(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物に対してＸ線検査を行うＸ線検査装置であって、
Ｘ線を対象物に対して照射するＸ線照射手段と、
照射された前記Ｘ線を検出して前記Ｘ線検査を行うことで当該対象物のＸ線像を取得するＸ線検出手段と、
対象物に対して光学撮影を行うことで当該対象物の外観像を取得する光学カメラと
を備えるとともに、
前記Ｘ線検出手段により取得されたＸ線像と前記光学カメラにより取得された外観像とを同一対象物毎に互いに関連付けてそれぞれ記憶する記憶手段と、
その記憶手段に過去に記憶された複数の前記Ｘ線像からなるＸ線像群または複数の前記外観像からなる外観像群のいずれか一方の画像群の中から対象となる一方の画像を選択する画像選択手段と、
その画像選択手段で選択された前記一方の画像に関連付けられ、かつ前記記憶手段に過去に記憶された他方の画像を読み出して表示する表示手段と
を備えることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載のＸ線検査装置において、
前記画像選択手段は、前記記憶手段に過去に記憶された前記外観像群の中から対象となる外観像を選択し、
前記表示手段は、前記画像選択手段で選択された前記外観像に関連付けられ、かつ前記記憶手段に過去に記憶されたＸ線像を読み出して表示する
ことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載のＸ線検査装置において、
前記表示手段は、前記記憶手段に過去に記憶された前記外観像を読み出して複数に一覧表示し、
前記画像選択手段は、前記表示手段に一覧表示された複数の前記外観像からなる外観像群の中から対象となる外観像を選択することで、前記記憶手段に過去に記憶された前記外観像群の中から対象となる外観像を選択する
ことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載のＸ線検査装置において、
前記表示手段は、前記画像選択手段で選択された前記外観像を表示するとともに、当該外観像に関連付けられ、かつ前記記憶手段に過去に記憶されたＸ線像を読み出して表示する
ことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項５】
請求項１に記載のＸ線検査装置において、
前記画像選択手段は、前記記憶手段に過去に記憶された前記Ｘ線像群の中から対象となるＸ線像を選択し、
前記表示手段は、前記画像選択手段で選択された前記Ｘ線像に関連付けられ、かつ前記記憶手段に過去に記憶された外観像を読み出して表示する
ことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項６】
請求項５に記載のＸ線検査装置において、
前記表示手段は、前記記憶手段に過去に記憶された前記Ｘ線像を読み出して複数に一覧表示し、
前記画像選択手段は、前記表示手段に一覧表示された複数の前記Ｘ線像からなるＸ線像群の中から対象となるＸ線像を選択することで、前記記憶手段に過去に記憶された前記Ｘ線像群の中から対象となるＸ線像を選択する
ことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項７】
請求項５または請求項６に記載のＸ線検査装置において、
前記表示手段は、前記画像選択手段で選択された前記Ｘ線像を表示するとともに、当該Ｘ線像に関連付けられ、かつ前記記憶手段に過去に記憶された外観像を読み出して表示する
ことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれかに記載のＸ線検査装置において、
前記記憶手段は、前記Ｘ線像をそれに該当する外観像の区分箇所に関連付けてそれぞれ記憶し、
前記画像選択手段は、前記記憶手段に過去に記憶された複数のＸ線像または前記外観像の中から対象となるＸ線像または外観像の区分箇所のいずれか一方の画像を選択し、
前記表示手段は、前記画像選択手段で選択された前記一方の画像に関連付けられ、かつ前記記憶手段に過去に記憶された他方の画像を読み出して表示するとともに、選択された外観像の区分箇所あるいは選択されたＸ線像に関連付けられた外観像の区分箇所を、当該外観像の他の箇所と識別して表示する
ことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項９】
対象物に対してＸ線検査を行うＸ線検査装置であって、
Ｘ線を対象物に対して照射するＸ線照射手段と、
照射された前記Ｘ線を検出して前記Ｘ線検査を行うことで当該対象物のＸ線像を取得するＸ線検出手段と、
対象物に対して光学撮影を行うことで当該対象物の外観像を取得する光学カメラと
を備えるとともに、
前記Ｘ線検出手段により取得された複数のＸ線像と前記光学カメラにより取得された外観像とを同一対象物毎に互いに関連付けるとともに、Ｘ線像をそれに該当する外観像の区分箇所に関連付けてそれぞれ記憶する記憶手段と、
その記憶手段に過去に記憶された複数のＸ線像または前記外観像の中から対象となるＸ線像または外観像の区分箇所のいずれか一方の画像を選択する画像選択手段と、
その画像選択手段で選択された前記一方の画像に関連付けられ、かつ前記記憶手段に過去に記憶された他方の画像を読み出して表示するとともに、選択された外観像の区分箇所あるいは選択されたＸ線像に関連付けられた外観像の区分箇所を、当該外観像の他の箇所と識別して表示する表示手段と
を備えることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項１０】
請求項８または請求項９に記載のＸ線検査装置において、
前記画像選択手段は、前記記憶手段に過去に記憶された前記外観像の中から対象となる外観像の区分箇所を選択し、
前記表示手段は、前記画像選択手段で選択された前記外観像の区分箇所に関連付けられ、かつ前記記憶手段に過去に記憶されたＸ線像を読み出して表示するとともに、選択された外観像の区分箇所を当該外観像の他の箇所と識別して表示する
ことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載のＸ線検査装置において、
前記表示手段は、前記記憶手段に過去に記憶された前記外観像の区分箇所を読み出して複数に一覧表示し、
前記画像選択手段は、前記表示手段に一覧表示された複数の前記区分箇所の中から対象となる区分箇所を選択することで、前記記憶手段に過去に記憶された前記外観像の中から対象となる外観像の区分箇所を選択する
ことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項１２】
請求項１０または請求項１１に記載のＸ線検査装置において、
前記表示手段は、前記画像選択手段で選択された前記外観像の区分箇所を表示し、選択された外観像の区分箇所を当該外観像の他の箇所と識別して表示するとともに、当該外観像の区分箇所に関連付けられ、かつ前記記憶手段に過去に記憶されたＸ線像を読み出して表示する
ことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項１３】
請求項８または請求項９に記載のＸ線検査装置において、
前記画像選択手段は、前記記憶手段に過去に記憶された複数の前記Ｘ線像の中から対象となるＸ線像を選択し、
前記表示手段は、前記画像選択手段で選択された前記Ｘ線像に関連付けられ、かつ前記記憶手段に過去に記憶された外観像の区分箇所を読み出して表示するとともに、選択されたＸ線像に関連付けられた外観像の区分箇所を当該外観像の他の箇所と識別して表示する
ことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載のＸ線検査装置において、
前記表示手段は、前記記憶手段に過去に記憶された前記Ｘ線像を読み出して複数に一覧表示し、
前記画像選択手段は、前記表示手段に一覧表示された複数の前記Ｘ線像の中から対象となるＸ線像を選択することで、前記記憶手段に過去に記憶された複数の前記Ｘ線像の中から対象となるＸ線像を選択する
ことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項１５】
請求項１３または請求項１４に記載のＸ線検査装置において、
前記表示手段は、前記画像選択手段で選択された前記Ｘ線像を表示し、当該Ｘ線像に関連付けられ、かつ前記記憶手段に過去に記憶された外観像の区分箇所を読み出して表示するとともに、選択されたＸ線像に関連付けられた外観像の区分箇所を当該外観像の他の箇所と識別して表示する
ことを特徴とするＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、対象物に対するＸ線検査を行うＸ線検査装置に係り、特に、対象物に対してＸ線透視撮影あるいはＣＴ撮影を行うことでＸ線検査を行う技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のＸ線検査装置は、Ｘ線検査の前に観察ポイント（すなわち検査位置）を予め設定して登録する「ティーチング」と呼ばれる機能を搭載している。このティーチングを予め行うことで、ティーチングで登録された観察ポイントにしたがってＸ線検査を行うことが可能となる。
【０００３】
なお、Ｘ線検査の対象物としては、実装基板、多層基板のスルーホール／パターン／はんだ接合部、パレット上に配置された集積回路（IC: Integrated Circuit）のような実装前の電子部品、金属などの鋳物、ビデオデッキのような成型品などがある。
【０００４】
Ｘ線検査装置では、現在、Ｘ線検査を行っている部分がサンプル（対象物）全体のどの部分になるのかを示すために、光学カメラによる外観像を用いる装置がある（例えば、特許文献１参照）。Ｘ線検査装置では、通常、サンプルを拡大撮影して細部の観察を行うが、光学カメラによる外観像を用いる装置では、予め光学カメラによりサンプルの全景を光学撮影し、その光学撮影によって得られた外観像上に現在観察している部分を示すことで、サンプルの中のどの部分を観察しているのかをユーザがわかるようにしている。
【０００５】
また、Ｘ線検査装置には、過去に撮影されたＸ線像（透視撮影の場合にはＸ線透視像）を一覧表示する機能を有するものがある。一覧表示された画像の中からユーザは目的の画像を選択し、その画像に対してコントラストの調整や印刷や寸法計測などの様々な機能を実行する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−３４３１９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、過去に撮影された一連のＸ線透視像から目的のサンプルの画像を検索しようとした場合、Ｘ線透視像はサンプルの一部分を拡大して撮影されていることもあり、Ｘ線透視像だけからは、どのサンプルを撮影したものかがわかり難い場合がある。また、どのサンプルを撮影したものかがわかっている場合でも、Ｘ線透視像だけではサンプルの中のどの部分を撮影しているのかがわかり難いという問題もある。
【０００８】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、対象物から過去に撮影された画像を検索することができる、または過去に撮影された画像から対象物あるいは対象物中のどの部分かがわかることができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、この発明に係るＸ線検査装置（前者の発明）は、対象物に対してＸ線検査を行うＸ線検査装置であって、Ｘ線を対象物に対して照射するＸ線照射手段と、照射された前記Ｘ線を検出して前記Ｘ線検査を行うことで当該対象物のＸ線像を取得するＸ線検出手段と、対象物に対して光学撮影を行うことで当該対象物の外観像を取得する光学カメラとを備えるとともに、前記Ｘ線検出手段により取得されたＸ線像と前記光学カメラにより取得された外観像とを同一対象物毎に互いに関連付けてそれぞれ記憶する記憶手段と、その記憶手段に過去に記憶された複数の前記Ｘ線像からなるＸ線像群または複数の前記外観像からなる外観像群のいずれか一方の画像群の中から対象となる一方の画像を選択する画像選択手段と、その画像選択手段で選択された前記一方の画像に関連付けられ、かつ前記記憶手段に過去に記憶された他方の画像を読み出して表示する表示手段とを備えることを特徴とするものである。
【００１０】
［作用・効果］この発明に係るＸ線検査装置（前者の発明）によれば、Ｘ線検出手段により取得されたＸ線像と光学カメラにより取得された外観像とを同一対象物毎に互いに関連付けて、記憶手段にそれぞれ記憶する。そして、その記憶手段に過去に記憶された複数のＸ線像からなるＸ線像群または複数の外観像からなる外観像群のいずれか一方の画像群の中から対象となる一方の画像を画像選択手段が選択する。その画像選択手段で選択された一方の画像に関連付けられ、かつ記憶手段に過去に記憶された他方の画像を読み出して表示手段に表示する。もし、選択の対象となる一方の画像が外観像の場合には、選択された外観像の対象物（サンプル）から、それに関連付けられた他方の画像であるＸ線像を表示することができ、対象物から過去に撮影された画像を検索することができる。もし、選択の対象となる一方の画像がＸ線像の場合には、選択されたＸ線像から、それに関連付けられた他方の画像である外観像を表示することができ、過去に撮影された画像から対象物がわかることができる。
【００１１】
上述した前者の発明の一例は、画像選択手段は、記憶手段に過去に記憶された外観像群の中から対象となる外観像を選択し、表示手段は、画像選択手段で選択された外観像に関連付けられ、かつ記憶手段に過去に記憶されたＸ線像を読み出して表示することである。この一例の場合には、選択された外観像の対象物から、それに関連付けられた他方の画像であるＸ線像を表示することができ、対象物から過去に撮影された画像を検索することができる。
【００１２】
この一例の場合には、記憶手段に過去に記憶された外観像群の中から対象となる外観像を選択するのに、以下のように一覧表示するのが好ましい。すなわち、表示手段は、記憶手段に過去に記憶された外観像を読み出して複数に一覧表示し、画像選択手段は、表示手段に一覧表示された複数の外観像からなる外観像群の中から対象となる外観像を選択することで、記憶手段に過去に記憶された外観像群の中から対象となる外観像を選択する。一覧表示にすることで、外観像の選択を視覚で容易に行うことができる。
【００１３】
この一例において、表示手段は、画像選択手段で選択された外観像を表示するとともに、当該外観像に関連付けられ、かつ記憶手段に過去に記憶されたＸ線像を読み出して表示するのが好ましい。選択された外観像を併せて表示することで、Ｘ線像との対応関係が容易にわかる。
【００１４】
また、上述した発明の他の一例は、画像選択手段は、記憶手段に過去に記憶されたＸ線像群の中から対象となるＸ線像を選択し、表示手段は、画像選択手段で選択されたＸ線像に関連付けられ、かつ記憶手段に過去に記憶された外観像を読み出して表示することである。この一例の場合には、選択されたＸ線像から、それに関連付けられた他方の画像である外観像を表示することができ、過去に撮影された画像から対象物がわかることができる。
【００１５】
この一例の場合には、記憶手段に過去に記憶されたＸ線像群の中から対象となるＸ線像を選択するのに、以下のように一覧表示するのが好ましい。すなわち、表示手段は、記憶手段に過去に記憶されたＸ線像を読み出して複数に一覧表示し、画像選択手段は、表示手段に一覧表示された複数のＸ線像からなるＸ線像群の中から対象となるＸ線像を選択することで、記憶手段に過去に記憶されたＸ線像群の中から対象となるＸ線像を選択する。一覧表示にすることで、Ｘ線像の選択を視覚で容易に行うことができる。
【００１６】
この一例において、表示手段は、画像選択手段で選択されたＸ線像を表示するとともに、当該Ｘ線像に関連付けられ、かつ記憶手段に過去に記憶された外観像を読み出して表示するのが好ましい。選択されたＸ線像を併せて表示することで、外観像との対応関係が容易にわかる。
【００１７】
上述したこれらの発明に係るＸ線検査装置（前者の発明）とは別のＸ線検査装置（後者の発明）は、対象物に対してＸ線検査を行うＸ線検査装置であって、Ｘ線を対象物に対して照射するＸ線照射手段と、照射された前記Ｘ線を検出して前記Ｘ線検査を行うことで当該対象物のＸ線像を取得するＸ線検出手段と、対象物に対して光学撮影を行うことで当該対象物の外観像を取得する光学カメラとを備えるとともに、前記Ｘ線検出手段により取得された複数のＸ線像と前記光学カメラにより取得された外観像とを同一対象物毎に互いに関連付けるとともに、Ｘ線像をそれに該当する外観像の区分箇所に関連付けてそれぞれ記憶する記憶手段と、その記憶手段に過去に記憶された複数のＸ線像または前記外観像の中から対象となるＸ線像または外観像の区分箇所のいずれか一方の画像を選択する画像選択手段と、その画像選択手段で選択された前記一方の画像に関連付けられ、かつ前記記憶手段に過去に記憶された他方の画像を読み出して表示するとともに、選択された外観像の区分箇所あるいは選択されたＸ線像に関連付けられた外観像の区分箇所を、当該外観像の他の箇所と識別して表示する表示手段とを備えることを特徴とするものである。
【００１８】
［作用・効果］この発明に係るＸ線検査装置（後者の発明）によれば、Ｘ線検出手段により取得された複数のＸ線像と光学カメラにより取得された外観像とを同一対象物毎に互いに関連付けるとともに、Ｘ線像をそれに該当する外観像の区分箇所に関連付けて、記憶手段にそれぞれ記憶する。そして、その記憶手段に過去に記憶された複数のＸ線像または外観像の中から対象となるＸ線像または外観像の区分箇所のいずれか一方の画像を画像選択手段が選択する。その画像選択手段で選択された一方の画像に関連付けられ、かつ記憶手段に過去に記憶された他方の画像を読み出して表示手段に表示するとともに、選択された外観像の区分箇所あるいは選択されたＸ線像に関連付けられた外観像の区分箇所を、当該外観像の他の箇所と識別して表示手段に表示する。もし、選択の対象となる一方の画像が外観像の区分箇所の場合には、選択された外観像の対象物（サンプル）から、それに関連付けられた他方の画像であるＸ線像を表示することができ、対象物から過去に撮影された画像を検索することができる。もし、選択の対象となる一方の画像がＸ線像の場合には、選択されたＸ線像から、それに関連付けられた他方の画像である外観像の区分箇所を、当該外観像の他の箇所と識別して表示することができ、過去に撮影された画像から対象物中のどの部分かがわかることができる。
【００１９】
また、前者の発明と後者の発明とを組み合わせてもよい。すなわち、前者の発明において、後者の発明のように、記憶手段は、Ｘ線像をそれに該当する外観像の区分箇所に関連付けてそれぞれ記憶し、画像選択手段は、記憶手段に過去に記憶された複数のＸ線像または外観像の中から対象となるＸ線像または外観像の区分箇所のいずれか一方の画像を選択し、表示手段は、画像選択手段で選択された一方の画像に関連付けられ、かつ記憶手段に過去に記憶された他方の画像を読み出して表示するとともに、選択された外観像の区分箇所あるいは選択されたＸ線像に関連付けられた外観像の区分箇所を、当該外観像の他の箇所と識別して表示する。
【００２０】
（前者の発明と後者の発明とを組み合わせた発明も含めて）上述した後者の発明の一例は、画像選択手段は、記憶手段に過去に記憶された外観像の中から対象となる外観像の区分箇所を選択し、表示手段は、画像選択手段で選択された外観像の区分箇所に関連付けられ、かつ記憶手段に過去に記憶されたＸ線像を読み出して表示するとともに、選択された外観像の区分箇所を当該外観像の他の箇所と識別して表示することである。この一例の場合には、選択された外観像の対象物から、それに関連付けられた他方の画像であるＸ線像を表示することができ、対象物から過去に撮影された画像を検索することができる。
【００２１】
この一例の場合には、記憶手段に過去に記憶された外観像の中から対象となる外観像の区分箇所を選択するのに、以下のように一覧表示するのが好ましい。すなわち、表示手段は、記憶手段に過去に記憶された外観像の区分箇所を読み出して複数に一覧表示し、画像選択手段は、表示手段に一覧表示された複数の区分箇所の中から対象となる区分箇所を選択することで、記憶手段に過去に記憶された外観像の中から対象となる外観像の区分箇所を選択する。一覧表示にすることで、外観像の区分箇所の選択を視覚で容易に行うことができる。
【００２２】
この一例において、表示手段は、画像選択手段で選択された外観像の区分箇所を表示し、選択された外観像の区分箇所を当該外観像の他の箇所と識別して表示するとともに、当該外観像の区分箇所に関連付けられ、かつ記憶手段に過去に記憶されたＸ線像を読み出して表示するのが好ましい。選択された外観像の区分箇所を併せて表示することで、Ｘ線像との対応関係が容易にわかる。
【００２３】
また、（前者の発明と後者の発明とを組み合わせた発明も含めて）上述した発明の他の一例は、画像選択手段は、記憶手段に過去に記憶された複数のＸ線像の中から対象となるＸ線像を選択し、表示手段は、画像選択手段で選択されたＸ線像に関連付けられ、かつ記憶手段に過去に記憶された外観像の区分箇所を読み出して表示するとともに、選択されたＸ線像に関連付けられた外観像の区分箇所を当該外観像の他の箇所と識別して表示することである。この一例の場合には、選択されたＸ線像から、それに関連付けられた他方の画像である外観像の区分箇所を、当該外観像の他の箇所と識別して表示することができ、過去に撮影された画像から対象物中のどの部分かがわかることができる。
【００２４】
この一例の場合には、記憶手段に過去に記憶された複数のＸ線像の中から対象となるＸ線像を選択するのに、以下のように一覧表示するのが好ましい。すなわち、表示手段は、記憶手段に過去に記憶されたＸ線像を読み出して複数に一覧表示し、画像選択手段は、表示手段に一覧表示された複数のＸ線像の中から対象となるＸ線像を選択することで、記憶手段に過去に記憶された複数のＸ線像の中から対象となるＸ線像を選択する。一覧表示にすることで、Ｘ線像の選択を視覚で容易に行うことができる。
【００２５】
この一例において、表示手段は、画像選択手段で選択されたＸ線像を表示し、当該Ｘ線像に関連付けられ、かつ記憶手段に過去に記憶された外観像の区分箇所を読み出して表示するとともに、選択されたＸ線像に関連付けられた外観像の区分箇所を当該外観像の他の箇所と識別して表示するのが好ましい。選択されたＸ線像を併せて表示することで、外観像との対応関係が容易にわかる。
【発明の効果】
【００２６】
この発明に係るＸ線検査装置（前者の発明）によれば、Ｘ線検出手段により取得されたＸ線像と光学カメラにより取得された外観像とを同一対象物毎に互いに関連付けて、記憶手段にそれぞれ記憶する。そして、その記憶手段に過去に記憶された複数のＸ線像からなるＸ線像群または複数の外観像からなる外観像群のいずれか一方の画像群の中から対象となる一方の画像を画像選択手段が選択する。その画像選択手段で選択された一方の画像に関連付けられ、かつ記憶手段に過去に記憶された他方の画像を読み出して表示手段に表示する。その結果、対象物から過去に撮影された画像を検索することができる、または過去に撮影された画像から対象物がわかることができる。
また、前者の発明とは別のＸ線検査装置（後者の発明）によれば、Ｘ線検出手段により取得された複数のＸ線像と光学カメラにより取得された外観像とを同一対象物毎に互いに関連付けるとともに、Ｘ線像をそれに該当する外観像の区分箇所に関連付けて、記憶手段にそれぞれ記憶する。そして、その記憶手段に過去に記憶された複数のＸ線像または外観像の中から対象となるＸ線像または外観像の区分箇所のいずれか一方の画像を画像選択手段が選択する。その画像選択手段で選択された一方の画像に関連付けられ、かつ記憶手段に過去に記憶された他方の画像を読み出して表示手段に表示するとともに、選択された外観像の区分箇所あるいは選択されたＸ線像に関連付けられた外観像の区分箇所を、当該外観像の他の箇所と識別して表示手段に表示する。その結果、対象物から過去に撮影された画像を検索することができる、または過去に撮影された画像から対象物中のどの部分かがわかることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】各実施例に係るＸ線検査装置の概略構成図およびブロック図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は、Ｘ線透視像と外観像とを互いに関連付けて登録する一実施態様である。
【図３】（ａ）、（ｂ）は、関連付け後の各ファイル名の一実施態様である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、実施例１に係る画像選択および表示の一実施態様である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は、実施例１に係る画像選択および表示の一実施態様である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、実施例２に係る画像選択および表示の一実施態様である。
【図７】（ａ）、（ｂ）は、実施例２に係る画像選択および表示の一実施態様である。
【図８】（ａ）、（ｂ）は、実施例３に係る画像選択および表示の一実施態様、（ｃ）、（ｄ）は、実施例４に係る画像選択および表示の一実施態様である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００２８】
以下、図面を参照してこの発明の実施例１を説明する。
図１は、各実施例に係るＸ線検査装置の概略構成図およびブロック図である。後述する実施例２〜４も含めて、本実施例１では、対象物（サンプル）として集積回路（ＩＣ）を例に採って説明するとともに、Ｘ線像としてＸ線透視像を例に採って説明する。
【００２９】
図１に示すように、本実施例１〜４に係るＸ線検査装置１は、対象物Ｏを撮像する撮像部２と、対象物Ｏを載置するステージ３と、そのステージ３を駆動するステージ駆動部４と、撮像部２を駆動する撮像駆動部５と、撮像部２のＸ線管２１に管電流や管電圧を与えるために高電圧を発生する高電圧発生部６と、撮像部２のＸ線検出器２２によって得られたＸ線検出信号に対して各種の画像処理を行ってＸ線透視像を出力する画像処理部７とを備えている。
【００３０】
撮像部２は、対象物ＯにＸ線を照射するＸ線管２１と、Ｘ線管２１から照射され対象物Ｏを透過したＸ線を検出するＸ線検出器２２とを備えている。Ｘ線検出器２２については、イメージインテンシファイア（Ｉ．Ｉ）やフラットパネル型Ｘ線検出器（FPD: Flat Panel Detector）などに例示されるように、特に限定されない。後述する実施例２〜４も含めて、本実施例１では、Ｘ線検出器２２としてフラットパネル型Ｘ線検出器（ＦＰＤ）を例に採って説明する。Ｘ線管２１は、この発明におけるＸ線照射手段に相当し、Ｘ線検出器２２は、この発明におけるＸ線検出手段に相当する。
【００３１】
ＦＰＤは、画素に対応して縦横に並べられた複数の検出素子からなり、Ｘ線を検出素子が検出して、検出されたＸ線のデータ（電荷信号）をＸ線検出信号として出力する。このようにして、Ｘ線管２１からＸ線を対象物Ｏに向けて照射し、ＦＰＤからなるＸ線検出器２２がＸ線を検出してＸ線検出信号を出力することで、Ｘ線管２１およびＸ線検出器２２からなる撮像部２は対象物Ｏを撮像する。
【００３２】
ステージ駆動部４は、図示を省略するモータや駆動軸などから構成され、ステージ３を図中のＸ，Ｙ方向に水平移動、Ｚ方向に昇降移動、あるいはＺ軸心周りに水平面内で回転させる。ステージ３の移動によって対象物Ｏも移動して、対象物Ｏを撮像位置にまで移動させて撮像部２により撮像を行ってＸ線検査を行う。
【００３３】
撮像駆動部５は、ステージ駆動部４と同様に、図示を省略するモータや駆動軸などから構成され、撮像部２を図中のＸ，Ｙ方向に水平移動、Ｚ方向に昇降移動、あるいはＺ軸心周りに水平面内で回転させる。Ｘ線検出器２２にＸ線管２１が対向するようにそれぞれを移動させてからＸ線検査を行う。また、Ｘ線管２１またはＸ線検出器２２を鉛直方向（Ｚ方向）に昇降移動させて、Ｘ線検査における拡大率・縮小率を変更することも可能である。また、Ｘ線管２１またはＸ線検出器２２を傾斜させて、斜め方向から撮像することも可能である（図中の二点鎖線を参照）。
【００３４】
高電圧発生部６は、高電圧を発生して管電流や管電圧をＸ線管２１に与えることで、Ｘ線管２１からＸ線が発生して、Ｘ線を照射する。画像処理部７は、ゲイン補正やラグ補正や階調補正等の画像処理をＸ線検出信号に施すことで、対象物Ｏに関するＸ線透視像を出力する。このようにして、撮像部２で撮像されたＸ線検出信号（すなわちＸ線検出器２２から出力されたＸ線検出信号）に対して画像処理部７が画像処理を行ってＸ線透視像を出力することで、対象物Ｏに対してＸ線透視撮影を行う。そして、対象物Ｏに対するＸ線検査を行う。なお、画像処理部７は、後述する光学カメラ１２により光電変換された信号に対して画像処理を施すことで、対象物Ｏに関する外観像も出力する。図１では、画像処理部７は、Ｘ線透視像の出力および外観像の出力を兼用しているが、もちろん、Ｘ線透視像用と外観像用とにそれぞれ分けてもよい。
【００３５】
その他に、Ｘ線検査装置１は、メモリ部８と入力部９と出力部１０とコントローラ１１とを備えている。メモリ部８は、この発明における記憶手段に相当し、入力部９は、この発明における画像選択手段に相当し、出力部１０は、この発明における表示手段に相当する。
【００３６】
メモリ部８は、コントローラ１１を介して、画像処理部７で得られたＸ線透視像などのデータを書き込んで記憶し、適宜必要に応じて読み出して、コントローラ１１を介して、Ｘ線透視像を出力部１０に送り込んで出力する。メモリ部８は、ＲＯＭ（Read-only Memory）やＲＡＭ（Random-Access Memory）やハードディスクなどに代表される記憶媒体で構成されている。後述する実施例２〜４も含めて、本実施例１では、メモリ部８は、Ｘ線検出器２２により取得されたＸ線像（各実施例ではＸ線透視像）と後述する光学カメラ１２により取得された外観像とを同一対象物毎に互いに関連付けてそれぞれ記憶するテーブル８ａを有しており、本実施例１では、テーブル８ａは、Ｘ線像（各実施例ではＸ線透視像）をそれに該当する外観像の区分箇所に関連付けてそれぞれ記憶している。テーブル８ａの具体的な機能については後述する。
【００３７】
入力部９は、オペレータが入力したデータや命令をコントローラ１１に送り込む。入力部９は、マウスやキーボードやジョイスティックやトラックボールやタッチパネルなどに代表されるポインティングデバイスで構成されている。後述する実施例２〜４も含めて、本実施例１では、テーブル８ａに過去に記憶された複数のＸ線像（各実施例ではＸ線透視像）からなるＸ線像群または複数の外観像からなる外観像群のいずれか一方の画像群の中から対象となる一方の画像を選択する機能、テーブル８ａに過去に記憶された複数のＸ線像（各実施例ではＸ線透視像）または外観像の中から対象となるＸ線像または外観像の区分箇所のいずれか一方の画像を選択する機能などを入力部９が有している。これらの機能については後述する。
【００３８】
出力部１０は、モニタなどに代表される表示部やプリンタなどで構成されている。後述する実施例２〜４も含めて、本実施例１では、撮像部２での撮像結果や後述する光学カメラ１２での撮像結果を出力部１０のモニタに表示するとともに、テーブル８ａに過去に記憶された撮像結果を読み出して出力部１０のモニタに表示する。モニタの具体的な構成についても後述する。
【００３９】
コントローラ１１は、Ｘ線検査装置１を構成する各部分を統括制御する。上述の画像処理部７やコントローラ１１は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）などで構成されている。画像処理部７で得られたＸ線透視像などのデータを、コントローラ１１を介して、メモリ部８に書き込んで記憶、あるいは出力部１０に送り込んで出力する。出力部１０が表示部の場合には出力表示し、出力部１０がプリンタの場合には出力印刷する。
【００４０】
さらに、Ｘ線検査装置１は、対象物Ｏに対して光学撮影を行う光学カメラ１２を備えている。光学カメラ１２は、固体撮像素子（CCD: Charge Coupled Device）などで構成され、対象物Ｏに対して光を照射して、対象物Ｏの光学像を光学カメラ１２のレンズ（図示省略）で取り込んでＣＣＤにより光電変換を行うことにより光学撮影を行う。そして、光学撮影により外観像を取得する。Ｘ線透視像とほぼ同じ領域の外観像が取得できるように、光学カメラ１２の位置並びに撮影倍率（拡大率・縮小率）が設定されている。また、光学カメラ１２は、Ｘ線管２１やＸ線検出器２２の傾斜に連動して、あるいは独立して斜め方向から光学撮影することも可能である（図中の二点鎖線を参照）。光学カメラ１２は、この発明における光学カメラに相当する。
【００４１】
次に、本実施例１に係るメモリ部８（テーブル８ａ）や入力部９や出力部１０の具体的な構成について、図２〜図５を参照して説明する。図２は、Ｘ線透視像と外観像とを互いに関連付けて登録する一実施態様であり、図３は、関連付け後の各ファイル名の一実施態様であり、図４、図５は、実施例１に係る画像選択および表示の一実施態様である。
【００４２】
ユーザは、対象物Ｏ（図１を参照）をステージ３（図１を参照）上に載置してセットした後に、光学カメラ１２（図１を参照）により光学撮影を行って、図２（ａ）に示すように外観像Ｉを取得して出力部１０（図１を参照）のモニタ１０Ｍに表示する。ユーザは外観像Ｉを参考にしながら、観察（Ｘ線検査）を行いたい箇所がＸ線透視像上に表示されるようにステージ３を移動させ、モニタ１０Ｍに所望の箇所のＸ線透視像が表示されたら撮像部２（図１を参照）による撮像を行う。
【００４３】
なお、撮像部２による撮像を行うまでは、撮像部２のＸ線管２１（図１を参照）から撮像時よりも弱い線量のＸ線を照射して、撮像部２のＸ線検出器２２（図１を参照）により当該Ｘ線を検出して得られたＸ線透視像をモニタ１０Ｍに表示するモニタリングを行う。そして、所望の箇所のＸ線透視像がモニタ１０Ｍに表示されるまでステージ３の移動等による微調整を行いつつモニタリングを続行する。モニタ１０Ｍに所望の箇所のＸ線透視像が表示されたら、Ｘ線管２１からモニタリング時よりも強い線量のＸ線を照射して、Ｘ線検出器２２により当該Ｘ線を検出して撮像時のＸ線透視像を取得する。
【００４４】
図２（ｂ）に示すように、撮影時のＸ線透視像Ｆをモニタ１０Ｍに表示して、モニタ１０Ｍ上のＸ線透視像Ｆと外観像Ｉとを互いに関連付けて入力部９（図１を参照）により登録する。入力部９による登録については特に限定されず、例えば、登録用のボタンを押下することにより行ってもよいし、マウスによってポインタを登録用のボタンに合わせてクリックすることにより行ってもよいし、モニタ１０Ｍに搭載された登録用のタッチパネルに触れることにより行ってもよい。
【００４５】
また、Ｘ線透視像Ｆが対象物（サンプル）の全景でなく、対象物Ｏの一部分の箇所に関する像の場合には、図２（ｃ）に示すように、Ｘ線透視像Ｆを外観像Ｉの当該一部分の箇所（以下、「区分箇所」と呼ぶ）Ｐに関連付けて入力部９により登録する。この入力部９による登録についても特に限定されず、例えば、マウスによってポインタを区分箇所Ｐに合わせてクリックすることにより行ってもよいし、モニタ１０Ｍに搭載されたタッチパネル上の区分箇所Ｐに触れることにより行ってもよいし、キーボードから区分箇所Ｐの座標位置を直接に入力することにより行ってもよい。図２（ｄ）に示すように、同じ対象物Ｏにおいて、別の区分箇所Ｐ´に新たなるＸ線透視像Ｆ´を関連付ける場合には、図２（ｃ）と同様の手順で、当該Ｘ線透視像Ｆ´を外観像Ｉの当該区分箇所Ｐ´に関連付けて入力部９により登録する。
【００４６】
同一対象物ＯについてＸ線透視像Ｆと外観像Ｉとを互いに関連付けて登録し終わったら、別の対象物Ｏについて登録の対象となるサンプルがあるか否かをユーザが判断して、登録の対象となるサンプルがある場合には、図２（ａ）〜図２（ｄ）と同様の手順で登録を行う。なお、対象物Ｏ毎の登録については必ずしも連続的に行う必要はなく、Ｘ線検査毎に登録を行えばよい。
【００４７】
このような登録を行うことにより、Ｘ線透視像Ｆと外観像Ｉとを同一対象物Ｏ毎に互いに関連付けて、メモリ部８（図１を参照）のテーブル８ａ（図１を参照）にそれぞれ記憶する。さらに、Ｘ線透視像Ｆを外観像Ｉの区分箇所Ｐに関連付けて登録することにより、Ｘ線透視像Ｆをそれに該当する外観像Ｉの区分箇所に関連付けて、テーブル８ａにそれぞれ記憶する。
【００４８】
関連付け後の実施態様については、例えば、図３（ａ）に示すように、同一対象物毎にフォルダが作成されて、互いに関連付けられたＸ線像のファイルと外観像のファイルとが同一のフォルダに保存される。図３（ａ）に示すように、対象物が「Sample#A」の場合には、例えば「Sample#A」というフォルダが作成されて、「Sample#A」に関するＸ線透視像のファイルと「Sample#A」に関する外観像のファイル「image_A」とが同一のフォルダ「Sample#A」に保存される。もし、Ｘ線透視像をそれに該当する外観像の区分箇所に関連付ける場合には、図３（ａ）に示すように、例えば区分箇所の座標「#01」のＸ線透視像のファイル「address01_A」が同一のフォルダ「Sample#A」に保存され、区分箇所の座標「#02」のＸ線透視像のファイル「address02_A」が同一のフォルダ「Sample#A」に保存される。対象物が「Sample#B」の場合も同様である。
【００４９】
なお、図２（ａ）〜図２（ｄ）に示す手順で、図３（ａ）に示すようなフォルダが自動的に作成されて、各ファイルがそれぞれ自動的に保存されたが、ユーザが入力部９によりフォルダを手動で作成して、各ファイルを手動で保存することにより、Ｘ線透視像と外観像とを互いに関連付けてテーブル８ａにそれぞれ記憶、あるいはＸ線透視像をそれに該当する外観像に関連付けてテーブル８ａにそれぞれ記憶してもよい。また、図３（ｂ）に示すように、インデックスファイルなどを作成して、インデックスファイルから各ファイルを参照することにより、互いに関連付けてもよい。この場合には必ずしも各ファイルを同じフォルダに保存する必要はない。
【００５０】
続いて、テーブル８ａに過去に記憶された画像に基づく画像選択および表示の各々の態様について、図４、図５を参照して説明する。先ず、図４（ａ）に示すように、モニタ１０Ｍは、テーブル８ａ（図１を参照）に過去に記憶された外観像群Ｉ（ここでは４つの外観像Ｉ１，Ｉ２，Ｉ３，Ｉ４）を読み出して複数（ここでは４つ）に一覧表示する。そして、入力部９（図１を参照）により、モニタ１０Ｍに一覧表示された外観像群Ｉの中から対象となる外観像（図４（ａ）では太枠で示された外観像Ｉ１）を選択する。このように選択することで、テーブル８ａに過去に記憶された外観像群の中から対象となる外観像を入力部９により選択する。入力部９による画像選択については特に限定されず、例えば、マウスによってポインタを対象となる外観像に合わせてクリックすることにより行ってもよいし、モニタ１０Ｍに搭載されたタッチパネル上の対象となる外観像に触れることにより行ってもよいし、キーボードから対象となる外観像に対応したキーを直接に入力することにより行ってもよい。
【００５１】
次に、図４（ｂ）に示すように、モニタ１０Ｍは、選択された外観像Ｉ１を表示するとともに、当該外観像Ｉ１に関連付けられ、かつテーブル８ａに過去に記憶されたＸ線透視像（ここでは１６個のＸ線透視像からなるＸ線透視像群Ｆ１００）を読み出して表示する。このＸ線透視像群Ｆ１００は、図４（ｃ）に示すように、１６個のＸ線透視像Ｆ１０１〜Ｆ１１６からなり、各々のＸ線透視像Ｆ１０１〜Ｆ１１６は、外観像の各々の区分箇所にそれぞれ関連付けられて、テーブル８ａに記憶されている。
【００５２】
テーブル８ａに記憶された１６個のＸ線透視像Ｆ１０１〜Ｆ１１６を一覧表示した状態で、入力部９により、モニタ１０Ｍに一覧表示された１６個のＸ線透視像Ｆ１０１〜Ｆ１１６の中から対象となる対象となるＸ線透視像（図４（ｄ）ではＸ線透視像Ｆ１０４）を選択する。このように選択することで、テーブル８ａに過去に記憶された複数のＸ線透視像の中から対象となるＸ線透視像を入力部９により選択する。区分箇所に関連付けられたＸ線透視像を選択する場合においても、入力部９による画像選択については特に限定されず、例えば、マウスによってポインタを対象となるＸ線透視像に合わせてクリックすることにより行ってもよいし、モニタ１０Ｍに搭載されたタッチパネル上の対象となるＸ線透視像に触れることにより行ってもよいし、キーボードから対象となるＸ線透視像に対応したキーを直接に入力することにより行ってもよい。
【００５３】
さらに、図４（ｄ）に示すように、モニタ１０Ｍは、選択されたＸ線透視像Ｆ１０４を表示し、当該Ｘ線透視像Ｆ１０４に関連付けられた外観像Ｉ１の区分箇所Ｐを読み出して表示するとともに、選択されたＸ線透視像Ｆ１０４に関連付けられた外観像Ｉ１の区分箇所Ｐを当該外観像Ｉ１の他の箇所と識別して表示する。図４（ｄ）では区分箇所Ｐを他の箇所と識別して表示するために枠で識別したが、どの部分を撮影したのかを識別するのであれば、枠に限定されず、例えば色付きのマーカなどで識別してもよい。また、一覧表示されたＸ線透視像Ｆ１０１〜Ｆ１１６の中から選択されたＸ線透視像Ｆ１０４を強調するために、Ｘ線透視像Ｆ１０４以外のＸ線透視像Ｆ１０１〜Ｆ１１６を表示せずにＸ線透視像Ｆ１０４を原寸サイズで表示あるいは拡大表示してもよい。また、関連付けを明確に表示するために、図４（ｄ）に示すように、両画像（Ｘ線透視像Ｆ１０４・外観像Ｉ１の区分箇所Ｐ）を結ぶ矢印付きの線を表示してもよい。
【００５４】
図４（ｃ）および図４（ｄ）では、入力部９により、テーブル８ａに過去に記憶された複数のＸ線透視像（ここでは１６個のＸ線透視像Ｆ１０１〜Ｆ１１６）の中から対象となるＸ線透視像１０４を選択し、モニタ１０Ｍは、選択されたＸ線透視像Ｆ１０４に関連付けられ、かつテーブル８ａに過去に記憶された外観像Ｉ１の区分箇所Ｐを読み出して表示するとともに、選択されたＸ線透視像Ｆ１０４に関連付けられた外観像Ｉ１の区分箇所Ｐを当該外観像Ｉ１の他の箇所と識別して表示した。逆に、図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、入力部９により、テーブル８ａに過去に記憶された外観像（図５（ａ）では外観像Ｉ１）の中から対象となる外観像Ｉ１の区分箇所Ｐを選択し、モニタ１０Ｍは、選択された外観像Ｉ１の区分箇所Ｐに関連付けられ、かつテーブル８ａに過去に記憶されたＸ線透視像（ここでは１６個のＸ線透視像Ｆ１０１〜Ｆ１１６）を読み出して表示するとともに、選択された外観像Ｉ１の区分箇所Ｐを当該外観像Ｉ１の他の箇所と識別して表示することもできる。
【００５５】
具体的に説明すると、図５（ａ）に示すように、テーブル８ａに記憶された外観像Ｉ１の中から対象となる外観像Ｉ１の区分箇所Ｐを入力部９により任意に選択する。区分箇所を選択する場合においても、入力部９による画像選択については特に限定されず、例えば、マウスによってポインタを対象となる区分箇所に合わせてクリックすることにより行ってもよいし、モニタ１０Ｍに搭載されたタッチパネル上の対象となる区分箇所に触れることにより行ってもよいし、キーボードから対象となる区分箇所に対応したキーを直接に入力あるいは対象となる区分箇所の座標位置を直接に入力することにより行ってもよい。
【００５６】
さらに、図５（ｂ）に示すように、モニタ１０Ｍは、選択された外観像Ｉ１の区分箇所Ｐを表示し、選択された外観像Ｉ１の区分箇所Ｐを当該外観像Ｉ１の他の箇所と識別（ここでは枠で識別）して表示するとともに、当該外観像Ｉ１の区分箇所Ｐに関連付けられたＸ線透視像（ここではＸ線透視像Ｆ１０１）を表示する。同様に、枠以外に色付きのマーカなどで識別してもよい。また、一覧表示されたＸ線透視像Ｆ１０１〜Ｆ１１６の中から区分箇所Ｐに関連付けられたＸ線透視像Ｆ１０１を強調するために、Ｘ線透視像Ｆ１０１以外のＸ線透視像Ｆ１０１〜Ｆ１１６を表示せずにＸ線透視像Ｆ１０１を原寸サイズで表示あるいは拡大表示してもよい。また、関連付けを明確に表示するために、図５（ｂ）に示すように、両画像（Ｘ線透視像Ｆ１０１・外観像Ｉ１の区分箇所Ｐ）を結ぶ矢印付きの線を表示してもよい。
【００５７】
また、図５（ｃ）および図５（ｄ）のように、モニタ１０Ｍは、テーブル８ａに過去に記憶された外観像Ｉ１の区分箇所Ｐを読み出して複数（ここでは１６個）に一覧表示し、入力部９により、モニタ１０Ｍに一覧表示された複数の区分箇所Ｐの中から対象となる区分箇所を選択することで、テーブル８ａに過去に記憶された外観像Ｉ１の中から対象となる外観像Ｉ１の区分箇所を選択することもできる。
【００５８】
具体的に説明すると、図５（ｃ）に示すように、モニタ１０Ｍは、テーブル８ａに過去に記憶された外観像Ｉ１の区分箇所Ｐを読み出して複数（ここでは１６個）に一覧表示する。そして、入力部９により、モニタ１０Ｍに一覧表示された複数の区分箇所Ｐの中から対象となる区分箇所を選択する。このように選択することで、テーブル８ａに過去に記憶された外観像Ｉ１の中から対象となる外観像Ｉ１の区分箇所を入力部９により選択する。
【００５９】
さらに、図５（ｄ）に示すように、モニタ１０Ｍは、選択された外観像Ｉ１の区分箇所を表示し、選択された外観像Ｉ１の区分箇所の他の箇所と識別（例えば色付きのマーカなどで識別）して表示するとともに、当該外観像Ｉ１の区分箇所に関連付けられたＸ線透視像を表示する。同様に、関連付けを明確に表示するために、図５（ｄ）に示すように、両画像（Ｘ線透視像・外観像Ｉ１の区分箇所）を結ぶ矢印付きの線を表示してもよい。
【００６０】
上述の構成を備えた本実施例１に係るＸ線検査装置によれば、Ｘ線検出器２２により取得されたＸ線像（各実施例ではＸ線透視像）と光学カメラ１２により取得された外観像とを同一対象物毎に互いに関連付けて、テーブル８ａにそれぞれ記憶している。そして、そのテーブル８ａに過去に記憶された複数のＸ線像からなるＸ線像群または複数の外観像からなる外観像群のいずれか一方の画像群の中から対象となる一方の画像（本実施例１では外観像）を入力部９により選択する。その入力部９で選択された一方の画像（外観像）に関連付けられ、かつテーブル８ａに過去に記憶された他方の画像（本実施例１ではＸ線透視像）を読み出してモニタ１０Ｍに表示する。図４（ａ）に示すように選択の対象となる一方の画像が外観像の場合には、選択された外観像の対象物（サンプル）から、それに関連付けられた他方の画像であるＸ線像（Ｘ線透視像）を表示することができ、対象物から過去に撮影された画像を検索することができる。
【００６１】
本実施例１では、図４（ａ）に示すように、入力部９により、テーブル８ａに過去に記憶された外観像群の中から対象となる外観像を選択し、モニタ１０Ｍは、入力部９で選択された外観像に関連付けられ、かつテーブル８ａに過去に記憶されたＸ線像（Ｘ線透視像）を読み出して表示している。この場合には、選択された外観像の対象物から、それに関連付けられた他方の画像であるＸ線像（Ｘ線透視像）を表示することができ、対象物から過去に撮影された画像を検索することができる。
【００６２】
本実施例１の場合には、テーブル８ａに過去に記憶された外観像群の中から対象となる外観像を選択するのに、好ましくは図４（ａ）のように一覧表示している。すなわち、モニタ１０Ｍは、テーブル８ａに過去に記憶された外観像を読み出して複数に一覧表示し、入力部９により、モニタ１０Ｍに一覧表示された複数の外観像からなる外観像群の中から対象となる外観像を選択することで、テーブル８ａに過去に記憶された外観像群の中から対象となる外観像を選択している。一覧表示にすることで、外観像の選択を視覚で容易に行うことができる。
【００６３】
本実施例１では、好ましくは、図４（ｂ）に示すように、モニタ１０Ｍは、入力部９で選択された外観像を表示するとともに、当該外観像に関連付けられ、かつテーブル８ａに過去に記憶されたＸ線像（Ｘ線透視像）を読み出して表示している。選択された外観像を併せて表示することで、Ｘ線像（Ｘ線透視像）との対応関係が容易にわかる。
【００６４】
また、本実施例１に係るＸ線検査装置によれば、Ｘ線検出器２２により取得された複数のＸ線像（Ｘ線透視像）と光学カメラ１２により取得された外観像とを同一対象物毎に互いに関連付けるとともに、Ｘ線像（Ｘ線透視像）をそれに該当する外観像の区分箇所に関連付けて、テーブル８ａにそれぞれ記憶している。そして、そのテーブル８ａに過去に記憶された複数のＸ線像または外観像の中から対象となるＸ線像または外観像の区分箇所のいずれか一方の画像（図４（ｃ）、図４（ｄ）ではＸ線透視像）を入力部９により選択する。その入力部９で選択された一方の画像（Ｘ線透視像）に関連付けられ、かつテーブル８ａに過去に記憶された他方の画像（図４（ｃ）、図４（ｄ）では外観像）を読み出してモニタ１０Ｍに表示するとともに、選択された外観像の区分箇所あるいは選択されたＸ線像に関連付けられた外観像の区分箇所（図４（ｃ）、図４（ｄ）では選択されたＸ線透視像に関連付けられた外観像の区分箇所）を、当該外観像の他の箇所と識別してモニタ１０Ｍに表示する。図４（ｃ）に示すように選択の対象となる一方の画像がＸ線像（Ｘ線透視像）の場合には、選択されたＸ線像（Ｘ線透視像）から、それに関連付けられた他方の画像である外観像の区分箇所を、当該外観像の他の箇所と識別して表示することができ、過去に撮影された画像から対象物中のどの部分かがわかることができる。
【００６５】
本実施例１では、図４（ａ）および図４（ｂ）の表示態様と図４（ｃ）および図４（ｄ）の表示態様とを組み合わせて、図４（ａ）〜図４（ｄ）を一連の画像選択および表示として順に行っている。すなわち、図４（ａ）および図４（ｂ）の表示態様の後において、図４（ｃ）および図４（ｄ）の表示態様のように、テーブル８ａは、Ｘ線像（Ｘ線透視像）をそれに該当する外観像の区分箇所に関連付けてそれぞれ記憶し、入力部９により、テーブル８ａに過去に記憶された複数のＸ線像または外観像の中から対象となるＸ線像または外観像の区分箇所のいずれか一方の画像（図４（ｃ）、図４（ｄ）ではＸ線透視像）を選択し、モニタ１０Ｍは、入力部９で選択された一方の画像（Ｘ線透視像）に関連付けられ、かつテーブル８ａに過去に記憶された他方の画像（外観像）を読み出して表示するとともに、選択された外観像の区分箇所あるいは選択されたＸ線像に関連付けられた外観像の区分箇所（図４（ｃ）、図４（ｄ）では選択されたＸ線透視像に関連付けられた外観像の区分箇所）を、当該外観像の他の箇所と識別して表示する。
【００６６】
本実施例１では、図５（ａ）に示すように、入力部９により、テーブル８ａに過去に記憶された外観像の中から対象となる外観像の区分箇所を選択し、モニタ１０Ｍは、入力部９で選択された外観像の区分箇所に関連付けられ、かつテーブル８ａに過去に記憶されたＸ線像（Ｘ線透視像）を読み出して表示するとともに、選択された外観像の区分箇所を当該外観像の他の箇所と識別して表示している。この場合には、選択された外観像の対象物から、それに関連付けられた他方の画像であるＸ線像（Ｘ線透視像）を表示することができ、対象物から過去に撮影された画像を検索することができる。
【００６７】
本実施例１では、好ましくは、図５（ｂ）に示すように、モニタ１０Ｍは、入力部９で選択された外観像の区分箇所を表示し、選択された外観像の区分箇所を当該外観像の他の箇所と識別して表示するとともに、当該外観像の区分箇所に関連付けられ、かつテーブル８ａに過去に記憶されたＸ線像（Ｘ線透視像）を読み出して表示している。選択された外観像の区分箇所を併せて表示することで、Ｘ線像（Ｘ線透視像）との対応関係が容易にわかる。
【００６８】
本実施例１では、図５（ｃ）に示すように、図５（ａ）と同様に、入力部９により対象となる外観像の区分箇所を選択し、モニタ１０Ｍは、当該区分箇所に関連付けられたＸ線像（Ｘ線透視像）を表示し、選択された外観像の区分箇所を当該外観像の他の箇所と識別して表示している。
【００６９】
本実施例１の場合には、テーブル８ａに過去に記憶された外観像の中から対象となる外観像の区分箇所を選択するのに、好ましくは図５（ｃ）のように一覧表示している。すなわち、モニタ１０Ｍは、テーブル８ａに過去に記憶された外観像の区分箇所を読み出して複数に一覧表示し、入力部９により、モニタ１０Ｍに一覧表示された複数の区分箇所の中から対象となる区分箇所を選択することで、テーブル８ａに過去に記憶された外観像の中から対象となる外観像の区分箇所を選択している。一覧表示にすることで、外観像の区分箇所の選択を視覚で容易に行うことができる。
【実施例２】
【００７０】
次に、図面を参照してこの発明の実施例２を説明する。
図６、図７は、実施例２に係る画像選択および表示の一実施態様である。上述した実施例１と共通する箇所については、同じ符号を付してその説明を省略する。また、図１に示すように、本実施例２に係るＸ線検査装置１は、実施例１に係るＸ線検査装置１と同じ構成である。
【００７１】
上述した実施例１では、図４（ａ）および図４（ｂ）の表示態様の後に、図４（ｃ）および図４（ｄ）の表示態様、図５（ａ）および図５（ｂ）の表示態様あるいは図５（ｃ）および図５（ｄ）の表示態様を行ったが、本実施例２では、図４（ａ）および図４（ｂ）の表示態様を行わずに、図６（ａ）〜図６（ｃ）の表示態様あるいは図７（ａ）および図７（ｂ）の表示態様から始める。すなわち、上述した実施例１のようにＸ線像群または外観像群のいずれか一方の画像群の中から対象となる一方の画像（実施例１では外観像）を選択した後に当該一方の画像（外観像）に関連付けられた他方の画像（実施例１ではＸ線透視像）を表示せずに、本実施例２では、複数のＸ線像または外観像の中から対象となるＸ線像または外観像の区分箇所のいずれか一方の画像（本実施例２では外観像の区分箇所）を選択した後に当該一方の画像（外観像の区分箇所）に関連付けられた他方の画像（本実施例２ではＸ線透視像）を、図６（ａ）〜図６（ｃ）あるいは図７（ａ）および図７（ｂ）に示すように表示する。
【００７２】
具体的に説明すると、図６（ａ）に示すように、テーブル８ａ（図１を参照）に記憶された外観像Ｉを読み出してモニタ１０Ｍに表示する。そして、図６（ｂ）に示すように、外観像Ｉの中から対象となる外観像Ｉの区分箇所Ｐを入力部９（図１を参照）により任意に選択する。区分箇所を選択する場合においても、入力部９による画像選択については特に限定されず、例えば、マウスによってポインタを対象となる区分箇所に合わせてクリックすることにより行ってもよいし、モニタ１０Ｍに搭載されたタッチパネル上の対象となる区分箇所に触れることにより行ってもよいし、キーボードから対象となる区分箇所に対応したキーを直接に入力あるいは対象となる区分箇所の座標位置を直接に入力することにより行ってもよい。
【００７３】
さらに、図６（ｃ）に示すように、モニタ１０Ｍは、選択された外観像Ｉの区分箇所Ｐを表示し、選択された外観像Ｉの区分箇所Ｐを当該外観像Ｉの他の箇所と識別（ここでは枠で識別）して表示するとともに、当該外観像Ｉの区分箇所Ｐに関連付けられたＸ線透視像Ｆを表示する。同様に、枠以外に色付きのマーカなどで識別してもよい。また、関連付けを明確に表示するために、図６（ｃ）に示すように、両画像（Ｘ線透視像Ｆ・外観像Ｉの区分箇所Ｐ）を結ぶ矢印付きの線を表示してもよい。
【００７４】
また、図７（ａ）に示すように、モニタ１０Ｍは、テーブル８ａに過去に記憶された外観像Ｉの区分箇所Ｐを読み出して複数（ここでは１６個）に一覧表示する。そして、入力部９により、モニタ１０Ｍに一覧表示された複数の区分箇所Ｐの中から対象となる区分箇所を選択する。このように選択することで、テーブル８ａに過去に記憶された外観像Ｉの中から対象となる外観像Ｉの区分箇所を入力部９により選択する。
【００７５】
さらに、図７（ｂ）に示すように、モニタ１０Ｍは、選択された外観像Ｉの区分箇所を表示し、選択された外観像Ｉの区分箇所の他の箇所と識別（例えば色付きのマーカなどで識別）して表示するとともに、当該外観像Ｉの区分箇所に関連付けられたＸ線透視像Ｆを表示する。同様に、関連付けを明確に表示するために、図７（ｂ）に示すように、両画像（Ｘ線透視像Ｆ・外観像Ｉの区分箇所）を結ぶ矢印付きの線を表示してもよい。
【００７６】
本実施例２の作用・効果については、図６（ａ）〜図６（ｃ）の表示態様は、図５（ａ）および図５（ｂ）の表示態様と同様であるので、その説明を省略する。また、図７（ａ）および図７（ｂ）の表示態様も、図５（ｃ）および図５（ｄ）の表示態様と同様であるので、その説明を省略する。
【実施例３】
【００７７】
次に、図面を参照してこの発明の実施例３を説明する。
図８（ａ）、図８（ｂ）は、実施例３に係る画像選択および表示の一実施態様である。上述した実施例１、２と共通する箇所については、同じ符号を付してその説明を省略する。また、図１に示すように、本実施例３に係るＸ線検査装置１は、実施例１、２に係るＸ線検査装置１と同じ構成である。
【００７８】
上述した実施例１では、複数のＸ線像からなるＸ線像群または複数の外観像からなる外観像群のいずれか一方の画像群の中から対象となる一方の画像は外観像であって、一方の画像である外観像を選択した後に他方の画像であるＸ線透視像を表示したが、本実施例３では、一方の画像はＸ線透視像であって、一方の画像であるＸ線透視像を選択した後に他方の画像である外観像を表示する。
【００７９】
先ず、図８（ａ）に示すように、モニタ１０Ｍは、テーブル８ａ（図１を参照）に過去に記憶されたＸ線透視像群Ｆ（ここでは４つのＸ線透視像Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４）を読み出して複数（ここでは４つ）に一覧表示する。そして、入力部９（図１を参照）により、モニタ１０Ｍに一覧表示されたＸ線透視像群Ｆの中から対象となるＸ線透視像（図８（ａ）では太枠で示されたＸ線透視像Ｆ１）を選択する。このように選択することで、テーブル８ａに過去に記憶されたＸ線透視像群の中から対象となるＸ線透視像を入力部９により選択する。入力部９による画像選択については特に限定されず、例えば、マウスによってポインタを対象となるＸ線透視像に合わせてクリックすることにより行ってもよいし、モニタ１０Ｍに搭載されたタッチパネル上の対象となるＸ線透視像に触れることにより行ってもよいし、キーボードから対象となるＸ線透視像に対応したキーを直接に入力することにより行ってもよい。
【００８０】
次に、図８（ｂ）に示すように、モニタ１０Ｍは、選択されたＸ線透視像Ｆ１を表示するとともに、当該Ｘ線透視像Ｆ１に関連付けられ、かつテーブル８ａに過去に記憶された外観像Ｉ１を読み出して表示する。
【００８１】
上述の構成を備えた本実施例２に係るＸ線検査装置によれば、そのテーブル８ａに過去に記憶された複数のＸ線像からなるＸ線像群または複数の外観像からなる外観像群のいずれか一方の画像群の中から対象となる一方の画像（本実施例３ではＸ線透視像）を入力部９により選択する。その入力部９で選択された一方の画像（Ｘ線透視像）に関連付けられ、かつテーブル８ａに過去に記憶された他方の画像（本実施例３では外観像）を読み出してモニタ１０Ｍに表示する。図８（ａ）に示すように選択の対象となる一方の画像がＸ線像（Ｘ線透視像）の場合には、選択されたＸ線像（Ｘ線透視像）から、それに関連付けられた他方の画像である外観像を表示することができ、過去に撮影された画像から対象物がわかることができる。
【００８２】
本実施例３では、図８（ａ）に示すように、入力部９により、テーブル８ａに過去に記憶されたＸ線像群の中から対象となるＸ線像（Ｘ線透視像）を選択し、モニタ１０Ｍは、入力部９で選択されたＸ線像（Ｘ線透視像）に関連付けられ、かつテーブル８ａに過去に記憶された外観像を読み出して表示している。この場合には、選択されたＸ線像（Ｘ線透視像）から、それに関連付けられた他方の画像である外観像を表示することができ、過去に撮影された画像から対象物がわかることができる。
【００８３】
本実施例３の場合には、テーブル８ａに過去に記憶されたＸ線像群の中から対象となるＸ線像（Ｘ線透視像）を選択するのに、好ましくは図８（ａ）のように一覧表示している。すなわち、モニタ１０Ｍは、テーブル８ａに過去に記憶されたＸ線像（Ｘ線透視像）を読み出して複数に一覧表示し、入力部９により、モニタ１０Ｍに一覧表示された複数のＸ線像（Ｘ線透視像）からなるＸ線像群の中から対象となるＸ線像（Ｘ線透視像）を選択することで、テーブル８ａに過去に記憶されたＸ線像群の中から対象となるＸ線像（Ｘ線透視像）を選択する。一覧表示にすることで、Ｘ線像（Ｘ線透視像）の選択を視覚で容易に行うことができる。
【００８４】
本実施例３では、好ましくは、図８（ｂ）に示すように、モニタ１０Ｍは、入力部９で選択されたＸ線像（Ｘ線透視像）を表示するとともに、当該Ｘ線像（当該Ｘ線透視像）に関連付けられ、かつテーブル８ａに過去に記憶された外観像を読み出して表示している。選択されたＸ線像（Ｘ線透視像）を併せて表示することで、外観像との対応関係が容易にわかる。
【実施例４】
【００８５】
次に、図面を参照してこの発明の実施例４を説明する。
図８（ｃ）、図８（ｄ）は、実施例４に係る画像選択および表示の一実施態様である。上述した実施例１〜３と共通する箇所については、同じ符号を付してその説明を省略する。また、図１に示すように、本実施例４に係るＸ線検査装置１は、実施例１〜３に係るＸ線検査装置１と同じ構成である。
【００８６】
上述した実施例１では、図４（ａ）および図４（ｂ）の表示態様の後に、図４（ｃ）および図４（ｄ）の表示態様、図５（ａ）および図５（ｂ）の表示態様あるいは図５（ｃ）および図５（ｄ）の表示態様を行ったが、本実施例４では、図４（ａ）および図４（ｂ）の表示態様を行わずに、図８（ｃ）および図８（ｄ）の表示態様から始める。すなわち、上述した実施例１のようにＸ線像群または外観像群のいずれか一方の画像群の中から対象となる一方の画像（実施例１では外観像）を選択した後に当該一方の画像（外観像）に関連付けられた他方の画像（実施例１ではＸ線透視像）を表示せずに、本実施例４では、複数のＸ線像または外観像の中から対象となるＸ線像または外観像の区分箇所のいずれか一方の画像（本実施例４ではＸ線透視像）を選択した後に当該一方の画像（Ｘ線透視像）に関連付けられた他方の画像（本実施例４では外観像）を、図８（ｃ）および図８（ｄ）に示すように表示する。
【００８７】
具体的に説明すると、図８（ｃ）に示すように、モニタ１０Ｍは、テーブル８ａに過去に記憶されたＸ線透視像（ここでは１６個のＸ線透視像からなるＸ線透視像群Ｆ１００）を読み出して複数（ここでは１６個）に一覧表示する。実施例１の図４（ｃ）と同じく、このＸ線透視像群Ｆ１００は、図８（ｃ）に示すように、１６個のＸ線透視像Ｆ１０１〜Ｆ１１６からなり、各々のＸ線透視像Ｆ１０１〜Ｆ１１６は、外観像の各々の区分箇所にそれぞれ関連付けられて、テーブル８ａに記憶されている。
【００８８】
テーブル８ａに記憶された１６個のＸ線透視像Ｆ１０１〜Ｆ１１６を一覧表示した状態で、入力部９により、モニタ１０Ｍに一覧表示された１６個のＸ線透視像Ｆ１０１〜Ｆ１１６の中から対象となる対象となるＸ線透視像（図８（ｄ）ではＸ線透視像Ｆ１０４）を選択する。このように選択することで、テーブル８ａに過去に記憶された複数のＸ線透視像の中から対象となるＸ線透視像を入力部９により選択する。区分箇所に関連付けられたＸ線透視像を選択する場合においても、入力部９による画像選択については特に限定されず、例えば、マウスによってポインタを対象となるＸ線透視像に合わせてクリックすることにより行ってもよいし、モニタ１０Ｍに搭載されたタッチパネル上の対象となるＸ線透視像に触れることにより行ってもよいし、キーボードから対象となるＸ線透視像に対応したキーを直接に入力することにより行ってもよい。
【００８９】
さらに、図８（ｄ）に示すように、モニタ１０Ｍは、選択されたＸ線透視像Ｆ１０４を表示し、当該Ｘ線透視像Ｆ１０４に関連付けられた外観像Ｉ１の区分箇所Ｐを読み出して表示するとともに、選択されたＸ線透視像Ｆ１０４に関連付けられた外観像Ｉ１の区分箇所Ｐを当該外観像Ｉ１の他の箇所と識別（例えば色付きのマーカなどで識別）して表示する。実施例１の図４（ｄ）と同じく、一覧表示されたＸ線透視像Ｆ１０１〜Ｆ１１６の中から選択されたＸ線透視像Ｆ１０４を強調するために、Ｘ線透視像Ｆ１０４以外のＸ線透視像Ｆ１０１〜Ｆ１１６を表示せずにＸ線透視像Ｆ１０４を原寸サイズで表示あるいは拡大表示してもよい。また、関連付けを明確に表示するために、図８（ｄ）に示すように、両画像（Ｘ線透視像Ｆ１０４・外観像Ｉ１の区分箇所Ｐ）を結ぶ矢印付きの線を表示してもよい。
【００９０】
本実施例４の作用・効果については、図８（ｃ）および図８（ｄ）の表示態様は、図４（ｃ）および図４（ｄ）の表示態様と同様であるので、その説明を省略する。
【００９１】
この発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００９２】
（１）上述した各実施例では、対象物（サンプル）として集積回路（ＩＣ）を例に採って説明したが、これらに限定されない。多層基板のスルーホール／パターン／はんだ接合部、金属などの鋳物、ビデオデッキのような成型品などに例示されるように、対象物に対してＸ線透視撮影を行うことで対象物に対するＸ線検査を行うのであればよい。
【００９３】
（２）上述した各実施例では、対象物に対してＸ線透視撮影を行うことで対象物に対するＸ線検査を行ったが、対象物に対してＣＴ撮影を行うことで対象物に対するＸ線検査を行う場合に適用してもよい。また、Ｘ線透視撮影およびＣＴ撮影を組み合わせてＸ線検査を行う場合に適用してもよい。
【００９４】
（３）上述した各実施例では、外観像の区分箇所を任意に選択するとき（図５（ａ）や図６（ｂ）を参照）、あるいは画像（外観像やＸ線像）を複数に一覧表示にしてから画像を選択するときに、画像を表示した後に選択したが、テーブルに画像に対応したキーあるいは座標を対応付けて予め記憶して、画像を表示しない状態でキーあるいは座標を直接に入力することで画像をそれぞれ選択してもよい。
【００９５】
（４）上述した各実施例では、区分箇所を他の箇所と識別するのに枠や色付きのマーカなどを例示したが、通常に識別する手法であれば特に限定されない。例えば、区分箇所を白色画像（画素値が高い画像）あるいは黒色画像（画素値が低い画像）にして識別してもよいし、周囲の箇所に対してコントラストがつくように画素値を変更することで識別してもよい、あるいはモザイクをかけて識別してもよい。
【００９６】
（５）上述した実施例１では、図４（ａ）および図４（ｂ）の表示態様の後に、図４（ｃ）および図４（ｄ）の表示態様、図５（ａ）および図５（ｂ）の表示態様あるいは図５（ｃ）および図５（ｄ）の表示態様を行ったが、図４（ａ）および図４（ｂ）の表示態様のみを行ってもよい。
【符号の説明】
【００９７】
１  …  Ｘ線検査装置
８  …  メモリ部
８ａ  …  テーブル
９  …  入力部
１０  …  出力部
１０Ｍ  …  モニタ
１２  …  光学カメラ
２１  …  Ｘ線管
２２  …  Ｘ線検出器
Ｆ  …  Ｘ線透視像
Ｉ  …  外観像
Ｏ  …  対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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