(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が載置される基板載置部、基板載置部に載置された基板に対して作業を施す作業部及び基板の移載を行う基板移載部を備えた複数の作業装置が上流工程側から下流工程側に一列に並んで設けられて成り、最も上流工程側に位置する作業装置である最上流工程側作業装置はその上流工程側に設けられた基板供給機から供給される基板を自装置が備える基板移載部によって自装置が備える基板載置部に移載して基板に対する作業を行い、最上流工程側作業装置以外の各作業装置は上流工程側に隣接する他の作業装置が備える基板載置部に載置された基板を自装置が備える基板移載部によって自装置が備える基板載置部に移載して基板に対する作業を行うようになっている液晶パネル製造システムであって、
各作業装置は、自装置の基板載置部を自装置の作業部が基板に対する作業を行う作業位置、作業位置よりも下流工程側寄りの基板受け渡し位置及び作業位置よりも上流工程側寄りの基板載置位置のいずれかに位置させることができ、
複数の作業装置の間で基板の移載を行う場合、各作業装置は、他の作業装置と同時に基板載置部を基板受け渡し位置に位置させて基板載置部に載置された基板が下流工程側に隣接する他の作業装置の基板移載部によって取り上げられるようにした後、他の作業装置と同時に基板載置部を基板載置位置に位置させて上流工程側に隣接する他の作業装置の基板載置部から基板移載部によって取り上げた基板を自装置が備える基板載置部に載置するようになっており、
最上流工程側作業装置は、作業位置に位置させた基板載置部上の基板に対して作業部により作業を行っているとき、作業位置に位置した最上流工程側作業装置の基板載置部と干渉しない領域に進出した基板供給機の基板供給部に載置されて供給された基板を基板移載部により取り上げることを特徴とする液晶パネル製造システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パネル状の基板に対して順次作業を施して液晶パネルの製造を行う液晶パネル製造システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル製造システムはパネル状の基板に対して順次作業を施して液晶パネルの製造を行うものであり、例えば、基板の各電極部にＡＣＦテープ（ＡＣＦ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ：異方性導電膜）の切片を貼着するＡＣＦ貼着装置、ＡＣＦテープが貼着された電極に電子部品を仮圧着する仮圧着装置及び仮圧着された電子部品を電極部に本圧着する本圧着装置から成る複数の作業装置を備えており、これら複数の作業装置のうち最も上流工程側に位置する作業装置（最上流工程側作業装置）であるＡＣＦ貼着装置の上流工程側には液晶パネル製造システムへの基板の供給を行う基板供給機が連結され、複数の作業装置のうち最も下流工程側に位置する作業装置（最下流工程側作業装置）である本圧着装置の下流工程側には液晶パネル製造システムからの基板の排出を行う基板排出機が連結されている。
【０００３】
液晶パネル製造システムを構成する各作業装置は担当の作業を施す基板が載置される基板載置部、基板載置部に載置された基板に対して作業を施す作業部及び基板の移載を行う基板移載部を備えており、最上流工程側作業装置であるＡＣＦ装置は基板供給機が備える基板供給部に載置されて供給される基板を自装置が備える基板移載部によって自装置が備える基板載置部に移載して基板に対する作業を行い、最上流工程側作業装置以外の各作業装置は上流工程側に隣接する他の作業装置が備える基板載置部に載置された基板を自装置が備える基板移載部によって自装置が備える基板載置部に移載して基板に対する作業を行う。また、基板排出機は、最下流工程側作業装置である本圧着装置が備える基板載置部に載置された基板を基板移載部によって取り上げ、基板排出部に載置して排出する（例えば、特許文献１）。
【０００４】
ここで、各作業装置は、自装置の基板載置部を自装置の作業部が基板に対する作業を行う作業位置、作業位置よりも下流工程側寄りの基板受け渡し位置及び作業位置よりも上流工程側寄りの基板載置位置のいずれかに位置させることができ、複数の作業装置の間で基板の移載を行う場合、各作業装置は、他の作業装置と同時に基板載置部を基板受け渡し位置に位置させて基板載置部に載置された基板が下流工程側に隣接する他の作業装置の基板移載部によって取り上げられるようにした後、他の作業装置と同時に基板載置部を基板載置位置に位置させて上流工程側に隣接する他の作業装置の基板載置部から基板移載部によって取り上げた基板を自装置が備える基板載置部に載置するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−３２８４５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、液晶パネルの大型化に伴い液晶パネル製造システムの大型化が進んでいるが、省スペース化のために各作業装置の小型化が要望されていた。これに対応して各作業装置の小型化が検討されているが、各作業装置が自装置の基板載置部を下流工程側寄りの基板受け渡し位置又は上流工程側寄りの基板載置位置に移動する際に各基板載置部が互いに干渉することになり、一方の基板載置部が退避してからでないと他方の基板載置部が基板受け渡し位置に移動できない構成となっている。このため従来の液晶パネル製造システムでは、基板供給機の基板供給部に載置された基板の最上流工程側作業装置（ＡＣＦ貼着装置）の基板載置部への基板の移載、隣接する作業装置の基板載置部間での基板の移載及び最下流工程側作業装置（本圧着装置）の基板載置部から基板排出機の基板排出部への基板の移載は全て同時に（一括して）行われるようになっていた。
【０００７】
しかしながら、上記従来の液晶パネル製造システムでは、複数の作業装置の全てにおいて基板に対する作業が終了した後、基板の移載を開始するときになってはじめて最上流工程側作業装置であるＡＣＦ貼着装置から基板供給機に基板要求信号が送られて基板供給機がＡＣＦ貼着装置への基板の供給動作を開始するようになっていたため、基板供給機からＡＣＦ貼着装置への基板の移載も含めて一括して作業装置間における基板の移載を行うためには基板供給機による基板の供給動作を待たなければならず、その分無駄時間が生じて液晶パネルの生産効率の向上が妨げられるという問題点があった。
【０００８】
そこで本発明は、無駄時間の発生を減らして液晶パネルの生産効率の向上を図ることができる液晶パネル製造システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の液晶パネル製造システムは、基板が載置される基板載置部、基板載置部に載置された基板に対して作業を施す作業部及び基板の移載を行う基板移載部を備えた複数の作業装置が上流工程側から下流工程側に一列に並んで設けられて成り、最も上流工程側に位置する作業装置である最上流工程側作業装置はその上流工程側に設けられた基板供給機から供給される基板を自装置が備える基板移載部によって自装置が備える基板載置部に移載して基板に対する作業を行い、最上流工程側作業装置以外の各作業装置は上流工程側に隣接する他の作業装置が備える基板載置部に載置された基板を自装置が備える基板移載部によって自装置が備える基板載置部に移載して基板に対する作業を行うようになっている液晶パネル製造システムであって、各作業装置は、自装置の基板載置部を自装置の作業部が基板に対する作業を行う作業位置、作業位置よりも下流工程側寄りの基板受け渡し位置及び作業位置よりも上流工程側寄りの基板載置位置のいずれかに位置させることができ、複数の作業装置の間で基板の移載を行う場合、各作業装置は、他の作業装置と同時に基板載置部を基板受け渡し位置に位置させて基板載置部に載置された基板が下流工程側に隣接する他の作業装置の基板移載部によって取り上げられるようにした後、他の作業装置と同時に基板載置部を基板載置位置に位置させて上流工程側に隣接する他の作業装置の基板載置部から基板移載部によって取り上げた基板を自装置が備える基板載置部に載置するようになっており、最上流工程側作業装置は、作業位置に位置させた基板載置部上の基板に対して作業部により作業を行っているとき、作業位置に位置した最上流工程側作業装置の基板載置部と干渉しない領域に進出した基板供給機の基板供給部に載置されて供給された基板を基板移載部により取り上げる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、最上流工程側作業装置は、作業位置に位置させた基板載置部上の基板に対して作業部により作業を行っているとき、作業位置に位置した最上流工程側作業装置の基板載置部と干渉しない領域に進出した基板供給機の基板供給部に載置されて供給された基板を基板移載部により取り上げるようになっており、複数の作業装置の全てにおいて基板に対する作業が終了した後にはすぐ、基板供給機による基板の供給動作を待つことなく、基板の移載を開始することができる。このため無駄時間が生じず、その分、液晶パネルの生産効率の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施の形態における液晶パネル製造システムの構成図
【図２】本発明の一実施の形態における液晶パネル製造システムによる液晶パネル製造工程の実行手順を示す図
【図３】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態における液晶パネル製造システムの平面図
【図４】本発明の一実施の形態における液晶パネル製造システムを構成する作業装置の（ａ）平面図（ｂ）正面図
【図５】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態における液晶パネル製造システムを構成する作業装置の正面図
【図６】本発明の一実施の形態における基板供給機の（ａ）平面図（ｂ）（ｃ）正面図
【図７】本発明の一実施の形態における基板排出機の（ａ）平面図（ｂ）（ｃ）正面図
【図８】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）（ｅ）本発明の一実施の形態における液晶パネル製造システムの一部及び基板供給機の正面図
【図９】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態における液晶パネル製造システムの一部及び基板供給機の正面図
【図１０】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態における液晶パネル製造システムの一部の正面図
【図１１】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態における液晶パネル製造システム及び基板供給機の一部の正面図
【図１２】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態における液晶パネル製造システムの一部の正面図
【図１３】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態における液晶パネル製造システムの一部の正面図
【図１４】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態における液晶パネル製造システムの一部及び基板排出機の正面図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１に示す液晶パネル製造システム１は、図２に示す長方形のパネル状の基板２の長辺及び短辺それぞれの端部に設けられた複数の電極部３Ｂ（各電極部は複数の電極から成る）のそれぞれに駆動回路等の電子部品４を装着する液晶パネル製造作業を実行するものであり、複数（ここでは４台）の作業装置１１（ＡＣＦ貼着装置１１Ａ、仮圧着装置１１Ｂ、第１の本圧着装置１１Ｃ、第２の本圧着装置１１Ｄ）がこの順で連結されて成る。これら４台の作業装置１１はホストコンピュータ１２によって統合制御されて動作し、ホストコンピュータ１２から生産指令が出されているとき、４台の作業装置１１の各々は液晶パネル製造作業の中における各担当分の作業工程を実行する。
【００１３】
図１に示すように、液晶パネル製造システム１の上流工程側（すなわち液晶パネル製造システム１を構成する複数の作業装置１１のうち最も上流工程側に位置する作業装置である最上流工程側作業装置としてのＡＣＦ貼着装置１１Ａの上流工程側）には液晶パネル製造システム１に基板２を供給する基板供給機１３が連結されている。また、液晶パネル製造システム１の下流工程側（すなわち液晶パネル製造システム１を構成する複数の作業装置１１のうち最も下流工程側に位置する作業装置である最下流工程側作業装置としての第２の本圧着装置１１Ｄの下流工程側）には液晶パネル製造システム１から基板２を排出する基板排出機１４が連結されている。本実施の形態では、基板供給機１３の作動制御は最上流工程側作業装置であるＡＣＦ貼着装置１１Ａの制御部（図示せず）によってなされ、基板排出機１４の作動制御は最下流工程側作業装置である第２の本圧着装置１１Ｄの制御部（図示せず）によってなされる。
【００１４】
４台の作業装置１１（ＡＣＦ貼着装置１１Ａ、仮圧着装置１１Ｂ、第１の本圧着装置１１Ｃ及び第２の本圧着装置１１Ｄ）はそれぞれ、図３（ａ），（ｂ），（ｃ）及び図４（ａ），（ｂ）に示すように、基台２１上に、基板２が載置されるテーブル状の基板載置部２２、上流工程側に隣接して位置する他の作業装置１１（ＡＣＦ貼着装置１１Ａについては基板供給機１３）が備える基板載置部２２（ＡＣＦ貼着装置１１Ａについては基板供給機１３が備える後述の基板供給部３３）から基板２を取り上げて自装置の基板載置部２２に載置（すなわち移載）する基板移載部としての移載アーム２３と、基板載置部２２に載置した基板２に対して作業を施す作業部２４を備えている。なお、図３（ａ）に示すように、液晶パネル製造システム１のオペレータＯＰは通常、各作業装置１１の作業部２４が設けられている側において所要の作業を行う。
【００１５】
ここで各作業装置１１の作業部２４は、ＡＣＦ貼着装置１１Ａについては、基板２の長辺及び短辺それぞれの電極部３ＢにＡＣＦテープの切片５（図２）を貼着するＡＣＦ貼着作業部であり、仮圧着装置１１Ｂについては、ＡＣＦテープの切片５が貼着された電極部３Ｂに電子部品４を仮圧着する仮圧着作業部であり、第１の本圧着装置１１Ｃについては、基板２の長辺の電極部３Ｂに仮圧着された電子部品４を本圧着する第１の本圧着作業部であり、第２の本圧着装置１１Ｄについては、仮圧着装置１１Ｂによって基板２の短辺の電極部３Ｂに仮圧着された電子部品４を本圧着する第２の本圧着作業部である。
【００１６】
図４（ａ），（ｂ）において、基板載置部２２は、基台２１上に設けられた基板載置部移動機構２２ａによって水平面内方向に移動自在及び昇降自在に設けられており、各作業装置１１の制御部（図示せず）は、基板載置部移動機構２２ａの作動制御を行うことにより、基板載置部２２を、作業装置１１が備える作業部２４が基板２に対する作業を行う作業位置（図３（ａ）及び図５（ａ）に示す位置）、下流工程側に隣接する他の作業装置１１に基板２を受け渡すときの下流工程側寄りの基板受け渡し位置（図３（ｂ）及び図５（ｂ）に示す位置）及び上流工程側に隣接する他の作業装置１１が備える基板載置部２２から取り上げた基板２を載置するときの上流工程側寄りの基板載置位置（図３（ｃ）及び図５（ｃ）に示す位置）のいずれかに位置させることができる。
【００１７】
ここで、作業装置１１が自装置の基板載置部２２を下流工程側寄りの基板受け渡し位置に位置させた場合、下流工程側に隣接して位置する他の作業装置１１の基板載置部２２が仮に基板載置位置に位置していたとすると、自装置の基板載置部２２と下流工程側の作業装置１１の基板載置部２２とは干渉する。すなわち基板載置部２２を基板受け渡し位置に位置させる場合、基板載置部２２は下流工程側の他の作業装置１１が備える基板載置部２２の可動範囲内に上流工程側から進入することになる。
【００１８】
また、作業装置１１が自装置の基板載置部２２を上流工程側寄りの基板載置位置に位置させた場合、上流工程側に隣接して位置する他の作業装置１１の基板載置部２２が仮に基板受け渡し位置に位置していたとすると、自装置の基板載置部２２と上流工程側の作業装置１１の基板載置部２２とは干渉する。すなわち基板載置部２２を基板載置位置に位置させる場合、基板載置部２２は上流工程側の他の作業装置１１が備える基板載置部２２の可動範囲内に下流工程側から進入することになる。
【００１９】
図４（ａ），（ｂ）において、各作業装置１１の移載アーム２３は、その作業装置１１の基台２１上に立設して設けられた揺動支柱２３ａに一端部が枢支されて水平面内方向に揺動自在になっており、移載アーム２３の他端部には、基板２の上面を吸着して保持する基板保持部２３ｂが設けられている。各作業装置１１の制御部は、揺動支柱２３ａ回りに移載アーム２３を揺動させて基板保持部２３ｂを上流工程側に隣接して位置する他の作業装置１１の基板受け渡し位置に位置させた基板載置部２２（ＡＣＦ貼着装置１１Ａについては基板供給機１３の基板供給部３３）の上方と自装置の基板載置位置に位置させた基板載置部２２の上方との間で移動させるアーム揺動動作と、上流工程側に隣接して位置する作業装置１１が基板受け渡し位置に位置させた基板載置部２２上の基板２を移載アーム２３によって取り上げる（基板保持部２３ｂに接触させて吸着する）動作及び移載アーム２３によって取り上げた基板２を基板載置位置に位置させた自装置の基板載置部２２に載置する（吸着を解放する）動作から成る基板着脱脱動作を組み合わせることにより、上流工程側に隣接して位置する他の作業装置１１の基板載置部２２（ＡＣＦ貼着装置１１Ａについては基板供給機１３が備える基板供給部３３）に載置されている基板２を自装置が備える基板載置部２２に移載することができる。
【００２０】
図３（ａ），（ｂ），（ｃ）及び図６（ａ），（ｂ），（ｃ）において、基板供給機１３は、基台３１上に、基板２をストックする基板ストック部３２と、基板ストック部３２から図示しない基板取り出し機構によって取り出された基板２が載置されるテーブル状の基板供給部３３を備えている。
【００２１】
図６（ａ），（ｂ），（ｃ）において、基板供給部３３は、基台３１上に設けられた基板供給部移動機構３３ａによって水平面内方向に移動自在及び昇降自在に設けられており、基板供給機１３の制御部（図示せず）は、基板供給部移動機構３３ａの作動制御を行うことにより、基板供給部３３を、基板ストック部３２から取り出した基板２を基板供給部３３に載置させる取り出し基板載置位置（図３（ａ）及び図６（ｂ））及び下流工程側に隣接するＡＣＦ貼着装置１１Ａに基板２を受け渡すときの下流工程側寄りの基板受け渡し位置（図６（ｃ））のいずれかに位置させることができる。
【００２２】
ここで、基板供給機１３が基板供給部３３を下流工程側寄りの基板受け渡し位置に位置させた場合、下流工程側に隣接して位置する他の作業装置１１であるＡＣＦ貼着装置１１Ａの基板載置部２２が仮に基板載置位置に位置していたとすると、基板供給部３３とＡＣＦ貼着装置１１Ａの基板載置部２２とは干渉する。すなわち基板供給部３３を基板受け渡し位置に位置させる場合、基板供給部３３は下流工程側のＡＣＦ貼着装置１１Ａが備える基板載置部２２の可動範囲内に上流工程側から進入することになる。
【００２３】
図３（ａ），（ｂ），（ｃ）及び図７（ａ），（ｂ），（ｃ）において、基板排出機１４は、基台４１上に、基板２が載置されるテーブル状の基板排出部４２と、上流工程側に隣接して位置する作業装置１１である第２の本圧着装置１１Ｄが備える基板載置部２２から基板２を取り上げて基板排出部４２に載置（すなわち移載）する移載アーム４３を備えている。
【００２４】
図７（ａ），（ｂ），（ｃ）において、基板排出部４２は、基台４１上に設けられた基板排出部移動機構４２ａによって水平面内方向に移動自在及び昇降自在に設けられており、基板排出機１４の制御部（図示せず）は、基板排出部移動機構４２ａの作動制御を行うことにより、基板排出部４２を、上流工程側に隣接する作業装置１１である第２の本圧着装置１１Ｄの基板載置部２２から取り上げた基板２を載置するときの上流工程側寄りの基板載置位置（図３（ｃ）及び図７（ｂ））及び基板排出部４２に載置した基板２を基板排出機１４の外部に排出するときの基板排出位置（図３（ａ）及び図７（ｃ））のいずれかに位置させることができる。
【００２５】
ここで、基板排出機１４が基板排出部４２を上流工程側寄りの基板載置位置に位置させた場合、上流工程側に隣接して位置する他の作業装置１１である第２の本圧着装置１１Ｄの基板載置部２２が仮に基板受け渡し位置に位置していたとすると、基板排出部４２と第２の本圧着装置１１Ｄの基板載置部２２とは干渉する。すなわち基板排出部４２を基板載置位置に位置させる場合、基板排出部４２は上流工程側の第２の本圧着装置１１Ｄが備える基板載置部２２の可動範囲内に下流工程側から進入することになる。
【００２６】
図７（ａ），（ｂ），（ｃ）において、基板排出機１４の移載アーム４３は、基台４１上に立設して設けられた揺動支柱４３ａに一端部が枢支されて水平面内方向に揺動自在になっており、移載アーム４３の他端部には、基板２の上面を吸着して保持する基板保持部４３ｂが設けられている。基板排出機１４の制御部は、揺動支柱４３ａ回りに移載アーム４３を揺動させて基板保持部４３ｂを上流工程側に隣接して位置する作業装置１１である第２の本圧着装置１１Ｄの基板受け渡し位置に位置させた基板載置部２２の上方と基板載置位置に位置させた基板排出部４２の上方との間で移動させるアーム揺動動作と、上流工程側に隣接して位置する第２の本圧着装置１１Ｄが基板受け渡し位置に位置させた基板載置部２２上の基板２を移載アーム４３によって取り上げる（基板保持部４３ｂに接触させて吸着する）動作及び移載アーム４３によって取り上げた基板２を基板排出位置に位置させた基板排出部４２に載置する（吸着を解放する）動作から成る基板着脱脱動作を組み合わせることにより、上流工程側に隣接して位置する第２の本圧着装置１１Ｄの基板載置部２２に載置されている基板２を基板排出部４２に移載することができる。基板排出位置に移動された基板排出部４２上の基板２は、図示しない基板搬出機構によって基板排出機１４の外部に搬出される。
【００２７】
このように本実施の形態における液晶パネル製造システム１は、基板２が載置される基板載置部２２、基板載置部２２に載置された基板２に対して作業を施す作業部２４及び基板２の移載を行う基板移載部である移載アーム２３を備えた複数の作業装置１１が上流工程側から下流工程側に一列に並んで設けられて成り、最も上流工程側に位置する作業装置１１である最上流工程側作業装置としてのＡＣＦ貼着装置１１Ａはその上流工程側に設けられた基板供給機１３から供給される基板２を自装置が備える移載アーム２３によって自装置が備える基板載置部２２に移載して基板２に対する作業を行い、ＡＣＦ貼着装置１１Ａ以外の各作業装置１１（仮圧着装置１１Ｂ、第１の本圧着装置１１Ｃ及び第２の本圧着装置１１Ｄ）は上流工程側に隣接する他の作業装置１１が備える基板載置部２２に載置された基板２を自装置が備える移載アーム２３によって自装置が備える基板載置部２２に移載して基板２に対する作業を行うようになっている。
【００２８】
そして、各作業装置１１は、自装置の基板載置部２２を自装置の作業部２４が基板２に対する作業を行う作業位置、作業位置よりも下流工程側寄りの基板受け渡し位置及び作業位置よりも上流工程側寄りの基板載置位置のいずれかに位置させることができ、複数の作業装置１１の間で基板２の移載を行う場合、各作業装置１１は、他の作業装置１１と同時に基板載置部２２を基板受け渡し位置に位置させて基板載置部２２に載置された基板２が下流工程側に隣接する他の作業装置１１の移載アーム２３によって取り上げられるようにした後、他の作業装置１１と同時に基板載置部２２を基板載置位置に位置させて上流工程側に隣接する他の作業装置１１の基板載置部２２から移載アーム２３によって取り上げた基板２を自装置が備える基板載置部２２に載置するようになっている。
【００２９】
次に、液晶パネル製造システム１を構成する基板供給機１３とＡＣＦ貼着装置１１Ａの間における基板２の受け渡し動作、隣接する２つの作業装置１１の間における基板２の受け渡し動作及び第２の本圧着装置１１Ｄと基板排出機１４の間における基板２の受け渡し動作について説明する。
【００３０】
先ず、基板供給機１３とＡＣＦ貼着装置１１Ａの間における基板２の受け渡し動作について説明する。基板供給機１３の制御部は、前述の図示しない基板取り出し機構の作動制御を行って基板ストック部３２より基板２を取り出して基板供給部３３に載置したら（図８（ａ）。図中に示す矢印Ａ）、ＡＣＦ貼着装置１１Ａから基板要求信号が出力されるまで待機する。基板供給機１３の制御部は、ＡＣＦ貼着装置１１Ａから基板要求信号が出力されたことを検知したら、基板供給部移動機構３３ａの作動制御を行って基板供給部３３をＡＣＦ貼着装置１１Ａ寄りの基板受け渡し位置に位置させたうえで（図８（ｂ）中に示す矢印Ｂ１）、ＡＣＦ貼着装置１１Ａに基板供給完了信号を出力する。ＡＣＦ貼着装置１１Ａは、基板供給機１３より基板供給完了信号を受け取ったら、移載アーム２３を基板供給機１３の側に揺動させ（図８（ｂ）中に示す矢印Ｃ１）、基板保持部２３ｂを基板供給機１３の基板供給部３３の上方に位置させる（図８（ｂ））。
【００３１】
基板供給機１３の制御部は、基板供給部３３を基板受け渡し位置に位置させ、基板供給機１３の基板供給部３３の上方にＡＣＦ貼着装置１１Ａの基板保持部２３ｂが位置したことを検知したら、基板供給部３３を上昇させ（図８（ｃ）中に示す矢印Ｄ１）、ＡＣＦ貼着装置１１Ａの基板保持部２３ｂに基板２を下方から接触させる（図８（ｃ））。一方、ＡＣＦ貼着装置１１Ａの制御部は、自装置が備える基板保持部２３ｂに基板２が接触するタイミングで基板保持部２３ｂにより基板２を吸着保持し、基板供給機１３の基板供給部３３から基板２を取り上げる。
【００３２】
基板供給機１３の制御部は、ＡＣＦ貼着装置１１Ａの移載アーム２３（基板保持部２３ｂ）によって基板２が取り上げられるタイミングで基板供給部３３を下降させ（図８（ｄ）中に示す矢印Ｅ１）、基板供給部３３を取り出し基板載置位置に位置させる（図８（ｅ）中に示す矢印Ｂ２）。この取り出し基板載置位置は、ＡＣＦ貼着装置１１Ａの基板載置部２２が基板供給機１３寄りの基板載置位置に位置した際に基板供給機１３の基板供給部３３と干渉しない位置である（図８（ｅ））。これにより基板供給機１３の基板供給部３３には、基板ストック部３２からの取り出された新たな基板２の載置が可能となる。
【００３３】
なお、基板供給機１３の制御部は、基板２が載置された基板供給部３３をＡＣＦ貼着装置１１Ａ寄りの基板受け渡し位置に移動させて基板２をＡＣＦ貼着装置１１Ａの移載アーム２３（基板保持部２３ｂ）に受け渡す動作及びその後基板供給部３３を取り出し基板載置位置に移動させて新たな基板２の取り上げに備える動作を、ＡＣＦ貼着装置１１Ａの作業部２４（ＡＣＦ貼着作業部）による基板２に対するＡＣＦ貼着作業又はＡＣＦ貼着装置１１Ａから仮圧着装置１１Ｂへの基板２の移載作業と並行して実行する（図３（ａ）参照）。そしてＡＣＦ貼着装置１１Ａは、基板２が載置された基板供給機１３の基板供給部３３が基板供給機１３における基板受け渡し位置に移動しても干渉しない位置に自装置（ＡＣＦ貼着装置１１Ａ）の基板載置部２２が位置していることを条件に、基板供給機１３に対して基板要求信号を出力する。
【００３４】
次に、隣接する２つの作業装置１１の間における基板２の受け渡し動作について説明する。上述のように、ＡＣＦ貼着装置１１Ａの移載アーム２３が基板供給機１３の基板供給部３３から基板２を取り上げる動作は、ＡＣＦ貼着装置１１Ａの基板載置部２２に載置された基板２に対する作業部２４による作業又は仮圧着装置１１Ｂへの基板２の移載作業と並行して行われるが、ＡＣＦ貼着装置１１Ａにおいて作業が終了した基板２の仮圧着装置１１Ｂへの受け渡し、仮圧着装置１１Ｂにおいて作業が終了した基板２の第１の本圧着装置１１Ｃへの移載及び第１の本圧着装置１１Ｃにおいて作業が終了した基板２の第２の本圧着装置１１Ｄへの移載は、ＡＣＦ貼着装置１１Ａにおける基板２に対する作業、仮圧着装置１１Ｂにおける基板２に対する作業及び第１の本圧着装置１１Ｃにおける基板２に対する作業のいずれもが終了した後、同時に（一括して）行われるように、ホストコンピュータ１２によって制御される。
【００３５】
すなわちホストコンピュータ１２は、４台の作業装置１１（ＡＣＦ貼着装置１１Ａ、仮圧着装置１１Ｂ、第１の本圧着装置１１Ｃ及び第２の本圧着装置１１Ｄ）のいずれもが基板２に対する作業を終了した状態を検知したら（図９（ａ）及び図１０（ａ））、これら４台の作業装置１１の各制御部に基板移載指令信号を出力する。そして、この基板移載指令信号を受けた４台の作業装置１１のうち、第２の本圧着装置１１Ｄを除く３台の作業装置１１（ＡＣＦ貼着装置１１Ａ、仮圧着装置１１Ｂ及び第１の本圧着装置１１Ｃ）の各制御部は、自装置が備える基板載置部移動機構２２ａの作動制御を行って、自装置が備える基板載置部２２を下流工程側寄りの基板受け渡し位置に位置させるとともに（図９（ｂ）及び図１０（ｂ）中に示す矢印Ｂ３）、ＡＣＦ貼着装置１１Ａを除く３台の作業装置１１（仮圧着装置１１Ｂ、第１の本圧着装置１１Ｃ及び第２の本圧着装置１１Ｄ）の各制御部は、自装置が備える移載アーム２３を上流工程側に揺動させて（図９（ｂ）及び図１０（ｂ）中に示す矢印Ｃ２）、自装置が備える基板保持部２３ｂを上流工程側に隣接して位置する他の作業装置１１が備える基板載置部２２の上方に位置させる（図９（ｂ）及び図１０（ｂ））。
【００３６】
ここで、ＡＣＦ貼着装置１１Ａ、仮圧着装置１１Ｂ及び第１の本圧着装置１１Ｃが自装置の基板載置部２２を下流工程側寄りの基板受け渡し位置に位置させる際に、第２の本圧着装置１１Ｄが自装置の基板載置部２２を基板受け渡し位置に位置させないのは、第２の本圧着装置１１Ｄは、ＡＣＦ貼着装置１１Ａ、仮圧着装置１１Ｂ及び第１の本圧着装置１１Ｃにおける基板２に対する作業の実行状態とは無関係に、自装置（第２の本圧着装置１１Ｄ）における基板２に対する作業が終了した時点で、その基板２を下流工程側に位置する基板排出機１４に受け渡すからである（後述）。
【００３７】
また、仮圧着装置１１Ｂ、第１の本圧着装置１１Ｃ及び第２の本圧着装置１１Ｄが自装置の基板保持部２３ｂを上流工程側に隣接する他の作業装置１１の側に移動させる際に、ＡＣＦ貼着装置１１Ａが自装置の基板保持部２３ｂを上流工程側に隣接する基板供給機１３の側に移動させないのは、前述したように、ＡＣＦ貼着装置１１Ａは、基板供給機１３が基板２を載置させた基板供給部３３を基板受け渡し位置に移動させたときにその基板２を基板保持部２３ｂによって取り上げるようにしているからである。
【００３８】
４台の作業装置１１のうち、第２の本圧着装置１１Ｄを除く３台の作業装置１１（ＡＣＦ貼着装置１１Ａ、仮圧着装置１１Ｂ及び第１の本圧着装置１１Ｃ）の各制御部が、自装置の基板載置部２２を下流工程側寄りの基板受け渡し位置に位置させるとともに、ＡＣＦ貼着装置１１Ａを除く３台の作業装置１１（仮圧着装置１１Ｂ、第１の本圧着装置１１Ｃ及び第２の本圧着装置１１Ｄ）の各制御部が、自装置の基板保持部２３ｂを上流工程側に隣接する他の作業装置１１の基板載置部２２の上方に移動させたら（この状態では、仮圧着装置１１Ｂの基板保持部２３ｂの下方にはＡＣＦ貼着装置１１Ａの基板載置部２２が位置し、第１の本圧着装置１１Ｃの基板保持部２３ｂの下方には仮圧着装置１１Ｂの基板載置部２２が位置し、第２の本圧着装置１１Ｄの基板保持部２３ｂの下方には第１の本圧着装置１１Ｃの基板載置部２２が位置している）、第２の本圧着装置１１Ｄを除く３台の作業装置１１の各制御部は自装置の基板載置部２２を上昇させて基板２をその上方に位置する下流工程側に隣接して位置する他の作業装置１１の基板保持部２３ｂに下方から接触させ、（図９（ｃ）及び図１０（ｃ）中に示す矢印Ｄ２）、ＡＣＦ貼着装置１１Ａを除く３台の作業装置１１の各制御部は、自装置の基板保持部２３ｂによって、上流工程側に隣接して位置する他の作業装置１１の基板載置部２２上の基板２を吸着保持して取り上げる（図９（ｃ）及び図１０（ｃ））。第２の本圧着装置１１Ｄを除く３台の作業装置１１の各制御部は、自装置の基板載置部２２に載置された基板２が下流工程側に隣接して位置する他の作業装置１１の移載アーム２３（基板保持部２３ｂ）によって取り上げるタイミングで、自装置の基板載置部２２を下降させる（図９（ｄ）及び図１０（ｄ）中に示す矢印Ｅ２）。
【００３９】
これにより４台の作業装置１１は、それぞれ上流工程側に隣接して位置する他の作業装置１１（ＡＣＦ貼着装置１１Ａについては基板供給機１３）から基板２を取り上げた状態となる（図３（ｂ））。なお、ＡＣＦ貼着装置１１Ａについては通常、自装置の作業部２４による基板２に対する作業（ＡＣＦ貼着作業）が終了した時点で、既に上流工程側に位置する基板供給機１３から基板２を取り上げた状態となっている。
【００４０】
上記のように、４台の作業装置１１がいずれも上流工程側に隣接して位置する他の作業装置１１（ＡＣＦ貼着装置１１Ａについては基板供給機１３）から基板２を取り上げた状態となったら、各作業装置１１の制御部は、自装置の基板載置部２２を上流工程側寄りの基板載置位置に位置させるとともに（図１１（ａ）及び図１２（ａ）中に示す矢印Ｂ４）、自装置の移載アーム２３を揺動させて（図１１（ａ）及び図１２（ａ）中に示す矢印Ｃ３）、自装置の基板保持部２３ｂを自装置の基板載置部２２の上方に位置させる（図１１（ａ）及び図１２（ａ））。
【００４１】
４台の作業装置１１の各制御部は、自装置の基板保持部２３ｂによって保持した基板２を自装置の基板載置部２２の上方に位置させたら、自装置の基板載置部２２を上昇させ（図１１（ｂ）及び図１２（ｂ）中に示す矢印Ｄ３）、自装置の基板保持部２３ｂに保持した基板２に自装置の基板載置部２２を下方から接触させる（図１１（ｂ）及び図１２（ｂ））。そして、自装置の基板保持部２３ｂによる基板２の保持（吸着）を解除して、基板載置部２２を下降させる（図１１（ｃ）及び図１２（ｃ）中に示す矢印Ｅ３）。これにより、各作業装置１１の基板載置部２２に基板２が載置され、隣接する作業装置１１の間で基板２が移載された状態となる。
【００４２】
４台の作業装置１１の各制御部は、自装置の基板載置部２２に基板２を載置したら、その基板載置部２２を作業位置に位置させるとともに（図１１（ｄ）及び図１２（ｄ）中に示す矢印Ｂ５）、自装置の移載アーム２３を中立位置（基板保持部２３ｂが自装置と上流工程側に隣接して位置する他の作業装置１１とのいずれにも大きく寄っていない位置）に位置させる（図１１（ｄ）及び図１２（ｄ））中に示す矢印Ｃ４）。これにより各作業装置１１は、基板２に対する作業部２４による作業の実行が可能な状態となり（図１１（ｄ）及び図１２（ｄ））、各作業装置１１において、作業部２４による基板２に対する作業が実行される。
【００４３】
すなわち、本実施の形態における液晶パネル製造システム１では、複数の作業装置１１の間で基板２を移動させ（ずらし）つつ、各作業装置１１の基板載置部２２に載置された基板２に対して所定の作業を施すものとなっている。
【００４４】
次に、第２の本圧着装置１１Ｄと基板排出機１４の間における基板２の受け渡し動作について説明する。第２の本圧着装置１１Ｄの制御部は、自装置の基板載置部２２に載置した基板２に対する作業が終了したら（図１３（ａ））、自装置の基板載置部移動機構２２ａの作動制御を行って基板載置部２２を下流工程側寄りの基板受け渡し位置に位置させるとともに（図１３（ｂ）。図中に示す矢印Ｂ６）、基板排出信号を基板排出機１４に出力する。そして基板排出機１４の制御部は、第２の本圧着装置１１Ｄの制御部から基板排出信号を受け取ったら、移載アーム４３を第２の本圧着装置１１Ｄの側に揺動させ（図１３（ｂ）中に示す矢印Ｃ５）、基板保持部４３ｂを第２の本圧着装置１１Ｄの基板載置部２２の上方に位置させる（図１３（ｂ））。
【００４５】
第２の本圧着装置１１Ｄの制御部は、自装置の基板載置部２２を下流工程側寄りの基板受け渡し位置に位置させ、基板排出機１４の基板保持部４３ｂが自装置（第２の本圧着装置１１Ｄ）の基板載置部２２の上方に位置したことを検知したら、自装置の基板載置部２２を上昇させ（図１３（ｃ）中に示す矢印Ｄ４）、自装置の基板載置部２２に載置されている基板２を基板排出機１４の基板保持部４３ｂに下方から接触させる（図１３（ｃ））。
【００４６】
基板排出機１４の制御部は、第２の本圧着装置１１Ｄによって上昇された基板２が基板保持部４３ｂに接触したことを検知したら、基板保持部４３ｂによって基板２を吸着保持して取り上げる。一方、第２の本圧着装置１１Ｄの制御部は、基板排出機１４の移載アーム４３（基板保持部４３ｂ）によって基板２が取り上げられるタイミングで自装置の基板載置部２２を下降させた後（図１３（ｄ）中に示す矢印Ｅ４）、基板載置部２２を作業位置に位置させる（図１４（ａ）中に示す矢印Ｂ７）。
【００４７】
これにより、第２の本圧着装置１１Ｄから基板排出機１４に基板２が受け渡された状態となり、第２の本圧着装置１１Ｄの基板載置部２２は、上流工程側に隣接して位置する第１の本圧着装置１１Ｃから基板２の取り上げを待つ待機状態となる。
【００４８】
基板排出機１４の制御部は、基板保持部４３ｂによって基板２を吸着保持したら、移載アーム４３を揺動させるとともに（図１４（ａ）中に示す矢印Ｃ６）、基板排出部４２を上流工程側寄りの基板載置位置に位置させて（図１４（ａ）中に示す矢印Ｂ８）、基板保持部４３ｂを基板排出部４２の上方に位置させる（図１４（ａ））。そして、基板排出部４２を上昇させ（図１４（ｂ）中に示す矢印Ｄ５）、基板保持部４３ｂに保持した基板２に基板排出部４２を下方から接触させてから（図１４（ｂ））、基板保持部４３ｂによる基板２の保持（吸着）を解除し、基板排出部４２を下降させてから（図１４（ｃ）中に示す矢印Ｅ５）、基板排出部４２を基板排出位置に位置させる（図１４（ｄ）。図中に示す矢印Ｂ９）。これにより、第２の本圧着装置１１Ｄから基板排出機１４に移載された基板２が基板排出機１４から排出可能な状態となる。
【００４９】
なお、第２の本圧着装置１１Ｄの制御部は、自装置の作業部２４による基板２に対する作業が終了した後、基板載置部２２を下流工程側寄りの基板受け渡し位置に位置させる動作を、第２の本圧着装置１１Ｄを除く３台の作業装置１１（ＡＣＦ貼着装置１１Ａ、仮圧着装置１１Ｂ及び第１の本圧着装置１１Ｃ）における基板２に対する作業の実行状態とは無関係に（すなわち、ＡＣＦ貼着装置１１Ａ、仮圧着装置１１Ｂ及び第１の本圧着装置１１Ｃのいずれかにおいて基板２に対する作業が継続中であっても）実行する。
【００５０】
また、基板排出機１４の制御部は、移載アーム４３を第２の本圧着装置１１Ｄの側に揺動させて第２の本圧着装置１１Ｄにおいて作業済みの基板２を吸着し（取り上げ）、基板排出部４２に載置させた基板２を基板排出位置に位置させて基板２を排出させるまでの一連の動作を、第２の本圧着装置１１Ｄを除く３台の作業装置１１における基板２に対する作業の実行状態とは無関係に（すなわち、ＡＣＦ貼着装置１１Ａ、仮圧着装置１１Ｂ及び第１の本圧着装置１１Ｃのいずれかにおいて基板２に対する作業が継続中であっても）実行する（図３（ａ）参照）。
【００５１】
以上説明したように、本実施の形態における液晶パネル製造システム１では、最上流工程側作業装置であるＡＣＦ貼着装置１１Ａは、作業位置に位置させた基板載置部２２上の基板２に対して作業部２４により作業を行っているとき、作業位置に位置したＡＣＦ貼着装置１１Ａの基板載置部２２と干渉しない領域に進出した基板供給機１３の基板供給部３３に載置されて供給された基板２を移載アーム２３により取り上げるようになっており、複数の作業装置１１の全てにおいて基板２に対する作業が終了した後にはすぐ、基板供給機１３による基板２の供給動作を待つことなく、基板２の移載を開始することができる。このため無駄時間が生じず、その分、液晶パネルの生産効率の向上を図ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
無駄時間の発生を減らして液晶パネルの生産効率の向上を図ることができる液晶パネル製造システムを提供する。
【符号の説明】
【００５３】
１  液晶パネル製造システム
２  基板
１１  作業装置
１１Ａ  ＡＣＦ貼着装置（最上流工程側作業装置）
１３  基板供給機
２２  基板載置部
２３  移載アーム（基板移載部）
２４  作業部
３３  基板供給部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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