(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部材と支持対象物との間に介在し、前記ベース部材と前記支持対象物との間隔を調整可能に前記支持対象物を前記ベース部材に固定する離間距離調整装置であって、
外面にフランジ部が形成されたスリーブ本体を有するスリーブと、
前記フランジ部に一方の端部が接触すると共に前記スリーブ本体を囲むように配され、前記スリーブ本体の軸方向に伸縮する弾性体と、
前記弾性体を前記フランジ部との間で前記スリーブ本体の軸方向に圧縮させるプリロードナットと、
前記スリーブ本体の一方の端部側に配され、当該スリーブ本体と前記ベース部材とを固定する固定手段と、
前記スリーブ本体の他方の端部側に配され、前記支持対象物と当該スリーブ本体とを固定すると共に、当該支持対象物と前記ベース部材との間隔を調整する固定調整手段と、
前記スリーブ本体の他方の端部側に配され、前記支持対象物と前記弾性体との間に介在して、前記弾性体の反力により前記支持対象物を支持するスペーサと、
を具備する離間距離調整装置。
【請求項２】
前記スリーブ本体は、一方の端部側に第一雌ネジ穴部を有する請求項１に記載の離間距離調整装置。
【請求項３】
前記固定手段として、前記スリーブ本体の一方の端部側の第一雌ネジ穴部に螺合して当該スリーブ本体を前記ベース部材に固定するための第一雄ネジ部を有したＴボルトを具備する請求項２に記載の離間距離調整装置。
【請求項４】
ベース部材と支持対象物との間に介在し、前記ベース部材と前記支持対象物との間隔を調整可能に前記支持対象物を前記ベース部材に固定する離間距離調整装置であって、
外面にフランジ部が形成されたスリーブ本体を有するスリーブと、
前記フランジ部に一方の端部を接触させると共に前記スリーブ本体を囲むように配され、前記スリーブ本体の軸方向に伸縮する弾性体と、
前記弾性体を前記フランジ部との間で前記スリーブ本体の軸方向に圧縮させるプリロードナットと、
前記スリーブ本体の一方の端部側に配され、当該スリーブ本体と前記ベース部材とを固定する固定手段と、
前記スリーブ本体の他方の端部側に配され、前記支持対象物と当該スリーブ本体とを固定すると共に、当該支持対象物と前記ベース部材との間隔を調整する固定調整手段と、
前記スリーブ本体の他方の端部側に配され、前記支持対象物と前記弾性体との間に介在して、前記弾性体の反力により前記支持対象物を支持するスペーサと、を具備し、
前記固定手段として、前記スリーブ本体は、一方の端部側の端面に第四雄ネジ部を有した突起部を有する離間距離調整装置。
【請求項５】
前記スリーブ本体は、他方の端部側に第二雌ネジ穴部を有し、
前記スペーサは、前記スリーブ本体の第二雌ネジ穴部に対向する貫通穴を有する請求項１から４の何れか一項に記載の離間距離調整装置。
【請求項６】
前記固定調整手段として、前記スペーサの貫通穴を介して、前記スリーブ本体の他方の端部側の前記第二雌ネジ穴部に螺合して当該スリーブ本体と前記支持対象物とを固定すると共に、当該支持対象物と前記ベース部材との間隔を調整する第二雄ネジ部を有する六角穴付きボルトを具備する請求項５に記載の離間距離調整装置。
【請求項７】
前記スリーブ本体は、他方の端部側の外周部に前記プリロードナットと螺合して前記弾性体を押圧する第三雄ネジ部を有する請求項１から６の何れか一項に記載の離間距離調整装置。
【請求項８】
前記スリーブ本体は、第二雌ネジ穴部の一方の端部側に工具と係合することにより当該スリーブ本体を軸心周り方向に回転させるための回転操作受付部を具備する請求項５または６に記載の離間距離調整装置。
【請求項９】
前記スリーブ本体は、前記フランジ部からの距離が前記弾性体の自由高さよりも短い位置で前記プリロードナットの座面に接触する座を有する請求項１から８の何れか一項に記載の離間距離調整装置。
【請求項１０】
前記スペーサは、内部に凹部を有し、一方の端面が前記弾性体の他方の端部に接触し、他方の端面の外面が前記支持対象物に接触し、他方の端面が前記スリーブ本体の他方の端面より前記支持対象物側に配されている請求項１から９の何れか一項に記載の離間距離調整装置。
【請求項１１】
前記スペーサの貫通穴の他方の端面側の開口部は、前記スリーブ本体の第二雌ネジ穴部と同心の穴を有する請求項５または６に記載の離間距離調整装置。
【請求項１２】
搬送面から搬送物を浮上させる浮上搬送装置であって、
前記ベース部材と、
前記搬送面を備え、当該搬送面に貫通穴が形成されたエアレールと、
当該エアレールの貫通穴から前記固定調整手段が露出するように、当該エアレールを前記支持対象物として支持する請求項１から１１の何れか一項に記載の離間距離調整装置と、
を有する浮上搬送装置。
【請求項１３】
搬送面から搬送物を浮上させる浮上搬送装置であって、
前記ベース部材と、
前記搬送面を備え、当該搬送面に貫通穴が形成されたエアレールと、
当該エアレールの貫通穴から前記固定調整手段が露出するように、当該エアレールを前記支持対象物として支持する請求項３に記載の離間距離調整装置と、を備え、
前記ベース部材は、当該ベース部材の長手方向に直交する一方並びに他方の端面にて開口し、当該一方の端面から他方の端面まで連続すると共に前記支持対象物側に開口し、前記Ｔボルトが挿入されるＴ字状溝を有する浮上搬送装置。
【請求項１４】
前記ベース部材は、前記支持対象物に対向する面に、前記スリーブ本体の前記第四雄ネジ部が螺合する第三雌ネジ穴部を有した請求項４から１１の何れか一項に記載の離間距離調整装置を有する浮上搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、離間距離調整技術に関し、特に、搬送物を浮上させて搬送する浮上搬送装置に好適なレベリング装置の構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットディスプレイパネル（ＦＤＰ）に用いられる基板等を搬送面から浮上させて搬送する浮上搬送装置として、特許文献１記載の基板搬送装置が知られている。
【０００３】
この浮上搬送装置は、配列された複数の浮上ブロックの搬送面から圧縮空気を噴出させることによって搬送対象の基板を浮上させながら、この基板を搬送方向に搬送する。ここで、各浮上ブロックの搬送面の高さおよび平面度を調整可能とするため、各浮上ブロックは個別の可動プレート上にネジで固定されており、これらの可動プレートと固定プレートとの間隔がそれぞれ３点で調整できるようになっている。
【０００４】
具体的には、浮上ブロックの底部両側からはり出す可動プレートには合計３ケ所に雌ネジが切られており、固定プレートには、各可動プレートの雌ネジに対向する位置に、それらの雌ネジとはピッチの異なる雌ネジが切られている。そして、可動プレートの雌ネジと固定プレートの雌ネジとにかみあう雄ネジ部を有する調整ネジが、可動プレートと固定プレートとの間に介在するバネ内に挿入された状態で、対向する各組の雌ネジに締結されている。作業者は、隣り合う浮上ブロックの間に工具を差し入れて調整ネジを回転させることにより、調整ネジの位置における可動プレートと固定プレートとの間隔を、両プレートの雌ネジのピッチ差分に相当する距離ずつ増減させ、調節することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２２９２５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１記載の基板搬送装置においては、可動プレートを固定プレートに取り付ける際、作業者は、可動プレートの各雌ネジにねじ込んだ調整ネジにそれぞれバネを挿入し、これらのバネが抜け落ちないように保持しながら、各調整ネジの先端を、固定プレートの対応雌ネジに位置付ける必要がある。このため、作業性がよくない。
【０００７】
また、作業者が調整ネジの締め・緩め作業を行うための空間を浮上ブロックの両側に確保しておく必要があるため、隣り合う浮上ブロックの間隔をさらに狭くしたり、隣り合う浮上ブロックを密着させたりすることができない。このため、隣り合う浮上ブロックの隙間位置で、搬送対象に良好な状態で圧縮空気を吹き付けることができず、搬送対象の浮上状態が不安定になる可能性がある。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、二つの部材間の離間距離調整作業の作業性を向上させる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明は、離間距離調整装置において、ベース部材と支持対象物との間隔を調整するための弾性体等を含む複数の構成部品をユニット化可能な構造とすると共に、支持対象の取付け、およびベース部材と支持対象物との離間距離調整を共通のネジに対する作業で行えるようした。
【００１０】
例えば、本発明の第一の態様は、
ベース部材と支持対象物との間に介在し、前記ベース部材と前記支持対象物との間隔を調整可能に前記支持対象物を前記ベース部材に固定する離間距離調整装置であって、
外面にフランジ部が形成されたスリーブ本体を有するスリーブと、
前記フランジ部に一方の端部が接触すると共に前記スリーブ本体を囲むように配され、前記スリーブ本体の軸方向に伸縮する弾性体と、
前記弾性体を前記フランジ部との間で前記スリーブ本体の軸方向に圧縮させるプリロードナットと、
前記スリーブ本体の一方の端部側に配され、当該スリーブ本体と前記ベース部材とを固定する固定手段と、
前記スリーブ本体の他方の端部側に配され、前記支持対象物と当該スリーブ本体とを固定すると共に、当該支持対象物と前記ベース部材との間隔を調整する固定調整手段と、
前記スリーブ本体の他方の端部側に配され、前記支持対象物と前記弾性体との間に介在して、前記弾性体の反力により前記支持対象物を支持するスペーサと、を具備する。
【００１１】
また、本発明の第二の態様は、
ベース部材と支持対象物との間に介在し、前記ベース部材と前記支持対象物との間隔を調整可能に前記支持対象物を前記ベース部材に固定する離間距離調整装置であって、
外面にフランジ部が形成されたスリーブ本体を有するスリーブと、
前記フランジ部に一方の端部を接触させると共に前記スリーブ本体を囲むように配され、前記スリーブ本体の軸方向に伸縮する弾性体と、
前記弾性体を前記フランジ部との間で前記スリーブ本体の軸方向に圧縮させるプリロードナットと、
前記スリーブ本体の一方の端部側に配され、当該スリーブ本体と前記ベース部材とを固定する固定手段と、
前記スリーブ本体の他方の端部側に配され、前記支持対象物と当該スリーブ本体とを固定すると共に、当該支持対象物と前記ベース部材との間隔を調整する固定調整手段と、
前記スリーブ本体の他方の端部側に配され、前記支持対象物と前記弾性体との間に介在して、前記弾性体の反力により前記支持対象物を支持するスペーサと、を具備し、
前記固定手段として、前記スリーブ本体は、一方の端部側の端面に第四雄ネジ部を有した突起部を有する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、二つの部材間の離間距離調整作業の作業性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態に係る浮上搬送装置の搬送台１００の概略構成を示す外観図である。
【図２】図２（Ａ）は、図１に示すレベリング装置３のＸ−Ｚ断面図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）に示すレベリング装置３に用いられるＴボルト３１のＴ頭部３１１の部分拡大図である。
【図３】図３（Ａ）〜図３（Ｃ）は、図１に示すフレーム１へのエアレール２の取付け作業の手順を説明するための断面図である。
【図４】図４（Ａ）〜図４（Ｃ）は、図１に示すフレーム１へのエアレール２の取付け作業の手順を説明するための断面図である。
【図５】図５（Ａ）は、図１に示す搬送台１００の変形例である搬送台１１０の概略構成を示す外観図であり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）に示すレベリング装置５のアジャスター３３の断面図であり、図５（Ｃ）は、図５（Ａ）に示すエアレール２の取付け部分のＸ−Ｚ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１５】
まず、本実施の形態に係る浮上搬送装置の構成について説明する。
【００１６】
本実施の形態に係る浮上搬送装置は、搬送物を搬送面２１から浮上させて搬送する搬送台１００を備えている。図１に、この搬送台１００の概略構成を示し、図２（Ａ）に、この搬送台１００に用いられるレベリング装置３の断面を示す。また、図２（Ｂ）に、このレベリング装置３に用いられるＴボルト３１のＴ頭部３１１の部分拡大図を示し、図３（Ｂ）に、このレベリング装置３に用いられるアジャスター３３の断面図を示す。
【００１７】
図１に示すように、この搬送台１００は、所定の間隔をおいて並べられた２本の角柱状のベースフレーム（例えばアルミフレーム）１と、２本のベースフレーム１の間にかけ渡された板状のエアレール２と、２本のベースフレーム１上でエアレール２を支える４本のレベリング装置３と、を有する。本実施の形態では、２本のベースフレーム１の間に１本のエアレール２がかけ渡された場合を例示しているが、実際には、例えば搬送距離分の長さを有する２本のベースフレーム１の間に、複数本のエアレール２がベースフレーム１の長手方向（図１のＹ方向）に並べてかけ渡される。
【００１８】
２本の夫々のベースフレーム１の上面１２Ａ、左側面１２Ｂ、下面１２Ｃおよび右側面１２Ｄから構成される４つの外面の夫々に、ベースフレーム１の長手方向にＴ字状溝１１が１本ずつ形成されている。各Ｔ字状溝１１は、図２（Ｂ）に示すように、溝縁１１２から溝底１１１までの間の位置で溝幅が溝幅ｓ１および溝幅ｓ２（＞ｓ１）の二段階の幅を有するＴ字状の断面形状を有し、各ベースフレーム１の長手方向の一方の端面１３から他方の端面１４まで連続している。このＴ字状溝１１により、ベースフレーム１の一方の端面１３および他方の端面１４にはＴ字状の開口が形成され、前記４つの外面（上面１２Ａ、左側面１２Ｂ、下面１２Ｃ、右側面１２Ｄ）の各々にも、一方の端面１３から他方の端面１４まで連続する溝幅ｓ１の開口が形成される。本実施の形態では、２本の夫々のベースフレーム１として、前記４つの全ての外面に夫々１本ずつのＴ字状溝が配された４面溝タイプのフレームを使用しているが、これらのベースフレーム１は、少なくとも、エアレール２側に向けられる上面１２Ａに１本のＴ字状溝１１が形成されたフレームであればよい。
【００１９】
エアレール２は、外部からエア供給口（不図示）に供給された圧縮空気を、内部のエア供給路（不図示）を介して、搬送面２１の複数のエア吹き出し穴（不図示）から噴出する。このエアレール２の裏面（搬送面２１とは反対側の面）２４には、エアレール２の長手方向（図１のＸ方向）に連続した２つの空洞部２２が形成されている。各空洞部２２は、略長方形の断面形状を有する。また、このエアレール２には、エアレール２の厚さ方向（図１のＺ方向）に、搬送面２１から空洞部２２を介して裏面２４に貫通する貫通穴２３が空洞部２２毎に２つずつあけられている。図２（Ａ）に示すように、この貫通穴２３に搬送面２１側から挿入される六角穴付きボルト３２の座面３２３を空洞部２２の内壁面（底面）２５で受けるように、この貫通穴２３は、搬送面２１から空洞部２２の内壁面（底面）２５までの領域における直径ｒ１よりも、空洞部２２の内壁面（底面）２５から裏面２４までの領域における直径ｒ２が小さく形成され、六角穴付きボルト３２の座面３２３の直径ｒ３は、直径ｒ１よりも小さく、直径ｒ２よりも大きく形成されている。なお、空洞部２２および貫通穴２３は、いずれも、エアレール２内部のエア供給路にはつながっていない。本実施の形態では断面略長方形の空洞部２２を設けているが、このような空洞部２２を設けずに、搬送面２１側に大径部、裏面２４側に小径部を有する段付き貫通穴を形成してもよい。
【００２０】
レベリング装置３は、図２（Ａ）および図２（Ｂ）に示すように、ベースフレーム１のＴ字状溝１１に挿入されるＴボルト３１と、エアレール２の空洞部２２に挿入される六角穴付きボルト３２と、Ｔボルト３１および六角穴付きボルト３２が締結されるアジャスター３３と、エアレール２をコイルバネ３３２を介して支持するためにアジャスター３３にかぶせたキャップ型のスペーサ３４と、を有する。
【００２１】
Ｔボルト３１は、ベースフレーム１のＴ字状溝１１に収まる角型のＴ頭部３１１と、ベースフレーム１のＴ字状溝１１からエアレール２側に突き出す第一雄ネジ部３１２と、を有している。図２（Ｂ）に示すように、ベースフレーム１のＴ字状溝１１の溝幅が溝幅ｓ１から溝幅ｓ２に切り替わる位置１１３から、Ｔ字状溝１１の溝底の内壁面１１１までの距離ｔ３は、後述するアジャスター３３をベースフレーム１に固定するために必要なＴボルト３１の第一雄ネジ部３１２の締め代分の間隔ｔ２だけ、Ｔ頭部３１１の厚みｔ４よりも、大きくとられている。
【００２２】
六角穴付きボルト３２は、エアレール２の空洞部２２に収まる六角穴付き頭部３２１と、エアレール２の貫通穴２３からベースフレーム１側に突き出す第二雄ネジ部３２２と、を有する。
【００２３】
アジャスター３３は、図３（Ｂ）に示すように、スリーブ３３１と、スリーブ３３１の外周部に配されたコイルバネ３３２と、コイルバネ３３２をプリロードするためのプリロードナット３３３と、スリーブ３３１に対して回転不能に埋め込まれた回転操作受付部としての六角穴付き止めネジ３３４と、を有する。
【００２４】
スリーブ３３１は、軸方向に伸びた円筒状のスリーブ本体３３１Ｈと、スリーブ本体３３１Ｈの一方の端部３３１Ｆ（以下、底面）の外周面に、スリーブ本体３３１Ｈの外周面を囲むように配されたコイルバネ３３２の一方の端面３３２１と接触する円盤状のフランジ３３１Ｃと、を有している。
【００２５】
コイルバネ３３２は、搬送対象の搬送中に受ける荷重（搬送対象、エアレール２等によりレベリング装置１本あたりにかかる荷重、および後述のプリロードナット３３３によりかけられる荷重等）を安定に支持可能な許容荷重およびばね定数を有している。このような弾性を有しているものであれば、コイルバネ３３２の代わりに、スリーブ本体３３１Ｈの外周部に配されることが可能な形状を有する他の弾性体（ゴム等）を用いてもよい。
【００２６】
スリーブ本体３３１の他方の端部３３１Ｇ（以下、上面）側の外周面には、プリロードナット３３３を締結するための第三雄ネジ部３３１Ｄが形成されている。
【００２７】
また、コイルバネ３３２に囲まれるスリーブ本体３３１Ｈの外径寸法ｒ４は、この第三雄ネジ部３３１Ｄの外径寸法ｒ５よりも大きくとられている。これにより、スリーブ本体３３１Ｈの上面３３１Ｇ側の外周には、フランジ３３１Ｃからコイルバネ３３２の自由高さ（プリロード無し）よりも低い位置（フランジ３３１Ｃとの間でコイルバネ３３２を所定量圧縮したプリロードナット３３３の座面３３３１が位置する高さ）に、プリロードナット３３３の座面３３３１が接触する座３３１Ｅ（図３（Ａ）および図３（Ｂ）を参照）が形成されている。
【００２８】
また、スリーブ本体３３１Ｈの上面３３１Ｇ側の内周面には、スリーブ本体３３１Ｈの軸方向（図１のＺ方向）に、六角穴付きボルト３２が締結される第一雌ネジ穴部３３１Ａが形成され、底面３３１Ｆ側の内周面には、Ｔボルト３１が締結される第二雌ネジ穴部３３１Ｂが第一雌ネジ穴部３３１Ａと同心に形成されている。第一雌ネジ穴部３３１Ａの長さには六角穴付きボルト３２の第二雄ネジ部３３２の長さに対して余裕が設けてあり、六角穴付き止めネジ３３４は、この第一雌ネジ穴部３３１Ａの一方の端部側（以下、底部３３１Ｊと記載）にねじ込まれ、スリーブ３３１に対して回転不能に固定されている。本実施の形態では、六角穴付き止めネジ３３４を回転操作受付部として第一雌ネジ穴部３３１Ａの底部３３１Ｊに埋め込んでいるが、六角穴付き止めネジ３３４の代わりに、すりわり溝付き止めネジ、十字溝付き止めネジ等の、工具先端を差し込む穴または溝を有する他の止めネジを回転操作受付部として第一雌ネジ穴部３３１Ａの底部３３１Ｊに埋め込んでもよい。また、本実施の形態では、第一雌ネジ穴部３３１Ａの底部３３１Ｊにねじ込むことによって六角穴付き止めネジ３３４をスリーブ本体３３１Ｈに固定しているが、例えば第一雌ネジ穴部３３１Ａを止り穴とした閉塞状態にした場合には、この雌ネジ穴部の底に、工具先端を差し込む穴または溝が頭部に形成された止めネジを接着剤で接着してもよいし、工具先端を差し込む穴または溝が頭部に形成されたボルトをねじ込んでもよい。または、回転操作受付部として、この雌ネジ穴部の底に工具先端を差し込む穴または溝を加工してもよい。
【００２９】
スペーサ３４は、図２（Ａ）に示すように、プリロードナット３３３とスリーブ本体３３１Ｈの上面３３１Ｇ側の外周面に形成された第三雄ネジ部３３１Ｄとを覆うようにアジャスター３３にかぶせられる。スペーサ３４の一方の端面である縁３４２はコイルバネ３３２の他方の端面（フランジ３３１Ｃに接触している一方の端面３３２１と反対側の端面）３３２２に接触しており、スペーサ３４の他方の端面３４３（以下、上面：図４（Ａ）の３４３）にエアレール２が載せられると、プリロードナット３３３で圧縮されたコイルバネ３３２がスペーサ３４を介して伝達されるエアレール２の重量によりさらに圧縮される。なお、スペーサ３４の縁３４２は、他の部材を介して間接的にコイルバネ３３２の他方の端面３３２２に接触していてもよい。また、スペーサ３４は、プリロードナット３３３の座面３３３１からスリーブ本体３３１Ｈに形成された第三雄ネジ部３３１Ｄの先端３３１Ｇまでの距離よりも大きな深さ寸法、すなわち、図２（Ａ）に示すように、エアレール２が載せられた状態で、スペーサ３４の内側上面（図４（Ａ）の３４４）とスリーブ３３１の上面３３１Ｇ（第三雄ネジ部３３１Ｄの先端３３１Ｇ）との間に隙間ｔ１が形成される深さ寸法を有している。スペーサ３４のエアレール２が載せられる上面３４３には、スリーブ本体３３１Ｈに形成された第一雌ネジ穴部３３１Ａを露出させる開口３４１が形成されている。六角穴付きボルト３２の第二雄ネジ部３３２は、この開口３４１を通してスリーブ本体３３１Ｈの第一雌ネジ穴部３３１Ａに挿入される。
【００３０】
なお、本実施の形態においては、１本のエアレール２を４本のレベリング装置３で支持しているが、必ずしも、このようにする必要はない。エアレール２を安定に支持可能な本数のレベリング装置３を用いればよい。
【００３１】
つぎに、エアレール２のベースフレーム１への取付け作業について説明する。図３〜図４に、エアレール２の取付け作業の手順を示す。
【００３２】
エアレール２の取付けに必要な本数のアジャスター３３をあらかじめ組み立てておく。具体的には、以下の通りである。図３（Ａ）に示すように、コイルバネ３３２内にスリーブ３３１を第三雄ネジ部３３１Ｄ側から挿入する。そして、スリーブ本体３３１Ｈに形成された第三雄ネジ部３３１Ｄにプリロードナット３３３をねじ込み、スリーブ本体３３１Ｈに形成されたフランジ３３１Ｃの他方の端面３３１Ｉとプリロードナット３３３の座面３３３１との間でコイルバネ３３２を圧縮することによって、コイルバネ３３２にプリロードをかける。このとき、図３（Ｂ）に示すように、プリロードナット３３３の座面３３３１がスリーブ３３１の座３３１Ｅに接触するまで第三雄ネジ部３３１Ｄにプリロードナット３３３をねじ込むことによって、エアレール２のベースフレーム１への取付け作業に使用する複数本のレベリング装置３のアジャスター３３間における、コイルバネ３３２にかけたプリロードのバラツキを抑制することができる。
【００３３】
一方、２本のベースフレーム１の上面１２Ａ側の各Ｔ字状溝１１には、図３（Ｃ）に示すように、それぞれ、２本ずつＴボルト３１のＴ頭部３１１を挿入し、各Ｔボルト３１を、エアレール２の貫通穴２３の位置関係に応じた位置に配置する。それから、図４（Ａ）に示すように、これらのＴボルト３１のＴ頭部３１１がＴ字状溝１１内部をスライド可能な程度に、これらのＴボルト３１の第一雄ネジ部３１２をそれぞれのアジャスター３３の構成部品であるスリーブ３３１のスリーブ本体３３１Ｈの第二雌ネジ穴部３３１Ｂに仮締めする。
【００３４】
つぎに、図４（Ａ）に示すように、プリロードナット３３３とスリーブ本体３３１Ｈに形成された第三雄ネジ部３３１Ｄとを覆うように各アジャスター３３にそれぞれスペーサ３４をかぶせる。そして、図４（Ｂ）に示すように、エアレール２の貫通穴２３にスペーサ３４の開口３４１が位置付けられるようにアジャスター３３の位置を調整しながら、スペーサ３４の上面３４３にエアレール２を載せる。さらに、エアレール２の貫通穴２３に搬送面２１側から六角レンチ６０を挿入し、この六角レンチ６０の先端がアジャスター３３の構成部品であるスリーブ３３１のスリーブ本体３３１Ｈに形成された第一雌ネジ穴部３３１Ａの底部３３１Ｊに位置する六角穴付き止めネジ３３４の六角穴３３４１にはまる位置にエアレール２とアジャスター３３とを位置決めする。そして、六角レンチ６０で六角穴付き止めネジ３３４をアジャスター３３とともに回転させ、Ｔボルト３１の第一雄ネジ部３１２をアジャスター３３の構成部品であるスリーブ３３１のスリーブ本体３３１Ｈに形成された第二雌ネジ穴部３３１Ｂに本締めする。
【００３５】
その後、一旦、エアレール２の貫通穴２３から六角レンチ６０を搬送面２１側から抜き出し、図４（Ｃ）に示すように、エアレール２の搬送面２１の貫通穴２３とスペーサ３４の開口３４１とから、六角穴付きボルト３２の第二雄ネジ部３２２の先端をアジャスター３３の構成部品であるスリーブ３３１のスリーブ本体３３１Ｈに形成された第一雌ネジ穴部３３１Ａに差し込み、再度、エアレール２の貫通穴２３に搬送面２１側から六角レンチ６０を挿入する。そして、六角レンチ６０で六角穴付きボルト３２の第二雄ネジ部３２２をアジャスター３３のスリーブ３３１のスリーブ本体３３１Ｈの第一雌ネジ穴部３３１Ａに締結することによって、六角穴付きボルト３２でエアレール２とスペーサ３４をアジャスター３３に共締めする。これにより、スペーサ３４で圧縮されたコイルバネ３３２の復元力でエアレール２が押し上げられるため、六角穴付きボルト３２の座面３２３に空洞部２２の内壁面（底面）２５が押しあてられて、搬送面２１の高さが位置決めされると共にエアレール２をベースフレーム１に固定することができる。さらに、４本のレベリング装置３について、それぞれ、六角穴付きボルト３２の締め・緩めでコイルバネ３３２の圧縮量を増減させ、上述の隙間ｔ１の範囲（図２（Ａ)を参照）でスペーサ３４の上面３４３の高さを微調整することによって、搬送面２１のレベリングを行う。
【００３６】
以上、本発明の一実施の形態を説明した。
【００３７】
本実施の形態に係るレベリング装置３は、ベースフレーム１とエアレール２との間隔を調整するためのスリーブ３３１、プリロードナット３３３およびコイルバネ３３２等を含む複数の構成部品が１本のアジャスター３３としてコンパクトにユニット化されているため、作業者は、一部の部品の落下等を気にすることなく片手で簡単に、このアジャスター３３の構成部品であるスリーブ３３１のスリーブ本体３３１Ｈの第二雌ネジ穴部３３１Ｂを、ベースフレーム１のＴ字状溝１１から突き出したＴボルト３１の第一雄ネジ部３１２に上からねじ込むことができる。このため、ベースフレーム１への配置の際に取り扱いやすく、作業性に優れる。そして、このようなアジャスター３３を必要な本数だけあらかじめ組み立てておけば、エアレール２の取付け現場における作業効率をさらに向上させることができる。
【００３８】
また、アジャスター３３にはプリロード済みのコイルバネ３３２が組み込まれているため、コイルバネ３３２が自由高さで配置されている場合と比較して少ない回数、六角穴付きボルト３２を締めつけるだけで、エアレール２およびスペーサ３４をアジャスター３３に共締めすることができる。スリーブ本体３３１Ｈの上面３３１Ｇ側の外周には、フランジ３３１Ｃの他方の端面３３１Ｉから所定の間隔離れた位置に座３３１Ｅが形成されているため、この座３３１Ｅにプリロードナット３３３の座面３３３１が接触するまで、スリーブ本体３３１Ｈの第三雄ネジ部３３１Ｄにプリロードナット３３３をねじ込むだけで、コイルバネ３３２を所定量圧縮することができる。すなわち、面倒なプリロード調整を行わなくても、全てのアジャスター３３においてコイルバネ３３２に均等なプリロードをかけておくことができる。
【００３９】
また、スペーサ３４を介してエアレール２を支持するコイルバネ３３２の高さを調整する六角穴付きボルト３２が、エアレール２の長手方向（図１のＸ方向）の両側面側（図１の６）ではなく、エアレール２の裏面２４側に位置し、この六角穴付きボルト３２の締め・緩め作業を行うための貫通穴２３がエアレール２の搬送面２１から裏面２４側に向かってあけられているため、特許文献１記載の基板搬送装置と異なり、調整用の隙間をエアレール２の長手方向（図１のＸ方向）の両側面側（図１の６）に確保しておく必要がない。したがって、複数のエアレール２を並べた場合、隣り合うエアレール２を密着させる等、複数のエアレール２の間隔寸法を、搬送対象の浮上安定性等を考慮して柔軟に設定することができる。このため、搬送対象をより安定に浮上させて搬送することができる。
【００４０】
また、スペーサ３４がプリロードナット３３３およびスリーブ本体３３１Ｈの第三雄ネジ部３３１Ｄを覆っているため、六角穴付きボルト３２の締め・緩め作業中に、エアレール２の裏面２４がプリロードナット３３３またはスリーブ本体３３１Ｈの第三雄ネジ部３３１Ｄによって傷つくことを防止することができる。
【００４１】
さらに、Ｔボルト３１の締め作業を行うための貫通穴２３を、この六角穴付きボルト３２の締め・緩め作業を行うための貫通穴２３としても利用しているため、ベースフレーム１上にエアレール２を取り付ける際、作業者は、１本のレベリング装置３につき、Ｔボルト３１の本締め作業から、エアレール２およびスペーサ３４のアジャスター３３への共締め作業までの一連の作業を、搬送面２１上の一箇所（貫通穴２３）へのアクセスにより一軸で行うことができる。このため、作業性がよい。
【００４２】
なお、本実施の形態では、２本のベースフレーム１上にエアレール２が設置されているが、図５（Ａ）に示す搬送台１１０のように、１枚のベースプレート４上にエアレール２が設置されてもよい。ここで、ベースプレート４の上面（エアレール２側に向ける面）４１には、エアレール２の貫通穴２３に対向する第三雌ネジ穴部４２が貫通穴２３毎に形成されている。このベースプレート４上でエアレール２を支えるレベリング装置５は、図２に示すレベリング装置３と異なり、六角穴付きボルト３２および六角穴付き止めネジ３３４を備えておらず、またスリーブ５１も、図２に示すレベリング装置３のスリーブ３３１とは異なる形状をしている。このスリーブ５１の底面５１２には、図５（Ｂ）および図５（Ｃ）に示すように、レベリング装置３のＴボルト３１が締結する第二雌ネジ穴部３３１Ｂの代わりに、ベースプレート４上の第三雌ネジ穴部４２に締結する第四雄ネジ部５１１が形成されている。このスリーブ５１のその他の形状は、図２に示すレベリング装置３のスリーブ３３１と同様である。また、レベリング装置５のその他の構成も、図２に示すレベリング装置３と同様である。
【００４３】
図２に示すレベリング装置３をベースフレーム１へ取り付ける場合のアジャスター３３をベースフレーム１に固定する工程において、ベースフレーム１のＴ字状溝１１に挿入されたＴボルト３１の、アジャスター３３の構成部品であるスリーブ３３１のスリーブ本体３３１Ｈの第二雌ネジ穴部３３１Ｂへの仮締めと、六角穴付き止めネジ３３４を利用した本締めとが必要であった。これに対して、レベリング装置５をベースプレート４へ取り付ける場合、スリーブ５１の第四雄ネジ部５１１の、ベースプレート４の第三雌ネジ穴部４２への本締めのみでよい。その他は、図２に示すレベリング装置３を用いた場合と同様な手順でエアレール２を設置することができる。
【００４４】
また、本実施の形態において、キャップ型のスペーサ３４を用いているが、スペーサ３４は、図２に示すキャップ型のものに限定されない。コイルバネ３３２の他方の端面３３２２とエアレール２との間隔を、スリーブ本体３３１Ｈの座３３１Ｅ（プリロードナット３３３の座面３３３１）と第三雄ネジ部３３１Ｄの先端３３１Ｇとの間隔よりも大きな寸法に保つスペーサとしての機能を有するものであって、かつスリーブ本体３３１Ｈの第一雌ネジ穴部３３１Ａをエアレール２の貫通穴２３に露出させるものであればよい。
【００４５】
また、本実施の形態では、搬送台１００、１１０を有する浮上搬送装置への適用を例に説明したが、本発明は、レベリング対象面を有するテーブルがベース材に固定されている他の装置にも適用可能である。
【００４６】
また、本実施の形態では、ベースフレーム１上でエアレール２を支持し、ベースフレーム１に対するエアレール２の高さを調整するレベリング装置３を説明したが、本発明は、二つの部材間の離間距離を調整する離間距離調整装置に広く適用できる。
【符号の説明】
【００４７】
１：ベースフレーム、２：エアレール、３：レベリング装置、４：ベースプレート、５：レベリング装置、６：エアレールの両側面側、１１：Ｔ字状溝、１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ：ベースフレームの外面、１３，１４：ベースフレームの端面、２１：搬送面、２２：空洞部、２３：貫通穴、２４：エアレールの裏面、２５：空洞部の内壁面、３１：Ｔボルト、３１１：Ｔ頭部、３１２：第一雄ネジ部、３２：六角穴付きボルト、３３：アジャスター、３４：スペーサ、４１：ベースプレート上面、４２：第三雌ネジ穴部、５１：スリーブ、６０：六角レンチ、１００、１１０：搬送台、１１１：Ｔ字状溝の内壁面（溝底）、１１２：Ｔ字状溝の溝縁、３２１：頭部、３２２：第二雄ネジ部、３２３：座面、３３１：スリーブ、３３１Ａ：第一雌ネジ穴部、３３１Ｂ：第二雌ネジ穴部、３３１Ｃ：フランジ、３３１Ｄ：第三雄ネジ部、３３１Ｅ：座、３３１Ｆ：スリーブの底面、３３１Ｇ：スリーブの上面（第三雄ネジ部の先端）、３３１Ｈ：スリーブ本体、３３１Ｉ：フランジの端面、３３１Ｊ：第二雌ネジ穴部の底部、３３２：コイルバネ、３３３：プリロードナット、３３４：六角穴付き止めネジ（回転操作受付部）、３４１：開口、３４２：スペーサの縁、３４３：スペーサの上面、５１１：第四雄ネジ部、５１２：スリーブの底面、３１１１：ＴボルトのＴ頭部の底面、３３２１、３３２２：コイルバネの端面、３３３１：座面、３３４１：六角穴付き止めネジの六角穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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