(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スケール部に対し、検出対象に追従するスライダ部を対向配置して、前記スケール部及び前記スライダ部の相対的位置を電磁誘導方式により検出するインダクトシン方式のものであって、
前記スケール部に、第１方向に所定ピッチで励磁部を並列させその間を折り返し部で接続した励磁用コイルパターンを有する第１の固定側インダクトシン基板と、前記所定方向と異なる第２方向に所定ピッチで励磁部を並列させその間を折り返し部で接続した励磁用コイルパターンを有する第２の固定側インダクトシン基板とを積層して設けるとともに、前記スライダ部に、前記第１方向に沿って前記第１の固定側インダクトシン基板の励磁部のピッチに対し所定ピッチで検出部を並列させその間を折り返し部で接続した検出用コイルパターンを備えて前記第１方向への位置変位を検出するための第１の可動側インダクトシン基板を少なくとも設け、
前記第１の可動側インダクトシン基板の検出用コイルパターンは、各折り返し部において前記第２の固定側インダクトシン基板の励磁部と電磁連結することにより生じる誘起電圧の影響を相殺する相殺部を備えていることを特徴とする平面位置検出装置。
【請求項２】
前記第１の可動側インダクトシン基板の検出部に沿って所定方向を往路、逆方向を復路とし、往路から復路に入る部位を第１の折り返し部、復路から往路に入る部位を第２の折り返し部、Ｎを１以上の自然数とした場合に、各々に隣接若しくは組をなす第１の折り返し部と第２の折り返し部の距離を、第２の固定側インダクトシン基板の励磁部の１周期分（１ピッチ分）の距離の（Ｎ−１／２）倍とすることで相殺部を構成している請求項１記載の平面位置検出装置。
【請求項３】
前記スライダ部に、前記第２方向に沿って前記第２の固定側インダクトシン基板の励磁部のピッチに対し所定ピッチで検出部を並列させその間を折り返し部で接続した検出用コイルパターンを備えて前記第２方向への位置変位を検出するための第２の可動側インダクトシン基板を少なくとも設け、
前記第２の可動側インダクトシン基板の検出用コイルパターンは、各折り返し部において前記第１の固定側インダクトシン基板の励磁部と電磁連結することにより生じる誘起電圧の影響を相殺する相殺部を備えていることを特徴とする請求項１記載の平面位置検出装置。
【請求項４】
前記スライダ部に、前記第２方向に沿って前記第２の固定側インダクトシン基板の励磁部のピッチに対し所定ピッチで検出部を並列させその間を折り返し部で接続した検出用コイルパターンを備えて前記第２方向への位置変位を検出するための第２の可動側インダクトシン基板を少なくとも設け、
前記第２の可動側インダクトシン基板の検出用コイルパターンは、各折り返し部において前記第１の固定側インダクトシン基板の励磁部と電磁連結することにより生じる誘起電圧が全体として相殺されるように、前記第２の可動側インダクトシン基板の検出部に沿って所定方向を往路、逆方向を復路とし、往路から復路に入る部位を第１の折り返し部、復路から往路に入る部位を第２の折り返し部、Ｎを１以上の自然数とした場合に、各々に隣接若しくは組をなす第１の折り返し部と第２の折り返し部の距離を、第１の固定側インダクトシン基板の励磁部の１周期分（１ピッチ分）の距離の（Ｎ−１／２）倍とすることで相殺部を構成している請求項２記載の平面位置検出装置。
【請求項５】
検出用コイルパターンはさらに、帰還路や中間路その他の部位に相手方の固定側インダクトシン基板の励磁部と電磁連結する電磁連結調整部を備え、この電磁連結調整部で生じる誘起電圧を含めて誘起電圧全体が相殺される相殺部を構成している請求項１又は３に記載の平面位置検出装置。
【請求項６】
請求項１〜５何れかに記載の平面位置検出装置を備えていることを特徴とする平面モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スライダがプラテン上でスライドする際の位置検出を行い、平面モータの位置決め等に利用するための平面位置検出装置及びこれを適用した平面モータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、リニアエンコーダとして、特許文献１に示すものが知られている。このものは、一次側のコイルと二次側のコイルとの相対的な位置関係により一次側のコイルと二次側のコイルとの電磁的な結合度が変化することを利用して可動部の位置を検出するいわゆるインダクトシン方式と称されるもので、２つの導体を微小なギャップを隔てて平行に対向させ、一方に交流電流を供給すると電磁誘導作用により他方には交流電圧が励起されることを利用し、この誘起電圧の変化を取り出して位置検出を行うものである。
【０００３】
具体的には、図８に示すように、スケール部１０に多数の励磁部を折り返し部を介して千鳥状に連ねた櫛形のコイルパターン３ａが配置され、スライダ部２０にも検出部を折り返し部を介して千鳥状に連ねた櫛形のコイルパターン５ａが配置される。両コイルパターン３ａ、５ａの検出方向のピッチは同一である。スケール部１０またはスライダ部２０のコイルパターン５ａに交流電流を流すと、コイルパターン５ａまたは３ａのうち移動方向と直交する部位に電磁連結が起こり、電磁誘導作用で電圧が発生する。スライダ部２０とスケール部１０の相対位置が変化すると、発生する電圧が同図（ｂ）のように正弦波状に変化する。この変化した電圧をとらえてスライダの位置を検出する。
【０００４】
スケール部１０に対して、このようなスライダ部２０側のコイルパターンを位相をずらして（例えば９０°）一対に設けることにより、同図（ｃ）に示すような２つの正弦波からスライダ部２０の移動方向を含めた位置検出を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平６−３２３８６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、この種のリニアエンコーダは、いわゆるレゾルバ等のように磁極間のリアクタンス変化を検出するものや光学式のものに比べて薄肉に構成できるため、このような一方向のリニアエンコーダを直交方向に重ねて２次元方向の平面位置検出機能をもたせるように構成することが一つの有効な手段として考えられる。
【０００７】
しかしながら、無造作に構成すると、例えば図９（ａ）に示すようにＸ方向を検出方向とする可動側の検出用コイルパターン５ａの折り返し部５２ａ、５２ｂが、スケール部１０側において直交するＹ方向の励磁用コイルパターン４ａの励磁部４１と電磁結合を起こし、これが検出信号にノイズとして加わって正確な検出ができなくなるという不具合を引き起こす。
【０００８】
本発明は、このような課題を解決し、この種のインダクトシンセンサを組み合わせても平面位置検出を精度良く行えるようにした平面位置検出装置及びこれを適用した平面モータを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。
【００１０】
すなわち、本発明の平面位置検出装置は、スケール部に対し、検出対象に追従するスライダ部を対向配置して、前記スケール部及び前記スライダ部の相対的位置を電磁誘導方式により検出するインダクトシン方式のものであって、前記スケール部に、第１方向に所定ピッチで励磁部を並列させその間を折り返し部で接続した励磁用コイルパターンを有する第１の固定側インダクトシン基板と、前記所定方向と異なる第２方向に所定ピッチで励磁部を並列させその間を折り返し部で接続した励磁用コイルパターンを有する第２の固定側インダクトシン基板とを積層して設けるとともに、前記スライダ部に、前記第１方向に沿って前記第１の固定側インダクトシン基板の励磁部のピッチに対し所定ピッチで検出部を並列させその間を折り返し部で接続した検出用コイルパターンを備えて前記第１方向への位置変位を検出するための第１の可動側インダクトシン基板を少なくとも設け、前記第１の可動側インダクトシン基板の検出用コイルパターンは、各折り返し部において前記第２の固定側インダクトシン基板の励磁部と電磁連結することにより生じる誘起電圧の影響を相殺する相殺部を備えていることを特徴とする。
【００１１】
このように構成すると、インダクトシン方式の励磁用コイルパターンをスケール側に異なる２方向に配置しても、スライダ側に設けた検出用コイルパターンに本来ペアを構成しない励磁用コイルパターンと電磁結合してノイズが載ることを有効に回避することができる。このように、インダクトシン方式の検出機能を組み合わせる際の障害を取り除くことで、２方向に検出機能を備えたスケール部上で少なくとも一方向への位置検出を精度良く行うことが可能となる。
【００１２】
ノイズを除去できるコイルパターンを的確に構成するためには、前記第１の可動側インダクトシン基板の検出部に沿って所定方向を往路、逆方向を復路とし、往路から復路に入る部位を第１の折り返し部、復路から往路に入る部位を第２の折り返し部、Ｎを１以上の自然数とした場合に、各々に隣接若しくは組をなす第１の折り返し部と第２の折り返し部の距離を、第２の固定側インダクトシン基板の励磁部の１周期分（１ピッチ分）の距離の（Ｎ−１／２）倍としていることが望ましい。
【００１３】
２方向に検出機能を備えたスケール部上で２方向への位置検出を精度良く行うためには、前記スライダ部に、前記第２方向に沿って前記第２の固定側インダクトシン基板の励磁部のピッチに対し所定ピッチで検出部を並列させその間を折り返し部で接続した検出用コイルパターンを備えて前記第２方向への位置変位を検出するための第２の可動側インダクトシン基板を少なくとも設け、この前記第２の可動側インダクトシン基板の検出用コイルパターンも、各折り返し部において前記第１の固定側インダクトシン基板の励磁部と電磁連結することにより生じる誘起電圧の影響を相殺する相殺部を備えていることが望ましい。
【００１４】
前記第２の可動側インダクトシン基板の検出用コイルパターンについても、各折り返し部において前記第１の固定側インダクトシン基板の励磁部と電磁連結することにより生じる誘起電圧の影響が適切に相殺されるように、前記第２の可動側インダクトシン基板の検出部に沿って所定方向を往路、逆方向を復路とし、往路から復路に入る部位を第１の折り返し部、復路から往路に入る部位を第２の折り返し部、Ｎを１以上の自然数とした場合に、各々に隣接若しくは組をなす第１の折り返し部と第２の折り返し部の距離を、第１の固定側インダクトシン基板の励磁部の１周期分（１ピッチ分）の距離の（Ｎ−１／２）倍としていることが好ましい。
【００１５】
折り返し部の長さを上記のように規定できない等の事情がある場合に、電磁連結調整部で電磁連結の影響を有効に回避するためには、検出用コイルパターンはさらに、帰還路や中間路その他の部位に相手方の固定側インダクトシン基板の励磁部と電磁連結する電磁連結調整部を備え、この電磁連結調整部で生じる誘起電圧を含めて誘起電圧全体が相殺される相殺部を構成していることが好適である。
【００１６】
以上のような平面位置検出装置を備えて平面モータを構成すれば、異方向の位置検出を行う際のノイズをキャンセルしてモータ性能を有効に向上させることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の平面位置検出装置は、以上説明したように、スケール部側に異なる２方向の位置検出を行うための固定側インダクトシン基板を重畳させて配置し、検出対象に付随するスライダ部に所要方向への位置検出を行う可動側インダクトシン基板を設けて位置検出を行うように構成するにあたり、可動側インダクトシン基板の折り返し部が本来ペアではない固定側インダクトシン基板の励磁部と電磁連結して検出誤差が生じることを相殺部において相殺するようにしたので、インダクトシン方式のコイルパターンを組み合わせてもノイズを除去した高精度の位置検出を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係る平面位置検出装置を適用した平面モータの模式的な斜視図。
【図２】平面モータの一部を模式的に示す部分断面図。
【図３】同平面位置検出装置を構成するスケール部の第１の固定側インダクトシン基板を模式的に示す平面図。
【図４】同平面位置検出装置を構成するスケール部の第２の固定側インダクトシン基板を模式的に示す平面図。
【図５】同平面位置検出装置を構成するスケール部の第１の固定側インダクトシン基板と第２の固定側インダクトシン基板を重ね合わせた状態を模式的に示す平面図。
【図６】同平面位置検出装置を構成するスケール部の固定側インダクトシン基板とスライド部の可動側インダクトシン基板の高さ方向の関係を模式的に示す模式的な断面図。
【図７】電磁誘導方式の位置検出装置の検出原理を説明するための図。
【図８】電磁誘導方式の位置検出装置の検出原理を説明するための図。
【図９】同実施形態における平面位置検出装置のノイズキャンセル機能を説明するための模式的な図。
【図１０】本発明の変形例を示す模式的な図。
【図１１】本発明の他の変形例を示す模式的な図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
【００２０】
図１に示すものは、プラテン１上を複数（図示例では３個）の作動体２が第１の方向であるＸ方向および第２の方向であるＹ方向に互いに独立して動けるように当該作動体２を不図示の駆動機構と関連づけて配置した平面モータＭである。この種の駆動機構は、例えば特開２０００−６５９７０号公報等にも示されているように公知であるため詳細は省略するが、図２に模式的な断面として示すようにプラテン１に縦横に溝１１を切って格子が形成され、作動体２を効率良く浮上支持ためにその表面の格子の溝１１を埋める樹脂によるコーティング層１２が形成されているものである。この実施形態で検出対象となっている作動体２は姿勢を保ってＸＹ方向にのみ移動し回転しないものである。
【００２１】
そして、図１に示す平面位置検出装置は、プラテン１側にスケール部１０を設け、検出対象である各作動体２側における前記スケール部１０の対向位置にスライダ部２０を設けている。スケール部１０及びスライダ部２０には、相対的位置を電磁誘導方式により検出するインダクトシン方式のものが採用されている。インダクトシン方式とは、通常のレゾルバが鉄心を介して磁路を結ぶために平面方向に鉄心を展開もしくは分布させて配置するのに対して、インダクトシン方式のものはギャップを介して磁路を結ぶだけで鉄心を有さず、薄板の基板同士を対向させるだけで構成できるものである。
【００２２】
具体的に説明すると、スケール部１０は、各々フラットな形状の第１の固定側インダクトシン基板３と第２の固定側インダクトシン基板４とを一体的に積層したものである。以下、「第１の固定側インダクトシン基板３」、「第２の固定側インダクトシン基板４」は、単に「第１の固定側基板３」、「第２の固定側基板４」と略称する。第１の固定側基板は、図３に示すように第１方向（以下、Ｘ方向とする）に所定ピッチ（所定周期）Ｐ１で連続する励磁用コイルパターン３ａを形成され、第２の固定側基板４は、図４に示すように前記所定方向と直角に交叉する第２方向（以下、Ｙ方向とする）に所定ピッチ（所定周期）Ｐ２で連続する励磁用コイルパターン４ａを形成されて、これらは平面視において図５に示すように直交して格子を形成している。そして、固定側基板３，４に、励磁用コイルパターン３ａ、４ａに通電するための交流電源を含む給電手段３０、４０が接続されている。給電手段３０、４０は図示例のように固定側基板３、４の各励磁用コイルパターン３ａ、４ａごとに設けてもよいが、両固定側基板３、４の励磁用コイルパターン３ａ、４ａを直列に接続して給電手段３０、４０が共通の給電手段であるように構成してもよい。ここに言う基板には、薄板のみならず薄いシート、可撓性のあるシート等が含まれ、本実施形態ではペットフィルム等に薄膜パターンを作ったものが用いられている。第１の固定側基板３および第２の固定側基板４は、図２に示したプラテン上のコーティング層１２内に埋め込まれている。
【００２３】
一方、各スライダ部２０には、図３に示すように、Ｘ方向に所定ピッチ即ちここでは前記第１の固定側基板３のコイルパターン３ａと同一ピッチＰ１で連続する検出用コイルパターン５ａを備えてＸ方向への位置変位を検出するための第１の可動側インダクトシン基板５と、図４に示すようにＹ方向に所定ピッチ即ちここでは前記第２の固定側基板４のコイルパターン４ａと同一ピッチＰ２で連続する検出用コイルパターン６ａを備えてＹ方向への位置変位を検出するための第２の可動側インダクトシン基板６とが設けてある。以下、「第１の可動側インダクトシン基板５」、「第２の可動側インダクトシン基板６」についても、単に「第１の可動側基板５」、「第２の可動側基板６」と略称する。これらの基板５、６もフラットな形状のもので、これらの基板５，６には、検出用コイルパターン５ａ、６ａに生じる電圧変化から位置検出を行う不図示の検出器が接続されている。
【００２４】
その際、第１の可動側基板５と第２の可動側基板６とは図１に示すように１つのスライダ部２０において平面方向に位置をずらして配置してあり、図６に示すように第１の固定側基板３と第１の可動側基板５の間のギャップｇ１と、第２の固定側基板４と第２の可動側基板６の間のギャップｇ２とが一致するように、各々の基板３，４，５，６の高さ位置が設定してある。
【００２５】
コイルパターン３ａ、４ａ、５ａ、６ａについて詳述すると、第１の固定側基板３の励磁用コイルパターン３ａは、図３に示すように、Ｘ方向に所定ピッチＰ１で励磁部３１を並列させその間を折り返し部３２ａ、３２ｂで千鳥状に接続した構成を有し、第２の固定側基板４の励磁用コイルパターン４ａは、図４に示すようにＹ方向に所定ピッチＰ２で励磁部４１を並列させその間を折り返し部４２ａ、４２ｂで千鳥状に接続した構成を有している。
【００２６】
また、第１の可動側基板５の検出用コイルパターン５ａは、図３に示すように、Ｘ方向に沿って前記第１の固定側基板３の励磁部３１のピッチＰ１と同一ピッチで検出部５１を並列させその間を折り返し部５２ａ、５２ｂで接続してＸ方向への位置変位を検出するように構成され、第２の可動側基板６の検出用コイルパターン６ａは、図４に示すように、Ｙ方向に沿って前記第２の固定側基板４の励磁部４１のピッチＰ２と同一ピッチで検出部６１を並列させその間を折り返し部６２ａ、６２ｂで接続して構成されている。
【００２７】
検出原理を、例えばペアとなってＸ方向の位置検出機能を有する第１の固定側基板３の励磁用コイルパターン３ａと第１の可動側基板５の検知用コイルパターン５ｂとに基づいて説明すると、図７（ａ）に示すように、スケール部１０側のコイルパターン３ａ上にスライダ部２０側のコイルパターン５ａを重畳させた状態でスケール部１０側のコイルパターン３ａに図中矢印で示すように交流電流を流すと、コイルパターン３ａ、５ａの平行なところすなわちスケール部１０側のコイルパターン３ａの励磁部３１とスライダ部２０側のコイルパターン５ａの検出部５１との電磁連結により、当該励磁部５１に電磁誘導作用で電圧が発生して図中矢印で示す方向に電流が流れる。スライダ部２０とスケール部１０の位置が同図（ｂ）に示すようにピッチＰ１方向に変化すると励磁部３１と検出部５１の相対距離が変化するため、発生する電圧が同図（ｃ）のように正弦波状に変化する。この変化した電圧をとらえて位置を検出する。
【００２８】
すなわち、位置Ａでは、スケール部１０のパターン３ａとスライダ部２０のパターン５ａが一致し電磁結合は正方向の最大になる。スライダ部２０が１／４ピッチずれた位置Ｂでは、スライダ部２０の検出部５１がスケール部１０の検出部３１の中間にあり、スライダ部２０の両方向に流れる電流の影響を等しく受け電磁結合はゼロになる。１／２ピッチずれた位置Ｃでは、位置Ａとは逆方向の関係になり、電磁結合は負方向に最大になる。３／４ピッチずれた位置Ｄでは、位置Ｂと同じ関係位置になり、結合は同じくゼロになる。１ピッチずれた位置Ｅは、位置Ａと同じになる。電磁結合は移動位置によって、誤差のないＳＩＮ結合となる。
【００２９】
スケール部１０に対し、このようなスライダ部２０側のコイルパターン５ａを図８（ａ）に示すように位相をずらして（例えば９０°）一対に設けることにより、同図（ｂ）に示すような位相のずれた２つの正弦波を取り出し、ここからスライダ部２０の移動方向を含めた位置検出を行うことができる。ペアとなってＹ方向の位置検出機能を有する第１の固定側基板４の励磁用コイルパターン４ａと第１の可動側基板６の検知用コイルパターン６ｂとの間においても同様である。
【００３０】
ところで、この実施形態では、図３に示すＸ方向検出用の励磁部３１や検出部５１のピッチＰ１と図４に示す第２方向検出用の励磁部４１や検出部６１のピッチＰ２とが同一ピッチに設定してあり、図３に示すＸ方向を検出方向とする可動側の検出用コイルパターン５の折り返し部５２ａ、５２ｂが、図９（ａ）に示すようにスケール部１０側に設けられた本来ペアではない図４のＹ方向の励磁用コイルパターン４ａの励磁部４１と電磁結合を起こすことがある。すなわち、前記第１の可動側基板５に設けられている検出用コイルパターン５ａの検出部５１のうち所定方向を往路５１ａ、逆方向を復路５１ｂとし、往路５１ａから復路５１ｂに入る部位を第１の折り返し部５２ａ、復路５１ｂから往路５１ａに入る部位を第２の折り返し部５２ｂとすると、第１の折り返し部５２ａと第２の折り返し部５２ｂがそれぞれ第２の固定側基板４に設けられた励磁用コイルパターン４ａの励磁部４１と電磁連結して同一方向の電流が流れる方向に励磁されることになり、これが本来ペアである図３の第１の固定側基板３に設けられた検出用コイルパターン３ａの励磁部３１と第１の可動側基板５の励磁部５１（上記往路５１ａ、復路５１ｂ）とが電磁連結した際の検出信号に新たにノイズとして加わって、正確な検出ができなくなる不具合を引き起こす。
【００３１】
そこで本実施形態は、同図（ｂ）に示すように、基板５の検出用コイルパターン５ａを、各折り返し部５２ａ、５２ｂにおいて前記第２の固定側基板４の励磁部４１と電磁連結することにより生じる誘起電圧が全体として相殺されるように構成している。具体的には、隣接している第１の折り返し部５２ａと第２の折り返し部５２ｂの間の距離ｄを、第２の固定側基板４の励磁部４１の１周期分（１ピッチ分）の距離Ｐ１の（Ｎ−１／２）倍（Ｎ：自然数）、すなわち本実施形態ではＮ＝１を採用してｄ＝Ｐ１／２となるようにしている。そして、これにより第１の折り返し部５２ａと第２の折り返し部５２ｂがそれぞれ第２の固定側基板の励磁部４１と電磁連結した際に同図中に矢印で示すように逆向きの電流が流れるようにして、互いの影響を相殺する本発明の相殺部を構成している。基板６の検出用コイルパターン６ａについても同様である。
【００３２】
検出用の磁束に対する磁気抵抗を小さくするために、基板３，５の対向する側とは反対側の面、或いは、基板４，６の対向する側とは反対側の面に、それぞれ磁性膜等の磁性体を配置しておいてもよい。
【００３３】
以上の構成により、インダクトシン方式の励磁用コイルパターン３ａ、４ａをスケール部１０側に異なる２方向に配置しても、スライダ部２０側に設けた検出用コイルパターン５ａ、６ａに本来ペアを構成しない励磁用コイルパターン４ａ、３ａと電磁結合した際の影響を相殺部で相殺してノイズが載ることを有効に回避することができる。そして、このようにインダクトシン方式の検出機能を組み合わせる際の障害を取り除くことで、２方向に検出機能を備えたスケール部１０上で一方向または２方向への位置検出を精度良く行うことが可能となる。
【００３４】
具体的には、第１の可動側基板５の第１の折り返し部５２ａと第２の折り返し部５２ｂの距離を、第２の固定側基板４の励磁部４１の１周期分（１ピッチ分）の距離の（Ｎ−１／２）倍とし、第２の可動側基板６においても同様の構成とする限りにおいて、それぞれ異なる方向の検出を行う複数の励磁用コイルパターン３ａ、４ａ上において各折り返し部５１ａ、５１ｂ、６１ａ、６２ａにおける電磁連結の影響を打ち消し合うので、ノイズを除去できるコイルパターンを的確に構成することができる。
【００３５】
なお、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではない。
【００３６】
例えば、前記実施形態では、各々に隣接する第１の折り返し部と第２の折り返し部の距離が、全て一定距離であったが、図１０に示すように各々に隣接する第１の折り返し部と第２の折り返し部の距離ｄ１、ｄ２、ｄ３、ｄ４が異なっていても、それぞれの距離ｄ１、ｄ２、ｄ３、ｄ４が固定側インダクトシン基板の励磁部の１周期分（２ピッチ分）の距離の（Ｎ−１／２）倍となるようにすることで、上記と同様の作用効果を奏することができる。
【００３７】
また、検出用コイルパターンに図１１（ａ）に示すような帰還路１００や同図（ｂ）に示すような中間路２００が存在する場合には、これらを、相手方の固定側インダクトシン基板の励磁部と電磁連結する電磁連結調整部として用いて、この電磁連結調整部で生じる誘起電圧を含めて誘起電圧全体を相殺する相殺部を構成することもできる。
【００３８】
以上のように、誘起電圧が全体として相殺されるように構成されれば、コイルパターンの形態は問わないものである。
【００３９】
さらにまた、スケール部の数が１つだけであっても本発明を適用することができるし、本発明の給電手段（励起側）はスケール部側にあっても構わない。
【００４０】
その他の構成も、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【００４１】
例えば、上記実施形態ではプラテンと作動体との作動面がフラットな平面であったが、円筒面や球体面等のような任意の曲面で構成されるプラテン上を作動体が移動するような場合にも、当該プラテンと作動体の間に本発明のスケール部とスライド部をコンパクトに構成することができ、このような面は平面を湾曲させて構成し、或いは微小な平面の集合として考えることができるため、本発明の平面にはこのような面も含まれる。
【００４２】
また、上記実施形態では、固定側のコイルパターンと可動側のコイルパターンを同一ピッチに設定したが、同期的に位置検出及び相殺部における誤差キャンセルができれば固定側のコイルパターンと可動側のコイルパターンは必ずしも同一ピッチでなくとも構わない。
【符号の説明】
【００４３】
２…検出対象（作動体）
３…第１の固定側インダクトシン基板
４…第２の固定側インダクトシン基板
５…第１の可動側インダクトシン基板
６…第２の可動側インダクトシン基板
１０…スケール部
２０…スライダ部
３１…励磁部
３２…折り返し部
４１…励磁部
４２…折り返し部
５１…検出部
５１ａ…往路
５１ｂ…復路
５２…折り返し部
５２ａ…往路
５２ｂ…復路
６１…検出部
６２…折り返し部
Ｍ…平面モータ（平面モータ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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