(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学測定取得装置（４）によって検出された孤立した光子に対する測定取得データを含む画像の第１データベースから実行され、集積された電子回路（２４）における欠陥を解析する画像処理方法であって、
孤立した光子（ｉａｃｑ）に対する前記測定取得データから、それぞれのフィルタリングされた光子（ｉ）に対して、ｎ次元を有する空間的及び／又は時間的な基準フレーム内で決定された前記フィルタリングされた光子（ｉ）の空間的及び／又は時間的な位置（Ｐ（ｉ））及び前記フィルタリングされた光子（ｉ）と関連するスカラ重み（Ｗ（ｉ））を有する記録を含むフィルタリングされた光子（ｉ）のデータベースを決定するステップを備えており、
イベント（ｅｖ（ｋ））における所定のフィルタリングされた中央の光子（ｋ）の周りに前記フィルタリングされた光子を配置する少なくとも１つの基本配置ステップ（７１６）を備えており、
その一つの基本配置ステップ又はそれぞれの基本配置ステップは、
位置（Ｐ（ｋ））を有する前記中央の光子（ｋ）の周りで、位置（Ｐ（ｋ））を含み且つ所定の振幅（ΔＴｍａｘｅｖ）を有する空間的及び／又は時間的なイベントウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれたそれぞれの位置（Ｐ（ｒｅｇ（ｋ）））を有する光子（ｒｅｇ（ｋ））を探すステップと、
少なくとも一つの光子（（ｒｅｇ（ｋ）））が見つけられた時に、前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子（ｋ、ｒｅｇ（ｋ））の位置の第１関数と等しいイベントの位置（Ｐｍｏｙ（ｋ））と、前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる全ての光子のスカラ重み（Ｗ（ｋ）、Ｗ（ｒｅｇ（ｋ）））の第２関数と等しいイベント重み（Ｗｅｖ（ｋ））とを有する記録のような前記中央の光子（ｋ）と関連するイベント（（ｅｖ（ｋ）））を作成することによって、前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に見つけられた光子を一緒に配置するステップと、
を備えることを特徴とする画像処理方法。
【請求項２】
イベントの前記記録は、前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子（ｋ、ｒｅｇ（ｋ））の最大及び最小の座標を有することを特徴とする請求項１に記載の画像処理方法。
【請求項３】
前記第１関数は、前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子（ｋ、ｒｅｇ（ｋ））の前記位置（Ｐ（ｋ）、Ｐ（ｒｅｇ（ｋ）））の重み付けされない平均であることを特徴とする請求項１又は２に記載の画像処理方法。
【請求項４】
前記第１関数は、前記イベントの位置（Ｐｍｏｙ（ｋ））が光子（ｋ、ｒｅｇ（ｋ））の重心となるように、前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子（ｋ、ｒｅｇ（ｋ））の前記位置（Ｐ（ｋ）、Ｐ（ｒｅｇ（ｋ）））がそれぞれのスカラ重み（Ｗ（ｋ）、Ｗ（ｒｅｇ（ｋ））によって修正されて重み付けされた平均であることを特徴とする請求項１又は２に記載の画像処理方法。
【請求項５】
前記第２関数は、前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子（ｋ、ｒｅｇ（ｋ））のそれぞれの重み（Ｗ（ｋ）、Ｗ（ｒｅｇ（ｋ））の和であることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の画像処理方法。
【請求項６】
前記データベースの全ての前記フィルタリングされた光子（ｉ）をイベント内に配置する配置ステップ（６０２）を備えており、前記配置ステップ（６０２）は、前記基本配置ステップを各光子（ｉ）に対して一度適用することからなり、光子（ｉ）は中央の光子又はイベントウインドウ内で見つけられた光子の内の何れかと考えられることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の画像処理方法。
【請求項７】
作成された前記イベント（ｅｖ（ｋ））は、イベントのみを含むデータベース内に集められることを特徴とする請求項６に記載の画像処理方法。
【請求項８】
前記イベント重み（Ｗｅｖ（ｋ））が所定の閾値（Ｓｅｖ）よりも小さい前記イベント（ｅｖ（ｋ））を除去することからなる前記イベント（ｅｖ（ｋ））をフィルタリングするステップ（６０８）を備えており、残されたイベントはフィルタリングされたイベント（ｅｖ（ｋｆｉｌｔｒｅ））となることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の画像処理方法。
【請求項９】
フィルタリングされたイベント及びフィルタリングされないイベント（ｅｖ（ｋ））それぞれの画像を作成するステップ（６１４）であって、前記フィルタリングされたイベント（ｅｖ（ｋｆｉｌｔｒｅ））及び前記フィルタリングされないイベント（ｅｖ（ｋ））それぞれを、位置、寸法及び色を有する線分、面積又は体積の形で表すステップを備えており、
線分、面積又は体積の寸法及び位置は、前記フィルタリングされたイベント（ｅｖ（ｋｆｉｌｔｒｅ））及び前記フィルタリングされないイベント（ｅｖ（ｋ））それぞれの座標によって決定されており、
色は、前記フィルタリングされたイベントの重み（Ｗｅｖ（ｋｆｉｌｔｒｅ））及び前記フィルタリングされないイベントの重み（Ｗｅｖ（ｋ））それぞれに依存することを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の画像処理方法。
【請求項１０】
前記第１データベースから決定される少なくとも１つのイベント（ｅｖ（ｋ））を、正常に動作する同一の電子回路に対応する基準の第２データベースから決定される少なくとも１つのイベントと比較するステップ（２２４）と、
前記第１データベース及び前記第２データベースから導かれる類似しない各イベントを識別するステップと、
を備えることを特徴とする請求項１〜９の何れか一項に記載の画像処理方法。
【請求項１１】
前記光学測定取得装置（４）によって検出された孤立した光子（ｉａｃｑ）の測定から前記測定取得データを集めるステップを備えており、前記測定取得データを用いて画像が形成されることを特徴とする請求項１〜１０の何れか一項に記載の画像処理方法。
【請求項１２】
前記フィルタリングされた光子（ｉ）の空間的及び／又は時間的な前記位置（Ｐ（ｉ））は、前記フィルタリングされた光子（ｉ）の放射位置及び／又は放射モーメントに対応して、１からｎまで変化する整数ｊを有するｎ座標（ｘｊ（ｉ））によって決定されており、前記ｎ座標は、ｎ−１の空間座標及び１つの時間座標（ｔ）によって形成されるｎ個にまとめられており、
前記空間座標は、前記電子回路の光子の放射基準空間に対して決定されており、前記時間座標（ｔ）は、前記電子回路の電子励起信号の基準時間に対して決定されており、
最大イベント寸法（ΔＴｍａｘｅｖ）は、１からｎまで変化する整数ｊを有するｎ個（ΔＴｍａｘｅｖｊ）によって形成されており、
空間的及び／又は時間的な前記イベントウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））は、位置（Ｐ（ｋ））を中心にして振幅（ΔＴｍａｘｅｖ）を有しており、下記のデカルト積として記載される、
【数１】
0005600159.tif 000012
ことを特徴とする請求項１〜１１の何れか一項に記載の画像処理方法。
【請求項１３】
孤立した光子に対して前記測定取得データから前記フィルタリングされた光子（ｉ）のデータベースを決定する前記ステップは、孤立した光子（ｉａｃｑ）に対する前記測定取得データを原光子（ｉｂｒｕｔ）に対する原データに配置する予備ステップ（２０４）と、
前記原光子（ｉｂｒｕｔ）からの前記原データを前記フィルタリングされた光子（ｉ）のデータに変換するステップ（２０６、２０８）と、
を備えており、
前記原データは、それぞれの原光子（ｉｂｒｕｔ）に対して、ｎ次元を有する空間的及び／又は時間的基準で決定される前記原光子（ｉｂｒｕｔ）の空間的及び／又は時間的位置（Ｐ（ｉｂｒｕｔ））と、前記原光子（ｉｂｒｕｔ）に関連する光学センサのスカラ感度値（Ｓ（ｉｂｒｕｔ））と、を有する記録を含んでおり、
前記原光子（ｉｂｒｕｔ）に対する前記原データを前記フィルタリングされた光子（ｉ）に対する前記データに変換する前記ステップ（２０６、２０８）は、位置（Ｐ（ｉｂｒｕｔ））を有する前記原光子（ｉｂｒｕｔ）の周囲で、位置（Ｐ（ｉｂｒｕｔ））を含み且つ振幅（ΔＴＷ）を有しており光子を重み付ける空間的及び／又は時間的ウインドウ（ＦＷ（ｉｂｒｕｔ））内に含まれるそれぞれの位置（Ｐ（ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ）））を有する光子（ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ））を探して、前記ウインドウ（ＦＷ（ｉｂｒｕｔ））内で見つけられる光子（ｉｂｒｕｔ，ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ））の前記感度値（Ｓ（ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ）））の第３関数と等しい重み付けされた光子（ｉｂｒｕｔ）に関連する重み（Ｗ（ｉｂｒｕｔ））を計算する重み付けステップ（２０６）を備えていることを特徴とする請求項１〜１２の何れか一項に記載の画像処理方法。
【請求項１４】
前記第３関数は、前記ウインドウ（ＦＷ（ｉｂｒｕｔ））内で見つけられる光子（ｉｂｒｕｔ，ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ））の前記感度値（Ｓ（ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ）））の和であることを特徴とする請求項１３に記載の画像処理方法。
【請求項１５】
前記原光子（ｉｂｒｕｔ）の前記原データを前記フィルタリングされた光子（ｉ）のデータに変換する前記ステップ（２０６，２０８）は、前記重み付けステップ（２０６）の後に、前記重み（Ｗ（ｉｂｒｕｔ））が所定の光子フィルタリング閾値（Ｓｆｉｌｔ）よりも小さい重み付けされた前記原光子（ｉｂｒｕｔ）を除去することからなる重み付けされた前記原光子（ｉｂｒｕｔ）をフィルタリングするステップ（２０８）を備えており、残された重み付けされた光子は前記フィルタリングされた光子（ｉ）を構成することを特徴とする請求項１３又は１４に記載の画像処理方法。
【請求項１６】
前記フィルタリングされた光子（ｉ）の空間的及び／又は時間的な前記位置（Ｐ（ｉｂｒｕｔ））は、前記原光子（ｉｂｒｕｔ）の放射位置及び／又は放射モーメントに対応して、１からｎまで変化する整数ｊを有するｎ座標（ｘｊ（ｉｂｒｕｔ））によって決定されており、前記ｎ座標は、ｎ−１の空間座標及び１つの時間座標（ｔ）によって形成されるｎ個にまとめられており、
前記空間座標は、前記電子回路からの光子の放射に対する基準空間フレームに対して決定されており、前記時間座標（ｔ）は、前記電子回路の電子励起信号の基準時間に対して決定されており、
原光子重み付け寸法（ΔＴｗ）は、ｎ個（ΔＴｗｊ）によって形成されており、
空間的及び／又は時間的な前記ウインドウ（ＦＷ（ｉｂｒｕｔ））は、位置（Ｐ（ｉｂｒｕｔ））を中心にして振幅（ΔＴｗ）を有しており、下記のデカルト積として記載される、
【数２】
0005600159.tif 000013
ことを特徴とする請求項１３〜１５の何れか一項に記載の画像処理方法。
【請求項１７】
ｎは３以下の整数であり、１から３に変化する整数ｊを有するフィルタリングされた光子（ｉ）の座標（ｘｊ（ｉ））及び原光子（ｉｂｒｕｔ）の座標（ｘｊ（ｉｂｒｕｔ））それぞれは、前記フィルタリングされた光子（ｉ）及び前記原光子（ｉｂｒｕｔ）それぞれの放射位置及び／又は放射モーメントに対応しており、ｎ座標は、第１空間座標（ｘ）、第２空間座標（ｙ）及び時間座標（ｔ）によって形成される３つにまとめられており、
前記第１及び第２空間座標（ｘ）及び（ｙ）は、前記電子回路からの光子の放射面の基準空間フレームに対して決定されており、前記時間座標（ｔ）は、前記電子回路の電子励起信号の基準時間に対して決定されることを特徴とする請求項１６に記載の画像処理方法。
【請求項１８】
取得される次元の数ｎが、（ｘ）、（ｙ）座標に沿った２つの空間次元及び１つの時間次元ｔを有する３と等しく、光子を重み付けするステップは、３つの値（ｄｌ，ｄｌ，ｄｔ）によって形成される重み付けウインドウの寸法（ΔＴＷ）を有し、前記ウインドウの寸法（ΔＴＷ）の２つの空間成分が同一である空間時間光子相関（ＳＴＰＣ）法を用いることを特徴とする請求項１６に記載の画像処理方法。
【請求項１９】
取得される次元の数ｎが、（ｘ）及び（ｙ）座標に沿った２つの空間次元を有する２と等しく、光子を重み付けするステップ（２０６）が、２つの値（ｄｌ，ｄｌ）によって形成される重み付けウインドウの寸法（ΔＴＷ）を有し、前記ウインドウの寸法の２つの空間成分が同一である空間光子相関法を用いる静的発光のような取得技術を用いることを特徴とする請求項１６に記載の画像処理方法。
【請求項２０】
取得される次元の数ｎが、時間座標（ｔ）に沿った１つの時間次元を有する１と等しく、光子を重み付けするステップ（２０６）が、１つの値（ｄｔ）によって形成される重み付けウインドウの寸法（ΔＴＷ）を有する時間光子相関法を用いる時間分解静的発光（ＴＲＥ）のような取得技術を用いることを特徴とする請求項１６に記載の画像処理方法。
【請求項２１】
プログラムがコンピュータ（６０）上で実行される時に、請求項１〜２０の何れか一項に記載の方法のステップを実行するプログラムインストラクションを備えるコンピュータプログラム。
【請求項２２】
集積された電子回路における欠陥を解析するシステムであって、
前記電子回路によって放射された孤立した光子を検出し且つ検出された孤立した光子（ｉａｃｑ）に対する測定取得データを提供可能な光学測定取得装置（４）と、
データベースを形成する、検出された孤立した光子に対する前記測定取得データを保存可能なメモリ（６２）と、
孤立した光子に対する前記測定取得データから、フィルタリングされた光子（ｉ）のデータベースを決定できるコンピュータ（６０）であって、前記フィルタリングされた光子（ｉ）のデータベースは、それぞれのフィルタリングされた光子（ｉ）に対して、
前記フィルタリングされた光子（ｉ）の空間的及び／又は時間的な位置（Ｐ（ｉ））であって、ｎが３以下の整数であるｎ次元を有する空間的及び／又は時間的な基準フレーム内で、前記フィルタリングされた光子（ｉ）の放射位置及び／又は放射モーメントに対応して、１からｎに変化する整数ｊを有するｎ座標（ｘｊ（ｉ））によって決定されており、ｎ座標は、第１空間座標（ｘ）、第２空間座標（ｙ）及び時間座標（ｔ）によって形成される３つにまとめられており、前記第１及び第２空間座標（ｘ）、（ｙ）は、前記電子回路からの光子の放射面の基準空間フレームに対して決定されており、前記時間座標（ｔ）は、前記電子回路の電子励起信号の基準時間に対して決定される、位置（Ｐ（ｉ））と、
前記フィルタリングされた光子（ｉ）と関連するスカラ重み（Ｗ（ｉ））と、
を含む記録を有する、コンピュータ（６０）と、
を備えており、
前記コンピュータ（６０）は、イベント（ｅｖ（ｋ））における所定の中央の光子（ｋ）の周りに前記フィルタリングされた光子を配置する基本配置ステップを実行可能であり、
前記基本配置ステップは、
位置（Ｐ（ｋ））を有する所定の前記中央の光子（ｋ）の周りで、空間的及び／又は時間的なイベントウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれたそれぞれの位置（Ｐ（ｒｅｇ（ｋ）））を有する光子（ｒｅｇ（ｋ））を探して、所定のｎ個（ΔＴｍａｘｅｖｊ）によって形成される最大イベント寸法（ΔＴｍａｘｅｖ）を定めるステップを有しており、
前記イベントウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））は、位置（Ｐ（ｋ））を中心にして振幅（ΔＴｍａｘｅｖ）を有しており、且つ下記の積として決定され、
【数３】
0005600159.tif 000014
少なくとも一つの光子（（ｒｅｇ（ｋ）））が見つけられた時に、
前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子（（ｒｅｇ（ｋ）））及び前記中央の光子（ｋ）の位置の平均と等しい前記イベントの位置（Ｐｍｏｙ（ｋ））と、
前記中央の光子（ｋ）を有する前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子の最大及び最小の座標と、
前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる全ての光子の重みの和と等しいイベント重み（Ｗｅｖ（ｋ））と、
を有する記録のような前記中央の光子（ｋ）と関連する前記イベント（（ｅｖ（ｋ）））を作成ることによって、前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に見つけられた光子が一緒に配置される、ことを特徴とするシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集積回路を解析するための画像処理方法及びこの方法を実行するためのシステム及びコンピュータプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
赤外領域の動的な発光は、８０年代後半から、集積された電子回路上の欠陥を位置づけるための公知技術の基礎となっている。
【０００３】
実際、これらの回路を形成するそれぞれのトランジスタは、遮断状態から開放状態へスイッチングする間に、又は開放状態から遮断状態への逆も同様に、トランジスタが飽和状態へ進む時に、電磁放射エネルギー光子又は量子を、所定の確率で放射する。
【０００４】
実際、この技術は、９０年代後半に裏面へ向かって拡張されるまでは、集積回路の最表面で長く用いられた。実際、これは、回路の活性ゾーン、即ちトランジスタ、キャパシタ、抵抗及びダイオードのような基礎部品が配置されるゾーンが、増大する多くの配線層によってか又は所定の集積方法の結合によって、ますますマスクされる最近の技術に対してより適合される。
【０００５】
従って、この技術のおかけで、また、孤立した光子（ｉｓｏｌａｔｅｄ  ｐｈｏｔｏｎ）に感度のある光学センサを用いて、センサが検出された各光子の空間的位置を決定できれば、スイッチングする各トランジスタの場所を何時でも見つけ出して、動作サイクルにある集積回路の動作を詳細に解析することができる。
【０００６】
この技術による測定装置は、そのような画像センサ及び電子テスタを備えており、欠陥のある回路の動作を、シミュレーションにより決定される理論的動作又は正常な回路の実際の動作の何れかと比較することによって、１つ又は複数の欠陥の位置を見つけ出すことできる。
【０００７】
各検出された光子の空間的及び／又は時間的座標をリストアップするだけのセンサでは、データが正しいことの解釈がなされる前に、センサによって放たれた原データ（ｒａｗ  ｄａｔａ：ロウデータ）を処理することが重要である。データの取得後のこの処理は、ポスト処理と呼ばれ、完全なデータの取得後に、原データとして再配置されデータベースに記録された後に実行される。
【０００８】
ＳＴＰＣ（Ｓｐａｔｉａｌ  Ｔｅｍｐｏｒａｌ  Ｐｈｏｔｏｎ  Ｃｏｒｒｅｌａｔｉｏｎ：空間時間光子相関）フィルタリングを用いることが、トランジスタのスイッチングに関係しない全ての光子によって構成されるノイズを除去することを可能にすることが、ＣＮＥＳ（フランス国立宇宙センター）のＲ．Ｄｅｓｐｌａｔｓらによる「高速ＩＣ解析のための空間時間光子相関：ＳＴＰＣ−ＰＩＣＡ」と題された論文、及び、Ｒ．Ｄｅｓｐｌａｔｓらによる「ＰＩＣＡを有する高速ＩＣ解析のための新しいアプローチ」と題された論文（Ｐｈｙｓｉｃａｌ  ａｎｄ  Ｆａｉｕｒｅ  Ａｎａｌｙｓｉｓ  ｏｆ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔｓ，  ２００３，  ＩＰＦＡ  ２００３，  ｐａｇｅｓ  ４５−５３）から、知られている。上述した論文に記載されたＳＴＰＣフィルタリングは、まず、センサによって検出されたそれぞれの光子にその空間的時間的に近傍の光子の数の関数として重みをつけるステップと、フィルタリング閾値を適用して十分な大きさの重みを有さない光子を除去するステップと、を備える。
【０００９】
ＳＴＰＣフィルタリングは、効果と計算時間との間の良い兼ね合いを有するが、フィルタリングされないノイズが未だ存在し、それは、データベースに負荷をかけて、意味のない余分な処理時間を生じさせる。
【００１０】
技術的な課題は、ＳＴＰＣ又は同様のフィルタリングの質を向上し、データベースの負荷を減少し、且つ処理時間を低減することである。
【発明の概要】
【００１１】
そのために、本発明は、光学測定取得装置によって検出された孤立した光子に対する測定取得データを含む画像の第１データベースから実行され、集積された電子回路における欠陥を解析する画像処理方法であって、
孤立した光子（ｉａｃｑ）に対する測定取得の上記第１データベースから、それぞれのフィルタリングされた光子（ｉ）に対して、ｎ次元を有する空間的及び／又は時間的な基準フレーム内で決定された上記フィルタリングされた光子（ｉ）の空間的及び／又は時間的な位置（Ｐ（ｉ））及び上記フィルタリングされた光子（ｉ）と関連するスカラ重み（Ｗ（ｉ））を有する記録を含むフィルタリングされた光子（ｉ）のデータベースを決定するステップを備えており、
イベント（ｅｖ（ｋ））における所定のフィルタリングされた中央の光子（ｋ）の周りに上記フィルタリングされた光子を配置する少なくとも１つの基本配置ステップを備えており、
その一つの基本配置ステップ又はそれぞれの基本配置ステップは、
位置（Ｐ（ｋ））を有する上記中央の光子（ｋ）の周りで、位置（Ｐ（ｋ））を含み且つ所定の振幅（ΔＴｍａｘｅｖ）を有する空間的及び／又は時間的なイベントウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれたそれぞれの位置（Ｐ（ｒｅｇ（ｋ）））を有する光子（ｒｅｇ（ｋ））を探すステップと、
少なくとも一つの光子（（ｒｅｇ（ｋ）））が見つけられた時に、上記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子（ｋ、ｒｅｇ（ｋ））の位置の第１関数と等しいイベントの位置（Ｐｍｏｙ（ｋ））と、上記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる全ての光子のスカラ重み（Ｗ（ｋ）、Ｗ（ｒｅｇ（ｋ））の第２関数と等しいイベント重み（Ｗｅｖ（ｋ））とを有する記録のような上記中央の光子（ｋ）と関連するイベント（（ｅｖ（ｋ）））を作成ることによって、上記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に見つけられた光子を一緒に配置するステップと、
を備えることを特徴とする画像処理方法に関する。
【００１２】
他の具体的な実施形態では、処理方法は、１つ又は複数の下記の特徴を有する。
【００１３】
イベントの上記記録は、上記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子（ｋ、ｒｅｇ（ｋ））の最大及び最小の座標を有する。
【００１４】
上記第１関数は、上記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子（ｋ、ｒｅｇ（ｋ））の上記位置（Ｐｍｏｙ（ｋ））の重み付けされない平均である。
【００１５】
上記第１関数は、上記イベントの位置（Ｐｍｏｙ（ｋ））が光子（ｋ、ｒｅｇ（ｋ））の重心となるように、上記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子（ｋ、ｒｅｇ（ｋ））の上記位置（Ｐｍｏｙ（ｋ））がそれぞれのスカラ重み（Ｗ（ｋ）、Ｗ（ｒｅｇ（ｋ））によって修正されて重み付けされた平均である。
【００１６】
上記第２関数は、上記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子（ｋ、ｒｅｇ（ｋ））のそれぞれの重み（Ｗ（ｋ）、Ｗ（ｒｅｇ（ｋ））の和である。
【００１７】
方法は、上記データベースの全ての上記フィルタリングされた光子（ｉ）をイベント内に配置する配置段階を備えており、上記配置段階は、上記基本配置ステップを各光子（ｉ）に対して一度適用することからなり、光子（ｉ）は中央の光子又はイベントウインドウ内で見つけられた光子の内の何れかと考えられる。
【００１８】
作成された上記イベント（ｅｖ（ｋ））は、イベントのみを含むデータベース内に集められる。
【００１９】
方法は、上記イベント重み（Ｗｅｖ（ｋ））が所定の閾値（Ｓｅｖ）よりも小さい上記イベント（ｅｖ（ｋ））を除去することからなる上記イベント（ｅｖ（ｋ））をフィルタリングするステップを備えており、残されたイベントはフィルタリングされたイベント（ｅｖ（ｋｆｉｌｔｒｅ））となる。
【００２０】
方法は、上記フィルタリングされたイベント及びフィルタリングされないイベント（ｅｖ（ｋ））それぞれの画像を作成するステップであって、上記フィルタリングされたイベント（ｅｖ（ｋｆｉｌｔｒｅ））及び上記フィルタリングされないイベント（ｅｖ（ｋ））それぞれを、位置、寸法及び色を有する線分、面積又は体積の形で表すステップを備えており、
線分、面積又は体積の寸法及び位置は、上記フィルタリングされたイベント（ｅｖ（ｋｆｉｌｔｒｅ））及び上記フィルタリングされないイベント（ｅｖ（ｋ））それぞれの座標によって決定されており、
色は、上記フィルタリングされたイベントの重み（Ｗｅｖ（ｋｆｉｌｔｒｅ））及び上記フィルタリングされないイベントの重み（Ｗｅｖ（ｋ））それぞれに依存する。
【００２１】
方法は、上記第１データベースから決定される少なくとも１つのイベント（ｅｖ（ｋ））を、正常に動作する同一の電子回路に対応するいわゆる基準の第２データベースから決定される少なくとも１つのイベントと比較するステップと、
上記第１データベース及び上記第２データベースから導かれる類似しない各イベントを識別するステップと、
を備える。
【００２２】
方法は、上記光学測定取得装置によって検出された孤立した光子（ｉａｃｑ）の測定から上記測定取得データを集めるステップを備えており、上記測定取得データが画像を形成する。
【００２３】
上記フィルタリングされた光子（ｉ）の空間的及び／又は時間的な上記位置（Ｐ（ｉ））は、上記フィルタリングされた光子（ｉ）の放射位置及び／又は放射モーメントに対応して、１からｎまで変化する整数ｊを有するｎ座標（ｘｊ（ｉ））によって決定されており、上記ｎ座標は、ｎ−１の空間座標及び１つの時間座標（ｔ）によって形成されるｎ個にまとめられており、
上記空間座標は、上記電子回路の光子の放射基準空間に対して決定されており、上記時間座標（ｔ）は、上記電子回路の電子励起信号の基準時間に対して決定されており、
最大イベント寸法（ΔＴｍａｘｅｖ）は、１からｎまで変化する整数ｊを有するｎ個（ΔＴｍａｘｅｖｊ）によって形成されており、
空間的及び／又は時間的な上記イベントウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））は、位置（Ｐ（ｋ））を中心にして振幅（ΔＴｍａｘｅｖ）を有しており、下記のデカルト積として記載される。
【数１】
0005600159.tif 000002
【００２４】
孤立した光子に対して上記測定取得データから上記フィルタリングされた光子（ｉ）のデータベースを決定する上記ステップは、孤立した光子（ｉａｃｑ）に対する上記測定取得データを原光子（ｉｂｒｕｔ）に対する原データに配置する予備ステップと、
上記原光子（ｉｂｒｕｔ）からの上記原データを上記フィルタリングされた光子（ｉ）のデータに変換するステップと、
を備えており、
上記原データは、それぞれの原光子（ｉｂｒｕｔ）に対して、ｎ次元を有する空間的及び／又は時間的基準で決定される上記原光子（ｉｂｒｕｔ）の空間的及び／又は時間的位置（Ｐ（ｉｂｒｕｔ））と、上記原光子（ｉｂｒｕｔ）に関連する光学センサのスカラ感度値（Ｓ（ｉｂｒｕｔ））と、を有する記録を含んでおり、
上記原光子（ｉｂｒｕｔ）に対する上記原データを上記フィルタリングされた光子（ｉ）に対する上記データに変換する上記ステップは、位置（Ｐ（ｉｂｒｕｔ））を有する上記原光子（ｉｂｒｕｔ）の周囲で、位置（Ｐ（ｉｂｒｕｔ））を含み且つ振幅（ΔＴＷ）を有しており光子を重み付ける空間的及び／又は時間的ウインドウ（ＦＷ（ｉｂｒｕｔ））内に含まれるそれぞれの位置（Ｐ（ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ）））を有する光子（ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ））を探して、上記ウインドウ（ＦＷ（ｉｂｒｕｔ））内で見つけられる光子（ｉｂｒｕｔ，ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ））の上記感度値（Ｓ（ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ）））の第３関数と等しい重み付けされた光子（ｉｂｒｕｔ）に関連する重み（Ｗ（ｉｂｒｕｔ））を計算する重み付けステップを備えている。
【００２５】
上記第３関数は、上記ウインドウ（ＦＷ（ｉｂｒｕｔ））内で見つけられる光子（ｉｂｒｕｔ，ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ））の上記感度値（Ｓ（ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ）））の和である。
【００２６】
上記原光子（ｉｂｒｕｔ）の上記原データを上記フィルタリングされた光子（ｉ）のデータに変換する上記ステップは、上記重み付けステップの後に、上記重み（Ｗ（ｉｂｒｕｔ））が所定の光子フィルタリング閾値（Ｓｆｉｌｔ）よりも小さい重み付けされた上記原光子（ｉｂｒｕｔ）を除去することからなる重み付けされた上記原光子（ｉｂｒｕｔ）をフィルタリングするステップを備えており、残された重み付けされた光子は上記フィルタリングされた光子（ｉ）を構成する。
【００２７】
上記フィルタリングされた光子（ｉ）の空間的及び／又は時間的な上記位置（Ｐ（ｉｂｒｕｔ））は、上記原光子（ｉｂｒｕｔ）の放射位置及び／又は放射モーメントに対応して、１からｎまで変化する整数ｊを有するｎ座標（ｘｊ（ｉｂｒｕｔ））によって決定されており、上記ｎ座標は、ｎ−１の空間座標及び１つの時間座標（ｔ）によって形成されるｎ個にまとめられており、
上記空間座標は、上記電子回路からの光子の放射に対する基準空間フレームに対して決定されており、上記時間座標（ｔ）は、上記電子回路の電子励起信号の基準時間に対して決定されており、
原光子重み付け寸法（ΔＴｗ）は、ｎ個（ΔＴｗｊ）によって形成されており、
空間的及び／又は時間的な上記ウインドウ（ＦＷ（ｉｂｒｕｔ））は、位置（Ｐ（ｉｂｒｕｔ））を中心にして振幅（ΔＴｗ）を有しており、下記のデカルト積として記載される。
【数２】
0005600159.tif 000003
【００２８】
ｎは３以下の整数であり、１から３に変化する整数ｊを有するフィルタリングされた光子（ｉ）の座標（ｘｊ（ｉ））及び原光子（ｉｂｒｕｔ）の座標（ｘｊ（ｉｂｒｕｔ）それぞれは、上記フィルタリングされた光子（ｉ）及び上記原光子（ｉｂｒｕｔ）それぞれの放射位置及び／又は放射モーメントに対応しており、ｎ座標は、第１空間座標（ｘ）、第２空間座標（ｙ）及び時間座標（ｔ）によって形成される３つにまとめられており、上記第１及び第２空間座標（ｘ）及び（ｙ）は、上記電子回路からの光子の放射面の基準空間フレームに対して決定されており、上記時間座標（ｔ）は、上記電子回路の電子励起信号の基準時間に対して決定される。
【００２９】
取得される次元の数ｎが、（ｘ）、（ｙ）座標に沿った２つの空間次元及び１つの時間次元ｔを有する３と等しく、光子を重み付けするステップは、３つの値（ｄｌ，ｄｌ，ｄｔ）によって形成される重み付けウインドウの寸法（ΔＴＷ）を有し、上記ウインドウの寸法（ΔＴＷ）の２つの空間成分が同一である空間時間光子相関（ＳＴＰＣ）法を用いる。
【００３０】
取得される次元の数ｎが、（ｘ）及び（ｙ）座標に沿った２つの空間次元を有する２と等しく、光子を重み付けするステップが、２つの値（ｄｌ，ｄｌ）によって形成される重み付けウインドウの寸法（ΔＴＷ）を有し、上記ウインドウの寸法の２つの空間成分が同一である空間光子相関法を用いる静的発光のような取得技術を用いる。
【００３１】
取得される次元の数ｎが、時間座標（ｔ）に沿った１つの時間次元を有する１と等しく、光子を重み付けするステップが、１つの値（ｄｔ）によって形成される重み付けウインドウの寸法（ΔＴＷ）を有する時間光子相関法を用いる時間分解静的発光（ＴＲＥ）のような取得技術を用いる。
【００３２】
また、本発明は、プログラムがコンピュータ上で実行される時に、上述した方法のステップを実行するプログラムインストラクションを備えるコンピュータプログラム製品に関する。
【００３３】
また、本発明は、上記電子回路によって放射された孤立した光子を検出し且つ検出された孤立した光子（ｉａｃｑ）に対する測定取得データを提供可能な光学測定取得装置（４）と、
データベースを形成する、検出された孤立した光子に対する上記測定取得データを保存可能なメモリ（６２）と、
フィルタリングされた光子（ｉ）のデータベースを決定できるコンピュータ（６０）であって、孤立した光子に対する上記測定取得データベースから、それぞれのフィルタリングされた光子（ｉ）に対して、
上記フィルタリングされた光子（ｉ）の空間的及び／又は時間的な位置（Ｐ（ｉ））であって、ｎが３以下の整数であるｎ次元を有する空間的及び／又は時間的な基準フレーム内で、上記フィルタリングされた光子（ｉ）の放射位置及び／又は放射モーメントに対応して、１からｎに変化する整数ｊを有するｎ座標（ｘｊ（ｉ））によって決定されており、ｎ座標は、第１空間座標（ｘ）、第２空間座標（ｙ）及び時間座標（ｔ）によって形成される３つにまとめられており、上記第１及び第２空間座標（ｘ）、（ｙ）は、上記電子回路からの光子の放射面の基準空間フレームに対して決定されており、上記時間座標（ｔ）は、上記電子回路の電子励起信号の基準時間に対して決定される、位置（Ｐ（ｉ））と、
上記フィルタリングされた光子（ｉ）と関連するスカラ重み（Ｗ（ｉ））と、
を有するコンピュータ（６０）と、
を備えており、
上記コンピュータ（６０）は、イベント（ｅｖ（ｋ））における所定の中央の光子（ｋ）の周りに上記フィルタリングされた光子を配置する基本配置ステップを実行可能であり、
上記基本配置ステップは、
位置（Ｐ（ｋ））を有する所定の上記中央の光子（ｋ）の周りで、空間的及び／又は時間的なイベントウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれたそれぞれの位置（Ｐ（ｒｅｇ（ｋ）））を有する光子（ｒｅｇ（ｋ））を探して、所定のｎ個（ΔＴｍａｘｅｖｊ）によって形成される最大イベント寸法（ΔＴｍａｘｅｖ）が定めるステップを有しており、
上記イベントウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））は、位置（Ｐ（ｋ））を中心にして振幅（ΔＴｍａｘｅｖ）を有しており、且つ下記の積として決定され、
【数３】
0005600159.tif 000004
少なくとも一つの光子（（ｒｅｇ（ｋ）））が見つけられた時に、
上記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子（（ｒｅｇ（ｋ）））及び上記中央の光子（ｋ）の位置の平均と等しい上記イベントの位置（Ｐｍｏｙ（ｋ））と、
上記中央の光子（ｋ）を有する上記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子の最大及び最小の座標と、
上記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる全ての光子の重みの和と等しいイベント重み（Ｗｅｖ（ｋ））と、
を有する記録のような上記中央の光子（ｋ）と関連する上記イベント（（ｅｖ（ｋ）））を作成ることによって、上記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に見つけられた光子が一緒に配置される、ことを特徴とする、集積された電子回路における欠陥を解析する方法を実行するシステムに関する。
【００３４】
本発明は、添付の図面を参照して、一例として下記に提供される一実施形態の説明を読むことにより、より理解されるだろう。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】図１は、本発明の集積された回路における欠陥を解析する空間的時間的画像化システムを示す。
【図２】図２は、図１に説明される画像化システムによって実行される処理方法のフローチャートである。
【図３】図３は、図２のフローチャートで説明される予備ステップの詳細な図である。
【図４】図４は、図２のフローチャートで説明される原光子を重み付けするステップの詳細な図である。
【図５】図５は、図２のフローチャートで説明される原光子をフィルタリングするステップの詳細な図である。
【図６】図６は、図２のフローチャートで説明されるベクトル化ステップの詳細な図である。
【図７】図７は、図６に説明されるフローチャートで説明されるイベントにおいてフィルタリングされた光子を配置するステップの詳細な図である。
【図８】図８は、図２のフローチャートで説明される２つのデータベースからのイベントを比較するステップの詳細な図である。
【図９】図９は、図８のフローチャートで説明される類似のイベントを決定するステップの詳細な図である。
【図１０】図１０は、欠陥のある回路によって放射された原光子の画像である。
【図１１】図１１は、動作する回路によって放射された原光子の画像である。
【図１２】図１２は、図１０の画像から決定されたフィルタリングされた光子の画像である。
【図１３】図１３は、図１１の画像から決定されたフィルタリングされた光子の画像である。
【図１４】図１４は、図１２の画像から決定されたイベントの画像である。
【図１５】図１５は、図１３の画像から決定されたイベントの画像である。
【図１６】図１６は、図１４及び図１５のイベントを比較する画像である。
【図１７】図１７は、図１６の画像から得られた第１の相違イベントの画像である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
図１によれば、集積回路の欠陥を解析するシステム２は、ＰＩＣＡ（Ｐｉｃｏｓｅｃｏｎｄ  Ｉｍａｇｉｎｇ  Ｃｉｒｃｕｉｔ  Ａｎａｌｙｓｉｓ：ピコ秒画像化回路解析）測定光子を画像化又は取得する装置４と、取得された測定データを処理し且つ画像化装置４によって実行される処理を調整する手段６とを備えており、処理及び調整する手段６及び画像化装置４は互いに接続されている。
【００３７】
画像化装置４は、３つの出力端子８、１０，１２と、１つの入力端子１４とを有する。
【００３８】
画像化装置４は、入力端子１４を介して、処理及び調整する手段６によって制御され、測定する光子ｉａｃｑから取得されたデータを、３つの出力端子８、１０，１２を介して、提供可能である。
【００３９】
処理及び調整する手段６は、それぞれが画像化装置４の３つの出力端子８、１０，１２に接続された３つの入力端子１６，１８，２０と、入力端子１４と接続された１つの出力端子２２と、を有する。
【００４０】
処理及び調整する手段６は、出力端子２２を介して、画像化装置４を制御可能であり、３つの入力端子１６，１８，２０を介して画像化装置４から来る測定する光子ｉａｃｑから取得されたデータを受け取る。
【００４１】
画像化装置４は、検査される又はサンプルである集積された電子回路２４と、電子テスタ２６と、ＰＩＣＡ光子の画像のためのセンサ２８と、を有する。
【００４２】
電子テスタ２６は、端子１４と接続し且つ処理及び調整する手段６から来る制御信号を受け取り可能な入力端子３０と、集積された電子回路２４に接続された第１出力端子３２と、画像化センサ２８と接続する第２出力端子３４と、を有する。
【００４３】
電子テスタ２６は、処理及び調整する手段６からの命令をその入力端子３０で受け取ると、第１出力端子３２を介して、直列及び／又は並列のパルスのパターンの形で組み込まれた電子テストシーケンスを、集積回路２４に対して、送信可能である。
【００４４】
また、電子テストシーケンスは、集積回路２４の内部にプログラム可能であり、この場合には、電子テスタ２６は、パルスの形の単純なトリガ信号を、集積回路２４に対して送信し得る。
【００４５】
電子テスタ２６は、第１出力端子３２を介して送信されたのと同じテストシーケンス又は同じトリガ信号を、第２出力端子３４を介して画像化センサ２８に送信して、基準同期時間を提供可能である。
【００４６】
画像化センサ２８は、レンズ３６と、光子検出器３８と、検出される孤立した光子の空間成分を空間的に捕捉する手段４０と、検出される孤立した各光子のそれぞれの時間成分を時間的に捕捉する手段４２と、を有する。
【００４７】
レンズ３６は、電子回路２４の要素部品のセットによって放射される光子を、その全面にわたって回収し、それらを平面画像の形で光子検出器３８に運ぶ。
【００４８】
光子検出器３８は、レンズ３６を介して、電子回路２４によって放射されたそれぞれの光子を検出可能である。
【００４９】
光子検出器３８は、ＰＩＣＡ技術の要求に適合しており、例えば、単一チャネルの光電子増倍管、又は、シリコン・アバランシェ・フォトダイオード、又はミクロチャネルの平面画像化を有する光電子増倍管を有しており、孤立した光子を検出する基本セルの面ネットワークを形成する。
【００５０】
所定の方法で割り当てられて２つの空間座標ｘ及びｙによって平面格子で参照される検出器又は画素のそれぞれの基本セルは、それ自身の出力として（図示せず）、孤立した光子が検出されたことを示す電気信号を作成可能である。
【００５１】
光子検出器３８は、基本セルによって提供される信号から、それぞれの検出された孤立した光子を、孤立した光子を受け取ったセルの位置による空間情報及び検出時による時間情報に変換可能な図１には示されない従来のコンバータを有する。
【００５２】
孤立した光子に関連する空間情報は、それを検出したセルの第１空間座標ｘ及び第２空間座標ｙを有し、一方、時間情報は、光子の検出時に対応するパルスの形で提供される。
【００５３】
光子検出器３８は、空間情報ｘ、ｙ及び時間情報それぞれを、出力端子４４，４６，４８を介して、空間的に捕捉する手段４０及び時間的に捕捉する手段４２に提供する。
【００５４】
空間的に捕捉する手段４０は、検出器３８の出力端子４４，４６に対する入力として且つ端子８、１０に対する出力として接続する第１空間捕捉ユニット５０及び第２空間捕捉ユニット５２を有する。
【００５５】
第１空間捕捉ユニット５０及び第２空間捕捉ユニット５２それぞれは、関連する各光子からの空間座標ｘ、ｙを受け取って、検出された光子ｉａｃｑと関連する空間座標ｘ、ｙの形で、それらを端子８，１０を介して、処理及び調整する装置６に再送信可能である。
【００５６】
時間的に捕捉する手段４２は、検出器３８の出力端子４８に接続する第１入力端子５４及び電子テスタ２６の第２出力端子３４に接続する第２入力端子５６それぞれを有する。
【００５７】
時間的に捕捉する手段４２は、検出された光子と関連し且つ第１入力端子５４で受け取った時間情報を、電子テスタ２６によって放たれ且つ基準時間として働くシーケンス又はシーケンストリガ信号に対する基準光子の時間成分に変換する。
【００５８】
従って、画像化装置４は、各検出された孤立した光子に関連する２つの空間成分ｘ、ｙ及び時間成分ｔを、処理及び調整する手段６に提供可能である。
【００５９】
処理及び調整する手段６は、入力端子１６，１８，２０及び出力端子２２に接続されたコンピュータ６０と、双方向接続６４によってコンピュータ６０と接続され、データベースを保存するメモリ６２と、を有する。
【００６０】
また、処理及び調整する手段６は、双方向接続６８によってコンピュータ６０と接続されるユーザインターフェースユニット６６を有する。
【００６１】
ユーザインターフェースユニット６６は、ユーザによって入力されたデータをコンピュータ６０に提供すること、及び、コンピュータ６０からの画像を受け取ってそれを画面に映すことが可能である。
【００６２】
従って、画像化装置４は、２つの空間座標ｘ（ｉａｃｑ），ｙ（ｉａｃｑ）及び１つの時間座標ｔ（ｉａｃｑ）の形で、３つの空間的時間的次元を有する測定する孤立した光子ｉａｃｑからのデータを提供する。
【００６３】
システム２は、ＳＴＰＣ（Ｓｐａｔｉａｌ  Ｔｅｍｐｏｒａｌ  Ｐｈｏｔｏｎ  Ｃｏｒｒｅｌａｔｉｏｎ：空間時間光子相関）重み付け法を用いて、受け取った光子をフィルタリング可能である。
【００６４】
図２によれば、画像化装置４によって集められた孤立した光子の測定からの取得データに対するＰＩＣＡ処理法は、ステップのセットを有する。
【００６５】
ここで、処理方法は、検出された光子の重み付けのためにＳＴＰＣ法を用いる。
【００６６】
第１初期化ステップ２０２では、ＳＴＰＣ重み付け法と関連する重み付けパラメータが、ユーザによって、ユーザインターフェース６６を介して入力される。
【００６７】
重み付けパラメータは、空間的時間的重み付けウインドウの空間成分の寸法であるｄｌ及び空間的時間的重み付けウインドウの時間寸法であるｄｔという３個（ｔｒｉｐｌｅｔ）（ｄｌ、ｄｌ、ｄｔ）の形で、空間的時間的重み付けウインドウの寸法ΔＴｗを備える。
【００６８】
続く予備処理ステップ２０４では、区別する添え字ｉａｃｑによって指定され且画像化装置４によって取得される各光子と関連する測定データｘ（ｉａｃｑ），ｙ（ｉａｃｑ），ｔ（ｉａｃｑ）が、データベース内で、検出された原光子（ｒａｗ  ｐｈｏｔｏｎ：ロウ光子）ｉｂｒｕｔに対する原データ（ｒａｗ  ｄａｔａ：ロウデータ）として再配置（ｒｅａｒｒａｇｅ）される。
【００６９】
次に、重み付けステップ２０６では、それぞれの原光子ｉｂｒｕｔが、ＳＴＰＣ重み付け法及び関連する選択されたパラメータを用いて、重みＷ（ｉｂｒｕｔ）が割り当てられることによって、重み付けされる。
【００７０】
図２では示されていないが、重み付けステップ２０６内で実行されるメインステップは、それぞれの光子ｉｂｒｕｔに対して、２つの空間及び１つの時間という３次元を有する空間的時間的コンボリューション積分を計算するか、又は、光子ｉｂｒｕｔを中心とし且つステップ２０２で入力されたウインドウ寸法ΔＴｗを有する空間的時間的ウインドウＦｗ（ｉｂｒｕｔ）内に含まれる光子ｉｂｒｕｔとその近隣ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ）との相関関数を計算することからなる。
【００７１】
次に、ステップ２０８では、ステップ２０６において重み付けされた光子の第１フィルタリングが、重みＷ（ｉｂｒｕｔ）の関数として実行されて、フィルタリングされた光子ｉが得られる。
【００７２】
ステップ２１０では、ステップ２０８においてフィルタリングされた光子ｉから、フィルタリングされた光子ｉの画像が作られて表示される。ユーザは、処理方法２００を続行することを望むか、又は、重み付けパラメータを修正することを望むのかを示すことが求められる。
【００７３】
ユーザが重み付けステップ２０６の実施を変更することを望む場合、修正ステップ２１２において、ユーザは新しい関連する重み付けパラメータを選択する。次に、方法２００は、ステップ２０６の始めに進むことにより続行する。
【００７４】
もし、ユーザが変更を望まない場合、方法２００は、ステップ２０８における第１フィルタリングによってフィルタリングされた光子ｉのヒストグラムを表示する選択的ステップ２１４を続行する。
【００７５】
ヒストグラムを表示するステップ２１４では、所与の空間領域に対して、フィルタリングされた光子ｉの数を時間ｔの関数として示す第１ヒストグラム及びフィルタリングされた光子の重みＷ（ｉ）を時間ｔの関数として示す第２ヒストグラムという２つのヒストグラムが作成される。空間領域は、空間領域の中心の座標及び領域の空間の寸法を選択したユーザによって事前に決定される。
【００７６】
ステップ２１４の選択的性質の導入は、予備案内ステップ２１６によって行われる。
【００７７】
次に、フィルタリングされた光子ｉ又は原光子ｉｂｒｕｔの画像が時系列に並べられたビデオを表示する選択的ステップ２１８が、ステップ２２０でなされる要求に対して実行される。
【００７８】
ビデオ表示ステップ２１８では、ステップ２０４の終わりに再配置されたデータ又は第１フィルタリングステップ２０８によってフィルタリングされたデータから、画像の連続が作成される。画像の連続は、回路の動作サイクルの連続したシーケンス又はフレームに対応する。ユーザは、事前にシーケンスの長さを選択する。
【００７９】
次に、ベクトル化ステップ２２２では、原光子の第１フィルタリングステップ２０８によってフィルタリングされ且つ同じ物理的イベント（ｐｈｙｓｉｃａｌ  ｅｖｅｎｔ）に対応する光子ｉは、図７の説明において後述されるイベントｅｖ（ｋ）と呼ばれる情報オブジェクトに一緒に分類される。
【００８０】
物理的イベントは、トランジスタのスイッチング又はトランジスタのグループのスイッチングである。
【００８１】
そして、全てのイベントｅｖ（ｋ）を情報オブジェクトとして有するいわゆるイベントデータベースが作られる。
【００８２】
イベントｅｖ（ｋ）に関係する第２フィルタリングが、ベクトル化ステップ２２２の間に実行される。
【００８３】
次に、比較ステップ２２４では、２つのイベントデータベースが比較される。
【００８４】
ここで、第１及び第２の２つのイベントデータベースそれぞれは、図２の方法を介して、２つの取得により生ずる。第１の測定の取得は、１つ又は複数の欠陥が探される集積された電子回路上で行われる。第２の測定の取得は、正常に動作することが既知である基準電子回路上で行われる。
【００８５】
代わりに、正常に動作する基準電子回路上で行われた測定から生ずる第２のイベントデータベースは、正常に動作する基準回路によって放射された光子をシミュレートするシミュレーションプロセスの結果を含むデータベースのベクトル化ステップを介して推定されたイベントデータベースによって置き換えられる。
【００８６】
続くステップ２２６では、第１の相違イベントが、欠陥の考えられる原因として識別される。
【００８７】
ステップ２２８では、第１の相違イベントが、欠陥の原因に明確に対応するのか、又は、集積回路の欠陥の原因となる本当のイベントを除去し得るベクトル化ステップ２２２の間に実行される過度に制限する第２フィルタリングによる直接の影響に過ぎないのか、が検証される。
【００８８】
そのような明確な欠陥が疑わしい場合には、第２フィルタリングのパラメータ、例えば、フィルタリング閾値Ｓｅｖが、ユーザによってステップ２３０において修正される。
【００８９】
ベクトル化ステップ２２２の第２フィルタリングのフィルタリンパラメータが修正される場合には、ステップ２２２、２２４，２２６，２２８が繰り返される。
【００９０】
明確であることが検証された場合には、方法２００は、終了ステップ２３０によって完結する。
【００９１】
図３によれば、検出された光子ｉａｃｑの測定データｘ（ｉａｃｑ），ｙ（ｉａｃｑ），ｔ（ｉａｃｑ）の予備処理に対するステップ２０４は、連続したステップを有する。
【００９２】
第１のステップ３０２では、測定のデータベースに含まれ且つ検出器３８の境界に現れる３つの空間的時間的成分ｘ（ｉａｃｑ），ｙ（ｉａｃｑ）、ｔ（ｉａｃｑ）によって個々にパラメータ化された光子ｉａｃｑが除去される。
【００９３】
例えば、画像の周辺の２３０画素の除去マージンによって境界が決定されて、ここでは、画像が４０９４×４０９６画素を含む正方形と考えられる。
【００９４】
次に、ステップ３０４では、処理装置６によってヒストグラムが表示される。ヒストグラムは、検出された光子の数を時間の関数として示す。
【００９５】
次に、ステップ３０６では、ユーザは動作サイクルの処理時間を低減することを望むのかどうかを示すことが求められ、もし、ユーザが望む場合には、ユーザはステップ３０８の処理時間を修正して、ステップ３０６が繰り返される。
【００９６】
もし、ユーザが望まない場合には、予備処理ステップ２０４は、境界を除去した後の残りの光子ｉｂｒｕｔが時間の順番で保存されるステップ３１０まで続行される。
【００９７】
次に、ステップ３１２では、光学センサ２８の不均一な感度を考慮するために、検査回路２４無しのバキューム測定（ｖａｃｕｕｍ  ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ）の取得から決定される空間座標ｘ、ｙに従って拡がる補正行列が、コンピュータ６０にロードされて、各光子ｉｂｒｕｔに対して感度が割り当てられる。光子が、感度が所定の中間値と等しいセンサの位置にある時には、感度Ｓ（ｉｂｒｕｔ）は１と等しく、光子が、中間値に対してより感度のある領域で受け取られる時には、感度Ｓ（ｉｂｒｕｔ）は１よりも大きく、光子が、センサの中間値よりも感度の低い位置で受け取られる時には、感度Ｓ（ｉｂｒｕｔ）は１よりも小さい。
【００９８】
次に、ステップ３１４では、各光子ｉｂｒｕｔ即ち各光子の空間的時間的座標ｘ（ｉｂｒｕｔ），ｙ（ｉｂｒｕｔ），ｔ（ｉｂｒｕｔ）及び光学センサの位置（ｘ（ｉｂｒｕｔ），ｙ（ｉｂｒｕｔ））の感度Ｓ（ｉｂｒｕｔ）に関連する原データが、原データベース（ｒａｗ  ｄａｔａｂａｓｅ）内にバイナリデータファイルの形で記録される。
【００９９】
次に、ステップ３１６では、原画像（ｒａｗ  ｉｍａｇｅ）が、原データベースからの原データから作成される。ステップ３１６の間に、必要ならば、光子ｉｂｒｕｔの座標が調整されて、検出器の光学検出面と電子回路２４の面との間のずれを補正するための基準として用いられるいわゆるＬＳＭ（Ｌａｓｅｒ  Ｓｔａｎｄａｒｄ  Ｍａｓｃ）赤外画像との重畳が得られる。
【０１００】
図４によれば、原データベース内に含まれる原光子ｉｂｒｕｔを重み付けするステップ２０６、ここでは、ＳＴＰＣ法が説明される。
【０１０１】
重み付けステップ２０６は、ステップのセットを有する。
【０１０２】
第１のステップ４０２では、予備処理ステップ２０４の後に得られた原データが、コンピュータ６０に転送される。原データは、光子ｉｂｒｕｔの空間的時間的座標及びセンサ２８の感度Ｓ（ｉｂｒｕｔ）に関連するリストを有する。原光子ｉｂｒｕｔは、増加する時間の順番で順位付けされる。
【０１０３】
次に、ステップ４０４では、光子の総数ｎｂがカウントされる。
【０１０４】
次の初期化ステップ４０８では、２つの変数ｉｍｉｎ、ｉｍａｘが両方とも１に設定され、光子ｉｂｒｕｔのインデックスカウンタが１に設定される。
【０１０５】
次に、ｉｂｒｕｔと指定された光子インデックスによってパラメータ化されて、ステップのループ４１０が実行される。
【０１０６】
ステップ４１２では、ｉｂｒｕｔによってインデックス付けされる原光子の空間的時間的座標ｘ（ｉｂｒｕｔ），ｙ（ｉｂｒｕｔ），ｔ（ｉｂｒｕｔ）が特定される。
【０１０７】
次に、ステップ４１４では、時間がｔ（ｉｂｒｕｔ）−ｄｔ以上の最初の原光子が、光子インデックスｉｍｉｎから、増加する時間の方向においてリストを通して探される。
【０１０８】
次のステップ４１６では、パラメータｉｍｉｎが、ステップ４１４で見つけられた光子のインデックスと等しい時間に設定することによって更新される。
【０１０９】
次に、ステップ４１８では、時間がｔ（ｉｂｒｕｔ）＋ｄｔ以下の最後の原光子が、ｉｍａｘによってインデックス付けされる光子から、増加する時間の方向においてリストを通して探される。
【０１１０】
ステップ４２０では、パラメータｉｍａｘが、ステップ４１８で見つけられた光子のインデックスと等しい時間に設定することによって更新される。
【０１１１】
次に、ステップ４２２では、インデックスがｉｍｉｎとｉｍａｘとの間にある原光子、即ち時間ウインドウ［ｔ（ｉｂｒｕｔ）−ｄｔ；ｔ（ｉｂｒｕｔ）＋ｄｔ］内に位置する光子が、が読み出される。
【０１１２】
次に、ステップ４２４では、ステップ４２２で読み出された光子の中で、空間的時間的ウインドウ［ｘ（ｉｂｒｕｔ）−ｄｌ；ｘ（ｉｂｒｕｔ）＋ｄｌ］×［ｙ（ｉｂｒｕｔ）−ｄｌ；ｙ（ｉｂｒｕｔ）＋ｄｌ］×［ｔ（ｉｂｒｕｔ）−ｄｌ；ｔ（ｉｂｒｕｔ）＋ｄｌ］の外にある原光子が除去される。新しい光子のリストは完全な原データベースのものよりもはるか小さいので、このステップ４２４は、スカイラブソフトウェア（Ｓｃｉｌａｂ  ｓｏｆｔｗａｒｅ）の機能を用いることによって、簡単に且つ迅速に実行可能である。
【０１１３】
次に、ステップ４２６では、ｉｂｒｕｔによってインデックス付けされた光子の重みＷ（ｉｂｒｕｔ）が、ステップ４２４から残っている光子と関連するセンサの感度の和と等しくなるように計算される。
【０１１４】
続くステップ４２８では、現在のインデックスがｎｂよりも小さいのかが検証される。
【０１１５】
もし小さければ、現在のインデックスｉｂｒｕｔは、ステップ４３０によって１単位増やされて、ステップ４１２，４１４，４１６，４１８，４２０，４２２，４２４，４２６，４２８が増加したインデックスｉと共に繰り返される。
【０１１６】
もし小さくなければ、原光子を重み付けするステップ２０６は、終了ステップ４３２によって完了する。
【０１１７】
図５によれば、重み付けされた光子の第１フィルタリングのステップ２０８は、ステップのセットを有する。
【０１１８】
第１のステップ５０２では、時間の関数として重み付けされた原光子の重みを示すヒストグラムが表示される。
【０１１９】
次に、ステップ５０４では、重み付けされた原光子の第１フィルタリング閾値Ｓｆｉｌｔが、ユーザによって選択される。関連して、デフォルト閾値が計算される。デフォルト閾値は、原光子の８０％の除去に対応する。それは、ユーザに対して指標として役立つ。
【０１２０】
次のステップ５０６では、重みがユーザによって決定された第１フィルタリング閾値Ｓｆｉｌｔよりも小さい重み付けされた光子が、除去される。
【０１２１】
次に、ステップ５０８では、第１フィルタリングステップ５０６からもたらされたフィルタリングされた光子ｉの画像の表示がユーザに提供されて、適合されたフィルタリング閾値を選択することが案内される。
【０１２２】
次に、ステップ５１０では、ユーザは、フィルタリング閾値Ｓｆｉｌｔの値を修正することを望むかどうかを示すことが求められる。
【０１２３】
もし望む場合には、フィルタリング閾値Ｓｆｉｌｔが、閾値を調整するステップ５１２において修正されて、ステップ５０６への接続がなされる。
【０１２４】
ここで、閾値Ｓｆｉｌｔは、２％又は０．１％と程度の差はあるが、除去のパーセント又は除去される重み付けされた光子の総数の増加に対応して、調整される。
【０１２５】
もし望まない場合には、ステップ２０８は、フィルタリングされた光子に対応するフィルタリングされたデータがフィルタリングされた光子のデータベースに記録されるステップ５１４を実行することにより続行される。
【０１２６】
次に、ステップ５１６では、フィルタリングされた光子の画像が、フィルタリングされたデータから作成される。
【０１２７】
図６によれば、ベクトル化ステップ２２２は、ステップのセットを有する。
【０１２８】
最初のステップ６０２では、フィルタリングされた光子ｉが、ユーザによって事前に決定されている３個（ｄｌｅｖ，ｄｌｅｖ，ｄｔｅｖ）の形で最大空間的時間的イベント寸法ΔＴｍａｘｅｖを有するイベントの形で配置される。それぞれの決定されたイベントｅｖ（ｋ）に対して、イベント重み、最大及び最小イベント寸法が、イベント成分として決定される。
【０１２９】
次のステップ６０４では、時間の関数としてイベントの重みを示すヒストグラムが表示される。
【０１３０】
次に、ステップ６０６では、イベントに関連する第２フィルタリングの閾値Ｓｅｖが、ユーザによって決定される。
【０１３１】
次に、ステップ６０８では、イベントに関連する第２フィルタリングが、ステップ６０６においてユーザによって決定された第２フィルタリング閾値Ｓｅｖよりも小さいイベント重みと関連するイベントを除去することによってなされる。
【０１３２】
続く検証ステップ６１０では、観測されたイベントの数が物理的イベントの期待される数を考慮して是正されるかどうかが検証される。
【０１３３】
是正されない場合には、ステップ６０６に接続される。
【０１３４】
是正される場合には、ベクトル化ステップ２２２は、バイナリデータファイルの形でイベントデータベース内にイベントタイプデータを記録するステップ６１２まで続行される。
【０１３５】
次に、ステップ６１４では、寸法、位置及び色を有する面積の形でイベントを示すイベントの画像が作成される。
【０１３６】
それぞれの面積の寸法及び位置は、関連するイベントの最小及び最大空間座標によって決定され、色は、イベントの重みに依存する。
【０１３７】
図７によれば、イベント内にフィルタリングされた光子ｉを配置するステップ６０２は、ステップのセットを有する。
【０１３８】
最初のステップ７０２では、フィルタリングされた光子に対する空間的時間的座標ｘ（ｉ），ｙ（ｉ），ｔ（ｉ）及び関連する重みＷ（ｉ）のリストを有するフィルタリングされた光子に対応するフィルタリングされたデータｉは、コンピュータ６０に取り込まれる。データ構造としてのリストは、フィルタリングされた光子に対するランニングポインタを有する。
【０１３９】
続くステップ７０４では、イベントの空間的時間的寸法ΔＴｍａｘｅｖが、３個（ｄｌｅｖ，ｄｌｅｖ，ｄｔｅｖ）の形でユーザによって選択される。ｄｌｅｖは任意の空間座標ｘｅｖ、ｙｅｖによるウインドウの寸法の空間成分であり、ｄｔｅｖはイベントウインドウの時間成分である。また、中央の光子ｋに対する現在のインデックスポインタが１と等しく設定される。
【０１４０】
次に、ループ７０６のステップが、中央の光子ｋのインデックスポインタによってパラメータ化されて、実行される。
【０１４１】
ステップ７０８では、ｋによってインデックス付けされたフィルタリングされた中央の光子の空間的時間的座標がｘ（ｋ），ｙ（ｋ），ｔ（ｋ）として識別される。
【０１４２】
次のステップ７１０では、ｋによってインデックス付けされたフィルタリングされた光子を取り囲む空間的時間的ウインドウＦｅｖ（ｋ）又は［ｘ（ｋ）−ｄｌｅｖ，ｘ（ｋ）＋ｄｌｅｖ］×［ｙ（ｋ）−ｄｌｅｖ，ｙ（ｋ）＋ｄｌｅｖ］×［ｔ（ｋ）−ｄｔｅｖ，ｔ（ｋ）＋ｄｔｅｖ］の内部にあるフィルタリングされた光子ｒｅｇ（ｋ）が、探索される。
【０１４３】
フィルタリングされた光子ｉのデータベースは原データベースよりもはるかに小さいので、ステップ７１０は、例えば、スカイラブソフトウェアの検索機能によって、簡単に且つ迅速に行われ得る。
【０１４４】
次のステップ７１２では、インデックス付けされた中央の光子ｋを取り囲む空間的時間的ウインドウＦｅｖ（ｋ）が、複数のフィルタリングされた光子を含むのかどうかが検証される。ｋによってインデックス付けされた中央の光子はウインドウ内に含まれる。
【０１４５】
もし、１つの孤立した光子のみが存在する場合には、ステップ７１４において、光子ｋがワーキングリストから除去される。現在のインデックスｋは、１単位増加されて、配置するステップ６０２は、ステップ７０８へ接続して続行する。
【０１４６】
７１０において、少なくとも１つの見つけられた光子ｒｅｇ（ｋ）が存在する場合には、基本配置ステップ７１６では、新しいイベントｅｖ（ｋ）が、リスト内に構造化されてイベントのデータベース内に作成される。新しいイベントは、空間的時間的平均位置Ｐｍｏｙ（ｋ）、ウインドウＦｅｖ（ｋ）内に位置するフィルタリングされた光子の最大及び最小座標、空間的時間的ウインドウ内に見つけられた光子ｒｅｇ（ｋ）の重みの和と等しいイベント重みＷｅｖ（ｋ）、及び中央の光子ｋの重みＷ（ｋ）のような関連する特性を有する。
【０１４７】
空間的時間的平均位置Ｐｍｏｙ（ｋ）は、例えば、重み付けされない平均の重心として計算される。
【０１４８】
代わりに、空間的時間的平均位置Ｐｍｏｙ（ｋ）は、位置付けられた光子ｒｅｇ（ｋ）及び光子ｋの座標の重み付けられた平均として計算される。光子ｒｅｇ（ｋ）及び光子ｋは、それぞれの重みＷ（ｒｅｇ（ｋ）），Ｗ（ｋ）が割り当てられてる。
【０１４９】
続くステップ７１８では、見つけられたフィルタリングされた光子ｒｅｇ（ｋ）及び光子ｋが、フィルタリングされた光子のワーキングリストから除去される。
【０１５０】
次に、ステップ７２０では、ワーキングリストから最小のインデックスが探索される。
【０１５１】
次に、ステップ７２２では、ワーキングリストが空かどうかが検証される。
【０１５２】
もし空ならば、ステップ６０２は、終了ステップ７２４によって完了する。
【０１５３】
もし空でなければ、ステップ７２０で見つけられたインデックスが現在のインデックスｋに割り当てられて、ステップ７０８の始めに接続される。
【０１５４】
図８によれば、２つのイベントデータベースを比較するステップ２２４は、一連のステップを有する。
【０１５５】
最初のステップ８０２では、取得された測定の２つのデータベースからもたらされた２つの第１及び第２イベントデータベースが、コンピュータに転送される。
【０１５６】
ｎｂ１により指定されて、第１データベース内に含まれるイベントの総数が決定される。
【０１５７】
ｎｂ２により指定されて、第２データベース内に含まれるイベントの総数が決定される。
【０１５８】
続くステップ８０４では、取得された測定の対応する２つのデータベースに対応する２つのイベントデータベースが、マーカとして働く２つのＬＳＭ（Ｌａｓｅｒ  Ｓｔａｎｄａｒｄ  Ｍａｓｃ）画像から決定される所定のホモグラフィック変換（ｈｏｍｏｇｒａｐｈｉｃ  ｔｒａｎｓｆｏｒｍ）を適用することによって、空間的に互いに揃えられる。
【０１５９】
ユーザは、集積された電子回路の同一とみなせる位置に、４つの赤い点を用いて、それぞれの２つの画像をマークする。
【０１６０】
代わりに、他の方法がホモグラフィック変換を決定するために用いられ得る。
【０１６１】
例えば、光ポインタが用いられてＥＭＭＩ（Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ）画像上で識別され得る。又は、電子回路の電子検査シーケンスが修正されて、動作中に、回路の基本要素に光を放出させて、ＥＭＭＩ画像上で光の位置が容易に識別され得る。
【０１６２】
続くステップ８０６では、空間的時間的な許容ウインドウの寸法ΔＦｃｏｍｐが、３個（ｄｌｃｏｍ，ｄｌｃｏｍｐ，ｄｔｃｏｍｐ）と等しいウインドウの寸法を有して決定される。ｄｌｃｏｍは許容ウインドウの空間寸法を指定し、ｄｔｃｏｍｐは許容ウインドウの時間寸法を指定する。同じステップ８０６では、ｉｃｏｍｐによって指定される処理中のループイベントに対する現在のインデックスが、１と等しく設定される。
【０１６３】
続くステップ８０８では、類似のイベントが、２つのイベントデータベースを比較することにより決定されて削除される。
【０１６４】
ステップ８１０では、ステップ８０８の出力において残っているイベントが、バイナリデータファイルの形で、診断イベントデータベースに統合される。元のイベントデータベースのソースは、それぞれのイベントに割り当てられる。
【０１６５】
続くステップ８１２では、関連した色及び明度を有する面積の形で、イベントを表す画像が作成される。それぞれの面積の寸法及び位置は、関連するイベントの最小及び最大の空間座標によって決定される。イベントの色は、元のイベントデータベースの一方又は他方に属しているかに依存し、明度はその重みに依存する。
【０１６６】
図９によれば、ステップ８０８は、第１データベースのイベントの現在のインデックスｉ１ｃｏｍｐによってパラメータ化されて、ループ９０２の形で実行される。ループ９０２は、ステップのセットを有する。
【０１６７】
ステップ９０２では、現在のインデックスｉ１ｃｏｍｐが１と等しく設定される。
【０１６８】
ステップ９０４では、第１データベースからＡ（ｉ１ｃｏｍｐ）と示された現在のイベントの空間的時間的座標ｘ（ｉ１ｃｏｍｐ），ｙ（ｉ１ｃｏｍｐ），ｔ（ｉ１ｃｏｍｐ）が特定される。
【０１６９】
次に、ステップ９０６では、第２イベントデータベースから、空間的時間的ウインドウ［ｘ（ｉ１ｃｏｍｐ）−ｄｌｃｏｍｐ，ｘ（ｉ１ｃｏｍｐ）＋ｄｌｃｏｍｐ］×［ｙ（ｉ１ｃｏｍｐ）−ｄｌｃｏｍｐ，ｙ（ｉ１ｃｏｍｐ）＋ｄｌｃｏｍｐ］×［ｔ（ｉ１ｃｏｍｐ）−ｄｔｃｏｍｐ，ｔ（ｉ１ｃｏｍｐ）＋ｄｔｃｏｍｐ］内にあるイベントが探索される。イベントデータベースはその元となる重み付けされた光子のデータベースよりも小さいので、このステップ９０６は、スカイラブソフトウェア（Ｓｃｉｌａｂ  ｓｏｆｔｗａｒｅ）の検索機能を用いて、容易に実行可能である。
【０１７０】
次に、ステップ９０８では、少なくとも１つのイベントが存在するかが検証される。
【０１７１】
ステップ９１０では、見つけられた少なくとも１つのイベントが存在するイベントにおいて、見つけられたイベントの中で、Ａ（ｉ１ｃｏｍｐ）から最小の距離に位置しており、Ａ（ｉ２ｔｒｏｕｖ）によって指定されるイベントのリストが決定される。ｉ２ｔｒｏｕｖは上記リストの１からＮｔｒｏｕｖまで変化するランニングパラメータを指定しており、Ｎｔｒｏｕｖはリスト内に見つけられたイベントの総数と等しい。
【０１７２】
ステップ９１２では、μによって指定されるフラグが０と等しく設定され、パラメータｉ２ｔｒｏｕｖが１と等しく設定される。
【０１７３】
そして、ループ９１４のステップが実行される。
【０１７４】
ステップ９１６では、第１データベースにおいて、Ａ（２ｔｒｏｕｖ）から最小の距離に位置するイベントが探索される。
【０１７５】
ステップ９１８では、Ａ（ｉ１ｃｏｍｐ）がステップ９１６において見つけられたイベントの一部であるのかが検証される。
【０１７６】
もし、Ａ（ｉ１ｃｏｍｐ）がステップ９１６で見つけられたイベントの一部である場合には、Ａ（ｉ１ｃｏｍｐ）及びＡ（２ｔｒｏｕｖ）が類似していると考えて、ステップ９２０において、それぞれのデータベースから除去される。同時に、フラグμが１と等しく設定される。
【０１７７】
そうでなければ、フラグは０のままである。
【０１７８】
次に、ステップ９２２では、フラグが０であり且つｉ２ｔｒｏｕｖがＮｔｒｏｕｖよりも小さいのかが検証される。
【０１７９】
もしそうであれば、増加ステップ９２４においてインデックスｉ２ｔｒｏｕｖが１単位だけ増加されて、探索するステップ９１６に接続される。
【０１８０】
もしそうでなければ、ステップ９２６において、ｉ１ｃｏｍｐがｎｂ１よりも小さいのかが検証される。
【０１８１】
もしｉ１ｃｏｍｐがｎｂ１よりも小さい場合には、増加ステップ９２８においてインデックスｉ１ｃｏｍｐが１ユニットだけ増加され、そして、ステップ９０２に接続されて、類似したイベントを決定するステップが続行される。
【０１８２】
反対に、類似したイベントを決定するステップは、終了ステップ９３０において、完了する。
【０１８３】
図１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６、１７は、ＭＡＸ１８６と呼ばれる電子回路の欠陥を解析するために方法を適用した実施例に関する。
【０１８４】
ＭＡＸ１８６は、１２ビットアナログデジタルコンバータである。
【０１８５】
欠陥のある回路及び正常に動作する回路について、ＰＩＣＡシステムによって、事前に光子放射の取得がなされた。
【０１８６】
解析された回路の特性及び取得された測定結果が下記の表１にまとめられる。
【０１８７】
【表１】
0005600159.tif 000005
【０１８８】
図１０及び図１１によれば、予備処理ステップの終わりに得られた原光子の回路の画像それぞれが示される。図１０の画像は欠陥を有する回路の画像であり、図１１の画像は、正常に動作する回路の画像である。
【０１８９】
下記の表２は、予備処理ステップの終わりに得られた画像の主な特徴をまとめる。
【０１９０】
【表２】
0005600159.tif 000006
【０１９１】
図１２及び図１３によれば、光子をフィルタリングするステップの終わりに得られたフィルタリングされた光子の回路の画像それぞれが示される。図１２の画像は欠陥を有する回路の画像であり、図１３の画像は、正常に動作する回路の画像である。
【０１９２】
下記の表３は、予備処理ステップの終わりに得られた画像の主な特徴をまとめる。
【０１９３】
【表３】
0005600159.tif 000007
【０１９４】
図１４及び図１５によれば、ベクトル化ステップ２２２の終わりに得られたイベントの画像それぞれが示される。図１４の画像は欠陥を有する回路を示しており、図１５の画像は、正常に動作する回路を示す。
【０１９５】
下記の表４は、予備処理ステップの終わりに得られた画像の主な特徴をまとめる。
【０１９６】
【表４】
0005600159.tif 000008
【０１９７】
図１６によれば、図１４及び図１５の画像それぞれが重畳されており、重なった領域は類似のイベントを示している。
【０１９８】
図１７によれば、第１の相違イベントのみが示されており、続く相違イベントはフィルタリングされている。
【０１９９】
下記の表５は、比較ステップで得られた画像の主な特徴をまとめる。
【０２００】
【表５】
0005600159.tif 000009
【０２０１】
代わりに、画像化装置は、２つの空間座標ｘ（ｉ）、ｙ（ｉ）と、大きな空間の拡がりにおいて光子を検出するのに十分に長い検査シーケンスの連続した長さの時間フレームの長さと、によって特徴付けられる光子ｉの画像を提供する。この場合には、光子の空間的相関のみがなされる。
【０２０２】
この場合には、欠陥成分の位置に対応する光子を検出する可能性が高いので、空間的近傍に制限される光子を重み付けするステップは、ユーザが２次元の空間ウインドウ寸法を、即ち（ｄｌ，ｄｌ）及び選択された十分に長い時間フレームΔｔｒａｍｅの形で、入力することを要求する。重み付けステップにおいて実行されるメインステップは、２次元を有する空間コンボーリューション積分、即ち寸法（ｄｌ，ｄｌ）を有するウインドウにわたって検出されたそれぞれの光子の２次元空間的相関の計算である。
【０２０３】
代わりに、画像化装置は、光子の観測が電子回路の比較的狭い領域に制限される時間座標ｔ（ｉ）のみによって特徴づけられる光子ｉの画像を提供する。この制限は、例えば、観測される狭い領域外に位置する電子回路の部品によって放射される光に対しては不透明であり且つ観測される狭い領域では透明なマスクを用いることによってなされる。この場合には、放射される光子の時間的相関のみが探索される。
【０２０４】
この場合には、時間的近傍に制限される光子を重み付けするステップは、ユーザが、事前に定められた任意の探索される欠陥の位置である１次元時間ウインドウ寸法ｄｔを入力することを要求する。重み付けステップにおいて実行されるメインステップは、１次元時間コンボーリューション積分、即ち寸法ｄｔの時間ウインドウにわたって検出されたそれぞれの光子の１次元時間的相関の計算である。
【０２０５】
一般に、画像化装置によって検出された孤立した光子の測定からの取得データを含む第１の測定取得データベースから、集積された電子回路の欠陥を解析する画像処理方法が実行される。
【０２０６】
方法は、孤立した光子ｉａｃｑの測定からの測定取得の上記第１データベースから、それぞれのフィルタリングされた光子ｉに対して、ｎ次元を有する空間的及び／又は時間的な基準内で決定された上記フィルタリングされた光子ｉの空間的及び／又は時間的な位置Ｐ（ｉ）及び上記フィルタリングされた光子ｉと関連するスカラ重みＷ（ｉ）を有する記録を含むフィルタリングされた光子ｉのデータベースを決定するステップを備える。
【０２０７】
方法は、イベントｅｖ（ｋ）における所定のフィルタリングされた中央の光子ｋの周りに上記フィルタリングされた光子を配置する少なくとも１つの基本配置ステップを備えており、
その一つの基本配置ステップ又はそれぞれの基本配置ステップは、
位置Ｐ（ｋ）を有する上記中央の光子ｋの周りで、位置Ｐ（ｋ）を含み且つ所定の振幅ΔＴｍａｘｅｖを有する空間的及び／又は時間的なイベントウインドウＦｅｖ（ｋ）内に含まれたそれぞれの位置Ｐ（ｒｅｇ（ｋ））を有する光子ｒｅｇ（ｋ）を探すステップと、
少なくとも一つの光子ｒｅｇ（ｋ）が見つけられた時に、上記ウインドウＦｅｖ（ｋ）内に含まれる光子ｋ、ｒｅｇ（ｋ）の位置の第１関数と等しいイベントの位置Ｐｍｏｙ（ｋ）と、上記ウインドウＦｅｖ（ｋ）内に含まれる全ての光子のスカラ重みＷ（ｋ）、Ｗ（ｒｅｇ（ｋ））の第２関数と等しいイベント重みＷｅｖ（ｋ）とを有する記録のような上記中央の光子（ｋ）と関連するイベント（ｅｖ（ｋ））を作成することによって、上記ウインドウＦｅｖ（ｋ）内に見つけられた光子を一緒に配置するステップと、
を備える。
【０２０８】
また、イベントの上記記録は、上記ウインドウＦｅｖ（ｋ）内に含まれる光子ｋ、ｒｅｇ（ｋ）の最大及び最小の座標を有する。
【０２０９】
上記第１関数は、上記ウインドウＦｅｖ（ｋ）内に含まれる光子ｋ、ｒｅｇ（ｋ）の上記位置Ｐｍｏｙ（ｋ）の重み付けされない平均である。
【０２１０】
上記第１関数は、上記イベントの位置Ｐｍｏｙ（ｋ）が光子ｋ、ｒｅｇ（ｋ）の重心となるように、上記ウインドウＦｅｖ（ｋ）内に含まれる光子ｋ、ｒｅｇ（ｋ）の上記位置Ｐｍｏｙ（ｋ）がそれぞれのスカラ重みＷ（ｋ）、Ｗ（ｒｅｇ（ｋ）が割り当てられて重み付けされた平均である。
【０２１１】
上記第２関数は、上記ウインドウＦｅｖ（ｋ）内に含まれる光子ｋ、ｒｅｇ（ｋ）のそれぞれの重みＷ（ｋ）、Ｗ（ｒｅｇ（ｋ））の和である。
【０２１２】
方法は、上記第１データベースからの全ての上記フィルタリングされた光子ｉを上記イベント内に配置する配置段階を備えており、上記配置段階は、上記基本配置ステップを各光子ｉに対して一度適用することからなり、光子ｉは中央の光子又はイベントウインドウ内で見つけられた光子の内の何れかと考えられる。
【０２１３】
作成された上記イベントｅｖ（ｋ）は、イベントのみを含むデータベース内に集められる。
【０２１４】
方法は、上記イベント重みＷｅｖ（ｋ）が所定の閾値Ｓｅｖよりも小さい上記イベントｅｖ（ｋ）を除去することからなる上記イベントｅｖ（ｋ）をフィルタリングするステップを備えており、残されたイベントはフィルタリングされたイベントｅｖ（ｋｆｉｌｔｒｅ）となる。
【０２１５】
方法は、上記フィルタリングされたイベント及びフィルタリングされないイベントｅｖ（ｋ）それぞれの画像を作成するステップであって、上記フィルタリングされたイベントｅｖ（ｋｆｉｌｔｒｅ）及び上記フィルタリングされないイベントｅｖ（ｋ）それぞれを、位置、寸法及び色を有する線分、面積又は体積の形で表すステップを備えており、
線分、面積又は体積の寸法及び位置は、上記フィルタリングされたイベントｅｖ（ｋｆｉｌｔｒｅ）及び上記フィルタリングされないイベントｅｖ（ｋ）それぞれの座標によって決定されており、
色は、上記フィルタリングされたイベントの重みＷｅｖ（ｋｆｉｌｔｒｅ）及び上記フィルタリングされないイベントの重みＷｅｖ（ｋ）それぞれに依存する。
【０２１６】
方法は、上記第１データベースから決定される少なくとも１つのイベントｅｖ（ｋ）を、正常に動作する同一の電子回路に対応するいわゆる基準の第２データベースから決定される少なくとも１つのイベントと比較するステップと、
上記第１データベース及び上記第２データベースから導かれる類似しない各イベントを識別するステップと、
を備える。
【０２１７】
方法は、上記光学測定取得装置によって検出された孤立した光子ｉａｃｑの測定から上記測定取得データを集めるステップを備えており、上記測定取得データが画像を形成する。
【０２１８】
上記フィルタリングされた光子（ｉ）の空間的及び／又は時間的な上記位置（Ｐ（ｉ））は、上記フィルタリングされた光子（ｉ）の位置及び／又は放射モーメントに対応して、１からｎまで変化する整数ｊを有するｎ座標ｘｊ（ｉ）によって決定されており、上記ｎ座標は、ｎ−１の空間座標及び１つの時間座標ｔによって形成されるｎ個（ｎ−ｕｐｌｅｔ）にまとめられており、
上記空間座標は、上記電子回路の光子の放射に対する基準空間フレームに対して決定されており、上記時間座標ｔは、上記電子回路の電子励起信号の基準時間に対して決定されており、
最大イベント寸法ΔＴｍａｘｅｖは、１からｎまで変化する整数ｊを有するｎ個ΔＴｍａｘｅｖｊによって形成されており、
空間的及び／又は時間的な上記イベントウインドウＦｅｖ（ｋ）は、位置Ｐ（ｋ）を中心にして振幅ΔＴｍａｘｅｖを有しており、下記のデカルト積として記載される。
【数４】
0005600159.tif 000010
【０２１９】
孤立した光子に対して測定取得の上記第１データベースから上記フィルタリングされた光子ｉのデータベースを決定する上記ステップは、孤立した光子ｉａｃｑに対する上記測定取得データを原光子ｉｂｒｕｔからの原データに配置する予備ステップと、
上記原光子ｉｂｒｕｔからの上記原データを上記フィルタリングされた光子ｉのデータに変換するステップと、を備える。
上記原データは、それぞれの原光子ｉｂｒｕｔに対して、ｎ次元を有する空間的及び／又は時間的基準で決定される上記原光子ｉｂｒｕｔの空間的及び／又は時間的位置Ｐ（ｉｂｒｕｔ）と、上記原光子ｉｂｒｕｔに関連する光学センサのスカラ感度値Ｓ（ｉｂｒｕｔ）と、を有する記録を含んでいる。
上記原光子ｉｂｒｕｔの上記原データを上記フィルタリングされた光子ｉに対する上記データに変換する上記ステップは、位置Ｐ（ｉｂｒｕｔ）を有する上記原光子ｉｂｒｕｔの周囲で、位置Ｐ（ｉｂｒｕｔ）を含み且つ振幅ΔＴＷを有しており光子を重み付ける空間的及び／又は時間的ウインドウＦＷ（ｉｂｒｕｔ）内に含まれるそれぞれの位置Ｐ（ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ））を有する光子ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ）を探して、上記ウインドウＦＷ（ｉｂｒｕｔ）内で見つけられる光子ｉｂｒｕｔ，ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ）の上記感度値Ｓ（ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ））の第３関数と等しい重み付けされた光子ｉｂｒｕｔに関連する重みＷ（ｉｂｒｕｔ）を計算する重み付けステップを備えている。
【０２２０】
上記第３関数は、具体的には、上記ウインドウＦＷ（ｉｂｒｕｔ）内で見つけられる光子ｉｂｒｕｔ，ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ）の上記感度値Ｓ（ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ））の和である。
【０２２１】
上記原光子ｉｂｒｕｔの上記原データを上記フィルタリングされた光子ｉのデータに変換する上記ステップは、上記重み付けステップの後に、上記重みＷ（ｉｂｒｕｔ）が上記フィルタリングされた光子に対する所定の閾値Ｓｆｉｌｔよりも小さい重み付けされた上記原光子ｉｂｒｕｔを除去することからなる重み付けされた上記原光子ｉｂｒｕｔをフィルタリングするステップを備えており、残された重み付けされた光子は上記フィルタリングされた光子ｉを構成する。
【０２２２】
上記フィルタリングされた光子ｉの空間的及び／又は時間的な上記位置Ｐ（ｉｂｒｕｔ）は、上記原光子ｉｂｒｕｔの放射位置及び／又は放射モーメントに対応して、１からｎまで変化する整数ｊを有するｎ座標ｘｊ（ｉｂｒｕｔ）によって決定されており、上記ｎ座標は、ｎ−１の空間座標及び１つの時間座標ｔによって形成されるｎ個にまとめられており、
上記空間座標は、上記電子回路の光子の放射基準空間に対して決定されており、上記時間座標ｔは、上記電子回路の電子励起信号の基準時間に対して決定される。
原光子重み付け寸法ΔＴｗは、ｎ個ΔＴｗｊによって形成されており、
空間的及び／又は時間的な上記ウインドウＦＷ（ｉｂｒｕｔ）は、位置Ｐ（ｉｂｒｕｔ）を中心にして振幅ΔＴｗを有しており、下記のデカルト積として記載される。
【数５】
0005600159.tif 000011
【０２２３】
第１の具体例では、取得される次元の数ｎが、ｘ、ｙ座標に沿った２つの空間次元及び１つの時間次元ｔを有する３と等しく、光子を重み付けするステップは、３つの値（ｔｒｉｐｌｅｔ）（ｄｌ，ｄｌ，ｄｔ）によって形成される重み付けウインドウの寸法ΔＴＷを有し、上記ウインドウの寸法ΔＴＷの２つの空間成分が同一である空間時間光子相関（ＳＴＰＣ）法を用いる。
【０２２４】
第２の具体例では、方法は、取得される次元の数ｎが、ｘ及びｙ座標に沿った２つの空間次元を有する２と等しく、光子を重み付けするステップが、２つの値（ｄｏｕｂｌｅｔ）（ｄｌ，ｄｌ）によって形成される重み付けウインドウの寸法ΔＴＷを有し、上記ウインドウの寸法の２つの空間成分が同一である空間相関法を用いる静的発光のような取得技術を用いる。
【０２２５】
第３の具体例では、方法は、取得される次元の数ｎが、時間座標ｔに沿った１つの時間次元を有する１と等しく、光子を重み付けするステップが、１つの値ｄｔによって形成される重み付けウインドウの寸法ΔＴＷを有する時間相関法を用いる時間分解静的発光（ＴＲＥ）のような取得技術を用いる。
【０２２６】
従って、検出された孤立した光子のフィルタリングの質は、イベントによって構成される情報オブジェクトの第２フィルタリングによって改善される。
【０２２７】
更に、イベントに関連して第２フィルタリングに続くステップは、長さが短く、処理が行われるデータベースは軽い。
【図１】
0005600159.tif 000015
【図２】
0005600159.tif 000016
【図３】
0005600159.tif 000017
【図４】
0005600159.tif 000018
【図５】
0005600159.tif 000019
【図６】
0005600159.tif 000020
【図７】
0005600159.tif 000021
【図８】
0005600159.tif 000022
【図９】
0005600159.tif 000023
【図１０】
0005600159.tif 000024
【図１１】
0005600159.tif 000025
【図１２】
0005600159.tif 000026
【図１３】
0005600159.tif 000027
【図１４】
0005600159.tif 000028
【図１５】
0005600159.tif 000029
【図１６】
0005600159.tif 000030
【図１７】
0005600159.tif 000031