(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持片と、
帯状の取付領域及び該取付領域の先端からさらに前方へ延びる前部針先領域を備える複数のプローブであって、前記取付領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持片の下側に前記取付領域を対向させて左右方向に間隔をおいて並列的に配置された複数のプローブと、
前記支持片の先端部下側に配置された第１のスリットバーであって、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第１のスリットを備える第1のスリットバーと、
左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第２のスリットを備える第２のスリットバーであって、前記第２のスリットが前記第１のスリットに対し左右方向及び前後方向に位置するように、前記第１のスリットバーに配置された第２のスリットバーとを含み、
前記複数のプローブは、それぞれが前記前部針先領域の少なくとも一部が前記第１のスリットに受け入れられた複数の第１のプローブと、それぞれが左右方向に隣り合う前記第１のプローブの間に配置された複数の第２のプローブであって、前記前部針先領域の少なくとも一部が前記第２のスリットに受け入れられた第２のプローブとを含む、プローブ組立体。
【請求項２】
前記第１及び第２のスリットのそれぞれは、前後方向に延びていると共に、前後方向における一方及び他方の側にさらに開放している、請求項１に記載のプローブ組立体。
【請求項３】
各第１のプローブの前部針先領域は、前記取付領域の先端部から前方へ延びる先端領域であって、一部を前記第１のスリットに受け入れられた先端領域と、該先端領域の先端部から下方へ延びる先端針先とを備え、
各第２のプローブの前部針先領域は、前記取付領域の先端部から前方へ延びる先端領域と、該先端領域から上方に突出して前後方向へ延びる板状の第１の突片部であって、一部を前記第２のスリットに受け入れられた第１の突片部と、前記先端領域の先端部から下方へ延びる先端針先とを備える、請求項１及び２のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
【請求項４】
さらに、前記支持片の後端部下側に配置された第３のスリットバーであって、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第３のスリットを備える第３のスリットバーと、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第４のスリットを備える第４のスリットバーであって、前記第４のスリットが前記第３のスリットに対し左右方向及び前後方向に位置するように、前記第３のスリットバーに配置された第４のスリットバーとを含み、
各プローブは、さらに、前記取付領域の後端からさらに後方へ延びる後部針先領域を備え、
前記第１及び第２のプローブのいずれか一方は、前記後部針先領域の少なくとも一部を前記第３のスリットに受け入れられており、前記第１及び第２のプローブの他方は、前記後部針先領域の少なくとも一部を前記第４のスリットに受け入れられている、請求項１から３のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
【請求項５】
前記第３及び第４のスリットのそれぞれは、前後方向に延びていると共に、前後方向における一方及び他方の側にさらに開放している、請求項４に記載のプローブ組立体。
【請求項６】
前記第１及び第２のプローブの各後部針先領域は、前記取付領域の後端部から後方へ延びる後端領域と、該後端領域の先端部から上方へ延びる後端針先とを備える、請求項４及び５のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
【請求項７】
前記第１及び第２のプローブの各後部領域は、さらに、前記後端領域から上方へ突出すると共に前後方向へ延びる板状の第２の突片部であって、一部を前記第３又は第４のスリットに受け入れられた第２の突片部を備える、請求項４から６のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
【請求項８】
さらに、前記第１及び第２のプローブの前記取付領域の長手方向に間隔をおいた箇所を該箇所の厚さ方向に貫通して延びるバー部材と、該バー部材の長手方向の各端部を受け入れる板状のサイドカバーであって、前記支持片の側部に取り外し可能に組み付けられたサイドカバーとを含む、請求項１から７のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体の電気的試験に用いられるプローブ組立体に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルのような平板状被検査体の電気的試験に用いるプローブ組立体の1つとして、特許文献１に記載されたものがある。
【０００３】
特許文献１に記載されたプローブ組立体は、支持片と、それぞれが帯状の取付領域の前後方向（Ｙ方向）の各端部からさらに先端側又は後端側へ延びる針先領域を備える複数のプローブであって、取付領域の幅方向（Ｚ方向）が上下方向となる状態に支持片の下側に取付領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、これらプローブの取付領域をその厚さ方向（Ｘ方向）に貫通して延びて両端部において支持片に支持された細長い支持バーと、支持片に配置されてプローブの配列方向（Ｘ方向）へ延びる一対のスリットバーとを含む。
【０００４】
各スリットバーは、その長手方向（Ｘ方向）に間隔をおいて先後方向へ延びかつ下方に開放する複数のスリットを備える。支持バーは、プローブの配列方向におけるブロックの各端部にねじ止めされた板状のサイドカバーに長手方向の端部を受け入れられている。これにより、プローブは、支持バー及びサイドカバーにより支持片に組み付けられている。
【０００５】
各プローブは、その一方の面に、該面の一部を覆う絶縁膜を有しており、また各針先領域の先端側の針先領域の先端部を下方に曲げてその先端を被検査体の電極に押圧される針先としている。プローブは、さらに、先端側及び後端側の針先領域の一部を、それぞれ、一方及び他方のスリットバーのスリットに受け入れられている。これにより、各プローブの針先領域はスリットバーの長手方向に変位することを防止し、左右方向に隣り合うプローブの接触を防止している。
【０００６】
しかし、機械的強度の関係上、スリットバーのスリットのピッチを小さくすることに限度がある。しかるに、上記従来のプローブ組立体では、全てのプローブの針先領域を単一のスリットバーのスリットに受け入れているから、プローブの数と同数のスリットをスリットバーに設けなければならない。このため、上記従来のプローブ組立体では、狭ピッチのスリットをスリットバーに形成することができず、プローブを狭ピッチで配置することができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−３０３９６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、スリットバーのスリットのピッチを小さくすることなく、プローブを狭ピッチで配置することができるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るプローブ組立体は、支持片と、帯状の取付領域及び該取付領域の先端からさらに前方へ延びる前部針先領域を備える複数のプローブであって、前記取付領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持片の下側に前記取付領域を対向させて左右方向に間隔をおいて並列的に配置された複数のプローブと、前記支持片の先端部下側に配置された第１のスリットバーであって、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第１のスリットを備える第1のスリットバーと、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第２のスリットを備える第２のスリットバーであって、前記第２のスリットが前記第１のスリットに対し左右方向及び前後方向に位置するように、前記第１のスリットバーに配置された第２のスリットバーとを含む。
【００１０】
前記複数のプローブは、それぞれが前記前部針先領域の少なくとも一部が前記第１のスリットに受け入れられた複数の第１のプローブと、それぞれが左右方向に隣り合う前記第１のプローブの間に配置された複数の第２のプローブであって、前記前部針先領域の少なくとも一部が前記第２のスリットに受け入れられた第２のプローブとを含む。
【００１１】
前記第１及び第２のスリットのそれぞれは、前後方向に延びていると共に、前後方向における一方及び他方の側にさらに開放していてもよい。
【００１２】
各第１のプローブの前部針先領域は、前記取付領域の先端部から前方へ延びる先端領域であって、一部を前記第１のスリットに受け入れられた先端領域と、該先端領域の先端部から下方へ延びる先端針先とを備えることができ、また各第２のプローブの前部針先領域は、前記取付領域の先端部から前方へ延びる先端領域と、該先端領域から上方に突出して前後方向へ延びる板状の第１の突片部であって、一部を前記第２のスリットに受け入れられた第１の突片部と、前記先端領域の先端部から下方へ延びる先端針先とを備えることができる。
【００１３】
本発明に係るプローブ組立体は、さらに、前記支持片の後端部下側に配置された第３のスリットバーであって、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第３のスリットを備える第３のスリットバーと、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第４のスリットを備える第４のスリットバーであって、前記第４のスリットが前記第３のスリットに対し左右方向及び前後方向に位置するように、前記第３のスリットバーに配置された第４のスリットバーとを含むことができる。この場合、各プローブは、さらに、前記取付領域の後端からさらに後方へ延びる後部針先領域を備え、前記第１及び第２のプローブのいずれか一方は、前記後部針先領域の少なくとも一部が前記第３のスリットに受け入れられており、前記第１及び第２のプローブの他方は、前記後部針先領域の少なくとも一部を前記第４のスリットに受け入れられている。
【００１４】
前記第３及び第４のスリットのそれぞれは、前後方向に延びていると共に、前後方向における一方及び他方の側にさらに開放していてもよい。
【００１５】
前記第１及び第２のプローブの各後部針先領域は、前記取付領域の後端部から後方へ延びる後端領域と、該後端領域の先端部から上方へ延びる後端針先とを備えることができる。
【００１６】
前記第１及び第２のプローブの各後部領域は、さらに、前記後端領域から上方へ突出すると共に前後方向へ延びる板状の第２の突片部であって、一部を前記第３又は第４のスリットに受け入れられた第２の突片部を備えることができる。
【００１７】
本発明に係るプローブ組立体は、さらに、前記第１及び第２のプローブの取付領域の長手方向に間隔をおいた箇所を該箇所の厚さ方向に貫通して延びる一対のバー部材と、該バー部材の長手方向の端部を受け入れる板状のサイドカバーであって、前記支持片の側部に取り外し可能に組み付けられたサイドカバーとを含むことができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係るプローブ組立体においては、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第１のスリットを備える第1のスリットバーを支持片の先端部下側に配置し、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第２のスリットを備える第２のスリットバーを、その第２のスリットが第１のスリットに対し左右方向及び前後方向に位置するように、第１のスリットバーに配置し、第１及び第２のプローブの前部針先領域の少なくとも一部を、それぞれ、第１及び第２のスリットに位置させている。
【００１９】
このため、第１及び第２のプローブの数と同数の第１及び第２のスリットを、それぞれ、第１及び第２のスリットバーに設ければよいから、各スリットバーのスリットのピッチを小さくする必要がない。その結果、隣り合う第１及び第２のプローブの相互の電気的干渉を招くことなく、プローブを狭ピッチで配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に係るプローブ組立体を用いたプローブユニットの一例を示す平面図である。
【図２】図１に示すプローブ組立体を分解して示す分解斜視図である。
【図３】図１に示すプローブ組立体を下方から見た斜視図である。
【図４】図１に示すプローブ組立体を前方から見た図である。
【図５】図１に示すプローブ組立体を後方から見た図である。
【図６】図４における6−6線に沿って得た拡大断面図である。
【図７】図６におけるＡ部分の拡大図である。
【図８】図６におけるＢ部分の拡大図である。
【図９】（Ａ）は図１に示すプローブ組立体で用いる第１のプローブの一実施例を示す図であり、（Ｂ）は図１に示すプローブ組立体で用いる第２のプローブの一実施例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
［用語について］
【００２２】
本発明においては、図１において、上下方向を上下方向又はＺ方向といい、左右方向をプローブの先端針先の側を前方とする前後方向又はＹ方向といい、紙背方向を左右方向又はＸ方向という。しかし、それらの方向は、ワークテーブルのようなパネル受けに受けられた被検査体の姿勢に応じて異なる。
【００２３】
それゆえに、プローブユニットは、本発明でいう上下方向（Ｚ方向）が、実際に、上下方向となる状態、上下逆となる状態、斜めの方向となる状態等、いずれかの方向となる状態に試験装置に取り付けられて、使用される。
【００２４】
［プローブユニットの実施例］
【００２５】
図１を参照するに、プローブユニット１０は、一部を図１，６及び７に示す被検査体１２とし、被検査体１２の点灯検査に用いられる。被検査体１２は、長方形の形状を有しており、また複数の電極１４を少なくとも長方形の隣り合う２つの辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。各電極１４は、これが配置された縁部と直交する方向（Ｘ方向又はＹ方向）へ延びる帯状の形状を有している。
【００２６】
プローブユニット１０は、本体フレーム（図示せず）に取り付けられる板状のプローブベース１６と、プローブベース１６の前端部上側に左右方向に延びる状態に配置された支持台１８と、支持台１８に左右方向に間隔をおいて載置された複数のプローブ装置２０（図１においては、１つを示す。）と、プローブベース１６の上に配置された板状の中継ベース２２と、中継ベース２２に載置された中継基板２４とを含む。
【００２７】
プローブベース１６は、被検査体１２の電極１４が配置された1つの縁部の長手方向（図示の例では、左右方向）へ延びる状態に及び厚さ方向を上下方向とした状態に、試験装置の上記した本体フレームに直接又は板状ベースのような適宜な部材を介して取り付けられる。
【００２８】
支持台１８は、左右方向へ延びる板状の主体部１８ａと、主体部１８ａの左右方向における端部から下方へ延びる一対の脚部１８ｂ，１８ｂとにより、門型の正面形状に形成されている。これにより、支持台１８は、前方、後方及び下方に開放する空間２６（図１参照）を有する。支持台１８は、プローブベース１６の左右方向に離間した箇所を下方から上方に貫通して、脚部１８ｂに螺合された一対のねじ部材（図示せず）により、プローブベース１６の上に取り付けられている。
【００２９】
図示の例では、支持台１８は、複数のプローブ装置２０で共通とされている。したがって、プローブ装置２０は、左右方向に離間して、主体部１８ａの上に取り付けられている。しかし、１つ、２つ又は３つのプローブ装置２０毎に支持台１８を設けてもよい。
【００３０】
各プローブ装置２０は、プローブ組立体３０と、プローブ組立体３０を支持する支持ブロック３２と、支持ブロック３２を支持する連結ブロック３４と、支持ブロック３２の下側に支持された結合ブロック３６と、支持ブロック３２と結合ブロック３６の間に配置されて、支持ブロック３２の下側に取り付けられた接続ブロック３８とを含む。
【００３１】
図２から図８に示すように、プローブ組立体３０は、導電性材料により製作された複数の第１のプローブ４０及び複数の第２のプローブ４２を、一対のスリットバー組立体４６及び４８に、左右方向に間隔をおいて前後方向に延びる状態に、交互に配置している。スリットバー組立体４６及び４８は、ブロック状の支持片４４の下側に前後方向に間隔をおいて組み付けられている。
【００３２】
第１及び第２のプローブ４０及び４２には、一対のバー部材５０，５０と他のバー部材５２とが貫通状態に挿通されている。第１及び第２のプローブ４０及び４２は、バー部材５０，５０及び５２と、それらバー部材の各端部を受け入れている板状のサイドカバー５４と、サイドカバー５４の外側に位置された板状の他のサイドカバー５６とにより支持片４４に組み付けられている。
【００３３】
第１及び第２のプローブ４０及び４２は、図９（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、矩形をした板状の針主体部、すなわち取付領域５８ａと、取付領域５８ａの前端から前方へ片持ち梁状に一体的に延びる先端領域５８ｂと、取付領域５８ａの後端から後方へ片持ち梁状に一体的に延びる後端領域５８ｃと、先端領域５８ｂの先端から下方へ一体的に延びる先端針先５８ｄと、後端領域５８ｃの後端から上方へ一体的に延びる後端針先５８ｅとを備えるブレードタイプの針とされている。
【００３４】
第２のプローブ４２は、さらに、先端領域５８ｂから上方へ突出すると共に前後方向へ延びる板状の突片部５８ｈを備える。第１及び第２のプローブ４０及び４２は、さらに、後端領域５８ｃから上方へ突出すると共に前後方向へ延びる板状の突片部５８ｉを備える。
【００３５】
先端領域５８ｂと後端領域５８ｃとは、取付領域５８ａの幅寸法より小さい幅寸法を有しており、また取付領域５８ａの対応する先端下部又は後端下部から片持ち梁状に延びている。先端針先５８ｄ及び後端針先５８ｅは、三角形に形成されて、先鋭にされている。
【００３６】
第１のプローブ４０及び第２のプローブ４２のそれぞれは、バー部材５０，５０が貫通する円形の２つの貫通穴５８ｆ及び５８ｆを取付領域５８ａの中央部に有すると共に、バー部材５２が貫通しかつ貫通穴５８ｆより小さい円形の貫通穴５８ｇを取付領域５８ａの前部に有する。
【００３７】
支持片４４は、電気絶縁性を有するセラミック、合成樹脂等により製作されており、また下方、左方及び右方に開放する凹所６０(図２参照)を有する。
【００３８】
前方に位置するスリットバー組立体４６は、支持片４４の先端部下側に配置された第１のスリットバー６２と、第１のスリットバー６２の下側に配置された第２のスリットバー６４とを含む。第１及び第２のスリットバー６２及び６４は、それぞれ、電気絶縁性を有するセラミック、合成樹脂等により、Ｔ字状及び逆Ｌ字状の断面形状を有する形状に製作されている。
【００３９】
第１及び第２のスリットバー６２及び６４は、それぞれ、図４，図６、図７に示すように、左右方向に間隔をおいて前後方向に延びる複数の第１のスリット６６及び複数の第２のスリット６８を備える。第１及び第２のスリット６６及び６８のそれぞれは、前後方向両側及び下方に開放されている。
【００４０】
第１のスリットバー６２は、支持片４４の先端部下側に、ねじ止め、接着等の適宜な手段により取り付けられている。第２のスリットバー６４は、第１のスリットバー６２の下側に、第２のスリット６８が第１のスリット６６に対し左右方向に２分の１ピッチずれると共に後方に位置するように、ねじ止め、接着等の適宜な手段により取り付けられている。
【００４１】
後方に位置するスリットバー組立体４８は、支持片４４の後端部下側に配置された第３のスリットバー７２と、第３のスリットバー７２の下側に配置された第４のスリットバー７４とを含む。第３及び第４のスリットバー７２及び７４は、電気絶縁性を有するセラミック、合成樹脂等により、逆Ｌ字状の断面形状を有する形状に製作されている。
【００４２】
第３及び第４のスリットバー７２及び７４は、それぞれ、図５から図８に示すように、左右方向に間隔をおいて前後方向に延びる複数の第３のスリット７６及び複数の第４のスリット７８を備える。第３及び第４のスリット７６及び７８のそれぞれは、前後方向両側及び下方に開放されている。
【００４３】
第３のスリットバー７２は、第４のスリットバー７４の下側に、第４のスリット７８が第３のスリット７６に対し左右方向に２分の１ピッチずれると共に前方に位置するように、ねじ止め、接着等の適宜な手段により取り付けられている。第４のスリットバー７４は、支持片４４の後端部下側に、ねじ止め、接着等の適宜な手段により取り付けられている。
【００４４】
バー部材５０，５０，５２は、図示の例では円形の断面形状を有しており、またセラミックのような硬質の電気絶縁性の材料により形成されている。しかし、それらのバー部材５０，５０，５２は、導電性の材料を電気絶縁性の材料で被覆したものであってもよく、また矩形、六角形等の多角形のような他の横断面形状を有していてもよい。
【００４５】
各バー部材５０は、プローブ４０及び４２の穴５８ｆに挿し通されていると共に、各端部を内側のサイドカバー５４に設けられた穴５４ａ（図２参照）に受け入れられて、そのサイドカバー５４に支持されている。バー部材５２も、プローブ４０及び４２の貫通穴５８ｇに挿し通されていると共に、各端部を内側のサイドカバー５４に設けられた穴５４ｂ（図２参照）に受け入れられて、そのサイドカバー５４に支持されている。
【００４６】
第１及び第２のプローブ４０及び４２は、取付領域５８ａの厚さ方向が左右方向となりかつ先端針先５８ｄ及び後端針先５８ｅがそれぞれ支持片４４から前方及び後方へ突出された状態に、スリットバー組立体４６及び４８に並列的に配置されている。第１及び第２のプローブ４０及び４２は、左右方向に交互に位置されている。
【００４７】
第１のプローブ４０は、その先端領域５８ｂ及び突片部５８ｉを第１及び第３のスリットバー６２及び７２のスリット６６及び７６に嵌合させており、第２のプローブ４２はその突片部５８ｈ及び５８ｉを第２及び第４のスリットバー６４及び７４のスリット６８及び７８に嵌合させている。
【００４８】
しかし、第１及び第２のプローブ４０及び４２は、いずれも、先端領域５８ｂ及び後端領域５８ｃを対応するスリットに嵌合させてもよいし、第１のプローブ４０にも突片部５８ｈを設けてその突片部５８ｈを対応するスリットに嵌合させてもよい。このため、スリットに嵌合されたプローブの部位を含む領域は、前部針先領域又は後部針先領域として作用する。
【００４９】
上記のようにプローブは、取付領域５８ａの幅方向が上下方向となりかつ取付領域５８ａが対向された状態に、プローブの厚さ方向に間隔をおいて並列的に揃えられている。このため、隣り合うプローブの取付領域５８ａの貫通穴５８ｆは互いに整列されている。
【００５０】
サイドカバー５４，５６は、電気絶縁材料または導電性材料で板状に製作されている。図２に示すように、内側に位置された各サイドカバー５４は、プローブの貫通穴５８ｆ、５８ｆ及び５８ｇに通されたバー部材５０，５０及び５２の端部を貫通穴５４ａ，５４ａ及び５４ｂに受け入れて、プローブを変位可能に支持している。
【００５１】
サイドカバー５４，５６は、それらサイドカバー５４，５６及び支持片４４の前後方向に間隔をおいた箇所を貫通して、他方側のサイドカバー５４，５６に達するボルトのようなピン状の複数のねじ部材７５（図１及び３参照）とねじ部材７５に螺合されたナット（図示せず）とにより、支持片４４の左右方向における側面に取り外し可能に取り付けられている。
【００５２】
上記の結果、第１及び第２のプローブ４０及び４２は、バー部材５０，５０及び５２、サイドカバー５４及び５６、ねじ部材７５により、支持片４４に分離可能に組み付けられて、左右方向及び前後方向の位置を決められている。
【００５３】
図７に示すように、第１のスリットバー６２の一部は後方に突出する凸部８０として作用し、また各プローブは凸部８０を受け入れるべく前方に開放された凹部８２を前端部に備える。凸部８０及び凹部８２は、コ字状の断面形状を有すると共に、互いに嵌合されている。
【００５４】
凸部８０及び凹部８２は、それぞれ、下方側に位置する下向き縁部８０ａ及び上向き縁部８２ａと、上方側に位置する上向き縁部８０ｂ及び下向き縁部８２ｂとを有する。凹部８２の上向き縁部８２ａの高さ位置は、凹部８２の奥部の高さ位置より高くされている。これにより、凹部８２の奥底部下側に付加的な凹部８２ｃが形成されている。
【００５５】
各プローブは、凸部８０及び凹部８２が相互に嵌合され、かつバー部材５０，５０及び５２が貫通穴５８ｆ，５８ｆ及び５８ｇを貫通し、さらに先端領域５８ｂ、後端領域５８ｃ、又は突片部５８ｈ（５８ｉ）がスリット６６又は６８及び７６又は７８に嵌合された状態に、スリットバー組立体４６又は４８に配置される。
【００５６】
各プローブは、また、そのようなスリットバー組立体４６及び４８が、支持片４４に上記のように組み付けられると共に、サイドカバー５４，５６が支持片４４に上記のように組み付けられることにより、支持片４４に組み付けられて、保持される。
【００５７】
図においては、隣り合うプローブが左右方向に大きく間隔をおいているように示しているが、実際にはプローブの配列ピッチは小さい。プローブの数、厚さ寸法及び配列ピッチ、並びに、スリットバーのスリットの数、配置ピッチ及び幅寸法は、被検査体の種類、特に電極の配置ピッチと幅寸法とにより異なる。
【００５８】
プローブ組立体３０は、両スリットバー組立体４６，４８を上記した状態に支持片４４に取り付け、各プローブの先端領域５８ｂ及び後端領域５８ｃをスリットバーの対応するスリットに挿し込むと共に、凸部８０を凹部８２に嵌合させ、バー部材５０，５０及び５２をそれぞれプローブとサイドカバーの貫通穴に挿し通し、その後、サイドカバー５４，５６をねじ部材７５で支持片４４に取り付けることにより、組み立てることができる。
【００５９】
再度図１を参照するに、支持ブロック３２は、板状の２つ支持部３２ａ及び３２ｂによりＬ字状の断面形状に製作されている。連結ブロック３４は、支持台１８に取り付けられる主体部３４ａと、主体部３４ａの上部から前方へ延びる延長部３４ｂとにより、逆Ｌ字状の形状を有する。
【００６０】
プローブ組立体３０は、支持ブロック３２の支持部３２ｂを上方から下方に貫通して支持片４４に螺合されたねじ部材のような適宜な結合具８４で、支持片４４が支持ブロック３２の下側に組み付けられることにより、支持ブロック３２の下側に維持されている。
【００６１】
支持ブロック３２は、左右方向に間隔をおいて上下方向へ延びる一対のガイドレール８６と、両ガイドレール８６の間を上下方向へ延びるガイド８８とにより連結ブロック３４の主体部３４ａの前面に上下方向へ移動可能に連結されていると共に、ボルト９０により連結ブロック３４の延長部３４ｂに上下方向の位置を調整可能に連結されている。
【００６２】
両ガイドレール８６及びガイド８８は、それぞれ、リニアレール及びリニアガイドである。両ガイドレール８６は、支持ブロック３２の支持部３２ａの後端面に取り付けられている。これに対し、ガイド８８は、両ガイドレール８６がガイド８８に対し上下方向へ移動可能であるように、左右方向における両ガイドレール８６の間に配置されており、また連結ブロック３４の主体部３４ａの前端面に取り付けられている。
【００６３】
ボルト９０は、連結ブロック３４の延長部３４ｂを上方から下方へ貫通しており、また支持ブロック３２に形成されたねじ穴（図示せず）に螺合されている。支持ブロック３２は、左右方向に間隔をおいて配置された一対の圧縮コイルばね９２（図においては、その１つを示す）により下方に付勢されている。
【００６４】
各圧縮コイルばね９２は、連結ブロック３４の延長部３４ｂの上に複数のねじ部材（図示せず）により取り付けられた板状のばね押え９４と、支持ブロック３２の支持部３２ａとの間に、連結ブロック３４の延長部３４ｂを上下方向に貫通する状態に、配置されている。これにより、連結ブロック３４の延長部３４ｂへのボルト９０のねじ込み量を調整することにより、支持ブロック３２ひいてはプローブ組立体３０の高さ位置を調整することができる。
【００６５】
ばね押え９４は、ドライバーのような工具の先端部を上方から差し込んで、ボルト９０の回転量を調整する貫通穴９４ａを有する。これにより、ばね押え９４を連結ブロック３４から取り外すことなく、支持ブロック３２ひいてはプローブ組立体３０の高さ位置の調整を行うことができるから、そのような高さ位置の調整作業が容易になる。
【００６６】
連結ブロック３４は、連結ブロック３４の主体部３４ａを上方から下方に貫通して支持台１８の主体部１８ａに螺合された複数のボルト（図示せず）により支持台１８に取り外し可能に取り付けられている。
【００６７】
中継ベース２２は、厚さ方向を上下方向とした状態に、図示しない複数のねじ部材によりプローブベース１６の上に配置されている。中継基板２４は、それぞれがプローブ装置２０のプローブに対応された複数の配線（図示せず）を有する配線基板である。中継基板２４の配線は、プローブ装置２０毎に備えられた電気的接続具９６により、対応するプローブに電気的に接続されている。
【００６８】
接続ブロック３８は、支持ブロック３２の下側を左右方向へ延びており、また結合ブロック３６の後端部と支持ブロック３２との間に位置されている。接続ブロック３８は、左右方向に間隔をおいた複数のねじ部材（図示せず）により支持ブロック３２の下側に分離可能に取り付けられている。
【００６９】
電気的接続具９６は、前後方向へ延びる複数の配線を有しており、またプローブ装置２０から後方へ延びるシート状の第１の配線領域９６ａと、第１の配線領域９６ａから後方へ延びるシート状の第２の配線領域９６ｂとを含む。第１及び第２の配線領域９６ａ及び９６ｂは、それぞれ、左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる複数の第１の配線９８ａ（図３，６，８参照）及び複数の第２の配線（図示せず）を有する。
【００７０】
第１の配線領域９６ａは、フレキシブル印刷配線回路（ＦＰＣ）、タブ（ＴＡＢ）、又はそれらを組み合わせた複合回路シートとされており、また第２の配線領域は、フレキシブル印刷配線回路（ＦＰＣ）とされている。第１の配線領域９６ａは、結合ブロック３６の下側に位置されており、また被検査体１２を駆動する集積回路１００（図１参照）を中間領域に配置しており、さらに結合ブロック３６の下側を後方に延びている。
【００７１】
図６及び８に示すように、第１の配線領域９６ａの前端部は、第１の配線９８ａの先端部が下方に露出する状態に、結合ブロック３６の下面に維持されている。これにより、プローブ装置２０が組み立てられた状態において、各プローブの後端針先５８ｅは、第１の配線９８ａの先端部に押圧されて電気的に接続される。
【００７２】
図１に示すように、第１の配線領域９６ａの後端部は、第１の配線領域９６ａが結合ブロック３６の後端部において上方及び前方に横Ｕ字状に折り返されていることにより、第１の配線９６ａの後端部が上方に露出する状態に、結合ブロック３６の上面に維持されている。
【００７３】
図１に示すように、第２の配線領域９６ｂの先端部は、第１の配線領域９６ａの折り返し部の上方に位置する状態に、及び第２の配線の先端部が下方となる状態に、接続ブロック３８の下面に維持されている。これにより、プローブ装置２０が組み立てられた状態において、第１の配線９８ａの後端部と第２の配線の前端部とは、互いに押圧されて、電気的に接続されている。
【００７４】
第２の配線領域９６ｂは、接続ブロック３８の後端とプローブベース１６の前端との間から、プローブベース１６の上側に導かれ、また支持台１８の空間２６に通され、さらにプローブベース１６の上を後方に延びている。
【００７５】
第２の配線領域９６ｂは、その後端に設けられたコネクタ１０２（図１参照）により、中継基板２４に結合されている。コネクタ１０２は、電気的接続具９６の配線を介して、対応するプローブ装置２０のプローブに接続された複数の端子を備える。それらの端子は、中継基板２４の前記した配線に接続される。
【００７６】
中継基板２４の配線は、試験信号を発生する電気回路（図示せず）に接続される。試験信号は、そのような電気回路から、電気的接続具９６を介してプローブに供給されて、被検査体１２を駆動（点灯）させる。
【００７７】
プローブ組立体３０及び電気的接続具９６の交換は、結合ブロック３６を支持ブロック３２から分離した状態で行うことができる。プローブ４０，４２の交換は、プローブ組立体３０を結合ブロック３６から分離した状態で行うことができる。電気的接続具９６の交換は、結合ブロック３６を支持ブロック３２から分離し、接続ブロック３８を支持ブロック３２から分離した状態で行うことができる。
【００７８】
プローブユニット１０においては、プローブ装置２０が、前方、後方及び下方に開放する空間を備える支持台１８を介してプローブベース１６に支持されている。このため、配線通し穴をプローブベース１６に設けることなく、電気的接続具９６の後部側の領域を、プローブベース１６の上側に導くことができると共に、支持台１８の空間２６を経るように延在させることができる。その結果、第１及び第２の配線領域９６ａ，９６ｂの配線の電気的有効長さ寸法が短くなり、その分信号の減衰量が低下し、有効な試験信号を被検査体１２に供給することができる。
【００７９】
プローブ組立体３０は、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第１のスリット６６を備える第1のスリットバー６２を支持片４４の先端部下側に配置し、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第２のスリット６８を備える第２のスリットバー６４を、その第２のスリット６８が第１のスリット６６に対し左右方向及び前後方向に位置するように、第１のスリットバー６２に配置し、第１及び第２のプローブ４０及び４２の前部針先領域の少なくとも一部を、それぞれ、第１及び第２のスリット６６及び６８に位置させている。
【００８０】
このため、第１及び第２のプローブ４０及び４２の数と同数の第１及び第２のスリット６６及び６８を、それぞれ、第１及び第２のスリットバー６２及び６４に設ければよいから、各スリットバーのスリットのピッチを小さくする必要がない。その結果、隣り合う第１及び第２のプローブ４０及び４２の相互の電気的干渉を招くことなく、プローブを狭ピッチで配置することができる。
【００８１】
各プローブの後端側に関しても、上記のように２つのスリットバー７２及び７４を設けて、各プローブ４０及び４２の後部針先領域の少なくとも一部を、それぞれ、対応するスリット７６及び７８に位置させるならば、各プローブの先端側と同様に上記した効果を得ることができる。
【００８２】
しかし、各プローブの後端針先５８ｅを受け入れるガイドフィルム１０４（図８参照）を第１の配線領域９６ａに設けてもよい。また、そのようなガイドフィルム１０４を用いる代わりに、スリットバー７２及び７４を省略してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８３】
本発明は、液晶表示パネルのみならず、多数の発光素子又は受光素子を用いた表示パネルのような他の平板状被検査体の電気的試験に用いるプローブ組立体にも適用することができる。
【００８４】
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
【符号の説明】
【００８５】
１０  プローブユニット
１２  被検査体
１４  被検査体の電極
１６  プローブベース
１８  支持台
２０  プローブ装置
３０  プローブ組立体
４０，４２  第１及び第２のプローブ
４４  支持片
４６，４８スリットバー組立体
５０，５２  バー部材
５４，５６  サイドカバー
５８ａ  取付領域
５８ｂ  先端領域（前部針先領域）
５８ｃ  後端領域（後部針先領域）
５８ｄ  先端針先（前部針先領域）
５８ｅ  後端針先（後部針先領域）
５８ｆ，５８ｇ  貫通穴
５８ｈ  突片部（前部針先領域）
５８ｉ  突片部（後部針先領域）
６２，６４  第１及び第２のスリットバー
６６，６８  第１及び第２のスリット
７２，７４  第３及び第４のスリットバー
７６，７８  第３及び第４のスリット
【図１】
0005417265.tif 000002
【図２】
0005417265.tif 000003
【図３】
0005417265.tif 000004
【図４】
0005417265.tif 000005
【図５】
0005417265.tif 000006
【図６】
0005417265.tif 000007
【図７】
0005417265.tif 000008
【図８】
0005417265.tif 000009
【図９】
0005417265.tif 000010