(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小突起が密接して配置され、隣接する前記微小突起の間隔が、反射防止を図る波長帯域の最短波長以下である反射防止物品の製造方法において、
前記微小突起の賦型に供する製造用金型を作製する金型作製工程と、
前記製造用金型に基材を押圧して前記製造用金型に形成された凹凸形状を前記基材に賦型する賦型工程とを備え、
前記金型作製工程は、
母材を洗浄して油成分を除去する洗浄工程と、
前記母材の表面に前記微小突起の賦型に供する凹凸形状を作成する凹凸形状の作成工程とを備え、
前記洗浄工程の前工程及び／又は後工程として、真空紫外波長領域の電磁波を母材表面に照射する真空紫外線照射工程を備える
反射防止物品の製造方法。
【請求項２】
前記凹凸形状の作成工程は、
前記母材の表面に、直接に又は中間層を介して、アルミニウム層を作成するアルミニウム層の作成工程と、
陽極酸化処理とエッチング処理との交互の繰り返しにより、前記アルミニウム層に前記賦型に供する凹凸形状を作成する工程と
を備える請求項１に記載の反射防止物品の製造方法。
【請求項３】
微小突起が密接して配置され、隣接する前記微小突起の間隔が、反射防止を図る波長帯域の最短波長以下である反射防止物品の製造用金型であって、賦型処理により前記微小突起を作製する前記微小突起に対応する凹凸形状を備えた反射防止物品の製造用金型の製造方法において、
母材を洗浄して油成分を除去する洗浄工程と、
前記母材の表面に前記凹凸形状を作成する凹凸形状の作成工程とを備え、
前記洗浄工程の前工程及び／又は後工程として、真空紫外波長領域の電磁波を母材表面に照射する真空紫外線照射工程を備える
反射防止物品の製造用金型の製造方法。
【請求項４】
前記凹凸形状の作成工程は、
前記母材の表面に、直接に又は中間層を介して、アルミニウム層を作成するアルミニウム層の作成工程と、
陽極酸化処理とエッチング処理との交互の繰り返しにより、前記アルミニウム層に前記賦型に供する凹凸形状を作成する工程と
を備える請求項３に記載の反射防止物品の製造用金型の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モスアイ構造に係る反射防止物、及びその製造に供する金型に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、フィルム形状の反射防止物品である反射防止フィルムに関して、透明基材（透明フィルム）の表面に多数の微小突起を密接して配置することにより、反射防止を図る方法が提案されている（特許文献１〜３参照）。この方法は、いわゆるモスアイ（ｍｏｔｈ  ｅｙｅ（蛾の目））構造の原理を利用したものであり、入射光に対する屈折率を基板の厚み方向に連続的に変化させ、これにより屈折率の不連続界面を消失させて反射防止を図るものである。
【０００３】
このモスアイ構造に係る反射防止物品では、隣接する微小突起の間隔ｄが、反射防止を図る波長帯域の最短波長λｍｉｎ以下（ｄ≦λｍｉｎ）となるよう、微小突起が密接して配置される。また各微小突起は、透明基材に植立するように、さらに透明基材より先端側に向かうに従って徐々に断面積が小さくなるように（先細りとなるように）作製される。
【０００４】
このようなモスアイ構造に係る反射防止物品は、賦型処理により微細突起の密接構造を作成する。またこの賦型処理に供する金型は、アルミニウムの陽極酸化処理とエッチング処理とにより微細な凹凸形状が作成される。
【０００５】
このようにして作成される金型は、高い品質により反射防止フィルムを生産する上で、当然に、高い品質により作成することが望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭５０−７００４０号公報
【特許文献２】特表２００３−５３１９６２号公報
【特許文献３】特許第４６３２５８９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、モスアイ構造に係る反射防止物品の製造に供する金型に関して、従来に比して一段と品質を向上することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、上記課題を解決するために鋭意研究を重ね、金型の加工に供する母材からの切削油、加工油等の除去により、その上層に形成されるアルミニウム表面、結晶粒界から異物（パーティクル（ごみ）、切削油、加工油）を除去する、との着想に至り、本発明を完成するに至った。
【０００９】
具体的には、本発明では、以下のようなものを提供する
【００１０】
（１）  微小突起が密接して配置され、隣接する前記微小突起の間隔が、反射防止を図る波長帯域の最短波長以下である反射防止物品の製造方法において、
前記微小突起の賦型に供する製造用金型を作製する金型作製工程と、
前記製造用金型に基材を押圧して前記製造用金型に形成された凹凸形状を前記基材に賦型する賦型工程とを備え、
前記金型作製工程は、
母材を洗浄して油成分を除去する洗浄工程と、
前記母材の表面に前記微小突起の賦型に供する凹凸形状を作成する凹凸形状の作成工程とを備える。
【００１１】
（１）によれば、油成分の除去により油成分の残留による各種の問題を一挙に解決することができ、これにより品質を向上することができる。
【００１２】
（２）  （１）において、
前記凹凸形状の作成工程は、
前記母材の表面に、直接に又は中間層を介して、アルミニウム層を作成するアルミニウム層の作成工程と、
陽極酸化処理とエッチング処理との交互の繰り返しにより、前記アルミニウム層に前記賦型に供する凹凸形状を作成する工程とを備える。
【００１３】
（２）によれば、中間層、アルミニウム層の密着強度を増大させて品質を向上することができる。
【００１４】
（３）  （１）又は（２）において、
前記洗浄工程の前工程及び／又は後工程として、真空紫外波長領域の電磁波を母材表面に照射する真空紫外線照射工程を備える。
【００１５】
（３）によれば、母材表面に付着した微量の有機物を効果的に分解除去でき、精度の高い表面凹凸形状を形成できる。
【００１６】
（４）  微小突起が密接して配置され、隣接する前記微小突起の間隔が、反射防止を図る波長帯域の最短波長以下である反射防止物品の製造用金型であって、賦型処理により前記微小突起を作製する前記微小突起に対応する凹凸形状を備えた反射防止物品の製造用金型の製造方法において、
母材を洗浄して油成分を除去する洗浄工程と、
前記母材の表面に前記凹凸形状を作成する凹凸形状の作成工程とを備える。
【００１７】
（４）によれば、油成分の除去により油成分の残留による各種の問題を一挙に解決することができ、これにより品質を向上することができる。
【００１８】
（５）  （４）において、
前記凹凸形状の作成工程は、
前記母材の表面に、直接に又は中間層を介して、アルミニウム層を作成するアルミニウム層の作成工程と、
陽極酸化処理とエッチング処理との交互の繰り返しにより、前記アルミニウム層に前記賦型に供する凹凸形状を作成する工程とを備える。
【００１９】
（５）によれば、中間層、アルミニウム層の密着強度を増大させて品質を向上することができる。
【００２０】
（６）  （４）又は（５）において、
前記洗浄工程の前工程及び／又は後工程として、真空紫外波長領域の電磁波を母材表面に照射する真空紫外線照射工程を備える。
【００２１】
（６）によれば、母材表面に付着した微量の有機物を効果的に分解除去でき、精度の高い表面凹凸形状を形成できる。
【発明の効果】
【００２２】
モスアイ構造に係る反射防止物品の製造に供する金型に関して、従来に比して一段と品質を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る反射防止物品を示す図である。
【図２】図１の反射防止物品の製造工程を示す図である。
【図３】ロール版の製造工程の説明に供する図である。
【図４】洗浄工程の説明に供する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
〔第１実施形態〕
図１は、本発明の第１実施形態に係る反射防止物品を示す図である。この反射防止物品１は、全体形状がフィルム形状により形成された反射防止フィルムである。この実施形態に係る画像表示装置では、この反射防止物品１が画像表示パネルの表側面に貼り付けられて保持され、この反射防止物品１により画面における日光、電燈光等の外来光の反射を低減して視認性を向上する。なお反射防止物品は、その形状を平坦なフィルム形状とする場合に限らず、平坦なシート形状、平坦な板形状（相対的に厚みの薄い順に、フィルム、シート、板と呼称する）とすることもでき、また平坦な形状に代えて、湾曲形状、立体形状を呈したフィルム形状、シート形状、板形状とすることもでき、さらには各種レンズ、各種プリズム等の立体形状のものを用途に応じて適宜採用することができる。
【００２５】
ここで反射防止物品１は、透明フィルムによる基材２の表面に多数の微小突起を密接配置して作製される。ここで基材２は、例えばＴＡＣ（Triacetylcellulose）、等のセルロース(纖維素)系樹脂、ＰＭＭＡ(ポリメチルメタクリレート)等のアクリル系樹脂、ＰＥＴ（Polyethylene  terephthalate）等のポリエステル系樹脂、ＰＰ（ポリプロピレン）等のポリオレフィン系樹脂、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）等のビニル系樹脂、ＰＣ（Polycarbonate）等の各種透明樹脂フィルムを適用することができる。なお上述したように反射防止物品は、フィルム形状に限らず、種々の形状を採用可能であることにより、基材２は、反射防止物品の形状に応じて、これらの材料の他に、例えばソーダ硝子、カリ硝子、鉛ガラス等の硝子、ＰＬＺＴ等のセラミックス、石英、螢石等の各種透明無機材料等を適用することができる。
【００２６】
反射防止物品１は、基材２上に、微小突起群からなる微細な凹凸形状の受容層となる未硬化状態の樹脂層（以下、適宜、受容層と呼ぶ）４を形成し、該受容層４を賦型処理して硬化させ、これにより基材２の表面に微小突起が密接して配置される。この実施形態では、この受容層４に、賦型処理に供する賦型用樹脂の１つである紫外線硬化性樹脂が適用され、基材２上に紫外線硬化性樹脂層４が形成される。反射防止物品１は、この微小突起による凹凸形状により厚み方向に徐々に屈折率が変化するように作製され、モスアイ構造の原理により広い波長範囲で入射光の反射を低減する。
【００２７】
なおこれにより反射防止物品１に作製される微小突起は、隣接する微小突起の間隔ｄが、反射防止を図る波長帯域の最短波長λｍｉｎ以下（ｄ≦λｍｉｎ）となるよう密接して配置される。この実施形態では、画像表示パネルに配置して視認性を向上することにより、この最短波長は、個人差、視聴条件を加味した可視光領域の最短波長（３８０ｎｍ）に設定され、間隔ｄは、ばらつきを考慮して１００〜３００ｎｍとされる。またこの間隔ｄに係る隣接する微小突起は、いわゆる隣り合う微小突起であり、基材２側の付け根部分である微小突起の裾の部分が接している突起である。反射防止物品１では微小突起が密接して配置されることにより、微小突起間の谷の部位を順次辿るようにして線分を作成すると、各微小突起を囲む網目状の模様が作製されることになる。間隔ｄに係る隣接する微小突起は、この網目状の模様を構成する一部の線分を共有する突起である。
【００２８】
なお微小突起に関しては、より詳細には以下のように定義される。すなわち突起の間隔に関して、例えば特開平５０−７００４０号公報、特許第４６３２５８９号公報等に開示の反射防止フィルムのように、微小突起が一定周期で規則正しく配置されている場合、隣接する微小突起の間隔ｄは、突起配列の周期Ｐとなる。これにより可視光線帯域の最大波長をλｍａｘ、最短波長をλｍｉｎとした場合に、最低限、最大波長において反射防止効果を奏し得る必要最小限の条件は、ｄ≦λｍａｘであり、可視光線帯域の全波長に対して反射防止効果を奏し得る必要十分の条件は、ｄ≦λｍｉｎとなる。
【００２９】
なお波長λｍａｘ、λｍｉｎは、観察条件、光の強度（輝度）、個人差等にも依存して多少幅を持ち得るが、標準的には、λｍａｘ＝７８０ｎｍ及びλｍｉｎ＝３８０ｎｍとされる。これらにより可視光線帯域の全波長に対する反射防止効果をより確実に奏し得る好ましい条件は、ｄ≦３００ｎｍであり、よりに好ましい条件は、ｄ≦２００ｎｍとなる。なお反射防止効果の発現及び反射率の等方性（低角度依存性）の確保等の理由から、周期ｄの下限値は、通常、ｄ≧５０ｎｍ、好ましくは、ｄ≧１００ｎｍとされる。これに対して突起の高さＨは、十分な反射防止効果を発現させる観点より、Ｈ≧０．２×λｍａｘ＝１５６ｎｍ（λｍａｘ＝７８０ｎｍとして）とされる。
【００３０】
しかしながら微小突起７が不規則に配置されている場合には、隣接する微小突起間の間隔ｄはばらつきを有することになる。より具体的に、微小突起７が一定周期で規則正しく配列されていない場合、突起の繰り返し周期Ｐによっては隣接突起間の間隔ｄは規定し得ず、また隣接突起の概念すら疑念が生じることになる。そこでこのような場合、原子間力顕微鏡（Atomic  Force  Microscope;AFM）又は走査型電子顕微鏡（Scanning  Electron  Microscope:SEM）を用いて突起の面内配列（突起配列の平面視形状）を検出し、この検出結果から各突起頂点の座標を検出して統計的に処理することにより、隣接する微小突起間の間隔ｄを検出する。このような不規則な配置による場合、検出される隣接突起間の距離は、ばらつきを有するもになるものの、平均値＋２σ（σ＝標準偏差）により定義される隣接突起間距離ｄｍａｘが、上述した最長波長をλｍａｘ、最短波長をλｍｉｎに対する条件を満足することが必要である。
【００３１】
なお反射防止物品１は、この図１に示す基本的な構成に対して、必要に応じて貼り付け対象への貼り付けに供する粘着剤層、この粘着剤層を被覆するセパレータフィルム、微小突起を保護する保護フィルム等が設けられる。また反射防止物品１は、基材２と賦型用樹脂層である紫外線硬化性樹脂層４との間に、中間層を設け、この中間層により、例えばクッション性を向上したり、基材と紫外線硬化性樹脂層４との密着力を強化してもよい。
【００３２】
図２は、この反射防止物品１の製造工程を示す図である。この製造工程１０は、樹脂供給工程において、ダイ１２により基材２に紫外線硬化性樹脂を塗布する。なお紫外線硬化性樹脂の塗布については、ダイ１２による場合に限らず、各種の手法を適用することができる。また紫外線硬化性樹脂にあっても、例えば例えばアクリル系等、各種の樹脂を適用することができる。続いてこの製造工程１０は、押圧ローラ１４により、反射防止物品の賦型用金型であるロール版１３の周側面に基材２を加圧押圧し、これにより基材２に紫外線硬化性樹脂を密着させると共に、ロール版１３の周側面に作製された微細な凹部に紫外線硬化性樹脂を充分に充填する。この製造工程は、この状態で、紫外線の照射により紫外線硬化性樹脂を硬化させ、これにより基材２の表面に微小突起を作製する。この製造工程は、続いて剥離ローラ１５を介してロール版１３から、硬化させた紫外線硬化性樹脂と一体に基材２を剥離する。製造工程１０は、必要に応じてこの基材２に粘着層等を作製した後、所望の大きさに切断して反射防止フィルム１を作製する。これにより反射防止物品１は、ロール材による長尺の基材２に、賦型用金型であるロール版１３の周側面に作製された微細形状を順次賦型して、効率良く大量生産される。
【００３３】
図３は、ロール版１３の製造工程の説明に供する図である。ロール版１３は、円筒形状の金属材料である母材の周側面に、陽極酸化処理、エッチング処理の繰り返しにより、微細な凹凸形状が作製され、この微細な凹凸形状が上述したように基材２に賦型される。このためこの製造工程では、母材加工工程（ＳＰ１）において、ロール版１３の形状に対応するように母材が作製、加工される。ここでこの実施形態において、母材には、アルミニウムパイプが適用され、引き抜き、押し出し、圧延等によりパイプ材が長尺により作成された後、このパイプ材がロール版１３の長さに切断して作成される。またその後、バイトを使用した切削処理により周側面が平滑化される。またその後、電解溶出作用と、砥粒による擦過作用の複合による電解複合研磨法によって母材の周側面を超鏡面化する。なお母材は、加工の容易性等を考慮して、ステンレス、銅等の各種金属パイプ材を広く適用することができる。
【００３４】
続いてこの製造工程は、洗浄工程（ステップＳＰ２）により母材から切削油等を除去する。また続く乾燥工程（ステップＳＰ３）により充分に乾燥させる。なおこの異物の除去、乾燥について、詳細は後述する。続いてこの工程は、母材の周側面に中間層を設ける（ステップＳＰ４）。ここでこの中間層は、続いて設けられるアルミニウム層の母材表面への密着力の強化を目的に設けられる。従って中間層は、母材の材料に応じて種々の材料を選定することが可能ではあるものの、この実施形態では中間層にＳｉＯ２膜を適用し、スパッタリングにより母材の周側面に成膜する。
【００３５】
続いてこの工程は、中間層の上に、スパッタリングにより純度の高いアルミニウム層を成膜する（ステップＳＰ５）。
【００３６】
続いてこの工程は、陽極酸化処理とエッチング処理との交互の繰り返しにより、アルミニウム層の表面に、突起に対応する微細孔を形成する（ステップＳＰ６）。ここでこの工程では、陽極酸化法により、母材の周側面に微細な孔を作製し、さらにこの作製した微細な孔を掘り進める。ここでこの陽極酸化工程では、例えば負極に炭素棒、ステンレス板材等を使用する場合のように、アルミニウムの陽極酸化に適用される各種の手法を広く適用することができる。また溶解液についても、中性、酸性の各種溶解液を使用することができ、より具体的には、例えば硫酸水溶液、シュウ酸水溶液、リン酸水溶液等を使用することができる。
【００３７】
またエッチング処理は、母材をエッチング液に浸漬し、陽極酸化処理により作製、掘り進めた微細な孔の孔径を拡大し、深さ方向に向かって滑らか、かつ徐々に孔径が小さくなるように、これら微細な孔を整形する。なおエッチング液については、この種の処理に適用される各種エッチング液を広く適用することができ、より具体的には、例えば硫酸水溶液、シュウ酸水溶液、リン酸水溶液等を使用することができる。この製造工程では、この陽極酸化処理とエッチング処理とを交互にそれぞれ複数回実行することにより、賦型に供する微細孔を母材の周側面に作製する。
【００３８】
〔金型の品質向上〕
ところでロール版の母材は、引き抜き、押し出し、圧延等によるパイプ材の加工時に加工油が使用され、この加工油が加工後のパイプ材の表面に残留したり、パイプ材の内部に残留することになる。またパイプ材を切断する際、その後のバイトによる平滑化の際には、切削油が使用され、この切削油も母材の表面に残留したり、母材の内部に残留することになる。種々に検討した結果、このように母材に油成分が残留すると、ロール版は著しく品質が劣化することが判った。
【００３９】
具体的に、母材の表面に油成分が残留すると、ロール版は、周側面にシミが発生し、これにより外観不良が発生する。また局所的に母材に対するアルミニウム層の密着強度が低下し、長期の使用によりこの局所的に密着強度の低下した部位が、賦型処理の際に部分的に剥離し、その結果、製品不良が発生する。またさらにこのように表面に油成分が残留すると、母材とアルミニウム層との間の電気的な結合が局所的に変化することになり、アルミニウム層の陽極酸化処理において、微細孔の作成速度が局所的に異常な速度を呈することになり、その結果、賦型処理により作成される微小突起に局所的に形状の異常が発生することになる。またこのように油成分が表面に残留している場合には、パーティクル（ごみ）の付着を招き易くなり、反射防止フィルムの製造過程で、このパーティクルが剥離して製品不良を招く恐れもある。
【００４０】
また母材の内部に油性成分が残留している場合、この油成分が時間経過により徐々に表面に染み出し、表面に油成分が残留している場合について上述した場合と同様の問題が発生する。そこでこの工程では、洗浄工程（ステップＳＰ２）において、母材の表面、内部に残留する油成分を、パーティクルと共に除去する。
【００４１】
図４は、この洗浄工程の説明に供する断面図である。洗浄工程では、洗浄槽２３に満たした洗浄液２２に母材２１を部分的に浸漬した状態で、矢印Ａにより示すように、母材２１を回転させながら一定時間放置することにより母材２１を洗浄し、油成分を除去する。続いてこの工程は、洗浄液に代えて水等により母材を洗浄することにより、十分に母材から洗浄液成分を除去した後、乾燥工程（ステップＳＰ３）において母材を乾燥させる。なおこの乾燥は、例えば恒温槽に一定時間放置して実行される。
【００４２】
なお洗浄方法にあっては、分離型洗浄・溶解型洗浄・分解型洗浄の何れを適用しても良く、さらにはこれらを組み合わせてもよい。なおここで分離型洗浄は、界面活性剤やアルカリ剤の作用で汚れを固まりの状態で引き剥がして除去するものである。また溶解型洗浄は、汚れの分子間の結合力を弱め、汚れを分子単位で水や有機溶剤などに溶解して除去するものである。また分解型洗浄は分子の内部を破壊して、汚れを汚れではないもの、または非常に除去しやすい汚れに変化させて除去するものである。これにより洗浄液２２は、例えば中性洗剤等、油成分を効率良く除去可能な各種の水性又は有機溶剤系の洗浄液を広く適用することができる。
【００４３】
これによりこの工程は、母材の表面、内部に残留する油成分を、パーティクルと共に除去し、ロール版１３の品質を向上する。なおこの洗浄による油成分の除去にあっては、ノズルより洗浄液を吐出させて吹き付ける場合、不活性ガスによる微細な泡（マイクロバブル）を洗浄液中に作成して洗浄する場合、超音波を印加して洗浄を促進する場合等、種々の手法を広く適用することができる。
【００４４】
この実施形態によれば、洗浄工程により母材の表面等に残留する油成分を除去することにより、油成分の残留による各種の問題を一挙に解決して、ロール版の品質を向上することができ、その結果、反射防止物品の品質を向上することができる。
【００４５】
〔第２実施形態〕
この第２実施形態では、第１実施形態について上述した洗浄工程との併用により、さらに一段と確実に油成分を除去し、ロール版の品質を向上する。
【００４６】
すなわち上述の実施形態では、加工油、切削油の使用を前提に、残留するこれらの油成分を除去する場合について述べたが、これらの油の使用量を減少させることにより残留する油成分量を減少させ、一段と確実に油成分を除去できるようにしてもよい。具体的に、例えばパイプ材を切断する処理、及び又は母材表面を平滑化する処理に、いわゆるドライ加工、又はセミドライ加工を適用することにより、残留する油成分量を減少させて一段と確実に洗浄により油成分を除去することができ、これによりロール版の品質を一段と向上させることができる。
【００４７】
また洗浄に適した加工油、切削油を使用するようにしてもよい。より具体的には、パイプ材を作成する際、パイプ材を切断する際、及び又は母材表面を平滑化する際に、通常の加工油、切削油に代えて、水系潤滑剤による加工油、切削油を適用することにより、洗浄工程において一段と容易かつ確実に油成分を除去することができる。
【００４８】
またさらに油成分を除去する工程をさらに設けるようにしてもよい。具体的には、パイプ材を作成した後、母材の長さに切断した後、及び又は母材の表面を平滑化した後、置換処理工程を設けて残留する油成分を水、アルコール等に浸透置換してもよい。またこれに代えて、又はこれに加えて、例えば水酸化ナトリウム水溶液への浸漬等による脱脂の処理工程を設けて油成分を除去するようにしてもよい。またさらに気相、液相における反応により油成分を除去する工程を設けるようにしてもよい。
【００４９】
なおここで置換処理工程に用いる洗浄剤としては、温度は５〜２５度に調整されたものが望ましく、更にはＰＨ６〜８のものが望ましい。また洗浄材には界面活性剤を混入させてもよい。また処理時間は１０分以上、できれば１時間以上で長い方がよいが、母材に損傷を与えない範囲で超音波を印加しても良い。また高圧ノズルを用いて洗浄液を母材に吹き付けたり、洗浄浴槽の回転力により洗浄を促進してもよい。なお置換処理後は、０〜８０℃以下の温度や高圧エアー、窒素などで十分に乾燥処理を行うことが望ましい。このとき一連の作業後、母材にシミ、ムラなどが観察された場合、改めて置換処理工程を繰り返す。
【００５０】
またこのような油成分を除去する各種の工夫と共に、油成分の影響を緩和する各種の工程を設けるようにしてもよい。具体的に、洗浄工程の前工程及び／又は後工程、好ましくは後工程として、コロナ処理、プラズマ処理を実行して母材表面への中間層の密着力を増大させたり、表面の気化処理、炭化処理、アブレーション、熱処理により母材表面を清浄化して母材表面への中間層の密着力を増大させても良い。またこれらの処理を中間層を作成した後に実行して、中間層へのアルミニウム層の密着力を増大させるようにしてもよい。またアルミニウム層を作成した後、これらの処理を実行するようにしてもよく、この場合はアルミニウム層を構成する結晶粒界を均一化して陽極酸化処理、エッチング処理におけるばらつきを低減し、ロール版の品質を向上することができる。
【００５１】
この実施形態では、洗浄工程に加えて、油の使用量を減少させる等により、一段とロール版の品質を向上することができる。
【００５２】
上記の表面気化処理やアブレーション処理のなかでも、真空紫外波長領域の電磁波を母材表面に照射する真空紫外線照射工程を備えることが好ましい。ここで、真空紫外領域とは１０ｎｍから２００ｎｍの波長領域を意味する。好ましくは低圧水銀灯の線スペクトルがある１８５ｎｍ未満である。これにより、洗浄工程で使用した溶剤由来のシミや、洗浄しきれなかった切削油痕などを除去し、表面凹凸形状の精度を維持するものである。
【００５３】
真空紫外線の照射手段としては、ＡｒＦエキシマレーザー（１９３ｎｍ）、Ｆ２レーザー（１５７ｎｍ）などのレーザーを全面又は一部に照射してもよく、例えば１７２ｎｍの真空紫外領域波長を有するキセノンエキシマＵＶランプなどを好適に用いることができる。このような真空紫外領域の電磁波は、空気透過中に酸素などを吸収してオゾンを発生するので、これが真空紫外線自体による有機物分解力と相俟って、母材表面の有機物を極めて効果的に除去できる。
【００５４】
真空紫外線の照射強度としては。照射積算光量で１０００から１００００ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、より好ましくは２０００から１００００ｍＪ／ｃｍ２である。
【００５５】
一例として、母材の表面にケロシン（切削油）を滴下し、これをトルエン（溶剤）で吹き飛ばして擬似洗浄痕を作成し、ここに、上記のキセノンエキシマＵＶランプ（１７２ｎｍ、ウシオ電機株式会社製）を用いて下記条件で照射した。
照射距離：３ｍｍ
照射積算光量：１８００、４０００、７０００ｍＪ／ｃｍ２の３段階（搬送速度１ｍ／ｍｉｎ）
照射強度：６０ｍＷ／ｃｍ２以上
【００５６】
その結果、積算光量１８００ｍＪ／ｃｍ２では切削油の一部分解除去が確認できたが、溶剤シミの分解はできなかった。しかし、積算光量４０００と７０００ｍＪ／ｃｍ２では、切削油及び溶剤シミの両方の分解除去が確認できた。このことから、洗浄工程後の真空紫外波長領域の電磁波照射が有効であることが理解できる。
【００５７】
〔他の実施形態〕
以上、本発明の実施に好適な具体的な構成を詳述したが、本発明は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述の実施形態の構成を種々に変更し、また上述の実施形態を種々に組み合わせし、さらには従来構成と種々に組み合わせることができる。
【００５８】
すなわち上述の実施形態では、母材の周側面に賦型処理に供する凹凸形状を作成してロール版を作成する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、いわゆるスリーブ方式によりロール版を作成する場合にも広く適用することができる。なおここでスリーブ方式ンは、モスアイ構造に係る凹凸形状を外周側面に設けた薄板のスリーブ版を作製し、このスリーブ版を円柱形状による芯材（母材）の外周に配置してロール版を作製する方法である。このスリーブ方式では、母材表面より油成分を除去することにより、スリーブ版への油成分の浸透を防止することができ、この油成分の浸透による品質の劣化を防止することができる。
【００５９】
また上述の実施形態では、ロール版により賦型処理する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、平板により賦型処理する場合等にも広く適用することができる。
【００６０】
また上述の実施形態では、紫外線硬化性樹脂の賦型により金型の凹凸形状を転写（賦型）する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、電子線硬化性樹脂、熱硬化性樹脂等、賦型処理に適用する種々の賦型樹脂を広く適用することができ、またさらには軟化した基材を押圧して賦型する場合等に広く適用することができる。
【００６１】
また上述の実施形態では、基材に透明フィルムを適用して、フィルム形状の反射防止物品である反射防止フィルムを作製する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、シート状の透明基材を適用してシート状に反射防止物品を作製する場合、透明板状部材を透明基材に適用して板状に反射防止物品を作製する場合にも広く適用することができる。またこれらフィルム材、シート材、板材による場合にあっては、湾曲したり立体形状を呈したフィルム、シート、板材、各種レンズ形状、各種プリズム形状の部材を適用する場合にも広く適用することができる。
【００６２】
また上述の実施形態では、画像表示パネルの表側面に反射防止フィルムを配置する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、画像表示パネルが例えば液晶表示パネルである場合に、バックライトからの照明光の供給経路における各種界面に適用して照明光の利用効率を向上する場合等に広く適用することができる。
【００６３】
また上述の実施形態では、画像表示パネルに反射防止物品を配置する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、種々の用途に適用することができる。具体的に、画像表示パネルの画面上に間隙を介して設置されるタッチパネル、各種の窓材、各種光学フィルタ等の表面板の裏面（画像表示パネル側）に配置する用途に適用することができる。なおこの場合には、画像表示パネルと表面板との間の光の干渉によるニュートンリング等の干渉縞の発生を防止し、さらには画面から出光される表面板に入光する画像光の反射損失の低減等の効果を奏することができる。また店舗のショウウインドウや商品展示箱、美術館の展示物の展示窓や展示箱等に使用する硝子板表面（外界側）に配置するようにしても良い。なおこの場合、該硝子板表面の光反射防止による商品、美術品等の顧客や観客に対する視認性向上の効果を奏することができる。
【００６４】
また眼鏡、望遠鏡、写真機、ビデオカメラ、銃砲の照準鏡（狙撃用スコープ）、双眼鏡、潜望鏡等の各種光学機器に用いるレンズ又はプリズムの表面に配置する場合にも広く適用することができる。この場合、レンズ又はプリズム表面の光反射防止による視認性向上の効果を奏することができる。またさらに書籍の印刷部（文字、写真、図等）表面に配置する場合にも適用して、文字等の表面の光反射を防止し、文字等の視認性向上することができる。また看板、ポスター、其の他各種店頭、街頭、外壁等に於ける各種表示（道案内、地図、或いは禁煙、入口、非常口、立入禁止等）の表面に配置して、これらの視認性を向上させるようにしてもよい。またさらに白熱電球、発光ダイオード、螢光燈、水銀燈、ＥＬ（電場発光）等を用いた照明器具の窓材（場合によっては、拡散板、集光レンズ、光学フィルタ等も兼ねる）の入光面側に配置するようにして、窓材入光面の光反射を防止し、光源光の反射損失を低減し、光利用効率を向上させるようにしてもよい。またさらに時計、其の他各種計測機器の表示窓表面（表示観察者側）に配置して、これら表示窓表面の光反射を防止し、視認性向上を向上させるようにしてもよい。
【００６５】
またさらに、自動車、鉄道車両、船舶、航空機等の乗物の操縦室（運転室、操舵室）の窓の室内側、室外側、あるいはその両側の表面に配置して窓における室内外光を反射防止して、操縦者（運転者、操舵者）の外界視認性を向上することができる。またさらに、防犯等の監視、銃砲の照準、天体観測等に用いる暗視装置のレンズないしは窓材表面に配置して、夜間、暗闇での視認性を向上することができる。
【００６６】
またさらに、住宅、店舗、事務所、病院等の建築物の窓の表面（室内側、室外側、あいはその両側）の表面に配置して、外界の視認性、あるいは採光効率を向上することができる。またさらに、温室、農業用ビニールハウスの透明シート、ないしは透明板（窓材）の表面に配置して、太陽光の採光効率を向上することができる。さらにまた、太陽電池表面に配置して、太陽光の利用効率（発電効率）を向上することができる。
【符号の説明】
【００６７】
１  反射防止フィルム
２  基材
４  紫外線硬化性樹脂層
１０  製造工程
１２  ダイ
１３  ロール版
１４、１５  ローラ
２１  母材、
２２  洗浄液
２３  洗浄槽
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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