(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロ波チャンバーを提供し、そのうち、前記マイクロ波チャンバーが、第１収熱板と、前記第１収熱板に向かい合う第２収熱板とを有することと、
前記マイクロ波チャンバー内の前記第１収熱板と前記第２収熱板の間に、第１超伝導材料および第２超伝導材料を配置し、そのうち、前記第１超伝導材料および前記第２超伝導材料が、それらの間に重複領域を有するとともに、前記第１収熱板および前記第２収熱板に圧力が印加されることと、
前記マイクロ波チャンバーにマイクロ波電力を供給し、そのうち、前記第１収熱板および前記第２収熱板が、前記マイクロ波電力を熱エネルギーに変換して、前記第１超伝導材料と前記第２超伝導材料を前記重複領域で接合することと、
前記マイクロ波チャンバーに酸素ガスを流入することと、
を含み、
前記酸素ガスの前記流量が、３００〜１００００ｓｃｃｍの範囲内であって、
前記第１収熱板および前記第２収熱板が、それぞれ炭化ケイ素（Ｓｉｃ）、グラファイト、または活性炭を含む超伝導材料の接合方法。
【請求項２】
前記第１超伝導材料および前記第２超伝導材料が、それぞれ、イットリウムバリウム銅酸化物化合物（YBa2Cu3O7-δ,YBCO）、ドープされたイットリウムバリウム銅酸化物化合物（YBa2Cu3-xMxO7-δまたはY1-xNxBa2Cu3O7-δ）、Bi2Sr2Ca2Cu3O10（BSCCO）、Tl2Ba2Ca2Cu3O10（TBCCO）、またはHg12Tl3Ba30Ca30Cu45O127（HBCCO）を含み、そのうち、Mが、Zn、Li、Ni、またはZrを示し、Nが、Ca、Zr、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、またはLuを示し、δが、０〜１を示す請求項１に記載の超伝導材料の接合方法。
【請求項３】
前記第１超伝導材料の厚さおよび前記第２超伝導材料の厚さが、それぞれ０．１〜５μｍの範囲内である請求項１または２に記載の超伝導材料の接合方法。
【請求項４】
前記第１超伝導材料と前記第２超伝導材料の間の前記重複領域の長さが、０．５ｃｍよりも大きいか、それに等しい請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の超伝導材料の接合方法。
【請求項５】
前記第１超伝導材料が、第１基板に配置され、前記第２超伝導材料が、第２基板に配置される請求項１乃至請求項４の何れか一項に記載の超伝導材料の接合方法。
【請求項６】
前記圧力が、１０００ｋｇ／ｍ2よりも大きい請求項１乃至請求項５の何れか一項に記載の超伝導材料の接合方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接合方法に関するものであり、特に、超伝導材料の接合方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在の工業技術によると、超伝導材料は、補助接合材料として銅金属を使用して接合される。しかしながら、この種の接合方法を利用して製造されるイットリウムバリウム銅酸化物（yttrium barium copper oxide, YBCO）の高温超伝導導線は、長さが最長でも５００ｍしかない。熱伝導導線の長さをさらに延伸すると、長時間使用した後に超伝導製品の性能に影響する。主な理由は、超伝導材料を接合するために使用する銅金属の抵抗値が高くなくても、銅金属には一定の抵抗値があるからである。そのため、長時間作動すると必然的に熱が発生して、エネルギーを消費させ、超伝導導線の伝導性が失われることさえある。結果として、超伝導伝送線の品質全体に影響を与える。
【０００３】
これとは別に、高温超電導材料は、ほぼセラミック酸化物材料の複雑な構造になっている。従来のセラミック材料の接着は、融剤を用いてセラミックの接合温度を（その焼結温度よりも低い温度に）下げる。しかしながら、セラミックを接着することができても、界面構造が変化するため、原材料と同じにはならない。そのため、ボンディング界面には必ず大きな抵抗値が存在する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のボンディング界面に大きな抵抗値が存在する問題を解決することのできる超伝導材料の接合方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、従来の接合方法で生じていた抵抗値の問題やその他の問題を解決することのできる超伝導材料の接合方法を提供することを目的とする。この方法では、まず、マイクロ波チャンバーを提供する。マイクロ波チャンバーは、第１収熱板と、第１収熱板に向かい合う第２収熱板とを有する。マイクロ波チャンバー内の第１収熱板と第２収熱板の間に、第１超伝導材料および第２超伝導材料を配置する。第１超伝導材料および第２超伝導材料は、それらの間に重複領域を有する。第１収熱板および第２収熱板に圧力が印加される。マイクロ波チャンバーにマイクロ波電力を供給する。第１収熱板および第２収熱板は、マイクロ波電力を熱エネルギーに変換し、第１超伝導材料と第２超伝導材料を重複領域で接合する。
【発明の効果】
【０００６】
超伝導材料は、マイクロ波電力を使用して接合される。本発明の接合方法は、界面接合材料として他の材料を一切使用しないため、従来の超伝導材料の接合に存在していた界面構造または接合材料の抵抗により引き起こされる問題を回避することができる。
【０００７】
本発明の上記および他の目的、特徴、および利点をより分かり易くするため、図面と併せた幾つかの実施形態を以下に説明する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施形態に係る超伝導材料の接合方法の概略図である。
【図２】本発明の実施形態に係る別の超伝導材料の接合方法の概略図である。
【図３】図１の第１超伝導材料と第２超伝導材料の接合の概略図である。
【図４】本発明の実施形態に係る接合後の超伝導材料の温度と抵抗の関係を示したものである。
【図５】本発明の別の実施形態に係る接合後の超伝導材料の温度と抵抗の関係を示したものである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１は、本発明の実施形態に係る超伝導材料の接合方法の概略図である。図１を参照すると、まず、マイクロ波チャンバー２００を提供する。そして、導波路素子１０２を介してマイクロ波チャンバー２００をマイクロ波生成器１００に接続する。マイクロ波生成器１００は、異なるレベルのマイクロ波電力を生成することができる。生成されたマイクロ波電力は、導波路素子１０２を介してマイクロ波チャンバー２００に入り、マイクロ波チャンバー２００内に共振と集束効果を生じさせることができる。
【００１０】
本実施形態において、マイクロ波チャンバー２００は、上部構造２００ａと下部構造２００ｂで形成された密閉空間である。そして、マイクロ波チャンバー２００内に、第１収熱板２１０および第２収熱板２２０を配置する。第１収熱板２１０および第２収熱板２２０は、マイクロ波電力を吸収して、マイクロ波電力を熱エネルギーに迅速に変換することのできる板材料で作られる。例えば、第１収熱板２１０および第２収熱板２２０は、炭化ケイ素（silicon carbide, SiC）、グラファイト、活性炭、またはマイクロ波電力をよく吸収することのできる他の材料を含む。また、マイクロ波チャンバー２００は、さらに、Ｏ型リング２０４と、水晶板２０２と、ネジ２０６と、温度センサ２０７と、他の構成要素とを含んでもよい。マイクロ波チャンバー２００の構造および構成要素は、本発明に限定されない。
【００１１】
上述したマイクロ波チャンバー２００を使用する超伝導材料の接合プロセスについて、以下に説明する。まず、マイクロ波チャンバー２００内の第１収熱板２１０と第２収熱板２２０の間に、第１超伝導材料２１４および第２超伝導材料２２４を挟める。本実施形態によると、第１超伝導材料２１４および第２超伝導材料２２４は、同じ超伝導材料であるが、本発明はこれに限定されない。別の実施形態において、第１超伝導材料２１４および第２超伝導材料２２４は、異なる超伝導材料であってもよい。ここで、第１超伝導材料２１４および第２超伝導材料２２４は、それぞれ、イットリウムバリウム銅酸化物化合物（YBa2Cu3O7-δ,YBCO）、またはドープされたイットリウムバリウム銅酸化物化合物（YBa2Cu3-xMxO7-δまたはY1-xNxBa2Cu3O7-δ）を含む。ここで、Mは、Zn、Li、Ni、またはZrを示し、Nは、Ca、Zr、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、またはLuを示し、δは、０〜１を示す。超伝導材料は、また、Bi2Sr2Ca2Cu3O10（BSCCO）、Tl2Ba2Ca2Cu3O10（TBCCO）、またはHg12Tl3Ba30Ca30Cu45O127 （HBCCO）であってもよい。これとは別に、第１超伝導材料２１４および第２超伝導材料２２４の厚さは、０．１〜５μｍの範囲内である。
【００１２】
また、本実施形態において、第１超伝導材料２１４は、第１基板２１２に配置され、第２超伝導材料２２４は、第２基板２２２に配置される。第１超伝導材料２１４は、蒸発法、イオンビーム支援蒸着法、有機金属気相成長法、またはパルスレーザ蒸着法によって、第１基板２１２上に形成される。第２超伝導材料２２４は、蒸発法、イオンビーム支援蒸着法、有機金属気相成長法、またはパルスレーザ蒸着法によって、第２基板２２２上に形成される。一般的に、第１基板２１２の材料の選択は、第１超伝導材料２１４の材料と関係があり、第２基板２２２の材料の選択は、第２超伝導材料２２４の材料と関係がある。ここで、第１基板２１２および第２基板２２２は、それぞれチタン酸ストロンチウム（Strontium Titanate, STO）基板およびアルミン酸ランタン（Lanthanum Aluminate, LAO）基板である。
【００１３】
上記に基づき、第１収熱板２１０と第２収熱板２２０の間に挟まれた第１超伝導材料２１４および第２超伝導材料２２４は、図３に示すように、それらの間に重複領域Ｒを有する。本実施形態によると、第１超伝導材料２１４と第２超伝導材料２２４の間の重複領域Ｒの長さIは、０．５ｃｍより大きいか、それに等しく、好ましくは、０．５ｃｍである。
【００１４】
続いて、図１を参照すると、マイクロ波電力は、マイクロ波生成器１００により生成される。生成されたマイクロ波電力は、マイクロ波チャンバー２００に伝送される。本実施形態によると、マイクロ波電力は、およそ５００Ｗである。マイクロ波電力をマイクロ波チャンバー２００に供給する時間は、およそ1分である。また、マイクロ波チャンバー２００内の圧力は、大気圧力であってもよい。本実施形態において、マイクロ波電力がマイクロ波チャンバー２００に供給された時、ネジ２０６を介して、第１収熱板２１０と第２収熱板２２０の間の第１超伝導材料２１４および第２超伝導材料２２４に１０００ｋｇ／ｍ2より大きい圧力がさらに供給される。つまり、ネジ２０６が下方にロックされた時、第１収熱板２１０および第２収熱板２２０に印加される圧力は、より大きくなる。反対に、ネジ２０６が上方に移動した時、第１収熱板２１０および第２収熱板２２０に印加される圧力は、より小さくなる。ここで、圧力は、第１超伝導材料２１４および第２超伝導材料２２４を破損または損傷させる圧力よりも小さい。
【００１５】
マイクロ波電力がマイクロ波チャンバー２００に伝送された後、第１収熱板２１０および第２収熱板２２０は、マイクロ波電力を吸収して、マイクロ波電力を熱エネルギーに迅速に変換する。この時、第１収熱板２１０および第２収熱板２２０は、熱エネルギーをそれぞれ第１超伝導材料２１４および第２超伝導材料２２４に伝送して、第１超伝導材料２１４および第２超伝導材料２２４を約７９０℃〜８３０℃の温度まで加熱する。また、本実施形態において、マイクロ波チャンバー２００内の温度または水晶板２０２の温度を温度センサ２０７によって測定し、第１超伝導材料２１４および第２超伝導材料２２４が所定の温度まで加熱されたことを確認する。つまり、上述したマイクロ波加熱法と選択的に圧力供給を組み合わせることによって、第１超伝導材料２１４および第２超伝導材料２２４は、重複領域Ｒで接合される。その後、室温に冷却されると、第１超伝導材料２１４および第２超伝導材料２２４は、完全に一つに接合される。
【００１６】
本実施形態において、第１超伝導材料２１４および第２超伝導材料２２４は、他の溶接および接着材料を使用せずに接合される。その代わり、第１超伝導材料２１４および第２超伝導材料２２４は、マイクロ波加熱法により互いに直接接着または接合される。そのため、本実施形態は、接合界面抵抗値が生じて超伝導装置の効果に影響を及ぼす問題を回避することができる。また、本実施形態のマイクロ波加熱プロセスは、真空状態で行う必要がなく、短時間で接合を行うことができる。そのため、本実施形態の接合方法は、低コストであり、且つ迅速である。
【００１７】
図２は、本発明の実施形態に係る別の超伝導材料の接合方法の概略図である。図２の実施形態は、図１の実施形態と類似しているため、同じ素子については同じ符号で示し、繰り返し説明しない。図２を参照すると、本実施形態のマイクロ波チャンバー２００は、さらに、ガス注入装置２５０を含む。つまり、マイクロ波チャンバー２００にマイクロ波電力を供給して、第１超伝導材料２１４と第２超伝導材料２２４を接合した時、ガス注入装置２５０を介して、マイクロ波チャンバー内に酸素ガス２５２がさらに注入される。ここで、酸素流量は、０〜１００００ｓｃｃｍの範囲内であり、好ましくは、３００ｓｃｃｍである。
【００１８】
マイクロ波チャンバー２００に酸素を注入することによって、マイクロ波加熱プロセスの間に消費された酸素ガスが補充される。マイクロ波チャンバー２００が十分な酸素ガスを有する時、第１超伝導材料２１４と第２超伝導材料２２４のマイクロ波加熱による接合プロセスは、十分な酸素供給を確実に行い、接合品質が確保される。
【００１９】
上述した実施形態において、本分野の技術者に本発明を明確に理解させるため、第１超伝導材料２１４と第２超伝導材料２２４の接合を例として説明している。
【００２０】
上記に基づき、本実施形態は、マイクロ波加熱法により複数の超伝導材料を同時に直接接着または接合して、長導線を形成する。そのため、本実施形態は、接合界面抵抗値が生じて超伝導装置の性能に影響を及ぼす問題を回避することができる。これとは別に、本実施形態において、超伝導材料は、他の接合材料を一切使用せずに直接接着または接合されるため、超伝導をゼロ抵抗値に維持することができる。
【００２１】
図４は、本発明の実施形態に係る接合後の超伝導材料の温度と抵抗の関係を示したものである。図４を参照すると、図４において、ＹＢＣＯ超伝導材料を適用する。ＹＢＣＯ超伝導材料に対するマイクロ波加熱条件は、マイクロ波電力が５００Ｗであること、マイクロ波加熱時間が1分であることを含む。図４からわかるように、接合されたＹＢＣＯ超伝導材料の臨界温度（Ｔｃ）は、８０Ｋで維持される。一般的に、７７Ｋよりも高い臨界温度（Ｔｃ）を有する超伝導材料は、低コスト応用として可能性および価値のある材料である。
【００２２】
図５は、本発明の別の実施形態に係る接合後の超伝導材料の温度と抵抗の関係を示したものである。図５を参照すると、図５において、ＹＢＣＯ超伝導材料を適用する。マイクロ波加熱条件は、マイクロ波電力が５００Ｗであること、マイクロ波加熱時間が1分であることを含む。また、マイクロ波加熱のプロセス中に酸素を注入する。注入した酸素の量は、３００ｓｃｃｍである。図５の実施形態において、接合されたＹＢＣＯ超伝導材料の臨界温度（Ｔｃ）は、８５Ｋまで増加する。
【００２３】
以上のように、本発明において、超伝導材料は、マイクロ波加熱用を使用して接合される。本発明の接合方法は、界面接合材料として他の材料を一切使用しないため、従来の接合方法のように他の材料を用いて界面または接合材料の抵抗を引き起こす問題を回避することができる。また、本発明において、マイクロ波加熱法で超伝導材料を接合することによって形成された構造は、高温超伝導の特性を有する。
【００２４】
以上のごとく、この発明を実施形態により開示したが、もとより、この発明を限定するためのものではなく、当業者であれば容易に理解できるように、この発明の技術思想の範囲内において、適当な変更ならびに修正が当然なされうるものであるから、その特許権保護の範囲は、特許請求の範囲および、それと均等な領域を基準として定めなければならない。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
本発明は超伝導材料の接合方法に関するものである。
【符号の説明】
【００２６】
１００    マイクロ波生成器
１０２    導波路素子
２００    マイクロ波チャンバー
２００ａ    上部構造
２００ｂ    下部構造
２０２    水晶板
２０４    Ｏ型リング
２０６    ネジ
２０７    温度センサ
２１０    第１収熱板
２１２    第１基板
２１４    第１超伝導材料
２２０    第２収熱板
２２２    第２基板
２２４    第２超伝導材料
２５０    ガス注入装置
２５２    酸素ガス
Ｒ    重複領域
Ｉ    長さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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