(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料成分をイオン化するイオン源と、該イオン源で生成された各種イオンの中で特定の質量電荷比を有するイオンをプリカーサイオンとして選別する前段四重極マスフィルタと、その内部に高周波電場によりイオンを収束させつつ輸送するイオンガイドが配設され、前記プリカーサイオンを所定ガスと衝突させることにより該イオンを開裂させるためのコリジョンセルと、前記プリカーサイオンの開裂により生成した各種プロダクトイオンの中で特定の質量電荷比を有するイオンを選別する後段四重極マスフィルタと、該後段四重極マスフィルタで選別されたプロダクトイオンを検出する検出器と、を具備する三連四重極型質量分析装置であって、
前記前段四重極マスフィルタにおける直線状のイオン光軸と前記イオンガイドにおける直線状のイオン光軸とが前記前段四重極マスフィルタと前記コリジョンセルとの間の空間で斜めに交差して折れ線状になり、該イオンガイドにおける直線状のイオン光軸と前記後段四重極マスフィルタにおける直線状のイオン光軸とが一直線状となるように、前記前段四重極マスフィルタ、前記イオンガイド、及び前記後段四重極マスフィルタが配置され、
前記前段四重極マスフィルタを通過して来たイオンが前記折れ線状のイオン光軸に沿って屈曲される直流電場が形成されるように、前記コリジョンセルの入口に設けられたイオンレンズに直流電圧を印加する電圧印加手段を備えることを特徴とする三連四重極型質量分析装置。
【請求項２】
請求項１に記載の三連四重極型質量分析装置であって、
前記前段四重極マスフィルタの入口に設けられたイオンレンズの開口を通して該前段四重極マスフィルタの内部を見通したとき前記コリジョンセルからのイオン出口開口が見えない状態となるように、前記前段四重極マスフィルタにおける直線状のイオン光軸と前記イオンガイドにおける直線状のイオン光軸とが交差する角度が定められていることを特徴とする三連四重極型質量分析装置。
【請求項３】
請求項２に記載の三連四重極型質量分析装置であって、
ガスクロマトグラフのカラムから流出する試料ガス中の成分を検出する検出器であることを特徴とする三連四重極型質量分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特定の質量電荷比m/zを有するイオンを衝突誘起解離（ＣＩＤ＝Collision-Induced Dissociation）により開裂させ、これにより生成されるプロダクトイオン（フラグメントイオン）の質量分析を行う三連四重極型質量分析装置に関し、特に、ガスクロマトグラフの検出器として好適な三連四重極型質量分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
分子量が大きな物質の同定やその構造の解析を行うために、質量分析の１つの手法として、ＭＳ／ＭＳ分析（タンデム分析とも呼ばれる）という手法が知られている。典型的なＭＳ／ＭＳ型質量分析装置として三連四重極型質量分析装置がある。【０００３】
図３は一般的な三連四重極型質量分析装置の概略構成図である。三連四重極型質量分析装置は、内部に四重極型又はそれ以上の多重極型のイオンガイド１５を備えたコリジョンセル１４を挟んで、その前段と後段とにそれぞれ、イオンを質量電荷比m/zに応じて分離する四重極マスフィルタ１３、１８を備える。イオン源１１で生成された各種イオンの中で特定の質量電荷比を有する目的イオンのみが前段の四重極マスフィルタ１３において選別されコリジョンセル１４内に導入されると、該イオンはコリジョンセル１４内でＣＩＤガスと衝突し、開裂を生じて各種のプロダクトイオンが生成される。この開裂の態様は様々であるため、通常、一種のプリカーサイオンから質量電荷比の異なる複数種のプロダクトイオンが生成される。これら各種のプロダクトイオンが後段の四重極マスフィルタ１８に導入され、特定の質量電荷比を有するプロダクトイオンのみが選別されて検出器１９に到達する。【０００４】
四重極マスフィルタ１３、１８を通過し得るイオンの質量電荷比は、該マスフィルタ１３、１８を構成するロッド電極に印加される高周波電圧及び直流電圧の電圧値に依存する。したがって、前段又は後段のいずれか一方の四重極マスフィルタ１３又は１８を通過するイオンの質量電荷比を固定し、他方の四重極マスフィルタ１８又は１３を通過し得るイオンの質量電荷比を走査することで、特定のプロダクトイオンを生成する全てのプリカーサイオンを探索するプリカーサイオンスキャンや、逆に、特定のプリカーサイオンから生成される全てのプロダクトイオンを探索するプロダクトイオンスキャンを行うことができる。また、選択されるイオンの質量電荷比差が一定になるように両方の四重極マスフィルタ１３、１８を通過し得るイオンの質量電荷比を走査することで、特定の部分構造が脱離する全てのプリカーサイオンを検索するニュートラルロススキャンを行うことができる。【０００５】
上記三連四重極型質量分析装置を始めとする質量分析装置は、試料中の各種成分を時間方向に分離するガスクロマトグラフ（ＧＣ）や液体クロマトグラフ（ＬＣ）の検出器としてよく用いられる。ガスクロマトグラフ（ＧＣ）と質量分析装置とを組み合わせたＧＣ／ＭＳでは、質量分析装置のイオン源１１に導入される試料ガスの大部分はＧＣに用いられたキャリアガスである。キャリアガスとしては一般にＨｅ等の希ガスが用いられるが、特にＨｅは電子イオン化法によるイオン源でエネルギーを受け取って準安定状態原子（分子）となり易い。以下、準安定状態のヘリウムをＨｅ*と記述する。【０００６】
Ｈｅ*は電気的には中性であるが、安定状態であるＨｅに比べて高い励起エネルギーを持つ。そのため、Ｈｅ*がイオン源１１から出射してイオンと同様に進行すると、周囲の各種原子・分子との相互作用によってＨｅ*自身がイオン化したり逆に周囲の原子・分子を二次的にイオン化したりする。そうしたイオンはバックグラウンドノイズの大きな要因となり、Ｓ／Ｎの低下をもたらす。そこで、上記のようなＨｅ*（又はそれ以外の準安定状態の希ガス原子・分子）に起因するノイズを減少させるために、従来、様々な構成の質量分析装置が提案されている。【０００７】
例えば特許文献１に記載の質量分析装置では、湾曲形状のイオンガイドを用い、分析対象であるイオンを湾曲形状のイオン光軸に沿って進行させる一方、電気的に中性であるＨｅ*は直進させてイオン光軸上から逸脱させる。これにより、イオンガイドの後段に配置された質量分析器や検出器へのＨｅ*の侵入を防止している。
また、特許文献２、特許文献３に記載の質量分析装置では、質量分析器の手前においてＨｅ*をＮ2等の不活性ガスを導入した衝突室内に通過させ、Ｈｅ*とＮ2とを接触させてＮをイオン化する一方、Ｈｅ*を安定状態のＨｅにする。それによって、準安定状態であるＨｅ*が質量分析器に導入されることを防止することができる。【０００８】
しかしながら、上記のような従来の手法にはいずれも問題がある。即ち、イオンを輸送するためのイオンガイドは一般に四重極以上の多重極ロッドから構成されるが、湾曲形状の多重極ロッドを高い寸法精度を維持しながら組み立てようとすると、コストがかなり高いものとなる。また、十分な機械的精度が確保できないと、分析対象であるイオンの通過効率が下がって感度の低下に繋がる。【０００９】
一方、Ｈｅ*をＮ2ガス等に接触させて除去する方法では、分析対象のイオン自体も同じガス領域中を通過するためにやはりイオンの通過効率が下がってしまい、検出器における信号レベルが下がるためにノイズを低減したとしてもＳ／Ｎが必ずしも改善されるとは限らない。また、Ｈｅ*をＨｅにするためにはかなり高い密度のＮ2ガス領域を形成する必要があり、真空室内を高真空に維持するためには真空排気能力を上げなければならないという問題もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】米国特許第３４１０９９７号公報
【特許文献２】特開２００６−１８９２９８号公報
【特許文献３】特開２００９−１８０７３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、三連四重極型質量分析装置において、特殊な形状、構造のイオン光学素子等の部材を用いることなく、且つ、四重極マスフィルタ等が配設される真空室内の真空度を低下させることなく、試料ガスに含まれる希ガスの原子（分子）から生成される準安定状態原子（分子）に起因するノイズを良好に抑制することを主たる目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために成された本発明は、試料成分をイオン化するイオン源と、該イオン源で生成された各種イオンの中で特定の質量電荷比を有するイオンをプリカーサイオンとして選別する前段四重極マスフィルタと、その内部に高周波電場によりイオンを収束させつつ輸送するイオンガイドが配設され、前記プリカーサイオンを所定ガスと衝突させることにより該イオンを開裂させるためのコリジョンセルと、前記プリカーサイオンの開裂により生成した各種プロダクトイオンの中で特定の質量電荷比を有するイオンを選別する後段四重極マスフィルタと、該後段四重極マスフィルタで選別されたプロダクトイオンを検出する検出器と、を具備する三連四重極型質量分析装置であって、
前記前段四重極マスフィルタにおける直線状のイオン光軸と前記イオンガイドにおける直線状のイオン光軸とが前記前段四重極マスフィルタと前記コリジョンセルとの間の空間で斜めに交差して折れ線状になり、該イオンガイドにおける直線状のイオン光軸と前記後段四重極マスフィルタにおける直線状のイオン光軸とが一直線状となるように、前記前段四重極マスフィルタ、前記イオンガイド、及び前記後段四重極マスフィルタが配置され、
前記前段四重極マスフィルタを通過して来たイオンが前記折れ線状のイオン光軸に沿って屈曲される直流電場が形成されるように、前記コリジョンセルの入口に設けられたイオンレンズに直流電圧を印加する電圧印加手段を備えることを特徴としている。
【００１３】
本発明に係る三連四重極型質量分析装置において、好ましくは、前記前段四重極マスフィルタの入口に設けられたイオンレンズの開口を通して該前段四重極マスフィルタの内部を見通したとき前記コリジョンセルからのイオン出口開口が見えない状態となるように、前記前段四重極マスフィルタにおける直線状のイオン光軸と前記イオンガイドにおける直線状のイオン光軸とが交差する角度が定められている構成とするとよい。【００１４】
本発明に係る三連四重極型質量分析装置では、試料成分と共にイオン源に導入されたヘリウム等の希ガス原子（分子）から準安定状態原子が生成され前段四重極マスフィルタに導入されると、前段四重極マスフィルタによる電場の影響を受けずに準安定状態原子の多くは前段四重極マスフィルタを通り抜ける。一方、イオン源で生成された各種イオン（上記希ガス原子（分子）由来のイオン含む）が前段四重極マスフィルタに導入されると、該四重極マスフィルタによる高周波電場及び直流電場の影響を受けて振動し、特定の質量電荷比を持つイオンのみが該四重極マスフィルタを通り抜ける。前段四重極マスフィルタを通り抜けたイオンは、コリジョンセル入口に設けられたイオンレンズに印加される直流電圧によって形成される直流電場の作用で、その進行方向が全体的に折れ線状のイオン光軸に沿うように曲げられる。この直流電場はイオンに運動エネルギーを与える作用も有し、この運動エネルギーに依存するコリジョンエネルギーによってイオンはコリジョンセル内で解離する。そのため、適切な運動エネルギーをイオンに与えるためにコリジョンセル入口のイオンレンズにより形成される直流電場は強い。また、前段四重極マスフィルタを通過して来るイオンは、該フィルタ内空間における電場の作用で振動が抑えられイオン光軸付近に収束しているので、比較的平行性が高い（イオン光軸に平行に近い）イオン束としてイオンレンズによる直流電場に到達する。それ故に、簡単な構造のイオンレンズであっても、前段四重極マスフィルタを通過して来たイオンを折れ線状のイオン光軸に沿うように適切に曲げることができる。【００１５】
一方、前段四重極マスフィルタを通り抜けて来た準安定状態原子は、上記直流電場の影響を受けないため、該直流電場に達する前の進行軌道を維持する。その結果、準安定状態原子は折れ線状のイオン光軸に沿わず、イオンガイドにおける直線状のイオン光軸に対して大きな角度を有する方向に進行する。そのため、コリジョンセル内に準安定状態原子が入射しても、途中でイオンガイドに接触したりコリジョンセルの内壁面に接触したりして消滅する。特に上記好ましい構成であれば、イオン源から前段四重極マスフィルタの内部空間に直進した準安定状態原子の殆どは、コリジョンセルのイオン出口開口に達することなく消滅する。したがって、準安定状態原子が後段四重極マスフィルタに入射することを確実に防止することができる。準安定状態原子が後段四重極マスフィルタに入射すると、該四重極マスフィルタを通り抜けない場合であっても不所望の２次イオンの発生を引き起こすため、ノイズ発生の大きな要因となる。これに対し、後段四重極マスフィルタへの準安定状態原子の入射を回避することで、準安定状態原子に起因するノイズを大幅に抑えることができる。【００１６】
なお、準安定状態原子を除去するために前後のイオン光軸を斜めに交差させる部位を、前段四重極マスフィルタとコリジョンセルとの間ではなくコリジョンセルと後段四重極マスフィルタとの間にすることも考えられるが、そうすると、準安定状態原子が後段四重極マスフィルタに入射して、そのフィルタ内空間で２次イオンを発生させるおそれがある。こうした後段四重極マスフィルタ内空間で発生したイオンは十分に除去されずに検出器に到達するおそれがある。したがって、準安定状態原子に起因するノイズを確実に軽減するためには、イオン光軸の交差部位はコリジョンセルよりも前方（イオン源側）であることが望ましい。【００１７】
一方、準安定状態原子を除去するために前後のイオン光軸を斜めに交差させる部位を、前段四重極マスフィルタとコリジョンセルとの間ではなくイオン源と前段四重極マスフィルタとの間にすることも考えられるが、その場合、各種のイオンを折れ線状のイオン光軸に沿うように曲げることは困難である。その理由は次の通りである。一般にイオン源から発したイオンの進行方向のばらつきは大きく、前段四重極マスフィルタの前に配置されているイオンレンズに導入されるイオン束の平行性は低い。イオンレンズは或る程度の非平行性を以て入射してきたイオンを前段四重極マスフィルタの入射端面（イオン受け容れ可能な入射面）に収束させる機能は持つが、イオン束の平行性を高めるような収束作用は殆ど持たないため、様々な角度を有して入射して来たイオンの軌道を曲げて低損失で四重極マスフィルタに送り込むことは困難である。その結果、イオン源と前段四重極マスフィルタとの間でイオンを曲げようとしても、前段四重極マスフィルタへのイオンの導入効率は低くなってしまい、分析精度や分析感度の低下をもたらすことになる。【００１８】
こうしたことから、準安定状態原子を除去するために前後のイオン光軸を斜めに交差させる部位を前段四重極マスフィルタとコリジョンセルとの間に設けることは、ノイズを確実に防止しつつ、分析対象であるイオンを効率良く輸送して分析精度や分析感度の低下を抑えるという点から、最適な選択であるということができる。【００１９】
また、本発明に係る三連四重極型質量分析装置は、イオン源において準安定状態原子が生成され易い場合に特に有用であるから、前述したように、試料ガスの主要成分がヘリウムである場合、具体的には、ガスクロマトグラフのカラムから流出する試料ガス中の成分を検出する検出器として本発明に係る三連四重極型質量分析装置が用いられる場合に有効である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係る三連四重極型質量分析装置によれば、湾曲形状イオンガイドなどの特殊な形状や構造のイオン光学素子を用いることなく、構造的には、四重極マスフィルタ、コリジョンセル、イオンガイドといった既存の要素の配置を工夫することによって、後段四重極マスフィルタへの準安定状態原子の入射を防止することができる。それによって、大きなコスト増加をもたらすことなく、準安定状態原子に起因するノイズを軽減し、Ｓ／Ｎを改善することができる。また、準安定状態原子を除去する目的で真空室内に多量のガスを導入する必要もないので、真空排気能力を高める必要もない。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施例による三連四重極型質量分析装置の概略構成図。
【図２】本実施例の三連四重極型質量分析装置におけるイオン光軸斜交部付近の拡大図。
【図３】一般的な三連四重極型質量分析装置の全体構成図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明に係る三連四重極型質量分析装置の一実施例について、添付図面を参照して説明する。
図１は本実施例の三連四重極型質量分析装置の概略構成図、図２は本実施例の三連四重極型質量分析装置におけるイオン光軸斜交部付近の拡大図である。なお、既に説明した従来の構成と同じ構成要素には、同一符号を付している。
【００２３】
本実施例の三連四重極型質量分析装置では、イオン源１１と前段四重極マスフィルタ（Ｑ１）１３との間には第１イオンレンズ１２が設けられ、この第１イオンレンズ１２には第１イオンレンズ電圧印加部２１から直流電圧が印加される。この直流電圧によって、第１イオンレンズ１２の開口部付近には、イオン源１１から出射された各種イオンを収束させて前段四重極マスフィルタ１３に導入するための直流電場が形成される。前段四重極マスフィルタ１３を構成する各ロッド電極にはＱ１電圧印加部２２から直流電圧と高周波電圧とを合成した電圧が印加され、この電圧に応じた質量電荷比のイオンが前段四重極マスフィルタ１３を通り抜ける。イオン源１１、第１イオンレンズ１２、及び前段四重極マスフィルタ１３のイオン光軸Ｃ１は略一直線状である。
【００２４】
多重極型のイオンガイド１５が内装されたコリジョンセル１４の入口には入口側イオンレンズ１６が配置され、出口には出口側イオンレンズ１７が配置されている。入口側イオンレンズ１６の開口がコリジョンセル１４へのイオン入射開口、出口側イオンレンズ１７の開口がコリジョンセル１４からのイオン出射開口である。入口側イオンレンズ１６及び出口側イオンレンズ１７にはそれぞれＣＣイオンレンズ電圧印加部２３からそれぞれ直流電圧が印加される。また、イオンガイド１５を構成する各ロッド電極にはｑ２電圧印加部２４から高周波電圧が印加され、この電圧によってプリカーサイオンやプロダクトイオンは収束されつつ輸送される。さらに、後段四重極マスフィルタ１８を構成する各ロッド電極にはＱ３電圧印加部２５から直流電圧と高周波電圧とを合成した電圧が印加され、この電圧に応じた質量電荷比のイオンが後段四重極マスフィルタ１８を通り抜ける。
【００２５】
入口側イオンレンズ１６、イオンガイド１５、出口側イオンレンズ１７及び後段四重極マスフィルタ１８のイオン光軸Ｃ２は略一直線状である。そして、前半のイオン光軸Ｃ１と後半のイオン光軸Ｃ２とは、前段四重極マスフィルタ１３とコリジョンセル１４との間の空間で角度αを以て斜めに交差しており、全体は折れ線状のイオン光軸を形成している。即ち、前半のイオン光軸Ｃ１と後半のイオン光軸Ｃ２との関係がこのようになるように、真空排気される分析室１０内の各要素の配置が定められている。
【００２６】
入口側イオンレンズ１６に印加される直流電圧により形成される直流電場の作用の１つは、イオンに運動エネルギーを与えてコリジョンセル１４内に送り込み、ＣＩＤガスとの衝突によりイオンの開裂を促進させることである。また、同直流電場の他の作用の１つは、前半のイオン光軸Ｃ１に沿って到来したイオンの軌道を曲げて後半のイオン光軸Ｃ２に沿ってコリジョンセル１４内に送り込むことである。
【００２７】
図２に示すように、前半のイオン光軸Ｃ１と後半のイオン光軸Ｃ２との交差の角度はαである。このときの角度αは、第１イオンレンズ１２の開口を通して前段四重極マスフィルタ１３の内部を見たときに、コリジョンセル１４のイオン出射開口（出口側イオンレンズ１７の開口）が見通せないような角度に決められている。したがって、角度αは、第１イオンレンズ１２の開口径、前段四重極マスフィルタ１３の長さ、入口側イオンレンズ１６の開口径、出口側イオンレンズ１７の開口径、コリジョンセル１４又はイオンガイド１５の長さなどに依存するが、これら各要素のサイズや配置が決まれば角度αは一義的に決まる。このような条件が満たされれば、図２中にＡ1、Ａ2などで示されるように、第１イオンレンズ１２の開口を通して様々な角度で前段四重極マスフィルタ１３に入射し、そのあと直進する粒子はコリジョンセル１４内に入ってもコリジョンセル１４の出射開口には到達しない。
【００２８】
本実施例の三連四重極型質量分析装置における分析動作を説明する。図示しないガスクロマトグラフのカラム出口からキャリアガスに乗って試料成分を含むガスが電子イオン化法によるイオン源１１に導入される。イオン源１１において試料成分は熱電子の作用によりイオン化されるが、同時にキャリアガスであるヘリウムもイオン化される。また、イオンにはならずに単にエネルギーを受け取って準安定状態のＨｅ*も発生する。ヘリウムの量は試料成分量に比べて格段に多いので、ヘリウムイオンやＨｅ*も多量に発生する。イオン源１１で生成されたイオンは電場の作用によりイオン源１１から引き出され、第１イオンレンズ１２で収束されて前段四重極マスフィルタ１３に送り込まれる。制御部２０の制御の下に、Ｑ１電圧印加部２２から前段四重極マスフィルタ１３には所定の電圧が印加され、該電圧に応じた質量電荷比のイオンのみが前段四重極マスフィルタ１３を通り抜ける。一般に、ヘリウムイオンはこの段階で除去される。
【００２９】
一方、電気的に中性であるＨｅ*は前段四重極マスフィルタ１３内の電場の影響を受けずに、前段四重極マスフィルタ１３に入射したときの方向にほぼ直進する。したがって、一部は前段四重極マスフィルタ１３に接触して消滅するが、多くは前段四重極マスフィルタ１３を通り抜ける。その後、Ｈｅ*は入口側イオンレンズ１６による直流電場の影響を受けないからほぼ直進する。図２中にＡ1、Ａ2などで示されるように、前段四重極マスフィルタ１３を通り抜けるＨｅ*の軌道は様々であり、入口側イオンレンズ１６に衝突して消滅するものもあるが、一部は入口側イオンレンズ１６の開口を経てコリジョンセル１４内に侵入する。しかしながら、前述したように直進したＨｅ*はコリジョンセル１４の出射開口に達しないため、イオンガイド１５や出口側イオンレンズ１７に衝突して消滅する。
【００３０】
前段四重極マスフィルタ１３を通り抜けた特定質量電荷比のイオン（プリカーサイオン）はイオン光軸Ｃ1に沿って進み、入口側イオンレンズ１６付近に達すると該イオンレンズ１６により形成される直流電場の影響を受けてその軌道が曲げられ、またその際に運動エネルギーを受ける。前段四重極マスフィルタ１３から出射されるイオンは振動しているが、該マスフィルタ１３を通過する際に振幅は抑えられるので、イオンの方向はかなり揃っており、例えば円環状のイオンレンズにより形成される直流電場によっても効率良くイオンの軌道を曲げることができる。その結果、該プリカーサイオンは効率良くコリジョンセル１４内に導入され、コリジョンセル１４内でＣＩＤガスに接触して開裂を生じ、各種プロダクトイオンが生成される。プロダクトイオンはイオンガイド１５により形成される高周波電場により拘束されつつイオン光軸Ｃ2に沿って進み、コリジョンセル１４から出て後段四重極マスフィルタ１８に導入される。したがって、後段四重極マスフィルタ１８に達するまでにＨｅ*は確実に除去され、他方、プロダクトイオンは後段四重極マスフィルタ１８に効率良く導入されて質量分析に供される。
【００３１】
また、コリジョンセル１４内でＨｅ*がイオンガイド１５や出口側イオンレンズ１７に衝突した際にヘリウムイオンや他の２次イオンが生成されることがあるが、これらイオンは後段四重極マスフィルタ１８で除去されるため検出器１９には到達しない。
【００３２】
以上のように、本実施例の三連四重極型質量分析装置では、イオンレンズやイオンガイド等のイオン光学素子自体は従来と同様の構造のものを用いながら、それらを含めて全体の配置を工夫するとともに、必要に応じてコリジョンセル１４の入口に設けたイオンレンズに印加する直流電圧を適宜に調整することにより、ノイズの要因となるＨｅ*を除去しつつ目的とするプリカーサイオン由来のプロダクトイオンを高い感度で測定することができる。
【００３３】
なお、上記実施例は本発明の一例であるから、本発明の趣旨の範囲で適宜に変形、追加、修正を行っても本願請求の範囲に包含されることは明らかである。
【符号の説明】
【００３４】
１０…分析室
１１…イオン源
１２…第１イオンレンズ
１３…前段四重極マスフィルタ
１４…コリジョンセル
１５…イオンガイド
１６…入口側イオンレンズ
１７…出口側イオンレンズ
１８…後段四重極マスフィルタ
１９…検出器
２０…制御部
２１…第１イオンレンズ電圧印加部
２２…Ｑ１電圧印加部
２３…ＣＣイオンレンズ電圧印加部
２４…ｑ２電圧印加部
２５…Ｑ３電圧印加部
Ｃ１…前半のイオン光軸
Ｃ２…後半のイオン光軸
【図１】
0005637311.tif 000002
【図２】
0005637311.tif 000003
【図３】
0005637311.tif 000004