(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送体を保持するピックユニットと、前記ピックユニットをスライドさせるスライドユニットと、前記スライドユニットを駆動させるドライブユニットと、を含む前記搬送体を搬送する搬送機構の組み立て方法であって、
前記搬送機構が収容される搬送室の天井部に、前記ユニットを吊り上げる吊り上げ機構を取り付け、この吊り上げ機構を用いて、前記搬送室の内部に搬入された前記ユニットどうしを、前記搬送室の内部で組み立てることを特徴とする搬送機構の組み立て方法。
【請求項２】
前記ユニットは、前記搬送室の外部から前記搬送室の内部に装入されたレール部材および前記レール部材に沿って移動する移動用台車により前記搬送室の内部に搬入されることを特徴とする請求項１に記載の搬送機構の組み立て方法。
【請求項３】
搬送体を保持するピックユニットと、前記ピックユニットをスライドさせるスライドユニットと、前記スライドユニットを駆動させるドライブユニットと、を含む前記搬送体を搬送する搬送機構が収容される搬送室であって、
前記搬送室の天井に設けた取り付け部に、前記ユニットの組み立てに用いる着脱可能な吊り上げ機構を取り付けたことを特徴とする搬送室。
【請求項４】
搬送体を保持するピックユニットと、前記ピックユニットをスライドさせるスライドユニットと、前記スライドユニットを駆動させるドライブユニットと、を含む前記搬送体を搬送する搬送機構の組み立て方法であって、
前記搬送機構が収容される搬送室の天井部に、前記ユニットを吊り上げる吊り上げ機構を取り付ける工程と、
前記搬送室の外部から前記搬送室の内部に、移動用台車が移動するレール部材を挿入する工程と、
前記移動用台車に、前記ドライブユニットを載せる工程と、
前記移動用台車を移動させ、前記ドライブユニットを前記搬送室内のドライブユニット取り付け部の上方まで移動させる工程と、
前記吊り上げ機構を用いて前記ドライブユニットを吊り上げ、前記ドライブユニットを前記移動用台車から離す工程と、
前記移動用台車を前記ドライブユニット取り付け部から退避させた後、前記ドライブユニットを前記ドライブユニット取り付け部まで下げ、前記ドライブユニットを前記ドライブユニット取り付け部に取り付ける工程と、
前記移動用台車に、前記スライドユニットを載せる工程と、
前記移動用台車を移動させ、前記スライドユニットを前記ドライブユニットのスライドユニット取り付け部の上方まで移動させる工程と、
前記吊り上げ機構を用いて前記スライドユニットを吊り上げ、前記スライドユニットを前記移動用台車から離す工程と、
前記移動用台車を、前記スライドユニット取り付け部から退避させた後、前記スライドユニットを前記スライドユニット取り付け部まで下げ、前記スライドユニットを前記スライドユニット取り付け部に取り付ける工程と、
前記搬送室の天井部から、前記吊り上げ機構を取り外す工程と、
前記ピックユニットに、このピックユニットをジャッキアップするジャッキボルトを取り付ける工程と、
前記移動用台車に、前記ジャッキボルトが取り付けられた前記ピックユニットを載せる工程と、
前記移動用台車を、前記スライドユニットを前記スライドユニットに備えられたスライドベースまで移動させる工程と、
前記ジャッキボルトを用いて前記ピックユニットをジャッキアップし、前記ピックユニットを前記移動用台車から離す工程と、
前記移動用台車を、前記スライドベースから退避させた後、前記ピックユニットを前記スライドベースまで下げ、前記ピックユニットを前記スライドベースに取り付ける工程と、
前記ピックユニットから、前記ジャッキボルトを取り外す工程と、
前記レール部材を撤去する工程と、
を備えることを特徴とする搬送機構の組み立て方法。
【請求項５】
前記レール部材が、前記搬送室の外部から前記搬送室の内部に、前記搬送室に設けられた前記搬送体を搬送する搬送口を介して挿入されることを特徴とする請求項４に記載の搬送機構の組み立て方法。
【請求項６】
前記搬送室が開放可能、又は着脱自在な側板を有し、
前記レール部材が、前記搬送室の外部から前記搬送室の内部に、前記側板を開放した部分、又は前記側板を取り外した部分を介して挿入されることを特徴とする請求項４に記載の搬送機構の組み立て方法。
【請求項７】
前記搬送室がブロックに分割されており、
前記レール部材が、前記搬送室の外部から前記搬送室の内部に、前記ブロック結合前に生じている開口を介して挿入されることを特徴とする請求項４に記載の搬送機構の組み立て方法。
【請求項８】
前記レール部材が、一対のレールを有し、
前記ドライブユニット取り付け部が、前記一対のレール間に存在するように、前記搬送室の外部から前記搬送室の内部に、前記レール部材が挿入されることを特徴とする請求項４乃至請求項７いずれか一項に記載の搬送機構の組み立て方法。
【請求項９】
前記ピックユニットが、搬送体を支持する支持部材を、高さ方向に複数段有していることを特徴とする請求項４乃至請求項８いずれか一項に記載の搬送機構の組み立て方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、搬送機構の組み立て方法に係わり、特に、大型の搬送体を搬送する搬送機構の組み立て方法および当該搬送機構が収容される搬送室に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、太陽電池モジュールやＦＰＤ等の大型の製造物を製造する工場においては、そのクリーンルーム内に、重量物を移動させるクレーン機構、例えば、天井クレーンが設置されている（特許文献１、２）。
【０００３】
クリーンルーム内には、製造物を製造する製造システムが設置される。製造システムは、大気側と減圧側との間で圧力変換を行うロードロック室、減圧状態で搬送体、例えば、ガラス等からなる被処理基板に、エッチングや成膜等の処理を施す処理室、並びに減圧状態に保持され、ロードロック室と処理室との間で搬送体を搬送する搬送機構が設置された共通搬送室を含んで構成される。共通搬送室内に設置される搬送機構は、大型で重量物である。このような搬送機構を共通搬送室内に設置するときには、例えば、搬送機構を各ユニットに分解した状態でクリーンルーム内に搬入し、クリーンルーム内において組み立てる。この組み立てには、クリーンルーム内に設置されているクレーン機構、例えば、天井クレーンを用いる。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２３５９０４号公報
【特許文献２】特開２００５−２７３９４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、工場内、例えば、クリーンルーム内にクレーン機構が設置されていない場合、大型で重量物である搬送機構を組み立てることが困難となる。
【０００６】
この発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、クレーン機構が設置されていない工場においても、組み立てることが可能な搬送機構の組み立て方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、この発明の第１の態様に係る搬送機構の組み立て方法は、搬送体を保持するピックユニットと、前記ピックユニットをスライドさせるスライドユニットと、前記スライドユニットを駆動させるドライブユニットと、を含む前記搬送体を搬送する搬送機構の組み立て方法であって、前記搬送機構が収容される搬送室の天井部に、前記ユニットを吊り上げる吊り上げ機構を取り付け、この吊り上げ機構を用いて、前記搬送室の内部に搬入された前記ユニットどうしを、前記搬送室の内部で組み立てる。
【０００８】
この発明の第２の態様に係る搬送室は、搬送体を保持するピックユニットと、前記ピックユニットをスライドさせるスライドユニットと、前記スライドユニットを駆動させるドライブユニットと、を含む前記搬送体を搬送する搬送機構が収容される搬送室であって、前記搬送室の天井に設けた取り付け部に、前記ユニットの組み立てに用いる着脱可能な吊り上げ機構を取り付けている。
【０００９】
この発明の第３の態様に係る搬送装置の組み立て方法は、搬送体を保持するピックユニットと、前記ピックユニットをスライドさせるスライドユニットと、前記スライドユニットを駆動させるドライブユニットと、を含む前記搬送体を搬送する搬送機構の組み立て方法であって、前記搬送機構が収容される搬送室の天井部に、前記ユニットを吊り上げる吊り上げ機構を取り付ける工程と、前記搬送室の外部から前記搬送室の内部に、移動用台車が移動するレール部材を挿入する工程と、前記移動用台車に、前記ドライブユニットを載せる工程と、前記移動用台車を移動させ、前記ドライブユニットを前記搬送室内のドライブユニット取り付け部の上方まで移動させる工程と、前記吊り上げ機構を用いて前記ドライブユニットを吊り上げ、前記ドライブユニットを前記移動用台車から離す工程と、前記移動用台車を前記ドライブユニット取り付け部から退避させた後、前記ドライブユニットを前記ドライブユニット取り付け部まで下げ、前記ドライブユニットを前記ドライブユニット取り付け部に取り付ける工程と、前記移動用台車に、前記スライドユニットを載せる工程と、前記移動用台車を移動させ、前記スライドユニットを前記ドライブユニットのスライドユニット取り付け部の上方まで移動させる工程と、前記吊り上げ機構を用いて前記スライドユニットを吊り上げ、前記スライドユニットを前記移動用台車から離す工程と、前記移動用台車を、前記スライドユニット取り付け部から退避させた後、前記スライドユニットを前記スライドユニット取り付け部まで下げ、前記スライドユニットを前記スライドユニット取り付け部に取り付ける工程と、前記搬送室の天井部から、前記吊り上げ機構を取り外す工程と、前記ピックユニットに、このピックユニットをジャッキアップするジャッキボルトを取り付ける工程と、前記移動用台車に、前記ジャッキボルトが取り付けられた前記ピックユニットを載せる工程と、前記移動用台車を、前記スライドユニットを前記スライドユニットに備えられたスライドベースまで移動させる工程と、前記ジャッキボルトを用いて前記ピックユニットをジャッキアップし、前記ピックユニットを前記移動用台車から離す工程と、前記移動用台車を、前記スライドベースから退避させた後、前記ピックユニットを前記スライドベースまで下げ、前記ピックユニットを前記スライドベースに取り付ける工程と、前記ピックユニットから、前記ジャッキボルトを取り外す工程と、前記レール部材を撤去する工程と、を備える。
【発明の効果】
【００１０】
この発明によれば、クレーン機構が設置されていない工場においても、組み立てることが可能な搬送機構の組み立て方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法を実施することが可能な製造システムの一例を概略的に示す水平断面図
【図２】図１中のII−II線に沿う断面図
【図３】ピックユニットが開口部を介して進出される状態を示す断面図
【図４Ａ】この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法の一例を概略的に示す断面図
【図４Ｂ】この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法の一例を概略的に示す断面図
【図４Ｃ】この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法の一例を概略的に示す断面図
【図４Ｄ】この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法の一例を概略的に示す断面図
【図４Ｅ】この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法の一例を概略的に示す断面図
【図４Ｆ】この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法の一例を概略的に示す断面図
【図４Ｇ】この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法の一例を概略的に示す断面図
【図４Ｈ】この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法の一例を概略的に示す断面図
【図４Ｉ】この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法の一例を概略的に示す断面図
【図４Ｊ】この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法の一例を概略的に示す断面図
【図４Ｋ】この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法の一例を概略的に示す断面図
【図４Ｌ】この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法の一例を概略的に示す断面図
【図４Ｍ】この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法の一例を概略的に示す断面図
【図４Ｎ】この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法の一例を概略的に示す断面図
【図４Ｏ】この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法の一例を概略的に示す断面図
【図５】レール部材の平面図
【図６】レール部材の平面図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、この発明の実施の形態について説明する。この説明において、参照する図面全てにわたり、同一の部分については同一の参照符号を付す。
【００１３】
図１は、この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法を実施することが可能な製造システムの一例を概略的に示す水平断面図、図２は図１中のII−II線に沿う断面図である。図１及び図２に示す製造システムは、搬送体として太陽電池モジュールやＦＰＤの製造に用いられるガラス基板を用い、このガラス基板にエッチングや成膜を施す製造システムである。
【００１４】
図１に示すように、一実施形態に係る製造システム１は、大気側と減圧側との間で圧力変換を行うロードロック室２、搬送体Ｇ、例えば、ガラス基板にエッチングや成膜等の処理を施す処理室３ａ及び３ｂ、並びに処理の間、減圧状態に保持され、ロードロック室２、処理室３ａ及び３ｂの相互間で搬送体Ｇを搬送する搬送機構５が設置された共通搬送室４を含んで構成されている。
【００１５】
本例においては、ロードロック室２、処理室３ａ及び３ｂ、並びに共通搬送室４は真空装置であり、それぞれ搬送体Ｇを所定の減圧状態下におくことが可能な、気密に構成された容器本体２１、３１ａ、３１ｂ、及び４１を備えている。容器本体２１、３１ａ、３１ｂ、及び４１には、搬送体Ｇを出し入れする開口部２２ａ、２２ｂ、３２ａ、３２ｂ、４２ａ、４２ｂ、及び４２ｃが設けられている。
【００１６】
ロードロック室２の容器本体２１は、この容器本体２１の開口部２２ａと、この開口部２２ａを開閉するゲートバルブ６ａを介して、製造システム１の外部、即ち、大気側に連通される。開口部２２ａは、処理前の搬送体Ｇのロード、処理済の搬送体Ｇのアンロードに使用される。大気側には、処理前、又は処理済みの搬送体Ｇを収容する、図示せぬ搬送体収容容器が配置される。また、容器本体２１は、この容器本体２１の開口部２２ｂと、この開口部２２ｂを開閉するゲートバルブ６ｂと、容器本体４１の開口部４２ａとを介して共通搬送室４の容器本体４１に連通される。
【００１７】
処理室３ａの容器本体３１ａは、この容器本体３１ａの開口部３２ａと、この開口部３２ａを開閉するゲートバルブ６ｃと、容器本体４１の開口部４２ｂとを介して共通搬送室４の容器本体４１に連通される。同様に、処理室３ｂの容器本体３１ｂは、この容器本体３１ｂの開口部３２ｂと、この開口部３２ｂを開閉するゲートバルブ６ｄと、容器本体４１の開口部４２ｃとを介して共通搬送室４の容器本体４１に連通される。
【００１８】
共通搬送室４の容器本体４１の平面形状は、本例では矩形状である。矩形状の四辺のうち、三辺に、開口部４２ａ、４２ｂ、４２ｃが設けられている。共通搬送室４の内部には、搬送機構５が設けられている。搬送機構５は、搬送体Ｇを、ロードロック室２から処理室３ａ又は３ｂへ、処理室３ａ又は３ｂから処理室３ｂ又は３ａへ、処理室３ａ又は３ｂからロードロック室２へと搬送する。このため、搬送機構５は、搬送体Ｇを昇降させる昇降動作、及び搬送体Ｇを旋回させる旋回動作に加え、ロードロック室２、処理室３ａ及び３ｂの内部への進出退避動作が可能に構成されている。
【００１９】
具体的には、特に、図２に示すように、搬送機構５は、搬送体Ｇを保持するピックユニット５１と、ピックユニット５１をスライドさせるスライドユニット５２と、スライドユニット５２を駆動させるドライブユニット５３とを含んで構成される。
【００２０】
スライドユニット５２には、スライドベース５２ａが取り付けられており、ピックユニット５１はスライドベース５２ａに取り付けられる。スライドベース５２ａは、スライドベース駆動部５２ｂにより、スライドユニット５２の長手方向に前後にスライドされる。これにより、ピックユニット５１は、ロードロック室２、処理室３ａ及び３ｂの内部に対して進出退避する。図３に、ピックユニット５１が、例えば、開口部４２ｂを介して進出される状態の断面図を示しておく。スライドユニット５２は、ドライブユニット５３により、昇降、及び旋回される。これにより、スライドユニット５２は、例えば、共通搬送室４内において、昇降、及び旋回される。
【００２１】
本例の製造システム１は、一度に複数枚の搬送体Ｇを高さ方向に水平に載置して、複数の搬送体Ｇを処理するように構成されている。そのため、搬送機構５は、一度に複数枚の搬送体Ｇを搬送できるように構成されている。本例では、ピックユニット５１が、三段の支持部材５１ａ、５１ｂ、５１ｃを備えており、一度に三枚の搬送体Ｇを搬送することができる。
【００２２】
次に、この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法の一例を説明する。
【００２３】
図４Ａ乃至図４Ｏは、この発明の一実施形態に係る搬送機構の組み立て方法の一例を概略的に示す断面図である。
【００２４】
図４Ａには、例えば、クリーンルーム内に共通搬送室４の容器本体４１が設置された時点を示している。本例の共通搬送室４は、容器本体４１の底部に、ドライブユニット５３が取り付けられるドライブユニット取り付け部４３と、容器本体４１の天井部に、吊り上げ機構を取り付けることが可能な吊り上げ機構取り付け部４４とを備えている。ドライブユニット取り付け部４３は、容器本体４１の底部のほぼ中央部に設けられ、吊り上げ機構取り付け部４４は、容器本体４１の天井部のほぼ中央部に設けられている。また、本例では、ドライブユニット取り付け部４３が、ドライブユニット５３を挿入する開口部４３ａと、開口部４３ａの周囲に設けられたドライブユニット５３の位置決め及び固定用の孔部４３ｂとを備えている。また、吊り上げ機構取り付け部４４は、吊り上げ機構を固定する固定用の孔部４４ａを備えている。
【００２５】
次に、図４Ｂに示すように、吊り上げ機構取り付け部４４に、吊り上げ機構７を取り付ける。本例の吊り上げ機構７は、孔部４４ａにボルト７ｃを用いて固定され、水平方向に延びるレール部材７ａと、レール部材７ａ上に、レール部材７ａ上を走行可能に取り付けられたチェーンブロック７ｂとを備えている。次に、共通搬送室４の外部から共通搬送室４の内部に、移動用台車が移動するレール部材８を挿入する。本例では、レール部材８を、開口部４２ｂを介して共通搬送室４の内部に挿入する。本例のレール部材８は３つの部材からなる。本例の３つの部材は、共通搬送室４の外部に配置され、搬送機構のユニットを載置するユニット載置部８ａ、共通搬送室４の内部に配置されるユニット支持部８ｂ、ユニット載置部８ａとユニット支持部８ｂとを開口部４２ｂを跨いで連結する連結部８ｃである。本例のユニット載置部８ａは、その底部にキャスター８１が取り付けられており、クリーンルーム内の床面を台車として走行することが可能である。例えば、ユニットを載置した状態で、走行することも可能である。図５に、本例に係るレール部材８の平面図を示す。
【００２６】
図５に示すように、本例に係るレール部材８は、一対のレール８２を含んでいる。一対のレール８２は、この一対のレール８２の間に、ドライブユニット取り付け部４３が存在するように配置される。さらに、本例では、図６に示すように、一対のレール８２の幅Ｗ０が、ピックユニット５１の幅Ｗ１、スライドユニット５２の幅Ｗ２、及びドライブユニット５３の幅Ｗ３よりも広くされる。これにより、一対のレール８２間を介した、ドライブユニット５３のドライブユニット取り付け部４４への取り付け、スライドユニット５２のドライブユニット５３に備えられたスライドユニット取り付け部への取り付け、並びにピックユニット５１に備えられたスライドベース５２ａへの取り付けを可能とする。
【００２７】
次に、図４Ｃに示すように、レール部材８、本例では、ユニット載置部８ａ上にドライブユニット移動用台車９ａを載せる。次いで、ドライブユニット移動用台車９ａに、ドライブユニット５３を載せる。次いで、ドライブユニット移動用台車９ａをレール部材８に沿って移動させ、ドライブユニット５３を、共通搬送室４内のドライブユニット取り付け部４３の上方まで移動させる。本例では、ドライブユニット５３には、ドライブユニット５３を吊り上げるための吊り上げ治具１０ａが取り付けられる。吊り上げ治具１０ａは、例えば、ドライブユニット５３に設けられた位置決め用孔に、例えば、ボルトを用いて取り付けられれば良い。
【００２８】
次に、図４Ｄに示すように、吊り上げ機構７を用いて、ドライブユニット５３を、吊り上げ治具１０ａごと吊り上げ、ドライブユニット５３をドライブユニット移動用台車９ａから離す。この後、ドライブユニット移動用台車９ａを、ドライブユニット取り付け部４３の上方から退避させる。
【００２９】
次に、図４Ｅに示すように、吊り上げ機構７を用いて、ドライブユニット５３をドライブユニット取り付け部４３まで一対のレール８２間を介して下げる。
【００３０】
次に、図４Ｆに示すように、吊り上げ治具１０ａを、ドライブユニット５３から取り外し、吊り上げ機構７を用いて、吊り上げ治具１０ａを吊り上げる。次いで、ドライブユニット５３を、ドライブユニット取り付け部４３の孔部４３ｂに、例えば、ボルト４３ｃを用いて取り付ける。
【００３１】
次に、図４Ｇに示すように、ドライブユニット移動用台車９ａを、レール部材８上、例えば、ユニット載置部８ａ上から外し、代わりに、スライドユニット移動用台車９ｂを、レール部材８上、例えば、ユニット載置部８ａ上に載せる。次いで、スライドユニット移動用台車９ｂに、スライドユニット５２を載せる。次いで、スライドユニット移動用台車９ｂをレール部材８に沿って移動させ、スライドユニット５２を、ドライブユニット５３に設けられたスライドユニット取り付け部５３ａの上方まで移動させる。本例では、スライドユニット５２には、スライドユニット５２を吊り上げるための吊り上げ治具１０ｂが取り付けられる。吊り上げ治具１０ｂは、ドライブユニット５３に、例えば、ボルトを用いて取り付けられれば良い。
【００３２】
次に、図４Ｈに示すように、吊り上げ機構７を用いて、スライドユニット５２を吊り上げ、スライドユニット５２をスライドユニット移動用台車９ｂから離す。この後、スライドユニット移動用台車９ｂを、スライドユニット取り付け部５３ａの上方から退避させる。
【００３３】
次に、図４Ｉに示すように、吊り上げ機構７を用いて、スライドユニット５２を、スライドユニット取り付け部５３ａまで一対のレール８２間を介して下げる。
【００３４】
次に、図４Ｊに示すように、吊り上げ治具１０ｂを、スライドユニット５２から取り外し、吊り上げ機構７を用いて、吊り上げ治具１０ｂを吊り上げる。次いで、スライドユニット５２を、スライドユニット取り付け部５３ａに取り付ける。
【００３５】
次に、図４Ｋに示すように、共通搬送室４の天井部に備えられた吊り上げ機構取り付け部４４から、吊り上げ機構７を取り外す。次いで、スライドユニット移動用台車９ｂを、レール部材８上、例えば、ユニット載置部８ａ上から外し、代わりに、ピックユニット移動用台車９ｃを、レール部材８上、例えば、ユニット載置部８ａ上に載せる。次いで、ピックユニット５１に、ピックユニット５１をジャッキアップするためのジャッキボルト１２を取り付ける。本例では、ジャッキアップ治具１１をピックユニット５１に取り付け、ジャッキアップ治具１１を介してジャッキボルト１２を取り付けている。ジャッキアップ治具１１は、ピックユニット５１に、例えば、ボルトを用いて取り付けられれば良い。次いで、ジャッキアップ治具１１が取り付けられたピックユニット５１を、ピックユニット移動用台車９ｃに載せる。本例では、ピックユニット５１に取り付けられたジャッキアップ治具１１を、ピックユニット移動用台車９ｃに載せることで、ピックユニット５１を、ピックユニット移動用台車９ｃに載せる。次いで、ピックユニット移動用台車９ｃをレール部材８に沿って移動させ、ピックユニット５１を、スライド５２に設けられたスライドベース５２ａの上方まで移動させる。
【００３６】
次に、図４Ｌに示すように、ジャッキボルト１２を用いて、ジャッキアップ治具１１とともにピックユニット５１をジャッキアップし、ジャッキアップ治具１１をピックユニット移動用台車９ｃから離す。この後、ピックユニット移動用台車９ｃを、スライドベース５２ａの上方から退避させる。
【００３７】
次に、図４Ｍに示すように、ジャッキボルト１２を用いて、ピックユニット５１をスライドベース５２ａまで一対のレール８２間を介して下げる。次いで、ピックユニット５１を、スライドベース５２ａに取り付ける。
【００３８】
次に、図４Ｎに示すように、ジャッキアップ治具１１を、ピックユニット５１から取り外す。次いで、ピックユニット移動用台車９ｃを、レール部材８上、例えば、ユニット載置部８ａ上から外す。
【００３９】
最後に、図４Ｏに示すように、レール部材８を撤去することで、搬送機構５の組み立て作業が完了し、共通搬送室４の内部に搬送機構５が設置される。
【００４０】
このような搬送機構の組み立て方法であると、搬送機構５が収容される共通搬送室４の内部、及び搬送機構５を構成するユニット、本例では、ピックユニット５１、スライドユニット５２、及びドライブユニット５３に、これらユニットを移動させる移動機構、本例では吊り上げ機構７、及びジャッキ１１を取り付ける。この構成を有することにより、これら移動機構を用いて、ユニットどうしを共通搬送室４の内部で組み立てることができる。このため、クレーン機構が設置されていない工場においても、組み立てることが可能な搬送機構５の組み立て方法を得ることができる。
【００４１】
以上、この発明を一実施形態に従って説明したが、この発明は上記一実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変形することが可能である。また、この発明の実施形態は、上記一実施形態が唯一の実施形態でもない。
【００４２】
例えば、上記一実施形態では、ユニットを移動させる移動機構として、共通搬送室４の内部に取り付けられる吊り上げ機構７、及びユニット、上記一実施形態においてはピックユニット５１に取り付けられるジャッキアップ治具１１の双方を用いたが、共通搬送室４の内部に取り付けられる吊り上げ機構７のみ、又はユニットに取り付けられるジャッキアップ治具１１のみを用いて、搬送機構５を、共通搬送室４の内部で組み立てることも可能である。
【００４３】
ただし、上記一実施形態のように、ピックユニット５１が、高さ方向に複数段の支持部材５１ａ〜５１ｃを有している場合には、共通搬送室４の天井部とピックユニット５１との最上段との距離が狭くなるので、吊り上げ機構７を用いた吊り上げが困難になる場合がある。このような場合には、上記一実施形態のように、ピックユニット５１にジャッキアップ治具１１を取り付け、ジャッキアップ治具１１を用いて、ピックユニット５１を上げ下げすれば良い。
【００４４】
また、上記一実施形態においては、レール部材８が、共通搬送室４の外部から共通搬送室４の内部に、共通搬送室に設けられた搬送体Ｇを出し入れする開口部４２ａを介して挿入した。
【００４５】
しかしながら、例えば、共通搬送室４が、例えば、メンテナンスのために、開放可能、又は着脱自在な側板を有していた場合には、レール部材８を、共通搬送室４の外部から共通搬送室４の内部に、側板を開放した部分、又は側板を取り外した部分を介して挿入するようにしても良い。
【００４６】
また、例えば、共通搬送室４が大型であり、いくつかのブロックに分割されている場合には、ブロック結合前に生じている開口を介して、レール部材８を、共通搬送室４の外部から共通搬送室４の内部に挿入するようにしても良い。
【００４７】
要するに、レール部材８は、共通搬送室４の外部から共通搬送室４の内部へと挿入可能な部分があれば、何処からでも挿入することが可能である。
【００４８】
また、上記一実施形態においては、移動用台車として、ユニット毎に、ドライブユニット移動用台車９ａ、スライドユニット移動用台車９ｂ、ピックユニット９ｃを揃えたが、移動用台車は、ユニットで共通とされても良い。
【００４９】
また、上記一実施形態においては、スライドユニット５２と、ピックユニット５１とを別々に共通搬送室４の内部に搬入し、ピックユニット５１の、スライドベース５２への取り付けを、共通搬送室４の内部で行った。
【００５０】
しかし、予め、ピックユニット５１をスライドベース５２へ取り付けておき、スライドユニット５２とピックユニット５１とを一緒に共通搬送室４の内部に搬入し、スライドユニット５２をスライドユニット取り付け部５３ａに取り付けるようにしても良い。
【００５１】
また、上記一実施形態においては、吊り上げ機構７を、チェーンブロック７ｂを用いて構成したが、ホイスト、ウィンチ、クレーンを用いて構成しても良い。
【００５２】
また、上記一実施形態では、搬送体Ｇとして太陽電池やＦＰＤの製造に用いられるガラス基板を示したが、搬送体はガラス基板に限定されず半導体ウエハ等の他の基板であってもよい。
【符号の説明】
【００５３】
１…製造システム、２…ロードロック室、３ａ、３ｂ…処理室、４…共通搬送室、５…搬送機構、６ａ〜６ｄ…ゲートバルブ、７…吊り上げ機構、８…レール部材、９ａ…ドライブユニット移動用台車、９ｂ…スライドユニット移動用台車、９ｃ…ピックユニット移動用台車、１０ａ、１０ｂ…吊り上げ治具、１１…ジャッキアップ治具、１２…ジャッキボルト、２１、３１ａ、３１ｂ、４１…容器本体、２２ａ、２２ｂ、３２ａ、３２ｂ、４２ａ〜４２ｃ…開口部、４３…吊り上げ機構取り付け部、４４…ドライブユニット取り付け部、５１…ピックユニット、５１ａ〜５１ｃ…支持部材、５２…スライドユニット、５２ａ…スライドベース、５２…スライドベース駆動部、５３…ドライブユニット、５３ａ…スライドユニット取り付け部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図４Ｅ】
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【図４Ｆ】
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【図４Ｇ】
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【図４Ｈ】
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【図４Ｉ】
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【図４Ｊ】
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【図４Ｋ】
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【図４Ｌ】
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【図４Ｍ】
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【図４Ｎ】
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【図４Ｏ】
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【図５】
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【図６】
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