(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
グラファイトフィルムと粘着層又は接着層を有するシートとをラミネートする工程を含み、
グラファイトフィルムが第一ロールと接触開始する点と第一ロールの中心点と第一ロール／第二ロールの接点のなす角度ｂが５度以上であり、
（第二ロールと粘着層又は接着層を有するシートの接触開始点）−（第二ロールの中心点）−（第一ロール／第二ロールの接点）のなす角度ｃが５度以上であることを特徴とするグラファイト複合フィルムの製造方法。
【請求項２】
前記角度ｂが４５度以上であることを特徴とする、請求項１に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【請求項３】
前記粘着層又は接着層を有するシートの厚みが６０μｍ以下であることを特徴とする、請求項１又は２に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【請求項４】
前記粘着層又は接着層を有するシートには、粘着面又は接着面にセパレーターが貼り付けられていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【請求項５】
粘着層又は接着層を有するシートからセパレーターを剥がしながら、前記第一ロールと第二ロールの間に連続供給するグラファイトシート複合品の製造方法であって、シートからセパレーターを引き剥がす角度が９０度以下であることを特徴とする、請求項４に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【請求項６】
（粘着層又は接着層を有するシートのＴＤ方向の長さ）が（グラファイトフィルムのＴＤ方向の長さ）よりも短いことを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【請求項７】
前記第一ロールおよび第二ロールが、クラウンロールとフラットロールの組み合わせであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【請求項８】
前記第一ロールがフラットロールであり、前記第二ロールがクラウンロールであることを特徴とする請求項７に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【請求項９】
前記ラミネートする工程は、ロールに巻きつけたグラファイトフィルムを巻き出して、他のロールで巻取るまでの間に、行われるものであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平均引裂荷重が低いグラファイトフィルム、グラファイト複合フィルム及びグラファイト抜き加工品に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般のプラスチックフィルム等に比べて、グラファイトフィルムは引き裂き強度が弱いという特徴があり、グラファイトフィルムには、エキスパンド法により製造されたグラファイトフィルム（天然黒鉛シートともいう。）と高分子熱分解法により製造されたグラファイトフィルム（高分子焼成グラファイトフィルムともいう）がある。
【０００３】
天然黒鉛シートの場合、通常はグラファイトフィルム分子構造が平面方向と平行に規則正しく配向する程度が大きくないために０．１Ｎ程度の引裂き強度（平均引裂荷重）を有していることが多いが、高分子焼成グラファイトフィルムの場合には、グラファイトフィルムの平面方向の性能が向上するようなフィルム設計を行うに伴って、グラファイトの分子構造がより平面方向と平行に規則正しく配向するために、せん断方向の応力に対応できずに引裂き強度（平均引裂荷重）が小さくなっていく傾向にある。
【０００４】
グラファイトフィルムは粘着材層や絶縁フィルムその他の保護フィルム層などとの複合品等に加工して使用されるケースがあり、このような加工工程では平均引裂強度が低いフィルムは裂けや巻きずれなどの不具合が発生するという欠点を有する。
【０００５】
すなわち、グラファイトフィルムは、グラファイトフィルムを高性能化するに伴って、加工工程の不具合が増大するという課題を有している。特に、平均引裂荷重が０．０８Ｎ以下という極めて脆弱なグラファイトフィルムにおいては大きな課題であった。
【０００６】
所定の軟化点を有する熱可塑性重合体の薄膜を天然黒鉛シート上に重ね、温度を制御した２個のカレンダーロール間に連続法で供給してラミネートを形成して、天然黒鉛シートを補強する方法が開示されているが（特許文献１）、この技術を平均引裂荷重が０．０８Ｎ以下のグラファイトフィルムに適用した場合には、２本のロール間への供給の手前で、図１８のように高分子焼成グラファイトフィルムが端部から裂けてしまい、貼り合せすることができない。
【０００７】
また、枚葉タイプの高分子焼成グラファイトフィルム（１枚毎のシート状の原料高分子フィルムから生産される高分子焼成グラファイトフィルムを意味する。長尺巻物原料高分子フィルムから生産される高分子焼成グラファイトフィルムと区別するために用いる。）と粘着材を有するシートをラミネーターにて貼り合わせて補強する方法が開示されているが（特許文献２）、この技術を平均引裂荷重が０．０８Ｎ以下であり、かつ長さ１０００ｍｍ以上のグラファイトフィルムに適用した場合には、２本のロール間への供給の手前で、図１８のように高分子焼成グラファイトフィルムが端部から裂けてしまい、貼り合せすることができない。
【０００８】
このように平均引裂荷重が０．０８Ｎ以下という極めて脆弱なグラファイトフィルムにおいては加工工程での不具合（例えば、裂け、巻きずれ、シワ等の発生）が大きな課題であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平６−０２４８７２号公報
【特許文献２】特開２００７−２６１０８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、このような極めて低い平均引裂荷重を示すグラファイトフィルムを加工工程での不具合を生じにくくして、加工することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
すなわち、本発明は、以下の発明を包含する。
（１）ロールに巻きつけたグラファイトフィルムを巻き出して、他のロールで巻取るまでの間に、該グラファイトフィルムをラミネートする工程を含み、グラファイトフィルムが第一ロールと接触開始する点と第一ロールの中点と第一ロール／第二ロールの接点のなす角度ｂが５度以上であるグラファイト複合フィルムの製造方法。
（２）前記グラファイト複合フィルムがグラファイトフィルムと粘着層又は接着層を有するシートを貼り合わせて製造され、粘着層又は接着層を有するシートの厚みが６０μｍ以下である（１）に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【００１２】
（３）粘着層又は接着層を有するシートからセパレーターを剥がしながら、前記第一ロールと第二ロールの間に連続供給するグラファイトシート複合品の製造方法であって、シートからセパレーターを引き剥がす角度が９０度以下である（１）又は（２）に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【００１３】
（４）（粘着層又は接着層を有するシートのＴＤ方向の長さ）が（グラファイトフィルムのＴＤ方向の長さ）よりも５ｍｍ以上長い、（１）〜（３）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【００１４】
（５）前記第一ロールおよび第二ロールが、クラウンロールとフラットロールの組み合わせである（１）〜（４）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【００１５】
（６）（第二ロールと粘着層又は接着層を有するシートの接触開始点）−（第二ロールの中心点）−（第一ロール／第二ロールの接点）のなす角度ｃが５度以上である（１）〜（５）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のグラファイトフィルムの巻き替え方法によれば、グラファイトフィルムが裂けることなく巻き替えることができる。
また、本発明のグラファイトフィルムの巻き替え方法によれば、グラファイトフィルムが巻きずれを起こすことなく巻き替えることができる。
また、本発明のグラファイトフィルムの製造方法によれば、グラファイトフィルムが裂けることなく、グラファイトフィルムを製造することができる。
また、本発明のグラファイトフィルムの製造方法によれば、グラファイトフィルムが巻きずれを起こすことなく、グラファイトフィルムを製造することができる。
また、本発明のグラファイトフィルムの製造方法によれば、グラファイトフィルムがエッジの不具合を生じることなく、グラファイトフィルムを製造することができる。
また、本発明のグラファイトフィルム複合フィルムの製造方法によれば、グラファイトフィルムと粘着材層などの積層対象物と貼り合わせる際にシワの発生を抑制できる。
また、本発明のグラファイトフィルム複合フィルムの製造方法によれば、グラファイトフィルムと粘着材層などの積層対象物と貼り合わせる際に巻きずれの発生を抑制することができる。
また、本発明のグラファイトフィルム複合フィルムの製造方法によれば、グラファイトフィルムと粘着材層などの積層対象物と貼り合わせる際に裂けの発生を抑制できる。
また、本発明のグラファイトフィルム抜き加工品の製造方法によれば、裂けの発生を抑制することができる。
また、本発明のグラファイトフィルム抜き加工品の製造方法によれば、寸法精度不良の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】巻き替えする方法の模式図。
【図２】スリットする工程の模式図。
【図３】単板連続プレスの模式図。
【図４】ロール圧延工程の模式図。
【図５】ラミネートする工程の模式図。
【図６】抜き加工する工程の模式図。
【図７】ＪＩＳ  Ｃ２１５１記載のたるみ測定の模式図。
【図８】ａ値の模式図。
【図９】ＪＩＳ  Ｃ２１５１記載の曲がり測定の模式図。
【図１０】グラファイトフィルムの第一ロールへの供給方法の模式図。
【図１１】（第一ロールとグラファイトフィルムの接触開始点）−（第一ロールの中心点）−（第一ロール／第二ロールの接点）のなす角度ｂの説明図。
【図１２】２辺封止グラファイト複合品フィルムの模式図。
【図１３】クラウン形状のロールの模式図。
【図１４】グラファイト抜き加工品  その１
【図１５】グラファイト抜き加工品  その２
【図１６】グラファイト抜き加工品  その３
【図１７】グラファイト抜き加工品の商品形態。
【図１８】グラファイトフィルムの裂け不良の概観写真。
【図１９】グラファイトフィルムの巻きずれ不良の概観写真。
【図２０】グラファイトフィルムのエッジのバリ不良の概観写真。
【図２１】グラファイトフィルムの折れシワ不良の概観写真。
【図２２】貼り合わせシワの概観写真。
【図２３】製造条件の違いによるグラファイトフィルムのたるみの違い。
【図２４】たるみの説明。
【図２５】熱処理温度とポリイミドフィルムの収縮膨張の関係。
【図２６】円筒容器にポリイミドフィルムを巻き付けた状態での炭化の一例。
【図２７】円筒容器にポリイミドを巻き付けた状態での黒鉛化の一例。
【図２８】グラファイトフィルムの平均引裂荷重、厚みの測定ポイントの説明。
【図２９】長尺のグラファイトフィルムをラミネーターへ連続供給し、連続的にラミネートする方法。
【図３０】高分子フィルムの反り。
【図３１】中央のたるみと端部のたるみの概略図。
【図３２】グラファイトフィルムのエッジの反り。
【図３３】ポリイミドフィルムの製造装置の概略図。
【図３４】グラファイトフィルムを引き伸ばした際の裂け。
【図３５】本発明の黒鉛化工程の炉に縦置きでセットした状態。
【図３６】黒鉛化工程後のグラファイトフィルムの円筒形状の崩れ。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明は、１）ＪＩＳ  Ｋ７１２８によるトラウザー引裂試験における平均引裂荷重が０．０８Ｎ以下、２）ＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価におけるたるみが５ｍｍ以上８０ｍｍ以下、の条件を満たすグラファイトフィルムを巻き替える方法、及びグラファイトフィルムの製造方法、並びに該グラファイトフィルムを用いたグラファイト複合フィルムの製造方法及びグラファイト抜き加工品の製造方法に関するものである。
【００１９】
グラファイトフィルムがＪＩＳ  Ｋ７１２８によるトラウザー引裂試験における平均引裂荷重が０．０８Ｎ以下と非常に裂けやすいフィルムであっても、ＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価におけるたるみが５ｍｍ以上８０ｍｍ以下の条件を満たすことによって、以下に示す各態様（本願では、これらを総称する場合に「５態様」と称する）において、不具合を抑制することができる。
【００２０】
まず、本発明のグラファイトフィルムを巻き替えする方法においては、例えば図１のように、グラファイトフィルムを一方のロールから巻き出し、他方のロールで巻取りながら巻き替えることができる。フィルムのパスラインは図１のように直接巻き取る方法には限定されず、フリーロールなどを経て折り返しながら巻き替えてもよい。
【００２１】
グラファイトフィルムが前記１）及び２）の条件を満たすことによって、図１８のようなグラファイトフィルムの裂け不良、図１９のような巻きずれ不良などの不具合を抑制できる。
【００２２】
次に、本発明のグラファイトフィルムの製造方法において、グラファイトフィルムをスリットする工程とは、例えば図２のようにフィルムを所定の幅に切り分けるものである。
【００２３】
グラファイトフィルムが前記１）及び２）の条件を満たすことによって、図１８のようなグラファイトフィルムの裂け不良、図１９のような巻きずれ不良、図２０のエッジのバリ不良、などの不具合を抑制できる。
【００２４】
グラファイトフィルムを圧縮する工程とは、発泡グラファイトを圧縮し、柔軟性を付与するものである。特に、高分子フィルムを熱処理して製造されるグラファイトフィルムでは効果が大きい。圧縮する方法としては、例えば図３のような搬送しながら単板を連続的にフィルムに押し付ける単板連続プレスや、図４のような回転しているロールの間を通して圧縮するロール圧延を挙げることができる。
【００２５】
グラファイトフィルムが前記１）及び２）の条件を満たすことによって、図１８のようなグラファイトフィルムの裂け不良、図１９のような巻きずれ不良、図２１のような折れシワ不良などの不具合を抑制できる。
【００２６】
次に、本発明のグラファイト複合フィルムの製造方法において、グラファイトフィルムをラミネートする工程とは、例えば図５のようにグラファイトフィルムと、粘着層又は接着層を有するシートを貼り合わせるものである。互いに平行に並んだ、第一ロールと第二ロールの間にグラファイトフィルムと粘着層又は接着層を有するシートを連続供給しながら貼り合わせることができる。また、ロールに熱を加えて樹脂を溶融させて貼り合わせる熱ラミネートも挙げることができる。
【００２７】
グラファイトフィルムが前記１）及び２）の条件を満たすことによって、図１８のようなグラファイトフィルムの裂け不良、図２２のような貼り合わせシワ不良などの不具合を抑制できる。
【００２８】
次に、本発明のグラファイト抜き加工品の製造方法において、グラファイトフィルム又は当該グラファイト複合フィルムを抜き加工する工程とは、例えば図６のようにピナクル型などを用いてフィルムを所定の形状に切り抜くことができる。グラファイトフィルム単体を切り抜いてもよいし、ラミネート工程により得られたグラファイト複合フィルムを打ち抜いてもよい。また、打ち抜く深さを調節することで、積層体の特定の層だけを残して打ち抜く、ハーフカットも実施できる。
【００２９】
グラファイトフィルムが前記１）及び２）の条件を満たすことによって、図１８のようなグラファイトフィルムの裂け不良、打ち抜いたフィルムの寸法の精度が悪くなる、寸法精度不良などの不具合を抑制できる。
【００３０】
＜グラファイトフィルムの平均引裂荷重とたるみ＞
本発明のグラファイトフィルムのＪＩＳ  Ｋ７１２８によるトラウザー引裂試験における平均引裂荷重は０．０８Ｎ以下である。特に、熱伝導性、電気伝導性に優れたグラファイトフィルムの場合には、グラファイトの結晶子がフィルム面方向に高度に配向しているため、平均引裂荷重が０．０８Ｎ以下になりやすい。
【００３１】
本発明のグラファイトフィルムの平均引裂荷重が０．０８Ｎ以下、更には０．０５Ｎ以下、特には０．０３Ｎ以下であっても、ＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価におけるたるみが５ｍｍ以上８０ｍｍ以下、の条件を満たすことによって、５態様での不具合を抑制することができる。
【００３２】
ここで、ＪＩＳ  Ｃ２１５１記載のフィルムの“たるみ”のあるフィルムとは、フィルムを引っ張ったとき、フィルムの一部がその範囲で通常のフィルムの高さ以下にたるむ。その測定は、ある一定の長さのフィルムを巻き戻し、図７のように１５００ｍｍ離れた２本の平行な棒に直角方向に載せ、中央部で均一な懸垂線からの偏差を測定する。例えばフィルムのＭＤ方向に均一に張力を加えた場合、フィルムにたるみがあるとたるみ部分には力が加わりにくい。即ち、フィルムの端部にたるみをあるとたるみ部分に力が加わりにくいために裂けを抑制できる。
【００３３】
本発明のグラファイトフィルムのＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価におけるたるみは、５ｍｍ以上８０ｍｍ以下である。たるみの最適な範囲は、５ｍｍ以上８０ｍｍ以下、好ましくは２０ｍｍ以上７０ｍｍ以下、さらに好ましくは３０ｍｍ以上５０ｍｍ以下である。たるみが５ｍｍ以上であると、捩れや張力に対して応力が分散されるために裂け不良を抑制できる。一方、たるみが８０ｍｍ以下であると、巻きずれ不良、シワ不良、グラファイト抜き加工品の寸法精度不良を抑制できる。本発明では、グラファイトフィルムのａ値や曲がりを特定の範囲に制御することによって、更に裂け等の不具合を抑制することができる。
【００３４】
＜グラファイトフィルムの（ＴＤ方向の最端部におけるたるみ）から（ＴＤ方向の最端部から３０ｍｍ地点におけるたるみ）を引いたａ値＞
本発明のグラファイトフィルムは、（ＴＤ方向の最端部におけるたるみ）から（ＴＤ方向の最端部から３０ｍｍ地点におけるたるみ）を引いたａ値が、５ｍｍ以上５０ｍｍ以下であることがグラファイトフィルムの裂け抑制の視点から好ましい。図８にａ値の模式図を示した。フィルムの裂け不良はフィルムの端部から発生するため、フィルムの裂け易さは端部のたるみであるａ値に影響される。ａ値は、より好ましくは１０ｍｍ以上４５ｍｍ以下、さらに好ましくは２０ｍｍ以上４０ｍｍ以下である。ａ値が５ｍｍ以上であると、捩れや張力に対して端部へかかる応力が分散されるために５態様での裂け不良を抑制できる。ａ値が５０ｍｍ以下であると、巻きずれ不良や、貼り合わせシワ不良、グラファイト抜き加工品の寸法精度不良が抑制できる。
【００３５】
＜グラファイトフィルムの曲がり＞
本発明のグラファイトフィルムのＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価における曲がりは、１０ｍｍ以下であることが好ましい。図９に曲がりの模式図を示した。本発明のグラファイトフィルムの曲がりは、より好ましくは５ｍｍ以下、さらに好ましくは３ｍｍ以下である。曲がりが１０ｍｍ以下であると、捩れや張力に対して応力が分散されるために５態様での裂け不良を抑制できる。また、巻きずれ不良、シワ不良、グラファイト抜き加工品の寸法精度不良を抑制できる。
【００３６】
＜グラファイトフィルムの長さ＞
グラファイトフィルムの長さとは、フィルムの長編方向の長さである。たるみの程度が同等でも、グラファイトフィルムの長さが短くなると、巻き替えが容易になる。グラファイトフィルムの長さが１８０ｍｍ程度の枚葉サイズであれば取り扱いが非常に容易である。グラファイトフィルムの長さが１０００ｍｍを超えるとフィルム端部に応力が集中し、フィルムが裂ける等の不具合が発生しやすくなる。本発明では、特にグラファイトフィルム長さが１０００ｍｍ以上の非常に取り扱いにくいフィルムであっても、たるみ、ａ値、曲がりを適切に制御することで裂けることなく作業を実施できる。
【００３７】
＜巻き替え張力＞
本発明のグラファイトフィルムの巻き替え方法において、フィルムの巻き替え張力と、裂け不良、巻きずれ不良との間には関連性がある。張力が弱いと、巻きずれ不良が発生しやすくなるため、張力を強める必要があるが、巻き替え張力の高張力化は、裂け不良を助長してしまう。巻き替え張力は、好ましくは３ｇ／ｃｍ以上４００ｇ／ｃｍ以下、より好ましくは１０ｇ／ｃｍ以上２００ｇ／ｃｍ以下、更に好ましくは２０ｇ／ｃｍ以上８０ｇ／ｃｍ以下である。３ｇ／ｃｍ以上４００ｇ／ｃｍ以下であると、裂けや巻きずれのような不具合を生じずに巻き替えを行うことができる。
【００３８】
＜巻き替え速度＞
本発明のグラファイトフィルムの巻き替え方法において、巻き替え速度の高速化は生産性の観点から重要であるが、本願発明のグラファイトフィルムでは、巻き替え速度の高速化は裂けや巻きずれのような不具合を助長してしまう。
【００３９】
本発明のグラファイトフィルムの巻き替え速度は、好ましくは１ｍ／ｍｉｎ以上５０ｍ／ｍｉｎ以下、より好ましくは３ｍ／ｍｉｎ以上３０ｍ／ｍｉｎ以下、更に好ましくは５ｍ／ｍｉｎ以上２０ｍ／ｍｉｎ以下の速度で巻き替えるとよい。
【００４０】
巻き替え速度が１ｍ／ｍｉｎ以上であると生産性がよくなり、５０ｍ／ｍｉｎ以下であると裂けや巻きずれのような不具合を生じずに巻き替えを行うことができる。
【００４１】
＜グラファイトフィルムの厚み＞
本発明のグラファイトフィルムの厚みは、好ましくは５μｍ以上２００μｍ以下、より好ましくは１０μｍ以上１００μｍ以下、更に好ましくは２０μｍ以上５０μｍ以下である。５μｍ以上２００μｍ以下であると裂けや巻きずれを抑制して巻き替えを行うことができる。
【００４２】
＜グラファイトフィルムの幅＞
本発明のグラファイトフィルムの幅（ＴＤ方法の長さ）は、たるみの程度が同等でも、グラファイトフィルムの幅が狭くなると巻き替えが容易になる。幅が２００ｍｍ以上、さらに３００ｍｍ以上、特には４００ｍｍ以上になると、端部に応力が集中しやすく裂け不良が発生しやすいが、本発明のたるみ、ａ値、曲がりの要因を制御することによって、５態様での裂けや巻きずれなどの不具合を抑制することができる。
【００４３】
＜スリット刃＞
グラファイトフィルムは結晶子がフィルム面方向に高度に配向しており、フィルムの切断性は悪い。このため、本発明のグラファイトフィルムの製造方法におけるスリット工程では、フィルムに負担のかからないロール刃が適している。
【００４４】
＜圧縮方法＞
本発明のグラファイトフィルムの製造方法における圧縮工程では、例えば、搬送しながら単板を連続的にフィルムに押し付ける単板連続プレスや、回転しているロールの間を通して圧縮するロール圧延を用いることができる。単板連続プレスは、フィルムの平坦性に関わらずシワを発生させることなく圧縮できるが、単板を連続的にフィルムに押し付けるためフィルムにかかる張力が安定せず裂け不良が発生しやすいという傾向がある。本発明の単板連続プレスを用いた圧縮工程では、たるみ、ａ値、曲がりなどの要因を制御することによって裂けや巻きずれを抑制することができる。また、ロール圧延は、張力を一定にできるためフィルムが裂けにくいが、フィルムのたるみが大きいとロールでの巻き込みシワが発生する傾向がある。本発明のロール圧延を用いた圧縮工程では、たるみ、ａ値、曲がりなどの要因を制御することによって、裂けや巻きずれ、巻き込みシワを抑制することができる。
【００４５】
＜粘着層又は接着層を有するシート＞
本発明のグラファイト複合フィルムにおいて、グラファイトフィルムと貼り合わせる粘着層又は接着層を有するシートは特に限定されない。粘着層を有するシートの構成は、例えば粘着層からなるフィルム、粘着層／基材からなるフィルム、粘着層／基材／粘着層などを挙げることができる。粘着層としては、シリコーン系、アクリル系、合成ゴム系などの粘着材を使用することができる。基材としては、ポリイミド系樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）系樹脂、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）系樹脂、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）系樹脂、ポリエステル系樹脂や、アルミ箔や銅箔などの金属シートなどを使用することができる。接着層を有するシートの構成としては、例えば、接着層からなるフィルム、接着層／基材からなるフィルム、接着層／基材／接着層などを挙げることができる。接着層としては、ポリイミド系、エポキシ系などの熱硬化型の樹脂接着材を使用することができる。接着層として溶融状態で接着させる熱可塑性樹脂なども用いることができる。基材としては、ポリイミド系樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）系樹脂、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）系樹脂、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）系樹脂、ポリエステル系樹脂や、アルミ箔、銅箔などの金属シート、ＣＦＲＰ（カーボンファイバー強化材料）、炭素繊維フェルト、及び他の炭素材料などを用いることができる。
【００４６】
＜第一ロール、第二ロール＞
本発明のグラファイト複合フィルムの製造方法において用いる第一ロール及び第二ロールは、ラミネーター装置などに取り付けられたグラファイトフィルムと粘着層又は接着層を有するシートを貼り合わせるためのロールである。第一ロールとはグラファイトフィルム側のロールで、第二ロールとは粘着層又は接着層を有するシート側のロールである。第一ロールと第二ロールの位置関係は特に限定されず、いずれが上側にあっても構わない。本発明の第一ロール、第二ロールは、温度制御ができるタイプのものであっても構わない。
【００４７】
第一ロールと第二ロールの間に供給されるグラファイトフィルム及び貼り合わせる材料は連続的に供給される。連続供給する方法としては、例えば長尺シートの巻き物を巻き出しロールに設置して、巻き出しながら２本のロール間に供給する方法を挙げることができる。巻き出しロールにトルクをかけて張力をコントロールしながら供給することもできる。
【００４８】
本発明のグラファイトフィルムのロール間（第一ロールと第二ロールの間）への供給方法としては、第一ロールにグラファイトフィルムを接触させながら供給するとよい。図１０の１０１に示すように、コシがなくフラットな状態で供給できないフィルムやたるみが大きいフィルムの場合にはこれをロール間に供給するとロールがフィルムの凹凸を巻き込んでしまって貼り合わせシワが発生する。図１０の１０２のように、ロールに接触させながらフィルム等を供給することで、凹凸ができずにシワ不良を発生させないように貼り合わせることが可能である。
【００４９】
＜本発明のグラファイトフィルムが第一ロールと接触開始する点と第一ロールの中点と第一ロール／第二ロールの接点のなす角度ｂ＞
本発明のグラファイトフィルムが第一ロールと接触開始する点と第一ロールの中点と第一ロール／第二ロールの接点のなす角度ｂとは、図１１に示すように、第一ロールに対するグラファイトフィルムの巻き角度のことである。第一ロールとグラファイトフィルムの接触開始点とは、図１１の１１４であり、第一ロールの中心点は１１５で、第一ロール／第二ロールの接点は１１６である。グラファイトフィルムを第一ロールに接触させながら、ロール間に連続供給する際、ｂを制御することが重要である。例えば、たるみやａ値の大きいグラファイトフィルムを使用する場合はｂが大きくすることで貼り合わせシワを抑制できる。本発明のｂとしては、好ましくは５度以上、より好ましくは４５度以上、更に好ましくは９０度以上である。５度以上であれば貼り合わせシワがなく貼り合わせることができる。
【００５０】
＜（第二ロールと粘着層又は接着層を有するシートの接触開始点）−（第二ロールの中心点）−（第一ロール／第二ロールの接点）のなすである角度ｃ＞
本発明のグラファイトフィルムを厚みの薄いシート（粘着層又は接着層を有するシート）と貼り合わせる場合には、（第二ロールと粘着層又は接着層を有するシートの接触開始点）−（第二ロールの中心点）−（第一ロール／第二ロールの接点）のなすである角度ｃを制御することが重要である。
【００５１】
本発明のｃとしては、好ましくは５度以上、より好ましくは４５度以上、更に好ましくは９０度以上である。５度以上であれば貼り合わせシワがなく貼り合わせることができる。
【００５２】
＜セパレーター＞
本発明で使用される粘着層又は接着層を有するシートには、粘着面又は接着面にセパレーターが貼り付けられているとよい。セパレーター付きの粘着材を有するシートを巻き戻す力がわずかで良いために、グラファイトフィルムとの貼り合わせを行いやすい。例えば、図５のように、バーをセパレーターの剥離の起点として、９０度以内の角度で、セパレーターを剥しながら、ロール間に粘着層又は接着層を有するシートを供給するとよい。
【００５３】
＜粘着層又は接着層を有するシートの幅＞
本発明で使用する粘着層又は接着層を有するシートの幅は、図５のように、貼り合わせるグラファイトフィルムの幅より狭いことが望ましい。粘着層又は接着層を有するシートがグラファイトフィルムより狭いことによって、粘着層又は接着層が第一ロールあるいは第二ロールに貼りついてシートが巻き込まれる不具合を抑えることができる。
【００５４】
一方、図１２のようにグラファイトフィルムと、グラファイトフィルムより広幅の粘着層又は接着層を有するシートを貼り合わせ、グラファイトフィルムの長編方向の端部を封止するラミネート方法も、グラファイトフィルムの粉落ちを抑制する観点で有効である。
【００５５】
＜ロールの形状＞
本発明のグラファイト複合フィルムの製造方法において用いられるロールの形状は特に制限されないが、例えば、クラウンロールやフラットロールを用いることができる。
【００５６】
クラウンロールとは、図１３に示すようにクラウン状を呈しており、圧を加えたときにロール中央の浮きを緩和する工夫がなされている。
【００５７】
本発明においては、ロールの少なくとも一方は、フラットロールを使用することが好ましい。特に、グラファイトフィルムが接する第一ロールはフラットロールが適している。ロールの少なくとも一方がフラットロールであると、端部の貼り合わせシワを抑制できる。特に、第一ロールがフラットであると、グラファイトフィルムをロール間に供給する際に、グラファイトフィルムがロールに密着しやすく、シワの発生を抑制できる。
【００５８】
なお、本発明では、ロールの中央の径と、端部から４分の１の径の差が、５０μｍ以上あるロールをクラウンロール、５０μｍ未満をフラットロールと定義する。
【００５９】
本発明で使用するクラウンロールのロールの中央の径と、端部から４分の１の径の差は、５０μｍ以上５００μｍ以下、好ましくは１００μｍ以上３００μｍ以下、さらに好ましくは１５０μｍ以上２５０μｍ以下である。
【００６０】
＜長尺のグラファイトフィルムをラミネーターへ連続供給し、連続的にラミネートする方法＞
本発明において、図２９のように、所望の形状にカットしながら長尺のグラファイトフィルムをラミネーターへ連続供給し、連続的にラミネートする間欠ラミネートも可能である。
【００６１】
＜グラファイト抜き加工品の例＞
本発明のグラファイト抜き加工品とは、図１４のように、グラファイトフィルムに保護テープや両面テープなどの粘着層又は接着層を有するシートを貼り合わせた後に、所望の形状に抜き出してステッカー状に加工したものである。図１４に示すステッカーはセパレーターに載っており、セパレーターからステッカーを剥がして使用される。
【００６２】
グラファイト抜き加工品の一例を示す。グラファイトフィルムの片面にセパレーター／両面テープを貼り合わせて、更にＰＥＴテープなどの保護テープを貼り合わせた後、所望の形状にハーフカットすることで、図１４のような抜き加工品を得ることが出来る。両面テープとＰＥＴテープを貼り合わせる順番は反対であっても良い。ここでハーフカットとは、積層品を最後まで打ち抜かず、所定の層まで切り抜くことを指す。
【００６３】
本発明のグラファイト抜き加工品の製造方法において、グラファイトフィルムと粘着層又は接着層を有するシートとの貼り合わせや、それらの複合シートを抜き加工を行う。長尺のグラファイトフィルムであれば連続的に行うことができる。
【００６４】
例えば、図１４のように、長尺グラファイトフィルムの片面に両面テープを貼り合わせて更にＰＥＴテープを貼り合わせた後、所望の形状にハーフカットすることで抜き加工品を得ることが出来る。両面テープとＰＥＴテープを貼り合わせる順序はいずれが先でもよい。また、図１５のように、長尺グラファイトフィルムの片面に両面テープを貼り合わせて更に所望の形状にハーフカットし、ＰＥＴテープを貼り合わせてからグラファイトシートよりひと回り大きな形状にハーフカットすることによって抜き加工品を得ることも出来る。また、図１６のように、長尺グラファイトフィルムを微粘着フィルムに貼り合わせて更にグラファイトシートを所望の形状にハーフカットして不要なグラファイトシートを剥がし、次いでグラファイトシートの微粘着フィルム面に両面テープに貼り合わせてから微粘着フィルムを剥がす。更に両面テープ側にＰＥＴテープを貼り合わせてから、粘着テープが外周すべてに残るような形状で、グラファイトフィルムよりひと回り大きくハーフカットすることで、図１６のような抜き加工品を得ることが出来る。両面テープとＰＥＴテープを貼り合わせる順序はいずれが先であってもよい。
【００６５】
グラファイト抜き加工品は、数列を同時に加工し、図１７に示す形態にすれば生産性の視点から好ましい。
【００６６】
＜本発明で使用されるグラファイトフィルムの製造方法＞
本発明のグラファイトシートは、１）ＪＩＳ  Ｋ７１２８によるトラウザー引裂試験における平均引裂荷重が０．０８Ｎ以下、２）ＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価におけるたるみが５ｍｍ以上８０ｍｍ以下、の条件を満たすグラファイトフィルムであれば、天然グラファイトを酸発泡、ロール圧延成型して製造される天然黒鉛シート、高分子フィルムを原料として２０００℃以上の温度で製造される熱分解グラファイトのいずれであっても構わない。
【００６７】
本発明のグラファイトフィルムの平均引裂荷重は０．０８Ｎ以下である。
【００６８】
以下に、その一例として、高分子焼成グラファイトフィルムの製造方法を記載する。
【００６９】
ポリイミドフィルムを黒鉛製の円筒状の芯（φ１００ｍｍ）などに巻き付けて（５００ｍｍ幅×５０ｍ程度）円筒状にし、１０００℃程度まで熱処理する炭化工程、炭化工程で得られた炭化フィルムを２５００以上まで熱処理する黒鉛化工程を経て、グラファイトフィルムを製造できる。従来の炭素質芯に原料フィルムを巻きつける方法では、円筒状の履歴（巻き癖）を引き伸ばす（展開する）ことが可能なグラファイトフィルムは得られていたが、より品質レベルの高い、最適なたるみ、ａ値、曲がりをもつグラファイトフィルムは得られておらず、５態様において、裂け不良、巻きずれ不良、折れシワ不良、貼り合わせシワ不良、寸法精度不良などが非常に多く発生した。
【００７０】
図２３には、たるみが異なる３種類のグラファイトフィルムを示す。図２３の２３１のフィルムのたるみは１０ｍｍ、２３２のフィルムのたるみは４０ｍｍ、２３３のフィルムのたるみは８０ｍｍであると異なっている。製造条件を最適化することで、本発明のグラファイトフィルムように、たるみ、ａ値を最適な範囲に調整し、引裂けにくく、その他の不良も発生しにくいものを準備できる。
【００７１】
本発明のグラファイトフィルムのたるみを制御する方法について説明する。図２４の示すように、たるみは、ＴＤ方向のいくつかのポイントでフィルムのＭＤ方向の長さが違うことに起因する。たるんでいる箇所ではフィルムが長くなっている（２４２）。つまり、本発明のグラファイトフィルムのたるみは、ＴＤ方向の各ポイントのフィルムの長さを制御することで得られる。以下にたるみを制御する方法を列挙する。
【００７２】
（１）熱処理によるたるみ制御
図２５に、熱処理温度とポリイミドフィルムの収縮膨張の関係を示す。ポリイミドフィルムから炭化フィルムを経てグラファイトフィルムへ変化する過程でフィルムは収縮及び膨張を生じる。収縮及び膨張は炭化フィルムやグラファイトフィルムに変化する過程で分子構造が転換するためである。例えば、ポリイミドフィルムの場合には６００℃付近までにフィルムが８０％まで収縮する。このような特性を利用すれば、熱処理の条件によってフィルムの大きさを調節し、たるみを制御することができる。
【００７３】
（１−１）円筒に巻きつけた状態での熱処理
ポリイミドフィルムは、黒鉛製の円筒容器に巻きつけて熱処理する。フィルムを円筒状に巻いて熱処理すると、フィルムを展開したときのフィルム端部側から、熱が加えられて、熱がより加えられた端部でグラファイト化がより進行するために面方向に伸びやすくなり、グラファイトフィルムの端部にたるみを形成することができる。
【００７４】
（１−２）昇温速度制御
昇温速度を最適化することでもたるみの大小を制御できる。例えば、昇温速度を遅くするとフィルム全体の温度が均熱的に上昇するために、フィルム全体のグラファイト化の進行度が均一となってたるみを小さくすることができる。
【００７５】
（２）分解ガスのガス圧を利用してたるみを形成する方法。
【００７６】
高分子フィルムをグラファイト化する過程で分解ガスが発生する。この分解ガスは、熱処理時に円筒芯に高分子フィルムを巻きつけておけばフィルム面に平行な方向に逃げようとする。その際、フィルムの端部が受けるガス圧は非常に大きいため、フィルム端部は引き伸ばされる。この結果、得られるグラファイトフィルムの端部はたるみが大きくなる傾向がある。このように、発生する分解ガスの圧力（ガス圧）を調整することで、たるみの大きさを制御することができる。
【００７７】
ガス圧の調整の方法として、例えば、容器に通気口を設け、分解ガスがスムーズ端部に向かうように、流れを作ることができる。特に図２６の２６４のように、フィルムの端部側に通気口を設けると効果が大きい。
【００７８】
分解ガスの流れをスムーズにする工夫として、Ｎ２やＡｒなどの不活性ガスを導入しながら、ガスの出口からはガスが抜けやすいように、−０．０８ＭＰａ〜０．０１ｋＰａの範囲で減圧する方法も挙げることができる。
【００７９】
（３）高分子フィルムのたるみを制御
たるみを制御した高分子フィルムを使用すれば、高分子フィルムに由来したたるみを有するグラファイトフィルムを得ることができる。
【００８０】
（４）平坦性矯正
グラファイトフィルムは室温ではほとんど伸びがない。しかしながら、平坦性が悪いグラファイトフィルムを２５００℃以上の温度に保持した状態でフィルムを引っ張ったり、押さえつけたりして、たるみを矯正することもできる。
【００８１】
グラファイトフィルムを矯正する一例としては、黒鉛芯とグラファイトフィルムの線膨張の差を利用する方法がある。具体的には、黒鉛製の円筒芯にグラファイトフィルムをきつく巻きつけて２６００℃以上まで熱処理することが挙げられる。２６００℃以上では黒鉛芯の方がグラファイトフィルムより伸びるために、グラファイトフィルムは芯に締め付けられてより平坦な状態に矯正される。円筒芯に締め付ける程度を調整したり、熱処理最高温度を調整したりすることで、フィルムのたるみの程度を矯正することができる。
【００８２】
＜ポリイミドフィルム＞
高分子焼成グラファイトフィルムの原料として使用される高分子フィルムとして、（１）フィルムの炭化、グラファイト化が容易に進行して良好な結晶性、良好な熱拡散性を有するグラファイトフィルムが得られやすい、（２）原料モノマーを種々選択できて、容易な分子設計によって様々な構造および特性を有するものを得ることができる、という理由から、ポリイミドフィルムが好ましい。前駆体であるポリアミド酸を脱水剤とアミン類を併用してイミド転化するケミカルキュア法を用いて得られるポリイミドフィルムは、さらに好ましい。
【００８３】
＜高分子フィルムの反りの方向、反り量＞
本発明で使用するグラファイトフィルムは、高分子フィルムの第１面が内巻き、外巻きのいずれであっても構わないが、グラファイトフィルムが、高分子フィルムの第１面が内巻きになるように巻いた状態（以下、巻物ともいう）で、２０００℃以上の温度で熱処理をおこなったものであることがより好ましい。高分子フィルムの第１面が巻物の内側になるように巻くことで、熱処理後の円筒形状の崩れや、フィルムを巻き替える際の裂け不良を抑制することができる。
【００８４】
本発明で使用する高分子フィルムは反りを有するとよい。反りは、ＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価におけるたるみ測定にて確認できる。詳細は、実施例の項に記載した。反りの方向は、図３０の３０１、３０２のようにフィルムエッジを確認することでわかる。３０１は上面側に反り、３０２は下面側に反っている。
高分子フィルムの反り量とは、ＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価におけるたるみ測定にて測定できる。幅は１００ｍｍ（ＴＤ方向）、長さが３０００ｍｍ（ＭＤ方向）の試験片を用いる。詳細は、実施例の項に記載した。
【００８５】
本発明で使用する高分子フィルムの反り量は、０．５ｍｍ以上１６ｍｍ以下、好ましくは１．０ｍｍ以上１６ｍｍ以下、より好ましくは１．５ｍｍ以上１０ｍｍ以下、更に好ましくは、２ｍｍ以上８ｍｍ以下である。０．５ｍｍ以上１６ｍｍ以下であれば、第１面を内巻きになるように巻いた状態で熱処理することで、焼成後のグラファイトフィルムの円筒形状が崩れず、引き伸ばしても端部からの裂けが少なく、また、巻き替えても裂け不良が発生しないグラファイトフィルムが得られる。
【００８６】
＜高分子フィルムの第１面、第２面の定義＞
本発明において第２面とは、図３１のようにフィルムが反る側の面をいう。第２面の反対側の面を第１面と定義する。高分子フィルムの第１面を内巻きになるように巻いた状態で熱処理することで、焼成後のグラファイトフィルムの円筒形状が崩れず、引き伸ばしても端部からの裂けが少なく、また、巻き替えても裂け不良が発生しないグラファイトフィルムが得られる。
【００８７】
＜グラファイトフィルムの製造方法＞
本発明で使用されるグラファイトフィルムの製造方法は、高分子フィルムを熱処理してグラファイトフィルムを製造する方法であり、１）準備工程、２）炭化工程、３）黒鉛化工程を含むとよい。フィルムの形状が崩れや巻き替え時の裂け不良を抑制するためには、高分子フィルムの第１面であった面を巻物の内側にある状態にして黒鉛化工程を行うことが好ましい。
【００８８】
１）準備工程では、ポリイミドフィルムなどの高分子フィルムを、シート状にカットして角型冶具内に板やシートで挟んで保持する方法や、長尺の高分子フィルムを内芯冶具に巻き付けて保持する方法などがある。このとき使用する冶具は黒鉛材のように耐熱性があるものが好ましい。また、高分子フィルムを巻き付ける内芯は円筒形状が好ましい。
本発明のグラファイトフィルムの製造方法では、高分子フィルムの第１面を内巻きになるように巻いた状態で熱処理することを特徴とする。したがって、準備工程の段階で、高分子フィルムの第１面が内巻きになるように準備すると、炭化工程、黒鉛化工程で巻き替えなどを行うことなく製造することができる。
【００８９】
２）炭化工程は、冶具に保持された高分子フィルムを少なくとも８００℃程度の温度まで予備加熱する工程であり、高分子フィルムを加熱分解し、炭化フィルムを得る工程である。得られる炭化フィルムは、高分子フィルムの６割程度の重さとなり、ガラス状のフィルムである。
【００９０】
３）黒鉛化工程とは、炭化工程で作成された炭化フィルム、あるいは高分子フィルムを２０００℃以上の温度で加熱し、黒鉛化する工程である。黒鉛化最高温度は、２０００℃以上、好ましくは２７００℃以上、より好ましくは２８００℃以上、更に好ましくは２９００℃以上である。２０００℃以上であると、グラファイト化が進行し、裂けにくく良質のグラファイトフィルムへ転換できる。
【００９１】
高分子フィルムの連続体を巻き替えながら搬送し、その途中で炉内を通し、連続的に炭化処理を実施してもよい。巻き取りの際、元の高分子フィルムの第１面が内巻きになるように巻き取ることで、そのまま黒鉛化を実施できる。
黒鉛化工程ではフィルムを冶具に保持しなくてもよいが、フィルムの形状が崩れることを抑制するため、高分子フィルムの第１面が内側になるように巻かれた状態で熱処理することが好ましい。したがって、準備工程で、高分子フィルムの第１面が内側になるように巻いておくと作業性の観点から好ましいが、炭化フィルムを、高分子フィルムの第１面であった面が内側になるように巻きなおして黒鉛化処理を実施してもよい。
また、炭化工程と黒鉛化工程は連続しておこなっても、炭化工程を終了させて、その後黒鉛化工程のみを単独で行っても構わない。
【００９２】
＜選別する工程＞
本発明の選別する工程とは、黒鉛化工程において、高分子フィルムの第１面であった面が巻物の内側に巻かれるにように、面を選別して準備する工程である。選別は、黒鉛化工程前であれば、高分子フィルムの段階、炭化フィルムの段階を問わない。
【００９３】
＜ポリイミドフィルムの製膜方法＞
グラファイトフィルムの焼成後の形状の崩れ、円筒形状を引き伸ばしたときに発生する裂け不良、巻き替え作業時に発生する裂け不良は、原料であるポリイミドフィルムの反りに影響を受ける。このポリイミドフィルムの反りは製膜工程で発生する。
ポリイミド前駆体をイミド化し、最終的にポリイミドフィルムの製品とするための製造装置は、流延塗布しケミカルキュアを行う加熱手段を備えたドラム室あるいはベルト室と熱キュアを行うテンター室とに大きく分けられる。
本発明にかかるポリイミドフィルムの製造工程の１例を図３３により示すと、まずベルト室３３１０での工程は、ミキサーで混合したポリイミド前駆体をＴダイ３３１２によりフィルム状に押し出す工程を行い、反応硬化室においてはＴダイより押し出されたフィルム状のポリイミド前駆体をエンドレスベルトあるいはキャスティングドラム３３１４上にフィルム状に形成する。フィルム状に形成された前駆体は、ベルトあるいはドラムの回転により移動させられながら、加熱手段により加熱されてイミド化される。このベルト室内においては反応に伴って生成した生成物、主として酢酸や有機溶媒等の可燃性の揮発成分が蒸発する。  
【００９４】
ベルト室での温度条件を例示すると、ベルト１室が１００℃、ベルト２室１２０℃、ベルト３室１３０℃、及び冷却プーリー３３２６が、８０℃等の温度条件により、キャストされたフィルムに自己支持性が付与される。メカニズムの詳細はわかっていないが、ベルト室の温度条件、冷却プーリーの温度条件、ベルトの回転速度が、ポリイミドフィルムの反りに影響を与えている。
【００９５】
これらの工程により、ポリイミド前駆体のフィルムをイミド化しながら、フィルムが自己支持性を有するゲルフィルムとし、エンドレスベルトから引き剥がす。
前記ゲルフィルム３３１６は端部を固定されテンター室３３１８にて加熱処理される。例えば、テンター室３３１８は、加熱炉３３２０及び徐冷炉３３２２で構成され、図３３においては、ピンでフィルムを固定したピンシートをピンコンベアの回転駆動により可動させることにより、フィルムがテンター室内を移動する。熱キュアを行う加熱炉３３２０内において徐々に加熱することによりゲルフィルムをさらにイミド化する。
たとえば、加熱炉３３２０として熱風炉、遠赤外線ヒーターを用いて、加熱炉３３２０内を徐々に昇温して、ポリイミドへのイミド化を完了させる。  
熱処理の温度は、初期設定温度はフィルムの膜厚、またポリイミド前駆体の反応に用いる有機溶媒の種類等との関係により、乾燥の程度が異なる。具体的には、初期設定温度は、例えば、最終膜厚２５μｍのフィルムにおいては、２００℃から２５０℃、最終膜厚１２５μｍのフィルムにおいては、１５０℃〜２００℃が好ましい。この段階で、ゲルフィルムの乾燥が効果的に行われ同時にイミド化反応が進行すると考えられる。  
その後、徐々に加熱し最高温度５００℃以上６３０℃以下の温度範囲とすることが好ましい。さらに好ましくは、５４０℃以上５８０℃以下の範囲が好ましい。最高温度に達する温度勾配については、前記の温度範囲で熱処理を施せば、特に制限されない。    熱処理時間は、数秒から数十分、好ましくは１分から５分であり、熱処理温度との関係で適宜設定される。  
【００９６】
温度勾配は、フィルム厚や乾燥の度合い等フィルムの状態に適応して設定され、特に限定されない。具体的に例をあげて説明すると、２５μｍの膜厚のフィルムでは、２００℃以上２５０℃以下の温度範囲で３０秒、さらに３００℃以上３５０℃以下の温度範囲で３０秒、４００℃以上４５０℃以下の温度範囲で３０秒、さらに５００℃以上５８０℃以下の温度範囲で６０秒である。  
前記加熱炉３３２０内での熱キュアの工程において、完全にイミド化されたポリイミドフィルムは、除冷炉３３２２において徐々に冷却される。
【００９７】
＜ベルト面、エアー面＞
本発明では、高分子フィルムをキャスト法にて製膜する際、ゲルフィルムがエンドレスベルトと接していた面をベルト面と呼び、反対の面をエアー面と呼ぶ。通常、ベルト面が第１面である。
【００９８】
また、本発明には以下の発明が含まれていてもよい。
【００９９】
（１）ロールに巻きつけた下記１）２）の特徴を有するグラファイトフィルムを巻き出して、他のロールで巻取るグラファイトフィルムを巻き替えする方法。
１）ＪＩＳ  Ｋ７１２８によるトラウザー引裂試験における平均引裂荷重が０．０８Ｎ以下、２）ＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価におけるたるみが５ｍｍ以上８０ｍｍ以下。
【０１００】
（２）グラファイトフィルムの（ＴＤ方向の最端部におけるたるみ）から（ＴＤ方向の最端部から３０ｍｍ地点におけるたるみ）を引いたａ値が、５ｍｍ以上５０ｍｍ以下である（１）に記載のグラファイトフィルムを巻き替えする方法。
【０１０１】
（３）グラファイトフィルムのＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価における曲がりが１０ｍｍ以下である（１）〜（２）のいずれかに記載のグラファイトフィルムを巻き替えする方法。
【０１０２】
（４）ロールに巻きつけた下記１）２）の特徴を有するグラファイトフィルムを巻き出して、他のロールで巻取るまでの間に、スリット刃を用いて該グラファイトフィルムをスリットする工程を含むグラファイトフィルムの製造方法。
１）ＪＩＳ  Ｋ７１２８によるトラウザー引裂試験における平均引裂荷重が０．０８Ｎ以下、２）ＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価におけるたるみが５ｍｍ以上８０ｍｍ以下。
【０１０３】
（５）グラファイフィルムの（ＴＤ方向の最端部におけるたるみ）から（ＴＤ方向の最端部から３０ｍｍ地点におけるたるみ）を引いたａ値が、５ｍｍ以上５０ｍｍ以下である（４）に記載のグラファイトフィルムの製造方法。
【０１０４】
（６）グラファイトフィルムのＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価における曲がりが１０ｍｍ以下である（４）〜（５）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法。
【０１０５】
（７）前記グラファイトフィルムが、巻芯に高分子フィルムを巻き付けた状態で熱処理を行なう炭化工程を経て製造されたグラファイトフィルムであって、該炭化工程において、該巻芯と、巻芯を収納する外筒とにより構成される容器を備え、該容器が通気性を有する、（４）〜（６）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法。
【０１０６】
（８）前記グラファイトフィルムが、巻芯に高分子フィルムを巻き付けた状態で熱処理を行なう炭化工程を経て製造されたグラファイトフィルムであって、該炭化工程の少なくとも一部、不活性ガスを導入しながら−０．０８ＭＰａ〜０．０１ｋＰａの範囲で減圧する（４）〜（６）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法。
【０１０７】
（９）前記グラファイトフィルムが、巻芯に炭化した高分子フィルムからなる熱処理フィルムを巻き付けた状態で、２０００℃以上の温度で熱処理を行うグラファイト化工程を有するグラファイトフィルムの製造方法によって得られるグラファイトフィルムであって、前記グラファイト化工程は、前記熱処理フィルムの巻き締めを行う巻き締め工程を含む、（４）〜（６）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法。
【０１０８】
（１０）ロールに巻きつけた下記１）２）の特徴を有するグラファイトフィルムを巻き出して、他のロールで巻取るまでの間に、該グラファイトフィルムを圧縮する工程を含む、グラファイトフィルムの製造方法。
１）ＪＩＳ  Ｋ７１２８によるトラウザー引裂試験における平均引裂荷重が０．０８Ｎ以下、２）ＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価におけるたるみが５ｍｍ以上８０ｍｍ以下。
【０１０９】
（１１）グラファイトフィルムの（ＴＤ方向の最端部におけるたるみ）から（ＴＤ方向の最端部から３０ｍｍ地点におけるたるみ）を引いたａ値が、５ｍｍ以上５０ｍｍ以下である、（１０）に記載のグラファイトフィルムの製造方法。
【０１１０】
（１２）グラファイトフィルムのＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価における曲がりが１０ｍｍ以下である、（１０）〜（１１）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法。
【０１１１】
（１３）前記グラファイトフィルムの幅が２００ｍｍ以上である、（１０）〜（１２）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法。
【０１１２】
（１４）前記グラファイトフィルムが、巻芯に高分子フィルムを巻き付けた状態で熱処理を行なう炭化工程を経て製造されたグラファイトフィルムであって、該炭化工程において、該巻芯と、巻芯を収納する外筒とにより構成される容器を備え、該容器が通気性を有する、（１０）〜（１３）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法。
【０１１３】
（１５）前記グラファイトフィルムが、巻芯に高分子フィルムを巻き付けた状態で熱処理を行なう炭化工程を経て製造されたグラファイトフィルムであって、該炭化工程の少なくとも一部、不活性ガスを導入しながら−０．０８ＭＰａ〜０．０１ｋＰａの範囲で減圧する（１０）〜（１３）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法。
【０１１４】
（１６）前記グラファイトフィルムが、巻芯に炭化した高分子フィルムからなる熱処理フィルムを巻き付けた状態で、２０００℃以上の温度で熱処理を行うグラファイト化工程を有するグラファイトフィルムの製造方法によって得られるグラファイトフィルムであって、前記グラファイト化工程は、前記熱処理フィルムの巻き締めを行う巻き締め工程を含む、（１０）〜（１３）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法。
【０１１５】
（１７）ロールに巻きつけた下記１）２）の特徴を有するグラファイトフィルムを巻き出して、他のロールで巻取るまでの間に、該グラファイトフィルムをラミネートする工程を含む、グラファイト複合フィルムの製造方法。
１）ＪＩＳ  Ｋ７１２８によるトラウザー引裂試験における平均引裂荷重が０．０８Ｎ以下、２）ＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価におけるたるみが５ｍｍ以上８０ｍｍ以下。
【０１１６】
（１８）グラファイトフィルムの（ＴＤ方向の最端部におけるたるみ）から（ＴＤ方向の最端部から３０ｍｍ地点におけるたるみ）を引いたａ値が、５ｍｍ以上５０ｍｍ以下である、（１７）に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【０１１７】
（１９）グラファイトフィルムのＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価における曲がりが１０ｍｍ以下である、（１７）〜（１８）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【０１１８】
（２０）前記グラファイトフィルムの幅が２００ｍｍ以上である、（１７）〜（１９）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【０１１９】
（２１）グラファイトフィルムが第一ロールと接触開始する点と第一ロールの中点と第一ロール／第二ロールの接点のなす角度ｂが５度以上である（１７）〜（２０）に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【０１２０】
（２２）前記グラファイト複合フィルムがグラファイトフィルムと粘着層又は接着層を有するシートを貼り合わせて製造され、粘着層又は接着層を有するシートの厚みが６０μｍ以下である、（１７）〜（２１）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【０１２１】
（２３）粘着層又は接着層を有するシートからセパレーターを剥がしながら、前記第一ロールと第二ロールの間に連続供給するグラファイトシート複合品の製造方法であって、シートからセパレーターを引き剥がす角度が９０度以下である、（１７）〜（２２）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【０１２２】
（２４）（粘着層又は接着層を有するシートのＴＤ方向の長さ）が（グラファイトフィルムのＴＤ方向の長さ）よりも５ｍｍ以上長い、（１７）〜（２３）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【０１２３】
（２５）前記第一ロールおよび第二ロールが、クラウンロールとフラットロールの組み合わせである、（１７）〜（２４）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【０１２４】
（２６）前記グラファイトフィルムが、巻芯に高分子フィルムを巻き付けた状態で熱処理を行なう炭化工程を経て製造されたグラファイトフィルムであって、該炭化工程において、該巻芯と、巻芯を収納する外筒とにより構成される容器を備え、該容器が通気性を有する、（１７）〜（２５）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【０１２５】
（２７）前記グラファイトフィルムが、巻芯に高分子フィルムを巻き付けた状態で熱処理を行なう炭化工程を経て製造されたグラファイトフィルムであって、該炭化工程の少なくとも一部、不活性ガスを導入しながら−０．０８ＭＰａ〜０．０１ｋＰａの範囲で減圧する（１７）〜（２５）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【０１２６】
（２８）前記グラファイトフィルムが、巻芯に炭化した高分子フィルムからなる熱処理フィルムを巻き付けた状態で、２０００℃以上の温度で熱処理を行うグラファイト化工程を有するグラファイトフィルムの製造方法によって得られるグラファイトフィルムであって、前記グラファイト化工程は、前記熱処理フィルムの巻き締めを行う巻き締め工程を含む、（１７）〜（２５）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【０１２７】
（２９）ロールに巻きつけた下記１）２）の特徴を有するグラファイトフィルムを用いたグラファイトフィルム、又はロールに巻きつけた請求項１７〜請求項２５のいずれか１項に記載のグラファイト複合フィルムを巻き出して、他のロールで巻取るまでの間に、該グラファイトフィルム又は該グラファイト複合フィルムを抜き加工する工程を含む、グラファイト抜き加工品の製造方法。
１）ＪＩＳ  Ｋ７１２８によるトラウザー引裂試験における平均引裂荷重が０．０８Ｎ以下、２）ＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価におけるたるみが５ｍｍ以上８０ｍｍ以下。
【０１２８】
（３０）前記（２９）に記載のグラファイトフィルムが（ＴＤ方向の最端部におけるたるみ）から（ＴＤ方向の最端部から３０ｍｍ地点におけるたるみ）を引いたａ値が、５ｍｍ以上５０ｍｍ以下であるグラファイト抜き加工品の製造方法。
【０１２９】
（３１）前記（２９）又は（３０）のいずれかに記載のグラファイトフィルムがＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価における曲がりが１０ｍｍ以下であるグラファイト抜き加工品の製造方法。
【０１３０】
（３２）前記（２９）〜（３１）のいずれかに記載のグラファイトフィルムが少なくとも片面に粘着層又は接着層を有するシートが形成する工程と、ハーフカットする工程を含むグラファイト抜き加工品の製造方法。
【０１３１】
（３３）前記（２９）〜（３２）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの周辺端部の一部が、粘着層又は接着層を有するシートで被覆する工程を含むグラファイト抜き加工品の製造方法。
【０１３２】
（３４）前記（２９）〜（３３）のいずれかに記載のグラファイトフィルムが、巻芯に高分子フィルムを巻き付けた状態で熱処理を行なう炭化工程を経て製造されたグラファイトフィルムであって、該炭化工程において、該巻芯と、巻芯を収納する外筒とにより構成される容器を備え、該容器が通気性を有するグラファイト抜き加工品の製造方法。
【０１３３】
（３５）前記（２９）〜（３３）のいずれかに記載のグラファイトフィルムが、巻芯に高分子フィルムを巻き付けた状態で熱処理を行なう炭化工程を経て製造されたグラファイトフィルムであって、該炭化工程の少なくとも一部、不活性ガスを導入しながら−０．０８ＭＰａ〜０．０１ｋＰａの範囲で減圧するグラファイト抜き加工品の製造方法。
【０１３４】
（３６）前記（２９）〜（３３）のいずれかに記載のグラファイトフィルムが、巻芯に炭化した高分子フィルムからなる熱処理フィルムを巻き付けた状態で、２０００℃以上の温度で熱処理を行うグラファイト化工程を有するグラファイトフィルムの製造方法によって得られるグラファイトフィルムであって、前記グラファイト化工程は、前記熱処理フィルムの巻き締めを行う巻き締め工程を含むグラファイト抜き加工品の製造方法。
【０１３５】
（３７）前記（２９）に記載のグラファイト複合フィルムに用いるグラファイトフィルムが（ＴＤ方向の最端部におけるたるみ）から（ＴＤ方向の最端部から３０ｍｍ地点におけるたるみ）を引いたａ値が、５ｍｍ以上５０ｍｍ以下であるグラファイト抜き加工品の製造方法。
【０１３６】
（３８）前記（２９）又は（３０）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムに用いるグラファイトフィルムがＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価における曲がりが１０ｍｍ以下であるグラファイト抜き加工品の製造方法。
【０１３７】
（３９）前記（２９）〜（３１）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムに用いるグラファイトフィルムが少なくとも片面に粘着層又は接着層を有するシートが形成する工程と、ハーフカットする工程を含むグラファイト抜き加工品の製造方法。
【０１３８】
（４０）前記（２９）〜（３２）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムに用いるグラファイトフィルムの周辺端部の一部が、粘着層又は接着層を有するシートで被覆する工程を含むグラファイト抜き加工品の製造方法。
【０１３９】
（４１）前記（２９）〜（３３）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムに用いるグラファイトフィルムが、巻芯に高分子フィルムを巻き付けた状態で熱処理を行なう炭化工程を経て製造されたグラファイトフィルムであって、該炭化工程において、該巻芯と、巻芯を収納する外筒とにより構成される容器を備え、該容器が通気性を有するグラファイト抜き加工品の製造方法。
【０１４０】
（４２）前記（２９）〜（３３）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムに用いるグラファイトフィルムが、巻芯に高分子フィルムを巻き付けた状態で熱処理を行なう炭化工程を経て製造されたグラファイトフィルムであって、該炭化工程の少なくとも一部、不活性ガスを導入しながら−０．０８ＭＰａ〜０．０１ｋＰａの範囲で減圧するグラファイト抜き加工品の製造方法。
【０１４１】
（４３）前記（２９）〜（３３）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムに用いるグラファイトフィルムが、巻芯に炭化した高分子フィルムからなる熱処理フィルムを巻き付けた状態で、２０００℃以上の温度で熱処理を行うグラファイト化工程を有するグラファイトフィルムの製造方法によって得られるグラファイトフィルムであって、前記グラファイト化工程は、前記熱処理フィルムの巻き締めを行う巻き締め工程を含むグラファイト抜き加工品の製造方法。
【０１４２】
（４４）巻き替えに使用するグラファイトフィルムが、高分子フィルムの第１面が内巻きになるように巻いた状態で、２０００℃以上の温度で熱処理をおこなって得られたグラファイトフィルムである（１）〜（３）のいずれかに記載のグラファイトフィルムを巻き替えする方法。
【０１４３】
（４５）スリットに使用するグラファイトフィルムが、高分子フィルムの第１面が内巻きになるように巻いた状態で、２０００℃以上の温度で熱処理をおこなって得られたグラファイトフィルムである（４）〜（９）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法。
【０１４４】
（４６）圧縮に使用するグラファイトフィルムが、高分子フィルムの第１面が内巻きになるように巻いた状態で、２０００℃以上の温度で熱処理をおこなって得られたグラファイトフィルムである（１０）〜（１６）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法。
【０１４５】
（４７）ラミネートに使用するグラファイトフィルムが、高分子フィルムの第１面が内巻きになるように巻いた状態で、２０００℃以上の温度で熱処理をおこなって得られたグラファイトフィルムである（１７）〜（２８）のいずれかに記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
【０１４６】
（４８）抜き加工に使用するグラファイトフィルムが、高分子フィルムの第１面が内巻きになるように巻いた状態で、２０００℃以上の温度で熱処理をおこなって得られたグラファイトフィルムである（２９）〜（３６）のいずれかに記載のグラファイト抜き加工品の製造方法。
【０１４７】
（４９）抜き加工に使用するグラファイト複合フィルムに用いるグラファイトフィルムが、高分子フィルムの第１面が内巻きになるように巻いた状態で、２０００℃以上の温度で熱処理をおこなって得られたグラファイトフィルムである（３７）〜（４３）のいずれかに記載のグラファイト抜き加工品の製造方法。
【０１４８】
（５０）ＪＩＳ  Ｋ７１２８によるトラウザー引裂試験における平均引裂荷重が０．０８Ｎ以下、ＪＩＳ  Ｃ２１５１によるフィルムの巻取り性評価におけるたるみが５ｍｍ以上８０ｍｍ以下、であるグラファイトフィルム。
【実施例】
【０１４９】
以下において、本発明の種々の実施例をいくつかの比較例と共に説明する。なお、本願明細書においては、グラファイトフィルムをＧＳと略す場合がある。
＜グラファイトフィルム１〜２０＞
・グラファイトフィルム１（ＧＳ１）
厚さ５０μｍ、幅５００ｍｍ、長さ５０ｍのカネカ製ポリイミドフィルム（アピカルＡＶ）を、図２６のように、外径１００ｍｍ、長さ６００ｍｍの円筒状の黒鉛製内芯に巻き付け、内径１３０ｍｍの外筒を被せた。容器には２６４のように通気性を持たせるための穴が数箇所開いている。この容器を電気炉内に横向きにセットした。ガスの流れをよくするため、窒素を５ｌ／ｍｉｎ導入しながら、炉出口から、−０．０５ＭＰａで減圧した。１４００℃まで２℃／ｍｉｎの昇温条件で炭化処理を行った。次に、得られたロール状の炭化フィルムを外径１００ｍｍの内芯に、図２７のようにセットして、この容器を、横向きにグラファイト化炉内にセットし（支えにより内芯を浮かせた状態）、２９００℃まで５℃／ｍｉｎの昇温条件で黒鉛化処理を実施した。さらに得られたグラファイトフィルムをφ１００の円筒状の芯に巻き直して、再び２９００℃まで加熱して、２回目の黒鉛化処理を実施した。巻き直す程度を調節し、たるみ＝１０ｍｍ、ａ値＝５ｍｍ、曲がり＝＜１ｍｍ、厚み＝２５μｍ、幅＝４５０ｍｍ、長さ＝３５ｍ、面積＝１５．７５ｍ２、平均引裂荷重＝０．０１ＮのＧＳ１を調製した。
【０１５０】
・グラファイトフィルム２（ＧＳ２）
巻き直す程度を調節し、ａ値＝２ｍｍとなるように調製したこと以外は、ＧＳ１と同様にして、ＧＳ２を準備した。
【０１５１】
・グラファイトフィルム３（ＧＳ３）
巻き直す程度を調節し、たるみ＝２０ｍｍ、ａ値＝１０ｍｍとなるように調製したこと以外は、ＧＳ１と同様にして、ＧＳ３を準備した。
【０１５２】
・グラファイトフィルム４（ＧＳ４）
巻き直す程度を調節し、たるみ＝４０ｍｍ、ａ値＝３０ｍｍとなるように調製したこと以外は、ＧＳ１と同様にして、ＧＳ４を準備した。
【０１５３】
・グラファイトフィルム５（ＧＳ５）
巻き直す程度を調節し、たるみ＝４０ｍｍ、ａ値＝３０ｍｍ、平均引裂荷重＝０．０５Ｎとなるように調製したこと以外は、ＧＳ１と同様にして、ＧＳ５を準備した。
【０１５４】
・グラファイトフィルム６（ＧＳ６）
巻き直す程度を調節し、たるみ＝４０ｍｍ、ａ値＝２ｍｍとなるように調製したこと以外は、ＧＳ１と同様にして、ＧＳ６を準備した。
【０１５５】
・グラファイトフィルム７（ＧＳ７）
巻き直す程度を調節し、たるみ＝７０ｍｍ、ａ値＝５０ｍｍとなるように調製したこと以外は、ＧＳ１と同様にして、ＧＳ７を準備した。
【０１５６】
・グラファイトフィルム８（ＧＳ８）
巻き直す程度を調節し、たるみ＝７０ｍｍ、ａ値＝６０ｍｍとなるように調製したこと以外は、ＧＳ１と同様にして、ＧＳ８を準備した。
【０１５７】
・グラファイトフィルム９（ＧＳ９）
厚さ７５μｍのカネカ製ポリイミドフィルム（アピカルＡＶ）を原料に用いたこと、巻き直す程度を調節し、たるみ＝４０ｍｍ、ａ値＝３０ｍｍ、厚み＝４０μｍとなるように調製したこと以外は、ＧＳ１と同様にして、ＧＳ９を準備した。
【０１５８】
・グラファイトフィルム１０（ＧＳ１０）
幅２７５ｍｍのカネカ製ポリイミドフィルム（アピカルＡＶ）を原料に用いたこと、巻き直す程度を調節し、たるみ＝１０ｍｍ、ａ値＝５ｍｍ、幅２５０ｍｍとなるように調製したこと以外は、ＧＳ１と同様にして、ＧＳ１０を準備した。
【０１５９】
・グラファイトフィルム１１（ＧＳ１１）
幅１４０ｍｍのカネカ製ポリイミドフィルム（アピカルＡＶ）を原料に用いたこと、巻き直す程度を調節し、たるみ＝１０ｍｍ、ａ値＝５ｍｍ、幅１２０ｍｍとなるように調製したこと以外は、ＧＳ１と同様にして、ＧＳ１１を準備した。
【０１６０】
・グラファイトフィルム１２（ＧＳ１２）
巻き直す程度を調節し、曲がり＝５ｍｍとなるように調製したこと以外は、ＧＳ１２と同様にして、ＧＳ１２を準備した。
【０１６１】
・グラファイトフィルム１３（ＧＳ１３）
巻き直す程度を調節し、曲がり＝１０ｍｍとなるように調製したこと以外は、ＧＳ１２と同様にして、ＧＳ１３を準備した。
【０１６２】
・グラファイトフィルム１４（ＧＳ１４）
巻き直す程度を調節し、たるみ＝２ｍｍ、ａ値＝２ｍｍとなるように調製したこと以外は、実施例１と同様にして、ＧＳ１４を準備した。
【０１６３】
・グラファイトフィルム１５（ＧＳ１５）
巻き直す程度を調節し、たるみ＝１００ｍｍ、ａ値＝６０ｍｍとなるように調製したこと以外は、実施例１と同様にして、ＧＳ１５を準備した。
【０１６４】
・グラファイトフィルム１６（ＧＳ１６）
巻き直す程度を調節し、たるみ＝４０ｍｍ、ａ値＝３０ｍｍ、平均引裂荷重＝０．１２Ｎとなるように調製したこと以外は、実施例１と同様にして、ＧＳ１６を準備した。
【０１６５】
・グラファイトフィルム１７（ＧＳ１７）
天然黒鉛粉を酸発泡させ、圧延ロールで圧縮成型し、厚み５０μｍのＧＳ１７を作製した。たるみ＝２ｍｍ、ａ値＝２ｍｍ、曲がり＝＜１ｍｍ、厚み＝５０μｍ、幅＝４５０ｍｍ、長さ＝３５ｍ、面積＝１５．７５ｍ２、平均引裂荷重＝０．１２Ｎであった。
【０１６６】
・グラファイトフィルム１８（ＧＳ１８）
長さ２０ｍ・幅２５０ｍｍ・厚さ７５μｍのポリイミドフィルム（カネカ製ポリイミドアピカルＡＨ）を外径１５０ｍｍの円筒状炭素質芯に巻きつけ、電気炉を用いて窒素雰囲気下で、１０００℃まで昇温された後、１０００℃で１時間熱処理して炭化処理（炭素化）が行われた。引き続いて、超高温炉を用いてアルゴン雰囲気下で２８００℃まで昇温され、その最高温度で１時間保持された。その後、冷却され、ＧＳ１８が得られた。たるみ＝８５ｍｍ、ａ値＝６０ｍｍ、曲がり＝＜１ｍｍ、厚み＝４０μｍ、幅＝２２５ｍｍ、長さ＝１８ｍ、面積＝４．０５ｍ２、平均引裂荷重＝０．０６Ｎであった。
【０１６７】
・グラファイトフィルム１９（ＧＳ１９）
長さ３０ｍ・幅２５０ｍｍ・厚さ７５μｍのポリイミドフィルム（カネカ製ポリイミドアピカルＡＨ）を外径２５０ｍｍの円筒状炭素質芯に巻きつけたこと以外は、グラファイトフィルム１８と同様にＧＳ１９を作製した。たるみ＝８６ｍｍ、ａ値＝５５ｍｍ、曲がり＝＜１ｍｍ、厚み＝４０μｍ、幅＝２２５ｍｍ、長さ＝２７ｍ、面積＝６．０７５ｍ２、平均引裂荷重＝０．０６Ｎであった。
【０１６８】
・グラファイトフィルム２０（ＧＳ２０）
厚さ５０μｍ、幅５００ｍｍ、長さ５０ｍのカネカ製ポリイミドフィルム（アピカルＡＶ）を、外径２５０ｍｍの円筒状炭素質芯に巻きつけたこと以外は、グラファイトフィルム１８と同様にＧＳ２０を作製した。たるみ＝１２０ｍｍ、ａ値＝７０ｍｍ、曲がり＝＜１ｍｍ、厚み＝２５μｍ、幅＝４５０ｍｍ、長さ＝３５ｍ、面積＝１５．７５ｍ２、平均引裂荷重＝０．０６Ｎであった。
【０１６９】
＜各種物性測定条件＞  
＜たるみ及び曲がりの評価の測定原理＞
ＪＩＳ  Ｃ２１５１に記載のフィルムの巻取り性評価に準じておこなう、曲がり及びたるみの評価の測定方法を以下に説明する。
【０１７０】
巻取り性は、ロール状で供給するフィルムに現れた“歪み”で評価する。フィルムには、適切な巻取り性を損なう可能性があるゆがみが次の二つの形で現れる。
【０１７１】
１）“曲がり”を示すフィルムは、フィルムエッジが真っすぐでない。
【０１７２】
２）“たるみ”をもつフィルムは、フィルムを引っ張ったとき、フィルムの一部がその範囲の通常のフィルムのレベル以下にたるむ。
【０１７３】
曲がり及びたるみの測定法はＡ法及びＢ法の二つの方法が規定されているが、本発明のグラファイトフィルムのたるみ及び曲がりの評価は、Ａ法に準じて実施する。
【０１７４】
＜グラファイトフィルムのＪＩＳ  Ｃ２１５１記載のたるみの測定＞
ある一定の長さのフィルムを巻き戻し、規定の条件の下で２本の平行な棒に直角方向に載せ、均一な懸垂線からの偏差を測定する。たるみの評価のための装置として巻取り機のロールを用いることができるが、結果に疑義がある場合は、次に説明する装置を用いる。
【０１７５】
（装置）  装置について次に説明する（図７）。
【０１７６】
ａ）ロールを取り付けた架台
自由に回転する２本の金属製ロール及びこの２本のロールを平行に支える堅固な架台。各ロールは、直径が１００ｍｍ±１０ｍｍで、長さが試験するフィルムの最大幅が十分に載せられるもの。２本のロールの軸は同一水平面にあり、互いに１５００ｍｍ±１５ｍｍの間隔を置いて０．１度以内（すなわち、ロールの長さ１ｍについて１．８ｍｍ以内）で平行な状態に固定する。ロールは、円筒度０．１ｍｍ以内の円筒状とし、表面は適切ななし地仕上げ（研磨仕上げではない）ものとする。架台には、一方のロール（第一ロール）のすぐ下に試験するフィルムロールを載せるための装置（脱着軸）を取り付ける。この装置は次による。
【０１７７】
１）フィルムを載せる脱着軸は、第一ロールの軸と１度以内で平行とする。
【０１７８】
２）フィルムの側部の位置が自由に調整できる。
【０１７９】
３）巻き戻し張力を調整しながらフィルムロールからフィルムを引き出せるようにする。
【０１８０】
ｂ）フィルムに張力を加える装置
架台の反対側の端で、２本目のロール（第２ロール）から自由に垂れ下がったフィルムにおもり又はばね付きクランプを固定できるようにする。おもり又はばね荷重は、フィルムの幅１ｃｍ当たり５０ｇをかけ、フィルムの幅方向にできるだけ均一に張力を加えられるように調節できるものとする。あるいは、テンションロールに巻きつけて、幅１ｃｍ当たり５０ｇの、均一な張力を加えてもよい。
【０１８１】
ｃ）寸法測定器具
２本のロール間の中央部でロールに平行な線に沿って、２本のロール間の平面と下に下がったフィルムとの距離を測定するための器具。測定に用いる器具は、長さ１５２５ｍｍ以上の鋼製直定規及び１ｍｍ目盛りの付いた長さ１５０ｍｍの鋼製物差しとする。又は、フィルムの位置を自動的に又は半自動的に示すような複雑な器具を用いてもよい。
【０１８２】
（試験片）  試験片は、巻き戻すのに必要な最小限の張力でゆっくりとロールから新しく約２ｍの長さを引き出したものとする。このとき試験片を取り出す場所は、ロールの巻きの中央付近からとする。つまり、１００ｍの巻きであれば、巻き終わりから５０ｍ付近から試験片を３枚取り出す。
【０１８３】
（測定手順）  図７のように、装置の２本のロール上に試験片を長さ方向に載せる。フィルムの自由端には張力を加える。フィルムの第２のロールを通過する最終的な位置は、フィルムが２本のロールの中央でほぼ水平になるように調節する。
【０１８４】
鋼製直定規及び目盛り付きの鋼製物差し、又は他の適切な器具を用いて、２本のロールの中央部で幅方向に沿ってフィルムを確認し、周辺の通常のフィルムより下がっている、すべてのたるみの中での最大深さを１ｍｍまで測定し、その試験片のたるみの値として報告する。
【０１８５】
（結果）  たるみの値は、３個の測定値の中央値とする。
【０１８６】
＜グラファイトフィルムのａ値の測定＞
グラファイトフィルムのａ値の測定も、前述したＪＩＳ  Ｃ２１５１記載のたるみ測定と同様の状態にフィルムをセットしてから実施した。図８のように、最端部の懸垂線からのたるみの長さを測定し、次に、最端部から３０ｍｍ地点の懸垂線からのたるみの長さを測定した。その後、（最端部のたるみ）から（最端部から３０ｍｍ地点のたるみ）を引いた。左右に対して同様の計測を実施し、その平均値を１回の測定値とした。端部のたるみの値は、３枚の試験片に対して実施し、その中央値した。試験片は、巻き戻すのに必要な最小限の張力でゆっくりとグラファイトフィルムのロールから新しく約２ｍの長さを引き出したものとした。このとき試験片を取り出す場所は、ロールの巻きの中央付近からとした。つまり、１００ｍの巻きであれば、巻き終わりから５０ｍ付近から試験片を３枚取り出す。
【０１８７】
＜グラファイトフィルムの曲がりの測定＞
ある一定の長さのフィルムを巻き戻して平面上に置き、そのフィルムの両エッジについて直線からの偏差をそれぞれ測定する。
【０１８８】
（装置）装置について次に説明する。（図９）
ａ）テーブル
幅が試験するフィルムの最大幅より十分大きく、長さが１５００ｍｍ±１５ｍｍで、両端の平行度が０．１度以内（又は、テーブルの幅１ｍ当たり１．８ｍｍ以内）のものを使用する。適切な材質で表面を（梨）地仕上げをした（研磨仕上げしていない）平らで水平なものを使用する。テーブルの長さがこれより長い場合は、テーブルの表面に１５００ｍｍ±１５ｍｍ間隔で平行な２本の標線を明確に描く。標線の平行度は０．１度以内（標線の長さ１ｍ当たり１．８ｍｍ以内）とする。
【０１８９】
ｂ）ブラシ
テーブル表面に載せたフィルムを平らにするための柔らかいブラシ。
【０１９０】
ｃ）直定規
長さが１５２５ｍｍ以上の鋼製のもの。
【０１９１】
ｄ）物差し
長さが１５０ｍｍで１ｍｍ間隔の目盛りが付いた鋼製のもの。
【０１９２】
（試験片）  試験片は、ロールから新しく長さ約２ｍのものを３枚とる。試験片を取り出すときは、巻き戻すのに必要な最小限の張力でゆっくり引き出す。このとき試験片を取り出す場所は、ロールの巻きの中央付近からとする。つまり、１００ｍの巻きであれば、巻き終わりから５０ｍ付近から試験片を３枚取り出す。
【０１９３】
（測定手順）  試験片を、図９に示すようにテーブルの上に長手方向に置く。一方の端から、フィルムに軽い力で柔らかくブラシをかけ、テーブルとフィルムとの間に空気だまりができるだけ残らないように密着させる。
【０１９４】
直定規のエッジをフィルムの一方のエッジに添わせて置き、直線からフィルムエッジまえの偏差がよく観察できるようにする。鋼製の直定規は、テーブルの両端（又は、標線上）でフィルムのエッジに一致するように調節する。基準位置の間のおよそ中央で、鋼製の物差しを用いて鋼製の直定規とフィルムのエッジとの偏差ｄ１を１ｍｍまで測定する。
【０１９５】
同じ方法で、フィルムのもう一方のエッジと直定規との偏差ｄ２を測定する。
【０１９６】
試験片の曲がりの値は、基準線の間隔の中央で、フィルムの両側におけるミリメートルで表した直定規のエッジとフィルムのエッジとの偏差の和（ｄ１＋ｄ２）とする。さらに、他の２枚の試験片についてこの方法を繰り返す。（ｄ１＋ｄ２）＝Ｒｇｓである。
【０１９７】
（結果）  曲がりは、３個の測定値の中央値とする。
【０１９８】
＜高分子フィルムの反りの方向の確認と反り量の測定＞
高分子フィルムの反りの方向の確認と反り量の評価は、ＪＩＳ  Ｃ２１５１に記載のフィルムの巻取り性評価に基づくたるみ測定で、フィルム端部の反りの大きさを、室温（２３℃）にて測定した。
（試験片の作製方法）１）高分子フィルムのロールから新しく約３ｍの長さを引き出す。２）中央付近からカッターナイフを使用し、幅は１００ｍｍ（ＴＤ方向）、長さが３０００ｍｍ（ＭＤ方向）の試験片を切り出す。このとき、元のロールのＴＤ方向、ＭＤ方向が試験片のＴＤ方向、ＭＤ方向と一致するように注意する。同様の方法で、手順１）２）を実施し試験片を３枚の試験片を作製する。
（装置について）  装置については図７と同様のものを使用する
（反りの方向の確認方法）図３１の３１１のように、上面側に反っている場合は、上面が第２面、３１２のように下面側に反っている場合は下面が第２面である。
（反り量の測定方法）図３１の３１１のように、上面が第２面の場合は、フィルムを裏返し、３１２のように下面に第２面を配置して測定する。図３１の３１４のように、最短部の懸垂線からのたるみを測定する。左右のたるみを測定し、平均値を、その試験片の反り量として報告する。
（結果）  反り量は、３個の測定値の中央値とする。
【０１９９】
＜グラファイトフィルムの面積の測定＞
グラファイトフィルムの面積は、フィルムの幅と、長さを測定した値の積で評価することができる。ただし、形が歪で長さの測定が困難である場合や、フィルムが破損し易く長さの測定が困難である場合には、ロール状のグラファイトフィルムの全重量を測定し、一部（１００ｍｍ×１００ｍｍ）を切り出した重量との比で、面積を算出してもよい。
【０２００】
＜グラファイトフィルムの厚み測定＞
グラファイトフィルムの厚みの測定方法としては、ハイデンハイン（株）から入手可能な厚みゲージ（ＨＥＩＤＥＮＨＡＩＮ−ＣＥＲＴＯ）を用い、室温２５℃の恒温室にて測定した。測定箇所は、図２８のように、ロール状の高分子フィルム及びグラファイトフィルムの外（フィルムの巻き始め２８１）から５００ｍｍのポイント１〜３、フィルムの内（フィルムの巻き終わり２８２）から５００ｍｍのポイント７〜９、その中点であるポイント４〜６の９ポイントを測定した（ポイント２はポイント１とポイント３の中点、ポイント５はポイント２とポイント８の中点である）。
【０２０１】
＜グラファイトフィルムの幅の測定＞
グラファイトフィルムの幅は、フィルムの長さ方向と直角方向のフィルムの長さである。測定ポイントは、図２８のように、ロール状のグラファイトフィルムの外（フィルムの巻き終わり２８１）から５００ｍｍ、内（フィルムの巻き始め２８２）から５００ｍｍ、その中間とする。３点の平均値を幅とする。
【０２０２】
＜グラファイトフィルムの平均引裂荷重の測定＞
グラファイトフィルムの平均引裂荷重の測定は、ＪＩＳＫ７１２８記載のトラウザー引裂試験法により実施した。実際の測定では、図２８の９点から、１５０ｍｍ×５０ｍｍの試験片を抜き出した。各サンプルに７５ｍｍの切れ目を入れ、オートグラフを用い、試験速度２００ｍｍ／ｍｉｎにて試験を実施し、平均引裂荷重を測定した。９点の測定の平均値を測定値とした。平均引裂荷重は、ＳＩＭＡＺＵ製のオートグラフ（型番：ＡＧ−１０ＴＢ）を使用し、５０Ｎのロードセル（型番：ＳＢＬ−５０Ｎ）を使用した。
【０２０３】
＜（１）〜（５）のテスト＞
実施例では、以下の（１）〜（５）のテストを実施した。
（１）巻き替えテスト
（２）スリットテスト
（３）圧縮テスト
（４）ラミネートテスト
（５）抜き加工テスト
＜（１）〜（５）のテストにおけるグラファイトフィルムの裂け不良の評価＞
（１）〜（５）のテストにおけるグラファイトフィルムの裂け不良の評価方法を説明する。ロールの全領域にわたり、長さ５ｍｍ以上の裂け不良を数え、単位長さ（１ｍ）あたりの裂け不良の数として換算した。１ｍあたりの裂け不良が、０．０５個／ｍ未満はＡ、０．０５個／ｍ以上０．２／ｍ未満はＢ、０．２個／ｍ以上〜１個／ｍ未満はＣ、１個／ｍ以上〜２個／ｍ未満はＤ、２個／ｍ以上はＥとした。
【０２０４】
＜（１）〜（３）のテストにおける巻きずれの評価＞
（１）〜（３）のテストにおける、巻きずれ（端部の揃いの程度）を評価した。テスト終了後のグラファイトフィルムの巻きの端部を確認し、最大５ｍｍ未満しかずれていないものをＡ、５ｍｍ以上１０ｍｍ未満ずれるものはＢ、１０ｍｍ以上２０ｍｍ未満のものはＣ、２０ｍｍ以上３０ｍｍ未満のものはＤ、３０ｍｍ以上はＥとした。
【０２０５】
＜（２）のテストのグラファイトフィルムのエッジのバリの評価＞
グラファイトフィルムのスリット面のバリの発生の程度を評価した。ロールの全領域にわたり、目視で確認できるバリの個数を数え、単位長さ（１ｍ）あたりのバリの個数として換算した。１ｍあたりのシワの個数が、０．０５個／ｍ未満はＡ、０．０５個／ｍ以上０．２個／ｍ未満はＢ、０．２個／ｍ以上１個／ｍ未満はＣ、１個／ｍ以上２個／ｍ未満はＤ、２個／ｍ以上はＥとした。
【０２０６】
＜（３）のテストのグラファイトフィルムの折れシワの評価＞
圧縮テスト後のグラファイトフィルムの折れシワについて、以下のように評価した。ロールの全領域にわたり、長さ５ｍｍ以上の折れシワの個数を数え、単位長さ（１ｍ）あたりのシワの個数として換算した。１ｍあたりのシワの個数が、０．０５個／ｍ未満はＡ、０．０５個／ｍ以上０．２個／ｍ未満はＢ、０．２個／ｍ以上１個／ｍ未満はＣ、１個／ｍ以上２個／ｍ未満はＤ、２個／ｍ以上はＥとした。
【０２０７】
＜（４）のテスト後のグラファイト複合フィルムの貼り合わせシワの評価＞
図２２のような、貼り合わせ工程後のグラファイト複合フィルムの貼り合わせシワについて、以下のように評価した。ロールの全領域にわたり、長さ５ｍｍ以上の貼り合わせシワの個数を数え、単位長さ（１ｍ）あたりのシワの個数として換算した。１ｍあたりのシワの個数が、０．０５個／ｍ未満はＡ、０．０５個／ｍ以上０．２個／ｍ未満はＢ、０．２個／ｍ以上〜１個／ｍ未満はＣ、１個／ｍ以上〜２個／ｍ未満はＤ、２個／ｍ以上はＥとした。
【０２０８】
＜（５）のテストのグラファイト抜き加工品の寸法精度評価＞
グラファイト抜き加工品の寸法精度を評価した。得られたグラファイト抜き加工品全数に対し、４辺の長さを測定し、５０ｍｍ±０．５ｍｍを合格と判断した。合格個数と全数から、合格率を算出した。合格率が、９８％以上をＡ、９５％以上９８％未満をＢ、９０％以上９５％未満をＣ、８５％以上９０％未満をＤ、８５％未満をＥとした。
【０２０９】
＜（１）〜（５）のテストで使用されるグラファイトフィルムの面方向の熱拡散率測定＞
グラファイトフィルムの面方向の熱拡散率は、熱拡散率は、光交流法による熱拡散率測定装置（アルバック理工（株）社から入手可能な「ＬａｓｅｒＰｉｔ」）を用いて、グラファイトフィルムを４×４０ｍｍのサンプル形状に切り取り、２０℃の雰囲気下、１０Ｈｚにて測定した。実際の測定では、図２８の９点から、１５０ｍｍ×５０ｍｍの試験片を抜き出した。
【０２１０】
面方向の熱拡散率が８．０×１０−４ｍ２／ｓ以上をＡ、６．０×１０−４ｍ２／ｓ以上８．０×１０−４ｍ２／ｓ未満をＢ、４．０×１０−３ｍ２／ｓ以上６．０×１０−４ｍ２／ｓ未満をＣ、６．０×１０−４ｍ２／ｓ以上３．０×１０−４ｍ２／ｓ未満をＤ、３．０×１０−４ｍ２／ｓ未満をＥとした。
【０２１１】
実施例、比較例、参考例で使用されるグラファイトフィルムのパラメーラーと、（１）〜（５）のテストの条件を表１〜５にまとめた。また、表１〜５に記載した各種パラメーターを下記に示し、その意味も併せて示した。
【０２１２】
ａ＝（最端部のたるみ）−（最端部から３０ｍｍ地点のたるみ）
ｂ＝（第一ロールとグラファイトフィルムの接触開始点）−（第一ロールの中心点）−（第一ロール／第二ロールの接点）のなす角度
ｃ＝（第二ロールと粘着層又は接着層を有するシートの接触開始点）−（第二ロールの中心点）−（第一ロール／第二ロールの接点）のなす角度
（１）巻き替えテストについて
［実施例１］
図１のように、巻き替えテストを実施した。より詳細には、紙製の径が３インチの紙管にまかれたＧＳ１を、平行に配置された別の３インチの紙管に巻き替えた。紙管同士の距離は１０００ｍｍで実施した。グラファイトフィルムのＭＤ方向に加える張力を３０ｇ／ｃｍ、巻き替え速度を５ｍ／ｍｉｎで実施した。グラファイトフィルムの裂けの程度と、巻きずれの程度を評価した。
【０２１３】
［実施例２］
ＭＤ方向に加える張力を５ｇ／ｃｍと変更したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２１４】
［実施例３］
ＭＤ方向に加える張力を１００ｇ／ｃｍと変更したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２１５】
［実施例４］
ＭＤ方向に加える張力を４００ｇ／ｃｍと変更したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２１６】
［実施例５］
巻き替え速度を２０ｍ／ｍｉｎと変更したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２１７】
［実施例６］
ＧＳ２を使用したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２１８】
［実施例７］
ＧＳ３を使用したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２１９】
［実施例８］
ＧＳ４を使用したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２２０】
［実施例９］
ＭＤ方向に加える張力を５ｇ／ｃｍと変更したこと以外は実施例８と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２２１】
［実施例１０］
ＭＤ方向に加える張力を１００ｇ／ｃｍと変更したこと以外は実施例８と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２２２】
［実施例１１］
ＭＤ方向に加える張力を４００ｇ／ｃｍと変更したこと以外は実施例８と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２２３】
［実施例１２］
巻き替え速度を２０ｍ／ｍｉｎと変更したこと以外は実施例８と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２２４】
［実施例１３］
ＧＳ５を使用したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２２５】
［実施例１４］
ＧＳ６を使用したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２２６】
［実施例１５］
ＧＳ７を使用したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２２７】
［実施例１６］
ＧＳ８を使用したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２２８】
［実施例１７］
ＧＳ９を使用したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２２９】
［実施例１８］
ＧＳ１０を使用したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２３０】
［実施例１９］
ＧＳ１１を使用したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２３１】
［実施例２０］
ＧＳ１２を使用したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２３２】
［実施例２１］
ＧＳ１３を使用したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２３３】
［比較例１］
ＧＳ１４を使用したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２３４】
［比較例２］
ＧＳ１５を使用したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２３５】
［比較例３］
ＧＳ１６を使用したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２３６】
［参考例１］
ＧＳ１７を使用したこと以外は実施例１と同様に巻き替えテストを実施した。
【０２３７】
【表１】
0005503697.tif 000002
【０２３８】
（２）スリットテストについて
［実施例２２］
図２のようなスリットテストを実施した。より詳細には、紙製の径が３インチの紙管にまかれたＧＳ１を、平行に配置された別の３インチの紙管に巻き替えながら、ロールカッターにてグラファイトフィルムの幅が半分になるようにスリットした。紙管同士の距離は１０００ｍｍで実施した。スリットする刃の位置は、紙管の中央に配置した。グラファイトフィルムのＭＤ方向に加える張力を３０ｇ／ｃｍ、巻き替え速度を５ｍ／ｍｉｎで実施した。グラファイトフィルムの裂けの程度と、巻きずれの程度、エッジのバリの程度を評価した。
【０２３９】
［実施例２３］
シェザー刃を使用したこと以外は、実施例２２と同様にしてスリットテストを実施した。
【０２４０】
［実施例２４］
ＧＳ２を使用したこと以外は、実施例２２と同様にしてスリットテストを実施した。
【０２４１】
［実施例２５］
ＧＳ３を使用したこと以外は、実施例２２と同様にしてスリットテストを実施した。
【０２４２】
［実施例２６］
ＧＳ４を使用したこと以外は、実施例２２と同様にしてスリットテストを実施した。
【０２４３】
［実施例２７］
シェザー刃を使用したこと以外は、実施例２６と同様にしてスリットテストを実施した。
【０２４４】
［実施例２８］
ＧＳ５を使用したこと以外は、実施例２２と同様にしてスリットテストを実施した。
【０２４５】
［実施例２９］
ＧＳ６を使用したこと以外は、実施例２２と同様にしてスリットテストを実施した。
【０２４６】
［実施例３０］
ＧＳ７を使用したこと以外は、実施例２２と同様にしてスリットテストを実施した。
【０２４７】
［実施例３１］
ＧＳ８を使用したこと以外は、実施例２２と同様にしてスリットテストを実施した。
【０２４８】
［実施例３２］
ＧＳ１１を使用したこと以外は、実施例２２と同様にしてスリットテストを実施した。
【０２４９】
［実施例３３］
ＧＳ１２を使用したこと以外は、実施例２２と同様にしてスリットテストを実施した。
【０２５０】
［実施例３４］
ＧＳ１３を使用したこと以外は、実施例２２と同様にしてスリットテストを実施した。  
【０２５１】
［比較例４］
ＧＳ１４を使用したこと以外は、実施例２２と同様にしてスリットテストを実施した。
【０２５２】
［比較例５］
ＧＳ１５を使用したこと以外は、実施例２２と同様にしてスリットテストを実施した。
【０２５３】
［比較例６］
ＧＳ１６を使用したこと以外は、実施例２２と同様にしてスリットテストを実施した。
【０２５４】
［参考例２］
ＧＳ１７を使用したこと以外は、実施例２２と同様にしてスリットテストを実施した。
【０２５５】
【表２】
0005503697.tif 000003
【０２５６】
（３）圧縮テストについて
［実施例３５］
図３のような単板連続プレスを使用し、圧縮テストを実施した。より詳細には、より詳細には、紙製の径が３インチの紙管にまかれたＧＳ１を、平行に配置された別の３インチの紙管に巻き替えながら、その中間地点で、３０ｍｍ幅×５００ｍｍの金型を用いて、グラファイトフィルムを連続プレスした。プレスの回数は６０回／ｍｉｎとした。グラファイトフィルムのＭＤ方向に加える張力は３０ｇ／ｃｍ、巻き替え速度は１ｍ／ｍｉｎとした。グラファイトフィルムの裂けの程度と、巻きずれの程度、圧縮後のシワの程度を評価した。
【０２５７】
［実施例３６］
図４のようなロール圧延を使用し、圧縮テストを実施した。より詳細には、より詳細には、紙製の径が３インチの紙管にまかれたＧＳ１を、平行に配置された別の３インチの紙管に巻き替えながら、その中間地点で、外径３００ｍｍの金属製圧延ロールと外径２８０ｍｍの樹脂製圧延ロールの間にグラファイトフィルムを通して圧縮テストを実施した。グラファイトフィルムのＭＤ方向に加える張力は３０ｇ／ｃｍ、巻き替え速度は１ｍ／ｍｉｎとした。グラファイトフィルムの裂けの程度と、巻きずれの程度、圧縮後のシワの程度を評価した。
【０２５８】
［実施例３７］
グラファイトフィルムのＭＤ方向に加える張力を１００ｇ／ｃｍとしたこと以外は、実施例３６と同様にして、圧縮テストを実施した。
【０２５９】
［実施例３８］
ＧＳ２を使用したこと以外は、実施例３５と同様にして圧縮テストを実施した。
【０２６０】
［実施例３９］
ＧＳ３を使用したこと以外は、実施例３５と同様にして圧縮テストを実施した。
【０２６１】
［実施例４０］
ＧＳ４を使用したこと以外は、実施例３５と同様にして圧縮テストを実施した。
【０２６２】
［実施例４１］
ＧＳ４を使用したこと以外は、実施例３６と同様にして圧縮テストを実施した。
【０２６３】
［実施例４２］
ＧＳ４を使用したこと以外は、実施例３７と同様にして圧縮テストを実施した。
【０２６４】
［実施例４３］
ＧＳ５を使用したこと以外は、実施例３５と同様にして圧縮テストを実施した。
【０２６５】
［実施例４４］
ＧＳ６を使用したこと以外は、実施例３５と同様にして圧縮テストを実施した。
【０２６６】
［実施例４５］
ＧＳ７を使用したこと以外は、実施例３５と同様にして圧縮テストを実施した。
【０２６７】
［実施例４６］
ＧＳ８を使用したこと以外は、実施例３５と同様にして圧縮テストを実施した。
【０２６８】
［実施例４７］
ＧＳ１１を使用したこと以外は、実施例３５と同様にして圧縮テストを実施した。
【０２６９】
［実施例４８］
ＧＳ１２を使用したこと以外は、実施例３５と同様にして圧縮テストを実施した。
【０２７０】
［実施例４９］
ＧＳ１３を使用したこと以外は、実施例３５と同様にして圧縮テストを実施した。  
【０２７１】
［比較例７］
ＧＳ１４を使用したこと以外は、実施例３５と同様にして圧縮テストを実施した。
【０２７２】
［比較例８］
ＧＳ１５を使用したこと以外は、実施例３５と同様にして圧縮テストを実施した。
【０２７３】
［比較例９］
ＧＳ１６を使用したこと以外は、実施例３５と同様にして圧縮テストを実施した。
［参考例３］
ＧＳ１７を使用したこと以外は、実施例３５と同様にして圧縮テストを実施した。
【０２７４】
【表３】
0005503697.tif 000004
【０２７５】
（４）ラミネートテストについて
［実施例５０］
図５のようなラミネートテストを実施した。より詳細には、紙製の径が３インチの紙管にまかれたＧＳ１を、互いに平行に並んだ、外径５０ｍｍ長さ６３５ｍｍの第一ロールと第二ロールの間に、ｂが１２０度となるように、連続的に供給して、厚み１０μｍ、幅４３０ｍｍのＰＥＴテープと貼り合わせた。ＰＥＴテープは寺岡製作所から入手できる６３３Ｋのセパレーター付きを使用し、セパレーターを８０度の角度で剥がしながら第二ロールに、ｃが１２０度となるように供給した。このとき第一ロールはフラットロール（図１３の中央と１／４の位置の径の差が２０μｍ以下）を使用し、第二ロールはクラウンロール（図１３の中央と１／４の位置の径の差が２００μｍ）を使用した。グラファイトフィルムのＭＤ方向に加える張力は３０ｇ／ｃｍ、巻き替え速度は１ｍ／ｍｉｎとした。グラファイトフィルムの裂けの程度、貼り合わせシワの程度を評価した。
【０２７６】
［実施例５１］
グラファイトフィルムのＭＤ方向に加える張力は１００ｇ／ｃｍと変更したこと以外は、実施例５０と同様にしてラミネートテストを実施した。
【０２７７】
［実施例５２］
ＧＳ２を使用したこと以外は、実施例５０と同様にして、ラミネートテストを実施した。
【０２７８】
［実施例５３］
ＧＳ３を使用したこと以外は、実施例５０と同様にして、ラミネートテストを実施した。
【０２７９】
［実施例５４］
ＧＳ４を使用したこと以外は、実施例５０と同様にして、ラミネートテストを実施した。
【０２８０】
［実施例５５］
グラファイトフィルムのＭＤ方向に加える張力は５ｇ／ｃｍと変更したこと以外は、実施例５４と同様にしてラミネートテストを実施した。
【０２８１】
［実施例５６］
グラファイトフィルムのＭＤ方向に加える張力は１００ｇ／ｃｍと変更したこと以外は、実施例５４と同様にしてラミネートテストを実施した。
【０２８２】
［参考例５７］
ｂが０度と変更したこと以外は、実施例５４と同様にしてラミネートテストを実施した。
【０２８３】
［実施例５８］
ｂが５度と変更したこと以外は、実施例５４と同様にしてラミネートテストを実施した。
【０２８４】
［実施例５９］
ｂが４５度と変更したこと以外は、実施例５４と同様にしてラミネートテストを実施した。
【０２８５】
［参考例６０］
ｃが０度と変更したこと以外は、実施例５４と同様にしてラミネートテストを実施した。
【０２８６】
［実施例６１］
ｃが４５度と変更したこと以外は、実施例５４と同様にしてラミネートテストを実施した。
【０２８７】
［実施例６２］
第一ロールをクラウンロールに変更したこと以外は、実施例５４と同様にしてラミネートテストを実施した。
【０２８８】
［実施例６３］
第一ロールをクラウンロール、第二ロールをフラットロールに変更したこと以外は、実施例５４と同様にしてラミネートテストを実施した。
【０２８９】
［実施例６４］
ＰＥＴテープをセパレーターが付いていないものを使用したこと以外は、実施例５４と同様にしてラミネートテストを実施した。
【０２９０】
［実施例６５］
ＰＥＴテープの幅が４７０ｍｍであること以外は、実施例５４と同様にしてラミネートテストを実施した。
【０２９１】
［実施例６６］
ＧＳ５を使用したこと以外は、実施例５０と同様にして、ラミネートテストを実施した。
【０２９２】
［実施例６７］
ＧＳ６を使用したこと以外は、実施例５０と同様にして、ラミネートテストを実施した。
【０２９３】
［実施例６８］
ＧＳ７を使用したこと以外は、実施例５０と同様にして、ラミネートテストを実施した。
【０２９４】
［実施例６９］
ＧＳ８を使用したこと以外は、実施例５０と同様にして、ラミネートテストを実施した。
【０２９５】
［実施例７０］
ＧＳ１０を使用したこと、ＰＥＴテープの幅が２３０ｍｍであること以外は、実施例５０と同様にして、ラミネートテストを実施した。
【０２９６】
［実施例７１］
ＧＳ１１を使用したこと、ＰＥＴテープの幅が１１０ｍｍであること以外は、実施例５０と同様にして、ラミネートテストを実施した。
【０２９７】
［実施例７２］
ＧＳ１２を使用したこと以外は、実施例７１と同様にして、ラミネートテストを実施した。
【０２９８】
［実施例７３］
ＧＳ１３を使用したこと以外は、実施例７１と同様にして、ラミネートテストを実施した。
【０２９９】
［比較例１０］
ＧＳ１４を使用したこと以外は、実施例５０と同様にして、ラミネートテストを実施した。
【０３００】
［比較例１１］
ＧＳ１５を使用したこと以外は、実施例５０と同様にして、ラミネートテストを実施した。
【０３０１】
［比較例１２］
ＧＳ１６を使用したこと以外は、実施例５０と同様にして、ラミネートテストを実施した。
【０３０２】
［参考例４］
ＧＳ１７を使用したこと以外は、実施例５０と同様にして、ラミネートテストを実施した。
【０３０３】
【表４】
0005503697.tif 000005
【０３０４】
（５）抜き加工テストについて
［実施例７４］
図６のよう抜き加工テストを実施した。より詳細には、より詳細には、紙製の径が３インチの紙管にまかれたＧＳ１を、平行に配置された別の３インチの紙管に巻き替えながら、その中間地点で、５０ｍｍ角のピナクル型を８列並べた型を用いて、グラファイトフィルムを打ち抜いた。打ち抜きの回数は１００回／ｍｉｎとした。グラファイトフィルムのＭＤ方向に加える張力は３０ｇ／ｃｍ、巻き替え速度は６ｍ／ｍｉｎとした。グラファイトフィルムの裂けの程度、打ち抜き品の寸法精度を評価した。
【０３０５】
［実施例７５］
ＧＳ２を使用したこと以外は、実施例７４と同様にして、抜き加工テストを実施した。
【０３０６】
［実施例７６］
ＧＳ３を使用したこと以外は、実施例７４と同様にして、抜き加工テストを実施した。
【０３０７】
［実施例７７］
ＧＳ４を使用したこと以外は、実施例７４と同様にして、抜き加工テストを実施した。
【０３０８】
［実施例７８］
ＧＳ５を使用したこと以外は、実施例７４と同様にして、抜き加工テストを実施した。
【０３０９】
［実施例７９］
ＧＳ６を使用したこと以外は、実施例７４と同様にして、抜き加工テストを実施した。
【０３１０】
［実施例８０］
ＧＳ７を使用したこと以外は、実施例７４と同様にして、抜き加工テストを実施した。
【０３１１】
［実施例８１］
ＧＳ８を使用したこと以外は、実施例７４と同様にして、抜き加工テストを実施した。
【０３１２】
［実施例８２］
ＧＳ１０を使用したこと、ピナクル形を４列並べたこと以外は、実施例７４と同様にして、抜き加工テストを実施した。
【０３１３】
［実施例８３］
ＧＳ１１を使用したこと、ピナクル形を２列並べたこと以外は、実施例７４と同様にして、抜き加工テストを実施した。
【０３１４】
［実施例８４］
ＧＳ１２を使用したこと以外は、実施例８３と同様にして、抜き加工テストを実施した。
【０３１５】
［実施例８５］
ＧＳ１３を使用したこと以外は、実施例８３と同様にして、抜き加工テストを実施した。
【０３１６】
［比較例１３］
ＧＳ１４を使用したこと以外は、実施例７４と同様にして、抜き加工テストを実施した。
【０３１７】
［比較例１４］
ＧＳ１５を使用したこと以外は、実施例７４と同様にして、抜き加工テストを実施した。
【０３１８】
［比較例１５］
ＧＳ１６を使用したこと以外は、実施例７４と同様にして、抜き加工テストを実施した。
【０３１９】
［参考例５］
ＧＳ１７を使用したこと以外は、実施例７４と同様にして、抜き加工テストを実施した。
【０３２０】
【表５】
0005503697.tif 000006
【０３２１】
[実施例８６]
４，４’−オキシジアニリンの１当量を溶解したＤＭＦ（ジメチルフォルムアミド）溶液に、ピロメリット酸二無水物の１当量を溶解してポリアミド酸溶液（１８．５重量％）を得た。
【０３２２】
この溶液を冷却しながら、ポリアミド酸に含まれるカルボン酸基に対して、１当量の無水酢酸、１当量のイソキノリン、およびＤＭＦを含むイミド化触媒を添加し脱泡した。
【０３２３】
重合工程で作られたポリアミド酸のＤＭＦ溶液はミキサーで硬化剤（無水酢酸、イソキノリン）と一定の比率で混合して、Ｔダイスからエンドレスベルト（表面粗さＲａが１０μｍ）上、連続的に約６００μｍの厚さで流延塗布し、ベルトを回転させながら熱風乾燥した。この時、ベルト室の温度条件は、ベルト温度１２０℃×４分、冷却プーリーの温度７０℃とした。この混合ワニスは加熱される事により分子内の脱水が起こり、イミド化反応が進行した。また、溶媒が蒸発する事によりベルト室出口での残溶媒量が約４６％となった自己支持性を有するフィルム（ゲルフィルム）をベルトから引き剥がし、ピン枠に固定し、テンター室で３００℃〜５８０℃で合計４分の熱処理をおこなった。その後、冷却室で室温まで降温し、ピンから引き剥がし巻き取った。厚み５０μｍのポリイミドフィルムＡを製造した。得られたポリイミドフィルムＡの反り量は５ｍｍであり、第１面が製膜時のベルト面、第２面がエアー面であった。第１面の表面粗さＲａは４３μｍ、第２面が３６μｍであった。
厚さ５０μｍ、幅２５０ｍｍ、長さ５０ｍのポリイミドフィルムＡを、第１面が内側になるように、図２６のような、外径１００ｍｍ、長さ３００ｍｍの円筒状の黒鉛製内芯に巻き付け、内径１３０ｍｍの外筒を被せた。容器には２６４のように通気性を持たせるための穴が数箇所開いている。この容器を電気炉内に横向きにセットした。１４００℃まで２℃／ｍｉｎの昇温条件で炭化処理を行った。次に、得られたロール状の炭化フィルムを外径１００ｍｍの内芯に、図３５のようにセットして、この容器を、縦向きに黒鉛化炉内の架台に置いてセットした。２９００℃まで５℃／ｍｉｎの昇温条件で黒鉛化処理を実施した。
炉から取り出したとき、黒鉛化フィルムの円筒形状が図３６の３６２のように大きく崩れているものをＣ、少しだけ崩れているものをＢ、図３６の３６１のように崩れていないものをＡとした。炉から取り出したときの黒鉛化フィルムの円筒形状に係るこの評価項目を形状崩れという。
また、実施例８、２６、４０、５４、７７と同様の方法で、（１）巻き替えテスト、（２）スリットテスト、（３）圧縮テスト、（４）ラミネートテスト、（５）抜き加工テストをそれぞれ実施した。
[実施例８７]
第２面が内側になるように巻き付けたこと以外は実施例８６と同様に実施した。
【０３２４】
【表６】
0005503697.tif 000007
【０３２５】
【表７】
0005503697.tif 000008
【０３２６】
＜結果＞
（１）巻き替えテストついて
＜巻き替えする方法でのグラファイトフィルムのたるみについて＞
実施例１、７、８、１５、比較例１、２を比較する。
【０３２７】
比較例１は、グラファイトフィルムのたるみが５ｍｍより小さいため、フィルムの端部に応力が集中し、裂け不良が多発した。一方、比較例２は、裂け不良は発生しなかったものの、たるみが８０ｍｍより大きいために、巻き取り時に巻きずれ不良が発生した。
【０３２８】
実施例１、７、８、１５は、グラファイトフィルムのたるみが５ｍｍ以上８０ｍｍ以下の適切な範囲にあるため、裂け不良および巻きずれが発生しにくかった。特に、実施例８は、裂け不良および巻きずれが全く発生しなかった。
＜巻き替えする方法でのグラファイトフィルムの（ＴＤ方向の最端部におけるたるみ）から（ＴＤ方向の最端部から３０ｍｍ地点におけるたるみ）を引いたａ値について＞
実施例１、７、８、１５、比較例１、２を比較する。
【０３２９】
比較例１は、グラファイトフィルムのａ値が５ｍｍ未満であるため、端部に応力がかかりやすく、裂け不良が多発した。
【０３３０】
実施例１、７、８、１５は、グラファイトフィルムのａ値が５ｍｍ以上５０ｍｍ以下と適度な範囲にあるため、裂け不良が発生しにくかった。特に、実施例８は、裂け不良が全く発生しなかった。
【０３３１】
また、実施例１と６、実施例８と１４を、それぞれ比較する。
【０３３２】
実施例１、実施例８は、ａ値が５ｍｍ以上と大きいため、同じたるみを持つ実施例６、１４と比較して裂け不良が抑制できた。
【０３３３】
＜巻き替えする方法でのグラファイトフィルムの曲がりについて＞
実施例１９〜２０を比較する。
【０３３４】
実施例１９〜２０の比較から、グラファイトフィルムの曲がりが１０、５、＜１ｍｍと小さくなると、裂け不良および巻きずれが発生しにくかった。特に、実施例１９は、裂け不良および巻きずれが全く発生しなかった。
【０３３５】
＜巻き替えする方法での引裂き強度について＞
実施例１、７、８、１３、１５、比較例１、３、参考例１を比較する。
【０３３６】
比較例１との対比から判るように、具体的には、実施例１、７、８、１３、１５のような低引き裂き強度のグラファイトフィルムであっても、たるみを５ｍｍ以上８０ｍｍ以下、ａ値を５ｍｍ以上５０ｍｍ以下とすることで、裂けや巻きずれのような不具合を生じずに巻き替えを行うことができる。
【０３３７】
なお、参考例１や比較例３は、引き裂き強度が低いという課題がないグラファイトフィルムであるが、本願発明のグラファイトフィルムと比較して、熱拡散率が低いものである。
【０３３８】
＜巻き替えする方法での巻き替え張力について＞
実施例１〜４、実施例８〜１１を比較する。
【０３３９】
実施例１〜４、８〜１１の比較から判るように、巻き替え張力を５、３０、１００、４００ｇ／ｃｍと強めることで、巻きずれ不良が抑制できた。また、実施例１〜４と実施例８〜１１との対比からわかるように、たるみ、ａ値が大きいほど、張力の増大によって増加する裂け不良も抑制できた。
【０３４０】
＜巻き替えする方法での巻き替え速度について＞
実施例１と５、実施例８と１２をそれぞれ比較する。実施例１と５、実施例８と１２の比較から判るように、巻き替え速度を５、２０ｍ／ｍｉｎと速めても、たるみ、ａ値が大きいほど、裂け不良や巻きずれ不良が発生しにくかった。
【０３４１】
＜巻き替えする方法でのグラファイトフィルムの厚みについて＞
実施例８、１７を比較する。たるみの程度が同様であれば、厚みが２５μｍでも４０μｍでも、同様に巻き替えることができた。
【０３４２】
＜巻き替えする方法でのグラファイトフィルムの幅について＞
実施例１、１８、１９を比較する。４５０ｍｍ幅の広幅であってもたるみとａ値の選定で良好な結果が得られているが、実施例１、１８、１９の比較からわかるように幅が２５０ｍｍ、１２０ｍｍになると同じたるみ、ａ値であっても裂け不良が少なくなる。
（２）スリットテストについて
＜スリットする工程でのグラファイトフィルムのたるみについて＞
実施例２２、２５、２６、３０、比較例４、５を比較する。比較例４は、グラファイトフィルムのたるみが５ｍｍより小さいため、フィルムの端部に応力が集中し、裂け不良が多発した。一方、比較例５は、裂け不良は発生しなかったものの、たるみが８０ｍｍより大きいために、巻きずれ不良が発生した。
【０３４３】
実施例２２、２５、２６、３０は、グラファイトフィルムのたるみが５ｍｍ以上８０ｍｍ以下の適切な範囲にあるため、裂け不良および巻きずれが発生しにくかった。特に、実施例２６は、裂け不良および巻きずれが全く発生しなかった。
【０３４４】
＜スリットする工程でのグラファイトフィルムの（ＴＤ方向の最端部におけるたるみ）から（ＴＤ方向の最端部から３０ｍｍ地点におけるたるみ）を引いたａ値について＞
実施例２２、２５、２６、３０、比較例４、５を比較する。
【０３４５】
比較例４は、グラファイトフィルムのａ値が５ｍｍ未満であるため、端部に応力がかかりやすく、裂け不良が多発した。
【０３４６】
実施例２２、２５、２６、３０は、グラファイトフィルムのａ値が５ｍｍ以上５０ｍｍ以下と適度な範囲にあるため、裂け不良が発生しにくかった。特に、実施例２６は、裂け不良が全く発生しなかった。
【０３４７】
また、実施例２２と２４、実施例２６と２９を、それぞれ比較する。
【０３４８】
実施例２２、実施例２６は、ａ値が５ｍｍ以上と大きいため、同じたるみを持つ実施例２４、２９と比較して裂け不良が抑制できた。
【０３４９】
＜スリットする工程でのグラファイトフィルムの曲がりについて＞
実施例３２〜３４を比較する。
【０３５０】
実施例３２〜３４の比較から、グラファイトフィルムの曲がりが１０、５、＜１ｍｍと小さくなると、裂け不良および巻きずれが発生しにくかった。特に、実施例３２は、裂け不良および巻きずれが全く発生しなかった。
【０３５１】
＜スリットする工程での引裂き強度について＞
実施例２２、２５、２６、２８、３０、比較例４、６、参考例２を比較する。比較例４との対比から判るように、具体的には、実施例２２、２５、２６、２８、３０のような低引き裂き強度のグラファイトフィルムであっても、たるみを５ｍｍ以上８０ｍｍ以下、ａ値を５ｍｍ以上５０ｍｍ以下とすることで、裂けや巻きずれのような不具合を生じずにスリットする工程を実施できた。
なお、参考例２や比較例６は、引き裂き強度が低いという課題がないグラファイトフィルムであるが、本願発明のグラファイトフィルムと比較して、熱拡散率が低いものである。
【０３５２】
＜スリットする工程でのスリット刃の種類について＞
実施例２２、２３および実施例２６、２７を比較する。実施例２２、２６では、同じ条件でシェザー刃を使用した場合よりも、裂け不良が減少し、また、エッジのバリの発生も少なかった。これは、ロール刃はスリットする場合、回転するため、グラファイトフィルムに負担がかかりにくかったためである。
【０３５３】
（３）圧縮テストについて
＜圧縮する工程でのグラファイトフィルムのたるみについて＞
実施例３５、３９、４０、４５、比較例７、８を比較する。
【０３５４】
比較例７は、グラファイトフィルムのたるみが５ｍｍより小さいため、フィルムの端部に応力が集中し、裂け不良が多発した。一方、比較例８は、裂け不良は発生しなかったものの、たるみが８０ｍｍより大きいために巻きずれ不良が発生した。
【０３５５】
実施例３５、３９、４０、４５は、グラファイトフィルムのたるみが５ｍｍ以上８０ｍｍ以下の適切な範囲にあるため、裂け不良および巻きずれが発生しにくかった。特に、実施例４０は、裂け不良および巻きずれが全く発生しなかった。
【０３５６】
＜圧縮する工程でのグラファイトフィルムの（ＴＤ方向の最端部におけるたるみ）から（ＴＤ方向の最端部から３０ｍｍ地点におけるたるみ）を引いたａ値について＞
実施例３５、３９、４０、４５、比較例７、８を比較する。
【０３５７】
比較例７は、グラファイトフィルムのａ値が５ｍｍ未満であるため、端部に応力がかかりやすく、裂け不良が多発した。
【０３５８】
実施例３５、３９、４０、４５は、グラファイトフィルムのａ値が５ｍｍ以上５０ｍｍ以下と適度な範囲にあるため、裂け不良が発生しにくかった。特に、実施例４０は、裂け不良が全く発生しなかった。
【０３５９】
また、実施例３５と３８、実施例４０と４４を、それぞれ比較する。
【０３６０】
実施例３５、実施例４０は、ａ値が５ｍｍ以上と大きいため、同じたるみを持つ実施例３８、４４と比較して裂け不良が抑制できた。
【０３６１】
＜圧縮する工程でのグラファイトフィルムの曲がりについて＞
実施例４７〜４９を比較する。
【０３６２】
実施例４７〜４９の比較から、グラファイトフィルムの曲がりが１０、５、＜１ｍｍと小さくなると、裂け不良および巻きずれが発生しにくかった。特に、実施例４７は、裂け不良および巻きずれが全く発生しなかった。
【０３６３】
＜圧縮する工程での引裂き強度について＞
実施例３５、３９、４０、４３、４５、比較例７、９、参考例３を比較する。
【０３６４】
比較例７との対比から判るように、具体的には、実施例３５、３９、４０、４３、４５のような低引き裂き強度のグラファイトフィルムであっても、たるみを５ｍｍ以上８０ｍｍ以下、ａ値を５ｍｍ以上５０ｍｍ以下とすることで、裂けや巻きずれのような不具合を生じずに圧縮工程を実施できる。
【０３６５】
なお、参考例３や比較例９は、引き裂き強度が低いという課題がないグラファイトフィルムであるが、本願発明のグラファイトフィルムと比較して、熱拡散率が低いものである。
【０３６６】
＜圧縮する工程での圧縮方法について＞
実施例３５、３６および実施例４０、４１を比較する。実施例３６では、ロール圧延を使用したため、グラファイトフィルムに負担がかかりにくく、同じ条件で単板連続プレスした実施例３５と比較して、裂け不良が発生しにくかった。一方、たるみ、ａ値の大きい実施例４０では、単板連続プレスでも裂け不良が抑制できた。
【０３６７】
実施例３６、３７および実施例４１、４２を比較する。実施例３７、４２では、張力が大きいため、その他の条件が同じである実施例３６、４１と比較して巻き込みシワが改善された。たるみ、ａ値が適切な範囲であるため、高張力でも裂け不良が発生しなかった。
（４）ラミネートテストについて
＜ラミネートする工程でのグラファイトフィルムのたるみについて＞
実施例５０、５３、５４、６８、比較例１０、１１を比較する。
【０３６８】
比較例１０は、グラファイトフィルムのたるみが５ｍｍより小さいため、フィルムの端部に応力が集中し、裂け不良が多発した。一方、比較例１１は、裂け不良は発生しなかったものの、たるみが８０ｍｍより大きいために貼り合わせ時に、シワが発生した。
【０３６９】
実施例５０、５３、５４、６８は、グラファイトフィルムのたるみが５ｍｍ以上８０ｍｍ以下の適切な範囲にあるため、裂け不良および貼り合わせシワが発生しにくかった。特に、実施例５４は、裂け不良および貼り合わせシワが全く発生しなかった。
【０３７０】
＜ラミネートする工程でのグラファイトフィルムの（ＴＤ方向の最端部におけるたるみ）から（ＴＤ方向の最端部から３０ｍｍ地点におけるたるみ）を引いたａ値について＞
実施例５０、５３、５４、６８、比較例１０、１１を比較する。
【０３７１】
比較例１０は、グラファイトフィルムのａ値が５ｍｍ未満であるため、端部に応力がかかりやすく、裂け不良が多発した。
【０３７２】
実施例５０、５３、５４、６８は、グラファイトフィルムのａ値が５ｍｍ以上５０ｍｍ以下と適度な範囲にあるため、裂け不良が発生しにくかった。特に、実施例５４は、裂け不良が全く発生しなかった。
【０３７３】
また、実施例５０と５２、実施例５４と６７を、それぞれ比較する。
実施例５０、実施例５４は、ａ値が５ｍｍ以上と大きいため、同じたるみを持つ実施例５２、６７と比較して裂け不良が抑制できた。
【０３７４】
＜ラミネートする工程でのグラファイトフィルムの曲がりについて＞
実施例７１〜７３を比較する。
【０３７５】
実施例７１〜７３の比較から、グラファイトフィルムの曲がりが１０、５、＜１ｍｍと小さくなると、裂け不良および貼り合わせシワが発生しにくかった。特に、実施例７１は、裂け不良および貼り合わせシワが全く発生しなかった。
＜ラミネートする工程での引裂き強度について＞
実施例５０、５３、５４、６６、６８、比較例１０、１２、参考例４を比較する。比較例１０との対比から判るように、具体的には、実施例５０、５３、５４、６６、６８のような低引き裂き強度のグラファイトフィルムであっても、たるみを５ｍｍ以上８０ｍｍ以下、ａ値を５ｍｍ以上５０ｍｍ以下とすることで、裂けや巻きずれのような不具合を生じずにラミネート工程を実施できる。
【０３７６】
なお、参考例４や比較例１２は、引き裂き強度が低いという課題がないグラファイトフィルムであるが、本願発明のグラファイトフィルムと比較して、熱拡散率が低いものである。
【０３７７】
＜グラファイトフィルムが第一ロールと接触開始する点と第一ロールの中点と第一ロール／第二ロールの接点のなす角度ｂについて＞
実施例５４、参考例５７、実施例５８〜５９を比較する。参考例５７のように、ｂが０度と、グラファイトフィルムを第一ロールに接触させずに、そのまま供給した場合には、貼り合わせシワが多く発生した。実施例５８、５９、５４のように、ｂを大きくすると、貼り合わせシワを抑制できた。特にｂを４５度以上にすると、貼り合わせシワが少なくなった。これは、ロールに接触させながら、供給することで、グラファイトフィルム凹凸を緩和した状態で、貼り合わせポイントにフィルムを供給できたためである。
＜（第二ロールと粘着層又は接着層を有するシートの接触開始点）−（第二ロールの中心点）−（第一ロール／第二ロールの接点）のなす角度ｃについて＞
実施例５４、参考例６０、実施例６１を比較する。参考例６０のように、ｃが０度と、粘着層又は接着層を有するシートを第二ロールに接触させずに、そのまま供給した場合には、貼り合わせシワが多く発生した。実施例６１、５４のように、ｃを大きくすると、貼り合わせシワを抑制できた。これは、ロールに接触させながら、供給することで、粘着層又は接着層を有するシートを引き伸ばした状態で、貼り合わせポイントにフィルムを供給できるためである。
【０３７８】
＜セパレーターの有無について＞
実施例５４、６４を比較する。実施例５４のようにセパレーターが付いた粘着層又は接着層を有するシートからセパレーターを剥がしながら貼り合わせをおこなうと、実施例６４のセパレーターレスのシートを用いた場合と比較して、貼り合わせシワが少ないことがわかった。
【０３７９】
＜粘着層又は接着層を有するシートの幅について＞
実施例５４、６５を比較する。実施例５４では、粘着層又は接着層を有するシートの幅が、貼り合わせるグラファイトフィルムの幅より狭いため、安定して貼り合わせができた。
【０３８０】
＜ラミネートする工程での張力について＞
実施例５０、５１、実施例５４〜５６を比較する。実施例５０、５１では、たるみが小さいために、張力を強めると、裂け不良が発生しやすくなった。一方、実施例５４〜５６は、たるみがある程度大きいため、張力を強めても、裂け不良はほとんど発生しなかった。
【０３８１】
また、実施例５０、５１、実施例５４〜５６において張力を大きくすると、シワ不良発生しにくくなる傾向があった。
【０３８２】
＜ロールの形状について＞
実施例５４、６２、６３を比較する。実施例５４、６３のように一方のロールがフラットであると、実施例６２のクラウン−クラウンと比較して、貼り合わせシワが抑制できた。特に実施例５４のグラファイトフィルムと接する第一ロールがフラットロールの場合、シワが非常に少なく貼り合わせができた。
（５）抜き加工テストについて
＜抜き加工する工程でのグラファイトフィルムのたるみについて＞
実施例７４、７６、７７、８０、比較例１３、１４を比較する。
【０３８３】
比較例１３は、グラファイトフィルムのたるみが５ｍｍより小さいため、フィルムの端部に応力が集中し、裂け不良が多発した。一方、比較例１４は、裂け不良は発生しなかったものの、たるみが８０ｍｍより大きいために打ち抜きの精度が低下した。
【０３８４】
実施例７４、７６、７７、８０は、グラファイトフィルムのたるみが５ｍｍ以上８０ｍｍ以下の適切な範囲にあるため、裂け不良およびグラファイト抜き加工品の寸法精度不良が発生しにくかった。特に、実施例７７は、裂け不良およびグラファイト抜き加工品の寸法精度不良が全く発生しなかった。
＜抜き加工する工程でのグラファイトフィルムの（ＴＤ方向の最端部におけるたるみ）から（ＴＤ方向の最端部から３０ｍｍ地点におけるたるみ）を引いたａ値について＞
実施例７４、７６、７７、８０、比較例１３、１４を比較する。
【０３８５】
比較例１３は、グラファイトフィルムのａ値が５ｍｍ未満であるため、端部に応力がかかりやすく、裂け不良が多発した。
【０３８６】
実施例７４、７６、７７、８０は、グラファイトフィルムのａ値が５ｍｍ以上５０ｍｍ以下と適度な範囲にあるため、裂け不良が発生しにくかった。特に、実施例７７は、裂け不良が全く発生しなかった。
【０３８７】
また、実施例７４と７５、実施例７７と７９を、それぞれ比較する。
実施例７４、実施例７７は、ａ値が５ｍｍ以上と大きいため、同じたるみを持つ実施例７５、７９と比較して裂け不良が抑制できた。
【０３８８】
＜抜き加工する工程でのグラファイトフィルムの曲がりについて＞
実施例８３〜８５を比較する。
【０３８９】
実施例８３〜８５の比較から、グラファイトフィルムの曲がりが１０、５、＜１ｍｍと小さくなると、裂け不良およびグラファイト抜き加工品の寸法精度不良が発生しにくかった。特に、実施例８３は、裂け不良およびグラファイト抜き加工品の寸法精度不良が全く発生しなかった。
【０３９０】
＜抜き加工する工程での引裂き強度について＞
実施例７４、７６、７７、７８、８０、比較例１３、１５、参考例５を比較する。比較例１３との対比から判るように、具体的には、実施例７４、７６、７７、７８、８０のような低引き裂き強度のグラファイトフィルムであっても、たるみを５ｍｍ以上８０ｍｍ以下、ａ値を５ｍｍ以上５０ｍｍ以下とすることで、裂けやグラファイト抜き加工品の寸法精度の低下のような不具合を生じずに抜き加工を実施できた。
なお、参考例５や比較例１５は、引き裂き強度が低いという課題がないグラファイトフィルムであるが、本願発明のグラファイトフィルムと比較して、熱拡散率が低いものである。
【０３９１】
ＧＳ１８〜２０については、たるみ、ａ値が大きすぎて、巻き替えテスト、スリットテスト、圧縮テスト、ラミネートテスト、抜き加工テストにおいて、裂け不良、巻きずれ不良、折れシワ不良、貼り合わせシワ不良、寸法精度不良などが非常に多く発生した。
＜高分子フィルムの第１面であった面が巻物の内側に巻かれるように選別してから作製されたグラファイトフィルム＞
高分子フィルムの第１面が内側になるように巻いた状態で熱処理して作製されたグラファイトフィルムを用いた実施例８６と、第２面が内側になるように巻いた状態で熱処理して作製されたグラファイトフィルムを用いた実施例８７を比較する。
表１に示すように、高分子フィルムの第１面が内側になるように巻いた状態で熱処理した、実施例８６では、熱処理後のグラファイトフィルムの円筒形状は崩れなかった。また、各種テストにおいてもほとんど裂け不良は発生しなかった。一方、高分子フィルムの第２面が内側になるように巻いた状態で熱処理した実施例８７では、図３６の３６２のように熱処理後の円筒形状は大きく崩れ、引き伸ばしただけでフィルムの端部から裂けが発生した。また、各種テストにおいても裂け不良が多発し、ハンドリング性が非常に悪かった。
【産業上の利用可能性】
【０３９２】
本発明は、極めて低い平均引裂荷重を示すグラファイトフィルムを加工工程での不具合を生じにくくして、加工するためのものである。
【０３９３】
本発明のグラファイトフィルムの巻き替え方法によれば、グラファイトフィルムが裂けることなく巻き替えることができる。
また、本発明のグラファイトフィルムの巻き替え方法によれば、グラファイトフィルムが巻きずれを起こすことなく巻き替えることができる。
また、本発明のグラファイトフィルムの製造方法によれば、グラファイトフィルムが裂けることなく、グラファイトフィルムを製造することができる。
また、本発明のグラファイトフィルムの製造方法によれば、グラファイトフィルムが巻きずれを起こすことなく、グラファイトフィルムを製造することができる。
また、本発明のグラファイトフィルムの製造方法によれば、グラファイトフィルムがエッジの不具合を生じることなく、グラファイトフィルムを製造することができる。
また、本発明のグラファイトフィルム複合フィルムの製造方法によれば、グラファイトフィルムと粘着材層などの積層対象物と貼り合わせる際にシワの発生を抑制できる。
また、本発明のグラファイトフィルム複合フィルムの製造方法によれば、グラファイトフィルムと粘着材層などの積層対象物と貼り合わせる際に巻きずれの発生を抑制することができる。
また、本発明のグラファイトフィルム複合フィルムの製造方法によれば、グラファイトフィルムと粘着材層などの積層対象物と貼り合わせる際に裂けの発生を抑制できる。
また、本発明のグラファイトフィルム抜き加工品の製造方法によれば、裂けの発生を抑制することができる。
また、本発明のグラファイトフィルム抜き加工品の製造方法によれば、寸法精度不良の発生を抑制することができる。
【符号の説明】
【０３９４】
１１．グラファイトフィルム
１２．巻き出しロール
１３．巻き取りロール
１４．ロール間の距離
２１．スリット用のロール刃（上刃）
２２．スリット用のロール刃（下刃）
３１．単板連続プレス金型（上）
３２．単板連続プレス金型（下）
４１．圧延ロール（上）
４２．圧延ロール（下）
５１．粘着層又は接着層を有するシート
５２．粘着層又は接着層を有するシートの巻き出しロール
５３．第一ロール
５４．第二ロール
５５．セパレーター
５６．セパレーター巻取りロール
５７．セパレーターを剥がしはじめるきっかけとなるバー
５８．セパレーター付きＰＥＴテープ
５９．グラファイトフィルムの幅
５１０．粘着層又は接着層を有するシートの幅
６１．抜き加工用の金型
６２．ピナクル刃
７１．ロール１
７２．ロール２
７３．グラファイトフィルム
７４．懸垂線
７５．たるみ
８１．最端部のたるみ
８２．最端部から３０ｍｍ地点のたるみ
９１．テーブル
９２．グラファイトフィルム
９３．定規の位置
１０１．第一ロールへ接触させずに供給
１０２．第一ロールへ接触させながら供給
１０３．第一ロール
１０４．コシがなくフラットな状態で供給できないフィルムや、たるみが大きいフィルム１１１．グラファイトフィルム
１１２．第一ロール
１１３．（第一ロールとグラファイトフィルムの接触開始点）−（第一ロールの中心点）−（第一ロール／第二ロールの接点）のなす角度
１１４．第一ロールとグラファイトフィルムの接触開始点
１１５．第一ロールの中心点
１１６．第一ロール／第二ロールの接点
１３１．クラウンロール
１３２．ロール中央の径
１３３．ロールの１／４部分の径
１４１．ＰＥＴテープ（保護テープ）
１４２．グラファイトフィルム
１４３．両面テープ（粘着テープ）
１４４．セパレーター
１７１．グラファイト抜き加工品
１７２．ステッカーが載っているセパレーター
１８１．グラファイトフィルムの裂け不良
１９１．グラファイトフィルムの巻きずれ不良
２０１．グラファイトフィルムのエッジのバリ不良
２１１．グラファイトフィルムの折れシワ
２２１．グラファイト複合フィルム
２２２．拡大図
２２３．貼り合わせシワ
２３１．たるみ１０ｍｍのグラファイトフィルム
２３２．たるみ４０ｍｍのグラファイトフィルム
２３３．たるみ８０ｍｍのグラファイトフィルム
２４１．短い
２４２．長い
２６１．円筒状の黒鉛製円筒芯
２６２．外筒
２６３．円筒芯に巻かれたポリイミドフィルム
２６４．通気性を持たせるための開口部
２７１．炭化フィルム
２７２．支え
２８１．巻きの内芯側
２８２．巻きの外側
２９１．打ち抜き刃
２９２．土台
２９３．送りローラ
２９４．単離されたグラファイトフィルム
３０１．上面への反り
３０２．下面への反り
３１１．中央がたるむ場合
３１２．端部がたるむ場合
３１３．中央のたるみ
３１４．端部のたるみ
３２１．巻きの外側への反り
３２２．巻きの内側への反り
３３１０．ベルト室
３３１２．Ｔダイ
３３１４．エンドレスベルト
３３１６．ゲルフィルム
３３１８．テンター室
３３２０．加熱炉
３３２２．除冷炉
３３２４．ポリイミドフィルム
３３２６．冷却プーリー
３４１．裂け不良
３５１．炭化フィルム
３５２．架台
３６１．円筒形状が崩れていないグラファイトフィルム
３６２．円筒形状が崩れたグラファイトフィルム
【図１】
0005503697.tif 000009
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0005503697.tif 000015
【図８】
0005503697.tif 000016
【図９】
0005503697.tif 000017
【図１０】
0005503697.tif 000018
【図１１】
0005503697.tif 000019
【図１２】
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【図１３】
0005503697.tif 000021
【図１４】
0005503697.tif 000022
【図１５】
0005503697.tif 000023
【図１６】
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【図１７】
0005503697.tif 000025
【図１８】
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【図１９】
0005503697.tif 000027
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
0005503697.tif 000031
【図２４】
0005503697.tif 000032
【図２５】
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【図２６】
0005503697.tif 000034
【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
0005503697.tif 000037
【図３０】
0005503697.tif 000038
【図３１】
0005503697.tif 000039
【図３２】
0005503697.tif 000040
【図３３】
0005503697.tif 000041
【図３４】
0005503697.tif 000042
【図３５】
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【図３６】
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