(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体の被着面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して剥離するシート剥離装置であって、
前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、前記接着シートに剥離用テープの一端側を貼付する貼付手段と、前記被着体と剥離用テープとを相対移動させて被着体から接着シートを剥離可能な移動手段と備え、
前記一端側が接着シートに貼付された剥離用テープを捻ることで、当該剥離用テープの側端縁と接着シートの外縁との交差位置から前記接着シートに予備剥離領域を形成する予備剥離手段を有することを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
被着体の被着面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して剥離するシート剥離方法であって、
前記剥離用テープを繰り出す工程と、
前記接着シートに剥離用テープの一端側を貼付する工程と、
前記一端側が接着シートに貼付された剥離用テープを捻ることで、剥離用テープの側端縁と接着シートの外縁との交差位置から前記接着シートに予備剥離領域を形成して予備剥離を行う工程と、
前記支持手段と剥離用テープとを相対移動させて被着体から接着シートを剥離する工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート剥離装置及び剥離方法に係り、更に詳しくは、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを接着し、当該剥離用テープを介して接着シートを剥離することができるシート剥離装置及び剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）の処理工程では、ウエハはその回路面に保護用の接着シートが貼付され、裏面研削等、種々の処理が行われ、ダイシングシートを介してリングフレームにマウントされた後、ダイシング前にこの接着シートは剥離される。このような接着シートの剥離装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。同文献において、ウエハから接着シートを剥離する工程は、押圧ヘッドによって剥離用テープを接着シートの外縁に沿って貼付した後、剥離用テープをウエハに対して移動することにより行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３６１１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１では、接着シートにおいて剥離用テープにより剥離力が最初に付与される領域は、接着シートの外縁に沿う剥離用テープの貼付領域となる。従って、剥離初めが所定幅（剥離用テープの接着シートへの接着幅）であって、一度に広範囲に行われることとなり、接着シートの剥離が非常に重くなって剥離用テープが接着シートから外れてしまったり、接着シート自体が切れてしまったりする剥離不良を発生させる、という不都合を招来する。
【０００５】
［発明の目的］
本発明の目的は、接着シートを剥離する初期段階での剥離不良を回避することができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、被着体の被着面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して剥離するシート剥離装置であって、
前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、前記接着シートに剥離用テープの一端側を貼付する貼付手段と、前記被着体と剥離用テープとを相対移動させて被着体から接着シートを剥離可能な移動手段と備え、
前記一端側が接着シートに貼付された剥離用テープを捻ることで、当該剥離用テープの側端縁と接着シートの外縁との交差位置から前記接着シートに予備剥離領域を形成する予備剥離手段を有する、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記予備剥離手段は、前記予備剥離領域形成位置の剥離用テープの幅方向が前記被着面に対して傾いた状態となるようにして前記予備剥離領域を形成可能に設けられる、という構成を採ることが好ましい。
【０００８】
また、前記移動手段は、接着シートの剥離中、前記予備剥離手段が剥離用テープの幅方向を前記被着面に対して傾けた状態を維持しながら相対移動可能に設けられる、という構成が好ましくは採用される。
【０００９】
更に、本発明の剥離方法は、被着体の被着面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して剥離するシート剥離方法であって、
前記剥離用テープを繰り出す工程と、
前記接着シートに剥離用テープの一端側を貼付する工程と、
前記一端側が接着シートに貼付された剥離用テープを捻ることで、剥離用テープの側端縁と接着シートの外縁との交差位置から前記接着シートに予備剥離領域を形成して予備剥離を行う工程と、
前記支持手段と剥離用テープとを相対移動させて被着体から接着シートを剥離する工程とを備える、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、接着シートの剥離に備えて剥離初めが一度に広範囲に行われないように、予備剥離手段によって接着シートに予備剥離領域を形成するので、従来のように接着シートの剥離初めが非常に重くなり、接着シートを剥離する初期段階で剥離用テープが接着シートから外れてしまったり、剥離用テープ自体が切れてしまったりする剥離不良を回避することができる。しかも、予備剥離領域を剥離用テープの側端縁と接着シートの外縁との交差位置である点から形成し始めるので、当該予備剥離領域の形成においても一度に広範囲に行われることを防止して上記同様の剥離不良を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図。
【図２】（Ａ）及び（Ｂ）は、接着シートに予備剥離領域を形成する動作の説明図。
【図３】（Ａ）〜（Ｃ）は、剥離用テープの貼付動作説明図、（Ｄ）は、接着シートの剥離動作説明図。
【図４】接着シートに予備剥離領域を形成する動作の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１３】
図１〜図４において、シート剥離装置１０は、被着面となる回路面（図１中上面）に接着シートＳが貼付された被着体としてのウエハＷを保持する支持手段１１と、帯状の剥離用テープＰＴを繰り出す繰出手段１２と、剥離用テープＰＴを接着シートＳの外縁側に貼付する貼付手段１３と、接着シートＳに貼付された剥離用テープＰＴと支持手段１１とを相対移動させる移動手段１５と、一端側が接着シートＳに貼付された剥離用テープＰＴを捻ることで、剥離用テープＰＴの側端縁ＰＴ２と接着シートＳの外縁Ｓ１との交差位置Ｐから接着シートＳに予備剥離領域Ｓ２を形成する予備剥離手段１６と、前記各手段１１〜１６の動作を制御する制御手段１７とを備えて構成されている。なお、剥離用テープＰＴは感熱接着性の接着テープを採用している。また、本実施形態における接着シートＳは、基材シートの一方の面に接着剤層を有し、この接着剤層を介してウエハＷに貼付されている。
【００１４】
前記支持手段１１は、リングフレームＲＦの開口内部に配置され回路面の反対面（図１中下面）側からダイシングシートＤＳを介して当該リングフレームＲＦと一体化されるとともに、回路面に接着シートＳが貼付されたウエハＷを図１中上面で吸着して保持するテーブルからなる。
【００１５】
前記繰出手段１２は、図示しないフレームに支持されて巻回された剥離用テープＰＴを繰出可能に支持する支持軸１８と、駆動機器としてのモータＭ１を介して回転可能な駆動ローラ２０と、当該駆動ローラ２０との間に剥離用テープＰＴを挟み込むピンチローラ２１と、剥離用テープＰＴを図１中下方から支持する板状のガイド部材２３と、このガイド部材２３とで剥離用テープＰＴを挟み込む回転自在なプレスローラ２５と、このプレスローラ２５を昇降させる駆動機器としての昇降用シリンダ２６とを備えて構成されている。ガイド部材２３は、駆動機器としてのシリンダ２７を介して図１中左右方向に移動可能に設けられ、図３（Ａ）に示されるように、プレスローラ２５で挟み込んだ剥離用テープＰＴのリード端領域を後述するチャック４７により把持できる位置に導くことが可能となっている。
【００１６】
前記貼付手段１３は、駆動機器としての直動モータ４９と、当該直動モータ４９によって上下方向に進退可能に設けられたヒータ５０Ａを有する押圧ヘッド５０とを備えている。この貼付手段１３は、後述するチャック４７により接着シートＳの上面側に繰り出された剥離用テープＰＴを押圧ヘッド５０で押圧して加熱することで、剥離用テープＰＴを接着シートＳに接着するようになっている。貼付手段１３の図１中左側には、カッター刃５３と、このカッター刃５３の下方に設けられた凹部を有するテープ受け板５４と、カッター刃５３を図１中紙面直交方向及び上下方向に移動させる駆動機器としての切断用シリンダ５５及び駆動機器としての上下用シリンダ５６とにより構成されたテープ切断手段５２が設けられている。
【００１７】
前記移動手段１５は、支持手段１１を図１中左右方向に移動させるための駆動機器としての直動モータ４４及びそのスライダ４５と、剥離用テープＰＴを把持部材４７Ａで把持可能な駆動機器としてのチャック４７と、このチャック４７を支持する駆動機器としての多関節ロボット４８とを備えている。当該多関節ロボット４８は、例えば６軸ロボットが例示でき、その作業領域内でチャック４７を何れの位置、何れの方向にも移動可能に構成されている。
【００１８】
前記予備剥離手段１６は、移動手段１５を構成する多関節ロボット４８からなる。従って、多関節ロボット４８は、剥離用テープＰＴを把持したチャック４７を図２（Ａ）及び（Ｂ）の矢印方向に回転させ、剥離用テープＰＴの幅方向ＰＴ１がウエハＷの上面に対して傾いた状態とすることができる。また、移動手段１５は、多関節ロボット４８が剥離用テープＰＴの幅方向ＰＴ１をウエハＷの上面に対して傾けた状態を維持しながら、チャック４７及び支持手段１１を図１中左右方向に移動可能となる。
【００１９】
前記制御手段１７は、シーケンサやパーソナルコンピュータ等で構成することができる。制御手段１７には、操作パネル等からなる図示しない入力手段が接続され、この入力手段により前記各駆動機器の作動条件やデータ等を入力可能となっている。また、制御手段１７は、前記各駆動機器の動作方向、動作量、動作速度等の条件を決定し、これらを制御する機能を備えている。
【００２０】
次に、前記シート剥離装置１０による接着シートＳの剥離方法について説明する。
【００２１】
初めに、支持軸１８から剥離用テープＰＴを引き出し、駆動ローラ２０及びピンチローラ２１の間を通過させた後、剥離用テープＰＴのリード端側がガイド部材２３の先端からはみ出た状態としつつ、プレスローラ２５とガイド部材２３とで剥離用テープＰＴを挟み込んだ状態とする。
【００２２】
そして、図示しない搬送手段を介して、支持手段１１の上面にリングフレームＲＦと一体化されるとともに、回路面に接着シートＳが貼付されたウエハＷを支持させると、接着シートＳの図１中右側外縁位置が押圧ヘッド５０の直下で停止するように、直動モータ４４が支持手段１１を移動させる。
【００２３】
次いで、図３（Ａ）に示されるように、シリンダ２７を介してガイド部材２３を同図中右方向に進行させると同時に、モータＭ１を作動して駆動ローラ２０を回転させて剥離用テープＰＴを繰り出す。これにより、チャック４７の把持部材４７Ａ間にガイド部材２３及び剥離用テープＰＴのリード端側が位置する。そして、プレスローラ２５が上方へ退避し、ガイド部材２３を後退させると、把持部材４７Ａ間に剥離用テープＰＴが残されてチャック４７の動作によって把持される。その後、多関節ロボット４８によってチャック４７を図３（Ａ）の二点鎖線で示される位置に移動させて剥離用テープＰＴを引き出し、押圧ヘッド５０の下方で接着シートＳに対向するように剥離用テープＰＴを位置させる。
【００２４】
次に、図３（Ｂ）に示されるように、押圧ヘッド５０を直動モータ４９によって下方へ移動させると、剥離用テープＰＴが押し下げられて接着シートＳに当接し、剥離用テープＰＴがヒータ５０Ａによって加熱されて接着シートＳに接着する。その後、プレスローラ２５とガイド部材２３とで剥離用テープＰＴを挟み込み、シリンダ５５、５６を作動させてテープ受け板５４上でカッター刃５３により剥離用テープＰＴを切断する（図３（Ｃ）参照）。これにより、剥離用テープＰＴの一端側が接着シートＳに貼付され、当該剥離用テープＰＴの他端側がチャック４７で保持された状態が形成される。
【００２５】
剥離用テープＰＴを切断後、図２、図３（Ｃ）及び図４に示されるように、多関節ロボット４８がチャック４７を矢印方向に回転させ、一端側が接着シートＳに貼付された剥離用テープＰＴの他端側を、剥離用テープＰＴの一端側から他端側に向かう軸に対して直角の面内で回転する方向にチャック４７を回転移動させる。つまり、多関節ロボット４８が剥離用テープＰＴを捻ることで、剥離用テープＰＴの側端縁ＰＴ２と接着シートＳの外縁Ｓ１との交差位置Ｐから接着シートＳに予備剥離領域Ｓ２を形成して予備剥離を行う。これにより、接着シートＳの外縁Ｓ１上に位置する剥離用テープＰＴの幅方向ＰＴ１がウエハＷ１の被着面に対して傾くようになり、交差位置Ｐから予備剥離領域Ｓ２が形成され、図４の格子模様で示されるように、交差位置Ｐから平面視略三角状の予備剥離領域Ｓ２が接着シートＳの面内に向かって形成される。このように、予備剥離領域Ｓ２を剥離用テープＰＴの側端縁ＰＴ２と接着シートＳの外縁Ｓ１との交差位置Ｐである点から形成し始めるので、当該予備剥離領域Ｓ２の形成において、剥離が一度に広範囲に行われることを防止することができる。
【００２６】
剥離用テープＰＴの一方の側端縁ＰＴ２側から予備剥離領域Ｓ２を形成した後、多関節ロボット４８によってチャック４７を反対方向に回転させ、剥離用テープＰＴの他方の側端縁ＰＴ２側からも上記同様、接着シートＳに予備剥離領域Ｓ２を形成する。これにより、図４の格子模様で示される２箇所に形成された予備剥離領域Ｓ２間に同図中斜線模様で示される平面視Ｖ字状をなす接着領域Ｓ３が形成される。その後、チャック４７及び剥離シートＰＴの向きを剥離用テープＰＴ切断直後の状態に復帰させた後、図３（Ｄ）に示されるように、チャック４７を左方向へ、支持手段１１を右方向へ移動させることで、接着シートＳがウエハＷから剥離される。この剥離の初期段階において、２箇所の予備剥離領域Ｓ２は既に剥離されているので剥離に要する力は殆ど必要としない。よって、接着領域Ｓ３のＶ字の頂点Ｖ１、すなわち、点から剥離を行うことができるようになり、剥離初めの領域が一度に広範囲に形成されることを防止でき、接着シートＳの剥離初めが非常に重くなり、接着シートＳを剥離する初期段階で剥離用テープＰＴが接着シートＳから外れてしまったり、剥離用テープＰＴ自体が切れてしまったりする剥離不良を回避することができる。
【００２７】
なお、２箇所の交差位置Ｐのうち、少なくとも一方に予備剥離領域Ｓ２を形成した後、剥離用テープＰＴの幅方向ＰＴ１がウエハＷ１の被着面に対して傾いた状態を維持しながら、接着シートＳを剥離すべくチャック４７を図３中左方向に移動してもよい。
【００２８】
接着シートＳの剥離を終えると、図示しない搬送手段によりウエハＷが次工程に搬送され、接着シートＳとそれに貼付された剥離用テープＰＴは図示しない回収手段によって回収させる。そして、支持手段１１及びチャック４７が初期位置に復帰した後、上記同様の動作が繰り返されることとなる。
【００２９】
従って、このような実施形態によれば、接着シートＳの剥離に備えて剥離初めが一度に広範囲に行われないように、多関節ロボット４８によって接着シートＳに予備剥離領域Ｓ２を形成することができる。これにより、接着シートＳの剥離初めにおいて剥離用テープＰＴに加わる力を軽減することができ、剥離用テープＰＴが切断したり、剥離用テープＰＴが接着シートＳから外れたりすることをより良く防止して接着シートＳを安定して剥離することが可能となる。
【００３０】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３１】
例えば、本発明における被着体としては、半導体ウエハに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。
更に、剥離用テープＰＴは、感熱接着性の接着テープ以外に感圧接着性の接着テープを採用してもよい。
また、前記実施形態では、２箇所に形成された予備剥離領域Ｓ２の間に平面視Ｖ字状をなす接着領域Ｓ３を形成し、当該Ｖ字の頂点Ｖ１から接着シートＳを剥離するように構成したが、予備剥離領域Ｓ２によってＶ字の接着領域Ｓ３を形成しなくとも、剥離初めが剥離用テープＰＴの接着シートＳへの接着幅以下であれば足りる。
【００３２】
更に、接着シートＳの剥離させるときの動作は、前記実施形態と同様に剥離を行える限りにおいて、チャック４７の動作を停止させ、支持手段１１を移動させてもよいし、支持手段１１の動作を停止させ、チャック４７を移動させるように制御手段１７で制御してもよい。
【００３３】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３４】
１０  シート剥離装置
１２  繰出手段
１３  貼付手段
１５  移動手段
１６  予備剥離手段
ＰＴ  剥離用テープ
ＰＴ２  側端縁
Ｓ  接着シート
Ｓ１  外縁
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
0005564409.tif 000002
【図２】
0005564409.tif 000003
【図３】
0005564409.tif 000004
【図４】
0005564409.tif 000005