(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを複数収容するワーク収容部と、
開口部において粘着テープを介してワークを支持する環状フレームを複数収容するフレーム収容部と、
ワークが該環状フレームの開口部に位置する状態で該ワークと該環状フレームとを支持する支持テーブルを有する支持手段と、
該支持テーブルに支持された該環状フレーム及び該ワークに該粘着テープを貼着するテープ貼着手段と、
を備えた粘着テープ貼着装置であって、
該ワーク収容部はワークのサイズを検出するワークサイズ検出センサを有し、
該フレーム収容部は該環状フレームのサイズを検出するフレームサイズ検出センサを有し、
該テープ貼着手段は設置された該粘着テープのサイズを検出するテープサイズ検出センサを有し、
該支持手段は該支持テーブルのサイズを検出するテーブルサイズ検出センサを有し、
該粘着テープのサイズ、該環状フレームのサイズ及び該支持テーブルのサイズが該ワークのサイズに適しているか否かを判定する判定手段を有する粘着テープ貼着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、環状フレーム及び環状フレームの開口部に位置する各種ワークに対して粘着テープを貼着する粘着テープ貼着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣやＬＳＩ等のデバイスが表面に形成された半導体ウェーハ等のワークは、ダイシング装置等の分割装置によって個々のデバイスに分割され、各種電子機器に利用されている。また、近年では、デバイスが樹脂などでモールドされたＣＳＰ（Chip Size Package）等のパッケージデバイスが複数形成されたパッケージ基板についても、分割装置を用いて分割加工が行われている。
【０００３】
半導体ウェーハやパッケージ基板等のワークを分割するにあたっては、分割により形成された個々のチップやパッケージデバイスがバラバラにならないようにするために、分割前に粘着テープをワークに貼着することによってワークを支持する必要がある。また、粘着テープに貼着されたチップ等のその後の取り扱いを容易とするために、ワークの分割前に、粘着テープの周縁部に環状フレームを貼着し、ワークが粘着テープを介して環状フレームと一体化されて支持された状態とする必要もある。このように、ワーク及び環状フレームには粘着テープを貼着する必要があり、そのための装置も提供されている(例えば特許文献１参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１５８０３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、ワークには、例えば半導体ウェーハに限っても８インチウェーハや１２インチウェーハなど複数の大きさのものがあるため、ワークのサイズに適した環状フレームや粘着テープを装置にセットする必要があるが、オペレータのミスなどで誤ったサイズの粘着テープをワークに貼り付けたり、ワークの大きさに対応しない環状フレームをワークと一体化させて支持したりしてしまい、ワークが使い物にならなくなってしまうなどの問題が生ずることがあった。
【０００６】
本発明は、これらの事実に鑑みてなされたものであって、その主な技術的課題は、ワークに誤ったサイズのテープが貼着されたり、ワークを誤ったサイズのフレームで支持したりすることがない粘着テープ貼着装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、ワークを複数収容するワーク収容部と、開口部において粘着テープを介してワークを支持する環状フレームを複数収容するフレーム収容部と、ワークが環状フレームの開口部に位置する状態でワークと環状フレームとを支持する支持テーブルを有する支持手段と、支持テーブルに支持された環状フレーム及びワークに粘着テープを貼着するテープ貼着手段とを備えた粘着テープ貼着装置に関するもので、ワーク収容部はワークのサイズを検出するワークサイズ検出センサを有し、フレーム収容部は環状フレームのサイズを検出するフレームサイズ検出センサを有し、テープ貼着手段は設置された粘着テープのサイズを検出するテープサイズ検出センサを有し、支持手段は支持テーブルのサイズを検出するテーブルサイズ検出センサを有し、粘着テープのサイズ、環状フレームのサイズ及び支持テーブルのサイズがワークのサイズに適しているか否かを判定する判定手段を有する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る粘着テープ貼着装置は、ワークサイズ検出センサがワークのサイズを検出し、フレームサイズ検出センサがフレームのサイズを検出し、テープサイズ検出センサが粘着テープのサイズを検出し、テーブルサイズ検出センサが粘着テープのサイズを検出し、判定手段は、各センサの検出結果から、粘着テープ、環状フレーム及び支持テーブルのサイズがワークのサイズに適しているかどうかを判断することができるため、ワークに対して誤ったサイズのテープが貼着されたり、ワークを誤ったサイズのフレームで支持したり、ワークサイズに対応していない支持テーブルを設置したりするのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】テープ貼着装置の一例を示す斜視図である。
【図２】支持手段の一例を略示的に示す断面図である。
【図３】ワークサイズ検出センサの設置例を示す説明図である。
【図４】ワークサイズ検出センサの別の設置例を示す説明図である。
【図５】フレームサイズ検出センサの設置例を示す説明図である。
【図６】テープサイズ検出センサの設置例を示す説明図である。
【図７】テープサイズ検出センサの設置例を示す断面図である。
【図８】テーブルサイズ検出センサの設置例を示す説明図である。
【図９】ワーク及び環状フレームに粘着テープを貼着する状態を略示的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１に示すテープ貼着装置１は、支持手段２において支持されたワークＷ及び環状フレームＦに対してテープ貼着手段３が粘着テープＴを貼着する装置であり、予めワークＷはワーク収容部４に収容され環状フレームＦはフレーム収容部５に収容されている。
【００１１】
ワーク収容部４は、装置の後部側に向けて開口しワークＷを複数段収納することができるワークカセット４０と、ワークカセット４０のサイズを検出するワークサイズ検出センサ４１とを備えている。ワークサイズ検出センサ４１は、例えば上方に向けて発光する発光部とその反射光を受光する受光部とから構成される光学式センサであり、上方にワークカセット４０がある場合に反射光を受光してワークカセット４０の存在を検知する。ワークサイズ検出センサ４１は、ＣＰＵ、メモリ等を有する判定手段６と電気的に接続されており、判定手段６では、ワークサイズ検出センサ４１からの信号を読み出すことができる。なお、ワークＷは特に限定はされないが、例えばシリコンウェーハ、ガリウム砒素、シリコンカーバイド等の半導体ウェーハや、セラミック、ガラス、サファイア系の無機材料基板、ＬＣＤドライバ等の各種電子部品、さらには、ミクロンオーダーの加工位置精度が要求される各種加工材料が挙げられる。
【００１２】
フレーム収容部５は、中央に開口部Ｆ１を有する環状フレームＦを複数段収納することができるフレームカセット５０と、フレームカセット５０のサイズを検出するフレームサイズ検出センサ５１とを備えている。フレームカセット５０は、装置の後部側に向けて開口している。フレームサイズ検出センサ５１は、例えば上方に発光する発光部とその反射光を受光する受光部とから構成される光学式センサであり、上方にフレームカセット５０がある場合に反射光を受光してフレームカセット５０の存在を検知する。フレームサイズ検出センサ５１は、判定手段６と電気的に接続されており、判定手段６では、フレームサイズ検出センサ５１からの信号を読み出すことができる。なお、環状フレームＦは、フレームカセット５０に収容されていなくてもよく、装置内部に直接収容されている形態でも良い。
【００１３】
ワークカセット４０の後部側に対面する位置には、ワークカセット４０からワークを搬出して支持手段２に搬送するワーク搬送手段７が配設されている。ワーク搬送手段７は、ワークを吸着する吸着部７０と、水平方向の回転軸を中心として吸着部７０を回動させる回動部７１と、吸着部７０を所望の位置に移動させるアーム部７２とから構成される。
【００１４】
フレームカセット５０の後部側に対面する位置には、フレームカセット５０からワークを搬出して支持手段２に搬送するフレーム搬送手段８が配設されている。フレーム搬送手段８は、ワークを吸着する吸着部８０と、水平方向の回転軸を中心として吸着部８０を回動させる回動部８１と、吸着部８０を所望の位置に移動させるアーム部８２とから構成される。
【００１５】
フレーム搬送手段８を構成する吸着部８０の可動範囲には、ワークＷ及び環状フレームＦに粘着テープＴが貼着されることにより環状フレームＦと一体になって支持されたワークＷが収容されるテープ貼着済みワーク収容部９が配設されている。テープ貼着済みワーク収容部９は、例えばフレームカセット５０と同サイズのフレームカセットによって構成される。
【００１６】
図２に示すように、支持手段２は、載置されたワークＷ及び環状フレームＦを支持する支持テーブル２０と、支持テーブル２０を下方から支持する基台２１と、支持テーブル２０及び基台２１を前後方向（図１及び図２におけるＡ方向及びＢ方向）に移動させる移動機構２２と、支持テーブル２０、基台２１及び移動機構２２を昇降させる昇降手段２３とを備えている。
【００１７】
支持テーブル２０は、基台２１に対して着脱可能であり、ワークＷ及び環状フレームＦの大きさに対応したものを基台２１に取り付けることができる。図２に示すように、支持テーブル２０の中心部にはワークＷを吸着するワーク吸着部２０ａを備え、その周囲には環状フレームＦを吸着するフレーム吸着部２０ｂを備えている。ワーク吸着部２０ａの下方には、ワーク吸着部２０ａと図示しない吸引源とを連通させる吸引路２０ｃが形成され、フレーム吸着部２０ｂの下方には、フレーム吸着部２０ｂと図示しない吸引源とを連通させる吸引路２０ｄが形成されている。ワークＷは、環状フレームＦの開口部に位置した状態で、支持テーブル２０に支持される。
【００１８】
図１に示すように、移動機構２２は、装置の前後方向の回転軸を有するボールスクリュー２２０と、ボールスクリュー２２０と平行に配設された一対のガイドレール２２１と、ボールスクリュー２２０を回動させるモータ２２２とを有し、図２に示すように、基台２１の下部に備えたナットがボールスクリュー２２０に螺合しており、ボールスクリュー２２０の回動によって保持テーブル２０がＡ方向またはＢ方向に移動する構成となっている。
【００１９】
図２に示すように、昇降手段２３は、シリンダ２３０が昇降ベース２３１を昇降させる構成となっており、昇降ベース２３１の昇降によって支持テーブル２０、基台２１及び移動機構２２を昇降させる構成となっている。
【００２０】
図１に示すように、テープ貼着手段３は、剥離紙１００ａの一方の面に環状フレームＦと外径がほぼ等しい粘着テープＴが貼着されて構成されるテープ保持シート１００を保持して送り出す送り機構３０と、テープ保持シート１００の送り出し方向の下流側に配設され粘着テープＴが剥離された後の剥離紙１００ａを巻き取る巻き取り機構３１と、剥離紙１００ａから粘着テープＴを剥離する剥離部材３２と、剥離紙１００ａから剥離された粘着テープＴをワークＷ及び環状フレームＦに対して押圧する押圧ローラ３３とを備えている。
【００２１】
送り機構３０は、テープ保持シート１００がロール状に巻回されている保持ローラ３００と、テープ保持シート１００を送り出す２つの送りローラ３０１とから構成される。巻き取り機構３１は、剥離紙１００ａを挟み込んで回転することにより剥離紙１００ａを引き込むための引き込みローラ３１０と、引き込んだ剥離紙１００ａを巻き取って保持する巻き取りローラ３１１とを備えている。剥離部材３２は、送り機構３０の下方に配設され、先端が鋭角状に形成されており、テープ保持シート１００に対して急峻な曲がりを与えることによって剥離紙１００ａから粘着テープＴを剥離する。押圧ローラ３３は、剥離された粘着テープＴの上方に位置し、下方に位置するワークＷ及びフレームに対して粘着テープＴを押圧することによって粘着テープＴをワークＷ及び環状フレームＦに貼着する。保持ローラ３００に巻かれたテープ保持シート１００は、２つの送りローラ３０１の間を通り、剥離部材３２の先端に掛け回され、さらに２つの引き込みローラ３１０の間を通って巻き取りローラ３１１に巻きつけられる。
【００２２】
ワーク収容部４においては、ワークのサイズごとに対応した大きさを有するワークカセット４０が設置される。例えばワークが半導体ウェーハであり、テープ貼着対象として８インチウェーハと１２インチウェーハとがある場合は、図３に示すように、ワーク収容部４に、８インチ用設置位置４２と、１２インチ用設置位置４３とが存在する。この場合においては、図３に示すように、８インチ用設置位置４２の外側でかつ１２インチ用設置位置４３の内側にワークサイズ検出センサ４１を設置する。そうすると、８インチ用設置位置４２にワークカセットが設置された場合にはワークサイズ検出センサ４１はワークカセットを検出しないためオフとなり、１２インチ用設置位置４３に設置された場合にはワークサイズ検出センサ４１はワークカセットを検出するためオンとなる。したがって、ワークサイズ検出センサ４１と接続された判定手段６は、ワークサイズ検出センサ４１の状態から、ワーク収容部４にどの大きさのワークカセットが設置されているかを判断し、それによって、そのワークカセットに収容されているワークのサイズを判断することができる。
【００２３】
図４に示すように、８インチ用設置位置４２の内側でかつ１２インチ用設置位置４３の内側にワークサイズ検出センサ４１ａを設置し、８インチ用設置位置４２の外側でかつ１２インチ用設置位置４３の内側にワークサイズ検出センサ４１ｂを設置し、ワークサイズ検出センサ４１ａ、４１ｂの状態を判定手段６において読み出せる構成としてもよい。この場合は、２つのワークサイズ検出センサ４１ａ、４１ｂの状態の組み合わせによって、図３の例のように１つのワークサイズ検出センサ４１のみを設置した場合よりも詳細な判断が可能となる。例えば、図３の例においては、ワークサイズ検出センサ４１がワークカセットを検出しないためにオフである場合は、判定手段６は、８インチ用設置位置４２に８インチ用ワークカセットが載置されているのか、載置されていないのかを判断することができないが、図４の例のように２つのワークサイズ検出センサ４１ａ、４１ｂをそれぞれ設置した場合は、ワークサイズ検出センサ４１ａ、４１ｂが双方ともオフの場合にはワークカセットが載置されていないと判断し、ワークサイズ検出センサ４１ａがオンでありかつワークサイズ検出センサ４１ｂがオフである場合には、８インチ用ワークカセットが載置されていると判断することができる。ワークのサイズが３種類以上ある場合も、ワークサイズ検出センサを３つ以上配設することにより、どのサイズのワークかを判断することができる。
【００２４】
環状フレームＦは、ワークＷのサイズに応じてサイズが異なるものを使用するため、図１に示したフレームカセット５０にも、８インチウェーハ用のフレームである８インチ対応フレームを収容する８インチ対応フレームカセットと、１２インチウェーハ用のフレームである１２インチ対応フレームを収容する１２インチ対応フレームカセットとがある。そして、これに対応して、フレーム収容部５には、図５に示すように、８インチ対応フレーム用設置位置５２と、１２インチ対応フレーム用設置位置５３とが存在する。そして、ワークサイズ検出センサの場合と同様に、８インチ対応フレーム用設置位置５２の外側でかつ１２インチ対応フレーム用設置位置５３の内側にフレームサイズ検出センサ５１を設置すると、フレームカセットが８インチ対応フレーム用設置位置５２に設置された場合にはフレームサイズ検出センサ５１はオフとなり、１２インチ対応フレーム用設置位置５３に設置された場合にはフレームサイズ検出センサ５１はオンとなる。したがって、フレームサイズ検出センサ５１と接続された判定手段６は、フレームサイズ検出センサ４１の状態から、フレーム収容部５にどの大きさのフレームカセットが設置されているかを判断し、それによって、そのフレームカセットに収容されているフレームがどのサイズのワーク用のものであるかを判断することができる。フレームサイズ検出センサ５１に加えて、８インチ対応フレーム用設置位置５２の内側でかつ１２インチ対応フレーム用設置位置５３の内側にもフレームサイズ検出センサ５１ａを設置すると、２つのフレームサイズ検出センサ５１、５１ａの状態を判定手段６において読み出せる構成とすると、ワークサイズ検出センサの場合と同様に、８インチ対応フレーム用設置位置５２にフレームカセットがあるかどうかを判断することができる。
【００２５】
図１に示すように、送り機構３０において、保持ローラ３００と送りローラ３０１との間には、粘着テープＴのサイズを検出するテープサイズ検出センサ３４が配設されている。このテープサイズ検出センサ３４は、図示の例では断面コの字型（９０度倒したＵ字型）に形成されており、図６に示すように、幅の異なるテープ保持シート１０１、１０２がある場合は、幅が広い方の粘着テープ１０１を挟むようにして配設される。
【００２６】
図７に示すように、テープサイズ検出センサ３４は、発光部３４０ａと受光部３４０ｂとが光軸を共通にするよう対向し、受光部３４０ｂが判定手段６に接続されて構成されており、発光部３４０ａから発光した光３４０が遮られて受光部３４０ｂにおいて受光しない場合は幅の広いテープ保持シート１０１であると判断し、受光部３４０ｂにおいて光を受光した場合は幅の狭いテープ保持シート１０２であると判断する。なお、図７に示すように、発光部３４０ａ及び受光部３４０ｂに加えて、発光部３４１ａと受光部３４１ｂとを対面させて配設し、その光軸が幅の狭いテープ保持シート１０２によって遮られるように配置すれば、テープ保持シート１０２が存在するかどうかも検出することができる。各テープ保持シートの幅とそれに含まれる粘着テープのサイズとは対応しているため、テープサイズ検出センサ３４は、テープ保持シートの幅を検出することにより、粘着テープのサイズを検出することができる。
【００２７】
図２に示した基台２１の上面には、支持テーブル２０のサイズを検出するテーブルサイズ検出センサ２１０ａが配設されている。ワークＷが８インチと１２インチの場合は、図８に示すように、テーブルサイズ検出センサ２１０ａは、８インチ用支持テーブル設置位置２１ａの周縁の外側でかつ１２インチ用支持テーブル設置位置２１ｂの周縁の内側の位置に配置される。テーブルサイズ検出センサ２１０ａは、判定手段６と電気的に接続されており、判定手段６では、テーブルサイズ検出センサ２１０ａからの信号を読み出すことができる。テーブルサイズ検出センサ２１０ａは、例えば上方に発光する発光部とその反射光を受光する受光部とから構成される光学式センサであり、上方に１２インチ用支持テーブルがある場合に反射光を受光してその存在を検知する。一方、反射光を受光しない場合は、１２インチ用支持テーブルは存在しないと判断する。なお、８インチ用支持テーブル設置位置２１ａの周縁の内側にもテーブルサイズ検出センサ２１０ｂを配置すれば、８インチ用支持テーブルの有無についても判断することができる。
【００２８】
図１に示した粘着テープ貼着装置１において、ワークＷ及び環状フレームＦに対して粘着テープＴを貼着するには、ワークＷが収容されたワークカセット４０をワーク収容部４に設置し、環状フレームＦが収容されたフレームカセット５０をフレーム収容部５に設置し、粘着テープＴをテープ貼着手段３にセットし、支持手段２に支持テーブル２０を取り付ける。そして、判定手段６は、ワークサイズ検出センサ４１の検出結果から、ワークカセット４０に収容されているワークのサイズを判断する。例えば図３に示したワークサイズ検出センサ４１がオンであればワークサイズが１２インチであると判断し、ワークサイズ検出センサ４１がオフであればワークサイズが８インチであると判断し、その判断結果を記憶させておく。
【００２９】
次に、判定手段６は、フレームサイズ検出センサ５１、テープサイズ検出センサ３４及びテーブルサイズ検出センサ２１０ａの検出結果を読み出し、それぞれの検出結果から、環状フレームＦのサイズ、粘着テープＴのサイズ及び支持テーブル２０のサイズが、ワーク収容部４に収容されたワークに対応しているかどうかを判定する。そして、いずれかがそのワークに対応していない場合は、判定手段６は、エラーと判定し、警報を発するなどしてオペレータに対してサイズが誤っているものの取り替えを促す。また、判定手段６は、図５に示したフレームサイズ検出センサ５１ａがオフであればフレームカセットが設置されていないと判断し、図７に示した受光部３４１ｂにおける受光を検出した場合はテープ保持シートがセットされていないと判断し、図８に示したテーブルサイズ検出センサ２１０ｂがオフであれば支持テーブルが設置されていないと判断し、いずれもエラーとしてその旨をオペレータに報知し、フレームカセット、テープ保持シートまたは支持テーブルの準備を促す。一方、環状フレームＦのサイズ、粘着テープＴのサイズ及び支持テーブル２０のサイズがすべてワーク収容部４に収容されたワークに対応していると判定手段６が判定した場合は、テープ貼着作業を開始する。
【００３０】
ワークサイズに対応した適切なフレームカセット５０、テープ保持シート１００、支持テーブル２０がセットされると、まず、支持テーブル２０を装置前部側に位置させる。そして、ワーク搬送手段７を構成する吸着部７０をワークカセット４０に進入させてワークＷを吸着し、吸着部７０をワークカセット４０の外部に退避させてワークＷを支持テーブル２０に搬送し、吸着部７０による吸着を解除して支持テーブル２０に載置する。環状フレームＦについても、フレーム搬送手段８を構成する吸着部８０をフレームカセット５０に進入させて環状フレームＦを吸着し、吸着部８０をフレームカセット５０の外部に退避させて環状フレームＦを支持テーブル２０に搬送し、吸着部８０による吸着を解除して支持テーブル２０に載置する。こうして、図９に示すように、環状フレームＦの開口部Ｆ１にワークＷが位置した状態となる。
【００３１】
次に、支持テーブル２０をＢ方向に移動させて装置後部側に位置させ、図９に示すように、昇降手段２３によって支持テーブル２０、基台２１及び移動機構２２を上昇させる。そして、支持テーブル２０をＡ方向に移動させながら、保持ローラ３００に巻かれているテープ保持シート１００を送りローラ３０１によって送り出し、剥離部材３２の先端において剥離紙１００ａから粘着テープＴを剥離させ、テープ保持シート１００のうち剥離紙１００ａのみを巻き取り機構３１によって巻き取り、押圧ローラ３３を下降させて粘着テープＴを環状フレームＦ及びワークＷに対して押圧すると、環状フレームＦ及びワークＷの上面全面に粘着テープＴが貼着される。このようにして、環状フレームＦの開口部Ｆ１に位置するワークＷは、粘着テープＴを介して環状フレームＦによって支持された状態となる。
【００３２】
こうして粘着テープＴを介してフレームＦと一体となったワークＷは、支持テーブル２０がＡ方向にさらに移動することにより、図１に示す粘着テープ貼着装置１の前部側に位置付けされる。そして、フレーム搬送手段８を構成する吸着部８０によってフレームＦが吸着された後、吸着部８０がテープ貼着済みワーク収容部９に進入し、吸着を解除してテープ貼着済みワーク収容部９に粘着テープ貼着済みのワークＷを収容する。
【００３３】
１枚のワークＷ及びその周囲の環状フレームＦに対して粘着テープＴが貼着されると、新たに粘着テープＴの貼着対象となるワークＷがワーク搬送手段７によって支持テーブル２０に搬送されるとともに、新たな環状フレームＦがフレーム搬送手段８によって支持テーブル２０に搬送され、上記と同様の動作によって粘着テープＴの貼着が行われ、テープ貼着済みワーク収容部９に順次収容されていく。
【００３４】
粘着テープＴの貼着前に、フレーム収容部５にセットされている環状フレームＦのサイズ、粘着テープ貼着手段３にセットされている粘着テープのサイズ、及び支持テーブルのサイズが、ワーク収容部４にセットされたワークサイズに対応しているか否かを判定手段６が判定し、対応していない場合は粘着テープＴの貼着を開始しないため、ワークのサイズにあっていない環状フレームに対して粘着テープを貼着したり、ワークのサイズにあっていない粘着テープを貼着したり、ワークのサイズにあっていない支持テーブルをセットしたりするのを未然に防止することができる。
【００３５】
本実施形態では、ワークサイズ検出センサ、フレームサイズ検出センサ、テープサイズ検出センサ及びテーブルサイズ検出センサとして光学式センサを用いたが、他のタイプのセンサを使用してもよい。
【符号の説明】
【００３６】
１：テープ貼着装置
２：支持手段
２０：支持テーブル
２０ａ：ワーク吸着部  ２０ｂ：フレーム吸着部  ２０ｃ、２０ｄ：吸引路
２１：基台  ２１０ａ、２１０ｂ：テーブルサイズ検出センサ
２１ａ：８インチ用支持テーブル設置位置  ２１ｂ：１２インチ用支持テーブル設置位置
２２：移動機構  ２２０：ボールスクリュー  ２２１：ガイドレール  ２２２：モータ
２３：昇降手段  ２３０：シリンダ  ２３１：昇降ベース
３：テープ貼着手段
３０：送り機構  ３００：保持ローラ  ３０１：送りローラ
３１：巻き取り機構  ３１０：引き込みローラ  ３１１：巻き取りローラ
３２：剥離部材  ３３：押圧ローラ
３４：テープサイズ検出センサ
３４０ａ、３４１ａ：発光部  ３４０ｂ、３４１ｂ：受光部
４：ワーク収容部
４０：ワークカセット  ４１、４１ａ、４１ｂ：ワークサイズ検出センサ
４２：８インチ用設置位置  ４３：１２インチ用設置位置
５：フレーム収容部
５０：フレームカセット  ５１、５１ａ：フレームサイズ検出センサ
５２：８インチ対応フレーム用設置位置  ５３：１２インチ対応フレーム用設置位置
６：判定手段
７：ワーク搬送手段  ７０：吸着部  ７１：回動部  ７２：アーム部
８：フレーム搬送手段  ８０：吸着部  ８１：回動部  ８２：アーム部
９：テープ貼着済みワーク収容部
１００、１０１、１０２：テープ保持シート  １００ａ：剥離紙
Ｗ：ワーク  Ｆ：フレーム  Ｔ：テープ
【図１】
0005530801.tif 000002
【図２】
0005530801.tif 000003
【図３】
0005530801.tif 000004
【図４】
0005530801.tif 000005
【図５】
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【図６】
0005530801.tif 000007
【図７】
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【図８】
0005530801.tif 000009
【図９】
0005530801.tif 000010