(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム上にペーストの印刷を行うスクリーン印刷機において、
吸着ステージのフィルム載置面に複数のブロックに分割した吸着機構を設けられ、前記吸着ステージはフィルム送り方向のフィルム載置面の両端部側が半円形状に形成され、
前記吸着ステージのフィルム送り方向の上流側と下流側とにそれぞれ吸着部と上下に移動する上下移動機構を備えた補助ステージを設け、フィルム印刷時に前記上下移動機構を動作させ前記吸着ステージ面より前記補助ステージ面を下方に位置するように構成したことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
請求項１に記載のスクリーン印刷機において、
前記補助ステージには、フィルムの幅方向端面を前記補助ステージ上に押さえるフィルム上下押さえ機構と、幅方向にフィルムを引き伸ばすためのフィルム伸ばし機構を設けたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項３】
請求項２に記載のスクリーン印刷機において、前記上流側補助ステージの上流側及び下流側補助ステージの下流側に上下に移動する上下ローラを設け、フィルムを移動する時は上下ローラを上昇させ、フィルムを吸着ステージ及び補助ステージ面に接触させず移動できるようにしたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項４】
請求項１または２に記載のスクリーン印刷機において、
ボールネジとサーボモータによりスキージを上下移動可能とする第１のスキージ上下駆動機構と、エアシリンダにより前記スキージを上下移動可能とする第２のスキージ上下駆動機構とを備え、
前記第１のスキージ上下駆動機構でスキージをマスク面から任意の距離にまで移動させ、前記第２のスキージ上下駆動機構でスキージを任意の力でマスク面に押付ける押付力を作用させるか、又は、前記第２のスキージ上下駆動機構にはブレーキを作用させて第２のスキージ上下駆動機構ではスキージの上下を降下側でロックして前記第１のスキージ上下駆動機構でスキージをマスク面に接触させて、前記第１のスキージ上下駆動機構でスキージをマスク面に所定の押付力を作用させることを可能にしたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項５】
請求項４に記載のスクリーン印刷機において、
スクリーンを取付けた版枠を上下移動するための版枠上下移動機構と、前記吸着ステージ上のフィルムを前記スクリーンに位置合わせするために、前記吸着ステージをＸＹθ方向に移動させるＸＹθステージ機構とスクリーンとフィルムの位置合わせマークを撮像する上下２視野カメラと、前記上下２視野カメラを水平方向に移動させるためのカメラ駆動機構を備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項６】
請求項５に記載のスクリーン印刷機において、
前記フィルムを巻き出すフィルム巻き出し機構と、フィルムを任意の長さで引き出すフィルム送り機構と、印刷後のフィルムを巻き取るフィルム巻取り機構を備えた構成としたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項７】
フィルム巻き出し部から巻き出されたフィルムを吸着ステージまで送り出し、フィルム上にマスク上に形成された印刷パターンを印刷した後、乾燥部に送り出し、印刷パターンを乾燥させたのちに巻取り部に巻き取るスクリーン印刷方法において、
吸着ステージ上に送り出されたフィルムを吸着ステージのフィルム搬送方向の両端側に設けた補助ステージで吸引吸着保持し、かつ前記補助ステージに設けたフィルム端部把持部材でフィルム端部を保持してフィルムを幅方向に引き延ばし、前記補助ステージを前記吸着ステージ面より降下させて前記フィルムを吸着ステージ面に密着し、前記吸着ステージ面に設けた吸引吸着手段で吸着保持し、吸着ステージとマスクに設けた位置合わせマークを両方向撮像カメラにより撮像し、吸着ステージを水平方向に移動して位置合わせ後、マスクをフィルム面まで降下して、スキージを２段階で降下させ印刷を行うことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項８】
請求項７記載のスクリーン印刷方法において、
前記スキージにより印刷を行なった後、前記スキージをマスク面より離間させスクレーパを降下させて、マスク面上と一定の隙間を保ちながらマスク面上を水平方向に移動させてペーストを回収すると同時にマスク開口部内の目詰まりを防止することを特徴とするスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はフィルム面上に所定のパターンを印刷するためのスクリーン印刷機とそれを用いた印刷方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献１には、供給リールから繰出したフィルムにソルダーレジストを印刷塗布して巻取り回収する印刷装置が開示されている。
【０００３】
この従来例では、ソルダーレジストを印刷後、仮乾燥した後に巻き取っても印刷の剥離や擦れ落ちの不具合がなく巻き取れることを知り、専用の乾燥機を設けない構成としたものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３５６２６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来技術では、印刷時のフィルムに発生する皺による印刷不良の問題、印刷後乾燥前に、次のフィルムの部位に印刷する場合に、先に印刷した部位にスクリーン等が接触して印刷部を汚したり、剥離させるという課題に関しては何ら開示がない。
【０００６】
本願発明の目的は、印刷時にフィルム皺の発生を防止して、かつ、先に印刷したフィルム上の印刷物を汚すことなく印刷可能なフィルム印刷機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、フィルム上にペーストの印刷を行うスクリーン印刷機が、吸着ステージのフィルムを載置する面に設けた吸着口を、フィルム移動方向に対して直角方向を複数のブロックに分割して真空排気できる真空吸着機構として、吸着ステージのフィルム搬送方向のフィルム載置面の両端部側を半円形状に形成し、前記吸着ステージの両サイドに上下移動機構と吸着部とを備えた補助ステージを設けた構成とした。
【０００８】
また、補助ステージにフィルムの幅方向の両端部を把持して引き伸ばすフィルム伸ばし機構を設けた構成とした。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によると、フィルムが皺を発生することなくステージ上に保持して印刷が可能となり、かつ印刷後であって、乾燥前のフィルム上の印刷パターンにマスク等が触れることなく乾燥部に送り込めることで、印刷パターンが汚れやかすれ等が発生しない効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】フィルム印刷システムの全体構成を示す図である。
【図２】従来のフィルム印刷における問題点を説明する図である。
【図３】フィルム印刷部のステージ部近傍の概略構成を示す図である。
【図４】吸着ステージのフィルム幅方向断面の概略図である。
【図５】スキージヘッドの概略構成図である。
【図６】フィルム印刷の手順を示す図である。
【図７】図６の印刷手順の続きを示した図である。
【図８】補助ステージに設けたフィルム押し付け機構の動作手順を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１にフィルム印刷システムの全体構成の概略を示す。
【００１２】
本システムは図に示すように、ロール状に巻き取られているフィルム(印刷対象物)６をフィルム印刷機２に送り出すフィルム巻き出し機構部１と、フィルムに印刷を行うスクリーン印刷機を備えた印刷部２と、印刷部２で印刷されたフィルムを送り出すフィルム送り機構部３と、巻き出されたフィルム上の印刷パターンを乾燥させるために、フィルム移動経路を挟んでヒータ７の設置された乾燥部４と、乾燥された印刷パターンの形成されたフィルムを巻き取るフィルム巻き取り機構部５とから構成されている(ロールツーロール法)。
【００１３】
図２に一般的な印刷状況を示す。
【００１４】
印刷テーブルと印刷フィルム６の印刷時と移動時が同一平面上とすると図に示すように、フィルム移動方向の印刷領域（印刷パターン７０）をＬ１、隣接する印刷領域までの距離をＬ２マスク１０の大きさをＬ３とする。このような状態では、隣接する印刷領域までの距離Ｌ２がマスク１０の大きさＬ３との関係が次の状態で次に述べるような問題がある。
【００１５】
１．Ｌ２＜Ｌ３の場合、印刷したパターンが移動方向に１ピッチ移動したとき、マスクとパターンが接触しパターンにダメージを与える。
【００１６】
２．Ｌ２＞Ｌ３の場合、印刷したパターンがマスクと接触しないが歩留まりが悪くタクトタイムが長くなる。
【００１７】
従って本発明では、上記の２つ問題が発生しないようにフィルムを吸着保持して印刷を行う吸着ステージに加えて、印刷しない領域又は印刷済みの領域を吸着保持して、印刷時に吸着ステージよりも下方に位置する補助ステージを設けた構成としたものである。その詳細を以下説明する。
【００１８】
図３に印刷機のステージ部近傍の概要を示す。
【００１９】
フィルム印刷部２には、印刷機が設けてある。この印刷機はフィルム６を負圧により吸着保持する印刷テーブル(吸着ステージ)２１が設けてある。この吸着ステージ２１は水平方向（ＸＹθ方向）に移動させるために、図示はしていないがＸＹθテーブル上に載置されている。なお、吸着ステージ２１は上下方向には移動しないように構成してある。印刷前には、フィルム６が吸着ステージ面より上方（吸着ステージ面より約１０ｍｍ離れた位置）を移動するように構成してある。そして、吸着ステージ上部にフィルム６の印刷する面が位置するまで移動させる。また、この吸着ステージ２１の吸着面には複数の吸着口４５が設けてあり、これら複数の吸着口４５への負圧の供給はフィルム移動方向（矢印方向）に対して直角方向（幅方向）に複数の群に分けられており、群単位に負圧を供給できるようにしてある。フィルム吸着時には、ステージ２１の中央部から周辺に向かって吸着できるように負圧の供給を制御している。なお、図３にて説明するが、吸着ステージ２１の吸着口へ負圧を供給するために、負圧源と供給配管が吸着ステージ２１に接続されている。また吸着ステージ２１のフィルム６の移動方向のフィルムに接触する両端部であってフィルムに接触する面側は半径Ｒ（約３０ｍｍ〜１００ｍｍ）で半円形状に加工してある。
【００２０】
この吸着ステージ２１のフィルム移動方向の両側には補助ステージ２２ａ，２２ｂが設けてある。この補助ステージ２２ａ、２２ｂは補助ステージベース３８ａ、３８ｂ上に設けてあり、補助ステージベース３８ａ、３８ｂ上に設けたリニアレール３３ａ、３３ｂに沿ってフィルム搬送方向に移動できるようになっている。補助ステージは補助ステージに設けたプッシャー３４ａ、３４ｂによって、フィルム搬送方向へ移動するように構成してある。又、補助ステージのフィルム幅方向でその上部にはフィルムの幅方向両端部側にそれぞれフィルムを押えるためのフィルム押さえ３１ａ、３１ｂが設けてある。このフィルム押さえ３１ａ、３１ｂは補助ステージ２２ａ、２２ｂに設けたフィルム押え上下シリンダ３７ａ、３７ｂにより上下して、フィルム端部を補助ステージ面に挟んで押さえる構成となっている。さらに、このフィルム押さえはフィルム幅方向外側に向かってフィルムを広げる方向に移動可能に構成されている。この詳細は図７にて説明する。補助ステージベース３８ａ、３８ｂの下方には補助ステージ２２ａ、２２ｂを上下するための補助ステージ上下シリンダ３２ａ、３２ｂからなる補助ステージ上下機構が設けてある。さらに補助ステージ２２ａの後方(下流側)及び補助ステージ２２ｂの前方(上流側)には、フィルムを吸着ステージ２１面から一定の距離に保つための上下ローラ３９ａ、３９ｂが設けて有り、この上下ローラ３９ａ、３９ｂはシリンダによって上下するように構成されている。この上下ローラを降下させることによりフィルム６は補助ステージ２２ａ、２２ｂ面と吸着ステージ２１面に接触する構成にしてある。
【００２１】
なお、図示していないが、補助ステージ面にも複数の吸着口が設けてあり、フィルムを保持する時に吸着口に負圧を供給できるようになっている。
【００２２】
吸着ステージ２１にフィルムを吸着させる場合には、まず、フィルム６が補助ステージ２２ａ、２２ｂ面及び吸着ステージ２１面に接触するように上下ローラ３９ａ、３９ｂを降下させる。次に、補助ステージ２２ａ、２２ｂ面及び吸着ステージ２１面にフィルム６を吸着する。その後、補助ステージ２２ａ、２２ｂを降下させて吸着ステージ２１面より補助ステージ２２ａ、２２ｂ面が下方に位置するようにして、フィルム６を吸着ステージ面に押し付ける構成としてある。このようにフィルム６を吸着した状態で吸着ステージ２１面を補助ステージ２２ａ、２２ｂ面より上方に位置させた場合、フィルム６の水平方向に対するフィルム移動方向の角度θは約５〜３０度になる。先に述べたように吸着ステージの端部がＲ形状に加工されているために、補助ステージ２２ａ，２２ｂでフィルムを押し下げてもフィルムに傷が付かずに滑らかに皺を発生することなく支持することができる。
【００２３】
また、フィルム６の幅方向の両端部側を保持するフィルム押さえ３１ａ，３１ｂによってフィルム端部を把持することによって、フィルムの幅方向に皺が発生しないようにしている。なお、フィルムの搬送方向に発生する皺は、フィルムを負圧によって補助ステージに吸着保持して、補助ステージ２２ａ、２２ｂを吸着ステージ２１面より下方に降下させることで、フィルム６に張力を加えながら吸着ステージ面に密着させることによって、発生を抑制している。補助ステージの外側に配置した上下ローラ３９ａ、３９ｂは補助ステージを降下させた時にはフィルムに接触しない位置まで降下させておく。
【００２４】
図４に吸着ステージのフィルム幅方向の断面を示す。
【００２５】
図４に示すように吸着ステージ２１のステージ面には複数の吸着口４５が設けてあり、その下部には複数に区分されたチャンバ４１が設けてある。吸着口４５は多孔質材を用いてもよい。本図では吸着ステージ２１の幅方向にチャンバを３つのブロックに区分した場合の構成を示してある。それぞれのチャンバには負圧を供給する配管が設けてある。本図に示すように中央部のチャンバの配管及び左右２つチャンバへの配管にはそれぞれ真空弁４２が設けてあり、負圧の供給をこの真空弁の開閉を制御することでそれぞれのチャンバへの供給を制御している。又各配管は真空ポンプ４４に接続されている。フィルム６を吸着するとき先ず真空弁４２を開にし少し時間を遅らせ真空弁４３を開にすることで、中央から吸着が行なわれるためフィルム６の皺の発生を抑えて吸着することが可能である。
【００２６】
次に、スキージヘッドの構成に関して説明する。図５にスキージヘッドの概略構成の正面図を示す。図５（ａ）には正面断面図を（ｂ）には側面断面図を示してある。スキージヘッドには、スキージ６０ａやスクレーパ６０ｂをマスク面に降下させてマスク面に所定の押付力を作用させるための上下駆動機構が２種類設けてある。第１の駆動機構はボールネジ２９ｂと、サーボモータ２８から構成されており、スキージ駆動機構やスクレーパ機構を設けたヘッドフレーム２５を上下する構成となっている。また、第２の駆動機構はエアシリンダ２６ａ、２６ｂにより構成され、ヘッドフレーム２５に設けてある。この第２の駆動機構はスキージ用とスクレーパ用で別々に設けられている。ヘッドフレーム２５はスキージヘッド取り付けフレーム２９に設けてあり、このフレーム２９は、第３の駆動機構により、マスク１０面上を水平方向に移動できるように構成されている。フレーム２９の両端下部には、装置の架台に設けたビーム２７上を移動するようにリニアレール２４が設けてある。
【００２７】
又、先に述べたように、ヘッドフレーム２５にはスキージ６０ａや、スクレーパ６０ｂが設けてある。この駆動機構の動作には次の２種類がある。（１）スキージヘッドを第１のスキージ駆動機構（サーボモータ２８とボールネジ２９ｂ）を動作させてマスク面近傍に降下させる。その後、第２のスキージ駆動機構２６ａを動作させてスキージ６０ａをマスク１０に押し付ける押付力が作用するようにスキージを降下させる方式と、（２）第２のスキージ駆動機構２６ａを動作させスキージ６０ａを降下させスキージ駆動機構２６ａを高圧力にすることにより降下側でロックさせ、次に第１のスキージ駆動機構でトルク制御を行ない所定の押付力でスキージ６０ａをマスク１０面に押し付ける方式である。スキージ６０ａを高圧力にする替わりにスキージ駆動機構にブレーキを設けてもよい。
【００２８】
本装置では前記２方式のうち、どちらの方式を使用するかを選択できるようにしてある。すなち、図示していない制御部には前記２種類の方式が設定されており、使用者が初期設定時に制御部に設けてある表示装置を見ながらどちらの方式を使用するかを選択できるようにしてある。スキージ６０ａを動作させて、マスク１０面に供給されたペーストをマスク１０に設けてある開口部からフィルム面に供給して、印刷を行うものである。本図には図示していないスクレーパ６０ｂは、スキージによる印刷後スキージをマスク面から離間させ、スクレーパ６０ｂをマスク１０面と一定の隙間を保ちながら水平移動することで、スキージにより移動したペーストを元の位置に回収すると同時にマスク面をコーティングすることで、マスク開口部の乾燥を抑えペーストの目詰まりを防ぐものである。
【００２９】
またスキージ駆動機構２６ａ、スクレーパ駆動機構２６ｂはここでは説明を省略しているが、ダウンストップ機構を用いてスキージ６０ａ、スクレーパ６０ｂの下降ストローク量を調整できるものとする。またスクレーパ６０ｂの替わりにスキージ６０ａを取り付け、往復動作による印刷ができるようにしてもよい。
【００３０】
次に印刷動作に関して説明する。図６及び図７に印刷の状態の変遷を示す。
【００３１】
まず、図１におけるフィルム巻き出し機構部１からフィルム６をフィルム印刷部２に巻き出す。次に、図６（１）に示すように、フィルムの印刷面の位置が吸着ステージ２１上に至ると、フィルム６の移動を停止する。次に、（２）に示すように、補助ステージ２２ａ、２２ｂ外側に配置されている上下ローラ３９ａ、３９ｂを下降させることによって、フィルムを補助ステージ２２ａ，２２ｂ及び吸着ステージ２１面まで降下させる。次に（３）示すように、補助ステージ２２ａ、２２ｂ及び吸着ステージ２１に負圧を供給して、それぞれの面に吸引吸着させる。その後（４）に示すように、補助ステージ２２ａ、２２ｂに設けてあるフィルム押さえ３１ａ、３１ｂをフィルム面まで降下させて、フィルム押さえ３１ａ、３１ｂと補助ステージ２２ａ、２２ｂとの間にフィルムの幅方向端部を挟みこむ。なお本図では補助ステージ２２ａ、２２ｂのみにフィルム６の幅方向端部を押えるフィルム押さえ３１ａ、３１ｂを設けているが、吸着ステージ２１にも補助ステージ２２ａ、２２ｂ同様のフィルム押さえを設けてフィルムを挟み込み、幅方向にフィルムを引っ張って皺の発生を防止してもよい。
【００３２】
次に、（５）に示すようにプッシャー３４ａ、３４ｂにより補助ステージ２２ａ、２２ｂを吸着ステージ２１側に水平に移動させる。これにより、フィルム６にたるみを持たせる。次に、（６）に示すように、補助ステージ上下シリンダ３２ａ、３２ｂを動作させて補助ステージ面が吸着ステージ面より下方位置になるように補助ステージ２２ａ、２２ｂを降下させる。（７）吸着ステージ面とマスク面間にマーク認識用の上下両方向を撮像できるカメラ３５を移動して、それぞれに設けてある位置認識マークを撮像する。撮像した画像データは、図示していない制御部に送られ、制御部に設けてある位置認識部で位置ズレを求める。制御部では求められた位置ズレ量に基づいてＸＹθテーブルの駆動機構に駆動指令を出し、吸着ステージ２１を水平方向（ＸＹθ方向）にズレ分だけ移動して、マスクとフィルムとの位置合わせを行う。位置合わせが終了するとマーク認識用カメラをマスク下方から退避させる。カメラの退避が終了すると、マスクを吸着ステージ上のフィルム面まで降下させる。
【００３３】
次に、図７（９）に示すように、スキージヘッドをマスク面上まで降下させる。この時まず、スキージヘッドに設けてあるスクレーパ６０ｂをマスク面に対し所定の隙間となるよう降下し、水平方向に移動させる。その後、スクレーパ６０ｂをマスク面から離間させ、スキージ６０ａをマスク面に所定の押し付け圧で押し付ける。次に、スキージ６０ａを、マスク面上を水平方向に移動させて、マスク面上に供給されているペーストをマスク開口部に押し込み、フィルム面上に印刷を行う。
【００３４】
印刷が終了すると、（１０）に示すように、スキージ６０ａをマスク面から離間させてスキージヘッドを上昇させ、次に、マスク１０を上昇させてフィルム面から離間させる。マスク１０の上昇が終了すると、（１１）に示すように、吸着ステージ２１を水平方向に移動して原点復帰させる。次に、（１２）に示すように補助ステージ２２ａ、２２ｂを上昇させ、補助ステージ２２ａ、２２ｂ及び吸着ステージ２１への負圧の供給を停止する。
その後、補助ステージ２２ａ，２２ｂを吸着ステージ２１から離れる方向に移動する。次に（１３）に示すように、上下ローラ３９ａ、３９ｂを上昇させて補助ステージ面及び吸着ステージ面からフィルムを離間させる。その後、フィルム巻取りローラ５１を回転駆動してフィルム６を次の印刷面まで移動させる。以上で大きな動作の説明を終了する。
【００３５】
次に、補助ステージ２２ａを例として、フィルム幅方向端部を押えて皺取りを行う工程（先の（４）の工程）について説明する。
【００３６】
図８を用いて、補助ステージに設けたフィルムの幅方向端部を押えるフィルム押えの動作を説明する。ここではフィルム押さえ３１ａ側を例に説明するが、フィルム押え３１ｂ側も同様の動作を行う。フィルム押え３１ａは、フィルム６の幅方向端部を補助ステージ面との間に挟んで、幅方向に引き延ばすことで幅方向の皺の発生を抑制するものである。図に示すようにフィルム押えやその駆動機構は上下シリンダ３７ａを除き左右一対設けてある。このフィルム押え３１ａは、補助ステージ２２ａ側に設けたフィルム押さえ上下シリンダ３７ａとフィルム伸ばし第１シリンダ３５ａとフィルム伸ばし第２シリンダ３６ａとによって上下及び幅方向（左右方向）に移動する構成となっている。
【００３７】
図８（１）のように、フィルム６が補助ステージ２２ａ上に吸着保持されると、（２）のようにフィルム伸ばし第１シリンダ３５ａとフィルム伸ばし第２シリンダ３６ａとを動作させてフィルム押さえ３１ａを補助ステージの中部側に向かって移動させる。次に（３）に示すようにフィルム押え上下シリンダ３７ａを動作させて、フィルム面までフィルム押さえ３１ａを降下させて、フィルム６を補助ステージ２２ａ面に挟み込んで押える。フィルム６の挟み込みが終了すると（４）に示すように、フィルム伸ばしシリンダ３５ａを動作させて、フィルム押え３１ａがフィルムを伸ばす方向（フィルム幅方向）に移動させる。これによって、フィルム幅方向の皺の発生を抑制する。（５）に示すように、その状態でマスク１０を降下させて、印刷を実行する。この工程の詳細は先に説明しているのでここでの説明は省略する。印刷が終了すると（６）に示すようにフィルム伸ばしシリンダ３６ａを動作させてフィルム押えによるフィルムの保持を解除する。フィルム押えによるフィルム保持が解除されると（７）に示すようにマスクやスキージヘッド等が上昇されフィルム面から離間される。その後、（８）に示すように、マスク１０が補助ステージ２２ａから離れると、フィルム押さえ上下シリンダ３７ａを駆動してフィルム押さえ３１ａを補助ステージ面より上昇する。この動作は先に説明した図７の（１２）の工程に相当する。
【００３８】
その後、図１におけるフィルム送り機構部３を駆動して、フィルム６を所定長さ（次の印刷部が吸着ステージ上に至るまで）送り出し、かつ巻取り機構部５も同時に駆動して印刷パターンの乾燥されたフィルムを巻取る。巻取り部の駆動に伴い、印刷の完了した部分のフィルム６はフィルム送り機構部３を経由して乾燥部４に送られる。乾燥部４はフィルム通過経路を挟んでヒータ７が設置されており、ここで、乾燥される。なお、フィルム６は印刷領域毎に、印刷のために移動・停止を繰り返すためにこの間に十分乾燥可能な距離に設定されている。印刷面が乾燥されたフィルム６は巻取り部に送られて巻き取られる。
【００３９】
なお、フィルム巻き出し部及びフィルム巻取り部はフィルムに皺等が発生しないように、所望の張力が作用するように送りローラやダンシングローラ等が設けてある。
【００４０】
以上の構成、動作により、ロール状のフィルム６を繰出して、フィルム６を印刷部に送り出し、印刷部に設けてある吸着ステージに皺の発生しないようにフィルムの送り方向及び幅方向に張力を作用させた状態で真空吸着に保持して、印刷するように構成すると共に、フィルム送り方向は、吸着ステージ面よりフィルムが下方に位置するように保持することで、印刷の終了したフィルム面がマスク等に接触して印刷画像を乱すことを防止している。これにより、高精細の印刷を可能にしたものである。
【符号の説明】
【００４１】
１…フィルム巻き出し機構部、２…フィルム印刷機、３…フィーダ機構部、４…乾燥部、５…フィルム巻取り機構部、６…フィルム、７…ヒータ、１０…マスク、２１…吸着ステージ、２２ａ,２２ｂ…補助ステージ、３１ａ，３１ｂ…フィルム押さえ、６０ａ…スキージ、６０ｂ…スクレーパ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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