(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スケールが配置されたスケール領域を一方の面に有する第１スケール部材と、
前記スケール領域からの光を検出する検出器と、
前記スケール領域を含む前記第１スケール部材の表面と所定のギャップを介して対向するように配置され、前記第１スケール部材との間で液体を保持する保持面を有する保持部材と、を備え、
前記保持部材は、前記一方の面の一部と対向し、前記スケール領域を含む前記第１スケール部材の一方の面の局所領域と前記液体とが接触するように、前記液体を保持するエンコーダ装置。
【請求項２】
スケールが配置されたスケール領域を有する円形プレートと、前記円形プレートの回転軸である軸部材と、を有する第１スケール部材と、
前記スケール領域からの光を検出する検出器と、
前記円形プレートの前記スケール領域を有する一方の面と所定のギャップを介して対向するように配置され、前記軸部材に液体を接触させずに、前記一方の面との間で前記液体を保持する保持面を有する保持部材と、を備えるエンコーダ装置。
【請求項３】
前記保持部材は、前記スケール領域を含む前記第１スケール部材の一方の面の局所領域と前記液体とが接触するように、前記液体を保持する請求項２記載のエンコーダ装置。
【請求項４】
前記第１スケール部材は、前記一方の面、前記一方の面と逆向きの他方の面、及び前記一方の面と他方の面とを結ぶ側面を有するプレート部材であり、
前記保持部材は、前記一方の面の少なくとも一部と対向する第１部分、前記他方の面の少なくとも一部と対向する第２部分、及び前記第１部分と前記第２部分とを結び、前記側面と対向する第３部分を有する請求項１〜３のいずれか一項記載のエンコーダ装置。
【請求項５】
前記第１スケール部材は、回転する円形プレートであり、
前記保持部材は、前記円形プレートに応じたリング状の保持面を有する請求項１記載のエンコーダ装置。
【請求項６】
前記第１スケール部材は、直進する矩形プレートであり、
前記保持部材は、前記矩形プレートに応じた矩形の保持面を有する請求項１記載のエンコーダ装置。
【請求項７】
前記スケール領域は、前記液体に対して親液性である請求項１〜６のいずれか一項記載のエンコーダ装置。
【請求項８】
前記スケール領域の周囲は、前記液体に対して撥液性である請求項１〜７のいずれか一項記載のエンコーダ装置。
【請求項９】
前記保持面は、前記第１スケール部材と第１ギャップを介して対向する第１面と、前記第１ギャップより小さい第２ギャップを介して対向する第２面とを含む請求項１〜８のいずれか一項記載のエンコーダ装置。
【請求項１０】
前記第２面の少なくとも一部は、前記スケール領域の外側領域と対向し、
前記外側領域は、前記液体に対して撥液性である請求項９記載のエンコーダ装置。
【請求項１１】
前記第１面の少なくとも一部は、前記スケール領域と対向し、
前記第１面は、前記液体に対して親液性である請求項９又は１０記載のエンコーダ装置。
【請求項１２】
前記第２面は、前記第１面の周囲の少なくとも一部に配置される請求項９〜１１のいずれか一項記載のエンコーダ装置。
【請求項１３】
前記第２面は、前記保持面の周縁の少なくとも一部に配置される請求項９〜１１のいずれか一項記載のエンコーダ装置。
【請求項１４】
前記第２面は、前記保持面の中央から外側へ向かう方向において、前記第１スケール部材に除々に近付くように傾斜している請求項１３記載のエンコーダ装置。
【請求項１５】
前記第１スケール部材は、前記保持面の周縁と対向する位置に、前記保持面に向かう凸部を有する請求項１〜１４のいずれか一項記載のエンコーダ装置。
【請求項１６】
前記凸部は、前記保持面の中央から外側へ向かう方向において、前記保持面に除々に近付くように傾斜している斜面を有する請求項１５記載のエンコーダ装置。
【請求項１７】
前記保持部材は、前記光の少なくとも一部が通過可能な通過部を含み、
前記検出器は、前記第１スケール部材からの光を前記通過部を介して検出する請求項１〜１６のいずれか一項記載のエンコーダ装置。
【請求項１８】
前記保持部材は、前記第１スケール部材と異なる第２スケール部材を含む請求項１〜１７のいずれか一項記載のエンコーダ装置。
【請求項１９】
前記第２スケール部材は、前記検出器と前記第１スケール部材との間に配置される請求項１８記載のエンコーダ装置。
【請求項２０】
前記保持部材は、前記検出器を含む請求項１〜１６のいずれか一項記載のエンコーダ装置。
【請求項２１】
前記第１スケール部材と前記保持部材との間に前記液体を供給する液体供給口を備える請求項１〜２０のいずれか一項記載のエンコーダ装置。
【請求項２２】
前記液体供給口は、前記保持面に配置される請求項２１記載のエンコーダ装置。
【請求項２３】
前記検出器の検出動作中に、前記液体を供給する請求項２１又は２２記載のエンコーダ装置。
【請求項２４】
前記第１スケール部材をクリーニングするために、前記液体を供給する請求項２１〜２３のいずれか一項記載のエンコーダ装置。
【請求項２５】
前記液体を回収する液体回収口を備える請求項１〜２４のいずれか一項記載のエンコーダ装置。
【請求項２６】
前記液体回収口は、前記スケール領域と対向可能な位置に配置される請求項２５記載のエンコーダ装置。
【請求項２７】
前記第１スケール部材と前記保持部材との間に前記液体を供給する液体供給口を備え、
前記液体供給口の液体供給動作の少なくとも一部と並行して、前記液体回収口の液体回収動作が実行される請求項２５又は２６記載のエンコーダ装置。
【請求項２８】
前記検出器は、前記液体を介して前記光を検出する請求項１〜２７のいずれか一項記載のエンコーダ装置。
【請求項２９】
前記スケール部材は、磁性部材を含み、
前記検出器は、前記スケール部材の磁力を検出する請求項１〜２８のいずれか一項記載のエンコーダ装置。
【請求項３０】
前記スケール部材は、電極部材を含み、
前記検出器は、前記スケール部材の静電力を検出する請求項１〜２９のいずれか一項記載のエンコーダ装置。
【請求項３１】
スケールを含むスケール領域と該スケール領域の周囲に配置される撥液性の領域とを有する第１スケール部材と、
前記スケール領域からの光を検出する検出器と、
前記スケール領域と対向し、かつ前記スケール領域との間で液体を保持する保持面を有する保持部材と、
を備えるエンコーダ装置。
【請求項３２】
前記第１スケール部材は、前記スケール領域を含む第１面と、第２面とを有し、
前記保持面は、前記第１面の一部分と、前記第２面の一部分とに対向し、
前記撥液性の領域は、前記第１面の一部分と前記第２面の一部分とに形成されている
請求項３１記載のエンコーダ装置。
【請求項３３】
スケールを含むスケール領域と該スケール領域の外側に配置される外側領域とを有する第１スケール部材と、
前記スケール領域からの光を検出する検出器と、
前記スケール領域と対向し、かつ親液性が付与された前記スケール領域との間で液体を保持する保持面を有する保持部材と、
を備えるエンコーダ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンコーダ装置に関する。
本願は、２００８年４月３０日に出願された特願２００８−１１８４４３号、及び２００９年３月２５日に出願された米国仮出願に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
位置検出装置の一つとして、例えば下記特許文献に開示されているようなエンコーダ装置が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０５−１３３７６８号公報
【特許文献２】特開平０５−１１８８７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
エンコーダ装置は、スケールが配置されたスケール部材を検出器で検出する。例えばスケール部材の表面に異物が付着する等、スケール部材の表面の状態が劣化すると、検出不良が発生する可能性がある。【０００５】
本発明の態様は、検出不良の発生を抑制できるエンコーダ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に従えば、スケールが配置されたスケール領域を一方の面に有する第１スケール部材と、スケール領域からの光を検出する検出器と、スケール領域を含む第１スケール部材の表面と所定のギャップを介して対向するように配置され、前１スケール部材との間で液体を保持する保持面を有する保持部材と、を備え、保持部材は、一方の面の一部と対向し、スケール領域を含む第１スケール部材の一方の面の局所領域と液体とが接触するように、液体を保持するエンコーダ装置が提供される。
本発明の他態様に従えば、スケールが配置されたスケール領域を有する円形プレートと、円形プレートの回転軸である軸部材と、を有する第１スケール部材と、スケール領域からの光を検出する検出器と、円形プレートのスケール領域を有する一方の面と所定のギャップを介して対向するように配置され、軸部材に液体を接触させずに、一方の面との間で液体を保持する保持面を有する保持部材と、を備えるエンコーダ装置が提供される。
本発明の第２の態様に従えば、スケールが配置されたスケール領域を有する第１スケール部材と、スケール領域のスケールを検出する検出器と、スケール領域を含む第１スケール部材の表面に接触するように液体を供給する液体供給口と、を備えるエンコーダ装置が提供される。
本発明の第３の態様に従えば、スケールを含むスケール領域と該スケール領域の外側に配置される撥液性の領域とを有する第１スケール部材と、スケール領域からの光を検出する検出器と、スケール領域と対向し、かつスケール領域との間で液体を保持する保持面を有する保持部材と、を備えるエンコーダ装置が提供される。
本発明の第４の態様に従えば、スケールを含むスケール領域と該スケール領域の周囲に配置される親液性の領域とを有する第１スケール部材と、スケール領域からの光を検出する検出器と、スケール領域と対向し、かつスケール領域との間で液体を保持する保持面を有する保持部材と、を備えるエンコーダ装置が提供される。
本発明の第５の態様に従えば、スケールを含むスケール領域と該スケール領域の外側に配置される外側領域とを有する第１スケール部材と、スケール領域からの光を検出する検出器と、スケール領域と対向し、かつ親液性が付与されたスケール領域との間で液体を保持する保持面を有する保持部材と、を備えるエンコーダ装置が提供される。
【０００７】
本発明の第２の態様に従えば、スケールを含むスケール領域を有する第１スケール部材と、前記スケール領域の前記スケールを検出する検出器と、前記スケール領域を含む前記第１スケール部材上の領域に接触するように液体を供給する液体供給口と、を備えるエンコーダ装置が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の態様によれば、検出不良の発生を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施形態に係るエンコーダ装置の一部を示す斜視図である。
【図２】第１実施形態に係るエンコーダ装置の側断面図である。
【図３】第１実施形態に係る移動スケールを示す平面図である。
【図４】第１実施形態に係る移動スケール及び保持部材の一部を拡大した側断面図である。
【図５】第１実施形態に係る移動スケール及び保持部材の一部を拡大した側断面図である。
【図６】第１実施形態に係る移動スケール及び保持部材の一部を拡大した側断面図である。
【図７Ａ】第２実施形態に係るエンコーダ装置の一部を示す斜視図である。
【図７Ｂ】図７ＡのＡ−Ａ線断面矢視図である。
【図７Ｃ】図７ＡのＢ−Ｂ線断面矢視図である。
【図８】第３実施形態に係るエンコーダ装置を示す側断面図である。
【図９】第４実施形態に係るエンコーダ装置を示す側断面図である。
【図１０】第５実施形態に係るエンコーダ装置の一部を示す斜視図である。
【図１１】第６実施形態に係るエンコーダ装置を示す側断面図である。
【図１２】第６実施形態に係る保持部材を下側から見た斜視図である。
【図１３】第６実施形態に係るエンコーダ装置を示す側断面図である。
【図１４】第７実施形態に係るエンコーダ装置を示す側断面図である。
【図１５】第８実施形態に係るエンコーダ装置を示す側断面図である。
【図１６】第９実施形態に係るエンコーダ装置を示す側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。水平面内の所定方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転（傾斜）方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。
【００１１】
＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、第１実施形態に係るエンコーダ装置１の一部を示す斜視図、図２は、第１実施形態に係るエンコーダ装置１の側断面図である。
【００１２】
図１及び図２において、エンコーダ装置１は、スケール２が配置されたスケール領域（検出領域）３を有する第１スケール部材４と、スケール領域３からの光を検出する検出器５と、第１スケール部材４の表面と所定のギャップを介して対向するように配置され、第１スケール部材４との間で液体ＬＱを保持する保持面６を有する保持部材７とを備えている。また、エンコーダ装置１は、光を射出する光源８と、光源８からの光が入射する光学系９とを備えている。なお、図１では、検出器５、光源８、及び光学系９の図示が省略されている。本実施形態においては、液体ＬＱとして、水を用いる。
【００１３】
本実施形態のエンコーダ装置１は、ロータリーエンコーダである。第１スケール部材４は、回転する円形プレートである。第１スケール部材４は、ロッド１０と接続されている。第１スケール部材４は、ロッド１０を回転軸として回転する。本実施形態において、第１スケール部材４の回転軸は、Ｚ軸とほぼ平行である。
【００１４】
第１スケール部材４は、検出器５に対して移動する。保持部材７は、検出器５に対して位置が固定されている。本実施形態において、保持部材７は、第１スケール部材４と異なる第２スケール部材１１と、光を通過可能な透過部材１２と、第２スケール部材１１及び透過部材１２を支持する支持部材１３とを含む。以下の説明において、第１スケール部材４を適宜、移動スケール４、と称し、第２スケール部材１１を適宜、固定スケール１１、と称する。
【００１５】
移動スケール４は、光を透過可能な透過部材と、その透過部材上に遮光材料で形成されたスケール（スケールパターン）２とを有する。固定スケール１１は、光を透過可能な透過部材と、その透過部材上に遮光材料で形成されたスケール（スケールパターン）とを有する。移動スケール４及び固定スケール１１の透過部材は、例えば石英製であり、遮光材料は、例えばクロムである。支持部材１３は、例えばチタン等の金属製である。
【００１６】
移動スケール４は、上面４Ａと、上面４Ａと逆向きの下面４Ｂと、上面４Ａと下面４Ｂとを結ぶ側面４Ｓとを有するプレート部材である。移動スケール４の上面４Ａと下面４Ｂとは、ほぼ平行である。すなわち、移動スケール４は、平行平板である。本実施形態において、上面４Ａ及び下面４Ｂは、ＸＹ平面とほぼ平行である。本実施形態において、スケール領域３は、移動スケール４の上面４Ａの一部に配置されている。本実施形態において、スケール領域３は、上面４Ａの一部のリング状の領域である。
【００１７】
保持部材７は、リング状の部材である。保持部材７は、上面４Ａの少なくとも一部と対向する第１部分７１と、下面４Ｂの少なくとも一部と対向する第２部分７２と、第１部分７１と第２部分７２とを結び、側面４Ｓと対向する第３部分７３とを有する。第１部分７１は、少なくともスケール領域３と対向するように配置される。
【００１８】
本実施形態において、第１部分７１は、固定スケール１１及び支持部材１３の一部で構成されている。第２部分７２は、透過部材１２及び支持部材１３の一部で構成されている。第３部分７３は、支持部材１３の一部で構成されている。
【００１９】
本実施形態において、保持部材７は、移動スケール４の表面の局所領域と液体ＬＱとが接触するように、移動スケール４との間で液体ＬＱを保持する。保持部材７は、少なくともスケール領域３と液体ＬＱとが接触するように、移動スケール４との間で液体ＬＱを保持する。
【００２０】
本実施形態において、第１部分７１は、スケール領域３を含む上面４Ａの一部のリング状の領域と対向するように、リング状に形成されている。第２部分７２は、下面４Ｂの一部のリング状の領域と対向するように、リング状に形成されている。第３部分７３は、側面４Ｓを囲むように、リング状に形成されている。
【００２１】
保持面６は、上面４Ａと対向する第１部分７１の下面、下面４Ｂと対向する第２部分７２の上面、及び側面４Ｓと対向する第３部分７３の側面を含む。このように、本実施形態においては、保持面６は、移動スケール４に応じてリング状に形成されている。
【００２２】
固定スケール１１は、上面１１Ａ、及び上面１１Ａと逆向きの下面１１Ｂを有するプレート部材である。固定スケール１１のスケールは、下面１１Ｂに配置されている。固定スケール１１の上面１１Ａと下面１１Ｂとは、ほぼ平行である。すなわち、固定スケール１１は、平行平板である。本実施形態において、上面１１Ａ及び下面１１Ｂは、ＸＹ平面とほぼ平行である。固定スケール１１の下面１１Ｂと移動スケール４の上面４Ａとは対向する。固定スケール１１は、下面１１Ｂと移動スケール４との間で液体ＬＱを保持可能である。すなわち、本実施形態において、保持面６は、下面１１Ｂを含む。
【００２３】
透過部材１２は、上面１２Ａ、及び上面１２Ａと逆向きの下面１２Ｂを有するプレート部材である。透過部材１２の上面１２Ａと下面１２Ｂとは、ほぼ平行である。すなわち、透過部材１２は、平行平板である。本実施形態において、上面１２Ａ及び下面１２Ｂは、ＸＹ平面とほぼ平行である。透過部材１２の上面１２Ａと移動スケール４の下面４Ｂとは対向する。透過部材１２は、上面１２Ａと移動スケール４との間で液体ＬＱを保持可能である。すなわち、本実施形態において、保持面６は、上面１２Ａを含む。
【００２４】
本実施形態において、移動スケール４のスケール２は、上面４Ａに形成された格子状の明暗パターン（以下、格子、と称する）である。移動スケール４の格子は、移動スケール４の回転方向（θＺ方向）を周期方向とする一次元格子である。本実施形態において、移動スケール４は、透過型である。
【００２５】
固定スケール１１は、移動スケール４の上方（＋Ｚ側）に配置されている。固定スケール１１は、上面４Ａのスケール領域３と対向する位置に配置されている。固定スケール１１のスケールは、下面１１Ｂに形成された格子状の明暗パターン（以下、格子、と称する）である。固定スケール１１の格子は、θＺ方向を周期方向とする一次元格子である。本実施形態において、固定スケール１１は、透過型である。
【００２６】
光学系９は、固定スケール１１の上面１１Ａと対向する位置に配置されている。光学系９は、光源８と固定スケール１１との間に配置され、光源８から射出された光をコリメートする。固定スケール１１は、光学系９と移動スケール４との間に配置されている。光源８は、例えばＬＥＤであり、インコヒーレントな光を射出する。光源８から射出された光は、光学系９によって平行光となり、固定スケール１１に入射する。固定スケール１１に入射した光は、固定スケール１１を透過して、移動スケール４のスケール領域３に照射される。
【００２７】
図２に示すように、本実施形態においては、光源８及び光学系９は、ハウジング１４で形成される空間１５に配置されている。ハウジング１４は、保持部材７（第１部分７１）との間で空間１５を形成する。
【００２８】
透過部材１２は、移動スケール４の下方（−Ｚ側）に配置されている。透過部材１２は、下面４Ｂと対向する位置に配置されている。検出器５は、透過部材１２の下面１２Ｂと対向する位置に配置されている。透過部材１２は、移動スケール４と検出器５との間に配置されている。
【００２９】
図３は、移動スケール４を示す平面図である。図３に示すように、スケール領域３は、上面４Ａの一部のリング状の領域である。スケール領域３は、液体ＬＱに対して親液性である。液体ＬＱに対するスケール領域３の接触角は、例えば９０度未満である。
【００３０】
本実施形態においては、移動スケール４に対して親液化処理が実行されることによって、スケール領域３に親液性が付与される。親液化処理は、例えばシランカップリング処理を含む。本実施形態においては、スケール２が形成された移動スケール４に対してシランカップリング処理を実行して、移動スケール４の表面（上面４Ａ）の一部の領域（スケール領域３）にＯＨ基を形成することによって、スケール領域３に親液性が付与される。
【００３１】
本実施形態において、移動スケール４の回転中心に対する放射方向に関して、スケール領域３の外側に、液体ＬＱに対して撥液性の第１領域１６が配置され、内側に、液体ＬＱに対して撥液性の第２領域１７が配置されている。第１、第２領域１６、１７は、上面４Ａの一部に配置されたリング状の領域である。液体ＬＱに対する第１、第２領域１６、１７の接触角は、例えば９０度以上である。このように、本実施形態においては、スケール領域３の周囲は、液体ＬＱに対して撥液性である。
【００３２】
本実施形態においては、移動スケール４に対して撥液化処理が実行されることによって、第１、第２領域１６、１７に撥液性が付与される。撥液化処理は、例えば移動スケール４上に撥液膜を形成する処理を含む。撥液膜は、例えば非晶質フッ素樹脂（ハイドロフルオロエーテル）を含む。本実施形態においては、撥液膜は、旭硝子社製「サイトップ」によって形成されている。撥液膜は、例えばスピンコーティング法等、所定の塗布方法によって移動スケール４上に形成可能である。なお、ディッピング等、湿式プロセスによって、移動スケール４上に撥液膜を形成することもできる。本実施形態においては、スケール２が形成された移動スケール４の表面（上面４Ａ）の一部の領域（第１、第２領域１６、１７）にフッ素を含む撥液膜を形成することによって、第１、第２領域１６、１７に撥液性が付与される。
【００３３】
なお、図３に示す例では、移動スケール４の回転中心に対する放射方向に関して、スケール２の外側の一部及び内側の一部が第１、２領域（撥液領域）１６、１７に配置されている。
【００３４】
図４は、移動スケール４及び保持部材７の一部を拡大した側断面図である。図４に示すように、保持部材７の保持面６は、移動スケール４と第１ギャップＧ１を介して対向する第１面１８と、第１ギャップＧ１より小さい第２ギャップＧ２を介して対向する第２面１９とを有する。本実施形態において、第１面１８及び第２面１９は、第１部分７１及び第２部分７２のそれぞれに配置されている。第１部分７１の第１面１８は、上面４Ａと第１ギャップＧ１を介して対向し、第１部分７１の第２面１９は、上面４Ａと第２ギャップＧ２を介して対向する。第２部分７２の第１面１８は、下面４Ｂと第１ギャップＧ１を介して対向し、第２部分７２の第２面１９は、下面４Ｂと第２ギャップＧ２を介して対向する。
【００３５】
本実施形態において、第１部分７１の第２面１９の少なくとも一部は、スケール領域３の外側領域と対向する。本実施形態においては、第２面１９の少なくとも一部は、液体ＬＱに対して撥液性の第２領域１７と対向する。また、本実施形態においては、第２部分７２の第２面１９と対向する下面４Ｂの一部の領域も、液体ＬＱに対して撥液性である。
【００３６】
また、本実施形態においては、第２面１９は、液体ＬＱに対して親液性である。液体ＬＱに対する第２面１９の接触角は、９０度未満である。第２面１９に対して、例えばシランカップリング処理等の親液化処理が実行されることによって、第２面１９に親液性が付与される。
【００３７】
第１面１８の少なくとも一部は、スケール領域３と対向する。第１面１８は、液体ＬＱに対して親液性である。液体ＬＱに対する第１面１８の接触角は、９０度未満である。第１面１８に対して、例えばシランカップリング処理等の親液化処理が実行されることによって、第１面１８に親液性が付与される。本実施形態において、第１面１８は、固定スケール１１の下面１１Ｂ、及び透過部材１２の上面１２Ａを含む。
【００３８】
本実施形態において、第２面１９は、ＸＹ平面とほぼ平行である。また、ＸＹ平面内において、第２面１９はリング状である。第２面１９は、保持面６の内側の周縁において、移動スケール４と対向するように配置されている。
【００３９】
次に、上述の構成を有するエンコーダ装置１の動作の一例について説明する。
【００４０】
保持部材７と移動スケール４との間に液体ＬＱが保持される。液体ＬＱは、スケール領域３を含む移動スケール４の上面４Ａの一部の領域、下面４Ｂの一部の領域、及び側面４Ｓのそれぞれと接触するように、保持部材７と移動スケール４との間に保持される。また、液体ＬＱは、固定スケール１１の下面１１Ｂ、及び透過部材１２の上面１２Ａを含む保持部材７の保持面６と接触するように、保持部材７と移動スケール４との間に保持される。移動スケール４と保持部材７との間に液体ＬＱが保持されて、移動スケール４と保持部材７との間に形成されている内部空間２０が液体ＬＱで満たされる。
【００４１】
内部空間２０が液体ＬＱで満たされた状態で、光源８から光が射出される。光源８から射出された光は、光学系９を介して、固定スケール１１に入射する。固定スケール１１を透過した光は、液体ＬＱを介して、移動スケール４のスケール領域３に入射する。移動スケール４のスケール領域３に入射した光は、移動スケール４を透過して、液体ＬＱを介して、透過部材１２に入射する。透過部材１２に入射した光は、透過部材１２を透過して、検出器５に入射する。検出器５は、移動スケール４のスケール領域３からの光を、透過部材１２及び液体ＬＱを介して検出する。このように、本実施形態においては、検出器５は、移動スケール４を透過した光を、液体ＬＱを介して検出する。
【００４２】
本実施形態においては、光源８からの光が光学系９を介して固定スケール１１に照射される。固定スケール１１を透過した光は、明暗パターンを持つ。なお、良く知られているように、スケールピッチが細かい場合には、回折現象が生じるが、本実施形態におけるスケールピッチ（例えば０．２ｍｍ）は、光の波長（例えば８５０ｎｍ）に対して十分に大きいので、回折は実質的に無視できる。
【００４３】
固定スケール１１を透過した光は、固定スケール１１と同一ピッチを持つ移動スケール４に入射し、移動スケール４を透過した光（光量）のみが、検出器５に入射する。
【００４４】
上述の構成を有するエンコーダ装置１においては、移動スケール４の移動（回転）に伴って、固定スケール１１と移動スケール４との位置関係が変化するために、検出器５で検出される光量が周期的に変化する。この光量変化を検出することによって、移動スケール４の回転方向に関する位置情報を計測することができる。
【００４５】
本実施形態においては、移動スケール４と保持部材７との間に液体ＬＱが保持されているので、移動スケール４の表面に異物が付着することが抑制される。本実施形態においては、移動スケール４と保持部材７との間に液体ＬＱが保持され、移動スケール４と保持部材７との間に形成されている内部空間２０が液体ＬＱで満たされている。その内部空間２０の液体ＬＱと、移動スケール４の表面（スケール領域３を含む上面４Ａの一部、下面４Ｂの一部、及び側面４Ｓを含む）とは、常に接触し続けるので、異物が移動スケール４の表面に付着することが抑制される。
【００４６】
本実施形態においては、移動スケール４と保持部材７とは、ギャップを介して対向している。すなわち、移動スケール４と保持部材７とは離れている。これにより、移動スケール４は、保持部材７に対して円滑に移動（回転）可能である。本実施形態においては、移動スケール４と保持部材７との間に開口２１が形成されており、その開口２１は、液体ＬＱで満たされている（塞がれている）。したがって、外部空間の異物が、開口２１を介して、内部空間２０に侵入することが抑制される。また、内部空間２０に異物が侵入したとしても、その内部空間２０の液体ＬＱによって、移動スケール４の表面に付着することが抑制される。
【００４７】
以上説明したように、本実施形態によれば、移動スケール４との間で液体ＬＱを保持する保持面６を有する保持部材７を設けたので、移動スケール４の表面に異物が付着することを抑制することができる。本実施形態においては、移動スケール４の表面のうち、少なくともスケール領域３と接触するように液体ＬＱが保持されるので、スケール領域３に異物が付着することを抑制することができる。また、本実施形態によれば、固定スケール１１の下面１１Ｂ、及び透過部材１２の上面１２Ａも、液体ＬＱと接触し続けるので、それら下面１１Ｂ及び上面１２Ａに異物が付着することが抑制される。したがって、検出不良の発生を抑制することができる。
【００４８】
また、本実施形態によれば、保持部材７は、スケール領域３を含む移動スケール４の表面の局所領域と液体ＬＱとが接触するように、移動スケール４との間で液体ＬＱを保持するので、移動スケール４は、円滑に移動（回転）することができる。例えば、移動スケール４の表面の全部の領域と液体ＬＱとを接触させた状態で移動スケール４を移動（回転）するよりも、移動スケール４の表面の一部の領域（局所領域）と液体ＬＱとを接触させた状態で移動スケール４を移動（回転）するほうが、移動スケール４に作用する液体ＬＱの粘性抵抗を小さくすることができ、移動スケール４を円滑に移動（回転）することができる。
【００４９】
また、本実施形態によれば、保持面６は、スケール領域３に応じてリング状なので、スケール領域３は、常に液体ＬＱと接触し続けることができる。したがって、スケール領域３に異物が付着することが抑制される。
【００５０】
また、本実施形態によれば、スケール領域３が液体ＬＱに対して親液性なので、液体ＬＱと良好に密着することができる。これにより、例えば気泡等がスケール領域３に付着することが抑制される。したがって、検出不良の発生を抑制することができる。
【００５１】
また、本実施形態によれば、スケール領域３の外側の第１、第２領域１６、１７が液体ＬＱに対して撥液性なので、移動スケール４と保持部材７との間に保持された液体ＬＱが外部空間に流出することを抑制することができる。また、本実施形態においては、保持面６の内側の周縁に配置された第２面１９と、液体ＬＱに対して撥液性の第２領域１７との間に、内部空間２０の液体ＬＱの界面（メニスカス）が形成され、内部空間２０の液体ＬＱが外部空間に流出することが抑制される。
【００５２】
また、本実施形態においては、保持面６は、移動スケール４の上面４Ａ（下面４Ｂ）と第１ギャップＧ１を介して対向する第１面１８と、第２ギャップＧ２を介して対向する第２面１９とを有し、第２ギャップＧ２を所定の大きさ（例えば０．１〜２ｍｍ程度）にすることによって、液体ＬＱの表面張力により、内部空間２０の液体ＬＱが外部空間に流出することが抑制される。また、第１面１８は、移動スケール４と離れているので、液体ＬＱで満たされる内部空間２０を大きくすることができる。
【００５３】
なお、上述の第１実施形態においては、第２面１９と対向する移動スケール４の表面が、液体ＬＱに対して撥液性である場合を例にして説明したが、移動スケール４の表面は親液性でもよい。
【００５４】
なお、図５に示すように、移動スケール４の上面４Ａ及び下面４Ｂのそれぞれに、保持面６に向かう凸部２２を設けることができる。凸部２２は、保持面６の周縁の第２面１９と対向する位置に配置される。図５に示す例において、第１部分７１の第２面１９と対向する凸部２２の上面は、平面であり、第２面１９とほぼ平行である。同様に、第２部分７２の第２面１９と対向する凸部２２の下面は、平面であり、第２面１９とほぼ平行である。移動スケール４が、保持面６の周縁の第２面１９と対向する位置に、保持面６に向かう凸部２２を有することにより、内部空間２０の液体ＬＱが外部空間に流出することを抑制することができる。
【００５５】
なお、図６に示すように、保持面６と対向する凸部２２Ｂの上面（下面）が、保持面６の中央から外側へ向かう方向において、換言すれば、内部空間２０から外部空間（開口２１）へ向かう方向において、保持面６に除々に近付くように傾斜していてもよい。また、保持面６の内側の周縁の第２面１９が、保持面６の中央から外側へ向かう方向において（内部空間２０から外部空間へ向かう方向において）、移動スケール４に除々に近付くように傾斜していてもよい。図６に示す例では、第１面１８は、スケール領域３とほぼ平行であり、第２面１９は、第１面１８に対して傾斜している。こうすることによっても、内部空間２０の液体ＬＱが外部空間に流出することを抑制することができる。
【００５６】
＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【００５７】
図７Ａは、第２実施形態に係るエンコーダ装置１Ｂの一部を示す斜視図、図７Ｂは、図７ＡのＡ−Ａ線断面矢視図、図７Ｃは、図７ＡのＢ−Ｂ線断面矢視図である。
【００５８】
図７Ａ−図７Ｃに示すように、本実施形態に係るエンコーダ装置１Ｂは、移動スケール４との間で液体ＬＱを保持する保持部材７Ｂを備えている。ＸＹ平面内において、保持部材７Ｂは、円弧状の部材である。保持部材７Ｂは、移動スケール４との間で液体ＬＱを保持する保持面６Ｂを有する。保持面６Ｂは、移動スケール４と第１ギャップＧ１を介して対向する第１面１８Ｂと、第２ギャップＧ２を介して対向する第２面１９Ｂとを有する。ＸＹ平面内において、第２面１９Ｂは、第１面１８Ｂの周囲の一部に配置されている。本実施形態において、保持部材７Ｂは、θＺ方向におけるスケール領域３の一部との間で液体ＬＱを保持する。
【００５９】
本実施形態によれば、保持部材７Ｂと移動スケール４との間に保持される液体ＬＱの量が少ないので、移動スケール４に作用する液体ＬＱの粘性抵抗を小さくすることができ、移動スケール４を円滑に移動（回転）することができる。
【００６０】
＜第３実施形態＞
次に、第３実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【００６１】
図８は、第３実施形態に係るエンコーダ装置１Ｃの一例を示す側断面図である。本実施形態において、エンコーダ装置１Ｃは、反射型の移動スケール４Ｃを有する。スケール２（スケール領域３）は、移動スケール４Ｃの上面４Ａに配置されている。
【００６２】
本実施形態において、保持部材７Ｃは、移動スケール４Ｃの上面４Ａと対向する。保持部材７Ｃは、固定スケール１１Ｃと、固定スケール１１Ｃを支持する支持部材１３Ｃとを有する。保持部材７Ｃは、移動スケール４Ｃの上面４Ａとの間で液体ＬＱを保持する保持面６Ｃを有する。保持面６Ｃは、第１面１８Ｃと、第１面１８Ｃより上面４Ａに近い第２面１９Ｃとを有する。ＸＹ平面内において、保持面６Ｃはリング状である。本実施形態において、保持部材７Ｃの中心に対する放射方向に関して、第１面１８Ｃの外側及び内側のそれぞれに、第２面１９Ｃがリング状に配置されている。
【００６３】
光源８は、固定スケール１１Ｃの上面１１Ａと対向する位置に配置されている。本実施形態においては、検出器５も、固定スケール１１Ｃの上面１１Ａと対向する位置に配置されている。固定スケール１１Ｃは、検出器５と移動スケール４Ｃとの間に配置されている。
【００６４】
次に、上述の構成を有するエンコーダ装置１Ｃの動作の一例について説明する。保持部材７Ｃの保持面６Ｃと移動スケール４Ｃの上面４Ａとの間に液体ＬＱが保持された状態で、光源８から光が射出される。光源８から射出された光は、固定スケール１１Ｃ及び液体ＬＱを介して、移動スケール４Ｃのスケール領域３に入射する。移動スケール４Ｃのスケール領域３に入射した光は、移動スケール４Ｃで反射して、液体ＬＱ及び固定スケール１１Ｃを介して、検出器５に入射する。検出器５は、移動スケール４Ｃのスケール領域３からの光を、固定スケール１１Ｃ及び液体ＬＱを介して検出する。このように、本実施形態においては、検出器５は、移動スケール４Ｃで反射した光を、液体ＬＱを介して検出する。
【００６５】
本実施形態においても、スケール領域３に異物が付着することを抑制して、検出不良の発生を抑制することができる。
【００６６】
＜第４実施形態＞
次に、第４実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【００６７】
図９は、第４実施形態に係るエンコーダ装置１Ｄの一例を示す側断面図である。エンコーダ装置１Ｄは、反射型の移動スケール４Ｄを有する。図９に示すように、スケール領域３は、移動スケール４Ｄの側面４Ｓに配置されている。保持部材７Ｄは、移動スケール４Ｄの側面４Ｓと対向する位置に配置される固定スケール１１Ｄと、固定スケール１１Ｄを支持する支持部材１３Ｄとを有する。保持部材７Ｄは、移動スケール４Ｄの側面４Ｓとの間で液体ＬＱを保持する。保持部材７Ｄは、リング状であり、移動スケール４Ｄを囲むように配置されている。光源８及び検出器５は、固定スケール１１Ｄと対向する位置に配置されている。光源８から射出された光は、固定スケール１１Ｄ及び液体ＬＱを介して、移動スケール４Ｄの側面４Ｓのスケール領域３に入射する。移動スケール４Ｄのスケール領域３に入射した光は、移動スケール４Ｄで反射して、液体ＬＱ及び固定スケール１１Ｄを介して、検出器５に入射する。検出器５は、移動スケール４Ｄのスケール領域３からの光を、固定スケール１１Ｄ及び液体ＬＱを介して検出する。本実施形態においても、スケール領域３に異物が付着することを抑制して、検出不良の発生を抑制することができる。
【００６８】
＜第５実施形態＞
次に、第５実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【００６９】
図１０は、第５実施形態に係るエンコーダ装置１Ｅの一部を示す斜視図である。本実施形態のエンコーダ装置１Ｅは、リニアエンコーダである。エンコーダ装置１Ｅは、移動スケール４Ｅと、移動スケール４Ｅとの間で液体ＬＱを保持する保持部材７Ｅとを有する。移動スケール４Ｅは、Ｙ軸方向に直進する矩形プレートである。本実施形態において、移動スケール４Ｅは、透過型である。スケール２Ｅ（スケール領域３Ｅ）は、移動スケール４Ｅの上面４Ａに配置されている。
【００７０】
スケール領域３Ｅは、Ｙ軸方向に長い。すなわち、スケール領域３Ｅは、Ｙ軸方向に沿った長軸を有する。また、移動スケール４Ｅの上面４Ａにおいて、スケール領域３の＋Ｘ側に、液体ＬＱに対して撥液性の第１領域１６Ｅが配置され、−Ｘ側に、液体ＬＱに対して撥液性の第２領域１７Ｅが配置されている。第１、第２領域１６Ｅ、１７Ｅは、Ｙ軸方向に長い（Ｙ軸方向に沿った長軸を有する）。このように、本実施形態においては、スケール領域３Ｅの周囲は、液体ＬＱに対して撥液性である。
【００７１】
保持部材７Ｅは、移動スケール４Ｅの表面の局所領域と液体ＬＱとが接触するように、移動スケール４Ｅとの間で液体ＬＱを保持する。保持部材７Ｅは、固定スケール１１Ｅと、透過部材１２Ｅと、固定スケール１１Ｅ及び透過部材１２Ｅを支持する支持部材１３Ｅとを有する。固定スケール１１Ｅは、スケール領域３Ｅが配置された移動スケール４Ｅの上面４Ａと対向する位置に配置されている。透過部材１２Ｅは、移動スケール４Ｅの下面４Ｂと対向する位置に配置されている。固定スケール１１Ｅの上面１１Ａに、光源からの光が照射される。固定スケール１１Ｅを透過した光は、液体ＬＱを介して、移動スケール４Ｅのスケール領域３Ｅに入射する。移動スケール４Ｅのスケール領域３Ｅに入射した光は、移動スケール４Ｅを透過して、下面４Ｂより射出され、液体ＬＱを介して透過部材１２Ｅに入射する。透過部材１２Ｅに入射した光は、その透過部材１２Ｅを透過して、検出器に入射する。
【００７２】
本実施形態においても、スケール領域３Ｅに異物が付着することを抑制して、検出不良の発生を抑制することができる。
【００７３】
＜第６実施形態＞
次に、第６実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【００７４】
図１１は、第６実施形態に係るエンコーダ装置１Ｆを示す側断面図である。エンコーダ装置１Ｆは、リニアエンコーダであり、Ｙ軸方向に直進する移動スケール４Ｆと、移動スケール４Ｆとの間で液体ＬＱを保持する保持部材７Ｆとを有する。本実施形態において、移動スケール４Ｆは、反射型であり、上面４Ａにスケール２Ｆ（スケール領域３Ｆ）を有する。保持部材７Ｆは、移動スケール４Ｆの上面４Ａと対向する。
【００７５】
図１２は、保持部材７Ｆを−Ｚ側から見た斜視図である。図１１及び図１２において、保持部材７Ｆは、固定スケール１１Ｆと、固定スケール１１Ｆを支持する支持部材１３Ｆとを有する。保持部材７Ｆは、移動スケール４Ｆの上面４Ａとの間で液体ＬＱを保持する保持面６Ｆを有する。保持面６Ｆは、第１面１８Ｆと、第１面１８Ｆより上面４Ａに近い第２面１９Ｆとを有する。第１面１８Ｆは、固定スケール１１Ｆの下面１１Ｂを含む。第２面１９Ｆは、第１面１８Ｆの周囲に配置されている。
【００７６】
光源８及び検出器５は、固定スケール１１Ｆの上面１１Ａと対向する位置に配置されている。本実施形態において、光源８及び検出器５は、保持部材７Ｆの内部空間１５Ｆに配置されている。保持部材７Ｆの保持面６Ｆと移動スケール４Ｆの上面４Ａとの間に液体ＬＱが保持された状態で、光源８から光が射出される。光源８から射出された光は、固定スケール１１Ｆ及び液体ＬＱを介して、移動スケール４Ｆのスケール領域３Ｆに入射する。移動スケール４Ｆのスケール領域３Ｆに入射した光は、移動スケール４Ｆで反射して、液体ＬＱ及び固定スケール１１Ｆを介して、検出器５に入射する。本実施形態においても、スケール領域３Ｆに異物が付着することを抑制して、検出不良の発生を抑制することができる。
【００７７】
なお、図１３に示すように、保持部材７Ｆに、保持部材１７１を付加することができる。保持部材１７１は、例えばスチールベルトであり、Ｙ軸方向に長い移動スケール４Ｆの上面４Ａに応じた、Ｙ軸方向に長い保持面１７２を有する。保持部材１７１の一端は、保持部材７Ｆに接続され、他端は、巻き取り機構１７３に接続されている。保持部材１７１が巻き取り機構１７３により巻き取られたり、繰り出されたりすることによって、保持面１７２のサイズが調整される。図１３に示す例では、液体ＬＱは、上面４Ａの広い領域と接触することができ、上面４Ａに異物が付着することを抑制することができる。
【００７８】
＜第７実施形態＞
次に、第７実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【００７９】
図１４は、第７実施形態に係るエンコーダ装置１Ｇを示す側断面図である。エンコーダ装置１Ｇは、Ｙ軸方向に直進する移動スケール４Ｆと、移動スケール４Ｆとの間で液体ＬＱを保持する保持部材７Ｇとを有する。保持部材７Ｇは、固定スケール１１Ｇと、固定スケール１１Ｇを支持する支持部材１３Ｇとを有する。保持部材７Ｇは、移動スケール４Ｆの上面４Ａとの間で液体ＬＱを保持する保持面６Ｇを有する。保持面６Ｇは、第１面１８Ｇと、第１面１８Ｇより上面４Ａに近い第２面１９Ｇとを有する。第１面１８Ｇは、固定スケール１１Ｇの下面１１Ｂを含む。第２面１９Ｇは、第１面１８Ｇの周囲に配置されている。
【００８０】
本実施形態において、エンコーダ装置１Ｇは、スケール領域３Ｆを含む移動スケール４Ｆの上面４Ａに接触するように液体ＬＱを供給する液体供給口３１を備えている。液体供給口３１は、移動スケール４Ｆと保持部材７Ｇとの間に液体ＬＱを供給する。液体供給口３１は、スケール領域３Ｆと対向可能な位置に配置されている。本実施形態において、液体供給口３１は、保持面６Ｇに配置されている。
【００８１】
また、エンコーダ装置１Ｇは、液体ＬＱを回収する液体回収口３２を備えている。液体供給口３１は、保持面６Ｇと対向する移動スケール４Ｆ上の液体ＬＱを回収する。液体回収口３２は、スケール領域３Ｆと対向可能な位置に配置されている。本実施形態において、液体回収口３２は、保持面６Ｇに配置されている。
【００８２】
液体供給口３１は、液体ＬＱを送出可能な液体供給装置３３と接続されている。液体供給装置３３は、供給する液体ＬＱの異物を除去するためのフィルタユニットを有し、そのフィルタユニットを介して、清浄な液体ＬＱを供給することができる。液体回収口３２は、液体ＬＱを回収可能な液体回収装置３４と接続されている。液体回収装置３４は、真空システムを含む。なお、液体回収装置３４で回収された液体ＬＱを、液体供給装置３３に戻してもよい。本実施形態において、液体供給装置３３及び液体回収装置３４の少なくとも一部は、保持部材７Ｇの内部空間１５Ｇに配置されている。また、内部空間１５Ｇには、光源８及び検出器５が配置されている。光源８及び検出器５は、固定スケール１１Ｇの上面１１Ａと対向する位置に配置されている。
【００８３】
次に、エンコーダ装置１Ｇの動作の一例について説明する。保持面６Ｇと上面４Ａとが対向した状態で、液体供給装置３３が作動され、液体供給口３１から液体ＬＱが供給される。液体供給口３１から供給された液体ＬＱは、保持部材７Ｇと移動スケール４Ｆとの間に保持される。また、本実施形態においては、液体供給装置３３の作動と並行して、液体回収装置３４が作動される。すなわち、本実施形態においては、液体供給口３１の液体供給動作と並行して、液体回収口３２の液体回収動作が実行される。これにより、スケール領域３Ｆを含む移動スケール４Ｆの上面４Ａの局所領域と液体ＬＱとが接触するように、保持部材７Ｇと移動スケール４Ｆとの間に液体ＬＱが保持される。
【００８４】
保持部材７Ｇの保持面６Ｇと移動スケール４Ｆの上面４Ａとの間に液体ＬＱが保持された状態で、光源８から光が射出される。光源８から射出された光は、固定スケール１１Ｇ及び液体ＬＱを介して、移動スケール４Ｆのスケール領域３Ｆに入射する。移動スケール４Ｆのスケール領域３Ｆに入射した光は、移動スケール４Ｆで反射して、液体ＬＱ及び固定スケール１１Ｇを介して、検出器５に入射する。
【００８５】
本実施形態においては、検出器５の検出動作中に、液体供給口３１から液体ＬＱが供給される。また、検出器５の検出動作中に、液体供給口３１の液体供給動作と並行して、液体回収口３２の液体回収動作が実行される。本実施形態においても、スケール領域３Ｆに異物が付着することを抑制して、検出不良の発生を抑制することができる。
【００８６】
液体供給口３１の液体供給動作と並行して、液体回収口３２の液体回収動作が実行されることにより、移動スケール４Ｆの上面４Ａ、及び保持部材７Ｇの保持面６Ｇの少なくとも一方をクリーニングすることができる。例えば、移動スケール４Ｆの上面４Ａに異物が付着した場合でも、液体供給口３１の液体供給動作と並行して、液体回収口３２の液体回収動作が実行されることにより、その異物は、液体ＬＱとともに、液体回収口３２より回収される。
【００８７】
また、移動スケール４Ｆの上面４Ａ、及び保持部材７Ｇの保持面６Ｇの少なくとも一方をクリーニングするために、液体供給口３１より液体ＬＱを供給したり、液体供給口３１の液体供給動作と並行して、液体回収口３２の液体回収動作を実行したりしてもよい。例えば、検出器５を用いる検出動作の停止中において、液体供給口３１の液体供給動作と並行して、液体回収口３２の液体回収動作が実行されることにより、移動スケール４Ｆの上面４Ａ、及び保持部材７Ｇの保持面６Ｇの少なくとも一方をクリーニング（メンテナンス）することができる。
【００８８】
なお、上述の第１〜第４実施形態で説明したような、ロータリーエンコーダ方式のエンコーダ装置１、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄに、液体供給口３１を設けることができるし、液体回収口３２を設けることができる。
【００８９】
なお、上述の第１〜第７実施形態においては、液体ＬＱとして、光透過性の水を用いる場合を例にして説明したが、光を透過可能であり、移動スケールの移動（回転）を妨げない程度の粘性を有するものであれば、水以外の液体を用いることもできる。例えば液体ＬＱとして、アニソール（Ｃ７Ｈ８Ｏ）、セダーオイル、グリセリン等を用いることもできる。
【００９０】
なお、上述の各実施形態においては、移動スケールと保持部材との間に液体ＬＱが保持される場合を例にして説明したが、移動スケールと検出器との間に液体ＬＱが保持されてもよい。その場合、例えば検出器の受光面にスケール（格子）を配置することによって、固定スケールを省略しても、移動スケールの位置情報を検出することができる。
【００９１】
＜第８実施形態＞
次に、第８実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【００９２】
図１５は、第８実施形態に係るエンコーダ装置１Ｈの一例を示す側断面図である。上述の第１〜第７実施形態においては、エンコーダ装置がスケールを光学的に検出する光学式エンコーダである場合を例にして説明した。第８実施形態の特徴的な部分は、エンコーダ装置１Ｈが、例えば特開２００４−２５７９７４号公報に開示されているような静電式エンコーダである場合を例にして説明する。
【００９３】
図１５において、エンコーダ装置１Ｈは、結合電極２Ｈが配置されたロータ４Ｈと、ロータ４Ｈとの間で液体ＬＣを保持可能なステータ７Ｈとを有する。ＸＹ平面内において、ステータ７Ｈは、リング状である。ステータ７Ｈは、送受信電極５Ｈを有する。送受信電極５Ｈは、ロータ４Ｈの静電力を検出する。送受信電極５Ｈは、液体ＬＣと接触し、ロータ４Ｈとの間で液体ＬＣを保持可能である。液体ＬＣは、絶縁性である。液体ＬＣは、ロータ４Ｈとステータ７Ｈとの間に保持される。本実施形態においても、ロータ４Ｈあるいはステータ７Ｈに異物が付着することが抑制され、検出不良の発生を抑制できる。
【００９４】
なお、第８実施形態において、液体ＬＣを供給する液体供給口を設けることができる。また、液体ＬＣを回収する液体回収口を設けることができる。
【００９５】
＜第９実施形態＞
次に、第９実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【００９６】
図１６は、第９実施形態に係るエンコーダ装置１Ｊの一例を示す側断面図である。第９実施形態の特徴的な部分は、エンコーダ装置１Ｊが、例えば特開２００８−０３９６７３号公報に開示されているような磁気式エンコーダである場合を例にして説明する。
【００９７】
図１６において、エンコーダ装置１Ｊは、永久磁石を有するロータ４Ｊと、ロータ４Ｊとの間で液体ＬＤを保持可能な保持部材７Ｊとを有する。保持部材７Ｊは、リング状であり、ロータ４Ｊを囲むように配置されている。保持部材７Ｊは、磁界検出素子５Ｊを有する。磁界検出素子５Ｊは、ロータ４Ｊの磁界を検出する。磁界検出素子５Ｊは、液体ＬＤと接触し、ロータ４Ｊとの間で液体ＬＤを保持可能である。液体ＬＤは、磁性液体である。なお、液体ＬＤが、非磁性液体でもよい。液体ＬＤは、ロータ４Ｊと保持部材７Ｊとの間に保持される。本実施形態においても、ロータ４Ｊあるいは保持部材７Ｊ（磁界検出素子５Ｊ）に異物が付着することが抑制され、検出不良の発生を抑制できる。
【００９８】
なお、第９実施形態において、液体ＬＤを供給する液体供給口を設けることができる。また、液体ＬＤを回収する液体回収口を設けることができる。
【００９９】
なお、上述の第１〜第９実施形態の要件は、適宜組み合わせることができる。また、上述の各実施形態及び変形例で引用したエンコーダ装置などに関する全ての公開公報の開示を援用して本文の記載の一部とする。
【符号の説明】
【０１００】
１…エンコーダ装置、２…スケール、３…スケール領域、４…移動スケール（第１スケール部材）、４Ａ…上面、４Ｂ…下面、４Ｓ…側面、５…検出器、６…保持面、７…保持部材、７１…第１部分、７２…第２部分、７３…第３部分、１１…固定スケール（第２スケール部材）、１２…透過部材、１３…支持部材、１６…第１領域、１７…第２領域、１８…第１面、１９…第２面、２２…凸部、３１…液体供給口、３２…液体回収口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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