(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハに所定の間隔をもって備えられた複数本のストリートを、ブレードによって切削することにより、切断用の溝を前記ウェーハに加工するダイシング装置において、
前記ブレードによって、所定本数の溝を前記所定の間隔をもって前記ウェーハに加工した後、前記所定本数の溝のうち最後に加工された溝のストリートから、２本以上隔てた位置にあるストリートを、前記ブレードによって切削することによりカーフチェック用の溝を前記ウェーハに加工し、前記カーフチェック用の溝を用いて、前記ブレードのカーフチェックを実施することを特徴とするダイシング装置のカーフチェック方法。
【請求項２】
前記ブレードは、第１のブレードと第２のブレードとを備え、前記第１のブレードと前記第２のブレードによって、２本のストリートを独立して切削する請求項１に記載のダイシング装置のカーフチェック方法。
【請求項３】
前記ブレードは、第１のブレードと第２のブレードとを備え、前記第１のブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削し、その切削した溝内を前記第２のブレードで切削する請求項１に記載のダイシング装置のカーフチェック方法。
【請求項４】
ブレードと制御手段とを備え、前記ブレードを前記制御手段で制御することにより、ウェーハに所定の間隔をもって備えられた複数本のストリートを前記ブレードによって切削し、切断用の溝を前記ウェーハに加工するダイシング装置において、
前記制御手段は、前記ブレードによって所定本数の溝が前記所定の間隔をもって前記ウェーハに加工されると、又は外部入力手段から前記ブレードのカーフチェック指令信号が入力されると、前記所定本数の溝のうち最後に加工された溝のストリートから、２本以上隔てた位置にあるカーフチェック用のストリートを、前記ブレードによって切削させることを特徴とするダイシング装置のカーフチェックシステム。
【請求項５】
前記カーフチェックシステムは、ウェーハを撮像する撮像手段と、前記撮像手段の画像データを画像処理してカーフチェックを実施する画像処理手段と、を備え、
前記制御手段は、前記ブレードが前記カーフチェック用のストリートを切削したのち、前記カーフチェック用のストリートに加工された溝を前記撮像手段で撮像させ、その画像データを前記画像処理手段で画像処理させることにより、前記ブレードのカーフチェックを実施する請求項４に記載のダイシング装置のカーフチェックシステム。
【請求項６】
前記ブレードは、第１のブレードと第２のブレードとを備え、前記制御手段は、前記第１のブレードと前記第２のブレードによって、２本のストリートを独立して切削させる請求項４又は５に記載のダイシング装置のカーフチェックシステム。
【請求項７】
前記ブレードは、第１のブレードと第２のブレードとを備え、前記制御手段は、前記第１のブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削させ、その切削した溝内を前記第２のブレードで切削させる請求項４又は５に記載のダイシング装置のカーフチェックシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシング装置及のカーフチェック方法及びカーフチェックシステムに係り、特にブレードが装着されるスピンドルを１本又は２本備えたダイシング装置のカーフチェック方法及びカーフチェックシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイシング装置は、外周部に砥粒が固着されたブレードによってウェーハを、ストリートに沿って切削し、ダイス状に切断することによりウェーハからチップを得る装置である。このダイシング装置では、ブレードの磨耗によって、ウェーハのストリートにチッピングが生じたり、ブレードの熱変形によって、ブレードで切削された溝（カーフ）の位置がストリートの中心からずれたりする。このためダイシング装置では、予め設定されたタイミングでブレードのカーフチェックを実施している。すなわち、ブレードで切削された溝に照明光を照射して、この溝をカメラで撮像し、その画像信号を画像処理又は画像を目視検査して、溝の位置、幅、チッピングの有無等をチェックしている。
【０００３】
ところで、ダイシング装置には、ブレードが装着されるスピンドルが１本のみで構成されるシングルスピンドルダイサと、２本のスピンドルを備えたツインスピンドルダイサとが知られている。そして、ツインスピンドルダイサには、２枚のブレードによって一度に２本のストリートを切断するミーティング切削方式と、ステップカット方式、すなわち、第１のブレードでストリートに沿って所定深さの溝を切削し、その後、第２のブレードでその溝内を切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断する方式とが知られている。
【０００４】
このようなダイシング装置におけるカーフチェックのタイミングは、１枚のチップの間隔をもって所定本数のストリートを切削した後、その最後のストリートに加工された溝についてカーフチェックを実施するのが一般的である。
【０００５】
また、特許文献１には、ツインスピンドルダイサのステップカット方式におけるカーフチェック方法が開示されている。このカーフチェック方法によれば、未切削のストリートを第１のブレードによって所定深さ切削するとともに、未切削のストリートを第２のブレードによって所定深さ切削し、その切削された２本の溝を検査して、第１のブレードと第２のブレードのカーフチェックを実施している。
【０００６】
特許文献１のカーフチェック方法によれば、第２のブレードのカーフチェックを実施するに際し、未切削のストリートを切削してカーフチェックを実施するので、第１のブレードで切削した溝と第２のブレードで切削した溝とが重なることがなく、正確なカーフチェックを行うことができるという利点がある。
【０００７】
ところで最近では、シリコンカーバイトを主材料とする透明・半透明のウェーハが生産されており、このような透明・半透明のウェーハにおいても、同様のカーフチェックが実施されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−１２９８２２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ウェーハのカーフチェックにおいて、不透明のウェーハでは、カメラで撮像されて画像処理された溝全体が、例えば黒色で鮮明に表示されるため、溝形状の視認性がよくカーフチェックを正確に行うことができる。
【００１０】
しかしながら、前述した透明・半透明のウェーハにおいては、溝の黒色が不鮮明であり、溝と思われる部分であっても、溝以外の箇所（チップ、切削前のストリート）の色（白色）と略同色に表示されるため、カーフチェックを正確に行うことが難しいという問題があった。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、透明・半透明なウェーハであってもカーフチェックを正確に実施することができるダイシング装置のカーフチェック方法及びカーフチェックシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のダイシング装置のカーフチェック方法は、前記目的を達成するために、ウェーハに所定の間隔をもって備えられた複数本のストリートを、ブレードによって切削することにより、切断用の溝を前記ウェーハに加工するダイシング装置において、前記ブレードによって、所定本数の溝を前記所定の間隔をもって前記ウェーハに加工した後、前記所定本数の溝のうち最後に加工された溝のストリートから、２本以上隔てた位置にあるストリートを、前記ブレードによって切削することによりカーフチェック用の溝を前記ウェーハに加工し、前記カーフチェック用の溝を用いて、前記ブレードのカーフチェックを実施することを特徴としている。
【００１３】
本発明のダイシング装置のカーフチェックシステムは、前記目的を達成するために、ブレードと制御手段とを備え、前記ブレードを前記制御手段で制御することにより、ウェーハに所定の間隔をもって備えられた複数本のストリートを前記ブレードによって切削し、切断用の溝を前記ウェーハに加工するダイシング装置において、前記制御手段は、前記ブレードによって所定本数の溝が前記所定の間隔をもって前記ウェーハに加工されると、又は外部入力手段から前記ブレードのカーフチェック指令信号が入力されると、前記所定本数の溝のうち最後に加工された溝のストリートから、２本以上隔てた位置にあるカーフチェック用のストリートを、前記ブレードによって切削させることを特徴としている。
【００１４】
また、本発明のカーフチェックシステムにおいては、ウェーハを撮像する撮像手段と、前記撮像手段の画像データを画像処理してカーフチェックを実施する画像処理手段と、を備え、前記制御手段は、前記ブレードが前記カーフチェック用のストリートを切削したのち、前記カーフチェック用のストリートに加工された溝を前記撮像手段で撮像させ、その画像データを前記画像処理手段で画像処理させることにより、前記ブレードのカーフチェックを実施する。
【００１５】
発明者は、透明・半透明のウェーハに対するカーフチェック改善策を鋭意検討した結果、次の知見を得た。すなわち、透明・半透明のウェーハにカーフチェック用の照明光を照射すると、その照明光はカーフチェック用の溝の他、その溝に隣接した直近の溝（以下、隣接溝という）にも照射される。そして、隣接溝に照射された照明光の一部は、ウェーハが透明・半透明であるがゆえに、隣接溝からウェーハの内部に入射する。そして、ウェーハの内部で内面反射して、その反射光の一部がカーフチェック用の溝から外方に出射する。その出射した光と、カーフチェック用の溝から反射した光とが干渉し、この干渉光をカメラが撮像する。この結果、画像処理後の画像には、カーフチェック用の溝が鮮明な黒色として表示されず、白色を含んだ色に表示される。つまり、隣接溝からウェーハの内部に入射して内部反射し、内部反射した光のうちカーフチェック用の溝から外方に出射する光が、カーフチェック不良を引き起こす原因であることを実験によって突き止めた。実際に、溝であっても略白色に表示される部分は、隣接溝に近い部分であり、隣接溝に沿って表示された。また、溝のうち隣接溝から離れた部分は黒色に表示された。
【００１６】
このような実験結果に基づき、本発明の如く、所定本数の溝のうち最後に加工された溝のストリートから、２本以上隔てた位置にあるストリートを、ブレードによって切削することによりカーフチェック用の溝をウェーハに加工し、このカーフチェック用の溝を用いて、ブレードのカーフチェックを実施する。これにより、隣接溝からウェーハの内部に入射して内部反射した光は、カーフチェック用の溝には届かなくなるので、カーフチェック用の溝は鮮明な黒色となって表示される。よって、本発明によれば、透明・半透明なウェーハであってもカーフチェックを正確に実施することができる。
【００１７】
なお、隣接溝から入射した光がカーフチェック用の溝から外方に出射する現象の要因としては、ストリートの間隔（チップサイズと同義）、照明光の光量、ウェーハの材質等がある。すなわち、ストリートの間隔が狭くなるに従って前記現象が多発し、照明光の光量が多くなるに従って前記現象が多発する。また、ウェーハの材質によって内部反射の反射率が異なるため、材質によっては前記現象が多発する。このような要因を考慮して、カーフチェック用の溝を前述の通り、少なくとも２本以上隔てた位置にある溝に設定する。これにより本発明は、従来の問題を解消できる。
【００１８】
カーフチェック用のストリートは、データで設定されたストリート数本分の間隔を空けた位置のストリートに設定してもよく、自動計算により未切削範囲をカーフチェック回数で均等分割できる位置のストリートに設定してもよい。
【００１９】
本発明において、前記ブレードは、第１のブレードと第２のブレードとを備え、前記第１のブレードと前記第２のブレードによって、２本のストリートを独立して切削することが好ましい。
【００２０】
同様に、前記ブレードは、第１のブレードと第２のブレードとを備え、前記制御手段は、前記第１のブレードと前記第２のブレードによって、２本のストリートを独立して切削させることが好ましい。
【００２１】
本発明は、ツインスピンドルダイサのミーティング切削方式におけるカーフチェック方法、及びカーフチェックシステムに関する。
【００２２】
また、本発明において、前記ブレードは、第１のブレードと第２のブレードとを備え、前記第１のブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削し、その切削した溝内を前記第２のブレードで切削することが好ましい。
【００２３】
同様に、前記ブレードは、第１のブレードと第２のブレードとを備え、前記制御手段は、前記第１のブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削させ、その切削した溝内を前記第２のブレードで切削させることが好ましい。
【００２４】
本発明は、ツインスピンドルダイサのステップカット方式におけるカーフチェック方法、及びカーフチェックシステムに関する。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、所定本数の溝のうち最後に加工された溝のストリートから、２本以上隔てた位置にあるストリートを、ブレードによって切削することによりカーフチェック用の溝をウェーハに加工し、このカーフチェック用の溝を用いて、ブレードのカーフチェックを実施するので、透明・半透明なウェーハであってもカーフチェックを正確に実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】ツインスピンドルダイサの主要構成を示した平面図
【図２】図１に示したツインスピンドルダイサの側面図
【図３】ＩＴＶカメラの構成を示した概略構造図
【図４】ウェーハ内部での照明光の内部反射を示した説明図
【図５】モニタに写し出された画像処理後のウェーハの画像を示した説明図
【図６】ウェーハ内部での照明光の内部反射を示した説明図
【図７】モニタに写し出された画像処理後のウェーハの画像を示した説明図
【図８】ミーティング切削方式における第１のカーフチェック方法を示した説明図
【図９】ミーティング切削方式における第２のカーフチェック方法を示した説明図
【図１０】シングルスピンドルにおける第１のカーフチェック方法を示した説明図
【図１１】シングルスピンドルにおける第２のカーフチェック方法を示した説明図
【図１２】ステップ切削方式における第１のカーフチェック方法を示した説明図
【図１３】ステップ切削方式における第２のカーフチェック方法を示した説明図
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、添付図面に従って本発明に係るダイシング装置のカーフチェック方法及びカーフチェックシステムの好ましい実施の形態について詳説する。
【００２８】
図１は、本発明が適用されるツインスピンドルダイサ１０の主要構成を示した平面図であり、図２は、図１に示したツインスピンドルダイサ１０の側面図である。
【００２９】
これらの図に示すツインスピンドルダイサ１０は、ウェーハＷを保持するウェーハテーブル１２と、ウェーハテーブル１２に保持されたウェーハＷを切削する一対の切削ユニット１４Ａ、１４Ｂと、ウェーハＷを撮像する一対の撮像ユニット（撮像手段）１６Ａ、１６Ｂと、ツインスピンドルダイサ１０を構成する駆動系、及び制御系を統括制御する制御装置（制御手段）１８とから構成される。
【００３０】
ウェーハテーブル１２は、図１の如く円盤状に構成されており、ウェーハＷの裏面を真空吸着して保持する。ウェーハテーブル１２は、図示しない送り機構に駆動されることによって、図１中Ｘ軸方向に沿って往復移動される。また、ウェーハテーブル１２は、図示しない回転駆動機構に駆動されることによって、中心軸（θ軸）回りに回転される。
【００３１】
なお、ウェーハＷは、ウェーハフレーム（不図示）にマウントされた状態でウェーハテーブル１２に保持される。すなわち、ウェーハＷは、ウェーハフレームに貼られたウェーハシートに貼り付けられた状態でウェーハテーブル１２に保持される。
【００３２】
切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、それぞれウェーハＷを切削するブレード２０Ａ、２０Ｂを備えている。各ブレード２０Ａ、２０Ｂは、それぞれモータ２２Ａ、２２Ｂのスピンドル２２ａ、２２ｂに連結されている。この切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、スピンドル移動機構に駆動されることによって、図１中Ｙ軸方向及び図２中Ｚ軸方向に個別に移動される。
【００３３】
前記スピンドル移動機構は、図２に示すように一対のＹキャリッジ２４Ａ、２４Ｂを備えている。一対のＹキャリッジ２４Ａ、２４Ｂは、ともにＹ軸方向に沿って配設されたガイドレール２６、２６にスライド自在に支持されている。そして、図示しないスライド駆動手段（たとえばリニアモータなど）に駆動されることによって、図１、２中Ｙ軸方向に沿って個別にスライドされる。
【００３４】
Ｙキャリッジ２４Ａ、２４Ｂには、それぞれ図示しないリニアガイドと駆動手段とからなるＺ軸方向移動機構２８Ａ、２８Ｂが設置されている。Ｚ軸方向移動機構２８Ａ、２８Ｂは、Ｚキャリッジ３０Ａ、３０Ｂを図２中Ｚ軸方向に沿って駆動する。Ｚキャリッジ３０Ａ、３０Ｂの先端部には、モータブラケット３２Ａ、３２Ｂが取り付けられ、モータブラケット３２Ａ、３２Ｂにモータ２２Ａ、２２Ｂが取り付けられている。
【００３５】
また、前記スピンドル移動機構は、以上のように構成され、このスピンドル移動機構に駆動されることによって、切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、Ｙ軸方向及びＺ軸方向にそれぞれ移動される。すなわち、切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、キャリッジ２４Ａ、２４Ｂをガイドレール２６、２６に沿ってスライドさせることによりＹ軸方向に沿って移動され、Ｚ軸方向移動機構２８Ａ、２８ＢのＺキャリッジ３０Ａ、３０Ｂの移動によってＺ軸方向に沿って移動（上下動）される。
【００３６】
このように移動する切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、Ｙ軸方向に沿って移動することによって切削ピッチが可変され、Ｚ軸方向に沿って移動することにより切削切込み量が可変される。
【００３７】
撮像ユニット１６Ａ、１６Ｂは、ＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂを備えている。ＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂは、図１に示すように、カメラホルダ３６Ａ、３６Ｂに保持され、カメラホルダ３６Ａ、３６Ｂはモータブラケット３２Ａ、３２Ｂに固定されている。ＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂは、ウェーハテーブル１２に保持されたウェーハＷの上面を撮像し、その画像データを画像処理装置（画像処理手段）３８に出力する。画像処理装置３８は、得られた画像データを画像処理してブレード２０Ａ、２０Ｂで切削された溝のカーフチェックを実施する。すなわち、ブレード２０Ａ、２０Ｂで切削された溝の位置、幅、チッピングの有無等が計測される。また、画像処理装置３８からモニタ４０に画像信号を出力することにより、モニタ４０の画面にウェーハＷが表示される。
【００３８】
図３は、ＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂの構成を示した概略構造図である。
【００３９】
ＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂは、鉛直方向に２枚のハーフミラー４２、４４を備えている。また、ハーフミラー４２、４４の鉛直方向の上方にはライト４６が配置され、ライト４６からの照明光がハーフミラー４２、４４を介してウェーハＷに照射される。更に、ハーフミラー４２の側方には、低倍率の光学系（Ｌ）を備えた撮像素子４８が配置され、ハーフミラー４４の側方には、高倍率の光学系（Ｈ）を備えた撮像素子５０が配置されている。すなわち、ＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂによれば、ライト４６からの照明光を、ハーフミラー４２、４４を介してウェーハＷに照射し、ウェーハＷからの反射光を、ハーフミラー４４、４２を介して低倍率の撮像素子４８によって撮像する。同様に、ウェーハＷからの反射光を、ハーフミラー４４を介して高倍率の撮像素子５０によって撮像する。なお、図３の符号５２は、ブレード２０Ａ（２０Ｂ）によって切削された溝である。この溝５２は、Ｖ字状カットであるが、溝の角度及び形状はこれに限定されるものではない。
【００４０】
図１、図２に示した制御装置１８は、ウェーハテーブル１２と切削ユニット１４Ａ、１４Ｂの駆動系を制御する。この制御装置１８は、あらかじめ設定された切削パターンに従ってウェーハテーブル１２と切削ユニット１４Ａ、１４Ｂとを制御し、ウェーハテーブル１２に保持されたウェーハＷをストリートに沿って切削し図３の溝５２をウェーハＷに加工する。また、あらかじめデータ上で設定されたタイミング、又はオペレータからの指示に応じてカーフチェックを実施する。すなわち、制御装置１８は、ＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂ及び画像処理装置３８をカーフチェックの実行時に制御する。
【００４１】
次に、前記の如く構成されたツインスピンドルダイサ１０によるカーフチェック方法について説明する。
【００４２】
まず、実施の形態のカーフチェックは、ウェーハＷとして透明・半透明のウェーハを対象としている。このようなウェーハＷをカーフチェックするにあたり、発明者は次の知見を実験等により得た。
【００４３】
透明・半透明のウェーハＷにカーフチェック用の照明光を図３のライト４６から照射すると、図４の如く、その照明光はカーフチェック用の溝５２Ａの他、その溝５２Ａに隣接した隣接溝５２Ｂにも照射される。そして、隣接溝５２Ｂに照射された照明光の一部は、ウェーハＷが透明・半透明であるがゆえに、隣接溝５２ＢからウェーハＷの内部に入射する。そして、ウェーハＷの内部（底面及び上面）で内面反射して、その反射光の一部がカーフチェック用の溝５２Ａから外方に出射する。その出射した光と、カーフチェック用の溝５２Ａから反射した光とが干渉し、この干渉光をＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂが撮像することになる。この結果、図５のモニタ４０に写し出される画像処理後の画像には、カーフチェック用の溝５２Ａが鮮明な黒色として表示されず、白色を含んだ色に表示された。つまり、隣接溝５２ＢからウェーハＷの内部に入射して内部反射し、内部反射した光のうちカーフチェック用の溝５２Ａから外方に出射する光が、カーフチェック不良を引き起こす原因であることを突き止めた。実際に、溝５２Ａであっても略白色に表示される部分５２Ａ−１は、隣接溝５２Ｂに近い部分であり、隣接溝５２Ｂに沿って表示された。また、溝５２Ａのうち隣接溝５２Ｂから離れた部分５２Ａ−２は黒色に表示された。
【００４４】
このような実験結果に基づき、実施の形態のカーフチェック方法では、図６の如く所定本数の溝のうち最後に加工された溝５２Ｂのストリートから、２本以上隔てた位置にあるストリートを、ブレード２０Ａ（２０Ｂ）によって切削することによりカーフチェック用の溝５２ＣをウェーハＷに加工し、このカーフチェック用の溝５２Ｃを用いて、ブレード２０Ａ（２０Ｂ）のカーフチェックを実施する。
【００４５】
これにより、隣接溝５２ＢからウェーハＷの内部に入射して内部反射した光は、カーフチェック用の溝５２Ｃには届かなくなるので、カーフチェック用の溝５２Ｃは図７の如く鮮明な黒色となって表示される。よって、実施の形態のカーフチェック方法によれば、透明・半透明なウェーハＷであってもカーフチェックを正確に実施することができる。
【００４６】
なお、図６では、隣接溝５２Ｂのストリートから２本目のストリートに加工された溝５２Ｃが示され、図７では、隣接溝５２Ｂのストリートから４本目のストリートに加工された溝５２Ｃが示されており、双方の関連性はない。
【００４７】
また、隣接溝５２Ｂから入射した光がカーフチェック用の溝５２Ｃから外方に出射する現象の要因としては、ストリートの間隔（チップサイズと同義）、照明光の光量、ウェーハＷの材質等がある。すなわち、ストリートの間隔が狭くなるに従って前記現象が多発し、照明光の光量が多くなるに従って前記現象が多発する。また、ウェーハＷの材質によって内部反射の反射率が異なるため、材質によっては前記現象が多発する。このような要因を考慮して、カーフチェック用の溝５２Ｃを前述の通り、少なくとも２本以上隔てた位置にある溝に設定すればよい。
〔実施例１〕
図８、９にミーティング切削（ウェーハ手前・奥側から２本のスピンドル（ＳＰ１、ＳＰ２：ブレード２０Ａ、２０Ｂに相当）で中央に向かい加工を行う方法）の場合での検査手順について説明する。
【００４８】
図８、９のＳＰ１−１は、ＳＰ１の１ライン目の加工ライン、ＳＰ１−２はＳＰ１の２ライン目の加工ラインを示す。
【００４９】
ＳＰ２−１は、ＳＰ２の１ライン目の加工ライン、ＳＰ２−２はＳＰ２の２ライン目の加工ラインを示す。
【００５０】
この図での加工シーケンス中、カーフチェックを４ライン目の加工ライン（溝）で実行する場合、従来のカーフチェック方法では図中破線で示した加工ラインＬで実行していた。この加工ラインＬで実行した場合、隣接するＳＰ１−３、ＳＰ２−３の加工済みラインから入射光がウェーハＷの内部を反射した際のコントラストの低下が発生する（図５参照）。
【００５１】
この不具合を防止するために、図８では、データ設定したライン数（３ライン）の間隔を開けて、ＳＰ１−４、ＳＰ２−４の加工を実施し、カーフチェックを行う。
【００５２】
図９では未切削範囲Ｐを、カーフチェック実行回数（２回）で均等分割し、ＳＰ１−４、ＳＰ２−４の加工を実施し、カーフチェックを行う。
〔実施例２〕
図１０、１１にシングルスピンドル（ＳＰ１のみ、又はＳＰ２のみでウェーハ手前側、又は奥側から加工する方法）の場合での検査手順について説明する。
【００５３】
図１０、１１のＳＰ１−１は、ＳＰ１の１ライン目の加工ライン、ＳＰ１−２はＳＰ１の２ライン目の加工ラインを示す。
【００５４】
ＳＰ２−１は、ＳＰ２の１ライン目の加工ライン、ＳＰ２−２はＳＰ２の２ライン目の加工ラインを示す。
【００５５】
この図での加工シーケンス中、カーフチェックを４ライン目の加工ライン（溝）で実行する場合、従来のカーフチェック方法では図中破線で示した加工ラインＬで実行していた。この加工ラインＬで実行した場合、隣接するＳＰ１−３、ＳＰ２−３の加工済みラインからの照明光がウェーハＷの内部を反射した際のコントラストの低下が発生する（図５参照）。
【００５６】
この不具合を防止するために、図１０では、データ設定したライン数（３ライン）の間隔を開けて、ＳＰ１−４、ＳＰ２−４の加工を実施し、カーフチェックを行う。
【００５７】
図１１では未切削範囲を、カーフチェック実行回数で均等分割し、ＳＰ１−４、ＳＰ２−４の加工を実施し、カーフチェックを行う。
〔実施例３〕
図１２、１３にステップ切削（ＳＰ１でハーフカットを実施し、ＳＰ２側でフルカットを行う方法）の場合での検査手順について説明する。
【００５８】
図１２、１３のＳＰ１−１は、ＳＰ１の１ライン目の加工ライン、ＳＰ１−２はＳＰ１の２ライン目の加工ラインを示す。
【００５９】
ＳＰ２−１は、ＳＰ２の１ライン目の加工ライン、ＳＰ２−２はＳＰ２の２ライン目の加工ラインを示す。
【００６０】
この図での加工シーケンス中、カーフチェックを４ライン目の加工ラインＬで実行する場合、通常は図中破線で示している。なお、この図ではウェーハ下端部から上端部へ向けて加工を実施しているが、上下反転での加工シーケンスもある。
【００６１】
この破線部Ｌで実施した場合、隣接するＳＰ１−３、ＳＰ２−３の加工済みラインからの照明光がウェーハＷの内部を反射した際のコントラストの低下が発生する。
【００６２】
この不具合を防止するために、図１２では、データ設定したライン数（３ライン）の間隔を開けて、ＳＰ１−４、ＳＰ２−４の加工を実施し、カーフチェックを行う。
【００６３】
図１３では未切削範囲を、カーフチェック実行回数で均等分割し、ＳＰ１−４、ＳＰ２−４の加工を実施し、検査を行う。
【００６４】
実施の形態では、２本のスピンドルを備えたツインスピンドルダイサ１０について説明したが、１本のスピンドルを備えたシングルスピンドルダイサにおいても、本発明の概念によってカーフチェックを行えばよい。
【符号の説明】
【００６５】
１０…ツインスピンドルダイサ、１２…ウェーハテーブル、１４Ａ、１４Ｂ…切削ユニット、１６Ａ、１６Ｂ…撮像ユニット、１８…制御装置、２０Ａ、２０Ｂ…ブレード、２２Ａ、２２Ｂ…モータ、２２ａ、２２ｂ…スピンドル、２４Ａ、２４Ｂ…Ｙキャリッジ、２６…ガイドレール、２８Ａ、２８Ｂ…Ｚ軸方向移動機構、３０Ａ、３０Ｂ…Ｚキャリッジ、３２Ａ、３２Ｂ…モータブラケット、３４Ａ、３４Ｂ…ＩＴＶカメラ、３６Ａ、３６Ｂ…カメラホルダ、３８…画像処理装置、４０…モニタ、４２、４４…ハーフミラー、４６…ライト、４８、５０…撮像素子、５０…溝、５２Ａ…カーフチェック用の溝、５２Ｂ…隣接溝、５２Ｃ…カーフチェック用の溝
【図１】
0005488897.tif 000002
【図２】
0005488897.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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