(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
収容される光学要素（１０）を取り囲む基本構造（３）と、光軸（ｚ）を有する光学系における光学要素（１０）を該基本構造（３）上に支持することができる取り付けデバイスと、収容される光学要素（１０）を担持し、かつ前記取り付けデバイスが作用する内側構造（２）とを有する光学要素（１０）のための保持装置であって、
前記取り付けデバイスが、前記光学要素（１０）を前記光軸（ｚ）の回りと、該光軸（ｚ）と垂直に延びる第１の軸（ｘ）の回りとに回転移動可能であるように前記取り付けデバイスによって支持することができるように２つの自由度を有し、
前記取り付けデバイスは、前記基本構造（３）の対向する位置において前記第１の軸（ｘ）に沿って配置された２つの連結点（６，１０６，２０６）と連結ユニット（Ｉ）を有し、該連結点（６，１０６，２０６）は、前記内側構造（２）を前記基本構造（３）に結合し、前記連結ユニット（Ｉ）は、周方向に前記連結点（６，１０６，２０６）の間に配置され、
前記連結点（６，１０６，２０６）の各々が、前記連結点（６，１０６，２０６）において、前記光軸（ｚ）及び前記第１の軸（ｘ）に垂直に位置し、かつ該光軸（ｚ）及び該第１の軸（ｘ）と共通点で交わる第２の軸（ｙ）の方向と平行な前記基本構造（３）に対する前記収容される光学要素（１０）の並進移動と、前記基本構造（３）に対する前記収容される光学要素（１０）の前記第１の軸（ｘ）の回りの回転移動とが可能であるように構成され、
前記連結点（６，１０６，２０６）の各々が、前記光軸（ｚ）の方向と平行な前記基本構造（３）に対する前記収容される光学要素（１０）の並進移動と、前記第２の軸（ｙ）の回りの回転移動とを阻止するように構成され、
前記連結点（６，１０６，２０６）は、前記第１の軸（ｘ）の方向と平行な前記基本構造（３）に対する前記収容される光学要素（１０）の並進移動を共同で阻止するように構成され、
前記連結ユニット（Ｉ）は、前記連結ユニット（Ｉ）において、前記第１の軸（ｘ）の方向と平行な前記基本構造（３）に対する前記収容される光学要素（１０）の並進移動と、前記光軸（ｚ）の方向と平行な前記基本構造（３）に対する前記収容される光学要素（１０）の並進移動とが可能であるように構成され、
前記連結ユニット（Ｉ）は、前記基本構造（３）に対する前記収容される光学要素（１０）の前記第２の軸（ｙ）の方向の並進移動を阻止するように構成される、
ことを特徴とする保持装置。
【請求項２】
前記光学要素は円柱レンズとして具現化され、前記第１の軸（ｘ）は、前記円柱レンズの軸方向と垂直に延びることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項３】
前記連結点（６，１０６，２０６）は、少なくとも１つの固定本体継手を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の保持装置。
【請求項４】
前記少なくとも１つの固定本体継手は、板バネ継手として具現化されることを特徴とする請求項３に記載の保持装置。
【請求項５】
前記連結ユニット（Ｉ）は、中間要素（２１）を有し、前記光学要素（１０）は、少なくとも第１の接続構造（７）を通じて該中間要素（２１）に連結され、該中間要素（２１）は、少なくとも第２の接続構造（８）を通じて前記基本構造（３）に連結されることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の保持装置。
【請求項６】
前記接続構造（７，８）は、固定本体継手を有することを特徴とする請求項５に記載の保持装置。
【請求項７】
前記固定本体継手は、板バネ継手として具現化されることを特徴とする請求項６に記載の保持装置。
【請求項８】
少なくとも１つの調節ユニット（４）が、周方向に前記連結点（６，１０６，２０６）の間に、かつ前記連結ユニット（Ｉ）に対向して設けられ、
前記少なくとも１つの調節ユニット（４）は、前記収容される光学要素（１０）が前記第１の軸（ｘ）の回りの回転移動を通じて調節可能であるように前記少なくとも１つの調節ユニット（４）において前記光軸（ｚ）の方向と平行な並進移動を生ぜしめるか、又は前記収容される光学要素（１０）が前記光軸（ｚ）の回りの回転移動を通じて調節可能であるように前記少なくとも１つの調節ユニット（４）において前記第１の軸（ｘ）の方向と平行な並進移動を生ぜしめるために使用可能であることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の保持装置。
【請求項９】
前記調節ユニット（４）は、前記基本構造（３）上に配置された静止部（４１）、及び出力部（４２）を有し、該静止部及び該出力部は、少なくとも１つの設定レバー（４３，４４）を通じて互いに接合されることを特徴とする請求項８に記載の保持装置。
【請求項１０】
前記静止部（４１）及び前記出力部（４２）は、２つの設定レバー（４３，４４）を通じて互いに接合されることを特徴とする請求項９に記載の保持装置。
【請求項１１】
前記少なくとも１つの設定レバー（４３，４４）は、固定本体継手によって前記静止部（４１）及び／又は前記出力部（４２）に接続されることを特徴とする請求項１０に記載の保持装置。
【請求項１２】
前記出力部（４２）は、少なくとも１つの固定本体継手（５，１０５）によって前記内側構造（２）に対して支持されることを特徴とする請求項９、請求項１０、又は請求項１１に記載の保持装置。
【請求項１３】
前記固定本体継手は、板バネ継手として具現化されることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の保持装置。
【請求項１４】
光学系のためのマニピュレータユニットであって、
請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の保持装置、
を含むことを特徴とするマニピュレータユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、収容される光学要素を取り囲む基本構造と光学要素を基本構造上で支持することができる取り付けデバイスとを有する光学要素のための保持装置に関する。更に、本発明は、保持装置を含む光学系のためのマニピュレータユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
光学要素のための保持装置は、光学系に使用され、取り付けに対して必要とされる精度は、それぞれの使用目的に依存する。
【０００３】
光学要素の外側円周領域に配列された少なくとも３つの連結点を通じて光学構成要素を担体に対して取り付けるためのアセンブリは、ＷＯ  ２００７／０１７０１３  Ａ２から公知であり、光学要素は、弾性要素によって連結点を通じて少なくとも１つの方向に圧入方式で保持される。この場合、弾性要素は、光学要素を静的に決定される方法で保持する取り付けデバイス内に位置付けられる。
【０００４】
光学系、例えば、レーザプリンタの光学系における円柱レンズのための調節可能マウントは、ＵＳ  ５，２２０，４６０から公知である。マウントは、光軸（ｚ軸）と垂直に配置されて一定の力の作用下で円柱レンズが収まる平坦面を有する担体要素を含む。ＵＳ  ５，２２０，４６０では、円柱レンズの軸方向と平行に延びる軸がｘ方向と呼ばれる。調節可能マウントは、調節時に光軸回りの回転移動とｙ方向の並進移動とを可能にすることが意図されている。この目的のために、円柱レンズは、継手として機能するリブと、バネ要素と、２組のネジとを用いてｘ−ｙ平坦面内で互いに反対のコーナにおいて取り付けられる。一方、レーザプリンタにおける用途では、光軸と垂直に延びる２つの軸の回りの傾斜が、円柱レンズが収まる平坦面によって十分に保証されることになる。ＵＳ  ５，２２０，４６０に使用されている術語とは対照的に、以下では円柱レンズの軸方向と平行に延びる軸をｙ軸と呼ぶ。
【０００５】
光学要素は、材料処理デバイス、例えば、レーザーアニーリングデバイスにおいても使用される。この種の光学系は、例えば、ＷＯ  ２００６／０６６７０６に説明されている。この種のデバイスでは、層、例えば、特にシリコン層を基板上に溶着させるためにレーザビームが使用される。この場合、レーザビームは、溶着される層の上に非常に幅狭の線ビームとして当たる。層とレーザビームは、レーザビームが「パネル」として公知の基板の上に平面方式で案内されるように、レーザビームによって形成される線に対して横方向に互いに対して変位する。
【０００６】
これらのデバイスは、長いが非常に幅狭の視野を照明するので、円柱レンズ、すなわち、１つの曲率方向のみを有するレンズが使用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】ＷＯ  ２００７／０１７０１３  Ａ２
【特許文献２】ＵＳ  ５，２２０，４６０
【特許文献３】ＷＯ  ２００６／０６６７０６
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、デバイスが光学要素の少なくとも敏感な芯出し方向の精密かつ調節可能な取り付けを保証する光学要素、特に円柱レンズを取り付けるための装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この目的は、請求項１に記載の保持装置、及び請求項１４に記載のマニピュレータユニットによって達成される。有利な発展形態を従属請求項に明記する。請求項の全ての文言は、引用によって本明細書に組み込まれている。
【００１０】
本発明により、収容される光学要素を取り囲む基本構造と、収容される光学要素を基本構造上に支持することができる取り付けデバイスとを有し、光学要素が、取り付けデバイスを用いて光軸の回りと光軸と垂直に延びる第１の軸の回り、特に円柱レンズの軸方向と垂直に延びる軸の回りとに回転移動することができるように取り付けられるように取り付けデバイスが２つの自由度を有する光学要素、特に円柱レンズのための保持装置を提供する。
【００１１】
剛体移動は、６つの自由度によって表すことができる。２つの自由度を有する取り付けデバイスの場合には、残りの４つの剛体移動方向に沿った移動は阻止される。２つの自由度を有するこの種の取り付けデバイスは、光学要素の精密な取り付けを可能にし、光軸及び同じくそれに対して垂直な第２の軸の回りの取り付けられた光学要素の正確な調節を可能にする。光学要素を取り囲む基本構造は、取り付けデバイスが光学ビーム経路に達するのを防止する。
【００１２】
本発明の関連では、光軸と垂直に及び円柱軸又は円柱軸方向と垂直に延びる軸を横軸と呼ぶ。円柱レンズのような光学要素は、４つの敏感な芯出し方向、すなわち、光軸の回りの回転方向又は傾斜方向と、横軸に沿った、すなわち、光軸及び適用可能な場合は円柱軸と垂直に延びる方向の並進方向と、この横軸の回りの回転方向又は傾斜方向と、光軸に沿った並進方向とを有する。本発明により、光学要素は、回転自由度のみを調節することができるように取り付けられ、取り付けデバイスは、回転自由度の調節中に光学要素が２つの関連する並進方向において調節不良に陥るのを更に防止する。
【００１３】
好ましくは、光学要素を担持し、かつ取り付けデバイスが作用する内側構造が設けられる。好ましくは、内側構造と光学要素の間の接続は、光学要素と内側構造が、調節及び／又は取り付けにおいて共通構成要素として機能するように実質的に堅固である。好ましくは、内側構造は、上から見ると実質的に円形である面であり、基本構造の相補的な収容開口部に配置される面を有する。それによって単純な幾何学形状の場合の光軸回りの良好な回転移動、従って、費用効率の良い製造が可能になる。
【００１４】
更に別の態様により、取り付けデバイスは、基本構造の対向する位置において第１の軸の領域に配置された２つの連結点を有する。収容される光学要素は、第１の軸にある連結点の間の内側構造を用いて取り付けられる。一構成では、連結点の各々は、少なくとも３つの自由度を有し、基本構造に対する光学要素の光軸の方向の並進移動と、光軸及び第１の軸と垂直に位置し、光軸及び第１の軸と共通点で交わる第２の軸の回りの回転移動とが、各々、連結点によって阻止される。更に、一構成では、第１の軸の方向に並進移動が阻止される。言い換えれば、連結点は、少なくとも光軸の方向と平行な並進移動に抗するように光学要素を支持する。一構成では、第１の軸（ｘ軸）の方向と平行な移動も同様に阻止される。他の構成では、加熱に起因する膨張を許すために、第１の軸（ｘ軸）の方向と平行な移動は許容される。一方、連結点が、連結点から離間された光軸の回りの回転を阻害しないように、光軸及び第１の軸に垂直に延びる第２の軸（ｙ軸）の方向と平行な並進移動は阻止されない。
【００１５】
好ましくは、連結点は、少なくとも１つの固定本体継手、特に、板バネ継手を有する。この場合、板バネ継手の平面は、好ましくは、光軸及び第１の軸によって張られる平面と一致し、板バネ継手の縦方向は、第１の軸と平行に延びている。この場合、板バネ継手のねじれは、収容される光学要素の第１の軸の回りの回転移動又は傾斜を可能にする。板バネ継手の例えばＳ字形状の湾曲は、連結点における第２の軸の方向と平行な変位及び従って光学要素の光軸回りの回転移動を可能にする。その一方、第１の軸及び／又は光軸に沿った並進移動は阻止される。この場合、一構成では、固定本体継手は、内側構造と一体に構成される。好ましくは、基本構造及び連結点は、光軸に対して垂直な平面に実質的に位置決めされる。他の構成では、内側構造及び基本構造は、光軸に対してオフセットされて配置され、接続連結点は、光軸の方向に延びている。
【００１６】
好ましくは、取り付けデバイスは、連結点の間に配置された少なくとも第１の連結ユニットを更に有し、この第１の連結ユニットにより、光学要素は第２の軸の方向に支持される。連結ユニットは、基本構造上で連結点の間に配置される。一構成では、連結ユニットは、連結点の間で実質的に対称に配置される。従って、連結ユニットは、第２の軸に対して対称に位置決めされる。他の構成では、連結ユニットは、連結点の一方の方向にオフセットされる。
【００１７】
連結ユニットは、少なくとも光学要素の光軸及び第１の軸の回りの回転移動を阻害せず、一方、基本構造に対する収容される光学要素の第２の軸の方向の並進移動が連結ユニットによって支持又は阻止されるように、少なくとも２つの自由度を有する。
【００１８】
有利な構成では、連結ユニットは中間要素を有し、光学要素は、少なくとも第１の接続構造を通じて中間要素に連結され、中間要素は、少なくとも第２の接続構造を通じて基本構造に連結される。好ましくは、接続構造は、固定本体継手、特に、板バネ継手を有する。この場合、一構成では、中間要素は、内側構造と一体で成形され、分離は、固定本体継手、特に、板バネ継手によって実施される。中間要素と２つの接続構造との組合せは、連結ユニットの領域内で２つの並進自由度を有するが、第３の並進自由度が阻止される費用効果的で小型の連結ユニットをもたらす。一構成では、第１の接続構造の板バネ継手の平面は、第１の軸と第２の軸とによって張られる平面と垂直に位置する。この場合、板バネ継手の平面は、第１の軸と光軸とによって張られる平面と０°と９０°の間の角度を囲み、好ましくは、板バネ継手の平面の向きは、光軸が、板バネ継手の平面の延長面内に位置するように選択される。従って、板バネ継手の例えばＳ字形状の変形の場合には、光学要素の光軸の回りの回転移動が可能である。好ましくは、第２の座標系の板バネ継手の平面は、第１の軸と第２の軸とによって張られる平面と平行に延びている。板バネ継手の例えばＳ字形状の変形の場合には、連結ユニットの領域内の光軸に沿った並進移動及び従って光学要素の第１の軸の回りの回転移動がこのようにして可能である。
【００１９】
更に別の構成では、収容される光学要素を第１の軸及び／又は光軸の回りの回転移動によって調節することができるように、光軸の方向の並進移動と第１の軸の方向の並進移動とを促進するのに使用することができる少なくとも１つの調節ユニットが設けられる。全体空間の良好な支持及び最適利用のために、好ましくは、調節ユニット及び連結ユニットは、光学要素の２つの側部で互いに対向して、特に、第２の軸に対して鏡面対称に配置される。
【００２０】
本発明の更に別の態様により、調節ユニットは、基本構造上に配置された静止部と出力部とを有し、静止部と出力部は、少なくとも１つ、好ましくは、少なくとも２つの設定レバーを通じて互いに接合される。好ましくは、設定レバーは、固定本体継手、特に、板バネ継手を用いて静止部及び／又は出力部に接続される。
【００２１】
好ましくは、出力部は、少なくとも１つの固定本体継手、特に、板バネ継手を用いて内側構造に連結される。好ましくは、この板バネ継手の平面は、光軸と第１の軸とによって張られる平面と平行に延びている。板バネ継手は、このようにして、第１の軸に平行な軸と光軸に平行な軸との回りの回転移動による局所補償移動を可能にする。
【００２２】
この目的は、本発明による保持装置を含む光学系のためのマニピュレータユニットによっても達成される。この種のマニピュレータユニットは、例えば、ＷＯ  ２００６／０６６７０６に記載の光学系において有利に使用することができる。
【００２３】
上述の特徴及び更に別の特徴は、特許請求の範囲からだけでなく、本明細書及び図面からも明らかになり、個々の特徴の各々は、本発明及び他の分野における実施形態において単体で又は部分結合の形態で融合して達成することができ、有利かつ同じく独立に特許請求可能な実施形態を表すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】マニピュレータユニットの略斜視図である。
【図２】調節ユニットを俯瞰する図１に記載のマニピュレータユニットの略斜視図である。
【図３】光軸の回りの回転移動中の図１に記載のマニピュレータユニットの略斜視図である。
【図４】光軸の回りの回転移動中の図１に記載のマニピュレータユニットの略斜視図である。
【図５】図１に記載のマニピュレータユニットに対する連結点の第１の変形の略斜視図である。
【図６】図１に記載のマニピュレータユニットに対する連結点の第２の変形の略斜視図である。
【図７】図１に記載のマニピュレータユニットの調節ユニットに対する接続点の変形の略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
図１は、光学要素１０のための本発明による保持装置を有するマニピュレータユニット１を略示している。図示の例示的な実施形態では、光学要素１０は、円柱レンズとして構成される。
【００２６】
図１には、直交座標ｘ，ｙ，ｚも例示している。この場合、光の方向又は光軸をｚ軸と呼ぶ。円柱レンズの軸（円柱軸）の方向と平行に延びる軸をｙ軸と呼ぶ。この軸方向及び光の方向と垂直に延びる軸を横軸又はｘ軸と呼ぶ。
【００２７】
図示の例示的な実施形態では、保持装置は、光学要素１０を担持する内側構造２を含む。更に、保持装置は、外側構造又は基本構造３と、基本構造３上に内側構造２及び従って光学要素１０を支持する取り付けデバイスとを含む。光学要素１０は、ｚ軸及び／又はｘ軸の回りの光学要素の回転調節を可能にするように、図示の取り付けデバイスによって支持される。同時に、取り付けデバイスは、ｚ軸及び／又はｘ軸の回りの回転移動中に光学要素がｘ軸又はｚ軸に沿って変位するのを防止する。
【００２８】
調節のための光学要素１０の調節移動をもたらすために、板バネ継手５を介して内側構造２に接続された調節ユニット４が設けられる。
【００２９】
取り付けデバイスは、図示の例示的な実施形態では板バネ継手として具現化される２つの連結点６であり、内側構造２をｘ軸領域内で基本構造３に連結する連結点６を含む。板バネ継手として具現化される連結点６の結果として、内側構造２は、ｘ軸及び／又はｚ軸と平行な並進移動に抗するように基本構造３に対して支持される。
【００３０】
更に、図示の例示的な実施形態では、板バネ継手を用いて実施される第１の接続構造７と、中間要素２１と、同様に板バネ継手を有する第２の接続構造８とを含む連結ユニットＩが設けられる。内側構造２は、ｙ軸と平行な並進移動に抗するように基本構造３に対して支持される。
【００３１】
板バネ継手を用いた接続では、継手領域の全体としての変形により、連結された構成要素の相対移動が達成される。この場合、変形は、板バネ継手の短辺と平行な軸の回りの湾曲と、板バネ継手の長辺と平行な軸の回りのねじれの両方によって可能である。
【００３２】
図示の例示的な実施形態では、板バネ継手として構成される連結点６の平面は、ｚ軸とｘ軸とによって張られる平面と一致する。従って、連結点６の板バネ継手は、基本構造３に対する内側構造２のｘ軸及びｚ軸と平行な並進移動を防止する。更に、板バネ継手は、基本構造３に対する内側構造２のｙ軸回りの回転移動を防止する。その一方、連結点６の板バネ継手は、板バネ継手のねじれ移動中に基本構造３に対する内側構造２のｘ軸回りのねじれ移動、傾斜移動、又は回転移動を可能にする。更に、板バネ継手６は、外部負荷によってＳ字形状に変形することができる。連結点６の板バネ継手のＳ字形湾曲は、連結点６における内側構造２のｙ軸と平行な並進移動及び従って基本構造３に対する光学要素１０のｚ軸回りの回転移動を可能にする。
【００３３】
光学要素１０は、ｙ方向に連結ユニットＩによって支持される。接続構造７の板バネ継手は、この場合、中間領域２１を内側構造２から分離する。中間領域２１は、接続構造８を用いて基本構造３に接続される。第１の接続構造７の板バネ継手は、これらの継手の平面がｘ軸とｙ軸とによって張られる平面上で垂直に位置するように配向される。板バネ継手の平面は、この場合、ｘ軸とｚ軸とによって張られる平面とある一定の角度、例えば、約１０°と約７０°の間の角度を囲む。板バネ継手の平面は、この場合、ｚ軸がこの平面の延長面内に位置するように配向される。従って、第１の接続構造７の板バネ継手のＳ字形湾曲は、中間領域２１に対する内側構造２のｚ軸回りの回転移動を可能にする。第２の接続構造８の板バネ継手の平面は、ｘ軸とｙ軸とによって張られる平面と平行に延びている。従って、板バネ継手のＳ字形湾曲は、基本構造３に対する中間領域２１のｚ軸と平行な変位を可能にする。この変位は、ｘ軸回りに回転可能であるように連結点６において取り付けられた内側構造２の回転移動及び従って基本構造３に対する光学要素１０のｘ軸回りの回転移動を可能にする。すなわち、組み合わせると、第１の接続構造７の板バネ継手と第２の接続構造８の板バネ継手とは、内側構造２のｘ軸又はｚ軸の回りの回転移動を阻害することなく、基本構造３に対する内側構造２のｙ軸方向と平行な支持をもたらす。
【００３４】
図示の例示的な実施形態では、内側構造２及び従って光学要素１０は、調節のために調節ユニット４を用いて基本構造３に対して移動される。
【００３５】
図２は、調節ユニット４を俯瞰する斜視図である。図２で分るように、調節ユニット４は、基本構造３に確実に接続した静止部４１を含む。更に、調節ユニット４は、内側構造２に連結された出力部４２を含む。出力部４２は、図１で見ることができて板バネ継手５によって内側構造２に連結された領域２２に堅固に接続される。更に、調節ユニット４は、第１の板バネ継手４３１、４４１を通じて静止部４１にかつ第２の板バネ継手４３２、４４２を通じて出力部４２に接続された設定レバー４３、４４を含む。設定レバー４３、４４は、設定ドライブ４３０、４４０を用いて調節することができ、設定レバー４３、４４の調節は、板バネ継手４３１、４４１、４３２、４４２を用いて出力部４２に伝達される。本発明に関して、「設定ドライブ」という用語は、止めネジやモータ作動式ピストンなどを含むあらゆる所望の手動及び／又はモータ作動要素を指す。
【００３６】
図３は、出力部４２のｚ方向変位のための設定ドライブ４３０、４４０の駆動を略示している。出力部４２のｚ方向の変位は、内側構造２及び従って光学要素１０のｘ軸回りの傾斜をもたらす。図３で分るように、設定ドライブ４３０、４４０は、設定レバー４３、４４が正のｚ方向に変位されるようにこの目的では並行に操作される。調節移動中に望ましくない、調節ユニット４のリンク点における傾斜角は、この場合、板バネ継手５のねじれによって補償される。
【００３７】
図４は、光学要素１０のｚ軸回りの回転移動のための設定ドライブ４３０、４４０の駆動を示している。この目的のために、設定ドライブ、図示の例示的な実施形態では設定ドライブ４３０は、関連付けられた設定レバー４３が正のｚ方向に変位されるように操作される。その一方、第２の設定ドライブ４４０は、設定レバー４４が負のｚ方向に移動されるように作動される。設定レバー４３、４４の移動の組合せは、出力部４２のｘ方向の図示の例示的な実施形態では負のｘ方向の変位をもたらす。その結果、内側構造２及び従って光学要素１０は、ｚ軸回りに正の方向に回転される。内側構造２と調節ユニット４の間の回転移動は、この場合、板バネ継手５によって調節ユニットのリンク領域内で補償される。
【００３８】
図５は、図１に記載のマニピュレータユニットに対して図１から図４に記載の連結点６の代わりに設けられた連結点１０６の第１の変形の略斜視図である。図５に記載の連結点１０６は、中間本体１０６ｃを通じて互いに連結された２つの板バネ継手１０６ａ、１０６ｂを含む。中間本体１０６ｃは、ｘ軸方向の補償移動を可能にするスロット１０６ｄを有する。一構成では、調節ユニット４への接続、接続構造７、及び／又は接続構造８は、連結点１０６のように、直列に接続した複数の板バネ継手によって実施される。
【００３９】
図１から図４に記載の実施形態では、基本構造３及び内側構造２は、実質的に光軸ｚに対して垂直な平面に位置決めされる。別の構成では、内側構造２は、光軸ｚの方向と平行に基本構造３に対してオフセットされる。
【００４０】
図６は、内側構造２が、光軸ｚの方向と平行に基本構造３に対してオフセットされて配置された図１に記載のマニピュレータユニットに対する連結点２０６の変形の概略図である。板バネ継手として具現化される連結点２０６は、同様に、基本構造３と内側構造２の間の第２の軸ｙの方向の相対変位と、構成要素２，３の第１の軸ｘの回りの傾斜又は回転とを可能にする。従って、連結点２０６は、図１から図４に記載の連結点６と同じ自由度を有する。
【００４１】
図７は、調節ユニットにリンクするための部分２２が内側構造２に対して光軸ｚの方向と平行にオフセットされて配置された内側構造２への調節ユニット４の接続の変形の概略図である。図示の例示的な実施形態では、この場合の接続は、板バネ継手１０５を通じて実施される。板バネ継手１０５は、移動が導入される時に調節ユニット４の傾斜が補償されるように、光軸ｚと平行に延びる軸の回りの部分２２と内側構造２の間の傾斜移動を可能にする。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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