(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケース体とこれに相対回転自在に連結された回転体との対向周面間に、これに軸線方向に並列配置された複数のメカニカルシールによってシールされたシール空間を形成して、両体間に、ケース体に形成されたケース体側通路と回転体に形成された回転体側通路とをシール空間を介して連通接続してなる一連の流体通路を形成するように構成されたロータリジョイントであって、各メカニカルシールがケース体に軸線方向移動可能に保持された静止密封環と回転体に固定された回転密封環との対向端面たる密封端面の相対回転作用によりシール空間をシールするように構成されており、回転体が、軸体とこれに嵌挿された複数のスリーブとを具備するものであり、各回転密封環が、その内周部分を隣接するスリーブ間に挟圧させることによる摩擦係合力によって、回転体に固定保持されており、各回転体側通路が、シール空間に配置されたスリーブと軸体との対向周面間に形成した環状空間と、当該スリーブに穿設されてシール空間と環状空間とを連通する連通孔と、軸体の端部から軸体を貫通して環状空間に開口する通路孔とからなるロータリジョイントにおいて、
シール空間に配置されたスリーブに、その周方向に等間隔を隔てて、同一形状をなす複数の連通孔又は同一形態をなす複数組の連通孔群を形成して、当該スリーブと回転密封環との接触面圧がスリーブの周方向において均一となるようにすることによって、スリーブによる挟圧によって当該回転密封環の密封端面に生じる歪を防止するように構成し、複数組の連通孔群は、これらが形成されるスリーブをその周方向に複数のスリーブ部分に等分したと仮定したときに、各スリーブ部分に形成される複数の連通孔とこれに隣接するスリーブ部分に形成される複数の連通孔とがそれらの形状、数及び配置において同一となるように、形成されたものであることを特徴とするロータリジョイント。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置，攪拌機，医療用機器，食品用機器等に装備される回転機器において相対回転部材間で流体を流動させるためのロータリジョイントに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のロータリジョイントとしては、特許文献１又は特許文献２に開示される如く、ケース体とこれに相対回転自在に連結された回転体との対向周面間に、これに軸線方向に並列配置された複数のメカニカルシールによってシールされたシール空間を形成して、両体間に、ケース体に形成されたケース体側通路と回転体に形成された回転体側通路とをシール空間に介して連通接続してなる一連の流体通路を形成するように構成されたものが周知である。
【０００３】
かかるロータリジョイントであっては、各メカニカルシールがケース体に軸線方向移動可能に保持された静止密封環と回転体に固定された回転密封環との対向端面たる密封端面の相対回転作用によりシール空間をシールするように構成されており、回転体が、軸体とこれに嵌挿された複数のスリーブとを具備するものであり、各回転密封環が、その内周部分を隣接するスリーブ間に挟圧させることによる摩擦係合力によって、回転体に固定保持されており、各回転体側通路が、シール空間に配置されたスリーブと軸体との対向周面間に形成した環状空間と、当該スリーブに穿設されてシール空間と環状空間とを連通する連通孔と、軸体の端部から軸体を貫通して環状空間に開口する通路孔とからなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２８６４０５号公報
【特許文献２】特開２００２−００５３８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
而して、このようなロータリジョイントは、回転密封環の回転体への固定をスリーブ間に挟圧させることによる摩擦係合力により行うようにしているため、メカニカルシールを含むロータリジョイントの構造を簡略化でき、その組み立ても容易に行うことができるといった利点を有する。
【０００６】
しかし、スリーブを挟圧した場合、シール空間に位置するスリーブについては、連通孔が形成された部分と形成されていない部分とで当該スリーブの端面における回転密封環への押圧力（回転密封環の内周部分にその両側から作用する挟圧力）が異なるため、当該押圧力が回転密封環の周方向において不均一となる。その結果、２つのスリーブで両側から挟圧された回転密封環においては、その密封端面に歪が生じて、相手密封環（静止密封環）の密封端面との相対回転によるメカニカルシール機能が良好に発揮されない虞れがある。なお、スリーブによる挟圧力を、上記した圧縮歪が生じない程度に低減した場合には、回転密封環とスリーブとの間の摩擦係合力が不足し、回転密封環の回転体への固定保持が十分に行われず、良好なメカニカルシール機能が期待できない。
【０００７】
本発明は、このような問題を生じることなく、回転密封環をスリーブとの摩擦係合力によって簡易に固定保持することができるロータリジョイントを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、ケース体とこれに相対回転自在に連結された回転体との対向周面間に、これに軸線方向に並列配置された複数のメカニカルシールによってシールされたシール空間を形成して、両体間に、ケース体に形成されたケース体側通路と回転体に形成された回転体側通路とをシール空間を介して連通接続してなる一連の流体通路を形成するように構成されたロータリジョイントであって、各メカニカルシールがケース体に軸線方向移動可能に保持された静止密封環と回転体に固定された回転密封環との対向端面たる密封端面の相対回転作用によりシール空間をシールするように構成されており、回転体が、軸体とこれに嵌挿された複数のスリーブとを具備するものであり、各回転密封環が、その内周部分を隣接するスリーブ間に挟圧させることによる摩擦係合力によって、回転体に固定保持されており、各回転体側通路が、シール空間に配置されたスリーブと軸体との対向周面間に形成した環状空間と、当該スリーブに穿設されてシール空間と環状空間とを連通する連通孔と、軸体の端部から軸体を貫通して環状空間に開口する通路孔とからなるロータリジョイントにおいて、上記の課題を解決すべく、特に、シール空間に配置されたスリーブに、その周方向に等間隔を隔てて、同一形状をなす複数の連通孔又は同一形態をなす複数組の連通孔群を形成して、当該スリーブと回転密封環との接触面圧がスリーブの周方向において均一となるようにすることによって、スリーブによる挟圧によって当該回転密封環の密封端面に生じる歪を防止するように構成しておくことを提案するものである。
【０００９】
かかるロータリジョイントにあって、複数組の連通孔群は、これらが形成されるスリーブをその周方向に複数のスリーブ部分に等分したときに、各スリーブ部分に形成される複数の連通孔とこれに隣接するスリーブ部分に形成される複数の連通孔とがそれらの形状、数及び配置において同一となるように、形成される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のロータリジョイントにあっては、シール空間に位置するスリーブに形成する連通孔又は連通孔群の数，配置を工夫することにより、当該スリーブの軸方向圧縮歪を周方向に均一，分散化させることができ、当該スリーブとこれに隣接するスリーブとの間に挟圧させた回転密封環を、その密封端面における歪の発生を可及的に防止して、当該回転密封環と相手密封環たる静止密封環との相対回転作用によるシール機能を良好に発揮させることができる。したがって、本発明によれば、回転密封環の簡易的な固定構造を採用しているにも拘わらず、極めて信頼性の高く且つ実用的なロータリジョイントを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は本発明に係るロータリジョイントの一例を示す縦断正面図である。
【図２】図２は図１の要部を拡大して示す詳細図である。
【図３】図３は図１のIII −III 線に沿う横断平面図である。
【図４】図４は図２の要部を取り出して示す作用説明図である。
【図５】図６は本発明に係るロータリジョイントの他の変形例を示す要部（スリーブ）の展開図である。
【図６】図６は本発明に係るロータリジョイントの更に他の変形例を示す図１相当の縦断正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて具体的に説明する。図１は本発明に係るロータリジョイントの一例を示す縦断正面図であり、図２はその要部を拡大して示す詳細図であり、図３は図１のIII −III 線に沿う横断平面図であり、図４は図２の要部を取り出して示す作用説明図である。なお、以下の説明において、上下とは図１における上下を意味するものとする。
【００１３】
本発明に係るロータリジョイントは、ＣＭＰ装置等の回転機器に装備されて、性状や流動条件の異なる複数種の流体を当該回転機器の固定側部材（例えば、ＣＭＰ装置本体）と回転側部材（例えば、ＣＭＰ装置のトップリング又はターンテーブル）との間で相互干渉することなく独立して流動させるものであり、図１に示す如く、ケース体１とこれに相対回転自在に連結された回転体２との対向周面間に、複数のメカニカルシール３，４，６を軸線方向に並列配置してなる。この例では、両体１，２の対向周面間に、軸線方向の両端部を第１及び第２メカニカルシール３，４でシールされた円筒状のシール室５を形成し、このシール室５内を、これに軸線方向に並列する複数個の第３メカニカルシール６を配設することにより、各メカニカルシールとこれに隣接するメカニカルシールとでシールされた複数のシール空間に区画してある。すなわち、シール室５内は、第１メカニカルシール３とこれに隣接する第３メカニカルシール６とでシールされた第１シール空間７ａ、第２メカニカルシール４とこれに隣接する第３メカニカルシール６とでシールされた第２シール空間８ａ及び各第３メカニカルシール６とこれに隣接する第３メカニカルシール６とでシールされた一又は複数の第３シール空間９ａに区画されている。そして、両体１，２には、各々が独立した一連の流体通路であって、各シール空間７ａ，８ａ，９ａとケース体１に形成されて当該シール空間７ａ，８ａ，９ａに開口するケース体側通路７ｂ，８ｂ，９ｂと回転体２に形成されて当該シール空間７ａ，８ａ，９ａに開口する回転体側通路７ｃ，７ｄ，７ｅ，８ｃ，８ｄ，８ｅ，９ｃ，９ｄ，９ｅとからなる３本以上の流体通路７，８，９が形成されている。なお、第３メカニカルシール６の数Ｍは、必要とされる流体通路数つまりシール空間数Ｎに応じて決定され、Ｍ＝Ｎ−１で得られる。この例では、Ｍ＝２，Ｎ＝３としてある。
【００１４】
ケース体１は、図１及び図３に示す如く、断面円形の内周部を有する筒体に構成されており、前記回転機器の固定側部材に取り付けられるものである。
【００１５】
回転体２は、前記回転機器の回転側部材に取り付けられるものであり、図１に示す如く、その両端部をケース体１の内周部に上下一対のベアリング１０，１１を介して相対回転自在且つ同心状に支持させてあり、外径一定の円筒状軸体１２と、その一端部（上端部）に一体形成された大径円筒状のベアリング保持部１２ａと、軸体１２に軸線方向（上下方向）に所定間隔を隔てて並列状に嵌挿された円筒状をなす複数のスリーブ１３，１４，１５，１６，１７と、軸体１２の他端部（下端部）に取付けられた円環状の締付体１８とからなる。スリーブ群の最上位に位置する上端スリーブ１３は、その上端部をベアリング保持部１２ａの下端部に衝合係止させた状態で軸体１２に嵌挿されている。スリーブ群の最下位に位置する下端スリーブ１７は、締付体１８の上端部に一体形成されており、軸体１２の下端部に嵌挿されている。スリーブ群の中間に位置する複数の中間スリーブ１４，１５，１６の数は流体通路数（シール空間数）Ｎに一致しており、この例では３個である。これらの中間スリーブ１４，１５，１６はシール空間７ａ，８ａ，９ａに位置するものであり、後述する如く、流体通路７，８，９の一部が貫通形成されている。締付体１８は、これに一体形成された下端スリーブ１７を軸体１２に嵌挿させた状態で、図１に示す如く、軸体１２の下端部に適当本数（一本のみ図示）の締付ボルト１９により取付けられている。締付ボルト１９を締付けることにより、締付体１８とベアリング保持部１２ａとの間にスリーブ１３〜１７及び後述する回転密封環２０，２４，２８が挟圧固定されて、これらと軸体１２とが一体化されるようになっている。なお、上位のベアリング１０は軸体１２の上端部であるベアリング保持部１２ａとケース体１の上端部との対向周面間に装填されており、下位のベアリング１１は締付体１８とケース体１の下端部との対向周面部間に装填されている。
【００１６】
各第３メカニカルシール６は、図１及び図２に示す如く、回転体２に固定された回転密封環２０と、ケース体１にＯリング２１を介して軸線方向移動可能に保持された静止密封環２２と、ケース体１と静止密封環２２との間に介装されて静止密封環２２を回転密封環２０へと押圧附勢するスプリング部材２３とを具備して、両密封環２０，２２の対向端面である密封端面２０ａ，２２ａ（図２参照）の相対回転摺接作用により、当該相対回転摺接部分２０ａ，２２ａの内周側領域であるシール空間とその外周側領域であるシール空間とを遮蔽シールするように構成された端面接触形メカニカルシールである。この例では、上位の第３メカニカルシール６により第１シール空間７ａと第３シール空間９ａとが遮蔽シールされており、下位の第３メカニカルシール６により第２シール空間８ａと第３シール空間９ａとが遮蔽シールされている。また、両第３メカニカルシール６，６は、上下対称のダブルシール構造をなすように配置されており、両回転密封環２０ａ，２０ａ間に両静止密封環２２，２２が上下対称形態をなして配置されている。
【００１７】
また、第１及び第２メカニカルシール３，４も、第３メカニカルシール６と同様の端面接触形メカニカルシールに構成されている。すなわち、第１メカニカルシール３は、回転体２に固定された回転密封環２４と、ケース体１にＯリング２５を介して軸線方向移動可能に保持された静止密封環２６と、ケース体１と静止密封環２６との間に介装されて静止密封環２６を回転密封環２４へと押圧附勢するスプリング部材２７とを具備して、両密封環２４，２６の対向端面である密封端面の相対回転摺接作用により、当該相対回転摺接部分の内周側領域であるベアリング装填空間（ベアリング１０が配置された大気領域）１０ａとその外周側領域である第１シール空間７ａとを遮蔽シールするように構成された端面接触形メカニカルシールである。また、第２メカニカルシール４は、回転体２に固定された回転密封環２８と、ケース体１にＯリング２９を介して軸線方向移動可能に保持された静止密封環３０と、ケース体１と静止密封環３０との間に介装されて静止密封環３０を回転密封環２８へと押圧附勢するスプリング部材３１とを具備して、両密封環２８，３０の対向端面である密封端面の相対回転摺接作用により、当該相対回転摺接部分の内周側領域であるベアリング装填領域（ベアリング１１が配置された大気領域）１１ａとその外周側領域である第２シール空間８ａとを遮蔽シールするように構成された端面接触形メカニカルシールである。なお、ケース体１には、ベアリング装填領域１０ａ，１１ａにおけるベアリング１０，１１とメカニカルシール３，４との間に開口するドレン路１０ｂ，１１ｂが設けられている。
【００１８】
各回転密封環２０，２４，２８は、図１に示す如く、回転体２の軸線と同心をなす円環状板であり、軸体１２に嵌合されると共に両側に配したスリーブにより挟圧固定されている。すなわち、第１メカニカルシール３の回転密封環２４は上端スリーブ１３と中間スリーブ群の上位に位置する第１中間スリーブ１４とによって、第２メカニカルシール４の回転密封環２８は中間スリーブ群の下位に位置する第３中間スリーブ１６と下端スリーブ１７とによって、上位の第３メカニカルシール６の回転密封環２０は第１中間スリーブ１４とその下位に位置する第２中間スリーブ１５とによって、また下位の第３メカニカルシール６の回転密封環２０は第２中間スリーブ１５と第３中間スリーブ１６とによって、夫々挟圧されており、各回転密封環２０，２４，２８はその内周部分（密封端面として機能する外周部分を除く部分）をその両側からスリーブで挟圧することによる摩擦係合力により回転体２に固定されている。スリーブによる挟圧力ないし摩擦係合力は、締付体１８を締付ボルト１９により締付けることによって得られる。すなわち、締付ボルト１９を締め付けることにより、締付体１３とベアリング保持部１２ａとの間にスリーブ群１３，１４，１５，１６，１７が軸線方向に挟圧され、回転密封環２０，２４，２８が所定位置に固定されるのである。なお、スリーブ１３，１４，１５，１６，１７の内外径及び材質は同一とされており、その内外径（径方向厚み）は回転密封環２０，２４，２８の上記内周部分を挟圧することにより当該回転密封環を固定するに十分な摩擦係合力が得られることを条件として決定されている。スリーブ１３，１４，１５，１６，１７の構成材としては、金属又は高強度プラスチック（例えば、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン），ＰＥＳ（ポリエーテルサルフォン），ＰＯＭ（ポリアセタール）等のエンジニアリングプラスチック）が使用される。また、各回転密封環２０，２４，２８の一方の側端面とこれに接触するスリーブ端面との間は当該スリーブ端面の内周端部に形成せる環状凹部に装填したＯリング３２によりシールされている。
【００１９】
各静止密封環２２，２６，３０は、図１に示す如く、回転密封環２０，２４，２８に直対向した状態でケース体１の内周部にＯリング２１，２５，２９を介して軸線方向（上下方向）に移動可能に内嵌保持されており、その外周部に形成した凹部にケース体１に両端保持させたドライブピン３３を係合させることによりケース体１に対する相対回転を阻止されている。なお、ドライブピン３３は、図１に示す如く、第１メカニカルシール３及びこれに隣接する第３メカニカルシール６の静止密封環２２，２６並びに第２メカニカルシール４及びこれに隣接する第３メカニカルシール６の静止密封環２６，３０について夫々共通部材としてある。
【００２０】
各スプリング部材２３，２７，３１は、図１に示す如く、静止密封環２２，２６，３０とケース体１との間に介装された複数（一個のみ図示）の圧縮コイルバネで構成されており、静止密封環２２，２６，３０を回転密封環２０，２４，２８へと押圧接触させるべく附勢する。
【００２１】
各流体通路７，８，９は、図１に示す如く、シール空間７ａ，８ａ，９ａとケース体１に形成されたケース体側通路７ｂ，８ｂ，９ｂと回転体２に形成された回転体側通路７ｃ，７ｄ，７ｅ，８ｃ，８ｄ，８ｅ，９ｃ，９ｄ，９ｅとからなる。各ケース体側通路７ｂ，８ｂ，９ｂは、ケース体１を径方向に貫通してシール空間７ａ，８ａ，９ａに連通するものであり、前記回転機器の固定側部材に形成された固定側流路に接続されている。各回転体側通路は、シール空間７ａ，８ａ，９ａに位置する中間スリーブ１４，１５，１６と軸体１２との対向周面間に形成した環状空間７ｃ，８ｃ，９ｃと、当該環状空間７ｃ，８ｃ，９ｃとシール空間７ａ，８ａ，９ａ７ｂ，７ｃとを連通すべく当該中間スリーブ１４，１５，１６に穿設された複数個の連通孔７ｄ，８ｄ，９ｄと、当該環状空間７ｃ，８ｃ，９ｃに連通する一端部から軸体１２を軸線方向に貫通して軸体１２の一端部（上端部）に開口する通路孔７ｅ，８ｅ，９ｅとからなり、各通路孔７ｅ，８ｅ，９ｅは前記回転機器の回転側部材に形成された回転側流路に接続されている。この例では、各環状空間７ｃ，８ｃ，９ｃは、図１に示す如く、中間スリーブ１４，１５，１６の内周面に形成した環状凹部によって形成されている。
【００２２】
而して、各中間スリーブ１４，１５，１６に形成される連通孔７ｄ，８ｄ，９ｄは、本発明に従って、図３に例示する如く、当該中間スリーブ１４，１５，１６の周方向に等間隔を隔てた複数位置に配置されている。
【００２３】
各中間スリーブ１４，１５，１６に形成される連通孔７ｄ，８ｄ，９ｄは、各々、同一径の円形状をなすものであり、その数及び周方向の相互間隔（等間隔）は、中間スリーブ１４，１５，１６が回転密封環２０，２４，２９を相対回転不能に摩擦係合させるべく軸線方向に圧縮（挟圧）された場合において、連通孔７ｄ，８ｄ，９ｄの存在によって中間スリーブ１４，１５，１６の軸方向圧縮歪が周方向において不均一とならないように、つまり中間スリーブ１４，１５，１６の周方向においてその回転密封環２０，２４，２８への押圧力が不均一となって回転密封環２０，２４，２８の密封端面に大きな歪が生じないように、設定されている。すなわち、各中間スリーブ１４，１５，１６に生じる軸線方向圧縮歪量は、当該スリーブの周方向において、連通孔７ｄ，８ｄ，９ｄが形成されている部分（以下「有孔部分」という）で大きく、これが形成されていない部分（以下「無孔部分」という）で小さくなるが、連通孔７ｄ，８ｄ，９ｄとして同一形状（円形状）のものを周方向に等間隔を隔てた一定数以上の個所に形成しておくことにより、つまり有孔部分を周方向において等間隔を隔てて一定数以上設けておくことにより、当該中間スリーブ１４，１５，１６の端面（回転密封環２０，２４，２８との接触面）における歪を周方向に均一，分散化させることができ、回転密封環２０，２４，２８をスリーブで挟圧させた場合おいてその密封端面に生じる歪を可及的に防止することができる。各連通孔７ｄ，８ｄ，９ｄの数は、このような条件が満足される範囲において中間スリーブ１４，１５，１６の内外径，長さ，材質に応じて適宜に設定されるが、一般には１０〜２０個としておくことが好ましく、この例では、図３に例示する如く、各連通孔７ｄ，８ｄ，９ｄの数を１８個としてある。
【００２４】
したがって、シール空間７ａ，８ａ，９ａに位置する中間スリーブ１４，１５，１６は、他のスリーブ１３，１７と異なって連通孔７ｄ，８ｄ，９ｄが形成されているが、その数及び配置を上記のように設定しておくことにより、挟圧による負荷（軸方向圧縮力）をスリーブ端面において分散，均一化し得て、回転密封環２０，２４，２８に生じる歪を大幅に緩和することができ、その結果、スリーブによる摩擦係合力によって回転密封環２０，２４，２８を回転体２に固定するといった簡易な固定手段を採用しているにも拘わらず、その密封端面を適正に保持して相手密封端面（静止密封環２２，２６，３０の密封端面）との相対回転摺接作用によるシール機能を良好に発揮することができる。
【００２５】
ところで、上記した流体通路７，８，９によれば、同種又は異種の流体を図１に示す矢印方向又はその逆方向に各別に流動させることができるが、この例においては、各第３メカニカルシール６におけるＯリング２１による二次シール構造を次のように構成しておくことによって、流体通路７，８，９を流動する流体圧力を各別に制御することができるように工夫している。
【００２６】
すなわち、各第３メカニカルシール６にあっては、図２に示す如く、静止密封環２２にＯリング２１の前記外周側領域（第１シール空間７ａ又は第２シール空間８ａ）への飛び出しを係止する第１係止部２２ｂを形成すると共にケース体１にＯリング２１の前記内周側領域（第３シール空間９ａ）への飛び出しを係止する第２係止部１ａを形成して、前記内外周側領域の圧力関係に拘わらず静止密封環２２にこれを回転密封環２０へと押圧する背圧による軸方向推力が作用するように構成してある。なお、第１係止部２２ｂはＯリング２１の内周部が接触する静止密封環２２の外周面である密封環側シール面２２ｃより大径の環状部であり、第２係止部１ａはＯリング２１の外周部が接触するケース体１の内周面であるケース体側シール面１ｂより小径の環状部である。
【００２７】
かかる構成としておくことにより、例えば、上位の第３メカニカルシール６を例として説明すると、相対回転摺接部分２０ａ，２２ａの内周側領域である第３シール空間９ａの圧力（流体通路９を流動する流体の圧力）Ｐ１が当該相対回転摺接部分２０ａ，２２ａの外周側領域である第１シール空間７ａの圧力（流体通路７を流動する流体の圧力）Ｐ２より大きい場合には、図４（Ａ）に示す如く、その差圧ΔＰ１（＝Ｐ１−Ｐ２）によりＯリング２１が第１係止部２２ｂに衝合係止されて、静止密封環２２にこれを回転密封環２０方向へと押圧する軸線方向推力（背圧力）Ｆ１が作用する。この推力Ｆ１は、両密封端面２０ａ，２２ａが摺接する環状領域（シール面）の内外径をＤ１，Ｄ２とし、Ｏリング２１による二次シール面の内外径（ケース体側シール面１ａの内径及び密封環側シール面２２ｃの外径）をｄ１，ｄ２とすると、Ｆ１＝（π／４）（（ｄ１）2−（Ｄ１）2）・ΔＰ１で与えられる。なお、Ｄ１，Ｄ２，ｄ１，ｄ２の間にはＤ１＜ｄ１，Ｄ２＞ｄ２の関係がある。
【００２８】
また、逆に、流体通路７を流動する流体の圧力Ｐ２が流体通路９を流動する流体の圧力Ｐ１より大きい場合には、図４（Ｂ）に示す如く、その差圧ΔＰ２（＝Ｐ２−Ｐ１）によりＯリング２１が第２係止部１ａに衝合係止されて、上記の場合と同様に、静止密封環２２にこれを回転密封環２０方向へと押圧する軸線方向推力（背圧力）Ｆ２が作用する。この推力Ｆ２は、Ｆ２＝（π／４）（（Ｄ２）2−（ｄ２）2）・ΔＰ２で与えられる。
【００２９】
したがって、各第３メカニカルシール６においては、これによってシールすべき２つのシール空間７ａ，９ａ又は８ａ，９ａの圧力関係つまり二つの流体通路７，９又は８，９を流動する流体の圧力関係が逆転するような場合にも、常に、上記した推力Ｆ１又はＦ２が作用することになり、良好なシール機能が発揮されることになる。このため、各流体通路７，８，９を流動させる流体の圧力を任意且つ各別に制御することができる。なお、第３メカニカルシール６によるシール機能がより確実且つ良好に発揮されるためには、上記圧力関係に拘わらず、バランス比κが０．５以上となるように設計しておくことが好ましい。すなわち、流体通路９を流動する流体の圧力Ｐ１が流体通路７を流動する流体の圧力Ｐ２より大きい場合にはκ＝（（ｄ１）2−（Ｄ１）2）／（（Ｄ２）2−（Ｄ１）2）≧０．５となり、逆に流体通路７を流動する流体の圧力Ｐ２が流体通路９を流動する流体の圧力Ｐ１より大きい場合にはκ＝（（Ｄ２）2−（ｄ２）2）／（（Ｄ２）2−（Ｄ１）2）≧０．５となるように設計しておくことが好ましい。
【００３０】
一方、第１及び第２メカニカルシール３，４は、シール空間７ａ，８ａと圧力が変化しない大気領域１０ａ，１１ａとの間をシールするものであるから、一般的なメカニカルシールと同様に、図１に示す如く、Ｏリング２５，２９をケース本体１の内周部に形成した環状のＯリング溝１ｃ，１ｄ（又は静止密封環２６，３０の外周部に形成した環状のＯリング溝）に係合させて、その両側面である係止部によってＯリング２５，２９のシール空間７ａ，８ａへの飛び出し及び大気領域１０ａ，１１ａへの飛び出しを係止，阻止している。
【００３１】
ところで、第１及び第２メカニカルシール３，４のようにＯリング２５，２９をケース体１のＯリング溝１ｃ，１ｄに係合させるものでは、一般に、バランス比κが０．５となるように設計されていて、シール空間７ａ，８ａが大気領域１０ａ，１１ａより低圧（負圧）となる逆圧時にも対応できるように工夫されているが、この場合、ある程度の圧力（０．５ＭＰａ程度）以下であれば良好なシール機能を発揮できるが、これを超えるような高圧（高差圧）条件下では対応することが困難である。しかし、各第３メカニカルシール６については、上記のような構成としているため、κ＞０．５となるように設計しておくことができ、シールすべき両シール空間の圧力が高い場合や両シール空間の差圧が大きい場合にも良好なシール機能を発揮するができる。
【００３２】
なお、本発明の構成は上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の基本原理を逸脱しない範囲において適宜に改良，変更することができる。
【００３３】
例えば、上記した例では、環状空間７ｃ，８ｃ，９ｃを中間スリーブ１４，１５，１６の内周面に形成した環状凹部で構成するようにしているが、当該環状凹部を軸体１２の外周面に形成するようにしてもよい。
【００３４】
また、上記した例では、各シール空間７ａ，８ａ，９ａに配置されたスリーブ（中間スリーブ）１４，１５，１６に、その周方向に等間隔を隔てて、同一形状をなす複数の連通孔７ｄ，８ｄ，９ｄを形成するようにしたが、当該各スリーブ１４，１５，１６には、その周方向に等間隔を隔てて、同一形態をなす複数組の連通孔群を形成するようにしてもよい。すなわち、中間スリーブ１４を例にとって説明すると、図５に示す如く、複数の連通孔７ｄを一組の連通孔群７Ｄとして、複数組の連通孔群７Ｄをスリーブ１４の周方向に等間隔を隔てて形成しておくのである。すなわち、複数組の連通孔群７Ｄは、図５に示す如く、これらが形成されるスリーブ１４をその周方向に複数のスリーブ部分１４ａに等分したと仮定した場合に、各スリーブ部分１４ａに形成される複数の連通孔７ｄとこれに隣接するスリーブ部分１４ａに形成される複数の連通孔７ｄとがそれらの形状、数及び配置において同一となるように、形成される。各連通孔群７Ｄを構成する連通孔７ｄの数、形状及び配置は、当該スリーブ１４の内外径，長さ，材質等に応じて、適宜に設定することができる。例えば、各連通孔群７Ｄは、図５（Ａ）に示す如く、同一径をなす複数（図示では２個）の連通孔７ｄをスリーブ１４の軸線方向（図５における上下方向）に齟齬するように配置した形態、同図（Ｂ）に示す如く、同一径をなす複数（図示では４個）の連通孔７ｄをスリーブ１４の軸線方向及び径方向（図５における左右方向）に齟齬するように配置した形態、又は同図（Ｃ）に示す如く、径の異なる複数（図示では２個）の連通孔７ｄをスリーブ１４の径方向（及び／又は軸線方向）に齟齬するように配置した形態となすことができる。また、各連通孔７ｄの形状は円形状に限定されることはなく、楕円形等とすることも可能である。勿論、各中間スリーブに形成される連通孔の数、連通孔群を構成する連通孔の数及びこれらの配置等は、当該スリーブが回転密封環を相対回転不能に摩擦係合させるべく軸線方向に圧縮（挟圧）された場合において、これら連通孔又は連通孔群の存在によって当該スリーブの周方向における回転密封環への押圧力が不均一となることを防止できるように、設定される。
【００３５】
また、第１メカニカルシール３と第２メカニカルシール４との間に配置される第３メカニカルシール６の数Ｍ（≧２）は、必要とされる流体通路数Ｎ（≧３）に応じて任意に設定することができる（Ｍ＝Ｎ−１）。例えば、上記した例では、図１に示す如く、ダブルシール構造に配置した一対のメカニカルシール６，６で構成される１組のシールユニットを両メカニカルシール３，４間に配置したが、両メカニカルシール３，４間には、このようなシールユニットを複数組配置してもよい。図６はその一例を示す図１相当の縦断正面図であり、図６に示すロータリジョイントは、両メカニカルシール３，４間に上記したシールユニットを２組配置して、両体１，２間に５本の流体通路を形成してなるものである。両シールユニット間に形成されるシール空間１０９ａ及びこれを通過する流体通路１０９（ケース体側通路１０９ｂと回転体側通路１０９ｃ，１０９ｄ，１０９ｅとをシール空間１０９ａを介して連通接続してなる）並びに当該シール空間１０９ａに位置される中間スリーブ１１５の構成は、第１シール空間７ａ、第１流体通路７及び上端スリーブ１４（又は第２シール空間８ａ、第２流体通路８及び下端スリーブ１６）と同一構成をなしている。
【００３６】
また、本発明のロータリジョイントにあっては、第１及び第２メカニカルシール３，４を廃して複数の第３メカニカルシール６を並列配置する構成とすることができる。また、第１メカニカルシール３（又は第２メカニカルシール４）を廃して、第２メカニカルシール４（又は第１メカニカルシール３）と一又は複数の第３メカニカルシール６とを並列配置する構成とすることもできる。
【符号の説明】
【００３７】
１        ケース体
１ａ      第２係止部
１ｂ      ケース体側シール面
１ｃ      Ｏリング溝
１ｄ      Ｏリング溝
２        回転体
３        メカニカルシール（第１メカニカルシール）
４        メカニカルシール（第２メカニカルシール）
５        シール室
６        メカニカルシール（第３メカニカルシール）
７        流体通路
７ａ      シール空間
７ｂ      ケース体側通路
７ｃ      環状空間（回転体側通路）
７ｄ      連通孔（回転体側通路）
７Ｄ      連通孔群
７ｅ      通路孔（回転体側通路）
８        流体通路
８ａ      シール空間
８ｂ      ケース体側通路
８ｃ      環状空間（回転体側通路）
８ｄ      連通孔（回転体側通路）
８ｅ      通路孔（回転体側通路）
９        流体通路
９ａ      シール空間
９ｂ      ケース体側通路
９ｃ      環状空間（回転体側通路）
９ｄ      連通孔（回転体側通路）
９ｅ      通路孔（回転体側通路）
１０      ベアリング
１０ａ    ベアリング装填空間
１１      ベアリング
１１ａ    ベアリング装填領域
１２      軸体
１３      上端スリーブ
１４      中間スリーブ（シール空間に位置するスリーブ）
１５      中間スリーブ（シール空間に位置するスリーブ）
１６      中間スリーブ（シール空間に位置するスリーブ）
１７      下端スリーブ
１８      締付体
１９      締付ボルト
２０      回転密封環
２０ａ    密封端面
２１      Ｏリング
２２      静止密封環
２２ａ    密封端面
２２ｂ    第１係止部
２３      スプリング部材
２４      回転密封環
２５      Ｏリング
２６      静止密封環
２７      スプリング部材
２８      回転密封環
２９      Ｏリング
３０      静止密封環
３１      スプリング部材
１０９    流体通路
１０９ａ  シール空間
１０９ｂ  ケース体側通路
１０９ｃ  環状空間（回転体側通路）
１０９ｄ  連通孔（回転体側通路）
１０９ｅ  通路孔（回転体側通路）
１１５    中間スリーブ（シール空間に位置するスリーブ）
【図１】
0005634218.tif 000002
【図２】
0005634218.tif 000003
【図３】
0005634218.tif 000004
【図４】
0005634218.tif 000005
【図５】
0005634218.tif 000006
【図６】
0005634218.tif 000007