(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送開始位置から予め定められた数ｎ毎に被処理物を搬送する搬送路と、
前記搬送路に沿って設けられ、前記被処理物に特定の処理を施す処理部と、
前記処理前の前記被処理物を前記搬送路から前記処理部に供給するとともに、前記処理が施された後に前記被処理物を前記処理部から前記搬送路に排出する供給・排出部と、
前記搬送路に排出された前記被処理物を、次の処理に向けて移載する移載部と、を備える物品処理装置であって、
前記処理部は、
予め定められた前記数ｎに対応する数の処理要素を各々が有する、第１処理部と第２処理部とが、前記被処理物が前記搬送路を搬送される向きに並んで配置されており、
前記被処理物が前記搬送路で搬送が開始される位置を位置Ｓ、
前記移載部の位置を位置Ｅ、
前記位置Ｓから前記第１処理部に対応する位置Ｐ１まで前記被処理物が搬送される距離をＬ１１、
前記位置Ｓから前記第２処理部に対応する位置Ｐ２まで前記被処理物が搬送される距離をＬ２１、
前記位置Ｐ１から前記位置Ｅまで前記被処理物が搬送される距離をＬ１２、
前記位置Ｐ２から前記位置Ｅまで前記被処理物が搬送される距離をＬ２２、とすると、
Ｌ１１＝Ｌ２２及びＬ１２＝Ｌ２１を満足し、
前記第１処理部において前記処理を行う第１処理ステップと、前記第２処理部において前記処理を行う第２処理ステップと、を交互に繰り返す、
ことを特徴とする物品処理装置。
【請求項２】
前記第１処理部に対応する位置と、前記第２処理部に対応する位置と、の間を往復動可能に設けられる前記供給・排出部は、
ｎ個の前記被処理物を把持する第１把持部と、ｎ個の前記被処理物を把持する第２把持部を備え、
前記第１把持部が前記第１処理部又は前記第２処理部に対向しているときには、前記第２把持部は前記搬送路に対向し、
前記第１把持部が前記搬送路に対向しているときには、前記第２把持部は前記第１処理部又は前記第２処理部に対向する、
請求項１に記載の物品処理装置。
【請求項３】
各々がｎ個の前記被処理物を把持しながらループ状の前記搬送路を移動する、第３把持部と、第４把持部と、第５把持部と、第６把持部と、を備え、
前記第３把持部と前記第６把持部の距離、及び、前記第４把持部と前記第５把持部の距離が前記Ｌ１１（＝Ｌ２２）に等しく、
かつ、前記第３把持部と前記第４把持部の距離、及び、前記第５把持部と前記第６把持部の距離がＬ１２（＝Ｌ２１）に等しくなるように、相互の間隔が保持されながら、前記搬送路を移動する、
請求項１又は２に記載の物品処理装置。
【請求項４】
前記第１処理ステップにおいて、
前記第１処理部で前記被処理物に処理が施されている間に、
前記第２処理部で前記処理が施された前記被処理物を前記搬送路に排出し、かつ、後続の前記被処理物を前記第２処理部に供給し、
前記第２処理ステップにおいて、
前記第２処理部で前記被処理物に処理が施されている間に、
前記第１処理部で前記処理が施された前記被処理物を前記搬送路に排出し、かつ、後続の前記被処理物を前記第１処理部に供給する、
請求項１〜３のいずれか一項に記載の物品処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、複数の容器の内面にバリア膜を成膜する処理部に当該容器を搬送し処理した後に容器を処理部から排出し、さらに搬送する物品の処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラスチック容器等の容器、例えばペットボトルは、外部からの酸素の透過、内部（例えば炭酸飲料水）からの二酸化炭素の透過を防止するためにその内面にバリア膜、例えばＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ）のような炭素を主成分とするバリア膜やＳｉを主成分の一つとするシリカ膜などをコーティングすることが行われている。
【０００３】
このような容器内面に炭素などのバリア膜をコーティングする装置として、例えば特許文献１〜３に開示されたものが知られている。この装置は、１時間あたりに成膜する容器の本数が15,000本を超えるような大量生産用のロータリ型のものである。バリア膜の成膜は、真空排気が可能なチャンバ内に容器を収容した状態で行われる。この処理装置は、図１８に示すように、円周上に例えば３０個のチャンバ１２０が設けられたロータリ型の成膜装置１を備え、容器供給部１０１から容器（ペットボトル）が供給される。そして、チャンバ開閉部１０２において開放されたチャンバ１２０内に容器が挿入され、真空排気部１０３においてチャンバ１２０内を真空とし、次いで、放電部１０４において放電することで容器内にバリア膜が形成され、容器排出部１０５に向けてバリア膜が形成された容器が排出される、という概略工程を辿る。
【０００４】
ロータリ型の処理装置は大量生産に向いているが、飲料の製造工場において、単位時間当りに成膜できる数（処理量）の少ない装置の要求もある。しかし、ロータリ型の処理装置はそもそも製造コストが高いので、ロータリ型の処理装置の処理速度を低下させて生産量を抑えることは非現実的な選択である。したがって、製造コストを下げることのできるバッチ式の処理装置を採用することが処理量の少ない装置にとって有効であることが容易に予測される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２８６５７１号公報
【特許文献２】特開２００４−２７２７１号公報
【特許文献３】特開２００７−１１３０４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで本発明は、バッチ式の処理装置を作製する上で、装置の構成要素を小型化することで製造コストを更に低減できる物品処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明者はバッチ式の処理装置の動作について検討を行った。例えば、図１９に示すように、ｎ個のチャンバ１２０を直線上に配置する。チャンバ１２０に対応して多数の容器ＰＢから２ｎ本の容器ＰＢを割り出して、チャンバ１２０に向けて搬送路１３０を搬送するものとする（図１９（ａ））。なお、ここでは、一例として２ｎ＝６としている。処理される各チャンバ１２０に対応する位置まで容器ＰＢを搬送した後（図１９（ｂ））に、容器ＰＢを各チャンバ１２０に供給し、しかる後にチャンバ１２０内の真空排気、放電を含む一連のバリア膜の成膜処理を行った後（図２０（ｃ））、チャンバ１２０を開放して容器ＰＢを搬送路１３０に向けて排出する。排出された容器ＰＢは、一列に整列した状態で次工程に向けて搬送される（図２０（ｄ））。
【０００８】
各チャンバ１２０に対応する位置まで容器ＰＢが搬送された状態から、チャンバ１２０に供給される動作、成膜の動作、チャンバ１２０から搬送路１３０に排出される動作が連続的に行われる（図２１参照）。
【０００９】
一連の動作の中で図２１から明らかなように、搬送装置、移載装置が停止する時間帯がある。特に成膜に要する時間が比較的長いため、搬送装置、移載装置を停止させる時間も長くなり、装置の効率上この待機の時間帯は無駄といえる。
そこで本発明は、割り出される容器ＰＢの本数をｎ本（例えば、３本）とするが、チャンバ１２０は２ｎ本（例えば６本）分用意し、ｎ本の容器ＰＢをｎ個のチャンバ１２０で交互に処理することを要旨とする。そうすれば、処理により生じる待機の時間を利用して処理がなされていないチャンバ１２０に対して容器ＰＢの供給、排出を行うことができるので、単位時間当たりに処理する数を維持しながらも、移載装置はｎ本分の構成で足りることから、移載装置を含む搬送装置を小型化することができる。一方で、処理が施された被処理物は、次に施される処理のために、搬送路から移載されることがある。この次の処理に向けた移載をも含めて、単位時間当たりに処理する数を維持するために、被処理物をスムーズに搬送する必要がある。本発明の物品処理装置は、この点をも考慮してなされたものである。
【００１０】
すなわち本発明の物品処理装置は、搬送開始位置から予め定められた数ｎ毎に被処理物を搬送する搬送路と、搬送路に沿って設けられ、被処理物に特定の処理を施す処理部と、処理前の被処理物を搬送路から処理部に供給するとともに、処理が施された後に被処理物を処理部から搬送路に排出する供給・排出部と、搬送路に排出された被処理物を、次の処理に向けて移載する移載部と、を備える。
本発明の処理部は、第１処理部と第２処理部とを備える。第１処理部と第２処理部は、予め定められた数ｎに対応する数の処理要素を各々が有する。また、第１処理部と第２処理部は、被処理物が搬送路を搬送される向きに並んで配置されている。
そして、本発明の物品処理装置は、第１処理部において処理を行う第１処理ステップと、第２処理部において処理を行う第２処理ステップと、を交互に繰り返す。
本発明の物品処理装置は、被処理物が搬送路で搬送が開始される位置を位置Ｓ、移載部の位置を位置Ｅ、位置Ｓから第１処理部に対応する位置Ｐ１まで被処理物が搬送される距離をＬ１１、位置Ｓから第２処理部に対応する位置Ｐ２まで被処理物が搬送される距離をＬ２１、位置Ｐ１から位置Ｅまで被処理物が搬送される距離をＬ１２、位置Ｐ２から位置Ｅまで被処理物が搬送される距離をＬ２２、とすると、Ｌ１１＝Ｌ２２及びＬ１２＝Ｌ２１を満足する。
以上の条件を具備することで、搬送開始位置Ｓから第１処理部（又は第２処理部）に対応する位置まで被処理物を搬送するのと同期して、第２処理部（又は第１処理部）から排出された被処理物を移載位置Ｅまで搬送することができる。
【００１１】
本発明の物品処理装置において、供給・排出部を、第１処理部に対応する位置と、第２処理部に対応する位置と、の間を往復動可能とすることができる。そして、この場合、ｎ個の被処理物を把持する第１把持部と、ｎ個の被処理物を把持する第２把持部を備え、第１把持部が第１処理部又は第２処理部に対向しているときには、第２把持部は搬送路に対向し、第１把持部が搬送路に対向しているときには、第２把持部は第１処理部又は第２処理部に対向する、ことが好ましい。
そうすることで、第１処理部（又は第２処理部）との間の被処理物の授受と、搬送路との間の被処理物の授受を同時に行うことができるので、被処理物の供給・排出に係る時間を短縮することができる。
【００１２】
本発明の物品処理装置において、搬送路をループ状にすることが、装置全体の小型化にとって好ましい。この場合、各々がｎ個の被処理物を把持しながらループ状の搬送路を移動する、第３把持部と、第４把持部と、第５把持部と、第６把持部と、を設ける。そして、これら把持部の間隔を、上述した被処理物の搬送距離に整合させる。つまり、第３把持部と第６把持部の距離、及び、第４把持部と第５把持部の距離をＬ１１（＝Ｌ２２）に等しくし、かつ、第３把持部と第４把持部の距離、及び、第５把持部と第６把持部の距離をＬ１２（＝Ｌ２１）に等しくなるように、相互の間隔が保持されながら、搬送路を移動するように設定する。
【００１３】
本発明の物品処理装置は以上の構成を備えているため、第１処理ステップ及び第２処理ステップで以下のように動作させることができる。
第１処理ステップにおいて、第１処理部で被処理物に処理が施されている間に、第２処理部で処理が施された被処理物を搬送路に排出し、かつ、後続の被処理物を第２処理部に供給する。また、第２処理ステップにおいて、第２処理部で被処理物に処理が施されている間に、第１処理部で処理が施された被処理物を搬送路に排出し、かつ、後続の被処理物を第１処理部に供給する。
そうすることで、被処理物の供給及び排出に要する時間を短縮することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明による物品処理装置は、被処理物に処理を施す処理部を、第１処理部と第２処理部に分けたので、第１処理部において被処理物に処理を施している間は、第１処理部について前述した待機の時間帯が生じるので、第２処理部において被処理物の排出及び供給を行うことができる。また、第２処理部において被処理物に処理を施している間は、第２処理部について前述した待機の時間帯が生じるので、第１処理部において被処理物の排出及び供給を行うことができる。このように、本発明は、待機の時間帯を有効に使うことで、処理される数を維持しながらも、移載装置、つまり搬送装置を小型化することができる。
また、本発明による物品処理装置は、搬送開始位置Ｓから第１処理部（又は第２処理部）に対応する位置まで被処理物を搬送するのと同期して、第２処理部（又は第１処理部）から排出された被処理物を移載位置まで搬送することで、各々個別の搬送動作を行う必要がない。したがって、搬送装置を簡易な構成にできるため、装置の製造コスト低減に寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施の形態におけるＤＬＣ成膜装置（物品処理装置）の構成を示す平面図である。
【図２】第１群のペットボトルが、第１成膜ユニットに対応する位置まで搬送された状態を示す。
【図３】第１群のペットボトルが、第１成膜ユニットに供給された状態を示す。
【図４】第２群のペットボトルが、第２成膜ユニットに対応する位置まで搬送された状態を示す。
【図５】第２群のペットボトルが第２成膜ユニットに供給された後に、第３群のペットボトルが第１成膜ユニットに対応する位置まで搬送された状態を示す。
【図６】第１群のペットボトルが第１成膜ユニットから排出されるとともに、第３群のペットボトルが第１成膜ユニットに供給された状態を示す。
【図７】第１群のペットボトルがエアクリーナに向けて搬送されるとともに、第４群のペットボトルが第２成膜ユニットに対応する位置まで搬送された状態を示す。
【図８】第２群のペットボトルが第２成膜ユニットから排出されるとともに、第４群のペットボトルが第２成膜ユニットに供給された状態を示す。
【図９】第２群のペットボトルがエアクリーナに向けて搬送されるとともに、第５群のペットボトルが第１成膜ユニットに対応する位置まで搬送された状態を示す。
【図１０】第３群のペットボトルが第１成膜ユニットから排出されるとともに、第５群のペットボトルが第１成膜ユニットに供給された状態を示す。
【図１１】第３群のペットボトルがエアクリーナに向けて搬送されるとともに、第６群のペットボトルが第２成膜ユニットに対応する位置まで搬送された状態を示す。
【図１２】第４群のペットボトルが第２成膜ユニットから排出されるとともに、第６群のペットボトルが第２成膜ユニットに供給された状態を示す。
【図１３】第４群のペットボトルがエアクリーナに向けて搬送されるとともに、第７群のペットボトルが第１成膜ユニットに対応する位置まで搬送された状態を示す。
【図１４】第１成膜ユニット、第２成膜ユニット、搬送機構及びボトル供給・排出装置が各々動作する期間を時系列に対比して示すタイミングチャートである。
【図１５】ペットボトルの搬送開始位置Ｓから移載位置Ｅまでの距離の関係を示す図である。
【図１６】図１５とは異なる形態を示すタイミングチャートである。
【図１７】第１成膜ユニット及び第２成膜ユニットと搬送路の位置関係が相違する形態を示す図である。
【図１８】従来のロータリ型の成膜装置の構成を示す。
【図１９】バッチ式の成膜装置における、第１成膜ユニット及び第２成膜ユニットに対するペットボトルの供給・成膜・排出の動作を示す図である。
【図２０】バッチ式の成膜装置における、第１成膜ユニット及び第２成膜ユニットに対するペットボトルの供給・成膜・排出の動作を示す図であり、図１９に続く処理を示す。
【図２１】バッチ式の成膜装置における、第１成膜ユニット及び第２成膜ユニットの動作状態と、搬送装置の動作状態とを対比して示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、ペットボトルの内面にＤＬＣ膜を成膜する装置に本発明を適用した例について説明する。
図１に示される本実施の形態に係るＤＬＣ成膜装置１０は、以下のように動作することで、ペットボトル（被処理物）ＰＢの内面にＤＬＣ膜を成膜する。
供給コンベア２０から供給されるペットボトルＰＢは、拡幅移載装置３０により搬送機構（搬送路）４０へ移載される。
搬送機構４０へ移載されたペットボトルＰＢは、成膜部（処理部）５０に向けて搬送機構４０により搬送される。
所定位置まで搬送されたペットボトルＰＢは、ボトル供給・排出装置６０により、搬送機構４０から成膜部５０に供給される。
成膜部５０に供給されたペットボトルＰＢは、成膜部５０に保持されながら内面にＤＬＣ膜が形成される。
ＤＬＣ膜が形成されたペットボトルＰＢは、ボトル供給・排出装置６０により、成膜部５０から搬送機構４０に排出される。
搬送機構４０に排出されたペットボトルＰＢは、第１反転移載装置７０まで、搬送機構４０により搬送される。
ペットボトルＰＢは、第１反転移載装置７０により、搬送機構４０から排出されるとともに次の処理が行われるエアクリーナ８０に供給される。ペットボトルＰＢは、エアクリーナ８０において内部にエアが吹き付けられることで、内部の洗浄が行われる。
内部の洗浄が終わったペットボトルＰＢは、第２反転移載装置９０によりエアクリーナ８０から排出されるとともに排出コンベア１００に移載され、さらに排出コンベア１００により次工程へ搬送される。
ＤＬＣ成膜装置１０は、以上の動作を司る制御部１１０を備えている。
【００１７】
以下、各要素について説明する。
［供給コンベア２０］
供給コンベア２０の上流側には多数のペットボトルＰＢが保持され、供給コンベア２０はそこからペットボトルＰＢを連続的に搬送する。供給コンベア２０は、搬送されるペットボトルＰＢから、一度のバッチ処理の対象となる本数のペットボトルＰＢを割り出す。本実施形態では、３本を一度のバッチ処理の対象としており、供給コンベア２０は、３本のペットボトルＰＢを割り出すためのストッパ２１，２２等からなる割り出し機構を備えている。３本のペットボトルＰＢは、図１に示すように、互いに接触した状態で割り出される。
なお、図１において、ペットボトルＰＢの中に示される数字（１，２…）は、ＤＬＣ膜が形成されるバッチ処理の順番を示している。つまり、１が付されたペットボトルＰＢは成膜部５０において一番始めに成膜処理が施され、２が付されたペットボトルＰＢは成膜部５０において二番目に成膜処理がなされる。以下、ｎ番目に成膜処理されるペットボトルＰＢを、第ｎ群のペットボトルＰＢと呼ぶことにする。
【００１８】
［拡幅移載装置３０］
拡幅移載装置３０は、供給コンベア２０で割り出された（３本の）ペットボトルＰＢを、搬送機構４０に移載する。
拡幅移載装置３０は、ペットボトルＰＢを把持する３つのグリッパ３１を備えている。拡幅移載装置３０は、グリッパ３１を、ペットボトルＰＢが供給コンベア２０又は搬送機構４０により搬送される方向に対して直交する方向に往復移動させる機構を備えている。また、拡幅移載装置３０は、グリッパ３１同士の間隔を広げ又は縮める機構を備えている。なお、これらの機構は図示を省略している。
【００１９】
拡幅移載装置３０は、供給コンベア２０で割り出された３本のペットボトルＰＢをグリッパ３１で掴む。このとき、３本のペットボトルＰＢが互いに接触しているのに対応して、グリッパ３１は間隔が縮められている。ペットボトルＰＢを把持しているグリッパ３１は、搬送機構４０に向けて前進する。３本のペットボトルＰＢが互いに接触したままでは、成膜チャンバ５１１、５１２に挿入することができないので、搬送機構４０に向けて前進する過程で、グリッパ３１の間隔が広げられる。ペットボトルＰＢは広げられた間隔で、拡幅移載装置３０のグリッパ３１から、搬送機構４０の第１グリッパユニット４１を構成する各グリッパ４１１に移載される。拡幅移載装置３０のグリッパ３１は、ペットボトルＰＢを搬送機構４０に渡した後、供給コンベア２０で割り出された後続のペットボトルＰＢを把持する位置に後退する。
拡幅移載装置３０は、以上の動作を繰り返すことで、供給コンベア２０で割り出された第１群〜第ｎ群のペットボトルＰＢを、順番に３本ずつ搬送機構４０に移載する。
【００２０】
［搬送機構４０］
搬送機構４０は、拡幅移載装置３０から移載されたペットボトルＰＢを成膜部５０まで搬送し、また、搬送機構４０に排出されたＤＬＣ膜が形成されペットボトルＰＢを第１反転移載装置７０まで搬送する。
搬送機構４０は、ペットボトルＰＢを把持する第１グリッパユニット４１（第３把持部）、第２グリッパユニット４２（第４把持部）、第３グリッパユニット４３（第５把持部）及び第４グリッパユニット４４（第６把持部）を備えている。これらグリッパユニットは、各々独立してペットボトルＰＢを把持することができる。なお、以下では、第１グリッパユニット４１、第２グリッパユニット４２、第３グリッパユニット４３及び第４グリッパユニット４４を総称する場合には、グリッパユニット４１〜４４と表記する。
グリッパユニット４１〜４４は、各々、グリッパ４１１、４２１、４３１、４４１を３つずつ備えている。
【００２１】
搬送機構４０は、グリッパユニット４１〜４４をペットボトルＰＢの搬送路に沿って移動させる移動機構を備えている。この移動機構は、所定の間隔を空けて配置される駆動プーリ４５及び従動プーリ４６と、駆動プーリ４５及び従動プーリ４６に掛け回されているエンドレスな作動ベルト４７と、を備えている。図示を省略するアクチュエータにより駆動プーリ４５を回転させることで、ループ状の作動ベルト４７を走行させることができる。
【００２２】
グリッパユニット４１〜４４は、把持部分が外側を向くように、作動ベルト４７に固定されている。したがって、駆動プーリ４５を回転させると、グリッパユニット４１〜４４は、作動ベルト４７と同期して移動する。グリッパユニット４１〜４４が、供給コンベア２０と後述する成膜部５０に対して平行に走行できるように、駆動プーリ４５と従動プーリ４６の間隔が空けて配置されている。
【００２３】
第１グリッパユニット４１と第４グリッパユニット４４の距離、及び、第２グリッパユニット４２と第３グリッパユニット４３の距離がＬ１１（＝Ｌ２２）になるように作動ベルト４７に固定される。また、第１グリッパユニット４１と第２グリッパユニット４２の距離、及び、第３グリッパユニット４３と第４グリッパユニット４４の距離がＬ１２（＝Ｌ２１）になるように作動ベルト４７に固定される。このようにグリッパユニット４１〜４４の間隔を設定している理由については、後述する。
【００２４】
［成膜部５０］
ペットボトルＰＢにＤＬＣ膜を形成する成膜部５０は、第１成膜ユニット（第１処理部）５１と、第２成膜ユニット（第２処理部）５２と、を備えている。
第１成膜ユニット５１と第２成膜ユニット５２は、基本的には同じ構成を有しており、第１成膜ユニット５１は３つの成膜チャンバ（処理要素）５１１を備え、第２成膜ユニット５２は３つの成膜チャンバ（処理要素）５２１を備えている。ペットボトルＰＢは、これらチャンバの中に収容された状態でＤＬＣ膜が形成される。
また、第１成膜ユニット５１と第２成膜ユニット５２は、搬送機構４０の作動ベルト４７の走行方向、つまりペットボトルＰＢが搬送される方向に平行に並んで配置されている。この配置を、以下、直列に配置されている、と言うことがある。ペットボトルＰＢは、ｎ群毎に、第１成膜ユニット５１と第２成膜ユニット５２に交互に供給され、交互にＤＬＣ膜が形成される。
【００２５】
成膜部５０は、ペットボトルＰＢが成膜チャンバ５１１、５２１に収容された時にペットボトルＰＢを取り囲む外部電極、外部電極内のペットボトルＰＢに排気管側から挿入され、接地側に接続される内部電極、内部電極に媒質ガスを供給するためのガス供給手段、外部電極に接続される高周波電源、等を備えているが、これらの構成は特許文献１〜３に記載されているように周知であるため、ここでの説明は省略する。なお、ＤＬＣ膜の形成は、概略、以下の手順で行われる。
（１）チャンバ（外部電極）内にペットボトルＰＢを装填する。
（２）チャンバ内を真空引きする。
（３）ペットボトルＰＢ内部に膜の原料となるアセチレンガスを供給する。
（４）高周波のRF（Radio Frequency：13.56MHz）電力にてアセチレンガスをプラズマ化しペットボトルＰＢ内面に１０〜３０ｎｍの薄膜（ＤＬＣ膜）を蒸着する。
（５）チャンバを大気開放した後、ペットボトルＰＢを取り出す。
【００２６】
［ボトル供給・排出装置６０］
ボトル供給・排出装置６０は、搬送機構４０のグリッパユニット４１〜４４から受け取ったペットボトルＰＢを成膜部５０に供給する。また、ボトル供給・排出装置６０は、成膜部５０から受け取ったＤＬＣ膜が形成されたペットボトルＰＢを搬送機構４０に排出する。
ボトル供給・排出装置６０は、ペットボトルＰＢを把持する第１グリッパユニット６１（第１把持部）と、第２グリッパユニット６２（第２把持部）と、を備え、第１グリッパユニット６１は３つのグリッパ６１１を備え、第２グリッパユニット６２は３つのグリッパ６２１を備えている。第１グリッパユニット６１と第２グリッパユニット６２は、互いに線対称の位置に配置されている。
【００２７】
ボトル供給・排出装置６０は、基部６３を備えており、さらに基部６３から図中左右に延びる横アーム６４と、横アーム６４に直交する３本の縦アーム６５とを備えている。縦アーム６５は、軸方向に伸縮可能とされており、その先端にグリッパ６１１、６２１が取付けられている。
基部６３は、図中の矢印の向きに１８０°ずつ間欠的に回転（反転）可能であるとともに、搬送機構４０によるペットボトルＰＢの搬送方向に往復移動が可能とされている。この往復移動は、第１成膜ユニット５１に対応する位置（図１の実線）と、第２成膜ユニット５２に対応する位置（図１の一点鎖線）との間で行われる。
【００２８】
以上のように構成されたボトル供給・排出装置６０は、第２グリッパユニット６２が第１成膜ユニット５１に対向し、第１グリッパユニット６１が搬送機構４０に対向している図１の場合、以下のように動作する。
第１成膜ユニット５１に対してペットボトルＰＢを供給し、また、第１成膜ユニット５１からペットボトルＰＢを受け取るときには、グリッパ６２１が第１成膜ユニット５１の成膜チャンバ５１１に到達するように縦アーム６５を伸張させる。また、搬送機構４０からペットボトルＰＢを受け取り、また、成膜処理を終えたペットボトルＰＢを搬送機構４０に渡すときには、グリッパ６１１が搬送機構４０に到達するように縦アーム６５を伸張させる。
また、第２グリッパユニット６２で成膜処理を終えたペットボトルＰＢを把持し、第１グリッパユニット６１でこれから成膜処理を行うペットボトルＰＢを把持した場合には、基部６３を反転させることにより、第１グリッパユニット６１を第１成膜ユニット５１に対向させ、第２グリッパユニット６２を搬送機構４０に対向させる。
第２成膜ユニット５２に対してペットボトルＰＢの授受を行う場合、ボトル供給・排出装置６０を第２成膜ユニット５２に対応する位置に移動させる。
【００２９】
ボトル供給・排出装置６０は、第１グリッパユニット６１と第２グリッパユニット６２を備え、かつ反転するので、第１成膜ユニット５１（又は第２成膜ユニット５２）へのペットボトルＰＢの供給及び搬送機構４０へのペットボトルＰＢの排出を同期して行うことができる。したがって、ペットボトルＰＢの供給、排出の時間を短縮できる。ただし、このことは本発明を限定する要素ではなく、単一のグリッパユニットを備える形態をも本願発明は包含する。
【００３０】
［第１反転移載装置７０］
第１反転移載装置７０は、ＤＬＣ膜の成膜処理が終えたペットボトルＰＢを、搬送機構４０から次工程を行うエアクリーナ８０に移載する。
第１反転移載装置７０は、ペットボトルＰＢを把持する３つのグリッパ７１を備えている。
第１反転移載装置７０は、また、基部７４と、基部７４から延びるアーム７５を備えている。アーム７５は、軸方向に伸縮可能とされており、その先端にグリッパ７１が取付けられている。また、グリッパ７１は、相互の間隔が広がり又は縮まるように、アーム７５に取付けられている。
【００３１】
第１反転移載装置７０は、搬送機構４０からペットボトルＰＢを受け取るとき、グリッパ７１が搬送機構４０のいずれかのグリッパユニット４１〜４４に届くようにアーム７５を伸ばす。このとき、グリッパ７１の間隔は広げられている。グリッパ７１がペットボトルＰＢを把持すると、アーム７５を縮まる。そして、基部７４が時計回りに９０°回転することで、グリッパ７１をエアクリーナ８０に向ける。続いて、アーム７５を伸ばしてペットボトルＰＢをエアクリーナ８０に渡せる位置まで移動させる。
【００３２】
［エアクリーナ８０］
エアクリーナ８０は、ＤＬＣ膜が形成されたペットボトルＰＢの内面に空気（エア）を吹き付けることで、付着している異物、主に炭素化合物を除去する。
エアクリーナ８０は、ボトル受け入れステージ８１と、第１洗浄ステージ８２と、第２洗浄ステージ８３と、ボトル排出ステージ８４と、を備えている。ボトル受け入れステージ８１において、第１反転移載装置７０からペットボトルＰＢを受け取る。また、ボトル排出ステージ８４において、洗浄が終了したペットボトルＰＢを排出コンベア１００に渡す。
エアクリーナ８０は、異物除去の完全性を期すために、洗浄を第１洗浄ステージ８２と第２洗浄ステージ８３の２段階で行う。各々の洗浄の仕方は任意であって、同内容の洗浄を繰り返してもよいし、異なる内容の洗浄を行ってもよい。もちろん、洗浄を一段階とすることを本発明は許容する。
【００３３】
以上の洗浄動作を行うエアクリーナ８０は、第１グリッパユニット８５、第２グリッパユニット８６、第３グリッパユニット８７及び第４グリッパユニット８８を備えている。これらグリッパユニットは、各々独立してペットボトルＰＢを把持することができる。なお、以下では、第１グリッパユニット８５、第２グリッパユニット８６、第３グリッパユニット８７及び第４グリッパユニット８８を総称する場合には、グリッパユニット８５〜８８と表記する。
グリッパユニット８５〜８８は、各々、グリッパ８５１、８６１、８７１、８８１を３つずつ備えている。
【００３４】
エアクリーナ８０は、基部８９を備えている。基部８９は、平面視した形状が矩形をなしており、各辺にグリッパユニット８５〜８８がそれぞれ設けられている。基部８９は、図中の矢印の向きに、９０°ずつ間欠的に回転可能とされている。この回転が止まる位置に、グリッパユニット８５〜８８が、ボトル受け取りステージ８１、第１洗浄ステージ８２、第２洗浄ステージ８３及びボトル排出ステージ８４が配置されている。したがって、基部８９が間欠的に回転するのにともなって、例えば、グリッパユニット８５は、ボトル受け取りステージ８１、第１洗浄ステージ８２、第２洗浄ステージ８３及びボトル排出ステージ８４の順に訪れることになる。
エアクリーナ８０は、ボトル受け取りステージ８１、第１洗浄ステージ８２、第２洗浄ステージ８３及びボトル排出ステージ８４を、矩形の各辺に沿って配置している。したがって、これらステージを直線上に配置するのにくらべて、ＤＬＣ成膜装置１０に占めるエアクリーナ８０のスペースを小さくできる。
【００３５】
［第２反転移載装置９０］
第２反転移載装置９０は、エアクリーナ８０により処理が終了したペットボトルＰＢを、エアクリーナ８０から排出コンベア１００へ移載する。
第２反転移載装置９０は、平行移動をしないことを除くと、ボトル供給・排出装置６０と同様の動作をする装置であり、互いに線対称の位置に配置される第１グリッパユニット９１と第２グリッパユニット９２を備えている。第１グリッパユニット９１は３つのグリッパ９１１を備え、第２グリッパユニット９２は３つのグリッパ９２１を備えている。
第１グリッパユニット９１及び第２グリッパユニット９２が基部９３は、図中の矢印の向きに１８０°ずつ間欠的に回転可能とされている。第１グリッパユニット９１及び第２グリッパユニット９２は基部９３に対して進退可能に取付けられており、エアクリーナ８０からペットボトルＰＢを受け取るとき、または、排出コンベア１００にペットボトルＰＢを渡すときに、授受が可能な位置まで第１グリッパユニット９１及び第２グリッパユニット９２が移動する。
【００３６】
［排出コンベア１００］
排出コンベア１００は、第２反転移載装置９０から受け取ったペットボトルＰＢを、次工程に向けて搬送する。
【００３７】
［ペットボトルＰＢの処理手順］
以下、供給コンベア２０から供給されるペットボトルＰＢにＤＬＣ膜を形成した後に排出コンベア１００に排出されるまでの処理手順を図２〜図１３を参照して説明する。この処理手順は、制御部１１０からの指示にしたがって実行される。なお、成膜部５０（第１成膜ユニット５１、第２成膜ユニット５２を除く）等の一部の記載を図２〜図１３では省略している。
第１成膜ユニット５１に対応する位置まで第１群のペットボトルＰＢが搬送されていたものとする（図２参照）。第１群のペットボトルＰＢは、第１成膜ユニット５１に対応する位置に停止している第１グリッパユニット４１から、ボトル供給・排出装置６０の第１グリッパユニット６１に渡される。このとき、第２群のペットボトルＰＢは、第２グリッパユニット４２に把持されており、さらに後続の３本の第３群のペットボトルＰＢは、供給コンベア２０上で割り出されている。
【００３８】
第１群のペットボトルＰＢを第１グリッパユニット６１が受け取ると、ボトル供給・排出装置６０は時計回りに１８０°回転して停止する。次いで、ボトル供給・排出装置６０は、第１グリッパユニット６１を第１成膜ユニット５１に向けて移動させてから、第１群のペットボトルＰＢを第１成膜ユニット５１の成膜チャンバ５１１に供給する（図３参照）。成膜チャンバ５１１を密閉した後に、ＤＬＣ膜の成膜処理が開始される。
【００３９】
第１群のペットボトルＰＢが第１成膜ユニット５１に供給された後、ボトル供給・排出装置６０は第２成膜ユニット５２に対応する位置まで移動する（図４参照）。この移動と同期して、搬送機構４０の駆動プーリ４５を回転させることで、第２グリッパユニット４２をボトル供給・排出装置６０、つまり第２成膜ユニット５２に対応する位置まで移動させる。次いで、ボトル供給・排出装置６０は、第２グリッパユニット４２に把持されている第２群のペットボトルＰＢを受け取る。この間に、後続の第３群のペットボトルＰＢは、供給コンベア２０から第３グリッパユニット４３に渡される。以上の動作は、第１群のペットボトルＰＢにＤＬＣ膜を形成している間に行われる。
【００４０】
ボトル供給・排出装置６０は、第２群のペットボトルＰＢを受け取ると、時計回りに１８０°だけ回転して停止する。次いで、ボトル供給・排出装置６０は、第２グリッパユニット６２を第２成膜ユニット５２に向けて移動させてから、第２群のペットボトルＰＢを第２成膜ユニット５２の成膜チャンバ５２１に供給する（図５参照）。
この間に、搬送機構４０を動作させることにより、第３グリッパユニット４３に把持されている後続の第３群のペットボトルＰＢは、第１成膜ユニット５１に対応する位置まで搬送される。また、後続の第４群のペットボトルＰＢは、供給コンベア２０から第４グリッパユニット４４に渡される。
【００４１】
第２群のペットボトルＰＢが第２成膜ユニット５２に供給された後、ボトル供給・排出装置６０は第１成膜ユニット５１に対応する位置まで移動する（図６参照）。
この時点で第１群のペットボトルＰＢのＤＬＣ膜の形成が終了し、成膜チャンバ５１１は大気に開放される。一方、第２群のペットボトルＰＢのＤＬＣ膜の形成が開始される。
ボトル供給・排出装置６０は、成膜チャンバ５１１から第１群のペットボトルＰＢを第２グリッパユニット６２で受け取ると同時に、第３グリッパユニット４３に把持されている第３群のペットボトルＰＢを第１グリッパユニット６１で受け取る。そうすると、ボトル供給・排出装置６０は、時計回りに１８０°だけ回転して停止する。
【００４２】
次いで、ボトル供給・排出装置６０は、第１グリッパユニット６１を第１成膜ユニット５１に向けて移動させてから、第３群のペットボトルＰＢを第１成膜ユニット５１の成膜チャンバ５１１に供給する。一方、ボトル供給・排出装置６０は、第２グリッパユニット６２を搬送機構４０の第３グリッパユニット４３に向けて移動させてから、第１群のペットボトルＰＢを第３グリッパユニット４３に渡す。この間、第２群のペットボトルＰＢへの成膜処理が続いている。
【００４３】
第３群のペットボトルＰＢを第１成膜ユニット５１に供給し、また、第１群のペットボトルＰＢを第３グリッパユニット４３に渡した後に、ボトル供給・排出装置６０は第２成膜ユニット５２に対応する位置に移動する（図７参照）。同時に、搬送機構４０を動作させることにより、第４グリッパユニット４４に把持されている後続の第４群のペットボトルＰＢは、第２成膜ユニット５２に対応する位置まで搬送される。そうすると、第２群のペットボトルＰＢへの成膜処理を終えるとともに、第３群のペットボトルＰＢの成膜処理を開始する。
以上の動作に対応して、第３グリッパユニット４３に把持されている第１群のペットボトルＰＢは、第１反転移載装置７０に対応する位置まで運ばれる。また、後続の第５群のペットボトルＰＢは、供給コンベア２０から第１グリッパユニット４１に渡される。
【００４４】
ボトル供給・排出装置６０は、大気に開放された成膜チャンバ５２１に収容されている第２群のペットボトルＰＢを第１グリッパユニット６１で受け取ると同時に、第４グリッパユニット４４に把持されている第４群のペットボトルＰＢを第２グリッパユニット６２で受け取る。その後、ボトル供給・排出装置６０は、時計回りに１８０°だけ回転して停止する（図８参照）。
次いで、ボトル供給・排出装置６０は、第２グリッパユニット６２を第２成膜ユニット５２に向けて移動させてから、第４群のペットボトルＰＢを第２成膜ユニット５２の成膜チャンバ５２１に供給する。一方、ボトル供給・排出装置６０は、第１グリッパユニット６１を搬送機構４０の第４グリッパユニット４４に向けて移動させてから、第２群のペットボトルＰＢを第４グリッパユニット４４に渡す。この間、第３群のペットボトルＰＢへの成膜処理が続いている。
この間に、第１群のペットボトルＰＢは、第１反転移載装置７０を介して、エアクリーナ８０に移載される。
【００４５】
第４群のペットボトルＰＢが第２成膜ユニット５２に供給された後、ボトル供給・排出装置６０は第１成膜ユニット５１に対応する位置まで移動する（図９参照）。
この時点で第３群のペットボトルＰＢのＤＬＣ膜の形成が終了し、成膜チャンバ５１１は大気に開放される。一方、第４群のペットボトルＰＢのＤＬＣ膜の形成が開始される。
ボトル供給・排出装置６０は、成膜チャンバ５１１から第３群のペットボトルＰＢを第２グリッパユニット６２で受け取ると同時に、第１グリッパユニット４１に把持されている第５群のペットボトルＰＢを第１グリッパユニット６１で受け取る。そうすると、ボトル供給・排出装置６０は、時計回りに１８０°だけ回転して停止する。
【００４６】
次いで、ボトル供給・排出装置６０は、第１グリッパユニット６１を第１成膜ユニット５１に向けて移動させてから、第５群のペットボトルＰＢを第１成膜ユニット５１の成膜チャンバ５１１に供給する。一方、ボトル供給・排出装置６０は、第２グリッパユニット６２を搬送機構４０の第１グリッパユニット４１に向けて移動させてから、第３群のペットボトルＰＢを第１グリッパユニット４１に渡す（図１０参照）。この間、第４群のペットボトルＰＢへの成膜処理が続いている。
またこの間に、第２群のペットボトルＰＢは、第１反転移載装置７０を介して、エアクリーナ８０（ボトル受け入れステージ８１）に移載される。第１群のペットボトルＰＢは、第１洗浄ステージ８２に移動し、その内面が洗浄される。
【００４７】
第５群のペットボトルＰＢを第１成膜ユニット５１に供給し、また、第３群のペットボトルＰＢを第１グリッパユニット４１に渡した後に、ボトル供給・排出装置６０は第２成膜ユニット５２に対応する位置に移動する（図１１参照）。同時に、搬送機構４０を動作させることにより、第２グリッパユニット４２に把持されている後続の第６群のペットボトルＰＢは、第２成膜ユニット５２に対応する位置まで搬送される。そうすると、第４群のペットボトルＰＢへの成膜処理を終えるとともに、第５群のペットボトルＰＢの成膜処理を開始する。
第１グリッパユニット４１に把持されている第３群のペットボトルＰＢは、第１反転移載装置７０に対応する位置まで運ばれる。また、第２群のペットボトルＰＢは第１洗浄ステージ８２に移動されるとともに内面が洗浄され、第１群のペットボトルＰＢは第２洗浄ステージ８３に移動されるとともに内面が洗浄される。
後続の第７群のペットボトルＰＢは、供給コンベア２０から第３グリッパユニット４３に渡される。
【００４８】
ボトル供給・排出装置６０は、大気に開放された成膜チャンバ５２１に収容されている第４群のペットボトルＰＢを第１グリッパユニット６１で受け取ると同時に、第２グリッパユニット４２に把持されている第６群のペットボトルＰＢを第２グリッパユニット６２で受け取る。その後、ボトル供給・排出装置６０は、時計回りに１８０°だけ回転して停止する（図１２参照）。
次いで、ボトル供給・排出装置６０は、第２グリッパユニット６２を第２成膜ユニット５２に向けて移動させてから、第６群のペットボトルＰＢを第２成膜ユニット５２の成膜チャンバ５２１に供給する。一方、ボトル供給・排出装置６０は、第１グリッパユニット６１を搬送機構４０の第２グリッパユニット４２に向けて移動させてから、第４群のペットボトルＰＢを第２グリッパユニット４２に渡す。この間、第５群のペットボトルＰＢへの成膜処理が続いている。
この間に、第３群のペットボトルＰＢは、第１反転移載装置７０を介して、エアクリーナ８０に移載される。
【００４９】
第６群のペットボトルＰＢが第２成膜ユニット５２に供給された後、ボトル供給・排出装置６０は第１成膜ユニット５１に対応する位置まで移動する（図１３参照）。
この時点で第５群のペットボトルＰＢのＤＬＣ膜の形成が終了し、成膜チャンバ５１１は大気に開放される。一方、第６群のペットボトルＰＢのＤＬＣ膜の形成が開始される。
ボトル供給・排出装置６０は、成膜チャンバ５１１から第５群のペットボトルＰＢを第２グリッパユニット６２で受け取ると同時に、第３グリッパユニット４３に把持されている第７群のペットボトルＰＢを第１グリッパユニット６１で受け取る。そうすると、ボトル供給・排出装置６０は、時計回りに１８０°だけ回転して停止する。
また、第３群のペットボトルＰＢは第１洗浄ステージ８２に移動されるとともに内面が洗浄され、また、第２群のペットボトルＰＢは第２洗浄ステージ８３に移動されるとともに内面が洗浄される。第１群のペットボトルＰＢは、ボトル排出ステージ８４に移動された後、第２反転移載装置９０により排出コンベア１００に排出される。
後続の第８群のペットボトルＰＢは、供給コンベア２０から第４グリッパユニット４４に渡される。
【００５０】
［ＤＬＣ成膜装置１０の効果］
ＤＬＣ成膜装置１０は、以上の手順を繰り返すことにより、ペットボトルＰＢにＤＬＣ膜を形成し、エアを吹き付けによるペットボトルＰＢ内面の洗浄を連続的に行う。その中で、ペットボトルＰＢに成膜処理する一連の動作について、第１成膜ユニット５１、第２成膜ユニット５２、搬送機構４０及びボトル供給・排出装置６０の動作の一部を対比して図１４に示している。
【００５１】
図１４に示すように、第１成膜ユニット５１で第１群のペットボトルＰＢに成膜処理を施している間に、第２群のペットボトルＰＢを第２成膜ユニット５２に供給し、かつ、第３群のペットボトルＰＢを第１成膜ユニット５１に対応する位置まで搬送する。
第１群のペットボトルＰＢの成膜処理が終了すると、第２成膜ユニット５２において第２群のペットボトルＰＢの成膜処理が開始される。これと同時に、第１群のペットボトルＰＢの排出と第３群のペットボトルＰＢの供給を行う。それが終わると、次に、第４群のペットボトルＰＢを第２成膜ユニット５２に対応する位置まで搬送する。
第２群のペットボトルＰＢの成膜処理が終了すると、第１成膜ユニット５１において第３群のペットボトルＰＢの成膜処理が開始される。これと同時に、第２群のペットボトルＰＢの排出と第４群のペットボトルＰＢの供給を行う。それが終わると、次に、第５群のペットボトルＰＢを第１成膜ユニット５１に対応する位置まで搬送する。
【００５２】
以後、同様の手順で後続のペットボトルＰＢに成膜処理が施されるが、図１４から明らかなように、
第１成膜ユニット５１においてペットボトルＰＢに成膜処理を施している間に、第２成膜ユニット５２においてペットボトルＰＢの排出及び供給を行う。また、第２成膜ユニット５２においてペットボトルＰＢに成膜処理を施している間に、第１成膜ユニット５１においてペットボトルＰＢの排出及び供給を行う。このように、ＤＬＣ成膜装置１０は、割り出されるペットボトルＰＢの本数は３本であるが、第１成膜ユニット５１及び第２成膜ユニット５２で交互に絶え間なく成膜処理を行うことができる。したがって、６本のペットボトルＰＢを一度に搬送及び成膜処理をする場合と、単位時間当たりの処理数を同等にすることができる。しかも、６本のペットボトルＰＢを一度に搬送及び成膜処理する装置と比べると、ＤＬＣ成膜装置１０は、グリッパ６１１、６１２…の数を半分にできるので、ボトル供給・排出装置６０を小型化し、かつ低コストにできる。第１反転移載装置７０、エアクリーナ８０及び第２反転移載装置９０についても同様である。
【００５３】
ＤＬＣ成膜装置１０は、第１成膜ユニット５１と第２成膜ユニット５２が、直列に配置されている。したがって、割り出されたペットボトルＰＢが搬送機構４０により搬送が開始される位置から第１成膜ユニット５１又は第２成膜ユニット５２までの距離が相違する。この位置関係を図１５に示すが、ペットボトルＰＢの搬送を開始する位置Ｓから第１成膜ユニット５１に対応する位置Ｐ１までの搬送距離をＬ１１、位置Ｓから第２成膜ユニット５２に対応する位置Ｐ２までの搬送距離をＬ２１とする。
次に、第１成膜ユニット５１から排出されたペットボトルＰＢ、及び、第２成膜ユニット５２から排出されたペットボトルＰＢは、第１反転移載装置７０によりエアクリーナ８０に移載されるが、第１反転移載装置７０の位置は固定されている。第１成膜ユニット５１から排出されたペットボトルＰＢが第１反転移載装置７０まで搬送される距離をＬ１２、第２成膜ユニット５２から排出されたペットボトルＰＢが第１反転移載装置７０まで搬送される距離をＬ２２とする。
【００５４】
そして、搬送機構４０のグリッパユニット４１〜４４は作動ベルト４７に固定されており、作動ベルト４７に対する相対的な位置は不変である。
以上の前提の下に、ＤＬＣ成膜装置１０は、以下の関係を満足するように距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ２１及びＬ２２が設定されている。
Ｌ１１＝Ｌ２２
Ｌ１２＝Ｌ２１
そして、第１グリッパユニット４１と第４グリッパユニット４４の距離、及び、第２グリッパユニット４２と第３グリッパユニット４３の距離がＬ１２（＝Ｌ２１）になるように作動ベルト４７に固定される。また、第１グリッパユニット４１と第２グリッパユニット４２の距離、及び、第３グリッパユニット４３と第４グリッパユニット４４の距離がＬ１１（＝Ｌ２２）になるように作動ベルト４７に固定される。
このように設定することで、搬送機構４０は、搬送開始位置Ｓから第１成膜ユニット５１（又は第２成膜ユニット５２）に対応する位置までペットボトルＰＢを搬送するのと同期して、第２成膜ユニット５２（又は第１成膜ユニット５１）から排出されたペットボトルＰＢを第１反転移載装置７０まで搬送することができる。
【００５５】
以上、本発明の実施形態としてＤＬＣ成膜装置１０を説明した。しかし、本発明の主旨を逸脱しない限り、上記実施の形態で挙げた構成を取捨選択し、あるいは他の構成に適宜変更することが可能である。
例えば、ＤＬＣ成膜装置１０は、図１４にも示されるように、第２成膜ユニット５２で第２群のペットボトルＰＢに成膜処理を施している間に、第１群のペットボトルＰＢを第１成膜ユニット５１から排出するとともに第３群のペットボトルＰＢを第１成膜ユニット５１に対応する位置まで搬送し、加えて、第４群のペットボトルＰＢを第２成膜ユニット５２に対応する位置まで搬送する。この形態はペットボトルＰＢの搬送、供給に要する時間を短縮するので好ましいが、本発明はこれに限定されない。
例えば、図１６に示すように、第２成膜ユニット５２で第２群のペットボトルＰＢに成膜処理を施している間に、第３群のペットボトルＰＢを第１成膜ユニット５１に対応する位置まで搬送するとともに、第１成膜ユニット５１から第１群のペットボトルＰＢを排出しかつ第３群のペットボトルＰＢを第１成膜ユニット５１に供給する、という手順を採用することができる。
【００５６】
次に、ＤＬＣ成膜装置１０は、第１成膜ユニット５１と第２成膜ユニット５２が直列に配置されているが、本発明における第１成膜ユニット５１と第２成膜ユニット５２の配置はこれに限定されない。
例えば、図１７に示すように、搬送路１３０を挟んで第１成膜ユニット５１と第２成膜ユニット５２を対向して配置させることもできる。このように配置すれば、上述した、Ｌ１１＝Ｌ２２、Ｌ１２＝Ｌ２１という距離の設定を行う必要がない。もっとも、ＤＬＣ成膜装置１０の場合、成膜ユニット以外の要素が専有する面積が大きく、かつ成膜ユニットとこれら要素を離間することに制約があるために、第１成膜ユニット５１と第２成膜ユニット５２を直列に配置されている。したがって、このような制約がない場合に、図１７に示す形態を適用することができる。
【００５７】
また、ＤＬＣ成膜装置１０は第１成膜ユニット５１と第２成膜ユニット５２を設けているが、本発明はこれに限定されない。３つ以上の成膜ユニット（処理部）を備えることを本発明は許容する。３つ以上の成膜ユニット（処理部）を有する場合、１つの成膜ユニット（処理部）で成膜している間に、他の２つの成膜ユニットの双方又は一方において、ペットボトルＰＢの供給、排出が行われる。
【００５８】
以上の実施形態はＤＬＣ成膜装置１０について説明したが、被処理物が処理部まで搬送され、処理部に対して供給、排出がなされる処理装置に本発明は広く適用され、処理の具体的な内容は任意である。
【符号の説明】
【００５９】
１０…ＤＬＣ成膜装置（物品処理装置）、
２０…供給コンベア、２１，２２…ストッパ
３０…拡幅移載装置、３１…グリッパ
４０…搬送機構（搬送路）、４１…第１グリッパユニット、４２…第２グリッパユニット、４３…第３グリッパユニット、４４…第４グリッパユニット、４５…駆動プーリ、４６…従動プーリ、４７…作動ベルト、
５０…成膜部、５１…第１成膜ユニット、５２…第２成膜ユニット、５１１、５２１…成膜チャンバ
６０…ボトル供給・排出装置、６１…第１グリッパユニット、６２…第２グリッパユニット、６１１、６２１…グリッパ、６３…基部、６４…横アーム、６５…縦アーム
７０…第１反転移載装置、７１…グリッパ、７４…基部、７５…アーム
８０…エアクリーナ、８１…ボトル受け入れステージ、８２…第１洗浄ステージ、８３…第２洗浄ステージ、８４…ボトル排出ステージ、８５…第１グリッパユニット、８６…第２グリッパユニット、８７…第３グリッパユニット、８８…第４グリッパユニット、８９…基部
９０…第２反転移載装置、９１…第１グリッパユニット、９２…第２グリッパユニット、９３…基部、９１１、９２１…グリッパ
１００…排出コンベア
１１０…制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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