(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電電極と、この放電電極と電源とを接続する導体とを備え、前記放電電極による放電を被処理物の表面に照射して、前記被処理物の表面を改質する表面処理装置において、
前記放電電極を設けたケースが一端に接続され、排気部が他端に設けられたダクトを備え、
前記ケースは移動可能に設けられており、
前記ダクトは、前記ダクト内に内壁と離間して前記導体を配置し、前記導体が延びる方向に分割可能な構成を有し、伸縮自在に形成されている
ことを特徴とする表面処理装置。
【請求項２】
前記ダクトが円筒形状であることを特徴とする請求項１記載の表面処理装置。
【請求項３】
前記ケースの空気を前記排気部に送出させる送出手段を備えることを特徴とする請求項１又は２記載の表面処理装置。
【請求項４】
前記ダクトが伸縮可能な二重管であることを特徴とする請求項１〜３記載の表面処理装置。
【請求項５】
前記導体が伸縮可能であることを特徴とする請求項１〜４記載の表面処理装置。
【請求項６】
前記放電で発生したオゾンを処理するオゾン処理手段を備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の表面処理装置。
【請求項７】
前記オゾン処理手段を前記ダクトの前記排気部の下流側に設けたことを特徴とする請求項６記載の表面処理装置。
【請求項８】
前記放電電極はコロナ放電を発生し、前記放電電極が絶縁体により被覆されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の表面処理装置。
【請求項９】
前記ダクトは、少なくとも１つの絶縁取付部材を内部に備えており、前記絶縁取付部材によって前記導体を固定している
ことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の表面処理装置。
【請求項１０】
前記絶縁取付部材は、一端が前記ダクトの外部に固定され、他端が前記ダクト内部に配置されており、前記他端を前記ダクトの内壁から浮かせるように片持ち支持する構成を備えた
ことを特徴とする請求項９に記載の表面処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面処理装置に関し、例えば、放電により被処理物の表面処理を行う表面処理装置に適用して好適なものである。ここで、表面処理には、フィルム等への印刷時におけるぬれ性を向上させたり、シールへの粘着剤塗布時における付着性を向上させたりすることなどを含む。
【背景技術】
【０００２】
従来、コロナ放電や大気中プラズマ等の放電現象を用いてフィルム等の被処理物の表面を改質する表面処理装置が知られている。この種の表面処理装置は、電極ホルダで保持された長尺な放電電極とアースロールとの間でコロナ放電を発生させ、フィルム等の被処理物を放電電極と交差させるようにアースロール上を移送させ、被処理物の表面にコロナ放電を照射して改質させ得るようになされている。また、この表面処理装置は、前記放電電極の長手方向に沿って長い電極側レールに放電電極を保持して、この電極側レールがスライドユニットを介して電極ホルダに摺動自在に吊持されたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
そして、この表面処理装置は、コロナ放電を照射してフィルム等の被処理物の表面を改質し、印字処理時におけるぬれ性を向上させるとともに、印字の耐久性を向上させる。また、この表面処理装置は、シールに粘着剤を塗布する前にシール表面にコロナ放電を照射することで、当該シール表面を改質し、シールの付着性を向上させる。さらに、この表面処理装置では、フィルムを高速で走行させて表面処理する際に、フィルムが左右方向に横移動（蛇行）しても、当該フィルムの蛇行に応じて放電電極を追従させ、フィルムの所定位置に対しコロナ放電を確実に照射し得るようになされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２９２２７２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、このような表面処理装置では、放電電極に高圧電流を供給してコロナ放電やプラズマ放電を発生させる必要があり、この際、通常、放電電極に高圧電流を供給するために被覆ケーブル等の被覆導体が用いられるが、このような被覆導体を用いても感電の虞がある。また、このような表面処理装置では、コロナ放電やプラズマ放電を行うと放電電極からオゾンが発生するため、そのオゾンを処理する必要がある。
【０００６】
そして、このような表面処理装置では、高圧電流を取り扱っており、僅かな故障や不良箇所であっても、大きな被害となってしまうおそれがあるために、定期的なメンテナンスを行って安全性に留意する必要があるため、容易にメンテナンスが行え得ることが望まれている。
【０００７】
そこで、本発明は、このような状況を鑑みてなされたもので、高圧電流が流れる導体の絶縁と、発生したオゾンの処理とが行え得るとともに、容易にメンテナンスを行え得る表面処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
かかる課題を解決するため本発明において、請求項１記載の発明では、放電電極と、この放電電極と電源とを接続する導体とを備え、前記放電電極による放電を被処理物の表面に照射して、前記被処理物の表面を改質する表面処理装置において、前記放電電極を設けたケースが一端に接続され、排気部が他端に設けられたダクトを備え、前記ダクトは、前記ダクト内に内壁と離間して前記導体を配置し、前記導体が延びる方向に分割可能な構成を有することを特徴とする。
【０００９】
また、請求項２記載の発明では、前記ダクトが円筒形状であることを特徴とする。
【００１０】
また、請求項３記載の発明では、前記ケースの空気を前記排気部に送出させる送出手段を備えることを特徴とする。
【００１１】
また、請求項４記載の発明では、前記ケースを移動可能に設けると共に、前記ダクトを伸縮自在に形成したことを特徴とする。
【００１２】
また、請求項５記載の発明では、前記ダクトが伸縮可能な二重管であることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項６記載の発明では、前記導体が伸縮可能であることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項７記載の発明では、前記放電で発生したオゾンを処理するオゾン処理手段を備えることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項８記載の発明では、前記オゾン処理手段を前記ダクトの前記排気部の下流側に設けたことを特徴とする。
【００１６】
また、請求項９記載の発明では、前記放電電極はコロナ放電を発生し、前記放電電極が絶縁体により被覆されていることを特徴とする。
【００１７】
また、請求項１０記載の発明では、前記ダクトは、少なくとも１つの絶縁取付部材を内部に備えており、前記絶縁取付部材によって前記導体を固定していることを特徴する。
【００１８】
また、請求項１１記載の発明では、前記絶縁取付部材は、一端が前記ダクトの外部に固定され、他端が前記ダクト内部に配置されており、前記他端を前記ダクトの内壁から浮かせるように片持ち支持する構成を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明による請求項１によれば、ダクト内に当該ダクトと導体とを離間して配置し、放電により発生したオゾンをオゾン処理手段にダクトを介して排出し、さらにこのダクトが分割できるようにして、整備し易く頻繁に清掃作業を行えるようにしたことから、オゾン排出の際に、ダクト内に堆積する混入物に対して、導体が異常放電を発することを未然に防止して導体の絶縁を確保することができ、かくして高圧電流が流れる導体の絶縁と発生したオゾンの処理とができるとともに、容易にメンテナンスができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】表面処理装置の概略説明図である。
【図２】放電部の概略図である。
【図３】本発明の実施形態によるダクト部分の断面構成を示す断面図である。
【図４】ダクトが分割及び組み合わされた際の図３のＡ´−Ａ位置とＢ´−Ｂ位置における断面図である。
【図５】一側管が分割及び組み合わされた際の図３のＣ´−Ｃ位置における断面図である。
【図６】オゾン処理装置回りの概略説明図である。
【図７】本発明の他の実施形態を示すダクトの断面図である。
【図８】第２の実施形態によるダクト部分の断面構成を示す断面図である。
【図９】第２の実施形態による絶縁取付部材の断面構成を示す断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下図面に基づいて、本発明の一実施の形態を詳述する。
【００２２】
（１）第１の実施の形態
（１−１）コロナ放電表面処理装置の全体構成
図１に示すように、表面処理装置としてのコロナ放電表面処理装置１は、放電部６に放電電極としてのコロナ電極２が設けられており、接地されたアースロールＲ１と所定の間隔を空けてコロナ電極２が配置されている。コロナ放電表面処理装置１は、導体３により電源装置４がコロナ電極２に接続されており、この電源装置４にアースロールＲ１が電気的に接続されている。
【００２３】
コロナ放電表面処理装置１は、被処理物としてのフィルム５が巻かれたロールＲ２から、当該フィルム５が引き出され、この引き出されたフィルム５がアースロールＲ１とコロナ電極２との間に通され、コロナ電極２から発生するコロナ放電がフィルム５に照射され、当該フィルム５を改質し得るように構成されている。
【００２４】
ここで、本実施形態におけるフィルム５は、その表面がＰＰ（ポリプロピレン）やＰＥ（ポリエチレン）等で構成されているものを例示することができる。尚、フィルム５のサイズは、厚さ４０μｍ、幅３８０ｍｍ、１０００ｍ巻きのものを用いている。
【００２５】
コロナ放電表面処理装置１は、例えば、各種の包装機（図示せず）に設置され、包装機に設けられた印刷機が賞味期限等を表した文字をフィルム５に印字する前に、当該フィルム５の印字予定箇所にコロナ放電を照射して当該印字予定箇所を改質し得る。これにより改質された印字予定箇所は、インクの付着性が向上し、印刷機による印字が確実に行えるようになり得る。
【００２６】
ここで、放電部６は、図２に示すように、コロナ電極２と、コロナ電極２が取り付けられたケース１１とを備えている。このケース１１は、上面と、開口した下面と、四つの側面１１ａ，１１ｂ，１１ａ，１１ｂとを有する箱型からなる。
【００２７】
ケース１１は、所定の長さがアースロールＲ１の長さに対応させて選定されており、長手方向がアースロールＲ１の長手方向に沿って配置されている。本実施形態のケース１１は、その長さがアースロールＲ１の長さより短く、コロナ電極２の長さより僅かに長く形成されている。また、ケース１１は、その幅がアースロールＲ１の幅より僅かに大きく形成され、一対の側面１１ａが他の一対の側面１１ｂより長い直方体状に形成されている。また、ケース１１は、一方の側面１１ｂにダクト２１の一端と接続するためのダクト取付部１６が設けられている。
【００２８】
ケース１１は、その上面にスライド体１２が設けられると共に、ケース１１の上方に上下一対の案内杆１３，１３がアースロールＲ１とほぼ平行に配置される。スライド体１２には、挿通孔１３ａ，１３ｂが形成されており、当該挿通孔１３ａ，１３ｂに案内杆１３，１３が挿通されている。これにより、スライド体１２は、それら複数の案内杆１３，１３に沿って摺動し、放電部６がアースロールＲ１とほぼ平行状態のまま、アースロールＲ１の長手方向に移動し得るようになされている。
【００２９】
また、スライド体１２の上面には、挿通孔１３ａまで貫通する雌ネジ（図示せず）が形成されており、この雌ネジに係止ネジ１４が挿入され得る。
【００３０】
この係止ネジ１４は、雄ネジ１４ａとネジ回し部１４ｂとからなり、ネジ回し部１４ｂが回転されると雄ネジ１４ａが雌ネジに螺入し、雄ネジ１４ａの先端が案内杆１３を押圧することで、案内杆１３に対してスライド体１２を位置決めし得るようになされている。
【００３１】
コロナ電極２は、ケース１１の開口した下面に２つ設けられており、アースロールＲ１の中心軸を挟むようにアースロールＲ１の上方に平行に配置されている。また、これらコロナ電極２は、ケース１１の上面と側面１１ａ，１１ｂとにより覆うように設けられており、ケース１１によってコロナ放電の際に発生するオゾンの拡散が防止され得る。
【００３２】
ここで、アルミ層を有するアルミ蒸着フィルムは、コロナ電極２の電極体２ａで直接的に局部的な放電が行われると、アルミ層に穴が開いてしまうおそれがある。そこで、コロナ電極２は、電極体２ａの外周を絶縁体２ｂで被覆して、この絶縁体２ｂを誘電体として機能させ、電極体２ａからの局部的な放電を抑制し得るようになされている。これによりアルミ蒸着フィルムの表面処理をする際にアルミ層の損傷を防止している。
【００３３】
また、電極体２ａは、円柱形状に形成されており、その周面から放電が放射状に照射するようになされており、局部的な放電を抑制し得るようになされている。尚、本実施形態のコロナ電極２は、電極体２ａの軸心の長さが１２５ｍｍ、直径が１６ｍｍに選定された円柱状の電極体２ａが用いられている。
【００３４】
また、ダクト２１は、一端がダクト取付部１６に取り付けられてケース１１に接続されており、このダクト２１内部に、導体３が絶縁取付部材２７ａ，２７ｂ，２７ｃにより内壁から離間して配置し得るように構成されている。この導体３は、放電部６内のコロナ電極２に接続されており、当該コロナ電極２に高電圧を印加し得る。かくしてコロナ電極２は、導体３から高電圧が印加されることにより、コロナ放電を発生し得るようになされている。
【００３５】
ここでは、ダクト２１に関して、図３を用いて詳細に以下説明する。ダクト２１は、例えば、透明なポリカーボネイト等の絶縁性を備える硬質材料で形成され、図３に示すように、同程度の長さを有する円筒形状に形成された一側管２２と他側管２３とからなり、長手方向すなわち導体３が延びる方向に分割された構成を有する。
【００３６】
また、このダクト２１は、他側管２３の内径が、一側管２２の外径よりも僅かに大きく形成されており、一側管２２が他側管２３の円柱状の中空部に部分的に遊挿し得るように構成されている。すなわち、ダクト２１は、一側管２２と他側管２３とからなる重なり代を有した二重管構造を有する。
【００３７】
基台としてのフレーム２９には、ダクト固定座３０が設けられており、ダクト固定座３０の差込穴３０ａに他側管２３の一端が嵌合され得るようになされている。また、他側管２３の他端は、電源装置４を備えるオゾン処理装置３１（後述する）に設けられた差込穴（図示しない）に嵌合されて、フレーム２９とオゾン処理装置３１との間に固定され得るように構成されている。
【００３８】
実際上、他側管２３には、図３と、図３のＡ´−Ａ位置での断面を示す図４（Ｄ）に示すように、一端側の周側部に、４つのネジ穴が周方向に均等間隔で形成されており、周側部の４つのネジ穴とダクト固定座３０に形成された４つのネジ穴とに一致するように位置決めされ、それらのネジ穴がネジＳ２でネジ留めされ得るようになされている。
【００３９】
一側管２２には、一端側の周側部に、長手方向に２つずつ並列して８つのネジ穴が周方向に均等間隔で形成されている。そして、一側管２２は、一端が、ダクト取付部１６に嵌合され、周側部の８つのネジ穴が、ダクト取付部１６に形成された８つのネジ穴に一致するように位置決めされ、それらのネジ穴がネジでネジ留めされ、ケース１１の一方の側面１１ｂに固定され得る。
【００４０】
ダクト２１は、固定された他側管２３内に対して当該他側管２３の長手方向に沿って一側管２２が移動し得るように配置され、一側管２２が移動することで、伸縮し得る。
【００４１】
ここで、図４（Ａ）は、図３のＢ´−Ｂ位置における他側管２３の断面図を示し、図４（Ｃ）は、図３のＡ´−Ａ位置における一側管２２の断面図を示す。図４（Ａ）及び（Ｃ）に示すように、ダクト２１は、一側管２２と他側管２３とが、それぞれ長手方向に沿って直径位置で上下に二分割し得るように構成されている。
【００４２】
第１他側半管２３ａは、図４（Ａ）に示すように、半円筒形状からなり、長手方向に沿って両側に平坦な当接面２３ｃ，２３ｄが形成されている。また、第２他側半管２３ｂは、第１他側半管２３ａと同様に、半円筒形状からなり、長手方向に沿って両側に平坦な当接面２３ｅ，２３ｆが形成されている。
【００４３】
第２他側半管２３ｂには、絶縁取付部材２７ｃが他端側の内面にネジでネジ留めされて設けてられている。絶縁取付部材２７ｃには、導体３の他側導体２６（後述する）が挿入される孔が形成されており、導体３の他側導体２６がダクト２１内部のほぼ中心となる位置に配置し得るようになされている。
【００４４】
ここで、図４（Ｂ）は、図３のＤ´−Ｄ位置におけるダクト２１の断面図を示す。他側管２３は、第１他側半管２３ａの当接面２３ｃ，２３ｄと、第２他側半管２３ｂの当接面２３ｅ，２３ｆとが当接された状態で、図４（Ｂ）に示すように、絶縁性のバンド体片Ｑ１，Ｑ２からなるバンドＱにより、第１他側半管２３ａと第２他側半管２３ｂとが互いにずれないように他側で固定される。実際上、このバンドＱは、バンド体片Ｑ１，Ｑ２の半円状の側面で第１他側半管２３ａと第２他側半管２３ｂとの合わせ目を挟むように配置される。この状態でバンド体片Ｑ１，Ｑ２は、両端の突出した雌ネジ同士を一致させ、雌ネジをネジＳ１，Ｓ１で螺合し得るよう構成されている。
【００４５】
また、第１一側半管２２ａは、図４（Ｃ）に示すように、半円筒形状からなり、長手方向に沿って両側に平坦な当接面２２ｃ，２２ｄが形成されている。また、第２一側半管２２ｂは、第１一側半管２２ａと同様に、半円筒形状からなり、長手方向に沿って両側に平坦な当接面２２ｅ，２２ｆが形成されている。
【００４６】
第２一側半管２２ｂには、絶縁取付部材２７ａがほぼ中央部の内面にネジでネジ留めされて設けてられている。絶縁取付部材２７ａには、導体３が挿入される孔が形成されており、導体３がダクト２１内部のほぼ中心となる位置に配置し得るようになされている。
【００４７】
第１一側半管２２ａ及び第２一側半管２２ｂは、円環１７により固定され得る。円環１７は、外径が一側管２２の内径とほぼ同じに形成されており、ネジ穴が周方向に均等間隔で形成されており、第１一側半管２２ａの当接面２２ｃ，２２ｄと、第２一側半管２２ｂの当接面２２ｅ，２２ｆとが当接された状態で、この第１一側半管２２ａと第２一側半管２２ｂとの他端の内面に挿入され、ネジ穴を一致させ、第１一側半管２２ａ及び第２一側半管２２ｂと円環１７とがネジでネジ留めされる。
【００４８】
これにより、第１一側半管２２ａ及び第２一側半管２２ｂは、円環１７で固定された状態で一側管２２の他端が他側管２３の一端に遊挿されて、図４（Ｄ）に示すように、ダクト２１の二重管構造が形成される。
【００４９】
また、一側管２２には、絶縁取付部材２７ｂが他端側の内面に設けられている。ここで、図５（Ａ）及び（Ｂ）は、図３のＣ´−Ｃ位置における一側管２２の断面図であり、図５（Ａ）は一側管２２を分割させたときの状態を示し、図５（Ｂ）は第１一側半管２２ａと第２一側半管２２ｂとを組み合わせたときの状態を示す。
【００５０】
絶縁取付部材２７ｂは、図５（Ａ）に示すように、第１一側半管２２ａにネジでネジ留めされた絶縁取付部材片２８ａと、第２一側半管２２ｂにネジでネジ留めされた絶縁取付部材片２８ｂとから構成され、上下に分割し得るように構成されている。
【００５１】
絶縁取付部材片２８ａは、第１一側半管２２ａの周側面に設けられており、その先端が凸形状で僅かに突出するように形成されている。絶縁取付部材片２８ｂは、第２一側半管２２ｂの周側面に絶縁取付部材片２８ａと対向するように設けられており、その先端がＵ字型に切り欠かれた形状を有し、その切り欠かれた部分に、導体３が挿入され得るように形成されている。
【００５２】
かくして、絶縁取付部材２７ｂは、第１一側半管２２ａと第２一側半管２２ｂとが合わせられると、図５（Ｂ）に示すように、絶縁取付部材片２８ｂの切り欠き部分と絶縁取付部材片２８ａの先端とが導体３を挟んで嵌合し、導体３が一側管２２のほぼ中心に配置されるようになされている。
【００５３】
ここで、導体３は、導電材料からなる一側導体２５と他側導体２６とから構成されている。一側導体２５は、円管状に形成されており、円管状又は棒状に形成された他側導体２６が他端から中空部に摺動可能に挿入された構成を有する。
【００５４】
なお、一側導体２５は、絶縁取付部材２７ａと絶縁取付部材２７ｂとにより一側管２２内部のほぼ中心に支持される。また、他側導体２６は、一端が一側導体２５の他端に挿入され、絶縁取付部材２７ｃに支持されることで、他側管２３内部のほぼ中心に支持される。
【００５５】
一側導体２５は、ダクト２１が伸縮する際に、一側管２２と連動して他側導体２６に沿って移動し得るように構成されている。導体３は、ダクト２１が最大に伸長したときでも、他側導体２６が一側導体２５から外れないように、一側導体２５及び他側導体２６の長さが選定されている。
【００５６】
図６に示すように、放電部６には、ダクト２１に設けられている排気部２４の下流側にオゾン処理装置３１が接続されている。オゾン処理装置３１は、出力部７とこの出力部７の制御を行う制御部８とを備えた電源装置４を有し、当該電源装置４の出力部７に導体３が接続されている。
【００５７】
また、オゾン処理装置３１は、排気路３２を備えており、当該排気路３２にダクト２１の排気部２４が接続されている。また、オゾン処理装置３１は、流量検出手段３３、フィルタ３４、オゾン処理手段としてのオゾン触媒３５、送出手段としての排気ファン３６、オゾン濃度検知器３７が排気部２４側から順に並んで配置された構成を有し、排気ファン３６を駆動させて、放電部６内の空気をダクト２１に吸引し、この空気を排気路３２を通過させてオゾン処理装置３１の外部に排気し得る。
【００５８】
このとき、オゾン処理装置３１は、流量検出手段３３が空気の流れを検出して排気ファン３６の動作を確認しており、予め設定された設定値より空気の排気量が少なくなると、コロナ放電表面処理装置１を停止させ得るように構成されている。
【００５９】
また、オゾン処理装置３１は、排気に混入した塵等の混入物をフィルタ３４が捕捉して、当該混入物が除去された排気をオゾン触媒３５に送出し、オゾン触媒３５が混入物で目詰まりすることなく、排気に含まれるオゾンを分解し得るようになされている。尚、本実施形態のオゾン触媒３５は、二酸化マンガンを使用している。
【００６０】
オゾン処理装置３１は、オゾン触媒３５を通過させてオゾンを分解し排気をオゾン濃度検知器３７に送出し、このオゾン濃度検知器３７によって排気中のオゾン量を測定し得るように構成されている。このとき、オゾン処理装置３１は、測定したオゾン量が基準値以下の場合に、排気を外部に放出する。
【００６１】
このオゾン濃度検知器３７は、排気路３２を通過する空気のオゾン量を監視するものであり、そのオゾン量が予め設定された管理濃度を超えた場合に、信号発信手段（図示せず）により検知信号を生成し、その検知信号を制御部８へ発信する。
【００６２】
さらに、制御部８は、この検知信号を受信すると、プログラムに従って、出力部７に導体３への送電を中止させ、コロナ電極２からの放電を自動的に停止し得るようになされている。
【００６３】
因みに、放電部６には、移動駆動手段１５を備えるようにしてもよく、この場合、移動駆動手段１５によりフィルム５に対する放電位置に応じて、放電部６を案内杆１３，１３に沿って移動させることができる。
（１−２）動作及び効果
次に、コロナ放電表面処理装置１の動作について以下説明する。コロナ放電表面処理装置１では、電源装置４により導体３を通してコロナ電極２に高圧電流を印加し、コロナ電極２によりコロナ放電を発生させ、このコロナ放電をフィルム５に照射することによりフィルム５を改質する。
【００６４】
これに加えて、このコロナ放電表面処理装置１では、ダクト２１内に導体３が収納され、導体３がダクト２１により外部と隔離されているため、導体３に被覆を施すことなく、絶縁を確保することができる。かくして、コロナ放電表面処理装置１では、作業者が誤って導体３に触れてしまうことによる感電の発生を防止できる。
【００６５】
また、コロナ放電表面処理装置１では、ダクト２１の一端側に放電部６を設け、ダクト２１の他端側に備えるオゾン処理装置３１を設ており、コロナ放電やプラズマ放電で発生したオゾンをオゾン処理装置３１のオゾン触媒３５によりオゾンを処理することができ、排気中のオゾン量を低減できる。
【００６６】
さらに、コロナ放電表面処理装置１では、コロナ放電の際に、排気ファン３６を駆動させ、ダクト２１を介して放電部６内の空気をオゾン処理装置３１に排出し、コロナ電極２及び導体３で発生した熱を外部に効率よく放熱させることができる。
【００６７】
これに加えて、コロナ放電表面処理装置１では、導体３がダクト２１の内部に配置されていることから、導体３とダクト２１とがそれぞれ別々の箇所に配置された従来のコロナ放電表面処理装置と比較して小型化できる。
【００６８】
また、コロナ放電表面処理装置１では、導体３とダクト２１とが連動して伸縮可能に構成されており、フィルム５の移動方向（アースロールＲ１の回転方向）と直交する直交方向と平行に配置された放電部６を移動させることができ、放電部６によって移動させてフィルム５の所望の位置に放電できる。
【００６９】
ところで、このようにコロナ放電が照射されるフィルム５の表面には、フィルム５同士への帯電防止のために、ダスティング粉がフィルム５の表面に振りかけられている。このため、コロナ放電表面処理装置１では、フィルム５がアースロールＲ１を通過する際に、飛散したダスティング粉を、放電部６の空気をダクト２１に吸引するときに、ダクト２１に吸引してしまうおそれがある。この場合、コロナ放電表面処理装置１では、ダスティング粉がダクト２１の内壁に堆積すると、その堆積したダスティング粉が空気中の水分を含むことで粘土質となってダクト２１内に付着し、その粘土質となったダスティング粉が含有する水分が導体となるため、導体３から異常放電が発生し、ダクト２１の内壁が異常放電により炭化されてしまい、炭化された内壁の箇所が絶縁性から導電性へと変化し、絶縁の確保が困難となるおそれがある。
【００７０】
そこで、本願発明のコロナ放電表面処理装置１では、一側管２２と他側管２３とがそれぞれの長手方向に沿って上下に二分割する構成としたことで、ダクト２１内にダスティング粉が堆積した際に、一側管２２と他側管２３とをそれぞれ二分割させ、ダクト２１内部を容易に清掃できる。かくして、コロナ放電表面処理装置１では、ダクト２１内部における導体３からの異常放電を未然に防止でき、導体３の絶縁を確保するとともに、メンテナンスを容易に行うことができる。
【００７１】
因みに、この実施の形態の場合、ダクト２１の分割手順としては、先ず始めに、他側管２３からバンドＱを外した後に、第１他側半管２３ａを第２他側半管２３ｂから外すことにより、第２他側半管２３ｂの内壁と一側管２２を外部に露出させる。これにより作業者は、第２他側半管２３ｂの内壁や、一側管２２の外壁を容易に清掃することができる。続いて、一側管２２の内壁にネジ留めされた円環１７を外した後、一側管２２の第１一側半管２２ａを第２一側半管２２ｂから外すことにより、第２一側半管２２ｂの内壁や、一側導体２５を外部に露出させる。これにより作業者は、第１一側半管２２ａや、第２一側半管２２ｂ、一側導体２５等を容易に清掃することができる。
【００７２】
このようにコロナ放電表面処理装置１では、ダクト２１自体をフレーム２９等から一度に全て外すことなく、一部の部品だけを必要に応じて適宜外すことができ、状況に応じてダクト２１内部を容易に清掃させることができる。なお、ダクト２１を構成する全ての部品を外すことも可能であり、この場合にも、二分割構造により、一体構造のダクトと比較してダクト２１内部の細かな部分についても容易に清掃させることができる。
【００７３】
そして、コロナ放電表面処理装置１では、ダクト２１内が負圧となっているため、排気ファン３６により放電部６から空気を排出する際に、第１一側半管２２ａと第２一側半管２２ｂとを当接した合わせ目、または第１他側半管２３ａと第２他側半管２３ｂとを当接した合わせ目に、仮に何らかの原因で隙間が生じていても、ダクト２１に生じる隙間からオゾン等の混入物が飛散するのを防止することができる。
【００７４】
また、このときコロナ放電表面処理装置１では、ダクト２１の合わせ目に形成された隙間から外部の空気をダクト２１内に取り込こむことで、当該外部から取り込んだ空気によってダクト２１を通過する放電部６からの空気を冷却できる。
【００７５】
これに加えて、コロナ放電表面処理装置１では、一側管２２と他側管２３とに重なり代を設けた二重管構造とし、他側管２３内に一側管２２を移動可能としたことにより、一側管２２と他側管２３とに軟質材料を用いずに、硬質材料からなる管材を用いつつ、ダクト２１を伸縮させることができる。
【００７６】
また、コロナ放電表面処理装置１では、コロナ電極２の電極体２ａを絶縁体２ｂで被覆することにより、局部的な放電を抑制し、局部的な放電の照射により損傷し易いアルミ蒸着フィルムに対しても表面処理することができる。
【００７７】
さらに、この実施の形態の場合、ダクト２１では、内部に所定間隔を空けて導体３を支持する絶縁取付部材２７ａ，２７ｂ，２７ｃを設け、当該絶縁取付部材２７ａ，２７ｂ，２７ｃによって導体３を内部で固定するようにしたことにより、当該導体３が遊動することを防止しつつ、容易に分解作業や清掃をさせることができる。
【００７８】
（２）第２の実施の形態
図３との対応部分に同一符号を付して示す図８は、第２の実施の形態を示しており、第１の実施の形態とは、第２一側半管２２ｂに設けられた絶縁取付部材２７ａに換えて（図３）、一端６１ａと他端６１ｂの両端部で導体３を支持する絶縁取付部材６０が設けられている点で相違している。絶縁取付部材６０は、一端６１ａがダクト２１外部にあるダクト取付部１６の内側下面にネジ６２でネジ留めされており、当該ダクト取付部１６から一側半管２２ｚの先端側に向けて延び、一側半管２２ｚの内壁から他端６１ｂを浮かせるように片持ち支持されている。
【００７９】
図９に示すように、絶縁取付部材６０の一端６１ａには、上方に突出した第１支持部６３ａが形成されており、当該第１支持部６３ａに穿設された貫通孔６４に一側導体２５が挿通され得る。また、絶縁取付部材６０の他端６１ｂには、第１支持部６３ａと対向するように上方に突出した第２支持部６３ｂが形成されており、当該第２支持部６３ｂに穿設された貫通孔６５に一側導体２５が挿通され得る。これにより絶縁取付部材６０は、一側管２２の中心軸の位置で当該中心軸と平行に一側導体２５を支持し得るようになされている。
【００８０】
以上の構成において、絶縁取付部材６０では、一端６１ａ側をダクト取付部１６に固定すると共に、一側半管２２ｚの先端側に他端６１ｂを片持ち支持し、一端６１ａ及び他端６１ｂの両端で一側導体２５を支持するようにした。これにより絶縁取付部材６０では、第１の実施の形態のような絶縁取付部材２７ａ（図３）を一側半管２２ｚの内壁に設けることなく、他端６１ｂの第２支持部６３ｂによって一側導体２５を一側管２２内で確実に支持することができる。
【００８１】
また、絶縁取付部材６０では、第１の実施の形態のような絶縁取付部材２７ａ（図３）が一側半管２２ｚの内壁に設けられていない分だけ、ダクト２１自体の分割解体を容易に行わせることができる。さらに、絶縁取付部材６０では、一側導体２５を一側半管２２ｚの内壁から他端６１ｂで浮かせるように配置させることから、一側半管２２ｚの内壁全体を容易に清掃することができる。
【００８２】
（３）他の実施の形態
本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形実施が可能であり、フィルタ３４としてオゾンを熱処理する熱処理フィルタや、オゾンを吸着する吸着フィルタを用いてもよく、また他側導体２６として中空な管や中実な部材を用いてもよい。
【００８３】
また、例えば上述した実施の形態においては、一側管２２と他側管２３との２本の円管を用いた二重管とした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、ダクト２１が伸縮自在となる構成であればよく、例えば、３本の円管を用いた三重管や、４本の円管を用いた四重管等、この他複数の円管を用いた鞘管状としてもよい。
【００８４】
また、上述した実施の形態においては、一側管２２と他側管２３とを長手方向に沿って二分割する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば、一側管２２と他側管２３とを長手方向に沿って３分割又は４分割等この他複数に分割してもよい。
【００８５】
また、上述した実施の形態においては、ダクト２１の形状を円筒形状とした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば、ダクト２１の形状を角筒形状としてもよい。
【００８６】
また、上述した実施の形態においては、例えば、第１他側半管２３ａの当接面２３ｃ，２３ｄと第２他側半管２３ｂの当接面２３ｅ，２３ｆとを直接当接させて組み立てる場合について述べたが、本発明ではこれに限らず、例えば、図７に示すように、第１他側半管２３ａの当接面２３ｃ，２３ｄと第２他側半管２３ｂの当接面２３ｅ，２３ｆとの間に、弾性体４１ａ，４１ｂを介在させて、組み立てられるようにしてもよい。
【００８７】
実際上、弾性体４１ａ，４１ｂは、耐オゾン性を有する弾性材料からなり、断面がＨ型に形成されており、弾性体４１ａにおけるＨ型の上部の凹みに第１他側半管２３ａの当接面２３ｃが、弾性体４１ａにおけるＨ型の下部の凹みに第２他側半管２３ｂの当接面２３ｅが嵌合されて組み立てられ、同様にして、弾性体４１ｂにおけるＨ型の上部の凹みに第１他側半管２３ａの当接面２３ｄが、弾性体４１ｂにおけるＨ型の下部の凹みに第２他側半管２３ｂの当接面２３ｆが嵌合されて組み立てられている。
【００８８】
これにより、第１他側半管２３ａと第２他側半管２３ｂとの隙間を無くし、ダクト２１の気密性を向上させてもよい。
【００８９】
また、上述した実施の形態においては、放電電極として、一対の電極体２ａ，２ａにより構成されたコロナ電極２を適用する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、１本の電極体２ａ又は３以上の電極体から構成されたコロナ電極２を適用してもよい。
【００９０】
さらに、上述した実施の形態においては、排気路３２を通過するオゾン量が管理濃度を超えた場合に、信号発生手段が検知信号を生成し、この検知信号に基づいて、制御部８が出力部７に導体３への送電を中止させ、コロナ電極２からの放電を自動的に停止するものであるが、本発明はこれに限らず、排気路３２を通過するオゾン量が管理濃度を超えた場合に、作業者に対して音や光を発して報知する報知手段により、作業者に異常を報知して作業者が自らコロナ電極２からの放電を停止するものでもよい。また、制御部８は、排気路３２を通過するオゾン量が管理濃度を超えた場合に、コロナ電極２からの放電の停止と、報知手段による報知との両方を行うようにしてもよい。
【００９１】
さらに、上述した実施の形態においては、オゾン処理装置３１側に送出手段としての排気ファン３６を設けた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、要は放電部６側からオゾン処理装置３１側に空気を送ることができれば、放電部６側に送風手段等この他多種の送出手段を設けてもよく、この場合この送風手段により放電部６側から排気部２４，排気路３２へと空気を送出することができる。
【符号の説明】
【００９２】
１      コロナ放電表面処理装置（表面処理装置）
２      コロナ電極（放電電極）
２ａ    電極体
２ｂ    絶縁体
３      導体
４      電源装置（電源）
５      フィルム（被処理物）
１１    ケース
２１    ダクト
２４    排気部
３５    オゾン触媒（オゾン処理手段）
３６    排気ファン（送出手段）
【図１】
0005593054.tif 000002
【図２】
0005593054.tif 000003
【図３】
0005593054.tif 000004
【図４】
0005593054.tif 000005
【図５】
0005593054.tif 000006
【図６】
0005593054.tif 000007
【図７】
0005593054.tif 000008
【図８】
0005593054.tif 000009
【図９】
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