(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の製造方法であって、
母材を圧延して、圧延方向における板厚の平均値が所定値±３％の範囲内である前記金属板を得る圧延工程と、
前記金属板の幅方向における一端および他端を所定範囲にわたって切り落とす切断工程と、を備え、
前記金属板における板厚のばらつきに関して、以下の条件（１），（２）が満たされている、
（１）圧延方向における前記金属板の板厚の平均値をＡとし、圧延方向における前記金属板の板厚の標準偏差に３を掛けた値をＢとするとき、（Ｂ／Ａ）×１００（％）が５％以下であること；および、
（２）幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差に３を掛けた値をＣとし、幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差を算出するために幅方向に沿って前記金属板の板厚を測定する際に得られる、幅方向の中央部における前記金属板の板厚の値をＸとするとき、（Ｃ／Ｘ）×１００（％）が３％以下であること；
金属板の製造方法。
【請求項２】
前記金属板の板厚は、８０μｍ以下である、請求項１に記載の金属板の製造方法。
【請求項３】
幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差は、圧延方向に沿って前記金属板上を延びるｍ本の仮想的な直線（ｍは２以上の自然数）と、幅方向に沿って前記金属板上を延びるｎ本の仮想的な直線（ｎは１以上の自然数）との交点において測定された前記金属板の板厚に基づいて算出されるものであり、
ｍ＞ｎである、請求項１または２に記載の金属板の製造方法。
【請求項４】
前記母材が、ニッケルを含む鉄合金から構成されている、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の金属板の製造方法。
【請求項５】
複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられる長尺状の金属板であって、
前記金属板の長手方向における前記金属板の板厚の平均値は、所定値±３％の範囲内となっており、
前記金属板における板厚のばらつきに関して、以下の条件（１），（２）が満たされている、
（１）長手方向における前記金属板の板厚の平均値をＡとし、長手方向における前記金属板の板厚の標準偏差に３を掛けた値をＢとするとき、（Ｂ／Ａ）×１００（％）が５％以下であること；および、
（２）幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差に３を掛けた値をＣとし、幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差を算出するために幅方向に沿って前記金属板の板厚を測定する際に得られる、幅方向の中央部における前記金属板の板厚の値をＸとするとき、（Ｃ／Ｘ）×１００（％）が３％以下であること；
金属板。
【請求項６】
前記金属板の板厚は、８０μｍ以下である、請求項５に記載の金属板。
【請求項７】
幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差は、長手方向に沿って前記金属板上を延びるｍ本の仮想的な直線（ｍは２以上の自然数）と、幅方向に沿って前記金属板上を延びるｎ本の仮想的な直線（ｎは１以上の自然数）との交点において測定された前記金属板の板厚に基づいて算出されるものであり、
ｍ＞ｎである、請求項５または６に記載の金属板。
【請求項８】
前記金属板が、ニッケルを含む鉄合金から構成されている、請求項５乃至７のいずれか一項に記載の金属板。
【請求項９】
複数の貫通孔が形成された蒸着マスクを製造する方法であって、
長手方向における板厚の平均値が所定値±３％の範囲内である長尺状の金属板を準備する工程と、
前記金属板上にレジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、
前記金属板のうち前記レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングし、前記金属板に、前記貫通孔を画成するようになる凹部を形成するエッチング工程と、を備え、
前記金属板における板厚のばらつきに関して、以下の条件（１），（２）が満たされている、
（１）長手方向における前記金属板の板厚の平均値をＡとし、長手方向における前記金属板の板厚の標準偏差に３を掛けた値をＢとするとき、（Ｂ／Ａ）×１００（％）が５％以下であること；および、
（２）幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差に３を掛けた値をＣとし、幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差を算出するために幅方向に沿って前記金属板の板厚を測定する際に得られる、幅方向の中央部における前記金属板の板厚の値をＸとするとき、（Ｃ／Ｘ）×１００（％）が３％以下であること；
蒸着マスクの製造方法。
【請求項１０】
前記金属板の板厚は、８０μｍ以下である、請求項９に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項１１】
幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差は、長手方向に沿って前記金属板上を延びるｍ本の仮想的な直線（ｍは２以上の自然数）と、幅方向に沿って前記金属板上を延びるｎ本の仮想的な直線（ｎは１以上の自然数）との交点において測定された前記金属板の板厚に基づいて算出されるものであり、
ｍ＞ｎである、請求項９または１０に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項１２】
前記金属板が、ニッケルを含む鉄合金から構成されている、請求項９乃至１１のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項１３】
前記蒸着マスクは、前記蒸着マスクを用いて基板上に蒸着材料を蒸着させる際に、蒸着材料に対面する第１面と、前記基板に対面する第２面と、を有し、
前記レジストパターン形成工程によって形成される前記レジストパターンは、前記蒸着マスクの前記第１面に対応する前記金属板の第１面上に形成された第１レジストパターンと、前記蒸着マスクの前記第２面に対応する前記金属板の第２面上に形成された第２レジストパターンと、を含み、
前記エッチング工程によって形成される凹部は、前記金属板の前記第１面のうち前記第１レジストパターンによって覆われていない領域がエッチングされることによって形成される複数の第１凹部と、前記金属板の前記第２面のうち前記第２レジストパターンによって覆われていない領域がエッチングされることによって形成される複数の第２凹部と、を含み、
前記エッチング工程は、前記第１凹部と、当該第１凹部に対応する前記第２凹部とが接続されるよう実施され、
前記蒸着マスクの前記第２面から、前記第１凹部と前記第２凹部とが接続される接続部までの、前記金属板の法線方向に沿った方向における距離が６μｍ以下である、請求項９乃至１２のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項１４】
前記蒸着マスクは、複数の貫通孔が形成された有効領域と、前記有効領域の周囲に位置する周囲領域と、に区画され、
前記エッチング工程は、前記金属板の前記第１面が前記有効領域の全域にわたってエッチングされるように実施される、請求項１３に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項１５】
前記蒸着マスクは、複数の貫通孔が形成された有効領域と、前記有効領域の周囲に位置する周囲領域と、に区画され、
前記エッチング工程は、前記金属板の前記第１面が前記有効領域の全域にわたってはエッチングされず、この結果、エッチングされなかった部分がトップ部として残るように実施される、請求項１３に記載の蒸着マスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられる金属板に関する。また本発明は、金属板の製造方法に関する。また本発明は、複数の貫通孔が形成された蒸着マスクを、金属板を用いて製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、スマートフォンやタブレットＰＣ等の持ち運び可能なデバイスで用いられる表示装置に対して、高精細であること、例えば画素密度が３００ｐｐｉ以上であることが求められている。また、持ち運び可能なデバイスにおいても、フルハイビジョンに対応することへの需要が高まっており、この場合、表示装置の画素密度が例えば４５０ｐｐｉ以上であることが求められる。
【０００３】
応答性の良さや消費電力の低さのため、有機ＥＬ表示装置が注目されている。有機ＥＬ表示装置の画素を形成する方法として、所望のパターンで配列された貫通孔を含む蒸着マスクを用い、所望のパターンで画素を形成する方法が知られている。具体的には、はじめに、有機ＥＬ表示装置用の基板に対して蒸着マスクを密着させ、次に、密着させた蒸着マスクおよび基板を共に蒸着装置に投入し、有機材料などの蒸着を行う。蒸着マスクは一般に、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングによって金属板に貫通孔を形成することにより、製造され得る（例えば、特許文献１）。例えば、はじめに、金属板上にレジスト膜を形成し、次に、レジスト膜に露光マスクを密着させた状態でレジスト膜を露光してレジストパターンを形成し、その後、金属板のうちレジストパターンによって覆われていない領域をエッチングすることにより、貫通孔が形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３９３１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
蒸着マスクを用いて蒸着材料を基板上に成膜する場合、基板だけでなく蒸着マスクにも蒸着材料が付着する。例えば、蒸着材料の中には、蒸着マスクの法線方向に対して大きく傾斜した方向に沿って基板に向かうものも存在するが、そのような蒸着材料は、基板に到達するよりも前に蒸着マスクの貫通孔の壁面に到達して付着する。この場合、基板のうち蒸着マスクの貫通孔の壁面の近傍に位置する領域には蒸着材料が付着しにくくなり、この結果、付着する蒸着材料の厚みが他の部分に比べて小さくなってしまったり、蒸着材料が付着していない部分が生じてしまったりすることが考えられる。すなわち、蒸着マスクの貫通孔の壁面の近傍における蒸着が不安定になってしまうことが考えられる。従って、有機ＥＬ表示装置の画素を形成するために蒸着マスクが用いられる場合、画素の寸法精度や位置精度が低下してしまい、この結果、有機ＥＬ表示装置の発光効率が低下してしまうことになる。
【０００６】
このような課題を解決するため、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の厚みを小さくすることが考えられる。なぜなら、金属板の厚みを小さくすることによって、蒸着マスクの貫通孔の壁面の高さを小さくすることができ、このことにより、蒸着材料のうち貫通孔の壁面に付着するものの比率を低くすることができるからである。ところで、厚みの小さな金属板を得るためには、母材を圧延して金属板を製造する際の圧延率を大きくする必要がある。一方、圧延率が大きいほど、圧延に基づく変形の不均一さの程度が大きくなってしまう。例えば、幅方向（母材の搬送方向に直交する方向）の位置に応じて金属板の伸び率が異なり、この結果、金属板に波打ち形状が現れることが知られている。従って、金属板の厚みを小さくすることには限界がある。このため、蒸着マスクの貫通孔の壁面の高さを小さくするための手法としては、金属板の厚みを小さくするという手法だけでなく、その他の手法が併せて用いられることが求められる。
【０００７】
上述のように蒸着マスクの貫通孔は、エッチングによって形成される。従って、エッチングの時間やエッチング液の種類などのエッチング条件を調整することによっても、蒸着マスクの貫通孔の壁面の高さを精密に制御可能である。すなわち、金属板の厚みを小さくすることに加えて、エッチングによって金属板をその厚み方向において溶解することによって、貫通孔の壁面の高さを十分に小さくすることができる。なお、金属板に対してエッチング液を所定の圧力で噴射することによってエッチングを行う場合、噴射の圧力もエッチング条件の１つとなる。
【０００８】
一方、金属板の板厚は決して均一ではなく、ある程度の板厚のばらつきが存在している。従って、同一のエッチング条件を用いて金属板をエッチングする場合、金属板の板厚に応じて、形成される貫通孔の形状が異なることになる。このように貫通孔の形状が場所によってばらついてしまうと、基板上に付着する蒸着材料の寸法も場所によってばらつくことになる。
【０００９】
本発明は、このような課題を考慮してなされたものであり、高い寸法精度で形成された貫通孔を備える蒸着マスクを製造するために用いられ得る金属板を提供することを目的とする。また本発明は、金属板の製造方法およびマスクの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の製造方法であって、
母材を圧延して、圧延方向における板厚の平均値が所定値±３％の範囲内である前記金属板を得る圧延工程と、
前記金属板の幅方向における一端および他端を所定範囲にわたって切り落とす切断工程と、を備え、
前記金属板における板厚のばらつきに関して、以下の条件（１），（２）が満たされている、
（１）圧延方向における前記金属板の板厚の平均値をＡとし、圧延方向における前記金属板の板厚の標準偏差に３を掛けた値をＢとするとき、（Ｂ／Ａ）×１００（％）が５％以下であること；および、
（２）幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差に３を掛けた値をＣとし、幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差を算出するために幅方向に沿って前記金属板の板厚を測定する際に得られる、幅方向の中央部における前記金属板の板厚の値をＸとするとき、（Ｃ／Ｘ）×１００（％）が３％以下であること；
金属板の製造方法である。
なお、金属板から製造される前記蒸着マスクの前記貫通孔は、搬送されている長尺状の前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであってもよい。
【００１１】
本発明による金属板の製造方法において、前記金属板の板厚は、好ましくは８０μｍ以下である。
【００１２】
本発明による金属板の製造方法において、幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差は、圧延方向に沿って前記金属板上を延びるｍ本の仮想的な直線（ｍは２以上の自然数）と、幅方向に沿って前記金属板上を延びるｎ本の仮想的な直線（ｎは１以上の自然数）との交点において測定された前記金属板の板厚に基づいて算出されるものであってもよい。この場合、ｍ＞ｎである。
【００１３】
本発明による金属板の製造方法において、前記母材は、ニッケルを含む鉄合金から構成されていてもよい。
【００１４】
本発明は、複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられる長尺状の金属板であって、
前記金属板の長手方向における前記金属板の板厚の平均値は、所定値±３％の範囲内となっており、
前記金属板における板厚のばらつきに関して、以下の条件（１），（２）が満たされている、
（１）長手方向における前記金属板の板厚の平均値をＡとし、長手方向における前記金属板の板厚の標準偏差に３を掛けた値をＢとするとき、（Ｂ／Ａ）×１００（％）が５％以下であること；および、
（２）幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差に３を掛けた値をＣとし、幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差を算出するために幅方向に沿って前記金属板の板厚を測定する際に得られる、幅方向の中央部における前記金属板の板厚の値をＸとするとき、（Ｃ／Ｘ）×１００（％）が３％以下であること；
金属板である。
なお、金属板から製造される前記蒸着マスクの前記貫通孔は、前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであってもよい。
【００１５】
本発明による金属板において、その板厚は、好ましくは８０μｍ以下である。
【００１６】
本発明による金属板において、幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差は、長手方向に沿って前記金属板上を延びるｍ本の仮想的な直線（ｍは２以上の自然数）と、幅方向に沿って前記金属板上を延びるｎ本の仮想的な直線（ｎは１以上の自然数）との交点において測定された前記金属板の板厚に基づいて算出されるものであってもよい。この場合、ｍ＞ｎである。
【００１７】
本発明による金属板において、前記母材は、ニッケルを含む鉄合金から構成されていてもよい。
【００１８】
本発明は、複数の貫通孔が形成された蒸着マスクを製造する方法であって、
長手方向における板厚の平均値が所定値±３％の範囲内である長尺状の金属板を準備する工程と、
前記金属板上にレジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、
前記金属板のうち前記レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングし、前記金属板に、前記貫通孔を画成するようになる凹部を形成するエッチング工程と、を備え、
前記金属板における板厚のばらつきに関して、以下の条件（１），（２）が満たされている、
（１）長手方向における前記金属板の板厚の平均値をＡとし、長手方向における前記金属板の板厚の標準偏差に３を掛けた値をＢとするとき、（Ｂ／Ａ）×１００（％）が５％以下であること；および、
（２）幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差に３を掛けた値をＣとし、幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差を算出するために幅方向に沿って前記金属板の板厚を測定する際に得られる、幅方向の中央部における前記金属板の板厚の値をＸとするとき、（Ｃ／Ｘ）×１００（％）が３％以下であること；
蒸着マスクの製造方法である。
【００１９】
本発明による蒸着マスクの製造方法において、前記金属板の板厚は、好ましくは８０μｍ以下である。
【００２０】
本発明による蒸着マスクの製造方法において、幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差は、長手方向に沿って前記金属板上を延びるｍ本の仮想的な直線（ｍは２以上の自然数）と、幅方向に沿って前記金属板上を延びるｎ本の仮想的な直線（ｎは１以上の自然数）との交点において測定された前記金属板の板厚に基づいて算出されるものであってもよい。この場合、ｍ＞ｎである。
【００２１】
本発明による蒸着マスクの製造方法において、前記母材は、ニッケルを含む鉄合金から構成されていてもよい。
【００２２】
本発明による蒸着マスクの製造方法において、前記蒸着マスクは、前記蒸着マスクを用いて基板上に蒸着材料を蒸着させる際に、蒸着材料に対面する第１面と、前記基板に対面する第２面と、を有し、前記レジストパターン形成工程によって形成される前記レジストパターンは、前記蒸着マスクの前記第１面に対応する前記金属板の第１面上に形成された第１レジストパターンと、前記蒸着マスクの前記第２面に対応する前記金属板の第２面上に形成された第２レジストパターンと、を含み、前記エッチング工程によって形成される凹部は、前記金属板の前記第１面のうち前記第１レジストパターンによって覆われていない領域がエッチングされることによって形成される複数の第１凹部と、前記金属板の前記第２面のうち前記第２レジストパターンによって覆われていない領域がエッチングされることによって形成される複数の第２凹部と、を含み、前記エッチング工程は、前記第１凹部と、当該第１凹部に対応する前記第２凹部とが接続されるよう実施されてもよい。この場合、好ましくは、前記蒸着マスクの前記第２面から、前記第１凹部と前記第２凹部とが接続される接続部までの、前記金属板の法線方向に沿った方向における距離が６μｍ以下である。
【００２３】
本発明による蒸着マスクの製造方法において、前記蒸着マスクは、複数の貫通孔が形成された有効領域と、前記有効領域の周囲に位置する周囲領域と、に区画され、前記エッチング工程は、前記金属板の前記第１面が前記有効領域の全域にわたってエッチングされるように実施されてもよい。
【００２４】
本発明による蒸着マスクの製造方法において、前記蒸着マスクは、複数の貫通孔が形成された有効領域と、前記有効領域の周囲に位置する周囲領域と、に区画され、前記エッチング工程は、前記金属板の前記第１面が前記有効領域の全域にわたってはエッチングされず、この結果、エッチングされなかった部分がトップ部として残るように実施されてもよい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、貫通孔の寸法のばらつきが抑制された蒸着マスクを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態を説明するための図であって、蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例を示す概略平面図である。
【図２】図２は、図１に示す蒸着マスク装置を用いて蒸着する方法を説明するための図である。
【図３】図３は、図１に示された蒸着マスクを示す部分平面図である。
【図４】図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。
【図５】図５は、図３のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。
【図６】図６は、図３のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。
【図７】図７は、図４に示す貫通孔およびその近傍の領域を拡大して示す断面図である。
【図８Ａ】図８Ａは、金属板の板厚が目標仕様値よりも小さい場合に形成される貫通孔の一例を示す断面図である。
【図８Ｂ】図８Ｂは、金属板の板厚が目標仕様値よりも大きい場合に形成される貫通孔の一例を示す断面図である。
【図９】図９（ａ）は、母材を圧延して、所望の厚さを有する金属板を得る工程を示す図であり、図９（ｂ）は、圧延によって得られた金属板をアニールする工程を示す図である。
【図１０】図１０は、長尺金属板に複数の蒸着マスクが割り付けられる様子を示す図である。
【図１１Ａ】図１１Ａは、圧延方向（長手方向）において金属板の板厚がばらついている様子の一例を示す断面図である。
【図１１Ｂ】図１１Ｂは、幅方向において金属板の板厚がばらついている様子の一例を示す断面図である。
【図１２】図１２は、図１に示す蒸着マスクの製造方法の一例を全体的に説明するための模式図である。
【図１３】図１３は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、金属板上にレジスト膜を形成する工程を示す断面図である。
【図１４】図１４は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、レジスト膜に露光マスクを密着させる工程を示す断面図である。
【図１５】図１５は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。
【図１６】図１６は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。
【図１７】図１７は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。
【図１８】図１８は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。
【図１９】図１９は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。
【図２０】図２０は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。
【図２１】図２１は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。
【図２２】図２２は、蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の変形例を示す図である。
【図２３】図２３は、蒸着マスクに形成された貫通孔の寸法を測定するための測定箇所を示す図である。
【図２４】図２４（ａ）〜（ｃ）は、第１１〜第１７巻き体、第２１〜第２７巻き体および第３１〜第３７巻き体の長尺金属板の長手方向における板厚のばらつきを算出した結果を示す図である。
【図２５】図２５（ａ）〜（ｃ）は、第１１〜第１７巻き体、第２１〜第２７巻き体および第３１〜第３７巻き体の長尺金属板から作製された蒸着マスクにおいて、貫通孔の寸法のばらつきを算出した結果を示す図である。
【図２６】図２６（ａ）〜（ｃ）は、第４１〜第４７巻き体、第５１〜第５７巻き体および第６１〜第６７巻き体の長尺金属板に関して、板厚の平均値および長手方向における板厚のばらつきを算出した結果を示す図である。
【図２７】図２７（ａ）〜（ｃ）は、第４１〜第４７巻き体、第５１〜第５７巻き体および第６１〜第６７巻き体の長尺金属板から作製された蒸着マスクにおいて、貫通孔の寸法のばらつきおよびトップ部の最大寸法を算出した結果を示す図である。
【図２８】図２８は、長尺金属板の板厚を測定するための測定箇所を示す図である。
【図２９】図２９（ａ）〜（ｃ）は、第７１〜第７７巻き体、第８１〜第８７巻き体および第９１〜第９７巻き体の長尺金属板の幅方向における板厚のばらつきを算出した結果を示す図である。
【図３０】図３０（ａ）〜（ｃ）は、第７１〜第７７巻き体、第８１〜第８７巻き体および第９１〜第９７巻き体の長尺金属板から作製された蒸着マスクにおいて、貫通孔の寸法のばらつきを算出した結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００２８】
図１〜図２１は、本発明による一実施の形態を説明するための図である。以下の実施の形態およびその変形例では、有機ＥＬ表示装置を製造する際に有機材料を所望のパターンで基板上にパターニングするために用いられる蒸着マスクの製造方法を例にあげて説明する。ただし、このような適用に限定されることなく、種々の用途に用いられる蒸着マスクの製造方法に対し、本発明を適用することができる。
【００２９】
なお、本明細書において、「板」、「シート」、「フィルム」の用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。例えば、「板」はシートやフィルムと呼ばれ得るような部材も含む概念であり、したがって、例えば「金属板」は、「金属シート」や「金属フィルム」と呼ばれる部材と呼称の違いのみにおいて区別され得ない。
【００３０】
また、「板面（シート面、フィルム面）」とは、対象となる板状（シート状、フィルム状）の部材を全体的かつ大局的に見た場合において対象となる板状部材（シート状部材、フィルム状部材）の平面方向と一致する面のことを指す。また、板状（シート状、フィルム状）の部材に対して用いる法線方向とは、当該部材の板面（シート面、フィルム面）に対する法線方向のことを指す。
【００３１】
さらに、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件および物理的特性並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」、「同等」等の用語や長さや角度並びに物理的特性の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。
【００３２】
（蒸着マスク装置）
まず、製造方法対象となる蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例について、主に図１〜図６を参照して説明する。ここで、図１は、蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例を示す平面図であり、図２は、図１に示す蒸着マスク装置の使用方法を説明するための図である。図３は、蒸着マスクを第１面の側から示す平面図であり、図４〜図６は、図３の各位置における断面図である。
【００３３】
図１及び図２に示された蒸着マスク装置１０は、略矩形状の金属板２１からなる複数の蒸着マスク２０と、複数の蒸着マスク２０の周縁部に取り付けられたフレーム１５と、を備えている。各蒸着マスク２０には、互いに対向する第１面２１ａおよび第２面２１ｂを有する金属板２１を少なくとも第１面２１ａからエッチングすることにより形成された貫通孔２５が、多数設けられている。この蒸着マスク装置１０は、図２に示すように、蒸着マスク２０が蒸着対象物である基板、例えばガラス基板９２の下面に対面するようにして蒸着装置９０内に支持され、基板への蒸着材料の蒸着に使用される。
【００３４】
蒸着装置９０内では、不図示の磁石からの磁力によって、蒸着マスク２０とガラス基板９２とが密着するようになる。蒸着装置９０内には、蒸着マスク装置１０の下方に、蒸着材料（一例として、有機発光材料）９８を収容するるつぼ９４と、るつぼ９４を加熱するヒータ９６とが配置されている。るつぼ９４内の蒸着材料９８は、ヒータ９６からの加熱により、気化または昇華してガラス基板９２の表面に付着するようになる。上述したように、蒸着マスク２０には多数の貫通孔２５が形成されており、蒸着材料９８はこの貫通孔２５を介してガラス基板９２に付着する。この結果、蒸着マスク２０の貫通孔２５の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料９８がガラス基板９２の表面に成膜される。
【００３５】
上述したように、本実施の形態では、貫通孔２５が各有効領域２２において所定のパターンで配置されている。なお、カラー表示を行いたい場合には、貫通孔２５の配列方向（前述の一方向）に沿って蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）とガラス基板９２とを少しずつ相対移動させ、赤色用の有機発光材料、緑色用の有機発光材料および青色用の有機発光材料を順に蒸着させていってもよい。
【００３６】
なお、蒸着マスク装置１０のフレーム１５は、矩形状の蒸着マスク２０の周縁部に取り付けられている。フレーム１５は、蒸着マスク２０が撓んでしまうことがないように蒸着マスクを張った状態に保持する。蒸着マスク２０とフレーム１５とは、例えばスポット溶接により互いに対して固定されている。
【００３７】
蒸着処理は、高温雰囲気となる蒸着装置９０の内部で実施される。従って、蒸着処理の間、蒸着装置９０の内部に保持される蒸着マスク２０、フレーム１５および基板９２も加熱される。この際、蒸着マスク、フレーム１５および基板９２は、各々の熱膨張係数に基づいた寸法変化の挙動を示すことになる。この場合、蒸着マスク２０やフレーム１５と基板９２の熱膨張係数が大きく異なっていると、それらの寸法変化の差異に起因した位置ずれが生じ、この結果、基板９２上に付着する蒸着材料の寸法精度や位置精度が低下してしまう。このような課題を解決するため、蒸着マスク２０およびフレーム１５の熱膨張係数が、基板９２の熱膨張係数と同等の値であることが好ましい。例えば、基板９２としてガラス基板９２が用いられる場合、蒸着マスク２０およびフレーム１５の材料として、ニッケルを含む鉄合金を用いることができる。具体的には、３４〜３８質量％のニッケルを含むインバー材や、ニッケルに加えてさらにコバルトを含むスーパーインバー材などの鉄合金を用いることができる。なお本明細書において、「〜」という記号によって表現される数値範囲は、「〜」という符号の前後に置かれた数値を含んでいる。例えば、「３４〜３８質量％」という表現によって画定される数値範囲は、「３４質量％以上かつ３８質量％以下」という表現によって画定される数値範囲と同一である。
【００３８】
（蒸着マスク）
次に、蒸着マスク２０について詳細に説明する。図１に示すように、本実施の形態において、蒸着マスク２０は、金属板２１からなり、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。蒸着マスク２０の金属板２１は、規則的な配列で貫通孔２５が形成された有効領域２２と、有効領域２２を取り囲む周囲領域２３と、を含んでいる。周囲領域２３は、有効領域２２を支持するための領域であり、基板へ蒸着されることを意図された蒸着材料が通過する領域ではない。例えば、有機ＥＬ表示装置用の有機発光材料の蒸着に用いられる蒸着マスク２０においては、有効領域２２は、有機発光材料が蒸着して画素を形成するようになる基板（ガラス基板９２）上の区域、すなわち、作製された有機ＥＬ表示装置用基板の表示面をなすようになる基板上の区域に対面する、蒸着マスク２０内の領域のことである。ただし、種々の目的から、周囲領域２３に貫通孔や凹部が形成されていてもよい。図１に示された例において、各有効領域２２は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。
【００３９】
図示された例において、蒸着マスク２０の複数の有効領域２２は、蒸着マスク２０の長手方向と平行な一方向に沿って所定の間隔を空けて一列に配列されている。図示された例では、一つの有効領域２２が一つの有機ＥＬ表示装置に対応するようになっている。すなわち、図１に示された蒸着マスク装置１０（蒸着マスク２０）によれば、多面付蒸着が可能となっている。
【００４０】
図３に示すように、図示された例において、各有効領域２２に形成された複数の貫通孔２５は、当該有効領域２２において、互いに直交する二方向に沿ってそれぞれ所定のピッチで配列されている。この金属板２１に形成された貫通孔２５の一例について、図３〜図６を主に参照して更に詳述する。
【００４１】
図４〜図６に示すように、複数の貫通孔２５は、蒸着マスク２０の法線方向に沿った一方の側となる第１面２０ａと、蒸着マスク２０の法線方向に沿った他方の側となる第２面２０ｂと、の間を延びて、蒸着マスク２０を貫通している。図示された例では、後に詳述するように、蒸着マスクの法線方向における一方の側となる金属板２１の第１面２１ａの側から金属板２１に第１凹部３０がエッチングによって形成され、金属板２１の法線方向における他方の側となる第２面２１ｂの側から金属板２１に第２凹部３５が形成され、この第１凹部３０および第２凹部３５によって貫通孔２５が形成されている。
【００４２】
図３〜図６に示すように、蒸着マスク２０の第１面２０ａの側から第２面２０ｂの側へ向けて、蒸着マスク２０の法線方向に沿った各位置における蒸着マスク２０の板面に沿った断面での各第１凹部３０の断面積は、しだいに小さくなっていく。図３に示すように、第１凹部３０の壁面３１は、その全領域において蒸着マスク２０の法線方向に対して交差する方向に延びており、蒸着マスク２０の法線方向に沿った一方の側に向けて露出している。同様に、蒸着マスク２０の法線方向に沿った各位置における蒸着マスク２０の板面に沿った断面での各第２凹部３５の断面積は、蒸着マスク２０の第２面２０ｂの側から第１面２０ａの側へ向けて、しだいに小さくなっていてもよい。第２凹部３５の壁面３６は、その全領域において蒸着マスク２０の法線方向に対して交差する方向に延びており、蒸着マスク２０の法線方向に沿った他方の側に向けて露出している。
【００４３】
なお、図４〜図６に示すように、第１凹部３０の壁面３１と、第２凹部３５の壁面３６とは、周状の接続部４１を介して接続されている。接続部４１は、蒸着マスクの法線方向に対して傾斜した第１凹部３０の壁面３１と、蒸着マスクの法線方向に対して傾斜した第２凹部３５の壁面３６とが合流する張り出し部の稜線によって、画成されている。そして、接続部４１は、蒸着マスク２０の平面視において最も貫通孔２５の面積が小さくなる貫通部４２を画成する。
【００４４】
図４〜図６に示すように、蒸着マスクの法線方向に沿った他方の側の面、すなわち、蒸着マスク２０の第２面２０ｂ上において、隣り合う二つの貫通孔２５は、蒸着マスクの板面に沿って互いから離間している。すなわち、後述する製造方法のように、蒸着マスク２０の第２面２０ｂに対応するようになる金属板２１の第２面２１ｂ側から当該金属板２１をエッチングして第２凹部３５を作製する場合、隣り合う二つの第２凹部３５の間に金属板２１の第２面２１ｂが残存するようになる。
【００４５】
一方、図４〜図６に示すように、蒸着マスクの法線方向に沿った一方の側、すなわち、蒸着マスク２０の第１面２０ａの側において、隣り合う二つの第１凹部３０が接続されている。すなわち、後述する製造方法のように、蒸着マスク２０の第１面２０ａに対応するようになる金属板２１の第１面２１ａ側から当該金属板２１をエッチングして第１凹部３０を形成する場合、隣り合う二つの第１凹部３０の間に、金属板２１の第１面２１ａが残存しないようになる。すなわち、金属板２１の第１面２１ａは、有効領域２２の全域にわたってエッチングされている。このような第１凹部３０によって形成される蒸着マスク２０の第１面２０ａによれば、図２に示すように蒸着マスク２０の第１面２０ａが蒸着材料９８に対面するようにしてこの蒸着マスク２０を用いた場合に、蒸着材料９８の利用効率を効果的に改善することができる。
【００４６】
なお後述するように、エッチング時間の設定によっては、金属板２１の第１面２１ａが部分的に残存している状況で、エッチング工程が終了することがある。この場合、金属板２１の第１面２１ａのうちエッチングされなかった部分が、後述するトップ部として残ることになる。この場合であっても、後述するように、トップ部の幅を適切に制御することにより、蒸着材料９８を高い効率で利用することができ、またシャドーの発生を抑制することができる。
【００４７】
図２に示すようにして蒸着マスク装置１０が蒸着装置９０に収容された場合、図４に二点鎖線で示すように、蒸着マスク２０の第１面２０ａが蒸着材料９８を保持したるつぼ９４側に位置し、蒸着マスク２０の第２面２０ｂがガラス基板９２に対面する。したがって、蒸着材料９８は、次第に断面積が小さくなっていく第１凹部３０を通過してガラス基板９２に付着する。図４に矢印で示すように、蒸着材料９８は、るつぼ９４からガラス基板９２に向けてガラス基板９２の法線方向に沿って移動するだけでなく、ガラス基板９２の法線方向に対して大きく傾斜した方向に移動することもある。このとき、蒸着マスク２０の厚みが大きいと、斜めに移動する蒸着材料９８の多くは、貫通孔２５を通ってガラス基板９２に到達するよりも前に、第１凹部３０の壁面３１に到達して付着する。この場合、ガラス基板９２上の貫通孔２５に対面する領域内には、蒸着材料９８が到達しやすい領域と到達しにくい部分が生じてしまう。従って、蒸着材料の利用効率（成膜効率：ガラス基板９２に付着する割合）を高めて高価な蒸着材料を節約し、且つ、高価な蒸着材料を用いた成膜を所望の領域内に安定してむらなく実施するためには、斜めに移動する蒸着材料９８を可能な限りガラス基板９２に到達させるように蒸着マスク２０を構成することが重要になる。すなわち、蒸着マスク２０のシート面に直交する図４〜図６の断面において、貫通孔２５の最小断面積を持つ部分となる接続部４１と、第１凹部３０の壁面３１の他の任意の位置と、を通過する直線Ｌ１が、蒸着マスク２０の法線方向に対してなす最小角度θ１（図４参照）を、十分に大きくすることが有利となる。
【００４８】
角度θ１を大きくするための方法の１つとして、蒸着マスク２０の厚みを小さくし、これによって、第１凹部３０の壁面３１や第２凹部３５の壁面３６の高さを小さくすることが考えられる。すなわち、蒸着マスク２０を構成するための金属板２１として、蒸着マスク２０の強度を確保できる範囲内で可能な限り厚みの小さな金属板２１を用いることが好ましいと言える。
【００４９】
角度θ１を大きくするためのその他の方法として、第１凹部３０の輪郭を最適化することも考えられる。たとえば本実施の形態によれば、隣り合う二つの第１凹部３０の壁面３１が合流することにより、他の凹部と合流していない点線で示された壁面（輪郭）を有する凹部と比較して、この角度θ１を大幅に大きくすることができている（図４参照）。以下、その理由について説明する。
【００５０】
第１凹部３０は、後に詳述するように、金属板２１の第１面２１ａをエッチングすることにより形成される。エッチングによって形成される凹部の壁面は、一般的に、浸食方向に向けて凸となる曲面状となる。したがって、エッチングによって形成された凹部の壁面３１は、エッチングの開始側となる領域において切り立ち、エッチングの開始側とは反対側となる領域、すなわち凹部の最も深い側においては、金属板２１の法線方向に対して比較的に大きく傾斜するようになる。一方、図示された蒸着マスク２０では、隣り合う二つの第１凹部３０の壁面３１が、エッチングの開始側において合流しているので、二つの第１凹部３０の壁面３１の先端縁３２が合流する部分４３の外輪郭が、切り立った形状ではなく、面取された形状となっている。このため、貫通孔２５の大部分をなす第１凹部３０の壁面３１の高さを小さくし、かつ壁面３１を、蒸着マスクの法線方向に対して効果的に傾斜させることができる。これによって、角度θ１を大きくすることができる。このことにより、蒸着材料９８の利用効率を効果的に改善しながら、所望のパターンでの蒸着を高精度に安定して実施することができる。
【００５１】
本実施の形態による蒸着マスク２０によれば、有効領域２２の全域において、第１凹部３０の壁面３１が蒸着マスクの法線方向に対してなす傾斜角度θ１を効果的に増大させることができる。これにより、蒸着材料９８の利用効率を効果的に改善しながら、所望のパターンでの蒸着を高精度に安定して実施することができる。
【００５２】
限定はされないが、本実施の形態による蒸着マスク２０は、４５０ｐｐｉ以上の画素密度の有機ＥＬ表示装置を作製する場合に特に有効なものである。以下、図７を参照して、そのような高い画素密度の有機ＥＬ表示装置を作製するために求められる蒸着マスク２０の寸法の一例について説明する。図７は、図４に示す蒸着マスク２０の貫通孔２５およびその近傍の領域を拡大して示す断面図である。
【００５３】
図７において、蒸着マスク２０の厚みが符号ｔで表されている。なお厚みｔは、隣り合う二つの第１凹部３０が合流することによって削り取られた部分を無視した場合の蒸着マスク２０の厚みである。従って厚みｔは、金属板２１の厚みであると言うこともできる。また図７においては、貫通孔２５の形状に関連するパラメータとして、蒸着マスク２０の第２面２０ｂから接続部４１までの、蒸着マスク２０の法線方向に沿った方向における距離が符号ｒ１で表されている。さらに、蒸着マスク２０の第２面２０ｂ上における第２凹部３５の寸法が符号ｒ２で表されている。寸法ｒ２は、例えば、蒸着マスク２０の長手方向に沿った方向における第２凹部３５の大きさである。４５０ｐｐｉ以上の画素密度の有機ＥＬ表示装置を作製する場合、第２凹部３５の寸法ｒ２は、例えば２０〜６０μｍの範囲内に設定される。このように本実施の形態においては、高い画素密度の有機ＥＬ表示装置に対応すべく、第２凹部３５の寸法ｒ２が、従来の蒸着マスクの場合に比べて小さく設定されている。
【００５４】
上述のように、蒸着材料のうち貫通孔の壁面に付着するものの比率を低くし、これによって蒸着の精度を向上させるためには、蒸着マスク２０の厚みｔを小さくすることが有効である。この点を考慮し、本実施の形態において、好ましくは蒸着マスク２０の厚み（すなわち金属板２１の板厚）ｔは、８０μｍ以下に、例えば１０〜８０μｍの範囲内や２０〜８０μｍの範囲内に設定される。蒸着の精度をさらに向上させるため、蒸着マスク２０の厚みｔを、４０μｍ以下に、例えば１０〜４０μｍの範囲内や２０〜４０μｍの範囲内に設定してもよい。
また上述のように、本実施の形態における第２凹部３５の寸法ｒ２は従来よりも小さい。このため、蒸着マスク２０の第２面２０ｂから接続部４１までの距離ｒ１が寸法ｒ２に比べて比較的に大きいものであると、第２凹部３５の壁面３６に付着してしまう蒸着材料の比率が高くなってしまうと考えられる。この点を考慮し、本実施の形態において、好ましくは蒸着マスク２０の第２面２０ｂから接続部４１までの距離ｒ１は、０〜６μｍの範囲内すなわち６μｍ以下に設定される。なお距離ｒ１が０μｍであることは、第２凹部３５の壁面３６が存在しないこと、すなわち第１凹部３０の壁面３１が金属板２１の第２面２１ｂにまで達していることを意味している。
【００５５】
ところで、蒸着マスク２０を作製するための金属板２１の板厚ｔは決して均一ではなく、ある程度のばらつきが存在している。従って、同一のエッチング条件を用いて金属板２１をエッチングして蒸着マスク２０を作製する場合、金属板２１の板厚のばらつきに応じて、形成される貫通孔２５の形状がばらつくことになる。
【００５６】
例えば、金属板２１の板厚ｔが目標仕様値よりも小さい場合、エッチング工程において、金属板２１の第１面２１ａ側に形成される第１凹部３０が、金属板２１の第２面２１ｂ側に形成されている第２凹部３５に、通常よりも早期に接続することになる。この場合、隣接する２つの貫通孔２５の貫通部４２の間の距離が比較的に大きくなる方向においては、隣接する２つの第１凹部３０が当該方向において互いに接続されるようになるよりも前に、エッチング工程が終了してしまうことが考えられる。例えば図３を参照すると、ＶＩ−ＶＩ線に沿った方向、すなわち貫通孔２５の配列方向からずれた方向において隣接する２つの貫通孔２５の貫通部４２の間の距離は、ＩＶ−ＩＶ線やＶ−Ｖ線に沿った方向、すなわち貫通孔２５の配列方向に沿った方向において隣接する２つの貫通孔２５の貫通部４２の間の距離よりも大きい。従って、ＩＶ−ＩＶ線やＶ−Ｖ線に沿った方向においては、隣接する２つの第１凹部３０がエッチング工程の終了時に互いに接続されているが、ＶＩ−ＶＩ線に沿った方向においては、隣接する２つの第１凹部３０がエッチング工程の終了時に互いに接続されていない、という現象が生じ得る。一例として、ＶＩ−ＶＩ線に沿った方向において隣接する２つの第１凹部３０が互いに接続されていない場合の、図３のＶＩ−ＶＩ線に沿った蒸着マスク２０の断面図を、図８Ａに示す。図８Ａに示すように、この場合、隣接する２つの第１凹部３０の壁面３１の先端縁３２の間には、切り立った形状の部分４３が残ることになる。以下の説明において、このような切り立った形状の部分４３のことを、トップ部４３ａとも称する。
【００５７】
上述のトップ部４３ａが存在していることは、貫通孔２５の第１凹部３０の壁面３１の高さが大きくなっていることを意味する。従って、図８Ａに示す例においては、接続部４１と第１凹部３０の壁面３１の先端縁３２とを通過する直線Ｌ１が蒸着マスク２０の法線方向に対してなす角度が小さくなってしまう。このことは、基板９２に付着すべき蒸着材料が貫通孔２５の第１凹部３０の壁面３１によって遮られてしまうこと、すなわちシャドーが頻繁に生じることを意味する。このため、蒸着材料の利用効率が低くなってしまい、また、基板上に付着する蒸着材料の寸法精度も不十分になってしまうことが考えられる。従って、上述のトップ部４３ａが存在しないように、若しくはトップ部４３ａの幅が所定値以下（例えば２μｍ以下）になるように、貫通孔２５が形成されることが好ましい。なお「トップ部の幅」は、隣接する２つの第１凹部３０の先端縁３２の間の距離と同義である。
【００５８】
以下、接続部４１と第１凹部３０の壁面３１の先端縁３２とを通過する直線Ｌ１が蒸着マスク２０の法線方向Ｎに対してなす角度α（以下、「壁面３１の傾斜角度α」とも称する）と、トップ部の幅βとの関係について説明する。図８Ａから明らかなように、トップ部の幅βが大きくなるほど、壁面３１の傾斜角度αは大きくなる。この結果、壁面３１の傾斜角度αよりも大きく傾斜した方向に沿って飛来する蒸着材料の多くが、トップ部の近傍において壁面３１に遮られてしまうことになる。すなわちシャドーが生じやすくなる。例えば、画素密度が４４１ｐｐｉである表示装置用の蒸着マスク２０において、図３のＶＩ−ＶＩ線に沿った方向において隣接する２つの貫通孔２５間の、第２面２０ｂ上における間隔が３９．１μｍであり、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った方向において隣接する２つの貫通孔２５間の、第２面２０ｂ上における間隔が２７．６μｍであり、図３のＶＩ−ＶＩ線に沿った方向での、第２面２０ｂ上における貫通孔２５の寸法が３０．０μｍであり、第２面２０ｂから接続部４１までの距離ｒ１が３μｍである場合、トップ部の幅βが２．２μｍになり、壁面３１の傾斜角度αが４０°になり、蒸着物の飛ぶ最小角度が４０°以下の場合、シャドーが生じやすくなる。そして、この場合、シャドーを抑制することができるトップ部の幅βの値としては、例えば２μｍ以下という値を挙げることができる。
【００５９】
また、金属板２１の板厚ｔが目標仕様値よりも大きい場合、金属板２１の第１面２１ａ側に形成される第１凹部３０を、金属板２１の第２面２１ｂ側に形成されている第２凹部３５に接続するためには、エッチング時間を通常よりも長くする必要がある。この場合、図８Ｂに示すように、第１凹部３０を形成するための、金属板２１の第１面２１ａ側におけるエッチングが、通常よりも広域にわたって進行することになる。この結果、有効領域２２をなすようになる領域内における長尺金属板６４の法線方向に沿った最大厚みＴａが、設計値よりも小さくなる。すなわち、有効領域２２の全体的な厚みが過剰に小さくなり、この結果、凹みなどの微小な変形が有効領域に多発するようになってしまうことが考えられる。
【００６０】
一方、微小な変形の発生を抑制するためにエッチング時間を短くすると、第１凹部３０の壁面３１が第２凹部３５の壁面３６に、第１面２１ａにより近い位置で合流することになる。ところで、後述する図１８〜２１などから明らかなように、金属板２１の厚み方向の位置に対する、第２凹部３５の横断面の面積の変化率は、第１面２１ａに近いほど大きくなる。従って、第１面２１ａにより近い位置で第１凹部３０の壁面３１が第２凹部３５の壁面３６に合流することは、合流位置に形成される貫通部４２の寸法がばらつきやすくなることを意味している。従って、エッチング時間を短くすることは、貫通部４２の寸法のばらつきを導いてしまうと考えらえる。
【００６１】
このような背景の下、貫通孔の寸法のばらつきが抑制された蒸着マスク２０を作製するためには、厚みのばらつきが小さい金属板を選別して用いることが重要になる。
【００６２】
次に、このような構成からなる本実施の形態とその作用および効果について説明する。ここでは、はじめに、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の製造方法について説明する。次に、得られた金属板を用いて蒸着マスクを製造する方法について説明する。その後、得られた蒸着マスクを用いて基板上に蒸着材料を蒸着させる方法について説明する。
【００６３】
（金属板の製造方法）
はじめに図９（ａ）を参照して、金属板の製造方法について説明する。図９（ａ）は、母材を圧延して、所望の厚さを有する金属板を得る工程を示す図であり、図９（ｂ）は、圧延によって得られた金属板をアニールする工程を示す図である。
【００６４】
〔圧延工程〕
はじめに図９（ａ）に示すように、インバー材から構成された母材５５を準備し、この母材５５を、一対の圧延ロール５６ａ，５６ｂを含む圧延装置５６に向けて、矢印Ｄ１で示す搬送方向に沿って搬送する。なお以下の説明において、圧延工程の際の母材５５および金属板の搬送方向のことを、圧延方向とも称する。この圧延方向は、圧延工程によって得られる長尺状の金属板の長手方向に等しい。
【００６５】
一対の圧延ロール５６ａ，５６ｂの間に到達した母材５５は、一対の圧延ロール５６ａ，５６ｂによって圧延され、この結果、母材５５は、その厚みが低減されるとともに、搬送方向に沿って伸ばされる。これによって、厚みｔの長尺金属板６４を得ることができる。図９（ａ）に示すように、長尺金属板６４をコア６１に巻き取ることによって巻き体６２を形成してもよい。厚みｔの具体的な値は特には限られないが、例えば８０μｍ以下の厚みや４０μｍ以下の厚みになっている。
【００６６】
なお図９（ａ）は、圧延工程の概略を示すものに過ぎず、圧延工程を実施するための具体的な構成や手順が特に限られることはない。例えば圧延工程は、母材５５を構成するインバー材の再結晶温度以上で母材を加工する熱間圧延工程や、インバー材の再結晶温度以下で母材を加工する冷間圧延工程を含んでいてもよい。
【００６７】
〔スリット工程〕
その後、圧延工程によって得られた長尺金属板６４の幅方向における両端をそれぞれ３〜５ｍｍの範囲にわたって切り落とすスリット工程を実施してもよい。このスリット工程は、圧延に起因して長尺金属板６４の両端に生じ得るクラックを除去するために実施される。このようなスリット工程を実施することにより、長尺金属板６４が破断してしまう現象、いわゆる板切れが、クラックを起点として生じてしまうことを防ぐことができる。
【００６８】
〔アニール工程〕
その後、圧延によって長尺金属板６４内に蓄積された残留応力を取り除くため、図９（ｂ）に示すように、アニール装置５７を用いて長尺金属板６４をアニールする。アニール工程は、図９（ｂ）に示すように、長尺金属板６４を搬送方向（長手方向）に引っ張りながら実施されてもよい。すなわち、アニール工程は、いわゆるバッチ式の焼鈍ではなく、搬送しながらの連続焼鈍として実施されてもよい。アニール工程が実施される期間は、長尺金属板６４の厚みや圧延率などに応じて適切に設定されるが、例えば４００〜６００℃の温度範囲内で４０〜１００秒にわたってアニール工程が実施される。なお上記「４０〜１００秒」は、アニール装置５７中で上記温度範囲内に加熱された空間を長尺金属板６４が通過することに要する時間が４０〜１００秒であることを意味している。
【００６９】
アニール工程を実施することにより、残留応力がある程度除去された、厚みｔの長尺金属板６４を得ることができる。なお厚みｔは通常、蒸着マスク２０の周囲領域２３内の最大厚みＴｂに等しくなる。
【００７０】
なお、上述の圧延工程、スリット工程およびアニール工程を複数回繰り返すことによって、厚みｔの長尺の金属板６４を作製してもよい。また図９（ｂ）においては、アニール工程が、長尺金属板６４を長手方向に引っ張りながら実施される例を示したが、これに限られることはなく、アニール工程を、長尺金属板６４がコア６１に巻き取られた状態で実施してもよい。すなわちバッチ式の焼鈍が実施されてもよい。なお、長尺金属板６４がコア６１に巻き取られた状態でアニール工程を実施する場合、長尺金属板６４に、巻き体６２の巻き取り径に応じた反りの癖がついてしまうことがある。従って、巻き体６２の巻き径や母材５５を構成する材料によっては、長尺金属板６４を長手方向に引っ張りながらアニール工程を実施することが有利である。
【００７１】
〔切断工程〕
その後、長尺金属板６４の幅方向における両端をそれぞれ所定範囲にわたって切り落とし、これによって、長尺金属板６４の幅を所望の幅に調整する切断工程を実施する。このようにして、所望の厚みおよび幅を有する長尺金属板６４を得ることができる。
【００７２】
〔検査工程〕
その後、得られた長尺金属板６４の板厚を検査する検査工程を実施する。図１０は、図９（ａ）（ｂ）に示す工程によって得られた長尺金属板６４を示す平面図である。図１０においては、その後の工程において長尺金属板６４から切り出される多数の蒸着マスク２０が点線で示されている。図１０に示すように、長尺金属板６４には、長尺金属板６４の長手方向Ｄ１と平行な方向に延びる複数の蒸着マスク２０が、長尺金属板６４の長手方向Ｄ１および幅方向Ｄ２の両方に沿って割り付けられる。このため、長尺金属板６４の板厚が場所によってばらついていることは、蒸着マスク２０の厚みや貫通孔２５の形状に個体差を生じさせる。従って、長尺金属板６４の板厚のばらつきは、その長手方向Ｄ１および幅方向Ｄ２の両方において小さいことが好ましい。
なお図１０においては、長尺金属板６４の幅方向Ｄ２に沿って５本の蒸着マスク２０が割り付けられる例が示されている。５本の蒸着マスク２０は、長尺金属板６４の第１側部６４ｃ側から第２側部６４ｄ側に向かって順に、符号２０ａｋ，２０ｂｋ，２０ｃｋ，２０ｄｋおよび２０ｅｋ（ｋは任意の自然数）で表されている。また図１１Ｂにおいては、蒸着マスク２０ａｋ，２０ｂｋ，２０ｃｋ、２０ｄｋおよび２０ｅｋに対応する位置における長尺金属板６４の板厚がそれぞれ符号ｔａ，ｔｂ，ｔｃ，ｔｄおよびｔｅで表されている。幅方向Ｄ２に並ぶ５本の蒸着マスク２０の中央に位置する蒸着マスク２０ｃｋが割り付けられる場所の板厚ｔｃは、幅方向Ｄ２の中央部における長尺金属板６４の板厚に相当する。
【００７３】
検査工程においては、はじめに、長尺金属板６４の板厚を長手方向Ｄ１に沿って多数の箇所で測定する第１検査工程を実施する。第１検査工程は、圧延工程中に実施されてもよく、若しくは、圧延工程後に実施されてもよい。第１検査工程が圧延工程後に実施される場合、第１検査工程は、圧延工程と同一のラインに設けられた測定器によって実施されてもよく、若しくは、圧延工程とは別のラインに設けられた測定器によって実施されてもよい。
測定方法は特には限られないが、例えば、Ｘ線を長尺金属板６４に照射し、これによって長尺金属板６４から放出される蛍光Ｘ線を測定する方法を採用することができる。この方法は、測定される蛍光Ｘ線の強度が、長尺金属板６４を構成する元素の量、ひいては長尺金属板６４の板厚に依存することを利用するものである。このようなＸ線を利用した測定方法は、めっきの膜厚を測定する際などに利用されている。
測定箇所は特には限られないが、例えば、幅方向Ｄ２の中央部における長尺金属板６４の板厚、すなわち、図１１Ｂに示す板厚ｔｃを、長尺金属板６４の長手方向Ｄ１に沿って多数の箇所で測定する。これによって、長手方向Ｄ１における長尺金属板６４の板厚の平均値および標準偏差を算出することができる。長尺金属板６４の長手方向Ｄ１における測定箇所の間隔は、例えば５０〜５００ｍｍの範囲内になっている。
【００７４】
なお後述するように、本実施の形態による、長尺金属板６４の板厚のばらつきに基づく長尺金属板６４の選別は、長手方向Ｄ１における長尺金属板６４の板厚の平均値が所定値の±３％の範囲内である場合に有効なものである。すなわち、長手方向Ｄ１における長尺金属板６４の板厚の平均値が所定値の±３％の範囲から逸脱している場合は、長尺金属板６４において後述する条件（１），（２）が満たされていたとしても、高品質の蒸着マスク２０を作製することができないことがある。従って、上述のように第１検査工程が圧延工程中に実施される場合、圧延工程において、長手方向Ｄ１における長尺金属板６４の板厚の平均値が所定値の±３％の範囲内になるようにフィードバック制御が実施されてもよい。なお「所定値」とは、いわゆる「設計値」や「仕様値」とも呼ばれるものであり、長尺金属板６４や金属板２１を客先に納入する際の基準となる値のことである。
【００７５】
長尺金属板６４の板厚の所定値（設計値、仕様値）としては、後述する実施例において述べるように、２０μｍ、２５μｍ、４０μｍなどが挙げられる。これらの所定が採用される場合、本実施の形態による、長尺金属板６４の板厚のばらつきに基づく長尺金属板６４の選別はそれぞれ、長手方向Ｄ１における長尺金属板６４の板厚の平均値が２０μｍ±３％の範囲内、２５μｍ±３％の範囲内、４０μｍ±３％の範囲内の場合に有効になる。
【００７６】
ところで、長尺金属板６４の板厚の設計値や仕様値と呼ばれるものは、技術的な事項ではなく、取引上の契約に基づく事項であるので、長尺金属板６４それ自体を観察するだけでは算出され得ないものである。一方、本実施の形態による、後述する条件（１），（２）に基づく長尺金属板６４の選別の有効性は、長尺金属板６４の板厚の設計値や仕様値の値自体によって左右されるものではない。なぜなら、本実施の形態による長尺金属板６４の選別は、一定のエッチング条件に基づいて貫通孔２５を形成する場合に、適切な形状および寸法を有する貫通孔２５を得るための、１つの長尺金属板６４内での板厚のばらつきを規定するものだからである。また、エッチングによって貫通孔２５を形成する場合、エッチング条件を変更することにより、任意の板厚に対応することができる。従って、長尺金属板６４の板厚の設計値や仕様値が不明である場合であっても、本実施の形態による長尺金属板６４の選別の有効性を判断することは可能である。例えば、金属板の製造者から出荷される複数の長尺金属板６４や、蒸着マスクの製造者が所有している複数の長尺金属板６４において、長手方向Ｄ１における各長尺金属板６４の板厚の平均値のばらつきが±３％の範囲内である場合、本実施の形態による選別が有効に適用され得ると言える。
【００７７】
次に、長尺金属板６４の板厚を幅方向Ｄ２に沿って多数の箇所で測定する第２検査工程を実施する。第２検査工程における板厚の測定方法が特に限られることはない。上述の第１検査工程の場合と同様に、Ｘ線を長尺金属板６４に照射し、これによって長尺金属板６４から放出される蛍光Ｘ線を測定する方法を採用してもよい。若しくは、接触式の測定方法を採用してもよい。接触式の測定方法を実施するための測定器としては、例えば、ハイデンハイン社製のＭＴ１２７１（Ｌｅｎｇｔｈ Ｇａｕｇｅｓ）を用いることができる。
測定箇所も特には限られず、所定の場所において、長尺金属板６４の板厚を、長尺金属板６４の幅方向Ｄ２に沿って多数の箇所で測定する。これによって、幅方向Ｄ２における長尺金属板６４の板厚の平均値および標準偏差を算出することができる。長尺金属板６４の幅方向Ｄ２における測定箇所の間隔は、例えば５〜５０ｍｍの範囲内になっている。
【００７８】
ところで、長尺金属板６４の幅方向Ｄ２の長さは、長手方向Ｄ１の長さに比べて著しく小さい。このため、長手方向Ｄ１における測定の場合に比べて、幅方向Ｄ２における測定においては、測定箇所の数を多くすることが困難であり、この結果、算出される標準偏差の精度が低くなることが考えられる。このような点を考慮し、幅方向Ｄ２における長尺金属板６４の板厚の標準偏差は、長手方向Ｄ１に沿って長尺金属板６４上を延びるｍ本の仮想的な直線（ｍは２以上の自然数）と、幅方向Ｄ２に沿って長尺金属板６４上を延びるｎ本の仮想的な直線（ｎは１以上の自然数）との交点において測定された長尺金属板６４の板厚に基づいて算出されたものであってもよい。例えば、ｍを９に設定し、ｎを３に設定してもよい。これによって、測定箇所の数を十分に多くすることができ、このことにより、標準偏差を精度良く算出することができる。なお長手方向Ｄ１に沿って長尺金属板６４上を延びるｍ本の仮想的な直線、および、幅方向Ｄ２に沿って長尺金属板６４上を延びるｎ本の仮想的な直線は、長尺金属板６４の所定領域内に描かれる。例えば、長手方向Ｄ１における５００ｍｍの範囲と、幅方向Ｄ２における５００ｍｍの範囲とによって画定される所定領域内に描かれる。
【００７９】
幅方向Ｄ２における長尺金属板６４の板厚を測定する上述の第２検査工程は、圧延工程中に実施されてもよく、若しくは、圧延工程後に実施されてもよい。第２検査工程が圧延工程後に実施される場合、第２検査工程は、長尺金属板６４を所定の長さにわたって切断したものに対して実施してもよい。
【００８０】
長尺金属板６４の各位置において板厚を測定した後、長手方向Ｄ１における板厚の平均値が所定値±３％の範囲内である長尺金属板６４に対して、板厚のばらつきに基づく選別を実施する。ここでは、以下の条件（１），（２）を全て満たす長尺金属板６４のみを、後述する蒸着マスク２０の製造工程において使用するという、長尺金属板６４の選別を実施する。
（１）長手方向（圧延方向）Ｄ１における長尺金属板６４の板厚の平均値をＡとし、長手方向Ｄ１における長尺金属板６４の板厚の標準偏差に３を掛けた値をＢとするとき、（Ｂ／Ａ）×１００（％）が５％以下であること；および
（２）幅方向Ｄ２における長尺金属板６４の板厚の標準偏差に３を掛けた値をＣとし、幅方向Ｄ２における長尺金属板６４の板厚の標準偏差を算出するために幅方向Ｄ２に沿って長尺金属板６４の板厚を測定する際に得られる、幅方向Ｄ２の中央部における長尺金属板６４の板厚の値をＸとするとき、（Ｃ／Ｘ）×１００（％）が３％以下であること；
以下、上記の条件（１）、（２）についてそれぞれ説明する。
【００８１】
上記の条件（１）は、長尺金属板６４の長手方向Ｄ１に沿って割り付けられる複数の蒸着マスク２０の貫通孔２５の寸法が、割り付け場所に依存してばらつくことを抑制するための条件である。また上記の条件（２）は、長尺金属板６４の幅方向Ｄ２に沿って割り付けられる複数の蒸着マスク２０の貫通孔２５の寸法が、割り付け場所に依存してばらつくことを抑制するための条件である。
【００８２】
なお一般に、長尺金属板６４の長手方向Ｄ１においては、長尺金属板６４の板厚のばらつきの傾向（程度や周期など）を予測することは困難である。一方、長尺金属板６４の幅方向Ｄ２においては、長尺金属板６４の板厚のばらつきの傾向が、ある程度一定であることが考えられる。例えば図１１Ｂにおいては、幅方向Ｄ２の中央部における板厚ｔｃが、第１側部６４ｃ近傍の板厚ｔａや第２側部６４ｄ近傍の板厚ｔｅよりも大きくなっている様子が示されている。このように幅方向Ｄ２における板厚にばらつきがある場合、ばらつきを考慮してエッチング条件を設定することにより、異なる板厚の場所に形成される貫通孔２５の寸法や形状に差異が生じることを抑制することができる。例えば図１１Ｂに示す例においては、第１側部６４ｃ近傍および第２側部６４ｄ近傍に貫通孔２５の第１凹部３０を形成するために所定のスプレーから長尺金属板６４に吹き付けられるエッチング液の圧力を、幅方向Ｄ２の中央部に吹き付けられるエッチング液の圧力よりも小さくすることにより、貫通孔２５の寸法や形状の差異を小さくすることができる。上述の条件（２）は、このようなエッチング条件の調整を加味した上で決定されたものであってもよい。ばらつきに応じて調整され得るエッチング条件としては、上述のエッチング液の圧力（スプレー圧）の他にも、スプレーの首振り位置、首振り角度や首振り速度を挙げることができる。
【００８３】
（蒸着マスクの製造方法）
次に、上述のようにして選別された長尺金属板６４を用いて蒸着マスク２０を製造する方法について、主に図１２〜図２１を参照して説明する。以下に説明する蒸着マスク２０の製造方法では、図１２に示すように、長尺金属板６４が供給され、この長尺金属板６４に貫通孔２５が形成され、さらに長尺金属板６４を断裁することによって枚葉状の金属板２１からなる蒸着マスク２０が得られる。
【００８４】
より具体的には、蒸着マスク２０の製造方法、帯状に延びる長尺の金属板６４を供給する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを長尺の金属板６４に施して、長尺金属板６４に第１面６４ａの側から第１凹部３０を形成する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを長尺金属板６４に施して、長尺金属板６４に第２面６４ｂの側から第２凹部３５を形成する工程と、を含んでいる。そして、長尺金属板６４に形成された第１凹部３０と第２凹部３５とが互いに通じ合うことによって、長尺金属板６４に貫通孔２５が作製される。図１３〜図２１に示された例では、第２凹部３５の形成工程が、第１凹部３０の形成工程の前に実施され、且つ、第２凹部３５の形成工程と第１凹部３０の形成工程の間に、作製された第２凹部３５を封止する工程が、さらに設けられている。以下において、各工程の詳細を説明する。
【００８５】
図１２には、蒸着マスク２０を作製するための製造装置６０が示されている。図１２に示すように、まず、長尺金属板６４をコア６１に巻き取った巻き体６２が準備される。そして、このコア６１が回転して巻き体６２が巻き出されることにより、図１２に示すように帯状に延びる長尺金属板６４が供給される。なお、長尺金属板６４は、貫通孔２５を形成されて枚葉状の金属板２１、さらには蒸着マスク２０をなすようになる。
【００８６】
供給された長尺金属板６４は、搬送ローラー７２によって、エッチング装置（エッチング手段）７０に搬送される。エッチング手段７０によって、図１３〜図２１に示された各処理が施される。なお本実施の形態においては、長尺金属板６４の幅方向に複数の蒸着マスク２０が割り付けられるものとする。すなわち、複数の蒸着マスク２０が、長手方向において長尺金属板６４の所定の位置を占める領域から作製される。この場合、好ましくは、蒸着マスク２０の長手方向が長尺金属板６４の圧延方向Ｄ１に一致するよう、複数の蒸着マスク２０が長尺金属板６４に割り付けられる。
【００８７】
まず、図１３に示すように、長尺金属板６４の第１面６４ａ上（図１３の紙面における下側の面上）および第２面６４ｂ上にネガ型の感光性レジスト材料を含む塗布液を塗布して、レジスト膜６５ｃ、６５ｄを形成する。
【００８８】
次に、レジスト膜６５ｃ、６５ｄのうちの除去したい領域に光を透過させないようにした露光マスク８５ａ、８５ｂを準備し、露光マスク８５ａ、８５ｂをそれぞれ図１４に示すようにレジスト膜６５ｃ、６５ｄ上に配置する。露光マスク８５ａ、８５ｂとしては、例えば、レジスト膜６５ｃ、６５ｄのうちの除去したい領域に光を透過させないようにしたガラス乾板が用いられる。その後、真空密着によって露光マスク８５ａ、８５ｂをレジスト膜６５ｃ、６５ｄに十分に密着させる。
なお感光性レジスト材料として、ポジ型のものが用いられてもよい。この場合、露光マスクとして、レジスト膜のうちの除去したい領域に光を透過させるようにした露光マスクが用いられる。
【００８９】
その後、レジスト膜６５ｃ、６５ｄを露光マスク８５ａ、８５ｂ越しに露光する。さらに、露光されたレジスト膜６５ｃ、６５ｄに像を形成するためにレジスト膜６５ｃ、６５ｄを現像する（現像工程）。以上のようにして、図１５に示すように、長尺金属板６４の第１面６４ａ上にレジストパターン（単に、レジストとも呼ぶ）６５ａを形成し、長尺金属板６４の第２面６４ｂ上にレジストパターン（単に、レジストとも呼ぶ）６５ｂを形成することができる。なお現像工程は、レジスト膜６５ｃ、６５ｄの硬度を高めるためのレジスト熱処理工程を含んでいてもよい。
【００９０】
次に、図１６に示すように、長尺金属板６４上に形成されたレジストパターン６５ｂをマスクとして、エッチング液（例えば塩化第二鉄溶液）を用いて、長尺金属板６４の第２面６４ｂ側からエッチングする。例えば、エッチング液が、搬送される長尺金属板６４の第２面６４ｂに対面する側に配置されたノズルから、レジストパターン６５ｂ越しに長尺金属板６４の第２面６４ｂに向けて噴射される。この結果、図１６に示すように、長尺金属板６４のうちのレジストパターン６５ｂによって覆われていない領域で、エッチング液による浸食が進む。以上のようにして、第２面６４ｂの側から長尺金属板６４に多数の第２凹部３５が形成される。
【００９１】
その後、図１７に示すように、エッチング液に対する耐性を有した樹脂６９によって、形成された第２凹部３５が被覆される。すなわち、エッチング液に対する耐性を有した樹脂６９によって、第２凹部３５が封止される。図１７に示す例において、樹脂６９の膜が、形成された第２凹部３５だけでなく、第２面６４ｂ（レジストパターン６５ｂ）も覆うように形成されている。
【００９２】
次に、図１８に示すように、長尺金属板６４に対して第２回目のエッチングを行う。第２回目のエッチングにおいて、長尺金属板６４は第１面６４ａの側のみからエッチングされ、第１面６４ａの側から第１凹部３０の形成が進行していく。長尺金属板６４の第２面６４ｂの側には、エッチング液に対する耐性を有した樹脂６９が被覆されているからである。したがって、第１回目のエッチングにより所望の形状に形成された第２凹部３５の形状が損なわれてしまうことはない。
【００９３】
エッチングによる浸食は、長尺金属板６４のうちのエッチング液に触れている部分において行われていく。従って、浸食は、長尺金属板６４の法線方向（厚み方向）のみに進むのではなく、長尺金属板６４の板面に沿った方向にも進んでいく。この結果、図１９に示すように、エッチングが長尺金属板６４の法線方向に進んで第１凹部３０が第２凹部３５と接続するだけでなく、レジストパターン６５ａの隣り合う二つの孔６６ａに対面する位置にそれぞれ形成された二つの第１凹部３０が、二つの孔６６ａの間に位置するブリッジ部６７ａの裏側において、合流する。
【００９４】
図２０に示すように、長尺金属板６４の第１面６４ａの側からのエッチングがさらに進む。図２０に示すように、隣り合う二つの第１凹部３０が合流してなる合流部分４３がレジストパターン６５ａから離間して、レジストパターン６５ａ下となる当該合流部分４３において、エッチングによる浸食が金属板６４の法線方向（厚さ方向）にも進む。これにより、蒸着マスクの法線方向に沿った一方の側へ向けて尖っていた合流部分４３が、蒸着マスクの法線方向に沿った一方の側からエッチングされ、図２０に示すように面取される。これにより、第１凹部３０の壁面３１が蒸着マスクの法線方向に対してなす傾斜角度θ１を増大させることができる。
【００９５】
このようにして、エッチングによる長尺金属板６４の第１面６４ａの浸食が、長尺金属板６４の有効領域２２をなすようになる全領域内において、進む。これにより、有効領域２２をなすようになる領域内における長尺金属板６４の法線方向に沿った最大厚みＴａが、エッチング前における長尺金属板６４の最大厚みＴｂより薄くなる。
【００９６】
以上のようにして、長尺金属板６４の第１面６４ａの側からのエッチングが予め設定した量だけ進んで、長尺金属板６４に対する第２回目のエッチングが終了する。このとき、第１凹部３０は長尺金属板６４の厚さ方向に沿って第２凹部３５に到達する位置まで延びており、これにより、互いに通じ合っている第１凹部３０および第２凹部３５によって貫通孔２５が長尺金属板６４に形成される。
【００９７】
なお、長尺金属板６４の第１面６４ａに第１凹部３０を形成するための第２回目のエッチング工程の際、上述のように、幅方向Ｄ２における長尺金属板６４の位置に応じて、エッチング条件を異ならせてもよい。例えば、エッチング液を噴射するノズルの位置（ノズルの先端から長尺金属板６４の第１面６４ａまでの距離）や、噴射されるエッチング液の圧力を、幅方向Ｄ２における長尺金属板６４の位置に応じて異ならせてもよい。これによって、幅方向Ｄ２において長尺金属板６４の板厚がばらつく場合であっても、異なる板厚の場所に形成される貫通孔２５の寸法や形状に差異が生じることを抑制することができる。
【００９８】
その後、図２１に示すように、長尺金属板６４から樹脂６９が除去される。樹脂膜６９は、例えばアルカリ系剥離液を用いることによって、除去することができる。アルカリ系剥離液が用いられる場合、図２１に示すように、樹脂６９と同時にレジストパターン６５ａ，６５ｂも除去される。なお、樹脂６９を除去した後、樹脂６９とは別途にレジストパターン６５ａ，６５ｂを除去してもよい。
【００９９】
このようにして多数の貫通孔２５を形成された長尺金属板６４は、当該長尺金属板６４を狭持した状態で回転する搬送ローラー７２，７２により、切断装置（切断手段）７３へ搬送される。なお、この搬送ローラー７２，７２の回転によって長尺金属板６４に作用するテンション（引っ張り応力）を介し、上述した供給コア６１が回転させられ、巻き体６２から長尺金属板６４が供給されるようになっている。
【０１００】
その後、多数の凹部６１が形成された長尺金属板６４を切断装置（切断手段）７３によって所定の長さおよび幅に切断することにより、多数の貫通孔２５が形成された枚葉状の金属板２１が得られる。
【０１０１】
以上のようにして、多数の貫通孔２５を形成された金属板２１からなる蒸着マスク２０が得られる。ここで本実施の形態によれば、金属板２１の第１面２１ａは、有効領域２２の全域にわたってエッチングされている。このため、蒸着マスク２０の有効領域２２の厚みを小さくし、かつ、第１面２１ａ側に形成される二つの第１凹部３０の壁面３１の先端縁３２が合流する部分４３の外輪郭を、面取された形状とすることができる。従って、上述の角度θ１を大きくすることができ、このことにより、蒸着材料の利用効率を向上させることができる。
【０１０２】
また本実施の形態によれば、上述の条件（１），（２）により、蒸着マスク２０の製造工程においては、長手方向Ｄ１および幅方向Ｄ２の両方において板厚のばらつきが一定の値以下である長尺金属板６４が用いられている。このため、蒸着マスク２０の貫通孔２５の寸法が、長尺金属板６４における蒸着マスク２０の割り付け場所に依存してばらつくことを抑制することができる。このため、高い品質を有する蒸着マスク２０を安定に製造することができる。
【０１０３】
（蒸着方法）
次に、得られた蒸着マスク２０を用いてガラス基板９２上に蒸着材料を蒸着させる方法について説明する。はじめに図２に示すように、蒸着マスク２０の第２面２０ｂを基板９２の面に密着させる。この際、図示しない磁石などを用いて、蒸着マスク２０の第２面２０ｂを基板９２の面に密着させてもよい。また図１に示すように、複数の蒸着マスク２０をフレーム１５に張設することによって、蒸着マスク２０の面がガラス基板９２の面に平行になるようにする。その後、るつぼ９４内の蒸着材料９８を加熱することにより、蒸着材料９８を気化または昇華させる。気化または昇華した蒸着材料９８は、蒸着マスク２０の貫通孔２５を通ってガラス基板９２に付着する。この結果、蒸着マスク２０の貫通孔２５の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料９８がガラス基板９２の表面に成膜される。
【０１０４】
ここで本実施の形態によれば、上述の条件（１），（２）により、蒸着マスク２０の貫通孔２５の寸法のばらつきが抑制されている。このため、蒸着によって有機ＥＬ表示装置の画素を形成する場合、有機ＥＬ表示装置の画素の寸法精度を高めることができる。このことにより、高精細な有機ＥＬ表示装置を作製することが可能になる。
【０１０５】
なお本実施の形態において、金属板２１の第１面２１ａが、有効領域２２の全域にわたってエッチングされる例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、有効領域２２の一部においてのみ金属板２１の第１面２１ａがエッチングされてもよい。
【０１０６】
また本実施の形態において、長尺金属板６４の幅方向に複数の蒸着マスク２０が割り付けられる例を示した。また、蒸着工程において、複数の蒸着マスク２０がフレーム１５に取り付けられる例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図２２に示すように、金属板２１の幅方向および長手方向の両方に沿って格子状に配置された複数の有効領域２２を有する蒸着マスク２０が用いられてもよい。この場合であっても、上記の条件（１）、（２）を満たす長尺金属板６４を用いることにより、蒸着マスク２０の貫通孔２５の寸法が、長尺金属板６４での場所に依存してばらつくことを抑制することができる。
【実施例】
【０１０７】
次に、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例の記載に限定されるものではない。
【０１０８】
実施例１
（第１１巻き体および第１１マスク）
上述の条件（１）が有効であることを確認するための評価を実施した。具体的には、はじめに、ニッケルを含む鉄合金から構成された母材を準備した。次に、母材に対して上述の圧延工程、スリット工程、アニール工程および切断工程を実施することにより、長尺金属板が巻き取られた巻き体（第１１巻き体）を製造した。なお、長尺金属板の板厚の目標仕様値は２０μｍとした。
【０１０９】
具体的には、はじめに、第１熱間圧延工程および第１冷間圧延工程をこの順で行う第１圧延工程を実施し、次に、長尺金属板の幅方向における両端をそれぞれ３ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下の範囲にわたって切り落とす第１スリット工程を実施し、その後、４００〜６００℃の温度範囲内で４０〜１００秒にわたって長尺金属板を連続焼鈍する第１アニール工程を実施した。さらに、第１アニール工程を経た長尺金属板に対して、第２冷間圧延工程を含む第２圧延工程を実施し、次に、長尺金属板の幅方向における両端をそれぞれ３ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下の範囲にわたって切り落とす第２スリット工程を実施し、その後、４００〜６００℃の温度範囲内で４０〜１００秒にわたって長尺金属板を連続焼鈍する第２アニール工程を実施した。これによって、約４００ｍの長さおよび約６００ｍｍの幅を有する長尺金属板を得た。その後、長尺金属板の幅方向における両端をそれぞれ所定範囲にわたって切り落とし、これによって、長尺金属板の幅を所望の幅、具体的には５００ｍｍ幅に最終的に調整する切断工程を実施した。
【０１１０】
なお、上述の冷間圧延工程においては、バックアップローラーを用いた圧力調整を行った。具体的には、長尺金属板の形状が左右対称になるよう、圧延機のバックアップローラー形状、および、圧力を調整した。また、冷間圧延工程は、圧延油、例えば灯油を用いてクーリングしながら行った。冷間圧延工程の後には、炭化水素系の洗浄剤で長尺金属板を洗浄する洗浄工程を行った。洗浄工程の後には、上述のスリット工程を実施した。
【０１１１】
その後、幅方向の中央部における長尺金属板の板厚を、長手方向に沿って多数の箇所で測定した。長尺金属板の長手方向における測定箇所の間隔は、５０〜５００ｍｍの範囲内であった。測定器としては、圧延工程が実施されるラインにおいてインラインで長尺金属板の板厚を測定できるように構成された波長分散型ＸＲＦ装置を用いた。結果、長手方向における長尺金属板の板厚の平均値（以下、Ａという符号で表すこともある）は２０．０μｍであり、長手方向における長尺金属板の板厚の標準偏差に３を掛けた値（以下、３σやＢという符号で表すこともある）は０．２μｍであった。
【０１１２】
次に、上述の第１１巻き体の長尺金属板を用いて、多数の貫通孔が形成された蒸着マスク２０（以下、第１１マスクと称する）を製造した。具体的には、長尺金属板の幅方向Ｄ２に沿って５本の第１１マスクを割り付け、かつ、長尺金属板の長手方向Ｄ１に沿って多数の（少なくとも１０本以上の）第１１マスクを割り付けることにより、少なくとも５０本の第１１マスクを製造した。各第１１マスクの貫通孔の寸法の目標仕様値は、３０μｍ×３０μｍとした。
【０１１３】
次に、製造された多数の第１１マスクのうち、長尺金属板の幅方向Ｄ２の中央部に割り付けられた１０本の第１１マスクについて、貫通孔の寸法を測定した。各第１１マスク２０における貫通孔の寸法の測定箇所は、４５箇所とした。具体的には、図２３に示すように、第１１マスク（蒸着マスク２０）の長手方向に沿って並ぶ５つの有効領域２２のそれぞれにおいて、貫通孔２５の寸法を９箇所で測定した。９点の測定箇所１０１は、例えば図２３に示すように、有効領域２２の中央部および端部に均等に設定した。
【０１１４】
貫通孔の寸法の測定方法においては、はじめに、第１１マスクおよび基板を準備し、次に、第１１マスクの第１面側から第１１マスクに向けて光を照射した。このとき、基板上には、第１１マスクの貫通孔を通過した光によって照射される光照射領域が形成される。この光照射領域の寸法を、貫通孔の寸法として測定した。
【０１１５】
１０本の第１１マスクについて、合計４５０箇所で貫通孔の寸法を測定し、貫通孔の寸法のばらつき（寸法の標準偏差に３を掛けた値）を算出した。結果、貫通孔の寸法のばらつきは１．５μｍであった。
【０１１６】
（第１２〜第１７巻き体および第１２〜第１７マスク）
第１１巻き体の場合と同様にして、ニッケルを含む鉄合金から構成された母材を用いて、第１２〜第１７巻き体を製造した。第１２〜第１７巻き体の長尺金属板の板厚の目標仕様値は２０μｍとした。また、第１１巻き体の場合と同様にして、幅方向の中央部における長尺金属板の板厚を、長手方向に沿って多数の箇所で測定した。さらに、第１１巻き体の場合と同様にして、第１２〜第１７巻き体の長尺金属板を用いて、多数の貫通孔が形成された蒸着マスク（以下、第１２〜第１７マスクと称する）を製造した。また、第１１マスクの場合と同様にして、貫通孔の寸法を測定した。第１２〜第１７巻き体の長尺金属板の板厚の、長手方向における平均値ＡおよびばらつきＢを、第１１巻き体の長尺金属板の板厚の、長手方向における平均値ＡおよびばらつきＢと併せて図２４（ａ）に示す。また、第１２〜第１７マスクの貫通孔の寸法のばらつきを、第１１マスクの貫通孔の寸法のばらつきと併せて図２５（ａ）に示す。
【０１１７】
図２４（ａ）に示すように、第１１〜第１５巻き体においては、上述の条件（１）が満たされていた。すなわち、長手方向における板厚のばらつきＡを、長手方向における板厚の平均値Ａで割った値の百分率が、５％以下になっていた。一方、第１６，１７巻き体においては、上述の条件（１）が満たされていなかった。また図２５（ａ）に示すように、第１１〜第１５巻き体の長尺金属板から得られた第１１〜第１５マスクにおいては、貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍ以下に抑制されており、一方、第１６，１７巻き体の長尺金属板から得られた第１６，１７マスクにおいては、貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍを超えていた。
【０１１８】
４５０ｐｐｉ以上の画素密度の有機ＥＬ表示装置を作製するためには、蒸着マスク２０の貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍ以下であることが好ましい。図２４（ａ）および図２５（ａ）から分かるように、本実施例においては、上述の条件（１）が満たされていれば、長手方向における寸法のばらつきが許容範囲内に抑制された貫通孔を備える蒸着マスクを製造することができた。すなわち上述の条件（１）は、長尺金属板を選別するための有力な判断手法であると考える。
【０１１９】
実施例２
長尺金属板の板厚の目標仕様値を２５μｍとしたこと以外は、上述の実施例１の場合と同様にして、第２１〜第２７巻き体を製造した。また、貫通孔の寸法の目標仕様値を４０μｍ×４０μｍとしたこと以外は、上述の実施例１の場合と同様にして、第２１〜第２７巻き体の長尺金属板を用いて第２１〜第２７マスクを製造した。また実施例１の場合と同様にして、幅方向の中央部における第２１〜第２７巻き体の長尺金属板の板厚を、長手方向に沿って多数の箇所で測定した。また実施例１の場合と同様にして、第２１〜第２７マスクの貫通孔の寸法を測定した。第２１〜第２７巻き体の長尺金属板の板厚の、長手方向における平均値ＡおよびばらつきＢを図２４（ｂ）に示す。また、第２１〜第２７マスクの貫通孔の寸法のばらつきを図２５（ｂ）に示す。
【０１２０】
図２４（ｂ）に示すように、第２１〜第２５巻き体においては、上述の条件（１）が満たされていた。一方、第２６，２７巻き体においては、上述の条件（１）が満たされていなかった。また図２５（ｂ）に示すように、第２１〜第２５巻き体の長尺金属板から得られた第２１〜第２５マスクにおいては、貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍ以下に抑制されており、一方、第２６，２７巻き体の長尺金属板から得られた第２６，２７マスクにおいては、貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍを超えていた。このように、長尺金属板の板厚の目標仕様値が２５μｍの場合にも、上述の条件（１）は、長尺金属板を選別するための有力な判断手法であると言える。
【０１２１】
実施例３
長尺金属板の板厚の目標仕様値を４０μｍとしたこと以外は、上述の実施例１の場合と同様にして、第３１〜第３７巻き体を製造した。また、貫通孔の寸法の目標仕様値を６０μｍ×６０μｍとしたこと以外は、上述の実施例１の場合と同様にして、第３１〜第３７巻き体の長尺金属板を用いて第３１〜第３７マスクを製造した。また実施例１の場合と同様にして、幅方向の中央部における第３１〜第３７巻き体の長尺金属板の板厚を、長手方向に沿って多数の箇所で測定した。また実施例１の場合と同様にして、第３１〜第３７マスクの貫通孔の寸法を測定した。第３１〜第３７巻き体の長尺金属板の板厚の、長手方向における平均値ＡおよびばらつきＢを図２４（ｃ）に示す。また、第３１〜第３７マスクの貫通孔の寸法のばらつきを図２５（ｃ）に示す。
【０１２２】
図２４（ｃ）に示すように、第３１〜第３５巻き体においては、上述の条件（１）が満たされていた。一方、第２６，２７巻き体においては、上述の条件（１）が満たされていなかった。また図２５（ｃ）に示すように、第３１〜第３５巻き体の長尺金属板から得られた第３１〜第３５マスクにおいては、貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍ以下に抑制されており、一方、第３６，３７巻き体の長尺金属板から得られた第３６，３７マスクにおいては、貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍを超えていた。このように、長尺金属板の板厚の目標仕様値が４０μｍの場合にも、上述の条件（１）は、長尺金属板を選別するための有力な判断手法であると言える。
【０１２３】
実施例４
上述の条件（１）が、長手方向Ｄ１における長尺金属板の平均板厚が目標仕様値からどの程度ずれた場合にまで有効であるかどうかを判定するための評価を実施した。具体的には、図２６（ａ）に示すように、目標仕様値である２０μｍの周辺の平均板厚を有する第４１〜第４７巻き体を準備した。この際、図２６（ａ）に示すように、長手方向Ｄ１における長尺金属板の板厚のばらつきが上述の条件（１）の上限近傍になるような、具体的には（板厚のばらつきＢ／板厚の平均値Ａ）×１００（％）が約５％となるような巻き体を選んだ。図２６（ａ）には、第４１〜第４７巻き体に関して、長手方向Ｄ１における長尺金属板の平均板厚Ａ、長手方向Ｄ１における長尺金属板の板厚のばらつきＢ、および（Ｂ／Ａ）×１００（％）が示されている。また図２６（ａ）には、長手方向Ｄ１における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれを表す、｛（Ａ−２０）／２０｝×１００（％）の値も示されている。
【０１２４】
また、上述の実施例１の場合と同様にして、第４１〜第４７巻き体の長尺金属板を用いて第４１〜第４７マスクを製造した。さらに、実施例１の場合と同様にして、第４１〜第４７マスクの貫通孔の寸法を測定した。第４１〜第４７マスクの貫通孔の寸法のばらつきを図２７（ａ）に示す。ところで、長尺金属板の板厚が目標仕様値よりも小さい場合、図８Ａを参照して説明したように、隣接する２つの貫通孔２５の第１凹部３０の壁面３１の先端縁３２の間には、切り立った形状の部分４３、いわゆるトップ部４３ａが残ることがある。図２７（ａ）には、このようなトップ部４３ａが観察された場合の、観察されたトップ部４３ａの幅の最大値も併せて示されている。４５０ｐｐｉ以上の画素密度の有機ＥＬ表示装置を作製するためには、蒸着マスク２０のトップ部４３ａが存在しないか、存在する場合であってもトップ部４３ａの幅が２．０μｍ以下であることが好ましい。
【０１２５】
図２７（ａ）に示すように、第４２〜第４６マスクにおいては、貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍ以下に抑制されており、かつ、トップ部の幅が２．０μｍ以下に抑制されていた。また、第４２〜第４６マスクを作製するために用いた第４２〜第４６巻き体においては、図２６（ａ）に示すように、長手方向Ｄ１における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれが、−３％〜＋３％の範囲内となっていた。
一方、第４１マスクにおいては、図２７（ａ）に示すように、トップ部の幅が２．０μｍを超えていた。また、第４１マスクを作製するために用いた第４１巻き体においては、長手方向Ｄ１における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれが、−３％〜＋３％の範囲外となっていた。
また第４７マスクにおいては、図２７（ａ）に示すように、貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍを超えていた。また、第４７マスクを作製するために用いた第４７巻き体においては、長手方向Ｄ１における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれが、−３％〜＋３％の範囲外となっていた。
これらのことから、上述の条件（１）が有効に機能するためには、長手方向Ｄ１における長尺金属板の平均板厚の目標仕様値からのずれが、−３％〜＋３％の範囲内であることが必要であると言える。
【０１２６】
実施例５
長尺金属板の板厚の目標仕様値を２５μｍとしたこと以外は、上述の実施例４の場合と同様にして、第５１〜第５７巻き体を準備した。また、貫通孔の寸法の目標仕様値を４０μｍ×４０μｍとしたこと以外は、上述の実施例４の場合と同様にして、第５１〜第５７巻き体の長尺金属板を用いて第５１〜第５７マスクを製造した。また実施例４の場合と同様にして、幅方向の中央部における第５１〜第５７巻き体の長尺金属板の板厚を、長手方向に沿って多数の箇所で測定した。また実施例４の場合と同様にして、第５１〜第５７マスクの貫通孔の寸法およびトップ部の幅を測定した。第５１〜第５７巻き体の長尺金属板の板厚の、長手方向における平均値ＡおよびばらつきＢを図２６（ｂ）に示す。図２６（ｂ）には、長手方向Ｄ１における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれを表す、｛（Ａ−２５）／２５｝×１００（％）の値も示されている。また、第５１〜第５７マスクの貫通孔の寸法のばらつき、およびトップ部の最大寸法を図２７（ｂ）に示す。
【０１２７】
図２７（ｂ）に示すように、第５２〜第５５マスクにおいては、貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍ以下に抑制されており、かつ、トップ部の幅が２．０μｍ以下に抑制されていた。また、第５２〜第５５マスクを作製するために用いた第５２〜第５５巻き体においては、図２６（ｂ）に示すように、長手方向Ｄ１における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれが、−３％〜＋３％の範囲内となっていた。
一方、第５１マスクにおいては、図２７（ｂ）に示すように、トップ部の幅が２．０μｍを超えていた。また、第５１マスクを作製するために用いた第５１巻き体においては、長手方向Ｄ１における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれが、−３％〜＋３％の範囲外となっていた。
また第５６および第５７マスクにおいては、図２７（ｂ）に示すように、貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍを超えていた。また、第５６および第５７マスクを作製するために用いた第５６および第５７巻き体においては、長手方向Ｄ１における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれが、−３％〜＋３％の範囲外となっていた。
これらのことから、長尺金属板の板厚の目標仕様値が２５μｍの場合にも、上述の条件（１）が有効に機能するためには、長手方向Ｄ１における長尺金属板の平均板厚の目標仕様値からのずれが、−３％〜＋３％の範囲内であることが必要であると言える。
【０１２８】
実施例６
長尺金属板の板厚の目標仕様値を４０μｍとしたこと以外は、上述の実施例５の場合と同様にして、第６１〜第６７巻き体を準備した。また、貫通孔の寸法の目標仕様値を６０μｍ×６０μｍとしたこと以外は、上述の実施例４の場合と同様にして、第６１〜第６７巻き体の長尺金属板を用いて第６１〜第６７マスクを製造した。また実施例４の場合と同様にして、幅方向の中央部における第６１〜第６７巻き体の長尺金属板の板厚を、長手方向に沿って多数の箇所で測定した。また実施例４の場合と同様にして、第６１〜第６７マスクの貫通孔の寸法およびトップ部の幅を測定した。第６１〜第６７巻き体の長尺金属板の板厚の、長手方向における平均値ＡおよびばらつきＢを図２６（ｃ）に示す。図２６（ｃ）には、長手方向Ｄ１における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれを表す、｛（Ａ−４０）／４０｝×１００（％）の値も示されている。また、第６１〜第６７マスクの貫通孔の寸法のばらつき、およびトップ部の最大寸法を図２７（ｃ）に示す。
【０１２９】
図２７（ｃ）に示すように、第６２〜第６５マスクにおいては、貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍ以下に抑制されており、かつ、トップ部の幅が２．０μｍ以下に抑制されていた。また、第６２〜第６５マスクを作製するために用いた第６２〜第６５巻き体においては、図２６（ｃ）に示すように、長手方向Ｄ１における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれが、−３％〜＋３％の範囲内となっていた。
一方、第６１マスクにおいては、図２７（ｃ）に示すように、トップ部の幅が２．０μｍを超えていた。また、第６１マスクを作製するために用いた第６１巻き体においては、長手方向Ｄ１における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれが、−３％〜＋３％の範囲外となっていた。
また第６６および第６７マスクにおいては、図２７（ｃ）に示すように、貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍを超えていた。また、第６６および第６７マスクを作製するために用いた第６６および第６７巻き体においては、長手方向Ｄ１における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれが、−３％〜＋３％の範囲外となっていた。
これらのことから、長尺金属板の板厚の目標仕様値が４０μｍの場合にも、上述の条件（１）が有効に機能するためには、長手方向Ｄ１における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれが、−３％〜＋３％の範囲内であることが必要であると言える。
【０１３０】
実施例７
上述の条件（２）が有効であることを確認するための評価を実施した。具体的には、図２９（ａ）に示すように、目標仕様値である２０μｍから約３％ずれた平均板厚を有する第７１〜第７９巻き体を準備した。この際、図２９（ａ）に示すように、長手方向Ｄ１における長尺金属板の板厚のばらつきが上述の条件（１）の上限近傍になるような、具体的には（板厚のばらつきＢ／板厚の平均値Ａ）×１００（％）が約５％となるような巻き体を選んだ。
【０１３１】
第７１〜第７９巻き体の長尺金属板の板厚を、幅方向に沿って複数の箇所で測定した。具体的には、図２８に示すように、長尺金属板６４の長手方向Ｄ１での第１端部６４ｅ近傍の所定領域内において、２７点の測定箇所１０２で板厚を測定した。これらの測定箇所１０２は、例えば、第１端部６４ｅ近傍において、長手方向Ｄ１における距離Ｓ１の範囲と、幅方向Ｄ２における距離Ｓ２の範囲とによって画定される所定領域内に存在している。距離Ｓ１および距離Ｓ２は、ここでは５００ｍｍに設定した。また測定箇所１０２は、長手方向Ｄ１に沿って長尺金属板６４上を延びる９本の仮想的な直線、および、幅方向Ｄ２に沿って長尺金属板６４上を延びる３本の仮想的な直線との交点として画定した。なお図２８において、複数の測定箇所１０２のうち、幅方向Ｄ２における長尺金属板６４の中央部に位置する測定箇所が、符号１０３で示されている。測定箇所１０３は、幅方向Ｄ２において、距離Ｓ２の範囲の中心に位置する箇所である。また測定箇所１０３は、長手方向Ｄ１において、距離Ｓ１の範囲の中心に位置する箇所でもある。
また本実施例においては、図２８に示すように、第１端部６４ｅ近傍の所定領域内の２７点の測定箇所１０２だけでなく、長尺金属板６４の長手方向Ｄ１での第２端部６４ｆ近傍の所定領域内の同様の２７点の測定箇所１０２においても、長尺金属板６４の板厚を測定した。そして、第１端部６４ｅ近傍の所定領域内での板厚のばらつき（標準偏差に３を掛けた値）、および、第２端部６４ｆ近傍の所定領域内での板厚のばらつき（標準偏差に３を掛けた値）をそれぞれ算出した。算出された板厚のばらつきのうち、いずれか大きい方の値を、図２９（ａ）に、「幅方向Ｄ２での板厚のばらつきＣ」として記載している。また、幅方向Ｄ２における長尺金属板６４の板厚の標準偏差を算出するために幅方向Ｄ２に沿って長尺金属板６４の板厚を２７点の測定箇所１０２で測定する際に得られる、幅方向Ｄ２の中央部の測定箇所１０３における長尺金属板６４の板厚の値を、図２９（ａ）に、「幅方向Ｄ２の中央部での板厚Ｘ」として記載している。
【０１３２】
また、実施例１の場合と同様にして、第７１〜第７９巻き体の長尺金属板を用いて、多数の貫通孔が形成された蒸着マスク（以下、第７１〜第７９マスクと称する）を製造した。この際、幅方向における長尺金属板の板厚のばらつきに起因する蒸着マスクの貫通孔の寸法のばらつきを可能な限り抑制するよう、長尺金属板の幅方向に沿って並ぶエッチング液噴射用の複数のノズルの位置を適切に調整した。また、第７１〜第７９マスクの貫通孔の寸法を測定した。本実施例においては、製造された多数の蒸着マスクのうち、長尺金属板の幅方向に沿って割り付けられた５本のマスクを、長手方向に沿って１０セット分取り出して、貫通孔の寸法を測定した。すなわち、第７１〜第７９マスクに関してそれぞれ、５０本のマスクを用いて貫通孔の寸法の測定を行った。１本のマスクにおける貫通孔の寸法の測定箇所は上述のとおり４５箇所なので、第７１〜第７９マスクにおける貫通孔の寸法の測定のＮ数はそれぞれ２２５０になる。第７１〜第７９マスクの貫通孔の寸法のばらつきの算出結果を図３０（ａ）に示す。
【０１３３】
図２９（ａ）に示すように、第７１，第７２，第７４，第７５，第７７および第７８巻き体においては、上述の条件（２）が満たされていた。すなわち、幅方向Ｄ２における板厚のばらつきＣを、幅方向Ｄ２の中央部での板厚Ｘで割った値の百分率が、３％以下になっていた。一方、第７３，第７６および第７９巻き体においては、上述の条件（２）が満たされていなかった。また図３０（ａ）に示すように、第７１，第７２，第７４，第７５，第７７および第７８巻き体の長尺金属板から得られた第７１，第７２，第７４，第７５，第７７および第７８マスクにおいては、貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍ以下に抑制されており、一方、第７３，第７６および第７９巻き体の長尺金属板から得られた第７３，第７６および第７９マスクにおいては、貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍを超えていた。
【０１３４】
このように本実施例においては、上述の条件（２）を満たす長尺金属板を用いることにより、幅方向における貫通孔の寸法のばらつきが許容範囲内に抑制された貫通孔を備える蒸着マスクを製造することができた。すなわち上述の条件（２）は、長尺金属板を選別するための有力な判断手法であると考える。
【０１３５】
実施例８
長尺金属板の板厚の目標仕様値を２５μｍとしたこと以外は、上述の実施例７の場合と同様にして、第８１〜第８９巻き体を製造した。また、貫通孔の寸法の目標仕様値を４０μｍ×４０μｍとしたこと以外は、上述の実施例７の場合と同様にして、第８１〜第８９巻き体の長尺金属板を用いて第８１〜第８９マスクを製造した。また実施例７の場合と同様にして、第８１〜第８９巻き体の長尺金属板の板厚を、幅方向に沿って多数の箇所で測定した。また実施例７の場合と同様にして、第８１〜第８９マスクの貫通孔の寸法を測定した。第８１〜第８９巻き体の長尺金属板の板厚の、幅方向におけるばらつきＣ、および幅方向の中央部での板厚Ｘを、長手方向における板厚の平均値ＡおよびばらつきＢと併せて図２９（ｂ）に示す。また、第８１〜第８９マスクの貫通孔の寸法のばらつきを図３０（ｂ）に示す。
【０１３６】
図２９（ｂ）に示すように、第８１，第８２，第８４，第８５，第８７および第８８巻き体においては、上述の条件（２）が満たされていた。一方、第８３，第８６および第８９巻き体においては、上述の条件（２）が満たされていなかった。また図３０（ｂ）に示すように、第８１，第８２，第８４，第８５，第８７および第８８巻き体の長尺金属板から得られた第８１，第８２，第８４，第８５，第８７および第８８マスクにおいては、貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍ以下に抑制されており、一方、第８３，第８６および第８９巻き体の長尺金属板から得られた第８３，第８６および第８９マスクにおいては、貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍを超えていた。このように、長尺金属板の板厚の目標仕様値が２５μｍの場合にも、上述の条件（２）は、長尺金属板を選別するための有力な判断手法であると言える。
【０１３７】
実施例９
長尺金属板の板厚の目標仕様値を４０μｍとしたこと以外は、上述の実施例７の場合と同様にして、第９１〜第９９巻き体を製造した。また、貫通孔の寸法の目標仕様値を６０μｍ×６０μｍとしたこと以外は、上述の実施例７の場合と同様にして、第９１〜第９９巻き体の長尺金属板を用いて第９１〜第９９マスクを製造した。また実施例７の場合と同様にして、第９１〜第９９巻き体の長尺金属板の板厚を、幅方向に沿って多数の箇所で測定した。また実施例７の場合と同様にして、第９１〜第９９マスクの貫通孔の寸法を測定した。第９１〜第９９巻き体の長尺金属板の板厚の、幅方向におけるばらつきＣ、および幅方向の中央部での板厚Ｘを、長手方向における板厚の平均値ＡおよびばらつきＢと併せて図２９（ｃ）に示す。また、第９１〜第９９マスクの貫通孔の寸法のばらつきを図３０（ｃ）に示す。
【０１３８】
図２９（ｃ）に示すように、第９１，第９２，第９４，第９５，第９７および第９８巻き体においては、上述の条件（２）が満たされていた。一方、第９３，第９６および第９９巻き体においては、上述の条件（２）が満たされていなかった。また図３０（ｃ）に示すように、第９１，第９２，第９４，第９５，第９７および第９８巻き体の長尺金属板から得られた第９１，第９２，第９４，第９５，第９７および第９８マスクにおいては、貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍ以下に抑制されており、一方、第９３，第９６および第９９巻き体の長尺金属板から得られた第９３，第９６および第９９マスクにおいては、貫通孔の寸法のばらつきが２．０μｍを超えていた。このように、長尺金属板の板厚の目標仕様値が４０μｍの場合にも、上述の条件（２）は、長尺金属板を選別するための有力な判断手法であると言える。
【符号の説明】
【０１３９】
２０  蒸着マスク
２１  金属板
２１ａ  金属板の第１面
２１ｂ  金属板の第２面
２２  有効領域
２３  周囲領域
２５  貫通孔
３０  第１凹部
３１  壁面
３２  壁面の先端縁
３５  第２凹部
３６  壁面
４３ａ  トップ部
５５  母材
５６  圧延装置
５７  アニール装置
６１  コア
６２  巻き体
６４  長尺金属板
６５ａ，６５ｂ  レジストパターン
６５ｃ，６５ｄ  レジスト膜
【要約】
【課題】貫通孔の寸法のばらつきが抑制された蒸着マスクを作製することができる金属板を提供する。
【解決手段】長手方向における金属板の板厚の平均値は、所定値±３％の範囲内となっている。また、長手方向における金属板の板厚の平均値をＡとし、長手方向における金属板の板厚の標準偏差に３を掛けた値をＢとするとき、（Ｂ／Ａ）×１００（％）が５％以下になっている。さらに、幅方向における金属板の板厚の標準偏差に３を掛けた値をＣとし、幅方向における金属板の板厚の標準偏差を算出するために幅方向に沿って金属板の板厚を測定する際に得られる、幅方向の中央部における金属板の板厚の値をＸとするとき、（Ｃ／Ｘ）×１００（％）が３％以下になっている。
【選択図】図１【図１】
0005641462.tif 000002
【図２】
0005641462.tif 000003
【図３】
0005641462.tif 000004
【図４】
0005641462.tif 000005
【図５】
0005641462.tif 000006
【図６】
0005641462.tif 000007
【図７】
0005641462.tif 000008
【図８Ａ】
0005641462.tif 000009
【図８Ｂ】
0005641462.tif 000010
【図９】
0005641462.tif 000011
【図１０】
0005641462.tif 000012
【図１１Ａ】
0005641462.tif 000013
【図１１Ｂ】
0005641462.tif 000014
【図１２】
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【図１３】
0005641462.tif 000016
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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