(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
無機繊維材料または有機繊維材料によって形成されるエアフィルタであって、フィルタ枠全体またはその一部に透明な樹脂材料を用い、その透明な樹脂材料部分に発光手段を１つ以上埋め込んだことを特徴としたエアフィルタ。
【請求項２】
透明な樹脂材料は、アクリルまたはナイロン樹脂であることを特徴とする請求項１記載のエアフィルタ。
【請求項３】
透明な樹脂材料部分にエアフィルタ表面側に突出する張り出し部を設けた事を特徴とする請求項１または２記載のエアフィルタ。
【請求項４】
前記張り出し部に筋状の切り欠きを設ける事により光散乱効果を持たせた事を特徴とする請求項３記載のエアフィルタ。
【請求項５】
透明な樹脂材料部分に埋め込まれた１つ以上の発光手段は、高輝度ＬＥＤランプであることを特徴とする請求項１〜４いずれかに記載のエアフィルタ。
【請求項６】
ファンとモータとそれらを内部に有したファンモータユニットと、その下流側にフィルタを有したファンフィルタユニットにおいて、請求項１〜５のいずれかに記載のエアフィルタを備えたことを特徴とするファンフィルタユニット。
【請求項７】
前記発光手段は、その発光色によってファンフィルタユニットの運転状態を示すことを特徴とする請求項６記載のファンフィルタユニット。
【請求項８】
前記発光手段は、複数の光源をマトリックス状に配列したものであり、点灯する光源の切替えによってファンフィルタユニットの運転状態を示すことを特徴とする請求項６記載のファンフィルタユニット。
【請求項９】
前記発光手段は、複数の光源をマトリックス状に配列したものであり、光源が点滅することによってファンフィルタユニットの状態を示すことを特徴とする請求項６記載のファン
フィルタユニット。
【請求項１０】
前記発光手段と同期した動作によりブザーを鳴らすことを特徴とする請求項６〜９のいずれかに記載のファンフィルタユニット。
【請求項１１】
前記発光手段の電源をファンモータユニット側に設け、ファンモータユニットとエアフィルタの取り付け面に互いに接合する接点を設ける事により、エアフィルタをファンモータユニットに取り付けると同時に両者が接続できることを特徴とする請求項６〜１０いずれかに記載のファンフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体やフラットパネルディスプレイ等を製造する製造装置あるいはそれらの検査装置等において、清浄な空気を必要とする環境下で使用されるエアフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、清浄空気を必要とされる空間であるクリーンルーム等の天井面に配設されるエアフィルタは、上流側の状況を下流側から容易に確認できることが求められている。図７に示すように、クリーンルームの天井面設備の運転状況を確認することができるクリーンユニット本体１０２のフィルタ支持装置として、エアフィルタ１０１を保持したクリーンユニット支持枠１０３に運転表示ユニット１０４（ＬＥＤランプなど）を組み込んだものが知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１９３９２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような従来のフィルタ支持装置として上流にあるクリーンユニットの運転表示が組み込める支持枠が必要となり、施工面において特殊な支持枠を用いなければならない。また支持枠は表示可能な枠幅が必要であり、その枠幅に必要なコストがかかってしまうという課題があり、容易にフィルタ下流側から上流側の状況が確認できることが要求されている。
【０００５】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、下流側からファンフィルタユニットの運転状況を容易に視認または確認できるエアフィルタまたはファンフィルタユニットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のエアフィルタは、上記目的を達成するために無機繊維材料または有機繊維材料によって形成されるエアフィルタであって、フィルタ枠全体またはその一部が透明な樹脂
材料とし、透明な樹脂材料にファンフィルタユニットの運転状態が表示できる発光手段を１つ以上取り付けたことを特徴としたエアフィルタである。
【０００７】
また他の手段は、透明な樹脂材料は、アクリルまたはナイロン樹脂とした事を特徴とするエアフィルタである。
【０００８】
また他の手段は、透明な樹脂材料部分にエアフィルタ表面側に突出する張り出し部を設けた事を特徴とするエアフィルタである。
【０００９】
また他の手段は、張り出し部に筋状の切り欠きを設ける事により光散乱効果を持たせた事を特徴とするエアフィルタである。
【００１０】
これらの手段により、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができるエアフィルタが得られる。
【００１１】
また他の手段は、透明な樹脂材料に取り付けられる１つ以上の発光手段は、高輝度ＬＥＤランプである事を特徴とするエアフィルタである。この手段によりネオンランプなどに比べ、ランプ寿命が長時間となるエアフィルタを得られる。
【００１２】
また他の手段は、ファンとモータとそれらを内部に有したファンモータユニットと、その下流側にフィルタを有したファンフィルタユニットにおいて、フィルタ枠全体またはその一部に透明な樹脂材料を用い、その透明な樹脂材料部分に発光手段を１つ以上埋め込んだエアフィルタを備えたことを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００１３】
また他の手段は、発光色によってファンフィルタユニットの状態を示すことを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００１４】
また他の手段は、発光手段を複数の光源をマトリックス状に配列したものであり、点灯する光源の切替えによってファンフィルタユニットの運転状態を示すことを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００１５】
また他の手段は、複数の光源をマトリックス状に配列したものであり、光源が点滅することによってファンフィルタユニットの運転状態を示すことを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００１６】
また他の手段は、発光手段と同期した動作によりブザーを鳴らすことを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００１７】
これらの手段によりエアフィルタの下流側から上流側の状況を視覚や聴覚により確認することができるファンフィルタユニットが得られる。
【００１８】
また他の手段は、透明な樹脂材料部分に埋め込まれた１つ以上の発光手段と電源の接続は、ファンモータユニットとエアフィルタの取り付け面に互いに接点を設ける事により、エアフィルタを取り付けると同時に両者が接続できることを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００１９】
この手段により発光手段と電源との接続が配線を引き回す必要がなくなり、エアフィルタを取り付けることで、互いの接点、例えばコネクタが接続されることによって簡単に交換作業が可能となる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、エアフィルタの下流側からファンフィルタユニットの運転状況を視認できるエアフィルタを提供できる。
【００２１】
また、透明な樹脂枠に発光する表示手段を設けたエアフィルタとファンモータユニットを構成することで下流側から容易に運転状況を確認することができるファンフィルタユニットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態１のエアフィルタの構成図
【図２】同実施の形態１のエアフィルタの構成図
【図３】同実施の形態１のファンフィルタユニットの構成図
【図４】同実施の形態１のファンフィルタユニットの構成図
【図５】同実施の形態１のファンフィルタユニットの構成図
【図６】同実施の形態２、３のファンフィルタユニットの構成図
【図７】従来のクリーンユニットのフィルタ支持装置を示す断面図
【発明を実施するための形態】
【００２３】
本発明の請求項１記載の発明は、無機繊維材料または有機繊維材料によって形成されるエアフィルタであって、フィルタ枠全体またはその一部に透明な樹脂材料を用い、その透明な樹脂材料部分に発光手段を１つ以上埋め込んだことを特徴としたエアフィルタであり、エアフィルタの下流側からファンフィルタユニットの運転状況を視認できると言う作用を有する。
【００２４】
本発明の請求項２記載の発明は、透明な樹脂材料は、アクリルまたはナイロン樹脂とした事を特徴とするエアフィルタであり、エアフィルタの下流側からファンフィルタユニットの運転状況を視認できると言う作用を有する。
【００２５】
本発明の請求項３記載の発明は、透明な樹脂材料部分にエアフィルタ表面側に突出する張り出し部を設けた事を特徴とするエアフィルタであり、エアフィルタの下流側からファンフィルタユニットの運転状況を視認できると言う作用を有する。
【００２６】
本発明の請求項４記載の発明は、張り出し部に筋状の切り欠きを設ける事により光散乱効果を持たせた事を特徴とするエアフィルタであり、透明な樹脂材料の先端の光源がより見やすくなると言う作用を有する。
【００２７】
本発明の請求項５記載の発明は、透明な樹脂材料に取り付けられる１つ以上の発光手段は、高輝度ＬＥＤランプである事を特徴とするエアフィルタであり、ネオンランプなどに比べ、運転ランプが長時間使用できると言う作用を有する。
【００２８】
本発明の請求項６記載の発明は、ファンとモータとそれらを内部に有したファンモータユニットと、その下流側にフィルタを有したファンフィルタユニットにおいて、請求項１〜６のいずれかに記載の発光手段を１つ以上取り付けたエアフィルタを備えたことを特徴とするファンフィルタユニットであり、エアフィルタの下流側からファンフィルタユニットの運転状況を視認できると言う作用を有する。
【００２９】
本発明の請求項７記載の発明は、発光色によってファンフィルタユニットの状態を示すことを特徴とするファンフィルタユニットであり、エアフィルタの下流側の発光色を視認する事によりファンフィルタユニットの運転状況を視認できると言う作用を有する。
【００３０】
本発明の請求項８記載の発明は、発光手段を複数の光源をマトリックス状に配列したものであり、点灯する光源の切替えによってファンフィルタユニットの状態を示すことを特徴とするファンフィルタユニットであり、エアフィルタ下流側の発光色の切り替わりを視認する事によりファンフィルタユニットの運転状況を視認できると言う作用を有する。
【００３１】
本発明の請求項９記載の発明は、複数の光源をマトリックス状に配列したものであり、光源が点滅することによってファンフィルタユニットの状態を示すことを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００３２】
これによりエアフィルタ下流側の発光色の点滅動作を視認する事によりファンフィルタユニットの運転状況を視認できると言う作用を有する。
【００３３】
本発明の請求項１０記載の発明は、前記発光手段と同期した動作によりブザーを鳴らすことを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００３４】
これらの手段によりエアフィルタの下流側から上流側の状況を確認することができ、視覚と聴覚によっても運転状況を確認することができるファンフィルタユニットが得られる。
【００３５】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００３６】
本発明の請求項１１記載の発明は、前記発光手段の電源をファンモータユニット側に設け、ファンモータユニットとエアフィルタの取り付け面に互いに接合する接点を設ける事により、エアフィルタをファンモータユニットに取り付けると同時に両者が接続できることを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００３７】
この手段により発光手段と電源との接続が配線を引き回す必要がなくなり、エアフィルタを取り付けることで、互いのコネクタが接続されることによって簡単に交換作業が可能となる。
【００３８】
（実施の形態１）
図１、２に示すように本発明のエアフィルタ１は、波形状に折曲して形成されたろ材２とろ材２を透明な樹脂材料で構成された枠体３の内周壁面に密に接合固定し所定形状で保持されている。透明な樹脂材料の枠体３の一部に穴加工４を施し、その穴加工されたところに発光手段であるＬＥＤランプ５を埋め込む。
【００３９】
図３には、上記のようなＬＥＤランプ５を枠体３に埋め込んだエアフィルタ１を用いたファンフィルタユニット１１を示す。ファンフィルタユニット１１は、ファンモータユニット７とエアフィルタ１とで構成されている。ファンモータユニット７は、チャンバー１０内にモータ８とファン９を備えている。エアフィルタ１は、ファンモータユニット７の下流側に吹出し部分を覆うように備え付けられる。エアフィルタ１に設けられたＬＥＤランプ５の配線６はファンモータユニット７に電源を供給する端子台１２に接続する。
【００４０】
上記構成により、ファンモータユニット７に電源が供給された場合、エアフィルタ１に取り付けられたＬＥＤランプ５が発光し、エアフィルタ１の下流側で容易に運転状況が視認できる。
【００４１】
また、図５に示すように、エアフィルタ１には、ＬＥＤランプ５が取り付けられる部位のみフィルタ下流側に張り出し部１４を設け、その張り出し部１４にＬＥＤランプ５を埋め込むとよい。このような構成によれば、発光部がフィルター下流側に突出しているため
、視認し易くなる。
【００４２】
また、その先端に切り欠き１５を設ける事でも良い。これにより樹脂材料先端部において光錯乱が促進され、より先端部での視認性が向上する。
【００４３】
また、図４に示すようにファンモータユニット７とエアフィルタの取り付け面に互いにコネクタ１６を設ける事により、エアフィルタ１を取り付けると同時に両者が接続できるので発光手段と電源との接続の際、ファンモータユニット７内で配線を引き回す必要がなくなり、エアフィルタ１を取り付けることで、互いのコネクタ１６が接続されるので簡単に交換作業が可能となる。
【００４４】
（実施の形態２）
図６に示すように、透明な樹脂材料で構成された枠体３に発光手段としてＬＥＤランプ５を複数取り付けする。ＬＥＤランプ５の配線６はファンモータユニット７に電源を供給する端子台１２に接続することで、運転時はＬＥＤランプ５が点灯し、停止時は消灯する。ＬＥＤランプ５の点灯状況の違いにより、エアフィルタ１の下流側で容易に運転状況が視認できるようになる。
【００４５】
また、例えばＬＥＤランプ５を２種類取り付けておいて、運転時は緑色を点灯させ、停止時は赤色を点灯させることで運転状況の違いを明確にする事が可能となる。
【００４６】
さらに図６に示すように、透明な樹脂材料で構成された枠体３に複数のＬＥＤランプ５を配列し、運転時は全てのＬＥＤランプ５を点灯させ、停止時は逆に全てのＬＥＤランプ５を消灯ではなく、点滅するようにする事でもよい。ＬＥＤランプ５の点灯状態を運転、停止の際に変化させることで注意喚起を促し、視覚的にファンフィルタユニットの運転状況を確認することができる。
【００４７】
（実施の形態３）
図６に示すように、透明な樹脂材料で構成された枠体３にＬＥＤランプ５を複数取り付けし、ＬＥＤランプ５を取り付けた枠体３を２つ以上配列する。ファンフィルタユニット１１の運転時は中央に設置された１列のみＬＥＤランプ５を点灯させ、左右に配置された停ＬＥＤランプ５は消灯できるよう制御回路などを設けておく。逆にファンフィルタユニット停止時は中央に設置されたＬＥＤランプ５は消灯し、両側に取り付けされたＬＥＤランプ５を点灯させる事で、エアフィルタ１の下流面において視覚的に運転状態の違いを明確に変化させることで注意喚起を促して、ファンフィルタユニット運転状況の変化を視認できるようにする。
【００４８】
また、ファンフィルタユニットの停止時には例えばリレーを用いる事で、ＬＥＤランプ５は消灯し、かつ図４に記載のブザー１３を動作させる回路を構成することでもよい。これによって、例えば停止時は運転ランプの視認とブザー音によりファンフィルタユニット１１の運転状況を確認することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明にかかるエアフィルタおよびファンフィルタユニットは下流側より運転状況の確認が必要である設備に利用可能である。
【符号の説明】
【００５０】
１    エアフィルタ
２    ろ材
３    枠体
４    穴加工
５    ＬＥＤランプ
６    配線
７    ファンモータユニット
８    モータ
９    ファン
１０  チャンバー
１１  ファンフィルタユニット
１２  端子台
１３  ブザー
１４  張り出し部
１５  切り欠き
１６  コネクタ
【図１】
0005380822.tif 000002
【図２】
0005380822.tif 000003
【図３】
0005380822.tif 000004
【図４】
0005380822.tif 000005
【図５】
0005380822.tif 000006
【図６】
0005380822.tif 000007
【図７】
0005380822.tif 000008