(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するノズル開口に連通し、並設された複数の圧力発生室と、
複数の前記圧力発生室に前記液体を供給する共通の液体室であるリザーバの少なくとも一部を構成するリザーバ部を有するリザーバ形成基板と、
圧力変動を吸収するコンプライアンス部を有し、前記リザーバ形成基板の一方面に接着層を介して接合されたコンプライアンス基板と、を備え、
前記リザーバ部は、前記圧力発生室の並設方向に亘って設けられているとともに、第１の領域と、前記圧力発生室の並設方向と直交する方向の幅が前記第１の領域よりも狭い第２の領域とを有しており、
前記コンプライアンス部は、前記リザーバ部を封止するように設けられるとともに、その周りが前記接着層で固定されており、
前記リザーバ部の前記第２の領域に対応する前記コンプライアンス部の幅は、前記コンプライアンス部が前記リザーバ部の開口の縁部分と干渉しないように、前記第２の領域の幅よりも大きく形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記第２の領域における前記リザーバ部の端面と前記接着層との距離は、前記リザーバ部の幅が狭くなるにつれて大きくなっている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記リザーバ部の前記圧力発生室に開口する領域に対応する前記コンプライアンス部の幅が、同一である
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記圧力発生室の並設方向と直交する方向における前記リザーバ部の前記第２の領域の一方の端面とその外側の前記接着層との距離と、他方の端面とその外側の前記接着層との距離とが、同一である
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えた
ことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を吐出する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、圧電素子及び圧力発生室が設けられたアクチュエータユニットと、圧力発生室に連通してインクを吐出するノズル開口が設けられたノズルプレート及び圧力発生室の共通のインク室となるリザーバが設けられたリザーバ形成基板を有する流路ユニットとを備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
この種のインクジェット式記録ヘッドにおいては、圧力発生室内のインクに圧力を付与すると圧力発生室内において圧力波が発生する。この圧力波は、圧力発生室に連通するリザーバに伝播する。圧力波は、リザーバを介して他の圧力室に伝播し、液滴速度の変化などインク噴射特性のばらつきを生じさせる。
【０００３】
このような問題を解決するために、通常、リザーバ部の開口部に可撓性を有する薄膜状のコンプライアンス部が設けられている。このコンプライアンス部が圧力変動吸収機能（以下コンプライアンスと呼ぶ）を果たすことで、圧力波のエネルギーが吸収されるようになっている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
一方、リザーバには、圧力発生室の並設方向の両端部に、その幅が漸減して形成された部分を有するものが存在する。これは、リザーバの、圧力発生室の並設方向の両端部を、リザーバのその他の部分と同じ幅で形成してしまうと、中央部から供給したインクの流速が、圧力発生室の並設方向の両端部に行くにしたがって低下してしまい、この両端部に気泡が滞留してしまう虞があるからである。したがって、リザーバの、圧力発生室の並設方向の両端部を、幅を漸減するように形成することにより、気泡の滞留を防止することができる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−０４２５５９号公報（第６〜８頁、図１〜図２）
【特許文献２】特開２００７−１４５０１４号公報（第１０〜１２頁、図４参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
各圧力発生室の圧力変動に伴う圧力波のエネルギーはコンプライアンス部により吸収されるが、その吸収量は、コンプライアンス部の、圧力発生室の並設方向と直交する長さ（幅）に相関があるということが知られている。幅が狭いリザーバに対して、リザーバと同一形状のコンプライアンス部を採用すると、コンプライアンス部の、圧力発生室の並設方向と直交する幅も狭くなる。そのため、各圧力発生室の圧力変動に伴う圧力波のエネルギーを十分に吸収できない。したがってこのようなインクジェット式記録ヘッドでは、良好なインク吐出特性を得ることができない。
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
［形態１］
液体を吐出するノズル開口に連通し、並設された複数の圧力発生室と、複数の前記圧力発生室に前記液体を供給する共通の液体室であるリザーバの少なくとも一部を構成するリザーバ部を有するリザーバ形成基板と、圧力変動を吸収するコンプライアンス部を有し、前記リザーバ形成基板の一方面に接着層を介して接合されたコンプライアンス基板と、を備え、前記リザーバ部は、前記圧力発生室の並設方向に亘って設けられているとともに、第１の領域と、前記圧力発生室の並設方向と直交する方向の幅が前記第１の領域よりも狭い第２の領域とを有しており、前記コンプライアンス部は、前記リザーバ部を封止するように設けられるとともに、その周りが前記接着層で固定されており、前記リザーバ部の前記第２の領域に対応する前記コンプライアンス部の幅は、前記コンプライアンス部が前記リザーバ部の開口の縁部分と干渉しないように、前記第２の領域の幅よりも大きく形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
この形態によれば、リザーバ部の第２の領域に対応する領域における接着層が、第２の領域の端面の外側に所定距離離れた状態で設けられており、第２の領域に対応するコンプライアンス部の幅は、第２の領域の幅よりも大きく形成されている。コンプライアンス部の幅と、各圧力発生室の圧力変動に伴う圧力波のエネルギーの吸収量とは、正の相関関係にあることが知見されているので、第２の領域において、従来よりも各圧力発生室の圧力変動に伴う圧力波のエネルギーが吸収される。したがって、良好な液体吐出特性を備えた液体噴射ヘッドが得られる。
さらに、この形態１に代えて、以下の適用例１でもよい。
【０００８】
［適用例１］
液体を吐出するノズル開口に連通し、並設された複数の圧力発生室と、複数の前記圧力発生室に前記液体を供給する共通の液体室であるリザーバの少なくとも一部を構成するリザーバ部を有するリザーバ形成基板と、圧力変動を吸収するコンプライアンス部を有し、前記リザーバ形成基板の一方面に接着層を介して接合されたコンプライアンス基板とを備え、前記リザーバ部は、前記圧力発生室の並設方向に亘って設けられているとともに、第１の領域と、前記圧力発生室の並設方向と直交する方向の幅が前記第１の領域よりも狭い第２の領域とを有しており、前記コンプライアンス部は、前記リザーバ部を封止するように設けられるとともに、その周りが前記接着層で固定されており、前記リザーバ部の前記第２の領域に対応する前記コンプライアンス部の幅が、前記第２の領域の幅よりも大きく形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【０００９】
この適用例によれば、リザーバ部の第２の領域に対応する領域における接着層が、第２の領域の端面の外側に所定距離離れた状態で設けられており、第２の領域に対応するコンプライアンス部の幅は、第２の領域の幅よりも大きく形成されている。コンプライアンス部の幅と、各圧力発生室の圧力変動に伴う圧力波のエネルギーの吸収量とは、正の相関関係にあることが知見されているので、第２の領域において、従来よりも各圧力発生室の圧力変動に伴う圧力波のエネルギーが吸収される。したがって、良好な液体吐出特性を備えた液体噴射ヘッドが得られる。
【００１０】
［適用例２］
上記液体噴射ヘッドであって、前記第２の領域における前記リザーバ部の端面と前記接着層との距離は、前記リザーバ部の幅が狭くなるにつれて大きくなっていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、第２の領域におけるリザーバ部の端面と接着層との距離が、圧力発生室の並設方向外側に向かって徐々に大きくなっている。これにより、第２の領域において、第２の領域に対するコンプライアンス部の幅が、圧力発生室の並設方向外側に向かうにしたがって相対的に徐々に大きくなる。したがって、コンプライアンスが不足する第２の領域の先端側に向かうに従い、コンプライアンスの補完量も大きくなる。すなわち、効率的にコンプライアンスの不足が補完される。
【００１１】
［適用例３］
上記液体噴射ヘッドであって、前記リザーバ部の前記圧力発生室に開口する領域に対応する前記コンプライアンス部の幅が、同一であることを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、コンプライアンス部は、リザーバ部の第２の領域に対応する幅が、リザーバ部の第１の領域に対応する幅と、同一に形成されている。これにより、第２の領域におけるコンプライアンス部の変形量が、リザーバ部の、圧力発生室の並設方向の中央部におけるコンプライアンス部の変形量と同一になる。したがって、第２の領域においても、第１の領域と同様に、各圧力発生室の圧力変動に伴う圧力波のエネルギーが良好に吸収される。
具体的には、第１の領域と第２の領域とで、各圧力発生室の圧力変動に伴う圧力波のエネルギーの吸収量に、偏りが無くなる。したがって、リザーバ部の第２の領域によりインクの流れもスムーズになって気泡の滞留を防止することができるだけでなく、良好なインク吐出特性を備えた液体噴射ヘッドが得られる。
なお、ここで同一とは、厳密な意味で同一と言うことではなく、多少の誤差を許容している。
【００１２】
［適用例４］
上記液体噴射ヘッドであって、前記圧力発生室の並設方向と直交する方向における前記リザーバ部の前記第２の領域の一方の端面とその外側の前記接着層との距離と、他方の端面とその外側の前記接着層との距離とが、同一であることを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、圧力発生室の並設方向と直交する方向の断面におけるリザーバ部の第２の領域の一方の端面とその外側の接着層との距離と、他方の端面とその外側の接着層との距離とが、同一に設けられている。これにより、コンプライアンス部は、圧力発生室の並設方向と直交する方向において、第２の領域におけるそれぞれの端部が、第２の領域の、圧力発生室の並設方向と直交する各端面からそれぞれ同一距離離れて設けられる。このようにコンプライアンス部が設けられると、コンプライアンス部の、圧力発生室の並設方向と直交する方向において、どちらか一方側に気泡が溜まりやすいということが無くなるので、リザーバ部内に気泡が生じても、速やかに排出される。
なお、ここで同一とは、厳密な意味で同一と言うことではなく、多少の誤差を許容している。
【００１３】
［適用例５］
上記に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【００１４】
この適用例によれば、液体噴射特性が向上するとともに均一化して、印刷品質が向上した液体噴射装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
（第１実施形態）
図１は、本実施形態の液体噴射ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッド１０の要部を切り欠いた斜視図である。
図２は、インクジェット式記録ヘッドの平面図である。また、図３は、図２のＡ−Ａ’線断面図である。
【００１６】
図１及び図３において、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、アクチュエータユニット２０と、このアクチュエータユニット２０が固定される流路ユニット３０とを備えている。
【００１７】
アクチュエータユニット２０は、圧電素子４０を備えたアクチュエータ装置であり、圧力発生室２１が形成された流路形成基板２２と、流路形成基板２２の一方面側に設けられた振動板２３と、流路形成基板２２の他方面側に設けられた圧力発生室底板２４とを備えている。
【００１８】
圧力発生室２１は、並設するように流路形成基板２２に複数形成されている。図１、図２及び図３中に並設方向をＸ軸方向として、並設方向と直交する方向をＹ軸方向として示した。圧力発生室２１は、Ｙ軸方向を長手方向とする細長い形状である。
流路形成基板２２は、例えば、１５０μｍ程度の厚みを有するアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）や、ジルコニア（ＺｒＯ2）などのセラミックス板からなる。
流路形成基板２２の一方面には、例えば、厚さ１０μｍのジルコニアの薄板からなる振動板２３が固定され、圧力発生室２１の一方面はこの振動板２３により形成されている。流路形成基板２２の他方面側には、圧力発生室底板２４が固定され、圧力発生室２１の他方面はこの圧力発生室底板２４により形成されている。
【００１９】
圧力発生室底板２４には、圧力発生室２１のＹ軸方向一方の端部近傍に設けられて圧力発生室２１と後述するリザーバ３２とを連通する供給連通孔２５と、圧力発生室２１のＹ軸方向他方の端部近傍に設けられて後述するノズル開口３４に連通するノズル連通孔２６とが形成されている。
【００２０】
圧電素子４０は、振動板２３上の各圧力発生室２１に対向する領域のそれぞれに設けられている。各圧電素子４０は、振動板２３上に設けられた下電極膜４１と、各圧力発生室２１毎に独立して設けられた圧電体層４２と、各圧電体層４２上に設けられた上電極膜４３とを備えている。
圧電体層４２は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成されている。また、下電極膜４１は、並設された圧電体層４２に亘って設けられて各圧電素子４０の共通電極となっており、振動板の一部として機能する。なお、下電極膜４１は各圧電体層４２に設けるようにしてもよい。
【００２１】
なお、アクチュエータユニット２０の各層である流路形成基板２２、振動板２３及び圧力発生室底板２４は、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形して、例えば、圧力発生室２１等を穿設して得られる。得られた各層を積層して焼成することにより接着剤を必要とすることなく一体化できる。その後、振動板２３上に圧電素子４０を形成してアクチュエータユニット２０が得られる。
【００２２】
流路ユニット３０は、アクチュエータユニット２０の圧力発生室底板２４に接合された液体供給口形成基板３１と、複数の圧力発生室２１の共通の液体室であるインク室となるリザーバ３２の少なくとも一部を構成するリザーバ部３２０が形成されるリザーバ形成基板３３と、リザーバ形成基板３３の液体供給口形成基板３１とは反対側に設けられたコンプライアンス基板５０と、ノズル開口３４が形成されたノズルプレート３５とを備えている。
【００２３】
液体供給口形成基板３１は、厚さ６０μｍのＳＵＳの薄板からなり、ノズル開口３４と圧力発生室２１とを接続するノズル連通孔３６と、前述の供給連通孔２５とともにリザーバ３２と圧力発生室２１とを接続する液体供給口３７が穿設されている。また、リザーバ３２と連通し、図示しない外部のインクタンクからのインクを供給する液体導入口３８が設けられている。
液体供給口３７は、圧力発生室２１のＹ軸方向のリザーバ３２側で、リザーバ３２の端部に連通するように設けられている。
また、図２において、液体導入口３８は、リザーバ３２のＸ軸方向の略中心で、並設された圧力発生室２１とは反対側の端部に設けられている。
【００２４】
リザーバ形成基板３３は、インク流路を構成するに適した、例えば１５０μｍのステンレス鋼などの耐食性を備えた板材からなり、外部のインクタンクからインクの供給を受けて圧力発生室２１にインクを供給するリザーバ３２の一部を構成するリザーバ部３２０と、圧力発生室２１とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔３９とが形成されている。
リザーバ部３２０は、圧力発生室２１の並設方向であるＸ軸方向に亘って設けられている。本実施形態では、リザーバ部３２０は、リザーバ形成基板３３を厚さ方向に貫通して設けられており、液体供給口形成基板３１側とコンプライアンス基板５０側とに開口している。
【００２５】
以下、リザーバ３２について詳しく述べる。
図１及び図３において、リザーバ部３２０は、リザーバ形成基板３３に形成され、リザーバ３２の上面３２１は、液体供給口形成基板３１によって形成され、リザーバ３２の下面３２２は、コンプライアンス基板５０によって形成されている。
【００２６】
図２において、リザーバ３２及びリザーバ部３２０は、第１の領域３２ａ及び第２の領域３２ｂを備えている。
第１の領域３２ａは、リザーバ３２及びリザーバ部３２０のＸ軸方向の略中央部に位置する液体導入口３８を中心として圧力発生室２１のＸ軸方向の両方向に延びる領域である。第１の領域３２ａのＹ軸方向の幅は、略一定である。
第２の領域３２ｂは、第１の領域３２ａの両側に位置する領域である。第２の領域３２ｂのＹ軸方向の幅は、第１の領域３２ａのＹ軸方向の幅より狭く、リザーバ３２及びリザーバ部３２０の両端に行くにしたがって漸減している。これは、液体導入口３８から供給されたインクの流速を均一化するためである。
【００２７】
図１及び図３において、コンプライアンス基板５０は、リザーバ３２内の圧力変化によって撓み変形するコンプライアンス部５１を有しており、リザーバ形成基板３３の液体供給口形成基板３１とは反対側の面に、接着層６０を介して接合されている。
具体的には、コンプライアンス基板５０は、コンプライアンス部５１で、リザーバ部３２０の開口を封止するように接合されている。このコンプライアンス部５１は、コンプライアンス基板５０の一部の領域が他の領域に比べて厚さが薄く形成されることで構成されている。また、コンプライアンス基板５０には、厚さ方向に貫通してリザーバ形成基板３３に設けられたノズル連通孔３９とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔５２が設けられている。
【００２８】
コンプライアンス基板５０の材料としては、例えば、ステンレス鋼等の金属やセラミックスを用いることができる。もちろん、コンプライアンス基板５０は、これに限定されず、例えばコンプライアンス部５１を構成するフィルム状の弾性膜と、厚さ方向の一部が貫通して設けられた支持基板とで構成されていてもよい。
【００２９】
ノズルプレート３５は、例えばステンレス鋼からなる薄板に、圧力発生室２１と同一の配列ピッチでインクを吐出するノズル開口３４が穿設されて形成されている。
【００３０】
上述したような流路ユニット３０は、液体供給口形成基板３１、リザーバ形成基板３３、コンプライアンス基板５０及びノズルプレート３５を接着層や熱溶着フィルム等によって固定することで形成される。そして、このような流路ユニット３０とアクチュエータユニット２０とは、接着層や熱溶着フィルムを介して接合されて固定されている。
【００３１】
ここで、リザーバ部３２０及びコンプライアンス部５１について、図４及び図５を参照してさらに詳細に説明する。
図４は、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０の、リザーバ部３２０及びコンプライアンス部５１の平面形状を示した要部平面図であり、図５（ａ）は、図４のＡ−Ａ’線での要部拡大断面図、図５（ｂ）は、図４のＢ−Ｂ’線での要部拡大断面図である。
【００３２】
図４において、本実施形態のリザーバ部３２０は、圧力発生室２１の並設方向であるＸ軸方向の両端部に、その幅がＸ軸方向外側に向かって漸減するように設けられた第２の領域３２ｂを有している。
【００３３】
一方、図５において、コンプライアンス部５１は、リザーバ部３２０の開口部を封止するように設けられるとともに、周りが接着層６０で固定されている。この接着層６０は、リザーバ部３２０の第２の領域３２ｂに対応する領域において、第２の領域３２ｂの端面の外側に所定距離離れた状態で設けられており、リザーバ部３２０の第１の領域３２ａにおいて、リザーバ部３２０の縁部分に設けられている。
図４において、第２の領域３２ｂに対応するコンプライアンス部５１の幅も、第２の領域３２ｂの幅よりも大きく形成されている。
【００３４】
また、図４及び図５において、第２の領域３２ｂにおけるリザーバ部３２０の端面３２ｃ及び３２ｄと接着層６０との距離ｌ1及びｌ2は、Ｙ軸方向外側に向かって徐々に大きくなっている。換言すると、第２の領域３２ｂにおける接着層６０は、Ｘ軸方向外側に向かうにしたがって、第２の領域３２ｂの端面３２ｃ及び３２ｄからＹ軸方向に徐々に離れるように設けられている。
コンプライアンス部５１も、Ｘ軸方向外側に向かうにしたがって、Ｙ軸方向において、第２の領域３２ｂにおけるそれぞれの端部５１ａ，５１ｂが、第２の領域３２ｂにおけるＹ軸方向の各端面３２ｃ，３２ｄから徐々に離れるように設けられている。
【００３５】
また、図４及び図５において、本実施形態のコンプライアンス部５１は、リザーバ部３２０の第２の領域３２ｂに対応する幅Ｌ2が、リザーバ部３２０の第１の領域３２ａに対応する幅Ｌ1と、同一に形成されている。ただし、「同一」とは、厳密な意味で等しいと言うことではなく、多少の誤差を許容している。
【００３６】
また、圧力発生室２１のＹ軸方向の断面におけるリザーバ部３２０の第２の領域３２ｂの一方の端面３２ｃとその外側の接着層６０との距離ｌ1と、他方の端面３２ｄとその外側の接着層６０との距離ｌ2とが、同一に設けられている。
コンプライアンス部５１も、Ｙ軸方向において、第２の領域３２ｂに対応したそれぞれの端部５１ａ，５１ｂが、リザーバ部３２０の第２の領域３２ｂの、Ｙ軸方向の各端面３２ｃ，３２ｄからそれぞれ同一距離離れて設けられている。
【００３７】
また、コンプライアンス部５１は、リザーバ部３２０の第２の領域３２ｂにおいても、リザーバ３２内の圧力変動に伴って変形した際に、リザーバ部３２０の開口の縁部分と、干渉しないように設けられている。すなわち、リザーバ部３２０の第２の領域３２ｂはその他の部分に比べて、Ｙ軸方向の幅が狭くなっているので、コンプライアンス部５１が撓み変形した際に、リザーバ部３２０の開口部分とコンプライアンス部５１とが干渉してしまいやすい。しかしながら、本実施形態では、第２の領域３２ｂにおいて、コンプライアンス部５１とリザーバ部３２０の開口部分との干渉は防止されている。
具体的には、第２の領域３２ｂにおいて、接着層６０を、コンプライアンス部５１とリザーバ部３２０の縁部分とが干渉しない程度に厚くすることで、コンプライアンス部５１とリザーバ部３２０の縁部分との干渉を防止できる。
【００３８】
なお、図４に示すように、コンプライアンス部５１の平面形状は、リザーバ部３２０における接着層６０の平面形状と同一に形成されているが、これは、コンプライアンス基板５０の薄く形成する部分を、予め接着層６０と同一形状に形成することで達成してもよいし、コンプライアンス基板５０の薄く形成する部分を予め接着層６０よりも大きく形成しておき、接着層６０でこの薄い部分を固着することにより、コンプライアンス基板５０の薄く形成された部分の接着層６０内の部分を、コンプライアンス部５１としてもよい。
なお、コンプライアンス基板５０の薄く形成する部分を予め接着層６０と同一形状に形成する場合、コンプライアンス部５１の周りを固定するように設けられていれば、接着層６０は、連続して設けられている必要はない。
【００３９】
このような構成のインクジェット式記録ヘッド１０では、インクタンクから液体導入口３８を介してリザーバ３２内にインクを取り込み、リザーバ３２からノズル開口３４に至るまでのインク流路内をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号に従い、各圧力発生室２１に対応する各圧電素子４０に電圧を印加して圧電素子４０とともに振動板２３を撓み変形させることにより、各圧力発生室２１内の圧力が高まり各ノズル開口３４からインク滴が吐出される。このとき圧力発生室２１で発生し、リザーバ３２に伝播した圧力波はコンプライアンス部５１で良好に吸収される。
【００４０】
このような本実施形態によれば、以下の効果がある。
（１）リザーバ部３２０の第２の領域３２ｂに対応する領域における接着層６０が、第２の領域３２ｂの端面の外側に所定距離離れた状態で設けられており、第２の領域３２ｂに対応するコンプライアンス部５１の幅は、第２の領域３２ｂの幅よりも大きく形成されている。コンプライアンス部５１の幅と、各圧力発生室２１の圧力変動に伴う圧力波のエネルギーの吸収量とは、正の相関関係にあることが知見されているので、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０の構成によれば、第２の領域３２ｂにおいて、従来よりも各圧力発生室２１の圧力変動に伴う圧力波のエネルギーを吸収することができる。
【００４１】
（２）第２の領域３２ｂにおけるリザーバ部３２０の端面３２ｃ及び３２ｄと接着層６０との距離ｌ1及びｌ2が、圧力発生室２１の並設方向外側に向かって徐々に大きくなっている。これにより、第２の領域３２ｂにおいて、第２の領域３２ｂに対するコンプライアンス部５１の幅が、圧力発生室２１の並設方向外側に向かうにしたがって相対的に徐々に大きくなる。したがって、コンプライアンスが不足する第２の領域３２ｂの先端側に向かうに従い、コンプライアンスの補完量も大きくなる。すなわち、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０によれば、効率的にコンプライアンスの不足が補完される。
【００４２】
（３）コンプライアンス部５１は、リザーバ部３２０の第２の領域３２ｂに対応する幅Ｌ2が、リザーバ部３２０の第１の領域３２ａに対応する幅Ｌ1と、同一に形成されている。これにより、第２の領域３２ｂにおいても、第１の領域３２ａと同様に、各圧力発生室２１の圧力変動に伴う圧力波のエネルギーが良好に吸収される。具体的には、第１の領域３２ａと第２の領域３２ｂとで、各圧力発生室２１の圧力変動に伴う圧力波のエネルギーの吸収量に、偏りが無くなる。したがって、本実施形態の構成によれば、リザーバ部３２０の第２の領域３２ｂによりインクの流れもスムーズになって気泡の滞留を防止することができるだけでなく、良好なインク吐出特性も獲得することができる。
【００４３】
（４）圧力発生室２１の並設方向と直交する方向の断面におけるリザーバ部３２０の第２の領域３２ｂの一方の端面３２ｃとその外側の接着層６０との距離ｌ1と、他方の端面３２ｄとその外側の接着層６０との距離ｌ2とが、同一に設けられている。これにより、コンプライアンス部５１は、Ｙ軸方向において、第２の領域３２ｂにおけるそれぞれの端部５１ａ，５１ｂが、第２の領域３２ｂの、圧力発生室２１の並設方向と直交する各端面３２ｃ，３２ｄからそれぞれ同一距離離れて設けられる。このようにコンプライアンス部５１が設けられると、コンプライアンス部５１の、圧力発生室２１の並設方向と直交する方向において、どちらか一方側に気泡が溜まりやすいということが無くなるので、リザーバ部３２０内に気泡が生じても、速やかに排出できるという効果も奏する。
【００４４】
（変形例）
図６は、変形例に係るインクジェット式記録ヘッド１０Ａを示す平面図であり、図７は図６のＣ−Ｃ断面図である。
図６及び図７において、Ｙ軸方向において、第２の領域３２ｂにおけるコンプライアンス部５１Ａ及び接着層６０Ａが第２の領域３２ｂの端面３２ｃ及び端面３２ｄからそれぞれ異なる距離離れて設けられている。
本変形例のように、第２の領域３２ｂにおけるコンプライアンス部５１Ａが第２の領域３２ｂの端面３２ｃ側に偏って設けられていてもよい。また、端面３２ｄ側に偏って設けられていてもよい。
【００４５】
（第２実施形態）
図８は、本実施形態に係るインクジェット式記録装置Ｉの一例を示す概略図である。
第１実施形態及び変形例のインクジェット式記録ヘッド１０，１０Ａは、インクタンクであるカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂの一部を構成して、液体噴射装置であるインクジェット式記録装置Ｉに搭載される。
【００４６】
図８において、インクジェット式記録装置Ｉにおける記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するインクタンクとしてのカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００４７】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車及びタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動する。
一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００４８】
このような本実施形態によれば、以下の効果がある。
（５）インク噴射特性が向上するとともに均一化して、印刷品質が向上したインクジェット式記録装置Ｉを得ることができる。
【００４９】
上述した実施形態及び変形例以外にも、種々の変更を行うことが可能である。
上述した実施形態では、第２の領域３２ｂにおけるコンプライアンス部５１の幅と、第１の領域３２ａにおけるコンプライアンス部５１の幅とが、同一に形成されているが、変形例のように、これらの幅は同一に形成されていなくともよい。
すなわち、第２の領域３２ｂにおける接着層６０が、第２の領域３２ｂの端面３２ｃ又は３２ｄに対して所定距離離れて設けられることで、第２の領域３２ｂにおけるコンプライアンス部５１の面積が、第２の領域３２ｂの面積よりも大きく形成されていれば、第２の領域３２ｂにおけるコンプライアンス部５１の幅と、第１の領域３２ａにおけるコンプライアンス部５１の幅とが同一でなくてもよい。これらの幅が同一でなくとも、従来よりも、第２の領域３２ｂにおけるコンプライアンス部５１の変形量が大きくなり、良好なインク吐出特性を得ることができるからである。
【００５０】
また、上述した実施形態において、第２の領域３２ｂは、リザーバ３２の圧力発生室２１の並設方向であるＸ軸方向の両端に設けられている。しかしながら、この構成はリザーバの中央部からインクの供給を行うときに有効なものであり、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、図９は一例としてのインクジェット式記録ヘッド１０の概略平面図である。図９のようにリザーバ３２において圧力発生室２１の並設方向のどちらか一端側からインクの供給を行う構成では、インクの供給を行う側には第２の領域３２ｂを設けず、他端側のみに第２の領域３２ｂを設ければよい。
図１０は他の例のインクジェット式記録ヘッド１０の概略平面図である。図１０のようにリザーバ３２において圧力発生室２１の並設方向の両端からインクの供給を行う構成では、２つの液体導入口３８から離れた部分を第２の領域３２ｂとしても良い。さらには２箇所に限らず複数の場所からインクが供給される構成でも良い。
【００５１】
また、上述した実施形態では、圧力発生室２１の並設方向と直交するＹ軸方向において、第２の領域３２ｂにおける接着層６０は、第２の領域３２ｂの各端面３２ｃ及び３２ｄから、それぞれ同一距離離れて設けられている。これにより、Ｙ軸方向において、第２の領域３２ｂにおけるコンプライアンス部５１の端部５１ａ及び５１ｂは、第２の領域３２ｂの、Ｙ軸方向に対向する各端面である３２ｃ及び３２ｄから、それぞれ同一距離離れて設けられる。しかしながら、これは気泡の滞留のしやすさに偏りが生じるのを解消するためのものであり、特に気泡の滞留の偏りを考慮しなくてよい場合では、これに限定されるものではない。
【００５２】
また、上述した実施形態では、厚膜型の圧電素子４０を有するインクジェット式記録ヘッドを例示したが、圧力発生室２１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段としては、特にこれに限定されず、例えば、ゾル−ゲル法、ＭＯＤ法、スパッタリング法等により形成される圧電材料を有する薄膜型の圧電素子、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子、振動板と電極を所定の隙間を開けて配置し、静電気力で振動板の振動を制御する、いわゆる静電アクチュエータ、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものなどを有するインクジェット式記録ヘッドであっても同様の効果を奏するものである。
【００５３】
さらに、上記第１実施形態は、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの検査方法にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えばプリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】第１実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの要部を切り欠いた斜視図。
【図２】インクジェット式記録ヘッドの平面図。
【図３】図２のＡ−Ａ’線での断面図。
【図４】インクジェット式記録ヘッドの要部平面図。
【図５】（ａ）は、図４のＡ−Ａ’線での要部拡大断面図、（ｂ）は、図４のＢ−Ｂ’線での要部拡大断面図。
【図６】変形例に係るインクジェット式記録ヘッドを示す要部平面図。
【図７】図６のＣ−Ｃ’断面図。
【図８】実施形態及び変形例に係るインクジェット式記録装置の概略図。
【図９】インクジェット式記録ヘッドの要部平面図。
【図１０】インクジェット式記録ヘッドの要部平面図。
【符号の説明】
【００５５】
１０，１０Ａ…液体噴射ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッド、２１…圧力発生室、３２…リザーバ、３２ａ…第１の領域、３２ｂ…第２の領域、３２ｃ，３２ｄ…第２の領域の端面、３３…リザーバ形成基板、３４…ノズル開口、４０…圧力発生素子としての圧電素子、５０…コンプライアンス基板、５１…コンプライアンス部、６０…接着層、３２０…リザーバ部、Ｌ2…コンプライアンス部の幅、ｌ1…第２の領域の一方の端面とその外側の接着層との距離、ｌ2…他方の端面とその外側の接着層との距離、Ｉ…液体噴射装置としてのインクジェット式記録装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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