(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から出力されたレーザー光を偏向するＭＥＭＳミラーと、
予め定められた基本周期で変動する基本駆動電圧と、前記基本周期より短い周期である重畳周期で変動する重畳駆動電圧と、を用いて前記ＭＥＭＳミラーを揺動させる駆動部と、
前記ＭＥＭＳミラーで偏向されたレーザー光を予め定められた位置で受光し、その受光したことを示す検出信号を出力する光検出部と、
前記ＭＥＭＳミラーの偏向角の変化を補償するように前記基本駆動電圧及び前記重畳駆動電圧を補正するべく、前記光検出部によって前記検出信号が出力されたタイミングに基づいて、前記基本駆動電圧を補正するときに用いる電圧値である基本補正電圧値、及び、前記重畳駆動電圧を補正するときに用いる電圧値である重畳補正電圧値を算出する補正値算出部と、
前記基本補正電圧値よりも低い電圧値の直流電圧を生成する基本電圧生成部と、
前記重畳補正電圧値よりも低い電圧値の直流電圧を生成する重畳電圧生成部と、
前記基本電圧生成部で生成された直流電圧を、前記基本補正電圧値と等しい電圧値になるように増幅する基本電圧増幅部と、
前記重畳電圧生成部で生成された直流電圧を、前記重畳補正電圧値と等しい電圧値になるように増幅する重畳電圧増幅部と、
前記基本電圧増幅部によって増幅された直流電圧の波形を前記基本周期で変動する矩形波に整形して、前記基本駆動電圧として前記駆動部に出力する基本波形整形部と、
前記重畳電圧増幅部によって増幅された直流電圧の波形を前記重畳周期で変動する矩形波に整形して、前記重畳駆動電圧として前記駆動部に出力する重畳波形整形部と、
を備える光走査装置。
【請求項２】
前記ＭＥＭＳミラーは、第一トーションバーのねじれ動作によって回動可能な状態で可動フレームに支持され、
前記可動フレームは、前記第一トーションバーのねじり軸と同軸のねじり軸を有する第二トーションバーのねじれ動作によって回動可能な状態で、前記可動フレームの外側に設けられた固定フレームに支持され、
前記駆動部は、前記基本駆動電圧を用いて前記第二トーションバーをねじれ動作させて前記可動フレームを回動させるとともに、前記重畳駆動電圧を用いて前記第一トーションバーをねじれ動作させて前記ＭＥＭＳミラーを回動させることによって、前記ＭＥＭＳミラーを揺動させ、
前記補正値算出部は、前記矩形波に整形された基本駆動電圧に含まれる前記重畳周期の周波数成分により生じる前記ＭＥＭＳミラーの駆動力を相殺するように、前記重畳補正電圧値を算出する請求項１に記載の光走査装置。
【請求項３】
前記駆動部は、前記基本駆動電圧に応じて前記可動フレームを互いに逆方向に駆動させる第一駆動部及び第二駆動部と、前記重複駆動電圧に応じて前記ＭＥＭＳミラーを前記第一駆動部と同一方向に駆動させる第三駆動部と、前記重複駆動電圧に応じて前記ＭＥＭＳミラーを前記第二駆動部と同一方向に駆動させる第四駆動部と、を含み、
前記基本波形整形部は、前記基本電圧増幅部によって増幅された前記直流電圧を前記基本周期の半分の周期毎に前記第一駆動部と前記第二駆動部に交互に出力することによって、前記第一駆動部と前記第二駆動部に出力される前記基本駆動電圧の波形をそれぞれ前記基本周期で変動する矩形波に整形し、
前記重畳波形整形部は、前記重畳電圧増幅部によって増幅された前記直流電圧を前記重畳周期の半分の周期毎に前記第三駆動部と前記第四駆動部に交互に出力することによって、前記第三駆動部と前記第四駆動部に出力される前記重畳駆動電圧の波形を、それぞれ前記重畳周期で変動する矩形波に整形する請求項２に記載の光走査装置。
【請求項４】
前記基本波形整形部は、前記基本電圧増幅部と前記駆動部との間に設けられ、前記基本電圧増幅部によって増幅された前記直流電圧の出力先を前記第一駆動部と前記第二駆動部との間で切り替える基本スイッチング素子と、前記基本周期の半分の周期毎に前記基本スイッチング素子の切り替えを行う基本スイッチング制御部と、からなる請求項３に記載の光走査装置。
【請求項５】
前記重畳波形整形部は、前記重畳電圧増幅部と前記駆動部との間に設けられ、前記重畳電圧増幅部によって増幅された前記直流電圧の出力先を前記第三駆動部と前記第四駆動部との間で切り替える重畳スイッチング素子と、前記重畳周期の半分の周期毎に前記重畳スイッチング素子の切り替えを行う重畳スイッチング制御部と、からなる請求項３または４に記載の光走査装置。
【請求項６】
前記補正値算出部は、前記基本周期のうち、前記基本電圧増幅部によって増幅された直流電圧を前記駆動部に出力する期間の割合を示す基本補正デューティー比を更に算出し、
前記基本波形整形部は、前記基本周期のうち、前記補正値算出部で算出された前記基本補正デューティー比に対応する期間、前記基本駆動電圧をハイレベルにする請求項１から５の何れか一項に記載の光走査装置。
【請求項７】
前記補正値算出部は、前記重畳周期のうち、前記重畳電圧増幅部によって増幅された直流電圧を前記駆動部に出力する期間の割合を示す重畳補正デューティー比を更に算出し、
前記重畳波形整形部は、前記重畳周期のうち、前記補正値算出部で算出された前記重畳補正デューティー比に対応する期間、前記重畳駆動電圧をハイレベルにする請求項１から６の何れか一項に記載の光走査装置。
【請求項８】
前記基本電圧増幅部は、前記基本電圧生成部で生成された直流電圧を予め固定された増幅率で増幅する増幅器からなり、
前記基本電圧生成部は、前記基本補正電圧値を前記基本電圧増幅部で用いる前記予め固定された増幅率で除算して得られる電圧値の直流電圧を生成する請求項１から７の何れか一項に記載の光走査装置。
【請求項９】
前記重畳電圧増幅部は、前記重畳電圧生成部で生成された直流電圧を予め固定された増幅率で増幅する増幅器からなり、
前記重畳電圧生成部は、前記重畳補正電圧値を前記重畳電圧増幅部で用いる前記予め固定された増幅率で除算して得られる電圧値の直流電圧を生成する請求項１から８の何れか一項に記載の光走査装置。
【請求項１０】
前記基本電圧増幅部は、前記基本電圧生成部で生成された直流電圧を可変の増幅率で増幅する増幅器からなり、
前記基本電圧生成部は、前記基本補正電圧値よりも低い予め固定された電圧値である初期基本電圧値の直流電圧を生成し、
前記基本補正電圧値を前記初期基本電圧値で除算して得られる値を前記基本電圧増幅部で用いる前記可変の増幅率として設定する基本増幅率設定部を更に備える請求項１から７の何れか一項に記載の光走査装置。
【請求項１１】
前記重畳電圧増幅部は、前記重畳電圧生成部で生成された直流電圧を可変の増幅率で増幅する増幅器からなり、
前記重畳電圧生成部は、前記重畳補正電圧値よりも低い予め固定された電圧値である初期重畳電圧値の直流電圧を生成し、
前記重畳補正電圧値を前記初期重畳電圧値で除算して得られる値を前記重畳電圧増幅部で用いる前記可変の増幅率として設定する重畳増幅率設定部を更に備える請求項１から７及び１０の何れか一項に記載の光走査装置。
【請求項１２】
請求項１から１１の何れか一項に記載の光走査装置と、
前記光走査装置によって感光体に形成された潜像を用いて、前記潜像に対応する画像を用紙に形成する画像形成部とを備える画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走査用のレーザー光を偏向するＭＥＭＳミラーを備えた光走査装置及びこれを備えた画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、走査用のレーザー光を感光体に向けて偏向するための反射ミラーとして、往復振動するＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）ミラーを備えた画像形成装置が知られている（例えば特許文献１参照）。特許文献１の図３において、符号８は、ＭＥＭＳミラーを示し、符号ａ，ｂ，ｃ，ｄは、ＭＥＭＳミラー８を振動させる駆動源としての圧電体を示している。駆動源ａ，ｂを同位相で駆動し、駆動源ｃ，ｄを駆動源ａ，ｂとは逆位相で駆動することによって、ＭＥＭＳミラー８はねじれ振動をおこす。これによって、ＭＥＭＳミラー８に入射したレーザー光を反射偏向させて走査する。
【０００３】
また、特許文献１の図２には、駆動源ａ，ｂ，ｃ，ｄを駆動するための駆動回路のブロック図が記載されている。この特許文献１の図２において、発振器１２１ａでは正弦波が生成され、その正弦波は位相反転回路１２１ｂ及び位相シフタ１２１ｃに入力される。位相シフタ１２１ｃでは、画像信号とＭＥＭＳミラー８の位相とが対応するように調整された信号が生成される。そして、当該信号がアンプ１２１ｅで電圧増幅されて、駆動源ａ，ｂに供給される。また、発振器１２１ａで生成された正弦波は、位相反転回路１２１ｂを通って位相が反転され、位相シフタ１２１ｄ及びアンプ１２１ｆを経由して、駆動源ｃ，ｄに供給される。
【０００４】
また、特許文献２には、ミラーの駆動部を、コイル及び永久磁石を備えた１つの電磁アクチュエータとして構成し、コイルに電流を流したときに永久磁石に作用するトルクにより、ミラーを振動させる技術が記載されている。この特許文献２に開示された技術では、任意波形発生器で２つの正弦波を発生させた後、その２つの正弦波を加算器で足し合わせ（重畳し）、これを増幅器で増幅させてコイルに印加させている。つまり、２つの正弦波を重畳した電圧でコイルを駆動することによって、ミラーの角速度の変化の波形を三角波や鋸波にし、略等速度でミラーを振動させている。これにより、画像形成装置において、良好な印字を可能にしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１７７５４３号公報
【特許文献２】特開２００８−４０４６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記のような正弦波を生成可能な発振器や正弦波を正確に増幅可能な増幅器は、高価なものであり、特に、上記特許文献２に開示されたような複数の正弦波を重畳した駆動電圧によりＭＥＭＳミラーを振動させる構成では、重畳させる正弦波の数に応じた台数の発振器や増幅器が必要になるため、製造コストを高騰させる要因となっていた。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、複数の電圧が重畳されることによって駆動するＭＥＭＳミラーを備えた光走査装置及びこれを備えた画像形成装置を安価に提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る光走査装置は、光源から出力されたレーザー光を偏向するＭＥＭＳミラーと、予め定められた基本周期で変動する基本駆動電圧と、前記基本周期より短い周期である重畳周期で変動する重畳駆動電圧と、を用いて前記ＭＥＭＳミラーを揺動させる駆動部と、前記ＭＥＭＳミラーで偏向されたレーザー光を予め定められた位置で受光し、その受光したことを示す検出信号を出力する光検出部と、前記ＭＥＭＳミラーの偏向角の変化を補償するように前記基本駆動電圧及び前記重畳駆動電圧を補正するべく、前記光検出部によって前記検出信号が出力されたタイミングに基づいて、前記基本駆動電圧を補正するときに用いる電圧値である基本補正電圧値、及び、前記重畳駆動電圧を補正するときに用いる電圧値である重畳補正電圧値を算出する補正値算出部と、前記基本補正電圧値よりも低い電圧値の直流電圧を生成する基本電圧生成部と、前記重畳補正電圧値よりも低い電圧値の直流電圧を生成する重畳電圧生成部と、前記基本電圧生成部で生成された直流電圧を、前記基本補正電圧値と等しい電圧値になるように増幅する基本電圧増幅部と、前記重畳電圧生成部で生成された直流電圧を、前記重畳補正電圧値と等しい電圧値になるように増幅する重畳電圧増幅部と、前記基本電圧増幅部によって増幅された直流電圧の波形を前記基本周期で変動する矩形波に整形して、前記基本駆動電圧として前記駆動部に出力する基本波形整形部と、前記重畳電圧増幅部によって増幅された直流電圧の波形を前記重畳周期で変動する矩形波に整形して、前記重畳駆動電圧として前記駆動部に出力する重畳波形整形部と、を備える。
【０００９】
この構成によれば、基本電圧生成部によって基本補正電圧値よりも低い電圧値の直流電圧が生成され、生成された直流電圧は基本電圧増幅部によって基本補正電圧値と等しい電圧値になるように増幅される。そして、増幅された直流電圧の波形は、基本波形整形部によって基本周期で矩形波状に変動するように整形され、基本駆動電圧として駆動部に出力される。また、重畳電圧生成部によって重畳補正電圧値よりも低い電圧値の直流電圧が生成され、生成された直流電圧は重畳電圧増幅部によって重畳補正電圧値と等しい電圧値になるように増幅される。そして、増幅された直流電圧の波形は、重畳波形整形部によって重畳周期で矩形波状に変動するように整形され、重畳駆動電圧として駆動部に出力される。
【００１０】
つまり、基本駆動電圧と重畳駆動電圧とを生成するための構成として、従来技術で採用されていた正弦波を生成可能な高価な発振器に代えて、直流電圧を生成可能な安価な基本電圧生成部及び重畳電圧生成部を採用している。そして、従来技術では、駆動電圧毎に正弦波を正確に増幅可能な高価な増幅器を備えた構成を採用していたが、この構成では、直流電圧を正確に増幅可能な安価な基本電圧増幅部及び重畳電圧増幅部を備えた構成を採用している。その結果、基本駆動電圧と重畳駆動電圧とが重畳されることによって駆動するＭＥＭＳミラーを備えた光走査装置を安価に提供することができる。
【００１１】
また、前記ＭＥＭＳミラーは、第一トーションバーのねじれ動作によって回動可能な状態で可動フレームに支持され、前記可動フレームは、前記第一トーションバーのねじり軸と同軸のねじり軸を有する第二トーションバーのねじれ動作によって回動可能な状態で、前記可動フレームの外側に設けられた固定フレームに支持され、前記駆動部は、前記基本駆動電圧を用いて前記第二トーションバーをねじれ動作させて前記可動フレームを回動させるとともに、前記重畳駆動電圧を用いて前記第一トーションバーをねじれ動作させて前記ＭＥＭＳミラーを回動させることによって、前記ＭＥＭＳミラーを揺動させ、前記補正値算出部は、前記矩形波に整形された基本駆動電圧に含まれる前記重畳周期の周波数成分により生じる前記ＭＥＭＳミラーの駆動力を相殺するように、前記重畳補正電圧値を算出することが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、駆動部によって、基本駆動電圧を用いて可動フレームが回動されるとともに、重畳駆動電圧を用いてＭＥＭＳミラーが回動されることによって、ＭＥＭＳミラーが揺動される。このため、重畳周期で変動する重畳補正電圧値に等しい矩形波を用いて第一トーションバーをねじれ動作させる場合に、第二トーションバーをねじれ動作させて可動フレームを駆動させている、矩形波に整形された基本駆動電圧に含まれる重畳周期の周波数成分によって、精度良く第一トーションバーをねじれ動作させることができない虞がある。
【００１３】
しかし、この構成によれば、補正値算出部によって、矩形波に整形された基本駆動電圧に含まれる重畳周期と周期が等しい高調波成分により生じるＭＥＭＳミラーの駆動力を相殺するように、重畳補正電圧値が算出されるので、精度良く第一トーションバーをねじれ動作させることができる。
【００１４】
また、前記駆動部は、前記基本駆動電圧に応じて前記可動フレームを互いに逆方向に駆動させる第一駆動部及び第二駆動部と、前記重複駆動電圧に応じて前記ＭＥＭＳミラーを前記第一駆動部と同一方向に駆動させる第三駆動部と、前記重複駆動電圧に応じて前記ＭＥＭＳミラーを前記第二駆動部と同一方向に駆動させる第四駆動部と、を含み、前記基本波形整形部は、前記基本電圧増幅部によって増幅された前記直流電圧を前記基本周期の半分の周期毎に前記第一駆動部と前記第二駆動部に交互に出力することによって、前記第一駆動部と前記第二駆動部に出力される前記基本駆動電圧の波形をそれぞれ前記基本周期で変動する矩形波に整形し、前記重畳波形整形部は、前記重畳電圧増幅部によって増幅された前記直流電圧を前記重畳周期の半分の周期毎に前記第三駆動部と前記第四駆動部に交互に出力することによって、前記第三駆動部と前記第四駆動部に出力される前記重畳駆動電圧の波形を、それぞれ前記重畳周期で変動する矩形波に整形することが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、基本電圧増幅部で増幅された直流電圧の出力先を基本周期の半分の周期毎に第一駆動部と第二駆動部とに交互に出力させる簡素な構成で、第一駆動部と第二駆動部に出力される基本駆動電圧の波形を基本周期で変動する矩形波に整形することができる。また、重畳電圧増幅部で増幅された直流電圧の出力先を重畳周期の半分の周期毎に第三駆動部と第四駆動部とに交互に出力させる簡素な構成で、第三駆動部と第四駆動部に出力される重畳駆動電圧の波形を重畳周期で変動する矩形波に整形することができる。
【００１６】
また、前記基本波形整形部は、前記基本電圧増幅部と前記駆動部との間に設けられ、前記基本電圧増幅部によって増幅された前記直流電圧の出力先を前記第一駆動部と前記第二駆動部との間で切り替える基本スイッチング素子と、前記基本周期の半分の周期毎に前記基本スイッチング素子の切り替えを行う基本スイッチング制御部と、からなることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、少なくとも２方向に駆動電圧の供給経路を切り替える安価なスイッチング素子を用いて、基本波形整形部を安価に構成することができる。
【００１８】
また、前記重畳波形整形部は、前記重畳電圧増幅部と前記駆動部との間に設けられ、前記重畳電圧増幅部によって増幅された前記直流電圧の出力先を前記第三駆動部と前記第四駆動部との間で切り替える重畳スイッチング素子と、前記重畳周期の半分の周期毎に前記重畳スイッチング素子の切り替えを行う重畳スイッチング制御部と、からなることが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、少なくとも２方向に駆動電圧の供給経路を切り替える安価なスイッチング素子を用いて、重畳波形整形部を安価に構成することができる。
【００２０】
また、前記補正値算出部は、前記基本周期のうち、前記基本電圧増幅部によって増幅された直流電圧を前記駆動部に出力する期間の割合を示す基本補正デューティー比を更に算出し、前記基本波形整形部は、前記基本周期のうち、前記補正値算出部で算出された前記基本補正デューティー比に対応する期間、前記基本駆動電圧をハイレベルにすることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、基本補正電圧値を用いるだけでなく、更に基本補正デューティー比を用いて基本駆動電圧を補正することができる。
【００２２】
また、前記補正値算出部は、前記重畳周期のうち、前記重畳電圧増幅部によって増幅された直流電圧を前記駆動部に出力する期間の割合を示す重畳補正デューティー比を更に算出し、前記重畳波形整形部は、前記重畳周期のうち、前記補正値算出部で算出された前記重畳補正デューティー比に対応する期間、前記重畳駆動電圧をハイレベルにすることが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、重畳補正電圧値を用いるだけでなく、更に重畳補正デューティー比を用いて重畳駆動電圧を補正することができる。
【００２４】
また、前記基本電圧増幅部は、前記基本電圧生成部で生成された直流電圧を予め固定された増幅率で増幅する増幅器からなり、前記基本電圧生成部は、前記基本補正電圧値を前記基本電圧増幅部で用いる前記予め固定された増幅率で除算して得られる電圧値の直流電圧を生成することが好ましい。
【００２５】
この構成によれば、直流電圧を予め固定された増幅率で増幅する安価な増幅器を用いて
、基本電圧増幅部を安価に構成することができる。
【００２６】
また、前記重畳電圧増幅部は、前記重畳電圧生成部で生成された直流電圧を予め固定された増幅率で増幅する増幅器からなり、前記重畳電圧生成部は、前記重畳補正電圧値を前記重畳電圧増幅部で用いる前記予め固定された増幅率で除算して得られる電圧値の直流電圧を生成することが好ましい。
【００２７】
この構成によれば、直流電圧を予め固定された増幅率で増幅する安価な増幅器を用いて
、重畳電圧増幅部を安価に構成することができる。
【００２８】
また、前記基本電圧増幅部は、前記基本電圧生成部で生成された直流電圧を可変の増幅率で増幅する増幅器からなり、前記基本電圧生成部は、前記基本補正電圧値よりも低い予め固定された電圧値である初期基本電圧値の直流電圧を生成し、前記基本補正電圧値を前記初期基本電圧値で除算して得られる値を前記基本電圧増幅部で用いる前記可変の増幅率として設定する基本増幅率設定部を更に備えることが好ましい。
【００２９】
この構成によれば、基本電圧生成部によって、基本補正電圧値よりも低い予め固定された電圧値である初期基本電圧値の直流電圧が生成される。つまり、多様な電圧値の直流電圧を生成するように基本電圧生成部を構成する場合に比して、簡素で安価な基本電圧生成部にすることができる。
【００３０】
また、前記重畳電圧増幅部は、前記重畳電圧生成部で生成された直流電圧を可変の増幅率で増幅する増幅器からなり、前記重畳電圧生成部は、前記重畳補正電圧値よりも低い予め固定された電圧値である初期重畳電圧値の直流電圧を生成し、前記重畳補正電圧値を前記初期重畳電圧値で除算して得られる値を前記重畳電圧増幅部で用いる前記可変の増幅率として設定する重畳増幅率設定部を更に備えることが好ましい。
【００３１】
この構成によれば、重畳電圧生成部によって、重畳補正電圧値よりも低い予め固定された電圧値である初期重畳電圧値の直流電圧が生成される。つまり、多様な電圧値の直流電圧を生成するように重畳電圧生成部を構成する場合に比して、簡素で安価な重畳電圧生成部にすることができる。
【００３２】
また、本発明に係る画像形成装置は、前記光走査装置と、前記光走査装置によって感光体に形成された潜像を用いて、前記潜像に対応する画像を用紙に形成する画像形成部とを備える。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、複数の電圧が重畳されることによって駆動するＭＥＭＳミラーを備えた光走査装置及び画像形成装置を安価に提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明に係る光走査装置を適用した画像形成装置の一例としての複合機を示す概略断面図。
【図２】複合機の電気的な構成の一例を示すブロック図。
【図３】露光部を構成する光学部品の配置関係を示す図。
【図４】光偏向部の原理を示す図。
【図５】（ａ）図４に示す光偏向部をＡ−Ａ線に沿って切断した断面図。（ｂ）図４に示す光偏向部をＢ−Ｂ線に沿って切断した断面図。
【図６】（ａ）図５（ａ）と同じ断面において、一方側のミラー駆動部のＰＺＴ薄膜が伸び、他方側のミラー駆動部のＰＺＴ薄膜が縮んだ状態を示す図。（ｂ）図５（ｂ）と同じ断面において、一方側のミラー駆動部のＰＺＴ薄膜が伸び、他方側のミラー駆動部のＰＺＴ薄膜が縮んだ状態を示す図。
【図７】可動フレーム及びミラー部の偏向角の時間変化を示す図。
【図８】露光部の構成を示すブロック図。
【図９】（ａ）第一増幅器及び基本波形整形部に入力される直流電圧の電圧値の変化を示す図。（ｂ）ミラー駆動部（第一駆動部）に入力される直流電圧の電圧値の変化を示す図。（ｃ）ミラー駆動部（第二駆動部）に入力される直流電圧の電圧値の変化を示す図。
【図１０】ミラー駆動部（第一駆動部及び第二駆動部）に入力される直流電圧の電圧値の変化に応じた可動フレームの偏向角の変化を示す図。
【図１１】（ａ）第二増幅器及び重畳波形整形部に入力される直流電圧の電圧値の変化を示す図。（ｂ）ミラー駆動部（第三駆動部）に入力される直流電圧の電圧値の変化を示す図。（ｃ）ミラー駆動部（第四駆動部）に入力される直流電圧の電圧値の変化を示す図。
【図１２】ミラー駆動部（第三駆動部及び第四駆動部）に入力される直流電圧の電圧値の変化に応じた、ミラー部の偏向角の可動フレームに対する相対的な変化を示す図。
【図１３】矩形波に整形された基本駆動電圧の時間変化と当該矩形波の基本波と３倍高調波との関係を示す図。
【図１４】図８とは別の露光部の構成を示すブロック図。
【図１５】（ａ）補正値算出部によって算出された基本補正デューティー比に応じた、ミラー駆動部（第一駆動部）に入力される直流電圧の電圧値の変化を示す図。（ｂ）補正値算出部によって算出された基本補正デューティー比に応じた、負荷に入力される直流電圧の電圧値の変化を示す図。（ｃ）補正値算出部によって算出された基本補正デューティー比に応じた、ミラー駆動部（第二駆動部）に入力される直流電圧の電圧値の変化を示す図。
【図１６】図８及び図１４とは別の露光部の構成を示すブロック図。
【図１７】（ａ）補正値算出部によって算出された重畳補正デューティー比に応じた、ミラー駆動部（第三駆動部）に入力される直流電圧の電圧値の変化を示す図。（ｂ）補正値算出部によって算出された重畳補正デューティー比に応じた、負荷に入力される直流電圧の電圧値の変化を示す図。（ｃ）補正値算出部によって算出された重畳補正デューティー比に応じた、ミラー駆動部（第四駆動部）に入力される直流電圧の電圧値の変化を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
図１は、本発明に係る光走査装置を適用した複合機（画像形成装置）の概略断面図である。図１に示すように、複合機（画像形成装置）１は、例えば、コピー、プリンター、及びスキャナー等の複数の機能を兼ね備える。複合機１は本体部１００、本体部１００の上に配置された原稿読取部２００、原稿読取部２００の上に配置された原稿給送部３００及び本体部１００の上部前面に配置された操作部４００を備える。
【００３６】
原稿給送部３００は、自動原稿給装装置として機能し、原稿載置部３０１に載置された複数枚の原稿を連続的に原稿読取部２００に送ることができる。
【００３７】
原稿読取部２００は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）センサー及びＬＥＤ（Light Emitting Diode）等を搭載したキャリッジ２０１、ガラス等の透明部材により構成された原稿台２０３、及び原稿読取スリット２０５を備える。原稿台２０３に載置された原稿を読み取る場合、キャリッジ２０１を原稿台２０３の長手方向に移動させながらＣＣＤセンサーにより原稿を読み取る。これに対して、原稿給送部３００から給送された原稿を読み取る場合、キャリッジ２０１を原稿読取スリット２０５と対向する位置に移動させて、原稿給送部３００から送られてきた原稿を、原稿読取スリット２０５を通してＣＣＤセンサーにより読み取る。ＣＣＤセンサーは読み取った原稿を画像データとして出力する。
【００３８】
本体部１００は、用紙貯留部１０１、画像形成部１０３及び定着部１０５を備える。用紙貯留部１０１は、用紙の束を貯留することができる用紙トレイ１０７を備える。用紙トレイ１０７に貯留された用紙の束において、最上位の用紙がピックアップローラー１０９の駆動により、用紙搬送部１１１へ向けて繰り出される。用紙は用紙搬送部１１１を通って、画像形成部１０３へ搬送される。
【００３９】
画像形成部１０３は、搬送されてきた用紙に画像データを基にしてトナー画像を形成する。画像形成部１０３は、感光体ドラム１１３、露光部１１５、現像部１１７及び転写部１１９を備える。露光部１１５は、画像データ（原稿読取部２００から出力された画像データ、パソコンから送信された画像データ、ファクシミリ受信の画像データ等）に対応する光を生成し、一様に帯電された感光体ドラム１１３の周面に照射する。これにより、感光体ドラム１１３の周面には画像データに対応する静電潜像が形成される。この状態で感光体ドラム１１３の周面に現像部１１７からトナーを供給することにより、周面には画像データに対応するトナー画像が形成される。このトナー画像は、転写部１１９によって用紙貯留部１０１から搬送されてきた用紙に転写される。
【００４０】
トナー画像が転写された用紙は、定着部１０５に送られる。定着部１０５は、トナー画像と用紙に熱と圧力を加え、トナー画像を用紙に定着させる。用紙はスタックトレイ１２１又は排紙トレイ１２３に排紙される。
【００４１】
操作部４００は、表示部４０３と操作キー部４０１とを備える。表示部４０３は、タッチパネル機能を有しており、ソフトキーを含む画面が表示される。ユーザーは、画面を見ながらソフトキーを操作することによって、コピー等の機能の実行に必要な設定入力等の入力操作をする。
【００４２】
操作キー部４０１は、ハードキーからなる操作キーを備えており、具体的にはスタートキー４０５、テンキー４０７、ストップキー４０９、リセットキー４１１、コピー、プリンター、スキャナー及びファクシミリを切り換えるための機能切換キー４１３等を備える。
【００４３】
スタートキー４０５は、コピー、ファクシミリ送信等の動作を開始させるキーである。テンキー４０７は、コピー部数、ファクシミリ番号等の数字を入力するキーである。ストップキー４０９は、コピー動作等を途中で中止させるキーである。リセットキー４１１は、設定された内容を初期設定状態に戻すキーである。
【００４４】
機能切換キー４１３は、コピーキー及び送信キー等を備えており、コピー機能、送信機能等を相互に切り替えるキーである。コピーキーを操作すれば、コピーの初期画面が表示部４０３に表示される。送信キーを操作すれば、ファクシミリ送信及びメール送信の初期画面が表示部４０３に表示される。
【００４５】
図２は、複合機１の電気的な構成を示すブロック図である。複合機１は、上記本体部１００、上記原稿読取部２００、上記原稿給送部３００、上記操作部４００、通信部６００、及び制御部５００等の各機能部が相互に通信可能なように接続された構成になっている。本体部１００、原稿読取部２００、原稿給送部３００及び操作部４００に関しては既に説明したので、説明を省略する。
【００４６】
通信部６００は、ファクシミリ通信部６０１及びネットワークＩ／Ｆ部６０３を備える。ファクシミリ通信部６０１は、相手先ファクシミリとの電話回線の接続を制御するＮＣＵ（Network Control Unit）及びファクシミリ通信用の信号を変復調する変復調回路を備える。ファクシミリ通信部６０１は、電話回線６０５に接続される。
【００４７】
ネットワークＩ／Ｆ部６０３は、ＬＡＮ（Local Area Network）６０７に接続される。ネットワークＩ／Ｆ部６０３はＬＡＮ６０７に接続されたパソコン等の端末装置との間で通信を実行するための通信インターフェイス回路である。
【００４８】
制御部５００は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及び画像メモリー等を備える。ＣＰＵは、複合機１を動作させるために必要な制御を、本体部１００等の複合機１の上記構成要素に対して実行する。ＲＯＭは、複合機１の動作の制御に必要なソフトウェアや設定値を記憶している。ＲＡＭは、ソフトウェアの実行時に発生するデータの一時的な記憶等に利用される。画像メモリーは、画像データ（原稿読取部２００から出力された画像データ、パソコンから送信された画像データ、ファクシミリ受信の画像データ等）を一時的に記憶する。
【００４９】
図３は、露光部１１５を構成する光学部品の配置関係を示す図である。露光部１１５は、光源３１、光偏向部１０及び二つの走査レンズ３３，３５等を備える。光源３１は、例えば、レーザーダイオードであり、画像データに対応して変調された光ビーム（レーザー光）ＬＢを照射する。
【００５０】
光源３１と光偏向部１０との光路上には、コリメーターレンズ３７及びシリンドリカルレンズ３９が配置されている。コリメーターレンズ３７は、光源３１から照射された光ビームＬＢを平行光にする。シリンドリカルレンズ３９は、平行光にされた光ビームＬＢを線状に集光する。線状に集光された光ビームＬＢは、光偏向部１０に入射される。
【００５１】
光偏向部１０と感光体ドラム１１３との光路上には、走査レンズ３３と走査レンズ３５が配置されている。光偏向部１０のミラー部１１に入射された光ビームＬＢは、ミラー部１１で反射、偏向されて、走査レンズ３３，３５により感光体ドラム１１３に結像される。すなわち、光ビームＬＢを感光体ドラム１１３に走査することにより、感光体ドラム１１３に静電潜像が形成される。
【００５２】
露光部１１５は、更に、ＢＤ（Beam Detect）レンズ４１ａ,４１ｂ及びＢＤセンサー（光検出部）４３ａ,４３ｂを備える。感光体ドラム１１３の一方の側部１１３ａから他方の側部１１３ｂへ向けて、光ビームＬＢが感光体ドラム１１３を走査する場合に、有効走査範囲Ｒを超えた光ビームＬＢは、ＢＤレンズ４１ａ,４１ｂで集光されてＢＤセンサー４３ａ,４３ｂで受光される。ＢＤセンサー４３ａ,４３ｂは、それぞれ、有効走査範囲Ｒを超えた光ビームＬＢを受光したときに、その受光したことを示す検出信号を出力する。ＢＤセンサー４３ａ,４３ｂから出力される検出信号は、感光体ドラム１１３に形成される静電潜像を表す画像信号と、有効走査範囲Ｒを走査するタイミングと、の同期をとるため等に利用される。
【００５３】
光偏向部１０について説明する。図４は、光偏向部１０の原理を示す図である。図５（ａ）は、図４に示す光偏向部１０をＡ−Ａ線に沿って切断した断面図であり、図５（ｂ）は、図４に示す光偏向部１０をＢ−Ｂ線に沿って切断した断面図である。
【００５４】
光偏向部１０は、ミラー部１１、可動フレーム１６、固定フレーム１３、トーションバー１５ａ，１５ｂ，１５ｃ、及びミラー駆動部（駆動部）１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１７ｅ，１７ｆ，１７ｇ，１７ｈを備える。
【００５５】
ミラー部１１は、矩形板状のＭＥＭＳミラーである。このミラー部１１は、トーションバー（第一トーションバー）１５ａに固定され、光偏向部１０の中心部に配置されている。光ビームＬＢはミラー部１１に入射され、ミラー部１１で反射偏向される。
【００５６】
可動フレーム１６の形状は矩形である。可動フレーム１６は、一対の辺部１６ａ，１６ｂと、一対の辺部１６ａ，１６ｂと直交する方向に延びる一対の辺部１６ｃ，１６ｄと、一対の辺部１６ｃ，１６ｄにより支持される梁１６ｅ，１６ｆとにより構成される。
【００５７】
トーションバー１５ａは、ミラー部１１の長辺の中心部を通るようにして、ミラー部１１の短辺方向に延びている。トーションバー１５ａの一端は、梁１６ｅにより支持され、トーションバー１５ａの他端は、梁１６ｆにより支持されている。
【００５８】
梁１６ｅ上には、トーションバー１５ａより辺部１６ｃ側にミラー駆動部１７ｅが形成され、トーションバー１５ａより辺部１６ｄ側にミラー駆動部１７ｆが形成されている。梁１６ｆ上には、トーションバー１５ａより辺部１６ｃ側にミラー駆動部１７ｇが形成され、トーションバー１５ａより辺部１６ｄ側にミラー駆動部１７ｈが形成されている。
【００５９】
固定フレーム１３の形状は矩形である。固定フレーム１３は、可動フレーム１６の外側に固定され、一対の辺部１３ａ，１３ｂと、一対の辺部１３ａ，１３ｂと直交する方向に延びる一対の辺部１３ｃ，１３ｄと、一対の辺部１３ｃ，１３ｄにより支持される梁１３ｅ，１３ｆとにより構成されている。
【００６０】
トーションバー（第二トーションバー）１５ｂ，１５ｃは、トーションバー１５ａと同じ軸上に延び、つまり、トーションバー１５ｂ，１５ｃを延ばした先がミラー部１１の長辺の中心部を通るように、ミラー部１１の短辺方向に延びている。トーションバー１５ｂの一端は、梁１３ｅにより支持され、トーションバー１５ｂの他端は、可動フレーム１６の辺部１６ａを支持している。トーションバー１５ｃの一端は、梁１３ｆにより支持され、トーションバー１５ｃの他端は、可動フレーム１６の辺部１６ｂを支持している。つまり、トーションバー１５ｂ，１５ｃによって、可動フレーム１６が支持されている。
【００６１】
梁１３ｅ上には、トーションバー１５ｂより辺部１３ｃ側にミラー駆動部１７ａが形成され、トーションバー１５ｂより辺部１３ｄ側にミラー駆動部１７ｂが形成されている。梁１３ｆ上には、トーションバー１５ｃより辺部１３ｃ側にミラー駆動部１７ｃが形成され、トーションバー１５ｃより辺部１３ｄ側にミラー駆動部１７ｄが形成されている。
【００６２】
ミラー駆動部１７ａは、図５（ａ）に示すように、下部電極２３、ＰＺＴ薄膜２５及び上部電極２７により構成される。ミラー駆動部１７ｂ，１７ｃ，１７ｄはミラー駆動部１７ａと同じ構成を有する。尚、符号ＮＬは、固定フレーム１３に対する法線を示している。
【００６３】
以下、ミラー駆動部１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄを区別する必要がなければ、ミラー駆動部１７１と記載する。ミラー駆動部１７１には、予め定められた一定の基本周期で変動する交流電圧が駆動電圧として印加される。以下、ミラー駆動部１７１の駆動電圧を基本駆動電圧と記載する。
【００６４】
ミラー駆動部１７ｅは、図５（ｂ）に示すように、下部電極２３、ＰＺＴ薄膜２５及び上部電極２７により構成される。ミラー駆動部１７ｆ，１７ｇ，１７ｈはミラー駆動部１７ｅと同じ構成を有する。尚、符号ＮＬは、固定フレーム１３に対する法線を示している。
【００６５】
以下、ミラー駆動部１７ｅ，１７ｆ，１７ｇ，１７ｈを区別する必要がなければ、ミラー駆動部１７２と記載する。ミラー駆動部１７２には、基本駆動電圧の変動周期である上記の基本周期よりも短い周期である、予め定められた一定の重畳周期で変動する交流電圧が駆動電圧として印加される。以下、ミラー駆動部１７２の駆動電圧を重畳駆動電圧と記載する。
【００６６】
図６（ａ）は、図５（ａ）と同じ断面において、ミラー駆動部１７ａ，１７ｃ（第一駆動部）のＰＺＴ薄膜２５が伸び、かつミラー駆動部１７ｂ，１７ｄ（第二駆動部）のＰＺＴ薄膜２５が縮むように、ミラー駆動部１７１に基本駆動電圧を印加した状態を示す図である。梁１３ｅ，１３ｆが撓んでおり、これによりトーションバー１５ｂ，１５ｃがねじれ、トーションバー１５ｂ，１５ｃと一緒に可動フレーム１６が傾く。
【００６７】
ミラー駆動部１７ａ，１７ｃのＰＺＴ薄膜２５が伸び、かつミラー駆動部１７ｂ，１７ｄのＰＺＴ薄膜２５が縮むことによって、トーションバー１５ｂ，１５ｃが右方向にねじれる動作を第１の動作とする。一方、ミラー駆動部１７ａ，１７ｃのＰＺＴ薄膜２５が縮み、かつミラー駆動部１７ｂ，１７ｄのＰＺＴ薄膜２５が伸びることによって、トーションバー１５ｂ，１５ｃが左方向にねじれる動作を第２の動作とする。
【００６８】
第１の動作と第２の動作とが交互に繰り返されるように、ミラー駆動部１７ａ，１７ｃに印加する基本駆動電圧の位相と、ミラー駆動部１７ｂ，１７ｄに印加する基本駆動電圧の位相を反転させ、梁１３ｅ，１３ｆを撓ませる。これによって、トーションバー１５ｂ，１５ｃを軸にして可動フレーム１６が回動する。
【００６９】
図６（ｂ）は、図５（ｂ）と同じ断面において、ミラー駆動部１７ｅ，１７ｇ（第三駆動部）のＰＺＴ薄膜２５が伸び、かつミラー駆動部１７ｆ，１７ｈ（第四駆動部）のＰＺＴ薄膜２５が縮むように、ミラー駆動部１７２に重畳駆動電圧を印加した状態を示す図である。梁１６ｅ，１６ｆが撓んでおり、これによりトーションバー１５ａがねじれ、トーションバー１５ａと一緒にミラー部１１が傾く。
【００７０】
ミラー駆動部１７ｅ，１７ｇのＰＺＴ薄膜２５が伸び、かつミラー駆動部１７ｆ，１７ｈのＰＺＴ薄膜２５が縮むことによって、トーションバー１５ａが右方向にねじれる動作を第３の動作とする。一方、ミラー駆動部１７ｅ，１７ｇのＰＺＴ薄膜２５が縮み、かつミラー駆動部１７ｆ，１７ｈのＰＺＴ薄膜２５が伸びることによって、トーションバー１５ａが左方向にねじれる動作を第４の動作とする。
【００７１】
第３の動作と第４の動作とが交互に繰り返されるように、ミラー駆動部１７ｅ，１７ｇに印加する重畳駆動電圧の位相と、ミラー駆動部１７ｆ，１７ｈに印加する重畳駆動電圧の位相を反転させ、梁１６ｅ，１６ｆを撓ませる。これによって、トーションバー１５ａを軸にしてミラー部１１が回動する。
【００７２】
次に、可動フレーム１６及びミラー部１１の法線ＮＬに対する偏向角θの変動について、図７を用いて説明する。図７は、可動フレーム１６及びミラー部１１の偏向角θの時間変化を示す図である。図７において、グラフＧ１は、ミラー駆動部１７１を駆動したときに可動フレーム１６が回動することによる、法線ＮＬに対する可動フレーム１６の偏向角θの時間変化を示している。当該時間変化は、振幅がＡ１で、角振動数がωの正弦波（θ１（ｔ）＝Ａ１ｓｉｎωｔ）の波形を示している。以下、当該振幅がＡ１で角振動数がωの正弦波を基本正弦波θ１と記載する。ここで、角振動数ωと、当該正弦波の１周期Ｔ（周波数ｆ）との間には、ω＝２π／Ｔ（＝２πｆ）の関係がある。
【００７３】
また、図７において、グラフＧ２は、ミラー駆動部１７１を駆動せずにミラー駆動部１７２だけを駆動したときに、ミラー部１１が回動することによる、法線ＮＬに対するミラー部１１の偏向角θの時間変化を示している。つまり、当該時間変化は、ミラー駆動部１７２を駆動することによって生じる、可動フレーム１６に対するミラー部１１の偏向角θの相対的な時間変化を示している。当該時間変化は、振幅がＡ１よりも小さいＡ３であって、角振動数が基本正弦波θ１の３倍の３ωである、つまり、周波数が基本正弦波θ１の３倍である、正弦波（θ３（ｔ）＝Ａ３ｓｉｎ３ωｔ）で変動することを示している。以下、当該振幅がＡ３で、角振動数が３ωの正弦波を重畳正弦波θ３と記載する。
【００７４】
つまり、ミラー駆動部１７１及びミラー駆動部１７２をともに駆動し、基本正弦波θ１と重畳正弦波θ３とを重畳することによって、図７のグラフＧ０に示すように、ミラー部１１の偏向角θを略三角波（θ０（ｔ）＝Ａ１ｓｉｎωｔ＋Ａ３ｓｉｎ３ωｔ）の波形で時間変化させる。これによって、ミラー部１１に入射された光ビームＬＢは、略等速度で感光体ドラム１１３に向けて反射、偏向され、感光体ドラム１１３上に略等速度で静電潜像を形成することができる。以下、当該略三角波を略三角波θ０と記載する。
【００７５】
図８は、露光部１１５の構成を示すブロック図である。露光部１１５は、光源３１、光偏向部１０、ＢＤセンサー４３ａ，４３ｂ、補正値算出部５１、第一ＤＡＣ（基本電圧生成部）５２、第一増幅器（基本電圧増幅部）５３、基本波形整形部５４、第二ＤＡＣ（重畳電圧生成部）５５、第二増幅器（重畳電圧増幅部）５６、及び重畳波形整形部５７を備える。
【００７６】
光源３１から出力された光ビームＬＢは、光偏向部１０において、ミラー駆動部１７１，１７２によって揺動されるミラー部１１で反射偏向されることによって走査される。ＢＤセンサー４３ａ，４３ｂは、それぞれ、有効走査範囲Ｒ（図３）を超えた光ビームＬＢを受光したときに、その受光したことを示す検出信号を補正値算出部５１に出力する。
【００７７】
補正値算出部５１は、付近の気温や経年劣化等の環境変動によってミラー部１１の偏向角θが変化するので、その変化を補償するために、ミラー駆動部１７１に供給する基本駆動電圧を補正するときの電圧値である基本補正電圧値や、ミラー駆動部１７２に供給する重畳駆動電圧を補正するときの電圧値である重畳補正電圧値等の補正値等を算出する。
【００７８】
具体的に、補正値算出部５１がミラー部１１の偏向角θの変化を補償する方法について、図７を用いて説明する。尚、ＢＤセンサー４３ａは、ミラー部１１の偏向角θがθａのときに、ミラー部１１によって反射された光ビームＬＢが入射される位置に固定され、ＢＤセンサー４３ｂは、ミラー部１１の偏向角θがθｂのときに、ミラー部１１によって反射された光ビームＬＢが入射される位置に固定されている。
【００７９】
また、θａとθｂには、基本正弦波θ１の振幅Ａ１を利用して、θｂ＝Ａ１√３／２ 、｜θｂ｜≠｜θａ｜の関係がある。このため、基本正弦波θ１は、１周期Ｔの４分の１が経過した時点で振幅Ａ１と等しい値を示し、１周期Ｔの６分の１が経過した時点と１周期Ｔの３分の１が経過した時点でＢＤセンサー４３ｂの固定位置に対応するθｂと等しい値を示すようになっている。
【００８０】
ＢＤセンサー４３ａ，４３ｂは、ミラー部１１が往復振動（揺動）することによって、１周期Ｔの間に４度、光ビームＬＢを受光したことを示す検出信号を補正値算出部５１に出力する。これによって、補正値算出部５１は、４つの信号間隔ｔ１，ｔ１２，ｔ２，ｔ２１を算出する。尚、ミラー部１１の偏向角特性が初期状態にあるときの、この４つの信号間隔は、試験運転等による実験値として予めＲＯＭ等に記憶されている。
【００８１】
基本正弦波θ１の振幅Ａ１と重畳正弦波θ３の振幅Ａ３とがともに初期状態のまま変化していない場合において、図７においてグラフＧ０に示す、基本正弦波θ１と重畳正弦波θ３とを重畳した略三角波θ０がθ０（ｔ）＝θｂのとき、重畳正弦波θ３は０である。つまり、重畳正弦波θ３の振幅Ａ３の大きさが変化したとしても、その変化によって信号間隔ｔ１が変化することはないと考えられる。
【００８２】
そこで、補正値算出部５１は、信号間隔ｔ１が予めＲＯＭ等に記憶されているものよりも小さい場合は、ＢＤセンサー４３ｂから出力される検出信号の時間間隔を大きく補正するために、基本正弦波θ１の振幅Ａ１の大きさ（絶対値）を増大させるのに必要な電圧値を基本補正電圧値として算出する。また、補正値算出部５１は、信号間隔ｔ１が予めＲＯＭ等に記憶されているものよりも大きい場合は、ＢＤセンサー４３ｂから出力される検出信号の時間間隔を小さく補正すべく、基本正弦波θ１の振幅Ａ１の大きさを減少させるのに必要な電圧値を基本補正電圧値として算出する。尚、試験運転等の実験値に基づいて、基本正弦波θ１の振幅Ａ１の調整量と基本駆動電圧の電圧値の調整量の関係は、予めＲＯＭ等に記憶されている。
【００８３】
そして、補正値算出部５１は、後述の第一ＤＡＣ５２、第一増幅器５３、及び基本波形整形部５４を介して、電圧値が算出した基本補正電圧値に等しくなった基本駆動電圧でミラー駆動部１７１を駆動させ、このときの信号間隔ｔ２が予めＲＯＭ等に記憶されているものよりも小さい場合は、ＢＤセンサー４３ａから出力される検出信号の時間間隔を大きく補正するために、重畳正弦波θ３の振幅Ａ３の大きさ（絶対値）を増大させるのに必要な電圧値を重畳補正電圧値として算出する。
【００８４】
また、補正値算出部５１は、電圧値が算出した基本補正電圧値に等しくなった基本駆動電圧でミラー駆動部１７１を駆動させたときの信号間隔ｔ２が予めＲＯＭ等に記憶されているものよりも大きい場合は、ＢＤセンサー４３ａから出力される検出信号の時間間隔を小さく補正するために、重畳正弦波θ３の振幅Ａ３の大きさを減少させるのに必要な電圧値を重畳補正電圧値として算出する。尚、試験運転等の実験値に基づいて、重畳正弦波θ３の振幅Ａ３の調整量と重畳駆動電圧の電圧値の調整量の関係は、予めＲＯＭ等に記憶されている。
【００８５】
図８に戻り、補正値算出部５１は、算出した基本補正電圧値を後述の第一増幅器５３で用いる増幅率で除算した結果の、基本補正電圧値よりも小さい電圧値を示すデジタル信号を第一ＤＡＣ５２に出力する。また、補正値算出部５１は、算出した重畳補正電圧値を後述の第二増幅器５６で用いる増幅率で除算した結果の、重畳補正電圧値よりも小さい電圧値を示すデジタル信号を第二ＤＡＣ５５に出力する。
【００８６】
第一ＤＡＣ５２は、所謂デジタルアナログコンバータであり、補正値算出部５１から入力されたデジタル信号によって示される直流電圧Ｖ１を生成し、第一増幅器５３に出力する。同様に、第二ＤＡＣ５５は、所謂デジタルアナログコンバータであり、補正値算出部５１から入力されたデジタル信号によって示される直流電圧Ｖ５を生成し、第二増幅器５６に出力する。
【００８７】
第一増幅器５３は、第一ＤＡＣ５２から入力された直流電圧Ｖ１を予め定められた増幅率で増幅して、基本補正電圧値に等しい電圧Ｖ２を基本波形整形部５４に出力する。同様に、第二増幅器５６は、第二ＤＡＣ５５から入力された直流電圧Ｖ５を予め定められた増幅率で増幅して、重畳補正電圧値に等しい電圧Ｖ６を重畳波形整形部５７に出力する。
【００８８】
基本波形整形部５４は、第一増幅器５３で増幅された直流電圧Ｖ２を、上記の基本正弦波θ１の周期に等しい周期である基本周期で変動するように整形する。同様に、重畳波形整形部５７は、第二増幅器５６で増幅された直流電圧Ｖ６を、上記の重畳正弦波θ３の周期に等しい周期である、つまり、基本周期の３分の１の周期である重畳周期で変動するように整形する。
【００８９】
具体的には、基本波形整形部５４は、基本スイッチング素子５４１と、基本スイッチング制御部５４２と、を備えて構成されている。
【００９０】
基本スイッチング素子５４１は、第一増幅器５３とミラー駆動部１７１との間に設けられ、第一増幅器５３によって増幅された直流電圧Ｖ２の出力先をミラー駆動部１７ａ，１７ｃまたはミラー駆動部１７ｂ，１７ｄに切り替える素子である。基本スイッチング制御部５４２は、上記基本周期の半分の周期毎に基本スイッチング素子５４１の切り替えを行う。
【００９１】
同様に、具体的には、重畳波形整形部５７は、重畳スイッチング素子５７１と、重畳スイッチング制御部５７２と、を備えて構成されている。
【００９２】
重畳スイッチング素子５７１は、第二増幅器５６とミラー駆動部１７２との間に設けられ、第二増幅器５６によって増幅された直流電圧Ｖ６の出力先をミラー駆動部１７ｅ，１７ｇまたはミラー駆動部１７ｆ，１７ｈに切り替える素子である。重畳スイッチング制御部５７２は、上記重畳周期の半分の周期毎に重畳スイッチング素子５７１の切り替えを行う。
【００９３】
図９（ａ）は、第一増幅器５３に入力される直流電圧Ｖ１の電圧値の変化及び基本波形整形部５４に入力される直流電圧Ｖ２の電圧値の変化を示す図である。図９（ｂ）は、ミラー駆動部１７ａ，１７ｃに入力される直流電圧である駆動電圧Ｖ３の電圧値の変化を示す図である。図９（ｃ）は、ミラー駆動部１７ｂ，１７ｄに入力される直流電圧である駆動電圧Ｖ４の電圧値の変化を示す図である。図１０は、駆動電圧Ｖ３，Ｖ４の電圧値の変化に応じた可動フレーム１６の偏向角の変化を示す図である。
【００９４】
図９（ａ）に示すように、補正値算出部５１によって算出された基本補正電圧値に基づいて、時刻ｔ０で、第一増幅器５３に入力される直流電圧Ｖ１が上昇すると、基本波形整形部５４に入力される、第一増幅器５３によって増幅された直流電圧Ｖ２の波形が滑らかに上昇する。尚、直流電圧Ｖ２の波形が滑らかに上昇する理由は、第一増幅器５３の応答性が悪いためである。
【００９５】
その後、基本波形整形部５４では、基本スイッチング制御部５４２によって、基本周期Ｔの半分の周期Ｔ／２毎に基本スイッチング素子５４１の切り替えが行われ、基本波形整形部５４に入力された直流電圧Ｖ２が基本周期Ｔの半分の周期Ｔ／２毎に、ミラー駆動部１７ａ，１７ｃとミラー駆動部１７ｂ，１７ｄとの間で交互に切り替えて出力される。これにより、基本波形整形部５４は、図９（ｂ）及び（ｃ）に示すように、第一増幅器５３で増幅された直流電圧Ｖ２の波形を基本周期Ｔで変動する矩形波に整形し、ミラー駆動部１７ａ，１７ｃの駆動電圧Ｖ３及びミラー駆動部１７ｂ，１７ｄの駆動電圧Ｖ４として出力する。
【００９６】
そして、図１０に示すように、可動フレーム１６の偏向角は、図９（ｂ）及び図９（ｃ）に示したミラー駆動部１７ａ，１７ｃ及びミラー駆動部１７ｂ，１７ｄに供給される駆動電圧Ｖ３，Ｖ４に応じて、時刻ｔ０から基本周期Ｔの半分の周期Ｔ／２が経過する頃には最大偏向角の大きさが増大し、基本周期Ｔで変動するようになる。
【００９７】
図１１（ａ）は、第二増幅器５６に入力される直流電圧Ｖ５の電圧値の変化及び重畳波形整形部５７に入力される直流電圧Ｖ６の電圧値の変化を示す図である。図１１（ｂ）は、ミラー駆動部１７ｅ，１７ｇに入力される直流電圧である駆動電圧Ｖ７の電圧値の変化を示す図である。図１１（ｃ）は、ミラー駆動部１７ｆ，１７ｈに入力される直流電圧である駆動電圧Ｖ８の電圧値の変化を示す図である。図１２は、駆動電圧Ｖ７，Ｖ８の電圧値の変化に応じた、ミラー部１１の偏向角の可動フレーム１６に対する相対的な変化を示す図である。
【００９８】
図１１（ａ）に示すように、補正値算出部５１によって算出された重畳補正電圧値に基づいて、時刻ｔ０で、第二増幅器５６に入力される直流電圧Ｖ５が上昇すると、重畳波形整形部５７に入力される、第二増幅器５６によって増幅された直流電圧Ｖ６の波形が滑らかに上昇する。尚、直流電圧Ｖ６の波形が滑らかに上昇する理由は、第二増幅器５６の応答性が悪いためである。
【００９９】
その後、重畳波形整形部５７では、重畳スイッチング制御部５７２によって、図１１（ｂ）及び図１１（ｃ）に示すように、重畳周期Ｔ／３の半分の周期Ｔ／６毎に重畳スイッチング素子５７１の切り替えが行われ、重畳波形整形部５７に入力された直流電圧Ｖ６が重畳周期Ｔ／３の半分の周期Ｔ／６毎に、ミラー駆動部１７ｂ，１７ｄとミラー駆動部１７ａ，１７ｃとの間で交互に切り替えて出力される。つまり、重畳波形整形部５７は、第二増幅器５６で増幅された直流電圧Ｖ６の波形を重畳周期Ｔ／３で変動する矩形波に整形し、ミラー駆動部１７ｅ，１７ｇの駆動電圧Ｖ７及びミラー駆動部１７ｆ，１７ｈの駆動電圧Ｖ８として出力する。
【０１００】
そして、図１２に示すように、ミラー部１１の可動フレーム１６に対して相対的な偏向角は、図１１（ｂ）及び図１１（ｃ）に示したミラー駆動部１７ｅ，１７ｇ及びミラー駆動部１７ｆ，１７ｈに供給される駆動電圧Ｖ７，Ｖ８に応じて、時刻ｔ０から重畳周期Ｔ／３の半分の周期Ｔ／６が経過する頃には最大偏向角の大きさが増大し、重畳周期Ｔ／３で変動するようになる。
【０１０１】
上記実施形態の構成によれば、第一ＤＡＣ５２によって基本補正電圧値よりも低い電圧値の直流電圧Ｖ１が生成され、生成された直流電圧Ｖ１は第一増幅器５３によって基本補正電圧値と等しい電圧値になるように増幅される。そして、増幅された直流電圧Ｖ２の波形は、基本波形整形部５４によって基本周期で矩形波状に変動するように整形され、基本周期で変動する交流電圧Ｖ３，Ｖ４が、基本駆動電圧としてミラー駆動部１７１に出力される。
【０１０２】
同様に、第二ＤＡＣ５５によって重畳補正電圧値よりも低い電圧値の直流電圧Ｖ５が生成され、生成された直流電圧Ｖ５は第二増幅器５６によって重畳補正電圧値と等しい電圧値になるように増幅される。そして、増幅された直流電圧Ｖ６の波形は、重畳波形整形部５７によって、基本周期の３分の１の周期に等しい重畳周期で矩形波状に変動するように整形され、この重畳周期で変動する交流電圧Ｖ７，Ｖ８が、重畳駆動電圧としてミラー駆動部１７２に出力される。
【０１０３】
つまり、本実施形態では、基本駆動電圧と重畳駆動電圧とを生成するための構成として、従来技術で採用されていた正弦波を生成可能な高価な発振器に代えて、直流電圧を生成可能な安価な第一ＤＡＣ５２及び第二ＤＡＣ５５を採用している。そして、従来技術では、駆動電圧毎に正弦波を正確に増幅可能な高価な増幅器を備えた構成を採用していたが、本実施形態では、直流電圧を予め固定された増幅率で正確に増幅可能な安価な第一増幅器５３及び第二増幅器５６を備えた構成を採用している。その結果、基本駆動電圧と重畳駆動電圧とが重畳されることによって駆動するＭＥＭＳミラーを備えた光走査装置を安価に提供することができる。
【０１０４】
また、基本波形整形部５４は、基本スイッチング素子５４１と基本スイッチング制御部５４２とを備えて構成されている。つまり、第一増幅器５３で増幅された直流電圧Ｖ２の出力先を基本周期の半分の周期毎にミラー駆動部１７ａ，１７ｃとミラー駆動部１７ｂ，１７ｄとに交互に出力させるという簡素な構成で、ミラー駆動部１７ａ，１７ｃとミラー駆動部１７ｂ，１７ｄに出力される基本駆動電圧の波形を基本周期で変動する矩形波に整形することができる。
【０１０５】
また、重畳波形整形部５７は、重畳スイッチング素子５７１と重畳スイッチング制御部５７２とを備えて構成されている。つまり、第二増幅器５６で増幅された直流電圧Ｖ６の出力先を重畳周期の半分の周期毎にミラー駆動部１７ｅ，１７ｇとミラー駆動部１７ｆ，１７ｈとに交互に出力させるという簡素な構成で、ミラー駆動部１７ｅ，１７ｇとミラー駆動部１７ｆ，１７ｈに出力される重畳駆動電圧の波形を重畳周期で変動する矩形波に整形することができる。
【０１０６】
また、少なくとも２方向に駆動電圧の供給経路を切り替える安価なスイッチング素子を用いて、基本波形整形部５４を安価に構成することができる。
【０１０７】
また、少なくとも２方向に駆動電圧の供給経路を切り替える安価なスイッチング素子を用いて、重畳波形整形部５７を安価に構成することができる。
【０１０８】
尚、上記実施形態において図１乃至図１２に示した構成及び設定は、単なる一例に過ぎず、これに限定する趣旨ではない。
【０１０９】
例えば、補正値算出部５１は、矩形波に整形された基本駆動電圧に含まれる重畳周期の周波数成分により生じるミラー部１１の駆動力を相殺するように、重畳補正電圧値を算出するように構成してもよい。
【０１１０】
当該構成について詳述する。図１３は、矩形波に整形された基本駆動電圧の時間変化と当該矩形波の基本波と３倍高調波との関係を示す図である。図１３のグラフＷ０に示すように、基本波形整形部５４によって、電圧値がＶ１’であって基本周期Ｔで変動する矩形波に整形された基本駆動電圧の時間変化ｖ０（ｔ）は、周波数がω／２πの正弦波（ｓｉｎωｔ）、周波数が３ω／２πの正弦波（ｓｉｎ３ωｔ）、周波数が５ω／２πの正弦波（ｓｉｎ５ωｔ）・・・、のように、周波数が基本正弦波の周波数ω／２πの奇数倍の複数の正弦波を組み合わせて示すことができる。
【０１１１】
図１３には、グラフＷ０の矩形波を構成する正弦波のうち、特に、周波数が基本正弦波の周波数に等しいω／２πの正弦波（ｓｉｎωｔ）である基本波をグラフＷ１に示し、周波数が基本正弦波の３倍の周波数に等しい３ω／２πの正弦波（ｓｉｎ３ωｔ）である３倍高調波をグラフＷ３に示している。このように、基本駆動電圧には、基本正弦波の３倍の周波数の正弦波、つまり、重畳周期の周波数成分が含まれている。
【０１１２】
この基本正弦波の３倍の周波数の正弦波は、図７に示す略三角波θ０を構成する重畳正弦波θ３の位相とは逆位相になっている。このため、矩形波に整形された基本駆動電圧によってミラー駆動部１７１を駆動したときに、この基本駆動電圧の波形の矩形波に含まれる重畳周期の周波数成分による駆動電圧によって、トーションバー１５ａの駆動を抑止する虞がある。
【０１１３】
つまり、重畳周期で変動する重畳補正電圧値に等しい矩形波を用いてトーションバー１５ａをねじれ動作させる場合に、トーションバー１５ｂ，１５ｃをねじれ動作させて可動フレーム１６を駆動させている、矩形波に整形された基本駆動電圧に含まれる重畳周期の周波数成分によって、精度良くトーションバー１５ａをねじれ動作させることができない虞がある。
【０１１４】
そこで、当該構成では、補正値算出部５１は、重畳補正電圧値を算出する場合に、図１３の点線部に示す基本正弦波の３倍の周波数の正弦波が示す電圧値の分だけ削除（減算）するようにして、重畳補正電圧値を算出する。
【０１１５】
当該構成によれば、補正値算出部５１によって、矩形波に整形された基本駆動電圧に含まれる、重畳周期と周期が等しい高調波成分により生じるミラー部１１の駆動力を相殺するように、重畳補正電圧値が算出されるので、精度良くトーションバー１５ａをねじれ動作させることができる。
【０１１６】
また、補正値算出部５１は、基本周期のうち、第一増幅器５３によって増幅された直流電圧Ｖ２をミラー駆動部１７１に出力する期間の割合を示すデューティー比である基本補正デューティー比を、更に算出するように構成してもよい。これに合わせて、基本波形整形部５４は、基本周期のうち、補正値算出部５１で算出された上記基本補正デューティー比に対応する期間、基本駆動電圧をハイレベルにするように構成してもよい。
【０１１７】
図１４は、当該構成における露光部１１５の構成を示すブロック図である。図１４に示すように、補正値算出部５１は、上記のように、ＢＤセンサー４３ａ，４３ｂから検出信号が出力されたタイミングを用いて、ミラー部１１の偏向角θの変化を補償するために、基本正弦波θ１の振幅Ａ１の大きさを粗め（例えば、変化量の９５％を補償する程度）に補正するのに必要な電圧値を基本補正電圧値として算出するとともに、基本正弦波θ１の振幅Ａ１の大きさを残り僅か（例えば、変化量の５％分補償する程度）に補正するための基本補正デューティー比を算出して、基本波形整形部５４に出力する。
【０１１８】
これに合わせて、基本スイッチング素子５４１は、第一増幅器５３によって増幅された直流電圧Ｖ２の出力先を、ミラー駆動部１７ａ，１７ｃとミラー駆動部１７ｂ，１７ｄに加えて、負荷Ｌ１にも切り替え可能に構成されている。
【０１１９】
図１５（ａ）は、補正値算出部５１によって算出された基本補正デューティー比に応じた、ミラー駆動部１７ａ，１７ｃに入力される直流電圧である駆動電圧Ｖ３の電圧値の変化を示す図である。図１５（ｂ）は、補正値算出部５１によって算出された基本補正デューティー比に応じた、負荷Ｌ１に入力される直流電圧ＶＬ１の電圧値の変化を示す図である。図１５（ｃ）は、補正値算出部５１によって算出された基本補正デューティー比に応じた、ミラー駆動部１７ｂ，１７ｄに入力される直流電圧である駆動電圧Ｖ４の電圧値の変化を示す図である。
【０１２０】
補正値算出部５１によって算出された基本補正デューティー比が例えば４０％である場合、基本スイッチング制御部５４２は、図１５（ａ）に示すように、補正値算出部５１によって算出された基本補正デューティー比４０％に応じて、基本周期Ｔのうちの最初の４０％の期間は、第一増幅器５３によって増幅された直流電圧Ｖ２の出力先をミラー駆動部１７ａ，１７ｃにするように、基本スイッチング素子５４１を切り替える。
【０１２１】
続いて、基本スイッチング制御部５４２は、図１５（ｂ）に示すように、基本周期Ｔの半分の周期Ｔ／２が経過するまでの残りの期間である基本周期Ｔの１０％の期間、第一増幅器５３によって増幅された直流電圧Ｖ２の出力先を負荷Ｌ１にするように、基本スイッチング素子５４１を切り替える。
【０１２２】
続いて、基本スイッチング制御部５４２は、図１５（ｃ）に示すように、基本周期Ｔのうちの４０％の期間、第一増幅器５３によって増幅された直流電圧Ｖ２の出力先をミラー駆動部１７ｂ，１７ｄにするように、基本スイッチング素子５４１を切り替える。
【０１２３】
そして、基本スイッチング制御部５４２は、図１５（ｂ）に示すように、基本周期Ｔが経過するまでの残りの期間である基本周期Ｔの１０％の期間、第一増幅器５３によって増幅された直流電圧Ｖ２の出力先を負荷Ｌ１にするように、基本スイッチング素子５４１を切り替える。
【０１２４】
この構成によれば、基本補正電圧値を用いるだけでなく、更に基本補正デューティー比を用いて、ミラー駆動部１７１に基本駆動電圧を印加する期間を調整することによって、ミラー駆動部１７１に供給する駆動電圧を補正することができる。
【０１２５】
また、これと同様に、補正値算出部５１は、重畳周期のうち、第二増幅器５６によって増幅された直流電圧Ｖ６をミラー駆動部１７２に出力する期間の割合を示すデューティー比である重畳補正デューティー比を更に算出するように構成してもよい。これに合わせて、重畳波形整形部５７は、重畳周期のうち、補正値算出部５１で算出された上記重畳補正デューティー比に対応する期間、重畳駆動電圧をハイレベルにするように構成してもよい。
【０１２６】
図１６は、当該構成における露光部１１５の構成を示すブロック図である。図１６に示すように、補正値算出部５１は、上記のように、ＢＤセンサー４３ａ，４３ｂから検出信号が出力されたタイミングを用いて、ミラー部１１の偏向角θの変化を補償するために、重畳正弦波θ３の振幅Ａ３の大きさを粗め（例えば、変化量の９５％を補償する程度）に補正するのに必要な電圧値を重畳補正電圧値として算出するとともに、重畳正弦波θ３の振幅Ａ３の大きさを残り僅か（例えば、変化量の５％分補償する程度）に補正するための重畳補正デューティー比を算出して、重畳波形整形部５７に出力する。
【０１２７】
これに合わせて、重畳スイッチング素子５７１は、第二増幅器５６によって増幅された直流電圧Ｖ６の出力先を、ミラー駆動部１７ｅ，１７ｇとミラー駆動部１７ｆ，１７ｈに加えて、負荷Ｌ２にも切り替え可能に構成されている。
【０１２８】
図１７（ａ）は、補正値算出部５１によって算出された重畳補正デューティー比に応じた、ミラー駆動部１７ｅ，１７ｇに入力される直流電圧である駆動電圧Ｖ７の電圧値の変化を示す図である。図１７（ｂ）は、補正値算出部５１によって算出された重畳補正デューティー比に応じた、負荷Ｌ２に入力される直流電圧ＶＬ２の電圧値の変化を示す図である。図１７（ｃ）は、補正値算出部５１によって算出された重畳補正デューティー比に応じた、ミラー駆動部１７ｂ，１７ｄに入力される直流電圧である駆動電圧Ｖ８の電圧値の変化を示す図である。
【０１２９】
補正値算出部５１によって算出された重畳補正デューティー比が例えば４０％である場合、重畳スイッチング制御部５７２は、図１７（ｃ）に示すように、補正値算出部５１によって算出された重畳補正デューティー比４０％に応じて、重畳周期Ｔ／３のうちの最初の４０％の期間は、第二増幅器５６によって増幅された直流電圧Ｖ６の出力先をミラー駆動部１７ｆ，１７ｈにするように、重畳スイッチング素子５７１を切り替える。
【０１３０】
続いて、重畳スイッチング制御部５７２は、図１７（ｂ）に示すように、重畳周期Ｔ／３の半分の周期Ｔ／６が経過するまでの残りの期間である重畳周期Ｔ／３の１０％の期間、第二増幅器５６によって増幅された直流電圧Ｖ６の出力先を負荷Ｌ２にするように、重畳スイッチング素子５７１を切り替える。
【０１３１】
続いて、重畳スイッチング制御部５７２は、図１７（ａ）に示すように、重畳周期Ｔ／３のうちの４０％の期間、第二増幅器５６によって増幅された直流電圧Ｖ６の出力先をミラー駆動部１７ｅ，１７ｇにするように、重畳スイッチング素子５７１を切り替える。
【０１３２】
そして、重畳スイッチング制御部５７２は、図１７（ｂ）に示すように、重畳周期Ｔ／３が経過するまでの残りの期間である重畳周期Ｔ／３の１０％の期間、第二増幅器５６によって増幅された直流電圧Ｖ６の出力先を負荷Ｌ２にするように、重畳スイッチング素子５７１を切り替える。
【０１３３】
この構成によれば、重畳補正電圧値を用いるだけでなく、更に重畳補正デューティー比を用いて、ミラー駆動部１７２に重畳駆動電圧を印加する期間を調整することによって、ミラー駆動部１７２に供給する駆動電圧を補正することができる。
【０１３４】
尚、補正値算出部５１は、上記の図１４、図１５（ａ）、図１５（ｂ）及び図１５（ｃ）を用いて説明した構成と、上記の図１６、図１７（ａ）、図１７（ｂ）及び図１７（ｃ）を用いて説明した構成とを組み合わせて、基本補正デューティー比と重畳補正デューティー比とをともに算出するように構成し、これに合わせて、基本波形整形部５４は、基本周期Ｔのうちの基本補正デューティー比に対応する期間、基本駆動電圧をハイレベルにし、重畳波形整形部５７は、重畳周期のうちの重畳補正デューティー比に対応する期間、重畳駆動電圧をハイレベルにするように構成してもよい。
【０１３５】
また、上記構成では、第一増幅器５３は、第一ＤＡＣ５２から出力される直流電圧Ｖ１を予め固定された増幅率で増幅するように構成されていたが、これに代えて、第一増幅器５３を、第一ＤＡＣ５２から出力される直流電圧を可変の増幅率で増幅可能な増幅器によって構成してもよい。
【０１３６】
これに合わせて、第一ＤＡＣ５２は、補正値算出部５１で算出された基本補正電圧値よりも十分に小さい、予め固定された電圧値（初期基本電圧値）の直流電圧を第一増幅器５３に出力するように構成する。そして、補正値算出部５１によって算出された基本補正電圧値を初期基本電圧値で除算した値を算出し、当該算出した値を第一増幅器５３の増幅率として設定する基本増幅率設定部（図略）を、露光部１１５に更に備えるように構成する。
【０１３７】
この構成によれば、第一ＤＡＣ５２によって、基本補正電圧値よりも低い予め固定された電圧値である初期基本電圧値の直流電圧が生成される。つまり、多様な電圧値の直流電圧を生成するように第一ＤＡＣ５２を構成する場合に比して、簡素で安価な第一ＤＡＣ５２にすることができる。
【０１３８】
また、上記構成では、第二増幅器５６は、第二ＤＡＣ５５から出力される直流電圧Ｖ５を予め固定された増幅率で増幅するように構成されていたが、これに代えて、第二増幅器５６を、第二ＤＡＣ５５から出力される直流電圧を可変の増幅率で増幅可能な増幅器によって構成してもよい。
【０１３９】
これに合わせて、第二ＤＡＣ５５は、補正値算出部５１で算出された重畳補正電圧値よりも十分に小さい、予め固定された電圧値（初期重畳電圧値）の直流電圧を第二増幅器５６に向けて出力するように構成する。そして、補正値算出部５１によって算出された重畳補正電圧値を初期重畳電圧値で除算した値を算出し、当該算出した値を第二増幅器５６の増幅率として設定する重畳増幅率設定部（図略）を、露光部１１５に更に備えるように構成する。
【０１４０】
この構成によれば、第二ＤＡＣ５５によって、重畳補正電圧値よりも低い予め固定された電圧値である初期重畳電圧値の直流電圧が生成される。つまり、多様な電圧値の直流電圧を生成するように第二ＤＡＣ５５を構成する場合に比して、簡素で安価な第二ＤＡＣ５５にすることができる。
【０１４１】
また、基本正弦波θ１の振幅Ａ１と重畳正弦波θ３の振幅Ａ３とがともに初期状態のまま変化していない場合、図７においてグラフＧ０に示す略三角波θ０の対称性より、信号間隔ｔ１２と信号間隔ｔ２１とが等しくなる。したがって、補正値算出部５１によって算出された信号間隔ｔ１２と信号間隔ｔ２１とが異なる場合には、上記の対称性が崩れ、基本正弦波θ１と重畳正弦波θ３に位相差が生じているものと考えられる。
【０１４２】
そこで、補正値算出部５１は、算出した信号間隔ｔ１２と信号間隔ｔ２１とが異なる場合に、算出した信号間隔ｔ１２と信号間隔ｔ２１とが等しくなるように、重畳正弦波θ３の位相を早くする、または、遅くするときの位相差を実験値に基づいて算出し、当該位相差を基本スイッチング制御部５４２または重畳スイッチング制御部５７２に出力するように構成してもよい。これに合わせて、基本スイッチング制御部５４２は、入力された位相差に従って、基本スイッチング素子５４１の切り替えタイミングをずらすように構成する。または、重畳スイッチング制御部５７２は、入力された位相差に従って、重畳スイッチング素子５７１の切り替えタイミングをずらすように構成する。
【０１４３】
尚、上記実施形態においては、本発明に係る画像形成装置の一例として複合機を例に説明したが、本発明は、プリンター、コピー機、或いはＦＡＸ等の画像形成装置や、スキャナー、プロジェクター、或いはバーコードリーダー等の光走査装置にも適用可能である。
【符号の説明】
【０１４４】
１      複合機（画像形成装置）
１０    光偏向部
１１    ミラー部（ＭＥＭＳミラー）
１１３  感光体ドラム
１１５  露光部
１３    固定フレーム
１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ  辺部（固定フレーム）
１３ｅ，１３ｆ  梁（固定フレーム）
１５ａ  トーションバー（第一トーションバー）
１５ｂ，１５ｃ  トーションバー（第二トーションバー）
１６    可動フレーム
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ  辺部（可動フレーム）
１６ｅ，１６ｆ  梁（可動フレーム）
１７ａ，１７ｃ  ミラー駆動部（駆動部第一駆動部）
１７ｂ，１７ｄ  ミラー駆動部（駆動部第二駆動部）
１７ｅ，１７ｇ  ミラー駆動部（駆動部第三駆動部）
１７ｆ，１７ｈ  ミラー駆動部（駆動部第四駆動部）
１７１，１７２  ミラー駆動部（駆動部）
２３    下部電極
２５    ＰＺＴ薄膜
２７    上部電極
３１    光源
４３ａ，４３ｂ  ＢＤセンサー（光検出部）
５１    補正値算出部
５２    第一ＤＡＣ（基本電圧生成部）
５３    第一増幅器（基本電圧増幅部）
５４    基本波形整形部
５４１  基本スイッチング素子
５４２  基本スイッチング制御部
５５    第二ＤＡＣ（重畳電圧生成部）
５６    第二増幅器（重畳電圧増幅部）
５７    重畳波形整形部
５７１  重畳スイッチング素子
５７２  重畳スイッチング制御部
Ｌ１，Ｌ２  負荷
ＬＢ    光ビーム（レーザー光）
【図１】
0005398855.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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