(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧力発生室と、
上記各圧力発生室にそれぞれ連通するノズルと、
液体導入口に連通し、上記複数の圧力発生室に対して共通の流路となるマニホールドと、
上記マニホールドに開口される液体供給口を有し、上記マニホールドと上記各圧力発生室とを連通する液体供給路と、
上記各圧力発生室に圧力を発生させ上記各ノズルから液体を噴射させる圧力発生素子と、
が設けられている液体噴射ヘッドであって、
上記液体供給路のうち、少なくとも１つの液体供給路の液体供給口は、上記マニホールドに開口部を有する凹部の内面に形成されており、
前記凹部の開口部は、長手方向と短手方向とを有する長孔形状であり、長孔形状の長手方向が、前記凹部の内面に形成される前記液体供給口と、この液体供給口の隣りに配置され、かつ、前記液体導入口から離れる方向に配置される前記液体供給口とが配列される方向に対して交差する方向に配置される
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記液体供給口は、前記開口部の長手方向の一端側に配置され、
前記開口部は、前記液体供給口が配置される前記長手方向の一端側から他端側に向かって、前記液体導入口からの距離が長くなる長孔形状に形成される、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記液体噴射ヘッドが液体噴射状態にあるときに、前記液体供給口が、前記凹部の内面の最も高い位置よりも低い位置に配置される、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記凹部の開口部の縁部には、前記凹部の底部側に傾斜する傾斜面が形成されている、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項６】
複数の圧力発生室が形成された圧力発生室形成板と、
前記各圧力発生室にそれぞれ連通するノズルが形成されたノズル形成板と、
前記圧力発生室形成板と前記ノズル形成板との間に配置され、液体導入口に連通し、上記複数の圧力発生室に対して共通の流路となるマニホールドが形成されたマニホールド形成板と、
前記圧力発生室形成板と前記マニホールド形成板との間に配置され、前記マニホールドの側の面に開口された液体供給口を介して、前記マニホールドと前記各圧力発生室とを連通する液体供給路が形成された形成板と、
前記各圧力発生室に圧力を発生させ前記各ノズルから液体を噴射させる圧力発生素子と、
前記液体供給路が形成された形成板と前記マニホールド形成板との間に配置され、前記液体供給路が形成された形成板の前記面の一部及び前記液体供給口を、前記マニホールドの側に露出させて内側に配置させる壁部が、前記液体供給口及び前記液体供給路に対応して形成された凹部形成板と、
を有する、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インク噴射ヘッドは、一般的に、概略、次のように構成されている。かかるインク噴射ヘッドは、マニホールドと、圧力発生室と、ノズルとを有している。インク噴射ヘッドは、インクカートリッジからインクの供給を受け、供給されたインクは、マニホールドに送られる。マニホールドに送られたインクは、マニホールドと複数の圧力発生室とを連通する複数のインク供給路を介して圧力発生室に送られる。マニホールドから圧力発生室に送られたインクは、圧力発生素子の駆動により圧力が発生された圧力発生室から、インク排出路を介してノズルから外部に噴射させられる。インク噴射ヘッドは、１つのマニホールドに対して、複数のノズルと、複数のインク供給路と、複数の圧力発生室と、複数のインク排出路が備えられている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２１９５６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、マニホールド内の液体に気泡が発生することがある。気泡の発生メカニズムとしては、たとえば、液体に溶存している些少な気体が、液体温度の上昇や周囲の気圧の低下により膨張し、この膨張した気体が、気泡となって現れることが考えられる。マニホールド内で気泡が発生すると、たとえば、発生した気泡が１個であるにも拘わらず、複数のノズルにおいて液体が噴射されなくなる状態が発生する問題がある。
【０００５】
複数のノズルにおいて液体が噴射されなくなる状態が発生するメカニズムは、次のように考えられる。液体貯留部となるインクカートリッジからマニホールド内に送られた液体は、液体供給路に向かって流れる。したがって、マニホールド内の液体に気泡が発生すると、この気泡は、液体供給路に向かって移動する。発生した気泡が、液体供給路に吸引されないほどに大きい場合は、液体供給路が気泡により塞がれ、マニホールドから圧力発生室への液体の流れが断たれる。そして、マニホールドから液体供給路への液体の流れが断たれた状態で、圧力発生素子の駆動が継続されると、圧力発生室内には、液体に換わって空気が溜まる。
【０００６】
圧力発生室内に空気が溜まると、圧力発生素子が駆動されても圧力発生室内に在る液体に十分な圧力が作用せず、ノズルから液体の噴射が行われなくなる。このようにノズルから液体の噴射が行われない状態になると、液体供給路から圧力発生室にかけての液体の流れが無くなり、液体供給路を塞いでいる気泡に対して、液体供給路から圧力発生室側に吸引する吸引力が作用しなくなる。
【０００７】
一方、気泡により塞がれていない他の液体供給路により、マニホールドには、気泡により塞がれていない液体供給路へ向かう液体の流れが発生している。そのため、液体供給路を塞いでいる気泡は、気泡により塞がれていない液体供給路に向かって吸い寄せられ移動する。そして、気泡を吸い寄せた液体供給路は、吸い寄せた気泡により塞がれる。
【０００８】
吸い寄せた気泡により新たに塞がれた液体供給路は、上述したように、液体の流れが断たれ、ノズルから液体の噴射が行われなくなる。一方、移動した気泡が移動する前に気泡により塞がれていた液体供給路については、圧力発生室内に空気が溜まった状態となっている。そのため、圧力発生素子を駆動させても、液体供給路側からノズルに向けて液体を流すことができない。したがって、上述したように、気泡が１つの液体供給路から他の液体供給路に順次移動していくことで、液体が噴射されないノズルが順次増え、複数のノズルから同時に液体が噴射されない状態が発生すると考えられる。
【０００９】
尚、この課題は、液体としてインクを噴射するインクヘッドに特化したものではなく、インク以外の液体を噴射することが出来る液体噴射ヘッドにも同様に発生するものである。
【００１０】
そこで、本発明は、マニホールド内で大きな気泡が発生した場合にも、複数のノズルから液体が噴射されない状態となり難い液体噴射ヘッドおよびこの液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述の課題を解決するため、複数の圧力発生室と、上記各圧力発生室にそれぞれ連通するノズルと、液体導入口に連通し、上記複数の圧力発生室に対して共通の流路となるマニホールドと、上記マニホールドに開口される液体供給口を有し、上記マニホールドと上記各圧力発生室とを連通する液体供給路と、上記各圧力発生室に圧力を発生させ上記各ノズルから液体を噴射させる圧力発生素子と、が設けられている液体噴射ヘッドであって、上記液体供給路のうち、少なくとも１つの液体供給路の液体供給口は、上記マニホールドに開口部を有する凹部の内面に形成されており、前記凹部の開口部は、長手方向と短手方向とを有する長孔形状であり、長孔形状の長手方向が、前記凹部の内面に形成される前記液体供給口と、この液体供給口の隣りに配置され、かつ、前記液体導入口から離れる方向に配置される前記液体供給口とが配列される方向に対して交差する方向に配置されることを特徴とする。
【００１２】
液体噴射ヘッドをこのように構成することで、液体供給口を塞いだ気泡を、他の液体供給口に移動しないように凹部に捕らえておくことができる。そのため、一度に複数のノズルから液体が噴射されない状態の発生を防止することができる。
【００１３】
上記液体噴射ヘッドは、凹部の開口部が、長手方向と短手方向とを有する長孔形状であり、そして、この長孔形状の長手方向が、凹部の内面に形成される液体供給口と、この液体供給口の隣りに配置され、かつ、液体導入口から離れる方向に配置される液体供給口とが配列される方向に対して交差する方向に配置されている。
【００１４】
液体噴射ヘッドをこのように構成することで、液体噴射ヘッドの大型化を抑えつつ凹部の容積を大きくすることができる。凹部の容積を大きくすることで、凹部内に気泡を捕らえ易くなる。
【００１５】
上記発明に加えて、液体噴射ヘッドは、液体供給口が、開口部の長手方向の一端側に配置され、さらに、開口部の形状が、液体供給口が配置される長手方向の一端側から他端側に向かって、液体導入口からの距離が長くなる長孔形状に形成されることとする。
【００１６】
液体噴射ヘッドをこのように構成することで、凹部内に、液体供給口から離れる方向に向かう液体の流れが発生し易くなる。この流れにより、液体供給口を塞いでいる気泡が液体供給口から離れた位置に移動し易くなり、マニホールドから液体供給口に向けた液体の流れが発生し易くなる。
【００１７】
上記発明に加えて、液体噴射ヘッドは、液体噴射ヘッドが液体噴射状態にあるときに、液体供給口が、凹部の内面の最も高い位置よりも低い位置に配置されることとする。
【００１８】
液体噴射ヘッドをこのように構成することで、凹部内に在る気泡を内面の最も高い位置に移動させることができる。そのため、液体供給口が気泡に塞がれ難くなる。
【００１９】
上記発明に加えて、液体噴射ヘッドは、凹部の開口部の縁部には、凹部の底部側に傾斜する傾斜面が形成されていることとする。
【００２０】
液体噴射ヘッドをこのように構成することで、マニホールドから液体供給口に向かって流れる液体の流速を速くすることができる。これにより、凹部内の気泡が液体供給路内に吸引され易くなり、ノズルから液体噴射ヘッドの外部に排出され易くなる。
【００２１】
上述の課題を解決するため、液体噴射装置は、上述した発明に係る液体噴射ヘッドを備えることとする。
【００２２】
液体噴射装置をこのように構成することで、液体供給口を塞いだ気泡を、他の液体供給口に移動しないように凹部に捕らえておくことができる。そのため、一度に複数のノズルから液体が噴射されない状態の発生を防止することができる。
【００２３】
上述の課題を解決するため、複数の圧力発生室が形成された圧力発生室形成板と、前記各圧力発生室にそれぞれ連通するノズルが形成されたノズル形成板と、前記圧力発生室形成板と前記ノズル形成板との間に配置され、液体導入口に連通し、上記複数の圧力発生室に対して共通の流路となるマニホールドが形成されたマニホールド形成板と、前記圧力発生室形成板と前記マニホールド形成板との間に配置され、前記マニホールドの側の面に開口された液体供給口を介して、前記マニホールドと前記各圧力発生室とを連通する液体供給路が形成された形成板と、前記各圧力発生室に圧力を発生させ前記各ノズルから液体を噴射させる圧力発生素子と、前記液体供給路が形成された形成板と前記マニホールド形成板との間に配置され、前記液体供給路が形成された形成板の前記面の一部及び前記液体供給口を、前記マニホールドの側に露出させて内側に配置させる壁部が、前記液体供給口及び前記液体供給路に対応して形成された凹部形成板と、を有する、ことを特徴とする。
【００２４】
液体噴射ヘッドをこのように構成することで、液体供給口を塞いだ気泡を、壁部により他の液体供給口に移動し難くすることができる。そのため、一度に複数のノズルから液体が噴射されない状態の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施の形態に係るプリンターの全体的な概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るインクヘッドを上方から見たときの概略の構成を示す図である。
【図３】図２に示すインクヘッドの概略の構成を示す分解斜視図である。キャリッジに取り付けられたインクヘッドを下方から見た構成を示す図である。
【図４】図２に示す切断線Ａ−Ａにおける断面の概略の構成を示す部分断面図である。
【図５】図２に示す切断線Ｂ−Ｂにおける断面の概略の構成を拡大して示す部分断面図である。
【図６】図５に示すインクヘッドを下方からみた見たときの凹部と開口部３２の配置を示す図である。
【図７】図２に示すインクヘッドの変形例を示す図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係るインクヘッドの概略の構成を示す分解斜視図である。
【図９】図８に示す供給口形成板の上方から下方を見たときの、開口部、凹部、およびインク貯留部の配置と形状等を示す図である。
【図１０】本発明の第２の実施の形態に係るインクヘッドの凹部の形状の変形例を示す図である。
【図１１】本発明の第３の実施の形態に係るインクヘッドの概略の構成を示す分解斜視図である。
【図１２】図１１における切断線Ｂ−Ｂにおける供給口形成板の断面の概略の構成を示す部分断面図である。
【図１３】図１２に示す凹部の最高部位に気泡が溜まった状態を示す図である。
【図１４】図１２に示す凹部に形成される開口部の形成位置の他の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
（第１実施の形態）
以下、本発明の液体噴射ヘッドの実施の形態に係るインク噴射ヘッド（以下、単に、インクヘッドと記載する。）１およびこのインクヘッド１を備える液体噴射装置としてのインクジェットプリンター（以下、単に、プリンターという）１００について、図面を参照しながら説明をする。図１は、インクヘッド１が備えられるプリンター１００の全体的な概略構成を示す斜視図である。図２は、インクヘッド１を上方から見たときの概略の構成を示す図である。図３は、インクヘッド１の概略の構成を示す分解斜視図である。図４は、図２に示す切断線Ａ−Ａにおける断面の概略の構成を示す部分断面図である。以下の説明では、図１に示す矢印Ｘ方向を前方、矢印Ｙ方向を左方、矢印Ｚ方向を上方として説明を行うこととする。本実施の形態では、プリンター１００が設置される側が下方であり、プリンター１００が設置される側から離間する方向が上方となる。
【００２７】
（プリンター１００の全体構成）
プリンター１００は、上部にインクカートリッジ１０１が搭載され、記録用紙Ｐの配置側に液体噴射ヘッドとしてのインクヘッド１が取り付けられたキャリッジ１０２を備えている。キャリッジ１０２は、タイミングベルト１０３を介してキャリッジモーター１０４に接続され、ガイドバー１０５に案内されて記録媒体としての記録用紙Ｐの主走査方向（左右方向）に往復移動される。インクカートリッジ１０１には、液体としてのインクが貯留され、インクカートリッジ１０１からインクヘッド１に対しインクが供給される。キャリッジ１０２の移動によりインクヘッド１を左右方向（主走査方向）に移動すると共に、記録用紙Ｐを主走査方向に直交する前方（副走査方向）に移動させながら、インクヘッド１から記録用紙Ｐにインク滴を噴射させることで、記録用紙Ｐに画像や文字が印刷される。記録用紙Ｐが搬送される範囲の右側には、インクヘッド１に対してクリーニング処理を行うクリーニング機構１０６と、インクヘッド１のノズル形成面２（図３、図４参照）を覆い保護することができるノズル保護機構１０７が配置されている。
【００２８】
（インクヘッド１の全体構成）
次に、図２、図３および図４を参照しながら、インクヘッド１の構成について説明する。インクヘッド１は、アクチュエータユニット３（図３、図４参照）と、流路ユニット４（図３，４参照）と、を有する。アクチュエータユニット３は、列設される多数の圧力発生室５と、各圧力発生室５に対応して備えられる圧力発生素子としての圧電振動子６等が設けられる。流路ユニット４は、アクチュエータユニット３に対して、インクヘッド１からインク噴射側が噴射される側に配置され、複数の圧力発生室５にインクを供給する共通の流路となるマニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）と、このマニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）内にて膨張して発生した気泡を捕らえることが可能な凹部８（図３、図４参照）と、圧力発生室５に連通するノズル９等を有している。
【００２９】
インクヘッド１は、圧力発生室５に圧電振動子６の駆動により発生する圧力の変化により、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）内のインクを液体供給路としてのインク供給路１０から圧力発生室５およびインク排出路１１を介して、ノズル９からインク滴として噴射することができるように構成されている。
【００３０】
マニホールド７Ａ，７Ｂの対とマニホールド７Ｃ，７Ｄの対は、ノズル９の列方向に対して対称の形状および配置で設けられている。圧力発生室５、圧電振動子６、凹部８、インク供給路１０、インク排出路１１およびノズル９等は、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）にそれぞれ備えられている。マニホールド７Ａに対して備えられる圧力発生室５等の構成と、マニホールド７Ｂ，７Ｃ，７Ｄに対して備えられる圧力発生室５等の構成とは同様の構成となっている。図４は、図２に示す切断線Ａ−Ａにおける断面の概略の構成を示す部分断面図であり、マニホールド７Ａに対して備えられる圧力発生室５等についての構成を示すものである。マニホールド７Ｂ，７Ｃ，７Ｄについての圧力発生室５等の構成も、図４に示す構成と同様の構成となっている。
【００３１】
（アクチュエータユニット３の構成）
図４に示すように、アクチュエータユニット３は、圧力発生室５を形成する圧力発生室形成用孔部５Ａが形成される圧力発生室形成板１３と、この圧力発生室形成板１３に対して流路ユニット４と反対側に位置して圧力発生室形成用孔部５Ａの開口を塞ぐ振動板１４とが積層されて構成されている。
【００３２】
圧力発生室５は、長手方向（長辺）と短手方向（短辺）とを有し、圧力発生室５が複数並設される並設方向に直交する方向が圧力発生室５の長手方向となる。図４に示す圧力発生室５は、その長手方向を描画しているものである。また、並設された複数の圧力発生室５は、圧力発生室列を構成し、その圧力発生室列はノズル９の列方向に交差する方向に２列に配置されている。一方の列に配置される圧力発生室５は、マニホールド７Ａに連通する圧力発生室５と、マニホールド７Ｂに連通する圧力発生室５とが交互に備えられている。また、他方の列に配置される圧力発生室５は、マニホールド７Ｃに連通する圧力発生室５と、マニホールド７Ｄに連通する圧力発生室５とが交互に備えられている。一方の列に配置される圧力発生室５は、その一端側において、インク供給路１０を介してマニホールド７Ａまたはマニホールド７Ｂに連通している。また、他方の列に配置される圧力発生室５は、その他端側において、インク供給路１０を介してマニホールド７Ｃまたはマニホールド７Ｄに連通している。
【００３３】
アクチュエータユニット３の振動板１４の圧力発生室形成板１３が配置される側の面とは反対側の面には、電極１５が形成されている。電極１５には、圧力発生室５毎に、平板状の圧電振動子６が重ねて備えられている。アクチュエータユニット３は、圧電振動子６の振動により圧力発生室５内の容積を変化させ、圧力発生室５内を減圧および加圧することができるように構成されている。圧電振動子６には、圧電振動子６毎に、電極１６が重ねて備えられている。電極１６が各圧電振動子６毎に備えられているため、各圧電振動子６は独立して駆動することができる。したがって、各圧電振動子６は、圧力発生室５毎に独立して圧力の変化を発生させることができる。ここで、電極１５を複数の圧電振動子の共通電極として用いると共に、電極１６を各圧電振動子の個別電極として用いたが、これとは反対に、電極１５を共通電極とし、電極１６を共通電極として用いてもよい。そのような場合には、電極１５を圧電振動子毎に設けると共に、電極１６を各圧電振動子の並設方向に横断するように設ける態様が考えられる。
【００３４】
（流路ユニット４の構成）
図３、図４に示すように、流路ユニット４は、ノズル９が形成されるノズル形成板１７と、コンプライアンス板１８と、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）を形成する空間１９が形成されるマニホールド形成板２０と、凹部形成板２１と、供給口形成板２２と、連通室形成板２３とを有する。ノズル形成板１７からアクチュエータユニット３の側に向かって順に、コンプライアンス板１８、マニホールド形成板２０、凹部形成板２１、供給口形成板２２、そして連通室形成板２３が積層される。
【００３５】
（ノズル形成板１７の構成）
ノズル形成板１７には、インク排出路１１を介して、各圧力発生室５に連通する複数のノズル９が設けられている。ノズル９は、ノズル形成板１７のコンプライアンス板１８側に開口する開口部１７Ａ（図４参照）と、コンプライアンス板１８が配置される方向とは反対側に開口しインクがインクヘッド１の外部に噴射されるノズル開口部１７Ｂ（図４参照）とを有する。ノズル開口部１７Ｂは、開口部１７Ａの開口径に比べて小さな開口径に形成されている。ノズル９は、圧力発生室５の列に沿って、前後方向に複数配列されている。なお、ノズル９の列は、主走査方向に配置される２列の圧力発生室５の列にそれぞれ対応して設けられている。つまり、インクヘッド１においては、ノズル９の列は、主走査方向に２列設されている。
【００３６】
（マニホールド形成板２０の構成）
マニホールド形成板２０は、ノズル形成板１７に対してコンプライアンス板１８を挟んで積層される。マニホールド形成板２０には、各ノズル９に連通するインク排出路１１の一部を形成する第１インク排出路形成孔部２４と、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）を形成する空間１９とが形成されている。マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）は、いずれも圧力発生室５の列設方向に延び、各圧力発生室５の一端側に並設されている。また、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）の一端側、つまり、インク排出路１１の一部を形成する第１インク排出路形成孔部２４の並設方向に沿った方向の一端側には、インク導入部２５（図３参照）が設けられている。このインク導入部２５は、後述するインク導入路３０からマニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）内にインクを流入させる部分である。
【００３７】
マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）には、インク導入部２５からそれぞれ異なる色のインクが流入され、４色のインクを用いて印刷することができるように構成されている。ノズル開口部１７Ｂからは、各ノズル開口部１７Ｂに対応するマニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）内のインクが噴射される。
【００３８】
このインクヘッド１では、２列の圧力発生室５のうち、一方の列に対し、２つのマニホールド７Ａ，７Ｂが連通し、１列の圧力発生室５により２色のインクを噴射する。また、他方の列に対し、２つのマニホールド７Ｃ，７Ｄが連通し、他方の１列の圧力発生室５により２色のインクを噴射する。
【００３９】
このように、インクヘッド１では、１列の圧力発生室５の列において、異なる２色のインクを噴射するようになっている。そのため、インクヘッド１自体のサイズを大幅に小型化することができる。また、使用するインクの色数を増加させてマニホールドの数が増えたとしても、インクヘッド１自体のサイズはそれほど大きくならないですむ。
【００４０】
なお、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）の平面形状は、なめらかな曲線から構成されている。このようにすることにより、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）内に気泡が付着し難く、気泡による噴射不良等が発生しにくくなる。
【００４１】
（コンプライアンス板１８の構成）
図３、図４に示すように、マニホールド形成板２０のノズル形成板１７側の面には、コンプライアンス板１８が積層される。コンプライアンス板１８には、インク排出路１１の一部を形成する第２インク排出路形成孔部２６と、コンプライアンス部１８Ａが設けられている。マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）を形成する空間１９のノズル形成板１７側の開口は、コンプライアンス板１８により塞がれる。
【００４２】
コンプライアンス部１８Ａは、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）内の圧力変化によって変形可能に構成されている。具体的には、コンプライアンス板１８のノズル形成板１７の面であってマニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）と対応する部分に、ノズル形成板１７側からマニホールド形成板２０側に凹む凹部２７が形成され、凹部２７の底面部分（マニホールド形成板２０側の面に在って、コンプライアンス板１８の他の部分よりも薄く形成されている部分）が、コンプライアンス部１８Ａとして機能する。そのため、コンプライアンス部１８Ａは、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）内の圧力変化によって変形することができる。したがって、コンプライアンス部１８Ａが、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）内の圧力変化に伴って変形することで、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）内の圧力の急激な変化を抑えることができる。なお、凹部２７のノズル形成板１７側の開口は、コンプライアンス板１８に積層されるノズル形成板１７により塞がれている。
【００４３】
（凹部形成板２１の構成）
図３、図４に示すように、凹部形成板２１は、マニホールド形成板２０の圧力発生室形成板１３側の面に積層される。凹部形成板２１には、インク供給路１０に対応して設けられる凹部８を形成する凹部形成孔部２８と、インク排出路１１の一部を形成する第３インク排出路形成孔部２９と、インク導入路３０の一部を形成する第１インク導入路形成孔部３１とが形成されている。凹部形成板２１は、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）を形成する空間１９の供給口形成板２２側の面の開口を、凹部形成孔部２８（凹部８）の部分を除いて塞ぐように、マニホールド形成板２０の供給口形成板２２側の面に積層される。凹部形成孔部２８の供給口形成板２２側の開口部２８Ａ（図４参照）およびマニホールド形成板２０側の開口部２８Ｂ（図４参照）は、それぞれ円形であり、凹部形成孔部２８の内周面は、円筒状を呈している。凹部形成孔部２８の開口径Ｄ１は、後述するインク供給路形成孔部３２の開口部３２Ｂの開口径Ｄ２よりも大きな開口径に設定されている。
【００４４】
（供給口形成板２２の構成）
図３、図４に示すように、供給口形成板２２は、凹部形成板２１の圧力発生室形成板１３側の面に積層される。供給口形成板２２には、インク供給路１０の一部を形成するインク供給路形成孔部３２と、インク排出路１１の一部を形成する第４インク排出路形成孔部３３と、インク導入路３０の一部を形成する第２インク導入路形成孔部３４とが形成されている。インク供給路形成孔部３２は、圧力発生室５の列設方向に列設されている。また、第２インク導入路形成孔部３４も、圧力発生室５の列設方向に列設されている。インク供給路形成孔部３２は、供給口形成板２２の圧力発生室形成板１３側の面に開口する開口部３２Ａ（図４参照）の開口径Ｄ３に比べて、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）に開口する液体供給口としての開口部３２Ｂの開口径Ｄ２の方が小さく形成されている。
【００４５】
（連通室形成板２３の構成）
図３、図４に示すように、連通室形成板２３は、供給口形成板２２の圧力発生室形成板１３面側に積層される。連通室形成板２３は、連通室３５を形成する連通室形成用孔部３６とインク排出路１１の一部を形成する第５インク排出路形成孔部３７と、インク導入路３０の一部を形成する第３インク導入路形成孔部３８が形成されている。連通室形成用孔部３６は、供給口形成板２２に形成されるインク供給路形成孔部３２毎に形成されている。連通室形成用孔部３６の内周径は、インク供給路形成孔部３２の圧力発生室形成板１３の開口部３２Ａの開口径Ｄ３と同一または、この開口径よりも大きな径に設定されている。
【００４６】
（インクヘッド１内のインクの流れ）
流路ユニット４は、上述のように構成されるノズル形成板１７と、コンプライアンス板１８と、マニホールド形成板２０と、凹部形成板２１と、供給口形成板２２と、連通室形成板２３とが積層されて構成される。ノズル形成板１７と、コンプライアンス板１８と、マニホールド形成板２０と、凹部形成板２１と、供給口形成板２２と、連通室形成板２３とは、ノズル９に、インク排出路１１を形成する第２インク排出路形成孔部２６と第１インク排出路形成孔部２４と第３インク排出路形成孔部２９と第４インク排出路形成孔部３３と第５インク排出路形成孔部３７とが連通するように積層されている。
【００４７】
また、マニホールド形成板２０と、凹部形成板２１とは、凹部形成板２１の凹部形成孔部２８が、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）に連通するように積層されている。さらに、供給口形成板２２と、連通室形成板２３とは、凹部形成板２１の凹部形成孔部２８に、インク供給路形成孔部３２と連通室形成用孔部３６とが連通するように積層されている。
【００４８】
また、さらに、マニホールド形成板２０と、凹部形成板２１と、供給口形成板２２、連通室形成板２３とは、マニホールド形成板２０のインク導入部２５と、凹部形成板２１の第１インク導入路形成孔部３１と、供給口形成板２２の第２インク導入路形成孔部３４と、連通室形成板２３の第３インク導入路形成孔部３８が連通するように積層されている。第１インク導入路形成孔部３１は、インク導入路３０からマニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）内にインクが導入されるインク導入口として構成される。
【００４９】
上述のように構成された流路ユニット４には、アクチュエータユニット３が積層される。アクチュエータユニット３と、流路ユニット４とは、圧力発生室５の一端側に、インク供給路１０の連通室３５が連通し、圧力発生室５の他端側に、インク排出路１１の第５インク排出路形成孔部３７が連通するように積層される。
【００５０】
（インクヘッド１におけるインクの流れ）
以上のように構成されたインクヘッド１におけるインクの流れを図４を参照して説明する。
【００５１】
先ず、インクカートリッジ１０１から、インク導入路３０（図２、図３参照）を介して、インク導入口としての開口部３１からマニホールド７Ａのインク導入部２５にインクが流れ込む。そして、マニホールド７Ａに流入したインクは、凹部８からインク供給路１０を通り圧力発生室５内に流れ込む。そして、圧電振動子６にたわみ振動が発生させられることにより、圧力発生室５に圧力が発生すると、圧力発生室５内のインクがインク排出路１１を通り、ノズル開口部１７Ｂからインクヘッド１の外部に噴射される。インクヘッド１には、圧力発生室５とインク供給路形成孔部３２との間に連通室３５が設けられている。このように圧力発生室５とインク供給路形成孔部３２との間に連通室３５を設けることで、マニホールド７Ａ内のインクをインク供給路形成孔部３２を介して直接圧力発生室５に流入させる場合よりも、マニホールド７Ａから圧力発生室５へのインクの流れがスムーズになる。
【００５２】
マニホールド７Ｂ，７Ｃ，７Ｄにインクカートリッジ１０１からインク導入路３０を介して流れ込んだインクについても、同様に、インク供給路１０を通り圧力発生室５内に流れ込む。そして、圧電振動子６にたわみ振動が発生させられることにより、圧力発生室５に圧力が発生すると、圧力発生室５内のインクがインク排出路１１を通り、ノズル開口部１７Ｂからインクヘッド１の外部に噴射される。
【００５３】
なお、図２、図３に示すように、インクヘッド１には、インクカートリッジ（図示せず）から各マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）のインク導入部２５にインクが流入される４つのインク導入路３０が設けられている。これらのインク導入路３０は、左右方向（インクヘッド１の走査方向）に一列に設けられている。このように、インク導入路３０が圧力発生室５の列の方向と直交する方向に１列に列設されているため、インクカートリッジ等からのインクの流入が容易に行え、構造が複雑化しない。
【００５４】
（凹部８の構成）
ところで、たとえば、マニホールド７Ａ内で気泡が発生する場合がある。そして、この気泡に起因して、複数のノズル開口部１７Ｂについて同時にインクが噴出されなくなる現象が発生することがある。しかしながら、インクヘッド１においては、凹部８を設け、この凹部８の内側の面にインク供給路１０のマニホールド７Ａへの開口部となる開口部３２Ｂが形成されている。凹部８内に開口部３２Ｂが形成されることにより、複数のノズル開口部１７Ｂについて同時にインクが噴出されなくなる現象の発生を防ぐことができる。
【００５５】
以下に、図５、図６を参照しながら凹部８の詳細な構成について説明する。図５は、図２に示す切断線Ｂ−Ｂにおける断面の概略の構成を拡大して示す部分断面図である。図６は、図５をマニホールド形成板２０側から見たときの凹部８と開口部３２Ｂの配置を示す図である。
【００５６】
図５、図６において、インク導入部２５は図示外の前方に配置され、マニホールド７Ａ内のインクの流れは、矢印Ａに示す方向となっている。つまり、図５には、インク供給路１０として３つのインク供給路１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃが示され、インクは、インク供給路１０Ａからインク供給路１０Ｃの側に向かって流れる。また、図４に示すノズル開口部１７Ｂからインクが噴射される際には、各インク供給路１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃに、マニホールド７Ａ側から圧力発生室５に向かってインクの流れが発生する。
【００５７】
凹部形成板２１に供給口形成板２２が積層された状態においては、凹部形成孔部２８の開口部２８Ａが供給口形成板２２によって塞がれ、凹部形成孔部２８は、圧力発生室５側に底部２８Ｃを有する有底の凹部８として構成される。凹部形成孔部２８の開口径Ｄ１は、開口部３２Ｂの開口径Ｄ２よりも大きく設定されている。そして、インク供給路形成孔部３２の開口部３２Ｂが、凹部形成孔部２８の開口部２８Ｂの内側に位置するように、凹部形成板２１と供給口形成板２２とは位置合わせされて積層されている。つまり、凹部８の底部２８Ｃにインク供給路１０のマニホールド７Ａへの開口部となる開口部３２Ｂが配置されている。そして、開口径Ｄ２は、開口径Ｄ１よりも小さい。そのため、開口部３２Ｂの周囲に底部２８Ｃが配置され、開口部３２Ｂは凹部８の内面の一部を形成する底部２８Ｃに配置される。
【００５８】
開口部３２Ｂが、凹部８の内面（底部２８Ｃ）に配置されることで、隣接するインク供給路１０Ｂの開口部３２Ｂの間が壁部４０が形成される。このように隣接する開口部３２Ｂとの間に壁部４０が形成されることで、一方の開口部３２Ｂに気泡Ｋが発生した場合でも、他方の開口部３８Ｂに気泡Ｋが移動することを防止できる。つまり、開口部３２Ｂが凹部８の底部２８Ｃに配置されることで、隣接する２つの開口部３２Ｂの間に開口部３２Ｂよりもマニホールド形成板２０側に延設される壁部４０が設けられることになる。そのため、一方の開口部３２Ｂに気泡Ｋが発生した場合にも、壁部４０により気泡Ｋの移動が止められ、他方の開口部３２Ｂに移動することを防止できる。
【００５９】
（第１の実施の形態の主な効果）
上述したように、本実施の形態においては、インクヘッド１は、複数の圧力発生室５と、各圧力発生室５にそれぞれ連通するノズル９と、インクカートリッジ等からインクが流入する液体導入口としての開口部３１が形成され、この開口部３１から流入されたインクが流れるマニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）を備えている。そして、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）に開口される液体供給口としての開口部３２Ｂを有し、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）と各圧力発生室５とを連通し、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）内のインクを各圧力発生室５に供給する流路となる液体供給路としてのインク供給路１０と、各圧力発生室５に圧力を発生させ各ノズル９からインクを噴射させる圧力発生素子としての圧電振動子６が設けられている。そして、インク供給路１０のうち、少なくとも１つのインク供給路１０の開口部３２Ｂは、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）に開口部を有する凹部８の内面の一部としての底部２８Ｃに形成される。
【００６０】
このように、インクヘッド１が構成されることで、凹部８の内面に形成された開口部３２Ｂと、この開口部３２Ｂに隣接する開口部３２Ｂとの間に壁部４０が形成されることになる。そのため、凹部８の内面に形成された開口部３２Ｂに気泡が発生した場合にも、壁部４０により、隣接する開口部３２Ｂへの気泡Ｋの移動が防止される。このため、気泡Ｋが他の開口部３２Ｂに順次移動していくことにより、複数のノズル開口部１７Ｂについて同時にインクが噴出されなくなる現象を防止することができる。この結果、記録用紙Ｐに印刷される画像や文字の印刷の品質の向上を図ることができる。
【００６１】
（変形例）
凹部８のマニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）への開口部２８Ｂの周縁は、図７に示すように、開口部２８Ｂの縁部５１から底部２８Ｃに向かって傾斜する傾斜面５２に形成することが好ましい。傾斜面５２は、開口部２８Ｂの外周の縁部５１からインク供給口に向かうにつれて連続的に開口径が小さくなる形状である。
【００６２】
上述したように、開口部３２Ｂを凹部８内に設けることで、凹部８内の気泡は、凹部８内に残り易くなる。そのため、クリーニング時にノズル開口部１７Ｂからインクヘッド１内のインクを吸引し、インク供給路１０、インク排出路１１、あるいは圧力発生室５内に溜まった気泡を吸い出すクリーニング吸引を行った場合にも、気泡が凹部８内に残り易い。
【００６３】
開口部２８Ｂの縁部５１に傾斜面５２を設けることにより、凹部８の周囲から開口部３２に吸引されるインクの流れをスムーズにすることができる。これにより、凹部８内のインクの流れに淀みが生じ難くなる。そのため、凹部８内の気泡が、開口部３２を塞ぐほどに大きく成長する前に、ノズル開口部１７Ｂから外部に排出させ易くすることができる。また、気泡が開口部３２を塞いでしまう程に大きく成長してしまった場合には、上述したように凹部８に気泡を捕らえておこくことができるので、複数のノズル開口部１７Ｂについて同時にインクが噴出されなくなる現象の発生を防止できる。一方、印字動作時に、凹部８内の気泡がインク供給路１０側に吸引されると、ノズル開口部１７Ｂからのインクの噴射に不良を起こし易い。したがって、印字動作時においては、凹部８に気泡が溜まった場合には、この気泡は、凹部８に留まらせることが好ましい。
【００６４】
そこで、傾斜面５２の傾斜角５３θは、印字動作時においては、凹部８内に溜まった気泡が開口部３２Ｂに吸引されるほどの吸引力が発生しない角度とすることが好ましい。傾斜角５３θは、印字動作時のインクの流速や粘度等により定まる値であり、たとえば、実験等により決定することができる。
【００６５】
上述したように、本実施の形態の凹部８を形成する凹部形成孔部２８は、内周面が円筒状を呈しているが、凹部形成孔部２８の内周面は円柱状に限らず、３角柱、４角柱等の多角柱状に形成してもよい。しかしながら、内周面を多角柱状とした場合には、面と面とのつなぎ部において、インクの流れに淀みができる虞がある。これに対し、内周面を円柱状とすることで、凹部８内のインクの流れをスムーズにすることができる。  
【００６６】
なお、凹部８の平面に沿った断面形状は、開口部２８Ａから開口部２８Ｂまで同一であっても、あるいは多少異なっていてもよい。たとえば、凹部形成板２１に対する凹部８の形成を、ポンチにより行った場合には、開口部２８Ａから開口部２８Ｂまで略同一の形状となる。これに対し、エッチング処理により凹部８を形成した場合には、開口部２８Ａから開口部２８Ｂまでの断面形状は、場所により多少異なることがある。
【００６７】
（第２の実施の形態）
液体噴射ヘッドは、図８に示すインクヘッド６０として構成することもできる。図８は、インクヘッド６０の概略の構成を示す分解斜視図である。インクヘッド６０は、主に、凹部６１の構成において、インクヘッド１と構成が異なるものである。凹部６１以外の部分については、インクヘッド１と同様の構成であるので、同様の構成部分については同一の符号を付し、その説明を省略または簡略化する。
【００６８】
インクヘッド６０の凹部６１は、長手方向と短手方向を有する長孔部６２により形成される。凹部６１が形成される凹部形成板６３は、マニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）を形成する空間１９の供給口形成板２２側の開口を、長孔部６２の部分を除いて塞ぐように、マニホールド形成板２０の側の面に積層される。長孔部６２の供給口形成板２２側の開口部６２Ａおよびマニホールド形成板２０側の開口部６２Ｂは、同一形状であり、それぞれ長孔形状を呈している。開口部６２Ａ，６２Ｂの長孔形状は、全体として長円形を呈している。したがって、長孔部６２の内周面は、全体として、断面が長円形を呈する柱状態（長円柱状）を呈している。また、長孔部６２の長手方向Ｍ１の両端の位置する端面６２Ｃ（図９参照）は、円弧面を呈している。
【００６９】
図９は、供給口形成板２２からマニホールド形成板２０側を見たときの、開口部３２Ｂ、凹部６１（長孔部６２）、およびマニホールド７Ａの配置と形状等を示す図である。凹部６１の長手方向Ｍ１は、凹部６１内に配置される開口部３２Ｂと、この開口部３２Ｂよりもインク導入部２５から離れる方向に隣接する他の開口部３２Ｂとが配列される配列方向Ｍ２に対して交差する方向とされている。
【００７０】
（第２の実施の形態の主な効果）
凹部６１の内周面は、上述したように長円柱状に形成されると共に、長手方向Ｍ１を配列方向Ｍ２に対して交差する方向に向けて配置されている。これにより、配列方向に隣接する開口部３２Ｂとの干渉を避けながら、長手方向Ｍ１の長さをより長くすることができる。つまり、配列方向に隣接する開口部３２Ｂとの干渉を避けながら、内周面が円筒形を呈するインクヘッド１の凹部８の凹部内の容積に比べて、凹部６１の凹部内の容積をより大きくすることができる。凹部６１の凹部内の容積が大きくされることで、凹部６１に複数の気泡や大きな気泡が発生した場合にも、凹部６１内に収容させ易くなる。
【００７１】
また、凹部６１の容積を大きくすることで、凹部６１内で気泡を成長させることができる。気泡は、大きく成長するほど表面張力が小さくなる性質を有している。したがって、凹部６１の容積を大きくすることで、凹部６１内の気泡を大きく成長させることができ、気泡の表面張力の低下を図ることができる。
【００７２】
ところで、凹部６１内に捕らえた気泡が、インク導入部２５から各開口部３２Ｂへのインクの流れ（矢印Ａ）等により、凹部６１から外側（マニホールド７Ａ側）に出ることがある。しかしながら、凹部６１の容積が大きくされることで、凹部６１内で気泡を大きく成長させることができ、凹部６１の外側に出る気泡の表面張力の低下を図ることができる。したがって、凹部６１内に捕らえた気泡が、凹部６１の外側に出る場合であっても、凹部６１から外側に出る気泡は、たとえば、上述の凹部８内で成長できる範囲の大きさの気泡に比べて、表面張力が小さく、他の開口部３２Ｂに対して付着し難い状態となっている。そのため、凹部６１内の気泡が外側に出てしまっても、同時に複数のノズル開口からインクが噴出されない現象が発生し難い。
【００７３】
また、凹部６１は、長手方向Ｍ１が配列方向Ｍ２に対して交差する方向に配置されると共に、開口部３２Ｂが、凹部６１の長手方向の一端側に配置されている。さらに、凹部６１は、開口部３２Ｂが配置される長手方向の一端側から他端側に向かって、開口部３２Ｂからの距離が長くなる長孔形状に形成されている。
【００７４】
上述したように、開口部３２Ｂが気泡により塞がれた状態でインクの噴射が継続的に行われると、気泡により塞がれた開口部３２Ｂに連通する圧力発生室５内に空気が溜まり、圧電振動子６が駆動されても開口部３２Ｂからインク供給路１０に向かうインクの流れが発生しない状態となる。しかしながら、本実施の形態においては、凹部６１を、長手方向Ｍ１が配列方向Ｍ２に対して交差するように配置すると共に、開口部３２Ｂを、凹部６１の長手方向の一端側に配置している。さらに、凹部６１を、開口部３２Ｂが配置される長手方向の一端側から他端側に向かって、開口部３２Ｂからの距離が長くなる長孔形状に形成している。これにより、開口部３２Ｂにインク供給路１０へ向かうインクの流れが発生しない状態となったときに、凹部６１内に、図９中に矢印Ｂで示すように、開口部３２Ｂから離れる方向に向かうインクの流れが発生する。なお、矢印Ｂで示すインクの流れは、マニホールド７Ａの一端側に配置されるインク導入部２５からマニホールド７Ａの他端側に向かうインクの流れにより発生する。
【００７５】
凹部６１内に、矢印Ｂで示すインクの流れが発生することで、開口部３２Ｂを塞いでいる気泡は、開口部３２Ｂから離れる方向（矢印Ｂ方向）に移動し易くなる。気泡が開口部３２Ｂから離れ、開口部３２Ｂが気泡により塞がれている状態が解消されると、インク供給路１０内にインクが流れ込み、気泡で塞がれていた開口部３２Ｂに連通するノズル開口部１７Ｂからのインクの噴射が再び開始される可能性がある。
【００７６】
凹部６１を、開口部３２Ｂの側から配列方向Ｍ２に対して交差する方向に沿って、インク導入部２５との間の距離が長くなる方向に長い長孔形状とすることで、凹部６１内に在る気泡が長円球形になり易い。該気泡を長円球形とすることで、開口部３２Ｂに吸引された気泡を移動させ易くすることができ、また、開口部３２Ｂから離れた気泡を速やかに開口部３２Ｂから離れる方向に移動させることができる。これは、凹部６１内に矢印Ｂ方向の流れが発生すると、開口部３２Ｂを塞いでいる気泡には、矢印Ｂ方向の力が作用し、該気泡は長手方向Ｍ１に長い長円球状になり易く、また、気泡の表面張力は、気泡が、球形の状態に比べて、長円球形の状態の方が小さいことに起因すると考えられる。
【００７７】
なお、本実施の形態において、凹部６１の長手方向Ｍ１は、前方から後方に向かって、すなわち、マニホールド７Ａのインク導入部２５が配置される側からインクの流れる方向（矢印Ａ方向）に傾斜するように配置されている。このように凹部６１の長手方向Ｍ１を配置することで、凹部６１内に、より効果的に、開口部３２Ｂから離れる方向（矢印Ｂ方向）へのインクの流れを発生させることができる。また、凹部６１の長手方向Ｍ１を配列方向Ｍ２に直交させるよりも、インク供給口２２の配列方向の端部側（マニホールド７におけるインクの流れの下流側）に向けて傾斜させることで、凹部６１が配置される方向の幅Ｗを狭くすることができ、マニホールド７Ａの幅内に効率よく凹部６１を配置することができる。
【００７８】
上述したように、本実施の形態の凹部６１を形成する長孔部６２の内周面は、楕円柱を呈しているが、長孔部６２の内側面の形状は楕円柱に限らず、たとえば、長手方向Ｍ１に長い直方体状としてもよい。しかしながら、長孔部６２の内周面を直方体状とした場合には、長手方向Ｍ１の端部において交差する面と面との交差部において、インクの流れに淀みができる虞がある。これに対し、長手方向Ｍ１の端面が円弧面となるように、長孔部６２の内周面を楕円柱とし、端面６２Ｃを円弧面とすることにより、凹部６１内のインクの流れをスムーズにすることができる。
【００７９】
なお、凹部６１は、開口部６２Ａ，６２Ｂの形状において、たとえば、図１０の上段（Ａ）、中段（Ｂ）、下段（Ｃ）に示す形状を有する柱状を呈するものであってもよい。また、凹部６１は、開口部３２Ｂに対して、ノズル形成面２に沿ういずれの方向に向かって伸びる溝部としてもよい。なお、凹部６１の平面に沿った断面形状は、開口部６２Ａから開口部６２Ｂまで同一であっても、あるいは多少異なっていてもよい。
【００８０】
上述の第１および第２の実施の形態において、凹部８および凹部６１は、多数の開口部３２Ｂ毎に設けられている。しかしながら、凹部８および凹部６１は、１つ置き、あるいは２つ置き等、数個おきの開口部３２Ｂに設ける構成としてもよい。隣接する開口部３２Ｂの間隔（配置密度）は、たとえば、１８０ｄｐｉあるいは３６０ｄｐｉであり、極めて狭い。そのため、数個置きの開口部３２Ｂに凹部８あるいは凹部６１を設けることで、凹部８あるいは凹部６１の形成を行い易くなる。また、１つの凹部８あるいは凹部６１内に複数の開口部３２Ｂを形成する構成としてもよい。この場合にも、配置間隔の狭い開口部３２Ｂに対して、凹部８あるいは凹部６１の形成を行い易くなる。
【００８１】
上述した第１および第２の実施の形態では、凹部８、凹部６１を設けることにより、各凹部内に在る気泡が、他の凹部へ移動し難い構成となっている。これに対し、凹部形成板２１を設けることなく、隣接する液体供給口としての開口部３２Ｂの間に、供給口形成板２２のマニホールド形成板２０からマニホールド７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）内に壁部を延設する構成としてもよい。このように、隣接する開口部３２Ｂと開口部３２との間に壁部を設けることで、一方の開口部３２を塞いだ気泡が、他の開口部３２の側に移動することを、該壁部により防止することができる。
【００８２】
上述した第１および第２の実施の形態における凹部形成板２１，６３は、たとえば、ＳＵＳ（ステンレススチール）、銅、真鍮等の金属材料、あるいは、ジルコニア、アルミナ、フェライト等のセラミックス材料、単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコン等のシリコン材料、ポリエチレン、ポリミド等の樹脂材料から形成することができる。ところで、気泡は、気泡付着面の濡れ性が低い（悪い）ほど付着し難い。したがって、凹部形成板２１，６３は、濡れ性の低い材質で形成することで、凹部８および凹部６１内に捕らえられた気泡を凹部内に保持し易くすることができる。したがって、凹部形成板２１，６３としては、金属材料やシリコン材料に比べて濡れ性の低いセラミックス材料、あるいは樹脂材料を用いることが好ましい。
【００８３】
（第３の実施の形態）
液体噴射ヘッドは、図１１に示すインクヘッド７０として構成することもできる。図１１は、インクヘッド７０の概略の構成を示す分解斜視図である。図１２は、図１１における切断線Ｂ−Ｂにおける供給口形成板２２の断面の概略の構成を示す部分断面図である。上述したインクヘッド１の凹部８は、凹部形成板２１に形成されている。また、インクヘッド６０の凹部６１も、凹部形成板２１に形成されている。これに対し、インクヘッド７０は、凹部７１を供給口形成板２２に形成する構成とされている。したがって、インクヘッド７０は、インクヘッド６０における凹部形成板２１に相当する部材を備えていない。インクヘッド７０は、凹部形成板２１が備えられていない点、および、供給口形成板２２に凹部７１が形成されている点を除いて、インクヘッド６０と同様の構成である。インクヘッド６０と同様の構成部分については同一の符号を付し、その説明を省略または簡略化する。
【００８４】
図１２に示すように、凹部７１は、開口部７２からの深さ７１Ｄが凹部７１の中心に向かうほど深くなるように構成されている。言い換えれば、凹部７１の底面７１Ａは中心に向かうほど高くなるように形成され、上方（連通室形成板２３側）に向けて湾曲するドーム状の形状となっている。そして、液体供給口としての開口部７３が、底面７１Ａの最も高い位置にある最高部位７１Ｂよりも低い位置に形成されている。なお、最高部位７１Ｂとは、インクヘッド７０が、インクを噴射している状態、すなわち、インクヘッド７０がプリンター１００に取り付けられ、所定の設置状態とされている状態において、底面７１Ａの中で最も高い位置である。
【００８５】
凹部７１の底面７１Ａをドーム状に形成すると共に、開口部７３を底面７１Ａの最高部位７１Ｂよりも低い位置に形成することで、開口部７３が気泡により塞がれ難くなる。気泡は、インクよりも比重が軽いため高所に移動しようとする性質を有する。したがって、凹部７１に存在する気泡は、底面７１Ａの最も高い位置にある最高部位７１Ｂに向かって移動し易い。移動した気泡は、図１３に示す気泡Ｋのように最高部位７１Ｂに溜まる。そのため、開口部７３を、底面７１Ａの最高部位７１Ｂよりも低い位置に配置することで、開口部７３が気泡Ｋにより塞がれてしまうことを防ぐことができる。
【００８６】
なお、開口部７３は、図１４に示すように、できるだけ開口部７３の周縁部に設けることで、凹部７１内の気泡を開口部７３からできるだけ離れた位置に移動させることができる。凹部７１内の気泡を開口部７３から離れた位置に移動させることで、一旦、開口部７３から離れた気泡が再び、開口部７３に吸引されてしまう虞を少なくすることができる。
【００８７】
凹部７１は、たとえば、供給口形成板２２をＳＵＳ（ステンレススチール）で形成し、エッチング処理を行うことにより形成することができる。エッチング処理は、一般に、エッチング面の内側ほどエッチング（腐食）の深度が深くなり易い特性を有する。そのため、凹部形成板２１に対し、開口部７２に対応する部分にエッチグ処理を行うことで、開口部７２の周縁から内側に向かうほど深さ７１Ｄが深くなる凹部７１を形成することができる。そして、エッチング処理により形成された凹部７１に、凹部７１の最高部位７１Ｂから外れた位置に開口部７３を形成する。この開口部７３は、たとえば、ポンチにより形成する。そして、供給口形成板２２と連通室形成板２３とは、開口部７３と連通室形成用孔部３６とが連通するように互いに位置合わせされ積層される。
【００８８】
エッチング処理による凹部７１の形成は、最高部位７１Ｂに対応する部位と、この部位以外の部位とで、エッチング処理の時間を変えることにより、最高部位７１Ｂに対応する部分のエッチング深度を深くするようにしてもよい。具体的には、たとえば、最高部位７１Ｂに対応する部位以外の部位にマスキングをした状態で、最高部位７１Ｂに対応する部位をエッチグ処理した後、マスキングを外し、最高部位７１Ｂと、この部位以外の部位とをエッチグ処理する。これにより、最高部位７１Ｂに対応する部位と、この部位以外の部位とで、エッチング処理の時間を変えることができる。また、エッチグ処理の他、たとえば、レーザー加工により凹部７１を形成することもできる。レーザー加工により凹部７１を形成する場合には、開口部７３をレーザー加工により形成してもよい。
【００８９】
上述の第３の実施の形態において、凹部７１は、多数の開口部７３毎に設けられている。しかしながら、凹部７１は、１つ置き、あるいは２つ置き等、数個おきの開口部７３に設ける構成としてもよい。隣接する開口部７３の間隔（配置密度）は、たとえば、１８０ｄｐｉあるいは３６０ｄｐｉであり、極めて狭い。そのため、数個置きの開口部７３に凹部７１を設けることで、凹部７１の形成を行い易くなる。また、１つの凹部７１内に複数の開口部７３を形成する構成としてもよい。この場合にも、配置間隔の狭い開口部７３に対して、凹部７１の形成を行い易くなる。
【００９０】
上述した第３の実施の形態における供給口形成板２２は、たとえば、ＳＵＳ（ステンレススチール）、銅、真鍮等の金属材料、あるいは、ジルコニア、アルミナ、フェライト等のセラミックス材料、単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコン等のシリコン材料、ポリエチレン、ポリミド等の樹脂材料から形成することができる。気泡は、気泡付着面の濡れ性が低い（悪い）ほど付着し難い。そのため、供給口形成板２２を、濡れ性の低い材質で形成することで、凹部７１内に捕らえられた気泡を凹部内に保持し易くすることができる。したがって、供給口形成板２２としては、金属材料やシリコン材料に比べて濡れ性の低いセラミックス材料、あるいは樹脂材料を用いることが好ましい。
【００９１】
上述の実施の形態では、流体噴射装置をインクジェットプリンターに具体化したが、この限りではなく、インク以外の他の流体（液体や、機能材料の粒子が液体に分散又は混合されてなる液状体、ゲルのような流状体、流体として流して噴射できる固体を含む）を噴射したり噴射したりする流体噴射装置に具体化することもできる。例えば、液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ及び面発光ディスプレイの製造などに用いられる電極材や色材（画素材料）などの材料を分散または溶解のかたちで含む液状体を噴射する液状体噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置であってもよい。さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置、ゲル（例えば物理ゲル）などの流状体を噴射する流状体噴射装置であってもよい。なお、「流体」とは、気体のみからなる流体を含まない概念であり、例えば液体（無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）等を含む）、液状体、流状体などが含まれる。
【符号の説明】
【００９２】
１，６０，７０  …  インクヘッド（液体噴射ヘッド）    ５  …  圧力発生室    ６  …  圧電振動子（圧力発生素子）    ７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ）  …  マニホールド    ８  …  凹部    ９  …  ノズル    １０  …  インク供給路（液体供給路）    ２８Ｂ  …  開口部    ２８Ｃ  …  底部    ３１  …  インク導入路形成孔部（液体導入口）    ３２Ｂ  …  開口部（液体供給口）    ４０  …  壁部    ５２  …  縁部    ５３  …  傾斜面    ７３  …  開口部（液体供給口）    １００  …  プリンター（液体噴射装置）    Ｍ１  …  長手方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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