(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバの壁部に設けられた貫通孔部分に取り付けられたベース部に装着することにより、前記チャンバの内部空間の雰囲気を計測可能に設けられた雰囲気計測装置であって、
前記ベース部に気密にシールされた状態で、前記ベース部に対して前記チャンバの内部空間側方向と前記チャンバの外部側方向に摺動可能に設けられた筒体と、
前記筒体を、前記チャンバの内部空間側と前記チャンバの外部側との間で往復動させる駆動部とを具備し、
前記筒体は、
前記チャンバの内部空間側における先端側の側面に開口する開口窓と、
前記開口窓に対応する箇所に設けられた雰囲気計測センサと、
前記チャンバの内部空間側における先端面には、外径寸法が前記筒体の外径寸法と同径寸法に形成されたキャップ部が取り付けられていて、
当該キャップ部には、前記チャンバの内部空間で発生した結露を集めるための集滴部が形成されていて、
前記駆動部は、
前記チャンバの内部空間における雰囲気の計測時においては、前記開口窓を前記チャンバの内部空間に露出させるように、前記筒体が前記チャンバの内部空間に進入する方向に移動させ、
前記チャンバの内部空間における雰囲気の非計測時においては、前記開口窓を前記チャンバの内部空間の外に隔離させるように、前記筒体が前記チャンバの内部空間から退避する方向に移動させ、前記キャップ部により前記貫通孔を気密にシールさせることを特徴とする雰囲気計測装置。
【請求項２】
前記開口窓には、通気性を有するフィルタ部材が取り付けられていることを特徴とする請求項１記載の雰囲気計測装置。
【請求項３】
前記筒体は、前記開口窓の穿設部分における外径寸法が、前記キャップ部の外径寸法よりも小径寸法となる小径部に形成されていて、
前記フィルタ部材は、前記小径部に取り付けられていることを特徴とする請求項２記載の雰囲気計測装置。
【請求項４】
前記キャップ部は、有底筒体に形成されていることを特徴とする請求項１〜３のうちのいずれか一項に記載の雰囲気計測装置。
【請求項５】
前記雰囲気計測センサは、湿度計測センサであることを特徴とする請求項１〜４のうちのいずれか一項に記載の雰囲気計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力容器等のチャンバ内における密閉空間内の雰囲気を計測する際に用いて好適な雰囲気計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
いわゆる衛生用品と称される製品は、出荷前に圧力容器のチャンバ内に充てんした酸化エチレンガスに所要時間にわたって接触させることにより滅菌処理が施されている。このように圧力容器を用いて酸化エチレンガスによる滅菌処理を行う際には、圧力容器のチャンバ内における酸化エチレンガスに対する水分量を所要の湿度範囲（具体的には４５〜６０％）内に維持する必要がある。
具体的には、圧力容器のチャンバ内の雰囲気をチャンバ外に排出して、チャンバ内の空間をほぼ真空状態とした後にチャンバ内へ水蒸気や水を噴霧することにより、チャンバ内の空間における雰囲気の湿度を計測しながら調整し、チャンバ内における空間の雰囲気の湿度を４５〜６０％程度に設定した後に、チャンバ内に酸化エチレンガスを注入することで、チャンバ内の雰囲気を滅菌可能な状態にしている。
【０００３】
従来の密閉空間内の湿度計測装置は、チャンバ内における密閉空間の雰囲気の湿度を計測する湿度計測センサがチャンバ内の空間に常時露出していたため、酸化エチレンガスによる侵食をうけ湿度計測センサの寿命が極めて短くなってしまい、改善が強く望まれていた。
そこで、このようなチャンバ内の空間における雰囲気の湿度を計測する湿度検測センサを酸化エチレンガスの侵食から保護するための密閉空間の雰囲気計測装置としては、例えば特許文献１に開示されているような構成のものが知られている。
【０００４】
特許文献１には、密閉空間を囲む壁に基体を気密に取付けて、密閉空間側端部をこの空間内に入れた管状のロッドを縦動自在に支持し、このロッドの密閉空間内にある端部に基体に形成した弁座に着脱する弁を取付け、この弁に近いロッド側面に窓を開設し、ロッド内には窓の位置にセンサの受感部を設け、ロッドの密閉空間と反対側端部にこの受感部に接続されるセンサのセンサ部を設け、ロッドを縦動させ弁を基体に着脱させてロッドの窓を密閉空間内に露出させ、又はこの空間内と遮断する駆動機構を付設した密閉空間内のガス計測装置（雰囲気計測装置）の構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−６４１７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に開示されているような密閉空間内のガス計測装置の構成によれば、密閉空間の気密が維持された状態で密閉空間における雰囲気の計測を行うことができ、湿度センサが酸化エチレンガスと接触することにより生じる侵食を防止することができるとされている。
ところで、特許文献１で開示されている構成においては、酸化エチレンガスとの接触によるセンサの侵食（劣化）を防ぐために、センサのロッド先端部で密閉空間内の気密を確実に維持させるべく、センサのロッド先端部は、ロッドの他の部位よりも幅広寸法に形成されている。これにより、既存の圧力容器に密閉空間内の雰囲気計測装置を取り付けようとする場合には、圧力容器（チャンバ）の内部側からの作業が必須になるため、雰囲気計測装置の設置作業や交換作業が煩雑になるという課題や、雰囲気計測装置を追加で設置することができない場合があるといった課題の所在が明らかになっている。
【０００７】
また、密閉空間内における雰囲気の状態を精度高く計測を行いたい場合には、密閉空間を形成するチャンバの内周面からできるだけ離れた位置にセンサのセンサ部をセットした状態で雰囲気の計測をすることが好ましいことが近年の研究により明らかになった。特許文献１に開示されている構成においては、気密を確実に維持する手段としてべローズを用いているためロッドの縦動距離に制約が生じ、センサのセンサ部のセット位置をチャンバの壁面から十分離した内側位置にセットすることができない場合がある。このような構成であると、顧客から要求されている精度での雰囲気の計測をすることが困難な場合があるという課題の所在も明らかになった。
【０００８】
そこで本願発明は、酸化エチレンガスのような侵食作用を有するガスが注入される密閉空間内において、密閉空間内の湿度を計測する湿度センサが酸化エチレンガスと接触させることなく長期間にわたって湿度計測センサを使用することを可能にするための密閉空間内の雰囲気計測装置の提供を第１の目的としている。
また、既存の圧力容器において、チャンバの外側からの作業のみで、圧力容器に雰囲気計測装置を簡単に取り付け・交換することが可能であると共に、密閉空間を形成するチャンバの壁面から十分に離した位置にセンサのセンサ部をセットして雰囲気を計測することが可能な雰囲気計測装置の提供を第２の目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
以上の目的を達成するため本願発明は以下の構成を有する。
すなわち、チャンバの壁部に設けられた貫通孔部分に取り付けられたベース部に装着することにより、前記チャンバの内部空間の雰囲気を計測可能に設けられた雰囲気計測装置であって、前記ベース部に気密にシールされた状態で、前記ベース部に対して前記チャンバの内部空間側方向と前記チャンバの外部側方向に摺動可能に設けられた筒体と、前記筒体を、前記チャンバの内部空間側と前記チャンバの外部側との間で往復動させる駆動部とを具備し、前記筒体は、前記チャンバの内部空間側における先端側の側面に開口する開口窓と、前記開口窓に対応する箇所に設けられた雰囲気計測センサと、前記チャンバの内部空間側における先端面には、外径寸法が前記筒体の外径寸法と同径寸法に形成されたキャップ部が取り付けられていて、当該キャップ部には、前記チャンバの内部空間で発生した結露を集めるための集滴部が形成されていて、前記駆動部は、前記チャンバの内部空間における雰囲気の計測時においては、前記開口窓を前記チャンバの内部空間に露出させるように、前記筒体が前記チャンバの内部空間に進入する方向に移動させ、前記チャンバの内部空間における雰囲気の非計測時においては、前記開口窓を前記チャンバの内部空間の外に隔離させるように、前記筒体が前記チャンバの内部空間から退避する方向に移動させ、前記キャップ部により前記貫通孔を気密にシールさせることを特徴とする雰囲気計測装置である。
【００１０】
また、前記開口窓には、通気性を有するフィルタ部材が取り付けられていることが好ましい。
さらに前記筒体は、前記開口窓の穿設部分における外径寸法が、前記キャップ部の外径寸法よりも小径寸法となる小径部に形成されていて、前記フィルタ部材は、前記小径部に取り付けられていることが好ましい。
これらにより、雰囲気計測センサがチャンバの内部空間における雰囲気に暴露されることによる損傷を軽減することができる。また、チャンバの内部空間における雰囲気によりフィルタ部材が腐食する等の破損が生じた場合には、フィルタ部材のみを交換することができるため、雰囲気計測センサの機能回復が一部の部品交換のみにより可能になる。したがって、雰囲気計測センサのメンテナンスコストが大幅に低下し、ひいては圧力容器を用いた滅菌処理装置のランニングコストの低減に大きく貢献する。
【００１２】
また、前記キャップ部は、有底筒体に形成されていることを特徴とする。これによりセンサ部の軽量化ができ、操作性が向上すると共に、キャップ部に蓄積される熱量を小さくすることができ、キャップ部における結露発生の防止にも貢献する。
【００１３】
また、前記雰囲気計測センサは、湿度計測センサであることを特徴とする。これによりとくに酸化エチレンを用いた圧力容器内での滅菌処理時において、酸化エチレンガス内における湿度管理を好適に行うことができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明にかかる雰囲気計測装置によれば、雰囲気計測センサよりも先端部側に設けられたキャップ部によって確実にチャンバ内空間に対して栓を行うことができるため、雰囲気を計測しない状態においては雰囲気検出センサをチャンバ内雰囲気から確実に隔離することで雰囲気計測センサが侵食性を有するガスに接触することはなく、雰囲気検出センサの寿命を大幅に延ばすことができる。
また、キャップ部の外径寸法が筒体の外径寸法と等しい径寸法に形成されているので、既存の圧力容器における雰囲気計測装置をチャンバ外空間側から簡単かつ確実に取り付けおよび交換することが可能になる。
さらには、筒体とチャンバとの気密を維持するためにベローズを用いていないため、チャンバの内部空間への筒体の進入量に制約がなく、雰囲気計測センサをチャンバの壁面から十分に離した位置にセットして正確な雰囲気の計測を行うことが可能になる。
そして、キャップ部に集滴部を設けたことにより、キャップ部で結露した液体を雰囲気計測センサよりもチャンバの内部空間側であるキャップ部分で落下させることができるため、雰囲気の状態を正確に計測することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】圧力容器において酸化エチレンガスを用いた滅菌処理を行う際の湿度計測装置をチャンバに取り付けた状態を示す要部断面図である。
【図２】図１に示す雰囲気計測装置において、チャンバの内部空間における雰囲気の計測時の状態を示す要部断面図である。
【図３】図１に示す雰囲気計測装置において、チャンバの内部空間における雰囲気の非計測時の状態を示す要部断面図である。
【図４】把持部に筒体を挿通させる方向から臨んだ駆動部の状態を示す正面図である。
【図５】キャップ部の他の実施形態例を示す拡大図である。
【図６】筒体の他の実施形態の一例を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明にかかる雰囲気計測装置の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、本実施形態においては、圧力容器のチャンバにおいて酸化エチレンガスを用いた滅菌処理を行う際の湿度計測装置に本願発明を適用した構成に基づいて説明を行っている。図１は、圧力容器において酸化エチレンガスを用いた滅菌処理を行う際の湿度計測装置をチャンバに取り付けた状態を示す要部断面図である。
本実施形態における圧力容器１０は、密閉空間を形成するチャンバ２０と、チャンバ２０の外周面との間に熱媒体用流路３０を形成するジャケット４０と、ジャケット４０と熱媒体用流路３０およびチャンバ２０を貫通し、チャンバ２０内の密閉空間内の湿度を計測する湿度計測装置５０と、図示しない吸排気手段とを有している。熱媒体用流路３０には熱媒体としての温水が循環可能に充てんされていて、チャンバ２０の内部空間である密閉空間の加熱および冷却と保温が可能に構成されている。熱媒体流路３０を流通する温水としては、４５〜８０℃程度の温水が好適である。ジャケット４０の外表面には断熱材４１が取り付けられている。
【００１７】
フランジ部５１は、チャンバ２０とジャケット４０に穿設された貫通孔２２，４２内に挿通され、フランジ部５１の外周面と貫通孔２２，４２との境界部分を全周にわたって溶接することにより気密が保たれている。フランジ部５１の両端面は、室外側空間とチャンバ２０の内部空間にそれぞれ開口している。
【００１８】
湿度計測装置５０は、ジャケット４０およびチャンバ２０との間を橋渡しするベース部であるフランジ部５１と、フランジ部５１に貫通させた筒体に形成されたスペーサ５３と、スペーサ５３の内部空間内を往復動自在に挿通され、チャンバ２０側の先端部に雰囲気計測センサである湿度計測センサ５４が設けられた筒体５５とを具備している。湿度計測センサ５４は、筒体５５のチャンバ２０側の先端側部分に穿設された開口窓５６の位置に位置合わせして筒体５５の内部空間に収容されている。また、筒体５５の先端面には筒体５５の長手方向の中心軸に対して中心軸が同軸であるキャップ部５７が取り付けられ、さらに筒体５５は、チャンバ２０の内部空間と外部空間との間で往復動させるための駆動部５８に連結されている。図１にも示されているように、フランジ部５１とスペーサ５３との間と、スペーサ５３と筒体５５との間は、シール部材６０により気密が維持されている。
【００１９】
シール部材６０としてはチャンバ２０の内壁面に設けられたシールホルダ６２や、スペーサ５３の中途位置には公知のＯ―リングが配設されている。また、シールホルダ６２に隣接する部分に配設され、キャップ部５７との気密と、スペーサ５３の外側端部に設けられ、スペーサ５３と筒体５５との気密を維持するためのリップ型シール部材としては、リップ型シール部材６３やスプリング弾性利用のリップ型シール部材が好適に用いられる。このようなリップ型シール部材６３としては、例えば、日本トレルボルグシーリングソリューションズ株式会社の製品名ターコン（登録商標）ロト・バリシール（登録商標）を用いることができる。
【００２０】
ここで、リップ型シール部材６３の機能について説明する。
チャンバ２０の内周壁とスペーサ５３との境界部分に配設されたリップ型シール部材６３は、図２、図３に示すように、チャンバ２０側が開口する断面コの字状をなしている。チャンバ２０の内部空間の雰囲気がチャンバ２０の外部空間に漏えいしようとすると、リップ型シール部材６３のコの字状部分の開口部分が外方に押し広げられることになり、チャンバ２０と筒体５５との当接部のシール性を破壊しようとする力に比例してシール性がさらに高められるセルフシール機能を有している。また、筒体５５とスペーサ５３との外部空間側境界部分に配設されたリップ型シール部材６３は、図１に示すように外部空間側に開口する断面コの字状をなしている。すなわち、チャンバ２０の内部空間に外部空間からの気体の侵入に対しても、先述と同様のセルフシール機能を有している。      
【００２１】
このように、湿度計測装置５０におけるチャンバ２０の内部空間と外部空間との間における気密信頼性は、外部空間に対するチャンバ２０の内部空間の圧力状態にかかわらず、常にリップ型シール部材６３によりセルフシール機能が発揮され、公知のＯ―リングからなるシール部材６０の気密信頼性に比較して大幅に向上する。なお、スプリング弾性利用のリップ型シール部材を採用すればこのセルフシール機能はさらに強力になるため、チャンバ２０の内部空間と外部空間との圧力差が大きい場合であっても確実に気密状態を維持することができる点で好都合である。
【００２２】
フランジ部５１に設けられたスペーサ５３の内部空間には所要間隔をあけて配設されたＯ―リングからなるシール部材６０により気密が維持された状態で筒体５５が往復動可能（摺動可能）に保持されている。本実施形態の筒体５５は、内筒体５５ａと外筒体５５ｂを有する二重構造に形成されている。図１にも示されているように、内筒体５５ａと外筒体５５ｂとによる二重管構造部分は筒体５５のうちの所要範囲のみとなっており、筒体５５の両端部分は内筒体５５ａのみによって形成されている。外筒体５５ｂは、外筒体５５ｂの内周面に配設されたシール部材６０により気密が維持された状態で内筒体５５ａの中途位置の所要範囲にわたる外周面を覆うようにして装着されている。
【００２３】
内筒体５５ａの先端部には内筒体５５ａの内外を連通させるための開口窓５６が穿設されている。この開口窓５６は内筒体５５ａを径方向に貫通するようにして形成されている。内筒体５５ａには開口窓５６の開口位置に湿度計測センサ５４の計測部分が配置されている。湿度計測センサ５４の検出データは、電気配線等の公知の手段によって図示しないパーソナルコンピュータ等に代表される外部装置に出力可能になっている。
開口窓５６には、図２、図３に示すようにパンチグメタルや金属メッシュシート等の通気可能なフィルタ部材７０を取り付けしてもよい。フィルタ部材７０は開口窓５６に対して着脱可能に装着されているとさらに好都合である。このようなフィルタ部材７０を開口窓５６に着脱自在に装着することにより、酸化エチレンガスによる湿度計測センサ５４の損傷を防ぐことができ、湿度計測センサ５４のメンテナンス頻度を低下させることができる。また酸化エチレンガスによりフィルタ部材７０に目詰まりが生じたり、フィルタ部材７０が酸化エチレンガスとの接触を繰り返すことにより損傷した際には、フィルタ部材７０のみを交換すればよいため、滅菌処理を行う際におけるランニングコストを大幅に削減することができる点において好都合である。
【００２４】
筒体５５のチャンバ２０側の先端面にはキャップ部５７が溶接等の公知の方法により取り付けられている。キャップ部５７は有底筒状体に形成され、キャップ部５７の底面が筒体５５の先端面に固定されている。キャップ部５７の外径寸法φ１は、外筒体５５ｂの外径寸法φ２と等しい径寸法に形成されている。このような有底筒状体に形成されたキャップ部５７を用いることにより、柱状体のキャップ部に比較してキャップ部５７の質量を大幅に軽減させることができる。これにより、筒体５５をチャンバ２０の内部空間と外部空間との間で進退方向に移動させる際の駆動部５８の出力を可及的に小さくすること（駆動部５８の小型化）ができ、かつ、操作性が向上すると共に、キャップ部５７の熱量を少なくすることによりキャップ部５７における結露を防止することができる。
【００２５】
このように形成された筒体５５は、フランジ部５１に取り付けられた駆動部５８からの動力により、湿度計測センサ５４が配設されている開口窓５６の部分がチャンバ２０の内部空間と外部空間との間を内筒体５５ａと外筒体５５ｂとが一体になって往復移動することができるように設けられている。
駆動部５８は、フランジ部５１にネジ等により固定された台座５８ａと、台座５８ａに取り付けられた駆動モータ５８ｂと、一端部が台座５８ａに回転可能に保持され、他端部が駆動モータ５８ｂの出力軸に連結されたボールネジ５８ｃと、ボールネジ５８ｃの回転動作に伴って、ボールネジ５８ｃ上をスライド移動するスライダ５８ｄとを有する直動動作部に形成されている。駆動部５８は直動動作部であればよいため、具体的な構成に限定されるものではない。
【００２６】
ボールネジ５８ｃはボールネジ５８ｃの中心軸をフランジ部５１に挿通されている筒体５５の中心軸と平行となる配置に配設されているので、ボールネジ５８ｃの上をスライドするスライダ５８ｄもまた、筒体５５の中心軸と平行に移動することになる。このように設けられたスライダ５８ｄには、筒体５５を把持するための把持部５８ｅが設けられている。先にも説明したように、筒体５５は内筒体５５ａと外筒体５５ｂを有しているので、複数の把持部５８ｅが設けられている。
【００２７】
把持部５８ｅは、図４に示すように筒体５５の外径形状に沿って当接可能な形状を有する上下の当接部材５８ｅａ，５８ｅｂをネジ留めにより固定してなる枷型形状に構成されている。このような枷型形状に形成された把持部５８ｅは内筒体５５ａおよび外筒体５５ｂの径寸法に合わせて形成されている。内筒体５５ａおよび外筒体５５ｂの把持部５８ｅはそれぞれ同一のスライダ５８ｄに固定されているので、内筒体５５ａと外筒体５５ｂは常時一体となってスライド移動することになる。
【００２８】
筒体５５のスライド移動距離は、ボールネジ５８ｃの長さおよび駆動モータ５８ｂの出力を調整することにより任意の移動距離に設定することができる。このような駆動モータ５８ｂとしては、ステッピングモータやサーボモータを採用することが好ましい。ステッピングモータやサーボモータの採用により、スライダ５８ｄの移動距離を正確に設定することができる点において好都合である。
【００２９】
チャンバ２０と筒体５５との気密の維持には、リップ型シール部材６３またはスプリング弾性利用のリップ型シール部材を採用しているので、従来技術におけるべローズのようにチャンバ２０に対する筒体５５の気密状態を維持しながらの移動量が制約されることはない。すなわち、図２に示したようにチャンバ２０の内部空間である密閉空間内の湿度を計測する際には、湿度計測センサ５４が収容されている開口窓５６の位置をチャンバ２０の内周面から離れた位置にセットすることができる。具体的には、開口窓５６の位置がチャンバ２０の内周面から６０ｍｍ以上チャンバ２０の内部空間側に離れた（進入した）位置となるように設定されている。これにより、チャンバ２０の内部空間における湿度計測をより精密に行うことが可能になる。
【００３０】
これに対して、チャンバ２０の内部空間の湿度を計測する必要がない場合には、図３に示したように開口窓５６がチャンバ２０の内部空間内で開口しないよう、キャップ部５７によりチャンバ２０の壁体位置で気密を維持しつつ栓をした状態で開口窓５６をチャンバ２０の壁厚内またはチャンバ２０の壁体よりも外部空間側の位置にセットしている。このように湿度計測センサ５４は酸化エチレンガスとは接触しない構造であるから、酸化エチレンガスとの接触による湿度計測センサ５４の劣化はなく、湿度計測センサ５４を長期間にわたってコンディションよく使用することができる。
【００３１】
また、本実施形態にかかる湿度計測装置５０は、図２、図３に示すように、チャンバ２０の内部空間に進入および退避する方向に移動可能な筒体５５およびキャップ部５７の最大外径寸法が同径寸法に形成されているため、湿度計測装置５０を既存の圧力容器１０に後付けする際や既存の圧力容器１０の湿度計測装置５０を交換する際においては、チャンバ２０の外側からの作業のみで作業が完結する。これにより、圧力容器１０のチャンバ２０大きさにかかわらず、容易に湿度計測装置５０を圧力容器１０（チャンバ２０）に取り付けおよび交換をすることができる点においても好都合である。
【００３２】
以上に実施形態に基づいて本願発明を詳細に説明してきたが、本願発明の技術的範囲は以上の実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態においては、密閉空間内の雰囲気計測装置の一例として、圧力容器１０に酸化エチレンガスを充填させることにより滅菌処理を行う場合のチャンバ２０の内部空間における湿度計測装置５０について説明を行っているが、この実施形態に限定されるものではない。本願発明は、検出すべき雰囲気に応じて雰囲気検出体を適宜選択することにより多様な雰囲気計測装置の実施形態の実現が可能である。
【００３３】
また、筒体５５に穿設する開口窓５６は、筒体５５の壁厚方向に貫通する小孔やスリットを所要間隔に穿設することによって形成してもよい。このような複数の小孔またはスリット（これらを混在させてもよい）からなる開口窓５６を採用した場合、小孔またはスリットが十分に小径または幅狭であれば、開口窓５６を覆うフィルタ部材７０の配設を省略することができる点で好都合である。
【００３４】
また、図５に示すように、筒体５５の先端面とキャップ部５７との取り付け部分には、チャンバ２０の内部空間である密閉空間内で筒体５５およびキャップ部５７に結露が生じた際に結露を集めるための集滴部５９が形成された形態を採用することもできる。この集滴部５９は、筒体５５とキャップ部５７の取り付け部分の外周に沿った溝部として周設されている。これによりキャップ部５７周辺に結露が発生した場合には、集滴部５９に結露が集められて水滴となり、水滴の自重によるキャップ部５７（筒体５５）からの落下を促進させることができる。湿度計測センサ５４はキャップ部５７に隣接した位置に配設されているが、湿度計測センサ５４よりも結露が発生する側に集滴部５９を設けていることにより、湿度計測センサ５４の計測値が実際の湿度よりも高い湿度を計測してしまうといった不具合の発生を防止することができる点において好都合である。
このとき集滴部５９の位置をチャンバ２０の内周面位置となるようにセットすれば、チャンバ２０の内表面に結露が発生した場合であっても集滴部５９からの結露の落下が促進され、湿度計測センサ５４に対する結露の影響をなくすことができる。
【００３５】
また、本実施形態においては、キャップ部５７を有底筒状体に形成することによりキャップ部５７の軽量化および熱量削減を行い、温度計測装置５０の操作性の向上と、結露の防止を実現しているが、キャップ部５７の素材が軽量かつ熱容量が小さい場合には、必ずしも有底筒状体に形成する必要はない。具体的には柱状体に形成されたキャップ部５７を採用することもできる。キャップ部５７は、湿度センサ５４の計測部が配置されている開口窓５６をチャンバ２０の内部空間から確実に隔離することができ、筒体５５の外径寸法と同径寸法にさえ形成されていれば特に形状が限定されるものではない。
【００３６】
さらに本実施形態においては、雰囲気計測センサとしての湿度計測センサ５４を酸化エチレンガスから保護するために開口窓５６にパンチングメタルからなるフィルタ部材７０を用いているが、他の通気性を有する材料（たとえば金属メッシュによるシート材）でフィルタ部材７０を構成することもできる。要は、チャンバ２０の内部空間のような密閉空間内の雰囲気から雰囲気計測センサを適宜保護することができればフィルタ部材７０の材質は特に限定されるものではない。
【００３７】
また、本実施形態においては、筒体５５を湿度センサが５４を収容する内筒体５５ａと内筒体５５ａの延長方向における中途部所要範囲の外周面に装着された外筒体５５ｂを有する構成について説明しているが、この形態に限定されるものではない。例えば、図６（ａ）に示すように、フランジ部５１のスペーサ５３に配設されたシール部材６０との摺動を円滑にすることができる程度の寸法精および表面粗度と十分な肉厚を有していれば、スペーサ５３の内周面を往復動可能な単層構造の筒体５５を採用することもできる。このとき、図６（ｂ）および図６（ｃ）に示すように湿度計測センサ５４を収容する開口窓５６の穿設部分の外周面を開口窓５６の範囲よりもわずかに広い範囲に切削加工すること等によって予め小径部を形成しておけば、図６（ｄ）に示すように開口窓５６にフィルタ部材７０を装着しても、この部分における外径寸法が筒体５５の他の部分よりも大径になることを防止することができる。キャップ部材５７は先の実施形態と同様にして取り付けすることができる。
【００３８】
図６（ｄ）からも明らかなように、このような筒体５５であれば、キャップ部５７の外径寸法φ１と筒体５５の外径寸法φ２を同径寸法にすることができるので、チャンバ２０の内部空間における雰囲気の計測時には、筒体５５の外周面においてチャンバ２０の気密が確保され、チャンバ２０の内部空間における雰囲気の計測を行わない際には、キャップ部５７の外周面によりチャンバ２０の気密を確保することが先の実施形態と同程度に行うことができる。また、このような単層構造の筒体５５は製造コストの低減や構造の単純化を促進することができる点においても好都合である。スペーサ５３は使用する筒体５５の外径寸法に応じて適宜交換することは可能である。
【符号の説明】
【００３９】
１０  圧力容器
２０  チャンバ
２２，４２  貫通孔
３０  熱媒体用流路
４０  ジャケット
４１  断熱材
５０  湿度計測装置
５１  フランジ部
５３  スペーサ
５４  湿度計測センサ
５５  筒体
５５ａ  内筒体
５５ｂ  外筒体
５６  開口窓
５７  キャップ部
５８  駆動部
５８ａ  台座
５８ｂ  駆動モータ
５８ｃ  ボールネジ
５８ｄ  スライダ
５８ｅ  把持部
５９  集滴部
６０  シール部材
６２  シールホルダ
６３  リップ型シール部材
７０  フィルタ部材
【図１】
0005451725.tif 000002
【図２】
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【図３】
0005451725.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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