(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズを保持しながらその位置を調整するレンズ位置調整機構であって、
フレームと、
前記フレームに対して第１の軸周りに回転可能な外輪部と、
前記外輪部に対して、前記第１の軸に直交する第２の軸周りに回転可能であり、前記レンズが保持される試料台と、
前記外輪部に連結され、前記外輪部を第１の軸周りに回転させる第１のアームと、
前記試料台に対して、前記第１の軸に平行な第３の軸周りに回転可能に連結され、前記試料台を第２の軸周りに回転させる第２のアームと、
前記フレームに固定された固定部と、前記固定部に対して進退する可動部とを備えた第１及び第２の駆動手段と、
前記第１の駆動手段の可動部に前記第１のアームが当接するように前記第１のアームを付勢する第１の付勢手段と、
前記第２の駆動手段の可動部に前記第２のアームが当接するように前記第２のアームを付勢する第２の付勢手段と、
前記第２のアームの先端部が前記フレームに当接するように前記第２のアームを前記第３の軸周りに付勢する第３の付勢手段と
を有するレンズ位置調整機構。
【請求項２】
前記フレームと前記第２のアームの先端部との間には、前記フレームと前記第２のアームの先端部との間に働く摩擦力を低下させる低摩擦化手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のレンズ位置調整機構。
【請求項３】
前記低摩擦化手段が、前記第２のアームの先端部に設けられ、前記フレームに沿って転動するローラであることを特徴とする請求項２に記載のレンズ位置調整機構。
【請求項４】
前記試料台は、レンズが保持される板状部と、前記試料台の板状部の下面に固定される連結ブロックを有し、
前記連結ブロックは、前記第３の軸周りに回転可能に前記第２のアームと連結されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のレンズ位置調整機構。
【請求項５】
前記試料台は、前記試料台の板状部に固定され、前記試料台の板状部の下面に垂直に延びるガイドバーを有し、
前記第２のアームは、前記ガイドバーが挿通される貫通孔が形成された板状部を有し、
前記第３の付勢手段は、前記ガイドバーが通されると共に、前記ガイドバーの先端部と前記第２のアームの板状部との間に保持されたコイルばねである
ことを特徴とする請求項４に記載のレンズ位置調整機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズのスポット測定装置等に使用されるレンズのレンズ位置調整機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
ピックアップレンズのレンズ面に傷やゆがみ等が無いかどうかを検査するために、特許文献１に記載されているもののような、レーザ光を利用したスポット測定装置が利用される。特許文献１に使用されるスポット測定装置は、レーザ光源から出射したレーザ光をレンズに透過させて測定用カメラに入射させ、測定用カメラに接続されたモニタに表示されたレンズのスポット像の画像を観察する装置である。このため、スポット測定装置においては、レーザ光によるレンズの像が測定用カメラの撮像面上で結像するような位置に位置決めされる必要がある。換言すれば、スポット測定装置は、レンズの位置や傾きを調整する位置調整機構を有する必要がある。
【０００３】
上記の位置調整機構は、少なくともレンズを、平行移動（直交３軸方向）及び、回転移動（光軸に直交する直交２軸周り）させる必要がある。従来の位置調整機構は、レンズを保持するための試料台を光軸に直交する直交２軸周りに傾斜させる傾斜ステージと、傾斜ステージ自身を直交３軸方向に平行移動させるＸＹＺステージとを有する。
【０００４】
従来の傾斜ステージの上面図及び側面図を図９及び図１０に示す。従来の傾斜ステージ７０１は、ＸＹＺステージに固定される固定板７２１と固定板７２１の上端から水平方向に延びる試料台保持板７２２とが一体に形成されたフレーム部７２０、試料台保持板７２２の開口７２２ａ内で傾斜軸ｔｘ１周りに回転可能に保持されている外輪部７１２、外輪部７１２の内部で傾斜軸ｔｘ１に直交する傾斜軸ｔｘ２周りに回転可能に保持されている試料台７１１と、外輪部７１２をフレーム部７２０に対して傾斜軸ｔｘ１周りに傾斜させる第１傾斜駆動機構７３０と、試料台７１１を外輪部７１２に対して傾斜軸ｔｘ２周りに傾斜させる第２傾斜駆動機構７４０を有する。
【０００５】
第１傾斜駆動機構７３０は、第１操作グリップ７３１と、外輪部７１２に固定された第１アーム７３２を有する。第１操作グリップ７３１は、フレーム部７２０に固定された固定部と、第１操作グリップ７３１の操作に応じて傾斜軸ｔｘ１に垂直な水平方向に対して進退可能なピン７３１ａを有し、第１アーム７３２は、コイルばね７３３によってこのピン７３１ａと当接するよう付勢されている。このため、ピン７３１ａを進退させることにより、外輪部７１２を傾斜軸ｔｘ１周りに傾斜させることができる。
【０００６】
第２傾斜駆動機構７４０は、第２操作グリップ７４１と、試料台７１１に固定された第２アーム７４２を有する。第２操作グリップ７４１は、中継フレーム７４４を介して第１アーム７３２に固定されている固定部と、第２操作グリップ７４１の操作に応じて傾斜軸ｔｘ２に垂直な外輪部７１２の面方向に対して進退可能なピン７４１ａを有し、第２アーム７３２は、コイルばね７４３によってこのピン７４１ａと当接するよう付勢されている。このため、ピン７４１ａを進退させることにより、試料台７１１を傾斜軸ｔｘ２周りに傾斜させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−４５３２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記のように、従来の位置調整機構に使用される傾斜ステージ７０１は、第１操作グリップ７３１と第２操作グリップ７４１とを操作することによって、試料台７１１を２軸周りに傾斜させることができるようにするものである。しかしながら、第２操作グリップ７４１がフレーム部７２０に固定されておらず、外輪部７１２と一体になって傾斜軸ｔｘ１周りに揺動可能であるため、試料台７１１を傾斜軸ｔｘ２周りに傾斜させるために第２操作グリップ７４１を操作することによって、第２操作グリップ７４１及び外輪部７１２が傾斜軸ｔｘ１周りに揺動してしまうことがあった。このため、従来の位置調整機構においては、レンズを適切な方向に傾斜させるために、第２操作グリップ７４１が揺動しないよう慎重に操作する必要があり、レンズの位置調整操作が煩雑なものとなり、また、レンズを所望の位置に傾斜させるために要する時間は長大なものとなっていた。
【０００９】
本発明は上記の問題を解決するためになされたものである。すなわち、本発明は、平易かつ短時間の操作でレンズの位置調整が可能なレンズ位置調整機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するため、本発明のレンズ位置調整機構は、フレームと、フレームに対して第１の軸周りに回転可能な外輪部と、外輪部に対して、第１の軸に直交する第２の軸周りに回転可能であり、レンズが保持される試料台と、外輪部に連結され、外輪部を第１の軸周りに回転させる第１のアームと、試料台に対して、第１の軸に平行な第３の軸周りに回転可能に連結され、試料台を第２の軸周りに回転させる第２のアームと、フレームに固定された固定部と固定部に対して進退する可動部とを備えた第１及び第２の駆動手段と、第１の駆動手段の可動部に第１のアームが当接するように第１のアームを付勢する第１の付勢手段と、第２の駆動手段の可動部に第２のアームが当接するように第２のアームを付勢する第２の付勢手段と、第２のアームの先端部がフレームに当接するように第２のアームを第３の軸周りに付勢する第３の付勢手段とを有する。
【００１１】
上記の構成においては、第２の駆動手段により、第２のアームを介して試料台を第２の軸周りに回転させることができる。第２の駆動手段の固定部がフレームに固定されており、第２のアームが第３の軸周りに回転可能であり、さらに第３の付勢手段によって第２のアームがフレームに向かって付勢されている。このため、第１の駆動手段によって試料台及び外輪部を第１の軸周りに回転させたとしても、第２の駆動手段の可動部と第２のアームとの当接状態は維持される。従って、本発明の構成によれば、第２の駆動手段を操作する際に試料台を第１の軸周りに回転させてしまうことはなく、平易かつ短時間の操作でレンズの位置調整が可能なレンズの位置調整機構が実現される。
【００１２】
また、フレームと第２のアームの先端部との間には、フレームと第２のアームの先端部との間に働く摩擦力を低下させる低摩擦化手段が設けられている構成とすることが好ましい。低摩擦化手段は、例えば第２のアームの先端部に設けられ、フレームに沿って転動するローラである。
【００１３】
このような構成とすると、第２のアームの先端部がフレームに向かって押しつけられていても、第２のアームの先端部とフレームとの間に働く摩擦力は小さなものとなるため、第２のアームを容易かつ正確に第２の軸周りに回転させることができる。
【００１４】
また、試料台は、レンズが保持される板状部と、試料台の板状部の下面に固定される連結ブロックを有し、連結ブロックは、第３の軸周りに回転可能に第２のアームと連結される構成としてもよい。
【００１５】
試料台の板状部に固定され且つ試料台の板状部の下面に垂直に延びるガイドバーを試料台が有し、第２のアームは、ガイドバーが挿通される貫通孔が形成された板状部を有し、第３の付勢手段は、ガイドバーが通されると共に、ガイドバーの先端部と第２のアームの板状部との間に保持されたコイルばねで構成される。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明によれば、平易かつ短時間の操作でレンズの位置調整が可能なレンズのレンズ位置調整機構が実現される。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本発明の実施の形態のスポット測定装置のブロック図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態のスポット測定装置の上面図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態のスポット測定装置の正面図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態の傾斜ステージの上面図である。
【図５】図５は、図４のＡ−Ａ断面図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態の傾斜ステージの斜視図である。
【図７】図７は、試料台を反時計回りに傾斜した状態における図４のＡ−Ａ断面図である。
【図８】図８は、試料台を時計回りに傾斜した状態における図４のＡ−Ａ断面図である。
【図９】図９は、従来構成の傾斜ステージの上面図である。
【図１０】図１０は、従来構成の傾斜ステージの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施形態のスポット測定装置のブロック図である。また、図２及び図３は、本実施形態のスポット測定装置の上面図及び正面図である。図１から図３に示されるように、本実施形態のスポット測定装置１は、光源部２００、ＸＹＺステージ３００、傾斜ステージ４００、検出部５００及び制御部６００を有する。
【００１９】
スポット測定装置１の機能について以下に説明する。本実施形態のスポット測定装置１は、被検体である透過型のレンズ（集光レンズ等）ＯＰに、光源部２００のレーザダイオード２１１によって生成されるレーザ光を透過させ、レンズＯＰを透過したレーザ光を検出部５００の対物レンズ部５１０を介して測定用ビデオカメラ５２０に入射させるものである。対物レンズ部５１０は、入射したレーザ光によるレンズＯＰの像が測定用ビデオカメラ５２０の撮像素子５２２の受光面上近傍で結像するような位置に配置されている。測定用ビデオカメラ５２０が撮影した映像の映像信号は、制御部６００のコンピュータ６１１に送られる。コンピュータ６１１は、測定用ビデオカメラ５２０から取得した映像を処理してモニタ６１２に表示するようになっており、レーザ光のスポット像をモニタ６１２上で観察可能となっている。対物レンズ部５１０は、スポット像を５０〜１００倍程度の倍率で拡大する光学系であり、モニタ６１２にはスポット像の形状が詳細に表示される。スポット測定装置１の使用者は、モニタ６１２に表示されるスポット像の形状から、レンズＯＰの表面に傷、ゆがみ等があるかどうかを判別することができる。
【００２０】
図１に示されるように、光源部２００のレーザダイオード２１１は、略水平方向にレーザ光を照射するものである。レーザダイオード２１１によって生成されたレーザ光は、コリメートレンズ２１２によって平行光となり、次いで、反射ミラー２１３によって鉛直方向に屈曲され、傾斜ステージ４００上に保持されたレンズＯＰに入射する。
【００２１】
本実施形態においては、レンズＯＰを透過したレーザ光による像を正確に撮像素子５２２の受光面上に結像させる必要がある。そのため、レンズＯＰの光軸が、レンズＯＰに入射するレーザ光の進行方向及びレンズＯＰの下流側の光学系（対物レンズ部５１０及び測定用ビデオカメラ５２０のレンズ５２１）の光軸ａｘに一致するよう、光源部２００、検出部５００及びレンズＯＰは正確に位置決めされる必要がある。光源部２００及び検出部５００は、光源部２００から射出されるレーザ光の方向と検出部５００を構成する光学系の光軸が一致するように、ベース１００（図２）に対して厳密に位置決めされて固定されている。
【００２２】
レンズＯＰの位置決めは、ＸＹＺステージ３００及び傾斜ステージ４００を操作することによって行われる。ＸＹＺステージ３００及び傾斜ステージ４００の構成について以下に説明する。図２及び図３に示されるように、ＸＹＺステージ３００はベース１００上に固定されている。また、ＸＹＺステージ３００は、直交する水平２軸及び垂直軸方向に延びる３本のグリップ３１１、３１２及び３１３を有する。グリップ３１１〜３１３の夫々には、精密な送りねじ機構が内蔵されており、グリップ３１１〜３１３を回転させることによって、ＸＹＺステージ３００に固定されている傾斜ステージ４００を、直交３軸方向に水平移動させることができるようになっている。
【００２３】
傾斜ステージ４００の構成について、以下に説明する。図４は、傾斜ステージ４００の上面図である。図５は図４のＡ−Ａ断面図である。また、図６は、傾斜ステージ４００を斜め下方から見た斜視図である。
【００２４】
図４〜図６に示されるように、傾斜ステージ４００は、レンズＯＰ（図１）が載置された試料台４１１を２軸周りに傾斜させるものである。図４に示されるように、試料台４１１は中央にレンズＯＰを取り付けるための開口４１１ｏが形成された円盤であり、その円盤の側面には、試料台４１１の中心に向かう方向に穿孔された一対のピン用穴４１１ａ、４１１ｂが形成されている。ピン用穴４１１ａと、４１１ｂとは、試料台４１１の中心を挟んで対向する位置に形成されている（すなわち、ピン用穴４１１ａと４１１ｂとを結ぶ線上に、試料台４１１の直径が位置する）。
【００２５】
試料台４１１の周りには、外輪部４１２が配置されている。外輪部４１２には、その中心に向かう４本のピン用穴４１２ａ、４１２ｂ、４１２ｃ及び４１２ｄが、時計方向にこの順番で９０°おきに形成されている（図４）。
【００２６】
傾斜ステージ４００は、フレーム部４２０を有する。フレーム部４２０は、ＸＹＺステージ３００に固定される固定板４２１と、固定板４２１の一端（上端）から水平方向に延びる試料台保持板４２２とが一体に形成されたものである。また、試料台保持板４２２と固定板４２１には、双方を連結するリブ板４２３が固定されており、リブ板４２３によって固定板４２１と試料台保持板４２２とは、高い剛性をもって一体化するようになっている。試料台保持板４２２の略中央には、開口４２２ａが形成されており、試料台４１１及び外輪部４１２は、この開口４２２ａの中に収容される。開口４２２ａの内周面には、水平方向外側に向かって穿孔されたピン用穴４２２ｂ及び４２２ｃが形成されている（図４）。外輪部４１２のピン用穴４１２ｂと試料台保持板４２２のピン用穴４２２ｂ、及び外輪部４１２のピン用穴４１２ｄと試料台保持板４２２のピン用穴４２２ｃは、夫々ピンｐ１を介して連結されており、試料台４１１及び外輪部４１２は、フレーム部４２０に対して外輪部４１２のピン用穴４１２ｂと４１２ｄを結ぶ軸（傾斜軸ｔｘ１）周りに回転可能に支持されている。
【００２７】
試料台４１１のピン用穴４１１ａと外輪部４１２のピン用穴４１２ａ、及び試料台４１１のピン用穴４１１ｂと外輪部４１２は、夫々ピンｐ２を介して連結されており、試料台４１１は、外輪部４１２に対してピン用穴４１１ａと４１１ｂを結ぶ軸（傾斜軸ｔｘ２）周りに回転可能に支持されている。
【００２８】
このように、試料台４１１は、フレーム部４２０に対して（すなわち、傾斜ステージ４００がＸＹＺステージ３００を介して固定されるベース１００に対して）直交２軸周りに傾斜（回転）可能となっている。なお、本実施形態においては、測定対象となるレンズＯＰは、傾斜ステージ４００の傾斜軸ｔｘ１及びｔｘ２がレンズＯＰの主点位置付近に位置するように、傾斜ステージ４００に取りつけられるようになっている。この構成によって、傾斜ステージ４００を操作してレンズＯＰの傾斜の調整を行っても、ビームスポットの像がモニタ６１２上で大きく移動しないようになっており、傾斜ステージ４００の傾斜軸ｔｘ１及びｔｘ２がレンズＯＰの主点位置から離れて配置された構成と比較して、レンズＯＰの位置決めに必要な工数は大幅に少なくなっている。
【００２９】
傾斜ステージ４００は、フレーム部４２０に対して外輪部４１２を傾斜させる第１傾斜駆動機構４３０と、外輪部４１２に対して試料台４１１を傾斜させる第２傾斜駆動機構４４０を有する。第１傾斜駆動機構４３０及び第２傾斜駆動機構４４０は、夫々第１操作グリップ４３１及び第２操作グリップ４４１を有する。第１操作グリップ４３１を回転させると、フレーム部４２０に対して外輪部４１２が傾斜するようになっている。また、第２操作グリップ４４１を回転させると、外輪部４１２に対して試料台４１１を傾斜させることができる。このように、第１操作グリップ４３１及び第２操作グリップ４４１を回転操作することによって、試料台４１１を任意の方向に傾斜させることが可能である。
【００３０】
第１操作グリップ４３１は、リブ板４２３に対して垂直となるようリブ板４２３に固定された操作グリップ固定板４２４に固定されている。第１操作グリップ４３１は、図示しない送りねじ機構を内蔵しており、第１操作グリップ４３１を回転させると、第１操作グリップ４３１の先端に設けられたピン４３１ａを進退させることができるようになっている。なお、ピン４３１ａの進退方向は、鉛直軸と外輪部４１２の傾斜軸（外輪部４１２のピン用穴４１２ｂと４１２ｄを結ぶ軸）ｔｘ１（図４、図５）の双方に直交する方向である。
【００３１】
ピン４３１ａの先端部近傍には、第１アーム４３２が配置されている。第１アーム４３２は、Ｌ字形状の板状の部材であり、その一端部側面はピン４３１ａの先端部に当接し、他端は外輪部４１２に固定されている（図６）。また、第１アーム４３２と固定板４２１の間には、第１アーム４３２をピン４３１ａの先端に当接させる方向に付勢するコイルばね４３３が取り付けられている（図５、図６）。第１アーム４３２はピン４３１ａの先端に常に当接するようになっているので、第１操作グリップ４３１を回転させてピン４３１ａを進退させると、第１アーム４３２の先端（ピン４３１ａと当接している部分）は、ピン４３１ａの進退に伴って移動し、これにより、第１アーム４３２及び外輪部４１２が外輪部４１２の傾斜軸ｔｘ１周りに揺動して、外輪部４１２が傾斜する。
【００３２】
第２操作グリップ４４１は、リブ板４２３に固定されている。第２操作グリップ４４１は、図示しない送りねじ機構を内蔵しており、第２操作グリップ４４１を回転させると、第２操作グリップ４４１の先端に設けられたピン４４１ａを進退させることができるようになっている（図５、図６）。なお、ピン４４１ａの進退方向は、外輪部４１２の傾斜軸（外輪部４１２のピン用穴４１２ｂと４１２ｄを結ぶ軸）ｔｘ１に平行な方向である。
【００３３】
ピン４４１ａの先端部は、ピン４４１ａの進退方向が軸方向となるよう配置された中継ピン４４２の一端と当接している。中継ピン４４２は、軸受４４３によってその移動方向を中継ピン４４２の軸方向（すなわちピン４４１ａの進退方向）のみに制限されている。中継ピン４４２の他端の近傍には、第２アーム４４４が配置されている。第２アーム４４４は、後述する連結機構４５０を介して試料台４１１に連結されている。また、連結機構４５０と第１アーム４３２の間には、第２アーム４４４を中継ピン４４２の他端に当接させる方向に付勢するコイルばね４４５が取り付けられている（図５、図６）。第２アーム４４４は中継ピン４４２の他端に常に当接し、且つ中継ピン４４２の一端は第２操作グリップ４４１のピン４４１ａの先端に常に当接するようになっているので、第２操作グリップ４４１を回転させてピン４４１ａを進退させると、第２アーム４４２の先端（中継ピン４４２と当接している部分）は、ピン４４１ａの進退に伴って移動し、これにより、第２アーム４４４、連結機構４５０及び試料台４１１が試料台４１１の傾斜軸ｔｘ２周りに揺動して、試料台４１１が傾斜する。
【００３４】
連結機構４５０の構成について以下に説明する。図５及び図６に示されるように、連結機構４５０は、連結用ブロック４５１、連結ピン４５２、ガイドバー４５３及び圧縮コイルばね４５４を有する。連結用ブロック４５１は、試料台４１１に固定された直方体形状のブロックである。
【００３５】
また、図５及び図６に示されるように、第２アーム４４４は、外輪部４１２と略平行な（すなわち、試料台４１１の傾斜軸ｔｘ２に平行な方向に延びる）第１プレート部４４４ａと、固定板４２１に沿った方向（図５中上下方向）に延びる第２プレート部４４４ｂとが一体に形成されたＬ字状のアームである。中継ピン４４２は、第２プレート部４４４ｂの先端（すなわち、第１プレート部４４４ａから遠位となる部分）にて第２プレート部４４４ｂと当接している。
【００３６】
連結用ブロック４５１と、第２アーム４４４の第１プレート部４４４ａは、連結ピン４５２によって、第２アーム４４４が連結用ブロック４５１に対して、外輪部４１２の傾斜軸ｔｘ１に平行な軸周りに回転可能となるよう連結されている。
【００３７】
また、第２アーム４４４の第１プレート部４４４ａは、図５中略上下方向に沿って穿孔された貫通孔４４４ｃを有している。ガイドバー４５３は、試料台４１１の面に垂直な方向に延びるよう、試料台４１１に固定された棒状の部材であり、第１プレート部４４４ａの貫通孔４４４ｃを通過するよう配置されている。また、圧縮コイルばね４５４内をガイドバー４５３が通過するように、圧縮コイルばね４５４がガイドバー４５３に取り付けられている。ガイドバー４５３の先端には、圧縮コイルばね４５４の外径よりも太径となる頭部４５３ａが形成されている。また、貫通孔４４４ｃの殆どの部分の径は圧縮コイルばね４５４の外径よりも大きく形成されているが、その一部には、径の大きさがガイドバー４５３の主部（頭部４５３ａ以外の部分）よりも大きく且つ圧縮コイルばね４５４の外径よりも小さくなる突出部４４４ｄが設けられている（図５）。そして、圧縮コイルばね４５４は、その両端をガイドバー４５３の頭部４５３ａと、第２アーム４４４の第１プレート部４４４ａの貫通孔４４４ｃに形成された突出部４４４ｄとの間で保持されるようになっている。
【００３８】
圧縮コイルばね４５４が上記のようにガイドバー４５３と第２アーム４４４との間で保持されているため、圧縮コイルばね４５４はその反発力によって、第２アーム４４４の第１プレート部４４４ａを、試料台４１１に向かう方向に付勢している。ここで、貫通孔４４４ｃは、第２アーム４４４の第２プレート部４４４ｂに対して連結ピン４５２よりも近位となる位置に形成されている。そのため、第２アーム４４４は、連結ピン４５２を中心に図５中時計回り方向に、すなわち、第２アーム４４４の第２プレート部４４４ｂの先端が固定板４２１に向かう方向に付勢されることになる。
【００３９】
図７は、図５の状態から試料台４１１及び外輪部４１２を第１傾斜駆動機構４３０によって図５中反時計回りに傾斜させた状態を示す、図４のＡ−Ａ断面図である。また、図８は、図５の状態から試料台４１１及び外輪部４１２を第１傾斜駆動機構４３０によって図５中反時計回りに傾斜させた状態を示す、図４のＡ−Ａ断面図である。図５〜８に示されるように、第２アーム４４４の第２プレート部４４４ｂの先端には、固定板４２１に沿って中継ピン４４２の軸方向（進退方向）に沿って転動可能なローラ４４６が軸支されている。
【００４０】
前述のように、第２アーム４４４は、圧縮コイルばね４５４の反発力によって、第２プレート部４４４ｂの先端部が固定板４２１に向かう方向に（すなわちローラ４４６が固定板４２１に向かう方向に）付勢されている。このため、図５、図７及び８に示されるように、試料台４１１及び外輪部４１２を第１傾斜駆動機構４３０によって外輪部４１２の傾斜軸ｔｘ１周りに傾斜させたとしても、ローラ４４６が固定板４２１に当接した状態が維持される。本実施形態によれば、上記のように、ローラ４４６が固定板４２１に押しつけられて保持されるため、外輪部４１２の傾斜に伴う第２アーム４４４の第２プレート部４４４ｂの先端部の位置ずれはわずかなものに留まり、外輪部４１２の傾斜によって中継ピン４４２と第２アーム４４４との当接がはずれることはない。
【００４１】
また、前述のように第２アーム４４４は、連結ピン４５２及び連結用ブロック４５１を介して試料台４１１と連結しているため、第２傾斜駆動部４４０の第２操作グリップ４４１を操作することによって、試料台４１１をその傾斜軸ｔｘ２周りに傾斜させることができる。
【００４２】
上記のように、本実施形態によれば、第１傾斜駆動機構４３０の第１操作グリップ４３１と第２傾斜駆動機構４４０の第２操作グリップ４４１を操作して試料台４１１を傾斜軸ｔｘ１及びｔｘ２周りに傾斜させることができる。そして、第１操作グリップ４３１と第２操作グリップ４４１の双方が固定板４２１と一体に固定されているため、第２操作グリップ４４１が外輪部４１２と一体に揺動するような従来構成とは異なり、第２グリップ４４１を操作する際に第２グリップ４４１自身を傾斜軸ｔｘ１周りに揺動させてしまうということは起こり得ず、意図しない試料台４１１の傾斜は発生しない。
【００４３】
本実施形態においては、第２アーム４４４の第２プレート部４４４ｂと固定板４２１との間にローラ４４６を介在させることによって、第２アーム４４４をスムーズに揺動させることができるようになっている。しかしながら、本発明は上記の構成に限定されるものではなく、第２アーム４４４をスムーズに揺動させるための部材（例えば、フッ素樹脂等の摩擦係数の小さい樹脂材料）をローラ４４６の代わりに第２プレート部４４４ｂと固定板４２１との間に介在させる構成としてもよい。
【符号の説明】
【００４４】
１    スポット測定装置
４００    傾斜ステージ
４１１    試料台
４１２    外輪部
４２０    フレーム部
４３０    第１傾斜駆動機構
４３１    第１操作グリップ
４３２    第１アーム
４４０    第２傾斜駆動機構
４４１    第２操作グリップ
４４２    中継ピン
４４６    ローラ
４５０    連結機構                                          
４５１    連結用ブロック
４５２    連結ピン
４５３    ガイドバー
４５４    圧縮コイルばね
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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