(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜多層［この薄膜多層は、交互に配置されているｎ個の銀または銀含有金属合金を主成分とする金属機能層（４０、８０）｛この機能層は、赤外および／または太陽放射における反射特性と、および（ｎ＋１）個のコーティング（２０、６０、１００）（但し、ｎは≧２の整数である。）とを有し、前記コーティングは、複数の誘電体層（２４、２６；６４、６６；１０４）から構成され、少なくとも２つの機能層（４０、８０）は、下のコーティング（２０、６０）の上にそれぞれ直接堆積された結晶性ぬれ層（３０、７０）そのものの上にそれぞれ堆積されている。｝を、それぞれの機能層（４０、８０）が２つのコーティング（２０、６０、１００）の間に設けられるように含む。］を備えており、
２つの下のコーティング（２０、６０）は、それぞれ、少なくとも１つの誘電体層（２４、６４）とおよび非結晶性平滑層（２６、６６）［この平滑層は、それぞれのコーティング内の前記誘電体層の材料とは異なる材料からできており、前記平滑層（２６、６６）は上の結晶性ぬれ層（３０、７０）と接触している。］とを含むことを特徴とする、および、これら２つの下のコーティング（２０、６０）は異なる厚さであり、下のコーティング（６０、２０）［これは、他の下のコーティング（６０、２０）の全厚さより少ない全厚さを有する。］の平滑層（６６、２６）の厚さは、他の下のコーティング（６０、２０）の平滑層（６６、２６）の厚さ以下であり、
少なくとも１つの平滑層（２６、６６）が、亜鉛およびスズを主成分とする混合酸化物の層または低温で堆積された混合インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）の層であり、
前記結晶性ぬれ層（３０、７０）が、酸化亜鉛を主成分とするものであり、
前記平滑層（２６、６６）が、亜鉛およびスズを主成分とする混合酸化物の層または低温で堆積された混合インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）の層である
ことを特徴とする、基材（１０）。
【請求項２】
多層が、３つのコーティングと交互になっている２つの機能層を含むことを特徴とする、請求項１に記載の基材（１０）。
【請求項３】
多層が、４つのコーティングと交互になっている３つの機能層を含むことを特徴とする、請求項１に記載の基材（１０）。
【請求項４】
多層が、５つのコーティングと交互になっている４つの機能層を含むことを特徴とする、請求項１に記載の基材（１０）。
【請求項５】
基材に最も近い下のコーティングが、前記２つの下のコーティング（２０、６０）のうちの、より薄いコーティングであることを特徴とする、請求項１から４のいずれか一項に記載の基材（１０）。
【請求項６】
基材から最も遠い下のコーティングが、２つの隣接する下のコーティングのうちの、より薄いコーティングであることを特徴とする、請求項３または４に記載の基材（１０）。
【請求項７】
少なくとも１つの平滑層（２６、６６）、さらにはすべての平滑層（２６、６６）が、酸素の非化学量論量を有する混合酸化物層であることを特徴とする、請求項１から６のいずれか一項に記載の基材（１０）。
【請求項８】
１つまたはそれぞれの平滑層（２６、６６）が、０．１から３０ｎｍの間の幾何学的厚さを有することを特徴とする、請求項１から７のいずれか一項に記載の基材（１０）。
【請求項９】
１つまたはそれぞれの平滑層（２６、６６）が、０．２から１０ｎｍの間の幾何学的厚さを有することを特徴とする、請求項８に記載の基材（１０）。
【請求項１０】
少なくとも１つのまたはそれぞれの機能層（４０、８０）が、少なくとも１つの上にあるブロッキング層（４５、８５）の下に直接設けられていることを特徴とする、請求項１から９のいずれか一項に記載の基材（１０）。
【請求項１１】
少なくとも１つのブロッキングコーティング（３５、４５、７５、８５）が、ＮｉもしくはＴｉを主成分とすること、またはＮｉを主成分とする合金を主成分とすること、またはＮｉＣｒ合金を主成分とすることを特徴とする、請求項１０に記載の基材（１０）。
【請求項１２】
前記下のコーティング（２０、６０）内の平滑層（２６、６６）に隣接する少なくとも１つのまたはそれぞれの誘電体層（２４、６４）が、窒化物、窒化ケイ素および／または窒化アルミニウムを主成分とすることを特徴とする、請求項１から１１のいずれか一項に記載の基材（１０）。
【請求項１３】
透明ガラス基板であることを特徴とする、請求項１から１２のいずれか一項に記載の基材（１０）。
【請求項１４】
少なくとも１つの他の基材と組み合わされた、請求項１から１３のいずれか一項に記載の少なくとも１つの基材（１０）を組み込んでいるグレージングユニット。
【請求項１５】
少なくとも多層を支持する基材が、曲げられているまたは強化されていることを特徴とする、一体構造の形にてまたは二重グレージングまたは積層グレージング型の多重グレージングとして装着されている、請求項１４に記載のグレージングユニット。
【請求項１６】
前記多層に電力を供給することができる手段を備えていることを特徴とする、請求項１４または１５に記載のグレージングユニット。
【請求項１７】
薄膜多層が、マグネトロンスパッタリング法によって基材上に堆積されること、次いで、曲げ、強化またはアニーリング方式の熱処理が、薄膜多層の光学的および／または機械的品質を低下させることなく基材上で実施されることを特徴とする、請求項１から１３のいずれか一項に記載の基材（１０）を製造するための方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明基材、特にガラスなどの剛性の無機材料から作られているものに関し、前記基材は、太陽放射および／または長波長の赤外放射に作用することのできる、金属型の少なくとも２つの機能層を含む、薄膜多層によりコーティングされている。
【０００２】
本発明は、より特別には、断熱および／または日射防護グレージングを製造するためのこのような基材の使用に関する。これらのグレージングは、特に、空調負荷を低減させることおよび／または過剰な過熱を防止すること（「ソーラーコントロール」グレージングと呼ばれるグレージング）および／または、建築物および車両の客室における板ガラスを嵌め込んだ表面の使用が増大していることにより引き起こされた、外部へ散逸されるエネルギーの量を低減させること（「ローイー」または「低放射率」グレージングと呼ばれるグレージング）を目的として、建築物および車両の両方に装備するように意図され得る。
【０００３】
さらに、これらのグレージングは統合されて、例えば、熱せられる窓またはエレクトロクロミックグレージングなどの、特別の機能を有するグレージングユニットになる。
【０００４】
このような特性を基材に与えることで知られている多層の１つの種類は、赤外および／または太陽放射における反射特性を有する少なくとも２つの金属機能層、特に銀または銀含有金属合金を主成分とする金属機能層から構成される。
【０００５】
それぞれの金属機能層は、同じく結晶性であり、その上に堆積される金属層の適切な結晶配向を促進するぬれ層の上に、結晶の形で堆積される。
【０００６】
それぞれの機能層は、金属酸化物または窒化物の種類の誘電体材料からできている、２つのコーティングの間に設けられる。この多層は、スパッタリング、場合により磁気強化またはマグネトロンスパッタリング、などの真空技法を用いて実施される一連の堆積操作により、一般に得られる。「ブロッキングコーティング」として知られる１つの、またはさらに２つの、非常に薄い膜も備えることができ、これまたはこれらは、それぞれの銀を主成分とする金属機能層のそれぞれの側の下に、上部にまたは上に直接設けられ、下のコーティングは、堆積後に可能性のある熱処理の間保護するための、連接（ｔｉｅ）、核形成および／または保護コーティングとしてのものであり、上のコーティングは、上にある層が酸素もしくは窒素の存在下でスパッタリングにより堆積される場合および／または多層が堆積後に熱処理される場合に、銀が損傷されるのを防ぐための「犠牲」または保護コーティングとしてのものである。
【背景技術】
【０００７】
このように、２つの銀を主成分とする層を有するこの種の多層は、欧州特許ＥＰ−０６３８５２８により知られている。
【０００８】
さらに、酸化亜鉛を主成分とするぬれ層の下で、基材と直接接触している、混合亜鉛およびスズ酸化物を主成分とする非晶質層を使用することは、欧州特許出願番号ＥＰ８０３４８１により知られている。
【０００９】
このような非晶質層が、基材上に直接堆積されることはないが、下の誘電体層とぬれ層の間に挿入される場合は、誘電体層と上に位置するぬれ層との界面を改質し、したがってぬれ層の結晶化および金属機能層の結晶化も大幅に改善できることがわかる。
【００１０】
しかし、１つの機能層を有する、およびいくつかの機能層を有する多層においてこの非晶質層の下に少なくとも１つの誘電体層を備えた、それぞれの下のコーティングにおけるこのような非晶質層を統合することにより、あらゆる場合に、機能層の結晶化を所望するように改善し、したがって多層全体の抵抗率を所望するように改善することは不可能である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の目的は、したがって、前述の型の機能層を有する多層の新規な型を開発することにより、従来技術の欠点を直すことであり、この多層は、機能層およびコーティングの厚さが等しい類似の多層より低い、改善された抵抗率を有する。前記多層は、曲げ、強化またはアニーリング方式の、１つの（または複数の）高温熱処理を受けることも受けないこともあるが、この多層が、１つの（または複数の）このような処理を受ける場合は、この多層の光学的品質および機械的完全性は維持されることになる。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
したがって、この発明の主題は、最も広い意味において、基材、特に透明ガラス基材であり、この基材は、薄膜多層［この薄膜多層は、交互に配置されているｎ個の機能層（４０、８０）｛この機能層は、赤外および／または太陽放射における反射特性と、特に銀または銀含有金属合金を主成分とする金属機能層とおよび（ｎ＋１）個のコーティング（但し、ｎは≧２の整数である。）とを有し、前記コーティングは、複数の誘電体層から構成され、少なくとも２つの機能層は、下のコーティングの上にそれぞれ直接堆積されたぬれ層そのものの上にそれぞれ堆積されている。｝を、それぞれの機能層が２つのコーティングの間に設けられるように含む。］を備えており、２つの下のコーティングは、それぞれ、少なくとも１つの誘電体層とおよび非結晶性平滑層［この平滑層は、それぞれのコーティング内の前記誘電体層の材料とは異なる材料からできており、前記平滑層は上のぬれ層と接触している。］とを含むことを特徴とし、および、これら２つの下のコーティングは異なる厚さであり、下のコーティング［これは、他の下のコーティングの全厚さより少ない全厚さを有する。］の平滑層の厚さは、他の下のコーティングの平滑層の厚さ以下であることを特徴とする。
【００１３】
したがって、本発明の本質的な特徴は、結晶性のぬれ層の下に非結晶性の平滑層を提供し、平滑層が直接またはアンダーブロッキングコーティングを介して接触しているぬれ層の最上部に位置する機能層が適切に成長できるようにすることにある。
【００１４】
平滑層の結晶学的外観は、平滑層が非結晶性であり、ぬれ層は大部分が結晶性であるので、ぬれ層の外観とは必然的に異なり、したがってこの２つの外観は、この観点からして取り違えることはあり得ない。
【００１５】
しかし、いくつかの機能層を有する多層においては、これらの下のコーティングに存在する平滑層の厚さを計算するために、下のコーティングの厚さを考慮することが重要であることが明らかになった。
【００１６】
したがって、本発明の本質的な特徴は、より少い厚さの下のコーティングの平滑層の厚さは、より厚い下のコーティングの平滑層の厚さを超えてはならないということを、定めることにある。
【００１７】
本発明は、多層中の機能層の位置に無関係に、機能層の下のコーティングに当てはまり、１つのおよび同一の薄膜多層において、平滑層を含むすべての下のコーティングが、本発明の定義を満たすことが好ましい。
【００１８】
本発明の意味の範囲内において、層またはコーティング（１つまたは複数の層を含む。）の堆積が、別の堆積物の下で直接または上で直接実施されることが記述されている場合、この記述は、他の層が、これら２つの堆積物の間に置かれることは決してないことを意味する。
【００１９】
平滑層は、好ましくは酸化物を主成分とし、したがって、これらの層は金属ではない。
【００２０】
平滑層は、これらの層が完全に非晶質であるまたは部分的に非晶質であるという意味で、したがって部分的に結晶性であることができるが、これらの層が全体の厚さにわたって完全には結晶性であることはできないという意味で、「非結晶性」と言われる。
【００２１】
このような平滑層の利点は、あまり粗くない、直接の上のぬれ層との界面を得ることを可能にすることである。さらに、この小さな粗さは、透過電子顕微鏡を用いて見ることができる。
【００２２】
さらに、ぬれ層は、より良好な組織を有し、加えて、より明白な、優先的な結晶学的配向を有する。
【００２３】
したがって、それぞれの平滑層は、結晶学的および化学量論的観点からも、その下に平滑層が直接置かれているぬれ層の材料とも、異なった材料からできている。
【００２４】
本発明は、２つが下のコーティングである３つのコーティングの間に置かれた、２つの「機能」層を含んでいる多層にのみ当てはまるわけではない。本発明はまた、３層が下のコーティングである４つのコーティングと交互になった３つの機能層を含むまたは４層が下のコーティングである５つのコーティングと交互になった４つの機能層を含む多層に当てはまる。
【００２５】
多数の機能層を有するこれらの多層に関して、少なくとも１つの機能層、好ましくはそれぞれの機能層が、少なくとも１つの下のブロッキングコーティングの上に直接および／または少なくとも１つの上にあるブロッキングコーティングの下に直接設けられる。
【００２６】
２つの機能層を有する多層の場合、他の場合でさえも、平滑層を含む前記２つの下のコーティングのより薄い方のコーティングは、好ましくは、基材に最も近いコーティングであり、さらに直接または例えば酸化チタン（ＴｉＯ２）を主成分とする接触層を介して間接的に基材と接触している。
【００２７】
２つを超える機能層を有する多層の場合、基材から最も遠い下のコーティングは、２つの隣接する下のコーティングのより薄い方である。
【００２８】
好ましくは、少なくとも１つの平滑層、さらにはすべての平滑層は、酸化物層、特に以下の金属：Ｓｎ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｚｎ、Ｇａ、Ｉｎの１種または複数の酸化物を主成分とする混合酸化物層、より厳密には、亜鉛およびスズを主成分とする混合酸化物の層または低温で堆積された混合インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）の層である。
【００２９】
平滑層の屈折率は、好ましくは２．２未満である。
【００３０】
加えて、好ましくは、少なくとも１つの平滑層、さらにはすべての平滑層は、酸素の非化学量論量を有する酸化物層、および、さらに、より特別には、アンチモンをドープされた、亜鉛およびスズを主成分とする半化学量論的混合酸化物層（ＳｎＺｎＯｘ：Ｓｂ、ｘは数字である。）である。
【００３１】
さらに、この（またはそれぞれの）平滑層は、特に、含まれている２つのより薄い方に関して、好ましくは、０．１から３０ｎｍの間の、およびより好ましくは０．２から１０ｎｍの間の幾何学的厚さを有する。
【００３２】
好ましい変形において、少なくとも１つのブロッキングコーティングは、ＮｉまたはＴｉを主成分としまたはＮｉを主成分とする合金を主成分とし、特にＮｉＣｒ合金を主成分とする。
【００３３】
加えて、少なくとも１つの、好ましくはそれぞれの機能層の下のぬれ層は、好ましくは、酸化亜鉛を主成分とし、これらのぬれ層は、特にアルミニウムがドープされた酸化亜鉛を主成分とすることができる。
【００３４】
それぞれのぬれ層の幾何学的厚さは、好ましくは２から３０ｎｍの間およびより好ましくは３から２０ｎｍの間である。
【００３５】
さらに、前記下のコーティング内で平滑層に隣接する、少なくとも１つの、好ましくはそれぞれの誘電体層、特に平滑層の下に直接位置する誘電体層は、好ましくは、窒化物、特に窒化ケイ素および／または窒化アルミニウムを主成分とする。
【００３６】
この窒化物を主成分とする誘電体層の屈折率は、好ましくは２．２未満である。
【００３７】
本発明によるグレージングは、本発明による多層を支持する基材、場合により少なくとも１つの他の基材と組み合わされた基材を少なくとも組み込む。それぞれの基材は、透明であることまたは着色されることができる。基材の少なくとも１つは、特にバルクの着色ガラスで作ることができる。着色の種類の選択は、光透過の水準および／または、グレージングの製造が完了した後のグレージングにとって望ましい測色による外観に依存する。
【００３８】
したがって、車両に装備される予定のグレージングに関して、いくつかの規格は、フロントガラスは約７５％の光透過率ＴＬを有しなければならないと指示し、他のいくつかの規格は約６５％の光透過率ＴＬを課しており、透過率のこのような水準は、例えばサイドガラスまたはサンルーフに対しては要求されていない。使用され得る着色ガラスは、例えば、４ｍｍ厚の場合、６５％から９５％のＴＬ、４０％から８０％のエネルギー透過率ＴＥ、４７０ｎｍから５２５ｎｍの透過主波長を有し、Ｄ６５光源下で０．４％から６％の透過純度を伴い、（Ｌ、ａ＊、ｂ＊）表色系において、それぞれ−９から０の間および−８から＋２の間の、透過におけるａ＊およびｂ＊値を「もたらす」ことができるものである。
【００３９】
建築物に装備される予定のグレージングに関して、このグレージングは、好ましくは、「低放射」用途の場合、少なくとも７５％以上の光透過率ＴＬを有し、「ソーラーコントロール」用途の場合、少なくとも４０％以上の光透過率ＴＬを有する。
【００４０】
本発明によるグレージングは、積層構造、特に、ガラス型の少なくとも２つの剛性基材を、熱可塑性ポリマーの少なくとも１つのシートと組み合わせた構造を有し、ガラス／薄膜多層／シート／ガラスの型の構造を有することができる。このポリマーは、特にポリビニルブチラール（ＰＶＢ）、エチレン／酢酸ビニル（ＥＶＡ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）またはポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）を主成分とすることができる。
【００４１】
このグレージングはまた、非対称積層グレージング構造と呼ばれる構造を有することができ、この構造は、ガラス型の剛性基材を、場合により「自己回復」特性を有するポリマーの別の層と組み合わされた、エネルギー吸収特性を有するポリウレタン型のポリマーの少なくとも１つのシートと組み合わせたものである。グレージングのこの型に関するさらなる詳細に関して、読者は、特許ＥＰ−０１３２１９８、ＥＰ−０１３１５２３、ＥＰ−０３８９３５４を特に参照することができる。
【００４２】
したがって、このグレージングは、型：ガラス／薄膜多層／ポリマーシートの構造を有することができる。
【００４３】
本発明によるグレージングは、薄膜多層を損傷することなしに熱処理を受けることができる。したがって、このグレージングは、曲げられるおよび／または強化されるであろう。
【００４４】
このグレージングは、多層を備えた単一基材からなる場合、曲げられるおよび／または強化されることができる。それで、このグレージングは、「一体構造」グレージングと呼ばれる。グレージングが、特に車両用の窓を製造する目的で曲げられる場合、薄膜多層は、好ましくは、少なくとも一部が非平面である面上に存在する。
【００４５】
このグレージングはまた、少なくとも多層を支持する基材が曲げられているおよび／または強化されている、多重グレージングユニット、特に二重グレージングユニットであり得る。多重グレージング配置においては、多層が、中間のガス充満空間を向くように設けられることが好ましい。積層構造において、多層を支持する基材は、好ましくはポリマーのシートと接触している。
【００４６】
グレージングが一体構造であるまたは二重グレージングもしくは積層グレージング型の多重グレージングの形である場合、少なくとも多層を支持する基材は、曲げまたは強化ガラスから製造することができ、この基材は、多層が堆積される前または堆積された後に曲げることまたは強化することが可能である。
【００４７】
一変形において、グレージングは、前記多層に電力を供給することができる手段を備えている。
【００４８】
本発明はまた、本発明による基材を製造するための方法に関し、この方法の本質的な特徴は、スパッタリング型の、場合により磁気強化スパッタリングの型の真空技法により、薄膜多層をこの基材上に堆積させること、次いでこのコーティングされた基材の光学的および／または機械的品質を低下させることなく、コーティングされた基材に、曲げ、強化またはアニーリング方式の熱処理を実施することにある。
【００４９】
しかし、多層の第１層が別の技法により、例えば熱分解型の熱分解技法により、堆積され得ることを排除するものではない。
【実施例】
【００５０】
本発明の詳細および有利な特徴は、添付図を用いて説明される、以下の非限定的な例から明らかになるであろう。
【００５１】
図１は、単一のオーバーブロッキング層を有するコーティングを備え、平滑層を備えているまたは備えていない単一機能層を有する多層のシート抵抗の、熱処理前の変化を、下に設けられた誘電体層の厚さの関数として示す。
図２は、平滑層を備えているまたは備えていない、図１と同じ単一機能層を有する多層のシート抵抗の、熱処理後の変化を、下に設けられた誘電体層の厚さの関数として示す。
図３は、単一のオーバーブロッキング層を有するコーティングを備えている単一の機能層を有する多層のシート抵抗の、熱処理前の変化を、平滑層の厚さの関数として示す。
図４は、図３と同じ単一機能層を有する多層のシート抵抗の、熱処理後の変化を、平滑層の厚さの関数として示す。
図５は、本発明による２つの機能層（それぞれの機能層は、オーバーブロッキングコーティングを備えているがアンダーブロッキングコーティングを備えていない。）を有する多層を示す。
図６は、本発明による２つの機能層（それぞれの機能層は、アンダーブロッキングブロックコーティングを備えているがオーバーブロッキングコーティングを備えていない。）を有する多層を示す。
図７は、本発明による２つの機能層（それぞれの機能層は、アンダーブロッキングコーティングおよびオーバーブロッキングコーティングを備えている。）を有する多層を示す。
図８は、本発明による３つの機能層（それぞれの機能層は、アンダーブロッキングブロックコーティングを備えているがオーバーブロッキングコーティングを備えていない。）を有する多層を示す。
図９は、本発明による４つの機能層（それぞれの機能層は、アンダーブロッキングブロックコーティングを備えているがオーバーブロッキングコーティングを備えていない。）を有する多層を示す。
【００５２】
多層を例示する図において、様々な材料の厚さは、図をより容易に理解するために、厳密に一定の縮尺比で描かれてはいない。
【００５３】
さらに、以下のすべての例において、明白な特段の記述がない限り、薄膜多層は、２ｍｍの厚さを有するソーダ石灰ガラスで作られた基材１０の上に堆積される。
【００５４】
熱処理が基材に適用されたいずれの場合も、この熱処理は、約６６０℃の温度で約５分間のアニーリング処理後、周囲空気（約２０℃）中で冷却するものであった。
【００５５】
図１から４の目的は、多層中に平滑層が存在することの重要性を説明することである。
【００５６】
しかし、これらの図を作成するために使用されてきた多層は、この多層が、型：
基材／Ｓｉ３Ｎ４／ＳｎＺｎＯｘ：Ｓｂ／ＺｎＯ／Ａｇ／Ｔｉ／ＺｎＯ／Ｓｉ３Ｎ４
可変／可変／８ｎｍ／１０ｎｍ／２ｎｍ／８ｎｍ／２０ｎｍ
の単一機能層を有する多層であるので、本発明による多層ではない。
【００５７】
図１および２において、曲線Ｃ１およびＣ１１は、多層が平滑層を備えていない場合の、それぞれ熱処理前（ＢＨＴ）および熱処理後（ＡＨＴ）の多層のシート抵抗（オームで表す。）の変化を、基材と接触している窒化ケイ素（ｅ  Ｓｉ３Ｎ４）を主成分とする誘電体層の厚さの関数として図示する。
【００５８】
曲線Ｃ２およびＣ１２は、多層がＳｎＺｎＯｘ：Ｓｂ（ｘはゼロでない数字を意味する。）から作られた６ｎｍの厚さを有する平滑層を備えている場合の、それぞれ熱処理前および熱処理後の、多層のシート抵抗（オームで表す。）の変化を、基材と接触している窒化ケイ素（ｅ  Ｓｉ３Ｎ４）を主成分とする誘電体層の厚さの関数として図示する。
【００５９】
曲線Ｃ３およびＣ１３は、多層がＳｎＺｎＯｘ：Ｓｂを主成分とする２０ｎｍの厚さを有する平滑層を備えている場合の、それぞれ熱処理前および熱処理後の、多層のシート抵抗（オームで表す。）変化を、基材と接触している窒化ケイ素（ｅ  Ｓｉ３Ｎ４）を主成分とする誘電体層の厚さの関数として図示する。
【００６０】
これらの図１および２を見てわかるように、基材と接触している誘電体層の厚さが同一の場合（例えば２０ｎｍ）について、多層が、基材と接触している窒化ケイ素を主成分とする誘電体層と、銀Ａｇを主成分とする機能層の下にある酸化亜鉛ＺｎＯを主成分とするぬれ層との間に、ＳｎＺｎＯｘ：Ｓｂを主成分とする平滑層を含むとき、多層のシート抵抗は、曲線Ｃ２、Ｃ３、Ｃ１２およびＣ１３に関して、常に低く、したがってより良好である。さらに、多層のシート抵抗は、２０ｎｍの平滑層厚さに関して、常に低い（曲線Ｃ３およびＣ１３）。
【００６１】
混合酸化物から製造された平滑層は、厚さ全体を通して非晶質であるのに対して、ぬれ層および金属機能層は両方とも厚さ全体を通して結晶性であることが検証された。
【００６２】
このように、平滑層が存在すると、下にある誘電体層の同等の厚さに関して、多層のシート抵抗を大幅に改善させ、この改善は、平滑層の厚さが大きい場合、より一層大きい。
【００６３】
図３および４において、これらの曲線は、多層が、基材とＳｎＺｎＯｘ：Ｓｂを主成分とする層との間に、窒化ケイ素Ｓｉ３Ｎ４を主成分とする２０ｎｍの層を備えているとき、それぞれ熱処理前（ＢＨＴ）および熱処理後（ＡＨＴ）の、多層のシート抵抗（オームで表す。）の変化を、アンチモンをドープされた亜鉛およびスズ酸化物（ｅ  ＳｎＺｎＯｘ：Ｓｂ）を主成分とする平滑層の厚さの関数として図示する。
【００６４】
混合酸化物から製造された平滑層が、層の厚さ全体を通して非晶質であるのに対して、ぬれ層および金属機能層は共に厚さ全体を通して結晶性であることも検証された。
【００６５】
これらの図３および４を見てわかるように、平滑層が存在すると、＞０から４ｎｍの厚さを有する平滑層に関して、多層のシート抵抗を大幅に改善させ、この改善は、平滑層の厚さが大きい場合、より一層大きい。
【００６６】
同様の観察を、アンダーブロッキングコーティングを備え、オーバーブロッキングコーティングを備えていない単一機能層、またはアンダーブロッキングコーティングおよびオーバーブロッキングコーティングを備えている単一機能層を有する多層について行うことができる。
【００６７】
さらに試験は、層の粗さを測定するために実施された。
【００６８】
下の表１は、Ｘ線反射光測定により測定され、ｎｍで表された粗さを示す（基材の粗さは約０．４である。）。
【００６９】
【表１】
0005491736.tif 000002
【００７０】
この表を見てわかるように、ガラス上に堆積されただけの、窒化ケイ素Ｓｉ３Ｎ４を主成分とする層の粗さは大きいが、インジウムスズ酸化物ＳｎＩｎＯｘ（ＩＴＯ）を主成分とする混合酸化物の層、または窒化ケイ素を主成分とする層の上に堆積された、混合亜鉛スズ酸化物ＳｎＺｎＯｘ：Ｓｂを主成分とする層を含む多層の最終の粗さは、小さい。したがって、混合酸化物を主成分とするぬれ層により、ぬれ層に接する界面の粗さを改善することが、この粗さを低減させることによって可能となる。
【００７１】
これらの観察に基づいて、基材１０の上に、赤外および／または太陽放射における反射特性を有するｎ個の機能層４０、８０、１２０、１６０、特に銀または銀含有金属合金を主成分とする金属機能層とおよび（ｎ＋１）個のコーティング２０、６０、１００、１４０、１８０（但し、ｎは２以上の整数である。）とが交互に配置されている薄膜多層を堆積させることが可能であり、前記コーティングは、複数の誘電体層２４、２６；６２、６４、６６；１０２、１０４、１０６、１４２、１４４、１４６、１８２、１８４から構成され、その結果、それぞれの機能層４０、８０、１２０、１６０が２つのコーティング２０、６０、１００、１４０、１８０の間に設けられており、少なくとも２つの機能層好ましくはそれぞれの機能層は、それぞれ、下のコーティング２０、６０、１００、１４０の上に直接堆積されたぬれ層３０、７０、１１０、１５０そのものの上に堆積される。
【００７２】
こうして、上の単一機能層試験に基づいて、いくつかの、２機能層試験が実施されたが、試験はすべてが満足すべきものとは限らなかった。
【００７３】
１と２の番号が付けられた２つの実施例が、図５において図示されている２つの機能層を有する多層構造を基礎として製造され、それぞれの機能層４０、８０は、オーバーブロッキングコーティング４５、８５を備え、アンダーブロッキングコーティングは備えていない。
【００７４】
下の表２は、層のそれぞれのナノメートルで表された厚さを示す。
【００７５】
【表２】
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【００７６】
したがって、本発明による実施例１において、より厚さが少い下のコーティング２０の、アンチモンがドープされた亜鉛スズ酸化物ＳｎＺｎＯｘ：Ｓｂを主成分とする平滑層２６の厚さは、より厚い下のコーティング６０の、アンチモンがドープされた亜鉛スズ酸化物ＳｎＺｎＯｘ：Ｓｂを主成分とする平滑層６６の厚さがより少いのに対して、対照例２において、より厚さが少い下のコーティング２０の平滑層２６の厚さは、より厚い下のコーティング６０の平滑層６６の厚さを超える。
【００７７】
得られた抵抗率を下の表３に示す。
【００７８】
【表３】
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【００７９】
したがって、本発明による実施例１の抵抗率は、熱処理前および熱処理後の両方において、実施例２の抵抗率より良好である。
【００８０】
実施例２の場合、いくつかの機能層を有する多層において平滑層を統合すると、平滑層が非晶質であり、ぬれ層が結晶性であるにもかかわらず（このことは、検証されている。）、機能層の結晶化において、実施例１の場合に得られた、所望の改善に到達することができない。
【００８１】
３の番号が付けられた実施例の別のシリーズが、図６において図示されている２つの機能層を有する多層構造を基礎として製造された。それぞれの機能層４０、８０は、アンダーブロッキングコーティング３５、７５を備えているが、図６において見られる機械的保護層２００を備えていない。
【００８２】
下の表４は、層のそれぞれのナノメートルで表された厚さを示す。
【００８３】
【表４】
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【００８４】
これに基づいて、３ａから３ｆの番号が付けられた６個の実施例が製造された。
【００８５】
下の表５は、それぞれの実施例の、ナノメートルで表されたＸおよびＹ値を示す。
【００８６】
【表５】
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【００８７】
このように、本発明による実施例３ａ、３ｃおよび３ｅにおいて、より厚さが少い下のコーティング２０の平滑層２６の厚さは、より厚い下のコーティング６０の平滑層６６の厚さより少いのに対して、対照例３ｂ、３ｄおよび３ｆにおいては、より厚さが少い下のコーティング２０の平滑層２６の厚さは、より厚い下のコーティング６０の平滑層６６の厚さを超える。
【００８８】
これらの実施例の抵抗率、光学およびエネルギー特性は、下の表６に示される（光学およびエネルギー特性は、アニーリングして、構造：外側／２．１ｍｍガラス基材／０．２５ｍｍＰＶＢ／多層を支持する２．１ｍｍガラス基材を有する積層グレージングに挿入した後、測定され、したがって、この多層は、表面３に存在し、入射太陽光線の方向に対して番号を付けられている。）。
【００８９】
【表６】
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【００９０】
このように、本発明による実施例３ａ、３ｃ、３ｅの多層の抵抗率（熱処理後、ここで測定された。）は、それぞれ、対応する対照例３ｂ、３ｄ、３ｆより、より一層低い。
【００９１】
さらに、エネルギー透過率ＴＥ、光源Ａの下で測定された光透過率ＴＬ、エネルギー反射率ＲＥ、光源Ｄ６５の下で測定された光反射ＲＬ（Ｄ６５）および層の側で光源Ｄ６５の下で測定されたＬＡＢ系における反射色ａ＊およびｂ＊は、本発明による実施例および対応する対照例３ｂ、３ｄ、３ｆの間で非常に大きく変化することはない。
【００９２】
熱処理前にここで測定された光学およびエネルギー特性と、熱処理後のこれらの同一特性を比較することによっては、いかなる劣化も観察されなかった。
【００９３】
他の試験が、それぞれの機能層４０、８０が、アンダーブロッキングコーティング３５、３７およびオーバーブロッキングコーティング４５、８５を備えている、図７において図示されている、２つの機能層を有する多層構造に基づいて実施された。これらの試験は、同様の観察をもたらした。
【００９４】
２つの機能層を有する構造に関して、より厚さが少い下のコーティングの平滑層が、基材に最も近いこと、したがって、より厚い下のコーティングの平滑層が、基材から最も遠く離れていることが好ましいことが観察された。
【００９５】
加えて、本発明を、例えば図８において図示されている多層などの、３つの機能層を有する多層に適用することが可能である。
【００９６】
図示された配置において、それぞれの機能層４０、８０、１２０は、アンダーブロッキングコーティング３５、７５、１１５を備えているが、このアンダーブロッキングコーティング３５、７５、１１５に加えてまたはこのアンダーブロッキングコーティングなしで、オーバーブロッキングコーティングを提供することも可能である。
【００９７】
さらに、図示された配置において、それぞれの下のコーティング２０、６０、１００は、本発明に従った平滑層２６、６６、１０６を含む。
【００９８】
３つの機能層を有する構造に関して、より厚さが少い下のコーティングの平滑層が基材に最も近いこと、およびより厚い下のコーティングの平滑層が中心の平滑層６６であること、および基材から最も遠い層１０６が、基材に最も近い平滑層２６の厚さを超え、中心の平滑層６６の厚さより少いことが好ましいことが観察された。
【００９９】
この構造において、２つの平滑層だけを提供すること、すなわち、本発明に対応する２つの下のコーティングだけを提供することが可能である。この場合、前記２つの下のコーティングのより厚くないコーティングが、基材から最も遠い。
【０１００】
加えて、本発明を、例えば、図９に図示された多層などの、４つの機能層を有する多層に適用することが可能である。
【０１０１】
図示された配置において、それぞれの機能層４０、８０、１２０、１６０は、アンダーブロッキングコーティング３５、７５、１１５、１５５を備えているが、このアンダーブロッキングコーティング３５、７５、１１５、１５５に加えてまたはこのアンダーブロッキングコーティングなしで、オーバーブロッキングコーティングを提供することも可能である。
【０１０２】
さらに、図示された配置において、それぞれの下のコーティング２０、６０、１００、１４０は、本発明による平滑層２６、６６、１０６、１４６を含む。
【０１０３】
この多層は、例えば、国際特許出願ＷＯ２００５／０５１８５８からわかるように、基材１０を、２つの機能層を有する多層を堆積させるための装置に２回通して：
１回目の通過の間に、層２４から１０２まで、次いで、
２回目の通過の間に、層１０４から１８２まで、次いで、
堆積を仕上げるための装置内で、層１８４および２００
を堆積させることにより、得ることができる。
【０１０４】
この構造において、２つの平滑層だけを提供すること、すなわち、本発明に対応する２つの下のコーティングだけを提供することが可能である。この場合、前記２つの下のコーティングのより薄いコーティングが、基材から最も遠い。
【０１０５】
本発明を、一例として上に説明した。当業者は、特許請求の範囲によって定義される本特許の範囲を逸脱することなく、本発明の様々な代替形態を作りだし得ることが理解されよう。
【図面の簡単な説明】
【０１０６】
【図１】単一のオーバーブロッキング層を有するコーティングを備え、平滑層を備えているまたは備えていない単一機能層を有する多層のシート抵抗の、熱処理前の変化を、下に設けられた誘電体層の厚さの関数として示す図である。
【図２】平滑層を備えているまたは備えていない、図１と同じ単一機能層を有する多層のシート抵抗の、熱処理後の変化を、下に設けられた誘電体層の厚さの関数として示す図である。
【図３】単一のオーバーブロッキング層を有するコーティングを備えている単一の機能層を有する多層のシート抵抗の、熱処理前の変化を、平滑層の厚さの関数として示す図である。
【図４】図３と同じ単一機能層を有する多層のシート抵抗の、熱処理後の変化を、平滑層の厚さの関数として示す図である。
【図５】本発明による２つの機能層（それぞれの機能層は、オーバーブロッキングコーティングを備えているがアンダーブロッキングコーティングを備えていない。）を有する多層を示す図である。
【図６】本発明による２つの機能層（それぞれの機能層は、アンダーブロッキングブロックコーティングを備えているがオーバーブロッキングコーティングを備えていない。）を有する多層を示す図である。
【図７】本発明による２つの機能層（それぞれの機能層は、アンダーブロッキングコーティングおよびオーバーブロッキングコーティングを備えている。）を有する多層を示す図である。
【図８】本発明による３つの機能層（それぞれの機能層は、アンダーブロッキングブロックコーティングを備えているがオーバーブロッキングコーティングを備えていない。）を有する多層を示す図である。
【図９】本発明による４つの機能層（それぞれの機能層は、アンダーブロッキングブロックコーティングを備えているがオーバーブロッキングコーティングを備えていない。）を有する多層を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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