(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着材料で形成されたインゴットと、
前記インゴットの上に供給され、前記インゴットと同一材料で形成された複数のペレットと、
前記インゴットと同一材料で形成され、前記複数のペレットが前記インゴットの上を転がらないように前記複数のペレットを囲う固定用ペレットと、を備えたことを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
前記固定用ペレットは、環状に形成されたことを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記固定用ペレットと前記複数のペレットは、前記複数のペレットが前記固定用ペレットの内側を満たすことで一体化したことを特徴とする請求項２に記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記複数のペレットのそれぞれは、底面が前記インゴットに接する円柱形状であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体装置の製造などに用いられる蒸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
蒸着を繰り返すと蒸着装置の蒸着材料が減少する。そこで、所定の周期で蒸着装置に蒸着材料を追加する作業が行われる。特許文献１には、大きな蒸着材料であるインゴット上の所定位置に小型の蒸着材料であるペレットを追加する技術が開示されている。この技術は、インゴット上に追加されたペレットがインゴット上を転がらないように、治具でペレットを固定するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２２３１１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の技術では治具でペレットを固定した後に治具をペレットから取り外す。そのため、治具をペレットから外した後に、ペレットがインゴットの上を転がり所定位置の外に出ることがあった。また、治具をインゴットに対して上下動させる機構が必要になり蒸着材料（ペレット）を追加する作業が複雑になる。
【０００５】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、簡易な方法でペレットがインゴット上を転がることを防止できる蒸着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願の発明に係る蒸着装置は、蒸着材料で形成されたインゴットと、該インゴットの上に供給され、該インゴットと同一材料で形成された複数のペレットと、該インゴットと同一材料で形成され、該複数のペレットが該インゴットの上を転がらないように該複数のペレットを囲う固定用ペレットと、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の蒸着装置によれば、簡易な方法でペレットがインゴット上を転がることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態１に係る蒸着装置の概略図である。
【図２】図１の固定用ペレットとその周辺を拡大した図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る蒸着装置の変形例を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態１の固定用ペレットの変形例を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る蒸着装置の一部を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態２に係る蒸着装置の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る蒸着装置の概略図である。蒸着装置１０は、ハース１１に収容されたインゴット１２を備えている。インゴット１２は例えばＡｌなどの蒸着材料で形成されている。インゴット１２の上には複数のペレット１４が供給されている。複数のペレット１４は、蒸着装置１０に蒸着材料を追加するために供給される。そのため、複数のペレット１４はインゴット１２と同一材料で形成されている。複数のペレット１４のそれぞれは、底面がインゴット１２に接する円柱形状である。
【００１２】
インゴット１２の上方には、固定用ペレット１６が形成されている。固定用ペレット１６は、複数のペレットがインゴットの上を転がるのを防止するものである。固定用ペレット１６はインゴット１２と同一材料で形成されている。図２は、図１の固定用ペレットとその周辺を拡大した図である。固定用ペレット１６は、複数のペレット１４がインゴット１２の上を転がらないように複数のペレット１４を囲っている。本発明の実施の形態１に係る固定用ペレット１６は環状に形成され、当該環の中に複数のペレット１４が立てられている。
【００１３】
ところで、複数のペレット１４はインゴット１２の上の電子ビームやレーザなどの当たる場所（加熱位置という）に供給されなければならない。ところが、蒸着を繰り返すとインゴットの上面の形状は変化し曲面となるので、インゴットの上に供給した複数のペレットがインゴットの上を転がり加熱位置の外へ出る場合があった。加熱位置の外に出たペレットは加熱位置に戻さねばならず、ペレットの追加作業が複雑になっていた。
【００１４】
しかしながら、本発明の実施の形態１に係る蒸着装置１０によれば、ペレット１４が加熱位置の外に出ることを防止できる。つまり、固定用ペレット１６が複数のペレット１４を囲むことで、複数のペレット１４が加熱位置の外に転がることを防止できる。よって、簡易な方法でペレットがインゴット上を転がることを防止できる。しかも、固定用ペレット１６はインゴット１２と同一材料で形成されているので、固定用ペレット１６が加熱されることで蒸着材料を追加できる。
【００１５】
図３は、本発明の実施の形態１に係る蒸着装置の変形例を示す図である。環状の固定用ペレット１６の中にはできるだけ多くのペレットがぎっしり配置されている。つまり、環状の固定用ペレット１６の内側は複数のペレット１４で満たされている。これにより、複数のペレット１４は固定用ペレット１６で固定され移動できず、複数のペレット１４と固定用ペレット１６が一体となっている。複数のペレット１４と固定用ペレット１６とが一体化した物（結合ペレット１８という）を予め作成しておけば、結合ペレット１８をインゴット１２の上に置くだけでペレットの追加作業を終えるとこができる。
【００１６】
図４は、本発明の実施の形態１の固定用ペレットの変形例を示す図である。固定用ペレットは、複数のペレットが加熱位置の外に出ないようにこれらを囲むことができる形状であれば特に限定されない。例えば図４Ａに示すように、角柱を環状に加工した形状にしても良い。また、図４Ｂに示すように、切れ目のない円形となるように形成しても良い。
【００１７】
蒸着材料はＡｌに限定されず、蒸着に用いられる金属などで形成されていれば特に限定されない。また、複数のペレットのそれぞれは円柱形状に限定されない。
【００１８】
実施の形態２．
本発明の実施の形態２に係る蒸着装置は、実施の形態１に係る蒸着装置との相違点を中心に説明する。図５は、本発明の実施の形態２に係る蒸着装置の一部を示す図である。インゴット１２の上の加熱位置には多面体ペレット２０が複数形成されている。多面体ペレット２０は、インゴット１２と同一材料で形成された多面体である。この多面体の最も大きい面積を有する面がインゴット１２と接している。
【００１９】
多面体ペレット２０は、最も大きい面積を有する面がインゴット１２と接するようにインゴット１２上に供給されているので、多面体ペレット２０が加熱位置の外に転がることはない。よって、簡易な方法でペレットがインゴット上を転がることを防止できる。多面体ペレット２０は六面体としたが、多面体であれば特にこれに限定されない。
【００２０】
図６は、本発明の実施の形態２に係る蒸着装置の変形例を示す図である。インゴット１２の上の加熱位置には円柱ペレット２２が複数形成されている。円柱ペレット２２は、インゴット１２と同一材料で形成された円柱である。この円柱ペレット２２の直径は円柱ペレット２２の高さよりも大きい。そして、円柱ペレット２２の底面がインゴット１２に接している。円柱ペレット２２はインゴット１２上を転がりづらい形状であるので、簡易な方法でペレットがインゴット上を転がることを防止できる。
【符号の説明】
【００２１】
１０  蒸着装置、  １１  ハース、  １２  インゴット、  １４  複数のペレット、  １６  固定用ペレット、  １８  結合ペレット、  ２０  多面体ペレット、  ２２  円柱ペレット
【図１】
0005637120.tif 000002
【図２】
0005637120.tif 000003
【図３】
0005637120.tif 000004
【図４】
0005637120.tif 000005
【図５】
0005637120.tif 000006
【図６】
0005637120.tif 000007