(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板上に酸化物半導体薄膜を形成し、
前記酸化物半導体薄膜の第１領域上に積層されたゲート絶縁膜及びゲート電極を形成するとともに、前記酸化物半導体薄膜の前記第１領域を挟んだ両側に位置する第２領域及び第３領域を前記ゲート絶縁膜から露出し、
前記酸化物半導体薄膜の前記第２領域及び前記第３領域、前記ゲート絶縁膜、及び、前記ゲート電極を覆う窒化シリコン（ＳｉＮ）からなる層間絶縁膜を形成し、
前記層間絶縁膜に、前記第２領域に到達する第１コンタクトホール及び前記第３領域に到達する第２コンタクトホールを形成し、
前記第１コンタクトホールから前記第２領域にコンタクトしたソース電極、及び、前記第２コンタクトホールから前記第３領域にコンタクトしたドレイン電極を形成する、薄膜トランジスタ回路基板の製造方法であって、
前記層間絶縁膜は、単層もしくは積層構造とし、少なくとも前記酸化物半導体薄膜の上は、シリコンのダングリングボンドを含む窒化シリコンからなり、前記窒化シリコンと前記酸化物半導体薄膜とが接触する領域で前記窒化シリコンの底面側の酸素濃度がその中心部分の酸素濃度よりも高いことを特徴とする薄膜トランジスタ回路基板の製造方法。
【請求項２】
前記層間絶縁膜は、プラズマＣＶＤ法を用いて形成することを特徴とする請求項１に記載の薄膜トランジスタ回路基板の製造方法。
【請求項３】
前記層間絶縁膜によって覆われた前記酸化物半導体薄膜において、前記第２領域及び前記第３領域の酸素濃度は、前記第１領域の酸素濃度よりも低いことを特徴とする請求項１または２に記載の薄膜トランジスタ回路基板の製造方法。
【請求項４】
前記酸化物半導体薄膜は、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）、亜鉛（Ｚｎ）の少なくとも１つを含む酸化物によって形成されたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタ回路基板の製造方法。
【請求項５】
絶縁基板上に形成され、第１領域と、前記第１領域を挟んだ両側に形成され前記第１領域よりも低抵抗な第２領域及び第３領域と、を有する酸化物半導体薄膜と、
前記酸化物半導体薄膜の前記第１領域上に形成されるとともに前記第２領域及び前記第３領域を露出するゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜の上に形成されたゲート電極と、
前記酸化物半導体薄膜の前記第２領域及び前記第３領域、前記ゲート絶縁膜、及び、前記ゲート電極を覆うとともに、前記第２領域に到達する第１コンタクトホール及び前記第３領域に到達する第２コンタクトホールが形成された窒化シリコン（ＳｉＮ）からなる層間絶縁膜と、
前記第１コンタクトホールから前記第２領域にコンタクトしたソース電極と、
前記第２コンタクトホールから前記第３領域にコンタクトしたドレイン電極と、
を備え、
前記層間絶縁膜は、単層もしくは積層構造とし、少なくとも前記酸化物半導体薄膜の上は、シリコンのダングリングボンドを含む窒化シリコンからなり、前記窒化シリコンと前記酸化物半導体薄膜とが接触する領域で前記窒化シリコンの底面側の酸素濃度がその中心部分の酸素濃度よりも高いことを特徴とする薄膜トランジスタ回路基板。
【請求項６】
前記酸化物半導体薄膜において、前記第２領域及び前記第３領域の酸素濃度は、前記第１領域の酸素濃度よりも低いことを特徴とする請求項５に記載の薄膜トランジスタ回路基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、薄膜トランジスタ回路基板及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄膜トランジスタ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：以下、単にＴＦＴと称する場合がある）は、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置等の各種平面表示装置に広く用いられている。
【０００３】
最近では、ＴＦＴのチャネル層に適用し得る材料として、酸化物半導体が注目されてきている。例えば、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系（以下ＩＧＺＯ）のアモルファス酸化物を半導体層として用いたＴＦＴの開発が活発に行われている。このようなＩＧＺＯなどの酸化物半導体薄膜を備えたＴＦＴは、構造上作製が容易な逆スタガ型つまりボトムゲート構造を採る場合が多い。
【０００４】
しかしながら、酸化物半導体薄膜を備えたＴＦＴを表示デバイスに適用した場合などにおいては、逆スタガ型では二つの問題があった。一つは、ＴＦＴの構造上、チャネル長を小さくすることができず、回路面積を小さくすること及び高性能化（ＯＮ電流の向上）が難しいという問題がある。また、逆スタガ型では、バックチャネル側の保護が必要となり、保護しなかった場合には、ＴＦＴ形成後のプロセスにおいてチャネル部の酸化物半導体の膜中酸素量が変動するため、トランジスタ特性が不安定になってしまうという問題がある。具体的には、チャネル部が抵抗体となってしまい、スイッチング素子と機能しなかったり、ＴＦＴの閾値電圧が大きく変動してしまったりするという不具合が発生しやすい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１９９３０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本実施形態の目的は、製造コストの削減が可能であるとともに、安定したトランジスタ特性を得ることが可能な薄膜トランジスタ回路基板及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本実施形態によれば、
絶縁基板上に酸化物半導体薄膜を形成し、前記酸化物半導体薄膜の第１領域上に積層されたゲート絶縁膜及びゲート電極を形成するとともに、前記酸化物半導体薄膜の前記第１領域を挟んだ両側に位置する第２領域及び第３領域を前記ゲート絶縁膜から露出し、前記酸化物半導体薄膜の前記第２領域及び前記第３領域、前記ゲート絶縁膜、及び、前記ゲート電極を覆う窒化シリコン（ＳｉＮ）からなる層間絶縁膜を形成し、前記層間絶縁膜に、前記第２領域に到達する第１コンタクトホール及び前記第３領域に到達する第２コンタクトホールを形成し、前記第１コンタクトホールから前記第２領域にコンタクトしたソース電極、及び、前記第２コンタクトホールから前記第３領域にコンタクトしたドレイン電極を形成する、ことを特徴とする薄膜トランジスタ回路基板の製造方法が提供される。
【０００８】
本実施形態によれば、
絶縁基板上に形成され、第１領域と、前記第１領域を挟んだ両側に形成され前記第１領域よりも低抵抗な第２領域及び第３領域と、を有する酸化物半導体薄膜と、前記酸化物半導体薄膜の前記第１領域上に形成されるとともに前記第２領域及び前記第３領域を露出するゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜の上に形成されたゲート電極と、前記酸化物半導体薄膜の前記第２領域及び前記第３領域、前記ゲート絶縁膜、及び、前記ゲート電極を覆うとともに、前記第２領域に到達する第１コンタクトホール及び前記第３領域に到達する第２コンタクトホールが形成された窒化シリコン（ＳｉＮ）からなる層間絶縁膜と、前記第１コンタクトホールから前記第２領域にコンタクトしたソース電極と、前記第２コンタクトホールから前記第３領域にコンタクトしたドレイン電極と、を備えたことを特徴とする薄膜トランジスタ回路基板が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、本実施形態における薄膜トランジスタ回路基板の構成を概略的に示す断面図である。
【図２】図２は、本実施形態における薄膜トランジスタ回路基板の製造方法を説明するための図である。
【図３】図３は、本実施形態における薄膜トランジスタ回路基板の製造方法を説明するための図である。
【図４】図４は、第１層間絶縁膜の形成過程を説明するための図である。
【図５】図５は、第１層間絶縁膜が形成されるのに伴って酸化物半導体薄膜を低抵抗化する過程を説明するための図である。
【図６】図６は、本実施形態における薄膜トランジスタ回路基板の製造方法を説明するための図である。
【図７】図７は、シリコンのダングリングボンドをより多く含む窒化シリコン膜の形成条件の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において、同一又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１１】
図１は、本実施形態における薄膜トランジスタ回路基板１の構成を概略的に示す断面図である。
【００１２】
すなわち、薄膜トランジスタ回路基板１は、ガラス基板やプラスチック基板などの光透過性を有する絶縁基板１０を用いて形成されている。この薄膜トランジスタ回路基板１は、絶縁基板１０の上に形成された薄膜トランジスタＡを備えている。このような薄膜トランジスタ回路基板１は、液晶装置や有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）装置などのアレイ基板として適用可能であり、液晶素子や有機ＥＬ素子を構成する画素電極（図示せず）を備えている。薄膜トランジスタＡは、画素電極と電気的に接続されている。
【００１３】
絶縁基板１０の上には、アンダーコート層１１が形成されている。このアンダーコート層１１は、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ）、窒化シリコン（ＳｉＮ）によって形成されている。アンダーコート層１１の上には、薄膜トランジスタＡを構成する酸化物半導体薄膜ＳＣが形成されている。
【００１４】
このような酸化物半導体薄膜ＳＣは、例えば、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）、亜鉛（Ｚｎ）の少なくとも１つを含む酸化物によって形成されている。酸化物半導体薄膜ＳＣを形成する代表的な例としては、例えば、酸化インジウムガリウム亜鉛（ＩＧＺＯ）、酸化インジウムガリウム（ＩＧＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）、酸化亜鉛スズ（ＺｎＳｎＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）などが挙げられる。
【００１５】
この酸化物半導体薄膜ＳＣは、比較的高抵抗な第１領域ＳＣＣと、この第１領域ＳＣＣよりも低抵抗であって第１領域ＳＣＣを挟んだ両側にそれぞれ形成された第２領域ＳＣＳ及び第３領域ＳＣＤと、を有している。このような第１領域ＳＣＣはチャネル領域あるいは高抵抗領域と称する場合もあるし、第２領域ＳＣＳはソース領域あるいは低抵抗領域と称する場合もあるし、第３領域ＳＣＤはドレイン領域あるいは低抵抗領域と称する場合もある。
【００１６】
このような酸化物半導体薄膜ＳＣにおいて、第２領域ＳＣＳ及び第３領域ＳＣＤの酸素濃度は、第１領域ＳＣＣの酸素濃度よりも低い。これにより、第２領域ＳＣＳ及び第３領域ＳＣＤが第１領域ＳＣＣよりも低抵抗化されている。
【００１７】
この酸化物半導体薄膜ＳＣの第１領域ＳＣＣの上には、ゲート絶縁膜１２が形成されている。このゲート絶縁膜１２は、酸化物半導体薄膜ＳＣの第２領域ＳＣＳ及び第３領域ＳＣＤの上には形成されず、これらを露出している。このようなゲート絶縁膜１２は、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ）によって形成されている。
【００１８】
薄膜トランジスタＡを構成するゲート電極Ｇは、ゲート絶縁膜１２の上に形成されている。すなわち、ゲート電極Ｇは、酸化物半導体薄膜ＳＣの第１領域ＳＣＣの直上に位置している。このゲート電極Ｇは、例えば、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）、クロム（Ｃｒ）のうちの少なくとも１つまたはこれらのうちの少なくとも１つを含む合金によって形成されている。
【００１９】
酸化物半導体薄膜ＳＣの第２領域ＳＣＳ及び第３領域ＳＣＤ、ゲート絶縁膜１２、及び、ゲート電極Ｇは、第１層間絶縁膜１３によって覆われている。この第１層間絶縁膜１３は、アンダーコート層１１の上にも配置されている。また、この第１層間絶縁膜１３には、酸化物半導体薄膜ＳＣの第２領域ＳＣＳに到達する第１コンタクトホールＣＨ１、及び、第３領域ＳＣＤに到達する第２コンタクトホールＣＨ２が形成されている。このような第１層間絶縁膜１３は、窒化シリコン（ＳｉＮ）によって形成されている。
【００２０】
このような窒化シリコンからなる第１層間絶縁膜１３は、シリコン（Ｓｉ）のダングリングボンド（未結合手）を多く含む条件で形成されている。このため、酸化物半導体薄膜ＳＣの第２領域ＳＣＳ及び第３領域ＳＣＤの直上に位置する第１層間絶縁膜１３においては、第２領域ＳＣＳ及び第３領域ＳＣＤと接している界面を含む底面１３Ｂ側において、酸化物半導体薄膜ＳＣに含まれる酸素をより多く取り込み、取り込んだ酸素がダングリングボンドに結合している。
【００２１】
一方で、第１層間絶縁膜１３に取り込まれた酸素の拡散度合いは、その膜中の中心部分（つまり、第１層間絶縁膜１３の膜厚が略１／２となる部分）１３Ｃよりも底面１３Ｂ側の方が高い。このため、第２領域ＳＣＳ及び第３領域ＳＣＤの直上に位置する第１層間絶縁膜１３において、底面１３Ｂ側の酸素濃度は、中心部分１３Ｃの酸素濃度よりも高い。換言すると、第２領域ＳＣＳ及び第３領域ＳＣＤの直上に位置する第１層間絶縁膜１３において、その底面１３Ｂ側よりもその中心部分１３Ｃでより多くのシリコンのダングリングボンドを含んでいる。
【００２２】
図示した例では、第１層間絶縁膜１３の上に、さらに第２層間絶縁膜１４が形成されている。第１コンタクトホールＣＨ１及び第２コンタクトホールＣＨ２は、この第２層間絶縁膜１３も貫通している。このような第２層間絶縁膜１４は、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ）、窒化シリコン（ＳｉＮ）によって形成されている。
【００２３】
薄膜トランジスタＡにおいて、不所望な容量の形成を抑制するためには、第２層間絶縁膜１４は、窒化シリコンよりも誘電率が低い酸化シリコンによって形成されることが望ましい。なお、第２層間絶縁膜１４が酸化シリコンによって形成されている場合には窒化シリコンによって形成された第１層間絶縁膜１３との境界面が検出可能となる場合がある。
【００２４】
薄膜トランジスタＡを構成するソース電極Ｓ及びドレイン電極Ｄは、第２層間絶縁膜１４の上に形成されている。ソース電極Ｓは、第１層間絶縁膜１３及び第２層間絶縁膜１４を貫通する第１コンタクトホールＣＨ１から酸化物半導体薄膜ＳＣのソース領域に相当する第２領域ＳＣＳにコンタクトしている。ドレイン電極Ｄは、第１層間絶縁膜１３及び第２層間絶縁膜１４を貫通する第２コンタクトホールＣＨ２から酸化物半導体薄膜ＳＣのドレイン領域に相当する第３領域ＳＣＤにコンタクトしている。
【００２５】
これらのソース電極Ｓ及びドレイン電極Ｄは、例えば、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）、クロム（Ｃｒ）のうちの少なくとも１つまたはこれらのうちの少なくとも１つを含む合金によって形成されている。
【００２６】
このような構造の薄膜トランジスタ回路基板１は、その表面、つまり、ソース電極Ｓ及びドレイン電極Ｄや、第２層間絶縁膜１４が図示しない保護膜などによって覆われていても良い。
【００２７】
次に、本実施形態の薄膜トランジスタ回路基板１の製造方法についてその一例を説明する。
【００２８】
まず、図２の（Ａ）で示したように、絶縁基板１０の上に、アンダーコート層１１を形成した後に、酸化物半導体薄膜ＳＣを形成する。ここでは、絶縁基板１０として、透明なガラス基板を用意した。また、アンダーコート層１１は、例えば、プラズマＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などを用いて、酸化シリコン（ＳｉＯ）により形成した。
【００２９】
酸化物半導体薄膜ＳＣは、アンダーコート層１１の上に、例えば、スパッタ法などを用いて酸化インジウムガリウム亜鉛（ＩＧＺＯ）からなる半導体層を形成した後に、この半導体層を島状にパターニングすることによって形成した。このようにして形成した酸化物半導体薄膜ＳＣにおいては、全体が略均一な初期抵抗値を有している。
【００３０】
続いて、図２の（Ｂ）で示したように、酸化物半導体薄膜ＳＣの上にゲート絶縁膜１２及びゲート電極Ｇを形成する。この工程をより詳細に説明する。
【００３１】
まず、ゲート絶縁膜１２を形成するためのゲート絶縁層１２Ａを形成する。このようなゲート絶縁層１２Ａは、例えば、プラズマＣＶＤ法などを用いて、酸化シリコン（ＳｉＯ）により形成した。このようなゲート絶縁層１２Ａは、酸化物半導体薄膜ＳＣの上及び酸化物半導体薄膜ＳＣが形成されていないアンダーコート層１１の上の略全面に形成される。
【００３２】
そして、ゲート電極Ｇを形成するためのゲート層ＧＡを形成する。このようなゲート層ＧＡは、例えば、スパッタ法などを用いて形成した。このようなゲート層ＧＡは、ゲート絶縁層１２Ａの上の略全面に形成される。
【００３３】
そして、このゲート層ＧＡの上にレジストパターン２０を形成する。このレジストパターン２０は、例えば、感光性樹脂などによって形成されている。このようなレジストパターン２０は、酸化物半導体薄膜ＳＣにおいて比較的高抵抗な状態を維持すべき領域、つまり、第１領域が形成される領域の直上に形成されており、酸化物半導体薄膜ＳＣにおいて低抵抗化される領域、つまり、第２領域及び第３領域が形成される領域の直上には配置されていない。
【００３４】
続いて、図２の（Ｃ）で示したように、レジストパターン２０をマスクとして、ゲート絶縁層１２Ａ及びゲート層ＧＡを一括してパターニングして、酸化物半導体薄膜ＳＣの第１領域となるべき領域上に積層されたゲート絶縁膜１２及びゲート電極Ｇを形成するとともに、酸化物半導体薄膜ＳＣの第２領域及び第３領域となるべき領域を露出させる。その後、レジストパターン２０を除去する。これらのゲート絶縁層１２Ａ及びゲート層ＧＡのパターニングには、例えば、プラズマドライエッチング法の一種である反応性イオンエッチング法（ＲＩＥ）などが適用可能である。
【００３５】
続いて、図３で示したように、酸化物半導体薄膜ＳＣのゲート絶縁膜１２から露出した領域、つまり、第２領域及び第３領域となるべき領域と、ゲート絶縁膜１２、ゲート電極Ｇを覆うとともに、酸化物半導体薄膜ＳＣが形成されていないアンダーコート層１１を覆う第１層間絶縁膜１３を形成する。ここでは、第１層間絶縁膜１３は、例えば、プラズマＣＶＤ法などを用いて、窒化シリコン（ＳｉＮ）により形成した。
【００３６】
このような第１層間絶縁膜１３は、例えば、シラン（ＳｉＨ４）ガス、アンモニア（ＮＨ３）ガス、及び、窒素（Ｎ２）ガスの混合ガスを試用して形成した。特に、ここでは、シリコンのダングリングボンドが比較的多く含まれる条件（例えば、比較的低温且つ高圧の条件）で第１層間絶縁膜１３を形成した。
【００３７】
これにより、酸化物半導体薄膜ＳＣのうち、第１層間絶縁膜１３と接触する領域が第１層間絶縁膜１３と接触しない領域と比較して低抵抗化される。つまり、酸化物半導体薄膜ＳＣのうち、第１層間絶縁膜１３と接触しない領域が比較的高抵抗な状態が維持された高抵抗領域である第１領域ＳＣＣとなり、この第１領域ＳＣＣを挟んで両側に位置し第１層間絶縁膜１３と接触する領域がそれぞれ低抵抗領域である第２領域ＳＣＳ及び第３領域ＳＣＤとなる。
【００３８】
図４及び図５は、第１層間絶縁膜１３が形成されるのに伴って酸化物半導体薄膜ＳＣを低抵抗化する過程を説明するための図である。
【００３９】
図４に示したように、ＣＶＤ装置においては、第１電極Ｅ１と第２電極Ｅ２との間にシャワープレートＳＰが配置されている。このような第１電極Ｅ１とシャワープレートＳＰとの間に、ゲート電極Ｇまで形成済みの処理基板ＳＵＢを配置する。
【００４０】
そして、シラン（ＳｉＨ４）ガス、アンモニア（ＮＨ３）ガス、及び、窒素（Ｎ２）ガスの混合ガスを導入しながら第２電極Ｅ２にバイアスを印加すると、プラズマが生成される。そして、第１電極Ｅ１の上に設置された処理基板ＳＵＢの上に、図示したような分解されたラジカルあるいはイオンなどが堆積する。このようにして形成された第１層間絶縁膜１３には、図示したように、シリコン（Ｓｉ）のダングリングボンドが含まれている。
【００４１】
図５に示したように、上記の第１層間絶縁膜１３と酸化物半導体薄膜ＳＣとが接触する領域では、酸化物半導体薄膜ＳＣから酸素が引き抜かれ、この酸素が第１層間絶縁膜１３に含まれるシリコンのダングリングボンドと結合する。このため、第１層間絶縁膜１３と接触する酸化物半導体薄膜ＳＣにおいては、酸素濃度の低下に伴い、電気抵抗の低抵抗化が可能となる。
【００４２】
この結果、酸化物半導体薄膜ＳＣにおいては、第１層間絶縁膜１３と接触しない領域には比較的高抵抗な第１領域ＳＣＣが形成され、第１層間絶縁膜１３と接触する領域では第１領域ＳＣＣよりも酸素濃度が低下し、比較的低抵抗な第２領域ＳＣＳ及び第３領域ＳＣＤが形成される。
【００４３】
一方で、第１層間絶縁膜１３においては、酸化物半導体薄膜ＳＣから酸素を取り込むことに伴い、局所的に酸素濃度が高くなる。すなわち、第２領域ＳＣＳ及び第３領域ＳＣＤの直上に形成された第１層間絶縁膜１３においては、その底面側の酸素濃度がその中心部分の酸素濃度よりも高くなる。また、第１層間絶縁膜１３において、第２領域ＳＣＳ及び第３領域ＳＣＤの直上の領域の酸素濃度が第１領域ＳＣＣの直上の領域の酸素濃度よりも高くなる。
【００４４】
また、第１層間絶縁膜１３におけるシリコンのダングリングボンドに着目すると、第２領域ＳＣＳ及び第３領域ＳＣＤの直上に形成された第１層間絶縁膜１３においては、その底面側よりもその中心部分でより多くのダングリングボンドを含む。また、第１層間絶縁膜１３において、第２領域ＳＣＳ及び第３領域ＳＣＤの直上の領域よりも第１領域ＳＣＣの直上の領域でより多くのダングリングボンドを含むことになる。
【００４５】
ここで再び製造方法の続きについて説明する。
【００４６】
図６の（Ａ）で示したように、第１層間絶縁膜１３の上に、第２層間絶縁膜１４を形成する。ここでは、第２層間絶縁膜１４は、例えば、プラズマＣＶＤ法などを用いて、酸化シリコン（ＳｉＯ）により形成した。このような第２層間絶縁膜１４は、第１層間絶縁膜１３の上の略前面に形成される。
【００４７】
続いて、図６の（Ｂ）で示したように、第１層間絶縁膜１３及び第２層間絶縁膜１４に、酸化物半導体薄膜ＳＣの第２領域ＳＣＳに到達する第１コンタクトホールＣＨ１及び酸化物半導体薄膜ＳＣの第３領域ＳＣＤに到達する第２コンタクトホールＣＨ２をそれぞれ形成する。このような第１コンタクトホールＣＨ１及び第２コンタクトホールＣＨ２は、詳述しないレジストパターンをマスクとして、反応性イオンエッチング法（ＲＩＥ）を用いて形成した。
【００４８】
続いて、図６の（Ｃ）で示したように、第１コンタクトホールＣＨ１から第２領域ＳＣＳにコンタクトしたソース電極Ｓ、及び、第２コンタクトホールＣＨ２から第３領域ＳＣＤにコンタクトしたドレイン電極Ｄを形成する。これらのソース電極Ｓ及びドレイン電極Ｄは、スパッタ法などを用いて金属膜を成膜した後に、この金属膜をパターニングすることによって形成した。
【００４９】
以上の工程により、薄膜トランジスタＡを備えた薄膜トランジスタ回路基板１が製造される。このようにして製造された薄膜トランジスタ回路基板１は、その後、液晶表示素子や有機ＥＬ素子の製造工程を経て、表示装置に組み込まれる。
【００５０】
以上説明したように、本実施形態において製造された薄膜トランジスタＡは、コプラナ型トップゲート構造であり、酸化物半導体薄膜ＳＣのチャネル領域に相当する第１領域ＳＣＣはゲート絶縁膜１２及びゲート電極Ｇによって保護されているため、酸素を安定して保持し、高抵抗状態を維持することが可能である。また、ゲート電極Ｇの幅で決まるチャネル長を小さくすることが可能となるため、ＯＮ電流が向上し、薄膜トランジスタＡの高性能化が可能となる。加えて、薄膜トランジスタＡがこのようなトップゲートのコプラナ型であれば、表示デバイスなどのスイッチング素子として用いた場合に、トランジスタ形成後の熱プロセスを介しても安定したトランジスタ特性を得ることができる。
【００５１】
また、本実施形態によれば、薄膜トランジスタＡを形成するに際して、酸化物半導体薄膜ＳＣのうち低抵抗領域となる第２領域ＳＣＳ及び第３領域ＳＣＤを形成すべき領域が露出した状態で、これらの領域が窒化シリコンからなる第１層間絶縁膜１３によって覆われる。これにより、第１層間絶縁膜１３に含まれるシリコンのダングリングボンドが酸化物半導体薄膜ＳＣに含まれる酸素と結合するため、これらの領域の酸素濃度が低下し、低抵抗化が可能となる。つまり、第１層間絶縁膜１３を形成する過程で酸化物半導体薄膜ＳＣの低抵抗化処理がなされるため、酸化物半導体薄膜ＳＣの低抵抗化のためだけに水素プラズマ処理などの別工程を追加する必要がなく、プロセスを簡素化することが可能となる。したがって、製造コストを削減することが可能となる。
【００５２】
図７は、シリコンのダングリングボンドをより多く含む窒化シリコン膜の形成条件の一例を示す図である。
【００５３】
ここでは、プラズマＣＶＤ法により窒化シリコン膜を形成する際、圧力条件以外はすべて同一条件で２種類の窒化シリコン膜を形成した。一方の窒化シリコン膜Ａについては比較的低圧な２０５Ｐａの圧力条件で形成し、他方の窒化シリコン膜Ｂについては比較的高圧な３００Ｐａの圧力条件で形成した。なお、これらの窒化シリコン膜Ａ及びＢのそれぞれを形成する際の温度はともに比較的低温の１００℃とした。
【００５４】
それぞれの条件で形成した窒化シリコン膜Ａ及びＢについて、大気中に放置し、所定時間経過後にそれぞれの屈折率を測定した。図７に示したグラフの横軸は大気中に放置された時間であり、縦軸は窒化シリコン膜Ａ及びＢの屈折率の測定値である。
【００５５】
図示したように、低圧条件で形成した窒化シリコン膜Ａについては、ほとんど屈折率が変化しなかったのに対して、高圧条件で形成した窒化シリコン膜Ｂについては、時間の経過に伴って屈折率が低下する傾向が確認された。
【００５６】
一般に、窒化シリコン膜の屈折率は、酸化シリコン膜の屈折率より高い。このことから、低圧条件で形成した窒化シリコン膜Ａはダングリングボンドが少なく、大気中において安定しているため、その屈折率がほとんど変化しなかったのに対して、高圧条件で形成した窒化シリコン膜Ｂについては、よりも多くのダングリングボンドを含むため、時間の経過とともに大気中の酸素が膜中のダングリングボンドに結合し、次第に酸化シリコン膜化した結果、時間の経過に伴って屈折率が低下したものと考えられる。
【００５７】
つまり、低圧条件で形成した窒化シリコン膜Ａよりも高圧条件で形成した窒化シリコン膜Ｂの方がより多くのダングリングボンドを含むと考えられる。本実施形態においては、このような高圧条件を採用して窒化シリコンからなる第１層間絶縁膜１３を形成した。これにより、酸化物半導体薄膜の低抵抗化を促進することが可能となる。
【００５８】
以上説明したように、本実施形態によれば、製造コストの削減が可能であるとともに、安定したトランジスタ特性を得ることが可能な薄膜トランジスタ回路基板及び薄膜トランジスタ回路基板の製造方法を提供することができる。
【００５９】
なお、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００６０】
１…薄膜トランジスタ回路基板
１０…絶縁基板
１２…ゲート絶縁膜
１３…第１層間絶縁膜
１４…第２層間絶縁膜
Ａ…薄膜トランジスタ
ＳＣ…酸化物半導体薄膜
ＳＣＣ…第１領域（チャネル領域；高抵抗領域）
ＳＣＳ…第２領域（ソース領域；低抵抗領域）
ＳＣＤ…第３領域（ドレイン領域；低抵抗領域）
Ｇ…ゲート電極  Ｓ…ソース電極  Ｄ…ドレイン電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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