(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転側排気機能部が形成されたロータと、
前記ロータを磁気浮上させる磁気軸受と、
前記磁気軸受の励磁電流を制御して前記ロータの浮上位置を制御する磁気軸受制御手段と、
固定側排気機能部に対して前記ロータを回転駆動するモータと、
前記ロータと一体に設けられ、ターゲット面に凹凸段差が形成されたセンサターゲットと、
前記ターゲット面に対向配置され、前記ターゲット面とのギャップ変化に応じたセンサ信号を出力するインダクタンス式センサと、
前記センサ信号の電圧レベルとローレベル閾値およびハイレベル閾値とを比較して、前記凹凸段差に対応したローレベル信号およびハイレベル信号を生成する信号生成手段と、
電源投入時に、前記モータを駆動制御して前記ロータを複数の回転角度位置に順に停止させるモータ制御手段と、
前記複数の角度位置の少なくとも一つにおいて、前記センサ信号の電圧レベルが前記ローレベル閾値に基づく第１の判定閾値以下となり、かつ、他の角度位置の少なくとも一つにおいて、前記センサ信号の電圧レベルが前記ハイレベル閾値に基づく第２の判定閾値以上となる場合に、前記センサ信号は正常であると判定し、それ以外の場合には異常であると判定する判定手段と、を備えた真空ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
前記磁気軸受制御手段は、前記複数の角度位置のそれぞれにおいて、前記センサターゲットが前記インダクタンス式センサに近づく第１の吸引状態と、前記センサターゲットが前記インダクタンス式センサから遠ざかる第２の吸引状態とを個別に生じさせるように前記磁気軸受を制御し、
前記判定手段は、前記複数の角度位置の少なくとも一つにおいて、前記第１の吸引状態および前記第２の吸引状態における電圧レベルが共に前記第１の判定閾値以下になり、かつ、他の角度位置の少なくとも一つにおいて、前記第１の吸引状態および前記第２の吸引状態における電圧レベルが共に前記第２の判定閾値以上となる場合に、前記センサ信号は正常であると判定し、それ以外の場合には異常であると判定することを特徴とする真空ポンプ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の真空ポンプにおいて、
前記モータは３相モータであり、
前記モータ制御手段は、前記ロータを回転角度１２０deg毎に停止させることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記磁気軸受の非動作時に、前記ロータを支持するメカニカルベアリングを備え、
前記磁気軸受制御手段は、電源投入時の前記モータ制御手段による駆動制御時に、前記ロータが前記メカニカルベアリングと接触するように前記磁気軸受を制御することを特徴とする真空ポンプ。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記ロータを非接触支持する磁気軸受と、
前記磁気軸受の非動作時に、前記ロータを支持するメカニカルベアリングを備え、
前記磁気軸受制御手段は、電源投入時の前記モータ制御手段による駆動制御時に、前記磁気軸受を非動作状態にして前記ロータを前記メカニカルベアリングにより支持させることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記判定手段により異常と判定された場合に、前記複数の角度位置における前記センサ信号の各電圧レベルに基づいて、前記判定手段により前記センサ信号が正常と判定される電圧補正値を設定する補正値設定手段と、
前記ハイレベル閾値およびローレベル閾値、または前記センサ信号の電圧レベルを、前記電圧補正値により補正する補正手段と、を備えたことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項７】
回転側排気機能部が形成されたロータ、前記ロータを磁気浮上させる磁気軸受、および固定側排気機能部に対して前記ロータを回転駆動するモータを有するポンプ本体と、前記ポンプ本体を駆動制御する電源装置とで構成される真空ポンプにおいて、
前記ポンプ本体は、
前記ロータと一体に設けられ、ターゲット面に凹凸段差が形成されたセンサターゲットと、
前記ターゲット面に対向配置され、前記ターゲット面とのギャップ変化に応じたセンサ信号を出力するインダクタンス式センサと、を備え、
前記電源装置は、
前記センサ信号の電圧レベルとローレベル閾値およびハイレベル閾値とを比較して、前記凹凸段差に対応したローレベル信号およびハイレベル信号を生成する信号生成手段と、
電源投入時に、前記モータを駆動制御して前記ロータを複数の回転角度位置に順に停止させるモータ制御手段と、
前記複数の角度位置における前記センサ信号の各電圧レベルを計測する計測手段と、
前記複数の角度位置の少なくとも一つにおいて、前記センサ信号の電圧レベルが前記ローレベル閾値に基づく第１の判定閾値以下となり、かつ、他の角度位置の少なくとも一つにおいて、前記センサ信号の電圧レベルが前記ハイレベル閾値に基づく第２の判定閾値以上となるように電圧補正値を設定する補正値設定手段と、
前記ハイレベル閾値およびローレベル閾値、または前記センサ信号の電圧レベルを、前記電圧補正値により補正する補正手段と、を備えることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項８】
請求項７に記載の真空ポンプにおいて、
前記補正値設定手段が、前記ローレベル閾値と前記ハイレベル閾値との平均値および前記計測された複数の電圧レベルの最小値と最大値との平均値を求め、その差分値を電圧補正値として設定することを特徴とする真空ポンプ。
【請求項９】
請求項８に記載の真空ポンプにおいて、
前記ポンプ本体はポンプ識別情報が記憶されたポンプ側識別情報記憶手段を備え、
前記電源装置は、
接続されたポンプ本体の前記ポンプ識別情報を認識する認識手段と、
前記認識手段で認識されたポンプ識別情報を記憶するための電源側識別情報記憶手段と、
前記補正値設定手段により設定された電圧補正値を記憶する補正値記憶手段と、
電源投入時に、前記認識手段により認識されたポンプ識別情報と、前記電源側識別情報記憶手段に記憶されていたポンプ識別情報とが一致するか否かを判定する識別情報判定手段と、
前記識別情報判定手段により一致していると判定された場合には、前記補正手段は前記補正値記憶手段に記憶されている電圧補正値で前記補正手段の補正を行わせ、一致しないと判定された場合には、前記補正値設定手段で設定された電圧補正値で前記補正手段の補正を行なわせる補正制御手段と、
前記識別情報判定手段により一致しないと判定された場合に、前記認識手段により認識されたポンプ識別情報で前記電源側識別情報記憶手段に記憶されているポンプ識別情報を書き換える識別情報書き換え手段とを、備えることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項１０】
請求項８に記載の真空ポンプにおいて、
前記ポンプ本体は、前記電圧補正値の基準値が記憶された基準値記憶手段を備え、
前記電源装置は、前記補正値設定手段により設定された電圧補正値と前記基準値との差が所定値以上の場合に、警報を発生する警報手段を備えたことを特徴とする真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ターボ分子ポンプ等の真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空ポンプのモータとしてＤＣブラシレスモータを使用し、ギャップセンサによりロータ回転を検出してモータの回転制御をするものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ロータには、ギャップセンサと対向するように溝が形成されたディスクを配置し、ディスクの回転に伴うギャップ変化をギャップセンサで検出し、ギャップ変化からhigh−low信号を生成する。生成したhigh−low信号に基づいてステータコイルの励磁パターンを生成し、モータを回転駆動制御している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３７４００８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、ギャップセンサの精度や、ギャップセンサとセンサターゲットとの距離はポンプ機台毎にばらつきがある。そのため、high−low信号を生成する際に正しくhigh−low判定が行えず、ポンプの初動が正常にできなかったり、運転中に外乱によってロータ浮上位置が変化して、high−lowの判定が正しくできなくなったりするおそれがあった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１の発明による真空ポンプは、回転側排気機能部が形成されたロータと、ロータを磁気浮上させる磁気軸受と、磁気軸受の励磁電流を制御して前記ロータの浮上位置を制御する磁気軸受制御手段と、固定側排気機能部に対して前記ロータを回転駆動するモータと、ロータと一体に設けられ、ターゲット面に凹凸段差が形成されたセンサターゲットと、ターゲット面に対向配置され、ターゲット面とのギャップ変化に応じたセンサ信号を出力するインダクタンス式センサと、センサ信号の電圧レベルとローレベル閾値およびハイレベル閾値とを比較して、凹凸段差に対応したローレベル信号およびハイレベル信号を生成する信号生成手段と、電源投入時に、モータを駆動制御してロータを複数の回転角度位置に順に停止させるモータ制御手段と、複数の角度位置の少なくとも一つにおいて、センサ信号の電圧レベルがローレベル閾値に基づく第１の判定閾値以下となり、かつ、他の角度位置の少なくとも一つにおいて、センサ信号の電圧レベルがハイレベル閾値に基づく第２の判定閾値以上となる場合に、センサ信号は正常であると判定し、それ以外の場合には異常であると判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする。
請求項２の発明は、請求項１に記載の真空ポンプにおいて、磁気軸受制御手段は、複数の角度位置のそれぞれにおいて、センサターゲットが前記インダクタンス式センサに近づく第１の吸引状態と、センサターゲットが前記インダクタンス式センサから遠ざかる第２の吸引状態とを個別に生じさせるように前記磁気軸受を制御し、判定手段は、複数の角度位置の少なくとも一つにおいて、第１の吸引状態および第２の吸引状態における電圧レベルが共に第１の判定閾値以下になり、かつ、他の角度位置の少なくとも一つにおいて、第１の吸引状態および第２の吸引状態における電圧レベルが共に第２の判定閾値以上となる場合に、センサ信号は正常であると判定し、それ以外の場合には異常であると判定することを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項１または２に記載の真空ポンプにおいて、モータは３相モータであり、モータ制御手段は、ロータを回転角度１２０deg毎に停止させることを特徴とする。
請求項４の発明は、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、磁気軸受の非動作時に、ロータを支持するメカニカルベアリングを備え、磁気軸受制御手段は、電源投入時のモータ制御手段による駆動制御時に、ロータがメカニカルベアリングと接触するように磁気軸受を制御することを特徴とする。
請求項５の発明は、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、ロータを非接触支持する磁気軸受と、磁気軸受の非動作時に、ロータを支持するメカニカルベアリングを備え、磁気軸受制御手段は、電源投入時のモータ制御手段による駆動制御時に、磁気軸受を非動作状態にしてロータを前記メカニカルベアリングにより支持させることを特徴とする。
請求項６の発明は、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、判定手段により異常と判定された場合に、複数の角度位置におけるセンサ信号の各電圧レベルに基づいて、判定手段によりセンサ信号が正常と判定される電圧補正値を設定する補正値設定手段と、ハイレベル閾値およびローレベル閾値、またはセンサ信号の電圧レベルを、電圧補正値により補正する補正手段と、を備えたことを特徴とする。
請求項７の発明は、回転側排気機能部が形成されたロータ、ロータを磁気浮上させる磁気軸受、および固定側排気機能部に対してロータを回転駆動するモータを有するポンプ本体と、ポンプ本体を駆動制御する電源装置とで構成される真空ポンプにおいて、ポンプ本体は、ロータと一体に設けられ、ターゲット面に凹凸段差が形成されたセンサターゲットと、ターゲット面に対向配置され、ターゲット面とのギャップ変化に応じたセンサ信号を出力するインダクタンス式センサと、を備え、電源装置は、センサ信号の電圧レベルとローレベル閾値およびハイレベル閾値とを比較して、凹凸段差に対応したローレベル信号およびハイレベル信号を生成する信号生成手段と、電源投入時に、モータを駆動制御してロータを複数の回転角度位置に順に停止させるモータ制御手段と、複数の角度位置におけるセンサ信号の各電圧レベルを計測する計測手段と、複数の角度位置の少なくとも一つにおいて、センサ信号の電圧レベルがローレベル閾値に基づく第１の判定閾値以下となり、かつ、他の角度位置の少なくとも一つにおいて、センサ信号の電圧レベルがハイレベル閾値に基づく第２の判定閾値以上となるように電圧補正値を設定する補正値設定手段と、を備えることを特徴とする。
請求項８の発明は、請求項７に記載の真空ポンプにおいて、補正値設定手段が、ローレベル閾値とハイレベル閾値との平均値および計測された複数の電圧レベルの最小値と最大値との平均値を求め、その差分値を電圧補正値として設定することを特徴とする。
請求項９の発明は、請求項８に記載の真空ポンプにおいて、ポンプ本体はポンプ識別情報が記憶されたポンプ側識別情報記憶手段を備え、電源装置は、接続されたポンプ本体の前記ポンプ識別情報を認識する認識手段と、認識手段で認識されたポンプ識別情報を記憶するための電源側識別情報記憶手段と、補正値設定手段により設定された電圧補正値を記憶する補正値記憶手段と、電源投入時に、認識手段により認識されたポンプ識別情報と、電源側識別情報記憶手段に記憶されていたポンプ識別情報とが一致するか否かを判定する識別情報判定手段と、識別情報判定手段により一致していると判定された場合には、補正手段は前記補正値記憶手段に記憶されている電圧補正値で補正手段の補正を行わせ、一致しないと判定された場合には、補正値設定手段で設定された電圧補正値で補正手段の補正を行なわせる補正制御手段と、識別情報判定手段により一致しないと判定された場合に、認識手段により認識されたポンプ識別情報で電源側識別情報記憶手段に記憶されているポンプ識別情報を書き換える識別情報書き換え手段とを、備えることを特徴とする。
請求項１０の発明は、請求項８に記載の真空ポンプにおいて、ポンプ本体は、電圧補正値の基準値が記憶された基準値記憶手段を備え、電源装置は、補正値設定手段により設定された電圧補正値と基準値との差が所定値以上の場合に、警報を発生する警報手段を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ポンプ運転中にハイレベル信号およびローレベル信号の生成が不安定になるのを未然に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】ターボ分子ポンプの概略構成を示す図である。
【図２】回転センサ回路４３における処理を説明する図である。
【図３】回転センサ回路４３の処理過程における信号波形を説明する図であり、（ａ）は変調波の波形を、（ｂ）は検波後の波形を、（ｃ）は回転パルスの波形をそれぞれ示す。
【図４】回転センサ信号と判定閾値との関係を示す図である。
【図５】チェック動作の手順を示すフローチャートである。
【図６】センサ電圧計測値ＶＵ，ＶＶおよびＶＷの計測例を示す図であり、（ａ）はＯＫと判定される場合、（ｂ），（ｃ）はＮＧと判定される場合を示す。
【図７】静止状態までの時間を端出するための一例を示すフローチャートである。
【図８】第２の実施の形態におけるチェック動作の制御を説明するフローチャートである。
【図９】第２の実施の形態におけるセンサ電圧計測値を示す図であり、（ａ），（ｂ）はＯＫと判定される場合、（ｃ）はＮＧと判定される場合を示す。
【図１０】第３の実施の形態におけるチェック動作の制御を説明するフローチャートである。
【図１１】ステップＳ３００の補正処理における補正方法を説明する図であり、（ａ）は異常判定時の電圧計測値を示し、（ｂ）は第１の例を示し、（ｃ）は第２の例を示す。
【図１２】ステップＳ３００の補正処理の具体的な制御例を示すフローチャートであり、（ａ）は第１の例を、（ｂ）は第２の例を示す。
【図１３】第３の実施の形態の第１の変形例を示すフローチャートである。
【図１４】第３の実施の形態の第２の変形例を示すフローチャートである。
【図１５】第３の実施の形態の第３の変形例を示すフローチャートである。
【図１６】センサターゲット５４の斜視図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
−第１の実施の形態−
図１はターボ分子ポンプの概略構成を示す図である。ターボ分子ポンプは、ポンプ本体１と電源装置２とにより構成されている。ポンプ本体１は断面で示し、電源装置２に関しては要部を示すブロック図とした。
【００１０】
図１に示したターボ分子ポンプは磁気軸受式のターボ分子ポンプであって、ロータ３０は、ラジアル方向の磁気軸受３７およびアキシャル方向の磁気軸受３８によって非接触支持される。ロータ３０の浮上位置は、ラジアル変位センサ２７およびアキシャル変位センサ２８によって検出される。磁気軸受によって回転自在に磁気浮上されたロータ３０は、モータ３６により高速回転駆動される。モータ３６には三相モータ（例えば、ブラシレスＤＣモータ）が用いられている。
【００１１】
ロータ３０の回転は、インダクタンス式ギャップセンサで構成される回転センサ３３によって検出される。モータ３６によって回転駆動されるロータ３０の下端には、センサターゲット３４が設けられている。センサターゲット３４はロータ３０と一体に回転する。上述したアキシャル変位センサ２８および回転センサ３３は、センターゲット３４の下面と対向する位置に配置されている。２６，２９は非常用のメカニカルベアリングであり、磁気軸受が作動していない時にはこれらのメカニカルベアリング２６，２９によりロータ３０は支持される。
【００１２】
ロータ３０には、回転側排気機能部を構成する複数段の回転翼３２と円筒状のネジロータ３１とが形成されている。一方、固定側には、固定側排気機能部である固定翼３２とネジステータ２４とが設けられている。複数段の固定翼２２は、軸方向に対して回転翼３２と交互に配置されている。ネジステータ２４は、ネジロータ３１の外周側に所定のギャップで設けられている。なお、ネジロータ３１およびネジステータ２４の無い全翼タイプのターボ分子ポンプに対しても、回転翼の無いドラッグポンプ等に対しても本発明は適用することができる。
【００１３】
各固定翼２２は、スペーサリング２３を介してベース２０上に載置される。ポンプケーシング２１の固定フランジ２１ｃをボルトによりベース２０に固定すると、積層されたスペーサリング２３がベース２０とポンプケーシング２１との間に挟持され、固定翼２２が位置決めされる。ベース２０には排気ポート２５が設けられ、この排気ポート２５にバックポンプが接続される。ロータ３０を磁気浮上させつつモータ３６により高速回転駆動することにより、吸気口２１ａ側の気体分子は排気ポート２５側へと排気される。
【００１４】
電源装置２はポンプ本体１を駆動制御する装置であって、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、その他の周辺回路を含んで構成される。電源装置２には、主制御部４０，モータ制御部４１，磁気軸受制御部４２および回転センサ回路４３を備えている。モータ制御部４１はモータ３６を駆動制御する。磁気軸受制御部４２は、ラジアル変位センサ２７およびアキシャル変位センサ２８の出力信号に基づいて磁気軸受３７，３８の励磁電流を制御し、ロータ３０を所定位置に磁気浮上させる。回転センサ回路４３は、回転センサ３３からの出力信号に基づいてロータ３０の回転情報を取得する。この回転情報は、例えばモータ３６の回転制御等に利用される。
【００１５】
図２は、回転センサ回路４３における処理を説明する図である。ロータ３０にはモータロータ３６０が装着されている。モータステータ側に１２０deg間隔で配置されたＵ相コイル、Ｖ相コイルおよびＷ相コイルに通電することにより、モータロータ３６０およびロータ３０が一体に回転する。
【００１６】
上述したように、ロータ３０の下端にはセンサターゲット３４が固定されており、センサターゲット３４の下面と対向する位置に回転センサ３３設けられている。センサターゲット３４の下面は、回転センサ３３および図１に示したアキシャル変位センサ２８のターゲット面として利用される。中央部のターゲット面３４Ｃは、アキシャル変位センサ２８のターゲット面として利用される。一方、周辺部の凸面３４Ｈおよび凹面３４Ｌから成る段差領域は、回転センサ３３のターゲット面として利用される。凸面３４Ｈと凹面３４Ｌとは、ターゲット面を回転角度で１８０degずつに分割している。
【００１７】
図２に示すように、回転センサ３３は、珪素鋼板やフェライトなどの透磁率の大きなコアとその周囲に巻かれたコイルとで構成される。回転センサ３３のコイルには、一定周波数・一定振幅の高周波電圧が搬送波として印加される。回転センサ３３のコアから出た磁力線は、対向配置されたセンサターゲット３４を通ってコアへと戻る。
【００１８】
ターゲット面は凸面３４Ｈと凹面３４Ｌとから構成されているため、ロータ３０が回転すると、ターゲット面と回転センサ３３とのギャップが変化する。その結果、インダクタンス変化によって搬送波は振幅変調され、検波回路４３１には図３（ａ）に示すような信号が入力される。回転センサ３３が凸面３４Ｈと対向すると、図３（ａ）の符号Ａで示すような信号が出力される。一方、回転センサ３３が凹面３４Ｌと対向してギャップが大きくなると、信号波形は図３（ａ）の符号Ｂで示すように振幅が小さくなる。
【００１９】
図３（ａ）の振幅変調された搬送波を検波回路４３１および平滑回路４３２により検波・整流すると、図３（ｂ）に示すような信号が得られる。High-Low判定部４３３は、この信号をHigh-Low判定閾値ＶＨ／Ｌと比較することで、図３（ｃ）に示すようなHighレベルＨとLowレベルＬから成る回転パルス信号を出力する。ここでは、一つのHigh-Low判定閾値ＶＨ／Ｌで回転パルス信号を生成するようにしたが、一般的にはハイレベル判定値ＶＨとローレベル判定値ＶＬとの２つの判定値を用いて回転パルス信号を生成する。
【００２０】
ところで、回転センサ３３の精度やセンサターゲット３４との距離はポンプ機台毎にばらつきがあるため、図４のように、センサ信号がHigh-Low判定閾値ＶＨ／Ｌに対して上下方向にずれてしまう場合がある。ポンプＰ１の回転センサ信号Ｓ１においては、センサ信号のハイレベルは判定閾値ＶＨ／Ｌより大きく、ローレベルは判定閾値ＶＨ／Ｌより小さくなっているので、正しくHigh-Low判定を行うことができる。
【００２１】
一方、ポンプＰ２の場合には、回転センサ信号Ｓ２の信号レベルが全体的に大きくなっており、回転センサ信号Ｓ２のハイレベルもローレベルも判定閾値ＶＨ／Ｌより大きくなっている。そのため、High-Low判定が不可能な状態になっている。そのため、静止時からの正常な初動ができなくなる。また、回転センサ信号Ｓ３のように、「ハイレベル＞ＶＨ／Ｌ」は満足しているが、ハイレベルの値と判定閾値ＶＨ／Ｌとが接近しているような場合には、振動等により浮上位置が微妙に変化した際に、High-Low判定ができなくなるおそれがあり、回転中に不具合が生じる可能性がある。
【００２２】
そこで、本実施形態では、電源投入時などに、High-Low信号（回転センサ信号）の電圧レベルを自動的にチェックする機能を電源装置２が備える構成とした。図５は、電源装置２の主制御部４０（図１参照）で実行されるチェック動作の手順を示すフローチャートである。図５に示す処理は、電源装置２がオンされるとスタートする。
【００２３】
ステップＳ１０では、ロータ３０を所定浮上位置に浮上させるように、磁気軸受制御部４２に指令を出す。ステップＳ２０では、図２に示すＵ，Ｖ，Ｗ相コイル３６１Ｕ〜３６１Ｗの一相のみに電流を流す。ステップＳ２０からステップＳ４０までの一連の処理はＵ，Ｖ，Ｗ相の各々に関して行われるが、ここでは、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の順に行われるものとして説明する。
【００２４】
まず、ステップＳ２０では、Ｕ相通電に対応したロータ位置にロータ３０が位置決めされるように、Ｕ相コイル３６１Ｕに通電する。ステップＳ３０ではロータ３０の回転が収まって、静止状態となったか否かを判定する。この判定には、例えば、回転センサ３３の回転パルスが途絶えたか否かを利用することができる。または、通電後、所定時間経過したならば静止状態と判定するようにしても良い。または、予め実機で平均的な静止時間を求めておき、その静止時間を所定時間として用いるようにしても良い。
【００２５】
ステップＳ３０において静止状態と判定されたならば、ステップＳ４０へ進んでセンサ電圧（回転センサ信号の電圧レベル）の計測を行う。すなわち、センサ回路４３の平滑回路４３２から出力される信号の電圧レベルを取得する。その計測結果はＶＵとして主制御部４０のメモリ（不図示）に記憶される。ステップＳ５０では、ステップＳ２０からステップＳ４０までの処理が、Ｕ，Ｖ，Ｗ相のそれぞれに関して終了したか否かを判定する。Ｕ相の処理が終了した場合には、ステップＳ５０で終了していないと判定され、ステップＳ２０に戻る。
【００２６】
このようにして、Ｕ，Ｖ，Ｗ相のそれぞれに関してステップＳ２０からステップＳ４０までの処理を実行し、センサ電圧計測値ＶＵ，ＶＶおよびＶＷを取得する。前述したようにＵ相コイル、Ｖ相コイルおよびＷ相コイルは１２０deg間隔で配置されているので、一相毎に通電すると、回転センサ信号の１２０deg毎の電圧レベルがセンサ電圧計測値ＶＵ，ＶＶおよびＶＷとして得られる。
【００２７】
ステップＳ６０では、センサ電圧計測値ＶＵ〜ＶＷが所定の判定条件を満足するか否かを判定する。ここで、所定の判定条件とは回転センサ信号が正常か否かを判定するための条件であり、「３つの計測値ＶＵ〜ＶＷの内、少なくとも１つが判定基準値ＶＬ以下で、かつ、少なくとも１つが判定基準値ＶＨ以上である場合」に、正常であると判定する。判定基準値ＶＬ，ＶＨは、予め主制御部４０のメモリに記憶されおり、判定基準値ＶＬ，ＶＨは、図３（ｂ）に示したHigh-Low判定用の閾値ＶＬ，ＶＨに基づいて設定される。ここでは、High-Low判定用の閾値ＶＬ，ＶＨに判定基準値ＶＬ，ＶＨとして使用しているが、例えば、High-Low判定用の閾値ＶＬ，ＶＨを上下にずらした値（上下に余裕を持たした値）を判定基準値として用いても良い。
【００２８】
図６の（ａ）〜（ｃ）は、センサ電圧計測値ＶＵ，ＶＶおよびＶＷの計測例を示したものであり、縦軸は電圧値で、横軸は通電しているコイルの相を示している。図６（ａ）は、ステップＳ６０の条件を満足してＯＫと判定される場合の計測値例を示したものである。Ｕ相通電時およびＶ相通電時に計測されたセンサ電圧計測値ＶＵ，ＶＶは判定基準値ＶＨ以上で、Ｗ相通電時に計測されたセンサ電圧計測値ＶＷは判定基準値ＶＬ以下なので、ＯＫと判定される。
【００２９】
なお、図６に示す例では、Ｕ相通電時およびＶ相通電時には回転センサ３３はセンサターゲット３４の凸面３４Ｈと対向しているので、通常はほぼ同一のセンサレベルとなる。しかし、計測時に回転センサ３３が丁度、凸面３４Ｈと凹面３４Ｌの境界面に位置することなどにより、例えば、Ｕ相通電時の電圧レベルＶＵがＶＬ＜ＶＵ＜ＶＨのようになったとしても、Ｖ相通電時およびＷ相通電時の電圧レベルがＶＶ＞ＶＨ、ＶＷ＜ＶＬであって、Highレベル信号とLowレベル信号が得られるので、ＯＫと判定される。
【００３０】
一方、この条件を満たさない場合、例えば、図６（ｂ）のように２つの計測値ＶＵ，ＶＶが判定基準値ＶＬと判定基準値ＶＨとの間であったり、図６（ｃ）のように３つの計測値ＶＵ，ＶＶ，ＶＷが判定基準値ＶＬと判定基準値ＶＨとの間であったりした場合には、回転センサ信号が異常であると判定する。
【００３１】
ステップＳ６０で異常（ＮＯ）と判定された場合には、ステップＳ７０へ進んで異常を報知する。例えば、電源装置２に備えられた表示装置（例えば液晶表示装置）に異常表示を行う。または、警報音を発するようにしても良い。一方、ステップＳ６０で条件を満足すると判定されると、一連のチェック処理を終了する。図５のチェック処理を終了すると、電源装置２はロータ３０を所定位置に磁気浮上させる。
【００３２】
なお、図６に示す制御例では、ロータ３０を磁気浮上させて一相に通電を行ったので、ロータ３０が静止状態になるまでに時間を要する。図７に示す制御例では、メカニカルベアリング２６，２９によるエネルギー損失を利用して、静止状態になるまでの時間を短縮するようにした。
【００３３】
図７に示すフローチャートのステップＳ２０では、ロータ３０の磁気浮上を停止した状態で一相のコイルに通電を行う。ロータ３０はメカニカルベアリング２６，２９に支持された状態で回転するので、摩擦エネルギーとして回転エネルギーが消費され、図６の制御の場合に比べてより短時間に静止状態となる。ステップＳ３０において静止状態と判定されるとステップＳ１１０に進み、ロータ３０を所定位置に磁気浮上させる。そして、ステップＳ４０において回転センサ信号の電圧レベルを計測したならば、ステップＳ１２０においてロータ３０の磁気浮上を停止する。ステップＳ２０からステップＳ１２０までの一連の処理をＵ，Ｖ，Ｗ相のそれぞれについて行うことにより、センサ電圧計測値ＶＵ〜ＶＷが取得される。
【００３４】
なお、図７に示す例ではロータ３０の磁気浮上を停止して一相通電するようにしたが、図６の場合のようにロータ３０を磁気浮上させたまま一相通電した際に、ラジアル磁気軸受３７を制御してロータ３０の浮上位置を偏心させて、ロータ軸をメカニカルベアリング２６，２９に接触させるようにしても良い。
【００３５】
上述したように、本実施の形態では、ロータ３０と一体に設けられ、ターゲット面に凹凸段差が形成されたセンサターゲット３４と、ターゲット面３４Ｌ、３４Ｈに対向配置され、ターゲット面３４Ｌ、３４Ｈとのギャップ変化に応じたセンサ信号を出力するインダクタンス式の回転センサ３３と、センサ信号の電圧レベルとローレベル閾値ＶＬ（下側閾値）およびハイレベル閾値ＶＨ（上側閾値）とを比較して、凹凸段差に対応したローレベル信号およびハイレベル信号を生成する信号生成手段としての回転センサ回路４３とを備える。モータ制御部４１は、電源投入時に、モータ３６を駆動制御してロータ３０を複数の回転角度位置に順に停止させる。複数の角度位置の少なくとも一つにおいて、センサ信号の電圧レベル（ＶＵ〜ＶＷ）が判定閾値ＶＬ以下となり、かつ、他の角度位置の少なくとも一つにおいて、電圧レベル（ＶＵ〜ＶＷ）が判定閾値ＶＨ以上となる場合に、センサ信号は正常であると判定し、それ以外の場合には異常であると判定する。
【００３６】
このような判定（チェック動作を）を電源投入時に自動的に行うことで、回転センサ３３の性能や配線が正常であることを、ポンプを回転させる前に確認することができる。そのため、外乱等により正確な回転パルスが得られなくなるような事態を未然に防止することができる。
【００３７】
−第２の実施の形態−
図８は、第２の実施の形態におけるチェック動作の制御を説明するフローチャートである。図８のフローチャートでは、図７に示すフローチャートのステップＳ１１０およびステップＳ４０を、ステップＳ２１０〜ステップＳ２４０の処理に置き換えた。ステップＳ２０では、ロータ３０の磁気浮上を停止した状態で一相コイルへの通電を行う。図７の制御の場合と同様に、ロータ３０は、メカニカルベアリング２６，２９の摩擦によって、短時間で静止状態となる。
【００３８】
ステップＳ３０で静止状態と判定されるとステップＳ２１０に進み、ロータ３０を上側（ポンプ吸気口側）に吸引するように磁気軸受を制御する。ロータ３０のアキシャル方向の浮上位置に関しては、アンギュラコンタクト形のベアリングが用いられる下側のメカニカルベアリング２９によって、ロータ３０の上下方向の移動が制限されている。そのため、ステップＳ２１０の処理によって、ロータ３０はアキシャル方向の上限位置に磁気浮上され、回転センサ３３とセンターゲット３４とのギャップが通常浮上時よりも大きくなる。その結果、ステップＳ２２０で計測される回転センサ信号の電圧レベルは、通常浮上時の場合よりも小さくなる。
【００３９】
続くステップＳ２３０では、ステップＳ２１０の場合とは逆に、ロータ３０を下側（ポンプベース側）に吸引するように磁気軸受を制御する。その結果、ロータ３０はアキシャル方向の下限位置に磁気浮上され、回転センサ３３とセンターゲット３４とのギャップが通常浮上時よりも小さくなる。そのため、ステップＳ２４０で計測される回転センサ信号の電圧レベルは、通常浮上時の場合よりも大きくなる。
【００４０】
ステップＳ２４０の計測処理が終了したならばステップＳ１２０に進んで、ロータ３０の磁気浮上を停止する。そして、ステップＳ５０においてＵ相、Ｖ相、Ｗ相の計測処理が終了したか否かを判定する。図７の制御の場合と同様に、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の順にステップＳ２０からステップＳ１２０までの処理が繰り返し実行されると、図９の（ａ）〜（ｃ）に示すようなセンサ電圧計測値が取得されることになる。
【００４１】
図９において、符号Ｃ１を付した３つのデータが上側吸引時のセンサ電圧計測値であり、符号Ｃ２を付した３つのデータが下側吸引時のセンサ電圧計測値である。上述したように下側吸引時の方が上側吸引時よりもセンサ−ターゲット間ギャップが小さいので、下側吸引時の方が電圧値は大きくなっている。
【００４２】
ステップＳ６０では、各相の上側吸引時の電圧値および下側吸引時の電圧値の対に関して、対毎に判定基準値ＶＬ，ＶＨとの比較を行う。そして、上下吸引時計測値Ｃ１，Ｃ２のいずれもが判定基準値ＶＬより小となる相が少なくとも１つあり、かつ、上下吸引時計測値Ｃ１，Ｃ２のいずれもが判定基準値ＶＨより大となる相が少なくとも１つ有る場合に、ステップＳ６０において正常である（ＯＫ）と判定する。
【００４３】
図９（ａ）に示す例では、Ｕ相通電時およびＶ相通電時の上下吸引時計測値Ｃ１，Ｃ２は判定基準値ＶＨより大きく、Ｗ相通電時の上下吸引時計測値Ｃ１，Ｃ２は判定基準値ＶＬより小さいので、回転センサ信号は正常（ＯＫ）であると判定される。なお、図９（ｂ）のような場合にもＯＫと判定される。一方、図９（ｃ）に示す例では、Ｕ相通電時およびＶ相通電時の上側吸引時計測値Ｃ１が判定基準値ＶＬと判定基準値ＶＨとの間にあるので、回転センサ信号は異常（ＮＧ）であると判定される。
【００４４】
このように、第２の実施の形態では、磁気軸受によりロータ３０を上下に吸引した状態での計測値を用いてチェック動作を行うようにした。そのため、チェック動作でＯＫと判定された場合には、ポンプ運転中に外乱などによってロータ３０の浮上位置が上下しても、正常な回転センサ信号を確実に取得することができ、回転センサ信号を用いた制御に影響が出ない。また、このチェック動作の場合、メカニカルベアリング２９の摩耗が著しくなってロータ３０の上下移動可能範囲が広がった場合にも、異常と判定される。そのため、メカニカルベアリング２９が異常の状態で使用されるのを、未然に防止することができる。
【００４５】
−第３の実施の形態−
図１０は、第３の実施の形態におけるチェック動作の制御を説明するフローチャートである。図１０のフローチャートでは、図８に示すフローチャートのステップＳ７０の処理に代えて、ステップＳ３００の補正処理を行うようにした。図１２は、ステップＳ３００の補正処理の、具体的な処理を示したものである。なお、図１０では、上下吸引を行う場合を例に説明するが、図５，７に示すような上下吸引を行わない場合でも同様に適用できる。
【００４６】
ステップＳ２０からステップＳ５０までの処理により、図１１（ａ）に示すようなデータが得られた場合を例に補正処理を説明する。なお、図１１（ａ）に示す計測データ例では、Ｕ相通電時およびＶ相通電時には回転センサ３３はターゲット３４の凸面３４Ｈと対向しており、Ｗ相通電時にはターゲット３４の凹面３４Ｌと対向している。
【００４７】
図１１（ａ）に示す例では、各電圧値は、判定基準値ＶＬ０を１００とする相対値で示されている。すなわち、判定基準値ＶＬ０＝１００、判定基準値ＶＨ０＝２００とし、Ｕ相の上側吸引計測値ＶＵＵ＝１９５、下側吸引計測値ＶＵＬ＝２５０、Ｖ相の上側吸引計測値ＶＶＵ＝１９５、下側吸引計測値ＶＶＬ＝２５０、Ｗ相の上側吸引計測値ＶＷＵ＝１０、下側吸引計測値ＶＷＬ＝４５である。この場合、ステップＳ６０における判定条件が満足されず、ステップＳ３００の補正処理に進む。
【００４８】
なお、ＶＬ０，ＶＨ０は判定基準値の初期値であり、ポンプ出荷検査時に電源装置２の主制御部４０のメモリに記憶保持される。
【００４９】
図１２（ａ）は補正処理の第１の例を示したものである。ステップＳ３１０では、次式（１）により補正値ΔＶを算出し、その算出結果を主制御部４０のメモリに記憶する。この補正値ΔＶは、判定基準値ＶＬ０，ＶＨ０の中央値に対する、計測値範囲の内側の計測値ＶＵＵ，ＶＷＬの中央値の下方へのずれ量を表している。ここで、補正値ΔＶの算出に使用する計測値（この例ではＶＵＵとＶＷＬ）は通常、３相のうち上側吸引時の最大値と下側吸引時の最小値を選択する。
ΔＶ＝（ＶＨ０＋ＶＬ０）／２−（ＶＵＵ＋ＶＷＬ）／２
＝３０                                    …（１）
【００５０】
ステップＳ３２０では、ステップＳ３１０で算出された補正値ΔＶを用いて判定基準値ＶＬ０，ＶＨ０をＶＬ＝ＶＬ０＋ΔＶ，ＶＨ＝ＶＨ０＋ΔＶのように補正し、これらのＶＬ，ＶＨを補正された判定基準値として主制御部４０のメモリに記憶する。この補正は、判定基準値の中央値と計測値ＶＵＵ，ＶＷＬの中央値とを一致させる処理である。図１１（ｂ）に示す例では、補正値ΔＶはΔＶ＝３０であって、補正後の判定基準値ＶＬ（＝７０），ＶＨ（＝１７０）は、判定基準値ＶＬ０（＝１００），ＶＨ０（＝２００）をそれぞれ補正値ΔＶ（＝３０）だけ下方へずらしたものとなっている。
【００５１】
ステップＳ３３０では、判定基準値ＶＬ０，ＶＨ０の場合と同様にHigh-Low判定の上下閾値（図３（ｂ）のＶＬ，ＶＨ）を補正値ΔＶにより補正し、その補正された上下閾値をセンサ回路４３にセットする。ここでは、判定基準値ＶＬ０，ＶＨ０をHigh-Low判定の上下閾値と同じ値に設定しているので、値７０，１７０がHigh-Low判定の上下閾値としてセットされる。ステップＳ３３０の処理が終了すると、図１０へ戻り、一連の処理を終了する。これ以後は、補正された上下閾値を使用して図３（ｃ）に示す回転パルス信号が生成されることになる。また、再度起動された場合には、主制御部４０に記憶された補正後の判定基準値ＶＬ，ＶＨを用いて図１０の一連の処理が行われる。
【００５２】
図１０に示す処理は電源装置２が起動される度に行われる。しかし、通常、ポンプ本体１の交換や回転センサ３３の経時変化などが無い限り、ステップＳ６０でＮＯと判定されることはほとんどない。逆に、ポンプ本体１の交換や回転センサ３３の経時変化などがあった場合には、ステップＳ６０からステップＳ３１０へ進み、判定基準値や上下閾値の補正が自動的に行われる。そのため、ポンプ本体１の交換を行った際に、マニュアルで判定基準値や上下閾値の調整を行う必要がなく、使い勝手の良いターボ分子ポンプを提供することができる。
【００５３】
図１１（ｃ）および図１２（ｂ）は、補正処理の第２の例を説明する図である。上述した第１の例では、判定基準値ＶＬ０，ＶＨ０およびHigh-Low判定の上下閾値を補正値ΔＶで補正したが、第２の例では、図１１（ｃ）に示すようにセンサ信号の電圧レベルを補正するようにした。
【００５４】
ステップＳ６０でＮＯと判定されるとステップＳ３００へ進み、図１２（ｂ）に示すような補正処理が行われる。ステップＳ３１０では、式（１）を用いて補正値ΔＶが算出される。ステップＳ３５０では、図２の平滑回路４３２から出力される信号の電圧レベルがΔＶだけアップされるように、平滑回路４３２の設定を変更する。なお、ΔＶがマイナスの値の場合には電圧レベルはダウンされる。設定変更後は、図１２（ｃ）に示すような上側吸引計測値Ｖ’ＵＵ，Ｖ’ＶＵ，Ｖ’ＷＵおよび下側吸引計測値Ｖ’ＵＬ，Ｖ’ＶＬ，Ｖ’ＷＬが計測されることになる。
【００５５】
このように、第３の実施の形態では、回転センサ信号が判定条件を満足しないときに、ステップＳ３００の補正処理を行って判定条件を満足するように、High-Low判定の上下閾値や回転センサ信号の電圧レベルを補正するようにした。その結果、補正前にはHigh-Low判定が正しく行えないような状態であったとしても、補正によって確実にHigh-Low判定が行えるようになる。
【００５６】
なお、図１０に示した制御例では、ステップＳ６０でＮＯ（判定条件を満足しない）と判定された場合のみ図１２（ａ），（ｂ）に示すような補正処理を行うこととしたが、ステップＳ６０を省略して、ステップＳ５０でＹＥＳと判定されたならば、判定条件を満足するか否かに関わらずステップＳ３００の補正処理を行うようにしても良い。
【００５７】
この場合にも、補正前にはHigh-Low判定が正しく行えないような状態であったとしても、補正によって確実にHigh-Low判定が行えるようになる。また、図５，７のように上下吸引を行わない場合であって、ステップＳ６０の判定条件をぎりぎりで満足するような電圧レベルであった場合、第２の例のような補正処理を行うことで、判定条件に対して余裕のある電圧レベルとすることができる。
【００５８】
上述した第３の実施の形態の説明では、電源装置２の起動の度に上述したチェック動作を行ってステップＳ３００の補正処理を行うようにした。以下では、補正処理を行う制御の変形例について説明する。
【００５９】
（第１変形例）
第１の変形例では、電源装置２が、接続されたポンプ本体１の各々を認識できるような構成の場合の制御例である。電源装置２をポンプ本体１に接続したときに、シリアルナンバーのようなポンプ本体１の識別情報を電源装置２が取得できるような構成が前提となる。例えば、シリアルナンバーが記憶保持された記憶素子をポンプ本体１内に設けておき、電源装置２は電源投入時にそのシリアルナンバーを読み出すようにする。
【００６０】
図１３は、第１の変形例における制御例を示すフローチャートである。電源が投入されると、ステップＳ４１０において、ポンプ本体１側からシリアルナンバーを読み込む。ステップＳ４２０では、読み込んだシリアルナンバーと電源装置２の主制御部４０のメモリに記憶されているシリアルナンバーとを比較し、一致するか否かを判定する。主制御部４０のメモリには電源投入前に接続されていたポンプ本体１のシリアルナンバーが記憶されている。そのため、電源投入前とは別のポンプ本体１を接続した場合には、ステップＳ４２０においてＮＯと判定される。
【００６１】
ステップＳ４２０で一致と判定されるとステップＳ４３０へ進み、電源装置２内に記憶されている補正値ΔＶで補正処理を行う。電源投入前に接続されていたポンプ本体１に対して補正値ΔＶを設定した際に、主制御部４０のメモリにその補正値ΔＶが記憶される。ステップＳ４２０でシリアルナンバーが一致している場合には、接続されているポンプ本体１は電源投入前のポンプ本体１と同一なので、ステップＳ４３０のように、電源装置２側に記憶されている補正値ΔＶを使用して補正処理が行われる。
【００６２】
一方、ポンプ本体１が交換された場合にはシリアルナンバーが互いに異なることになるので、ステップＳ４２０でＮＯと判定されてステップＳ４４０へ進む。ステップＳ４４０では、図１０に示すチェック処理および補正処理が行われ、主制御部４０に記憶されている補正値ΔＶが新たに算出された補正値ΔＶと書き換えられる。ステップＳ４５０では、主制御部４０のメモリに記憶保持されているシリアルナンバーを、接続されているポンプ本体１側から読み込んだシリアルナンバーで置き換える。
【００６３】
上述のように、第１の変形例では、電源装置２に接続されるポンプ本体１が交換された場合にのみチェック動作が行われる。そのため、ポンプ交換が行われない場合には、チェック動作が省略され、起動処理が短縮される。
【００６４】
（第２変形例）
図１４のフローチャートを用いて、第２の変形例について説明する。第２の変形例では、ポンプ本体１内に補正値の初期値ΔＶ０が予め記憶されているような構成を前提とした制御例について説明する。例えば、ポンプ出荷検査時やポンプオーバーホール時に、上述のチェック処理を行い、さらにその結果に基づいて補正値ΔＶを求め、その補正値ΔＶを初期値ΔＶ０としてポンプ本体内に設けられた記憶素子に記憶させておく。
【００６５】
ステップＳ５１０では、図８のステップＳ２０〜ステップＳ５０までのチェック処理が行われる。ステップＳ５２０では、ステップＳ５１０のチェック処理で得られた計測値に基づいて補正値ΔＶを算出する。ステップＳ５３０では、ポンプ本体１側から上述した初期値ΔＶ０を読み込み、算出された補正値ΔＶと初期値ΔＶ０との差が許容範囲内か否かを判定する。
【００６６】
例えば、ポンプ本体側の初期値ΔＶ０が３０であったとして、ある期間経過後に導出された補正値ΔＶが１０であった場合、補正値＝２０に相当する分だけセンサ・ターゲット間距離が初期状態よりも近づいたことになる。このような変化の原因としては、ロータ軸に固定されたターゲット３４の緩みや、メカニカルベアリングの磨耗などが考えられる。そして、初期値ΔＶ０との差が予め設定された許容範囲を超えた場合には、ステップＳ５３０においてＮＯと判定される。
【００６７】
ステップＳ５３０で許容範囲内（ＹＥＳ）と判定された場合には、ステップＳ５４０において、算出された補正値ΔＶを用いて補正処理を行う。ここでの補正処理では、図１１（ｂ），図１２（ａ）に示すように、High-Low判定の上下閾値を補正値ΔＶで補正する処理が採用される。なお、判定基準値については補正が行われず、常に初期値ＶＬ０，ＶＨ０が使用される。
【００６８】
一方、ステップＳ５３０で許容範囲を超えていると判定された場合には、ステップＳ５５０に進んで、回転センサ信号の異常を示す警報を発生する。このように、初期値ΔＶ０に対する実際の補正値ΔＶの変化を電源投入時に調べることにより、回転センサ３３の異常を早期に発見することができる。なお、初期値ΔＶ０がポンプ本体１側に記憶されていない場合には、ステップＳ５４０の処理の後に、算出された補正値ΔＶを初期値としてポンプ側に記憶させるようにする。次回のチェックからは、その値を用いて図１４に示す制御を行う。
【００６９】
上述のように、第２変形例では、ポンプ本体内に記憶されている初期値ΔＶ０を利用して、補正値の経時変化を管理することができる。そのため、補正値ΔＶ０の変化により回転センサ信号の異常をチェックすることができる。
【００７０】
（第３変形例）
図１５のフローチャートを用いて、第３の変形例について説明する。第３の変形例では、算出した補正値ΔＶをポンプ本体１内および電源装置２内に記憶させるようにする。この場合、第２の変形例のように初期値ΔＶ０がポンプ内に記憶されていても良いし、されていなくても良い。初期値ΔＶ０が記憶されている場合には、補正値演算が行われると、ポンプ本体１内の初期値ΔＶ０は算出された補正値ΔＶにより書き換えられる。
【００７１】
ステップＳ６１０では、ポンプ本体１内に記憶されている補正値ΔＶを電源装置２側に読み込む。ステップＳ６２０では、読み込んだ補正値と電源装置２内に記憶保持されている補正値との差を計算し、その差が基準内か否かを判定する。電源投入前にポンプ本体１が交換されていなければ、「差＝０」となるが、ポンプ本体１が交換された場合には「差≠０」となるのが一般的である。そのため、ステップＳ６２０における判定の基準値としては、ポンプ交換が判定できる程度の差（ポンプ本体１の機台差程度）に設定すれば良い。
【００７２】
ステップＳ６２０で基準内と判定された場合には、ステップＳ６３０に進んで電源装置２内の主制御部４０のメモリに記憶されている補正値ΔＶをポンプ本体側から読み込んだ補正値で書き換える。ステップＳ６４０では、書き換えた補正値ΔＶを用いて補正処理を行う。
【００７３】
一方、ステップＳ６２０で差が基準内でないと判定された場合にはステップＳ６５０へ進み、図１０で示したチェック処理および補正処理を行う。なお、差が判定の基準値を超えている場合には、ポンプ本体の交換だけでなく種々の要因が考えられるので、ステップＳ６５０のような処理を行う。その後、ステップＳ６６０において、ポンプ本体１内の補正値および電源装置２内の補正値を、算出された補正値で書き換える。
【００７４】
第３の変形例では、算出した補正値をポンプ本体１内に記憶させ、電源投入時にポンプ本体１内の補正値と電源装置２内の補正値との差が基準内の場合には、チェック処理が省略されるので、起動処理が短縮される。
【００７５】
なお、上述した本実施の形態では、ロータ軸の軸方向に段差が形成されたセンサターゲット３４を例に説明したが、図１６に示すようなセンサターゲット５４をロータ３０に設け、ラジアル方向に回転センサ３３を配置して、センサターゲット５４の側面に形成されたターゲット面５４Ｈ，５４Ｌを検出するようにしても良い。図２に示すように軸方向に回転センサ３３を配置した場合には、ロータ３０を上下に吸引して図１１（ａ）に示すような電圧計測値を取得したが、図１６の構成の場合には、ロータ３０をラジアル方向に吸引することで、同様の電圧計測値を取得することができる。
【００７６】
また、モータ３６がブラシレスＤＣモータである場合を例に説明したが、これに限らず、その他の３相または多相モータの場合にも本発明は適用できる。
【００７７】
上述した各実施形態はそれぞれ単独に、あるいは組み合わせて用いても良い。それぞれの実施形態での効果を単独あるいは相乗して奏することができるからである。また、本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。
【符号の説明】
【００７８】
１：ポンプ本体、２：電源装置、２２：固定翼、２４：ネジステータ、２６，２９：メカニカルベアリング、３０：ロータ、３１：ネジロータ、３２：回転翼、３３：回転センサ、３４，５４：センサターゲット、３６：モータ、３７，３８：磁気軸受、４０：主制御部、４１：モータ制御部、４２：磁気軸受制御部、４３：回転センサ回路、３４Ｈ：凸面、３４Ｌ：凹面、３６１Ｕ：Ｕ相コイル、３６１Ｖ：Ｖ相コイル、３６１Ｗ：Ｗ相コイル
【図１】
0005509970.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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