(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャネルが形成されたヘッドチップの該チャネルの出口が位置する一端面に、接着剤を介してノズルプレートが接着されたインクジェットヘッドの製造方法において、
前記ノズルプレートが接着される前記ヘッドチップの一端面の全面と前記ヘッドチップの一端面の近傍の前記チャネル内の側壁面とに跨って接着剤を塗布して接着剤層を形成する接着剤層形成工程と、
前記接着剤層形成工程後に、前記ヘッドチップの他端面に位置する前記チャネルの入口から前記チャネルの出口に向かう空気流を形成して、前記チャネル内の側壁面に形成された接着剤層を成す接着剤の一部を前記ヘッドチップの一端面側へ押し出す接着剤押し出し工程と、
前記接着剤押し出し工程後に、前記ヘッドチップの一端面に対し前記ノズルプレートを接着する接着工程と、
を備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
チャネルが形成されたヘッドチップの該チャネルの出口が位置する一端面に、接着剤を介してノズルプレートが接着されたインクジェットヘッドの製造方法において、
該ノズルプレートが接着される前記ヘッドチップの一端面の全面と前記ヘッドチップの一端面の近傍の前記チャネル内の側壁面とに跨って接着剤を塗布して接着剤層を形成する接着剤層形成工程と、
前記接着剤層形成工程後に、前記チャネルの出口から前記ヘッドチップの他端面に位置する前記チャネルの入口に向かう空気流を形成して、塗布された接着剤の余剰部分を前記ヘッドチップの一端面の近傍の前記チャネル内の側壁面側へ押し込む接着剤押し込み工程と、
前記接着剤押し込み工程後に、前記チャネルの入口から前記チャネルの出口に向かう空気流を形成して、前記チャネル内の側壁面に形成された接着剤層を成す接着剤の一部を前記ヘッドチップの一端面側へ押し出す接着剤押し出し工程と、
前記接着剤押し出し工程後に、前記ヘッドチップの一端面に対し前記ノズルプレートを接着する接着工程と、
を備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記接着剤押し込み工程における前記空気流の圧力は、０．３ＭＰａ以上かつ１．２ＭＰａ以下の範囲であることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記接着剤層形成工程において、表面に接着剤が塗布された接着剤転写シートの接着剤に、前記ヘッドチップの一端面を接触させると共に、該接着剤に対して該一端面を埋浸する、又は、埋浸した状態で揺動して、前記接着剤層を形成することを特徴とする請求項１、２又は３記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記接着剤の粘度は、２Ｐａ・ｓ以上かつ３０Ｐａ・ｓ以下の範囲であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記接着剤は、スペーサ粒子が分散されたエポキシ系接着剤であることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記接着剤押し出し工程における前記空気流の圧力は、０．３ＭＰａ以上かつ１．２ＭＰａ以下の範囲であることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクを吐出するインクジェットヘッドの製造方法に関し、詳しくは、ノズル間の封止不良を防止するインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、チャネルを区画する駆動壁に形成した電極に電圧を印加することにより駆動壁をせん断変形させ、そのときチャネル内に発生する圧力を利用してチャネル内のインクをノズルから吐出させるようにしたシェアモード型のインクジェットヘッドとして、圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれチャネルの開口部が配置された所謂ハーモニカタイプのヘッドチップを有するインクジェットヘッドが知られている（特許文献１、２）。
【０００３】
特許文献３の第１の実施形態におけるインクジェットヘッド（１０）では、インクチャネルとしての複数の溝（２）に金属製薄膜の電極（４）を製膜した圧電性の基板（１）を備え、基板の前面（前端面）（１ａ）と各溝の内面とにポリパラキシリレン膜（６）が製膜され、ポリパラキシリレン膜に親液化処理が施され、ポリパラキシリレン膜を介して基板の前面に接着剤でノズルプレートが接着されており、ポリパラキシリレン膜の親液化処理により基板とノズルプレートとの接着強度を堅牢に維持している（段落番号００３０〜００３８参照）。
【０００４】
なお、特許文献４には、ヘッドチップの一端面上に形成されたポリパラキシリレン膜を除去して、ヘッドチップとノズルプレートを、ポリパラキシリレン膜を介さずに接着剤で接着する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−９０３７４号公報
【特許文献２】特開２００６−３５４５４号公報
【特許文献３】特開２００２−３０７６９２号公報
【特許文献４】特開２００５−１５３５１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来、インクジェットヘッドの製造においては、ノズル間の封止不良が課題となっている。
【０００７】
ノズル間の封止不良には、いくつかの発生原因があり、本発明者の研究結果、たとえば、ヘッドチップの一端面（ノズルプレート接着面）上に埃などの異物が付着する等により凸部が形成されると、異物に起因する凸部の周辺において接着剤の抜けが発生し、ノズルプレート貼り付け時に、ノズル間の封止不良が誘発されることを見出した。
【０００８】
また、本発明者は、凸部の発生原因は、上記に限らず、ヘッドチップの一端面にポリパラキシリレン膜などの保護膜を形成する場合（特許文献３の第１の実施形態参照）、保護膜の成膜反応に伴って異常粒成長部を生成することがあったり、保護膜が形成される面に異物が存在した場合、保護膜が異物を巻き込んで凸部を生成することがあり、これがヘッドチップの一端面上から凸部として突出し易いことも見出した。
【０００９】
また特許文献４の技術においても、凸部を生成するおそれがあった。すなわち、ポリパラキシリレン膜を除去する際に、徹底した処理を施そうとすると、ヘッドチップの一端面上だけでなく、チャネル側壁のポリパラキシリレン膜までもが過剰に除去され、そのため除去処理は制限され、時としてヘッドチップの一端面上に、ポリパラキシリレン膜が局所的に残留して凸部を形成する場合がある。
【００１０】
本発明者は検証により、これら凸部の突出高さが２０μｍ程度にまで達することを確認している。
【００１１】
以下に、図１３を参照して、凸部によるノズル間の封止不良の発生のメカニズムを説明する。
【００１２】
図１３（ａ）に示すように、ヘッドチップ２０１の一端面２０５への接着剤Ｂの塗布では、接着剤Ｂが塗布された転写シートＳが用いられる。
【００１３】
図１３（ｂ）に示すように、ヘッドチップ２０１の一端面２０５を接着剤Ｂと接触させる。このとき、一端面２０５上に凸部Ｅが存在する場合、凸部Ｅの周辺は、該凸部Ｅにより接着剤Ｂに対して持ち上げられ、接着剤Ｂと接触できない状態となる。
【００１４】
その結果、図１３（ｃ）に示すように、凸部Ｅの周辺において、接着剤Ｂが未転写となる部位や、塗布厚みが薄い部位が生じる。
【００１５】
図１３（ｄ）及び図１３（ｄ）の要部拡大図である図１３（ｅ）に示すように、接着剤Ｂが塗布されたヘッドチップ２０１の一端面２０５に、ノズルプレート２０２が接着される。この時、接着剤Ｂが未転写となる部位や、塗布厚みが薄い部位では、ノズルプレートとの接着が十分に行われず、ノズル間の封止不良が発生する。
【００１６】
本発明者は、ヘッドチップ２０１の一端面２０５上に凸部Ｅが存在する場合でもノズル間の封止不良を防止できるインクジェットヘッドの製造方法の提供について鋭意検討し、本発明に至った。
【００１７】
そこで、本発明の課題は、ヘッドチップの一端面上に凸部が存在する場合でもノズル間の封止不良を防止できるインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。
【００１８】
また本発明の他の課題は、以下の記載によって明らかとなる。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記課題は、以下の各発明によって解決される。
【００２０】
請求項１記載の発明は、チャネルが形成されたヘッドチップの該チャネルの出口が位置する一端面に、接着剤を介してノズルプレートが接着されたインクジェットヘッドの製造方法において、
前記ノズルプレートが接着される前記ヘッドチップの一端面の全面と前記ヘッドチップの一端面の近傍の前記チャネル内の側壁面とに跨って接着剤を塗布して接着剤層を形成する接着剤層形成工程と、
前記接着剤層形成工程後に、前記ヘッドチップの他端面に位置する前記チャネルの入口から前記チャネルの出口に向かう空気流を形成して、前記チャネル内の側壁面に形成された接着剤層を成す接着剤の一部を前記ヘッドチップの一端面側へ押し出す接着剤押し出し工程と、
前記接着剤押し出し工程後に、前記ヘッドチップの一端面に対し前記ノズルプレートを接着する接着工程と、
を備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２１】
請求項２記載の発明は、チャネルが形成されたヘッドチップの該チャネルの出口が位置する一端面に、接着剤を介してノズルプレートが接着されたインクジェットヘッドの製造方法において、
該ノズルプレートが接着される前記ヘッドチップの一端面の全面と前記ヘッドチップの一端面の近傍の前記チャネル内の側壁面とに跨って接着剤を塗布して接着剤層を形成する接着剤層形成工程と、
前記接着剤層形成工程後に、前記チャネルの出口から前記ヘッドチップの他端面に位置する前記チャネルの入口に向かう空気流を形成して、塗布された接着剤の余剰部分を前記ヘッドチップの一端面の近傍の前記チャネル内の側壁面側へ押し込む接着剤押し込み工程と、
前記接着剤押し込み工程後に、前記チャネルの入口から前記チャネルの出口に向かう空気流を形成して、前記チャネル内の側壁面に形成された接着剤層を成す接着剤の一部を前記ヘッドチップの一端面側へ押し出す接着剤押し出し工程と、
前記接着剤押し出し工程後に、前記ヘッドチップの一端面に対し前記ノズルプレートを接着する接着工程と、
を備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２２】
請求項３記載の発明は、前記接着剤押し込み工程における前記空気流の圧力は、０．３ＭＰａ以上かつ１．２ＭＰａ以下の範囲であることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２３】
請求項４記載の発明は、前記接着剤層形成工程において、表面に接着剤が塗布された接着剤転写シートの接着剤に、前記ヘッドチップの一端面を接触させると共に、該接着剤に対して該一端面を埋浸する、又は、埋浸した状態で揺動して、前記接着剤層を形成することを特徴とする請求項１、２又は３記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２４】
請求項５記載の発明は、前記接着剤の粘度は、２Ｐａ・ｓ以上かつ３０Ｐａ・ｓ以下の範囲であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２５】
請求項６記載の発明は、前記接着剤は、スペーサ粒子が分散されたエポキシ系接着剤であることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２６】
請求項７記載の発明は、前記接着剤押し出し工程における前記空気流の圧力は、０．３ＭＰａ以上かつ１．２ＭＰａ以下の範囲であることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、チャネル詰まりやノズル詰まりを生じることなく、ヘッドチップの一端面上に凸部が存在する場合でもノズル間の封止不良を防止できるインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】ヘッドチップの一例を示す斜視図
【図２】図１のII−II線断面図
【図３】図１のIII−III線断面図
【図４】ヘッドチップの他の例を示す断面図
【図５】ヘッドチップの他の例を示す斜視図
【図６】接着剤層形成工程により形成される接着剤層の一例を説明する図
【図７】接着剤層形成工程の一例を説明する図
【図８】接着剤押し出し工程の一例を説明する図
【図９】接着剤層の断面形状を示す断面図
【図１０】接着剤押し込み工程の一例を説明する図
【図１１】空気流の形成方法の一例を説明する図
【図１２】スペーサ粒子の作用を説明する図
【図１３】従来技術に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明する図
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下に、図面を参照して本発明を実施するための形態を説明する。
【００３０】
まず、インクジェットヘッドの製造方法の第１発明についての実施の形態（以下、本態様あるいは本形態という）を説明する。
【００３１】
本態様は、チャネルが形成されたヘッドチップの該チャネルの出口が位置する一端面に、接着剤を介してノズルプレートが接着されたインクジェットヘッドの製造方法に適用される。
【００３２】
本態様が対象とする前記ヘッドチップは、インクの流路としてチャネル１１を備え、ヘッドチップ１００の一端面１０ａ及び他端面１０ｂに、それぞれチャネル１１の出口１１ａ及び入口１１ｂが形成されたものであれば、格別限定されない。
【００３３】
本態様が対象とするヘッドチップの一例として、チャネルを区画する駆動壁に形成した電極に電圧を印加することにより駆動壁をせん断変形させ、そのときチャネル内に発生する圧力を利用してチャネル内のインクをノズルから吐出させるようにしたシェアモード型のインクジェットヘッドに用いられるヘッドチップについて説明する。
【００３４】
図１は本形態に適用されるヘッドチップの一例を示す斜視図であり、図２は図１のII−II線断面図であり、図３は図１のIII−III線断面図である。
【００３５】
図１において、ヘッドチップ１００は、２枚の基板１ａ、１ｂを互いに接合したチャネル基板１を有している。チャネル基板１には、チャネル１１として、インクの流路となるインクチャネル（溝）と空気の流路となる空気チャネル（溝）とが、互いに平行な状態で交互に形成されており、各々のチャネル１１間に各基板１ａ、１ｂから構成された隔壁１３が存している。
【００３６】
チャネル基板１を構成する基板１ａ、１ｂは電界を加えると変形する圧電材料から構成されており、分極方向が互いに反対向きとなるように接合されている。各基板１ａ、１ｂを構成する圧電材料としては有機材料又は非金属材料が挙げられる。
【００３７】
図１中、チャネル基板１の上部には、チャネル１１を覆うカバー基板２が貼り付けられている。カバー基板２は上記各基板１ａ、１ｂと同じ圧電材料から構成されており、好ましくは脱分極された状態で、チャネル基板１の上部に貼り付けられている。
【００３８】
図２に示す通り、チャネル１１の各チャネルの側壁及び底壁には、金属製の電極膜６が断面視してＵ字状に製膜されている。各電極膜６には、導通用の配線を介して２枚の両基板１ａ、１ｂを駆動させる駆動回路（図示略）が接続されている。
【００３９】
この態様では、図２に示すように、各電極膜６の内壁には、電極膜６の保護膜として機能する絶縁性の保護膜７が形成されている。図の例では、保護膜７は、断面視して四角形状に製膜されている。保護膜としては、ポリパラキシリレン、エポキシ樹脂、アクリル樹脂などの有機膜、ＳｉＯ２、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）などの無機膜などの絶縁性材料から構成された膜を好ましく例示でき、特に、ポリパラキシリレンから構成された膜が好適である。
【００４０】
図３に示すように、ヘッドチップ１００の一例において、保護膜７は、チャネル内における各電極膜６の内壁から、チャネル基材の一端面までを連続的に被覆するように形成され、その上面が、ヘッドチップ１００の一端面１０ａを形成している。
【００４１】
次に、本態様に適用されるヘッドチップの他の例について説明する。
【００４２】
図４に示す通り、ヘッドチップの他の例では、上述した例に係るヘッドチップ１００においてチャネル基材の端面を被覆するように形成された保護膜が、例えば公知の研磨処理、レーザー照射処理、酸素プラズマエッチング処理などを施すことにより、チャネル基材の端面１０の全面にわたって除去されているものが挙げられる。
【００４３】
これにより、ヘッドチップの他の例においては、チャネル基材の端面が、ヘッドチップ１００の一端面１０ａを形成している。
【００４４】
以上、シェアモード型のインクジェットヘッドに用いられるヘッドチップの例について説明したが、本形態に適用されるヘッドチップはこれに限定されるものではない。
【００４５】
例えば、特開平１１−１６５４１９号公報に示されるように、電極膜及び保護膜の何れも有さずに、チャネルが形成された基板そのものの端面が、ヘッドチップ１００の一端面１０ａを形成するものであってもよい。また、ヘッドチップ１００において、チャネル１１の出口１１ａが位置する一端面１０ａと、チャネル１１の入口１１ｂが位置する他端面１０ｂとの位置関係は、図１に示すような、それぞれが前端面及び後端面を成すものであってもよいし、これに限定されず、例えば図５に示すように、一端面１０ａと他端面１０ｂとが互いに直交し、ヘッドチップの内部でチャネル１１が折れ曲がったものであってもよい。
【００４６】
本形態では、製法を実施する上で、まず、以上に説明した構成を有するヘッドチップを準備する。
【００４７】
次いで、図６に示すように、ヘッドチップにノズルプレート接着用の接着剤を塗布する接着剤層形成工程において、ノズルプレートが接着されるヘッドチップ１００の一端面１０ａの全面と、ヘッドチップ１００の一端面１０ａの近傍のチャネル１１内の側壁面とに跨って接着剤を塗布して接着剤層Ｂを形成する。
【００４８】
「跨って接着剤を塗布する」とは、一端面１０ａ側に形成される接着剤層（以下、一端面側接着剤層という）Ｂ１と、チャネル１１内の側壁面側に形成される接着剤層（以下、側壁面側接着剤層という）Ｂ２とが連設するように接着剤を塗布することを指す。
【００４９】
接着剤層形成工程における、接着剤の塗布方法は限定されず、例えば印刷法、ディスペンサーやローラーや刷毛などを用いて塗布する方法等を例示できる。インクの吐出精度を向上するためには、ヘッドチップ１００の一端面１０ａの全面に均一に接着剤を塗布することが好ましく、そのためには、表面に接着剤が塗布されたシート（接着剤転写シート）を用いて塗布することが好ましい。
【００５０】
図７を参照して接着剤層形成工程の一例について説明する。
【００５１】
接着剤層形成工程における、図７（ａ）において、２０は接着剤転写シートであり、シート２１の表面に接着剤２２が塗布されている。接着剤転写シート２０は、好ましくは、ワイヤーバー等を用いて、シート２１上に規定量の接着剤２２が均一に塗布されている。
【００５２】
図７（ｂ）に示すように、接着剤転写シート２０の接着剤２２に、ヘッドチップ１００の一端面１０ａを接触させる。このとき、接着剤２２に対して一端面１０ａを埋浸する、又は、埋浸した状態で揺動する（揺動手段は格別問わない）ことによって、一端面１０ａの近傍のチャネル１１内の側壁面に接着剤が塗布されると共に、ヘッドチップ１００の一端面１０ａ上に凸部Ｅが存在する場合であっても一端面１０ａの全面に接着剤が塗布されるので好ましい。
【００５３】
次いで、接着剤転写シート２０の接着剤２２と、ヘッドチップ１００の一端面１０ａとの接触を解除する。図７（ｃ）及び図７（ｃ）の要部拡大図である図７（ｄ）に示すように、ヘッドチップ１００の一端面１０ａの全面と、ヘッドチップ１００の一端面１０ａの近傍のチャネル１１内の側壁面とに跨って接着剤が塗布されて接着剤層Ｂが形成される。
【００５４】
ここで、側壁面側接着剤層Ｂ２の側壁下端からの立ち上がり高さは、好ましくは、チャネル１１の側壁下端から５０μｍ程度である。
【００５５】
次に、本態様では、接着剤層形成工程後に、図８に示すように、ヘッドチップ１００の他端面１０ｂに位置するチャネル１１の入口１１ｂから、チャネル１１の出口１１ａに向かう空気流を形成して、チャネル１１内の側壁面に形成された接着剤層を成す接着剤の一部をヘッドチップ１００の一端面１０ａ側へ押し出す接着剤押し出し工程を備えている。
【００５６】
ここで、チャネル１１内の側壁面に形成された接着剤層を成す接着剤の一部というのは、側壁面側接着剤層Ｂ２の厚み１０〜５０μｍ程度の塗布膜厚を、厚さ１〜１０μｍ程度の塗布膜厚に減少させる減少部分に相当する塗布部分であり、この一部に相当する接着剤は、接着剤押し出しによって、一端面側接着剤層Ｂ１側に移動する。
【００５７】
ヘッドチップ１００の他端面１０ｂに位置するチャネル１１の入口１１ｂから一端面１０ａに位置するチャネル１１の出口１１ａに向かう空気流の形成は、特に限定されるものではないが、他端面１０ｂ側からの送風、又は、一端面１０ａ側からの空気吸引により行うことができる。
【００５８】
接着剤押し出し工程後に、ヘッドチップ１００の一端面１０ａに対し、ノズルプレート３を接着する（接着工程）。また、ヘッドチップ１００の他端面に接着剤でバックプレートを接着し、さらに接着剤でバックプレートのヘッドチップ１００の反対側にインクマニホールドを接着してインクジェットヘッドが作製される。
【００５９】
以上に述べたように、本態様では、接着剤層形成工程において形成された側壁面側接着剤層Ｂ２の接着剤の一部を、接着剤押し出し工程において、一端面側接着剤層Ｂ１側に押し出すが故に、ヘッドチップ１００の一端面１０ａ上のチャネル出口１１ａの近傍のみの膜厚を増して、凸部（図６〜８で符号Ｅで示す）の突出高さ以上に増加することができる（図８破線包囲領域）。
【００６０】
特にヘッドチップ１００の一端面１０ａ上のチャネル出口１１ａの近傍は、ノズル間の封止不良（接着剤抜け）が生じやすい部位であり、また封止不良の発端部となる部位である。
【００６１】
ヘッドチップ１００の一端面１０ａ上のチャネル出口１１ａの近傍の接着剤膜厚を凸部Ｅの突出高さ以上に増加させることで、凸部Ｅの突出が接着剤により吸収されて、チャネル出口１１ａの近傍がノズルプレートに対して十分に接着されるので、封止不良を好適に防止できる効果が得られる。
【００６２】
接着剤の膜厚を、一端面上の全面に亘って増加する場合と比較すると、接着剤塗布量を減らすことが出来るため、ノズルプレート接着時の接触による外力やノズルプレートの自重によるノズル孔内への接着剤流れ込みによるノズル詰まりを減らす効果が得られる。
【００６３】
更に、接着剤押し出し後の側壁面側接着剤層Ｂ２の形態は、その一部が除去された形態であるので、ノズルプレートを接着した際に、接着剤層Ｂとノズル孔との距離が保たれやすく、接着剤がノズル孔内に流れ込み難い。このこともノズル詰まりの防止に寄与する。
【００６４】
接着剤押し出し後の側壁面側接着剤層Ｂ２の形態は、その一部が除去された形態であり、具体的には、表面が扁平状かあるいは凹面状をなしていることが好ましく、たとえば図９に示すように、ノズルプレート４を接着後において、接着剤層Ｂの断面形状Ｃが、インク流路に対して略凹面状となることが好ましい。このような略凹面状の形態は、空気流によって押し出す手法で形成しやすいので、空気流を用いることは好ましい。インク流路に対して略凹面状であれば、インクの流路に対して圧力損失となる部位がなく、スムーズな流路が確保されるので、チャネルの接着剤による詰まりを防止するだけでなく、インク吐出精度を向上する効果が得られる。
【００６５】
本態様における前記接着剤層形成工程において、接着剤転写シートを用いる場合は、接着剤転写シート２０におけるシート２１上の接着剤２２の塗布厚みが、ヘッドチップ１００の一端面１０ａ上からの凸部の突出高さに満たない場合であっても、容易に、一端面１０ａの全面に接着剤が塗布することができる。これは、接着剤２２に対して一端面１０ａを埋浸する、又は、埋浸した状態で揺動することによって、一端面１０ａとシート２１との間から押し退けられた接着剤２２がシート２１から盛り上がり、従来は塗布が困難であった凸部Ｅの周辺に対しても、容易に接着剤が接触し、塗布を行うことが可能となることによる。一端面１０ａとシート２１との間から押し退けられて、シート２１から盛り上がった接着剤２２は、さらに、チャネル１１の内部にも入り込み、チャネル１１側壁におけるヘッドチップ１００の一端面１０ａの近傍にも塗布されて、側壁面側接着剤層Ｂ２を好適に形成することができる。
【００６６】
本態様において、接着剤は、スペーサ粒子が分散されたエポキシ系接着剤であることが好ましい。
【００６７】
第１の発明において、一端面側接着剤層Ｂ１側に接着剤を押し出すことにより、ノズルプレート４貼り付け後に、接着剤がノズル孔４１内に流れ込むことを防止できているが、スペーサ粒子Ｐの存在によりこの防止効果はさらに増す。すなわち図１０に示すように、接着剤層Ｂを形成する接着剤中にスペーサ粒子Ｐが分散していることにより、くさび効果（充填剤としての効果）を発揮するからである。
【００６８】
特に、凸部Ｅの一端面１０ａからの突出高さが大きい場合に対応できるように、ヘッドチップ１００の一端面１０ａを被覆する一端面側接着剤層Ｂ１の厚みを大きくする場合、スペーサ粒子を用いることは好ましいことである。具体的には、ノズルプレート接着後の一端面側接着剤層Ｂ１の厚みを１０μｍ以上とする場合に、スペーサ粒子を用いることが好ましい。
【００６９】
また、凸部Ｅの突出高さ以上の粒子径を有するスペーサ粒子を用いることで、ノズルプレートを接着した際に、ノズルプレートと一端面１０ａとの間の凸部Ｅに起因する接着不良を回避できる効果が得られる。
【００７０】
参考として、特許文献３の第１の実施形態に示されるように、ヘッドチップ１００の一端面１０ａがポリパラキシリレン膜などの保護膜から形成されている場合、ヘッドチップ１００の一端面１０ａには、保護膜の成膜反応に伴って異常粒成長部が突出することがある。また、保護膜がポリパラキシリレン膜である場合、成膜時において、ヘッドチップ１００の一端面１０ａに浮遊塵埃が付着し、この浮遊塵埃を巻き込んでポリパラキシリレン膜が形成される場合がある。本発明者の知見によれば、これらの原因により、通常の製造環境下（浮遊塵埃が少ないクラス１０００程度の通常のクリーン環境下）においてポリパラキシリレン膜の成膜を行う場合、異常粒成長部や異物巻き込み部（凸部Ｅ）の突出高さは、３μｍから最大で２０μｍ程度に及ぶ場合がある。浮遊塵埃が特に少ないクラス１００以下のクリーン環境下においてポリパラキシリレン膜の成膜を行う場合、凸部Ｅは、３〜５μｍ程度の突出高さとなる。
【００７１】
一方、特許文献４には、ヘッドチップ１００の一端面上１０ａに形成されたポリパラキシリレン膜を除去して、ヘッドチップ１００の一端面１０ａとノズルプレート３を、ポリパラキシリレン膜を介さずに接着剤で接着する技術が開示されている。ところが、ポリパラキシリレン膜を除去する際には、徹底した処理を施そうとすると、ヘッドチップの一端面上だけでなく、チャネル側壁のポリパラキシリレン膜までもが過剰に除去される恐れがある。そのため除去処理は制限され、時としてヘッドチップの一端面上に、ポリパラキシリレン膜が局所的に残留して、最大で１０μｍ程度の凸部を形成する場合がある。
【００７２】
さらに、製造工程において、ヘッドチップ１００の一端面１０ａに室内の浮遊塵埃が付着する場合がある。室内の浮遊塵埃のサイズは、通常０．０１〜２０μｍであり、これが付着した場合は、凸部の突出高さが２０μｍに及ぶ場合もある。
【００７３】
前記スペーサ粒子の粒子径は、１０μｍ以上かつ２０μｍ以下の範囲から選択されることが好ましい（粒子径の測定は、コールカウンター法による。）。スペーサ粒子は、インクチャネル内においてインク流路の障害となる場合があるため、接着剤押し出し工程において、チャネルの外部に押し出されることが望ましいが、１０μｍに満たない場合は、空気流の圧力を受け難いためチャネル内部に残留する場合がある。２０μｍを超える場合は、それ以上の効果が得られ難く、また接着が不安定となる問題がある。
【００７４】
スペーサ粒子としては、限定されるものではないが、例えば、無機粒子や高分子樹脂粒子、金属粒子などが挙げられる。
【００７５】
スペーサ粒子の形状は、球状、立方体状等、限定されるものではないが、球状であることが好ましい。球状であれば、ノズルプレート３接着時において、凸部Ｅとノズルプレート３との間に挟まれても、転がることにより好適に抜け出すことができ、ヘッドチップ１００の一端面１０ａとノズルプレート３との平行がより保たれやすくなる効果が得られる。
【００７６】
接着剤には、スペーサ粒子が１重量％以上かつ８重量％以下の範囲で分散されていることが好ましい。１重量％に満たない場合は、スペーサ粒子による十分な効果が得られず、８重量％を超える場合は、粒子同士が凝集し易くなるなど、接着剤の接着性能を低下させる。
【００７７】
接着剤中へのスペーサ粒子の添加・分散は、接着剤層形成工程の前に行ってもよいし、接着剤層形成工程の後に行ってもよい。
【００７８】
接着剤層形成工程の前に行う場合は、接着剤転写シート上の接着剤に対してヘッドチップ１００の一端面１０ａを埋浸する、又は、埋浸した状態で揺動する際に、一端面１０ａが全面に亘ってスペーサ粒子に支持されるため、一端面１０ａが凸部Ｅを有していても、一端面１０ａと接着剤を平行に接触させることができ、一端面１０ａの全面に接着剤を均一に塗布できるため、接着剤抜けを更に防止すると共に、インクジェットヘッドのインク吐出精度を向上させる効果が得られる。
【００７９】
ところで、スペーサ粒子を用いる場合は、ヘッドチップ１００の一端面１０ａ上に塗布される一端面側接着剤層Ｂ１の厚みを、好ましくはスペーサ粒子の粒子径以上となるように、厚く塗布することが好ましい。このような塗布を行うためには、接着剤転写シート上の接着剤の厚みを十分に厚くすること、好ましくはスペーサ粒子径の２倍以上とすることが好ましい。
【００８０】
以下、第２発明の好ましい実施形態について説明する。
【００８１】
例えば上記のように、接着剤を厚く塗布する場合、図１１に示したように、チャネル１１の出口１１ａを塞ぐように接着剤膜Ｂ’が形成される場合がある。
【００８２】
そこで、第２発明では、第１発明における接着剤層形成工程の後に、ヘッドチップ１００の一端面１０ａに位置するチャネル１１の出口１１ａから他端面１０ｂに位置するチャネル１１の入口１１ａに向かう空気流を形成して、塗布された接着剤の余剰部分（例えば上述の接着剤膜Ｂ’）を、チャネル１１内の側壁面側へ押し込む接着剤押し込み工程を備える。これにより、後段の接着剤押し出し工程において、接着剤が飛び散って周囲を汚染することを回避できる。
【００８３】
ヘッドチップ１００の一端面１０ａに位置するチャネル１１の出口１１ａから他端面１０ｂに位置するチャネル１１の入口１１ａに向かう空気流の形成は、特に限定されるものではないが、一端面１０ａ側からの送風、又は、他端面１０ｂ側からの空気吸引により行うことができる。
【００８４】
その他の第２発明の構成については、第１発明の構成についてなされた説明が援用される。
【００８５】
以上に説明したように、インクジェットヘッドの製造方法の第１発明及び第２発明では、接着剤押し出し工程及び接着剤押し込み工程において、接着剤層Ｂを形成する接着剤を、空気流により変形・移動せしめる構成を有している。
【００８６】
上記の変形・移動を好適に行う上で、接着剤の粘度、及び、空気流の設定は重要である。
【００８７】
接着剤の粘度は、２Ｐａ・ｓ以上かつ３０Ｐａ・ｓ以下の範囲であることが好ましい。接着剤の粘度が上記範囲に満たない場合、空気流による圧力で、接着剤が周囲に飛び散って汚染を生じる恐れがあり、上記範囲を超える場合、空気流による変形・移動が困難となる。
【００８８】
また、接着剤押し出し工程及び接着剤押し込み工程における空気流の圧力は０．３ＭＰａ以上かつ１．２ＭＰａ以下の範囲で、接着剤の粘度や塗布量に応じて適宜選択されることが好ましい。空気流の圧力が上記範囲に満たない場合、接着剤の変形・移動が困難となり、上記範囲を超える場合、空気流による圧力で、接着剤が周囲に飛び散って汚染を生じる恐れがある。
【００８９】
また、空気流を形成する継続時間は、１秒以上かつ１０秒以下の範囲で、接着剤の粘度や塗布量に応じて適宜選択されることが好ましい。空気流を形成する継続時間が上記範囲に満たない場合、接着剤の変形・移動が困難となり、上記範囲を超える場合、処理時間に対してそれ以上の変形・移動が生じ難く、生産性を低下する。
【００９０】
空気流を形成する空気流形成手段は限定されず、送風によるもの、又は、空気吸引によるものの何れであってもよい。
【００９１】
送風により空気流を形成する空気流形成手段としては、エアーブローガン、エアーダスター、エアーナイフ等を好ましく例示でき、空気吸引により空気流を形成する空気流形成手段としては、真空吸引ポンプ等を好ましく例示できる。
【００９２】
空気流形成手段が備える空気噴射口（ノズル）の形状は特に限定されず、シングルノズルタイプや、多数のノズルが並設されたフラットタイプ等が挙げられる。特に本発明においては、複数のチャンネル１１に対して、同時に、均一な空気流を形成する上で、フラットタイプを好ましく用いることができる。
【００９３】
図１２は、空気流の形成方法の一例を説明する図である。
【００９４】
図１２において、３０は送風を行う空気流形成手段であり、図示の例では多数のノズル３１が並設されたフラットタイプのノズルを備えている。空気流形成手段３０は、ヘッドチップ１００の他端面１０ｂに対して平行に配置され、空気流形成手段３０の各々のノズル３１の空気噴射口３２と他端面１０ｂとの距離Ｄは、好ましくは、０ｍｍ以上かつ３０ｍｍ以下の範囲である。なお、別の態様として、一端面１０ａ側に空気流形成手段を配置する場合は、接着剤との接触を避けることが好ましい。
【００９５】
図示の例では、全てのチャネル１１に対して同時に空気流を形成しているが、これに限定されるものではなく、１以上のチャネル１１に順次空気流を形成してもよい。各々のチャネル１１に均一な空気流を形成するために、各々のチャネル１１毎にノズル３１を設けることも好ましいことである。
【００９６】
また、例えば、接着剤押し込み工程を備える場合では、送風と空気吸引の切り替えが可能な空気流形成手段を用いて、他端面１０ｂ側に設置した空気流形成手段から、接着剤押し込み工程においては空気吸引し、接着剤押し出し工程においては送風するという切り替えを行うことにより、工程の簡略化及び効率化を図ることが可能である。
【００９７】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法によって製造されたインクジェットヘッドは、ヘッドチップ１００の一端面１０ａに対し、ノズルプレート３を接着する接着剤層が、側壁面側接着剤層を有しているため、長期使用によるノズル間の封止不良を防止する効果が得られる。
【００９８】
つまり、側壁面側接着剤層を有さず、ヘッドチップの一端面上の接着剤のみによって、ノズルプレートと接着されている場合には、使用時において、チャネルの内部にインク吐出圧が形成されると、インクの流体圧が、ヘッドチップとヘッドチップの一端面上の接着剤との間の僅かな隙間に対して、くさび状に作用して、長期使用によりノズル間の封止不良を生じる恐れがある。
【００９９】
これに対して、側壁面側接着剤層を有する場合は、インクの流体圧の作用を受け難く、長期使用時においてもノズル間の封止不良が防止される。
【０１００】
また、特に、接着剤が長期使用により劣化した際においても、立ち上がり部により、ヘッドチップ１００の一端面１０ａに対するノズルプレート３の位置ずれが生じ難く、高い接着強度が保持され、長期に亘ってインク吐出精度が保たれるという効果を奏する。
【０１０１】
さらに、図９に示したように、接着剤層Ｂの断面形状Ｃが、インク流路に対して略凹曲線状であることが好ましい。この結果、ノズル孔４１に向かってインク流路が滑らかに収束していくことになるため、インク吐出精度を向上する効果を奏する。
【０１０２】
なお、上記接着剤層Ｂの断面形状Ｃは、本発明の方法によらずに形成することも可能であり、結果としてその形状が維持されていればよい。
【実施例】
【０１０３】
以下に、本発明の実施例を説明するが、本発明はかかる実施例によって限定されない。
【０１０４】
（実施例１）
浮遊塵埃が特に少ないクラス１００以下のクリーン環境下において、以下の方法でインクジェットヘッドを製造した。
【０１０５】
（１）ヘッドチップの製造
始めに、厚さ１５０μｍ，厚さ９００μｍの２枚のＰＺＴ板を１５０℃に熱した絶縁油に漬けて、１０ＫＶの直流電圧を掛けて分極を行い、エポキシ系接着剤で２枚のＰＺＴ板を分極方向が反対になるように接着した。
【０１０６】
次いで、ＰＺＴ板の表面に、東京応化工業社製ポジ型フォトレジスト「ＰＭＥＲＰ−ＬＡ１００」を、乾燥膜厚５μｍになる様にスピンコートし、１００℃のオーブンに３０分間入れてキュアーした後、ＰＺＴ板の表面からダイヤモンドブレードを使用して、前後方向に伸びる幅７０μｍ、深さ３００μｍのインク流路用のインクチャネルと、前後方向に伸びる幅７０μｍ、深さ３００μｍの空気溝用の空気チャネルを交互に７０μｍ間隔で研削してチャネル基板を形成した後、超音波洗浄して研削屑を取り除き、Ｎｉ−Ｂの無電解めっきを施した。
【０１０７】
無電解めっきでは、最初に、チャネル基板を、５０℃に加熱した（株）ワールドメタル製の脱脂液「ＰＴ−０」（有機酸塩０．４％＋無機アルカリ塩０．２％＋ノニオン活性剤０．５％、ｐＨ＝１）に３０秒間つけて洗浄した。水洗後、（株）ワールドメタル製のエッチング液「ＰＴ−１」（無機酸塩５％＋アンモニヤ系硫酸塩４％、弗素系塩１．５％、ｐＨ＝２）に３０秒間漬け、水洗した後、（株）ワールドメタル製の酸化液「ＰＴ−２」（有機酸塩１５％＋無機塩２％、ｐＨ＝１）に３０秒間漬けた。更に水洗した後、（株）ワールドメタル製の塩化第一錫溶液「ＰＴ−３」（有機酸塩０．４％＋無機酸塩０．８％＋塩化第一錫０．６％＋ＮａＣｌ３．５％、ｐＨ＝１）に３０秒間漬け、軽く水洗して、（株）ワールドメタル製の塩化パラジウム溶液「ＰＴ−４」(有機酸塩１％＋無機酸塩３％＋塩化パラジウム０．１％、ｐＨ＝１)に４５秒漬けた。これを水洗後、「ＰＴ−３」と「ＰＴ−４」による処理をもう一度繰り返した。
【０１０８】
次いで、前処理の終ったチャネル基板を、６０℃に加熱した（株）ワールドメタル製のニッケル−ホウ素無電解めっき液「ニボロン７０」に界面活性剤「ＡＰ５５５」を添加した液で、２０分間、垂直方向に２．５ｃｍ／ｓｅｃの速度で揺動させながらめっきし、１．５μｍのめっき金属を形成した。
【０１０９】
次いで、東京応化工業社製のレジスト剥離液「ＰＳ」にめっき済みのチャネル基板を浸漬して、レジストを取り除き、セラミックス製の試料取り付け板の上に、めっき済みのチャネル基板の前壁を上に向けてワックスでチャネル基板を固定し、これを（株）日本エンギス製のハイプラスラッピング機の回転するラッピングプレート上に載せて、粒径３μｍのダイヤモンドスラリーを噴射しながら、３分間、チャネル基板の前壁を研磨してめっき金属を除去した。
【０１１０】
引き続き、チャネル基板の後壁と底面に析出しためっき金属を、波長５３２ｎｍのＹＡＧレーザーで、約５０Ｊ／ｃｍ２のエネルギー密度で除去してめっき除去部を形成し、これにより各チャネル部間の電極を分離してヘッド配線とした。
【０１１１】
次いで、上記チャネル基板と同一のＰＺＴ板を脱分極してカバー基板を作製した。カバー基板を作製したら、そのカバー基板をチャネル基板に接着し、ＣＶＤ処理によりチャネル基板（インクチャネル及び空気チャネルの壁面を含む。）にポリパラキシリレン膜を製膜し、ヘッドチップを得た。
【０１１２】
（２）接着剤転写シートの調製
平坦なフィルム上に、ワイヤーバーを用いて、粘度が３．０Ｐａ・ｓ、ガラス転移温度が１１８℃、１００℃における硬化時間が１時間のエポキシ系接着剤（低粘度接着剤）を、接着剤が６μｍの膜厚になるように塗布し、接着剤転写シートＡを調製した。なお、フィルム上の接着剤が６μｍの膜厚である場合、後段の接着剤層形成工程においてヘッドチップの一端面上に塗布される接着剤の膜厚は、フィルム上の接着剤の膜厚の半分となることから３μｍであると推定される。
【０１１３】
（３）接着剤層形成工程
上記接着剤転写シートＡの接着剤に、ヘッドチップの一端面を接触させると共に、該接着剤に対して該一端面を埋浸し、ノズルプレートが接着される前記ヘッドチップの一端面の全面と前記ヘッドチップの一端面の近傍の前記チャネル内の側壁面とに跨って接着剤を塗布して接着剤層を形成した。
【０１１４】
（４）接着剤押し出し工程
さらに、ヘッドチップの他端面に位置するチャネルの入口から、ヘッドチップの一端面に位置するチャネルの出口に向かう空気流を形成して、チャネル内の側壁面に形成された接着剤層を成す接着剤の一部を、ヘッドチップの一端面側へ押し出す処理を施した。
【０１１５】
接着剤押し出し工程における空気流の形成は、ヘッドチップの他端面から、図１２に示すような自作のフラットタイプノズルを備えたエアーブローガン（チヨダエンジニアリング社製「ＢＧ５０」）により送風することにより行った。その際、送風圧力を０．５ＭＰａとし、図１２の例と同様にフラットタイプノズルの空気噴射口とヘッドチップの他端面との距離を１０ｍｍとし、空気流を形成する継続時間を３秒とした。
【０１１６】
（５）ノズルプレート接着工程
上記の通り接着剤層を形成したら、レーザーによりノズルが形成されたポリイミド製のノズルプレートを、ヘッドチップの一端面（接着剤が転写された面）に押し当て、ヘッドチップにノズルプレートを接着した。
【０１１７】
ヘッドチップの一端面を形成する絶縁性保護膜の上面とノズルプレートとの間における接着剤厚さは接着剤転写シートに塗布された接着剤の膜厚の半分の厚さとした。
【０１１８】
ノズルプレートを接着したら、ノズルプレートを取り付けたヘッドチップを常温で４８時間放置し、その後１００℃で１時間加熱した。
【０１１９】
（６）インクジェットヘッドの作製
次いで、ノズルプレートを取り付けたヘッドチップに、バックプレート、インクマニホールドなどをそれぞれ取り付け、インクジェットヘッドを作製した。
【０１２０】
（比較例１）
実施例１において、接着剤層形成工程が、上記接着剤転写シートＡの接着剤に、ヘッドチップの一端面を接触させるのみによって、接着剤を塗布したこと、及び、接着剤押し出し工程を省略したこと以外は、実施例１と同様にしてインクジェットヘッドを作製した。
【０１２１】
（比較例２）
実施例１において、接着剤押し出し工程を省略した以外は、実施例１と同様にしてインクジェットヘッドを作製した。
【０１２２】
（実施例２）
実施例１におけるインクジェットヘッド製造環境を、浮遊塵埃が少ないクラス１０００程度の通常のクリーン環境下に代えた。
【０１２３】
また、実施例１において、接着剤転写シートＡに代えて、以下のように調製した接着剤転写シートＢを用いた。
【０１２４】
＜接着剤転写シートＢの調製＞
粘度が２５．０Ｐａ・ｓ、ガラス転移温度が１３１℃、１００℃における硬化時間が１時間のエポキシ系接着剤（高粘度接着剤）に、粒径２０μｍのスペーサ粒子（宇部日東化成社製「ハイプレシカＴＳ  Ｎ３Ｎ」）を接着剤に対して２重量％添加し、攪拌機にて１分間攪拌して、スペーサ粒子を接着剤中に分散させた後に、平坦なフィルム上に、ワイヤーバーを用いて、接着剤が５０μｍの膜厚になるように塗布して接着剤転写シートＢを調製した。
【０１２５】
なお、フィルム上の接着剤が５０μｍの膜厚である場合、後段の接着剤層形成工程においてヘッドチップの一端面上に塗布される接着剤の膜厚は、フィルム上の接着剤の膜厚の半分となることから２５μｍであると推定される。
【０１２６】
上記以外は、実施例１と同様にしてインクジェットヘッドを作製した。
【０１２７】
（実施例３）
実施例１におけるインクジェットヘッド製造環境を、浮遊塵埃が少ないクラス１０００程度の通常のクリーン環境下に代えた。
【０１２８】
また、実施例１において、接着剤転写シートＡに代えて、実施例２で調製した接着剤転写シートＢを用いた。
【０１２９】
更に、実施例１において、接着剤層形成工程後に、チャネルの出口からヘッドチップの他端面に位置するチャネルの入口に向かう空気流を形成して、塗布された接着剤の余剰部分をヘッドチップの一端面の近傍のチャネル内の側壁面側へ押し込む処理を施した（接着剤押し込み工程）後に、実施例１と同様の接着剤押し出し工程に供した。
【０１３０】
接着剤を押し込む際の空気流の形成は、ヘッドチップの一端面から、実施例２において接着剤の押し出しに用いたものと同様のフラットタイプノズルを備えたエアーフローガンにより送風することにより行った。その際、送風圧力を０．５ＭＰａとし、フラットタイプノズルの空気噴射口とヘッドチップの一端面との距離を２０ｍｍとし、空気流を形成する継続時間を３秒とした。
【０１３１】
（比較例３）
実施例１におけるインクジェットヘッド製造環境を、浮遊塵埃が少ないクラス１０００程度の通常のクリーン環境下に代えた。
【０１３２】
また、実施例１において、接着剤転写シートＡに代えて以下の接着剤転写シートＣを用いた。
【０１３３】
＜接着剤転写シートＣの調製＞
粘度が２５．０Ｐａ・ｓ、ガラス転移温度が１３１℃、１００℃における硬化時間が１時間のエポキシ系接着剤（高粘度接着剤）を、平坦なフィルム上に、ワイヤーバーを用いて、接着剤が５０μｍの膜厚になるように塗布してなる接着剤転写シートＣを用いた。
なお、フィルム上の接着剤が５０μｍの膜厚である場合、後段の接着剤層形成工程においてヘッドチップの一端面上に塗布される接着剤の膜厚は、フィルム上の接着剤の膜厚の半分となることから２５μｍであると推定される。
【０１３４】
更に、実施例１において、接着剤層形成工程において、上記接着剤転写シートＣの接着剤に、ヘッドチップの一端面を接触させるのみによって接着剤を塗布し、更に、接着剤押し出し工程を省略した。
【０１３５】
上記以外は、実施例１と同様にしてインクジェットヘッドを作製した。
【０１３６】
（比較例４）
実施例１におけるインクジェットヘッド製造環境を、浮遊塵埃が少ないクラス１０００程度の通常のクリーン環境下に代えた。
【０１３７】
また、接着剤転写シートＡに代えて、比較例３で調製した接着剤転写シートＣを用い、更に、接着剤押し出し工程を省略した。
【０１３８】
上記以外は、実施例１と同様にしてインクジェットヘッドを作製した。
【０１３９】
［評価］
上記の各実施例及び比較例のインクジェットヘッドについて、以下の評価を行った。
【０１４０】
１．ヘッドチップの一端面上における凸部の突出高さの測定
ニコン社製「ＣＮＣ画像測定システムＮＥＸＩＶ」を用いて、各実施例及び比較例において接着剤層形成工程に供されるヘッドチップの一端面上における凸部の突出高さを測定した。
【０１４１】
実施例１、及び、比較例１、２のインクジェットヘッドは、浮遊塵埃が特に少ないクラス１００以下のクリーン環境で製造されたものであり、ヘッドチップの一端面に、浮遊塵埃の付着は見られなかったが、ポリパラキシリレン膜の成膜過程において生成する異常粒成長部が最大５μｍの凸部を形成していることが確認された。
【０１４２】
一方、実施例２、３、及び、比較例３、４は、浮遊塵埃が少ないクラス１０００程度のクリーン環境で製造されたものであるが、ヘッドチップの一端面に、ポリパラキシリレン膜の成膜過程において生成する異常粒成長部が最大５μｍの凸部を形成していることに加えて、保護膜が浮遊塵埃を巻き込んだことや、保護膜上に浮遊塵埃が付着したことによる最大２０μｍ程度の凸部が形成されていることが確認された。
【０１４３】
２．ノズルプレート貼り付け性
各実施例及び比較例で得られたインクジェットヘッドについて、ノズルプレート貼り付け結果を評価した。
【０１４４】
各インクジェットヘッドで接着剤抜けやチャネル詰まりがあった場合はＮＧとし、異常がない場合はＯＫとした。
【０１４５】
各実施例及び比較例について各々１０個のインクジェットヘッドを検査し、１０個ともＯＫの場合を○とし、ＮＧが一つでもあった場合を×とした。また、ＮＧではないが、それ以外の不具合（実用上問題のない範囲）がある場合を△とした。
【０１４６】
結果を表１に示す。
【０１４７】
【表１】
0005440428.tif 000002
【０１４８】
＜評価＞
比較例１〜４の結果より、ヘッドチップの一端面を接触させるのみ、あるいは接着剤に対して該一端面を埋浸し、埋浸した状態で揺動して、接着剤押し出し処理を省略した場合、接着剤抜けや接着剤詰まりを生じることがわかる。
【０１４９】
これに対して、接着剤に対してヘッドチップの一端面を埋浸し、埋浸した状態で揺動した後、更に、接着剤押し出し処理を施した実施例１〜３では、接着剤抜けや接着剤詰まりが生じないことが分かる。
【０１５０】
特に、実施例２、３では、接着剤厚さを、従来の通常の膜厚（１〜１０μｍ程度）の倍以上である２５μｍとしても、ノズル孔内に接着剤が流れ込むことがなかった。
【０１５１】
なお、実施例２では、接着剤層形成工程後に、チャネルの出口を塞ぐ接着剤膜が形成されていることが確認され、接着剤押し出し工程において、実用上問題のない範囲ではあるが接着剤が飛び散ることがあった。これについて本発明者は追加試験を行い、接着剤押し出し工程に用いる空気流の圧力を調整することで、接着剤が飛び散ることを防止できることを確認している。
【０１５２】
これに対して、接着剤層形成工程と接着剤押し出し工程との間に接着剤押し込み処理を施した実施例３では、接着剤が飛び散ることが容易且つ完全に防止された。
【０１５３】
また、実施例１では、接着剤層形成工程後におけるヘッドチップの一端面上の接着剤厚みが３μｍと推定される。ヘッドチップの一端面上に最大５μｍの凸部が存在するにもかかわらず、接着剤抜けや接着剤詰まりが防止されていることから、接着剤押し出し工程において、側壁面側接着剤層の一部が、一端面側接着剤層側に押し出されて、一端面上の特にノズル孔周辺における接着剤厚みを５μｍ以上に増加させていることが推定される。
【符号の説明】
【０１５４】
１：ヘッドチップ
１０ａ：一端面
１０ｂ：他端面
１１：チャネル
１１ａ：出口
１１ｂ：入口
２０：接着剤転写シート
３０：空気流形成手段
４０：ノズルプレート
４１：ノズル孔
Ｂ：接着剤層
Ｂ１：一端面側接着剤層
Ｂ２：側壁面側接着剤層
Ｅ：凸部
【図１】
0005440428.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
0005440428.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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