(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の貫通孔を備えた多孔質の処理対象物を収容する洗浄槽本体と、前記洗浄槽本体の開口を塞いで前記洗浄槽本体を密閉する蓋体と、を備えた洗浄槽と、
前記洗浄槽の内部に配置され、前記処理対象物における前記貫通孔の貫通方向一端側を塞ぐと共に前記処理対象物側へ通じる開口部が形成されて前記貫通孔へ洗浄流体を供給するキャップと、
前記洗浄槽の外部から前記キャップの前記開口部へ前記洗浄流体を供給する供給管路と、
前記洗浄槽の底部に接続され、前記洗浄槽の内部に通じる排液路とされた排液管路と、
前記洗浄槽の内部と連通され、前記洗浄槽の内部を負圧にすることで前記貫通孔の貫通方向他端側を負圧にして前記洗浄流体を前記貫通孔の貫通方向一端側から貫通方向他端側へ流動させる排気用の負圧手段と、
を有する洗浄装置。
【請求項２】
前記洗浄流体が洗浄液とされると共に、
前記キャップは、前記処理対象物における前記貫通孔の貫通方向一端側を装置上下方向の上方側から塞ぐ請求項１記載の洗浄装置。
【請求項３】
複数の貫通孔を備えた多孔質の処理対象物の洗浄に適用され、
前記処理対象物における前記貫通孔の貫通方向一端側をキャップで塞ぐと共に、底部に排液管路が接続された洗浄槽の洗浄槽本体に、前記処理対象物における前記貫通孔の貫通方向一端側を前記処理対象物の上端側として前記処理対象物を収容し、前記洗浄槽本体の開口を蓋体で塞いで前記洗浄槽本体を密閉した後、前記洗浄槽の外部から供給管路によって、前記キャップに形成された前記処理対象物側へ通じる開口部へ洗浄液を供給することで、前記貫通孔へ上方側より前記洗浄液を供給する第一工程と、
前記洗浄槽の内部と連通された排気用の負圧手段によって、前記洗浄槽の内部を負圧にすることで、前記処理対象物における前記貫通孔の貫通方向他端側を負圧にして前記洗浄液を前記貫通孔の貫通方向一端側から貫通方向他端側へ流動させ、前記貫通孔の内部を洗浄する第二工程と、
を有する洗浄方法。
【請求項４】
前記処理対象物が薄板を層状に巻いたコイルとされ、前記処理対象物における前記貫通孔の貫通方向の端部に樹脂製の膜材が設けられると共に前記膜材が前記処理対象物の隣り合う前記端部同士の一部を連結することで前記処理対象物の巻き状態を保持している場合に適用され、
前記洗浄液が有機溶媒を含み、前記キャップの前記開口部に供給された前記洗浄液によって前記膜材を溶かす工程を含む請求項３記載の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多孔質の処理対象物を洗浄するための洗浄装置及び洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
処理対象物に付着した付着物を除去するために、密閉容器内で高圧流体により付着物質を洗浄除去する装置がある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２２４００８公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような装置では、処理対象物が多孔質材の場合、処理対象物の貫通孔の内部を効果的に洗浄するのが難しい。
【０００５】
本発明は、上記事実を考慮して、処理対象物の貫通孔の内部を効果的に洗浄することができる洗浄装置及び洗浄方法を得ることが目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載する本発明の洗浄装置は、複数の貫通孔を備えた多孔質の処理対象物を収容する洗浄槽本体と、前記洗浄槽本体の開口を塞いで前記洗浄槽本体を密閉する蓋体と、を備えた洗浄槽と、前記洗浄槽の内部に配置され、前記処理対象物における前記貫通孔の貫通方向一端側を塞ぐと共に前記処理対象物側へ通じる開口部が形成されて前記貫通孔へ洗浄流体を供給するキャップと、前記洗浄槽の外部から前記キャップの前記開口部へ前記洗浄流体を供給する供給管路と、前記洗浄槽の底部に接続され、前記洗浄槽の内部に通じる排液路とされた排液管路と、前記洗浄槽の内部と連通され、前記洗浄槽の内部を負圧にすることで前記貫通孔の貫通方向他端側を負圧にして前記洗浄流体を前記貫通孔の貫通方向一端側から貫通方向他端側へ流動させる排気用の負圧手段と、を有する。
【０００７】
なお、請求項１に記載の「複数の貫通孔を備えた多孔質の処理対象物」には、複数の直線状に貫通した貫通孔を備えた多孔質の処理対象物や、複数の非直線状に貫通した貫通孔を備えた多孔質の処理対象物が含まれる他、薄板コイル状とされてコイル軸方向に沿って切断した断面において複数の貫通孔を備えたような処理対象物も含まれる（請求項３においても同じ）。
【０００８】
請求項１に記載する本発明の洗浄装置によれば、複数の貫通孔を備えた多孔質の処理対象物は、洗浄槽の洗浄槽本体に収容されている。洗浄槽本体の開口は、蓋体で塞がれ、この蓋体は洗浄槽本体を密閉する。また、処理対象物における貫通孔の貫通方向一端側は、洗浄槽の内部に配置されたキャップによって塞がれる。キャップには、処理対象物側へ通じる開口部が形成されている。そして、洗浄槽の外部から供給管路によって洗浄流体がキャップの開口部へ供給されることで、キャップは、貫通孔へ洗浄流体を供給する。これに対して、洗浄槽本体の底部には、排液管路が接続され、この排液管路は、洗浄槽の内部に通じる排液路となっている。
一方、洗浄槽の内部と連通された排気用の負圧手段は、洗浄槽の内部を負圧にすることで貫通孔の貫通方向他端側を負圧にして、洗浄流体を、負圧の作用（圧力差）によって、貫通孔の貫通方向一端側から貫通方向他端側へ流動させる。これにより、処理対象物における貫通孔の内部が洗浄される。
【０００９】
請求項２に記載する本発明の洗浄装置は、請求項１記載の構成において、前記洗浄流体が洗浄液とされると共に、前記キャップは、前記処理対象物における前記貫通孔の貫通方向一端側を装置上下方向の上方側から塞ぐ。
【００１０】
請求項２に記載する本発明の洗浄装置によれば、洗浄流体が洗浄液となっており、処理対象物は、貫通孔の貫通方向一端側が装置上下方向の上方側からキャップによって塞がれる。このため、洗浄液（洗浄流体）は、負圧の作用（圧力差）に加えて重力の作用によっても、貫通孔の貫通方向一端側から貫通方向他端側へ流動させられることになるので、貫通孔の内部が効率的に洗浄される。
【００１１】
請求項３に記載する本発明の洗浄方法は、複数の貫通孔を備えた多孔質の処理対象物の洗浄に適用され、前記処理対象物における前記貫通孔の貫通方向一端側をキャップで塞ぐと共に、底部に排液管路が接続された洗浄槽の洗浄槽本体に、前記処理対象物における前記貫通孔の貫通方向一端側を前記処理対象物の上端側として前記処理対象物を収容し、前記洗浄槽本体の開口を蓋体で塞いで前記洗浄槽本体を密閉した後、前記洗浄槽の外部から供給管路によって、前記キャップに形成された前記処理対象物側へ通じる開口部へ洗浄液を供給することで、前記貫通孔へ上方側より前記洗浄液を供給する第一工程と、前記洗浄槽の内部と連通された排気用の負圧手段によって、前記洗浄槽の内部を負圧にすることで、前記処理対象物における前記貫通孔の貫通方向他端側を負圧にして前記洗浄液を前記貫通孔の貫通方向一端側から貫通方向他端側へ流動させ、前記貫通孔の内部を洗浄する第二工程と、を有する。
【００１２】
請求項３に記載する本発明の洗浄方法によれば、この洗浄方法は、複数の貫通孔を備えた多孔質の処理対象物の洗浄に適用される。第一工程では、処理対象物における貫通孔の貫通方向一端側をキャップで塞ぐと共に、底部に排液管路が接続された洗浄槽の洗浄槽本体に、処理対象物における貫通孔の貫通方向一端側を処理対象物の上端側として処理対象物を収容し、洗浄槽本体の開口を蓋体で塞いで洗浄槽本体を密閉する。そして、第一工程では、その後、洗浄槽の外部から供給管路によって、キャップに形成された処理対象物側へ通じる開口部へ洗浄液を供給することで、貫通孔へ上方側より洗浄液を供給する。第二工程では、洗浄槽の内部と連通された排気用の負圧手段によって、洗浄槽の内部を負圧にすることで、処理対象物における貫通孔の貫通方向他端側を負圧にして洗浄液を貫通孔の貫通方向一端側から貫通方向他端側へ流動させ、貫通孔の内部を洗浄する。なお、処理対象物における貫通孔の貫通方向他端側を負圧にし始めるタイミングは、第一工程よりも前であっても第一工程よりも後であってもよい。
【００１３】
請求項４に記載する本発明の洗浄方法は、請求項３記載の構成において、前記処理対象物が薄板を層状に巻いたコイルとされ、前記処理対象物における前記貫通孔の貫通方向の端部に樹脂製の膜材が設けられると共に前記膜材が前記処理対象物の隣り合う前記端部同士の一部を連結することで前記処理対象物の巻き状態を保持している場合に適用され、前記洗浄液が有機溶媒を含み、前記キャップの前記開口部に供給された前記洗浄液によって前記膜材を溶かす工程を含む。
【００１４】
請求項４に記載する本発明の洗浄方法によれば、処理対象物が薄板を層状に巻いたコイルとなっている。そして、本発明の洗浄方法によれば、処理対象物における貫通孔の貫通方向の端部に樹脂製の膜材が設けられると共にその膜材が処理対象物の隣り合う前記端部同士の一部を連結することで処理対象物の巻き状態を保持している場合に適用され、洗浄液が有機溶媒を含み、キャップの開口部に供給された洗浄液によって膜材を溶かす工程を含む。
【発明の効果】
【００１５】
以上説明したように、本発明に係る請求項１に記載の洗浄装置によれば、処理対象物の貫通孔の内部を効果的に洗浄することができるという優れた効果を有する。
【００１６】
請求項２に記載の洗浄装置によれば、処理対象物の貫通孔の内部を一層効果的に洗浄することができるという優れた効果を有する。
【００１７】
請求項３に記載の洗浄方法によれば、処理対象物の貫通孔の内部を効果的に洗浄することができるという優れた効果を有する。
【００１８】
請求項４に記載の洗浄方法によれば、処理対象物の端部に複数の貫通孔のうちの一部を塞ぐ膜材が設けられている場合であっても、処理対象物の貫通孔の内部を効果的に洗浄することができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係る洗浄装置の概略構成図である。
【図２】本発明の一実施形態において処理対象物にキャップが被せられた状態を示す図である。図２（Ａ）は、処理対象物にキャップが被せられた状態を示す斜視図である。図２（Ｂ）は、図２（Ａ）の２Ｂ−２Ｂ線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（実施形態の構成）
本発明の一実施形態に係る洗浄装置及び洗浄方法について図１及び図２を用いて説明する。図１には、本実施形態に係る洗浄装置１２の概略構成図が示されている。
【００２１】
図１に示される洗浄装置１２は、処理対象物１０（ワーク）を脱脂洗浄する装置とされている。本実施形態では、処理対象物１０は、一例として図２（Ａ）に示される薄肉板材が層状に巻かれたコイルとされている。なお、図２（Ａ）は、構造を簡略化して示した模式的な斜視図であり、処理対象物１０は、例えば、金属や樹脂等の箔材が数万回巻き回されて箔材間の隙間が数十μｍとされた薄板コイルとしてもよい。箔材は、一枚だけでなく二枚又は三枚以上が隙間を有して重ねられた状態でコイル状に巻かれたものでもよい。また、処理対象物１０の板厚は、一般に箔材と言われるものよりも厚くてもよい。
【００２２】
図２（Ａ）の２Ｂ−２Ｂ線に沿った断面図である図２（Ｂ）に示されるように、処理対象物１０は、コイル軸方向に沿って切断した断面において、複数の貫通孔１０Ａを備えており、巻かれた薄板間の隙間空間によって貫通孔１０Ａの内側空間が形成されている。すなわち、処理対象物１０は、複数の貫通孔１０Ａを備えた多孔質材とされており、その貫通孔１０Ａは、コイル軸方向（所定方向）を貫通方向として形成されている。
【００２３】
また、洗浄装置１２（図１参照）で脱脂処理される前の処理対象物１０には、貫通孔１０Ａの内部（巻かれた薄板間の隙間空間）に油脂成分を含む液体１１が充填されている。この液体１１には絶縁材や塗料の場合がある。また、図２（Ａ）に示されるように、本実施形態では、処理対象物１０における貫通方向の両端側の端部には、複数の貫通孔のうちの一部を塞ぐ膜材としての保持材７０が塗布されている。この保持材７０は、樹脂（一例としてエポキシ系の樹脂）からなり、処理対象物１０の隣り合う薄板の上端部間や下端部間に掛け渡されて当該隣り合う薄板の上端部同士や下端部同士を連結し、処理対象物１０の巻き状態が解かれないように処理対象物１０を固定保持している。なお、処理対象物１０には、このような保持材７０が塗布されていないものを対象にしてもよい。
【００２４】
図１に示されるように、洗浄装置１２は、処理対象物１０を収容する洗浄槽１４を備えている。この洗浄槽１４は、有底略円筒状とされた洗浄槽本体１４Ａの上部開口にフランジ部１４Ｆを有し、このフランジ部１４Ｆに図示しないボルトで密着締結される蓋体１４Ｂによって、洗浄槽本体１４Ａが開閉可能とされる。なお、前記ボルトに代えて、図示しないチャック（ファスナー）で蓋体１４Ｂを閉じてもよい。また、洗浄装置１２は、洗浄槽本体１４Ａの外周側に温度調節用の断熱ジャケット１４Ｃが配置されたジャケット付き洗浄槽とされている。断熱ジャケット１４Ｃの所定部位には、加熱・冷却媒体出入口部１６Ａ、１６Ｂが設けられており、図示しない加熱媒体や冷却媒体が断熱ジャケット１４Ｃの図示しない通路内へ出し入れ可能とされている。
【００２５】
洗浄槽１４の内部には、洗浄槽１４の内部の温度を検出する温度センサ２２Ａが配置されている。温度センサ２２Ａは、洗浄槽１４の外部側に設けられた制御部（図示省略）に接続されている。制御部（図示省略）には、制御回路が設けられており、温度センサ２２Ａの検出結果に基づいて、洗浄槽１４の内部の温度を制御する。
【００２６】
洗浄槽１４の内側下部寄りには、ブラケット状の内槽受台１８が複数設けられている。複数の内槽受台１８は、同一平面上に略水平にかつ洗浄槽本体１４Ａの中央縦軸線を中心として平面視が放射状となる方向に沿って梁状に延在するように間隔をおいて配置されており、洗浄槽１４の平面視中央側にて内槽２０を載置状態で支持している。この複数の内槽受台１８の間隙を通して洗浄槽本体１４Ａ内の上部及び下部は通じている。内槽２０は、洗浄槽本体１４Ａの内部に処理対象物１０を配置するための槽であり、底部（下部）２０Ａがハニカム状（ないしは井桁状）の多孔板とされると共に、底部（下部）２０Ａの外周端からは底部２０Ａに対して直交する方向に円筒状の筒部２０Ｃが立設されており、蓋体２０Ｂによって開閉可能とされている。内槽２０は、洗浄槽本体１４Ａの外部へ取り出し可能である。なお、内槽２０は、内槽受台１８上に複数個配置されてもよい。また、処理対象物１０が大型である場合、処理対象物１０は、内槽２０に入れないで直接内槽受台１８上に置かれてもよい。
【００２７】
洗浄槽１４の上部側の側壁部（図中では右上側）には、排気系の管路２６を介して負圧手段としての真空ポンプ３０（例えば、油回転ポンプ）が接続されている。すなわち、洗浄槽１４の内部と真空ポンプ３０の内部とが管路２６を介して連通可能となっている。真空ポンプ３０は、その作動（運転）によって、洗浄槽１４の内部を負圧（真空）にすることが可能とされている。管路２６の途中には、洗浄槽１４から近い順に、バルブＶ１及び冷却器２８Ａ、２８Ｂが設けられている。冷却器２８Ａ、２８Ｂは、管路２６を流動する蒸気を冷却し、冷却により液化された液体を分離回収するためのものである。冷却器２８Ａには気液分離槽２９Ａが接続され、管路２６にて真空ポンプ３０の下流側には、気液分離槽２９Ｂが接続されている。
【００２８】
また、洗浄槽１４の蓋体１４Ｂは、管路３２によって貫通されている。この管路３２は、内槽２０の蓋体２０Ｂをも貫通しており、管路３２の途中には、洗浄槽１４の内部側でかつ内槽２０の外部側に伸縮継手３４が設けられている。なお、管路３２の途中で洗浄槽１４の外部側にも伸縮継手（図示省略）が設けられるような構成としてもよい。伸縮継手３４は管路３２を分離可能とされ、内槽２０を洗浄槽本体１４Ａ内へ設置した後に接続される。管路３２の下端側は、内槽２０の内部側において分岐しており、それぞれ分岐管路３６を介してキャップ３８（ワーク用キャップ）に接続されている。また、分岐管路３６には、それぞれ伸縮継手３７が設けられている。なお、管路３２及び分岐管路３６は、供給管路の一部を構成している。
【００２９】
内槽２０の内部（換言すれば、洗浄槽１４の内部）に配置されたキャップ３８は、弾性を有するゴム等で製作されて内部空間を有する有底略円筒状とされており、図２に示されるように、処理対象物１０の上端外周側にその外周部が密着するように被せられることによって、処理対象物１０の貫通孔１０Ａの貫通方向一端側を装置上下方向の上方側から塞いでいる。このキャップ３８には、その上部に小径円筒部１３８が設けられ、この小径円筒部１３８には、分岐管路３６（図１参照）側から処理対象物１０側へ通じる開口部３８Ａが形成されており、キャップ３８は貫通孔１０Ａへ洗浄流体を供給可能となっている。また、図２（Ｂ）に示されるように、キャップ３８の内部空間は、孔開きプレート３８Ｂによって上下に隔てられると共に、孔開きプレート３８Ｂには、流体分配用の複数の貫通孔３８Ｃが形成されている。キャップ３８の装着状態では、孔開きプレート３８Ｂと処理対象物１０の上端面とが対向配置されるようになっており、孔開きプレート３８Ｂの上方側の内部空間に供給された洗浄流体が貫通孔３８Ｃを介して処理対象物１０の上端面側へ供給されるようになっている。なお、本実施形態では、キャップ３８が孔開きプレート３８Ｂを備えた構成となっているが、キャップ（３８）は、このような孔開きプレート（３８Ｂ）を備えない構成であってもよい。
【００３０】
また、図１に示されるように、洗浄槽１４の蓋体１４Ｂを貫通する管路３２は、洗浄槽１４の外側において、管路４０と管路５０とに分岐している。なお、管路４０及び管路５０は、供給管路の一部を構成している。
【００３１】
管路４０は、第一タンク４４に接続されており、この管路４０の途中には、管路３２から近い順に、バルブＶ２ａ、バルブＶ２ｂ、循環ポンプ４２、バルブＶ３が設けられている。また、管路４０において、バルブＶ２ａとバルブＶ２ｂとの間には、蒸留系への管路４６が接続され、管路４６の途中には、バルブＶ４が設けられている。
【００３２】
第一タンク４４は、管路５６を介して、一端側が流体供給口とされた管路５４に接続されており、管路５６の途中には、バルブＶ５が設けられている。なお、管路５４及び管路５６は、供給管路の一部を構成している。また、第一タンク４４は、管路５７及び管路５８を介して洗浄槽１４の底部に接続されて洗浄槽１４の内部に連通している。管路５７及び管路５８は、排液管路の一部を構成している。換言すれば、第一タンク４４は、循環液受槽としても機能する。なお、第一タンク４４に受け入れられた循環液を浄化して不純物を分離するための浄化処理部（図示省略）を第一タンク４４に接続するのが好ましい。
【００３３】
管路５７の途中には、洗浄槽１４から近い順に、濃度検出センサ６２及び冷却器６３が設けられ、管路５７から分岐した管路５８の途中にはバルブＶ６が設けられている。濃度検出センサ６２は、管路５７における排出流体の濃度を検出するセンサであり、制御部（図示省略）に接続されている。制御部（図示省略）は、濃度検出センサ６２の検出結果に基づいて、より安全に装置を運転するための制御を行う。
【００３４】
また、第一タンク４４は、管路６４を介して排気系の管路２６におけるバルブＶ１と冷却器２８Ａとの間に接続されている。管路６４の途中には、バルブＶ７が設けられている。
【００３５】
さらに、第一タンク４４の所定部位には、加熱・冷却媒体出入口部６６Ａ、６６Ｂが設けられて図示しない加熱媒体や冷却媒体が出し入れ可能とされると共に、第一タンク４４の内部には、第一タンク４４の内部の温度を検出する温度センサ２２Ｂが配置されている。この温度センサ２２Ｂは、制御部（図示省略）に接続されている。制御部（図示省略）は、温度センサ２２Ｂの検出結果に基づいて、第一タンク４４の内部の温度が一定になるように制御する。
【００３６】
第一タンク４４に接続された管路６４には、バルブＶ７よりも下流側で管路７２が分岐しており、管路７２は第二タンク７４に接続されている。管路７２の途中には、バルブＶ１０が設けられている。また、第二タンク７４は、供給管路の一部を構成する管路７８に接続されている。管路７８は、管路４０におけるバルブＶ２ｂよりも下流側かつ管路４０と管路４６との接続位置よりも上流側において管路４０に接続されており、管路７８の途中には、第二タンク７４から近い順に、バルブＶ１１、循環ポンプ８２、バルブＶ１２が設けられている。さらに、第二タンク７４は、供給管路の一部を構成する管路８４を介して、一端側が流体供給口とされた管路５４に接続されており、管路８４の途中には、バルブＶ１３が設けられている。また、第二タンク７４は、排液管路の一部を構成する管路８８を介して管路５８にバルブＶ６の上流側で接続されている。管路８８の途中には、バルブＶ１５が設けられている。
【００３７】
さらに、第二タンク７４の所定部位には、加熱・冷却媒体出入口部８６Ａ、８６Ｂが設けられて図示しない加熱媒体や冷却媒体が出し入れ可能とされると共に、第二タンク７４の内部には、第二タンク７４の内部の温度を検出する温度センサ２２Ｄが配置されている。この温度センサ２２Ｄは、制御部（図示省略）に接続されている。制御部（図示省略）は、温度センサ２２Ｄの検出結果に基づいて、第二タンク７４の内部の温度が一定になるように制御する。
【００３８】
一方、洗浄槽１４の蓋体１４Ｂを貫通する管路３２から分岐した管路５０は、第三タンク５２に接続されており、管路５０の途中には、バルブＶ８が設けられている。第三タンク５２は、一端側が流体供給口とされた管路５４に接続されており、管路５４の途中には、管路５６との分岐位置よりも第三タンク５２に近い位置にバルブＶ９が設けられている。また、第三タンク５２は、管路５７にて冷却器６３の下流側で分岐した管路５９に接続されており、管路５９の途中にはバルブＶ１４が設けられている。なお、管路５９は、排液管路の一部を構成している。
【００３９】
本実施形態では、第三タンク５２は、洗浄液蒸発槽として機能し、第三タンク５２の所定部位には、加熱・冷却媒体出入口部６８Ａ、６８Ｂが設けられて図示しない加熱媒体や冷却媒体が出し入れ可能とされると共に、第三タンク５２の内部には、第三タンク５２の内部の温度を検出する温度センサ２２Ｃが配置されている。この温度センサ２２Ｃは、制御部（図示省略）に接続されている。制御部（図示省略）は、温度センサ２２Ｃの検出結果に基づいて、第三タンク５２の内部の温度が一定になるように制御する。なお、第三タンク５２は、複数設けられてもよい。
【００４０】
また、一端側が流体供給口とされた管路５４に供給される洗浄流体は、処理対象物１０を洗浄するための流体とされ、処理対象物１０に接触させることにより脱脂可能な脱脂液や、本実施形態のように、処理対象物１０に樹脂からなる保持材７０（図２（Ａ）参照）が塗布されている場合には、保持材７０を溶解させる有機溶媒（樹脂溶解溶媒）等を含む。なお、脱脂液と前記有機溶媒との二液が適用される場合は二液型である。これに対して、一液型の洗浄液（脱脂液）として、一例として、ベンゼン、トルエン、キシレン等の溶剤を適用すれば、保持材７０（図２（Ａ）参照）の溶解と、処理対象物１０に接触させることによる脱脂と、の両方の処理を成すことができる。また、一液型の洗浄液（脱脂液）として適用する溶剤が有機溶剤の場合、処理後における処理対象物１０の薄板間の残留が少なく、仕上がりが良好になる。
【００４１】
（洗浄方法及び実施形態の作用・効果）
次に、洗浄装置１２を適用して処理対象物１０（特に、貫通孔１０Ａ（図２（Ｂ）参照）の内部）における洗浄を行う洗浄方法について説明しながら、上記実施形態の作用及び効果について説明する。
【００４２】
まず、洗浄槽本体１４Ａから取り出した内槽２０の底部２０Ａ上に、複数の処理対象物１０が貫通孔１０Ａ（図２（Ｂ）参照）を上下方向にとるように、円筒軸心を上下方向にして（所謂、縦置きにして）載せる。このように、図２（Ｂ）に示される処理対象物１０における貫通孔１０Ａの貫通方向一端側を処理対象物１０の上端側とし、処理対象物１０側へ通じる開口部３８Ａが形成されたキャップ３８によって、処理対象物１０の上端側を塞ぐ。図１に示されるように、この状態で、内槽２０を、洗浄槽本体１４Ａの上端開口を通して内部へ挿入し、内槽受台１８へ設置する。そして、伸縮継手３７を連結後、さらに伸縮継手３４を連結してから、洗浄槽本体１４Ａの上端開口側の蓋体１４Ｂを閉めて洗浄槽本体１４Ａを密閉する。
【００４３】
次に、洗浄槽１４の内部を真空ポンプ３０によって負圧にする。より具体的には、バルブＶ２ａ、Ｖ８、Ｖ６、Ｖ１５、Ｖ１４を閉じると共に、バルブＶ１を開け、真空ポンプ３０を作動（運転）させることによって、洗浄槽１４の内部の気体を排気して洗浄槽１４の内部を負圧（真空）にしておく。
【００４４】
次に、図２（Ｂ）に示されるキャップ３８の開口部３８Ａへ上方側より洗浄液８０を供給する。ここでは、洗浄液８０として一液型の洗浄液（一例としてベンゼンからなる溶剤）を適用した場合について説明する。なお、キャップ３８の開口部３８Ａへの洗浄液８０の供給は、洗浄槽１４の内部を負圧にする前や負圧にするのと同時でもよい。
【００４５】
洗浄液８０の供給について、より具体的に説明すると、図１に示される循環ポンプ４２の運転停止中にバルブＶ３、Ｖ６を閉じた状態でバルブＶ５、Ｖ７を開けて管路５４、５６から第一タンク４４に洗浄液を供給しておく。その後、バルブＶ５を閉じてからバルブＶ３、Ｖ２ｂ、Ｖ２ａを開く共にバルブＶ４を閉じて循環ポンプ４２を作動させ、第一タンク４４からキャップ３８の開口部３８Ａ（図２参照）へ洗浄液を供給する。また、バルブＶ６も開き、洗浄液を洗浄槽１４から第一タンク４４に流動可能に（換言すれば、洗浄液の循環を可能に）しておく。
【００４６】
これにより、図２（Ｂ）に示される処理対象物１０において、キャップ３８と密着した部分以外の外周側及び、処理対象物１０の下方側は、負圧の状態（真空状態）となる。
【００４７】
一方、図２（Ｂ）に示されるキャップ３８の開口部３８Ａへ供給された洗浄液８０は、重力の作用によって、キャップ３８の開口部３８Ａから処理対象物１０の上部に供給される。このとき、処理対象物１０の上端の一部に塗布された保持材７０（図２（Ａ）参照）が洗浄液８０によって溶解される（溶かされる）。そして、洗浄液８０が上方側より貫通孔１０Ａへ供給される（第一工程）。また、この状態の処理対象物１０の上部では、洗浄液８０が供給される部分の圧力が高くなった状態となって圧力差が生じる。つまり、処理対象物１０における貫通孔１０Ａの貫通方向他端側が負圧にされていることによる負圧（圧力差）の作用、及び重力の作用により、洗浄液８０は、処理対象物１０における貫通孔１０Ａの内部で貫通方向一端側（図２（Ｂ）の上端側）から貫通方向他端側（図２（Ｂ）の下端側）へ流動する（矢印Ａ方向参照）。その結果、貫通孔１０Ａの内部が洗浄される（第二工程）。
【００４８】
貫通孔１０Ａの内部洗浄についてより具体的に説明すると、処理対象物１０における貫通孔１０Ａの内部では、供給された洗浄液８０（一液型の洗浄液）と、付着していた油脂成分を含む液体１１とが接触し、脱脂の処理がなされる。このため、液体１１は、沸点の低い液体に置換され（以下、この液体を「置換液」という）、前記置換液及び洗浄液８０が処理対象物１０における貫通孔１０Ａの貫通方向他端側（下端側）から流出する。これにより、処理対象物１０における貫通孔１０Ａの内部が洗浄される。また、処理対象物１０の下端の一部に塗布された保持材７０（図２（Ａ）参照）は、処理対象物１０の下端に達した洗浄液８０によって溶解される。
【００４９】
また、図１に示される第一タンク４４からキャップ３８の開口部３８Ａ（図２参照）へ洗浄液を供給し始めてから所定時間経過すると、制御部（図示省略）の指令により、キャップ３８には、一液型の洗浄液に代えて、前記置換液と同様の組成の液体が洗浄液として供給される。具体的には、バルブＶ１４を閉じかつバルブＶ９、Ｖ８を開けた状態で、管路５４に前記置換液と同様の組成の液体を洗浄液として供給することによって、管路５４から第三タンク５２に前記置換液と同様の組成の洗浄液を供給しておく。この洗浄液は、第三タンク５２に供給されると加熱により気化されて前記置換液のパージ用の気体となり、制御部（図示省略）の指令によって、バルブＶ９が閉じられることによって、第三タンク５２から管路５０、管路３２及び分岐管路３６を介してキャップ３８の開口部３８Ａ（図２参照）に気体状態の洗浄ガスとして流動する。なお、その後、所定のタイミングでバルブＶ６が閉じられてバルブＶ１４が開けられる。気体状態の前記洗浄ガスは、キャップ３８から図２（Ｂ）に示される処理対象物１０の貫通孔１０Ａへ供給され、貫通孔１０Ａの内部に残存した前記置換液を装置上下方向の下方側へ向けて押し出す。
【００５０】
また、図１に示される第三タンク５２からキャップ３８の開口部３８Ａ（図２参照）へ前記置換液と同様の組成の液体を洗浄液として供給し始めてから所定時間経過すると、制御部（図示省略）の指令により、加熱・冷却媒体出入口部１６Ａ、１６Ｂに加熱媒体（図示省略）を入れるための駆動部（図示省略）が駆動する。これにより、加熱媒体（図示省略）が加熱・冷却媒体出入口部１６Ａ、１６Ｂから入って、洗浄槽１４の内部の温度が上昇する。その結果、パージ用の前記洗浄ガスによって貫通孔１０Ａ（図２（Ｂ）参照）の内部から押し出された前記置換液は、気化し、真空ポンプ３０の作用によって洗浄槽１４の内部から管路２６を経て真空ポンプ３０の排出口より排出される。なお、前記洗浄ガスの供給が所定タイミングで停止された後も、真空ポンプ３０が所定時間作動し続けることで、貫通孔１０Ａ（図２（Ｂ）参照）の内部の洗浄ガスも取り除かれる。
【００５１】
以上説明したように、本実施形態に係る洗浄装置１２及び洗浄方法によれば、図２に示される保持材７０が洗浄液８０によって溶解されると共に、液体１１が洗浄液８０によって置換されて貫通孔１０Ａの内部から押し出されることで処理対象物１０の貫通孔１０Ａの内部を効果的に洗浄することができる。
【００５２】
なお、以上においては、保持材７０（図２（Ａ）参照）の溶解と、処理対象物１０における脱脂と、の両方の処理が可能な一液型の洗浄液を、洗浄液として適用した場合について説明したが、二液型の洗浄液を適用して、保持材７０（図２（Ａ）参照）の溶解と、処理対象物１０における脱脂と、を別の洗浄液で行う場合について、以下簡単に説明する。なお、上記実施形態と重複する内容については、説明を省略する。
【００５３】
二液型の洗浄液を適用する場合、まず、保持材７０（図２（Ａ）参照）を溶解させる有機溶媒（樹脂溶解溶媒）をキャップ３８へ供給する。具体的には、図１に示される循環ポンプ８２の運転停止中にバルブＶ１１、Ｖ１５を閉じた状態でバルブＶ１３、Ｖ１０を開けて管路５４、８４から第二タンク７４に前記有機溶媒（洗浄液）を供給しておく。その後、バルブＶ１３を閉じてからバルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ２ａを開く共にバルブＶ４を閉じて循環ポンプ８２を作動させ、第二タンク７４からキャップ３８の開口部３８Ａ（図２（Ｂ）参照）へ前記有機溶媒（洗浄液）を供給する。また、バルブＶ１５も開き、前記有機溶媒（洗浄液）を洗浄槽１４から第二タンク７４に流動可能に（換言すれば、洗浄液の循環を可能に）しておく。
【００５４】
キャップ３８へ供給された前記有機溶媒（洗浄液）は、図２に示される処理対象物１０の上面側で保持材７０（図２（Ａ）参照）を溶解する。前記有機溶媒及び溶解された液は、真空ポンプ３０（図１参照）の作動による負圧（圧力差）の作用、及び重力の作用により、貫通孔１０Ａの下端側に達する。これにより、下端側の保持材７０（図２（Ａ）参照）も溶解される。
【００５５】
次に、図１に示される第二タンク７４からキャップ３８の開口部３８Ａ（図２（Ｂ）参照）へ前記有機溶媒（洗浄液）を供給し始めてから所定時間経過すると、制御部（図示省略）の指令に基づいて、保持材７０（図２（Ａ）参照）を溶解させる有機溶媒（樹脂溶解溶媒）に代えて、（処理対象物１０に接触させることにより脱脂可能な）脱脂液が第一タンク４４からキャップ３８へ供給される。具体的には、上記実施形態で適用された一液型の洗浄液８０（図２（Ｂ）参照）を第一タンク４４からキャップ３８へ供給する場合と同様に各バルブの開閉及び循環ポンプ４２の作動がなされる。
【００５６】
この脱脂液は、一液型の洗浄液と同様に、第一タンク４４から管路４０、管路３２及び分岐管路３６を経てキャップ３８の開口部３８Ａ（図２（Ｂ）参照）に供給され、一液型の洗浄液を適用した場合と同様の作用により、図２（Ｂ）に示される処理対象物１０における貫通孔１０Ａの内部で貫通方向一端側（図２（Ｂ）の上端側）から貫通方向他端側（図２（Ｂ）の下端側）へ流動する（矢印Ａ方向参照）。これにより、処理対象物１０における貫通孔１０Ａの内部が脱脂される。これ以降の処理は、一液型の洗浄液８０を適用した場合と実質的にほぼ同様になる。
【００５７】
このように、二液型の洗浄液を適用しても、上記実施形態とほぼ同様の作用及び効果を得ることができる。
【００５８】
（実施形態の補足説明）
なお、上記実施形態では、処理対象物１０が薄板コイル（箔材を巻いたもの）とされているが、処理対象物は、複数の直線状に貫通した貫通孔を備えた多孔質の処理対象物や、複数の非直線状に貫通した貫通孔を備えた多孔質の処理対象物等のような他の多孔質の処理対象物であってもよい。
【００５９】
また、上記実施形態では、脱脂用の洗浄流体が洗浄液とされているが、脱脂用の洗浄流体は、洗浄液に代えて気体状の洗浄ガス（ベーパー）としてもよい。洗浄液に代えて洗浄ガス（ベーパー）を適用しても、処理対象物の貫通孔の内部で凝縮して油脂成分と接触すると洗浄液を適用した場合と同様の作用及び効果を得ることができる。また、洗浄ガス（ベーパー）が処理対象物の貫通孔の内部で凝縮しなくとも貫通孔の内部を通過することにより洗浄することはできる。
【００６０】
また、上記実施形態では、図１に示される洗浄槽１４の内部を負圧にする負圧手段が真空ポンプ３０とされているが、負圧手段は、予め負圧とされたチャンバを備えかつ前記チャンバがバルブを介して洗浄槽に接続された構造体等のような他の負圧手段であってもよい。
【００６１】
さらに、上記実施形態では、図２に示されるキャップ３８が、処理対象物１０の貫通孔１０Ａの貫通方向一端側を装置上下方向の上方側から塞いでおり、貫通孔１０Ａの内部をより効率的に洗浄する観点からはこのような構成がより好ましいが、キャップは、処理対象物の貫通孔の貫通方向一端側を横方向側から塞いでもよい。
【００６２】
また、上記実施形態では、キャップ３８は、処理対象物１０の上端外周側にその外周部が密着するように被せられており、洗浄処理時間を短くする観点からはこのように両者を密着させてシール性を確保したほうがよいが、キャップ（３８）は、処理対象物（１０）の上端外周側との間に多少隙間が生じた状態で処理対象物（１０）に被せられていてもよい。なお、処理対象物（１０）の上下端部の全面に複数の貫通孔（１０Ａ）を塞ぐ膜材（例えばシール材）が塗布されたような処理対象物を洗浄するために、洗浄装置は、例えば、キャップ（３８）の筒部を処理対象物（１０）の外周側下端付近まで延ばすと共に、キャップ（３８）の筒部と処理対象物（１０）の外周側との間に多少隙間を設けて当該隙間に洗浄流体の一部が流れ込むような構成にしてもよい。
【００６３】
さらにまた、上記実施形態の図１に示される濃度検出センサ６２に代えて、管路５７における排出流体の粘度を検出する粘度検出センサや管路５７における排出流体の色度を検出する色度検出センサを適用してもよい。
【００６４】
なお、上記実施形態に係る洗浄装置１２において、洗浄流体を、図２（Ｂ）に示されるキャップ３８の開口部３８Ａへ供給する構成に代えて、処理対象物１０を塗布するための流体を、キャップ３８の開口部３８Ａへ供給する構成とすれば、塗布装置として使用することも可能である。
【符号の説明】
【００６５】
１０    処理対象物
１０Ａ  貫通孔
１２    洗浄装置
１４    洗浄槽
１４Ａ  洗浄槽本体
１４Ｂ  蓋体
３０    真空ポンプ（負圧手段）
３２、４０、５６、５４、７８、８４、５０    管路（供給管路）
３６    分岐管路（供給管路）
３８    キャップ
３８Ａ  開口部
５７、５８、８８、５９    管路（排液管路）
７０    保持材（膜材）
８０    洗浄液（洗浄流体）
【図１】
0005419609.tif 000002
【図２】
0005419609.tif 000003