(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＥＵＶ放射線を反射する表面（３１ａ、３６ａ）及びＴｉＯ２ドープ石英ガラスから構成された基板（３２、３７）を有する少なくとも２つの光学素子（２２、２４）を備える、ＥＵＶリソグラフィ用の光学機構を構成する方法であって、
ＴｉＯ２ドープ石英ガラスから構成された第１基板群又は第２基板群から前記光学素子（２２、２４）用の基板（３２、３７）を選択するステップを含み、前記第１群は、第１ゼロ交差温度（ＴＺＣ１，０）でゼロ交差を有する温度依存性の熱膨張率を有し、前記第２群は、前記第１ゼロ交差温度とは異なる第２ゼロ交差温度（ＴＺＣ２，０）でゼロ交差を有する熱膨張率を有し、前記第１ゼロ交差温度（ＴＺＣ１，０）における前記第１基板群（３２）の熱膨張率の勾配（ΔＣＴＥ１，０）及び／又は前記第２ゼロ交差温度（ＴＺＣ２，０）における前記第２基板群（３７）の熱膨張率の勾配（ΔＣＴＥ２，０）は、負の符号を有し、  
前記光学素子（２２、２４）の前記所望のゼロ交差温度（ＴＺＣ１、ＴＺＣ２）での熱膨張率の前記勾配（ΔＣＴＥ１，０、ΔＣＴＥ２，０）を１．０ｐｐｂ／Ｋ２未満の絶対値に減らすために、選択基板（３２、３７）の熱処理を行うステップをさらに含む方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法において、前記選択するステップは、前記光学機構における各光学素子（２２、２４）の位置に応じて行われる方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の方法において、前記第１ゼロ交差温度（ＴＺＣ１，０）における前記第１基板群（３２）の熱膨張率の前記勾配（ΔＣＴＥ１，０）は、前記第２ゼロ交差温度（ＴＺＣ２，０）における前記第２基板群（３７）の熱膨張率の前記勾配（ΔＣＴＥ２，０）とは符号が異なる方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法において、前記第１基板材料群（３２）のＴｉＯ２含有量は、前記第２基板材料群（３７）のＴｉＯ２含有量とは異なる方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法において、
前記ゼロ交差温度（ＴＺＣ１，０、ＴＺＣ２，０）を前記光学素子（２２、２４）にとって所望のゼロ交差温度（ＴＺＣ１、ＴＺＣ２）に変えるために、前記選択基板（３２、３７）の熱処理を行うステップをさらに含む方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法において、前記熱処理を行うステップは、前記選択基板（３２）を最低９００℃の保持温度に加熱するステップと、
前記基板（３２）を前記保持温度で少なくとも４０時間保持するステップと、
前記基板（３２）を０．１Ｋ／時〜２．０Ｋ／時の冷却速度で前記保持温度〜５００℃の温度範囲内で冷却するステップと
を含む方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＥＵＶリソグラフィ用の光学機構、特に投影レンズと、該光学機構を構成する方法とに関する。
【背景技術】
【０００２】
特にＥＵＶリソグラフィ装置の投影レンズに存在する幾何学的公差及び安定性に関する極めて厳しい要件を理由として、ＥＵＶリソグラフィでの反射光学素子用の基板として使用される材料は、そこで使用される温度範囲内で非常に低い熱膨張率（ＣＴＥ）しか有することが許されない。そこで使用される基板材料は、通常は２つの構成要素を備え、それらの熱膨張率は、事実上完全に作動温度範囲内で相互に補償し合うよう相互に反対の温度依存性を有する。
【０００３】
ＥＵＶ用途に対するＣＴＥの厳しい要件を満たす第１材料群は、ドープドシリケートガラス（doped silicate glasses）、例えば、ケイ酸塩ガラスの割合が通常は８０％を超える、二酸化チタンをドープしたケイ酸塩ガラス又は石英ガラスを含む。市販されているこのようなケイ酸塩ガラスの１つは、Corning Inc.によりＵＬＲ（登録商標）（超低膨張ガラス）の商品名で販売されている。言うまでもなく、例えば特許文献１に提示されているように、ＴｉＯ２ドープ石英ガラスにさらに他の材料を、例えばガラスの粘度を低下させる材料を適宜ドープすることもでき、特にガラス材料の脈理の効果を低減するためにアルカリ金属が使用される。
【０００４】
ＥＵＶミラー用の基板として適した第２材料群は、ガラスセラミックを含み、そのガラス相に対する結晶相の比は、異なる相の熱膨張率が相互に事実上打ち消し合うよう設定される。このようなガラスセラミックは、例えば、Schott AGからＺｅｒｏｄｕｒ（登録商標）の商品名で、又はOhara Inc.からＣｌｅａｒｃｅｒａｍ（登録商標）の商品名で提供される。
【０００５】
上述の材料の熱膨張（長さの変化）の温度依存性は、該当温度範囲において放物線状であり、すなわち、特定の温度で熱膨張の極値が存在する。温度に対するゼロ膨張材料の熱膨張の微分、すなわち熱膨張率は、この範囲内の温度に略線形に依存し、熱膨張が極値となる温度で符号を変え、この理由からこの温度をゼロ交差温度と称する。結果として、熱膨張は、基板の作動又は使用温度がゼロ交差温度と一致する場合にのみ最小となる。ゼロ交差温度からわずかにずれている場合、熱膨張率は依然として低いが、ゼロ交差温度に対する温度差の増加に伴いさらに増加する。
【０００６】
ＴｉＯ２ドープ石英ガラスのゼロ交差温度は、（軟化点よりも高い温度での）石英ガラスの製造中の二酸化チタンの割合の設定により変えることができることが知られている。従来のＴｉＯ２ドープ石英ガラスの場合、ゼロ交差温度付近の熱膨張率の勾配は、通常は約１ｐｐｂ／Ｋ２〜３ｐｐｂＫ２の範囲内にある。
【０００７】
特許文献２から、ＴｉＯ２ドープ石英ガラスのゼロ膨張温度（軟化点を超えない）を、最終熱処理ステップにより規定の値範囲内の特定の値に設定できることが知られている。このように、異なるゼロ膨張温度を有する複数の基板を、全く同一のブール（ＴｉＯ２の割合が（ほぼ）一定である石英ガラスブロック）の部分体積から製造することができる。ゼロ膨張温度を追加の熱処理ステップにより設定できるようにする温度範囲は、約±１０℃又は約±５℃である。ゼロ膨張温度付近の熱膨張率の勾配は、この場合は全く又はごくわずかにしか変化しない。
【０００８】
ガラスの熱処理プロセス中の温度／時間曲線の適切な選択により、ガラスの仮想温度を、したがってゼロ交差温度だけでなくゼロ交差温度における熱膨張係数の勾配も設定できることが同様に知られている。したがって、例として、特許文献３は、１２（重量）％〜２０（重量）％のＴｉＯ２からなるＴｉＯ２−ＳｉＯ２ガラスの熱膨張率を設定する方法であって、７００℃〜約９００℃の温度でガラスに熱処理を施すことにより、熱膨張率の符号を負から正に変えることができる方法を開示している。
【０００９】
石英ガラスのＴｉＯ２含有量が高く、例えば１０％を超える場合、Ｔｉリッチ粒子が晶出する傾向があり、これが石英ガラスの研磨性に悪影響を及ぼし得るという問題が生じ得る。特許文献４は、高いＴｉＯ２ドープ量（１０％以上）を有する石英ガラス基体に、より弱くドープした石英ガラスから構成された層を塗布し、これを研磨して石英ガラス基体よりも高い表面品質にすることができることを開示している。
【００１０】
特許文献５は、最高１２００℃の仮想温度と、最高６００ｐｐｍのＯＨ基濃度と、０℃〜１００℃で０±２００ｐｐｂ／Ｋの熱膨張率とを有することが意図されるＴｉＯ２含有石英ガラスを開示している。製造中、石英ガラスを所定の期間にわたり５００℃を超える温度に保ち、温度をその後最高１０℃／時の平均冷却速度で５００℃に低下させる。
【００１１】
特許文献６は、ゼロ膨張温度の領域が勾配に関して、特に熱膨張率の勾配の符号に関して異なる種々の材料から構成された少なくとも２つの光学素子を備える、１５７ｎｍ未満の波長用の投影レンズを記載している。指定された種々の材料の例として、第１にガラスセラミック、特にＺｅｒｏｄｕｒ（登録商標）、第２に非晶質チタンケイ酸塩ガラス、特にＵＬＥ（登録商標）が挙げられる。
【００１２】
特許文献７は、光学部品の材料のゼロ交差温度を、光学部品が加熱される最高温度に実質的に（約±３Ｋ以内で）対応するよう設定することを開示している。光学系の像収差は、このようにして最小化されることが意図される。特許文献８は、所望の温度から最高±１０℃ずれるゼロ交差温度を有するガラスセラミックを製造する方法を記載している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００８／０００４１６９号明細書
【特許文献２】米国特許出願公開第２０１１／００４８０７５号明細書
【特許文献３】独国特許第２１  ４０  ９３１号明細書
【特許文献４】米国特許出願公開第２０１１／００５２８６９号明細書
【特許文献５】欧州特許第１  ６０８  ５９８号明細書
【特許文献６】米国特許出願公開第２００７／００３５８１４号明細書
【特許文献７】国際公開第２００４／０１５４７７号明細書
【特許文献８】米国特許出願公開第２００３／０１２５１８４号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明の目的は、温度の影響による変形を低減する、ＥＵＶリソグラフィ用の光学機構、特に投影レンズと、光学素子を有する該光学機構を構成する方法とを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
この目的は、ＥＵＶリソグラフィ用の光学機構、特に投影レンズであって、ＥＵＶ放射線を反射する表面及び第１ゼロ交差温度でゼロ交差を有する温度依存性の熱膨張率を有するＴｉＯ２ドープ石英ガラスから構成された第１基板を備える第１光学素子と、ＥＵＶ放射線を反射する表面及び第１ゼロ交差温度とは異なる第２ゼロ交差温度でゼロ交差を有する温度依存性の熱膨張率を有するＴｉＯ２ドープ石英ガラスから構成された第２基板を備える第２光学素子とを備え、第１ゼロ交差温度における第１基板の熱膨張率の勾配及び／又は第２ゼロ交差温度における第２基板の熱膨張率の勾配は負の符号を有する光学機構により達成される。
【００１６】
本発明は、光学機構の、例えばマイクロリソグラフィ用の投影レンズの少なくとも２つの光学素子に、異なるゼロ交差温度を有するＴｉＯ２ドープ石英ガラス材料から構成された基板を設け、各ゼロ交差温度における熱膨張率が基板の少なくとも１つの場合に負の符号を有するようにすることを提案する。このように、各光学素子の基板材料を、光学素子を作動させる周囲条件に個別に適合させることができる。特に、基板材料又はゼロ交差温度を、光学機構における光学素子の作動温度に応じて選択することができる。
【００１７】
基板材料における種々のゼロ交差温度は、例えば、石英ガラスの製造中に異なるＴｉＯ２割合を設定することにより、且つ／又は軟化点未満に冷却後の石英ガラス材料のゼロ交差温度を適切に変更するために、すなわち通常は光学機構における光学素子の作動中の各使用温度に適合させるために、１つ又は複数の熱処理ステップを実行することにより発生させることができる。
【００１８】
一実施形態では、第１ゼロ交差温度における第１基板の熱膨張率の勾配及び第２ゼロ交差温度における第２基板の熱膨張率の勾配は、符号に関して異なる。熱膨張率の勾配の符号が異なる基板の使用は、光学構成体の、特に投影レンズの性能を高めることを可能にするが、それは像収差又は収差をこのようにして低減できるからである。
【００１９】
さらに別の実施形態では、第１ゼロ交差温度における第１基板の熱膨張率の勾配の絶対値及び／又は第２ゼロ交差温度における第２基板の熱膨張率の勾配の絶対値は、１．０ｐｐｂ／Ｋ２未満、好ましくは０．５ｐｐｂ／Ｋ２未満、特に０．２ｐｐｂ／Ｋ２未満である。言うまでもなく、両方の基板のＣＴＥの勾配は便宜上１．０ｐｐｂ／Ｋ２未満である。すでにさらに上述したように、ＣＴＥの勾配は、適切に選択されたパラメータを用いた熱処理プロセスにより変更することができるので、上記の値未満の勾配の絶対値を達成することが可能である。
【００２０】
一実施形態では、第１ゼロ交差温度と第２ゼロ交差温度との間の差の絶対値は、６Ｋよりも大きく、好ましくは１０Ｋよりも大きい。基板材料の熱膨張率のゼロ交差温度の差のこのような絶対値は、例えば投影レンズにおける光学素子の作動温度が通常は少なくとも上記絶対値だけ異なるので有利であることが分かっている。言うまでもなく、３つ以上の光学素子が光学機構にある場合、上記条件がそこに設けられた光学素子の少なくとも２つについて満たされるべきである。
【００２１】
一実施形態では、第１基板のＴｉＯ２含有量は第２基板のＴｉＯ２含有量と異なる。ガラスのゼロ交差温度は、確かに熱処理中に特定の限度内で設定することができるが、ゼロ交差温度に著しい差を与えるために、又はより詳細にはそれぞれ異なる符号を有するＣＴＥの勾配をもたらすために、ＴｉＯ２含有量が相互に異なる基板材料が通常は必要である。
【００２２】
一実施形態では、第１基板のＴｉＯ２の割合は、８重量％〜１２重量％、好ましくは８重量％〜１０重量％である。ＴｉＯ２の割合がこの間隔内にある場合、（温度上昇に伴う）ＣＴＥの正勾配がゼロ交差温度で普通は生じる。基板のＴｉＯ２の割合の増加は、概して、比較的高いゼロ交差温度（４０℃以上）につながり、低冷却速度での適切な熱処理プロセスによってより低い温度にシフトさせることができ、ＣＴＥの勾配も同時に所望の値に低下する。この目的で、７８０℃未満の低い仮想温度を得ることが有利である（導入部で引用した欧州特許第１  ６０８  ５９８号明細書を参照）。９５０℃〜１０５０℃の初期温度及び０．１℃／時〜２℃／時の範囲の冷却速度での熱処理プロセスの実行が、この場合に特に有利であることが分かった。
【００２３】
さらに別の実施形態では、第２基板のＴｉＯ２含有量は、１２％よりも多く、特に約１５％以上である。ここで該当する温度で、このようなＴｉＯ２含有量を有する石英ガラス材料は、通常はまずゼロ交差温度で大きな負勾配を有する。又は、負勾配を、導入部で引用した独国特許第２１  ４０  ９３１号明細書に示されている熱処理により生じさせることができる。例えば独国特許第２１  ４０  ９３１号明細書に記載のように、１つ又は複数の後続の熱処理ステップにおいて、ゼロ交差温度での（負の）勾配の絶対値を、続いてより小さな値にシフトさせることができる。例として、ＣＴＥの勾配を減らすために、約７５０℃〜８５０℃の範囲の温度から始めて約１℃／時〜約２℃／時の速度で低速の冷却を行う熱処理ステップを行うことができる。この熱処理ステップのパラメータは、残留負勾配（remaining negative gradient）が−１ｐｐｂ／Ｋ２未満となるよう選択すべきである。言うまでもなく、ＣＴＥの勾配のこの絶対値又は場合によってはさらにより小さな絶対値を得るために、低冷却速度での複数の熱処理ステップが場合によっては必要であり得る。これらの低速熱処理ステップ中、０℃よりも高い範囲にあるゼロ交差温度は、通常は全く又はわずかにしか変化しない。
【００２４】
さらに別の実施形態では、第１ゼロ交差温度及び第２ゼロ交差温度は、０℃〜１００℃、好ましくは１０℃〜６０℃、特に好ましくは約２０℃〜約４０℃の温度範囲内にある。基板材料のゼロ交差温度は、光学機構における光学素子の作動温度の範囲内に又はそれよりもわずかに低く若しくは高くすべきである。光学素子は通常は冷却されないので、概して最低作動温度は室温（約２２℃）に相当する。例えば投影レンズの光学素子の最高作動温度は、特に、使用されるＥＵＶ放射線の放射パワーに応じて変わり、通常は最高約３０℃又は最高約４０℃の範囲内で変化する。
【００２５】
ＥＵＶリソグラフィ用の光学素子の十分な反射率を得るためには、各光学素子が４５°を超える大きな入射角で又は７０°を超える非常に大きな入射角で作動される場合、金属又は金属層（特にルテニウムから構成される）を基板に塗布すれば十分であり得る。約４５°未満の小さな入射角では、反射多層コーティングを第１基板及び／又は第２基板に塗布し、反射面を上記コーティングに形成する。反射コーティングは、概して、高屈折率材料及び低屈折率材料から構成された複数の交互層、例えばモリブデン及びシリコンから構成された交互層を有し、それらの層厚は、コーティングがその光学機能を果たして高屈折率が確保されるよう互いに協調させる。多層コーティングは、酸化又は他の劣化機構から下位層を保護するためにキャッピング層を通常はさらに有する。該キャッピング層は、金属材料、例えばルテニウム、ロジウム、又はパラジウムからなり得る。
【００２６】
一展開形態では、少なくとも１つの機能層、特に研磨を簡略化する層が、第１基板及び／又は第２基板と反射コーティングとの間に嵌められる。機能層も同様に、例えば、基板よりもＴｉＯ２の割合が低い、例えばＴｉＯ２含有量が約５重量％〜約８重量％又は最高で約１０重量％のＴｉＯ２ドープ石英ガラスから製造することができ、その理由は、ＴｉＯ２の割合が低いガラス材料が、反射コーティングを塗布するためにより研磨しやすいからである。代替的又は付加的に、照射により誘起される劣化効果（特に圧縮）を回避するために、例えば高吸収材料、特にニッケルから構成された他の機能層を塗布することも可能である。
【００２７】
さらに別の実施形態は、少なくとも１つの基板を加熱する少なくとも１つの加熱デバイスと、少なくとも１つの基板の温度を使用温度に設定するために少なくとも１つの加熱デバイスを駆動する制御デバイスとをさらに備える。投影レンズの基板又は反射面の温度は、特に照明設定に応じて変わるので、開ループ又は閉ループ制御により基板の温度を使用温度に制御することが有利であることが分かった。例として、ペルチェ素子、電熱線、放射源等が、加熱デバイスとしての役割を果たし得る。閉ループ制御により温度を使用温度に制御するために、１つ又は複数の温度センサを加熱される光学素子又は基板に設けることができる。基板が加熱される使用温度は、特に、光学機構の作動中に光学素子の反射面で生じる最高温度に（少なくとも）対応するよう選択され得る。
【００２８】
一展開形態では、基板のゼロ交差温度からの使用温度のずれは、３Ｋ未満、好ましくは２Ｋ未満、特に１Ｋ未満である。理想的には、使用温度はゼロ交差温度に相当する。使用温度がゼロ交差温度に非常に近く、熱膨張率の勾配が非常に小さい（１．０ｐｐｂ／Ｋ２未満）場合、基板の変形は小さく、したがって特に光学面の変形も小さく、これには光学機構又は投影レンズの全体的性能に対して有利な効果がある。
【００２９】
本発明は、ＥＵＶ放射線を反射する表面及びＴｉＯ２ドープ石英ガラスから構成された基板を有する少なくとも２つの光学素子を備える、ＥＵＶリソグラフィ用の光学機構、特に投影レンズを構成する方法であって、ＴｉＯ２ドープ石英ガラスから構成された第１基板群又は第２基板群から光学素子用の基板材料を選択するステップを含み、第１群は、第１ゼロ交差温度でゼロ交差を有する温度依存性の熱膨張率を有し、第２群は、第１ゼロ交差温度とは異なる第２ゼロ交差温度でゼロ交差を有する熱膨張率を有し、第１ゼロ交差温度における第１基板群の熱膨張率の勾配及び／又は第２ゼロ交差温度における第２基板群の熱膨張率の勾配は負の符号を有する方法にも関する。
【００３０】
光学機構の構成に関して、少なくとも２つの異なる基板群又は基板バッチを利用可能にしておき、各群の基板が同じ製造プロセス又は同一タイプの製造プロセスで製造され、したがって同一の割合のＴｉＯ２を含むようにすることが提案される。例として、１群中の基板は、全く同一のブール（石英ガラスブロック）の部分体積からでき得る。
【００３１】
本方法の一変形形態では、基板材料を選択するステップは、光学機構における各光学素子の位置に応じて行われる。いずれの場合も、入射ＥＵＶ放射線の約６０％しか各光学素子で反射されないので、各光学素子に衝突する放射線の放射パワー又はパワー密度は、光学機構におけるその位置に応じて変わる。より正確に言うと、衝突パワー密度は、したがって光学素子の作動温度も、特に放射源と光学素子の位置との間に設置される光学素子の数に応じて変わる。
【００３２】
一変形形態では、第１ゼロ交差温度における第１基板群の熱膨張率の勾配は、第２ゼロ交差温度における第２基板群の熱膨張率の勾配とは符号が異なる。両方の基板群が熱膨張率の符号に関して異なれば有利であることが分かった。この場合、熱膨張率の勾配が正である第１基板群が通常有するゼロ交差温度は、例えば光学機構における光学素子の基板又は反射面の最高予測作動又は使用温度とほぼ同じか又はそれよりも高い。これは有利であることが分かっており、その理由は、適切な熱処理プロセス（下記を参照）によってゼロ交差温度をより小さな値にシフトさせて、第１群の基板材料を種々の光学素子の使用温度に柔軟に適合させることができるようにすることができるからである。各基板材料群の各ゼロ交差温度におけるＣＴＥの勾配の絶対値は、可能な限り小さな値を有するべきであり、この値は１．６ｐｐｂ／Ｋ２以下であることが好ましい。
【００３３】
特に、この場合、第１基板材料群のＴｉＯ２含有量は、第２基板材料群のＴｉＯ２含有量とは異なり得る。すなわち、両群が異なる製造プロセスで製造されるか又は異なるブールに属する。この場合、各群の石英ガラス材料のＴｉＯ２の割合は、特に、光学機構に関連して上述した値をとり得る。
【００３４】
さらに別の変形形態では、本方法は、ゼロ交差温度を光学素子にとって所望のゼロ交差温度に変えるため及び／又は光学素子の所望のゼロ交差温度での熱膨張率の勾配を１．０ｐｐｂ／Ｋ２未満、好ましくは０．５ｐｐｂ／Ｋ２未満、特に０．２ｐｐｂ／Ｋ２未満の絶対値に減らすために、選択基板の熱処理を行うステップをさらに含む。この追加の熱処理は、選択基板のゼロ交差温度を各光学素子に与えられた使用温度に適合させること、及び／又はＣＴＥの勾配の絶対値を減らすことを可能にする。概して、追加の熱処理前に、基板又はブランクの幾何学的形状が、適当なサイズに切断された選択基板により、それぞれ割り当てられた光学素子の幾何学的形状に適合される。ＣＴＥの最大許容勾配も同様に、光学機構における光学素子の各位置に応じて変わるので、勾配の所望値が得られるまで複数の熱処理ステップが必要となる可能性があり得る。
【００３５】
一変形形態では、（追加の）熱処理は、選択基板を最低７５０℃、好ましくは最低８００℃の保持温度に加熱するステップと、基板を保持温度で少なくとも４０時間保持するステップと、基板を０．１Ｋ／時〜５．０Ｋ／時の冷却速度で保持温度〜５００℃の温度範囲内で冷却するステップとを含む。低冷却速度でのこのような熱処理ステップは、選択基板のゼロ交差温度をより低い温度にシフトさせ、このようにして所望の使用温度に適合させるのに有利であることが分かった。熱処理プロセス中、８００℃未満の、したがって欧州特許第１  ６０８  ５９８号明細書で指定されている８４０℃（実施例４）という最低仮想温度未満の仮想温度を設定することが意図される。言うまでもなく、特定の温度、例えば５００℃に達しない場合、冷却速度を制御せずに（すなわち基板を放置することにより）室温への冷却が通常は行われる。
【００３６】
本発明のさらに他の特徴及び利点は、本発明に重要な細部を示す図面を参照した以下の発明の例示的な実施形態の説明から、また特許請求の範囲から明らかである。個々の特徴は、個別に単独で又は任意の所望の組み合わせでまとめて本発明の変形形態においてそれぞれ実現することができる。
【００３７】
例示的な実施形態を概略図で示し、以下の説明において説明する。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】４つの反射光学素子を有する投影レンズを備えるＥＵＶリソグラフィ装置の概略図を示す。
【図２ａ】第２反射光学素子とは異なる使用温度で作動される図１からの投影レンズの第１反射光学素子の概略図を示す。
【図２ｂ】第１反射光学素子とは異なる使用温度で作動される図１からの投影レンズの第２反射光学素子の概略図を示す。
【図３ａ】第１光学素子用の第１ＴｉＯ２ドープ石英ガラス基板の温度依存性の熱膨張率の概略図を示す。
【図３ｂ】第２光学素子用の第２ＴｉＯ２ドープ石英ガラス基板の温度依存性の熱膨張率の概略図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
図１は、ＥＵＶリソグラフィ装置４０を概略的に示す。ＥＵＶリソグラフィ装置４０は、５０ｎｍ未満、より詳細には約５ｎｍ〜約１５ｎｍのＥＵＶ波長領域の高エネルギー密度を有するＥＵＶ放射線を発生させるＥＵＶ光源１を備える。ＥＵＶ光源１は、例えば、レーザ誘起プラズマを発生させるプラズマ光源の形態で、又はシンクロトロン放射源として具現され得る。特に前者の場合、図１に示すように、コレクタミラー２を使用することにより、ＥＵＶ光源１からのＥＵＶ放射線を集束させて照明光線３を形成し、且つこのようにしてエネルギー密度をさらに高めることができる。照明光線３は、本例では４つの反射光学素子１３〜１６を備える照明系１０により構造物Ｍを照明する役割を果たす。
【００４０】
構造物Ｍは、例えば、構造物Ｍ上の少なくとも１つの構造を製造するために反射領域と非反射領域又は少なくとも反射の少ない領域とを有する反射マスクであり得る。代替的に、構造物Ｍは、１次元又は多次元配置で配置される複数のマイクロミラーとすることができ、適当であれば、各ミラーに対するＥＵＶ放射線３の入射角を設定するために少なくとも１つの軸を中心に可動である。
【００４１】
構造物Ｍは、照明光線３の一部を反射して構造物Ｍの構造に関する情報を担持する投影光線４を整形し、投影光線４は投影レンズ２０へ放射され、投影レンズ２０は基板Ｗに構造物Ｍ又はその各部分領域を結像させる。基板Ｗ、例えばウェーハは、半導体材料、例えばシリコンを含み、ウェーハステージＷＳとも称するマウント上に配置される。
【００４２】
本例では、投影レンズ２０は、構造物Ｍ上にある構造の像をウェーハＷに対して生成するために、４つの反射光学素子２１〜２３（ミラー）を備える。投影レンズ２０におけるミラーの数は、通常は４つ〜８つであるが、適当であれば２つのミラーしか使用しないことも可能である。
【００４３】
ウェーハＷ上の各像点ＩＰへの構造物Ｍの各物体点ＯＰの結像中に、高い結像品質を達成するために、ミラー２１〜２４の表面形状に関して極めて厳しい要件が課されなければならず、相互に対する又は対象物Ｍ及び基板Ｗに対するミラー２１〜２４の位置又は向きも、ナノメートル範囲での精度を必要とする。
【００４４】
投影レンズ２０の作動中、投影光線４のうち最大約３０％になり得る割合の放射線が、各光学素子２１〜２４により吸収されるという問題が生じる。吸収された放射線の量に応じて、各ミラー２１〜２４において加熱が生じる結果として熱膨張が生じ、これが各ミラー２１〜２４の反射面の変形を招くことでミラー２１〜２４の向き又は表面形状を不所望に変化させる。この問題に対処する１つの可能性は、個々のミラー２１〜２４の温度を設定するために開ループ又は閉ループ制御デバイス３０を使用することである。しかしながら、このような制御デバイス３０が設けられる場合でも、ミラー２１〜２４に、可能な限り低く、例えば２０℃〜４０℃の該当温度範囲内で２ｐｐｂ／Ｋ未満の絶対値を有する熱膨張率を有する基板材料を設ける必要がある。このようにして、温度の変動により生じる各基板の膨張の変化を小さく保つことができる。
【００４５】
図１に示す投影レンズ２０の場合、４つのミラー２１〜２４全部がＴｉＯ２ドープ石英ガラスを基板材料として含む。図２ａは、例として投影レンズ２０の第２ミラー２２を概略図で示す。第２ミラー２２は、ＴｉＯ２の割合が８重量％を超え、通常は１２重量％以下である基板３２を備える。
【００４６】
反射コーティング３１が基板３２に塗布され、該反射コーティングは、交互に異なる屈折率を有する材料からなる複数の個別層（より具体的には指示しない）を有する。約１３．５ｎｍの領域の波長でのＥＵＶ放射線が投影レンズ２０で使用される場合、個別層は、普通はモリブデン及びシリコンからなる。例えばモリブデン及びベリリウム、ルテニウム及びモリブデン、又はランタン及びＢ４Ｃ等の他の材料の組み合わせも同様に可能である。個別層に加えて、反射コーティングは、拡散を防止する中間層及び酸化又は腐食を防止するキャッピング層も備え得る。厳密に言えば反射コーティング３１全体がＥＵＶ放射線の反射を行うのだが、反射コーティング３１の上側を以下で反射面３１ａと称する。
【００４７】
中間層３４（機能層）は、基板３２と反射コーティング３１との間に導入され、この層は、反射コーティング３１の塗布前の基板３２の表面の研磨を簡略化する。本例では、中間層３４は、ＴｉＯ２の割合がその下の基板３２よりも低く（例えば約５重量％）、したがって基板３２よりも研磨しやすいＴｉＯ２ドープ石英ガラスから形成される。
【００４８】
基板３２は、キャリア３３に塗布され、キャリア３３内にはペルチェ素子の形態の複数の加熱素子３３ａが設けられ、これらは基板３２を使用温度ＴＡ１（図３ａを参照）まで均一に加熱する役割を果たす。光学素子２２の反射面３１ａに対する投影光線４の強度が時間的に変化する場合でも使用温度ＴＡ１を得るために、図１に示す制御デバイス３０が使用され、これが加熱デバイス３３ａを駆動する役割を果たす。閉ループにより基板３２の温度を使用温度ＴＡ１に制御するために、温度センサ３５が基板３２の側方に設けられ、該温度センサは、接続線（図示せず）を介して制御デバイス３０に接続される。言うまでもなく、制御デバイス３０は、投影レンズ２０のさらに他の光学素子２１、２３、２４の温度の閉ループ制御又は開ループ制御に使用することもできる。
【００４９】
図２ａ及び図３ａに示す例では、基板３２の使用温度はＴＡ１＝３３℃である。温度変動により生じる変形及び／又は基板３２の長さの変化の結果としての反射面３１ａ全体におけるシフトを回避するために、光学素子２２の使用温度ＴＡ１が基板３２の熱膨張率のゼロ交差温度ＴＺＣ１に可能な限り正確に対応すれば有利である（図３ａを参照）。光学素子の使用又は作動温度ＴＡ１がゼロ交差温度ＴＺＣ１からずれている場合でも基板３２の長さが最小限にしか変化しないようにするために、ゼロ交差温度ＴＺＣ１における熱膨張率ＣＴＥの（正）勾配ΔＣＴＥ１は、可能な限り小さく、１．０ｐｐｂ／Ｋ２未満、好ましくは０．５ｐｐｂ／Ｋ２未満、特に０．２ｐｐｂ／Ｋ２未満であるべきである。しかしながら、小さな勾配ΔＣＴＥ１の場合でも、使用温度ＴＡ１とゼロ交差温度ＴＺＣ１との間の差は３Ｋ未満であるべきであり、すなわち|ＴＡ１−ＴＺＣ１|＜３Ｋが当てはまるべきである。
【００５０】
言うまでもなく、この場合、正確には次式に従って、熱膨張率ＣＴＥと勾配ΔＣＴＥ１との間で直線関係をとった。
ＣＴＥ（Ｔ）＝ΔＣＴＥ１（Ｔ−ＴＺＣ１）
言うまでもなく、この関係は、厳密に言えばゼロ交差温度ＴＺＣ１からのずれが小さい場合にのみ当てはまる。
【００５１】
図２ｂは、例として投影レンズ２０の第４光学素子２４を示しており、これは図２ａからの光学素子２２のように、反射面３６ａを有する反射コーティング３６と、本例では加熱デバイスが設けられていないキャリア３８とを有する。図２ｂからの光学素子２４が図２ａからの光学素子２２と異なるのは、石英ガラス基板３７のＴｉＯ２の割合が図２ａからの光学素子２２の基板３２の石英ガラスのＴｉＯ２の割合からずれている点である。本例では、図２ｂからの光学素子２４の基板３７のＴｉＯ２の割合は、約１５重量％である。図３ｂで分かり得るように、ゼロ交差温度ＴＺＣ２は、本例では２２℃の室温である光学素子２４の使用温度ＴＡ２に対応する。したがって、図２ａからの光学素子２２の基板３２及び図２ｂからの光学素子２４の基板３７のゼロ交差温度はそれぞれ、|ＴＺＣ２−ＴＺＣ１|＜１１Ｋだけ異なる。
【００５２】
図３ｂに同様に示すように、図２ｂからの光学素子２４の基板３７の熱膨張率の勾配ΔＣＴＥ２は、負の符号を有し、したがって図２ａからの光学素子２２の熱膨張率ＣＴＥの勾配ΔＣＴＥ１の正の符号とは異なる。図２ａからの光学素子２２の場合のように、図２ｂからの光学素子２４の熱膨張率の勾配ΔＣＴＥ２の絶対値は、１．０ｐｐｂ／Ｋ２未満、好ましくは０．５ｐｐｂ／Ｋ２未満、特に０．２ｐｐｂ／Ｋ２未満である。
【００５３】
以下で説明する方法は、投影レンズ２０の光学素子２１〜２４を構成又は提供するために実行することができる。
【００５４】
第１に、異なるゼロ交差温度ＴＺＣ１，０、ＴＺＣ２，０を有する２つの材料バッチ（又は、ＴｉＯ２ドープ石英ガラスブランク（「ブール」）の形態の基板群）を準備する。さらに、２つのバッチは、各ゼロ交差温度ＴＺＣ１，０、ＴＺＣ２，０における各熱膨張率の勾配ΔＣＥ１，０、ΔＣＴＥ２，０の異符号に関して異なる。このような異なるゼロ交差温度ＴＺＣ１，０、ＴＺＣ２，０又は対応の熱膨張率の勾配ΔＣＥ１，０、ΔＣＴＥ２，０は、ガラス製造中に各石英ガラスブランクで異なるＴｉＯ２の割合を選択することにより達成することができ、熱膨張率の負勾配は、ＴｉＯ２の割合が１２重量％を超える場合に通常は成立する。特に、負勾配を生じさせるために、導入部で引用した独国特許第２１  ４０  ９３１号明細書におけるような手順を採用し、例えば石英ガラスブランクの製造中に、約９６０℃の初期温度及び約３℃／時の冷却速度で約７００℃まで熱処理を実行することが可能である。
【００５５】
本例では、ＴＺＣ１，０＝４０℃の値を第１材料バッチのゼロ交差温度ＴＺＣ１，０として選択し、第１材料バッチから図２ａからの光学素子２２を製造した。この値は、投影レンズ２０の光学素子２１〜２４の作動中に通常使用される使用温度よりもわずかに高い。本例では、第１材料バッチの熱膨張率の勾配ΔＣＴＥ１，０は、約＋１．６ｐｐｂ／Ｋ２である。図２ａからの光学素子２２を製造するために、石英ガラスブロックが前のステップでＥＵＶミラー用の基板を製造するのに十分なほど大きな基板群又は体積要素群に分割されていなければ、十分に大きな部分体積を石英ガラスブロックから切り出す。
【００５６】
切り出した石英ガラス体積は、最初に図２からの光学素子２２の幾何学的形状及びサイズに適合させ、続いて加熱処理ステップを施し、このステップを、切り出した石英ガラス体積を少なくとも４０時間保持する１０００℃の保持温度から始めて、通常は５００℃を超える温度で約０．１℃／時〜５℃／時の低冷却速度で行う。この場合、ゼロ交差温度は、第１材料バッチ全体の値ＴＺＣ１，０＝４２℃から、図２ａからの光学素子２２の使用温度ＴＡ１に対応する所望値ＴＺＣ１＝３３℃に低下する。同時に、熱膨張係数の勾配ΔＣＴＥ１，０が減少して、３３℃の使用温度ＴＡ１における上記勾配が＋１．０ｐｐｂ／Ｋ２未満となる。言うまでもなく、熱処理ステップの持続時間又は熱処理中の冷却速度及び初期温度は、所望のゼロ交差温度ＴＺＣ１＝ＴＡ１に対する最大限の近似又は勾配ΔＣＴＥ１，０の最小限の絶対値が達成されるよう適合させることができる。言うまでもなく、ゼロ交差温度を使用温度ＴＡ１に適合させるために複数の熱処理ステップが必要な可能性があり、熱膨張率の勾配は通常はわずかにしか変化しない。
【００５７】
２０℃のゼロ交差温度ＴＺＣ２，０（図３ｂを参照）を有する第２バッチの石英ガラス材料を図２ｂからの光学素子２４の使用温度ＴＡ２＝２２℃における所望の特性に適合させるために、類似の手順を採用することができる。すなわち、熱膨張率の（負）勾配の絶対値を減らすために、最終的な幾何学的形状に適合させた石英ガラス体積に熱処理プロセスを施すことができる。熱処理は、例として、約７５０℃〜約８５０℃の初期温度で開始して、約１℃／時〜約２℃／時の冷却温度で実行することができる。熱処理中の正確なパラメータは、熱処理後の残留（負）勾配が図３ｂに示すように１．０ｐｐｂ／Ｋ２未満の絶対値を有するよう選択すべきである。基板３７のゼロ交差温度は、この熱処理プロセス中に（変化するとしても）わずかにしか変化しない。図３ｂに示す例の場合、これにより、第２材料バッチのゼロ交差温度ＴＺＣ２，０に、図２ｂからの光学素子２４の使用温度ＴＡ２＝２２℃まで約２℃のわずかなシフトが生じる。他の製造パラメータの選択に応じて、このシフトをわずかに異ならせることもでき、又はシフトが全く生じなくてもよい。
【００５８】
２つの材料バッチ又は基板群の一方の選択は、投影レンズ２０における各光学素子２１〜２４の位置に応じて通常は行われ、これは正確には以下の理由からである。概して入射放射線の放射パワーの約６０％〜７０％しか各光学素子２１〜２４により反射されず、したがって各衝突放射パワーが第１光学素子２１から第４光学素子２４までに減少するので、位置が光学素子２１〜２４の使用温度に影響を及ぼす。
【００５９】
特に、投影レンズ２０の収差の補正又は低減のためには、光学素子２１〜２４の少なくとも２つの各ゼロ交差温度における熱膨張率の勾配が逆符号であれば有利であることが分かった。言うまでもなく、３つ以上の材料バッチ群も、投影レンズ２０の光学素子の出発材料としての役割を果たすことができる。しかしながら、ゼロ交差温度は特定の限度内で調整可能であるので、概して２つの材料バッチしか必要なく、これらを使用して熱膨張率の異符号の勾配の所望の特性を実現することができる。言うまでもなく、上述の方法は、ＥＵＶ放射線で作動するよう設計された他の光学機構、例えばＥＵＶマスク計測システム（mask metrology system）で実行することもできる。２つの材料バッチのゼロ交差温度において熱膨張率の異符号の勾配を生じさせる代替形態として、両方の材料バッチが各ゼロ交差温度において、熱膨張率の負勾配を有することもできる。
【図１】
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【図２ａ】
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【図２ｂ】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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