(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電電極と当該放電電極に対向して設けられる対向電極とを有し、前記放電電極と前記対向電極間に交流高電圧を印加してコロナ放電を発生させて空気イオンを生成するイオン生成装置であって、
前記放電電極と前記対向電極とを備え、イオン生成流路が形成された放電ユニットと、
前記放電ユニットの基端部に配置され、前記イオン生成流路に連通し当該イオン生成流路に圧縮空気を供給する空気供給口が設けられた空気供給ユニットとを有し、
前記対向電極の下流側に外部からの空気を導入する空気導入ポートを形成し、
前記イオン生成流路を通過してイオン化された空気イオンに前記空気導入ポートからの外部空気を導入するエジェクタを、前記空気導入ポートの下流側に設けることを特徴とするイオン生成装置。
【請求項２】
請求項１記載のイオン生成装置において、前記放電電極を前記イオン生成流路の中心に同軸に配置することを特徴とするイオン生成装置。
【請求項３】
請求項１記載のイオン生成装置において、前記放電電極を前記イオン生成流路を横切る方向に配置することを特徴とするイオン生成装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のイオン生成装置において、前記空気供給口から前記イオン生成流路に噴出される空気により外部空気を吸引し、前記イオン生成流路内に外部空気を供給する吸引ポートを前記放電ユニットの基端部に設けることを特徴とするイオン生成装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のイオン生成装置において、空気イオンに前記空気導入ポートから流入した空気が加えられた後の空気イオンに外部から空気を供給する補助空気導入ポートを前記放電ユニットの先端部に設けることを特徴とするイオン生成装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載のイオン生成装置において、前記放電ユニットの空気吐出口の内径を前記イオン生成流路の内径よりも大径とすることを特徴とするイオン生成装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のイオン生成装置において、前記放電ユニットの先端部に、前記放電ユニットから吐出された空気イオンを被除電部材に向けて案内する導管を装着することを特徴とするイオン生成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はコロナ放電により空気をイオン化して生成された空気イオンを導管を通して被除電部材に吹き付けるようにしたイオン生成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
静電気が帯電した帯電体を被除電部材としてこれに空気イオンを吹き付けて被除電部材を除電するために、イオナイザーあるいは除電装置とも言われるイオン生成装置が使用されている。電子部品の製造や組立を行う製造ラインに使用されるイオン生成装置は、電子部品や製造組立治具等を被除電部材として、これに帯電した静電気を除去するために使用されている。被除電部材に空気イオンを吹き付けることにより、電子部品等に静電気により異物が付着したり、電子部品が静電気により破壊されたり治具に付着したりすることを防止することができる。
【０００３】
このような用途に使用されるイオン生成装置は、特許文献１〜３に記載されるように、針状の放電電極に外部から空気を供給した状態のもとで、放電電極と対向電極との間に高周波の高電圧を印加し、放電電極の回りにコロナ放電を発生させることによって空気をイオン化している。
【０００４】
特許文献２，３には、イオン化された空気イオンを被除電部材に案内するために、放電電極が組み込まれたノズルから直接空気イオンを被除電部材に吹き付けるようにしたイオン生成装置が記載されている。特許文献２に記載されるイオン生成装置においては、放電電極はノズルの先端よりも後退させてノズル内に配置されている。特許文献３には、ノズルの先端から放電電極を突出させるように配置したイオン生成装置が記載されている。一方、特許文献１に記載されたイオン生成装置においては、導管を介してイオン生成装置から離れた位置の被除電部材に空気イオンを案内するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１３８０９０号公報
【特許文献２】特開２００４−２２８０６９号公報
【特許文献３】特開２００６−４０８６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献２，３に記載されるように、内部に放電電極が組み込まれた対向電極を構成するノズルから空気イオンを噴出させて被除電部材に空気イオンを吹き付けるようにした場合には、空気イオンが中和される前に被除電部材に空気イオンを吹き付けることができる。それに対し、特許文献１に記載されるようにノズルに取り付けられた導管により空気イオンを被除電部材に案内するようにすると、被除電部材に空気イオンが到達する前に、導管中で空気イオンが中和されてしまい、十分な除電効果を得ることができないという問題点がある。
【０００７】
本発明の目的は、空気イオンを導管によって被除電部材に案内するようにしても、除電効果を高めるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のイオン生成装置は、放電電極と当該放電電極に対向して設けられる対向電極とを有し、前記放電電極と前記対向電極間に交流高電圧を印加してコロナ放電を発生させて空気イオンを生成するイオン生成装置であって、前記放電電極と前記対向電極とを備え、イオン生成流路が形成された放電ユニットと、前記放電ユニットの基端部に配置され、前記イオン生成流路に連通し当該イオン生成流路に圧縮空気を供給する空気供給口が設けられた空気供給ユニットとを有し、前記放電ユニットの先端部に外部からの空気を導入する空気導入ポートを形成し、前記イオン生成流路を通過した空気イオンに前記空気導入ポートからの外部空気を導入するエジェクタを前記放電ユニットの前記先端部の前記空気導入ポートの下流側に設けることを特徴とする。
【０００９】
本発明のイオン生成装置は、放電電極と当該放電電極に対向して設けられる対向電極とを有し、前記放電電極と前記対向電極間に交流高電圧を印加してコロナ放電を発生させて空気イオンを生成するイオン生成装置であって、前記放電電極と前記対向電極とを備え、イオン生成流路が形成された放電ユニットと、前記放電ユニットの基端部に配置され、前記イオン生成流路に連通し当該イオン生成流路に圧縮空気を供給する空気供給口が設けられた空気供給ユニットとを有し、前記対向電極の下流側に外部からの空気を導入する空気導入ポートを形成し、前記イオン生成流路を通過してイオン化された空気イオンに前記空気導入ポートからの外部空気を導入するエジェクタを、前記空気導入ポートの下流側に設けることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、イオン生成流路内に供給される空気を放電電極に発生するコロナ放電によりイオン化して空気イオンを生成し、空気イオンに対して空気導入ポートから外部空気をエジェクタ効果でエジェクタにより導入するようにしたので、イオン生成流路に空気供給口から供給される圧縮空気の量を高めることなく、空気イオンに空気導入ポートからの空気を追加して導管に供給することができる。これにより、導管から被除電部材に対して多量の空気イオンを供給することが可能となり、被除電部材に帯電された静電気を迅速に除去することができる。また、放電電極の先端には異物が含まれるおそれがある外部空気が吹き付けられないので、異物によるイオンバランスの低下を抑制し、確実に静電気を除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施の形態であるイオン生成装置を示す断面図である。
【図２】本発明の他の実施の形態であるイオン生成装置を示す断面図である。
【図３】本発明の他の実施の形態であるイオン生成装置を示す断面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態であるイオン生成装置を示す断面図である。
【図５】比較例としてのイオン生成装置を示す断面図である。
【図６】他の比較例としてのイオン生成装置を示す断面図である。
【図７】本発明のイオン生成装置と、図５に示された比較例としてのイオン生成装置とについての除電効果を比較して示す特性線図である。
【図８】本発明のイオン生成装置と、図６に示された比較例としてのイオン生成装置とについて微粒子を強制的に注入してイオンバランスの乱れを測定した確認試験結果を示すデータである。
【図９】本発明のイオン生成装置と、図６に示された比較例としてのイオン生成装置とについてのイオンバランス効果を比較して示す特性線図である。
【図１０】本発明の他の実施の形態であるイオン生成装置を示す断面図である。
【図１１】本発明の他の実施の形態であるイオン生成装置を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１に示されるイオン生成装置１０ａは、放電ユニット１１とその基端部に配置され絶縁体からなる空気供給ユニット１２とを有している。放電ユニット１１は導電性材料からなる円筒形状の対向電極１３と、その内側に装着される円筒形状の絶縁体１４とを有し、この絶縁体１４の内部にはイオン生成流路１５が形成されている。イオン生成流路１５内にはその中心部に位置させて導電性材料からなる棒状の放電針つまり放電電極１６が配置され、この放電電極１６はその基端部が空気供給ユニット１２に取り付けられており、放電電極１６の先端部は空気供給ユニット１２からイオン生成流路１５内にその中心に同軸となって突出している。このように、放電ユニット１１はイオン生成流路１５内に配置される放電電極１６と、これに対向する対向電極１３とを有している。
【００１３】
放電電極１６と対向電極１３は電源ユニット１７に接続されており、この電源ユニット１７からは放電電極１６と対向電極１３との間に交流高電圧が印加されるようになっている。電源ユニット１７は、例えば、電圧６ＫＶ、周波数７０ＫＨｚの交流電圧を両方の電極間に印加する。これにより、放電電極１６の尖った先端部の回りに不平等電界が発生し、その部分でコロナ放電が発生する。放電電極１６にプラスの高電圧が印加されたときには放電電極１６は近傍の空気の電子を吸収するので、近傍の空気はプラスの電荷を持つイオンとなる。これに対し、放電電極１６にマイナスの高電圧が印加されたときには放電電極１６からは電子が放出されるので、近傍の空気はマイナスの電荷を持つイオンとなる。
【００１４】
空気供給ユニット１２には、圧縮空気圧源２０からの空気を供給する給気ホースＡが接続される給気ポート２１が形成されている。この給気ポート２１はイオン生成流路１５に向けて開口して空気供給ユニット１２に形成された複数の空気供給口２２に連通している。圧縮空気圧源２０から空気供給口２２を介してイオン生成流路１５内に矢印Ａで示されるように供給される空気は、イオン生成流路１５内を流れるときにコロナ放電によりイオン化されて空気イオンとなる。
【００１５】
放電ユニット１１の先端部は樹脂等の絶縁材料または金属からなるノズル２３となっており、このノズル２３の先端の空気吐出口１９から空気イオンが吐出される。ノズル２３の先端部には空気イオンを被除電部材に向けて案内するための導管２４が装着されるようになっている。この導管２４は、可撓性を有する塩化ビニル等の樹脂製の絶縁性のチューブにより形成されており、内径Ｄは約８ｍｍであり、長さＬは約１００〜５００ｍｍまたはそれ以上となっている。
【００１６】
絶縁体１４と対向電極１３により形成されるイオン生成流路１５の内径をｄとすると、ノズル２３の空気吐出口１９と導管２４の内径Ｄはイオン生成流路１５の外径よりも大きい寸法に設定されている。ノズル２３はイオン生成流路１５の内径ｄと同一かそれ以上の内径を有する括れ部２５を有し、その括れ部２５よりも先端側には導管２４の内面に向けて漸次内径が大きくなったテーパ面２６が形成されている。ノズル２３には、イオン生成流路１５で生成された空気イオンに対して矢印Ｂで示すように外部から空気を導入する空気導入ポート２７が複数個形成されている。ノズル２３には空気導入ポート２７から導入された空気を括れ部２５に向けて案内する円弧面２８が形成されている。括れ部２５とテーパ面２６および円弧面２８とによって、イオン生成流路１５を通過してノズル２３内に流入した空気イオンにより空気導入ポート２７から外部空気を導入するエジェクタ２９が形成されている。また、円弧面２８の形状はこれに限らず、例えばテーパ面でも良い。
【００１７】
ノズル２３に形成されたテーパ面２６はディフューザの機能を有し、空気導入ポート２７からは外部の空気がノズル２３の空気吐出口１９を介して導管２４内に導入される。これにより、導管２４内には空気供給口２２からイオン生成流路１５内に供給されてイオン化された空気に加えて空気導入ポート２７から導入される外部空気が付加されて導管２４内に供給されることになる。このように、ノズル２３にエジェクタ２９を設けると、給気ポート２１に供給する圧縮空気の流量を少なくしても、導管２４の先端から被除電部材に吹き付けられる空気イオンの量を高めることができるとともにプラスイオンとマイナスイオンの衝突による中和を減少させることができ、被除電部材に帯電された静電気を短時間で除電することができる。このエジェクタ２９を設けない場合、空気導入ポート２７から導入される空気は少量となり、十分な空気イオン量を得ることはできない。
【００１８】
放電ユニット１１の基端部には複数の吸引ポート３１が設けられており、イオン生成流路１５に向けて噴出される空気により矢印Ｃで示すように空気供給口２２を介して外部から空気が供給される。これにより、空気供給口２２からイオン生成流路１５に供給される空気の流量を高めることなく、空気イオンには吸引ポート３１を介して外部から供給される空気が付加されることになり、イオン生成流路１５には多量の空気を供給することができる。このように、空気イオンに給気ポート２１に供給される圧縮空気に加えて吸引ポート３１からの空気を付加することにより、給気ポート２１に供給する圧縮空気の流量を少なくしても、放電電極１６の先端に微粒子などの異物が付着することを防止できる。特に、空気供給口２２から噴出される空気は、放電電極１６を覆うようにしてイオン生成流路１５の中心部を流れることになり、吸引ポート３１から供給される外部空気は、主としてイオン生成流路１５の外周部を流れることになるので、空気供給口２２から清浄化された空気を噴出するようにすれば、外部から吸引ポート３１を介して供給される空気に微粒子が含まれていても、放電電極１６に異物が付着することを確実に防止でき、イオンバランスを向上させることができる。
【００１９】
エジェクタ２９により空気導入ポート２７から導入される空気は、図１に示されるように、空気導入ポート２７が放電電極１６と対向電極１３の下流側に設けられているので、放電電極１６と対向電極１３とによりイオン化された後の空気イオンに空気導入ポート２７から外部空気が導入されることになり、導管２４から噴出される空気イオンのイオンバランスを損なうことなく、除電効果を高めることができる。
【００２０】
図２〜図４はそれぞれ本発明の他の実施の形態であるイオン生成装置を示す断面図であり、図２〜図４においては図１に示された部材と共通する部材には同一の符号が付されている。
【００２１】
図１に示すイオン生成装置においては、導管２４がノズル２３に直接装着されているのに対し、図２に示すイオン生成装置１０ｂにおいては、導管２４が継手３０によりノズル２３に装着されている。他の構造は図１に示されるイオン生成装置１０ａと同様である。
【００２２】
図３に示されるイオン生成装置１０ｃにおいては、ノズル２３は導管２４が設けられるノズル本体部２３ａと、このノズル本体部２３ａが取り付けられ放電ユニット１１に装着されるノズルホルダー部２３ｂとを有している。ノズルホルダー部２３ｂには、イオン生成流路１５で生成された空気イオンに対して矢印Ｂで示すように外部から空気を導入する空気導入ポート２７が複数個形成されている。さらにノズルホルダー部２３ｂには、空気導入ポート２７から導入された空気をノズル本体部２３ａに向けて案内する円弧面２８が形成されている。この円弧面２８によって、イオン生成流路１５を通過してノズルホルダー部２３ｂ内に流入した空気イオンにより空気導入ポート２７から外部空気を導入するエジェクタ２９が形成されている。
【００２３】
さらに、ノズル２３のノズルホルダー部２３ｂには、空気イオンに空気導入ポート２７から流入した空気が加えられた後の空気イオンに対して外部から矢印Ｄで示すように空気を導入するために補助空気導入ポート３２が形成されている。この補助空気導入ポート３２はノズル２３のノズル本体部２３ａの基端面に連通している。ノズル本体部２３ａにはイオン生成流路１５の内径ｄにほぼ対応した内径を有する括れ部２５が形成され、その括れ部２５よりも先端側には導管２４の内面に向けて漸次内径が大きくなったテーパ面２６が形成されている。ノズル本体部２３ａには補助空気導入ポート３２から導入された空気を括れ部２５に向けて案内する円弧面３３が形成されている。括れ部２５とテーパ面２６および円弧面３３とによって、ノズル本体部２３ａ内に流入した空気イオンにより補助空気導入ポート３２から外部空気を導入する補助エジェクタ３４が形成されている。
【００２４】
これにより、イオン生成流路１５を通過してノズル２３内に流入した空気イオンには、第１段目のエジェクタ２９と第２段目の補助エジェクタ３４とにより外部空気が導入されるので、給気ポート２１に供給される圧縮空気の量を少なくしても、多量の空気イオンを被除電部材に対して吹き付けることができる。第１段目のエジェクタ２９のみを設けた場合よりも、第２段目の補助エジェクタ３４をも設けた方が多量の空気イオンを生成することができる。
【００２５】
図４は本発明の他の実施の形態であるイオン生成装置１０ｄを示す断面図である。上述したイオン生成装置１０ａ〜１０ｃにおいては棒状の放電電極１６がイオン生成流路１５の径方向中心部に同軸に延びて配置されているのに対して、図４に示すイオン生成装置１０ｄにおいては、放電電極１６がイオン生成流路１５を横切る方向に径方向に配置されている。このイオン生成装置１０ｄの放電ユニット１１は、イオン生成流路１５が形成された樹脂材料からなる円筒形状の絶縁体１４に放電電極１６が取り付けられており、先端部はイオン生成流路１５の中心に位置している。絶縁体１４には放電電極１６に対向させて対向電極１３が取り付けられている。
【００２６】
放電ユニット１１の先端部は、図１に示したイオン生成装置１０ａと同様に、樹脂等の絶縁材料からなるノズル２３となっており、このノズル２３の先端部には空気イオンを被除電部材に向けて案内するための導管２４が装着されるようになっている。ノズル２３には、括れ部２５とその括れ部２５よりも先端側に導管２４の内面に向けて漸次内径が大きくなったテーパ面２６とが形成され、イオン生成流路１５で生成された空気イオンに対して矢印Ｂで示すように外部から空気を導入する空気導入ポート２７が複数個形成されている。ノズル２３には図１に示したイオン生成装置１０ａと同様に、空気導入ポート２７から導入された空気を括れ部２５に向けて案内する円弧面２８が形成されている。括れ部２５とテーパ面２６および円弧面２８とによって、イオン生成流路１５を通過してノズル２３内に流入した空気イオンにより空気導入ポート２７から外部空気を導入するエジェクタ２９が形成されている。
【００２７】
図３および図４に示したイオン生成装置１０ｃ，１０ｄにおいても、給気ポート２１に供給する圧縮空気の流量を少なくしても、プラスイオンとマイナスイオンの中和を防止しつつ、導管２４の先端から被除電部材に吹き付けられる空気イオンの量を高めることができ、被除電部材に帯電された静電気を短時間で除電することができる。しかも、放電電極１６の下流側に空気導入ポート２７が形成されているので、放電電極１６によりイオン化された後の空気イオンに空気導入ポート２７から外部空気が導入されることになり、導管２４から噴出される空気イオンのイオンバランスを損なうことなく、除電効果を高めることができる。
【００２８】
図５および図６はそれぞれ比較例として示すイオン生成装置である。図５に示すイオン生成装置１０ｅは、放電電極１６の配置形態が図１〜図３に示されたイオン生成装置１０ａ〜１０ｃと同様となっている。給気ポート２１に連通する空気供給口２２が形成された空気供給ユニット１２には、イオン生成流路１５が形成された円筒形状の絶縁体１４が設けられ、空気供給ユニット１２には放電電極１６がイオン生成流路１５に突出して取り付けられている。絶縁体１４には、導管２４が装着される対向電極１３が装着されており、対向電極１３がノズルとなっている。このように、比較例としてのイオン生成装置１０ｅにはエジェクタ２９が設けられていない。
【００２９】
一方、図６に示すイオン生成装置１０ｆは、放電電極１６の配置形態が図４に示されたイオン生成装置１０ｄと同様となっている。給気ポート２１に連通する空気供給口２２が形成された空気供給ユニット１２に、スペーサ３５を介して接続されるノズル２３には、放電電極１６と対向電極１３とが設けられており、ノズル２３により放電ユニットが形成されている。ノズル２３の先端部側に形成されたイオン生成流路１５の上流側には、空気導入ポート２７から導入された空気を案内する円弧面２８と、テーパ面２６とが形成されており、円弧面２８とテーパ面２６とによって、空気供給口２２と吸引ポート３１とからノズル２３に供給される空気に空気導入ポート２７から外部空気を導入するエジェクタ２９が形成されている。このように、比較例としてのイオン生成装置１０ｆにおいては、エジェクタ２９の下流側で放電電極１６と対向電極１３とにより空気をイオン化するようにしている。
【００３０】
図７（Ａ）は図１に示したイオン生成装置１０ａと図５に示した比較例としてのイオン生成装置１０ｅとについての除電効果を比較して示す特性線図であり、図７（Ｂ）は図３に示したイオン生成装置１０ｃと比較例としてのイオン生成装置１０ｅとについての除電効果を比較して示す特性線図である。図７において縦軸は除電時間を示し、横軸は給気ポート２１から供給する空気流量を示す。
【００３１】
それぞれの特性測定においては、長さ５００ｍｍの導管２４を用い、導管２４の先端部から５０ｍｍの距離にチャージドプレートモニタを配置して除電時間を測定した。その結果、図７（Ａ）に示されるように、図１および図３に示した本発明のイオン生成装置１０ａ，１０ｃは、エジェクタ２９が設けられているので、比較例に比して除電時間を短縮することができた。特に、給気ポート２１からの圧縮空気の供給流量が少ない場合には、比較例に比して本発明のイオン生成装置による除電時間の短縮効果が顕著であった。また、図７（Ｂ）に示すように、イオン生成装置１０ｃのように補助空気導入ポート３２から補助空気を供給するようにすると、給気ポート２１からの圧縮空気の供給流量が多い場合でも除電時間の短縮効果が顕著であった。なお、図２に示すイオン生成装置１０ｂにおいても、イオン生成装置１０ａと同様の効果が得られた。
【００３２】
一方、図８（Ａ）は強制的に微粒子を空気導入ポート２７に注入して、図４に示す本発明のイオン生成装置１０ｄのイオンバランスの乱れを測定した確認試験結果を示すデータであり、図８（Ｂ）は図６に示された比較例としてのイオン生成装置１０ｆについての同様の確認試験結果を示すデータである。
【００３３】
それぞれの試験は、長さ１００ｍｍの導管２４がノズル２３に装着されたイオン生成装置を使用し、０．１Ｍｐａの圧縮空気を給気ポート２１からイオン生成流路１５に供給した状態のもとで行った。イオン生成装置が周辺の空気環境が悪い場所で使用されることを想定し、空気導入ポート２７から微粒子を強制的に注入した。この結果、比較例のイオン生成装置１０ｆにおいては、異物を注入してから１０数秒経過後に、イオンバランスの乱れが発生したが、本発明のイオン生成装置１０ｄにおいては、イオンバランスの乱れは発生しなかった。したがって、本発明のイオン生成装置が空気環境の悪い場所で使用されても、放電電極１６の下流側で空気導入ポート２７から外部空気を導入することによって、イオンバランスを損なうことがない。
【００３４】
図９は図４に示された本発明のイオン生成装置１０ｄと、図６に示された比較例としてのイオン生成装置１０ｆとについてのイオンバランス効果を比較して示す特性線図である。図９の縦軸はイオンバランスを示し、横軸は空気供給圧を示す。図９（Ａ）は長さ１００ｍｍの導管２４を用いた測定結果を示し、図９（Ｂ）は長さ５００ｍｍの導管２４を用いた測定結果を示す。図４に示した本発明のイオン生成装置１０ｄは給気圧力を変化させても、イオンバランスは大きく変動することがなかったが、比較例のイオン生成装置１０ｆにおいては給気圧力が変化すると、イオンバランスも大きく変動することが判明した。イオンバランスが大きく変動するのは、比較例で示すようにエジェクタ２９の下流側において外気が導入された後に空気をイオン化させると、エジェクタ構造により発生した空気流の乱れが要因と考えられる。
【００３５】
したがって、本発明のように、空気をイオン化した後に空気イオンの流れを利用してエジェクタ２９により外気を導入するようにすると、イオンバランスに優れた空気イオンを被除電部材に吹き付けることができ、除電効果を高められることが判明した。
【００３６】
図１０に示すイオン生成装置１０ｇと図１１に示すイオン生成装置１０ｈは、上述した導管２４がノズル２３に装着されていない。図１０に示すイオン生成装置１０ｇの基本構造は、図１に示したイオン生成装置１０ａと同一であり、図１１に示したイオン生成装置１０ｈの基本構造は、図３に示したイオン生成装置１０ｃと同一である。これらのイオン生成装置１０ｇ，１０ｈは、空気イオンがノズル２３の空気吐出口１９から被除電部材に吹き付けられる。
【００３７】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、図１〜図３に示す放電ユニット１１は放電電極１６と対向電極１３との間に円筒形状の絶縁体１４を介在させて対向させるようにしているが、絶縁体１４を用いることなく、両方の電極を直接対向させるようにしても良い。
【符号の説明】
【００３８】
１１      放電ユニット
１２      空気供給ユニット
１３      対向電極
１４      絶縁体
１５      イオン生成流路
１６      放電電極
１７      電源ユニット
２０      圧縮空気圧源
２１      給気ポート
２２      空気供給口
２３      ノズル
２４      導管
２５      括れ部
２６      テーパ面
２７      空気導入ポート
２８      円弧面
２９      エジェクタ
３０      継手
３１      吸引ポート
３３      円弧面
３４      補助エジェクタ
【図１】
0005539848.tif 000002
【図２】
0005539848.tif 000003
【図３】
0005539848.tif 000004
【図４】
0005539848.tif 000005
【図５】
0005539848.tif 000006
【図６】
0005539848.tif 000007
【図７】
0005539848.tif 000008
【図８】
0005539848.tif 000009
【図９】
0005539848.tif 000010
【図１０】
0005539848.tif 000011
【図１１】
0005539848.tif 000012