(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部空間を有する筐体と、
前記内部空間内に配置された光学素子とを備え、
前記筐体は、前記筐体の外部空間と前記内部空間を連絡している前記内部空間の気体の置換のための貫通口を有しており、さらに、
前記貫通口内に配置されて前記貫通口を仮封止するための仮封止手段と、
前記仮封止手段よりも前記外部空間側に配置され加熱によって溶融または溶接され前記貫通口を完全に封止するための封止手段を備えている光入出力装置。
【請求項２】
前記仮封止手段は、前記貫通口内に配置されて前記貫通口を塞ぐ中間部材と、前記中間部材を前記貫通口の壁面に圧接するとともに前記貫通口の内部に摩擦力によって固定された圧接部材を備えている請求項１に記載の光入出力装置。
【請求項３】
前記貫通口は、前記内部空間側の内側開口端と前記外部空間側の外側開口端を有し、前記内側開口端の面積は前記外側開口端の面積よりも小さく、前記貫通口の軸に垂直な前記中間部材の断面積は、前記貫通口の前記内側開口端の面積よりも大きく、前記貫通口の前記外側開口端の面積よりも小さい請求項２に記載の光入出力装置。
【請求項４】
前記貫通口は、前記外部空間側に開口した第一部分と、前記内部空間側に開口した第二部分とを有し、前記第二部分の断面積は前記第一部分の断面積よりも小さく、前記中間部材は少なくとも前記第二部分の断面積よりも大きい部分を有している請求項３に記載の光入出力装置。
【請求項５】
前記貫通口の壁面に圧接される前記中間部材の面が曲面である請求項４に記載の光入出力装置。
【請求項６】
前記中間部材が球形状をしている請求項４に記載の光入出力装置。
【請求項７】
前記中間部材と前記圧接部材が一体化されている請求項４に記載の光入出力装置。
【請求項８】
前記圧接部材が前記貫通口に螺合されている請求項４に記載の光入出力装置。
【請求項９】
前記圧接部材が前記貫通口に圧入されている請求項４に記載の光入出力装置。
【請求項１０】
前記封止手段は、前記圧接部材を封止するための封止剤を有している請求項４に記載の光入出力装置。
【請求項１１】
前記封止手段は、前記圧接部材を前記筐体に溶接することを有している請求項４に記載の光入出力装置。
【請求項１２】
前記封止手段は、前記外部空間側で前記貫通口を覆う封止用別部材を有している請求項４に記載の光入出力装置。
【請求項１３】
前記封止手段は、前記封止用別部材を前記筐体に溶接することを有している請求項１２に記載の光入出力装置。
【請求項１４】
前記筐体は、凹部を有するベースと、前記凹部を塞ぐ蓋とから構成されており、前記貫通口は前記ベースに設けられている請求項４に記載の光入出力装置。
【請求項１５】
前記筐体は、凹部を有するベースと、前記凹部を塞ぐ蓋とから構成されており、前記貫通口は前記蓋に設けられている請求項４に記載の光入出力装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光入出力装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば特開２００４−２７９５４６号公報は光入出力装置のひとつを開示している。この光入出力装置は、長期信頼性を確保するために、高純度の不活性ガスで気密封止されている。このため、筐体に開口部を設けられており、この開口部を用いて筐体内の気体が不活性ガスで置換されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２７９５４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の光入出力装置では、開口部を封止する際の温度上昇、具体的には、封止剤を溶融もしくは高温硬化させる際の加熱により、筐体内部の圧力が上昇し、封止剤が筐体外部に噴出してしまい、完全な気密封止ができないおそれがある。また、封止剤噴出後、十分な量の封止剤を追加投入するなどして開口部を完全に気密封止できたとしても、筐体内部の気体の一部が流出してしまう。これは、筐体内部の空間屈折率の変化をもたらし光学特性の劣化を招く。
【０００５】
本発明は、このような実状を考慮して成されたものであり、その目的は、長期信頼性の高い光入出力装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による光入出力装置は、内部空間を有する筐体と、前記内部空間内に配置された光学素子とを備えている。前記筐体は、前記内部空間の気体の置換のために、前記筐体の外部空間と前記内部空間を連絡する貫通口を有している。前記光入出力装置はさらに、前記貫通口内に配置されて前記貫通口を仮封止するための仮封止手段と、前記仮封止手段よりも前記外部空間側に配置され加熱によって溶融または溶接され前記貫通口を完全に封止するための封止手段を備えている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、長期信頼性の高い光入出力装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、第一実施形態による光入出力装置を示している。
【図２】気体置換用の貫通口を封止する工程に示している。
【図３】第一実施形態の第一の変形例を示している。
【図４】第一実施形態の第二の変形例を示している。
【図５】第一実施形態の第三の変形例を示している。
【図６】第一実施形態の第四の変形例を示している。
【図７】第一実施形態の第五の変形例を示している。
【図８】第一実施形態の第六の変形例を示している。
【図９】第一実施形態の第七の変形例を示している。
【図１０】第二実施形態による光入出力装置を示している。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
【００１０】
＜第一の実施形態＞
第一実施形態による光入出力装置を図１に示す。光入出力装置１００は、内部空間１３１を有する筐体１３０と、内部空間１３１内に配置された光学素子１４０とを有している。光入出力装置１００は、たとえば、光通信モジュールの一種である波長選択スイッチである。波長選択スイッチとは、波長多重された信号光を波長毎にスイッチングする機能を有するモジュールである。
【００１１】
筐体１３０は、凹部を有するベース１１０と、ベース１１０の凹部を塞ぐ平板状の蓋１２０とから構成されている。ベース１１０と蓋１２０は互いに気密に接合されて内部空間１３１を形成する。ベース１１０は、平板状の基台部１１１と、基台部１１１上に位置する筒状の側壁部１１２とから構成されている。ここでは、便宜上、ベース１１０を基台部１１１と側壁部１１２に分けているが、基台部１１１と側壁部１１２は一体に形成されてもよい。もちろん、ベース１１０は、別体の基台部１１１と側壁部１１２を接合して作製されてもよい。
【００１２】
光学素子１４０は、波長多重光を入出力するための光ファイバアレイ１４１と、光ファイバアレイ１４１の入力ファイバから入力された信号光を平行光にするための光学レンズ１４２と、信号光を波長毎に分散させるための分散素子１４３と、分散された各波長の信号光を集光するための光学レンズ１４４と、集光された波長毎の信号光を独立に偏向して出力先を切り替えるための光偏向器１４５とを有している。光偏向器１４５によって切り替えられた各波長の信号光は光ファイバアレイ１４１の所望の出力ファイバから出力される。
【００１３】
これらの光学部品は光学ベース１４６上に設置されており、光学ベース１４６はダンパ１５０を介してベース１１０の基台部１１１に固定されている。
【００１４】
ベース１１０の側壁部１１２は、光ファイバアレイ１４１のファイバ群１４７を通すための貫通穴１１３を有している。ファイバ群１４７が通された貫通穴１１３は半田などの封止剤１１４などを用いて気密封止されている。またベース１１０の基台部１１１は、光偏向器１４５に電力や制御信号を供給するためのケーブル群１４８を通すための貫通穴１１５を有している。ケーブル群１４８が通された貫通穴１１５は半田などの封止剤１１６などを用いて気密封止されている。
【００１５】
筐体１３０は、筐体１３０の内部空間１３１の気体の置換のための貫通口１６０を有している。貫通口１６０は、筐体１３０の内部空間１３１と筐体１３０の外部空間１３２を空間的に連絡している。貫通口１６０は、図１の構成では、ベース１１０の側壁部１１２に設けられているが、ベース１１０の基台部１１１に設けられていてもよい。
【００１６】
また光入出力装置１００は、貫通口１６０を仮封止するための仮封止手段としての中間部材１８１と圧接部材１８２と、貫通口を完全に封止するための封止手段としての封止剤１８３を備えている。中間部材１８１は、貫通口１６０内に配置されて貫通口１６０を塞ぐ働きをする。圧接部材は、中間部材１８１を貫通口１６０の壁面に圧接し、また貫通口１６０の内部に摩擦力によって固定されている。
【００１７】
貫通口１６０は、内部空間１３１側の内側開口端と外部空間１３２側の外側開口端を有し、内側開口端の面積は外側開口端の面積よりも小さい。貫通口１６０の軸に垂直な中間部材１８１の断面積は、貫通口１６０の内側開口端の面積よりも大きく、貫通口１６０の外側開口端の面積よりも小さい。ここで、貫通口１６０の軸は、貫通口１６０の内側開口端と外側開口端の中心同士を結ぶ直線を意味している。たとえば、貫通口１６０は、外部空間１３２に開口した第一部分１６１と、内部空間１３１に開口した第二部分１６２を有している。第一部分１６１と第二部分１６２は一直線上に整列している。たとえば、第一部分１６１は円柱形状をしており、第二部分１６２は円錐台形状をしているおり、両者は段差なく連続している。
【００１８】
波長選択スイッチのような光学モジュールは、長期信頼性を有することが要求されるため、筐体内の雰囲気を純度の高い所望のガス（窒素、アルゴンなどの不活性ガス）で気密封止する必要がある。
【００１９】
ベース１１０と蓋１２０を気密封止するための接合には、半田接合や溶接がよく用いられる。しかし、半田接合は、筐体１３０の内部への熱影響が避けられない。また熱影響を回避した上で気密性を確保するために主に用いられる抵抗溶接などは、ベース１１０または蓋１２０のいずれかを薄肉な構成にすることを必要とする。これは、比較的大きな容積を必要とする波長選択スイッチの筐体１３０への適用には剛性確保の観点で問題がある。そこで、波長選択スイッチのような比較的大きなモジュールでの気密封止に適用でき、接合時の熱影響を回避する方法として、レーザー溶接が用いられている。
【００２０】
また、波長選択スイッチでは、光ファイバアレイ１４１のファイバ群１４７や、光偏向器１４５への電力供給や制御信号供給のためのケーブル群１４８を筐体１３０の外部に気密性を保ったまま引き出す必要がある。このため、ファイバ群１４７用の貫通穴１１３がベース１１０の側壁部１１２に設けられ、貫通穴１１３は、ファイバ群１４７が通された後に、半田などの封止剤１１４を用いて封止されている。また、ケーブル群１４８用の貫通穴１１５がベース１１０の基台部１１１に設けられ、貫通穴１１５は、ケーブル群１４８が通された後に、半田などの封止剤１１６を用いて封止されている。
【００２１】
これらの接合や封止は、ベース１１０の側壁部１１２に設けられた気体置換用の貫通口１６０を封止に先立っておこなわれる。気体置換用の貫通口１６０は、接合時または封止時に発生する不要なガスなどを置換するために用いられる。それにより、光学素子１４０にガスが付着して光学性能を落とすことを防ぐと共に、接合時などに生じる熱による筐体１３０の内部空間１３１の気体の体積膨張に起因する圧力変化を回避することができる。
【００２２】
気体置換用の貫通口１６０を封止する工程を図２に示す。貫通口１６０の封止は、ベース１１０と蓋１２０間のレーザー溶接と、ファイバ群１４７とケーブル群１４８の封止が完了した後におこなわれる。
【００２３】
１．〔図２（ａ）〕  貫通口１６０を通して筐体１３０の内部空間１３１を真空に引く。
【００２４】
２．〔図２（ｂ）〕  貫通口１６０を通して筐体１３０の内部空間１３１に所望のガスたとえば窒素やアルゴンなどの不活性ガスを充てんする。
【００２５】
３．〔図２（ｃ）〕  中間部材１８１を貫通口１６０に挿入する。たとえば、中間部材１８１は、貫通口１６０の第一部分１６１の断面積よりもわずかに小さい断面積を有し、第一部分１６１内に容易に挿入され得る。
【００２６】
４．〔図２（ｄ）〕  続いて圧接部材１８２を貫通口１６０に圧入する。これにより、圧接部材１８２は中間部材１８１を貫通口１６０の第二部分１６２の壁面に圧接する。また圧接部材１８２は、摩擦力によって貫通口１６０の第一部分１６１の内部に固定される。中間部材１８１は、ベース１１０の側壁部１１２よりも硬質な材料で構成されている。このため、中間部材１８１が貫通口１６０の壁面に圧接されたとき、貫通口１６０の方が変形する。圧接部材１８２もまた、ベース１１０の側壁部１１２よりも硬質な材料で構成されている。このため、圧接部材１８２が貫通口１６０に圧入されたとき、貫通口１６０の方が変形する。その結果、中間部材１８１が貫通口１６０の壁面に確実に圧接された状態で貫通口１６０が仮封止される。
【００２７】
５．〔図２（ｅ）〕  圧接部材１８２とベース１１０の側壁部１１２の間を封止剤１８３で埋める。たとえば、貫通口１６０の外側開口端の全体を封止剤１８３で覆う。これにより、貫通口１６０が完全に封止される。その結果、筐体１３０が完全に気密封止される。
【００２８】
貫通口１６０を完全に封止するための封止剤１８３の代表的な例は半田である。この場合、半田を溶融するための加熱によって筐体１３０の内部空間１３１の圧力が上昇し、封止剤１８３とともに内部気体が噴出することが懸念される。しかし、本実施形態の構成であれば、圧接部材１８２によって中間部材１８１が貫通口１６０の壁面に圧接された状態（仮封止状態）であるため、筐体１３０の内部空間１３１の圧力が上昇しても、筐体１３０の内部空間１３１の気体が貫通口１６０から噴出することが良好に防止される。従って、半田などの加熱を伴う封止剤１８３を使用して、圧接部材１８２とベース１１０の側壁部１１２の間を支障なく封止することができる。
つまり、本実施形態の構成であれば、加熱を伴う封止材でも安定的に気密封止することが可能であり、筐体内部気体の噴出を防ぎ光学特性の劣化を防止する。すなわち、長期間信頼性の高い光入出力装置を提供できる。
【００２９】
本実施形態には当然幾つかの変形例が考えられる。
【００３０】
（第一の変形例）
第一の変形例を図３に示す。図３において、図１と図２に示した部材と同一の参照符号を付した部材は同様の部材である。この変形例は、貫通口１６０に代替可能な別の貫通口１６３と、中間部材１８１と圧接部材１８２に代替可能な別の中間部材１８４と圧接部材１８５に向けられている。
【００３１】
図３に示すように、この変形例の貫通口１６３は、その途中に段差を有している。つまり、貫通口１６３は、外部空間１３２に開口した第一部分１６４と、内部空間１３１に開口した第二部分１６５と、第一部分１６４と第二部分１６５の間に位置する段差部１６６を有している。第一部分１６４と第二部分１６５と段差部１６６は一直線上に整列している。第一部分１６４と第二部分１６５は段差部１６６を介して連続している。第一部分１６４と第二部分１６５はいずれも円柱形状をしており、第二部分１６５の断面積は第一部分１６４の断面積よりも小さい。段差部１６６は円錐台形状をしている。
【００３２】
中間部材１８４は、凸状の曲面を有している。たとえば、中間部材１８４は、球欠たとえば半球の形状をしており、曲面は球面の一部である。この曲面部の最大断面積は、第二部分２６２の断面積よりも大きい。このため、中間部材１８４の曲面は、貫通口１６３たとえば段差部１６６の壁面に圧接される。つまり、貫通口１６３の壁面に圧接される中間部材１８４の面が曲面である。圧接部材１８５は、貫通口１６３に圧入されるものであり、圧入を容易にするために、圧入される側が面取りされている。
【００３３】
図３に示されるような段差部１６６を有する貫通口１６３は、図２に示されるようなテーパ形状（円錐台形状の第二部分１６２）を有する貫通口１６０に比べて機械加工が簡便であるため、コスト的に有利である。また、段差部１６６の壁面は、中間部材１８４の曲面受けとして働き、中間部材１８４が圧接された際に確実な仮封止状態を作り出すことに貢献する。
【００３４】
中間部材１８４と圧接部材１８５のそのほかの構成は、中間部材１８１と圧接部材１８２と同様である。
【００３５】
（第二の変形例）
第二の変形例を図４に示す。図４において、図１〜図３に示した部材と同一の参照符号を付した部材は同様の部材である。この変形例は、第一の変形例の中間部材１８４と圧接部材１８５に代替可能な中間圧接部材に向けられている。中間圧接部材１８６は、半球部１８６ａと円柱部１８６ｂを有している。半球部１８６ａは円柱部１８６ｂの端面に位置し、半球部１８６ａと円柱部１８６ｂは一体に形成されている。半球部１８６ａが位置する円柱部１８６ｂの端面は面取りされている。半球部１８６ａが第一の変形例の中間部材１８４に相当し、円柱部１８６ｂが第一の変形例の圧接部材１８５に相当している。つまり、中間圧接部材１８６は、実質的に、第一の変形例の中間部材１８４と圧接部材１８５が一体化された構造体である。
【００３６】
中間圧接部材１８６は、半球部１８６ａを円柱状材料から削り出し、半球部１８６ａが形成された端面の面取りをおこない、その端面から円柱部１８６ｂに相当する長さの位置で円柱状材料を切断して形成される。中間圧接部材１８６の製造は、第一の変形例のように中間部材１８４と圧接部材１８５を別々に作製する手法に比べて、加工の工数が少ないので、コストの低減に有利である。
【００３７】
（第三の変形例）
第三の変形例を図５に示す。図５において、図１〜図４に示した部材と同一の参照符号を付した部材は同様の部材である。この変形例は、第一の変形例の中間部材１８４に代替可能な別の中間部材１８７に向けられている。この変形例の中間部材１８７は球形状をしている。球形状の部材は入手性が良く、多様な寸法および材質のものが市販されている。これらの市販品を中間部材１８７に利用することはコストの削減に有効である。
【００３８】
（第四の変形例）
第四の変形例を図６に示す。図６において、図１〜図５に示した部材と同一の参照符号を付した部材は同様の部材である。この変形例は、貫通口１６０，１６３と圧接部材１８２，１８５または中間圧接部材１８６の間の圧入による係合に代わる貫通口１６７と圧接部材１８５の間の別の係合に向けられている。この変形例では、貫通口１６７の第一部分１６８に雌ねじが設けられ、この雌ねじに合う雄ねじが圧接部材１８８に設けられている。圧接部材１８８は、雄ねじと雌ねじから成るねじ構造を介して、貫通口１６７の第一部分１６８に係合している。つまり、圧接部材１８８は貫通口１６７に螺合されている。圧接部材１８８は、頭部を持たないねじ、いわゆる止めねじで構成されている。圧接部材１８８の締め付けトルクはトルクレンチなどを用いて計測可能であるので、安定した圧接を得ることが可能となり、品質の安定した仮封止状態を作り出すことが可能となる。
【００３９】
（第五の変形例）
第五の変形例を図７に示す。図７において、図１〜図６に示した部材と同一の参照符号を付した部材は同様の部材である。この変形例は、第四の変形例の圧接部材１８８に代替可能な別の圧接部材１８９に向けられている。この変形例では、圧接部材１８９は、皿状の頭部１８９ａを有する皿ねじで構成されている。貫通口１６７の第一部分１６８の開口端部は、皿穴が形成され、皿状に座ぐりされている。皿状の頭部１８９ａの周縁部とベース１１０はレーザー溶接されており、溶接によって形成された溶接部１９０が貫通口１６７を封止している。この構成では、レーザー溶接またはこれによって形成された溶接部１９０が封止手段を構成している。
【００４０】
この変形例では、圧接部材１８９が皿ねじで構成されているため、圧接部材１８９が所望の位置に到達した際に、皿状の頭部１８９ａがベース１１０に突き当たる。これにより、トルクレンチなどを用いた圧接トルク管理がより容易となる。また、レーザー溶接は溶接個所に直接応力を加えてしまうが、溶接個所はねじ構造から遠いため、止めねじほどの影響を受けず、確実な封止をおこなえる。また、レーザー溶接は、半田接合と異なり、接合個所の表面処理が不要であり、コストの低減に有利である。
【００４１】
（第六の変形例）
第六の変形例を図８に示す。図８において、図１〜図７に示した部材と同一の参照符号を付した部材は同様の部材である。これまでの例では、貫通口１６０，１６３を封止するために圧接部材１８２，１８５，１８８，１８９または中間圧接部材１８６に封止剤１８３またはレーザー溶接が直接適用されているが、この変形例では、外部空間側で貫通口１６３を覆う封止用別部材１９１が設けられている。封止用別部材１９１は、第一部分１６４の開口端部に形成された溝に収容され、ベース１１０に対して段差なく配置されている。封止用別部材１９１はベース１１０にレーザー溶接されており、溶接によって形成された溶接部１９０が貫通口１６３を封止している。この構成では、封止用別部材１９１とレーザー溶接またはこれによって形成された溶接部１９０が封止手段を構成している。
【００４２】
貫通口を封止する際にに封止剤やレーザー溶接を圧接部材に直接適用する構成では、熱や振動などの外力の影響により圧接部材が緩んで、貫通口に対する中間部材の圧接力が低減して、仮封止状態が保持できなくなり、封止が不完全になる可能性がある。その場合、筐体内部の気体が漏れて膨張したまま封止されてしまい、封止後に筐体内部が常温状態になった際に筐体内部の圧力が低下してしまう。この変形例では、封止用別部材１９１を設けることにより、封止作業の際に圧接部材１８５に直接外力が伝わることを避けられる。このため、例えばレーザー溶接などの封止方法を積極的に選択することが可能となる。これにより、長期間信頼性の高い光入出力装置が提供される。封止用別部材１９１を別途設けることによるコストの増加が懸念されるが、半田などを用いる封止方法と比較すると、表面処理などが不要であるので、むしろコストの低減に有利である。
【００４３】
（第七の変形例）
第七の変形例を図９に示す。図９において、図１〜図７に示した部材と同一の参照符号を付した部材は同様の部材である。この変形例は、第六の変形例における貫通口１６３と圧接部材１８５の間の圧入による係合を、第四の変形例における貫通口１６７と圧接部材１８８の間のねじ構造を介した係合に変更した構成となっている。この変形例は、第六の変形例と同じ利点を有しているほか、ねじ構造を介した係合は、圧入による係合に比べて、ゆるみにくいので、第六の変形例よりもさらに長期間信頼性の高い光入出力装置が提供される。
【００４４】
＜第二の実施形態＞
第二の実施形態による光入出力装置を図１０に示す。図１０において、図１に示した部材と同一の参照符号を付した部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。以下、相違部分に重点をおいて説明する。つまり、以下の説明で触れない部分は、第一実施形態と同様である。
【００４５】
本実施形態の光入出力装置２００では、筐体２３０は、凹部を有するベース２１０と、ベース２１０の凹部を塞ぐ平板状の蓋２２０とから構成されている。ベース２１０と蓋２２０は互いに気密に接合されて内部空間２３１を形成する。
【００４６】
ベース２１０は、実質的に、第一実施形態のベース１１０から貫通口１６０を省いた構成を有している。
【００４７】
蓋２２０は、部分的に厚い肉厚部２２１を有し、この肉厚部２２１に、筐体２３０の内部空間２３１の気体の置換のための貫通口２６０を有している。貫通口２６０は、筐体２３０の内部空間２３１と筐体２３０の外部空間２３２とを空間的に連絡している。
【００４８】
また光入出力装置２００はさらに、貫通口２６０を仮封止するための仮封止手段としての中間部材２８１と圧接部材２８２と、貫通口を完全に封止するための封止手段としての封止剤２８３を備えている。中間部材２８１は、貫通口２６０内に配置されて貫通口２６０を塞ぐ働きをする。圧接部材は、中間部材２８１を貫通口２６０の壁面に圧接し、また貫通口２６０の内部に摩擦力によって固定されている。
【００４９】
貫通口２６０は、内部空間２３１側の内側開口端と外部空間２３２側の外側開口端を有し、内側開口端の面積は外側開口端の面積よりも小さい。貫通口２６０の軸に垂直な中間部材２８１の断面積は、貫通口２６０の内側開口端の面積よりも大きく、貫通口２６０の外側開口端の面積よりも小さい。より詳しくは、貫通口２６０は、外部空間２３２に開口した第一部分２６１と、内部空間２３１に開口した第二部分２６２を有している。第一部分２６１と第二部分２６２は一直線上に整列している。第一部分２６１と第二部分２６２は、たとえば、いずれも円柱形状をしており、段差部２６３を介して連続している。第二部分２６２の断面積は第一部分２６１の断面積よりも小さい。中間部材２８１は、少なくとも第二部分２６２の断面積よりも大きい部分を有している。ここで、断面積は、貫通口２６０の軸に垂直な面積を意味している。また貫通口２６０の軸は、貫通口２６０の内側開口端と外側開口端の中心同士を結ぶ直線、または第一部分２６１と第二部分２６２が整列している直線を意味している。
【００５０】
この実施の形態においても、第一の実施の形態と同様の利点が得られる。つまり、圧接部材２８２によって中間部材２８１が貫通口２６０の壁面に圧接された仮封止状態で封止作業が行われるため、封止作業中に起因する熱によって筐体２３０の内部空間２３１の圧力が上昇しても、内部空間２３１の気体が貫通口２６０から噴出することが良好に防止される。
すなわち、加熱を伴う封止材でも安定的に気密封止することが可能であり、筐体内部気体の噴出を防ぎ光学特性の劣化を防止する。したがって、長期間信頼性の高い光入出力装置を提供できる。
【００５１】
また、この実施の形態に対しても、第一の実施の形態の各変形例の中間部材と圧接部材と封止手段が適用されてよい。
【００５２】
これまで、図面を参照しながら本発明の実施形態を述べたが、本発明は、これらの実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において様々な変形や変更が施されてもよい。ここにいう様々な変形や変更は、上述した実施形態を適当に組み合わせた実施も含む。
【００５３】
たとえば、ファイバ群１４７用の貫通穴１１３とケーブル群１４８用の貫通穴１１５は、実施形態では、それぞれベース１１０，２１０の側壁部１１２と基台部１１１に設けられているが、これらは筐体１３０，２３０すなわちベース１１０，２１０と蓋１２０，１２０のどこに設けられてもよい。
【００５４】
また、気体置換用の貫通口の形状は、実施形態の説明において例示された貫通口１６０，１６３，１６７，２６０の形状に限定されるものではなく、本明細書に述べられた条件のいずれかを満たしてさえいれば、どのような形状をしていてもよい。
【符号の説明】
【００５５】
１００…光入出力装置、１１０…ベース、１１１…基台部、１１２…側壁部、１１３…貫通穴、１１４…封止剤、１１５…貫通穴、１１６…封止剤、１２０…蓋、１３０…筐体、１３１…内部空間、１３２…外部空間、１４０…光学素子、１４１…光ファイバアレイ、１４２…光学レンズ、１４３…分散素子、１４４…光学レンズ、１４５…光偏向器、１４６…光学ベース、１４７…ファイバ群、１４８…ケーブル群、１５０…ダンパ、１６０…貫通口、１６１…第一部分、１６２…第二部分、１６３…貫通口、１６４…第一部分、１６５…第二部分、１６６…段差部、１６７…貫通口、１６８…第一部分、１８１…中間部材、１８２…圧接部材、１８３…封止剤、１８４…中間部材、１８５…圧接部材、１８６…中間圧接部材、１８６ａ…半球部、１８６ｂ…円柱部、１８７…中間部材、１８８…圧接部材、１８９…圧接部材、１８９ａ…頭部、１９０…溶接部、１９１…封止用別部材、２００…光入出力装置、２１０…ベース、２２０…蓋、２２１…肉厚部、２３０…筐体、２３１…内部空間、２３２…外部空間、２６０…貫通口、２６１…第一部分、２６２…第二部分、２６３…段差部、２８１…中間部材、２８２…圧接部材、２８３…封止剤。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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