(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ａ）基板上に導電性膜を形成する段階；
ｂ）前記導電性膜上に絶縁層パターンを形成（ｆｏｒｍｉｎｇ）する段階；
ｃ）前記絶縁層パターンをマスクとして利用して前記導電性膜をエッチング（ｅｔｃｈｉｎｇ）することによって導電性パターンを形成する段階；および
ｄ）前記導電性パターンを覆うように（ｃｏｖｅｒｉｎｇ）前記絶縁層パターンを再形成（ｒｅｆｏｒｍｉｎｇ）する段階；
を含み、
前記ｂ）段階で前記絶縁層パターンを形成する方法は、オフセット印刷、リバースオフセット印刷、グラビア印刷、フォトリソグラフィ法、フォトグラフィ法、マスクを利用した方法、およびレーザー転写のうちから選択される方法であり、
前記ｃ）段階で前記導電性パターンのテーパ角度が０度超過９０度未満であり、
前記絶縁層パターンのテーパ角度は０度超過９０度未満であり、
前記絶縁層パターンは、前記導電性パターンが絶縁されるように除去されず、
前記絶縁層パターンは、イミド系高分子、ビスフェノール系高分子、エポキシ系高分子、アクリル系高分子、エステル系高分子、およびノボラック（Ｎｏｖｏｌａｃ）系高分子のうちから選択される１種以上の高分子、またはイミド系単量体、ビスフェノール系単量体、エポキシ系単量体、アクリル系単量体、およびエステル系単量体のうちから選択される２つ以上の調合物または共重合体を含む、絶縁された導電性パターンの製造方法。
【請求項２】
前記ｃ）段階で導電性膜のエッチング後、前記絶縁層パターンの枠下部にアンダーカット（ｕｎｄｅｒｃｕｔ）が形成されることを特徴とする、請求項１に記載の絶縁された導電性パターンの製造方法。
【請求項３】
前記ｃ）段階で導電性膜のエッチング時間は、ジャストエッチングタイム（ｊｕｓｔ−ｅｔｃｈｉｎｇ  ｔｉｍｅ）〜ジャストエッチングタイムよりも２０００％延長した時間である、請求項１または２に記載の絶縁された導電性パターンの製造方法。
【請求項４】
前記導電性膜は金属を含む単一膜または多層膜である、請求項１〜３のうちのいずれか一項に記載の絶縁された導電性パターンの製造方法。
【請求項５】
前記ｄ）段階で前記絶縁層パターンの厚さは、前記導電性パターンの厚さよりも厚い、請求項１〜４のうちのいずれか一項に記載の絶縁された導電性パターンの製造方法。
【請求項６】
前記ｄ）段階で絶縁層パターンの再形成方法は、熱処理、溶媒または溶媒の蒸気との接触、プラズマ処理、または加圧を含む、請求項１〜５のうちのいずれか一項に記載の絶縁された導電性パターンの製造方法。
【請求項７】
ｂ）段階途中または以後にソフトベーク段階を追加で含む、請求項１〜６のうちのいずれか一項に記載の絶縁された導電性パターンの製造方法。
【請求項８】
基板、前記基板に形成された導電性パターン、および前記導電性パターンを覆っている絶縁層パターンを含み、前記導電性パターンのテーパ角度が０度超過９０度未満であり、
前記絶縁層パターンのテーパ角度は０度超過９０度未満であり、
前記絶縁層パターンは、前記導電性パターンが絶縁されるように除去されず、
前記絶縁層パターンは、イミド系高分子、ビスフェノール系高分子、エポキシ系高分子、アクリル系高分子、エステル系高分子、およびノボラック（Ｎｏｖｏｌａｃ）系高分子のうちから選択される１種以上の高分子、またはイミド系単量体、ビスフェノール系単量体、エポキシ系単量体、アクリル系単量体、およびエステル系単量体のうちから選択される２つ以上の調合物または共重合体を含む、請求項１〜７のうちのいずれか一項に記載の方法を用いて製造された積層体。
【請求項９】
前記絶縁層パターンが他の領域と硬化度が相異なる領域を含む、請求項８に記載の積層体。
【請求項１０】
前記導電性パターンの末端地点と前記絶縁層パターンの末端地点との間の距離が、前記絶縁層パターンの材料として熱硬化性樹脂を使用したときに０〜１マイクロメータであり、前記絶縁層パターンの材料として熱可塑性樹脂を使用したときに５マイクロメータ以上である、請求項８または９に記載の積層体。
【請求項１１】
パターン不良によるショートが発生しないことを特徴とする、請求項８〜１０のうちのいずれか一項に記載の積層体。
【請求項１２】
前記絶縁層パターンのテーパー角が前記導電性パターンのテーパー角より大きいことを特徴とする、請求項８〜１１のうちのいずれか一項に記載の積層体。
【請求項１３】
前記導電性パターンの線幅方向の断面において、前記導電性パターンの一側端部から前記絶縁層パターンの一側端部までの距離（ａ）と前記導電性パターンの他側端部から前記絶縁層パターンの他側端部までの距離（ｂ）の百分比（ａ／ｂ＊１００）が９０〜１１０の範囲内である、請求項８〜１２のうちのいずれか一項に記載の積層体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、絶縁された導電性パターンの製造方法に関する。本出願は、２００９年２月６日および２００９年１２月２１日に韓国特許庁に提出された韓国特許出願第１０−２００９−０００９７５０号、第１０−２００９−０１２７７５６号、第１０−２００９−０１２７７５７号および第１０−２００９−０１２７７５９号の出願日の利益を主張し、その内容すべては本明細書に含まれる。
【背景技術】
【０００２】
一般的な従来の導電性パターンの製造工程は次のとおりである。まず、基板上に形成された導電性膜にフォトレジストを均一に塗布し、これを選択的に露光、現像処理してフォトレジストパターンを形成する。続いて、パターン化されたフォトレジストパターンをマスクとして利用して前記導電性膜をエッチングすることにより、フォトレジスト下部層に導電性パターンを転写する。その後、不必要となったフォトレジスト層を剥離液によって除去する。続いて、前記導電性パターンが形成された基板の全体面上に絶縁層を均一に塗布する。
【０００３】
このような従来の工程は、実際に導電性パターン自体の構成要素ではないフォトレジスト物質および剥離液を用いることにより、前記フォトレジスト物質および剥離液の費用およびこれらの廃棄費用による工程費用の上昇を招く。また、前記材料の廃棄による環境汚染の問題がある。さらに、上記した従来の工程は工程数が多くて複雑であり、時間および費用が多く所要され、フォトレジスト物質を十分に剥離することができない場合には最終製品から不良が発生するなどの問題点がある。
【０００４】
これを解決するために、工程内の異物管理および剥離液の再利用方法の開発や環境親和性技術の開発、または効率的な剥離液の開発などの努力が絶え間なく行われてきたが、さらに根本的な解決方法が求められている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上述したような従来技術の問題点を解決するためのものであって、本発明は、従来の工程に比べて工程数が少なくて経済性が大きく向上した、絶縁された導電性パターンの製造方法及びこの方法によって製造された絶縁された導電性パターンを含む積層体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明の一実施様態は、ａ）基板上に導電性膜を形成するステップ；ｂ）前記導電性膜上に絶縁層パターンを形成（ｆｏｒｍｉｎｇ）するステップ；ｃ）前記絶縁層パターンをマスクとして利用して前記導電性膜をエッチング（ｅｔｃｈｉｎｇ）することによって導電性パターンを形成するステップ；およびｄ）前記導電性パターンを覆うように（ｃｏｖｅｒｉｎｇ）前記絶縁層パターンを再形成（ｒｅｆｏｒｍｉｎｇ）するステップを含む絶縁された導電性パターンの製造方法を提供する。
【０００７】
本発明のまた他の一実施様態は、基板、前記基板上に形成された導電性パターンおよび前記導電性パターンを覆っている絶縁層パターンを含み、前記絶縁された導電性パターンの製造方法によって製造された積層体を提供する。
【０００８】
本発明の一実施様態は、基板、前記基板に形成された導電性パターンおよび前記導電性パターンを覆っている絶縁層パターンを含み、前記導電性パターンのテーパー角が小さいことを特徴とする積層体を提供する。前記導電性パターンのテーパー角は０超過９０度未満であってもよく、０超過４５度以下であることが好ましく、０超過３０度以下であることがより好ましい。
【０００９】
本発明のまた他の一実施様態は、基板、前記基板に形成された導電性パターンおよび前記導電性パターンを覆っている絶縁層パターンを含み、前記絶縁層パターンのテーパー角が小さいことを特徴とする積層体を提供する。前記絶縁層パターンのテーパー角は０超過９０度未満であってもよく、０超過７０度以下であることが好ましく、０超過３０度以下であることがより好ましい。
【００１０】
本発明のまた他の一実施様態は、基板、前記基板に形成された導電性パターンおよび前記導電性パターンを覆っている絶縁層パターンを含み、前記絶縁層パターンのテーパー角が前記導電性パターンのテーパー角より大きいことを特徴とする積層体を提供する。前記絶縁層パターンのテーパー角は前記導電性パターンのテーパー角より大きいのであれば特に限定されないが、０度超過４５度以下より大きいことがより好ましい。
【００１１】
本発明のまた他の一実施様態は、基板、前記基板に形成された導電性パターンおよび前記導電性パターンを覆っている絶縁層パターンを含み、前記導電性パターンと前記絶縁層パターンとの間にボイドを含むことを特徴とする積層体を提供する。
【００１２】
本発明のまた他の一実施様態は、基板、前記基板に形成された導電性パターンおよび前記導電性パターンを覆っている絶縁層パターンを含み、前記導電性パターンの線幅方向の断面において、前記導電性パターンの一側端部から前記絶縁層パターンまでの距離（ａ）と前記導電性パターンの他側端部から前記絶縁層パターンまでの距離（ｂ）の百分比（ａ／ｂ＊１００）が９０〜１１０の範囲内であることを特徴とする積層体を提供する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の方法によれば、導電性パターンを形成するための別途のフォトレジスト物質および剥離液を用いないため、これによって発生する費用上昇および環境汚染の問題がなくなり、既存のフォトリソグラフィ工程に比べて工程が単純で経済性がある。また、導電性パターンの形成時に用いられたマスクパターンを除去せず、そのパターンを再形成して導電性パターンを絶縁させることに利用するため、前記絶縁性パターンによって絶縁されない導電性パターンが存在しなくなり、これによって基板に導電性物質のような異物が残らず、ショートが発生しない。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係る方法の一実施形態を例示した模式図である。
【図２】本発明に係る方法の他の一実施形態を例示した模式図である。
【図３】本発明に係る方法を利用する場合、ショート誘発の原因を除去することができる効果を図式化したものである。
【図４】実施例１で製造された積層体の断面を示す電子顕微鏡写真である。
【図５】実施例２で製造された積層体の断面を示す電子顕微鏡写真である。
【図６】ソフトベーク温度によるリフロー（ｒｅｆｌｏｗ）形状を示す写真である。
【図７】実施例１、１０、および１１で製造された積層体の断面を示す電子顕微鏡写真である。
【図８】導電性膜のエッチング時間によるボイド厚さの差を示す写真である。
【図９】実施例１７で製造された積層体の断面を示す電子顕微鏡写真である。
【図１０】本発明による方法の一実施様態を積層体の側面から観察した模式図である。
【図１１】本発明の一実施様態による積層体において、絶縁層パターンが導電性パターン上に対称的な構造で積層されている構造を例示したものである。
【図１２】本発明の一実施様態による積層体において、絶縁層パターンが導電性パターン上に対称的な構造で積層されている構造を例示したものである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明をより具体的に説明する。
【００１６】
本発明の一側面は、
ａ）基板上に導電性膜を形成するステップ；
ｂ）前記導電性膜上に絶縁層パターンを形成するステップ；
ｃ）前記絶縁層パターンをマスクとして利用して前記導電性膜をエッチング（ｅｔｃｈｉｎｇ）することによって導電性パターンを形成するステップ；および
ｄ）前記導電性パターンを覆うように（ｃｏｖｅｒｉｎｇ）前記絶縁層パターンを再形成（ｒｅｆｏｒｍｉｎｇ）するステップ
を含む絶縁された導電性パターンの製造方法に関する。本発明に係る絶縁された導電性パターンの製造方法の一例を図１０に例示する。しかし、本発明の範囲が図１０によって限定されるものではなく、追加のステップをさらに追加することができる。
【００１７】
前記基板の材料は本発明に係る絶縁された導電性パターンの製造方法を適用しようとする分野に応じて適切に選択することができ、好ましい例としてはガラスあるいは無機材料基板、プラスチック基板またはその他のフレキシブル基板などが挙げられるが、これらに限定されない。
【００１８】
また、前記導電性膜の材料は特に限定されないが、金属膜であることが好ましい。前記導電性膜材料の具体的な例としては、銀、アルミニウム、銅、ネオジム、モリブデンまたはこれらの合金を含む単一膜または多層膜が好ましい。ここで、前記導電性膜の厚さは特に限定されないが、０．０１〜１０μｍであることが導電パターンの伝導度および形成工程の経済性の側面で好ましい。
【００１９】
前記導電性膜の形成方法は特に限定されず、蒸着、スパッタリング、湿式コーティング、蒸発、電解メッキまたは無電解メッキ、金属箔のラミネーションなどの方法を利用することができる。本発明の方法によれば、ディスプレイ用電子部品の有効画面部に含まれる導電性パターンとこれの信号印加のための配線部を同時に形成することができるという長所がある。特に、前記導電性膜の形成方法として、有機金属、ナノ金属またはこれらの複合体溶液を基板上にコーティングした後、焼成および／または乾燥によって伝導度を付与する方法を利用することができる。前記有機金属としては有機銀を用いることができ、前記ナノ金属としてはナノ銀粒子などを用いることができる。
【００２０】
本発明において、前記導電性膜の形成前に、基板上に付着力付与のためのバッファ層をさらに形成することもできる。
【００２１】
本発明による方法は、前記ａ）ステップ後に洗浄ステップをさらに含むことができる。
【００２２】
前記ｂ）ステップにおいて、前記絶縁層パターンを形成する方法は、印刷法、フォトリソグラフィ法、フォトグラフィ法、マスクを利用した方法またはレーザ転写、例えば熱転写イメージ（ｔｈｅｒｍａｌ  ｔｒａｎｓｆｅｒ  ｉｍａｇｉｎｇ）が好ましく、印刷法またはフォトリソグラフィ法がより好ましい。
【００２３】
前記印刷法は、絶縁材料を含むペーストあるいはインクを導電性膜が形成された基板上に目的とするパターン形態で転写した後に焼成する方式で行うことができる。前記転写方法は特に限定されないが、凹版またはスクリーンなどのパターン転写媒体にパターンを形成し、これを利用して所望のパターンを導電性膜上に転写することができる。前記パターン転写媒体にパターン形態を形成する方法としては当技術分野で知られている方法を利用することができる。
【００２４】
前記印刷法は特に限定されず、オフセット印刷、リバースオフセット印刷、スクリーン印刷、グラビア印刷などの印刷法を利用することができる。オフセット印刷は、パターンが彫られた凹版にペーストを満たした後、ブランケット（ｂｌａｎｋｅｔ）と呼ばれるシリコンゴムに１次転写をした後、前記ブランケットと導電性膜が形成された基板を密着させて２次転写をする方式で行うことができる。スクリーン印刷は、パターンがあるスクリーン上にペーストを位置させた後、スクイージーを押しながら、空間が空いているスクリーンを通して直接的に導電性膜が形成された基板にペーストを位置させる方式で行うことができる。グラビア印刷は、ロール上にパターンが彫られたブランケットを巻き、ペーストをパターンの中に満たした後、導電性膜が形成された基板に転写する方式で行うことができる。本発明においては、前記方式を各々単独で利用することができるだけでなく、前記方式を複合的に利用することもできる。また、その他の当業者に知られた印刷方式を利用することもできる。
【００２５】
グラビアオフセット印刷法またはリバースオフセット印刷法の場合、ブランケットが有する離型特性によってインクあるいはペーストが導電性膜が形成された基板にほぼ転写されるため、別途のブランケット洗浄工程が必要ではない。前記凹版は基板を精密エッチングして製造することができる。前記凹版は金属板をエッチングして製造することができ、あるいは高分子樹脂を通じた光学的パターニングによって製造することもできる。
【００２６】
本発明においては、印刷法を利用することが好ましく、その中でもオフセット印刷法、リバースオフセット印刷法またはグラビア印刷法を利用することが好ましい。
【００２７】
リバースオフセット印刷法を利用する場合、前記絶縁層の材料が含まれた印刷用インクの粘度は０ｃｐｓ超過１０００ｃｐｓ以下であることが好ましく、５ｃｐｓ〜１０ｃｐｓであることがより好ましい。また、グラビア印刷法を利用する場合、前記インクの粘度が６０００ｃｐｓ〜１２０００ｃｐｓであることが好ましく、７０００ｃｐｓ〜８０００ｃｐｓ範囲であることがより好ましい。インクの粘度が前記範囲である時に、各印刷法においてインクのコーティングが適切になされ、且つ、工程中にインクの安定性（インクの工程維持能力）が維持される。
【００２８】
本発明において、前記絶縁層パターンを形成する方法は、前述した印刷法に限定されず、フォトリソグラフィ法を利用することもできる。例えば、導電性膜上に感光性と耐酸性（エッチングに対する耐性）を有する絶縁層を形成し、これを選択的露光および現像によってパターン化する方法で行うことができる。
【００２９】
前記絶縁層パターンが形成された後、絶縁層パターンのテーパー角（ｔａｐｅｒ  ａｎｇｌｅ）は０度超過９０度未満であることが好ましく、１０度以上７０度以下であることがより好ましい。ここで、テーパー角は絶縁層パターンの端部がその下部層、すなわち導電性膜の表面となす角度を意味する。前記テーパー角は、前記絶縁層パターンの末端地点から前記絶縁層パターンの上面が平滑になり始まる地点までの接線の平均傾きを有する直線とその下部層の表面とがなす角度で測定することができる。
【００３０】
絶縁層パターンのテーパー角が前記範囲である時、前記ｄ）ステップにおいて、絶縁層パターンの再形成が容易に起こり、絶縁層パターンが導電性パターンを十分に覆うようにすることができる。
【００３１】
前記絶縁層は、絶縁性だけでなく、導電性パターンの形成時に用いられるエッチング液に反応しない耐酸性および導電性膜との十分な接着力を有する材料を用いて形成することが好ましい。特に、本発明の方法は、ｄ）絶縁層パターンが導電性パターンを覆うように再形成するステップを含み、前記ｄ）ステップにおいて、熱、溶媒、蒸気（溶媒の蒸気）またはプラズマで処理して絶縁層パターンを再形成する方法を利用する場合、絶縁層材料として熱、溶媒、蒸気（溶媒の蒸気）、プラズマなどの処理によって流動性（ｍｏｂｉｌｉｔｙ）を示し且つ耐酸性を有する高分子材料を用いることが好ましく、架橋性を有する高分子材料を用いることがより好ましい。
【００３２】
前記絶縁層材料は、漏れ電流１０〜１アンペア以下である絶縁性を有するものが好ましい。前記絶縁層材料の漏れ電流は１０〜１６アンペア以上であってもよい。前記絶縁層材料は、該当方法に用いられる導電性膜のエッチング液に対して耐酸性を有することが好ましく、例えば該当導電性膜のエッチング液に対して浸漬またはスプレーの方法で接触する時に１０分以上形態の変化がないことが好ましい。また、前記絶縁層材料は、後述するｄ）ステップのための加工条件において流動性を有することが好ましい。
【００３３】
前記絶縁層材料としては、後述する絶縁層パターンの再形成条件において可塑性または硬化性を有する高分子材料を用いることが好ましい。本発明においては、前記絶縁層材料として、熱硬化性樹脂だけでなく、ＵＶ硬化性樹脂を用いることができる。ＵＶ硬化性樹脂は、熱硬化性樹脂とは異なって溶媒を用いないこともできるため、溶媒蒸発による問題点がなく、安定した形態の微細なパターン形成に有利である。具体的には、前記絶縁層材料の例としては、イミド系高分子、ビスフェノール系高分子、エポキシ系高分子、アクリル系高分子、エステル系高分子、ノボラック（Ｎｏｖｏｌａｃ）系高分子またはこれらの組み合わせを用いることができる。この中でもアクリル系、イミド系またはノボラック（Ｎｏｖｏｌａｃ）系樹脂が好ましい。また、前記絶縁層材料の例としてはイミド系単量体、ビスフェノール系単量体、エポキシ系単量体、アクリル系単量体およびエステル系単量体のうちの２以上の組み合わせまたは共重合体、例えばエポキシ化アクリル樹脂またはエポキシ系単量体とアクリル系単量体の共重合体を用いることができる。
【００３４】
前記絶縁層パターンを印刷法によって形成する場合、固形分の含量を調節するか、溶媒を適切に選択することによってプロセスマージンを増加させることができる。
【００３５】
前記絶縁層パターン形成用印刷組成物の固形分の含量は、印刷法の種類や絶縁層パターンの厚さに応じて異に調節することができる。例えば、グラビア印刷法を利用する場合、前記絶縁層パターン組成物の固形分の含量は７０重量％〜８０重量％であることが好ましい。また、リバースオフセット印刷法を利用し、１００ｎｍ〜１０マイクロメータ、より好ましくは５００ｎｍ〜２マイクロメータの厚さを有する絶縁層パターンを形成する場合、前記絶縁層パターン組成物の固形分の含量は１０重量％〜２５重量％であることが好ましい。しかし、本発明の範囲が前記した例に限定されず、絶縁層パターン組成物の固形分の含量はその他の材料や工程条件に応じて当業者が調節することができる。
【００３６】
前記絶縁層パターン組成物に添加できる溶媒としては当技術分野に用いられる溶媒を用いることができ、１種の単独または２種以上の混合溶媒を用いることができる。例えば、印刷法に用いられるブランケット材料、例えばＰＤＭＳに損傷（ｄａｍａｇｅ）を与えない溶媒であれば特に限定されない。例えばＰＧＭＥＡ（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ  ａｃｅｔａｔｅ）、エタノール、プロピレンカーボネート、ブチルセロソルブ、ＤＭＡｃ（ｄｉｍｅｔｈｙｌ  ａｃｅｔａｍｉｄｅ）、ＭＥＫ（ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｙｌ  ｋｅｔｏｎｅ）、ＭＩＢＫ（ｍｅｔｈｙｌ  ｉｓｏｂｕｔｙｌ  ｋｅｔｏｎｅ）などを用いることができる。
【００３７】
前記絶縁層パターン形成用組成物は接着増進剤（ａｄｈｅｓｉｏｎ  ｐｒｏｍｏｔｅｒ）、界面活性剤などをさらに含むことができる。
【００３８】
また、前記絶縁層が前記導電性パターンを十分に覆うようにするためには、前記絶縁層の厚さは前記導電性膜の厚さより厚いことが好ましいが、これに限定されない。また、前記絶縁層パターンの幅は本発明の方法が適用される分野に応じて当業者が適切に選択することができ、特に限定されるものではない。例えば、前記絶縁層パターンの下部幅は導電性パターンの上面と側面を全て覆うことができる寸法を有することが好ましい。
【００３９】
前記ｃ）ステップにおいて、前記導電性パターンの形成は、前記絶縁層パターンをマスクとして利用してエッチングすることによって行われる。
【００４０】
前記エッチング方式はエッチング液を使う湿式エッチングまたはプラズマやレーザを用いる乾式エッチングであってもよいが、これらに限定されない。
【００４１】
湿式エッチングを利用する場合、エッチング液としては硝酸（ＨＮＯ３）溶液、リン酸／硝酸／酢酸の混合酸溶液、過酸化水素、過塩素酸、塩酸、フッ酸およびシュウ酸のうちの１つまたは２つ以上またはその水溶液を用いることができる。必要な場合、所望の導電性膜をエッチングするための添加剤およびその他の元素を添加することもできる。しかし、前述した例に限定されず、一般的に該当導電性膜のエッチング溶液として知られたものを用いてもよい。
【００４２】
前記ｃ）ステップにおいて、導電性膜をエッチングする時、オーバーエッチングを行うことによって、前記絶縁層パターンのフレーム下部にアンダーカット（ｕｎｄｅｒｃｕｔ）が形成されることが好ましい。
【００４３】
前記「アンダーカット（ｕｎｄｅｒｃｕｔ）」という用語は、基板上に第１層を形成し、その上に第２層を形成した後、第２層をマスクとして利用して第１層だけを選択的にエッチングする時、第１層の側面が過度にエッチングされ、第２層の面積より第１層の面積が狭くなった形態を意味する。ここで、「第２層をマスクとして利用して」という用語は、第２層がエッチングによって変形や除去されずにそのまま残ることを意味する。
【００４４】
一般的なエッチング工程においては、第２層をマスクとして利用して第１層をエッチングする場合、第１層のパターンが第２層のパターンと同一の形状で実現されることを目標とし、アンダーカットが発生することは止揚する。
【００４５】
しかし、本発明においては、絶縁層パターンの下部にアンダーカットが形成されるように導電性膜をエッチングする場合、前記ｄ）ステップにおいて、前記導電性パターンが前記絶縁層パターンによって十分に覆われるので好ましい。また、アンダーカットが形成されるように導電性膜をエッチングする場合、エッチングを十分に行うことができるため、導電性パターンが形成されない基板上には残留導電性物質のような異質物がほぼ残らないため、最終製品からショートが発生するなどの問題が生じないという長所がある。
【００４６】
前記ｃ）ステップにおいて、アンダーカットが発生する場合、絶縁層パターンの幅または長さは導電性パターンの幅または長さより長くなり、この時、絶縁層パターンの幅または長さと導電性パターンの幅または長さの差は導電性パターンの厚さより厚いことが好ましく、導電性パターンの厚さの２倍以上であることがより好ましい。この場合、絶縁層パターンのフレーム部分が再形成によって下がって導電性パターンを十分に覆うことができるためである。
【００４７】
また、アンダーカットが発生する場合、導電性パターンのテーパー角は０度超過９０度未満であることが好ましく、０度超過４５度以下であることがより好ましく、０度超過３０度以下であることがさらに好ましい。ここで、テーパー角は導電性パターンの端部がその下部層、すなわち基板の表面となす角度を意味する。前記テーパー角は、前記導電性パターンの末端地点から前記導電性パターンの上面が平滑になり始まる地点までの接線の平均傾きを有する直線とその下部層の表面との間の角度で測定することができる。導電性パターンのテーパー角が前記範囲である場合、絶縁層パターンのフレーム部分が再形成され、導電性パターンを十分に覆うことができる。本発明においては、前記のような方法を利用することにより、従来技術とは異なって、導電性パターンのテーパー角が小さい導電性パターンを含む積層体を提供することができる。
【００４８】
前記ｃ）ステップにおいて、導電性パターンの形成のためのエッチング時間により、導電性パターンとこれを覆っている絶縁層パターンとの間に発生するボイド（ｖｏｉｄ）の厚さを調節することができる（図８）。エッチング時間が長くなるほど、その後、ｄ）ステップにおいて絶縁層パターンが再形成される時、絶縁層パターンと導電性パターンとの間に形成されるボイドの厚さが厚くなる。前記ボイドが厚すぎる場合には、異物除去のための２次エッチングまたは洗浄時にボイド付近における絶縁層パターンの変性が生じ得る。
【００４９】
本発明において、前記導電性パターンの形成のためのエッチング時間は、導電性パターンの形成時に用いられるエッチング液の種類や濃度、導電性膜の種類、エッチング温度などの条件によって異なる。例えば、前記エッチング時間は、ジャストエッチングタイム（ｊｕｓｔ−ｅｔｃｈｉｎｇ  ｔｉｍｅ）〜ジャストエッチングタイムより２０００％延びた時間、好ましくはジャストエッチングタイムより１％〜１０００％延びた時間、より好ましくはジャストエッチングタイムより１％〜５００％延びた時間、さらに好ましくはジャストエッチングタイムより５％〜１００％延びた時間であることが好ましい。ここで、ジャストエッチングタイムとは、マスクの形態と同一の形態でパターンをエッチングするのに必要とする時間を意味する。
【００５０】
また、前記導電性パターンの形成のためのエッチング温度も導電性パターンの形成に用いられるエッチング液の種類や濃度、導電性膜の種類、エッチング温度などの条件によって異なり、例えば常温〜８０度、好ましくは３０度〜７０度で行うことができる。
【００５１】
エッチング方式は、ディップエッチング方式またはスプレー方式などが可能であるが、均一なエッチングのためにはスプレー方式がより好ましい。
【００５２】
前記導電性膜が多層膜である場合、多層膜が同時にほぼ同一の速度でエッチングされるためのエッチング液を用いることが好ましい。
【００５３】
本発明において、「覆う（ｃｏｖｅｒｉｎｇ）」という用語は、絶縁層パターンの形態が変化しながらリフロー（ｒｅｆｌｏｗ）し、導電性パターンの側面と基板に密着して導電性パターンを外部と絶縁させることを意味する。また、本発明において、「再形成（ｒｅｆｏｒｍｉｎｇ）」という用語は、本明細書で定義する用語であって、絶縁層パターンが流動性を示して形態が変化し、下部にある導電性パターンを覆う現象を意味する。
【００５４】
前記ｄ）ステップにおいて、前記再形成は、例えば、熱、溶媒あるいはその蒸気（溶媒の蒸気）、プラズマ処理などによって絶縁層パターンに流動性を付与して変形を起こした後、熱またはプラズマの追加処理または溶媒の除去によって前記絶縁層パターンが硬化する化学的な現象を利用することができる。あるいは、前記絶縁層パターンに圧力を加えて物理的に変形を起こすこともできる。
【００５５】
前記絶縁層パターンの再形成は熱または溶媒（または溶媒の蒸気）を利用することがより好ましく、この時、前記で記述したように絶縁層材料として可塑性または硬化性高分子材料を用いることが好ましい。
【００５６】
熱を利用して絶縁層パターンを再形成する場合、熱を加えることによって絶縁層材料が流動性を示し、基板と絶縁層との間の空間に下がった後、熱をさらに加えれば、前記材料が硬化して流動性がなくなる方法が好ましい。この時、加熱温度は、絶縁層の材料に応じて当業者が適切に選択することができる。前記加熱条件は、絶縁層パターンが所望の架橋度、例えば１０％〜１００％および所望の絶縁特性、例えば漏れ電流１０〜１アンペア以下を有するように調節されることが好ましい。例えば、１２０℃〜３５０℃の温度で加熱して、５℃／分〜６０℃／分で昇温するようにすることが好ましい。また、同一温度の熱処理またはそれぞれ異なる温度における重複熱処理も可能である。具体的な例として、絶縁層パターン材料としてイミド系樹脂を用いる場合には、２５０℃〜３００℃の温度で熱処理することができる。また他の例として、絶縁層パターン材料としてノボラック系樹脂を用いる場合には、１２０℃〜１４０℃の温度で熱処理することができる。
【００５７】
また、溶媒または溶媒の蒸気を利用して絶縁層パターンを再形成する場合、絶縁層パターンに溶媒の蒸気（ｆｕｍｅ）雰囲気に露出させ（ｓｏｌｖｅｎｔ  ａｎｎｅａｌｉｎｇ）、溶媒と絶縁層材料が反応すれば、絶縁層材料が流動性を示し、これにより、絶縁層パターンが変形して基板と接触した後、溶媒が乾燥する程度の一定温度で加熱して溶媒を除去すれば、前記絶縁層材料が硬化して流動性がなくなる再形成方法が好ましい。この時、溶媒は絶縁層材料に応じて当業者が適切に選択することができ、絶縁層材料が溶解され得る溶媒群から選択することが好ましい。例えば、絶縁層材料としてノボラック樹脂を用いる場合、溶媒としてＩＰＡを用いることができる。また、乾燥温度は選択された溶媒の沸点近所が適切であり、常温から〜３００℃の間が好ましいが、これに限定されない。
【００５８】
本発明において、前記絶縁層パターンを形成するｂ）ステップ途中または以後には、ソフトベーク工程を行うことが好ましい。具体的には、前記ソフトベーク工程は、ｂ）ステップ途中に基板上に絶縁層を形成した後、絶縁層パターンを形成した後、またはｃ）ステップにおける導電性パターンの形成前に行うことが好ましい。ソフトベークとは、前記絶縁層パターンとこれに隣接する層間の接着力を付与すると同時に、絶縁層パターンを少なくとも一部硬化させることによって、ソフトベークステップまたはその後のステップにおいて絶縁層パターンの変形を防止し、その後に行われる絶縁層パターンの再形成ステップにおいて絶縁層パターンが流れる形状を安定的に形成できるようにすることを意味する。ソフトベーク工程によって達成しようとする絶縁層パターンの硬化度は、絶縁層パターンの材料やその後に行われる再形成の条件によって当業者が決定することができ、例えば硬化度は０％〜１００％の範囲内であってもよい。
【００５９】
前記ソフトベーク工程の条件は、絶縁層パターンの材料、絶縁層パターンの厚さ、導電性パターンの形成に用いられるエッチング条件、例えばエッチング液の種類、エッチング時間、エッチング温度などに応じて当業者が選択することができる。ソフトベーク温度が高すぎれば、絶縁層パターンの架橋度が高すぎて変形、例えば巻き上がる変形が生じ得る。例えば、図６中、１１２度〜１３０度でソフトベークを行った結果からこのような変形を観察することができる。
【００６０】
一例として、絶縁層パターンをノボラック系高分子を用いてフォトリソグラフィ方法によって形成する場合、前記ソフトベークは１０５度〜１１０度で２分〜３分間行うことが好ましい。また他の一例として、絶縁層パターンをノボラック系高分子を用いて印刷法によって形成する場合、前記ソフトベークは８０度〜８５度で２分〜３分間行うことが好ましい。また他の一例として、絶縁層パターンをアクリル系高分子を用いて形成する場合、前記ソフトベークは１７０度〜１９０度で５分〜１５分間行うことが好ましい。また他の一例として、絶縁層パターンをＰＳＰＩ高分子を用いて形成する場合、前記ソフトベークは１１０度〜１５０度で１〜１５分間行うことが好ましい。
【００６１】
前記ソフトベーク温度が低すぎる場合には、ソフトベークを遂行するのに伴う効果を得ることが難しく、前記ソフトベーク温度が高すぎる場合には、絶縁性パターンの縁部が持ち上げられる形状に変形し、前記絶縁性パターンが前記導電性パターンを覆うように（ｃｏｖｅｒｉｎｇ）再形成されるのに良くない影響を与える。前記ソフトベーク時間は前述した材料または工程条件によって異なり、例えば２分〜３分程度行うことができるが、これに限定されない。
【００６２】
本発明による方法は、前記ｄ）ステップにおける絶縁層パターンの再形成後に洗浄ステップをさらに含むことができる。この洗浄ステップにおいては、前記ｃ）ステップで用いたエッチング液を用いることができる。この洗浄ステップを行うことによって異物を除去することができる。
【００６３】
本発明による方法の模式図を図１および図２に例示する。しかし、本発明の範囲が図面によって限定されるものではなく、必要な場合、図１または図２に示された工程のうちの少なくとも１つを除いて行うことができ、必要な場合、追加工程を行うこともできる。
【００６４】
図１は、本発明による方法において、絶縁層パターンの形成時にフォトリソグラフィ方法を利用した一例を示すものである。図１によれば、導電性膜が備えられた基板を洗浄し、前記導電性膜上に絶縁層を形成した後にソフトベーク工程を行い、その次、選択的露光および現像によって絶縁層パターンを形成し、前記絶縁層パターンをマスクとして利用して前記導電性膜をエッチングすることによって導電性パターンを形成した後、絶縁層パターンの再形成工程を行う。
【００６５】
図２は、本発明による方法において、絶縁層パターンの形成時にリバースオフセット印刷法を利用した一例を示すものである。図２によれば、導電性膜が備えられた基板を洗浄し、前記導電性膜上に絶縁層パターンを印刷した後にソフトベーク工程を行い、前記絶縁層パターンをマスクとして利用して前記導電性膜をエッチングすることによって導電性パターンを形成した後、絶縁層パターンの再形成工程を行う。特に、図２に例示した工程を利用する場合、導電性パターンの形成のためのフォトレジストと導電性パターンの絶縁のための絶縁材を各々別個で用いる従来技術に比べて工程数を大きく減らすことができる。
【００６６】
本発明に係る積層体は前記導電性パターンのテーパー角が低いことを特徴とし、前記テーパー角は９０度未満、好ましくは４５度以下、より好ましくは３０度以下である。本発明による方法により形成された絶縁層パターンは、絶縁層パターンの材料に応じ、残りの領域と硬化度が相異なる領域を含むことができる。前記残りの領域と硬化度が相異なる領域は、前記絶縁層パターンが再形成されない領域と再形成された領域の境界部分から発生することができ、前記境界部分に帯状で形成されることができる。前記帯は前記断面において残りの部分に比べて上部に突出した形状を有してもよい。図７の実施例１１の結果から帯状を観察することができる。
【００６７】
本発明においては、前記絶縁層パターンが再形成されることによって、前記導電性パターンの末端地点と前記絶縁層パターンの末端地点との間の距離が０〜１マイクロメータまたは５マイクロメータ以上に制御される。特に、絶縁層パターン材料として熱硬化性樹脂を用いる場合には、前記導電性パターンの末端地点と前記絶縁層パターンの末端地点との間の距離が０〜１マイクロメータと非常に短い。一方、絶縁層パターン材料として熱可塑性樹脂を用いる場合には、前記導電性パターンの末端地点と前記絶縁層パターンの末端地点との間の距離が５マイクロメータ以上と比較的長い。
【００６８】
本発明においては、前記絶縁層パターンの再形成を行うため、導電性パターンと前記絶縁層パターンとの間にボイドが観察される。これは、従来に導電性パターン上に絶縁層を形成する場合にはボイドが観察されないこととは相異なる。本発明において、前記ボイドの厚さ（最も長い辺と最も短い辺の最短距離）は０超過、前記導電性パターンの厚さ以下であることが好ましく、０超過、導電性パターン厚さの０．７以下であることがより好ましい。
【００６９】
本発明に係る積層体においては、前記絶縁層パターンのテーパー角が導電性パターンのテーパー角より大きくてもよい。
【００７０】
本発明による方法によって製造された積層体において、前記再形成された絶縁層パターンの断面形状は、例えば半円形であってもよい。
【００７１】
本発明による方法によって製造された積層体において、前記導電性パターンの線幅は特に制限されないが、前記導電性パターンは１００マイクロメータ以下、好ましくは０．１〜３０マイクロメータ、より好ましくは０．５〜１０マイクロメータ、さらに好ましくは１〜５マイクロメータの微細線幅を有する。特に、前述した方法において、絶縁層パターンをマスクとして利用して導電性膜をエッチングする時、オーバーエッチングを行ってアンダーカットが形成されるようにすることにより、より微細な線幅を実現することができる。
【００７２】
本発明で製造された積層体は、基板、前記基板に形成された導電性パターンおよび前記導電性パターンを覆っている絶縁層パターンを含み、前記導電性パターンの線幅方向の断面において、前記導電性パターンの一側端部から前記絶縁層パターンの端部までの距離（ａ）と前記導電性パターンの他側端部から前記絶縁層パターンの端部までの距離（ｂ）の百分比が９０〜１１０の範囲内であってもよい。前記百分比は９５〜１０５が好ましく、９９〜１０１がより好ましい。本発明による方法において、前記絶縁層パターンと導電性パターンを別個のマスクを利用して形成したり、別個の印刷方法を利用して形成したりせず、絶縁層パターンを利用して導電性パターンを形成した後、前記絶縁層パターンを再形成して利用することによって、導電性パターン上に位置した絶縁層パターンが前記導電性パターンに対して対称的な構造で存在することができる。このような対称的な構造を図１１および図１２に例示したが、このような構造によって本発明の範囲が限定されるものではない。
【００７３】
本発明の方法によれば、製造過程途中に絶縁層パターンまたは導電性パターンの形成時にパターン不良が発生する場合にもショートが発生しない絶縁された導電性パターンを提供することができる。ここで、パターン不良とは、パターン形態以外の部分に導電性パターンを形成するための絶縁性パターンが形成された場合を意味する。本発明においては、導電性パターンの形成時に用いた絶縁層パターンを除去せずに絶縁層パターンの形態を再形成（ｒｅｆｏｒｍｉｎｇ）することによって導電性パターンを絶縁させるのに利用する。このため、前記絶縁性パターンによって絶縁されない導電性パターンが存在しなくなる。したがって、絶縁層パターンまたは導電性パターンの形成時にパターン不良が発生する場合にも、基板に導電性物質のような異質物が残らないのでショートが発生しない。従来技術においては、絶縁層パターンのパターン不良で導電性パターンを全て覆うことができなかったり、導電性パターンのパターン不良で絶縁層パターンによって覆われていない導電性パターンが存在したりする場合にショートが発生し得る。これに対し、本発明においては、前述した理由で不良率を大きく減らすことができ、従来技術で必要な導電性パターン不良領域の除去のための追加的な洗浄またはエッチング工程が導入される必要がない。このような本発明の効果を図３に示す。したがって、本発明の方法によれば、パターン不良によるショートが実質的に発生しない絶縁された導電性パターンを提供することができる。
【００７４】
本発明による方法によって製造された絶縁された導電性パターンまたはこれを含む積層体は、絶縁された導電性パターンを必要とする用途であれば、制限されることなく用いることができる。例えば、電子素子または照明の電極として用いることができるが、これらに限定されない。前記電子素子の例としてはタッチスクリーン、ディスプレイ、半導体などを含む。
【００７５】
以下、実施例を通じて本発明を例示する。但し、以下の実施例は本発明を例示するためのものであって、これによって本発明の範囲が限定されるのではない。
【００７６】
＜実施例１＞
ガラス基板上に蒸着方法によって導電性膜として厚さ３００ｎｍのクロム層を形成した。続いて、前記クロム層上にノボラック樹脂組成物（韓国（株）ＬＧ化学製造の商品名ＬＧ４１２ＤＦ）をフォトリソグラフィ方法を利用して幅６０μｍ、ピッチ５ｍｍの絶縁層パターンを形成した。前記フォトリソグラフィ方法を利用した絶縁層パターンの形成工程の途中に温度を１０７℃に維持することによって前記絶縁層に対するソフトベークを実行した。
【００７７】
前記絶縁層パターンをマスクとして利用して前記クロム層をパターニングした。このとき、エッチング液としては、韓国（株）ＥＸＡＸ社製造の商品名ＣＥ−０５Ｅを利用した。前記方法によって製造されたクロム層パターンの上部幅は５７μｍであり、テーパ角度は１８度であった。
【００７８】
上述したように製造された絶縁層パターンおよびクロム層パターンを含む基板をホットプレート上に置き、１３０度で３分間リフロー工程を実行した。これによって形成された結果物の上面および側面の電子顕微鏡写真を図４に示した。
【００７９】
＜実施例２＞
前記絶縁層パターンの材料として界面活性剤を添加したＬＧ４１２ＤＦをＰＧＭＥＡ／ＥｔＯＨ混合溶媒（混合重量比７：３）と固形粉含量１３重量％となるように混合して用い、絶縁層パターン形成方法としてフォトリソグラフィ方法の代わりにリバースオフセット印刷法を利用したことを除いては、実施例１と同じ方法によって実行した。これによって形成された結果物の上面および側面の電子顕微鏡写真を図５に示した。
【００８０】
＜実施例３＞
導電性膜材料としてクロムの代わりに銀を用いたことを除いては、実施例１と同じ方法によって実行した。実施例１で測定された図４のようなリフロー形状を得ることができた。
【００８１】
＜実施例４〜実施例９＞
ソフトベーク温度をそれぞれ１０５度（実施例４）、１０６度（実施例５）、１０７度（実施例６）、１０８度（実施例７）、１０９度（実施例８）、および１１０度（実施例９）で２分３０秒間ソフトベークを実行したことを除いては、実施例１と同じように実施した。再形成された絶縁層パターン形状の電子顕微鏡写真を図６に示した。
【００８２】
＜比較例１〜比較例５＞
絶縁層をパターニングした後、それぞれ１１２度（比較例１）、１１５度（比較例２）、１２０度（比較例３）、１２５度（比較例４）、および１３０度（比較例５）で２分３０秒間ソフトベークを実行したことを除いては、実施例１と同じように実施した。再形成された絶縁層パターン形状の写真を図６に示した。
【００８３】
＜実施例１０および実施例１１＞
絶縁層パターンの材料としてそれぞれアクリル系樹脂（カーボンブラックが分散したアクリレートエポキシ樹脂、実施例１０）、ポリイミド系樹脂（（株）ＬＧ化学商品名ＥＬ２００、実施例１１）を用いたことを除いては、実施例１と同じ方法によって実行した。実施例１、１０、および１１よって形成された結果物の上面および側面の電子顕微鏡写真を図７に示した。図７に示すように、実施例別、製造された導電性パターン内の位置別にリフロー形成に大きい有意差は存在しなかった。
【００８４】
＜実施例１２〜実施例１４＞
導電性膜のエッチング時のエッチング液として韓国（株）ＥＸＡＸ社提議ＣＥ−０５ＥＨＮＯ３系エッチング液を利用し、エッチング時間をそれぞれジャストエッチングタイム（ｊｕｓｔ  ｅｔｃｈｉｎｇ  ｔｉｍｅ）（３分）のそれぞれ１０％延長時間（実施例１２）、２０％延長時間（実施例１３）、および３０％延長時間（実施例１４）にしたことを除いては、実施例１と同じように実行した。実施例１２〜実施例１４で製造された導電性パターンの側面写真を図８に示した。エッチング時間の増加に伴い、導電性パターンと絶縁層パターンの間のボイドの厚さおよび長さが広くなることを知ることができる。
【００８５】
＜比較例６〜比較例８＞
リフロー段階を実行せず、エッチング時間をそれぞれジャストエッチングタイム（ｊｕｓｔ  ｅｔｃｈｉｎｇ  ｔｉｍｅ）（３分）のそれぞれ１０％延長時間（比較例６）、２０％延長時間（比較例７）、および３０％延長時間（比較例８）にしたことを除いては、実施例１と同じように実行した。比較例６〜８で製造された導電性パターンの側面写真を図８に示した。
【００８６】
＜実施例１５＞
絶縁層材料の固形粉含量を１５重量％にしたことを除いては、実施例２と同じ方法によって実施した。
【００８７】
＜実施例１６＞
絶縁層材料の溶媒のうちＥｔＯＨの代わりにＭＥＫを用い、固形粉含量を１５重量％にしたことを除いては、実施例２と同じ方法によって実施した。
【００８８】
実施例２、１５、および１６の工程マージンを下記表１に示した。ここで、工程マージンとは、絶縁層材料をコーティングロールにコーティングした後、前記コーティングロールにパターンを形成することが可能な時間を意味する。
【００８９】
【表１】
0005491528.tif 000002
【００９０】
＜実施例１７＞
リフロー条件として、１３０度で３分間の熱処理の代わりにＩＰＡ（ｉｓｏｐｒｏｐｙｌ  ａｌｃｏｈｏｌ）の蒸気雰囲気に露出させて溶媒アニーリング（ｓｏｌｖｅｎｔ  ａｎｎｅａｌｉｎｇ）を行ったことを除いては、実施例１と同じように実行した。実施例１７で製造された積層体の断面の電子顕微鏡写真を図９に示した。
【図１】
0005491528.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図９】
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【図１０】
0005491528.tif 000009
【図１１】
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【図１２】
0005491528.tif 000011
【図６】
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【図７】
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【図８】
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