(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持体に被着体を貼付するシート貼付装置であって、
前記保持体は、支持フレームの開口部に接着シートの接着層が表出する状態で貼付され、かつ、開口部で接着シートが弛んだ状態とされ、
前記被着体を支持する被着体支持手段と、
前記保持体を支持する保持体支持手段と、
前記被着体の外縁領域に前記接着シートを押圧して貼付する第１貼付手段と、
前記第１貼付手段により前記接着シートが前記被着体の外縁領域に当接される前および当接された後に、前記支持フレームで保持された接着シートと前記被着体との当接を防止する先付防止手段と、
前記接着シートの両面に気圧差を生じさせることで、前記被着体の外縁領域以外の領域に前記接着シートを貼付する第２貼付手段と、を備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記第２貼付手段は、前記被着体と前記保持体とを含む領域を減圧雰囲気下に維持可能とする減圧手段と、前記先付防止手段における前記接着シートを支持する部分に設けられて大気を導入する大気導入手段と、を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記保持体支持手段は、前記被着体支持手段の下方に設けられており、前記被着体の下方において前記保持体を支持して前記接着シートを下方に弛ませることで、前記第１貼付手段により前記接着シートが前記被着体の外縁領域に当接される前および当接された後に、前記接着シートと前記被着体との当接を防止する前記先付防止手段として機能することを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記接着シートは、収縮可能なシュリンクシートから構成され、
前記接着シートを収縮させるシュリンク手段をさらに備えていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項５】
保持体に被着体を貼付するシート貼付方法であって、
前記保持体は、支持フレームの開口部に接着シートの接着層が表出する状態で貼付され、かつ、開口部で接着シートが弛んだ状態とされており、
前記被着体を支持し、
前記保持体を支持し、
前記被着体の外縁領域に前記接着シートを押圧して貼付するとともに、前記接着シートが前記被着体の外縁領域に当接される前および当接された後に、先付防止手段が前記支持フレームで保持された接着シートと前記被着体との当接を防止し、
前記接着シートの両面に気圧差を生じさせることで、前記被着体の外縁領域以外の領域に前記接着シートを貼付することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材シートの一方の面に接着材層が積層された接着シートを介して、支持フレームと略板状の被着体とを一体化するシート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（Integrated Circuit）やＬＳＩ（Large Scale Integration）などの回路が一面に形成された半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）は、電子機器の小型化や軽量化を図るため、個々のチップに分割される前に厚さが５０μｍ前後にまで研磨される。しかし、このようにウェハが薄くなると、それ自体の剛性が無くなるため、その後の工程での取り扱いが困難になる。そこで、加工時の取り扱いを容易にするためのウェハの加工方法が検討されている（例えば、特許文献１参照）。このウェハの加工方法では、回路が形成された回路形成領域と、この回路形成領域を囲む外周余剰領域とを表面に備えたウェハを以下のように加工する。すなわち、ウェハの裏面のうち、回路形成領域に対応する領域に凹部を形成し、外周余剰領域を回路形成領域よりも厚くしてリング状補強部とすることで、ウェハの剛性を高めている。
【０００３】
一方、半導体製造工程において、ウェハとリングフレームとを一体化するために、マウント用シート（接着シート）をウェハとリングフレームとに貼付するマウント装置が利用されている（例えば、特許文献２参照）。このマウント装置では、真空チャンバ内の基板載置テーブル上に、円板状のウェハの周縁部のみを支持させるとともに、接着シートが貼り付けられたリングフレームを傾斜状態のフレーム固定台上に載置して、ウェハをリングフレームの内部に位置させる。そして、真空チャンバ内を減圧して、貼付ローラでウェハと接着シートを予備的に接着した後、真空チャンバ内に大気を導入することにより、ウェハと接着シートを差圧により貼り付けている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１９４６１号公報
【特許文献２】特開２００８−６６６８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１に記載の加工方法が施されたウェハの裏面側に接着シートを貼付して、当該ウェハとリングフレームとを一体化するために、特許文献２に記載のマウント装置を用いることが考えられる。
しかしながら、減圧雰囲気で貼付ローラを用いて、凹部を有するウェハと、リングフレームに貼り付けられた接着シートとを予備的に接着すると、凹部に空間を形成した状態（凹部を塞ぐ状態）で接着シートがウェハに貼付されてしまう。この後、大気が導入されると、差圧により凹部閉塞部分がウェハの裏面に押し付けられて接着されるが、凹部閉塞部分を囲む周縁部分がリング状補強部に接着されているため、接着シートにおける凹部閉塞部分とウェハにおける凹部に張力が加わった状態で、ウェハと接着シートとが貼り付けられる。このため、５０μｍ前後にまで研削されたウェハは、凹部に加わった張力によって割れてしまうといった不都合が生じる。また、上記のような状態でウェハのダイシングが行われると、接着シートの弾性復元力によりチップ間隔が不均一になってしまい、これら各チップをピックアップする時に正確な位置を支持することがでず、支持したチップを正確な位置にボンディングすることができなくなり、ボンディング不良を発生する不都合が生じる。
【０００６】
本発明の目的は、接着シートに余分な張力を発生させることなく保持体に被着体を貼付可能なシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明のシート貼付装置は、保持体に被着体を貼付するシート貼付装置であって、前記保持体は、支持フレームの開口部に接着シートの接着層が表出する状態で貼付され、かつ、開口部で接着シートが弛んだ状態とされ、前記被着体を支持する被着体支持手段と、前記保持体を支持する保持体支持手段と、前記被着体の外縁領域に前記接着シートを押圧して貼付する第１貼付手段と、前記第１貼付手段により前記接着シートが前記被着体の外縁領域に当接される前および当接された後に、前記支持フレームで保持された接着シートと前記被着体との当接を防止する先付防止手段と、前記接着シートの両面に気圧差を生じさせることで、前記被着体の外縁領域以外の領域に前記接着シートを貼付する第２貼付手段と、を備えている、という構成を採用している。
【０００８】
この際、本発明のシート貼付装置では、前記第２貼付手段は、前記被着体と前記保持体とを含む領域を減圧雰囲気下に維持可能とする減圧手段と、前記先付防止手段における前記接着シートを支持する部分に設けられて大気を導入する大気導入手段と、を備えている、ことが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置では、前記保持体支持手段は、前記被着体支持手段の下方に設けられており、前記被着体の下方において前記保持体を支持して前記接着シートを下方に弛ませることで、前記第１貼付手段により前記接着シートが前記被着体の外縁領域に当接される前および当接された後に、前記接着シートと前記被着体との当接を防止する前記先付防止手段として機能する、ことが好ましい。
そして、本発明のシート貼付装置では、前記接着シートは、収縮可能なシュリンクシートから構成され、前記接着シートを収縮させるシュリンク手段をさらに備えている、ことが好ましい。
【０００９】
一方、本発明のシート貼付方法は、保持体に被着体を貼付するシート貼付方法であって、前記保持体は、支持フレームの開口部に接着シートの接着層が表出する状態で貼付され、かつ、開口部で接着シートが弛んだ状態とされており、前記被着体を支持し、前記保持体を支持し、前記被着体の外縁領域に前記接着シートを押圧して貼付するとともに、前記接着シートが前記被着体の外縁領域に当接される前および当接された後に、先付防止手段が前記支持フレームで保持された接着シートと前記被着体との当接を防止し、前記接着シートの両面に気圧差を生じさせることで、前記被着体の外縁領域以外の領域に前記接着シートを貼付する、という構成を採用している。
【発明の効果】
【００１０】
以上のような本発明によれば、予め支持フレームの開口部で弛んだ状態の接着シートを被着体に貼付することができるので、この弛んでいる部分を差圧により被着体の凹部に貼付することで、凹部内に貼付された接着シートに余計な張力が発生することを抑制できる。したがって、接着シートにおける凹部閉塞部分とウェハにおける凹部に張力が加わった状態で、ウェハと接着シートとが貼り付けられることを防止することが可能になる。これにより、凹部に加わった張力によってウェハが割れるといった不都合や、接着シートの弾性復元力によるボンディング不良を発生するといった不都合を解消することができる。
また、先付防止手段により支持フレームで保持された接着シートを支持することで、弛んだ接着シートが被着体の予期せぬ部位に接着してしまうことを防止できる。
【００１１】
また、被着体と保持体とを含む領域を減圧雰囲気下に維持してから、先付防止手段における接着シートの支持部分から大気を導入する構成とすれば、接着シートの弛んでいる部分から貼付を開始することができ、適切に貼付できるとともに、貼付効率を高めることができる。さらに、先付防止手段として、被着体の下方において保持体を支持し、接着シートを下方に弛ませることで、被着体支持手段の配置を変更するだけで新たな部材を設けることなく、接着シートと被着体との当接を防止できる。また、シュリンクシートで構成された接着シートを収縮させるシュリンク手段を設ければ、被着体を保持体に貼付した後に被着体と支持フレームとの間に適切な張力を発生させることができ、保持体運搬時における被着体のばたつきを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るマウント装置の部分断面図。
【図２】第１実施形態の先付防止手段の側面図。
【図３】（Ａ），（Ｂ）は、第１実施形態のマウント装置の動作説明図。
【図４】（Ｃ），（Ｄ）は、第１実施形態のマウント装置の動作説明図。
【図５】本発明の第２実施形態に係るマウント装置の部分断面図。
【図６】（Ａ），（Ｂ）は、第２実施形態のマウント装置の動作説明図。
【図７】（Ｃ），（Ｄ）は、第２実施形態のマウント装置の動作説明図。
【図８】第１実施形態の変形例を示す部分断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図４において、シート貼付装置としてのマウント装置１は、支持フレームとしてのリングフレームＲＦに接着シートとしてのマウント用シートＭＳが保持された保持体Ｈに、被着体としてのウェハＷ１を貼付することで、ウェハＷ１とリングフレームＲＦとを一体化するものである。ここで、ウェハＷ１は、内側部分がそれ以外の部分よりも薄くなるように研削されることで、外縁部に厚さ方向（裏面側）に突出した環状の凸部Ｗ１１が形成され、凸部Ｗ１１で囲まれた内側に凹部Ｗ１２が形成されるとともに、その表面（研削面の反対側であり、図１の下側の面）Ｗ１３に回路が形成された半導体ウェハである。ウェハＷ１は、凹部Ｗ１２の底面Ｗ１５（図３（Ａ）参照）および内周面Ｗ１６（図３（Ａ）参照）と、凸部Ｗ１１の頂面Ｗ１４（図３（Ａ）参照）とにマウント用シートＭＳが貼付されることで、リングフレームＲＦと一体化される。マウント用シートＭＳは、熱により収縮可能なシート基材の一方の面に接着剤層が積層された構成を有し、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１よりも大きく、かつ、リングフレームＲＦの外縁からはみ出ることのない外形に予め切断されている。
そして、マウント装置１は、リングフレームＲＦが載置されるテーブル２と、このテーブル２に載置されたリングフレームＲＦにマウント用シートＭＳを供給する繰出ユニット３と、この繰出ユニット３で繰り出されたマウント用シートＭＳをリングフレームＲＦに貼付して保持体Ｈを形成する押圧手段４と、この押圧手段４で形成された保持体Ｈのマウント用シートＭＳにウェハＷ１を貼付する貼付ユニット５と、テーブル２を図１中左右方向に相対移動させる単軸ロボット６とを備えている。
【００１４】
テーブル２の上面には、平面視円形状のテーブル凹部２１と、このテーブル凹部２１の周縁に設けられてリングフレームＲＦが載置されるフレーム載置部２２とが設けられている。テーブル凹部２１は、リングフレームＲＦがフレーム載置部２２に載置された際に、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１の下方に位置し、その大きさ、深さは、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１内に弛んだ状態で貼付されたマウント用シートＭＳが当接しないよう設定されている。また、テーブル２の下部には、吸引孔２３を介してフレーム載置部２２に載置されたリングフレームＲＦを吸引して固定可能な吸引手段２４が設けられている。
【００１５】
繰出ユニット３は、図示しないフレームに支持されている。このフレームには、剥離シートＲＬに貼付されたマウント用シートＭＳをロール状に巻回して支持する支持ローラ３１と、剥離シートＲＬおよびマウント用シートＭＳを案内する２個のガイドローラ３２と、図１中左下方に傾斜して剥離シートＲＬからマウント用シートＭＳを剥離するピールプレート３３とが設けられている。さらに、フレームには、モータ３６によって駆動する駆動ローラ３４と、駆動ローラ３４との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ３５と、図示しない駆動手段によって剥離シートＲＬを回収する回収ローラ３７とが設けられている。
【００１６】
押圧手段４は、ピールプレート３３で剥離されたマウント用シートＭＳをリングフレームＲＦに押圧して貼付する押圧ローラ４１を備えている。
押圧ローラ４１は、軸方向の中央部分４１１から両端部分４１２に向かうにしたがって径が徐々に小さくなる、いわゆるクラウン形状に形成されており、ゴム等の弾性変形可能な部材で構成される。このため、押圧ローラ４１でマウント用シートＭＳがリングフレームＲＦに押圧されると、マウント用シートＭＳは、接着材層がリングフレームＲＦの開口部ＲＦ１から表出し、かつ、この表出した部分が押圧ローラ４１のクラウン形状に沿って弛んだ状態で貼付される。
【００１７】
貼付ユニット５は、上面が開口された箱状の下チャンバ５１と、下面が開口された箱状に形成されて、下チャンバ５１とにより密閉可能な第１空間Ａ１（図３参照）を形成可能な上チャンバ５２と、ウェハＷ１を支持する被着体支持手段としてのウェハ支持手段５３と、テーブル２で搬送される保持体Ｈを支持する保持体支持手段５４と、マウント用シートＭＳの弛み部分をウェハＷ１の凸部Ｗ１１の頂面Ｗ１４（外縁）に貼付する第１貼付手段としての押圧貼付手段５５と、この押圧貼付手段５５での貼付前に上記弛み部分を支持してウェハＷ１との当接を防止する先付防止手段５６と、マウント用シートＭＳを底面Ｗ１５および内周面Ｗ１６に貼付する減圧手段としての気圧調整手段５７と、マウント用シートＭＳを収縮させるシュリンク手段５８とを備えている。なお、下チャンバ５１と上チャンバ５２と気圧調整手段５７とは、第２貼付手段を構成している。
【００１８】
下チャンバ５１の上端面には、パッキン５１１が設けられている。上チャンバ５２は、シリンダ５２１により昇降する。
ウェハ支持手段５３は、下チャンバ５１の底面に設けられた直動モータ５３２で昇降する略円板状のウェハテーブル５３１を備えている。
保持体支持手段５４は、上チャンバ５２の内側上面に設けられた直動モータ５４１で昇降する保持フレーム５４２と、この保持フレーム５４２の図１中下方に設けられた保持体支持部材５４３とを備えている。この保持体支持部材５４３は、図示しない磁力制御部により磁力が調整可能であり、リングフレームＲＦを磁力で支持する。なお、保持体支持部材５４３は、磁力で支持する構成以外に、吸引やチャック等の他の構成によってリングフレームＲＦを支持する構成でもよい。
【００１９】
押圧貼付手段５５は、押圧によりマウント用シートＭＳを貼付するものであり、保持フレーム５４２の中央に設けられた直動モータ５５１で昇降するとともに、先付防止手段５６が貫通する孔５５４を有する保持フレーム５５２と、この保持フレーム５５２の外縁側図１中下方に設けられた頂面押圧部材５５３とを備えている。頂面押圧部材５５３は、ウェハＷ１の凸部Ｗ１１と略等しい径の円環状に形成されている。
先付防止手段５６は、図２にも示すように、保持フレーム５４２の下面で直動モータ５５１を挟んだ両側にそれぞれ設けられた筒状の本体部５６１と、この本体部５６１の図２中下端に対して進退可能な進退部５６２とを備えている。進退部５６２の図２中下端面には、マウント用シートＭＳにおけるシート基材の他方の面（接着材層が設けられていない面）に貼付される粘着部材５６３が設けられている。さらに、進退部５６２と粘着部材５６３との中央には、マウント用シートＭＳを粘着部材５６３に貼付するために吸引したり、粘着部材５６３から剥がすために加圧したりするための着脱用連通孔５６４が設けられている。なお、粘着部材５６３は、粘着剤や、濡れ性によって粘着力を発生する樹脂やゴム等で構成することができる。
【００２０】
気圧調整手段５７は、差圧によりマウント用シートＭＳを貼付するものであり、上チャンバ５２の気圧調整孔５７１を介して第１空間Ａ１を減圧したり、第１空間Ａ１に大気を導入したりする。
シュリンク手段５８は、保持フレーム５４２における保持体支持部材５４３と先付防止手段５６との間にリング状に設けられており、ヒータ等の発熱手段によって発生させた温風を吹き付けることでマウント用シートＭＳを収縮させる。
【００２１】
単軸ロボット６は、テーブル２の側方において図１の左右方向に延びて設けられ、テーブル２の側面に固定された図示しないスライダをスライド駆動することで、テーブル２を移動可能に構成されている。
【００２２】
以上のマウント装置１において、ウェハＷ１およびリングフレームＲＦにマウント用シートＭＳを貼付してウェハＷ１とリングフレームＲＦとを一体化する手順を説明する。
まず、単軸ロボット６でテーブル２を図１中左方向に移動させつつ、繰出ユニット３から繰り出したマウント用シートＭＳを押圧ローラ４１で押圧することで、マウント用シートＭＳを弛んだ状態でリングフレームＲＦに貼付して保持体Ｈを形成する。この後、図１に示すように、テーブル２が上チャンバ５２の真下まで到達したときに単軸ロボット６での移動を終了させる。
【００２３】
次に、保持フレーム５４２を下降させて保持体支持部材５４３によりリングフレームＲＦを磁力で保持し、さらに、先付防止手段５６の進退部５６２を下降させて、マウント用シートＭＳを吸引により粘着部材５６３に貼付させる。この後、保持フレーム５４２を上昇させてテーブル２を図１の右側に移動させた後、進退部５６２を上昇させることでマウント用シートＭＳの弛み部分を持ち上げる（図２参照）。そして、図３（Ａ）に示すように、上チャンバ５２を下降させて第１空間Ａ１を密閉状態とする。
【００２４】
次に、気圧調整手段５７により第１空間Ａ１を真空を含む減圧状態にし、図３（Ｂ）に示すように、リングフレームＲＦをウェハテーブル５３１に当接させる。このとき、マウント用シートＭＳは、先付防止手段５６の支持により、ウェハＷ１との当接が防止されている。この後、図４（Ｃ）に示すように、頂面押圧部材５５３を下降させてマウント用シートＭＳをウェハＷ１の頂面Ｗ１４に押圧して貼付する。この図４（Ｃ）に示す状態では、ウェハＷ１の凹部Ｗ１２がマウント用シートＭＳで閉塞され、この閉塞された第２空間Ａ２は、減圧状態のまま密閉される。
【００２５】
そして、着脱用連通孔５６４から気体を噴出させることで、粘着部材５６３からマウント用シートＭＳを剥がし、気圧調整孔５７１から第１空間Ａ１に大気を導入すると、第２空間Ａ２が減圧状態であるため、図４（Ｄ）に示すように、差圧により、マウント用シートＭＳの弛み部分は、凹部Ｗ１２全体に貼付される。
この後、シュリンク手段５８により、マウント用シートＭＳにおけるリングフレームＲＦとウェハＷ１とを架け渡す部分に温風Ｎを吹き付け、マウント用シートＭＳを収縮させ、当該部分の弛みをなくす。以上により、ウェハＷ１とリングフレームＲＦとの一体化処理が終了する。
【００２６】
以上のような第１実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、マウント装置１は、マウント用シートＭＳの弛んだ部分をウェハＷ１の凹部Ｗ１２に貼付するため、マウント用シートＭＳのウェハＷ１の凹部Ｗ１２に貼付された部分に余計な張力が発生することを抑制でき、ウェハＷ１が割れたり、ウェハＷ１の個片化後にボンディング不良を発生したりすることを防止することができる。特に、先付防止手段５６を適用しているため、マウント用シートＭＳの弛んだ部分が予期せぬ部分に貼付されることを確実に防止できる。また、マウント用シートＭＳをシュリンクシートで構成することで、保持体Ｈ運搬時におけるウェハＷ１のばたつきを防止できる。
【００２７】
次に、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
図５〜図７において、第２実施形態に係るマウント装置１Ａと第１実施形態のマウント装置１との相違点は、貼付ユニット５の代わりに貼付ユニット５Ａを設けた点と、単軸ロボット６のスライダ６１にテーブル２を矢印Ｄ方向に回転させる回転手段６２Ａを設けた点である。
【００２８】
貼付ユニット５Ａと貼付ユニット５との相違点は、下チャンバ５１に設けられていたウェハ支持手段５３をウェハ支持手段５３Ａとして上チャンバ５２に設けた点と、上チャンバ５２に設けられていた保持体支持手段５４、押圧貼付手段５５、および、シュリンク手段５８を下チャンバ５１に設けた点と、先付防止手段５６を除外した点である。
ウェハ支持手段５３Ａのウェハテーブル５３１Ａには、図示しない駆動手段によってウェハＷ１を挟み込んで固定可能なチャック手段５３３Ａが設けられている。
【００２９】
そして、マウント装置１Ａにおいて、マウント用シートＭＳを貼付してウェハＷ１とリングフレームＲＦとを一体化する際には、図５に示すように、繰出ユニット３（図５では図示せず）によりマウント用シートＭＳを弛んだ状態でリングフレームＲＦに貼付する。この後、テーブル２を矢印Ｄ方向に１８０°回転させ、テーブル２が下チャンバ５１の真上まで到達したときに単軸ロボット６での移動を終了させる。
【００３０】
次に、図６（Ａ）に示すように、保持フレーム５４２を上昇させて、保持体支持部材５４３によりリングフレームＲＦを磁力で保持するとともに、テーブル２を下チャンバ５１の上方から退避させる。
この後、図６（Ｂ）に示すように、上チャンバ５２を下降させて第１空間Ａ１を密閉して、気圧調整手段５７により第１空間Ａ１を減圧し、リングフレームＲＦをウェハテーブル５３１Ａに当接させる。このとき、マウント用シートＭＳは、自重により下方に弛むので、先付防止手段５６を除外してもマウント用シートＭＳとウェハＷ１の凹部Ｗ１２との当接を防止する先付防止手段として機能する。この後、図７（Ｃ）に示すように、頂面押圧部材５５３を上昇させてマウント用シートＭＳをウェハＷ１の頂面Ｗ１４に押圧して貼付する。この図７（Ｃ）に示す状態では、ウェハＷ１の凹部Ｗ１２がマウント用シートＭＳで閉塞され、この閉塞された第２空間Ａ２は、減圧状態のまま密閉される。
【００３１】
そして、気圧調整孔５７１から第１空間Ａ１に大気を導入することで、図７（Ｄ）に示すように、第１実施形態と同様に差圧により、マウント用シートＭＳの弛み部分を凹部Ｗ１２全体に貼付する。
この後、シュリンク手段５８により、マウント用シートＭＳを収縮させることで、ウェハＷ１とリングフレームＲＦと一体化処理が終了する。
【００３２】
以上のような第２実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、マウント装置１Ａは、マウント用シートＭＳの自重で弛んだ部分を、差圧によりウェハＷ１の凹部Ｗ１２に貼付するため、第１実施形態と同様の効果がある上、先付防止手段をもので構成する必要がないので、装置の簡略化が行える。
【００３３】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３４】
すなわち、第１〜第２実施形態においては、以下のような構成としてもよい。
例えば、被着体がウェハＷ１である場合を示したが、被着体はそれらに限定されるものではなく、ウェハＷ１以外にガラス板、鋼板、または、樹脂板、その他の板状部材や、板状部材以外のものも対象とすることができる。さらに、マウント用シートＭＳを冷却や紫外線などのエネルギーで収縮するシートで構成するとともに、このマウント用シートＭＳを冷却したり前記エネルギーを与えたりするシュリンク手段を設けてもよい。また、シュリンク手段５８を設けなくてもよいし、マウント用シートＭＳを構成するシート基材を収縮可能なシート基材で構成しなくてもよい。更に、本発明は従来例との関係上、凹部が形成されたウェハに接着シートを貼付する場合を図示して説明したが、被着体として、例えば、凹部を有さない公知の半導体ウェハ、ガラス板、鋼板、または、樹脂板、その他の板状部材等を排除するものではない。
【００３５】
また、第１実施形態において、先付防止手段５６をマウント用シートＭＳの中心を支持するように１個だけ設けてもよいし、３個以上設けてもよい。また、先付防止手段５６に粘着部材５６３を設けなくてもよい。そして、先付防止手段５６を、凹部Ｗ１２の中心の上方に１個設ける（以下、中心先付防止手段という）とともに、凹部Ｗ１２の内周面Ｗ１６近傍の上方に２個設け（以下、外側先付防止手段という）、中心先付防止手段のみでマウント用シートＭＳの中心を支持してウェハＷ１から離し、外側先付防止手段のみでマウント用シートＭＳをウェハＷ１に近づけて凹部Ｗ１２内で弛ませる構成としてもよい。このような構成にすれば、マウント用シートＭＳを中心先付防止手段で支持することで、外側先付防止手段で支持するよりも、大きく弛ませることができるとともに、外側先付防止手段で凹部Ｗ１２内に移動させることで、底面Ｗ１５の内周面Ｗ１６近傍にマウント用シートＭＳを仮貼付でき、凹部Ｗ１２全体に適切に貼付できる。
さらに、図８に示すように、上記第１実施形態の先付防止手段５６の進退部５６２の側面に大気導入手段としての少なくとも１個の大気導入孔５６４Ｂを有する先付防止手段５６Ｂを設けてもよい。このような構成とすることで、第１空間Ａ１を減圧状態から大気圧状態とするときに、大気導入孔５６４Ｂから大気Ｐを導入し、マウント用シートＭＳの弛み部分を凹部Ｗ１２全体に貼付することができ、貼付効率を高めることができる。
【符号の説明】
【００３６】
１，１Ａ，１Ｂ…マウント装置（シート貼付装置）
５１…下チャンバ（第２貼付手段）
５２…上チャンバ（第２貼付手段）
５３，５３Ａ…ウェハ支持手段（被着体支持手段）
５４…保持体支持手段（先付防止手段）
５５…押圧貼付手段（第１貼付手段）
５６，５６Ｂ…先付防止手段
５７…気圧調整手段（減圧手段、第２貼付手段）
５８…シュリンク手段
５６４Ｂ…大気導入孔（大気導入手段）
Ｈ…保持体
ＭＳ…マウント用シート（接着シート）
ＲＦ…リングフレーム（支持フレーム）
ＲＦ１…開口部
Ｗ１…ウェハ（被着体）
【図１】
0005530203.tif 000002
【図２】
0005530203.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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