(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料および融剤が加熱溶融されて調製されたガラスビードに１次Ｘ線を照射するＸ線源と、
前記ガラスビードから発生する蛍光Ｘ線の強度を測定する検出手段と、
前記試料の重量および前記融剤の重量、前記試料の重量および前記ガラスビードの重量、ならびに前記試料の希釈率のうちのいずれかが入力される入力手段と、
その入力手段に入力された前記試料の重量および前記融剤の重量もしくは前記試料の重量および前記ガラスビードの重量に基づいて計算した前記試料の希釈率を用いて、または前記入力手段に入力された前記試料の希釈率を用いて、前記試料について仮定した各成分の濃度を前記ガラスビードについて仮定した各成分の濃度に換算し、そのガラスビードについて仮定した各成分の濃度に基づいて、前記ガラスビード中の各成分から発生する蛍光Ｘ線の理論強度を計算し、その理論強度と前記検出手段で測定した測定強度を理論強度スケールに換算した換算測定強度とが合致するように、前記試料について仮定した各成分の濃度を逐次近似的に修正計算して、前記試料における各成分の濃度を算出する算出手段とを備えた蛍光Ｘ線分析装置であって、
前記算出手段が、
前記試料および融剤の合計重量から前記ガラスビードの重量を差し引いた強熱減量に対応する強熱減量成分を、負の濃度をもち得る前記試料の一成分として仮定し、
前記試料について仮定した各成分の濃度を前記ガラスビードについて仮定した各成分の濃度に換算するにあたり前記強熱減量成分を前記ガラスビードの成分から除く蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項２】
試料および融剤が加熱溶融されて調製されたガラスビードに１次Ｘ線を照射するＸ線源と、
前記ガラスビードから発生する蛍光Ｘ線の強度を測定する検出手段と、
前記試料について仮定した各成分の濃度および希釈率が入力される入力手段と、
その入力手段に入力された前記試料について仮定した各成分の濃度および希釈率を用いて、前記試料について仮定した各成分の濃度を前記ガラスビードについて仮定した各成分の濃度に換算し、そのガラスビードについて仮定した各成分の濃度に基づいて、前記ガラスビード中の各成分から発生する蛍光Ｘ線の理論強度を計算し、その理論強度に基づいて蛍光Ｘ線の吸収および励起に関する理論マトリックス補正定数を計算するとともに、試料における組成が既知で相異なる複数の標準となるガラスビードについて前記検出手段で測定した測定強度と前記試料における成分の濃度との相関関係を、成分ごとに、前記理論マトリックス補正定数を用いて補正した検量線として求めて記憶し、分析対象であるガラスビードについて前記検出手段で測定した測定強度に前記検量線を適用して前記試料における各成分の濃度を算出する算出手段とを備えた蛍光Ｘ線分析装置であって、
前記算出手段が、前記理論マトリックス補正定数を計算する際に、
前記試料および融剤の合計重量から前記ガラスビードの重量を差し引いた強熱減量に対応する強熱減量成分を、負の濃度をもち得る前記試料の一成分として仮定し、
前記試料について仮定した各成分の濃度を前記ガラスビードについて仮定した各成分の濃度に換算するにあたり前記強熱減量成分を前記ガラスビードの成分から除く蛍光Ｘ線分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスビードに調製された試料における各成分の濃度（含有率）を求める蛍光Ｘ線分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、蛍光Ｘ線分析において、試料が粉状または粒状である場合には、試料中の元素を均一に分布させるために、試料および融剤を加熱溶融してガラスビードに調製してから、そのガラスビードに１次Ｘ線を照射し、発生する蛍光Ｘ線の強度を測定する。試料中の化合物が結晶水を含んでいる場合や炭酸塩である場合には、調製時の加熱溶融によって、試料から水や二酸化炭素が揮散する。つまり、試料および融剤の合計重量からガラスビードの重量を差し引いた分だけ試料の重量が減少し、これを強熱減量（狭義）と呼んでいる。
【０００３】
一方、試料が例えば鉄鉱石で鉄をＦｅＯとして含んでいる場合には、調製時の加熱溶融によって、ＦｅＯが空気中の酸素と化学反応を起こし、Ｆｅ２Ｏ３になってガラスビード中に残る。つまり、ガラスビードの重量から試料および融剤の合計重量を差し引いた分だけ試料の重量が増加し、これを強熱増量と呼んでいる。
【０００４】
このようなガラスビード法を用いた蛍光Ｘ線分析では、検量線法が採用され、検量線法のうち、ファンダメンタルパラメータ法（ＦＰ法）の理論強度計算に基づいて理論マトリックス補正定数を計算するセミファンダメンタルパラメータ法（ＳＦＰ法）も採用されている（特許文献１参照）。ＳＦＰ法を採用して理論マトリックス補正定数を計算する際には、強熱減量に対応する強熱減量成分を想定して、この成分を試料の一成分として扱っており、強熱増量に対応する強熱増量成分としては扱っていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第２６２６８５７号公報（段落００４２〜００４３）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、実際の試料では、強熱減量と強熱増量が混在しており、蛍光Ｘ線分析の定量演算では両者を区別できないため、合わせて強熱減量（広義）として、強熱増量を負の強熱減量とみなすことが適切である。この広義の強熱減量は、試料によって、正、負、０のいずれの値にもなり得る。これに対し、ＦＰ法では、試料に含まれる成分の濃度が負になることは実際にはあり得ないことから、ＳＦＰ法において理論マトリックス補正定数の計算に利用される場合も含め、各成分の濃度は０以上であることを前提とし、演算過程で濃度が負になると０に置き換えるというような処理を行っていた。このように、従来のＦＰ法や、従来のＳＦＰ法における理論マトリックス補正定数の計算では、負の値にもなり得る広義の強熱減量を扱うことができず、したがって、ガラスビードに調製された試料における各成分の濃度を適切に求めることができない。
【０００７】
本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、ガラスビードに調製された試料について、負の値にもなり得る強熱減量を扱うことができ、各成分の濃度を適切に求めることができる蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、本発明の第１構成の蛍光Ｘ線分析装置は、まず、試料および融剤が加熱溶融されて調製されたガラスビードに１次Ｘ線を照射するＸ線源と、前記ガラスビードから発生する蛍光Ｘ線の強度を測定する検出手段と、前記試料の重量および前記融剤の重量、前記試料の重量および前記ガラスビードの重量、ならびに前記試料の希釈率のうちのいずれかが入力される入力手段とを備えている。
【０００９】
さらに、その入力手段に入力された前記試料の重量および前記融剤の重量もしくは前記試料の重量および前記ガラスビードの重量に基づいて計算した前記試料の希釈率を用いて、または前記入力手段に入力された前記試料の希釈率を用いて、前記試料について仮定した各成分の濃度を前記ガラスビードについて仮定した各成分の濃度に換算し、そのガラスビードについて仮定した各成分の濃度に基づいて、前記ガラスビード中の各成分から発生する蛍光Ｘ線の理論強度を計算し、その理論強度と前記検出手段で測定した測定強度を理論強度スケールに換算した換算測定強度とが合致するように、前記試料について仮定した各成分の濃度を逐次近似的に修正計算して、前記試料における各成分の濃度に換算することにより、前記試料における各成分の濃度を算出する算出手段を備えている。
【００１０】
そして、前記算出手段が、前記試料および融剤の合計重量から前記ガラスビードの重量を差し引いた強熱減量に対応する強熱減量成分を、負の濃度をもち得る前記試料の一成分として仮定する。さらに、前記試料について仮定した各成分の濃度を前記ガラスビードについて仮定した各成分の濃度に換算するにあたり前記強熱減量成分を前記試料の成分から除くか、または前記強熱減量成分の濃度が負の場合に負のまま計算を進める。なお、溶融中に融剤が揮散する場合があり、この場合の融剤の重量は溶融後の残存融剤の重量である。
【００１１】
第１構成の蛍光Ｘ線分析装置は、ＦＰ法により試料における各成分の濃度を算出する算出手段を備えているが、その算出手段が、前記試料および融剤の合計重量から前記ガラスビードの重量を差し引いた強熱減量に対応する強熱減量成分を、負の濃度をもち得る前記試料の一成分として仮定し、さらに、前記試料について仮定した各成分の濃度を前記ガラスビードについて仮定した各成分の濃度に換算するにあたり前記強熱減量成分を前記試料の成分から除くか、または前記強熱減量成分の濃度が負の場合に負のまま計算を進めるので、負の値にもなり得る広義の強熱減量を扱うことができ、したがって、ガラスビードに調製された試料における各成分の濃度を適切に求めることができる。
【００１２】
本発明の第２構成の蛍光Ｘ線分析装置は、まず、試料および融剤が加熱溶融されて調製されたガラスビードに１次Ｘ線を照射するＸ線源と、前記ガラスビードから発生する蛍光Ｘ線の強度を測定する検出手段と、前記試料について仮定した各成分の濃度および希釈率が入力される入力手段とを備えている。
【００１３】
さらに、その入力手段に入力された前記試料について仮定した各成分の濃度および希釈率を用いて、前記試料について仮定した各成分の濃度を前記ガラスビードについて仮定した各成分の濃度に換算し、そのガラスビードについて仮定した各成分の濃度に基づいて、前記ガラスビード中の各成分から発生する蛍光Ｘ線の理論強度を計算し、その理論強度に基づいて蛍光Ｘ線の吸収および励起に関する理論マトリックス補正定数を計算するとともに、試料における組成が既知で相異なる複数の標準となるガラスビードについて前記検出手段で測定した測定強度と前記試料における成分の濃度との相関関係を、成分ごとに、前記理論マトリックス補正定数を用いて補正した検量線として求めて記憶し、分析対象であるガラスビードについて前記検出手段で測定した測定強度に前記検量線を適用して前記試料における各成分の濃度を算出する算出手段を備えている。
【００１４】
そして、前記算出手段が、前記理論マトリックス補正定数を計算する際に、前記試料および融剤の合計重量から前記ガラスビードの重量を差し引いた強熱減量に対応する強熱減量成分を、負の濃度をもち得る前記試料の一成分として仮定する。さらに、前記試料について仮定した各成分の濃度を前記ガラスビードについて仮定した各成分の濃度に換算するにあたり前記強熱減量成分を前記試料の成分から除くか、または前記強熱減量成分の濃度が負の場合に負のまま計算を進める。
【００１５】
第２構成の蛍光Ｘ線分析装置は、ＳＦＰ法により試料における各成分の濃度を算出する算出手段を備えているが、その算出手段が、ＦＰ法を利用して理論マトリックス補正定数を計算する際に、前記試料および融剤の合計重量から前記ガラスビードの重量を差し引いた強熱減量に対応する強熱減量成分を、負の濃度をもち得る前記試料の一成分として仮定し、さらに、前記試料について仮定した各成分の濃度を前記ガラスビードについて仮定した各成分の濃度に換算するにあたり前記強熱減量成分を前記試料の成分から除くか、または前記強熱減量成分の濃度が負の場合に負のまま計算を進めるので、負の値にもなり得る広義の強熱減量を扱うことができ、したがって、ガラスビードに調製された試料における各成分の濃度を適切に求めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１および第２実施形態の蛍光Ｘ線分析装置を示す概略図である。
【図２】第１実施形態の蛍光Ｘ線分析装置の動作のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の第１実施形態の蛍光Ｘ線分析装置について、図にしたがって説明する。図１に示すように、この装置は、試料３ａおよび融剤３ｂが加熱溶融されて調製されたガラスビード３が載置される試料台８と、ガラスビード３に１次Ｘ線２を照射するＸ線管などのＸ線源１と、ガラスビード３から発生する蛍光Ｘ線４の強度を測定する検出手段９と、試料３ａの重量および融剤３ｂの重量、試料３ａの重量およびガラスビード３の重量、ならびに試料３ａの希釈率のうちのいずれか、例えば試料３ａの希釈率が入力される、マウス、キーボード、タッチパネルなどの入力手段１１Ａとを備えている。
【００１８】
詳細には図示しないが、ガラスビード３は、公知の方法により、試料３ａおよび融剤３ｂが加熱溶融されて調製されたものである。検出手段９は、ガラスビード３から発生する蛍光Ｘ線４を分光する分光素子５と、分光された蛍光Ｘ線６ごとにその強度を測定する検出器７で構成される。なお、分光素子５を用いずに、エネルギー分解能の高い検出器を検出手段としてもよい。つまり、この実施形態の蛍光Ｘ線分析装置は、波長分散型でも、エネルギー分散型でもよい。
【００１９】
この装置は、さらに、入力手段１１Ａに入力された試料３ａの重量および融剤３ｂの重量もしくは試料３ａの重量およびガラスビード３の重量に基づいて計算した試料３ａの希釈率を用いて、または入力手段１１Ａに入力された試料３ａの希釈率を用いて、試料３ａについて仮定した各成分の濃度をガラスビード３について仮定した各成分の濃度に換算し、そのガラスビード３について仮定した各成分の濃度に基づいて、ガラスビード３中の各成分から発生する蛍光Ｘ線４の理論強度を計算し、その理論強度と検出手段９で測定した測定強度を理論強度スケールに換算した換算測定強度とが合致するように、試料３ａについて仮定した各成分の濃度を逐次近似的に修正計算して、試料３ａにおける各成分の濃度を算出するコンピュータなどの算出手段１０Ａを備えている。つまり、ガラスビード３に調製された試料３ａにおける各成分の濃度をＦＰ法により算出する算出手段１０Ａを備えている。
【００２０】
そして、算出手段１０Ａが、試料３ａおよび融剤３ｂの合計重量からガラスビード３の重量を差し引いた強熱減量に対応する強熱減量成分を、負の濃度をもち得る試料３ａの一成分として仮定する。さらに、試料３ａについて仮定した各成分の濃度をガラスビード３について仮定した各成分の濃度に換算するにあたり強熱減量成分を試料３ａの成分から除くか、または強熱減量成分の濃度が負の場合に負のまま計算を進める。
【００２１】
この算出手段１０Ａについて、より具体的に、まず理論強度を計算するための理論式について説明する。理論強度を計算する対象の試料の組成として、例えば、鉄鉱石の次の表１の組成を仮定する。
【００２２】
【表１】
0005489096.tif 000002
【００２３】
ガラスビードに調製して行う分析では、試料の各成分は、ガラスビード中に存在する化合形態で表し、例えば鉄鉱石では、鉄は、実際にはＦｅ３Ｏ４やＦｅＯとして多く含まれている場合があり、鉄の濃度はＦｅ２Ｏ３の濃度として表す。そして、表１のように、各成分の濃度を合計して１００％を超える分は、広義の強熱減量における負の強熱減量に対応する成分を仮定してそれと相殺させ、全体で１００％になるようにする。逆に、各成分の濃度を合計して１００％に満たない分は、広義の強熱減量における正の強熱減量に対応する成分を仮定してそれと相殺させ、全体で１００％になるようにする。
【００２４】
ガラスビードについての理論強度Ｉｉは、近似的に次の（１）式で表される。なお、添字Ｆは、融剤についての値であることを意味している。
【００２５】
【数１】
0005489096.tif 000003
【００２６】
（１）式を変形して試料中の各成分の濃度比（全体を１．０とした場合の無次元の濃度）Ｗｉで表す。まず、試料の重量をＳ、融剤（フラックス）の重量をＦ、ガラスビードの重量をＢ、強熱減量（試料および融剤の合計重量からガラスビードの重量を差し引いた重量、イグロス、ＬＯＩ）をＬとすると、ガラスビード中の各成分の濃度比Ｃｉ、ＣＦと試料中の各成分の濃度比Ｗｉとの関係は、次の（２）式、（３）式で表される。
【００２７】
【数２】
0005489096.tif 000004
【００２８】
【数３】
0005489096.tif 000005
【００２９】
（２）式、（３）式を（１）式に代入すると、次の（４）式が得られる。なお、添字Ｌは、強熱減量に対応する強熱減量成分についての値であることを意味している。
【００３０】
【数４】
0005489096.tif 000006
【００３１】
ここで、次の（５）式のように、強熱減量成分の濃度比ＷＬも含めて、試料中の各成分の濃度比の合計を１．０とする。
【００３２】
【数５】
0005489096.tif 000007
【００３３】
強熱減量成分は、ガラスビード中には存在しないので、その質量吸収係数μＬは０．０であり、（５）式を利用するために、（４）式の分母に０．０であるμＬＷＬの項を追加している。（４）式における融剤の重量と試料の重量の比Ｆ／Ｓを希釈率ＲＦとして用いる。
【００３４】
また、以下のように、ガラスビードの重量と試料の重量の比Ｂ／Ｓを用いて希釈率ＲＦを表すこともできる。ガラスビードの重量Ｂ、試料の重量Ｓ、融剤の重量Ｆ、強熱減量Ｌの関係は、次の（６）式で表される。
【００３５】
【数６】
0005489096.tif 000008
【００３６】
（６）式の両辺をＳで除して、項を移動させると、次の（７）式のようになる。
【００３７】
【数７】
0005489096.tif 000009
【００３８】
（７）式を（４）式に代入すると、次の（８）式が得られる。
【００３９】
【数８】
0005489096.tif 000010
【００４０】
この場合、分母の一項μＦＷＬから分かるように、強熱減量成分の質量吸収係数は、融剤の質量吸収係数μＦとなり、また、分母の一項μＦ（Ｂ／Ｓ−１）から分かるように、希釈率ＲＦは、次の（９）式で表される。
【００４１】
【数９】
0005489096.tif 000011
【００４２】
さて、ＦＰ法でガラスビード中の各成分から発生する蛍光Ｘ線の理論強度を計算するために、試料中の各成分の濃度をガラスビード中の各成分の濃度に換算する必要があるが、従来は、次の（１０）式および（１１）式を用いて、強熱減量成分をも試料の一成分として換算していた。
【００４３】
【数１０】
0005489096.tif 000012
【００４４】
【数１１】
0005489096.tif 000013
【００４５】
このような換算を行う従来のＦＰ法や従来のＳＦＰ法における理論マトリックス補正定数の計算では、前述したように、負の値にもなり得る広義の強熱減量を扱うことができず、したがって、ガラスビードに調製された試料における各成分の濃度を適切に求めることができなかった。
【００４６】
そこで、本願発明者は、強熱減量成分は、実際のガラスビード中には含まれていないことから、ガラスビード中の成分から除いて残りの各成分の濃度比を計算できることに着目し、本発明をなした。具体的には、以下の（１２）式、（１３）式および（１４）式、または、（１５）式および（１６）式を用いて、強熱減量成分を試料の成分から除いて換算することとした。
【００４７】
希釈率ＲＦとして融剤の重量と試料の重量の比Ｆ／Ｓを用いる場合には、まず、（１２）式で強熱減量成分を試料の成分から除いて試料中の各成分の濃度比の合計ＷＴｏｔａｌを計算し、（１３）式および（１４）式で換算する。
【００４８】
【数１２】
0005489096.tif 000014
【００４９】
【数１３】
0005489096.tif 000015
【００５０】
【数１４】
0005489096.tif 000016
【００５１】
希釈率ＲＦとしてガラスビードの重量と試料の重量の比で表したＢ／Ｓ−１を用いる場合には、（１５）式および（１６）式で換算する。この場合は、強熱減量成分を融剤に含めており、やはり試料の成分から除いている。
【００５２】
【数１５】
0005489096.tif 000017
【００５３】
【数１６】
0005489096.tif 000018
【００５４】
第１実施形態の装置の算出手段１０Ａでは、（１２）〜（１４）式、または、（１５）および（１６）式を用い、強熱減量成分については試料３ａの成分から除いて、試料３ａについて仮定した各成分の濃度をガラスビード３について仮定した各成分の濃度に換算し（図２のフローチャートにおける「強熱減量を除いて組成を計算」のステップ）、次に、（１）式を用い、ガラスビード３について仮定した各成分の濃度に基づいて、ガラスビード３中の各成分から発生する蛍光Ｘ線４の理論強度を計算し（図２における「理論強度計算」のステップ）、理論強度と検出手段９で測定した測定強度を理論強度スケールに換算した換算測定強度と対比する（図２における「含有率近似」のステップ）。そのため、その前後では、強熱減量成分も試料３ａの成分に含めることができている（図２における２つの「規格化処理（強熱減量を含む）」のステップ）。
【００５５】
つまり、算出手段１０Ａが、試料３ａについて仮定した各成分の濃度をガラスビード３について仮定した各成分の濃度に換算するにあたり、強熱減量成分については、試料３ａの成分から除くので、負の値にもなり得る広義の強熱減量を扱うことができ、したがって、ガラスビード３に調製された試料３ａにおける各成分の濃度を適切に求めることができる。ここで、例えば試料３ａが鉄鉱石の場合、前述したように、鉄の濃度はＦｅ２Ｏ３の濃度として算出されるが、必要に応じて、金属Ｆｅの濃度に換算することも可能である。
【００５６】
なお、一般のＦＰ法と同様に、検出手段９で測定した測定強度を理論強度スケールに換算して換算測定強度とするために、組成が既知で相異なる複数の標準試料（本発明の場合、標準試料もガラスビードに調製された試料である）を測定するとともに既知の組成から理論強度を計算して、各蛍光Ｘ線について測定強度を理論強度スケールに換算するための装置感度係数をあらかじめ求めておく。このとき、標準試料についての組成の設定、理論強度計算においても、上述したように、標準試料の各成分の濃度をガラスビードの各成分の濃度に換算するにあたり、強熱減量成分については、標準試料の成分から除くことにより、負の値にもなり得る広義の強熱減量を扱うことができ、標準試料の一成分として負の濃度にもなり得る強熱減量成分を設定できる。
【００５７】
さて、以上においては、算出手段１０Ａが、試料３ａについて仮定した各成分の濃度をガラスビード３について仮定した各成分の濃度に換算するにあたり強熱減量成分を試料３ａの成分から除く場合について説明したが、これに代えて、算出手段１０Ａは、強熱減量成分の濃度が負の場合に負のまま計算を進めてもよい。これは、従来は、負の濃度はあり得ないので、ソフトウエア上、異常データ（エラー）として扱ったが、強熱減量成分の濃度が負の場合に負のまま計算を進めても問題ないことが、以下のように確認されたことによる。
【００５８】
まず、Ｆ／Ｓを希釈率ＲＦとして用いる場合、次の（１７）式および（１８）式を用いて、試料中の各成分の濃度をガラスビード中の各成分の濃度に換算する。
【００５９】
【数１７】
0005489096.tif 000019
【００６０】
【数１８】
0005489096.tif 000020
【００６１】
また、ガラスビード中の融剤の濃度は、次の（１９）式で表される。
【００６２】
【数１９】
0005489096.tif 000021
【００６３】
（１）式において濃度は分母と分子に存在し、強熱減量成分の質量吸収係数μＬは０であるので、強熱減量成分の項はない。強熱減量成分を除いた試料中の各成分の濃度の合計を１．０にするためには、試料中の各成分の濃度を１．０−ＣＬで割ればよい。（１）式の分母と分子を１．０−ＣＬで割ると、各成分の濃度は、次の（２０）式のようになる。
【００６４】
【数２０】
0005489096.tif 000022
【００６５】
ここで、ＷＴｏｔａｌは、強熱減量成分を除いた試料中の各成分の濃度比の合計である。また、ガラスビード中の融剤の濃度は、次の（２１）式のようになる。
【００６６】
【数２１】
0005489096.tif 000023
【００６７】
つまり、（２０）式、（２１）式は、前記（１３）式、（１４）式と同じであることが分かり、試料中の強熱減量成分の濃度ＷＬは、負であっても矛盾がないことが分かる。
【００６８】
次に、希釈率ＲＦとしてＢ／Ｓ−１を用いる場合であるが、ガラスビード中の各成分の濃度の式は、前記（１７）〜（１９）式と同じである。ここで、（１８）式の強熱減量成分と（１９）式の融剤が同一の成分であるので、両者を加算すると、次の（２２）式になる。
【００６９】
【数２２】
0005489096.tif 000024
【００７０】
（２２）式より試料中の強熱減量成分の濃度ＷＬは、負であっても同じであり、強熱減量が実際には強熱増量であっても（２２）式が成り立つ。（１７）式、（２２）式は、前記（１５）式、（１６）式と同じであり、試料中の強熱減量成分の濃度ＷＬが負であっても、負のままガラスビード中の各成分の濃度を計算すればよいことが分かる。
【００７１】
次に、本発明の第２実施形態の蛍光Ｘ線分析装置について説明する。図１に示すように、この装置は、前記第１実施形態の装置と比較すると、入力手段１１Ｂに入力される内容と、算出手段１０Ｂの構成、動作内容とが異なるのみである。具体的には、入力手段１１Ｂには、試料３ａ（ＳＦＰ法を具現化した第２実施形態の装置では、分析対象の試料として想定されて代表的な組成をもつ試料）について仮定した各成分の濃度および実際の試料３ａがガラスビード３に調製される際に適用される希釈率が入力される。また、算出手段１０Ｂは、入力手段１１Ｂに入力された試料３ａについて仮定した各成分の濃度および希釈率を用いて、試料３ａについて仮定した各成分の濃度をガラスビード３について仮定した各成分の濃度に換算し、そのガラスビード３について仮定した各成分の濃度に基づいて、ガラスビード３中の各成分から発生する蛍光Ｘ線４の理論強度を計算し、その理論強度に基づいて蛍光Ｘ線４の吸収および励起に関する理論マトリックス補正定数を計算するとともに、試料３ａにおける組成が既知で相異なる複数の標準となるガラスビード３について検出手段９で測定した測定強度と試料３ａにおける成分の濃度との相関関係を、成分ごとに、前記理論マトリックス補正定数を用いて補正した検量線として求めて記憶し、分析対象であるガラスビード３について検出手段９で測定した測定強度に前記検量線を適用して試料３ａにおける各成分の濃度を算出する。つまり、ガラスビード３に調製された試料３ａにおける各成分の濃度をＳＦＰ法により算出する。
【００７２】
そして、算出手段１０Ｂが、前記理論マトリックス補正定数を計算する際に、試料３ａおよび融剤３ｂの合計重量からガラスビード３の重量を差し引いた強熱減量に対応する強熱減量成分を、試料３ａの負の濃度をもち得る一成分として仮定する。さらに、試料３ａについて仮定した各成分の濃度をガラスビード３について仮定した各成分の濃度に換算するにあたり強熱減量成分を試料３ａの成分から除くか、または強熱減量成分の濃度が負の場合に負のまま計算を進める。
【００７３】
第２実施形態の蛍光Ｘ線分析装置は、ＳＦＰ法により試料３ａにおける各成分の濃度を算出する算出手段１０Ｂを備えているが、その算出手段１０Ｂが、ＦＰ法を利用して理論マトリックス補正定数を計算する際に、第１実施形態の装置が備える算出手段１０Ａと同様に、試料３ａおよび融剤３ｂの合計重量からガラスビード３の重量を差し引いた強熱減量に対応する強熱減量成分を、負の濃度をもち得る試料３ａの一成分として仮定し、さらに、試料３ａについて仮定した各成分の濃度をガラスビード３について仮定した各成分の濃度に換算するにあたり強熱減量成分を試料３ａの成分から除くか、または強熱減量成分の濃度が負の場合に負のまま計算を進めるので、負の値にもなり得る広義の強熱減量を扱うことができ、したがって、ガラスビード３に調製された試料３ａにおける各成分の濃度を適切に求めることができる。
【符号の説明】
【００７４】
１  Ｘ線源
２  １次Ｘ線
３  ガラスビード
３ａ  試料
３ｂ  融剤
４  蛍光Ｘ線
９  検出手段
１０Ａ，１０Ｂ  算出手段
１１Ａ，１１Ｂ  入力手段
【図１】
0005489096.tif 000025
【図２】
0005489096.tif 000026