(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つの第１電極（２１）と、圧電材料（１０ａ）を介して前記第１電極（２１）から離間し、前記第１電極（２１）の間に配置された少なくとも１つの第２電極（２２）とを備え、第１主要面（１０）と、前記第１主要面（１０）の裏側となる第２主要面（１１）と、第１側面部（１２）とを有した電気機械変換部（１）と、
前記第１主要面（１０）の第１部分領域（３１）と、前記第１側面部（１２）において前記第１主要面（１０）の前記第１部分領域（３１）に隣接する部分領域（４０）とに連続的に設けられた第１金属被覆層（３０）とを備え、
前記第１側面部（１２）の前記部分領域（４０）は、前記第２主要面（１１）の周縁部（５１）から絶縁可能な距離（Ｄ）をもって離間すると共に、前記少なくとも２つの第１電極（２１）と電気的に接続されている圧電素子であって、
前記第１側面部（１２）の反対側に位置する第２側面部（１３）に、前記少なくとも２つの第１電極（２１）と電気的に接続された金属被覆層が溶射により形成されて前記第１主要面（１０）の前記第１部分領域（３１）に隣接する部分領域（４１）を備え、
前記第２側面部（１３）の前記部分領域（４１）は、前記第２主要面（１１）の周縁部（５２）から絶縁可能な距離（Ｄ）をもって離間しており、
前記電気機械変換部（１）は第３側面部（１４）を更に備え、
前記第３側面部（１４）は、前記少なくとも２つの第１電極（２１）と電気的に接続された金属被覆層（３０）が設けられて前記第１主要面（１０）の前記第１部分領域（３１）に隣接する部分領域（４２）を有し、
前記第３側面部（１４）の前記部分領域（４２）は、前記第２主要面（１１）の周縁部（５３）から絶縁可能な距離（Ｄ）をもって離間している
ことを特徴とする圧電素子。
【請求項２】
前記第３側面部（１４）は、前記電気機械変換部（１）の幅方向側面を形成していることを特徴とする請求項１に記載の圧電素子。
【請求項３】
前記第１側面部（１２）の前記第１部分領域外となる前記電気機械変換部（１）の部分領域（６１）において前記少なくとも２つの第１電極（２１）は、前記第１側面部（１２）の表面から距離（Ｅ）をおいて離間していることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電素子。
【請求項４】
前記電気機械変換部（１）の前記第１主要面（１０）において前記第１部分領域（３１）から離間した第２部分領域（３１’）と、前記第２部分領域（３１’）に隣接する、前記第１及びまたは第３側面部（１２，１４）の部分領域（４０’，１４’）とに形成された第２金属被覆層（３０’）を更に備え、
前記第２部分領域（３１’）に隣接する前記部分領域（４０’，１４’）は、前記第２主要面（１１）の前記周縁部（５１，５３）から距離（Ｄ）をおいて離間し、前記第２金属被覆層（３０’）は、前記少なくとも１つの第２電極（２２）と電気的に接続されていることを特徴とする請求項１〜３の１つに記載の圧電素子。
【請求項５】
前記第１、第２及びまたは第３側面部（１２，１３，１４）の前記部分領域（４０，４１，４２）は、前記第２主要面（１１）の周縁部（５１，５２，５３）から、２μｍ〜２５μｍ、特に２μｍ〜１４μｍの距離（Ｄ）をもって離間していることを特徴とする請求項１〜４の１つに記載の圧電素子。
【請求項６】
前記金属被覆層（３０，３０’）は、０．３μｍ〜５μｍ、特に０．５μｍ〜２μｍの厚さを有することを特徴とする請求項１〜４の１つに記載の圧電素子。
【請求項７】
前記第１主要面または前記第２主要面に段部（７０）を有することを特徴とする請求項１〜５の１つに記載の圧電素子。
【請求項８】
前記段部（７０）は、前記第１及びまたは第２部分領域（３０，３１’）外となる前記電気機械変換部（１）の部分領域（６１）に配設されることを特徴とする請求項７に記載の圧電素子。
【請求項９】
前記金属被覆層は、前記部分領域（３１，３１’，４０，４０’，４１，４１’）に溶射されて形成されることを特徴とする請求項１〜８の１つに記載の圧電素子。
【請求項１０】
前記金属被覆層は、前記第１主要面（１０）及び前記側面部（１２，１３，１４）に実質的に同時に形成されることを特徴とする請求項１〜９の１つに記載の圧電素子。
【請求項１１】
少なくとも２つの第１電極（２１）と、圧電材料（１０ａ）を介して前記第１電極（２１）から離間し、前記第１電極（２１）の間に配置された少なくとも１つの第２電極（２２）とを備え、第１主要面（１０）と、前記第１主要面（１０）の裏側となる第２主要面（１１）と、第１側面部（１２）とを有した電気機械変換部（１）を圧電素子に設ける工程と、
前記第１主要面（１０）の第１部分領域（３１）と、前記第１側面部（１２）において前記第１主要面（１０）の第１部分領域（３１）に隣接する部分領域（４０）とに、連続的な金属被覆層（３０）を溶射により形成し、このとき、前記第１側面部（１２）の前記部分領域（４０）を、前記第２主要面（１１）の周縁部（５１）から距離（Ｄ）をおいて離間させると共に、前記第１側面部（１２）の前記部分領域（４０）にある前記金属被覆層（３０）を、前記少なくとも２つの第１電極（２１）と電気的に接続する工程と
を備え、
前記連続的な金属被覆層（３０）は、前記第１側面部（１２）の反対側に位置する第２側面部（１３）の部分領域（４１）にも溶射により形成され、このとき前記第２側面部（１３）の前記部分領域（４１）が前記第２主要面（１１）の周縁部（５２）から距離（Ｄ）をおいて離間すると共に、前記金属被覆層（３０）が前記少なくとも２つの第１電極（２１）と接続され、
前記連続的な金属被覆層（３０）は、前記電気機械変換部（１）の幅方向側面を形成する第３側面部（１４）の部分領域（４２）にも溶射により形成され、このとき前記第３側面部（１４）の前記部分領域（４２）が前記第２主要面（１１）の周縁部（５３）から絶縁可能な距離（Ｄ）をもって離間すると共に、前記金属被覆層（３０）が前記少なくとも２つの第１電極（２１）と接続される
ことを特徴とする電気的接続の形成方法。
【請求項１２】
前記距離は、２μｍ〜１４μｍの範囲にあることを特徴とする請求項１１に記載の電気的接続を形成する方法。
【請求項１３】
前記金属被覆層（３０）は、前記第１主要面（１０）の前記部分領域（３１）と、前記第１側面部（１２）の前記部分領域（４０）との間の周縁部（５５）を覆って設けられることを特徴とする請求項１１または１２に記載の電気的接続の形成方法。
【請求項１４】
前記金属被覆層（３０，３０’）に対する接続は、前記第１主要面（１０）の前記部分領域（３１）において行われることを特徴とする請求項１１または１２に記載の電気的接続の形成方法。
【請求項１５】
前記第２主要面（１１）は金属被覆層から分離されていることを特徴とする請求項１〜１０の１つに記載の圧電素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子に関すると共に、電気的接続を特に圧電素子において形成する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子は、例えば特許文献１によって知られている。
この種の圧電素子は、様々なものに適用されている。代表的な適用例の１つはアクチュエータであり、制御電圧の使用によって、圧電素子に例えば伸縮振動のような振動を誘起させる。圧電素子の自然共振周波数は、その弾性特性に加え素子の寸法形状によって定まる。そして、これらにより、圧電素子に与えられる電気的励起に対する圧電素子の応答特性が定まる。
【０００３】
代表的な適用例では、１つ以上の圧電素子がアクチュエータとして用いられることにより、圧電モータが形成される。電気的励起、即ち交番電界の形成により、圧電素子に振動が誘起され、この振動が圧電素子に連結された部材に伝達される。この結果、例えばネジ山によりモータの軸周りの回転を変換し、それによって動きを得ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第６３４６７６４号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
圧電素子に連結されてアクチュエータを形成する部材は、導電性を有している場合が多い。このような場合は、特に圧電素子の機械的な固定の必要性が生じることになる。例えば、圧電素子の取付面は、構造物に設けられたいくつかの圧電素子の間の短絡を防止するため、圧電素子内の電極との電気的接続に対して電気的に絶縁されなければならない。一方、電力損失を最小限とするため、圧電素子内の個々の電極は、大きな電気抵抗を持たずに接続可能となっていなければならない。
【０００６】
従って、十分良好な電気的接続が確保された圧電素子の提供が求められている。また、特に圧電素子において電気的接続を形成するための方法を提供する必要がある。
【０００７】
特許請求の範囲における請求項１及び１３のそれぞれの主題が取り扱うのはこのような要求である。また、様々な展開及び改変が従属請求項の主題となっている。
【０００８】
これまで、圧電素子の接続は浸漬処理として知られている方法によって行われてきた。この場合、素子に金属層が塗布されることにより接続部分が形成される。但し、この方法では素子の全ての面に金属層が塗布され、或いは全ての面が金属被覆されることになる。例えば側面など、圧電素子の一部の領域が金属被覆されないようにするには、不要な金属被覆の形成を防止するために複雑な処置が必要となる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明が提案する圧電素子は電気機械変換部を備える。この電気機械変換部は、少なくとも２つの第１電極と、圧電材料を介して第１電極から離間し、第１電極の間に配置された少なくとも１つの第２電極とを備える。更に電気機械変換部は、第１主要面と、第１主要面の裏側となる第２主要面と、第１側面部とを備えている。そして、この圧電素子は、第１主要面の第１部分領域と、第１側面部において第１主要面の第１部分領域に隣接する部分領域とに連続的に設けられた金属被覆層に特徴がある。ここで、第１側面部の前記部分領域は、第２主要面の周縁部から絶縁可能な距離をもって離間している。また、第１側面部の前記部分領域は、前記少なくとも２つの第１電極と電気的に接続されている。
【００１０】
本発明によれば、金属被覆が形成されず、従って第２主要面の絶縁を可能とする開放領域が、第１側面部に沿って延在するように形成される。第１主要領域の第１部分領域内に設けられた金属被覆層と、第１側面部の部分領域に設けられて第１部分領域の金属被覆層と電気的に接続された金属被覆層とにより、第１主要面の広範な領域にわたって電気的接続を行うことが可能となり、第１主要面の金属被覆層が、第１側面部の前記部分領域に設けられた金属被覆層を介し、少なくとも２つの第１電極と電気的に接続される。
【００１１】
上述の連続した金属被覆層は、溶射により形成されるのが好ましい。溶射処理は、第１主要面の第１部分領域と、第１側面部において第１部分領域に隣接する部分領域との両方に対して実質的に同時に行われるのが好ましい。
【００１２】
また、金属被覆層は、第１側面部の反対側に位置する第２側面部の部分領域まで、同様にして延設される。これにより金属被覆層は、圧電素子の両側面部に位置する部分領域まで延設されることになり、圧電素子内にある少なくとも２つの第１電極と電気的に接続可能となる。いずれの場合も、両側面部の部分領域は第２主要面の周縁部から離間している。即ち、側面部にある金属被覆層は、側面部の全幅にわたって延設されるものではなく部分領域にのみ延設されている。この部分領域は、第１主要面と直結している。側面部の部分領域と第２主要面の周縁部との間の領域は、例えば２μｍ〜１４μｍの範囲の幅を有しており、金属被覆されていない状態のままである。これにより、圧電素子が第２主要面を介して筐体に取り付けられるとき、この筐体が両側面部にある金属被覆層と電気的に短絡することが確実に防止される。
【００１３】
更に、金属被覆層は、第３側面部の部分領域まで延設されている。第３側面部は、圧電素子または電気機械変換部の幅方向側面を形成するものであってもよい。
【００１４】
前記少なくとも２つの第１電極における短絡を防止するため、好ましい態様では、第１側面部の部分領域以外の領域となる電気機械変換部の部分領域において、これら電極を第１側面部の表面から離間して形成することが考えられる。これにより、これら電極は、金属被覆層のある領域以外の領域となる電気機械変換部の部分領域において、より小さな寸法を有したものとなり、従って、第１側面部の表面まで達することはない。
【００１５】
電気機械変換部の第１主要面の第２部分領域と、側面部において第２部分領域に隣接する部分領域とに、第２金属被覆層を連続的に形成することが可能である。このとき、第２部分領域の第２金属被覆層は、第１部分領域にある金属被覆層から離間した状態にある。同様に、側面部に位置する部分領域も互いに離間して配置されている。また、側面部において金属被覆層を有した部分領域は、第２主要面の周縁部から電気的に絶縁されており、第２主要面に設けられる取付部材によって短絡が生じることはない。
【００１６】
第１主要面及び側面部にある第２金属被覆層は、少なくとも１つの第２電極との電気的接続に用いられる。このとき、第２金属被覆層は、少なくとも２つの第１電極から電気的に絶縁されている。このような電気的絶縁は、例えば第２部分領域に隣接した側面部の部分領域において、電気機械変換部内の少なくとも２つの第１電極が、側面部の表面に達しないようにして行うようにしてもよい。このような構成は、第１部分領域及び当該第１部分領域に隣接する側面部の部分領域において、第２電極にも同様に適用される。
【００１７】
このように、互いに離間して電気的に絶縁された２つの金属被覆層を第１主要面に形成することが可能となり、これらを用い、少なくとも２つの第１電極の電気的接続及び少なくとも１つの第２電極の電気的接続が行われる。より具体的には、圧電素子の金属被覆層が、０．３μｍ〜５μｍの厚み、特に０．５μｍ〜２μｍの厚みを有する。
【００１８】
好ましくは、圧電素子が第１主要面または第２主要面に段部を有する。この段部は、例えば圧電素子が発生した機械振動が伝達される取付部材への機械的連結を可能とするために用いられる。また、側面部または第１主要面にある金属被覆層から離間して電気的に絶縁するための更なる機械的工夫が第２主要面になされるようにしてもよい。
具体的には、第２主要面の段部が、第１主要面における第１部分領域及び第２部分領域以外の領域に対応して配設される。
【００１９】
金属被覆層は、側面部の部分領域及び第１主要面の部分領域に溶射されて形成される。これにより、第１及びまたは第２主要面または側面部の部分領域に対して実質的に同時に金属被覆層を設けることが可能となる。また、溶射方向に対して圧電素子を適切に傾けることにより、第１主要面と側面部との間の周縁部における金属被覆の電気抵抗を低減し、圧電素子の作動及び電極の電気的接続に影響を及ぼさないようにすることができる。
【００２０】
接続領域の形成方法において、第１の工程では、電気機械変換部を備えた圧電素子が供給される。この電気機械変換部は、少なくとも２つの第１電極を有し、これら第１電極の間には、圧電材料を介し第２電極が第１電極から離間して配置されている。従って、この電気機械変換部は、圧電材料に取り囲まれて交互に配置された一連の電極を備えている。また、この電気機械変換部は、第１主要面、当該第１主要面の裏側となる第２主要面、及び第１側面部を有している。
【００２１】
本発明によれば、電極を接続するための連続的な金属被覆層の溶射が行われる。この金属被覆層は、第１主要面の部分領域と、第１側面部において第１主要面の部分領域に隣接する部分領域とに溶射して形成される。
【００２２】
このような金属被覆層の形成は、第１側面部の部分領域における金属被覆層が、この第１側面部の全幅にわたっては形成されず、第２主要面の周縁部から離間するようにして行われる。即ち、第１側面部には、金属被覆層を有していない開放領域が、第１側面部の部分領域と第２主要面の周縁部との間に形成される。従って、製造工程の際に溶射材料は、この開放領域内に入り込まないようになっている。
【００２３】
第１側面部の部分領域にある金属被覆層は、第１主要面の部分領域にある金属被覆層と電気的に接続された状態にあると共に、電気機械変換部の少なくとも２つの第１電極と電気的に接続されている。
【００２４】
更なる一態様において、第１主要面の第１部分領域から離間した第１主要面の第２部分領域に、第２金属被覆層が溶射により連続的に形成される。従って、第１部分領域及び第２部分領域とは、互いに電気的に絶縁されている。
【００２５】
また、第１側面部において第１主要面の第２部分領域に隣接する部分領域にも金属被覆層が溶射されることにより、この第１側面部にある金属被覆層と、第１主要面の第２部分領域にある金属被覆層とが、互いに電気的に接続された状態にある。第１側面部において上記第２部分領域に隣接する部分領域にある金属被覆層は、少なくとも１つの第２電極と接続されている。また、この金属被覆層は、第１側面部の全幅にわたっては延設されておらず、金属被覆層によって覆われていない領域が、第１側面部の部分領域と第２主要面の周縁部との間に残っている。
【００２６】
本発明の残りの部分については、様々な実施形態に基づき図面を参照して以下に詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１Ａ】溶射された金属被覆層を備えた第１実施形態に係る圧電素子を示す断面図である。
【図１Ｂ】図１Ａに示す圧電素子の平面図である。
【図２】金属被覆層を溶射した後の一実施形態に係る圧電素子を示す第１の斜視図である。
【図３】図２に示す圧電素子の第２の斜視図である。
【図４】金属被覆層を溶射する前の第１実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。
【図５】本発明の方法に従って圧電素子に対する溶射処理を行うための装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下のように図中に示して説明する実施形態は、個々の部材が一定の比率で縮尺して示されているわけではない。即ち、個々の部材は、より適切な例示を行うため、過大にまたは過小に示されている場合がある。また、特定の実施形態においてのみ言及されている、例えば層の厚み、距離、材料などの個々の特徴は、他の実施形態に容易に転用することが可能である。なお、作用効果が同じ部材には同じ符号を付している。
【００２９】
図１Ａは、電気機械変換部内の個々の電極の接続を行うための、溶射された金属被覆を有する圧電素子を示す断面図である。
【００３０】
電気機械変換部１は、互いに上下方向に配置された複数の第１電極２１及び複数の第２電極２２を備えている。これらの電極は、圧電材料１０ａを介して離間すると共に、交互に積み重ねるように配置されて一連の積層構造を形成している。それぞれ最も外側となる電極も更なる層によって取り囲まれており、これらの電極は電気機械変換部の内部に完全に収容されている。個々の電極２１及び２２の接続を行うため、側壁及び第１主要面１０には金属被覆層３０が溶射されて設けられている。このとき、金属被覆層３０は、第１電極２１のそれぞれと電気的に接続されるようにして側壁の表面に配置されている。このため、圧電素子の長手方向の側面部において金属被覆層３０が位置している部分領域には、この長手方向の側面部まで第１電極２１が延設されている。このような構造は、電極２１の１つを示した平面図である図１Ｂに示されている。
【００３１】
圧電素子の長手方向の側面部１２及び１３における部分領域４０及び４１には金属被覆層が溶射されて設けられている。側面部１２及び１３のこれら部分領域４０及び４１において、第１電極２１は電気機械変換部１の幅と実質的に一致した幅を有している。即ち、部分領域４０及び４１において、第１電極２１は圧電素子の長手方向の側面部の表面まで延設されており、この結果、部分領域４０及び４１にある金属被覆層と電気的に接続されている。
【００３２】
部分領域４０及び４１以外の領域では、第１電極２１が幾分小さな幅を有しており、圧電素子の長手方向の側面部１２及び１３と第１電極２１との間には微小距離Ｅがある。従って、第１電極２１は、絶縁材料によって取り囲まれていることになる。これにより、第１電極２１は圧電素子の長手方向の側面部１２及び１３の表面にまで達することはなく、短絡が生じ得ないようになっている。即ち、長手方向の側面部１２及び１３の部分領域４０’及び４１’においては、当該部分領域４０’及び４１’に設けられている金属被覆層３０’から、第１電極２１が電気的に絶縁されている。
【００３３】
一方、部分領域４０’及び４１’において第２電極２２は、この部分領域４０’及び４１’に設けられている金属被覆層３０’と電気的に接続されている。第２電極２２の形状は、第１電極２１と向きが逆であるだけで、第１電極２１と実質的に一致しており、第２電極２２の幅広部分が長手方向の側面部１２及び１３の部分領域４０’及び４１’にあって、金属被覆層３０’と接続されている。
【００３４】
このように、圧電素子の第１主要面１０に設けられて図中に破線で示される金属被覆層３０は第１電極２１に接続されている。同様に、圧電素子の第１主要面１０にある金属被覆層３０’は、長手方向の側面部１２及び１３における部分領域４０’及び４１’にある金属被覆層を介し、電気機械変換部内の第２電極２２と接続されている。圧電素子の第１主要面１０の領域６１には何も設けられず、溶射による金属被覆層で覆われていない。
【００３５】
図２は、電気機械変換部内の電極を接続するための溶射された金属被覆層を有する、本発明に基づく圧電素子の斜視図である。この圧電素子は、図中に示すように、第１主要面１０と第２主要面１１とを備えている。本実施形態において第２主要面１１は、圧電素子の取り付け面となるので、金属被覆層から分離する必要がある。従って、短絡を防止するため、短絡を生じるような第２主要面１１への電気的接触を防止するように、電気機械変換部内の電極の接続及び構成がなされる必要がある。
【００３６】
本実施形態では、部分領域４１及び４１’において、長手方向の側面部１２に沿って金属被覆層が設けられている。この金属被覆層は、電気機械変換部内の電極と接続されている。また、溶射された金属被覆層を有する部分領域４１及び４１’は、距離Ｄをもって周縁部５１から離間している。このようにして、部分領域４１及び４１’と周縁部５１との間には開放領域が形成されている。この周縁部５１は、長手方向の側面部１２を第２主要面１１に結合している部分である。
【００３７】
更に、電気機械変換部１の幅方向の側面部１４には部分領域４２が画定されており、この部分領域４２には、金属被覆層が同様にして設けられている。この金属被覆層も、幅Ｄを有した開放領域によって周縁部５３から離間した状態となっている。この開放領域は、例えば２〜１４μｍの範囲の幅Ｄを有しており、部分領域４１、４１’及び４２にある金属被覆層の、第２主要面１１からの十分な絶縁を確保している。
【００３８】
また、電気機械変換部１は、開放領域、即ち周縁部５１、５２及び５３を有する第２主要面１１と、部分領域４１、４１’及び４２のそれぞれとの間の領域には、電気機械変換部１の内部に電極が設けられないように構成されている。
【００３９】
図３は、図２の圧電素子を別の方向から見た斜視図である。側面部における部分領域４０、４０’及び４２は、長手方向の側面部１２の周縁部５５或いは幅方向の周縁部５６を介し、第１主要面１０の部分領域３１及び３１’にある金属被覆層と電気的に接続されている。また、接続用領域８０が、２つの部分領域３１及び３１’の金属被覆層３０及び３０’に設けられている。この接続用領域８０を用いることにより、電気機械変換部１内の電極に制御信号を供給することができる。従って、内部の電極に対する接続は、電気機械変換部１の上面１０への電気的接続を介し、圧電素子の長手方向の側面部にて行われる。本実施形態において、周縁部５５、５６及び５６’を覆う金属被覆層は、電気抵抗が増大することのないように形成されている。
【００４０】
図４は、金属被覆層を溶射する前の圧電素子の実施形態を示す斜視図である。この実施形態の場合、裏面となる第２主要面１１に補助段部７０が導入されている。この段部７０は、構造設計上で必要とされるものであり、圧電素子及び電気機械変換部１によって作動するモータに対して後に固定する際に用いられる。本実施形態において、電気機械変換部１は、無電界で無電極の部分領域６１によって互いに離間した２つの部分領域１ａ及び１ｂを備えている。この部分領域６１において、段部７０が同様にして第２主要面１１に設けられている。更に、圧電素子は、第２主要面１１において周縁部５３から離間した補助段部７１が形成されるように、電気機械変換部１を３方向から取り囲む領域を有する。
【００４１】
部分領域１ａ及び１ｂのそれぞれは、交互に積層されると共に圧電材料を介して互いに離間した複数の電極２１及び２２を備えている。具体的には、電極２１のそれぞれが圧電素子の長手方向の側面部１３まで延設されている。これに対し、電極２２は、電気機械変換部１の表面から絶縁されて電気機械変換部１内でフローティング状態にある。電極２１に駆動電圧を供給することにより、電気機械変換部１が振動を発生するように励起が行われる。この結果、電気機械変換部１が振動し、具体的には曲げ振動を発生する。
【００４２】
電極２１の接続を行うため、電気機械変換部１は、第１主要面１０が溶射方向に対して約２５度の角度で配置されるように、枠体内に導入される。このような枠体は、図５に示されている。段部には金属被覆層が設けられないようにするので、図４に示す電気機械変換部１は、第１主要面１０が溶射方向に対して上向きとなるように枠体内に固定される。
【００４３】
次に、第１主要部１０の部分領域１ａ及び１ｂに、０．５μｍ〜２μｍの範囲の厚さで金属被覆層が溶射される。圧電素子の表面に設けられる段部７０を考慮し、第１主要面１０が上向きとなるようにして圧電素子を枠体に固定することにより、溶射の際に、取り付け状態で短絡が形成されないよようにしている。このようにすることで、溶射の際に生じる可能性のある、圧電素子の取り付け面である第２主要面へのはみ出しをなくすことができる。このように、長手方向の側面部にわたる金属被覆は、図５に示す溶射用枠体を用いて行われる。
【符号の説明】
【００４４】
１      電気機械変換部
１０ａ      圧電材料
１０      第１主要面
１１      第２主要面
１２，１３      長手方向の側面部
１４      幅方向の側面部
２１，２２      電極
３０，３０’      金属被覆層
３１，３１’      第１部分領域
４０，４０’，４２      第２部分領域
５１，５２，５３      周縁部
Ｄ，Ｅ      距離
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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