(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
等間隔で配置される複数の第１チャックと、
少なくとも１組の隣接する前記第１チャックの間に、少なくとも１つ配置される第２チャックと、
前記第１チャック及び前記第２チャックが表面上に一列に配置されるテーブルと、
前記第１チャック及び前記第２チャックの配列方向に沿って前記テーブルを駆動するテーブル駆動部と、
前記テーブルの駆動によって、所定の空間位置である検査位置となった前記第１チャックまたは前記第２チャックに配置されたサンプルに対して所定の検査を行い、検査結果を出力する検査部と、
前記テーブルの駆動によって、所定の空間位置である検査対象サンプル供給位置となった前記第１チャックに、サンプルを供給して配置する検査対象サンプル供給部と、
前記テーブルの駆動によって、所定の空間位置である検査対象サンプル回収位置となった前記第１チャックに配置されたサンプルを、回収する検査対象サンプル回収部と、を備え、
前記テーブル駆動部が、隣接する前記第１チャックの間隔である第１間隔と、隣接する前記第１チャック及び前記第２チャックの間隔である第２間隔と、のそれぞれで前記テーブルを駆動するものであり、
ある第１チャックが前記検査位置となるとき、当該ある第１チャックとは異なる他の第１チャックが、前記検査対象サンプル供給位置及び前記検査対象サンプル回収位置となることを特徴とするサンプル検査装置。
【請求項２】
前記テーブルが、前記表面と垂直な回転軸を有し、
前記第１チャック及び前記第２チャックが、前記回転軸を中心とした所定の円の周上に配置され、
前記テーブル駆動部が、
前記円の周上で隣接する１組の前記第１チャックと前記円の中心とが成す中心角の角度である第１角度で、前記回転軸を回転駆動することで、前記テーブルを前記第１間隔で駆動し、
前記円の周上で隣接する前記第１チャック及び前記第２チャックと前記円の中心とが成す中心角の角度である第２角度で、前記回転軸を回転駆動することで、前記テーブルを前記第２間隔で駆動することを特徴とする請求項１に記載のサンプル検査装置。
【請求項３】
少なくとも１組の隣接する前記第１チャックの中間となる位置に、１つの前記第２チャックが配置されることを特徴とする請求項１または２に記載のサンプル検査装置。
【請求項４】
第１動作モードにおいて、前記テーブル駆動部が前記テーブルを前記第１間隔で順次駆動するように制御するとともに、第２動作モードにおいて、前記テーブル駆動部が前記テーブルを前記第２間隔で駆動した後、前記テーブルを前記第１間隔で順次駆動するように制御する制御部を、さらに備えることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のサンプル検査装置。
【請求項５】
前記制御部が、
前記第１動作モードにおいて、前記テーブル駆動部が前記テーブルを前記第１間隔で順次駆動するように制御する際、前記検査部が前記検査位置の前記第１チャックに配置されたサンプルを順次検査するように制御するとともに、前記検査対象サンプル供給部を制御して前記検査対象サンプル供給位置の前記第１チャックにサンプルを順次配置し、前記検査対象サンプル回収部を制御して前記検査対象サンプル位置の前記第１チャックに配置されたサンプルを順次回収し、
前記第２動作モードにおいて、前記テーブル駆動部が前記テーブルを前記第１間隔で順次駆動するように制御する際、前記検査部を制御して前記第２チャックに配置されたサンプルを検査するように制御することを特徴とする請求項４に記載のサンプル検査装置。
【請求項６】
異常を報知する報知部を、さらに備え、
前記制御部が、前記第２動作モードにおいて、前記テーブル駆動部が前記テーブルを前記第１間隔で順次駆動するように制御する際、前記検査部が出力する検査結果が所定の基準を満たしていないことを確認すると、前記報知部を制御して、異常を報知し得ることを特徴とする請求項４または５に記載のサンプル検査装置。
【請求項７】
前記制御部が、前記第２動作モードにおいて、前記テーブル駆動部が前記テーブルを前記第１間隔で順次駆動するように制御する際、前記検査部が出力する検査結果が、第１基準を満たしていないことを確認すると、前記報知部を制御して、前記第１基準を満たしていない検査結果が得られた前記第２チャックのサンプルの異常を報知することを特徴とする請求項６に記載のサンプル検査装置。
【請求項８】
前記検査部の異常の有無を検証し、検証結果を出力する異常検証部を、さらに備え、
前記制御部が、前記第２動作モードにおいて、前記テーブル駆動部が前記テーブルを前記第１間隔で順次駆動するように制御する際、前記検査部が出力する検査結果が、第２基準を満たしていないことを確認すると、前記異常検証部を動作し、前記異常検証部が出力する検証結果が、前記検査部の異常を示すものであることを確認すると、前記報知部を制御して、前記検査部の異常を報知することを特徴とする請求項６または７に記載のサンプル検査装置。
【請求項９】
前記異常検証部が、
所定の抵抗に所定の電流を流したときに当該抵抗に印加される電圧と、所定の抵抗に所定の電圧を印加したときに当該抵抗に流れる電流と、の少なくとも一方を検証結果として出力する第１異常検証部を含むことを特徴とする請求項８に記載のサンプル検査装置。
【請求項１０】
前記異常検証部が、
前記検査部が出力する出力結果と、前記検査部が検査するサンプルの温度特性と、に基づいて、前記検査部が当該サンプルを検査した際の雰囲気温度を推定し検証結果として出力する第２異常検証部を含むことを特徴とする請求項８または９に記載のサンプル検査装置。
【請求項１１】
前記テーブルの駆動によって、所定の空間位置である校正用サンプル取扱位置となった前記第１チャックに、サンプルを供給して配置する校正用サンプル取扱部を、さらに備え、
前記制御部が、
前記第２動作モードにおいて、前記テーブル駆動部が前記テーブルを前記第１間隔で順次駆動するように制御する際、前記検査部が出力する検査結果が、前記第２基準を満たしていないことを確認するが、前記異常検証部が出力する検証結果が、前記検査部の異常を示すものではないことを確認すると、
前記テーブル駆動部が前記テーブルを前記第１間隔で順次駆動するように制御するとともに、前記校正用サンプル取扱部が前記校正用サンプル取扱位置の前記第１チャックにサンプルを供給して配置するように制御する、第３動作モードを実行し、
前記第３動作モードで前記検査部から出力される検査結果が、第３基準を満たさないことを確認すると、前記報知部を制御して、前記検査部の異常を報知し、
前記第３動作モードで前記検査部から出力される検査結果が、前記第３基準を満たすことを確認すると、当該検査結果に基づいて、これ以降に前記検査部から出力される検査結果に対する前記制御部の解釈方法を校正することを特徴とする請求項８〜１０の何れか１項に記載のサンプル検査装置。
【請求項１２】
前記校正用サンプル取扱部が、
サンプルが一列に配置されるカートリッジと、
前記カートリッジに配置されるサンプルを、前記校正用サンプル取扱位置となった前記第１チャックに供給して配置するとともに、前記校正用サンプル取扱位置となった前記第１チャックに配置されているサンプルを、前記カートリッジに回収して配置する校正用サンプル供給回収部と、
前記カートリッジを、当該カートリッジのサンプルの配列方向に沿って駆動するカートリッジ駆動部と、を備え、
前記供給回収部が、前記カートリッジに配置されるサンプルを前記第１チャックに供給すると、前記カートリッジ駆動部は、前記カートリッジを第１方向へ駆動し、
前記校正用サンプル供給回収部が、前記第１チャックに配置されるサンプルを前記カートリッジに回収すると、前記カートリッジ駆動部は、前記カートリッジを前記第１方向とは逆方向である第２方向へ駆動することを特徴とする請求項１１に記載のサンプル検査装置。
【請求項１３】
前記第２チャックが前記検査位置以外である場合、前記第２チャックのサンプルが配置される空間を遮蔽し、前記テーブルの駆動によって前記第２チャックが前記検査位置となる場合、前記第２チャックに配置されるサンプルが前記検査部によって検査可能となるように、前記第２チャックのサンプルが配置される空間を開放する遮蔽部を、
さらに備えることを特徴とする請求項１〜１２の何れか１項に記載のサンプル検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光ダイオード（以下、ＬＥＤとする）などの各種素子に代表されるサンプルを検査するサンプル検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、ＬＥＤなどの商品を製造してから出荷する前に、所定のサンプル検査装置を用いて、当該商品の一部または全部を対象とした検査を行う。これにより、不良な商品が出荷されることを抑制して、商品の信頼性を保証する。
【０００３】
サンプル検査装置が精度良く検査を行うためには、サンプル検査装置の点検が不可欠である。この点検は、例えば、サンプル検査装置の始動時（商品を製造する工場の始業時）や、作業者の交代時、製造ロットの切替時などに行われる。この点検では、特性が既知であるサンプルを、作業者が実際にサンプル検査装置を用いて検査し、得られる検査結果が想定した通りか否かを確認することで、当該サンプル検査装置が正常に動作しているか否かを確認する。なお、例えばこの点検では、良品かつ特性（例えば、ＬＥＤが出射する光の色度や発光強度など）が異なる複数のサンプルが用いられ得る。
【０００４】
また、上記の点検において、サンプル検査装置から想定した通りの検査結果が得られなければ、サンプル検査装置の校正を行う。この校正では、特性が既知である校正用のサンプルを、作業者が実際にサンプル検査装置で検査するとともに、得られる検査結果に基づいてサンプル検査装置を校正することで、サンプル検査装置の検査精度を向上させる。
【０００５】
従来、サンプル検査装置の点検や校正を行う作業者は、ピンセット等を用いたハンドリングにより、特性が既知のサンプルをサンプル検査装置に配置したり、当該サンプルをサンプル検査装置から回収したりしていた。したがって、サンプルの破損や汚染が生じたり、サンプルの取り違えや紛失が生じたりすることで、サンプル検査装置の検査精度が低下し得るため、問題となる。また、出荷する商品の信頼性を十分に保証するためには、この点検や校正を頻繁に行うことが必要であるが、上記の点検や校正の作業は非常に煩雑になり得るため、問題となる。
【０００６】
そこで、例えば特許文献１では、検査対象のサンプルと校正用のサンプルとが混在したサンプルに対して順次検査を行い、校正用のサンプルを検査したときに、装置の校正や停止を行うことで、検査精度の向上を図ったサンプル検査装置が開示されている。当該サンプル検査装置は、レーザマークにより予めサンプルに印字したＩＤ番号を識別することで、検査対象のサンプルであるか校正用のサンプルであるかを認識する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−５９９９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記特許文献１のサンプル検査装置では、サンプルにＩＤ番号を印字する工程が別途必要になり、工程が煩雑化することが問題となる。さらに、当該サンプル検査装置には、それぞれのサンプルに印字されたＩＤ番号を識別するためのＣＣＤカメラ等の装置が必要になり、構成や処理が複雑化するため、問題となる。また、当該サンプル検査装置で検査対象のサンプルが小型になるほど、ＩＤ番号の印字が困難になるとともに、ＩＤ番号の印字が不可能な商品については検査自体が不可能になるため、問題となる。また、校正用のサンプルが検査対象のサンプルに混ざって頻繁に検査されると、校正用のサンプルの劣化が促進され、校正を精度良く行うことができなくなるため、問題となる。
【０００９】
本発明は、上記の問題点に鑑み、検査精度を向上するための作業を簡素化するサンプル検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明は、等間隔で配置される複数の第１チャックと、
少なくとも１組の隣接する前記第１チャックの間に、少なくとも１つ配置される第２チャックと、
前記第１チャック及び前記第２チャックが表面上に一列に配置されるテーブルと、
前記第１チャック及び前記第２チャックの配列方向に沿って前記テーブルを駆動するテーブル駆動部と、
前記テーブルの駆動によって、所定の空間位置である検査位置となった前記第１チャックまたは前記第２チャックに配置されたサンプルに対して所定の検査を行い、検査結果を出力する検査部と、
前記テーブルの駆動によって、所定の空間位置である検査対象サンプル供給位置となった前記第１チャックに、サンプルを供給して配置する検査対象サンプル供給部と、
前記テーブルの駆動によって、所定の空間位置である検査対象サンプル回収位置となった前記第１チャックに配置されたサンプルを、回収する検査対象サンプル回収部と、を備え、
前記テーブル駆動部が、隣接する前記第１チャックの間隔である第１間隔と、隣接する前記第１チャック及び前記第２チャックの間隔である第２間隔と、のそれぞれで前記テーブルを駆動するものであり、
ある第１チャックが前記検査位置となるとき、当該ある第１チャックとは異なる他の第１チャックが、前記検査対象サンプル供給位置及び前記検査対象サンプル回収位置となることを特徴とするサンプル検査装置を提供する。
【００１１】
さらに、上記特徴のサンプル検査装置は、前記テーブルが、前記表面と垂直な回転軸を有し、
前記第１チャック及び前記第２チャックが、前記回転軸を中心とした所定の円の周上に配置され、
前記テーブル駆動部が、
前記円の周上で隣接する１組の前記第１チャックと前記円の中心とが成す中心角の角度である第１角度で、前記回転軸を回転駆動することで、前記テーブルを前記第１間隔で駆動し、
前記円の周上で隣接する前記第１チャック及び前記第２チャックと前記円の中心とが成す中心角の角度である第２角度で、前記回転軸を回転駆動することで、前記テーブルを前記第２間隔で駆動すると、好ましい。
【００１２】
さらに、上記特徴のサンプル検査装置は、少なくとも１組の隣接する前記第１チャックの中間となる位置に、１つの前記第２チャックが配置されると、好ましい。
【００１３】
さらに、上記特徴のサンプル検査装置は、第１動作モードにおいて、前記テーブル駆動部が前記テーブルを前記第１間隔で順次駆動するように制御するとともに、第２動作モードにおいて、前記テーブル駆動部が前記テーブルを前記第２間隔で駆動した後、前記テーブルを前記第１間隔で順次駆動し、その後さらに前記テーブルを前記第２間隔で駆動するように制御する制御部を、さらに備えると、好ましい。
【００１４】
さらに、上記特徴のサンプル検査装置は、前記制御部が、
前記第１動作モードにおいて、前記テーブル駆動部が前記テーブルを前記第１間隔で順次駆動するように制御する際、前記検査部を制御して前記検査位置の前記第１チャックに配置されたサンプルを順次検査させるとともに、前記検査対象サンプル供給部を制御して前記検査対象サンプル供給位置の前記第１チャックにサンプルを順次配置し、前記検査対象サンプル回収部を制御して前記検査対象サンプル位置の前記第１チャックに配置されたサンプルを順次回収し、
前記第２動作モードにおいて、前記テーブル駆動部が前記テーブルを前記第１間隔で順次駆動するように制御する際、前記検査部を制御して前記第２チャックに配置されたサンプルを順次検査させると、好ましい。
【００１５】
さらに、上記特徴のサンプル検査装置は、異常を報知する報知部を、さらに備え、
前記制御部が、前記第２動作モードにおいて、前記テーブル駆動部が前記テーブルを前記第１間隔で順次駆動するように制御する際、前記検査部が出力する検査結果が所定の基準を満たしていないことを確認すると、前記報知部を制御して、異常を報知し得ると、好ましい。
【００１６】
さらに、上記特徴のサンプル検査装置は、前記制御部が、前記第２動作モードにおいて、前記テーブル駆動部が前記テーブルを前記第１間隔で順次駆動するように制御する際、前記検査部が出力する検査結果が、第１基準を満たしていないことを確認すると、前記報知部を制御して、前記第１基準を満たしていない検査結果が得られた前記第２チャックのサンプルの異常を報知すると、好ましい。
【００１７】
さらに、上記特徴のサンプル検査装置は、前記検査部の異常の有無を検証し、検証結果を出力する異常検証部を、さらに備え、
前記制御部が、前記第２動作モードにおいて、前記テーブル駆動部が前記テーブルを前記第１間隔で順次駆動するように制御する際、前記検査部が出力する検査結果が、第２基準を満たしていないことを確認すると、前記異常検証部を動作し、前記異常検証部が出力する検証結果が、前記検査部の異常を示すものであることを確認すると、前記報知部を制御して、前記検査部の異常を報知すると、好ましい。
【００１８】
さらに、上記特徴のサンプル検査装置は、前記異常検証部が、
所定の抵抗に所定の電流を流したときに当該抵抗に印加される電圧と、所定の抵抗に所定の電圧を印加したときに当該抵抗に流れる電流と、の少なくとも一方を検証結果として出力する第１異常検証部を含むと、好ましい。
【００１９】
さらに、上記特徴のサンプル検査装置は、  前記異常検証部が、
前記検査部が出力する出力結果と、前記検査部が検査するサンプルの温度特性と、に基づいて、前記検査部が当該サンプルを検査した際の雰囲気温度を推定し検証結果として出力する第２異常検証部を含むと、好ましい。
【００２０】
さらに、上記特徴のサンプル検査装置は、前記テーブルの駆動によって、所定の空間位置である校正用サンプル取扱位置となった前記第１チャックに、サンプルを供給して配置する校正用サンプル取扱部を、さらに備え、
前記制御部が、
前記第２動作モードにおいて、前記テーブル駆動部が前記テーブルを前記第１間隔で順次駆動するように制御する際、前記検査部が出力する検査結果が、前記第２基準を満たしていないことを確認するが、前記異常検証部が出力する検証結果が、前記検査部の異常を示すものではないことを確認すると、
前記テーブル駆動部が前記テーブルを前記第１間隔で順次駆動するように制御するとともに、前記校正用サンプル取扱部が前記校正用サンプル取扱位置の前記第１チャックにサンプルを供給して配置するように制御する、第３動作モードを実行し、
前記第３動作モードで前記検査部から出力される検査結果が、第３基準を満たさないことを確認すると、前記報知部を制御して、前記検査部の異常を報知し、
前記第３動作モードで前記検査部から出力される検査結果が、前記第３基準を満たすことを確認すると、当該検査結果に基づいて、これ以降に前記検査部から出力される検査結果に対する前記制御部の解釈方法を校正すると、好ましい。
【００２１】
さらに、上記特徴のサンプル検査装置は、前記校正用サンプル取扱部が、
サンプルが一列に配置されるカートリッジと、
前記カートリッジに配置されるサンプルを、前記校正用サンプル取扱位置となった前記第１チャックに供給して配置するとともに、前記校正用サンプル取扱位置となった前記第１チャックに配置されているサンプルを、前記カートリッジに回収して配置する校正用サンプル供給回収部と、
前記カートリッジを、前記カートリッジに配置されるサンプルの配列方向に沿って駆動するカートリッジ駆動部と、を備え、
前記供給回収部が、前記カートリッジに配置されるサンプルを前記第１チャックに供給すると、前記カートリッジ駆動部は、前記カートリッジを第１方向へ駆動し、
前記校正用サンプル供給回収部が、前記第１チャックに配置されるサンプルを前記カートリッジに回収すると、前記カートリッジ駆動部は、前記カートリッジを前記第１方向とは逆方向である第２方向へ駆動すると、好ましい。
【００２２】
さらに、上記特徴のサンプル検査装置は、前記第２チャックが前記検査位置以外である場合、前記第２チャックのサンプルが配置される空間を遮蔽し、前記テーブルの駆動によって前記第２チャックが前記検査位置となる場合、前記第２チャックに配置されるサンプルが前記検査部によって検査可能となるように、前記第２チャックのサンプルが配置される空間を開放する遮蔽部を、
さらに備えると、好ましい。
【発明の効果】
【００２３】
上記特徴のサンプル検査装置では、テーブルの駆動方法を変更することで、検査部が検査するサンプルの種類（第１チャックに配置されるサンプル及び第２チャックに配置されるサンプル）を、変更することができる。そのため、サンプル検査装置の動作内容に応じて作業者がサンプルを付け替えるなどの作業を、不要にすることができる。したがって、例えば点検動作などの検査精度を向上するための作業を、簡素化することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施形態に係るサンプル検査装置の概略構成例を示す模式図
【図２】本発明の実施形態に係るサンプル検査装置の概略構成例を示すブロック図
【図３】図１のサンプル検査装置の通常検査モードにおける状態を示す模式図
【図４】本発明の実施形態に係るサンプル検査装置の点検モード及び校正モードの動作を示すフローチャート
【図５】図１のサンプル検査装置の点検モードにおける状態を示す模式図
【図６】図１のサンプル検査装置の校正モード（校正用サンプル供給時）における状態を示す模式図
【図７】図１のサンプル検査装置の校正モード（校正用サンプル回収時）における状態を示す模式図
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態に係るサンプル検査装置について、図面を参照して説明する。なお、以下に示す本発明の実施形態に係るサンプル検査装置は、本発明のサンプル検査装置の一つの実施形態に過ぎず、本発明のサンプル検査装置は、当該実施形態のサンプル検査装置に対して種々の変更を加えて実現することが可能である。
【００２６】
また、以下では説明の具体化のため、ＬＥＤを検査するサンプル検査装置について例示するが、本発明のサンプル検査装置は、ＬＥＤ以外の素子等でも検査可能である。ただし、サンプル検査装置が実行するサンプルの検査方法を、検査対象のサンプルの種類に対応したものにすると、好ましい。
【００２７】
＜＜サンプル検査装置の構成例＞＞
最初に、サンプル検査装置の構成例について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施形態に係るサンプル検査装置の概略構成例を示す模式図である。また、図２は、本発明の実施形態に係るサンプル検査装置の概略構成例を示すブロック図である。なお、図１は、停止中のサンプル検査装置１の上面視の外観を、模式的に示したものである。
【００２８】
図１及び図２に示すように、サンプル検査装置１は、回転軸１１ａを有するテーブル１１と、テーブル１１の表面に配置された第１チャック１２と、テーブル１１の表面に配置された第２チャック１３と、所定の空間位置である検査位置Ｐ１の第１チャック１２または第２チャック１３に配置されるサンプルを検査する検査部１４と、所定の空間位置である検査対象サンプル供給位置Ｐ２の第１チャック１２に検査対象サンプルＳ１を供給して配置する検査対象サンプル供給部１５と、所定の空間位置である検査対象サンプル回収位置Ｐ３の第１チャック１２に配置された検査対象サンプルＳ１を回収する検査対象サンプル回収部１６と、所定の空間位置である校正用サンプル取扱位置Ｐ４の第１チャック１２に校正用サンプルＳ３を供給して配置する校正用サンプル取扱部１７と、検査部１４の異常を検証する異常検証部１８と、テーブル１１の回転軸１１ａを駆動するテーブル駆動部１９と、作業者に報知を行う報知部２０と、サンプル検査装置１の動作に必要なデータを記録する記録部２１と、作業者の操作を受け付ける操作部２２と、操作部２２を介して入力される作業者の指示に基づいてサンプル検査装置１全体の動作を制御する制御部２３と、を備える。
【００２９】
図１に示す構成例では、テーブル（例えば、インデックステーブル）１１は円形であり、その中心には、テーブル駆動部１９によって回転駆動される回転軸１１ａが備えられる。テーブル駆動部１９は、制御部２３によりその動作が制御される。
【００３０】
また、第１チャック１２及び第２チャック１３は、テーブル１１の表面上で、回転軸１１ａを中心とした所定の円の周上に一列に配置される。第１チャック１２は、当該円の周上に等間隔で配置され、第２チャック１３は、隣接する第１チャック１２の中間となる位置に１つずつ配置されている。この場合、隣接する第１チャック１２と当該円の中心とが成す中心角の角度Ａ１は、隣接する第１チャック１２及び第２チャック１３と当該円の中心とが成す中心角の角度Ａ２の２倍となる。また、隣接する第２チャック１３と当該円の中心とが成す中心角の角度は、角度Ａ１となる。
【００３１】
上記の配置例は一例に過ぎず、他の配置例を採用しても良い。例えば、第２チャック１３を配置する数が、第１チャック１２を配置する数より少なくても良い（例えば、第２チャック１３が３個、第１チャック１２が８個）。この場合、第２チャック１３が間に配置されない隣接する第１チャック１２が、少なくとも１組含まれることになる。また、この場合、隣接する第２チャック１３と上記円の中心とが成す角度は、角度Ａ１の倍数となる。
【００３２】
図１に示す例のように、上記円の周上に第１チャック１２及び第２チャック１３をそれぞれ８個ずつ配置する場合、角度Ａ１が４５度、角度Ａ２が２２．５度となる。なお、詳細については後述するが、制御部２３は、テーブル１１が角度Ａ１及び角度Ａ２のそれぞれで回転駆動するように、テーブル駆動部１９を制御する。また、第１チャック１２及び第２チャック１３は、配置されたサンプルを固定する機構（例えば、ツメや凹部、摩擦抵抗の高い領域など）があっても良いし、当該機構を備えなくても（サンプルが載せられるだけでも）良い。
【００３３】
図１に示す状態（停止状態）では、第１チャック１２にサンプルは配置されていないが、第２チャック１３には点検用サンプルＳ２が配置されている（例えば、常設されている）。第２チャック１３は、配置された点検用サンプルＳ２が配置された空間を遮蔽する遮蔽部１３ａ（斜線で図示した部分）を有しており、点検用サンプルＳ２が塵や埃などで汚染されないように保護する。そのため、点検用サンプルＳ２の劣化が抑制される。この遮蔽部１３ａは、点検モード（詳細は後述）において、第２チャック１３が検査位置Ｐ１になるときに、点検用サンプルＳ２が配置される空間を開放する（後述の図５参照）。これにより、検査部１４が、第２チャック１３に配置された点検用サンプルＳ２を検査可能になる。
【００３４】
検査部１４は、検査位置Ｐ１の第１チャック１２または第２チャック１３に配置されるサンプルに対して電気的及び光学的に接続し、当該サンプルの検査を行うとともに検査結果を制御部２３に出力する。制御部２３は、当該検査結果を必要に応じて記録部２１に記録したり、当該検査結果に応じてサンプル検査装置１の動作を制御したりする。
【００３５】
検査部１４は、サンプルであるＬＥＤと電気的に接続するものとして、ＬＥＤに所定の電圧または電流を供給して駆動（発光）させる電力供給装置（例えば、コンタクトプローブなど）や、ＬＥＤに印加される電圧やＬＥＤを流れる電流などを検出する電気特性評価装置を備える。また、検査部１４は、サンプルであるＬＥＤと光学的に接続するものとして、ＬＥＤが出射する光を評価する光学特性評価装置（例えば、フォトダイオードや分光光度計など）や、ＬＥＤが出射する光を光学特性評価装置の評価に適したものに変換、集積、伝達等を行う光学部品（例えば、視感度フィルタ、ＮＤフィルタ、拡散板、光学レンズ、積分球、光ファイバーなど）を備える。なお、これらは一例に過ぎず、上述のようにサンプル検査装置１が検査対象とするサンプルの種類や検査方法に応じて、検査部１４は適宜必要な装置や部品を備える。
【００３６】
検査対象サンプル供給部１５は、検査対象サンプル供給位置Ｐ２の第１チャック１２に、検査対象サンプルＳ１を供給して配置する。例えば、検査対象サンプル供給部１５は、通常検査モード（詳細は後述）において、テーブル１１の回転駆動により順次検査対象サンプル供給位置Ｐ２に来る第１チャック１２に対して、検査対象サンプルＳ１を順次供給及び配置可能なローダ（具体的に例えば、リニアフィーダなど）を備える。なお、検査対象サンプル供給部１５は、どのような方法（例えば、シュートやピックアップなど）で、第１チャック１２に検査対象サンプルＳ１を供給及び配置しても良い。例えば、検査対象サンプル供給部１５が、粘着シートなどに貼り付けられた検査対象サンプルＳ１をピックアップして、第１チャック１２に供給及び配置するものであっても良い。また、検査対象サンプル供給部１５の動作は、制御部２３によって制御される。
【００３７】
検査対象サンプル回収部１６は、検査対象サンプル回収位置Ｐ３の第１チャック１２に配置された検査対象サンプルＳ１を、回収する。例えば、検査対象サンプル回収部１６は、通常検査モード（詳細は後述）において、テーブル１１の回転駆動により順次検査対象サンプル回収位置Ｐ３に来る第１チャック１２に配置された検査対象サンプルＳ１を、順次回収可能なアンローダを備える。なお、検査対象サンプル回収部１６は、どのような方法（例えば、シュートやピックアップなど）で、第１チャック１２に配置された検査対象サンプルＳ１を回収しても良い。また、検査対象サンプル回収部１６の動作は、制御部２３によって制御される。
【００３８】
また、検査対象サンプル回収部１６は、第１チャック１２に配置された検査対象サンプルＳ１を回収する際、当該検査対象サンプルＳ１の分類を行うと、好ましい。この場合、検査部１４が出力する検査結果を確認した制御部２３が、検査対象サンプルＳ１の回収及び分類が同時に行われるように、検査対象サンプル回収部１６の動作を制御する。具体的に例えば、検査対象サンプル回収部１６が、良品及び不良品の分類や、良品における所定のランク（例えば、ＬＥＤが出射する光の色度や強度など）の分類に応じて、異なる収納ビン１６ａに回収した検査対象サンプルＳ１を分類して収納する。このとき、制御部２３は、記録部２１に記録されている分類方法に従った分類が行われるように、検査対象サンプル回収部１６を制御する。当該分類方法は、例えば予め作業者等が操作部２２を操作することで入力され、記録部２１に記録される。
【００３９】
校正用サンプル取扱部１７は、校正用サンプルＳ３が直線上に一列に配置されて収容されるカートリッジ１７ａと、当該カートリッジ１７ａを校正用サンプルＳ３の配列方向に沿って駆動するカートリッジ駆動部１７ｂと、カートリッジ１７ａに配置される校正用サンプルＳ３を校正用サンプル取扱位置Ｐ４の第１チャック１２に供給して配置するとともに、校正用サンプル取扱位置Ｐ４の第１チャック１２に配置される校正用サンプルＳ３を回収してカートリッジ１７ａに配置する校正用サンプル供給回収部１７ｃと、を備える。
【００４０】
校正用サンプル供給回収部１７ｃは、校正モード（詳細は後述）において、テーブル１１の回転駆動により順次校正用サンプル取扱位置Ｐ４に来る第１チャック１２に対して、カートリッジ１７ａに配置された校正用サンプルＳ３を、順次供給及び配置可能なローダを備えるとともに、テーブル１１の回転駆動により順次校正用サンプル取扱位置Ｐ４に来る第１チャック１２に配置された校正用サンプルＳ３を、順次回収してカートリッジ１７ａに配置可能なアンローダを備える。校正用サンプル供給回収部１７ｃは、どのような方法（例えば、シュートやピックアップなど）で校正用サンプルＳ３を供給及び回収しても良い。また、カートリッジ駆動部１７ｂ及び校正用サンプル供給回収部１７ｃの動作は、制御部２３によって制御される。
【００４１】
カートリッジ１７ａは、サンプル検査装置１から着脱自在であるため、例えば湿度や温度を一定に保持可能なデシケータ内に移動させることができる。したがって、校正用サンプルＳ３の劣化を、容易かつ効果的に抑制することが可能である。なお、校正用サンプルＳ３の劣化が問題にならない場合は、カートリッジ１７ａをサンプル検査装置１に常時接続させても良い。
【００４２】
異常検証部１８は、検査部１４の回路（例えば、検査結果を出力するための回路であり、電気特性や光学特性を評価する装置の一部。以下同じ。）の異常の有無を検証したり、検査部１４の検査状態の異常を検証したりする。具体的に例えば、異常検証部１８は、検査部１４内の回路の基準抵抗に所定の電流を流したときに当該基準抵抗に印加される電圧と、検査部１４内の回路の基準抵抗（上記の基準抵抗と同じものでも異なるものでも良い。以下同じ。）に所定の電圧を印加したときに当該基準抵抗に流れる電流と、の少なくとも一方を検証結果として出力する第１異常検証部１８ａと、検査部１４が検査するサンプルの温度特性（例えば、順方向電圧の温度特性）を参照して、検査部１４が出力した検査結果から、検査部１４が当該サンプルを検査した際の雰囲気温度を推定して出力する第２異常検証部１８ｂと、を備える。なお、図２では、異常検証部１８を、検査部１４及び制御部２３のそれぞれとは異なるもののように図示しているが、異常検証部１８の一部または全部が、検査部１４に含まれても良いし、制御部２３に含まれても良い。
【００４３】
第１異常検証部１８ａに関して、基準抵抗に印加される電圧や基準抵抗に流れる電流の、正常時（検査部１４内の回路に異常が無いと見なせる場合）の範囲を示すデータは、予め記録部２１に記録されている。また、第２異常検証部１８ｂに関して、サンプルの温度特性や、検査部１４の正常時の温度範囲（検査部１４が精度良く検査を行い得る温度範囲）を示すデータは、予め記録部２１に記録されている。
【００４４】
テーブル駆動部１９は、第１チャック１２及び第２チャック１３の配列方向に沿って、テーブル１１を駆動する。図１に示す例では、テーブル１１の回転軸１１ａを中心とした所定の円の周上に、第１チャック１２及び第２チャック１３が配列している。そのため、テーブル駆動部１９は、当該円の円周に沿ってテーブル１１を駆動すべく、回転軸１１ａを回転駆動する。さらに、図１に示す例では、テーブル１１が一方向（図中の時計回り方向。具体的に例えば、検査対象サンプル供給位置Ｐ２で第１検査対象サンプルＳ１が配置された第１チャック１２が、検査位置Ｐ１、検査対象サンプル回収位置Ｐ３の順に移動する方向。）に回転する。
【００４５】
報知部２０は、例えば画像表示装置やランプ、スピーカなどからなり、作業者の視覚や聴覚を通じて報知を行う。報知部２０は、検査部１４が出力する検査結果を確認した制御部２３によって制御され、当該検査結果に応じた内容（例えば、サンプル検査装置１の異常や、検査部１４が出力する検査結果など）を報知する。
【００４６】
記録部２１は、検査部１４が出力する検査結果や、検査部１４が出力する検査結果を制御部２３が解釈する際に適用する補正係数、制御部２３が実行するサンプル検査装置１の動作制御プログラムなど、サンプル検査装置１の動作に必要な各種データを記録する。
【００４７】
操作部２２は、作業者の操作が入力されるボタンやタッチパネル等から成る。作業者は、操作部２２の操作により制御部２３に対して指示を入力し、サンプル検査装置１を所望の動作モードで動作させたり、所定の動作を所望の実行状態（例えば、開始、終了、停止、再開など）に移行させたりする。
【００４８】
制御部２３は、例えばＣＰＵなどの演算装置を備え、上述のようにサンプル検査装置１の各部の動作を制御する。特に、制御部２３は、例えば操作部２２を介して入力される作業者の指示や検査部１４が出力する検査結果に応じて、適切な動作が行われるようにサンプル検査装置１の各部を制御する。
【００４９】
また、制御部２３は、所定の動作モード（例えば、通常検査モードや点検モード）でサンプル検査装置１を動作させるとき、検査部１４が出力する検査結果に対し、記録部２１に記録されている補正係数を適用（例えば、乗算）して、当該検査結果を解釈する。例えば、補正係数は、検査部１４が備える光学特性評価装置（例えば、フォトダイオード）が出力するデータ（例えば、電流値）を、所定の指標値（例えば、光量を示す値）に変換するための係数である。これにより、制御部２３は、検査部１４に検査されるサンプルの状態を、精度良く解釈することが可能になる。なお、報知部２０及び記録部２１が、補正係数を適用していない検査結果を報知または記録しても良いし、補正係数を適用した検査結果を報知または記録しても良いし、これらの両方を報知または記録しても良い。
【００５０】
なお、検査対象サンプルＳ１は、例えば出荷しようとする商品の一部または全部であり、特性が未知のサンプルである。また、点検用サンプルＳ２は、サンプル検査装置１が正常な検査を行い得るか否かを判断するために検査されるサンプルであり、特性が既知のサンプルである。また、校正用サンプルＳ３は、サンプル検査装置１が正常な検査を行い得る状態にする（校正する）ために検査されるサンプルであり、特性が既知のサンプルである。また、既知である点検用サンプルＳ２及び校正用サンプルＳ３の特性は、記録部２１に記録される。
【００５１】
＜＜サンプル検査装置の動作例＞＞
次に、サンプル検査装置の動作例について、図面を参照して説明する。なお、本発明の実施形態に係るサンプル検査装置１は、「通常検査モード」（第１動作モードに対応）、「点検モード」（第２動作モードに対応）及び「校正モード」（第３動作モードに対応）の３つの動作モードで動作し得る。以下、これらの動作モードについて、それぞれ説明する。
【００５２】
＜通常検査モード＞
通常検査モードは、サンプル検査装置１が、検査対象サンプルＳ１を順次検査する動作モードである。例えば、作業者が操作部２２を操作して、通常検査モードを実行する旨の指示を制御部２３に入力することで、通常検査モードが実行される。
【００５３】
図３は、図１のサンプル検査装置の通常検査モードにおける状態を示す模式図である。図３に示すように、通常検査モードでは、制御部２３が、テーブル駆動部１９がテーブル１１の回転軸１１ａを角度Ａ１で順次回転駆動するように、制御する。
【００５４】
さらに、制御部２３は、検査対象サンプル供給部１５が、テーブル１１の回転駆動により順次検査対象サンプル供給位置Ｐ２に来る第１チャック１２に対して、検査対象サンプルＳ１を順次供給及び配置するように、制御する。また、制御部２３は、検査部１４が出力する検査結果と、記録部２１に記録された当該検査結果に適用する補正係数と、記録部２１に記録された検査対象サンプルＳ１の分類方法と、をそれぞれ確認して、検査対象サンプル回収部１６が、テーブル１１の回転駆動により順次検査対象サンプル回収位置Ｐ３に来る第１チャック１２に配置される検査対象サンプルＳ１を順次回収し、回収した検査対象サンプルＳ１を収納ビン１６ａに分類して収納するように、制御する。
【００５５】
サンプル検査装置１は、通常検査モードで動作して検査対象サンプルＳ１の検査を行うことで、例えば出荷しようとする商品の状態（良品か否か、どのような特性を有しているか）を、検査することができる。
【００５６】
＜点検モード＞
点検モードは、サンプル検査装置１が、点検サンプルＳ２を順次検査する動作モードである。例えば、作業者が操作部２２を操作して、点検モードを実行する旨の指示を制御部２３に入力することで、点検モードが実行される。
【００５７】
図４は、本発明の実施形態に係るサンプル検査装置の点検モード及び校正モードの動作を示すフローチャートである。図４に示すように、点検モードが開始されると、制御部２３が、テーブル駆動部１９がテーブル１１の回転軸１１ａを角度Ａ２で回転駆動するように、制御する（ステップ＃１）。
【００５８】
このときのサンプル検査装置１の状態を、図５に示す。図５は、図１のサンプル検査装置の点検モードにおける状態を示す模式図である。上述の通常検査モードなど、通常の動作では、テーブル１１の回転軸１１ａが角度Ａ１で回転駆動されるため、第１チャック１２は検査位置Ｐ１になり得るが、第１チャック１２と角度Ａ２だけずれている第２チャック１３は、検査位置Ｐ１にはならない。しかし、上述のようにテーブル１１の回転軸１１ａを角度Ａ２だけ回転駆動すると、図５に示すように、第２チャック１３が検査位置Ｐ１になり得る状態となる。
【００５９】
第２チャック１３が検査位置Ｐ１になると、点検用サンプルＳ２が検査部１４によって検査可能となるように、遮蔽部１３ａが、第２チャック１３の点検用サンプルＳ２が配置された空間を開放する。そのため、検査部１４は、劣化が抑制された点検用サンプルＳ２を検査した検査結果を、出力することが可能になる。なお、図５では、検査位置Ｐ１の第２チャック１３の遮蔽部１３ａが二つに分かれることで、点検用サンプルＳ２が配置された空間が開放されるように図示しているが、これは一例に過ぎず、遮蔽部１３ａは当該空間をどのように開放しても良い。また、遮蔽部１３ａの開閉機構は、制御部２３によって開閉が制御されるものであっても良いし、検査位置Ｐ１に位置するか否かで自発的に（機械的に）開閉するものであっても良い。
【００６０】
制御部２３は、テーブル駆動部１９がテーブル１１の回転軸１１ａを角度Ａ１で順次回転駆動するとともに、検査部１４がテーブル１１の回転駆動により順次検査位置Ｐ１に来る第２チャック１３に配置された点検用サンプルＳ２を順次検査するように、それぞれ制御する（ステップ＃２）。さらに、制御部２３は、テーブル駆動部１９がテーブル１１の回転軸１１ａを角度Ａ２で回転駆動するように、制御する（ステップ＃３）。これにより、第１チャック１２が検査位置Ｐ１になり得る状態に戻る。
【００６１】
制御部２３は、検査部１４が出力する検査結果と、記録部２１に記録された当該検査結果に適用する補正係数と、記録部２１に記録された点検用サンプルＳ２の既知の特性と、をそれぞれ確認して、所定の基準を満たす検査結果が得られたか（補正係数を適用した検査結果が予期した通りであるか）否かを判断する（ステップ＃４）。即ち、サンプル検査装置１が、精度良くサンプルを検査することができるか否かを判断する。
【００６２】
具体的に例えば、制御部２３が、検査部１４が検査した全ての点検用サンプルＳ２について、補正係数を適用した検査結果が、それぞれの点検用サンプルＳ２に対して設定されている上限値以下及び下限値以上であることを確認すると、サンプル検査装置１が精度良くサンプルを検査することができると判断する（ステップ＃４、ＹＥＳ）。この場合、制御部２３は、点検モードを終了する。なお、制御部２３が、この点検モードが終了した後、それに続いて上述した通常検査モードが実行されるように、サンプル検査装置１の動作を制御しても良い。
【００６３】
一方、制御部２３が、検査部１４が検査した少なくとも１つの点検用サンプルＳ２について、補正係数を適用した検査結果が、当該点検用サンプルＳ２に対して設定されている上限値よりも大きいまたは下限値よりも小さいことを確認すると、サンプル検査装置１が精度良くサンプルを検査することができないと判断する（ステップ＃４、ＮＯ）。
【００６４】
このとき、制御部２３は、点検用サンプルＳ２に異常があるのか否かを判断する（ステップ＃５）。具体的に例えば、検査部１４が検査した点検用サンプルＳ２の全てについて、上記の基準が同様に満たされていなければ（補正係数を適用した検査結果が、全て上限値よりも大きいまたは全て下限値よりも小さければ）、制御部２３は、点検用サンプルＳ２以外の異常と判断する（ステップ＃５、ＮＯ）。
【００６５】
上記以外の場合、制御部２３は、点検用サンプルＳ２の異常と判断し（ステップ＃５、ＹＥＳ）、報知部２０を制御して、異常のある点検用サンプルＳ２（補正係数を適用した検査結果が、上限値よりも大きいまたは下限値よりも小さくなったもの）を作業者に対して報知する（ステップ＃６）。作業者は、報知部２０の報知内容を確認することで、異常のある点検用サンプルＳ２を容易につきとめ、交換することができる。そして、制御部２３は、操作部２２を介して作業者が異常を解消した旨の指示を入力するまで（ステップ＃７、ＮＯ）動作を停止させるが、当該指示が入力されれば（ステップ＃７、ＹＥＳ）、再度点検用サンプルＳ２の検査が行われるように制御する（ステップ＃１〜＃４）。
【００６６】
制御部２３が、点検用サンプルＳ２以外の異常と判断する場合（ステップ＃５、ＮＯ）、異常検証部１８を動作させて検査部１４の異常の有無を確認する。例えば、制御部２３は、第１異常検証部１８ａが出力する検証結果と、記録部２１に記録している検査部１４の正常時における検証結果の範囲を示すデータと、を比較することで、検査部１４の回路に異常があるか否かを判断する（ステップ＃８）。
【００６７】
制御部２３が、検査部１４の回路に異常があると判断すると（ステップ＃８、ＹＥＳ）、報知部２０を制御して、その旨を作業者に対して報知する（ステップ＃９）。作業者は、報知部２０の報知内容を確認することで、容易に検査部１４の異常をつきとめ、検査部１４を修理することができる。そして、制御部２３は、操作部２２を介して作業者が異常を解消した旨の指示を入力するまで（ステップ＃７、ＮＯ）動作を停止させるが、当該指示が入力されれば（ステップ＃７、ＹＥＳ）、再度点検用サンプルＳ２の検査が行われるように制御する（ステップ＃１〜＃４）。
【００６８】
一方、制御部２３が、検査部１４の回路に異常がないと判断すると（ステップ＃８、ＮＯ）、第２異常検証部１８ｂが出力する検証結果と、記録部２１に記録している検査部１４の正常時の温度範囲を示すデータと、を比較することで、検査部１４の検査時の雰囲気温度が異常であったか否かを判断する（ステップ＃１０）。
【００６９】
制御部２３が、検査部１４の検査時の雰囲気温度が異常であったと判断すると（ステップ＃１０、ＹＥＳ）、報知部２０を制御して、その旨を作業者に対して報知する（ステップ＃１１）。作業者は、報知部２０の報知内容を確認することで、容易に検査部１４の検査時の雰囲気温度が異常であることをつきとめ、当該雰囲気温度を正常に戻すことができる。そして、制御部２３は、操作部２２を介して作業者が異常を解消した旨の指示を入力するまで（ステップ＃７、ＮＯ）動作を停止させるが、当該指示が入力されれば（ステップ＃７、ＹＥＳ）、再度点検用サンプルＳ２の検査が行われるように制御する（ステップ＃１〜＃４）。
【００７０】
一方、制御部２３は、検査部１４の検査時の雰囲気温度が異常ではなかったと判断すると（ステップ＃１０、ＮＯ）、補正係数が異常な値になっていると推定し、以下の校正モードでサンプル検査装置１を動作させる。
【００７１】
＜校正モード＞
まず、制御部２３は、校正用サンプルＳ３が検査可能である（例えば、カートリッジ１７ａがサンプル検査装置１に取り付けられている）ことを確認するまで（ステップ＃１２、ＮＯ）、待機する。そして、制御部２３が、校正用サンプルＳ３が検査可能であることを確認すると（ステップ＃１２、ＹＥＳ）、テーブル駆動部１９がテーブル１１の回転軸１１ａを角度Ａ１で順次回転駆動するとともに、校正用サンプル取扱部１７がテーブル１１の回転駆動により順次校正用サンプル取扱位置Ｐ４に来る第１チャック１２に対して校正用サンプルＳ３を順次供給した後に順次回収し、検査部１４が検査位置Ｐ１の第１チャック１２に配置された校正用サンプルＳ３を順次検査するように、それぞれ制御する（ステップ＃１３）。
【００７２】
ステップ＃１３における校正用サンプル取扱部１７の動作について、図面を参照して説明する。図６及び図７は、図１のサンプル検査装置の校正モードにおける状態を示す模式図である。なお、図６は、校正用サンプル取扱部１７が、校正用サンプルＳ３を校正用サンプル取扱位置Ｐ４の第１チャック１２に供給及び配置する際の状態を示したものである。一方、図７は、校正用サンプル取扱部１７が、校正用サンプル取扱位置Ｐ４の第１チャック１２に配置された校正用サンプルＳ３を、回収する際の状態を示したものである。
【００７３】
まず、図６に示すように、校正用サンプル供給回収部１７ｃが校正用サンプルＳ３を校正用サンプル取扱位置Ｐ４の第１チャック１２に供給及び配置する毎に、カートリッジ駆動部１７ｂが、カートリッジ１７ａにおける校正用サンプルＳ３の配列方向（図中の左右方向）に沿って、カートリッジ１７ａを駆動する。図６では、カートリッジ１７ａが図中の右方向に駆動する場合を、例示している。
【００７４】
そして、校正用サンプル供給回収部１７ｃは、所定の数の校正用サンプルＳ３をカートリッジ１７ａから第１チャック１２に順次供給して配置すると、次に図７に示すように、校正用サンプル取扱位置Ｐ４の第１チャック１２に配置された校正用サンプルＳ３を順次回収して、カートリッジ１７ａに順次配置する。
【００７５】
このとき、校正用サンプル供給回収部１７ｃが校正用サンプル取扱位置Ｐ４の第１チャック１２に配置された校正用サンプルＳ３を回収してカートリッジ１７ａに配置する毎に、カートリッジ駆動部１７ｂが、カートリッジ１７ａにおける校正用サンプルＳ３の配列方向（図中の左右方向）に沿って、カートリッジ１７ａを駆動する。ただし、このときのカートリッジ１７ａの駆動方向は、図６に示した駆動方向の逆となる。図７では、カートリッジ１７ａが図中の左方向に駆動する場合を、例示している。
【００７６】
上述のように、校正用サンプルＳ３の劣化を抑制する必要がある場合、カートリッジ１７ａから第１チャック１２に供給した校正用サンプルＳ３を、当該第１チャック１２からカートリッジ１７ａに回収し、当該カートリッジ１７ａをデシケータ等に保管すると、取扱が容易になるため、好ましい。このとき、カートリッジ１７ａを図６及び図７に示すように駆動すると、校正用サンプルＳ３を順次供給及び順次回収するために校正用サンプル供給回収部１７ｃが駆動する範囲を、小さくすることが可能になる。より好適には、校正用サンプル供給回収部１７ｃが、校正用サンプルＳ３を順次供給する時も順次回収する時も、同じ空間位置で校正用サンプルＳ３を取り扱うことが可能になる。したがって、校正用サンプル供給回収部１７ｃの構成を、簡素化することが可能になる。
【００７７】
制御部２３は、検査部１４による校正用サンプルＳ３の検査が終了すると、検査部１４が出力する検査結果に基づいて、補正係数を算出する（ステップ＃１４）。このとき、制御部２３は、得られたそれぞれの検査結果（例えば、フォトダイオードの電流値）と、記録部２１に記録されている校正用サンプルＳ３から得られるべき指標値（例えば、光量を示す値）と、の関係に基づいて、補正係数を算出する。具体的に例えば、制御部２３は、検査結果と対応する指標値との関係を最小二乗法により求めることで、補正係数を算出する。
【００７８】
そして、制御部２３は、ステップ＃１４で算出した補正係数が、直前（または最初）に適用されていた補正係数に対して、所定の大きさである許容範囲を逸脱するほど変動したものであると（ステップ＃１５、ＮＯ）、補正係数の変化が大きすぎるため検査部１４の異常（例えば、積分球などの光学部品の異常）があり得ると判断して、報知部２０を制御し、その旨を作業者に対して報知する（ステップ＃１６）。作業者は、報知部２０の報知内容を確認することで、容易に検査部１４が異常であることをつきとめ、検査部１４を修理することができる。そして、制御部２３は、操作部２２を介して作業者が異常を解消した旨の指示を入力するまで（ステップ＃７、ＮＯ）動作を停止させるが、当該指示が入力されれば（ステップ＃７、ＹＥＳ）、再度点検用サンプルＳ２の検査が行われるように制御する（ステップ＃１〜＃４）。
【００７９】
一方、制御部２３は、ステップ＃１４で算出した補正係数が、直前（または最初）に設定されていた補正係数に対して、上記の許容範囲内で変動したものであると（ステップ＃１５、ＹＥＳ）、これ以降、当該補正係数を検査部１４の検査結果に適用するべく、記録部２１に当該補正係数を記録する（ステップ＃１７）。そして、制御部２３は、再度点検用サンプルＳ２の検査が行われるように制御する（ステップ＃１〜＃４）。
【００８０】
以上のように、サンプル検査装置１は、テーブル１１の駆動方法を変更することで、検査部１４が検査するサンプルの種類（例えば、第１チャック１２に配置される検査対象サンプルＳ１及び第２チャック１３に配置される点検用サンプルＳ２）を、変更することができる。そのため、サンプル検査装置の動作内容に応じて作業者がサンプルを付け替えるなどの作業を、無くすことができる。したがって、例えば点検などの検査精度を向上するための作業を、簡素化することが可能になる。
【００８１】
＜＜変形例＞＞
［１］  第１チャック１２及び第２チャック１３が、テーブル１１の表面上で所定の円の周上に一列に配置され、テーブル１１が回転駆動する場合について例示したが、テーブル１１の表面上で第１チャック１２及び第２チャック１３が所定の方向に沿って一列に配置され、テーブル１１が当該方向に沿って駆動する限り、他の配列方法及び駆動方法であっても良い。例えば、第１チャック１２及び第２チャック１３が、テーブル１１の表面上で直線上に一列に配置されるとともに、テーブル１１を当該直線方向に沿って駆動させても良い。この場合、テーブル１１は、隣接する第１チャック１２の間隔（第１間隔、上述の角度Ａ１に相当）と、隣接する第１チャック１２及び第２チャック１３の間隔（第２間隔、上述の角度Ａ２に相当）と、で直線方向に駆動される。
【００８２】
ただし、上述の実施形態のように、第１チャック１２及び第２チャック１３が、テーブル１１の表面上で所定の円の周上に一列に配置され、テーブル１１を回転駆動させる構成にすると、テーブル１１が空間内を移動しないようにする（その場で回転駆動させる）ことが可能になり、各位置Ｐ１〜Ｐ４の空間位置を固定することが可能になる。さらに、テーブル駆動部１９の構成を、簡素化することが可能になる。したがって、サンプル検査装置１の構成を、簡素化することが可能にある。
【００８３】
［２］  第１チャック１２及び第２チャック１３がともに８個である場合について例示したが、第１チャック１２が等間隔で配置されるとともに、少なくとも１組の隣接する第１チャック１２の間に少なくとも１つの第２チャックが配置される構成であれば、第１チャック１２及び第２チャック１３をそれぞれ何個ずつ備えても良い。どのような構成としても、第１間隔（角度Ａ１）及び第２間隔（角度Ａ２）でテーブル１１を駆動することで、第１チャック１２及び第２チャック１３を検査位置Ｐ１にすることができる。
【００８４】
ただし、少なくとも１組の隣接する第１チャック１２の中間に、１つの第２チャック１３を備える構成であると、各位置Ｐ１〜Ｐ４に位置し得るチャック１２，１３の種類を、簡易に切り替えることが可能になる。具体的には、第２間隔（角度Ａ２）でテーブル１１を駆動する毎に、各位置Ｐ１〜Ｐ４に位置し得るチャック１２，１３の種類を、切り替えることが可能になる。
【００８５】
［３］  上述の実施形態では、テーブル１１がある方向（例えば、図１中で時計回り方向）に回転するものとしたが、逆方向の回転を許容しても良い。例えば、テーブル１１が角度Ａ２で回転する場合（例えば、図４中ステップ＃１及び＃３）の少なくとも１つが、当該ある方向とは逆方向であっても良い。また、校正モードで動作する場合において、校正用サンプルＳ３を第１チャック１２へ供給する時（図６参照）と回収する時（図７参照）とで、回転方向を逆方向としても良い。
【００８６】
［４］  上述の実施形態における校正用サンプル取扱部１７のカートリッジ１７ａは、校正用サンプルＳ３が直線上に配列するものであるが、他の線上（例えば、円周上や円弧上）に配列するものであっても良いし、他の方向（例えば、図１等で図示した方向と垂直な方向）の直線上に配列するものであっても良い。
【００８７】
［５］  第１チャック１２及び第２チャック１３は、同じ構造や材質で構成されると、検査部１４の検査精度をより向上させることができるため、好ましい。ただし、検査対象のサンプルがＬＥＤなどの発光素子であると、サンプルと光学特性評価装置及び光学部品との位置関係が、第１チャック１２及び第２チャック１３の構造や材質よりも検査結果に大きく影響する。そのため、当該位置関係を再現性良く実現できれば、第１チャック１２及び第２チャック１３の構造や材質を、必ずしも同じにさせなくても良い。
【産業上の利用可能性】
【００８８】
本発明は、サンプルの検査を行うサンプル検査装置に適用可能である。例えば、出荷前のＬＥＤの検査を行うサンプル検査装置に適用すると、好適である。
【符号の説明】
【００８９】
１    ：    サンプル検査装置
１１  ：  テーブル
１１ａ：  回転軸
１２  ：  第１チャック
１３  ：  第２チャック
１４  ：  検査部
１５  ：  検査対象サンプル供給部
１６  ：  検査対象サンプル回収部
１７  ：  校正用サンプル取扱部
１７ａ：  カートリッジ
１７ｂ：  カートリッジ駆動部
１７ｃ：  校正用サンプル供給回収部
１８  ：  異常検証部
１８ａ：  第１異常検証部
１８ｂ：  第２異常検証部
１９  ：  テーブル駆動部
２０  ：  報知部
２１  ：  記録部
２２  ：  操作部
２３  ：  制御部
【図１】
0005525477.tif 000002
【図２】
0005525477.tif 000003
【図３】
0005525477.tif 000004
【図４】
0005525477.tif 000005
【図５】
0005525477.tif 000006
【図６】
0005525477.tif 000007
【図７】
0005525477.tif 000008