(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
架台上のガイドレール上を走行する版テーブルに保持させた版に、ブランケットロールを上方より接触させ、次いで、該ブランケットロールを、上記ガイドレール上を走行する印刷対象テーブルに保持させた印刷対象に、上方より接触させることで、上記版からブランケットロールへの転写と、ブランケットロールから印刷対象への再転写を行わせるようにするオフセット印刷方法において、上記版テーブルの上部に設けたアライメントステージ上に版を保持させると共に、上記印刷対象テーブルの上部に設けたアライメントステージ上に印刷対象６を保持させて、上記版に対して上記ブランケットロールを接触させる間、上記版テーブルのアライメントステージを、該アライメントステージにおける複数の駆動ユニットにより支持したトッププレートに対して、上記各駆動ユニットより力を付与させ、且つ該各駆動ユニットよりトッププレートに付与する力の合力を相殺するよう制御させるようにしてトルク一定制御し、次いで、上記ブランケットロールを、上記印刷対象に接触させるときに、上記印刷対象テーブルのアライメントステージを、上記版にブランケットロールを接触させる間に上記トルク一定制御した版テーブルのアライメントステージに生じた変位に追従させるよう位置制御することを特徴とするオフセット印刷方法。
【請求項２】
架台上に設けたガイドレール上を走行する版テーブルと印刷対象テーブルを備え、上記版テーブルに保持させた版と、上記印刷対象テーブルに保持させた印刷対象に、ブランケットロールを上方より順次接触させることで、上記版からブランケットロールへの転写と、ブランケットロールから印刷対象への再転写を行わせるようにしてあるオフセット印刷装置において、上記版テーブルの上部にアライメントステージを設けて該アライメントステージ上に版を保持できるようにすると共に、上記印刷対象テーブルの上部にアライメントステージを設けて該アライメントステージ上に印刷対象を保持できるようにし、更に、上記版テーブル上の版に対して上記ブランケットロールを接触させるときに上記版テーブルのアライメントステージをトルク一定制御する機能と、上記ブランケットロールを上記印刷対象テーブル上の印刷対象に接触させるときに上記印刷対象テーブルのアライメントステージを、上記版にブランケットロールを接触させる間に上記トルク一定制御した版テーブルのアライメントステージに生じた変位に追従させるよう位置制御する機能と、を有するコントローラ１８を備え、上記版テーブルのアライメントステージのトルク一定制御は、該アライメントステージにおける複数の駆動ユニットにより支持したトッププレートに対して、上記各駆動ユニットより力を付与させ、且つ該各駆動ユニットよりトッププレートに付与する力の合力を相殺するように制御してなる構成を有することを特徴とするオフセット印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に電極パターンを印刷により形成させる場合のように、印刷対象に精細な印刷を高い印刷精度で行うために用いるオフセット印刷方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイ等の電極パターン（導電パターン）を所要の基板上に形成する手法として、金属蒸着膜のエッチング等による微細加工に代えて、導電性ペーストを印刷インクとして用いた印刷技術、たとえば、凹版オフセット印刷技術を用いて基板上に電極パターンを印刷して形成する手法が提案されてきている（たとえば、特許文献１、特許文献２参照）。
【０００３】
上記液晶ディスプレイ等の電極パターンを基板に形成する場合は、電極幅として、たとえば、１０μｍ程度と微細なものが要求されることがある。更に、基板上に複数の電極パターンを重ね合わせて形成することがあり、この場合は版を代えて電極パターンの重ね刷りを行うことになるが、印刷位置がずれると電極パターンが崩れてしまうことから、精度は対象によって多少異なるが、上記電極幅を１０μｍ程度とするような精細な電極パターンでは、重ね合わせずれを数μｍに抑えることが必要とされることもある。そのため、上記基板上への電極パターンの印刷は、紙等に文字や画像を印刷する通常の凹版オフセット印刷に比して高い印刷精度が要求される。
【０００４】
オフセット印刷における印刷精度を向上させる条件の１つとしては、ブランケットロールを版に接触させて転写（受理）処理を行わせる際や、ブランケットロールを印刷対象となる基板に接触させて再転写（印刷）処理を行わせる際に、上記ブランケットロールと版又は基板との相対位置の再現性を均一にすることが挙げられる。これは、上記転写処理でインクを版からブランケットロール表面へ吸着させるときや、再転写処理で該ブランケットロール表面のインクを基板へ移す（再転写させる）ときにブランケットロールと版又は基板との相対位置の位置ずれが生じると、印刷精度が悪くなり、特に、重ね刷りの場合は、印刷精度が悪化すると、重ね合わせて形成すべき複数の電極パターンの重ね合わせずれが許容範囲内に収まらなくなる虞が生じるためである。
【０００５】
ところで、凹版オフセット印刷の印刷精度を向上させるための手法の１つとして、たとえば、ベアラロール（円筒状当接部）を有するローラ（ブランケットロール）と、平板状の板状体を支持すると共に上記ベアラロールに当接するベアラレール（平面状当接部）を有する本体とを備えて、上記ベアラロールのベアラレールに対する接触力を調整することで、上記ローラと平板状の板状体との相対移動量を調整することが従来提案されている（たとえば、特許文献３参照）。
【０００６】
又、オフセット印刷の印刷精度を向上させるための別の手法としては、たとえば、平らな版が載置される版定盤を支持する版テーブル（版台車）と、印刷対象（被印刷物）となるガラス基板が載置される印刷定盤を支持する基板テーブル（印刷台車）とを、同一のガイドレール（レール）に走行（往復動）可能に設けてなる構成として、上記ガイドレールに沿って走行する上記版テーブルと基板テーブルがブランケットロールの直下位置を順次通過するときに、該版テーブル上の版と、基板テーブル上のガラス基板に、転動させた上記ブランケットロールを上方より順に接触させることでオフセット印刷を行うようにすることが提案されている。この手法によれば、上記ガイドレールのブランケットロールの直下となる個所での真直度が低下していても、同一のガイドレールで案内される上記版テーブル及び基板テーブルの姿勢の傾きが互いに同一となることで、上記ブランケットロールに接触する版とガラス基板との姿勢誤差を抑制できるとされている（たとえば、特許文献４参照）。
【０００７】
なお、液晶ディスプレイや半導体の製造工程では、積層する部材や層の重ね合わせ精度を確保する必要がある。そのため、３基又は４基の駆動ユニット（直動機構）を備えたアライメントステージ上に、ワークを保持させるようにして、上記ワークに予め設けてあるアライメントマークの位置が、基準位置よりずれている場合は、上記アライメントステージにより、上記ワークについて、ＸＹ直交座標平面における配置と、回転角度θの３軸のアライメントを取るようにすることが、一般的に行われている（たとえば、特許文献５参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許第２７９７５６７号公報
【特許文献２】特許第３９０４４３３号公報
【特許文献３】特開２００６−１４２７６４号公報
【特許文献４】特開２００８−１２９３６２号公報
【特許文献５】特開２００５−１４８０４５号公報（図１、図１２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところが、上記特許文献４に示されたものは、版を保持する版テーブルと、印刷対象となるガラス基板を保持する基板テーブルを、同一のガイドレールで案内するようにしてあるため、ブランケットロールの直下位置を通過する版テーブル及び基板テーブルの姿勢の傾きを同一にして、上記ブランケットロールに接触する版とガラス基板との姿勢誤差を抑制できる点では有効である。
【００１０】
しかし、加工精度の関係で、上記ブランケットロールの回転中心が偏心していたり、ブランケットロールの軸心方向の一方の端部の径が、他方の端部の径よりも大きくて、ブランケットロールが全体でテーパー状となっていたり、ブランケットロールの外周部に設けてあるブランケットの厚みが均一ではなかったり、更には、ガイドレールの歪み等の影響により、上記ブランケットロールの外周面と、版や印刷対象となるガラス基板との間に生じる相対移動の位置ずれについては、上記特許文献４に記載されたものでは対応することが困難である。
【００１１】
すなわち、たとえば、ブランケットロールが、軸心方向一端部の径が軸心方向他端部の径よりも大きいテーパー状になっていると、該ブランケットロールの回転時には、軸心方向の一端寄り個所の周速の方が、軸心方向他端寄り個所の周速よりも速くなってしまう。そのため、このブランケットロールを回転させた状態で版テーブル上に保持させた版や、基板テーブル上に保持させた印刷対象となるガラス基板に接触させると、上記ブランケットロールの外周面と、上記版や基板等の印刷対象との相対移動速度が、ブランケットロールの軸心方向に沿って不均一になり、上記ブランケットロールより上記版を保持した版テーブルや、印刷対象となるガラス基板を保持した基板テーブルに対して、テーブル進行方向を上記ブランケットロールの軸心方向他端側へ曲げようとする力が作用するようになる。
【００１２】
しかし、特許文献４に示されたものでは、上記のようなオフセット印刷時におけるブランケットロールと、版や基板等の印刷対象との間に生じる相対移動量の差を修正することに関する考えは何ら示されていないというのが実状である。
【００１３】
そのために、オフセット印刷時に上記のようなブランケットロールの外周面と、版や印刷対象となるガラス基板との間に、相対移動の位置ずれ（相対移動量の差）が生じると、その位置ずれに起因して、ブランケットロールの外周部のブランケットの変形や、ブランケットロールと版や印刷対象となるガラス基板の滑りが生じるようになるため、印刷精度が低下すると共に、上記ブランケットの負担が大きくなって該ブランケットの交換サイクルが短くなってしまう。
【００１４】
なお、特許文献１、２には、オフセット印刷時におけるブランケットロールと、版や基板等の印刷対象との間に生じる相対移動量の差を修正することに関する考えは何ら示されていない。
【００１５】
特許文献３に示されたものは、ローラと平板状の板状体との相対移動量の調整を、上記ローラに備えたベアラロールを上記平板状の板状体を支持する本体上のベアラレールに接触させるときの接触力を調整することで行うようにしてあることから、上記ローラと平板状の板状体との相対移動量を調整すると、その結果として印圧が安定しなくなってしまう。そのため、均一の電極パターンの印刷が困難になるという問題がある。
【００１６】
しかも、上記特許文献３に示されたものは、ローラ全体と平板状の板状体の全体について相対移動方向の移動量を調整するものであるため、上記ローラの軸心方向についての上記平板状の板状体との相対移動量の不均一性には何ら対応することはできない。
【００１７】
特許文献５には、ワークのアライメントを取るためのアライメントステージは示されているが、該アライメントステージを、オフセット印刷時に回転するブランケットロールに接触させるための版や基板等の印刷対象を保持させるために用いる考えは示されておらず、したがって、オフセット印刷時に上記版や基板等の印刷対象を保持させた状態のアライメントステージの制御手法に関する考えは何ら示唆されるものではない。
【００１８】
そこで、本発明は、オフセット印刷を行う際に、構造的な要因によりブランケットロールと版や印刷対象との相対移動量に変化が生じるとしても、上記ブランケットロールにおけるブランケットの変形の負担を抑制することができて、該ブランケットの交換サイクルを長くすることができ、又、印刷精度の向上化を図ることができて、電極パターンのような精細な印刷を高精度で行うことができるようにするためのオフセット印刷方法及び装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明は、上記課題を解決するために、請求項１に対応して、架台上のガイドレール上を走行する版テーブルに保持させた版に、ブランケットロールを上方より接触させ、次いで、該ブランケットロールを、上記ガイドレール上を走行する印刷対象テーブルに保持させた印刷対象に、上方より接触させることで、上記版からブランケットロールへの転写と、ブランケットロールから印刷対象への再転写を行わせるようにするオフセット印刷方法において、上記版テーブルの上部に設けたアライメントステージ上に版を保持させると共に、上記印刷対象テーブルの上部に設けたアライメントステージ上に印刷対象６を保持させて、上記版に対して上記ブランケットロールを接触させる間、上記版テーブルのアライメントステージを、該アライメントステージにおける複数の駆動ユニットにより支持したトッププレートに対して、上記各駆動ユニットより力を付与させ、且つ該各駆動ユニットよりトッププレートに付与する力の合力を相殺するよう制御させるようにしてトルク一定制御し、次いで、上記ブランケットロールを、上記印刷対象に接触させるときに、上記印刷対象テーブルのアライメントステージを、上記版にブランケットロールを接触させる間に上記トルク一定制御した版テーブルのアライメントステージに生じた変位に追従させるよう位置制御するようにするオフセット印刷方法とする。
【００２１】
更に、請求項２に対応して、架台上に設けたガイドレール上を走行する版テーブルと印刷対象テーブルを備え、上記版テーブルに保持させた版と、上記印刷対象テーブルに保持させた印刷対象に、ブランケットロールを上方より順次接触させることで、上記版からブランケットロールへの転写と、ブランケットロールから印刷対象への再転写を行わせるようにしてあるオフセット印刷装置において、上記版テーブルの上部にアライメントステージを設けて該アライメントステージ上に版を保持できるようにすると共に、上記印刷対象テーブルの上部にアライメントステージを設けて該アライメントステージ上に印刷対象を保持できるようにし、更に、上記版テーブル上の版に対して上記ブランケットロールを接触させるときに上記版テーブルのアライメントステージをトルク一定制御する機能と、上記ブランケットロールを上記印刷対象テーブル上の印刷対象に接触させるときに上記印刷対象テーブルのアライメントステージを、上記版にブランケットロールを接触させる間に上記トルク一定制御した版テーブルのアライメントステージに生じた変位に追従させるよう位置制御する機能と、を有するコントローラ１８を備え、上記版テーブルのアライメントステージのトルク一定制御は、該アライメントステージにおける複数の駆動ユニットにより支持したトッププレートに対して、上記各駆動ユニットより力を付与させ、且つ該各駆動ユニットよりトッププレートに付与する力の合力を相殺するように制御してなる構成を有するオフセット印刷装置とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、以下のような優れた効果を発揮する。
（１）架台上のガイドレール上を走行する版テーブルに保持させた版に、ブランケットロールを上方より接触させ、次いで、該ブランケットロールを、上記ガイドレール上を走行する印刷対象テーブルに保持させた印刷対象に、上方より接触させることで、上記版からブランケットロールへの転写と、ブランケットロールから印刷対象への再転写を行わせるようにするオフセット印刷方法において、上記版テーブルの上部に設けたアライメントステージ上に版を保持させると共に、上記印刷対象テーブルの上部に設けたアライメントステージ上に印刷対象６を保持させて、上記版に対して上記ブランケットロールを接触させる間、上記版テーブルのアライメントステージを、該アライメントステージにおける複数の駆動ユニットにより支持したトッププレートに対して、上記各駆動ユニットより力を付与させ、且つ該各駆動ユニットよりトッププレートに付与する力の合力を相殺するよう制御させるようにしてトルク一定制御し、次いで、上記ブランケットロールを、上記印刷対象に接触させるときに、上記印刷対象テーブルのアライメントステージを、上記版にブランケットロールを接触させる間に上記トルク一定制御した版テーブルのアライメントステージに生じた変位に追従させるよう位置制御するようにするオフセット印刷方法、及び、架台上に設けたガイドレール上を走行する版テーブルと印刷対象テーブルを備え、上記版テーブルに保持させた版と、上記印刷対象テーブルに保持させた印刷対象に、ブランケットロールを上方より順次接触させることで、上記版からブランケットロールへの転写と、ブランケットロールから印刷対象への再転写を行わせるようにしてあるオフセット印刷装置において、上記版テーブルの上部にアライメントステージを設けて該アライメントステージ上に版を保持できるようにすると共に、上記印刷対象テーブルの上部にアライメントステージを設けて該アライメントステージ上に印刷対象を保持できるようにし、更に、上記版テーブル上の版に対して上記ブランケットロールを接触させるときに上記版テーブルのアライメントステージをトルク一定制御する機能と、上記ブランケットロールを上記印刷対象テーブル上の印刷対象に接触させるときに上記印刷対象テーブルのアライメントステージを、上記版にブランケットロールを接触させる間に上記トルク一定制御した版テーブルのアライメントステージに生じた変位に追従させるよう位置制御する機能と、を有するコントローラ１８を備え、上記版テーブルのアライメントステージのトルク一定制御は、該アライメントステージにおける複数の駆動ユニットにより支持したトッププレートに対して、上記各駆動ユニットより力を付与させ、且つ該各駆動ユニットよりトッププレートに付与する力の合力を相殺するように制御してなる構成を有するオフセット印刷装置としてあるので、版からブランケットロールへの転写処理の工程では、版とブランケットロールとの相対移動量の差を抑制して両者のすべりを抑えることができて、版よりブランケットロールへ転写させる印刷パターンの精度を高めることができる。更に、ブランケットロールから印刷対象への再転写処理の工程の際は、ブランケットロールの外周面に対する印刷対象の接触位置を、上記転写処理時におけるブランケットロールの外周面に対する版の接触位置と同様の位置とすることができるため、ブランケットロールより印刷対象へ再転写する印刷パターンの精度を高めることができる。したがって、高精度のオフセット印刷を実施することができ、特に、重ね刷りを行う際の印刷精度を高めることができる。
（２）よって、基板等の印刷対象に対し、電極パターンのような精密な印刷パターンを正確に且つ高い再現性で印刷することができると共に、印刷対象に対し電極パターンのような精密な印刷パターンを重ね刷りする場合であっても、重ね合わせずれを抑制することができるようになることから、重ね合わせずれを数μｍに抑えた高精度印刷を行うことが可能になる。
（３）しかも、上記版や印刷対象に対してブランケットロールより水平方向や回転方向に変位させようとする大きな負荷が作用することがなくなるため、オフセット印刷を行う過程で上記ブランケットロールの外周部に設けられているブランケットに生じる変形を抑えることができて、該ブランケットにかかる負担を低減できることから、ブランケットの交換サイクルを長くすることが可能になる。
（４）上記転写処理の工程では、版テーブルのアライメントステージをトルク一定制御するようにしてあるため、版を保持した版テーブルのアライメントステージに、不測の事態により予定外の外力が作用しても、該アライメントステージに保持した版が容易に変位する虞を防止できる。このため、高精度のオフセット印刷を安定して実施することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明のオフセット印刷方法及び装置の実施の一形態の要部を示す概略斜視図である。
【図２】図１のオフセット印刷装置の全体構成を示す概略側面図である。
【図３】図２のＩ−Ｉ方向矢視拡大図である。
【図４】図１のオフセット印刷装置における版テーブルに設けるアライメントステージを示すもので、（イ）は概略斜視図、（ロ）は概略側面図である。
【図５】図１のオフセット印刷装置に備えるコントローラの制御構成を示す概要図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明を実施するための形態を図面を参照して説明する。
【００２５】
図１乃至図５は本発明のオフセット印刷方法及び装置の実施の一形態を示すもので、以下のようにしてある。
【００２６】
すなわち、本発明のオフセット印刷方法の実施に用いる本発明のオフセット印刷装置は、図１乃至図３に示すように、水平な架台１の上側に、一方向（Ｘ軸方向）に延びるガイドレール２、たとえば、２本一組のガイドレール２を設け、該ガイドレール２に、版４を載置して保持させるための版テーブル５と、印刷対象となる基板６を載置して保持させるための印刷対象テーブルとしての基板テーブル７を、ガイドレール２の長手方向の一端側（図１、図２における左側）より順に並べて配置した状態で、それぞれ個別のガイドブロック３を介しスライド可能に取り付ける。
【００２７】
上記各テーブル５，７には、リニアモータ等の駆動装置８を備えて、上記ガイドレール２に沿って独立して往復動（走行）できるようにする。又、上記架台１上の所要個所に上記ガイドレール２に沿って設けた共通のリニアスケール９により、上記版テーブル５と基板テーブル７のガイドレール２の長手方向に沿う位置、すなわち、Ｘ軸方向の所要の点を基準とする絶対位置（座標）の検出を行うことができるようにする。
【００２８】
上記版テーブル５は、その上部に上記ガイドレール２の長手方向（Ｘ軸方向）及びガイドレール２の長手方向に直交する方向（Ｙ軸方向）への水平移動と、ガイドレール２の長手方向に対するヨー角度（θ）の回転が可能なアライメントステージ１０を設けて、該アライメントステージ１０の上側に版４を保持できるようにする。
【００２９】
上記基板テーブル７は、その上部に上記版テーブル５のアライメントステージ１０と同様にＸ軸方向及びＹ軸方向への水平移動と、ヨー角度（θ）の回転が可能なアライメントステージ１１を設けて、該アライメントステージ１１の上側に印刷対象としての基板６を保持できるようにする。
【００３０】
上記架台１上における上記ガイドレール２の長手方向中間部と対応する個所には、上記ガイドレール２の上方を跨ぐようにガイドレール２の長手方向と直角な水平方向（Ｙ軸方向）に沿って配置したブランケットロール１３と、該ブランケットロール１３を昇降させるための昇降駆動手段１４と、上記ブランケットロール１３を回転駆動するための回転駆動手段１５を備えた転写機構部１２を設ける。
【００３１】
更に、上記架台１上における所要個所、たとえば、上記転写機構部１２より上記ガイドレール２の長手方向他端寄り側へ所要寸法離れた個所に、上記版テーブル５のアライメントステージ１０に保持させる版４と、上記基板テーブル７のアライメントステージ１１に保持させる基板６について、共通のアライメントセンサ１７を用いてそれぞれアライメントを取ることができるようにしたアライメントエリア１６を設ける。
【００３２】
更に、図５に示すように、上記アライメントエリア１６で版４や基板６のアライメントを取る際には、上記各テーブル５，７のアライメントステージ１０，１１に対してアライメント用の位置制御指令Ｃ１，Ｃ２を与え、又、上記転写機構部１２でオフセット印刷における版４からブランケットロール１３への転写（受理）処理を行わせる際には、版テーブル５のアライメントステージ１０へトルク一定制御指令Ｃ３を与え、更に、上記ブランケットロール１３から印刷対象である基板６への再転写（印刷）処理を行わせる際には、基板テーブル７のアライメントステージ１１へ位置制御指令Ｃ４を与える機能を有するコントローラ（制御器）１８を備えて本発明のオフセット印刷装置を構成する。
【００３３】
なお、本発明のオフセット印刷装置は、オフセット印刷を行う必要上、図２に示すように、上記架台１上におけるガイドレール２の長手方向一端部と対応する個所に、ガイドレール２の長手方向一端部まで版テーブル５を移動させて待機させると共に、版４の交換を行うための版テーブル待機エリア１９を備え、又、上記架台１上における上記版テーブル待機エリア１９と上記転写機構部１２との間に、上記版テーブル５のアライメントステージ１０上に保持させた版４に対してインキングを行うためのインキング装置２０を備える。更に、上記架台１上におけるガイドレール２の長手方向他端部と対応する個所に、ガイドレール２の長手方向他端部まで基板テーブル７を移動させて待機させた状態で、該基板テーブル７のアライメントステージ１１に対して新たな基板６の取り付けと印刷後の基板６の取外しを行うための基板設置エリア２１を備えた構成としてあるものとする。
【００３４】
詳述すると、上記アライメントエリア１６は、図１及び図２に示すように、上記ガイドレール２に沿って走行する版テーブル５及び基板テーブル７が下方を通過できるようにした支持架台２２を有し、且つ該支持架台２２における、上記版テーブル５のアライメントステージ１０上に保持させる版４、及び、上記基板テーブル７のアライメントステージ１１上に保持させる基板６の対角に対応する２個所又は四隅部に対応する４個所に、アライメントセンサとしての精密カメラ１７（便宜上、アライメントセンサ１７と同じ符号を付してある）をそれぞれ下向きに設けた構成としてある。なお、図１では版４と基板６の四隅部に対応する４個所に精密カメラ１７を設けた構成が示してある。
【００３５】
上記版テーブル５のアライメントステージ１０、及び、上記基板テーブル７のアライメントステージ１１は、図４（イ）（ロ）に示す如く、固定側のベース２３の上側に、版４又は基板６を載置して保持するためのトッププレート２４を配置すると共に、上記トッププレート２４の外周部の４個所、たとえば、該トッププレート２４の四隅部に対応した４個所と、その下方に位置するベース２３の対応する個所との間に、個別の駆動モータ２５を備えたＸ軸方向の２基の駆動ユニットｘ１，ｘ２及びＹ軸方向の２基の駆動ユニットｙ１、ｙ２を設けてなる構成としてある。
【００３６】
又、上記各テーブル５，７の各アライメントステージ１０，１１は、コントローラ１８より位置制御指令Ｃ１，Ｃ２，Ｃ４が与えられるときには、上記Ｘ軸方向及びＹ軸方向の２基ずつの駆動ユニットｘ１，ｘ２及びｙ１，ｙ２のそれぞれ対応する軸方向の動作量を適宜組み合わせて調整することで、トッププレート２４上に保持した版４や印刷対象である基板６を、該トッププレート２４と一緒にＸＹ軸を含む面内で任意の方向へ水平移動させると共に、ヨー角度（θ）を回転させて、所望する位置、角度に配置させることができるようにしてある。
【００３７】
更に、版テーブル５のアライメントステージ１０は、上記コントローラ１８よりトルク一定制御指令Ｃ３が与えられると、上記Ｘ軸方向の２基の各駆動ユニットｘ１，ｘ２及び上記Ｙ軸方向の２基の各駆動ユニットｙ１，ｙ２より上記トッププレート２４へ付与する力の合力が相殺されるように、上記各駆動ユニットｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２の各駆動モータ２５の出力するトルクを調整した後、該各駆動モータ２５の出力を一定トルクに保持できるようにしてある。上記のように各駆動ユニットｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２よりトッププレート２４へ付与する力の合力が相殺されるようにする場合の一例としては、たとえば、図４（イ）に示すように、上記Ｘ軸方向の２基の駆動ユニットｘ１，ｘ２よりトッププレート２４に対しＸ軸方向に沿う外向きの力を、又、上記Ｙ軸方向の２基の駆動ユニットｙ１，ｙ２よりトッププレート２４に対しＹ軸方向に沿う内向きの力を、それぞれ同じ大きさで作用させるようにしてある。これにより、上記トッププレート２４は、上記各駆動ユニットｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２の出力によりそれぞれ対応する軸方向に付勢された状態で、移動及び回転が防止された状態となるようにしてあり、この状態を、上記コントローラ１８から与えられる上記トルク一定制御指令Ｃ３が解除されるまで継続することができるようにしてある。
【００３８】
上記コントローラ１８は、図５にその制御構成を示す如く、版テーブル５及び基板テーブル７の位置や走行を制御するテーブル走行制御部１８ａと、上記版テーブル５及び基板テーブル７の各アライメントステージ１０，１１の動作を制御するアライメントステージ制御部１８ｂと、転写機構部１２におけるブランケットロール１３の回転動作（転動）を制御するロール回転制御部１８ｃと、上記ブランケットロール１３の昇降動作を制御するロール昇降制御部１８ｄとを備えてなる構成としてある。
【００３９】
具体的には、上記コントローラ１８のテーブル走行制御部１８ａは、架台１上に設けたリニアスケール９より入力される版テーブル５と基板テーブル７の個別のテーブル位置検出信号Ｓ１を基に、該版テーブル５と基板テーブル７の個別の駆動装置８へそれぞれテーブル位置制御指令Ｃ５を与えて、上記各テーブル５，７のガイドレール２の長手方向（Ｘ軸方向）に関する位置を制御できるようにしてある。更に、上記テーブル走行制御部１８ａは、上記各テーブル５，７のＸ軸方向の位置を変化させるときの位置の変化の方向（Ｘ軸方向の座標の増減）と、単位時間当たりの位置の変化量を制御することで、該各テーブル５，７の移動方向（走行方向）と移動速度（走行速度）を制御できるようにしてある。
【００４０】
上記コントローラ１８のロール回転制御部１８ｃは、転写機構部１２におけるブランケットロール１３又はその回転駆動手段１５に設けてある図示しないエンコーダより入力される信号を基に、上記ブランケットロール１３の回転速度及び回転角度を検出し、その検出データを基に、上記回転駆動手段１５へ指令Ｃ６を与えて、上記ブランケットロール１３の回転速度と回転角度を制御できるようにしてある。更に、上記コントローラ１８では、ロール回転制御部１８ｃと、上記テーブル走行制御部１８ａとを同期制御できるようにしてある。これにより、上記回転駆動手段１５で回転駆動するブランケットロール１３の外周面の周速を、ガイドレール２に沿って走行する版テーブル５上の版４や基板テーブル７上の基板６の移動速度に同期させることができるようにしてある。
【００４１】
上記コントローラ１８のロール昇降制御部１８ｄは、上記転写機構部１２に設けてブランケットロール１３の高さ位置を検出できるようにしてある図示しないロール高さ検出手段より入力されるブランケットロール１３のロール高さ位置の検出信号を基に、ブランケットロール１３の昇降駆動手段１４へ指令Ｃ７を与えて、ブランケットロール１３のロール高さ位置を制御できるようにしてある。
【００４２】
更に、上記ロール昇降制御部１８ｄは、上記ブランケットロール１３をその直下位置に配置された版テーブル５上の版４や、基板テーブル７上の基板６に対して上方より押し付けるようにして接触させるときの反力を検出するようにしてある図示しない圧力センサから入力される圧力検出信号を基に、上記ブランケットロール１３の版４や基板６に対する接触圧力、すなわち、印圧を計測できるようにしてあると共に、該印圧の計測結果を基に、上記昇降駆動手段１４によるブランケットロール１３のロール高さ位置の制御を介して、該ブランケットロール１３を版４や基板６に接触させるときの印圧を、予め設定してある所定の印圧に調整できるようにしてある。
【００４３】
なお、上記ロール昇降制御部１８ｄにおける上記ブランケットロール１３の版４や基板６に対する印圧の計測手法としては、上記図示しないロール高さ検出手段によって検出されるブランケットロール１３のロール高さ位置と、該ブランケットロール１３の径、及び、版テーブル５上の版４や基板テーブル７上の基板６の表面の高さ位置に関する構造的な情報（幾何学的な情報）とから、上記ブランケットロール１３の外周部に設けてあるブランケット１３ａが上記版４や基板６に対して押し付けられて撓む量（潰し代）を求め、該求められたブランケット１３ａの撓み量から、上記ブランケットロール１３の版４や基板６に対する印圧を計測する手法を採用するようにしてもよい。
【００４４】
上記コントローラ１８では、ロール昇降制御部１８ｄと上記テーブル走行制御部１８ａとを同期制御できるようにしてある。これにより、上記ガイドレール２に沿って走行する版テーブル５上の版４や、基板テーブル７上の基板６が上記転写機構部１２のブランケットロール１３の直下位置を通過するときに、該版４や基板６に対して上記ブランケットロール１３を上方より正確に接触させることができるようにしてある。
【００４５】
上記コントローラ１８のアライメントステージ制御部１８ｂは、版テーブル５と基板テーブル７のアライメントステージ１０，１１における各駆動ユニットｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２に個別に付設してある図示しないリニアスケールより入力される個々の駆動ユニットｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２の対応する軸方向の動作量の検出信号を基に、上記各駆動ユニットｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２の個別の動作量と、該各駆動ユニットｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２の動作に伴って生じるトッププレート２４のＸＹθの３軸方向の変位量を把握できるようにしてある。
【００４６】
又、上記アライメントステージ制御部１８ｂは、上記アライメントエリア１６に予め設定してある所定のアライメント位置に版テーブル５が配置され、この状態で該版テーブル５上に保持された版４の対角又は四隅部にポインティングされている図示しないアライメントマーカが、上記アライメントセンサとしての各精密カメラ１７により検出されて、その画像の信号Ｓ２が該各精密カメラ１７より入力されると、上記版テーブル５のアライメントステージ１０にアライメント用の位置制御指令Ｃ１を与えて、上記各精密カメラ１７によって検出される版４のアライメントマーカの位置が、予め設定してある所定の配置と一致するように、該版テーブル５のアライメントステージ１０の各駆動ユニットｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２を適宜動作させて、トッププレート２４と一緒に上記版４のＸＹθの３軸方向に関するセンサフィードバックアライメント補正を行わせるようにする機能を備える。同様に、上記アライメントステージ制御部１８ｂは、上記アライメントエリア１６の所定のアライメント位置に基板テーブル７が配置され、この状態で該基板テーブル７に保持された基板６の対角又は四隅部にポインティングされているアライメントマーカが上記各精密カメラ１７により検出されて、その画像の信号Ｓ２が該各精密カメラ１７より入力されると、上記基板テーブル７のアライメントステージ１１にアライメント用の位置制御指令Ｃ２を与えて、上記各精密カメラ１７によって検出される基板６のアライメントマーカの位置が、予め設定してある所定の配置と一致するように、該基板テーブル７のアライメントステージ１１の各駆動ユニットｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２を適宜動作させて、トッププレート２４と一緒に上記基板６のＸＹθの３軸方向のセンサフィードバックアライメント補正を行わせるようにする機能を備える。
【００４７】
なお、印刷対象とする基板６に対して重ね刷りを行う場合であって、各基板６ごとに対する第１層目の印刷パターンの配置については厳密な印刷位置の再現性が特に求められず、印刷パターンの重ね合わせずれの防止がより重要となる場合は、基板６の対角又は四隅部に予めアライメントマーカをポインティングすることに代えて、基板６に対して第１層目の印刷パターンの印刷を行うときに、同時にアライメントマーカを印刷によりポインティングするようにしてもよい。よって、この場合は、基板テーブル７に保持させた基板６に第１層目の印刷パターンの印刷を行う前は、該基板６のアライメントを取る必要はない。
【００４８】
更に、上記アライメントステージ制御部１８ｂは、上記転写機構部１２にてブランケットロール１３をその直下に配置された版テーブル５上の版４に対し接触させて、オフセット印刷における転写（受理）処理工程を実施する際、上記版テーブル５上の版４に対して上記ブランケットロール１３が接触するまでは、上記版テーブル５のアライメントステージ１０に対して、上記アライメントエリア１６におけるアライメントを取った後の版４の位置（アライメント補正後の版４の位置）を保持させるための位置制御指令Ｃ１を与えて上記版４の位置制御を行うようにしてある。その後、上記回転駆動手段１５により周速が上記版テーブル５上の版４の移動速度に同期するよう回転させたブランケットロール１３を、上記昇降駆動手段１４により下降させて版テーブル５上の版４に上方より接触させるときに、上記アライメントステージ制御部１８ｂは、上記ブランケットロール１３の接触直後の版４の位置ずれを、版テーブル５のアライメントステージ１０の位置制御により修正させた後、該アライメントステージ１０に対してトルク一定制御指令Ｃ３を与えて、上記転写（受理）処理工程が終了してブランケットロール１３が版４より離反するようになるまで、上記アライメントステージ１０のトルク一定制御を行う機能を備えるようにしてある。
【００４９】
これにより、上記のようにしてコントローラ１８のアライメントステージ制御部１８ｂよりトルク一定制御指令Ｃ３が与えられた版テーブル５のアライメントステージ１０では、上記版４を載置して保持したトッププレート２４を保持する各駆動ユニットｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２の各駆動モータ２５の出力トルクが一定に制御された状態となる。よって、この状態で、上記版テーブル５や版４やブランケットロール１３の製作精度、たとえば、上記ブランケットロール１３の回転中心が偏心していたり、ブランケットロール１３の軸心方向の一方の端部の径が他方の端部の径よりも大きくて該ブランケットロール１３が全体でテーパー状となっていたり、ブランケットロール１３の外周部に設けてあるブランケット１３ａの厚みが均一ではなかったり、版４の厚みが均一ではなかったり、上記ガイドレール２の歪み等に由来して、上記ブランケットロール１３の外周面と版４との相対移動量に差が生じて、上記ブランケットロール１３より版４に対して鉛直方向下向き以外の方向の力、すなわち、該版４を水平変位や回転変位させようとする力が作用するようになる場合は、上記版テーブル５のアライメントステージ１０のトッププレート２４を保持している各駆動ユニットｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２にそれぞれかかる負荷が変化するようになる。この際、上記各駆動ユニットｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２は、各々の駆動モータ２５によるトルク一定制御が行われているために、より高い負荷が作用するようになる駆動ユニットｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２が、その負荷を逃がす方向に動作させられて、負荷が一定に保たれるようになることから、上記版テーブル５のアライメントステージ１０では、上記ブランケットロール１３より水平変位や回転変位させようとする力を受ける版４を保持したトッププレート２４の位置が、負荷が少なくなる水平方向や回転方向に自動的に変位させられるようになる。したがって、上記版４に対し、ブランケットロール１３より水平方向や回転方向に変位させようとする大きな負荷が作用する虞を回避できるようにしてある。
【００５０】
上記のようにして版テーブル５のアライメントステージ１０の版４を保持したトッププレート２４の位置が、負荷が少なくなる方向へ変位させられると、上記アライメントステージ制御部１８ｂは、該トッププレート２４の変化量を、たとえば、上記各駆動ユニットｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２の動作量を基に検出し、その検出値をアライメント補正テーブルＴとしてテーブル記憶部２６に登録する機能を備えるようにしてある。
【００５１】
更に又、上記アライメントステージ制御部１８ｂは、上記転写機構部１２にて上記転写（受理）処理工程の後、ブランケットロール１３をその直下に配置された基板テーブル７上の基板６に対し接触させて、オフセット印刷における再転写（印刷）処理工程を実施する際には、上記基板テーブル７のアライメントステージ１１に対して、上記アライメントエリア１６におけるアライメントを取った後の基板６の初期位置（アライメント補正後の基板６の位置）に、上記テーブル記憶部２６より呼び出したアライメント補正テーブルＴを加えた値を求めて、該求められた値を目標位置とする位置制御指令Ｃ４を与える機能を備えるようにしてある。これにより、上記基板テーブル７上の基板６に対しブランケットロール１３を接触させて再転写（印刷）処理工程を実施するときには、上記基板テーブル７のアライメントステージ１１を、上記転写（受理）処理時にトルク一定制御された状態の版テーブル５のアライメントステージ１０に生じた動作と同じ動作をするように位置制御できるようにしてある。したがって、上記基板６は、上記印刷（受理）処理時における版４と同様に、上記ブランケットロール１３より受ける水平変位や回転変位させようとする力の負荷を逃がす方向へ位置制御されるようになることから、該基板６に対して上記ブランケットロール１３より水平方向や回転方向に変位させようとする大きな負荷が作用する虞を回避できるようにしてあると共に、該基板６を、上記ブランケットロール１３の外周面に対し、上記版４と同様の位置で接触させることができるようにしてある。
【００５２】
なお、上記アライメントステージ制御部１８ｂは、上記したように、版テーブル５上の版４や基板テーブル７上の基板６の位置に応じて制御内容が異なることから、上記テーブル走行制御部１８ａと同期制御できるようにしてあるものとする。
【００５３】
上記コントローラ１８は、図５に二点鎖線で示すように、インキング装置２０の運転を制御するインキング制御部１８ｅを備えて、該インキング制御部１８ｅを、上記テーブル走行制御部１８ａと同期制御できるようにした機能を備えてなる構成として、上記版テーブル５が上記インキング装置２０を通過するときに、該版テーブル５上に保持した版４に対して上記インキング装置２０によりインキングを行わせる動作を、上記コントローラ１８で制御するようにしてもよい。
【００５４】
以上の構成としてある本発明のオフセット印刷装置を用いてオフセット印刷を行う場合は、先ず、版テーブル５に保持させる版４については、版４を交換する都度、更には、同じ版４であっても所要の印刷時間経過ごとにアライメントエリア１６で該版テーブル５のアライメントステージ１０を用いてアライメントを取るようにする。又、基板テーブル７に保持させる基板６については、該基板テーブル７上に新たな基板６を取り付けるたびに上記アライメントエリア１６で該基板テーブル７のアライメントステージ１１を用いてアライメントを取るようにする。これにより、アライメントを取った時点の版４の位置に対して、アライメントをとった時点での基板６の相対位置が、毎回再現されるようになる。
【００５５】
その後、インキング装置２０でインキングした版４を、版テーブル５の走行により転写機構部１２へ移動させて、ブランケットロール１３の直下位置を走行させる版テーブル５上に保持した版４に対し、回転駆動手段１５により上記版４の移動速度に同期した周速で回転させた上記ブランケットロール１３を上方より接触させて、該版４よりブランケットロール１３へのインクの転写（受理）処理を行う。
【００５６】
この転写（受理）処理の際は、上記版テーブル５では、アライメントステージ１０の各駆動ユニットｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２がトルク一定制御されるようにしてあるため、上記版テーブル５や版４やブランケットロール１３の製作精度等に由来して、上記ブランケットロール１３と版４との相対移動量に差が生じ、上記ブランケットロール１３より版４に対して水平変位や回転変位させようとする力が作用するようになると、該作用する力の負荷を逃がす方向へ版テーブル５のアライメントステージ１０が動作させられるようになる。
【００５７】
したがって、上記版テーブル５上の版４に対して、上記ブランケットロール１３より水平方向や回転方向に変位させようとする大きな負荷が作用することがなくなる。又、上記転写（受理）処理の際におけるブランケットロール１３と版４との相対移動量の差が、上記版テーブル５のアライメントステージ１０の動作により吸収されるようになるため、版４に接触するブランケットロール１３のブランケット１３ａの変形が抑制されると共に、ブランケットロール１３と版４とのすべりも抑制されるようになる。
【００５８】
よって、上記版４の印刷パターンが、上記ブランケットロール１３に精度よく転写（受理）される。
【００５９】
次いで、基板６を保持させた基板テーブル７を、転写機構部１２へ移動させて、上記転写（受理）処理時における版テーブル５の走行方向と同じ方向からブランケットロール１３の直下位置を走行させるときに、基板テーブル７上の基板６に対し、回転駆動手段１５により上記基板６の移動速度に同期した周速で回転させた上記ブランケットロール１３を、上方より上記転写（受理）処理時に版４に接触させたときと同様の位相で接触させて、該ブランケットロール１３より基板６へのインクの再転写（印刷）処理を行う。
【００６０】
この再転写（印刷）処理の際、上記基板テーブル７では、アライメントステージ１１が、アライメントエリア１６におけるアライメントを取った後の基板６の初期位置に上記テーブル記憶部２６より呼び出したアライメント補正テーブルＴを加えてなる目標位置、すなわち、上記印刷（受理）処理時における版テーブル５のアライメントステージ１０の動作に追従するように位置制御されるようになる。
【００６１】
したがって、上記基板テーブル７上の基板６に対して、上記ブランケットロール１３より水平方向や回転方向に変位させようとする大きな負荷が作用することがなくなる。更に、上記ブランケットロール１３の外周面に対する基板６の接触する位置が、上記印刷（受理）処理時におけるブランケットロール１３の外周面に対する版４の接触位置と同様の位置となる。
【００６２】
よって、上記ブランケットロール１３に版４より一旦転写（受理）されている印刷パターンが、該ブランケットロール１３より上記基板６に対して精度よく再転写（印刷）されるようになる。
【００６３】
このように、本発明のオフセット印刷方法及び装置によれば、転写（受理）処理工程の際には、版４とブランケットロール１３との相対移動量の差を抑制して両者のすべりを抑えることができて、版４よりブランケットロール１３へ転写（受理）する印刷パターンの精度を高めることができる。更に、再転写（印刷）処理工程の際は、ブランケットロール１３の外周面に対する基板６の接触位置を、上記転写（受理）処理時におけるブランケットロール１３の外周面に対する版４の接触位置と同様の位置とすることができて、該ブランケットロール１３より基板６へ再転写（印刷）する印刷パターンの精度を高めることができる。したがって、高精度のオフセット印刷を実施することができ、特に、重ね刷りを行う際の印刷精度を高めることができる。
【００６４】
以上により、各基板６に対し、電極パターンのような精密な印刷パターンを正確に且つ高い再現性で印刷することができると共に、基板６に対して電極パターンのような精密な印刷パターンを重ね刷りをする場合であっても、重ね合わせずれを抑制することができて、重ね合わせずれを数μｍに抑えた高精度印刷を行うことが可能になる。
【００６５】
しかも、上記転写（受理）処理工程では、版４に対してブランケットロール１３より水平方向や回転方向に変位させようとする大きな負荷が作用することがなくなると共に、上記再転写（印刷）処理工程では、基板６に対してブランケットロール１３より水平方向や回転方向に変位させようとする大きな負荷が作用することがなくなるため、オフセット印刷を行う過程で上記ブランケットロール１３のブランケット１３ａに生じる変形を抑えることができ、該ブランケット１３ａにかかる負担を低減できることから、ブランケット１３ａの交換サイクルを長くすることができる。
【００６６】
又、上記転写（受理）処理工程では、版テーブル５のアライメントステージ１０をトルク一定制御することにより、版４を載置して保持したトッププレート２４に対して、各駆動ユニットｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２よりそれぞれ対応する軸方向の力を付与し続けるようにしてあるため、このトルク一定制御を行っている間に、上記版４を保持した状態の版テーブル５のアライメントステージ１０のトッププレート２４に、不測の事態により予定外の外力が作用しても、該トッププレート２４が容易に変位する虞を防止できる。このため、高精度のオフセット印刷を安定して実施することができる。
【００６７】
なお、本発明は上記実施の形態のみに限定されるものではなく、上記版テーブル５のアライメントステージ１０、及び、基板テーブル７のアライメントステージ１１は、Ｘ軸とＹ軸方向の水平移動及びヨー角度（θ）の回転を行うことでそれぞれ対応する版４や基板６のアライメントを取ることができるようにしてあれば、各駆動ユニットｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２の配置は適宜変更してもよい。又、Ｘ軸方向の２基の駆動ユニットとＹ軸方向の１基の駆動ユニット、又は、Ｘ軸方向の１基の駆動ユニットとＹ軸方向の２基の駆動ユニットによる計３基の駆動ユニットを備えた形式のアライメントステージ１０，１１を用いるようにしてもよい。
【００６８】
したがって、転写（受理）処理工程で版テーブル５のアライメントステージ１０をトルク一定制御する場合は、該アライメントステージ１０に装備されている各駆動ユニットよりトッププレート２４にそれぞれ付与する力の合力を相殺させるようにするための個々の駆動ユニットの出力は、各駆動ユニットの配置や数に応じて適宜変更してよい。
【００６９】
版テーブル５、及び、印刷対象テーブルとしての基板テーブル７の形状やサイズ、それぞれのアライメントステージ１０，１１の形状やサイズは、図示するための便宜上のものであり、実寸法に対応させたものではない。
【００７０】
架台１上のアライメントエリア１６は、ガイドレール２における版テーブル５及び基板テーブル７の双方が走行可能な位置と対応する個所であり、且つ転写機構部１２やインキング装置２０、版テーブル待機エリア１９や基板設置エリア２１と干渉しないようにすれば、ガイドレール２の長手方向における配置を、図２に示した以外の配置としてもよい。
【００７１】
上記アライメントエリア１６のアライメントセンサは、アライメントエリア１６の所定位置に配置した状態の版テーブル５のアライメントステージ１０上に保持させた版４や、基板テーブル７のアライメントステージ１１上に保持させた基板６の位置を高精度で検出できるようにしてあれば、精密カメラ１７以外の任意のアライメントセンサを用いるようにしてもよい。
【００７２】
転写機構部１２におけるブランケットロール１３の回転駆動手段１５は、コントローラ１８のロール回転制御部１８ｃからの指令Ｃ６に応じてブランケットロール１３の回転速度と回転角度を制御できるようにしてあれば、任意の形式の回転駆動手段１５を採用してよい。又、ブランケットロール１３の昇降駆動手段１４は、コントローラ１８のロール昇降制御部１８ｄからの指令に応じて、ブランケットロール１３を昇降させると共に、該ブランケットロール１３の昇降を介して、該ブランケットロール１３を版テーブル５上の版４や基板テーブル７上の基板６に対して上方より接触させるときの印圧を適宜調整することができるようにしてあれば、任意の形式の昇降駆動手段１４を採用してよい。
【００７３】
インキング装置２０は版テーブル５に保持された版４へ適正なインキングが行えるようにしてあれば、任意の形式のインキング装置２０を用いるようにしてよい。
【００７４】
本発明のオフセット印刷方法及び装置は、基板６以外の印刷対象に印刷を行う場合に適用してもよい。この場合は、上記印刷対象を、上記基板テーブル７と同様のアライメントステージ１１を備えた構成としてある印刷対象テーブル上に保持させるようにすると共に、オフセット印刷における再転写（印刷）処理時に、該印刷対象テーブルのアライメントステージ１１を、上記基板テーブル７のアライメントステージ１１と同様に制御するようにすればよい。
【００７５】
その他本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得ることは勿論である。
【符号の説明】
【００７６】
１  架台
２  ガイドレール
４  版
５  版テーブル
６  基板（印刷対象）
７  基板テーブル（印刷対象テーブル）
１０  アライメントステージ
１１  アライメントステージ
１３  ブランケットロール
１８  コントローラ
２４  トッププレート
ｘ１、ｘ２  駆動ユニット
ｙ１，ｙ２  駆動ユニット
【図１】
0005552902.tif 000002
【図２】
0005552902.tif 000003
【図３】
0005552902.tif 000004
【図４】
0005552902.tif 000005
【図５】
0005552902.tif 000006