(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２枚の樹脂フィルムが積層された積層フィルムの製造方法であって、
前記２枚の樹脂フィルムの少なくとも何れか一方としてエチレン酢酸ビニル共重合体フィルムを用意し、他方としてフッ素樹脂フィルム、ポリメタクリル酸メチルフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリシクロへキサンジメタノールテレフタレートフィルム、ポリカーボネートフィルム、エチレン酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリオレフィン系フィルム、ポリビニルブチラールフィルム、及びポリイミドフィルムからなる群より選択される少なくとも何れか１種を用意し、
前記２枚の樹脂フィルムの少なくとも何れか一方の表面の少なくとも一部の領域に、フッ素原子を含むガスを濃度０．００１〜９９ｖｏｌ％及び酸素原子を含むガスを濃度０．００１〜９９ｖｏｌ％含有する処理ガスを、処理時間が１秒〜６００分間、処理温度が前記２枚の樹脂フィルムの耐熱温度の範囲内で接触させることにより、前記領域の接着性を向上させるフッ素化処理工程と、
前記２枚の樹脂フィルムを、前記処理ガスを接触させた面を貼りあわせ面として、接着剤を用いることなく貼りあわせる貼り合わせ工程とを有する積層フィルムの製造方法。
【請求項２】
前記エチレン酢酸ビニル共重合体フィルム中に、全重量に対し０．１〜１０重量％の有機過酸化物が含有されている請求項１に記載の積層フィルムの製造方法。
【請求項３】
前記樹脂フィルム中には、前記処理ガスに対し反応性を示す反応性基を備えた他の樹脂成分が含まれている請求項１又は２に記載の積層フィルムの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか１項に記載の積層フィルムの製造方法により得られた積層フィルムを備える太陽電池用バックシート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フッ素化処理された樹脂フィルムが積層された積層フィルムの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池用のバックシート材料としては、耐候性及びガスバリア性の向上のため、ポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）フィルム等のフッ素樹脂フィルム、アルミ箔ラミネート、アルミ蒸着やＳｉ蒸着を施したポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム等が用いられている。このバックシートを備えることにより、湿度に弱い太陽電池セルを水蒸気から保護している。【０００３】
前記バックシート材料のうち、長期耐久性の観点からはフッ素樹脂フィルムが優れている。そのため、バックシート材料としての需要が高まってきている。しかし、一般にＣ−Ｆ結合を有するフッ素樹脂からなる材料は、その表面エネルギーが小さく、撥水・撥油性を示すため、接着性が低いという問題点がある。【０００４】
この様なフッ素樹脂フィルムの接着性を向上させる技術としては、例えば、プラズマ放電処理、コロナ放電処理、フレーム処理、ブラスト処理等が挙げられる。これらの表面改質技術は、樹脂表面に親水性の官能基（例えば、−ＣＯＯＨ基、−ＯＨ基、ＳＯ３Ｈ基、ＳＯ２ＦＸ基等）を導入することで、その接着性を改善している。【０００５】
しかし、前記処理方法であると、大掛かりな装置が必要となり、製造コストが増大する。また、表面改質後の経時劣化が著しく、長期にわたって接着性能を維持できないという問題点もある。【０００６】
一方、下記特許文献１には、合成若しくは天然高分子材料として、比重が１．６以下であってかつエーテル結合、カーボネート結合、アミド結合、ウレタン結合の何れも含まない材料を選択し、前記合成若しくは天然高分子材料にフッ素ガスと酸素元素を含む１種類のガスとからなる混合ガスを接触させ、これにより親水性を付与する表面改質方法が記載されている。【０００７】
しかしながら、前記先行技術は、比重が１．６〜２．２程度の樹脂に対して適用することはできない。比重１．６より大きい合成高分子又は天然高分子材料は、その結晶構造が発達していることから、フッ素ガスの拡散が容易でなく、そのため表面改質の機能が発現しにくいからである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−１９４１２５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は前記問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、少なくとも２枚の樹脂フィルムが貼り合わされた積層フィルムの製造方法であって、貼り合わせ面の接着性を向上させ、信頼性に優れた積層フィルムの製造方法を提供することにある。また、前記製造方法により得られた積層フィルムを備える太陽電池用バックシートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本願発明者等は、前記従来の問題点を解決すべく、積層フィルムの製造方法及び太陽電池用バックシートについて検討した。その結果、下記構成を採用することにより、前記目的を達成できることを見出して、本発明を完成させるに至った。【００１１】
即ち、本発明に係る樹脂フィルムの製造方法は、前記の課題を解決する為に、少なくとも２枚の樹脂フィルムが積層された積層フィルムの製造方法であって、前記２枚の樹脂フィルムの少なくとも何れか一方の表面の少なくとも一部の領域に、フッ素原子及び酸素原子を含有する処理ガスを接触させることにより、前記領域の接着性を向上させるフッ素化処理工程と、前記２枚の樹脂フィルムを、前記処理ガスを接触させた面を貼りあわせ面として貼りあわせる貼り合わせ工程とを有する。【００１２】
前記方法によれば、フッ素化処理工程において樹脂フィルムに対しフッ素原子及び酸素原子を含有する処理ガスを接触させることで、その表面の接着性を向上させる。更に、貼り合わせ工程において、前記接着性が向上した面を貼り合わせ面として、他の樹脂フィルムと貼り合わせる。この様に、貼り合わせ面をフッ素化処理することで貼り合わせ面における接着性を向上させることができ、信頼性に優れた積層フィルムの製造が可能になる。また、フッ素化処理は、従来のプラズマ処理、コロナ処理、フレーム処理、ブラスト処理等と比較して長期間経過（放置）した後においても高接着性を維持しており、経時劣化を抑制することができる。更に、短時間で容易に樹脂フィルムの表面改質が図れるので、製造コストの低減も図れる。【００１３】
前記構成においては、前記樹脂フィルムの何れか一方がエチレン酢酸ビニル共重合体フィルムであり、前記貼り合わせ工程は接着剤を用いることなく他方の樹脂フィルムと貼り合わせを行うことが好ましい。【００１４】
前記構成において、前記貼り合わせ工程は接着剤を用いて行うことが好ましい。【００１５】
また、前記構成において、前記積層フィルムを構成する前記樹脂フィルムが、フッ素樹脂フィルム、ポリメタクリル酸メチルフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリシクロへキサンジメタノールテレフタレートフィルム、ポリカーボネートフィルム、エチレン酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリオレフィン系フィルム、ポリビニルブチラールフィルム、及びポリイミドフィルムからなる群より選択される少なくとも何れか１種であることが好ましい。【００１６】
更に前記構成に於いては、前記樹脂フィルム中には、前記処理ガスに対し反応性を示す反応性基を備えた他の樹脂成分が含まれていることが好ましい。これにより、フッ素化処理が一層促進され、接着性の向上が更に図れる。【００１７】
また、本発明に係る太陽電池用バックシートは、前記の課題を解決する為に、前記に記載の積層フィルムの製造方法により得られた積層フィルムを備える構造であることを特徴とする。【００１８】
前記に記載の樹脂フィルムはフッ素化処理により接着性が向上しているため、フィルム同士を貼り合わせて積層フィルムとすることができる。またこの積層体を太陽電池用のバックシートとして用いることが出来る。また処理により付与された接着性は長期にわたりその性能を維持できるため、工程管理の面でも優れており、製品の信頼性の向上が図れる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明は、前記に説明した手段により、以下に述べるような効果を奏する。【００２０】
即ち、本発明によれば、貼り合わせる少なくとも２枚の樹脂フィルムのうち何れか一方の貼り合わせ面に対し、フッ素原子及び酸素原子を含有する処理ガスを接触させることでその表面の接着性を向上させるので、他の樹脂フィルムと貼り合わせた際に、接着性を向上させることができる。また、フッ素化処理は、従来のプラズマ処理、コロナ処理、フレーム処理、ブラスト処理等と比較して接着性の経時劣化を抑制することができる。これにより、長期間経過（放置）した後においても高接着性を維持することができる。その結果、信頼性に優れた積層フィルムの製造が可能になる。また、短時間で容易に表面改質を行うことができるので、生産効率を向上させると共に製造コストの低減も図れる。更に、本発明の製造方法により得られた積層フィルムは、例えば、太陽電池用のバックシートに好適に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施の形態に係る積層フィルムの製造方法に用いる反応装置の一例を示す模式図である。
【図２】前記積層フィルムを備えた太陽電池用バックシートを概略的に示す断面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明の実施の形態に係る積層フィルムの製造方法は、少なくとも２枚の樹脂フィルムの少なくとも何れか一方に対しフッ素化処理を行うフッ素化処理工程と、前記２枚の樹脂フィルムを、前記処理ガスを接触させた面を貼りあわせ面として貼りあわせる貼り合わせ工程とを少なくとも含む。
【００２３】
前記フッ素化処理工程は、樹脂フィルムの表面をフッ素化処理することにより接着性の向上を図ることを目的とする。フッ素化処理を行うことで接着性が向上する理由は明らかでないが、樹脂フィルム表面が粗面化されることで、いわゆる投錨効果を増大させることができ、また接着に寄与する置換基（具体的には−ＣＯＯＨ基、−ＣＯＦ基など）も導入されるので、接着性が向上するものと推測される。フッ素化処理工程は、積層させる樹脂フィルムの全てに対しフッ素化処理を行ってもよく、何れか一方にのみフッ素化処理を行ってもよい。このとき処理ガスを接触させる領域は樹脂フィルムの貼り合わせ面の全面であることが好ましい。但し、本発明はこれに限定されず、樹脂フィルム表面の少なくとも一部の領域のみを表面改質させる態様であってもよい。この場合、樹脂フィルムの部分表面改質は、樹脂フィルム表面の所定の領域にマスキングをすることにより行うことができる。マスキングに使用するマスキング材としては処理を行う温度以上の耐熱性を有していることを除いては特に限定されず、例えば、ポリテトラフルオロエチレン、ポリテトラフルオロクロルエチレン、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、ポリジクロルジフルオロエチレン、ポリトリフルオロクロルエチレン等のフッ素樹脂、セラミックス、ポリイミド、ポリエーテル・エーテル・ケトン（ＰＥＥＫ）等からなるものが挙げられる。
【００２４】
前記処理ガスは、フッ素原子及び酸素原子を含有する混合ガスであれば特に限定されない。フッ素原子を含むガスとしては特に限定されず、例えば、フッ化水素（ＨＦ）、フッ素（Ｆ２）、三フッ化塩素（ＣｌＦ３）、四フッ化硫黄（ＳＦ４）、三フッ化ホウ素（ＢＦ３）、三フッ化窒素（ＮＦ３）等が挙げられる。これらのガスは単独で、又は二種以上を併用してもよい。
【００２５】
前記フッ素化処理工程において、前記フッ素原子を含むガスの濃度は、例えば０．００１〜９９ｖｏｌ％の範囲である。但し、フッ素原子を含むガスは少量でもその効果を十分に発揮することが出来る。したがって製造コスト及び安全性の観点から例えば０．００１〜５０ｖｏｌ％、より好ましくは０．００１〜１０ｖｏｌ％に設定することができる。
【００２６】
また、酸素原子を含むガスとしては特に限定されず、例えば、酸素ガス（Ｏ２）や二酸化硫黄ガス（ＳＯ２）、フッ化カルボニル（ＣＯＦ２）等が挙げられる。これらのガスは単独で、又は二種以上を併用してもよい。
【００２７】
前記フッ素化処理工程において、前記酸素原子を含むガスの濃度は、例えば０．００１〜９９ｖｏｌ％の範囲である。但し、酸素原子を含むガスは少量でもその効果を十分に発揮することが出来る。従って製造コストの観点からも当該ガスは低濃度であることが好ましく、具体的には、例えば０．０１〜５０ｖｏｌ％、より好ましくは０．１〜２０ｖｏｌ％である。
【００２８】
また、前記混合ガスは低濃度でその効果を十分発揮できる。従って製造コスト、安全性の観点から第３成分として、ドライエアーや窒素、アルゴン、ヘリウム、ネオン、クリプトン、キセノン等の不活性ガスを希釈のために混合させることが好ましい。
【００２９】
フッ素化処理の処理時間は特に限定されないが、樹脂フィルムと処理ガスとの反応は反応初期に爆発的に生じる。そのため、比較的短時間の処理で接着性向上の効果が得られる。具体的には、例えば１秒〜６００分の範囲内であり、好ましくは１秒〜１００分、より好ましくは１秒〜３０分である。処理時間が１００分を超えると、フッ素化が進行し過ぎて接着性が低下する場合がある。
【００３０】
フッ素化処理の処理温度は特に限定されないが、樹脂フィルムの耐熱温度（添加剤が添加されている場合はその耐熱温度）を考慮に入れると、−５０℃〜１５０℃の範囲内であることが好ましく、より好ましくは０℃〜１００℃である。
【００３１】
前記樹脂フィルムは単層でもよく、少なくとも２つのフィルムが積層された積層構造であってもよい。また、樹脂フィルムの厚さ（積層構造の場合は総厚）は特に限定されず、例えば、１〜１０００μｍの範囲内であることが好ましく、５〜７５０μｍの範囲内であることがより好ましい。このとき、貼り合わせる樹脂フィルムの厚さは相互に異なっていてもよい。更に、樹脂フィルムの平面形状は特に限定されず、適宜必要に応じて設定し得る。
【００３２】
前記樹脂フィルムとしては特に限定されず、フッ素樹脂フィルム、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）フィルム、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、ポリエチレンナフタレート(ＰＥＮ)フィルム、ポリブチレンテレフタレート(ＰＢＴ)フィルム、ポリシクロへキサンジメタノールテレフタレート（ＰＣＴ）フィルム、ポリカーボネート（ＰＣ）フィルム、エチレン酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）フィルム、ポリオレフィン系フィルム、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）フィルム、ポリイミド(ＰＩ)フィルム等が挙げられる。
【００３３】
前記フッ素樹脂フィルムは具体的には、例えば、ポリフッ化ビニリデン(ＰＶＤＦ)、ポリフッ化ビニル(ＰＶＦ)、ポリクロロトリフルオロエチレン(ＰＣＴＦＥ)、エチレン−クロロトリフルオロエチレン共重合体(ＥＴＣＦＥ)、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体(ＥＴＦＥ)等の一種又は二種以上からなるフィルムが挙げられる。
【００３４】
樹脂フィルムとしてエチレン酢酸ビニル共重合体フィルムを使用する場合、そのフィルム中には通常、有機過酸化物が添加されている。この有機過酸化物を熱分解すると、エチレン酢酸ビニル共重合体フィルムの表面に接着性の機能が生じる。よって、エチレン酢酸ビニル共重合体フィルムを使用する場合、前記貼り合わせ工程においては接着剤の使用を省略することができる。添加される有機過酸化物としては特に限定されず、例えばｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキシルカーボネート、２，５−ジメチルへキサン−２，５−ジハイドロパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）へキサン−３、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）へキサン、α，α’−ビス（ｔ−ブチルパーオキシイソプロピル）ベンゼン、ｎ−ブチル−４，４−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ブタン、２，２−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ブタン、１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）シクロへキサン、１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）３，３，５−トリメチルシクロへキサン、ｔ−ブチルパーオキシベンズエート、ベンゾイルパーオキサイド等が挙げられる。
【００３５】
前記有機過酸化物の含有量は特に限定されず、エチレン酢酸ビニル共重合体フィルムの全重量に対し０．１〜１０重量％の範囲内であることが好ましく、０．１〜５重量％の範囲内であることがより好ましい。含有量が０．１重量％未満であると、フッ素化処理を行っても、十分な接着性が得られない場合がある。その一方、含有量が１０重量％を超えると、エチレン酢酸ビニル共重合体の特性を維持できない場合がある。
【００３６】
樹脂フィルムとしてフッ素樹脂フィルムを使用する場合、フッ素化処理により十分な接着性を付与できない場合がある。その場合、アロイ化された２層構造フィルムを用いても構わない。例えば、表面側のフィルムをＰＶＤＦ：ＰＭＭＡ＝７０：３０、裏面側のフィルムをＰＶＤＦ：ＰＭＭＡ＝３０：７０とする。フッ素樹脂であるＰＶＤＦと比較してＰＭＭＡはフッ素化処理による効果が大きく、ＰＶＤＦ単体フィルムでは接着力が足りない場合も、ＰＭＭＡを含有することで十分な接着力を有するフィルムとすることができる。
【００３７】
前記フッ素樹脂フィルム中には、他の樹脂成分が含有されていることが好ましい。前記他の樹脂成分としてはその分子構造内において、前記処理ガスに対し反応性を示す官能基を備えるものであれば特に限定されない。当該他の樹脂成分が含まれていると、フッ素原子を含むガスが前記反応性を示す官能基と反応することにより、フッ素化処理の促進が図れる。これにより、接着性の向上が一層図れる。
【００３８】
前記処理ガスに対し反応性を示す官能基としては、例えば、窒素含有基、ケイ素含有基、酸素含有基、リン含有基、硫黄含有基、炭化水素基、ハロゲン含有基等が挙げられる。前記窒素含有基としては、例えば、アミド基、アミノ基等が挙げられる。ケイ素含有基としては、例えば、トリアルキルシリル基、シリルエーテル基、‐Ｓｉ(ＣＨ３)２Ｏ‐基等が挙げられる。酸素含有基としては、例えば、エステル基、カーボネート基、エーテル基等が挙げられる。リン含有基としては、例えば、ホスホリルコリン基等が挙げられる。硫黄含有基としては、例えば、スルホ基、スルホニル基等が挙げられる。炭化水素基としては、例えば、メチル基、メチレン基、フェニル基等が挙げられる。ハロゲン含有基としては、例えば、-ＣＨＸ-基、-ＣＨＸ２基、-ＣＸ３基、‐ＣＸ２‐基（ＸはＦ原子、Ｃｌ原子、Ｂr原子及びＩ原子からなる群より選択される少なくとも何れか１種。）等が挙げられる。
【００３９】
前記他の樹脂成分はより詳細には、例えばポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート(ＰＥＮ)、ポリブチレンテレフタレート(ＰＢＴ)、ポリシクロへキサンジメタノールテレフタレート（ＰＣＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリオレフィン等である。これらの樹脂成分は単独で、又は二種以上を併用してもよい。また、他の樹脂成分は、フッ素樹脂フィルムの構成材料として例示した高分子化合物以外のものであることが好ましい。
【００４０】
前記添加可能な樹脂の添加量は特に限定されず、フッ素樹脂フィルムの全重量に対し０．１〜９０重量％の範囲内であることが好ましく、０．１〜８０重量％の範囲内であることがより好ましい。添加量が９０重量％を超えると、フッ素樹脂自身の性能を維持できない場合がある。
【００４１】
フッ素化処理後の樹脂フィルムは、水やアルコール等の洗浄液で洗浄することができる。これにより、樹脂フィルム表面に吸着している未反応のＦ２や、反応により生じたＨＦを除去することができ、安定性に優れた接着性表面を形成することができる。
【００４２】
前記貼り合わせ工程は、少なくとも２枚の樹脂フィルムを、フッ素化処理面を貼り合わせ面として両者を貼り合わせ、積層フィルムを作製する工程である。貼り合わせは接着剤を用いてもよい。但し、貼り合わせる樹脂フィルムの何れか一方がエチレン酢酸ビニル共重合体フィルムである場合には、接着剤を用いることなく両者を貼り合わせることができる。
【００４３】
前記接着剤としては特に限定されず、例えば、ウレタン系接着剤、エポキシ系接着剤、合成ゴム系接着剤等を用いることができる。また、感圧性接着剤（粘着剤）を用いることも可能である。前記感圧性接着剤としては特に限定されず、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ウレタン系粘着剤等を用いることができる。
【００４４】
接着剤としてウレタン系接着剤、エポキシ系接着剤、合成ゴム系接着剤等を用いる場合、貼り合わせ後の積層体に対し、加熱圧着を行ってもよい。この場合、加熱温度としては、２０〜２００℃の範囲内であることが好ましく、２５〜１５０℃の範囲内であることがより好ましい。また、圧力は０．１〜５００ｋＰａの範囲内であることが好ましく、０．１〜２００ｋＰａの範囲内であることがより好ましい。更に、圧着時間は接着剤の種類によるが、１分〜２４時間の範囲内であることが好ましい。また、圧着は圧着ロール等の押圧手段により押圧しながら行うことができる。
【００４５】
貼り合わせ方法は、用いる接着剤の種類に応じて適宜変更し得る。例えば、液状の接着剤の場合、樹脂フィルムの少なくとも何れか一方に接着剤を塗布した後、両者を貼り合わせ、前記接着剤を乾燥させる方法が挙げられる。この場合、塗布量は乾燥後の接着剤層の厚さに応じて適宜設定することができる。また、フィルム状の接着剤の場合、積層させる樹脂フィルムの少なくとも何れか一方に接着剤を貼り合わせた後、両者を貼り合わせる方法が挙げられる。
【００４６】
尚、接着剤を使用する場合は、貼り合わせる樹脂フィルムの全ての貼り合わせ面に対し、フッ素化処理を施すことが好ましい。これにより、フッ素化処理が施された樹脂フィルムとフッ素化処理が施されていない樹脂フィルムとを貼り合わせた積層フィルムと比較して、両者の接着性を一層向上させることができる。
【００４７】
貼り合わせる樹脂フィルムのうちの一方がエチレン酢酸ビニル共重合体フィルムであり、接着剤を用いることなく貼り合わせを行う場合は加熱圧着を行うことが好ましい。この場合、加熱温度としては、５０〜２００℃の範囲内であることが好ましく、１００〜１５０℃の範囲内であることがより好ましい。また、圧力は０．１〜５００ｋＰａの範囲内であることが好ましく、０．１〜１０１．３ｋＰａの範囲内であることがより好ましい。更に、圧着時間は、１０秒〜２４時間の範囲内であることが好ましく、１０秒〜６０分の範囲内であることがより好ましい。また、圧着は圧着ロール等の押圧手段により押圧しながら行うことができる。また真空ラミネーターを用いて行うこともできる。
【００４８】
本実施の形態において、前記フッ素化処理工程は、例えば図１に示す反応装置を用いて行うことができる。即ち、樹脂フィルムのフッ素化処理を行う反応容器４を用意し、当該反応容器４内に樹脂フィルム５を載置する。反応容器４としては特に限定されず、例えば、ステンレス鋼製、アルミニウム製、又はニッケル製等のものを使用することができる。
【００４９】
次に、反応容器４内を減圧する場合は、真空ライン７の弁を開栓して真空排気し、所定の圧力下（例えば、１０Ｐａ）に達した後は、真空ライン７の弁を閉栓する。
【００５０】
次に、必要に応じて、フッ素原子を含むガスを供給する第１供給ライン１、酸素原子を含むガスを供給する第２供給ライン２、不活性ガスを供給する第３供給ライン３の弁を適宜必要に応じて開栓し、所定濃度に調整した処理ガスを反応容器４に導入する。
【００５１】
これにより、樹脂フィルム５に処理ガスを接触させ、当該フィルム５のフッ素化処理を行う。フッ素化処理後の樹脂フィルム５の接着性は、処理ガスの濃度、処理時間、処理温度、ガス流量を適宜必要に応じて設定することにより制御可能である。但し、樹脂フィルム５の表面積が大きい場合は、当該大きさに対応した処理条件及び反応容器を用いる必要がある。反応は常圧下、加圧下、減圧下で処理ガスを連続的に供給しながら行ってもよく、又は大気圧封入下、加圧封入下、減圧封入下で行ってもよい。
【００５２】
処理ガス中のフッ素原子を含むガスの濃度は、前記第１供給ライン１〜第３供給ライン３からそれぞれ供給されるガス量により調整可能である。
【００５３】
反応容器４の内部を流れる処理ガスのガス流量は特に限定されないが、ガス流量が早いと反応が爆発的に起こる場合がある。このため、反応初期に於いては、フッ素原子を含むガスの濃度、及び流量を適切に設定することが重要である。つまり反応の進行状況に応じて、濃度、流量を適宜大きくし、又は小さくしてもよい。また、ガス流量は、反応容器４の大きさ及び樹脂フィルム５の形状に合わせて適宜設定してもよい。
【００５４】
フッ素化処理の終了後、ガス供給ラインのうち第３供給ライン３の弁のみを開栓して不活性ガスを導入し、所定の流量で反応容器４内の処理ガスを不活性ガスに置換する。このとき排気ライン６の弁も開栓しておく。その後、第３供給ライン３及び排気ライン６の弁を閉栓すると共に、真空ライン７の弁を開栓し、反応容器４内が所定圧力（例えば、１０Ｐａ）以下になるまで真空排気する。
【００５５】
次に、真空ライン７の弁を閉栓し、第３供給ライン３の弁を開栓し、不活性ガスを大気圧まで導入する。反応容器４内が大気圧を示したら、排気ライン６の弁を開栓し、フッ素化処理された樹脂フィルム５を取り出す。
【００５６】
以上の方法で得られた樹脂フィルム５は、高い接着性を有しており、例えば、太陽電池用バックシート等に好適に適用することができる。太陽電池用バックシートに用いる場合、例えば、図２に示すような態様が可能である。即ち、樹脂フィルム８の両面に、前記樹脂フィルム５を、接着剤を介して貼り合わせる。前記樹脂フィルム５は、水蒸気、酸素ガス等に対するガスバリア性を備えている。このとき、樹脂フィルム５は、上述の通り、フッ素化処理が施されているため、接着性に優れている。その結果、信頼性に優れた太陽電池用バックシートを作製することができる。
【実施例】
【００５７】
以下に、この発明の好適な実施例を例示的に詳しく説明する。但し、この実施例に記載されている材料や配合量等は、特に限定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定するものではない。【００５８】
（実施例１）
本実施例においては、樹脂フィルム５として多層フィルムを用いた。前記多層フィルムは、アロイ化された２層構造フィルムであり、表面側のフィルムをＰＶＤＦ：ＰＭＭＡ＝７０：３０、裏面側のフィルムをＰＶＤＦ：ＰＭＭＡ＝３０：７０に調整した。この多層フィルムを反応容器４に導入し、真空ライン７の弁を開栓して、反応容器４内が１０Ｐａ以下になるまで減圧した。【００５９】
次に、真空ライン７の弁を閉栓し、フッ素ガスを供給する第１供給ライン１、酸素ガスを供給する第２供給ライン２及び窒素ガス（不活性ガス）を供給する第３供給ライン３の弁を同時に開栓し、フッ素ガス／窒素ガス／酸素ガス＝０．５：４．５：９５（体積比）、トータル流量１．０Ｌ／ｍｉｎになるように調整した処理ガス（混合ガス）を反応容器４内に大気圧になるまで導入した。更に、第１供給ライン１、第２供給ライン２及び第３供給ライン３の弁を同時に閉栓し、反応容器内を密閉状態にし、そのまま３００秒間保持した。また、反応容器４内の温度を３０℃に保持した。所定時間が経過後、窒素ガスを供給する第３供給ライン３及び排気ライン６の弁を開栓し、２０Ｌ／ｍｉｎの流量で反応容器４内のフッ素ガス／窒素ガス／酸素ガスの混合ガスを窒素ガスに置換した。その後、第３供給ライン３及び排気ライン６の弁を閉栓し、真空ライン７の弁を開栓し、反応容器内が１０Ｐａ以下になるまで減圧した。【００６０】
次に、真空ライン７の弁を閉栓した後に第３供給ライン３の弁を開栓し、反応容器４内に１．０Ｌ／ｍｉｎの流量で窒素ガスを大気圧まで導入した。反応容器４内が大気圧を示した後、排気ライン６の弁を開栓し、処理後の多層フィルムを取り出した。【００６１】
取り出した多層フィルムを室温のＵＰＷ（超純水）で１Ｈｒ攪拌洗浄した。洗浄後、表面のＵＰＷを窒素ガスでブローし、その後室温で１０Ｐａ以下になるまで減圧乾燥した。乾燥した多層シートを表面側のフィルム（ＰＶＤＦ：ＰＭＭＡ＝７０：３０）を貼り合わせ面として未処理のエチレン酢酸ビニル共重合体フィルム（（株）協栄化工製）と加熱圧着して貼り合わせた。貼り合わせは温度１３５℃、圧力２．５ｋＰａの条件下で３０分間圧着することにより行った。その後、装置から取出し自然放冷をした。これにより、本実施例に係る積層フィルムを作製した。【００６２】
（実施例２〜７）
実施例２〜７に於いては、フッ素化処理を行う際の条件を下記表１に示す通りに行ったこと以外は、前記実施例１と同様にして実施例２〜７に係る積層フィルムを作製した。尚、実施例６においては処理ガスがフッ素ガス及び酸素ガスのみからなるものを用いたので、反応容器４内に処理ガスを導入する際には第３供給ライン３を閉栓した状態にした。【００６３】
（比較例１）
本比較例に於いては、実施例１で使用した多層フィルムに対しフッ素化処理を行わなかったこと以外は、前記実施例１と同様にして多層フィルムとエチレン酢酸ビニル共重合体フィルムとを貼り合わせ、本比較例に係る積層フィルムを作製した。【００６４】
【表１】
0005610637.tif 000002
【００６５】
（実施例８、９）
実施例８及び９においては、樹脂フィルムとしてＰＶＤＦフィルムを用い、更にフッ素化処理を行う際の条件を下記表２に示す通りに行ったこと以外は、前記実施例１と同様にして実施例８及び９に係る積層フィルムを作製した。【００６６】
（比較例２）
本比較例に於いては、実施例８で使用したＰＶＤＦフィルムに対しフッ素化処理を行わなかったこと以外は、前記実施例１と同様にしてＰＶＤＦフィルムとエチレン酢酸ビニル共重合体フィルムとを貼り合わせ、本比較例に係る積層フィルムを作製した。【００６７】
【表２】
0005610637.tif 000003
【００６８】
（実施例１０、１１）
実施例１０及び１１においては、樹脂フィルムとしてＰＶＦフィルム（ＤｕＰｏｎｔ社製、商品名；テドラー、厚さ；５０μｍ）を用い、更にフッ素化処理を行う際の条件を下記表３に示す通りに行ったこと以外は、前記実施例１と同様にして実施例１０及び１１に係る積層フィルムを作製した。【００６９】
（比較例３）
本比較例に於いては、実施例１０で使用したＰＶＦフィルムに対しフッ素化処理を行わなかったこと以外は、前記実施例１と同様にしてＰＶＦフィルムとエチレン酢酸ビニル共重合体フィルムとを貼り合わせ、本比較例に係る積層フィルムを作製した。【００７０】
【表３】
0005610637.tif 000004
【００７１】
（実施例１２、１３）
実施例１２及び１３においては、樹脂フィルムとしてＰＥＴフィルム（東レ（株）製、商品名；ルミラー  Ｓ−１０、厚さ；５０μｍ）を用い、更にフッ素化処理を行う際の条件を下記表４に示す通りに行ったこと以外は、前記実施例１と同様にして実施例１２及び１３に係る積層フィルムを作製した。【００７２】
（比較例４）
本比較例に於いては、実施例１２で使用したＰＥＴフィルムに対しフッ素化処理を行わなかったこと以外は、前記実施例１と同様にしてＰＥＴフィルムとエチレン酢酸ビニル共重合体フィルムとを貼り合わせ、本比較例に係る積層フィルムを作製した。【００７３】
【表４】
0005610637.tif 000005
【００７４】
（実施例１４、１５）
実施例１４及び１５においては、樹脂フィルムとしてＥＴＦＥフィルム（ダイキン工業（株）製、商品名；ネオフロン、厚さ；５０μｍ）を用い、更にフッ素化処理を行う際の条件を下記表５に示す通りに行ったこと以外は、前記実施例１と同様にして実施例１４及び１５に係る積層フィルムを作製した。【００７５】
（比較例５）
本比較例に於いては、実施例１４で使用したＥＴＦＥフィルムに対しフッ素化処理を行わなかったこと以外は、前記実施例１と同様にしてＥＴＦＥフィルムとエチレン酢酸ビニル共重合体フィルムとを貼り合わせ、本比較例に係る積層フィルムを作製した。【００７６】
【表５】
0005610637.tif 000006
【００７７】
（実施例１６）
実施例１６においては、樹脂フィルムとしてＰＩフィルム（ＤｕＰｏｎｔ社製、商品名；カプトン、厚さ；４５μｍ製）を用い、更にフッ素化処理を行う際の条件を下記表６に示す通りに行ったこと以外は、前記実施例１と同様にして実施例１６に係る積層フィルムを作製した。【００７８】
（比較例６）
本比較例に於いては、実施例１６で使用したＰＩフィルムに対しフッ素化処理を行わなかったこと以外は、前記実施例１と同様にしてＰＩフィルムとエチレン酢酸ビニル共重合体フィルムとを貼り合わせ、本比較例に係る積層フィルムを作製した。【００７９】
【表６】
0005610637.tif 000007
【００８０】
（実施例１７）
実施例１７においては、樹脂フィルムとしてＥＴＦＥフィルム（ダイキン工業（株）製、商品名；ネオフロン、厚さ；５０μｍ）を用い、更に下記表７に示す条件下でフッ素化処理を行った。【００８１】
フッ素化処理後、取り出したＥＴＦＥフィルムを室温のＵＰＷ（超純水）で１Ｈｒ攪拌洗浄した。洗浄後、表面のＵＰＷを窒素ガスでブローし、その後室温で１０Ｐａ以下になるまで減圧乾燥した。乾燥したＥＴＦＥフィルムにウレタン系接着剤（（株）スリーボンド製、商品名；パンドー１５６Ａ）を用いてＰＥＴフィルム（東レ（株）製、商品名；ルミラー  Ｓ−１０、厚さ；５０μｍ）と貼り合わせた。貼り合わせは、温度２５℃、大気圧下の条件で２４時間放置して行った。これにより、本実施例に係る積層フィルムを作製した。【００８２】
（比較例７）
本比較例に於いては、実施例１７で使用したＥＴＦＥフィルムに対してフッ素化処理を行わなかったこと以外は、前記実施例１７と同様にしてＥＴＦＥフィルムとＰＥＴフィルムとをウレタン系接着剤を介して貼り合わせ、本比較例に係る積層フィルムを作製した。【００８３】
【表７】
0005610637.tif 000008
【００８４】
（実施例１８）
実施例１８においては、樹脂フィルムとしてＰＶＦフィルム（ＤｕＰｏｎｔ社製、商品名；テドラー、厚さ；５０μｍ）を用い、更にフッ素化処理を行う際の条件を下記表８に示す通りに行ったこと以外は、前記実施例１７と同様にして実施例１８に係る積層フィルムを作製した。【００８５】
（比較例８）
本比較例に於いては、実施例１８で使用したＰＶＦフィルムに対してフッ素化処理を行わなかったこと以外は、前記実施例１７と同様にしてＰＶＦフィルムとＰＥＴフィルムとをウレタン系接着剤を介して貼り合わせ、本比較例に係る積層フィルムを作製した。【００８６】
【表８】
0005610637.tif 000009
【００８７】
（実施例１９）
実施例１９においては、樹脂フィルムとしてＰＩフィルム（ＤｕＰｏｎｔ社製、商品名；カプトン、厚さ；４５μｍ）を用い、更にフッ素化処理を行う際の条件を下記表９に示す通りに行った。さらに接着剤として合成ゴム系接着剤(（株）スリーボンド製、商品名；スリーボンド１５２１）を用いたこと以外は、前記実施例１７と同様にして実施例１９に係る積層フィルムを作製した。【００８８】
（比較例９）
本比較例に於いては、実施例１９で使用したＰＩフィルムに対してフッ素化処理を行わなかったこと以外は、前記実施例１７と同様にしてＰＩフィルムとＰＥＴフィルムとを合成ゴム系接着剤を介して貼り合わせ、本比較例に係る積層フィルムを作製した。【００８９】
【表９】
0005610637.tif 000010
【００９０】
（実施例２０）
実施例１１でフッ素化処理した一対のＰＶＦフィルムにより、実施例１２においてフッ素化処理したＰＥＴフィルムを挟み込み、各層間に未処理のエチレン酢酸ビニル共重合体フィルムを配して加熱圧着により貼り合わせた。貼り合わせは温度１３５℃、圧力２．５ｋＰａの条件下で３０分間圧着することにより行った。その後、装置から取出し、室温まで自然放冷をした。これにより、本実施例に係るＰＶＦ−ＥＶＡ間剥離強度２０Ｎ／ｃｍ以上、ＰＥＴ−ＥＶＡ間剥離強度２５Ｎ／ｃｍ以上の５層からなる太陽電池用バックシートを作製した。なお、前記剥離強度は、以下に示す剥離試験と同様の方法で測定した。【００９１】
（剥離試験）
剥離試験は、実施例１〜１６及び比較例１〜６に係る積層フィルムについては、エチレン酢酸ビニル共重合体フィルムから樹脂フィルムを引き剥がす際の引き剥がし粘着力（剥離強度）を測定することにより行った。また、実施例１７〜１９及び比較例７〜９に係る積層フィルムについては、ＰＥＴフィルムから樹脂フィルムを引き剥がす際の引き剥がし粘着力（剥離強度）を測定することにより行った。当該剥離試験はＪＩＳ  Ｋ６８５４−１（９０度剥離）に準じて行った。条件は、温度２５℃、相対湿度２０〜５０％Ｒｈ、つかみ移動速度５０ｍｍ／分、試料（積層フィルム）の幅１ｃｍとした。結果を前記表１〜９に示す。
【符号の説明】
【００９２】
１    第１供給ライン
２    第２供給ライン
３    第３供給ライン
４    反応容器
５    樹脂フィルム
６    排気ライン
７    真空ライン
８    樹脂フィルム
【図１】
0005610637.tif 000011
【図２】
0005610637.tif 000012