(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクリーン印刷装置において、
スクリーンマスクを具備し基板にスクリーン印刷を実施する印刷実行部と、
この印刷実行部を挟んで特定方向における一方側の位置に設けられる基板搬入部および他方側の位置であってかつ前記基板搬入部に対して前記特定方向と直交する直交方向にオフセットされた位置に設けられる基板搬出部と、
前記基板搬入部から搬入される基板を前記印刷実行部による印刷が可能となる印刷実行位置よりも基板搬入部側の特定位置で受け取り、この基板を事前に前記印刷実行部による印刷が可能となる状態に保持した上で当該基板を前記特定方向に移動させることにより当該基板を前記特定位置から前記印刷実行位置に搬送して当該基板をその印刷中に保持する搬送保持手段と、
前記印刷実行部による印刷前であって前記特定位置から前記印刷実行位置への前記搬送保持手段による基板の搬送途中に、当該搬送保持手段に保持されている基板を撮像する基板撮像手段と、
前記搬送保持手段とは別に設けられ、前記基板搬入部から搬入される基板を前記特定位置まで搬送して待機させるとともに、前記搬送保持手段から印刷後の基板を受け取り前記基板搬出部に搬送する搬送手段と、
前記搬送保持手段および前記搬送手段が搭載されて、前記基板搬入部から搬入される基板の受け取りが可能となる受取位置と印刷後の基板を前記基板搬出部に送り出し可能となる送出位置とに亘って前記直交方向に移動可能に設けられ、かつ前記特定方向における前記基板搬入部側の所定位置に後続基板を待機させるための待機スペースを有する可動テーブルと、
前記搬送保持手段、前記搬送手段及び前記可動テーブルを制御する制御手段とを備え、
前記印刷実行部は、前記可動テーブルが前記受取位置に配置された状態で前記印刷実行位置に配置される基板に対して印刷が可能となる位置に設けられ、
前記制御手段は、前記可動テーブル上の前記待機スペースを前記特定位置とするとともに当該可動テーブル上の前記特定方向における前記基板搬出部側の所定位置を前記印刷実行位置として、前記搬送保持手段が印刷終了後の先行基板を前記搬送手段に受け渡した後、前記印刷実行位置から移動して前記特定位置に到着するまでに、前記搬送手段が後続基板を前記特定位置に搬送して待機させ、さらに前記搬送保持手段が前記特定位置で前記後続基板を受け取り保持した後、前記特定位置から移動して前記印刷実行位置に到着するまでに、前記搬送手段が前記先行基板を前記印刷実行位置より下流へ搬送し終えるようにする一方で、前記先行基板の印刷終了後、前記可動テーブルを前記受取位置から前記送出位置に移動させて前記搬送手段により前記先行基板を搬送することにより当該先行基板を前記可動テーブルから前記基板搬出部に送り出し、この送り出し後に前記可動テーブルを前記送出位置から前記受取位置に移動させるとともに、その移動中、前記特定位置から前記印刷実行位置に搬送される前記後続基板に記された標識が前記基板撮像手段による撮像位置を経由するように前記可動テーブルおよび前記搬送保持手段を移動させる、ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
請求項１に記載のスクリーン印刷装置において、
前記制御手段は、前記基板搬出部への前記先行基板の送り出し後、前記可動デーブルが前記受取位置に到達する時点で前記搬送保持手段に保持された前記後続基板が前記印刷実行位置に配置されているように前記可動テーブルおよび前記搬送保持手段を制御することを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のスクリーン印刷装置において、
前記基板撮像手段は、前記搬送保持手段による後続基板の搬送方向と直交する方向に移動可能に設けられていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか一項に記載のスクリーン印刷装置において、
前記搬送保持手段は、基板を保持する基板保持部材とこれを前記特定位置と前記印刷実行位置との間で移動させる移動手段とを含み、
前記基板保持部材に、前記スクリーンマスクを撮像するマスク撮像手段が搭載されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線板（PWB；Printed wiring board））等の基板に部品を実装するための前処理として当該基板にクリーム半田や導電性ペースト等を印刷するスクリーン印刷装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷装置は、プリント回路板（PCB；Printed Circuit Board）の製造ラインに組み込まれ、上流側から搬送されてくる基板に導電性ペースト等の印刷を施して下流側の部品実装装置に送り出すものである。
【０００３】
この種のスクリーン印刷装置は、例えば特許文献１に開示されるように、印刷部に対して一枚ずつ基板を受け入れて印刷処理を実施し、印刷後の基板を部品実装装置に送り出すように構成されている。また、近年では、例えば特許文献２に開示されるように、装置内に２つの印刷部を並列に備え、上流側から各印刷部に個別に基板を受け入れつつ印刷を施して個別に下流側に送り出すものも開発されている。これは、１つの装置内に２つの基板搬送ラインをもち、かつ各搬送ラインで部品実装を同時進行（並行）させる所謂デュアル搬送型の部品実装装置が用いられるようになったことによるもので、これらのスクリーン印刷装置と部品実装装置とを連結することで印刷および部品実装の効率化を図ることが狙いである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許２６８２１４５号公報
【特許文献２】特開２００９−７０８６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
スクリーン印刷装置では、基板とスクリーンマスクとの重装ずれを防止するために、印刷実行位置あるいはその近傍となるマスク下方において基板テーブル上に搬入した基板をクランプ装置等により固定した後、この基板を画像認識して位置ずれを検出し、基板を印刷実行位置においてマスクへ重装する際に基板テーブルの位置を補正するように構成されている。この場合、マスク下方は重装のため基板が上昇するスペースであり、固定的にカメラを配置することが困難なため、例えば特許文献１のものは、マスクの側方位置にカメラを備え、基板テーブル上に基板を搬入した後、クランプされた基板をマスク下方位置からカメラ位置まで移動させて基板を撮像し、再度印刷実行位置に基板を移動しマスクに重装戻して印刷を実施するように構成されている。また、特許文献２のものでは、移動なカメラを備え、このカメラを印刷実行位置においてクランプされた基板とマスクとの間の位置に一時的に介在させて基板を撮像し、撮像後はカメラをマスク側方位置に退避させるように構成されている。
【０００６】
しかし、何れも基板を搬入した後、基板やカメラをマスク下方位置とマスク側方位置との間で移動させるため基板認識に比較的時間を要する。従って、これが印刷機におけるスループット向上（タクトタイムの短縮化）の阻害要因の一つとなっている。
【０００７】
また、特許文献２のスクリーン印刷装置では、基板搬入部と基板搬出部とが基板搬送方向（Ｘ軸方向）と直交する方向（Ｙ軸方向）にオフセットされており、基板を支持固定するためのステージがＹ軸方向に移動するように構成されているが、これは、部品実装装置側の２つの基板搬送ラインが近接配置されているため、これらに連結可能となるように基板搬出部同士を近接させる必要があるためである。
【０００８】
しかしながら、この装置では、基板搬入部に対応する位置（受取位置）でステージ上に基板を受取り、印刷後、ステージを基板搬出部に対応する位置（送出位置）に移動させて基板搬出を行うため、基板の搬出中はステージ上に後続基板を受け入れることが不可能であり、従って、この点もスループット向上の一つの阻害要因となっている。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みて成されたものであり、スループットを向上させることができるスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するための本発明は、スクリーン印刷装置において、スクリーンマスクを具備し基板にスクリーン印刷を実施する印刷実行部と、この印刷実行部を挟んで特定方向における一方側の位置に設けられる基板搬入部および他方側の位置であってかつ前記基板搬入部に対して前記特定方向と直交する直交方向にオフセットされた位置に設けられる基板搬出部と、前記基板搬入部から搬入される基板を前記印刷実行部による印刷が可能となる印刷実行位置よりも基板搬入部側の特定位置で受け取り、この基板を事前に前記印刷実行部による印刷が可能となる状態に保持した上で当該基板を前記特定方向に移動させることにより当該基板を前記特定位置から前記印刷実行位置に搬送して当該基板をその印刷中に保持する搬送保持手段と、前記印刷実行部による印刷前であって前記特定位置から前記印刷実行位置への前記搬送保持手段による基板の搬送途中に、当該搬送保持手段に保持されている基板を撮像する基板撮像手段と、前記搬送保持手段とは別に設けられ、前記基板搬入部から搬入される基板を前記特定位置まで搬送して待機させるとともに、前記搬送保持手段から印刷後の基板を受け取り前記基板搬出部に搬送する搬送手段と、前記搬送保持手段および前記搬送手段が搭載されて、前記基板搬入部から搬入される基板の受け取りが可能となる受取位置と印刷後の基板を前記基板搬出部に送り出し可能となる送出位置とに亘って前記直交方向に移動可能に設けられ、かつ前記特定方向における前記基板搬入部側の所定位置に後続基板を待機させるための待機スペースを有する可動テーブルと、前記搬送保持手段、前記搬送手段及び前記可動テーブルを制御する制御手段とを備え、前記印刷実行部は、前記可動テーブルが前記受取位置に配置された状態で前記印刷実行位置に配置される基板に対して印刷が可能となる位置に設けられ、前記制御手段は、前記可動テーブル上の前記待機スペースを前記特定位置とするとともに当該可動テーブル上の前記特定方向における前記基板搬出部側の所定位置を前記印刷実行位置として、前記搬送保持手段が印刷終了後の先行基板を前記搬送手段に受け渡した後、前記印刷実行位置から移動して前記特定位置に到着するまでに、前記搬送手段が後続基板を前記特定位置に搬送して待機させ、さらに前記搬送保持手段が前記特定位置で前記後続基板を受け取り保持した後、前記特定位置から移動して前記印刷実行位置に到着するまでに、前記搬送手段が前記先行基板を前記印刷実行位置より下流へ搬送し終えるようにする一方で、前記先行基板の印刷終了後、前記可動テーブルを前記受取位置から前記送出位置に移動させて前記搬送手段により前記先行基板を搬送することにより当該先行基板を前記可動テーブルから前記基板搬出部に送り出し、この送り出し後に前記可動テーブルを前記送出位置から前記受取位置に移動させるとともに、その移動中、前記特定位置から前記印刷実行位置に搬送される前記後続基板に記された標識が前記基板撮像手段による撮像位置を経由するように前記可動テーブルおよび前記搬送保持手段を移動させるものである。
【００１１】
このスクリーン印刷装置では、基板搬入部から搬入される基板は、受取位置に配置された可動テーブル上に受け入れられ、この可動テーブル上に搭載される前記搬送保持手段により保持された状態で印刷実行部により印刷が実施される。印刷後は、可動テーブルが送出位置に配置されることにより印刷済みの基板が基板搬出部に送り出される。そして、先行基板の送り出し後、可動テーブルが送出位置から受取位置に移動する間に、後続基板が、印刷実行位置よりも基板搬入部側の特定位置で事前に搬送保持手段によって印刷実行部による印刷が可能となる状態に保持された上で当該特定位置から印刷実行位置に搬送される。そして、この前記特定位置から印刷実行位置への基板（後続基板）の搬送中に当該基板の標識が基板撮像手段により撮像される。このようなスクリーン印刷装置によれば、基板を撮像するための独立した工程は不要であり、送出位置から受取位置への可動テーブルの移動、印刷実行位置への基板の搬送および基板（標識）の撮像が並行して行われる。そのため、基板を撮像するための独立した工程が必要な従来装置、例えば一旦印刷実行位置へ基板を搬入しクランプ装置等により固定した後、当該基板を印刷実行位置側方の撮像位置にクランプ装置等とともに移動させて基板を撮像する装置等と比較するとタクトタイムを効果的に短縮することが可能となる。
【００１６】
この構成において、前記制御手段は、前記基板搬出部への前記先行基板の送り出し後、前記可動デーブルが前記受取位置に到達する時点で前記搬送保持手段に保持された前記後続基板が前記印刷実行位置に配置されているように前記可動テーブルおよび前記搬送保持手段を制御する。
【００１７】
この構成によれば、可動テーブルを送出位置から受取位置にリセットした後、直ちに印刷実行部による基板の印刷を開始することが可能となるため、タクトタイムを短縮する上で有利となる。
【００１８】
なお、上記各スクリーン印刷装置において、前記基板撮像手段は、前記搬送保持手段による後続基板の搬送方向と直交する方向に移動可能に設けられていてもよい。
【００１９】
この構成によれば、基板撮像手段が同方向に移動することにより撮像領域が拡大され、基板上における撮像位置の自由度が高まる。
【００２０】
また、前記搬送保持手段は、基板を保持する基板保持部材とこれを前記特定位置と前記印刷実行位置との間で移動させる移動手段と含み、前記基板保持部材に、前記スクリーンマスクを撮像するマスク撮像手段が搭載されているものであってもよい。
【００２１】
この構成によれば前記特定位置から印刷実行位置に基板を搬送する途中でマスク認識カメラによりマスクを撮像することが可能となる。また、マスク認識カメラを移動させるための手段として基板保持部材を兼用した合理的な構成が達成される。
【発明の効果】
【００２２】
以上のような本発明のスクリーン印刷装置によれば、印刷実行位置への基板の搬送と基板の撮像とを並行して行うことができるため、基板を撮像するための独立した工程が必要な従来装置と比較すると、独立した当該基板撮像工程が不要となる分、タクトタイムを短縮することができる。従って、スループットを向上させてプリント回路板の生産性向上に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係るスクリーン印刷装置の第１実施形態を示す平面図である。
【図２】スクリーン印刷装置を示す正面図である。
【図３】スクリーン印刷装置に組み込まれる基板支持テーブル及びその駆動機構等を示す平面図（スクリーン印刷装置から印刷実行部等を除いた状態の平面図）である。
【図４】基板支持テーブルの構成を示すスクリーン印刷装置の断面図（図３のIV−IV線断面図）である。
【図５】図４におけるクランプユニットの要部拡大図である（（ａ）は基板の非クランプ状態、（ｂ）は基板クランプ状態）。
【図６】スクリーン印刷装置に組み込まれる印刷実行部等を示す斜視図である。
【図７】印刷実行部を示す平面図である。
【図８】スクリーンマスクを保持するマスク保持機構を示す斜視図である。
【図９】マスク保持機構に組み込まれる回転駆動機構およびＹ軸駆動機構を説明するための当該マスク保持機構の平面模式図である（（ａ）はマスク回転前、（ｂ）はマスク回転後の状態をそれぞれ示す）。
【図１０】制御装置による制御に基づくスクリーン印刷装置の印刷動作を説明する平面模式図である（（ａ）、（ｂ）は印刷動作を時系列的に示している）。
【図１１】制御装置による制御に基づくスクリーン印刷装置の印刷動作を説明する平面模式図である（（ａ）、（ｂ）は印刷動作を時系列的に示している）。
【図１２】本発明に係るスクリーン印刷装置の動作（図（ａ））と従来装置の動作（図（ｂ））とを比較した工程図である。
【図１３】本発明に係るスクリーン印刷装置の第２実施形態を示す平面模式図である（（ａ）、（ｂ）は印刷動作を時系列的に示している）。
【図１４】制御装置による制御に基づく第２実施形態に係るスクリーン印刷装置の印刷動作を説明する平面模式図である（（ａ）〜（ｃ）は印刷動作を時系列的に示している）。
【図１５】本発明に係るスクリーン印刷装置の第３実施形態を示す平面模式図である（（ａ）、（ｂ）は印刷動作を時系列的に示している）。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施の形態について詳述する。
【００２５】
図１および図２は、本発明に係るスクリーン印刷装置の第１実施形態を示しており、図１は平面図で、図２は正面図でそれぞれスクリーン印刷装置を概略的に示している。
【００２６】
このスクリーン印刷装置１は、その下流側にデュアル搬送型の部品実装装置Ｍを連結した状態でプリント回路板（PCB）の製造ラインに組み込まれるものである。図示の例では、スクリーン印刷装置１（以下、印刷装置１と略す）は、並列に配置された２台のローダＬ１、Ｌ２（第１ローダＬ１、第２ローダＬ２という）とデュアル搬送型の１台の部品実装装置Ｍとの間に介設されており、上流側の各ローダＬ１、Ｌ２から繰り出されてくる基板Ｗに印刷を実施して下流側の部品実装装置Ｍに送り出す。
【００２７】
なお、以下の説明では、製造ラインにおける基板Ｗの搬送方向をＸ軸方向、水平面上でＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、これらＸ軸、Ｙ軸の両方向に直交する方句（鉛直方向）をＺ軸方向として印刷装置１の説明を行う。
【００２８】
印刷装置１は、Ｘ軸方向における一方側の端部（基板搬送方向における上流側の端部）に２つの基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２（第１基板搬入部Ｅｎ１、第２基板搬入部Ｅｎ２という）を有する一方、これらに対応する２つの基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２（第１基板搬出部Ｅｎ１、第２基板搬出部Ｅｎ２という）を他方側の端部（基板搬送方向における下流側の端部）に有しており、第１ローダＬ１から繰り出される基板Ｗを第１基板搬入部Ｅｎ１から装置内に搬入して印刷を実施し、当該印刷後の基板Ｗを第１基板搬出部Ｅｘ１から部品実装装置Ｍに搬出する一方で、第２ローダＬ２から繰り出される基板Ｗを第２基板搬入部Ｅｎ２から装置内に搬入して印刷を実施し、当該印刷後の基板Ｗを第２基板搬出部Ｅｘ２から部品実装装置Ｍに搬出する。各基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２は、部品実装装置Ｍの２つの基板搬送ラインに対応するようにＹ軸方向において各基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２よりも内側の位置にオフセットされている。なお、同図中、符号ＣＬ１、ＣＬ２、ＣＭ１、ＣＭ２はそれぞれローダＬ１、Ｌ２および部品実装装置Ｍに搭載されて基板搬送ラインを構成するベルトコンベヤ対であり、基板Ｗはこれらベルトコンベヤ対ＣＬ１、ＣＬ２、ＣＭ１、ＣＭ２（以下、コンベヤ対ＣＬ１、ＣＬ２、ＣＭ１，ＣＭ２と略す）に沿って搬送される。
【００２９】
印刷装置１は、その基台２上に、基板Ｗを支持するための２つの基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂと、これら基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢをＹ軸方向それぞれ所定位置に停止した状態で、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに支持された基板Ｗに個別に印刷を実施する２つの印刷実行部２０Ａ、２０Ｂとを備えている。
【００３０】
基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ（第１基板支持テーブル１０Ａ、第２基板支持テーブル１０Ｂという；それぞれ本発明の可動テーブルに相当する）は、前記基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２から搬入される基板Ｗを受け取って印刷が可能となるように支持するとともに印刷後の基板Ｗを基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２から送り出すものであり、これらのうち第１基板支持テーブル１０Ａは、第１基板搬入部Ｅｎ１から搬入されてくる基板Ｗを受け取って第１印刷実行部２０Ａにより印刷が可能となるように基板Ｗを支持し、他方、第２基板支持テーブル１０Ｂは、第２基板搬入部Ｅｎ２から搬入されてくる基板Ｗを受け取って第２印刷実行部２０Ｂにより印刷が可能となるように基板Ｗを支持する。
【００３１】
各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、図３に示すように、Ｘ軸方向に細長の平面視略長方形の形状を有しており、テーブル駆動機構により個別にＹ軸方向に移動するように構成されている。テーブル駆動機構は、ねじ送り機構により構成されている。すなわち、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、基台２上に設けられたＹ軸方向に延びる共通の固定レール３上に移動自在に支持されており、それぞれねじ軸５Ａ、５Ｂを介してモータ４Ａ、４Ｂにより駆動されるように構成されている。そして、後記制御装置によるモータ制御に基づき、第１基板支持テーブル１０Ａが、第１基板搬入部Ｅｎ１から搬入されてくる基板Ｗを受け取り可能な受取位置（図１、図３に示す位置）と基板Ｗを第１基板搬出部Ｅｘ１に送り出し可能な送出位置との間で移動する一方で、第２基板支持テーブル１０Ｂが、第２基板搬入部Ｅｎ２から搬入されてくる基板Ｗを受け取り可能な受取位置（図１、図３に示す位置）と基板Ｗを第２基板搬出部Ｅｘ２に送り出し可能な送出位置との間で移動するようになっている。
【００３２】
各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、Ｘ軸方向に延びるコンベヤ対１２と、このコンベヤ対１２上の基板Ｗを印刷実行部２０Ａ、２０Ｂによる印刷が可能となる状態に保持するクランプユニット１４と、このクランプユニット１４をコンベヤ対１２に沿ってＸ軸方向に移動させるためのクランプユニット駆動機構と、後記スクリーンマスク２１を清掃するためのクリーニングユニット１８等とを備える。当実施形態では、前記クランプユニット１４（基板保持手段）およびクランプユニット駆動機構（移動手段）が本発明における搬送保持手段に相当し、前記コンベヤ対１２が本発明における搬送手段に相当する。
【００３３】
上記コンベヤ対１２は、ベルトコンベヤからなり、基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２から搬入される基板Ｗを受け取り後記基板待機位置Ｐ１まで搬送するとともに印刷後の基板Ｗを後記印刷実行位置Ｐ２から基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２に搬送するものである。
【００３４】
コンベヤ対１２は、モータ駆動により周回移動するベルト１２１により基板ＷのＹ軸方向の両端部分を支持した状態で当該ベルトの移動に伴い基板ＷをＸ軸方向に搬送する（図５（ａ）参照）。コンベヤ対１２を構成する２つのコンベヤのうち一方側のコンベヤは支柱を介して基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上に固定的に支持された固定コンベヤであり、他方側のコンベヤは上記一方側のコンベヤに対して接離可能（Ｙ軸方向に移動可能）となるように基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに支持された上でモータ等のアクチュエータにより駆動される可動コンベヤである。つまり、このコンベヤ対１２は、基板Ｗのサイズに応じて間隔を変更可能な可変ストローク型コンベヤである。
【００３５】
なお、当実施形態では、装置前側（図１、図３の下側）に位置する第１基板支持テーブル１０Ａについては、コンベヤ対１２のうち後側が固定コンベヤ、前側が可動コンベヤとされることにより後側のコンベヤを基準として間隔変更が可能とされ、他方、装置後側に位置する第２基板支持テーブル１０Ｂは、コンベヤ対１２のうち前側が固定コンベヤ、後側が可動コンベヤとされることにより前側のコンベヤを基準として間隔変更が可能となっている。
【００３６】
上記クランプユニット１４は、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上に設けられた固定レール１４１に沿ってＸ軸方向に移動可能に支持されるベース部材１４０（図４に示す）を有し、このベース部材１４０上にコンベヤ対１２から基板Ｗを持ち上げて支持するバックアップ機構と、このバックアップ機構により持ち上げられた基板Ｗを固定するクランプ機構とを備える。
【００３７】
図４および図５（ａ）に示すように、バックアップ機構は、所定配列の複数本のバックアップピン１５１（以下、ピン１５１と略す）を備えかつリンク機構等を介して上記ベース部材１４０上に昇降可能に支持されるバックアップテーブル１５０（ＢＵテーブル１５０という）と駆動用のモータ１５２等とを含み、このモータ１５２の駆動により、ＢＵテーブル１５０が所定の退避位置とこの位置から上昇した作動位置とに変位するように構成されている。ここで、退避位置は、ピン１５１の先端位置がコンベヤ対１２（ベルト１２１）に支持された基板Ｗの下面より低くなる位置（図５（ａ）に示す位置）であり、作動位置は、同基板Ｗの下面よりピン１５１の先端位置が高くなる位置である。従って、このバックアップ機構は、図５（ｂ）に示すように、ＢＵテーブル１５０が作動位置に配置されたときに基板Ｗをコンベヤ対１２から持ち上げる。
【００３８】
クランプ機構は、コンベヤ対１２の上方位置に配置されてＸ軸方向に互いに平行に延びる一対のクランプ部材１６０と、これらクランプ部材１６０が組付けられるアーム部材１６１と、クランプ部材駆動用のアクチュエータ、例えば二方向型のエアシリンダ１６２とを含む。両クランプ部材１６０のうち一方側（図４、図５（ａ）では左側）のものは、アーム部材１６１に対してＹ軸方向に変位可能に組付けられており、前記エアシリンダ１６２の駆動により同図に示す退避位置と図５（ｂ）に示す前進位置とに変位する。つまり、クランプ機構は、同図（ｂ）に示すように、一方側のクランプ部材１６０が退避位置から前進位置に変位することにより、前記バックアップ機構により持ち上げられた基板Ｗを他方側のクランプ部材１６０と共にＹ軸方向に挟み込んでクランプする。
【００３９】
なお、この印刷装置１では、このようにクランプユニット１４によりコンベヤ対１２から持ち上げられてクランプ部材１６０にクランプされた状態の基板Ｗに対して後記スクリーンマスク２１を重装して印刷を行うようになっており、従って、クランプユニット１４は、前記印刷実行部２０Ａ、２０Ｂによる印刷が可能となる状態に基板をコンベヤ対１２から上方に遊離させて保持するものである。
【００４０】
クランプ機構の各アーム部材１６１は、コンベヤ対１２を外側（Ｙ軸方向における外側）から抱え込むように形成された上で、それぞれ各コンベヤ対１２に組付けられたＸ軸方向の固定レール１２２にスライド可能に連結されている。このように各アーム部材１６１がコンベヤ対１２（固定レール１２２）に連結されて案内されるように構成されることで、クランプユニット駆動機構によりクランプユニット１４をＸ軸方向に移動させるようにしながらもコンベヤ対１２と各クランプ部材１６０とのＹ軸方向の相対位置が一定に保持される。
【００４１】
また、各アーム部材１６１のうち一方側、具体的にはコンベヤ対１２のうち固定コンベヤに連結される側のアーム部材１６１（図４では右側のアーム部材）はベース部材１４０に固定され、他方、可動コンベヤに連結される側のアーム部材１６１（図４では左側のアーム部材）はベース部材１４０上に設けられた固定レール１６４に沿ってＹ軸方向に変位可能に支持されている。従って、コンベヤ対１２の間隔が変更されると、可動コンベヤと一体に一方側のアーム部材１６１がＹ軸方向に移動し、これにより両クランプ部材１６０の間隔が自動調整される。つまり、コンベヤ対１２の間隔変更後に搬送される基板Ｗをクランプ可能な間隔に両クランプ部材１６０の間隔が自動的に変更される。なお、上記各クランプ部材１６０は、それらのうち可動コンベヤ側に組付けられるものが駆動されるように構成されており、この構成により基板Ｗは、固定コンベヤ側を基準としてクランプされるようになっている。従って、第１基板支持テーブル１０Ａのクランプユニット１４では、装置後側を基準に基板Ｗがクランプされ、第２基板支持テーブル１０Ｂのクランプユニット１４では、装置前側を基準として基板Ｗがクランプされる。
【００４２】
クランプユニット駆動機構は、ねじ送り機構により構成されている。すなわち、クランプユニット１４の前記ベース部材１４０は、基台２上に設けられたＸ軸方向に延びる固定レール１４１上に移動自在に支持され、ねじ軸１４２を介してモータ１４４により駆動されるように構成されている。
【００４３】
ここで、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、図３に示すように、基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２側に基板Ｗの待機スペースが設けられてこの位置が基板待機位置Ｐ１（本発明の特定位置に相当する）、これよりも下流側の所定位置が印刷実行位置Ｐ２とされ、後記制御装置によるモータ制御に基づき前記クランプユニット１４がこれら基板待機位置Ｐ１と印刷実行位置Ｐ２との間をコンベヤ対１２および固定レール１４１に沿って移動するようになっている。そして、このクランプユニット１４の移動に関連付けられて前記ＢＵテーブル１５０およびクランプ部材１６０の駆動が制御装置により制御される。すなわち、クランプユニット１４の基板待機位置Ｐ１への移動後、基板Ｗがコンベヤ対１２から持ち上げられてクランプ部材１６０によりクランプされて基板Ｗが印刷実行部２０Ａ、２０Ｂによる印刷が可能となる状態で、クランプユニット１４の移動に伴い前記印刷実行位置Ｐ２に搬送され、印刷後は、前記印刷実行位置Ｐ２において基板Ｗの保持状態が解除されることによりクランプユニット１４からコンベヤ対１２上に基板Ｗが受け渡されるようになっている。なお、以下の説明では、便宜上、上記のようにクランプユニット１４により基板Ｗを保持した状態（コンベヤ対１２から持ち上げられてクランプ部材１６０によりクランプされた状態）を単にクランプ状態といい、保持が解除された状態をクランプ解除状態という。
【００４４】
図２、図４および図５では、第１基板支持テーブル１０Ａのクランプユニット１４のみ示しているが、基板Ｗを装置前側基準でクランプする点を除き、第２基板支持テーブル１０Ｂの構成も基本的には第１基板支持テーブル１０Ａと共通している。
【００４５】
クリーニングユニット１８は、詳細図を省略しているが、後述するスクリーンマスク２１の下面に摺接可能なパッドおよびこのパッドを介してスクリーンマスク２１を負圧吸引する吸引ノズル等を含むクリーニングヘッドを備えており、基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢがＹ軸方向に移動する際に、このクリーニングヘッドをスクリーンマスク２１の下面に摺接させることで当該マスク下面やパターン孔内に溜まったペーストを除去する。
【００４６】
クリーニングヘッドは、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに対して昇降可能に構成されており、清掃時のみスクリーンマスク２１に摺接可能な作動位置に配置され、それ以外はこの作動位置から下降した退避位置に配置されるように構成されている。
【００４７】
なお、図１〜図３中の符号１５は、前記コンベヤ対１２が具備するストッパ機構であり、クランプユニット１４が上記基板待機位置Ｐ１より上記印刷実行位置Ｐ２側にある状態で、基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２からコンベヤ対１２上に受け入れられコンベア対１２の作動で搬送される基板Ｗを上記基板待機位置Ｐ１で停止させ、その位置に待機させるためのものである。このストッパ機構１５は、例えばエアシリンダ等のアクチュエータにより進退駆動されるストッパ軸を有しており、コンベヤ対１２による基板Ｗの搬送路中に前記ストッパ軸を進出させて基板Ｗの移動を規制する作動状態と、搬送路外にストッパ軸を退避させて基板Ｗの移動を許容する停止状態とに切り換え可能に構成されている。すなわち、ストッパ機構１５は、印刷後の基板Ｗがクランプユニット１４からコンベア対１２上に受け渡され、基板支持テーブル１０Ａ（あるいは１０Ｂ）が送出位置に移動後、コンベア対１２の作動で基板Ｗが印刷実行位置Ｐ２から基板搬出部Ｅｘ１（あるいはＥｘ２）を通して搬出される際に、クランプユニット１４により基板待機位置Ｐ１の基板Ｗがコンベア対１２から持ち上げられるまでは、ストッパ機構１５は、コンベア対１２の作動に抗して基板Ｗを上記基板待機位置Ｐ１に維持待機させることもできる。
【００４８】
また、同図中の符号１６は、クランプユニット１４に搭載されるマスク認識カメラである。このマスク認識カメラ１６は、ＣＣＤエリアセンサ等を備えたカメラであり、後記スクリーンマスク２１と基板Ｗとの相対位置を認識するためにスクリーンマスク下面に記されるマークや記号等の標識を下側から撮像するものである。
【００４９】
上記基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの上方、詳しくはそれぞれ受取位置に配置された基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂにおける上記印刷実行位置Ｐ２の上方位置には印刷実行部２０Ａ、２０Ｂ（第１印刷実行部２０Ａ、第２印刷実行部２０Ｂという）が設けられている。
【００５０】
図６は、印刷装置１から印刷実行部２０Ａ、２０Ｂのみを抽出して示した斜視図である。各印刷実行部２０Ａ、２０Ｂは、Ｙ軸方向に併設され、それぞれマスク２１を保持するためのマスク保持機構と、Ｘ軸方向に配設されるスキージユニット４０と、Ｙ軸方向に配設され、このスキージユニット４０をＹ軸方向に移動させるスキージ駆動機構等とを含む。印刷実行部２０Ａ、２０Ｂを構成する各機構等は、基台２上にＸ軸方向に所定間隔を隔てて設置され、第１基板搬入部Ｅｎ１から第１受取位置へ移動する基板Ｗ、第２基板搬入部Ｅｎ２から第２受取位置へ移動する基板Ｗ、および送出位置から基板搬出部Ｅｘへ移動する基板をＹ軸方向に跨ぐように、それぞれ門型に形成された一対の装置フレーム６に組付けられている。
【００５１】
各マスク保持機構は、図６〜図８に示すように、スクリーンマスク２１（以下、マスク２１と略す）が着脱可能に組付けられ矩形のマスク固定部材２２と、このマスク固定部材２２を昇降させるための昇降駆動機構と、同固定部材２２を昇降駆動機構ごとＺ軸回りに回転させる回転駆動機構と、同固定部材２２を昇降駆動機構ごとＹ軸方向に移動させるためのＹ軸駆動機構とを含む。
【００５２】
マスク固定部材２２は、図７および図８に示すように、中央に印刷用の開口部２２ａが形成された矩形形状を有しており、予め枠体に組付けられたマスク２１が当該枠体と共に前記開口部２２ａを塞ぐようにこのマスク固定部材２２に固定されるようになっている。
【００５３】
マスク固定部材２２の上記各駆動機構は次のような構成を有する。
【００５４】
各装置フレーム６には、Ｙ軸方向に延びる固定レール２５が設けられ、マスク固定部材２２を昇降可能に支持するためのマスク支持部材２４がこれら固定レール２５に移動自在に支持されている。具体的には、マスク支持部材２４は、固定レール２５に沿って延びる一対のＹ軸プレート部２４ａとそれらの一端部同士を繋ぐＸ軸プレート部２４ｂとからなる平面視コ字型の形状を有しており、前記各固定レール２５に装着されたスライダ２６ａ〜２６ｃに対して各Ｙ軸プレート部２４ａが連結されることによりＹ軸方向に移動可能となっている。
【００５５】
図８に示すように、マスク支持部材２４の各Ｙ軸プレート部２４ａには、Ｚ軸方向に延びる一対のガイド軸２５１が貫通しており、これらガイド軸２５１の下端部に前記マスク固定部材２２が固定されるとともに上端部に連結部材２５２が固定されている。マスク支持部材２４の各Ｙ軸プレート部２４ａには、両ガイド軸２５１の間の位置に一対のプーリ一体型ナット２５６が回転自在且つＺ軸方向固定に組付けられており、これらプーリ一体型ナット２５６に対してそれぞれねじ軸２５４がＺ軸方向に螺合挿入されるとともにこのねじ軸２５４の両端が前記マスク固定部材２２および連結部材２５２に固定支持されている。また、前記マスク支持部材２４にモータ２６０が固定され、このモータ２６０の出力軸に図外の駆動プーリが装着され、この駆動プーリと、マスク支持部材２４に組付けられた複数のアイドルプーリ２５７と、上記プーリ一体型ナット２５６とに亘って駆動ベルト２５８が装着される。
【００５６】
この構成により、モータ２６０が駆動すると、その回転が駆動ベルト２５８を介して前記プーリ一体型ナット２５６に伝動されて当該プーリ一体型ナット２５６が回転し、この回転に伴いねじ軸２５４がその軸方向に移動する結果、図８中に矢印で示すように、このねじ軸２５４に固定された前記マスク固定部材２２がガイド軸２５１によって案内されつつ上下方向（Ｚ軸方向）に移動する。そして、印刷時には、後記制御装置によるモータ２６０の制御により、マスク２１が、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに支持された基板Ｗ、詳しくはコンベヤ対１２から持ち上げられた状態で上記クランプユニット１４によりクランプされた状態の基板Ｗに重なる重装高さ位置（図８中の二点鎖線に示す位置）とこの高さ位置よりも上方の退避位置（同図中の実線に示す位置）とに変位するようになっている。
【００５７】
マスク支持部材２４は、上記の通り各固定レール２５に装着されたスライダ２６ａ〜２６ｃに連結されているが、詳しくは、特定位置を支点としてマスク支持部材２４のＺ軸回りの変位が許容されるようにリンク部材２８ａ〜２８ｃを介して各Ｙ軸プレート部２４ａがスライダ２６ａ〜２６ｃに連結されている。図９（ａ）は、その構造の理解を容易にするためにマスク支持部材２４等を模式的に示した図である。この図に示すように、マスク支持部材２４は、一方側（同図では左側）のＹ軸プレート部２４ａにおける中間位置がピン２９を介してスライダ２６ｂに連結された上で、この一方側のＹ軸プレート部２４ａにおけるＹ軸方向両端の位置とスライダ２６ａ、２６ｃとがそれぞれ両端ピン連結のリンク部材２８ａ、２８ｃを介して連結されている。また、マスク支持部材２４の他方側のＹ軸プレート部２４ａにおけるＹ軸方向両端および中間の三箇所とスライダ２６ａ〜２６ｃとが同様にそれぞれ両端ピン連結のリンク部材２８ａ〜２８ｃを介して連結されている。
【００５８】
そして、マスク支持部材２４の各Ｙ軸プレート部２４ａにそれぞれ連結された３つのスライダ２６ａ〜２６ｃのうち真ん中のスライダ２６ｂにそれぞれナット部材３３が固定され、これらナット部材３３に対してＹ軸方向に延びるねじ軸３２が螺合挿入されるとともにこれらねじ軸３２が装置フレーム６に固定されたモータ３０の出力軸と一体化されている。
【００５９】
この構成により、各モータ３０が同方向に等速度で駆動されるとマスク支持部材２４がそのままの状態を保ちつつＹ軸方向に移動する一方で、例えば図９（ｂ）に示すように何れか一方のモータ３０だけが駆動されると、上記ピン２９を支点としてマスク支持部材２４がＺ軸回りに回動する。
【００６０】
上記印刷実行部２０Ａ、２０Ｂにおいてそれぞれ、上記スキージユニット４０は、上記マスク保持機構の上方に配置されている。このスキージユニット４０は、クリーム半田、導電ペースト等のペーストをマスク２１上でローリング（混練）しながら拡張するもので、単一のスキージ４２と、マスク２１に対するスキージ４２の傾き方向および傾き角度を変更するための図外のスキージ角度可変機構と、スキージ４２をこれがマスク２１に摺接する印刷作業高さ位置とこの位置よりも上方の退避位置（図２、図６に示す位置）とに昇降させる図外のスキージ昇降機構等とを含む。
【００６１】
スキージユニット４０をＹ軸方向に駆動するスキージ駆動機構は、ねじ送り機構により構成されている。すなわち、図６および図７に示すように、各印刷実行部２０Ａ、２０Ｂの各スキージユニット４０は、装置フレーム６に設けられたＹ軸方向に延びる共通の固定レール４４上に移動自在に支持されており、それぞれねじ軸４７Ａ、４７Ｂを介してモータ４６Ａ、４６Ｂにより互いに独立して駆動されるように構成されている。
【００６２】
なお、図６中の符号５０Ａ、５０Ｂは基板認識カメラ（本発明の基板撮像手段に相当する）であり、上記各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上に支持される基板Ｗと印刷実行部２０Ａ、２０Ｂとの相対位置を認識するために基板Ｗの複数のマークや記号等の標識を上側から撮像するものである。これら基板認識カメラ５０Ａ、５０Ｂ（第１基板認識カメラ５０Ａ、第２基板認識カメラ５０Ｂという）は、上記マスク認識カメラ１６と同様にＣＣＤエリアセンサ等を備えたカメラであり装置フレーム６に固定されている。具体的には、基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２側に位置する装置フレーム６のうち、第１基板認識カメラ５０Ａが第１印刷実行部２０Ａの側方位置に、第２基板認識カメラ５０Ｂが第２印刷実行部２０Ｂの側方位置にそれぞれ固定されている。これにより第１基板認識カメラ５０Ａについては、送出位置から受取位置に戻ることによりＹ軸方向に移動する第１基板支持テーブル１０Ａ上において基板待機位置Ｐ１から印刷実行位置Ｐ２にＸ軸方向に移動するクランプユニット１４の、第１基板認識カメラ５０Ａに対してＸ軸方向Ｙ軸方向の両方向に移動する保持基板Ｗの複数の標識を撮像可能となっており、第２基板認識カメラ５０Ｂについては、送出位置から受取位置に戻ることによりＹ軸方向に移動する第２基板支持テーブル１０Ｂ上において基板待機位置Ｐ１から印刷実行位置Ｐ２にＸ軸方向に移動するクランプユニット１４の、第２基板認識カメラ５０Ｂに対してＸ軸方向Ｙ軸方向の両方向に移動する保持基板Ｗの複数の標識を撮像可能となっている。
【００６３】
この印刷装置１は、ＣＰＵ等を構成要素とする図外の制御装置（本発明の制御手段に相当する）を備えており、前記モータ４Ａ、４Ｂ等のアクチュエータ類およびマスク認識カメラ１６等のカメラ類は全てこの制御装置に電気的に接続されている。従って、前記基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂおよび印刷実行部２０Ａ、２０Ｂによる一連の印刷処理動作、つまり基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２から搬入されてくる基板Ｗの受け取り、基板Ｗへの印刷および基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２からの基板Ｗの搬出の一連の動作はこの制御装置により統括的に制御される。
【００６４】
次に、この制御装置の制御に基づく印刷装置１の印刷動作について図１０および図１１を参照しつつ説明する。
【００６５】
図１０（ａ）は、印刷装置１において連続的に行われている印刷動作の特定時点の状態を模式的に示しており、この時点の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂおよび印刷実行部２０Ａ、２０Ｂの状態は以下の通りである。
【００６６】
第１基板支持テーブル１０Ａは、第１基板搬入部Ｅｎ１側の受取位置に配置されている。この第１基板支持テーブル１０Ａは、先行する基板Ｗがクランプユニット１４に保持された状態で印刷実行位置Ｐ２に配置されるとともに後続の基板が基板待機位置Ｐ１に搬入されて待機した状態にあり、先行する基板Ｗに対しては印刷実行部２０Ａによる印刷が実施されている。なお、印刷実行位置Ｐ２の基板Ｗは、図５（ｂ）に示すように、コンベヤ対１２から持ち上げられた状態でクランプユニット１４により支持されている。
【００６７】
一方、第２基板支持テーブル１０Ｂは、第２基板搬入部Ｅｘ２側の送出位置に配置されている。この第２基板支持テーブル１０Ｂは、コンベヤ対１２により印刷後の先行基板Ｗが第２基板搬出部Ｅｘ２に送り出されるとともに基板待機位置Ｐ１にある後続の基板Ｗがクランプユニット１４によりクランプされた状態にある。
【００６８】
このような図１０（ａ）に示す状態において、第１基板支持テーブル１０Ａ上の先行基板Ｗの印刷が終了すると、この第１基板支持テーブル１０Ａが受取位置から送出位置に向かって移動を開始するとともにクランプユニット１４による基板Ｗのクランプ状態が解除されて先行する印刷済みの基板Ｗがコンベヤ対１２上に受け渡され、このクランプユニット１４が印刷実行位置Ｐ２から基板待機位置Ｐ１に移動することにより当該基板待機位置Ｐ１に待機中の後続基板Ｗがクランプユニット１４によりクランプされる（図１０（ｂ））。具体的には、クランプユニット１４が基板待機位置Ｐ１に移動した後、ＢＵテーブル１５０が退避位置から作動位置に上昇することにより基板Ｗがコンベヤ対１２（ベルト１２１）から持ち上げられ、この状態でクランプ部材１６０が退避位置から前進位置に変位することにより基板Ｗが一対のクランプ部材１６０によりクランプされる。なお、クランプユニット１４による基板Ｗのクランプは、例えば、当実施形態では第１基板支持テーブル１０Ａが送出位置に到達する時点までに行われる。
【００６９】
第１基板支持テーブル１０Ａが送出位置に到達すると、コンベヤ対１２が駆動され、これにより印刷済みの先行基板Ｗが第１基板支持テーブル１０Ａから第１基板搬出部Ｅｘ１に送り出される（図１１（ａ））。
【００７０】
印刷済みの先行基板Ｗが第１基板支持テーブル１０Ａから送り出されると、コンベヤ対１２が停止され、第１基板支持テーブル１０Ａが送出位置から受取位置に向かってＹ軸方向に移動するとともにこれに同期してクランプユニット１４が基板待機位置Ｐ１から印刷実行位置Ｐ２に向かってＸ軸方向に移動する。この際、基板Ｗ上に記された複数の標識が第１基板認識カメラ５０Ａの下方位置（本発明の撮像位置に相当する）を順次経由し、かつマスク２１下面に記される標識の下方位置をマスク認識カメラ１６が経由するように第１基板支持テーブル１０Ａおよびクランプユニット１４が制御される。これにより基板Ｗおよびマスク２１の位置が画像認識され、これら基板Ｗおよびマスク２１の画像認識結果に基づき、印刷実行位置Ｐ２に基板Ｗを配置したときの当該基板Ｗとマスク２１との位置ずれが求められ、さらにこの位置ずれに応じたＸ軸、Ｙ軸およびＲ軸（Ｚ軸回り）方向の補正値（ΔＸ、ΔＹ、ΔＲ）が求められる。このような認識処理および補正値の演算は、基板認識カメラ５０およびマスク認識カメラ１６による撮像画像に基づき上記制御装置により行われる。なお、クランプユニット１４は、例えば当実施形態では第１基板支持テーブル１０Ａが受取位置に到達する時点で第１基板支持テーブル１０Ａ上の印刷実行位置Ｐ２に基板Ｗが配置されているように制御される。
【００７１】
そして、図１１（ｂ）に示すように第１基板支持テーブル１０Ａが受取位置に到達すると、第１印刷実行部２０Ａにより基板Ｗへの印刷が実施されるとともに、その間に、コンベヤ対１２の駆動により第１基板搬入部Ｅｎ２から後続の基板Ｗが第１基板支持テーブル１０Ａ上に受け入れられて基板待機位置Ｐ１に配置される。この際、印刷実行位置Ｐ２の基板Ｗはコンベヤ対１２から持ち上げられた状態でクランプユニット１４によりクランプされているため、後続の基板Ｗの受け入れに伴い印刷実行位置Ｐ２の基板Ｗが位置ずれを起こすことはない。
【００７２】
第１印刷実行部２０Ａによる基板Ｗの印刷では、まず、マスク支持部材２４が退避位置から重装高さ位置に下降し、これによりマスク２１が基板Ｗに重装される。この際、第１基板支持テーブル１０Ａが第１受取位置に配置された状態で、上記補正値（ΔＸ、ΔＹ、ΔＲ）に基づきモータ１４４により基板支持テーブル１０Ａ上における基板Ｗの位置が、X軸方向に補正値ΔX分だけ補正され、２つのモータ３０によりマスク２１のＹ軸方向の補正値ΔＹ分の位置補正とＲ軸方向の補正値ΔＲ分の位置補正が、それぞれ実施されることにより、マスク２１が基板Ｗに対して適正に重装される。
【００７３】
そして、印刷実行位置Ｐ２に配置された基板Ｗへのマスク２１の重装が完了すると、スキージ４２が退避位置から印刷作業高さ位置に移動した後、スキージ４２を含むスキージユニット４０全体がＹ軸方向に移動することによって基板Ｗに印刷が実施される。
【００７４】
以上、第１基板支持テーブル１０Ａについて図１０（ａ）の状態からの動作について説明したが、第２基板支持テーブル１０Ｂについても、図１０（ｂ）、図１１（ａ）、（ｂ）に示すように、第１基板支持テーブル１０Ａと一定の時間差をもって当該第１基板支持テーブル１０Ａと同様に第２基板搬入部Ｅｎ２からの基板Ｗの受け入れ、基板Ｗの印刷および基板Ｗの第２基板搬出部Ｅｘ２への基板Ｗの送り出しが行われる。これにより各印刷実行部２０Ａ、２０Ｂにおいて基板Ｗの印刷が交互に行われつつ部品実装装置Ｍに搬出されることとなる。
【００７５】
以上のように、この印刷装置１では、搬出位置において印刷済みの先行基板Ｗを基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂから基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２に送り出した後、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが受取位置にリセットされる時点で後続基板Ｗが印刷実行位置Ｐ２に配置されており、このように送出位置から受取位置に基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂがリセットされる過程で基板認識カメラ５０Ａ，５０Ｂによる後続基板Ｗ（標識）の画像認識およびマスク認識カメラ１６によるマスク２１の画像認識が行われることで、受取位置に基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂがリセットされた時点から直ちに印刷実行部２０Ａ、２０Ｂによる印刷が開始される。そのため、上記印刷装置１によれば、背景技術で説明した特許文献２に記載されるような従来装置に比べると、先行基板Ｗの印刷終了後、後続基板Ｗの印刷を早いタイミングで開始することが可能となる。
【００７６】
図１２は、印刷装置１の動作（同図（ａ））と上記従来装置の動作（同図（ｂ））とを比較した工程図である。同図（ｂ）に示すように、従来装置では、先行基板の印刷、搬出位置への基板支持テーブル（ステージ）の移動、基板搬出、基板受取位置への基板支持テーブルの移動、後続基板の搬入、後続基板のクランプおよび基板・マスク認識が順番に行われるのに対して、上記印刷装置１では、同図（ａ）に示すように、先行基板Ｗの印刷中に後続基板Ｗの基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂへの搬入が行われ、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが送出位置に移動して先行基板Ｗを搬出して受取位置にリセットされるまでの間に、後続基板Ｗがクランプされ、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上で基板Ｗが基板待機位置Ｐ１から印刷実行位置Ｐ２への移動が開始され、この移動中に基板Ｗ・マスク２１の画像認識が行われた上で、印刷実行位置Ｐ２に当該後続基板Ｗが配置される。すなわち、上記印刷装置１によれば、同図（ｂ）中、波括弧で括った工程内でほぼ後続基板Ｗの印刷準備が完了することとなる。従って、この印刷装置１によれば、先行基板Ｗの印刷終了から後続基板Ｗの印刷開始までの時間を従来装置に比べて大幅に短縮することができ、その結果、スループットを向上させてプリント回路板の生産性向上に寄与することができる。
【００７７】
また、この印刷装置１では、基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢがＹ軸方向に、クランプユニット１４がＸ軸方向にそれぞれ移動する点を利用し、基板認識カメラ５０Ａ、５０Ｂを装置フレーム６に固定した状態で基板Ｗ（標識）の撮像を行うとともに、マスク認識カメラ１６をクランプユニット１４に搭載することにより二次元的にマスク認識カメラ１６を移動させてマスク２１（標識）を撮像するようになっている。つまり、この印刷装置１では、基板認識カメラ５０Ａ、５０Ｂやマスク認識カメラ１６を移動させるための専用の駆動機構は不要であり、従って、合理的な構成で基板Ｗやマスク２１の画像認識を行うことができるという利点もある。
【００７８】
なお、上記印刷装置１では、基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２から基板待機位置Ｐ１への基板Ｗの搬送、および印刷実行位置Ｐ２から基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２への基板Ｗの搬送が共通のコンベヤ対１２で行われるが、勿論、基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２から基板待機位置Ｐ１へ基板Ｗを搬送するコンベヤ対と、印刷実行位置Ｐ２から基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２へ基板Ｗを搬送するコンベヤ対とを別個独立に設けるようにしてもよい。
【００７９】
次に、本発明に係るスクリーン印刷装置の第２実施形態について図１３及び図１４を参照しつつ説明する。
【００８０】
図１３は第２実施形態に係るスクリーン印刷装置１Ａ（以下、印刷装置１Ａと略す）を平面図で模式的に示している。この第２実施形態に係る印刷装置１Ａは、下流側にシングル搬送型の部品実装装置Ｍを連結した状態でプリント回路板（PCB）の製造ラインに組み込まれるもので、次の点で第１実施形態の印刷装置１と構成が相違している。なお、図示の例では、印刷装置１Ａは、１台のローダＬとシングル搬送型の１台の部品実装装置Ｍとの間に介設されており、上流側のローダＬから繰り出されてくる基板Ｗに印刷を実施して下流側の部品実装装置Ｍに送り出す。
【００８１】
この印刷装置１Ａでは、基板搬入部、基板搬出部、基板支持テーブルおよび印刷実行部は共に一つであり、基板搬入部Ｅｎから搬入される基板Ｗを基板支持テーブル１０に受け入れ、当該基板Ｗに印刷を実施した後、印刷後の基板Ｗを基板支持テーブル１０から基板搬出部Ｅｘに送り出す。なお、この印刷装置１Ａでは、基板搬入部Ｅｎに対して基板搬出部ＥｘがＹ軸方向にオフセットされた構成ではないが、基板支持テーブル１０は第１実施形態と同様にＹ軸方向に移動可能に設けられている。
【００８２】
また、この印刷装置１Ａでは基板認識カメラも一つであり、この基板認識カメラ５０は、カメラ駆動機構５２に連結されておりＹ軸方向に移動可能となっている。カメラ駆動機構は、詳しく図示していないが、例えばねじ送り機構により構成されている。すなわち、基板認識カメラ５０は、装置フレーム６に組付けられた固定レールに移動可能に支持されており、ねじ軸を解してモータにより駆動されるようになっている。
【００８３】
この印刷装置１Ａでは、同図に示すように、印刷実行位置Ｐ２および基板待機位置Ｐ１にそれぞれ基板Ｗが配置された状態で印刷実行位置Ｐ２に配置されている基板Ｗに対して印刷実行部２０により印刷が実施される。
【００８４】
印刷が終了すると、クランプユニット１４のクランプ状態が解除されて印刷済みの先行基板Ｗがコンベヤ対１２に受け渡され、これにより当該基板Ｗがコンベヤ対１２により基板搬出部Ｅｘに送り出される一方で、クランプ解除後のクランプユニット１４が基板待機位置Ｐ１に移動し、停止後待機中の後続基板Ｗをクランプする（図１４（ａ））。この際、印刷済みの先行基板Ｗのクランプ解除に同期してコンベヤ対１２が駆動されるが、後続の基板Ｗについてはストッパ機構１５により待機状態が維持されるため、これによりクランプユニット１４による後続基板Ｗのクランプが安定的に行われる。
【００８５】
なお、基板Ｗの印刷中、マスク２１と基板Ｗとの位置決めにより基板支持テーブル１０が所定の基準位置、つまり基板搬入部Ｅｎからの基板Ｗの受け入れおよび基板搬出部Ｅｘへの基板Ｗの送り出しが可能となる位置に対して基板支持テーブル１０がＹ軸方向に移動した位置に配置されていた場合には、印刷後、先行基板Ｗのクランプ解除前に基板支持テーブル１０が基準位置にリセットされる。
【００８６】
クランプユニット１４による後続基板Ｗのクランプが完了すると、クランプユニット１４の移動により当該基板Ｗが基板待機位置Ｐ１から印刷実行位置Ｐ２に搬送されるとともに、基板搬入部Ｅｎから基板支持テーブル１０上に基板Ｗが受け入れる（図１４（ｂ））。この際、基板認識カメラ５０がＹ軸方向に移動することにより基板Ｗ上の標識が当該基板認識カメラ５０により撮像されるとともに、基板支持テーブル１０がＹ軸方向に移動することによりマスク２１下面の標識が前記マスク認識カメラ１６により撮像、認識され、これら基板Ｗおよびマスク２１の画像認識結果に基づき補正値（ΔＸ、ΔＹ、ΔＲ）が求められる。例えば基板Ｗの対角線上の角部にそれぞれ標識が記されている場合には、図１４（ｂ）（ｃ）に示すように、クランプユニット１４（基板Ｗ）の移動に伴い当該標識上の位置に基板認識カメラ５０が移動することにより、当該標識が基板認識カメラ５０により順次撮像される。
【００８７】
そして、クランプユニット１４に保持された基板Ｗが印刷実行位置Ｐ２に到達すると、基台２に対して連結固定された不図示のフレームに脱着可能に装着されたマスク２１下面の標識のため、Ｙ軸方向へ移動に移動した基板支持テーブル１０を元の位置に戻すべくＹ軸方向へ移動する。基板支持テーブル１０はマスク２１の中央部を通るＺ軸回り（Ｒ軸方向）に所定角回動可能とされており、補正値ΔＲだけ回動される。基板Ｗはこの回動する基板支持テーブル１０上においてクランプユニット１４により保持されており、基板支持テーブル１０のＹ軸方向の補正値ΔＹ１とクランプユニット１４の基板支持テーブル１０に対する移動方向の補正値ΔＸ１が、それぞれ補正値ΔＲ、補正値ΔＸおよび補正値ΔＹに基づき算出される。これらの算出値に基づき補正値ΔＸ１だけクランプユニット１４を移動し、補正値ΔＹ１だけ基板支持テーブルをＹ軸方向に移動する。その後、基台２に対して昇降可能とされた基板支持テーブル１０が上昇され基板Ｗがマスク２１に下方より重装される。こうして第１印刷実行部２０Ａにより基板Ｗへの印刷が実施される。この印刷実行部２０による基板Ｗの印刷動作は、第１実施形態の印刷装置１と同様でありここでは省略する。
【００８８】
以上のような第２実施形態の印刷装置１Ａによれば、基板実行位置よりも上流側の基板待機位置Ｐ１でクランプユニット１４により基板Ｗを事前に印刷実行部２０による印刷が可能となる状態に保持し、基板Ｗを基板待機位置Ｐ１から印刷実行位置Ｐ２に搬送する途中で基板認識カメラ５０により当該基板Ｗ（標識）を、またマスク認識カメラ１６によりマスク２１（標識）を撮像するように構成されているので、一旦印刷実行位置へ基板を搬送配置した後、当該基板を刷実行位置側方の撮像位置に移動させて基板を撮像したり、あるいは印刷実行位置へ基板を搬入配置した後、移動カメラを作動させて基板やマスクを撮像する場合（背景技術の特許文献１、２に記載された従来装置）に比べると効率的に基板Ｗの印刷を行うことができる。すなわち、上記のように一旦印刷実行位置への基板Ｗの搬入配置後に基板Ｗやマスクを撮像する場合には、印刷実行位置への基板の搬送工程とは別に基板Ｗ等の撮像工程が必要となるが、印刷装置１Ｂによれば印刷実行位置Ｐ２への基板Ｗの搬送と基板Ｗ等の撮像を並行して行うため、その分、タクトタイムを短縮することができる。
【００８９】
しかも、印刷後は、先行する印刷済みの基板Ｗを基板搬出部Ｅｘへ送り出している間にクランプユニット１４が基板待機位置Ｐ１に戻って後続の基板Ｗを保持して印刷実行位置Ｐ２に搬送するため、印刷済みの基板Ｗを基板搬出部へ完全に送り出した時点から後続の基板を基板搬入部から受け入れる場合に比べると、短時間で後続基板Ｗの印刷を開始することができ、この点でもタクトタイムを短縮することができる。
【００９０】
従って、この第２実施形態の印刷装置１Ａによれば、下流側にシングル搬送型の部品実装装置等が配置される従来のこの種のスクリーン印刷装置（例えば背景技術の特許文献１に記載された従来装置）に比べてスループットを向上させることができ、これによりプリント回路板の生産性向上に寄与することができる。
【００９１】
次に、本発明に係るスクリーン印刷装置の第３実施形態について図１５を参照しつつ説明する。
【００９２】
図１５（ａ）は第３実施形態に係るスクリーン印刷装置１Ｂ（以下、印刷装置１Ｂと略す）を平面図で模式的に示している。この第３実施形態に係る印刷装置１Ｂは、上述した第２実施形態の印刷装置１Ａ（図１３等参照）の変形であり、次の点で第２実施形態の印刷装置１Ａと構成が相違する。すなわち、この印刷装置１Ｂは、印刷実行位置Ｐ２の側方となる位置に、印刷後の基板Ｗの印刷状態を検査するための検査カメラ６０と、この検査カメラ６０を二次的に移動させるＸ−Ｙロボットからなるカメラ駆動機構６２とを備えた検査機能付き印刷装置である。
【００９３】
さらに、基板支持テーブル１０は第１実施形態に係る基板支持テーブル１０Ａと同様Ｙ軸方向にのみ移動可能とされ、印刷実行部２０の不図示のマスク回りの構成が第１実施形態に係るマスク２１と同様とされ、マスクはＸ軸方向、Ｒ軸方向およびＺ軸方向に移動可能とされる。このため、第２実施形態に係るマスク認識カメラ１６および基板認識カメラ５０と同様に、マスク認識カメラ１６によるマスク（標識）の撮像がされ、基板認識カメラ５０による基板Ｗ（標識）の撮像がされ、その結果に基づき求められる補正値（ΔＸ、ΔＹ、ΔＲ）により、第１実施形態と同様に、基板支持テーブル１０の位置が補正値ΔＹだけ移動され、マスクの位置が補正値ΔＸだけ移動されるとともに、補正値ΔＲだけ回動される。これを経て基板Ｗにマスクが上方より重装される。
【００９４】
この印刷装置１Ｂによる印刷動作の大部分は第２実施形態の印刷装置１Ａと共通するが、この印刷装置１Ｂでは、印刷終了後、図１５（ｂ）に示すように、一旦、基板支持テーブル１０が印刷実行部２０側方の検査実行位置に移動し、ここで検査カメラ６０による印刷箇所の撮像が行われた後、基板支持テーブル１０が基準位置に戻って印刷済みの先行基板Ｗを搬出するようになっている。
【００９５】
このような第３実施形態の印刷装置１Ｂによれば、基板Ｗの印刷を効率的に実施しながら、さらに当該印刷装置１Ｂ内で基板Ｗの検査を行った上で部品実装装置Ｍに搬出することが可能となる。そのため、印刷不良が生じた基板Ｗがそのまま部品実装装置Ｍに送り込まれるといった不都合を未然に回避することが可能となり、印刷装置１Ｂの機能性を高めることができるという利点がある。
【００９６】
以上の第１ないし第３の実施形態の印刷装置１、１Ａ，１Ｂによれば、クランプユニット１４（搬送保持手段）が印刷終了後の先行基板Ｗをコンベア対１２（搬送手段）に受け渡した後、印刷実行位置２０から移動し基板待機位置Ｐ１（特定位置）に到着するまでに、コンベア対１２が後続基板Ｗを基板待機位置Ｐ１に搬送し待機させるようにし、クランプユニット１４が基板待機位置Ｐ１で後続基板Ｗを受け取り保持した後、基板待機位置Ｐ１から移動し印刷実行位置２０に到着するまでに、コンベア対１２が先行基板Ｗを印刷実行位置２０より下流へ搬送し終えるように、クランプユニット１４、コンベア対を制御する制御装置（制御手段）を備えている。これにより、印刷が終了した先行基板Ｗの基板搬出部Ｅｘ、ＥＸ１、Ｅｘ２への搬送と待機中の後続基板Ｗを基板待機位置Ｐ１から印刷実行位置Ｐ２に搬送するための動作が並行して行われるため、さらにタクトタイムを短縮することが可能となる。
【００９７】
ところで、上述したスクリーン印刷装置１、１Ａ、１Ｂは、本発明に係るスクリーン印刷装置の好ましい実施形態の例示であって、その具体的な構成は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば基板支持テーブル１０、１０Ａ、１０Ｂ等における基板Ｗの具体的な支持構造、印刷実行部２０、２０Ａ、２０Ｂ等における具体的なマスク２１の保持構造、あるいはスキージユニット４０の具体的な構造等は必ずしも上記実施形態のスクリーン印刷装置１、１Ａ、１Ｂのものに限定されるものではなく適宜変更可能である。
【符号の説明】
【００９８】
１、１Ａ、１Ｂ  スクリーン印刷装置
１０、１０Ａ、１０Ｂ  基板支持テーブル、第１基板支持テーブル、第２基板支持テーブル
１４  クランプユニット
２０、２０Ａ、２０Ｂ  印刷実行部、第１印刷実行部、第２印刷実行部
２１  スクリーンマスク
４０  スキージユニット
４２  スキージ
５０、５０Ａ、５０Ｂ  基板認識カメラ、第１基板認識カメラ、第２基板認識カメラ
Ｅｎ、Ｅｎ１、Ｅｎ２  基板搬入部、第１基板搬入部、第２基板搬入部
Ｅｘ、Ｅｘ１、Ｅｘ２  基板搬出部、第１基板搬出部、第２基板搬出部
Ｌ、Ｌ１、Ｌ２  ローダ、第１ローダ、第２ローダ
Ｍ  部品実装装置
Ｐ１  基板待機位置
Ｐ２  印刷実行位置
Ｗ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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