(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を載置する試料ステージと、
前記試料に接触させるプローブと、
前記試料と前記プローブに荷電粒子ビームを照射する荷電粒子ビーム鏡筒と、
前記試料の表面に対し斜め方向からの前記荷電粒子ビームの照射により前記試料と前記プローブから発生した二次荷電粒子を検出する二次荷電粒子検出器と、
前記試料ステージに固定され、前記二次荷電粒子に基づく顕微鏡像において、前記プローブの先端と前記先端の影とが一致する方向に前記プローブを移動させるためのマニピュレータと、からなり、
前記プローブと前記試料ステージとの距離は、前記試料ステージのチルト前後で一定である荷電粒子ビーム装置。
【請求項２】
前記プローブに電圧を印加する可変電圧供給手段を有する請求項１に記載の荷電粒子ビーム装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は集束イオン顕微鏡または電子顕微鏡において、試料の特定箇所へプローブをアプローチさせる方法とそれを実現するための装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
集束イオン顕微鏡または電子顕微鏡において、試料の特定箇所へプローブをアプローチさせる作業がまま必要とされる。例えば、集束イオンビーム（ＦＩＢ）装置を用い、ウェハ等の試料より微小試料を切り取ってプローブでピックアップする場合に、微小試料が完全に試料本体から切り取られたか否かを確認することが必要である。また、半導体デバイスなどの試料の所定箇所の電気特性を測定するため、顕微鏡観察下でプローブを取り付けたマニピュレータを駆動し、針状のプローブ先端を直接観察部位に接触させ、試料片に通電し、上記部分の電気特性を測定するさいにも、そのプローブのアプローチと接触確認が必要とされる。その接触確認の手法としては、従来は作業者がモニター上に映し出される顕微鏡像を目視して接触の判断を行っていたので、検出が曖昧であった。例えば、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）用試料となる部分とプローブの先端部とが接触しているにもかかわらず顕微鏡像による確認ないしは検出が遅れる場合がままあり、このような検出の遅れによってプローブの先端部でＴＥＭ用試料や接触端子を傷付けてしまう不都合が生じていた。そこで、確かな接触検知の方法として、あらかじめプローブにプローブ電圧をかけておき、顕微鏡観察しながらマイクロアクチュエータを操作しつつその先端部に取り付けられたプローブを微小試料にアプローチさせ、該プローブの先端が試料へ接触すると、電圧レベルが変化するのでそれを接触検出信号とするといった手法が提示されている。
【０００３】
特許文献１には、プローブと試料との接触を検出するために新たな電源を設けることなく、当該接触を確実に検出しうるＦＩＢ装置を提供することを目的とした「集束イオンビーム装置」が開示されている。図６に示すようにこのＦＩＢ装置１０１のプローブ１は電流計１２を介して接地されている。駆動装置２２の制御によりプローブ１と試料５とを接近させていく際に、試料５にＦＩＢを照射する。このとき、プローブ１が試料５に接触していない場合、ＦＩＢの照射により試料５に生じた電流は試料５の内部に向かって流れる。これに対して、プローブ１が試料５に接触している場合、試料５に生じた電流はプローブ１へ向かって流れる。このため、プローブ１と試料５とが接触した時点でプローブ１に流れる電流が増大する。プローブ１に流れる電流を電流計１２でモニタすることによって、当該電流の変化量からプローブ１と試料５との接触を検出するというものである。すなわち、顕微鏡観察しつつアプローチの操作を行い、電流計における電流値変化で接触を検知する作業となる。
【０００４】
また、プローブの接触検知手法としては特許文献２に示されるような圧電素子の変位をモニタするものも提示されている。例えば、特許文献２には試料と探針の接触を試料の種類を問わず検知できる安価な接触検知手段を備えた試料作成装置または不良検査装置を提供することを目的とした「プローブユニットおよびそれを用いた試料操作装置」が提示されている。この装置は、自己の変位に応じて抵抗値が変化するピエゾ抵抗層を有する歪検知梁の自由端に、先端が鋭角な形状の針状の導電性材料からなる探針を固着し、上記歪検知梁のもう一方の端をピエゾ抵抗層および探針に通電機能を有する導体部を設けた歪検知梁の土台を兼ねる固定台に保持してなるプローブユニットを備えたものである。この装置において、探針と試料とが接触すると、探針がその反作用としての歪み量を前記歪検知梁に伝えその抵抗値が変化したことで接触検知回路が探針と試料の接触を判断するという接触検出法が採用されている。この手法もやはり、顕微鏡観察しつつアプローチの操作を行い、電流計における電流値変化で接触を検知する作業となる。
【０００５】
更に、特許文献３にはプローブ高さをモニタして、安全かつ効率的に試料表面にプローブを接触させることを目的とした「プローブ駆動方法及びプローブ装置」が開示されている。この文献に示されたプローブ駆動方法は、試料及びプローブに第１の角度から荷電粒子ビームを照射し、荷電粒子ビーム照射によって放出された２次粒子又は反射粒子を検出して得られるプローブ像を含む試料像上で、前記プローブの先端位置と試料上の特定位置との間の距離（第１の距離）を求める工程と、試料及び前記プローブに前記第１の角度と異なる第２の角度から荷電粒子ビームを照射し、荷電粒子ビーム照射によって放出された２次粒子又は反射粒子を検出して得られるプローブ像を含む試料像上で、前記プローブの先端位置と試料上の前記特定位置との間の距離（第２の距離）を求める工程とを踏み、前記第１及び第２の角度と前記第１及び第２の距離とに基づいて試料と前記プローブ間の距離を算出するすると共に、前記算出された試料と前記プローブ間の距離に応じて前記プローブを試料の方向に駆動するというアプローチである。そして、電気的に試料表面が浮いている場合にはイオンビーム照射による帯電で輝度が低くなっており、導電性のプローブが接触するとチャージが解消されて像が明るくなるため、接触が検知できる。また、この文献には試料への接触直前に発生するプローブの影をわずかにプローブ越しに上方から検出して、コントラストの変化から接近状態を予知する方法の記述がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２３５３２１号公報  「集束イオンビーム 装置，集束イオンビーム装置の制御方法及び接触検出方法」  平成１３年８月３１日公開
【特許文献２】特開２００２−３３３６６号公報  「プローブユニットおよびそれを用いた試料操作装置」  平成１４年１月３１日公開
【特許文献３】特開２００２−４０１０７号公報  「プローブ駆動方法及びプローブ装置」  平成１４年２月６日公開
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記した従来の接触検知手法は、接触した結果として起こる電気的な変化や圧電現象といった物理現象を利用するものであるから、観察しながらプローブをソフトに試料に接触させるようにアプローチさせることが難しい。また、電気的な変化の場合、接触対象が絶縁物の場合検出できない。導電性金属材料も表面に酸化膜が形成され電気特性が得にくい場合がある。
【０００８】
本発明が解決しようとする課題は、特別な検出手段を要せず顕微鏡観察しながらマニピュレータを操作するだけで微小な試料へプローブが確実に且つソフトに接触するようにアプローチ出来る手法を提示すると共に、それを実行する装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のプローブのアプローチ方法は、プローブと接触させる試料の目標位置間のマイクロレベルの距離を観察しながら、その距離が縮まる際に荷電粒子ビーム顕微鏡画像に表れるプローブの影を顕微鏡で観察しつつ、観察画面上の接触目標とする位置にてプローブとプローブの影との先端部が一致する方向に移動させるようにした。
【００１０】
本発明のプローブのアプローチ方法は、プローブ位置に対して接触させる試料位置の方向と距離は、２つ以上の異なるチルト角で撮像された複数の顕微鏡像における相対距離測定値と、前記チルト角データとから算出し、それに基づいてプローブと接触させる試料位置間の距離が数ミクロン以内となるように該プローブの移動を行うようにした。
【００１１】
このプローブの影は斜め観察時にプローブが試料の表面に接近すると、プローブ近傍の試料表面から発生する２次電子（又は２次イオン）の検出器２への到達を遮蔽するために生じる現象で、プローブと試料表面間が近く狭いほど顕著になる。電子顕微鏡で微小穴の２次電子像を観察するときに穴の中は外側に比べ暗く見えるのも、同様に二次電子が穴の中から出てくる際の遮蔽のためである。
【００１２】
本発明のより好ましいプローブのアプローチ方法は、試料ステージのチルト軸と試料表面の高さ位置が合わされた状態において、試料表面垂直方向から荷電粒子ビームを照射した顕微鏡画面上で接触させる試料位置とプローブ先端部位置とを位置合わせするステップと、前記試料ステージを所定角度チルトして撮像した顕微鏡像における接触させる前記試料位置とプローブ先端部位置との相対距離を測定するステップと、該相対距離データと前記チルト角とから両者間の距離を算出するステップと、前記プローブを接触対象の方向へ移動させるステップと、顕微鏡観察しつつ前記プローブと該プローブの影との先端部が一致するまで同方向に移動させるステップからなる。
【００１３】
本発明のプローブのアプローチ方法は、プローブには輝度変化が目視できる程度の周波数の電圧を印加することにより、荷電粒子ビーム顕微鏡で観察する際の２次電子または２次イオンの検出量を変化させ、同時にプローブの影を輝度変化させることを特徴とするプローブの影を輝度変化させるようにした。また、プローブに印加する電圧は一定でも構わない。
【００１４】
また本発明の方法を実施する装置は、顕微鏡機能を備えた荷電粒子ビーム装置であって、先端部に導電性材料で形成されたプローブを取り付けたマイクロマニピュレータが少なくともｘ，ｙ，ｚ軸とチルト軸を備えた４軸駆動以上のステージに一体的に固定され、前記プローブには可変電圧供給手段が接続されているものとした。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のプローブのアプローチ方法は、プローブと接触させる試料位置間の距離がマイクロレベルの近接状態である状態において、荷電粒子ビーム顕微鏡画像に表れるプローブの影を顕微鏡で接近状態を観察しながら、観察画面上で前記プローブとプローブの影との先端部が一致するまでプローブを前記既知の方向に移動させるようにしたものであるから、試料に接触するまでソフトにプローブを移動させることが出来る。
【００１６】
本発明のプローブのアプローチ方法は、プローブ位置に対して接触させる試料位置の方向と距離は、異なる既知のチルト角で撮像された複数の顕微鏡像における相対距離測定値と、前記チルト角データとから算出し、それに基づいてプローブと接触させる試料位置間の距離が数ミクロン以内となるように該プローブの移動を行うようにしたので、プローブの影を顕微鏡画像中で確実に捉えることが出来る。
【００１７】
本発明のより好ましいプローブのアプローチ方法は、試料ステージのチルト軸と試料表面の高さ位置が合わされた状態において、試料表面垂直方向から荷電粒子ビームを照射した顕微鏡画面上で接触させる試料位置とプローブ先端部位置とを位置合わせすることにより、プローブの先端位置を接触させる試料位置の試料面に垂直方向に持ってくることが出来、前記試料ステージを所定角度チルトして撮像した顕微鏡像における接触させる前記試料位置とプローブ先端部位置との相対距離を測定し、該相対距離データと前記チルト角とから両者間の距離を算出することが出来る。そしてその算出距離に基づいて前記プローブを数ミクロンの距離まで直線移動させることで、顕微鏡画像中にプローブとその影とを確実に捉えることが出来る。更に、顕微鏡観察しつつ前記プローブと該プローブの影との先端部が一致するまで同方向に移動させるようにしたので試料に接触するまでソフトにプローブを移動させることが出来る。
【００１８】
本発明のプローブのアプローチ方法は、プローブに任意の電圧もしくは輝度変化が目視できる程度の周波数の電圧を印加することにより、プローブの影を輝度変化させるようにしたので、プローブの影を確実に捉えることが出来、アプローチの作業が容易となる。試料表面が凹凸があったり、影と紛らわしい文様状のパターンがある場合でも、輝度変化する影は容易に見分けることが出来る。
【００１９】
また、本発明の方法を実施する装置は、顕微鏡機能を備えた荷電粒子ビーム装置であって、先端部に導電性材料で形成されたプローブを取り付けたマイクロマニピュレータが少なくともｘ，ｙ，ｚ軸とチルト軸を備えた４軸駆動以上のステージに一体的に固定されているので、ステージをチルトさせてもプローブと試料との位置関係は変わらない。そして、前記プローブには可変電圧供給手段が接続されているので、輝度変化が識別できるスピードの電圧変化を印加することでプローブの影を顕微鏡画面上で確実に捉えることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】プローブを微小試料の特定位置に確実の且つソフトにアプローチさせる本発明の手法の原理を説明する図である。
【図２】プローブ位置と微小試料の特定位置との顕微鏡像での関係を説明する図である。
【図３】本発明に係る手法の実施手順を説明するフローチャートである。
【図４】本発明の１実施例における作用効果を説明する図である。
【図５】本発明の１実施例の構成を説明する図である。
【図６】従来のプローブと試料との接触を検出する従来のＦＩＢ装置の例を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明は、電流計や圧電素子とセンサといった特別な検出手段を要せず顕微鏡観察しながらマニピュレータを操作するだけで微小な試料へプローブが確実に且つソフトに接触するようにアプローチ出来る手法を提示することにした。従来の接触検知手法が、接触した結果として起こる電気的な変化や圧電現象といった物理現象を利用するものであるから、観察しながらプローブをソフトに試料に接触させるようにアプローチさせることが難しいことに鑑み、接触前の状態をモニタする方法を模索した。走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）や走査型イオン顕微鏡（ＳＩＭ）で探針状のプローブ１を走査しながら顕微鏡観察をしていると、その顕微鏡画面に図１のＣ，Ｄのようなプローブの影１ａが現れることは知られていた。先の特許文献３には試料への接触直前に発生するこのプローブの影を検出して、数μｍまで接近した状態を予知するという記述があるが、本発明では単にプローブが数μｍまで試料に接近した状態を予知するだけでなく、この影を更に積極的に利用すること、すなわち、数十度のチルト角に設定した荷電粒子ビーム顕微鏡で観察しつつ、観察画面上で前記プローブ１とプローブの影１ａの先端部を一致させるようにプローブを試料面に移動させるアプローチ方法である。
【００２２】
プローブ１先端と試料５表面との間に間隙が存在している場合、図１のＣのように斜め方向から顕微鏡観察すれば、プローブ１先端部とその影１ａは必ず非接触となっている。逆にプローブ先端と試料面が接触していれば斜め方向からの顕微鏡像においても接触状態となる。この顕微鏡画面をモニタしながら、プローブ1の先端と影１ａの先端が一致するように試料５方向にプローブ１を接近させればソフトに確実にアプローチさせることが出来る。
【００２３】
このプローブの影が顕微鏡像において観察されるのは、そのプローブが試料面からマイクロレベルの距離に近接した状態でのことである。そのため、本発明ではまず、最初のアプローチとしてプローブを接触させる試料位置から数μｍ以内の距離に持ってくることが必要である。そこで、プローブ１の先端部の位置と接触すべき試料の位置×が顕微鏡像ではどのように確認できるかを説明する。図２に示すように観察方向、すなわち、荷電粒子ビームを試料ステージ４の面に対しどの角度から照射するかによって、その画像は変わってくる。ステージ４のチルト角０°すなわち、ステージ面に対し垂直方向からビームが照射されたときプローブ１の先端部の位置と接触すべき試料の位置×が一致していたとしても、それは必ずしも両者が接触していることを意味しない。チルト角を調整し２０°角や３０°角から観察すれば両者間に隙間があることが見て取れる。そして、その両者間の距離は２つ以上の異なるチルト角の顕微鏡画像を基に、その際のチルト角と画像における相対距離とから算出することが出来る。因みにチルト角０°の画面においてプローブ１の先端部の位置と接触すべき試料の位置×が一致していれば、プローブ１の先端部は接触すべき試料の位置×の真上にあること、即ち試料面に対して垂直方向に位置していることを意味する。従って、その状態からステージをα角チルトして得たれた画像における両者の相対距離ｄは実際の両者間距離ｄ０にｓｉｎαを掛けた値となり、演算は簡単となる。
【００２４】
次ぎに本発明のプローブアプローチ手順を図３に示すフローチャートを参照し説明する。試料ステージをチルトしても画像上の中心試料位置がずれないよう、試料ステージ２のチルト軸６が試料５の表面位置と一致するように、ステージ高さ調整機構（z軸）で合わされたユーセントリック位置において、ステップ１）第１のチルト角を設定し、顕微鏡画像を撮像し、プローブ１の先端部の位置と接触すべき試料の位置×間の相対距離を測長する。この際、試料表面垂直方向から荷電粒子ビームを照射した顕微鏡画面（チルト角０°）上で接触させる試料位置×とプローブ１の先端部位置とを位置合わせをしておけば、プローブ１の先端部が接触させる試料位置×から試料面垂直方向位置に存在することになるため、計算処理が単純であるが必須要件ではない。ステップ２）次ぎに前記試料ステージを第２のチルト角に設定して撮像した顕微鏡像における接触させる前記試料位置×とプローブ１の先端部位置との相対距離を測定する。ステップ３）ここで第１のチルト角の画像における相対距離データｄ１と前記チルト角α１と、第２のチルト角の画像における相対距離データｄ２と前記チルト角α２とから両者間の位置関係（距離と方向）を算出する。ステップ４）次ぎにこの距離値から数μｍを引いた値分だけ、前記プローブ１を試料接触位置×方向に移動させると、プローブ先端から試料面までの距離が数ミクロン以内となる。以上の手順を経てプローブをその影が観察できる位置までアプローチさせる。ステップ５）影の観察できる距離の状態で、顕微鏡観察すると図１のＤに示すようにプローブ１とその影１ａとが試料５面上に映し出されているので、その顕微鏡画像を観察しつつ前記プローブ１と該プローブの影１ａとの先端部が一致するまで徐々に移動させる本発明の最も特徴的な第２のアプローチを実行し、該プローブ１を試料位置×にソフトに接触させることができる。
【実施例１】
【００２５】
次ぎに本発明の１実施例を示す。装置としては導電性のプローブ１に可変電圧原９を接続し、荷電粒子ビームの顕微鏡としてのスキャン画像１フレームの周期ｔより遙かに長い周期ｎｔ＋ｔ’（ｎは１以上の自然数、ｔ ’＜ｔ）の電圧変化を出力させる。本発明は図４のＡに示したように顕微鏡画像に現れるプローブ１の影１ａをモニタしながらアプローチを行うものであるところ、図４のＢに示すような試料表面にプローブ先端と類似したパターンが存在する場合、顕微鏡画像内でプローブ１の影１ａを捉えにくくなる場合がある。この実施例はプローブ１の電位を変化させることにより、ビーム照射によって試料面から放射された二次荷電粒子が二次荷電粒子検出器２へ到達する率が変化するようにしたものである。これは試料近傍に存在するプローブが作る電界強度が変化することにより、試料面から放射される二次荷電粒子を助長／抑制したり、放射された二次荷電粒子を吸引／反発させるといった現象により、二次荷電粒子が二次荷電粒子検出器２へ到達する率が変えられるものである。この変化は顕微鏡画像の上ではプローブの影の輝度変化として現れる。そこで、本実施例ではこの輝度変化が顕微鏡観察を行う人間の目に認識し易い周期であることが好適である。そのため、荷電粒子ビームの１フレーム周期より遙かに遅い周期の電圧変化を出力させるように構成したものであり、その変化は必ずしも正弦波である必要は無く、例えば影が点滅するようにパルス状の電圧変化であっても良い。ただ、輝度変化として人の目に認識し易い変化であることが必要条件である。
【００２６】
図４のＡには表面が平坦な試料における影１ａの変化を示したが、左の像は影がはっきり写った画像であり、右の像は影が薄くなった図である。可変電圧源９の変化に従って、時々刻々この輝度が変化するので、作業者がその影の存在位置を識別しアプローチ作業を行うことが容易である。図４のＢに示したような試料表面にプローブ先端部と紛らわしいパターンの基板形状や、絶縁物が混在する基板上へアプローチする場合でも影がはっきり写った左の画像と、影が薄くなった右の図間で時々刻々変化するので、紛らわしいパターンとプローブの影とを識別することは容易である。このように顕微鏡画像を観察しながら、微小な試料へプローブが確実に且つソフトに接触するようにアプローチすることが出来る。
【００２７】
また、絶縁物と導電性プローブの同時観察時はコントラストが大きく異なるので、ディスプレーの階調内では同時に表面形状を表示させることが難しく、輪郭もぼやけるが、プローブに任意の一定電圧を印加すると試料とプローブとプローブの影のコントラスト比が調整され、はっきりとした表面形状や輪郭形状の同時観察が可能になり、安全にアプローチすることができる。
【符号の説明】
【００２８】
１  プローブ                        １ａ  プローブの影
２  二次荷電粒子検出器              ３  マイクロマニピュレータ
４  試料ステージ                    ５  試料
６  チルト軸                        ９  可変電圧源
１０  荷電粒子ビーム鏡筒            １２  電流計
２２  駆動装置                      １０１  ＦＩＢ装置
×  試料接触位置
【図１】
0005436527.tif 000002
【図２】
0005436527.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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