(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部品パターンとアライメントマークパターンを有するマスクと、前記マスクを用いて現像を行うウエハを所定位置に配置し、
前記光学部品パターンと前記アライメントマークパターンを前記ウエハに露光し、
前記ウエハ上に露光された前記アライメントマークパターンのみを局所現像し、
現像された前記アライメントマークパターンの位置を観測し、前記位置を基に前記ウエハを移動し、
前記露光、前記現像および前記移動を所定回数、繰り返し、
前記ウエハ上の全ての前記光学部品パターンを現像し、
現像した前記光学部品パターンをエッチングすることを特徴とする光学部品製造方法。
【請求項２】
前記ウエハを所定位置に配置する前に、前記マスクを用いてテスト用ウエハに対して、前記光学部品パターンと前記アライメントマークパターンを露光および現像を行い、
前記テスト用ウエハ上の前記光学部品パターンと前記アライメントマークパターンの位置を観測し、
前記光学部品パターンと前記アライメントマークパターンとの位置関係を求め、
前記位置関係も含めて、前記ウエハの移動を行うことを特徴とする請求項１記載の光学部品製造方法。
【請求項３】
光学部品パターンとアライメントマークパターンを有するマスクを把持するマスク把持部と、
前記マスクを用いて現像を行うウエハを把持し、前記マスクに対して平行な平面上において前記ウエハを移動させるウエハ把持部と、
前記光学部品パターンと前記アライメントマークパターンを前記ウエハに露光させる露光部と、
前記ウエハ上に露光された前記アライメントマークパターンを部分的に現像する現像部と、
現像された前記アライメントマークパターンの位置を観測する観測部と、
前記位置を基に前記ウエハ把持部を制御し、観測された前記アライメントマークパターンの位置を、前記マスク上に形成されたアライメントマークパターンの位置につなぎ合わせるように前記ウエハの位置決めを行う制御部と、
を有する光学部品製造装置。
【請求項４】
前記制御部は、さらに前記光学部品パターンと前記アライメントマークパターンを位置関係を基に前記ウエハの位置決めを行うことを特徴とする請求項３記載の光学部品製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ上に露光された光学部品パターンを現像し、現像された光学部品パターンをエッチングして光学部品を製造する光学部品製造方法および光学部品製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、光学部品などを製造するため、ウエハ上に光学部品パターンを露光し、露光された光学部品パターンを現像して、光学部品を製造する方法が知られている。例えば、光学部品製造装置は、ステージに設置されたウエハの上部に、露光パターンが形成されたマスクを有し、ガラスマスクの上部から光を照射して、露光パターンをウエハに露光させる。【０００３】
このような光学部品製造装置では、１ショットで露光できる面積よりも大きい面積の光学部品を製造する場合に、露光パターンをウェア上に順次つなぎ合わせて露光する方法が知られている。また、光学部品製造装置は、ステージの位置がずれた場合には、ウエハに露光されるパターンの位置もずれてしまう場合がある。【０００４】
このようなパターンの位置のずれを防止する技術として、事前にマスクとステージとのずれ量を検出し、検出されたずれ量を反映してステージを動かして露光パターンをウエハに露光する技術が知られている。具体的には、光学部品製造装置は、露光を行う前に、マスクとステージとのずれ量を検出して記憶する。そして、光学部品製造装置は、記憶されたずれ量を反映してショット露光位置を決定し、ウェア上に順次つなぎ合わせて露光する。【０００５】
また、パターンの位置のずれを防止する技術として、レジストが塗布されたウエハに位置合わせ用のマークを露光し、露光された位置合わせ用のマークの位置を基に、次回のショット露光位置を決める技術が知られている。【０００６】
具体的には、光学部品製造装置は、レジストが塗布されたウエハに位置合わせ用のマークを露光する。そして、光学部品製造装置は、位置合わせ用のマークを検知するために、露光光とは異なる波長帯の検出光を用いて、レジストを感光させないように、露光された位置合わせ用のマークの位置を検出する。なお、ここでウエハに塗布されるレジストについて、露光された位置合わせ用のマークを検出するために、検出光と露光光とでは屈折率が明確に変化する感光剤が用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−８６４８４号公報
【特許文献２】特開平６−２０４１０５号公報
【特許文献３】特開平１０−３２６７４２号公報
【特許文献４】特開２００２−１９０４４４号公報
【特許文献５】特開２００３−３０５７００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、上記した事前にずれ量を検出してパターンの位置ずれを防止する技術では、事前に検出したずれ量を用いてショット露光位置を決定するので、ずれ量検出後に発生する位置ずれを補正することができない。例えば、ずれ量検出後において、機械駆動などに起因してマスクとステージとの位置ずれが発生した場合には、精度良くパターンをつなぎ合わせることができないという課題があった。【０００９】
また、上記した露光された位置合わせ用のマークを利用した技術では、露光された位置合わせ用のマークを検出するために、ウエハに塗布されるレジストの種類が制限されるという課題があった。例えば、ウエハに塗布されるレジストとして、露光された位置合わせ用のマークを検出するために、屈折率が明確に変化する感光剤を採用しなければならなかった。【００１０】
そこで、この発明は、上述した従来技術の課題を解決するためになされたものであり、レジストの種類を制限されることなく、精度良くパターンをつなぎ合わせることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本願の開示する光学部品製造方法では、一つの態様において、光学部品パターンとアライメントマークパターンを有するマスクと、マスクを用いて現像を行うウエハを所定位置に配置し、光学部品パターンとアライメントマークパターンをウエハに露光する。そして、光学部品製造方法では、ウエハ上に露光されたアライメントマークパターンを現像し、現像されたアライメントマークパターンの位置を観測し、アライメントマークパターンの位置を基にウエハを移動する。その後、光学部品製造方法では、露光、現像および移動を所定回数、繰り返し、ウエハ上の全ての光学部品パターンを現像し、現像した光学部品パターンをエッチングする。
【発明の効果】
【００１２】
本願の開示する方法の一つの態様によれば、レジストの種類を制限されることなく、精度良くパターンをつなぎ合わせることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、実施例１に係る光学部品製造装置の構成を示す図である。
【図２】図２は、ガラスマスク上のパターンおよびアライメントマークの例を示す図である。
【図３】図３は、パターンおよびアライメントマークの関係を説明するための図である。
【図４】図４は、アライメントマークを用いた位置合わせ処理を説明するための図である。
【図５】図５は、局所現像処理を説明するための図である。
【図６】図６は、実施例１に係る光学部品製造装置の処理手順を説明するためのフローチャートである。
【図７】図７は、パターンおよびアライメントマークの関係を説明するための図である。
【図８】図８は、つなぎ合わせ用移動量計測処理を説明するための図である。
【図９】図９は、つなぎ合わせ用移動量計測処理を説明するための図である。
【図１０】図１０は、実施例２に係る光学部品製造装置の処理手順を説明するためのフローチャートである。
【図１１】図１１は、実施例２に係る光学部品製造装置の移動量計測処理の手順を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に添付図面を参照して、この発明に係る光学部品製造方法および光学部品製造装置の実施例を詳細に説明する。
【実施例１】
【００１５】
以下の実施例では、実施例１に係る光学部品製造装置の構成および処理の流れを順に説明し、最後に実施例１による効果を説明する。【００１６】
［光学部品製造装置の構成］
まず最初に、図１を用いて、光学部品製造装置１０の構成を説明する。図１は、実施例１に係る光学部品製造装置１０の構成を示すブロック図である。同図に示すように、この光学部品製造装置１０は、ヘッド部１１およびステージ部２０を有する。【００１７】
ヘッド部１１は、ガラスマスク１００、露光パターン１０１、アライメントマーク１０２、マスクホルダ１０４、光源１０５、顕微鏡１３０、ノズル１４０を有する。ステージ部２０は、ステージ１２０、ウエハ１２１、複数の光学干渉計１２２〜１２４、レジスト１２５を有する。以下にこれらの各部の処理を説明する。【００１８】
ガラスマスク１００は、露光パターン１０１および位置検知用のアライメントマーク１０２が形成されてあり、マスクホルダ１０４にセットされる。例えば、ガラスマスク１００は、図２に例示するように、露光パターン１０１および位置検知用のアライメントマーク１０２が形成されている。図２は、ガラスマスク上の露光パターンおよびアライメントマークの例を示す図である。【００１９】
マスクホルダ１０４は、露光パターン１０１とアライメントマーク１０２を有するガラスマスク１００を把持する。マスクホルダ１０４は、ガラスマスクを光源１０５から照射された光が通過する位置に固定する。【００２０】
露光パターン１０１は、ガラスマスク１００上に形成されたパターンであって、光源１０５が照射した光によってウエハ１２１に露光されるパターンである。アライメントマーク１０２は、ガラスマスク１００上に形成されたパターンであって、露光パターン１０１を位置決めするためにウエハ１２１に露光されるパターンである。【００２１】
ここで、図３を用いて、露光パターンおよびアライメントマークの関係を説明する。図３は、パターンおよびアライメントマークの関係を説明するための図である。図３に示すような露光パターン１０１および位置検出用アライメントマーク１０２が形成されたガラスマスク１００をマスクホルダ１０４に固定する。【００２２】
ガラスマスク１００は、露光パターンおよびアライメントマークについて、パターンの幅Ｘとアライメントマークの幅ｘとが等しく、パターンの高さＹとアライメントマークの高さｙが等しくなるように形成されている。また、ガラスマスク１００は、ステージ移動の軸に対するパターンの成す角度Θとステージ移動の軸に対するアライメントマークの成す角θとが等しく、パターンの形状とアライメントマークの形状が等しくなるように形成されている。【００２３】
光源１０５は、露光パターン１０１および位置検出用アライメントマーク１０２をウエハ１２１に露光させる。具体的には、光源１０５は、ガラスマスク１００の上から光を照射して、露光パターン１０１および位置検出用アライメントマーク１０２をウエハ１２１に露光させる。このように照射された光は、ガラスマスク１００、縮小投影レンズ１１０を通り、基板ステージ１２０上の露光対象物であるウエハ１２１に塗布されたレジスト１２５に露光パターン１０１を投影する。【００２４】
顕微鏡１３０は、ガラスマスク１００上に現像されたアライメントマーク１０２の位置が観測できる。ノズル１４０は、ウエハ１２１上に露光されたアライメントマーク１０２を部分的に現像する。ノズル１４０は、現像液ノズル、リンス液ノズル、吸引ノズルを有し、現像液容器１４１、リンス液容器１４２、廃液タンク１４３とそれぞれ接続されている。【００２５】
そして、ノズル１４０は、現像液またはリンス液をウエハ１２１上に吐出すとともに、廃液タンク１４３にウエハ１２１上の液を吸引する。具体的には、ノズル１４０は、ステージ１２０を移動させて投影されたパターン上空に配置されると、現像液容器１４１から現像液を基板上に吐出し、廃液タンク１４３に液を吸引する。また、ノズル１４０は、リンス液容器１４２からも基板上に液を吐出し、廃液タンク１４３に液を吸引する。【００２６】
ステージ１２０は、ガラスマスク１００を用いて現像を行うウエハ１２１を把持し、ガラスマスク１００に対して平行な平面上においてウエハ１２１を移動させる。ステージ１２０は、光学干渉計１２２〜１２４によって上下左右角度の制御を可能とする。【００２７】
ウエハ１２１は、ステージ１２０上の露光対象物である。光学干渉計１２２〜１２４は、位置を基にステージ１２０を制御し、ウエハ１２１の位置決めを行う。具体的には、光学干渉計１２２〜１２４は、ステージ１２０の上下左右角度を調整制御し、ウエハ１２１の位置決めを行う。また、レジスト１２５は、ウエハ１２１に塗布されている。ウエハ１２１の表面には、均一にレジスト層が施されている。【００２８】
ここで、図４を用いて、アライメントマークを用いた位置合わせを行って、露光パターンをつなぎ合わせる処理を説明する。図４は、アライメントマークを用いた位置合わせ処理を説明するための図である。なお、図４の例では、ｘ軸方向に露光パターンをつなぎ合わせる場合について説明する。【００２９】
図４に示すように、光学部品製造装置１０は、ガラスマスク１００において、露光パターン１０１およびアライメントマーク１０２が形成されている（図４の（１）参照）。そして、光学部品製造装置１０は、１回目の露光を行って、露光パターン１０１およびアライメントマーク１０２をウエハ１２１に露光し（図４の（２）参照）、１回目に露光されたアライメントマークを現像する（図４の（３）参照）。【００３０】
続いて、光学部品製造装置１０では、２回目の位置決めをするために、ウエハ１２１に現像した１回目のアライメントマークの右端とガラスマスクに形成されたアライメントマーク１０２の左端を重ね合わせるように、ステージ１２０を移動する（図４の（４）参照）。【００３１】
そして、光学部品製造装置１０は、２ショット目の露光を行って、露光パターン１０１およびアライメントマーク１０２をウエハ１２１に露光し（図４の（５）参照）、２ショット目に露光されたアライメントマークを現像する（図４の（６）参照）。その後、光学部品製造装置１０は、３回目の位置決めをするために、ウエハ１２１に現像した２回目のアライメントマークの右端とガラスマスクに形成されたアライメントマーク１０２の左端を重ね合わせるように、ステージ１２０を移動する（図４の（７）参照）。【００３２】
つまり、光学部品製造装置１０は、露光パターン１０１をつなぎ合わさる場合に、相対的位置関係が一定のアライメントマーク１０２を現像し、現像されたアライメントマークを基に次回のショット露光位置を決めている。このため、機械駆動により発生するウエハの位置ずれに影響を受けずに、精度良くパターンをつなぎ合わせることが可能である。【００３３】
ここで、図５を用いて、露光されたアライメントマークを現像する局所現像処理について説明する。図５は、局所現像処理を説明するための図である。図５に示すように、光学部品製造装置１０では、第１回目の露光を行う際に、光源１０５から照射された光はパターン１０１およびアライメントマーク１０２を投影し、レンズ１１０で縮小されてウエハ１２１上のレジスト膜に焼き付けを行う。ここで、焼き付けられた部位を感光部とする。【００３４】
そして、光学部品製造装置１０では、ステージ１２０を、露光したアライメントマーク上空に現像用ノズルが配置されるよう移動させる。続いて、現像液容器１４１から現像液ノズルを通って現像液を供給し、現像液ノズルより現像液を吐出する。【００３５】
そして、吐出された現像液はアライメントマーク上で基板とノズル先端との間に保持され、広範に広がらないよう吸引ノズルによって吸引され、廃液タンク１４３に送られる。続いて、光学部品製造装置１０は、一定時間の現像液供給・排出によりアライメントマーク上に現像液を維持した後、現像液の供給を止め、続いてリンス液容器１４２からリンス液ノズルを通ってリンス液を送り出し、アライメントマーク上に吐出する。【００３６】
吐出されたリンス液は、パターン上で基板とノズル先端との間に保持され、広範に広がらないよう吸引ノズル１４０によって吸引され、廃液タンク１４３に送られる。そして、光学部品製造装置１０は、一定時間のリンス液供給・排出によってアライメントマーク上にリンス液を維持した後、リンス液の供給を止める。こうして、アライメントマークを現像する局所現像処理が終了し、アライメントマークが形成される。【００３７】
［光学部品製造装置による処理］
次に、図６を用いて、実施例１に係る光学部品製造装置１０による処理を説明する。図６は、実施例１に係る光学部品製造装置１０の処理動作を示すフローチャートである。【００３８】
同図に示すように、光学部品製造装置１０では、ステージ１２０に露光対象物であるウエハ１２１が入れられると（ステップＳ１０１）、ウエハ１２１がガラスマスク１００下へ移動される（ステップＳ１０２）。そして、光学部品製造装置１０では、一回目の露光を行い（ステップＳ１０３）、ウェハをガラスマスク１００下から退避させる（ステップＳ１０４）。【００３９】
続いて、ウエハ１２１がノズル１４０の下へ移動され（ステップＳ１０５）、アライメントマークを現像する（ステップＳ１０６）。そして、ウエハをガラスマスク１００下へ移動させ（ステップＳ１０７）、アライメントマークを観測する（ステップＳ１０８）。【００４０】
ここで、光学部品製造装置１０は、ｘ軸方向につなぎ合わせる場合には（ステップＳ１０９肯定）、前回現像されたアライメントマーク右端とマスクアライメントマーク左端を重ね合わせる（ステップＳ１１０）。また、ｙ軸方向につなぎ合わせる場合には（ステップＳ１０９否定）、前回現像されたアライメントマーク下端とマスクアライメントマーク上端を重ね合わせる（ステップＳ１１１）。【００４１】
その後、光学部品製造装置１０は、２度目の露光を行い（ステップＳ１１２）、ウエハ１２１をガラスマスク１００下から退避させる（ステップＳ１１３）。続いて、光学部品製造装置１０では、ウエハ１２１がノズル１４０の下へ移動され（ステップＳ１１４）、アライメントマークを現像する（ステップＳ１１５）。【００４２】
そして、光学部品製造装置１０は、ウエハをガラスマスク１００下へ移動させ（ステップＳ１１６）、全ての露光処理が完了し、つなぎ合わせ連続パターンの生成が終了したか判定する（ステップＳ１１７）。この結果、全ての露光処理が完了していない場合には（ステップＳ１１７否定）、Ｓ１０８に戻って、アライメントマークを観測し、前回のアライメントマークに重ね合わせて露光する処理を繰り返す（ステップＳ１０８〜Ｓ１１７）。【００４３】
また、光学部品製造装置１０は、全ての露光処理が完了し、つなぎ合わせ連続パターンの生成が終了した場合には（ステップＳ１１７肯定）、露光パターンを現像し、現像した露光パターンをエッチングする（ステップＳ１１８）。なお、エッチング処理は、光学部品製造装置１０ではなく、他の装置が行うようにしてもよい。【００４４】
[実施例１の効果]
上述してきたように、光学部品製造装置１０は、露光パターン１０１とアライメントマーク１０２を有するガラスマスク１００と、ガラスマスク１００を用いて現像を行うウエハ１２１を所定位置に配置し、露光パターン１０１とアライメントマーク１０２をウエハ１２１に露光する。そして、光学部品製造装置１０は、ウエハ１２１上に露光されたアライメントマーク１０２を現像し、現像されたアライメントマーク１０２の位置を観測する。そして、光学部品製造装置１０は、アライメントマーク１０２の位置を基にウエハ１２１を移動し、露光、現像および移動を所定回数、繰り返し、ウエハ１２１上の全ての露光パターン１０１を現像し、現像した露光パターン１０１をエッチングする。【００４５】
つまり、光学部品製造装置１０は、露光パターン１０１をつなぎ合わさる場合に、相対的位置関係が一定の露光パターン１０１とアライメントマーク１０２を露光し、アライメントマーク１０２のみを現像し、現像されたアライメントマークを基に次回のショット露光位置を決めている。このため、機械駆動により発生するウエハの位置ずれに影響を受けずに、精度良くパターンをつなぎ合わせることが可能である。
【実施例２】
【００４６】
ところで、上記の実施例１では、露光パターンの大きさおよび傾きとアライメントマークの大きさおよび傾きとが等しく、露光パターンをつなぎ合わせる処理を説明したが、本実施例はこれに限定されるものではない。つまり、露光パターンとアライメントマークとの大きさおよび傾きが等しくなくても、露光パターンをつなぎ合わせるようにしてもよい。【００４７】
そこで、以下の実施例２では、露光パターンＸ、Ｙとアライメントマーク４点が作るｘ、ｙが等しくない場合に、連続パターンを露光する場合として、図７〜図１１を用いて、実施例２における光学部品製造装置の処理について説明する。なお、実施例２に係る光学部品製造装置の構成については、実施例１の光学部品製造装置の構成と同様であるので、説明を省略する。【００４８】
まず最初に、図７を用いて、実施例２における露光パターンおよびアライメントマークの関係を説明する。図７は、パターンおよびアライメントマークの関係を説明するための図である。図７に示すように、実施例２に係るガラスマスクは、露光パターンおよびアライメントマークについて、パターンの幅Ｘとアライメントマークの幅ｘとが等しくない、パターンの高さＹとアライメントマークの高さｙが等しくない。もしくは、実施例２に係るガラスマスク１００は、ステージ移動の軸に対するパターンの成す角度Θとステージ移動の軸に対するアライメントマークの成す角θとが等しくない、または、パターンの形状とアライメントマークの形状が等しくない。【００４９】
つまり、実施例２に係るガラスマスクは、図７に示すように、パターンのＸ，Ｙとアライメントマーク４点が作るｘ，ｙと等しくない、ステージ移動の軸に対する露光パターンおよびアライメントマークの角度Θおよびθが等しくない、アライメントマークが作る形状と実パターンの形状が異なる、のいずれかに該当する。【００５０】
このようなガラスマスクを有する光学部品製造装置１０ａでは、ウエハを所定位置に配置する前に、テスト用ウエハに対して、露光パターンとアライメントマークの露光および現像を行い、テスト用ウエハ上の光学部品パターンとアライメントマークパターンの位置を観測し、露光パターンとアライメントマークとの位置関係を求める。【００５１】
具体的には、光学部品製造装置１０ａは、アライメントマークを用いた位置合わせを行って、露光パターンをつなぎ合わせる処理を行う前に、テスト用ウエハに対して、露光パターンとアライメントマークパターンを露光するテストショット露光を行う。【００５２】
そして、光学部品製造装置１０ａは、露光パターンおよびアライメントマークを現像する。そして、ステージ１２０を現像したパターンが顕微鏡１３０で確認できる位置に移動させ、現像済みの露光パターンとガラスマスク上の露光パターンとを重ね合わせる。このとき、光学部品製造装置１０ａは、ステージ座標（Ａ１，Ｂ１）を記録する。【００５３】
そして、光学部品製造装置１０ａは、図８および図９に示すように、現像済みの露光パターン（図８および図９の（１）参照）をガラスマスク上の露光パターン（図８および図９の（２）参照）に隣接させ、つなぎ合わせた状態に見えるように移動させて、ステージ座標（Ａ２，Ｂ２）を記録する。図８および図９は、つなぎ合わせ用移動量計測処理を説明するための図である。図８は、右方向（ｘ軸方向）に露光パターンをつなぎ合わせていく例であり、図９は、下方向（ｙ軸方向）に露光パターンをつなぎ合わせていく例である。【００５４】
そして、光学部品製造装置１０ａは、これらふたつの座標の値（Ａ１，Ｂ１）、（Ａ２，Ｂ２）から、つなぎ合わせに必要なステージ移動量αＡ＋γＢ（もしくはβＡ＋δＢ）を算出する。具体的には、光学部品製造装置１０ａは、ステージ移動量αＡ＋γＢの算出処理として、「（Ａ２―Ａ１，Ｂ２―Ｂ１）＝（αＡ，γＢ）」を算出し、ステージ移動量ＸＡ（αＡ，γＢ）をもとめる。また、図９に示すように、光学部品製造装置１０ａは、ステージ移動量βＡ＋δＢの算出処理として、「（Ａ２―Ａ１，Ｂ２―Ｂ１）＝（βＡ，δＢ）」を算出し、ステージ移動量ＸＡ（βＡ，δＢ）をもとめる。【００５５】
また、パターンのサイズがステージ移動精度の影響を受ける程度微小である場合は（αＡ，γＢ）または（βＡ，δＢ）を求める作業を数回繰り返し、平均値をとることでステージ移動誤差の影響を低減することができる。【００５６】
その後、光学部品製造装置１０ａは、ステージ移動量を算出した後、ステージ移動量を含めてウエハの移動を行い、露光パターンをつなぎ合わせる処理を行う。具体的には、光学部品製造装置１０ａは、実施例１と同様に、１回目の露光を行った後、アライメントマークのみを現像する。【００５７】
そして、光学部品製造装置１０ａは、ｘ軸方向につなぎ合わせる場合には、現像されたアライメントとガラスマスク上のアライメントとを重ね合わせ、ステージ移動量ＸＡ（αＡ＋γＢ）分ウエハを移動させる。また、光学部品製造装置１０ａは、ｙ軸方向につなぎ合わせる場合には、現像されたアライメントとガラスマスク上のアライメントとを重ね合わせ、ステージ移動量ＸＡ（βＡ，δＢ）分ウエハを移動させる。【００５８】
その後、光学部品製造装置１０ａは、移動された位置で２回目のショット露光を行い、アライメントマークのみを現像する。そして、光学部品製造装置１０ａは、現像されたアライメントとガラスマスク上のアライメントとを重ね合わせ、ステージ移動量ＸＡ（αＡ＋γＢ）分ウエハを移動させる処理を繰り返して、露光パターンをつなぎ合わせる処理を行う。【００５９】
次に、図１０および図１１を用いて、実施例２に係る光学部品製造装置１０ａによる処理を説明する。図１０は、実施例２に係る光学部品製造装置１０ａの処理手順を説明するためのフローチャートである。図１１は、実施例２に係る光学部品製造装置１０ａの移動量計測処理の手順を説明するためのフローチャートである。実施例２に係る光学部品製造装置１０ａの処理は、図６に示した実施例１に係る光学部品製造装置１０の処理と比較して、移動量計測処理を新たに行う点が相違する。【００６０】
図１０に示すように、実施例２に係る光学部品製造装置１０ａでは、ステージ１２０にウエハ１２１が入れられ（ステップＳ２０１）、ガラスマスク１００下へ移動されると（ステップＳ２０２）、露光パターンをつなぎ合わせる処理を行う前に、ステージ移動量を計測する移動量計測処理（後に、図１１を用いて詳述する）を行う（ステップＳ２０３）。【００６１】
続いて、学部品製造装置１０ａは、実施例１と同様に、１回目の露光を行った後、アライメントマークのみを現像した後（ステップＳ２０４〜Ｓ２０８）、アライメントマークを観測する（ステップＳ２０９）。そして、学部品製造装置１０ａは、ｘ軸方向につなぎ合わせる場合には（ステップＳ２１０肯定）、現像されたアライメントとガラスマスク上のアライメントとを重ね合わせ（ステップＳ２１１）、ステージ移動量ＸＡ（αＡ＋γＢ）分ウエハを移動させる（ステップＳ２１２）。【００６２】
また、光学部品製造装置１０ａは、ｙ軸方向につなぎ合わせる場合には（ステップＳ２１０否定）、現像されたアライメントとガラスマスク上のアライメントとを重ね合わせ（ステップＳ２１３）、ステージ移動量ＸＡ（βＡ，δＢ）分ウエハを移動させる（ステップＳ２１４）。【００６３】
その後、光学部品製造装置１０ａは、移動された位置で２回目のショット露光を行い（ステップＳ２１５）、実施例１と同様に、アライメントマークのみを現像する（ステップＳ２１６〜Ｓ２１９）。そして、光学部品製造装置１０ａは、全ての露光処理が完了していない場合には（ステップＳ２２０否定）、現像されたアライメントとガラスマスク上のアライメントとを重ね合わせ、ステージ移動量ＸＡ（αＡ＋γＢ）分ウエハを移動させる処理を繰り返し（ステップＳ２０９〜Ｓ２２０）、露光パターンをつなぎ合わせる処理を行う。【００６４】
また、光学部品製造装置１０は、全ての露光処理が完了し、つなぎ合わせ連続パターンの生成が終了した場合には（ステップＳ２２０肯定）、露光パターンを現像し、現像した露光パターンをエッチングする（ステップＳ２２１）。【００６５】
続いて、実施例２に係る光学部品製造装置１０ａの移動量計測処理の手順を説明する。光学部品製造装置１０ａは、テスト用ウエハに対して、露光パターンとアライメントマークパターンを露光するテストショット露光を行い（ステップＳ３０１）、ウェハをガラスマスク１００下から退避させる（ステップＳ３０２）。【００６６】
そして、光学部品製造装置１０ａは、ウエハ１２１がノズル１４０の下へ移動され（ステップＳ３０３）、露光パターンとアライメントマークを現像する（ステップＳ３０４）。続いて、光学部品製造装置１０ａは、ウエハをガラスマスク１００下へ移動させ（ステップＳ３０５）、現像済みの露光パターンとマスクパターンを重ね合わせて（ステップＳ３０６）、ステージ座標（Ａ１，Ｂ１）を読み取る（ステップＳ３０７）。【００６７】
続いて、光学部品製造装置１０ａは、ウエハを移動させて、現像済みの露光パターンとガラスマスク上の露光パターンとを並べて（ステップＳ３０８）、ステージ座標（Ａ２，Ｂ２）を読み取る（ステップＳ３０９）。これらふたつの座標の値より、つなぎ合わせに必要なステージ移動量αＡ＋γＢ（もしくはβＡ＋δＢ）を算出する（ステップＳ３１０）。【００６８】
具体的には、光学部品製造装置１０ａは、ステージ移動量αＡ＋γＢの算出処理として、「（Ａ２―Ａ１，Ｂ２―Ｂ１）＝（αＡ，γＢ）」を算出し、ステージ移動量ＸＡ（αＡ，γＢ）をもとめる。また、光学部品製造装置１０ａは、ステージ移動量βＡ＋δＢの算出処理として、「（Ａ２―Ａ１，Ｂ２―Ｂ１）＝（βＡ，δＢ）」を算出し、ステージ移動量ＸＡ（βＡ，δＢ）をもとめる。【００６９】
このように、上記の実施例２では、光学部品製造装置１０ａは、ウエハを所定位置に配置する前に、マスクを用いてテスト用ウエハに対して、光学部品パターンとアライメントマークを露光および現像を行い、テスト用ウエハ上の露光パターンとアライメントマークの位置を観測する。そして、露光パターンとアライメントマークとの位置関係を求め、位置関係も含めて、ウエハの移動を行う。【００７０】
このため、露光パターンとアライメントマークとの大きさおよび傾きが等しくない場合であっても、ステージ移動量を用いて、露光パターンのつなぎ合わせを行うことができる結果、精度良くパターンをつなぎ合わせることが可能である。【００７１】
なお、上記の実施例１、２において説明した各処理のうち、自動的におこなわれるものとして説明した処理の全部または一部を手動的におこなうこともでき、あるいは、手動的におこなわれるものとして説明した処理の全部または一部を公知の方法で自動的におこなうこともできる。例えば、アライメントマークを観測する処理やステージを移動させる処理は、手動で行ってもよいし、自動で行ってもよい。
【符号の説明】
【００７２】
１０、１０ａ  光学部品製造装置
１１  ヘッド部
２０  ステージ部
１００  ガラスマスク
１０１  露光パターン
１０２  アライメントマーク
１０４  マスクホルダ
１０５  光源
１１０  縮小投影レンズ
１３０  顕微鏡
１４０  ノズル
１４１  現像液容器
１４２  リンス液容器
１４３  廃液タンク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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