(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
取付箇所に固定するための固定部を一端側に有した外筒体と、
前記外筒体の前記一端側の開口から軸方向に伸縮可能とされたロッドと、
前記外筒体の他端側であって内部に設けられた軸受と、
前記軸受に回転可能に支持されるとともに、電動機の駆動力により回転駆動される回転軸と、
前記回転軸の回転運動を前記ロッドの直線運動に変換して伝達するねじ機構と、
前記外筒体の外周であって前記軸受が設けられた位置と前記固定部との間の位置に設けられる歪検出部とを備え、
前記外筒体は、少なくとも二以上の分割及び結合可能な分割部材からなり、かつ、前記固定部を有するとともに前記一端側に配置されている第１の分割部材と、前記軸受を保持する軸受保持部を有している第２の分割部材とを有し、
前記歪検出部は、前記第２の分割部材に設けられ、
前記外筒体は、前記歪検出部を取り付ける部分の外径が小さくされた薄肉状とされている電動シリンダ。
【請求項２】
取付箇所に固定するための固定部を一端側に有した外筒体と、
前記外筒体の前記一端側の開口から軸方向に伸縮可能とされたロッドと、
前記外筒体の他端側であって内部に設けられた軸受と、
前記軸受に回転可能に支持されるとともに、電動機の駆動力により回転駆動される回転軸と、
前記回転軸の回転運動を前記ロッドの直線運動に変換して伝達するねじ機構と、
前記外筒体の外周であって前記軸受が設けられた位置と前記固定部との間の位置に設けられる歪検出部とを備え、
前記外筒体は、少なくとも二以上の分割及び結合可能な分割部材からなり、かつ、前記固定部を有するとともに前記一端側に配置されている第１の分割部材と、前記軸受を保持する軸受保持部を有している第２の分割部材とを有し、
前記歪検出部は、前記第１の分割部材に設けられ、
前記外筒体は、前記歪検出部を取り付ける部分の外径が小さくされた薄肉状とされている電動シリンダ。
【請求項３】
さらに、前記電動機と前記回転軸との間に設けられる減速機を備える請求項１または請求項２記載の電動シリンダ。
【請求項４】
さらに、前記電動機の出力軸の回転力を前記回転軸に伝達する伝達機構を備え、
前記電動機は、前記出力軸が前記回転軸と平行になるように配置されるとともに、前記外筒体に対して軸方向に直交する位置に設けられ、
前記減速機は、前記回転軸と前記伝達機構との間に配置されている請求項３記載の電動シリンダ。
【請求項５】
取付箇所に固定するための固定部を一端側に有した外筒体と、
前記外筒体の前記一端側の開口から軸方向に伸縮可能とされたロッドと、
前記外筒体の他端側であって内部に設けられた軸受と、
前記軸受に回転可能に支持されるとともに、電動機の駆動力により回転駆動される回転軸と、
前記回転軸の回転運動を前記ロッドの直線運動に変換して伝達するねじ機構と、
前記外筒体の外周であって前記軸受が設けられた位置と前記固定部との間の位置に設けられる歪検出部とを備え、
前記外筒体は、少なくとも二以上の分割及び結合可能な分割部材からなり、かつ、前記固定部を有するとともに前記一端側に配置される第１の分割部材と、前記軸受を保持する軸受保持部を有するとともに前記他端側に配置される第３の分割部材と、前記第１の分割部材及び前記第３の分割部材の間に配置されている第２の分割部材とを有し、
前記歪検出部は、前記第２の分割部材に設けられ、
前記外筒体は、前記歪検出部を取り付ける部分の外径が小さくされた薄肉状とされている電動シリンダ。
【請求項６】
取付箇所に固定するための固定部を一端側に有した外筒体と、
前記外筒体の前記一端側の開口から軸方向に伸縮可能とされたロッドと、
前記外筒体の他端側であって内部に設けられた軸受と、
前記軸受に回転可能に支持されるとともに、電動機の駆動力により回転駆動される回転軸と、
前記回転軸の回転運動を前記ロッドの直線運動に変換して伝達するねじ機構と、
前記外筒体の外周であって前記軸受が設けられた位置と前記固定部との間の位置に設けられる歪検出部とを備え、
前記外筒体は、少なくとも二以上の分割及び結合可能な分割部材からなり、かつ、前記固定部を有するとともに前記一端側に配置される第１の分割部材と、前記軸受を保持する軸受保持部を有するとともに前記他端側に配置される第３の分割部材と、前記第１の分割部材及び前記第３の分割部材の間に配置されている第２の分割部材とを有し、
前記歪検出部は、前記第１の分割部材に設けられ、
前記外筒体は、前記歪検出部を取り付ける部分の外径が小さくされた薄肉状とされている電動シリンダ。
【請求項７】
前記第２の分割部材は、前記第１の分割部材との締結位置よりも前記一端側に筒状部分を有し、
該筒状部分は、前記固定部よりも前記一端側の位置まで設けられるとともに、前記固定部よりも前記一端側の位置で、前記ロッドの回転を規制し、
前記第１の分割部材は、前記第２の分割部材の前記筒状部分の外側を囲むように設けられる請求項６記載の電動シリンダ。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７の内いずれか１項に記載の電動シリンダと、
前記電動シリンダを制御する制御部とを備える電動シリンダシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば圧入装置やプレス装置に用いられ、電動機の回転運動を直線運動に変換する電動シリンダ及びこれを用いた電動シリンダシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種装置に用いられる電動シリンダとして、例えば特開平８−１１７９７０号公報やＣＮ１０７４８２０Ｃに記載されたものがある。この電動シリンダは、ねじ棒に螺合されたボールナットに取り付けられたピストンと、ねじ棒を回転制御するモータと、ピストンの前面に設けられた中空ロッドと、中空ロッドの中空部に挿入され、ねじ棒の先端に回転自在に設けた支持体と、を備える。中空ロッドの先端のロッドヘッドには、取付板を介してウレタンゴムが取り付けられ、このウレタンゴムの先端には金属保護板が設けられている。この電動シリンダは、高温に強く、且つ衝撃を弱めることができるので、重量のある高温状態の物体を押し出す押し出し装置や、受け止める受け止め装置に用いられるのに適している。
【０００３】
また、電動シリンダとして、例えば特開平９−２７１１５４号公報やＣＮ１１８２５０４Ａに記載されたものがある。この電動シリンダは、電動機と、該電動機に電動部材を介して連結する複数本平行のボールねじと、該ボールねじと螺合する複数個のボールナットと、ボールナットを一体に固定するスライダと、該スライダに固定したロッドとを備えている。さらに、電動シリンダとして、特開平９−２８９７５５号公報やＣＮ１１８９２５４Ａに記載されたものがある。さらにまた、特開平９−２１５２６４号公報やＣＮ１１２０３０６Ｃに記載されたものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−１１７９７０号公報
【特許文献２】中国特許公報１０７４８２０Ｃ
【特許文献３】特開平９−２７１１５４号公報
【特許文献４】中国特許公開公報１１８２５０４Ａ
【特許文献５】特開平９−２８９７５５号公報
【特許文献６】中国特許公開公報１１８９２５４Ａ
【特許文献７】特開平９−２１５２６４号公報
【特許文献８】中国特許公報１１２０３０６Ｃ
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したような電動シリンダを例えば圧入装置やプレス装置に用いる場合に、ロッドにより押す出す荷重の検出を行うことが望まれる場合がある。荷重検出を行う場合には、例えば電動シリンダのロッド先端にロードセル等の荷重変換器を設けることが考えられる。このロードセルにより検出された荷重値を用いることにより、圧入の際の押圧力の良否判定を行うことや、目標荷重まで監視しながらプレスを行う等の動作を可能とする。
【０００６】
しかしながら、例えば図１５（ａ）に示すように電動シリンダ４０１のロッド４０３の先端にロードセル４１０を設けた場合（治具４１２の手前に設けた場合）には、以下のような課題がある。図１５（ａ）に示すように、ロードセル４１０には出力ケーブル４１１が接続されることとなり、外筒体４０２に対するロッド４０３の繰り返しの往復運動によるケーブル４１１の屈曲動作により、このケーブル４１０が断線（Ｐ１部分等）する等の問題が生じる可能性がある。また、この電動シリンダ４０１を用いた装置による加工対象によってはロードセル自体や、出力ケーブルが干渉（Ｐ２部分等）する場合があり、干渉を回避するために例えば図１５（ａ）に示す治具４１２に換えて図１５（ｂ）に示すように必要以上に長い治具４１３を用いる必要が生じる等の課題が生じる可能性がある。また、軸方向の制限があるために長い治具で対応ができない場合には、電動シリンダ自体が使用できなくなる場面も生じうるといった課題がある。このように、荷重検出を必要とする場合に、構成を簡素化することや、軸方向の長さを縮小して小型化を実現することは困難であり、この電動シリンダを有するシステムのシステム構成も制限されている。さらに、電動シリンダは、各種設備や装置の構成要素として用いられるという事情から、構成の簡素化や小型化の実現とともに、短納期であることが望まれている。
【０００７】
すなわち、本技術分野では、荷重検出を可能としながら、構成を簡素化でき、且つ軸方向の長さを縮小して小型化でき、且つ納期の短縮を実現するとともに、電動シリンダを有するシステム構成の柔軟化を実現する電動シリンダが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面に係る電動シリンダは、当該電動シリンダの取付箇所に固定するための固定部を一端側に有した外筒体と、前記外筒体の前記一端側の開口から軸方向に伸縮可能とされたロッドと、前記外筒体の他端側であって内部に設けられた軸受と、前記軸受に回転可能に支持されるとともに、電動機の駆動力により回転駆動される回転軸と、前記回転軸の回転運動を前記ロッドの直線運動に変換して伝達するねじ機構と、前記外筒体の外周であって前記軸受が設けられた位置と前記固定部との間の位置に設けられる歪検出部とを備え、前記外筒体は、少なくとも二以上の分割及び結合可能な分割部材からなり、前記歪検出部は、二以上の分割部材のうちの一の分割部材に設けられる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の一側面に係る電動シリンダでは、外筒体を構成する分割部材に設けた歪検出部により荷重検出を行うことができるので、別途ロードセル等を設ける必要がなくなり、構成を簡素化できる。また、ロッド先端にロードセルを設けた場合に必要な出力ケーブル等を設ける必要もなくなり、このケーブルが繰り返される屈曲により断線する等の不具合も防止できる。さらに、外筒体が少なくとも二以上の分割部材からなり、歪検出部が二以上の分割部材のうちの一の分割部材に設けられていることから電動シリンダの生産（製造）に要する時間を短縮化できる。よって、本発明の一側面に係る電動シリンダは、荷重検出を必要とする装置において、構成を簡素化できるとともに、軸方向の長さを縮小して装置の小型化を実現でき、且つ納期の短縮を実現する。また、本発明の一側面に係る電動シリンダは、この電動シリンダを有するシステムにおける構成（システム構成）の柔軟化を実現でき、すなわち、電動シリンダ自体の軸方向の長さ縮小や小型化により、システム全体のフレキシブルな外部構成を実現する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】一実施形態に係る電動シリンダを有する電動シリンダシステムの概略図である。
【図２】電動シリンダの概略断面図である。
【図３】電動シリンダを構成する歪検出部を説明するための図である。（ａ）は、歪ゲージが外筒体に取り付けられた状態の一例を示す斜視図である。（ｂ）は、各歪ゲージを接続する配線の状態を示す概略図である。（ｃ）は、各歪ゲージ及び配線によりホイートストンブリッジが形成されていることを示すための配線図である。
【図４】電動シリンダのロッドの回転を規制している部材を説明するための図である。（ａ）は、ロッド外面に形成された溝部と、外筒体に圧入されるブッシュ部材に設けられた突出部との関係を示す斜視図である。（ｂ）は、該ブッシュ部材、ロッド及び外筒体の断面図である。（ｃ）は、（ｂ）の要部である溝部と突出部の拡大断面図である。（ｄ）は、揺動防止用のブッシュ部材、ロッド及び外筒体の断面図である。
【図５】電動シリンダのロッドの回転を規制する部材の他の例を示す図であり、スプライン形状の溝部及び突出部を採用した例の図である。（ａ）は、当該変形例におけるロッド外面に形成された溝部と、外筒体に圧入されるブッシュ部材に設けられた突出部との関係を示す斜視図である。（ｂ）は、（ａ）に示すブッシュ部材の断面図である。
【図６】電動シリンダのロッドの回転を規制する構造の他の例を示す図であり、滑りキーを用いた構造を採用した例の図である。（ａ）は、当該変形例におけるロッド外面に形成された溝部と、キー部材との関係を示す斜視図である。（ｂ）は、このキー部材と、外筒体とを示す側面図である。（ｃ）は、このキー部材と、外筒体と、ロッド部材との関係を示す正面方向からの断面図である。（ｄ）は、このキー部材と、外筒体との関係を示すロッド先端側から基端側に向けた方向の断面図である。
【図７】図４及び図５に示したブッシュ構造の回転規制機構と、図６に示した滑りキー構造の回転規制機構とを比較するための図である。（ａ）は、図６に示す滑りキー構造の回転規制機構を示す断面図であり、（ｂ）は、図４に示すブッシュ構造の回転規制機構を示す断面図である。
【図８】反力としてロッドに加わる軸方向の荷重が、ロッドからねじ機構を経由して伝達される範囲を説明するための図である。
【図９】分割方式の電動シリンダの有利な点を説明するため、これと比較する比較例（単一部材方式）を示す図である。（ａ）は、比較例（単一部材方式）の電動シリンダの概略断面図である。（ｂ）は、比較例においてロッドストロークが長い場合の概略断面図である。
【図１０】分割方式の電動シリンダの有利な点を説明するための図である。（ａ）は、図２に示す実施例（２分割方式）の電動シリンダ（標準ストローク）の概略断面図である。（ｂ）は、実施例においてロッドストロークが長い場合の概略断面図である。
【図１１】図１の電動シリンダシステムに用いることができる電動シリンダの他の例の概略断面図である。
【図１２】図１の電動シリンダシステムに用いることができる電動シリンダの更に他の例の概略断面図であり、３分割方式の電動シリンダの概略断面図である。
【図１３】３分割方式の電動シリンダの他の例の概略断面図である。
【図１４】３分割方式の電動シリンダの更に他の例の概略断面図である。
【図１５】電動シリンダのロッド先端にロードセルを設けた場合の問題点を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、一実施形態に係る電動シリンダ１を有する電動シリンダシステム（電動サーボシリンダシステム）１００について図面を参照して説明する。電動シリンダシステム１００は、図１に示すように、電動シリンダ１と、電動シリンダを制御する制御部１０１と、電動シリンダ１を取り付けるためのシステム本体フレーム１０２とを有する。
【００１２】
電動シリンダ１は、図２に示すように、外筒体２と、ロッド３と、軸受４と、回転軸５と、ねじ機構６と、歪検出部７とを備える。外筒体２は、例えば円筒状のケーシングであり、一端側２ａに当該電動シリンダ１の取付箇所（システム本体フレーム１０２の取付部１０３）に固定するための固定部１１を有している。また、外筒体２は、少なくとも二以上の分割及び結合可能な分割部材からなり、歪検出部７は、二以上の分割部材のうちの一の分割部材に設けられる。
【００１３】
具体的に、例えば、外筒体２は、第１の分割部材５１と、第２の分割部材５２とを有する。第１の分割部材５１は、固定部１１を有するとともに一端側２ａに配置される。第２の分割部材５２は、軸受４を保持する軸受保持部１３を有している。第１及び第２の分割部材５１，５２は、例えばフランジ等の結合部５１ａ，５２ａを、ねじ等の締結部材５５により締結されることにより結合され、外筒体２として機能する。
【００１４】
歪検出部７は、第２の分割部材５２に設けられる。尚、歪検出部は、図１１に示すように一端側２ａの第１の分割部材に設けられるように構成してもよく、図１１に示す例については後述する。
【００１５】
固定部１１は、例えばフランジ等であり、ねじ１０等によりフレーム１０２の取付部１０３に締結され、電動シリンダ１がシステムに固定される。
【００１６】
ロッド３は、外筒体２の一端側（一端２ａが設けられた側）の開口２ｂから軸方向に伸縮可能とされている。ロッド３の伸縮とは、開口２ｂから軸方向に伸びるように突出することと、軸方向に縮むように開口２ｂより内部に引っ込むこと（外筒体２から突出した部分が小さくなる方向に縮むこと）とを意味する。
【００１７】
軸受４は、外筒体２の他端側（他端２ｃが設けられた側）であって内部に設けられている。回転軸５は、軸受４に回転可能に支持されるとともに、電動機１２の駆動力により回転駆動される。ねじ機構６は、回転軸５の回転運動をロッド３の直線運動に変換して伝達する。歪検出部７は、外筒体２の外周であって軸受４が設けられた位置と固定部１１との間の位置に設けられる。
【００１８】
具体的に、歪検出部７は、軸受４の固定部１１側の端部４ａと、固定部１１との間の位置に設けられる。「軸受４の固定部１１側の端部４ａ」とは、軸受４の外周に位置して軸受４を保持する軸受保持部１３の当接部１３ａに軸受４が当接する部分を意味するものとする。これは、歪検出部７の軸方向の位置が、軸受４の引張り方向の力を受ける位置と固定部１１との間の位置で、且つ軸受４の圧縮方向の力を受ける位置と固定部１１との間の位置であることが必要であるからである。軸受保持部１３は、ここでは、外筒体２の第２の分割部材５２に一体に設けられる部材であり、軸受４を保持する部材である。尚、軸受保持部は、外筒体２と一体に限られるものではなく、別体で設けるようにしてもよい。
【００１９】
また、歪検出部７は、外筒体２の軸受４の取付位置と固定部１１との間の部分に加わる軸方向の荷重を検出して電気信号に変換する。外筒体２の第２の分割部材５２は、歪検出部７を取り付ける部分５２ｄの外径が第２の分割部材５２の他の部分の外径よりも小さくされた薄肉状とされている。尚、歪検出部７を取り付ける部分は薄肉形状に限られるものではなく（後述の他の歪検出部６７、２０７、２３７、２６７も同様）、例えば均一な太さの筒状部材に設けてもよい。なお、このような薄肉形状とされていることにより、歪検出部７を取り付ける部分５２ｄに、保護カバーを設けたときに外形寸法を小さく抑えることを可能とする。また、この部分５２ｄは、推力に耐えうる断面積となるような厚さで且つ後述の歪ゲージによって外筒体２の第２の分割部材５２に掛かる反力を検出可能な程度の薄さにすることが要求される。この観点においても薄肉状とすることが都合がよい。
【００２０】
歪検出部７は、例えば、図３に示すように配置された複数の歪ゲージＲｇ１〜Ｒｇ４からなる。尚、図３は説明の分かり易さのため外筒体２の第２の分割部材５２の薄肉形状とされた検出部の取り付け用の部分５２ｄのみを図示している。なお、実際にはその上下に連続的に同一部材が設けられる。歪検出部７は、各歪ゲージＲｇ１〜Ｒｇ４を接続する接続配線７ａと、必要に応じて端子台７ｂとを有する。そして、例えば図３（ｂ）や図３（ｃ）に示す（１）と（２）との間のＥが印加電圧であり、（３）と（４）との間のｅ０が出力電圧である。図３（ｃ）に示すように各ゲージによりホイートストンブリッジを形成することで、印加電圧に比例し、且つひずみに比例する電圧信号が出力される。歪検出部７の出力は、図１に示すように制御部１０１の第１のコントローラ１０４に送られる。
【００２１】
ロッド３は、回転軸５が挿通可能な筒状に形成される。ロッド３の外径は、外筒体２の内径より小さく形成される。ねじ機構６は、ボールねじである。尚、ねじ機構６は、例えば台形ネジや角ネジであってもよい。台形ネジは、雄ネジ及び雌ネジの断面が台形であるネジをいい、角ネジは、雄ネジ及び雌ネジの断面が矩形であるネジをいう。また、その他軸方向の荷重を受け、回転運動を直線運動へ変換する機械要素を用いても良い。ここで説明するロッド３には、ボールねじであるねじ機構６のナット部材１５が一体とされている。回転軸５に一体とされる雄ねじ部分１６は、ナット部材１５及びボール１７とともにボールねじを構成している。
【００２２】
ロッド３の端部３ａの外周には、軸方向に形成された溝部１８が一又は複数設けられる。ここでは、図４（ａ）に示すように、溝部１８が円周方向に等間隔で３箇所設けられている。この端部３ａは、外筒体２の一端側２ａの開口２ｂから飛び出す側の端部である。一方、外筒体２の一端側２ａの開口２ｂの内側には、圧入（締りばめ）により嵌合されたブッシュ部材１９が取り付けられている。ブッシュ部材１９の内面には、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、溝部１８に対応する一又は複数の突出部２０が形成されている。ここでは、３箇所の突出部２０が設けられている。ブッシュ部材１９は円筒の内面に軸方向に形成された突出部２０を有する形状を呈している。突出部２０は、溝部１８と係合することでロッド３の回転を規制する。尚、突出部２０及び溝部１８の間には、図４（ｃ）に示すように、ロッド３が外筒体２に対して軸方向に摺動可能な程度の微小な隙間が形成されている。また、同様に、ブッシュ部材１９の内面とロッド３の外面との間にも、ロッド３が外筒体２に対して軸方向に摺動可能な程度の微小な隙間が形成されている。尚、図４（ａ）に示すように、ロッド３の先端である端部３ａには、電動シリンダシステム１００の構成の必要に応じて治具（例えば図１の圧入用治具１０８）を取り付けるためのボルト穴２１が設けられている。
【００２３】
図４（ａ）〜図４（ｃ）で説明したブッシュ部材１９は、回転規制用のブッシュ部材である。外筒体２（第１の分割部材５１）には、さらに、揺動防止用のブッシュ部材２２が設けられている。このブッシュ部材２２は、図４（ｄ）に示すように、円筒状に形成され、圧入により外筒体２内に嵌合される。ブッシュ部材２２の内面とロッド３の外面との間には、ロッド３が外筒体２に対して摺動可能な程度の微小な隙間が形成されている。ブッシュ部材１９及びブッシュ部材２２は、図２に示すように、所定の距離を有して配置されている。ブッシュ部材１９及びブッシュ部材２２は、ロッド３が軸に対して傾斜するように揺動動作することを防止する。ロッド３が揺動動作してしまうと、ねじ機構６の機能が発揮できず、すなわちボールねじ部に不必要な力が発生することとなり、さらに、ボールねじ部の各部品に偏った磨耗等が発生してねじ機構が損傷する問題が発生するおそれがある。ブッシュ部材１９及びブッシュ部材２２は、このような問題を防止する。以上のようにブッシュ部材１９は、回転規制機能と、揺動防止機能を兼ね備える。
【００２４】
尚、電動シリンダ１を構成する回転規制用のブッシュ部材と、溝部の構成はこれに限られるものではない。例えば、ＪＩＳ  Ｂ１６０１の角形スプライン、ＪＩＳ  Ｂ１６０３のインボリュートスプライン、ＪＩＳ  Ｂ１１９３のボールスプライン等のスプライン形状の溝及び突出部を有するブッシュ部材を構成するようにしてもよい。例えば、上述した溝部１８及びブッシュ部材１９に換えて、図５に示すような溝部２８及びブッシュ部材２９を有するように構成しても良い。図５（ａ）に示すように、溝部２８が、溝部１８と同様に、ロッド３の外周に、端部３ａから軸方向に設けられている。溝部２８は、円周方向に等間隔で８箇所設けられている。外筒体２に圧入されるブッシュ部材２９の内面には、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、溝部２８に対応する複数の突出部３０が形成されている。ここでは、８箇所の突出部３０が設けられており、溝部２８と係合することでロッド３の回転を規制する。尚、突出部３０及び溝部２８の間には、適度の隙間が形成され、ブッシュ部材２９の内面とロッド３の外面との間にも、適度の隙間が形成され、ロッド３が外筒体２に対して軸方向に摺動可能とされている。
【００２５】
また、電動シリンダ１を構成する回転規制機構は、上述のブッシュ部材１９，２９を用いたブッシュ構造に限られるものではない。すなわち、図６に示すような滑りキーを用いた構造としてもよい。すなわち、上述した溝部１８及びブッシュ部材１９に換えて、溝部３２及びキー部材３３を有するように構成してもよい。滑りキー構造とする場合には、上述したブッシュ部材２２と同様の揺動防止機能のみを有する円筒状のブッシュ部材３４を設ける必要がある。キー部材３３は、外筒体２に設けた開口部３３ａにねじ部材３３ｂにより取り付けられる。キー部材３３は、外筒体２に取り付けられたときに、溝部３２側に突出する突出部３３ｃを有している。突出部３３ｃは、溝部３２と係合することでロッド３の回転を規制する。突出部３３ｃ及び溝部３２の間には、ロッド３が外筒体２に対して軸方向に摺動可能な程度の微小な隙間が形成される。
【００２６】
上述の回転規制機構のうち、ブッシュ部材１９，２９を用いたブッシュ構造は、キー部材３３を用いた滑りキー構造に比べて電動シリンダ１の軸方向の長さを短縮するという観点及び構成の簡素化という観点からは有利である。この点について図７を用いて説明する。図７（ａ）に示すように滑りキー構造を採用した場合（キー部材３３等を用いた場合）には、ロッド３に設けた溝部３２の内、揺動防止用のブッシュ部材３４の部分は、回転規制として使用できない。その一方で図７（ｂ）に示すようにブッシュ構造を採用した場合（ブッシュ部材１９等を用いた場合）には、ロッド３に設けた溝部１８は、先端まで回転規制用として用いることができる。よって、ブッシュ構造を採用した方が、図７に示すＬ１分だけ軸方向の寸法を短縮することができる。
【００２７】
ところで、電動機１２は、モータ本体３７と、出力軸３８と、エンコーダ３９とを有する。また、電動シリンダ１は、電動機１２の出力軸３８の回転力を回転軸５に伝達する伝達機構４０を備えている。伝達機構４０は、出力軸３８に接続されるタイミングプーリ４１と、回転軸５に接続されるタイミングプーリ４２と、タイミングプーリ４１，４２間に巻き回されるタイミングベルト４３とを有する。伝達機構４０は、出力軸３８の回転力を、回転軸５に伝達することができる。この際、タイミングプーリ４１，４２の径の大きさの関係を変更することで、所望の減速率で減速又は増速することができる。回転軸５は、外筒体２（軸受保持部１３）及び伝達機構４０において複数の軸受４６により回転方向の力を受けるようにされている。軸受４６は、所謂ラジアル軸受である。一方、上述した軸受４は、回転軸５にかかる推力を受けるようにされている。この軸受４は、所謂スラスト軸受であり、ベアリングナット４７により、回転軸５と一体とされる。また、軸受４は、上述した軸受保持部１３に嵌合されている。
【００２８】
電動機１２は、出力軸３８が回転軸５と平行となるように配置されるとともに、外筒体２に対して軸方向に直交する位置に設けられる。すなわち、出力軸３８と回転軸５が一致しておらず、全体としてコ字状（Ｕ字状）となるように配置されている。換言すると、回転軸５及び出力軸３８は、伝達機構４０に対して共に同じ方向に向けて配置されている。よって、外筒体２及びモータ本体３７が軸方向に重なる位置に配置でき、すなわち装置全体の軸方向の寸法を小さくすることができる。尚、電動シリンダ１において、伝達機構４０を設けずに、出力軸３８と回転軸５が一致（互いに延長線上に位置）するように配置して、全体としてＩ字状となるように配置するようにしてもよい。この場合、伝達機構４０は不要となるが、装置全体の軸方向の寸法は図２を用いて説明した上述の方が短くでき、この観点からは有利である。電動機１２と伝達機構４０は、ボルト４８で一体となるように固定されている。外筒体２と伝達機構４０は、ボルト４９で一体となるように固定されている。
【００２９】
回転軸５と伝達機構４０との間には、減速機４４が配置されている。電動シリンダ１は、減速機４４を備えることにより、所望の力及び速度で回転軸５を回転でき、所望の推力及び速度でロッド３を出し入れすることが可能である。また、電動シリンダ１は、伝達機構４０の減速のみに頼ると伝達機構のプーリが大きくなり装置全体が大きくなりすぎるおそれがある。しかし、減速機４４を有することによりこのような問題を解消して装置の小型化を可能とする。また、減速機は、電動機１２と伝達機構４０との間に配置することも可能である。しかし、図２に示すように回転軸５と伝達機構４０との間に配置することにより次の効果がある。すなわち、減速機を電動機１２側に配置した場合には、電動機１２の端部（図２では下端部）が電動シリンダシステム１００のシステム本体フレーム１０２側に近づく。システム全体の都合により、外筒体２の取付部である固定部１１を伝達機構４０側（図２では上側）に移動するように設計変更したい場合がある。しかし、減速機を電動機１２側に配置すると、電動機１２が本体フレーム１０２に干渉し、上述の設計変更ができないこととなる。すなわち、システム全体の自由度が低下することとなる。図２に示す電動シリンダ１は、減速機４４が回転軸５と伝達機構４０との間に配置されているため、該問題を防止でき、すなわち、電動シリンダシステム１００のシステム全体の自由度を向上させることができる。
【００３０】
以上のような電動シリンダ１により、例えば図８に示すように被加工物１２０を押圧するとその押圧荷重Ｘ１が反力となって、矢印Ｘ２〜Ｘ８に示すように各部材を伝達することとなる。そして固定部１１において固定されている外筒体２の矢印Ｙ１で示される部分に引っ張り力が発生することとなる。また、電動シリンダ１が例えば図８と逆方向に力が掛かるように用いられる場合には、矢印Ｘ２〜Ｘ５の部分に反力が各部材を伝達し、軸受４の固定部１１側の端部４ａから図中下方向に、軸受保持部１３の当接部１３ａに、その反力が伝達することとなる。そして固定部１１において固定されている外筒体２の矢印Ｙ２で示される部分に圧縮力が発生することとなる。歪検出部７は、図２に示すようにボールねじのナット部材１５の外側に位置しており、すなわち、軸受４の固定部１１側の端部４ａと、固定部１１との間の位置に設けられている。よって、歪検出部７は、上述したＹ１で示される引っ張り力が加わる範囲を考慮した場合にもＹ２で示される圧縮力が加わる範囲を考慮した場合にもそのロッド３に加わる軸方向の荷重（反力）を検出することが可能である。
【００３１】
尚、電動シリンダ１は、電動シリンダ特有の構造、すなわち外筒体２には上述の反力以外の外力が発生しないことに鑑みて、この外筒体２の上述したような引張り力も圧縮力も反力として掛かる部分に歪検出部７を設けてもよい。すなわち、ケーシングとしての外筒体２を歪検出部の取付部として兼用させ、その構成の簡素化及び適切な軸方向の荷重検出を実現したものである。
【００３２】
以上のように、電動シリンダ１は、上述したような外筒体２、ロッド３、軸受４、回転軸５、ねじ機構６、歪検出部７を備え、外筒体２（第２の分割部材５２）に設けた歪検出部７により荷重検出を行うことができるので、別途ロードセル等を設ける必要がなくなり、構成の簡素化を実現できる。
【００３３】
また、電動シリンダ１は、ロッド先端にロードセルを設けた場合に必要な出力ケーブル（可動側の端部がロッド先端と一緒に動くようにたるみを有した出力ケーブル）等を設ける必要もなくなり、このケーブルが繰り返される屈曲により断線する等の不具合も防止できる。よって、電動シリンダ１は、荷重検出を必要とする場合において、構成を簡素化できるとともに、軸方向の長さを縮小して装置の小型化を実現する。
【００３４】
さらに、電動シリンダ１は、これを有する電動シリンダシステム１００における構成（システム構成）の柔軟化を実現でき、すなわち、電動シリンダ自体の軸方向の長さ縮小や小型化により、システム全体のフレキシブルな外部構成を実現する。
【００３５】
さらにまた、電動シリンダ１は、外筒体２が、分割及び結合可能な第１及び第２の分割部材５１，５２からなり、歪検出部７が、第１及び第２の分割部材のうちの一の分割部材（第２の分割部材５２）に設けられてもよい。このように、電動シリンダ１は、２分割方式であることにより「納期の短縮化」を実現する。この点について、図９及び図１０を用いて分割部材を有さない単一部材方式と比較して説明する。
【００３６】
図９の電動シリンダ５０１は、比較例であり、外筒体５０２が単一部材方式である。外筒体５０２の方式が異なることや、軸受保持部材５１３が外筒体５０２と別体に設けられることを除いて上述した電動シリンダ１と同様の構成を備えるので、同じ部分には、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。電動シリンダ５０１は、図９に示すように、外筒体５０２と、ロッド３と、軸受４と、回転軸５と、ねじ機構６と、歪検出部５０７とを備える。
【００３７】
外筒体５０２は、例えば円筒状のケーシングであり、一端側５０２ａに当該電動シリンダ５０１の取付箇所（システム本体フレーム１０２の取付部１０３）に固定するための固定部１１を有している。外筒体５０２は、金属材料から削り出されることにより、すなわち固定部１１を含めて所謂一体物（単一の部材）で形成されている。歪検出部５０７は、歪検出部７と同様に構成されている。
【００３８】
図９の電動シリンダ５０１は、電動シリンダ１と同様に、構成を簡素化できるとともに、軸方向の長さを縮小して装置の小型化を実現する。しかし、納期を考慮すると次のような問題がある。外筒体５０２の製作は、外筒体５０２自体の製作工程と、この外筒体５０２に歪検出部５０７としての歪ゲージを貼り付ける工程とからなる。これらの工程は、別個に行う必要があるため、他の部品に比べて製作日程が長い。ストローク（ロッドの可動長さ）が標準の仕様であれば、この外筒体５０２を在庫しておけば、製作日程を短縮できる。しかし、例えば、図９（ｂ）に示すようなロングストローク仕様の電動シリンダや、逆にショートストローク仕様の電動シリンダの場合には、全ての長さに対応して在庫を持つことは現実的ではなく、製作日程の短縮は困難である。よって、完成までの製作日程が長くなり、納期の短縮化は困難である。
【００３９】
一方で、図２の電動シリンダ１の場合は、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示すように、ストロークが異なる場合にも、歪検出部７が設けられる第２の分割部材５２の長さを同じにすれば、この第２の分割部材５２を在庫として保有することで、納期を短縮化できる。すなわち、先端側の第１の分割部材５１とボールねじ軸とロッドだけをストロークに合わせて製作すればよいため、各部品の製作工程を短くできる。この第１の分割部材５１は、歪検出部７を有する第２の分割部材５２に比べて元々納期が短いからである。このように、電動シリンダ１は、外筒体２が少なくとも二以上の分割部材５１，５２からなり、歪検出部が二以上の分割部材のうちの一の分割部材５２に設けられていることから電動シリンダの生産（製造）に要する時間を短縮化できる。
【００４０】
また、電動シリンダ１の場合には、ロードセルに不具合が発生した場合にも、第２の分割部材５２のみ変更すればよいというメリットもある。さらに、回転規制用のブッシュ部材１９等が磨耗して不具合が発生した場合にも、第１の分割部材５１のみ変更すればよいというメリットもある。また、外筒体２を２部材から構成することで部品点数は増えてしまうが、個々の部材（第１及び第２の分割部材５１，５２）の長さが短くなるため、加工は容易となる。このように、電動シリンダ１は、短納期化を実現するとともに、メンテナンス及び修理コストを抑えることも実現できる。
【００４１】
次に、この電動シリンダ１を有する電動シリンダシステム１００について説明する。図１に示すように、電動シリンダシステム１００に設けられた制御部１０１は、歪検出部７からの検出信号を受信する第１のコントローラ１０４と、周辺機器や作業状態に合わせての動作指示を行う第２のコントローラ１０５と、電動機１２を駆動制御するとともに電動機１２のエンコーダ３９からの信号を受信するモータドライバ１０６とを有する。
【００４２】
モータドライバ１０６は、第１のコントローラ１０４からの動作条件の指令に基づいて電動機１２の回転制御（回転指令）を行う。モータドライバ１０６は、エンコーダ３９からエンコーダパルス数の信号を受信し、この受信した情報を含めた電動機１２の各種情報を第１のコントローラ１０４に送信する。第１のコントローラ１０４は、エンコーダ３９からの情報を受信するとともに、歪検出部７からロッド３に加わる軸方向の荷重の検出出力信号を、すなわち荷重（推力）に比例した出力を受信する。第２のコントローラ１０５は、プログラマブルロジックコントローラ（Programmable Logic Controller）であり、第１のコントローラ１０４から各種情報を受け取るとともに、第１のコントローラ１０４に対して部品の投入・取り出しを行う周辺機器や作業状態に合わせての動作指示等を行う。第１のコントローラ１０４は、随時ロッド３の位置や、ロッド３に加わる軸方向の荷重をモニタし、次の制御サイクルの動作条件を設定・演算してモータドライバ１０６への指示（制御）を行う。以上のように、制御部１０１は、電動機１２のエンコーダ３９からの信号と、荷重検出手段（荷重検出部）としての歪検出部７からの信号に基づいて電動シリンダ１を制御する。
【００４３】
電動シリンダシステム１００は、電動シリンダ１と、電動シリンダ１を制御する制御部１０１とを備え、電動シリンダ１は、上述したような外筒体２と、ロッド３と、軸受４と、回転軸５と、回転軸５の回転運動をロッド３の直線運動に変換して伝達するねじ機構６と、ロッド３に加わる軸方向の荷重を、ロッド３からねじ機構６を経由して伝達された位置で検出する荷重検出手段としての歪検出部７とを有し、制御部１０１が、電動機１のエンコーダ３９からの信号と、荷重検出手段（歪検出部７）からの信号に基づいて電動シリンダ１を制御する構成としてもよい。電動シリンダシステム１００は、システム構成を簡素化及び柔軟化するとともに、荷重検出及び位置検出を行うことを実現する。
【００４４】
すなわち、電動シリンダシステム１００は、荷重検出手段である歪検出部７が、ロッド３からねじ機構６を経由して伝達された位置でロッド３に加わる軸方向の荷重を検出するので、ロッド３先端にロードセルを設ける必要がなくなり、構成を簡素化できる。換言すると、伸縮動作するロッド３に荷重検出手段を設けるのではなく、固定側ともいえる外筒体２側に荷重検出手段を設けてもよい。また、ロッド先端にロードセルを設けた場合に必要な出力ケーブル等を設ける必要もなくなり、このケーブルが繰り返される屈曲により断線する等の不具合も防止できる。よって、荷重検出及び位置検出を必要とするシステムにおいて、構成を簡素化できるとともに、小型化を実現する。また、システム構成の柔軟化や、システム全体のフレキシブルな外部構成を実現する。
【００４５】
電動シリンダシステム１００は、電動シリンダ１を用いることにより、上述した電動シリンダ１自体の有利な効果をも兼ね備えるものである。尚、この電動シリンダシステム１００に用いられる電動シリンダは、上述した電動シリンダ１に限られるものではなく、図１１に示す電動シリンダ６１を用いてもよい。
【００４６】
次に、電動シリンダシステム１００に用いることが可能な電動シリンダ６１について説明する。電動シリンダ６１においては、歪検出部６７が先端側（一端側６２ａ）の第１の分割部材７１に設けられることを除いて上述した電動シリンダ１と同様であるので、同じ部分（構成）には、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４７】
具体的に、電動シリンダ６１は、図１１に示すように、外筒体６２と、ロッド３と、軸受４と、回転軸５と、ねじ機構６と、歪検出部６７とを備える。外筒体６２は、第１の分割部材７１と、第２の分割部材７２とを有する。第１の分割部材７１は、固定部１１を有するとともに一端側６２ａに配置される。第２の分割部材７２は、軸受４を保持する軸受保持部１３を有している。第１及び第２の分割部材７１，７２は、例えばフランジ等の結合部７１ａ，７２ａを、ねじ等の締結部材７５により締結されることにより結合され、外筒体６２として機能する。
【００４８】
歪検出部６７は、第１の分割部材７１に設けられる。歪検出部６７は、第１の分割部材７１に設けられる点を除いて、上述した歪検出部７と同様の構成である。外筒体６２の第１の分割部材７１は、歪検出部６７を取り付ける部分７１ｄの外径が第１の分割部材７１の他の部分の外径よりも小さくされた薄肉状とされている。
【００４９】
以上のように、電動シリンダ６１は、上述したような外筒体６２、ロッド３、軸受４、回転軸５、ねじ機構６、歪検出部６７を備え、外筒体６２（第１の分割部材７１）に設けた歪検出部６７により荷重検出を行うことができるので、別途ロードセル等を設ける必要がなくなり、構成の簡素化を実現できる。
【００５０】
さらに、電動シリンダ６１は、軸方向の長さを縮小して装置の小型化を実現し、納期の短縮化を実現し、電動シリンダシステム１００のフレキシブルな外部構成を実現する。また、歪検出部６７が先端側の第１の分割部材７１にあるため、交換の手間は少ない。
【００５１】
また、電動シリンダシステム１００に用いられる電動シリンダは、上述した電動シリンダ１，６１のような２分割方式に限られるものではなく、３分割方式であってもよい。例えば、図１２〜図１４に示す電動シリンダ２０１，２３１，２６１であってもよい。次に、電動シリンダ２０１，２３１，２６１について説明するが、３分割方式であることを除いて上述した電動シリンダ１と同様であるので、同じ部分（構成）には、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
【００５２】
図１２に示す電動シリンダ２０１は、外筒体２０２と、ロッド３と、軸受４と、回転軸５と、ねじ機構６と、歪検出部２０７とを備える。外筒体２０２は、少なくとも二以上の分割及び結合可能な分割部材からなり、歪検出部２０７は、二以上の分割部材のうちの一の分割部材に設けられる。
【００５３】
具体的に、例えば、外筒体２０２は、第１の分割部材２１１と、第２の分割部材２１２と、第３の分割部材２１３とを有する。第１の分割部材２１１は、固定部１１を有するとともに一端側２０２ａに配置される。第３の分割部材２１３は、軸受４を保持する軸受保持部１３を有するとともに他端側２０２ｃに配置され、第２の分割部材２１２は、第１の分割部材２１１及び第３の分割部材２１３の間に配置されている。
【００５４】
第１及び第２の分割部材２１１，２１２は、例えばフランジ等の結合部２１１ａ，２１２ａを、ねじ等の締結部材２１５により締結されることにより結合される。第２及び第３の分割部材２１２，２１３は、例えばフランジ等の結合部２１２ｂ，２１３ｂを、ねじ等の締結部材２１６により締結されることにより結合される。これにより第１乃至第３の分割部材２１１，２１２，２１３は、外筒体２０２として機能する。
【００５５】
歪検出部２０７は、第２の分割部材２１２に設けられる。歪検出部２０７は、第２の分割部材２１２に設けられる点を除いて、上述した歪検出部７と同様の構成である。外筒体２０２の第２の分割部材２１２は、歪検出部２０７を取り付ける部分２１２ｄの外径が第２の分割部材２１２の他の部分の外径よりも小さくされた薄肉状とされている。
【００５６】
以上のように、電動シリンダ２０１は、上述したような外筒体２０２、ロッド３、軸受４、回転軸５、ねじ機構６、歪検出部２０７を備え、外筒体２０２（第２の分割部材２０２）に設けた歪検出部２０７により荷重検出を行うことができるので、別途ロードセル等を設ける必要がなくなり、構成の簡素化を実現できる。
【００５７】
尚、３分割方式の電動シリンダ２０１は、上述した２分割方式と同様に、図９に示す単一部材方式と比べて納期の短縮化を実現する。また、電動シリンダ２０１は、メンテナンス及び修理コストを抑えることも実現できる。３分割方式の電動シリンダ２０１は、２分割方式の電動シリンダ１と比べると、少し構成要素が増加するが、個々の部材（第１乃至第３の分割部材２１１，２１２，２１３）の長さが短くなるため、加工は容易となる。
【００５８】
図１３に示す電動シリンダ２３１は、外筒体２３２と、ロッド３と、軸受４と、回転軸５と、ねじ機構６と、歪検出部２３７とを備える。外筒体２３２は、第１の分割部材２４１と、第２の分割部材２４２と、第３の分割部材２４３とを有する。第１の分割部材２４１は、固定部１１を有するとともに一端側２３２ａに配置される。第３の分割部材２４３は、軸受４を保持する軸受保持部１３を有するとともに他端側２３２ｃに配置され、第２の分割部材２４２は、第１の分割部材２４１及び第３の分割部材２４３の間に配置されている。
【００５９】
第１及び第２の分割部材２４１，２４２は、例えばフランジ等の結合部２４１ａ，２４２ａを、ねじ等の締結部材２４５により締結されることにより結合される。第２及び第３の分割部材２４２，２４３は、例えばフランジ等の結合部２４２ｂ，２４３ｂを、ねじ等の締結部材２４６により締結されることにより結合される。これにより第１乃至第３の分割部材２４１，２４２，２４３は、外筒体２３２として機能する。
【００６０】
歪検出部２３７は、第１の分割部材２４１に設けられる。歪検出部２３７は、第１の分割部材２４１に設けられる点を除いて、上述した歪検出部７，２０７と同様の構成である。外筒体２３２の第１の分割部材２４１は、歪検出部２３７を取り付ける部分２４１ｄの外径が第１の分割部材２４１の他の部分の外径よりも小さくされた薄肉状とされている。
【００６１】
以上のように、電動シリンダ２３１は、上述したような外筒体２３２、ロッド３、軸受４、回転軸５、ねじ機構６、歪検出部２３７を備え、外筒体２３２（第１の分割部材２４１）に設けた歪検出部２３７により荷重検出を行うことができるので、別途ロードセル等を設ける必要がなくなり、構成の簡素化を実現できる。
【００６２】
図１４に示す電動シリンダ２６１は、外筒体２６２と、ロッド３と、軸受４と、回転軸５と、ねじ機構６と、歪検出部２６７とを備える。外筒体２６２は、第１の分割部材２７１と、第２の分割部材２７２と、第３の分割部材２７３とを有する。第１の分割部材２７１は、固定部１１を有するとともに一端側２６２ａに配置される。第３の分割部材２７３は、軸受４を保持する軸受保持部１３を有するとともに他端側２６２ｃに配置され、第２の分割部材２７２は、その主要部２７２ｂが、第１の分割部材２７１及び第３の分割部材２７３の間に配置されるように取り付けられる。
【００６３】
第１及び第２の分割部材２７１，２７２は、例えばフランジ等の結合部２７１ａ，２７２ａを、ねじ等の締結部材２７５により締結されることにより結合される。第２及び第３の分割部材２７２，２７３は、例えばフランジ等の結合部２７２ｂ，２７３ｂを、ねじ等の締結部材２７６により締結されることにより結合される。これにより第１乃至第３の分割部材２７１，２７２，２７３は、外筒体２６２として機能する。
【００６４】
第２の分割部材２７２は、第１の分割部材２７１との締結位置よりも一端側２６２ａに筒状部分２７２ａを有する。該筒状部分２７２ａは、固定部１１よりも一端側２６２ａの位置まで設けられるとともに、固定部１１よりも一端側２６２ａの位置で、ロッド３の回転を規制する。具体的に、外筒体２６２（第２の分割部材２７２の筒状部分２７２ａ）の一端側２６２ａの開口２６２ｂの内側には、圧入（締りばめ）により嵌合されたブッシュ部材１９が取り付けられる。このブッシュ部材１９は、図４を用いて上述したのと同様に、ロッド３の溝部１８と係合することでロッド３の回転を規制する。第１の分割部材２７１は、第２の分割部材２７２の筒状部材２７２ａの外側を囲むように設けられる。
【００６５】
歪検出部２６７は、第１の分割部材２７１に設けられる。歪検出部２６７は、第１の分割部材２７１に設けられる点を除いて、上述した歪検出部７，２０７と同様の構成である。外筒体２６２の第１の分割部材２７１は、歪検出部２６７を取り付ける部分２７１ｄの外径が第１の分割部材２７１の他の部分の外径よりも小さくされた薄肉状とされている。
【００６６】
以上のように、電動シリンダ２６１は、上述したような外筒体２６２、ロッド３、軸受４、回転軸５、ねじ機構６、歪検出部２６７を備え、外筒体２６２（第１の分割部材２７１）に設けた歪検出部２６７により荷重検出を行うことができるので、別途ロードセル等を設ける必要がなくなり、構成の簡素化を実現できる。
【００６７】
以上のように、３分割方式の電動シリンダ２０１，２３１，２６１は、軸方向の長さを縮小して装置の小型化を実現し、納期の短縮化を実現し、電動シリンダシステム１００のフレキシブルな外部構成を実現する。
【符号の説明】
【００６８】
１…電動シリンダ、２…外筒体、３…ロッド、４…軸受、５…回転軸、６…ねじ機構、７…歪検出部、１１…固定部、１００…電動シリンダシステム。
【図１】
0005641147.tif 000002
【図２】
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【図３（ａ）】
0005641147.tif 000004
【図３（ｂ）】
0005641147.tif 000005
【図３（ｃ）】
0005641147.tif 000006
【図４（ａ）】
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【図４（ｂ）】
0005641147.tif 000008
【図４（ｃ）】
0005641147.tif 000009
【図４（ｄ）】
0005641147.tif 000010
【図５（ａ）】
0005641147.tif 000011
【図５（ｂ）】
0005641147.tif 000012
【図６（ａ）】
0005641147.tif 000013
【図６（ｂ）】
0005641147.tif 000014
【図６（ｃ）】
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【図６（ｄ）】
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【図７】
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【図８】
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【図９（ａ）】
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【図９（ｂ）】
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【図１０（ａ）】
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【図１０（ｂ）】
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【図１１】
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【図１２】
0005641147.tif 000024
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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