(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
行方向に並んだ所定の形状からなる複数の第１透明電極パッドを電気的に接続して構成される第１電極が複数組形成された第１シートと、列方向に並んだ前記所定の形状からなる複数の第２透明電極パッドを電気的に接続して構成される第２電極が複数組形成された第２シートとが、前記複数の第１透明電極パッドと前記複数の第２透明電極パッドとが重複することなく貼り合わせて形成された静電容量センサにおいて、
前記第１透明電極パッドと前記第２透明電極パッドとの相対的な位置ずれを検査する検査装置であって、
前記第１シート上を走査するプローブと、
前記プローブが走査される位置に対向する前記第２シート上の位置を少なくとも含む所定の領域を接地する接地部と、
前記第１電極の夫々と電気的に接続された端子電極が備えられ、前記端子電極に入力する検査信号を生成する信号発生部と、
前記プローブを介して取得された信号に基づいて前記第１シートと前記第２シートとの位置ずれを示す位置ずれ情報を演算する位置ずれ情報演算部と、
を備える検査装置。
【請求項２】
前記プローブが、複数の行に亘って一括で走査可能に複数備えられている請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記プローブが、所定領域毎に走査可能に複数備えられている請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
前記演算して求められた位置ずれ情報を明示する明示手段を備えている請求項１から３のいずれか一項に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、行方向に並んだ所定の形状からなる複数の第１透明電極パッドを電気的に接続して構成される第１電極が複数組形成された第１シートと、列方向に並んだ所定の形状からなる複数の第２透明電極パッドを電気的に接続して構成される第２電極が複数組形成された第２シートとが貼り合わせて形成された静電容量センサにおいて、第１透明電極パッドと第２透明電極パッドとの相対的な位置ずれを検査する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ヒューマン・インタフェース・デバイスの一つとしてタッチパネルが利用されている。このようなタッチパネルには、ユーザからの入力を静電容量の変化に基づいて検出するものがある。このため、この種のタッチパネルは、行方向に電気的に接続された透明電極パッド（以下「第１透明電極パッド」）が形成された透明シート（以下「第１シート」）と、列方向に電気的に接続された透明電極パッド（以下「第２透明電極パッド」）が形成された透明シート（以下「第２シート」）とを貼り合わせて形成される。第１シートと第２シートとを貼り合わせた際、第１透明電極パッドと第２透明電極パッドとの間に位置ずれがあるとユーザからの入力を誤検出する可能性がある。そこで、静電容量センサを作製する場合、第１シートと第２シートとを貼り合わせ後に、位置ずれが無いか否かを検出する検査が行われる。このような検査において利用される技術として下記に出典を示す特許文献１に記載のものがある。
【０００３】
特許文献１に記載の透明導電膜検査装置は、透明導電膜が塗布された基板上に赤外線領域の波長の光を照射する光源と、透明導電膜から反射された光を検出するカメラとを備えて構成される。当該透明導電膜検査装置では、カメラで検出した反射された光を目視或いは画像認識処理により透明導電膜の状態を検査し良否判定を行なっている。一方、近年、透明導電膜の形成に用いられるＩＴＯ（酸化インジウム・スズ）材料は透明度を向上すべく改良され、上述のような赤外線領域の波長の光が反射し難いものもある。このため、特許文献１に記載の透明導電膜検査装置を利用した場合であっても、第１シートと第２シートとの位置ずれを適切に検出することは容易ではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−２７３９９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明の目的は、上記問題に鑑み、行方向に電気的に接続された透明電極が形成された第１シートと、列方向に電気的に接続された透明電極が形成された第２シートとの位置ずれを適切に検出することが可能な検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための本発明に係る検査装置の特徴構成は、行方向に並んだ所定の形状からなる複数の第１透明電極パッドを電気的に接続して構成される第１電極が複数組形成された第１シートと、列方向に並んだ前記所定の形状からなる複数の第２透明電極パッドを電気的に接続して構成される第２電極が複数組形成された第２シートとが、前記複数の第１透明電極パッドと前記複数の第２透明電極パッドとが重複することなく貼り合わせて形成された静電容量センサにおいて、前記第１透明電極パッドと前記第２透明電極パッドとの相対的な位置ずれを検査するために、前記第１シート上を走査するプローブと、前記プローブが走査される位置に対向する前記第２シート上の位置を少なくとも含む所定の領域を接地する接地部と、前記第１電極の夫々と電気的に接続された端子電極が備えられ、前記端子電極に入力する検査信号を生成する信号発生部と、前記プローブを介して取得された信号に基づいて前記第１シートと前記第２シートとの位置ずれを示す位置ずれ情報を演算する位置ずれ情報演算部と、を備える点にある。
【０００７】
このような特徴構成とすれば、第１シート及び第２シートが光を反射し難い材料であっても、第１シート上を走査されるプローブを介して取得される信号に基づき第１シート上の静電容量の変化を検出することができる。したがって、このように得られた静電容量の変化を示す分布と第１シート上に形成された第１透明電極パッドの設計パターンとを比較することにより、第１透明電極パッドと第２透明電極パッドとの相対的な位置ずれを容易に検査することが可能となる。また、位置ずれの検査に光源を利用しないので検査者の安全を確保できる。更には、静電容量センサを使用する時と同じ電気信号を印加して検査することができるので、第１シートと第２シートとの静電結合状態も検出することが可能となる。したがって、このような検出結果を第１透明電極パッド及び第２透明電極パッドの設計にフィードバックすることにより適正な設計指標を定めることが可能である。また、第１シート上の走査後に、静電容量センサを裏返して配置し、改めて第２シート上を走査することにより、第１透明電極パッド及び第２透明電極パッドの夫々が適切に電気的に接続されているか否か（断線していないか否か）を検査する装置としても使用することも可能である。
【０００８】
また、前記プローブが、複数の行に亘って一括で走査可能に複数備えられていると好適である。
【０００９】
このような構成とすれば、複数行の走査を一括で行うことができるので、第１シート上を走査する回数を減らすことができる。したがって、位置ずれの検査に要する時間を短縮することが可能となる。
【００１０】
また、前記プローブが、所定領域毎に走査可能に複数備えられていると好適である。
【００１１】
このような構成とすれば、１本のプローブが予め設定された所定領域を走査するだけで第１シート上の全面に亘って走査することができる。したがって、位置ずれの検査に要する時間を大幅に短縮することが可能となる。
【００１２】
また、前記演算して求められた位置ずれ情報を明示する明示手段を備えていると好適である。
【００１３】
このような構成とすれば、貼り合わせ時に位置ずれを有して形成された静電容量センサに検査信号を入力した際に得られる信号強度分布がモアレとして表示されるので、位置ずれを容易に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】静電容量センサの構成の概略を示す図である。
【図２】図１におけるII−II線の断面を示す図である。
【図３】第１シートを示す図である。
【図４】第２シートを示す図である。
【図５】検査装置の概略構成を示す図である。
【図６】プローブでの走査の形態を示す図である。
【図７】明示部に表示されるマップの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。本実施形態に係る検査装置１００は、静電容量センサ３０を構成する第１シート１０と第２シート２０とを貼り合わせた際に位置ずれが生じているか否かを検査する機能を備えている。図１は静電容量センサ３０の構成の概略を示した図である。図２は本検査装置１００の概略構成を模式的に示した図である。
【００１６】
１．静電容量センサ
まず、本発明に係る検査装置１００の検査対象となる静電容量センサ３０の構成について説明する。静電容量センサ３０は、第１シート１０と第２シート２０とを貼り合わせて形成される。このような静電容量センサ３０が図１に示される。また、図２には、図１におけるII−II線の断面図が示される。
【００１７】
図３には、第１シート１０を模式的に示した図が示される。第１シート１０は、ＰＥＴ（Polyethylene Terephthalate）フィルムを用いて構成される。第１シート１０上に、行方向に延びるように形成された第１電極１２と、第１電極１２の一方端に電気的に接続され、第１シート１０の周縁に沿って形成された線状の引き回し線４０と、引き回し線４０に電気的に接続された第１端子電極１３とが形成されている。第１電極１２は、一定間隔をあけて平行に複数（複数組）形成されている。第１電極１２は、行方向に並んだ所定の形状からなる複数の第１電極パッド１１と、隣り合う第１電極パッド１１を互いに電気的に接続する配線１４とから構成される。行方向とは、図３における横方向である。所定の形状とは、本実施形態では四角形が相当する。図３に示されるように、第１透明電極パッド１１は第１シート１０上に複数形成され、その中央の領域においては夫々が同サイズの四角形で構成される。例えば、第１透明電極パッド１１は、一辺が４〜６ｍｍの正方形で構成されると好適である。また、第１シート１０上に形成された複数の第１透明電極パッド１１は、行方向（図３においては横方向）に互いに隣接し合う第１透明電極パッド１１と配線１４で電気的に接続される。このような第１透明電極パッド１１及び配線１４は、ＩＴＯ（酸化インジウム・スズ）膜を用いて形成される。
【００１８】
このように接続された第１透明電極パッド１１は１組の第１電極１２を構成し、第１シート１０には、第１電極１２が複数組形成される。図３には、このような第１電極１２が１２組形成されている例が示される。また、第１シート１０上には、第１電極１２の夫々と電気的に接続された第１端子電極１３が備えられる。すなわち、第１電極１２と第１端子電極１３とは、一対一で対応して形成される。第１端子電極１３は、本発明に係る「端子電極」に相当する。
【００１９】
図４には、第２シート２０を模式的に示した図が示される。第２シート２０も、ＰＥＴフィルムを用いて構成される。第２シート２０上に、列方向に延びるように形成された第２電極２２と、第２電極２２の一方端に電気的に接続され、第２シート２０の周縁に沿って形成された線状の引き回し線５０と、引き回し線５０に電気的に接続された第２端子電極２３とが形成されている。第２電極２２は、一定間隔をあけて平行に複数形成されている。第２電極２２は、列方向に並んだ所定の形状からなる複数の第２電極パッド２１と、隣り合う第２電極パッド２１を互いに電気的に接続する配線２４とから構成される。第２透明電極パッド２１は、第２シート２０の中央の領域においては上述の第１透明電極パッド１１と同サイズの形状で形成される。図４に示されるように、第２透明電極パッド２１も、第２シート２０上に複数形成される。また、第２シート２０上に形成された複数の第２透明電極パッド２１は、列方向（図４においては縦方向）に互いに隣接し合う第２透明電極パッド２１と配線２４で電気的に接続される。このような第２透明電極パッド２１及び配線２４も、ＩＴＯ膜を用いて形成される。
【００２０】
このように接続された第２透明電極パッド２１は１組の第２電極２２を構成し、第２シート２０には、第２電極２２が複数組形成される。図４には、このような第２電極２２が７組形成される例が示される。また、第２シート２０上には、第２電極２２の夫々と電気的に接続された第２端子電極２３が備えられる。すなわち、第２電極２２と第２端子電極２３とは、一対一で対応して形成される。
【００２１】
静電容量センサ３０は、図１及び図２に示されるように、複数の第１透明電極パッド１１と複数の第２透明電極パッド２１とが重複することなく、第１シート１０と第２シート２０とを貼り合わせて形成される。重複することなくとは、静電容量センサ３０の上面視において、複数の第１透明電極パッド１１と複数の第２透明電極パッド２１とが重なっていないことを示す。係る場合、第１シート１０と第２シート２０とは、第１シート１０の配線１４と第２シート２０の配線２４とが重複するように貼り合わされる。第１シート１０と第２シート２０とを貼り合わせた場合には、上面視における複数の第１透明電極パッド１１と複数の第２透明電極パッド２１との間隔が一様であると更に好適である。この間隔としては、例えば０．１〜０．３ｍｍ程度とすることが可能である。静電容量センサ３０は、このような構成からなる。このような場合には、第１透明電極パッド１１と第２透明電極パッド２１とに、相対的な位置ずれが生じていないことになる。
【００２２】
２．検査装置
本発明に係る検査装置１００は、上述のように構成される静電容量センサ３０において、第１透明電極パッド１０と第２透明電極パッド２０との相対的な位置ずれを検査する。以下に、検査装置１００について説明する。図５には、検査装置１００の概略構成が示される。検査装置１００は、プローブ１、プローブ移動手段２、モータ制御部３、接地部４、信号発生部５、位置ずれ情報演算部６、明示部７を備えて構成される。
【００２３】
図５に示されるように、検査対象となる静電容量センサ３０は、接地部４（後述する）に配置される。本実施形態では、静電容量センサ３０は、第２シート２０が接地部４と当接するように配置され、第１シート１０がプローブ１側を向くように配置される。係る場合には、第２シート２０を接地部４側から真空引きして吸着させると好適である。
【００２４】
プローブ１は、第１シート１０上を走査する。プローブ１は、先端が球状（例えば半径０．５ｍｍ程度）の金属製の棒で形成される。プローブ１は、この球状部分が静電容量センサ３０の第１シート１０上に当接され、当該第１シート１０上を走査される。このような走査形態が、図６に示される。図６（ａ）は上面視であり、図６（ｂ）は横方向からの断面図である。プローブ１は、図６に示されるように、第１シート１０の所定の幅Ｗからなる領域を行方向及び列方向に移動しながら走査される。プローブ１０が列方向の下端まで達すると、当該走査した所定の幅Ｗからなる領域と隣接する領域を列方向の上端から下端に向けて行方向及び列方向に移動しながら走査される。このような走査は、第１シート１０の全面が完了するまで行われる。
【００２５】
このようなプローブ１の移動は、プローブ移動手段２により行われる。プローブ移動手段２は、Ｘ軸移動手段２Ｘ、Ｙ軸移動手段２Ｙ、Ｚ軸移動手段２Ｚからなる。Ｘ軸移動手段２Ｘはプローブ１をＸ軸方向に移動させるＸ軸モータからなり、Ｙ軸移動手段２Ｙはプローブ１をＹ軸方向に移動させるＹ軸モータからなる。また、Ｚ軸移動手段２Ｚはプローブ１をＺ軸方向に移動させるＺ軸モータからなる。静電容量センサ３０においては、Ｘ軸方向は行方向が相当し、Ｙ軸方向は列方向が相当し、Ｚ軸方向は静電容量センサ３０の鉛直方向が相当する。もちろん、これ以外に方向を定めることは当然に可能である。特にＺ軸移動手段２Ｚは、プローブ１が第１シート１０を押し付けすぎないように第１シート１０に対するプローブ１の高さを調整する機能を備えている。これにより、プローブ１で第１シート１０の表面に傷が付かないようにすることができる。
【００２６】
モータ制御部３は、Ｘ軸モータ制御部３Ｘ、Ｙ軸モータ制御部３Ｙ、Ｚ軸モータ制御部３Ｚからなる。Ｘ軸モータ制御部３ＸはＸ軸モータを制御し、Ｙ軸モータ制御部３ＹはＹ軸モータを制御する。また、Ｚ軸モータ制御部３ＺはＺ軸モータを制御する。このような構成により、プローブ１をＸＹＺの各方向に自由に移動することが可能となる。
【００２７】
接地部４は、プローブ１が走査される位置に対向する第２シート２０上の位置を少なくとも含む所定の領域を接地する。プローブ１が走査される位置に対向する第２シート２０上の位置とは、プローブ１が走査される位置の裏面の第２シート２０上の位置である。接地部４は、このようなプローブ１が走査される位置の裏面の第２シート２０上の所定の領域を接地する。図６（ｂ）には、第２シート２０が接地部４に吸着され接地されている状態が示される。これにより、第２シート２０に起因する静電容量を一定にすることができるので、第１シート１０に起因する静電容量を検出しやすくなる。したがって、第２透明電極パッド２１に対する第１透明電極パッド１１の相対的な位置ずれを適切に検出することが可能となる。
【００２８】
信号発生部５は、第１端子電極１３に入力する検査信号を生成する。検査信号とは第１透明電極パッド１１と第２透明電極パッド２１との相対的な位置ずれを検出するために第１端子電極１３に入力される信号である。検査信号は交流信号であれば良い。本実施形態では、検査信号として正弦波信号が用いられる場合の例を示して説明する。特に、本実施形態では、検査信号として、周波数が２５０ｋＨｚ、振幅が１０Ｖｐｐの正弦波信号が用いられる。なお、上述のようにプローブ１が走査される位置の裏側を含む第２シート２０上の所定の領域は、接地部４により接地される。したがって、第２シート２０の第２端子電極２３には交流信号を入力する必要は無い。
【００２９】
ここで、信号発生部５から第１端子電極１３に検査信号を入力する場合には、信号発生部５の出力端子（図示せず）と第１端子電極１３との間をケーブルで接続する必要がある。このような接続を行う際、ケーブルの一端に複数のクリップを設け、当該複数のクリップで第１端子電極１３を個別に挟む構成とすると接続が容易にできる。また、当該クリップと信号発生部５との間に例えばトランジスタ等を備えると好適である。これにより、トランジスタ等をスイッチとして利用することができるので、当該トランジスタの導通状態を電気的に切り替えることにより、所望の第１端子電極に検査信号を入力することが可能となる。
【００３０】
また、第１端子電極１３との接続は、上述のクリップに代えて、第１端子電極１３と対応する電極パターンが印刷されたプリント基板を利用することも可能である。係る場合には、当該プリント基板に形成された電極パターンと第１端子電極１３とを当接させることにより、検査信号を容易に入力することが可能である。なお、プリント基板は、リジット基板又はプレキシブル基板の何れであっても良い。更には、プリント基板に印刷される電極パターンは、１つでも良いし、複数でも良い。このようにプリント基板を用いることにより、第１端子電極１３のピッチを細くすることができるので第１シート１０における静電容量の変化を検出する検出領域以外の部分のスペースをコンパクトにすることができる。
【００３１】
位置ずれ情報演算部６は、プローブ１を介して取得された信号に基づいて第１シート１０と第２シート２０との位置ずれを示す位置ずれ情報を演算する。第１シート１０の第１端子電極１３には、信号発生部５から正弦波信号が入力される。一方、プローブ１は、第１シート１０上を走査され、第１シート１０を介して信号を取得する。この際、取得される信号は、信号発生部５から入力された正弦波信号が、第１透明電極パッド１１に起因する静電容量に応じて変化した信号である。プローブ１を介して取得された信号は、位置ずれ情報演算部６に入力される。
【００３２】
位置ずれ情報演算部６は、信号増幅部６Ａと半波整流部６ＢとＡＤ変換部６Ｃとを有して構成される。信号増幅部６ＡはＯＰ―ＡＭＰで構成され、プローブ１を介して取得された信号の振幅を増幅する。例えば、１００〜１０００倍程度に増幅すると好適である。信号増幅部６Ａで増幅された信号は、半波整流部６Ｂに伝達される。半波整流部６Ｂはダイオードで構成され、増幅された信号を半波整流する。本実施形態では、増幅された信号から正電位の信号のみを取得する。半波整流部６Ｂで整流された信号は、ＡＤ変換部６Ｃに伝達される。ＡＤ変換部６Ｃは、半波整流された信号から波高値を取得する。波高値は、増幅された信号を例えばコンデンサを用いて平滑し、平滑された電圧値を波高値として取得することが可能である。位置ずれ情報演算部６は、このような波高値を位置ずれ情報として第１シート１０の全面に亘って演算して求める。なお、本実施形態における波高値は、第１透明電極パッド１１が存在する部分は高くなり、第１透明電極パッド１１が存在しない部分は低くなる。
【００３３】
明示部７は、位置ずれ情報演算部６により演算して求められた位置ずれ情報を明示する明示手段に相当する。位置ずれ情報は、上述のように第１シート１０においてプローブ１により走査された位置に対応して演算された波高値を示したものである。明示部は、このような波高値をマップで表示する。明示部７は、このようなマップを表示するモニタとすることが可能である。
【００３４】
３．位置ずれ
図７には明示部７に表示されるマップの一例が示される。マップは、位置ずれ情報演算部６により求められた波高値（コンデンサを用いて平滑された電圧値）を基に色分けして表示される。図７に示される例では、電圧値の高い部分は濃い色で示され、電圧値の低い部分は薄い色で示される。このように表示されるマップを基に、位置ずれが生じているか否かを判断することが可能である（後述する）。
【００３５】
図７（ａ）は位置ずれがない場合に表示されるマップの典型例である。図７（ｂ）は、例えば第１シート１０の一部分が第２シート２０に対して列方向に平行にずれている場合等に得られるマップである。係る場合には、色の濃い部分と薄い部分とが列方向に沿って平行に区分けされるように表示される。また、図７（ｃ）は、例えば第１シート１０が第２シート２０に対して回転してずれている場合（ずれ角度が１度未満）等に得られるマップである。係る場合には、色の濃い部分と薄い部分との双方がマップの全体に亘って斜め方向に延びるように表示される。
【００３６】
３−１．電位差による判定
マップは、上述のように電圧値の違い（信号強度の違い）に応じて色分けして表示される。第１シート１０と第２シート２０とが、位置ずれがなく適切に貼り合わされている場合には、濃い色と薄い色との区分けが明確になる。そこで、マップに示される電圧値の判定基準値として濃い色の閾値電圧と薄い色の閾値電圧とを予め設定し、これらの閾値電圧に基づいて判定すると好適である。例えばマップ内の電圧値の最大電圧値が１．０Ｖである場合には、濃い色の閾値電圧を０．８Ｖ以上とし、薄い色の閾値電圧を０．４Ｖ未満とすると好適である。これにより、マップ上に０．４Ｖ以上０．８Ｖ未満で示される部分（例えば０．６Ｖで示される部分）があれば、位置ずれが生じていると判定することが可能である。
【００３７】
３−２．最大値と最小値との差による判定
マップ内の電圧値の最大値（最大電圧値）と最小値（最小電圧値）との差に基づいて判定することも可能である。第１シート１０と第２シート２０とが、位置ずれがなく適切に貼り合わされている場合には、最大電圧値と最小電圧値との差が大きくなる。そこで、例えば、最大電圧値と最小電圧値との差の判定基準値を予め設定し、最大電圧値と最小電圧値との差が当該判定基準値より小さい場合には位置ずれが生じていると判定することが可能である。
【００３８】
３−３．パターンの形状による判定
マップで示されるパターンの形状で判定することも可能である。パターンの形状とは、本実施形態では、第１透明電極パッド１１のパターンである。当該第１透明電極パッド１１は正方形で形成されているので、マップ内のパターンが正方形でない場合には位置ずれが生じていると判定することが可能である。このような場合には、マップにはモアレとなって表示される。したがって、このようなモアレが含まれている場合には位置ずれが生じていると判定することも可能である。
【００３９】
〔その他の実施形態〕
上記実施形態では、プローブ１は、１本のプローブ１で第１シート１０上を走査するものとして図６に示した。しかしながら、本発明の適用範囲は、これに限定されるものではない。例えば、プローブ１が、複数の行に亘って一括で走査可能に複数備えられていても良い。例えば、プローブを第１電極１２の組数に応じた本数を備えることにより、プローブ１の走査は、行方向への走査を一回行うだけで第１シート１０上を全面に亘って走査することが可能である。或いは、プローブ１が、所定領域毎に走査可能に複数備えられていても良い。このような構成であれば、プローブ１の走査は、所定の領域のみを走査するだけで第１シート１０上を全面に亘って走査することが可能である。したがって、走査する時間を短縮することができるので、検査に要する時間を短くできる。また、このように複数のプローブ１を設ける場合には、夫々のプローブ１が自由に出退できる構成とすると好適である。このような構成とすることにより、第１シート１０の表面の凹凸に合わせてプローブ１を出退させることができるので、第１シート１０に傷が付くことを防止できる。
【００４０】
上記実施形態では、検査装置１００は、明示部７を備えているとして説明した。しかしながら、本発明の適用範囲はこれに限定されるものではない。検査装置１００は、明示部７を備えずに構成することも当然に可能である。すなわち、例えば検査を行う検査者が位置ずれ情報を直接見て判断する構成とすることも可能であるし、位置ずれ情報を予め設定した判定閾値と比較して位置ずれを検出する構成とすることも当然に可能である。
【００４１】
上記実施形態では、第１シート１０上をプローブ１で走査するとして説明した。しかしながら、本発明の適用範囲はこれに限定されるものではない。第１シート１０を接地部４で接地し、第２シート２０上をプローブ１で走査することも当然に可能である。
【００４２】
上記実施形態では、プローブ１が第１シート１０上を所定の幅を有して列方向に沿って走査されるとして説明した。しかしながら、本発明の適用範囲はこれに限定されるものではない。プローブ１が第１シート１０上を所定の幅を有して行方向に沿って走査することも当然に可能である。
【００４３】
上記実施形態では、位置ずれ情報演算部６は、半波整流を行って波高値を演算するとして説明した。しかしながら、本発明の適用範囲はこれに限定されるものではない。半波整流に代えて全波整流を行って波高値を演算することも可能であるし、ピークホールド回路等を用いて波高値を演算することも当然に可能である。或いは、他の方法で波高値を演算することも当然に可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明は、行方向に並んだ所定の形状からなる複数の第１透明電極パッドを電気的に接続して構成される第１電極が複数組形成された第１シートと、列方向に並んだ所定の形状からなる複数の第２透明電極パッドを電気的に接続して構成される第２電極が複数組形成された第２シートとが貼り合わせて形成された静電容量センサにおいて、第１透明電極パッドと第２透明電極パッドとの相対的な位置ずれを検査する検査装置に利用可能である。
【符号の説明】
【００４５】
１：プローブ
４：接地部
５：信号発生部
６：位置ずれ情報演算部
７：明示部（明示手段）
１０：第１シート
１１：第１透明電極パッド
１３：第１端子電極（端子電極）
２０：第２シート
２１：第２透明電極パッド
３０：静電容量センサ
１００：検査装置
【図１】
0005380370.tif 000002
【図２】
0005380370.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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