(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源と、前記レーザ光源の光を被測定物に照射し、被測定物からの反射光と参照光と干渉させる干渉光学系と、前記干渉光学系により得られた干渉縞を撮像する撮像部と、を備えた干渉測定装置において、
前記干渉光学系及び被測定物が配置される真空チャンバーと、
前記真空チャンバーに非接触状態で前記真空チャンバーの内側に配置され、前記干渉光学系及び被測定物を支持する支持部と、
前記真空チャンバーの外側に配置された除振器と、
前記除振器により除振され、前記真空チャンバーに形成した開口部を通じて前記支持部を支持する支持脚と、
前記真空チャンバーの外側であって前記支持脚を囲うように前記真空チャンバーと前記除振器との間に配置され、前記真空チャンバーを気密に保持する無変形状態でストレートの筒状に形成されている弾性ベローズと、
前記弾性ベローズの内側に配置され、内径が前記支持脚の径よりも大きく、外径が無変形状態の前記弾性ベローズの内径よりも小さく設定され、前記弾性ベローズの内面に接触して前記弾性ベローズの径方向内側への変形を規制する一個の規制部材と、を備えたことを特徴とする干渉測定装置。
【請求項２】
レーザ光源と、前記レーザ光源の光を被測定物に照射し、被測定物からの反射光と参照光と干渉させる干渉光学系と、前記干渉光学系により得られた干渉縞を撮像する撮像部と、を備えた干渉測定装置において、
前記干渉光学系及び被測定物が配置される真空チャンバーと、
前記真空チャンバーに非接触状態で前記真空チャンバーの内側に配置され、前記干渉光学系及び被測定物を支持する支持部と、
前記真空チャンバーの外側に配置された除振器と、
前記除振器により除振され、前記真空チャンバーに形成した開口部を通じて前記支持部を支持する支持脚と、
前記真空チャンバーの内側であって前記支持脚を囲うように前記真空チャンバーと前記支持部との間に配置され、前記真空チャンバーを気密に保持する無変形状態でストレートの筒状に形成されている弾性ベローズと、
前記弾性ベローズの外側に配置され、内径が無変形状態の前記弾性ベローズの外径よりも大きく設定され、前記弾性ベローズの外面に接触して前記弾性ベローズの径方向外側への変形を規制する一個の規制部材と、を備えたことを特徴とする干渉測定装置。
【請求項３】
前記真空チャンバーの上方に配置され、前記レーザ光源及び前記撮像部が載置される支持台と、
前記真空チャンバーの上部に形成された開口部を通じて前記支持台と前記支持部とを接続する上側支持脚と、
前記真空チャンバーの外側であって前記上側支持脚を囲うように前記真空チャンバーと前記支持台との間に配置され、前記真空チャンバーを気密に保持する上側弾性ベローズと、
前記上側弾性ベローズの内側に配置され、前記上側弾性ベローズの内面に接触して前記上側弾性ベローズの径方向内側への変形を規制する上側規制部材と、を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の干渉測定装置。
【請求項４】
前記真空チャンバーの上方に配置され、前記レーザ光源及び前記撮像部が載置される支持台と、
前記真空チャンバーの上部に形成された開口部を通じて前記支持台と前記支持部とを接続する上側支持脚と、
前記真空チャンバーの内側であって前記上側支持脚を囲うように前記真空チャンバーと前記支持部との間に配置され、前記真空チャンバーを気密に保持する上側弾性ベローズと、
前記上側弾性ベローズの外側に配置され、前記上側弾性ベローズの外面に接触して前記上側弾性ベローズの径方向外側への変形を規制する上側規制部材と、を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の干渉測定装置。
【請求項５】
前記上側弾性ベローズは、無変形状態でストレートの筒状に形成されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の干渉測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高精度な形状計測、波面収差計測に関するものであり、その中でも特に半導体露光装置用縮小投影光学レンズ、ミラー等の面形状や光学系の波面収差を高精度に計測するための干渉測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、高精度な球面レンズ、ミラーの形状の計測方法として、フィゾー干渉計やトワイマン−グリーン干渉計などの干渉計測を用いるのが一般的である。また、近年の半導体露光装置の微細化、高精度化と共にレンズ、ミラーについて１ｎｍ〜０．１ｎｍの形状精度が要求されている。しかし、上記干渉測定装置では測定空間内の空気の揺らぎによる測定誤差があるため、要求されているような高精度な計測を行うことは困難となっている。そこで干渉計の参照レンズ等の光学系及び被測定物を真空等の減圧環境にすることで空気の揺らぎの影響を低減して高精度に計測する干渉測定装置が用いられている。
【０００３】
このように干渉計の測定空間を真空等の減圧環境にするためには、光学系及び被測定物を真空チャンバー内に収めればよい。しかし、高精度な干渉測定装置においては振動の抑制も重要であり、これを行うためには除振器、特に低周波の振動を除去するためにはアクティブ型の除振器が必要になる。しかし真空ポンプ等の振動源とつながっている真空チャンバー全体をアクティブ除振器で除振するのは好ましくないため、真空チャンバーの外から干渉光学系及び被測定物を除振する必要がある。
【０００４】
そこで、ベローズを用いて真空と大気を分離し、干渉計の動きをベローズで吸収する構造とするのが考えられる。この種のベローズには、大気圧に耐えるために、金属を溶接した金属ベローズが用いられる。ベローズは振動を遮断するためには剛性が小さい方が良い。したがって金属ベローズではベローズの段数を増やすことで、ベローズが伸縮する方向及び傾斜する方向に対し剛性を低くしている。しかし、ベローズの段数を増やして剛性を低くするにも限界があり、高精度な干渉測定装置では、僅かな振動でも測定精度に影響するため、金属ベローズを用いるのは不向きである。
【０００５】
そこで、更にベローズの剛性を低くするものとして、金属ベローズの替わりに弾性ベローズを用いることで振動の伝達を防止するものが提案されており（特許文献１参照）、この弾性ベローズを干渉測定装置に適用することが考えられる。また、ベローズの外側に支持部を付加することでベローズが伸縮方向へ変形することを抑制し、伸縮方向に十分に剛性の低いベローズを使用できるものが提案されている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平４−１３６９４３号公報
【特許文献２】特開平１１−１２５３０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記従来の構成では、低剛性の弾性ベローズを用いると、弾性ベローズの内外で圧力差がある場合に、弾性ベローズが伸縮方向と直交する径方向に圧縮又は膨張変形してしまうという問題がある。このように弾性ベローズが径方向に変形してしまうと、剛性が高まり、弾性ベローズを介して干渉計に振動が伝達してしまうという問題がある。
【０００８】
そこで、本発明は、弾性ベローズの径方向の変形を抑制し、弾性ベローズの剛性が低い状態を保持し、除振器の本来の性能を発揮させることで高精度な干渉計測を可能にする干渉測定装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、レーザ光源と、前記レーザ光源の光を被測定物に照射し、被測定物からの反射光と参照光と干渉させる干渉光学系と、前記干渉光学系により得られた干渉縞を撮像する撮像部と、を備えた干渉測定装置において、前記干渉光学系及び被測定物が配置される真空チャンバーと、前記真空チャンバーに非接触状態で前記真空チャンバーの内側に配置され、前記干渉光学系及び被測定物を支持する支持部と、前記真空チャンバーの外側に配置された除振器と、前記除振器により除振され、前記真空チャンバーに形成した開口部を通じて前記支持部を支持する支持脚と、前記真空チャンバーの外側であって前記支持脚を囲うように前記真空チャンバーと前記除振器との間に配置され、前記真空チャンバーを気密に保持する無変形状態でストレートの筒状に形成されている弾性ベローズと、前記弾性ベローズの内側に配置され、内径が前記支持脚の径よりも大きく、外径が無変形状態の前記弾性ベローズの内径よりも小さく設定され、前記弾性ベローズの内面に接触して前記弾性ベローズの径方向内側への変形を規制する一個の規制部材と、を備えたことを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明は、レーザ光源と、前記レーザ光源の光を被測定物に照射し、被測定物からの反射光と参照光と干渉させる干渉光学系と、前記干渉光学系により得られた干渉縞を撮像する撮像部と、を備えた干渉測定装置において、前記干渉光学系及び被測定物が配置される真空チャンバーと、前記真空チャンバーに非接触状態で前記真空チャンバーの内側に配置され、前記干渉光学系及び被測定物を支持する支持部と、前記真空チャンバーの外側に配置された除振器と、前記除振器により除振され、前記真空チャンバーに形成した開口部を通じて前記支持部を支持する支持脚と、前記真空チャンバーの内側であって前記支持脚を囲うように前記真空チャンバーと前記支持部との間に配置され、前記真空チャンバーを気密に保持する無変形状態でストレートの筒状に形成されている弾性ベローズと、前記弾性ベローズの外側に配置され、内径が無変形状態の前記弾性ベローズの外径よりも大きく設定され、前記弾性ベローズの外面に接触して前記弾性ベローズの径方向外側への変形を規制する一個の規制部材と、を備えたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、規制部材により圧力差による弾性ベローズの変形が抑制されるので、弾性ベローズの剛性を低い状態に保持することができ、真空チャンバーから伝わる振動を弾性ベローズが効果的に吸収することができる。したがって、除振器の本来の性能を発揮させることができるため、真空チャンバー内において高精度な干渉計測が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る干渉測定装置の説明図であり、（ａ）は干渉測定装置の概略構成を示す図、（ｂ）は弾性ベローズを示す図である。
【図２】規制部材を説明するための図であり、（ａ）は規制部材の斜視図、（ｂ）はは弾性ベローズが規制部材で規制されている状態を示す図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る干渉測定装置の説明図であり、（ａ）は干渉測定装置の概略構成を示す図、（ｂ）は弾性ベローズが規制部材で規制されている状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１４】
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係る干渉測定装置の説明図である。図１（ａ）に示す干渉測定装置１００は、干渉計１０１を備えている。この干渉計１０１は、フィゾー干渉計である場合について説明するが、これに限定するものではなく、トワイマン−グリーン干渉計やマイケルソン干渉計等の他方式の干渉計を用いても良い。
【００１５】
干渉計１０１は、干渉計本体１０２、ミラー１０３、干渉光学系である参照球面レンズ１０４、ピエゾ駆動装置１０５等を有している。干渉計本体１０２は、レーザ光源１０２Ａ及び撮像部であるＣＣＤカメラ１０２Ｂを有している。ミラー１０３は、干渉計本体１０２のレーザ光源１０２Ａからの平行光を９０°曲げる。参照球面レンズ１０４は平行光を球面波に変換し、且つその光の一部を参照光として反射するレンズである。ピエゾ駆動装置１０５は参照球面レンズ１０４を１／２波長分、光軸方向に変化させる。この参照球面レンズ１０４には、被測定物である被測定ワークＷが対向して配置される。この被測定ワークＷは、不図示のステージにより支持されている。被測定ワークＷは、レンズ又はミラーである。
【００１６】
干渉計本体１０２のレーザ光源１０２Ａから出た平行光であるレーザ光は、４５°に傾斜したミラー１０３で９０°方向を折り曲げられる。参照球面レンズ１０４に入射したレーザ光は、その一部を参照球面レンズ１０４内の参照球面で反射され、残りは球面波として透過する。透過したレーザ光は被測定ワークＷに照射されて反射され、反射光が再び同一光路を辿り、参照球面レンズ１０４にて参照光と反射光とが干渉して干渉光による干渉縞が生成される。この干渉光による干渉縞は、ＣＣＤカメラ１０２Ｂによって撮像され、ホストコンピュータ１０６に撮像データが取り込まれる。
【００１７】
ホストコンピュータ１０６は、干渉縞の解析を行い、被測定ワークＷの形状を算出する。このとき、参照球面レンズ１０４をピエゾ駆動装置１０５で１／２波長動かし、その間に複数枚の干渉縞の画像データを取り込み、計算することで計測精度の向上を図っている。
【００１８】
ところで、この干渉計測においては参照球面レンズ１０４と被測定ワークＷと間の空気揺らぎがあると、レーザ光の光路長が変化し、計測誤差の原因となる。また、振動も計測誤差の原因となる。そこで、本第１実施形態では、干渉測定装置１００は、真空ポンプ１０７により減圧される真空チャンバー１０８を備えており、この真空チャンバー１０８の内側には、参照球面レンズ１０４及び被測定ワークＷが配置されている。減圧された真空チャンバー１０８の内側に参照球面レンズ１０４及び被測定ワークＷが配置されるので、参照球面レンズ１０４にて被測定ワークＷの反射光と参照光とを干渉させて形成された干渉縞に空気の揺らぎによる誤差分が重畳するのを回避することができる。この真空チャンバー１０８は、床Ｆに脚１０９を介して支持されている。
【００１９】
真空チャンバー１０８には、真空ポンプ１０７の振動が伝わると共に、床Ｆの振動が脚１０９を介して伝わる。これに対し、真空チャンバー１０８の内側に配置される参照球面レンズ１０４及び被測定ワークＷは、真空チャンバー１０８の外側に配置したアクティブ方式の除振器１１０よって支持されている。この除振器１１０は、真空チャンバー１０８の下方であって床Ｆに配置されている。これにより床Ｆ及び真空チャンバー１０８からの振動が、参照球面レンズ１０４及び被測定ワークＷに伝わらないようになっている。
【００２０】
具体的に説明すると、真空チャンバー１０８の内側には、参照球面レンズ１０４及び被測定ワークＷを支持する箱形状の金属製の支持部１１１が設けられている。この支持部１１１は、底板１１１Ａ及び天板１１１Ｂを有し、底板１１１Ａには、被測定ワークＷが載置された不図示のステージが設けられている。したがって、被測定ワークＷは、不図示のステージ等を介して支持部１１１に支持されている。天板１１１Ｂの参照球面レンズ１０４に相対する位置には、光が通過する開口部１１１ａが形成されている。
【００２１】
真空チャンバー１０８の下部には、除振器１１０に相対する開口部１０８ａが形成されている。そして、除振器１１０により除振された棒状の支持脚１１２が除振器１１０から開口部１０８ａを通じて支持部１１１の底板１１１Ａに延びて底板１１１Ａに接続される。この支持脚１１２の基端は、除振器１１０の電磁モータ１１０ａ（例えばローレンツ式の磁気浮上モータ）により非接触で支持されている。以上の構成により、真空チャンバー１０８の内側に配置された参照球面レンズ１０４及び被測定ワークＷは、支持脚１１２及び支持部１１１等により真空チャンバー１０８に対して非接触状態に支持される。そして、参照球面レンズ１０４及び被測定ワークＷは、支持脚１１２及び支持部１１１等を介して除振器１１０に除振されることとなる。
【００２２】
ところで、この真空チャンバー１０８の下部には、開口部１０８ａが形成されているので、干渉測定装置１００は、真空チャンバー１０８の内部の真空度を保つため、真空チャンバー１０８を気密状態に保持する弾性ベローズ１１３を備えている。
【００２３】
この弾性ベローズ１１３は、ゴムで形成されている。したがって、金属ベローズよりも軸方向（Ｚ方向）及び軸方向と直交する方向（ＸＹ方向）の剛性が低くなり、効果的に振動を吸収することができる。そして、弾性ベローズ１１３は、真空チャンバー１０８の外側であって支持脚１１２を囲うように真空チャンバー１０８と除振器１１０との間に配置されている。弾性ベローズ１１３は、図１（ｂ）に示すように、無変形状態でストレート状の筒状部材で形成されている。このように弾性ベローズ１１３は無変形状態でストレート状の筒状部材で形成されるので、蛇腹状に形成するよりも弾性ベローズ１１３の軸方向と直交する方向に対して剛性が低くなり、より効果的に振動を吸収することができる。
【００２４】
真空チャンバー１０８の内部を減圧（真空）状態とすると、弾性ベローズ１１３には、大気圧と真空チャンバー１０８の内圧との圧力差により、径方向内側（矢印ｒ１方向）に圧縮する（潰れる）変形力が作用する。そこで、本第１実施形態では、干渉測定装置１００は、弾性ベローズ１１３の内側に配置され、弾性ベローズ１１３が圧縮変形したときに弾性ベローズ１１３の内面に接触して弾性ベローズ１１３の径方向内側への変形を規制する規制部材１１４を備えている。
【００２５】
この規制部材１１４は、金属等の剛体で形成されており、図２（ａ），（ｂ）に示すように、支持脚１１２よりも大径のリング状に形成されたリング部材１１４ａと、リング部材１１４ａから軸方向（Ｚ方向）に延びる複数の棒部材１１４ｂとを有して構成される。棒部材１１４ｂの基端はリング部材１１４ａに固定され、先端は除振器１１０（ケース）に固定される。なお、この規制部材１１４は大気圧による弾性ベローズ１１３の変形に耐えることができれば金属でなくても構わない。また、規制部材１１４の構成も、大気圧による弾性ベローズ１１３の変形に耐えることができれば、いかなる構成でもよく、例えばリング部材１１４ａを省略しても良い。
【００２６】
この規制部材１１４の内径は、支持脚１１２の径よりも大きく設定されている。また、この規制部材１１４の軸方向の長さは、弾性ベローズ１１３の軸方向の長さの半分よりも長く設定されている。したがって、真空ポンプ１０７を動作させ、真空チャンバー１０８の内部を減圧すると、弾性ベローズ１１３は径方向内側に圧縮する弾性変形するが、弾性ベローズ１１３の内面が規制部材１１４に接触して弾性ベローズ１１３の変形が規制される。また、規制部材１１４の外径は、無変形状態の弾性ベローズ１１３の内径以下であり、弾性ベローズ１１３の剛性が低い状態に保つことが可能な最大変形時の内径以上に設定されている。このように、規制部材１１４により弾性ベローズ１１３の変形量が制限される。
【００２７】
したがって、本第１実施形態では、弾性ベローズ１１３が径方向内側に変形しても規制部材１１４で変形が規制されるので、大気圧と真空チャンバー１０８内の圧力との圧力差による弾性ベローズ１１３の変形が抑制される。したがって、弾性ベローズ１１３の剛性を低い状態に保持することができ、真空チャンバー１０８から伝わる振動を弾性ベローズ１１３が効果的に吸収することができる。ゆえに、除振器１１０の本来の性能を発揮させることができるため、真空チャンバー１０８内において高精度な干渉計測が可能となる。
【００２８】
また、弾性ベローズ１１３が径方向内側に変形しても、弾性ベローズ１１３は規制部材１１４で規制され、弾性ベローズ１１３が除振対象物である支持脚１１２に接触するのを回避することができる。したがって、弾性ベローズ１１３が支持脚１１２を押さえつけることがないので、除振器１１０の本来の性能を効果的に発揮させることができ、真空チャンバー１０８内において高精度な干渉計測が可能となる。
【００２９】
ここで、干渉計本体１０２を真空チャンバー１０８の内側に配置してもよいが、本実施形態では、干渉計本体１０２の動作が安定するよう真空チャンバー１０８の外側に配置している。具体的に説明すると、干渉測定装置１００は、真空チャンバー１０８の上方に配置され、干渉計本体１０２及びミラー１０３が載置される支持台１２１を備えている。真空チャンバー１０８の上部には、支持台１２１に相対する開口部１０８ｂが形成されている。支持台１２１の下部と支持部１１１の天板１１１Ｂとは、上側支持脚１２２で接続され、支持台１２１が、支持脚１１２、支持部１１１及び上側支持脚１２２を介して除振器１１０に除振される。つまり、真空チャンバー１０８の外側に配置した干渉計本体１０２及びミラー１０３も除振器１１０に除振され、結果、干渉計１０１全体が除振器１１０に除振されることとなる。
【００３０】
そして、干渉測定装置１００は、真空チャンバー１０８の外側であって上側支持脚１２２を囲うように真空チャンバー１０８と支持台１２１との間に配置された、弾性ベローズ１１３と同一構成の上側弾性ベローズ１２３を備えている。この上側弾性ベローズ１２３により、真空チャンバー１０８が気密に保持される。また、干渉測定装置１００は、上側弾性ベローズ１２３の内側に配置され、上側弾性ベローズ１２３の内面に接触して上側弾性ベローズ１２３の径方向内側への変形を規制する、規制部材１１４と同一構成の上側規制部材１２４を備えている。
【００３１】
したがって、上側弾性ベローズ１２３が径方向内側に変形しても上側規制部材１２４で変形が規制されるので、大気圧と真空チャンバー１０８内の圧力との圧力差による上側弾性ベローズ１２３の変形が抑制される。したがって、上側弾性ベローズ１２３の剛性を低い状態に保持することができ、真空チャンバー１０８から伝わる振動を上側弾性ベローズ１２３が効果的に吸収することができる。ゆえに、除振器１１０の本来の性能を発揮させることができるため、真空チャンバー１０８内において高精度な干渉計測が可能となる。
【００３２】
また、上側弾性ベローズ１２３が径方向内側に変形しても、上側弾性ベローズ１２３は上側規制部材１２４で規制され、上側弾性ベローズ１２３が除振対象物である上側支持脚１２２に接触するのを回避することができる。したがって、上側弾性ベローズ１２３が上側支持脚１２２を押さえつけることがないので、除振器１１０の本来の性能を効果的に発揮させることができ、真空チャンバー１０８内において高精度な干渉計測が可能となる。
【００３３】
また、支持台１２１及び真空チャンバー１０８において、ミラー１０３と参照球面レンズ１０４との間の光路に対応する位置には、開口部１２１ｃ，１０８ｃが設けられている。支持台１２１の開口部１２１ｃには、光が通過する不図示の光学窓が設置され、同様に、弾性ベローズ１２５及び規制部材１２６が設けられている。なお、真空チャンバー１０８の開口部１０８ｃに光学窓を設けた場合には、弾性ベローズ１２５及び規制部材１２６は省略可能である。
【００３４】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態に係る干渉測定装置１００Ａについて、図３を参照しながら説明する。なお、図３において、上記第１実施形態と同様の構成については、同一符号を付してその説明を省略する。
【００３５】
真空チャンバー１０８の下部には、開口部１０８ａが形成されているので、干渉測定装置１００Ａは、真空チャンバー１０８の内部の真空度を保つため、真空チャンバー１０８を気密状態に保持する弾性ベローズ１１３Ａを備えている。
【００３６】
この弾性ベローズ１１３Ａは、ゴムで形成されている。したがって、金属ベローズよりも軸方向（Ｚ方向）及び軸方向と直交する方向（ＸＹ方向）の剛性が低くなり、効果的に振動を吸収することができる。そして、弾性ベローズ１１３Ａは、真空チャンバー１０８の内側であって支持脚１１２を囲うように真空チャンバー１０８と支持部１１１との間に配置されている。弾性ベローズ１１３Ａは、無変形状態でストレート状の筒状部材で形成されている。このように弾性ベローズ１１３Ａは無変形状態でストレート状の筒状部材で形成されるので、蛇腹状に形成するよりも弾性ベローズ１１３Ａの軸方向と直交する方向に対して剛性が低くなり、より効果的に振動を吸収することができる。
【００３７】
真空チャンバー１０８の内部を減圧（真空）状態とすると、弾性ベローズ１１３Ａには、大気圧と真空チャンバー１０８の内圧との圧力差により、径方向外側（矢印ｒ２方向）に膨張する変形力が作用する。そこで本第２実施形態では、干渉測定装置１００Ａは、弾性ベローズ１１３Ａの外側に配置され、弾性ベローズ１１３Ａが変形したときに弾性ベローズ１１３Ａの外面に接触して弾性ベローズ１１３Ａの径方向外側への変形を規制する規制部材１１４Ａを備えている。
【００３８】
この規制部材１１４Ａの内径は、支持脚１１２の径よりも大きく設定されている。また、この規制部材１１４Ａの軸方向（Ｚ方向）の長さは、弾性ベローズ１１３Ａの軸方向（Ｚ方向）の長さの半分よりも長く設定されている。したがって、真空ポンプ１０７を動作させ、真空チャンバー１０８の内部を減圧すると、弾性ベローズ１１３Ａは径方向外側に膨張する弾性変形するが、弾性ベローズ１１３Ａの外面が規制部材１１４Ａに接触して弾性ベローズ１１３Ａの変形が規制される。また、規制部材１１４Ａの内径は、無変形状態の弾性ベローズ１１３Ａの外径以上であり、弾性ベローズ１１３Ａの剛性が低い状態に保つことが可能な最大変形時の外径以下に設定されている。このように、規制部材１１４Ａにより弾性ベローズ１１３Ａの変形量が制限される。
【００３９】
したがって、本第２実施形態では、弾性ベローズ１１３Ａが径方向外側に変形しても規制部材１１４Ａで変形が規制されるので、大気圧と真空チャンバー１０８内の圧力との圧力差による弾性ベローズ１１３Ａの変形が抑制される。したがって、弾性ベローズ１１３Ａの剛性を低い状態に保持することができ、真空チャンバー１０８から伝わる振動を弾性ベローズ１１３Ａが効果的に吸収することができる。ゆえに、除振器１１０の本来の性能を発揮させることができるため、真空チャンバー１０８内において高精度な干渉計測が可能となる。
【００４０】
ここで、干渉測定装置１００Ａは、真空チャンバー１０８の内側であって上側支持脚１２２を囲うように真空チャンバー１０８と支持部１１１との間に配置された、弾性ベローズ１１３Ａと同一構成の上側弾性ベローズ１２３Ａを備えている。この上側弾性ベローズ１２３Ａにより、真空チャンバー１０８が気密に保持される。また、干渉測定装置１００Ａは、上側弾性ベローズ１２３Ａの外側に配置され、上側弾性ベローズ１２３Ａの外面に接触して上側弾性ベローズ１２３Ａの径方向外側への変形を規制する、規制部材１１４Ａと同一構成の上側規制部材１２４Ａを備えている。
【００４１】
したがって、上側弾性ベローズ１２３Ａが径方向外側に変形しても上側規制部材１２４Ａで変形が規制されるので、大気圧と真空チャンバー１０８内の圧力との圧力差による上側弾性ベローズ１２３Ａの変形が抑制される。したがって、上側弾性ベローズ１２３Ａの剛性を低い状態に保持することができ、真空チャンバー１０８から伝わる振動を上側弾性ベローズ１２３Ａが効果的に吸収することができる。ゆえに、除振器１１０の本来の性能を発揮させることができるため、真空チャンバー１０８内において高精度な干渉計測が可能となる。
【００４２】
また、支持台１２１及び真空チャンバー１０８において、ミラー１０３と参照球面レンズ１０４との間の光路に対応する位置には、開口部１２１ｃ，１０８ｃが設けられている。真空チャンバー１０８の開口部１０８ｃには、光が透過する不図示の光学窓が設けられている。なお、支持台１２１の開口部１２１ｃに不図示の光学窓を設置した場合には、同様に、弾性ベローズ及び規制部材を設けても良い。
【００４３】
なお、上記実施の形態に基づいて本発明を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。上記実施の形態では、真空チャンバー１０８の下部に開口部１０８ａを形成し、除振器１１０から延びる支持脚１１２を開口部１０８ａを通じて支持部１１１に接続して干渉光学系及び被測定物を除振する場合について説明したが、これに限定するものではない。即ち、真空チャンバーに形成する開口部の位置は下部に限らず、例えば真空チャンバーの上部や側部等、任意に形成可能である。そして、上記実施の形態と同様に、形成された開口部を通じて除振器から延びる支持脚を支持部に接続して干渉光学系及び被測定物を除振するようにすればよい。この場合も、弾性ベローズは、支持脚を囲うように配置され、真空チャンバーを気密に保持するものであり、規制部材は、この弾性ベローズに対応して設ければよい。
【符号の説明】
【００４４】
１００，１００Ａ  干渉測定装置
１０１  干渉計
１０２  干渉計本体
１０２Ａ  レーザ光源
１０２Ｂ  ＣＣＤカメラ（撮像部）
１０４  参照球面レンズ（干渉光学系）
１０７  真空ポンプ
１０８  真空チャンバー
１０８ａ  開口部
１１０  除振器
１１１  支持部
１１２  支持脚
１１３，１１３Ａ  弾性ベローズ
１１４，１１４Ａ  規制部材
１２１  支持台
１２２  上側支持脚
１２３，１２３Ａ  上側弾性ベローズ
１２４，１２４Ａ  上側規制部材
Ｗ  被測定ワーク（被測定物）
【図１】
0005489690.tif 000002
【図２】
0005489690.tif 000003
【図３】
0005489690.tif 000004