(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水ジェットテクノロジーによって超音波信号を検査対象の平面部材（１６０）に結合させるための探触子装置（１０）であって、
少なくとも１つの水インレット（７８）を有する少なくとも１つのプレフローチェンバ（１４、１６）と、
少なくとも１つのプレフローチェンバ（１４、１６）の下流に位置し、スロット形状の水アウトレット開口部（５０）を通って探触子装置（１０）の下側表面（５６）まで延びるフローチェンバ（４２）と、
前記フローチェンバ及び前記少なくとも１つのプレフローチェンバ（１４、１６）のうちの少なくとも１つの外部に自由にアクセス可能な方式で着脱可能に配列された探触子（１２）と、
探触子（１２）を受け容れるための基礎体部（２８）と、
前記スロット形状の水アウトレット開口部（５０）を有し、部材（１６０）に沿ったその平面延長部が部材（１６０）に沿った基礎体部（２８）の平面延長部より大きいような探触子装置（１０）の前記下側表面（５６、１５６）を、前記部材側に形成する摺動プレート（２４、１５３）と、
を備え、
探触子装置（１０）の前記下側表面（５６）と検査対象の前記部材（１６０）の表面エリアとの間に水フローが形成される、
探触子装置（１０）。
【請求項２】
前記摺動プレート（２４、１５２）は製作関連手法における検査対象部材（１６０）の検査方向での長さ（Ｌ）が検査方向で部材（１６０）が示す貫通孔（１５４）の延長部と比べてより大きいこと、かつ／または前記摺動プレート（２４）は部材（１６０）の検査方向に対する横方向の幅（Ｂ）が１つまたは各貫通孔（１５４）の検査方向に対する横方向の延長部と比べてより大きい、
請求項１に記載の探触子装置。
【請求項３】
前記摺動プレート（２４）は１００ｍｍ≦Ｌ≦２００ｍｍの範囲の好ましくは１６０ｍｍの長さ（Ｌ）、２００ｍｍ≦Ｂ≦３００ｍｍの範囲の好ましくは２３０ｍｍの幅（Ｂ）、並びに５ｍｍ≦Ｄ≦２０ｍｍの範囲の厚さ（Ｄ）を有する、請求項１または２に記載の探触子装置。
【請求項４】
前記摺動プレート（２４）はその下側表面（５６、１５６）の上を検査方向に走る検査対象部材（１６０）と対面したスロット形状のミル加工部分（５８）を有する、請求項１から３のいずれかに記載の探触子装置。
【請求項５】
前記スロット形状の水アウトレット開口部（６２）は、検査方向に対する横方向で５０ｍｍ≦ＬＳ≦１００ｍｍの範囲の好ましくはＬＳ＝７５の長さ（ＬＳ）並びに検査方向で４ｍｍ≦ＢＳ≦１０ｍｍの範囲の好ましくはＢＳ＝６ｍｍの幅（ＢＳ）を有する、請求項１から４のいずれかに記載の探触子装置。
【請求項６】
摺動プレートの下側表面（１５６）内に配置され、前記少なくとも１つのプレフローチェンバを介して水供給コンジットと接続させた別の水アウトレット開口部（１６２、１６４、１６６、１６８）を備える、請求項１から５のいずれかに記載の探触子装置。
【請求項７】
前記基礎体部（１８）は基礎プレート（２６）を備え、Ｕ字形状となるように本質的に設計されており、
短い側壁要素（３６、３８）が基礎プレート（２６）から基礎プレート（２６）の長さに対する相対する端部まで延び、
基礎プレート（２６）が、
基礎プレート（２６）の長手方向軸（６３）に沿って、探触子（１２）の下側表面（６４）を受け容れるように構成された、スロット形状の開口部（６２）と、
スロット形状の開口部（６２）の両側と平行に配置された貫通孔（７０、７２）と
を備え、
前記貫通孔は、基礎プレート（２６）の上側表面まで前記少なくとも１つのプレフローチェンバ（１４、１６）内を延び、かつ前記少なくとも１つのプレフローチェンバ（１４、１６）と接続され、
基礎プレート（２６）の下側表面上の側壁要素（３６、３８）間に、基礎プレート（２６）の長手方向辺（２７、２８）の方向に、２つのチェンバ要素（４４、４６）が配置され、
該２つのチェンバ要素（４４、４６）は、基礎プレートと平行に走る摺動プレートの上側に固定可能であり、かつ基礎体部に締結可能である、
請求項１から６のいずれかに記載の探触子装置。
【請求項８】
２つのプレフローチェンバ（１４、１６）を備え、
前記探触子（１２）は、該２つのプレフローチェンバ（１４、１６）の間に配列されている、
請求項１から７のいずれかに記載の探触子装置。
【請求項９】
前記少なくとも１つのプレフローチェンバ（１４、１６）は、プラスチック材料からなる四角形状を有し、
前記少なくとも１つのプレフローチェンバ（１４、１６）は、
前記少なくとも１つのプレフローチェンバ（１４、１６）の下側表面（８２）上に導入されたチェンバ空間（８２、８４）を形成するミリング部と、
水接続（７８）を受け容れるために前記少なくとも１つのプレフローチェンバ（１４、１６）の上側表面（７６）内に導入された接続部と、
を備え、
スロット形状の開口部の両側に配置された貫通穴（７０、７２）がプレフローチェンバ（１４、１６）のチェンバ内に出るように、前記少なくとも１つのプレフローチェンバが締結要素を介して基礎プレート（２６）の上側表面上にねじ留め可能である、
請求項７に記載の探触子装置。
【請求項１０】
前記貫通穴（７０、７２）のエリア内のフローチェンバ輪郭（３８、４０）の傾斜角度と本質的に対応した貫通穴（７０、７２）が、基礎体部の基礎プレート（２６）内のアングルブラケット内に装着されている、請求項７に記載の探触子装置。
【請求項１１】
探触子装置が保持用デバイス（１００）内に旋回装着され、
探触子装置の長手方向の軸（１４０）の周りにカルダン式に配列されている、
請求項１から１０のいずれかに記載の探触子装置。
【請求項１２】
前記基礎体部（１２）はピボットピン（１４６）用のレセプタクル（１４４、１４６）を有し、これによって探触子装置（１０）を保持用デバイス（１００）と組み合わることが可能である、請求項１１に記載の探触子装置。
【請求項１３】
前記摺動プレート（５６、１５６）はピボットピン（４６）の摺動プレート（１５２）の下側表面（１５６）までの距離を短縮させる窪み（１７０）を有する、請求項１２に記載の探触子装置。
【請求項１４】
探触子配列を備える、水ジェットテクノロジーによって平面部材を超音波検査するためのデバイスであって、前記探触子配列が、
少なくとも１つの水インレット（７８）を有する少なくとも１つのプレフローチェンバ（１４、１６）と、
少なくとも１つのプレフローチェンバ（１４、１６）の下流に位置し、スロット形状の水アウトレット開口部（５０）を通って探触子配列（１０）の下側表面（５６）まで延びるフローチェンバ（４２）と、
前記フローチェンバ及び前記少なくとも１つのプレフローチェンバ（１４、１６）のうちの少なくとも１つの外部に自由にアクセス可能な方式で着脱可能に配列された探触子（１２）であって、横表面（６４）に放出／受信素子を有し、かつフローチェンバ（４２）の内側壁区画を形成する探触子（１２）と、
探触子（１２）を受け容れるための基礎体部（２８）と、
前記スロット形状の水アウトレット開口部（５０）を有し、部材（１６０）に沿ったその平面延長部が部材（１６０）に沿った基礎体部（２８）の平面延長部より大きいような探触子配列（１０）の前記下側表面（５６、１５６）を、前記部材側に形成する摺動プレート（２４、１５３）と、
を備え、
探触子配列（１０）の前記下側表面（５６）と検査対象の前記部材（１６０）の表面エリアとの間に水フローが形成され、
探触子配列（１０）は、保持用デバイス（１００）を介して運搬機械と組み合わせ可能であり、かつ保持用デバイス（１００）内で検査方向に対する横方向に走る軸（１４０）の周りに旋回装着され、
探触子配列（１０）は、前記部材に沿って検査方向に移動させることが可能であり、
摺動プレート（２４、１５２）は、基礎体部（２６）の基礎エリアの上方に突き出ており、
探触子配列（１０）は、摺動プレート（２４）の下側表面（５６）と前記部材の表面エリア（１５８）との間に形成された水摺動クッション上を滑走する、
デバイス。
【請求項１５】
摺動プレート（２４）の前記下側表面（５６）の少なくとも一部は、摺動プレート（２４）が検査対象の前記部材の上方を走る際に、前記部材の前記表面エリア上に支えられる、請求項１４に記載のデバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、探触子と、少なくとも１つの水インレットを有する少なくとも１つのプレフローチェンバと、該探触子、少なくとも１つのプレフローチェンバ及び少なくとも１つのプレフローチェンバから下流にあるフローチェンバを受け容れるための基礎体部と、を備えた水フリージェットテクノロジーによって超音波信号を検査対象の平面部材に結合させるための平面探触子であって、該フローチェンバはスロット形状の水アウトレット開口部を通って平面探触子の下側表面まで延びており、平面探触子の下側表面と検査対象部材の表面エリアとの間に水フローが形成されており、探触子は少なくとも１つのフロー及び／またはプレフローチェンバの外部に自由にアクセス可能な方式で着脱可能に配列されており、かつ放出／受信素子を有する探触子の横表面はフローチェンバの内側壁区画を形成している平面探触子に関するものであり、またさらには探触子、少なくとも１つのプレフローチェンバ並びにスロット形状の水アウトレット開口部を通って平面探触子の下側表面まで延びるフローチェンバを受け容れるための基礎体部を有する平面探触子を備えた水フリージェットテクノロジーによって平面部材を超音波検査するためのデバイスであって、平面探触子の下側表面と検査対象部材の表面の間に水フローが形成されており、平面探触子は保持用デバイスを介してガントリロボットなどの運搬機械と組み合わせ可能であると共にこれによってこれを部材に沿って検査方向に移動させることが可能であり、平面探触子は保持用デバイス内で検査方向に対する横方向に走る軸の周りに旋回装着されているデバイスに関するものであり、またさらには部材を超音波検査するための方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
冒頭で言及したタイプの平面探触子はＷＯ−Ａ−２００８／１０６５３５に記載されている。この平面探触子は、特に構造のエッジを検査するように設計されたものであり、またハウジングに接続させると共にテーパ付きのフローチェンバの上方に配列させた線形アレイトランスジューサを備える。このテーパ付きのフローチェンバは、線形アレイトランスジューサを構造のエッジの上に位置決めした場合に線形アレイトランスジューサと検査対象構造の間にある液体結合媒質向けのスロットを形成する。フローチェンバの下側表面は検査対象構造の表面に直に接して配置される。さらに平面探触子はその長手方向軸の周りでリテイナーに対してピボット式に装着されている。
【０００３】
超音波探触子に関するモジュール式の設計は、検査対象部材に対して水フリージェットテクノロジーによる結合を可能としたＥＰ−Ａ−０１６４１６８で知ることができる。
【０００４】
この実施形態の場合にそのフローチェンバは、フローチェンバの下側表面が小さい表面積を有するようにスロット形状の水アウトレット開口部の方向にテーパを付けている。
【０００５】
ＵＳ−Ｂ−４，５０７，９６９は超音波液体ジェット探触子に関するものである。この探触子はさらに、少なくとも１つの水インレットを有するプレフローチェンバ、並びに少なくとも１つの水アウトレット開口部の下流側にある１つのフローチェンバを備える。このフローチェンバは、円錐台の形状をした外部表面上に設計されており、この際に下側表面は円形の表面となるように設計されている。
【０００６】
ＵＳ−Ｂ−７，２３４，３５３では、部材の内部構造を検査するための超音波センサに関する無流体の音響結合について記載している。これによれば、制御可能な運搬デバイスなどの自動位置決めデバイスによって超音波トランスジューサが位置決めされる。
【０００７】
さらに別の超音波探触子配列が例えばＷＯ  ２００６／１２２７９８  Ａ１に記載されている。これは、ジェットノズル内にオーバーフローするプレフロー及びフィルタチェンバを備えており、この際に探触子がプレフローまたはフィルタチェンバにより囲繞されると共に水を周りに流している。
【０００８】
この配列は実際に優秀なフロー特性を特徴とするものであるが、探触子の交換が高費用となると共に、接続のためにフィルタまたはプレフローチェンバの分解を伴う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】ＷＯ−Ａ−２００８／１０６５３５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
例えば探触子配列が検査対象の平面部材の上側表面上に置かれてこれに沿って動かされるようなプレートなどの平面部材に対する超音波検査などある種の用途では、探触子の重量も重要となり、このため軽量な探触子配列や良好な摺動特性が必要とされている。
【００１１】
これに基づくと本発明の基礎となる課題は、さらに平面部材に対する超音波検査を簡略化できるように冒頭で言及したタイプの平面探触子を開発することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この課題は、その部材に沿った平面延長部が部材に沿った基礎体部の平面延長部より大きいような部材側の平面探触子の下側表面を形成する摺動プレートと平面探触子が接続されていること、並びにこの摺動プレートがスロット形状の水アウトレット開口部を有することによって本発明に従って解決されよう。
【００１３】
従来技術と比較して、下側表面を拡大させた摺動プレートを通じて検査対象部材の表面上の平面探触子の支持用表面が拡大され、これにより水フリージェットテクノロジーを用いて摺動プレートの下側表面と検査対象部材の表面の間に水クッションを形成することが可能となり、その上で平面探触子が支えると共にこれにより検査対象部材の上を容易に移動可能となる。
【００１４】
大きな支持用表面に基づくと、平面探触子を重力補償デバイスと一緒に使用することが可能となる。
【００１５】
切り抜き穴やボア穴などの製作関連の貫通孔を有する平面部材を超音波検査するために、摺動プレートは基礎体部の基礎エリアの上方に突き出ていると共に、その寸法は検査方向で及び／または検査対象部材の検査方向に対する横方向で貫通孔のサイズ寸法と比べてより大きくしている。
【００１６】
基礎体部は好ましくは本質的にＵ字形状となるように設計されており、短い側壁要素がその長さに関する相対する端部までそこから延びる基礎プレートであって、該基礎プレート内でその長手方向軸に沿って放出／受信素子を有する探触子の下側表面を受け容れるための好ましくはスロット形状の開口部が導入されている基礎プレートと、両側をスロット形状の開口部と平行に走るボア穴などの好ましくは一連の貫通孔であって、独立でありかつ基礎プレートの上側表面に対して封止可能となったプレフローチェンバが貫通孔の各連に対して専用となっており、その各ケースにおいてフローチェンバの内部輪郭を形成する中間要素が基礎プレートの下側表面に沿って側壁要素間に配列されており、またこの中間要素は基礎プレートと平行に走る摺動プレート上に固定可能であると共に基礎体部に対して締結可能である貫通孔と、を備える。
【００１７】
スロット形状の開口部に沿って配列させた一連の貫通孔を通してさらに、このコンパクト設計を用いた小型の水チェンバによる無乱流のフローが達成される。
【００１８】
さらに、平面探触子の設計は個々の要素に関する単純な設計により特徴付けされる。したがって、短い時間内での低コストの変更を実現することが可能である。モジュール式の設計によってメンテナンスが簡略化される。
【００１９】
好ましい一実現形態ではその平面探触子は、独立に設計されたプレフローチェンバ同士の間に配列される。
【００２０】
これらのプレフローチェンバは四角形の形状とすると共に、好ましくはチェンバ空間を形成し下側表面上に導入されたミリング部並びに水接続を受け容れるために上側表面内に導入された少なくとも１つの貫通孔を備えたプラスチック材料から成る。プレフローチェンバは好ましくは、スロット形状の開口部と平行に走るボア穴がプレフローチェンバのチェンバ空間内に出るように開くようにして基礎プレートの上側表面の上にねじなどの締結要素を介してねじ留めすることが可能である。
【００２１】
無乱流のフローを達成するために、ボア穴がボア穴のエリア内のフローチェンバ輪郭の傾斜角度に本質的に対応する基礎体部の基礎プレート内のアングルブラケット内に装着されている。
【００２２】
この好ましい実現形態では、フローチェンバの輪郭が２つの相対する中間要素によって形成されている。したがってこの中間要素の交換によって、容易な方式でのフローチェンバの輪郭変更が可能となり、これにより基礎体部並びに摺動プレート及びプレフローチェンバを交換する必要がない。
【００２３】
摺動プレートと検査対象部材の間の動的圧力を回避するために、検査対象部材と対面する摺動プレートの下側表面上にスロット形状のミル加工（ｍｉｌｌｅｄ−ｏｕｔ）部分が形成されるようにしている。
【００２４】
これによらずに、過剰な水がすでにプレフローチェンバ前で排出可能となるように、水供給コンジット内にオーバーフローバルブを配列させることが可能である。
【００２５】
保持用デバイス内の探触子配列のカルダンサスペンションを通じて、探触子配列が検査対象部材の輪郭に受動的に追随可能であるという利点が達成される。従来技術ではその周知の探触子が重過ぎかつ柔軟性がなさ過ぎるために、これを実現可能とし得なかった。
【００２６】
摺動プレートはその最上部に窪みを有しており、この内部にピボットピンによって基礎体部が受け容れられ、これにより摺動プレートの下側表面の近くにピボットピンがまたしたがって回転軸が来るようになる。これによって低重心での回転が実現される。
【００２７】
さらに本課題は、平面部材を超音波検査するためのデバイスであって、平面探触子の下側表面がスロット形状の水アウトレット開口部を有する摺動プレートによって形成されかつ摺動プレートが基礎体部の基礎エリアの上方に突き出ていること、並びに平面探触子はＹ方向の長手方向にまた好ましくは検査方向に走る軸の周りで振動する重力補償デバイスとして設計された保持用デバイスを介して装着されており、これにより該平面探触子は摺動プレートの下側表面と表面エリアの間に形成された水摺動クッション上を滑走すること、としたデバイスによって解決される。
【００２８】
検査対象部材の検査方向での貫通孔のサイズ寸法と比べてその寸法がより大きい表面積を有する拡大させた摺動プレートを通じて、持続可能な（ｓｕｓｔａｉｎａｂｌｅ）水クッションの生成が促進され、これにより重力補償デバイスと連携した平面探触子の動作が可能となる。したがって従来技術と比較した場合、重力補償デバイスにより表面変動の補償が可能であるため、凸凹の表面エリア（該当する場合）を有する大規模部材を高費用のプログラミング作業を伴うことなく検査することが可能であるという利点が実現される。
【００２９】
好ましい一実現形態の場合では探触子配列の側壁は、Ｘ軸の周りで探触子配列の保持用デバイスと組み合わせることが可能なピボットピンを受け容れるためのモールディングを有するようにしている。したがって、探触子配列のＸ軸の周りでの回転運動が可能である一方、重力補償デバイスによってＹ方向に関しては長手方向運動が得られる。
【００３０】
さらに本発明は、摺動プレートと接続した平面探触子を用いて水ジェットテクノロジーによって超音波信号を結合させることによって製作関連の平面貫通孔を有する部材を検査するための方法であって、摺動プレートの平面延長部は、その幅（Ｂ）が製作関連の貫通孔の通常の延長部と比べてより大きい検査方向に対する横方向での延長部を有するかつ／または製作関連の貫通孔の通常の延長部と比べてより大きい検査長手方向での延長部を有するような方式で設計されている方法に関するものである。
【００３１】
好ましくは、摺動プレートを有する探触子は検査対象部材の上でフロート状態にあり、かつ摺動プレートの下側表面は既存の水クッション上に装着されている。
【００３２】
本方法は、上に記載した平面探触子及び／または上に記載したデバイスやその特徴を用いて実現されることが好ましい。
【００３３】
より具体的には本発明の利点及び特徴は、本特許請求の範囲、これらそれ自体及び／またはこれらの組み合わせから理解される特徴からだけではなく、図面から理解される好ましい実現形態に関する以下の説明からも得られよう。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】探触子配列を３次元で表した図である。
【図２】図１に関する断面像である。
【図３】探触子配列の側面像である。
【図４】図１による探触子配列の上面像である。
【図５】重力補償デバイスを３次元で表した図である。
【図６】摺動プレートが検査対象部材の貫通孔のエリアにある平面探触子の斜視図である。
【図７】摺動プレートが検査対象部材のエッジのエリアにある平面探触子の斜視図である。
【図８】摺動プレートの底面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
図１は、本ケースにおいて平面探触子として設計された本発明による探触子配列１０の３次元像を表している。探触子配列１０は、探触子１２と、２つのプレフローチェンバ１４、１６と、基礎体部１８と、２つのフローチェンバ要素２０、２２並びに摺動プレート２４と、を備えたモジュール式設計を有する。
【００３６】
基礎体部１８は、真鍮などの金属材料から製作することが好ましい。基礎体部１８は、長手方向エッジ２７、２８が横方向エッジ３０、３２と比較してより長くなるように設計された本質的に矩形の基礎プレート２６を有する。側壁要素３４、３６は、基礎プレート２４の長手方向延長部と比べてより短くなるように設計されており、短い側の横方向エッジ３０、３２から延び出ている。
【００３７】
図２及び３から、フローチェンバ要素２０、２２は、そのそれぞれの内側表面３８、４０が結合されてフローチェンバ４２の本質的に漏斗形状の輪郭を形成しており、側壁要素３４、３６の間を延びていることが理解できよう。フローチェンバ要素２０、２２の外側辺４４、４６は基礎プレート２６の長手方向エッジ２７、２８と面一である。
【００３８】
フローチェンバ要素２０、２２は、摺動プレート２４を介して基礎体部１８に対して固定されている。摺動プレート２４は水アウトレットを形成するスロット形状の開口部５０を有する。
【００３９】
摺動プレート２４は、プラスチック成形部品として設計されると共に、側壁要素３４、３６の間を延びかつ後者に密に押し当てて位置させた第１の上側区画５２と、基礎プレート２６の表面エリアを少なくとも有する下側区画５４と、を備える。
【００４０】
摺動プレート２４と検査対象部材の間の水圧の過荷重を防止するために、摺動プレート４８の下側表面５６上にスロット５８、６０を導入している。
【００４１】
基礎プレート２６の長手方向中心線６２に沿って、スロット形状の開口部が導入されており、この上に同じく長手方向に整列させて図４に示すように探触子１２を配列させている。これに関して、探触子１２の下側表面６４はフローチェンバ４２の壁面の一区画を形成している。探触子１２は、スロット形状の開口部６２に沿って走る溝６６内に配列させていると共に、ねじ６８などの締結要素を介して基礎体部１８と一体にねじ留めされている。フローチェンバ４２内まで延びるボア穴など両方の辺に連なって配列させた貫通孔７０、７２は、スロット形状の開口部６２と平行に走っている。このケースでは貫通孔７０、７２の上に、プレフローチェンバ１４、１６のうちの一方が配列されており、これが探触子１２と平行に延びると共にねじなどの締結要素７４を介して基礎プレート２６と接続されている。
【００４２】
プレフローチェンバ１４、１６はさらにプラスチック成形部品から設計されていると共に、その上側表面７６上に水インレットを接続させることが可能な接続部７８を有している。プレフローチェンバ要素１４、１６の下側表面８０内には、チェンバ空間８２、８４を形成するミル加工部分が導入されている。各ケースにおいて貫通孔７０、７２はチェンバ空間８２、８４のうちの一方の内部に開いている。
【００４３】
平面部材に対する全自動式超音波検査の場合では、平面探触子として設計された探触子１０を図５に従って重力補償デバイス１００内で動作させている。この重力補償デバイスは、ガントリロボット（図示せず）などの運搬デバイスと強固に結合させることが可能な基礎プレート１２を備える。基礎プレート１０２の上側表面から、互いに平行な間隔で配列させたガイドシリンダ１０４、１０６が延びている。ガイドシリンダ１０４、１０６内にはガイドロッド１０８、１１０を装着し、これによりこれらを軸方向に変位させることが可能である。先ず、基礎プレート１０２の下面を延びるガイドロッド１１０、１０８の下側端部が接続用ブロック１１２を介して連結される。接続用ブロックから、探触子１０を作用位置に保持する保持用要素１１４、１１６が出ている。この過程において保持用要素１１４、１１６は、探触子配列１０の基礎体部１２と互いにねじ留めするなどして結合させることが可能である。
【００４４】
第２には、基礎プレートの上側に延びるガイドロッド１１０、１０８の上側端部１２０、１２２もまた、コネクタ要素１２４を介して互いに接続させている。コネクタ要素１２４は、第１のガイドローラー１２６及び第２のガイドローラー１２８（図示せず）を介してガイドされた閉鎖ストリップ１３０と接続されている。さらにこのストリップ１３０は重力つりあいおもり１３２と結合させており、この重力つりあいおもり１３２はガイドロッド１３４、１３６に沿って探触子１０の動きと反対方向に摺動式にガイドされている。ガイドロッド１３４、１３６の端部は回転軸を介して互いに接続されており、この回転軸上においてガイドロッド間の回転位置で円周方向に第１のガイドローラー１２６が装着されている。第２のガイドローラー１２８は基礎プレート１０２内で回転位置で装着されている。
【００４５】
さらに基礎プレート１００上には探触子１０を動作位置に調整するために、空気式のシリンダ１３８のプランジャロッド１４０が接続用ブロック１１２と接続されるように好ましくはガイドロッド１１０、１０８の間に空気式のシリンダ１３８が設けられている。
【００４６】
引き続き、図５に示したデカルト座標系を参照することにする。保持用要素１１４、１１６の間に配列させた探触子配列１０は座標系のＸ軸に沿って（すなわち、運動方向（Ｚ軸）に対する横方向に）走る軸１４０の周りにピボット式に装着されている。この目的のために、基礎体部１８内にレセプタクル１４２、１４４が導入されており、各ケースではこの中でピボットピン１４６が受け容れられて、これを保持用要素１１４、１１６と接続させることが可能である。したがって、カルダンサスペンションが実現され、これにより探触子配列１０は検査対象部品の輪郭に受動式に追随することが可能である。従来技術では、周知の探触子配列が重過ぎること並びに柔軟性がなさ過ぎるためにこれが不可能であった。
【００４７】
図６は、基礎体部（２６）の表面積より大きな表面積を有する摺動プレート１５２が設けられる点において図１〜５に従った実現形態と異なる平面探触子１５０の実現形態とした重力補償デバイス１００を表している。具体的には摺動プレート５２は、貫通孔１５４またはエッジ１５６のオーバーランによって摺動プレート１５２の下側表面１５６の少なくとも１つの区画が検査対象部材の上側表面１５８上に支えられるような寸法設定を有する。
【００４８】
これにより、特に重力補償デバイス１００を用いた場合に、部材１６０の上側表面１５８上の支持が保証され、また摺動プレート１５２の下側表面１５６と上側表面１５８の間に常に水クッションが形成されることが保証される。
【００４９】
さらに、摺動プレート１５２に対する大規模設計によれば平面探触子１５０を支持する水クッションの低い水圧での形成が実現される。この接続において、伝播方向に配列させた摺動プレートの下側表面１５６上を走る溝とプレフローチェンバとフローチェンバの間で多数の開口部を介して本質的に形成されかつ水の均一分布を保証する無乱流フローとによって支持効果が得られる。
【００５０】
従来技術（すなわち、「水クッション」を確立するのに適さない支持用表面が小さい平面探触子）と比較して、この平面探触子は特に重力補償デバイス１００と連携させたときに、検査配列を表面エリア上でより容易にまたしたがってより迅速に移動可能であり、このため検査を全体としてより迅速に実施可能であるという利点を有する。これに加えて、探触子のカルダンサスペンションと重力補償デバイス１００の連携に基づいて、本探触子は多くの自由度で移動可能であり、これにより検査対象部材の表面エリア１５８にある凸凹、波うちその他に対する補償を、配列をガイドするガントリロボットを（必要な場合であっても）プログラムし直すことを必要とせずに実施可能でなる。
【００５１】
図８は、摺動プレート１５２の下側表面１５６の斜視図を表している。スロット形状の水アウトレット開口部６２は中心軸１４０に沿って走っており、一方この中心軸１４０を通って超音波を水フローによって検査対象部材１６０に結合させており、またこれによって摺動プレート１５２を支えている水クッションを生成するための水フローが生成される。さらに、水アウトレット開口部１６２、１６４、１６６、１６８が設けられており、これを通過させて摺動プレートの下側表面１５６と部材１６０の表面エリア１５８の間に水を流している。
【００５２】
水アウトレット開口部１６２〜１６８は、チャンネルを介してプレフローチェンバ１４、１６と接続させている。
【００５３】
摺動プレート１５２は検査方向の長さＬが１００ｍｍ≦Ｌ≦２００ｍｍの範囲（好ましくは、Ｌ＝１６０ｍｍ）であり、また検査方向に対する横方向の幅Ｂが２００ｍｍ≦Ｂ≦３００ｍｍの範囲（好ましくは、Ｂ＝２３０ｍｍ）であることが好ましい。スロット形状の水アウトレット開口部６２は、検査方向に対する横方向の延長部ＢＳが５０≦ＢＳ≦１００ｍｍの範囲（好ましくは、７５ｍｍ）であり、また検査方向の延長部ＬＳは４ｍｍ≦ＬＳ≦１０ｍｍの範囲（好ましくは、ＬＳ＝６ｍｍ）である。
【００５４】
摺動プレート１５２の寸法設定に関しては、長さＬを貫通孔１５４の最大長手方向延長部より大きくしかつ／または幅Ｂを貫通孔１５４の検査方向に対する横方向の延長部より大きくすることによって、摺動プレート１５２がオーバーランした場合であっても後者が下側表面１５６を有する少なくとも１つの区画によって検査対象部材の表面エリア１５８上に支持するようにしている。
【００５５】
図７によれば摺動プレート１５２はその上面に窪み１７０を有しており、この中にピボットピン１４６によって基礎体部１２が受け容れられている。したがって、平面探触子の旋回特性を向上させるために回転軸から摺動プレート１５２の下側表面１５６までの距離を最小限としている。
【符号の説明】
【００５６】
１０  探触子配列
１２  探触子
１４  プレフローチェンバ
１６  プレフローチェンバ
１８  基礎体部
２０  フローチェンバ要素
２２  フローチェンバ要素
２４  摺動プレート
２６  基礎プレート
２７  長手方向エッジ
２８  長手方向エッジ
３０  横方向エッジ
３２  横方向エッジ
３４  側壁要素
３６  側壁要素
３８  内側表面
４０  内側表面
４２  フローチェンバ
４４  外側辺
４６  外側辺
４８  摺動プレート
５０  スロット形状の開口部
５４  下側区画
５６  下側表面
５８  スロット
６０  スロット
６３  長手方向軸
６４  探触子の下側表面
６６  溝
６８  ねじ
７０  貫通孔
７２  貫通孔
７４  ねじ、締結要素
７６  上側表面
７８  接続
８０  プレフローチェンバ要素の下側表面
８２  チェンバ空間
８４  チェンバ空間
１００  重力補償デバイス
１０２  基礎プレート
１０４  ガイドシリンダ
１０６  ガイドシリンダ
１０８  ガイドロッド
１１０  ガイドロッド
１１２  接続用ブロック
１１４  保持用要素
１１６  保持用要素
１２０  ガイドロッドの上側端部
１２２  ガイドロッドの上側端部
１２４  コネクタ要素
１２６  第１のガイドローラー
１２８  第２のガイドローラー
１３０  閉鎖ストリップ
１３２  重力つりあいおもり
１３４  ガイドロッド
１３６  ガイドロッド
１４０  軸
１４２  レセプタクル
１４４  レセプタクル
１４６  ピボットピン
１５０  平面探触子
１５２  摺動プレート
１５４  貫通孔
１５６  摺動プレートの下側表面
１５８  検査対象部材の上側表面
１６０  部材
１６２  水アウトレット開口部
１６４  水アウトレット開口部
１６６  水アウトレット開口部
１６８  水アウトレット開口部
１７０  窪み
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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