(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクの流路となるインクチャネルが形成されたチャネル基板の一端面にノズルプレートが接着されたインクジェットヘッドの製造方法において、
前記インクチャネル内に電極膜を成膜する電極膜成膜工程と、
前記電極膜成膜工程後に、前記電極膜上に絶縁性保護膜を成膜する保護膜成膜工程と、
前記保護膜成膜工程後に、前記保護膜成膜工程の処理に伴って前記チャネル基板の一端面に成膜された前記絶縁性保護膜を除去する保護膜除去工程と、
前記保護膜除去工程後に、前記チャネル基板の一端面、及び、インクチャネルの内側面の保護膜欠損部から露出した電極膜露出部を連続的に被覆する接着剤層を形成する接着剤塗布工程と、
前記接着剤塗布工程後に、前記チャネル基板の他端面に位置する前記インクチャネルの入口から該チャネル基板の一端面に位置する該インクチャネルの出口に向かう空気流で、前記インクチャネルの内側面に塗布された接着剤の余剰部分をインクチャネル外部へ押し出す接着剤押し出し工程と、
前記接着剤押し出し工程後に、前記チャネル基板の一端面に対し前記ノズルプレートを接着する接着工程と、を備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記接着剤塗布工程において、表面に接着剤が塗布された接着剤転写シートの接着剤に、前記チャネル基板の一端面を接触させると共に、該接着剤に対して該一端面を埋浸する、又は、埋浸した状態で揺動することによって、前記接着剤層を形成することを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記接着剤塗布工程において、前記チャネル基板の一端面に対し接着剤を塗布した後に、前記チャネル基板の一端面に位置する前記インクチャネルの出口から該チャネル基板の他端面に位置する該インクチャネルの入口に向かう空気流で、前記チャネル基板の一端面に塗布された接着剤を、前記インクチャネルの内側面の保護膜欠損部から露出した電極膜露出部を被覆するように拡張して前記接着剤層を形成することを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記接着剤塗布工程において、前記空気流の圧力は、０．３ＭＰａ以上かつ１．２ＭＰａ以下の範囲であることを特徴とする請求項３記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記接着剤層は、前記インクチャネルの内側面における前記チャネル基板の一端面からの形成長さが５μｍ以上かつ５０μｍ以下の範囲であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記接着剤押し出し工程において、押し出された接着剤が、前記チャネル基板の一端面上に移動することを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記接着剤押し出し工程において、前記空気流の圧力は、０．３ＭＰａ以上かつ１．２ＭＰａ以下の範囲であることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記接着剤の粘度は、２Ｐａ・ｓ以上かつ３０Ｐａ・ｓ以下の範囲であることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記接着剤は、ガラス転移温度が１００℃以上のエポキシ系接着剤であることを特徴とする請求項１〜８の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記絶縁性保護膜はポリパラキシリレン膜であることを特徴とする請求項１〜９の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】
インクの流路となるインクチャネルに電極膜及び絶縁性保護膜が成膜されたチャネル基板を備え、
前記チャネル基板の一端面にノズルプレートが前記絶縁性保護膜を介さずに接着剤で接着されたインクジェットヘッドにおいて、
前記ノズルプレートを接着する接着剤層が、インクチャネルの内側面の保護膜欠損部から露出した電極膜露出部を被覆すると共に、該電極膜露出部から前記ノズルプレート接着面にかけて連続的に形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１２】
前記接着剤層は、インクチャネルの内側面における前記チャネル基板の一端面からの形成長さが５μｍ以上かつ５０μｍ以下の範囲であることを特徴とする請求項１１記載のインクジェットヘッド。
【請求項１３】
前記接着剤層は、インクチャネルの内側面における前記チャネル基板の一端面からの形成長さが、前記チャネル基板と前記ノズルプレートを接着している接着剤厚さ以上であることを特徴とする請求項１１又は１２記載のインクジェットヘッド。
【請求項１４】
前記接着剤層の断面形状は、インクの流路に対して略凹曲線状であることを特徴とする請求項１１〜１３の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項１５】
前記接着剤は、ガラス転移温度が１００℃以上のエポキシ系接着剤であることを特徴とする請求項１１〜１４の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項１６】
前記絶縁性保護膜はポリパラキシリレン膜であることを特徴とする請求項１１〜１５の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクを吐出するインクジェットヘッド及びその製造方法に関し、詳しくは、シェアモード型のインクジェットヘッドにおける電極膜の腐食を防止するインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、チャネルを区画する駆動壁に形成した電極に電圧を印加することにより駆動壁をせん断変形させ、そのときチャネル内に発生する圧力を利用してチャネル内のインクをノズルから吐出させるようにしたシェアモード型のインクジェットヘッドとして、圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれチャネルの開口部が配置された所謂ハーモニカタイプのヘッドチップを有するインクジェットヘッドが知られている（特許文献１、２）。
【０００３】
特許文献３の第１の実施形態におけるインクジェットヘッド（１０）では、インクチャネルとしての複数の溝（２）に金属製薄膜の電極（４）を製膜した圧電性の基板（１）を備え、基板の前面（端面）（１ａ）と各溝の内面とにポリパラキシリレン膜（６）が製膜され、ポリパラキシリレン膜に親液化処理が施され、ポリパラキシリレン膜を介して基板の前面に接着剤でノズルプレートが接着されており、ポリパラキシリレン膜の親液化処理により基板とノズルプレートとの接着強度を堅牢に維持している（段落番号００３０〜００３８参照）。
【０００４】
一方、特許文献３の第２の実施形態におけるインクジェットヘッド（２０）では、インクチャネルとしての複数の溝（１２）に金属製薄膜の電極（１４）を成膜した圧電性の基板（１１）を備え、基板の前面（端面）（１１ａ）に接着剤でノズルプレート（１７）が接着され、各溝にポリパラキシリレン膜（１６）が製膜され、ポリパラキシリレン膜に親液化処理が施されている（段落番号００４０〜００５０参照）。
【０００５】
しかしながら特許文献３の第１の実施形態におけるインクジェットヘッドにおいては、親液化処理が施されたポリパラキシリレン膜上に接着剤を塗布してノズルプレートを基板に接着しても、インクとして溶媒（溶剤）を含むインクを使用するとポリパラキシリレン膜は膨潤・溶解しやすいため、ポリパラキシリレン膜がインク中の溶媒により膨潤・溶解して基板とノズルプレートとの接着強度が低下し、基板からノズルプレートが剥離する可能性がある。このような現象はインク中の溶媒が水以外の溶媒である場合に起こりやすい。
【０００６】
一方、特許文献３の第２の実施形態におけるインクジェットヘッドでは、基板の前面にポリパラキシリレン膜を製膜せずに接着剤でノズルプレートを接着するため、ポリパラキシリレン膜の膨潤・溶解によるノズルプレートの剥離は起こらない。しかしながら、ポリパラキシリレン膜の製膜工程中において、ノズルプレートのノズル孔にポリパラキシリレン膜が製膜されるため、ノズル孔でインクが詰まってインクの吐出不良を招く可能性がある。
【０００７】
さらに、特許文献３の第２の実施形態では、ノズルプレートの近傍に配置された電極の端部にはポリパラキシリレン膜の製膜が十分におこなわれない可能性があるため、ポリパラキシリレン膜の製膜が不十分な箇所からインク中の溶媒が接着剤を侵食・通過して電極に浸透し、インクジェットヘッドの長期間の使用により電極が腐蝕したりノズルプレートが基板から剥離したりしてインクの吐出不良を招く可能性がある。
【０００８】
特許文献４では、チャネル基板にポリパラキシリレン膜を成膜した後、端面のポリパラキシリレン膜を除去し、該端面に対しエポキシ系樹脂を塗布してノズルプレートを接着することにより、ノズルプレートの剥離や電極膜の腐食などによるインクの吐出不良の防止を行うことが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００４−９０３７４号公報
【特許文献２】特開２００６−３５４５４号公報
【特許文献３】特開２００２−３０７６９２号公報
【特許文献４】特開２００５−１５３５１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
図９は、従来技術に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明する図であり、２０１はチャネル基板、２０２はノズルプレート、２０３は電極膜、２０４はポリパラキシリレン膜、２０５はチャネル基板２０１における端面（ノズルプレート接着側の面）である。
【００１１】
特許文献４において、チャネル基板２０１の端面２０５の保護膜（ポリパラキシリレン膜）が除去された場合、図９（ａ）に示すように、端面２０５において電極膜２０３が露出することがある（露出部Ｄ）。
【００１２】
これについては、特許文献４に記載があるように、基板２０１の端面２０５に生じた電極膜２０３の露出部Ｄは、ノズルプレート２０２貼り付け用の接着剤Ｂによって保護されるため、電極膜２０３の腐食は生じない。
【００１３】
しかるに、ポリパラキシリレン膜の成膜では、形成されるポリパラキシリレン膜の膜厚が成膜ロットごとに１〜２μｍ程度ばらつく場合がある。さらに、端面２０５のポリパラキシリレン膜を除去する際、ポリパラキシリレン膜のエッチング速度が、サンプルサイズや形状などによって、面内において最大０．１μｍ／ｍｉｎ程度ばらつくことがある。
【００１４】
目標とする膜厚よりも厚いポリパラキシリレン膜が成膜されたり、エッチング速度が低くなった場合には、端面２０５のポリパラキシリレン膜が完全に除去されず、端面２０５に残留することになる。このような場合、端面２０５とノズルプレート２０２との接着強度が低下し、基板２０１からノズルプレート２０２が剥離する問題があった。
【００１５】
そのため、従来は、ポリパラキシリレン膜の膜厚や、エッチング速度の変動に対応するために、エッチングの処理時間を過剰となるように設定していた。これにより、規定した膜厚よりも厚いポリパラキシリレン膜が成膜されたり、エッチング速度が低くなった場合であっても、端面２０５のポリパラキシリレン膜が完全に除去され、基板２０１とノズルプレート２０２との接着強度を安定して得ることができた。
【００１６】
しかしながら、このようにポリパラキシリレン膜の除去処理を過剰となるように設定すると、ポリパラキシリレン膜の膜厚が薄く成膜されたり、エッチング速度が速くなった場合に、基板２０１の端部エッジ部分のみならず、インクチャネルの内側面においてポリパラキシリレン膜２０４の一部が過剰エッチングされて欠損することがあった。
【００１７】
この結果、図９（ｂ）に示すように、基板２０１の側面に電極膜２０３の露出部分Ｅが発生し、実質的に端面２０５に対してのみ塗布されたノズルプレート２０２貼り付け用の接着剤Ｂでは保護しきれずに、電極膜２０３の腐食（インク耐性の低下）が起こる恐れがあった。
【００１８】
エッチング条件をアクチュエーターチップの成膜ロットごとに調節して対応することも考えられるが、工数が増大して生産効率が大幅に低下するため実用性を満たさない。
【００１９】
そこで、本発明の課題は、簡便な方法で、ポリパラキシリレンの過剰エッチングによりチップ端部の電極が露出した場合でも、電極を腐食から保護することができるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することにある。
【００２０】
また本発明の他の課題は、以下の記載によって明らかとなる。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記課題は、以下の各発明によって解決される。
【００２２】
請求項１記載の発明は、インクの流路となるインクチャネルが形成されたチャネル基板の一端面にノズルプレートが接着されたインクジェットヘッドの製造方法において、
前記インクチャネル内に電極膜を成膜する電極膜成膜工程と、
前記電極膜成膜工程後に、前記電極膜上に絶縁性保護膜を成膜する保護膜成膜工程と、
前記保護膜成膜工程後に、前記保護膜成膜工程の処理に伴って前記チャネル基板の一端面に成膜された前記絶縁性保護膜を除去する保護膜除去工程と、
前記保護膜除去工程後に、前記チャネル基板の一端面、及び、インクチャネルの内側面の保護膜欠損部から露出した電極膜露出部を連続的に被覆する接着剤層を形成する接着剤塗布工程と、
前記接着剤塗布工程後に、前記チャネル基板の他端面に位置する前記インクチャネルの入口から該チャネル基板の一端面に位置する該インクチャネルの出口に向かう空気流で、前記インクチャネルの内側面に塗布された接着剤の余剰部分をインクチャネル外部へ押し出す接着剤押し出し工程と、
前記接着剤押し出し工程後に、前記チャネル基板の一端面に対し前記ノズルプレートを接着する接着工程と、を備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２３】
請求項２記載の発明は、前記接着剤塗布工程において、表面に接着剤が塗布された接着剤転写シートの接着剤に、前記チャネル基板の一端面を接触させると共に、該接着剤に対して該一端面を埋浸する、又は、埋浸した状態で揺動することによって、前記接着剤層を形成することを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２４】
請求項３記載の発明は、前記接着剤塗布工程において、前記チャネル基板の一端面に対し接着剤を塗布した後に、前記チャネル基板の一端面に位置する前記インクチャネルの出口から該チャネル基板の他端面に位置する該インクチャネルの入口に向かう空気流で、前記チャネル基板の一端面に塗布された接着剤を、前記インクチャネルの内側面の保護膜欠損部から露出した電極膜露出部を被覆するように拡張して前記接着剤層を形成することを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２５】
請求項４記載の発明は、前記接着剤塗布工程において、前記空気流の圧力は、０．３ＭＰａ以上かつ１．２ＭＰａ以下の範囲であることを特徴とする請求項３記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２６】
請求項５記載の発明は、前記接着剤層は、前記インクチャネルの内側面における前記チャネル基板の一端面からの形成長さが５μｍ以上かつ５０μｍ以下の範囲であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２７】
請求項６記載の発明は、前記接着剤押し出し工程において、押し出された接着剤が、前記チャネル基板の一端面上に移動することを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２８】
請求項７記載の発明は、前記接着剤押し出し工程において、前記空気流の圧力は、０．３ＭＰａ以上かつ１．２ＭＰａ以下の範囲であることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２９】
請求項８記載の発明は、前記接着剤の粘度は、２Ｐａ・ｓ以上かつ３０Ｐａ・ｓ以下の範囲であることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００３０】
請求項９記載の発明は、前記接着剤は、ガラス転移温度が１００℃以上のエポキシ系接着剤であることを特徴とする請求項１〜８の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００３１】
請求項１０記載の発明は、前記絶縁性保護膜はポリパラキシリレン膜であることを特徴とする請求項１〜９の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００３２】
請求項１１記載の発明は、インクの流路となるインクチャネルに電極膜及び絶縁性保護膜が成膜されたチャネル基板を備え、
前記チャネル基板の一端面にノズルプレートが前記絶縁性保護膜を介さずに接着剤で接着されたインクジェットヘッドにおいて、
前記ノズルプレートを接着する接着剤層が、インクチャネルの内側面の保護膜欠損部から露出した電極膜露出部を被覆すると共に、該電極膜露出部から前記ノズルプレート接着面にかけて連続的に形成されていることを特徴とするインクジェットヘッドである。
【００３３】
請求項１２記載の発明は、前記接着剤層は、インクチャネルの内側面における前記チャネル基板の一端面からの形成長さが５μｍ以上かつ５０μｍ以下の範囲であることを特徴とする請求項１１記載のインクジェットヘッドである。
【００３４】
請求項１３記載の発明は、前記接着剤層は、インクチャネルの内側面における前記チャネル基板の一端面からの形成長さが、前記チャネル基板と前記ノズルプレートを接着している接着剤厚さ以上であることを特徴とする請求項１１又は１２記載のインクジェットヘッドである。
【００３５】
請求項１４記載の発明は、前記接着剤層の断面形状は、インクの流路に対して略凹曲線状であることを特徴とする請求項１１〜１３の何れかに記載のインクジェットヘッドである。
【００３６】
請求項１５記載の発明は、前記接着剤は、ガラス転移温度が１００℃以上のエポキシ系接着剤であることを特徴とする請求項１１〜１４の何れかに記載のインクジェットヘッドである。
【００３７】
請求項１６記載の発明は、前記絶縁性保護膜はポリパラキシリレン膜であることを特徴とする請求項１１〜１５の何れかに記載のインクジェットヘッドである。
【発明の効果】
【００３８】
本発明によれば、簡便な方法で、ポリパラキシリレンの過剰エッチングによりチップ端部の電極が露出した場合でも、電極を腐食から保護することができるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することができる。
【００３９】
更に、成膜されたポリパラキシリレン膜厚に応じて、エッチング条件を細かく調整する必要がないため、大幅に工数が削減できる効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明に係るインクジェットヘッドの斜視図であってその一部を破断した図
【図２】図１のII−II線断面図
【図３】図１のIII−III線断面図
【図４】本発明に係る保護膜除去工程を説明する図
【図５】本発明に係る接着剤塗布工程の第１態様を説明する図
【図６】本発明に係る接着剤塗布工程の第２態様を説明する図
【図７】本発明に係る接着剤押し出し工程を説明する図
【図８】空気流の形成方法の一例を説明する図
【図９】従来技術に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明する図
【発明を実施するための形態】
【００４１】
以下に、図面を参照して本発明を実施するための形態を説明する。
【００４２】
まず、本発明に係るインクジェットヘッドの構成について説明する。
【００４３】
図１は本発明に係るインクジェットヘッドの斜視図であってその一部を破断した図であり、図２は図１のII−II線断面図であり、図３は図１のIII−III線断面図である。
【００４４】
図１に示す通り、インクジェットヘッド１００は２枚の基板１ａ、１ｂを互いに接合したチャネル基板１を有している。チャネル基板１には、インクの流路となるインクチャネル１１（溝）と空気の流路となる空気チャネル１２（溝）とが、互いに平行な状態で交互に形成されており、インクチャネル１１と空気チャネル１２との間に各基板１ａ、１ｂから構成された隔壁１３が存している。
【００４５】
チャネル基板１を構成する基板１ａ、１ｂは電界を加えると変形する圧電材料から構成されており、分極方向が互いに反対向きとなるように接合されている。各基板１ａ、１ｂを構成する圧電材料としては有機材料又は非金属材料が挙げられる。
【００４６】
各基板１ａ、１ｂを構成する有機材料としては、ポリフッ化ビニリデンなどの有機ポリマーや有機ポリマーと無機物とのハイブリッド材料などが挙げられる。各基板１ａ、１ｂを構成する非金属材料としては、成形・焼成などの工程を経て形成される圧電セラミックや成形・焼成などの工程を経ずに形成される材料などが挙げられる。
【００４７】
図１中、チャネル基板１の上部には、インクチャネル１１及び空気チャネル１２を覆うカバー基板２が貼り付けられている。カバー基板２は上記各基板１ａ、１ｂと同じ圧電材料から構成されており、脱分極された状態でチャネル基板１の上部に貼り付けられている。カバー基板２を脱分極することで、カバー基板２そのもののソリ、変形や熱膨張係数の差によるカバー基板２の剥離などが防止されている。
【００４８】
なお、カバー基板２はチャネル基板１（各基板１ａ、１ｂ）と同じ程度の熱膨張係数を有する非圧電性材料から構成されていてもよい。非圧電性材料としては、例えば、成形・焼成などの工程を経て形成されるセラミックや成形・焼成などの工程を経ずに形成される材料などが挙げられ、その他にも有機材料（有機ポリマー）や有機ポリマーと無機物とのハイブリッド材料などが挙げられる。
【００４９】
図２に示す通り、インクチャネル１１及び空気チャネル１２の各チャネル内（図示の例では、インクチャネル１１及び空気チャネル１２の各チャネルの側壁及び底壁）には、金属製の電極膜６が断面視してＵ字状に製膜されている。各電極膜６には、導通用の配線を介して２枚の両基板１ａ、１ｂを駆動させる駆動回路（図示略）が接続されている。
【００５０】
なお、インクチャネル１１及び空気チャネル１２は分極方向の異なる２枚の基板１ａ、１ｂからなるため、各電極膜６は２枚の両基板１ａ、１ｂを駆動させるべく、インクチャネル１１及び空気チャネル１２の側壁及び底壁のうち、一方の基板１ａ（又は１ｂ）から他方の基板１ｂ（又は１ａ）にわたるインクチャネル１１及び空気チャネル１２の側壁の全面に製膜されていてもよい。
【００５１】
各電極膜６は公知の蒸着処理、スパッタ処理、めっき処理などにより製膜されており、厚みが０．５μｍ以上かつ５μｍ以下の範囲となるように製膜されるのがよい。各電極膜６を構成する金属として、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｕ、Ａｌなどを主成分とする金属を挙げることができるが、中でもＡｌ、Ｎｉ、Ｃｕを主成分とする金属を電極膜６の構成金属として適用するのが好ましく、特にＮｉを主成分とする金属を適用するのが好ましい。
【００５２】
図２に示す通り、各電極膜６の内壁には、電極膜６の保護膜として機能する絶縁性保護膜７が断面視して四角形状に製膜されている。
【００５３】
絶縁性保護膜としては、ポリパラキシリレン、エポキシ樹脂、アクリル樹脂などの有機膜、ＳｉＯ２、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）などの無機膜などの絶縁性材料から構成された膜を好ましく例示でき、特に、ポリパラキシリレンから構成された膜が好適である。
【００５４】
絶縁性保護膜７の膜厚は１．０μｍ以上かつ１０μｍ以下の範囲とすることが好ましい。前記膜厚が１．０μｍより薄いと十分な絶縁性を維持するのが難しく、また膜厚が１０μｍを超えると、インクチャネル１１内の有効断面積を減少させ、更に、膜そのものの剛性により各隔壁１３の動きが規制されるため、十分なインク吐出感度及びインク吐出特性が得られ難い。
【００５５】
図１に示す通り、チャネル基板１の一端面１０ａ（図１中手前側に配置されたチャネル基板１の端面）には、インクチャネル１１に対応した位置にインクを吐出するためのノズル孔３１が形成されたノズルプレート３が取り付けられている。
【００５６】
詳しくはチャネル基板１の一端面１０ａには、ノズルプレート３が取り付けられる前にインクチャネル１１及び空気チャネル１２への絶縁性保護膜の製膜工程で絶縁性保護膜が製膜されるが、この絶縁性保護膜は公知の研磨処理、レーザ照射処理、酸素プラズマエッチング処理などで除去されている。
【００５７】
図３に示す通り、チャネル基板１の一端面１０ａの絶縁性保護膜が除去されていることにより、前記チャネル基板１の一端面１０ａに、ノズルプレート３が、前記絶縁性保護膜７を介さずに、接着剤Ｂで接着される。
【００５８】
後に詳述するが、一端面１０ａの絶縁性保護膜を除去するこれら処理では、処理が過剰となる場合があり、インクチャネルの内側面において保護膜欠損部を生成し、該保護膜欠損部において電極膜が露出して電極膜露出部が形成される。
【００５９】
本発明者は、電極膜６の露出部分の発生について詳細な検証を行い、電極膜露出部は、通常、インクチャネルの内側面において、チャネル基板の一端面から５μｍまでの範囲ないしチャネル基板の一端面から１０μｍまでの範囲に生成することを確認している。
【００６０】
更に、本発明者の検証によれば、電極膜露出部の生成頻度は、インクチャネル数十個に１個程度の割合である。通常、インクジェットヘッドが数十〜数千のインクチャネルを備えることを考えれば、１つのインクジェットヘッドは少なくとも１つの電極膜露出部を有していると見なすことができる。
【００６１】
本発明において、ノズルプレートを接着する接着剤（接着剤層）Ｂは、インクチャネルの内側面の保護膜欠損部から露出した電極膜露出部Ｅを被覆すると共に、該電極膜露出部Ｅから前記ノズルプレート３接着面にかけて連続的に形成されている。
【００６２】
このように、チャネル基板１の一端面１０ａだけでなく、チャネル内側にも接着剤層が形成されていることにより、絶縁性保護膜７から露出した電極膜露出部分Ｅを、接着剤層Ｂで被覆して保護することが可能である。
【００６３】
また、電極膜露出部は、通常、インクチャネルの内側面において、チャネル基板の一端面から５μｍまでの範囲ないしチャネル基板の一端面から１０μｍまでの範囲に生成することから、これを被覆して保護するために、接着剤層Ｂは、インクチャネル１１の内側面におけるチャネル基板１の一端面１０ａからの形成長さＬが、５μｍ以上かつ５０μｍ以下の範囲であることが好ましい。
【００６４】
更に、インクチャネル１１の内側面に塗布された接着剤Ｂの厚さは、少なくとも電極膜の保護が可能な範囲で、チャネル詰まりや吐出不良の発生を回避できるだけの薄さを有することが好ましく、具体的には、１μｍ以上かつ１０μｍ以下の範囲の塗布膜厚であることが好ましい。
【００６５】
更にまた、本発明において、接着剤層Ｂの断面形状は、図３に示すように、インク流路に対して略凹曲線状であることが好ましい。これにより、接着剤層Ｂがインク流路に対する障害物となることが回避され、チャネル詰まりや吐出不良の発生を更に回避できる。更に、同時に、インクチャネル１１の内側面における接着剤層の厚みが減少するので、接着剤層の厚みにより隔壁１３の動きが規制され難く、十分なインク吐出感度及びインク吐出特性が得られる。
【００６６】
本発明において、接着剤層Ｂを形成する接着剤は、電極膜露出部Ｅを保護する上で、インク中の溶媒等の成分に対するインク耐性に優れるものであることが好ましい。この観点から接着剤は、ガラス転移温度が１００℃以上のエポキシ系接着剤（エポキシ系樹脂から構成された接着剤）であることが好ましい。
【００６７】
ガラス転移温度が１００℃以上、好ましくは１３０℃以上のエポキシ系接着剤であれば、インクを構成する溶媒等の成分が接着剤中に浸透し難く、電極膜６を好適に保護して腐蝕を防止できる。また、これにより、電極膜成分のインク中への溶出も防止され、チャネル詰まりや吐出不良の発生が回避される。
【００６８】
更に、上記のエポキシ系接着剤には公知の硬化剤が添加されていてもよく、特に、インク耐性を更に向上して電極膜露出部分Ｅを保護する上で、イオン重合型の硬化剤を適用するのが好ましい。
【００６９】
一方、チャネル基板１の他端面１０ｂ（図１の例では中奥側に配置されたチャネル基板１の端面）には、インクチャネル１１に対応した位置にインクを流入するためのインク流入孔４１が形成されたバックプレート４が取り付けられており、バックプレート４を介してインクを一時的に貯留するインクマニホールド５がチャネル基板１の他端面１０ｂ側に取り付けられている。
【００７０】
インクジェットヘッド１００では、インクマニホールド５に貯留されたインクがバックプレート４のインク流入孔４１を通過してインクチャネル１１内に流入し、インクチャネル１１内のインクがノズルプレート３のノズル孔３１を通過してインクジェットヘッド１００の外部に吐出されるようになっている。
【００７１】
次に、インクジェットヘッド１００の製造方法について説明する。
【００７２】
始めに、インクジェットヘッド１００を構成する部材、すなわち２枚の基板１ａ、１ｂ、カバー基板２、ノズルプレート３、バックプレート４、インクマニホールド５などを準備する。基板１ａ、１ｂを準備したら、分極方向を互いに反対向きとした状態で各基板１ａ、１ｂをエポキシ系接着剤などの接着剤により互いに接合する。各基板１ａ、１ｂの接合に関して、接着剤層の硬化後の厚み（乾燥膜厚）が１μｍ以上かつ１００μｍ以下の範囲となるように各基板１ａ、１ｂを接着するのがよい。
【００７３】
各基板１ａ、１ｂを接合したら、円盤状の砥石（ダイシングブレード）などの公知の研削機を用いて互いに平行な複数の溝を所定ピッチで形成し、インクチャネル１１及び空気チャネル１２を交互に形成する。本実施形態では、せん断変形量を大きくするために２枚の基板１ａ、１ｂでチャネル基板１を構成したが、このような構成に限定されるものではない。
【００７４】
各基板１ａ、１ｂにインクチャネル１１及び空気チャネル１２を形成したら、公知の蒸着処理、スパッタ処理、めっき処理などでインクチャネル１１及び空気チャネル１２の各チャネル内（例えば図１に示したように、インクチャネル１１及び空気チャネル１２の各チャネルの側壁及び底壁）に電極膜６を形成（製膜）する（電極膜製膜工程）。
【００７５】
次いで、チャネル基板１の上面（インクチャネル１１及び空気チャネル１２を形成した面）に、脱分極した状態のカバー基板２が、硬化型接着剤（例えばエポキシ系接着剤）などで貼り付けられる。
【００７６】
電極膜成膜工程後に、インクチャネル１１及び空気チャネル１２の各電極膜６上に絶縁性保護膜７を製膜する（絶縁性保護膜製膜工程）。本実施形態ではインクチャネル１１及び空気チャネル１２の各チャネルのうち、インクチャネル１１及び空気チャネル１２の両チャネル内に絶縁性保護膜７を製膜するが、インクチャネル１１内にのみ絶縁性保護膜７を製膜するようにしてもよい。絶縁性保護膜７は、上述したように、ポリパラキシリレン膜であることが好ましい。
【００７７】
図４は、保護膜除去工程を説明する図である。
【００７８】
絶縁性保護膜７の製膜工程では、図４（ａ）に示す通り、電極膜６（及びカバー基板２の裏面）以外にもチャネル基板１の一端面１０ａに絶縁性保護膜７が製膜される。そのため、絶縁性保護膜７の製膜工程を終えたら、一端面１０ａに製膜された絶縁性保護膜７に対して公知の研磨処理、レーザ照射処理又は酸素プラズマエッチング処理などを施し、その処理対象とされた不要な絶縁性保護膜７を一端面１０ａの全面にわたって除去する（図４（ｂ）参照、絶縁性保護膜除去工程）。例えば、絶縁性保護膜７がポリパラキシリレン膜である場合、酸素プラズマエッチング処理でポリパラキシリレン膜７を除去することができ、一例として、一端面１０ａをプラズマ発生源に向け、親水化処理よりも高出力で又は長時間プラズマ処理する方法を好ましく挙げられる。
【００７９】
ところで、絶縁性保護膜除去工程においては、絶縁性保護膜７のエッチング速度が、サンプルサイズや形状などによって、一端面１０ａの面内において最大０．１μｍ／ｍｉｎ程度ばらつくことがある。エッチング速度のばらつきが大きいと、基板１の一端面１０ａ上のみならず、インクチャネル１１の内側面においても絶縁性保護膜７の一部が過剰エッチングされて欠損することがある。
【００８０】
また、絶縁性保護膜７の膜厚が成膜ロットごとにばらつく場合があり、特に絶縁性保護膜製膜工程において成膜された絶縁性保護膜７の膜厚が規定より１〜２μｍ程度薄くなると、過剰エッチングとなり、インクチャネル１１の内側面において絶縁性保護膜７の一部が過剰エッチングされて欠損することがある。
【００８１】
特に、本発明においては、十分なインク吐出感度及びインク吐出特性を得る上で、インクチャネル１１内の有効断面積の減少を防ぎ、更に、絶縁性保護膜７そのものの剛性により各隔壁１３の動きが規制されないようにすることが重要であり、そのため、絶縁性保護膜７の膜厚は、好ましくは１０μｍ以下に薄く形成されている。このように絶縁性保護膜７の膜厚が薄い場合、過剰エッチングは更に誘発され易くなる。
【００８２】
これらの結果として、図４（ｃ）に示すように、インクチャネルの内側面に保護膜欠損部が生じ、保護膜欠損部において電極膜が露出して電極膜露出部Ｅが発生する。
【００８３】
チャネル基板１の一端面１０ａにおける電極膜末端の露出部Ｄであれば、特許文献５の技術により接着剤によって被覆して、電極膜６の腐食を防止できるが、インクチャネル１１の内側面において電極膜露出部Ｅが発生した場合は、特許文献５の技術を用いても、接着剤による被覆範囲外であるため、電極膜露出部Ｅは保護されず、電極膜６の腐食が起こる恐れがあった。
【００８４】
本発明者は、前述のように、電極膜６の露出部分Ｅの発生について詳細な検証を行い、電極膜露出部は、通常、インクチャネル１１の内側面において、チャネル基板の一端面から５μｍまでの範囲ないしチャネル基板の一端面から１０μｍまでの範囲に生成することを確認している。
【００８５】
更に、本発明者の検証によれば、前述のように、電極膜露出部の生成頻度は、比較的軽度の露出部も含めれば、インクチャネル数十個に１個程度の割合である。通常、インクジェットヘッドが数十〜数千のインクチャネルを備えることを考えれば、１つのインクジェットヘッドは少なくとも１つの電極膜露出部を有していると見なすことができる。
【００８６】
そこで、本発明者は、接着剤塗布工程において、ノズルプレート接着用の接着剤をインクチャネル１１の内側面にも塗布して、電極膜６の露出部分Ｅを被覆して保護することを検討した。しかるに、インクチャネル１１の内のりは通常僅か４０〜１００μｍ程度であるため、接着剤の塗布を行うこと自体が困難であり、更に、電極膜６の露出部分Ｅを十分に被覆できるだけの接着剤の塗布を試みれば、インクチャネル１１内に多量の接着剤を塗布することになり、チャネル詰まりや吐出不良を引き起こした。
【００８７】
本発明者は、チャネル詰まりや吐出不良を引き起こすことなく、電極膜６の露出部分Ｅを接着剤によって被覆して保護することについて鋭意検討し、本発明に至った。
【００８８】
本発明は、保護膜除去工程後に、チャネル基板１の一端面１０ａ、及び、インクチャネル１１の内側面の保護膜欠損部から露出した電極膜露出部Ｅを連続的に被覆する接着剤層を形成する接着剤塗布工程を備える。
【００８９】
まず、図５を参照して本発明の接着剤塗布工程の第１態様を説明する。
【００９０】
第１態様においては、不要な絶縁性保護膜７を除去した後、まず、チャネル基板１の一端面１０ａ、及び、インクチャネル１１の内側面の保護膜欠損部から露出した電極膜露出部Ｅを連続的に被覆する接着剤層Ｂを形成する。
【００９１】
これにより、絶縁性保護膜７から露出した電極膜露出部Ｅを、接着剤Ｂで被覆して保護することが可能となる。
【００９２】
接着剤塗布工程における、接着剤Ｂの塗布方法は限定されず、例えば印刷法、ディスペンサーやローラーや刷毛などを用いて塗布する方法等を例示できるが、チャネル基板１の一端面１０ａ、特に複数に分割された各々の一端面１０ａに均一に接着剤Ｂを塗布するためには、図５（ａ）に示すように、表面に接着剤Ｂが塗布された接着剤転写シートＳを用いて塗布することが好ましい。前記接着剤転写シートＳは、ワイヤーバー等を用いて、表面に規定量の接着剤Ｂが塗布されたものであることが好ましい。
【００９３】
接着剤転写シートＳを用いて塗布する場合は、接着剤転写シートＳの接着剤Ｂに、チャネル基板１の一端面１０ａを接触させる。このとき、図５（ｂ）に示すように、接着剤Ｂに対して一端面１０ａを埋浸する、又は、埋浸した状態で揺動することによって、図５（ｃ）に示すように、チャネル基板１の一端面１０ａ、及び、インクチャネル１１の内側面の保護膜欠損部から露出した電極膜露出部Ｅを連続的に被覆する接着剤層Ｂを形成することができる。
【００９４】
次に、図６を参照して本発明の接着剤塗布工程の第２態様を説明する。
【００９５】
第２態様においては、不要な絶縁性保護膜７を除去した後、まず、チャネル基板１の一端面１０ａに対し接着剤Ｂを塗布する。
【００９６】
接着剤Ｂの塗布方法は限定されず、例えば印刷法、ディスペンサーやローラーや刷毛などを用いて塗布する方法等を例示できるが、チャネル基板１の一端面１０ａ、特に複数に分割された各々の一端面１０ａに均一に接着剤Ｂを塗布するために、図６（ａ）に示すように、表面に接着剤Ｂを被覆した接着剤転写シートＳを用いて塗布することが好ましい。前記接着剤転写シートＳは、ワイヤーバー等を用いて、表面に規定量の接着剤Ｂが塗布されたものであることが好ましい。
【００９７】
接着剤転写シートＳを用いて塗布する場合は、図６（ｂ）に示すように、チャネル基板１の一端面１０ａを、接着剤転写シートＳに向けた状態で、チャネル基板１の一端面１０ａと接着剤Ｂとを接触させて、図６（ｃ）に示すように、チャネル基板１の一端面１０ａに対する接着剤Ｂの塗布が行われる。
【００９８】
このままの状態では、インクチャネル１１の内側面の保護膜欠損部から露出した電極膜露出部Ｅが接着剤Ｂによって被覆されないので、第２態様では、次いで、図６（ｄ）に示すように、チャネル基板１の一端面１０ａに位置するインクチャネル１１の出口１１ａからチャネル基板１の他端面１０ｂに位置するインクチャネル１１の入口１１ｂに向かう空気流で、インクチャネル１１の内側面の保護膜欠損部から露出した電極膜露出部Ｅを被覆するように拡張する。これにより、チャネル基板１の一端面１０ａ、及び、インクチャネル１１の内側面の保護膜欠損部から露出した電極膜露出部Ｅを連続的に被覆する接着剤層を形成することができる。
【００９９】
チャネル基板１の一端面１０ａに位置するインクチャネル１１の出口１１ａからチャネル基板１の他端面１０ｂに位置するインクチャネル１１の入口１１ｂに向かう空気流の形成は、特に限定されるものではないが、他端面１０ｂ側からの送風、又は、一端面１０ａ側からの空気吸引により行うことができる。
【０１００】
電極膜露出部Ｅは、通常、インクチャネル１１の内側面において、チャネル基板１の一端面１０ａから５μｍまでの範囲ないしチャネル基板１の一端面１０ａから１０μｍまでの範囲に生成することから、これを被覆して保護するために、接着剤塗布工程によって形成される接着剤層Ｂは、好ましくは、インクチャネル１１の内側面におけるチャネル基板１の一端面１０ａからの形成長さが５μｍ以上かつ５０μｍ以下の範囲である。
【０１０１】
しかし、インクチャネル１１の内側面に対して、電極膜露出部Ｅを被覆できるだけの接着剤Ｂを塗布を行った場合、特に、インクチャネル１１の内側面におけるチャネル基板１の一端面１０ａからの形成長さが５μｍ以上かつ５０μｍ以下の範囲に達するような塗布を行った場合は、過剰な量の接着剤Ｂがインクチャネル１１の内側面に塗布された状態（接着剤詰まり）となり、このままの状態で用いるとチャネル詰まりや吐出不良の原因になる問題を生じる。
【０１０２】
上記の問題に対して、接着剤塗布工程後に設けられる接着剤押し出し工程では、接着剤Ｂの余剰部分をインクチャネル１１外部、好ましくはチャネル基板１の一端面１０ａ上に移動するように押し出して、上記のチャネル詰まりや吐出不良の発生を防止する。
【０１０３】
ここで、接着剤Ｂの余剰部分というのは、インクチャネル１１の内側面に塗布された接着剤Ｂの厚み１０〜５０μｍ程度の塗布膜厚を、厚さ１〜１０μｍ程度の塗布膜厚に減少させる減少部分に相当する塗布部分であり、この余剰部分に相当する接着剤は、接着剤押し出しによって、インクチャネル１１外部、好ましくはチャネル基板１の一端面１０ａ上に移動する。
【０１０４】
具体的には、図７に示すように、前記接着剤塗布工程後に、チャネル基板１の他端面１０ｂに位置するインクチャネル１１の入口１１ｂからチャネル基板１の一端面１０ａに位置するインクチャネル１１の出口１１ａに向かう空気流で、インクチャネル１１の内側面に塗布された接着剤Ｂの余剰部分をインクチャネル１１外部、好ましくはチャネル基板１の一端面１０ａ上に移動するように押し出す。
【０１０５】
チャネル基板１の他端面１０ｂに位置するインクチャネル１１の入口１１ｂからチャネル基板１の一端面１０ａに位置するインクチャネル１１の出口１１ａに向かう空気流の形成は、特に限定されるものではないが、他端面１０ｂ側からの送風、又は、一端面１０ａ側からの空気吸引により行うことができる。
【０１０６】
なお、特開平１１−１６５４１９号公報には、接着剤塗布時において、インク供給口から吐出口側へと流れる空気流を形成して、インクチャネル内部への接着剤の入り込みを防止する技術が開示されている。これに対して、本発明は、接着剤塗布時においては、むしろインクチャネル１１の内部への接着剤Ｂの入り込みを促して、これによりインクチャネル１１の内側面に接着剤Ｂを入り込ませた後に、空気流で、インクチャネル１１の内側面を被覆する接着剤Ｂの余剰部分をインクチャネル１１外部へ押し出すものであり、特開平１１−１６５４１９号公報の技術とは思想、構成共に全く異なるし、またこれにより本発明に特有の効果を奏するものである。
【０１０７】
第１態様又は第２態様により接着剤Ｂが塗布された一端面１０ａに、ノズルプレート３を接着する（接着工程）。また、これと同様にしてチャネル基板１の他端面１０ｂに接着剤でバックプレート４を接着し、さらに接着剤でバックプレート４のチャネル基板１の反対側にインクマニホールド５を接着してインクジェットヘッド１００が完成する。
【０１０８】
本発明は、接着剤塗布工程の第２態様、及び、接着剤押し出し工程において、塗布された接着剤Ｂを空気流により変形せしめる構成を有している。
【０１０９】
上記の変形を好適に行う上で、接着剤Ｂの粘度、及び、空気流の設定は重要である。
【０１１０】
本発明において、接着剤Ｂの粘度は、２Ｐａ・ｓ以上かつ３０Ｐａ・ｓ以下の範囲であることが好ましい。接着剤Ｂの粘度が上記範囲に満たない場合、空気流による圧力で、接着剤Ｂが周囲に飛び散って汚染を生じる恐れがあり、上記範囲を超える場合、空気流による変形が困難となる。
【０１１１】
また、本発明において、空気流の圧力は０．３ＭＰａ以上かつ１．２ＭＰａ以下の範囲から接着剤Ｂや該接着剤Ｂの塗布量に応じて適宜選択されることが好ましい。空気流の圧力が上記範囲に満たない場合、接着剤Ｂの変形が困難となり、上記範囲を超える場合、空気流による圧力で、接着剤Ｂが周囲に飛び散って汚染を生じる恐れがある。
【０１１２】
また、空気流を形成する継続時間は、１秒以上かつ１０秒以下の範囲から接着剤Ｂの特性や塗布量に応じて適宜選択されることが好ましい。空気流を形成する継続時間が上記範囲に満たない場合、接着剤Ｂの変形が困難となり、上記範囲を超える場合、処理時間に対してそれ以上の接着剤Ｂの変形が生じ難く、生産性を低下する。
【０１１３】
本発明において、空気流を形成する空気流形成手段は限定されず、送風によるもの、又は、空気吸引によるものの何れであってもよい。
【０１１４】
送風により空気流を形成する空気流形成手段としては、エアーブローガン、エアーダスター、エアーナイフ等を好ましく例示でき、空気吸引により空気流を形成する空気流形成手段としては、真空吸引ポンプ等を好ましく例示できる。
【０１１５】
空気流形成手段が備える空気噴射口（ノズル）の形状は特に限定されず、シングルノズルタイプや、多数のノズルが並設されたフラットタイプ等が挙げられる。特に本発明においては、複数のインクチャンネルに対して、同時に、均一な空気流を形成する上で、フラットタイプを好ましく用いることができる。
【０１１６】
図８は、空気流の形成方法の一例を説明する図である。
【０１１７】
図８において、２０は送風を行う空気流形成手段であり、図示の例では多数のノズル２１が並設されたフラットタイプのノズルを備えている。空気流形成手段２０は、チャネル基板１の他端面１０ｂに平行に配置され、空気流形成手段２０の空気噴射口２２と他端面１０ｂとの距離Ｄは、好ましくは、０ｍｍ以上かつ３０ｍｍ以下の範囲である。なお、別の態様として、一端面１０ａ側に空気流形成手段を配置する場合は、接着剤との接触を避けることが好ましい。図示の例では、隔壁１３を隔てて交互に形成されたインクチャネル１１及び空気チャネル１２に対して同時に空気流を形成しているが、これに限定されるものではなく、１以上のインクチャンネル１１に順次空気流を形成してもよいし、インクチャンネル１１のみに対して空気流を形成し、空気チャネル１２に対して空気流を形成しないものであってもよい。各々のインクチャネル１１に均一な空気流を形成するために、各々のインクチャネル１１毎にノズル２１を設けることも好ましいことである。
【０１１８】
また、例えば、接着剤塗布工程の第２態様を選択する場合では、送風と空気吸引の切り替えが可能な空気流形成手段を用いて、接着剤塗布工程において他端面１０ｂ側から空気吸引し、その後、接着剤押し出し工程においては送風するという切り替えを行うことにより、工程の簡略化及び効率化を図ることが可能である。
【０１１９】
本発明は、接着剤押し出し工程を有することにより、接着工程後の接着剤層Ｂの、インクチャネル１１の内側面におけるチャネル基板１の一端面１０ａからの形成長さＬを、チャネル基板１とノズルプレート３を接着している接着剤厚さＬ０以上とすることが可能となる。なお、仮に従来の方法で前記形成長さＬを接着剤厚さＬ０以上とすることを試みれば、接着剤転写時にチャネル基板の一端面１０ａを接着剤に深く埋浸させたり、ノズルプレート接着時にチャネル基板１の一端面１０ａをノズルプレート３に強く押し付けたりする等の方法に依らざるを得ず、これらはインクチャネル１１の内部に多量の接着剤を導入することになり、チャネル詰まりや吐出不良を招くものであった。
【０１２０】
更に、本発明のインクジェットヘッドは、接着剤押し出し工程において、インクチャネル１１の内側面に塗布された接着剤Ｂの余剰部分が、インクチャネル外部、好ましくはチャネル基板１の一端面１０ａ上に移動するように押し出されているために、ノズルプレート３接着後における接着剤層Ｂの断面形状を、インクの流路に対して略凹曲線状とすることが容易となり、これにより、接着剤層Ｂがインク流路に対する障害物となることが回避され、チャネル詰まりや吐出不良の発生を更に回避できる。更に、同時に、インクチャネル１１の内側面における接着剤層Ｂの厚みが減少するので、接着剤層Ｂの厚みにより隔壁１３の動きが規制され難く、十分なインク吐出感度及びインク吐出特性が得られる。
【０１２１】
次に、インクジェットヘッド１００の作用について説明する。
【０１２２】
チャネル基板１のインクチャネル１１にインクが貯留された状態において、各電極膜６に接続された駆動回路から各電極膜６に制御信号が送信されると、チャネル基板１を構成する各基板１ａ，１ｂが駆動されて変形する。すると、インクチャネル１１中のインクがノズルプレート３のノズル孔３１からインクジェットヘッド１００の外部に吐出される。その後、駆動回路から各電極膜６に別の制御信号が送信されて各基板１ａ，１ｂの変形が解除されると、インクマニホールド５からバックプレート４のインク流入孔４１を通過してインクチャネル１１内にインクが流入する。以後、駆動回路から各電極膜６に制御信号が送信されるごとに、インクジェットヘッド１００では上記の動作が繰り返しおこなわれ、インクマニホールド５内のインクがインクチャネル１１を通過してノズルプレート３のノズル孔３１から吐出される。
【実施例】
【０１２３】
以下に、本発明の実施例を説明するが、本発明はかかる実施例によって限定されない。
【０１２４】
まず、以下に示すインクジェットヘッドの製造方法によりインクジェットヘッドを作成し、貼り付け性及びインク耐性について評価した。
【０１２５】
＜インクジェットヘッドの製造方法＞
始めに、厚さ１５０μｍ，厚さ９００μｍの２枚のＰＺＴ板を１５０℃に熱した絶縁油に漬けて、１０ＫＶの直流電圧を掛けて分極を行い、エポキシ系接着剤で２枚のＰＺＴ板を分極方向が反対になるように接着した。
【０１２６】
次いで、ＰＺＴ板の表面に、東京応化工業社製ポジ型フォトレジスト「ＰＭＥＲＰ−ＬＡ１００」を、乾燥膜厚５μｍになる様にスピンコートし、１００℃のオーブンに３０分間入れてキュアーした後、ＰＺＴ板の表面からダイヤモンドブレードを使用して、前後方向に伸びる幅７０μｍ、深さ３００μｍのインク流路用のインクチャネルと、前後方向に伸びる幅７０μｍ、深さ３００μｍの空気溝用の空気チャネルを交互に７０μｍ間隔で研削してチャネル基板を形成した後、超音波洗浄して研削屑を取り除き、Ｎｉ−Ｂの無電解めっきを施した。
【０１２７】
無電解めっきでは、最初に、チャネル基板を、５０℃に加熱した（株）ワールドメタル製の脱脂液「ＰＴ−０」（有機酸塩０．４％＋無機アルカリ塩０．２％＋ノニオン活性剤０．５％、ｐＨ＝１）に３０秒間つけて洗浄した。水洗後、（株）ワールドメタル製のエッチング液「ＰＴ−１」（無機酸塩５％＋アンモニヤ系硫酸塩４％、弗素系塩１．５％、ｐＨ＝２）に３０秒間漬け、水洗した後、（株）ワールドメタル製の酸化液「ＰＴ−２」（有機酸塩１５％＋無機塩２％、ｐＨ＝１）に３０秒間漬けた。更に水洗した後、（株）ワールドメタル製の塩化第一錫溶液「ＰＴ−３」（有機酸塩０．４％＋無機酸塩０．８％＋塩化第一錫０．６％＋ＮａＣｌ３．５％、ｐＨ＝１）に３０秒間漬け、軽く水洗して、（株）ワールドメタル製の塩化パラジウム溶液「ＰＴ−４」(有機酸塩１％＋無機酸塩３％＋塩化パラジウム０．１％、ｐＨ＝１)に４５秒漬けた。これを水洗後、「ＰＴ−３」と「ＰＴ−４」による処理をもう一度繰り返した。
【０１２８】
次いで、前処理の終ったチャネル基板を、６０℃に加熱した（株）ワールドメタル製のニッケル−ホウ素無電解めっき液「ニボロン７０」に界面活性剤「ＡＰ５５５」を添加した液で、２０分間、垂直方向に２．５ｃｍ／ｓｅｃの速度で揺動させながらめっきし、１．５μｍのめっき金属を形成した。
【０１２９】
次いで、東京応化工業社製のレジスト剥離液「ＰＳ」にめっき済みのチャネル基板を浸漬して、レジストを取り除き、セラミックス製の試料取り付け板の上に、めっき済みのチャネル基板の前壁を上に向けてワックスでチャネル基板を固定し、これを（株）日本エンギス製のハイプラスラッピング機の回転するラッピングプレート上に載せて、粒径３μｍのダイヤモンドスラリーを噴射しながら、３分間、チャネル基板の前壁を研磨してめっき金属を除去した。
【０１３０】
引き続き、チャネル基板の後壁と底面に析出しためっき金属を、波長５３２ｎｍのＹＡＧレーザーで、約５０Ｊ／ｃｍ２のエネルギー密度で除去してめっき除去部を形成し、これにより各チャネル部間の電極を分離してヘッド配線とした。
【０１３１】
次いで、上記チャネル基板と同一のＰＺＴ板を脱分極してカバー基板を作製した。カバー基板を作製したら、そのカバー基板をチャネル基板に接着し、ＣＶＤ処理によりチャネル基板（インクチャネル及び空気チャネルの壁面を含む。）にポリパラキシリレン膜を製膜した。
【０１３２】
次いで、チャネル基板の一端面（ノズルプレートを取り付ける面）に製膜されたポリパラキシリレン膜を酸素プラズマエッチング処理により除去した。酸素プラズマエッチング処理では、処理用の装置として平行平板型ＲＦプラズマ装置を用い、電源として１３．５６ＭＨｚのＲＦ高周波電源を用い、カソード上にチャネル基板を載置した状態で電源から３００Ｗの電力を供給して放電した。酸素プラズマエッチング処理中、排気速度を調整しながら酸素ガスを５０ｓｃｃｍ導入して圧力を１０Ｐａに制御した。
【０１３３】
このような処理条件において、ポリパラキシリレン膜のエッチング速度は０．３〜０．４μｍ／ｍｉｎであり、処理に供するインクジェットヘッドにおけるポリパラキシリレン膜の膜厚に応じてエッチング処理時間を調整した。
【０１３４】
参考例１〜３、比較例１〜４、又は、実施例１〜５の各々のインクジェットヘッドにおけるポリパラキシリレン膜の膜厚とエッチング処理時間を表１に示す。
【０１３５】
さらに、エッチング処理時間に応じた平均エッチング量（μｍ）を、エッチング速度の最小値（ＭＩＮ）である０．３μｍ／ｍｉｎ、及び、最大値（ＭＡＸ）である０．４μｍ／ｍｉｎの各々について求めた結果を表１に示した。
【０１３６】
次いで、平坦なフィルムにワイヤーバーにより、粘度が２５Ｐａ・ｓ、ガラス転移温度が１３１℃、１００℃における硬化時間が１時間のエポキシ系接着剤（高粘度）を、４μｍの膜厚になるように塗布し、接着剤転写シートを調製した。
【０１３７】
参考例１〜３、比較例１〜４、又は、実施例１〜５の各々の場合について、以下の方法で接着剤層の形成を行った。
【０１３８】
（参考例１〜３及び比較例１〜３）
接着剤転写シートの接着剤に、チャネル基板の一端面を、触る程度に接触させて、接着剤層を形成した。
【０１３９】
（比較例４）
接着剤転写シートの接着剤に、チャネル基板の一端面を接触させると共に、該接着剤に対して該一端面を埋浸し、埋浸した状態で揺動することによって、接着剤層を形成した。
【０１４０】
（実施例１〜５）
比較例４と同様の方法で得られた接着剤層に対して、更に、チャネル基板の接着剤塗布面の反対面方向からの空気流で、インクチャネルの内側面に塗布された接着剤の余剰部分をインクチャネル外部へ押し出す処理を施した。空気流の形成は、チャネル基板の他端面１０ｂ（接着剤塗布面の反対面）から、図８に示すような自作のフラットタイプノズルを備えたエアーブローガン（チヨダエンジニアリング社製「ＢＧ５０」）により送風することにより行った。その際、送風圧力を０．５ＭＰａとし、図８の例と同様にフラットタイプノズルの空気噴射口とチャネル基板の他端面１０ｂとの距離を１０ｍｍとし、空気流を形成する継続時間を３秒とした。
【０１４１】
参考例１〜３、比較例１〜４、又は、実施例１〜５の各々の場合について、上記の通り接着剤層を形成したら、レーザによりノズルが形成されたポリイミド製のノズルプレートを、チャネル基板の一端面（接着剤が転写された面）に押し当て、チャネル基板にノズルプレートを接着した。チャネル基板とノズルプレート間における接着剤厚さは２μｍとした。ノズルプレートを接着したら、ノズルプレートを取り付けたチャネル基板を常温で４８時間放置し、その後１００℃で１時間加熱した。
【０１４２】
次いで、ノズルプレートを取り付けたチャネル基板に、バックプレート、インクマニホールドなどをそれぞれ取り付け、インクジェットヘッドの作製を完成した。
【０１４３】
＜評価方法＞
１．貼り付け性
上記の各実施例、比較例及び参考例のインクジェットヘッドについて、ノズルプレートの貼り付け結果を検査した。
【０１４４】
各インクジェットヘッドで接着剤抜けやチャネル詰まりがあった場合はＮＧとし、異常がない場合はＯＫとした。
【０１４５】
各実施例、比較例及び参考例について各々１０個のインクジェットヘッドを検査し、１０個ともＯＫの場合を○とし、ＮＧが一つでもあった場合を×とした。
【０１４６】
結果を表１に示す。
【０１４７】
２．インク耐性
上記の各実施例、比較例及び参考例のインクジェットヘッドのインクマニホールド内にＮメチル−２−ピロリジノン（ＮＭＰ）を満たし、６０℃の環境試験下で放置した。３週間後、各インクジェットヘッドからＮＭＰを吐出させ、吐出性能を評価した。
【０１４８】
全てのノズルからインクが吐出した場合をＯＫとし、吐出しないノズルが１つ以上存在した場合はＮＧとした。
【０１４９】
各実施例、比較例及び参考例について各々１０個のインクジェットヘッドを検査し、１０個ともＯＫの場合を○とし、ＮＧが１個の場合を×とし、ＮＧが２個以上の場合を××とした。
【０１５０】
結果を表１に示す。
【０１５１】
【表１】
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【０１５２】
＜評価＞
まず、参考例１〜３は、貼り付け性及びインク耐性が良好であることがわかる。しかし、ポリパラキシリレン膜の膜厚に対して、エッチング時間（平均エッチング量）が十分に過剰となっていないため、ポリパラキシリレン膜の膜厚が成膜ロットごとにばらつく場合は、一端面上のポリパラキシリレン膜の除去が不十分となり、ノズルプレートの接着強度が得られない恐れがある。
【０１５３】
一方、比較例１〜３では、参考例１〜３よりも平均エッチング量が過剰となるようにエッチング時間を設定し、ノズルプレートの接着強度不足を回避している。しかるに、比較例１〜３は、表１に示すように、何れもインク耐性に劣ることがわかる。過剰エッチングにより、インクチャンネルの内側面においてポリパラキシリレン膜の欠損が生じ、電極膜露出部が形成され、該電極膜露出部を起点として電極膜の腐食が進行し、インク耐性に劣る結果になったものと推定される。
【０１５４】
これに対して、実施例１〜５では、平均エッチング量が過剰となるようにエッチング時間を設定しても、良好なインク耐性を示していることが分かる。例えば、ポリパラキシリレン膜の膜厚が同等である、比較例１と実施例２（あるいは、比較例２と実施例４）を比較すると、実施例の平均エッチング量が、比較例よりも更に過剰に設定されているにもかかわらず、実施例１〜５では良好なインク耐性が得られたことが分かる。
【０１５５】
また、実施例１〜５では、平均エッチング量を過剰に設定しているので、一端面上のポリパラキシリレン膜を確実に除去でき、高いノズルプレートの接着強度が得られるものと推定される。
【符号の説明】
【０１５６】
１００：インクジェットヘッド
１：チャネル基板
２：カバー基板
３：ノズルプレート
４：バックプレート
５：インクマニホールド
６：電極膜
７：絶縁性保護膜
１１：インクチャネル
１２：空気チャネル
１３：隔壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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