(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
規則的なｎ回の繰り返しパターンを有するインクリメンタル円板からなる被検出体と、ｎビットの最大長を有する２値乱数列からなる不規則循環コードを付与した絶対位置符号円板と、
前記インクリメンタル円板に対向して配設されるインクリメンタル検出部と、前記絶対位置符号円板に対向して配設される絶対位置検出部とを備えた回転角度検出装置において、
前記回転角度検出装置は、被検出体のパターンの繰り返し数ｎに応じた補正パラメータを格納する記憶器を有することを特徴とする回転角度検出装置。
【請求項２】
前記回転角度検出装置が接続される制御装置から起動時の初期化処理用に被検出体のパターンの繰り返し数を意味するｎに相当するデータを入力すると、前記記憶器に予め格納してあったｎという被検出体のパターンの繰り返し数に対応する補正パラメータを検出処理に反映することを特徴とする請求項１に記載の回転角度検出装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の回転角度検出装置において、前記記憶器に格納した補正パラメータは、前記絶対位置検出部のスレッショルドレベルの補正パラメータであることを特徴とする回転角度検出装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載の回転角度検出装置において、前記記憶器に格納した補正値は、前記インクリメンタル検出部の内挿補正パラメータであることを特徴とする回転角度検出装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１に記載の回転角度検出装置において、前記記憶器には補正パラメータへ展開するための基本式が格納されており、被検出体のパターンの繰り返し数ｎを入力したら前記基本式に基づいて補正パラメータを展開することを特徴とする回転角度検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、産業機械や工作機械等の分野で使用される回転角度検出装置に関し、特に、被検出体の複数のサイズに対応可能な検出部を有する回転角度検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の工作機械は、風力発電や石油掘削等の分野において、超大型部品加工の需要増を受け、加工機械自身も超大型のラインアップが増えてきた。これに伴い、回転軸も大径化し、この回転軸に搭載される回転角度検出装置も大径化されてきた。
【０００３】
図２は、従来の中空型回転角度検出装置の一例を示す断面図である。この回転角度検出装置の簡単な構造を説明する。貫通穴を有する回転軸２０１に、回転振れを調整して接着固定されたスリット円板２０２には、規則的な明暗の格子が付加されている。ハウジング２０８側には、スリット円板２０２を挟むように発光素子２０３と受光素子２０４が固定されている。回転軸２０１の回転に伴って回転するスリット円板２０２に対し、発光素子２０３から発せられた平行光を受光素子２０４が検出し、光電変換した電圧レベルを、処理回路基板２０５へ伝達する。処理回路基板２０５では、伝達された電圧値から内挿演算処理などを行い、回転軸２０１の回転位置を算出する。
【０００４】
本構造にあっては、軸受２０６ａ、２０６ｂやカップリング２０７を具備し、検出部と被検出体とが分離されていない構造のため、貫通穴を貫通する機械側の要素サイズは、回転軸２０１の貫通穴径より細いものでなくてはならない。もし、貫通穴径の大きな中空型回転角度検出装置が要求されれば、中空型回転角度検出装置全体の構造を新規に設計する必要があった。このように検出部と被検出体とが一体化されている構造は、例えば、特許文献１にも記載されている。
【０００５】
そこで、検出部と被検出体を分離した構造の回転角度検出装置が使用されるケースもあった。例えば、特許文献２に記載の構造は、一応エンコーダと検出部とが分離可能である。また、特許文献３には、高精度の回転角度検出装置が開示されている。図３は、そのような従来の回転角度検出装置の一例を示す斜視図である。検出用の歯車３０１と絶対位置コード円板３０２とからなる被検出体は、図示しない機械側の回転軸等に固定される。検出用の歯車３０１は、歯数３６０丁、モジュール０．４にて加工された平歯車であり、その基本ピッチ長は約１．２５６ｍｍである。なお、内径はφ１００ｍｍである。絶対位置コード円板３０２は、外周に不規則な切り欠きを有しており、その切り欠きを以て、コードを二値化する。また、１ビット長は、検出用の歯車３０１の基本ピッチ長と等しい約１．２５６ｍｍとなっており、連続する９ビット分のコードを読み取れば、同じコードが他に存在しないような不規則循環コードを付してある。
【０００６】
一方、図示しない機械側のフランジ等の非回転体に固定される検出部３０３は、検出用の歯車３０１の凹凸部によって変化する磁束密度を検出する８個の磁気抵抗素子と、絶対位置コード円板３０２の切り欠き部によって変化する磁束密度を検出する９個の磁気抵抗素子とを内包している。
【０００７】
検出用の歯車３０１の凹凸部を検出する８個の磁気抵抗素子からは、互いに直交する二相信号が得られるように配置されている。すなわち、１個目を基準として、２個目は１／４ピッチ（約０．３１４ｍｍ）、３個目は１／２ピッチ、４個目は３／４ピッチ、５個目は１ピッチ、６個目は５／４ピッチ、７個目は３／２ピッチ、８個目は７／４ピッチ、夫々測定軸方向にずらして配置されており、１個目と５個目が正弦正相、２個目と６個目が余弦正相、３個目と７個目が正弦負相、４個目と８個目が余弦負相を検出する。また、絶対位置コード円板３０２の切り欠き部を検出する９個の磁気抵抗素子からは、切り欠きの有無を二値化する信号が得られるように配置されている。すなわち、９個が夫々１ピッチ長ずつ隔てて配置され、連続する９ビット分のコードを読み取る。
【０００８】
さて、ここで、回転角度検出装置の貫通穴をφ１００ｍｍからφ１５０ｍｍへ大きくしたいという要望があった場合を考える。図４は、貫通穴がφ１５０ｍｍの回転角度検出装置の斜視図である。検出用の歯車４０１は、歯数５００丁、モジュール０．４にて加工された平歯車であり、その基本ピッチ長は約１．２５６ｍｍである。なお、内径はφ１５０ｍｍである。絶対位置コード円板４０２は、図３の例と同様に、外周に不規則な切り欠きを有しており、その切り欠きを以て、コードを二値化する。また、１ビット長は、検出用の歯車４０１の基本ピッチ長と等しい約１．２５６ｍｍとなっており、連続する９ビット分のコードを読み取れば、同じコードが他に存在しないような不規則循環コードを付してある。
【０００９】
一方、検出部３０３は、図３の検出部３０３と全く同じ構成、構造を流用している。検出用の歯車３０１と同４０１とは、基本ピッチ長が等しいため、その凹凸部を検出する８個の磁気抵抗素子の配置を変える必要はない。同様に、絶対位置コード円板３０２と同４０２とは、基本ピッチ長が等しいため、９個の磁気抵抗素子の配置を変える必要がない。
【００１０】
基本ピッチ長（モジュールと円周率との積）を同じくする歯数の異なる歯車の加工は、同じ工具（ホブカッター）で加工が可能なため、新たな検出用の歯車を製作するための設計や加工プログラミング時間等は、たいした手間を要しない。このように、被検出体と検出部とを分離し、被検出体の基本ピッチをサイズが変わっても一定とするようにすれば、検出部は被検出体の多種のサイズに対応可能となるため、機械側の貫通穴サイズの要望に対し、比較的容易な対応で応えることが可能となる。
【００１１】
図５は、図４の検出部で得られる信号を処理する回路の概略構成図である。検出用の歯車４０１の凹凸部によって変化する磁束密度を検出する磁気抵抗素子１０１ａ〜１０１ｈが発する抵抗変動レベル（変換して電圧レベル）は、同相の信号同士を接続し、極性の違いで増幅するよう差動増幅器１０２ａ、１０２ｂへ送られる。次に、アナログ／ディジタル変換器１０３ａ、１０３ｂにてディジタル化される。ディジタル化された二相信号Ｓｄｏ、Ｃｄｏは、予め記憶器１０４ａに格納されたオフセット補正値Ｓｏｆｓ、Ｃｏｆｓを減算器１０５ａ、１０５ｂにて除去される。オフセット成分を除去された二相信号Ｓｄ、Ｃｄは、除算器１０６にて、正接信号化されＴａｎ#ｄとなり、演算器１０７ａにて逆正接演算され、基本ピッチ内の絶対位置θｐを得る。
【００１２】
絶対位置コード円板４０２の切り欠き部によって変化する磁束密度を検出する磁気抵抗素子１０１ｉ〜１０１ｌ（簡素化のため、９個すべての図示を避けた）が発する抵抗変動レベル（変換して電圧レベル）は、増幅器１０２ｃ〜１０２ｆにて増幅された後、アナログ／ディジタル変換器１０３ｃ〜１０３ｆにてディジタル化され、ディジタル信号Ａ１ｄｏ〜Ａ９ｄｏとなる。ディジタル信号Ａ１ｄｏ〜Ａ９ｄｏは、予め記憶器１０４ｂに格納された二値化判定のためのスレッショルドレベル（オフセット補正値）Ａ１ｏｆｓ〜Ａ９ｏｆｓを、減算器１０５ｃ〜１０５ｆにて減算し、正負二値化信号Ａ１ｄ〜Ａ９ｄとなる。
【００１３】
正負二値化信号Ａ１ｄ〜Ａ９ｄは、当該回転角度検出装置が接続される制御装置１０８から得る被検出体のデータサイズ（検出用の歯車４０１の歯数、或いは、絶対位置コード円板４０２の絶対位置コードの最大コード長）を示す「５００」という値とともに、演算器１０７ｂにて絶対位置化処理され、一回転を５００分割したどの位置かを示すθａを得る。そして、ＣＰＵ１０７ｃにて基本ピッチ内の絶対位置θｐと一回転を５００分割した際のどの位置かを示すθａとを桁合わせ（結合処理）し、一回転内絶対位置θを得る。
【００１４】
以上のような検出部を有する回転角度検出装置にあっては、多種の貫通穴サイズ、すなわち、多種の歯車サイズ（歯数）に比較的容易に対応可能である。しかし、多種の検出用の歯車３０１、４０１或いは絶対位置コード円板３０２、４０２に対応可能であるものの、測定軸方向（検出用の歯車の外周円接線方向）において、検出部の中心位置から比較的遠くに配置される磁気抵抗素子１０１ａ〜１０１ｌは、被検出体のサイズが変わると被検出体との距離が大きく変化してしまっていた。
【００１５】
図５に示した磁気抵抗素子１０１ａ〜１０１ｌの例でいえば、検出用の歯車４０１の凹凸部によって変化する磁束密度を検出する磁気抵抗素子１０１ａ〜１０１ｈのうち、測定軸方向の比較的端の位置に配置される磁気抵抗素子１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｇ、１０１ｈは、検出用の歯車４０１のサイズが変わると、被検出体までの距離が大きく変化し、信号変化の中心レベル、すなわち、オフセットレベルも変動することになり、記憶器１０４ａに格納されたオフセット補正値Ｓｏｆｓ、Ｃｏｆｓが最適でない場合が発生していた。
【００１６】
同様に、絶対位置コード側でも、中心位置から比較的端に配置される磁気抵抗素子１０１ｉ〜１０１ｌは、絶対位置コード円板４０２のサイズが変わると、被検出体までの距離が大きく変化し、信号変化の中心レベル、すなわち、スレッショルドレベル（オフセットレベル）も変動することになり、記憶器１０４ｂに格納されたスレッショルドレベル（オフセット補正値）が最適でない場合が発生していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特開２００９−２５８００２号公報
【特許文献２】特開平１１−１８３２０１号公報
【特許文献３】特開２００６−３２２７６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
以上で示してきた従来の被検出体と検出部とが分離されない構造の回転角度検出装置にあっては、機械側からの貫通穴サイズの拡大の要望に際して、回転角度検出装置の全体の構造を新規に設計する必要があった。
【００１９】
これを解決すべく設計された、被検出体と検出部とを分離した構造の従来の回転角度検出装置にあっては、機械側からの貫通穴サイズの拡大の要望に際しては、比較的容易に対応可能となったものの、検出部に内包された検出素子が、被検出体の曲率の変化によって発生するオフセット変動という誤差発生要因を抱えることになってしまっていた。検出用の歯車の凹凸部によって変化する磁束密度を検出する検出素子のオフセット変動は、回転角度検出装置として最も重要な検出精度を損なうことに直結し、絶対位置コード円板の切り欠き部によって変化する磁束密度を検出する検出素子のオフセット変動は、二値化判定にミスが発生する可能性を誘発し、結果として、絶対位置化処理エラー等の異常状態に陥る場合もあった。
【００２０】
以上のような事情を鑑み、本発明は、機械側からの貫通穴サイズの拡大等の要望に際して、比較適容易に対応可能である検出部を有しながらも、被検出体の曲率の変化に対して、検出精度を損なわず、且つ、絶対位置化処理エラーの発生しづらい回転角度検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明に係る回転角度検出装置は、歯車のように規則的なｎ回の繰り返しパターンを有するインクリメンタル円板とからなる被検出体と、ｎビットの最大長を有する２値乱数列からなる不規則循環コードを付与した絶対位置符号円板と、前記インクリメンタル円板に対向して配設されるインクリメンタル検出部と、前記絶対位置符号円板に対向して配設される絶対位置検出部とを備えた回転角度検出装置において、前記回転角度検出装置は、被検出体のパターンの繰り返し数ｎに応じた補正パラメータを格納する記憶器を有し、前記回転角度検出装置が接続される制御装置から起動時の初期化処理用に被検出体のパターンの繰り返し数を意味するｎに相当するデータを入力すると、前記記憶器に予め格納してあったｎという被検出体のパターンの繰り返し数に対応する補正パラメータを検出処理に反映することで解決する。また、前記補正パラメータは、前記絶対位置検出部のスレッショルドレベルの補正パラメータでもよく、前記インクリメンタル検出部の内挿補正パラメータでもよい。
【００２２】
また、前記記憶器には補正パラメータへ展開するための基本式が格納されており、被検出体のパターンの繰り返し数ｎを入力したら前記基本式に基づいて補正パラメータを展開する手段で解決する場合には、補正パラメータを被検出体のサイズに応じて逐一持つ必要がなくなる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係る回転角度検出装置によれば、機械側からのいろんな貫通穴サイズの要望に対して、検出精度や安定的な絶対位置化処理を行いつつも、比較的容易な設計、製造の対応が可能であり、開発期間の短縮や製品のコストダウンといった効果を奏する。また、検出部が一種類で対応可能なことから、保守交換用の在庫を大幅に削減可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明に係る実施の形態の回転角度検出装置の信号処理回路の概略構成図である。
【図２】従来の中空型回転角度検出装置の一例を示す断面図である。
【図３】従来の回転角度検出装置の一例を示す斜視図である。
【図４】図３とは異なる従来の回転角度検出装置の一例を示す斜視図である。
【図５】図４の回転角度検出装置の信号処理回路の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明に係る実施の形態について、以下図面を用いて説明する。図１は、図５に対応して示す本発明に係る回転角度検出装置の信号処理の概略構成図であり、図５と同一の構成要素には、同一符号を付す。なお、回転角度検出装置の構成自体は、図３や図４のような形態であるが、検出用の歯車の歯数をｎ丁とする。検出用の歯車の凹凸部によって変化する磁束密度を検出する磁気抵抗素子１０１ａ〜１０１ｈが発する抵抗変化レベル（変換し、電圧レベル）が、アナログ／ディジタル変換され、ディジタル信号Ｓｄｏ、Ｃｄｏとなるまでの処理は、従来と同一のため、説明を省略する。
【００２６】
記憶器１０４ａには、本回転角度検出装置の被検出体サイズのラインアップに応じたオフセット補正値が格納されている。例えば、機械側からの要望で、被検出体の貫通穴の種類が４種類必要となった結果、被検出体を構成する検出用の歯車の歯数が、２５６丁、３６０丁、４２０丁、５００丁というラインアップ構成となった。この場合、記憶器１０４ａには、この４種類の歯数に対して、夫々最適なオフセット補正値が格納されていることになる。一方、記憶器１０４ａには、起動時等の初期通信時に、ＣＰＵ１０７ｃが制御装置１０８から取得した被検出体のデータサイズ「ｎ」が転送されており、歯数ｎ丁に対して最適なオフセット補正値を選択される。而して、記憶器１０４ａにてディジタル信号Ｓｄｏ、Ｃｄｏから除去されるオフセット補正値Ｓｏｆｓ#ｎ、Ｃｏｆｓ#ｎが選択され、減算器１０５ａ、１０５ｂにてオフセット成分が除去される。オフセット成分が除去された二相信号Ｓｄ、Ｃｄは、除算器１０６にて、正接信号化されＴａｎ#ｄとなり、演算器１０７ａにて逆正接演算され、基本ピッチ内の絶対位置θｐを得る。
【００２７】
Ｓｏｆｓ#ｎやＣｏｆｓ#ｎといった歯数に対応した最適なオフセット補正値は、予め、その歯数の検出用の歯車との組合せにて測定された補正値を、格納するものである。最適なオフセット補正値の測定手法に関しては、Ｓｄｏ或いはＣｄｏの信号レベルの最大値と最小値との中央値とする手法や、基本ピッチ内で信号レベルの全体平均を算出する手法などがあるが、本発明は最適なオフセット補正値を導出する手法については、特に制限を受けるものではない。いずれにしても、検出用の歯車の歯数が変化しても、オフセット成分が最適に除去されるため、回転角度検出装置としての検出精度が損なわれることはない。
【００２８】
他方、絶対位置コード円板の切り欠き部によって変化する磁束密度を検出する磁気抵抗素子１０１ｉ〜１０１ｌ側の処理について説明する。絶対位置コード円板４０２の切り欠き部によって変化する磁束密度を検出する磁気抵抗素子１０１ｉ〜１０１ｌが発する抵抗変化レベル（変換し、電圧レベル）が、アナログ／ディジタル変換されるまでの処理は、従来例と同一のため、説明を省略する。
【００２９】
記憶器１０４ｂには、本回転角度検出装置の被検出体サイズのラインアップに応じたスレッショルドレベルの補正パラメータが格納されている。記憶器１０４ｂには、記憶器１０４ａの場合と似ているが、使用される絶対位置コード円板の最大コード長の各サイズに対する、最適なスレッショルドレベルの補正パラメータを夫々格納されている。
【００３０】
また、記憶器１０４ｂにも、起動時等の初期通信時に、ＣＰＵ１０７ｃが制御装置１０８から取得した被検出体のデータサイズ「ｎ」が転送されており、絶対位置コードの最大コード長ｎに対して最適なスレッショルドレベルの補正パラメータが選択される。而して、記憶器１０４ｂにて最適なスレッショルドレベル（オフセット補正値）Ａ１ｏｆｓ#ｎ〜Ａ９ｏｆｓ#ｎが選択され、減算器１０５ａ、１０５ｂにてディジタル信号Ａ１ｄｏ〜Ａ９ｄｏから除去される。
【００３１】
正負二値化信号Ａ１ｄ〜Ａ９ｄは、当該回転角度検出装置が接続される制御装置１０８から得る被検出体のデータサイズ「ｎ」という値とともに、演算器１０７ｂにて絶対位置化処理され、一回転をｎ分割したどの位置かを示すθａを得る。そして、ＣＰＵ１０７ｃにて基本ピッチ内の絶対位置θｐと一回転をｎ分割した際のどの位置かを示すθａとを桁合わせ（結合処理）し、一回転内絶対位置θを得る。
【００３２】
Ａ１ｏｆｓ#ｎ〜Ａ９ｏｆｓ#ｎといった絶対位置コードの最大コード長に対応したスレッショルドレベルの補正パラメータは、予め、そのサイズの絶対位置コード円板との組合せにて測定された最適な値を、格納するものである。最適なスレッショルドレベルの補正パラメータの決定手法に関しては、正側と負側の最もコントラストが低い値同士の中心値とする手法が一般的であるが、本発明は最適な補正パラメータを導出する手法については、特に制限を受けるものではない。いずれにしても、絶対位置コード円板の絶対位置コードの最大コード長が変化しても、スレッショルドレベルが最適に保たれるため、二値化判定時に検出ミスとなる確率が低下する。
【００３３】
次に、補正パラメータについて基本式を用いて求めることができる実施例について説明する。その前に、被検出体の曲率が変わると、オフセット値やスレッショルドレベルが変化してしまう要因の一つとして、次のような現象が挙げられる。
【００３４】
ここまで図示はしてこなかったが、磁気抵抗素子を取り巻く構成要素は、被検出体とは自身を挟んで反対側にバイアス磁石も配置されている。バイアス磁石から発せられる磁束は、被検出体の凹凸や切り欠きの有無によって、その磁束密度が高い領域や、逆に低い領域ができる。バイアス磁石と被検出体とに挟まれた位置に配置される磁気抵抗素子は、この磁束密度の高低を検出するしくみである。
【００３５】
ここで、被検出体の曲率が小さくなり、バイアス磁石と凹凸部や切り欠き部との距離が縮まると、磁束密度の変化幅（コントラスト）も大きくなるが、磁束密度のオフセット分も大きくなる性質がある。そこで、この関係を実験的に調査乃至測定した上で、被検出体の曲率（データサイズ）とオフセット成分との関係性や規則性を求めることができる。或いは、ＦＥＭ磁場解析ツールなどの解析手法によって、被検出体の曲率（データサイズ）とオフセット成分との関係性や規則性を求めることもできる。このようにして求めた関係性や規則性を、近似式も含め基本数式化して、これに基いて補正パラメータを求めることができる。絶対位置コード円板の切り欠き部によって変化する磁束密度を検出する磁気抵抗素子１０１ｉに関する、スレッショルドレベルの補正パラメータを算出する基本式の一例を式１に示す。
【００３６】
Ａ１ｏｆｓ#ｎ＝α・ｎ＋β    ・・・（式１）
ここで、ｎは被検出体のデータサイズを示す値であり、絶対位置コードの最大コード長に相当する。すなわち、被検出体の曲率とスレッショルドレベルの補正パラメータとの間に、線形的な変化があると求められたため、式１のように被検出体のデータサイズによってスレッショルドレベルの補正値が比例的に変化するようにしたということである。
【００３７】
記憶器１０４ｂでは、ｎという被検出体のデータサイズを入力したら、基本式に従ってスレッショルドレベルの補正パラメータを展開する。かかる構成の効果としては、新たな被検出体のサイズ要求があった場合に、そのサイズに対応する各種補正パラメータの測定等を行い、記憶器１０４ａ、１０４ｂへデータ入力する必要があったが、基本式により各種補正パラメータを導出するため、特に新たに測定等を行ってパラメータを求める必要がなくなっている点にある。
【００３８】
なお、本発明では基本式そのものをどういう式とするかについては、特に制限を受けるものではない。基本式の形態については、検出原理や被検出体の材質（透磁率）が変われば求められる形態が変化する可能性があり、本発明では、被検出体のデータサイズに対応して、基本式を以て最適となる各種補正値を展開することのみを特徴とする。
【００３９】
以上、本発明に係る実施形態について説明したが、本発明はこれらだけに限定されるものではない。検出原理に磁気抵抗素子を利用した磁気式のものについて述べてきたが、コイルを利用した電磁誘導式でも、本発明の技術を応用することは可能である。要は、被検出体のいろんなサイズに対応可能な検出部を有し、被検出体の曲率の変化によって検出部内の各種補正パラメータを最適化できるものであれば、本発明の回転位置検出装置とすることができる。
【００４０】
また、概略構成図において、従来例と本発明とでは、演算器であるＣＰＵ１０７ｃから記憶器１０４ａ、１０４ｂへ被検出体のデータサイズを転送する差異があるが、一例を示したに過ぎない。各機能を説明するために分割して各要素を図示したが、記憶器１０４ａ、１０４ｂや減算器１０５ａ〜１０５ｆ、除算器１０６、演算器１０７ａ、１０７ｂ、ＣＰＵ１０７ｃは、すべてひとつのＣＰＵにてまかなうこともできる。よって、外観上は、従来例と本発明とでの違いが見受けられない構成とすることもできるが、処理段階で被検出体の曲率の変化によって検出部内の各種補正パラメータを最適化する機能を有していれば、すべからく本発明の回転角度検出装置とすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明に係る回転角度検出装置は、産業機械や工作機械に利用できる。
【符号の説明】
【００４２】
１０１ａ〜１０１ｌ  磁気抵抗素子、１０２ａ，１０２ｂ  差動増幅器、１０２ｃ〜１０２ｆ  増幅器、１０３ａ〜１０３ｆ  アナログ／ディジタル変換器、１０４ａ，１０４ｂ  記憶器、１０５ａ〜１０５ｆ  減算器、１０６  除算器、１０７ａ，１０４ｂ  演算器、１０７ｃ  ＣＰＵ、１０８  制御装置、２０１  回転軸、２０２  スリット円板、２０３  発光素子、２０４  受光素子、２０５  処理回路基板、２０６ａ，２０６ｂ  軸受、２０７  カップリング、２０８  ハウジング、２０９  ナット、２１０  内輪カラー、２１１  外輪カラー、２１２ａ〜２１２ｄ  ボルト、２１３  蓋、２１４  オイルシール、３０１，４０１  検出用の歯車、３０２，４０２  絶対位置コード円板、３０３  検出部。
【図１】
0005391157.tif 000002
【図２】
0005391157.tif 000003
【図３】
0005391157.tif 000004
【図４】
0005391157.tif 000005
【図５】
0005391157.tif 000006