(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
メインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部の平板状本体部に固着されるフレクシャ基板を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように配置された左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記フレクシャ基板は、前記本体部における前記ディスク面と対向する下面に重合状態で固着されるロードビーム部固着領域と、サスペンション幅方向中央において前記ロードビーム部固着領域から先端側へ延び且つ前記本体部に対して少なくとも先端側が非固着状態とされた長手梁と、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダを支持し且つ前記ディスク面とは反対側の上面が前記中心線上に位置するように前記本体部に形成された第１ディンプルと係合するヘッド搭載領域であって、前記長手梁の先端部よりサスペンション長手方向先端側に位置されたヘッド搭載領域と、前記長手梁の先端部から左右に分岐され且つ先端部において前記ヘッド搭載領域に連結された左右一対の連結梁とを含み、
前記一対の連結梁は、前記長手梁、前記一対の連結梁及び前記ヘッド搭載領域によって囲まれる囲繞領域を介して前記本体部における前記ディスク面と対向する下面の一部が露出するように、前記長手梁及び前記ヘッド搭載領域を連結しており、
前記一対の圧電素子は、先端側が前記囲繞領域を介して前記本体部の下面に重合された状態で接着剤によって固着され且つ基端側が前記一対の連結梁にそれぞれ接着剤によって固着され、
前記本体部には、前記一対の圧電素子が前記本体部に固着される固定位置より基端側で且つ前記中心線上において前記ディスク面に近接する方向へ突出された第２ディンプルが設けられており、
前記第２ディンプルは、前記長手梁又は前記一対の連結梁の前記ディスク面とは反対側の上面に係合していることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
メインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部の平板状本体部に固着されるフレクシャ基板を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように配置された左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記フレクシャ基板は、前記本体部における前記ディスク面と対向する下面に重合状態で固着されるロードビーム部固着領域と、サスペンション幅方向中央において前記ロードビーム部固着領域から先端側へ延び且つ前記本体部に対して少なくとも先端側が非固着状態とされた長手梁と、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダを支持し且つ前記ディスク面とは反対側の上面が前記中心線上に位置するように前記本体部に形成された第１ディンプルと係合するヘッド搭載領域であって、前記長手梁の先端部よりサスペンション長手方向先端側に位置されたヘッド搭載領域と、前記長手梁の先端部から左右に分岐され且つ先端部において前記ヘッド搭載領域に連結された左右一対の連結梁とを含み、
前記フレクシャ部は、前記フレクシャ基板の下面に一体的に設けられた配線構造体を有し、
前記配線構造体は、前記フレクシャ基板の下面に積層される絶縁層と、前記絶縁層の下面に積層される磁気ヘッドスライダ用信号配線と、前記絶縁層の下面に積層される電圧供給配線とを含み、
前記一対の連結梁は、前記一対の圧電素子の基端側よりも基端側において前記長手梁の先端部からサスペンション幅方向外方へ延びる幅方向延在部位と、前記幅方向延在部位の外端部及び前記ヘッド搭載領域を連結する連結部位とを有し、前記長手梁、前記一対の連結梁及び前記ヘッド搭載領域によって囲まれる囲繞領域を介して前記本体部における前記ディスク面と対向する下面の一部が露出するように、前記長手梁及び前記ヘッド搭載領域を連結しており、
前記幅方向延在部位は、前記圧電素子の基端側と対向する先端側のエッジが前記ディスク面とは離間する方向へ折り曲げられた折り曲げ部を形成しており、
前記圧電素子は、圧電素子本体と前記圧電素子本体における前記ディスク面と対向する下面及び前記ディスク面とは反対側の上面にそれぞれに設けられた下面側電極層及び上面側電極層とを有し、
前記一対の圧電素子は、前記上面側電極層の先端側が前記囲繞領域を介して前記本体部の下面に重合された状態で導電性接着剤によって前記本体部の下面に固着され且つ前記下面側電極層の基端側が前記電圧供給配線のうち前記折り曲げ部に位置する部分に導電性接着剤によって電気的に接続されて固着されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記一対の圧電素子は、前記上面側電極層の基端側が前記一対の連結梁における前記ディスク面と対向する下面に重合された状態で絶縁性接着剤によって固着されていることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記一対の圧電素子は、前記囲繞領域内に配置された状態で、基端側が絶縁性接着剤によって前記一対の連結梁にそれぞれ固着されていることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
メインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部の平板状本体部に固着されるフレクシャ基板を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように配置された左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記フレクシャ基板は、前記本体部における前記ディスク面と対向する下面に重合状態で固着されるロードビーム部固着領域と、サスペンション幅方向中央において前記ロードビーム部固着領域から先端側へ延び且つ前記本体部に対して少なくとも先端側が非固着状態とされた長手梁と、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダを支持し且つ前記ディスク面とは反対側の上面が前記中心線上に位置するように前記本体部に形成された第１ディンプルと係合するヘッド搭載領域であって、前記長手梁の先端部よりサスペンション長手方向先端側に位置されたヘッド搭載領域と、前記長手梁の先端部から左右に分岐され且つ先端部において前記ヘッド搭載領域に連結された左右一対の連結梁とを含み、
前記一対の圧電素子は、先端側が前記本体部における上面に重合された状態で接着剤によって固着され且つ基端側が前記本体部に形成された開口を介して前記一対の連結梁に接着剤によって固着されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
前記圧電素子は、圧電素子本体と前記圧電素子本体における前記ディスク面と対向する下面及び前記ディスク面とは反対側の上面にそれぞれに設けられた下面側電極層及び上面側電極層とを有し、
前記下面側電極層の先端側が前記本体部の前記上面に重合された状態で導電性接着剤によって固着され且つ前記下面側電極層の基端側が前記開口を介して前記一対の連結梁の前記上面に重合された状態で絶縁性接着剤によって固着され、
前記上面側電極層の基端側が前記開口及び前記フレクシャ基板に形成された開口を介して前記フレクシャ基板の前記下面に設けられた電圧供給配線に電気的に接続されていることを特徴とする請求項５に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項７】
前記圧電素子は、圧電素子本体と前記圧電素子本体における前記ディスク面と対向する下面及び前記ディスク面とは反対側の上面にそれぞれに設けられた下面側電極層及び上面側電極層とを有し、
前記配線構造体は、前記フレクシャ基板の下面に積層される絶縁層と、前記絶縁層の下面に積層される磁気ヘッドスライダ用信号配線と、前記絶縁層の下面に積層される電圧供給配線とを含み、
前記一対の連結梁は、前記一対の圧電素子の基端側よりも基端側において前記長手梁の先端部からサスペンション幅方向外方へ延びる幅方向延在部位と、前記幅方向延在部位の外端部及び前記ヘッド搭載領域を連結する連結部位とを有し、
前記幅方向延在部位は、前記圧電素子の基端側と対向する先端側のエッジが前記ディスク面とは離間する方向へ折り曲げられた折り曲げ部を形成しており、
前記下面側電極層の先端側が前記本体部の前記上面に重合された状態で導電性接着剤によって固着され且つ前記上面側電極層の基端側が前記開口を介して前記電圧供給配線のうち前記折り曲げ部に位置する部分に導電性接着剤によって電気的に接続されていることを特徴とする請求項５に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項８】
メインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部の平板状本体部に固着されるフレクシャ基板を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように配置された左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記フレクシャ基板は、前記本体部における前記ディスク面と対向する下面に重合状態で固着されるロードビーム部固着領域と、サスペンション幅方向中央において前記ロードビーム部固着領域から先端側へ延び且つ前記本体部に対して少なくとも先端側が非固着状態とされた長手梁と、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダを支持し且つ前記ディスク面とは反対側の上面が前記中心線上に位置するように前記本体部に形成された第１ディンプルと係合するヘッド搭載領域であって、前記長手梁の先端部よりサスペンション長手方向先端側に位置されたヘッド搭載領域と、前記長手梁の先端部から左右に分岐され且つ先端部において前記ヘッド搭載領域に連結された左右一対の連結梁とを含み、前記長手梁のサスペンション幅方向両側において前記本体部の下面が露出されるように配置されており、
前記圧電素子は、圧電素子本体と前記圧電素子本体における前記ディスク面と対向する下面及び前記ディスク面とは反対側の上面にそれぞれに設けられた下面側電極層及び上面側電極層とを有し、
前記一対の圧電素子は、前記上面側電極層の基端側が前記長手梁のサスペンション幅方向両側において前記本体部の下面に重合された状態で導電性接着剤によって前記本体部の下面に固着され且つ先端側が前記一対の連結梁にそれぞれ接着剤によって固着され、
前記本体部には、前記一対の圧電素子が前記本体部に固着される固定位置より先端側で且つ前記中心線上において前記ディスク面に近接する方向へ突出された第２ディンプルが設けられており、
前記第２ディンプルは、前記長手梁又は前記一対の連結梁の前記ディスク面とは反対側の上面に係合していることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項９】
前記一対の圧電素子は、前記上面側電極層の先端側が前記一対の連結梁における前記ディスク面と対向する下面に重合された状態で絶縁性接着剤によって固着されていることを特徴とする請求項８に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１０】
前記フレクシャ部は、前記フレクシャ基板の下面に一体的に設けられた配線構造体を有し、
前記配線構造体は、前記フレクシャ基板の下面に積層される絶縁層と、前記絶縁層の下面に積層される磁気ヘッドスライダ用信号配線と、前記絶縁層の下面に積層される電圧供給配線とを含み、
前記一対の圧電素子の前記下面側電極層は、導電性接着剤によって前記電圧供給配線に電気的に接続されていることを特徴とする請求項８又は９に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１１】
メインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部の平板状本体部に固着されるフレクシャ基板を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように配置された左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記フレクシャ基板は、前記本体部における前記ディスク面と対向する下面に重合状態で固着されるロードビーム部固着領域と、サスペンション幅方向中央において前記ロードビーム部固着領域から先端側へ延び且つ前記本体部に対して少なくとも先端側が非固着状態とされた長手梁と、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダを支持し且つ前記ディスク面とは反対側の上面が前記中心線上に位置するように前記本体部に形成された第１ディンプルと係合するヘッド搭載領域であって、前記長手梁の先端部よりサスペンション長手方向先端側に位置されたヘッド搭載領域と、前記長手梁の先端部から左右に分岐され且つ先端部において前記ヘッド搭載領域に連結された左右一対の連結梁とを含み、前記長手梁のサスペンション幅方向両側において前記本体部の下面が露出されるように配置されており、
前記圧電素子は、圧電素子本体と前記圧電素子本体における前記ディスク面と対向する下面及び前記ディスク面とは反対側の上面にそれぞれに設けられた下面側電極層及び上面側電極層とを有し、
前記一対の圧電素子は、前記上面側電極層の基端側が前記長手梁のサスペンション幅方向両側において前記本体部の下面に重合された状態で導電性接着剤によって前記本体部の下面に固着され且つ先端側が前記一対の連結梁にそれぞれ接着剤によって固着され、
前記フレクシャ部は、前記フレクシャ基板の下面に一体的に設けられた配線構造体を有し、
前記配線構造体は、前記フレクシャ基板の下面に積層される絶縁層と、前記絶縁層の下面に積層される磁気ヘッドスライダ用信号配線と、前記絶縁層の下面に積層される電圧供給配線とを含み、
前記一対の連結梁は、前記一対の圧電素子の先端側よりも先端側において前記長手梁の先端部からサスペンション幅方向外方へ延びる幅方向延在部位と、前記幅方向延在部位の外端部及び前記ヘッド搭載領域を連結する連結部位とを有し、
前記幅方向延在部位は、前記圧電素子の先端側と対向する基端側のエッジが前記ディスク面とは離間する方向へ折り曲げられた折り曲げ部を形成しており、
前記下面側電極層の先端側が、前記電圧供給配線のうち前記折り曲げ部に位置する部分に導電性接着剤によって電気的に接続されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１２】
メインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部の平板状本体部に固着されるフレクシャ基板を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように配置された左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記フレクシャ基板は、前記本体部における前記ディスク面と対向する下面に重合状態で固着されるロードビーム部固着領域と、サスペンション幅方向中央において前記ロードビーム部固着領域から先端側へ延び且つ前記本体部に対して少なくとも先端側が非固着状態とされた長手梁と、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダを支持し且つ前記ディスク面とは反対側の上面が前記中心線上に位置するように前記本体部に形成された第１ディンプルと係合するヘッド搭載領域であって、前記長手梁の先端部よりサスペンション長手方向先端側に位置されたヘッド搭載領域と、前記長手梁の先端部から左右に分岐され且つ先端部において前記ヘッド搭載領域に連結された左右一対の連結梁とを含み、前記長手梁のサスペンション幅方向両側において前記本体部の下面が露出されるように配置されており、
前記一対の圧電素子は、基端側が前記本体部における上面に重合された状態で接着剤によって固着され且つ先端側が前記本体部に形成された開口を介して前記一対の連結梁に接着剤によって固着されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１３】
前記圧電素子は、圧電素子本体と前記圧電素子本体における前記ディスク面と対向する下面及び前記ディスク面とは反対側の上面にそれぞれに設けられた下面側電極層及び上面側電極層とを有し、
前記下面側電極層の基端側が前記本体部の前記上面に重合された状態で導電性接着剤によって固着され且つ前記下面側電極層の先端側が前記開口を介して前記一対の連結梁の前記上面に重合された状態で絶縁性接着剤によって固着され、
前記上面側電極層の先端側が前記開口及び前記フレクシャ基板に形成された開口を介して前記フレクシャ基板の前記下面に設けられた電圧供給配線に電気的に接続されていることを特徴とする請求項１２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１４】
前記圧電素子は、圧電素子本体と前記圧電素子本体における前記ディスク面と対向する下面及び前記ディスク面とは反対側の上面にそれぞれに設けられた下面側電極層及び上面側電極層とを有し、
前記配線構造体は、前記フレクシャ基板の下面に積層される絶縁層と、前記絶縁層の下面に積層される磁気ヘッドスライダ用信号配線と、前記絶縁層の下面に積層される電圧供給配線とを含み、
前記一対の連結梁は、前記一対の圧電素子の先端側よりも先端側において前記長手梁の先端部からサスペンション幅方向外方へ延びる幅方向延在部位と、前記幅方向延在部位の外端部及び前記ヘッド搭載領域を連結する連結部位とを有し、
前記幅方向延在部位は、前記圧電素子の先端側と対向する基端側のエッジが前記ディスク面とは離間する方向へ折り曲げられた折り曲げ部を形成しており、
前記下面側電極層の基端側が前記本体部の前記上面に重合された状態で導電性接着剤によって固着され且つ前記下面側電極層の先端側が前記開口を介して前記電圧供給配線のうち前記折り曲げ部に位置する部分に導電性接着剤によって電気的に接続されていることを特徴とする請求項１２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１５】
前記フレクシャ基板は、前記一対の連結梁よりもサスペンション幅方向外方を通りつつ前記ロードビーム部固着領域及び前記ヘッド搭載領域を連結する左右一対の基端側補強梁をさらに有していることを特徴とする請求項１から１４の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１６】
前記フレクシャ基板は、前記ヘッド搭載領域よりも先端側において前記本体部の下面に重合状態で固着される先端側固着領域と、前記先端側固着領域及び前記ヘッド搭載領域を連結する左右一対の先端側補強梁とをさらに有していることを特徴とする請求項１から１５の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する為の磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置の大容量化に伴って磁気ヘッドスライダの目的トラックに対する位置決め精度のさらなる向上が求められており、その為、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダのシーク方向への粗動に加えて、サブアクチュエータとして作用する圧電素子による磁気ヘッドスライダのシーク方向の微動を可能とした磁気ヘッドサスペンションが提案されている。
【０００３】
例えば、下記特許文献１には、ボイスコイルモータ等にメインアクチュエータよってシーク方向へ駆動される支持部と、押し付け荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持されたロードビーム部と、前記支持部及び前記ロードビーム部の下面（ディスク対向面）に固着されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記フレクシャ部のフレクシャ基板が、前記支持部に固着される支持部固着領域と、前記ロードビーム部に固着されるロードビーム部固着領域と、前記ロードビーム部固着領域から先端側へ延びる左右一対の長手梁と、前記左右一対の長手梁の先端に連結されたヘッド搭載領域とを有しており、前記一対の長手梁に左右一対の圧電素子が固着されている磁気ヘッドサスペンションが開示されている。
【０００４】
この特許文献１に記載の磁気ヘッドサスペンションは、前記メインアクチュエータによって前記磁気ヘッドサスペンション全体をシーク方向へ粗動させることができると共に、前記一対の圧電素子によって前記ヘッド搭載領域をシーク方向へ微動させることができる。
【０００５】
しかしながら、前記一対の圧電素子全体が前記フレクシャ基板における前記一対の長手梁に支持されている為、前記ヘッド搭載領域をシーク方向に移動させる為に前記一対の圧電素子を伸縮動作させる際に、前記一対の圧電素子からの反力が前記フレクシャ基板の基端側（即ち、前記ロードビーム部固着領域及び前記支持部固着領域）に付加されることになり、その結果、前記磁気ヘッドスライダの位置決め精度の悪化や前記磁気ヘッドサスペンションの振動特性の悪化を招く虞があった。
【０００６】
即ち、前記ヘッド搭載領域をロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動させる為に、前記フレクシャ基板は比較的低剛性とされる。従って、前記特許文献１に記載の構成におけるように、前記一対の圧電素子が全体的に前記フレクシャ基板の前記一対の長手梁に支持されていると、前記一対の圧電素子の伸縮動作時に、前記フレクシャ基板のうち前記一対の圧電素子より基端側に位置する部分が反力によって振動又は位置ズレする虞があり、その結果、前記磁気ヘッドスライダの位置決め精度の悪化や前記磁気ヘッドサスペンションの振動特性の悪化を招くという問題が生じる。
【０００７】
又、下記特許文献２にも、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータによって磁気ヘッドサスペンション全体をシーク方向へ粗動させることができると共に、一対の圧電素子によってヘッド搭載領域をシーク方向へ微動させることができる磁気ヘッドサスペンションが提案されている。
【０００８】
しかしながら、この特許文献２に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいても、前記一対の圧電素子の全体がフレクシャ部におけるフレクシャ基板に支持されており、従って、前記特許文献１におけると同様の問題が生じ得る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−２１６７４８号公報
【特許文献２】特開２０１０−１４６６３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータによる粗動に加えて一対の圧電素子による微動を行える磁気ヘッドサスペンションにおいて、前記一対の圧電素子による微動時に振動特性が悪化することを防止又は低減させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、前記目的を達成する為に、メインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部の平板状本体部に固着されるフレクシャ基板を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように配置された左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記フレクシャ基板は、前記本体部における前記ディスク面と対向する下面に重合状態で固着されるロードビーム部固着領域と、サスペンション幅方向中央において前記ロードビーム部固着領域から先端側へ延び且つ前記本体部に対して少なくとも先端側が非固着状態とされた長手梁と、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダを支持し且つ前記ディスク面とは反対側の上面が前記中心線上に位置するように前記本体部に形成された第１ディンプルと係合するヘッド搭載領域であって、前記長手梁の先端部よりサスペンション長手方向先端側に位置されたヘッド搭載領域と、前記長手梁の先端部から左右に分岐され且つ先端部において前記ヘッド搭載領域に連結された左右一対の連結梁とを含み、前記一対の連結梁は、前記長手梁、前記一対の連結梁及び前記ヘッド搭載領域によって囲まれる囲繞領域を介して前記本体部における前記ディスク面と対向する下面の一部が露出するように、前記長手梁及び前記ヘッド搭載領域を連結しており、前記一対の圧電素子は、先端側が前記囲繞領域を介して前記本体部の下面に重合された状態で接着剤によって固着され且つ基端側が前記一対の連結梁にそれぞれ接着剤によって固着され、前記本体部には、前記一対の圧電素子が前記本体部に固着される固定位置より基端側で且つ前記中心線上において前記ディスク面に近接する方向へ突出された第２ディンプルが設けられており、前記第２ディンプルは、前記長手梁又は前記一対の連結梁の前記ディスク面とは反対側の上面に係合している磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００１２】
また、本発明は、メインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部の平板状本体部に固着されるフレクシャ基板を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように配置された左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記フレクシャ基板は、前記本体部における前記ディスク面と対向する下面に重合状態で固着されるロードビーム部固着領域と、サスペンション幅方向中央において前記ロードビーム部固着領域から先端側へ延び且つ前記本体部に対して少なくとも先端側が非固着状態とされた長手梁と、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダを支持し且つ前記ディスク面とは反対側の上面が前記中心線上に位置するように前記本体部に形成された第１ディンプルと係合するヘッド搭載領域であって、前記長手梁の先端部よりサスペンション長手方向先端側に位置されたヘッド搭載領域と、前記長手梁の先端部から左右に分岐され且つ先端部において前記ヘッド搭載領域に連結された左右一対の連結梁とを含み、前記フレクシャ部は、前記フレクシャ基板の下面に一体的に設けられた配線構造体を有し、前記配線構造体は、前記フレクシャ基板の下面に積層される絶縁層と、前記絶縁層の下面に積層される磁気ヘッドスライダ用信号配線と、前記絶縁層の下面に積層される電圧供給配線とを含み、前記一対の連結梁は、前記一対の圧電素子の基端側よりも基端側において前記長手梁の先端部からサスペンション幅方向外方へ延びる幅方向延在部位と、前記幅方向延在部位の外端部及び前記ヘッド搭載領域を連結する連結部位とを有し、前記長手梁、前記一対の連結梁及び前記ヘッド搭載領域によって囲まれる囲繞領域を介して前記本体部における前記ディスク面と対向する下面の一部が露出するように、前記長手梁及び前記ヘッド搭載領域を連結しており、前記幅方向延在部位は、前記圧電素子の基端側と対向する先端側のエッジが前記ディスク面とは離間する方向へ折り曲げられた折り曲げ部を形成しており、前記圧電素子は、圧電素子本体と前記圧電素子本体における前記ディスク面と対向する下面及び前記ディスク面とは反対側の上面にそれぞれに設けられた下面側電極層及び上面側電極層とを有し、前記一対の圧電素子は、前記上面側電極層の先端側が前記囲繞領域を介して前記本体部の下面に重合された状態で導電性接着剤によって前記本体部の下面に固着され且つ前記下面側電極層の基端側が前記電圧供給配線のうち前記折り曲げ部に位置する部分に導電性接着剤によって電気的に接続されて固着されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００１３】
例えば、前記一対の圧電素子は、前記上面側電極層の基端側が前記一対の連結梁における前記ディスク面と対向する下面に重合された状態で絶縁性接着剤によって固着され得る。
これに代えて、前記一対の圧電素子は、前記囲繞領域内に配置された状態で、基端側が絶縁性接着剤によって前記一対の連結梁にそれぞれ固着され得る。
【００１４】
また、本発明は、メインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部の平板状本体部に固着されるフレクシャ基板を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように配置された左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記フレクシャ基板は、前記本体部における前記ディスク面と対向する下面に重合状態で固着されるロードビーム部固着領域と、サスペンション幅方向中央において前記ロードビーム部固着領域から先端側へ延び且つ前記本体部に対して少なくとも先端側が非固着状態とされた長手梁と、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダを支持し且つ前記ディスク面とは反対側の上面が前記中心線上に位置するように前記本体部に形成された第１ディンプルと係合するヘッド搭載領域であって、前記長手梁の先端部よりサスペンション長手方向先端側に位置されたヘッド搭載領域と、前記長手梁の先端部から左右に分岐され且つ先端部において前記ヘッド搭載領域に連結された左右一対の連結梁とを含み、前記一対の圧電素子は、先端側が前記本体部における上面に重合された状態で接着剤によって固着され且つ基端側が前記本体部に形成された開口を介して前記一対の連結梁に接着剤によって固着されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００１５】
例えば、前記圧電素子は、圧電素子本体と前記圧電素子本体における前記ディスク面と対向する下面及び前記ディスク面とは反対側の上面にそれぞれに設けられた下面側電極層及び上面側電極層とを有し得る。
【００１６】
この場合、前記下面側電極層の先端側が前記本体部の前記上面に重合された状態で導電性接着剤によって固着され且つ前記下面側電極層の基端側が前記開口を介して前記一対の連結梁の前記上面に重合された状態で絶縁性接着剤によって固着され、さらに、前記上面側電極層の基端側が前記開口及び前記フレクシャ基板に形成された開口を介して前記フレクシャ基板の前記下面に設けられた電圧供給配線に電気的に接続され得る。
【００１７】
これに代えて、下記構成によって、前記下面側電極層を接地電位としつつ前記上面側電極層を前記電圧供給配線に電気的に接続させることも可能である。
【００１８】
即ち、前記配線構造体は、前記フレクシャ基板の下面に積層される絶縁層と、前記絶縁層の下面に積層される磁気ヘッドスライダ用信号配線と、前記絶縁層の下面に積層される電圧供給配線とを含む。
前記一対の連結梁は、前記一対の圧電素子の基端側よりも基端側において前記長手梁の先端部からサスペンション幅方向外方へ延びる幅方向延在部位と、前記幅方向延在部位の外端部及び前記ヘッド搭載領域を連結する連結部位とを有するものとされる。
【００１９】
前記幅方向延在部位は、前記圧電素子の基端側と対向する先端側のエッジが前記ディスク面とは離間する方向へ折り曲げられて折り曲げ部を形成するものとされる。
そして、前記下面側電極層の先端側が前記本体部の前記上面に重合された状態で導電性接着剤によって固着されつつ、前記下面側電極層の基端側が前記開口を介して前記電圧供給配線のうち前記折り曲げ部に位置する部分に導電性接着剤によって電気的に接続される。
【００２０】
また、本発明は、メインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部の平板状本体部に固着されるフレクシャ基板を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように配置された左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記フレクシャ基板は、前記本体部における前記ディスク面と対向する下面に重合状態で固着されるロードビーム部固着領域と、サスペンション幅方向中央において前記ロードビーム部固着領域から先端側へ延び且つ前記本体部に対して少なくとも先端側が非固着状態とされた長手梁と、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダを支持し且つ前記ディスク面とは反対側の上面が前記中心線上に位置するように前記本体部に形成された第１ディンプルと係合するヘッド搭載領域であって、前記長手梁の先端部よりサスペンション長手方向先端側に位置されたヘッド搭載領域と、前記長手梁の先端部から左右に分岐され且つ先端部において前記ヘッド搭載領域に連結された左右一対の連結梁とを含み、前記長手梁のサスペンション幅方向両側において前記本体部の下面が露出されるように配置されており、前記圧電素子は、圧電素子本体と前記圧電素子本体における前記ディスク面と対向する下面及び前記ディスク面とは反対側の上面にそれぞれに設けられた下面側電極層及び上面側電極層とを有し、前記一対の圧電素子は、前記上面側電極層の基端側が前記長手梁のサスペンション幅方向両側において前記本体部の下面に重合された状態で導電性接着剤によって前記本体部の下面に固着され且つ先端側が前記一対の連結梁にそれぞれ接着剤によって固着され、前記本体部には、前記一対の圧電素子が前記本体部に固着される固定位置より先端側で且つ前記中心線上において前記ディスク面に近接する方向へ突出された第２ディンプルが設けられており、前記第２ディンプルは、前記長手梁又は前記一対の連結梁の前記ディスク面とは反対側の上面に係合している磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００２１】
例えば、前記一対の圧電素子は、前記上面側電極層の先端側が前記一対の連結梁における前記ディスク面と対向する下面に重合された状態で絶縁性接着剤によって固着される。
【００２２】
好ましくは、前記フレクシャ部には、前記フレクシャ基板の下面に一体的に設けられた配線構造体が備えられる。
前記配線構造体は、前記フレクシャ基板の下面に積層される絶縁層と、前記絶縁層の下面に積層される磁気ヘッドスライダ用信号配線と、前記絶縁層の下面に積層される電圧供給配線とを含み得る。前記一対の圧電素子の前記下面側電極層は、導電性接着剤によって前記電圧供給配線に電気的に接続される。
【００２３】
また、本発明は、メインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部の平板状本体部に固着されるフレクシャ基板を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように配置された左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記フレクシャ基板は、前記本体部における前記ディスク面と対向する下面に重合状態で固着されるロードビーム部固着領域と、サスペンション幅方向中央において前記ロードビーム部固着領域から先端側へ延び且つ前記本体部に対して少なくとも先端側が非固着状態とされた長手梁と、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダを支持し且つ前記ディスク面とは反対側の上面が前記中心線上に位置するように前記本体部に形成された第１ディンプルと係合するヘッド搭載領域であって、前記長手梁の先端部よりサスペンション長手方向先端側に位置されたヘッド搭載領域と、前記長手梁の先端部から左右に分岐され且つ先端部において前記ヘッド搭載領域に連結された左右一対の連結梁とを含み、前記長手梁のサスペンション幅方向両側において前記本体部の下面が露出されるように配置されており、前記圧電素子は、圧電素子本体と前記圧電素子本体における前記ディスク面と対向する下面及び前記ディスク面とは反対側の上面にそれぞれに設けられた下面側電極層及び上面側電極層とを有し、前記一対の圧電素子は、前記上面側電極層の基端側が前記長手梁のサスペンション幅方向両側において前記本体部の下面に重合された状態で導電性接着剤によって前記本体部の下面に固着され且つ先端側が前記一対の連結梁にそれぞれ接着剤によって固着され、前記フレクシャ部は、前記フレクシャ基板の下面に一体的に設けられた配線構造体を有し、前記配線構造体は、前記フレクシャ基板の下面に積層される絶縁層と、前記絶縁層の下面に積層される磁気ヘッドスライダ用信号配線と、前記絶縁層の下面に積層される電圧供給配線とを含み、前記一対の連結梁は、前記一対の圧電素子の先端側よりも先端側において前記長手梁の先端部からサスペンション幅方向外方へ延びる幅方向延在部位と、前記幅方向延在部位の外端部及び前記ヘッド搭載領域を連結する連結部位とを有し、前記幅方向延在部位は、前記圧電素子の先端側と対向する基端側のエッジが前記ディスク面とは離間する方向へ折り曲げられた折り曲げ部を形成しており、前記下面側電極層の先端側が、前記電圧供給配線のうち前記折り曲げ部に位置する部分に導電性接着剤によって電気的に接続されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００２４】
また、本発明は、メインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部の平板状本体部に固着されるフレクシャ基板を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように配置された左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記フレクシャ基板は、前記本体部における前記ディスク面と対向する下面に重合状態で固着されるロードビーム部固着領域と、サスペンション幅方向中央において前記ロードビーム部固着領域から先端側へ延び且つ前記本体部に対して少なくとも先端側が非固着状態とされた長手梁と、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダを支持し且つ前記ディスク面とは反対側の上面が前記中心線上に位置するように前記本体部に形成された第１ディンプルと係合するヘッド搭載領域であって、前記長手梁の先端部よりサスペンション長手方向先端側に位置されたヘッド搭載領域と、前記長手梁の先端部から左右に分岐され且つ先端部において前記ヘッド搭載領域に連結された左右一対の連結梁とを含み、前記長手梁のサスペンション幅方向両側において前記本体部の下面が露出されるように配置されており、前記一対の圧電素子は、基端側が前記本体部における上面に重合された状態で接着剤によって固着され且つ先端側が前記本体部に形成された開口を介して前記一対の連結梁に接着剤によって固着されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００２５】
例えば、前記圧電素子は、圧電素子本体と前記圧電素子本体における前記ディスク面と対向する下面及び前記ディスク面とは反対側の上面にそれぞれに設けられた下面側電極層及び上面側電極層とを有し得る。
【００２６】
この場合、前記下面側電極層の基端側が前記本体部の前記上面に重合された状態で導電性接着剤によって固着され且つ前記下面側電極層の先端側が前記開口を介して前記一対の連結梁の前記上面に重合された状態で絶縁性接着剤によって固着され、さらに、前記上面側電極層の先端側が前記開口及び前記フレクシャ基板に形成された開口を介して前記フレクシャ基板の前記下面に設けられた電圧供給配線に電気的に接続され得る。
【００２７】
これに代えて、下記構成によって、前記下面側電極層を接地電位としつつ前記上面側電極層を前記電圧供給配線に電気的に接続させることも可能である。
【００２８】
即ち、前記配線構造体は、前記フレクシャ基板の下面に積層される絶縁層と、前記絶縁層の下面に積層される磁気ヘッドスライダ用信号配線と、前記絶縁層の下面に積層される電圧供給配線とを含む。
前記一対の連結梁は、前記一対の圧電素子の先端側よりも先端側において前記長手梁の先端部からサスペンション幅方向外方へ延びる幅方向延在部位と、前記幅方向延在部位の外端部及び前記ヘッド搭載領域を連結する連結部位とを有するものとされる。
【００２９】
前記幅方向延在部位は、前記圧電素子の先端側と対向する基端側のエッジが前記ディスク面とは離間する方向へ折り曲げられて折り曲げ部を形成するものとされる。
そして、前記下面側電極層の基端側が前記本体部の前記上面に重合された状態で導電性接着剤によって固着されつつ、前記下面側電極層の先端側が前記開口を介して前記電圧供給配線のうち前記折り曲げ部に位置する部分に導電性接着剤によって電気的に接続される。
【００３０】
本発明に係る前記磁気ヘッドサスペンションの何れの構成においても、好ましくは、前記フレクシャ基板は、前記一対の連結梁よりもサスペンション幅方向外方を通りつつ前記ロードビーム部固着領域及び前記ヘッド搭載領域を連結する左右一対の基端側補強梁をさらに有し得る。
【００３１】
これに加えて、又は、代えて、前記フレクシャ基板は、前記ヘッド搭載領域よりも先端側において前記本体部の下面に重合状態で固着される先端側固着領域と、前記先端側固着領域及び前記ヘッド搭載領域を連結する左右一対の先端側補強梁とをさらに有し得る。
【発明の効果】
【００３２】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションにおいては、磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域が、ロードビーム部における平板状の本体部の下面（ディスク対向面）に重合状態で固着されるロードビーム部固着領域からサスペンション幅方向中央において先端側へ延び且つ前記本体部に対して少なくとも先端側が非固着状態とされた長手梁と、前記長手梁の先端部から左右に分岐され且つ先端部においてヘッド搭載領域に連結された左右一対の連結梁とを介して支持されているので、前記ヘッド搭載領域のロール方向及びピッチ方向への柔軟性を有効に向上させることができている。
その上で、一対の圧電素子は、サスペンション長手方向一端側がフレクシャ基板よりも高剛性の前記本体部に固着され且つ他端側が前記一対の連結梁にそれぞれ固着されている。従って、前記一対の圧電素子の伸縮動作に応じて前記ヘッド搭載領域をシーク方向に柔軟に微動させることができると共に、その際に、前記一対の圧電素子の伸縮動作に伴う反力によって前記磁気ヘッドサスペンションの振動特性が悪化することを可及的に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図２】図２は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。
【図３】図３は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの側面図である。
【図４】図４(a)及び(b)は、それぞれ、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおけるフレクシャ部の上面図及び下面図である。
【図５】図５は、図２におけるＶ部拡大図である。
【図６】図６は、図５に示された部分の縦断側面図である。
【図７】図７(a)及び(b)は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおけるフレクシャ基板及び一対の圧電素子の模式平面図であり、それぞれ、前記一対の圧電素子への電圧供給を行っていない初期状態及び前記一対の圧電素子への電圧供給を行っている伸縮状態を示している。
【図８】図８は、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図９】図９は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの部分縦断面図であって、図６に対応した断面図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの部分縦断面図であって、図６及び図９に対応した断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１２】図１２は、前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。
【図１３】図１３は、前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションの側面図である。
【図１４】図１４(a)及び(b)は、それぞれ、前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションにおけるフレクシャ部の上面図及び下面図である。
【図１５】図１５は、図１２におけるＸＶ部拡大図である。
【図１６】図１６は、図１５に示された部分の縦断側面図である。
【図１７】図１７は、本発明の実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１８】図１８(a)及び(b)は、それぞれ、図１７におけるXVIII(a)-XVIII(a)線及びXVIII(b)-XVIII(b)線に沿った断面図である。
【図１９】図１９は、本発明の実施の形態６に係る磁気ヘッドサスペンションの部分縦断面図であって、図１６及び図１８(a)に対応した断面図である。
【図２０】図２０は、本発明の実施の形態７に係る磁気ヘッドサスペンションの部分縦断面図であって、図９に対応した断面図である。
【図２１】図２１は、本発明の実施の形態８に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図２２】図２２は、図２１におけるXXII部拡大図である。
【図２３】図２３は、本発明の実施の形態９に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図２４】図２４は、図２３におけるXXIV部拡大図である。
【図２５】図２５(a)及び(b)は、それぞれ、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの適用可能な一対の圧電素子の第１変形例を厚み方向一方側及び他方側から視た端面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１〜図３に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）、下面図（ディスク面側から視た底面図）及び側面図を示す。なお、図２における○印は溶接点を示している。
【００３５】
図１〜図３に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、メインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部１０と、磁気ヘッドスライダ５０をディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部２０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記支持部１０に支持され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達するロードビーム部３０と、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０に固着されるフレクシャ部４０と、前記磁気ヘッドスライダ５０をシーク方向に微動させる為の左右一対の圧電素子６０とを備えている。
【００３６】
前記支持部１０は、ボイスコイルモータ等の前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
【００３７】
本実施の形態においては、前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
当然ながら、前記支持部１０として、基端部が前記メインアクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。
【００３８】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
【００３９】
本実施の形態においては、図１〜図３に示すように、前記ロードビーム部３０は、平板状の本体部３１と、前記本体部３１の幅方向両端部からディスク面とは反対側に曲げ形成されたフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を確保している。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００４０】
前記本体部３１には、先端部に、前記ディスク面に近接する側へ突出された第１ディンプル３３（１）が形成されている。
前記第１ディンプル３３（１）は、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度の突出高さとされる。
前記第１ディンプル３３（１）は、前記フレクシャ部４０における下記ヘッド搭載領域４１８の上面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重はこの第１ディンプル３３（１）を介して前記ヘッド搭載領域４１８に伝達される。
【００４１】
本実施の形態においては、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記メインアクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０をｚ方向（前記ディスク面と直交する方向）に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。
なお、図１中の符号３５は、前記本体部３１の上面に固着された制振材３５である。
【００４２】
前記荷重曲げ部２０は、基端部が前記支持部１０に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０に連結されており、自己の弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生する。
【００４３】
図１及び図２に示すように、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は、板面が前記ディスク面と対向する状態でサスペンション長手方向中心線ＣＬを挟んで互いに対して離間配置された左右一対の板バネ２１を有している。
【００４４】
好ましくは、前記一対の板バネ２１は、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面に近づく方向に予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ディスク装置に組み込まれる際には、前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面に載置されるように曲げ戻された弾性変形状態とされる。
【００４５】
そして、前記磁気ディスク装置が作動状態となって前記ディスク面が回転すると、前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面の回転に伴う空気圧を受けて前記ディスク面から離間する方向へ浮上し、この磁気ヘッドスライダ５０の浮上動作に応じて前記一対の板バネ２１がさらに曲げ戻されるように弾性変形される。
【００４６】
即ち、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａを前記磁気ディスク装置へ組み込む際の前記板バネ２１の弾性変形及び前記ディスク面の回転に伴う前記磁気ヘッドスライダ５０の浮上動作による前記板バネ２１の弾性変形によって前記板バネ２１は保有弾性を有する状態となり、この保有弾性が前記押し付け荷重として作用する。
【００４７】
前記一対の板バネ２１は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
【００４８】
なお、本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記一対の板バネ２１は、前記ロードビーム部３０と一体形成されている。
即ち、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記ロードビーム部３０及び前記一対の板バネ２１を一体的に形成するロードビーム部／板バネ形成体３００を有している。
【００４９】
図２に示すように、前記形成体３００は、前記ロードビーム部３０と、前記ロードビーム部３０における前記本体部３１のサスペンション幅方向両側から基端側へ延びる前記一対の板バネ２１と、前記一対の板バネ２１から基端側へそれぞれ延びる一対の支持部接合領域３１０とを一体的に有している。
【００５０】
前記形成体３００は、図２に示すように、前記一対の支持部接合領域３１０が前記支持部１０における前記ディスク面と対向する下面の先端側に当接された状態で複数の溶接点でのスポット溶接によって、前記支持部１０に連結されている。
好ましくは、前記スポット溶接は、前記形成体３００の側から行うことができ、これにより、溶接作業の容易化を図ることができる。
【００５１】
図４(a)及び(b)に、それぞれ、前記フレクシャ部４０の上面図及び下面図を示す。
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０の平板状本体部３１に固着されるフレクシャ基板４１０を有している。
【００５２】
図２、図４(a)及び図４(b)に示すように、前記フレクシャ基板４１０は、前記本体部３１の下面に重合状態で固着されるロードビーム部固着領域４１１と、前記ロードビーム部固着領域４１１より先端側に位置し且つ前記磁気ヘッドスライダ５０を支持するヘッド搭載領域４１８とを有している。
【００５３】
好ましくは、前記ロードビーム部固着領域４１１は、図２に示すように、複数の溶接点でのスポット溶接によって前記本体部３１に固着される。
【００５４】
前記ヘッド搭載領域４１８は、図２及び図３に示すように、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダ５０を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４１８の上面には前記第１ディンプル３３（１）が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４１８は前記第１ディンプル３３（１）を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
【００５５】
前記フレクシャ基板４１０は、前記ヘッド搭載領域４１８がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ基板４１０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス等の金属材料によって好適に形成される。
【００５６】
なお、本実施の形態においては、前記フレクシャ基板４１０は、前記支持部１０にも固着されている。
即ち、前記フレクシャ基板４１０は、さらに、前記支持部１０における下面に重合状態で固着される支持部固着領域４１３と、前記ロードビーム部固着領域４１１及び前記支持部固着領域４１３を連結する荷重曲げ部対応領域４１２とを有している。
【００５７】
好ましくは、前記支持部固着領域４１３は、図２に示すように、複数の溶接点でのスポット溶接によって前記支持部１０に固着される。
【００５８】
前記荷重曲げ対応領域４１２は、前記フレクシャ基板４１０が前記荷重曲げ部２０の弾性変形動作に影響を及ぼすことを可及的に防止する為に、サスペンション幅方向に関し前記左右一対の板バネ２１の間に位置した状態で前記ロードビーム部固着領域４１１及び前記支持部固着領域４１３を連結している。
【００５９】
本実施の形態においては、前記フレクシャ部４０は、図２及び図４(b)に示すように、前記磁気ヘッドスライダ５０を外部に電気的に接続させる為の信号配線４３２並びに前記一対の圧電素子６０に電圧を供給する為の電圧供給配線４３３を含む配線構造体４３０を前記フレクシャ基板４１０の下面に一体的に有している。
【００６０】
図５に、図２におけるＶ部拡大図を示す。
詳しくは、前記配線構造体４３０は、図２、図４及び図５に示すように、前記フレクシャ基板４１０の下面に積層される絶縁層４３１と、前記絶縁層４３１の下面に積層される磁気ヘッドスライダ用の前記信号配線４３２と、前記絶縁層４３１の下面に積層される前記電圧供給配線４３３とを含んでいる。
好ましくは、前記配線構造体４３０は、前記信号配線４３２及び前記電圧供給配線４３３を囲繞する絶縁性のカバー層（図示せず）を有し得る。
【００６１】
前記一対の圧電素子６０は、電圧の印可に応じて一方が伸長し且つ他方が短縮することにより、前記磁気ヘッドスライダ５０をシーク方向へ微動させ得るように、サスペンション長手方向中心線ＣＬを挟んで互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように配置されている。
【００６２】
前記圧電素子６０は、例えば、ＰＺＴ（チタン酸ジリコン酸鉛）からなる圧電素子本体と、前記圧電素子本体における下面（ディスク対向面）に固着された下面側電極層と、前記圧電素子本体における上面（前記ディスク面とは反対側の裏面）に固着された上面側電極層とを備え得る。
前記圧電素子本体は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．１ｍｍとされる。
前記電極層は、例えば、例えば厚さ０．０５μｍ〜数μｍのＡｇやＡｕとされる。
【００６３】
本実施の形態においては、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作に応じて前記ヘッド搭載領域４１８を前記ロードビーム部固着領域４１１に対してシーク方向へ移動させつつ、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作時に前記フレクシャ基板４１０が振動又は位置ズレすることを可及的に防止する為に下記構成を備えている。
【００６４】
図６に、図５に示された部分の縦断側面図を示す。
図４〜図６に示すように、前記フレクシャ基板４１０は、前記ヘッド搭載領域４１８を前記ロードビーム部固着領域４１１に連結させる為の連結構造として、前記ロードビーム部固着領域４１１から先端側へ延びる長手梁４１５と、前記長手梁４１５の先端側及び前記ヘッド搭載領域４１８を連結する左右一対の連結梁４１６とを有している。
【００６５】
前記長手梁４１５は、サスペンション幅方向中央においてサスペンション長手方向に沿っており、少なくとも先端側が前記ロードビーム部３０の前記本体部３１に対して相対移動可能なように非固着状態とされている。
【００６６】
前記左右一対の連結梁４１６は、基端部が前記長手梁４１５の先端部から左右に分岐されており、且つ、先端部が前記ヘッド搭載領域４１８に連結されている。
【００６７】
本実施の形態においては、前記一対の連結梁４１６は、前記長手梁４１５、前記一対の連結梁４１６及び前記ヘッド搭載領域４１８によって囲まれる囲繞領域４１７を介して前記本体部３１の下面の一部が露出するように、前記長手梁４１５及び前記ヘッド搭載領域４１８を連結している。
【００６８】
図４及び図５に示すように、前記連結梁４１６は、前記長手梁４１５の先端部からサスペンション幅方向外方へ延びる幅方向延在部位４１６ａと、前記幅方向延在部位の外端部及び前記ヘッド搭載領域を連結する連結部位とを有する。
【００６９】
図示の形態においては、前記連結部位は、前記幅方向延在部位４１６ａの外端部からサスペンション長手方向先端側へ延びる長手方向延在部位４１６ｂと、前記長手方向延在部位４１６ｂの先端部からサスペンション幅方向内方へ延びて前記ヘッド搭載領域４１８に連結される先端側幅方向延在部位４１６ｃとを有している。
【００７０】
この形態においては、左右の前記幅方向延在部位４１６ａ、左右の前記長手方向延在部位４１６ｂ、左右の前記先端側幅方向部位４１６ｃ及び前記ヘッド搭載領域４１８が前記囲繞領域４１７を画する。
【００７１】
そして、前記一対の圧電素子６０は、図５及び図６に示すように、先端側が前記囲繞領域４１７を介して前記本体部３１の下面に重合された状態で接着剤によって固着され且つ基端側が前記一対の連結梁４１６にそれぞれ接着剤によって固着されている。
【００７２】
このように、本実施の形態においては、前記ヘッド搭載領域４１８は、少なくとも先端部が前記ロードビーム部３０に対して相対移動可能とされた前記長手梁４１５及び前記長手梁４１５の先端部に連結された左右一対の前記連結梁４１６によって支持されており、これにより、ロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
【００７３】
その上で、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称に配置され且つ互いに対して伸縮方向が異なる前記一対の圧電素子６０は、先端側が前記フレクシャ基板４１０よりも高剛性である前記ロードビーム部３０の本体部３１に固着され且つ基端側が前記左右一対の連結梁４１６にそれぞれ連結されている。
従って、前記一対の圧電素子６０に電圧を印可すると、前記本体部３１に固着されている先端側が固定された状態で基端側が容易に伸長又は短縮し、これにより、前記ヘッド搭載領域４１８をシーク方向に柔軟に揺動させることができる。
【００７４】
図７(a)及び(b)に、それぞれ、前記一対の圧電素子６０への電圧供給を行っていない初期状態、及び、前記一対の圧電素子６０に対して電圧供給を行っている伸縮状態の模式図を示す。
【００７５】
即ち、前記一対の圧電素子６０に電圧を供給すると、伸長側の圧電素子６０（図７(b)における上側の圧電素子６０）は先端側が前記本体部３１に固着されている為に実質的に移動しない固定状態とされつつ、基端側がサスペンション長手方向基端側へ移動する。
【００７６】
一方、短縮側の圧電素子６０（図７(b)における下側の圧電素子６０）は先端側が前記本体部３１に固着されている為に実質的に移動しない固定状態とされつつ、基端側がサスペンション長手方向先端側へ移動する。
【００７７】
斯かる前記一対の圧電素子６０の伸縮動作（即ち、一方の圧電素子６０の基端側がサスペンション長手方向基端側へ移動し且つ他方の圧電素子６０の基端側がサスペンション長手方向先端側へ移動する動作）によって、前記長手梁４１５及び前記一対の連結梁４１６が弾性変形されつつ、前記ヘッド搭載領域４１８が移動され、これにより、前記ヘッド搭載領域４１８に支持された前記磁気ヘッドスライダ５０を微動させることができる。
【００７８】
この際、前述の通り、前記一対の圧電素子６０の先端側は前記フレクシャ基板４１０よりも高剛性の前記ロードビーム部３０の本体部３１に固着されている為、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作によって生じる反力が前記磁気ヘッドサスペンション１Ａに影響を及ぼすことを可及的に防止又は低減できる。
【００７９】
従って、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作によって前記磁気ヘッドスライダ５０をシーク方向へ柔軟に微動可能としつつ、その際に、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの振動特性が悪化することを可及的に防止又は低減できる。
【００８０】
前述の通り、本実施の形態においては、前記圧電素子６０は、前記圧電素子本体を挟んで対応配置された前記上面側電極層及び前記下面側電極層を有している。
この場合には、好ましくは、図６に示すように、前記上面側電極層の先端側を導電性接着剤７０によって前記本体部３１の下面に固着させることができる。
斯かる構成によれば、前記上面側電極層を接地電位とさせつつ、前記圧電素子６０の先端側を前記本体部３１に固着させることができる。
【００８１】
前記圧電素子６０の基端側の前記連結梁４１６への固着は、前記圧電素子６０の伸縮動作が前記連結梁４１６に伝達される限り、種々の構成をとることができる。
本実施の形態においては、図５及び図６に示すように、前記上面側電極層の基端側が前記一対の連結梁４１６における下面（ディスク対向面）に重合された状態で絶縁性接着剤８０によって固着されている。
【００８２】
又、本実施の形態においては、前述の通り、前記圧電素子６０の前記上面側電極層が接地電位とされている。
この場合には、図５及び図６に示すように、前記下面側電極層を導電性接着剤７０によって前記電圧供給配線４３３に電気的に接続させることができる。
斯かる構成によれば、前記下面側電極層と前記電圧供給配線４３３とを電気的に接続させつつ、前記圧電素子６０の基端部と前記連結梁４１６との機械的な接続強度を向上させることができる。
【００８３】
実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図８に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）を示す。
又、図９に、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｂの部分縦断面図であって、前記実施の形態１における図６に対応した断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００８４】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、図８及び図９に示すように、主として、前記本体部３１に第２ディンプル３３（２）が設けられている点において前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。
【００８５】
前記第２ディンプル３３（２）は、前記一対の圧電素子６０が前記本体部３１に固着される固定位置（本実施の形態においては、前記圧電素子６０の先端側が前記本体部３１に固着される位置）より基端側で且つ前記中心線ＣＬ上に位置されており、前記ディスク面に近接する方向へ突出されて前記長手梁４１５又は前記一対の連結梁４１６の前記ディスク面とは反対側の上面に係合している。
【００８６】
前記第２ディンプル３３（２）を備えることにより、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作によって前記一対の連結梁４１６及び前記長手梁４１５を介して前記ヘッド搭載領域４１８を移動させる際の、前記本体部３１及び前記フレクシャ基板４１０間の摩擦抵抗を低減させることができる。
従って、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作による前記磁気ヘッドスライダ５０の微動をスムースに行うことができる。
【００８７】
なお、本実施の形態においては、図９に示すように、前記一対の圧電素子６０の全体が前記囲繞領域４１７内に配置されており、基端側が絶縁性接着剤８０によって前記一対の連結梁４１６にそれぞれ固着されている。
【００８８】
この場合、好ましくは、図９に示すように、前記連結梁４１６のうち前記圧電素子６０の基端部と対向する部位（前記幅方向延在部位４１６ａ）を前記圧電素子６０の基端部よりサスペンション長手方向基端側に位置させつつ、前記配線構造体４３０における前記絶縁層４３１を前記圧電素子６０の基端側の下面と重合するように前記幅方向延在部位４１６ａよりもサスペンション長手方向先端側へ延在させ、前記圧電素子６０の基端側を前記絶縁層４３１の延在部分に重合させた状態で前記絶縁性接着剤８０によって前記絶縁層４３１の延在部分及び前記幅方向延在部位４１６ａに接着させることができる。
【００８９】
なお、図９に示すように、前記下面側電極層は、前記導電性接着剤７０によって前記電圧供給配線４３３に電気的に接続されている。
【００９０】
好ましくは、前記本体部３１に塗布用開口３８が設けられる。
前記開口３８を設けることによって、前記圧電素子６０の基端側を前記絶縁層４３１の延在部分及び前記連結梁４１６に固着させる為の前記絶縁性接着剤８０の塗布を前記ロードビーム部３０の上面側（前記ディスク面とは反対側）から行うことができる。
【００９１】
実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１０に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃの部分縦断面図であって、前記実施の形態１における図６及び前記実施の形態２における図９に対応した断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１及び２における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００９２】
前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、前記圧電素子６０は前記ロードビーム部３０の本体部３１の下面側に配置されており、前記圧電素子６０の先端側が前記ロードビーム部３０の本体部３１の下面に重合された状態で接着剤によって固着されている。
【００９３】
これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃにおいては、図１０に示すように、前記圧電素子６０は前記本体部３１の上面側に配置されており、前記圧電素子６０の先端側が前記本体部３１の上面に重合された状態で接着剤によって固着されている。
【００９４】
一方、前記フレクシャ基板４１０は、前記実施の形態１及び２におけると同様に、前記本体部３１の下面側に配置されている。
前記本体部３１の上面側に配置されている前記圧電素子６０の基端側を前記本体部３１の下面側に配置されている前記フレクシャ基板４１０における前記連結梁４１６に固着させることを可能とする為に、本実施の形態においては、図１０に示すように、前記本体部３１に開口３９が形成されている。
即ち、前記圧電素子６０の基端側は前記本体部３１に形成された前記開口３９を介して前記連結梁４１６に接着剤によって固着されている。
【００９５】
好ましくは、前記下面側電極層の先端側が前記本体部３１の前記上面に重合された状態で前記導電性接着剤７０によって固着されることで、前記圧電素子６０の先端側が前記本体部３１の上面に電気的に接続された状態で固着される。
【００９６】
又、前記下面側電極層の基端側が前記開口３９を介して前記連結梁４１６の前記上面に重合された状態で絶縁性接着剤８０によって固着されることで、前記圧電素子６０の基端側が前記連結梁４１６の上面に固着される。
【００９７】
そして、前記上面側電極層の基端側が前記開口３９及び前記フレクシャ基板４１０に形成された開口４１９を介して前記フレクシャ基板４１０の下面に設けられた前記電圧供給配線４３３に電気的に接続される。
【００９８】
実施の形態４
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１１〜図１３に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）、下面図（ディスク面側から視た底面図）及び側面図を示す。なお、図１２における○印は溶接点を示している。
図中、前記実施の形態１〜３における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００９９】
前記実施の形態１〜３に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａ〜１Ｃにおいては、前記一対の圧電素子６０の先端側が前記ロードビーム部３０の本体部３１に接着されて実質的に移動不能な固定部とされ、且つ、前記一対の圧電素子６０の基端側が当該圧電素子６０の伸縮動作に応じて移動する移動部として作用している。
【０１００】
これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄは、前記一対の圧電素子６０の基端側が前記ロードビーム部３０の本体部３１に接着されて実質的に移動不能な固定部とされ、且つ、前記一対の圧電素子６０の先端側が当該圧電素子６０の伸縮動作に応じて移動する移動部として作用するように構成されている。
【０１０１】
具体的には、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｄは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａに比して、前記フレクシャ部４０の代わりにフレクシャ部４０Ｄを備えている。
【０１０２】
図１４(a)及び(b)に、それぞれ、前記フレクシャ部４０Ｄの上面図及び下面図を示す。
前記フレクシャ部４０Ｄは、前記フレクシャ基板４１０がフレクシャ基板４１０Ｄに変更されている点において、前記フレクシャ部４０と相違している。  
【０１０３】
図１５に、図１２におけるＸＶ部拡大図を示す。
さらに、図１６に、図１５に示された部分の縦断側面図を示す。
【０１０４】
前記フレクシャ基板４１０Ｄは、図１４(a)、図１４(b)及び図１５に示すように、前記ロードビーム部固着領域４１１と、サスペンション幅方向中央において前記ロードビーム部固着領域から先端側へ延び且つ前記本体部に対して少なくとも先端側が非固着状態とされた長手梁４１５Ｄと、前記ヘッド搭載領域４１８と、前記長手梁４１５Ｄの先端部から左右に分岐され且つ先端部において前記ヘッド搭載領域４１８に連結された左右一対の連結梁４１６Ｄとを含んでいる。
なお、前記フレクシャ基板４１０Ｄは、前記フレクシャ基板４１０と同様に、さらに、前記支持部固着領域４１３及び前記荷重曲げ部対応領域４１２を有している。
【０１０５】
図１２及び図１５に示すように、前記フレクシャ基板４１０Ｄは、前記長手梁４１５Ｄのサスペンション幅方向両側において前記本体部３１の下面が露出されるように配置されている。
【０１０６】
そして、前記一対の圧電素子６０は、基端側が前記長手梁４１５Ｄのサスペンション幅方向両側において前記本体部３１の下面に重合された状態で接着剤によって固着され且つ先端側が前記一対の連結梁４１６Ｄにそれぞれ接着剤によって固着されている。
【０１０７】
斯かる構成の本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄにおいても、前記実施の形態１におけると同様の効果を得ることができる。
即ち、前記ヘッド搭載領域４１８は、少なくとも先端部が前記ロードビーム部３０に対して相対移動可能とされた前記長手梁４１５Ｄ及び前記長手梁４１５Ｄの先端部に連結された左右一対の前記連結梁４１６Ｄによって支持されており、これにより、ロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
【０１０８】
その上で、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称に配置され且つ互いに対して伸縮方向が異なる前記一対の圧電素子６０は、サスペンション長手方向一端側（本実施の形態においては基端側）が前記フレクシャ基板４１０Ｄよりも高剛性である前記ロードビーム部３０の本体部３１に固着され且つサスペンション長手方向他端側（本実施の形態においては先端側）が前記一対の連結梁４１６Ｄにそれぞれ連結されている。
【０１０９】
従って、前記一対の圧電素子６０に電圧を印可すると、前記本体部３１に固着されている基端側が固定された状態で先端側が容易に伸長又は短縮し、これにより、前記ヘッド搭載領域４１８をシーク方向に柔軟に揺動させることができ、さらに、その際に、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｄの振動特性が悪化することを可及的に防止又は低減できる。
【０１１０】
本実施の形態においては、図１６に示すように、前記一対の圧電素子６０は、前記上面側電極層の基端側が前記本体部３１の下面に重合された状態で導電性接着剤７０によって固着されている。
斯かる構成によれば、前記上面側電極層を接地電位とさせつつ、前記圧電素子６０の基端側を前記本体部３１に固着させることができる。
【０１１１】
前記圧電素子６０の先端側の前記連結梁４１６Ｄへの固着は、前記圧電素子６０の伸縮動作が前記連結梁４１６Ｄに伝達される限り、種々の構成をとることができる。
【０１１２】
本実施の形態においては、図１４(a)、図１４(b)及び図１５に示すように、前記連結梁４１６Ｄは、前記長手梁４１５Ｄの先端側からサスペンション幅方向外方へ延びる幅方向延在部位４１６Ｄａと、前記幅方向延在部位４１６Ｄａの外端部からサスペンション長手方向先端側へ延びる長手方向延在部位４１６Ｄｂと、前記長手方向延在部位４１６Ｄｂの先端部からサスペンション幅方向内方へ延びて前記ヘッド搭載領域４１８に連結される先端側幅方向延在部位４１６Ｄｃとを有している。
【０１１３】
この場合、例えば、図１５に示すように、前記上面側電極層の先端側が対応する前記幅方向延在部位４１６Ｄａの下面（ディスク対向面）に重合された状態で絶縁性接着剤８０によって固着されている。
【０１１４】
これに代えて、前記幅方向延在部位４１６Ｄａを前記圧電素子６０の先端部よりサスペンション長手方向先端側に位置させつつ、前記配線構造体４３０における前記絶縁層４３１を前記圧電素子６０の先端側の下面と重合するように前記幅方向延在部位４１６Ｄａよりもサスペンション長手方向基端側へ延在させ、前記圧電素子６０の先端側を前記絶縁層４３１の延在部分に重合させた状態で前記絶縁性接着剤８０によって前記絶縁層４３１の延在部分及び前記幅方向延在部位４１６Ｄａに接着させることも可能である。
【０１１５】
又、本実施の形態においては、前述の通り、前記圧電素子６０の前記上面側電極層が接地電位とされている。
この場合には、図１５及び図１６に示すように、前記下面側電極層を導電性接着剤７０によって前記電圧供給配線４３３に電気的に接続させることができる。
【０１１６】
斯かる構成によれば、前記下面側電極層と前記電圧供給配線４３０とを電気的に接続させつつ、前記圧電素子６０の先端部と前記連結梁４１６Ｄとの機械的な接続強度を向上させることができる。
【０１１７】
実施の形態５
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１７に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｅの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）を示す。
又、図１８(a)及び(b)に、それぞれ、図１７におけるXVIII(a)-XVIII(a)線及びXVIII(b)-XVIII(b)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜５における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１１８】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｅは、図１７、図１８(a)及び図１８(b)に示すように、主として、前記本体部３１に前記第２ディンプル３３（２）が設けられている点において前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄと相違している。
【０１１９】
前記第２ディンプル３３（２）は、前記一対の圧電素子６０が前記本体部３１に固着される固定位置（本実施の形態においては、前記圧電素子６０の基端側が前記本体部６０に固着される位置）より先端側で且つ前記中心線上に位置されており、前記ディスク面に近接する方向へ突出されて前記長手梁４１５Ｄ又は前記一対の連結梁４１６Ｄの前記ディスク面とは反対側の上面に係合している。
【０１２０】
前記第２ディンプル３３（２）を備えることにより、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作によって前記一対の連結梁４１６Ｄ及び前記長手梁４１５Ｄを介して前記ヘッド搭載領域４１８を移動させる際の、前記本体部３１及び前記フレクシャ基板４１０Ｄ間の摩擦抵抗を低減させることができる。
従って、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作による前記磁気ヘッドスライダ５０の微動をスムースに行うことができる。
【０１２１】
なお、本実施の形態においては、図１(a)８に示すように、前記一対の圧電素子６０の先端側は、前記連結梁４１６Ｄの前記幅方向延在部位４１６Ｄａの下面に重合された状態で絶縁性接着剤８０によって固着されている、
【０１２２】
これに代えて、前記幅方向延在部位４１６Ｄａを前記圧電素子６０の先端部よりサスペンション長手方向先端側に位置させつつ、前記配線構造体４３０における前記絶縁層４３１を前記圧電素子６０の先端側の下面と重合するように前記幅方向延在部位４１６Ｄａよりもサスペンション長手方向基端側へ延在させ、前記圧電素子６０の先端側を前記絶縁層の延在部分に重合させた状態で前記絶縁性接着剤８０によって前記絶縁層４３１の延在部分及び前記幅方向延在部位４１６Ｄａに接着させることができる。
【０１２３】
なお、図１８(a)に示すように、前記下面側電極層は、前記導電性接着剤７０によって前記電圧供給配線４３３に電気的に接続されている。
【０１２４】
実施の形態６
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１９に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｆの部分縦断面図であって、前記実施の形態４における図１６及び前記実施の形態５における図１８(a)に対応した断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜５における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１２５】
前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄにおいては、前記圧電素子６０は前記ロードビーム部３０の本体部３１の下面側に配置されており、前記圧電素子６０の基端側が前記本体部３１の下面に重合された状態で接着剤によって固着されている。
【０１２６】
これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｆにおいては、図１９に示すように、前記圧電素子６０は前記本体部３１の上面側に配置されており、前記圧電素子６０の基端側が前記本体部３１の上面に重合された状態で接着剤によって固着されている。
【０１２７】
一方、前記フレクシャ基板４１０Ｄは、前記実施の形態４及び５におけると同様に、前記本体部３１の下面側に配置されている。
前記本体部３１の上面側に配置されている前記圧電素子６０の先端側を前記本体部３１の下面側に配置されている前記フレクシャ基板４１０Ｄにおける前記一対の連結梁４１６Ｄに固着させることを可能とする為に、本実施の形態においては、図１９に示すように、前記本体部３１に開口３９が形成されている。
即ち、前記圧電素子６０の先端側は前記本体部３１に形成された前記開口３９を介して前記連結梁４１６Ｄに接着剤によって固着されている。
【０１２８】
好ましくは、前記下面側電極層の基端側が前記本体部３１の前記上面に重合された状態で前記導電性接着剤７０によって固着されることで、前記圧電素子６０の基端側が前記本体部３１の上面に固着される。
【０１２９】
又、前記下面側電極層の先端側が前記開口３９を介して前記一対の連結梁４１６Ｄの上面に重合された状態で絶縁性接着剤８０によって固着されることで、前記圧電素子６０の先端側が前記一対の連結梁４１６Ｄの上面に固着される。
【０１３０】
そして、前記上面側電極層の先端側が前記開口３９及び前記フレクシャ基板４１０Ｄに形成された開口４１９を介して前記フレクシャ基板４１０Ｄの下面に設けられた前記電圧供給配線４３３に電気的に接続される。
【０１３１】
実施の形態７
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図２０に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｇの部分縦断面図であって、前記実施の形態２における図９に対応した断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜６における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１３２】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｇは、前記圧電素子６０における電圧供給側の電極層（本実施の形態においては下面側電極層）とフレクシャ部４０Ｇに備えられた電圧供給配線４３３との接続構造に関し、実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂと相違している。
【０１３３】
具体的には、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｇは、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂに比して、前記フレクシャ部４０の代わりにフレクシャ部４０Ｇを有している。
【０１３４】
前記フレクシャ部４０Ｇは、前記フレクシャ基板４１０がフレクシャ基板４１０Ｇに変更されている点において、前記フレクシャ部４０と相違している。
【０１３５】
前記フレクシャ基板４１０Ｇは、前記幅方向延在部位４１６ａにおける前記圧電素子６０と対向するエッジが前記ディスク面とは反対側へ折り曲げられた折り曲げ部４２０を形成している点において、前記フレクシャ基板４１０と相違している。
【０１３６】
斯かる構成において、図２０に示すように、前記圧電素子６０における電圧供給側の電極層（本実施の形態においては前記下面側電極層）が、前記電圧供給配線４３３のうち前記折り曲げ部４２０に位置する部分に導電性接着剤７０によって電気的に接続されている。
【０１３７】
本実施の形態によれば、前記圧電素子６０の対応する前記連結梁４１６への固着と、前記圧電素子６０における電圧供給側電極層の前記電圧供給配線４３３への電気的接続とを、前記導電性接着剤７０によって行うことができる為、組み付け作業効率の向上を図ることができる。
【０１３８】
なお、本実施の形態においては、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂに前記折り曲げ部４２０を適用した場合を例に説明したが、前記折り曲げ部４２０は前記実施の形態１、前記実施の形態４及び前記実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａ、１Ｄ、１Ｅに適用することも可能である。
【０１３９】
実施の形態８
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図２１に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｈの上面図を示す。
又、図２２に、図２１におけるXXII部拡大図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜７における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１４０】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｈは、前記ロードビーム部固着領域４１１及び前記ヘッド搭載領域４１８が、前記長手梁４１５及び前記一対の連結梁４１６によって連結されつつ、さらに、左右一対の基端側補強梁４２１によっても連結されている点において、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。
【０１４１】
具体的には、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｈは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａに比して、前記フレクシャ部４０の代わりにフレクシャ部４０Ｈを有している。
前記フレクシャ部４０Ｈは、前記フレクシャ部４０に比して、前記フレクシャ基板４１０の代わりにフレクシャ基板４１０Ｈを有している。
【０１４２】
前記フレクシャ基板４１０Ｈは、図２２に示すように、前記ロードビーム部固着領域４１１、前記長手梁４１５、前記一対の連結梁４１６及び前記ヘッド搭載領域４１８に加えて、前記一対の基端側補強梁４２１を有している。
【０１４３】
前記基端側補強梁４２１は、前記一対の連結梁４１６よりもサスペンション幅方向外方を通りつつ前記ロードビーム部固着領域４１１及び前記ヘッド搭載領域４１８を連結するように構成されている。
【０１４４】
前記一対の基端側補強梁４２１を備えることによって、前記ヘッド搭載領域４１８が前記第１ディンプル３３（１）に対して押し付けられる力を増加させることができ、これにより、前記ヘッド搭載領域４１８の姿勢安定化、特には、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ｈを前記メインアクチュエータによって揺動させて前記リフトタブ３４を前記ランプに係合させる際の退避時における姿勢安定化を図ることができる。
【０１４５】
なお、本実施の形態においては、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて前記一対の基端側補強梁４２１を備えた場合を例に説明したが、前記実施の形態１〜７の何れにも前記一対の基端側補強梁４２１を備えることができる。
【０１４６】
実施の形態９
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図２３に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｉの上面図を示す。
又、図２４に、図２３におけるXXIV部拡大図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜８における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１４７】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｉは、前記ヘッド搭載領域４１８が、前記長手梁４１５及び前記一対の連結梁４１６によって前記ロードビーム部固着領域４１１に連結されつつ、さらに、下記先端側固着領域４２５にも連結されている点において、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。
【０１４８】
具体的には、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｉは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａに比して、前記フレクシャ部４０の代わりにフレクシャ部４０Ｉを有している。
前記フレクシャ部４０Ｉは、前記フレクシャ部４０に比して、前記フレクシャ基板４１０の代わりにフレクシャ基板４１０Ｉを有している。
【０１４９】
前記フレクシャ基板４１０Ｉは、図２４に示すように、前記ロードビーム部固着領域４１１、前記長手梁４１５、前記一対の連結梁４１６及び前記ヘッド搭載領域４１８に加えて、前記ヘッド搭載領域４１８よりも先端側において前記本体部３１の下面に重合状態で固着される前記先端側固着領域４２５と、前記先端側固着領域４２５及び前記ヘッド搭載領域４１８を連結する左右一対の先端側補強梁４２６とをさらに有している。
【０１５０】
前記先端側固着領域４２５及び前記一対の先端側補強梁４２６を備えることによって、前記ヘッド搭載領域４１８が前記第１ディンプル３３（１）に対して押し付けられる力を増加させることができ、これにより、前記ヘッド搭載領域４１８の姿勢安定化、特には、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ｉを前記メインアクチュエータによって揺動させて前記リフトタブ３４を前記ランプに係合させる際の退避時における姿勢安定化を図ることができる。
【０１５１】
なお、本実施の形態においては、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおいて前記先端側固着領域４２５及び前記一対の先端側補強梁４２６を備えた場合を例に説明したが、前記実施の形態１〜８の何れにも前記先端側固着領域４２５及び前記一対の先端側補強梁４２６を備えることができる。
【０１５２】
又、前記各実施の形態においては、前記一対の圧電素子６０が互いに対して別体とされている構成を例に説明したが、本発明は斯かる構成に限定されるものではない。
【０１５３】
図２５(a)及び(b)に、それぞれ、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションに用い得る一対の圧電素子の第１変形例６１を厚み方向一方側及び他方側から視た平面図を示す。
前記第１変形例６１は、共通の圧電素子本体６１０と、前記圧電素子本体６１０の厚み方向一方側の端面に並列に配置された第１圧電素子用電極層６１１（１）及び第２圧電素子用電極層６１１（２）と、前記圧電素子本体６１０の厚み方向他方側の端面に配置された共通電極層６１２とを備えている。
【０１５４】
又、前記各実施の形態における前記圧電素子６０及び前記第１変形例に係る圧電素子６１においては、圧電素子本体の厚み方向一方側の端面には一対の電極層の一方だけが配置され、且つ、他方側の他面には一対の電極層の他方だけが配置されているが、これらとは異なる第２変形例に係る圧電素子を用いることも可能である。
【０１５５】
即ち、前記第２変形例においては、一方の第１電極層には、圧電素子本体に埋め込まれた埋め込み領域と前記圧電素子本体の外表面に設けられた第１電極層用外部接続領域とが備えられる。他方の第２電極層には、前記埋め込み領域と対向するように前記圧電素子本体の厚み方向両端面に配置された一対の第２電極層用外部接続領域が備えられる。そして、前記第１電極層用外部接続領域は前記第２電極層用外部接続領域とは電気的に遮断された状態で前記圧電素子本体の厚み方向両側の少なくとも一方の端面に配置させる。
この場合、前記圧電素子本体における厚み方向両端面の少なくとも一方には、一対の第１及び第２電極層の双方が配置されることになる。
【符号の説明】
【０１５６】
１Ａ〜１Ｉ    磁気ヘッドサスペンション
１０          支持部
２０          荷重曲げ部
２１          弾性板
３０          ロードビーム部
３１          本体部
３３（１）    第１ディンプル
３３（２）    第２ディンプル
３９          本体部の開口
４０          フレクシャ部
５０          磁気ヘッドスライダ
６０          圧電素子
７０          導電性接着剤
８０          絶縁性接着剤
４１０        フレクシャ基板
４１１        ロードビーム部重合領域
４１５        長手梁
４１６        連結梁
４１６ａ      幅方向延在部位
４１７        囲繞領域
４１８        ヘッド搭載領域
４１９        フレクシャ基板の開口
４２０        折り曲げ部
４２１        基端側補強梁
４２５        先端側固着領域
４２６        先端側補強梁
４３０        配線構造体
４３１        絶縁層
４３２        信号配線
４３３        電圧供給配線
ＣＬ          サスペンション長手方向中心線
【図１】
0005634440.tif 000002
【図２】
0005634440.tif 000003
【図３】
0005634440.tif 000004
【図４】
0005634440.tif 000005
【図５】
0005634440.tif 000006
【図６】
0005634440.tif 000007
【図７】
0005634440.tif 000008
【図８】
0005634440.tif 000009
【図９】
0005634440.tif 000010
【図１０】
0005634440.tif 000011
【図１１】
0005634440.tif 000012
【図１２】
0005634440.tif 000013
【図１３】
0005634440.tif 000014
【図１４】
0005634440.tif 000015
【図１５】
0005634440.tif 000016
【図１６】
0005634440.tif 000017
【図１７】
0005634440.tif 000018
【図１８】
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【図１９】
0005634440.tif 000020
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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