(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
(a)平らな吸着面を有する吸着ノズルを保持したノズル保持部が、前記吸着面に平行な唯一の回動軸線のまわりに回動可能な保持ヘッドと、(b)前記ノズル保持部を前記回動軸線のまわりに回動させることによって前記吸着面を水平面に対して傾斜させる唯一の回動装置とを含み、前記吸着面に電子回路部品を負圧により吸着して保持する部品保持装置と、
その部品保持装置を、鉛直方向に平行な回転軸線のまわりに回転させる部品保持装置回転装置と、
それら部品保持装置と部品保持装置回転装置とを共に、水平面内で互いに直交するＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ移動させるＸ軸方向移動装置およびＹ軸方向移動装置と、鉛直方向に移動させる昇降装置とから成る移動装置と、
前記回動装置，前記部品保持装置回転装置および前記移動装置を制御する制御装置であって、前記回動装置による前記ノズル保持部の回動を、前記ノズル保持部に保持された吸着ノズルの吸着面を水平面に対して傾斜させる唯一の回動とし、その唯一の回動と、前記部品保持装置回転装置による前記部品保持装置の回転との組合せにより、前記ノズル保持部に保持された吸着ノズルの吸着面を水平面に対して任意の方向に傾斜させ得るとともに、その水平面に対して任意の方向に傾斜した吸着面に直角な方向に前記保持ヘッドを移動させ得るものと
を含み、
前記吸着ノズルが保持した電子回路部品を回路基材の水平面に対して任意の方向に傾斜した部品装着面に装着可能とされた電子回路部品装着システムであって、
前記回動装置が、前記保持ヘッドに設けられて第２係合部と係合可能な第１係合部を含み、その第１係合部が前記保持ヘッドとともに前記移動装置により移動させられるのに伴って前記第１係合部が前記第２係合部と係合し、前記ノズル保持部を回動させるように構成され、
前記保持ヘッドが、前記ノズル保持部を前記回動軸線としての第１回動軸線のまわりに回動可能に保持する保持ヘッド本体を含み、
前記回動装置が、
前記保持ヘッド本体に、前記第１回動軸線からその第１回動軸線に直角な方向に隔たった位置において第１回動軸線と平行に延びる第２回動軸線のまわりに回動可能に保持され、前記第１係合部を有するレバーと、
そのレバーの回動を前記ノズル保持部の前記第１回動軸線のまわりの回動に変換する運動変換機構と
を含み、
その運動変換機構が、前記ノズル保持部の前記第１回動軸線から離れた部位に設けられた被駆動部と、前記レバーの前記第２回動軸線から離れた部位に設けられた駆動部とを含み、それら被駆動部と駆動部とが、前記レバーと前記ノズル保持部との予め定められた形態の相対回動は許容するが、それ以外の相対回動は許容しない状態で互いに係合させられたことを特徴とする電子回路部品装着システム。
【請求項２】
前記回動装置が、１つの電動モータを駆動源として前記ノズル保持部を回動させるものである請求項１に記載の電子回路部品装着システム。
【請求項３】
前記回動装置が前記ノズル保持部を複数種類の傾斜位置に回動させるものである請求項１に記載の電子回路部品装着システム。
【請求項４】
前記部品保持装置が、さらに、前記ノズル保持部を前記回動装置により回動させられた複数の回動位置に保持する回動位置保持装置を含む請求項３に記載の電子回路部品装着システム。
【請求項５】
さらに、(a) 前記回路基材を水平な搬送方向に搬送する基材搬送装置と、(b)その基材搬送装置により搬送された前記回路基材を保持する回路基材保持装置とを備えた基材搬送保持装置を含み、その基材搬送保持装置に保持された回路基材の部品装着面に電子回路部品を装着する請求項１ないし４のいずれかに記載の電子回路部品装着システム。
【請求項６】
さらに、前記基材搬送保持装置に沿って設けられ、前記電子回路部品を供給する部品供給装置を含み、その部品供給装置から供給される電子回路部品を前記部品保持装置が受け取って前記回路基材の部品装着面に装着するとともに、電子回路部品の受取りと部品装着面への装着との間に、前記回動装置が前記保持ヘッドを回動させる請求項５に記載の電子回路部品装着システム。
【請求項７】
前記部品保持装置が前記部品保持装置回転装置により回転させられるヘッド保持部材を含み、そのヘッド保持部材に前記保持ヘッドが着脱可能に保持される請求項１ないし６のいずれかに記載の電子回路部品装着システム。
【請求項８】
さらに、概して直線状を成す部品収容空間を備えて傾斜姿勢で配設され、下部に上方に向かう成分を有する方向に開いた取出口を備えたスティック型フィーダを含み、前記回動装置，前記部品保持装置回転装置，前記移動装置および前記制御装置が、前記吸着ノズルを移動させて、前記スティック型フィーダの前記取出口から電子回路部品を取り出させ、前記基材保持装置に保持された回路基材に装着させる請求項１ないし７のいずれかに記載の電子回路部品装着システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品保持装置および電子回路部品装着システムに関するものであり、特に、負圧により電子回路部品を吸着して保持する装置およびその部品保持装置を備えた電子回路部品装着システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子回路部品には様々な種類があり、その種類に応じた形態で供給され、部品保持装置により保持される。例えば、下記の特許文献１には、リードを有する電子回路部品がチャックにより把持されて部品供給装置から取り出され、リードが回路基板に挿入されて装着される電子回路部品の自動挿入機が記載されている。この自動挿入機において回路基板は可動テーブルにより水平な姿勢で支持され、水平面内において互いに直交する２方向に移動させられて、部品装着箇所が所定の位置に位置決めされ、電子回路部品は、回路基板に対して傾斜した姿勢で設けられた搬送路により供給される。チャックは、回動装置により、チャックの軸線が回路基板に直角となる位置と搬送路に対して直角となる位置とに回動させられ、各回動位置において軸線方向移動装置により軸線方向に移動させられて搬送路内の電子回路部品を把持し、把持した電子回路部品のリードを回路基板に挿入する。
【０００３】
また、下記の特許文献２には、スティックフィーダにより供給されるチップ状の電子回路部品を吸着ノズルにより吸着して保持し、回路基板に装着する電子回路部品実装装置が記載されている。このスティックフィーダは、傾斜部および水平部を有するシュートを備え、傾斜した姿勢で配設されたスティックからシュート内へ進入した電子回路部品を傾斜部の傾斜により水平部へ移動させ、傾斜部の水平部近傍部においてはシュート内の部品供給路へエアを供給し、電子回路部品を押して吸着位置へ移動させるものとされている。電子回路部品は吸着位置においては水平な姿勢となり、吸着ノズルにより吸着されてシュートから取り出される。
【特許文献１】特開平３−９６０００号公報
【特許文献２】特開平９−１８１８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであり、傾斜した真っ直ぐなシュートにより供給される電子回路部品を吸着ノズルにより吸着して保持したり、傾斜した部品装着面を備えた回路基材に電子回路部品を装着したりすることができる電子回路部品装着システムの提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明の電子回路部品装着システムは、
(a)平らな吸着面を有する吸着ノズルを保持したノズル保持部が、前記吸着面に平行な唯一の回動軸線のまわりに回動可能な保持ヘッドと、(b)前記ノズル保持部を前記回動軸線のまわりに回動させることによって前記吸着面を水平面に対して傾斜させる唯一の回動装置とを含み、前記吸着面に電子回路部品を負圧により吸着して保持する部品保持装置と、
その部品保持装置を、鉛直方向に平行な回転軸線のまわりに回転させる部品保持装置回転装置と、
それら部品保持装置と部品保持装置回転装置とを共に、水平面内で互いに直交するＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ移動させるＸ軸方向移動装置およびＹ軸方向移動装置と、鉛直方向に移動させる昇降装置とから成る移動装置と、
前記回動装置，前記部品保持装置回転装置および前記移動装置を制御する制御装置であって、前記回動装置による前記ノズル保持部の回動を、前記ノズル保持部に保持された吸着ノズルの吸着面を水平面に対して傾斜させる唯一の回動とし、その唯一の回動と、前記部品保持装置回転装置による前記部品保持装置の回転との組合せにより、前記ノズル保持部に保持された吸着ノズルの吸着面を水平面に対して任意の方向に傾斜させ得るとともに、その水平面に対して任意の方向に傾斜した吸着面に直角な方向に前記保持ヘッドを移動させ得るものと
を含み、
前記吸着ノズルが保持した電子回路部品を回路基材の水平面に対して任意の方向に傾斜した部品装着面に装着可能とされた電子回路部品装着システムであって、
前記回動装置が、前記保持ヘッドに設けられて第２係合部と係合可能な第１係合部を含み、その第１係合部が前記保持ヘッドとともに前記移動装置により移動させられるのに伴って前記第１係合部が前記第２係合部と係合し、前記ノズル保持部を回動させるように構成され、
前記保持ヘッドが、前記ノズル保持部を前記回動軸線としての第１回動軸線のまわりに回動可能に保持する保持ヘッド本体を含み、
前記回動装置が、
前記保持ヘッド本体に、前記第１回動軸線からその第１回動軸線に直角な方向に隔たった位置において第１回動軸線と平行に延びる第２回動軸線のまわりに回動可能に保持され、前記第１係合部を有するレバーと、
そのレバーの回動を前記ノズル保持部の前記第１回動軸線のまわりの回動に変換する運動変換機構と
を含み、
その運動変換機構が、前記ノズル保持部の前記第１回動軸線から離れた部位に設けられた被駆動部と、前記レバーの前記第２回動軸線から離れた部位に設けられた駆動部とを含み、それら被駆動部と駆動部とが、前記レバーと前記ノズル保持部との予め定められた形態の相対回動は許容するが、それ以外の相対回動は許容しない状態で互いに係合させられたことを特徴とする。
回路基材には、例えば、(1)未だ電子回路部品が装着されていないプリント配線板、(2)一方の面に電子回路部品が搭載されるとともに電気的に接合され、他方の面には電子回路部品が未装着であるプリント回路板、(3)ベアチップが搭載され、チップ付基板を構成す
る基材、(4)ボールグリッドアレイを備えた電子回路部品が搭載される基材等が含まれる
。
【０００６】
上記の課題はまた、上記電子回路部品装着システムを、さらに、概して直線状を成す部品収容空間を備えて傾斜姿勢で配設され、下部に上方に向かう成分を有する方向に開いた取出口を備えたスティック型フィーダを含み、前記回動装置，前記部品保持装置回転装置，前記移動装置および前記制御装置が、前記吸着ノズルを移動させて、前記スティック型フィーダの前記取出口から電子回路部品を取り出させ、前記基材保持装置に保持された回路基材に装着させるものとすることにより解決される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係る電子回路部品装着システムにおいては、回動装置によるノズル保持部の、そのノズル保持部に保持された吸着ノズルの平らな吸着面に平行な回動軸線まわりの回動と、ノズル保持部および回動装置を含む部品保持装置の、部品保持装置回転装置による鉛直な回転軸線まわりの回転との組合わせによって、ノズル保持部により保持された吸着ノズルの吸着面の水平面に対する傾斜の方向と傾斜角度とが共に変更可能である。部品保持装置を鉛直な回転軸線まわりに回転させる部品保持装置回転装置を、吸着ノズルの吸着面の水平面に対する傾斜の方向を変えるために利用することができ、それによって装置の構成を単純化することができるのである。しかも、それら部品保持装置および部品保持装置回転装置は、Ｘ軸方向移動装置，Ｙ軸方向移動装置および昇降装置から成る移動装置により精度良く移動させることができるため、高い精度で電子回路部品を装着することができる。
【０００８】
本発明のさらに望ましい態様の電子回路部品装着システムにおいては、傾斜姿勢で配設されたスティック型フィーダの下部に上方に向かう成分を有する方向に開いた取出口から吸着ノズルにより電子回路部品を取り出し、そのスティック型フィーダの下部とは傾斜角度を異にする回路基材の部品装着面に装着することができる。
【発明の態様】
【０００９】
以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある。請求可能発明は、特許請求の範囲に記載された発明である「本発明」ないし「本願発明」の下位概念発明や、上位概念あるいは別概念の発明を含むこともある。）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、請求可能発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載，実施例の記載，従来技術等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。
【００１１】
（１）少なくとも、平らな吸着面を有する吸着ノズルを保持したノズル保持部が、前記吸着面に平行な回動軸線のまわりに回動可能な保持ヘッドと、
前記少なくともノズル保持部を前記回動軸線のまわりに回動させる回動装置と
を含み、前記吸着面に電子回路部品を負圧により吸着して保持する部品保持装置。
本項に記載の部品保持装置によれば、吸着ノズルの姿勢を複数種類に変更することができ、自由度に富んだ部品保持装置が得られる。回動装置は、電動モータ等、電力の供給により作動するアクチュエータを駆動源とする装置としてもよい。
（２）前記回動装置が、前記少なくともノズル保持部を、少なくとも、前記吸着面が水平となる第１位置と、前記吸着面が傾斜する第２位置とに回動させる(1)項に記載の部品保持装置。
（３）さらに、前記少なくともノズル保持部を前記第１位置と前記第２位置とにそれぞれ保持する回動位置保持装置を含む(2)項に記載の部品保持装置。
ノズル保持部が第１位置あるいは第２位置からずれることがなく、ノズル保持部が第１位置と第２位置とにそれぞれ位置する状態で保持ヘッドが行う作業を安定して行うことができる。
本項の特徴は、(1)項に採用し、ノズル保持部が回動位置保持装置により、複数種類の回動位置にそれぞれ保持されるようにすることも可能である。
（４）前記回動装置が、前記保持ヘッドに設けられて第２係合部と係合可能な第１係合部を含み、その第１係合部が前記保持ヘッドとともに第１移動装置により移動させられるのに伴って前記第１係合部が前記第２係合部と係合し、前記少なくともノズル保持部を回動させる(1)項ないし(3)項のいずれかに記載の部品保持装置。
第１移動装置による保持ヘッドと第２係合部との相対移動に基づいて、少なくともノズル保持部を回動させることができる。特に、吸着ノズルに保持対象物を吸着させるためや、吸着させた保持対象物を搬送させるため等、他の目的で保持ヘッドを移動させるために設けられている移動装置を第１移動装置として利用する場合には安価に目的を達成することができる。
（５）前記第１移動装置が前記保持ヘッドと前記第２係合部とを前記回動軸線に直角な方向に相対移動させるものであり、その相対移動時に前記第１係合部が前記回動軸線から外れた位置において前記第２係合部と係合し、その係合に基づいて前記少なくともノズル保持部が回動させられる(4)項に記載の部品保持装置。
例えば、吸着ノズルに保持対象物を保持させるために、保持ヘッドをノズル保持部の回動軸線に直角な方向に移動させることが必要な場合に、この保持ヘッドの移動を、ノズル保持部を回動させるための第１係合部と第２係合部との係合に利用すれば、安価に目的を達することができる。第２係合部が何らかの目的で保持ヘッドに対して移動させられる場合には、その移動を利用しても同様の効果が得られる。
（６）前記保持ヘッドが、前記ノズル保持部を前記回動軸線のまわりに回動可能に保持する保持ヘッド本体を含む(1)項ないし(5)項のいずれかに記載の部品保持装置。
（７）前記第１係合部が前記保持ヘッド本体に相対移動可能に保持された可動部材に設けられており、前記回動装置が、その可動部材の運動を前記ノズル保持部の前記回動軸線のまわりの回動に変換する運動変換機構を含む(6)項に記載の部品保持装置。
可動部材は、次項におけるように回動部材とすることも、直線移動部材とすることもできる。
（８）前記可動部材が、前記保持ヘッド本体に、前記回動軸線としての第１回動軸線からその第１回動軸線に直角な方向に隔たった位置において第１回動軸線と平行に延びる第２回動軸線のまわりに回動可能に保持されたレバーであり、前記運動変換機構が、前記ノズル保持部の前記第１回動軸線から離れた部位に設けられた被駆動部と、前記レバーの前記第２回動軸線から離れた部位に設けられた駆動部とを含み、それら被駆動部と駆動部とがレバーと前記ノズル保持部との予め定められた形態の相対回動は許容するが、それ以外の相対回動は許容しない状態で互いに係合させられた(7)項に記載の部品保持装置。
予め定められた形態とは、レバーとノズル保持部とが勝手に移動せず、ノズル保持部がレバーの回動に対して一義的に決まる位置へ回動させられる形態である。
上記レバーは、第１レバー部と第２レバー部とを備えたベルクランクレバーや、レバー部を１つのみ備えたレバーとすることができる。また、上記駆動部および被駆動部は、例えば、後に実施例として説明するように、レバーとノズル保持部との一方に設けられた溝等のガイド部と、他方に設けられて溝に嵌合する突起等被ガイド部とすることや、レバーとノズル保持部とにそれぞれ固定され、第１回動軸線と第２回動軸線とをそれぞれ中心とする第１歯車および第２歯車の各歯部とすることができる。
（９）前記回動装置が、前記少なくともノズル保持部を、少なくとも、前記吸着面が水平となる第１位置と、前記吸着面が傾斜する第２位置とに回動させるものであり、かつ、
前記少なくともノズル保持部の前記第１位置および前記第２位置の一方から他方に向かう回動の限度をそれぞれ規定する第１ストッパおよび第２ストッパと、
それら第１ストッパまたは第２ストッパにより前記少なくともノズル保持部の回動限度が規定された後における前記第１移動装置の余剰運動を吸収する余剰運動吸収装置と
を含む(4)項または(5)項に記載の部品保持装置。
第１移動装置により保持ヘッドと第２係合部とを、ノズル保持部が第１，第２ストッパにより回動限度を規定された状態から更に相対移動させることができ、それにより、第１係合部，第２係合部およびノズル保持部等の損傷を回避しつつ、ノズル保持部を確実に第１位置および第２位置へ回動させることができる。
本項の特徴は(6)項ないし(8)項に記載の特徴と組み合わせて採用することも可能である。
（１１）概して直線状を成し、複数の電子回路部品を収容して一端の供給口から順次供給可能なスティックを、前記一端が下端となる傾斜姿勢で保持するスティック保持装置と、
そのステック保持装置に保持されたスティックの斜め下方への延長方向に延び、前記供給口と対向する受入れ口と、その受入れ口から離れた位置において上方に向かう成分を有する方向に開いた取出口とを備えた直線状のシュートと
を含むスティック型フィーダ。
本項に記載のフィーダによれば、本発明に係る電子回路部品装着システムのスティック型フィーダについて説明した効果が得られるとともに、電動モータ等、電力の供給により作動するアクチュエータを駆動源とする送り装置を用いることなく、電子回路部品を取出口へ移動させることができ、電気的な故障の恐れがなく、電子回路部品を供給することができる。
また、スティックが概して直線状を成し、シュートが直線状を成し、電子回路部品はスティックから取出口まで直線的に移動させられるため、傾斜部と水平部とを有するシュートのように、傾斜部と水平部との間の屈曲部において電子回路部品が引っ掛かる恐れがなく、スムーズに送られ、電子回路部品供給の信頼性が高くなる。
また、スティックとは別にシュートが設けられることにより、フィーダにおいて電子回路部品が収容される収容部と、電子回路部品が取り出される取出し部とが分けられ、使い勝手の良いスティック型フィーダが得られる。例えば、シュートは、横断面形状が同じである複数種類の電子回路部品に共通に使用することができ、それぞれ異なる種類の電子回路部品が複数ずつ収容されたスティックをシュートに対して選択的に取り付け、電子回路部品を供給させることができる。傾斜部と水平部とを有するシュートは、電子回路部品の横断面形状が同じでも長さが異なれば、傾斜部と水平部との間の屈曲部を電子回路部品が通過可能な形状，寸法を有するものとすることが必要であり、供給する電子回路部品の種類の変更に対する対応が容易ではないのに対し、直線状のシュートであれば、電子回路部品の長さの違いの影響を受けず、共通して使用することができる。また、横断面形状が異なる複数種類の電子回路部品にそれぞれ応じた横断面形状を有するシュートを複数種類用意しておけば、電子回路部品の種類に応じてシュートを替えることにより、複数種類の電子回路部品の供給が可能なフィーダが容易に得られる。
（１２）さらに、前記取出口に対応する位置に位置する１個の電子回路部品と、後続の電子回路部品とを互いに離間させる離間装置を含む(11)項に記載のスティック型フィーダ。
電子回路部品はスティック型フィーダから１個ずつ取り出されるのが普通であり、取出口に対応する位置に位置する電子回路部品と後続の電子回路部品とが互いに離間させられることにより、電子回路部品の取出し時に、取り出される電子回路部品と後続の電子回路部品との間の摩擦により電子回路部品の取出しが妨げられたり、後続の電子回路部品が取り出される電子回路部品につれて動かされ、その姿勢が変わったりすることが回避される。
（１３）前記離間装置が、前記シュートに対して設けられた(12)項に記載のスティック型フィーダ。
スティックがシュートに対して交換される場合、離間装置は交換しなくてよく、スティックの交換を安価に実現することができる。
また、離間装置がスティック保持装置に設けられる場合に比較して、後続の電子回路部品のうち、先頭の電子回路部品が位置する位置と、取出口との距離が短くでき、先頭の電子回路部品が短時間で取出口へ移動することが可能となり、取出口からの電子回路部品の取出しを短い時間間隔で行う必要がある場合に対応することが容易である。
（１４）前記離間装置が、先頭の電子回路部品の前記取出口に向かう移動を許容する状態では後続の電子回路部品の前記取出口に向かう移動を阻止し、後続の電子回路部品の前記移動を許容する状態では先頭の電子回路部品の前記移動を阻止するエスケープメントを含む(12)項または(13)項に記載のスティック型フィーダ。
２個以上の電子回路部品が１度に取出口に向かって移動することがなく、取出口に対応する位置に電子回路部品を１個ずつ、後続の電子回路部品から離して確実に移動させることができる。
（１５）前記エスケープメントが、
先頭の電子回路部品の前記移動を阻止する第１阻止部材と、
前記後続の電子回路部品の前記移動を阻止する第２阻止部材と、
それら第１阻止部材と第２阻止部材との少なくとも一方の、前記シュートの長手方向の位置を変更することにより、それら第１，第２阻止部材の間隔を変更可能な間隔変更装置と
を含む(14)項に記載のスティック型フィーダ。
電子回路部品のシュートの長手方向に平行な方向における寸法が種類によって異なる場合でも、共通のエスケープメントによって電子回路部品の移動を制御することができ、複数種類の電子回路部品の供給に使用可能なフィーダが得られ、電子回路部品の供給コストを低減させ得る。
間隔変更装置は、実施例において説明するように作業者によって操作される装置でもよく、電動モータ等、電気的に作動するアクチュエータを駆動源とし、間隔が動力により、あるいはさらに自動的に、変更される装置でもよい。
（１６）前記シュートが、当該スティック型フィーダの本体であるフィーダ本体に着脱可能かつ位置決め可能に設けられた(11)項ないし(15)項のいずれかに記載のスティック型フィーダ。
複数種類のシュートをフィーダ本体に選択的に取り付けることができ、スティック型フィーダにより供給される電子回路部品の種類の変更に伴ってシュートが変わるとき、シュートを交換することにより、電子回路部品の種類の変更に対応することができる。
（２１）(1)項ないし(9)項のいずれかに記載の部品保持装置と、
概して直線状を成す部品収容空間を備えて傾斜姿勢で配設され、下部に上方に向かう成分を有する方向に開いた取出口を備えたスティック型フィーダと、
電子回路部品が装着されるべき回路基材を保持する基材保持装置と、
前記部品保持装置を移動させて、前記スティック型フィーダの前記取出口から電子回路部品を取り出させ、前記基材保持装置に保持された回路基材に装着させる第２移動装置と
を含む電子回路部品装着システム。
本項の電子回路部品装着システムにおけるスティック型フィーダとして、前記(11)項ないし(16)項のいずれかに記載のものを採用することも可能である。
（２２）前記第２移動装置が、前記保持ヘッド本体を着脱可能に保持するヘッド保持部材を含み、そのヘッド保持部材を移動させることにより前記部品保持装置を移動させるものである(21)項に記載の電子回路部品装着システム。
第２係合部は、次項におけるように、移動体に保持させて、第２移動装置により保持ヘッドと共に移動させられるようにしてもよく、スティック型フィーダと基材保持装置との間のいずれかの箇所に位置を固定して設けられてもよい。後者の場合、第１移動装置による保持ヘッドと第２係合部との相対移動によりノズル保持部が回動させられるとき、ヘッド保持部材は第１係合部と第２係合部とが係合可能な位置へ移動させられる。第２係合部はスティック型フィーダ近傍に設けられることが望ましい。吸着ノズルは、電子回路部品の取出しのために必ずスティック型フィーダへ移動するため、ヘッド保持部材の移動距離の増大が少なくて済むからである。例えば、複数のスティック型フィーダにより電子回路部品を供給する場合、それらフィーダの各取出口が並ぶ方向の中間部に対応する位置に第２係合部が設けられることが望ましい。
スティック型フィーダを含む部品供給装置が、基材保持装置に対して複数箇所に設けられる場合、複数の部品供給装置の各々について第２係合部が設けられることが望ましい。
スティック型フィーダを含む部品供給装置は、例えば、実施例において説明するように、基材保持装置の基材搬送方向に直角な方向の両側にそれぞれ１つずつ、合計２つ設けられてもよく、それに加えて基材搬送装置の上側であって、基材保持装置の基材搬送方向に平行な方向の両側の部分にそれぞれ１つずつ、合計４つ設けられてもよい。
（２３）前記部品保持装置として(4)項に記載の部品保持装置を含み、前記ヘッド保持部材，前記第１移動装置および前記第２係合部が移動体に保持され、その移動体が前記第２移動装置により移動させられることによって、前記ヘッド保持部材が、前記第１移動装置および前記第２係合部と共に第２移動装置により移動させられ、かつ、第１移動装置により移動体に対して移動させられる(22)項に記載の電子回路部品装着システム。
本項に記載の電子回路部品装着システムにおいては、第２係合部と第１移動装置とがヘッド保持部材と共に第２移動装置により移動させられ、保持ヘッドが移動経路上の任意の位置に位置する状態においてノズル保持部を回動させることができ、あるいは保持ヘッドの移動中にノズル保持部を回動させることができ、電子回路部品の回路基材の装着に要する時間の増大を抑制することができる。
（２４）前記部品保持装置として(5)項に記載の部品保持装置を含み、かつ、当該電子回路部品装着システムが、さらに、前記保持ヘッドとしての第１保持ヘッドと択一的に前記ヘッド保持部材に保持される第２保持ヘッドを含み、その第２保持ヘッドが、
前記保持ヘッド本体としての第１保持ヘッド本体と選択的に前記ヘッド保持部材に保持される第２保持ヘッド本体と、
その第２保持ヘッド本体の中心軸線を中心とする一円周上に、前記中心軸線と平行な方向に前記第２保持ヘッド本体に対して相対移動可能に保持された複数のノズル保持部と、
前記第２保持ヘッド本体に前記複数のノズル保持部の各々に対応して設けられた第２可動部材を備え、その第２可動部材の前記第２保持ヘッド本体に対する相対移動に基づいて前記複数のノズル保持部を前記中心軸線と平行な方向に移動させるノズル保持部移動装置と
を含み、かつ、前記第１移動装置による前記第２保持ヘッドの移動に基づいて前記第２係合部と係合し、前記ノズル保持部移動装置を作動させる第３係合部が前記第２可動部材に設けられた(22)項または(23)項に記載の電子回路部品装着システム。
ヘッド保持部材に保持された第２保持ヘッドは、第１保持ヘッドと同様に第１移動装置によって第２係合部に対して相対移動させられ、複数の第２可動部材のうちの１つの第３係合部が第２係合部に係合して動かされ、ノズル保持部と第２保持ヘッド本体とが相対移動させられる。それにより、複数の吸着ノズルのうちの１つが他の吸着ノズルに対して、軸方向において異なる位置へ移動させられ、他の吸着ノズルにより妨げられることなく、電子回路部品の吸着および装着を行うことができる。
第１保持ヘッドがヘッド保持部材に保持された状態では、第１移動装置による第１保持ヘッドと第２係合部との相対移動時に、第３係合部に代わって第１係合部が第２係合部に係合し、ノズル保持部が回動させられる。
本項の電子回路部品装着システムによれば、第１保持ヘッドのノズル保持部の回動と、第２保持ヘッドのノズル保持部の移動とがいずれも、第１移動装置による保持ヘッドと第２係合部との相対移動を利用して行われ、それら回動および移動を簡易な構成で安価に行うことができる。
（２５）(a)少なくとも、平らな吸着面を有する吸着ノズルを保持したノズル保持部が、前記吸着面に平行な回動軸線のまわりに回動可能な保持ヘッドと、(b)前記少なくともノズル保持部を前記回動軸線のまわりに回動させることによって前記吸着面を水平面に対して傾斜させる回動装置とを含み、前記吸着面に電子回路部品を負圧により吸着して保持する部品保持装置と、
その部品保持装置を、水平面内で互いに直交するＸ軸方向およびＹ軸方向と、鉛直方向とに移動させる移動装置と、
前記回動装置により前記ノズル保持部が回動させられてそのノズル保持部に保持された吸着ノズルの前記吸着面が水平面に対して傾斜させられた状態で、前記移動装置を制御することによって、前記ノズル保持部を、前記傾斜させられた吸着面に直角な方向に移動させる移動制御部と
を含み、前記吸着ノズルが保持した電子回路部品を回路基材の前記水平面に対して傾斜した部品装着面に装着することが可能であることを特徴とする電子回路部品装着システム。
（２６）前記部品保持装置を、前記鉛直方向に平行な回転軸線のまわりに回転させる部品保持装置回転装置を含む(25)項に記載の電子回路部品装着システム。
（２７）前記回動装置が前記部品保持装置を複数種類の傾斜位置に回動させるものである(25)項または(26)項に記載の電子回路部品装着システム。
（２８）  さらに、(a)  前記回路基材を水平な搬送方向に搬送するコンベヤと、(b)そのコンベヤにより搬送された前記回路基材を保持する回路基材保持装置とを備えた基材搬送保持装置を含み、その基材搬送保持装置に保持された回路基材に電子回路部品を装着する(25)項ないし(27)項のいずれかに記載の電子回路部品装着システム。
（２９）さらに、前記基材搬送保持装置に沿って設けられ、前記電子回路部品を供給する部品供給装置を含み、その部品供給装置から供給される電子回路部品を前記部品保持装置が受け取って前記回路基材に装着するとともに、電子回路部品の受取りと回路基材への装着との間に、前記回動装置が前記保持ヘッドを回動させる(28)項に記載の電子回路部品装着システム。
（３０）前記回動装置が、電力の供給により作動する電動アクチュエータを駆動源とするものである(25)項ないし(29)項のいずれかに記載の電子回路部品装着システム。
（３１）前記部品保持装置が、さらに、前記ノズル保持部を前記回動装置により回動させられた複数の回動位置に保持する回動位置保持装置を含む(25)項ないし(30)項のいずれかに記載の電子回路部品装着システム。
【実施例】
【００１２】
以下、請求可能発明のいくつかの実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施例の他、上記〔発明の態様〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更を施した態様で実施することができる。
【００１３】
図１に、請求可能発明の一実施例としての電子回路部品装着システムが概略的に図示されている。本電子回路部品装着システムは、図１に示すように、基材搬送装置としての基板搬送装置１０，それぞれ部品供給装置の一種であるフィーダ型部品供給装置１２，１４，基材保持装置としての基板保持装置１６，装着装置１８，保持ヘッド収納装置２０および制御装置２２（図２１参照）を含む。
【００１４】
基板搬送装置１０は、システム本体としてのベッド３０上に設けられ、回路基材としての回路基板３２を一方向、本実施例では水平方向に搬送して基板保持装置１６に搬入し、基板保持装置１６から搬出する。基板搬送方向をＸ軸方向とし、基板保持装置１６に保持されている回路基板３２の表面であり、上面である部品装着面３４に平行な一平面である水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向とする。基板保持装置１６は位置を固定して設けられ、図示は省略するが、例えば、回路基板３２を下方から支持する基板支持装置と、回路基板３２の基板搬送方向に平行な両縁部をそれぞれクランプするクランプ装置とを含み、基板搬送装置１０により搬入された回路基板３２を水平な姿勢で保持する。
【００１５】
フィーダ型部品供給装置１２，１４は、本電子回路部品装着システムでは、図１に示すように、ベッド３０上の、基板搬送装置１０に対してＹ軸方向に隔たった両側にそれぞれ設けられている。これらフィーダ型部品供給装置１２，１４は同様に構成されており、フィーダ型部品供給装置１２を代表的に説明する。
【００１６】
フィーダ型部品供給装置１２は、複数のフィーダにより電子回路部品を供給する装置である。フィーダは、電子回路部品を複数保持し、それら電子回路部品を整列させた状態で送り、順次部品供給部に位置決めし、供給する部品供給具であり、フィーダ支持台４０に着脱可能に取り付けられる。そのため、フィーダ支持台４０には、複数のフィーダ取付部４２（図２参照。図２においてはフィーダ取付部４２は１つのみ図示されている）が基板搬送方向に適宜の間隔を隔てて、本実施例では等間隔であって、幅が最小のフィーダが、できる限り小さい隙間を隔てて取り付けられる間隔で並べて設けられている。これらフィーダ取付部４２にはそれぞれ、図２に示すように、フィーダ支持台４０の上面であるフィーダ支持面４４に開口させられ、前後方向に延び、横断面形状が逆Ｔ字形を成す位置決め溝４６，フィーダ支持台４０の前部から立ち上がる位置決め壁４８に設けられた位置決め穴５０，５２およびフィーダ支持面４４に開口させられ、左右方向に延びる係合溝５４を備えている。なお、前後方向は前記Ｙ軸方向に平行な方向であり、左右方向は前記Ｘ軸方向に平行な方向である。
【００１７】
フィーダ支持台４０のフィーダ取付部４２には、テープ型フィーダ５８（図１参照）や図２に示すスティック型フィーダ６０等、種々のフィーダが取り付けられるが、いずれのフィーダもフィーダ取付部４２によってフィーダ支持台４０に取り付けられる構造を有する。テープ型フィーダ５８は、詳細な説明は省略するが、部品保持テープにより複数の電子回路部品を１列に並ぶ状態で保持し、部品保持テープをテープ送り装置によって送ることにより、電子回路部品を順次部品供給部に位置決めし、供給するフィーダであり、フィーダ支持台４０に水平な姿勢で取り付けられ、部品保持テープは水平に送られる。
【００１８】
また、スティック型フィーダ６０は、図２に示すように、複数の電子回路部品が収容されたスティック６２をスティック保持装置６４により傾斜姿勢で保持し、スティック６２内の電子回路部品をシュート６６によって部品供給部へ導き、供給するフィーダである。スティック型フィーダ６０のフィーダ本体７０は長手形状を成す１対の板状の側壁７１（図５参照）を備え、その長手方向の一端部であって、前部の底部に、横断面形状が逆Ｔ字形を成すレール７２が前後方向ないし長手方向に延びる状態で設けられ、被位置決め部を構成している。フィーダ型部品供給装置１２において基板保持装置１６側が前側であり、フィーダ本体７０の前面には、１対の位置決め突起７４，７６が突設され、被位置決め部を構成している。
【００１９】
フィーダ本体７０にはさらに、スティック型フィーダ６０をフィーダ支持台４０に固定するためのフィーダ固定装置７８が設けられている。固定装置７８は、フィーダ本体７０に下方ほど後方へ向かう向きに傾斜して設けられた係合部材８０と、その係合部材８０を移動させる移動装置（図示省略）とを含む。移動装置は、係合部材８０を、その先端部ないし下端部がフィーダ本体７０の底面から突出する向きに付勢し、前記係合溝５４の溝側面に係合してフィーダ６０をフィーダ支持台４０に固定する固定位置へ移動させる付勢装置、例えばスプリングと、操作部材と、操作部材に加えられる操作力を係合部材８０に伝達し、付勢装置の付勢力に抗して、溝側面との係合が解除される解除位置へ移動させる操作力伝達装置とを含む。
【００２０】
スティック型フィーダ６０は、レール７２が、フィーダ支持台４０に設けられた前記位置決め溝４６に嵌合され、位置決め突起７４，７６が前記位置決め穴５０，５２に嵌合されるとともに、係合部材８０が固定位置へ移動させられることにより、フィーダ支持面４４によって下方から支持され、前後方向および左右方向である幅方向において位置決めされるとともに、浮上がりを防止された状態でフィーダ支持台４０に固定される。固定装置７８は作業者により操作され、スティック型フィーダ６０のフィーダ支持台４０への取付け，取外しは作業者により行われる。それぞれ位置決め部を構成する位置決め溝４６，位置決め穴５０，５２および係合溝５４が位置決め装置および浮上がり防止装置を構成している。
【００２１】
前記テープ型フィーダ５８もスティック型フィーダ６０と同様にして、フィーダ支持台４０に位置決めされて固定される。本フィーダ型部品供給装置１２では、いずれのフィーダがフィーダ支持台４０に取り付けられる場合も、複数のフィーダはそれぞれ、各部品供給部がＸ軸方向に並ぶ状態で取り付けられる。
【００２２】
スティック型フィーダ６０の前記スティック６２は、図２に示すように、概して直線状を成し、横断面形状が矩形を成す筒状の部材であり、内部に概して直線状を成す部品収容空間８８（図３参照）を備え、一端に供給口９０（図４参照）が設けられている。スティック６２は、その中に収容される電子回路部品の高さよりやや大きい厚さを有するものとされており、電子回路部品の高さが低いほど、スティック６２は薄く、高さが低いものとなる。なお、ここにおいて電子回路部品の高さは、回路基板３２に装着される姿勢の電子回路部品の高さに限らず、スティック６２に収容された状態での高さであることもある。
【００２３】
スティック６２の部品収容空間８８には、１種類の電子回路部品が複数、１列に並んだ状態で収容される。スティック６２毎に収容される電子回路部品の種類は様々であるが、比較的大きい部品であり、例えば、図３および図５に示す電子回路部品９２のように、本体９４と、本体９４の底面９６から突出させられた複数のリード９８とを備えた部品が収容される。複数のリード９８は、底面９６の外周側の部分に長手方向に平行な２辺に沿って設けられ、回路基板３２に設けられたスルーホールに挿入され、先端部が回路基板３２の裏側において電極に半田付けされる。
【００２４】
前記スティック保持装置６４の装置本体としてのフレーム１１０は、図２に示すように、長手形状を成し、フィーダ本体７０に、スティック型フィーダ６０がフィーダ支持台４０に取り付けられた状態で、長手方向の一端部である前部（部品供給部側の部分）が他端部である後部より下となり、水平面に対して傾斜した姿勢で設けられている。フレーム１１０には、その前部と後部とにそれぞれスティック支持部材１１２，１１４が設けられ、スティック６２の前部と後部とを下方から支持する。スティック支持部材１１２，１１４は板状を成し、フレーム１１０の傾斜方向に直角な方向における位置を調節可能に設けられている。フレーム１１０の前部と後部とにはまた、スティック幅方向ガイド１１６が１対ずつ設けられている。各対の２つのスティック幅方向ガイド１１６（図２には各対の一方のスティック幅方向ガイド１１６のみ図示されている）はそれぞれ、フレーム１１０の両側面に設けられ、スティック６２の幅方向のずれを規制する。
【００２５】
スティック６２は、スティック支持部材１１２，１１４により支持されるとともに、スティック幅方向ガイド１１６によりずれを規制され、その供給口９０が設けられた側の端が下端となり、フィーダ６０の前側に位置し、水平面に対して傾斜した姿勢で保持され、基板保持装置１６により水平な姿勢で保持された回路基板２０に対して傾斜させられている。フレーム１１０の前端部には、図２に示すように、供給口遮蔽装置１２０が設けられている。供給口遮蔽装置１２０は、フレーム１１０に、フレーム１１０の長手方向ないし傾斜方向に直角な方向に移動可能に設けられた遮蔽部材１２２と、遮蔽部材１２２を移動させる遮蔽部材移動装置１２４とを含む。フレーム１１０の長手方向に直角な方向は上下方向の成分を含み、遮蔽部材１２２の移動は昇降と考えることができる。
【００２６】
遮蔽部材移動装置１２４は、本実施例では、駆動源たる遮蔽部材駆動用モータ１３０と、ラックおよびピニオンを含み、遮蔽部材駆動用モータ１３０の回転を直線運動に変換する運動変換機構１３２とを備えている。遮蔽部材１２２は板状を成し、ラックに取り付けられている。そして、ピニオンがモータ１３０によって回転させられることにより、ラックが昇降させられて遮蔽部材１２２が昇降させられる。遮蔽部材１２２は、上昇端位置に位置する状態では、供給口９０を解放するとともに、その下端部がスティック６２の供給口９０を画定する上端縁の前面に係合し、スティック６２が傾斜により滑り落ちることを防止し、上昇端位置から下降させられた遮蔽位置ないし部品飛出し防止位置において供給口９０を塞ぎ、スティック６２からの電子回路部品の飛出しを阻止する。上昇端位置は開位置ないし供給口解放位置である。
【００２７】
前記シュート６６は、図２に示すように、直線状を成す。シュート６６の本体であるシュート本体１３４は、長手形状のブロック状を成し、図５(a)に示すように、その幅方向の中央部には、外側上面に開口する凹部１３６が長手方向に貫通して形成され、凹部１３６の開口がシュート本体１３４に固定された閉塞部材たる押さえ板１３８によって塞がれることにより、横断面形状が矩形を成し、閉空間状の通路１４０がシュート６６の幅方向の中央に位置する状態で設けられている。通路１４０は、その中に収容される電子回路部品の高さよりやや大きい高さを有し、電子回路部品の高さが低いほど、通路１４０の底面により構成される部品案内面１４２の位置が高くなる。シュート６６は、図３および図５に示すように、スティック保持装置６４により傾斜した姿勢で保持された状態にあるスティック６２の斜め下方への延長方向に延び、スティック６２と同様に傾斜させられた状態でフィーダ本体７０に着脱可能に固定されている。シュート６６は、フィーダ本体７０の１対の側壁７１の間の部分に設けられたシュート支持部材１４３を介してフィーダ本体７０に取り付けられる。シュート支持部材１４３は板状を成し、スティック６２の傾斜と平行に傾斜して設けられ、図３に示すように、その前部と後部とのそれぞれ幅方向の中央部に、位置決めピン１４４およびマグネット１４６が傾斜方向に間隔を隔てて設けられている。位置決めピン１４４は、支持部材１４３の上面から、シュート支持部材１４３の傾斜方向と直角に突出し、マグネット１４６は、その一端面が支持部材１４３の上面内に位置する状態で設けられている。
【００２８】
シュート本体１３４には、その長手方向の前部と後部とにそれぞれ、その幅方向の中央部の長手方向に隔たった２箇所にそれぞれ、外側下面に開口して位置決め穴１４７が設けられるとともに、マグネット１４８が、外側下面の一部を構成する状態で埋設されている。シュート６６は、図５(a)に示すように、１対の側壁７１の間に位置させられた状態で、図３に示すように、２つの位置決め穴１４７がそれぞれ位置決めピン１４４に嵌合され、シュート支持部材１４３上に載せられる。この状態ではマグネット１４８がマグネット１４６に吸着され、シュート６６はシュート支持部材１４３に、幅方向および前後方向に位置決めされ、下方から支持された状態で磁力によって固定される。なお、２つの位置決め穴１４７の一方、例えば、後部に設けられた位置決め穴１４７は、シュート６６の傾斜方向に長い長穴とされている。通路１４０はシュート６６の幅方向の中央部に位置する状態で設けられており、フィーダ本体７０の幅方向の中央部に位置することとなる。シュート６６は、位置決め穴１４７を位置決めピン１４４から離脱させ、マグネット１４８をマグネット１４６から離すことにより、シュート支持部材１４３から取り外される。本実施例においては、位置決めピン１４４が位置決め部たる位置決め突部を構成し、位置決め穴１４７が被位置決め部たる被位置決め凹部を構成し、それぞれ固定部材たるマグネット１４６，１４８が固定装置を構成している。位置決めピンがシュートに、位置決め穴がシュート支持部材に設けられてもよい。
【００２９】
シュート６６がシュート支持部材１４３に支持された状態では、通路１４０の底面により構成される部品案内面１４２がスティック６２の部品収容空間８８の底面に続く状態となり、図３に示すように、通路１４０の、シュート６６の上端側開口がスティック６２の供給口９０と対向させられて受入れ口１５０を構成している。シュート６６の下端部においては、凹部１３６が押さえ板１３８によって塞がれず、通路１４０が上方に解放され、受入れ口１５０から離れた位置であって、シュート６６の下端部において上方に向かう成分を有する方向に開いた取出口１５２が設けられている。取出口１５２は、電子回路部品９２を１個、取出し可能な大きさとされ、取出口１５２が設けられた部分がスティック型フィーダ６０の部品供給部である。
【００３０】
シュート６６にはまた、図３に示すように、通路１４０の下端部であって、取出口１５２内にストッパ１５４が設けられ、電子回路部品９２を、その被吸着点、例えば、本体９４の中心が、後述する吸着ノズルによる部品吸着位置に位置する位置に停止させる。シュート６６にはさらに、図３および図５に示すように、シュート本体１３４に、その外側下面および通路１４０の幅方向の中央部に開口するスリット１５６が、シュート６６の長手方向に延びる状態で設けられている。前記シュート支持部材１４３には、スリット１５６に続くスリット１５８が設けられており、これらスリット１５６，１５８は、次に説明するエスケープメント１７０の爪部材の進入を許容する。
【００３１】
前述のようにシュート６６はフィーダ本体７０に着脱可能に固定されるようにされており、電子回路部品の形状，寸法に応じて通路１４０の横断面形状が異なる複数種類のシュート６６が用意され、スティック型フィーダ６０が供給する電子回路部品の種類に応じたシュート６６がフィーダ本体７０に取り付けられる。図５(a)〜図５(c)に３種類のシュート６６の例を示す。これらシュート６６は、構成要素の寸法が異なる部分があるが、構成は同じであり、同じ作用を成す構成要素には同じ符号を付して示す。電子回路部品についても符号９２を付して示すこととする。
【００３２】
これらシュート６６は、シュート本体１３４の外形の形状，寸法が同じものとされており、前部と後部とにそれぞれ、位置決め穴１４７およびマグネット１４８が設けられ、いずれも位置決めピン１４４により位置決めされるとともに、シュート支持部材１４３により下方から支持され、傾斜姿勢で磁力によって固定される。シュート６６は、マグネットに限らず、例えば、ボルトによってシュート支持部材１４３に着脱可能に固定することができるが、マグネットによれば、シュート支持部材１４３に対するシュート６６の着脱を容易にかつ迅速に行うことができ、スティック型フィーダ６０が供給する電子回路部品の種類の変更に容易に対応することができる。また、通路１４０は、シュート６６の幅方向の中央に設けられ、電子回路部品の横断面形状に応じて形状，寸法が変えられるとき、シュート本体１３４の幅方向の中心に対して左右対称に変えられるため、シュート６６の種類が異なっても通路１４０およびスリット１５６は、フィーダ本体７０の幅方向の中央に位置する。また、通路１４０の高さ（深さ）が変えられるとき、その上面の位置はシュート本体１３４の上面であって変わらないため、取出口１５２に位置する電子回路部品の上面の高さ方向における位置は、電子回路部品の高さが異なっても同じになる。なお、供給される電子回路部品の種類が変わっても、横断面形状が変わらないのであれば、複数種類の電子回路部品の供給にシュート６６を共用することができる。この際、電子回路部品のシュート６６の長手方向における長さが変わるのであれば、それに合わせて爪部材２００ａ，２００ｂの間隔が変更される。
【００３３】
スティック型フィーダ６０によって供給する電子回路部品の種類が変わるとき、スティック６２が替えられる。スティック６２は、電子回路部品の横断面形状によって厚さが異なるが、幅は同じにされ、スティック支持部材１１２，１１４は、その上下方向の位置が、スティック６２を、部品収容空間の底面が、シュート６６の部品案内面１４２と同じ傾斜平面内に位置し、部品案内面１４２が部品収容空間８８の底面に続く状態となる状態で支持するように調節される。また、遮蔽部材移動装置１２４の遮蔽部材１２２は、スティック６２の厚さの変化に対応可能な長さを有するものとされ、スティック６２の滑落を防止し、電子回路部品のスティック６２からの飛出しを防止する。
【００３４】
フィーダ本体７０には、図２に示すように、シュート６６の下側にエスケープメント１７０が設けられ、離間装置を構成している。エスケープメント１７０は、シュート６６に対して設けられているのである。本エスケープメント１７０は、図３に示すように、それぞれ部品移動阻止ユニットたる第１爪ユニット１７２および第２爪ユニット１７４を含む。これら第１，第２爪ユニット１７２，１７４は同様に構成されており、以下、第１爪ユニット１７２を代表的に説明し、第２爪ユニット１７４については説明を省略する。両ユニット１７２，１７４の各構成要素には同じ符号を付すとともに、第１爪ユニット１７２の構成要素には符号にａを付し、第２爪ユニット１７４の構成要素には符号にｂを付して区別することとする。
【００３５】
第１爪ユニット１７２は、図３に示すように、フィーダ本体７０の側面に設けられたユニット取付部材１８０に、シュート６６の長手方向ないし傾斜方向に平行な方向に移動可能であって、位置変更可能に取り付けられている。ユニット取付部材１８０がエスケープメント１７０の本体を構成していると考えることもできる。ユニット取付部材１８０は板状を成し、シュート６６の長手方向に平行に延びる１対の長穴１８２，１８４がユニット取付部材１８０を厚さ方向に貫通して設けられている。第１爪ユニット１７２のユニット本体１８６ａはブロック状を成し、図９に示すように、その裏面側に突設された一対の突部１８８ａ，１９０ａがそれぞれ、長穴１８２，１８４に移動可能に嵌合され、ユニット本体１８６ａの移動が案内される。突部１８８ａ，１９０ａはそれぞれ、横断面形状が矩形を成し、ユニット本体１８６ａの対角線上に隔たった２箇所に設けられ、被案内部であり、長穴１８２，１８４により構成される案内部と共に案内装置を構成するとともに、ユニット本体１８６ａの、その板面に平行な平面内における傾きを防止する傾き防止装置としても機能する。ユニット本体１８６ａの突部１８８ａ，１９０ａが設けられた部分には、ユニット取付部材１８０のフィーダ本体７０側である裏側から長穴１８２，１８４を通ってボルト１９２ａが螺合され、ボルト１９２ａの頭部との間にユニット取付部材１８０を挟み、ユニット本体１８６ａが取付部材１８０に固定される。なお、フィーダ本体７０の長穴１８２，１８４に対応する部分には開口（図示省略）が設けられ、ユニット本体１８６ａへのボルト１９２ａの螺合を許容する。
【００３６】
ユニット本体１８６ａには、図３，図６および図７に示すように、可動部材たるスライド１９４ａが、シュート６６の底面に直角な方向であって、シュート６６の長手方向に平行な鉛直平面内においてシュート６６の傾斜方向と直角な方向に移動可能に取り付けられている。ユニット本体１８６ａには、厚さ方向に貫通して段付状を成す一対の長穴１９６ａが設けられており、それら長穴１９６ａにそれぞれ、ユニット本体１８６ａの裏側から挿通されたボルト１９８ａがスライド１９４ａに螺合され、ボルト１９８ａのねじ部より大径の軸部が長穴１９６ａのユニット本体１８６ａの表面ないし上面側に開口させられた小長穴部内を移動することにより、スライド１９４ａのユニット本体１８６ａに対する移動が案内される。長穴１９６ａが案内部を構成し、ボルト１９８ａが被案内部を構成し、これらが案内装置を構成している。軸部の長さは、小長穴部の深さより僅かに長くされ、ボルト１９８ａが軸部がスライド１９４ａに当接するまで螺合された状態では、ボルト１９８ａの長穴１９６ａの大長穴部内に直径方向に隙間を有して収容され、軸部より大径の頭部と、大長穴部の底面との間に、その頭部の移動を許容し、スライド１９４ａの移動を許容する隙間が確保されるとともに、スライド１９４ａががたつくことなく移動する。
【００３７】
スライド１９４ａに、第１阻止部材としての爪部材２００ａが着脱可能に固定されている。爪部材２００ａは、図６および図７に示すように長手形状の板状を成し、前記シュート６６のスリット１５６およびシュート支持部材１４３のスリット１５８を通過可能な厚さ（シュート６６の幅方向に平行な方向における寸法）を有するものとされている。また、爪部材２００ａの先端部ないし上端部に、他の部分より幅（シュート６６の長手方向に平行な方向の寸法）の狭い係合部２０２ａが設けられている。爪部材２００ａにはまた、係合部２０２ａより下側の部分に、その長手方向に延びる長穴２０４ａが形成され、その長穴２０４ａを通って複数のボルト２０６ａがスライド１９４ａに螺合されることにより爪部材２００ａがスライド１９４ａに固定され、スライド１９４ａと共にユニット本体１８６ａに対して移動させられる。長穴２０４ａのボルト２０６ａに対する位置を変えることにより、係合部２０２ａのスライド１９４ａに対する高さ方向の位置が変えられ、上昇端位置および下降端位置が変えられる。長穴２０４ａが位置調節部を構成している。まｔま、爪部材２００ａは、フィーダ本体７０の幅方向においては、中央に位置するように設けられている。
【００３８】
ユニット本体１８６ａにはまた、図６および図７に示すように、偏心カム２１０ａが、シュート６６の傾斜方向と平行な軸線まわりに回転可能に取り付けられている。偏心カム２１０ａは、前記ユニット取付部材１８２に取り付けられた駆動軸２１２の回転により回転させられる。駆動軸２１２は、図７に示すように、横断面形状が非円形形状たる小判形を成し、偏心カム２１０を構成する円板の中心から外れた位置に設けられた横断面形状が小判形を成す嵌合穴２１４ａに軸方向に相対的に摺動可能に嵌合されており、偏心カム２１０ａは駆動軸２１２に対して相対回転不能かつ軸方向に摺動可能である。したがって、ユニット本体１８６ａがユニット取付部材１８０に対して移動させられるとき、偏心カム２１０ａは駆動軸２１２に対して移動させられ、第１爪ユニット１７２の移動を許容する。また、駆動軸２１２が駆動源たるカム駆動用モータ２１６（図３参照）によって回転させられることにより、偏心カム２１０ａが回転させられる。
【００３９】
前記スライド１９４ａには、図６および図７に示すように、偏心カム２１０ａより下側の部分に、カムフォロワとしてのローラ２２０ａが偏心カム２１０の回転軸線と平行な軸線まわりに回転可能に取り付けられている。スライド１９４ａは、ユニット本体１８６ａとの間に配設された付勢装置の一種である弾性部材としてのスプリングである引張コイルスプリング２２２ａにより、上方に向かう向きに付勢され、ローラ２２０ａが偏心カム２１０ａの外周面であるカム面２２４ａに接触する向きに付勢されている。そのため、偏心カム２１０ａが回転させられれば、ローラ２２０ａが偏心カム２１０ａに追従して移動させられ、それによりスライド１９４ａが昇降させられ、爪部材２００ａがシュート６６のスリット１５６内およびシュート支持部材１４３のスリット１５８内を昇降させられて、係合部２０２ａがシュート６６の部品案内面１４２を越えて通路１４０内に突出させられ、あるいは通路１４０から退避させられる。なお、引張コイルスプリング２２２ａは、付勢装置の一種である弾性部材としてのスプリングである。以下に説明する他の圧縮コイルスプリングおよび引張コイルスプリングについても、いちいち断らないが、同様である。
【００４０】
前記第２爪ユニット１７４は第１爪ユニット１７２と同様に構成されている。但し、シュート６６の傾斜方向に直角な平面に対して対称に設けられており、駆動軸２１２は２つのユニット１７２，１７４に共通であり、第２爪ユニット１７４の偏心カム２１０ｂも駆動軸２１２に相対回転不能かつ軸方向に相対的に摺動可能に嵌合されている。第１，第２爪ユニット１７２，１７４はいずれも、突部１８８ａ，１９０ａ，１８８ｂ，１９０ｂおよび長穴１８２，１８４に案内されてシュート６６の長手方向に移動可能であり、その移動によって爪部材２００ａ，２００ｂのシュート６６の長手方向の位置を変更し、調節することにより、爪部材２００ａ，２００ｂの間隔を電子回路部品の寸法に応じた大きさに変更することができる。この変更は、作業者がボルト１９２ａ，１９２ｂの螺合を緩めてユニット本体１８６ａ，１８６ｂのユニット取付部材１８０に対する固定を解除し、長穴１８２，１８４に沿って移動させ、所定の位置において停止させ、ボルト１９２ａ，１９２ｂを締め、ユニット本体１８６ａ，１８６ｂをユニット取付部材１８０に固定することにより行われる。本実施例においては、長穴１８２，１８４，突部１８８ａ，１８８ｂ，１９０ａ，１９０ｂ，ボルト１９２ａ，１９２ｂおよび駆動軸２１２が偏心カム２１０ａ，２１０ｂに相対回転不能かつ軸方向に相対的に摺動可能に嵌合され、第１，第２爪ユニット１７２，１７４のシュート６６の長手方向に平行な移動を許容する構成が間隔変更装置を構成している。
【００４１】
駆動軸２１２が２つの偏心カム２１０ａ，２１０ｂに共通とされているため、両偏心カムは同時に回転させられ、爪部材２００ａ，２０２ｂが同時に昇降させられるが、取出口１５２に対応する位置へは電子回路部品９２が１個ずつ移動するようにされることが必要である。そのため、偏心カム２１０ａ，２１０ｂの駆動軸２１２に対する取付け位相が１８０度異にされ、爪部材２００ａ，２００ｂは、図１０に示すように、その昇降方向が逆にされ、それぞれの電子回路部品９２の移動阻止と移動阻止解除とが交互に行われ、同時に電子回路部品９２の移動阻止が解除され、移動が許容されることがないようにされている。
【００４２】
本実施例においては第１，第２爪ユニット１７０，１７２のうち、前側に配設された第１爪ユニット１７０の爪部材２００ａが、シュート６６内に位置し、取出口１５２への移動に備えて待機させられた複数の電子回路部品のうちの先頭の電子回路部品９２の移動を阻止し、その取出口１５２への移動を阻止する。したがって、爪部材２００ａは、その先端の係合部２０２ａが電子回路部品９２の本体９４の底面９６より上方に位置する状態となる阻止位置において、本体９４の前面に係合して電子回路部品９２の移動を阻止し、底面９６より下方に位置する状態となる移動許容位置において電子回路部品９２の移動を許容する。また、後側に配設された第２爪ユニット１７２の爪部材２００ｂは、その先端の係合部２０２ｂが、先頭の電子回路部品９２のすぐ後に続く電子回路部品９２の本体９４の底面９６に当接の形態で係合する状態となる阻止位置において、電子回路部品９２の移動を阻止し、底面９６より下方に位置する状態となる移動許容位置において電子回路部品９２の移動を許容する。
【００４３】
爪部材２００ａ，２００ｂは、その上昇端位置および下降端位置が、シュート６６の長手方向に直角な方向において同じになるようにスライド１９４ａ，１９４ｂに取り付けられている。そのため、爪部材２００ａは、上昇時にシュート６６の通路１４０内において上昇端位置まで上昇することが可能であるが、爪部材２００ｂは、上昇の途中で電子回路部品９２の本体９４の底面９６に当接し、上昇を阻止される。偏心カム２１０ａ，２１０ｂは板カムであるため、爪部材２００ｂが電子回路部品９２に当接した後の偏心カム２１０ｂの回転は、カムフォロワであるローラ２２０ｂがカム面２２４ｂから離間することにより許容され、偏心カム２１０ｂが再びローラ２２０ｂと係合する位相に至った後は、ローラ２２０ｂが偏心カム２１０ｂに追従して移動し、スプリング２２２ｂの付勢力に抗して下降させられて爪部材２００ｂが下降させられる。爪部材２００ｂは、偏心カム２１０ｂが回転させられていても昇降しない時期があるのである。爪部材２００ｂが電子回路部品９２に当接した後は、スプリング２２２ｂの付勢力が電子回路部品９２に作用するが、スプリング２２２ｂのばね力は電子回路部品９２を損傷しない大きさに設定されている。なお、爪部材２００ａが上昇端位置まで上昇する以前に、係合部２０２ａがシュート６６の下向きの内面（通路１４０の天井面）に当接するようにすることも可能であり、その場合には、係合部２０２ａの当接後は、ローラ２２０ａがカム面２２４ａから離間することにより偏心カム２１０ａの回転が許容される。
【００４４】
また、爪部材２００ａ，２００ｂは、本実施例では、図１０に示すように、昇降ストロークの中間位置における高さが、シュート６６に収容された電子回路部品９２の本体９４の底面９６より上方において同じ高さとなるようにスライド１９４ａ，１９４ｂに取り付けられている。この底面９６の高さが電子回路部品９２の寸法によって変わっても、爪部材２００ａ，２００ｂのスライド１９４ａ，１９４ｂに対する取付位置の調節により、爪部材２００ａ，２００ｂの各昇降ストロークの中間位置における高さが、シュート６６に収容された電子回路部品９２の本体９４の底面９６より上方において同じ高さとなる状態が得られる。したがって、図１０に示すように、爪部材２００ａ，２００ｂがいずれも電子回路部品９２の移動を阻止する状態が重複して得られ、後続の電子回路部品９２が爪部材２００ａ，２００ｂにより移動を阻止されず、取出口１５２に対応する位置へ移動してしまうことが確実に回避される。
【００４５】
このように爪部材２００ａ，２００ｂが交互に昇降させられることにより、エスケープメント１７０は、爪部材２００ａが先頭の電子回路部品９２の移動を許容する状態では、爪部材２００ｂが後続の電子回路部品９２の移動を阻止し、先頭の電子回路部品９２が１個のみ取出口１５２に対応する位置へ移動する。また、爪部材２００ｂが後続の電子回路部品９２の移動を許容する状態では、爪部材２００ａが電子回路部品９２の移動を阻止する状態にあり、後続の電子回路部品９２が移動しても爪部材２００ａによって止められ、待機する電子回路部品の先頭の電子回路部品となる。爪部材２００ａは、爪部材２００ｂの上昇時に下降し、移動許容位置へ移動するが、爪部材２００ｂが電子回路部品９２に係合した時点では、まだ、係合部２０２ａが電子回路部品９２の底面９６より上側に位置し、本体９４に係合して移動を阻止することができる。また、偏心カム２１０ａ，２１０ｂの回転を止めることにより、爪部材２００ａ，２００ｂの少なくとも一方を部品移動阻止状態に保つことができる。
【００４６】
前述のように、フィーダ本体７０には、供給される電子回路部品の種類に応じたシュート６６が取り付けられるが、エスケープメント１７０は、爪部材２００ａ，２００ｂの長手方向における位置を調節し、それらの間隔を変更することができ、種類の異なる電子回路部品について移動を阻止し、離間させることができ、複数種類のシュート６６に共用であり、フィーダ本体７０に取り付けられたままである。爪部材２００ａ，２００ｂのシュート６６の長手方向における位置はそれぞれ、電子回路部品のシュート６６の長手方向における寸法に応じて変更され、両者の間隔が変更されて、それぞれ電子回路部品の移動を阻止することができるようにされる。また、シュート６６においてスリット１５６は幅方向の中央に設けられており、通路１４０の幅方向の寸法は、シュート６６の幅方向の中心に対して左右対称に変えられるため、シュート６６の種類が変わり、供給される電子回路部品の種類が変わっても、フィーダ本体７０におけるスリット１５６，１５８および電子回路部品の幅方向の中心の、シュート６６の幅方向における位置は変わらず、爪部材２００ａ，２００ｂはスリット１５６，１５８を通り、複数種類の電子回路部品の各幅方向の中央部に係合し、移動を阻止することができる。
さらに、爪部材２００ａ，２００ｂはいずれも、前記スライド１９４ａ，１９４ｂに、シュート６６の長手方向に直角な方向の位置が調節可能に取り付けられており、電子回路部品の高さ方向の寸法によってスライド１９４ａ，１９４ｂに対する取付け位置が調節され、係合部２０２ａ，２０２ｂの高さ方向の位置が調節されて、高さが異なる複数種類の電子回路部品について移動を阻止するようにされる。
【００４７】
スティック型フィーダ６０はさらに、図２に示すように、制御装置２４０を備えている。制御装置２４０はフィーダ制御コンピュータ２４２を主体として構成され、遮蔽部材移動装置１２４等を制御する。フィーダ制御コンピュータ２４２には、部品センサ２４４，２４６が接続されている。部品センサ２４４は、図３および図５に示すように、フィーダ本体７０のシュート６６の取出口１５２に対応する部分に設けられている。部品センサ２４４は、例えば、非接触型センサの一種である光電センサたる透過型の光電センサにより構成され、発光部２４８および受光部２５０を備え、取出口１５２における電子回路部品９２の有無によって受光部２５０が受光し、あるいは受光せず、異なる信号が出力され、その信号に基づいて取出口１５２における電子回路部品９２の有無が検出される。また、部品センサ２４６は、図３に示すように、シュート６６の取出口１５２から離れて待機させられる複数の電子回路部品のうち、先頭の電子回路部品の後に続く後続の電子回路部品８２が位置する部分に設けられ、例えば、光電センサにより構成され、その部分に電子回路部品９２があるか否かによって異なる信号を出力するように構成されている。スティック型フィーダ６０はフィーダ支持台４０に取り付けられ、フィーダ固定装置７８によって固定されるとき、フィーダ支持台４０側に設けられた接続部に接続され、電源装置からの電力供給を受け、後述する電子回路部品装着システムの制御装置のコンピュータとの間での情報伝達等が行われるようにされる。
【００４８】
前記装着装置１８を説明する。
装着装置１８は、図１，図１１および図１２に示すように、それぞれ保持ヘッドの一種であるシングルノズルヘッド３００，マルチノズルヘッド３０２，ヘッド保持部材３０４，ヘッド移動装置３０６，ヘッド昇降装置３０８およびヘッド回転装置３１０を含む。ヘッド移動装置３０６は、図１に示すように、Ｘ軸方向移動装置３１４およびＹ軸方向移動装置３１６を含む。Ｘ軸方向移動装置３１４は、可動部材としてのＸ軸スライド３２０とＸ軸スライド移動装置３２２とを含む。Ｘ軸スライド移動装置３２２は、駆動源たるＸ軸移動用モータ３２４（図２１参照）と、ボールねじおよびナットを含む送りねじ機構３２６（図２１参照）とを含む。
【００４９】
Ｙ軸方向移動装置３１６はＸ軸スライド３２０上に設けられ、可動部材としてのＹ軸スライド３２８とＹ軸スライド移動装置３３０とを含む。Ｙ軸スライド移動装置３３０は、駆動源たるＹ軸移動用モータ３３２（図２１参照）と、ボールねじ３３４およびナット３３６を含む送りねじ機構３３８（図１１参照）とを含む。
【００５０】
図１１に示すように、Ｙ軸スライド３２８に前記ヘッド保持部材３０４，ヘッド昇降装置３０８およびヘッド回転装置３１０が設けられ、Ｘ軸スライド３２０およびＹ軸スライド３２８の移動により、ヘッド保持部材３０４等が水平面上の任意の位置へ移動させられる。ヘッド保持部材３０４は、軸状部材３４０と、軸状部材３４０の下端部に一体的に設けられたヘッド保持部３４２とを含む。軸状部材３４０は、横断面形状が円形を成し、外周面にスプライン３４４が設けられたスプライン軸部材である。ヘッド保持部３４２は、横断面形状が円形を成し、軸状部材３４０より大きい直径を有する。
【００５１】
ヘッド回転装置３１０は、図１２に示すように、Ｙ軸スライド３２８に、基板保持装置１６に保持された回路基板３２の部品装着面３４に直角な軸線であって、鉛直な軸線まわりに回転可能に保持された回転部材としての回転体３４６と、回転部材駆動装置としての回転体駆動装置３４８とを含む。回転体駆動装置３４８は回転用モータ３５０（図２１参照）を駆動源とし、その回転が回転体３４６に固定のギヤ３５２等を含む回転伝達装置により回転体３４６に伝達され、回転体３４６が鉛直な回転軸線まわりに正逆両方向に任意の角度回転させられる。回転体３４６は円筒状を成し、その内周面にスプライン３５４が設けられてスプライン穴が設けられ、軸状部材３４０のスプライン３４４が軸方向に相対移動可能かつ相対回転不能に嵌合され、回転体３４６の回転により軸状部材３４０およびヘッド保持部３４２が鉛直軸線まわりに正逆両方向に任意の角度回転させられる。
【００５２】
前記ヘッド昇降装置３０８は、図１１に示すように、Ｙ軸スライド３２８に、鉛直方向に移動可能であって、昇降可能に設けられた昇降部材３６０と、駆動源としての昇降用モータ３６２（図２１参照）と、Ｙ軸スライド３２８に軸方向に相対移動不能かつ鉛直軸線まわりに回転可能に設けられたねじ軸としてのボールねじ３６４および昇降部材３６０に固定のナット３６６を含む送りねじ機構３６８とを含む。軸状部材３４０の上部は、昇降部材３６０により相対回転可能かつ軸方向に相対移動不能に保持されており、ボールねじ３６４が昇降用モータ３６２により回転させられ、昇降部材３６０が昇降させられることによりヘッド保持部材３０４がＹ軸スライド３２８に対して昇降させられ、鉛直方向に移動させられる。ヘッド昇降装置３０８は、ノズルヘッド３００，３０２と基板保持装置１６とを互いに接近，離間させる接近・離間装置であり、ヘッド移動装置３０６と共に、ノズルヘッド３００，３０２と基板保持装置１６とを、基板保持装置１６に対して相対移動させる相対移動装置を構成している。
【００５３】
軸状部材３４０内には、図１１に示すように、その軸線上に通路３７０が設けられるとともに、その外側に円環状通路３７２が設けられ、円環状通路３７２は負圧ポンプ等の負圧源３８０に接続されている。負圧源３８０から円環状通路３７２への負圧の供給は、開閉装置３８２により許容，遮断される。以後、円環状通路３７２を負圧供給通路３７２と称する。通路３７０は、コンプレッサ等の正圧源３８４および前記負圧源３８０に接続されている。通路３７０への正圧の供給と負圧の供給とは切換装置３８６により切り換えられ、正圧と負圧とが択一的に供給される。切換装置３８６により、通路３７０が大気に開放された状態も得られる。以後、通路３７０を正圧・負圧供給通路３７０と称する。
【００５４】
前記ヘッド保持部３４２は、図１１に示すように、その軸線に直角な一平面状を成し、水平で下向きの吸着面３９０を備えている。ヘッド保持部３４２には、吸着面３９０に開口し、その軸線を中心線とする円環状の負圧室用凹部３９２が形成され、通路３９４により負圧供給通路３７２に連通させられている。前記正圧・負圧供給通路３７０の下端部は、吸着面３９０に開口させられている。
【００５５】
前記マルチノズルヘッド３０２を説明する。
マルチノズルヘッド３０２は、特開２００６−２６１３２５公報に記載のマルチノズルヘッドと同様に構成されており、図１２に示すように、保持ヘッド本体としてのノズルヘッド本体（以後、ヘッド本体と略称する）４００，複数、本実施例では３つ以上、例えば、１２個のノズル取付部４０２，それぞれノズル取付部４０２に取り付けられた吸着ノズル４０４，複数の吸着ノズル４０４の各々について設けられたバルブ装置４０６およびノズル昇降装置４０８を備えている。 ヘッド本体４００は、製造の都合上、複数の部材が互いに組み付けられて成り、組付け後は一体のヘッド本体４００として機能する。
【００５６】
ヘッド本体４００は横断面形状が円形を成し、その軸線に平行な方向の一端部が被保持部４０９とされ、ヘッド本体４００の軸線に直角で一平面状の被吸着面４１０が設けられている。この被吸着面４１０が前記吸着面３９０に密着させられて負圧室用凹部３９２の開口が塞がれることにより、ヘッド吸着用負圧室４１２が形成され、負圧供給通路３７２からヘッド吸着用負圧室４１２に供給される負圧によってマルチノズルヘッド３０２がヘッド保持部材３０４により吸着され、同心に保持される。マルチノズルヘッド３０２はヘッド保持部材３０４により保持された状態では、軸線が上下（鉛直）方向となり、ヘッド保持部材３０４の昇降，回転により昇降，回転させられる。
【００５７】
ヘッド本体４００には、図１２に示すように、その回転軸線である中心軸線を中心とする一円周上に複数、本実施例では１２個の嵌合孔４２０が形成されている。これら嵌合孔４２０はそれぞれ、横断面形状が円形を成し、ヘッド本体４００の回転軸線に平行に延び、ヘッド本体４００の被吸着面４１０とは反対側の面に開口させられた有底孔であり、下方に開口させられている。
【００５８】
１２個の嵌合孔４２０にはそれぞれ、図１２に２つを示すように、昇降部材４２２が上下方向に相対移動可能であって、ヘッド本体５００の中心軸線に平行な方向に移動可能に嵌合されている。１２個の昇降部材４２２はいずれも、それぞれについて設けられた昇降駆動装置４２４により個々に昇降させられ、ヘッド本体４００の中心軸線と平行な方向に移動させられる。昇降駆動装置４２４は、ヘッド本体４００の嵌合孔４２０より外周側の部分に軸４２６により、嵌合孔４２０の中心線と直角に立体交差する水平な軸線まわりに回動可能に取り付けられた駆動部材としてのレバー４２８を備えている。レバー４２８は板状を成し、軸４２６から延び出させられた一方のアーム部４３０において、昇降部材４２２の上端部に、レバー４２８の回動軸線と平行に設けられた係合部としての軸状部４３２に相対回動可能に係合させられている。レバー４２８の他方のアーム部４３４は、軸４２６からヘッド本体４００の外へ延び出させられ、その延び出し端部に部分円筒面状を成す係合部４３６が下向きに設けられている。レバー４２８は、アーム部４３０とヘッド本体４００との間に配設された圧縮コイルスプリング４３８により、昇降部材４２２を上昇させる向きに付勢されている。このスプリング４３８の付勢によるレバー４２８の回動限度は、昇降部材４２２が嵌合孔４２０の底面に当接することにより規定される。昇降部材４２２の嵌合孔４２０の底面に当接する位置が上昇端位置である。
【００５９】
１２個の昇降部材４２２にはそれぞれ、図１２に２個を示すように、その内部に下方に開口する有底の嵌合孔４３９が形成され、各嵌合孔４３９に前記吸着ノズル４０４が軸方向に摺動可能にかつ相対回転不能に嵌合され、嵌合孔４３９から抜け出し不能に保持されている。吸着ノズル４０４内には、その中心を貫通して負圧孔（図示省略）が形成され、先端の吸着面に負圧が供給される。また、吸着ノズル４０４は、嵌合孔４３９の底面との間に配設された圧縮コイルスプリング４４０により、嵌合孔４３９から下方へ突出する向きに付勢されている。本マルチノズルヘッド３０２においては、嵌合孔４２０が設けられた部分がノズル取付部４０２を構成している。
【００６０】
前記昇降駆動装置４２４のレバー４２８は、図１２に示すように、前記回転体３４６に、マルチノズルヘッド３０２の回転軸線まわりに相対回転可能に設けられたレバー駆動部材４４２により駆動される。レバー駆動部材４４２は、回転体３４６およびリセット部材４４４により、それら回転体３４６およびリセット部材４４４に対して、ヘッド保持部材３０４の回転軸線であって、マルチノズルヘッド３０２の回転軸線まわりに相対回転可能に支持された回転体４４５の外周側から下方へ延び出させられ、旋回装置４４６により旋回させられる。旋回装置４４６は、図１１に示すように、駆動源としての旋回用モータ４４８と、回転体４４５の外周部に設けられたギヤ４５０およびギヤ４５０と噛み合わされたギヤ４５２を含む回転伝達機構４５５とを備え、レバー駆動部材４４２は、マルチノズルヘッド３０２のまわりを正逆両方向に任意の角度、旋回させられる。レバー駆動部材４４２は、その回転体４４５からの延び出し端部であって下端部に、その旋回軸線側であってマルチノズルヘッド３０２側に突出させられた係合部４５６を備えている。ヘッド保持部材３０４，ヘッド昇降装置３０８およびレバー駆動部材４４２はいずれもＹ軸スライド３２８に設けられ、共にヘッド移動装置３０６により移動させられる。レバー駆動部材４４２は、回転体３４６およびリセット部材４４４により支持されていて昇降させられず、ヘッド保持部材３０４はヘッド昇降装置３０８によって昇降させられるとき、レバー駆動部材４４２に対して昇降させられ、鉛直方向に相対移動させられる。
【００６１】
ヘッド保持部材３０４により保持されたマルチノズルヘッド３０２が下降させられるとき、レバー４２８も下降させられるが、その係合部４３６は、レバー駆動部材４４２の係合部４５４の上向きの係合面４５６に係合して下降を阻止される。それにより、マルチノズルヘッド３０２が更に下降させられるのに伴ってレバー４２８の回動軸線が係合部４３６に対して下降させられるとともに、レバー４２８がスプリング４３８の付勢力に抗して回動させられて昇降部材４２２が下降させられる。本マルチノズルヘッド３０２においてはアーム部４３０，４３４の長さが同じにされており、昇降部材４２２は、マルチノズルヘッド３０２の下降距離の２倍の距離下降させられ、１２個の昇降部材４２２のうち、電子回路部品の吸着あるいは装着を行う吸着ノズル４０４を保持した昇降部材４２２が、他の吸着ノズル４０４を保持した昇降部材４２２より下方へ突出させられ、吸着ノズル４０４が選択される。マルチノズルヘッド３０２の上昇時には、レバー４２８はスプリング４３８により付勢され、昇降部材４２２を上昇させる方向に回動させられ、昇降部材４２２がマルチノズルヘッド３０２と共に上昇させられつつ、ヘッド本体４００に対して上昇させられて上昇端位置へ戻り、その昇降部材４２２に保持された吸着ノズル４０４が他の吸着ノズル４０４と同じ高さの位置であって、選択されていない非選択位置に戻る。昇降部材４２２および昇降駆動装置４２４がノズル昇降装置４０８を構成している。
【００６２】
前記複数のバルブ装置４０６はそれぞれ、図１２に示すように、第１バルブ４６０および第２バルブ４６２を備えている。これら第１，第２バルブ４６０，４６２は、本実施例においてはいずれもスプールバルブとされており、それぞれ第１バルブスプール４６４，第２バルブスプール４６６を備えている。第１，第２バルブスプール４６４，４６６はそれぞれ、ヘッド本体４００に、マルチノズルヘッド３０２の軸線に平行な方向に相対移動可能に嵌合されている。
【００６３】
第１バルブスプール４６４は、図１２に示すように、前記負圧供給通路３７２からヘッド本体４００内に形成された負圧通路に供給される負圧の吸着ノズル４０４への供給を阻止する原位置と、原位置からヘッド本体４００に対して上昇させられた切換位置であって、吸着ノズル４０４への負圧の供給を許容する負圧供給位置とに移動させられる。また、第２バルブスプール４６６は、第１バルブスプール４６４への負圧の供給を許容するとともに、前記正圧・負圧供給通路３７０から、ヘッド本体４００内に形成された正圧通路に供給される正圧の吸着ノズル４０４への供給を阻止する原位置と、ヘッド本体４００に対して原位置から上昇させられ、第１バルブスプール４６４への負圧の供給を遮断するとともに、吸着ノズル４０４への正圧の供給を許容する正圧供給位置とに移動させられる。
【００６４】
これら第１，第２バルブスプール４６４，４６６はそれぞれ、前記レバー駆動部材４４２により、原位置から負圧供給位置，正圧供給位置へ移動させられる。そのため、第１，第２バルブスプール４６４，４６６の各上端部には、図１２に示すように、ヘッド本体４００から半径方向外向きに突出する係合部４７０，４７２が設けられ、マルチノズルヘッド３０２の下降時にレバー駆動部材４４２の係合面４５６に係合して下降を阻止され、ヘッド本体４００に対して上昇させられる。それぞれ負圧供給位置と正圧供給位置とに移動させられた第１，第２バルブスプール４６４，４６６は、マルチノズルヘッド３０２が、電子回路部品の吸着，装着時における上昇端位置より更に上方へ移動させられることにより、前記リセット部材４４４によってヘッド本体４００に対して下降させられ、原位置へ戻される。
【００６５】
さらに、レバー駆動部材４４２の係合部４５４の下面４７８には、図１１ないし図１３に示すように、基準マーク４８０が設けられている。基準マーク４８０は、図１３に示すように、例えば、円形を成す。基準マーク４８０は、例えば、印刷，シールの貼付等により設けられるが、いずれにしても、基準マーク４８０と、下面４７８等、レバー駆動部材４４２の基準マーク４８０以外の部分とでは光の反射率が大きく異ならされ、撮像時に基準マーク８０の像が明瞭に形成されるようにされている。例えば、色，輝度，材料等の選択により反射率が異ならされる。基準マーク４８０は、レバー駆動部材４４２が旋回させられることにより、ヘッド保持部材３０４の軸線まわりの任意の位置へ移動させられる。
【００６６】
この基準マーク４８０は、特開２００８−２１７３４公報に記載されているように、シングルノズルヘッド３００がヘッド保持部材３０４により保持され、電子回路部品の回路基板３２への装着を行う際に、シングルノズルヘッド３００による電子回路部品の保持位置誤差を取得する際に使用される。後述するように、シングルノズルヘッド３００により保持された電子回路部品は部品撮像装置により撮像されるが、その際、図１４に示すように、電子回路部品４８２と共に基準マーク４８０が撮像され、基準マーク４８０の像の中心の位置と、基準マーク４８０の中心とシングルノズルヘッド３００の回転軸線（シングルノズルヘッド３００に保持された吸着ノズルの回転軸線）との設計上の距離（基準マーク４８０の回転半径）と、基準マーク４８０のノズル回転軸線まわりにおける回転位置とに基づいて、部品撮像装置の撮像面４８４（図１４参照）上におけるノズル回転軸線の位置が取得され、吸着ノズルと部品撮像装置との相対位置決め誤差の影響を受けることなく、吸着ノズルによる電子回路部品の保持位置が精度良く検出されるようにされるのである。吸着ノズルは電子回路部品を吸着した状態では電子回路部品に隠れ、撮像されず、吸着ノズルの回転軸線の位置を直接取得することができないため、基準マーク４８０を用いて吸着ノズルの回転軸線の位置が取得される。ヘッド回転軸線の位置は、電子回路部品装着システムの運転中一定時間毎に取得されてもよく、電子回路部品の保持位置誤差の検出の際、毎回取得されてもよい。
【００６７】
基準マーク４８０は、シングルノズルヘッド３００に保持された電子回路部品とは、ヘッド回転軸線に平行な方向における位置がほぼ同じであり、電子回路部品の形状，寸法によっては、シングルノズルヘッド３００に保持された電子回路部品とレバー駆動部材４４２の係合部４５４とが干渉する恐れがある。基準マーク４８０はヘッド保持部材３０４に対して回転させられるレバー駆動部材４４２に設けられており、シングルノズルヘッド３００に対して回転可能であり、シングルノズルヘッド３００がヘッド保持部材３０４に保持され、フィーダ型部品供給装置１２あるいは１４から電子回路部品を取り出す際に、吸着ノズルにより吸着された電子回路部品とレバー駆動部材４４２の係合部４５４とが干渉する恐れがあるのであれば、レバー駆動部材４４２が旋回させられ、電子回路部品と干渉せず、かつ、基準マーク４８０が電子回路部品と共に撮像される位置へ移動させられる。また、撮像後、図１４に示すように、電子回路部品の姿勢が変更される場合、レバー駆動部材４４２がシングルノズルヘッド３００の回転により回転させられる電子回路部品と干渉するのであれば、レバー駆動部材４４２はシングルノズルヘッド３００と同期して回転させられ、係合部４５４の電子回路部品との干渉が回避されるようにされる。
【００６８】
前記シングルノズルヘッド３００を説明する。
シングルノズルヘッド３００は、マルチノズルヘッド３０２と同様に、ヘッド保持部３４２によって負圧により吸着されて保持され、ヘッド保持部材３０４によりシングルノズルヘッド３００とマルチノズルヘッド３０２とが選択的に保持される。そのため、シングルノズルヘッド３００の保持ヘッド本体たるノズルヘッド本体（以後、ヘッド本体と略称する）５００は、図１５および図１７に示すように、横断面形状が円形を成す被保持部５０２を有し、その軸線に直角な被吸着面５０４を有する。シングルノズルヘッド３００は、被保持部５０２により前記ヘッド保持部材３０４の負圧室用凹部３９２の開口を塞いでヘッド吸着用負圧室５０５を形成し、負圧供給通路３７２からヘッド吸着用負圧室５０５（図１１参照）に供給される負圧により、被吸着面５０４において吸着面３９０に同心状に吸着される。シングルノズルヘッド３００がヘッド保持部材３０４によって保持された状態では、被保持部５０２の中心を軸線に平行な方向に貫通して形成された通路５０６（図１６および図１７参照）が、前記正圧・負圧供給通路３７０に連通させられる状態となる。
【００６９】
ヘッド本体５００はまた、図１６および図１７に示すように、被保持部５０２の被吸着面５０４とは反対側の面から突出させられた１対の支持部５１０を有し、ノズル保持体５１２が、ヘッド本体５００の軸線（被保持部５０２の軸線をヘッド本体５００およびシングルノズルヘッド３００の軸線とする）と直交する軸線まわりに回動可能に支持され、ノズル保持部を構成している。
【００７０】
ノズル保持体５１２は、図１６に示すように、その長手方向の一端部を除く部分は筒状を成し、横断面形状が多角形状、例えば、八角形状の保持部５１４とされている。ノズル保持体５１２には、保持部５１４の互いに平行な２つの外側面の上記一端部側の部分からそれぞれ軸部５１６が、ノズル保持体５１２の軸線である中心軸線と直交する向きに同心状に延び出させられており、これら軸部５１６において１対の支持部５１０により回動可能に支持されている。ノズル保持体５１２の回動軸線は、シングルノズルヘッド３００がヘッド保持部材３０４によって保持された状態では水平となる。ノズル保持体５１２の上記一端部は、ノズル保持体５１２の軸線と回動軸線との交点を中心とする球の一部に相当する形状の嵌合部５１８とされ、ヘッド本体５００に設けられた凹部５２０に回動可能に嵌合されている。凹部５２０の内側面は、嵌合部５１８の外側面に対応する部分球面状を成し、ヘッド本体５００の軸線上の１点を中心として形成され、嵌合部５１８は凹部５２０に沿って回動させられる。
【００７１】
ノズル保持体５１２には、図１６に示すように、嵌合部５１８とは反対側の端部に開口する有底の嵌合孔５２６が形成され、吸着ノズル５２８が軸方向に摺動可能かつ相対回転不能に嵌合されるとともに、嵌合孔５２６の底面との間に配設された圧縮コイルスプリング５３０により、嵌合孔５２６から突出する向きに付勢されている。吸着ノズル５２８はその軸線に直角で一平面状の吸着面５３２を有する。吸着ノズル５２８がノズル保持体５１２に保持された状態では、ノズル保持体５１２の回動軸線は吸着面５３２と平行となる。
【００７２】
ノズル保持体５１２がヘッド本体５００に保持された状態では、嵌合部５１８の中心を貫通して形成され、嵌合孔５２６に連通させられた通路５４０が、被保持部５０２に形成された通路５０６に連通させられ、正圧・負圧供給通路３７０から吸着ノズル５２８に正圧と負圧とが選択的に供給される状態となる。通路５４０は通路５０６より直径が大きく、ノズル保持体５１２がヘッド本体５００に対して回動端位置まで回動させられても、通路５０６と連通した状態に保たれ、吸着ノズル５２８への負圧の供給が維持されるとともに、凹部５２０から外れず、外部に連通させられて負圧が漏れることがないように形成されている。嵌合部５１８には、図１６に示すように、通路５４０の外周側に円環状のシール部材５４２が埋設され、負圧の漏れが防止されている。
【００７３】
シングルノズルヘッド３００には、ノズル保持体５１２を、その回動軸線のまわりに回動させる回動装置の一部である保持ヘッド側ノズル保持部駆動装置５５０が設けられている。保持ヘッド側ノズル保持部駆動装置５５０は、図１５，図１６および図１８に示すように、可動部材としてのレバーの一種であるベルクランクレバー５５２および運動変換機構５５４を含む。
【００７４】
ベルクランクレバー５５２は、図１５ないし図１８に示すように、第１レバー部５６０および第２レバー部５６２を含む。本ベルクランクレバー５５２では、これらレバー部５６０，５６２は別体に形成され、余剰運動吸収装置５７４を介して第１レバー部５６０の回動が第２レバー部５６２に伝達され、レバー部５６０，５６２が常には一体的に回動させられてベルクランクレバーとして機能するようにされている。
【００７５】
第２レバー部５６２は、図１５および図１６に示すように板状を成し、ヘッド本体５００の一方の支持部５１０に、その内側面、すなわちノズル保持体５１２側の面に開口させられた扇形の凹部５６８に収容されるとともに、図１６に示すように、その長手方向の一端部に突設された軸部５７０が、支持部５１０の、ノズル保持体５１２を回動可能に支持する部分から離れた位置であって、ノズル保持体５１２の回動軸線から、その回動軸線に直角な方向に隔たった位置において、ノズル保持体５１２の回動軸線と平行に延びる軸線まわりに回動可能に支持されている。軸部５７０は支持部５１０から外方へ突出させられるとともに、その突出部に、図１６および図１８に示すように、横断面形状が非円形形状の一種であるほぼ正方形状を成す回動伝達部５７２が設けられている。
【００７６】
前記第１レバー部５６０は、図１７に示すように、平面視の形状がコの字形を成し、１対の脚部５７８，５８０の一方である脚部５７８は、図１６に示すように、ヘッド本体５００の１対の支持部５１０のうち、第２レバー部５６２が保持された支持部５１０とは反対側の支持部５１０により、第２レバー部５６２の回動軸線と同心の回動軸線まわりに回動可能に支持されている。他方の脚部５８０は、図１６および図１８に示すように、前記余剰運動吸収装置５６４を介して第２レバー部５６２の回動伝達部５７２に嵌合されている。
【００７７】
余剰運動吸収装置５６４は、図１８に示すように、保持部材たるリング５８２に保持された複数、本実施例では４つの弾性部材の一種であるゴム５８４を含む。リング５８２は、外周面は円筒面状を成し、内周面は、横断面形状がほぼ正方形状を成す。４つのゴム５８４はそれぞれ、横断面形状がほぼ三角形状の長手形状を成す。リング５８２は回転伝達部５７２の外側に、その内周面および回転伝達部５７２の各横断面形状を成す正方形が位相を４５度異にする状態で嵌合されるとともに、リング５８２の内周面の４つの角部と、回転伝達部５７２の４つの側面との間にそれぞれ、ゴム５８４が弾性変形させられた状態で挟まれ、リング５８２と回転伝達部５７２とに係合させられた状態で配設されている。
【００７８】
第１レバー部５６０の他方の脚部５８０には、図１８に示すように、リング５８２の外側に嵌合される嵌合穴５８６が形成されるとともに、その嵌合穴５８６を画定する部分に、脚部５８０の外面から嵌合穴５８６に至るスリット５８８が形成されており、脚部５８０は嵌合穴５８６においてリング５８２に嵌合された状態でボルト５９０が螺合され、スリット５８８が収縮させられることによりリング５８２を締め付け、固定される。
【００７９】
それにより、第１レバー部５６０はヘッド本体５００に、第２レバー部５６２の回動軸線のまわりに回動可能に取り付けられ、第１レバー部５６０が回動させられれば、その回動はゴム５８４および回動伝達部５７２によって第２レバー部５６２に伝達される。第２レバー部５６２の回動が許容される状態では、第１，第２レバー部５６０，５６２が一体的に回動させられ、第２レバー部５６２の回動が阻止された状態において第１レバー部５６０が回動させられるとき、ゴム５８４の弾性変形により第１レバー部５６０の第２レバー部５６２に対する回動が許容される。
【００８０】
図１５および図１７に示すように、第１レバー部５６０の１対の脚部５７８，５８０の間の部分に腕部５９４，５９６がヘッド本体５００から離れる向きに突設されている。これら腕部５９４，５９６は、シングルノズルヘッド３００の軸線上の１点を中心とする１円周の半径方向に延び出す向きに設けられ、ノズル保持体５１２の回動軸線から外れた位置に設けられ、一平面内に位置するが、シングルノズルヘッド３００の軸線まわりの位置を異にする。腕部５９４は、その先端部が、シングルノズルヘッド３００がヘッド保持部材３０４により保持された状態では、シングルノズルヘッド３００の軸線に平行な方向から見た場合に、その軸線と直交する方向において、前記レバー駆動部材４４２の係合部４５４の基準マーク４８０が設けられた部分と同じ位置に位置する長さを有し、その先端部の下面には、図１５および図１８に示すように、先端よりやや基端部側の部分が上方へくぼまされて逃げ部ないし凹部５９８が設けられ、それにより腕部５９４の先端部に下方に突の下向き係合突部６００が設けられている。下向き係合突部６００の下側面は、部分円筒面状を成す。
【００８１】
腕部５９６は、腕部５９４より長く、図１５および図１７に示すように、その先端部が、レバー駆動部材４４２の係合部４５４の、基準マーク４８０より外周側の部分に至る長さを有する。この先端部の上面には、図１５および図１８に示すように、先端よりやや基端部側の部分が下方へくぼまされて逃げ部ないし凹部６０４が設けられ、それにより腕部５９６の先端部に上方に突の上向き係合突部６０６が設けられている。上向き係合突部６０６の上側面は、部分円筒面状を成す。腕部５９６にはまた、図１７に示すように、その先端部の下面に、被認識部材ないし情報記録部材の一種であるバーコード６０８が設けられている。本バーコード６０８は、シングルノズルヘッド３００の種類を規定するデータ等を有するものとされている。
【００８２】
前記運動変換機構５５４は、図１５および図１６に示すように、前記ベルクランクレバー５５２の第２レバー部５６２の自由端部に設けられた駆動部たる溝６２０と、前記ノズル保持体５１２の保持部５１４の外面に突設された被駆動部たる突部６２２とを含む。溝６２０は、第２レバー部５６２の自由端部に開口させられるとともに、本実施例では、第２レバー部５６２の回動軸線と直交する方向に形成され、ベルクランクレバー５５２の回動軸線から離れた部位に設けられている。
【００８３】
また、突部６２２は横断面形状が円形を成し、ノズル保持体５１２の、その回動軸線に直角な外側面であって、前記１対の軸部５１６の一方が設けられた外側面の一方であって、第２レバー部５６２と対向する側の外側面のノズル保持体５１２の回動軸線から離れた部位、本実施例では、ノズル保持体５１２の回動軸線および中心軸線を含む平面と、その平面と直交し、回動軸線を含む平面とのいずれからも外れた部位に、その回動軸線と平行に突設され、溝６２０に、溝６２０の長手方向には相対移動可能であるが、第２レバー部５６２の回動軸線を中心とする円の周方向には相対移動不能に嵌合されている。したがって、第２レバー部５６２が回動させられれば、溝６２０の移動に伴って突部６２２が溝６２０に対して溝６２０の長手方向に移動させられつつ、第２レバー部５６２と共に移動させられ、ノズル保持体５１２が回動させられる。
【００８４】
本実施例では、ノズル保持体５１２の回動軸線と突部６２２の軸線との距離は、突部６２２の軸線とベルクランクレバー５５２の回動軸線との距離より短くされており、ノズル保持体５１２は第２レバー部５６２より大きい角度、回動させられる。本運動変換機構５５４は増角機能を備えた機構であり、それにより、後述するように、レバー駆動部材４４２を利用してノズル保持体５１２を回動させるにあたり、ノズル保持体５１２を所定の角度、回動させ、第２位置へ回動させることができる。
【００８５】
ヘッド本体５００には、図１５および図１７に示すように、ノズル保持体５１２の回動限度を規定する第１ストッパ６３０および第２ストッパ６３２が設けられている。これらストッパ６３０，６３２は、ヘッド本体５００の、ノズル保持体５１２の回動軸線およびヘッド本体５００の軸線に直角な方向に隔たった２箇所に設けられ、ノズル保持体５１２の回動平面内に設けられている。第１ストッパ６３０は、ヘッド本体５００の１対の支持部５１０の、ノズル保持体５１２に対して前記第１レバー部５６０の腕部５９４，５９６が設けられた側に設けられ、それら支持部５１０に取り付けられたブラケット６３４に、ヘッド本体５００の軸線と直交する向きに螺合されたボルト６３６により構成されている。第１ストッパ６３０は、図１５に実線で示すノズル保持体５１２の保持部５１４の、ノズル保持体５１２の回動軸線に平行な１対の外側面の一方により構成される一平面状の被ストッパ部たる被ストッパ面６３８（図１７参照）に当接し、ノズル保持体５１２の回動限度を、吸着ノズル５２８の吸着面５３２が水平となる第１位置に規定する。ノズル保持体５１２は、第１位置に位置する状態ではヘッド本体５００と同心となる。
【００８６】
第２ストッパ６３２は、図１５および図１７に示すように、ヘッド本体５００のノズル保持体５１２に対して第１ストッパ６３０が設けられた側とは反対側に設けられ、１対の支持部５１０に取り付けられたブラケット６４０に螺合されたボルト６４２により構成されている。このボルト６４２は、ヘッド本体５００の軸線に対して傾斜する向きに螺合され、図１５に二点鎖線で示すノズル保持体５１２の被保持部５１４の、ノズル保持体５１２の前記ノズル保持体５１２の回動軸線に平行な１対の外側面の他方により構成される一平面状の被ストッパ面６４４（図１７参照）に当接し、ノズル保持体５１２の回動限度を、第１位置から回動させられ、吸着面５３２が傾斜する位置である第２位置に規定する。第２位置は、吸着ノズル５２８の軸線がスティック型フィーダ６０に収容された電子回路部品に対して直角となる位置である。これら第１，第２ストッパ６３０，６３２はそれぞれ、図１５に示すように、ボルト６３６，６４２が、ノズル保持体５１２の回動軸線から離れた自由端部に近い側の部分に当接するように設けられ、第１，第２位置のいずれも、ボルト６３６，６４２の螺合量の調節により調節可能である。また、被ストッパ面６３８，６４４は一平面状を成し、ボルト６３６，６４２が安定して当接し、ノズル保持体５１２が第１位置，第２位置に安定して位置決めされる。
【００８７】
ヘッド本体５００にはまた、ノズル保持体５１２を第１位置と第２位置とにそれぞれ保持する回動位置保持装置６５０が設けられている。回動位置保持装置６５０は、本実施例では、図１９に示すように、１対の押さえ具６５２，６５４を含む。押さえ具６５２，６５４は、ケーシング６５６と、ケーシング６５６内に移動可能に収容された係合部材ないし摩擦部材としての樹脂製のシュー６５８と、シュー６５８をケーシング６５６から突出する向きに付勢するスプリング６６０とを含み、ケーシング６５６において、ヘッド本体５００の１対の支持部５１０のそれぞれ、ノズル保持体５１２の自由端部側の部分に、ヘッド本体５００の軸線と直角に立体交差する方向であり、ノズル保持体５１２の回動軸線と平行な方向であって、水平方向に螺合されている。シュー６５８は、円柱状を成し、ケーシング６５６内に軸方向に摺動可能に嵌合されるとともに、一端部がケーシング６５６の開口から突出させられ、スプリング６６０の付勢により、図１６および図１９に示すように、その一平面状の摩擦面ないし係合面６６１がノズル保持体５１２の保持部５１４の外面に設けられた１対の被係合部たる被係合面６６２の一方に係合させられている。
【００８８】
１対の被係合面６６２は、一方を図２０に示すように、ノズル保持体５１２の保持部５１４の、ノズル保持体５１２の回動軸線に対して直角な１対の外側面であって、前記１対の軸部５１６がそれぞれ延び出させられた１対の外側面にそれぞれ開口し、ノズル保持体５１２の中心軸線およびノズル保持体５１２の回動軸線に対して直角に立体交差する方向に貫通して形成された溝の底面により構成され、上記方向に長い平面状を成し、ノズル保持体５１２の回動軸線を中心とする円弧を含む状態で形成されている。したがって、ノズル保持体５１２が第１，第２位置のいずれに回動させられた状態でも常時、押さえ具６５２，６５４がそれぞれ被係合面６６２と対向する状態が得られる。シュー６５８は、ノズル保持体５１２の回動時には、被係合面６６２に対して滑り、ノズル保持体５１２の回動を許容し、ノズル保持体５１２の回動がストッパ６３０，６３２によって止められた状態では、スプリング６６０の付勢により被係合面６６２に押し付けられて係合した状態に保たれ、被係合面６６２との間の摩擦力によりノズル保持体５１２を第１位置あるいは第２位置に位置する状態に保つ。シュー６５８はブレーキとして機能するのであり、被係合面６６２と係合可能な位置であれば、いずれの位置においてもノズル保持体５１２の位置を保つ。そのため、前記第１，第２ストッパ６３０，６３２による回動限度規定位置が調節され、第１，第２位置が調節されても、回動位置保持装置６５０によりノズル保持体５１２を第１，第２位置に位置する状態に保つことができる。
【００８９】
さらに、図１に概略的に示すように、前記ヘッド移動装置３０６のＸ軸スライド３２０には２組の部品撮像システム６７０が設けられている。これら部品撮像システム６７０はそれぞれ、部品撮像装置６７２（図２１参照）および照明装置（図示省略）を含む。部品撮像装置は、撮像デバイスの一種であるＣＣＤカメラにより構成され、面撮像装置であり、マルチノズルヘッド３０２が全部のノズル取付部４０２によって吸着ノズル４０４が保持された状態において、全部の吸着ノズル４０４がそれぞれ保持した電子回路部品を一挙に撮像することができるものとされている。また、Ｙ軸スライド３２８にはマーク撮像システム６７４が設けられ、ヘッド保持部材３０４と共に水平面内の任意の位置へ移動させられる。マーク撮像システム６７４は、マーク撮像装置６７６（図２１参照）および照明装置（図示省略）を含み、回路基板３２に設けられた基準マーク６７７（図１参照）を撮像する。マーク撮像装置６７６は、例えば、ＣＣＤカメラにより構成されている。
【００９０】
また、前記保持ヘッド収納装置２０は、図１に示すように、ベッド３０に設けられている。保持ヘッド収納装置２０は複数のヘッド収納部６７８を備え、前記シングルノズルヘッド３００およびマルチノズルヘッド３０２が少なくとも１つずつ収納される。
【００９１】
前記制御装置２２は、図２１に示すように、ＣＰＵ６８０，ＲＯＭ６８２，ＲＡＭ６８４およびそれらを接続するバス６８８を含む制御コンピュータ６９０を主体とするものであり、入・出力部６９２には、部品撮像装置６７２およびマーク撮像装置６７６の撮像により得られた画像データを処理する画像処理コンピュータ６９４，エンコーダ付サーボモータのエンコーダ６９６等が接続されている。本システムを構成する各種装置の駆動源の多くはエンコーダ付サーボモータにより構成され、それらエンコーダが接続されているのである。サーボモータは、回転角度の正確な制御が可能な電動回転モータであり、サーボモータに代えてステップモータを用いてもよい。リニアモータを用いてもよい。入・出力部６９２にはまた、前記スティック型フィーダ６０のフィーダ制御コンピュータ２４２が接続されている。入・出力部６９２にはさらに、駆動回路７００を介してＸ軸移動用モータ３２４等、種々のアクチュエータ等が接続されている。また、ＲＯＭ６８２には、図示を省略するメインルーチン，部品装着プログラム等、種々のデータおよびプログラム等が記憶させられている。
【００９２】
以上のように構成された電子回路部品装着システムにおいて回路基板３２への電子回路部品の装着時には、装着される電子回路部品の種類に応じて、ヘッド保持部材３０４によりシングルノズルヘッド３００とマルチノズルヘッド３０２とが選択的に保持され、フィーダ型部品供給装置１２，１４からの電子回路部品の受取りおよび回路基板３２への装着を行う。
【００９３】
マルチノズルヘッド３０２の使用による電子回路部品の回路基板３２への装着を説明する。この装着動作は、特開２００６−２６１３２５公報等により既に知られており、簡単に説明する。
マルチノズルヘッド３０２を吸着し、保持したヘッド保持部材３０４は、フィーダ型部品供給装置１２，１４の一方へ移動させられ、フィーダ支持台４０に取り付けられたフィーダ、例えば、テープ型フィーダ５８から電子回路部品を受け取る。この際、マルチノズルヘッド３０２がヘッド回転装置３１０によって回転させられることにより、１２個の吸着ノズル４０４が順次、予め設定された部品吸着位置へ旋回させられる。レバー駆動部材４４２は、部品吸着位置へ旋回させられており、マルチノズルヘッド３０２がヘッド昇降装置３０８によって下降させられる途中で、ノズル昇降装置３０８のレバー４２８の係合部４３６がレバー駆動部材４４２の係合部４５４の上向きの係合面４５６に係合して回動させられ、吸着ノズル４０４が選択されて電子回路部品を吸着する。また、マルチノズルヘッド３０２の下降の途中で第１バルブ４６０の第１バルブスプール４６４の係合部４７０が係合面４５６に係合し、第１バルブスプール４６４が原位置から負圧供給位置へ移動させられ、吸着ノズル４０４に負圧が供給されて電子回路部品が吸着される。そして、マルチノズルヘッド３０２の上昇により吸着ノズル４０４が上昇させられ、電子回路部品がテープ型フィーダ５８から取り出される。この上昇時にレバー４２８がスプリング４３８により付勢されてヘッド本体４００に対して上昇させられ、吸着ノズル４０４が非選択位置へ復帰させられる。
【００９４】
１２個の吸着ノズル４０４が順次、部品吸着位置へ旋回させられ、マルチノズルヘッド３０２の昇降により電子回路部品を吸着する。全部の吸着ノズル４０４が電子回路部品を吸着したならば、マルチノズルヘッド３０２は回路基板３２へ移動させられて電子回路部品を装着するが、その移動の途中で部品撮像装置６７２により電子回路部品が撮像され、吸着ノズル４０４による電子回路部品の保持位置誤差が算出される。この保持位置誤差には、Ｘ軸，Ｙ軸方向における各位置誤差および軸線まわりの位置誤差である回転位置誤差が含まれ、それら位置誤差は、回路基板３２の基準マーク６７７の撮像により得られる部品装着箇所のＸ軸，Ｙ軸方向における各位置誤差および回転位置誤差と合わせて修正される。
【００９５】
Ｘ軸，Ｙ軸方向における各位置誤差は、マルチノズルヘッド３０２の移動位置の修正により修正され、回転位置誤差は、マルチノズルヘッド３０２を回転させることにより修正される。この回転による電子回路部品のＸ軸，Ｙ軸方向の位置ずれも修正される。そして、レバー駆動部材４４２は、回路基板３２に装着される電子回路部品を保持した吸着ノズル４０４に追従して旋回させられ、その吸着ノズル４０４が位置する位置に位置させられる。そのため、電子回路部品の装着時にマルチノズルヘッド３０２が下降させられるとき、その下降の途中でレバー４２８の係合部４３６がレバー駆動部材４４２の係合面４５６に係合し、電子回路部品を装着する吸着ノズル４０４が選択された状態で下降させられ、電子回路部品を回路基板３２に装着する。また、第２バルブ４６２の第２バルブスプール４６６の係合部４７２が係合面４５６に係合し、ヘッド本体４００に対して上昇させられて、原位置から正圧供給位置へ移動させられ、吸着ノズル４０４への負圧の供給が遮断されるとともに正圧が供給され、吸着ノズル４０４が電子回路部品を積極的に解放する。そして、マルチノズルヘッド３０２が上昇させられるとともに移動させられ、全部の吸着ノズル４０４が順次、部品装着箇所へ移動させられ、電子回路部品を回路基板３２に装着する。レバー駆動部材４４２の係合部４５４の係合面４５６は、レバー４２８の係合部４３６と、第１，第２バルブスプール４６４，４６６の係合部４７０，４７２の一方とが同時に係合し得る幅を有し、レバー駆動部材４４２は、吸着ノズル４０４による電子回路部品の吸着時には、係合部４３６および第１バルブスプール４６４の係合部４７０と係合する位置へ旋回させられ、電子回路部品の装着時には、係合部４３６および第２バルブスプール４６６の係合部４７２と係合する位置へ旋回させられる。
【００９６】
シングルノズルヘッド３００を使用した電子回路部品の回路基板３２への装着を説明する。回路基板３２への電子回路部品の装着にシングルノズルヘッド３００が使用される場合、ヘッド保持部材３０４はシングルノズルヘッド３００を吸着し、同心に保持する。シングルノズルヘッド３００を保持したヘッド保持部材３０４は、回路基板３２への電子回路部品の装着開始に先立って部品撮像装置６７２へ移動させられ、第１レバー部５６０の腕部５９６に設けられたバーコード６０８が撮像され、その撮像データが画像処理されて、記録された情報内容が読み取られる。それにより、ヘッド保持部材３０４が保持すべき種類のシングルノズルヘッド３００を保持しているか否かが判定され、間違った種類のシングルノズルヘッド３００あるいはマルチノズルヘッド３０２を保持している場合には、保持ヘッド収納装置２０へ移動させられて空のヘッド収納部６７８にノズルヘッドを収納し、保持すべきシングルノズルヘッド３００を保持する。そして、シングルノズルヘッド３００により、スティック型フィーダ６０によって供給される電子回路部品、例えば、前記電子回路部品９２を回路基板３２に装着するのであれば、シングルノズルヘッド３００はスティック型フィーダ６０へ移動させられ、電子回路部品９２を取り出す。本フィーダ支持台４０にはテープ型フィーダ５８もスティック型フィーダ６０も取り付けることができ、電子回路部品装着システムにおける電子回路部品供給の一態様として、図１に示すように、２つのフィーダ型部品供給装置１２，１４の各フィーダ支持台４０にそれぞれ、テープ型フィーダ５８およびスティック型フィーダ６０がそれぞれ、複数ずつ取り付けられている。電子回路部品供給の別の態様として、２つのフィーダ型部品供給装置１２，１４の一方の全部あるいは一部にスティック型フィーダ６０が設けられてもよく、両方の全部にスティック型フィーダ６０が設けられてもよい。
【００９７】
スティック型フィーダ６０は、シングルノズルヘッド３００による電子回路部品９２の取出しに備えて待機する状態では、図２６(d)に示すように、電子回路部品９２がシュート６６の取出口１５２に対応する位置に位置させられ、その電子回路部品９２を除く電子回路部品９２であって、シュート６６内に位置する複数の電子回路部品９２のうち、先頭の電子回路部品９２はエスケープメント１７０の爪部材２００ａが前面に係合して移動を阻止され、後続の電子回路部品９２は爪部材２００ｂが本体９４に係合し、移動を阻止された状態にある。
【００９８】
シングルノズルヘッド３００においてノズル保持体５１２は、電子回路部品の回路基板３２への装着時に第１位置に位置させられているが、傾斜させられたスティック型フィーダ４０から電子回路部品を取り出す際には、第２位置へ回動させられ、吸着ノズル５２８が電子回路部品９２に対して直角となるようにされる。第１位置は部品装着位置であり、第２位置は部品吸着位置ないし部品取出位置である。そのため、ヘッド保持部材３０４はヘッド移動装置３０６によりスティック型フィーダ６０の１つへ移動させられるが、その途中でノズル保持体５１２が第１位置から第２位置へ回動させられる。
【００９９】
ノズル保持体５１２を回動させるために、シングルノズルヘッド３００が下降させられるが、その下降開始に先立ってレバー駆動部材４４２が旋回させられ、図２２に示すように、その係合部４５４が、保持ヘッド側ノズル保持部駆動装置５５０の第１レバー部５６０の腕部５９４と位相が一致する位置へ移動させられる。そのため、図２６(a)に示すように、シングルノズルヘッド３００は、その下降の途中で腕部５９４の下向き係合突部６００が、レバー駆動部材４４２の係合部４５４の係合面４５６に係合し、下降を阻止されるが、シングルノズルヘッド３００は更に下降させられるため、第１レバー部５６０の回動軸線側の部分が下降させられ、図２３に示すように、第１レバー部５６０がヘッド本体５００に対して回動させられる。それにより第２レバー部５６２が回動させられ、その回動運動が運動変換機構５５４によりノズル保持体５１２の回動運動に変換され、図２３および図２６(b)に示すように、ノズル保持体５１２が回動させられる。ノズル保持体５１２は第２ストッパ６３２のボルト６４２に当接するまで回動させられ、第２位置において停止させられる。このように第１レバー部５６０が回動させられるとき、凹部５９８により腕部５９４と係合部４５４の先端部との干渉が回避され、下向き係合突部６００が係合面４５６に係合した状態に保たれる。
【０１００】
ノズル保持体５１２が回動させられる間、押さえ具６５２，６５４のシュー６５８はノズル保持体５１２の被係合面６６２に対して滑り、ノズル保持体５１２の回動を許容し、ノズル保持体５１２が移動を停止した状態では、スプリング６６０により被係合面６６２に押し付けられ、摩擦力によりノズル保持体５１２を第２位置に位置する状態に保つ。そのため、レバー駆動部材４４２が旋回させられ、第１レバー部５６０との係合から外れても、保持体５１２は押さえ具６５２，６５４によって第２位置に位置する状態に保たれる。シュー６５８は面で被係合面６６２に当たり、ノズル保持体５１２を安定して第２位置に位置する状態に保つ。
【０１０１】
シングルノズルヘッド３００は、ノズル保持体５１２がボルト６４２に当接し、第２位置へ到達した状態から更に小距離下降させられる。そのため、第１レバー部５６０には、ノズル保持体５１２の第２位置への回動後も、ノズル保持体５１２を第２位置へ回動させる向きの力が作用するが、第１レバー部５６０と第２レバー部５６２とは余剰運動吸収装置５６４を介して嵌合されており、第１レバー部５６０はゴム５８４を弾性変形させて第２レバー部５６２に対して回動し、ゴム５８４の弾性変形により、ノズル保持体５１２が第２位置へ回動した後の下向き係合突部６００が係合部４５４に係合した状態におけるシングルノズルヘッド３００の下降が吸収，許容され、ノズル保持体５１２が損傷を回避しつつ確実に第２位置に回動させられる。
【０１０２】
シングルノズルヘッド３００は、ノズル保持体５１２を第２位置へ回動させるために予め設定された位置まで下降させられた後、小距離上昇させられ、下向き係合突部６００がレバー駆動部材４４２の係合部４５４から離間させられる。シングルノズルヘッド３００の上昇開始時には、第１レバー部５６０がゴム５８４の弾性復元力により、第２レバー部５６２に対して回動させられた分、戻され、その状態から更にシングルノズルヘッド３００が上昇させられることにより、図２６(c)に示すように、下向き係合突部６００が係合部４５４から離間させられる。シングルノズルヘッド３００は低速で上昇させられ、第１レバー部５６０がゴム５８４の弾性復元力によりゆっくり回動させられる。そのため、この第１レバー部５６０の回動は、ノズル保持体５１２を第２位置へ回動させる際とは逆方向の回動であるが、第２レバー部５６２に伝達されることがなく、ノズル保持体５１２が第２位置へ回動させられた状態に確実に保たれる。また、第１レバー部５６０は、図２３に示すように、ヘッド本体５００に対して回動し、ノズル保持体５１２をちょうど第２位置へ回動させた位置に位置する状態となる。このようにシングルノズルヘッド３００が上昇させられ、下向き係合突部６００が係合部４５４から離間した後、レバー駆動部材４４２が旋回させられ、図２６(d)にレバー駆動部材４４２を図示しないように、第１レバー部５６０の腕部５９４，５９６とは位相を異にする位置へ移動させられ、シングルノズルヘッド３００の下降を許容する。
【０１０３】
なお、フィーダ型部品供給装置１２，１４は、基板搬送装置１０の両側に設けられ、左右対称に設けられており、シングルノズルヘッド３００がフィーダ型部品供給装置１２，１４のいずれのスティック型フィーダ６０から電子回路部品を受け取るかによって、第２位置に位置する状態におけるノズル保持体５１２の向きが逆になる。したがって、電子回路部品を受け取るスティック型フィーダ６０を有する部品供給装置に応じてシングルノズルヘッド３００の位相が変えられ、第２ストッパ６３２が、シングルノズルヘッド３００の軸線に対して、電子回路部品を受け取る部品供給装置側に位置する位相とされ、ノズル保持体５１２が第２位置へ回動させられたとき、吸着ノズル５２８の軸線がシュート６６の長手方向に対して直角となり、電子回路部品に対して直角となるようにされる。そして、レバー駆動部材４４２は、シングルノズルヘッド３００の位相に応じて、第１レバー部５６０の腕部５９４あるいは腕部５９６が位置する位置へ旋回させられる。このように、電子回路部品を受け取る部品供給装置に応じて第２ストッパ６３２の位相を変えることにより、フィーダ型部品供給装置１２，１４の両方にスティック型フィーダ６０を保持させ、いずれのフィーダ６０からもシングルノズルヘッド３００に電子回路部品を受け取らせることができる。スティック型フィーダ６０がフィーダ型部品供給装置１２，１４のいずれか一方にのみ保持されるのであれば、スティック型フィーダ６０からの電子回路部品の受取り時における第２ストッパ６３２の位相は１つに決まる。
【０１０４】
このようにノズル保持体５１２が第２位置へ回動させられたシングルノズルヘッド３００は、Ｘ軸方向においては電子回路部品９２を受け取るスティック型フィーダ６０に対応する位置に位置し、Ｙ軸方向においては、図２６(d)に示すように、取出口１５２から前方（基板保持装置１６側）へ外れた位置へ移動させられたならば、図２７(a)に示すように、下降させられつつ、Ｙ軸方向においてスティック型フィーダ６０へ接近する向きに移動させられ、吸着ノズル５２８が取出口１５２に対応する位置に位置する電子回路部品９２に直角に接近させられる。それにより、図２７(b)に示すように、吸着ノズル５２８の吸着面５３２が電子回路部品９２に接触させられ、吸着する。吸着後、シングルノズルヘッド３００は、図２７(c)に示すように、上昇させられつつＹ軸方向に移動させられ、取出口１５２に対して直角な方向に後退させられ、電子回路部品９２を取出口１５２を通ってシュート６６から取り出す。
【０１０５】
レバー駆動部材４４２は、シングルノズルヘッド３００が、ノズル保持体５１２が第２位置へ回動させられた後の小距離の上昇後、更に下降させられて第１レバー部５６０の係合突部６００，６０６が係合部４５４より下方に位置する状態となった後、旋回させられ、図２４に示すように、係合部４５４が腕部５９６と位相が一致する位置へ移動させられ、シングルノズルヘッド３００の上昇に備えて待機させられている。そのため、吸着ノズル５２８が電子回路部品９２を吸着し、シングルノズルヘッド３００が上昇させられるとき、図２５および図２７(d)に示すように、腕部５９６の上向き係合突部６０６が係合部４５４の下面４７８に係合する。下面４７８は係合面を構成している。腕部５９６は腕部５９４より長くされており、上向き係合突部６０６は下面４７８に設けられた基準マーク４８０を避けて係合部４５４に係合させられる。基準マーク４８０は、電子回路部品と共に部品撮像装置６７２によって撮像されるため、撮像時に撮像面内に位置する位置に設けられることが必要であり、レバー駆動部材４４２の係合部４５４の下面４７８であって、ヘッド回転軸線に近い側に設けられているが、腕部５９６が長くされることにより、基準マーク４８０との干渉が避けられるのである。
【０１０６】
シングルノズルヘッド３００は上向き係合突部６０６が係合部４５４に係合した状態から更に上昇させられる。第１レバー部５６０は上向き係合突部６０６が係合部４５４に下方から係合しているため、下向き係合突部６００が係合部４５４に上方から係合する場合とは逆向きに回動させられ、第２レバー部５６２が一体的に回動させられるとともに、その回動運動が運動変換機構５５４によりノズル保持体５１２に伝達され、図２８(a)に実線で示し、図２５に二点鎖線で示すように、ノズル保持体５１２が第２位置から第１位置へ回動させられ、吸着ノズル５２８の吸着面５３２が水平な姿勢とされる。
【０１０７】
第１レバー部５６０は、水平面に対して傾斜した姿勢から水平な姿勢に戻されるが、図２５に示すように、腕部５９６は凹部６０４において基準マーク４８０との干渉が回避され、基準マーク４８０の損傷が回避される。レバー駆動部材４４２は、シングルノズルヘッド３００の下降時には、その上向きの係合面４５６が第１レバー部５６０に係合して回動させ、シングルノズルヘッド３００の上昇時には、その下向きの係合面４７８が第１レバー部５６０に係合して回動させるが、第１レバー部５６０は長さが異なる２つの腕部５９４，５９６を備え、シングルノズルヘッド３００の下降時と上昇時とで、係合部４５４のシングルノズルヘッド３００の軸線と直交する方向において異なる部分に係合するようにされているため、基準マーク４８０との干渉を回避することができる。また、２つの腕部５９４，５９６はそれぞれ、シングルノズルヘッド３００の下降時と上昇時との一方においてのみ係合部４５４に係合し、上下いずれかの面は係合部４５４に係合しないため、腕部５９６の先端部の下面にバーコード６０８を設け、その損傷が回避されるようにすることができる。
【０１０８】
シングルノズルヘッド３００の上昇により回動させられたノズル保持体５１２は、第１ストッパ６３０のボルト６３６に当接して止められ、第１位置において停止させられる。この回動時にも、押さえ具６５２，６５４の各シュー６５８は被係合面６６２に対して滑り、ノズル保持体５１２の回動を許容し、第１位置への回動後はスプリング６６０により被係合面６６２に押し付けられ、摩擦力によりノズル保持体５１２を第１位置に位置する状態に保つ。
【０１０９】
シングルノズルヘッド３００は、ノズル保持体５１２がボルト６３６に当接し、第１位置へ到達した状態から更に小距離上昇させられ、ノズル保持体５１２が確実に第１位置へ回動させられるようにされる。この上昇は、第１レバー部５６０がゴム５８４を弾性変形させて第２レバー部５６２に対して回動することにより許容され、ゴム５８４の弾性変形により吸収され、第１レバー部５６０の回動は第２レバー部５６２には伝達されず、ノズル保持体５１２は損傷することなく、確実に第１位置に回動させられる。シングルノズルヘッド３００は、ノズル保持体５１２を第１位置へ回動させるために予め設定された位置へ上昇させられた後、小距離下降させられ、上向き係合突部６０６が係合部４５４から離間させられる。シングルノズルヘッド３００の下降開始時には、第１レバー部５６０がゴム５８４の弾性復元力により、第２レバー部５６２に対して回動させられた分、戻され、水平な姿勢となり、その状態から更にシングルノズルヘッド３００が下降させられることにより、図２８(b)に示すように、上向き係合突部６０６がレバー駆動部材４４２の係合部４５４から離間させられる。シングルノズルヘッド３００は低速で下降させられ、第１レバー部５６０がゴム５８４の弾性復元力によりゆっくり回動させられる。そのため、この第１レバー部５６０は第２レバー部５６２に伝達されず、ノズル保持体５１２が第１位置に位置する状態に確実に保たれる。
【０１１０】
レバー駆動部材４４２は、シングルノズルヘッド３００が設定距離、下降させられ、上向き係合突部６０６が係合部４５４から離間した後、旋回させられ、図２８(c)において図示されないように、第１レバー部５６０の腕部５９４，５９６とは位相を異にし、係合突部６００，６０６と干渉しない位置へ移動させられ、シングルノズルヘッド３００の上昇を許容する。
【０１１１】
電子回路部品取出し時における上昇端位置へ上昇させられたシングルノズルヘッド３００は、図２８(d)に示すように、回路基板３２へ移動させられるが、その途中で部品撮像装置６７２により電子回路部品９２が撮像される。この撮像の際、基準マーク４８０が電子回路部品９２と共に撮像されるのであれば、レバー駆動部材４４２は、係合部４５４が電子回路部品９２と干渉せず、かつ、電子回路部品９２と共に撮像される位置へ旋回させられ、吸着ノズル５２８の回転軸線の位置が取得され、電子回路部品９２の保持位置誤差が精度良く取得されるようにされる。レバー駆動部材４４２は、ノズル保持体５１２を第１位置へ回動させた後、係合突部６００，６０６と干渉しない位置への退避時に撮像位置へ旋回させられてもよい。第１レバー部５６０の腕部５９６がレバー駆動部材４４２に係合してノズル保持体５１２が第１位置へ回動させられる際には、電子回路部品９２はレバー駆動部材４４２の係合部４５４より下方に位置し、その寸法，形状が係合部４５４と干渉するものであっても支障はない。
【０１１２】
撮像により得られる画像データに基づいて、吸着ノズル５２８による電子回路部品９２の保持位置誤差、本実施例では、Ｘ軸方向，Ｙ軸方向における各位置誤差および回転位置誤差が取得され、回路基板３２の部品装着箇所について取得されたＸ軸方向，Ｙ軸方向における各位置誤差および回転位置誤差と合わせて修正され、電子回路部品９２が設定された部品装着個所に正規の姿勢で装着される。Ｘ軸，Ｙ軸方向の位置誤差は、ヘッド保持部材３０４の移動位置の修正により修正され、回転位置ずれは、シングルノズルヘッド３００がヘッド回転装置３１０によって回転させられることにより修正される。このシングルノズルヘッド３００の回転による電子回路部品９２のＸ軸，Ｙ軸方向の位置ずれも修正される。そして、図２８(d)，図２９(a)〜図２９(c)に示すように、シングルノズルヘッド３００がヘッド昇降装置３０８により下降させられ、電子回路部品９２が回路基板３２に装着される。
【０１１３】
電子回路部品９２の装着後、シングルノズルヘッド３００は、図３０に示すように、上昇させられるとともに、再びフィーダ型部品供給装置１２へ移動させられ、スティック型フィーダ６０から電子回路部品９２を受け取る。そのため、フィーダ６０では、取出口１５２から電子回路部品９２が取り出された後、シュート６６内に待機させられている先頭の電子回路部品９２が取出口１５２に対応する位置へ移動させられる。
【０１１４】
電子回路部品９２が取り出され、取出口１５２に対応する位置に電子回路部品９２がないことは、部品センサ２４４の信号に基づいて検出される。その検出に基づいてエスケープメント１８０において偏心カム２１０ａ，２１０ｂが回転させられ、図２９(a)に示すように、爪部材２００ａが下降させられ、阻止位置から移動許容位置へ移動させられる。爪部材２００ａの係合部２０２ａが電子回路部品９２の本体９４より下へ移動すれば、図２９(b)に示すように、先頭の電子回路部品９２がシュート６６の傾斜により滑り落ち、取出口１５２に対応する位置へ移動する。
【０１１５】
偏心カム２１０ａ，２１０ｂの回転は、爪部材２００ａが下降端位置へ下降させられた状態で停止させられ、先頭の電子回路部品９２の移動が待たれる。また、爪部材２００ａの下降開始から停止までの間、爪部材２００ｂは偏心カム２１０ｂから離間させられており、阻止位置に位置し、電子回路部品９２の本体９４に係合して電子回路部品９２の移動を阻止する状態に保たれ、取出口１５２に対応する位置へは、電子回路部品９２が１個のみ移動する。
【０１１６】
先頭の電子回路部品９２が取出口１５２に対応する位置へ移動すれば、その移動が部品センサ２４４の信号に基づいて検出され、偏心カム２１０ａ，２１０ｂの回転が再開させられる。偏心カム２１０ａ，２１０ｂの回転再開により、図３０(a)に示すように、爪部材２００ａが上昇させられ、阻止位置へ移動させられる。その後、偏心カム２１０ｂの位相がローラ２２０ｂに係合する位相となり、爪部材２００ｂが下降を開始させられ、図３０(b)に示すように、電子回路部品９２の本体９４から離間し、その移動を許容する。
【０１１７】
偏心カム２１０ａ，２１０ｂの回転は、爪部材２００ｂが下降端位置へ下降させられ、爪部材２００ａが上昇端位置へ移動させられた状態で停止させられ、図３０(c)に示すように、後続の電子回路部品９２が滑り落ち、爪部材２００ａに移動を阻止されて先頭の電子回路部品９２となる。また、この電子回路部品９２に続く電子回路部品９２も滑り落ちて先頭の電子回路部品９２に当接して移動を止められ、爪部材２００ａより上流側に複数の電子回路部品９２が連続して並ぶ状態が得られる。この状態で偏心カム２１０ａ，２１０ｂの回転が再開され、図３０(d)に示すように、爪部材２００ｂが上昇させられて後続の電子回路部品９２の本体９４に係合し、その移動を阻止する。先頭の電子回路部品９２に続いて後続の電子回路部品９２が並ぶ状態になったことは、爪部材２００ｂが下降端位置へ移動させられた状態において、部品センサ２４６が電子回路部品９２を検出する状態が設定時間以上、継続することにより検出される。偏心カム２００ａ，２００ｂの回転は、このように爪部材２００ｂが後続の電子回路部品９２の本体９４に係合してその移動を阻止し、爪部材２００ａが先頭の電子回路部品９２の本体９４の前面に位置してその移動を阻止する状態で停止させられ、シュート６６内において、取出口１５２に対応する位置に電子回路部品９２が１個位置させられ、その電子回路部品９２とは離れた位置に後続の電子回路部品９２が位置させられた状態が得られる。
【０１１８】
なお、スティック型フィーダ６０においてスティック６２がスティック保持装置６４によって保持されるとき、供給口遮蔽装置１２０によって供給口９０が閉じられ、スティック６２からの電子回路部品９２の飛出しが防止されるが、保持後、供給口９０が開かれる。この際、エスケープメント１７０においては、偏心カム２００ａ，２００ｂの位相の設定により、爪部材２００ａが部品阻止位置に位置させられ、爪部材２００ｂが移動許容位置に位置させられた状態とされる。例えば、爪部材２００ａが上昇端位置に位置し、爪部材２００ｂが下降端位置に位置する状態で偏心カム２００ａ，２００ｂの回転が停止させられるのであり、それにより、スティック６２内の電子回路部品９２はシュート６６へ進入し、爪部材２００ａによって阻止されるまでシュート６６を滑り降りる。２個以上の電子回路部品９２がシュート６６に進入し、爪部材２００ａに電子回路部品９２が当接し、後続の電子回路部品が先頭の電子回路部品９２に当接する状態になれば、偏心カム２００ａ，２００ｂが回転させられ、爪部材２００ｂが移動阻止位置へ上昇させられ、後続の電子回路部品９２の本体９４に係合させられ、その移動を阻止する。
【０１１９】
また、シングルノズルヘッド３００は、テープ型フィーダやトレイ型フィーダのように、水平に設けられたフィーダからの電子回路部品の取出しおよび回路基板３２への装着にも使用することができる。この場合、ノズル保持体５１２は常に第１位置に位置する状態に保たれ、レバー駆動部材４４２は、シングルノズルヘッド３００の昇降時に第１レバー部５６０の係合突部６００，６０６と係合しない位置へ旋回させられている。
【０１２０】
以上の説明から明らかなように、本実施例においては、腕部５９４，５９６が第１係合部を構成し、レバー駆動部材４４２の係合部４５４が第２係合部を構成し、ヘッド昇降装置３０８が第１移動装置の一種であるヘッド軸線方向移動装置を構成し、ベルクランクレバー５５２，運動変換機構５５４，第１，第２ストッパ６３０，６３２および余剰運動吸収装置５６４と共に回動装置を構成している。係合部４５４およびヘッド昇降装置３０８は、シングルノズルヘッド３００およびマルチノズルヘッド３０２に対して、ヘッド保持部材３０４側に設けられており、ヘッド保持部材側ノズル保持部駆動装置を構成し、腕部５９４，５９６，ベルクランクレバー５５２，運動変換機構５５４，第１，第２ストッパ６３０，６３２および余剰運動吸収装置５６４を含む保持ヘッド側ノズル保持部駆動装置５５０と共に回動装置を構成している。この回動装置は広義の回動装置であり、保持ヘッド側ノズル保持部駆動装置が狭義の回動装置を構成する。回動装置が狭義の回動装置とされる場合、部品保持装置は係合部４５４およびヘッド昇降装置３０８を含まないこととなる。また、昇降部材４２２がノズル保持部を構成し、レバー４２８が第２可動部材を構成し、スプリング４３８および軸状部４３２と共にノズル保持部移動装置を構成し、係合部４３６が第３係合部を構成し、Ｙ軸スライド３２８が移動体を構成し、ヘッド移動装置３０６が第２移動装置を構成している。
さらに、レバー駆動部材４４２は、ヘッド保持部材３０４の移動である昇降に機械的に連動して複数の吸着ノズル４０４の任意のものをヘッド本体４００に対して、ヘッド本体４００の中心軸線と平行な方向に相対的に移動させる相対移動装置たる相対昇降装置を構成し、旋回装置４４６が相対移動装置旋回装置たる相対昇降装置旋回装置を構成している。相対昇降装置は、ノズル保持部移動装置を駆動する装置である。レバー駆動部材４４２は、バルブスプール４６４，４６６に係合し、それらをヘッド本体４００に対してヘッド本体４００の軸線に平行な方向に相対移動させるバルブ切換部材を兼ね、ヘッド保持部材３０４の昇降に連動して第１，第２バルブ４６０，４６２を機械的に切り換えるバルブ切換装置を構成し、旋回装置４４６はバルブ切換装置旋回装置を構成している。
【０１２１】
ノズル保持部を回動させる回動装置の運動変換機構は、複数の歯車を含む機構としてもよい。その実施例を図３１に基づいて説明する。
本実施例の運動変換機構７５０は、扇形歯車７５２および円板状の歯車７５４を含む。扇形歯車７５２は、前記ベルクランクレバーの第２レバー部に代えて、ヘッド本体に回動可能に取り付けられ、ベルクランクレバーの回動軸線を中心とする一円周上の一部に歯部を備えている。第２レバー部と扇形歯車とが一体的に設けられていると考えることもできる。歯車７５４は、ノズル保持体のヘッド本体により回動可能に支持される軸部に相対回転不能に取り付けられてノズル保持体に固定され、ノズル保持体の回動軸線を中心とする一円周上の全部に歯部を備え、扇形歯車７５２と噛み合わされている。したがって、シングルノズルヘッドの昇降に伴って第１レバー部がレバー駆動部材に係合し、回動させられれば、扇形歯車７５２が回転させられるとともに、歯車７５４が回転させられ、ノズル保持体が回動させられる。歯車７５２，７５４の歯数比（扇形歯車７５２については、円板状を成すと仮定した場合の歯数）の設定により、ノズル保持体の回動角度をベルクランクレバーより大きくし、あるいは小さくすることができる。本実施例においては、扇形歯車７５２の歯部が駆動部を構成し、歯車７５４の歯部が被駆動部を構成している。ノズル保持体に取り付ける歯車も扇形歯車としてもよい。
【０１２２】
保持ヘッドにおいてノズル保持部を第１位置と第２位置とにそれぞれ保持する回動位置保持装置は、ボールプランジャおよびノッチを含む装置としてもよい。その実施例を図３２に基づいて説明する。
本実施例の回動位置保持装置７７０は、ヘッド本体７７２の１対の支持部７７４にそれぞれ設けられたボールプランジャ７７６と、ノズル保持体７７８に、１対の支持部７７４の各ボールプランジャ７７６について２つずつ設けられたノッチ７８０，７８２とを含む。図３２には、一方の支持部７７４のボールプランジャ７７６および２つのノッチ７８０，７８２が図示されている。
【０１２３】
ボールプランジャ７７６は、ケーシング７８６と、ケーシング７８６内に移動可能に収容されたボール７８８と、ボール７８８をケーシング７８６から突出する向きに付勢するスプリング７９０とを含む。２つのノッチ７８０，７８２はそれぞれ、ノズル保持体７７８の外面に開口させられ、ノズル保持体７７８の回動軸線を中心とする円の円周上において距離を隔てた２つの位置であって、ボールプランジャ７７６と共に、ノズル保持体７７８を第１位置および第２位置にそれぞれ回動させられた状態に保つ位置に設けられている。
【０１２４】
ボールプランジャ７７６は、ボール７８８がスプリング７９０により付勢されてノッチ７８０あるいは７８２に嵌入し、ノズル保持体７７８を第１位置あるいは第２位置に位置する状態に保つが、本実施例では、ノズル保持体７７８がストッパに当接して回動を止められた状態において、ノッチの内周面のノズル保持体７７８の回動方向において下流側の部分に係合し、斜面の作用によりノズル保持体７７８をストッパに押し付けて回動位置に維持するが、上流側の部分との間には隙間が生じる位置に設けられている。
【０１２５】
ノズル保持体７７８の回動時には、ボール７８８はスプリング７９０の付勢力に抗してノッチ７８０，７８２から押し出され、ケーシング７８６内に引っ込まされてノズル保持体７７８の回動を許容する。ノズル保持体７７８がストッパに当接し、止まれば、ボール７８８がスプリング７９０の付勢によりノッチに嵌入し、ノッチの内周面のノズル保持体７７８の回動方向において下流側の部分に係合した状態に保たれ、ノズル保持体７７８を回動位置に維持する状態に保つ。ボール７８８と、ノッチの内周面のノズル保持体７７８の回動方向において上流側の部分との間には隙間があり、その隙間の範囲内においてノズル保持体７７８の回動位置を調節することができる。
【０１２６】
回動位置保持装置を構成するボールプランジャを、ノズル保持部の回動限度を規定するストッパとして機能させるようにしてもよい。図３３に示す回動位置保持装置８００のボールプランジャ８０２およびノッチ８０４，８０６はそれぞれ、ノズル保持体８０８がちょうど第１位置と第２位置とに回動した状態において、ノッチ８０４，８０６の各中心線と、ボールプランジャ８０２の中心線とが一致する位置に精度良く設けられており、ボール８１０がノッチ８０４あるいは８０６に嵌入させられ、ノズル保持体８０８を第１位置あるいは第２位置に位置する状態に保つ。符号８１２は、ヘッド本体である。
【０１２７】
ボールプランジャ８０２のボール８１０は、ノズル保持体８０８がノッチ８０４，８０６の中心線がボール８１０の中心からやや外れた位置において停止させられても、第１係合部と第２係合部との離間後、斜面の作用により、ノズル保持体８０８を移動させつつノッチ８０４，８０６に嵌入し、ノズル保持体８０８を第１位置あるいは第２位置に位置決めすることができる。ノズル保持体８０８の停止位置のばらつきをボール８１０およびノッチ８０４，８０６によるノズル保持体８０８の位置決めによって吸収することができるのであり、ノズル保持体８０８は、ボール８１０がノッチ８０４，８０６に嵌入可能なおおよその位置に停止させればよく、ノズル保持体８０８を第１，第２位置にそれぞれ位置決めするストッパが不要であり、また、ノズル保持体８０８を第１，第２位置へ確実に回動させるために第１移動装置を余分に作動させなくてよく、余剰運動吸収装置も不要である。
【０１２８】
なお、前記スティック型フィーダのエスケープメントの爪ユニットにおいてユニット本体の移動は、ユニット本体をユニット取付部材に固定するボルトに案内させるようにしてもよい。例えば、ボルトを、直径が頭部より小さい軸部を有するものとし、その軸部をユニット取付部材に設けられた長穴に、長穴の長手方向に移動可能に嵌合し、ユニット本体の移動を案内させる。ボルトは、爪ユニットの移動時には螺合が緩められ、位置調節後、締め付けられ、ユニット本体は、ボルトの頭部との間にユニット取付部材を挟んでユニット取付部材に固定される。これら２個のボルトは、ユニット本体の対角線上の位置においてユニット本体に螺合され、長穴に嵌合されるようにすることが、ユニット本体の傾きを防止する上で望ましい。
また、偏心カムと駆動軸との間に、偏心カムの回転軸線と直交する軸線まわりの傾きを許容する隙間があり、その隙間より、ボルトのねじ部と長穴との間の隙間が小さくされるのであれば、ユニット本体の傾きにより偏心カムの回転が妨げられることなく、ねじ部によりユニット本体の移動が案内されるようにすることが可能である。
【０１２９】
また、回動装置においてレバーの回動角度がノズル保持部に増角されて伝達されることは不可欠ではなく、ノズル保持部がレバー回動角度と同じ角度、回動させられるようにしてもよく、あるいはレバーの回動角度より小さい角度、回動させられるようにしてもよい。
【０１３０】
さらに、回動装置を構成するレバーのノズル保持部を第１位置と第２位置とに回動させた状態における２つの位置はそれぞれ、水平に対して振り分けられた２つの位置とされてもよく、その振り分けは均等に行われてもよい。
【０１３１】
また、回動装置において余剰運動吸収装置を省略してもよく、ノズル保持部を第１位置あるいは第２位置へ回動させた際、第１係合部と第２係合部とが係合している状態で、第２係合部を第１係合部と干渉しない位置へ移動させてもよい。
【０１３２】
さらに、部品保持装置の回動位置保持装置がボールプランジャを含む装置とされる場合、ボールプランジャがノズル保持部に設けられ、ノッチがヘッド本体に設けられてもよい。また、押さえ具および被係合面を含む回動位置保持装置において、押さえ具がノズル保持部に設けられ、被係合面がヘッド本体に設けられてもよい。
【０１３３】
さらに、ノズル保持部が回動させられる保持ヘッドにおいて、ノズル保持部は吸着ノズルを複数保持するものとしてもよい。これら吸着ノズルは、電子回路部品の吸着を同時に行うものとしてもよく、選択的に行うものとしてもよい。
【０１３４】
また、レバー駆動部材の係合部に基準マークが設けられない場合、あるいは設けられても係合突部の係合により損傷する恐れのないものである場合には、第１係合部を２つの係合部を含むものとすることは不可欠ではなく、１つの係合部とし、その係合部をレバー駆動部材の係合部の上側の係合面と下側の係合面とに係合させるようにしてもよい。バーコード等、保持ヘッドについてのデータを有する認識部材についても同様のことが言える。
【０１３５】
また、部品供給装置は、基板保持装置に対して一方の側のみに設けられてもよく、この一方の部品供給装置の全部あるいは一部にスティック型フィーダが設けられる。
【図面の簡単な説明】
【０１３６】
【図１】一実施例である部品保持装置を備えた電子回路部品装着システムを概略的に示す平面図である。
【図２】上記電子回路部品装着システムのスティック型フィーダを示す側面図である。
【図３】上記スティック型フィーダのシュートを示す側面図（一部断面）である。
【図４】上記スティック型フィーダのスティックを示す正面図である。
【図５】上記シュートを示す側面断面図であり、供給する電子回路部品の種類が異なる３種類のシュートを示す図である。
【図６】上記スティック型フィーダのエスケープメントの爪ユニットを示す側面図である。
【図７】上記爪ユニットを示す正面図である。
【図８】上記爪ユニットを示す平面図（一部断面）である。
【図９】上記爪ユニットのユニット取付部材に取り付けられた部分を示す正面図（一部断面）である。
【図１０】上記エスケープメントの２つの爪ユニットの各爪部材の昇降動作の関係を示すタイミングチャート図である。
【図１１】上記電子回路部品装着システムの装着装置においてヘッド保持部材がシングルノズルヘッドを保持した状態を示す側面図（一部断面）である。
【図１２】上記ヘッド保持部材によりマルチノズルヘッドが保持された状態を示す側面図（一部断面）である。
【図１３】上記装着装置のレバー駆動部材に設けられた基準マークを示す底面図である。
【図１４】上記基準マークが電子回路部品と共に撮像される際の位置を示す図である。
【図１５】上記シングルノズルヘッドを示す側面図である。
【図１６】上記シングルノズルヘッドを示す背面断面図である。
【図１７】上記シングルノズルヘッドの一部を切り欠いて示す平面図である。
【図１８】上記シングルノズルヘッドの余剰運動吸収装置を示す側面図（一部断面）である。
【図１９】上記シングルノズルヘッドの回動位置保持装置を示す背面図（一部断面）である。
【図２０】上記シングルノズルヘッドのノズル保持部に設けられた被係合面を示す側面図である。
【図２１】上記電子回路部品装着システムを制御する制御装置の構成を概念的に示すブロック図である。
【図２２】上記シングルノズルヘッドにおいてノズル保持体を第２位置へ回動させる際に下向き係合突部とレバー駆動部材の係合部との位相が合わされた状態を示す平面図（一部断面）である。
【図２３】上記シングルノズルヘッドにおいてノズル保持体が第２位置へ回動させられた状態を示す側面図である。
【図２４】上記シングルノズルヘッドにおいてノズル保持体を第１位置へ回動させる際に上向き係合突部とレバー駆動部材の係合部との位相が合わされた状態を示す平面図（一部断面）である。
【図２５】上記シングルノズルヘッドにおいてノズル保持体の第２位置から第１位置への回動を説明する側面図である。
【図２６】上記シングルノズルヘッドによる前記スティック型フィーダからの電子回路部品の受取りを説明する図であり、ノズル保持体の第１位置から第２位置への回動およびスティック型フィーダへの接近を説明する図である。
【図２７】上記第２位置へ回動させられたノズル保持体の吸着ノズルが電子回路部品を吸着し、スティック型フィーダから取り出す状態およびノズル保持体の第２位置から第１位置への回動を説明する図である。
【図２８】上記ノズル保持体の第２位置から第１位置への回動および電子回路部品の回路基板への装着を説明する図である。
【図２９】上記スティック型フィーダから取り出された電子回路部品の回路基板への装着およびスティック型フィーダにおける電子回路部品の取出口に対応する位置への移動を説明する図である。
【図３０】上記スティック型フィーダにおける電子回路部品の爪部材により移動を阻止される位置への移動および爪部材による電子回路部品の移動の阻止を説明する図である。
【図３１】別の実施例である回動装置の運動変換機構を示す側面図である。
【図３２】さらに別の実施例である部品保持装置の回動位置保持装置の一部を示す平面断面図である。
【図３３】部品保持装置の回動位置保持装置のさらに別の実施例の一部を示す平面断面図である。
【符号の説明】
【０１３７】
１２，１４：フィーダ型部品供給装置    １６：基板保持装置    １８：装着装置    ２２：制御装置    ３２：回路基板    ６０：スティック型フィーダ    ６２：スティック    ６４：スティック保持装置    ６６：シュート    ９２：電子回路部品    １５０：受入れ口    １５２：取出口    １７０：エスケープメント    １７２：第１爪ユニット    １７４：第２爪ユニット    ２００ａ，２００ｂ：爪部材    ２１０ａ，２１０ｂ：偏心カム    ２４０：制御装置    ３００：シングルノズルヘッド    ３０２：マルチノズルヘッド    ３０４：ヘッド保持部材    ３０６：ヘッド移動装置    ３０８：ヘッド昇降装置    ４００：ヘッド本体    ４０４：吸着ノズル    ４２２：昇降部材    ４２４：昇降駆動装置    ４４２：レバー駆動部材    ４４６：旋回装置    ４５４：係合部    ４７８：下面    ４８０：基準マーク    ５００：ヘッド本体    ５１２：ノズル保持体    ５２８：吸着ノズル    ５３２：吸着面    ５５２：ベルクランクレバー    ５５４：運動変換機構    ５６４：余剰運動吸収装置    ６００：下向き係合突部    ６０４：凹部    ６０６：上向き係合突部    ６２０：溝    ６２２：突部    ６３０：第１ストッパ    ６３２：第２ストッパ    ６５０：回動位置保持装置    ６５２，６５４：押さえ具    ７５０：運動変換機構    ７５２：扇形歯車    ７５４：歯車    ７７０：回動位置保持装置    ７７２：ヘッド本体    ７７６：ボールプランジャ    ７７８：ノズル保持体    ７８０，７８２：ノッチ    ８００：回動位置保持装置    ８０２：ボールプランジャ    ８０４，８０６：ノッチ    ８０８：ノズル保持体    ８１２：ヘッド本体
【図１】
0005568221.tif 000002
【図２】
0005568221.tif 000003
【図３】
0005568221.tif 000004
【図４】
0005568221.tif 000005
【図５】
0005568221.tif 000006
【図６】
0005568221.tif 000007
【図７】
0005568221.tif 000008
【図８】
0005568221.tif 000009
【図９】
0005568221.tif 000010
【図１０】
0005568221.tif 000011
【図１１】
0005568221.tif 000012
【図１２】
0005568221.tif 000013
【図１３】
0005568221.tif 000014
【図１４】
0005568221.tif 000015
【図１５】
0005568221.tif 000016
【図１６】
0005568221.tif 000017
【図１７】
0005568221.tif 000018
【図１８】
0005568221.tif 000019
【図１９】
0005568221.tif 000020
【図２０】
0005568221.tif 000021
【図２１】
0005568221.tif 000022
【図２２】
0005568221.tif 000023
【図２３】
0005568221.tif 000024
【図２４】
0005568221.tif 000025
【図２５】
0005568221.tif 000026
【図２６】
0005568221.tif 000027
【図２７】
0005568221.tif 000028
【図２８】
0005568221.tif 000029
【図２９】
0005568221.tif 000030
【図３０】
0005568221.tif 000031
【図３１】
0005568221.tif 000032
【図３２】
0005568221.tif 000033
【図３３】
0005568221.tif 000034