(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性金属部と光透過性部とを有する被めっき材料にめっき処理を施して、前記導電性金属部上に導電層を形成する導電性材料の製造方法であって、
前記めっき処理の前段に、実質的にめっき物質を含まない電解液中で前記導電性金属部をカソードとして前記被めっき材料を通電する通電工程を有し、
前記実質的にめっき物質を含まないは、１Ａ／ｄｍ2の電流を６０秒間通電した際に前記電解液から前記導電性金属部上に析出する物質が１０ｍｇ／ｄｍ2以下であり、
前記電解液が、電解質及び溶媒を含み、
前記電解質が、アルカリ金属塩、アンモニウム塩、過塩素酸塩及びホウ酸塩からなる群から選ばれる少なくとも１つであり、
前記溶媒が、水及び/又は非水溶媒であることを特徴とする導電性材料の製造方法。
【請求項２】
支持体上に銀塩を含有する銀塩乳剤層を有する感光フイルムを露光し現像して、導電性金属部と光透過部とを有する被めっき材料を作製する工程と、
実質的にめっき物質を含まない電解液中で前記導電性金属部をカソードとして前記被めっき材料を通電する通電工程と、
前記通電された被めっき材料にめっき処理を施して前記導電性金属部上に導電層を形成するめっき工程と、
を有し、
前記実質的にめっき物質を含まないは、１Ａ／ｄｍ2の電流を６０秒間通電した際に前記電解液から前記導電性金属部上に析出する物質が１０ｍｇ／ｄｍ2以下であり、
前記電解液が、電解質及び溶媒を含み、
前記電解質が、アルカリ金属塩、アンモニウム塩、過塩素酸塩及びホウ酸塩からなる群から選ばれる少なくとも１つであり、
前記溶媒が、水及び/又は非水溶媒であることを特徴とする導電性材料の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の導電性材料の製造方法において、
前記非水溶媒が、アミド、ピロリドン、ニトリル、ケトン及びテトラヒドロフランからなる群から選ばれる少なくとも１つであることを特徴とする導電性材料の製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の導電性材料の製造方法において、
前記めっき処理が、無電解めっき処理及び/又は電気めっき処理であることを特徴とする導電性材料の製造方法。
【請求項５】
請求項４記載の導電性材料の製造方法において、
前記電気めっき処理が、電気銅めっき処理及び/又は電気黒化めっき処理であることを特徴とする導電性材料の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の導電性材料の製造方法を実施する導電性材料の製造装置であって、
前記導電性金属部に接触して給電する給電ローラと、前記給電ローラより前記被めっき材料の搬送方向下流側に配置され、前記導電性金属部を前記実質的にめっき物質を含まない電解液内で通電処理する通電処理槽とを備える通電処理装置と、
前記通電処理装置の後段に配置され、前記導電性金属部にめっき処理するめっき処理槽を備えるめっき装置と、
を有する導電性材料の製造装置。
【請求項７】
請求項６記載の導電性材料の製造装置において、
前記給電ローラの水素過電圧が前記導電性金属部の水素過電圧より大きいことを特徴とする導電性材料の製造装置。
【請求項８】
請求項６又は７記載の導電性材料の製造装置において、
前記めっき処理槽が、無電解めっき槽及び/又は電気めっき槽を有することを特徴とする導電性材料の製造装置。
【請求項９】
請求項６又は７記載の導電性材料の製造装置において、
前記めっき処理槽が無電解めっき槽及び電気めっき槽を有し、前記被めっき材料の搬送方向下流側に向かって無電解めっき槽、電気めっき槽の順に配置されていることを特徴とする導電性材料の製造装置。
【請求項１０】
請求項６又は７記載の導電性材料の製造装置において、
前記めっき処理槽が無電解めっき槽、電気めっき槽及び電気黒化めっき槽を有し、前記被めっき材料の搬送方向下流側に向かって無電解めっき槽、電気銅めっき槽、電気黒化めっき槽の順に配置されていることを特徴とする導電性材料の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性材料の製造方法及び製造装置に関する。より詳細には、本発明に係る導電性材料は、ＣＲＴ（陰極線管）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、液晶、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）、ＦＥＤ（フィールドエミッションディスプレイ）等のディスプレイ、電子レンジ、電子機器、プリント配線板等から発生する電磁波を遮蔽し、かつ、透光性を有するものである。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）はディスプレイの大型化、ＣＲＴからの買替需要等の要因でその市場は急速に拡大しており、フラットパネルディスプレイの製造能力は急ピッチで増強されている。それに伴い、ＦＰＤに使用される材料も生産能力の増強が要請され、特に透光性電磁波遮蔽材料の生産性向上が望まれている。
【０００３】
電磁波遮蔽材料の生産方式としては、銀塩乳剤層を有する感光フィルムを露光・現像し、その後、現像銀にめっき処理を施して導電性を付与する、あるいは導電性を高める技術が知られている（例えば、特許文献１〜３参照）。この生産方式に対しても高速大量生産、特に、めっき反応の高速化についての要望が高まっている。
【０００４】
めっき反応の高速化の手段としては、無電解めっきの前処理として、活性化のための活性化液（Ｐｄ等の貴金属を含有する）に被めっき材料を浸漬したり、水素化ホウ素ナトリウム等の還元剤溶液に浸漬する化学的活性化処理方法が知られている。（特許文献４〜６）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２２１５６４号公報
【特許文献２】特開２００４−２２１５６５号公報
【特許文献３】特開２００６−１２９３５号公報
【特許文献４】特開２００６−２２８８３６号公報
【特許文献５】特開２００６−２２８４７４号公報
【特許文献６】特開２００６−２２８４８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、この貴金属溶液に浸漬する化学的活性化処理方法では、現像銀が存在しない部分や現像かぶりで生じた銀（導電性膜メッシュ型の透光性電磁波遮蔽材料では開口部分に相当）にも化学的活性化が行われるため、その部分にも余分なめっき膜が付着してしまい（以下、「めっきかぶり」と記載）、透光率を下げる弊害があった。また、このめっきかぶりは活性化液の無電解めっきへの持込みや無電解めっき液中での活性核の脱落によっても引き起こされるうえ、無電解めっき液の劣化にも繋がり問題であった。
【０００７】
また、還元剤含有溶液浸漬法も現像かぶりで生じた銀に対しては同様のめっきかぶりを引き起こすこと、還元剤自体の酸化劣化、多量の水素発生等の問題があり、導電性材料の高速製造方式としては不適切であった。
【０００８】
本発明は、かかる事情に鑑みなされたものであり、導電性金属部のめっき活性を高めることができ、めっきかぶりがなく、高速のめっき処理が可能となる導電性材料の製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
【００１０】
［１］  第１の本発明に係る導電性材料の製造方法は、導電性金属部（例えば、金属微粒子部）を有する被めっき材料にめっき処理を施して導電層を形成する導電性材料の製造方法であって、前記めっき処理の前段に、めっき物質を含まない電解液中で導電性金属部をカソードとして通電する通電工程を有することを特徴とする。
【００１１】
この本発明に係る導電性材料の製造方法においては、めっき処理の前段で導電性金属部を通電処理することで、導電性金属部上に生成した酸化物又は硫化物等を除去し導電性金属の表面を活性化することができる。これにより、後段で行われるめっき処理では化学的活性化処理方法を用いずともめっき処理の速度を向上させることができ、さらにはめっきムラを抑制させることができる。従って、被めっき材料への高速のめっき処理が可能となり、均一な導電性材料の大量生産が可能となる。
【００１２】
［２］  また、第２の本発明に係る導電性材料の製造方法は、支持体上に銀塩を含有する銀塩乳剤層を有する感光フィルムを露光して現像し、金属銀部を形成する金属銀部形成工程と、実質的にめっき物質を含まない電解液中で前記金属銀部をカソードとして通電する通電工程と、前記通電された金属銀部にめっき処理を施して導電層を形成するめっき工程とを有することを特徴とする。
【００１３】
この第２の本発明に係る導電性材料の製造方法においては、感光フィルムを用いて形成された金属銀部に通電することで、第１の本発明に係る製造方法と同様にめっき処理の速度を向上させることができ、めっきムラを抑制することができる。従って、被めっき材料への高速のめっき処理が可能となり、均一な導電性材料の大量生産が可能となる。
【００１４】
さらに、上述した第１及び第２の本発明に係る導電性材料の製造方法においては、化学的活性化処理において生じていためっきかぶりは発生せず、その結果、透光率を下げることがなく、後段のめっき液の劣化も生じない。前述した還元剤含有液浸漬による化学的活性化処理では、還元剤の補充又は発生水素の除去等の必要があるが、本発明ではこれらを必要としないため、生産設備の簡略化、製造コストの低廉化を効率よく図ることができる。
【００１５】
［３］  ［１］又は［２］において、前記電解液が、電解質及び溶媒を含むことを特徴とする。
【００１６】
［４］  ［３］において、前記電解質が、アルカリ金属塩、アンモニウム塩、過塩素酸塩及びホウ酸塩からなる群から選ばれる少なくとも１つであることを特徴とする。
【００１７】
［５］  ［３］において、前記溶媒が、水及び/又は非水溶媒であることを特徴とする。
【００１８】
［６］  ［５］において、前記非水溶媒が、アミド、ピロリドン、二トリル、ケトン及びテトラヒドロフランからなる群から選ばれる少なくとも１つであることを特徴とする。
【００１９】
［７］  ［１］〜［６］のいずれかにおいて、前記めっき処理が、無電解めっき処理及び/又は電気めっき処理であることを特徴とする。
【００２０】
［８］  ［７］において、前記電気めっき処理が、電気銅めっき及び/又は電気黒化めっき処理であることを特徴とする。
【００２１】
［９］  第３の本発明に係る導電性材料の製造装置は、導電性金属部を有する被めっき材料にめっき処理を施して導電層を形成する導電性材料の製造装置であって、前記導電性金属部に接触して給電する給電ローラと、前記給電ローラより前記被めっき材料の搬送方向下流側に配置され、前記導電性金属部を電解液内で通電処理する通電処理槽とを備える通電処理装置と、前記通電処理装置の後段に配置され、前記導電性金属部にめっき処理するめっき処理槽を備えるめっき装置とを有することを特徴とする。
【００２２】
［１０］  ［９］において、前記給電ローラの水素過電圧が前記導電性金属部の水素過電圧より大きいことを特徴とする。
【００２３】
［１１］  ［９］又は［１０］において、前記めっき処理槽が、無電解めっき槽及び/又は電気めっき槽を有することを特徴とする。
【００２４】
［１２］  ［９］又は［１０］において、前記めっき処理槽が無電解めっき槽及び電気めっき槽を有し、前記被めっき材料の搬送方向下流側に向かって無電解めっき槽、電気めっき槽の順に配置されていることを特徴とする。
【００２５】
［１３］  ［９］又は［１０］において、前記めっき処理槽が無電解めっき槽、電気めっき槽及び電気黒化めっき槽を有し、前記被めっき材料の搬送方向下流側に向かって無電解めっき槽、電気銅めっき槽、電気黒化めっき槽の順に配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明したように、本発明によれば、導電性金属部（金属微粒子部等）のめっき活性を高め、高速のめっき処理が可能となる導電性材料の製造方法及び製造装置を提供することができる。
【００２７】
また、化学的活性化処理では、現像銀が存在しない部分や現像かぶりで生じた銀（導電性膜メッシュ型の透光性電磁波遮蔽材料では開口部分に相当）にもめっきかぶりが起こり透光率を下げる弊害がある。まためっきかぶりは活性化液の無電解めっきへの持込みや無電解めっき液中での活性核の脱落によって引き起こされるうえ、無電解めっき液の劣化も生じるが、本発明ではこのような弊害が生じない。
【００２８】
なお、金属微粒子部の活性化は水素化ホウ素ナトリウム等の還元剤を用いて行うこともできるが、還元剤自体の酸化劣化、多量の水素発生等の問題があり、高速製造方式としては不適切であった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下に、本発明の導電性材料の製造方法及び製造装置について詳細に説明する。
【００３０】
なお、本明細書において「〜」は、その前後に記載される数値を下限値及び上限値として含むことを意味している。
【００３１】
＜導電性材料の製造方法＞
本発明は、導電性金属部（例えば、金属微粒子部）を有する被めっき材料（被めっき素材）にめっき処理を施して導電層を形成する導電性材料の製造方法であって、めっき処理の前段に、実質的にめっき物質を含まない電解液中で導電性金属部をカソードとして通電する通電工程を有する。
【００３２】
本発明の製造方法では、被めっき材料としては、支持体上に銀塩を含有する銀塩乳剤層を有する感光フィルムを露光して現像することで金属銀部を形成されたものが好ましい。
【００３３】
以下、前記第１の製造方法及び第２の製造方法（以下、適宜、「本発明の製造方法」と称する）を工程順に詳述する。
【００３４】
〔被めっき材料〕
本発明の製造方法に使用される被めっき材料は、支持体上に導電性金属部を有している。導電性金属部を構成する単位材質はめっき処理の前段として通電可能となるものであればどのようなものでもよい。また、本発明の作用効果を奏する場合には、金属箔でもよい。特に、前記導電性金属部が現像銀、銀微粒子インク又は銀微粒子ペースト等の銀含有微粒子により形成されていると、めっき活性を高め、めっきかぶりがなく、高速めっきが可能になるため好ましい。この時、金属微粒子部は金属の全質量に対して銀を５０質量％以上含有することが好ましく、６０質量％以上含有することがさらに好ましい。銀を５０質量％以上含有させることで、物理現像及び／又はめっき処理に要する時間を短縮し、生産性を向上させ、かつ低コストとすることができる。
【００３５】
導電性金属部の形成方法についても微粒子部形成後に通電可能であれば制約を受けないが、例えば感光フィルムを用いて形成した導電性金属部、導電性金属微粒子インク又は導電性ペーストを印刷方式により印刷して形成した導電性金属部、導電性金属微粒子インクをインクジェットプリンタにより描画して形成した導電性金属部等を用いることができる。
【００３６】
特に、高透光性メッシュ型電磁波遮蔽材料のための導電性金属部としては、メッシュを形成するための細線パターニングをする必要があり、このためメッシュパターン部の均一性に優れた感光フィルムを用いた形成方式が好ましく用いられる。この形成方式は、支持体上に銀塩を含有する銀塩乳剤層を有する感光フィルムを露光して現像したものであり、露光部には導電性金属部である金属銀部を形成し、未露光部には光透過性部を形成し、被めっき材料が得られる。
【００３７】
また、前述の導電性インク又はペーストとしては、配線パターン等の印刷に用いられる導電性インク又は導電性ペースト等を用いることができる。それらに含まれる金属種としては、銀、パラジウム、金、白金等の無電解めっき活性を示す金属が好ましく、特に銀が好ましい。粒子径には特に制限がないが、１００ｎｍ以下が好ましく、さらに好ましくは５０ｎｍ以下である。ペーストのバインダにはエポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂等が好ましく、溶媒としてはシンナー類、トルエン類が好ましい。
【００３８】
なお、後述する本発明の導電性材料とは、導電性金属部上にめっきにより導電層が形成されたものを指す。
【００３９】
以下、被めっき材料として、感光フィルムを用いて材料形成したものについて詳細を説明する。
【００４０】
感光フィルム（感光材料）は、支持体上に銀塩乳剤層を有している。この感光材料を露光して現像すると、露光部には導電性金属部である金属銀部を形成し、未露光部には光透過性部を形成し、被めっき材料が得られる。
【００４１】
前記被めっき材料の形成方法は、具体的には、前記感光材料と現像処理の形態によって次の３通りの形態が含まれる。
【００４２】
（１）物理現像核を含まない感光性ハロゲン化銀黒白感光材料を化学現像して金属銀部を該感光材料上に形成させる態様。
【００４３】
（２）物理現像核をハロゲン化銀乳剤層中に含む感光性ハロゲン化銀黒白感光材料を溶解物理現像して金属銀部を該感光材料上に形成させる態様。
【００４４】
（３）物理現像核を含まない感光性ハロゲン化銀黒白感光材料と、物理現像核を含む非感光性層を有する受像シートを重ね合わせて拡散転写現像して金属銀部を非感光性受像シート上に形成させる態様。
【００４５】
上記（１）の態様は、一体型黒白現像タイプであり、感光材料上に金属銀部が形成される。得られる現像銀は化学現像銀であり、高比表面のフィラメントである点で後続するめっき又は物理現像過程で活性が高い。
【００４６】
上記（２）の態様は、露光部では、物理現像各近縁のハロゲン化銀粒子が溶解されて現像核上に沈積することによって感光材料上に金属銀部が形成される。これも一体型黒白現像タイプである。現像作用が、物理現像核上への析出であるので高活性であるが、現像銀は比表面が小さい球形である。
【００４７】
上記（３）の態様は、未露光部においてハロゲン化銀粒子が溶解されて拡散して受像シート上の現像核上に沈積することによって受像シート上に金属銀部が形成される。いわゆるセパレートタイプであって、受像シートを感光材料から剥離して用いる態様である。
【００４８】
いずれの態様もネガ型現像処理及び反転現像処理のいずれの現像を選択することもできる（拡散転写方式の場合は、感光材料としてオートポジ型感光材料を用いることによってネガ型現像処理が可能となる）。
【００４９】
ここでいう化学現像、熱現像、溶解物理現像、及び拡散転写現像は、当業界で通常用いられている用語通りの意味であり、写真化学の一般教科書、例えば菊地真一著「写真化学」（共立出版社、１９５５刊行）、Ｃ．Ｅ．Ｋ．Ｍｅｅｓ編「Ｔｈｅ Ｔｈｅｏｒｙ ｏｆ Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ Ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ， ４ｔｈ ｅｄ．」（Ｍｃｍｉｌｌａｎ社、１９７７刊行）に解説されている。本件は液処理であるが、その他の出願については現像方式として、熱現像方式も適用される。例えば、特開２００４−１８４６９３号公報、同２００４−３３４０７７号公報、同２００５−０１０７５２号公報記載の技術、特願２００４−２４４０８０号明細書、同２００４−０８５６５５号明細書記載の技術が適用できる。
【００５０】
以下に導電性材料の製造に用い得る感光材料及び感光材料の製造方法について説明する。
【００５１】
（Ｉ）感光材料
（支持体）
本発明の製造方法に用いられる感光材料の支持体としては、プラスチックフィルム、プラスチック板、及びガラス板等を用いることができる。
【００５２】
上記プラスチックフィルム及びプラスチック板の原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、及びポリエチレンナフタレート等のポリエステル類；ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、ＥＶＡ等のポリオレフィン類；ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン等のビニル系樹脂；その他、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリサルホン（ＰＳＦ）、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）等を用いることができる。
【００５３】
本発明においては、透明性、耐熱性、取り扱いの容易さ及び価格の点から、上記プラスチックフィルムはポリエチレンテレフタレートフィルムであることが好ましい。
【００５４】
ディスプレイ用の電磁波シールド材では透明性が要求されるため、支持体の透明性は高いことが望ましい。この場合におけるプラスチックフィルム又はプラスチック板の全可視光透過率は７０〜１００％が好ましく、さらに好ましくは８５〜１００％であり、特に好ましくは９０〜１００％である。また、本発明では、前記プラスチックフィルム及びプラスチック板として本発明の目的を妨げない程度に着色したものを用いることもできる。
【００５５】
本発明におけるプラスチックフィルム及びプラスチック板は、単層で用いることもできるが、２層以上を組み合わせた多層フィルムとして用いることも可能である。
【００５６】
透明支持体は、可撓性を有する材料からなることが好ましい。また、支持体の厚さは、５〜２００μｍであることが好ましく、３０〜１５０μｍであることがさらに好ましい。記載の範囲であれば所望の可視光の透過率が得られ、かつ取り扱いも容易である。また、透明支持体は、幅が２ｃｍ以上かつ長さが３ｍ以上であるフィルムであることが好ましく、幅が２０ｃｍ以上かつ長さが３０ｍ以上であるフィルムであることがより好ましい。
【００５７】
（保護層）
感光材料は、後述する乳剤層上に保護層を設けてもよい。本発明において「保護層」とは、ゼラチンや高分子ポリマーといったバインダからなる層を意味し、擦り傷防止や力学特性を改良する効果を発現するために感光性を有する乳剤層上に形成される。保護層の厚みは０．０２〜２０μｍであり、好ましくは０．１〜１０μｍであり、さらに好ましくは０．３〜３μｍである。上記保護層の形成方法は特に限定されず、公知の塗布方法を適宜選択することができる。
【００５８】
なお、本発明の製造方法に用いられる感光材料は、乳剤層に染色用の乳剤添加に公知の染料を含んでもよい。
【００５９】
（乳剤層）
本発明の製造方法に用いられる感光材料は、支持体上に、光センサとして銀塩を含む乳剤層（銀塩含有層）を有する。本発明における乳剤層は、銀塩のほか、必要に応じて、染料、バインダ、溶媒等を含有する。
【００６０】
−銀塩−
本発明の製造方法で用いられる銀塩としては、ハロゲン化銀等の無機銀塩及び酢酸銀等の有機銀塩が挙げられる。本発明においては、光センサとしての特性に優れるハロゲン化銀を用いることが好ましい。
【００６１】
本発明で好ましく用いられるハロゲン化銀について説明する。
【００６２】
本発明では、光センサとして機能させるためにハロゲン化銀を使用することが好ましく、ハロゲン化銀に関する銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等で用いられる技術は、本発明においても用いることができる。
【００６３】
上記ハロゲン化銀に含有されるハロゲン元素は、塩素、臭素、ヨウ素及びフッ素のいずれであってもよく、これらを組み合わせでもよい。例えば、ＡｇＣｌ、ＡｇＢｒ、ＡｇＩを主体としたハロゲン化銀が好ましく用いられ、さらにＡｇＢｒやＡｇＣｌを主体としたハロゲン化銀が好ましく用いられる。塩臭化銀、沃塩臭化銀、沃臭化銀もまた好ましく用いられる。より好ましくは、塩臭化銀、臭化銀、沃塩臭化銀、沃臭化銀であり、最も好ましくは、塩化銀５０モル％以上を含有する塩臭化銀、沃塩臭化銀が用いられる。
【００６４】
なお、ここで、「ＡｇＢｒ（臭化銀）を主体としたハロゲン化銀」とは、ハロゲン化銀組成中に占める臭化物イオンのモル分率が５０％以上のハロゲン化銀をいう。このＡｇＢｒを主体としたハロゲン化銀粒子は、臭化物イオンのほかに沃化物イオン、塩化物イオンを含有していてもよい。
【００６５】
ハロゲン化銀は固体粒子状であり、露光、現像処理後に形成されるパターン状金属銀層の画像品質の観点からは、ハロゲン化銀の平均粒子サイズは、球相当径で０．１〜１０００ｎｍ（１μｍ）であることが好ましく、０．１〜１００ｎｍであることがより好ましく、１〜５０ｎｍであることがさらに好ましい。
【００６６】
なお、ハロゲン化銀粒子の球相当径とは、粒子形状が球形の同じ体積を有する粒子の直径である。
【００６７】
ハロゲン化銀粒子の形状は特に限定されず、例えば、球状、立方体状、平板状（六角平板状、三角形平板状、四角形平板状等）、八面体状、１４面体状等、様々な形状であることができ、立方体、１４面体が好ましい。
【００６８】
ハロゲン化銀粒子は内部と表層が均一な相からなっていても異なっていてもよい。また、粒子内部あるいは表面にハロゲン組成の異なる局在層を有していてもよい。
【００６９】
本発明に用いられる乳剤層用塗布液であるハロゲン化銀乳剤は、Ｐ．Ｇｌａｆｋｉｄｅｓ著  Ｃｈｉｍｉｅ  ｅｔ  Ｐｈｙｓｉｑｕｅ  Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｑｕｅ（ＰａｕｌＭｏｎｔｅｌ社刊、１９６７年）、Ｇ．Ｆ．Ｄｕｆｉｎ著  Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ  Ｅｍｕｌｓｉｏｎ  Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ（Ｔｈｅ  Ｆｏｒｃａｌ  Ｐｒｅｓｓ刊、１９６６年）、Ｖ．Ｌ．Ｚｅｌｉｋｍａｎ  ｅｔ  ａｌ著  Ｍａｋｉｎｇ  ａｎｄ  Ｃｏａｔｉｎｇ  Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ  Ｅｍｕｌｓｉｏｎ（Ｔｈｅ  ＦｏｒｃａｌＰｒｅｓｓ  刊、１９６４年）等に記載された方法を用いて調製することができる。
【００７０】
すなわち、上記ハロゲン化銀乳剤の調製方法としては、酸性法、中性法等のいずれでもよく、又、可溶性銀塩と可溶性ハロゲン塩とを反応させる方法としては、片側混合法、同時混合法、それらの組み合わせ等のいずれを用いてもよい。
【００７１】
また、銀粒子の形成方法としては、粒子を銀イオン過剰の下において形成させる方法（いわゆる逆混合法）を用いることもできる。さらに、同時混合法の一つの形式としてハロゲン化銀の生成される液相中のｐＡｇを一定に保つ方法、すなわち、いわゆるコントロールド・ダブルジェット法を用いることもできる。
【００７２】
また、アンモニア、チオエーテル、四置換チオ尿素等のいわゆるハロゲン化銀溶剤を使用して粒子形成させることも好ましい。これらの方法としてより好ましくは四置換チオ尿素化合物であり、特開昭５３−８２４０８号公報、同５５−７７７３７号公報に記載されている。好ましいチオ尿素化合物はテトラメチルチオ尿素、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジンチオンが挙げられる。ハロゲン化銀溶剤の添加量は用いる化合物の種類及び目的とする粒子サイズ、ハロゲン組成により異なるが、ハロゲン化銀１モルあたり１０-5〜１０-2モルが好ましい。
【００７３】
上記コントロールド・ダブルジェット法及びハロゲン化銀溶剤を使用した粒子形成方法では、結晶型が規則的で粒子サイズ分布の狭いハロゲン化銀乳剤を作るのが容易であり、本発明に好ましく用いることができる。
【００７４】
また、粒子サイズを均一にするためには、英国特許第１，５３５，０１６号明細書、特公昭４８−３６８９０号公報、同５２−１６３６４号公報に記載されているように、硝酸銀やハロゲン化アルカリの添加速度を粒子成長速度に応じて変化させる方法や、英国特許第４，２４２，４４５号明細書、特開昭５５−１５８１２４号公報に記載されているように水溶液の濃度を変化させる方法を用いて、臨界飽和度を越えない範囲において早く銀を成長させることが好ましい。本発明における乳剤層の形成に用いられるハロゲン化銀乳剤は単分散乳剤が好ましく、｛（粒子サイズの標準偏差）／（平均粒子サイズ）｝×１００で表される変動係数が２０％以下、より好ましくは１５％以下、最も好ましくは１０％以下であることが好ましい。
【００７５】
本発明に用いられるハロゲン化銀乳剤は、粒子サイズの異なる複数種類のハロゲン化銀乳剤を混合してもよい。
【００７６】
本発明に用いられるハロゲン化銀乳剤は、ＶＩＩＩ族、ＶＩＩＢ族に属する金属を含有してもよい。特に、高コントラスト及び低カブリを達成するために、ロジウム化合物、イリジウム化合物、ルテニウム化合物、鉄化合物、オスミウム化合物等を含有することが好ましい。これら化合物は、各種の配位子を有する化合物であってよく、配位子として例えば、シアン化物イオンやハロゲンイオン、チオシアナートイオン、ニトロシルイオン、水、水酸化物イオン等や、こうした擬ハロゲン、アンモニアのほか、アミン類（メチルアミン、エチレンジアミン等）、ヘテロ環化合物（イミダゾール、チアゾール、５−メチルチアゾール、メルカプトイミダゾール等）、尿素、チオ尿素等の、有機分子を挙げることができる。
【００７７】
また、高感度化のためにはＫ4〔Ｆｅ（ＣＮ）6〕やＫ4〔Ｒｕ（ＣＮ）6〕、Ｋ3〔Ｃｒ（ＣＮ）6〕のような六シアノ化金属錯体のドープが有利に行われる。
【００７８】
上記ロジウム化合物としては、水溶性ロジウム化合物を用いることができる。水溶性ロジウム化合物としては、例えば、ハロゲン化ロジウム（ＩＩＩ）化合物、ヘキサクロロロジウム（ＩＩＩ）錯塩、ペンタクロロアコロジウム錯塩、テトラクロロジアコロジウム錯塩、ヘキサブロモロジウム（ＩＩＩ）錯塩、ヘキサアミンロジウム（ＩＩＩ）錯塩、トリザラトロジウム（ＩＩＩ）錯塩、Ｋ3Ｒｈ2Ｂｒ9等が挙げられる。
【００７９】
これらのロジウム化合物は、水あるいは適当な溶媒に溶解して用いられるが、ロジウム化合物の溶液を安定化させるために一般によく行われる方法、すなわち、ハロゲン化水素水溶液（例えば塩酸、臭酸、フッ酸等）、あるいはハロゲン化アルカリ（例えばＫＣｌ、ＮａＣｌ、ＫＢｒ、ＮａＢｒ等）を添加する方法を用いることができる。水溶性ロジウムを用いる代わりにハロゲン化銀調製時に、予めロジウムをドープしてある別のハロゲン化銀粒子を添加して溶解させることも可能である。
【００８０】
上記イリジウム化合物としては、Ｋ2ＩｒＣｌ6、Ｋ3ＩｒＣｌ6等のヘキサクロロイリジウム錯塩、ヘキサブロモイリジウム錯塩、ヘキサアンミンイリジウム錯塩、ペンタクロロニトロシルイリジウム錯塩等が挙げられる。
【００８１】
上記ルテニウム化合物としては、ヘキサクロロルテニウム、ペンタクロロニトロシルルテニウム、Ｋ4〔Ｒｕ（ＣＮ）6〕等が挙げられる。
【００８２】
上記鉄化合物としては、ヘキサシアノ鉄（ＩＩ）酸カリウム、チオシアン酸第一鉄が挙げられる。
【００８３】
上記ルテニウム、オスミニウムは特開昭６３−２０４２号公報、特開平１−２８５９４１号公報、同２−２０８５２号公報、同２−２０８５５号公報等に記載された水溶性錯塩の形で添加され、特に好ましいものとして、以下の式で示される六配位錯体が挙げられる。
〔ＭＬ6〕-n
（ＭはＲｕ又はＯｓを表し、ｎは０、１、２、３又は４を表し、Ｌは、配位子を表す。）
【００８４】
ここで、Ｌは重要性を持たず、例えば、アンモニウムもしくはアルカリ金属イオンが用いられる。また、好ましい配位子としてはハロゲン化物配位子、シアン化物配位子、シアン酸化物配位子、ニトロシル配位子、チオニトロシル配位子等が挙げられる。以下に本発明に用いられる具体的錯体の例を示すが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００８５】
〔ＲｕＣｌ6〕-3、〔ＲｕＣｌ4（Ｈ2Ｏ）2〕-1、〔ＲｕＣｌ5（ＮＯ）〕-2、〔ＲｕＢｒ5（ＮＳ）〕-2、〔Ｒｕ（ＣＯ）3Ｃｌ3〕-2、〔Ｒｕ（ＣＯ）Ｃｌ5〕-2、〔Ｒｕ（ＣＯ）Ｂｒ5〕-2、〔ＯｓＣｌ6〕-3、〔ＯｓＣｌ5（ＮＯ）〕-2、〔Ｏｓ（ＮＯ）（ＣＮ）5〕-2、〔Ｏｓ（ＮＳ）Ｂｒ5〕-2、〔Ｏｓ（ＣＮ）6〕-4、〔Ｏｓ（Ｏ）2（ＣＮ）5〕-4
【００８６】
これらの化合物の添加量はハロゲン化銀１モル当り１０-10〜１０-2モル／モルＡｇであることが好ましく、１０-9〜１０-3モル／モルＡｇであることがさらに好ましい。
【００８７】
その他、本発明では、Ｐｄ（ＩＩ）イオン及び／又はＰｄ金属を含有するハロゲン化銀も好ましく用いることができる。Ｐｄはハロゲン化銀粒子内に均一に分布していてもよいが、ハロゲン化銀粒子の表層近傍に含有させることが好ましい。ここで、Ｐｄが「ハロゲン化銀粒子の表層近傍に含有する」とは、ハロゲン化銀粒子の表面から深さ方向に５０ｎｍ以内において、他層よりもパラジウムの含有率が高い層を有することを意味する。
【００８８】
このようなハロゲン化銀粒子は、ハロゲン化銀粒子を形成する途中でＰｄを添加することにより作製することができ、銀イオンとハロゲンイオンとをそれぞれ総添加量の５０％以上添加した後に、Ｐｄを添加することが好ましい。またＰｄ（ＩＩ）イオンを後熟時に添加する等の方法でハロゲン化銀表層に存在させることも好ましい。
【００８９】
このＰｄ含有ハロゲン化銀粒子は、物理現像や無電解めっきの速度を速め、所望の電磁波シールド材の生産効率を上げ、生産コストの低減に寄与する。Ｐｄは、無電解めっき触媒としてよく知られて用いられているが、本発明では、ハロゲン化銀粒子の表層にＰｄを偏在させることが可能なため、極めて高価なＰｄを節約することが可能である。
【００９０】
本発明において、ハロゲン化銀に含まれるＰｄイオン及び／又はＰｄ金属の含有率は、ハロゲン化銀の、銀のモル数に対して１０-4〜０．５モル／モルＡｇであることが好ましく、０．０１〜０．３モル／モルＡｇであることがさらに好ましい。
【００９１】
使用するＰｄ化合物の例としては、ＰｄＣｌ4や、Ｎａ2ＰｄＣｌ4等が挙げられる。
【００９２】
本発明では、さらに光センサとしての感度を向上させるため、写真乳剤で行われる化学増感を施すこともできる。化学増感の方法としては、硫黄増感、セレン増感、テルル増感等カルコゲン増感、金増感等の貴金属増感、還元増感等を用いることができる。これらは、単独又は組み合わせて用いられる。上記化学増感の方法を組み合わせて使用する場合には、例えば、硫黄増感法と金増感法、硫黄増感法とセレン増感法と金増感法、硫黄増感法とテルル増感法と金増感法等の組み合わせが好ましい。
【００９３】
上記硫黄増感は、通常、硫黄増感剤を添加して、４０℃以上の高温で乳剤を一定時間攪拌することにより行われる。上記硫黄増感剤としては公知の化合物を使用することができ、例えば、ゼラチン中に含まれる硫黄化合物のほか、種々の硫黄化合物、例えば、チオ硫酸塩、チオ尿素類、チアゾール類、ローダニン類等を用いることができる。好ましい硫黄化合物は、チオ硫酸塩、チオ尿素化合物である。硫黄増感剤の添加量は、化学熟成時のｐＨ、温度、ハロゲン化銀粒子の大きさ等の種々の条件の下で変化し、ハロゲン化銀１モル当り１０-7〜１０-2モルが好ましく、より好ましくは１０-5〜１０-3モルである。
【００９４】
上記セレン増感に用いられるセレン増感剤としては、公知のセレン化合物を用いることができる。すなわち、上記セレン増感は、通常、不安定型及び／又は非不安定型セレン化合物を添加して４０℃以上の高温で乳剤を一定時間攪拌することにより行われる。上記不安定型セレン化合物としては特公昭４４−１５７４８号公報、同４３−１３４８９号公報、特開平４−１０９２４０号公報、同４−３２４８５５号公報等に記載の化合物を用いることができる。特に特開平４−３２４８５５号公報中の一般式（ＶＩＩＩ）及び（ＩＸ）で示される化合物を用いることが好ましい。
【００９５】
上記テルル増感剤に用いられるテルル増感剤は、ハロゲン化銀粒子表面又は内部に、増感核になると推定されるテルル化銀を生成せしめる化合物である。ハロゲン化銀乳剤中のテルル化銀生成速度については特開平５−３１３２８４号公報に記載の方法で試験することができる。具体的には、米国特許ＵＳ第１，６２３，４９９号明細書、同第３，３２０，０６９号明細書、同第３，７７２，０３１号明細書、英国特許第２３５，２１１号明細書、同第１，１２１，４９６号明細書、同第１，２９５，４６２号明細書、同第１，３９６，６９６号明細書、カナダ特許第８００，９５８号明細書、特開平４−２０４６４０号公報、同４−２７１３４１号公報、同４−３３３０４３号公報、同５−３０３１５７号公報、ジャーナル・オブ・ケミカル・ソサイアティー・ケミカル・コミュニケーション（Ｊ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．Ｃｈｅｍ．Ｃｏｍｍｕｎ．）６３５（１９８０）、 ｉｂｉｄ １１０２（１９７９）、 ｉｂｉｄ ６４５（１９７９）、ジャーナル・オブ・ケミカル・ソサイアティー・パーキン・トランザクション（Ｊ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．Ｐｅｒｋｉｎ．Ｔｒａｎｓ．）１，２１９１（１９８０）、Ｓ．パタイ（Ｓ．Ｐａｔａｉ）編、ザ・ケミストリー・オブ・オーガニック・セレニウム・アンド・テルリウム・カンパウンズ（Ｔｈｅ  Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ  ｏｆ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｓｅｌｅｎｉｕｍ  ａｎｄ  Ｔｅｌｌｕｎｉｕｍ  Ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ）、Ｖｏｌ．１（１９８６）、同  Ｖｏｌ．２（１９８７）に記載の化合物を用いることができる。特に特開平５−３１３２８４号公報中の一般式（ＩＩ）（ＩＩＩ）（ＩＶ）で示される化合物が好ましい。
【００９６】
本発明で用いることのできるセレン増感剤及びテルル増感剤の使用量は、使用するハロゲン化銀粒子、化学熟成条件等によって変わるが、一般にハロゲン化銀１モル当たり１０-8〜１０-2モル、好ましくは１０-7〜１０-3モル程度を用いる。本発明における化学増感の条件としては特に制限はないが、ｐＨとしては５〜８、ｐＡｇとしては６〜１１、好ましくは７〜１０であり、温度としては４０〜９５℃、好ましくは４５〜８５℃である。
【００９７】
また、上記貴金属増感剤としては、金、白金、パラジウム、イリジウム等が挙げられ、特に金増感が好ましい。金増感に用いられる金増感剤としては、具体的には、塩化金酸、カリウムクロロオーレート、カリウムオーリチオシアネート、硫化金、チオグルコース金（Ｉ）、チオマンノース金（Ｉ）等が挙げられ、ハロゲン化銀１モル当たり１０-7〜１０-2モル程度を用いることができる。本発明に用いるハロゲン化銀乳剤にはハロゲン化銀粒子の形成又は物理熟成の過程においてカドミウム塩、亜硫酸塩、鉛塩、タリウム塩等を共存させてもよい。
【００９８】
また、本発明においては、還元増感を用いることができる。還元増感剤としては第一スズ塩、アミン類、ホルムアミジンスルフィン酸、シラン化合物等を用いることができる。上記ハロゲン化銀乳剤は、欧州公開特許（ＥＰ）２９３９１７に示される方法により、チオスルホン酸化合物を添加してもよい。本発明に用いられる感光材料の作製に用いられるハロゲン化銀乳剤は、１種だけでもよいし、２種以上（例えば、平均粒子サイズの異なるもの、ハロゲン組成の異なるもの、晶癖の異なるもの、化学増感の条件の異なるもの、感度の異なるもの）の併用であってもよい。中でも高コントラストを得るためには、特開平６−３２４４２６号公報に記載されているように、支持体に近いほど高感度な乳剤を塗布することが好ましい。
【００９９】
−染料−
感光材料には、少なくとも乳剤層に染料が含まれる。該染料は、フィルタ染料としてもしくはイラジエーション防止その他種々の目的で乳剤層に含まれる。上記染料としては、固体分散染料を含有してよい。本発明に好ましく用いられる染料としては、特開平９−１７９２４３号公報記載の一般式（ＦＡ）、一般式（ＦＡ１）、一般式（ＦＡ２）、一般式（ＦＡ３）で表される染料が挙げられ、具体的には同公報記載の化合物Ｆ１〜Ｆ３４が好ましい。また、特開平７−１５２１１２号公報記載の（ＩＩ−２）〜（ＩＩ−２４）、特開平７−１５２１１２号公報記載の（ＩＩＩ−５）〜（ＩＩＩ−１８）、特開平７−１５２１１２号公報記載の（ＩＶ−２）〜（ＩＶ−７）等も好ましく用いられる。
【０１００】
このほか、本発明に使用することができる染料としては、現像又は定着の処理時に脱色させる固体微粒子分散状の染料としては、特開平３−１３８６４０号公報記載のシアニン染料、ピリリウム染料及びアミニウム染料が挙げられる。また、処理時に脱色しない染料として、特開平９−９６８９１号公報記載のカルボキシル基を有するシアニン染料、特開平８−２４５９０２号公報記載の酸性基を含まないシアニン染料及び同８−３３３５１９号公報記載のレーキ型シアニン染料、特開平１−２６６５３６号公報記載のシアニン染料、特開平３−１３６０３８号公報記載のホロポーラ型シアニン染料、特開昭６２−２９９９５９号公報記載のピリリウム染料、特開平７−２５３６３９号公報記載のポリマー型シアニン染料、特開平２−２８２２４４号公報記載のオキソノール染料の固体微粒子分散物、特開昭６３−１３１１３５号公報記載の光散乱粒子、特開平９−５９１３号公報記載のＹｂ３＋化合物及び特開平７−１１３０７２号公報記載のＩＴＯ粉末等が挙げられる。また、特開平９−１７９２４３号公報記載の一般式（Ｆ１）、一般式（Ｆ２）で表される染料で、具体的には同公報記載の化合物Ｆ３５〜Ｆ１１２も用いることができる。
【０１０１】
また、上記染料としては、水溶性染料を含有することができる。このような水溶性染料としては、オキソノール染料、ベンジリデン染料、メロシアニン染料、シアニン染料及びアゾ染料が挙げられる。中でも本発明においては、オキソノール染料、ヘミオキソノール染料及びベンジリデン染料が有用である。本発明に用い得る水溶性染料の具体例としては、英国特許５８４，６０９号明細書、同１，１７７，４２９号明細書、特開昭４８−８５１３０号公報、同４９−９９６２０号公報、同４９−１１４４２０号公報、同５２−２０８２２号公報、同５９−１５４４３９号公報、同５９−２０８５４８号公報、米国特許２，２７４，７８２号明細書、同２，５３３，４７２号明細書、同２，９５６，８７９号明細書、同３，１４８，１８７号明細書、同３，１７７，０７８号明細書、同３，２４７，１２７号明細書、同３，５４０，８８７号明細書、同３，５７５，７０４号明細書、同３，６５３，９０５号明細書、同３，７１８，４２７号明細書に記載されたものが挙げられる。
【０１０２】
上記乳剤層中における染料の含有量は、イラジエーション防止等の効果と、添加量増加による感度低下の観点から、全固形分に対して０．０１〜１０質量％が好ましく、０．１〜５質量％がさらに好ましい。
【０１０３】
−バインダ−
乳剤層には、銀塩粒子を均一に分散させ、かつ乳剤層と支持体との密着を補助する目的でバインダを用いることができる。本発明において上記バインダとしては、非水溶性ポリマー及び水溶性ポリマーのいずれもバインダとして用いることができるが、水溶性ポリマーを用いることが好ましい。
【０１０４】
上記バインダとしては、例えば、ゼラチン、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）、澱粉等の多糖類、セルロース及びその誘導体、ポリエチレンオキサイド、ポリサッカライド、ポリビニルアミン、キトサン、ポリリジン、ポリアクリル酸、ポリアルギン酸、ポリヒアルロン酸、カルボキシセルロース等が挙げられる。これらは、官能基のイオン性によって中性、陰イオン性、陽イオン性の性質を有する。
【０１０５】
乳剤層中に含有されるバインダの含有量は、特に限定されず、分散性と密着性を発揮し得る範囲で適宜決定することができる。
【０１０６】
−溶媒−
上記乳剤層の形成に用いられる溶媒は、特に限定されるものではないが、例えば、水、有機溶媒（例えば、メタノール等のアルコール類、アセトン等のケトン類、ホルムアミド等のアミド類、ジメチルスルホキシド等のスルホキシド類、酢酸エチル等のエステル類、エーテル類等）、イオン性液体、及びこれらの混合溶媒を挙げることができる。
【０１０７】
本発明の乳剤層に用いられる溶媒の含有量は、前記乳剤層に含まれる銀塩、バインダ等の合計の質量に対して３０〜９０質量％の範囲であり、５０〜８０質量％の範囲であることが好ましい。
【０１０８】
（ＩＩ）被めっき材料の製造工程
（露光）
まず、上記感光材料への露光を行う。この感光材料は透明支持体上に乳剤層が設けられた構成となっている。
【０１０９】
本発明の製造方法は、前記銀塩乳剤層にレーザ光を照射することが好ましい。露光は、上述の感光材料を搬送しながら光ビームで走査することにより行う。光ビームとしては、種々のレーザビームを用いて行うことができる。
【０１１０】
銀塩含有層をパターン状に露光する方法は、レーザービームによる走査露光が好ましい。例えば、特開２０００−３９６７７号公報記載のキャプスタン方式のレーザー走査露光装置、該キャプスタン方式においてポリゴンミラーの回転によるビーム走査の代わりに特開２００４−１２４４号公報記載のＤＭＤ（デジタル・ミラー・デバイス）を光ビーム走査系に用いた装置、該キャプスタン方式において直接レーザー露光の代わりに特開２００７−７２１７１公報記載のプロキシミティー露光を用いた装置等が好適に用いられる。
【０１１１】
（現像処理）
本発明では、乳剤層を露光した後、さらに現像処理が行われる。現像処理は、銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の現像処理の技術を用いることができる。現像液については特に限定はしないが、ＰＱ現像液、ＭＱ現像液、ＭＡＡ現像液等を用いることもでき、市販品では、例えば、富士フィルム社製のＣＮ−１６、ＣＲ−５６、ＣＰ４５Ｘ、ＦＤ−３、パピトール、ＫＯＤＡＫ社製のＣ−４１、Ｅ−６、ＲＡ−４、Ｄ−１９、Ｄ−７２等の現像液、又はそのキットに含まれる現像液を用いることができる。また、リス現像液を用いることもできる。リス現像液としては、ＫＯＤＡＫ社製のＤ８５等を用いることができる。本発明では、上記の露光及び現像処理を行うことにより露光部に金属銀部、好ましくはパターン状金属銀部が形成されると共に、未露光部に後述する光透過性部が形成される。
【０１１２】
本発明の製造方法においては、上記現像液としてジヒドロキシベンゼン系現像主薬を用いることができる。ジヒドロキシベンゼン系現像主薬としてはハイドロキノン、クロロハイドロキノン、イソプロピルハイドロキノン、メチルハイドロキノン、ハイドロキノンモノスルホン酸塩等が挙げられるが、特にハイドロキノンが好ましい。上記ジヒドロキシベンゼン系現像主薬と超加成性を示す補助現像主薬としては、１−フェニル−３−ピラゾリドン類やｐ−アミノフェノール類が挙げられる。本発明の製造方法において用いる現像液としては、ジヒドロキシベンゼン系現像主薬と１−フェニル−３−ピラゾリドン類との組合せ；又はジヒドロキシベンゼン系現像主薬とｐ−アミノフェノール類との組合せが好ましく用いられる。
【０１１３】
補助現像主薬として用いられる１−フェニル−３−ピラゾリドン又はその誘導体と組み合わせられる現像主薬としては、具体的に、１−フェニル−３−ピラゾリドン、１−フェニル−４，４−ジメチル−３−ピラゾリドン、１−フェニル−４−メチル−４−ヒドロキシメチル−３−ピラゾリドン等がある。
【０１１４】
上記ｐ−アミノフェノール系補助現像主薬としては、Ｎ−メチル−ｐ−アミノフェノール、ｐ−アミノフェノール、Ｎ−（β−ヒドロキシエチル）−ｐ−アミノフェノール、Ｎ−（４−ヒドロキシフェニル）グリシン等があるが、なかでもＮ−メチル−ｐ−アミノフェノールが好ましい。ジヒドロキシベンゼン系現像主薬は、通常０．０５〜０．８モル／リットルの量で用いられるのが好ましいが、本発明においては、０．２３モル／リットル以上で使用するのが特に好ましい。さらに好ましくは、０．２３〜０．６モル／リットルの範囲である。またジヒドロキシベンゼン類と１−フェニル−３−ピラゾリドン類もしくはｐ−アミノフェノール類との組合せを用いる場合には、前者を０．２３〜０．６モル／リットル、さらに好ましくは０．２３〜０．５モル／リットル、後者を０．０６モル／リットル以下、さらに好ましくは０．０３モル／リットル〜０．００３モル／リットルの量で用いるのが好ましい。
【０１１５】
本発明においては、現像開始液及び現像補充液の双方が、「該液１リットルに０．１モルの水酸化ナトリウムを加えたときのｐＨ上昇が０．５以下」である性質を有することが好ましい。使用する現像開始液ないし現像補充液がこの性質を有することを確かめる方法としては、試験対象の現像開始液ないし現像補充液のｐＨを１０．５に合わせ、次いで、この液１リットルに水酸化ナトリウムを０．１モル添加し、この際の液のｐＨ値を測定し、ｐＨ値の上昇が０．５以下であれば上記に規定した性質を有すると判定する。本発明の製造方法では、特に、上記試験を行った時のｐＨ値の上昇が０．４以下である現像開始液及び現像補充液を用いることが好ましい。
【０１１６】
現像開始液及び現像補充液に上記の性質を与える方法としては、緩衝剤を使用した方法によることが好ましい。上記緩衝剤としては、炭酸塩、特開昭６２−１８６２５９号公報に記載のホウ酸、特開昭６０−９３４３３号公報に記載の糖類（例えばサッカロース）、オキシム類（例えばアセトオキシム）、フェノール類（例えば５−スルホサリチル酸）、第３リン酸塩（例えばナトリウム塩、カリウム塩）等を用いることができ、好ましくは炭酸塩、ホウ酸が用いられる。上記緩衝剤（特に炭酸塩）の使用量は、好ましくは、０．２５モル／リットル以上であり、０．２５〜１．５モル／リットルが特に好ましい。
【０１１７】
本発明においては、上記現像開始液のｐＨが９．０〜１１．０であることが好ましく、９．５〜１０．７の範囲であることが特に好ましい。上記現像補充液のｐＨ及び連続処理時の現像タンク内現像液のｐＨもこの範囲である。ｐＨ設定のために用いるアルカリ剤には通常の水溶性無機アルカリ金属塩（例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム）を用いることができる。
【０１１８】
本発明の製造方法において、感光材料１平方メートルを処理する際に、現像液中の現像補充液の含有量は３２３ミリリットル以下、好ましくは３２３〜３０ミリリットル、特に２２５〜５０ミリリットルである。現像補充液は、現像開始液と同一の組成を有していてもよいし、現像で消費される成分について開始液よりも高い濃度を有していてもよい。
【０１１９】
本発明で感光材料を現像処理する際の現像液（以下、現像開始液及び現像補充液の双方をまとめて単に「現像液」という場合がある）には、通常用いられる添加剤（例えば、保恒剤、キレート剤）を含有することができる。上記保恒剤としては亜硫酸ナトリウム、亜硫酸カリウム、亜硫酸リチウム、亜硫酸アンモニウム、重亜硫酸ナトリウム、メタ重亜硫酸カリウム、ホルムアルデヒド重亜硫酸ナトリウム等の亜硫酸塩が挙げられる。該亜硫酸塩は、０．２０モル／リットル以上用いられることが好ましく、さらに好ましくは０．３モル／リットル以上用いられるが、余りに多量添加すると現像液中の銀汚れの原因になるので、上限は１．２モル／リットルとするのが望ましい。特に好ましくは、０．３５〜０．７モル／リットルである。また、ジヒドロキシベンゼン系現像主薬の保恒剤として、亜硫酸塩と併用してアスコルビン酸誘導体を少量使用してもよい。ここでアスコルビン酸誘導体とは、アスコルビン酸、及びその立体異性体であるエリソルビン酸やそのアルカリ金属塩（ナトリウム、カリウム塩）等を包含する。上記アスコルビン酸誘導体としては、エリソルビン酸ナトリウムを用いることが素材コストの点で好ましい。上記アスコルビン酸誘導体の添加量はジヒドロキシベンゼン系現像主薬に対して、モル比で０．０３〜０．１２の範囲が好ましく、特に好ましくは０．０５〜０．１０の範囲である。上記保恒剤としてアスコルビン酸誘導体を使用する場合には現像液中にホウ素化合物を含まないことが好ましい。
【０１２０】
上記以外に現像材に用いることのできる添加剤としては、臭化ナトリウム、臭化カリウムのような現像抑制剤；エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ジメチルホルムアミドのような有機溶剤；ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルカノールアミン、イミダゾール又はその誘導体等の現像促進剤や、メルカプト系化合物、インダゾール系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物、ベンゾイミダゾール系化合物をカブリ防止剤又は黒ポツ（ｂｌａｃｋ ｐｅｐｐｅｒ）防止剤として含んでもよい。上記ベンゾイミダゾール系化合物としては、具体的に、５−ニトロインダゾール、５−ｐ−ニトロベンゾイルアミノインダゾール、１−メチル−５−ニトロインダゾール、６−ニトロインダゾール、３−メチル−５−ニトロインダゾール、５−ニトロベンズイミダゾール、２−イソプロピル−５−ニトロベンズイミダゾール、５−ニトロベンズトリアゾール、４−〔（２−メルカプト−１，３，４−チアジアゾール−２−イル）チオ〕ブタンスルホン酸ナトリウム、５−アミノ−１，３，４−チアジアゾール−２−チオール、メチルベンゾトリアゾール、５−メチルベンゾトリアゾール、２−メルカプトベンゾトリアゾール等を挙げることができる。これらベンゾイミダゾール系化合物の含有量は、通常、現像液１リットル当り０．０１〜１０ｍｍｏｌであり、より好ましくは、０．１〜２ｍｍｏｌである。
【０１２１】
さらに上記現像液中には、各種の有機・無機のキレート剤を併用することができる。上記無機キレート剤としては、テトラポリリン酸ナトリウム、ヘキサメタリン酸ナトリウム等を用いることができる。一方、上記有機キレート剤としては、主に有機カルボン酸、アミノポリカルボン酸、有機ホスホン酸、アミノホスホン酸及び有機ホスホノカルボン酸を用いることができる。
【０１２２】
上記有機カルボン酸としては、アクリル酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、コハク酸、アシエライン酸、セバチン酸、ノナンジカルボン酸、デカンジカルボン酸、ウンデカンジカルボン酸、マレイン酸、イタコン酸、リンゴ酸、クエン酸、酒石酸等を挙げることができるがこれらに限定されるものではない。
【０１２３】
上記アミノポリカルボン酸としては、イミノ二酢酸、ニトリロ三酢酸、ニトリロ三プロピオン酸、エチレンジアミンモノヒドロキシエチル三酢酸、エチレンジアミン四酢酸、グリコールエーテル四酢酸、１，２−ジアミノプロパン四酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、トリエチレンテトラミン六酢酸、１，３−ジアミノ−２−プロパノール四酢酸、グリコールエーテルジアミン四酢酸、その他特開昭５２−２５６３２号公報、同５５−６７７４７号公報、同５７−１０２６２４号公報、及び特公昭５３−４０９００号公報等に記載の化合物を挙げることができる。
【０１２４】
有機ホスホン酸としては、米国特許ＵＳ第３２１４４５４号明細書、同３７９４５９１号明細書、及び西独特許公開２２２７６３９号公報等に記載のヒドロキシアルキリデン−ジホスホン酸やリサーチ・ディスクロージャー（Ｒｅｓｅａｒｃｈ  Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ）第１８１巻、Ｉｔｅｍ  １８１７０（１９７９年５月号）等に記載の化合物が挙げられる。
【０１２５】
上記アミノホスホン酸としては、アミノトリス（メチレンホスホン酸）、エチレンジアミンテトラメチレンホスホン酸、アミノトリメチレンホスホン酸等が挙げられるが、その他上記リサーチ・ディスクロージャー１８１７０号、特開昭５７−２０８５５４号、同５４−６１１２５号、同５５−２９８８３号の各公報及び同５６−９７３４７号公報等に記載の化合物を挙げることができる。
【０１２６】
有機ホスホノカルボン酸としては、特開昭５２−１０２７２６号公報、同５３−４２７３０号公報、同５４−１２１１２７号公報、同５５−４０２４号公報、同５５−４０２５号公報、同５５−１２６２４１号公報、同５５−６５９５５号公報、同５５−６５９５６号公報等、及び前述のリサーチ・ディスクロージャー１８１７０号等に記載の化合物を挙げることができる。これらのキレート剤はアルカリ金属塩やアンモニウム塩の形で使用してもよい。
【０１２７】
これらキレート剤の添加量としては、現像液１リットル当り好ましくは、１×１０-4〜１×１０-1モル、より好ましくは１×１０-3〜１×１０-2モルである。
【０１２８】
さらに、現像液中に銀汚れ防止剤として、特開昭５６−２４３４７号公報、特公昭５６−４６５８５号公報、特公昭６２−２８４９号公報、特開平４−３６２９４２号公報記載の化合物を用いることができる。また、溶解助剤として特開昭６１−２６７７５９号公報記載の化合物を用いることができる。さらに現像液には、必要に応じて色調剤、界面活性剤、消泡剤、硬膜剤等を含んでもよい。現像処理温度及び時間は相互に関係し、全処理時間との関係において決定されるが、一般に現像温度は約２０℃〜約５０℃が好ましく、２５〜４５℃がさらに好ましい。また、現像時間は５秒〜２分が好ましく、７秒〜１分３０秒がさらに好ましい。
【０１２９】
現像液の搬送コスト、包装材料コスト、省スペース等の目的から、現像液を濃縮化し、使用時に希釈して用いるようにする態様も好ましい。現像液の濃縮化のためには、現像液に含まれる塩成分をカリウム塩化することが有効である。
【０１３０】
本発明における現像処理は、未露光部分の銀塩を除去して安定化させる目的で行われる定着処理を含むことができる。本発明における定着処理は、銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる定着処理の技術を用いることができる。
【０１３１】
上記定着工程で使用する定着液の好ましい成分としては、以下が挙げられる。
【０１３２】
すなわち、チオ硫酸ナトリウム、チオ硫酸アンモニウム、必要により酒石酸、クエン酸、グルコン酸、ホウ酸、イミノジ酢酸、５−スルホサリチル酸、グルコヘプタン酸、タイロン、エチレンジアミン四酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、ニトリロ三酢酸これらの塩等を含むことが好ましい。近年の環境保護の観点からは、ホウ酸は含まれない方が好ましい。本発明に用いられる定着液の定着剤としてはチオ硫酸ナトリウム、チオ硫酸アンモニウム等が挙げられ、定着速度の点からはチオ硫酸アンモニウムが好ましいが、近年の環境保護の観点からチオ硫酸ナトリウムが使われてもよい。これら既知の定着剤の使用量は適宜変えることができ、一般には約０．１〜約２モル／リットルである。特に好ましくは、０．２〜１．５モル／リットルである。定着液には所望により、硬膜剤（例えば水溶性アルミニウム化合物）、保恒剤（例えば、亜硫酸塩、重亜硫酸塩）、ｐＨ緩衝剤（例えば、酢酸）、ｐＨ調整剤（例えば、アンモニア、硫酸）、キレート剤、界面活性剤、湿潤剤、定着促進剤を含むことができる。
【０１３３】
上記界面活性剤としては、例えば硫酸化物、スルホン化物等のアニオン界面活性剤、ポリエチレン系界面活性剤、特開昭５７−６７４０号公報記載の両性界面活性剤等が挙げられる。また、上記定着液には、公知の消泡剤を添加してもよい。
【０１３４】
上記湿潤剤としては、例えば、アルカノールアミン、アルキレングリコール等が挙げられる。また、上記定着促進剤としては、例えば特公昭４５−３５７５４号公報、同５８−１２２５３５号公報、同５８−１２２５３６号公報に記載のチオ尿素誘導体；分子内に３重結合を持つアルコール；米国特許ＵＳ第４１２６４５９号明細書記載のチオエーテル化合物；特開平４−２２９８６０号公報記載のメソイオン化合物等が挙げられ、特開平２−４４３５５号公報記載の化合物を用いてもよい。また、上記ｐＨ緩衝剤としては、例えば酢酸、リンゴ酸、こはく酸、酒石酸、クエン酸、シュウ酸、マレイン酸、グリコール酸、アジピン酸等の有機酸や、ホウ酸、リン酸塩、亜硫酸塩等の無機緩衝剤が使用できる。上記ｐＨ緩衝剤として好ましくは、酢酸、酒石酸、亜硫酸塩が用いられる。ここでｐＨ緩衝剤は、現像液の持ち込みによる定着剤のｐＨ上昇を防ぐ目的で使用され、好ましくは０．０１〜１．０モル／リットル、より好ましくは０．０２〜０．６モル／リットル程度用いる。定着液のｐＨは４．０〜６．５が好ましく、特に好ましくは４．５〜６．０の範囲である。また、上記色素溶出促進剤として、特開昭６４−４７３９号公報記載の化合物を用いることもできる。
【０１３５】
本発明の定着液中の硬膜剤としては、水溶性アルミニウム塩、クロム塩が挙げられる。上記硬膜剤として好ましい化合物は、水溶性アルミニウム塩であり、例えば塩化アルミニウム、硫酸アルミニウム、カリ明バン等が挙げられる。上記硬膜剤の好ましい添加量は０．０１モル〜０．２モル／リットルであり、さらに好ましくは０．０３〜０．０８モル／リットルである。
【０１３６】
上記定着工程における定着温度は、約２０℃〜約５０℃が好ましく、さらに好ましくは２５〜４５℃である。また、定着時間は５秒〜１分が好ましく、さらに好ましくは７秒〜５０秒である。定着液の補充量は、感光材料の処理量に対して６００ｍｌ／ｍ2以下が好ましく、５００ｍｌ／ｍ2以下がさらに好ましく、３００ｍｌ／ｍ2以下が特に好ましい。
【０１３７】
現像、定着処理を施した感光材料は、水洗処理や安定化処理を施されるのが好ましい。上記水洗処理又は安定化処理においては、水洗水量は通常感光材料１ｍ2当り、２０リットル以下で行われ、３リットル以下の補充量（０も含む、すなわちため水水洗）で行うこともできる。このため、節水処理が可能となるのみならず、自現機設置の配管を不要とすることができる。水洗水の補充量を少なくする方法としては、古くから多段向流方式（例えば２段、３段等）が知られている。この多段向流方式を本発明の製造方法に適用した場合、定着後の感光材料は徐々に正常な方向、即ち定着液で汚れていない処理液の方向に順次接触して処理されていくので、さらに効率のよい水洗がなされる。また、水洗を少量の水で行う場合は、特開昭６３−１８３５０号公報、同６２−２８７２５２号公報等に記載のスクイズローラ、クロスオーバーローラの洗浄槽を設けることがより好ましい。また、少量水洗時に問題となる公害負荷低減のためには、種々の酸化剤添加やフィルタ濾過を組み合わせてもよい。さらに、上記方法においては、水洗浴又は安定化浴に防黴手段を施した水を、処理に応じて補充することによって生じた水洗浴又は安定化浴からのオーバーフロー液の一部又は全部を、特開昭６０−２３５１３３号公報に記載されているようにその前の処理工程である定着能を有する処理液に利用することもできる。また、少量水洗時に発生し易い水泡ムラ防止及び／又はスクイズローラに付着する処理剤成分が処理されたフィルムに転写することを防止するために、水溶性界面活性剤や消泡剤を添加してもよい。
【０１３８】
また、上記水洗処理又は安定化処理においては、感光材料から溶出した染料による汚染防止に、特開昭６３−１６３４５６号公報に記載の色素吸着剤を水洗槽に設置してもよい。また、水洗処理に続いて安定化処理においては、特開平２−２０１３５７号公報、同２−１３２４３５号公報、同１−１０２５５３号公報、特開昭４６−４４４４６号公報に記載の化合物を含有した浴を、感光材料の最終浴として使用してもよい。この際、必要に応じてアンモニウム化合物、Ｂｉ、Ａｌ等の金属化合物、蛍光増白剤、各種キレート剤、膜ｐＨ調節剤、硬膜剤、殺菌剤、防かび剤、アルカノールアミンや界面活性剤を加えることもできる。水洗工程又は安定化工程に用いられる水としては水道水のほか脱イオン処理した水やハロゲン、紫外線殺菌灯や各種酸化剤（オゾン、過酸化水素、塩素酸塩等）等によって殺菌された水を使用することが好ましい。また、特開平４−３９６５２号公報、特開平５−２４１３０９公報記載の化合物を含む水洗水を使用してもよい。水洗処理又は安定化温度における浴温度及び時間は０〜５０℃、５秒〜２分であることが好ましい。
【０１３９】
本発明に用いられる現像液や定着液等の処理液は、特開昭６１−７３１４７号公報に記載された酸素透過性の低い包材で保管することが好ましい。また、補充量を低減する場合には処理槽の空気との接触面積を小さくすることによって液の蒸発、空気酸化を防止することが好ましい。ローラ搬送型の自動現像機については米国特許ＵＳ第３０２５７７９号明細書、同第３５４５９７１号明細書等に記載されており、本明細書においては単にローラ搬送型プロセッサとして言及する。また、ローラ搬送型プロセッサは現像、定着、水洗及び乾燥の四工程からことが好ましく、本発明においても、他の工程（例えば、停止工程）を除外しないが、この四工程を踏襲するのが最も好ましい。また、水洗工程の代わりに安定工程による四工程でも構わない。
【０１４０】
上記各工程においては、現像液や定着液の組成から水を除いた成分を固形にして供給し、使用に当たって所定量の水で溶解して現像液や定着液として使用してもよい。このような形態の処理剤は固形処理剤と呼ばれる。固形処理剤は、粉末、錠剤、顆粒、粉末、塊状又はペースト状のものが用いられる。上記処理剤の、好ましい形態は、特開昭６１−２５９９２１号公報記載の形態あるいは錠剤である。該錠剤の製造方法は、例えば特開昭５１−６１８３７号公報、同５４−１５５０３８号公報、同５２−８８０２５号公報、英国特許１，２１３，８０８号明細書等に記載される一般的な方法で製造できる。さらに顆粒の処理剤は、例えば特開平２−１０９０４２号公報、同２−１０９０４３号公報、同３−３９７３５号公報及び同３−３９７３９号公報等に記載される一般的な方法で製造できる。また、粉末の処理剤は、例えば特開昭５４−１３３３３２号公報、英国特許７２５，８９２号明細書、同７２９，８６２号明細書及びドイツ特許３，７３３，８６１号明細書等に記載される一般的な方法で製造できる。
【０１４１】
上記固形処理剤の嵩密度は、その溶解性の観点と、０．５ｇ／ｃｍ3〜６．０ｇ／ｃｍ3のものが好ましく、特に１．０ｇ／ｃｍ3〜５．０ｇ／ｃｍ3のものが好ましい。
【０１４２】
上記固形処理剤を調製するに当たっては、処理剤を構成する物質の中の、少なくとも２種の相互に反応性の粒状物質を、反応性物質に対して不活性な物質による少なくとも一つの介在分離層によって分離された層になるように層状に反応性物質を置き、真空包装可能な袋を包材とし、袋内から排気しシールする方法を採用してもよい。ここにおいて、「不活性」とは、物質が互いに物理的に接触されたときにパッケージ内の通常の状態下で反応しないこともしくは何らかの反応があっても著しくないことを意味する。不活性物質は、二つの相互に反応性の物質に対して不活性であることは別にして、二つの反応性の物質が意図される使用において不活発であればよい。さらに不活性物質は二つの反応性物質と同時に用いられる物質である。例えば、現像液においてハイドロキノンと水酸化ナトリウムは直接接触すると反応してしまうので、真空包装においてハイドロキノンと水酸化ナトリウムの間に分別層として亜硫酸ナトリウム等を使うことで、長期間パッケージ中に保存できる。また、ハイドロキノン等をブリケット化して水酸化ナトリウムとの接触面積を減らす事により保存性が向上し混合して用いることもできる。これらの真空包装材料の包材として用いられるのは不活性なプラスチックフィルム、プラスチック物質と金属箔のラミネートから作られたバッグである。
【０１４３】
現像処理後の露光部に含まれる金属銀の質量は、露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上の含有率であることが好ましく、８０質量％以上であることがさらに好ましい。露光部に含まれる銀の質量が露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上であれば、高い導電性を得ることができるため好ましい。
【０１４４】
本発明における現像処理後の階調は、特に限定されるものではないが、４．０を超えることが好ましい。現像処理後の階調が４．０を超えると、光透過性部の透明性を高く保ったまま、導電性金属部の導電性を高めることができる。階調を４．０以上にする手段としては、例えば、前述のロジウムイオン、イリジウムイオンのドープが挙げられる。
【０１４５】
−物理現像処理−
本発明では、形成された金属銀部の導電性をさらに高めるために、物理現像を行うことも好ましい。
【０１４６】
本発明における「物理現像」とは、金属や金属化合物の核上に、銀イオン等の金属イオンを還元剤で還元して金属粒子を析出させることをいう。この物理現象は、インスタントＢ＆Ｗフィルム、インスタントスライドフィルムや、印刷版製造等に利用されており、本発明ではその技術を用いることができる。
【０１４７】
また、物理現像は、露光後の現像処理と同時に行っても、現像処理後に別途行ってもよい。
【０１４８】
−酸化処理−
本発明では、現像処理後の金属微粒子部、並びに、物理現像及び／又はめっき処理によって形成された導電性金属部には、酸化処理を施すことが好ましい。酸化処理を行うことにより、例えば、光透過性部に金属が僅かに沈着していた場合に、該金属を除去し、光透過性部の透過性をほぼ１００％にすることができる。
【０１４９】
酸化処理としては、例えば、Ｆｅ（ＩＩＩ）イオン処理等、種々の酸化剤を用いた公知の方法が挙げられる。上述の通り、酸化処理は、乳剤層の露光及び現像処理後、あるいは物理現像又はめっき処理後に行うことができ、さらに現像処理後と物理現像又はめっき処理後のそれぞれで行ってもよい。
【０１５０】
本発明では、さらに露光及び現像処理後の金属銀部を、Ｐｄを含有する溶液で処理することもできる。Ｐｄは、２価のパラジウムイオンであっても金属パラジウムであってもよい。この処理により無電解めっき又は物理現像速度を促進させることができる。
【０１５１】
透光性電磁波シールド材料の用途において、メッシュパターン部の線幅は１μｍ以上４０μｍ以下にする必要があり、好ましくは１μｍ以上３０μｍ以下、最も好ましくは１０μｍ以上２５μｍ以下である。線間隔は５０μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましく、さらに好ましくは２００μｍ以上４００μｍ以下、最も好ましくは２５０μｍ以上３５０μｍ以下である。また、メッシュパターン部は、アース接続等の目的においては、線幅は２０μｍより広い部分を有していてもよい。
【０１５２】
また、枠縁部は、導電性金属が透光性導電性膜の周囲に沿って額縁状に形成された部分であり、上記のメッシュパターン部と電気的に接触している。枠縁部の幅は、１ｍｍ〜１０ｃｍが好ましく、５ｍｍ〜５ｃｍであることがより好ましい。
【０１５３】
本発明における導電性金属部は、可視光透過率の点から開口率は８５％以上であることが好ましく、９０％以上であることがさらに好ましく、９５％以上であることが最も好ましい。開口率とは、メッシュをなす細線のない部分が全体に占める割合であり、例えば、線幅１５μｍ、ピッチ３００μｍの正方形格子状メッシュの開口率は、９０％である。
【０１５４】
−可視光透過性部−
本発明における「可視光透過性部」とは、透光性導電性膜のうち導電性金属部以外の透明性を有する部分を意味する。可視光透過性部における透過率は、前述のとおり、支持体の光吸収及び反射の寄与を除いた３８０〜７８０ｎｍの波長領域における透過率の最小値で示される透過率が９０％以上、好ましくは９５％以上、さらに好ましくは９７％以上であり、さらにより好ましくは９８％以上であり、最も好ましくは９９％以上である。
【０１５５】
本発明におけるメッシュパターンは３ｍ以上連続していることが好ましいが、メッシュパターンの連続数が多いほど、前記光学フィルタ材料を生産する場合のロスが低減できるためより好ましい態様であるといえる。一方、連続数が多いとロール状にした場合にロール径が大きくなる、ロールの重量が重くなる、ロールの中心部の圧力が強くなり接着や変形等の問題を生じ安くなる等の理由で２０００ｍ以下であることが好ましい。好ましくは１００ｍ以上１０００ｍ以下、さらに好ましくは２００ｍ以上８００ｍ以下、最も好ましくは３００ｍ以上５００ｍ以下である。
【０１５６】
同様の理由により支持体の厚みは２００μｍ以下が好ましく、さらに好ましくは２０μｍ以上１８０μｍ以下、最も好ましくは５０μｍ以上１２０μｍ以下である。
【０１５７】
本発明においてメッシュが実質的に平行である直線状細線の交差するパターンとは、いわゆる格子模様を意味し、格子を構成しかつ隣り合う直線が平行又は平行±２°以内の場合を言う。
【０１５８】
該光ビームの走査方法としては、搬送方向に対して実質的に垂直な方向に配列したライン状の光源又は回転ポリゴンミラーによって露光する方法が好ましい。この場合、光ビームは２値以上の強度変調を行う必要があり、直線はドットの連続としてパターニングされる。ドットの連続であるため１ドットの細線の縁は階段状になるが、細線の太さはくびれた部分の一番狭い長さを意味する。
【０１５９】
メッシュ部分を描画する該光ビーム走査方法の一つの方式として、格子パターンの傾きに合わせて搬送方向に対して走査方向を傾かせたビームを走査することも好ましい。この場合、２つの走査光ビームを直交するように配列することが好ましく、光ビームは露光面上では実質的に１値の強度をとる。この場合枠縁部分を露光するために、スリット露光やマスク露光を組合せてもよい。
【０１６０】
本発明においてメッシュパターンは搬送方向に対して３０°〜６０°傾かせることが好ましい。より好ましくは４０°〜５０°であり、最も好ましくは４３°〜４７°である。これはメッシュパターンが枠に対して４５°程度の傾きとなるマスクの作成が一般的に難しく、ムラが出やすいあるいは価格が高い等の問題を生じやすいのに対して、本方式はむしろ４５°付近にてムラが出にくいため、本発明の効果がマスク密着露光方式のフォトリソグラフィやスクリーン印刷によるパターニング対してより顕著な効果がある。
【０１６１】
以上の実施形態では、ハロゲン化銀を含む銀塩乳剤層が設けられた感光材料を露光及び現像して形成される導電性金属部について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、導電性金属部がエッチングを用いたフォトリソグラフィ法により形成されるものであってもよい。例えば、感光材料を全面露光して均一な現像銀を形成後、フォトリソグラフィ用フォトポリマーを塗工して露光し、エッチングすることにより導電性金属部を形成してもよい。これらの形成方法については特開２００３−４６２９３号公報、特開２００３−２３２９０号公報、特開平５−１６２８１号公報、特開平１０−３３８８４８号公報等に記載の技術を適用することができる。
【０１６２】
（ＩＩＩ）被めっき材料の通電工程
〔通電工程〕
本発明の製造方法は、めっき物質を含まない電解液中で導電性金属部をカソード（陰極）として被めっき材料を通電する通電工程を含んでいる。
【０１６３】
この通電工程は、前記導電性金属部を還元するために行う工程であり、これにより導電性金属部のめっき活性を高めることができる。特に、前記導電性金属が現像銀、銀微粒子インク又は銀微粒子ペースト等由来の銀含有微粒子の場合、めっき活性を高め、めっきかぶりがなく、高速めっきが可能になる。
【０１６４】
以下、通電方法、めっき物質を含まない電解液について詳述する。
【０１６５】
〔通電方法〕
本発明における通電工程は、支持体上の導電性金属部に金属電極を接触させて通電する。
【０１６６】
前記金属電極は、被めっき材料の搬送の観点から、金属製の給電ローラであることが好ましく、給電ローラの直径は１ｃｍ〜２０ｃｍが好ましい。また、金属製の給電ローラは被めっき材料の水素過電圧に対して大きい材質を用いることが好ましい。水素化電圧は０Ｖｖｓ．ＮＨＥからの絶対値で表される。
【０１６７】
給電ローラを経た被めっき材料は後述の電解質溶液中で通電されるが、給電ローラから電解質溶液液面までの距離は被めっき材料の抵抗値等を考慮して調整してもよい。被めっき材料の抵抗が高い場合は、給電ローラと電解質液面は近いほうが好ましく、金属ローラから電解液面までの距離は０．５ｃｍ〜３０ｃｍであることが好ましい。
【０１６８】
被めっき材料の抵抗が非常に高い場合やパターンが連続していない場合、液面上のローラからの給電では、電解液中で十分に通電できない場合が生じる。このような場合には給電ローラを電解液に没することで本発明の効果を得ることができる。電解液中に給電ローラを没する場合の給電ローラの材質も、被めっき材料の金属部よりも大きい水素化電圧を有する材質とすることで水素発生による電流ロスを避けることができる。導電性金属部が銀の場合、給電ローラの材質はニッケル、銅、カドミウム、錫、鉛、亜鉛が好ましく、水素過電圧を大きくするために合金を用いてもよい。
【０１６９】
また、電解質液中の被めっき材料と対極（アノード）との距離が幅方向で一定であると、より面内均一なめっき活性化が可能となる。
【０１７０】
通電時における電流は、小さすぎるとめっき活性が得られず、大きすぎると失活するため、０．００１Ａ／ｄｍ2〜１０Ａ／ｄｍ2であることが好ましく、０．００５Ａ／ｄｍ2〜５Ａ／ｄｍ2であることがより好ましく、０．０１Ａ／ｄｍ2〜１Ａ／ｄｍ2であることが特に好ましい。
【０１７１】
通電時間は、短すぎると無電解活性が得られず、長すぎると失活するため、０．１秒〜３６０秒が好ましく、０．５秒〜１２０秒がさらに好ましく、最も好ましくは１秒〜６０秒である。
【０１７２】
〔実質的にめっき物質を含まない電解液〕
本発明における「めっき物質を含まない電解液」の「めっき物質を含まない」とは、実質的にめっき反応により被めっき材料に所定膜厚のめっき層が生じない液を意味する。具体的には、１Ａ／ｄｍ2の電流を６０秒間通電した際に電解液から電極上に析出する物質が１０ｍｇ／ｄｍ2以下であり、好ましくは１ｍｇ／ｄｍ2以下であることを表す。
【０１７３】
本発明における電解液は、陽極と陰極の間の溶液抵抗を下げる観点から、電解質を含むことが好ましい。
【０１７４】
電解質としては、例えば、アルカリ金属塩、アンモニウム塩、過塩素酸塩、ホウ酸塩等である。好ましくは硫酸ナトリウム、硝酸カリウム、硫酸アンモニウム，ホウ酸、過塩素酸ナトリウム、パラトルエンスルホン酸ナトリウム等であり、特に好ましい電解質としては硫酸ナトリウムが挙げられる。
【０１７５】
溶媒としては水、非水溶媒（非水系有機溶媒）いずれでもよいが、水（純水）が最も優れている。非水系有機溶媒としては、アミド、ピロリドン、二トリル、ケトン及びテトラヒドロフランが挙げられる。アミドとして、具体的には、ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ−メチルアセトアミドがあり、ピロリドンとして具体的にはＮ−メチルピロリドンがあり、ニトリルとして具体的にはアセトニトリル、プロピオニトリル、ベンゾニトリルがあり、ケトンとして具体的にはアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセチルアセトンがある。
【０１７６】
溶媒中での電解質濃度は、１０-3ｍｏｌ〜３ｍｏｌ／Ｌが好ましく、１０-3ｍｏｌ〜１ｍｏｌ／Ｌがより好ましく、１０-2ｍｏｌ〜０．５ｍｏｌ／Ｌが最も好ましい。なお、電解質濃度は、被めっき材料の表面抵抗値、通電時間、対極との電極間距離（被めっき材料と対極アノードとの距離）等により適宜調整して構わない。但し、電解質濃度を１０-3ｍｏｌ／Ｌよりも下げると陽極と陰極の間の溶液抵抗が高くなり、設定電流値を通電するための印加電圧が上昇すると共に、本発明の効果が得られ難くなる。電解質濃度が３ｍｏｌよりも高い場合は、被めっき材料膜面上に電解質の析出が起こる場合があり注意が必要である。
【０１７７】
〔めっき工程〕
本発明の製造方法は、金属微粒子部にめっき処理を行うめっき工程を含んでいる。これは金属微粒子部の導電性を向上させ、本発明の導電性材料を形成させるためである。
【０１７８】
また、めっき工程は、無電解めっき工程、及び電気めっき工程を含むことが好ましく、無電解めっき工程の後に電気めっき工程を行うことがより好ましく、無電解めっき工程の後に電気銅めっき工程を行い、さらにその後に電気黒化めっき工程を行うことが特に好ましい。
【０１７９】
以下に、無電解めっき工程、及び電気めっき工程について詳述する。
【０１８０】
〔無電解めっき工程〕
本発明における無電解めっき工程において、無電解めっきとして用いることができる金属としては、銅、ニッケル、クロム、亜鉛、錫、金、白金、銀が挙げられ、導電性、めっき安定性の観点から銅であることが好ましい。
【０１８１】
無電解めっき時間は、１５秒〜１０分が好ましく、３０秒〜８分がより好ましく、１〜７分がさらに好ましい。１０分より長いと、高アルカリ浴に長時間浸漬されることによるゼラチン膜の変質が原因と思われる光透過性部の透明性の著しい劣化が見られる。また、３０秒より短いと導電性が不足するか又はめっきの厚みムラが生じ易くなってしまう。
【０１８２】
無電解めっき温度は、１０〜５０℃が好ましく、１５〜４０℃がより好ましい。
【０１８３】
連続でも断続でもよいが、無電解めっき液にはエアレーションをすることが好ましい。エアーの量は、０．０１〜１０Ｌ／Ｌ溶液／分が好ましく、０．０５〜３Ｌ／Ｌ溶液／分がより好ましく、０．２〜０．５Ｌ／Ｌ溶液／分がさらに好ましい。エアーは多いほうが液中の攪拌能力が上がり均一性等の面で好ましいが、多過ぎると吹き込まれるＣＯ2によって、液のｐＨが下がり、その補正のため大量のアルカリを補充しなければならなくなる。
【０１８４】
以下に、無電解銅めっき液について説明する。
【０１８５】
〔無電解銅めっき液〕
無電解銅めっきに含まれる化学種としては、硫酸銅や塩化銅、還元剤としてホルマリンやグリオキシル酸、銅イオン錯化剤としてＥＤＴＡ、酒石酸、トリイソプロパノールアミン、トリエタノールアミンやニトリロトリ酢酸等、その他浴の安定化やめっき皮膜の平滑性を向上させるための添加剤としてポリエチレングリコール、黄血塩、ビピリジン、チオ尿素系化合物等が挙げられる。高速めっきのための銅イオン錯化剤としてはトリエタノールアミンが好ましい。
【０１８６】
浴の安定化剤としては、硫黄含有化合物がより好ましい。浴の安定化剤の添加量は、１×１０-9〜１×１０-4ｍｏｌ／Ｌが好ましく、１×１０-8〜１×１０-6ｍｏｌ／Ｌがより好ましい。銅イオンの濃度は、０．００１〜０．３ｍｏｌ／Ｌが好ましく、０．００５〜０．１ｍｏｌ／Ｌがより好ましく、０．０１〜０．１ｍｏｌ／Ｌがさらに好ましい。銅イオン錯化剤の濃度は、銅イオン濃度に対して０．５〜１０倍ｍｏｌが好ましく、０．７〜７倍ｍｏｌがより好ましく、０．８〜４倍ｍｏｌがさらに好ましい。還元剤濃度は、０．００１〜１ｍｏｌ／Ｌが好ましく、０．０１〜１ｍｏｌ／Ｌがより好ましく、０．１〜０．７ｍｏｌ／Ｌが液の安定性とめっき速度との両立という点でさらに好ましい。
【０１８７】
〔電気めっき工程〕
本発明の製造方法は、電気めっき工程を含むことが好ましく、さらに電気めっき工程は電気銅めっきと電気黒化めっき工程を含むことがより好ましい。めっき処理時間はめっきする金属、厚み、めっき品質によって様々な場合があるが、通常各々のめっき工程に対して１０秒〜１２０分が好ましく、１分〜６０分が特に好ましい。印加電圧は、０．１Ｖ〜１００Ｖが好ましく、０．５Ｖ〜３０Ｖが特に好ましく、０．５Ｖ〜２０Ｖが最も好ましい。
【０１８８】
電気めっき工程で用いる電気めっき液としては、市販もしくは公知の電気めっき液を使用することができる。以下に電気銅めっき液と電気黒化めっき液について説明する。
【０１８９】
〔電気銅めっき液〕
電気銅めっき液の銅供給源化合物として、硫酸銅、シアン化銅、ホウフッ化銅、塩化銅、ピロリン酸銅炭酸銅等が挙げられ、これらの１つ以上の化合物を含む銅めっき液が用いられる。建浴費が安く、管理が容易等の点から硫酸銅を含むめっき液を用いることが好ましく、硫酸銅五５水和塩あるいは予め水に溶解した硫酸銅水溶液を用いることがより好ましい。
【０１９０】
銅めっき液中での銅イオン濃度としては、硫酸銅五水塩の質量換算で、１５０〜３００ｇ／Ｌの範囲とすることが好ましく、より好ましい範囲は１５０〜２５０ｇ／Ｌであり、さらにより好ましい範囲は１８０〜２２０ｇ／Ｌである。
【０１９１】
電気銅めっき液の好ましい温度は１５〜３５℃で、より好ましくは２０〜３０℃である。液の攪拌は通常よく知られたエアー攪拌、液を小さいノズルから噴出すジェット攪拌、タンク液を循環させて攪拌する方法が好ましい。
【０１９２】
電気銅めっき液には酸を加えてもよい。めっき液に加える酸としては、めっき液のｐＨが十分低く保たれる限り特に限定されず、例えば硫酸、硝酸、塩酸等が挙げられ、中でも硫酸がより好ましく用いられる。ｐＨは酸の濃度によって変わるが、ｐＨ３以下が好ましく、さらに好ましくはｐＨ１以下である。なお、酸性銅めっき液がｐＨ３を超えると、銅が析出し易くなるため好ましくない。
【０１９３】
電気銅めっき液に種々の添加剤を加えることで、例えば、めっき反応の促進によるめっき時間短縮化や、めっき反応抑制又は形成されるめっき層の平坦化によるめっきの均一化等を図ることができる。電気銅めっき液の代表的な添加剤としては、塩素イオン、ポリアルキレングリコール類、含硫黄有機化合物、含窒素化合物等が挙げられ、これら化合物類を組み合わせて使用できる。塩素イオンの添加剤濃度は、２０〜１５０ｍｇ／Ｌであることが好ましく、３０〜１００ｍｇ／Ｌがより好ましい。
【０１９４】
ポリアルキレングリコール類としては、具体的には、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール・ポリプロピレングリコールブロック共重合型（プルロニック型）界面活性剤、ポリエチレングリコール・ポリプロピレングリコールグラフト共重合型（テトロニック型）界面活性剤、グリセリンエーテル、ジアルキルエーテルからなる群から選ばれる化合物を用いることができ、好ましくは分子量１００００〜１００００、より好ましくは２０００〜６０００のポリエチレングリコール、分子量１００〜５０００、より好ましくは２００〜２０００のポリプロピレングリコール、分子量１０００〜１００００、より好ましくは１５００〜４０００のポリエチレングリコールのポリエチレングリコール・ポリプロピレングリコールブロック共重合体が挙げられ、２０００〜６０００のポリエチレングリコールが最も好ましい。なお、これらの化合物は単独又は２種以上の組み合わせであってもよい。ポリアルキレングリコール類の合計量としての使用濃度は、１０〜５０００ｍｇ／Ｌが好ましく、５０〜２０００ｍｇ／Ｌがより好ましい。
【０１９５】
含硫黄有機化合物の具体例としては、例えばビス（３−スルホプロピル）ジスルフィド（ＳＰＳ）、メルカプトプロパンスルホン酸ナトリウム（ＭＰＳ）等が挙げられる。またその他、特開平７−３１６８７５号の段落［００１２］に挙げられている化合物やメチオニン等の含硫黄アミノ酸を用いることも好ましい。なお、硫黄系有機化合物は１種又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。含硫黄有機化合物の濃度としては、０．０１〜５０００ｍｇ／Ｌが好ましく、０．０２〜２０００ｍｇ／Ｌがより好ましく、０．１〜３００ｍｇ／Ｌがさらにより好ましい。
【０１９６】
また、含窒素化合物としては、ポリアルキレンイミン、１−ヒドロキシエチル−２−アルキルイミダゾリン塩、ポリジアルキルアミノエチルアクリレート４級塩、ポリビニルピリジン４級塩、ポリビニルアミジン、ポリアリルアミン、ポリアミンスルホン酸、オーラミン及びその誘導体、メチルバイオレット及びその誘導体、クリスタルバイオレット及びその誘導体、ヤヌスブラック及びその誘導体、ヤヌスグリーンからなる群から選ばれる化合物を用いることができる。なお、窒素化合物は、１種又は２種以上を組み合わせて用いることができる。含窒素化合物の濃度としては、０．１〜１０００ｍｇ／Ｌが好ましく、０．５〜１５０ｍｇ／Ｌがより好ましい。
【０１９７】
〔電気黒化めっき液〕
電気黒化めっき液は、一般的には少なくとも２種以上の金属元素を含む電気めっき液であり、含有される金属としてはニッケル、亜鉛、錫、銅、コバルト等が挙げられる。電気めっき工程での電着性及び／又はめっきサンプルの色味等の観点で、これらめっき液中の金属元素の組み合わせとしては、ニッケル−亜鉛、ニッケル−錫の組み合わせが好ましく用いられる。また、同じ２種金属元素組み合わせのめっき液であっても、例えばニッケル化合物及び／又は亜鉛化合物の処方量比を変更して使用する、あるいは違う２種金属元素組み合わせのめっき液を使用することでめっき層を多層構成にすることもできる。このような層構成を形成する場合は、後述するめっき装置も２槽以上の多段装置とすればよい。
【０１９８】
各種金属の供給源化合物としては、硫酸塩、硝酸塩、塩化物、硫酸アンモニウム塩、スルファミン酸塩、ピロリン酸塩等が挙げられ、これら化合物の濃度は硫酸ニッケル六水塩の質量換算で、５０〜２５０ｇ／Ｌの範囲とすることが好ましく、より好ましくは８０〜１８０ｇ／Ｌである。また、各種金属供給源化合物の溶解を補助する、あるいはめっき液安定性を高める目的の種々の錯化剤、電気銅めっき液の欄で述べためっき性コントロールのための種々の添加剤、めっき液ｐＨの変動を抑えるコハク酸、クエン酸等の緩衝剤等も添加することができる。
【０１９９】
電気黒色ニッケルめっき液の好ましい温度は３０〜６０℃で、より好ましくは３５〜５０℃である。液の攪拌については、電気銅めっき液の場合と同様にエアー攪拌、ジェット攪拌、タンク循環等の方法を用いることができる。
【０２００】
〔導電性金属部、無電解めっき部、電気めっき部からなる導電性機能層〕
上記のようにして形成された導電性金属部、無電解めっき部及び電気めっき部からなる導電性機能層は、線幅が１μｍから４０μｍの細線からなるメッシュパターン部と、枠縁部とからなる。メッシュパターン部は、透光性電磁波シールド材料としての用途である場合、正三角形、二等辺三角形、直角三角形等の三角形、正方形、長方形、菱形、平行四辺形、台形等の四角形、（正）六角形、（正）八角形等の（正）ｎ角形、円、楕円、星形等を組み合わせた幾何学図形であることが好ましく、これらの幾何学図形からなるメッシュ状であることがさらに好ましい。電磁波遮蔽性の観点からは三角形の形状が最も有効であるが、可視光透過性の観点からは同一のライン幅なら（正）ｎ角形のｎ数が大きいほど開口率が上がり可視光透過性が大きくなるので有利である。モアレを生じにくくする観点ではこれらの幾何学模様をランダムに配置したり、ライン幅を周期性なしに変化させることも好ましい。また、実質的に平行である直線状細線の交差するパターンからなることが好ましい。
【０２０１】
導電性金属部の表面抵抗は、通電処理前で１０オーム／ｓｑ〜１００００オーム／ｓｑであり、導電性機能層積層部の表面抵抗が０．０１オーム／ｓｑ〜１オーム／ｓｑであることが好ましい。
【０２０２】
なお、導電性配線材料の用途である場合、メッシュパターン部の形状は特に限定されず、目的に応じて任意の形状を適宜決定することができる。
【０２０３】
このようにして製造した本実施の形態に係る導電性材料１０の一例を図１に示す。図１に示す導電性材料１０は、透明支持体１２上に導電性機能層１４と光透過部１８（例えばゼラチン）とを有する。また、導電性機能層１４は、ハロゲン化銀塩乳剤層を露光・現像して形成された導電性金属部１６上に形成された第１めっき層２０と、該第１めっき層２０上に形成された第２めっき層２２と、該第２めっき層２２上に形成された第３めっき層２３とを有する。第１めっき層２０は、例えばＣｕ（銅）による無電解めっき処理を施すことで形成することができ、第２めっき層２２は、例えばＣｕ（銅）による電解めっき処理（電気めっき処理）を施すことで形成することができ、第３めっき層２３は、Ｎｉ（ニッケル）−亜鉛系電解黒化めっき処理を施すことで形成することができる。
【０２０４】
ここで、導電性材料１０を製造する方法について図２Ａ〜図３Ｄを参照しながら説明する。
【０２０５】
先ず、図２Ａに示すように、ハロゲン化銀２４（例えば臭化銀粒子、塩臭化銀粒子や沃臭化銀粒子）をゼラチン２６に混ぜてなるハロゲン化銀塩乳剤層２８を透明支持体１２上に塗布する。なお、図２Ａ〜図２Ｃでは、ハロゲン化銀２４を「粒々」として表記してあるが、あくまでも本発明の理解を助けるために誇張して示したものであって、大きさや濃度等を示したものではない。
【０２０６】
その後、図２Ｂに示すように、ハロゲン化銀塩乳剤層２８に対して例えばメッシュパターンの形成に必要な露光を行う。ハロゲン化銀２４は、光エネルギを受けると感光して「潜像」と称される肉眼では観察できない微小な銀核を生成する。
【０２０７】
その後、潜像を肉眼で観察できる可視化された画像に増幅するために、図２Ｃに示すように、現像処理を行う。具体的には、潜像が形成されたハロゲン化銀塩乳剤層２８を現像液（アルカリ性溶液と酸性溶液のどちらもあるが通常はアルカリ性溶液が多い）にて現像処理する。この現像処理とは、ハロゲン化銀ないし現像液から供給された銀イオンが現像液中の現像主薬と呼ばれる還元剤により潜像銀核を触媒核として金属銀に還元されて、その結果として潜像銀核が増幅されて可視化された銀画像（現像銀３０）を形成する。
【０２０８】
現像処理を終えたあとにハロゲン化銀塩乳剤層２８中には光に感光できるハロゲン化銀２４が残存するのでこれを除去するために図２Ｄに示すように定着処理液（酸性溶液とアルカリ性溶液のどちらもあるが通常は酸性溶液が多い）により定着を行う。
【０２０９】
この定着処理を行うことによって、露光された部位には導電性金属部（金属銀部１６）が形成され、露光されていない部位にはゼラチン２６のみが残存し、光透過部１８となる。すなわち、透明支持体１２上に金属銀部１６と光透過部１８との組み合わせが形成されることになる。この段階で、金属銀部１６を有する被めっき材料３２が完成する。
【０２１０】
ハロゲン化銀２４として臭化銀を用い、チオ硫酸塩で定着処理した場合の定着処理の反応式は以下のようである。
ＡｇＢｒ（固体）＋２個のＳ2Ｏ3イオン  →  Ａｇ（Ｓ2Ｏ3）2
（易水溶性錯体）
【０２１１】
すなわち、２個のチオ硫酸イオンＳ2Ｏ3とゼラチン２６中の銀イオン（ＡｇＢｒからの銀イオン）が、チオ硫酸銀錯体を生成する。チオ硫酸銀錯体は水溶性が高いのでゼラチン２６中から溶出されることになる。その結果、現像銀３０が金属銀部１６として定着されて残ることになる。
【０２１２】
従って、現像工程は、潜像に対し還元剤を反応させて現像銀３０を析出させる工程であり、定着工程は、現像銀３０にならなかったハロゲン化銀２４を水に溶出させる工程である。詳細は、Ｔ．Ｈ．Ｊａｍｅｓ，  Ｔｈｅ  Ｔｈｅｏｒｙ  ｏｆ  ｔｈｅ  Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ  Ｐｒｏｃｅｓｓ，  ４ｔｈ  ｅｄ．，  Ｍａｃｍｉｌｌｉａｎ  Ｐｕｂｌｉｓｈｉｎｇ  Ｃｏ．，Ｉｎｃ，  ＮＹ，Ｃｈａｐｔｅｒ１５，  ｐｐ．４３８−４４２．  １９７７を参照されたい。
【０２１３】
なお、現像処理は多くの場合アルカリ性溶液で行われることから、現像処理工程から定着処理工程に入る際に、現像処理にて付着したアルカリ溶液が定着処理溶液（多くの場合は酸性溶液である）に持ち込まれるため、定着処理液の活性が変わるといった問題がある。また、現像処理槽を出た後、膜に残留した現像液により意図しない現像反応がさらに進行する懸念もある。そこで、現像処理後で、定着処理工程に入る前に、酢酸（酢）溶液等の停止液でハロゲン化銀塩乳剤層２８を中和もしくは酸性化することも好適に用いられる。
【０２１４】
そして、図３Ａに示すように、めっき物質を含まない電解液中で金属銀部１６をカソードとして被めっき材料３２を通電する。
【０２１５】
その後、図３Ｂに示すように、通電後の被めっき材料３２に対して無電解めっき処理を行って、金属銀部１６のみに第１めっき層２０を担持させる。
【０２１６】
その後、図３Ｃに示すように、電気銅めっき処理を行って、第１めっき層２０上に第２めっき層２２を担持させる。
【０２１７】
その後、図３Ｄに示すように、電気黒化めっき処理を行って、第２めっき層２２上に第３めっき層２３を担持させる。これによって、図１に示すように、透明支持体１２上に導電性機能層が形成されることになる。なお、透明支持体１２の他方の面に易接着層を設けるようにしてもよい。
【０２１８】
ここで、上述したハロゲン化銀塩乳剤層２８を用いた方法（銀塩写真技術）と、フォトレジストを用いた方法（レジスト技術）との違いを説明する。
【０２１９】
レジスト技術では、露光処理により光重合開始剤が光を吸収して反応が始まりフォトレジスト膜（樹脂）自体が重合反応して現像液に対する溶解性の増大又は減少させ、現像処理により露光部分又は未露光部分の樹脂を除去する。なおレジスト技術で現像液とよばれる液は還元剤を含まず、未反応の樹脂成分を溶解する例えばアルカリ性溶液である。一方、本発明の銀塩写真技術の露光処理では上記に記載したように、光を受けた部位のハロゲン化銀２４内において発生した光電子と銀イオンからいわゆる「潜像」と呼ばれる微小な銀核が形成され、その潜像銀核が現像処理（この場合の現像液は必ず現像主薬と呼ばれる還元剤を含む）により増幅されて可視化された銀画像になる。このように、レジスト技術と銀塩写真技術とでは、露光処理から現像処理での反応が全く異なる。
【０２２０】
レジスト技術の現像処理では露光部分又は未露光部分の重合反応しなかった樹脂部分が除去される。一方、銀塩写真技術の現像処理では、潜像を触媒核にして現像液に含まれる現像主薬と呼ばれる還元剤により還元反応がおこり、目に見える大きさまで現像銀３０が成長するものであって、未露光部分のゼラチン２６の除去は行われない。このように、レジスト技術と銀塩写真技術とでは、現像処理での反応も全く異なる。
【０２２１】
なお、未露光部分のゼラチン２６に含まれるハロゲン化銀２４は、その後の定着処理によって溶出されるものであって、ゼラチン２６自体の除去は行われない（図２Ｄ参照）。
【０２２２】
このように、銀塩写真技術では反応（感光）主体がハロゲン化銀２４であるのに対し、レジスト技術では光重合開始剤である。また、現像処理では、銀塩写真技術ではバインダ（ゼラチン２６）は残存するが（図２Ｄ参照）、レジスト技術ではバインダがなくなる。このような点で、銀塩写真技術とフォトレジスト技術は大きく相違する。
【０２２３】
＜導電性材料の製造装置＞
本発明の導電性材料の製造装置は、めっき物質を含まない電解液中で金属銀部１６が陰極（カソード）として作用する被めっき材料を通電する通電処理槽とめっき槽とを有する。めっき槽は、無電解めっき槽、電気銅めっき槽及び電気黒化めっき槽を有することが好ましい。
【０２２４】
本実施の形態に係る製造装置１００は、通電処理、無電解めっき処理、電気銅めっき処理及び電気黒化めっき処理の順に被めっき材料３２の表面を処理することができるように、図４に示すように、被めっき材料３２の搬送方向に沿って、金属製の給電ローラ（第１給電ローラ１０２）及び電極（アノード電極１０４）を備えた通電処理装置１０６、無電解めっき処理装置１０８、電気銅めっき処理装置１１０、電気黒化めっき処理装置１１１、の順に配置されている態様が挙げられる。なお、図４では処理構成を説明するために各々の処理槽を１槽づつ図示しているが、もちろん目的等に応じて各々の処理槽を複数槽としてもよい。
【０２２５】
以下に、通電処理装置１０６、無電解めっき処理装置１０８、電気銅めっき処理装置１１０及び電気黒化めっき処理装置１１１について詳述する。
【０２２６】
〔通電処理装置１０６〕
本実施の形態に係る通電処理装置１０６は、露光・現像を施され、細線状の金属銀部１６が形成された被めっき材料３２に対し、通電処理を施し、金属銀部１６を還元処理することにより活性化するものである。
【０２２７】
具体的には、通電処理装置１０６は、例えば図５に示すように、被めっき材料３２の金属銀部１６に接触しながら給電を行う第１給電ローラ１０２を有する。被めっき材料３２を挟んで第１給電ローラ１０２と対向する位置には、被めっき材料３２の金属銀部１６を第１給電ローラ１０２に押圧する弾性ローラ１１２が第１給電ローラ１０２に対してほぼ水平方向に配設されている。
【０２２８】
弾性ローラ１１２は、回転可能に支持されたシャフト１１４と、表面の弾性体層１１６とを備えている。弾性体層１１６としてウレタンゴム等が用いられる。弾性ローラ１１２を構成するシャフト１１４の両端部には、シャフト１１４の回転を阻害しないように押圧装置１１８が配設されている。押圧装置１１８には、筐体１２０の内部にバネ材１２２が配設されており、バネ材１２２がシャフト１１４に当接する当接部材１２４をシャフト１１４側に押圧している。また、バネ材１２２の背面側には、筐体１２０に設けられた調整ねじ１２６が当接しており、この調整ねじ１２６の螺合位置を調整することで、被めっき材料３２を第１給電ローラ１０２に押圧する押圧力が調整されるようになっている。
【０２２９】
また、通電処理装置１０６は、第１給電ローラ１０２よりも被めっき材料３２の搬送方向下流側に、電解液１２８で満たされた通電処理槽１３０を備えている。
【０２３０】
電解液１２８として、めっき物質を含まない電解液が用いられる。めっき物質を含まないとは、実質的にめっき反応が生じない液を意味し、好ましくは１Ａ／ｄｍ2の電流を６０秒間通電した際に電解液から電極上に析出する物質が１０ｍｇ／ｄｍ2以下であり、さらに好ましくは１ｍｇ／ｄｍ2以下である。
【０２３１】
通電処理装置１０６では、第１給電ローラ１０２に接触させた被めっき材料３２の金属銀部１６を通電処理槽１３０の電解液１２８中で液中ローラ１３２により搬送する。通電処理槽１３０内の電解液１２８中には、アノード電極１０４が配設されており、カソード電極を給電ローラ３０２として、直流電源１３４により給電する。これによって、被めっき材料３２の金属銀部１６を還元するための通電処理が行われる。すなわち、この通電処理により、被めっき材料３２の金属銀部１６に形成された酸化物等が除去され（例えばＡｇ2Ｏ、Ａｇ2Ｓが還元されてＡｇとなり）、金属銀部１６が活性化される。この通電処理により、後の工程の無電解めっきでのめっき速度を促進させることができる。
【０２３２】
第１給電ローラ１０２は金属電極を設けていることが好ましい。また、第１給電ローラ１０２の直径は１ｃｍ以上２０ｃｍ以下であることが好ましく、２ｃｍ以上１０ｃｍ以下であることが特に好ましい。さらには、第１給電ローラ１０２を電解液１２８の液面から５ｍｍ以上３０ｃｍ以下の距離に配置することが好ましく、１ｃｍ以上５ｃｍ以下であることが特に好ましい。これらの範囲にあると、被めっき材料３２と第１給電ローラ１０２との接点から電解液１２８の液面までの距離Ｌａを小さくすることができるため、電解液１２８に浸漬されるまでの間に被めっき材料３２の金属銀部１６の酸化等を抑制することができる。特に好ましい態様としては、第１給電ローラ１０２の位置が液面から１ｃｍ未満であってもよく、電解液１２８の液面中に配置してもよく、電解液１２８の液中に配置するものでもよい。この場合、被めっき材料３２に給電した後、被めっき材料３２の金属銀部１６の酸化をさらに抑制することができる。
【０２３３】
第１給電ローラ１０２の表面粗さは、被めっき材料３２の保持力とキズ付きの観点から、１μｍ〜５０μｍであることが好ましく、２μｍ〜２０μｍであることが特に好ましい。
【０２３４】
このように、通電処理装置１０６で通電処理された被めっき材料３２上に形成された金属銀部１６は被めっき面がめっき活性され、その後のめっき処理において、めっきかぶりなく高速のめっきが可能となり、大量生産することが可能となる。
【０２３５】
さらに、通電処理装置１０６は、被めっき材料３２に付着した処理後の電解液１２８等を洗浄するため、洗浄装置を有していてもよい。
【０２３６】
第１給電ローラ１０２は、材質をＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１６Ｊ１、ＳＵＳ３１７、もしくはＳＵＳ３１７Ｌとしたもの、又はこれらの材質表面に銅材を被覆したものを用いている。また、第１給電ローラ１０２は、表面が放電加工されている。第１給電ローラ１０２の表面粗さＲｙは５μｍ以上、３０μｍ未満が好ましく、１０〜２５μｍ未満がより好ましい。また、表面粗さＲａは０．５〜５μｍが好ましく、１〜２．５μｍがより好ましい。ここで、Ｒｙ、Ｒａは、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−１９９４に規定される表面粗さである。上記の表面粗さＲｙ、Ｒａの測定は、ミツトヨ製ＳＪ−４００で行った。
【０２３７】
弾性ローラ１１２の弾性体層１１６は、硬度が１０〜７０度、肉厚が約５ｍｍの導電性ゴムからなる。弾性体層１１６の硬度は、高分子計器株式会社製  ＡＳＫＥＲ  Ｃ型で測定した。
【０２３８】
弾性ローラ１１２のバネ材１２２の背面側に取り付けられた調整ねじ１２６の螺合位置を調整することで、被めっき材料３２を第１給電ローラ１０２に押圧する圧力を所定の値に設定することができる。第１給電ローラ１０２と弾性ローラ１１２とのニップ部の圧力は、０．２〜０．６ＭＰａが好ましく、０．３〜０．５ＭＰａがより好ましい。この圧力は、ツーシートタイプの極超低圧用の富士プレスケール（富士フイルム株式会社製）を用いて測定した。この富士プレスケールは、２種類のフィルムから構成されており、一方のフィルムには支持体に発色剤（マイクロカプセル）が塗布され、他方のフィルムには顕色剤が塗布されており、発色剤層のマイクロカプセルがニップ部の圧力によって破壊され、その中の発色剤が顕色剤に吸着され、化学反応で赤く発色するものである。
【０２３９】
弾性ローラ１１２を第１給電ローラ１０２側に押圧することで、被めっき材料３２と第１給電ローラ１０２とをほぼ均一に接触させることができる。第１給電ローラ１０２と弾性ローラ１１２とのニップ部の圧力が０．２ＭＰａより小さいと、被めっき材料３２と第１給電ローラ１０２とをほぼ均一に接触させることが困難となる。また、ニップ部の圧力が０．６ＭＰａより大きいと、第１給電ローラ１０２と弾性ローラ１１２との間の被めっき材料３２の搬送抵抗が大きくなり、被めっき材料３２を安定して搬送させることが困難となる。
【０２４０】
〔無電解めっき処理装置１０８〕
無電解めっき処理装置１０８は、細線状の金属銀部１６が形成された被めっき材料３２に対し、無電解めっき処理を施し、金属銀部１６に導電性微粒子を担持させて第１めっき層２０を形成する装置である。
【０２４１】
具体的に、無電解めっき処理装置１０８は、第１めっき液１３６が満たされた第１めっき浴槽１３８と、この第１めっき浴槽１３８内に配置された複数（本実施の形態では２本）の支持ローラ１４０とを備え、第１めっき浴槽１３８内に被めっき材料３２を水平搬送する方式の装置である。また、無電解めっき処理装置１０８には、第１めっき浴槽１３８への入液前及び入液後の被めっき材料３２を支持・搬送する複数の搬送支持ローラ１４２、１４４が配設されている。
【０２４２】
第１めっき浴槽１３８内の支持ローラ１４０、１４０の間で水平搬送される被めっき材料３２の下部には、被めっき材料３２の搬送路に沿って、被めっき材料３２に微細気泡気液混合流体を噴出させる複数の噴出部材１４６が設けられている。この微細気泡気液混合流体（微細気泡含有のめっき液）は第１めっき液１３６と空気との混合流体であり、この微細気泡気液混合流体を噴出部材１４６へ供給するための気液混合供給装置１４８が配設されている。
【０２４３】
気液混合供給装置１４８は、第１めっき浴槽１３８と仕切板１５０で仕切られた供給部１５２の底部と複数の噴出部材１４６とを連結するパイプ１５４を備えており、パイプ１５４に循環ポンプ１５６、フィルタ１５８が配設されている。また、気液混合供給装置１４８は、第１めっき浴槽１３８の上部に気泡分離槽１６０を備えており、第１めっき浴槽１３８の底部を気泡分離槽１６０を介して供給部１５２と連結するパイプ１６２、１６４を備えている。パイプ１６２には循環ポンプ１６６、気液混合器１６８が配設されている。
【０２４４】
そして、気液混合器１６８を通過した微細気泡気液混合流体がパイプ１６２を通って気泡分離槽１６０に供給される。パイプ１６２は気泡分離槽１６０の底部に連結されており、気泡分離槽１６０内には液面から出ない位置に堰板１７０が配設されている。堰板１７０を挟んで気泡分離槽１６０の底部に連結されたパイプ１６４が、上方から供給部１５２内に挿入されている。微細気泡気液混合流体がパイプ１６２を通って気泡分離槽１６０に底部から供給されることで、微細気泡気液混合流体に含まれる気泡が液面に浮き上がる。これによって、微細気泡気液混合流体から気泡が分離され、気泡が分離された微細気泡気液混合流体が堰板１７０を越えて気泡分離槽１６０の底部に連結されたパイプ１６４を通って供給部１５２に供給される。
【０２４５】
供給部１５２に供給された微細気泡気液混合流体は、供給部１５２の底部に連結されたパイプ１５４を通ってフィルタ１５８を通過し、複数の噴出部材１４６に供給される。そして、複数の噴出部材１４６から被めっき材料３２に微細気泡気液混合流体が噴出される。被めっき材料３２が第１めっき浴槽１３８の第１めっき液１３６中を搬送される際に被めっき材料３２の金属銀部１６に無電解めっき処理が施される。また、微細気泡混合液体を噴出することで、第１めっき浴槽１３８内の第１めっき液１３６が攪拌混合され、液の均一化が図れる。
【０２４６】
〔電気めっき処理装置１１０〕
次に、電気めっき処理装置１１０は、図７に示すように、長尺の被めっき材料３２（第１めっき層２０が施されたもの）に連続して電気銅めっき処理を施すことができるものである。図中の矢印は、被めっき材料３２の搬送方向を示している。
【０２４７】
電気めっき処理装置１１０は、第２めっき液１７２を貯留する第２めっき浴槽１７４を備えている。第２めっき浴槽１７４内には、一対の銅アノード板１７６ａ及び１７６ｂが平行に配設され、各銅アノード板１７６ａ及び１７６ｂの内側には、一対のガイドローラ１７８ａ及び１７８ｂが一対の銅アノード板１７６ａ及び１７６ｂと平行に回動可能に配設されている。一対のガイドローラ１７８ａ及び１７８ｂは垂直方向に移動可能で、これにより被めっき材料３２のめっき処理時間を調整できる。
【０２４８】
第２めっき浴槽１７４の上方には、被めっき材料３２を第２めっき浴槽１７４に案内すると共に被めっき材料３２に電流を供給する一対の第２給電ローラ１８０ａ及び１８０ｂ（カソード）がそれぞれ回転自在に配設されている。また、第２めっき浴槽１７４の上方には、出口側の第２給電ローラ１８０ｂの下方に液切りローラ１８２が回動可能に配設されており、この液切りローラ１８２と出口側の第２給電ローラ１８０ｂとの間には、被めっき材料３２からめっき液を除去するための水洗用スプレー（図示せず）が設置されている。
【０２４９】
一対の銅アノード板１７６ａ及び１７６ｂは、電線（図示せず）を介して電源装置（図示せず）のプラス端子に接続され、一対の第２給電ローラ１８０ａ及び１８０ｂは、電源装置（図示せず）のマイナス端子に接続されている。
【０２５０】
そして、被めっき材料３２をその第１めっき層２０側の面（メッシュ面）が下向きとなるように（銀メッシュ面が一対の第２給電ローラ１８０ａ及び１８０ｂと接するように）、電気めっき処理装置１１０に取り付けてある。
【０２５１】
なお、一対の第２給電ローラ１８０ａ及び１８０ｂとして、鏡面仕上げしたステンレス製ローラ（１０ｃｍφ、長さ７０ｃｍ）の表面に０．１ｍｍ厚の電気銅めっきを施したものを使用し、一対のガイドローラ１７８ａ及び１７８ｂ並びにその他の搬送ローラとしては、銅めっきしていない５ｃｍφ、長さ７０ｃｍのローラを使用している。また、一対のガイドローラ１７８ａ及び１７８ｂの高さを調製することで、ライン速度が違っても一定の液中処理時間が確保されるようにしてある。
【０２５２】
また、入り口側の第２給電ローラ１８０ａと被めっき材料３２のメッシュ面とが接している面の最下部とめっき液面との距離（図７に示す距離Ｌｂ）を、１０ｃｍとした。出口側の第２給電ローラ１８０ｂと被めっき材料３２のメッシュ面が接している面の最上部とめっき液面との距離（図７に示す距離Ｌｃ）を、２０ｃｍとしてある。
【０２５３】
〔電気めっき処理装置１１１〕
次に、電気めっき処理装置１１１は、図８に示すように、長尺の被めっき材料３２（第２めっき層２２までが施されたもの）に連続して電気黒化めっき処理を施すことができるものであり、基本構成としては図７に示す電気めっき処理装置１１０と同一である。従って、図７と対応する部材については、同符号を付してその重複説明を省略する。図８では処理装置１１０からの変更点のみを示しており、めっき浴槽１７４に第３めっき液１９２を貯留していること及びめっき浴槽１７４内の一対のアノード板１８６ａ及び１８６ｂの材質が黒化めっきに用いられる材質の金属板になっていることが挙げられる。例えば、ニッケル−亜鉛系電解黒化めっきを行う際は、一対のアノード板１８６ａ及び１８６ｂの材質を溶出性の金属ニッケル板とし、第３めっき液１９２中の金属組成比を補充液により一定に管理して電解めっきすることも好適である。
【０２５４】
以上のように電気銅めっき及び電気黒化めっき処理を施された被めっき材料３２は、乾燥処理を施された後、巻取られる。このようにして、本実施の形態に係る導電性材料１０を得ることができる。
【０２５５】
上述のように、被めっき材料３２の金属銀部１６には第１めっき層２０、第２めっき層２２及び第３めっき層２３が形成される。金属銀部１６は該導電性金属部に含まれる金属の全質量に対して、銀を５０質量％以上含有することが好ましく、６０質量％以上含有することがさらに好ましい。
【０２５６】
また、金属銀部１６、第１めっき層２０、第２めっき層２２及び第３めっき層（導電性金属部）の金属総質量は、該導電性金属部の全質量に対して８０質量％以上であることが好ましく、９０質量％以上であることがさらに好ましい。
【０２５７】
以上説明した本実施形態に係る導電性材料の製造装置では、被めっき材料３２として、透明支持体上にハロゲン化銀塩乳剤層２８が設けられたものを用い、該ハロゲン化銀塩乳剤層２８に露光・現像を行って所望形状の金属銀部１６を形成させる。この金属銀部１６は、ハロゲン化銀塩乳剤層２８に露光・現像して形成されるため、非常に細い細線でパターン化された金属銀部１６となる。このような被めっき材料３２に対し、めっき処理を施すと、金属銀部１６上に導電性粒子が担持され、これが導電性金属部となる。このため、得られる電磁波遮蔽材料は、非常に細い細線でパターン化された細線状金属部と大面積の光透過部１８とを有することとなる。
【０２５８】
＜透光性電磁波シールド膜＞
以上のようにして製造した導電性材料を用い、本発明の透光性電磁波シールド膜における支持体の厚さは、５〜２００μｍであることが好ましく、３０〜１５０μｍであることがさらに好ましい。５〜２００μｍの範囲であれば所望の可視光の透過率が得られ、かつ取り扱いも容易である。
【０２５９】
物理現像及び／又はめっき処理前の支持体上に設けられる金属銀部の厚さは、支持体上に塗布される銀塩含有層用塗料の塗布厚みに応じて適宜決定することができる。金属銀部の厚さは、３０μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以下であることがより好ましく、０．０１〜９μｍであることがさらに好ましく、０．０５〜５μｍであることが最も好ましい。また、金属銀部はパターン状であることが好ましい。金属銀部は１層でもよく、２層以上の重層構成であってもよい。金属銀部がパターン状であり、かつ２層以上の重層構成である場合、異なる波長に感光できるように、異なる感色性を付与することができる。これにより、露光波長を変えて露光すると、各層において異なるパターンを形成することができる。このようにして形成された多層構造のパターン状金属銀部を含む透光性電磁波シールド膜は、高密度なプリント配線板として利用することができる。
【０２６０】
導電性金属部の厚さは、ディスプレイの電磁波シールド材の用途としては、薄いほどディスプレイの視野角が広がるため好ましい。さらに、導電性配線材料の用途としては、高密度化の要請から薄膜化が要求される。このような観点から、導電性金属部に担持された導電性金属からなる層の厚さは、９μｍ未満であることが好ましく、０．１μｍ以上５μｍ未満であることがより好ましく、０．１μｍ以上３μｍ未満であることがさらに好ましい。
【０２６１】
本発明では、上述した銀塩含有層の塗布厚みをコントロールすることにより所望の厚さの金属銀部を形成し、さらに物理現像及び／又はめっき処理により導電性金属粒子からなる層の厚みを自在にコントロールできるため、５μｍ未満、好ましくは３μｍ未満の厚みを有する透光性電磁波シールド膜であっても容易に形成することができる。
【０２６２】
なお、エッチングを用いたフォトリソグラフィ方法では、金属薄膜の大部分をエッチングで除去、廃棄する必要があったが、本発明では必要な量だけの導電性金属を含むパターンを支持体上に設けることができるため、必要最低限の金属量だけを用いればよく、製造コストの削減及び金属廃棄物の量の削減という両面から利点がある。
【０２６３】
（接着剤層）
本発明に係る導電性材料による電磁波シールド膜は、光学フィルタや、液晶表示板、プラズマディスプレイパネル、その他の画像表示グラットパネル、あるいはＣＣＤに代表される撮像用半導体集積回路等に組み込まれる際には、接着層を介して接合される。
【０２６４】
接着剤層における接着剤の屈折率は１．４０〜１．７０のものを使用することが好ましい。これは本発明で使用するプラスチックフィルム等の透明基材と接着剤の屈折率との関係で、その差を小さくして、可視光透過率が低下するのを防ぐためであり、屈折率が１．４０〜１．７０であると可視光透過率の低下が少なく良好である。
【０２６５】
また、接着剤は、加熱又は加圧により流動する接着剤であることが好ましく、特に、２００℃以下の加熱又は１Ｋｇｆ／ｃｍ2以上の加圧により流動性を示す接着剤であることが好ましい。このような接着剤を用いることにより、この接着剤層に導電層が埋設されている本発明おける電磁波シールド膜を被着体であるディスプレイやプラスチック板に接着剤層を流動させて接着することができる。流動できるので電磁波シールド膜を被着体にラミネートや加圧成形、特に加圧成形により、また曲面、複雑形状を有する被着体にも容易に接着することができる。このためには、接着剤の軟化温度が２００℃以下であると好ましい。電磁波シールド膜の用途から、使用される環境が通常８０℃未満であるので接着剤層の軟化温度は、８０℃以上が好ましく、加工性から８０〜１２０℃が最も好ましい。軟化温度は、粘度が１０12ポイズ以下になる温度のことで、通常その温度では１〜１０秒程度の時間のうちに流動が認められる。
【０２６６】
上記のような加熱又は加圧により流動する接着剤としては、主に以下に示す熱可塑性樹脂が代表的なものとしてあげられる。たとえば天然ゴム（屈折率ｎ＝１．５２）、ポリイソプレン（ｎ＝１．５２１）、ポリ−１，２−ブタジエン（ｎ＝１．５０）、ポリイソブテン（ｎ＝１．５０５〜１．５１）、ポリブテン（ｎ＝１．５１３）、ポリ−２−ヘプチル−１，３−ブタジエン（ｎ＝１．５０）、ポリ−２−ｔ−ブチル−１，３−ブタジエン（ｎ＝１．５０６）、ポリ−１，３−ブタジエン（ｎ＝１．５１５）等の（ジ）エン類、ポリオキシエチレン（ｎ＝１．４５６）、ポリオキシプロピレン（ｎ＝１．４５０）、ポリビニルエチルエーテル（ｎ＝１．４５４）、ポリビニルヘキシルエーテル（ｎ＝１．４５９）、ポリビニルブチルエーテル（ｎ＝１．４５６）等のポリエーテル類、ポリビニルアセテート（ｎ＝１．４６７）、ポリビニルプロピオネート（ｎ＝１．４６７）等のポリエステル類、ポリウレタン（ｎ＝１．５〜１．６）、エチルセルロース（ｎ＝１．４７９）、ポリ塩化ビニル（ｎ＝１．５４〜１．５５）、ポリアクリロニトリル（ｎ＝１．５２）、ポリメタクリロニトリル（ｎ＝１．５２）、ポリスルホン（ｎ＝１．６３３）、ポリスルフィド（ｎ＝１．６）、フェノキシ樹脂（ｎ＝１．５〜１．６）、ポリエチルアクリレート（ｎ＝１．４６９）、ポリブチルアクリレート（ｎ＝１．４６６）、ポリ−２−エチルヘキシルアクリレート（ｎ＝１．４６３）、ポリ−ｔ−ブチルアクリレート（ｎ＝１．４６４）、ポリ−３−エトキシプロピルアクリレート（ｎ＝１．４６５）、ポリオキシカルボニルテトラメチレン（ｎ＝１．４６５）、ポリメチルアクリレート（ｎ＝１．４７２〜１．４８０）、ポリイソプロピルメタクリレート（ｎ＝１．４７３）、ポリドデシルメタクリレート（ｎ＝１．４７４）、ポリテトラデシルメタクリレート（ｎ＝１．４７５）、ポリ−ｎ−プロピルメタクリレート（ｎ＝１．４８４）、ポリ−３，３，５−トリメチルシクロヘキシルメタクリレート（ｎ＝１．４８４）、ポリエチルメタクリレート（ｎ＝１．４８５）、ポリ−２−ニトロ−２−メチルプロピルメタクリレート（ｎ＝１．４８７）、ポリ−１，１−ジエチルプロピルメタクリレート（ｎ＝１．４８９）、ポリメチルメタクリレート（ｎ＝１．４８９）等のポリ（メタ）アクリル酸エステルが使用可能である。これらのアクリルポリマーは必要に応じて、２種以上共重合してもよいし、２種類以上をブレンドして使用することも可能である。
【０２６７】
さらにアクリル樹脂とアクリル以外との共重合樹脂としては、エポキシアクリレート（ｎ＝１．４８〜１．６０）、ウレタンアクリレート（ｎ＝１．５〜１．６）、ポリエーテルアクリレート（ｎ＝１．４８〜１．４９）、ポリエステルアクリレート（ｎ＝１．４８〜１．５４）等も使うこともできる。特に接着性の点から、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート、ポリエーテルアクリレートが優れており、エポキシアクリレートとしては、１、６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、アリルアルコールジグリシジルエーテル、レゾルシノールジグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、フタル酸ジグリシジルエステル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル等の（メタ）アクリル酸付加物が挙げられる。エポキシアクリレート等のように分子内に水酸基を有するポリマーは接着性向上に有効である。これらの共重合樹脂は必要に応じて、２種以上併用することができる。これらの接着剤となるポリマーの軟化温度は、取扱い性から２００℃以下が好適で、１５０℃以下がさらに好ましい。透光性電磁波シールド膜の用途から、使用される環境が通常８０℃以下であるので接着剤層の軟化温度は、加工性から８０〜１２０℃が最も好ましい。一方、ポリマーの重量平均分子量（ゲルパーミエーションクロマトグラフィによる標準ポリスチレンの検量線を用いて測定したもの、以下同様）は、５００以上のものを使用することが好ましい。分子量が５００以下では接着剤組成物の凝集力が低すぎるために被着体への密着性が低下するおそれがある。本発明で使用する接着剤には必要に応じて、希釈剤、可塑剤、酸化防止剤、充填剤、着色剤、紫外線吸収剤や粘着付与剤等の添加剤を配合してもよい。接着剤の層の厚さは、１０〜８０μｍであることが好ましく、導電層の厚さ以上で２０〜５０μｍとすることが特に好ましい。
【０２６８】
また、透明プラスチック基材が接着層を介して導電性材料と積層されている場合においては、接着層と幾何学図形を被覆する接着剤との屈折率の差が０．１４以下とされる。これは、透明プラスチック基材と接着剤の屈折率、又は接着剤と接着層の屈折率が異なると可視光透過率が低下するためであり、屈折率の差が０．１４以下であると可視光透過率の低下が少なく良好となる。そのような要件を満たす接着剤の材料としては、透明プラスチック基材がポリエチレンテレフタレート（ｎ＝１．５７５；屈折率）の場合、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂やビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、テトラヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、レゾルシン型エポキシ樹脂、ポリアルコール・ポリグリコール型エポキシ樹脂、ポリオレフィン型エポキシ樹脂、脂環式やハロゲン化ビスフェノール等のエポキシ樹脂（いずれも屈折率が１．５５〜１．６０）を使うことができる。エポキシ樹脂以外では天然ゴム（ｎ＝１．５２）、ポリイソプレン（ｎ＝１．５２１）、ポリ１，２−ブタジエン（ｎ＝１．５０）、ポリイソブテン（ｎ＝１．５０５〜１．５１）、ポリブテン（ｎ＝１．５１２５）、ポリ−２−ヘプチル−１，３−ブタジエン（ｎ＝１．５０）、ポリ−２−ｔ−ブチル−１，３−ブタジエン（ｎ＝１．５０６）、ポリ−１，３−ブタジエン（ｎ＝１．５１５）等の（ジ）エン類、ポリオキシエチレン（ｎ＝１．４５６３）、ポリオキシプロピレン（ｎ＝１．４４９５）、ポリビニルエチルエーテル（ｎ＝１．４５４）、ポリビニルヘキシルエーテル（ｎ＝１．４５９１）、ポリビニルブチルエーテル（ｎ＝１．４５６３）等のポリエーテル類、ポリビニルアセテート（ｎ＝１．４６６５）、ポリビニルプロピオネート（ｎ＝１．４６６５）等のポリエステル類、ポリウレタン（ｎ＝１．５〜１．６）、エチルセルロース（ｎ＝１．４７９）、ポリ塩化ビニル（ｎ＝１．５４〜１．５５）、ポリアクリロニトリル（ｎ＝１．５２）、ポリメタクリロニトリル（ｎ＝１．５２）、ポリスルホン（ｎ＝１．６３３）、ポリスルフィド（ｎ＝１．６）、フェノキシ樹脂（ｎ＝１．５〜１．６）等を挙げることができる。これらは、好適な可視光透過率を発現する。
【０２６９】
一方、透明プラスチック基材がアクリル樹脂の場合、上記の樹脂以外に、ポリエチルアクリレート（ｎ＝１．４６８５）、ポリブチルアクリレート（ｎ＝１．４６６）、ポリ−２−エチルヘキシルアクリレート（ｎ＝１．４６３）、ポリ−ｔ−ブチルアクリレート（ｎ＝１．４６３８）、ポリ−３−エトキシプロピルアクリレート（ｎ＝１．４６５）、ポリオキシカルボニルテトラメタクリレート（ｎ＝１．４６５）、ポリメチルアクリレート（ｎ＝１．４７２〜１．４８０）、ポリイソプロピルメタクリレート（ｎ＝１．４７２８）、ポリドデシルメタクリレート（ｎ＝１．４７４）、ポリテトラデシルメタクリレート（ｎ＝１．４７４６）、ポリ−ｎ−プロピルメタクリレート（ｎ＝１．４８４）、ポリ−３，３，５−トリメチルシクロヘキシルメタクリレート（ｎ＝１．４８４）、ポリエチルメタクリレート（ｎ＝１．４８５）、ポリ−２−ニトロ−２−メチルプロピルメタクリレート（ｎ＝１．４８６８）、ポリテトラカルバニルメタクリレート（ｎ＝１．４８８９）、ポリ−１，１−ジエチルプロピルメタクリレート（ｎ＝１．４８８９）、ポリメチルメタクリレート（ｎ＝１．４８９３）等のポリ（メタ）アクリル酸エステルが使用可能である。これらのアクリルポリマーは必要に応じて、２種以上共重合してもよいし、２種類以上をブレンドして使うこともできる。
【０２７０】
さらにアクリル樹脂とアクリル以外との共重合樹脂としてはエポキシアクリレート、ウレタンアクリレート、ポリエーテルアクリレート、ポリエステルアクリレート等も使うこともできる。特に接着性の点から、エポキシアクリレート、ポリエーテルアクリレートが優れており、エポキシアクリレートとしては、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、アリルアルコールジグリシジルエーテル、レゾルシノールジグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、フタル酸ジグリシジルエステル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル等の（メタ）アクリル酸付加物が挙げられる。エポキシアクリレートは分子内に水酸基を有するため接着性向上に有効であり、これらの共重合樹脂は必要に応じて、２種以上併用することができる。接着剤の主成分となるポリマーの重量平均分子量は、１，０００以上のものが使われる。分子量が１，０００以下だと組成物の凝集力が低すぎるために被着体への密着性が低下する。
【０２７１】
接着剤の硬化剤としてはトリエチレンテトラミン、キシレンジアミン、ジアミノジフェニルメタン等のアミン類、無水フタル酸、無水マレイン酸、無水ドデシルコハク酸、無水ピロメリット酸、無水ベンゾフェノンテトラカルボン酸等の酸無水物、ジアミノジフェニルスルホン、トリス（ジメチルアミノメチル）フェノール、ポリアミド樹脂、ジシアンジアミド、エチルメチルイミダゾール等を使うことができる。 これらは単独で用いてもよいし、２種以上混合して用いてもよい。これらの架橋剤の添加量は上記ポリマー１００重量部に対して０．１〜５０重量部、好ましくは１〜３０重量部の範囲で選択するのがよい。この添加量が、０．１重量部未満であると硬化が不十分となり、５０重量部を越えると過剰架橋となり、接着性に悪影響を与える場合がある。本発明で使用する接着剤の樹脂組成物には必要に応じて、希釈剤、可塑剤、酸化防止剤、充填剤や粘着付与剤等の添加剤を配合してもよい。そして、この接着剤の樹脂組成物は、透明プラスチック基材の表面に導電性材料で描かれた幾何学図形を設けた構成材料の基材の一部又は全面を被覆するために、塗布され、溶媒乾燥、加熱硬化工程を経たのち、本発明に係る接着フィルムにする。上記で得られた電磁波シ−ルド性と透明性を有する接着フィルムは、該接着フィルムの接着剤によりＣＲＴ、ＰＤＰ、液晶、ＥＬ等のディスプレイに直接貼り付け使用したり、アクリル板、ガラス板等の板やシートに貼り付けてディスプレイに使用する。また、この接着フィルムは、電磁波を発生する測定装置、測定機器や製造装置の内部をのぞくための窓や筐体に上記と同様にして使用する。さらに、電波塔や高圧線等により電磁波障害を受ける恐れのある建造物の窓や自動車の窓等に設ける。そして、導電性材料で描かれた幾何学図形にはアース線を設けることが好ましい。
【０２７２】
透明プラスチック基材上の導電性材料が除去された部分は密着性向上のために意図的に凹凸を有していたり、導電性材料の背面形状を転写したりするためにその表面で光が散乱され、透明性が損なわれるが、その凹凸面に透明プラスチック基材と屈折率が近い樹脂が平滑に塗布されると乱反射が最小限に押さえられ、透明性が発現するようになる。さらに透明プラスチック基材上の導電性材料で描写された幾何学図形は、ライン幅が非常に小さいため肉眼で視認されない。またピッチも十分に大きいため見掛け上透明性を発現すると考えられる。一方、遮蔽すべき電磁波の波長に比べて、幾何学図形のピッチは十分に小さいため、優れたシールド性を発現すると考えられる。
【０２７３】
特開２００３−１８８５７６号公報に示すように、透明基材フィルムと金属箔との積層は、透明基材フィルムとして、熱融着性の高いエチレン−酢酸ビニル共重合樹脂、もしくはアイオノマー樹脂等の熱融着性樹脂のフィルムを単独、又は他の樹脂フィルムと積層して使用するときは、接着剤層を設けずに行なうことも可能であるが、通常は、接着剤層を用いたドライラミネート法等によって積層を行なう。接着剤層を構成する接着剤としては、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、塩化ビニル／酢酸ビニル共重合樹脂、もしくはエチレン−酢酸ビニル共重合樹脂等の接着剤を挙げることができ、これらの他、熱硬化性樹脂や電離放射線硬化性樹脂（紫外線硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂等）を用いることもできる。
【０２７４】
一般的には、ディスプレイの表面はガラス製であるので、粘着剤を用いて貼り合わせるのは透明プラスチックフィルムとガラス板となり、その接着面に気泡が生じたり剥離が生じたりすると画像が歪む、表示色がディスプレイ本来のものと異なって見える等の問題が発生する。また、気泡及び剥離の問題はいずれの場合でも粘着剤がプラスチックフィルム又はガラス板より剥離することにより発生する。この現象は、プラスチックフィルム側、ガラス板側ともに発生する可能性が有り、より密着力の弱い側で剥離が発生する。従って、高温での粘着剤とプラスチックフィルム、ガラス板との密着力が高いことが必要となる。具体的には、透明プラスチックフィルム及びガラス板と粘着剤層との密着力は８０℃において１０ｇ／ｃｍ以上であることが好ましい。３０ｇ／ｃｍ以上であることがさらに好ましい。ただし、２０００ｇ／ｃｍを超えるような粘着剤は貼り合わせ作業が困難と成るために好ましくない場合がある。ただし、かかる問題点が発生しない場合は問題なく使用できる。さらに、この粘着剤の透明プラスチックフィルムと面していない部分に不必要に他の部分に接触しないように合い紙（セパレータ）を設けることも可能である。
【０２７５】
粘着剤は透明であるものが好ましい。具体的には全光線透過率が７０％以上が好ましく、８０％以上がさらに好ましく、８５〜９２％が最も好ましい。さらに、霞度が低いことが好ましい。具体的には、０〜３％が好ましく、０〜１．５％がさらに好ましい。本発明で用いる粘着剤は、ディスプレイ本来の表示色を変化させないために無色であることが好ましい。ただし、樹脂自体が有色であっても粘着剤の厚みが薄い場合には実質的には無色とみなすことが可能である。また、後述のように意図的に着色を行なう場合も同様にこの範囲ではない。
【０２７６】
上記の特性を有する粘着剤としては例えば、アクリル系樹脂、α−オレフィン樹脂、酢酸ビニル系樹脂、アクリル共重合物系樹脂、ウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、塩化ビニリデン系樹脂、塩化ビニル系樹脂、エチレン−ビニルアセテート系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂等が挙げられる。これらの内、アクリル系樹脂が好ましい。同じ樹脂を用いる場合でも、粘着剤を重合法により合成する際に架橋剤の添加量を下げる、粘着性付与材を加える、分子の末端基を変化させる等の方法によって、粘着性を向上させることも可能である。また、同じ粘着剤を用いても、粘着剤を貼り合わせる面、すなわち、透明プラスチックフィルム又はガラス板の表面改質を行なうことにより密着性を向上させることも可能である。このような表面の改質方法としては、コロナ放電処理、プラズマグロー処理等の物理的手法、密着性を向上させるための下地層を形成する等の方法が挙げられる。
【０２７７】
透明性、無色性、ハンドリング性の観点から、粘着剤層の厚みは、５〜５０μｍ程度であることが好ましい。粘着剤層を接着剤で形成する場合は、その厚みは上記範囲内で薄くするとよい。具体的には１〜２０μｍ程度である。ただし、上記のようにディスプレイ自体の表示色を変化させず、透明性も上記の範囲に入っている場合には、厚みが上記範囲を超えてもよい。
【０２７８】
（剥離可能な保護フィルム）
本発明に係る導電性材料による電磁波シールド膜には、剥離可能な保護フィルムを設けることができる。
【０２７９】
保護フィルムは、必ずしも、電磁波シールド膜の両面に有していなくてもよく、特開２００３−１８８５７６号公報の図２（ａ）に示すように、積層体（１０）のメッシュ状の金属箔（１１’）上に保護フイルム（２０）を有するのみで、透明基材フイルム（１４）側に有していなくてもよい。また、上記公報の図２（ｂ）に示すように、積層体（１０）の透明基材フイルム（１４）側に保護フイルム（３０）を有するのみで、金属箔（１１’）上に有していなくてもよい。なお、上述の括弧付きの参照符号は、参照する公報の部材に対する参照符号を示す。以下同じである。
【０２８０】
電磁波シールド膜における透明支持体１２及び開口部が密に配列したメッシュ状のメッシュパターンからなる透明性を有する電磁波遮蔽層とが少なくとも積層されて構成された積層体の層構成、及び積層体の製造プロセスについて、次に上記公報の図３（ａ）〜（ｆ）を引用しながら説明する。なお、保護フイルム（保護フイルム（２０）又は／及び保護フイルム（３０））の積層については、積層体の製造プロセスの説明の後に、改めて説明する。
【０２８１】
まず、上記公報の図３（ａ）に示すように、透明基材フイルム（１４）（透明支持体１２）及び金属箔（１１）が接着剤層（１３）を介して積層された積層体を準備する。透明基材フイルム（１４）としては、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリエステル樹脂、セルロース系樹脂、ポリサルホン樹脂、もしくはポリ塩化ビニル樹脂等のフイルムを用いることができる。通常は、機械的強度が優れ、透光性が高いポリエチレンテレフタレート樹脂等のポリエステル樹脂のフイルムを好ましく用いる。透明基材フイルム（１４）の厚みは、特に限定されないが、機械的強度があり、折り曲げに対する抵抗性を大きくする点から、５０μｍ〜２００μｍ程度であることが好ましく、さらに厚みが増してもよいが、電磁波遮蔽用シート（１）（透光性電磁波シールド膜１０）を他の透明基板に積層して使用する場合には、必ずしも、この範囲以上の厚みでなくてもよい。必要に応じ、透明基材フイルム（１４）の片面もしくは両面にコロナ放電処理を施したり、あるいは易接着層を設けるとよい。
【０２８２】
電磁波遮蔽用シート（１）は、後に上記公報の図４を引用して説明するように、上記の積層体を赤外線カットフィルタ層を介する等して基板上に積層したものの表裏に、さらに、最表面の強化、反射防止性の付与、防汚性の付与等の効果を有するシートを積層して使うものであるので、上記の保護フイルムは、このようなさらなる積層の際には剥離する必要があり、このため、保護フイルムの金属箔側への積層は、いわゆる剥離可能に行なうことが望ましい。
【０２８３】
保護フィルムは金属箔上に積層した際の剥離強度は５ｍＮ／２５ｍｍ幅〜５Ｎ／２５ｍｍ幅であることが好ましく、より好ましくは１０ｍＮ／２５ｍｍ幅〜１００ｍＮ／２５ｍｍ幅である。下限未満では、剥離が容易過ぎ、取扱い中や不用意な接触により保護フィルムが剥離するおそれがあり好ましくなく、また、上限を超えると、剥離のために大きな力を要する上、剥離の際に、メッシュ状の金属箔が透明基材フィルム（もしくは接着剤層から）剥離するおそれがあり、やはり好ましくない。
【０２８４】
本発明の電磁波シールド膜において、透明支持体１２上に接着剤層を介してメッシュ状の金属箔が積層された積層体（黒化層を伴ってもよい）の下面側、すなわち、透明支持体１２側に積層する保護フィルムは、透明支持体１２の下面が、取扱い中や不用意な接触により損傷しないよう、また、金属箔上にレジスト層を設けてエッチングする各工程において、特にエッチングの際に透明支持体１２の露出面が汚染もしくは侵食を受けないよう、保護するためのものである。
【０２８５】
前述した保護フィルムの場合と同様、この保護フィルムも、積層体のさらなる積層の際には剥離する必要があるので、保護フィルムの透明支持体１２側への積層も、剥離可能に行なうことが望ましく、剥離強度としては、保護フィルムと同様、５ｍＮ／２５ｍｍ幅〜５Ｎ／２５ｍｍ幅であることが好ましく、より好ましくは１０ｍＮ／２５ｍｍ幅〜１００ｍＮ／２５ｍｍ幅である。下限未満では、剥離が容易過ぎ、取扱い中や不用意な接触により保護フィルムが剥離するおそれがあり、好ましくなく、また上限を超えると、剥離のために大きな力を要するからである。
【０２８６】
透明支持体１２側に積層する保護フィルムは、エッチング条件に耐える、例えば、５０℃程度のエッチング液、特にそのアルカリ成分によって数分間の浸漬中、侵食されないものであることが好ましく、あるいは、ドライエッチングの場合には１００℃程度の温度条件に耐えるものであることが望ましい。また、感光性樹脂層を積層する際に、積層体をディップコーティング（浸漬コーティング）するときは、コーティング液が積層体の反対面にも付着するので、エッチング等の工程の際に、感光性樹脂が剥離してエッチング液の中を漂うことがないよう、感光性樹脂の密着力が得られるものであることが好ましいし、エッチング液を用いるときは、塩化鉄や塩化銅等を含むエッチング液による汚染に耐える耐久性、もしくは、アルカリ液等のレジスト除去液による侵食もしくは汚染等に耐える耐久性を有するものであることが好ましい。
【０２８７】
上記の各点を満足させるために、保護フィルムを構成するフィルムとしては、ポリオレフィン系樹脂であるポリエチレン樹脂やポリプロピレン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂等のポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、もしくはアクリル樹脂等の樹脂フィルムを用いることが好ましく、また、上記した観点により、少なくとも、保護フィルムの、積層体に適用した際に最表面となる側の面にコロナ放電処理を施しておくか、易接着層を積層しておくことが好ましい。
【０２８８】
また、保護フィルムを構成する粘着剤としては、アクリル酸エステル系、ゴム系、もしくはシリコーン系のものを使用することができる。
【０２８９】
上記した保護フィルム用のフィルムの素材及び粘着剤の素材は、金属箔側に適用する保護フィルムについても、そのまま適用できるので、両保護フィルムとしては、異なるものを使用してもよいが、同じ物を、両保護フィルムとすることができる。
【０２９０】
［光学フィルタ］
本発明に係る光学フィルタは、上記の透光性電磁波シールド膜の他に、複合機能層を備えた機能性フィルムを有することができる。
【０２９１】
（複合機能層）
ディスプレイは、照明器具等の映り込みによって表示画面が見づらくなってしまうので、機能性フィルムは、外光反射を抑制するための反射防止（ＡＲ：アンチリフレクション）性、又は、鏡像の映り込みを防止する防眩（ＡＧ：アンチグレア）性、又はその両特性を備えた反射防止防眩（ＡＲＡＧ）性のいずれかの機能を有していることが必要である。光学フィルタ表面の可視光線反射率が低いと、映り込み防止だけではなく、コントラスト等を向上させることができる。
【０２９２】
反射防止性を有する機能性フィルムは、反射防止膜を有し、具体的には、可視域において屈折率が１．５以下、好適には１．４以下と低い、フッ素系透明高分子樹脂やフッ化マグネシウム、シリコン系樹脂や酸化珪素の薄膜等を例えば１／４波長の光学膜厚で単層形成したもの、屈折率の異なる、金属酸化物、フッ化物、ケイ化物、窒化物、硫化物等の無機化合物又はシリコン系樹脂やアクリル樹脂、フッ素系樹脂等の有機化合物の薄膜を２層以上多層積層したものがあるが、これらに限定されるものではない。反射防止性を有する機能性フィルムの表面の可視光線反射率は２％以下、好ましくは１．３％以下、さらに好ましくは０．８％以下である。
【０２９３】
防眩性を有する機能性フィルムは、０．１μｍ〜１０μｍ程度の微少な凹凸の表面状態を有する可視光線に対して透明な防眩膜を有している。具体的には、アクリル系樹脂、シリコン系樹脂、メラミン系樹脂、ウレタン系樹脂、アルキド系樹脂、フッ素系樹脂等の熱硬化型又は光硬化型樹脂に、シリカ、有機珪素化合物、メラミン、アクリル等の無機化合物又は有機化合物の粒子を分散させインキ化したものを、基体上に塗布、硬化させる。粒子の平均粒径は、１〜４０μｍである。又は、上記の熱硬化型又は光硬化型樹脂を基体に塗布し、所望のグロス値又は表面状態を有する型を押しつけ硬化することによっても防眩性を得ることができるが、必ずしもこれら方法に限定されるものではない。防眩性を有する機能性フィルムのヘイズは０．５％以上２０％以下であり、好ましくは１％以上１０％以下である。ヘイズが小さすぎると防眩性が不十分であり、ヘイズが大きすぎると透過像鮮明度が低くなる傾向がある。
【０２９４】
光学フィルタに耐擦傷性を付加させるために、機能性フィルムがハードコート性を有していることも好適である。ハードコート膜としてはアクリル系樹脂、シリコン系樹脂、メラミン系樹脂、ウレタン系樹脂、アルキド系樹脂、フッ素系樹脂等の熱硬化型又は光硬化型樹脂等が挙げられるが、その種類も形成方法も特に限定されない。これら膜の厚さは、１〜５０μｍ程度である。ハードコート性を有する機能性フィルムの表面硬度は、ＪＩＳ（Ｋ―５４００）に従った鉛筆硬度が少なくともＨ、好ましくは２Ｈ、さらに好ましくは３Ｈ以上である。ハードコート膜上に反射防止膜及び／又は防眩膜を形成すると、耐擦傷性・反射防止性及び／又は防眩性を有する機能性フィルムが得られ好適である。
【０２９５】
光学フィルタには、静電気帯電によりホコリが付着しやすく、また、人体が接触したときに放電して電気ショックを受けることがあるため、帯電防止処理が必要とされる場合がある。従って、静電気防止能を付与するために、機能性フイルムが導電性を有していてもよい。この場合に必要とされる導電性は表面抵抗率で１０11オーム／ｓｑ程度以下であればよい。導電性を付与する方法としてはフイルムに帯電防止剤を含有させる方法や導電層を形成する方法が挙げられる。帯電防止剤として具体的には、商品名ペレスタット（三洋化成社製）、商品名エレクトロスリッパー（花王社製）等が挙げられる。導電層としてはＩＴＯをはじめとする公知の透明導電膜やＩＴＯ超微粒子や酸化スズ超微粒子をはじめとする導電性超微粒子を分散させた導電膜が挙げられる。ハードコート膜や反射防止膜、防眩膜が、導電膜を有していたり導電性微粒子を含有していると好適である。
【０２９６】
機能性フイルムの表面が防汚性を有していると、指紋等の汚れ防止や汚れが付いたときに簡単に取り除くことができるので好適である。防汚性を有するものとしては、水及び／又は油脂に対して非濡性を有するものであって、例えばフッ素化合物やケイ素化合物が挙げられる。フッ素系防汚剤として具体的には商品名オプツール（ダイキン社製）等が挙げられ、ケイ素化合物としては、商品名タカタクォンタム（日本油脂社製）等が挙げられる。反射防止膜に、これら防汚性のある層を用いると、防汚性を有する反射防止膜が得られて好適である。
【０２９７】
機能性フイルムは、後述する色素や高分子フイルムの劣化等を防ぐ目的で紫外線カット性を有していることが好ましい。紫外線カット性を有する機能性フイルムは、後述する上記の高分子フイルムに紫外線吸収剤を含有させることや紫外線吸収膜を付与する方法が挙げられる。
【０２９８】
光学フィルタは、常温常湿よりも高い温度・湿度環境化で使用されると、フイルムを透過した水分により後述する色素が劣化したり、貼り合わせに用いる粘着材中や貼り合せ界面に水分が凝集して曇ったり、水分による影響で粘着材中の粘着付与剤等が相分離して析出して曇ったりすることがあるので、機能性フイルムがガスバリア性を有していると好ましい。このような色素劣化や曇りを防ぐためには、色素を含有する層や粘着材層への水分の侵入を防ぐことが肝要であり、機能性フイルムの水蒸気透過度が１０ｇ／ｍ2・ｄａｙ以下、好ましくは５ｇ／ｍ2・ｄａｙ以下であることが好適である。
【０２９９】
本実施の形態において、高分子フイルム、導電メッシュ層、機能性フイルム及び必要に応じて後述する透明成型物は、可視光線に対して透明な任意の粘着材又は接着剤（第１透光性粘着材層及び第２透光性粘着材層）を介して貼り合わされる。粘着材又は接着剤（第１透光性粘着材層及び第２透光性粘着材層）として具体的にはアクリル系接着剤、シリコン系接着剤、ウレタン系接着剤、ポリビニルブチラール接着剤（ＰＶＢ）、エチレン−酢酸ビニル系接着剤（ＥＶＡ）等、ポリビニルエーテル、飽和無定形ポリエステル、メラミン樹脂等が挙げられ、実用上の接着強度があればシート状のものでも液状のものでもよい。粘着材は感圧型接着剤でシート状のものが好適に使用できる。シート状粘着材貼り付け後又は接着材塗布後に各部材をラミネートすることによって貼り合わせを行う。液状のものは塗布、貼り合わせ後に室温放置又は加熱により硬化する接着剤である。塗布方法としては、バーコート法、リバースコート法、グラビアコート法、ダイコート法、ロールコート法等が挙げられるが、接着剤の種類、粘度、塗布量等から考慮、選定される。層の厚みは、特に限定されるものではないが、０．５μｍ〜５０μｍ、好ましくは１μｍ〜３０μｍである。粘着材層を形成される面、貼り合わせられる面は、予め易接着コート又はコロナ放電処理等の易接着処理により濡れ性を向上させておくことが好適である。本発明においては、前述の可視光線に対して透明な粘着材又は接着剤を透光性粘着材と呼ぶ。
【０３００】
本実施の形態においては、導電性メッシュ層上に機能性フイルムを貼り合わせる際、特に、第１透光性粘着材層を用いる。第１透光性粘着材層に用いる透光性粘着材の具体例としては前記と同じだが、その厚さが導電性メッシュ層の凹部を十分埋め込むことができることが肝要である。導電性メッシュ層の厚さより薄すぎると、埋め込み不十分で間隙ができて凹部に気泡を噛み込み、濁りのある、透光性の不足したディスプレイ用フィルタとなってしまう。また、厚すぎると粘着材を作製するコストがアップしたり部材のハンドリングが悪くなる等の問題が生じる。導電性メッシュ層の厚さがｄμｍの時、第１透光性粘着材の厚さは（ｄ−２）〜（ｄ＋３０）μｍであることが好ましい。
【０３０１】
光学フィルタの可視光線透過率は、３０〜８５％が好ましい。さらに好ましくは３５〜７０％である。３０％未満であると輝度が下がりすぎ視認性が悪くなる。また、ディスプレイ用フィルタの可視光線透過率が高すぎると、ディスプレイのコントラストを改善できない。なお、本発明における可視光線透過率は、可視光線領域における透過率の波長依存性からＪＩＳ（Ｒ−３１０６）に従って計算されるものである。
【０３０２】
また、機能性フイルムを第１透光性粘着材層を介して導電性メッシュ層上に貼り合せると、凹部に気泡を噛み込み、濁って透光性が不十分になることがあるが、この場合、例えば加圧処理すると、貼り合わせ時に部材間に入り込んだ気体を脱泡又は、粘着材に固溶させ、濁りを無くして透光性を向上させることができる。加圧処理は、機能性フイルム／第１透光性粘着材層／導電性メッシュ層／高分子フイルムの構成の状態で行っても、本実施の形態のディスプレイ用フィルタの状態で行ってもよい。
【０３０３】
加圧方法としては、平板間に積層体を挟み込みプレスする方法、ニップロール間を加圧しながら通す方法、加圧容器内に入れて加圧する方法が挙げられるが、特に限定はされない。加圧容器内で加圧する方法は、積層体全体に一様に圧力がかかり加圧のムラがなく、また、一度に複数枚の積層体を処理できるので好適である。加圧容器としてはオートクレーブ装置を用いることができる。
【０３０４】
加圧条件としては、圧力が高い程、噛み込んだ気泡をなくすことができ、かつ、処理時間を短くすることができるが、積層体の耐圧性、加圧方法の装置上の制限から、０．２ＭＰａ〜２ＭＰａ程度、好ましくは０．４ＭＰａ〜１．３ＭＰａである。また、加圧時間は、加圧条件によって変わり特に限定されないが、長くなりすぎると処理時間がかかりコストアップとなるので、適当な加圧条件において保持時間が６時間以下であることが好ましい。特に加圧容器の場合は、設定圧力に到達後、１０分〜３時間程度保持することが好適である。
【０３０５】
また、加圧時に同時に加温すると好ましい場合がある。加温することによって、透光性粘着材の流動性が一時的に上がり噛み込んだ気泡を脱泡しやすくなったり、気泡が粘着材中に固溶しやすくなる。加温条件としては光学フィルタを構成する各部材の耐熱性により、室温以上８０℃以下程度であるが、特に限定を受けない。
【０３０６】
さらにまた、加圧処理、又は、加圧加温処理は、光学フィルタを構成する各部材間の貼り合わせ後の密着力を向上させることができ、好適である。
【０３０７】
本実施の形態の光学フィルタは、高分子フイルムの導電性メッシュ層が形成されていない他方の主面に第２透光性粘着材層を設ける。第２透光性粘着材層に用いる透光性粘着材の具体例は前述の通りであり、特に限定はされない。厚みも、特に限定されるものではないが、０．５μｍ〜５０μｍ、好ましくは１μｍ〜３０μｍである。第２透光性粘着材層を形成される面、貼り合わせられる面は、予め易接着コート又はコロナ放電処理等の易接着処理により濡れ性を向上させておくことが好適である。
【０３０８】
第２透光性粘着材層上に離型フイルムが形成されていてもよい。すなわち、少なくとも機能性フイルム／第１透光性粘着材層／導電性メッシュ層／高分子フイルム／第２透光性粘着材層／離型フイルムである。離型フイルムは、粘着材層と接する高分子フイルムの主面上にシリコーン等をコーティングしたものである。本実施の形態の光学フィルタを後述の透明成形物の主面に貼り合せる際、又は、ディスプレイ表面、例えばプラズマディスプレイパネルの前面ガラス上に貼り合せる際には、離型フイルムを剥離して第２透光性粘着材層を露出せしめた後に貼り合わせる。
【０３０９】
本実施の形態の光学フィルタは、主として各種ディスプレイから発生する電磁波を遮断する目的で用いられる。好ましい例として、プラズマディスプレイ用フィルタが挙げられる。
【０３１０】
前述したように、プラズマディスプレイは強度の近赤外線を発生するため、光学フィルタは、実用上問題ないレベルまで電磁波だけでなく近赤外線もカットする必要がある。波長領域８００〜１０００ｎｍにおける透過率を２５％以下、好ましくは１５％以下、さらに好ましくは１０％以下とすることが必要である。また、プラズマディスプレイに用いる光学フィルタは、その透過色がニュートラルグレー又はブルーグレーであることが要求される。これは、プラズマディスプレイの発光特性及びコントラストを維持又は向上させる必要があったり、標準白色より若干高めの色温度の白色が好まれる場合があるからである。さらにまた、カラープラズマディスプレイはその色再現性が不十分と言われており、その原因である蛍光体又は放電ガスからの不要発光を選択的に低減することが好ましい。特に、赤色表示の発光スペクトルは、波長５８０ｎｍから７００ｎｍ程度までにわたる数本の発光ピークを示しており、比較的強い短波長側の発光ピークにより赤色発光がオレンジに近い色純度のよくないものとなってしまう問題がある。これら光学特性は、色素を用いることによって制御できる。つまり、近赤外線カットには近赤外線吸収剤を用い、また、不要発光の低減には不要発光を選択的に吸収する色素を用いて、所望の光学特性とすることができ、また、光学フィルタの色調も可視領域に適当な吸収のある色素を用いて好適なものとすることができる。
【０３１１】
色素を含有させる方法としては、（１）色素を少なくとも１種類以上、透明な樹脂に混錬させた高分子フイルム又は樹脂板、（２）色素を少なくとも１種類以上、樹脂又は樹脂モノマー／有機系溶媒の樹脂濃厚液に分散・溶解させ、キャスティング法により作製した高分子フイルム又は樹脂板、（３）色素を少なくとも１種類以上を、樹脂バインダと有機系溶媒に加え、塗料とし、高分子フイルム又は樹脂板上にコーティングしたもの、（４）色素を少なくとも１種類以上を含有する透明な粘着材、のいずれか一つ以上選択できるが、これらに限定されない。本実施の形態でいう含有とは、基材又は塗膜等の層又は粘着材の内部に含有されることは勿論、基材又は層の表面に塗布した状態を意味する。
【０３１２】
上記の色素は可視領域に所望の吸収波長を有する一般の染料又は顔料、又は、近赤外線吸収剤であって、その種類は特に限定されるものではないが、例えばアントラキノン系、フタロシアニン系、メチン系、アゾメチン系、オキサジン系、イモニウム系、アゾ系、スチリル系、クマリン系、ポルフィリン系、ジベンゾフラノン系、ジケトピロロピロール系、ローダミン系、キサンテン系、ピロメテン系、ジチオール系化合物、ジイミニウム系化合物等の一般に市販もされている有機色素があげられる。その種類・濃度は、色素の吸収波長・吸収係数、光学フィルタに要求される透過特性・透過率、そして分散させる媒体又は塗膜の種類・厚さから決まり、特に限定されるものではない。
【０３１３】
プラズマディスプレイパネルはパネル表面の温度が高く、環境の温度が高いときは特に光学フィルタの温度も上がるため、色素は、例えば８０℃で分解等によって顕著に劣化しない耐熱性を有していることが好適である。また、耐熱性に加えて色素によっては耐光性に乏しいものもある。プラズマディスプレイの発光や外光の紫外線・可視光線による劣化が問題になる場合は、紫外線吸収剤を含む部材や紫外線を透過しない部材を用いることによって、色素の紫外線による劣化を低減すること、紫外線や可視光線による顕著な劣化がない色素を用いることが肝要である。熱、光に加えて、湿度や、これらの複合した環境においても同様である。劣化するとディスプレイ用フィルタの透過特性が変わってしまい、色調が変化したり近赤外線カット能が低下してしまう。さらには、媒体又は塗膜中に分散させるために、適宜の溶媒への溶解性や分散性も重要である。また、本発明においては異なる吸収波長を有する色素２種類以上を一つの媒体又は塗膜に含有させてもよいし、色素を含有する媒体、塗膜を２つ以上有していてもよい。
【０３１４】
上記の色素を含有させる方法（１）〜（４）は、本実施の形態においては、色素を含有する高分子フイルム（Ａ）、色素を含有する機能性フイルム（Ｃ）、色素を含有する透光性粘着材（Ｄ１）、（Ｄ２）、その他貼り合わせに用いられる色素を含有する透光性の粘着材又は接着剤のいずれか１つ以上の形態をもって、本実施の形態の光学フィルタに使用できる。
【０３１５】
一般に色素は紫外線で劣化しやすい。光学フィルタが通常使用条件下で受ける紫外線は、太陽光等の外光に含まれるものである。従って、色素の紫外線による劣化を防止するためには、色素を含有する層自身及び該層より外光を受ける人側の層から選ばれる少なくとも１層に、紫外線カット能を有する層を有していることが好適である。例えば、高分子フイルムが色素を含有する場合、第１透光性粘着材層及び／又は機能性フイルムが、紫外線吸収剤を含有したり、紫外線カット能を有する機能膜を有していれば、外光が含む紫外線から、色素を保護できる。色素を保護するのに必要な紫外線カット能としては、波長３８０ｎｍより短い紫外線領域の透過率が、２０％以下、好ましくは１０％以下、さらに好ましくは５％以下である。紫外線カット能を有する機能膜は、紫外線吸収剤を含有する塗膜であっても、紫外線を反射又は吸収する無機膜であってもよい。紫外線吸収剤は、ベンゾトリアゾール系やベンゾフェノン系等、従来公知のものを使用でき、その種類・濃度は、分散又は溶解させる媒体への分散性・溶解性、吸収波長・吸収係数、媒体の厚さ等から決まり、特に限定されるものではない。なお、紫外線カット能を有する層又はフイルムは、可視光線領域の吸収が少なく、著しく可視光線透過率が低下したり黄色等の色を呈することがないことが好ましい。色素を含有する機能性フイルムにおいては、色素を含有する層が形成されている場合はその層よりも人側のフイルム又は機能膜が紫外線カット能を有すればよく、高分子フイルムが色素を含有する場合はフイルムより人側に紫外線カット能を有する機能膜や機能層を有していればよい。
【０３１６】
色素は、金属との接触によっても劣化する場合がある。このような色素を用いる場合、色素は導電メッシュ層とできるだけ接触しないように配置することがさらに好ましい。具体的には色素含有層が機能性フイルム、高分子フイルム、第２透光性粘着材層であることが好ましく、特には第２透光性粘着材層であることが好ましい。
【０３１７】
本実施の形態の光学フィルタは、高分子フイルム、導電性メッシュ層、機能性フイルム、第１透光性粘着材層及び第２透光性粘着材層が、機能性フイルム／第１透光性粘着材層／導電性メッシュ層／高分子フイルム／第２透光性粘着材層の順に構成され、好ましくは導電性メッシュ層と高分子フイルムとからなる導電性メッシュフイルムと機能性フイルムとが第１透光性粘着材層で貼合され、高分子フイルムの導電性メッシュ層とは反対側の主面に第２透光性粘着材層が付されている。
【０３１８】
本実施の形態の光学フィルタをディスプレイに装着する際には機能性フイルムを人側に、第２透光性粘着材層がディスプレイ側となるように装着する。
【０３１９】
本実施の形態の光学フィルタを、ディスプレイの前面に設けて使用する方法としては、後述の透明成形物を支持体とした前面フィルタ板として使用する方法、ディスプレイ表面に第２透光性粘着材層を介して貼り合せて使用する方法がある。前者の場合、光学フィルタの設置が比較的容易であり、透明支持体により機械的強度が向上し、ディスプレイの保護に適している。後者の場合は、支持体がなくなることにより、軽量化・薄化が可能であり、また、ディスプレイ表面の反射を防止することができ、好適である。
【０３２０】
透明成形物としては、ガラス板、透光性のプラスチック板があげられる。機械的強度や、軽さ、割れにくさからは、プラスチック板が好ましいが、熱による変形等の少ない熱的安定性からガラス板も好適に使用できる。プラスチック板の具体例を挙げると、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）をはじめとするアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、透明ＡＢＳ樹脂等が使用できるが、これらの樹脂に限定されるものではない。特に、ＰＭＭＡはその広い波長領域での高透光性と機械的強度の高さから好適に使用できる。プラスチック板の厚みは十分な機械的強度と、撓まずに平面性を維持する剛性が得られればよく、特に限定されるものではないが、通常１ｍｍ〜１０ｍｍ程度である。ガラスは、機械的強度を付加するために化学強化加工又は風冷強化加工を行った半強化ガラス板又は強化ガラス板が好ましい。重量を考慮すると、その厚みは１〜４ｍｍ程度である事が好ましいが、特に限定されない。透明成形物はフイルムを貼り合せる前に必要な各種公知の前処理を行うことができるし、光学フィルタ周縁部となる部分に黒色等の有色の額縁印刷を施してもよい。
【０３２１】
透明成形物を用いる場合の光学フィルタの構成は、少なくとも機能性フイルム／第１透光性粘着材層／導電性メッシュ層／高分子フイルム／第２透光性粘着材層／透明成形物である。また、透明成形物の第２透光性粘着材層と貼り合せられる面とは反対の主面に、機能性フイルムが透光性粘着材層を介して設けられてもよい。この場合、人側に設けられる機能性フイルムと同じ機能・構成を有する必要はなく、例えば、反射防止能を有している場合は、透明支持体を有する光学フィルタの裏面反射を低減することができる。同じく、透明成形物の第２透光性粘着材層と貼り合せられる面とは反対の主面に、反射防止膜等の機能膜を形成してもよい。この場合は、機能性膜を人側にしてディスプレイに設置することもできるが、前述の通り、紫外線カット能を有する層を色素含有層及び色素含有層より人側の層に設けることが好ましい。
【０３２２】
電磁波シールドを必要とする機器には、機器のケース内部に金属層を設けたり、ケースに導電性材料を使用して電磁波を遮断する必要があるが、ディスプレイのように、表示部に透光性が必要である場合には、本実施の形態の光学フィルタのように、透光性の導電層を有した窓状の電磁波シールドフィルタを設置する。ここで、電磁波は、導電層において吸収されたのち電荷を誘起するため、アースをとることによって電荷を逃がさないと、再び光学フィルタがアンテナとなって電磁波を発振し電磁波シールド能が低下する。従って、光学フィルタとディスプレイ本体のアース部が電気的に接触している必要がある。そのため、前述の第１透光性粘着材層及び機能性フイルムは、外部から導通を取ることができる導通部を残して導電性メッシュ層上に形成されている必要がある。導通部の形状は特に限定しないが、光学フィルタとディスプレイ本体の間に、電磁波の漏洩する隙間が存在しないことが肝要である。従って、導通部は、導電性メッシュ層の周縁部、かつ、連続的に設けられている事が好適である。すなわち、ディスプレイの表示部である中心部分を除いて、枠状に、導通部が設けられている事が好ましい。
【０３２３】
導通部はメッシュパターン層であっても、パターニングされていない、例えば金属箔ベタの層であってもよいが、ディスプレイ本体のアース部との電気的接触を良好とするためには、金属箔ベタ層のようにパターニングされていない導通部であることが好ましい。
【０３２４】
導通部が、例えば金属箔ベタのようにパターニングされていない場合、及び／又は、導通部の機械的強度が十分強い場合は、導通部そのままを電極として使用できて好適である。
【０３２５】
導通部の保護のため、及び／又は、導通部がメッシュパターン層である場合にアース部との電気的接触を良好とするために、導通部に電極を形成することが好ましい場合がある。電極形状は特に限定しないが、導通部をすべて覆うように形成されている事が好適である。
【０３２６】
電極に用いる材料は、導電性、耐触性及び透明導電膜との密着性等の点から、銀、銅、ニッケル、アルミニウム、クロム、鉄、亜鉛、カーボン等の単体もしくは２種以上からなる合金や、合成樹脂とこれら単体又は合金の混合物、もしくは、ホウケイ酸ガラスとこれら単体又は合金の混合物からなるペーストを使用できる。ペーストの印刷、塗工には従来公知の方法を採用できる。また、市販の導電性テープも好適に使用できる。導電性テープは両面ともに導電性を有するものであって、カーボン分散の導電性接着剤を用いた片面接着タイプ、両面接着タイプが好適に使用できる。電極の厚さは、これもまた特に限定されるものではないが、数μｍ〜数ｍｍ程度である。
【０３２７】
本実施の形態によれば、プラズマディスプレイの輝度を著しく損なわずに、その画質を維持又は向上させることができる、光学特性に優れた光学フィルタを得ることができる。また、プラズマディスプレイから発生する健康に害をなす可能性があることを指摘されている電磁波を遮断する電磁波シールド能に優れ、さらに、プラズマディスプレイから放射される８００〜１０００ｎｍ付近の近赤外線線を効率よくカットするため、周辺電子機器のリモコン、伝送系光通信等が使用する波長に悪影響を与えず、それらの誤動作を防ぐことができる光学フィルタを得ることができる。さらにまた、耐候性にも優れた光学フィルタを低コストで提供することができる。
【０３２８】
また、本発明の導電性材料の製造方法及び製造装置は、透光性電磁波シールド膜に用いられるばかりでなく、無線アンテナ、燃料電池用電極、電気二重層キャパシタ、バイオセンサ電極、又は有機トランジスタ電極の形成にも好適に利用することができる。
【０３２９】
なお、本発明の導電性材料の製造方法及び製造装置は、例えば、特開２００６−０１２９３５号公報、特開２００６−０１０７９５号公報、特開２００６−２２８４６９号公報、特開２００６−２２８４７３号公報、特開２００６−２２８４７８号公報、特開２００６−２２８４８０号公報、特開２００６−２２８８３６号公報、特開２００６−２６７６２７号公報、特開２００６−２６９７９５号公報、特開２００６−２６７６３５号公報、特開２００６−２８６４１０号公報、特開２００６−２８３１３３号公報、特開２００６−２８３１３７号公報、特開２００４−２２１５６４号公報、特開２００４−２２１５６５号公報、特開２００７−２００９２２号公報、特開２００６−３５２０７３号公報、国際公開第２００６／００１４６１号パンフレット、特開２００７−１２９２０５号公報、特開２００７−２３５１１５号公報、特開２００７−２０７９８７号公報、特開２００６−０１２９３５号公報、特開２００６−０１０７９５号公報、特開２００６−２２８４６９号公報、特開２００６−３３２４５９号公報、特開２００７−２０７９８７号公報、特開２００７−２２６２１５号公報、国際公開第２００６／０８８０５９号パンフレット、特開２００６−２６１３１５号公報、特開２００７−０７２１７１号公報、特開２００７−１０２２００号公報、特開２００６−２２８４７３号公報、特開２００６−２６９７９５号公報、特開２００６−２６７６３５号公報、特開２００６−２６７６２７号公報、国際公開第２００６／０９８３３３号パンフレット、特開２００６−３２４２０３号公報、特開２００６−２２８４７８号公報、特開２００６−２２８８３６号公報、特開２００６−２２８４８０号公報、国際公開第２００６／０９８３３６号パンフレット、国際公開第２００６／０９８３３８号パンフレット、特開２００７−００９３２６号公報、特開２００６−３３６０５７号公報、特開２００６−３３９２８７号公報、特開２００６−３３６０９０号公報、特開２００６−３３６０９９号公報、特開２００７−０３９７３８号公報、特開２００７−０３９７３９号公報、特開２００７−０３９７４０号公報、特開２００７−００２２９６号公報、特開２００７−０８４８８６号公報、特開２００７−０９２１４６号公報、特開２００７−１６２１１８号公報、特開２００７−２００８７２号公報、特開２００７−１９７８０９号公報、特開２００７−２７０３５３号公報、特開２００７−３０８７６１号公報、特開２００６−２８６４１０号公報、特開２００６−２８３１３３号公報、特開２００６−２８３１３７号公報、特開２００６−３４８３５１号公報、特開２００７−２７０３２１号公報、特開２００７−２７０３２２号公報、国際公開第２００６／０９８３３５号パンフレット，特開２００７−０８８２１８号公報、特開２００７−２０１３７８号公報、特開２００７−３３５７２９号公報、国際公開第２００６／０９８３３４号パンフレット，特開２００７−１３４４３９号公報、特開２００７−１４９７６０号公報、特開２００７−２０８１３３号公報、特開２００７−１７８９１５号公報、特開２００７−３３４３２５号公報、特開２００７−３１００９１号公報、特開２００７−３１１６４６号公報、特開２００７−０１３１３０号公報、特開２００６−３３９５２６号公報、特開２００７−１１６１３７号公報、特開２００７−０８８２１９号公報、特開２００７−２０７８８３号公報、特開２００７−２０７８９３号公報、特開２００７−２０７９１０号公報、特開２００７−０１３１３０号公報、国際公開第２００７／００１００８号パンフレット、特開２００５−３０２５０８号公報、特開２００５−１９７２３４号公報に記載の発明と適宜組み合わせることができる。
【実施例１】
【０３３０】
以下に本発明の実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。なお、以下の実施例に示される材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す具体例により限定的に解釈されるべきものではない。
【０３３１】
〔実施例１〜１２〕
（ハロゲン化銀感光材料）
＜支持体の作製＞
二軸延伸したポリエチレンテレフタレート支持体（厚み１００μｍ）の両面に下記組成の下塗層第１層及び第２層を塗布した。
【０３３２】
＜下塗層１層＞
コア−シェル型塩化ビニリデン共重合体（１）          １５ｇ
２，４−ジクロル−６−ヒドロキシ−ｓ−トリアジン
０．２５ｇ
ポリスチレン微粒子（平均粒径３μ）              ０．０５ｇ
コロイダルシリカ（スノーテックスＺＬ：日産化学（株）製）
粒径７０〜１００μｍ        ０．１２ｇ
水を加えて                                        １００ｇ
【０３３３】
さらに、１０質量％のＫＯＨを加え、ｐＨ＝６に調整した塗布液を乾燥温度１８０℃２分間で、乾燥膜厚が０．９μｍになるように塗布した。
【０３３４】
＜下塗層第２層＞
ゼラチン                                              １ｇ
メチルセルロース                                ０．０５ｇ
Ｃ12Ｈ25Ｏ(ＣＨ2ＣＨ2Ｏ)10Ｈ                    ０．０３ｇ
プロキセル                                ３．５×１０-3ｇ
酢酸                                              ０．２ｇ
水を加えて                                        １００ｇ
【０３３５】
この塗布液を乾燥温度１７０℃２分間で、乾燥膜厚が０．１μｍになるように塗布した。
【０３３６】
＜乳剤調製＞
水媒体中のＡｇ６．０ｇに対してゼラチン１１．１ｇを含む、球相当径平均０．１５μｍの沃臭塩化銀粒子（Ｉ＝０．２モル％、Ｂｒ＝３０ル％）を含有するハロゲン化銀乳剤を調製した。
【０３３７】
また、この乳剤中にはＫ3Ｒｈ2Ｂｒ9及びＫ2ＩｒＣｌ6を濃度が１０-7（モル／モル銀）になるように添加し、臭化銀粒子にＲｈイオンとＩｒイオンをドープした。この乳剤にＮａ2ＰｄＣｌ4を添加し、さらに塩化金酸とチオ硫酸ナトリウムを用いて金硫黄増感を行った。
【０３３８】
＜感光材料＞
調製したハロゲン化銀乳剤をゼラチン硬膜剤と共に、銀の塗布量が２ｇ／ｍ2となるように上記のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）支持体上に塗布し、塗布物を作製した。塗布に用いたＰＥＴ支持体は幅３０ｃｍであり、この支持体に塗布幅２８ｃｍで１００ｍ分塗布を行った。
【０３３９】
この作製した塗布物の塗布中央部２７ｃｍを残すように両端を１．５ｃｍずつスリットして切り落とし、ロール状のハロゲン化銀感光材料Ｓ−１を得た。
【０３４０】
（露光）
ハロゲン化銀感光材料の露光は特開２００４−１２４４号公報の発明の実施の形態記載のＤＭＤ（デジタル・ミラー・デバイス）を用いた露光ヘッドを５５ｃｍ幅になるように並べ、感光材料の感光層上にレーザー光が結像するように露光ヘッド及び露光ステージを湾曲させて配置し、感材送り出し機構及び巻取り機構を取り付けた上、露光面のテンション制御及び巻取り、送り出し機構の速度変動が露光部分の速度に影響しないようにバッファー作用を有する撓みを設けた連続露光装置にて行った。露光の波長は４０５ｎｍで、ビーム形は１２μｍの略正方形、及びレーザー光源の出力は１００μＪであった。
【０３４１】
露光のパターンは１２μｍ画素がロールの長手方向に対して４５度の格子状にピッチが３００μｍ間隔で幅２７ｃｍ、長さ７５ｃｍの領域に行なった。
【０３４２】
（現像処理）
・現像液１Ｌ処方
ハイドロキノン                                ２０ｇ
亜硫酸ナトリウム                              ５０ｇ
炭酸カリウム                                  ４０ｇ
エチレンジアミン・四酢酸                        ２ｇ
臭化カリウム                                    ３ｇ
ポリエチレングリコール２０００                  １ｇ
水酸化カリウム                                  ４ｇ
ｐＨ                                  １０．３に調整
・定着液１Ｌ処方
チオ硫酸アンモニウム液（７５％）            ３００ｍｌ
亜硫酸アンモニウム・１水塩                    ２５ｇ
１，３−ジアミノプロパン・四酢酸                ８ｇ
酢酸                                            ５ｇ
アンモニア水（２７％）                          １ｇ
ｐＨ                                    ６．２に調整
【０３４３】
上記処理剤を用いて露光済み感材を、富士フイルム社製自動現像機  ＦＧ−７１０ＰＴＳを用いて処理条件：現像３５℃  ３０秒、定着３４℃  ２３秒、水洗  流水（５Ｌ／ｍｉｎ）の２０秒処理で行い、メッシュ状パターン(導電性金属部)が形成された現像済み透光性導電フィルムを得た。
【０３４４】
（通電処理）
以下に示す４種類の電解質溶液及び通電方法を用いて通電処理を行った。
【０３４５】
−本発明の活性化処理方式Ａ−
硫酸ナトリウム５００ｇを２Ｌの水道水に溶解した電解質液を活性化液とし、活性化液中にフィルムから２ｃｍの位置に配置したカーボン電極を陽極として、上記で用意した現像済み透光性導電フィルムの導電性面に接触させた、直径が1ｃｍであり電解液の液面から２ｃｍの距離に配置された給電ローラから室温にて０．１Ａの電流を１５秒〜２分間給電してローラ搬送しながら活性化処理を行った。
【０３４６】
なお、第１給電ローラの材質は、ステンレスであり、水素過電圧は−０．１Ｖｖｓ．ＮＨＥであり、露光・現像により形成したメッシュ状パターン（導電性金属部）の水素過電圧は−０．２Ｖｖｓ．ＮＨＥであった。
【０３４７】
−本発明の活性化処理方式Ｂ−
硫酸ナトリウム５ｇを２Ｌの水道水に溶解した電解質液を活性化液としたこと以外は活性化処理方式Ａと同様にして、活性化処理を行った。
【０３４８】
−本発明の活性化処理方式Ｃ−
硝酸カリウム３５０ｇを２Ｌの水道水に溶解した電解質液を活性化液としたこと以外は活性化処理方式Ａと同様にして、活性化処理を行った。
【０３４９】
−比較の活性化処理方式Ｄ−
塩化パラジウム５ｇを２Ｌの塩酸酸性（ｐＨ１．０）水に溶解して活性化液とし、上記で用意した現像済み透光性導電性フィルムを４０℃にて１５秒〜２分間ローラ搬送しながら活性化を行った。
【０３５０】
（無電解めっき処理）
以下に示す２種類の無電解めっき液を用いて無電解めっき処理を行った。
【０３５１】
−無電解めっき処理Ｍ１−
無電解めっき液（硫酸銅０．０６モル／Ｌ，ホルマリン０．２２モル／Ｌ，ＥＤＴＡ０．０７モル／Ｌ，酒石酸ナトリウムカリウム０．１モル／Ｌ，分子量２０００のポリエチレングリコール１００ｐｐｍ、黄血塩５０ｐｐｍ、α、α‘−ビピリジン２０ｐｐｍを含有する、ｐＨ＝１２．５の無電解Ｃｕめっき液）を用い、ローラー搬送しながら４０℃にて無電解銅めっき処理を行った。
【０３５２】
−無電解めっき処理Ｍ２−
無電解めっき液（硫酸銅０．０６モル／Ｌ，ホルマリン０．２２モル／Ｌ，トリエタノールアミン０．３モル／Ｌ，分子量１０００のポリエチレングリコール２００ｐｐｍ、α、α‘−ビピリジン２０ｐｐｍを含有する、ｐＨ＝１２．５の無電解Ｃｕめっき液）を用い、ローラー搬送しながら２５℃にて無電解銅めっき処理を行った。
【０３５３】
（電気銅めっき処理）
上記処理によりメッシュ状パターンが形成された透光性導電フィルムに対して、図７に示す電気めっき処理装置１１０を用いてめっき処理を行った。なお、上記感光材料をそのメッシュ面が下向きとなるように（メッシュ面が一対の第２給電ローラ１８０ａ及び１８０ｂと接するように）、電気めっき処理装置１１０に取り付けた。
【０３５４】
なお、一対の第２給電ローラ１８０ａ及び１８０ｂとして、粗面仕上げしたステンレス製ローラ（５ｃｍφ、長さ７０ｃｍ）の表面に０．１ｍｍ厚の電気銅めっきを施したものを使用し、一対のガイドローラ１７８ａ及び１７８ｂ並びにその他の搬送ローラとしては、銅めっきしていない５ｃｍφ、長さ７０ｃｍのローラを使用した。また、一対のガイドローラ１７８ａ及び１７８ｂの高さを調製することで、ライン速度が違っても一定の液中処理時間が確保されるようにした。
【０３５５】
また、入り口側の第２給電ローラ１８０ｂと透光性導電フィルムのメッシュ面とが接している面の最下部とめっき液面との距離（図７に示す距離Ｌｂ）を１０ｃｍとした。出口側の第２給電ローラ１８０ｂと透光性導電フィルムのメッシュ面が接している面の最上部とめっき液面との距離（図７に示す距離Ｌｃ）を２０ｃｍとした。
【０３５６】
電気銅めっき処理におけるめっき処理液の組成、各浴の浸漬処理時間（液中時間）及び各めっき浴の印加電圧は以下のとおりである。なお、処理液や水洗の温度は全て２５℃であった。
【０３５７】
・電解銅めっき液組成（補充液も同組成）
硫酸銅五水塩                                        ７５ｇ
硫酸                                              １９０ｇ
塩酸（３５％）                                ０．０６ｍｌ
カパーグリームＰＣＭ                                ５ｍｌ
（ローム・アンド・ハース電子材料（株）製）
純水を加えた総量                                      １Ｌ
・めっき浴の処理時間及び印加電圧
水洗                              １分
酸洗浄                          ３０秒
電解銅めっき１                  ３０秒      ４Ｖ
電解銅めっき２                  ３０秒      ４Ｖ
電解銅めっき３                  ３０秒      ３Ｖ
電解銅めっき４                  ３０秒      ２Ｖ
水洗                              １分
【０３５８】
（電気黒化めっき処理）
上記処理により形成された透光性導電フィルムに対して、図８に示す処理装置１１１を用いてめっき処理を行った。なお、上記被めっき材料のメッシュ面が下向きとなるようにめっき処理装置１１１に取り付けたことに加えて、その他の装置条件もめっき処理装置１１０と同様にした。
【０３５９】
電気黒化めっき処理におけるめっき処理液の組成、各浴の浸漬処理時間（液中時間）及び各めっき浴の印加電圧は以下のとおりである。なお、処理液温度は３５℃、水洗の温度は２５℃でめっき処理を実施した。
【０３６０】
・電解黒化めっき液組成
硫酸ニッケル六水塩                              ９８．４ｇ
硫酸亜鉛                                        ２２．２ｇ
チオシアン酸アンモニウム                            １７ｇ
硫酸ナトリウム                                  １５．７ｇ
純水を加えた総量                                      １Ｌ
・めっき浴の処理時間
水洗                              １分
酸洗浄                          ３０秒
電解黒化めっき１                ３０秒
電解黒化めっき２                ３０秒
水洗                              １分
防錆                            ３０秒
水洗                              １分
上記処理で使用した防錆液の処方を示す。
【０３６１】
・防錆液の組成
ベンゾトリアゾール                        ２．０ｇ
メタノール                                ２０ｍｌ
純水を加えて                                  １Ｌ
【０３６２】
フィルム試料は７５ｃｍずつ、ライン速度０．６ｍ／分で処理することで、表面抵抗率ムラのない、透光性導電膜型電磁波シールドフィルムが得られた。実施例１〜１２並びに比較例１〜５について、使用した感光材料、活性化処理の方式、通電時間、無電解めっき時間の内訳を表１に示した。
【０３６３】
また、垂直方向の画素ピッチが０．４４ｍｍのＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）に、試料を装着してＰＤＰに対して正面方向及び斜め方向からモアレの程度を観察したところ、モアレは観察されず、透光性電磁波シールドフィルムとして好適に利用可能であることが分った。
【０３６４】
〔評価〕
（表面抵抗測定）
各試料の表面抵抗は三菱化学（株）製ロレスタＧＰ（４探針法）にて測定した。
【０３６５】
（めっきかぶり計数）
各試料のめっきかぶりを、以下のようにして求めた。
【０３６６】
各試料のメッシュの２５０倍拡大写真を撮影し、開口部に存在する直径１μｍ以上の点状めっきかぶりを計数した。めっきかぶりは２０格子分を計数し平均した。
【０３６７】
【表１】
0005588597.tif 000002
【０３６８】
（評価結果）
表１の結果を詳述する。
【０３６９】
実施例１〜３で分かるように、本発明の通電処理方式Ａを行った場合は、めっき後の表面抵抗が低く、かつめっきかぶりが少ないことが分かる。通電処理方式を変更した実施例４〜６及び実施例７についても、実施例１〜３と同様に本発明の効果が得られており、本発明の効果は、通電処理に用いる電解質溶液濃度及び溶液種に依らないことも分かる。
【０３７０】
実施例８〜１２に示す使用無電解めっき液を変更した場合も、実施例１〜７で述べた効果を再現しており、本発明の効果は使用する無電解めっき液の種類にも依らない、汎用性のある製造方式であると言える。
【０３７１】
比較例１〜５は比較の活性化液Ｄを用いて処理した結果を示している。この結果から通電処理Ｄを用いた方式は、作製サンプルの抵抗値とめっきかぶりを同時に満足することができず、本発明の目的に合致しないことが分かる。
【０３７２】
これらの結果から本発明の効果が確認されたと言える。
【０３７３】
〔実施例１３〕
前述した調製ハロゲン化銀乳剤を銀の塗布量が７．５ｇ／ｍ2となるようにＰＥＴ支持体上に塗布したこと以外は同様にして感光材料Ｓ−２を作製した。この感光材料Ｓ−２を用い、実施例２と同様に通電処理、無電解めっきＭ１、電解銅めっき及び電解黒化めっきを行った。得られた導電性サンプルの抵抗値は０．１オーム／Ｓｑ、めっきかぶりは０であった。
【０３７４】
〔実施例１４〕
５ｇの硝酸銀と２０ｇのクエン酸３ナトリウムを１５０ｍｌのイオン交換水に溶解し、ここに５ｇの水素化ホウ素ナトリウムを５０ｍｌのイオン交換水に溶解した水溶液を撹拌しながらゆっくりと添加した。得られた分散液にメタノールを加えてＡｇ粒子を沈降させ、上澄み液を除去して洗浄した。洗浄した粒子をシクロヘキサノールと２−エトキシエタノールの混合溶媒（容量比率５０：５０）に再分散させ、１０重量％濃度のＡｇ／Ａｇ2Ｏ混合微粒子分散物を作製した。
【０３７５】
この分散液用いて、予めコンピュータ入力した３００ピッチ１２μ線幅の図形情報に従ってピエゾ方式のインクジェットプリンタを用いて基板上に描画して乾燥させ被めっき基盤サンプルを作製した。
【０３７６】
得られた基盤サンプルに対し実施例２と同様の通電処理、無電解めっきＭ１、電解銅めっき及び電解黒化めっきを行った。得られた導電性サンプルの抵抗値は０．２オーム／Ｓｑ、めっきかぶりは１であった。
【０３７７】
〔実施例１５〕
実施例２の下塗層第２層をポリウレタン樹脂とアルミナ微粒子からなる厚さ６μｍの樹脂層に変更し印刷アンカー層とした。次いで、グラビア印刷にて微粒子銀を含有する導電性インク印刷パターンを作成した。メッシュ状パターンは実施例２と同様のパターンとし、このサンプルを被めっき材料とした。その後、本発明の通電処理Ａを施し、実施例２と同様の無電解めっき、電解銅めっき及び電解黒化めっきを経て導電性サンプルを得た。この透明導電性サンプルの得られた導電性サンプルの抵抗値は０．２オーム／Ｓｑ、めっきかぶりは０であった。
【０３７８】
実施例２で作製したサンプルを、ＰＥＴ面を貼り合わせ面にして厚さ２．５ｍｍ、外形寸法９５０ｍｍ×５５０ｍｍのガラス板に透明なアクリル系粘着材を介して貼り合わせた。この時、導電性メッシュ側にはポリエチレンフィルムにアクリル系粘着剤層が積層された総厚みが６５μｍの保護フィルム（（株）サンエー化研製、品名；サニテクトＹ−２６Ｆ）をラミネーターを用いて事前に貼り合わせ、導電性メッシュを保護しておいた。
【０３７９】
次に、外縁部２０ｍｍを除いた内側の該導電性メッシュ層上に、厚さ２５μｍのアクリル系透光性粘着材を介して、厚さ１００μｍＰＥＴフィルム、反射防止層、近赤外線吸収剤含有層からなる反射防止機能付近赤外線吸収フィルム（住友大阪セメント(株)製：商品名クリアラスＡＲ／ＮＩＲ）を貼り合わせた。該アクリル系透光性粘着材層中には光学フィルタの透過特性を調整する調色色素（三井化学製  ＰＳ−Ｒｅｄ−Ｇ、ＰＳ−Ｖｉｏｌｅｔ−ＲＣ）を含有させた。さらに、該ガラス板の反対の主面には、粘着材を介して反射防止フィルム（日本油脂(株)製 商品名リアルック８２０１）を貼り合わせ、光学フィルタを作製した。
【０３８０】
得られた光学フィルタは、保護フィルムを有した電磁波シールドフィルムを用いて作成されたため、傷や金属メッシュの欠陥が極めて少ないものであった。また金属メッシュが黒色であってディスプレイ画像が金属色を帯びることがなく、また、実用上問題ない電磁波遮蔽能及び近赤外線カット能（３００〜８００ｎｍの透過率が１５％以下）を有し、両面に有する反射防止層により視認性に優れていた。また、色素を含有させることによって、調色機能を付与できており、プラズマディスプレイ等の光学フィルタとして好適に使用できた。
【０３８１】
なお、本発明に係る導電性材料の製造方法及び製造装置は、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【０３８２】
【図１】本実施の形態に係る導電性材料の製造方法にて製造された導電性材料を一部省略して示す断面図である。
【図２】図２Ａは透明支持体上にハロゲン化銀塩乳剤層に形成した状態を示す工程図であり、図２Ｂはハロゲン化銀塩乳剤層に対する局所露光を示す工程図であり、図２Ｃは現像処理を示す工程図であり、図２Ｄは定着処理を示す工程図である。
【図３】図３Ａは通電処理を示す工程図であり、図３Ｂは無電解めっき処理を示す工程図であり、図３Ｃは電解銅めっき処理を示す工程図であり、図３Ｄは電解黒化めっき処理を示す工程図である。
【図４】本実施の形態に係る導電性材料の製造装置を模式的に示す説明図である。
【図５】本実施の形態に係る導電性材料の製造装置に好適に用いられる通電処理装置の一例を示す模式図である。
【図６】本実施の形態に係る導電性材料の製造装置に好適に用いられる無電解めっき処理装置の一例を示す模式図である。
【図７】本実施の形態に係る導電性材料の製造装置に好適に用いられる電解銅めっき処理装置の一例を示す模式図である。
【図８】本実施の形態に係る導電性材料の製造装置に好適に用いられる電解黒化めっき処理装置の一例を示す模式図である。
【符号の説明】
【０３８３】
１０…導電性材料
１２…透明支持体
１４…導電性機能層
１６…金属銀部
１８…光透過部
２０…第１めっき層
２２…第２めっき層
２３…第３めっき層
２８…ハロゲン化銀塩乳剤層
１００…製造装置
１０２…第１給電ローラ
１０４…アノード電極
１０６…通電処置装置
１０８…無電解めっき処理装置
１１０…電解銅めっき処理装置
１１１…電解黒化めっき処理装置
１２８…電解液
【図１】
0005588597.tif 000003
【図２】
0005588597.tif 000004
【図３】
0005588597.tif 000005
【図４】
0005588597.tif 000006
【図５】
0005588597.tif 000007
【図６】
0005588597.tif 000008
【図７】
0005588597.tif 000009
【図８】
0005588597.tif 000010