(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
精密機器が配設されたブース内に、温調用空気を供給して前記ブース内を温調する温調手段と、前記温調手段の運転を制御する制御手段とを備えた温調装置であって、
前記ブース内の圧力を検出する圧力検出手段を前記ブース内に備え、
前記温調手段が、温調された前記温調用空気を前記ブース内に送り込む送風手段としてのブロアを備え、
前記温調手段が、前記温調用空気を冷却する冷却手段及び加熱する加熱手段と、前記温調用空気を、前記冷却手段、前記加熱手段、前記ブロア、前記ブース、前記冷却手段の順に循環通風させる温調用空気循環路と、前記ブースの外部の空気を前記温調用空気循環路における前記冷却手段の上流側と前記ブースの下流側との間に導入可能な外部空気導入路と、前記外部空気導入路に配設され、前記ブースの外部から前記外部空気導入路を介して前記温調用空気循環路に導入される空気の量を調整可能な流量調整手段としてのダンパーとを備え、
前記制御手段が、前記ブロアを一定の出力で運転させ且つ前記ダンパーを所定の開度に維持した状態で、前記温調用空気循環路を介して前記ブース内に前記温調用空気を送り込んで、前記ブース内の圧力を大気圧よりも一定値だけ大きな圧力とし、当該一定値は、前記ブース内の圧力の最小値が大気圧の最大値よりも常に大きくなるような圧力値に設定され、
前記制御手段が、前記精密機器の運転開始時又は運転開始前に前記圧力検出手段により前記ブース内の圧力である大気圧よりも前記一定値だけ大きな圧力の基準圧力を検出させ、前記ブロアの出力及び前記ダンパーの開度を調整して、前記精密機器の運転開始時から運転停止までの間、前記ブース内の圧力を前記基準圧力に維持する温調装置。
【請求項２】
前記精密機器が電子顕微鏡であり、前記電子顕微鏡が、内部に測定空間を形成するケースと、前記ケースに形成された開口部にシール部材を介して締結具により固定されたフランジ蓋体と、前記フランジ蓋体から前記測定空間内に延出された測定台とを備え、前記測定台上に測定対象の試料が載置されるように構成されている請求項１に記載の温調装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、精密機器が配設されたブース内に、温調用空気を供給してブース内を温調する温調手段と、温調手段の運転を制御する制御手段とを備えた温調装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記温調装置として、温調された空気をブース内に送り込んで、当該ブース内を温調するとともに、当該空気の送り込みにより、ブース内の圧力をブースの外部の圧力よりも高圧（陽圧）とする温調装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。具体的には、かかる温調装置では、ブースの上方から温調された空気を送り込むことにより、ブース内において上下方向にエアーカーテンを形成し、このエアーカーテンを介して内側には高圧（陽圧）の領域が形成され、外側には内側よりも低圧な領域が形成される。
これにより、微細な塵や雑菌等がエアーカーテンの外側（ブースの外部）から内側に侵入することを防止でき、ブース内のエアーカーテンの内側にクリーンな作業環境を形成することができるとされる。
【０００３】
一方で、上記のようなブースにおいて、両端が開口されトンネル形に形成された塗装ブースが提案されている（例えば、特許文献２参照）。かかる塗装ブースは、塗装ブース内に給気ファンによって清浄空気を供給すると同時に、塗装ブース内から排気ファンによって塗料ミスト等を含む汚染空気を排出するように構成されている。そして、塗装ブース内の気圧を圧力センサで検出し、その検出した気圧と外気圧とを比較して両者の差値を求め、その差値に応じて塗装ブース内を一定の陽圧に保つように排気ファンの排気量を可変制御する給排気制御方法が採用されている。
これにより、塗装ブース内に外部空気が流入することがなく、塗装ブース内で塗装される被塗物の塗膜に塵埃等が付着して塗装品質を損なう虞がないとされる。
すなわち、これら特許文献１及び２では、ブース内をブースの外部の外気圧（大気圧）よりも高圧（陽圧）にして、ブース内に外部からの空気が侵入しないように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６２−１６８５５１号公報
【特許文献２】特開平３−１７８３６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、ブース内に電子顕微鏡等の精密機器を配設した場合、この精密機器による各種作業は、ブース内の圧力変動等の影響により、その測定精度や運転状態が悪影響を受ける場合がある。例えば、ブース内に電子顕微鏡を配設した場合において、電子顕微鏡のケースにより形成される測定空間内（真空状態）に測定対象の試料を設置する際には、ケースの開口部にシール部材を介してフランジ蓋体を締結具により固定し、上記試料がフランジ蓋体から測定空間内に延出された測定台上に載置される。この場合、測定空間の外側、すなわち、ブース内の圧力が変動すると、例えば、フランジ蓋体及び測定台が僅かに移動して測定対象の試料も移動することがあり、測定精度が低下する虞がある。
従って、特許文献１の温調装置では、ブース内の圧力を外部の圧力よりも陽圧にするが、ブースの外部の圧力は大気圧となっている。ここで、ブース内の圧力を大気圧に対して所定圧だけ高い陽圧状態を保とうとすると、通常、大気圧は天候等により変動するため、ブース内の圧力も当該大気圧の変動に応じて変動するので、ブース内に配設された電子顕微鏡等を作動させた場合には、測定精度が低下する虞がある。
【０００６】
一方で、特許文献２の塗装ブースでは、ブース内を一定の陽圧に維持するため、ブース内の圧力はある程度安定すると考えられる。しかしながら、ブース内の圧力を常時検出し、当該検出された圧力と外気圧との差値を導出して、排気ファンによる排気量を常に制御してブース内を一定の陽圧に維持する必要があり、エネルギーの無駄を生じるという問題がある。
【０００７】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、精密機器が配設されたブース内の圧力の変動を防止して測定精度の低下を抑制しつつ、省エネをも実現できる温調装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための本発明に係る温調装置は、精密機器が配設されたブース内に、温調用空気を供給して前記ブース内を温調する温調手段と、前記温調手段の運転を制御する制御手段とを備えた温調装置であって、その特徴構成は、
前記ブース内の圧力を検出する圧力検出手段を前記ブース内に備え、
前記温調手段が、温調された前記温調用空気を前記ブース内に送り込む送風手段としてのブロアを備え、
前記温調手段が、前記温調用空気を冷却する冷却手段及び加熱する加熱手段と、前記温調用空気を、前記冷却手段、前記加熱手段、前記ブロア、前記ブース、前記冷却手段の順に循環通風させる温調用空気循環路と、前記ブースの外部の空気を前記温調用空気循環路における前記冷却手段の上流側と前記ブースの下流側との間に導入可能な外部空気導入路と、前記外部空気導入路に配設され、前記ブースの外部から前記外部空気導入路を介して前記温調用空気循環路に導入される空気の量を調整可能な流量調整手段としてのダンパーとを備え、
前記制御手段が、前記ブロアを一定の出力で運転させ且つ前記ダンパーを所定の開度に維持した状態で、前記温調用空気循環路を介して前記ブース内に前記温調用空気を送り込んで、前記ブース内の圧力を大気圧よりも一定値だけ大きな圧力とし、当該一定値は、前記ブース内の圧力の最小値が大気圧の最大値よりも常に大きくなるような圧力値に設定され、
前記制御手段が、前記精密機器の運転開始時又は運転開始前に前記圧力検出手段により前記ブース内の圧力である大気圧よりも前記一定値だけ大きな圧力の基準圧力を検出させ、前記ブロアの出力及び前記ダンパーの開度を調整して、前記精密機器の運転開始時から運転停止までの間、前記ブース内の圧力を前記基準圧力に維持する点にある。
【０００９】
上記特徴構成によれば、制御手段により送風手段の運転が制御され、精密機器の運転開始時から運転停止までの間、ブース内の圧力が精密機器の運転開始時又は運転開始前の圧力である基準圧力に維持されるので、ブース内は大気圧よりも大きな圧力（陽圧）で、しかも、均一な圧力となり、精密機器の運転を安定させ測定精度の低下を抑制しつつ、省エネを図ることができる。
説明を加えると、制御手段が、温調された温調用空気をブース内に送り込む送風手段を運転させて、ブース内に温調用空気を送り込むことで、ブース内の圧力はブースの外部の圧力である大気圧よりも大きな圧力（陽圧）となる。そして、制御手段が、精密機器の運転開始時又は運転開始前にブース内の圧力である基準圧力（陽圧）を圧力検出手段により検出させ、送風手段の運転を制御することで、精密機器の運転開始から運転停止までの間だけブース内の圧力を上記基準圧力に維持する。すなわち、ブース内の圧力は常に陽圧に維持されるが、精密機器の運転開始から運転停止までの時間だけ均一な圧力に維持される。
これにより、精密機器の運転時には、ブース内の圧力を陽圧で、しかも均一な圧力に維持することができるので、精密機器の運転を安定させ測定精度の低下を抑制することができる。また、均一に維持されるブース内の圧力は精密機器の運転開始時又は運転開始前の基準圧力であるので、当該基準圧力が単に維持されるように送風手段の運転を行うだけで（送風手段の出力の増減の幅が小さな状態の運転で）、ブース内の圧力を所望の均一の圧力に容易に維持することができる。さらに、精密機器の運転時のみブース内の圧力を均一に維持するだけでよいので、精密機器の運転時以外にはブース内を均一な圧力にするために出力を増減させて送風手段を運転させる必要がなくなり（単に一定の出力で運転すればよくなり）、省エネを図ることができる。また、圧力検出手段によるブース内の圧力検出も、精密機器の運転開始時又は運転開始前及び運転時だけでよく、圧力の監視負担も軽減する。なお、このような構成としても、温調手段により温調された温調用空気がブース内
に送り込まれることによりブース内を所望の温度に温調でき、また、当該温調用空気が送り込まれてブース内が陽圧とされることにより、ブースの外部からブース内に塵埃等が侵入することを防止することができる。
また、上記特徴構成によれば、温調用空気循環路を循環通風する温調用空気の流量（ブース内に供給される温調用空気の量）は、当該温調空気循環路に配設された送風手段の運転状態を制御することで調整できることに加え、外部空気導入路に配設された流量調整手段の作動状態を制御することで調整することができる。これにより、ブース内の圧力をより確実に陽圧で、しかも均一な圧力（基準圧力）に維持することができる。
また、温調手段は、温調用空気を冷却する冷却手段及び加熱する加熱手段を備えるので、温調用空気を精度よく温調でき、さらに、外部空気導入路から導入されるブースの外部の空気は、温調用空気循環路における冷却手段の上流側とブースの下流側との間に導入され温調用空気と合流し、冷却手段及び加熱手段にて温調された上でブース内に送り込まれるため、当該空気が外部から導入されてもブース内の温調の精度が低下することはない。
【００１０】
本発明に係る温調装置の更なる特徴構成は、前記精密機器が電子顕微鏡であり、前記電子顕微鏡が、内部に測定空間を形成するケースと、前記ケースに形成された開口部にシール部材を介して締結具により固定されたフランジ蓋体と、前記フランジ蓋体から前記測定空間内に延出された測定台とを備え、前記測定台上に測定対象の試料が載置されるように構成されている点にある。
【００１１】
上記特徴構成によれば、ブースの内部空間と、当該ブースの内部空間に配設された電子顕微鏡のケースにより区画される測定空間とを連通する開口部が、シール部材を介して締結具で固定されたフランジ蓋体により閉塞されているので、フランジ蓋体から延出する測定台に載置される試料を開口部を介して容易に交換できるが、仮に、ブース内の圧力変動等が発生すると、当該電子顕微鏡ではシール部材が伸縮して、フランジ蓋体から延出する測定台が移動する虞がある。しかしながら、当該構成の電子顕微鏡を採用したとしても、上述のとおり、電子顕微鏡の運転時にはブース内の圧力が均一に維持されているので、シール部材を介して固定されたフランジ蓋体及び測定台上に載置された測定対象の試料が移動してしまうことがなく、電子顕微鏡の測定精度の低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】温調装置を備えた温調システムの概略構成図
【図２】温調装置を備えた温調システムの温調系の概略構成図
【図３】ブース内の圧力及びブースの外部の圧力（大気圧）の時間的変動を示す概念図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明に係る温調装置Ｅを備えた温調システムＤについて、図１〜図３を参照しながら説明する。
【００１６】
温調システムＤは、図１に示すように、電子顕微鏡Ｆ（精密機器の一例）が配設されるブース１と、ブース１内に温調用空気Ｐを供給してブース１内の温調用空気Ｐの温度を調整可能な温調手段２及び温調手段２の運転を制御する制御部３（制御手段の一例）を備えた温調装置Ｅとを備える。基本的に、制御部３は、ブース１内の温調用空気Ｐの温度が電子顕微鏡Ｆの運転に適した設定温度になるように温調手段２の運転を制御するが、後述するようにその他の手段等の制御を行うことも可能に構成されている。
以下では、ブース１の構成及び温調装置Ｅの構成を説明した後、制御部３による温調装置Ｅの運転について説明する。
【００１７】
ブース１は、天井部１ａ及び側壁部１ｂを構成する壁面により囲繞されて概略立方体形状に形成されており、ブース１内の内部空間に外部から空気等が侵入しないように構成されている。ブース１の内部空間の底部には架台Ｇが配設され、当該架台Ｇ上に電子顕微鏡Ｆが配設されている。ブース１の側壁部１ｂの上部には、温調手段２から供給される温調用空気Ｐの流入する入口１ｃが設けられ、ブース１の側壁部１ｂの下部には、ブース１内の温調用空気Ｐの流出する出口１ｄが設けられている。なお、ブース１の温調用空気Ｐの入口１ｃには、ＨＥＰＡ等のフィルタが搭載され、ブース１はクリーンルームとされている。
【００１８】
ブース１内に配設される電子顕微鏡Ｆは、公知の電子顕微鏡であるため、その詳細構成については説明を省略するが、少なくとも以下の構成を備える。
すなわち、電子顕微鏡Ｆは、内部に測定空間２０を形成するケース２１と、ケース２１に形成された開口部２２にゴムパッキン２３（シール部材の一例）を介してボルト・ナット２４（締結具の一例）により固定されたフランジ蓋体２５と、フランジ蓋体２５から測定空間２０内に延出された測定台２６とを備え、測定台２６上に測定対象の試料２７が載置されるように構成されている。
なお、ケース２１は概略立方体形状に形成され、その内部の測定空間２０内は略真空状態とされる。
【００１９】
温調装置Ｅは、図２に示すように、圧縮機３１、凝縮器３２、第１膨張弁３３、第１蒸発器３４（冷却手段の一例）の順に冷媒Ａ（図中点線矢印参照）を循環させる第１冷媒回路５０（冷凍サイクル）を備えて構成されている。第１蒸発器３４は、膨張された冷媒Ａと温調用空気Ｐとを熱交換させて温調用空気Ｐを冷却させるように構成されている。なお、第１膨張弁３３は、第１冷媒回路５０を通流する冷媒Ａの流量を調整自在で、当該冷媒Ａを膨張可能に構成されている。
【００２０】
第１冷媒回路５０には、凝縮器３２と第１膨張弁３３との間から分岐されて第１蒸発器３４と圧縮機３１との間に合流される第２冷媒回路５１（冷凍サイクル）が接続されている。
この第２冷媒回路５１は、冷媒Ａを凝縮器３２と第１膨張弁３３との間から分岐させて、第１膨張弁３３及び第１蒸発器３４に対して並列に設けられた第１電磁弁４７、第２膨張弁３６及び第２蒸発器３７の順に通流させ、第１蒸発器３４と圧縮機３１との間に戻すように構成されている。すなわち、第２冷媒回路５１は、第１冷媒回路５０の圧縮機３１及び凝縮器３２を共用するように構成され、圧縮機３１、凝縮器３２、第１電磁弁４７、第２膨張弁３６、第２蒸発器３７、圧縮機３１の順に冷媒Ａを通流可能に構成されている。なお、第２蒸発器３７は、膨張された冷媒Ａと水Ｑ（液体の一例）とを熱交換させて水Ｑを冷却させるように構成されている。また、第２膨張弁３６は、第２冷媒回路５１を通流する冷媒Ａの流量を調整自在で、当該冷媒Ａを膨張可能に構成されている。さらに、第１電磁弁４７は、第２冷媒回路５１を通流する冷媒Ａの断続、すなわち、当該冷媒Ａの通流の停止状態と通流状態とに切換できるように構成されている。なお、第１電磁弁４７を、冷媒Ａの通流状態では当該冷媒Ａの流量を調整可能な構成としてもよい。
【００２１】
第１冷媒回路５０には、圧縮機３１と凝縮器３２との間から分岐される３つの第１分岐路５２、第２分岐路５３、第３分岐路５４が設けられている。
【００２２】
第１分岐路５２は、冷媒Ａを圧縮機３１と凝縮器３２との間から分岐させて、温調用空気Ｐを加熱する加熱用熱交換器３５（加熱手段の一例）に通流させ、第１冷媒回路５０における第１膨張弁３３と第１蒸発器３４との間に戻すように構成されている。第１分岐路５２には、冷媒Ａの流れ方向の上流側から順に、温調用空気Ｐを加熱する加熱用熱交換器３５、第１分岐路５２を通流する冷媒Ａの流量を調整自在で、当該冷媒Ａを膨張させることが可能な第３膨張弁４２が配設されている。なお、加熱用熱交換器３５は、第１蒸発器３４で冷却された温調用空気Ｐと圧縮機３１から吐出された冷媒Ａとを熱交換させて、温調用空気Ｐを加熱させるように構成されている。
【００２３】
第２分岐路５３は、冷媒Ａを圧縮機３１と凝縮器３２との間から分岐させて、第２冷媒回路５１における第２膨張弁３６と第２蒸発器３７との間に戻すように構成されている。第２分岐路５３には、冷媒Ａの流れ方向の上流側から順に、第２蒸発器３７にて冷却された水Ｑを、第２分岐路５３を通流する冷媒Ａと熱交換させて、水Ｑを温調する温調部３８、第２分岐路５３を通流する冷媒Ａの断続、すなわち、当該冷媒Ａの通流の停止状態と通流状態とに切換できるように構成された第２電磁弁４８が配設されている。第２電磁弁４８を、冷媒Ａの通流状態では当該冷媒Ａの流量を調整可能な構成としてもよい。
【００２４】
第３分岐路５４は、冷媒Ａを圧縮機３１と凝縮器３２との間から分岐させて、圧縮空気Ｒを温調する温調部４０を通流させ、第１冷媒回路５０における第１膨張弁３３と第１蒸発器３４との間に戻すように構成されている。第３分岐路５４には、冷媒Ａの流れ方向の上流側から順に、冷却部３９にて冷却された圧縮空気Ｒを、第３分岐路５４を通流する冷媒Ａと熱交換させて、圧縮空気Ｒを温調する温調部４０、第３分岐路５４を通流する冷媒Ａの流量を調整自在で、当該冷媒Ａを膨張させることが可能な第４膨張弁４３、第３分岐路５４を通流する冷媒Ａの断続、すなわち、当該冷媒Ａの通流の停止状態と通流状態とに切換できるように構成された第３電磁弁４９が配設されている。なお、冷却部３９は、圧縮空気Ｒと後述する第１蒸発器３４にて冷却された第２分岐温調用空気Ｐ２とを熱交換させて、圧縮空気Ｒを冷却させるように構成されている。
【００２５】
ブース１及び温調装置Ｅには、温調用空気Ｐを、第１蒸発器３４、加熱用交換器３５及び冷却部３９、ブロア４（送風手段の一例）、ブース１、第１蒸発器３４の順に循環通流させる温調用空気循環路５が設けられている。なお、この温調用空気循環路５に設けられたブロア４は、温調された温調用空気Ｐを温調用空気循環路５に循環通流させ、ブース１内に送り込む送風手段として機能する。
【００２６】
この温調用空気循環路５において、第１蒸発器３４と加熱用熱交換器３５との間には、第１蒸発器３４を通過した温調用空気Ｐを、加熱用熱交換器３５に供給する第１分岐温調用空気Ｐ１と冷却部３９に供給する第２分岐温調用空気Ｐ２とに分岐する分岐手段６１が設けられている。詳細な説明は省略するが、分岐手段６１は、第１蒸発器３４を通過した第１分岐温調用空気Ｐ１を加熱用熱交換器３５に導く第１流路６１ａと、第１蒸発器３４を通過した第２分岐温調用空気Ｐ２を冷却部３９に導く第２流路６１ｂとから構成されている。なお、第１流路６１ａと第２流路６１ｂとは、第１流路６１ａを通流する第１分岐温調用空気Ｐ１の流量と第２流路６１ｂを通流する第２分岐温調用空気Ｐ２の流量との関係が予め設定された関係（例えば、１対１）となるように流路面積等が調整されている。
さらに、この温調用空気循環路５において、加熱用熱交換器３５及び冷却部３９とブロア４との間には、加熱用熱交換器３５を通過した第１分岐温調用空気Ｐ１と冷却部３９を通過した第２分岐温調用空気Ｐ２とを合流させて、合流させた温調用空気Ｐをブロア４に供給する合流手段６２が設けられている。詳細な説明は省略するが、合流手段６２は、加熱用熱交換器３５を通過した第１分岐温調用空気Ｐ１をブロア４に導く第３流路６２ａと、冷却部３９を通過した第２分岐温調用空気Ｐ２を第３流路６２ａの途中部分に供給する第４流路６２ｂとから構成されている。
なお、図２に示すように、温調用空気循環路５に配設される加熱用熱交換器３５及び冷却部３９は一体の熱交換器として構成されている。
【００２７】
また、この温調用空気循環路５における第１蒸発器３４の上流側とブース１の下流側との間には外部空気導入路１０が接続され、この外部空気導入路１０を介してブース１の外部から温調用空気循環路５に外部空気ＯＡ（空気）を導入可能に構成されている。温調用空気循環路５と接続する外部空気導入路１０内の一端部には、当該外部空気導入路１０から温調用空気循環路５に導入される外部空気ＯＡの量を調整可能なダンパー１１（流量調整手段の一例）が配設され、外部空気導入路１０の他端部は大気解放されている。また、制御部３は、ダンパー１１の開度を制御して、温調用空気循環路５に導入される外部空気ＯＡの量を調整可能に構成されている。
上記より、温調手段２は、少なくとも第１蒸発器３４、加熱用交換器３５、ブロア４、温調用空気循環路５、外部空気導入路１０及びダンパー１１を備えて構成されている。
【００２８】
温調装置Ｅには、圧縮空気Ｒを、第１ポンプ６ａ、冷却部３９、温調部４０の順に循環通流させる圧縮空気循環路６が設けられている。この圧縮空気循環路６に設けられた第１ポンプ６ａは、圧縮空気Ｒを圧縮空気循環路６に循環通流させる循環手段として機能する。なお、圧縮空気循環路６は、圧縮空気Ｒをブース１内の各種機器に供給可能に構成することができ、必要に応じて、ブース１内において圧縮空気Ｒを利用することもできる。
【００２９】
温調装置Ｅには、水Ｑを、第２蒸発器３７、温調部３８、第２ポンプ７ａ、の順に循環通流させる水循環路７が設けられている。この水循環路７に設けられた第２ポンプ７ａは、水Ｑを水循環路７に循環通流させる循環手段として機能する。なお、水循環路７は、水Ｑをブース１内の各種機器に供給可能に構成することができ、必要に応じて、ブース１内において水Ｑを利用することもできる。
【００３０】
ブース１内には、ブース１内の温調用空気Ｐの温度を検出する空気温度センサ８が配設されている。空気温度センサ８による温度検出結果は、制御部３に入力される構成となっている。制御部３に入力された温度検出結果は、ブース１内の温度が設定温度となるように制御するための制御対象温度として参照される。
【００３１】
また、ブース１内には、ブース１内の圧力を検出する圧力センサ９（圧力検出手段の一例）が配設されている。圧力センサ９としては公知の圧力センサを採用することができる。圧力センサ９による圧力検出結果は、制御部３に入力される構成となっている。なお、制御部３に入力された圧力検出結果は、後述するように、電子顕微鏡Ｆの運転開始時ｔ１の圧力Ｋ1は基準圧力Ｋ1aとして用いられ、また、電子顕微鏡Ｆの運転開始時ｔ１から運転停止時ｔ２には、ブース１内の圧力が上記基準圧力Ｋ1aに維持されるように制御するための制御対象圧力として参照される。
【００３２】
制御部３は、公知の情報演算処理手段から構成され、ブロア４、第１ポンプ６ａ、第２ポンプ７ａ及びダンパー１１の制御のほかに、第１電磁弁４７、第２電磁弁４８、第３電磁弁４９、圧縮機３１、第１膨張弁３３、第２膨張弁３６、第３膨張弁４２、第４膨張弁４３等の動作を制御し、温調用空気Ｐ、水Ｑ及び圧縮空気Ｒの流量や温度制御等が可能に構成されている。なお、制御部３には、各機器の作動状態に関する信号が、当該各機器から入力されるように構成されている。また、図示を省略するが、制御部３には各種情報を記憶可能な記憶部を備えている。
【００３３】
次に、温調装置Ｅの運転について説明する。
図１に示すように、電子顕微鏡Ｆの運転を開始しようとするときには、まず、ユーザが測定対象の試料２７をケース２１内の測定空間２０における測定台２６上に載置した後、操作部（図示せず）を操作して電子顕微鏡Ｆを起動し、真空ポンプ（図示せず）等を用いて測定空間２０内を略真空状態とする。そして、ユーザが操作部を操作して温調装置Ｅを起動させると共に、電子顕微鏡Ｆの周囲の温度（ブース１内の温度）が測定に最適な温度（設定温度：例えば２０〜２２℃）となるように、当該設定温度を入力する。なお、温調装置Ｅの起動と同時に、予め設定された温度を記憶部から読み出して、設定温度として用いてもよい。
【００３４】
温調装置Ｅが起動されると、制御部３は、空気温度センサ８により検出されたブース１内の温調用空気Ｐの温度が設定温度となるように、温調装置Ｅの運転を制御する。この際には、温調用空気Ｐは温調用空気循環路５を通流する際に、第１蒸発器３４にて冷却され、加熱用熱交換器３５及び冷却部３９にて加熱されて設定温度に温調される（図２参照）。
また、制御部３は、図３に示すように、ブロア４を一定の出力で運転させ、温調装置Ｅにより温調された一定量の温調用空気Ｐをブース１内に送り込んで、ブース１内の圧力Ｋ1（図３の実線）を、大気圧Ｋ0（図３の破線）よりも一定値ΔＫだけ大きな圧力（陽圧）にする（図３参照）。この一定値ΔＫは、ブース１内の圧力Ｋ1の最小値が大気圧Ｋ0の最大値よりも常に大きくなるような圧力に設定されている。そして、例えば、この状態では、制御部３は、外部空気導入路１０に配設されたダンパー１１の開度を、５０％程度の開度とし、温調用空気循環路５と外部空気導入路１０との合流箇所の下流側における温調用空気Ｐと外部空気ＯＡとの通流割合を、温調用空気Ｐ：外部空気ＯＡ＝９：１程度とする。なお、ブロア４の出力やダンパー１１の開度、温調用空気Ｐと外部空気ＯＡとの通流割合等は例示であり適宜変更することが可能である。
【００３５】
次に、制御部３は、空気温度センサ８により検出されたブース１内の温調用空気Ｐの温度が上記設定温度となると、圧力センサ９によりブース１内の圧力Ｋ1を検出し、当該圧力Ｋ1を基準圧力Ｋ1a（陽圧）として設定する。そして、制御部３は、ブロア４の出力及びダンパー１１の開度を調整して、ブース１内の圧力Ｋ1を、設定された基準圧力Ｋ1aに維持する。具体的には、制御部３は、基準圧力Ｋ1aの設定後、圧力センサ９により順次検出される圧力Ｋ1が当該基準圧力Ｋ1aに維持されるように、上述のように一定の出力で運転されるブロア４の出力を、当該出力よりも低下させ、さらに、上述のように開度調整されたダンパー１１の開度を、当該開度よりも大きくする。
【００３６】
ここで、上述のようにブース１内の温調用空気Ｐの温度が設定温度となると、電子顕微鏡Ｆの運転（測定）が開始できる状態となるため、上記では、この時点におけるブース１内の圧力Ｋ1を基準圧力Ｋ1aとしている。すなわち、制御部３は、電子顕微鏡Ｆの運転開始時のブース１内の圧力Ｋ1を基準圧力Ｋ1aとして、電子顕微鏡Ｆの運転開始時ｔ１から運転停止時ｔ２までの間（運転時間：Δｔ）、ブース１内の圧力Ｋ1を基準圧力Ｋ1aに維持している。この電子顕微鏡Ｆの運転時間Δｔは、例えば、数時間とされる。なお、一般的に、大気圧Ｋ0は比較的長い周期（例えば、１日や２日）で変動するため、電子顕微鏡Ｆの運転時間Δｔ内（数時間程度）では当該大気圧Ｋ0の変動幅は比較的小さくなり、上述のようにブース１内の圧力Ｋ1を基準圧力Ｋ1aに維持しても、当該ブース１内の圧力Ｋ1（基準圧力Ｋ1a）は常に陽圧に維持されることとなる（ブース１内の圧力Ｋ1（基準圧力Ｋ1a）が、大気圧Ｋ0以下となることはない）。
【００３７】
次に、試料２７の測定が終了し、電子顕微鏡Ｆの運転（測定）が停止する運転停止時ｔ２には、制御部３は、ブロア４を一定の出力での運転に戻すとともに、ダンパー１１の開度を、５０％程度の開度に戻す。すなわち、制御部３は、ブース１内の圧力Ｋ1を基準圧力Ｋ1aに維持する制御を停止し、温調装置Ｅにより温調された一定量の温調用空気Ｐをブース１内に送り込んで、ブース１内の圧力Ｋ1（図３の実線）を、電子顕微鏡Ｆの運転時における基準圧力Ｋ1aよりも大きな圧力で、しかも、大気圧Ｋ0（図３の破線）よりも一定値（ΔＫ）だけ大きな圧力にまで上昇させる（図３参照）。
【００３８】
これにより、ブース１内の圧力Ｋ1は常に陽圧に維持されるが、電子顕微鏡Ｆの運転開始ｔ１から運転停止ｔ２までの時間だけ均一な圧力（基準圧力Ｋ1a）に維持される。従って、電子顕微鏡Ｆの運転時（運転時間：Δｔ）には、ブース１内の圧力Ｋ1を陽圧で、しかも均一な圧力（基準圧力Ｋ1a）に維持することができるので、電子顕微鏡Ｆの運転を安定させ測定精度の低下を抑制することができる。また、均一に維持されるブース１内の圧力Ｋ1は電子顕微鏡Ｆの運転開始時ｔ１の基準圧力Ｋ1aであるので、当該基準圧力Ｋ1aが単に維持されるようにブロア４及びダンパー１１の運転を行うだけで（ブロア４の出力の増減の幅が小さな状態の運転で）、ブース１内の圧力Ｋ1を所望の均一の圧力に容易に維持することができる。さらに、電子顕微鏡Ｆの運転時のみブース１内の圧力Ｋ1を均一に維持するだけでよいので、電子顕微鏡Ｆの運転時以外にはブース１内を均一な圧力にするために、出力を増減させてブロア４を運転させる必要がなくなる（単に一定の出力で運転すればよくなる）とともに、ダンパー１１の開度を調整したりする必要がなくなり、省エネを図ることができる。また、圧力センサ９によるブース１内の圧力検出も、電子顕微鏡Ｆの運転開始時ｔ１及び運転時だけでよく、圧力の監視負担も軽減する。なお、このような構成としても、温調手段２により温調された温調用空気Ｐがブース１内に送り込まれることによりブース１内を所望の設定温度に温調でき、また、温調用空気Ｐが送り込まれてブース１内が陽圧とされることにより、ブース１の外部からブース１内に塵埃等が侵入することを防止することができる。
【００３９】
しかも、上述のように、電子顕微鏡Ｆにおいて、ブース１の内部空間と、当該ブース１の内部空間に配設された電子顕微鏡Ｆのケース２１により区画される測定空間２０とを連通する開口部２２が、シール部材２３を介して締結具２４で固定されたフランジ蓋体２５により閉塞されているので、仮に、ブース１内の圧力変動等が発生すると、当該電子顕微鏡Ｆではシール部材２３が伸縮して、フランジ蓋体２５から延出する測定台２６が移動する虞がある。しかしながら、当該構成の電子顕微鏡Ｆを採用したとしても、電子顕微鏡Ｆの運転時にはブース１内の圧力Ｋ1が均一に維持されているので、シール部材２３を介して固定されたフランジ蓋体２５及び測定台２６上に載置された測定対象の試料２７が移動してしまうことがなく、電子顕微鏡Ｆの測定精度の低下を防止することができる。
【００４０】
さらに、温調用空気循環路５を循環通風する温調用空気Ｐの流量（ブース１内に供給される温調用空気Ｐの量）は、当該温調空気循環路５に配設されたブロア４の運転状態を制御することで調整できることに加え、外部空気導入路１０に配設されたダンパー１１の作動状態を制御することで調整することができ、ブース１内の圧力Ｋ1をより確実に陽圧で、しかも均一な圧力（基準圧力Ｋ1a）に維持することができる。
【００４１】
〔別実施形態〕
（Ａ）上記実施形態においては、精密機器として電子顕微鏡Ｆを採用した例を述べたが、これに限らず、精密機器として、ブース１内の圧力変動により測定精度や運転状態に悪影響を受ける虞がある、ナノオーダの加工精度が要求される超精密な加工を行う加工機械等（例えば、半導体露光装置など）にも適用することができる。
【００４２】
（Ｂ）上記実施形態においては、圧力センサ９によりブース１内の圧力Ｋ1を基準圧力Ｋ1aとして検出する際に、その検出タイミングを電子顕微鏡Ｆの運転（測定）開始時ｔ１とする例について説明したが、特にこの構成に限定されるものではなく、例えば、電子顕微鏡の運転（測定）開始前（運転開始時ｔ１よりも前）に圧力センサ９によりブース１内の圧力Ｋ1を基準圧力Ｋ1aとして検出する構成としてもよい。
【００４３】
（Ｃ）上記実施形態においては、電子顕微鏡Ｆの運転時においてブース１内の圧力Ｋ1を基準圧力Ｋ1aに維持する際に、ブース１内の圧力Ｋ1が時間の経過とともに増加する傾向にある場合において（図３参照）、ブロア４の出力を低下させ、ダンパー１１の開度を大きくする例について説明したが、適切にブース１内の圧力Ｋ1を基準圧力Ｋ1aに維持できる構成であれば、特にこの構成に限定されるものではない。
例えば、ブース１内の圧力Ｋ1が時間の経過とともに減少する傾向にある場合には、ブロア４の出力を上昇させ、ダンパー１１の開度を小さくするように調整して、電子顕微鏡Ｆの運転時においてブース１内の圧力Ｋ1を基準圧力Ｋ1aに維持することもできる。
【００４４】
（Ｄ）上記実施形態においては、温調装置Ｅにおいて温調用空気Ｐのほかに、水Ｑ及び圧縮空気Ｒを温調することができる構成について説明したが、水Ｑ及び圧縮空気Ｒが必要なければ、これら水Ｑ及び圧縮空気Ｒに関する構成を省略した温調装置を採用することもできる。この場合、例えば、第２冷媒回路５１、第１分岐路５２、第２分岐路５３、第３分岐路５４、圧縮空気循環路６、水循環路７、分岐手段６１及び合流手段６２を省略し、加熱手段としての加熱用熱交換器３５の替わりに、電気ヒータ等を用いた構成の温調装置とすることができる。
また、温調装置Ｅにおける冷却手段や加熱手段としては、温調用空気Ｐを冷却できる公知の冷却手段や加熱できる公知の加熱手段を用いることができる。また、冷却手段や加熱手段の数についても適宜設定することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
以上説明したように、精密機器が配設されたブース内の圧力の変動を防止して測定精度の低下を抑制しつつ、省エネをも実現できる温調装置として有効に利用することができる。
【符号の説明】
【００４６】
１      ブース
２      温調手段
３      制御部（制御手段）
４      ブロア（送風手段）
５      温調用空気循環路
９      圧力センサ（圧力検出手段）
１０    外部空気導入路
１１    ダンパー（流量調整手段）
２０    測定空間
２１    ケース
２２    開口部
２３    ゴムパッキン（シール部材）
２４    ボルト・ナット（締結具）
２５    フランジ蓋体
２６    測定台
２７    試料
３４    第１蒸発器（冷却手段）
３５    加熱用熱交換器（加熱手段）
Ｅ      温調装置
Ｆ      電子顕微鏡（精密機器）
Ｐ      温調用空気
ＯＡ    外部空気（空気）
Ｋ0    大気圧
Ｋ1    ブース内の圧力
Ｋ1a    基準圧力
ｔ１    運転開始時
ｔ２    運転停止時
【図１】
0005600857.tif 000002
【図２】
0005600857.tif 000003
【図３】
0005600857.tif 000004