有する二股状に形成されている。第１搭載部３ｄは、第１ハンド３の屈曲方向側に配置され、第１搭載部４ｄは、第２ハンド４の屈曲方向側に配置されている。また、第２搭載部３ｅは、第１ハンド３の反屈曲方向側に配置され、第２搭載部４ｅは、第２ハンド４の反屈曲方向側に配置されている。また、先端側部分３ｂ、４ｂの基端側には、ウエハ２を把持するための把持手段１５が配置されている。把持手段１５は、たとえば、ウエハ２の端面に接触する接触部、および、この接触部を駆動するシリンダ等によって構成されている。なお、シリンダ等によって構成される把持手段１５に代えて、第１ハンド３および第２ハンド４に、吸引型のウエハ２の保持手段が設置されても良い。
【００３４】
処理装置１２に対するウエハ２の搬送を行う際には、上述のように、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とは上下方向で重なっていない。具体的には、処理装置１２に対するウエハ２の搬送を行う際には、図３（Ａ）に示すように、基端側部分３ａと基端側部分４ａとのなす角度θが約１５０°となるように、第１ハンド３および第２ハンド４の回転位置が設定されている。すなわち、処理装置１２に対するウエハ２の搬送を行う際には、基端側部分３ａと基端側部分４ａとは、回転中心Ｃ１から互いに離れる方向に向かって伸びている。また、先端側部分３ｂ、４ｂは、屈曲部分３ｃ、４ｃから処理装置１２に向かって伸びている。また、処理装置１２に対するウエハ２の搬送を行う際には、図３（Ａ）に示すように、第１ハンド３に搭載されるウエハ２の中心Ｃ２と回転中心Ｃ１とを結ぶ線分Ｌ２と、第２ハンド４に搭載されるウエハ２の中心Ｃ３と回転中心Ｃ１とを結ぶ線分Ｌ３とによって形成される三角形の領域Ｒの外側に、屈曲部分３ｃ、４ｃが配置されている。
【００３５】
一方、カセット１１に対するウエハ２の搬送を行う際には、上述のように、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とは上下方向で重なっている。具体的には、カセット１１に対するウエハ２の搬送を行う際には、図３（Ｂ）に示すように、先端側部分３ｂの先端側と先端側部分４ｂの先端側とが交差して重なるように、第１ハンド３および第２ハンド４の回転位置が設定されている。より具体的には、カセット１１に対するウエハ２の搬送を行う際には、第２搭載部３ｅの先端部と第２搭載部４ｅの先端部とが重なるように、第１ハンド３および第２ハンド４の回転位置が設定されている。このとき、基端側部分３ａと基端側部分４ａとのなす角度θは、たとえば、約７０°である。
【００３６】
（産業用ロボットの概略動作）
図４は、図２に示すカセット１１から、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが上下方向で重なっていない状態でウエハ２を取り出すときの状態を示す平面図である。
【００３７】
以上のように構成されたロボット１では、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが重なった状態でアーム５が伸縮して、図２に示すように、カセット１１から２枚のウエハ２が同時に搬出される。このとき、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが重なった状態で、カセット１１のゲート部１１ａに形成された開口部１１ｂを第１ハンド３および第２ハンド４の先端側が通過する。
【００３８】
カセット１１からウエハ２が搬出されると、第１アーム部７、第２アーム部８および第３アーム部９が所定角度、回動するとともに、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが離れるように第１アーム３および第２アーム４が回動した後（具体的には、第１ハンド３が図２の時計方向へ回動し、第２ハンド４が図２の反時計方向へ回動した後）、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが重なっていない状態でアーム５が伸縮して、２枚のウエハ２のそれぞれが２個の処理室１３のそれぞれへ同時に搬入される。このとき、処理装置１２のゲート部１２ａに形成された１つの開口部１２ｂを第１ハンド３の先端側が通過し、他の開口部１２ｂを第２ハンド４の先端側が通過する。
【００３９】
また、処理装置１２で所定の処理が終わると、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが重なっていない状態で、アーム５が伸縮して、２枚のウエハ２のそれぞれが２個の処理室１３のそれぞれから同時に搬出される。処理室１３からウエハ２が搬出されると、第１アーム部７、第２アーム部８および第３アーム部９が所定角度、回動するとともに、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが重なるように第１アーム３および第２アーム４が回動した後（具体的には、第１ハンド３が図２の反時計方向へ回動し、第２ハンド４が図２の時計方向へ回動した後）、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが重なった状態でアーム５が伸縮して、カセット１１へ２枚のウエハ２が同時に搬入される。
【００４０】
ここで、カセット１１に収納されるウエハ２の枚数によっては、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが上下方向で重なっていない状態で、カセット１１から１枚のウエハ２を搬出したり、カセット１１へ１枚のウエハ２を搬入することもある。この場合には、たとえば、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが重なった状態から、図４（Ｂ）に示すように、基端側部分３ａと基端側部分４ａとのなす角度が鈍角となるように第２ハンド４を図４の反時計方向に回動させた後にアーム５を伸縮させて、第１ハンド３によって、カセット１１に対するウエハ２の搬送を行うこともある。また、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが重なった状態から、図４（Ｃ）に示すように、基端側部分３ａと基端側部分４ａとのなす角度が鋭角となるように第１ハンド３を図４の反時計方向に回動させた後にアーム５を伸縮させて、第２ハンド４によって、カセット１１に対するウエハ２の搬送を行うこともある。
【００４１】
同様に、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが重なった状態から、基端側部分３ａと基端側部分４ａとのなす角度が鋭角となるように第２ハンド４を図４の時計方向に回動させた後にアーム５を伸縮させて、第１ハンド３によって、カセット１１に対するウエハ２の搬送を行うこともあれば、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが重なった状態から、基端側部分３ａと基端側部分４ａとのなす角度が鈍角となるように第１ハンド３を図４の時計方向に回動させた後にアーム５を伸縮させて、第２ハンド４によって、カセット１１に対するウエハ２の搬送を行うこともある。
【００４２】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、第１ハンド３の基端部および第２ハンド４の基端部は、上下方向で重なるように第３アーム部９の先端部に取り付けられており、かつ、第１ハンド３と第２ハンド４とは、アーム５に対して個別に回転可能となっている。そのため、上述のように、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが重なるように第１ハンド３および第２ハンド４の回転位置を設定することで、ウエハ２が重なるように配置されるカセット１１に対して２枚のウエハ２を搬送することができ、かつ、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが重ならないように第１ハンド３および第２ハンド４の回転位置を設定することで、隣接する２個の処理室１３のそれぞれに対してウエハ２を同時に搬送することができる。すなわち、本形態では、カセット１１および処理装置１２に対して、２枚のウエハ２を同時に搬送することができる。したがって、本形態では、タクトタイムを短縮することが可能になる。また、本形態では、２枚のウエハ２を同時に搬送することができるため、ロボット１の動作回数を減らすことが可能になり、その結果、ロボット１の寿命を延ばすこと可能になる。
【００４３】
本形態では、第１ハンド３と第２ハンド４とは、上下方向から見たときに所定の角度で互いに逆方向へ１回屈曲するように形成されており、上下方向から見たときに仮想線Ｌ１に対して略線対称に形成されている。また、処理装置１２に対するウエハ２の搬送を行う際に、基端側部分３ａと基端側部分４ａとは、回転中心Ｃ１から互いに離れる方向に向かって伸びている。そのため、処理装置１２に形成されるゲート部１２ａの開口部１２ｂ間に壁部１２ｃがあっても、ロボット１の径方向における第１ハンド３および第２ハンド４の長さを短くしつつ、第１ハンド３および第２ハンド４と壁部１２ｃとの干渉を防止することが可能になる。すなわち、本形態では、ゲート部１２ａに壁部１２ｃが形成されていても、本体部６に対する第１ハンド３および第２ハンド４の旋回半径を小さくしつつ、第１ハンド３および第２ハンド４とゲート部１２ａとの干渉を防止することが可能になる。
【００４４】
また、本形態では、カセット１１に対するウエハ２の搬送を行う際に、第２搭載部３ｅの先端部と第２搭載部４ｅの先端部とが重なるように、第１ハンド３および第２ハンド４の回転位置が設定されている。そのため、カセット１１に対するウエハ２の搬送を行う際に、ウエハ２の搬送方向に直交する方向における第１ハンド３と第２ハンド４との重なり部分の幅を狭くすることが可能になる。したがって、本形態では、第１ハンド３および第２ハンド４が屈曲していても、カセット１１に対してウエハ２を搬送する際の、カセット１１のゲート部１１ａと第１ハンド３および第２ハンド４との干渉を防止することが可能になる。
【００４５】
また、本形態では、第１ハンド３の先端側部分３ｂの幅、および、第２ハンド４の先端側部分４ｂの幅は略一定であるため、先端側部分３ｂ、４ｂの幅が先端に向かって次第に広がっていく場合と比較して、ウエハ２の搬送方向に直交する方向における第１ハンド３の幅および第２ハンド４の幅を狭くすることが可能になる。したがって、本形態では、第１ハンド３および第２ハンド４とゲート部１１ａ、１２ａとの干渉を確実に防止しやすくなる。
【００４６】
本形態では、第１ハンド３および第２ハンド４は、上下方向から見たときに１回屈曲するように形成されている。そのため、本形態では、第１ハンド３および第２ハンド４が上下方向から見たときに複数回屈曲している場合と比較して、第１ハンド３および第２ハンド４の構成を簡素化することが可能になる。
【００４７】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００４８】
上述した形態では、第１ハンド３は、上下方向から見たときに基端側部分３ａと先端側部分３ｂとのなす角度が鈍角となるように屈曲している。この他にもたとえば、第１ハンド３は、上下方向から見たときに基端側部分３ａと先端側部分３ｂとのなす角度が直角となるように屈曲しても良いし、基端側部分３ａと先端側部分３ｂとのなす角度が鋭角となるように屈曲しても良い。同様に、上述した形態では、第２ハンド４は、上下方向から見たときに基端側部分４ａと先端側部分４ｂとのなす角度が鈍角となるように屈曲しているが、第２ハンド４は、上下方向から見たときに基端側部分４ａと先端側部分４ｂとのなす角度が直角となるように屈曲しても良いし、基端側部分４ａと先端側部分４ｂとのなす角度が鋭角となるように屈曲しても良い。
【００４９】
上述した形態では、第１ハンド３および第２ハンド４は、上下方向から見たときに１回屈曲するように形成されている。この他にもたとえば、第１ハンド３および第２ハンド４は、２回以上屈曲するように形成されても良い。また、上述した形態では、第１ハンド３の先端側部分３ｂの幅、および、第２ハンド４の先端側部分４ｂの幅は略一定であるが、上述の特許文献１に記載の産業用ロボットのハンドのように、先端側部分３ｂ、４ｂの幅が先端に向かって次第に広がるように、先端側部分３ｂ、４ｂが形成されても良い。
【００５０】
上述した形態では、第１ハンド３の先端側部分３ｂおよび第２ハンド４の先端側部分４ｂは、二股状に形成されている。この他にもたとえば、先端側部分３ｂ、４ｂは、直線状に形成されても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、ウエハ２を搬送するためのロボットであるが、ロボット１は、ウエハ２以外の基板等の搬送対象物を搬送する搬送用ロボットであっても良い。
【符号の説明】
【００５１】
１  ロボット（産業用ロボット）
２  ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
３  第１ハンド
３ｃ  屈曲部分
３ｄ  第１搭載部
３ｅ  第２搭載部
４  第２ハンド
４ｃ  屈曲部分
４ｄ  第１搭載部
４ｅ  第２搭載部
５  アーム
６  本体部
１１  カセット（第１配置位置）
１２  処理装置（第２配置位置）
Ｃ１  回転中心
Ｃ２  第１ハンドに搭載される搬送対象物の中心
Ｃ３  第２ハンドに搭載される搬送対象物の中心
Ｌ１  仮想線
Ｌ２  第１ハンドに搭載される搬送対象物の中心と回転中心とを結ぶ線分
Ｌ３  第２ハンドに搭載される搬送対象物の中心と回転中心とを結ぶ線分
Ｒ  領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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