(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
変圧室に搬入された第一ワークと第二ワークを第一保持部材と第二保持部材にそれぞれ受け渡し、減圧された前記変圧室で前記第一保持部材又は前記第二保持部材のいずれか一方か若しくは両方が相対的に接近移動して前記第一ワークと前記第二ワークを貼り合わせる貼合デバイスの製造装置であって、
前記第一ワーク及び前記第二ワークが出し入れ自在に収容される前記変圧室と、
前記変圧室にワーク貼り合わせ方向へ互いに対向するように設けられる前記第一保持部材及び前記第二保持部材と、
前記第一保持部材又は前記第二保持部材のいずれか一方か若しくは両方を前記ワーク貼り合わせ方向へ相対的に接近或いは離隔するように移動させる貼り合わせ用駆動部と、
前記変圧室に設けられる貫通孔を通って前記ワーク貼り合わせ方向へ移動自在に設けられるワーク受け渡し用の受け渡し部材と、
前記変圧室の前記貫通孔を気密状に開閉するように移動自在に設けられる閉鎖部材と、
前記貼り合わせ用駆動部と前記受け渡し部材の受け渡し用駆動部及び前記閉鎖部材の閉鎖用駆動部をそれぞれ作動制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、ワーク搬入時において、前記貫通孔が開口するように前記閉鎖部材を開動させるとともに、前記受け渡し部材をワーク受け渡しのために移動させ、ワーク貼り合わせ時において、前記貫通孔から前記受け渡し部材を抜き出し、前記貫通孔が気密状に閉鎖されるように前記閉鎖部材を閉動させることを特徴とする貼合デバイスの製造装置。
【請求項２】
前記第一保持部材又は前記第二保持部材のいずれか一方か若しくは両方は、前記変圧室の前記貫通孔と前記ワーク貼り合わせ方向へ同軸状に配置される通孔を有し、
前記受け渡し部材は、ワーク保持用のチャック部を有し、前記受け渡し用駆動部により前記チャック部が前記貫通孔及び前記通孔を挿通し、前記変圧室に搬入された前記第一ワーク又は前記第二ワークのいずれか一方か若しくは両方に向け移動して保持させ、前記ワーク受け渡しが完了してから、前記チャック部を前記通孔及び前記貫通孔から抜き出し移動させることを特徴とする請求項１記載の貼合デバイスの製造装置。
【請求項３】
前記閉鎖部材は、前記変圧室の底壁部又は天井部のいずれか一方か若しくは両方に沿って前記ワーク貼り合わせ方向と交差する方向へ開閉動自在に設けられる蓋体を有し、前記閉鎖用駆動部により前記蓋体を、前記受け渡し部材が抜き出し移動された前記貫通孔に向け閉動させることを特徴とする請求項１又は２記載の貼合デバイスの製造装置。
【請求項４】
前記閉鎖部材は、前記変圧室の底壁部又は天井部のいずれか一方か若しくは両方に向けて回動自在に設けられる蓋体を有し、前記閉鎖用駆動部により前記蓋体を、前記受け渡し部材が抜き出し移動された前記貫通孔に向け閉動させることを特徴とする請求項１又は２記載の貼合デバイスの製造装置。
【請求項５】
前記受け渡し部材は、前記チャック部が先端に設けられて前記変圧室の前記貫通孔を挿通する軸部を有し、前記軸部を前記ワーク貼り合わせ方向へ移動自在に案内するガイド部材を、前記貫通孔と前記ワーク貼り合わせ方向へ同軸状に設けることを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載の貼合デバイスの製造装置。
【請求項６】
前記変圧室が形成されるチャンバーを前記ワーク貼り合わせ方向へ、内部に前記第一保持部材が具備される第一チャンバーと、内部に前記第二保持部材が具備される第二チャンバーに分割し、前記第一チャンバー又は前記第二チャンバーのいずれか一方を他方に向け前記ワーク貼り合わせ方向へ反転自在に移動させる反転手段を設け、前記第一チャンバーと前記第二チャンバーが共に前記ワーク貼り合わせ方向へ開口するように反転した開動位置を、前記第一保持部材に向けて前記第一ワークが搬入されるとともに前記第二保持部材に向けて前記第二ワークが搬入される搬入ポジションとし、前記第一チャンバーと前記第二チャンバーが前記ワーク貼り合わせ方向へ重ね合わされるように反転した閉動位置を、前記第一ワーク及び前記第二ワークが貼り合わされる貼り合わせポジションとすることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の貼合デバイスの製造装置。
【請求項７】
前記搬入ポジションにおいて、前記受け渡し部材として第一受け渡し部材で受け取った前記第一ワーク又は第二受け渡し部材で受け取った前記第二ワークのいずれか一方を他方に対して相対的に移動させて前記ワーク貼り合わせ方向へ位置合わせする位置合わせ手段を備え、
前記位置合わせ手段は、前記第一受け渡し部材で受け取った前記第一ワークと、前記第二受け渡し部材で受け取った前記第二ワークを位置検出する検出部と、前記検出部からの位置データに基づいて前記第一受け渡し部材又は前記第二受け渡し部材のいずれか一方か若しくは両方を、前記ワーク貼り合わせ方向と交差する方向へ相対的に移動させる位置合わせ用駆動部を有することを特徴とする請求項６記載の貼合デバイスの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、フレキシブルディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）やセンサーデバイスか、又は例えばタッチパネル式ＦＰＤや３Ｄ（３次元）ディスプレイや電子書籍などのような、液晶モジュール（ＬＣＭ）やフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）などの板状ワークに対して、タッチパネルやカバーガラスやカバーフィルムやＦＰＤなどのもう一枚の板状ワークを貼り合わせる貼合デバイスの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の貼合デバイスの製造装置として、上側基板保持具及び下側基板保持具に設けられた貫通孔に沿って、上側基板及び下側基板の受け渡し用のリフトピンをそれぞれ上下動可能に設け、大気圧における搬入時には、搬送ロボットのアームで保持して搬送された上側基板及び下側基板を、上側基板保持具及び下側基板保持具の表面から突出するように上下動したリフトピンでそれぞれ受け取り、これに続いてリフトピンが逆移動して、上側基板及び下側基板を上側基板保持具及び下側基板保持具の表面にそれぞれ受け渡す基板重ね合わせ装置がある（例えば、特許文献１参照）。基板の受け渡し後は、上側基板保持具と下側基板保持具が接近移動して両者間の真空容器内を真空状態にしてから、上側基板と下側基板を重ね合わせて仮止めし、真空容器内が大気圧になってから、貼り合わされた基板をリフトピンにより搬送ロボットのアームに受け渡して搬出している。
さらに、特許文献１に記載される、上側基板保持具及び下側基板保持具の貫通孔と、リフトピンと間には、Ｏリングのようなシール部材を設けて、リフトピンと摺動可能に接触させることにより、真空容器内の密封状態を維持している。
また、その他の例として、貫通孔が設けられるチャンバーと、上側基板及び下側基板の受け渡し用のリフトピンとに亘って、ベローズなどの弾性変形可能なシール部材を設けて、リフトピンと上下動可能に連結することにより、チャンバー内の密封状態を維持する基板貼り合わせ装置もある（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２２９４７１号公報
【特許文献２】国際公開第２００８／１１４３３７号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし乍ら、このような従来の貼合デバイスの製造装置では、Ｏリングなどのシール部材がリフトピンと摺動可能に接触する特許文献１の場合、リフトピンが移動する度にＯリングなどと擦れるため、これらの摺動部位からＯリングなどの一部がゴミとなって発生し、ワークの貼り合わせに悪影響を与えるとともに、Ｏリングなどが摩耗して短寿命であり、定期的に部品交換が必要になるという問題があった。ゴミの発生を抑制するために、摺動グリースなどの潤滑剤を滑り部分に供給すると、真空中でガスの発生懸念や揮発だけでなく、メンテナンス性においても問題がある。
さらに、Ｏリングなどのシール部材でシールされた密閉空間が大気圧と真空に変化する際に、これら圧力差の変化によって僅かではあるが変形するため、その変形によってリフトピンの移動時に過大な負荷がかかることもあり、最悪の場合にはリフトピンが削られたり、移動不良で不慮の事故が起きたりする可能性もあった。
また、ベローズなどの弾性変形可能なシール部材でリフトピンが移動可能に連結される特許文献２の場合には、リフトピンの移動に伴ってベローズなどの伸縮できるストロークが限られており、その範囲を超えると著しくベローズなどの寿命低下につながる。そのため、リフトピンの移動ストロークを増大させるには、ベローズなどのシール部材自体の大きさをリフトピンの移動方向へ延長する必要があり、それに伴い装置全体が大型化してコスト高になるという問題があった。【０００５】
本発明は、このような問題に対処することを課題とするものであり、変圧室や貫通孔と受け渡し部材との間にシール部材を用いることなく受け渡し部材を無接触で且つ無制限に移動可能なシール構造を提供すること、などを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的を達成するために本発明は、変圧室に搬入された第一ワークと第二ワークを第一保持部材と第二保持部材にそれぞれ受け渡し、減圧された前記変圧室で前記第一保持部材又は前記第二保持部材のいずれか一方か若しくは両方が相対的に接近移動して前記第一ワークと前記第二ワークを貼り合わせる貼合デバイスの製造装置であって、前記第一ワーク及び前記第二ワークが出し入れ自在に収容される前記変圧室と、前記変圧室にワーク貼り合わせ方向へ互いに対向するように設けられる前記第一保持部材及び前記第二保持部材と、前記第一保持部材又は前記第二保持部材のいずれか一方か若しくは両方を前記ワーク貼り合わせ方向へ相対的に接近或いは離隔するように移動させる貼り合わせ用駆動部と、前記変圧室に設けられる貫通孔を通って前記ワーク貼り合わせ方向へ移動自在に設けられるワーク受け渡し用の受け渡し部材と、前記変圧室の前記貫通孔を気密状に開閉するように移動自在に設けられる閉鎖部材と、前記貼り合わせ用駆動部と前記受け渡し部材の受け渡し用駆動部及び前記閉鎖部材の閉鎖用駆動部をそれぞれ作動制御する制御部と、を備え、前記制御部は、ワーク搬入時において、前記貫通孔が開口するように前記閉鎖部材を開動させるとともに、前記受け渡し部材をワーク受け渡しのために移動させ、ワーク貼り合わせ時において、前記貫通孔から前記受け渡し部材を抜き出し、前記貫通孔が気密状に閉鎖されるように前記閉鎖部材を閉動させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
前述した特徴を有する本発明は、変圧室へのワーク搬入時には、制御部で閉鎖部材が開動して変圧室の貫通孔を開口させることにより、受け渡し部材が移動可能になって、第一ワーク又は第二ワークのいずれか一方か若しくは両方を受け渡し部材で受け取るとともに、受け渡し部材から第一保持部材又は第二保持部材のいずれか一方か若しくは両方に受け渡す。その後は、制御部で変圧室の貫通孔から受け渡し部材を抜き出してから、閉鎖部材が閉動して貫通孔を気密状に閉鎖させることにより、変圧室が高度な真空状態になるまで減圧可能になって、第一ワークと第二ワークが貼り合わされる。
したがって、変圧室や貫通孔と受け渡し部材との間にシール部材を用いることなく受け渡し部材を無接触で且つ無制限に移動可能なシール構造を提供することができる。
その結果、Ｏリングなどのシール部材がリフトピンと摺動可能に接触する従来のものに比べ、摺動部位が無いシール構造であるため、ゴミの発生によるワークの貼り合わせに悪影響や、摩耗に伴う部品交換や、圧力差の変化によるシール部材の変形を防止できて、長期に亘り安定した稼働が図れる。
さらに、ベローズなどの弾性変形可能なシール部材でリフトピンが移動可能に連結される従来のものに比べ、受け渡し部材をフリーで移動できるため、部品の寿命低下や、装置全体の大型化を防止できて、コストの低減化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施形態に係る貼合デバイスの製造装置の全体構成を示す説明図であり、（ａ）がワーク搬入時の縦断正面図、（ｂ）が減圧時の縦断正面図である。
【図２】チャンバーの変形例を示す説明図であり、（ａ）がワーク搬入時の縦断正面図、（ｂ）が減圧時の縦断正面図である。
【図３】第二保持部材の変形例を示す説明図であり、（ａ）がワーク搬入時の縦断正面図、（ｂ）が減圧時の縦断正面図である。
【図４】閉鎖部材の駆動部の一例を示す説明図であり、（ａ）がワーク搬入時の縦断正面図、（ｂ）が減圧時の縦断正面図である。
【図５】閉鎖部材の変形例を示す説明図であり、（ａ）がワーク搬入時の縦断正面図、（ｂ）が減圧時の縦断正面図である。
【図６】本発明の実施例１に係る貼合デバイスの製造装置の全体構成を示す説明図であり、（ａ）がワーク搬入時の縦断正面図、（ｂ）が減圧時の縦断正面図である。
【図７】本発明の実施例２に係る貼合デバイスの製造装置の全体構成を示す説明図であり、（ａ）がワーク搬入時の縦断正面図、（ｂ）が減圧時の縦断正面図である。
【図８】本発明の実施例３に係る貼合デバイスの製造装置の全体構成を示す説明図であり、（ａ）がワーク搬入時の縮小縦断正面図、（ｂ）が位置合わせ後の縮小縦断正面図、（ｃ）が減圧時の縮小縦断正面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
本発明の実施形態に係る貼合デバイスＷの製造装置Ａは、図１〜図８に示すように、外から変圧室１に向けて搬入された第一ワークＷ１と第二ワークＷ２を、変圧室１に対向して配置される第一保持部材２と第二保持部材３にそれぞれ受け渡し、その後、減圧された変圧室１で第一保持部材２又は第二保持部材３のいずれか一方か若しくは両方を、前記対向方向へ相対的に接近移動させることにより、第一ワークＷ１と第二ワークＷ２が貼り合わ（合着）されて貼合デバイスＷを作製する真空貼り合わせ装置である。
詳しく説明すると、本発明の実施形態に係る貼合デバイスＷの製造装置Ａは、第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２が出し入れ自在に収容される変圧室１と、変圧室１に前記ワーク貼り合わせ方向（第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２の貼り合わせ方向）へ互いに対向するように設けられる第一保持部材２及び第二保持部材３と、第一保持部材２又は第二保持部材３のいずれか一方か若しくは両方を前記貼り合わせ方向へ相対的に接近或いは離隔するように移動させる貼り合わせ用駆動部４と、変圧室１に設けられる貫通孔１２を通って前記貼り合わせ方向へ移動自在に設けられるワーク受け渡し用の受け渡し部材５と、変圧室１の貫通孔１２の近傍に貫通孔１２を気密状に開閉するように移動自在に設けられる閉鎖部材６と、貼り合わせ用駆動部４と受け渡し部材５の受け渡し用駆動部５Ｄ及び閉鎖部材６の閉鎖用駆動部６Ｄと電気的に連通するように設けられてそれらをそれぞれ作動制御する制御部７と、を主要な構成要素として備えている。
【００１０】
貼合デバイスＷは、例えばＦＰＤやセンサーデバイスなどのような複数の構成部品が一体的に組み付けられた薄板状の構造体である。第二ワークＷ２は、例えばタッチパネルやカバーガラスやカバーフィルムなど、第一ワークＷ１を覆うように接着されることで、ＦＰＤやセンサーデバイスなどを構成するものである。
さらに、第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２において膜面などからなるＷ１ｆ，Ｗ２ｆのいずれか一方又は両方には、シール材（図示しない）がディスペンサなどの定量吐出ノズルを用いて塗布される。シール材としては、紫外線などの光エネルギーを吸収して重合が進行することにより硬化して接着性を発現する、ＵＶ硬化性の光学透明樹脂（ＯＣＲ）などの光硬化型接着剤を用いることが好ましい。また、その他の例として、熱エネルギーの吸収により重合が進行して硬化する熱硬化型接着剤、二液混合硬化型接着剤などを用いることも可能である。
なお、第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２は、図１〜図８に示されるように、通常、上下方向へ対向するように配置され、下側の第一ワークＷ１と上側の第二ワークＷ２が貼り合わされる方向、すなわち前記ワーク貼り合わせ方向を「Ｚ方向」という。
【００１１】
変圧室１は、チャンバー１０の内部に形成され、例えば搬送ロボットなどの搬送手段Ｂを用いて、大気雰囲気で第一ワークＷ１と第二ワークＷ２がチャンバー１０内の変圧室１とチャンバー１０の外部空間とに亘って出し入れ可能となるように、チャンバー１０の全体又は一部を後述する駆動手段１３，１４によって開閉自在に構成している。
チャンバー１０には、変圧室１と連通してその内圧を大気雰囲気から所定の真空度まで変圧調整するために、例えば真空ポンプなどからなる吸排気手段（図示しない）が設けられている。この吸排気手段は後述する制御部７によって作動制御される。
変圧室１やチャンバー１０の具体例としては、図１（ａ）（ｂ）などに示されるように、搬送ロボットなどの搬送手段Ｂが一対の第一搬送部Ｂａと第二搬送部Ｂｂを有し、大気雰囲気においてチャンバー１０の外部から、第一搬送部Ｂａにより第一ワークＷ１がチャンバー１０内の変圧室１へ搬入すると同時に、搬送手段Ｂの第二搬送部Ｂｂにより第二ワークＷ２がチャンバー１０内の変圧室１へ搬入される。この搬入が終了した後に変圧室１を閉じて吸排気手段により所定の真空度まで減圧して、第一ワークＷ１と第二ワークＷ２が重ね合わされる。この重ね合わせが終了した後は、変圧室１が大気開放されて大気雰囲気により第一ワークＷ１と第二ワークＷ２が所定ギャップまで押し潰されて貼合デバイスＷとなる。その後、この貼合デバイスＷは図示しないが、後述する受け渡し部材５と搬送手段Ｂの第二搬送部Ｂｂを用いて、変圧室１からチャンバー１０の外部に搬出される。
【００１２】
変圧室１が形成されるチャンバー１０の底壁部１１ａ又は天井部１１ｂのいずれか一方か若しくは両方には、貫通孔１２がＺ方向へ開穿される。
その具体例としては、図１（ａ）（ｂ）などに示されるように、チャンバー１０の底壁部１１ａに複数の第一貫通孔１２ａをＺ方向と交差（直交）するＸＹ方向へ所定間隔毎に開穿するとともに、チャンバー１０の天井部１１ｂに複数の第二貫通孔１２ｂをＸＹ方向へ所定間隔毎に開穿し、第一貫通孔１２ａ及び第二貫通孔１２ｂの両方を後述する閉鎖部材６でそれぞれ開閉することが好ましい。さらに、第一貫通孔１２ａの開口縁及び第二貫通孔１２ｂの開口縁には、後述する閉鎖部材６との間を密閉するため、例えばＯリングのようなシール部材１２ｓが設けられている。
また、その他の例として図示しないが、貫通孔１２（第一貫通孔１２ａ，第二貫通孔１２ｂ）の開穿個数を単数に変更したり、チャンバー１０の底壁部１１ａ又は天井部１１ｂのいずれか一方のみに貫通孔１２を開穿したり、チャンバー１０の底壁部１１ａに開穿される第一貫通孔１２ａか、又はチャンバー１０の天井部１１ｂに開穿される第二貫通孔１２ｂのいずれか一方のみを後述する閉鎖部材６で開閉したり変更することも可能である。なお、貫通孔１２と後述する閉鎖部材６との間を密閉できる構造であれば、シール部材１２ｓを用いる必要はない。
【００１３】
チャンバー１０の開閉構造としては、図１（ａ）（ｂ）などに示されるように、チャンバー１０をＺ方向へ第一チャンバー１０ａと第二チャンバー１０ｂに分割し、下側の第一チャンバー１０ａと上側の第二チャンバー１０ｂを駆動手段１３でＺ方向へ相対的に接近又は離隔するように往復動させることにより、パッキンなどのシール材１０ｓを介して変圧室１が開閉自在で且つ密封構造となるように構成することが好ましい。
駆動手段１３は、アクチュエーターなどから構成され、後述する制御部７により、図１（ａ）などに示されるワーク搬入時においては、下側の第一チャンバー１０ａと上側の第二チャンバー１０ｂを離隔移動させることでチャンバー１０が開き、その後、図１（ｂ）などに示されるワーク貼り合わせ時においては、下側の第一チャンバー１０ａと上側の第二チャンバー１０ｂを接近移動させることでチャンバー１０が閉じ密封状態となるように作動制御している。
さらに、図１（ａ）（ｂ）などに示される例では、上側の第二チャンバー１０ｂのみを下側の第一チャンバー１０ａへ向け接近又は離隔移動させている。
また、その他の例として図示しないが、第一チャンバー１０ａのみか、又は第一チャンバー１０ａ及び第二チャンバー１０ｂの両方を、駆動手段１３で接近又は離隔させるように変更することも可能ある。
なお、チャンバー１０の変形例として、図２（ａ）（ｂ）に示されるように、箱形のチャンバー１０ｃの一部に開口部１０ｄが開設され、開口部１０ｄに対し駆動手段１４で扉１０ｅを開閉動させることにより、変圧室１が開閉自在で且つ密封構造となるように変更することも可能である。
【００１４】
チャンバー１０の内部には、第一保持部材２と第二保持部材３が、Ｚ方向へ互いに対向するように設けられている。
第一保持部材２と第二保持部材３は、例えば金属やセラミックスなどの剛体で歪み（撓み）変形しない厚さの平板状に形成された定盤などで構成され、Ｚ方向へ対向するそれらの保持面２ａ，３ａをそれぞれ平行に配設している。
第一保持部材２と第二保持部材３の保持面２１，３１には、第一ワークＷ１の裏面Ｗ１ｒと第二ワークＷ２の裏面Ｗ２ｒをそれぞれ着脱自在で且つ移動不能に保持するために、粘着チャックや静電チャックや吸引チャックか又はそれらの組み合わせなどからなる保持チャック２２，３２が設けられる。
【００１５】
第一保持部材２及び第二保持部材３の具体例としては、図１（ａ）（ｂ）などに示されるように、第一保持部材２と第二保持部材３が定盤のような平板で構成することが好ましい。図１（ａ）（ｂ）などに示されるように、チャンバー１０がＺ方向へ第一チャンバー１０ａと第二チャンバー１０ｂに分割される場合には、下側の第一チャンバー１０ａの内部に、下側の第一ワークＷ１を着脱自在に保持する第一保持部材２が具備され、上側の第二チャンバー１０ｂの内部に、上側の第二ワークＷ２を着脱自在に保持する第二保持部材３が具備されている。
特に、上側の第二保持部材３の保持チャック３２としては、第二保持部材３となる平板の保持面３１に、複数の粘着チャックをＸＹ方向へそれぞれ所定間隔毎に配設することで、上側の第二ワークＷ２が落下不能に粘着保持されるように構成することが好ましい。複数の粘着チャックは、第二保持部材３の平板に対してＺ方向へ往復動自在に支持され、これら粘着チャックの全てを第二保持部材３の平板の内部に没入移動させることにより、第二ワークＷ２から引き剥がされるように構成することが好ましい。
粘着チャックによるワーク着脱構造について詳しく説明すると、図１（ａ）（ｂ）などに示されるように、複数の粘着チャックを連結部３３で一体化し、連結部３３が第二保持部材３の平板に向けて接近移動した時には、粘着チャックの粘着面を第二保持部材３の保持面３１と略面一状又は僅かに突出させて、第二ワークＷ２の表面と接触するようにしている。これと逆に、粘着チャックの連結部３３が第二保持部材３の平板から離隔移動した時（図示しない）には、粘着チャックの粘着面を第二保持部材３の保持面３１から没入させて、第二ワークＷ２の表面から引き剥がされるようにしている。
また、第一保持部材２や第二保持部材３の変形例として、図３（ａ）（ｂ）に示されるように、第二保持部材３を平板に代えて複数個のピンで構成し、これらピンの先端面となる保持面３１に保持チャック３２として粘着チャックや静電チャックなどの真空中で保持可能な機構を設けることも可能である。なお、図示しないが、第一保持部材２の保持チャック２２を図示されるような第二保持部材３の保持チャック３２と同じ構造にすることも可能ある。
【００１６】
さらに、第一保持部材２又は第二保持部材３のいずれか一方か、若しくは第一保持部材２及び第二保持部材３の両方は、チャンバー１０の底壁部１１ａ又は天井部１１ｂに対してＺ方向へ移動自在に支持され、貼り合わせ用駆動部４によって第一保持部材２と第二保持部材３を相対的に接近或いは離隔するように移動させている。
貼り合わせ用駆動部４は、アクチュエーターなどから構成され、後述する制御部７により、第一ワークＷ１と第二ワークＷ２を、それらの保持面にいずれか一方又は両方に塗布された接着剤（図示しない）を介して互いに重なり合うように、第一保持部材２又は第二保持部材３のいずれか一方か若しくは両方をＺ方向へ相対的に接近移動させるように作動制御している。
貼り合わせ用駆動部４の具体例として、図１（ａ）（ｂ）などに示される場合には、第二保持部材３を、第一保持部材２に向けて下降させている。
また、その他の例として図示しないが、第二保持部材３に代えて、第一保持部材２を上昇させるか、又は第一保持部材２及び第二保持部材３の両方を互いに接近移動させるなど、変更することも可能である。
【００１７】
そして、第一保持部材２又は第二保持部材３のいずれか一方か若しくは両方には、チャンバー１０の底壁部１１ａ又は天井部１１ｂのいずれか一方か若しくは両方に開穿される貫通孔１２とＺ方向へ同一の軸線状に配置される通孔２Ｈ，３Ｈを開穿することが好ましい。
詳しく説明すると、図１（ａ）（ｂ）などに示されるように、第一保持部材２と第二保持部材３が定盤のような平板で構成される場合には、第一保持部材２と第二保持部材３の両方に通孔２Ｈ，３Ｈを開穿している。
また、その他の例として、図３（ａ）（ｂ）に示されるように、第二保持部材３を平板に代えて複数個のピンで構成し、これらピンの先端面となる保持面３１に保持チャック３２として粘着チャックや静電チャックなどの真空中で保持可能な機構を設けることも可能である。粘着チャックの連結部３３が平板で構成される場合には、連結部３３に通孔３Ｈを開穿して、後述する受け渡し部材５が、粘着チャックの連結部３３に対し、Ｚ方向へ無接触で挿通して往復動可能となるように構成している。なお、図示しないが、第一保持部材２や第二保持部材３又は粘着チャックの連結部３３が平板ではなく、例えば櫛歯状など、後述する受け渡し部材５と干渉しない形状に形成される場合には、通孔２Ｈ，３Ｈを開穿する必要がない。
さらに必要に応じて、図１（ａ）（ｂ）などには図示しないが、第一保持部材２又は第二保持部材３のいずれか一方か若しくは両方には、位置合わせ手段（図示しない）が備えられ、第一保持部材２と第二保持部材３を相対的にＸＹθ方向へ移動させることで、第一ワークＷ１と第二ワークＷ２を位置合わせすることが好ましい。
【００１８】
受け渡し部材５は、搬送ロボットなどの搬送手段Ｂと、第一保持部材２又は第二保持部材３のいずれか一方か若しくは両方とに亘って、第一ワークＷ１又は第二ワークＷ２のいずれか一方か若しくは両方を受け渡すリフトピンなどから構成され、ワーク保持用のチャック部５１と、チャック部５１に連設される軸部５２を有している。
チャック部５１は、吸引源（図示しない）と連通して第一ワークＷ１又は第二ワークＷ２の表面を着脱自在に吸着保持する吸引チャックなどからなり、第一ワークＷ１又は第二ワークＷ２の一方か若しくは両方の表面に対して、ＸＹ方向へ所定間隔毎に複数か或いは単数設けられている。
軸部５２は、その先端にチャック部５１からＺ方向へ延びるように設けられ、チャンバー１０内の変圧室１に対し、少なくとも変圧室１の貫通孔１２を無接触で挿通して、チャンバー１０の外部に配設される吸引源（図示しない）と連通するとともに、受け渡し用駆動部５ＤによってＺ方向へ往復動自在に構成されている。
受け渡し用駆動部５Ｄは、アクチュエーターなどから構成され、後述する制御部７により、図１（ａ）などに示されるワーク搬入時においては、搬送ロボットなどの搬送手段Ｂ（第一搬送部Ｂａ，第二搬送部Ｂｂ）によって搬入された第一ワークＷ１又は第二ワークＷ２のいずれか一方か、若しくは両方に向け、チャック部５１及び軸部５２を移動させて、搬送手段Ｂからチャック部５１へワークを受け取るように作動制御されている。その後、図１（ｂ）などに示されるように、チャック部５１から第一保持部材２又は第二保持部材３の一方か若しくは両方へのワーク受け渡しが行われ、このワーク受け渡しが完了してからワーク貼り合わせ時においては、チャック部５１及び軸部５２を変圧室１の貫通孔１２から抜き出るように逆向きに移動させるように作動制御されている。
【００１９】
受け渡し部材５の具体例としては、図１（ａ）（ｂ）などに示されるように、軸部５２がチャンバー１０の底壁部１１ａの第一貫通孔１２ａと第一保持部材２の通孔２Ｈを挿通する下側の第一受け渡し部材５ａと、軸部５２がチャンバー１０の天井部１１ｂの第二貫通孔１２ｂと第二保持部材３の通孔３Ｈを挿通する上側の第二受け渡し部材５ｂと、が備えられている。下側の第一受け渡し部材５ａのみを、受け渡し用駆動部５Ｄによって、下側の第一受け渡し部材５ａのチャック部５１が、第一貫通孔１２ａと第一保持部材２の通孔２Ｈから抜き出るように下降させている。上側の第二受け渡し部材５ｂは、第二チャンバー１０ｂが駆動手段１３で第一チャンバー１０ａへ向け接近移動（下降）することにより、上側の第二受け渡し部材５ｂのチャック部５１が、第二貫通孔１２ｂと第二保持部材３の通孔３Ｈから抜き出るように構成している。
また、その他の例として図示しないが、上側の第二受け渡し部材５ｂのみを受け渡し用駆動部５Ｄで、チャック部５１が第二貫通孔１２ｂと第二保持部材３の通孔３Ｈから抜き出るように上昇させたり、図２（ａ）（ｂ）や図４（ａ）（ｂ）に示されるように、下側の第一受け渡し部材５ａ及び上側の第二受け渡し部材５ｂの両方を受け渡し用駆動部５Ｄで、これらのチャック部５１がそれぞれ抜き出るように逆方向へ移動させたり変更することも可能である。
【００２０】
閉鎖部材６は、変圧室１が形成されるチャンバー１０の底壁部１１ａ又は天井部１１ｂのいずれか一方か若しくは両方に対して開閉動自在に設けられる蓋体６１を有している。
蓋体６１は、貫通孔１２の開口よりも大きくて被蓋し得る形状に形成され、閉鎖用駆動部６Ｄによって貫通孔１２に対し所定の方向へ開閉動自在に構成されている。
蓋体６１の閉鎖用駆動部６Ｄは、スライドアクチュエーターなどから構成され、後述する制御部７により、ワーク搬入時において、貫通孔１２が開口するように蓋体６１を移動させ、ワーク貼り合わせ時において、貫通孔１２から受け渡し部材５が抜き出された後に、貫通孔１２が気密状に閉鎖されるように蓋体６１を逆向きに移動させるように作動制御されている。
【００２１】
閉鎖部材６の具体例としては、図１（ａ）（ｂ）などに示されるように、チャンバー１０の底壁部１１ａに開穿した第一貫通孔１２ａに対し、蓋体６１として平板状の第一蓋体６ａが底壁部１１ａに沿ってＸ方向へ往復動自在に支持されるとともに、天井部１１ｂに開穿した第二貫通孔１２ｂに対し、蓋体６１として平板状の第二蓋体６ｂが天井部１１ｂに沿って少なくともＸ方向へ往復動自在に支持されている。
これら第一蓋体６ａ，第二蓋体６ｂのすべてを閉鎖用駆動部６Ｄで同時にＸ方向へ移動させることにより、第一貫通孔１２ａ及び第二貫通孔１２ｂをそれぞれ気密状に閉鎖している。
【００２２】
閉鎖用駆動部６Ｄによる蓋体６１の開閉方法として、図４（ａ）（ｂ）に示される場合には、天井部１１ｂの第二貫通孔１２ｂを開閉する複数の第二蓋体６ｂが連絡部６２で一体的に連結されている。
第二蓋体６ｂの閉鎖用駆動部６Ｄは、スライドアクチュエーターなどからなるＸ方向移動用の駆動部６Ｄ１とＺ方向移動用の駆動部６Ｄ２を有し、これらＸ方向移動用の駆動部６Ｄ１及びＺ方向移動用の駆動部６Ｄ２が第二チャンバー１０ｂに対して一体的に組み付けられている。
Ｘ方向移動用の駆動部６Ｄ１及びＺ方向移動用の駆動部６Ｄ２は、スライドアクチュエーターなどから構成され、後述する制御部７により、図４（ａ）などに示されるワーク搬入時においてはＸ方向移動用の駆動部６Ｄ１とＺ方向移動用の駆動部６Ｄ２により、第二蓋体６ｂを第二貫通孔１２ｂからＸ方向及びＺ方向へ離れた開動位置で待機させている。これに続き、上側の第二受け渡し部材５ｂで第二ワークＷ２が第二保持部材３の保持チャック３２に受け渡され、受け渡し用駆動部５Ｄで上側の第二受け渡し部材５ｂのチャック部５１が第二蓋体６ｂと干渉しない位置まで上昇した後に、Ｘ方向移動用の駆動部６Ｄ１により、連絡部６２と共に第二蓋体６ｂをチャンバー１０の天井部１１ｂと接触しないように、第二貫通孔１２ｂの上方位置までＸ方向へスライド移動させている。その後、図４（ｂ）に示されるワーク貼り合わせ時においては、駆動手段１３による第二チャンバー１０ｂの下降タイミングと同時か、又は下降タイミングよりも前に、Ｚ方向移動用の駆動部６Ｄ２により、連絡部６２と共に第二蓋体６ｂを第二貫通孔１２ｂに向けＺ方向へ下降させて閉じ、気密状に閉鎖している。ワーク貼り合わせ後は、第二蓋体６ｂが逆の手順で待機位置に戻される。
一方、底壁部１１ａの第一貫通孔１２ａを開閉する複数の第一蓋体６ａは、図示されない連絡部で一体的に連結されるとともに、閉鎖用駆動部６Ｄとして図示されないＸ方向移動用の駆動部でＸ方向へスライド移動させることにより、図１（ａ）（ｂ）などに示される場合と同様に、第一貫通孔１２ａを気密状に閉鎖している。
また、その他の例として図示しないが、第二蓋体６ｂを第一蓋体６ａと同様な構造の閉鎖用駆動部６Ｄにより開閉動させて第二貫通孔１２ｂを気密状に閉鎖したり、第一蓋体６ａを第二蓋体６ｂと同様な構造の閉鎖用駆動部６Ｄにより開閉動させて第一貫通孔１２ａを気密状に閉鎖したり変更することも可能である。
【００２３】
さらに、閉鎖部材６の変形例として、図５（ａ）（ｂ）に示されるように、閉鎖部材６が、変圧室１が形成されるチャンバー１０の底壁部１１ａ又は天井部１１ｂのいずれか一方か若しくは両方に向けて、蓋体６１を回動自在に設け、閉鎖用駆動部６Ｄにより蓋体６１を、受け渡し部材５が抜き出し移動された貫通孔１２に向け閉動させることも可能である。
詳しく説明すると、蓋体６１は、蓋体６１と同様に貫通孔１２の開口よりも大きくて被蓋し得る形状に形成され、その一辺をチャンバー１０の底壁部１１ａや天井部１１ｂに対してＺ方向などへ回動自在に支持し、閉鎖用駆動部６Ｄにより貫通孔１２に向け蓋体６１が回動して開閉するように構成されている。
蓋体６１の閉鎖用駆動部６Ｄは、回転アクチュエーターなどから構成され、後述する制御部７により、ワーク搬入時において、貫通孔１２が開口するように蓋体６１を回動させ、ワーク貼り合わせ時において、貫通孔１２から受け渡し部材５が抜き出された後に、貫通孔１２が気密状に閉鎖されるように蓋体６１を逆向きに回動させるように作動制御されている。
図５（ａ）（ｂ）に示される例では、チャンバー１０の天井部１１ｂに対し、蓋体６１として第二蓋体６ｂがＺ方向へ回動自在に支持され、閉鎖用駆動部６Ｄにより天井部１１ｂの第二貫通孔１２ｂに向け第二蓋体６ｂを回動させて開閉している。
また、その他の閉鎖部材６の変形例として図示しないが、チャンバー１０の底壁部１１ａに対し、第一蓋体６ａをＺ方向へ回動自在に支持して、底壁部１１ａの第一貫通孔１２ａを第一蓋体６ａで開閉したり、チャンバー１０の底壁部１１ａや天井部１１ｂに沿って蓋体６１をＸＹ方向へ回動自在に支持し、閉鎖用駆動部６Ｄにより貫通孔１２に向け蓋体６１を回動させて開閉したり、図示例以外の開閉構造に変更することも可能である。
【００２４】
制御部７は、チャンバー１０の開閉用駆動手段１３，１４と、第一保持部材２及び第二保持部材３の貼り合わせ用駆動部４と、受け渡し部材５の受け渡し用駆動部５Ｄと、閉鎖部材６の閉鎖用駆動部６Ｄにそれぞれ電気的に接続するだけでなく、変圧室１に対して第一ワークＷ１と第二ワークＷ２を出し入れするための搬送手段Ｂ（Ｂａ，Ｂｂ）や、チャンバー１０の吸排気手段や、第一ワークＷ１と第二ワークＷ２をＸＹθ方向へ相対的に移動させるための位置合わせ手段の位置合わせ用駆動部（図示しない）や、シール材を硬化させる硬化手段（図示しない）などにも電気的に接続するコントローラーである。
制御部７となるコントローラーは、その制御回路（図示しない）に予め設定されたプログラムに従って、予め設定されたタイミングで順次それぞれ作動制御している。
詳しく説明すると、制御部７が、ワーク搬入時においては、貫通孔１２が開口するように閉鎖部材６を開動させるとともに、受け渡し部材５をワーク受け渡しのために移動させるように作動制御している。その後のワーク貼り合わせ時においては、貫通孔１２から受け渡し部材５を抜き出し、貫通孔１２が気密状に閉鎖されるように閉鎖部材６を閉動させるとともに、第一保持部材２及び第二保持部材３を相対的に接近移動させるように作動制御している。
【００２５】
このような本発明の実施形態に係る貼合デバイスＷの製造装置Ａによると、図１（ａ）などに示されるように、変圧室１が形成されるチャンバー１０の内部へ第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２が搬入されるワーク搬入時には、制御部７で閉鎖部材６が開動して変圧室１の貫通孔１２を開口させる。それにより、受け渡し部材５が移動可能になって、第一ワークＷ１又は第二ワークＷ２のいずれか一方か若しくは両方を受け渡し部材５で受け取るとともに、受け渡し部材５から第一保持部材２又は第二保持部材３のいずれか一方か若しくは両方に受け渡す。このワーク受け渡し後は、図１（ｂ）などに示されるように、制御部７で変圧室１の貫通孔１２から受け渡し部材５を抜き出してから、閉鎖部材６が閉動して貫通孔１２を気密状に閉鎖させる。それにより、変圧室１が高度な真空状態になるまで減圧可能になる。この減圧状態で、第一保持部材２又は第二保持部材３の一方若しくは両方が相対的に接近移動して、第一ワークＷ１と第二ワークＷ２が貼り合わされる。
したがって、変圧室１や貫通孔１２と受け渡し部材５との間にシール部材を用いることなく受け渡し部材５を無接触で且つ無制限に移動可能なシール構造を提供することができる。
その結果、摺動部位が無いシール構造であるため、ゴミの発生によるワークの貼り合わせに悪影響や、摩耗に伴う部品交換や、圧力差の変化によるシール部材の変形を防止できて、長期に亘り安定した稼働が図れる。
さらに、受け渡し部材５をフリーで移動できるため、部品の寿命低下や、装置全体の大型化を防止できて、コストの低減化が図れる。
【００２６】
特に、図１（ａ）（ｂ）などに示されるように、第一保持部材２又は第二保持部材３のいずれか一方か若しくは両方は、変圧室１の貫通孔１２とワーク貼り合わせ方向（Ｚ方向）へ同軸状に配置される通孔２Ｈ，３Ｈを有し、受け渡し部材５は、ワーク保持用のチャック部５１を有し、受け渡し用駆動部５Ｄによりチャック部５１が貫通孔１２及び通孔２Ｈ，３Ｈを挿通し、変圧室１に搬入された第一ワークＷ１又は第二ワークＷ２のいずれか一方か若しくは両方に向け移動して保持させ、ワーク受け渡しが完了してから、チャック部５１を通孔２Ｈ，３Ｈ及び貫通孔１２から抜き出し移動させることが好ましい。
この場合には、変圧室１に搬入される第一ワークＷ１又は第二ワークＷ２の一方か若しくは両方を、受け渡し部材５のチャック部５１で保持して受け取った後に、受け渡し部材５のチャック部５１が、通孔２Ｈ，３Ｈを通って第一保持部材２又は第二保持部材３の一方か若しくは両方に向け無接触で移動することにより、第一ワークＷ１又は第二ワークＷ２の一方か若しくは両方が第一保持部材２又は第二保持部材３の一方か若しくは両方に受け渡される。このワーク受け渡し後は、ワーク貼り合わせのために通孔２Ｈ，３Ｈ及び貫通孔１２からチャック部５１が引き出され、閉鎖部材６の閉動で変圧室１が高度な気密状態になるまで減圧される。
したがって、第一保持部材２や第二保持部材３に対して受け渡し部材５を無接触で且つ無制限に移動可能なシールをすることができる。
その結果、第一保持部材２や第二保持部材３に対する第一ワークＷ１や第二ワークＷ２の受け渡しを確実に且つ簡素な構造で行うことができ、更なる装置全体のコンパクト化と更なるコストの低減化が図れる。
【００２７】
さらに、図１（ａ）（ｂ）〜図４（ａ）（ｂ）などに示されるように、閉鎖部材６は、変圧室１の底壁部１１ａ又は天井部１１ｂのいずれか一方か若しくは両方に沿ってワーク貼り合わせ方向（Ｚ方向）と交差する方向（Ｘ方向）へ開閉動自在に設けられる蓋体６１を有し、閉鎖用駆動部６Ｄにより蓋体６１を、受け渡し部材５が抜き出し移動された貫通孔１２に向け閉動させることが好ましい。
この場合には、変圧室１の貫通孔１２から受け渡し部材５が抜き出された後に、閉鎖部材６の蓋体６１を変圧室１の底壁部１１ａや天井部１１ｂに沿ってＸ方向へ閉動して貫通孔１２が被蓋される。
したがって、貫通孔１２を確実に開閉して変圧室１を完全な密閉状態にすることができる。
その結果、簡素な構造で第一ワークＷ１と第二ワークＷ２を完全な真空状態で貼り合わせることができる。
【００２８】
また、図５（ａ）（ｂ）に示されるように、閉鎖部材６は、変圧室１の底壁部１１ａ又は天井部１１ｂのいずれか一方か若しくは両方に向けて回動自在に設けられる蓋体６１を有し、閉鎖用駆動部６Ｄにより蓋体６１を、受け渡し部材５が抜き出し移動された貫通孔１２に向け閉動させる場合には、変圧室１の貫通孔１２から受け渡し部材５が抜き出された後に、閉鎖部材６の蓋体６１を変圧室１の底壁部１１ａや天井部１１ｂに向けて回動して貫通孔１２が被蓋される。
したがって、貫通孔１２を確実に開閉して変圧室１を完全な密閉状態にすることができる。
その結果、簡素な構造で第一ワークＷ１と第二ワークＷ２を完全な真空状態で貼り合わせることができる。
【実施例１】
【００２９】
次に、本発明の各実施例を図面に基づいて説明する。
この実施例１は、図６（ａ）（ｂ）に示すように、受け渡し部材５の軸部５２をＺ方向へ移動自在に案内するためのガイド部材５３を、変圧室１の貫通孔１２とＺ方向へ同軸状に設けたものである。
ガイド部材５３は、転がりを用いた直動ガイドなどで構成され、受け渡し部材５の軸部５２の外面とＸＹ方向へ当接してＺ方向のみに移動可能に支えている。変圧室１が形成されるチャンバー１０の底壁部１１ａや天井部１１ｂに対しガイド部材５３を一体的に組み付けることで、軸部５２のＺ方向への移動と関係なく、貫通孔１２とのＺ方向へ同軸状態が保持されている。【００３０】
図６（ａ）（ｂ）に示される例では、第二チャンバー１０ｂの外側にガイド部材５３を板状部材５４によって、チャンバー１０の天井部１１ｂの第二貫通孔１２ｂとＺ方向へ同一軸線状に固定配置される一体的に組み付けている。
また、その他の例として図示しないが、第一チャンバー１０ａや箱形のチャンバー１０ｃに対して、ガイド部材５３をチャンバー１０の底壁部１１ａの第一貫通孔１２ａなどとＺ方向へ同一軸線状に固定配置される一体的に組み付けることも可能である。【００３１】
このような本発明の実施例１に係る貼合デバイスＷの製造装置Ａによると、受け渡し部材５の軸部５２が長くなっても、ガイド部材５３によりＺ方向のみに移動可能に案内されるため、軸部５２のＺ方向への移動に伴ってそれと交差するＸＹ方向へ振れ移動することがない。
したがって、受け渡し部材５の軸部５２を変圧室１の貫通孔１２や壁面などと接触せずスムーズで確実に移動させることができる。
その結果、安定性に優れるという利点がある。
【実施例２】
【００３２】
この実施例２は、図７（ａ）（ｂ）に示すように、変圧室１が形成されるチャンバー１０をＺ方向へ、内部に第一保持部材２が具備される第一チャンバー１０ａと、内部に第二保持部材３が具備される第二チャンバー１０ｂに分割し、第一チャンバー１０ａ又は第二チャンバー１０ｂの一方を他方へ向けて反転させるための反転手段８を設け、反転手段８で第一チャンバー１０ａと第二チャンバー１０ｂが共にＺ方向へ開口するように反転した開動位置を、第一チャンバー１０ａ内の第一保持部材２に向けて第一ワークＷ１が搬入されるとともに、第二チャンバー１０ｂ内の第二保持部材３に向けて第二ワークＷ２が搬入される搬入ポジションＰ１とし、反転手段８で第一チャンバー１０ａと第二チャンバー１０ｂがＺ方向へ重ね合わされるように反転した閉動位置を、第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２が貼り合わされる貼り合わせポジションＰ２とする構成が、図６（ａ）（ｂ）に示した実施例１とは異なるものである。
なお、図示しないが、実施例２も図６（ａ）（ｂ）に示した実施例１のように構成することも可能である。【００３３】
反転手段８は、第一チャンバー１０ａ又は第二チャンバー１０ｂのいずれか一方に連設され、反転用駆動源１５によって第一チャンバー１０ａ又は第二チャンバー１０ｂの一方を、搬入ポジションＰ１となる開動位置から貼り合わせポジションＰ２となる閉動位置に向け、Ｚ方向へ反転移動自在に構成している。さらに必要に応じて、反転手段８は、第一チャンバー１０ａ又は第二チャンバー１０ｂの一方を他方へ向けてＺ方向へ昇降移動させる機能を有することが好ましい。
反転用駆動源１５は、アクチュエーターなどから構成され、制御部７により、ワーク搬入時には搬入ポジションＰ１において、第一チャンバー１０ａを第一保持部材２の保持チャック２２がＺ方向へ露出するように開口させると同時に、第二チャンバー１０ｂを第二保持部材３の保持チャック３２がＺ方向へ露出するように開口させるように作動制御されている。受け渡し部材５によるワーク受け渡し後には、第一チャンバー１０ａ又は第二チャンバー１０ｂの一方を他方へ向け反転して、チャンバー１０が閉じ密封状態となると同時に、貼り合わせポジションＰ２において、第一保持部材２の保持チャック２２に保持された第一ワークＷ１の膜面などからなる貼り合わせ面Ｗ１ｆと、第二保持部材３の保持チャック３２に保持された第二ワークＷ２の膜面などからなる貼り合わせ面Ｗ２ｆがＺ方向へ対向するように作動制御されている。【００３４】
図７（ａ）（ｂ）に示される例では、内部に第一保持部材２が具備される下側の第一チャンバー１０ａに対し、内部に第二保持部材３が具備される上側の第二チャンバー１０ｂを反転手段８で反転自在に支持している。
図７（ａ）に示される搬入ポジションＰ１では、第一チャンバー１０ａと第二チャンバー１０ｂが共に上向きに開口するように開動させ、第二受け渡し部材５ｂにより第二ワークＷ２が第二保持部材３の保持チャック３２に受け渡された後に、反転手段８により上側の第二チャンバー１０ｂを下側の第一チャンバー１０ａに向け反転移動して、第一受け渡し部材５ａにより第一保持部材２の保持チャック２２に受け渡される第一ワークＷ１とＺ方向へ対向させている。
図７（ｂ）に示される貼り合わせポジションＰ２では、反転手段８により、反転移動した上側の第二チャンバー１０ｂを下降させ、下側の第一チャンバー１０ａと接触してチャンバー１０が閉じるようにしている。
また、その他の例として図示しないが、反転手段８により上側の第二チャンバー１０ｂを下側の第一チャンバー１０ａに向けて反転移動した後に、下側の第一チャンバー１０ａを駆動手段１３で上昇させ、上側の第二チャンバー１０ｂと接触してチャンバー１０が閉じるように変更することも可能である。【００３５】
このような本発明の実施例２に係る貼合デバイスＷの製造装置Ａによると、図７（ａ）（ｂ）に示されるように、搬入ポジションＰ１において反転手段８により第一チャンバー１０ａと第二チャンバー１０ｂが共に上向きに開口するように反転させると、変圧室１に搬入される第一ワークＷ１と第二ワークＷ２を、それぞれの貼り合わせ面Ｗ１ｆ，Ｗ２ｆが上向きになるように裏面Ｗ１ｒ，Ｗ２ｒを下から支持したまま、受け渡し部材５で受け取れるとともに、第一保持部材２と第二保持部材３に受け渡される。
したがって、変圧室１に搬入された第一ワークＷ１と第二ワークＷ２をそれらの貼り合わせ面Ｗ１ｆ，Ｗ２ｆに不接触で且つ簡単に第一保持部材２と第二保持部材３に受け渡すことができる。
その結果、受け渡し部材５に限らず、変圧室１への搬入手段として用いられる搬送ロボットなども含めて、第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２の搬送システムの構造が簡素化できるため、コストの低減化が図れるとともに、これらの搬送に伴う膜面などからなる貼り合わせ面Ｗ１ｆ，Ｗ２ｆへの傷付きを完全に防止できるため、貼合デバイスＷの品質の向上も図れるという利点がある。
【実施例３】
【００３６】
この実施例３は、図８（ａ）〜（ｃ）に示すように、搬入ポジションＰ１において、受け渡し部材５となる第一受け渡し部材５ａで受け取った第一ワークＷ１又は第二受け渡し部材５ｂで受け取った第二ワークＷ２のいずれか一方を他方に対して相対的にＸＹθ方向へ移動させてＺ方向へ位置合わせする位置合わせ手段９を備え、位置合わせ手段９は、第一受け渡し部材５ａで受け取った第一ワークＷ１と、第二受け渡し部材５ｂで受け取った第二ワークＷ２を位置検出する検出部９１と、検出部９１からの位置データに基づいて第一受け渡し部材５ａ又は第二受け渡し部材５ｂのいずれか一方か若しくは両方をＸＹθ方向へ相対的に移動させる位置合わせ用駆動部９２を有する構成が、図７（ａ）（ｂ）に示した実施例２とは異なり、それ以外の構成は図７（ａ）（ｂ）に示した実施例２と同じものである。【００３７】
位置合わせ手段９の検出部９１は、予め第一ワークＷ１や第二ワークＷ２に付されたマークやコーナー部などを撮影によって検知するカメラなどからなる。位置合わせ用駆動部９２は、第一受け渡し部材５ａや第二受け渡し部材５ｂに連設されるＸＹθステージやＸＹテーブルなどからなる。
検出部９１と位置合わせ用駆動部９２は、図示しないが、制御部７を介して電気的に接続されており、検出部９１から入力した位置データに基づき位置合わせ用駆動部９２を作動させている。
詳しく説明すると、位置合わせ手段９は、検出部９１から入力した位置データにより、第一受け渡し部材５ａで支持された第一ワークＷ１のＸＹ方向位置と、第二受け渡し部材５ｂで支持された第二ワークＷ２のＸＹ方向位置との位置ズレ状況を検知し、位置ズレ量を位置合わせ用駆動部９２に出力して作動させている。
位置合わせ用駆動部９２は、この位置ズレ量に応じて第一受け渡し部材５ａ又は第二受け渡し部材５ｂのいずれか一方か若しくは両方をＸＹθ方向へ相対的に移動させることにより、第一受け渡し部材５ａと第二受け渡し部材５ｂのＸＹ方向位置が相対的に調整移動される。
制御部７は、位置合わせ用駆動部９２による調整移動が終了した後に、第一受け渡し部材５ａの作動を開始して、第一ワークＷ１が第一保持部材２の保持チャック２２に受け渡されるとともに、第二受け渡し部材５ｂの作動を開始して、第二ワークＷ２が第二保持部材３の保持チャック３２に受け渡される。この受け渡し時においては、第一受け渡し部材５ａ又は第二受け渡し部材５ｂのいずれか一方か若しくは両方が、位置合わせ用駆動部９２によるＸＹ方向位置を維持しながら、第一ワークＷ１と第二ワークＷ２の受け渡しを行うことで、貼り合わせポジションＰ２において第一ワークＷ１と第二ワークＷ２のＸＹ方向位置がＺ方向へ位置合わせされるように構成している。【００３８】
図８（ａ）〜（ｃ）に示される例では、図８（ａ）に示される搬入ポジションＰ１において、第一チャンバー１０ａと第二チャンバー１０ｂが共に上向きに開口するように開動し、第一搬送部Ｂａから第一ワークＷ１が第一受け渡し部材５ａのチャック部５１に受け渡された状態を、複数の検出部９１で撮影して第一ワークＷ１のＸＹ方向位置が検知されるとともに、第二搬送部Ｂｂから第二ワークＷ２が第二受け渡し部材５ｂのチャック部５１に受け渡された状態を、複数の検出部９１で撮影して第二ワークＷ２のＸＹ方向位置が検知されている。
第二受け渡し部材５ｂに位置合わせ用駆動部９２が設けられ、複数の検出部９１から出力された位置データに基づいた位置ズレ量に応じて、第二受け渡し部材５ｂのみを第二貫通孔１２ｂ及び通孔３Ｈの内部でＸＹθ方向へ調整移動し、この調整移動されたＸＹ方向位置を維持しながら第二ワークＷ２が第二保持部材３の保持チャック３２に受け渡されている。
また、その他の例として図示しないが、第二受け渡し部材５ｂに代えて第一受け渡し部材５ａのみに位置合わせ用駆動部９２を設け、位置ズレ量に応じて、第一受け渡し部材５ａのみを第一貫通孔１２ａ及び通孔２Ｈの内部でＸＹθ方向へ調整移動し、この調整移動されたＸＹ方向位置を維持しながら第一ワークＷ１が第一保持部材２の保持チャック２２に受け渡されるように変更したり、第一受け渡し部材５ａ及び第二受け渡し部材５ｂの両方を調整移動したり変更することも可能である。【００３９】
このような本発明の実施例３に係る貼合デバイスＷの製造装置Ａによると、搬入ポジションＰ１において位置合わせ手段９の検出部９１が、第一受け渡し部材５ａで受け取った第一ワークＷ１と、第二受け渡し部材５ｂで受け取った第二ワークＷ２を位置検出し、その位置データに基づいて位置合わせ用駆動部９２で、第一受け渡し部材５ａ又は第二受け渡し部材５ｂのいずれか一方か若しくは両方をＸＹθ方向へ相対的に移動させることにより、その後の第一受け渡し部材５ａや第二受け渡し部材５ｂの作動で第一保持部材２や第二保持部材３に対する受け渡し位置が、貼り合わせポジションＰ２において第一ワークＷ１と第二ワークＷ２のＸＹ方向位置がＺ方向へ位置合わせされるように調整される。
したがって、搬入時に位置ズレが生じても第一ワークＷ１と第二ワークＷ２を正確に貼り合わせることができる。
その結果、貼合デバイスＷの貼り合わせ精度が向上して品質の安定性に優れるという利点がある。
【符号の説明】
【００４０】
Ａ  貼合デバイスの製造装置
１  変圧室                              １０  チャンバー
１０ａ  第一チャンバー                  １０ｂ  第二チャンバー
１１ａ  底壁部                          １１ｂ  天井部
１２  貫通孔                            ２  第一保持部材
２Ｈ  通孔                              ３  第二保持部材
３Ｈ  通孔                              ４  貼り合わせ用駆動部
５  受け渡し部材                        ５Ｄ  受け渡し用駆動部
５ａ  第一受け渡し部材                  ５ｂ  第二受け渡し部材
５１  チャック部                        ５２  軸部
５３  ガイド部材                        ６  閉鎖部材
６Ｄ  閉鎖用駆動部                      ６１  蓋体
７  制御部                              ８  反転手段
９  位置合わせ手段                      ９１  検出部
９２  位置合わせ用駆動部
Ｐ１  搬入ポジション                    Ｐ２  貼り合わせポジション
Ｗ  貼合デバイス
Ｗ１  第一ワーク                        Ｗ２  第二ワーク
【要約】
変圧室や貫通孔と受け渡し部材との間にシール部材を用いることなく受け渡し部材を無接触で且つ無制限に移動可能なシール構造を提供する。
変圧室１へのワーク搬入時には、制御部７で閉鎖部材６が開動して変圧室１の貫通孔１２を開口させることにより、受け渡し部材５が移動可能になって、第一ワークＷ１又は第二ワークＷ２のいずれか一方か若しくは両方を受け渡し部材５で受け取るとともに、受け渡し部材５から第一保持部材２又は第二保持部材３のいずれか一方か若しくは両方に受け渡す。その後は、制御部７で変圧室１の貫通孔１２から受け渡し部材５を抜き出してから、閉鎖部材６が閉動して貫通孔１２を気密状に閉鎖させることにより、変圧室１が高度な真空状態になるまで減圧可能になって、第一ワークＷ１と第二ワークＷ２が貼り合わされる。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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