(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの照明光の略平面波が入射し、その波面を変調する、対物光学系の瞳位置と共役な位置に配置された空間光変調素子と、
非平行な２つの軸線回りにそれぞれ揺動する２枚のミラーを有し、前記空間光変調素子により波面が変調された照明光を２次元的に走査するスキャナと、
該スキャナにおける像を前記対物光学系の瞳位置にリレーするリレー光学系と、
前記ミラーの揺動に応じて、前記空間光変調素子上の像を形成する前記波面の変調領域を移動させる変調領域調節部と、
該変調領域調節部による前記変調領域の移動に応じて、前記光源から前記空間光変調素子に入射される前記照明光の光線を該光線に交差する方向に移動させる光線シフト機構とを備え、
前記変調領域調節部が、前記空間光変調素子上の像を固定して前記ミラーを揺動させたと仮定した場合における前記リレー光学系により前記対物光学系の瞳位置にリレーされる像の移動方向とは逆方向に、前記ミラーを停止させた状態を仮定した場合における前記対物光学系の瞳位置の像が移動するように前記変調領域を移動させ、
前記光線シフト機構が、前記変調領域調節部によって移動された前記空間光変調素子の前記変調領域と前記空間光変調素子上の前記照明光により照明される照明領域とが一致するように前記照明光の前記光線を移動させる顕微鏡装置。
【請求項２】
前記光源と前記空間光変調素子との間の光路上に配置され、前記光源からの前記照明光を前記空間光変調素子へ偏向する可動ミラーを備え、
前記光線シフト機構が、前記可動ミラーを、入射される前記照明光の光線に平行な方向に移動させる請求項１に記載の顕微鏡装置。
【請求項３】
前記光源と前記空間光変調素子との間の光路上に配置され、前記光線を屈折させる屈折率を有する平行平板を備え、
前記光線シフト機構が、前記平行平板を前記光線に交差する揺動軸線回りに揺動させる請求項１に記載の顕微鏡装置。
【請求項４】
前記リレー光学系が、前記２枚のミラーの内、より高速に揺動させられているミラーの揺動軸線上における像をリレーする請求項１に記載の顕微鏡装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、デフォーマブルミラーによって波面を変形させたレーザ光をガルバノミラーユニットを経由して対物レンズに入射させる走査型共焦点顕微鏡装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。この装置は、デフォーマブルミラーの反射面を変化させることにより、レーザ光の集光点が深さ方向に変化するように構成されている。
また、ガルバノミラーが揺動されることにより、レーザ光が対物レンズの瞳中心からずれて、レンズ枠等によって蹴られ、光量不足による表示ムラが発生することを防止するために、ガルバノミラーの揺動に同期してガルバノミラーを光軸方向に平行移動させるスキャナ装置が知られている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００３】
そして、ガルバノミラーに入射される光が平面波である場合には、特許文献２に開示されているスキャナ装置により、対物レンズの瞳中心にレーザ光を入射させ続けることができ、そのときの集光性能を維持することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１６５２１２号公報
【特許文献２】特開平１０−６８９０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、対物レンズの入射瞳位置に入射される光が平面波ではなく、特許文献１に開示されているように波面変調された光である場合には、特許文献２に開示されている方法では、ガルバノミラーを平行移動させることによってレーザ光の光路長が変動するため、対物レンズの瞳位置と光学的に共役な位置が変動し、レーザ光の集光性能が変化してしまうという問題がある。この問題は、対物レンズの入射瞳位置に入射される光が平面波である場合にも厳密には生じ得るが、波面変調された光の場合には集光性能を劣化させる影響が比較的大きい。
【０００６】
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、光源から導かれてきた照明光の標本への集光性能を変化させることなく、標本上において照明光を２次元的に走査することができる顕微鏡装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、光源からの照明光の略平面波が入射し、その波面を変調する、対物光学系の瞳位置と共役な位置に配置された空間光変調素子と、非平行な２つの軸線回りにそれぞれ揺動する２枚のミラーを有し、前記空間光変調素子により波面が変調された照明光を２次元的に走査するスキャナと、該スキャナにおける像を前記対物光学系の瞳位置にリレーするリレー光学系と、前記ミラーの揺動に応じて、前記空間光変調素子上の像を形成する前記波面の変調領域を移動させる変調領域調節部と、該変調領域調節部による前記変調領域の移動に応じて、前記光源から前記空間光変調素子に入射される前記照明光の光線を該光線に交差する方向に移動させる光線シフト機構とを備え、前記変調領域調節部が、前記空間光変調素子上の像を固定して前記ミラーを揺動させたと仮定した場合における前記リレー光学系により前記対物光学系の瞳位置にリレーされる像の移動方向とは逆方向に、前記ミラーを停止させた状態を仮定した場合における前記対物光学系の瞳位置の像が移動するように前記変調領域を移動させ、前記光線シフト機構が、前記変調領域調節部によって移動された前記空間光変調素子の前記変調領域と前記空間光変調素子上の前記照明光により照明される照明領域とが一致するように前記照明光の前記光線を移動させる顕微鏡装置を提供する。
【０００８】
本発明によれば、空間光変調素子によって波面が変調された照明光がスキャナに導かれ、該スキャナから出射された照明光がリレー光学系を介して対物光学系に導かれ、対物光学系によって標本上に集光される。このとき、スキャナにおける像はリレー光学系によって対物光学系の瞳位置にリレーされる。スキャナを構成する２枚のミラーは、平行でない２つの軸線回りにそれぞれ揺動させられるので、照明光は標本上において２次元的に走査される。
【０００９】
この場合において、空間光変調素子における像が固定されていると、スキャナを構成する２枚のミラーの内、対物光学系の瞳位置と光学的に共役な位置に配置されていないミラーが揺動させられることにより、対物光学系の瞳位置にリレーされる像が光軸に交差する方向に移動させられる。本発明によれば、変調領域調節部が、ミラーの揺動に応じて空間光変調素子上の像を形成する波面の変調領域を移動させることにより、対物光学系の瞳位置にリレーされる像の移動を打ち消して、停止させることができる。
【００１０】
この場合に、光路長の変動を伴わないので、スキャナにおける像の位置から対物光学系の瞳位置までのリレー関係が変化しない。したがって、リレーする照明光の波面が平面波とは限らない場合においても、空間光変調素子で変調することによりスキャナにおいて形成された波面を対物光学系の瞳位置に正確にリレーし、集光性能の低下を防止することができる。
【００１１】
さらに、波面変調領域の移動に追従させて空間光変調素子上に照射される照明光の照射位置を光線シフト機構が移動させることにより、波面変調領域が移動する領域全体を含むように空間光変調素子上の広い範囲を照明する必要がない。すなわち、照明光の光束径を波面変調領域の大きさまで絞ることにより照明光の光密度を高め、照明効率を向上することができる。
【００１２】
上記発明においては、前記光源と前記空間光変調素子との間の光路上に配置され、前記光源からの前記照明光を前記空間光変調素子へ偏向する可動ミラーを備え、前記光線シフト機構が、前記可動ミラーを、入射される前記光線に平行な方向に移動させてもよい。
また、上記発明においては、前記光源と前記空間光変調素子との間の光路上に配置され、前記光線を屈折させる屈折率を有する平行平板を備え、前記光線シフト機構が、前記平行平板を前記光線に交差する揺動軸線回りに揺動させてもよい。
このようにすることで、可動ミラーまたは平行平板を移動または揺動させるだけの簡便な構成で照明光の光線を移動させることができる。
【００１３】
また、上記発明においては、前記リレー光学系が、前記２枚のミラーの内、より高速に揺動させられているミラーの揺動軸線上における像をリレーしてもよい。
このようにすることで、変調領域調節部および光線シフト機構は揺動速度が遅い方のミラーの揺動に合わせて波面変調領域および光線を移動させれば足りる。これにより、より容易に、対物光学系の瞳位置における像の移動に対して、波面変調領域および空間光変調素子上の照明領域の移動を一致させることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、光源から導かれてきた照明光の標本への集光性能を変化させることなく、標本上において照明光を２次元的に走査することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態に係る顕微鏡装置を示す全体構成図である。
【図２】図１の顕微鏡装置の一部を拡大した図であり、可動ミラーの移動を説明する図である。
【図３】図１の顕微鏡装置のスキャナを示し、対物光学系の瞳位置と光学的に共役な位置が高速側のミラー上に配置されている例を示す斜視図である。
【図４】図３の場合において、図１の顕微鏡装置の空間光変調素子における変調領域の移動を説明する図である。
【図５】図４の変形例であって、空間光変調素子の、変調領域が移動させられる領域全体にレーザ光を照射した場合の変調領域の移動を説明する図である。
【図６】図３の変形例であって、図１の顕微鏡装置のスキャナを示し、対物光学系の瞳位置と光学的に共役な位置が高速側と低速側のミラーの中間に配置されている例を示す斜視図である。
【図７】図６の場合において、図１の顕微鏡装置の空間光変調素子における変調領域の移動を説明する図である。
【図８】図２の変形例であって、平行平板の揺動によってレーザ光を移動させる構成の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の一実施形態に係る顕微鏡装置１について、図面を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る顕微鏡装置１は、図１に示されるように、レーザ光（照明光）Ｌを発生する光源２と、光源２から発せられたレーザ光Ｌの波面を略平面波に変換するコリメータレンズ３と、略平面波に変換されたレーザ光Ｌの波面を変調する波面変調部４と、コリメータレンズと波面変調部との間に配置された可動ミラー５と、波面変調部４によって波面が変調されたレーザ光Ｌをリレーする第１のリレー光学系６と、該第１のリレー光学系６によってリレーされたレーザ光Ｌを２次元的に走査するスキャナ７と、該スキャナ７により走査されたレーザ光Ｌをリレーする第２のリレー光学系８と、該第２のリレー光学系８によってリレーされたレーザ光Ｌを集光する対物光学系９と、波面変調部４、可動ミラー５およびスキャナ７を制御する制御部１０と、対物光学系９により集光された標本Ａからの蛍光を検出する光検出器１１とを備えている。図中、符号１２は、スライドガラス上に載置された標本Ａを搭載するステージである。
【００１７】
光源２から放射されたレーザ光Ｌは、コリメータレンズ３によって略平面波に変換された後、可動ミラー５によって波面変調部４へ向けて反射される。
可動ミラー５は、図２に示されるように、モータ５ａによって、光源２からのレーザ光Ｌの入射軸線に平行な方向に前後に平行移動可能に設けられている。可動ミラー５が移動することにより、反射されたレーザ光（光線）Ｌは光軸に交差する方向に平行移動させられる。
【００１８】
波面変調部４は、可動ミラー５により反射されたレーザ光Ｌを反射するプリズム１３と、該プリズム１３により反射されたレーザ光Ｌを反射し、その際に、その表面形状に従う形態にレーザ光Ｌの波面を変調してプリズム１３に戻す反射型の空間光変調素子１４とを備えている。
【００１９】
プリズム１３により反射されたレーザ光Ｌは空間光変調素子１４によって同じプリズム１３に戻るように光路が折り返され、プリズム１３によって光源２からのレーザ光Ｌと平行な光軸の光路に戻されるようになっている。ここで、可動レンズ５が移動させられたときに、プリズム１３に入射されるレーザ光Ｌの位置が移動し、空間光変調素子１４に入射されるレーザ光Ｌの位置およびプリズム１３から射出されるレーザ光Ｌの位置も、光軸に交差する方向に平行移動する。
【００２０】
空間光変調素子１４は、制御部１０からの形状指令信号によって、その表面形状を任意に変化させることができるセグメントタイプのＭＥＭＳによって構成されている。空間光変調素子１４と対物光学系９の入射瞳位置とは光学的に共役な位置関係に配置されている。
【００２１】
スキャナ７は、図３に示されるように、捻れの位置に配置される２つの揺動軸線Ｓ１，Ｓ２回りにそれぞれ揺動可能に設けられた２つのミラー７ａ，７ｂを備えている。一方の揺動軸線Ｓ１は、他方の揺動軸線Ｓ２に直交する平面内に配置されている。これにより、上記平面に沿う一方向から見ると、図１に示されるように、２つの揺動軸線Ｓ１，Ｓ２は相互に直交して配置されている。
【００２２】
一方のミラー７ａの揺動速度は、他方のミラー７ｂの揺動速度に対して十分に速く設定されている。高速側のミラー７ａはレーザ光Ｌの標本Ａ上における走査のために使用され、低速側のミラー７ｂはレーザ光Ｌの標本Ａ上における走査位置を送るために使用される。図中、符号７ｃ，７ｄは各ミラー７ａ，７ｂを揺動動作させるためのモータ、符号１５はミラーである。
高速側のミラー７ａは、図３に示されるように、対物光学系９の入射瞳位置と光学的に共役な位置に配置されている。図３におけるハッチングは、高速側のミラー７ａが対物光学系９の入射瞳位置と光学的に共役な位置に配置されていることを示している。
【００２３】
第１のリレー光学系６および第２のリレー光学系８は、複数のレンズにより構成されている。第１のリレー光学系６は、空間光変調素子１４の表面に形成された像を高速側のミラー７ａの表面にリレーするように構成されている。第２のリレー光学系８は、高速側のミラー７ａの表面に形成された像を対物光学系９の入射瞳位置にリレーするように構成されている。
【００２４】
図１において、符号１６はレーザ光Ｌを反射し蛍光を透過するダイクロイックミラー、符号１７は集光レンズである。ダイクロイックミラー１６を透過した蛍光は集光レンズ１７によって集光され、光検出器１１によって検出されるようになっている。光検出器１１によって検出された蛍光の強度と、その検出時のスキャナ７によるレーザ光Ｌの走査位置情報とを対応づけて記憶しておくことにより、２次元的な蛍光画像を取得することができるようになっている。
【００２５】
制御部１０は、空間光変調素子１４の変調領域Ｂにおける表面形状が予め設定された形状となるように、空間光変調素子１４に対して形状指令信号を出力するようになっている。空間光変調素子１４の変調領域Ｂの表面形状は、該変調領域Ｂに入射された平面波の波面を変調して、対物光学系９の焦点位置において１点に集光させることができるような表面形状であり、各種光学系の収差や標本Ａにおける屈折率分布等を考慮して、予め算出あるいは測定しておくことができる。
【００２６】
また、制御部１０は、スキャナ７の各ミラー７ａ，７ｂを揺動させるモータ７ｃ，７ｄに対して、揺動角度を指令する角度指令信号を出力する。そして、制御部１０は、この角度指令信号に同期して、上記のような表面形状を実現する変調領域Ｂを、図４に矢印Ｄに示されるように移動させる移動指令信号を出力するようになっている。
【００２７】
具体的には、空間光変調素子１４の変調領域Ｂを固定して低速側のミラー７ｂを揺動させたと仮定したときに対物光学系９の入射瞳位置におけるレーザ光Ｌの像の移動方向とは逆方向に、低速側のミラー７ｂを固定したと仮定した状態でレーザ光Ｌの像を移動させるように、ミラー７ｂの揺動に応じて空間光変調素子１４における波面の変調領域Ｂを移動させるようになっている。
【００２８】
さらに、制御部１０は、空間光変調素子１４への変調領域Ｂの移動指令信号に同期させて、可動ミラー５を平行移動させる移動指令信号をモータ５ａに対して出力するようになっている。
【００２９】
具体的には、制御部１０は、空間光変調素子１４上のレーザ光Ｌの照明領域Ｃを、図４に示される変調領域Ｂの移動に追従させて照明領域Ｃと変調領域Ｂとが一致するように、可動ミラー５によって反射されたレーザ光Ｌをその光軸に交差する方向に平行移動させる移動指令信号を出力する。ここで、モータ５ａによって可動ミラー５を移動させるべき位置は、設計値に基づいて、または、測定することにより予め算出しておけばよい。レーザ光Ｌは、照明領域Ｃが変調領域Ｂ全体を覆いつつできるだけ小さい直径を有するように、図示しないビームエキスパンダなどによってビーム径が絞られている。
【００３０】
このように構成された本実施形態に係る顕微鏡装置１の作用について、以下に説明する。
本実施形態に係る顕微鏡装置１を用いて標本Ａの蛍光観察を行うには、制御部１０から空間光変調素子１４に対して変調領域Ｂにおける表面形状を指令する形状指令信号を出力した状態で、光源２において発生させたレーザ光Ｌをコリメータレンズ３を介して略平面波とし、可動ミラー５によって反射させることにより、波面変調部４に入射させる。
【００３１】
波面変調部４に入射されたレーザ光Ｌは、プリズム１３によって反射されて空間光変調素子１４に入射される。空間光変調素子１４には、変調領域Ｂを含む照明領域Ｃにレーザ光Ｌが照射され、変調領域Ｂに入射された部分のレーザ光Ｌのみが波面を変調され、プリズム１３によって反射されて第１のリレー光学系６に入射される。
【００３２】
第１のリレー光学系６は、空間光変調素子１４の変調領域Ｂの像を、これと光学的に共役な位置に配置されたスキャナ７の高速側のミラー７ａ面上にリレーする。スキャナ７においては、高速側のミラー７ａが揺動させられることにより、反射されたレーザ光Ｌが走査方向に揺動させられ、低速側のミラー７ｂが揺動させられることにより、反射されたレーザ光Ｌが送り方向に揺動させられる。これにより、レーザ光Ｌが２次元的に走査される。
【００３３】
スキャナ７により走査されたレーザ光Ｌは、第２のリレー光学系８に入射される。
第２のリレー光学系８は、高速側のミラー７ａ面上に形成されたレーザ光Ｌの像を、これと光学的に共役な位置に配置されている対物光学系９の入射瞳位置にリレーする。
このようにすることで、空間光変調素子１４の変調領域Ｂの像が、対物光学系９の入射瞳位置にリレーされる。
【００３４】
この場合において、仮に、空間光変調素子１４における変調領域Ｂを固定したままの状態で、スキャナ７を作動させると、低速側のミラー７ｂの揺動に従って、対物光学系９の入射瞳位置にリレーされたレーザ光Ｌの像が光軸に交差する方向に直線的に移動する。この移動方向をＰ方向、移動量をΔＰとする。逆に、スキャナ７の低速側のミラー７ｂを停止させた状態で空間光変調素子１４における変調領域Ｂを矢印Ｄのように移動させることとしても、対物光学系９の入射瞳位置にリレーされるレーザ光Ｌの像が光軸に交差する方向に直線的に移動する。この移動方向をＱ方向、移動量をΔＱとする。
【００３５】
本実施形態においては、制御部１０が、Ｐ方向とＱ方向とが逆方向となり、かつ、ΔＰ＝ΔＱとなるように、空間光変調素子１４の変調領域Ｂを移動させるので、低速側のミラー７ｂの揺動に拘わらず、対物光学系９の入射瞳位置にリレーされるレーザ光Ｌの像を静止させた状態に維持することができる。入射瞳位置に入射するレーザ光Ｌが光軸に交差する方向に変動しないので、入射瞳全体にわたるようにレーザ光Ｌを入射させることができ、最大限に明るい照明を行うことができる。
【００３６】
また、この場合において、スキャナ７のミラー７ａ，７ｂの揺動によっても、対物光学系９の入射瞳位置における像が移動しないようにするために、空間光変調素子１４における変調領域Ｂをレーザ光Ｌの光軸に交差する方向に移動させるので、空間光変調素子１４から対物光学系９の入射瞳位置までの光路長が変化せず、空間光変調素子１４から対物光学系９の入射瞳位置までのリレー関係を変化させずに済むという利点がある。したがって、リレーするレーザ光Ｌの波面が平面波とは限らない場合においても、空間光変調素子１４で変調した波面を対物光学系９の入射瞳位置に正確にリレーし、集光性能の低下を防止することができる。
【００３７】
これにより、各種光学系の収差や、標本Ａ内の屈折率分布等によって発生する収差が補償され、対物光学系９によって標本Ａ内の所望の１点にレーザ光Ｌを精度良く集光させることができるという利点がある。光源２から発生されるレーザ光Ｌを極短パルスレーザ光とすれば、対物光学系９の焦点位置のみにおいて多光子励起効果によって蛍光を発生させ、鮮明な蛍光画像を取得することが可能となる。
【００３８】
また、図５に示されるように、空間光変調素子１４上において、変調領域Ｂを含み、該変調領域Ｂが移動する領域全体を覆う広い領域にレーザ光Ｌが照射されるようにしても、対物光学系９の入射瞳位置に像を静止させることが可能である。これに対して、本実施形態によれば、照明領域Ｃを波面変調領域Ｂの移動に追従させることにより、レーザ光Ｌのビーム径を変調領域Ｂの直径まで小さく絞ることが可能となる。すなわち、レーザ光Ｌの光密度を高めて標本Ａをより明るく照明することができる。
【００３９】
また、本実施形態においては、スキャナ７を構成する高速側のミラー７ａの揺動軸線Ｓ１上を、空間光変調素子１４の表面および対物光学系９の入射瞳位置と光学的に共役な位置に設定したので、高速側のミラー７ａの揺動に応じた変調領域Ｂの移動を行わずに済む。
【００４０】
したがって、空間光変調素子１４およびモータ５ａはそれぞれ、高速側のミラー７ａと比較して十分に速度の遅い低速側のミラー７ｂの揺動に応じて変調領域Ｂまたは可動ミラー５を移動させれば足り、応答性は低くてよい。すなわち、ミラー７ａ，７ｂの揺動による対物光学系９の入射瞳位置に入射されるレーザ光Ｌの像の変位をより確実に防止することができ、また、変調領域Ｂの移動に対してレーザ光Ｌの照明領域Ｃをより正確に追従させることができる。
また、空間光変調素子１４を移動させるのではなく、空間光変調素子１４上の変調領域Ｂを移動させるので、振動を伴わずに高速に移動させることができる。
【００４１】
なお、本実施形態においては、対物光学系９の入射瞳位置と光学的に共役な位置をスキャナ７の高速側のミラー７ａの揺動軸線Ｓ１上に配置することとしたが、これに代えて、図６に示されるように、２つのミラー７ａ，７ｂの間に配置してもよい。図中、ハッチングは、対物光学系９の入射瞳位置と光学的に共役な位置を示している。
【００４２】
このようにすることで、対物光学系９の入射瞳位置にリレーされるレーザ光Ｌの像は、２つのミラー７ａ，７ｂのいずれの揺動によっても影響を受ける。したがって、像を静止させておくためには、もう１つの図示しない可動ミラーを設けて、図７に示されるように、矢印Ｄ方向のみならず、これに直交する矢印Ｅ方向にも変調領域Ｂを移動させる必要がある。
【００４３】
その一方で、対物光学系９の入射瞳位置と光学的に共役な位置を２つのミラー７ａ，７ｂの間に配置することで、ミラー７ａ，７ｂのそれぞれの揺動による対物光学系９の入射瞳位置にリレーされる像の一方向の移動量は小さくなる。したがって、上記実施形態と比較して、変調領域Ｂの移動範囲が小さくなり、可動ミラー５の移動をより狭い範囲で済ますことができる。特に、対物光学系９の入射瞳位置と光学的に共役な位置が、２つのミラー７ａ，７ｂのちょうど中間に配置された場合には、２つのミラー７ａ，７ｂの一方に配置された場合に比べて、対物光学系９の入射瞳位置にリレーされる像の一方向の移動量を半分にすることができる。
【００４４】
また、本実施形態においては、可動ミラー５によって波面変調部４に入射されるレーザ光Ｌを平行移動させることとしたが、これに代えて、図８に示されるように、光源２から空間光変調素子１４までの光路の途中位置に平行平板１８を配置し、該平行平板１８をレーザ光Ｌの光軸に垂直に交差する揺動軸線Ｓ３回りに揺動させることにより、レーザ光Ｌを平行移動させることとしてもよい。
【００４５】
平行平板１８は、入射されたレーザ光Ｌを屈折させる屈折率を有する材料からなるものが用いられる。符号１８ａは、制御部１０からの揺動指令信号に従って平行平板１８を揺動させるモータを示している。
このようにしても、簡便な構成で空間光変調素子１４上の照明領域Ｃを移動させることができる。
【００４６】
また、本実施形態においては、空間光変調素子１４として、その表面形状を変化させるセグメントタイプのＭＥＭＳミラーを例示したが、これに代えて、他の任意の空間光変調素子１４、例えば、液晶素子、デフォーマブルミラー等でもよい。
【符号の説明】
【００４７】
１  顕微鏡装置
２  光源
３  コリメータレンズ
４  波面変調部
５  可動ミラー（光線シフト機構）
５ａ  モータ
６  第１のリレー光学系
７  スキャナ
７ａ，７ｂ  ミラー
７ｃ，７ｄ  モータ
８  第２のリレー光学系（リレー光学系）
９  対物光学系
１０  制御部（変調領域調節部、光線シフト機構）
１１  光検出器
１２  ステージ
１３  プリズム
１４  空間光変調素子
１５  ミラー
１６  ダイクロイックミラー
１７  集光レンズ
１８  平行平板
Ａ  試料
Ｂ  変調領域
Ｃ  照明領域
Ｌ  レーザ光（照明光、光線）
Ｓ１〜Ｓ３  揺動軸線（軸線）
【図１】
0005591073.tif 000002
【図２】
0005591073.tif 000003
【図３】
0005591073.tif 000004
【図４】
0005591073.tif 000005
【図５】
0005591073.tif 000006
【図６】
0005591073.tif 000007
【図７】
0005591073.tif 000008
【図８】
0005591073.tif 000009