(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平均膜厚が５〜２５μｍで、弾性率が３〜１５ＧＰａであるポリイミドフィルムを、巻取り張力をかけながら５０℃〜２００℃における線膨脹係数が１０×１０−６ｃｍ／ｃｍ／℃以下で、吸水率が１％以下である巻取りコアに、揺動しながら巻取るポリイミドフィルムロールの製造方法であって、
前記ポリイミドフィルムの幅方向の膜厚の最大厚みと最少厚みの差が、平均膜厚の１０％以下とされたものを用い、
巻取り開始張力を４０〜６０Ｎ／ｍとし、巻取り径が１０ｍｍ増大する毎に、０．５〜９Ｎ／ｍの割合で張力を減少させ、１０００ｍ以上前記巻取りコアに巻取り、
巻取り末端部のポリイミドフィルムを、巻取り時の張力をかけた状態で、前記樹脂フィルムロールの表面に固定し、次いで、該樹脂フィルムの末端部を切断することを特徴とするポリイミドフィルムロールの製造方法。
【請求項２】
前記ポリイミドフィルムが、メタライジング法に用いられる配線基板用フィルムである、請求項１に記載のポリイミドフィルムロールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルム表面に皺等が生じにくい樹脂フィルムロールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
工業的に生産される樹脂フィルムは、保管効率や搬送効率を向上させるため、例えば、下記特許文献１に記載されるように、巻取りコアなどに所定長さ巻取って樹脂フィルムロールとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２７４８７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
幅方向に厚みムラがある樹脂フィルムをロール状に巻き取ると、わずかな厚みムラであっても巻き重ねられてゆくことによって、ロールの外周表面に凹凸が生じる。ロール外周表面に凹凸が生じると、この凹凸部分が平坦になろうとして凸の部分から凹の部分に向かって応力が生じる。その結果、凹凸を起点とし、ロール内部で応力が発生し、樹脂フィルムの表面に経時的に皺が発生する傾向にあった。
【０００５】
特に、ポリイミドフィルムのような剛性の高い樹脂フィルムを巻き取ってロール状にすると、保管時に樹脂フィルムロールが変形したり、巻取り末端部の樹脂フィルムに巻戻りが生じて、巻姿などの外観を損なったり、フィルム表面に皺が生じることがあった。樹脂フィルムの厚みが薄くなるに伴い、樹脂フィルムの腰がなくなることから、このような問題が生じ易かった。
【０００６】
上記特許文献１では、凹凸がある長尺のフィルムをロール状に巻き取った場合において、接着剤層に巻き跡が転写されることを抑制し、被着体に接着剤層を貼り付ける際に空気の巻き込みによるボイドの発生を抑制することを目的として、凹凸がある長尺のフィルムをロール状に巻き取る際に、巻き取られたフィルムのロール直径の増加に伴い、巻き取り張力を低下させるよう制御しているが、ポリイミドフィルムのような剛性の高い樹脂フィルムを巻き取ってロール状に巻取った際における上記問題については何ら検討がなされていない。
【０００７】
よって、本発明の目的は、剛性の高い樹脂フィルムを巻取った樹脂フィルムロール内の残留応力を軽減して、樹脂フィルム表面に皺等が発生し難い樹脂フィルムロールの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するにあたり、本発明の樹脂フィルムロールの製造方法は、平均膜厚が５〜２５μｍで、弾性率が３〜１５ＧＰａである樹脂フィルムを、巻取り張力をかけながら巻取りコアに巻取る樹脂フィルムロールの製造方法であって、前記樹脂フィルムの幅方向の膜厚の最大厚みと最少厚みの差が、平均膜厚の１０％以下とされたものを用い、巻取りコアに巻き取られた前記樹脂フィルムロールの半径が増加するに伴い、段階的または連続的に前記樹脂フィルムの巻取り張力を低下させることを特徴とする。
【０００９】
本発明の樹脂フィルムロールの製造方法は、巻取り開始張力を４０〜６０Ｎ／ｍとし、巻取り径が１０ｍｍ増大する毎に、０．５〜９Ｎ／ｍの割合で張力を減少させることが好ましい。
【００１０】
本発明の樹脂フィルムロールの製造方法は、前記樹脂フィルムが、ポリイミドフィルム、アラミドフィルムなどのポリアミドフィルム、ポリエステル系フィルム及び液晶系フィルムから選ばれる１種以上であることが好ましい。
【００１１】
本発明の樹脂フィルムロールの製造方法は、前記樹脂フィルムが、スパッタリングなどのメタライジング法に用いられる基板用フィルムであることが好ましい。
【００１２】
本発明の樹脂フィルムロールの製造方法は、前記樹脂フィルムを、１０００ｍ以上前記巻取りコアに巻取ることが好ましい。
【００１３】
本発明の樹脂フィルムロールの製造方法は、巻取り末端部の樹脂フィルムを、巻取り時の張力をかけた状態で、前記樹脂フィルムロールの表面に固定し、次いで、該樹脂フィルムの末端部を切断することが好ましい。
【００１４】
本発明の樹脂フィルムロールの製造方法は、得られる前記樹脂フィルムロールの外周の表面凹凸が０．８ｍｍ以下であることが好ましい。
【００１５】
本発明の樹脂フィルムロールの製造方法は、得られる前記樹脂フィルムロールの表面硬度の最大値と最小値との差が１００×９．８ｍ／ｓｅｃ２以下であることが好ましい。
【００１６】
本発明の樹脂フィルムロールの製造方法は、前記巻取りコアの５０℃〜２００℃における線膨脹係数が１０×１０−６ｃｍ／ｃｍ／℃以下で、吸水率が１％以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、平均膜厚が５〜２５μｍで、弾性率が３〜１５ＧＰａで、幅方向の膜厚の最大厚みと最少厚みの差が平均膜厚の１０％以下とされた樹脂フィルムを用い、巻取りコアに巻き取られた樹脂フィルムロールの半径が増加するに伴い、段階的または連続的に樹脂フィルムの巻取り張力を低下させたことで、樹脂フィルムロールの外周表面をより平滑にできる。その結果、樹脂フィルムロール内の残留応力を軽減することができ、保管時における樹脂フィルムロールの形状変形を抑制して、樹脂フィルム表面に皺等が発生し難い樹脂フィルムロールを製造できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の樹脂フィルムロールの製造工程の概略図である。
【図２】巻取り末端部の樹脂フィルムを、張力をかけた状態で樹脂フィルムロールの表面に固定する工程の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の樹脂フィルムロールの製造方法において用いる樹脂フィルムとしては、特に限定はなく、メタライジング法により樹脂フィルム表面に金属や金属酸化物などの層を形成する用途などに好ましく用いられる。具体的には、ポリイミドフィルム、アラミドフィルムなどのポリアミドフィルム、ポリエステル系フィルム、液晶系フィルムが挙げられる。これらの樹脂フィルムは、ＦＰＣ、ＴＡＢ、ＣＯＦあるいは金属配線基材などのフレキシブル回路基板のベースフィルム、金属配線、ＩＣチップなどのチップ部材などのカバー基材、液晶ディスプレー、有機エレクトロルミネッセンスディスプレー、電子ペーパー、太陽電池などのベース基材として、好ましく用いることができる。なかでも、ポリイミドフィルム、液晶系フィルム及びアラミドフィルムは、高耐熱性、高電気絶縁性を有し、薄手のフィルムであっても取扱上必要な剛性や耐熱性や電気絶縁性が満たされ、電気絶縁フィルム、断熱性フィルム、フレキシブル回路基板のベースフィルム等、産業分野において幅広く使用されているので、好ましく用いることができる。
【００２０】
樹脂フィルムの線膨張係数は、使用する目的に応じてどのようなもの範囲でも良いが、フレキシブル回路基板のベースフィルム、カバー基材、ベース基材として用いる場合には、５０〜２００℃における線膨張係数が３０×１０−６ｃｍ／ｃｍ／℃以下、さらに１×１０−６〜３０×１０−６ｃｍ／ｃｍ／℃であることが好ましい。
【００２１】
メタライジング法は、金属メッキや金属箔の積層とは異なる金属層を設ける方法であり、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング、電子ビーム等の公知の方法を用いることができ、特にスパッタリングが好ましい。
【００２２】
メタライジング法に用いる金属としては、銅、ニッケル、クロム、マンガン、アルミニウム、鉄、モリブデン、コバルト、タングステン、バナジウム、チタン、タンタル等の金属、又はそれらの合金、或いはそれらの金属の酸化物、それらの金属の炭化物等を用いることができるが、特にこれらの材料に限定されない。
【００２３】
ポリイミドフィルムは、例えば、ポリイミドの前駆体であるポリアミック酸溶液を支持体に流延又は塗布し、加熱などの処理を行ってイミド化することで得られる。
【００２４】
上記ポリアミック酸溶液は、テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを公知の方法で反応させて得ることができる。例えば、テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを、ポリイミドの製造に通常使用される有機溶媒中で重合して製造することができる。
【００２５】
テトラカルボン酸成分としては、芳香族テトラカルボン酸二無水物、脂肪族テトラカルボン酸二無水物、脂環式テトラカルボン酸二無水物等を挙げることができる。具体例としては、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、３，３’，４，４’−オキシジフタル酸二無水物、ジフェニルスルホン−３，４，３’，４’−テトラカルボン酸二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）スルフィド二無水物、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン二無水物等の芳香族テトラカルボン酸二無水物が挙げられる。
【００２６】
ジアミン成分としては、芳香族ジアミン、脂肪族ジアミン、脂環式ジアミン等を挙げることができる。具体例としては、ｐ−フェニレンジアミン、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル、３，４’−ジアミノジフェニルエーテル、ｍ−トリジン、ｐ−トリジン、５−アミノ−２−（ｐ−アミノフェニル）ベンゾオキサゾール、４，４’−ジアミノベンズアニリド、１，３−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、３，３’−ビス（３−アミノフェノキシ）ビフェニル、３，３’−ビス（４−アミノフェノキシ）ビフェニル、４，４’−ビス（３−アミノフェノキシ）ビフェニル、４，４’−ビス（４−アミノフェノキシ）ビフェニル、ビス〔３−（３−アミノフェノキシ）フェニル〕エーテル、ビス〔３−（４−アミノフェノキシ）フェニル〕エーテル、ビス〔４−（３−アミノフェノキシ）フェニル〕エーテル、ビス〔４−（４−アミノフェノキシ）フェニル〕エーテル、２，２−ビス〔３−（３−アミノフェノキシ）フェニル〕プロパン、２，２−ビス〔３−（４−アミノフェノキシ）フェニル〕プロパン、２，２−ビス〔４−（３−アミノフェノキシ）フェニル〕プロパン、２，２−ビス〔４−（４−アミノフェノキシ）フェニル〕プロパン等の芳香族ジアミンが挙げられる。
【００２７】
テトラカルボン酸成分とジアミン成分との組み合わせの一例としては、機械的特性、耐熱性の観点より、以下の１）〜３）が挙げられる。
１）３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と、ｐ−フェニレンジアミン、又はｐ−フェニレンジアミン及び４，４−ジアミノジフェニルエ−テル（例えば、ｐ−フェニレンジアミン／４，４−ジアミノジフェニルエ−テル（モル比）は１００／０〜８５／１５であることが好ましい。）との組み合わせ。
２）３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物及びピロメリット酸二無水物（例えば、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物／ピロメリット酸二無水物（モル比）は０／１００〜９０／１０であることが好ましい）と、ｐ−フェニレンジアミン、又はｐ−フェニレンジアミン及び４，４−ジアミノジフェニルエ−テル（例えば、ｐ−フェニレンジアミン／４，４−ジアミノジフェニルエ−テル（モル比）は９０／１０〜１０／９０であることが好ましい。）との組み合わせ。
３）ピロメリット酸二無水物と、ｐ−フェニレンジアミン及び４，４−ジアミノジフェニルエ−テル（例えば、ｐ−フェニレンジアミン／４，４−ジアミノジフェニルエ−テル（モル比）は９０／１０〜１０／９０であることが好ましい。）との組み合わせ。
【００２８】
有機溶媒としては、公知の溶媒を用いることができ、例えばＮ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアセトアミドなどが挙げられる。これらの有機溶媒は単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００２９】
樹脂フィルムの平均膜厚は、５〜２５μｍであり、好ましくは６〜１５μｍであり、特に好ましくは７〜１２μｍである。樹脂フィルムの平均膜厚は、ＪＩＳ・Ｃ２３１８に準拠した方法で測定した値である。
【００３０】
樹脂フィルムの幅方向の膜厚の最大厚みと最少厚みの差（以下、「膜厚差」とする）は、平均膜厚の１０％以下であり、好ましくは５％以下であり、特に好ましくは４％以下である。幅方向の膜厚差が、平均膜厚の１０％以下であれば、得られる樹脂フィルムロールの外周の表面凹凸をより小さくできる。
【００３１】
樹脂フィルムの弾性率は、３〜１５ＧＰａであり、好ましくは６〜１３ＧＰａであり、特に好ましくは７〜１２ＧＰａである。樹脂フィルムの弾性率は、ＡＳＴＭ・Ｄ８８２に準拠した方法で測定した値である。
【００３２】
本発明の樹脂フィルムロールの製造方法において用いる巻取りコアとしては、特に限定はなく、樹脂、繊維強化樹脂、金属などの材料を、円筒状ないし円柱状に成形したものが用いられる。樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、塩化ビニル、ＡＢＳ樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ブタジエンゴム、ポリスチレン、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、アクリル樹脂、塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリウレタン樹脂などが挙げられる。金属としては、鉄、アルミニウム、銅、チタン、鉛、亜鉛、金、ニッケル、クロム、スズ、銀、パラジウム、白金などが挙げられる。繊維強化樹脂に用いる繊維としては、ガラス繊維、炭素繊維、金属繊維、ポリイミド繊維、アラミド繊維などが挙げられる。なかでも、気温変化や湿度変化による変形が生じにくいもの、すなわち、５０℃〜２００℃における線膨脹係数、及び吸水率の小さいものを用いることが好ましい。より好ましくは、５０℃〜２００℃における線膨脹係数が１０×１０−６ｃｍ／ｃｍ／℃以下、さらに好ましくは５×１０−６ｃｍ／ｃｍ／℃以下、特に好ましくは２×１０−６ｃｍ／ｃｍ／℃以下であり、吸水率が１％以下であるものを用いる。なお、吸水率は、ＡＳＴＭ・Ｄ５７０に準拠した方法で測定した値である。
【００３３】
巻取りコアの弾性率は、２００ｋｇｆ／ｍｍ２以上が好ましく、５００〜７０００ｋｇｆ／ｍｍ２がより好ましく、１５００〜７０００ｋｇｆ／ｍｍ２が特に好ましい。巻取りコアの弾性率が２００ｋｇｆ／ｍｍ２未満であると、樹脂フィルムを巻取った際に、巻取りコアが変形し易く、周方向残留応力が多くなって、フィルム表面に経時的に皺が発生し易くなる傾向にある。なお、本発明において、巻取りコアの弾性率の値は、ＪＩＳ  Ｋ７１７１の三点曲げ法に基づいて測定した値である。
【００３４】
次に、本発明の樹脂フィルムロールの製造方法について説明する。
【００３５】
本発明の樹脂フィルムロールの製造方法は、樹脂フィルムを、巻取り張力をかけながら巻取りコアに巻取るが、その際に、巻取りコアに巻き取られた樹脂フィルムロールの半径が増加するに伴い、段階的または連続的に樹脂フィルムの巻取り張力を低下させる。具体的には、巻取り開始張力を４０〜６０Ｎ／ｍ、好ましくは４０〜５０Ｎ／ｍとし、巻取り径が１０ｍｍ増大する毎に、０．５〜９Ｎ／ｍの割合、好ましくは３〜９Ｎ／ｍの割合、特に好ましく５〜９Ｎ／ｍの割合で張力を減少させる。
【００３６】
巻取りコアに巻き取られた樹脂フィルムロールの半径が増加するに伴い、段階的または連続的に樹脂フィルムの巻取り張力を低下させるには、例えば、図１に示す装置を用いて行うことができる。
【００３７】
図１に示す装置は、原反樹脂フィルムロール１から樹脂フィルム１ａを引き出してスリッター２にて幅方向に分割して裁断し、裁断された樹脂フィルム１ｂ、１ｃを、それぞれ巻取りコア３ａ，３ｂに巻取って樹脂フィルムロール１０ａ，１０ｂを製造する装置である。図中の４は、タッチローラであって、樹脂フィルムロールの巻ズレを防止したり、巻き込み空気量を調整するものである。
【００３８】
この装置では、巻き出し側の張力を巻き出し張力検出ローラ５で測定し、巻き取り側の張力を巻き取り張力検出ローラ６ａ，６ｂで測定する。そして、各検出ローラで検出された測定値、及び樹脂フィルムロールの半径Ｒ１，Ｒ２をそれぞれ制御装置７に入力し、樹脂フィルムロールの半径Ｒ１，Ｒ２が増加するに伴い、巻き出し側の張力及び巻き取り側の張力を低下させる制御を行う。
【００３９】
巻取りコアに巻き取られた樹脂フィルムロールの半径が増加するに伴い、段階的また連続的に樹脂フィルムの巻取り張力を低下させることで、樹脂フィルムロールの外周表面をより平滑にでき、更には、表面硬度のバラつきを抑えることができる。更には、巻ズレを抑え、巻姿を良好にできる。その結果、樹脂フィルムロール内の残留応力を軽減することができ、保管時における樹脂フィルムロールの形状変形を抑制できる。
【００４０】
巻取り開始張力が４０Ｎ／ｍ未満であると、巻ズレが生じ易い。更には、空気を多くかみこんで巻取ってしまうことがあり、樹脂フィルム間に空気が多量に介在してしまうことがある。巻取り開始張力が６０Ｎ／ｍを超えると、巻取りコアや樹脂フィルムロールの形状が変形し易い。
【００４１】
樹脂フィルムロールの半径の測定方法は、特に制限はなく、計測した巻き取り長さから算出できれば良い。計測した巻き取り長さから樹脂フィルムロールの半径Ｒを計測する方法として、下記式（１）から算出する方法が挙げられる。
【００４２】
【数１】
0005552841.tif 000002
【００４３】
（式中の、Ｒは樹脂フィルムロールの半径であり、ｒは巻取りコアの半径であり、ｔは樹脂フィルムの膜厚であり、Ｌは樹脂フィルムの巻取り長さである。）
【００４４】
樹脂フィルムの巻取り速度は、フィルムの種類により適宜選択すればよく、２０〜１００ｍ／分が好ましく、５０〜１００ｍ／分がより好ましい。巻取り速度が２０ｍ／分未満であると、フィルム搬送時にローラ上でのグリップ力増加によりシワの発生リスクが高くなる。１００ｍ／分を超えるとフィルム搬送時にローラ上でのグリップ力低下によりキズの発生リスクが高くなる。
【００４５】
樹脂フィルムの巻取りは、幅方向に揺動を加えながら行うことが好ましい。幅方向に厚みムラがある樹脂フィルムをロール状に巻き取ると、わずかな厚みムラであっても巻き重ねられてゆくことによってロールの外周表面に凹凸が生じる。特に、ポリイミドフィルムのような剛直な樹脂フィルムを巻取った場合、凹凸が顕著に表れやすい。このような幅方向に厚みムラがある樹脂フィルムであっても、揺動を加えながら巻取ることで、樹脂フィルムの厚みムラがほぼ均一になるように巻取ることができ、得られる樹脂フィルムロール外周の表面凹凸をより小さくできる。揺動幅は、厚みムラの周期により、適宜揺動幅を選択すればよく、揺動幅を６０〜１２０ｍｍとすることが好ましい。
【００４６】
樹脂フィルムの巻取り長さは、１０００ｍ以上が好ましく、より好ましくは１５００〜５０００ｍであり、特に好ましくは２０００〜４０００ｍである。また、樹脂フィルムの巻き数は、使用するコア径にもよるが、１０００巻回以上であることが好ましく、より好ましくは１０００〜５０００回であり、特に好ましくは２０００〜４０００回である。
【００４７】
このようにして巻取りコアに樹脂フィルムを所定長さ巻き取った後、巻取り末端部の樹脂フィルムを、張力をかけた状態で樹脂フィルムロールの表面に固定し、次いで、樹脂フィルムの末端部を切断することが好ましい。巻取り末端部の樹脂フィルムを、張力をかけた状態で樹脂フィルムロールの表面に予め固定し、次いで切断することで、切断時の樹脂フィルムロールの表層の巻緩みを抑制できる。このため、樹脂フィルムの巻ズレや、空気のかみこみをより効果的に抑制できる。
【００４８】
張力をかけた状態で樹脂フィルムロールの表面に固定する好ましい方法について、図２を参照しながら説明する。まず、樹脂フィルムロールの最外層に両面テープを貼付した後（図２（ａ））、巻き取り末端部の樹脂フィルムを樹脂フィルムロールの最外層に巻付けて、両面テープにて巻き取り末端部の樹脂フィルムを前記樹脂フィルムロールの表面に固定する（図２（ｂ））。次に、巻取り末端部の樹脂フィルムにかかっている張力を解放した後、樹脂フィルムの末端部を切断する（図２（ｃ））。そして、固定テープによって、樹脂フィルムの末端部を、表面側から前記樹脂フィルムロールの表面に固定する（図２（ｄ））。
【００４９】
なお、図２では、樹脂フィルムロールの最外層に両面テープを貼付し、巻き取り末端部の樹脂フィルムを最外層に巻付けて樹脂フィルムロールの表面に固定したが、巻取り末端部の樹脂フィルムの裏面に両面テープを貼付し、該巻き取り末端部の樹脂フィルムを最外層に巻付けて樹脂フィルムロールの表面に固定してもよい。
【００５０】
本発明の製造方法で得られる樹脂フィルムロール外周の表面凹凸は、０．８ｍｍ以下であることが好ましく、０．６ｍｍ以下がより好ましい。上記表面凹凸が０．８ｍｍ以下であれば、凹凸部分を起点とした、樹脂フィルムロール内部で発生する応力をより低減できるため、樹脂フィルム表面に皺が生じにくくなる。樹脂フィルムロールの外周の表面凹凸は、赤外線厚み計を用い、ロール表面の幅方向（ＴＤ方向）の全幅を１０ｍｍの測定ピッチでスキャンして測定した厚みデータのロール全長の積算値から求めることができる。
【００５１】
樹脂フィルムロール外周の表面凹凸は、０．８ｍｍ以下にするには、フィルムの厚み差にロールの巻き数を掛けた数値が０．８ｍｍ以下になるようにフィルム厚み差や揺動幅を調整すればよい。
【００５２】
本発明の製造方法で得られる樹脂フィルムロールの表面硬度の最大値は、２００×９．８ｍ／ｓｅｃ２以上が好ましい。これによれば、保管時や搬送時における巻きズレを抑制することができる。また、樹脂フィルムロールの表面硬度の最大値と最小値との差（以下、「表面硬度差」とする）は、１００×９．８ｍ／ｓｅｃ２以下が好ましく、５０×９．８ｍ／ｓｅｃ２以下がより好ましい。表面硬度差が大きいと、樹脂フィルムロール内部で発生する応力によって、表面硬度の低い部分で皺が生じ易くなる。表面硬度差が１００×９．８ｍ／ｓｅｃ２以下であれば、樹脂フィルムロール内部で発生する応力をより低減でき、樹脂フィルム表面に皺が生じにくくなる。なお、本発明において、樹脂フィルムロールの表面硬度は、硬度計（ｔａｐｉｏ社製  ＲＱＰ）を用いて、ロール表面の幅方向（ＴＤ方向）の全幅を０．５ｍｍの測定ピッチでスキャンして測定し、３回測定の平均値である。
【００５３】
樹脂フィルムロールの表面硬度の最大値を２００×９．８ｍ／ｓｅｃ２以上にするには、巻き取り速度及び／又は揺動幅を調整し、ロール内の空気層の厚みを制御すればよい。また、表面硬度差を１００×９．８ｍ／ｓｅｃ２以下にするには、巻取り張力や揺動幅を調整しロール表面凹凸を０．８ｍｍ以下とすればよい。
【００５４】
このようにして得られた樹脂フィルムロールを、５〜３５℃、好ましくは１５〜２５℃で、３５〜８５％ＲＨ以下、好ましくは５０〜７０％ＲＨの環境下で保管することが好ましい。
【００５５】
本発明の製造方法で得られた樹脂フィルムロールは、表面凹凸が小さく、更には空気のかみこみ量が極めて少ないので、上記温度及び湿度条件で保管することで、気温や湿度によるフィルムの変形を抑えることができ、長期にわたって、保管時における皺の発生を抑制できる。そして、巻取りコアとして気温変化や湿度変化による変形が生じにくいもの、すなわち、線膨脹係数及び吸水率の小さいものを用いた場合、巻取りコアの変形を抑えることができるので、より効果的に保管時における皺の発生を抑制できる。
【実施例】
【００５６】
（実施例１）
厚さ８μｍ、弾性率８ＧＰａのポリイミドフィルムを成膜した。このポリイミドフィルムの幅方向の膜厚差は、平均膜厚の３％であった。
得られたポリイミドフィルムを、１０００ｍｍ幅にスリットしながら、線膨脹係数１．４×１０−６ｃｍ／ｃｍ／℃、吸水率１％以下、弾性率１５００ｋｇｆ／ｍｍ２の巻取りコア（ＦＷＰコア、直径：６インチ）に、揺動しながら、巻取り開始張力４０Ｎ／ｍで巻取り、巻取り径が１０ｍｍ増加した時点で９Ｎ／ｍの割合で張力を減少して、３０００ｍ巻取った。そして、巻取り終了時の張力をかけた状態で巻取りを停止し、ロールの最外層に両面テープを貼付した後、巻き取り末端部のポリイミドフィルムを最外層に巻付けてロールの表面に固定した。その後、張力をＯＦＦし、ポリイミドフィルムの末端部を切断した後、更に固定テープによって該末端部を表面側からロールの表面に固定してポリイミドフィルムロールを得た。
得られたポリイミドフィルムロールは、ロール表面には皺がなかった。また、得られたポリイミドフィルムロール外周の表面凹凸は０．６ｍｍで、表面硬度差は４０×９．８ｍ／ｓｅｃ２であった。また、このポリイミドフィルムロールを、２３℃、６０ＲＨ％にて３０日間保管したところ、皺や変形はなかった。
【００５７】
（比較例１）
実施例１において、ポリイミドフィルムの巻取り張力を４０Ｎ／ｍの一定値で行った以外は、実施例１と同様にしてポリイミドフィルムロールを製造した。
得られたポリイミドフィルムロールは、ロール表面には皺がなかった。また、得られたポリイミドフィルムロール外周の表面凹凸は０．６ｍｍで、表面硬度差は１２０×９．８ｍ／ｓｅｃ２であった。
しかしながら、このポリイミドフィルムロールを、２３℃、６０ＲＨ％にて３０日間保管したところ、ロール表面に皺が発生し、巻き出したフィルム表面に変形が生じていたい。
【符号の説明】
【００５８】
１：原反樹脂フィルムロール
１ａ，１ｂ，１ｃ：樹脂フィルム
２：スリッター
３ａ，３ｂ：巻取りコア
４：タッチローラ
５：巻き出し張力検出ローラ
６ａ，６ｂ：巻取り張力検出ローラ
７：制御装置
１０ａ，１０ｂ：樹脂フィルムロール
【図１】
0005552841.tif 000003
【図２】
0005552841.tif 000004