(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理チャンバを有した処理モジュールのコンピュータシステムと、第１のセンサと、の間で通信を行うための、コンピュータによって実行される方法であって、
前記処理モジュールの前記コンピュータシステムを初期化する工程と、
前記処理チャンバ内の第１のパラメータを測定することができる前記第１のセンサを初期化する工程と、
前記コンピュータシステムおよび前記第１のセンサを初期化した後、接続メッセージを、前記第１のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
前記コンピュータシステムが前記接続メッセージを受信した後、報告可能な仕様を取得するコマンドを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第１のセンサへ伝送する工程と、
前記報告可能な仕様を取得する前記コマンドに応答して、報告可能な仕様メッセージを、前記第１のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程であって、前記報告可能な仕様メッセージは、前記第１のセンサによって提供されるデータの型、範囲、頻度、および分布に関する情報を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムに提供することによって、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムが追加のプログラミングを要することなく前記第１のセンサからのデータを使用できるように構成されている、工程と、
前記処理チャンバ内でのアクションの実行に関する処理関連コマンドを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第１のセンサへ伝送する工程と、
前記第１のセンサが前記処理関連コマンドを受信した後、前記第１のセンサから受信した前記報告可能な仕様を用いて、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムにおいて、前記第１のセンサからセンサデータを受信する工程と、
を備える方法。
【請求項２】
請求項１に記載の、コンピュータによって実行される方法であって、さらに、
前記処理モジュールの前記コンピュータシステム内で、接続モニタタスクを作成する工程と、
前記処理モジュールの前記コンピュータシステム内での前記接続モニタタスクから、第１のセンサメッセージングタスクを作成する工程と、
報告可能な仕様を取得するコマンドに対する応答肯定を、前記第１のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
報告可能な仕様メッセージに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第１のセンサへ伝送する工程と、
を備える方法。
【請求項３】
請求項１ないし請求項２のいずれかに記載の、コンピュータによって実行される方法であって、さらに、
アラームテーブルコマンドを取得するコマンドを、前記第１のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
前記アラームテーブルを取得するコマンドに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第１のセンサへ伝送する工程と、
アラームテーブルを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第１のセンサへ伝送する工程と、
前記アラームテーブルに対する肯定応答を、前記第１のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
を備える方法。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の、コンピュータによって実行される方法であって、さらに、
時刻および初期化データを取得するコマンドを、前記第１のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
時刻および初期化データを取得する前記コマンドに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第１のセンサへ伝送する工程と、
時刻および初期化データを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第１のセンサへ伝送する工程と、
前記時刻および初期化データに対する肯定応答を、前記第１のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
を備える方法。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の、コンピュータによって実行される方法であって、さらに、
前記処理チャンバ内でのアクションの実行に関する処理関連コマンドを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第１のセンサへ伝送する工程と、
半導体関連デバイスの処理に関する前記アクションを、前記処理チャンバ内で実行する工程と、
前記処理関連コマンドに対する肯定応答を、前記第１のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
を備える方法。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の、コンピュータによって実行される方法であって、さらに、
前記処理チャンバ内の第２のパラメータを測定することができる第２のセンサを初期化する工程と、
接続メッセージを、前記第２のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
報告可能な仕様を取得するコマンドを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第２のセンサへ伝送する工程と、
報告可能な仕様メッセージを、前記第２のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
前記処理チャンバ内の第３のパラメータを測定することができる第３のセンサを初期化する工程と、
接続メッセージを、前記第３のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
報告可能な仕様を取得するコマンドを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第３のセンサへ伝送する工程と、
報告可能な仕様メッセージを、前記第３のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
を備える方法。
【請求項７】
請求項６に記載の、コンピュータによって実行される方法であって、さらに、
前記処理モジュールの前記コンピュータシステム内での前記接続モニタタスクから、第２のセンサメッセージングタスクを作成する工程と、
報告可能な仕様を取得するコマンドに対する肯定応答を、前記第２のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
報告可能な仕様メッセージに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第２のセンサへ伝送する工程と、
前記処理モジュールの前記コンピュータシステム内での前記接続モニタタスクから、第３のセンサメッセージングタスクを作成する工程と、
報告可能な仕様を取得するコマンドに対する肯定応答を、前記第３のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
報告可能な仕様メッセージに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第３のセンサへ伝送する工程と、
を備える方法。
【請求項８】
請求項６ないし請求項７のいずれかに記載の、コンピュータによって実行される方法であって、さらに、
アラームテーブルコマンドを取得するコマンドを、前記第２のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
前記アラームテーブルを取得するコマンドに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第２のセンサへ伝送する工程と、
アラームテーブルを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第２のセンサへ伝送する工程と、
前記アラームテーブルに対する肯定応答を、前記第２のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
アラームテーブルコマンドを取得するコマンドを、前記第３のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
前記アラームテーブルを取得するコマンドに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第３のセンサへ伝送する工程と、
アラームテーブルを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第３のセンサへ伝送する工程と、
前記アラームテーブルに対する肯定応答を、前記第３のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
を備える方法。
【請求項９】
請求項７ないし請求項８のいずれかに記載の、コンピュータによって実行される方法であって、さらに、
時刻および初期化データを取得するコマンドを、前記第２のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
時刻および初期化データを取得する前記コマンドに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第２のセンサへ伝送する工程と、
時刻および初期化データを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第２のセンサへ伝送する工程と、
前記時刻および初期化データに対する肯定応答を、前記第２のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
時刻および初期化データを取得するコマンドを、前記第３のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
時刻および初期化データを取得する前記コマンドに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第３のセンサへ伝送する工程と、
時刻および初期化データを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第３のセンサへ伝送する工程と、
前記時刻および初期化データに対する肯定応答を、前記第３のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
を備える方法。
【請求項１０】
半導体関連デバイスを処理するための装置であって、
半導体関連デバイスを処理するための処理チャンバと、
前記処理チャンバに電気的に接続され、前記処理チャンバを制御するためのコンピュータシステムと、
前記コンピュータシステムに電気的に接続されたネットワークと、
前記ネットワークに電気的に接続され、前記処理チャンバ内の第１のパラメータを測定することができる第１のセンサと、
前記コンピュータシステムが初期化された後に、前記コンピュータシステム内で作成される接続モニタタスクと、
前記第１のセンサが前記コンピュータシステムとの接続を開始した後に、処理モジュールの前記コンピュータシステム内で前記接続モニタタスクから作成される、第１のセンサメッセージングタスクと、
を備え、
前記第１のセンサメッセージングタスクは、
前記第１のセンサが初期化された後、接続メッセージを前記第１のセンサから受信する手段と、
前記接続メッセージを受信した後、報告可能な仕様を取得するコマンドを前記第１のセンサに伝送する手段と、
報告可能な仕様メッセージを前記第１のセンサから受信する手段であって、前記報告可能な仕様メッセージは、前記第１のセンサによって提供されるデータの型、範囲、頻度、および分布に関する情報を、前記コンピュータシステムに提供することによって、前記コンピュータシステムが追加のプログラミングを要することなく前記第１のセンサからのデータを使用できるように構成されている、手段と、
前記処理チャンバ内でのアクションの実行に関する処理関連コマンドを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第１のセンサへ伝送する手段と、
前記第１のセンサが前記処理関連コマンドを受信した後、前記報告可能な仕様を用いて、前記第１のセンサからセンサデータを受信する手段と、
を備える、
装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の装置であって、さらに、
前記ネットワークに電気的に接続され、前記処理チャンバ内の第２のパラメータを測定することができる第２のセンサと、
前記第２のセンサが前記コンピュータシステムとの接続を開始した後に、前記処理モジュールの前記コンピュータシステム内で前記接続モニタタスクから作成される、第２のセンサメッセージングタスクと、
を備え、
前記第２のセンサメッセージングタスクは、
接続メッセージを前記第２のセンサから受信する手段と、
報告可能な仕様を取得するコマンドを前記第２のセンサに伝送する手段と、
報告可能な仕様メッセージを前記第２のセンサから受信する手段であって、前記報告可能な仕様メッセージは、前記第２のセンサによって提供される少なくともデータ型を前記コンピュータシステムに通知するよう構成されている、手段と、
前記報告可能な仕様メッセージを用いて、前記第２のセンサからセンサデータを受信する手段と、
を備える、
装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の装置であって、さらに、
前記ネットワークに電気的に接続され、前記処理チャンバ内の第３のパラメータを測定することができる第３のセンサと、
前記第３のセンサが前記コンピュータシステムとの接続を開始した後に、前記処理モジュールの前記コンピュータシステム内で前記接続モニタタスクから作成される、第３のセンサメッセージングタスクと、
を備え、
前記第３のセンサメッセージングタスクは、
接続メッセージを前記第３のセンサから受信する手段と、
報告可能な仕様を取得するコマンドを前記第３のセンサに伝送する手段と、
報告可能な仕様メッセージを前記第３のセンサから受信する手段であって、前記報告可能な仕様メッセージは、前記第３のセンサによって提供される少なくともデータ型を前記コンピュータシステムに通知するよう構成されている、手段と、
前記報告可能な仕様メッセージを用いて、前記第３のセンサからセンサデータを受信する手段と、
を備える、
装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の装置であって、
前記第１のセンサと、前記第２のセンサと、前記第３のセンサとは、クライアントとして前記処理モジュールの前記コンピュータシステムに接続される、装置。
【請求項１４】
請求項１２ないし請求項１３のいずれかに記載の装置であって、
前記第１のセンサと、前記第２のセンサと、前記第３のセンサとは、ホットスワップが可能なプラグアンドプレイである、装置。
【請求項１５】
請求項１０ないし１４のいずれかに記載の装置であって、
前記コンピュータシステムは、さらに、前記コンピュータシステムが一定期間のあいだ前記センサからメッセージを受信しない場合に、前記センサにハートビートメッセージを送信するハートビートメッセージツールを備える、装置。
【請求項１６】
請求項１０ないし１５のいずれかに記載の装置であって、
前記コンピュータシステムは、さらに、
前記処理チャンバ内でのアクションの実行に関する処理関連コマンドを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第１のセンサへ伝送する手段と、
半導体関連デバイスの処理に関する前記アクションを、前記処理チャンバ内で実行する手段と、
前記第１のセンサからの前記処理関連コマンドに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムで受信する手段と、
を備える、
装置。
【請求項１７】
請求項１ないし９のいずれかに記載の、コンピュータによって実行される方法であって、前記報告可能な仕様は、さらに、前記センサから提供される可能なデータ範囲およびデータの頻度を提供する、方法。
【請求項１８】
請求項１７に記載の、コンピュータによって実行される方法であって、前記報告可能な仕様は、さらに、前記データが、前記センサから要求される必要があるか、前記センサから自動的に送信されるかについての情報を提供する、方法。
【発明の詳細な説明】
【発明の背景】
【０００１】  本発明は、半導体関連デバイスの製造に関する。本発明は、特に、半導体関連デバイスを製造するための改善された技術に関する。
【０００２】  特定タイプの半導体デバイスを製造するにあたって、半導体デバイスは、エッチング用、デポジション用、研磨用などの処理モジュールの中に、様々な時点において配置される。今日では、半導体チップまたはフラットパネルディスプレイの許容誤差を小さくするために、様々なセンサによって処理モジュールを監視する必要がある。
【０００３】  センサの中には、処理モジュールから切り離して良いものがある。この場合は、処理モジュールが第１のコンピュータシステムによって駆動され、センサが第２のコンピュータシステムによって駆動され、第１のコンピュータシステムと第２のコンピュータシステムとの間では、リアルタイムのデータ交換は行われない。処理モジュールとそれから切り離されたセンサとの間では、情報を同期化することが難しい。また、処理モジュールとそれから切り離されたセンサとの間では、データを交換することも難しい。
【０００４】  センサの中には、処理モジュールと接続して良いものがある。これらのセンサは、処理モジュールに直接接続した自身のコンピュータシステムを有しても良いし、あるいは、処理モジュールのコンピュータシステムを自身のコンピュータシステムとして使用しても良い。このようなセンサは、処理モジュールとの間においてリアルタイムでデータを交換することができる。センサが異なると、プロトコルも異なる場合がほとんどである。処理モジュールのコンピュータシステムは、センサのプロトコルと適合するようにプログラムされるので、センサごとに異なるドライバの作成が必要とされる可能性がある。各ドライバは、アラームを発信する、処理モジュールを停止させる、各種処理工程の開始または中断を指示するなど、多数のコマンドに関する仕様を必要とする。また、センサが異なると、生成されるデータ型も異なるので、ドライバは、センサからの特定の型のデータを処理モジュールにおいてどのように使用するかを、指定する必要もある。センサごとにドライバを作成していると、非常に時間がかかり、を必要とする可能性もある。あるセンサ用のドライバが、処理モジュールのメーカによって作成されていないと、ユーザは、そのセンサを処理モジュールとともに使用することができない。また、そのセンサ用のドライバが存在するとしても、ユーザは、そのドライバを処理モジュールにインストールし、センサとの間で送受信されるデータを指定するために、様々な段階を踏む必要がある。そのセンサを処理モジュールから除去するためには、ユーザは、ドライバを取り出し、センサとの間で送受信される情報のためのコマンドを削除するなど、さらなるプログラミングの段階を踏む必要がある。
【０００５】  以上からわかるように、複数のセンサと接続することができる処理モジュールなどの処理システムであって、様々なセンサの様々なプロトコルと整合させるためのプログラミングを必要としない処理システムを、用意することが望ましい。したがって、センサを処理モジュールに組み込むことによって、追加のプログラミングを最低限行うだけでセンサと処理モジュールとの間の情報交換を可能にすることができる処理システムを、用意することが望ましい。
【発明の概要】
【０００６】  本発明の一実施形態は、クライアント／サーバ関係にあるセンサとの間で情報を共有する処理システムであって、センサとの間でレシピおよび制御コマンドを交換する処理システムに関する。
【０００７】  添付図面との関連で行う以下の本発明の詳細な説明から、本発明の上述したおよびその他の特徴が、さらに詳しく示される。
【０００８】  添付図面において、限定的ではなく例示的に本発明を示す。なお、この添付図面においては、同様の構成要素には同様の番号体型が与えられている。
【発明を実施するための形態】
【０００９】  次に、添付図面に例示された幾つかの好ましい実施形態に関連させて、本発明の詳しい説明を行う。以下の説明では、本発明が完全に理解されるように多くの項目を特定している。しかしながら、当業者には明らかなように、本発明は、これらの項目の一部または全てを特定しなくても実施することが可能である。そのほか、本発明が不必要に不明瞭となるのを避けるため、周知の処理工程および／または構造に関する詳細な説明は省略した。
【００１０】  議論を容易にするため、図１に、処理モジュール１２と、ネットワーク１４と、複数のセンサ１６とを備えるシステム１０の概略を示した。この実施形態において、処理モジュール１２は、処理チャンバ１８と、処理モジュールコンピュータシステム２０とを備える。この好ましい実施形態において、処理チャンバは、エッチングチャンバ、デポジションデバイス、または研磨デバイスなど、半導体関連デバイスの処理に使用される処理チャンバであり、半導体チップ、フラットパネルディスプレイ、ディスクドライバ、またはその他のコンピュータ部品の製造に使用される。ネットワーク１４は、処理モジュールコンピュータシステム２０内の内部バス、またはイーサネット（登録商標）などの外部ネットワークすなわちローカルエリアネットワーク、またはこれら両方の組み合わせであって良い。処理モジュールコンピュータシステム２０は、サーバとして機能し、センサ１６は、処理モジュールコンピュータシステム２０とのクライアント／サーバ関係におけるクライアントとして機能する。センサ１６は、センサと、ローカルエリアネットワークによって処理モジュールコンピュータシステム２０に接続されたコンピュータデバイスと、の組み合わせであっても良いし、または、処理モジュールコンピュータシステム２０の内部バスに接続されたセンサのみであっても良い。本発明の好ましい一実施形態において、処理モジュールコンピュータシステム２０は、センサ１６と残りのコンピュータシステム２０との接続に、ＶＭＥバスを伴った入力ボードが使用されるＶＭＥアーキテクチャを有する。この実施例において、第１のセンサ２４はスペクトロメータで良く、第２のセンサ２６はパーチクルモニタセンサで良く、第ｎのセンサ２８はプラズマモニタで良い。他のタイプのセンサとしては、サーモスタット、ポンプセンサ、チラーセンサ、ＲＦ整合システムセンサ、終点システムセンサ、ＲＧＡセンサ、ＩＲ吸収センサ、ＲＦプローブ、およびデータ分析ソフトウェアなど、やはり温度制御を提供するために使用できるサーモメータであって良い。他のセンサからのデータを分析するソフトウェアは、明細書および特許請求の範囲で規定されたセンサであって良い。各センサ１６は、処理チャンバ１８内のパラメータを測定することができる。例えば、スペクトロメータは、処理チャンバ１８内のスペクトルを測定し、パーチクルモニタは、処理チャンバ１８内の粒子密度を測定し、プラズマモニタは、処理チャンバ１８内のプラズマを測定し、サーモメータは、処理チャンバ内の温度を測定する。
【００１１】  図２Ａおよび図２Ｂは、本発明の実施形態を実現するのに適したコンピュータシステム９００を示している。図２Ａは、コンピュータシステムとして可能な１つの物理的形状を示している。コンピュータシステムは、集積回路から始まってプリント基板、埋め込み式のリアルタイム制御システム、小型の携帯用デバイス、そして巨大なスーパーコンピュータに至る広範囲の物理的形状を有することが当然可能である。コンピュータシステム９００は、モニタ９０２と、ディスプレイ９０４と、ハウジング９０６と、ディスクドライブ９０８と、キーボード９１０と、マウス９１２とを含む。ディスク９１４は、コンピュータシステム９００との間でデータをやり取りするために使用されるコンピュータ読み取り可能な媒体である。
【００１２】  図２Ｂは、コンピュータシステム９００のブロック図の一例である。システムバス９２０には、各種のサブシステムが取り付けられている。プロセッサ９２２（中央演算処理装置すなわちＣＰＵとも称される）は、メモリ９２４を含むストレージデバイスと結合している。メモリ９２４は、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）と読み出し専用メモリ（ＲＯＭ）とを含む。当該分野において周知のように、ＲＯＭは、ＣＰＵに対してデータおよび命令を双方向的に転送するように機能し、ＲＡＭは、一般に、データおよび命令を一方向的に転送するために使用される。いずれのタイプのメモリも、後述する任意の適切なコンピュータ読み取り可能媒体を含んで良い。ＣＰＵ９２２には、固定ディスク９２６も双方向的に結合しており、追加のデータストレージ容量を提供するとともに、後述する任意のコンピュータ読み取り可能媒体を含んでも良い。固定ディスク９２６は、プログラムおよびデータなどを格納するために使用して良く、通常は、一次ストレージよりも低速な（ハードディスクなどの）二次ストレージ媒体である。なお、適切だと思われる場合には、固定ディスク９２６の中に保持される情報を、メモリ９２４内の仮想メモリとして標準的な方法で組み込んで良いことがわかる。取り外し可能ディスク９１４は、後述する任意のコンピュータ読み取り可能媒体の形態をとって良い。
【００１３】  ＣＰＵ９２２は、ディスプレイ９０４、キーボード９１０、マウス９１２、およびスピーカ９３０など、様々な入出力デバイスとも結合している。入出力デバイスは、一般に、ビデオディスプレイ、トラックボール、マウス、キーボード、マイクロフォン、タッチセンシティブディスプレイ、トランスデューサカードリーダ、磁気もしくは紙テープリーダ、タブレット、スタイラス、音声もしくは手書き文字認識装置、バイオメトリックスリーダ、または他のコンピュータのうち、任意のデバイスであって良い。ＣＰＵ９２２は、ネットワークインターフェース９４０を使用して別のコンピュータまたは通信ネットワークと随意的に結合して良い。このようなネットワークインターフェースを有したＣＰＵは、上述した方法工程を実施するにあたり、ネットワークに対する情報の送受信を行うことができると考えられる。さらに、本発明による方法の実施形態は、ＣＰＵ９２２のみに対して実行しても良いし、または、処理の一部を共有する遠隔ＣＰＵとの関連のもとで、インターネットなどのネットワークに対して実行しても良い。
【００１４】  本発明の実施形態は、さらに、コンピュータによって実行される各種の動作を実施するコンピュータコードを有したコンピュータ読み取り可能媒体を伴ったコンピュータストレージ製品に関する。媒体およびコンピュータコードは、本発明の目的のために特別に設計および構成されたものであっても良いし、または、コンピュータソフトウェアの分野の当業者にとって周知で且つ入手可能なタイプのものであっても良い。コンピュータ読み取り可能媒体の例は、ハードディスク、フロッピィディスク、および磁気テープなどの磁気媒体、ＣＤ−ＲＯＭおよびホログラフィックデバイスなどの光媒体、フロプティカルディスクなどの光磁気媒体、ならびに特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、プログラム可能論理デバイス（ＰＬＤ）、およびＲＯＭ／ＲＡＭデバイスなど、プログラムコードを格納および実行するために特別に構成されたハードウェアデバイスを含み、これらに限定されない。コンピュータコードの例は、コンパイラによって生成されるマシンコードや、コンピュータによってインタープリタを使用して実行される高水準コードを含んだファイルなどを含む。
【００１５】  図２Ａおよび図２Ｂに示したコンピュータシステム９００が処理モジュールコンピュータシステム２０として使用される場合は、コンピュータシステムバス９２０の一部がネットワーク１４の一部を構成して良く、ネットワークインターフェース９４０に接続されたネットワークがネットワーク１４の一部を構成して良い。また、処理モジュールコンピュータシステム２０は、処理モジュールコンピュータシステム２０がクライアントとして機能する他のコンピュータシステムに、ネットワークを通して接続して良い。
【００１６】  図３は、図１に示したシステム１０の通信の概略である。本発明の好ましい実施形態において、ネットワーク１４はＴＣＰ／ＩＰネットワークである。処理モジュールコンピュータシステム２０は、ＩＰアドレスと複数のポートとを有し、ＴＣＰ／ＩＰネットワークのサーバとして機能する。この実施例において、処理モジュールコンピュータシステム２０のアドレスは、１０．０．１０．１であり、番号が１０００１、１０００２、および１０００３の３つのポートを有する。各センサ１６は、ＩＰアドレスと１つのポートとを有し、処理モジュールコンピュータシステム２０のクライアントとして機能する。この実施例では、各センサ１６がＩＰアドレスと１つのポートとを有しており、これは、センサ１６が処理モジュールコンピュータシステム２０のポートであることを示している。例えば、第１のセンサ２４は、ＩＰアドレス：１０．０．１０．１１とポート番号：１０００１を有し、第２のセンサ２６は、ＩＰアドレス：１０．０．１０．１２とポート番号：１０００２を有し、第ｎのセンサ２８は、ＩＰアドレス１０．０．１０．１３とポート番号：１０００３を有する。
【００１７】  図４は、処理モジュール１２とセンサとの間における通信時間系列チャートであり、図中では、最上部からスタートして下向きに時間が進行する。この実施例では、処理モジュールコンピュータシステムと第１のセンサ２４との間での通信に関して説明する。本発明の好ましい実施形態において、処理モジュールコンピュータシステム２０と第１のセンサ２４との間では、２タイプのメッセージ（データパケット）のみが送信される。これら２タイプのメッセージとは、「コマンド」メッセージと「肯定応答」メッセージである。コマンドは、制御コマンド、データ報告、アラーム報告、またはステータス報告であって良い。
【００１８】  先ず、処理モジュールコンピュータシステム２０および第１のセンサ２４が、始動されて自己初期化される（ステップ４０２および４０４）。処理モジュールコンピュータシステム２０はサーバとして機能し、第１のセンサ２４はクライアントとして機能するので、処理モジュールコンピュータシステム２０と第１のセンサ２４のいずれが先に始動されるかは、問題にならない。処理モジュールコンピュータシステム２０が自己初期化されると、図１に示すように、接続モニタタスクオブジェクト３０が作成される。処理モジュールコンピュータシステム２０が先に始動された場合は、処理モジュールコンピュータシステム２０は、第１のセンサ２４への接続待ちをする（ステップ４０６）。第１のセンサ２４と処理モジュールコンピュータシステム２０の両方が始動され自己初期化されたら、第１のセンサ２４は、「処理チャンバと接続する」メッセージを処理モジュールコンピュータシステム２０に送信する（ステップ４０８）。これは、第１のセンサ２４によって発せられ、処理モジュールコンピュータシステム２０にクライアント／サーバ関係で接続するように要求するリクエストである。処理モジュールコンピュータシステム２０が第１のセンサ２４から「処理モジュールと接続する」メッセージを受信したら、図１に示すように、接続モニタタスク３０によって第１のセンサメッセージングタスク３２が作成される。他のセンサが処理モジュール１２と接続した場合は、他のセンサメッセージングタスク３４が同様に作成される。
【００１９】  第１のセンサ２４は、次いで、「アラームテーブルを取得するコマンド」メッセージを処理モジュールコンピュータシステム２０に送信する（ステップ４１０）。処理モジュールコンピュータシステム２０は、「アラームテーブルを取得するコマンド」メッセージを受信したら、「肯定応答」メッセージでもって応答する（ステップ４１２）。第１のセンサ２４は、「肯定応答」メッセージを受信してアラームテーブル待ちをする（ステップ４１４）。処理モジュールコンピュータシステム２０は、処理モジュールが処理するアラームの数を指定する「アラームテーブル」メッセージを第１のセンサ２４に送信する（ステップ４１６）。アラームテーブルは、アラームの識別番号と各アラームの記述とを提供する。「アラームテーブル」メッセージを受信した第１のセンサ２４は、「肯定応答」メッセージでもって応答する（ステップ４２０）。
【００２０】  第１のセンサ２４は、次いで、「日付／時刻および初期化データを取得するコマンド」メッセージを処理モジュールコンピュータシステム２０に送信する（ステップ４２２）。第１のセンサ２４から「日付／時刻および初期化データを取得するコマンド」メッセージを受信した処理モジュールコンピュータシステム２０は、「肯定応答」メッセージを第１のセンサ２４に送信する（ステップ４２４）。「日付／時刻および初期化データ」メッセージは、処理モジュールコンピュータシステム２０から第１のセンサ２４へと送信され（ステップ４２６）、これによって、第１のセンサ２４を処理モジュールコンピュータシステム２０と同期化させることが可能になる。処理モジュールコンピュータシステムから「日付／時刻および初期化データ」メッセージを受信した第１のセンサ２４は、「肯定応答」メッセージでもって応答する（ステップ４２８）。
【００２１】  処理モジュールコンピュータシステム２０は、次いで、「報告可能な仕様を取得するコマンド」メッセージを第１のセンサ２４に送信する（ステップ４３０）。「報告可能な仕様を取得するコマンド」メッセージを受信した第１のセンサ２４は、「肯定応答」メッセージでもって応答する（ステップ４３２）。第１のセンサ２４は、次いで、第１のセンサ２４によって提供されるデータ型を処理モジュールコンピュータシステム２０に通知する「報告可能な仕様〕メッセージを送信する（ステップ４３４）。処理モジュールコンピュータシステム２０は、「肯定応答」メッセージでもって応じる（ステップ４３６）。センサが異なると、異なった型のデータを生成し得る。データ型は、ブール型、整数型、列挙型、浮動小数点型などで良い。データの型だけでなく、データとして可能な範囲も重要である。また、データの頻度すなわちデータがどれだけ頻繁に測定されるかも重要である。センサのなかには、自動的にデータを送信するものもあるし、要求された場合にのみデータを送信するものもある。「報告可能な仕様」メッセージは、データの型、範囲、頻度、および分布に関する情報を提供することによって、処理モジュールコンピュータシステム２０が、追加のプログラミングを要することなく第１のセンサ２４からのデータを使用できるようにする。追加のプログラミングが不要なので、センサのデータ型に応じて処理モジュールコンピュータシステム２０をプログラムするユーザインターフェースも不要である。
【００２２】  第１のセンサ２４は、次いで、情報リクエスト待ちをする（ステップ４３８）。処理モジュールコンピュータシステム２０が追加の情報を必要とする場合は、「要求された情報を送信する」メッセージが処理モジュールコンピュータシステム２０から第１のセンサ２４へと送信され、第１のセンサはこれに対して「肯定応答」メッセージでもって応答する（ステップ４４２）。
【００２３】  次いで、処理関連のコマンドメッセージが、処理モジュールコンピュータシステム２０から第１のセンサ２４へと送信され（ステップ４４４）、第１のセンサ２４は、「肯定応答」メッセージでもってこれに応答する（ステップ４４６）。処理関連のコマンドは、処理モジュールコンピュータシステム２０による複数のコマンドであり、処理チャンバ１８において生じる処理工程を開始および停止させる処置に関する。例えば、エッチングチャンバにおいて、第１のセンサ２４にレシピを送信するために第１の処理関連コマンドが第１のセンサ２４に送信され、応答として第１のセンサ２４は「肯定応答」メッセージを送信する。ウエハが処理チャンバ１８の中に入ったら、ウエハが処理チャンバ１８の中にあることを示す第２の処理関連コマンドが第１のセンサ２４に送信され、応答として第１のセンサ２４は「肯定応答」メッセージを送信する。次いで、レシピ処理の開始を示す第３の処理関連コマンドが第１のセンサ２４に送信され、応答として「肯定応答」メッセージが送信される。レシピ中の第１の工程が開始したら、第４の処理関連コマンドが第１のセンサ２４に送信され、応答として第１のセンサ２４は「肯定応答」メッセージを送信する。レシピ中の第１のステップが終了したら、第５の処理関連コマンドが第１のセンサ２４に送信され、応答として第１のセンサ２４は「肯定応答」メッセージを送信する。処理コマンドおよび肯定応答は、レシピの各工程を開始および停止させることを目的として作成される。レシピの終了時には、「レシピ終了」処理工程が第１のセンサ２４に送信され、これに対して第１のセンサ２４は肯定応答を送信する。最後に、ウエハが取り出されると、「ウエハ取り出し」処理コマンドが第１のセンサ２４に送信され、これに対して第１のセンサ２４は肯定応答を送信する。したがって、処理チャンバ内のある工程を開始または停止させる処置が、処理チャンバの中で実行されるときには、その処置に関する処理関連コマンドが、処理モジュールコンピュータシステム２０から送信されることがわかる。
【００２４】  処理中、第１のセンサ２４は、「処理関連結果」メッセージを処理モジュールコンピュータシステム２０に送信して良く（ステップ４４８）、処理モジュールコンピュータシステム２０は、応答として「肯定応答」メッセージを第１のセンサ２４に送信する（ステップ４５０）。「処理関連結果」メッセージは、処理モジュールコンピュータシステム２０に処理を打ち切らせるアラームメッセージであって良い。「処理関連結果」メッセージは、温度などのフィードバック情報を提供し、処理モジュールコンピュータシステム２０がこれにしたがって温度を調整できるようにして良い。「処理関連結果」メッセージは、処理完了後に分析を行うためのデータを提供して良く、このデータは、処理モジュールコンピュータシステム２０に格納して良い。
【００２５】  その結果、全てのセンサ１６から、タイムスタンプされ処理チャンバと同期化されたリアルタイムのデータが提供される。同期化されたデータは、トラブルシューティングのための処理を徹底的に分析することを可能にする。リアルタイムデータは、処理中に処理チャンバ内での処理を調整するために使用して良い。センサ１６からのデータは、全て、センサのサーバとして機能する処理モジュールコンピュータシステム２０に格納して良い。これらのデータは、各センサの報告可能な仕様情報によって、使用可能フォームにして良い。
【００２６】  本発明の好ましい実施形態において、コマンドメッセージは、リードメッセージとコマンドデータパケットとを備える。リードメッセージは、好ましい実施形態において２バイトの長さを有し、コマンドデータパケットの長さを含む。肯定応答メッセージは、リードメッセージと肯定応答データパケットとを備える。リードメッセージは、好ましい実施形態において２バイトの長さを有し、肯定応答データパケットの長さを含む。
【００２７】  好ましい実施形態において、コマンドデータパケットの第１のバイトは、所定のレベル番号を保持する。さらに好ましくは、処理モジュールコンピュータシステム２０とセンサとの間での通信は、全て、レベル番号３を有することが好ましい。この場合、処理モジュールコンピュータシステム２０と、処理モジュールコンピュータシステムのクライアントセンサでない他のコンピュータシステムと、の間での通信は、３でないレベル番号を有する。処理モジュールコンピュータシステム２０と他のコンピュータシステムとの間において、処理モジュールコンピュータシステム２０とクライアントセンサシステムとの間におけるレベル番号とは異なる番号を使用することによって、センサおよび処理モジュールコンピュータシステム２０は、クライアント／サーバ関係にある処理モジュールコンピュータシステム２０およびセンサのためのメッセージがどれかを、容易に決定することが可能である。コマンドデータパケットの第２のバイトは、０から２５５までの値を提供する「コマンドＩＤ」を備えており、これは、開始レシピ、開始工程、終了レシピ、打ち切りレシピ工程、エラー条件を要因とする通知アラーム、クリア通知アラーム、およびステータス情報などの、コマンドタイプを指定するために使用される。コマンドデータパケットの第３のバイトは、コマンドのためのトランザクション番号を提供する。好ましい実施形態において、トランザクション番号は０から１５である。コマンドデータパケットの残りのバイトは、コマンドデータを提供する。
【００２８】  本発明の好ましい実施形態において、肯定応答データパケットはわずか３バイトの長さである。肯定応答データパケットの目的は、受信側が首尾よくコマンドデータパケットを受信したことを送信側に知らせることにある。本発明の好ましい実施形態において、肯定応答データパケットの第１のバイトは、コマンドデータパケットの所定のレベル番号と等しい所定のレベル番号である。肯定応答データバケットの第２のバイトは、データパケットが肯定応答データパケットであることを示すように設定された番号である。肯定応答データパケットの第３のバイトは、受信されたコマンドのコマンドＩＤである。
【００２９】  他の実施形態では、プロトコルとしてＴＣＰ／ＩＰを使用する代わりに、ＬＯＮＷＯＲＫＳ（ローカルオペレーションネットワーク）、Ｄｅｖｉｃｅｎｅｔ、およびＲＳ４８５／４２２などの他の可能なプロトコルを、特定のカスタマイズプロトコルとともに使用して良い。これらのプロトコルは、全て、マルチドロップである。ＵＤＰプロトコルでは肯定応答を使用しない傾向にあるが、本発明の好ましい実施形態では肯定応答が使用されるので、ＵＤＰプロトコルは使用しないことが好ましい。
【００３０】  指定されたタイムアウト期間のあいだ、センサからのメッセージが受信されなかった場合は、処理モジュールからセンサへとハートビートメッセージが送信される。肯定応答が受信されなかった場合は、センサの接続を断つ処理の一環として、センサメッセージングタスクが削除される。新しいセンサを追加したい場合、またはセンサメッセージングタスクを削除されたセンサが接続メッセージを送信する場合は、新しいセンサメッセージングタスクを作成する。したがって、処理モジュールコンピュータシステム２０の実行中に、センサ１６をネットワーク１４に追加したりネットワーク１４から除去したりすることが可能であるしたがって、センサ１６は、ホットスワップが可能なプラグアンドプレイセンサである。
【００３１】  以上では、本発明をいくつかの好ましい実施形態の形で説明したが、本発明の範囲内で、種々の代替、置き換え、および等価物が可能である。また、本発明による方法および装置を実現する代替の方法が数多く存在することにも注意が必要である。したがって、添付した特許請求の範囲は、このような代替、置き換え、および等価物の全てを、本発明の真の趣旨および範囲内に含むものとして、解釈される。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の好ましい一実施形態における処理モジュールおよびセンサの概略図である。
【図２Ａ】  本発明の一実施形態において使用して良いコンピュータシステムの斜視図である。
【図２Ｂ】  図２Ａに示したコンピュータシステムのブロック図である。
【図３】  本発明の好ましい実施形態を示した別の概略図である。
【図４】  処理モジュールコンピュータシステムとセンサとの間で交換される情報のデータフローチャートである。
【符号の説明】１０…システム
１２…処理モジュール
１４…ネットワーク
１６…センサ
１８…処理チャンバ
２０…処理モジュールコンピュータシステム
２４…第１のセンサ
２６…第２のセンサ
２８…第ｎのセンサ
３０…接続モニタタスクオブジェクト
３２…第１のセンサメッセージングタスク
３４…他のメッセージングタスク
９００…コンピュータシステム
９０２…モニタ
９０４…ディスプレイ
９０６…ハウジング
９０８…ディスクドライブ
９１０…キーボード
９１２…マウス
９１４…取り外し可能ディスク
９２０…システムバス
９２２…プロセッサ
９２４…メモリ
９２６…固定ディスク
９３０…スピーカ
９４０…ネットワークインターフェース
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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