(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスを吸引することで負圧を発生させ、該負圧によって部品を吸着し、その後、ガスを吐出して前記部品の吸着を解除するノズル構造であって、
吸引又は吐出するガスを導く基端通路と、
前記基端通路を、前記部品の略中心に対向する中心開口に繋ぎ、吸引するガスを前記中心開口から前記基端通路に導く中心通路と、
前記基端通路を、前記中心開口の周囲に位置する周囲開口に繋ぎ、吸引するガスを前記周囲開口から前記基端通路に導く一方で、吐出するガスを前記基端通路から前記周囲開口に導く周囲通路と、
前記基端通路及び前記中心通路の接続部分に設けられ、ガスの吸引時に前記基端通路及び前記中心通路を互いに接続して前記中心開口からのガスの吸引を許容する一方で、ガスの吐出時に前記基端通路及び前記中心通路を互いに切断して前記中心開口からのガスの吐出を拒絶する弁と、を備えていることを特徴とする、
ノズル構造。
【請求項２】
前記弁は、吸引又は吐出するガスの圧力によって作動することを特徴とする、
請求項１に記載のノズル構造。
【請求項３】
前記弁は、吸引又は吐出するガスの圧力を受け止める受圧面を備えていることを特徴とする、
請求項２に記載のノズル構造。
【請求項４】
前記部品に当接する環状の凸部を備え、
前記凸部の先に前記周囲開口が配置されると共に、前記凸部で囲まれた内部空間における前記部品から離れた位置に前記中心開口が配置され、
前記中心開口を介して前記内部空間のガスを吸引することで、該内部空間に負圧を発生させることを特徴とする、
請求項１〜３のいずれかに記載のノズル構造。
【請求項５】
前記中心開口又は前記周囲開口が位置する先端部に対し、ガスの吐出時に突出した状態となる一方で、ガスの吸引時に退避した状態となる突起を備えていることを特徴とする、
請求項１〜４のいずれかに記載のノズル構造。
【請求項６】
前記突起は、吸引又は吐出するガスの圧力によって作動することを特徴とする、
請求項５に記載のノズル構造。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載のノズル構造を用いた吸着方法であって、
前記中心開口及び前記周囲開口からガスを吸引することで負圧を発生させ、該負圧によって前記部品を吸着する一方で、前記周囲開口からガスを吐出して前記部品の吸着を解除することを特徴とする、
吸着方法。
【請求項８】
前記部品の吸着を解除する際に、
前記周囲開口からガスを吐出する吐出ステップと、
前記吐出ステップと同時又はその後に、前記ノズルを所定の速度で上昇させて前記中心通路に残存する負圧をリセットする負圧リセットステップと、
前記負圧リセットステップの後に、前記ノズルを一旦停止させてから再び上昇させて、又は前記ノズルを前記所定の速度より高速で上昇させて前記ノズルを退避させるノズル退避ステップと、を実行することを特徴とする、
請求項７に記載の吸着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズ等の部品を吸着するノズル構造、及びそれを用いた吸着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数枚のレンズからなるレンズユニットを製造する場合、レンズをスリーブ内に一枚ずつ実装する。この場合、レンズをスリーブ内に搬送するために、ノズルを備えるヘッドが用いられる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
まず、ノズルが空気を吸引することで負圧を発生させ、その負圧によって、トレイで待機するレンズを吸着する。そして、ヘッドを移動させて、レンズをスリーブ内に搬送する。その後、ノズルが空気を吐出することで、レンズをスリーブ内に配置する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２７４３９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ノズルが塵埃を吸い込むことがある。この場合、レンズをスリーブ内に配置する際に、レンズに塵埃を噴き付けて、この塵埃を付けてしまう。このため、ノズルをレンズの中心に対向させず、周囲のフランジに対向させることで、レンズの中心に塵埃が付かないようにすることが考えられる。
【０００６】
ところが、生産効率の向上が強く求められる状況下においては、高速でレンズを実装しなければならない。このため、レンズを確実に保持する必要があり、ノズルをレンズの中心に対向させて吸着する力を強めなければならない。これでは、レンズをスリーブ内に配置する際に、レンズの中心に塵埃を噴き付けることになるので、レンズの中心に塵埃が付くことを防止できない。
【０００７】
このような問題は、レンズを吸着する場合に限らず、電子部品など、その他の部品を吸着する場合に共通して存在し得る。
【０００８】
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、吸着する部品の中心に塵埃が付くことを防止するノズル構造及び吸着方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）本発明は、ガスを吸引することで負圧を発生させ、該負圧によって部品を吸着し、その後、ガスを吐出して前記部品の吸着を解除するノズル構造であって、吸引又は吐出するガスを導く基端通路と、前記基端通路を、前記部品の略中心に対向する中心開口に繋ぎ、吸引するガスを前記中心開口から前記基端通路に導く中心通路と、前記基端通路を、前記中心開口の周囲に位置する周囲開口に繋ぎ、吸引するガスを前記周囲開口から前記基端通路に導く一方で、吐出するガスを前記基端通路から前記周囲通路に導く周囲通路と、前記基端通路及び前記中心通路の接続部分に設けられ、ガスの吸引時に前記基端通路及び前記中心通路を互いに接続して前記中心開口からのガスの吸引を許容する一方で、ガスの吐出時に前記基端通路及び前記中心通路を互いに切断して前記中心開口からのガスの吐出を拒絶する弁と、を備えていることを特徴とする、ノズル構造である。
【００１０】
本発明によれば、ガスを吸引することで負圧を発生させ、当該負圧によって部品を吸着する場合に、ガスを吸引する中心開口を部品の中心に対向させるので、部品を吸着する力を強められる。これにより、部品を確実に保持できる。ひいては、吸着した部品を搬送する場合、高速で処理できる。その後、ガスを吐出して部品の吸着を解除する場合、部品の中心に対向する中心開口からガスを吐出せず、その中心開口の周囲に位置する周囲開口からガスを吐出するので、仮に、内部に塵埃を吸い込んでいたときであっても、部品の中心に塵埃を噴き付けることはない。このため、部品の中心に塵埃が付くことを防止できる。
【００１１】
（２）本発明はまた、前記弁は、吸引又は吐出するガスの圧力によって作動することを特徴とする、上記（１）に記載のノズル構造である。
【００１２】
上記発明によれば、簡単な構成で弁を実現できる。
【００１３】
（３）本発明はまた、前記弁は、吸引又は吐出するガスの圧力を受け止める受圧面を備えていることを特徴とする、上記（２）に記載のノズル構造。
【００１４】
上記発明によれば、簡単な構成で弁を実現できる。
【００１５】
（４）本発明はまた、前記部品に当接する環状の凸部を備え、前記凸部の先に前記周囲開口が配置されると共に、前記凸部で囲まれた内部空間における前記部品から離れた位置に前記中心開口が配置され、前記中心開口を介して前記内部空間のガスを吸引することで、該内部空間に負圧を発生させることを特徴とする、上記（１）〜（３）のいずれかに記載のノズル構造である。
【００１６】
上記発明によれば、凸部で囲まれた内部空間の負圧で部品を吸着するので、吸着力を強められる。
【００１７】
（５）本発明はまた、前記中心開口又は前記周囲開口が位置する先端部から、ガスの吐出時に突出した状態となる一方で、ガスの吸引時に退避した状態となる突起を備えていることを特徴とする、上記（１）〜（４）のいずれかに記載のノズル構造である。
【００１８】
上記発明によれば、吸着した部品の上に、当該部品に付随する別の部品が載せられている場合に、突起によって、当該別の部品を押えられる。これにより、当該別の部品が、吐出したガスによって吹き飛ぶことが防止される。
【００１９】
（６）本発明はまた、前記突起は、吸引又は吐出するガスの圧力によって作動することを特徴とする、上記（５）に記載のノズル構造である。
【００２０】
上記発明によれば、簡単な構成で突起を実現できる。
【００２１】
（７）本発明はまた、上記（１）〜（６）のいずれかに記載のノズル構造を用いた吸着方法であって、前記中心開口及び前記周囲開口からガスを吸引することで負圧を発生させ、該負圧によって前記部品を吸着する一方で、前記周囲開口からガスを吐出して前記部品の吸着を解除することを特徴とする、吸着方法である。
【００２２】
（８）本発明はまた、前記部品の吸着を解除する際に、前記周囲開口からガスを吐出する吐出ステップと、前記吐出ステップと同時又はその後に、前記ノズルを所定の速度で上昇させて前記中心通路に残存する負圧をリセットする負圧リセットステップと、前記負圧リセットステップの後に、前記ノズルを一旦停止させてから再び上昇させて、又は前記ノズルを前記所定の速度より高速で上昇させて前記ノズルを退避させるノズル退避ステップと、を実行することを特徴とする、上記（７）に記載の吸着方法である。
【００２３】
上記発明によれば、部品の吸着を解除した後に、中心通路に残存する負圧によって再び部品を吸着してしまうことが防止される。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の上記（１）〜（６）に記載のノズル構造、並びに上記（７）及び（８）に記載の吸着方法によれば、吸着する部品の中心に塵埃が付くことを防止できるという優れた効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施形態に係るノズル構造を採用したノズルを備えるレンズ搬送装置の正面図である。
【図２】ノズルの断面図であり、（Ａ）はガスの吸引時を示し、（Ｂ）はガスの吐出時を示す。
【図３】ノズルの底面図である。
【図４】レンズを吸着する流れを説明するノズルの断面図であり、（Ａ）はレンズを吸着する前の状態を示し、（Ｂ）はレンズを吸着した後の状態を示す。
【図５】レンズの吸着を解除する流れを説明するノズルの断面図であり、（Ａ）はレンズの吸着を解除する前の状態を示し、（Ｂ）は吐出ステップを実行している状態を示し、（Ｃ）は負圧リセットステップを実行している状態を示し、（Ｄ）はノズル退避ステップを実行している状態を示す。
【図６】レンズの吸着を解除する流れを説明するフローチャートである。
【図７】別の形態に係るノズル構造を採用したノズルの断面図であり、（Ａ）はガスの吸引時を示し、（Ｂ）はガスの吐出時を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係るノズル構造を採用したノズル２を備えるレンズ搬送装置１について、詳細に説明する。
【００２７】
まず、図１を用いて、レンズ搬送装置１の構成について説明する。図１は、レンズ搬送装置１の正面図である。なお、本図及び以降の各図において、一部の構成を適宜省略して、図面を簡略化する。そして、本図及び以降の各図において、部材の大きさ、形状、厚みなどを適宜誇張して表現する。
【００２８】
図１に示されるレンズ搬送装置１は、複数枚のレンズからなるレンズユニットを製造するラインに設置される。このレンズ搬送装置１は、トレイＹＡ１で待機するレンズＸＡ１をノズル２で吸着し、当該レンズＸＡ１を、レンズユニットを構成するスリーブＺＡ１内に搬送する。
【００２９】
具体的に、レンズ搬送装置１は、ノズル２と、ヘッド（図示省略）と、昇降機構（図示省略）と、移動機構（図示省略）と、ポンプユニット（図示省略）と、などを備えている。
【００３０】
ノズル２は、ポンプユニット（図示省略）によって動作する。すなわち、ノズル２は、ガス（外気）を吸引することで負圧を発生させ、当該負圧によって、トレイＹＡ１で待機するレンズＸＡ１を吸着し、その後、スリーブＺＡ１内において、ガス（例えば、圧縮空気）を吐出してレンズＸＡ１の吸着を解除する。なお、ノズル２の構造の詳細は、後述する。
【００３１】
ヘッド（図示省略）には、ノズル２が取り付けられている。このヘッドは、昇降機構によって昇降すると共に、移動機構によって水平方向に移動する。すなわち、ヘッドは、自身が昇降することでノズル２を昇降させる。そして、ヘッドは、自身が水平方向に移動することでノズル２を水平方向に移動させる。
【００３２】
ポンプユニット（図示省略）は、ノズル２に接続されている。このポンプユニットは、負圧を発生させることでノズル２にガスを吸引させる。また、ポンプユニットは、正圧を発生させることでノズル２からガスを吐出させる。
【００３３】
次に、図１を用いて、レンズ搬送装置１の動作ついて説明する。
【００３４】
まず、トレイＹＡ１で待機するレンズＸＡ１の真上にノズル２を移動させる。そして、ノズル２を、レンズＸＡ１に当接する直前の高さまで下降させる。その後、ノズル２が、ガスを吸引することで負圧を発生させ、当該負圧によってレンズＸＡ１を吸着する。
【００３５】
そして、ノズル２に吸着されたレンズＸＡ１を、上昇させてから、スリーブＺＡ１の真上まで移動させる。その後、レンズＸＡ１を、スリーブＺＡ１内のフランジ（符号省略）に当接する直前の高さまで下降させる。それから、ノズル２からガスを吐出して、レンズＸＡ１の吸着を解除する。これにより、トレイＹＡ１で待機していたレンズＸＡ１を、スリーブＺＡ１内に搬送できる。
【００３６】
なお、レンズＸＡ１の吸着を解除する高さは、レンズＸＡ１がスリーブＺＡ１内のフランジ（符号省略）に当接する位置から、１０μｍ以上３０μｍ以下の高さであることが好ましく、１５μｍ以上２５μｍ以下の高さであることがより好ましく、２０μｍの高さであることが最も好ましい。
【００３７】
次に、図２（Ａ）、図２（Ｂ）及び図３を用いて、ノズル２の構成について説明する。図２（Ａ）は、ノズル２の断面図であり、ガスの吸引時を示す。図２（Ｂ）は、ノズル２の断面図であり、ガスの吐出時を示す。図３は、ノズル２の底面図である。
【００３８】
図２（Ａ）、図２（Ｂ）及び図３に示されるように、ノズル２は、ノズル本体３と、弁４と、複数本（本実施形態では、３本）の押し部材５と、を備えている。
【００３９】
ノズル本体３には、基端通路６と、中心通路７と、複数本（本実施形態では、３本）の周囲通路８と、押し部材収容空間９と、などが形成されている。
【００４０】
基端通路６は、ノズル本体３の基端側（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）における上側、図３における奥側）の中央を縦に貫通するように設けられ、中心通路７、複数の周囲通路８、及び複数の押し部材収容空間９に接続されている。この基端通路６は、吸引するガスを周囲通路８からポンプユニット（図示省略）に導く一方で、吐出するガスをポンプユニットから中心通路７及び複数の周囲通路８に導く。
【００４１】
中心通路７は、ノズル本体３の先端側（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）における下側、図３における手前側）の中央を縦に貫通するように設けられ、基端通路６を中心開口１０に繋ぐ。この中心通路７は、吸引するガスを中心開口１０から基端通路６に導く一方で、吐出するガスは導かない。
【００４２】
複数の周囲通路８は、それぞれ、ノズル本体３の先端側（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）における下側、図３における手前側）であって、中心通路７の周囲を縦に貫通するように設けられ、基端通路６を周囲開口１１に繋ぐ。これら複数の周囲通路８は、それぞれ、吸引するガスを周囲開口１１から基端通路６に導く一方で、吐出するガスを基端通路６から周囲開口１１に導く。
【００４３】
複数の押し部材収容空間９は、それぞれ、ノズル本体３の先端側（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）における下側、図３における手前側）であって、複数の周囲通路８と交互となるように、かつ、中心通路７の周囲を縦に貫通するように設けられ、基端通路６を突出開口１２に繋ぐ。これら複数の押し部材収容空間９は、それぞれ、基端側（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）における上側、図３における奥側）の径が相対的に大きく、先端側（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）における下側、図３における手前側）の径が相対的に小さい、２段構造を有している。そして、複数の押し部材収容空間９は、それぞれ、押し部材５を上下方向（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）における上下方向、図３における奥と手前の方向）に往復動可能な状態で収容する。
【００４４】
なお、中心開口１０、複数の周囲開口１１、及び複数の突出開口１２は、それぞれ、ノズル本体３の先端部３ａに位置する。
【００４５】
弁４は、基端通路６及び中心通路７の接続部分に、上下方向（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）における上下方向、図３における奥と手前の方向）に往復動可能な状態で設けられている。具体的に、弁４は、吸引又は吐出するガスの圧力（基端通路６内のガスの圧力）を受け止める受圧面１３と、この受圧面１３の周囲に設けられたフランジ１４と、からなる。
【００４６】
受圧面１３は、その上面が基端通路６に対向すると共に、その下面が中心通路７、複数の周囲通路８、及び複数の押し部材収容空間９に対向する。この受圧面１３には、複数の周囲通路８に対向するそれぞれの位置に通気孔１５が形成されていると共に、複数の押し部材収容空間９に対向するそれぞれの位置に挿入孔１６が形成されている。
【００４７】
フランジ１４は、受圧面１３と基端通路６との間に常に空間を形成し、受圧面１３が基端通路６を塞ぐことを防止する。
【００４８】
このような弁４は、吸引又は吐出するガスの圧力（基端通路６内のガスの圧力）を受圧面１３で受け止めて、当該ガスの圧力によって作動する。
【００４９】
すなわち、弁４は、ガスの吸引時（図２（Ａ）参照）に、基端通路６内のガスの圧力（負圧）によって上昇し、通気孔１５を介して基端通路６及び中心通路７を互いに接続して中心開口１０からのガスの吸引を許容する。この時、基端通路６及び複数の周囲通路８が、通気孔１５を介して互いに接続されており、複数の周囲開口１１からのガスの吸引が許容されている。
【００５０】
一方、弁４は、ガスの吐出時（図２（Ｂ）参照）に、自重又は基端通路６内のガスの圧力（正圧）によって下降し、受圧面１３で中心通路７を塞ぐことで、基端通路６及び中心通路７を互いに切断して中心開口１０からのガスの吐出を拒絶する。この時、基端通路６及び複数の周囲通路８が、通気孔１５を介して互いに接続されており、複数の周囲開口１１からのガスの吐出が許容されている。
【００５１】
複数本の押し部材５は、それぞれ、押し部材収容空間９に、上下方向（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）における上下方向、図３における奥と手前の方向）に往復動可能な状態で設けられている。これら複数本の押し部材５は、それぞれ、基端側（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）における上側、図３における奥側）の径が相対的に大きく、先端側（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）における下側、図３における手前側）の径が相対的に小さい、２段構造を有している。
【００５２】
そして、複数本の押し部材５は、それぞれ、基端側の径が、押し部材収容空間９の基端側の径よりも僅かに小さく、かつ、押し部材収容空間９の先端側の径よりも大きい。また、複数本の押し部材５は、それぞれ、先端側の径が、押し部材収容空間９の先端側の径よりも僅かに小さい。
【００５３】
このような複数本の押し部材５は、それぞれ、突出開口１２から突出する突起１７として機能する。すなわち、複数本の押し部材５は、それぞれ、ガスの吸引時（図２（Ａ）参照）に、基端通路６内のガスの圧力（負圧）によって上昇し、突起１７を突出開口１２から引っ込める。一方、複数本の押し部材５は、それぞれ、ガスの吐出時（図２（Ｂ）参照）に、自重又は基端通路６内のガスの圧力（正圧）によって下降し、突起１７を突出開口１２から突出させる。
【００５４】
そして、下降した押し部材５は、基端側（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）における上側、図３における奥側）の径が相対的に大きい部分が、押し部材収容空間９における先端側（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）における下側、図３における手前側）の径が相対的に小さい部分を塞ぐ。これにより、押し部材収容空間９を通じて突出開口１２からガスが吐出されることが防止される。
【００５５】
このように、突起１７は、吸引又は吐出するガス（基端通路６内のガス）の圧力を押し部材５の基端（符号省略）が受け止めることで、当該ガスの圧力によって作動する。そして、突起１７は、ガスの吐出時（図２（Ｂ）参照）に、ノズル本体３の先端部３ａから突出した状態となる一方で、ガスの吸引時（図２（Ａ）参照）に、ノズル本体３の先端部３ａから退避した状態となる。
【００５６】
次に、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）を用いて、レンズＸＡ１を吸着する流れを説明する。図４（Ａ）は、ノズル２の断面図であり、レンズＸＡ１を吸着する前の状態を示す。図４（Ｂ）は、ノズル２の断面図であり、レンズＸＡ１を吸着した後の状態を示す。なお、ノズル２で吸着するレンズＸＡ１の上には、当該レンズＸＡ１に付随するリングＸＡ２が載せられているものとする。
【００５７】
まず、図４（Ａ）に示されるように、ノズル本体３の先端部３ａを、レンズＸＡ１に当接する直前の高さまで下降させる。これにより、中心開口１０は、レンズＸＡ１の略中心に対向する。そして、複数の周囲開口１１は、それぞれ、レンズＸＡ１の周囲に位置するフランジ部分（符号省略）に対向する。また、各突出開口１２から突出した複数の突起１７は、それぞれ、レンズＸＡ１の上に載せられているリングＸＡ２に対向する。
【００５８】
その後、ポンプユニット（図示省略）が負圧を発生させることで、図４（Ｂ）に示されるように、突出していた複数の突起１７が各突出開口１２内に退避すると共に、中心開口１０及び複数の周囲開口１１からガスが吸引される。中心開口１０から吸引されたガスは、中心通路７を導かれる。複数の周囲開口１１から吸引されたガスは、各周囲通路８を導かれる。これにより、ノズル本体３の先端部３ａ及びレンズＸＡ１の間に形成された空間（符号省略）に負圧が発生し、当該負圧によって、ノズル本体３の先端部３ａにレンズＸＡ１が吸着する。
【００５９】
次に、図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図５（Ｃ）、図５（Ｄ）及び図６を用いて、レンズＸＡ１の吸着を解除する流れを説明する。図５（Ａ）は、ノズル２の断面図であり、レンズＸＡ１の吸着を解除する前の状態を示す。図５（Ｂ）は、ノズル２の断面図であり、吐出ステップＳ１００を実行している状態を示す。図５（Ｃ）は、ノズル２の断面図であり、負圧リセットステップＳ２００を実行している状態を示す。図５（Ｄ）は、ノズル２の断面図であり、ノズル退避ステップＳ３００を実行している状態を示す。図６は、レンズＸＡ１の吸着を解除する流れを説明するフローチャートである。
【００６０】
まず、図５（Ａ）に示されるように、ノズル２に吸着されたレンズＸＡ１を、載置面（符号省略）に当接する直前の高さまで下降させる。
【００６１】
その後、ポンプユニット（図示省略）が正圧を発生させることで、図５（Ｂ）に示されるように、退避していた複数の突起１７が各突出開口１２から突出すると共に、複数の周囲通路８を導かれたガスが、各周囲開口１１から吐出される（図６におけるＳ１００参照）。これにより、ノズル２によるレンズＸＡ１の吸着が解除される。
【００６２】
ただし、ノズル本体３の先端部３ａ及びレンズＸＡ１の間に生じた隙間（符号省略）や、中心通路７内に負圧が残存している。このため、ノズル２を急に退避させた場合には、ノズル本体３の先端部３ａ及びレンズＸＡ１の間に生じた隙間や、中心通路７内に残存する負圧によって、再びレンズＸＡ１を吸着してしまう。
【００６３】
そこで、吐出ステップＳ２００と同時又はその後に、図５（Ｃ）に示されるように、ノズル２を、わずかに（例えば、５０μｍ以上１００μｍ以下）、所定の速度ＳＰ１でゆっくり上昇させる（図６におけるＳ２００参照）。これにより、ノズル本体３の先端部３ａ及びレンズＸＡ１の間に生じた隙間や、中心通路７に外気が流入する。結果、ノズル本体３の先端部３ａ及びレンズＸＡ１の間に生じた隙間や、中心通路７内に残存していた負圧がリセットされる。
【００６４】
その後、図５（Ｄ）に示されるように、ノズル２を、所定の速度ＳＰ１より高速ＳＰ２で上昇させる（図６におけるＳ３００）。これにより、ノズル２が退避される。
【００６５】
なお、ここでは、ノズル２を、所定の速度ＳＰ１でゆっくり上昇させてから、その後、高速ＳＰ２で上昇させる場合を例に説明したが、本発明はこれに限定されず、吐出ステップＳ２００の後に、ノズル２を一旦停止させてから再び上昇させるようにしてもよい。
【００６６】
以上説明したノズル２によれば、ガスを吸引することで負圧を発生させ、当該負圧によってレンズＸＡ１を吸着する場合に、ガスを吸引する中心開口１０をレンズＸＡ１の中心に対向させるので、レンズＸＡ１を吸着する力を強められる。これにより、レンズＸＡ１を確実に保持できる。ひいては、吸着したレンズＸＡ１を高速で搬送できる。その後、ガスを吐出してレンズＸＡ１の吸着を解除する場合、レンズＸＡ１の中心に対向する中心開口１０からガスを吐出せず、その中心開口１０の周囲に位置する周囲開口１１からガスを吐出するので、仮に、内部に塵埃を吸い込んでいたときであっても、レンズＸＡ１の中心に塵埃を噴き付けることはない。このため、レンズＸＡ１の中心に塵埃が付くことを防止できる。
【００６７】
そして、弁４は、吸引又は吐出するガスの圧力によって作動するので、簡単な構成で実現できる。また、弁４は、吸引又は吐出するガスの圧力を受け止める受圧面１３を備えているので、簡単な構成で実現できる。
【００６８】
さらに、突起１７を備えているので、吸着したレンズＸＡ１の上に載せられているリングＸＡ２を、突起１７によって押えられる。これにより、リングＸＡ２が、吐出したガスによって吹き飛ぶことが防止される。
【００６９】
そして、突起１７は、吸引又は吐出するガスの圧力によって作動するので、簡単な構成で実現できる。
【００７０】
また、レンズＸＡ１の吸着を解除する際に、負圧リセットステップＳ２００を実行するので、レンズＸＡ１の吸着を解除した後に、中心通路７に残存する負圧によって再びレンズＸＡ１を吸着してしまうことが防止される。
【００７１】
次に、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）を用いて、別の形態のノズル２２の構成について説明する。図７（Ａ）は、ノズル２２の断面図であり、ガスの吸引時を示す。図７（Ｂ）は、ノズル２２の断面図であり、ガスの吐出時を示す。なお、ここでは、ノズル２２の特徴部分のみを説明し、上記実施形態に係るノズル２と同様の構成、作用、効果についての説明は適宜省略する。
【００７２】
ノズル２２は、ノズル２と比較して、ノズル本体３に代えてノズル本体２３を備えている点で異なる。そして、ノズル２２は、ノズル２と比較して、弁４に代えて弁２４を備えている点で異なる。また、ノズル２２は、ノズル２と比較して、押し部材５を備えていない点で異なる。
【００７３】
ノズル本体２３には、基端通路６と、中心通路７と、複数本（本実施形態では、３本）の周囲通路８と、などが形成されている。このノズル本体２３の先端部２３ａには、レンズＸＡ１（図１参照）に当接する環状の凸部２３ｂが形成されている。そして、ノズル本体２３は、先端部２３ａに中心開口１０が配置されると共に、凸部２３ｂの先に複数の周囲開口１１が配置される。すなわち、中心開口１０は、凸部２３ｂで囲まれた内部空間（符号省略）におけるレンズＸＡ１から離れた位置に配置される。
【００７４】
弁２４は、弁４と比較して、受圧面１３に代えて受圧面３３を備えている点で異なる。受圧面３３は、受圧面１３と比較して、挿入孔１６を備えていない点で異なる。
【００７５】
以上説明したノズル２２によれば、凸部２３ｂで囲まれた内部空間の負圧でレンズＸＡ１を吸着するので、吸着力を強められる。
【００７６】
本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、その趣旨及び技術思想を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。また、各実施形態及び各変形例の構成は、可能な範囲で他の実施形態及び他の変形例に適用できる。
【００７７】
すなわち、上記実施形態において、各構成の位置、大きさ、長さ、形状、材質、向き、数量、温度などは適宜変更できる。
【００７８】
あるいは、上記実施形態では、ノズル２がレンズＸＡ１を吸着する場合を例に説明したが、本発明はこれに限定されず、電子部品など、その他の部品を吸着するものであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
本発明のノズル構造は、レンズ、電子部品など、その他の部品の製造又は物流の分野において利用できる。
【符号の説明】
【００８０】
２，２２  ノズル
３ａ  先端部
４，２４  弁
６  基端通路
７  中心通路
８  周囲通路
１０  中心開口
１１  周囲開口
１３  受圧面
１７  突起
ＸＡ１  レンズ（部品）
ＳＰ１  所定の速度
ＳＰ２  高速
Ｓ１００  吐出ステップ
Ｓ２００  負圧リセットステップ
Ｓ３００  ノズル退避ステップ
【要約】
【課題】吸着する部品の中心に塵埃が付くことを防止する。
【解決手段】ノズル２は、ガスを吸引することで負圧を発生させ、負圧によってレンズＸＡ１を吸着し、その後、ガスを吐出してレンズＸＡ１の吸着を解除する。ノズル２は、吸引又は吐出するガスを導く基端通路６と、基端通路６を、レンズＸＡ１の略中心に対向する中心開口１０に繋ぎ、吸引するガスを中心開口１０から基端通路６に導く中心通路７と、基端通路６を、中心開口１０の周囲に位置する周囲開口１１に繋ぎ、吸引するガスを周囲開口１１から基端通路６に導く一方で、吐出するガスを基端通路６から周囲開口１１に導く周囲通路と、基端通路６及び中心通路７の接続部分に設けられ、ガスの吸引時に前記基端通路６及び中心通路７を接続して中心開口１０からのガスの吸引を許容する一方で、ガスの吐出時に基端通路６及び中心通路７を切断して中心開口１０からのガスの吐出を拒絶する弁４と、を備えている。
【選択図】図２【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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