(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷凍機と冷却塔とを備え、その冷凍機と冷却塔で製造した冷水を用いて空調空間を温湿度制御するフリークーリングを用いた空調運転方法において、空調空間の空気を顕熱処理するドライコイルを設けると共にそのドライコイルに、高温の冷水を供給する高温冷水槽を接続し、他方空調空間に外気を冷却除湿して供給する潜熱処理用の外調機を接続すると共にその外調機に低温の冷水を供給する低温冷水槽を接続し、夏期に冷凍機のみを運転し、中間期に冷凍機と冷却塔とを運転し、冬期に冷却塔のみ運転し、中間期には、冷凍機で製造した低温の冷水を上記低温冷水槽に供給すると共に冷却塔で製造した高温の冷水を高温冷水槽に供給して空調運転し、夏期又は冬期には、冷凍機又は冷却塔で製造した低温の冷水を上記低温冷水槽に供給すると共に、その低温の冷水で、上記高温冷水槽の高温の冷水を製造することを特徴とするフリークーリングを用いた空調運転方法。
【請求項２】
上記ドライコイルと上記高温冷水槽とを高温冷水循環路で接続し、上記外調機と低温冷水槽とを低温冷水循環路で接続し、高温冷水循環路に、上記低温冷水槽の低温の冷水と高温冷水循環路の高温の冷水を熱交換する熱交換器を接続すると共にその熱交換器に、上記低温冷水槽の低温の冷水を供給すると共に熱交換後の冷水を上記低温冷水循環路に戻す冷水冷却回路を接続し、夏期に冷凍機のみを運転して低温の冷水を上記低温冷水槽に供給し、その低温冷水槽の低温の冷水を上記熱交換器に供給してその低温の冷水で高温冷水槽の高温の冷水を製造する請求項１記載のフリークーリングを用いた空調運転方法。
【請求項３】
冬期に、冷凍機の運転を停止し、冷却塔で製造した空冷冷水を低温の冷水として上記低温冷水槽に供給し、さらに低温冷水槽から上記熱交換器に流す低温の冷水の循環量を制御して上記高温冷水槽の高温の冷水を製造する請求項２記載のフリークーリングを用いた空調運転方法。
【請求項４】
冷凍機で製造する低温の冷水又は冬期に冷却塔で製造する低温の冷水の設定温度を、外気露点温度又は空調負荷率応じて６〜１２℃に可変する請求項１又は３記載のフリークーリングを用いた空調運転方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷却塔と冷凍機を用いて冬期と中間期にフリークーリングを行う空調運転方法に係り、特に、フリークーリング運転での省エネ効果を高めたフリークーリングを用いた空調運転方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
フリークーリングは、夏期には、冷凍機（チラー）で製造した冷水を冷熱源とするのに替えて、冬期や中間期に、冷凍機の運転を停止し、その冷凍機の冷水の放熱に利用している冷却塔や別途独立して設けた冷却塔を運転して、直接冷水を製造し、この冷水にて、空調機の冷水コイルの冷熱源に使用するシステムであり、冷凍機を用いるよりも大きな省エネ効果を期待できるものである。
【０００３】
特許文献１では、夏期には、冷凍機で製造した冷水を用い、その冷水を、クリーンルームの還気空気の顕熱処理を行うドライコイルに流して還気空気を冷却し、外気湿球温度が低い冬期と中間期には、冷凍機の運転を停止し、冷却塔で製造した冷水をドライコイルの冷熱源とするフリークーリングを利用した冷却システムが提案されている。しかし特許文献１では、冷凍機と冷却塔とを切り替えて使用するものであり、冷却塔で製造された冷水の温度が高いときには、フリークーリングを利用することができず、実質的には冬期のみしか利用できない問題がある。
【０００４】
特許文献２では、負荷を顕熱負荷と外気負荷に分け、顕熱負荷の冷水設定温度を１２℃、外気負荷の冷水設定温度を７℃とし、その各負荷に冷凍機を冷水循環回路を介して接続すると共にその冷水循環回路に冷却塔を接続し、中間期には、各負荷から戻った冷水を、各冷却塔に導入して外気による空冷を行った後、これを冷凍機で、さらに冷却して設定温度の冷水とし、これをクリーンルームの空調に用いるフリークーリングを利用した冷却システムが提案されている。この冷却システムでは、冷却塔で製造した冷水を、冷凍機の冷水製造の冷熱源に利用できるため、中間期でのフリークーリングを有効に利用することができる。しかし、クリーンルームの空調には、還気空気の顕熱処理と、外気導入による潜熱処理のため、冷水温度の違う２種類、或いは製造装置の冷却も行う場合には３種類の温度の冷水を製造する必要があり、フリークーリングを利用するためには、顕熱負荷と外気負荷、或いは製造装置の負荷に応じて、それぞれ冷凍機とフリークーリング用の冷却塔を必要とするため、装置が複雑になると共に装置のコストアップとなる問題がある。
【０００５】
特許文献３では、通信機器室等の空調空間からの還気空気を冷却コイルから空調機（パッケージエアコン）に流し、その冷却コイルに冷却塔を接続し、中間期に冷却塔で製造した冷水を冷却コイルに流し、還気空気を冷却コイルの冷水である程度冷却した後、空調機で設定温度に冷却することが提案されている。
【０００６】
この特許文献３では、データセンターなどの通信機器室など還気空気が４０℃にも上昇する場合、冷却塔の冷水で還気空気を冷却して空調機の負荷を低減するには有効である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−２１６３７５号公報
【特許文献２】特開２００８−２１５７３０号公報
【特許文献３】特開２００２−１６８４７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、クリーンルームのような空調空間を設定温度と設定湿度に制御するためには、ドライコイルによる顕熱処理と、湿度制御のために、導入する外気の潜熱処理との双方が必要であり、単に還気空気を冷却塔の冷水と冷凍機の冷水で冷却しても空調空間を設定の温湿度に制御することは困難である。
【０００９】
このように、クリーンルームなどの空調空間を温湿度制御するためには、特許文献２に提案されるように、潜熱処理用の冷水（低温の冷水）と顕熱処理用の冷水（高温の冷水）を必要とするため、装置の複雑化が避けられない問題がある。
【００１０】
また特許文献１のように冷凍機と冷却塔の切り替え、冬期と中間期に冷却塔のみによるフリークーリングを利用することで装置の複雑化は防げるものの中間期のフリークーリングを有効に利用できない問題がある。
【００１１】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、冷凍機と冷却塔とを備え、その冷凍機と冷却塔とで製造した冷水を用いて、空調空間を設定の温湿度に制御する際に、中間期のフリークーリングを有効に活用できると共に冷凍機の負荷を低減して省エネ運転が行えるフリークーリングを用いた空調運転方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために請求項１の発明は、冷凍機と冷却塔とを備え、その冷凍機と冷却塔で製造した冷水を用いて空調空間を温湿度制御するフリークーリングを用いた空調運転方法において、空調空間の空気を顕熱処理するドライコイルを設けると共にそのドライコイルに、高温の冷水を供給する高温冷水槽を接続し、他方空調空間に外気を冷却除湿して供給する潜熱処理用の外調機を接続すると共にその外調機に低温の冷水を供給する低温冷水槽を接続し、夏期に冷凍機のみを運転し、中間期に冷凍機と冷却塔とを運転し、冬期に冷却塔のみ運転し、中間期には、冷凍機で製造した低温の冷水を上記低温冷水槽に供給すると共に冷却塔で製造した高温の冷水を高温冷水槽に供給して空調運転し、夏期又は冬期には、冷凍機又は冷却塔で製造した低温の冷水を上記低温冷水槽に供給すると共に、その低温の冷水で、上記高温冷水槽の高温の冷水を製造することを特徴とするフリークーリングを用いた空調運転方法である。
【００１３】
請求項２の発明は、上記ドライコイルと上記高温冷水槽とを高温冷水循環路で接続し、上記外調機と低温冷水槽とを低温冷水循環路で接続し、高温冷水循環路に、上記低温冷水槽の低温の冷水と高温冷水循環路の高温の冷水を熱交換する熱交換器を接続すると共にその熱交換器に、上記低温冷水槽の低温の冷水を供給すると共に熱交換後の冷水を上記低温冷水循環路に戻す冷水冷却回路を接続し、夏期に冷凍機のみを運転して低温の冷水を上記低温冷水槽に供給し、その低温冷水槽の低温の冷水を上記熱交換器に供給してその低温の冷水で高温冷水槽の高温の冷水を製造する請求項１記載のフリークーリングを用いた空調運転方法。
【００１４】
請求項３の発明は、冬期に、冷凍機の運転を停止し、冷却塔で製造した空冷冷水を低温の冷水として上記低温冷水槽に供給し、さらに低温冷水槽から上記熱交換器に流す低温の冷水の循環量を制御して上記高温冷水槽の高温の冷水を製造する請求項２記載のフリークーリングを用いた空調運転方法である。
【００１５】
請求項４の発明は、冷凍機で製造する低温の冷水又は冬期に冷却塔で製造する低温の冷水の設定温度を、外気露点温度又は空調負荷率応じて６〜１２℃に可変する請求項１又は３記載のフリークーリングを用いた空調運転方法である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、低温冷水槽と高温冷水槽を設け、中間期には、冷凍機で製造した低温の冷水を低温冷水槽に供給し、冷却塔で製造した高温の冷水を高温冷水槽に供給して、各冷水で潜熱処理と顕熱処理を行うと共に、夏期又は冬期に、冷凍機で製造した低温の冷水、又は冷却塔で製造した低温の冷水で、高温冷水槽の高温の冷水を製造することで、フリークーリングを利用する装置の構成が簡単になると共に低温冷水槽と高温冷水槽の低温の冷水による外気の潜熱処理と高温の冷水の還気空気の潜熱処理が精度よく制御できる。これによりフリークーリングの省エネ運転を高めることができるという優れた効果を発揮するものである。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施の形態を示し、夏期の運転モードを示す図である。
【図２】図１において、中間期の運転モードを示す図である。
【図３】図１において、冬期の運転モードを示す図である。
【図４】本発明において運転モードを選択するフローを示す図である。
【図５】本発明において、運転モードの選択を空気線図上で説明する図である。
【図６】本発明における冷凍機と冷却塔で製造される冷水の設定温度を外気露点又は負荷率で可変する方法を説明する図である。
【図７】本発明において、運転モードにおける省エネ効果を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の好適な一実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００１９】
図１〜図３は、本発明のフリークーリングを用いた空調運転方法を説明する装置の一実施の形態を示し、図１は夏期の運転モード、図２は中間期の運転モード、図３は冬期の運転モードを示している。
【００２０】
図において、１０は、各種の製造工場の建屋で、その建屋１０内に、クリーンルームからなる空調空間１１が区画され、その空調空間１１の上部に給気チャンバ１２が、下部に還気チャンバ１３が区画され、還気チャンバ１３と給気チャンバ１２を結んで循環空気流路１４が区画される。
【００２１】
循環空気流路１４にはドライコイル１５が設けられ、その上部の給気チャンバ１２には循環ファン１６が設けられる。給気チャンバ１２には、給気チャンバ１２の空気を空調空間１１に吹き出すファンフィルタユニット（ＦＦＣ）１７が設けられる。ファンフィルタユニット１７は、詳細は図示していないがケーシング内に吹出ファンとＨＥＰＡフィルタが設けられ、給気チャンバ１２の空気を吹出ファンで吸引し、ＨＥＰＡフィルタで空気中の微粒子を除去して清浄空気を空調空間１１に吹き出すようになっている。
【００２２】
空調空間１１の床面にはグレーチングなどの多孔板１８が設けられる。
【００２３】
循環空気流路１４には、換気ダクト１９を介して、外調機２０に接続される。外調機２０は、循環空気流路１４の循環空気量を１００％とした場合、１０〜３０％の外気ＯＡを冷却除湿して循環空気流路１４に換気空気として供給し、還気チャンバ１３からは換気空気と略同量の空気が排気ライン２１から排気空気ＥＡとして排気される。
【００２４】
さて本発明においては、チラーからなる冷凍機２２で製造される低温の冷水（冷凍冷水）を貯留する低温冷水槽２３と、冷却塔２４で製造される高温の冷水（空冷冷水）を貯留する高温冷水槽２５とを備えてなり、ドライコイル１５と高温冷水槽２５とを高温冷水循環路２６で接続し、外調機２０と低温冷水槽２３とを低温冷水循環路２７で接続してなるもので、さらに、高温冷水循環路２６に、低温冷水槽２３の低温の冷水と高温冷水循環路２６の高温の冷水を熱交換する熱交換器２８を接続すると共にその熱交換器２８に、低温冷水槽２３の低温の冷水を供給すると共に熱交換後の冷水を低温冷水循環路２７に戻す冷水冷却回路２９を接続したものである。
【００２５】
冷凍機２２と低温冷水槽２３とは、低温循環ポンプ３０が接続された低温冷水回路３１で接続され、冷却塔２４と高温冷水槽２５とは、高温循環ポンプ３２が接続された高温冷水回路３３で接続される。高温冷水回路３３の往路側と復路側高温冷水回路３３ａ、３３ｂには、冷却塔２４で製造される空冷冷水（低温の冷水）を低温冷水槽２３に供給循環する三方弁３４ａ、３４ｂが接続される。
【００２６】
高温冷水循環路２６は、その往路側高温冷水循環路２６ａに高温側循環ポンプ３５が接続され、復路側高温冷水循環路２６ｂに熱交換器２８が接続される。
【００２７】
低温冷水循環路２７は、往路側低温冷水循環路２７ａと復路側低温冷水循環路２７ｂとからなり、往路側低温冷水循環路２７ａに低温側循環ポンプ３６が接続される。
【００２８】
冷水冷却回路２９は、低温冷水槽２３と熱交換器２８を結ぶ往路側冷水路２９ａと熱交換器２８と復路側低温冷水循環路２７ｂを結ぶ復路側冷水路２９ｂからなり、往路側冷水路２９ａに冷水循環ポンプ３７が接続される。冷水循環ポンプ３７は、熱交換器２８の出口側の復路側高温冷水循環路２６ｂに設けた温度センサ３８で検出した温度が温度調節器３８に入力され、その温度に応じて温度調節器３９が冷水循環ポンプ３７の循環量を制御するようになっている。
【００２９】
次に本発明のフリークーリングを用いた空調運転方法を説明する。
【００３０】
夏期（通常５月上旬〜１０月末）の運転においては、外気温が高いため、図１に示すように冷凍機２２を運転し、冷凍機２２で製造した低温の冷水（例えば温度６℃）を低温冷水槽２３に貯留する。この場合、冷却塔２４は停止しているため、低温冷水槽２３に貯留した低温の冷水を、冷水冷却回路２９にて熱交換器２８に供給し、その熱交換器２８にて高温冷水循環路２６を循環する高温の冷水を冷却して高温の冷水（例えば温度１６℃）として高温冷水槽２５に貯留する。
【００３１】
これにより、先ず低温冷水槽２３に貯留した低温の冷水を外調機２０に低温冷水循環路２７を介して循環し、外気ＯＡを露点温度以下に冷却して除湿し、これを換気空気として換気ダクト１９から循環空気流路１４に供給する。
【００３２】
この外調機２０による潜熱処理は、還気空気の設定温度を２３℃、相対湿度を５０％（絶対湿度０．０９ｇ／ｇＤＡ）とし、還気空気の湿度変化がないとしたときは、その還気空気の露点温度まで冷却し、これを除湿した還気空気として循環空気流路１４に供給することで空調空間１１の相対湿度を５０％に制御できる。
【００３３】
他方、高温冷水槽２５の高温の冷水は高温冷水循環路２６を介してドライコイル１５に循環する。空調空間１１から還気チャンバ１３に還気された還気空気は、循環空気流路１４に供給された換気空気と合流し、ドライコイル１５により、例えば設定温度２３℃に冷却され、給気チャンバ１２からファンフィルタユニット１７を介して空調空間１１内に吹き出される。
【００３４】
次に、中間期（通常３上旬〜４月末、１１月上旬から１２月末）の運転においては、図２に示すように冷凍機２２と冷却塔２４とを運転し、冷凍機２２で製造した低温の冷水（温度６〜１２℃）を低温冷水槽２３に貯留し、また冷却塔２４で製造した空冷冷水を高温の冷水（温度１６℃）を高温冷水槽２５に貯留し、低温の冷水を外調機２０に供給し、高温の冷水をドライコイル１５に供給して空調空間１１を空調する。
【００３５】
この際、冷凍機２２で製造する低温の冷水の設定温度は、導入する外気の露点温度により６〜１２℃の範囲で可変する。また冷却塔２４で製造される空冷冷水の温度は、外気の状態により変化するが、高温側循環ポンプ３２での高温の冷水の循環量と冷却塔２４のファンの風量を制御することで、高温の冷水を設定の温度（１６℃）にすることができると共に、ドライコイル１５での冷却能を一定にして、空調空間１１に設定温度２３℃の清浄空気を精密に温度制御して供給することが可能となる。
【００３６】
次に、冬期（通常１月初旬〜２月末）の運転においては、図３に示すように冷凍機２２を停止し、冷却塔２４のみを運転する。
【００３７】
この冬期においては、外気温が低く、冷却塔２４で製造される高温の冷水は、温度６℃以下の冷水が得られるため、これを三方弁３４ａ、３４ｂにて高温冷水回路３３を切り換えて低温冷水槽２３に低温の冷水として供給する。
【００３８】
また高温冷水槽２５の高温の冷水は、低温冷水槽２３からの低温の冷水を熱交換器２８に供給循環することで、１６℃の高温の冷水とすることができ、この高温の冷水を用いてドライコイル１５の冷熱源に使用することで、空調空間１１を設定温度２３℃に精密に温度制御することができる。
【００３９】
この冬期において、冷却塔２４で製造する冷水は、外気温度に応じて高温循環ポンプ３２の循環量と冷却塔ファンの風量を制御することで６℃の温度の冷水を製造でき、これを低温の冷水として低温冷水槽２３に貯留する。また、高温冷水槽２５に貯留する高温の冷水の温度は、温度センサ３８でその熱交換器２８を通った高温の冷水の温度を検出し、温度調節器３９にて、高温側循環ポンプ３７を制御して、熱交換器２８に供給する低温の冷水の循環量を調節することで設定の温度（１６℃）とすることができる。
【００４０】
図４は、上述した運転モードを自動切り換えする際の制御フローを示したものである。
【００４１】
先ずステップＳ１で運転を開始した際には、冷凍機を運転して夏期モード運転Ｓ２を行う。次に、ステップＳ３で、Ｘ時間（１０ｍｉｎ）経過したかどうかを判断し、Ｘ時間経過するまでは（ＮＯ）、夏期モードの運転Ｓ２を継続し、Ｘ時間経過後（ＹＥＳ）に、ステップＳ４で、外気ＷＢ≧（高温の冷水設定温度−Ｔ（１℃））が、Ｘｍｉｎ以上継続しているかどうかを判断し、外気の湿球温度（ＷＢ）が高温の冷水設定温度（例えば１６℃）より１℃低い状態がＸ時間以上継続している、すなわち外気湿球温度が高いときには、夏期モード運転Ｓ５のままとする。ステップＳ４の判断で、外気湿球温度が低いとき（ＮＯ）、ステップＳ６で、（高温の冷水設定温度−Ｔ）＞外気ＷＢ＞（低温の冷水設定温度−Ｔ）が、Ｘｍｉｎ以上継続しているかどうかを判断し、高温の冷水設定温度より１℃低い温度（例えば１５℃）が、外気湿球温度（ＷＢ）より低く、且つ外気湿球温度（ＷＢ）が低温の冷水設定温度より１℃低い温度より高いとき（ＹＥＳ）、すなわち外気状態が図５の空気線図に示した中間期モードの範囲にあるときは、中間期モードの運転Ｓ７を行う。またステップＳ６で、外気湿球温度（ＷＢ）が低温の冷水設定温度より１℃低い温度より低いとき（ＮＯ）、ステップＳ８で、（低温の冷水設定温度−Ｔ）≧（外気ＷＢ）が、Ｘｍｉｎ以上継続しているかどうかを判断し、外気ＷＢが、低温の冷水設定温度（例えば６℃）より低いとき（ＹＥＳ）には、すなわち外気状態が図５の空気線図に示した冬期モードの範囲にあるときは、冬期モードで運転Ｓ９を行う。またステップＳ８で、外気ＷＢが、低温の冷水設定温度より高いとき（ＮＯ）には、ステップＳ４の判断に戻す、また夏期モード運転Ｓ５，中間期モード運転Ｓ７、冬期モード運転Ｓ９を行った後は、同様にステップＳ４の判断に戻して運転モードの選択を繰り返すようにする。
【００４２】
このように、検出した外気の温度と湿度から外気の湿球温度（ＷＢ）を求め、この湿球温度と、高温の冷水と低温の冷水の設定温度とを比較することで運転モードの切り換えが容易に行える。
【００４３】
次に、冷凍機２２と冷却塔２４で製造する冷水の温度制御について説明する。
【００４４】
先ず冷凍機２２は、空冷式或いは水冷式のいずれでも良く、また冷却塔２５は開放型でも密閉型でもいずれでもよい。
【００４５】
図６は、冷凍機又は冬期に冷却塔で製造する低温の冷水の設定温度を外気露点又は負荷率で可変する方法を示したもので、低温の冷水設定温度（Ｙ１，Ｙ２）は、省エネ・除湿・２次側搬送動力を考慮して、ｍａｘ１２℃〜ｍｉｎ６℃の範囲で可変するものである。この場合、外気露点温度をＸ１（℃）、負荷率をＸ２（％）としたとき、外気露点温度Ｘ１，負荷率Ｘ２で、下式のように設定する。
Ｙ１＝−ａ１・Ｘ１−ｂ１
Ｙ２＝−ａ２・Ｘ２−ｂ２
【００４６】
上式で、低温の冷水の設定温度は、Ｙ１とＹ２のうち低い方を設定温度とする。
【００４７】
この関係式と図６より、外気露点Ｘ１が９℃以下、負荷率Ｘ２が４０％以下では、低温の冷水設定温度は１２℃でよく、外気露点Ｘ１が２０℃以上、負荷率Ｘ２が８０％以上では設定温度を６℃とし、その間の温度は、上記の関係式から設定温度Ｙ１，Ｙ２を設定する。
【００４８】
また上記関係式中の係数ａ１，ａ２、ｂ１、ｂ２、設定温度Ｙの上下限値、Ｘ変動のＹの最大変化勾配・１次遅れフィルタなどは適宜設定変更可能とする。
【００４９】
すなわち、例えば、負荷率は非常に低いが、外気露点が高く除湿をしなければならないときや、外気露点が低いが顕熱負荷が大きい場合などには、冷却不足、搬送動力過剰を避けるために、冷水温度を下げなければならないため、係数ａ１，ａ２、ｂ１、ｂ２や設定温度Ｙ等を変更可能とする。
【００５０】
低温の冷水の設定温度Ｙの制御は、冷凍機２２での冷媒循環量や空冷或いは水冷量を制御すれば、１２〜６℃の範囲で冷水を設定温度にすることができる。
【００５１】
通常、図１〜図３で説明した空調空間１１は、設定温度２３℃、相対湿度５０％（絶対湿度で約０．００９ｇ／ｇＤＡ）となるように空調運転される。この場合、外調機２０は、空調空間１１からの循環空気に換気空気を混入したときに、絶対湿度が約０．００９ｇ／ｇＤＡとなるよう、外気ＯＡを冷却、除湿して換気空気とするように、低温冷水槽２３の低温の冷水の設定温度と循環水量を制御するため、外気状態（外気露点）に応じて設定温度を可変することで省エネ運転が行える。また高温冷水槽２５での高温の冷水は、ドライコイル１５に顕熱処理に必要な循環水量を制御することで、省エネ運転が可能となる。
【００５２】
図７は、年間におけるエネルギー比を示したもので、夏期モードの運転のエネルギーを１とした場合、冷却塔のみの冬期モードの運転では、エネルギー比は、夏期モードに対して０．１０９ですみ、中間期モードでは０．５５５ですむため、夏期以外の冬期と中間期では大幅な省エネ効果を期待できる。
【符号の説明】
【００５３】
１１  空調空間
１５  ドライコイル
２０  外調機
２２  冷凍機
２３  低温の冷水槽
２４  冷却塔
２５  高温の冷水槽
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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