(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
乾燥槽と、該乾燥槽の内部に配置され、軸回りに回転するローターとを有する回転乾燥部と、
被洗浄物を保持する保持部及び前記保持部が収容された保持治具本体を有し前記ローターに対して脱着自在な保持治具と、
前記保持治具を把持して、前記ローターが回転する軸に沿う方向に延びる所定軸回りに回転させるとともに、前記所定軸を１軸線として含む互いに直交する３軸線に沿う方向に移動させることにより、前記保持治具を前記乾燥槽の内部へ挿入可能な回転搬送部と、
前記回転搬送部を用いて、前記保持治具を前記乾燥槽の内部に挿入し、かつ前記ローターに対する前記保持治具の回転動作を行うことによって、前記ローターと前記保持治具とが嵌合される回転嵌合機構とを備える乾燥装置。
【請求項２】
前記回転嵌合機構が、
前記ローターと前記保持治具本体とのいずれか一方に形成された凸部と、
前記ローターと前記保持治具本体との他方に形成されて前記ローターに対する前記保持治具の回転動作によって前記凸部が嵌合する凹部とを有する請求項１に記載の乾燥装置。
【請求項３】
前記保持治具本体が前記回転搬送部によって把持される把持部を有する請求項１または２に記載の乾燥装置。
【請求項４】
前記回転搬送部が、
前記所定軸を中心にして径方向へ往復移動可能かつ前記所定軸回りに回転移動可能な二つ以上の把持部材が設けられたチャッキング部を有し、
前記把持部が、
前記把持部材のそれぞれに摩擦係合可能な係合部を有する請求項３に記載の乾燥装置。
【請求項５】
前記保持部と前記保持治具本体との一方に形成された溝部と、
前記保持部と前記保持治具本体との他方に形成されて前記溝部に係合可能な凸条部とをさらに備える請求項１〜４のいずれか一項に記載の乾燥装置。
【請求項６】
前記保持部と前記保持治具本体とが一体をなす請求項１〜５のいずれか一項に記載の乾燥装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の乾燥装置と、
前記回転搬送部の可動範囲内に前記被洗浄物を洗浄するための洗浄剤が供給される洗浄槽を備える洗浄乾燥装置。
【請求項８】
前記回転搬送部の可動範囲内に前記被洗浄物に付着した前記洗浄剤をリンスするリンス液が供給されるリンス槽をさらに備える請求項７に記載の洗浄乾燥装置。
【請求項９】
前記洗浄槽が、
前記被洗浄物に付着した前記洗浄剤をリンスするリンス液が供給されるリンス槽を兼ねる請求項７に記載の洗浄乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、乾燥装置及び洗浄乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、光学素子の外面にコート層を形成する際には、この光学素子を洗浄して外面に付着している様々な付着物を除去することが行われている。さらに、このような洗浄に引き続いて洗浄のために使用した液体を除去して乾燥させることが行われている。
洗浄のために使用した液体が光学素子の外面に残留した状態で乾燥すると、光学素子の外面にシミが生じる。このようなシミは光の透過や反射等の光学特性に悪影響を及ぼすため、洗浄のために使用した液体を効果的に除去できる乾燥方法が求められている。
【０００３】
光学素子を乾燥させる乾燥装置の例として、たとえば特許文献１には光学部品（光学素子）の乾燥治具が記載されている。この特許文献１に記載の乾燥治具は、洗浄された光学素子をスピン乾燥装置（回転乾燥部）に装着するための平板状の乾燥治具であって、前記平板の一方の側に光学部品を挿入することができる開口部を有する少なくとも一つの光学部品挿入部を有し、前記光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有し、前記底部の一部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する貫通孔が形成されており、前記光学部品挿入部の底部の全ての貫通孔の断面の形状が円形であり、ｍとｎを整数とするとき、前記光学部品挿入部が前記乾燥治具にｍ行ｎ列のマトリクス状に形成されている。
【０００４】
この乾燥治具によれば、長時間の作業者トレーニングが不可欠な熟練を要する作業を必要とせず、かつ、作業効率が良く、洗浄した多層膜フィルターなどの光学部品をモジュールなどに使用する際に、モジュールの機能を満足に発揮できるような良好な状態に洗浄・乾燥することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２４２３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の乾燥治具では、多数の光学素子が収容された乾燥治具を回転乾燥部の回転体に装着する作業を自動化するのが困難であり、人手による作業を要するという問題があった。
【０００７】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、その目的は光学素子等の被洗浄物の乾燥工程の動作を単純化できる乾燥装置及び洗浄乾燥装置の提供を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
【０００９】
本発明の乾燥装置は、乾燥槽と、該乾燥槽の内部に配置され、軸回りに回転するローターとを有する回転乾燥部と、被洗浄物を保持する保持部及び前記保持部が収容された保持治具本体を有し前記ローターに対して脱着自在な保持治具と、前記保持治具を把持して、前記ローターが回転する軸に沿う方向に延びる所定軸回りに回転させるとともに、前記所定軸を１軸線として含む互いに直交する３軸線に沿う方向に移動させることにより、前記保持治具を前記乾燥槽の内部へ挿入可能な回転搬送部と、前記回転搬送部を用いて、前記保持治具を前記乾燥槽の内部に挿入し、かつ前記ローターに対する前記保持治具の回転動作を行うことによって、前記ローターと前記保持治具とが嵌合される回転嵌合機構とを備える。
【００１０】
この発明によれば、被洗浄物は保持部に保持され、保持部が収容された保持治具本体はローターに取り付けることができる。このとき、回転嵌合機構によってローターに対して保持治具を回転動作させるだけでローターと保持治具とが嵌合する。これによりローターが軸回りに回転してもローターに対して保持治具が好適に支持される。
また、回転乾燥部の内部でローターが軸回りに回転するのでローターに回転嵌合された保持治具にはローターの径方向外方に遠心力が生じる。このため、保持治具に保持された被洗浄物の外面に付着した異物等が被洗浄物から脱離する。さらに被洗浄物の外面に残留する液体成分も被洗浄物から脱離するので被洗浄物が乾燥される。その結果、被洗浄物の乾燥工程の動作を単純化できる。
【００１１】
また、本発明の乾燥装置は、前記回転嵌合機構が、前記ローターと前記保持治具本体とのいずれか一方に形成された凸部と、前記ローターと前記保持治具本体との他方に形成されて前記ローターに対する前記保持治具の回転動作によって前記凸部が嵌合する凹部とを有することが好ましい。
この場合、ローターに対して保持治具を回転動作することで凸部と凹部とが嵌合してローターに対して保持治具が固定される。その結果、ローターが軸回りに回転した際に保持治具がローターから外れずに支持されるので被洗浄物に好適に遠心力をかけることができる。
【００１２】
また、本発明の乾燥装置は、前記保持治具本体が前記回転搬送部によって把持される把持部を有することが好ましい。
この場合、回転搬送部によって保持治具の把持部が把持されて保持治具が所定軸回りに回転する。従ってローターに対して保持治具を回転動作させることができるので回転嵌合機構によってローターに対して保持治具が嵌合する動作を自動化することができる。
【００１３】
また、本発明の乾燥装置は、前記回転搬送部が、前記所定軸を中心にして径方向へ往復移動可能かつ前記所定軸回りに回転移動可能な二つ以上の把持部材が設けられたチャッキング部を有し、前記把持部が、前記把持部材のそれぞれに摩擦係合可能な係合部を有することが好ましい。
この場合、回転搬送部が把持部をチャッキング部によって把持することができる。この際、把持部材が径方向に移動して係合部に当接し、把持部材と係合部との間に生じる摩擦力によって把持部が支持される。その結果回転搬送部は保持治具を単純な動作で把持して搬送することができる。
【００１４】
また、本発明の乾燥装置は、前記保持部と前記保持治具本体との一方に形成された溝部と、前記保持部と前記保持治具本体との他方に形成されて前記溝部に係合可能な凸条部とをさらに備えることが好ましい。
この場合、保持部と保持治具本体との相対的な回転位置を、溝部と凸条部とが係合する位置で一意に定めることができる。保持部と保持治具本体とが位置決めされ、さらに保持治具本体とローターとが回転嵌合機構によって支持されるので被洗浄物とローターとを好適な位置関係に配置することができる。
【００１５】
また、本発明の乾燥装置は、前記保持部と前記保持治具本体とが一体をなすことが好ましい。
この場合、保持部と保持治具本体とが一体であるのでローターの軸回りの回転動作における振動等によって生じる保持部と保持治具本体との間のブレを抑えることができる。さらに、保持治具に要する部品点数を抑えることができるので、保持治具を製造するための工数を削減することもできる。
【００１６】
本発明の洗浄乾燥装置は、上述の乾燥装置と、前記回転搬送部の可動範囲内に前記被洗浄物を洗浄するための洗浄剤が供給される洗浄槽を備えることが好ましい。
この場合、乾燥装置に備えられた洗浄槽において被洗浄物を洗浄することができ、さらに回転搬送部によって被洗浄物を洗浄槽まで搬送することができる。このため、被洗浄物の洗浄及び乾燥を自動化することができる。
【００１７】
また、本発明の洗浄乾燥装置は、前記回転搬送部の可動範囲内に前記被洗浄物に付着した前記洗浄剤をリンスするリンス液が供給されるリンス槽をさらに備えることが好ましい。
この場合、乾燥装置に備えられたリンス槽において被洗浄物をリンスすることができ、さらに回転搬送部によって被洗浄物をリンス槽まで搬送することができる。このため、被洗浄物の洗浄、リンス、乾燥を自動化することができる。
【００１８】
また、本発明の洗浄乾燥装置は、前記洗浄槽が前記被洗浄物に付着した前記洗浄剤をリンスするリンス液が供給されるリンス槽を兼ねることが好ましい。
この場合、洗浄槽がリンス槽を兼ね、洗浄槽に供給された洗浄液をリンス液と置換することができる。その結果、洗浄及びリンスに要する部品点数を削減すると共に、洗浄槽からリンス槽までの保持治具の搬送に要していた時間が不要となるので洗浄から乾燥にいたる一連の工程に要する時間を削減することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る乾燥装置及び洗浄乾燥装置によれば、保持治具を軸回りに回転させてローターに嵌合固定させる回転嵌合機構を備えることで、単純化された動作で保持治具とローターとを好適に固定させることができるので、光学素子等の被洗浄物の乾燥工程の動作を単純化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第一実施形態の洗浄乾燥装置を示す側面図である。
【図２】同洗浄乾燥装置における保持治具を示す側面図である。
【図３】同保持治具を示す平面図である。
【図４】同洗浄乾燥装置における乾燥装置の一部の構成を示す側面図である。
【図５】同乾燥装置の一部の構成を示す平面図である。
【図６】同乾燥装置に設けられたアダプタの構成を示す平面図である。
【図７】同アダプタの側面図である。
【図８】同保持治具の変形例を示す側面図である。
【図９】図８の保持治具を示す平面図である。
【図１０】図８に示す変形例に対応したアダプタの構成を示す平面図である。
【図１１】図１０に示すアダプタの側面図である。
【図１２】同保持治具の他の変形例を示す側面図である。
【図１３】図１２の保持治具を示す平面図である。
【図１４】図１２に示す変形例に対応したアダプタの構成を示す平面図である。
【図１５】図１４に示すアダプタの側面図である。
【図１６】本発明の第二実施形態の洗浄乾燥装置における保持治具を示す側面図である。
【図１７】同保持治具の平面図である。
【図１８】同洗浄乾燥装置における保持部の構成を示す側面図である。
【図１９】同保持部の下面図である。
【図２０】同洗浄乾燥装置における保持治具本体の変形例を示す側面図である。
【図２１】図２０に示す同保持治具本体の下面図である。
【図２２】同洗浄乾燥装置における保持部の変形例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態の乾燥装置及び洗浄乾燥装置について図１から図１５を参照して説明する。なお、本実施形態では被洗浄物であるレンズや反射鏡、プリズム等の光学素子を洗浄する洗浄乾燥装置を例に本発明の乾燥装置及び洗浄乾燥装置を説明するが、被洗浄物は光学素子に限定されない。
【００２２】
図１は、本実施形態の乾燥装置を搭載する洗浄乾燥装置１を示す図である。図１に示すように、洗浄乾燥装置１は、被洗浄物となる光学素子２（図２参照）を洗浄するための洗浄装置３と、光学素子を乾燥させるための乾燥装置４と、この乾燥装置に対して着脱自在な保持治具５とを備える。
【００２３】
また、本実施形態の洗浄乾燥装置１は、上述の保持治具５をセットする投入部６と、保持治具５を投入部６と、洗浄装置３と、乾燥装置４との間で搬送するための回転搬送部７を筐体１０の内部に備える。
【００２４】
本発明に必須の構成ではないが、洗浄乾燥装置１は、筐体１０の外面を覆う金属あるいは樹脂等からなる図示しないフードと、ＪＩＳ  Ｚ  ８１２２に定義されたＨＥＰＡフィルターを有する防塵機構９とを備え、この防塵機構９を介して外気のろ過を行うことで埃等の異物が洗浄乾燥装置１の内部に侵入して光学素子２の外面等に付着するのを抑制する構成であることが好ましい。
【００２５】
図２及び図３は本実施形態の保持治具５の構成を示す図であり、図２は保持治具５の側面図、図３は保持治具５の平面図である。図２及び図３に示すように保持治具５は、光学素子２を保持するための保持部５１と、保持部が固定支持された保持治具本体５２とを備える。保持治具本体５２には、ステンレス鋼からなる円環状の基台５３と、この基台５３に立設されて保持部５１を支持する支持部５４と、支持部５４に固定され基台５３に略平行な円環状の把持部５５とが設けられている。
【００２６】
また、基台５３には、周縁部から径方向外方に突出するように形成された略円柱状の凸部５６ａ、５６ｂ、５６ｃが、周方向に沿って１２０度ごとに合わせて３箇所設けられている。凸部５６ａ、５６ｂ、５６ｃは基台５３と一体に形成されている。
【００２７】
把持部５５の内周面は滑り止めを有する略平坦な面状で、後述するチャッキング部の把持部材に係合する係合部５７になっている。また円状の係合部の中心Ｏはこの保持治具５を把持部５５側から見たときに基台５３の内側の領域に位置する位置関係になっている。
【００２８】
また、保持部５１は、光学素子２を保持するために互いの開口部が対向する一対の保持溝５１ａ、５１ｂが設けられている。保持溝５１ａ、５１ｂのそれぞれは光学素子の大きさや形状に対応させて適宜の位置関係に配置される。たとえば図に示すように、円形の光学素子２に対してはこの光学素子２の辺縁部における離間した二点のそれぞれが一対の保持溝５１ａ、５１ｂのそれぞれに嵌合するように形成されている。
【００２９】
図１に戻って、投入部６は、光学素子２が保持された保持治具５をセットするための場所で、保持治具５の基台５３が安定して設置される載置台８が設けられている。本発明に必須ではないが、載置台８には、保持具を位置決めして支持するための位置決め機構８ａを設けてもよい。
【００３０】
洗浄装置３は保持治具５に保持された光学素子２を洗浄液やリンス液に浸漬して洗浄及びリンスを行なう装置である。洗浄装置３は、洗浄液３１あるいはリンス液３２を収容するタンク部３３と、洗浄液３１あるいはリンス液３２を貯留可能な洗浄リンス槽３４と、タンク部３３から洗浄リンス槽３４へ洗浄液３１あるいはリンス液３２を送液する液体供給部３５とを備える。
【００３１】
タンク部３３には、洗浄液３１を収容する洗浄液タンク３３ａとリンス液３２を収容するリンス液タンク３３ｂとが設けられている。洗浄液タンク３３ａには洗浄液としてたとえば洗剤液や、あるいは二酸化炭素、水素、オゾン等が溶解された機能水が収容され、リンス液タンク３３ｂにはリンス液３２として純水が供給される。
【００３２】
なお、このような洗浄リンス槽３４としては、たとえば超音波洗浄を行うための超音波振動子を備えたものを採用することができる。また、洗浄リンス槽３４に代えて専ら洗浄を行うために設けられた洗浄槽と、専らリンスを行うために設けられたリンス槽とを備え、液体供給部３５からは洗浄槽とリンス槽とのそれぞれに洗浄液３１あるいはリンス液３２を供給するように構成されてもよい。
【００３３】
乾燥装置４は、光学素子２を回転させて生じる遠心力によって光学素子２の外面に付着した洗浄液３１やリンス液３２等を除去するための装置である。乾燥装置４には、光学素子２を回転させて乾燥させる回転乾燥部４１と、回転乾燥部４１に貯留した洗浄液やリンス液等の液体を排出するための図示しない液体排出路とが設けられている。
【００３４】
図４は、本実施形態の乾燥装置の一部の構成を一部断面で示す側面図である。また、図５は回転乾燥部４１を上面視した図である。回転乾燥部４１には、円筒状の乾燥槽４２と、この乾燥槽４２の内部に配置され略円盤状で中心がローター軸４３の一端に接続されたローター４４と、ローター軸４３の他端に接続されこの回転軸を回転させる駆動部４５とが設けられている。
【００３５】
図４に示すように、駆動部４５には、回転力を発生させるモーター４６と、モーター４６からの回転力を回転軸へ伝達する動力伝達路４７とが設けられている。動力伝達路４７は、モーター４６とローター軸４３とのそれぞれに設けられたプーリー４７ａ、４７ｂとこのプーリー４７ａ、４７ｂとに巻回されたベルト４７ｃとからなる。
【００３６】
また、回転乾燥部４１にはローター４４の回転位置を検出するための回転位置検出部４８が設けられている。回転位置検出部４８には適宜の位置検出機構を採用することができ、たとえば、ローター軸４３からローター軸４３の径方向にせり出した円盤状で一部に切欠あるいは穴が形成された検出板４８と、乾燥槽４２あるいは筐体１０に固定されてこの切欠あるいは穴の位置に応じて信号を発する図示しない接触センサあるいは光センサとを備える構成等を採用することができる。
【００３７】
図４及び図５に示すように、ローター４４には、ローター軸４３回りに１２０度置きに三つのアダプタ６０ａ、６０ｂ、６０ｃが配置されている。アダプタ６０ａ、６０ｂ、６０ｃはローター軸４３から径方向に等距離に配置され、またその他の重量物を含めてこのローター４４の重心がローター軸４３上に位置するように調整されている。
【００３８】
三つのアダプタ６０ａ、６０ｂ、６０ｃは、保持治具５を嵌合させるためのアダプタ６０ａと、保持治具５と略同じ重量、あるいは光学素子２を規定数だけ保持したときの重量となる図示しないバランスを嵌合させるためのアダプタ６０ｂ、６０ｃに分けて設定されている。このバランスは、保持治具５との重量あわせに用いられるものであり、保持治具５の重量に応じて適宜の重量のものに組み替えることができるようになっている。
【００３９】
図６は、本実施形態のアダプタの構成を示す平面図である。また、図７は同アダプタの構成を示す側面図である。図６に示すように、アダプタ６０ａ、６０ｂ、６０ｃは上面視略円環状に形成されている。また、図７に示すように、上述した保持治具本体５２に形成された凸部５６ａ、５６ｂ、５６ｃに回転嵌合する凹部６１ａ、６１ｂ、６１ｃと、この凹部に立設されて凸部５６ａ、５６ｂ、５６ｃをそれぞれ凹部６１ａ、６１ｂ、６１ｃまで案内するガイド６２と、凹部６１ａ、６１ｂ、６１ｃのそれぞれの内側で閉鎖環状の突起を有する摺動レール６３とが設けられている。
【００４０】
凹部６１ａ、６１ｂ、６１ｃは、上述の保持治具本体５２の凸部５６ａ、５６ｂ、５６ｃの外径に略等しく形成され、凸部５６ａ、５６ｂ、５６ｃが摺動自在に係合可能になっている。また、ガイド６２は凹部６１ａ、６１ｂ、６１ｃの開口端部６４ａ、６４ｂ、６４ｃからこの凹部６１ａ、６１ｂ、６１ｃに対して垂直に形成され、開口端部６４ａ、６４ｂ、６４ｃとガイド６２との境界部は平滑であることが好ましい。また、摺動レール６３は保持治具本体５２の基台５３に当接して摺動可能な平滑な摺動面６３ａを有する。
【００４１】
上述のように保持治具５の凸部５６ａ、５６ｂ、５６ｃとアダプタ６０とによって回転嵌合機構１１が構成されている。
【００４２】
図４及び図５に示すように、乾燥槽４２の上面開口部はカバー７０によって封止されている。カバー７０には円形の孔７１が形成されており、この孔７１を介してアダプタ６０ａ、６０ｂ、６０ｃに到達可能な位置関係になっている。また、孔７１の大きさは、保持治具５を乾燥槽４２内に出し入れできる大きさになっている。
【００４３】
また、カバー７０には孔７１を開閉する蓋７２の基端７３が揺動自在に接続されている。さらに蓋の中間部７４とカバー７０の周縁部の一部７６とには伸縮動作するエアシリンダ７５が介在されてこのエアシリンダ７５の伸縮動作によって蓋７２を開閉動作させるようになっている。
【００４４】
液体排出路は図示していないが、乾燥槽４２と外部の排液タンク８０（図１参照）とを連通する適宜の構成とすることができる。たとえば一端が乾燥槽４２の底面に開口し、他端が排液タンク８０に開口した管路とすることができる。なお、廃液タンク８０に代えてこの洗浄乾燥装置１の外に設けられた廃液槽に開口する流路を有する構成としてもよい。
【００４５】
図１に戻って、回転搬送部７には、保持治具５を把持して回転させる回転搬送本体９０と、回転搬送本体９０が固定され、回転搬送本体９０を筐体１０内で自在に移動させる搬送部１００とが設けられている。回転搬送本体９０には、回転軸９１の先端に回転軸９１の軸回りに１２０度置きに配置され、回転軸９１の径方向に進退移動する把持部材９２ａ、９２ｂ、９２ｃを有するチャッキング部９２と、回転軸９１を回転させる回転駆動部９３とが設けられている。把持部材９２ａ、９２ｂ、９２ｃは上述の保持治具５の把持部５５に設けられた係合部５７に当接して摩擦係合可能になっている。
【００４６】
搬送部１００には、互いに直交する３軸線のそれぞれに沿って回転搬送本体９０を進退移動させるモーター１０１が設けられている。また、搬送部１００は少なくともチャッキング部９２を回転乾燥部４１の孔７１に出入り可能なように進退移動する位置関係に配置され、投入部６と洗浄装置３と乾燥装置４との間で回転搬送本体９０を搬送するようになっている。
【００４７】
また、搬送部１００の駆動方式には適宜の構成を採用することができる。たとえば上述の軸線のそれぞれに沿いモーター１０１によって回転するボールねじ１０２等と、回転搬送本体９０に設けられこのボールねじ１０２等に螺合する図示しないボールナットとを有する構成などを挙げることができる。
【００４８】
搬送部１００には、回転搬送本体９０の位置を検知するための図示しない検知機構が設けられている。この検知機構には適宜の構成を採用することができ、たとえば上述のボールねじ方式の搬送部を採用する場合には、モーター１０１の回転量を検出するセンサを備える等の方法を採用することができる。または、検知機構としては搬送された回転搬送本体９０あるいは保持治具５が接触可能な接触センサを設けて回転搬送本体９０の位置を検出する方法でもよいし、あるいは光を発する発光部とこの光を受ける受光部とを有する光センサ機構を備えて回転搬送本体９０あるいは保持治具５が所定の位置に到達したことを検知する方法であってもよい。
【００４９】
なお、回転搬送部７には、保持治具５等に対して規定値以上の押圧力が生じたことを検知してその駆動を停止する安全装置を備えることができる。
【００５０】
以上に説明する構成の、本実施形態の乾燥装置の動作について、図１から図３を参照しながら説明を行う。
まず、作業者は、図２に示すように光学素子２を保持部５１に装着する。本実施形態では光学素子２を保持部５１の保持溝５１ａ、５１ｂに沿うように挿入し、保持部５１によって光学素子２の辺縁部の離間した三点が支持される。このように複数の光学素子をこの保持部に装着して保持治具を乾燥装置本体の載置台に配置する。
作業者は、載置台８上の位置決め機構８ａに対して保持治具５を据え付ける。
【００５１】
本実施形態の位置決め機構８ａはアダプタ６０ａ、６０ｂ、６０ｃと同様の構成であるので、保持治具５の凸部５６ａ、５６ｂ、５６ｃに嵌合する凹部が設けられている。作業者は、保持治具５を位置決め機構８ａのガイドの内側に挿入して摺動レール上に設置し、さらに保持治具５をこの位置決め機構８ａに対して上面視反時計回り方向に回転させることでこの凸部５６ａ、５６ｂ、５６ｃを凹部のそれぞれに嵌合させる。
【００５２】
なお、この作業は、作業者による人手でなされてもよいが、光学素子２の製造工程における適宜の搬送ロボット等によって自動化されることも可能である。このとき、載置台８に位置決め機構８ａが配置されていることで、搬送ロボット等によっても保持治具５を確実に載置台８に据え付けて保持治具５の転倒を防止することができる。
【００５３】
続いて、載置台８に据え付けられた保持治具５を回転搬送部７によって洗浄リンス槽３４まで搬送する搬送工程Ｓ１が開始される。まず、回転搬送部７において回転搬送本体９０が搬送部１００によって載置台８まで搬送される。続いて、図２及び図３に示すように、チャッキング部の把持部材９２ａ、９２ｂ、９２ｃが保持治具５の把持部５５の内側に挿入される。把持部材９２ａ、９２ｂ、９２ｃが把持部５５の内側に挿入されたことが検知機構によって検知されたとき、搬送部１００の動作が停止されて回転搬送本体９０の移動が停止する。
【００５４】
続いて、回転搬送本体９０のチャッキング部９２が駆動され、把持部材９２ａ、９２ｂ、９２ｃのそれぞれが回転軸９１を中心として径方向外方に移動する。把持部材９２ａ、９２ｂ、９２ｃのそれぞれは把持部５５の内側で係合部５７に当接し、さらにチャッキング部９２が駆動されることで把持部材９２ａ、９２ｂ、９２ｃは係合部５７に押圧固定される。このとき、把持部材９２ａ、９２ｂ、９２ｃが回転軸９１から径方向に均等に離間するように移動して係合部５７に当接する過程で把持部材９２ａ、９２ｂ、９２ｃが把持部５５に対して微小に摺動して把持部材９２ａ、９２ｂ、９２ｃのそれぞれが把持部５５を均等に押圧する位置になる。その結果、環状の把持部５５の中心Ｏと回転搬送本体９０の回転軸９１が一致するように位置決めされる。
【００５５】
回転搬送本体９０によって把持された保持治具５は、搬送部１００によって位置決め機構８ａから取り外される。まず、回転軸９１が上面視時計回りに３０度だけ回転して保持治具５の凸部５６ａ、５６ｂ、５６ｃと位置決め機構８ａの凹部との嵌合が外される。その後、搬送部１００によって保持治具５が位置決め機構８ａに対して鉛直上方に引き抜かれ、続いて保持治具５が洗浄リンス槽３４まで搬送される。
【００５６】
洗浄リンス槽３４においては、周知の洗浄方法、たとえば超音波洗浄等がこの保持治具５に保持された光学素子２に対して施される。まず、洗浄リンス槽３４に液体供給部３５によって洗浄液３１が供給され、洗浄液３１に光学素子２が保持された保持治具５が浸漬されて所定の洗浄工程が開始される。このとき、回転搬送部７は保持治具５を把持したままである。
【００５７】
所定の洗浄工程が終了したら、液体供給部３５が駆動されて洗浄リンス槽３４の内部の洗浄液３１が排出され、液体供給部３５によって洗浄リンス槽３４にリンス液３２が供給され、所定のリンス工程Ｓ２が開始される。リンス液３２の供給工程は洗浄液３１の排出の直後に行われ、光学素子２の外面に付着した洗浄液３１が蒸発する前に光学素子２がリンス液３２に浸漬されることが好ましい。このとき、回転搬送部７は保持治具５を把持したままである。
【００５８】
光学素子２の外面の洗浄液３１がリンス液３２に置換され、所定のリンス工程Ｓ２を終了したら、搬送部１００によって保持治具５が洗浄リンス槽３４から引き上げられると共に、液体供給部３５が駆動されて洗浄リンス槽３４の内部のリンス液３２が排出される。なお、洗浄液３１、リンス液３２は一回の洗浄工程やリンス工程ごとに廃棄されるのが好ましいが、適切なろ過・精製工程を備える洗浄液再生機構やリンス液再生機構を備えて洗浄液３１、リンス液３２に含まれる不純物を除去して再利用することも考えられえる。
【００５９】
搬送部１００によって洗浄リンス槽３４から引き上げられた保持治具５は直ちに乾燥装置４の回転乾燥部４１へと搬送され、乾燥工程Ｓ３が開始される。保持治具５は回転乾燥部４１の孔７１から乾燥槽４２の内部へと挿入され、ローター４４に設けられたアダプタ６０ａに据え付けられる。より詳しくは、保持治具５は、アダプタ６０ａ上で立設されたガイド６２の間に保持治具５の凸部５６ａ、５６ｂ、５６ｃのそれぞれが位置するように回転軸９１に沿って挿入される。
【００６０】
続いて保持治具５の基台５３とアダプタ６０ａにおける摺動レール６３の摺動面６３ａが接する位置で搬送部１００が停止する。さらに回転駆動部９３が回転軸９１を上面視反時計回りに回転させ、これによってチャッキング部９２が回転軸９１回りに回転し、チャッキング部９２の把持部材９２ａ、９２ｂ、９２ｃに摩擦係合された把持部５５が回転されることによって保持治具５が回転軸９１回りに回転する。その結果、保持治具５はローター４４に対して反時計回りに回転移動されてアダプタ６０ａを介してローター４４に対して回転嵌合される。
【００６１】
保持治具５がローター４４に対して回転嵌合された後、チャッキング部９２が駆動されて把持部材９２ａ、９２ｂ、９２ｃによる係合部５７への押圧が解除される。続いて把持部材９２ａ、９２ｂ、９２ｃが係合部５７から離間する。この状態で搬送部１００によって回転搬送本体９０が孔７１から取り出される方向に移動して保持治具５がローター４４に嵌合された状態で回転搬送本体９０が乾燥槽４２の外へ退避する。こうして回転嵌合が完了する。
【００６２】
回転搬送本体９０が所定位置まで引き上げられて退避が完了したことが検知されたら、カバー７０と蓋７２とに接続されたエアシリンダ７５が伸長する、すると蓋７２がカバー７０に対して閉方向に旋回して孔７１を封止する。蓋７２によって孔７１が封止された後、モーター４６が駆動され、動力伝達路４７を介してローター軸４３を回転させる。このとき、ローター軸４３の回転は１０００ｒｐｍ〜２０００ｒｐｍの間に設定されることが好ましいが、光学素子２や保持治具５等の強度やローター４４等の重量バランスを考慮したうえで適宜の速度まで速度を速くすることも可能である。
【００６３】
このとき、ローター４４の回転によって保持治具５及び保持治具５に保持された光学素子２には、ローター軸４３から離間する方向への遠心力が生じるので、光学素子２の外面に付着したリンス液３２等が光学素子２から脱離して乾燥槽４２の内壁面に移動し、重力により滴下して乾燥槽４２の底部に貯留して液体排出路を通じて排液タンク８０（あるいは廃液槽）へと排出される。
【００６４】
上述のような所定の乾燥工程が終了したら、モーター４６が減速駆動される。ローター軸４３の回転速度が十分に低下したところで、続いて回転位置検出部４８によってローター４４の回転位置が検出され、ローター４４が所定の初期位置、すなわちカバー７０の孔７１の鉛直下方にアダプタ６０ａが位置する位置に位置決めされて固定される。続いて、エアシリンダ７５を収縮させ、エアシリンダ７５によって蓋７２が牽引されて蓋７２による孔７１の封止が解除される。続いて、蓋７２が開いた状態で回転搬送部７の搬送部１００が駆動され、回転搬送本体９０が孔７１に挿入されてチャッキング部９２が把持部５５に挿入された位置で停止される。さらに上述したように把持部５５がチャッキング部９２の把持部材９２ａ、９２ｂ、９２ｃによって把持される。
【００６５】
続いて、回転軸９１が上面視時計回りに３０度だけ回転する。すると、アダプタ６０ａの凹部６１ａ、６１ｂ、６１ｃから保持治具本体５２の凸部５６ａ、５６ｂ、５６ｃが外される。さらに搬送部１００によって回転搬送本体９０が引き上げられ、保持治具本体５２が孔７１を介して乾燥槽４２の外に引き出される。こうして、乾燥工程Ｓ３が完了する。
【００６６】
保持治具５の把持部５５を把持した回転搬送部７は、図示しない次工程に保持治具５を搬送する。この次工程には、保持治具５の保持部５１に保持された光学素子２の検査工程あるいは手拭きによる仕上げ工程等を挙げることができる。
【００６７】
以上説明したように、本実施形態の乾燥装置４を有する洗浄乾燥装置１によれば、保持治具５を回転軸９１回りに回転させてローター４４に嵌合固定させることで、単純化された動作で保持治具５とローター４４とを好適に固定させることができる。したがって、光学素子２等の被洗浄物の乾燥工程Ｓ３を単純化することができ、さらに保持治具５とローター４４との間での確実な固定が可能となる。
【００６８】
また、保持治具５を回転軸９１回りに回転させることができる回転搬送部７を備えたことで、保持治具５をローター４４のアダプタ６０ａに回転嵌合させる動作を自動化することができる。
【００６９】
また、チャッキング部９２に設けられた把持部材９２ａ、９２ｂ、９２ｃと保持治具本体５２に設けられた係合部５７とが摩擦係合する構成であるため、回転搬送部７が保持治具５を単純な動作で把持して搬送することができる。
【００７０】
また、保持部５１を保持治具本体５２の一部として一体化して構成したことで、保持部５１と保持治具本体５２とのズレが生じないのでローター４４が高速に回転しても保持部５１と保持治具本体５２との間のブレが起こらない。さらに保持部５１と保持治具本体５２とが一体であるのでこの保持治具５を製造する際の工数を保持部５１と保持治具本体５２とを別体で製造するよりも少なくすることができる。
【００７１】
また、回転搬送部７の可動範囲内に載置台８と洗浄リンス槽３４と回転乾燥部４１とを配置したので、載置台８に保持治具５をセットしてから乾燥工程Ｓ３までの一連の工程を自動化することができる。
【００７２】
また、洗浄とリンスを同一の洗浄リンス槽３４の内部で順次行う構成としたので、洗浄及びリンスに要する部品点数を削減すると共に、洗浄槽からリンス槽までの保持治具の搬送に要していた時間が不要となるので洗浄から乾燥にいたる一連の工程に要する時間を削減することができる。
【００７３】
（変形例１）
以下では、本実施形態の保持治具本体及びアダプタの変形例について図８〜図１１を参照して説明する。
図８及び図９は本変形例の保持治具本体を示す図であり、図８は側面図、図９は平面図である。本変形例では、図８及び図９に示すように、保持治具本体５２の基台５３には、凸部５６ａ、５６ｂ、５６ｃに代えて挾持部１５６ａ、１５６ｂ、１５６ｃを備える。また図１０及び図１１に示すように、アダプタ６０ａ、６０ｂ、６０ｃのそれぞれに代えて、挾持部１５６ａ、１５６ｂ、１５６ｃが回転嵌合するアダプタ１６０ａ、１６０ｂ、１６０ｃを備える。
アダプタ１６０ａ、１６０ｂ、１６０ｃは同形同大である。以下アダプタ１６０ａについて図１０及び図１１を参照して説明する。
【００７４】
図１０はアダプタ１６０ａの平面図である。また図１１はアダプタ１６０ａの側面図である。アダプタ１６０ａには、アダプタ６０ａの凹部６１ａ、６１ｂ、６１ｃに代えて挾持部１５６ａ、１５６ｂ、１５６ｃの凹形状部分に対して挿入可能な厚みの凸部１６１ａ、１６１ｂ、１６１ｃが設けられている。また、凸部１６１ａ、１６１ｂ、１６１ｃは円環状のアダプタ１６０ａの周方向に湾曲されて形成されている。
【００７５】
また、本変形例ではアダプタ６０ａのガイド６２に変えてガイド１６２がこの凸部１６１ａ、１６１ｂ、１６１ｃの基端側に立設されている。
【００７６】
上述のような構成であっても、アダプタ１６０ａに対して保持治具５を回転させることで挾持部１５６ａ、１５６ｂ、１５６ｃの凹形状を凸部１６１ａ、１６１ｂ、１６１ｃに回転嵌合させることができ、保持治具５をローター４４に対して固定させることができる。
【００７７】
（変形例２）
以下では、本実施形態の保持治具本体及びアダプタの他の変形例について図１２〜図１５を参照して説明する。
図１２及び図１３は本変形例の保持治具本体を示す図である。本変形例では、図１２及び図１３に示すように、保持治具本体５２の基台５３に設けられた凸部５６ａ、５６ｂ、５６ｃに代えて基台５３に周方向に沿う長孔となる凹部２５６ａ、２５６ｂ、２５６ｃが形成されている。また、ローター４４にはアダプタ６０ａ、６０ｂ、６０ｃに代えて示すアダプタ２６０ａ、２６０ｂ、２６０ｃが設けられている。
【００７８】
アダプタ２６０ａ、２６０ｂ、２６０ｃは同形同大である。以下アダプタ２６０ａについて図１４及び図１５を参照して説明する。図１４はアダプタ２６０ａの平面図であり、図１５はアダプタ１５の側面図である。アダプタ２６０ａは、アダプタ６０ａの凹部６１ａ、６１ｂ、６１ｃに代えて凹部２５６ａ、２５６ｂ、２５６ｃに好適に嵌合するようにアダプタの周方向に沿って湾曲する凸部２６１ａ、２６１ｂ、２６１ｃが設けられている。また、変形例１と同様のガイド１６２を備える。
【００７９】
上述の構成の回転嵌合機構であっても、凹部２５６ａ、２５６ｂ、２５６ｃに凸部２６１ａ、２６１ｂ、２６１ｃが挿入され、アダプタ２６０ａに対して保持治具を回転動作することによって凹部２５６ａ、２５６ｂ、２５６ｃと凸部２６１ａ、２６１ｂ、２６１ｃとが嵌合し、これによって保持治具５がアダプタ２６０ａを介してローター４４に固定される。この回転嵌合機構によっても上述した回転嵌合機構と同様に単純化された動作で保持治具とローターとを好適に固定させることができるので、光学素子等の被洗浄物の乾燥工程の動作を単純化することができる。
【００８０】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態の乾燥装置及び洗浄乾燥装置について図１６から図２２を参照して説明する。なお、以下に説明する各実施形態において、上述した第１実施形態に係る乾燥装置と構成を共通とする箇所には同一符号を付けて、説明を省略することにする。図１６及び図１７は、本実施形態の保持治具本体３５２を示す図であり、図１８及び図１９は本実施形態の保持部３５１を示す図である。
【００８１】
本実施形態の乾燥装置は図１６に示す保持部３５１と図１８に示す保持治具本体３５２とが別体として設けられ、保持部３５１と保持治具本体３５２とが組み合わされて保持治具３５０として使用される点において第一実施形態と構成が異なっている。
【００８２】
図１６に示すように、保持治具本体３５２は支持部５４に代えて柱状の支持部３５４ａ、３５４ｂ、３５４ｃが基台５３に立設されて把持部５５に接続されている。また、支持部３５４ａ、３５４ｂ、３５４ｃの中間部には支持部３５４ａ、３５４ｂ、３５４ｃのそれぞれに接続された円環状の中間支持部３５５が固定されている。さらに、図１７に示すように、保持治具本体の底面にはこの保持治具に保持される光学素子の径よりも小さい隙間を有する網部３５６が設けられている。網部は、網状あるいはスリット状であることが好ましく、本実施形態では基台５３を覆うようにステンレスメッシュを溶接してなる。
【００８３】
また、図１８及び図１９に示すように、保持部３５１は、光学素子２を保持する保持溝５１ａ、５１ｂを有し、さらにこの保持部３５１を保持治具本体３５２の内部で網部３５５に設置するための円環状の底部３５９を有する。
【００８４】
このような構成であっても保持治具本体３５２が回転搬送部７によって把持されて搬送され、保持治具本体３５２が乾燥槽４２のローター４４に設けられたアダプタ６０ａに対して回転嵌合される。すると、第一実施形態と同様に単純化された動作で保持治具とローターとを好適に固定させることができるので、光学素子２等の被洗浄物の乾燥工程の動作を単純化することができる。
【００８５】
また、このように保持部３５１と保持治具本体３５２とを別体とすることで、複数の被洗浄物に対応する保持部から適宜の保持部を選択して保持治具本体３５２に装着して使用することができる。その結果、適宜の保持部に対して保持治具本体３５２を共用することができる。
【００８６】
（変形例３）
以下では、本実施形態の保持治具の変形例について図２０ないし図２２を参照して説明する。
本変形例では、図２０及び図２１に示すように、保持治具本体３５２には保持部３５１の回転位置を位置決めするための一対の凸条部３５７が設けられている。また、保持部３５１にはこの凸条部に係合可能な溝部３５８を有する環状の底部３５９が設けられている。
【００８７】
このような構成にすることで、保持治具本体３５２に対する保持部３５１の回転位置を溝部３５８が凸条部３５７に係合する回転位置で一意に定めることができる。従って、保持治具本体３５２に保持部３５１が装着された状態で保持治具本体３５２の回転搬送部７によって搬送したり保持治具本体３５２をローター４４のアダプタ６０ａに回転嵌合させて回転乾燥させたりした際に保持部３５１の位置ずれを防止することができる。その結果、保持部３５１から光学素子２等の被洗浄物の脱落を防止することができる。
また、乾燥工程における光学素子２の向きをローター軸４３に対して常に一定にすることができ、その結果、洗浄乾燥後の品質を一定にすることができる。
【００８８】
なお、凸条部３５７はこの保持治具本体に対して一つ以上設けられていればよく、この凸条部３５７を支持部３５４ａ、３５４ｂ、３５４ｃの補強として複数配置し、この凸条部に対応するように溝部３５８の配置を変更することもできる。
【００８９】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【００９０】
たとえば、本発明の実施形態の回転乾燥部の動作において、ローター４４を回転させることによる遠心力を用いた方法を採用しているが、これに加えて、乾燥槽４２の内部を減圧することや乾燥槽４２の内部に乾燥空気を導入する方法、あるいは光学素子２の耐久性に影響のない範囲で乾燥槽の内部を加熱する等の乾燥方法を組み合わせることもできる、これによって光学素子２等の乾燥を迅速に行うことができる。
【００９１】
また、本発明では、ローター４４上に配置されたバランスを組み替える動作は省略したが、これは作業者の手作業によってなされることができ、あるいは回転搬送部７によって図示しないバランス置き場から適宜のバランスを搬送してローター４４上のアダプタ６０ｂ、６０ｃに据え付けることもできる。
【００９２】
また、本発明の第一実施形態では三つのアダプタ６０ａ、６０ｂ、６０ｃのうち一つが光学素子保持具の嵌合に用いられ、他の二つはバランスを嵌合させるために用いられる構成を採用したが、これに限らず、バランスがローター４４に直接固定される構成としても本発明と同様の効果を奏することができる。
【符号の説明】
【００９３】
１  洗浄乾燥装置
２  光学素子（被洗浄物）
４  乾燥装置
５、３５０  保持治具
７  回転搬送部
１１  回転嵌合機構
３１  洗浄液
３２  リンス液
３４  洗浄リンス槽
４１  回転乾燥部
４４  ローター
５１、３５１  保持部
５２、３５２  保持治具本体
５５  把持部
５６ａ、５６ｂ、５６ｃ、１６１ａ、１６１ｂ、１６１ｃ、２６１ａ、２６１ｂ、２６１ｃ  凸部
５７  係合部
６１ａ、６１ｂ、６１ｃ、２５６ａ、２５６ｂ、２５６ｃ凹部
９１  回転軸（所定軸）
９２ａ、９２ｂ、９２ｃ  把持部材
９２  チャッキング部
１５６ａ、１５６ｂ、１５６ｃ  挾持部
３５７  凸条部
３５８  溝部
【図１】
0005436968.tif 000002
【図２】
0005436968.tif 000003
【図３】
0005436968.tif 000004
【図４】
0005436968.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
0005436968.tif 000019
【図１９】
0005436968.tif 000020
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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