(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ブース内に配設された輻射パネル内に流体を循環供給して前記ブース内を輻射温調する輻射温調手段と、前記輻射温調手段の運転を制御する制御手段とを備えた輻射温調装置であって、
前記ブースが、天井部と側壁部とを備えて構成され、
前記ブース内の空気を前記輻射パネルの外表面に送風する送風手段を、前記ブース内に配設し、
板状の前記輻射パネルが、前記側壁部に沿って配設されるとともに、前記送風手段が前記輻射パネルと前記側壁部との間に配設され、
前記輻射温調手段の起動運転において、前記制御手段が、前記輻射温調手段を働かせて前記ブース内を輻射温調するとともに、前記送風手段を働かせて、前記送風手段により送風される空気を前記輻射パネルの外表面に吹付けて、当該空気と前記輻射パネル内の流体との間で熱交換させ、当該空気の対流により前記ブース内を温調する輻射温調装置。
【請求項２】
前記ブース内の空気の空気温度を検出する空気温度検出手段を備え、
前記輻射温調手段の起動運転において、前記空気温度検出手段により検出された空気温度が空気用目標設定温度となった場合に、前記制御手段が、前記送風手段を停止させる請求項１に記載の輻射温調装置。
【請求項３】
前記ブース内の空気の空気温度を検出する空気温度検出手段を備え、
前記輻射温調手段の起動運転において、前記制御手段が、前記空気温度検出手段により検出された空気温度と空気用目標設定温度との偏差が大きい場合には、前記輻射パネル内に循環供給される流体の流体用目標設定温度と空気用目標設定温度との温度差が大きくなるように流体用目標設定温度を設定し、前記空気温度と空気用目標設定温度との偏差が小さい場合には、流体用目標設定温度と空気用目標設定温度との温度差が小さくなるように流体用目標設定温度を設定する請求項１又は２に記載の輻射温調装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ブース内に配設された輻射パネル内に流体を循環供給してブース内を輻射温調する輻射温調手段を備えた輻射温調装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電子顕微鏡等の精密機器による各種作業は、周囲温度等の環境からの影響により、その計測精度や運転状態が悪影響を受ける場合があることから、通常、精密機器が配設されるブース内の温度を所定温度に温調する温調装置が採用される。
このような温調装置として、温調された空気をブース内に送り込んで当該ブース内を所定温度に温調する送風式の温調装置がある。しかしながら、この送風式の温調装置では、ブース内に空気を送り込むため、当該ブース内には空気の対流が発生して、精密機器の計測精度や運転状態に悪影響を与えてしまう場合がある。
そのため、ブース内の空気の流れを極力発生させないようにしながら、温調を行う温調装置として、ブース内に輻射パネルを配設し当該輻射パネルに流体を通流させることで、当該流体からの輻射によりブース内の空気を温調する輻射温調装置が提案されている。
【０００３】
一方で、例えば、特許文献１に開示の温調装置では、熱源器にて温調された空気を、ブース内に直接送風する構成と、ブースの天井部に配設された輻射パネル内に送風する構成との両方を備えることが開示されている。そして、室内負荷が大きい起動時には、温調された空気をブース内に直接送風させる送風式の温調を行い、室内負荷が小さくなると、温調された空気を輻射パネル内に通流させ、輻射パネルからの輻射により輻射温調を行うように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−２０１１５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示の温調装置では、温調された空気を、ブース内に直接送風する構成と、ブースの天井部に配設された輻射パネル内に送風する構成との両方を備えるため、構造が複雑となりやすく、コストの上昇、設置スペースの増加、装置の大型化等の問題が生じる。
【０００６】
一方で、送風式の温調装置では、上述のとおり、精密機器の運転状態等に悪影響を与えかねないので、輻射温調装置を採用することが好ましいが、輻射温調装置では、基本的に、輻射パネルからの輻射により伝熱する構成であるため、ブース内の空気温度の上昇は非常に遅くなる。そのため、輻射温調装置の起動時には、ブース内の空気温度が空気用目標設定温度となるまでに、非常に長い時間（例えば、２４時間程度以上）が必要となるという問題がある。また、このように長い時間輻射温調する場合には、起動における輻射温調手段の運転のために余分なエネルギーが必要となる。
【０００７】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、輻射温調手段の起動運転において、簡便な構成で、ブース内の空気温度をより短い時間で空気用目標設定温度に収束するように安定させ、省エネを実現できる輻射温調装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための本発明に係る輻射温調装置は、ブース内に配設された輻射パネル内に流体を循環供給して前記ブース内を輻射温調する輻射温調手段と、前記輻射温調手段の運転を制御する制御手段とを備えた輻射温調装置であって、その特徴構成は、
前記ブースが、天井部と側壁部とを備えて構成され、
前記ブース内の空気を前記輻射パネルの外表面に送風する送風手段を、前記ブース内に配設し、
板状の前記輻射パネルが、前記側壁部に沿って配設されるとともに、前記送風手段が前記輻射パネルと前記側壁部との間に配設され、
前記輻射温調手段の起動運転において、前記制御手段が、前記輻射温調手段を働かせて前記ブース内を輻射温調するとともに、前記送風手段を働かせて、前記送風手段により送風される空気を前記輻射パネルの外表面に吹付けて、当該空気と前記輻射パネル内の流体との間で熱交換させ、当該空気の対流により前記ブース内を温調する点にある。
【０００９】
上記特徴構成によれば、輻射温調手段の起動運転の際には、輻射パネルからの輻射により輻射温調を行うとともに、送風手段により送風されるブース内の空気を輻射パネルの外表面に吹付けて、当該空気と輻射パネル内の流体との間で熱交換させ、当該空気の対流によりブース内の対流温調を行うことができる。
ここで、この輻射温調手段の輻射パネルから輻射されることによる伝熱及びブース内の空気が輻射パネルに接触することによる伝熱（輻射温調）のみでは、ブース内の空気温度を空気用目標設定温度に収束させるために非常に長い時間（例えば、２４時間程度以上）がかかる。そのため、この輻射温調手段を働かせるのと同時又は少し遅れた時期に、送風手段を働かせることで、送風手段により送風されるブース内の空気を輻射パネルの外表面に吹付けて、当該空気と輻射パネル内の流体との間で強制的に熱交換させ、輻射パネル内の流体が有する多くの熱（冷熱や温熱）を対流する空気によりブース内に伝熱させることができる（対流温調）。すなわち、単位時間当たりに、輻射温調のみで輻射パネルからブース内に供給される熱量よりも、輻射温調と対流温調とにより輻射パネルからブース内に供給される熱量の方が多くなり、輻射パネル内の流体が有する熱をより効率よくブース内の空気の温調に利用することができる。
これにより、ブース内に送風手段を設ける簡単な構成で、輻射温調手段の起動運転の際に、輻射温調手段と送風手段とを働かせるだけで、より短い時間（例えば、１２時間程度）でブース内の空気温度を空気用目標設定温度に収束させ安定化させることができる。また、起動運転の際の運転時間が短くなるので、省エネを図ることができる。
よって、輻射温調手段の運転の際に、簡便な構成で、ブース内の空気温度をより短い時間で空気用目標設定温度に収束するように安定させ、省エネを実現できる。
更に、ブースが内部空間に外部から空気等が侵入しないように天井部と側壁部とを備えて形成され、この側壁部に沿って板状の輻射パネルが配設されるとともに、送風手段が、輻射パネルと側壁部との間に配設されている。この送風手段の配設場所は、輻射パネルから輻射され伝熱される熱（冷熱や温熱）が滞留し易い場所（輻射パネルと側壁部との間）である。この配設場所で送風手段が輻射パネルの外表面にブース内の空気を吹付けて対流させることで、輻射パネル内の流体が有する多くの熱（冷熱や温熱）を対流する空気によりブース内に伝熱させることができる（対流温調）とともに、輻射パネルと側壁部との間に滞留する熱（冷熱や温熱）も当該対流する空気によりブース内に伝熱させることができる。
よって、輻射パネル内の流体が有するより多くの熱量（冷熱や温熱）を対流する空気によりブース内に伝熱させ、輻射パネル内の流体が有する熱をより一層効率よくブース内の空気の温調に利用することができる。
【００１０】
本発明に係る輻射温調装置の更なる特徴構成は、前記ブース内の空気の空気温度を検出する空気温度検出手段を備え、
前記輻射温調手段の起動運転において、前記空気温度検出手段により検出された空気温度が空気用目標設定温度となった場合に、前記制御手段が、前記送風手段を停止させる点にある。
【００１１】
上記特徴構成によれば、輻射温調手段の起動運転において、空気温度が空気用目標設定温度となった場合には、制御手段が、輻射温調手段の運転を継続させつつ、送風手段を停止させる。これにより、起動運転から通常運転（輻射温調）に変更され、ブース内を輻射温調のみで温調することとなり、空気温度を空気用目標設定温度に収束させ安定させた状態を維持することができる。
【００１２】
本発明に係る輻射温調装置の更なる特徴構成は、前記ブース内の空気の空気温度を検出する空気温度検出手段を備え、
前記輻射温調手段の起動運転において、前記制御手段が、前記空気温度検出手段により検出された空気温度と空気用目標設定温度との偏差が大きい場合には、前記輻射パネル内に循環供給される流体の流体用目標設定温度と空気用目標設定温度との温度差が大きくなるように流体用目標設定温度を設定し、前記空気温度と空気用目標設定温度との偏差が小さい場合には、流体用目標設定温度と空気用目標設定温度との温度差が小さくなるように流体用目標設定温度を設定する点にある。
【００１３】
上記特徴構成によれば、制御手段が、空気温度（例えば、３０℃）と空気用目標設定温度（例えば、２０〜２２℃）との偏差が大きい場合（室内負荷が大きい場合（例えば、偏差が８〜１０℃））には、流体の流体用目標設定温度と空気用目標設定温度（例えば、２０〜２２℃）との温度差が大きくなるように流体用目標設定温度（例えば、１０℃）を設定し、空気用目標設定温度（例えば、２０〜２２℃）に対して大きな温度差（例えば、１０〜１２℃）を備えた流体用目標設定温度（例えば、１０℃）となった流体が、輻射パネルにより循環供給される。
また、制御手段が、空気温度（例えば、２５℃）と空気用目標設定温度（例えば、２０〜２２℃）との偏差が小さい場合（室内負荷が小さい場合（例えば、偏差が３〜５℃））には、流体用目標設定温度と空気用目標設定温度（例えば、２０〜２２℃）との温度差が小さくなるように流体用目標設定温度（例えば、１５〜１８℃）を設定し、空気用目標設定温度（例えば、２０〜２２℃）に対して小さな温度差（例えば、２〜７℃）を備えた流体用目標設定温度（例えば、１５〜１８℃）となった流体が、輻射パネルにより循環供給される。
なお、上記偏差が大きい場合及び小さい場合のいずれの場合も、流体用目標設定温度は、検出された空気温度からみて空気用目標設定温度の反対側の温度（冷房運転の場合には空気用目標設定温度の低温側の温度、暖房運転の場合には空気用目標設定温度の高温側の温度）に設定される。
これにより、ブース内の室内負荷が大きい場合には、高い熱量（冷熱量又は温熱量）を備えた流体によりブース内の迅速な輻射温調ができ、これに対して室内負荷が小さい場合には、低い熱量（冷熱量又は温熱量）を備えた流体によりブース内を輻射温調して、空気用目標設定温度に収束し安定させることができる。
また、室内負荷が大きい場合に、より迅速な輻射温調ができるので、輻射温調手段の起動運転における運転時間を低減することができ、省エネを図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】輻射温調装置を備えた輻射温調システムの概略構成図
【図２】起動運転及び通常運転における空気温度、空気用目標設定温度、流体温度、流体用目標設定温度、送風ファンの運転状態を示す概念図
【図３】制御部による温調制御の概略作動フロー図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明に係る輻射温調装置Ｅを備えた輻射温調システムＤについて、図１〜図３を参照しながら説明する。
【００１８】
輻射温調システムＤは、図１に示すように、電子顕微鏡Ｆ（精密機器の一例）が収容されるブース１と、輻射温調装置Ｅとを備えて構成される。
輻射温調装置Ｅは、ブース１内に配設された輻射パネル２ａ内に流体Ｑ（例えば、水）を循環供給してブース１内の空気Ｐを輻射温調する輻射温調手段２と、輻射パネル２ａ内に供給される流体Ｑの流体温度Ｑ１を検出する流体用温度センサ３（流体温度検出手段の一例）と、ブース１内の空気Ｐの空気温度Ｐ１を検出する空気用温度センサ４（空気温度検出手段の一例）と、輻射温調手段２等の運転を制御する制御部５（制御手段の一例）と、ブース１内の空気Ｐを輻射パネル２ａの外表面に送風する送風ファン２０（送風手段の一例）とを備える。なお、図示を省略するが、制御部５にはブース１内の空気用目標設定温度Ｐ２及び流体用目標設定温度Ｑ２等を設定可能で、設定された各種情報を記憶可能な記憶部を備えている。
以下では、ブース１、輻射温調装置Ｅ、送風ファン２０の構成を説明した後、輻射温調装置Ｅの運転（起動運転、通常運転）について説明する。
【００１９】
ブース１は、図１に示すように、天井部１ａ及び側壁部１ｂを構成する壁面により囲繞されて概略立方体形状に形成されており、ブース１内の内部空間に外部から空気等が侵入しないように構成され、ブース１はクリーンルームとされている。ブース１内には、輻射温調装置Ｅから供給される流体Ｑからの輻射により、ブース１内の空気Ｐを温調する一対の板状の輻射パネル２ａが、互いに対向する状態で、それぞれ側壁部１ｂに沿って配設されている。ブース１の内部空間の底部には架台Ｇが配設され、当該架台Ｇ上に電子顕微鏡Ｆが載置された状態でブース１内に収容されている。
【００２０】
ブース１内には、ブース１内の空気Ｐの空気温度Ｐ１を検出する空気用温度センサ４が配設されている。空気用温度センサ４により検出された空気温度Ｐ１は、輻射温調装置Ｅの制御部５に入力される構成となっている。
【００２１】
輻射温調装置Ｅの輻射温調手段２は、圧縮機１０、凝縮器１１、第１電磁弁１４、膨張弁１２、蒸発器１３（冷却手段の一例）の順に冷媒Ａ（図中点線矢印参照）を循環させる冷凍回路Ｃを備えて構成されている。蒸発器１３は、膨張された冷媒Ａと流体Ｑとを熱交換させて流体Ｑを冷却させるように構成されている。膨張弁１２は、冷凍回路Ｃを通流する冷媒Ａの流量を調整自在で、当該冷媒Ａを膨張可能に構成されている。また、第１電磁弁１４は、冷凍回路Ｃを通流する冷媒Ａの断続、すなわち、当該冷媒Ａの通流の停止状態と通流状態とに切換できるように構成されている。なお、第１電磁弁１４を、冷媒Ａの通流状態では当該冷媒Ａの流量を調整可能な構成としてもよい。
【００２２】
冷凍回路Ｃには、圧縮機１０と凝縮器１１との間から分岐される分岐冷凍回路Ｃ１が設けられている。
分岐冷凍回路Ｃ１は、冷媒Ａを圧縮機１０と凝縮器１１との間から分岐させて、冷凍回路Ｃにおける膨張弁１２と蒸発器１３との間に戻すように構成されている。分岐冷凍回路Ｃ１には、冷媒Ａの流れ方向の上流側から順に、蒸発器１３にて冷却された流体Ｑを、分岐冷凍回路Ｃ１を通流する冷媒Ａと熱交換させて、流体Ｑを加熱する再熱器１５、分岐冷凍回路Ｃ１を通流する冷媒Ａの断続、すなわち、当該冷媒Ａの通流の停止状態と通流状態とに切換できるように構成された第２電磁弁１６が配設されている。第２電磁弁１６を、冷媒Ａの通流状態では当該冷媒Ａの流量を調整可能な構成としてもよい。なお、分岐冷凍回路Ｃ１では、冷凍回路Ｃの蒸発器１３及び圧縮機１０を共用している。
【００２３】
また、輻射温調手段２は、流体Ｑを、蒸発器１３、再熱器１５、電気ヒータ１７、送液ポンプ１８、輻射パネル２ａの入口及び出口、蒸発器１３の順に循環通流させる流体循環流路１９が設けられている。この流体循環流路１９に設けられた電気ヒータ１７は、公知の電気ヒータであり、流体循環流路１９を通流し、再熱器１５により加熱された流体Ｑをさらに加熱可能に構成されている。また、流体循環流路１９に設けられた送液ポンプ１８は、流体Ｑを流体循環流路１９に循環通流させる循環手段として機能する。この流体循環流路１９は、送液ポンプ１８の下流側と輻射パネル２ａの上流側との間で分岐しており、流体Ｑを一対の輻射パネル２ａにそれぞれ供給可能に構成され、それぞれの輻射パネル２ａの下流側と蒸発器１３の上流側との間で合流しており、一対の輻射パネル２ａから排出された流体Ｑを蒸発器１３側に通流可能に構成されている。
【００２４】
この流体循環流路１９において送液ポンプ１８の下流側と一対の輻射パネル２ａの上流側（一対の輻射パネル２ａに分岐する箇所よりも上流側）との間には、一対の輻射パネル２ａに供給される流体Ｑの流体温度Ｑ１を検出する流体用温度センサ３が配設されている。流体用温度センサ３により検出された流体温度Ｑ１は、輻射温調装置Ｅの制御部５に入力される構成となっている。
【００２５】
輻射パネル２ａは、公知の輻射パネルにより構成され、ブース１内に一対設けられて、例えば、板状の輻射パネル２ａ内に蛇行して配設された伝熱パイプ（図示せず）内を入口から出口に向かって流体Ｑが通流することにより、当該流体Ｑからの輻射（伝熱）によりブース１内の空気Ｐを温調することが可能に構成されている。
【００２６】
制御部５は、公知の情報演算処理手段から構成され、圧縮機１０、膨張弁１２、第１電磁弁１４、第２電磁弁１６、電気ヒータ１７、送液ポンプ１８、送風ファン２０等の作動状態を制御し、冷媒Ａ、流体Ｑの流量や温度制御等が可能に構成されている。なお、制御部５には、各機器の作動状態に関する信号が、当該各機器から入力されるように構成されている。
【００２７】
送風ファン２０は、輻射パネル２ａの外表面にブース１内の空気Ｐを吹き付け、当該空気Ｐをブース１内に対流させることができる構成（例えば、軸流送風機や斜流送風機等）であればよいが、本実施形態では、プロペラファン（軸流送風機）により構成されている。送風ファン２０は、ブース１内において、ブース１の側壁部１ｂと輻射パネル２ａとの間に形成された間隙に配設されている。送風ファン２０の配設数については適宜設定可能であるが、本実施形態では、一対の輻射パネル２ａのそれぞれに２つの送風ファン２０が配設され、全体として４つの送風ファン２０が配設されている。なお、送風ファン２０は、輻射パネル２ａ、ブース１の側壁部１ｂや底部に固定配設される。また、送風ファン２０の運転は、制御部５からの信号により制御される。
【００２８】
次に、輻射温調装置Ｅの運転方法について、図２及び図３を参照して、ブース１内を冷房する場合について説明する。
輻射温調装置Ｅの起動運転時（電子顕微鏡Ｆの作業開始前）には、ユーザが操作部（図示せず）を操作して輻射温調装置Ｅを起動させると共に（ステップ♯１）、ブース１内の空気Ｐの空気温度Ｐ１が当該電子顕微鏡Ｆの作業に最適な温度（空気用目標設定温度Ｐ２：例えば２０〜２２℃）となるように、当該空気用目標設定温度Ｐ２を入力して設定する（ステップ♯２）。なお、輻射温調装置Ｅの起動と同時に、制御部５が、予め設定された温度を記憶部（図示せず）から読み出して、空気用目標設定温度Ｐ２として用いてもよい。
【００２９】
そして、制御部５は、輻射パネル２ａ内に循環供給される流体Ｑの流体用目標設定温度Ｑ２を設定する。すなわち、制御部５は、図２に示すように、流体用目標設定温度Ｑ２と空気用目標設定温度Ｐ２との温度差Δｓである温度差Δｓ１が大きくなるように（温度差Δｓ１が所定値（例えば、１０℃）以上の最大値となるように）、流体用目標設定温度Ｑ２を、流体用目標設定温度Ｑ２としての第１流体用目標設定温度Ｑ２１（例えば、１０℃）に設定する（ステップ♯３）。第１流体用目標設定温度Ｑ２１は、検出された空気温度Ｐ１からみて空気用目標設定温度Ｐ２よりも低温側の温度に設定される。
【００３０】
さらに、制御部５は、輻射温調装置Ｅの起動と同時に、送風ファン２０の運転を開始させ、当該送風ファン２０を所定の回転数で回転させる（ステップ♯４）。なお、本実施形態では、ステップ♯１〜♯４は時間的に略同時に行われている。
【００３１】
これにより、送風ファン２０の運転により、ブース１内の空気Ｐを輻射パネル２ａの外表面に吹付けて、当該空気Ｐと輻射パネル２ａ内の流体Ｑとを強制的に熱交換させ、流体Ｑが有する多くの熱（冷熱）を対流する空気Ｐによりブース１内に伝熱させることができる（対流温調）。
この送風ファン２０は、例えば、図１において左側に配設された輻射パネル２ａでは、ブース１の側壁部１ｂから輻射パネル２ａに向かう方向（図１において、左から右に向かう方向）に送風され、当該送風は輻射パネル２ａの外表面に吹付けられて外表面に沿って通流した後、当該外表面の上下及び左右の各端部から電子顕微鏡Ｆが配設されたブース１の中央部（対向配置された一対の輻射パネル２ａ間）に通流する。特に、輻射パネル２ａから輻射され伝熱される熱（冷熱）が滞留し易い場所（輻射パネル２ａと側壁部１ｂとの間）で送風ファン２０が輻射パネル２ａの外表面にブース１内の空気Ｐを吹付けて対流させることで、輻射パネル２ａ内の流体Ｑが有する多くの熱（冷熱）を対流する空気Ｐによりブース１内に伝熱させることができる（対流温調）とともに、輻射パネル２ａと側壁部１ｂとの間に滞留する熱（冷熱）も当該対流する空気Ｐによりブース１内に伝熱させることができる。
【００３２】
従って、単位時間当たりに、輻射温調のみで輻射パネル２ａからブース１内に供給される熱量よりも、輻射温調と対流温調とにより輻射パネル２ａからブース１内に供給される熱量の方が多くなり、輻射パネル２ａ内の流体Ｑが有する熱をより効率よくブース１内の空気Ｐの温調に利用することができる。
よって、ブース１内に送風ファン２０を設ける簡単な構成で、輻射温調手段２の起動運転の際に、輻射温調手段２と送風ファン２０とを働かせるだけで、より短い時間（例えば、１２時間程度）でブース１内の空気温度Ｐ１を空気用目標設定温度Ｐ２に収束させ安定化させることができる。また、起動運転の際の運転時間が短くなるので、省エネを図ることができる。
【００３３】
次に、制御部５は、検出された空気温度Ｐ１と空気用目標設定温度Ｐ２との偏差Δｔを導出し、当該偏差Δｔが大きい場合（偏差Δｔが所定値以上の場合）には（ステップ♯５：Ｙｅｓ）、設定された第１流体用目標設定温度Ｑ２１（例えば、１０℃）にて運転を継続する。図２において、このときの偏差Δｔを偏差Δｔ１と記載し、第１流体用目標設定温度Ｑ２１と空気用目標設定温度Ｐ２との温度差Δｓを温度差Δｓ１と記載する。なお、偏差Δｔが大きいか否かを判断する所定値は、空気用目標設定温度Ｐ２＋α（例えば、Ｐ２＋２〜３℃）に設定される。
一方で、制御部５は、空気温度Ｐ１（例えば、２５℃）と空気用目標設定温度Ｐ２（例えば、２０〜２２℃）との偏差Δｔが小さい場合（偏差Δｔが所定値（例えば、Ｐ２＋２〜３℃）より小さい場合）には（ステップ♯５：Ｎｏ）、設定された第１流体用目標設定温度Ｑ２１を、流体用目標設定温度Ｑ２と空気用目標設定温度Ｐ２との温度差Δｓが小さくなるように（温度差Δｓ２が所定値（例えば、１０℃）より小さくなるように）、第２流体用目標設定温度Ｑ２２（例えば、１５〜１８℃）に変更（再設定）する（ステップ♯６）。図２において、このときの偏差Δｔを偏差Δｔ２と記載し、第２流体用目標設定温度Ｑ２２と空気用目標設定温度Ｐ２との温度差Δｓを温度差Δｓ２と記載する。第２流体用目標設定温度Ｑ２２は、検出された空気温度Ｐ１からみて空気用目標設定温度Ｐ２よりも低温側の温度に設定される。
従って、制御部５は、実際、空気用温度センサ４により検出されたブース１内の空気Ｐの空気温度Ｐ１と空気用目標設定温度Ｐ２との偏差Δｔ（偏差Δｔ１、Δｔ２）に対応する形態で、流体用目標設定温度Ｑ２と空気用目標設定温度Ｐ２とがそれぞれ所定の温度差Δｓ（温度差Δｓ１、Δｓ２）を生じるように流体用目標設定温度Ｑ２（Ｑ２１、Ｑ２２）を設定することとなる。
【００３４】
これにより、輻射温調装置Ｅの起動運転時において、輻射温調手段２にて温調され流体用目標設定温度Ｑ２となった流体Ｑにより、ブース１内の空気Ｐが空気用目標設定温度Ｐ２となるように輻射温調することができる。さらに、ブース１の室内負荷が大きい場合（偏差Δｔ１）には、高い熱量（冷熱量又は温熱量）を備えた流体Ｑ（第１流体用目標設定温度Ｑ２１）によりブース１内の迅速な輻射温調ができ、これに対して室内負荷が小さい場合（偏差Δｔ２）には、低い熱量（冷熱量又は温熱量）を備えた流体Ｑ（第２流体用目標設定温度Ｑ２２）によりブース１内を輻射温調して、空気用目標設定温度Ｐ２に収束し安定させることができる。また、室内負荷が大きい場合に、より迅速な輻射温調ができるので、輻射温調手段２の起動運転における運転時間を低減することができ、省エネを図ることができる。
【００３５】
そして、制御部５は、偏差Δｔがゼロ（略ゼロ）となった場合（ステップ♯７：Ｙｅｓ）、すなわち、ブース１内の空気温度Ｐ１が空気用目標設定温度Ｐ２となった場合には、送風ファン２０の運転を停止させる（ステップ♯８）。この状態では、ブース１内は、電子顕微鏡Ｆの運転に適した温度となっているので、送風ファン２０による対流温調を停止し、起動運転から通常運転（輻射温調）に変更させ、ブース１内を輻射温調のみで温調することで、空気温度Ｐ１を空気用目標設定温度Ｐ２に収束させ安定させた状態を維持することができる（ステップ♯９）。なお、偏差Δｔがゼロ（略ゼロ）となっていない場合（ステップ♯７：Ｎｏ）には、送風ファン２０等の運転を継続する。
【００３６】
通常運転では、制御部５は、空気温度Ｐ１が空気用目標設定温度Ｐ２に収束し安定した状態を維持するために、輻射温調手段２の運転を制御して、輻射パネル２ａに供給する流体Ｑの流体温度Ｑ１及び流体用目標設定温度Ｑ２を適宜変更させるように構成されている。この通常運転では、輻射温調のみでブース１内が温調されるので、ブース１内に空気Ｐの対流がほとんど発生せず、電子顕微鏡Ｆの作業に悪影響を与えることは防止されている。
【００３７】
よって、本願に係る輻射温調装置Ｅでは、輻射温調手段２の起動運転において、簡便な構成で、ブース１内の空気温度Ｐ１をより短い時間で空気用目標設定温度Ｐ２に収束するように安定させ省エネを実現でき、通常運転においては、空気Ｐの対流等の影響を受けることなく電子顕微鏡Ｆによる作業を行うことができる。
【００３８】
〔別実施形態〕
（Ａ）上記実施形態においては、輻射温調手段２の起動（図３のステップ♯１）、空気用目標設定温度Ｐ２の設定（ステップ♯２）、流体用目標設定温度Ｑ２の設定（ステップ♯３）、送風ファン２０の運転開始（ステップ♯４）を、時間的に略同時に行う構成としたが、輻射温調手段２の起動運転時において、輻射温調及び対流温調を行って、ブース１内をより短い時間で空気用目標設定温度Ｐ２に収束するように安定させることができれば、特にこの構成に限定されるものではない。
例えば、上記ステップ♯１〜♯３を略同時に行い、その後、時間的に少し遅れた時期に、送風ファン２０の運転を開始する（ステップ♯４を行う）構成としてもよい。すなわち、輻射パネル２ａ内の流体Ｑの流体温度Ｑ１が、設定された流体用目標設定温度Ｑ２（例えば、第１流体用目標設定温度Ｑ２１）に確実に収束した時点で、送風ファン２０の運転を開始する構成とすることで、ブース１内の空気Ｐと輻射パネル２ａ内の流体Ｑとの熱交換をより効率よく行うことができる。また、ステップ♯１〜♯４を順次実行することもできる。
【００３９】
（Ｂ）上記実施形態においては、冷房運転について説明したが、暖房運転の際にも本願の輻射温調装置Ｅを良好に適用することができる。
【００４０】
（Ｃ）上記実施形態においては、起動運転時において輻射温調手段２により輻射パネル２ａに供給する流体Ｑの流体用目標設定温度Ｑ２を、偏差Δｔの大小に応じて、例えば、１０℃（第１流体用目標設定温度Ｑ２１）、１５〜１８℃（第２流体用目標設定温度Ｑ２２）の２段階の温度に設定する例について説明したが、空気温度Ｐ１を適切に空気用目標設定温度Ｐ２に収束させ安定させることができれば、設定する温度やその段階数は適宜変更することができる。
また、通常運転時には、流体Ｑの流体用目標設定温度Ｑ２を、空気用目標設定温度Ｐ２に設定してもよい。
【００４２】
（Ｄ）上記実施形態においては、冷却手段として冷凍回路Ｃの蒸発器１３を採用し、加熱手段として電気ヒータ１７及び分岐冷凍回路Ｃ１の再熱器１５を採用したが、冷却手段や加熱手段としては、流体Ｑを冷却できる公知の冷却手段や加熱できる公知の加熱手段を用いることができる。また、冷却手段や加熱手段の数についても適宜設定することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
以上説明したように、輻射温調手段の起動運転において、簡便な構成で、ブース内の空気温度をより短い時間で空気用目標設定温度に収束するように安定させ、省エネを実現できる輻射温調装置として有効に利用することができる。
【符号の説明】
【００４４】
１      ブース
１ａ    天井部
１ｂ    側壁部
２      輻射温調手段
２ａ    輻射パネル
３      流体用温度センサ（流体温度検出手段）
４      空気用温度センサ（空気温度検出手段）
５      制御部（制御手段）
２０    送風ファン（送風手段）
Ｐ１    空気温度
Ｐ２    空気用目標設定温度
Ｑ１    流体温度
Ｑ２    流体用目標設定温度
Ｃ      冷凍回路
Ｃ１    分岐冷凍回路（冷凍回路）
Ｅ      輻射温調装置
Ｆ      電子顕微鏡（精密機器）
Ｐ      空気
Ｑ      流体
Δｔ１、Δｔ２    偏差
Δｓ１、Δｓ２    温度差
【図１】
0005488444.tif 000002
【図２】
0005488444.tif 000003
【図３】
0005488444.tif 000004