(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
湿式法で不要部分を除去するカラーフィルター形成工程を有する有機ＥＬ装置の製造方法であって、
当該順に隣り合う第１の有機ＥＬ素子と、第１の分離部と、第２の有機ＥＬ素子と、第２の分離部と、第３の有機ＥＬ素子と、第３の分離部とが一周期を構成し、前の周期の前記第３の有機ＥＬ素子と次の周期の第１の有機ＥＬ素子とが前記第３の分離部を介するように、前記隣り合う方向に各々並び、第４の分離部が、複数の前記第１の有機ＥＬ素子、複数の前記第２の有機ＥＬ素子、複数の前記第３の有機ＥＬ素子を、前記隣り合う方向と交差する方向に分離するように、平面視にて矩形もしくは矩形の角を落とした形状を備え、短辺方向に隣り合っている複数の有機ＥＬ素子を、基板の第１面側に形成し、前記複数の有機ＥＬ素子の上を保護層で覆う工程と、
塗布したカラーレジストから、前記第３の有機ＥＬ素子を覆う部分を除去することにより、一つの第１のカラーフィルターが、前記第３の分離部と、前記第１の有機ＥＬ素子と、前記第１の分離部と、前記第２の有機ＥＬ素子と、前記第２の分離部とを短辺方向にまとめて覆い、かつ前記第４の分離部を覆うように、イエロー色、シアン色、マゼンタ色のいずれか一色を備える第１のカラーフィルターを形成する工程と、
塗布したカラーレジストから、前記第１の有機ＥＬ素子を覆う部分を除去することにより、一つの第２のカラーフィルターが、前記第１の分離部と、前記第２の有機ＥＬ素子と、前記第２の分離部と、前記第３の有機ＥＬ素子と、前記第３の分離部とを短辺方向にまとめて覆い、かつ前記第４の分離部を覆うように、残りのどちらかの色を備える第２のカラーフィルターを形成する工程と、
塗布したカラーレジストから、前記第２の有機ＥＬ素子を覆う部分を除去することにより、一つの第３のカラーフィルターが、前記第２の分離部と、前記第３の有機ＥＬ素子と、前記第３の分離部と、前記第１の有機ＥＬ素子と、前記第１の分離部とを短辺方向にまとめて覆い、かつ前記第４の分離部を覆うように、残りの色を備える第３のカラーフィルターを形成する工程と、
を含み、
有機ＥＬ素子を平面視にて囲う分離部である前記第１の分離部、前記第２の分離部、前記第３の分離部及び前記第４の分離部が、前記第１のカラーフィルター、前記第２のカラーフィルター及び前記第３のカラーフィルターで覆われ、
シアン色のカラーフィルターとマゼンタ色のカラーフィルターとが重ねられた有機ＥＬ素子は、青色で共振するように、画素電極と共通電極との間に光共振装置を備え、
イエロー色のカラーフィルターとシアン色のカラーフィルターとが重ねられた有機ＥＬ素子は、緑色で共振するように、画素電極と共通電極との間に第２透明導電層を備え、
イエロー色のカラーフィルターとマゼンタ色のカラーフィルターとが重ねられた有機ＥＬ素子は、赤色で共振するように、画素電極と共通電極との間に第１透明導電層と第２透明導電層を備えることを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）や電子ビューファインダー（ＥＶＦ）、モバイルミニプロジェクター向けとして数μｍオーダーの寸法を備える微小画素を含み、かつ軽量で薄く、バックライトを必要としない表示素子として、有機ＥＬ素子の活用が期待されている。ここで、微小画素を構成するサブ画素は、３〜５μｍ程度の微細寸法を備えることとなる。このような有機ＥＬ素子を集積した有機ＥＬ装置が開発されてきている。
【０００３】
有機ＥＬ素子は自発光型の素子であるため、バックライトを必要とする液晶素子と比べ、薄型化、軽量化することができる。加えて、自発光型の素子の特徴として、黒の再現に優れると共に、斜め方向に射出される光に対しても、正面から射出される光と同様な色を持つ光が射出されるため、バックライトの光透過量を制御する液晶素子と比べ、優れた特性を備えている。
【０００４】
有機ＥＬ素子を含む有機ＥＬ装置の製造方法としては、真空蒸着法が用いられる。真空蒸着法は、白色有機ＥＬ素子＋カラーフィルター法と、ＲＧＢ選択蒸着法に分類される。白色有機ＥＬ素子＋カラーフィルター法とは、白色有機ＥＬ素子を形成した素子基板（白色有機ＥＬ素子が形成された基板）に、カラーフィルターを備えた対向基板（素子基板と向き合う基板）とを貼り合わせてカラー表示を行わせる方法である。
【０００５】
ＲＧＢ選択蒸着法は、マスクを用いて選択的に、ＲＧＢそれぞれに対応した物質を蒸着する方法である。ＲＧＢ選択蒸着法は、蒸着に伴いマスクの温度が上昇するため、マスクが膨張し位置精度が低下し、有機ＥＬ装置の画質の低下、歩留まりの悪化を引き起こす場合がある。
また、白色有機ＥＬ素子＋カラーフィルター法では、対向基板に形成されたカラーフィルターと白色有機ＥＬ素子を搭載した素子基板とを貼り合わせる工程を行うが、有機ＥＬ素子とカラーフィルターとの相対的な位置関係を揃えて貼り合わせることが難しく、有機ＥＬ装置の画質の低下、歩留まりの悪化を引き起こす場合がある。そこで、有機ＥＬ素子を含む有機ＥＬ装置の品質を安定化させる技術がいくつか提案されている。
【０００６】
その１つとして、素子基板に直接カラーフィルターを形成するオンチップカラーフィルターが解決策となる。オンチップカラーフィルターを用いることで、対向基板にカラーフィルターを形成し貼り合わせる方法と比べ、白色有機ＥＬ素子とカラーフィルターとの合わせずれが軽減できる。加えて、白色有機ＥＬ素子と、カラーフィルターとの厚み方向での距離が短くなることから、特に素子基板に対して斜めから射出された光による色ずれを抑えることが可能となる。
【０００７】
カラーフィルターの構造としては、例えば特許文献１に示すように、カラーフィルターの塗布材料による白色有機ＥＬ素子の劣化を抑えるべく、素子基板とカラーフィルターとの間に、保護層を形成する技術が公知である。
また、特許文献２に示すように、基板上に、赤、緑、青の着色画素を有するカラーフィルターにおいて、補色の関係を用いて、赤色画素をマゼンタの着色層とイエローの着色層とを重ねることによって形成し、緑色画素をイエローの着色層とシアンの着色層とを重ねることによって形成し、青色画素をシアンの着色層とマゼンタの着色層とを重ねることによって形成する方法が公知である。補色の関係を用いてカラーフィルターを重ねることで、各色のカラーフィルターに生じる貫通欠陥を、別のカラーフィルターで覆うため、貫通欠陥が生じた領域の輝度を相対的に低下させ、画質に与える影響を低減することができると記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００６−０３２０１０号公報
【特許文献２】特開２００１−７４９２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、一般的な湿式のカラーフィルター形成工程では、カラーフィルターのパターン寸法が小さくなるにつれ例えば現像工程で、本来残す領域にあるカラーフィルターや、前工程で形成されたカラーフィルターが密着力不足で剥がれてしまうという課題がある。この課題は、上記した特許文献１、特許文献２で開示された技術を用いても改善が困難である。特に、特許文献２に開示された技術を用いた場合、カラーフィルターは２層分重ねた構造をとることとなり、カラーフィルターの厚みが増加する。そのため、単層のカラーフィルターを用いた場合と比べ、より剥がれやすくなり密着性が低下するという課題がある。さらに、カラーフィルターを３層重ねて遮光部を形成する場合には、さらに剥がれやすくなり、歩留まりが低下するという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【００１１】
［適用例１］本適用例にかかる有機ＥＬ装置は、基板の第１面側に位置し、当該順に隣り合う、第１の有機ＥＬ素子と、第１の分離部と、第２の有機ＥＬ素子と、第２の分離部と、第３の有機ＥＬ素子と、第３の分離部と、第４の有機ＥＬ素子と、前記第１の有機ＥＬ素子と、前記第１の分離部と、前記第２の有機ＥＬ素子と、をまとめて覆う、イエロー色、シアン色、マゼンタ色のいずれか一色を備える第１のカラーフィルターと、前記第２の有機ＥＬ素子と、前記第２の分離部と、前記第３の有機ＥＬ素子と、をまとめて覆う、残りのどちらかの色を備える第２のカラーフィルターと、前記第３の有機ＥＬ素子と、前記第３の分離部と、前記第４の有機ＥＬ素子と、をまとめて覆う、残りの色を備える第３のカラーフィルターと、を含むことを特徴とする。
【００１２】
これによれば、第１のカラーフィルター、第２のカラーフィルター、第３のカラーフィルターが、２つの有機ＥＬ素子と分離部とをまとめて覆う。そのため、１つの有機ＥＬ素子を独立して覆う場合と比べ、２倍以上の面積（分離部の面積も含む）を持って基板や他のカラーフィルターを覆う。従って、製造途中でのカラーフィルターの剥がれを抑制することが可能となる。また、カラーフィルターの基板との密着性が高くなることから、有機ＥＬ装置の信頼性を向上させることができる。なお、分離部とは、有機ＥＬ素子同士を分離する領域として定義する。
【００１３】
［適用例２］上記適用例にかかる有機ＥＬ装置であって、複数の前記第１の有機ＥＬ素子および、複数の前記第２の有機ＥＬ素子、複数の前記第３の有機ＥＬ素子、複数の前記第４の有機ＥＬ素子が、前記隣り合う方向と交差する方向に、第４の分離部を介して各々並べられ、前記第１の分離部、前記第２の分離部、前記第３の分離部、前記第４の分離部と、の少なくとも１つが、前記第１のカラーフィルターと、前記第２のカラーフィルターと、前記第３のカラーフィルターと、が重なる領域を備えることを特徴とする。
【００１４】
上記した適用例によれば、第１のカラーフィルターと、第２のカラーフィルター、第３のカラーフィルターとが重なるため、各カラーフィルターの面積は、重なる部分の面積分大きくなる。そのため、製造途中でのカラーフィルターの剥がれを抑制することが可能となる。加えて、この領域では光が遮断されるため、有機ＥＬ素子が斜め方向に射出する光を遮断することができる。そのため、隣接する有機ＥＬ素子からの光の浸入に起因する画質劣化を防止することが可能となる。
【００１５】
［適用例３］上記適用例にかかる有機ＥＬ装置であって、前記第１の有機ＥＬ素子と、前記第２の有機ＥＬ素子と、前記第３の有機ＥＬ素子と、前記第４の有機ＥＬ素子と、が平面視にて矩形もしくは矩形の角を落とした形状を備えており、前記第１のカラーフィルターが、前記第１の有機ＥＬ素子と、前記第１の分離部と、前記第２の有機ＥＬ素子と、を短辺方向にまとめて覆い、前記第２のカラーフィルターが、前記第２の有機ＥＬ素子と、前記第２の分離部と、前記第３の有機ＥＬ素子と、を短辺方向にまとめて覆い、前記第３のカラーフィルターが、前記第３の有機ＥＬ素子と、前記第３の分離部と、前記第４の有機ＥＬ素子と、を短辺方向にまとめて覆うことを特徴とする。
【００１６】
上記した適用例によれば、より剥がれやすい短辺方向をカラーフィルターでまとめて覆うことで、長辺方向にまとめて覆うよりも製造プロセス中で剥がれにくくすることが可能となる。
【００１７】
［適用例４］本適用例にかかる有機ＥＬ装置の製造方法は、当該順に隣り合う第１の有機ＥＬ素子と、第１の分離部と、第２の有機ＥＬ素子と、第２の分離部と、第３の有機ＥＬ素子と、第３の分離部と、第４の有機ＥＬ素子とを、基板の第１面側に形成する工程と、前記第１の有機ＥＬ素子と、前記第１の分離部と、前記第２の有機ＥＬ素子とをまとめて覆う、イエロー色、シアン色、マゼンタ色のいずれか一色を備える第１のカラーフィルターを形成する工程と、前記第２の有機ＥＬ素子と、前記第２の分離部と、前記第３の有機ＥＬ素子とをまとめて覆う、残りのどちらかの色を備える第２のカラーフィルターを形成する工程と、前記第３の有機ＥＬ素子と、前記第３の分離部と、前記第４の有機ＥＬ素子とをまとめて覆う、残りの色を備える第３のカラーフィルターを形成する工程と、を含むことを特徴とする。
【００１８】
これによれば、第１のカラーフィルター、第２のカラーフィルター、第３のカラーフィルターが、２つの有機ＥＬ素子をまとめて覆う。そのため、カラーフィルターが１つの有機ＥＬ素子を独立して覆う背景技術と比べ、カラーフィルターが２倍以上の面積（分離部の面積も含む）を持って基板や他のカラーフィルターを覆うことができる。そのため、製造途中でのカラーフィルターの剥がれを抑制することが可能となる。
【００１９】
［適用例５］上記適用例にかかる有機ＥＬ装置の製造方法であって、複数の前記第１の有機ＥＬ素子、複数の前記第２の有機ＥＬ素子、複数の前記第３の有機ＥＬ素子を、前記隣り合う方向と交差する方向に分離する第４の分離部と、をさらに備え、前記第２のカラーフィルターと前記第３のカラーフィルターと、が前記第１の分離部を覆うことと、前記第１のカラーフィルターと前記第３のカラーフィルターと、が前記第２の分離部を覆うことと、前記第１のカラーフィルターと前記第２のカラーフィルターと、が前記第３の分離部を覆うことと、前記第１のカラーフィルターと、前記第２のカラーフィルターと、前記第３のカラーフィルターと、を重ねて、前記第４の分離部の少なくとも一部を覆うことと、の少なくとも１つが行われていることを特徴とする。
【００２０】
上記した適用例によれば、第１のカラーフィルター、第２のカラーフィルター、第３のカラーフィルターが重なる分離部が光を遮断するため、有機ＥＬ素子が斜め方向に射出する光を遮断することができる。そのため、隣接する有機ＥＬ素子への光の浸入に起因する画質低下を防止しうる有機ＥＬ装置の製造方法を提供することが可能となる。
【００２１】
［適用例６］本適用例にかかる電子機器は、上記した有機ＥＬ装置を備えることを特徴とする。
【００２２】
これによれば、第１のカラーフィルター、第２のカラーフィルター、第３のカラーフィルターが、２つの有機ＥＬ素子をまとめて覆う。そのため、カラーフィルターが１つの有機ＥＬ素子を独立して覆う背景技術と比べ、カラーフィルターが２倍以上の面積（分離部の面積も含む）を持って基板や他のカラーフィルターを覆うことができる。そのため、製造途中でのカラーフィルターの剥がれを抑制することが可能となる。また、カラーフィルターの基板との密着性が高くなり、有機ＥＬ装置の信頼性が向上することから、高い歩留まりと信頼性を持った電子機器を提供することが可能となる。
【００２３】
［適用例７］本適用例にかかる電子機器は、上記した有機ＥＬ装置の製造方法を用いて形成された有機ＥＬ装置を備えることを特徴とする。
【００２４】
これによれば、第１のカラーフィルター、第２のカラーフィルター、第３のカラーフィルターが、２つの有機ＥＬ素子をまとめて覆う工程を備えている。そのため、カラーフィルターが、１つの有機ＥＬ素子を独立して覆う背景技術と比べ、カラーフィルターが２倍以上の面積（分離部の面積も含む）を持って基板や他のカラーフィルターを覆うことができ、製造途中でのカラーフィルターの剥がれを抑制することが可能となる。
そのため、不良率が低下する。不良率が低下することで、高い歩留まりを持って有機ＥＬ装置を形成できるため、信頼性、コスト面で優れた電子機器を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】（ａ）は、本実施形態にかかる有機ＥＬ装置を説明するための平面図、（ｂ）は当該有機ＥＬ装置の構造を説明するためのＡ−Ａ’線断面図。
【図２】カラーフィルターの典型的な透過特性を示す分光特性図。
【図３】（ａ）は、本実施形態にかかる有機ＥＬ装置を説明するための平面図、（ｂ）は当該有機ＥＬ装置の構造を説明するためのＡ−Ａ’線断面図。
【図４】（ａ）は、本実施形態にかかる有機ＥＬ装置を説明するための平面図、（ｂ）は当該有機ＥＬ装置の構造を説明するためのＡ−Ａ’線断面図。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は、有機ＥＬ装置を形成するための工程断面図。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、有機ＥＬ装置を形成するための工程断面図。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は、カラーフィルターを用いた遮光部を形成する工程を説明するための工程断面図。
【図８】（ａ）〜（ｃ）は、ストライプ構造を備え、ブラックマトリックスを用いずに、カラーフィルターの積層構造を用いて遮光部を形成する例を示す平面図、（ｄ）〜（ｆ）は、モザイク構造を用い、ブラックマトリックスを用いずに、カラーフィルターの積層構造を用いて遮光部を形成する例を示す平面図、（ｇ）〜（ｉ）は、デルタ構造を用い、ブラックマトリックスを用いずに、カラーフィルターの積層構造を用いて遮光部を形成する例を示す平面図。
【図９】（ａ）は携帯電話への適用例を示す模式図、（ｂ）はビデオカメラへの適用例を示す模式図、（ｃ）は携帯型パーソナルコンピューターへの適用例を示す模式図、（ｄ）はヘッドマウントディスプレイへの適用例を示す模式図、（ｅ）はリア型プロジェクターへの適用例を示す模式図、（ｆ）はフロント型プロジェクターへの適用例を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明を具体化した各実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２７】
（有機ＥＬ装置の構成）
図１（ａ）は、本実施形態にかかる有機ＥＬ装置を説明するための平面図、（ｂ）は当該有機ＥＬ装置の構造を説明するためのＡ−Ａ’線断面図である。有機ＥＬ装置１００は、基板本体１１５、素子基板１１６、ブラックマトリックス１１７、画素電極１１０、有機発光層１１１、共通電極１１２、保護層１１３、画素電極１１０の間に位置する分離部１１８と、を備える。第１の分離部、第２の分離部、第３の分離部、第４の分離部としての分離部１１８は、平面視にて画素電極１１０の間（有機ＥＬ素子の間）に位置し、画素電極１１０の間を分離する領域を示す。ここで、基板としての素子基板１１６の第１面側とは、画素電極１１０が位置する面側を示すものとする。
【００２８】
加えて、イエロー色、シアン色、マゼンタ色のいずれか一色を備える（ここではイエロー色とする）第１のカラーフィルターとしてのイエロー色カラーフィルター１０５、残りのどちらかの色を備える（ここではシアン色とする）第２のカラーフィルターとしてのシアン色カラーフィルター１０６、残りの色を備える（ここではマゼンタ色とする）第３のカラーフィルターとしてのマゼンタ色カラーフィルター１０７と、を備えている。
加えて、平面視にて当該順に隣り合う第１の有機ＥＬ素子と、第２の有機ＥＬ素子と、第３の有機ＥＬ素子と、第４の有機ＥＬ素子としての有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３，１０１（１０４）と、を備える（第４の有機ＥＬ素子は、３つの有機ＥＬ素子で構成される一周期の、次の周期の始点ともなる）。
【００２９】
ここで、イエロー色カラーフィルター１０５、シアン色カラーフィルター１０６、マゼンタ色カラーフィルター１０７と、をまとめて適宜カラーフィルターとも呼称する。
また、適宜、「上」という言葉を、基板本体１１５から共通電極１１２に向かう方向を指すものとして用いる。そして、適宜、「下」という言葉を、「上」と反対方向を指すものとして用いる。
また、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３と、をまとめて有機ＥＬ素子とも呼称する。ここで、図１（ａ）に示す平面図では、画素電極１１０を透過させて記載している。
なお、図１（ｂ）では、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３は、イエロー色カラーフィルター１０５やシアン色カラーフィルター１０６、基板本体１１５に入るよう図示しているが、これは図面上、線が重なることにより視認性の低下を避け、位置をずらして記載しているためであり、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３は基板本体１１５、イエロー色カラーフィルター１０５、シアン色カラーフィルター１０６を含まない。
また、ブラックマトリックス１１７は、カラーフィルターに比べ薄い膜を用いているが、視認性の都合上、厚みを大きくして図示している。
【００３０】
基板本体１１５に、後述する（例えば図５（ｂ）参照）ＴＦＴ１３１，１３２，１３３や金属支柱１３６を搭載した素子基板１１６には、ブラックマトリックス１１７が図１（ａ）に示す、色の異なるカラーフィルターを横切る方向と、図１（ｂ）に示す、同色のカラーフィルターと並ぶ（本実施形態では平行）方向と、に分離部１１８と重なり、格子状に配置されている。そして、画素電極１１０と共通電極１１２とに挟まれる有機発光層１１１に対して、画素電極１１０と共通電極１１２より電流が供給され、有機発光層１１１は発光する。
【００３１】
本実施形態では、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３に、矩形形状を備えたものを用いている。有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３は短辺方向に当該順に隣り合っており、イエロー色カラーフィルター１０５は、平面視にて有機ＥＬ素子１０１，１０２と、有機ＥＬ素子１０１，１０２との間に挟まる分離部１１８をまとめて覆っている。同様にシアン色カラーフィルター１０６は、平面視にて有機ＥＬ素子１０２，１０３と、有機ＥＬ素子１０２，１０３との間に挟まる分離部１１８をまとめて覆っている。同様にマゼンタ色カラーフィルター１０７は、平面視にて有機ＥＬ素子１０３，１０１（１０４）と、有機ＥＬ素子１０３，１０１（１０４）との間に挟まる分離部１１８をまとめて覆っている。ここで、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３の形状としては、矩形の角を落とした角ＲやＣ面形状を備えていても良い。
【００３２】
有機ＥＬ素子の形状は、矩形形状である必要はなく、楕円や、円、その他の形状を備えていても良く、隣り合う位置にあれば、カラーフィルターでまとめて覆うことができる。
【００３３】
素子基板１１６とイエロー色カラーフィルター１０５との接触面積は、有機ＥＬ素子１０１，１０２を個々に覆う例と比べて、２倍以上の面積（有機ＥＬ素子１０１，１０２の間にある分離部１１８も密着に寄与する）となり、高い密着性を備えることとなる。シアン色カラーフィルター１０６、マゼンタ色カラーフィルター１０７についても同様に、素子基板１１６との密着性を高めることが可能となる。
そのため、カラーフィルターを、例えば湿式（フォトリソグラフ・エッチング法）で形成する工程で、これらのカラーフィルターが素子基板１１６から剥がれることで発生する不良を抑えることが可能となる。
【００３４】
カラーフィルターと素子基板１１６との間で接着面積を広く取れることから、カラーフィルターと素子基板１１６との密着性が高くなる。そのため、カラーフィルターと素子基板１１６との間での間隙の発生を抑制でき、有機ＥＬ装置１００の信頼性を向上させることが可能となる。例えば、温度サイクルの影響で繰り返し応力が掛ると、カラーフィルターの隅が素子基板１１６から捲れる欠陥が発生するおそれがあるが、カラーフィルターの面積を大きくすることで、カラーフィルターと、素子基板１１６との密着性を高くすることができ、このような欠陥の発生を抑制することが可能となる。
【００３５】
有機ＥＬ素子１０１は、イエロー色カラーフィルター１０５とマゼンタ色カラーフィルター１０７とに覆われることで赤色の光を通過させる。同様に、有機ＥＬ素子１０２は、シアン色カラーフィルター１０６と、イエロー色カラーフィルター１０５とに覆われることで緑色の光を通過させる。同様に、有機ＥＬ素子１０３は、シアン色カラーフィルター１０６と、マゼンタ色カラーフィルター１０７とに覆われることで青色の光を通過させる。これらの有機ＥＬ素子を含む有機ＥＬ装置１００は光の３原色の光を独立に制御できるため、カラー表示が可能となる。
【００３６】
ここで、カラーフィルターの分光特性を工夫することで、より鮮やかな色表現が可能となる。図２は、カラーフィルターの典型的な透過特性を示す分光特性図である。このような分光特性を示すイエロー色カラーフィルター１０５と、シアン色カラーフィルター１０６、マゼンタ色カラーフィルター１０７と、を２層ずつ重ねることで、有機ＥＬ素子１０１は赤色の光を透過させ、有機ＥＬ素子１０２は、緑色の光を透過させ、有機ＥＬ素子１０３は青色の光を透過させることとなる。
【００３７】
このような特性を持つカラーフィルターを組み合わせることで、ＲＧＢ各色を射出する光源を得ることができる。前述したようにカラーフィルターの幅（短辺方向の長さ）は、原色系カラーフィルターを用いた場合と比べ、２倍以上の幅にすることができ、製造プロセス中における剥がれや、熱サイクルによるカラーフィルターの捲れを抑制することが可能となる。
また、例えばカラーフィルターと、ＳｉＯＮを用いた保護層１１３との密着性と比べ、カラーフィルター同士の密着性は高い。本実施形態の構成を用いることで、カラーフィルター同士が重なり合う構造を取ることとなる。そのため、高い信頼性を備え、かつ製造工程中での意図しないカラーフィルターの剥離を抑制することが可能となる。
【００３８】
（有機ＥＬ素子の構造を変えた構成）
上記した有機ＥＬ装置に用いた有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３は、同じ構成を備えることで白色光を射出し、この白色光をイエロー色カラーフィルター１０５、シアン色カラーフィルター１０６、マゼンタ色カラーフィルター１０７を用いて色毎に分離した構成を用いていたが、これは、波長選択性を持たせた有機ＥＬ素子を用いることも好適である。
【００３９】
図３（ａ）は、本実施形態にかかる有機ＥＬ装置を説明するための平面図、（ｂ）は当該有機ＥＬ装置の構造を説明するためのＡ−Ａ’線断面図である。図３（ａ），（ｂ）に示すように、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３はそれぞれ異なる構成を備えている。以下、上記した構成との主な相違点について説明する。
【００４０】
有機ＥＬ素子１０１は、画素電極１１０、第１透明導電層１２０、第２透明導電層１２１、有機発光層１１１、共通電極１１２、保護層１１３を備えている。
有機ＥＬ素子１０２は、画素電極１１０、第２透明導電層１２１、有機発光層１１１、共通電極１１２、保護層１１３を備えている。
有機ＥＬ素子１０３は、画素電極１１０、有機発光層１１１、共通電極１１２、保護層１１３を備えている。
有機ＥＬ素子１０１は、赤色の光を射出し、有機ＥＬ素子１０２は緑色の光を射出し、有機ＥＬ素子１０３は青色の光を射出する。以下、有機ＥＬ素子１０３、有機ＥＬ素子１０２、有機ＥＬ素子１０１の順序で説明を続ける。
【００４１】
有機ＥＬ素子１０３は、画素電極１１０を覆う有機発光層１１１と共通電極１１２を備えている。屈折率を考慮した共振器長（実寸法は、概ね有機発光層１１１の厚さ）は、青色に対応している。有機発光層１１１を挟む画素電極１１０と共通電極１１２との間で光共振装置が構成される。そのため、選択的に青色発光を行う有機ＥＬ素子１０３を構成することが可能となる。一方、有機ＥＬ素子１０３には、シアン色カラーフィルター１０６とマゼンタ色カラーフィルター１０７と、が重ねられ、青色の光が透過する。そのため、カラーフィルターによる光損失を抑えて青色の光を射出することができる。また、青色の色純度を向上させることが可能となる。
【００４２】
同様に、有機ＥＬ素子１０２は、画素電極１１０を覆う有機発光層１１１と第２透明導電層１２１、共通電極１１２を備えることで、画素電極１１０と共通電極１１２との間で光共振装置が構成されることとなる。有機ＥＬ素子１０３との主な相違点としては、有機発光層１１１と共通電極１１２との間に第２透明導電層１２１を備えていることにある。第１透明導電層１２０を備えることで有機ＥＬ素子１０１と比べ共振器長が長くなり、有機ＥＬ素子１０３よりも長い波長を備える光を共振させることが可能となる。
例えば、前記した共振器長に加え、第２透明導電層１２１の光学的厚さを増やすことで、緑色で共振するように厚さを制御する。すると、選択的に緑色発光を行う有機ＥＬ素子１０２を構成することが可能となる。有機ＥＬ素子１０２には、イエロー色カラーフィルター１０５とシアン色カラーフィルター１０６が重ねられ、緑色の光が透過する。そのため、カラーフィルターによる光損失を抑えて緑色の光を射出することができる。また、緑色の色純度を向上させることが可能となる。
【００４３】
同様に、有機ＥＬ素子１０１は、画素電極１１０を覆う有機発光層１１１と第１透明導電層１２０、第２透明導電層１２１、共通電極１１２を備えることで、画素電極１１０と共通電極１１２との間で光共振装置が構成されることとなる。ここで、有機ＥＬ素子１０２との主な相違点としては、第１透明導電層１２０と共通電極１１２との間に第２透明導電層１２１を備えていることにある。
【００４４】
第２透明導電層１２１を備えることで有機ＥＬ素子１０２と比べ共振器長が長くなり、有機ＥＬ素子１０２よりも長い波長を備える光を共振させることが可能となる。例えば、第２透明導電層１２１の光学的厚さを加えることで、赤色で共振するように厚さを制御できる。そのため、選択的に赤色発光を行う有機ＥＬ素子１０１を構成することが可能となる。有機ＥＬ素子１０１には、イエロー色カラーフィルター１０５とマゼンタ色カラーフィルター１０７が重ねられ、赤色の光が透過する。そのため、カラーフィルターによる光損失を抑えて赤色の光を射出することができる。また、赤色の色純度を向上させることが可能となる。
上記したように、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３に光の共振器構造を含ませることで、各色の色純度を向上させることが可能となる。そのため、高精細な表示を可能とする有機ＥＬ装置１００を構成することが可能となる。
【００４５】
（カラーフィルターを用いた遮光層）
以下、有機ＥＬ装置についての、別の構成について説明する。ここで、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３や、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３と重なるカラーフィルターの構成については、上記した有機ＥＬ装置の構成と大きな相違点はないため、説明を省略する。図４（ａ）は本実施形態にかかる有機ＥＬ装置を説明するための平面図、（ｂ）は当該有機ＥＬ装置の構造を説明するためのＡ−Ａ’線断面図である。
【００４６】
上記した有機ＥＬ装置１００との主な相違点は、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３を分離する分離部１１８で、イエロー色カラーフィルター１０５、シアン色カラーフィルター１０６、マゼンタ色カラーフィルター１０７が厚み方向に重なっていることである。イエロー色カラーフィルター１０５、シアン色カラーフィルター１０６、マゼンタ色カラーフィルター１０７が重なると、色としては黒色、即ち光を遮断する領域（遮光層）が形成される。この構成を用いることで、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３の分離部１１８は遮光層に覆われる。そのため、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３からの光の回り込みによる色純度の低下を抑えることが可能となる。
【００４７】
ここでは、同じ色を射出する有機ＥＬ素子１０１と有機ＥＬ素子１０１ａとの分離、有機ＥＬ素子１０２と有機ＥＬ素子１０２ａとの分離、有機ＥＬ素子１０３と有機ＥＬ素子１０３ａとの分離を行う第４の分離部としての分離部１１８に、金属のブラックマトリックス１１７を用いた例について説明したが、これはイエロー色カラーフィルター１０５、シアン色カラーフィルター１０６、マゼンタ色カラーフィルター１０７を厚み方向に重ねて分離部１１８を構成しても良い。
ここでは、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３を分離する分離部１１８全てにイエロー色カラーフィルター１０５、シアン色カラーフィルター１０６、マゼンタ色カラーフィルター１０７を重ねた例について説明した。
また、有機ＥＬ素子１０１と１０１ａ，１０２と１０２ａ，１０３と１０３ａと、をイエロー色カラーフィルター１０５、シアン色カラーフィルター１０６、マゼンタ色カラーフィルター１０７を重ねて第４の分離部としての分離部１１８を重ねた例についても言及したが、これは分離部１１８の少なくとも一部に、イエロー色カラーフィルター１０５、シアン色カラーフィルター１０６、マゼンタ色カラーフィルター１０７が重なる領域を備えていれば良い。３種類のカラーフィルターを搭載した分離部１１８はカラーフィルターによる遮光部として用いられる。
【００４８】
（有機ＥＬ装置の製造方法）
次に、上記した有機ＥＬ装置の製造方法について説明する。図５（ａ）〜（ｄ）、図６（ａ）〜（ｃ）は、有機ＥＬ装置を形成するための工程断面図である。
【００４９】
まず、例えばガラスを用いてなる基板本体１１５上に例えば酸化シリコンを用いたバッファー層１３０を形成する。バッファー層１３０は、例えばプラズマＣＶＤ（化学気相堆積）法により形成され、２００ｎｍ程度の厚さを有している。この工程において用いる原料ガスとしては、例えばモノシランと酸化窒素との混合ガスや、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン、Ｓｉ（ＯＣ2Ｈ5）4）と酸素との組合せが酸化シリコン層の品質を高くできる（例えば、固定電荷が少ない）ことから好適である。成膜温度としては、基板本体１１５の表面温度が１５０℃〜４５０℃となる条件を用いることができる。続けて、シランガス雰囲気中で基板本体１１５を加熱し、ポリシリコン層を形成する。
【００５０】
ポリシリコン層の形成方法としては、上記したもの以外でも、例えばアモルファスシリコン層を堆積した後、レーザーアニールを施す方法や、レーザーアニールに代えて熱を加えることでポリシリコン層を形成する方法を用いても良い。また、ポリシリコン層も代えてアモルファスシリコン層そのものを用いても良い。また、酸化物半導体を用いても良い。特にアモルファスシリコン層や酸化物半導体を用いると、ポリシリコン層を用いる場合と比べ、低い温度で製造工程を組めることから、耐熱性が低い物質を用いることができる。そのため、使える物質の種類が増え、製造工程の自由度を増やすことができることから好適である。
続けて、ゲート絶縁膜を形成した後、ゲート電極の形成やイオン注入、サイドウォールの形成を行うことで、ＴＦＴ１３１，１３２，１３３を形成する。ここまでの工程を終えた状態を図５（ａ）に示す。ここで、基板本体１１５として耐熱プラスチック（例えば、ポリイミド系樹脂や、ポリフェニレンサルファイド系樹脂）を用いても良い。この場合、バッファー層１３０として例えば窒化酸化珪素を用いることが、ガスバリア性を高めることから好適である。
【００５１】
次に、層間絶縁膜１３５を形成し、コンタクトホールを開けた後、金属支柱１３６を形成する。ここまでの工程を終えた状態を図５（ｂ）に示す。ここまでの工程で、基板としての素子基板１１６が形成される。なお、素子基板１１６の第１面側とは、金属支柱１３６が形成されている側の面と定義する。
【００５２】
次に、画素電極１１０を形成した後、有機発光層１１１を形成する。有機発光層１１１は、例えば青色発光層、赤色発光層、緑色発光層を重ねて形成する方法を用いることができる。一例としては、ＢＨ１２５（出光興産製）＋ＢＤ１０２（出光興産製）、ＢＤ１０２＋ＧＤ２０６（出光興産製）、アルミニウム・キノリノール錯体（Ａｌｑ３）＋ジシアノメチレンピラン誘導体（ＤＣＭ２）の積層構造を用いることができる。これらの物質の分子量は比較的小さく、蒸着法により形成することができる。
【００５３】
また、これらの発光材料に代えて、有機発光層１１１としては、蛍光あるいは燐光を発光する公知の発光材料が用いても良い。具体的には、ポリフルオレン誘導体（ＰＦ）、ポリパラフェニレンビニレン誘導体（ＰＰＶ）、ポリフェニレン誘導体（ＰＰ）、ポリパラフェニレ誘導体（ＰＰＰ）、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン（ＰＭＰＳ）などのポリシラン系が用いられる。また、これらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子系材料や、ルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもできる。またカルバゾール（ＣＢＰ）などの低分子材料にこれらの低分子色素をドープして発光層とすることもできる。
【００５４】
ここで、低分子系の発光材料を用いる場合には、典型的には蒸着法を用いることが、容易に多層構造（蒸着源を複数用いることで青色発光層、赤色発光層、緑色発光層を重ねられる）に対応できることから好適である。そして、高分子系の発光材料を用いる場合には、適当な溶媒中に分散させた後、例えばスピンコート法を用いることが膜厚を精密に制御できることから好適である。また、基板本体１１５の寸法が大きく、スピンコート法を用いることが困難となる場合には、スリットコート法を用いることが好適となる。スリットコート法を用いることで基板本体１１５を回転させる工程を用いずに発光材料を塗布できる。なお、有機発光層１１１は発光層単層に限定されるわけではなく、複数の層を重ねた多層構造を備えていても良い。例えば、電子注入層や正孔輸送層で発光を司る層を挟んでいても良い。
ここで、後述する有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３に光共振器構造を形成する場合には、有機発光層１１１を形成する前に、前述した第１透明導電層１２０や第２透明導電層１２１を、湿式法（膜形成とエッチングを繰り返す）で形成することで対応可能である。
ここで、第１透明導電層１２０、第２透明導電層１２１を形成する物質としてはＩＴＯ（インジウム・錫・酸化物）を用いることができる。
本実施形態では、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３が白色光を射出する場合について説明を続ける。ここまでの工程を終えた状態を図５（ｃ）に示す。
【００５５】
次に、共通電極１１２を形成する。共通電極１１２としては、例えばＭｇＡｇ（ＭｇとＡｇを重量比でＭｇ：Ａｇ＝１０：１に混合した材料）を共蒸着法（ＭｇとＡｇを別の蒸着源を用いて同時に蒸着させることで合金化する方法）を用いて形成することが組成の制御性を向上させることが可能となるため好適である。ここで、ＭｇＡｇの層厚は１０ｎｍ程度が光透過率、電気抵抗値とのバランスがとれるため好適であるが、層厚はこの値に限定される必要はなく、光透過率を優先させたり、電気抵抗値を優先させたりすべく、層厚を別の値にとしても良い。続けて、保護層１１３とブラックマトリックス１１７と、を形成する。ここまでの工程を終えた状態を図５（ｄ）に示す。この工程により、当該順に隣り合う、第１の有機ＥＬ素子としての有機ＥＬ素子１０１と、第１の分離部としての分離部１１８と、第２の有機ＥＬ素子としての有機ＥＬ素子１０２と、第２の分離部としての分離部１１８と、第３の有機ＥＬ素子としての有機ＥＬ素子１０３と、第３の分離部としての分離部１１８と、第４の有機ＥＬ素子としての有機ＥＬ素子１０１（１０４）と、が素子基板１１６の第１面側に形成される。ここで、分離部１１８は、画素電極１１０を分断することで有機ＥＬ素子同士を分離している。
【００５６】
次に、有機ＥＬ素子１０１と、有機ＥＬ素子１０２と、有機ＥＬ素子１０１と有機ＥＬ素子１０２に挟まれる分離部１１８と、をまとめてイエロー色、シアン色、マゼンタ色のいずれか一色を含む（ここではイエロー色とする）第１のカラーフィルターとしてのイエロー色カラーフィルター１０５を用いて、覆うように形成する。具体的には顔料を添加したアクリル系のネガ型イエロー色カラーレジストを塗布し、湿式法（フォトリソグラフ・エッチング法）を用いて形成する。ここまでの工程を終えた状態を図６（ａ）に示す。
【００５７】
次に、有機ＥＬ素子１０２と、有機ＥＬ素子１０３と、有機ＥＬ素子１０２と有機ＥＬ素子１０３に挟まれる分離部１１８と、をまとめて残りのどちらかの色を含む（ここではシアン色とする）第２のカラーフィルターとしてのシアン色カラーフィルター１０６を用いて、覆うように形成する。具体的には顔料を添加したアクリル系のネガ型シアン色カラーレジストを塗布し、湿式法（フォトリソグラフ・エッチング法）を用いて形成する。ここまでの工程を終えた状態を図６（ｂ）に示す。なお、図６（ｂ）には、イエロー色カラーフィルター１０５とシアン色カラーフィルター１０６と、で形成される緑色の領域に、比較のため従来の緑色カラーフィルターを用いた場合のカラーフィルターの幅（従来の幅、と図示）を重ねて表示している。
従来の緑色カラーフィルターの幅は、イエロー色カラーフィルター１０５や、マゼンタ色カラーフィルター１０７に比べ半分以下の幅となっている。そのため、湿式法で不要部分を除去する際に、一緒に剥がれてしまうおそれがあるが、本実施形態のように、カラーフィルターの幅を広くすることで、湿式法で不要部分を除去する場合においても、剥がれるおそれはほぼ解消される。
【００５８】
次に、有機ＥＬ素子１０３と、有機ＥＬ素子１０１（１０４）と、有機ＥＬ素子１０３と有機ＥＬ素子１０１（１０４）に挟まれる分離部１１８と、をまとめて残りの色を含む（ここではマゼンタ色とする）第３のカラーフィルターとしてのマゼンタ色カラーフィルター１０７を用いて、覆うように形成する。具体的には顔料を添加したアクリル系のネガ型マゼンタ色カラーレジストを塗布し、湿式法（フォトリソグラフ・エッチング法）を用いて形成する。ここまでの工程を終えた状態を図６（ｃ）に示す。ここまでの工程を行うことで、図１（ａ），（ｂ）に示す有機ＥＬ装置１００を形成する製造方法を提供することが可能となる。
【００５９】
（カラーフィルターによる遮光層）
次に、カラーフィルターを用いてブラックマトリックスの一部を代替する遮光層を備える有機ＥＬ装置１００の製造方法について説明する。図７（ａ）〜（ｃ）は、カラーフィルターを用いた遮光層を形成する工程を説明するための工程断面図である。ここで、保護層１１３を形成する工程までは上記した製造方法と同様な工程を用いているため説明を省略し、イエロー色カラーフィルター１０５を形成する工程から説明する。ここで、ブラックマトリックス１１７（図４（ａ），（ｂ）参照）は、図示せぬ有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３が隣り合う方向と交差する（ここでは直交している）方向に分離するよう形成されている。
【００６０】
まず、イエロー色、シアン色、マゼンタ色のいずれか一色を用いた（ここではイエロー色とする）第１のカラーフィルターとしてのイエロー色カラーフィルター１０５を形成する。
上記した工程と比較した場合との主たる相違点は、イエロー色カラーフィルター１０５が、有機ＥＬ素子１０２と有機ＥＬ素子１０３との間にある分離部１１８と、有機ＥＬ素子１０３と有機ＥＬ素子１０１（１０４）との間にある分離部１１８と、を覆っていることである。ここまでの工程を終えた状態を図７（ａ）に示す。図７（ａ）では、この領域を破線で示している。
【００６１】
次に、残りのどちらかの色を用いた（ここではシアン色とする）第２のカラーフィルターとしてのシアン色カラーフィルター１０６を形成する。上記した工程と比較した場合との主たる相違点は、シアン色カラーフィルター１０６が、有機ＥＬ素子１０３と有機ＥＬ素子１０１（１０４）との間にある分離部１１８と、有機ＥＬ素子１０１と有機ＥＬ素子１０２との間にある分離部１１８と、を覆っていることである。ここまでの工程を終えた状態を図７（ｂ）に示す。図７（ｂ）では、この領域を破線で示している。
【００６２】
次に、残りの色を用いた（ここではマゼンタ色とする）第３のカラーフィルターとしてのマゼンタ色カラーフィルター１０７を形成する。上記した工程と比較した場合との主たる相違点は、マゼンタ色カラーフィルター１０７が、有機ＥＬ素子１０２と有機ＥＬ素子１０３との間にある分離部１１８と、有機ＥＬ素子１０１と有機ＥＬ素子１０２との間にある分離部１１８と、を覆っていることである。ここまでの工程を終えた状態を図７（ｃ）に示す。図７（ｃ）では、この領域を破線で示している。
【００６３】
このような製造工程を用いることで、図４（ａ），（ｂ）に示すように、平面視にてイエロー色カラーフィルター１０５とシアン色カラーフィルター１０６とマゼンタ色カラーフィルター１０７が分離部１１８内で重なり、カラーフィルターによる遮光構造を得ることが可能になる。
【００６４】
また、同じ構成を備えるカラーフィルターを含む有機ＥＬ素子１０１と有機ＥＬ素子１０１ａとの分離（図４（ａ），（ｂ）参照）、有機ＥＬ素子１０２と有機ＥＬ素子１０２ａとの分離、有機ＥＬ素子１０３と有機ＥＬ素子１０３ａとの分離、を金属のブラックマトリックス１１７を用いた例について説明したが、これはイエロー色カラーフィルター１０５、シアン色カラーフィルター１０６、マゼンタ色カラーフィルター１０７を重ねて第４の分離部としての分離部１１８を構成しても良い。
【００６５】
ここでは、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３を分離するために、イエロー色カラーフィルター１０５、シアン色カラーフィルター１０６、マゼンタ色カラーフィルター１０７を重ねて分離部１１８を構成する例について説明した。
また、有機ＥＬ素子１０１と有機ＥＬ素子１０１ａとの分離、有機ＥＬ素子１０２と有機ＥＬ素子１０２ａとの分離、有機ＥＬ素子１０３と有機ＥＬ素子１０３ａとの分離についてもイエロー色カラーフィルター１０５、シアン色カラーフィルター１０６、マゼンタ色カラーフィルター１０７を重ねて第４の分離部としての分離部１１８を構成する例についても説明した。しかし、これは、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３を平面視で囲う分離部１１８の一部にのみイエロー色カラーフィルター１０５、シアン色カラーフィルター１０６、マゼンタ色カラーフィルター１０７を重ねて遮光層を形成し、ブラックマトリックス１１７と代替させても良い。例えば、シアン色カラーフィルター１０６が、すでにイエロー色カラーフィルター１０５が形成されている有機ＥＬ素子１０１と有機ＥＬ素子１０２との間にある分離部１１８を覆い、マゼンタ色カラーフィルター１０７を有機ＥＬ素子１０１と有機ＥＬ素子１０２との間にある分離部１１８を覆うように重ね、他の分離部１１８を前述した（有機ＥＬ装置の製造方法）に準じ、カラーフィルターの端側にあたる分離部１１８を避けてカラーフィルターを形成することで、有機ＥＬ素子１０１と有機ＥＬ素子１０２の間に位置する分離部１１８のみをカラーフィルターによる遮光層として機能させることができる。
【００６６】
（有機ＥＬ装置：カラーフィルターの別の構成例）
上記した実施形態では、ストライプ構造で、ブラックマトリックス１１７（図１（ａ），（ｂ）参照）を格子状に配置したものと、色の異なるカラーフィルターを横切る向きにブラックマトリックス１１７（図４（ａ），（ｂ）参照）を形成したものと、について説明したが、これはストライプ構造以外の構造を備えていても良く、また、ブラックマトリックス１１７の形状（ブラックマトリックス１１７が無い場合を含む）についても種々の構造を備えていても良い。
【００６７】
図８（ａ）〜（ｃ）は、ストライプ構造を備え、ブラックマトリックスを用いずに、カラーフィルターの積層構造を用いて遮光部を形成する例を示す平面図である。図中四角の領域は、画素電極１１０を示している。
図８（ａ）は、イエロー色カラーフィルター１０５のパターンを示し、（ｂ）は、シアン色カラーフィルター１０６、（ｃ）は、マゼンタ色カラーフィルター１０７のパターンを、それぞれ示している。
有機ＥＬ素子を平面視にて囲う分離部１１８は、（ａ）〜（ｃ）のパターンを重ねると、イエロー色カラーフィルター１０５、シアン色カラーフィルター１０６、マゼンタ色カラーフィルター１０７で覆われる。即ち、黒色となり、分離部１１８により遮光が行われ、画質の低下は防止される。
【００６８】
図８（ｄ）〜（ｆ）は、モザイク構造を用い、ブラックマトリックスを用いずに、カラーフィルターの積層構造を用いて遮光部を形成する例を示す平面図である。
図８（ｄ）は、イエロー色カラーフィルター１０５のパターンを示し、（ｅ）は、シアン色カラーフィルター１０６、（ｆ）は、マゼンタ色カラーフィルター１０７のパターンを、それぞれ示している。有機ＥＬ素子を平面視にて囲う分離部１１８は、（ｄ）〜（ｆ）のパターンを重ねると、イエロー色カラーフィルター１０５、シアン色カラーフィルター１０６、マゼンタ色カラーフィルター１０７の全てで覆われる。即ち、分離部１１８により遮光が行われ、画質の低下は防止される。
【００６９】
図８（ｇ）〜（ｉ）は、デルタ構造を用い、ブラックマトリックスを用いずに、カラーフィルターの積層構造を用いて遮光部を形成する例を示す平面図である。
図８（ｇ）は、イエロー色カラーフィルター１０５のパターンを示し、（ｈ）は、シアン色カラーフィルター１０６、（ｉ）は、マゼンタ色カラーフィルター１０７のパターンを、それぞれ示している。有機ＥＬ素子を平面視にて囲う分離部１１８は、（ｈ）〜（ｉ）のパターンを重ねると、イエロー色カラーフィルター１０５、シアン色カラーフィルター１０６、マゼンタ色カラーフィルター１０７の全てで覆われる。即ち、分離部１１８により遮光が行われ、画質の低下は防止される。
【００７０】
上記した例では、ブラックマトリックス１１７を用いずに遮光する構成について説明したが、これは、例えば一部をブラックマトリックス１１７で代替しても良い。また、全ての分離部１１８をブラックマトリックス１１７で遮光するように代替しても良い。
ここで示したカラーフィルターを備えた有機ＥＬ装置１００と、上記した実施形態との主たる差異はカラーフィルターのパターンにあり、例えばＴＦＴ１３１，１３２，１３３として上記したものを用いることで、同様な構成を得ることができる。また、この構造を作るための製造工程として、上記した製造工程を適用することができる。
【００７１】
（電子機器）
図９に上記した有機ＥＬ装置、または上記した有機ＥＬ装置の製造方法を用いて形成された有機ＥＬ装置を含む電子機器の例を挙げる。図９（ａ）は携帯電話への適用例を示す模式図であり、携帯電話２３０は、アンテナ部２３１、音声出力部２３２、音声入力部２３３、操作部２３４、及び有機ＥＬ装置１００を備えている。このように本発明の有機ＥＬ装置を携帯電話２３０の表示部として利用可能である。図９（ｂ）はビデオカメラへの適用例を示す模式図であり、ビデオカメラ２４０は、受像部２４１、操作部２４２、音声入力部２４３、及び有機ＥＬ装置１００を備えている。このように本発明の有機ＥＬ装置は、電子ビューファインダーや表示部として利用可能である。図９（ｃ）は携帯型パーソナルコンピューターへの適用例を示す模式図であり、コンピューター２５０は、カメラ部２５１、操作部２５２、及び有機ＥＬ装置１００を備えている。このように本発明の有機ＥＬ装置は、表示部として利用可能である。
【００７２】
図９（ｄ）はヘッドマウントディスプレイへの適用例を示す模式図であり、ヘッドマウントディスプレイ２６０は、バンド２６１、光学系収納部２６２及び有機ＥＬ装置１００を備えている。このように本発明の有機ＥＬ装置は画像表示器として利用可能である。図９（ｅ）はリア型プロジェクターへの適用例を示す模式図であり、プロジェクター２７０は、筐体２７１に、合成光学系２７３、ミラー２７４、ミラー２７５、スクリーン２７６、及び有機ＥＬ装置１００を備えている。このように本発明の有機ＥＬ装置は画像表示器として利用可能である。図９（ｆ）はフロント型プロジェクター（モバイルミニプロジェクター）への適用例を示す模式図であり、プロジェクター２８０は、筐体２８２に光学系２８１及び有機ＥＬ装置１００を備え、画像をスクリーン２８３に表示可能になっている。なお、モバイルミニプロジェクターとして扱う場合、スクリーン２８３に代えて白い壁に映すようにすると、スクリーン２８３を省略することが可能となり、より持ち運び易いモバイルミニプロジェクターを提供することが可能となる。このように本発明の有機ＥＬ装置は画像表示器として利用可能である。
【００７３】
上記例に限らず本発明の有機ＥＬ装置は、種々の電子機器に適用可能である。例えば、表示機能付きファックス装置、デジタルカメラのファインダー、携帯型ＴＶ、ＤＳＰ装置、ＰＤＡ、電子手帳、電光掲示板、宣伝公告用ディスプレイなどにも活用することができる。
【００７４】
上記した有機ＥＬ装置、有機ＥＬ装置の製造方法、ならびに電子機器は、例えば、以下の特徴を有する。
【００７５】
カラーフィルターで２つの有機ＥＬ素子１０１，１０２とこれらに平面視で挟まれる分離部１１８をまとめて覆うため、素子基板１１６とイエロー色カラーフィルター１０５との接触面積は、有機ＥＬ素子１０１，１０２を個々に覆う場合と比べて、２倍以上の面積（有機ＥＬ素子１０１，１０２の間にある分離部１１８も密着に寄与する）となり、高い密着性を備えることとなる。そのため、カラーフィルターを、例えば湿式（フォトリソグラフ・エッチング法）で形成する場合に、これらのカラーフィルターが素子基板１１６から剥がれることで発生する不良を抑えることが可能となる。
【００７６】
カラーフィルターと素子基板１１６との間で密着性が高くなることで、カラーフィルターの端での捲れが発生し難くなるため、有機ＥＬ装置１００の信頼性を向上させることが可能となる。例えば、温度サイクルの影響で繰り返し応力が掛った場合にカラーフィルターの端での捲れが発生し、この間隙により、光が反射する欠陥が発生するおそれがあるが、カラーフィルターの面積を大きくすることで、カラーフィルターと、素子基板１１６との密着性が高くなり、このような欠陥の発生を抑制することが可能となる。
【００７７】
有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３のそれぞれの光路長を、第１透明導電層１２０と第２透明導電層１２１の有無を制御することで変える。例えば、赤色の光を射出する有機ＥＬ素子１０１には第１透明導電層１２０と第２透明導電層１２１を共に挟み、緑色の光を射出する有機ＥＬ素子１０２には第２透明導電層１２１のみを挟み、青色の光を射出する有機ＥＬ素子１０３にはどちらも挟まない構成を持たせる。そして、半透過電極（共通電極１１２）と画素電極１１０との間で光の共振器構造を形成する。このように、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３に光の共振器構造を含ませることで、各色の色純度を向上させることが可能となる。そのため、高精細な表示を可能とする有機ＥＬ装置１００を構成することが可能となる。
【００７８】
有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３の分離部１１８で、イエロー色カラーフィルター１０５と、シアン色カラーフィルター１０６、マゼンタ色カラーフィルター１０７と、を厚み方向に重ねることで、色としては黒色、即ち光を遮断する領域が形成される。この構成を用いることで、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３の分離部１１８にブラックマトリックスと等価な特性を示す領域を設置することが可能となる。そのため、有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３からの光の回り込みによる色純度の低下を抑えることが可能となる。
【００７９】
有機ＥＬ素子１０１，１０２，１０３と分離部１１８とは、分離部１１８の長手方向と隣接している。そのため、分離部１１８の加工で発生する剥がれを抑えて、高い歩留まりを備えた有機ＥＬ装置１００が提供できる。
【００８０】
分離部１１８をカラーフィルターで埋めることで、カラーフィルターの幅そのものが広がるため、製造プロセス上での剥がれを抑制することが可能となる。
【００８１】
ストライプ構造に限らず、モザイク構造やデルタ構造を用いた場合においても、黒色を示す領域を分離部１１８に設置することができ、ブラックマトリックス１１７を設置する工程を省略することが可能となる。
【００８２】
カラーフィルターの剥がれが抑えられることで歩留まりが向上し、さらに信頼性にも優れた有機ＥＬ装置を種々の電子機器に適用することで、低価格でかつ高品質な電子機器を提供することが可能となる。
【符号の説明】
【００８３】
１００…有機ＥＬ装置、１０１…第１の有機ＥＬ素（第４の有機ＥＬ素子）としての有機ＥＬ素子、１０１ａ…有機ＥＬ素子、１０２…第２の有機ＥＬ素子としての有機ＥＬ素子、１０２ａ…有機ＥＬ素子、１０３…第３の有機ＥＬ素子としての有機ＥＬ素子、１０３ａ…有機ＥＬ素子、１０５…第１のカラーフィルターとしてのイエロー色カラーフィルター、１０６…第２のカラーフィルターとしてのシアン色カラーフィルター、１０７…第３のカラーフィルターとしてのマゼンタ色カラーフィルター、１１０…画素電極、１１１…有機発光層、１１２…共通電極、１１３…保護層、１１５…基板本体、１１６…基板としての素子基板、１１７…ブラックマトリックス、１１８…第１の分離部、第２の分離部、第３の分離部、第４の分離部としての分離部、１２０…第１透明導電層、１２１…第２透明導電層、１３０…バッファー層、１３１…ＴＦＴ、１３２…ＴＦＴ、１３３…ＴＦＴ、１３５…層間絶縁膜、１３６…金属支柱、２３０…携帯電話、２３１…アンテナ部、２３２…音声出力部、２３３…音声入力部、２３４…操作部、２４０…ビデオカメラ、２４１…受像部、２４２…操作部、２４３…音声入力部、２５０…コンピューター、２５１…カメラ部、２５２…操作部、２６０…ヘッドマウントディスプレイ、２６１…バンド、２６２…光学系収納部、２７０…プロジェクター、２７１…筐体、２７３…合成光学系、２７４…ミラー、２７５…ミラー、２７６…スクリーン、２８０…プロジェクター、２８１…光学系、２８２…筐体、２８３…スクリーン。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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