(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面からなる表面にヘッドサスペンションの取付部に取り付ける微小な平面四角形の薄板状部材の圧電素子を載置させ大まかな位置決めを行うステージ部と、
該ステージ部上の圧電素子を前記表面の面方向での突き当てによって取付部に対応した目標位置に位置決める突当部と、
前記圧電素子を前記面方向に付勢して前記突き当てを行わせる付勢部とを備え、
前記付勢部は、前記圧電素子を気体の吹き出しによって付勢し、
前記付勢部の付勢により前記圧電素子をスライド移動させる位置決め装置であって、
前記突当部は、前記圧電素子外周の隣接する二辺に対応して設けられた一対の突当面を備え、
前記付勢部は、前記一対の突当面間の挟角部に向けて前記気体を吹き出す単一の吹出口を備え、
前記付勢部の付勢は、前記大まかに位置決められた圧電素子の隣接する二端面に外周から気体を吹き付けて行い、
前記スライド移動時に前記付勢部からの気体が前記圧電素子の下面側に入り込み該圧電素子を浮上させる、
ことを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】
請求項１記載の位置決め装置であって、
前記圧電素子は、平面正方形であり、
前記吹出口の吹出方向は、前記一対の各突当面に対して４５°傾斜している、
ことを特徴とする位置決め装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の位置決め装置であって、
前記付勢部は、進退移動によって付勢力を調整する、
ことを特徴とする位置決め装置。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかに記載の位置決め装置であって、
前記付勢部は、前記気体の流量によって付勢力を調整する、
ことを特徴とする位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子等の板状部材を、ヘッドサスペンション等の取付部に対応した目標位置に位置決める位置決め装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の板状部材としては、例えば特許文献１のように、デュアル・アクチュエータ方式のヘッドサスペンションに取り付けられる圧電素子がある。
【０００３】
この圧電素子は、ヘッドサスペンションの取付部に取り付けられてヘッド部側を微小駆動するようになっている。従って、ヘッドサスペンションは、ヘッド部側の位置決め精度が向上してディスクの高密度化に対応することができる。
【０００４】
かかる圧電素子は、ヘッドサスペンションの取付部に対する取付位置のばらつきが、ヘッド部側の駆動ストロークにばらつきを生じさせることになる。従って、圧電素子には、取付部に対する高い位置決め精度が要求される。
【０００５】
この位置決め精度は、予め圧電素子を取付部に対応した目標位置に位置決めておき、その位置決め姿勢を保持しながら圧電素子を取付部に取り付けることで実現される。
【０００６】
従来の目標位置への位置決めには、例えば特許文献２のような押圧プレートと基準面プレートとを備えた位置決め装置が用いられる。この位置決め装置では、圧電素子を押圧プレートによって押圧し基準面プレートに押し当てる（クランプする）ことで目標位置に位置決めることができる。
【０００７】
しかしながら、従来の位置決め装置では、押圧プレートと基準面プレートとの間で圧電素子を完全にクランプすると、圧電素子に形状のばらつきに応じた衝撃等が作用してしまう。この結果、圧電素子には、クラックやチッピング等の損傷が生じていた。
【０００８】
従って、従来の位置決め装置では、圧電素子を完全にクランプすることはできず、確実に目標位置に位置決めすることは困難であった。
【０００９】
また、圧電素子の損傷は、押圧プレートの押圧力を弱くしても、完全には抑制することができなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００２−０５０１４０号公報
【特許文献２】特開２００８−１１２９０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
解決しようとする問題点は、板状部材を損傷することなく目標位置に位置決めることができない点である。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、圧電素子を損傷することなく目標位置に位置決めるために、平面からなる表面にヘッドサスペンションの取付部に取り付ける微小な平面四角形の薄板状部材の圧電素子を載置させ大まかな位置決めを行うステージ部と、該ステージ部上の圧電素子を前記表面の面方向での突き当てによって取付部に対応した目標位置に位置決める突当部と、前記圧電素子を前記面方向に付勢して前記突き当てを行わせる付勢部とを備え、前記付勢部は、前記圧電素子を気体の吹き出しによって付勢し、前記付勢部の付勢により前記圧電素子をスライド移動させる位置決め装置であって、前記突当部は、前記圧電素子外周の隣接する二辺に対応して設けられた一対の突当面を備え、前記付勢部は、前記一対の突当面間の挟角部に向けて前記気体を吹き出す単一の吹出口を備え、前記付勢部の付勢は、前記大まかに位置決められた圧電素子の隣接する二端面に外周から気体を吹き付けて行い、前記スライド移動時に前記付勢部からの気体が前記圧電素子の下面側に入り込み該圧電素子を浮上させることを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の位置決め装置では、圧電素子を、付勢部からの空気の吹き出しによって付勢し突当部に突き当てることで目標位置に位置決めることができる。従って、圧電素子を損傷することなく、確実に目標位置に位置決めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】位置決め装置を示す平面図である（実施例１）。
【図２】図１の位置決め装置の姿勢調整動作を示す斜視図である（実施例１）。
【図３】位置決め状態を確認するためのクリアランスを示す平面図である（実施例１）。
【図４】クリアランスと引込流量との関係を示すグラフである（実施例１）。
【図５】位置決め装置を示す平面図である（実施例２）。
【図６】位置決め装置を示す平面図であり、（ａ）は圧電素子の位置決め状態、（ｂ）は同位置決め前状態を示している（実施例３）。
【図７】位置決め装置を示す平面図であり、（ａ）は圧電素子の位置決め状態、（ｂ）は同位置決め前状態、（ｃ）は同クリアランスがある位置決め状態を示している（実施例４）。
【図８】位置決め装置を示す平面図である（実施例５）。
【図９】位置決め装置を示す平面図である（実施例６）。
【図１０】変形例に係る位置決め装置を示す平面図である（実施例６）。
【図１１】位置決め装置を示す平面図である（実施例７）。
【図１２】位置決め装置を示す平面図である（実施例８）。
【図１３】位置決め装置を示す平面図であり、（ａ）は圧電素子の位置決め状態、（ｂ）は同クリアランスがある位置決め状態を示している（実施例９）。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
板状部材を損傷することなく確実に目標位置に位置決めるという目的を、板状部材を気体の吹き出しによって付勢することで実現した。
【実施例１】
【００１６】
［位置決め装置の構成］
図１は、本発明の実施例１に係る位置決め装置を示す平面図、図２は、図１の位置決め装置の姿勢調整動作を示す斜視図、図３は、位置決め状態を確認するためのクリアランスを示す平面図、図４は、クリアランスと引込流量との関係を示すグラフである。
【００１７】
図１の位置決め装置１は、例えばハードディスク内に設けられるデュアル・アクチュエータ方式のヘッドサスペンションを製造する際に用いられる。この位置決め装置１は、板状部材としての圧電素子３を、ヘッドサスペンションの取付部に対応した目標位置に予め位置決めるものである。
【００１８】
圧電素子３としては、例えばチタン酸ジルコン酸鉛等の圧電セラミックスからなるものが用いられる。圧電素子３は、平面四角形の平板状に形成されている。本実施例では、例えば約１〜２ｍｍ角の平面正方形であり、板厚が約０．１ｍｍに設定されている。従って、本実施例の圧電素子３は、平面視の各辺がミリ単位であると共に板厚が平面視の各辺に対して１／１０以下に設定された微小な薄板状となっている。ただし、圧電素子３は、各辺を約０．１〜３．５ｍｍの範囲、板厚を約０．０２〜０．１５ｍｍの範囲で設定した微小な薄板状とすることができ、その設定に応じて各辺と板厚との比率も変更される。
【００１９】
なお、位置決め装置１は、圧電素子に限らず、同様の微小な薄板状部材に適用することができる。また、圧電素子は、使用目的に応じて平面矩形等としてもよい。
【００２０】
本実施例の位置決め装置１は、図１及び図２のように、ステージ部５と、突当部７と、付勢部９と、位置確認部１１とを備えている。
【００２１】
ステージ部５は、平面四角形の平板状に形成されている。ただし、ステージ部５は、円板形状等の他の形状であってもよい。ステージ部５の表面１３は、平面からなり、圧電素子３を載置できるようになっている。このステージ部５の表面１５上には、突当部７が設けられている。
【００２２】
突当部７は、一対の突当体１５，１７からなっている。突当体１５，１７は、平面矩形の棒状に形成され、ステージ部５外周の隣接する二辺に沿って配置されている。従って、突当体１５，１７は、相互に交差方向に延設されている。突当体１５，１７の端部間には、隙間１９が設けられている。突当体１５，１７の内周側には、それぞれ圧電素子３の面方向での突当面２１，２３が形成されている。
【００２３】
一対の突当面２１，２３は、相互に交差配置された平面からなっている。この突当面２１，２３は、圧電素子３外周の隣接する二辺の端面２５，２７に対応して設けられている。また、突当面２１，２３は、ヘッドサスペンションの取付部に対してアライメントされている。
【００２４】
従って、突当面２１，２３は、圧電素子３外周の端面２５，２７を面方向で各別に突き当て、圧電素子３を取付部に対応した目標位置に位置決めできるようになっている。
【００２５】
なお、突当部７は、突当面２１，２３が圧電素子３の端面に対応していればよく、突当体の形状を変更してもよい。ただし、突当体を平面円形とした場合は、周回状の外周面によって突当面が形成される。このため、圧電素子３は、突当面に対して点接触することになる。
【００２６】
突当面２１，２３の長さは、圧電素子３の対応する各辺よりも長く形成されている。ただし、圧電素子３の対応する各辺よりも短く形成してもよい。
【００２７】
前記付勢部９は、ノズル２９を介して気体としての空気を吹き出し、圧電素子３を付勢するようになっている。ノズル２９は、軸心方向に進退移動自在に支持された円筒状に形成されている。ノズル２９の軸心は、圧電素子３の面方向に沿っている。また、ノズル２９の軸心は、平面視で突当部７の突当面２１，２３に対して約４５°傾斜している。ノズル２９の先端には、吹出口３１が設けられている。
【００２８】
吹出口３１は、突当部７の突当面２１，２３間の挟角部３３に向けて開口している。吹出口３１の吹き出し方向は、ノズル２９の配置に応じて、平面視で突当部７の突当面２１，２３に対して約４５°傾斜している。これにより、吹き出し方向は、位置決め状態の圧電素子３の対角線に沿うようになっている。
【００２９】
なお、吹き出し方向は、圧電素子の平面形状に応じて、対角線に沿うように角度変更される。また、付勢部９は、吹出口３１から空気を吹き出せればよいため、空気の流路及び吹出口さえあればノズル２９の形状自体は自由である。
【００３０】
前記付勢部９は、図示しないコントローラによって空気の吹出制御が行われる。吹出制御では、ノズル２９の進退移動、或いは空気の流量調整によって圧電素子３に対する付勢力を調整できるようになっている。
【００３１】
前記位置確認部１１は、貫通孔３５，３７と、流量計測部３９とからなっている。
【００３２】
貫通孔３５，３７は、ステージ部５に貫通形成されている。貫通孔３５，３７は、後述する圧電素子３の位置決め状態で、圧電素子３によって閉塞されるようになっている。この貫通孔３５，３７は、断面円形に形成され、貫通孔３５，３７の径は、圧電素子３の各辺の長さよりも短い約０．５ｍｍに設定されている。なお、貫通孔の断面形状は、例えば多角形にすることも可能である。
【００３３】
この貫通孔３５，３７は、後述する流量計測部３９の吸引方向であるステージ部５の板厚方向において、それぞれ突当部７の突当体１５，１７と部分的に重なっている。これにより、貫通孔３５，３７は、部分的に塞がれており、突当部７の突当面２１，２３から交差方向に突出して断面形状が小さくなるように開口している。なお、貫通孔３５，３７の塞ぎ量は、任意に設定することができる。
【００３４】
本実施例では、突当体１５，１７が貫通孔３５，３７の約半分を塞ぎ、且つ突当体１５，１７の突当面２１，２３が貫通孔３５，３７の断面中心を通っている。従って、貫通孔３５，３７は、ステージ部５の表面１３上で半円形状に開口し、突当面２１，２３上で最大径となっている。
【００３５】
このため、貫通孔３５，３７は、一対の突当面２１，２３に沿って複数配置された構成となっている。また、貫通孔３５，３７は、後述する圧電素子３の位置決め状態で、圧電素子３の中心よりも突当部７の突当面２１，２３に沿った外側に偏倚している。
【００３６】
前記流量計測部３９は、ステージ部５の裏面４１側で貫通孔３５，３７に接続されている。流量計測部３９は、貫通孔３５，３７を介して気体である空気を引き込み、ステージ部５上の圧電素子３を吸引する。流量計測部３９の吸引制御は、コントローラによって行われる。
【００３７】
この流量計測部３９は、図示しない流量計を備えている。流量計は、前記空気の引込流量を測定する。測定された引込流量は、コントローラに入力される。コントローラでは、引込流量に応じて圧電素子３の位置決め状態を確認する。
［圧電素子の位置決め］
本実施例の位置決め装置１では、図２のように、圧電素子３をステージ部５上で目標位置に位置決めした後、その位置決め状態の確認が行われる。
【００３８】
位置決めの際には、図２（ａ）のように、まず位置決め装置１のステージ部５上に圧電素子３を載置する。この載置により、圧電素子３は大まかな位置決めが行われる。載置された圧電素子３上には、図２（ｂ）のように、搬送パッド４３がセットされる。搬送パッド４３の先端は、圧電素子３の表面に対して０．００５ｍｍの僅かな隙間を有している。なお、搬送パッド４３は、圧電素子３を吸引支持して姿勢を保持しながら搬送するものである。
【００３９】
次いで、位置決め装置１は、図２（ｃ）のように、付勢部９のノズル２９から圧電素子３に対して空気を吹き出す。吹き出された空気は、その吹き出し方向設定により、大まかに位置決められた圧電素子３外周の隣接する二端面４５，４７に吹き付けられる。従って、圧電素子３を突当部７の突当面２１，２３の双方に向けて確実に付勢することができる。
【００４０】
かかる付勢により、圧電素子３は、突当部７の突当面２１，２３側にスライド移動して面方向で突き当てられる。このスライド移動時には、付勢部９からの空気が圧電素子３の下面側に入り込む。
【００４１】
このため、圧電素子３は、ステージ部５に対して僅かに浮上することになる。従って、位置決め装置１では、圧電素子３の突き当て動作を円滑に行わせることができる。
【００４２】
また、位置決め装置１では、圧電素子３のスライド移動に応じ、付勢部９のノズル２９の進出又は空気の流量の増加を行うことができる。なお、付勢部９のノズル２９の進出及び空気の流量の増加は、双方を行わせることもできる。これにより、付勢力の低下を抑制して、より円滑に圧電素子３の突き当て動作を行わせることができる。
【００４３】
こうして圧電素子３は、突当部７の突当面２１，２３に面方向で突き当てられ、ヘッドサスペンションの取付部に対応した目標位置に位置決められる。
【００４４】
圧電素子３の位置決め後は、位置確認部１１による位置決め状態の確認が行われる。確認の際には、図２（ｄ）のように、まず流量計測部３９による圧電素子３の吸引が行われる。そして、位置確認部１１は、かかる吸引時の引込流量に応じて、圧電素子３の位置決め状態を確認する。
【００４５】
流量計測部３９の引込流量は、図３に示す突当部７の突当面２１，２３と圧電素子３の端面２５，２７とのクリアランスＤに応じて変化する。すなわち、クリアランスＤが大きくなると、これに応じて貫通孔３５，３７の開口量が増加して流量計測部３９の引込流量も増加することになる。
【００４６】
従って、クリアランスＤ及び引込流量は、図４のように、いずれか一方が増加すると他方も増加する正の相関関係になっている。なお、図４では、クリアランスＤが０ｍｍ、０．０１ｍｍ、０．０２ｍｍ、０．０３ｍｍ、０．０４ｍｍの時の引込流量を示している。
【００４７】
この相関関係に基づき、コントローラは、引込流量に対応するクリアランスＤが許容範囲内か否かを判断する。なお、許容範囲を画定する閾値は、ヘッドサスペンションに要求されるヘッド部側の位置決め精度に応じて設定される。
【００４８】
クリアランスＤが許容範囲内である場合は、図２（ｅ）のように、流量計測部３９の吸引を停止させると共に搬送パッド４３によって圧電素子３を吸引支持する。この吸引支持の際には、圧電素子３が、突当面２１，２３によって上昇移動を案内される。その後は、図２（ｆ）のように、付勢部９の空気の吹き出しを停止させ、位置決め状態を保持しながら圧電素子３をヘッドサスペンションの取付部へ搬送する。
【００４９】
一方、クリアランスＤが許容範囲外である場合は、クリアランスＤが許容範囲内になるまで上記位置決め及びその確認作業が繰り返されることになる。
［実施例１の効果］
本実施例の位置決め装置１は、圧電素子３を載置させるステージ部５と、ステージ部５上の圧電素子を面方向での突き当てによって取付部に対応した目標位置に位置決める突当部７と、圧電素子３を面方向に付勢して前記突き当てを行わせる付勢部９とを備え、付勢部９は、圧電素子３を空気の吹き出しによって付勢する。
【００５０】
従って、位置決め装置１は、圧電素子３を付勢部９からの空気の吹き出しによって直接クランプせずに突当部７に対して完全に突き当てることができ、確実に圧電素子３を目標位置に位置決めることができる。
【００５１】
また、位置決め装置１では、直接クランプしないので、圧電素子３の形状のばらつきによる余計な衝撃や力等を作用させることがなく、圧電素子３にクラックやチッピング等の損傷を生じることを確実に抑制することができる。
【００５２】
さらに、従来のように圧電素子を固体で付勢する場合は、圧電素子に対する加工精度や動作精度を向上させる必要があるのに対し、本願の位置決め装置１では、圧電素子３を空気の吹き付けによって付勢するため、かかる精度の向上が不要となる。
【００５３】
従って、位置決め装置１では、圧電素子３の位置決め精度を容易に向上することができる。
【００５４】
また、吹き出された空気は、圧電素子３の下面側にも入り込むため、圧電素子３をステージ部５に対して僅かに浮上させることができる。従って、位置決め装置１では、圧電素子３の突き当て動作を円滑に行わせることができる。
【００５５】
前記突当部７は、圧電素子３外周の隣接する二辺の端面２５，２７に対応して設けられた一対の突当面２１，２３を備えているため、圧電素子３を確実に位置決めることができる。
【００５６】
また、付勢部９は、一対の突当面２１，２３間の挟角部３３に向けて空気を吹き出す吹出口３１を備えているため、圧電素子３を一対の突当面２１，２３の双方に向けて確実に付勢することができる。従って、位置決め装置１では、単一の吹出口３１によって圧電素子３を付勢して確実に位置決めることができる。
【００５７】
吹出口３１の吹出方向は、位置決め状態の圧電素子３の対角線に沿っている。従って、位置決め装置１では、より確実に単一の吹出口３１によって圧電素子３を一対の突当面２１，２３の双方に向けて付勢することができる。
【００５８】
本実施例では、圧電素子３が平面正方形であり、吹出口３１の吹出方向が一対の各突当面２１，２３に対して４５°傾斜しているため、より確実に単一の吹出口３１によって圧電素子３を一対の突当面２１，２３の双方に向けて付勢することができる。
【００５９】
本実施例の位置決め装置１では、付勢部９のノズル２９の進出或いは空気の流量の増加によって付勢力の低下を抑制することができる。このため、より円滑に圧電素子３の突き当て動作を行わせることができる。
【００６０】
本実施例の位置決め装置１では、ステージ部５に貫通形成された貫通孔３５，３７と、貫通孔３５，３７を介して圧電素子３を吸引する流量計測部３９とを備え、流量計測部３９の引込流量に応じて圧電素子３の位置決め状態を確認する。
【００６１】
従って、小型で軽量且つ薄板状の圧電素子３であっても、吸引によって飛散等及びステージ部５上での位置ずれが抑制しながら、位置決め状態を容易且つ確実に確認することができる。
【００６２】
貫通孔３５，３７は、一対の突当面２１，２３に沿って複数配置されているため、引込流量差が大きくなり、閾値設定を細かくすることができ、圧電素子３の位置決め状態の確認精度も向上することができる。
【００６３】
貫通孔３５，３７は、突当部７の突当面２１，２３から交差方向に突出して断面形状が小さくなるように開口しているため、突当部７と圧電素子３とのクリアランスＤ内での貫通孔３５，３７の開口量を大きくすることができる。
【００６４】
従って、位置決め装置１では、引込流量差を大きくすることができ、クリアランスＤの僅かな差に対する感度を向上することができる。結果として、より確実に圧電素子３の位置決め状態の確認精度を向上することができる。
【００６５】
本実施例の位置決め装置１は、貫通孔３５，３７の開口が断面半円形であるため、クリアランスＤ内に最大径部分を位置させることができる。従って、位置決め装置１では、より確実に引込流量差を大きくすることができ、クリアランスＤの僅かな差に対する感度を向上することができる。
【実施例２】
【００６６】
図５は、本発明の実施例２に係る位置決め装置の平面図である。なお、本実施例は、その基本構成が上記実施例１の基本構成と同一であるため、対応する構成部分について同符号或いは同符号にＡを付して詳細な説明を省略する。
【００６７】
本実施例の位置決め装置１Ａは、突当部７Ａの突当体１５Ａ，１７Ａ間の隙間をなくしたものである。すなわち、突当部７Ａは、一方の突当体１５Ａの端部を延設して他方の突当体１７Ａの端部を突き当てられている。なお、突当体１５Ａ，１７Ａは、一体に形成しても良い。
【００６８】
本実施例においても、上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。
【実施例３】
【００６９】
図６は、本発明の参考例に係る位置決め装置の平面図である。なお、本参考例は、その基本構成が上記実施例２の基本構成と同一であるため、対応する構成部分について同符号或いは同符号にＢを付して詳細な説明を省略する。
【００７０】
本参考例の位置決め装置１Ｂでは、上記実施例の単一の吹出口３１を備えた付勢部９に代えて、一対の吹出口４９，５１を備えた付勢部９Ｂを設けたものである。
【００７１】
すなわち、付勢部９Ｂは、一対のノズル５３，５５を備えている。ノズル５３，５５の軸心は、平面視で突当部７Ｂの突当面２１Ｂ，２３Ｂにそれぞれ沿って設けられている。ノズル５３，５５の吹出口４９，５１は、突当部７Ｂの突当面２３Ｂ，２１Ｂに向けて開口し、対向する突当面２３Ｂ，２１Ｂに向けて空気を吹き出すようになっている。
【００７２】
本参考例においても、上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。加えて、本参考例では、一対の吹出口４９，５１の空気の流量を調整することで、圧電素子３の位置を容易に微調整することができる。
【実施例４】
【００７３】
図７は、本発明の実施例４に係る位置決め装置の平面図である。なお、本実施例は、その基本構成が上記実施例２の基本構成と同一であるため、対応する構成部分について同符号或いは同符号にＣを付して詳細な説明を省略する。また、図７では、付勢部を省略してあるが、実際は、上記実施例の付勢部９が用いられる。
【００７４】
本実施例の位置決め装置１Ｃは、上記実施例１の平面正方形の圧電素子３に代えて、平面矩形の圧電素子３Ｃの位置決めを行うものである。
【００７５】
この位置決め装置１Ｃでは、圧電素子３Ｃの短辺及び長辺に応じて、貫通孔３５Ｃ，３７Ｃの位置が圧電素子３Ｃの中心よりも突当部７Ｃの突当面２１Ｃ，２３Ｃに沿った外側に偏倚している。なお、本実施例では、突当部７Ｃの突当体２１Ｃ，２３Ｃの幅方向の寸法が上記実施例よりも大きく設定されている。
【００７６】
本実施例では、圧電素子３Ｃが平面矩形であっても上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。
【実施例５】
【００７７】
図８は、本発明の実施例５に係る位置決め装置の平面図である。なお、本実施例は、その基本構成が上記実施例４の基本構成と同一であるため、対応する構成部分について同符号或いは同符号にＤを付して詳細な説明を省略する。
【００７８】
本実施例の位置決め装置１Ｄは、圧電素子３Ｄの長辺に対応する突当部７Ｄの突当面２１Ｄ側に貫通孔５７を追加したものである。すなわち、本実施例では、突当面２１Ｄに沿って一対の貫通孔３５Ｄ，５７が設けられている。一対の貫通孔３５Ｄ，５７は、圧電素子３Ｃの中心に対し突当部７Ｃの突当面２１Ｄに沿った内外に偏倚配置されている。
【００７９】
本実施例においても、上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。加えて、本実施例では、貫通孔５７の追加によって引込流量差を大きくすることができ、閾値設定を細かくすることができ、圧電素子３の位置決め状態の確認精度も更に向上することができる。
【実施例６】
【００８０】
図９は、実施例６に係る位置決め装置の平面図であり、図１０は、同変形例を示している。なお、本実施例は、その基本構成が上記実施例４の基本構成と同一であるため、対応する構成部分について同符号或いは同符号にＥを付して詳細な説明を省略する。
【００８１】
本実施例の位置決め装置１Ｅでは、圧電素子３Ｅの長辺に対応する突当部７Ｅの突当面２１Ｅ側にのみ貫通孔３５Ｅを設けたものである。
【００８２】
本実施例においても、上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。
【００８３】
なお、本実施例の位置決め装置は、図１０のように変形することも可能である。
【００８４】
本変形例は、圧電素子３Ｅの短辺に対応する突当部７Ｅの突当面２３Ｅ側にのみ貫通孔３７Ｅを設けたものである。
【実施例７】
【００８５】
図１１は、本発明の実施例７に係る位置決め装置の平面図である。なお、本実施例は、その基本構成が上記実施例４の基本構成と同一であるため、対応する構成部分について同符号或いは同符号にＦを付して詳細な説明を省略する。
【００８６】
本実施例の位置決め装置１Ｆは、突当部７Ｆの突当面２１Ｆ，２３Ｆ間の挟角部３３Ｆに対応して単一の貫通孔５９を設けたものである。
【００８７】
貫通孔５９は、突当体１５Ｆ，１７Ｆによって約３／４が塞がれ、且つ突当体１５Ｆ，１７Ｆの突当面２１Ｆ，２３Ｆが貫通孔５９の断面中心を通っている。従って、貫通孔５９は、ステージ部５Ｆの表面４１Ｆ上で１／４円状に開口している。
本実施例においても、上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。加えて、本実施例では、単一の貫通孔５９でも引込流量差を大きくすることができる。
【実施例８】
【００８８】
図１２は、本発明の実施例８に係る位置決め装置の平面図である。なお、本実施例は、その基本構成が上記実施例４の基本構成と同一であるため、対応する構成部分について同符号或いは同符号にＧを付して詳細な説明を省略する。
【００８９】
本実施例の位置決め装置１Ｇは、貫通孔３５Ｇ，３７Ｇを円形に開口させたものである。
【００９０】
すなわち、突当部７Ｇの突当体１５Ｇ，１７Ｇには、貫通孔３５Ｇ，３７Ｇに対応して凹部６１，６３が設けられている。凹部６１，６３は、平面視半円形状に形成されており、突当体１５Ｇ，１７Ｇの板厚方向に沿って設けられている。この凹部６１，６３により、貫通孔３５Ｇ，３７Ｇは、ステージ部５Ｇ上で平面視円形に開口している。
【００９１】
本実施例においても、上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。加えて、本実施例では、圧電素子３Ｇが突当部７Ｇに完全に突き当てられた状態でも、貫通孔３５Ｇ，３７Ｇを半分開口させることができる。
【００９２】
このため、本実施例では、クリアランスＤが略零の場合の引込流量を増加させることができる。この結果、本実施例では、クリアランスＤと引込流量との相関関係の直線性を向上させて、位置確認精度を向上させることができる。
【実施例９】
【００９３】
図１３は、本発明の実施例９に係る位置決め装置の平面図である。なお、本実施例は、その基本構成が上記実施例４の基本構成と同一であるため、対応する構成部分について同符号或いは同符号にＨを付して詳細な説明を省略する。
【００９４】
本実施例の位置決め装置１Ｈは、貫通孔３５Ｈ，３７Ｈが突当部７Ｈの突当面２１Ｈ，２３Ｈに平面視で接するように設けられている。従って、貫通孔３５Ｇ，３７Ｇは、ステージ部５Ｇ状で平面円形に開口している。
【００９５】
本実施例においても、上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。
［その他］
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各種の変更が可能である。
【００９６】
貫通孔の個数は、任意であり、上記実施例に限らず、増減することが可能である。
【００９７】
また、上記実施例７の貫通孔は、他の実施例１〜６，８及び９に組み合わせても良い。
【００９８】
上記実施例１の突当部７に隙間を設けた構成は、実施例３〜９に適用してもよい。
【００９９】
実施例８の突当部７Ｇに凹部を設けた構成は、他の実施例１〜４、６及び７に適用してもよい。
【符号の説明】
【０１００】
１  位置確認装置
３  圧電素子
５  ステージ部
７  突当部
９  付勢部
２１，２３  突当面
３５，３７  貫通孔
３９  流量計測部
【図１】
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【図３】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図２】
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【図４】
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