(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のダイシングブレードが装着されている第１のスピンドルと、前記第１のスピンドルに対向するように配置されており、第２のダイシングブレードが装着されている第２のスピンドルとを同時に駆動することにより、被ダイシング物を前記第１及び第２のダイシングブレードで同時にダイシングするダイシング方法であって、
前記第１のダイシングブレードによる前記被ダイシング物の第１のダイシング予定ラインと、前記第２のダイシングブレードによる前記被ダイシング物の第２のダイシング予定ラインとを検出する工程と、
前記第１のダイシング予定ラインと、前記第２のダイシング予定ラインとのなす角の大きさを検出する工程と、
前記第１のスピンドルの軸心と、前記第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさが、前記検出された前記第１及び第２のダイシング予定ラインのなす角の大きさと一致するように、前記第１及び第２のスピンドルのうちの少なくとも一方の角度を調整する工程と、
前記第１のスピンドルの軸心と、前記第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさを、前記検出された前記第１及び第２のダイシング予定ラインのなす角の大きさに一致させた状態で、前記第１及び第２のスピンドルを回転させながら、前記第１及び第２のスピンドルを前記被ダイシング物に対して相対的に移動させることにより、前記被ダイシング物を前記第１及び第２のダイシング予定ラインでダイシングするダイシング工程とを備える、ダイシング方法。
【請求項２】
被ダイシング物を第１及び第２のダイシング予定ラインでダイシングするダイシング装置であって、
前記被ダイシング物が載置されるテーブルと、
第１のスピンドルと、
前記第１のスピンドルに装着された第１のダイシングブレードと、
第１の方向において前記第１のスピンドルと対向している第２のスピンドルと、
前記第２のスピンドルに装着された第２のダイシングブレードと、
前記テーブルの上に載置された前記被ダイシング物の前記第１及び第２のダイシング予定ラインを検出する検出機構と、
制御機構とを備え、
前記制御機構は、
前記検出機構に、前記テーブル上に載置された前記被ダイシング物の前記第１及び第２のダイシング予定ラインを検出させると共に、当該検出された第１及び第２のダイシング予定ラインから、前記第１のダイシング予定ラインと、前記第２のダイシング予定ラインとのなす角の大きさを検出し、
前記第１のスピンドルの軸心と、前記第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさが、前記検出された前記第１及び第２のダイシング予定ラインのなす角の大きさと一致するように、前記第１及び第２のスピンドルのうちの少なくとも一方の角度を調整し、
前記第１のスピンドルの軸心と、前記第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさを、前記検出された前記第１及び第２のダイシング予定ラインのなす角の大きさに一致させた状態で、前記第１及び第２のスピンドルを回転させながら、前記第１及び第２のスピンドルを前記テーブルに対して相対的に移動させることにより、前記被ダイシング物を前記第１及び第２のダイシング予定ラインでダイシングさせる、ダイシング装置。
【請求項３】
前記制御機構は、ダイシングを開始する前に、前記第１及び第２のダイシングブレードが前記第１及び第２のダイシング予定ライン上に位置するように前記テーブルを回転させる、請求項２に記載のダイシング装置。
【請求項４】
前記制御機構は、ダイシングを開始する前に、前記第１の方向に垂直な第２の方向に平行な前記第１のダイシングブレードが前記第１のダイシング予定ライン上に位置するように前記テーブルを回転させた後に、前記第１のスピンドルの軸心と、前記第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさが、前記検出された前記第１及び第２のダイシング予定ラインのなす角の大きさと一致するように、前記第２のスピンドルを旋回させることにより前記第２のダイシングブレードを前記第２のダイシング予定ライン上に位置させる、請求項２または３に記載のダイシング装置。
【請求項５】
前記制御機構は、前記テーブルを、前記第１及び第２のダイシングブレードに対して、前記第２の方向に相対的に移動させつつ、前記第２のダイシングブレードを、前記テーブルに対して前記第１の方向に相対的に移動させながらダイシングを行わせる、請求項４に記載のダイシング装置。
【請求項６】
前記第１のスピンドルの軸心と、前記第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさをθとし、ダイシングの際の前記テーブルの前記第１及び第２のダイシングブレードに対する前記第２の方向における相対移動速度をＶ１とし、ダイシングの際の前記第２のダイシングブレードの前記テーブルに対する前記第１の方向における相対移動速度をＶ２としたときに、
前記制御機構は、ダイシングの際に、前記テーブル及び前記第２のダイシングブレードを、Ｖ２＝Ｖ１・ｔａｎθとなるように相対的に移動させる、請求項５に記載のダイシング装置。
【請求項７】
前記第１及び第２のダイシングブレードのそれぞれは、ダイシングの開始前において、前記第１の方向に垂直な第２の方向と平行に配置されており、
前記制御機構は、ダイシングを開始する前に、前記第２の方向に対する前記第１のダイシング予定ラインの角度と、前記第２の方向に対する前記第２のダイシング予定ラインの角度とが等しくなるように前記テーブルを回転させると共に、前記第１のスピンドルの軸心と、前記第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさが、前記検出された前記第１及び第２のダイシング予定ラインのなす角の大きさと一致し、かつ、前記第２の方向と前記第１のスピンドルの軸心とのなす角の大きさと、前記第２の方向と前記第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさとが等しくなるように、前記第１及び第２のスピンドルの両方を旋回させることにより前記第１及び第２のダイシングブレードを前記第１及び第２のダイシング予定ライン上に位置させる、請求項２または３に記載のダイシング装置。
【請求項８】
前記制御機構は、前記第１及び第２のダイシングブレードに対して、前記テーブルを前記第２の方向に相対的に移動させつつ、前記第１及び第２のダイシングブレードのそれぞれを、前記テーブルに対して前記第１の方向に相対的に移動させながらダイシングを行わせる、請求項７に記載のダイシング装置。
【請求項９】
前記第１のスピンドルの軸心と、前記第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさをθとし、ダイシングの際の前記テーブルの前記第１及び第２のダイシングブレードに対する前記第２の方向における相対移動速度をＶ１とし、ダイシングの際の前記第２のダイシングブレードの前記テーブルに対する前記第１の方向における相対移動速度をＶ２とし、ダイシングの際の前記第１のダイシングブレードの前記テーブルに対する前記第１の方向における相対移動速度をＶ３としたときに、
前記制御機構は、ダイシングの際に、前記テーブル並びに前記第１及び第２のダイシングブレードを、Ｖ２＝Ｖ３＝Ｖ１・ｔａｎ（θ／２）となるように相対的に移動させる、請求項８に記載のダイシング装置。
【請求項１０】
前記検出機構は、前記テーブル上に載置された前記被ダイシング物を撮像する撮像機構と、前記撮像機構により撮像された画像を認識する画像認識機構とを有し、
前記制御機構は、前記画像認識機構により認識された前記被ダイシング物の画像に基づいて前記第１のダイシング予定ラインと、前記第２のダイシング予定ラインとのなす角の大きさを検出する、請求項２〜９のいずれか一項に記載のダイシング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシング方法及びダイシング装置に関する。特には、本発明は、２つのダイシングブレードで、２つのダイシング予定ラインを同時にダイシングするダイシング方法及びそれを実施するためのダイシング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば下記の特許文献１，２などにおいて、スピンドルに装着されたダイシングブレードを２枚有するダイシング装置が提案されている。このようなダイシング装置では、２つのダイシング予定ラインを同時にダイシングすることができる。このため、ダイシングブレードを１枚のみ有するダイシング装置よりも、高い生産性でダイシングを行うことができる。従って、ダイシングブレードを２枚有するダイシング装置は、電子部品の製造コストを低減できるダイシング装置として大いに注目されている。
【０００３】
ところで、ダイシングの対象となる被ダイシング物には、所望しない歪みが生じてしまったものもある。従って、ダイシング装置には、所望しない歪みが生じてしまった被ダイシング物も好適にダイシングできることが求められる。
【０００４】
例えば下記特許文献３には、所望しない歪みが生じてしまった被ダイシング物を好適にダイシングできる方法の一例が記載されている。具体的には、特許文献３には、パターン電極を定ピッチで印刷したグリーンシートを焼成してなり、回転テーブル上に保持されたセラミック板をピッチ方向と直交方向の等分割線に沿ってダイシングする方法が記載されている。特許文献３に記載の方法では、まず、セラミック板のピッチ方向の一端側の辺の回転中心から法線距離と、回転角度とを求める。セラミック板の他端側の辺の回転中心からの法線距離と回転角度を求める。次に、セラミック板の各カット位置の回転中心からの法線距離と回転角度とを、上記一端側及び他端側の辺のそれぞれの法線距離及び回転角度から求める。そして、求められたセラミック板の各カット位置の回転中心からの法線距離と回転角度に基づいてセラミック板をダイシングする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２３７４７４号公報
【特許文献２】特開２００４−１５８８２２号公報
【特許文献３】特開２０００−２５２２３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
確かに、上記特許文献３に記載の方法は、ダイシング予定ラインひとつ毎にダイシングしていく場合には有効である。しかしながら、所望しない歪みが生じてしまった被ダイシング物には、非平行な複数のダイシング予定ラインが含まれているため、２つのダイシングブレードを有するダイシング装置を用いて、２つのダイシング予定ラインを同時にダイシングしていく場合には、特許文献３に記載の方法を適用することができない。
【０００７】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、２つのダイシングブレードで、２つのダイシング予定ラインを同時にダイシングするダイシング方法であって、歪みが生じた被ダイシング物も好適にダイシングできるダイシング方法及びそれを実施するためのダイシング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るダイシング方法は、第１のダイシングブレードが装着されている第１のスピンドルと、第１のスピンドルに対向するように配置されており、第２のダイシングブレードが装着されている第２のスピンドルとを同時に駆動することにより、被ダイシング物を第１及び第２のダイシングブレードで同時にダイシングするダイシング方法に関する。本発明に係るダイシング方法は、第１のダイシングブレードによる被ダイシング物の第１のダイシング予定ラインと、第２のダイシングブレードによる被ダイシング物の第２のダイシング予定ラインとを検出する工程と、第１のダイシング予定ラインと、第２のダイシング予定ラインとのなす角の大きさを検出する工程と、第１のスピンドルの軸心と、第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさが、検出された第１及び第２のダイシング予定ラインのなす角の大きさと一致するように、第１及び第２のスピンドルのうちの少なくとも一方の角度を調整する工程と、第１のスピンドルの軸心と、第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさを、検出された第１及び第２のダイシング予定ラインのなす角の大きさに一致させた状態で、第１及び第２のスピンドルを回転させながら、第１及び第２のスピンドルを被ダイシング物に対して相対的に移動させることにより、被ダイシング物を第１及び第２のダイシング予定ラインでダイシングするダイシング工程とを備えている。
【０００９】
なお、本発明において、「角度を調整する」には、角度を変化させないことが含まれるものとする。
【００１０】
本発明に係るダイシング装置は、被ダイシング物を第１及び第２のダイシング予定ラインでダイシングするダイシング装置に関する。本発明に係るダイシング装置は、被ダイシング物が載置されるテーブルと、第１のスピンドルと、第１のダイシングブレードと、第２のスピンドルと、第２のダイシングブレードと、検出機構と、制御機構とを備えている。第１のダイシングブレードは、第１のスピンドルに装着されている。第２のスピンドルは、第１の方向において第１のスピンドルと対向している。第２のダイシングブレードは、第２のスピンドルに装着されている。検出機構は、テーブルの上に載置された被ダイシング物の第１及び第２のダイシング予定ラインを検出する。制御機構は、検出機構に、テーブル上に載置された被ダイシング物の第１及び第２のダイシング予定ラインを検出させる。制御機構は、検出された第１及び第２のダイシング予定ラインから、第１のダイシング予定ラインと、第２のダイシング予定ラインとのなす角の大きさを検出する。制御機構は、第１のスピンドルの軸心と、第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさが、検出された第１及び第２のダイシング予定ラインのなす角の大きさと一致するように、第１及び第２のスピンドルのうちの少なくとも一方の角度を調整する。制御機構は、第１のスピンドルの軸心と、第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさを、検出された第１及び第２のダイシング予定ラインのなす角の大きさに一致させた状態で、第１及び第２のスピンドルを回転させながら、第１及び第２のスピンドルをテーブルに対して相対的に移動させることにより、被ダイシング物を第１及び第２のダイシング予定ラインでダイシングさせる。
【００１１】
本発明に係るダイシング装置のある特定の局面では、制御機構は、ダイシングを開始する前に、第１及び第２のダイシングブレードが第１及び第２のダイシング予定ライン上に位置するようにテーブルを回転させる。この構成によれば、被ダイシング物を任意の角度でテーブル上に配置した場合であっても、好適にダイシングを行うことができる。従って、被ダイシング物のダイシングが容易となる。
【００１２】
本発明に係るダイシング装置の他の特定の局面では、制御機構は、ダイシングを開始する前に、第１の方向に垂直な第２の方向に平行な第１のダイシングブレードが第１のダイシング予定ライン上に位置するようにテーブルを回転させた後に、第１のスピンドルの軸心と、第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさが、検出された第１及び第２のダイシング予定ラインのなす角の大きさと一致するように、第２のスピンドルを旋回させることにより第２のダイシングブレードを第２のダイシング予定ライン上に位置させる。この構成によれば、第１のスピンドルの角度を調整するための機構を設ける必要が必ずしもない。従って、ダイシング装置の構成を簡略化することができる。
【００１３】
本発明に係るダイシング装置の別の特定の局面では、制御機構は、テーブルを、第１及び第２のダイシングブレードに対して、第２の方向に相対的に移動させつつ、第２のダイシングブレードを、テーブルに対して第１の方向に相対的に移動させながらダイシングを行わせる。この構成によれば、第２のダイシングブレードや被ダイシング物にかかる負荷を低減することができる。
【００１４】
本発明に係るダイシング装置のさらに他の特定の局面では、制御機構は、ダイシングの際に、テーブル及び第２のダイシングブレードを、Ｖ２＝Ｖ１・ｔａｎθとなるように相対的に移動させる。但し、θは、第１のスピンドルの軸心と、第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさである。Ｖ１は、ダイシングの際のテーブルの第１及び第２のダイシングブレードに対する第２の方向における相対移動速度である。Ｖ２は、ダイシングの際の第２のダイシングブレードのテーブルに対する第１の方向における相対移動速度である。この構成によれば、第２のダイシングブレードや被ダイシング物にかかる負荷をより効果的に低減することができる。
【００１５】
本発明に係るダイシング装置のさらに別の特定の局面では、第１及び第２のダイシングブレードのそれぞれは、ダイシングの開始前において、第１の方向に垂直な第２の方向と平行に配置されており、制御機構は、ダイシングを開始する前に、第２の方向に対する第１のダイシング予定ラインの角度と、第２の方向に対する第２のダイシング予定ラインの角度とが等しくなるようにテーブルを回転させると共に、第１のスピンドルの軸心と、第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさが、検出された第１及び第２のダイシング予定ラインのなす角の大きさと一致し、かつ、第２の方向と第１のスピンドルの軸心とのなす角の大きさと、第２の方向と第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさとが等しくなるように、第１及び第２のスピンドルの両方を旋回させることにより第１及び第２のダイシングブレードを第１及び第２のダイシング予定ライン上に位置させる。この場合、第１及び第２のダイシングブレードと被ダイシング物の第１及び第２のダイシングブレードに対する移動方向とのなす角度が小さくなる。また、第１及び第２のダイシングブレードや被ダイシング物にかかる負荷の大きさが等しくなる。このため、第１及び第２のダイシングブレードや被ダイシング物にかかる負荷を小さくすることができる。
【００１６】
本発明に係るダイシング装置のまたさらに他の特定の局面では、制御機構は、第１及び第２のダイシングブレードに対して、テーブルを第２の方向に相対的に移動させつつ、第１及び第２のダイシングブレードのそれぞれを、テーブルに対して第１の方向に相対的に移動させながらダイシングを行わせる。この構成によれば、第１及び第２のダイシングブレードや被ダイシング物にかかる負荷を低減することができる。
【００１７】
本発明に係るダイシング装置のまたさらに別の特定の局面では、制御機構は、ダイシングの際に、テーブル並びに第１及び第２のダイシングブレードを、Ｖ２＝Ｖ３＝Ｖ１・ｔａｎ（θ／２）となるように相対的に移動させる。但し、θは、第１のスピンドルの軸心と、第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさである。Ｖ１は、ダイシングの際のテーブルの第１及び第２のダイシングブレードに対する第２の方向における相対移動速度である。Ｖ２は、ダイシングの際の第２のダイシングブレードのテーブルに対する第１の方向における相対移動速度である。Ｖ３は、ダイシングの際の第１のダイシングブレードのテーブルに対する第１の方向における相対移動速度である。この構成によれば、第１及び第２のダイシングブレードや被ダイシング物にかかる負荷をより効果的に低減することができる。
【００１８】
本発明に係るダイシング装置のさらにまた他の特定の局面では、検出機構は、テーブル上に載置された被ダイシング物を撮像する撮像機構と、撮像機構により撮像された画像を認識する画像認識機構とを有する。制御機構は、画像認識機構により認識された被ダイシング物の画像に基づいて第１のダイシング予定ラインと、第２のダイシング予定ラインとのなす角の大きさを検出する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明では、第１のスピンドルの軸心と、第２のスピンドルの軸心とのなす角の大きさを、検出された第１及び第２のダイシング予定ラインのなす角の大きさに一致させた状態で、第１及び第２のスピンドルを回転させながら、第１及び第２のスピンドルを被ダイシング物に対して相対的に移動させることにより、被ダイシング物を第１及び第２のダイシング予定ラインでダイシングする。このため、本発明によれば、歪みが生じた被ダイシング物も好適にダイシングすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１の実施形態に係るダイシング装置の略図的平面図である。
【図２】図１の線ＩＩ−ＩＩにおける略図的断面図である。
【図３】第１の実施形態における被ダイシング物のダイシング方法を説明するためのフローチャートである。
【図４】第１の実施形態におけるダイシング工程を説明するためのダイシング装置の要部の模式的平面図である。
【図５】第１の実施形態の変形例における被ダイシング物のダイシング方法を説明するためのフローチャートである。
【図６】第２の実施形態に係るダイシング装置の略図的平面図である。
【図７】第２の実施形態における被ダイシング物のダイシング方法を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を実施した好ましい形態について、図１及び図６に示すダイシング装置１，２を例に挙げて説明する。但し、ダイシング装置１，２は、単なる例示である。本発明に係るダイシング装置は、ダイシング装置１，２に何ら限定されない。また、本発明に係るダイシング方法は、下記の第１及び第２の実施形態において説明するダイシング方法に何ら限定されない。
【００２２】
（第１の実施形態）
（ダイシング装置１の構成）
図１は、第１の実施形態に係るダイシング装置の略図的平面図である。図２は、図１の線ＩＩ−ＩＩにおける略図的断面図である。
【００２３】
図１に示すダイシング装置１は、被ダイシング物３０を複数のダイシング予定ラインに沿って切削することにより複数に分断するための装置である。被ダイシング物３０の種類は、特に限定されない。本実施形態のダイシング装置１は、どのような種類の被ダイシング物３０のダイシングも行うことができる。ダイシング装置１は、例えば、セラミック基板や、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）基板、ＱＦＮ（Ｑｕａｄ  Ｆｌａｔ  Ｎｏｎ−ｌｅａｄｅｄ）基板などの基板のダイシングに用いることができる。
【００２４】
また、本実施形態のダイシング装置１は、以下に説明するように、歪みが生じた被ダイシング物３０のダイシングにも好適に用いることができる。具体的には、ダイシング装置１は、焼成歪みが生じたセラミック基板や、樹脂封止時に配線基板に歪みが生じたＣＳＰ基板、ＱＦＮ基板などのダイシングに特に好適に用いることができる。但し、本実施形態のダイシング装置１は、歪みが生じた被ダイシング物３０のダイシングのみならず、歪みが生じていない被ダイシング物３０のダイシングにも好適に用いることができる。
【００２５】
図１に示すように、ダイシング装置１は、円板状の第１のダイシングブレード１３と、第２のダイシングブレード１５とを備えている。第１及び第２のダイシングブレード１３，１５のそれぞれは、ｚ方向と平行に設けられている。第１及び第２のダイシングブレード１３，１５のそれぞれは、ｙ方向と平行な軸心を中心として回転可能である。なお、第１及び第２のダイシングブレード１３，１５の種類は、ダイシングしようとする被ダイシング物３０の種類に応じて適宜選択することができる。
【００２６】
本実施形態において、第１及び第２のダイシングブレード１３，１５のそれぞれは、ダイシング装置１の停止時において、ｘ方向に沿って配置されている。第１及び第２のダイシングブレード１３，１５は、ｙ方向に対向している。本実施形態のダイシング装置１は、この第１及び第２のダイシングブレード１３，１５を用いて、被ダイシング物３０のダイシングを同時に行う。
【００２７】
第１のダイシングブレード１３は、第１のスピンドル１２に装着されている。一方、第２のダイシングブレード１５は、第２のスピンドル１４に装着されている。第１及び第２のスピンドル１２，１４のそれぞれは、ダイシング装置１の停止時において、ｙ方向に沿って延びるように設けられている。第１及び第２のスピンドル１２，１４は、ｙ方向において対向している。
【００２８】
第１及び第２のスピンドル１２，１４のそれぞれは、第１及び第２の支持機構１７，１８により支持されている。第１及び第２の支持機構１７，１８は、第１及び第２のスピンドル１２，１４を、支持する機能と共に、第１及び第２のスピンドル１２，１４を旋回させる機能、ｙ方向及びｚ方向のそれぞれに変位させる機能を有する。また、第２の支持機構１８は、第２のスピンドル１４を、ｘ−ｙ平面上において、中心軸Ａ２を中心に旋回させる機能を有する。但し、本実施形態においては、第１の支持機構１７は、第１のスピンドル１２を、ｘ−ｙ平面上において旋回させる機能を有していない。このため、第１及び第２のスピンドル１２，１４は、第１及び第２の支持機構１７，１８によって、ｙ方向及びｚ方向のそれぞれに変位可能である。また、第２のスピンドル１４は、中心軸Ａ２を中心として、ｘ−ｙ平面上において旋回可能である。
【００２９】
ダイシング装置１には、被ダイシング物３０が載置されるテーブル１１が設けられている。テーブル１１は、ステージ１０によって、ｚ方向と平行な中心軸を中心に回転可能に支持されている。ステージ１０は、移動機構２５によってｘ方向に変位可能に支持されている。
【００３０】
また、ステージ１０は、ｘ−ｙ平面上において、ｚ方向と平行な中心軸を中心にテーブル１１を回転させる機能を有する。また、移動機構２５は、ステージ１０をｘ方向の両方向に変位させる機能を有する。このため、ステージ１０に支持されているテーブル１１は、ｘ方向に変位可能であると共に、ｚ方向に沿って延びる中心軸を中心として回転可能である。なお、本実施形態において、この移動機構２５は、後述する制御機構２０の一部を構成している。
【００３１】
ダイシング装置１は、検出機構１６を備えている。検出機構１６は、テーブル１１の上に載置された被ダイシング物３０の複数のダイシング予定ラインＬを検出する。ここで、「ダイシング予定ライン」とは、被ダイシング物３０の、ダイシング装置１によってダイシングしようとしている部分のことである。通常、「ダイシング予定ライン」は、直線状となる。
【００３２】
検出機構１６は、ダイシング予定ラインＬを検出可能なものである限りにおいて特に限定されない。本実施形態では、検出機構１６は、被ダイシング物３０を画像認識することによりダイシング予定ラインＬを検出するものである。検出機構１６は、テーブル１１上に載置された被ダイシング物３０を撮像する撮像機構１６ａと、撮像機構１６ａにより撮像された画像を認識する画像認識機構１６ｂとを備えている。撮像機構１６ａは、例えば、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）やＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ−Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ｄｅｖｉｃｅ）などの撮像素子を備えるカメラにより構成することができる。画像認識機構１６ｂは、例えば、ＣＰＵなどの演算機構と、演算機構に接続されたメモリなどにより構成することができる。
【００３３】
なお、本実施形態では、図２に示すように、検出機構１６は、第１の支持機構１７により支持されている。但し、検出機構１６の支持態様は、この構成に限定されない。
【００３４】
上記検出機構１６や、ステージ１０、第１及び第２の支持機構１７，１８は、制御機構２０に接続されている。制御機構２０は、上記移動機構２５と、制御装置２１とを備えている。制御装置２１は、移動機構２５、ステージ１０、検出機構１６及び第１及び第２の支持機構１７，１８に接続されている。制御装置２１は、移動機構２５、ステージ１０、検出機構１６及び第１及び第２の支持機構１７，１８の駆動を制御する。具体的には、制御装置２１は、移動機構２５に、ステージ１０をｘ方向に変位させる。制御装置２１は、ステージ１０に、テーブル１１を回転させる。制御装置２１は、検出機構１６にダイシング予定ラインＬを検出させ、検出結果を制御装置２１に出力させる。制御装置２１は、第１及び第２の支持機構１７，１８に、第１及び第２のダイシングブレード１３，１５の回転、第１及び第２のスピンドル１２，１４のｙ、ｚ方向の変位、第２のスピンドル１４の旋回を行わせる。
【００３５】
（ダイシング装置１の動作及び被ダイシング物３０のダイシング方法）
図３は、第１の実施形態における被ダイシング物のダイシング方法を説明するためのフローチャートである。図４は、第１の実施形態におけるダイシング工程を説明するためのダイシング装置の要部の模式的平面図である。
【００３６】
次に、本実施形態におけるダイシング装置１の動作及び被ダイシング物３０のダイシング方法について、図１〜図４を参照しながら詳細に説明する。
【００３７】
なお、アイドリング状態にあるダイシング装置１においては、テーブル１１は、撮像機構１６ａの下方に位置している。このため、第１及び第２のダイシングブレード１３，１５は、テーブル１１よりもｘ方向のｘ１側に位置している。第１及び第２のスピンドル１２，１４は、軸心Ｃ１，Ｃ２がｙ方向と平行になるように設けられている。
【００３８】
まず、図３に示すように、ステップＳ１において、被ダイシング物３０をテーブル１１上に載置する。この被ダイシング物３０の載置は、例えば、作業者が手作業で行ってもよいし、載置装置を用いて自動的に行うようにしてもよい。
【００３９】
次に、ステップＳ２において、被ダイシング物３０の複数のダイシング予定ラインＬの検出を行う。具体的には、制御装置２１は、検出機構１６にテーブル１１に載置された被ダイシング物３０の複数のダイシング予定ラインＬを検出させると共に、検出した複数のダイシング予定ラインＬを制御装置２１に出力させる。この複数のダイシング予定ラインＬには、後に行われる第１及び第２のダイシングブレード１３，１５によりダイシングされる第１及び第２のダイシング予定ラインＬ１，Ｌ２が含まれる。なお、複数のダイシング予定ラインＬとして、第１及び第２のダイシング予定ラインＬ１，Ｌ２のみを検出するようにしてもよい。
【００４０】
ダイシング予定ラインＬの検出方法は、特に限定されない。例えば、被ダイシング物３０が矩形状である場合は、被ダイシング物３０の対向する２辺を画像認識することにより、ダイシング予定ラインＬの検出を行うことができる。また、例えば、被ダイシング物３０に予め形成しておいたアライメントパターンを画像認識することにより、ダイシング予定ラインＬの検出を行うことができる。アライメントパターンは、例えばドット状に形成されていてもよいし、ライン状に形成されていてもよい。
【００４１】
次に、ステップＳ３において、第１のダイシング予定ラインＬ１と第２のダイシング予定ラインＬ２とのなす角の大きさ（角度θ）を検出する。具体的には、ステップＳ３において、制御装置２１は、入力された第１及び第２のダイシング予定ラインＬ１、Ｌ２の情報から、角度θを算出する。
【００４２】
次に、ステップＳ４において、テーブル１１の回転を行う。具体的には、ステップＳ４において、図１に示すように、制御装置２１は、ステージ１０に、ダイシングを開始する前に、ｘ方向に平行に配置された第１のダイシングブレード１３が第１のダイシング予定ラインＬ１上に位置するようにテーブル１１を回転させる。なお、ステップＳ４においては、制御装置２１は、テーブル１１の回転と共に、必要に応じて、第１の支持機構１７に、第１のダイシングブレード１３をｙ方向に変位させる。
【００４３】
次に、ステップＳ５において、第２のスピンドル１４の旋回を行う。具体的には、ステップＳ５において、制御装置２１は、第２の支持機構１８に、第１のスピンドル１２の軸心Ｃ１と、第２のスピンドル１４の軸心Ｃ２とのなす角の大きさが、上記算出の角度θとなるように、第２のスピンドル１４を、旋回中心軸Ａ２を中心に旋回させる。これにより、第２のダイシングブレード１５を第２のダイシング予定ラインＬ２上に位置させる。なお、制御装置２１は、必要に応じて、第２の支持機構１８に、第２のダイシングブレード１５をｙ方向に変位させる。
【００４４】
このように、本実施形態では、ステップＳ４及びステップＳ５において、テーブル１１を回転させると共に、第２のスピンドル１４を旋回させることにより、ダイシングの開始前に、第１及び第２のダイシングブレード１３，１５を第１及び第２のダイシング予定ラインＬ１、Ｌ２上に位置させる。
【００４５】
次に、図３に示すステップＳ６において、ダイシングを行う。具体的には、制御装置２１は、まず、第１及び第２の支持機構１７，１８に、第１及び第２のダイシングブレード１３，１５を、被ダイシング物３０のダイシングが行える位置まで、ｚ方向に降下させると共に、回転状態とする。そして、制御装置２１は、第１及び第２の支持機構１７，１８に、第１のスピンドル１２の軸心Ｃ１と、第２のスピンドル１４の軸心Ｃ２とのなす角の大きさを角度θに一致させた状態で、第１及び第２のスピンドル１２，１４を回転させながら、第１及び第２のスピンドル１２，１４をテーブル１１に対して相対的に移動させることにより、被ダイシング物３０を第１及び第２のダイシング予定ラインＬ１、Ｌ２でダイシングする。詳細には、本実施形態では、制御装置２１は、第２の支持機構１８に、第２のスピンドル１４をｙ方向に適宜移動させながら、移動機構２５に、ステージ１０をｘ方向に移動させることにより、第１及び第２のスピンドル１２，１４をテーブル１１に対して相対的に移動させる。
【００４６】
このステップＳ６においては、制御装置２１は、角度θに応じて、第２のスピンドル１４のｙ方向の移動と、ステージ１０のｘ方向の移動とを同期させて行う。詳細には、図４にも示すように、制御装置２１は、テーブル１１が第１及び第２のダイシングブレード１３，１５に対してｘ方向に相対的に移動するように、移動機構２５を制御すると共に、第２のダイシングブレード１５がテーブル１１に対してｙ方向のｙ２側に相対的に移動するように第２の支持機構１８を制御しながらダイシングを行わせる。制御装置２１は、ダイシングの際に、テーブル１１及び第２のダイシングブレード１５を、Ｖ２＝Ｖ１・ｔａｎθとなるように相対的に移動させる（Ｖ１：ダイシングの際のテーブル１１の第１及び第２のダイシングブレード１３，１５に対するｘ方向における相対移動速度、Ｖ２：ダイシングの際の第２のダイシングブレード１５のテーブルに対するｙ方向における相対移動速度）。従って、この構成では、第１及び第２のダイシングブレード１３，１５や被ダイシング物３０にかかる負荷を低減することができる。
【００４７】
図３に示すように、ステップＳ６に続いて、ステップＳ７が行われる。ステップＳ７では、制御装置２１が、全てのダイシング予定ラインＬをダイシングしたか否かを判断する。制御装置２１が、全てのダイシング予定ラインＬをダイシングしたと判断した場合は、終了する。制御装置２１が、全てのダイシング予定ラインＬをダイシングしていないと判断した場合は、再びステップＳ３が行われる。
【００４８】
なお、本実施形態では、ステップＳ２において、すべてのダイシング予定ラインＬを検出する例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、図５に示すように、ステップＳ２において、ステップＳ６において一度にダイシングする第１及び第２のダイシング予定ラインＬ１、Ｌ２のみを検出するようにしてもよい。その場合は、ステップＳ７において、全てのダイシング予定ラインＬのダイシングが完了していないと判断された場合は、ステップＳ２に戻り、次にダイシングする第１及び第２のダイシング予定ラインＬ１、Ｌ２が検出される。
【００４９】
以上説明したように、本実施形態では、第１のスピンドル１２の軸心Ｃ１と、第２のスピンドル１４の軸心Ｃ２とのなす角の大きさを、検出された第１及び第２のダイシング予定ラインＬ１，Ｌ２のなす角の大きさθに一致させた状態でダイシングを行う。このため、本実施形態のダイシング装置１は、２つのダイシングブレード１３，１５により、歪みが生じた被ダイシング物３０も高効率にダイシングしていくことができる。従って、ダイシング装置１を用いることにより、電子部品を高い生産性で生産することができる。
【００５０】
また、本実施形態では、ダイシングを開始する前に、第１及び第２のダイシングブレード１３，１５が第１及び第２のダイシング予定ラインＬ１，Ｌ２上に位置するようにテーブル１１を回転する。このため、被ダイシング物３０を任意の角度でテーブル１１上に配置した場合であっても、好適にダイシングを行うことができる。従って、被ダイシング物３０のダイシングが容易となる。
【００５１】
また、本実施形態では、第１のスピンドル１２を旋回させず、第２のスピンドル１４のみを旋回させる。このため、第１の支持機構１７に第１のスピンドル１２を旋回させる機能を付与する必要がない。従って、ダイシング装置１の構成を簡略化することができる。
【００５２】
以下、本発明を実施した好ましい形態の他の例について説明する。なお、以下の説明において、上記第１の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。
【００５３】
（第２の実施形態）
図６は、第２の実施形態に係るダイシング装置の略図的平面図である。
【００５４】
図６に示す本実施形態のダイシング装置２は、第１の支持機構１７が第１のスピンドル１２を中心軸Ａ１を中心に旋回可能とされている以外は、上記第１の実施形態のダイシング装置１と実質的に同様の構成を有する。
【００５５】
図７は、第２の実施形態における被ダイシング物のダイシング方法を説明するためのフローチャートである。図７に示すように、本実施形態においても、上記第１の実施形態と同様に、ステップＳ１〜ステップＳ４が行われる。但し、本実施形態では、ステップＳ４において、制御装置２１は、ステージ１０に、第１及び第２の支持機構１７，１８に、ｙ方向に対する第１のダイシング予定ラインＬ１の角度と、ｙ方向に対する第２のダイシング予定ラインＬ２の角度とが等しくなるようにテーブル１１を回転させる。
【００５６】
本実施形態では、ステップＳ４の次に、ステップＳ１５が行われる。ステップＳ１５では、第１及び第２のスピンドル１２，１４の旋回を行う。具体的には、ステップＳ１５において、制御装置２１は、第１のスピンドル１２の軸心Ｃ１と、第２のスピンドル１４の軸心Ｃ２とのなす角の大きさが、検出された第１及び第２のダイシング予定ラインＬ１，Ｌ２のなす角の大きさθと一致し、かつ、ｙ方向と第１のスピンドル１２の軸心Ｃ１とのなす角の大きさと、ｙ方向と第２のスピンドル１４の軸心Ｃ２とのなす角の大きさとが等しくなるように、第１及び第２のスピンドル１２，１４の両方を旋回させる。また、制御装置２１は、必要に応じて、第１及び第２の支持機構１７，１８に、第１及び第２のダイシングブレード１３，１５をｙ方向に変位させる。これにより、第１及び第２のダイシングブレード１３，１５を第１及び第２のダイシング予定ラインＬ１，Ｌ２上に位置させる。従って、本実施形態では、ｙ方向と第１のスピンドル１２の軸心Ｃ１とのなす角の大きさと、ｙ方向と第２のスピンドル１４の軸心Ｃ２とのなす角の大きさとのそれぞれは、θ／２となる。このため、本実施形態においては、上記第１の実施形態の場合と比較して、第１及び第２のダイシングブレード１３，１５と被ダイシング物３０の第１及び第２のダイシングブレード１３，１５に対する移動方向（ｘ方向）とのなす角度が小さくなる。また、第１及び第２のダイシングブレード１３，１５や被ダイシング物３０にかかる負荷の大きさが等しくなる。このため、第１及び第２のダイシングブレード１３，１５や被ダイシング物３０にかかる負荷を小さくすることができる。
【００５７】
そして、ステップＳ１５が終了した後に、上記第１の実施形態において説明したステップＳ６，Ｓ７と同様に、ステップＳ６，Ｓ７を行う。なお、本実施形態では、ステップＳ６のダイシング工程において、制御装置２１は、移動機構２５に、第１及び第２のダイシングブレード１３，１５に対して、ステージ１０及びステージ１０に設けられたテーブル１１をｘ方向に相対的に移動させつつ、第１及び第２の支持機構１７，１８に、第１及び第２のダイシングブレード１３，１５のそれぞれを、テーブル１１に対してｙ方向に相対的に移動させながらダイシングを行わせる。ここで、本実施形態では、制御装置２１は、ダイシングの際に、テーブル１１並びに第１及び第２のダイシングブレード１３，１５を、Ｖ２＝Ｖ３＝Ｖ１・ｔａｎ（θ／２）となるように相対的に移動させる。このため、第１及び第２のダイシングブレード１３，１５や被ダイシング物３０にかかる負荷を低減することができる。但し、θは、第１のスピンドル１２の軸心Ｃ１と、第２のスピンドル１４の軸心Ｃ２とのなす角の大きさである。Ｖ１は、ダイシングの際のテーブル１１の第１及び第２のダイシングブレード１３，１５に対するｘ方向における相対移動速度である。Ｖ２は、ダイシングの際の第２のダイシングブレード１５のテーブル１１に対するｙ方向のｙ２側における相対移動速度である。Ｖ３は、ダイシングの際の第１のダイシングブレード１３のテーブル１１に対するｙ方向のｙ１側における相対移動速度である。
【符号の説明】
【００５８】
１，２…ダイシング装置
Ｌ…ダイシング予定ライン
Ｌ１…第１のダイシング予定ライン
Ｌ２…第２のダイシング予定ライン
１０…ステージ
１１…テーブル
１２…第１のスピンドル
１３…第１のダイシングブレード
１４…第２のスピンドル
１５…第２のダイシングブレード
１６…検出機構
１６ａ…撮像機構
１６ｂ…画像認識機構
１７…第１の支持機構
１８…第２の支持機構
２０…制御機構
２１…制御装置
２５…移動機構
３０…被ダイシング物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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