(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電生成物を発生させる放電装置であって、
前記放電装置は、電力供給部、放電電極、対向電極、および、圧電振動子を含み、
前記放電電極の形状が、前記放電生成物が拡散する方向に向かうにつれて細くなる先細り形状であり、
前記電力供給部が、前記放電電極と前記対向電極との間に電圧を印加するための電力を前記圧電振動子に供給し、
前記圧電振動子が、入力側電極、圧電体、および、前記対向電極としての役割を持つ出力側電極を含み、
前記入力側電極が、前記電力供給部と電気的に接続され、
前記圧電体が、前記入力側電極に供給された電圧に応じて振動し、
前記出力側電極が、空間を介して前記放電電極と対向し、前記入力側電極に入力された電力を前記圧電体の振動に応じて昇圧し、
前記圧電振動子により出力される高電圧が、前記放電電極と前記対向電極である前記出力側電極との間に印加される
放電装置。
【請求項２】
複数の前記放電電極を含む
請求項１に記載の放電装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の放電装置と、
前記放電電極に液体を供給する液体供給手段と
を含む静電霧化装置。
【請求項４】
前記液体供給手段としての熱交換器が、前記放電電極を冷却することにより空気中の水分を結露させる
請求項３に記載の静電霧化装置。
【請求項５】
前記放電電極に液体を供給する状態、および、前記放電電極に液体を供給しない状態を選択できる
請求項３または４の記載の静電霧化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、電極間に放電を発生させることにより放電生成物を生成する放電装置及びこれを備えた静電霧化装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
放電装置を備えた静電霧化装置として、水を静電霧化させてナノメータサイズの帯電微粒子を含有する帯電微粒子ミストを発生させる装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。帯電微粒子ミストは、健康や美容効果が高いとして注目されているものである。
【０００３】
一般的に、図１５に示すように、帯電微粒子等の放電生成物を発生させるための放電装置１０２は、電極間においてコロナ放電を発生させることによりオゾンや帯電微粒子を発生させる放電部１０３と、放電部１０３に対して電力を供給する電力供給部１２１とを備えている。
【０００４】
放電部１０３は、放電生成物を拡散させる方向に向かうにつれて細くなる形状を有する放電電極１３１と、放電電極１３１に対向する対向電極１３２とにより構成されている。これらの電極１３１，１３２間に、電力供給部１２１から供給される電力を用いて電圧を印加することにより、放電装置１０２は放電生成物を発生させる。このような構成の放電部１０３において、帯電微粒子を含有する帯電微粒子ミストを発生させる場合には、放電電極１３１に対して水が供給される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−３１３４６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、静電霧化装置の設計都合上、従来の放電装置は電極間に数ｋＶ程度の電圧しか印加することができず、放電生成物を十分に発生させることができない場合があり、このような場合には、電圧を昇圧させるために巻線や鉄心を備える高圧トランスを用いる必要があった。
【０００７】
しかしながら、巻線や鉄心を備える高圧トランスを備える放電装置は大型な装置となるため、放電装置及びこれを備えた静電霧化装置の設置に必要なスペースが大きくなるという不都合がある。即ち、小型化を図り、かつ、放電生成物を十分に発生させることができないという問題があった。
【０００８】
また、電極間に高電圧を発生させるための構成としては、電圧を振動により昇圧させる圧電振動子が知られており、このような圧電振動子を用いて電極間に高電圧を印加させることも考えられるが、圧電振動子は機械振動（超音波振動）を発生させるため、この機械振動に起因して、放電生成物を安定して発生させることができないおそれがある。
【０００９】
本発明の目的は、小型化が可能であり、かつ、放電生成物を効率よく安定して発生させることができる放電装置、および、この放電装置を含む静電霧化装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
〔１〕本放電装置の独立した一形態は、次の事項を含む。すなわち、放電生成物を発生させる放電装置であって、前記放電装置は、電力供給部、放電電極、対向電極、および、圧電振動子を含み、前記放電電極の形状が、前記放電生成物が拡散する方向に向かうにつれて細くなる先細り形状であり、前記電力供給部が、前記放電電極と前記対向電極との間に電圧を印加するための電力を前記圧電振動子に供給し、前記圧電振動子が、入力側電極、圧電体、および、前記対向電極としての役割を持つ出力側電極を含み、前記入力側電極が、前記電力供給部と電気的に接続され、前記圧電体が、前記入力側電極に供給された電圧に応じて振動し、前記出力側電極が、空間を介して前記放電電極と対向し、前記入力側電極に入力された電力を前記圧電体の振動に応じて昇圧し、前記圧電振動子により出力される高電圧が、前記放電電極と前記対向電極である前記出力側電極との間に印加される。
〔２〕前記放電装置に従属する一形態は、複数の前記放電電極を含む。
〔３〕本静電霧化装置の独立した一形態は、前記放電装置と、前記放電電極に液体を供給する液体供給手段とを含む。
〔４〕前記静電霧化装置に従属する一形態は、次の事項を含む。すなわち、前記液体供給手段としての熱交換器が、前記放電電極を冷却することにより空気中の水分を結露させる。
〔５〕前記静電霧化装置に従属する一形態は、次の事項を含む。すなわち、前記放電電極に液体を供給する状態、および、前記放電電極に液体を供給しない状態を選択できる。
【００１１】
〔１〕の放電装置によれば、以下の効果が得られる。
本放電装置によれば、圧電振動子が放電電極と対向電極との間に電圧を印加する。このため、巻線および鉄心を含む高圧トランスを用いなくとも、電極間に高電圧が印加される。このため、小型化しやすく、かつ、放電生成物を効率よく発生させることができる。また、放電電極が出力側電極と接続される場合と比較して、放電生成物が安定して発生しにくい状況が生じにくくなる。また、圧電振動子の出力側電極が対向電極を兼ねているため、放電装置の部品点数が少なくなる。
〔２〕の放電装置によれば、以下の効果が得られる。
本放電装置によれば、多量の放電生成物を発生させることができる。
〔３〕の静電霧化装置によれば、以下の効果が得られる。
本静電霧化装置によれば、放電電極に供給された液体が放電により霧化されることにより、帯電微粒子ミストが発生する。
〔４〕の静電霧化装置によれば、以下の効果が得られる。
本静電霧化装置によれば、液体を貯留するタンクを省略できる。
〔５〕の静電霧化装置によれば、以下の効果が得られる。
本静電霧化装置によれば、静電霧化装置に帯電微粒子ミストを発生させるか否かをユーザが選択できる。
【発明の効果】
【００１９】
本放電装置および本静電霧化装置によれば、小型化が可能であり、かつ、放電生成物を効率よく安定して発生させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１の実施形態の静電霧化装置の模式図。
【図２】第１の実施形態の放電部の斜視図。
【図３】（ａ）第１の実施形態の圧電振動子の断面図。（ｂ）圧電振動子の斜視図。
【図４】第２の実施形態の静電霧化装置の模式図。
【図５】第２の実施形態の放電部の斜視図。
【図６】第３の実施形態の静電霧化装置の模式図。
【図７】第３の実施形態の放電部の斜視図。
【図８】第４の実施形態の静電霧化装置の模式図。
【図９】変形例の圧電振動子の斜視図。
【図１０】（ａ）変形例の放電部の斜視図。（ｂ）別の変形例の放電部の斜視図。（ｃ）別の変形例の放電部の斜視図。（ｄ）別の変形例の放電部の斜視図。（ｅ）別の変形例の放電部の斜視図。
【図１１】（ａ）変形例の放電電極の斜視図。（ｂ）別の変形例の放電電極の斜視図。
【図１２】（ａ）変形例の放電電極の斜視図。（ｂ）別の変形例の放電電極の斜視図。（ｃ）別の変形例の放電電極の斜視図。
【図１３】変形例の静電霧化装置の模式図。
【図１４】変形例の圧電振動子の斜視図。
【図１５】従来の静電霧化装置の模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を具体化した複数の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、各図は、放電生成物を発生させるためのメカニズムを説明する上で必要な構成のみを図示した模式図であり、その他の構成については図示及び説明を省略している。
【００２２】
（第１の実施形態）
図１に示すように、静電霧化装置１は、電力供給部２１や放電部３等から構成される放電装置２と、放電部３に対して液体である水を供給する液体供給装置５と、放電装置２及び液体供給装置５を制御する制御部９とを備えている。
【００２３】
放電装置２は、放電部３に対して電力を供給する電力供給部２１と、電極間においてコロナ放電を発生させることによりオゾンや帯電微粒子等の放電生成物を発生させる放電部３と、コロナ放電が発生する電極間に印加される電圧を高めるための圧電振動子４とを備えている。
【００２４】
電力供給部２１は、商用電源から得られる交流電圧を電力として供給する電源回路である。電力供給部２１は、圧電振動子４を介して放電部３に対して交流電圧を供給するため、放電部３には、圧電振動子４によって高電圧となった交流電圧が供給される。
【００２５】
図１及び図２に示すように、放電部３は、基準電位点であるグランドに接続された放電電極３１と、間隔をあけて放電電極３１に対向して設けられた対向電極３２とを備えている。放電電極３１と対向電極３２との間に高電圧が印加されることにより、電極３１，３２間においてコロナ放電が発生する構成となっている。
【００２６】
放電電極３１は、放電生成物を拡散させる方向（図中の矢印Ａで示す方向）に向かうにつれて細くなる形状を有する電極である。本実施形態においては、放電電極３１の先端は、鋭利な突状をなしており、基板（不図示）に形成されたグランド配線３１ａ上に設けられている。
【００２７】
対向電極３２は、放電電極３１との間の空間において放電を発生させるための電極である。放電電極３１に対する対向電極３２の配置箇所により、放電生成物を拡散させる方向に指向性を与えることができる。本実施形態においては、放電生成物の拡散に与える影響を少なくするために、対向電極３２は円環状に形成されている。対向電極３２は、基準電位点よりも電位が高くなる圧電振動子４に接続される。
【００２８】
以上のように構成された放電部３に液体供給装置５から液体が供給されない場合、即ち、放電電極３１に液体が供給されない場合には、コロナ放電時において、放電生成物であるオゾン等の活性物質が発生する。従って、静電霧化装置１は、液体を用いずに電極３１，３２間に電圧を印加することにより、殺菌や脱臭効果が得られる放電生成物を発生させる。
【００２９】
一方、放電部３に液体供給装置５から液体が供給された場合、即ち、放電電極３１に液体が供給された場合には、放電時において液体が帯電して、帯電した液体にクーロン力が作用する。そして、液体は放電電極３１の先端に供給され、液体の表面が、矢印Ａで示す方向に尖った形状のテーラーコーンとなり、このテーラーコーンの先端部に電荷が集中する。電荷がテーラーコーンの先端部に集中して高密度になると、電荷の反発力による液体の分裂・飛散（レイリー分裂）を繰り返して静電霧化が行われる。そして、電気分解によりラジカルを有し、ナノメータサイズの帯電微粒子を含有する帯電微粒子ミストが生成される。従って、静電霧化装置１は、液体を用いて電極３１，３２間に電圧を印加することにより、放電生成物である帯電微粒子を発生させて、健康や美容効果が得られる帯電微粒子ミストを発生させる。
【００３０】
本実施形態においては、放電電極３１に対して液体を供給するか否かを切り替え可能に静電霧化装置１が構成されている。具体的には、制御部９が電力供給部２１に電力を供給させる制御を行いながら、制御部９が液体供給装置５を構成する電動ポンプ５２を駆動させる制御及び当該駆動を停止させる制御ができるように構成されている。
【００３１】
また、本実施形態においては、放電を発生させる放電部３の対向電極３２に接触部材２２が固定されており、接触部材２２を介して圧電振動子４に対向電極３２が電気的に接続される。接触部材２２は、弾性を有する金属材料により形成されており、圧電振動子４において発生する機械振動が対向電極３２に伝達することを接触部材２２により抑制している。従って、本実施形態においては、対向電極３２と圧電振動子４とは別個の支持部材により支持されている。また、機械振動の伝達をより確実に抑制するとの観点から、接触部材２２と圧電振動子４との接触は点接触であることが好ましい。
【００３２】
図１及び図３に示すように、圧電振動子４は、圧電体４１と、電力供給部２１から供給される電力が入力される入力側電極４２ａ，４２ｂと、圧電体４１の振動に応じて入力側電極４２ａ，４２ｂに入力された電力に比し大きい電力を出力する出力側電極４３とを備えた圧電トランスである。本実施形態においては、板状の圧電振動子４は、平面視が長方形状となるように形成されており、圧電振動子４の厚み方向（図中の矢印Ｘで示す方向）と長さ方向（図中の矢印Ｙで示す方向）の寸法比は、入力電圧と出力電圧の略増幅比に相当する。本実施形態においては、圧電振動子４の長さ方向Ｙの寸法が、圧電振動子４の厚み方向Ｘの寸法の１０〜２０倍に設定されている。なお、圧電振動子４の長さ方向Ｙは、圧電振動子４の厚み方向Ｘに垂直な方向であって、本実施形態において、圧電振動子４の長さ方向Ｙは圧電振動子４の長手方向である。
【００３３】
圧電体４１は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系材料からなり、本実施形態においては矩形板状に形成されている。圧電体４１は、入力側電極４２ａ，４２ｂに印加された電圧に応じて振動する。
【００３４】
入力側電極４２ａ，４２ｂは、圧電振動子４の長さ方向Ｙにおける一方の端部４１ａ側であって、厚み方向Ｘにおける圧電体４１の両面に設けられた電極である。即ち、圧電体４１の厚み方向Ｘにおける一方の面に入力側電極４２ａが設けられ、圧電体４１の厚み方向Ｘにおける他方の面に入力側電極４２ｂが設けられている。入力側電極４２ａ，４２ｂ間には、電力供給部２１から供給された交流電圧が印加される。
【００３５】
出力側電極４３は、圧電体４１の長さ方向Ｙにおける他方の端部４１ｂ側であって、長さ方向Ｙを向く端面に設けられた電極である。出力側電極４３は、上述の接触部材２２を介して対向電極３２に接続されており、出力側電極４３に発生した高電圧が、対向電極３２と放電電極３１との間に印加されるように構成されている。なお、出力側電極４３には、耐酸性材料からなる金めっき等のコーティングが施されており、出力側電極４３における酸や高電圧、及び強い機械振動への耐久性を向上させている。
【００３６】
以上のようにして、圧電振動子４は、複数の方向に分極され、少なくとも１つの電極を電力供給面として有し、さらに、少なくとも１つの電極を高電圧出力面として有している。即ち、本実施形態においては、入力側電極４２ａ，４２ｂが圧電振動子４の電力供給面を構成するとともに、出力側電極４３が圧電振動子４の高電圧出力面を構成している。
【００３７】
図１に示すように、電力供給部２１に電気的に接続された入力側電極４２ａ，４２ｂには、圧電振動子４の長さ方向Ｙの寸法に対応した共振周波数の交流電圧が印加されるように構成されている。この交流電圧の印加に基づいて、圧電振動子４の長さ方向Ｙに強い機械振動（超音波振動）が発生し、図中の二点鎖線で示すように、圧電振動子４の長さ方向Ｙの寸法を半波長（λ／２）とする定在波Ｗ１が生じる。なお、定在波Ｗ１は縦波の振動であるが、便宜上、図面においては横波で図示している。この機械振動により、電力供給部２１から入力側電極４２ａ，４２ｂに印加された電圧が昇圧され、高電圧が出力側電極４３に発生する。
【００３８】
従って、電力供給部２１が、放電電極３１と対向電極３２との間に電圧を印加させるために電力を供給し、圧電振動子４が、この電力供給部２１から電力として供給される電圧を振動により昇圧させる構成となっている。このようにして、放電電極３１と対向電極３２との間に、圧電振動子４により昇圧された高電圧が印加される。
【００３９】
また、上記のように構成された圧電振動子４は、放電装置２が備える支持部材としての保持部材２３により挟まれて支持されている。本実施形態においては、圧電振動子４における定在波Ｗ１の節Ｆ１となる位置に、圧電振動子４を厚み方向Ｘに挟むように保持部材２３が設けられている。
【００４０】
液体供給装置５は、タンクホルダ（不図示）に着脱可能に設けられた液体貯溜部としてのタンク５１と、液体供給路５３を通してタンク５１内に溜められた液体である水を放電電極３１に供給する電動ポンプ５２とを備えている。即ち、液体供給手段である液体供給装置５は、放電部３の放電電極３１に対して水を供給する。
【００４１】
制御部９は、ユーザの操作に応じて、電力供給部２１から放電部３に対して電力を供給させるように構成されているマイコン等の集積回路である。また、制御部９は、ユーザの操作に応じて、上述のごとく、電動ポンプ５２を駆動させる制御及び当該駆動を停止させる制御ができるように構成されている。
【００４２】
本実施形態によれば、以下の作用効果を得ることができる。
（１）放電装置２は、電力供給部２１から電力として供給される電圧を振動により昇圧させる圧電振動子４を備えているため、電圧を昇圧させるために巻線や鉄心を要する高圧トランスを不要としながらも、放電電極３１と対向電極３２の電極間に高電圧を印加させることができる。よって、小型化を図ることができ、かつ、放電生成物を効率良く発生させることができる。
【００４３】
（２）放電電極３１に対向する対向電極３２が、圧電振動子４の入力側電極に入力された電力に比し大きい電力を出力する圧電振動子４の出力側電極４３に接続されて、放電電極３１と対向電極３２との間に圧電振動子４により昇圧された電圧が印加される。このため、放電生成物を拡散させる方向に向かうにつれて細くなる形状を有する放電電極３１が圧電振動子４の出力側電極４３に接続される場合に比べて、圧電振動子４の振動に起因する放電生成物の不安定な発生を抑制することができる。従って、上記（１）と本（２）の作用効果により、小型化を図ることができ、かつ、放電生成物を効率良く安定して発生させることができる。
【００４４】
（３）静電霧化装置１は、放電装置２と、放電電極３１に対して液体を供給する液体供給手段とを備え、放電電極３１に対して供給された液体を、放電により霧化させる。このため、帯電微粒子ミストを発生させることができる。
【００４５】
（４）放電電極３１に対して液体を供給するか否かを切り替え可能に構成されている。このため、静電霧化装置１のユーザが、帯電微粒子ミストを発生させるか否かを選択することができる。
【００４６】
（５）対向電極３２と出力側電極４３とが、弾性を有する接触部材２２により電気的に接続されるため、圧電振動子４において発生する機械振動の伝達を抑制することができる。
【００４７】
（６）圧電振動子４を挟持する保持部材２３は、圧電振動子４において交流電圧の印加に起因して発生する定在波Ｗ１の節Ｆ１となる位置に設けられている。このため、圧電振動子４の破断を回避することができる。
【００４８】
（第２の実施形態）
次に、上記第１の実施形態における放電部３の構成を変更した第２の実施形態について説明する。なお、上記第１の実施形態と同様の構成部分については、同一の符号を付して、その説明を省略又は簡略化する。また、液体供給手段と制御部９については、図示を省略する。
【００４９】
図４及び図５に示すように、本実施形態においては、放電装置２が放電電極３１を複数備えていることに特徴がある。具体的には、図５に示すように、本実施形態においては、基板（不図示）に形成されたグランド配線３１ａ上に、複数の放電電極３１が設けられており、複数の放電電極３１の先端は同じ方向を向いている。従って、本実施形態においては、１つの対向電極３２に対して、複数の放電電極３１が設けられている。
【００５０】
本実施形態によれば、上記第１の実施形態に記載した作用効果に加えて、以下の作用効果を得ることができる。
（７）放電装置２は複数の放電電極３１を備えているため、１つの放電電極３１のみを備える場合に比し、大量の放電生成物を発生させることができる。
【００５１】
（第３の実施形態）
次に、圧電振動子４の出力側電極４３を対向電極３２として構成した第３の実施形態について説明する。なお、上記第１の実施形態と同様の構成部分については、同一の符号を付して、その説明を省略又は簡略化する。また、液体供給手段と制御部９については、図示を省略する。
【００５２】
図６に示すように、本実施形態においては、圧電振動子４の出力側電極４３が対向電極を兼ねていることに特徴がある。即ち、本実施形態においては、第１の実施形態において出力側電極４３とは別体として形成された対向電極３２を用いずに、放電電極３１と出力側電極４３とにより放電部３を構成している。
【００５３】
図７に示すように、本実施形態に係る圧電体４１の他方の端部４１ｂは、円形をなすように切り欠きが形成されている。このように形成された切り欠きにおける端面も含め、圧電体４１の他方の端部４１ｂ側の端面には、出力側電極４３が設けられている。そして、放電電極３１が、圧電体４１の他方の端部４１ｂに形成された切り欠きに向けて設けられている。
【００５４】
本実施形態によれば、上記第１の実施形態に記載した作用効果に加えて、以下の作用効果を得ることができる。
（８）圧電振動子４の出力側電極４３が対向電極を兼ねているため、対向電極を圧電振動子４とは別体として構成する場合に比し、放電装置２の部品点数を削減することができる。その結果、小型化及びコストダウンを図ることができる。
【００５５】
（第４の実施形態）
次に、放電部３に対して液体を供給する液体供給手段として、液体供給装置５に代えて熱交換器であるペルチェユニット６を用いた第４の実施形態について説明する。なお、上記第１の実施形態と同様の構成部分については、同一の符号を付して、その説明を省略又は簡略化する。
【００５６】
図８に示すように、本実施形態においては、静電霧化装置１は、ペルチェ素子６Ａを有するペルチェユニット６と、ペルチェユニット６に電力を供給する熱交換器用電力供給部７１と、ペルチェユニット６に電力を供給するための配線に設けられた機械式のスイッチ７２とを備えている。
【００５７】
ペルチェユニット６は、ペルチェ素子６Ａと、ペルチェ素子６Ａを構成する放熱側基板６１に設けられた放熱フィン６４とを備えた、小型の熱交換器である。ペルチェ素子６Ａは、放熱側電極が設けられた放熱側基板６１と、吸熱側電極が設けられた吸熱側基板６２と、放熱側電極及び吸熱側電極を接続するＰ型及びＮ型の熱電半導体とにより構成されている。
【００５８】
電極が設けられた放熱側基板６１及び吸熱側基板６２は絶縁性及び熱伝導性を有しており、放熱側電極、Ｎ型の熱電半導体、吸熱側電極、Ｐ型の熱電半導体の順序で直列に接続された回路に、静電霧化装置１が備える熱交換器用電力供給部７１から直流電流が電力として供給されることにより、吸熱側基板６２から放熱側基板６１への熱伝導が発生する。従って、吸熱側基板６２に設けられた放電電極３１が冷却されるように構成されており、ペルチェユニット６は、放電電極３１を冷却することにより空気中の水分を結露させて放電電極３１に対して液体を供給する液体供給手段である。吸熱側基板６２から放熱側基板６１に伝導した熱は、放熱フィン６４により効率良く放熱される。
【００５９】
熱交換器用電力供給部７１は、ペルチェ素子６Ａに電力として直流電流を供給する電源回路である。本実施形態においては、スイッチ７２が操作されることにより、放電電極３１に対して液体を供給するか否かを切り替え可能に静電霧化装置１が構成されている。即ち、スイッチ７２を操作することにより、ペルチェ素子６Ａに電力を供給させること及び当該電力の供給を停止させることができるように構成されている。
【００６０】
本実施形態によれば、上記第１の実施形態に記載した作用効果に加えて、以下の作用効果を得ることができる。
（９）放電装置２は、液体供給手段として、放電電極３１を冷却することにより空気中の水分を結露させて放電電極３１に対して液体を供給するペルチェユニット６を備えるため、液体を貯留するタンク５１や、このタンク５１に液体を補給する手間を不要とすることができる。
【００６１】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の設計変更をすることが可能であり、それらを本発明の範囲から除外するものではない。例えば、上記実施形態を以下のように変更してもよく、以下の変更及び上記各実施形態を組み合わせて実施してもよい。
【００６２】
・図９に示すように、定在波Ｗ１の節Ｆ１から出力側電極４３にかけて、圧電振動子４の長さ方向Ｙにおける側面４１ｃ，４１ｄが、互いに近づくように形成されて、出力側電極４３へ向かうにつれて圧電振動子４が細くなるように形成されていてもよい。即ち、他方の端部４１ｂ側の圧電振動子４の幅Ｈ１が、定在波Ｗ１の節Ｆ１における圧電振動子４の幅Ｈ２に比し、短くなるように構成してもよい。このように構成すれば、出力側電極４３側へ向かうにつれて圧電振動子４の断面積が減少するため、出力側電極４３に高電圧を効率良く発生させることができる。
【００６３】
・対向電極３２を、複数の孔が形成された網目状の電極（不図示）により構成してもよい。また、対向電極３２の形状や個数や配置を適宜変更してもよい。
具体的には、図１０（ａ）に示すように、対向電極３２が、板状であっても、矩形状であってもよい。また、図１０（ｂ）に示すように、対向電極３２が、棒状であってもよい。また、図１０（ｃ）に示すように、対向電極３２が、放電電極３１の先端を覆う半球形をなし、その中心に貫通孔３２ａが形成されたドーム型の電極であってもよい。また、図１０（ｄ）に示すように、１つの放電電極３１に対して、複数の対向電極３２が設けられていてもよく、これら複数の対向電極３２が、それぞれ異なった形状であってもよい。また、図１０（ｅ）に示すように、環状に形成された対向電極３２の内側に放電電極３１が設けられるように、対向電極３２を配設してもよい。
【００６４】
・放電電極３１の形状を適宜変更してもよい。具体的には、図１１（ａ）に示すように、放電電極３１の先端を球状に形成してもよい。このように構成すれば、放電電極３１の先端において表面張力により保持される液体の量を増加させて、帯電微粒子ミストの量を増加させることができる。また、図１１（ｂ）に示すように、高電圧の印加による放電電極３１の劣化を抑制するとの観点から、放電電極３１の先端を平面状に形成してもよい。また、複数の放電電極３１の形状等を異ならせてもよい。具体的には、図１２（ａ）に示すように、複数の放電電極３１の先端が異なる方向を向いていてもよい。また、図１２（ｂ）に示すように、複数の放電電極３１の長さが異なっていてもよい。また、図１２（ｃ）に示すように、複数の放電電極３１の先端の形状が異なっていてもよい。
【００６５】
・圧電振動子４が長方形状でなくてもよい。例えば、図１３及び図１４に示すように、圧電振動子４が円環状に形成されていてもよい。このように構成した場合には、圧電振動子４の長さ方向Ｙを、円環状の圧電振動子４の中心線Ｃに平行な方向とすることにより、圧電振動子４の厚み方向Ｘと長さ方向Ｙの寸法比を、入力電圧と出力電圧の略増幅比に相当させることができる。
【００６６】
即ち、円環状に圧電振動子４を構成する場合は、入力側電極４２ａ，４２ｂは、圧電体４１の長さ方向Ｙにおける一方の端部４１ａ側であって、圧電体４１の厚み方向Ｘにおける内周面及び外周面に設けられた電極である。このように構成した場合、圧電体４１の長さ方向Ｙにおける他方の端部４１ｂ側であって、長さ方向Ｙを向く端面に設けられた円環状の出力側電極４３を、図１３及び図１４に示すように、放電電極３１との間の空間において放電を発生させるための電極としてもよい。即ち、上記第３の実施形態と同様に、圧電振動子４の出力側電極４３が対向電極を兼ねることにより、第１の実施形態において出力側電極４３とは別体として形成された対向電極３２を用いずに、放電電極３１と出力側電極４３とにより放電部３を構成してもよい。
【００６７】
・接触部材２２を介さずに圧電振動子４に対向電極３２が接続される構成であってもよい。即ち、接触部材２２を介するか否かを係わらず、対向電極３２が出力側電極４３に接続されていればよい。
【符号の説明】
【００６８】
１…静電霧化装置、２…放電装置、３…放電部、４…圧電振動子、５…液体供給装置、６…ペルチェユニット、６Ａ…ペルチェ素子、９…制御装置、２１…電力供給部、２２…接触部材、２３…保持部材、３１…放電電極、３２…対向電極、４１…圧電体、４２ａ，４２ｂ…入力側電極、４３…出力側電極、５１…タンク、５２…電動ポンプ、５３…液体供給路、６１…放熱側基板、６２…吸熱側基板、６４…放熱フィン、７１…熱交換器用電力供給部、７２…スイッチ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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