(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
自動化ラインに並設され、当該自動化ラインと連動した自動運転で当該自動化ライン上のパネルを検査する検査装置において、
上記パネルの装置内への手動投入又は装置からの手動排出のために手動運転に切り換える切換機構を備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の検査装置において、
上記切換機構が、手動投入、手動排出又は手動投入及び手動排出の３つの手動運転モードのいずれか１又は複数を備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の検査装置において、
上記パネルを受け渡す受渡装置を備え、
当該受渡装置が、上記パネルを受け取って支持するパネル受け機構部を備え、
上記手動投入又は手動排出の際に、上記パネル受け機構部を傾斜させて停止させることを特徴とする検査装置。
【請求項４】
上記受渡装置が、上記パネルの装置内への手動投入の際に、上記パネル受け機構部から傾斜した状態で手動によりパネルが投入すると、当該パネルを一旦水平状態へ回動して当該パネルの位置決め及び把持を確実にして、再び傾斜させて検査部へ渡すことを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
自動化ラインに並設され、当該自動化ラインと連動した自動運転で当該自動化ライン上のパネルを検査する検査方法において、
切換機構が、
上記パネルの装置内への手動投入又は装置からの手動排出のために手動運転に切り換え、
上記自動化ラインから切り離す
ことを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動化された製造ラインで搬送されるパネルを自動的に点灯検査等すると共に手動検査も可能とした検査装置及び検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル等のパネル製造工程においては、パネルの点灯検査等が行われる。点灯検査は、セル工程の最終段階で行われる検査工程である。パネルの点灯検査は、パネルの入ったカセットを検査装置の脇に設置し、人手によりパネルを検査装置にセットして行っていたが、最近では、製造ラインの自動化が進み、人手を介さずに行うことが可能となっている。
【０００３】
このような自動化された製造ラインに用いられる検査装置の例としては、特許文献１の点灯検査装置がある。この点灯検査装置は、移載装置と共に製造ラインの脇に設置される。そして、移載装置で製造ラインからパネルが取り出されて、点灯検査装置に搬入されて、パネルの検査が行われる。検査終了後のパネルは移載装置でラインに戻される。
【０００４】
この点灯検査装置は主に、検査部と、搬送部と、受渡部とを備えている。検査部は、パネルを支持して点灯検査する装置である。搬送部は、検査部にパネルを搬送する装置である。受渡部は、外部からパネルを受け取って位置決めして支持した後、上記搬送部に受け渡すと共に、検査終了後のパネルを外部の受け渡すための装置である。
【０００５】
この点灯検査装置及び移載装置が製造ラインと連動することによって、製造ラインを流れているパネルを自動的に取り出して検査すると共に検査後のパネルを製造ラインに自動的に戻すようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−１３９５１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、従来の検査においては、検査で判明した不良品のパネルを再検査する場合や、品質保証部門でパネルを抜き取って検査を行う場合には、それらのパネルは、再び製造ラインに投入されることはなく、これらのパネルの処理が問題となる。この場合、上記再検査や抜き取り検査の対象となった少数のパネルのためだけにマニュアルの検査装置を購入することも考えられるが、この場合はコストが嵩むという問題がある。
【０００８】
さらに、マニュアルの検査装置を用いる場合は、製造ラインから離れてパネルの検査を行うことになるが、この場合、作業効率が悪いという問題がある。
【０００９】
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、自動運転と手動運転を適宜切り換えられるようにしてコスト低減及び検査作業の効率化を図った検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために本発明に係る検査装置は、自動化ラインに並設され、当該自動化ラインと連動した自動運転で当該自動化ライン上のパネルを検査する検査装置において、上記パネルの装置内への手動投入又は装置からの手動排出のために手動運転に切り換える切換機構を備えたことを特徴とする。
【００１１】
本発明に係る検査方法は、自動化ラインに並設された検査装置を、上記自動化ラインと連動して自動運転させて、当該自動化ライン上のパネルを検査する検査方法において、切換機構が、パネルの装置内への手動投入又は装置からの手動排出のために手動運転に切り換え、自動化ラインから切り離すことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
上記検査装置及び検査方法では、自動運転を行っている検査装置を、マニュアル機として使用できるため、自動化された製造ラインに流せないパネルを、必要な時に任意に検査することができる。この結果、マニュアルの検査装置を必要とせず、コスト低減及び検査の効率化を図ることができる。
【００１３】
手動運転の際に、人手によるパネルの検査装置への手動投入を確実なものとすることができる。これにより、検査装置内での搬送時のパネルの落下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態に係る検査装置を示す正面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る検査装置の受渡装置を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係る検査装置、移載装置及び自動化ラインを示す平面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る検査装置を含む自動化ライン全体の制御系を示すブロック図である。
【図５】本発明の実施形態に係る検査装置の運転方法選択処理機能を示すフローチャートである。
【図６】本発明の実施形態に係る検査装置の自動投入・自動排出モードにおける動作を示すフローチャートである。
【図７】本発明の実施形態に係る検査装置の自動投入・手動排出モードにおける動作を示すフローチャートである。
【図８】本発明の実施形態に係る検査装置の手動投入・自動排出モードにおける動作を示すフローチャートである。
【図９】本発明の実施形態に係る検査装置の手動投入・手動排出モードにおける動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態に係る検査装置及び検査方法について、添付図面を参照しながら説明する。
【００１６】
本実施形態に係る検査装置及び検査方法は、製造ラインのロボット、コンベア等の自動機器と本実施形態の検査装置とが連動した自動運転と、人手による手動運転とを選択的に切り換えることを可能にした検査装置及び検査方法である。手動運転での手動パネルセット時は、受渡装置のパネル受け機構部が斜めの状態でセットされ、一旦水平状態へ回動してパネルＰを開放して位置決め及び把持を確実にし、搬送アームのパネル落下を防止する。
【００１７】
本実施形態に係る検査装置１は、図１に示すように主に、搬送部２と、検査部３と、受渡装置４（図２参照）から構成されている。
【００１８】
搬送部２は、外部から搬入されたパネルＰを受渡装置４から受け取って検査部３へ搬送すると共に検査終了後のパネルＰを受渡装置４に渡すための装置である。搬送部２は主に、搬送アーム５と、搬送装置６とから構成されている。
【００１９】
搬送アーム５は、パネルＰを支持する部分である。この搬送アーム５は、パネルＰを支持して、検査部３と受渡装置４との間を移動するように構成されている。
【００２０】
搬送装置６は、パネルＰを支持した搬送アーム５を、検査部３と受渡装置４との間で往復動させるための装置である。搬送装置６は、搬送アーム５を支持して移動させる駆動部を備えて構成されている。
【００２１】
検査部３は、パネルＰを支持して点灯試験を行うための装置である。検査部３は、プローブユニット８、検査ステージ９等を備えて構成されている。パネルＰは、検査ステージ９に斜めに支持された状態で検査される。
【００２２】
受渡装置４は、外部から搬入されたパネルＰを受け取ると共に検査後外部へ搬出されるパネルＰを受け渡すための装置である。受渡装置４は、外部から搬入されたパネルＰを受け取って位置決めして支持した後、回転、傾斜させて上記搬送部２に受け渡すようになっている。また、検査終了後のパネルＰを搬送部２から受け取って、後述する移載装置４０に受け渡すようになっている。
【００２３】
この受渡装置４は、図２に示すように、パネル受け機構部１１と、位置決め支持機構部１２と、回転機構部１３と、傾斜機構部１４と、昇降機構部１５とから構成されている。
【００２４】
パネル受け機構部１１は、外部から搬入されたパネルＰを受け取って支持するための機構部である。このパネル受け機構部１１は、その基端部を回転機構部１３に固定されて水平方向に且つ放射状に配設された４本の支持棒１８と、各支持棒１８にそれぞれ垂直方向に向けて設けられたパネル受け１９とから構成されている。
【００２５】
位置決め支持機構部１２は、パネル受け機構部１１に支持されたパネルＰを位置決めした上で支持するための機構部である。この位置決め支持機構部１２は、パネルクランプ２１と、移動装置２２と、バッファ機構２３とから構成されている。
【００２６】
パネルクランプ２１は、パネルＰの周縁部に当接して当該パネルＰを位置決めした上で支持するための部材である。各パネルクランプ２１は、円柱状又は円筒状の合成樹脂を垂直方向に配設して構成されている。対向する各パネルクランプ２１は、そのうち一方に２つ、他方に１つ設けられている。パネルクランプ２１は、上記移動装置２２によって、パネルＰの周縁部に対して近接離間されるようになっている。
【００２７】
移動装置２２は、パネルクランプ２１を支持して近接離間されるための装置である。移動装置２２は、レール、ガイド、駆動モータ等を備えて構成されている。
【００２８】
バッファ機構２３は、対向して配置された各パネルクランプ２１の一方を他方へ一定の付勢力で付勢すると共にその付勢力を解除するための装置である。即ち、各パネルクランプ２１のうちの一方を支持して当該一方のパネルクランプ２１が上記パネルＰの周縁部に当接された状態で当該一方のパネルクランプ２１を他方のパネルクランプ２１側へ一定の付勢力で付勢すると共に、上記パネルＰを上記搬送部２に受け渡すために各パネルクランプ２１を離間させるに先だって、上記付勢を解除するための装置である。
【００２９】
回転機構部１３は、上記パネル受け機構部１１及び位置決め支持機構部１２を支持して回転させるための機構である。この回転機構部１３は、駆動モータ等を備えて構成され、上記パネル受け機構部１１及び位置決め支持機構部１２で支持された上記パネルＰを設定角度だけ回転させるようになっている。この回転機構部１３は、昇降機構部１５に一体的に取り付けられている。
【００３０】
傾斜機構部１４は、直交した状態で一体的に設けられた上記回転機構部１３及び昇降機構部１５を支持して傾斜させることで、パネル受け機構部１１に支持されたパネルＰを傾斜させるための機構である。この傾斜機構部１４は、基板２５と、支柱２６と、回動支持軸２７と、駆動モータ２８と、減速ギア２９とから構成されている。
【００３１】
基板２５は、装置全体を支持するための板材である。支柱２６は、一体的に設けられた上記回転機構部１３及び昇降機構部１５を支持するための部材である。この支柱２６は、上記基板２５に設定間隔を空けて２本設けられている。回動支持軸２７は、２本の支柱２６に掛け渡して設けられている。この回動支持軸２７に上記回転機構部１３及び昇降機構部１５が固定され、これらが回動支持軸２７によって回転可能に支持されている。
【００３２】
上記駆動モータ２８は上記減速ギア２９に連結されている。減速ギア２９の出力軸は上記回動支持軸２７に連結されている。減速ギア２９は、駆動モータ２８の回転を減速させて、直接的に上記回転機構部１３を、間接的に上記パネル受け機構部１１及び位置決め支持機構部１２で支持された上記パネルＰを回動させるようになっている。これにより、駆動モータ２８の回転が減速ギア２９で減速されて、上記回動支持軸２７を設定角度だけ回転させて、パネルＰを設定角度に傾斜させるようになっている。後述する手動投入、手動排出モードでは、パネルＰを設定角度に傾斜させて、停止する。
【００３３】
昇降機構部１５は、上記パネルＰを昇降させるための装置である。即ち、昇降機構部１５は、上記回転機構部１３を介して、上記パネル受け機構部１１及び位置決め支持機構部１２で支持された上記パネルＰを昇降させるようになっている。昇降機構部１５は、固定板３０と、スライド板３１と、ボールネジ３２と、ナット３３と、駆動モータ３４とから構成されている。固定板３０は、上記回動支持軸２７に固定され、この回動支持軸２７と共に回動する。スライド板３１は、上記固定板３０にスライド可能に支持されている。上記スライド板３１が上記固定板３０に支持されてスライドすると、このスライド板３１に支持された上記回転機構部１３が一体的にスライドするようになっている。
【００３４】
ボールネジ３２は、上記スライド板３１を上記固定板３０に対してスライドさせるための部材である。上記ナット３３は、上記スライド板３１に固定されて、上記ボールネジ３２にねじ込まれている。これにより、ボールネジ３２の回転によって、上記ナット３３がボールネジ３２の軸方向に移動して、上記スライド板３１が上記ボールネジ３２の軸方向にスライドするようになっている。駆動モータ３４は、上記ボールネジ３２に連結されて、このボールネジ３２を回転させる。
【００３５】
検査装置１は、図３に示すように、移載装置４０と共に、自動化ライン４１の脇に設置される。具体的には、移載装置４０が自動化ライン４１に臨ませて設置され、検査装置１が移載装置４０に臨ませて設置されている。
【００３６】
検査装置１及び移載装置４０は、要求される検査処理能力に応じて一組又は複数組設けられる。ここでは、三組設けられている。
【００３７】
検査装置１は、自動化ライン４１の検査部門として、自動化ライン４１と連動して機能する装置である。このため、検査装置１は、移載装置４０と共に自動化ライン４１の制御系に接続されて、パネルＰの製造システムが構成されている。システム全体の構成は、図４に示すように、ＣＩＭ４３に、ライン用制御装置４４と、移載用制御装置４５と、検査用制御装置４６とが接続され、さらにライン用制御装置４４に自動化ライン４１が、移載用制御装置４５に移載装置４０が、検査用制御装置４６に検査装置１がそれぞれ接続されている。
【００３８】
ＣＩＭ４３は、ライン用制御装置４４、移載用制御装置４５及び検査用制御装置４６を制御して、システム全体を効率的に制御する統括制御装置である。さらに、ＣＩＭ４３は、ライン用制御装置４４、移載用制御装置４５及び検査用制御装置４６のそれぞれと、相互に制御信号をやり取りしており、特定の制御装置からの制御信号に基づいて、他の制御装置を制御する機能も有する。
【００３９】
ライン用制御装置４４は、自動化ライン４１を制御する装置である。自動化ライン４１は、自動制御されるコンベア、ロボット等を備えて構成された、パネルＰの製造ラインである。ライン用制御装置４４は、自動化ライン４１のコンベア、ロボット等を制御する。
【００４０】
移載用制御装置４５は、移載装置４０を制御する装置である。移載装置４０は、自動化ライン４１上のパネルＰを取り出して検査装置１に搬入すると共に、検査装置１から検査終了後のパネルＰを取り出して自動化ライン４１に戻すための装置である。移載装置４０は、既存の移載装置すべてを用いることができる。
【００４１】
検査用制御装置４６は、上記検査装置１を制御する装置である。検査用制御装置４６は、検査装置１の制御処理機能と共に、後述する運転方法選択処理機能が格納されている。
【００４２】
運転切換えは、作業者によって手動で行われるものである。検査装置１には、操作パネル(図示せず)が設けられている。この操作パネルは、周知の装置であり、タッチパネル等にスイッチ類が設けられている。具体的には、運転モード切換えスイッチ、スタートスイッチ、検査結果入力スイッチ等が設けられている。運転モード切換えスイッチは、パネルＰの検査装置１内への手動投入又は検査装置１からの手動排出のために手動運転に切り換える切換機構である。この運転モード切換えスイッチは、自動投入・自動排出モード、自動投入・手動排出モード、手動投入・自動排出モード、手動投入・手動排出モードの４つの運転モードが設定され、適宜切り換えることができるようになっている。作業者は、これら４つの運転モードを適宜選択して、任意に切り換える。即ち、自動化ライン４１から検査装置１を任意に切り離して、手動の検査装置として適宜使用することができるようになっている。
【００４３】
［運転方法選択処理］
上記構成のシステムにおいて検査装置１での運転方法選択処理は、図５のようになる。
【００４４】
作業者が検査装置１の運転モード切換えスイッチを操作して、上記４つの運転モードのいずれかを選択する。これにより、選択されたモードが自動投入か否かが判断される(ステップＳ１)。自動投入の場合は次のステップＳ２に進む。自動投入でない場合は後述するステップＳ５に進む。
【００４５】
ステップＳ２では、選択モードが自動排出か否かが判断される。この判断が自動排出の場合は、選択モードは自動投入・自動排出モードと判断され、当該モードの処理が行われる(ステップＳ３)。上記判断が自動排出でない場合は、自動投入・手動排出モードと判断され、当該モードの処理が行われる(ステップＳ４)。
【００４６】
一方、ステップＳ１で、自動投入でないと判断された場合は、自動排出か否かが判断される(ステップＳ５)。この判断が自動排出の場合は、手動投入・自動排出モードと判断され、当該モードの処理が行われる(ステップＳ６)。自動排出でない場合は、手動投入・手動排出モードと判断され、当該モードの処理が行われる(ステップＳ７)。
【００４７】
上記自動投入・自動排出モードは、自動化ライン４１と、検査装置１と、移載装置４０とが連動して、自動的に自動化ライン４１上のパネルＰを取り出して検査し、検査終了後のパネルＰを自動的に自動化ライン４１に戻す自動運転モードである。この自動投入・自動排出モード（自動運転モード）では、図６に示すように、自動化ライン４１上を流れているパネルＰを移載装置４０が取り出して、検査装置１内に自動投入する(ステップＳ１１)。
【００４８】
検査装置１内では、受渡装置４が移載装置４０からパネルＰを受け取る。このとき、パネルＰは受渡装置４のパネル受け機構部１１に載置される。次いで、位置決め支持機構部１２でパネルＰの位置決め及び支持がなされる。この状態で、回転機構部１３によって、上記パネル受け機構部１１及び位置決め支持機構部１２と共にパネルＰが回転されて、パネルＰの角度が調整される。
【００４９】
次いで、傾斜機構部１４で、上記パネル受け機構部１１、位置決め支持機構部１２及び回転機構部１３と共にパネルＰが回動されて設定角度に傾斜され、斜め位置に転回される(ステップＳ１２)。
【００５０】
さらに、昇降機構部１５で、上記パネル受け機構部１１、位置決め支持機構部１２、回転機構部１３及び傾斜機構部１４と共にパネルＰが、上方へ移動されて、搬送部２に受け渡される。
【００５１】
搬送部２では、その搬送アーム５がパネルＰを受け取って正確にかつ確実に支持する。次いで、搬送装置６で搬送アーム５を検査部３側へ移動させて、パネルＰを検査ステージ９に載置させる。
【００５２】
検査部３では、検査ステージ９に支持されたパネルＰとプローブユニット８との位置決めがなされる。具体的には、パネルＰの端子とプローブユニット８のプローブ針とが整合するように位置決めされる。この状態で、互いに接触されて導通試験が行われる(ステップＳ１３)。
【００５３】
検査終了後は、搬送部２で検査ステージ９からパネルＰが受け取られ、受渡装置４に戻される。
【００５４】
受渡装置４では、上記同様にしてパネルＰを位置決めして支持し、水平に戻して９０度回転させ、移載装置４０に受け渡す(ステップＳ１４)。
【００５５】
上記自動投入・手動排出モードは、自動化ライン４１から取り出して検査したパネルＰを手動で取り出す（排出する）運転モードである。自動投入・手動排出モードでは、図７に示すように、ステップＳ１５〜Ｓ１７は、図６のステップＳ１１〜Ｓ１３と同様である。即ち、検査装置１と移載装置４０との連動がパネルＰの搬入時だけになり、検査終了後の搬出時には移載装置４０が休止されて、検査装置１が自動化ライン４１から切り離される。
【００５６】
次いで、検査装置１からパネルＰが作業者によって手動で取り出される(ステップＳ１８)。このとき、受渡装置４がパネルＰを傾斜させて、斜め位置で支持する。これにより、作業者は容易にパネルＰを取り出す（排出する）ことができる。作業終了後は、自動投入・自動排出モード（自動運転モード）に戻す。
【００５７】
上記手動投入・自動排出モードは、抜き取り検査等のパネルＰを検査装置１に手動で投入してそのまま自動化ライン４１に戻す運転モードである。手動投入・自動排出モードでは、検査装置１及び移載装置４０と、自動化ライン４１との連動がパネルＰの搬出時だけになり、搬入時には移載装置４０を休止させる。
【００５８】
まず、検査装置１に作業者が手動でパネルＰを投入する。具体的には、図８に示すように、作業者が検査装置１にパネルＰを投入する(ステップＳ１９)。このとき、検査装置１の受渡装置４は斜めに停止しているため、作業者はパネルＰを斜めにして、容易にセットする(ステップＳ２０)。次いで、パネルＰが一旦水平にされ、回転され、ずれが調整されて位置決めされ、把持される(ステップＳ２１)。次いで、パネルＰが斜めに転回される(ステップＳ２２)。
【００５９】
次いで、検査装置１の搬送部２の搬送アーム５でパネルＰが把持されて、検査部３に送られ、検査が行われる(ステップＳ２３)。そして、検査が終了すると、パネルＰは受渡装置４に戻され、移載装置４０で自動的に排出される(ステップＳ２４)。
【００６０】
手動投入・手動排出モードは、検査装置１を自動化ライン４１から切り離して、ラインと関係なく全く別の手動検査に用いる運転モード、即ちマニュアルの検査装置として使用する運転モードである。手動投入・手動排出モードでは、図９に示すように、ステップＳ２５〜Ｓ２９は、図８のステップＳ１９〜Ｓ２３と同様である。即ち、図９に示すように、マニュアルの検査装置として、作業者が検査装置１にパネルＰを投入する(ステップＳ２５)。このとき、検査装置１の受渡装置４は斜めに停止しているため、作業者はパネルＰを斜めに、容易にセットする(ステップＳ２６)。次いで、パネルＰが一旦水平にされ、回転され、ずれが調整されて位置決めされ、把持され(ステップＳ２７)、パネルＰが斜めに転回される(ステップＳ２８)。
【００６１】
次いで、検査装置１の搬送部２の搬送アーム５でパネルＰが把持されて、検査部３に送られ、検査が行われる(ステップＳ２９)。そして、検査終了後のパネルＰは、受渡装置４に戻され、傾斜した状態で停止される。この状態で、作業者によって手動でパネルＰが排出される(ステップＳ３０)。
【００６２】
以上のように、自動運転を行っている検査装置１の運転モード切換えスイッチを、作業者が操作して、上記４つの運転モードのいずれかを適宜選択することにより、自動運転モード又は手動運転モードに適宜切り換えることができる。即ち、自動運転を行っている検査装置１を、必要に応じて適宜マニュアル機として使用することができるようになる。
【００６３】
これにより、自動化された製造ライン（自動化ライン４１）に流せないパネルＰを、必要な時に任意に検査することができる。検査したパネルＰは、任意に、自動化ライン４１に戻したり、手動で取り出したりすることができる。
【００６４】
この結果、マニュアルの検査装置を必要とせず、自動化ライン４１に連動した検査装置１を適宜マニュアルの検査装置として使用することで、コスト低減を図ることができる。
【００６５】
さらに、自動化ライン４１に連動して動作している検査装置１を、必要に応じて適宜マニュアルの検査装置として使用することができるため、検査の効率化を図ることができる。
【００６６】
また、手動投入、手動排出の際には、受渡装置４によってパネルＰを設定角度に傾斜させて停止させるので、人手によるパネルＰの検査装置１への手動投入、手動排出を確実なものとすることができる。これにより、手動での作業効率を向上させることができる。
【００６７】
また、手動投入の際に、受渡装置４のパネル受け機構部１１が傾斜して、パネルＰを設定角度に傾斜させて停止させるので、人手によるパネルの検査装置への手動投入を確実なものとすることができる。さらに、受渡装置４で受け取ったパネルＰを一旦水平状態へ回動して当該パネルの位置決め及び把持を確実にして、再び傾斜させて検査部３へ渡すため、検査装置１内での搬送時のパネルＰの落下を防止することができる。
【００６８】
なお、上記実施形態では、運転モード切換えスイッチによって、自動投入・自動排出モード、手動投入・自動排出モード、自動投入・手動排出モード、手動投入・手動排出モードの４つの運転モードを任意に切り換えることができるようにしたが、運転モード切換えスイッチを、上記３つの手動運転モードである、手動投入、手動排出又は手動投入及び手動排出の３つの手動運転モード（手動投入・自動排出モード、自動投入・手動排出モード及び手動投入・手動排出モード）のいずれか１又は２を備えて構成してもよい。即ち、必要とされるモードを適宜設けるようにしてよい。
【００６９】
また、上記実施形態では、運転モード切換えスイッチによって、４つの運転モードを任意に切り換えることができるようにしたが、通常は自動運転モードに設定し、作業者が適宜手動運転モードを選択して作業が終了した後は、自動的に自動運転モードに戻るように設定してもよい。
【符号の説明】
【００７０】
１：検査装置、２：搬送部、３：検査部、４：受渡装置、５：搬送アーム、６：搬送装置、８：プローブユニット、９：検査ステージ、１１：パネル受け機構部、１２：位置決め支持機構部、１３：回転機構部、１４：傾斜機構部、１５：昇降機構部、１８：支持棒、１９：パネル受け、２１：パネルクランプ、２２：移動装置、２３：バッファ機構、２５：基板、２６：支柱、２７：回動支持軸、２８：駆動モータ、２９：減速ギア、３０：固定板、３１：スライド板、３２：ボールネジ、３３：ナット、３４：駆動モータ、４０：移載装置、４１：自動化ライン、４３：ＣＩＭ、４４：ライン用制御装置、４５：移載用制御装置、４６：検査用制御装置、Ｐ：パネル。
【図１】
0005525981.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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