(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
成膜対象物が配置される真空槽と、
前記真空槽の外部に設けられた複数の蒸発源と、
前記真空槽内に設けられ、前記複数の蒸発源から供給された蒸発材料の蒸気を前記成膜対象物に向って放出するための蒸気放出器とを備え、
前記蒸気放出器は、前記成膜対象物と同等の大きさを有する長方体形状の本体部と、当該本体部内に格子状の隔壁部を設けることによって互いに雰囲気が隔離された複数の矩形状の蒸気放出室と、前記複数の蒸発源から前記複数の蒸気放出室内にそれぞれ前記蒸発材料の蒸気を導入する複数の蒸気導入部とを有するとともに、当該各蒸気放出室には、前記成膜対象物に対して対向するように面状に配列された複数の蒸気放出口が設けられている蒸着装置。
【請求項２】
前記蒸気放出器の蒸気導入部は、前記複数の蒸発源から個別に蒸発材料の蒸気が供給され、それぞれ独立して当該蒸気放出室内に複数の蒸発材料の蒸気を導入するように構成されている請求項１記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記蒸気放出器の蒸気導入部は、前記複数の蒸発源から個別に供給される蒸発材料の蒸気の量を検出する検出手段を有する請求項１記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記蒸気放出器の蒸気導入部は、当該蒸発材料の蒸気の放出方向と交差する方向へ当該蒸気放出室内に蒸気を放出して導入するように構成されている請求項１乃至３のいずれか１項記載の蒸着装置。
【請求項５】
前記複数の蒸気放出室において、前記蒸気導入部と前記複数の蒸気放出口との間に、複数の蒸気通過孔を有する蒸気分散部が設けられている請求項１乃至４のいずれか１項記載の蒸着装置。
【請求項６】
前記蒸気分散部の蒸気通過孔は、当該蒸気放出器の蒸気放出口と平行な面内に配置されている請求項５記載の蒸着装置。
【請求項７】
前記蒸気放出器の蒸気放出口と前記蒸気分散部の蒸気通過孔とが千鳥状に配置されている請求項５又は６のいずれか１項記載の蒸着装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項記載の蒸着装置を用いて成膜対象物上に薄膜を形成する蒸着方法であって、
当該蒸発材料として、有機ＥＬ装置の有機薄膜層を形成するための有機材料を用いる蒸着方法。
【請求項９】
前記蒸発材料として、有機ＥＬ装置の有機薄膜層を形成するためのホスト材料とドーパント材料を用いる請求項８記載の蒸着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば有機ＥＬディスプレイや有機ＥＬ照明デバイスや蒸着重合膜等を作製するための有機材料等の蒸着技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
図４（ａ）（ｂ）は、従来技術に係る有機蒸着装置の概略構成図で、図４（ａ）は、内部構成を示す断面図、図４（ｂ）は、蒸発源及び面蒸発器の構成を示す平面図である。
図４（ａ）（ｂ）に示すように、従来の有機蒸着装置１０１は、図示しない真空排気系に接続された真空槽１０２を有し、この真空槽１０２の内部に成膜対象物である基板１０３が配置されるようになっている。
この真空槽１０２の内部には、面蒸発器１０４が設けられている。
面蒸発器１０４は、加熱用のヒータ１０５を有し蒸気放出用のノズル１０６が設けられたパイプ状の蒸気放出器１０７が複数並べられて構成され、これら蒸気放出器１０７は蒸気輸送配管１０８を介して蒸発源１１０に接続されている。
蒸発源１１０は、有機材料１１１が収容された蒸発容器１１２を有しており、この蒸発容器１１２の外壁には、加熱用のヒータ１１３が装着されている。
そして、このような構成により、蒸発源１１０において気化された有機材料の蒸気が蒸気輸送配管１０８を介して蒸気放出器１０７内に導入され、この蒸気がノズル１０６から放出され基板１０３に到達するようになっている。
【０００３】
しかし、このような従来技術においては、真空槽１０２内に蒸気輸送配管１０８が配置されているため、蒸発材料の蒸気の流動に影響を及ぼし、その結果、蒸気放出器１０７から放出される蒸気の分布が不均一になるという課題がある。
すなわち、従来技術では、複数の蒸気放出器１０７から放出される蒸気の量を個別的に制御することができず、各蒸気放出器１０７毎に蒸気の放出量が異なるため、基板１０３上に形成される膜の膜厚均一性が悪いという課題がある。
特に有機ＥＬ装置の有機層用のドーパント材料を用いて成膜する場合には、僅かな膜厚の差によってデバイスの輝度が大きく変わってしまうため、大面積の基板１０３上に成膜を行う場合に対応し難いという課題がある。
また、ドーパント材料とホスト材料を用いて同時に成膜を行う場合には、ドーパント材料とホスト材料の蒸気が混合し難く、そのままの状態で基板１０３上に蒸着されるため、ドーパント材料とホスト材料の比率が均一の膜を形成することが困難であるという課題もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１８４５１７号公報
【特許文献２】特開２００７−１４６２１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、このような従来の技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、大面積の成膜対象物に対して膜厚及び膜質が均一の膜を形成することができる蒸着技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するためになされた本発明は、成膜対象物が配置される真空槽と、前記真空槽の外部に設けられた複数の蒸発源と、前記真空槽内に設けられ、前記複数の蒸発源から供給された蒸発材料の蒸気を前記成膜対象物に向って放出するための蒸気放出器とを備え、前記蒸気放出器は、前記成膜対象物と同等の大きさを有する長方体形状の本体部と、当該本体部内に格子状の隔壁部を設けることによって互いに雰囲気が隔離された複数の矩形状の蒸気放出室と、前記複数の蒸発源から前記複数の蒸気放出室内にそれぞれ前記蒸発材料の蒸気を導入する複数の蒸気導入部とを有するとともに、当該各蒸気放出室には、前記成膜対象物に対して対向するように面状に配列された複数の蒸気放出口が設けられている蒸着装置である。
本発明では、前記蒸気放出器の蒸気導入部は、前記複数の蒸発源から個別に蒸発材料の蒸気が供給され、それぞれ独立して当該蒸気放出室内に複数の蒸発材料の蒸気を導入するように構成されている場合にも効果的である。
本発明では、前記蒸気放出器の蒸気導入部は、前記複数の蒸発源から個別に供給される蒸発材料の蒸気の量を検出する検出手段を有する場合にも効果的である。
本発明では、前記蒸気放出器の蒸気導入部は、当該蒸発材料の蒸気の放出方向と交差する方向へ当該蒸気放出室内に蒸気を放出して導入するように構成されている場合にも効果的である。
本発明では、前記複数の蒸気放出室において、前記蒸気導入部と前記複数の蒸気放出口との間に、複数の蒸気通過孔を有する蒸気分散部が設けられている場合にも効果的である。
本発明では、前記蒸気分散部の蒸気通過孔は、当該蒸気放出器の蒸気放出口と平行な面内に配置されている場合にも効果的である。
本発明では、前記蒸気放出器の蒸気放出口と前記蒸気分散部の蒸気通過孔とが千鳥状に配置されている場合にも効果的である。
一方、本発明は、上述した蒸着装置を用いて成膜対象物上に薄膜を形成する蒸着方法であって、当該蒸発材料として、有機ＥＬ装置の有機薄膜層を形成するための有機材料を用いるものである。
本発明では、前記蒸発材料として、有機ＥＬ装置の有機薄膜層を形成するためのホスト材料とドーパント材料を用いる場合にも効果的である。
【０００７】
本発明の場合、蒸気放出器が、互いに雰囲気が隔離された複数の矩形状の蒸気放出室と、複数の蒸発源から複数の蒸気放出室内にそれぞれ蒸発材料の蒸気を導入する複数の蒸気導入部とを有するとともに、各蒸気放出室には、成膜対象物に対して対向するように面状に配列された複数の蒸気放出口が設けられていることから、各蒸気放出室毎に蒸発材料の蒸気の放出量を調整することができ、これにより蒸気放出器の本体部と同等の大きさを有する大型基板に対して蒸着を行う場合に当該基板上の各領域における膜厚を均一にすることができる。
また、本発明によれば、蒸気導入部を介して導入された蒸発材料の蒸気が各蒸気放出室内において十分に分散されるため、成膜対象物上の各領域における膜厚を均一にすることができる。
さらに、本発明によれば、各蒸気放出室毎に蒸発材料の蒸気を放出し又は放出の停止を行うことができ、これにより成膜対象物の大きさに応じた蒸着が可能になるため、蒸発材料の無駄を少なくすることができる。
本発明において、蒸気放出器の蒸気導入部が、複数の蒸発源から個別に蒸発材料の蒸気が供給され、それぞれ独立して蒸気放出室内に複数の蒸発材料の蒸気を導入するように構成されている場合には、例えば有機ＥＬ装置の有機層を形成するためのホスト材料とドーパント材料のように異なる有機材料を用いて同時に蒸着を行う場合に、蒸発材料の蒸気を十分に混合して蒸気放出口から放出することができる。
この場合、複数の蒸発源から個別に供給される蒸発材料の蒸気の量を検出する検出手段を蒸気放出器の蒸気導入部に設ければ、各蒸気放出室から放出される蒸発材料の蒸気の量を精度良く調整することができるので、例えばホスト材料とドーパント材料のように異なる蒸発材料の比率を変えずに蒸着を行うことができる。
【０００８】
本発明においては、蒸気放出器内に隔壁部を設けることによって、互いに雰囲気が隔離された複数の蒸気放出室を設けることにより、大型基板に対応する、互いに雰囲気が隔離された複数の蒸気放出室を蒸気放出器に容易に作成することができる。
本発明において、蒸気導入部の蒸気放出部が、蒸発材料の蒸気の放出方向と交差する方向へ蒸気放出室内に蒸気を放出して導入するように構成されている場合には、蒸気放出室内に導入された蒸発材料の蒸気が、例えば蒸気放出部の側壁部及び隔壁部に衝突してはね返され、これにより蒸気放出室内において蒸発材料の蒸気を十分に混合することができる。
本発明において、複数の蒸気放出室において、蒸気導入部と複数の蒸気放出口との間に、複数の蒸気通過孔を有する蒸気分散部が設けられている場合には、蒸発材料の蒸気が蒸気分散部の蒸気通過孔を通過する際に蒸気分散部に衝突してはね返されるため、蒸発材料の蒸気をより均一に分散混合させることができる。
本発明において、蒸気分散部の蒸気通過孔が当該蒸気放出器の蒸気放出口と平行な面内に配置されている場合、例えば、蒸気放出器の蒸気放出口と蒸気分散部の蒸気通過孔とが千鳥状に配置されている場合には、蒸気分散部の蒸気通過孔を通過した蒸発材料の蒸気が確実に蒸気放出室の壁部に衝突してはね返されるため、蒸発材料の蒸気をより均一に分散混合させることができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、大面積の成膜対象物に対して膜厚及び膜質が均一の膜を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に係る蒸着装置の全体構成を示す平面図
【図２】同蒸着装置の内部構成を示す断面図
【図３】本発明に用いる蒸気放出器の他の例を示す斜視図
【図４】（ａ）：従来技術に係る有機蒸着装置の概略構成図で、内部構成を示す断面図（ｂ）：蒸発源及び面蒸発器の構成を示す平面図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明に係る蒸着装置の全体構成を示す平面図、図２は、同蒸着装置の内部構成を示す断面図である。以下、上下関係については図２に示す構成に基づいて説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
図１及び図２に示すように、本実施の形態の蒸着装置１は、図示しない真空排気系に接続された真空槽２を有し、この真空槽２内の例えば上部分には、成膜対象物である基板３が配置されるようになっている。
真空槽２内の例えば下部には、面蒸発器（蒸気放出器）４が設けられている。
本実施の形態の面蒸発器４は、例えば基板３と同等の大きさを有する例えば長方体形状の本体部４ａを有している。
【００１２】
ここで、面蒸発器４は、本体部４ａの側壁部４０及び本体部４ａ内に設けられた隔壁部４１によって複数（本実施の形態では１２個）の蒸気放出室２１が形成されている。
さらに、本実施の形態では、水平方向に向けて配置された仕切り板２０によって面蒸発器４の内部が二つの空間に区分けされ、このうちの上側部分に蒸気放出室２１が形成されている。
そして、このような構成により、各蒸気放出室２１は、それぞれの雰囲気が互いに隔離されるようになっている。
【００１３】
蒸気放出室２１の上部の天井部２２には、蒸発材料の蒸気を基板３に向って放出するための蒸気放出ノズル（蒸気放出口）２３が複数設けられている。
これらの蒸気放出ノズル２３は、各蒸気放出室２１の天井部２２において、基板３に対向する位置に所定の間隔で配置されている。
また、各蒸気放出室２１の上部分には、加熱用のヒータ２４が複数設けられ、さらに、これらヒータ２４の上部には、熱輻射防止板２５が設けられている。
面蒸発器４内には、複数の蒸気導入器（蒸気導入部）３０が設けられている。
【００１４】
図２に示すように、本実施の形態の場合は、各蒸気放出室２１内に、一つの蒸気導入器３０の蒸気放出部３１が位置するように構成されている。
蒸気導入器３０は、例えば図１及び図２に例をとって示すように、真空槽２の外部に設けられた複数（本例では４個）の蒸発源５ｈ、５ｄ、６ｈ、６ｄに接続されている。
なお、図１においては、一つの蒸気放出室２１のみについて蒸発源５ｈ、５ｄ、６ｈ、６ｄが描かれているが、他の蒸気放出室２１についても、図示しない蒸発源にそれぞれ接続された蒸気導入器３０が設けられている。
【００１５】
本実施の形態では、蒸発源５ｈ、６ｈ内には、有機ＥＬ素子の有機薄膜形成用のホスト材料５０ｈが収容されている。
また、蒸発源５ｄ、６ｄ内には、有機ＥＬ素子の有機薄膜形成用のドーパント材料５０ｄが収容されている。
そして、各蒸発源５ｈ、５ｄ、６ｈ、６ｄの周囲には、加熱用のヒータ１０が配設されている。
また、各蒸発源５ｈ、５ｄ、６ｈ、６ｄは、キャリアガス供給装置７ｈ、７ｄ、８ｈ、８ｄに接続され、キャリアガス源９から供給されるキャリアガスがそれぞれ蒸発源５ｈ、５ｄ、６ｈ、６ｄに供給されるように構成されている。
本実施の形態の場合、ホスト材料５０ｈが収容された蒸発源５ｈ、６ｈは、それぞれバルブ１１ｈ、１２ｈを介してホスト材料５０ｈ用の蒸気輸送配管室１３ｈに接続されている。
【００１６】
一方、ドーパント材料５０ｄが収容された蒸発源５ｄ、６ｄは、それぞれバルブ１１ｄ、１２ｄを介してドーパント材料５０ｄ用の蒸気輸送配管室１３ｄに接続されている。
ホスト材料５０ｈ用の蒸気輸送配管室１３ｈ及びドーパント材料５０ｄ用の蒸気輸送配管室１３ｄの周囲には、それぞれ加熱用のヒータ１４が設けられている。
ホスト材料５０ｈ用の蒸気輸送配管室１３ｈとドーパント材料５０ｄ用の蒸気輸送配管室１３ｄの蒸気放出側の部分（上側部分）は、上述した蒸気放出部３１に連結されている。
【００１７】
本実施の形態の場合、蒸気放出部３１は、ホスト材料５０ｈを放出するためのホスト材料用放出口３２と、ドーパント材料５０ｄを放出するためのドーパント材料用放出口３３とがそれぞれ複数設けられている。
これらホスト材料用放出口３２及びドーパント材料用放出口３３は、それぞれノズル状に構成されている。
そして、ホスト材料用放出口３２及びドーパント材料用放出口３３は、面蒸発器４の蒸気放出口から放出される蒸発材料の蒸気の方向と交差する方向、例えば、水平方向へ蒸発材料の蒸気を放出するように構成されている。
なお、本例の場合、ホスト材料用放出口３２から放出されるホスト材料５０ｈの量がドーパント材料用放出口３３から放出されるドーパント材料５０ｄの量より多くなるように各放出口の口径の大小関係や数が設定されている。
【００１８】
さらに、蒸気導入器３０におけるホスト材料５０ｈ用の蒸気輸送配管室１３ｈとドーパント材料５０ｄ用の蒸気輸送配管室１３ｄの蒸気放出部３１と反対側（下部）には、それぞれコンダクタンスの小さい蒸気放出ノズル１５、１６が設けられている。
そして、蒸気放出ノズル１５、１６の近傍で蒸気放出側には、それぞれ膜厚センサ１７ｈ、１７ｄが設けられ、これら膜厚センサ１７ｈ、１７ｄにて検出された結果に基づいて、ホスト材料用放出口３２及びドーパント材料用放出口３３から放出される蒸気の量を制御するように構成されている。
【００１９】
一方、各蒸気放出室２１内の蒸気放出部３１と、ホスト材料用放出口３２及びドーパント材料用放出口３３との間には、例えば板状の蒸気分散部２６が設けられている。この蒸気分散部２６には、蒸発材料の蒸気を通過させるための蒸気通過孔２７が所定の間隔をおいて複数設けられている。
本実施の形態の場合、これら蒸気通過孔２７は、上述した蒸気放出ノズル２３と重ならない位置に、例えば平面的に千鳥状に配列されている。
このような構成を有する本実施の形態において基板３上に有機蒸着膜を形成する場合には、真空槽２内を所定の圧力にした状態で、ヒータ１０を加熱して各蒸発源５ｈ、５ｄ、６ｈ、６ｄ内のホスト材料５０ｈ及びドーパント材料５０ｄを気化し、バルブ１１ｈ、１２ｈ、１１ｄ、１２ｄを介して蒸発材料の蒸気を面蒸発器４内の蒸気導入器３０の蒸気輸送配管室１３ｈ、１３ｄ内に導入する。
【００２０】
そして、蒸気導入器３０の蒸気輸送配管室１３ｈ、１３ｄ内の蒸発材料の蒸気は、ホスト材料用放出口３２及びドーパント材料用放出口３３から水平方向へ放出され、面蒸発器４の本体部４ａの側壁部４０及び隔壁部４１に衝突してはね返され、蒸気放出室２１内においてホスト材料用放出口３２及びドーパント材料用放出口３３が混合される。
その後、時間の経過に伴い十分に混合された蒸発材料の蒸気は、蒸気分散部２６の蒸気通過孔２７を通り、面蒸発器４の本体部４ａの天井部２２に衝突して水平方向に流れた後、各蒸気放出ノズル２３から基板３に向って放出される。そして、これにより基板３上に有機蒸着膜（図示せず）が形成される。
【００２１】
以上述べたように本実施の形態においては、面蒸発器４が、互いに雰囲気が隔離された複数の蒸気放出室２１と、複数の蒸発源５ｈ、５ｄ、６ｈ、６ｄから複数の蒸気放出室２１内にそれぞれ蒸発材料の蒸気を導入する蒸気導入器３０とを有するとともに、各蒸気放出室２１には、基板３に対して対向するように面状に配列された複数の蒸気放出ノズル２３が設けられていることから、各蒸気放出室２１毎に有機材料の蒸気の放出量を調整することができ、これにより例えば大型基板に対して蒸着を行う場合に大型基板上の各領域における膜厚を均一にすることができる。
また、本実施の形態によれば、蒸気導入器３０を介して導入された有機材料の蒸気が各蒸気放出室２１内において十分に分散されるため、基板３上の各領域における膜厚を均一にすることができる。
【００２２】
さらに、本実施の形態によれば、各蒸気放出室２１毎に蒸発材料の蒸気を放出し又は放出の停止を行うことができ、これにより基板３の大きさに応じた蒸着が可能になるため、蒸発材料の無駄を少なくすることができる。
さらにまた、本実施の形態によれば、面蒸発器４の蒸気導入器３０が、複数の蒸発源５ｈ、５ｄ、６ｈ、６ｄから個別に有機材料の蒸気が供給され、それぞれ独立して蒸気放出室２１内に複数の有機材料の蒸気を導入するように構成されていることから、例えば有機ＥＬ装置の有機層を形成するためのホスト材料５０ｈとドーパント材料５０ｄのように異なる有機材料を用いて同時に蒸着を行う場合に、蒸発材料の蒸気を十分に混合して蒸気放出ノズル２３から放出することができる。
さらにまた、本実施の形態では、各蒸気導入器３０に、有機材料の蒸気の量を検出する膜厚センサ１７ｈ、１７ｄが設けられており、各蒸気放出室２１から放出される蒸発材料の蒸気の量を精度良く調整することができるので、例えばホスト材料５０ｈとドーパント材料５０ｄのように異なる有機材料の比率を変えずに蒸着を行うことができる。
【００２３】
さらにまた、本実施の形態では、面蒸発器４内に隔壁部４１を設けることによって、互いに雰囲気が隔離された複数の蒸気放出室２１を形成するようにしたことから、大型基板に対応する、互いに雰囲気が隔離された複数の蒸気放出室２１を面蒸発器４に容易に作成することができる。
さらにまた、本実施の形態では、蒸気導入器３０の蒸気放出部３１が、蒸発材料の蒸気の放出方向と交差する方向へ蒸気放出室２１内に蒸気を放出して導入するように構成されていることから、蒸気放出室２１内に導入された蒸発材料の蒸気が面蒸発器４の側壁部４０及び隔壁部４１に衝突してはね返され、これにより蒸気放出室２１内において蒸発材料の蒸気を十分に混合することができる。
さらにまた、本実施の形態では、複数の蒸気放出室２１において、蒸気導入器３０と複数の蒸気放出ノズル２３との間に、複数の蒸気通過孔２７を有する蒸気分散部２６が設けられており、蒸発材料の蒸気が蒸気分散部２６の蒸気通過孔２７を通過する際に蒸気分散部２６に衝突してはね返されるため、蒸発材料の蒸気をより均一に分散混合させることができる。
【００２４】
本発明において、蒸気分散部２６の蒸気通過孔２７が面蒸発器４の蒸気放出ノズル２３と平行な面内に配置され、さらに、面蒸発器４の蒸気放出ノズル２３と蒸気分散部２６の蒸気通過孔２７とが千鳥状に配置され、これにより蒸気分散部２６の蒸気通過孔２７を通過した蒸発材料の蒸気が確実に蒸気放出室２１の壁部に衝突してはね返されるため、蒸発材料の蒸気をより均一に分散混合させることができる。
【００２５】
図３は、本発明に用いる蒸気放出器の他の例を示す斜視図であり、以下、上記実施の形態と対応する部分には、同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。
図３に示すように、本例の蒸気放出器３０Ａは、上記実施の形態と同様に、面蒸発器４の各蒸気放出室２１に設けることができる。
ここで、蒸気放出器３０Ａは、円筒形状の第１の本体部３５を有している。
この第１の本体部３５の側壁部には、有機材料の蒸気を放出する、例えば上述したホスト材料５０ｈを放出するための例えば円形形状のホスト材料用放出口３２Ａが複数設けられている。
なお、第１の本体部３５の下方部分３７の内部には、上記実施の形態と同様に、ホスト材料５０ｈ用の蒸気輸送配管室１３ｈ及びドーパント材料５０ｄ用の蒸気輸送配管室１３ｄが設けられ（図示せず）、これら蒸気輸送配管室１３ｈ、１３ｄは、上述した蒸発源５ｈ、５ｄ、６ｈ、６ｄに接続されている。
【００２６】
また、本例においては、第１の本体部３５の上部に第１の本体部３５より小径の円筒形状の第２の本体部３６が設けられ、この第２の本体部３６の側壁部にパイプ（ノズル）状のドーパント材料用放出口３３Ａが設けられている。
これらホスト材料用放出口３２Ａ及びドーパント材料用放出口３３Ａは、上記実施の形態と同様に、面蒸発器４の蒸気放出ノズル２３から放出される蒸発材料の蒸気の方向と交差する方向、例えば、水平方向へ蒸発材料の蒸気を放出するように構成されている。
なお、本例においても、上記実施の形態と同様に、ホスト材料用放出口３２Ａから放出されるホスト材料５０ｈの量がドーパント材料用放出口３３Ａから放出されるドーパント材料５０ｄの量より多くなるようにホスト材料用放出口３２Ａ及びドーパント材料用放出口３３Ａの口径の大小関係や数が設定されている。
【００２７】
以上述べた本例の蒸気放出器３０Ａによれば、多数のノズル（放出口）を設ける場合であっても、容易に製造することができる。
また、本例の蒸気放出器３０Ａによれば、ノズル状のドーパント材料用放出口３３Ａの交換が容易であるため、異なる長さのノズルを使用したりノズルの本数を変えることにより蒸気放出時のコンダクタンスを変更することができ、これにより蒸気の放出量を容易に変更することができるとともに、蒸気の放出量を微調整することができる。
【００２８】
その他の構成及び作用効果については上述の実施の形態と同一であるのでその詳細な説明を省略する。
なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、上記実施の形態においては、蒸気放出室を１２個設ける場合を例にとって説明したが、本発明はこれに限られず、複数であれば、蒸気放出室の数は任意に設定することができる。
また、蒸気放出室の形状は矩形に限られず、互いに雰囲気が隔離することができる限り、その形状は適宜変更することができる。
さらに、上記実施の形態では面蒸発器の本体部に隔壁部を設けることによって複数の蒸気放出室を設けるようにしたが、本発明はこれに限られず、蒸気放出室を個別に設けることも可能である。
【００２９】
ただし、構成の簡素化及びコスト低減並びに面蒸発器同士の距離をできる限り小さくする観点からは、上記実施の形態のように、面蒸発器の本体部に隔壁部を設けることによって複数の蒸気放出室を設けることが好ましい。
なお、成膜の状況によっては、隔壁部を部分的あるいは全部することも可能である。
さらに、真空槽の外部に設ける蒸発源の数は上記実施の形態のものには限られず、各蒸気放出室にそれぞれ蒸発材料を導入できる限り、任意に設定することができる。
さらにまた、本発明では、各蒸気放出室において同時に蒸着を行う場合に加え、蒸発源に設けられたバルブを制御することにより、時間差をもって蒸着を行うことも可能である。
一方、本発明は有機ＥＬ装置の有機層を形成する装置のみならず、例えば異なる蒸発材料を用いる蒸着重合用の装置や、例えば、ＬｉＦ（フッ化リチウム）等の金属材料や無機材料を蒸着する装置に適用することもできる。
以上述べたように、本発明は、特に大型の成膜対象物に対する蒸着に適用する場合により効果的となるものである。
【符号の説明】
【００３０】
１…蒸着装置
２…真空槽
３…基板（成膜対象物）
４…面蒸発器（蒸気放出器）
４ａ…本体部
５ｈ、６ｈ、６ｄ、６ｈ…蒸発源
１５、１６…蒸気放出ノズル
１７ｈ、１７ｄ…膜厚センサ
２１…蒸気放出室
２３…蒸気放出ノズル（蒸気放出口）
２６…蒸気分散部
２７…蒸気通過孔
３０…蒸気導入器（蒸気導入部）
３１…蒸気放出部
３２…ホスト材料用放出口
３３…ドーパント材料用放出口
４０…側壁部
４１…隔壁部
【図１】
0005520678.tif 000002
【図２】
0005520678.tif 000003
【図３】
0005520678.tif 000004
【図４】
0005520678.tif 000005