(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円盤状の磁気記録媒体の円周方向に複数の磁気記録再生トラックを有し、前記磁気記録媒体を回転さながら磁気ヘッドを移動制御して情報を読み書きする磁気記録再生装置における磁気ヘッドの移動制御方法であって、前記磁気ヘッドの移動制御方法は、あらかじめ登録された特定の磁気記録再生トラックでの情報の読み書きを回避するものであり、前記回避する磁気記録再生トラックは、当該磁気記録再生トラックに高周波信号書き込みを行い、その後の当該磁気記録再生トラックにおけるミッシング・パルスとスパイク・パルスの併発再生信号によって決定するものであり、前記ミッシング・パルスとスパイク・パルスの併発再生信号は、周方向の幅で０．５μｍ以下に対応するミッシング・パルスと、書き込んだ高周波信号の平均振幅から突出したスパイク・パルスとの併発再生信号であって、ミッシング・パルスに続いてスパイク・パルスが生じた信号、スパイク・パルスに続いてミッシング・パルスが生じた信号、ミッシング・パルスの内部にスパイク・パルスが生じた信号、スパイク・パルスの内部にミッシング・パルスが生じた信号の何れかであることを特徴とする磁気記録再生装置における磁気ヘッドの移動制御方法。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気記録再生装置における磁気ヘッドの移動制御方法を用いた磁気記録再生装置。
【請求項３】
所定の信号が記録された円盤状の磁気記録媒体を回転させながら磁気ヘッドを用いて前記信号を再生し、得られた再生信号によって磁気記録媒体を検査する磁気記録媒体の検査方法であって、前記検査方法は、高周波信号書き込みを行った後に、前記高周波信号を書き込んだ磁気記録媒体から出力されるミッシング・パルスとスパイク・パルスの併発再生信号によって欠陥箇所を検出するものであり、前記ミッシング・パルスとスパイク・パルスの併発再生信号は、周方向の幅で０．５μｍ以下に対応するミッシング・パルスと、書き込んだ高周波信号の平均振幅から突出したスパイク・パルスとの併発再生信号であって、ミッシング・パルスに続いてスパイク・パルスが生じた信号、スパイク・パルスに続いてミッシング・パルスが生じた信号、ミッシング・パルスの内部にスパイク・パルスが生じた信号、スパイク・パルスの内部にミッシング・パルスが生じた信号の何れかであることを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
【請求項４】
請求項３に記載の磁気記録媒体の検査方法を含む磁気記録媒体の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の磁気記録媒体の製造方法で製造した磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体の記録再生を行う磁気ヘッドと、を備えることを特徴とする磁気記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録再生装置（ハードディスクドライブ）の制御方法、磁気記録再生装置、磁気記録再生装置に用いられる磁気記録媒体のサーティファイ検査に好適に使用される検査方法、この検査方法を用いた磁気記録媒体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブに代表される磁気記録装置は、コンピュータなどの情報処理装置の外部記憶装置として広く用いられており、近年は動画像の録画装置等としても使用されている。
【０００３】
ハードディスクドライブは、通常、中央に開口部のある円盤状（ドーナッツ形状）の磁気記録媒体を１枚或いは複数枚積層して同軸中心で回転させる（複数枚の場合は、同期回転させる）シャフトと、該シャフトにベアリングを介して接合され、磁気記録媒体を回転させるモータと、磁気記録媒体の両面において記録及び／又は再生に用いる磁気ヘッドと、該ヘッドが取り付けられた複数本の支持アームと、前記複数本の支持アームを同期して可動させ磁気ヘッドを磁気記録媒体上の任意の位置に移動させるヘッドスタックアセンブリとを備えている。また、磁気記録再生用の磁気ヘッドは、通常浮上型のヘッドであり、磁気記録媒体上を一定の浮上量で移動される。
【０００４】
一般に、ハードディスクドライブに搭載される磁気記録媒体には、半径方向にはトラック、トラックの延在方向にはセクタと呼ばれる記録領域が形成されている。通常、磁気記録媒体における情報の読み書きは、トラックおよびセクタ単位で行われる。
【０００５】
一般に、磁気記録媒体は、次の工程により製造される。アルミニウム合金やガラス基板等からなる基板の表面に、スパッタ法等を用いて、下地層、磁性層、保護層、潤滑層などを順次形成することにより作製される。その後、得られた磁気記録媒体に対して、グライド検査とサーティファイ検査とが順次行われる。
【０００６】
グライド検査とは、磁気記録媒体の表面に突起物が無いかどうかの検査である。すなわち、磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体を記録再生する際に、磁気記録媒体の表面に浮上量（媒体と磁気ヘッドの間隔）以上の高さの突起があると、磁気ヘッドが突起にぶつかって磁気ヘッドが損傷したり、磁気記録媒体に欠陥が発生したりする原因となる。グライド検査では、そのような高い突起の有無を検査する（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
グライド検査をパスした磁気記録媒体には、サーティファイ検査が実施される。サーティファイ検査とは、通常のハードディスクドライブの記録再生と同様に、磁気記録媒体に対して磁気ヘッドで所定の信号を記録した後、その信号を再生し、得られた再生信号によって磁気記録媒体の記録不能を検出することにより、磁気記録媒体の電気特性や欠陥の有無など媒体の品質を確かめるものである（例えば、特許文献２参照）。
【０００８】
またサーティファイ検査として、感熱素子を有する検査ヘッドからのサーマル・アスペリティに起因する信号を用いた方法が用いられている（例えば、特許文献３参照。）。
【０００９】
サーティファイ検査をパスした磁気記録媒体は、サーボライターと呼ばれる装置を用いてサーボ情報を書き込んだ後、ハードディスクドライブに内蔵される。ハードディスクドライブに用いられる磁気ヘッドとしては、磁気抵抗効果型ヘッド（ＭＲヘッド）が提案されている。そして、磁気記録媒体の高密度化に伴って、ＭＲヘッドの磁気記録媒体からの浮上量は小さくなってきている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平１１-２６００１４号公報
【特許文献２】特開２００３−２５７０１６号公報
【特許文献３】特開平１０−１０５９０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
磁気記録媒体の高密度化に伴って、ＭＲヘッドの磁気記録媒体からの浮上量は小さくなってきている。このため、ＭＲヘッドが磁気記録媒体上に不可避的に存在する欠陥である微小突起物に衝突してＭＲヘッド素子部の摩耗が促進され、出力低下や特性劣化などのヘッド劣化障害が発生している。これら原因となる欠陥のサイズは微小であるため磁気記録媒体製造における品質改善に時間を要する場合が多く、新機種の市場出荷計画に遅延を来たす場合も少なくない。またこのような微小突起物に起因する障害はハードディスクドライブの信頼性の低下にもつながる。
【００１２】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、磁気記録再生装置の信頼性を著しく高める磁気記録再生装置の制御方法、その制御方法を採用した信頼性の高い磁気記録再生装置、磁気記録再生装置に用いられる磁気記録媒体のサーティファイ検査に好適に使用される検査方法、この検査方法を用いた磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本願発明者は、上記課題を解決すべく鋭意努力検討した結果、従来のグライド検査やサーティファイ検査では検出が困難であったレベルの微小突起物、具体的には高さ１５ｎｍ以下、幅５００ｎｍ以下の突起物を有する磁気記録媒体が磁気記録再生装置の長期使用におけるＭＲヘッド摩耗の原因となっていることを解明した。そしてこの微小突起物は、ＭＲヘッドから出力される信号を解析することでその存在を把握可能であることを見いだし本願発明を完成させた。すなわち本願発明の以下に関する。
【００１４】
（１）円盤状の磁気記録媒体の円周方向に複数の磁気記録再生トラックを有し、前記磁気記録媒体を回転さながら磁気ヘッドを移動制御して情報を読み書きする磁気記録再生装置における磁気ヘッドの移動制御方法であって、前記磁気ヘッドの移動制御方法は、あらかじめ登録された特定の磁気記録再生トラックでの情報の読み書きを回避するものであり、前記回避する磁気記録再生トラックは、当該磁気記録再生トラックに高周波信号書き込みを行い、その後ＤＣイレーズまたはＡＣイレーズした後のエキストラ・パルス再生信号の検出によって、または、当該磁気記録再生トラックにおける高周波信号書き込み後のミッシング・パルスとスパイク・パルスの併発再生信号によって決定することを特徴とする磁気記録再生装置における磁気ヘッドの移動制御方法。
（２）（１）に記載の磁気記録再生装置における磁気ヘッドの移動制御方法を用いた磁気記録再生装置。
（３）所定の信号が記録された円盤状の磁気記録媒体を回転させながら磁気ヘッドを用いて前記信号を再生し、得られた再生信号によって磁気記録媒体を検査する磁気記録媒体の検査方法であって、前記検査方法は、高周波信号書き込みを行った後にＤＣイレーズまたはＡＣイレーズされた磁気記録媒体から出力されるエキストラ・パルス再生信号の検出によって、または、高周波信号を書き込んだ磁気記録媒体から出力されるミッシング・パルスとスパイク・パルスの併発再生信号によって欠陥箇所を検出することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
（４）（３）に記載の磁気記録媒体の検査方法を含む磁気記録媒体の製造方法。
（５）（４）に記載の磁気記録媒体の製造方法で製造した磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体の記録再生を行う磁気ヘッドと、を備えることを特徴とする磁気記録再生装置。
【発明の効果】
【００１５】
本願発明の磁気記録再生装置における磁気ヘッドの移動制御方法は、磁気ヘッドが磁気記録媒体上に存在する微小突起物に衝突してヘッド素子部が摩耗し、また出力が低下する等の特性劣化を防ぐ効果を有する。
【００１６】
本願発明の磁気ヘッドの移動制御方法を採用した磁気記録再生装置は、磁気ヘッド素子部の摩耗や、出力低下等の特性劣化が少なく、製品寿命が長く、信頼性が高い効果を有する。
【００１７】
本願発明の磁気記録媒体の検査方法は、従来のグライド検査やサーティファイ検査では検出できなかった、または検出が困難であった微小突起物を検出可能とし、従来以上に信頼性の高い磁気記録媒体の検査方法を提供可能とする効果を有する。
本願発明の磁気記録媒体の製造方法は、従来以上に信頼性の高い磁気記録媒体を生産可能とする効果を有する。
【００１８】
本願発明の磁気記録媒体の製造方法による磁気記録媒体を採用した磁気記録再生装置は、磁気ヘッド素子部の摩耗や、出力低下等の特性劣化が少なく、製品寿命が長く、信頼性が高い効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本願発明の磁気記録再生装置を示す斜視図である。
【図２】本願発明のミッシング・パルス再生信号（１）、スパイク・パルス再生信号（２）、エキストラ・パルス再生信号（３）を説明する模式図である。
【図３】本願発明のＤＣイレーズした後のエキストラ・パルス再生信号を示す図である。
【図４】本願発明のＡＣイレーズした後のエキストラ・パルス再生信号を示す図である。
【図５】本願発明の高周波信号書き込み後のミッシング・パルスとスパイク・パルスの併発再生信号を示す図である。
【図６】低周波書き込み後のミッシング・パルス再生信号を示す図である。
【図７】本願発明で検出可能とする微小突起欠陥の一例を示す断面ＴＥＭ写真である。
【図８】本発明で用いる磁気記録媒体の一例を示す断面図である。
【図９】本発明に係る磁気記録媒体の検査方法において用いる検査装置の一例を示した斜視図である。
【図１０】本実施形態において用いられるサーボパターンを説明するための図であって、図１０（ａ）は全体を示した平面図であり、図１０（ｂ）は図１０（ａ）の一部を拡大して示した拡大平面図である。
【図１１】本願発明の実施例における磁気ヘッド素子部の摩耗状態を示す写真である。
【図１２】本願発明の比較例における磁気ヘッド素子部の摩耗状態を示す写真である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明について詳細に説明する。
本願発明は、ハードディスクドライブに代表される磁気記録再生装置の磁気ヘッドの移動制御方法に関する。
【００２１】
図１は本願発明の磁気記録再生装置の一例である。磁気記録再生装置は磁気記録媒体５０と、磁気記録媒体５０を回転駆動させる媒体駆動部５１と、磁気記録媒体５０に情報を記録再生する磁気ヘッド５２と、この磁気ヘッド５２を磁気記録媒体５０に対して相対運動させるヘッド駆動部５３と、記録再生信号処理系５４とを備えている。記録再生信号処理系５４は、外部から入力されたデータを処理して記録信号を磁気ヘッド５２に送り、磁気ヘッド５２からの再生信号を処理してデータを外部に送ることが可能となっている。なお、磁気ヘッド５２は、１ｍｍ角程度のヘッドスライダの一部に設けられた２０μｍ角程度の部位である。
【００２２】
磁気記録再生装置においては、磁気ヘッド５２を磁気記録媒体５０表面の特定位置に移動制御する方式として、セクターサーボ方式やインデックスサーボ方式などが用いられている。すなわち、磁気記録媒体５０の円周方向に複数の磁気記録再生トラックを設け、さらにこの磁気記録再生トラック上に１周当たり整数個ずつのサーボ信号を記録しておき、磁気ヘッド５２でこのサーボ信号を再生し、記録再生信号処理系５４でトラックずれ信号を作成し、この信号に基づいてヘッド駆動部５３によりトラックサーボを行なうという手法が採られている。
【００２３】
本願発明は、磁気記録再生装置における磁気ヘッド５２の移動制御方法において、磁気ヘッド５２の摩耗の原因となり、従来のグライド検査やサーティファイ検査では検出が困難であった高さ１５ｎｍ以下、幅５００ｎｍ以下の微小突起物を含む特定の磁気記録再生トラックを、あらかじめ記録再生信号処理系５４に登録し、この登録情報に基づいて磁気ヘッド５２の移動制御を行うことで、磁気ヘッド５２と微小突起物との衝突を極力防止し、磁気ヘッド５２に設けられた素子部の摩耗や、磁気ヘッド５２からの出力信号の低下等の特性劣化を低減することを趣旨とする。
【００２４】
磁気記録媒体５０は毎分数千回転から１万数千回転の高速で回転する。そのため、その表面に存在する突起物が仮に微小なサイズであっても磁気ヘッド５２とオントラックで直撃すればそのダメージは甚大なものとなる。これに対し本願発明の磁気ヘッド５２の移動制御方法を用いることで、磁気ヘッド５２への微小突起部の直撃が回避され、磁気ヘッド５２へのダメージが格段に低減される。
【００２５】
本願発明では、前述のあらかじめ登録する磁気記録再生トラックを、当該磁気記録再生トラックにおいて高周波信号書き込みを行った後にＤＣイレーズまたはＡＣイレーズを行い、その磁気記録再生トッラックから出力されるエキストラ・パルス再生信号の検出によって、または、当該磁気記録再生トラックにおける高周波信号書き込み後のミッシング・パルスとスパイク・パルスの併発再生信号によって決定する。これについて詳細に説明する。
【００２６】
本願発明で、微小突起部を含む磁気記録再生トラックを検出するのに用いる磁気ヘッド５２からの再生信号を図２に示す。図２において（１）はミッシング・パルス再生信号、（２）はスパイク・パルス再生信号、（３）はエキストラ・パルス再生信号であり、（１）と（２）の信号がつながった状態で連続するのがミッシング・パルスとスパイク・パルスの併発再生信号である。ここで、ミッシング・パルスとスパイク・パルスの併発再生信号は、ミッシング・パルスに続いてスパイク・パルスが生ずる場合、スパイク・パルスに続いてミッシング・パルスが生ずる場合、ミッシング・パルスの内部にスパイク・パルスが生ずる場合、スパイク・パルスの内部にミッシング・パルスが生ずる場合がある。なお、最後の２つの併発再生信号は、ミッシング・パルス、スパイク・パルス、ミッシング・パルスの連続信号、スパイク・パルス、ミッシング・パルス、スパイク・パルスの連続信号とも定義することが可能で、何れも本願発明の併発再生信号に含まれる。
【００２７】
本願発明では、磁気記録再生トラックにＤＣイレーズまたはＡＣイレーズした後、その磁気記録再生トラックを磁気ヘッド５２により再生したとき、本来出力される低振幅のＤＣイレーズ信号、またはＡＣイレーズ信号に加えて、（３）に示した大きな振幅の未消去信号であるエキストラ・パルス信号が生ずる磁気記録再生トラックをあらかじめ登録し、このトラックを回避して磁気記録再生装置における磁気ヘッドの移動制御を行う。なお、図３に本来出力される低振幅のＤＣイレーズ信号に大きな振幅の未消去信号であるエキストラ・パルス信号が生じた一例、図４に本来出力される低振幅のＡＣイレーズ信号に大きな振幅の未消去信号であるエキストラ・パルス信号が生じた一例を示す。
【００２８】
また本願発明では、磁気記録再生トラックに高周波信号書き込み後、その磁気記録再生トラックを磁気ヘッド５２により再生したとき、本来出力される高周波信号内にミッシング・パルスとスパイク・パルスの併発再生信号が生ずる磁気記録再生トラックをあらかじめ登録し、このトラックを回避して磁気記録再生装置における磁気ヘッドの移動制御を行う。図５に、本来出力される高周波信号内にミッシング・パルスとスパイク・パルスの併発再生信号が生じた一例を示す。なお、図６は、図５と同一の磁気記録再生トラックにおいて低周波信号書き込み後、その磁気記録再生トラックを磁気ヘッドにより再生した場合の再生信号をしめす。図６の場合、低周波信号内にミッシング・パルスは生ずるもののスパイク・パルスは併発しない。
【００２９】
なお、本願発明のＡＣイレーズとは、周波数１０００ｋＦＣＩ（０．０２５μｍ／ビット）〜３０００ｋＦＣＩ（０．００８μｍ／ビット）の範囲内のイレーズを指し、好ましくは２０００ｋＦＣＩ（０．０１３μｍ／ビット）でイレーズを指す。また本願発明の高周波信号書き込みは、周波数６００ｋＦＣＩ（０．０４２μｍ／ビット）〜１０００ｋＦＣＩ（０．０２５μｍ／ビット）の範囲内の信号の書き込みを指し、好ましくは８００ｋＦＣＩ（０．０３２μｍ／ビット）の信号を書き込む。また低周波信号書き込みは、周波数１００ｋＦＣＩ（０．２５４μｍ／ビット）〜３００ｋＦＣＩ（０．０８５μｍ／ビット）の範囲内の信号の書き込みを指し、好ましくは２００ｋＦＣＩ（０．１２７μｍ／ビット）の信号を書き込む。
【００３０】
図７は従来のグライド検査やサーティファイ検査では検出が困難であった微小突起を含む欠陥部の断面ＴＥＭ像である。この欠陥部の形成過程は、発明者は次の通りと考えている。
【００３１】
先ず、基板表面（矢印２）への磁性薄膜の成膜前、あるいは成膜途中に表面に付着した微小な異物（矢印３〜５の範囲内）を核として薄膜が堆積し、タンコブ状に突起物が形成される。またタンコブ状突起物と正常部分との境界は、核となる異物による成膜中のシャドウ効果により、クレーター状の谷（矢印８）が形成される。成膜後のタンコブ状突起物の高さはもとの核粒子の大きさに相応するが、その後のバーニッシュ工程で頂上部は除去される。こうして出来上がった欠陥（矢印９）は高さ１５ｎｍ以下と低いためグライド検査やサーティファイ検査では検出が困難であり、一方で、幅が最大で５００ｎｍもあるため、磁気ヘッドと衝突した際のダメージが大きい。本願発明では、このような突起部の検出に、スパイク・パルス再生信号、エキストラ・パルス再生信号を用いるが、これらの信号は、クレーターの斜面、あるいはタンコブ状突起物における磁性膜構造の乱れが発生される残留磁場の影響によることを発明者は解明した。なお、ミッシング・パルス再生信号は、タンコブ状突起物の頂上がバーニッシュにより除去、つまりは磁性膜が摩耗することに起因する。
【００３２】
また本願発明は、所定の信号が記録された円盤状の磁気記録媒体を回転させながら磁気ヘッドを用いて前記信号を再生し、得られた再生信号によって磁気記録媒体を検査する、いわゆるサーティファイ検査において、磁気記録媒体に高周波信号書き込みを行った後に、ＤＣイレーズまたはＡＣイレーズされた磁気記録媒体から出力されるエキストラ・パルス再生信号の検出によって、または、高周波信号を書き込んだ磁気記録媒体から出力されるミッシング・パルスとスパイク・パルスの併発再生信号によって欠陥箇所を検出することを特徴とする。
【００３３】
図８は、本発明の磁気記録媒体の検査方法を用いてサーティファイ検査される磁気記録媒体の一例を示す断面図である。図１に示す磁気記録媒体は、非磁性基板１の上下両面に、非磁性下地層２、磁性層３、保護層４、液体潤滑層５を順次積層してなる円盤状のものである。本発明において検査される磁気記録媒体としては、図１に示す両面タイプのものの他、非磁性基板の一方の面にのみ非磁性下地層、磁性層、保護層、液体潤滑層が順次積層されてなる片面タイプのものであってもよい。
【００３４】
図８に示す磁気記録媒体にサーティファイ検査を行なう前には、以下に示すように、グライド検査を行なうことが好ましい。グライド検査では、回転させた磁気記録媒体上に検査ヘッドを浮上させ、検査ヘッドにより磁気記録媒体表面を走査させることにより、磁気記録媒体の表面の突起物の有無を検査ヘッドからの信号で検査する。グライド検査工程を、サーティファイ検査の前に行なうことにより、サーティファイ検査での検査ヘッドの破損を防ぐことができる。
【００３５】
グライド検査に使用できる検査ヘッドとしては、感熱素子を有するヘッド、ＡＥセンサーやピエゾセンサーを用いたヘッドが例示できる。感熱素子を有するヘッドを用いた場合、高速で回転している磁気記録媒体上に存在する突起物に検査ヘッドが接触すると、瞬間的に検査ヘッドで熱が発生し、その熱を感熱素子が検知して信号を出力することにより、グライド検査が実施可能となる。なお、グライド検査における検査ヘッドの浮上量は、ハードディスクドライブにおいて通常用いられる磁気記録再生ヘッドの浮上量よりも、低い浮上量で行うのが好ましい。
【００３６】
次に、図９、図１０を用いて磁気記録媒体のサーティファイ検査方法を説明する。図９は、本発明に係る磁気記録媒体のサーティファイ検査方法において用いられるサーティファイ検査装置の一例を示した斜視図である。本実施形態では、図８に示す磁気記録媒体である３枚の被検査媒体に対して連続してサーティファイ検査を行う場合を例に挙げて説明する。
【００３７】
図９において符号２１、符号２２は被検査媒体を示している。本実施形態では、被検査媒体として３枚の被検査媒体２１、２２ａ、２２ｂが設置されている。なお、本実施形態では、被検査媒体２１、２２ａ、２２ｂの検査を連続的に行うため、以下の説明は主に被検査媒体２１のみについて行う。
【００３８】
被検査媒体２１，２２ａ、２２ｂは、円盤状の形状を有するものであり、図８に示す磁気記録媒体からなるものである。被検査媒体２１，２２ａ、２２ｂとは、平面視で重なる位置に設置されており、図９に示すように、スピンドルモータを備える回転機構２３によって同軸中心で同期回転されるようになっている。
【００３９】
図１０は、本実施形態において用いられる被検査媒体のトラック、セクタを説明するための図であって、図１０（ａ）は全体を示した平面図であり、図１０（ｂ）は図１０（ａ）の一部を拡大して示した拡大平面図である。図１０において、符号Ｔはトラックを示し、符号Ｓはセクタを示している。図１０に示すように、被検査媒体２１には、サーボライターまたは磁気転写工程による書き込みで、中心から放射状に連続して複数のサーボ情報領域２１ａが備えられており、隣接するサーボ情報領域２１ａ間がデータ情報領域２１ｂとされている。サーボ情報領域２１ａは、トラック位置情報およびセクタ位置情報からなるサーボ情報がそれぞれの位置に対応する記録領域に記録されてなるものである。
【００４０】
図９のサーティファイ検査装置では、被検査媒体２１、２２ａ、２２ｂのサーティファイ検査が終了した後、検査済みの検査媒体２１、２２ａ、２２ｂと次にサーティファイ検査される被検査媒体とを交換することができる。そして、図９に示す検査装置には、被検査媒体２１、２２ａ、２２ｂの交換時にヘッドスタックアセンブリ３１を構成する磁気ヘッド２５ａを退避させておくための退避エリア２９が設けられている。したがって、被検査媒体２１、２２ａ、２２ｂの交換時に、磁気ヘッド２５ａを退避エリア２９に移動させておくことで、ヘッドスタックアセンブリ３１を構成する支持アーム３２、３３が被検査媒体の交換の邪魔になることを防止できる。
【００４１】
本願発明では、図９に例示するサーティファイ検査装置を用いて、被検査媒体２１に磁気ヘッドを用いて高周波信号書き込みを行った後に、ＤＣイレーズまたはＡＣイレーズを行い、その後、磁気記録媒体から出力されるエキストラ・パルス再生信号の検出によって、または、高周波信号を書き込んだ磁気記録媒体から出力されるミッシング・パルスとスパイク・パルスの併発再生信号によって、被検査媒体２１の表面の欠陥箇所を検出することを特徴とする。その具体的な検出の方法については前述の通りである。本願発明の磁気記録媒体の検査方法では、従来のグライド検査、サーティファイ検査では検出が困難であった微小欠陥を含むセクタ、トラックを検出可能であり、その検査結果に基づいて、被検査媒体の良品、不良品の判別が可能であり、また不良品の被検査媒体に対してバーニッシュ工程等で再加工を施し、再度の検査工程に送付することが可能となる。また被検査媒体の不良セクタ、トラック情報を被検査媒体ごとに登録することで、その被検査媒体を組み込んだ磁気記録再生装置において、その不良箇所の待避処理が可能となる。
なお、本実施形態においては、被検査媒体が３枚の場合の例を挙げて説明したが、本発明の磁気記録媒体の検査方法は、上記の例に限定されるものではない。
【実施例】
【００４２】
以下、実施例を示して、本発明を具体的に説明するが本発明はこれに限定されるものではない。
【００４３】
（実施例１）
外径２．５インチの図８に示す磁気記録媒体を製造し、磁気記録媒体に対してグライド検査およびサーティファイ検査を行った。
【００４４】
「グライド検査」
グライド検査では、検査ヘッドと磁気記録媒体表面の間の機械的なスペーシングを、０．２５マイクロインチに設定し、検査ヘッドから、磁気記録媒体表面の突起物との衝突に起因するシグナルが出力された場合は、その磁気記録媒体は不良品と判断し、それ以外は良品と判断した。
【００４５】
「サーボ情報の書き込み工程」
グライド検査をパスした磁気記録媒体に対してサーボライターを用いてサーボ情報を書き込んだ。サーボパターンは、磁気記録媒体の中心から放射状とし、トラックピッチを０．１μｍとして片面あたり１００，０００本のトラックを設け、トラック一周あたりのサーボセクタ数を２５６とした。
【００４６】
「サーティファイ検査」
図９に示す装置を用いてサーティファイ検査を行った。なお、磁気ヘッドとしては、２．５“  １２０Ｇバイト（１枚）対応のハードディスクドライブに用いられるＴｕＭＲヘッドを用いた。また、ヘッドスタックアセンブリとして、ハードディスクドライブに使用されている汎用のヘッドスタックアセンブリを使用した。
【００４７】
サーティファイ検査では、３枚の被検査媒体を同軸中心で同期させて３６００ｒｐｍで回転させながら、磁気ヘッドを用いて１枚ずつ検査を行った。検査は、先ず被検査媒体の全トラック、セクタに、８００ｋＦＣＩの高周波信号を書き込み、その後、被検査媒体の全トラック、セクタからの出力信号を解析し、周方向の幅で０．５μｍ以下に対応するミッシング・パルスと、書き込んだ高周波信号の平均振幅に対して１．４倍以上のスパイク・パルスの併発再生信号を検出し、この併発再生信号が検出されたトラックを待避トラックとして記録した。
【００４８】
「磁気記録再生装置の製造」
サーティファイ検査を経た磁気記録媒体とＴｕＭＲヘッドを用いたヘッドスタックアセンブリ等を組み合わせた磁気記録再生装置を製造した。磁気記録再生装置に組み込む磁気記録媒体は１枚とした。
【００４９】
（実施例２）
製造した磁気記録再生装置についてシークテストを１００時間行った。シークテストでは、サーティファイ検査で登録された待避トラックとそのトラックを中心とする半径方向の幅で±２５μｍの範囲のトラックを待避トラックとして磁気ヘッドをシークさせなかった。シークテスト後の磁気ヘッド素子部の写真を図１１に示す。図１１で上側の白い部分は書き込み素子、下側の白い部分は読み込み素子であるが、実施例２の磁気ヘッド素子部では摩耗は観察されなかった。
【００５０】
（比較例）
実施例２と同様に製造した磁気記録再生装置についてシークテストを１００時間行った。シークテストでは、サーティファイ検査で登録された待避トラックのみをシークさせた。シークテスト後の磁気ヘッド素子部の写真を図１２に示す。図１１の写真と対比すると、磁気ヘッド素子部の書き込み素子と読み込み素子との間の炭素保護膜が摩耗し、その下のアルミナセラミックス部分が露出していることが観察された。
【符号の説明】
【００５１】
１…非磁性基板、２…非磁性下地層、３…磁性層、４…保護層、５…液体潤滑層、２１ａ…サーボ情報領域、２１ｂ…データ情報領域、２１、２２、２２ａ、２２ｂ…被検査媒体、２３…回転機構、２５ａ…磁気ヘッド、２６…フレキシブルプリント基板、２７…信号処理回路、２８…ヘッド駆動装置、２９…退避エリア、３２、３３、３３ａ、３３ｂ…支持アーム、３６…ピボット、Ｔ…トラック、Ｓ…セクタ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図７】
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【図１１】
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【図１２】
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