(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示装置の製造方法であって、
第１領域と第２領域を有する基板層を提供する段階と、
前記基板層の前記第１領域と第２領域にバッファー層を形成する段階と、
前記第２領域のバッファー層にヒートシンク層を形成する段階と、
前記第２領域のヒートシンク層に隔離層を形成する段階と、
前記第１領域のバッファー層と前記第２領域の隔離層に非晶質シリコン層を形成する段階と、
結晶化工程により、前記第１領域の非晶質シリコン層と前記第２領域の非晶質シリコン層を違う結晶特性を有する第１多結晶シリコン層と第２多結晶シリコン層に転化させる段階と、
前記第１領域に前記第１多結晶シリコン層を含むスイッチ用薄膜トランジスタを形成する段階と、
前記第２領域に前記第２多結晶シリコン層を含む駆動用薄膜トランジスタを形成する段階と、を含み、
前記第１多結晶シリコン層のキャリア移動度は、前記第２多結晶シリコン層のキャリア移動度よりも高い、ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記結晶化工程はエキシマレーザー結晶法であることを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記製造方法はさらに、前記第２領域に前記第２多結晶シリコン層を含む光センサーが形成され、且つ前記ヒートシンク層は前記光センサーに照らす光線を反射することを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記製造方法はさらに、前記第２領域に前記第２多結晶シリコン層を含むキャパシターが形成され、且つ前記ヒートシンク層としては前記キャパシターの一つ電極であることを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項５】
第１領域と第２領域を有する基板層と、前記基板層の第１領域に形成された第１多結晶シリコン層を含むスイッチ用薄膜トランジスタと、前記基板層の第２領域に形成された第２多結晶シリコン層、ヒートシンク層及びその間にある隔離層を含む駆動用薄膜トランジスタとを有して、前記第１多結晶シリコン層のキャリア移動度は、前記第２多結晶シリコン層のキャリア移動度よりも高い、ことを特徴とする表示装置。
【請求項６】
前記スイッチ用薄膜トランジスタはさらに、前記基板層に形成されたバッファー層と、前記バッファー層に形成された前記第１多結晶シリコン層とを含み、前記駆動用薄膜トランジスタはさらに、前記基板層に形成された前記バッファー層と、前記バッファー層に形成された前記ヒートシンク層と、前記ヒートシンク層に形成された前記隔離層と、前記隔離層に形成された前記第２多結晶シリコン層とを含むことを特徴とする請求項５に記載の表示装置。
【請求項７】
前記第１多結晶シリコン層と第２多結晶シリコン層とは、違う結晶構造を有することを特徴とする請求項５に記載の表示装置。
【請求項８】
前記表示装置はさらに、前記第２領域に前記第２多結晶シリコン層を含む光センサーが形成され、且つ前記ヒートシンク層は前記光センサーに照らす光線を反射することを特徴とする請求項５に記載の表示装置。
【請求項９】
前記表示装置はさらに、前記第２領域に前記第２多結晶シリコン層を含むキャパシターが形成され、且つ前記ヒートシンク層としては前記キャパシターの一つ電極であることを特徴とする請求項５に記載の表示装置。
【請求項１０】
請求項５に記載の表示装置を有する電子装置であって、携帯電話、ディジタルカメラ、ＰＤＡ、ノートブック、コンピュータ、テレビ、車用表示装置、ＧＰＳ、航空表示装置、デジタルフレーム或いは携帯式ＤＶＤプレーヤーであることを特徴とする電子装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は表示装置及びその製造方法アクティブマトリックス有機発光素子表示装置（Ａａｔｉｖｅ  Ｍａｔｒｉｘ  Ｒｒｇａｎｉｃ  Ｄｉｏｄｅ；ＡＭＯＬＥＤ）に関し、特にアクティブマトリックス有機発光素子表示装置  （Ａａｔｉｖｅ  Ｍａｔｒｉｘ  Ｒｒｇａｎｉｃ  Ｄｉｏｄｅ；  ＡＭＯＬＥＤ）の回路及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機発光素子（ＯＬＥＤ）は次世代の表示装置技術に誉められる。特にアクティブマトリックス有機発光素子（ＡＭＯＬＥＤ）表示装置は、関連業界が大量の資源を投入して開発させる製品である。基本的にアクティブマトリックス有機発光素子（ＡＭＯＬＥＤ）表示装置の一つ画素ユニットは、スイッチ用薄膜トランジスタ（Ｓｗｉｔｃｈ  Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）と、駆動用薄膜トランジスタ  （Ｄｒｉｖｉｎｇ  Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）と、発光素子と、キャパシターとを含む。前述これらエレメントを製作するときには、エキシマレーザーアニール（Ｅｘｃｉｍｅｒ  Ｌａｓｅｒ  Ａｎｎｅａｌ；ＥＬＡ）結晶法で非晶質シリコン（Ａｍｏｒｐｈｏｕｓ  Ｓｌｉｃｏｎ）層を多結晶シリコン（Ｐｏｌｙ  Ｓｉｌｉｃｏｎ）層に転化させる。
【０００３】
ただし、スイッチ用薄膜トランジスタと駆動用薄膜トランジスタに対して、それぞれの電気性能に関する要求は違う。スイッチ用薄膜トランジスタのキャリア移動度は高くなるとともに、駆動用薄膜トランジスタの結晶粒径は小さくなることが好ましい。各有機発光素子（ＯＬＥＤ）の間に異差を減少することができる。即ち、各駆動用薄膜トランジスタの不一致性による生じる発光ムラの現像が減少される。その結果、非晶質シリコン層を多結晶シリコン層に転化される段階中、異なる領域に違う結晶特性を有する多結晶シリコン層を形成することが好ましい。
【０００４】
現下、関連業界は違う工程、違う結晶法で非晶質シリコン層を多結晶シリコン層に転化される工程を行う。レーザー結晶技術は、例えばエキシマレーザーアニール結晶法を例挙する。非レーザー結晶技術は、例えば固相晶析法（Ｓｏｌｉｄ  Ｐｈａｓｅ  Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎ  ；  ＳＰＣ）、金属誘起結晶法（Ｍｅｔａｌ  Ｉｎｄｕｃｅｄ  Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎ  ；  ＭＩＣ）、金属誘起横方向結晶法（Ｍｅｔａｌ  Ｉｎｄｕｃｅｄ  Ｌａｔｅｒａｌ  Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎ；ＭＩＬＣ）、電場増強金属誘起横方向結晶法（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｎｈａｎｃｅｄ  Ｍｅｔａｌ  Ｉｎｄｕｃｅｄ  Ｌａｔｅｒａｌ  Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎ；ＦＥ−ＭＩＬＣ）などを利用する。
【０００５】
単一レーザー結晶技術で結晶工程を行うことに対して、前述違う工程、違う結晶法では、工程時間が長いし、過程も複雑になったので、製品の歩留まりを高めることが困難である。また、違う結晶法で形成された多結晶シリコン層は、明らかな異差である結晶特性を有する。この発明は、各有機発光素子（ＯＬＥＤ）の間の異差を引き起こす発光ムラの現像により、ＡＭＯＬＥＤ製品の歩留まり低下の問題を解決する。
【０００６】
従って、この発明は、単一結晶化工程によって、スイッチ回路領域とその以外の領域に、同時にそれぞれ違う結晶構造を有する多結晶シリコン層が形成されたと、前述の問題を解決することができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
この発明は上記従来の問題を解決するため、単一結晶化工程により、第１領域と第２領域に違う結晶特性を有する第１多結晶シリコン層と第２多結晶シリコン層が形成された表示装置及びその製造方法を提供することを課題とする。従って、この発明は、エキシマレーザーアニール法で多結晶シリコン層が形成された時に発光ムラ（Ｍｕｒａ）の現象を防ぐことができ、表示装置の発光は良好な一致性を得る。なお、光センサーの敏感度が高くなることができ、キャパシターの占有面積を減少して、表示装置の開口率を向上させることができる。
【０００８】
この発明の表示装置は、第１領域と第２領域を有する基板層と、前記基板層の第１領域に形成された第１多結晶シリコン層を含むスイッチ用薄膜トランジスタと、前記基板層の第２領域に形成された第２多結晶シリコン層、ヒートシンク層及びその間にある隔離層を含む駆動用薄膜トランジスタとを有する。前記第１多結晶シリコン層と第２多結晶シリコン層とは違う結晶特性を有する。
【０００９】
この発明により、表示装置の製造方法は、第１領域と第２領域を有する基板層を提供する段階と、前記基板層の前記第１領域と第２領域にバッファー層を形成する段階と、前記第２領域のバッファー層にヒートシンク層を形成する段階と、前記第２領域のヒートシンク層に隔離層を形成する段階と、前記第１領域のバッファー層と前記第２領域の隔離層に非晶質シリコン層を形成する段階と、結晶化工程により、前記第１領域の非晶質シリコン層と前記第２領域の非晶質シリコン層を違う結晶特性を有する第１多結晶シリコン層と第２多結晶シリコン層に転化させる段階と、前記第１領域に前記第１多結晶シリコン層を含むスイッチ用薄膜トランジスタを形成する段階と、前記第２領域に前記第２多結晶シリコン層を含む駆動用薄膜トランジスタを形成する段階とを特徴とする。
【００１０】
第１多結晶シリコン層の結晶粒径は第２多結晶シリコン層により大きくなり、第１多結晶シリコン層のキャリア移動度は第２多結晶シリコン層により高くなる。光センサーのヒートシンク層としては、光センサーに照らす光線を反射して、光センサーの敏感度を高めることができる。キャパシターのヒートシンク層としては、キャパシターの一つ電極であり、キャパシターに並列接続されて、キャパシターの占有面積を減少することにより、表示装置の開口率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】アクティブマトリックス有機発光素子（ＡＭＯＬＥＤ）表示装置の概略的に示す電気回路構造図である。
【図２ａ】この発明により、ヒートシンク現象を利用して結晶粒径の小さい多結晶シリコン層を形成する説明図である。
【図２ｂ】この発明により、ヒートシンク現象を利用して結晶粒径の小さい多結晶シリコン層を形成する説明図である。
【図２ｃ】この発明により、ヒートシンク現象を利用して結晶粒径の小さい多結晶シリコン層を形成する説明図である。
【図３ａ】この発明による表示装置の製造方法のフローチャートである。
【図３ｂ】この発明による表示装置の製造方法のフローチャートである。
【図３ｃ】この発明による表示装置の製造方法のフローチャートである。
【図３ｄ】この発明による表示装置の製造方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下は、図面を参照しながら、この発明の技術内容を具体的に説明する。
【００１３】
図１を参照する。図１は、アクティブマトリックス有機発光素子（ＡＭＯＬＥＤ）表示装置の概略的に示す電気回路構造図である。基本的にアクティブマトリックス有機発光素子（ＡＭＯＬＥＤ）  表示装置の一つ画素ユニットは、スイッチ用薄膜トランジスタ１００（Ｓｗｉｔｃｈ  Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）と、駆動用薄膜トランジスタ２００  （Ｄｒｉｖｉｎｇ  Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）と、発光素子２５０と、キャパシター４００（Ｃｓｔ）とを含む。前述のように、スイッチ用薄膜トランジスタと駆動用薄膜トランジスタに対してそれぞれの電気性能に関する要求は違う。スイッチ用薄膜トランジスタに対しては、低サブスレッショルドスイング係数（Ｓｕｂ−ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ  ｖａｌｕｅ）及び高キャリア移動度（Ｍｏｂｉｌｉｔｙ）が要求される。駆動用薄膜トランジスタに対しては、高サブスレッショルドスイング係数と各駆動用薄膜トランジスタの一致性が要求され、発光素子２５０を駆動する電流の流れと有利になる。なお、各有機発光素子（ＯＬＥＤ）の間の異差に対して、電流の駆動は非常に鋭敏になって、この異差により発光ムラの現像が生じる。そのために、スイッチ用薄膜トランジスタ１００の領域（第１領域）と駆動用薄膜トランジスタ２００、発光素子２５０及びキャパシター４００の第２領域には、違う結晶特性、又は違う結晶粒径を有する多結晶シリコン層を形成されたことが好ましい。この発明は、第２領域にヒートシンク層の形成及びこのヒートシンク現象を利用して、単一結晶化工程により、異なる領域に違う結晶特性、又は違う結晶粒径を有する多結晶シリコン層を形成する。
【００１４】
図２ａ〜図２ｃを参照する。図２ａ〜図２ｃは、この発明により、ヒートシンク現象を利用して結晶粒径の小さい多結晶シリコン層を形成する説明図である。図２ａに示すように、基板層上に１つあるいは１つ以上のバッファー層が形成される。これらバッファー層は、窒素化物あるいは酸化物が挙げられ、例えば窒素化硅あるいは酸化シリコン等が好ましい。結晶化工程を行うための非晶質シリコン層が形成される前に、ヒートシンク層が形成された。一般的に、よい熱伝導の効果を実現するために、ヒートシンク層は金属が好ましい。次に、酸化隔離層が形成された後、非晶質シリコン層が形成される。この非晶質シリコン層はレーザーを照射する、即ちエキシマレーザー結晶法で多結晶シリコン層に転化させる。
【００１５】
図２ｂに示すように、非晶質シリコン層の形成のとき、ヒートシンク層は熱流を導出する。図２ｃに示すように、ヒートシンク層は存在しない場合により、結晶粒径の小さい多結晶シリコン層が形成された。
【００１６】
図３ａ〜図３ｄを参照する。図３ａ〜図３ｄは、この発明による表示装置の製造方法のフローチャートである。図３ａに示すように、具体的に、例えＯＬＥＤ表示装置を利用して実例を説明する。この発明は、スイッチ用薄膜トランジスタ１００（Ｓｗｉｔｃｈ  Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）と、駆動用薄膜トランジスタ２００（Ｄｒｉｖｉｎｇ  Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）と、光センサー３００と、キャパシター４００（Ｃｓｔ）とを製作するときに、基板層１０を提供する。基板層１０は、スイッチ用薄膜トランジスタ１００を含む第１領域を有し、駆動用薄膜トランジスタ２００、光センサー３００及びキャパシター４００を含む第２領域を有する。この発明は、基板層１０に１つあるいは１つ以上のバッファー層を形成する。バッファー層２０は窒素化物、例え窒素化硅である。バッファー層３０は酸化物、例え酸化シリコンである。この実施例中、駆動用薄膜トランジスタ２００、光センサー３００及びキャパシター４００を含む第２領域のバッファー層３０上にヒートシンク層４０が形成される。ヒートシンク層４０は、金属であることが好ましい。例えば、モリブデンあるいは合金が挙げられる。次、ヒートシンク層４０上に隔離層３５が形成される。隔離層３５は、バッファー層３０と同様の酸化シリコンであることが好ましい。図面のように、バッファー層３０と隔離層３５は、第２領域のヒートシンク層４０を囲む。
【００１７】
図３ｂに示すように、この発明は、非晶質シリコン層５０を形成して、バッファー層３０と隔離層３５を覆いた後、エキシマレーザーアニール法で非晶質シリコン層５０を多結晶シリコン層に転化させる。なお、多結晶シリコン層をパターニング（ＰＡＴＴＥＲＮＩＮＧ）して、図３ｃに示すように、第１領域に第１多結晶シリコン層６０が形成され、第２領域に第２多結晶シリコン層６１が形成された。エキシマレーザーアニール法で非晶質シリコン層５０を第１多結晶シリコン層６０と多結晶シリコン層第２多結晶シリコン層６１に転化させる結晶化工程中に、駆動用薄膜トランジスタ２００、光センサー３００及びキャパシター４００を含む第２領域には、先にヒートシンク層４０が形成されたので、ヒートシンク現象が発生する。スイッチ用薄膜トランジスタ１００を含む第１領域には、ヒートシンク層４０が形成されなかったので、ヒートシンク現象が発生しない。従って、第１領域と第２領域に違う結晶構造を有する第１多結晶シリコン層６０と第２多結晶シリコン層６１が形成された。その後の工程を行って、図３ｄに示す最後のスイッチ用薄膜トランジスタ１００、駆動用薄膜トランジスタ２００、光センサー３００及びキャパシター４００が完成された。
【００１８】
この発明は、第１多結晶シリコン層６０を利用してスイッチ用薄膜トランジスタ１００を製作し、第２多結晶シリコン層６１を利用して駆動用薄膜トランジスタ２００を製作する場合に、第１多結晶シリコン層の結晶粒径は第２多結晶シリコン層により大きくなる。即ち、第１多結晶シリコン層のキャリア移動度は第２多結晶シリコン層により高くなる。スイッチ用薄膜トランジスタ１００のキャリア移動度は高いとともに、駆動用薄膜トランジスタ２００の結晶粒径は小さい要求を満足することができる。各有機発光素子（ＯＬＥＤ）の間に異差を減少することができる。即ち、各駆動用薄膜トランジスタ２００の不一致性により生じる発光ムラの現像を減少する。なお、光センサー３００に応じるヒートシンク層４０としては、光センサー３００に照らす光線を反射して、光センサー３００の敏感度を高めることができる。キャパシター４００に応じるヒートシンク層４０としては、キャパシター４００の一つ電極であり、キャパシター４００に並列接続されて、キャパシター４００の占有面積を減少することにより、表示装置の開口率を向上させることができる。
【００１９】
従って、この発明は、単一結晶化工程により、第１領域と第２領域に違う結晶粒径を有する多結晶シリコン層が形成された。エキシマレーザーアニール法で多結晶シリコン層が形成された時に発光ムラ（Ｍｕｒａ）の現象を防ぐことができ、表示装置の発光は良好な一致性を得る。なお、この発明は、光センサーの敏感度を高め、キャパシターの占有面積を減少し、表示装置の開口率を向上させる。この発明の表示装置は、携帯電話、ディジタルカメラ、ＰＤＡ、ノートブック、コンピュータ、テレビ、車用表示装置、ＧＰＳ、航空表示装置、デジタルフレーム或いは携帯式ＤＶＤプレーヤーである電子装置に応用できる。
【００２０】
以上、この発明の好ましい実施形態であって、この発明を実施するうえでの範囲を限定するものではない。よって、当業者のなし得る修正、もしくは変更であって、この発明の精神の下においてなされ、この発明に対して均等の効果を有するものは、いずれもこの発明の範囲に属するものとする。
【符号の説明】
【００２１】
１０        基板層
２０        バッファー層（窒素化層）
３０        バッファー層（酸化層）
３５        隔離層
４０        ヒートシンク層
５０        非晶質シリコン層
６０        第１多結晶シリコン層
６１        第２多結晶シリコン層
１００      スイッチ用薄膜トランジスタ
２００      駆動用薄膜トランジスタ
２５０      発光素子
３００      光センサー
４００      キャパシター
【図１】
0005605823.tif 000002
【図２ａ】
0005605823.tif 000003
【図２ｂ】
0005605823.tif 000004
【図２ｃ】
0005605823.tif 000005
【図３ａ】
0005605823.tif 000006
【図３ｂ】
0005605823.tif 000007
【図３ｃ】
0005605823.tif 000008
【図３ｄ】
0005605823.tif 000009