(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＦＯＵＰに収容された基板を処理する基板処理システムにおいて、
ＦＯＵＰを搬入して、レシピに応じたスケジュールにしたがって基板に対する処理を行う複数台の基板処理装置と、
処理対象のＦＯＵＰに対する搬送指示を行うホストコンピュータと、
前記複数台の基板処理装置の上流側に配置された装置前バッファと、
前記ホストコンピュータの指示に基づいて、前記装置前バッファへＦＯＵＰを搬送するとともに、及び前記装置前バッファから前記複数台の基板処理装置へＦＯＵＰを搬送する搬送系と、
を備え、
前記装置前バッファは、前記ホストコンピュータの指示で前記搬送系から受け取ったＦＯＵＰについて、前記装置前バッファの内部にＦＯＵＰが無い状態でＦＯＵＰを受け取った場合には、前記複数台の基板処理装置に対して処理をシミュレーションさせ、前記いずれの基板処理装置で処理するのが最適かを表す最適装置を選択し、前記シミュレーションの後に前記装置前バッファの内部にそのＦＯＵＰが存在する状態で次のＦＯＵＰを受け取った場合には、前記複数台の基板処理装置に対して前記装置前バッファの内部の複数個のＦＯＵＰに対する処理を再びシミュレーションさせ、前記複数個のＦＯＵＰをどのような順序で、どの基板処理装置で処理するのが最適かを表す最適順序装置を選択し、前記選択された最適装置または最適順序装置に対して、前記搬送系によって搬送される前記装置前バッファ内のＦＯＵＰの処理を指示する
ことを特徴とする基板処理システム。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理システムにおいて、
前記装置前バッファは、前記複数台の基板処理装置で各ＦＯＵＰを処理する場合のスケジュールをシミュレーションさせ、各シミュレーション結果に基づき、各ＦＯＵＰを処理するのに最も早い終了予定時刻の基板処理装置によって前記最適装置を判断する
ことを特徴とする基板処理システム。
【請求項３】
請求項１に記載の基板処理システムにおいて、
前記装置前バッファは、前記複数台の基板処理装置ごとに各ＦＯＵＰを処理するにあたり、各ＦＯＵＰの投入順序を変えつつスケジュールをシミュレーションさせ、各シミュレーション結果に基づき、全ＦＯＵＰを処理するのに最も早い終了予定時刻の投入順序及び基板処理装置によって前記最適順序装置を判断する
ことを特徴とする基板処理システム。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、
前記装置前バッファは、前記搬送系から次なるＦＯＵＰを受け取って前記シミュレーションを行わせる際に、既に受け取ってシミュレーションが完了している当該ＦＯＵＰについては、当該ＦＯＵＰのシミュレーションを再び実行するのに要するシミュレーション時間と、当該ＦＯＵＰを先のシミュレーション結果に基づき搬送開始するまでの残り時間とを比較して、シミュレーション時間の方が長い場合には、当該ＦＯＵＰを再シミュレーションの対象外とする
ことを特徴とする基板処理システム。
【請求項５】
ＦＯＵＰに収容された基板を処理する基板処理システムの制御方法において、
ＦＯＵＰを搬入して、レシピに応じたスケジュールにしたがって基板に対する処理を行う複数台の基板処理装置と、
処理対象のＦＯＵＰに対する搬送指示を行うホストコンピュータと、
前記複数台の基板処理装置の上流側に配置された装置前バッファと、
前記ホストコンピュータの指示に基づいて、前記装置前バッファへＦＯＵＰを搬送するとともに、及び前記装置前バッファから前記複数台の基板処理装置へＦＯＵＰを搬送する搬送系と、
を備え、
前記装置前バッファが、前記ホストコンピュータの指示で前記搬送系から受け取ったＦＯＵＰについて、前記装置前バッファの内部にＦＯＵＰが無い状態でＦＯＵＰを受け取った場合には、前記複数台の基板処理装置に対して処理をシミュレーションさせ、前記いずれの基板処理装置で処理するのが最適かを表す最適装置を選択する過程と、
前記装置前バッファが、前記シミュレーションの後に前記装置前バッファの内部にそのＦＯＵＰが存在する状態で次のＦＯＵＰを受け取った場合には、前記複数台の基板処理装置に対して前記装置前バッファの内部の複数個のＦＯＵＰに対する処理を再びシミュレーションさせ、前記複数個のＦＯＵＰをどのような順序で、どの基板処理装置で処理するのが最適かを表す最適順序装置を選択する過程と、
前記選択された最適装置または最適順序装置に対して、前記搬送系によって搬送される前記装置前バッファ内のＦＯＵＰの処理を指示する過程と、
を備えていることを特徴とする基板処理システムの制御方法。
【請求項６】
請求項５に記載の基板処理システムの制御方法において、
前記最適装置を求める過程は、前記装置前バッファが、前記複数台の基板処理装置で各ＦＯＵＰを処理する場合のスケジュールをシミュレーションさせ、各シミュレーション結果に基づき、各ＦＯＵＰを処理するのに最も早い終了予定時刻の基板処理装置によって前記最適装置とする
ことを特徴とする基板処理システムの制御方法。
【請求項７】
請求項５に記載の基板処理システムの制御方法において、
前記最適順序装置を求める過程は、前記装置前バッファが、前記複数台の基板処理装置ごとに各ＦＯＵＰを処理するにあたり、各ＦＯＵＰの投入順序を変えつつスケジュールをシミュレーションさせ、各シミュレーション結果に基づき、全ＦＯＵＰを処理するのに最も早い終了予定時刻の投入順序及び基板処理装置によって前記最適順序装置とする
ことを特徴とする基板処理システムの制御方法。
【請求項８】
請求項５から７のいずれかに記載の基板処理システムの制御方法において、
前記シミュレーションさせる過程は、前記装置前バッファが、前記搬送系から次なるＦＯＵＰを受け取って前記シミュレーションを行わせる際に、既に受け取ってシミュレーションが完了している当該ＦＯＵＰについては、当該ＦＯＵＰのシミュレーションを再び実行するのに要するシミュレーション時間と、当該ＦＯＵＰを先のシミュレーション結果に基づき搬送開始するまでの残り時間とを比較して、シミュレーション時間の方が長い場合には、当該ＦＯＵＰを再シミュレーションの対象外とする
ことを特徴とする基板処理システムの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）等の基板に対して所定の処理を行う基板処理装置と、基板処理装置への処理指示を行うホストコンピュータと、基板処理装置への搬送を行う搬送系とを備えた基板処理システム及びその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の基板処理システムとして、複数台の基板処理装置と、各基板処理装置間で、基板が収容されたＦＯＵＰ（ロット）を搬送する搬送台車を備えた搬送系と、複数台の基板処理装置と搬送系に対して指示を行うホストコンピュータとを備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このように構成された基板処理システムは、ホストコンピュータが生産計画にしたがって、各基板処理装置に対してＦＯＵＰを搬送させる。その後、ロットが投入された基板処理装置は、処理終了概算時刻を算出し、各処理終了概算時刻をホストコンピュータに送信する。ホストコンピュータは、各基板処理装置の処理終了概算時刻に基づき、基板処理装置から搬出されるＦＯＵＰを搬送する搬送台車の効率的な搬送経路を決定する。これにより、搬送台車を効率的に利用してリードタイムを向上できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−３１０４６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の基板処理システムは、ロットが基板処理装置に投入された後、換言するとロットが基板処理装置から搬出される際の搬送について考慮している。その一方で、ホストコンピュータから指示された搬送系がＦＯＵＰを各基板処理装置に搬送する際の、基板処理装置側の状況については考慮されていない。ホストコンピュータは、複数台ある基板処理装置のいずれでどのロットを処理するかについて、予め指示を行うが、ロットの投入時における基板処理装置の状況については判断を行っていない。したがって、指定されている装置よりも他の装置で処理を行った方が早く処理を終えることがあるにも係わらず、そのままロットの搬送が行われるので、生産性を高めるには限界がある。
【０００６】
また、状況によっては、複数のロットを同一の基板処理装置で順次に処理することがあるが、特定のロットにおいては処理の前に基板処理装置側の段取りが実施される。ここでいう段取りとは、例えば、特定のロットを処理する前には処理槽内の処理液を必ず新液に交換することなどである。そのため、段取りが不要のロットから投入すれば複数のロットを早く処理できる場合であっても、ホストコンピュータから指示された順でロットを投入してゆくことで、基板処理装置においてロットに待機時間が生じることがある。その結果、生産性が低下することがあるという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、状況に応じたロット投入を行うことにより、生産性の低下を防止できる基板処理システム及びその制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、ＦＯＵＰに収容された基板を処理する基板処理システムにおいて、ＦＯＵＰを搬入して、レシピに応じたスケジュールにしたがって基板に対する処理を行う複数台の基板処理装置と、処理対象のＦＯＵＰに対する搬送指示を行うホストコンピュータと、前記複数台の基板処理装置の上流側に配置された装置前バッファと、前記ホストコンピュータの指示に基づいて、前記装置前バッファへＦＯＵＰを搬送するとともに、及び前記装置前バッファから前記複数台の基板処理装置へＦＯＵＰを搬送する搬送系と、を備え、前記装置前バッファは、前記ホストコンピュータの指示で前記搬送系から受け取ったＦＯＵＰについて、前記装置前バッファの内部にＦＯＵＰが無い状態でＦＯＵＰを受け取った場合には、前記複数台の基板処理装置に対して処理をシミュレーションさせ、前記いずれの基板処理装置で処理するのが最適かを表す最適装置を選択し、前記シミュレーションの後に前記装置前バッファの内部にそのＦＯＵＰが存在する状態で次のＦＯＵＰを受け取った場合には、前記複数台の基板処理装置に対して前記装置前バッファの内部の複数個のＦＯＵＰに対する処理を再びシミュレーションさせ、前記複数個のＦＯＵＰをどのような順序で、どの基板処理装置で処理するのが最適かを表す最適順序装置を選択し、前記選択された最適装置または最適順序装置に対して、前記搬送系によって搬送される前記装置前バッファ内のＦＯＵＰの処理を指示することを特徴とするものである。
【０００９】
［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、装置前バッファは、ホストコンピュータの指示で搬送系からＦＯＵＰを受け取った後、装置前バッファの内部にＦＯＵＰが無い状態でＦＯＵＰを受け取った場合には、複数台の基板処理装置に対して処理をシミュレーションさせ、受け取ったＦＯＵＰをどの基板処理装置で処理するのが最適かを表す最適装置を選択し、装置前バッファの内部にそのＦＯＵＰが存在する状態で次のＦＯＵＰを受け取った場合には、複数台の基板処理装置に対して装置前バッファの内部の複数個のＦＯＵＰに対する処理を再びシミュレーションさせ、複数個のＦＯＵＰをどのような順序で、どの基板処理装置で処理するのが最適かを表す最適順序装置を選択し、選択された最適装置または最適順序装置に対して、搬送系によって搬送される装置前バッファ内のＦＯＵＰの処理を指示する。その結果、基板処理装置の状況を考慮でき、生産性を高めることができる。
【００１０】
また、本発明において、前記装置前バッファは、前記複数台の基板処理装置で各ＦＯＵＰを処理する場合のスケジュールをシミュレーションさせ、各シミュレーション結果に基づき、各ＦＯＵＰを処理するのに最も早い終了予定時刻の基板処理装置によって前記最適装置を判断することが好ましい（請求項２）。装置前バッファは、複数台の基板処理装置で各ＦＯＵＰを処理する場合のスケジュールをシミュレーションさせ、各シミュレーション結果に基づき、各ＦＯＵＰを処理するのに最も早い終了予定時刻となる基板処理装置で最適装置を判断する。したがって、最適装置にＦＯＵＰを搬送することにより、最も早くＦＯＵＰの処理を終えることができ、生産性を向上できる。
【００１１】
また、本発明において、前記装置前バッファは、前記複数台の基板処理装置ごとに各ＦＯＵＰを処理するにあたり、各ＦＯＵＰの投入順序を変えつつスケジュールをシミュレーションさせ、各シミュレーション結果に基づき、全ＦＯＵＰを処理するのに最も早い終了予定時刻の投入順序及び基板処理装置によって前記最適順序装置を判断することが好ましい（請求項３）。装置前バッファは、各ＦＯＵＰの投入順序を変えつつスケジュールをシミュレーションさせ、各シミュレーション結果に基づき、全ＦＯＵＰを処理するのに最も早い終了予定時刻の投入順序及び基板処理装置を判断する。したがって、最適順序装置に最適な投入順序でＦＯＵＰを搬送することにより、最も早く全てのＦＯＵＰの処理を終えることができ、生産性を向上できる。
【００１２】
また、本発明において、前記装置前バッファは、前記搬送系から次なるＦＯＵＰを受け取って前記シミュレーションを行わせる際に、既に受け取ってシミュレーションが完了している当該ＦＯＵＰについては、当該ＦＯＵＰのシミュレーションを再び実行するのに要するシミュレーション時間と、当該ＦＯＵＰを先のシミュレーション結果に基づき搬送開始するまでの残り時間とを比較して、シミュレーション時間の方が長い場合には、当該ＦＯＵＰを再シミュレーションの対象外とすることが好ましい（請求項４）。搬送系からＦＯＵＰが装置前バッファに搬送されてきた際に、既にシミュレーションを終えていたＦＯＵＰについて再びシミュレーションを行うのが好ましい。しかし、シミュレーションには数秒から数十秒の時間を要するので、シミュレーションに要するシミュレーション時間が、先のシミュレーション結果によりＦＯＵＰを搬送開始するまでの時間よりも長い場合には、シミュレーションの対象外とする。これにより、先のシミュレーションが無駄になるのを防止するとともに、先に受け取ったＦＯＵＰの搬送が遅れるのを防止できる。
【００１３】
また、請求項５に記載の発明は、ＦＯＵＰに収容された基板を処理する基板処理システムの制御方法において、ＦＯＵＰを搬入して、レシピに応じたスケジュールにしたがって基板に対する処理を行う複数台の基板処理装置と、処理対象のＦＯＵＰに対する搬送指示を行うホストコンピュータと、前記複数台の基板処理装置の上流側に配置された装置前バッファと、前記ホストコンピュータの指示に基づいて、前記装置前バッファへＦＯＵＰを搬送するとともに、及び前記装置前バッファから前記複数台の基板処理装置へＦＯＵＰを搬送する搬送系と、を備え、前記装置前バッファが、前記ホストコンピュータの指示で前記搬送系から受け取ったＦＯＵＰについて、前記装置前バッファの内部にＦＯＵＰが無い状態でＦＯＵＰを受け取った場合には、前記複数台の基板処理装置に対して処理をシミュレーションさせ、前記いずれの基板処理装置で処理するのが最適かを表す最適装置を選択する過程と、前記装置前バッファが、前記シミュレーションの後に前記装置前バッファの内部にそのＦＯＵＰが存在する状態で次のＦＯＵＰを受け取った場合には、前記複数台の基板処理装置に対して前記装置前バッファの内部の複数個のＦＯＵＰに対する処理を再びシミュレーションさせ、前記複数個のＦＯＵＰをどのような順序で、どの基板処理装置で処理するのが最適かを表す最適順序装置を選択する過程と、前記選択された最適装置または最適順序装置に対して、前記搬送系によって搬送される前記装置前バッファ内のＦＯＵＰの処理を指示する過程と、を備えていることを特徴とするものである。
【００１４】
［作用・効果］請求項５に記載の発明によれば、装置前バッファが、搬送系から受け取ったＦＯＵＰについて、装置前バッファの内部にＦＯＵＰが無い状態でＦＯＵＰを受け取った場合には、複数台の基板処理装置に対して処理をシミュレーションさせる。そして、受け取ったＦＯＵＰをどの基板処理装置で処理するのが最適かを表す最適装置を選択する。装置前バッファが、シミュレーションの後に装置前バッファの内部にそのＦＯＵＰが存在する状態で次のＦＯＵＰを受け取った場合には、複数台の基板処理装置に対して装置前バッファの内部の複数個のＦＯＵＰに対する処理を再びシミュレーションさせ、複数個のＦＯＵＰをどのような順序で、どの基板処理装置で処理するのが最適かを表す最適順序装置を選択する。そして、選択された最適装置または最適順序装置に対して、搬送系によって搬送される装置前バッファ内のＦＯＵＰの処理を指示するので、基板処理装置の状況を考慮でき、生産性を高めることができる。
【００１５】
また、本発明において、前記最適装置を求める過程は、前記装置前バッファが、前記複数台の基板処理装置で各ＦＯＵＰを処理する場合のスケジュールをシミュレーションさせ、各シミュレーション結果に基づき、各ＦＯＵＰを処理するのに最も早い終了予定時刻の基板処理装置によって前記最適装置とすることが好ましい（請求項６）。
【００１６】
また、本発明において、前記最適順序装置を求める過程は、前記装置前バッファが、前記複数台の基板処理装置ごとに各ＦＯＵＰを処理するにあたり、各ＦＯＵＰの投入順序を変えつつスケジュールをシミュレーションさせ、各シミュレーション結果に基づき、全ＦＯＵＰを処理するのに最も早い終了予定時刻の投入順序及び基板処理装置によって前記最適順序装置とすることが好ましい（請求項７）。
【００１７】
また、本発明において、前記シミュレーションさせる過程は、前記装置前バッファが、前記搬送系から次なるＦＯＵＰを受け取って前記シミュレーションを行わせる際に、既に受け取ってシミュレーションが完了している当該ＦＯＵＰについては、当該ＦＯＵＰのシミュレーションを再び実行するのに要するシミュレーション時間と、当該ＦＯＵＰを先のシミュレーション結果に基づき搬送開始するまでの残り時間とを比較して、シミュレーション時間の方が長い場合には、当該ＦＯＵＰを再シミュレーションの対象外とすることが好ましい（請求項８）。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る基板処理システムによれば、装置前バッファは、ホストコンピュータの指示で搬送系からＦＯＵＰを受け取った後、装置前バッファの内部にＦＯＵＰが無い状態でＦＯＵＰを受け取った場合には、複数台の基板処理装置に対して処理をシミュレーションさせ、受け取ったＦＯＵＰをどの基板処理装置で処理するのが最適かを表す最適装置を選択し、装置前バッファの内部にそのＦＯＵＰが存在する状態で次のＦＯＵＰを受け取った場合には、複数台の基板処理装置に対して装置前バッファの内部の複数個のＦＯＵＰに対する処理を再びシミュレーションさせ、複数個のＦＯＵＰをどのような順序で、どの基板処理装置で処理するのが最適かを表す最適順序装置を選択し、選択された最適装置または最適順序装置に対して、前記搬送系によって搬送される前記装置前バッファ内のＦＯＵＰの処理を指示する。その結果に基づき、装置前バッファは、装置前バッファ内のＦＯＵＰの処理を指示するので、基板処理装置の状況を考慮でき、生産性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施例に係る基板処理システムの概略構成を示すブロック図である。
【図２】装置前バッファの動作を示すフローチャートである。
【図３】処理の流れを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
図１は、実施例に係る基板処理システムの概略構成を示すブロック図である。
【００２１】
本実施例に係る基板処理システムは、例えば、三台の基板処理装置１（１Ａ，１Ｂ，１Ｃ）と、ホストコンピュータ３と、装置前バッファ５と、搬送系７とを備えている。
【００２２】
基板処理装置１（１Ａ，１Ｂ，１Ｃ）は、基板Ｗを処理する機能を備えている。基板Ｗは、ＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）９に収容された状態で搬送される。基板処理装置１は、ＦＯＵＰ９を搬入し、レシピに応じて予め作成されたスケジュールにしたがって基板Ｗに対する処理を行う。処理を終えた基板Ｗは、再びＦＯＵＰ９に収容されて搬出される。また、後述するように、装置前バッファ５からシミュレーション要求があった場合には、スケジュールを作成し、その終了予定時刻と開始予定時刻とを送信する。
【００２３】
ホストコンピュータ３は、製造実行システム（ＭＥＳ:Manufacturing Execution System）及び搬送制御システム（ＭＣＳ:Material Control System）を含む。このホストコンピュータ３は、処理対象のＦＯＵＰ９に対する搬送などの指示を搬送系７に対して行う。
【００２４】
装置前バッファ５は、基板処理装置１（１Ａ，１Ｂ，１Ｃ）の上流側に配置されている。この装置前バッファ５は、ホストコンピュータ３から指示を受け、搬送系７から搬送されたＦＯＵＰ９について、各基板処理装置１Ａ〜１Ｃへ基板Ｗの処理をシミュレーションさせる。このシミュレーションとは、基板処理装置１（１Ａ，１Ｂ，１Ｃ）におけるＦＯＵＰ９（処理上、ロットと称することもある）のスケジュールのことをいう。シミュレーションを要求された各基板処理装置１Ａ〜１Ｃは、指示されたＦＯＵＰ９とレシピに基づきスケジュールを作成する。また、指示された複数のＦＯＵＰ９の投入順序を変えつつスケジュールを作成する。そして、作成したスケジュールによる処理の開始予定時刻及び終了予定時刻を装置前バッファ５に対して送信する。
【００２５】
シミュレーション結果を受け取った装置前バッファ５は、その中で終了予定時刻が最も早い基板処理装置１（１Ａ〜１Ｃ）を、複数個のＦＯＵＰ９のうちのいずれかのＦＯＵＰ９の「最適装置」として選択する。また、複数個のＦＯＵＰ９を順次に処理する場合、どのような順序でどの装置に投入すれば最適かを示す「最適順序装置」として選択する。これらの最適装置及び最適順序装置は、いずれか一方だけを考慮して選択するのではなく、両方を考慮する。そして、その結果に基づき、搬送系７及び基板処理装置１（１Ａ〜１Ｃ）に対してシミュレーション結果の開始予定時刻までにＦＯＵＰ９を搬送することを知らせ、それまでに処理が開始できるように準備させる。
【００２６】
搬送系７は、ホストコンピュータ３の指示により、ＦＯＵＰ９を各部へ搬送する。搬送系７としては、例えば、ＡＧＶ（Automatic Guided Vehicle）、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）などのＡＭＨＳ（Automated Material Handling Systems）が挙げられる。
【００２７】
次に、図２及び図３を参照して、上述した装置前バッファ５の動作について説明する。なお、図２は、装置前バッファの動作を示すフローチャートであり、図３は、処理の流れを示す模式図である。
【００２８】
以下の説明では、３個のＦＯＵＰ９（９Ａ〜９Ｃ）が三台の基板処理装置１（１Ａ〜１Ｃ）を備えた基板処理システムで処理されるものとして説明する。
【００２９】
ステップＳ１
ホストコンピュータ３は、搬送系７を操作して、処理内容とともに各ＦＯＵＰ９（９Ａ〜９Ｃ）を装置前バッファ５に順次搬送させる。
【００３０】
ステップＳ２
装置前バッファ５は、内部にＦＯＵＰ９があるか否かで処理を分岐する。ここでは、ＦＯＵＰ９が存在しないものとして説明する。つまり、最初にＦＯＵＰ９を受け取った場合である。ここでは、ＦＯＵＰ９Ａを受け取った状態であるとする。
【００３１】
ステップＳ３
装置前バッファ５は、各基板処理装置１Ａ〜１Ｃに対してＦＯＵＰ９Ａを処理する場合のスケジュールをシミュレーションするように要求する。シミュレーションの組み合わせは以下のようになる。そして、各基板処理装置１Ａ〜１Ｃによるシミュレーション結果のうち、開始予定時刻及び終了予定時刻を受け取る。
【００３２】
装置              処理対象
基板処理装置１Ａ    ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ｂ    ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ｃ    ＦＯＵＰ９Ａ
【００３３】
ステップＳ４
装置前バッファ５は、各基板処理装置１Ａ〜１Ｃから受け取った各終了予定時刻を比較して、「最適装置」を決定する。つまり、終了予定時刻が最も早いものを最適装置として選択する。例えば、最適装置として基板処理装置１Ａが選択される。
【００３４】
ステップＳ５
装置前バッファ５は、最適装置の基板処理装置１Ａに対して、ＦＯＵＰ９Ａを処理するように指示を行う。但し、この指示は予約的な意味合いであって、ＦＯＵＰ９Ａは、搬送系７ですぐに搬送されるわけではなく、シミュレーションされたスケジュールの開始予定時刻の所定時間前になって搬送が実際に開始される。それまでは装置前バッファ５内にＦＯＵＰ９Ａは止め置かれる。
【００３５】
次に、ＦＯＵＰ９Ｂが装置前バッファ５に搬送されてきた場合について説明する。
【００３６】
ステップＳ１，Ｓ２
装置前バッファ５は、処理指示を受信（ステップＳ１）した後、ＦＯＵＰ９があるか否かを判断（ステップＳ２）して処理を分岐する。ここでは、既にＦＯＵＰ９Ａがあるので、ステップＳ６以降に分岐する。
【００３７】
ステップＳ６〜Ｓ８
装置前バッファ５は、既にシミュレーションを行ったＦＯＵＰ９Ａについて再びシミュレーションが可能か否かにより処理を分岐する。具体的には、ＦＯＵＰ９Ａのシミュレーション結果により、その処理の開始予定時刻に対して所定時間前には搬送系７による搬送が開始される。シミュレーションには数秒から数十秒の時間を要するので、その時間を考慮しないと、シミュレーションを行っている間に先のスケジュールによる実行が不可能となる。そこで、開始予定時刻までの残り時間と、シミュレーション時間とを比較して、シミュレーション時間の方が長い場合には、ステップＳ７へ分岐してＦＯＵＰ９Ａをシミュレーション対象から除外する。一方、残り時間の方がシミュレーション時間よりも長い場合には、先のシミュレーション（スケジュール）による処理は行わないので、ステップＳ５で送信した処理指示をキャンセルする。これにより、先のシミュレーションが無駄になるのを防止するとともに、先に受け取ったＦＯＵＰ９Ａの搬送が遅れる等の不都合が生じることを防止できる。
【００３８】
ステップＳ９
シミュレーション対象となっているＦＯＵＰ９について各基板処理装置１（１Ａ〜１Ｃ）についてシミュレーションを要求する。ここでは、ＦＯＵＰ９Ａ，９Ｂがともにシミュレーションされるものとする。これにより、各基板処理装置１（１Ａ〜１Ｃ）からシミュレーション結果（開始予定時刻、終了予定時刻）を受信する。
【００３９】
ステップＳ１０
上述したステップＳ４と同様に、終了予定時刻に基づき最適装置を選択する。但し、ここではＦＯＵＰ９が二個（ＦＯＵＰ９Ａ，９Ｂ）であるので、次のような順序を考慮した６通りの組み合わせと、各装置で１個のＦＯＵＰ９を処理する６通りの組み合わせでシミュレーションが行われる。したがって、どの装置でどの順序で処理するのが最も早いかを示す「最適順序装置」または「最適装置」が選択される。
【００４０】
装置            １番目処理    ２番目処理
基板処理装置１Ａ    ＦＯＵＰ９Ａ  ＦＯＵＰ９Ｂ
基板処理装置１Ａ    ＦＯＵＰ９Ｂ  ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ｂ    ＦＯＵＰ９Ａ  ＦＯＵＰ９Ｂ
基板処理装置１Ｂ    ＦＯＵＰ９Ｂ  ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ｃ    ＦＯＵＰ９Ａ  ＦＯＵＰ９Ｂ
基板処理装置１Ｃ    ＦＯＵＰ９Ｂ  ＦＯＵＰ９Ａ
【００４１】
装置              処理対象
基板処理装置１Ａ    ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ａ    ＦＯＵＰ９Ｂ
基板処理装置１Ｂ    ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ｂ    ＦＯＵＰ９Ｂ
基板処理装置１Ｃ    ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ｃ    ＦＯＵＰ９Ｂ
【００４２】
ステップＳ１１
装置前バッファ５は、最適順序装置または最適装置に基づき各部に処理を指示する。
【００４３】
次に、ＦＯＵＰ９Ｃが装置前バッファ５に搬送されてきた場合について説明する。但し、装置前バッファ５には、ＦＯＵＰ９Ａ，９Ｂがあるものとする。つまり、装置前バッファ５には、３個のＦＯＵＰ９Ａ〜９Ｃが存在する。
【００４４】
上述したステップＳ２からステップＳ１１を経て処理の指示がなされる。但し、シミュレーションは次の順序を考慮した１８通りの組み合わせと、９通りの組み合わせが実行される。この中から、「最適装置」または「最適順序装置」が選択される。
【００４５】
装置            １番目処理    ２番目処理    ３番目処理
基板処理装置１Ａ    ＦＯＵＰ９Ａ  ＦＯＵＰ９Ｂ  ＦＯＵＰ９Ｃ
基板処理装置１Ａ    ＦＯＵＰ９Ｂ  ＦＯＵＰ９Ｃ  ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ａ    ＦＯＵＰ９Ｃ  ＦＯＵＰ９Ａ  ＦＯＵＰ９Ｂ
基板処理装置１Ａ    ＦＯＵＰ９Ｃ  ＦＯＵＰ９Ｂ  ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ａ    ＦＯＵＰ９Ａ  ＦＯＵＰ９Ｃ  ＦＯＵＰ９Ｂ
基板処理装置１Ａ    ＦＯＵＰ９Ｂ  ＦＯＵＰ９Ａ  ＦＯＵＰ９Ｃ
基板処理装置１Ｂ    ＦＯＵＰ９Ａ  ＦＯＵＰ９Ｂ  ＦＯＵＰ９Ｃ
基板処理装置１Ｂ    ＦＯＵＰ９Ｂ  ＦＯＵＰ９Ｃ  ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ｂ    ＦＯＵＰ９Ｃ  ＦＯＵＰ９Ａ  ＦＯＵＰ９Ｂ
基板処理装置１Ｂ    ＦＯＵＰ９Ｃ  ＦＯＵＰ９Ｂ  ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ｂ    ＦＯＵＰ９Ａ  ＦＯＵＰ９Ｃ  ＦＯＵＰ９Ｂ
基板処理装置１Ｂ    ＦＯＵＰ９Ｂ  ＦＯＵＰ９Ａ  ＦＯＵＰ９Ｃ
基板処理装置１Ｃ    ＦＯＵＰ９Ａ  ＦＯＵＰ９Ｂ  ＦＯＵＰ９Ｃ
基板処理装置１Ｃ    ＦＯＵＰ９Ｂ  ＦＯＵＰ９Ｃ  ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ｃ    ＦＯＵＰ９Ｃ  ＦＯＵＰ９Ａ  ＦＯＵＰ９Ｂ
基板処理装置１Ｃ    ＦＯＵＰ９Ｃ  ＦＯＵＰ９Ｂ  ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ｃ    ＦＯＵＰ９Ａ  ＦＯＵＰ９Ｃ  ＦＯＵＰ９Ｂ
基板処理装置１Ｃ    ＦＯＵＰ９Ｂ  ＦＯＵＰ９Ａ  ＦＯＵＰ９Ｃ
【００４６】
装置              処理対象
基板処理装置１Ａ    ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ａ    ＦＯＵＰ９Ｂ
基板処理装置１Ａ    ＦＯＵＰ９Ｃ
基板処理装置１Ｂ    ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ｂ    ＦＯＵＰ９Ｂ
基板処理装置１Ｂ    ＦＯＵＰ９Ｃ
基板処理装置１Ｃ    ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ｃ    ＦＯＵＰ９Ｂ
基板処理装置１Ｃ    ＦＯＵＰ９Ｃ
【００４７】
装置前バッファ５は、上記の組み合わせの中から、終了予定時刻に基づいて最適な順序及び装置を選択し、各部に処理を指示する。
【００４８】
上述した処理の流れを装置間で示したのが、図３である。この図３から、装置前バッファ５が各基板処理装置１（１Ａ〜１Ｃ）の状況を判断してから処理を指示することがわかる。
【００４９】
上述したように、本実施例によると、装置前バッファ５は、ホストコンピュータ３の指示で搬送系７からＦＯＵＰ９を受け取った後、まず各基板処理装置１（１Ａ〜１Ｃ）に対して、受け取ったＦＯＵＰ９をどの基板処理装置１（１Ａ〜１Ｃ）で処理するのが最適かを表す「最適装置」、または複数個のＦＯＵＰ９をどのような順序で、どの基板処理装置１（１Ａ〜１Ｃ）で処理するのが最適かを表す「最適順序装置」のいずれか一方、または「最適装置」及び「最適順序装置」を求める。その結果に基づき、装置前バッファ５は、搬送系７に対してＦＯＵＰ９を搬送することを知らせ、ホストコンピュータ３がＦＯＵＰ９の搬送指示を行うので、基板処理装置１（１Ａ〜１Ｃ）の状況を考慮でき、生産性を高めることができる。
【００５０】
また、装置前バッファ５は、複数台の基板処理装置１（１Ａ〜１Ｃ）で各ＦＯＵＰ９を処理する場合のスケジュールをシミュレーションさせ、各シミュレーション結果に基づき、各ＦＯＵＰ９を処理するのに最も早い終了予定時刻となる基板処理装置１で最適装置を判断する。したがって、最適装置にＦＯＵＰ９を搬送することにより、最も早くＦＯＵＰの処理を終えることができ、生産性を向上できる。
【００５１】
さらに、装置前バッファ５は、各ＦＯＵＰ９の投入順序を変えつつスケジュールをシミュレーションさせ、各シミュレーション結果に基づき、全ＦＯＵＰ９を処理するのに最も早い終了予定時刻の投入順序及び基板処理装置１を判断する。したがって、最適順序装置に最適な投入順序でＦＯＵＰ９を搬送することにより、最も早く全てのＦＯＵＰ９の処理を終えることができ、生産性を向上できる。特に、最適順序装置では、ＦＯＵＰ９の処理順序を考慮するので、特定のＦＯＵＰ９を処理する前には処理槽内の処理液を必ず新液に交換する「段取り」が行われるような場合であっても生産効率を低下させずに済むので好適である。
【００５２】
なお、各基板処理装置１（１Ａ〜１Ｃ）が１個のＦＯＵＰ９だけを処理するようにホストコンピュータ３が指示を行う場合には、上述した最適装置だけを考慮すればよい。具体的には、３個のＦＯＵＰ９Ａ〜９Ｃの各々を三台の基板処理装置１Ａ〜１Ｃのいずれか一台だけで処理する場合には、次のような組み合わせの中から「最適装置」を選択すればよい。
【００５３】
装置              処理対象
基板処理装置１Ａ    ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ａ    ＦＯＵＰ９Ｂ
基板処理装置１Ａ    ＦＯＵＰ９Ｃ
基板処理装置１Ｂ    ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ｂ    ＦＯＵＰ９Ｂ
基板処理装置１Ｂ    ＦＯＵＰ９Ｃ
基板処理装置１Ｃ    ＦＯＵＰ９Ａ
基板処理装置１Ｃ    ＦＯＵＰ９Ｂ
基板処理装置１Ｃ    ＦＯＵＰ９Ｃ
【００５４】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施できる。
【００５５】
（１）上述した実施例では、図１に示した構成を備えた基板処理システムを例にとって説明したが、本発明は上述した機能を備えた装置前バッファ５を備えていれば、この構成に限定されるものではない。
【００５６】
（２）上述した実施例では、ステップＳ６で再シミュレーションの可否を判断して、シミュレーション対象外にする場合があるが、このような判断を行わずに、必ず再シミュレーションを実施する構成としてもよい。
【００５７】
（３）上述した実施例では、ＦＯＵＰ９が３個である場合（換言すると３ロット）の処理を例にとって説明したが、本発明は１個や２個の場合や、４個以上であっても適用することができる。
【符号の説明】
【００５８】
１  …  基板処理装置
１Ａ〜１Ｃ  …  基板処理装置
３  …  ホストコンピュータ
５  …  装置前バッファ
Ｗ  …  基板
７  …  搬送系
９  …  ＦＯＵＰ
９Ａ〜９Ｃ  …  ＦＯＵＰ
【図１】
0005448682.tif 000002
【図２】
0005448682.tif 000003
【図３】
0005448682.tif 000004