(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに平行に配設される一対の極板と、前記各極板をそれぞれ保持する一対の保持部材とを備える静電容量センサであって、
前記各保持部材は、前記各保持部材を互いに接着するための接着部を備え、
前記極板は、前記保持部材に塗布された金属蒸着膜であり、
前記各極板のうち一方の極板を保持する保持部材は、前記一方の極板と当接する第１保持部材と、前記第１保持部材、及び前記各極板のうち他方の極板を保持する保持部材の間に配設される第２保持部材とを備え、
前記第１保持部材、及び前記他方の極板を保持する保持部材は、同一の材料で形成されるとともに、前記第２保持部材は、前記同一の材料とは異なる材料で形成され、
前記接着部は、前記各保持部材における前記各極板と垂直な面に設けられ、かつ、前記他方の極板を保持する保持部材、及び前記第２保持部材の間に設けられ、前記各極板の法線方向における前記第２保持部材の中央に位置することを特徴とする静電容量センサ。
【請求項２】
請求項１に記載の静電容量センサにおいて、
前記接着部は、嫌気性接着剤にて接着されることを特徴とする静電容量センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電容量センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、互いに平行に配設される一対の極板を備える静電容量センサが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の加速度センサ（静電容量センサ）は、ハウジングの内面に形成される固定電極（極板）と、固定電極と所定の間隔を隔てて平行に配設され、固定電極に対して振動する振動板（極板）とを備え、固定電極に対する振動板の変位、すなわち固定電極、及び振動板で構成されるコンデンサの静電容量の変化に基づいて加速度を検出している。
また、このような静電容量センサとして、所定の位置に固定される極板（以下、固定極板とする）と、固定極板と所定の間隔を隔てて平行に配設され、固定極板に対して変位する極板（以下、可動極板とする）とを備え、固定極板、及び可動極板の間隔を一定に保つように、可動極板の変位とは逆方向の力を電磁気力によって付与するサーボ型加速度センサが知られている。
【０００３】
図４は、従来のサーボ型加速度センサ１００を示す分解斜視図である。なお、図４では、紙面上下方向の軸をＺ軸とし、Ｚ軸と直交する２軸をＸ，Ｙ軸としている。以下の図面においても同様である。
サーボ型加速度センサ１００は、図４に示すように、固定極板１１０と、固定極板１１０を保持する固定側保持部材１２０と、固定極板１１０と対向して配設される可動極板１３０と、可動極板１３０を保持する可動側保持部材１４０とを備える。
【０００４】
図５は、従来のサーボ型加速度センサ１００の断面図である。
固定極板１１０は、図５に示すように、下方（−Ｚ軸方向）側に拡径部１１１を有する円盤状に形成された導体からなる極板である。
また、固定極板１１０の中心位置には、上方（＋Ｚ軸方向）側からＺ軸方向に沿って孔１１２が形成されている。孔１１２には、導体からなるピン（図示略）が接続され、固定極板１１０には、ピンを介して電気的に接続することができる。
【０００５】
固定側保持部材１２０は、中心位置で固定極板１１０を保持する円環状に形成された非磁性体からなる円環部材１２１と、固定極板１１０、及び円環部材１２１の間に配設され、円環状に形成された絶縁体からなる絶縁部材１２２とを備える。
円環部材１２１の外周には、下方側に突出する突出部１２３が形成され、この突出部１２３には、３つの切り欠き１２３Ａが等間隔に形成されている（図４参照）。なお、図５では、切り欠き１２３Ａの図示を省略している。また、円環部材１２１の内周には、固定極板１１０側に向かって突出し、絶縁部材１２２に当接する当接部１２４が形成されている。
【０００６】
可動極板１３０は、円環状に形成された導体である。可動極板１３０の外周には、下方側に突出する突出部１３１が形成されている。
可動側保持部材１４０は、可動極板１３０の突出部１３１に接続され、Ｚ軸方向に沿って揺動する揺動部材１４１と、円環部材１２１の突出部１２３に接続され、可動極板１３０の変位とは逆方向の力を電磁気力によって付与するためのコア１５０と、揺動部材１４１の外側に配設され、揺動部材１４１を揺動可能にコア１５０に支持させるための支持機構１６０とを備える。
【０００７】
揺動部材１４１は、円筒状に形成された非磁性体である。揺動部材１４１の中央には、コイル１４１Ａが取り付けられている。
コア１５０は、複数の磁性体で構成されている。具体的に、コア１５０は、可動極板１３０の下方側に配設されるとともに、円柱状に形成される柱状部材１５１と、柱状部材１５１が中心位置に固定される円環状の台座１５２と、柱状部材１５１の上方側にコイル１４１Ａに囲まれるように載置される円環状の内側部材１５３と、台座１５２の上方側にコイル１４１Ａを囲むように載置される円環状の外側部材１５４とを備える。
【０００８】
図６は、従来のサーボ型加速度センサ１００の断面の一部を示す拡大図である。
支持機構１６０は、図６に示すように、外側部材１５４の上方側に固定されるとともに、円環状に形成された絶縁体からなる絶縁部材１６１と、絶縁部材１６１、及び揺動部材１４１の上方側の面に取り付けられる円環状のダイヤフラムスプリング１６２と、外側部材１５４の下方側に固定されるとともに、円環状に形成された絶縁体からなる絶縁部材１６３と、絶縁部材１６３、及び揺動部材１４１の下方側の面に取り付けられる円環状のダイヤフラムスプリング１６４とを備える。
【０００９】
なお、ダイヤフラムスプリング１６２，１６４は導体である。また、ダイヤフラムスプリング１６２は、３つの領域に分割され（図示略）、各領域は、可動極板１３０、及びコイル１４１Ａの正負両極に接続されている。そして、ダイヤフラムスプリング１６２の各領域には、導体からなるピン（図示略）がそれぞれ接続され、可動極板１３０、及びコイル１４１Ａの正負両極には、ピンを介して電気的に接続することができる。
【００１０】
次に、サーボ型加速度センサ１００にて加速度を検出する原理について説明する。
サーボ型加速度センサ１００に加速度が作用すると、可動極板１３０は、支持機構１６０のダイヤフラムスプリング１６２，１６４を介してコア１５０に支持されているので、固定極板１１０に対して揺動する。
可動極板１３０が揺動すると、サーボ型加速度センサ１００は、固定極板１１０に対する可動極板１３０の変位、すなわち固定極板１１０、及び可動極板１３０で構成されるコンデンサの静電容量の変化に基づいて加速度を検出する。
固定極板１１０に対する可動極板１３０の変位が検出されると、サーボ型加速度センサ１００は、コイル１４１Ａに電流を流し、可動極板１３０の変位とは逆方向の力を電磁気力によって付与することで固定極板１１０、及び可動極板１３０の間隔を一定に保つ。
【００１１】
したがって、サーボ型加速度センサ１００では、固定極板１１０、及び可動極板１３０の間隔を適切に設定する必要がある。
サーボ型加速度センサ１００を組み立てるには、固定極板１１０における拡径部１１１の上方側の面と、絶縁部材１２２の下方側の面とで構成される接着部１７１を接着し、絶縁部材１２２の上方側の面と、円環部材１２１における当接部１２４の下方側の面とで構成される接着部１７２を接着する。
次に、可動極板１３０における突出部１３１の下方側の面と、揺動部材１４１の上方側の面とで構成される接着部１７３を接着する。
【００１２】
そして、円環部材１２１における突出部１２３の下方側の面と、外側部材１５４の上方側の面とで構成される接着部１７４とを紫外線硬化型接着剤にて接着する。この際、円環部材１２１の突出部１２３に形成された切り欠き１２３Ａを介して固定極板１１０、及び可動極板１３０の間隔を測定するとともに、固定極板１１０、及び可動極板１３０で構成されるコンデンサの静電容量の変化を確認しながら、静電容量を適正値とするように固定極板１１０、及び可動極板１３０の間隔を調整し、紫外線硬化型接着剤を硬化させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００６−２９２６７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、従来のサーボ型加速度センサ１００では、接着部１７４は、固定極板１１０、及び可動極板１３０と平行な面に設けられているので、接着部１７４を接着する接着剤の厚さのばらつきにより、静電容量センサの温度係数がばらつくという問題がある。これは、接着剤の線膨張係数が金属より約一桁大きいためである。
また、接着部１７４を接着する接着剤の硬化に伴う収縮により、静電容量を適正値とするように調整された固定極板１１０、及び可動極板１３０の間隔がずれてしまい、ひいては静電容量の適正値からのずれを生じるという問題がある。
さらに、静電容量を適正値とするように調整された固定極板１１０、及び可動極板１３０の間隔がずれることで零点不均衡が生じ、サーボ型加速度センサ１００は、加速度を受けていない状態であるにも関わらず加速度を検出してしまうという問題がある。
【００１５】
本発明の目的は、接着剤の厚さのばらつきによる静電容量センサの温度係数のばらつきや、接着剤の硬化に伴う収縮による静電容量の適正値からのずれによる零点不均衡を抑制することができる静電容量センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の静電容量センサは、互いに平行に配設される一対の極板と、前記各極板をそれぞれ保持する一対の保持部材とを備える静電容量センサであって、前記各保持部材は、前記各保持部材を互いに接着するための接着部を備え、前記極板は、前記保持部材に塗布された金属蒸着膜であり、前記各極板のうち一方の極板を保持する保持部材は、前記一方の極板と当接する第１保持部材と、前記第１保持部材、及び前記各極板のうち他方の極板を保持する保持部材の間に配設される第２保持部材とを備え、前記第１保持部材、及び前記他方の極板を保持する保持部材は、同一の材料で形成されるとともに、前記第２保持部材は、前記同一の材料とは異なる材料で形成され、前記接着部は、前記各保持部材における前記各極板と垂直な面に設けられ、かつ、前記他方の極板を保持する保持部材、及び前記第２保持部材の間に設けられ、前記各極板の法線方向における前記第２保持部材の中央に位置することを特徴とする。
【００１７】
このような構成によれば、接着部は、各保持部材における各極板と垂直な面に設けられるので、接着剤の厚さのばらつきによる静電容量センサの温度係数のばらつきや、接着剤の硬化に伴う収縮による静電容量の適正値からのずれによる零点不均衡を抑制することができる。すなわち、静電容量を適正値とするように調整された固定極板、及び可動極板の間隔がずれることを抑制することができ、静電容量センサに零点不均衡が生じることを抑制することができる。
また、極板と、保持部材とを一体化することができるので、極板と、保持部材とを接着する接着部を削減することができる。したがって、接着剤の厚さのばらつきによる静電容量センサの温度係数のばらつきや、接着剤の硬化に伴う収縮による静電容量の適正値からのずれによる零点不均衡を更に抑制することができる。
また、各保持部材は、温度変化によって膨張収縮をするので、各保持部材を構成する材料の種類を増加させると、接着部から各極板までの距離が複雑に変化し、ひいては各極板の間隔が変化して静電容量センサの温度係数のばらつきや、静電容量の適正値からのずれによる零点不均衡を生じるという問題がある。
これに対して、本発明によれば、極板と、保持部材とを一体化することによって、各保持部材を構成する材料の種類を抑制することができるので、静電容量センサの温度係数のばらつきや、静電容量の適正値からのずれによる零点不均衡を抑制することができる。
また、第１保持部材、及び他方の極板を保持する保持部材は、同一の材料で形成され、接着部は、他方の極板を保持する保持部材、及び第２保持部材の間に設けられ、各極板の法線方向における第２保持部材の中央に位置するので、温度変化による第１保持部材の膨張収縮に基づく接着部から一方の極板までの変位と、他方の極板を保持する保持部材の膨張収縮に基づく接着部から他方の極板までの変位とは、第２保持部材の膨張収縮に関わらず同程度となる。したがって、本発明によれば、静電容量センサの温度係数のばらつきや、静電容量の適正値からのずれによる零点不均衡を抑制することができる。
ここで、前述したサーボ型加速度センサでは、各保持部材を非磁性体で形成し、コアを磁性体で形成しなければならないので、材料の種類に制限があるという問題がある。
これに対して、本発明では、第１保持部材、及び他方の極板を保持する保持部材を非磁性体で形成し、第２保持部材を磁性体で形成することができるので、サーボ型加速度センサの温度係数のばらつきや、静電容量の適正値からのずれによる零点不均衡を抑制することができる。
【００１８】
本発明では、前記接着部は、嫌気性接着剤にて接着されることが好ましい。
【００１９】
本発明の静電容量センサでは、接着部は、各保持部材における各極板と垂直な面に設けられるので、接着部を各保持部材における各極板と平行な面に設ける場合と比較して、接着部の間隔を小さくすることができる。したがって、特別な設備を必要とするものの接着部の間隔が大きくても接着することができる紫外線硬化型接着剤に代えて特別な設備が不要で作業効率の良い嫌気性接着剤を用いて各保持部材を接着することができる。
本発明によれば、接着部は、嫌気性接着剤にて接着されるので、紫外線硬化型接着剤を用いて各保持部材を接着する場合と比較して容易に接着することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１実施形態に係るサーボ型加速度センサを示す分解断面図。
【図２】前記実施形態における固定側保持部材、及び可動側保持部材を組み合わせた状態におけるサーボ型加速度センサの断面の一部を示す拡大図。
【図３】本発明の第２実施形態に係るサーボ型加速度センサの断面の一部を示す拡大図。
【図４】従来のサーボ型加速度センサを示す分解斜視図。
【図５】従来のサーボ型加速度センサの断面図。
【図６】従来のサーボ型加速度センサの断面の一部を示す拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係るサーボ型加速度センサ１を示す分解断面図である。
静電容量センサとしてのサーボ型加速度センサ１は、図１に示すように、固定極板２と、固定極板２を保持する固定側保持部材３と、固定極板２と対向して配設される可動極板４と、可動極板４を保持する可動側保持部材５とを備える。すなわち、本実施形態では、一対の極板は、固定極板２、及び可動極板４で構成され、一対の保持部材は、固定側保持部材３、及び可動側保持部材５で構成されている。
固定極板２は、下方側に拡径部２１を有する円盤状に形成された導体からなる極板である。
また、固定極板２の中心位置には、上方側からＺ軸方向に沿って孔２２が形成されている。孔２２には、導体からなるピン（図示略）が接続され、固定極板２には、ピンを介して電気的に接続することができる。
【００２７】
固定側保持部材３は、中心位置で固定極板２を保持する円環状に形成された非磁性体からなる円環部材３１と、固定極板２、及び円環部材３１の間に配設され、円環状に形成された絶縁体からなる絶縁部材３２とを備える。
円環部材３１の外周には、下方側に突出する突出部３１１が形成され、この突出部３１１には、３つの切り欠き３１１Ａが等間隔に形成されている。
【００２８】
可動極板４は、円環状に形成された導体である。可動極板４の外周には、下方側に突出する突出部４１が形成されている。
可動側保持部材５は、可動極板４の突出部４１に接続され、Ｚ軸方向に沿って揺動する揺動部材５１と、円環部材３１の突出部３１１に接続され、可動極板４の変位とは逆方向の力を電磁気力によって付与するためのコア６と、揺動部材５１の外側に配設され、揺動部材５１を揺動可能にコア６に支持させるための支持機構７とを備える。
【００２９】
揺動部材５１は、円筒状に形成された非磁性体である。揺動部材５１の中央には、コイル５１１が取り付けられている。
コア６は、複数の磁性体で構成されている。具体的に、コア６は、可動極板４の下方側に配設されるとともに、円柱状に形成される柱状部材６１と、柱状部材６１が中心位置に固定される円環状の台座６２と、柱状部材６１の上方側にコイル５１１に囲まれるように載置される円環状の内側部材６３と、台座６２の上方側にコイル５１１を囲むように載置される円環状の外側部材６４とを備える。
外側部材６４の外周には、上方側に突出する突出部６４１が形成されている。
【００３０】
図２は、固定側保持部材３、及び可動側保持部材５を組み合わせた状態におけるサーボ型加速度センサ１の断面の一部を示す拡大図である。なお、図２では、切り欠き３１１Ａの図示を省略している。
支持機構７は、図２に示すように、外側部材６４の上方側に固定されるとともに、円環状に形成された絶縁体からなる絶縁部材７１と、絶縁部材７１、及び揺動部材５１の上方側の面に取り付けられる円環状のダイヤフラムスプリング７２と、外側部材６４の下方側に固定されるとともに、円環状に形成された絶縁体からなる絶縁部材７３と、絶縁部材７３、及び揺動部材５１の下方側の面に取り付けられる円環状のダイヤフラムスプリング７４とを備える。
【００３１】
なお、ダイヤフラムスプリング７２，７４は導体である。また、ダイヤフラムスプリング７２は、３つの領域に分割され（図示略）、各領域は、可動極板４、及びコイル５１１の正負両極に接続されている。そして、ダイヤフラムスプリング７２の各領域には、導体からなるピン（図示略）がそれぞれ接続され、可動極板４、及びコイル５１１の正負両極には、ピンを介して電気的に接続することができる。
また、サーボ型加速度センサ１にて加速度を検出する原理は、前述した従来のサーボ型加速度センサ１００にて加速度を検出する原理と同様である。
【００３２】
サーボ型加速度センサ１を組み立てるには、固定極板２の外周面と、絶縁部材３２の内周面とで構成される接着部８１を嫌気性接着剤にて接着し、絶縁部材３２の外周面と、円環部材３１の内周面とで構成される接着部８２を嫌気性接着剤にて接着する。
次に、可動極板４における突出部４１の外周面と、揺動部材５１の内周面とで構成される接着部８３を嫌気性接着剤にて接着する。
【００３３】
そして、円環部材３１における突出部３１１の外周面と、外側部材６４における突出部６４１の内周面とで構成される接着部８４とを嫌気性接着剤にて接着する。この際、円環部材３１の突出部３１１に形成された切り欠き３１１Ａを介して固定極板２、及び可動極板４の間隔を測定するとともに、固定極板２、及び可動極板４で構成されるコンデンサの静電容量の変化を確認しながら、静電容量を適正値とするように固定極板２、及び可動極板４の間隔を調整し、接着部８４に嫌気性接着剤を塗布することで接着する。
すなわち、本実施形態では、固定側保持部材３、及び可動側保持部材５は、固定側保持部材３、及び可動側保持部材５を互いに接着するための接着部８４を備えている。また、各接着部８１〜８４は、固定側保持部材３、及び可動側保持部材５における固定極板２、及び可動極板４と垂直な面に設けられている。
【００３４】
このような本実施形態によれば以下の効果がある。
（１）各接着部８１〜８４は、固定側保持部材３、及び可動側保持部材５における固定極板２、及び可動極板４と垂直な面に設けられるので、嫌気性接着剤の厚さのばらつきによるサーボ型加速度センサ１の温度係数のばらつきや、嫌気性接着剤の硬化に伴う収縮による静電容量の適正値からのずれによる零点不均衡を抑制することができる。すなわち、静電容量を適正値とするように調整された固定極板２、及び可動極板４の間隔がずれることを抑制することができ、サーボ型加速度センサ１に零点不均衡が生じることを抑制することができる。
（２）各接着部８１〜８４は、嫌気性接着剤にて接着されるので、紫外線硬化型接着剤を用いて接着する場合と比較して容易に接着することができる。
【００３５】
〔第２実施形態〕
以下、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
図３は、本発明の第２実施形態に係るサーボ型加速度センサ１Ａの断面の一部を示す拡大図である。
前記第１実施形態では、固定極板２は、固定側保持部材３に保持され、可動極板４は、可動側保持部材５に保持されていた。これに対して、本実施形態では、図３に示すように、固定極板２Ａは、固定側保持部材３Ａに塗布された金属蒸着膜とされ、可動極板４Ａは、可動側保持部材５Ａに塗布された金属蒸着膜とされている点で異なる。
【００３６】
固定側保持部材３Ａは、中心位置に固定極板２Ａを有する絶縁体、かつ非磁性体からなる円盤状の部材である。固定側保持部材３Ａの外周には、下方側に突出する突出部３３が形成されている。
可動側保持部材５Ａは、固定極板２Ａと対向する位置に可動極板４Ａを有し、Ｚ軸方向に沿って揺動する揺動部材５１Ａと、固定側保持部材３Ａの突出部３３に接続され、可動極板４Ａの変位とは逆方向の力を電磁気力によって付与するためのコア６Ａと、揺動部材５１Ａの外側に配設され、揺動部材５１Ａを揺動可能にコア６Ａに支持させるための支持機構７とを備える。なお、コア６Ａは、後述する外側部材６４Ａを除き、前記第１実施形態におけるコア６と同一であり、支持機構７は、絶縁部材７１，７３を構成する材料を除き前記第１実施形態における支持機構７と同一である。
【００３７】
揺動部材５１Ａは、中心位置に可動極板４Ａを有し、固定極板２Ａと対向する対向部５１２と、対向部５１２を上面とする円筒状に形成される円筒部５１３とを備え、絶縁体、かつ非磁性体で形成されている。なお、固定側保持部材３Ａ、揺動部材５１Ａ、及び絶縁部材７１，７３は、同一の材料で形成されている。また、円筒部５１３の中央には、コイル５１１が取り付けられている。
コア６Ａは、複数の磁性体で構成され、コイル５１１を囲むように配設される円環状の外側部材６４Ａを備える。なお、コイル５１１のＺ軸方向における中央と、外側部材６４ＡのＺ軸方向における中央とは一致している（図３中一点鎖線）。
【００３８】
すなわち、本実施形態では、一方の極板は、可動極板４Ａとされ、一方の極板を保持する保持部材は、可動側保持部材５Ａとされている。また、本実施形態では、第１保持部材は、揺動部材５１Ａ、及び支持機構７とされ、第２保持部材は、外側部材６４Ａとされている。
さらに、本実施形態では、他方の極板は、固定極板２Ａとされ、他方の極板を保持する保持部材は、固定側保持部材３Ａとされている。
【００３９】
サーボ型加速度センサ１Ａを組み立てるには、固定側保持部材３Ａにおける突出部３３の内周面と、外側部材６４Ａの外周面とで構成される接着部８５を嫌気性接着剤にて接着する。
ここで、接着部８５は、固定側保持部材３Ａ、及び外側部材６４Ａの間に設けられ、固定極板２Ａ、及び可動極板４Ａの法線方向における外側部材６４Ａの中央に位置している。
すなわち、本実施形態では、固定側保持部材３Ａ、及び可動側保持部材５Ａは、固定側保持部材３Ａ、及び可動側保持部材５Ａを互いに接着するための接着部８５を備えている。また、接着部８５は、固定側保持部材３Ａ、及び可動側保持部材５Ａにおける固定極板２Ａ、及び可動極板４Ａと垂直な面に設けられている。
【００４０】
このような本実施形態においても、前記第１実施形態と同様の作用、効果を奏することができる他、以下の作用、効果を奏することができる。
（３）固定極板２Ａ、及び可動極板４Ａは、固定側保持部材３Ａ、及び可動側保持部材５Ａに塗布された金属蒸着膜であるので、固定極板２Ａ、及び可動極板４Ａと、固定側保持部材３Ａ、及び可動側保持部材５Ａとを一体化することができる。したがって、嫌気性接着剤の厚さのばらつきによるサーボ型加速度センサ１Ａの温度係数のばらつきや、嫌気性接着剤の硬化に伴う収縮による静電容量の適正値からのずれによる零点不均衡を更に抑制することができる。
（４）固定極板２Ａ、及び可動極板４Ａと、固定側保持部材３Ａ、及び可動側保持部材５Ａとを一体化することによって、固定側保持部材３Ａ、及び可動側保持部材５Ａを構成する材料の種類を抑制することができるので、サーボ型加速度センサ１Ａの温度係数のばらつきや、静電容量の適正値からのずれによる零点不均衡を抑制することができる。
【００４１】
（５）揺動部材５１Ａ、及び固定側保持部材３Ａは、同一の材料で形成され、接着部８５は、固定側保持部材３Ａ、及び外側部材６４Ａの間に設けられ、固定極板２Ａ、及び可動極板４Ａの法線方向における外側部材６４Ａの中央に位置するので、温度変化による揺動部材５１Ａ、及び絶縁部材７１の膨張収縮に基づく接着部８５から可動極板４Ａまでの変位と、固定側保持部材３Ａの膨張収縮に基づく接着部８５から固定極板２Ａまでの変位とは、外側部材６４Ａの膨張収縮に関わらず同程度となる。したがって、サーボ型加速度センサ１Ａの温度係数のばらつきや、静電容量の適正値からのずれによる零点不均衡を抑制することができる。
【００４２】
〔実施形態の変形〕
なお、本発明は前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記各実施形態では、静電容量センサとしてサーボ型加速度センサを例示していたが、サーボ型以外の加速度センサなどの静電容量センサに本発明を適用してもよい。要するに、本発明は、互いに平行に配設される一対の極板と、各極板をそれぞれ保持する一対の保持部材とを備える静電容量センサに適用することができる。
【００４３】
前記各実施形態では、各接着部８１〜８５は、固定側保持部材３，３Ａ、及び可動側保持部材５，５Ａにおける固定極板２，２Ａ、及び可動極板４，４Ａと垂直な面に設けられていた。これに対して、固定側保持部材３，３Ａ、及び可動側保持部材５，５Ａを互いに接着するための接着部８４，８５のみを固定側保持部材３，３Ａ、及び可動側保持部材５，５Ａにおける固定極板２，２Ａ、及び可動極板４，４Ａと垂直な面に設けてもよい。要するに、各保持部材は、各保持部材を互いに接着するための接着部を備え、接着部は、各保持部材における各極板と垂直な面に設けられていればよい。
【００４４】
前記各実施形態では、各接着部は、嫌気性接着剤にて接着されていたが、紫外線硬化型接着剤などの他の接着剤にて接着されていてもよい。
前記第２実施形態では、固定側保持部材３Ａ、揺動部材５１Ａ、及び絶縁部材７１，７３は、同一の材料で形成されていたが、別々の材料で形成されていてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明は、静電容量センサに好適に利用することができる。
【符号の説明】
【００４６】
１，１Ａ…サーボ型加速度センサ（静電容量センサ）
２，２Ａ…固定極板（極板）
３，３Ａ…固定側保持部材（保持部材）
４，４Ａ…可動極板（極板）
５，５Ａ…可動側保持部材（保持部材）
７…支持機構（第１保持部材）
５１Ａ…揺動部材（第１保持部材）
６４Ａ…外側部材（第２保持部材）
８４，８５…接着部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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