(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スピンドルに締結される微小機械部品であって、少なくとも一つの開口（１０、２０、３０）を有し、その開口の縁には剛性部（１１）と弾性部（１２、２２、３２）とが交互に配設され、前記剛性部（１１）の前記開口（１０、２０、３０）の中央Ｃに最も近い端部（１３）を通る第１円Ｃ１の直径は、前記弾性部（１２、２２、３２）の前記開口の中央に最も近い端部（１５、２５、２７）を通る第２円Ｃ２の直径より大きく、前記剛性部（１１）は前記開口（１０、２０、３０）に突出する凸部からなり、前記開口にスピンドルを挿入することによりスピンドルに締結されることを特徴とする微小機械部品。
【請求項２】
前記凸部は前記開口（１０、２０、３０）の中央に向かって突出することを特徴とする、請求項１に記載の微小機械部品。
【請求項３】
前記各弾性部（１２）は湾曲したアームからなることを特徴とする、請求項１または２に記載の微小機械部品。
【請求項４】
前記各弾性部（２２）は２つの湾曲したフィンガー（２２ａ、２２ｂ）からなることを特徴とする、請求項１または２に記載の微小機械部品。
【請求項５】
前記各弾性部（３２）は少なくとも１つの直線的なハーフアーム（３２ａまたは３２ｂ）からなることを特徴とする、請求項１または２に記載の微小機械部品。
【請求項６】
３つの剛性部（１１）と３つの弾性部（１２、２２、３２）とを有することを特徴とする、請求項１から５のいずれか一項に記載の微小機械部品。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載の微小機械部品と、スピンドルとからなるアセンブリ。
【請求項８】
請求項５に記載の微小機械部品とスピンドルとからなるアセンブリにおいて、伝達されるトルクを制限することを特徴とする、微小機械部品の使用方法。
【請求項９】
請求項７に記載のアセンブリの製造において、不良アセンブリのリスクを減少する方法であって、
請求項１から６のいずれか一項に記載の微小機械部品にスピンドルを挿入するために必要とする力を測定するステップと、
測定した力の値と第１基準値とを比較するステップと、
測定した力の値と第２基準値とを比較するステップと、
測定値が第１基準値より大きいか、または第２基準値より小さい場合は、該アセンブリを不良品と判定するステップと、
測定値が第１基準値以下で、かつ第２基準値以上である場合は、該アセンブリを維持するステップと、
の一連のステップを有することを特徴とする方法。
【請求項１０】
請求項７に記載のアセンブリの製造方法であって、
挿入に必要とされる力を測定しつつ請求項１から６のいずれか一項に記載の微小機械部品にスピンドルを挿入するステップと、
測定値と第１基準値とを比較するステップと、
測定値が第１基準値より大きいか、または第２基準値より小さい場合は、該アセンブリを不良品と判定するステップと、
測定値が第１基準値以下で、かつ第２基準値以上である場合は、該アセンブリを維持するステップと、
の一連のステップを有することを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はスピンドルに締結される微小機械部品、たとえばホイール、ピニオン、スタッド、ピンまたはヘアスプリング等であって、少なくとも１つの開口を有し、その開口の縁には交互に剛性部と弾性部とが配置されることを特徴とする機械部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
１９５９年６月に、図１に示したような複数の剛性アーム１を有するホイールであって、剛性アームの各端部２を通る円の直径が該ホイールの中央に挿入されるスピンドルの直径と同等であるスリップカップリングが、特許文献１に開示された。各剛性アーム１はそれぞれ放射状の延長部を有し、各延長部は内向きの弾性アーム３として機能する。ホイールがスピンドルに取り付けられると、各弾性アーム３はホイールとスピンドル間の摩擦係合を実現する。
【０００３】
２００６年２月、つまり上述の従来例のほぼ半世紀後に、わずかに異なる形状を有する開口を使用する提案がなされた。特許文献２は、図２に示す微小機械部品を提案した。この微小機械部品には、強化／位置決め部４と弾性変形部とが交互に配置され、弾性変形部は舌部５からなり、その端部６は開口内に突出してスピンドルの理論上の外形を超えて延びることにより、スピンドルが取付位置に挿入駆動されたときにクランピング機能を奏する。開示された発明の目的は部品を損傷することなくスピンドルやスタッドに挿入駆動してアセンブリを構成することにある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】スイス特許第３３８１４６号
【特許文献２】欧州特許出願公開第１８２６６３４号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述の各特許文献に記載される開口の形状は、損傷のおそれを回避するのに適切であるように見受けられるが、しかしながら特に両者とも低いアセンブリ（駆動）力と高いクランプ力（後者は部品がスピンドル上で空転を起こさない限界の高い伝達トルクを明示する必要がある）とを同時に実現していないことから、満足のいくものとはいえない。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、半世紀もの間解決されることなかった上述の問題を解決するための手段に到達することに成功した。
【０００７】
本発明者らは、スピンドルに締結するための微小機械部品であって、少なくとも一つの開口を有し、その開口の縁には複数の剛性部と複数の弾性部とが交互に配設され、前記剛性部の前記開口の中央に最も近い端部を通る第１円の直径は、前記弾性部の前記開口の中央に最も近い端部を通る第２円の直径より大きく、前記剛性部は開口に突出する凸部からなることを特徴とする微小機械部品を開発した。
【０００８】
本発明に係る上述の特徴を有する微小機械部品によると、特に以下のことが可能となる。
・ホイールの中央とスピンドルの中央とを高い精度で位置合わせすることができる。
・駆動工程中の損傷のリスクを減少させることができる。
・アセンブリを構成する部品の許容差範囲を拡大することができる。
・脆弱な部品の組み立てに際し、より高い制御性を有することができる。
・微小クラックのリスクを減らすことができる。
・過剰にきついクランピングまたは締まりばめによって組み立てられたアセンブリ（部品を構成する材料が脆弱な場合、微小クラックが形成されやすい）を容易に検出することができる。
・アセンブリの品質を系統的かつ容易にチェックすることができる。
・微小クラックの有無を電子顕微鏡で調べるという手間のかかる工程が不要となったことにより、製造作業を簡易化することができる。
【０００９】
本発明の微小機械部品によると、凸部は開口の中央に向かって突出することが望ましい。
本発明の第１実施例によると、各弾性部は湾曲したアームからなる。
本発明の第２実施例によると、各弾性部は少なくとも１つの湾曲したフィンガーからなる。
本発明の第３実施例によると、各弾性部は少なくとも１つの実質的に直線的なハーフアームからなる。
【００１０】
望ましくは、本発明の微小機械部品は３つの剛性部と３つの弾性部とを有する。特に、この２掛け３の部分からなる構成は均衡性を有することから、接触点の数を同数にすることができ、かつ最適な中央合わせが可能となる。
【００１１】
さらには本発明は、スピンドルと本発明の微小機械部品とを組み合わせたアセンブリの製造において、不良アセンブリのリスクを減少させる方法に関する。
【００１２】
さらに、本発明はスピンドルと本発明の微小機械部品とを組み合わせたアセンブリの製造方法に関する。
【００１３】
上記の各方法により、微小クラックの可能性を実質的にゼロとしたアセンブリを容易な方法で得ることが可能となり、特に、抵抗トルクが小さすぎることによる不良を実質的にゼロとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】前記特許文献１に開示されるホイールであって、剛性部をつなぐ円を記載した図。
【図２】前記特許文献２の第１実施例に係る微小機械部品であって、剛性部をつなぐ点線を記載した図。
【図３】本発明の第１実施例に係る微小機械部品の部分図。
【図４】本発明の第２実施例に係る微小機械部品の部分図。
【図５】本発明の第３実施例に係る微小機械部品の部分図。
【図６】本発明に係る微小機械部品にスピンドルを挿入駆動する力の、得られた干渉に応じた変化を示す曲線。
【図７】本発明に係る微小機械部品に挿入されるスピンドルからなるアセンブリによって伝達される最大トルクの、得られた干渉に応じた変化を示す曲線。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明は、特に時計製造の分野に関し、特に非常に小さな（ミリメートル単位程度の）寸法を有する歯車、ピニオン、コレット、（アンクル用の）けん先、ディスプレイディスク等の製造に適している。
【００１６】
具体的には、スピンドルをホイールの中心穴に挿入することにより得られるアセンブリは、所望の機能を供するために十分な抵抗力をもって保持されることが必要である。要するに、一方の部品が他方の部品に対して空転することなくトルクを伝達することが必要である。また、場合によっては、所定のトルクを超えた場合は空転を起こすことが必要となる。
【００１７】
つまり、最悪の場合における最小駆動力に対応する最小抵抗トルクは、空転を防止するためには、最大負荷トルクより大きくなければならない。さらに、（最大抵抗トルクに対応する）最大駆動力は、組立中の損傷（例えば微小クラックや塑性変形等）が発生しない限界の閾値より小さくなければならない。
【００１８】
図３は本発明の第１実施例にかかる微小機械部品の部分図である。この微小機械部品は平坦で薄く、スピンドル（図示せず）を受け入れるための開口１０を有する。剛性部１１と弾性部１２が交互に開口１０の縁に形成される。
【００１９】
各剛性部１１は、図３において点Ｃと図示される開口１０の中心方向に向かって、微小機械部品から突出する凸部からなる。各剛性部１１の輪郭は円弧状である。すべての剛性部１１は同一形状を有し、それぞれの剛性部の開口１０の点Ｃに最も近い端部１３を結ぶことにより、点Ｃを中心とする第１円Ｃ１が得られる。
【００２０】
各弾性部１２は点Ｃに向かって湾曲するアームからなる。各アームは、点Ｃに向かって微小機械部品から突出する輪状片の形状を有し、その最大直径部分は点Ｃに向かって配置される。この輪状片によって開口１０と微小機械部品との間に実質的に楕円形の切り抜き部１４が形成される。
【００２１】
弾性部１２は、切り抜き部１４を含む環状形状を有することにより、剛性部１１よりも著しく大きい弾性を有する。すべての弾性部１２は同一形状を有し、それぞれの弾性部の開口１０の点Ｃに最も近い端部１５を結ぶことにより、点Ｃを中心とする第２円Ｃ２が得られる。
【００２２】
第２円Ｃ２の直径は第１円Ｃ１の直径よりも小さい。
各剛性部１１とその両隣に各々配置される弾性部１２との間には間隔１６が形成される。
この第１実施例に係る微小機械部品は交互に配置された３つの剛性部と３つの弾性部を有し、それにより３つの対称な部分からなる。
【００２３】
図４は本発明の第２実施例に係る微小機械部品の部分図である。この微小機械部品もまた平坦で薄型である。
剛性部１１は第１実施例の剛性部と同等であるため、ここでは詳述しない。
【００２４】
本実施例と第１実施例の違いは弾性部の形状にある。具体的には、第２実施例において、各弾性部２２は２つの湾曲したフィンガー２２ａ、２２ｂからなる。
各フィンガー２２ａは実質的に機械部品から突出する輪状の形状を有しており、その輪の一部が取り除かれて空間２３ａが形成される。同様に、各フィンガー２２ｂは実質的に機械部品から突出する輪状の形状を有しており、その輪の一部が取り除かれて空間２３ｂが形成される。
【００２５】
同一の領域２２にあるフィンガー２２ａおよび２２ｂの空間２３ａおよび２３ｂは中心点Ｃに向かって配置されているのではなく、輪状部の自由端２７と微小機械部品の残りの部分との間に形成される。フィンガー２２ａと２２ｂとの間には空間２４が形成される。フィンガー２２ａの空間２３ａはフィンガー２２ｂの反対側に配置され、フィンガー２２ｂの空間２３ｂはフィンガー２２ａの反対側に配置される。フィンガー２２ａおよび２２ｂは、中心点Ｃとフィンガー同士の中間に位置する空間２４の中心点とを通る直線に対して対称である。
【００２６】
弾性部２２は、フィンガー２２ａおよび２２ｂの環状形状と空間２３ａおよび２３ｂを有することにより、剛性部１１よりも著しく大きい弾性を有する。すべての弾性部２２は同一形状を有し、開口２０の中心点Ｃに最も近いそれぞれの弾性部の端部２５を結ぶことにより、点Ｃを中心とする第２円Ｃ２が得られる。
【００２７】
第２円Ｃ２の直径は第１円Ｃ１の直径よりも小さい。
フィンガー２２ａおよび２２ｂが実質的に半径方向外側に向かって押されると、空間２３ａおよび２３ｂの寸法は減少して、最終的には空間がなくなり、フィンガー２２ａおよび２２ｂの自由端２７が微小機械部品の残りの部分と接する。つまり、後者はフィンガー２２ａおよび２２ｂの支え部となる。
【００２８】
各剛性部１１とその両隣に各々配置される弾性部２２との間には間隔２６が形成される。
この第２実施例に係る微小機械部品もまた、交互に配置された３つの剛性部と３つの弾性部を有し、それにより３つの対称な部分からなる。
【００２９】
図５は本発明の第３実施例に係る微小機械部品の部分図である。この微小機械部品もまた平坦で薄型である。
剛性部１１は前述した他の実施例の剛性部と同等であるため、ここでは詳述しない。
【００３０】
本実施例と前述した他の実施例との違いは、主に弾性部の形状にある。具体的には、第３実施例において、各弾性部３２は２つの実質的に直線的なハーフアーム３２ａおよび３２ｂからなる。各ハーフアーム３２ａは、微小機械部品から、２つのハーフアーム３２ａと３２ｂとの間の中間点を通る円Ｃ１の接線に対してわずかな角度（１０度以下）を有する方向に突出して形成される。これにより、各ハーフアーム３２ａの自由端３３ａは開口３０の中心を示す点Ｃにより近い位置に配置される。
【００３１】
同様に、各ハーフアーム３２ｂは、微小機械部品から、前記接線に対してわずかな角度（１０度以下）を有する方向に突出して形成され、これにより、各ハーフアーム３２ｂの自由端３３ｂは開口３０の中心を示す点Ｃにより近い位置に配置される。
【００３２】
ハーフアーム３２ａおよび３２ｂは互いに相対しており、それぞれの自由端３３ａおよび３３ｂの間には空間３４が形成される。ハーフアーム３２ａおよび３２ｂと微小機械部品の残りの部分との間にはそれぞれ空間３５ａおよび３５ｂが形成され、ハーフアーム３２ａおよび３２ｂの根本部分（つまり各ハーフアームが部品から突出する部分）はそれぞれ拡大されて水滴形状３８ａおよび３８ｂが形成される。
【００３３】
弾性部３２は、ハーフアーム３２ａおよび３２ｂの突出形状と空間３５ａおよび３５ｂを有することにより、剛性部１１よりも著しく大きい弾性を有する。すべての弾性部３２は同一形状を有し、開口３０の中心点Ｃに最も近いそれぞれの弾性部の端部３７を結ぶことにより、点Ｃを中心とする第２円Ｃ２が得られる。
当然、本実施例においても、第２円Ｃ２の直径は第１円Ｃ１の直径よりも小さい。
【００３４】
ハーフアーム３２ａおよび３２ｂの自由端３３ａおよび３３ｂが実質的に半径方向外側に向かって押されると、空間３５ａおよび３５ｂの寸法は減少して、最終的には空間がなくなり、自由端３３ａおよび３３ｂが微小機械部品の残りの部分と接する。つまり、後者はハーフアーム３２ａおよび３２ｂの支え部となる。
【００３５】
各剛性部１１とその両隣に各々配置される弾性部３２との間には間隔３６が形成される。
この第３実施例に係る微小機械部品もまた、交互に配置された３つの剛性部と３つの弾性部を有し、それにより３つの対称な部分からなる。
【実施例】
【００３６】
本発明の第１（Ｐ１）、第２（Ｐ２）および第３（Ｐ３）実施例に係る微小機械部品を対象とする実験がＡＮＳＹＳ（登録商標）ソフトウェアを利用して行われた。各部品はＮｉ−Ｐ合金を使用して製造された。
【００３７】
部品Ｐ１の厚さは０．２ｍｍ、円Ｃ２の直径は０．４９ｍｍ、円Ｃ１の直径は０．５１ｍｍ、凸部の曲率半径は０．１５ｍｍ、アーム１２の幅は０．０４ｍｍで外径は１．０ｍｍ、円Ｃ１と空間１６の一番遠い端部との距離は０．１５ｍｍ、そして切り抜き部１４の幅は０．１２ｍｍで長さは０．２６ｍｍであった。
【００３８】
部品Ｐ２の厚さは０．２ｍｍ、円Ｃ２の直径は０．４９ｍｍ、円Ｃ１の直径は０．５１ｍｍ、凸部の曲率半径は０．１５ｍｍ、フィンガー２２ａおよび２２ｂの内径は０．０６ｍｍで外径は０．１４ｍｍ、円Ｃ１と空間２４の一番遠い端部との距離は０．１５ｍｍ、空間２３ａおよび２３ｂの端部２７と部品Ｐ２の対向する壁部との距離は０．０２ｍｍ、そして円Ｃ１と空間２６の一番遠い端部との距離は０．１５ｍｍであった。
【００３９】
部品Ｐ３の厚さは０．２ｍｍ、円Ｃ２の直径は０．４９ｍｍ、円Ｃ１の直径は０．５１ｍｍ、凸部の曲率半径は０．１５ｍｍ、ハーフアーム３２ａおよび３２ｂの長さは０．１８ｍｍで幅は０．０４ｍｍ、空間３４の実質的にハーフアーム３２ａおよび３２ｂの軸にそって計測した長さは０．０２ｍｍ、円Ｃ１と空間３６の一番遠い端部との距離は０．０４ｍｍ、空間３５ａおよび３５ｂの最小幅は０．０２ｍｍ、そして水滴形状部３８ａおよび３８ｂの広がった部分の一番遠い壁部の間の距離は０．３７ｍｍで、これら水滴形状部の直径は０．０７ｍｍであった。
【００４０】
各部品Ｐ１、Ｐ２およびＰ３について、干渉に応じて、つまりスピンドルの直径と円Ｃ２の直径の違いに応じて、７００ＨＶの硬度を有する２０ＡＰスチール製のスピンドルを部品Ｐ１、Ｐ２およびＰ３の各開口１０、２０および３０に挿入する（駆動する）力をシミュレーションした。スピンドルと各部品Ｐ１、Ｐ２およびＰ３の摩擦関数μは０．１５であった。
【００４１】
図６にその結果を示す。
３つの部品Ｐ１、Ｐ２およびＰ３の数値はそれぞれ初期に直線的に増加し、干渉が２０μｍを超えると屈折する（傾斜がきつくなる）。
【００４２】
上記から推測可能なように、干渉が０から２０μｍの範囲では、駆動の直線状の増加は許容レベルである。しかしながらその範囲を超えた場合、駆動力は直線的ではなく急激に増加する。そのため、干渉が２０μｍに到達したときに、スピンドルが剛性部に接触したと考えられる。それ以降の干渉値（＞２０μｍ）の増加は、剛性部の抵抗を受ける。それゆえに、図６の屈折（駆動力の急激な増加）が引き起こされる。弾性部のアームは、ここに記した２０μｍの値ではなく、もっと高い値においてその弾性限界を迎える。つまり弾性部のアームはその弾性限界に達することはない。具体的には、剛性部の存在により、クランプ力が急激にかつ著しく増加を見せた場合は、アセンブリは不良品と判定することができる。
【００４３】
部品Ｐ１、Ｐ２およびＰ３はそれぞれ、上記数値が２０μｍに到達したときに、剛性部の突出部分との接触がおこり、弾性部の弾性限界の約７０％に到達するよう設計される。具体的には、安全域を設けつつ、駆動力の増加が破損の恐れのある部分の始まりに対応するよう、剛性部の位置を慎重に定める必要がある。干渉が２０μｍに達した場合の駆動力の増加は、スピンドルの挿入駆動が剛性部に当接することのみによっておこる。もし剛性部が存在しなかったら、駆動力の異常によって材料の弾性限界を超えたとしても、そのことを検知することは不可能である。
【００４４】
本発明によると、剛性部と当接したとき、各アームはその弾性限界領域を超えないよう設計されている。
そのため、本発明の部品Ｐ１、Ｐ２およびＰ３によると、各部品の寸法の偏差が駆動力に与える影響は少ない（各アームの弾性応力領域の範囲内に留まる）ので、部品の製造公差の許容範囲は広い。この力は許容差範囲内のすべての部品に対して満足なものであり、これにより実際には製造要求を低くすることやノンコンプライアンスによる不良品の数を減らすことができる。
【００４５】
さらに、「ドライブアウト」（スピンドルの逸脱）に対する抵抗は駆動力と直接関連しており、もし５０００ｇの衝撃によって起こるドライブアウトの最小抵抗が概して少なくとも０．１Ｎである必要があるならば、本発明の３つの部品Ｐ１、Ｐ２およびＰ３によると、たとえ干渉が最小であったとしても（４μｍ）、上記の最小衝撃抵抗を達成することができる。
【００４６】
次に、アセンブリによって伝達可能な最大トルクの値（言い換えると、伝達される最大の値であって、それ以上は伝達不可能である値）が、干渉に応じてシミュレーションされた。
図７にその結果を示す。
【００４７】
図示されたケースにおいて、アセンブリが伝達可能な最小トルク値は少なくとも１６μＮｍでなければならない。一番低い値を示したＰ３の場合であっても、４μｍの干渉においては８０μＮｍという必要値より著しく大きい値が得られることがわかった。
さらに、Ｐ３のケースにおいて、最大伝達トルクは干渉の増加に伴ってわずかにしか増加しない。慎重にその寸法を設計することにより、部品Ｐ３は伝達されるトルクのリミッタとしての応用が可能となる。そのような応用は、本発明の部品が大きな寸法変動を許容しつつも、アセンブリが伝達可能な最大トルクを制限することができる点で好ましい。
【００４８】
[比較例]
本発明の微小機械部品Ｐ２を前記従来例１および２に示される２つの部品と比較した。
これら３つの部品のシミュレーションは、同じ条件のもとでＡＮＳＹＳ（登録商標）ソフトウェアを利用して行われた。その条件は以下の通りである。
・同一のスピンドル（直径０．５１ｍｍ、硬度７００ＨＶの２０ＡＰスチール）
・素材：ＮｉＰ、厚さ０．２ｍｍ、スピンドルとの摩擦係数μ＝０．１５、干渉１２μｍ
・同一のシミュレーションパラメータ（メッシュ寸法、計算増分、接触定式化等）
【００４９】
比較基準は最大主応力に対する抵抗トルクの比である（脆弱な素材に対する標準検証基準）。基準の値が高ければ高いほど、微小機械部品の品質はよい。
【００５０】
上記の結果を表に示す。
【表１】
0005451162.tif 000002
従来例の各部品に比べて、本発明の部品Ｐ２は非常にすぐれた結果を得ることができることがわかった。
【００５１】
[本発明の手法]
本発明にかかる微小機械部品によると、スピンドルを開口に挿入駆動する時に、剛性部が主にガイドの役割を果たし、弾性部はクランプによりスピンドルが微小機械部品に対して回転しないよう、かつ部品の平面に対して実質的に垂直な方向に移動しないように保持する。
【００５２】
図６に示すとおり、本発明に係る微小機械部品の各々について、その値を超えると駆動力が急速に増加し、その結果微小機械部品に微小クラックが生じる危険が無視できなくなるような干渉値を規定することができる。
そのため、高い駆動力を要したアセンブリの部品は不良品と判定することが望ましい。
【００５３】
同様に、空転を起こすことなく正しく力を伝達するのに必要な最小トルク以上のトルクを保証できない部品は、不良品と判定することが望ましい。
【００５４】
上述したとおり、本発明は、スピンドルと上述の本発明に係る微小機械部品とからなるアセンブリの製造において、不良アセンブリを製造するリスクを減少することのできる方法に関する。この方法は以下の一連のステップを有する。
・スピンドルを微小機械部品に挿入するのに必要な力を測定し、
・測定値を第１基準値および第２基準値と比較し、
・測定値が第１基準値より大きいか第２基準値より小さい場合、アセンブリを不良品と判断し、
・測定値が第１基準値以下で、かつ第２基準値以上である場合、アセンブリを良好であると判断して維持する。
【００５５】
本発明の方法に使用する第１基準値は、弾性部の弾性限界よりほぼ３０％少ない値に対応し、上述のテストにおいて、部品Ｐ１、Ｐ２およびＰ３において２０μｍの干渉に対応する。
【００５６】
第２基準値は、その値を下回ると部品が正しい伝達を行うために必要なトルクを伝達することができなくなる限界の値である。
【００５７】
同時に、本発明はまた微小機械部品とスピンドルからなるアセンブリを製造する方法であって、以下の一連のステップを有する。
・挿入に必要な力を測定しつつスピンドルを本発明にかかる微小機械部品に挿入し、
・測定値を第１基準値および第２基準値と比較し、
・測定値が第１基準値より大きいか第２基準値より小さい場合、アセンブリを不良品と判断し、
・測定値が第１基準値と同じか小さく、かつ第２基準値と同じか大きい場合、アセンブリを維持する。
【００５８】
図３、４および５は本発明に係る微小機械部品の、発明を説明するのに必要な部分のみを図示している。当業者であれば、図示を省いた各部品、たとえばホイール、ピニオン、スタッド、ピン、ヘアスプリング等、を加えて図示の部品を完成することが可能である。
【００５９】
本発明に係る微小機械部品は、たとえばシリコン、ニッケル、ニッケル−リン等のニッケル合金、ダイアモンド、石英等の材料を使用して製造することができる。
【００６０】
ニッケルまたはニッケル−リンを使用して比較的複雑な形状を有する部品を製造するには、ＬＩＧＡ（ドイツ語でＲｏｎｔｇｅｎｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｉｅ，Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ，Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ、つまりＸ線リソグラフィ、電気めっき、成形、の略）として知られる製造技術を採用することが望ましい。シリコン、ダイヤモンドや石英製ウェハを使用して比較的複雑な形状を有する部品を製造するには、例えばディープエッチングなどの微細加工技術を採用することができる。
【００６１】
図３から図５に図示される微小機械部品はすべて望ましい構成として３つの剛性部と３つの弾性部を有する。しかしながら、本発明の範囲から逸脱することなく、剛性部や弾性部の数を増やしたり、異なる寸法や形状を有している微小機械部品を完成させることができる。たとえば、凸部は円弧状に限らず、可変曲率を有する形状や楕円形状であってもよく、開口の中央に向かって形成されるかわりに、中央から外れた方向に向かって形成されてもよい。
【００６２】
さらに、本発明に係る微小機械部品は平坦でなくてもよい。実際、上述のＬＩＧＡ技術によれば、たとえばピニオンを有するホイール板などの多層部品を製造することが可能である。
【００６３】
さらに、部品がニッケル−リンやシリコンによって作られた場合、圧縮より張力に対して、より脆弱である。そのため、曲げ応力が中央部分においては低い張力となり反対部分においては高い圧縮力となる、本発明の部品Ｐ２（図４）が特に好ましい。
【００６４】
最後に、部品の対称性をより低くすることも可能である。たとえば本発明の部品Ｐ２およびＰ３において、ハーフアームを（長さまたは幅方面に対して）対称としないことにより、部品の抵抗トルクを一方向について他方向よりもより高く設計することができる。
【符号の説明】
【００６５】
１０、２０、３０  開口
１１  剛性部
１２、２２、３２  弾性部
１３、１５、２５、２７  端部
２２ａ、２２ｂ  フィンガー
２３ａ、２３ｂ、２４、３４、３５ａ、３５ｂ  空間
２６  間隔
３２ａ、３２ｂ  ハーフアーム
３３ａ、３３ｂ  自由端
【図１】
0005451162.tif 000003
【図２】
0005451162.tif 000004
【図３】
0005451162.tif 000005
【図４】
0005451162.tif 000006
【図５】
0005451162.tif 000007
【図６】
0005451162.tif 000008
【図７】
0005451162.tif 000009