(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
穴が形成された穴形成部材を取り扱うための治具であって、
前記穴形成部材の前記穴に通すことが可能な先細りの先端部を有し、基端が一体化されると共に前記先端部が離間され、外部からの押圧により弾性変形して前記先端部が交差する一対の腕部と、
前記腕部に設けられ、前記一対の腕部の先端部同士が接触しないように前記一対の腕部の交差量を規制する規制部と、
を備える治具。
【請求項２】
前記腕部が、他の部位よりも肉厚にされ、外部から押圧操作がなされる操作部を有する請求項１に記載の治具。
【請求項３】
前記規制部が、一方の前記腕部において前記操作部より薄肉とされた部分と前記操作部との境界部分に設けられ、他方の前記腕部における境界部分に当って、前記一対の腕部の交差量を規制する請求項２に記載の治具。
【請求項４】
前記一対の腕部の基端側の間に設けられ、外部から押圧された一対の腕部に挟まれて弾性変形し、その弾性力により前記一対の腕部の先端部が離間する方向へ前記一対の腕部を押圧する押圧部材を備える請求項１〜３のいずれか１項に記載の治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、ピンセット型の治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ウエハの裏面に蒸着する蒸着装置では、当て板と言われるウエハと同じ形状の板にウエハをセットし、ばね状の針金で構成された固定ピンをオペレータがピンセットで挟持して、固定ピンをウエハの端面へ移動させ、固定ピンでウエハの端面を押さえることでウエハを固定する。このように対象物を挟持するピンセットとしては、例えば、特許文献１に開示されるピンセットがある。
【０００３】
ウエハの裏面蒸着工程は、裏面切削工程の後に行われるものであるので、蒸着面の周辺は、大変脆く、欠けやすい状態である。このため、オペレータがピンセットにて固定ピンを挟持して固定ピンをウエハの端面へ移動させる際に、固定ピンを弾いて、固定ピンが少しでもウエハに接触すると、ウエハが破損してしまう。
【０００４】
また、ピンセットの先端部で固定ピンを挟持して作業する場合では、固定ピンを挟持した状態においてピンセットの先端部が弾性変形し、固定ピンを放した際に先端部が振動するため、固定ピンを取り扱う作業がしにくかった。
【０００５】
また、ピンセットの先端部で固定ピンを挟持して作業する場合では、ピンセットを使用し続けていると、ピンセットの先端部に塑性変形や劣化を生じ、作業性が悪くなった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−２４１７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、穴が形成された穴形成部材を取り扱う際の作業性が良い治具を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１の発明は、穴が形成された穴形成部材を取り扱うための治具であって、前記穴形成部材の前記穴に通すことが可能な先細りの先端部を有し、基端が一体化されると共に前記先端部が離間され、外部からの押圧により弾性変形して前記先端部が交差する一対の腕部と、前記腕部に設けられ、前記一対の腕部の先端部同士が接触しないように前記一対の腕部の交差量を規制する規制部と、を備える治具である。
【０００９】
この構成によれば、一対の腕部の先端部が交差するので、穴が形成された穴形成部材（例えば、環状の部材）を取り扱う際に、穴形成部材を挟持するのではなく、腕部の先端部を穴形成部材の穴に通してその穴形成部材を取り扱った場合でも、その穴形成部材が一対の腕部の先端部から外れにくい。このため、穴形成部材を取り扱う際の作業性が良い。
【００１０】
また、一対の腕部の先端部同士が接触しないので、先端部同士は接触による弾性変形をしない。このため、交差した先端部を離間させた際に振動が生じず、穴形成部材を取り扱う際の作業性が良い。
【００１１】
請求項２の発明は、前記腕部が、他の部位よりも肉厚にされ、外部から押圧操作がなされる操作部を有する請求項１に記載の治具である。
【００１２】
この構成によれば、操作部が変形しにくくなるので、操作者が操作部を押圧する力が変わっても、先端部の交差量が変動しにくい。このため、一対の腕部の先端部を穴形成部材の穴に通して穴形成部材を取り扱った場合でも、その穴に入り込む量が変化しにくく、穴形成部材を取り扱う際の作業性が良い。
【００１３】
請求項３の発明は、前記規制部が、一方の前記腕部において前記操作部より薄肉とされた部分と前記操作部との境界部分に設けられ、他方の前記腕部における境界部分に当って、前記一対の腕部の交差量を規制する請求項２に記載の治具である。
【００１４】
この構成によれば、境界部分が変形しにくくなるので、操作者が操作部を押圧する力が変わっても、先端部の交差量が変動しにくい。このため、一対の腕部の先端部を穴形成部材の穴に通して穴形成部材を取り扱った場合でも、その穴に入り込む量が変化しにくく、穴形成部材を取り扱う際の作業性が良い。
【００１５】
請求項４の発明は、前記一対の腕部の基端側の間に設けられ、外部から押圧された一対の腕部に挟まれて弾性変形し、その弾性力により前記一対の腕部の先端部が離間する方向へ前記一対の腕部を押圧する押圧部材を備える請求項１〜３のいずれか１項に記載の治具である。
【００１６】
この構成によれば、一対の腕部は、一対の腕部の基端側の間に設けられた押圧部材によって、先端部が離間する方向へ押圧されるので、押圧部材が設けられていない構成に比べ、先端部の離間動作が安定する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明は、上記構成としたので、穴が形成された穴形成部材を取り扱う際の作業性が良くなる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、本実施形態に係る治具を腕部の幅方向の一方側から見た概略図である。
【図２】図２は、本実施形態に係る治具において、先端部を接近させた状態を示す概略図である。
【図３】図３は、本実施形態に係る治具を先端側から見た概略図である。
【図４】図４は、本実施形態に係る治具が用いられる裏面蒸着装置の構成を示す概略斜視図である。
【図５】図５は、本実施形態に係る治具で固定ピンを操作する動作を示す概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に、本発明に係る実施形態の一例を図面に基づき説明する。
（本実施形態に係る治具１０の構成）
まず、本実施形態に係る治具１０の構成を説明する。図１〜３は、本実施形態に係る治具１０の構成を示す概略図である。
【００２０】
本実施形態に係る治具１０は、図１に示すように、ピンセット型をしており、基端１２Ｒが一体化されると共に先端部１２Ｔが離間された一対の腕部１２を備えている。
【００２１】
一対の腕部１２は、それぞれ、板状に形成され、基端１２Ｒから先端１２Ｓに向けて長さを有している。一対の腕部１２の先端部１２Ｔは、それぞれ、他方の腕部１２の先端部１２Ｔ側にＲ状に湾曲している。
【００２２】
一対の腕部１２は、図２に示すように、外部からの押圧により、離間された先端部１２Ｔが接近する接近方向へ弾性変形可能とされている。すなわち、一対の腕部１２は、先端部１２Ｔが所定の離間位置と所定の接近位置との間を移動可能とされている。一対の腕部１２に対する外部からの押圧は、具体的には、後述の一対の操作部１４を外側から押圧することにより行われる。
【００２３】
一対の腕部１２は、図３（ａ）に示すように、先端部１２Ｔが、先端１２Ｓ側に先細くなるテーパ状に形成されており、先端部１２Ｔは、図３（ｂ）に示すように、腕部１２の幅方向において重なることが可能とされている。これにより、外部からの押圧により、一対の腕部１２の先端部１２Ｔが所定の接近位置に移動することで、図２に示すように、腕部１２の幅方向の一方側から見た場合にて（幅方向視にて）、先端部１２Ｔが交差するようになっている。
【００２４】
一対の腕部１２は、図１に示すように、外部から押圧操作がなされる操作部１４をそれぞれ有している。操作部１４は、腕部１２の先端１２Ｓと基端１２Ｒの間であって、先端１２Ｓ寄りに配置されている。
【００２５】
操作部１４は、腕部１２の他の部位よりも肉厚とされている。すなわち、腕部１２は、操作部１４よりも基端１２Ｒ側が、操作部１４よりも薄い薄肉部１２Ａとされており、操作部１４よりも先端１２Ｓ側が、操作部１４よりも薄い薄肉部１２Ｂとされている。
【００２６】
操作部１４は、図３（ａ）に示すように、他の部位（少なくとも先端部１２Ｔ）よりも幅広とされている。すなわち、腕部１２は、先端１２Ｓ側の薄肉部１２Ｂが、操作部１４よりも幅が狭くされている。
【００２７】
操作部１４には、図１に示すように、操作者が押圧操作する際に指をかけるための凹部１６が形成されている。これにより、操作者によって押圧操作される位置が規定される。
【００２８】
一対の腕部１２は、例えば、操作部１４以外の部分が、ステンレス等の金属材料で形成され、操作部１４が、例えば、他の部位よりも操作者の指が滑りにくい材料（例えば、ゴム材料）で形成されている。なお、操作部１４においても、金属材料で形成されても良い。また、腕部１２は、操作部１４が他の部位と一体で構成されていても良いし、別体で構成されていても良い。
【００２９】
一方の腕部１２には、一対の腕部１２の先端部１２Ｔ同士が接触しないように、一対の腕部１２の交差量を規制する規制部の一例としてのストッパ１８が設けられている。ストッパ１８は、ブロック状（略直方体形状）に形成されており、例えば、ゴム材料で構成されている。
【００３０】
具体的には、ストッパ１８は、腕部１２の内面（他方の腕部１２に対向する対向面）であって、操作部１４と基端１２Ｒ側の薄肉部１２Ａとの境界部分に設けられており、他方の腕部１２における境界部分に当って一対の腕部１２の交差量を規制するようになっている。ストッパ１８によって腕部１２の交差量が規制されることにより、一対の腕部１２の先端部１２Ｔが所定の接近位置に移動した場合に、図３（ｂ）に示すように、一対の腕部１２の先端部１２Ｔの間に隙間が形成され、一対の腕部１２の先端部１２Ｔ同士は、接触しないようになっている。
【００３１】
一対の腕部１２の基端１２Ｒ側の間には、図１に示すように、一対の腕部１２が外部から押圧されることで一対の腕部１２に挟まれて弾性変形し、その弾性力により一対の腕部１２の先端部１２Ｔが離間する方向へ一対の腕部１２を押圧する押圧部材２０が設けられている。
【００３２】
押圧部材２０は、一対の腕部１２の内面（他方の腕部１２に対向する対向面）にそれぞれに固定されている。押圧部材２０としては、例えば、スポンジ、ゴム、バネ等の弾性部材が用いられる。
【００３３】
ところで、本実施形態に係る治具１０は、例えば、ウエハ５２の裏面に蒸着する図４に示すような裏面蒸着装置５０において、ウエハ５２を固定する固定ピン５４を移動する際に用いられる。なお、治具１０が用いられる対象は、固定ピン５４に限られるものではない。
【００３４】
この裏面蒸着装置５０は、ウエハ５２が載せられる当て板５６と、当て板５６から立設されウエハ５２の端面が当接される２つの当接ピン５８と、穴が形成された穴形成部材の一例としての固定ピン５４と、を備えて構成されている。固定ピン５４は、当て板５６に形成されたＬ字状のスリット６０から突出されている。また、固定ピン５４は、例えば、バネ状の針金で構成されており、ウエハ５２が載せられる位置側に付勢されている。さらに、固定ピン５４は、穴を有する環状の環状部５４Ａを先端部（上端部）に備えている。
【００３５】
（本実施形態に係る治具１０の作用）
次に、本実施形態に係る治具１０の作用を説明する。ここでは、上述した裏面蒸着装置５０において、治具１０によって固定ピン５４を移動させる場合について説明する。
【００３６】
まず、裏面蒸着装置５０において、図４に示すように、２つの当接ピン５８にウエハ５２の端面が当接するように、当て板５６にウエハ５２を載せる。
【００３７】
次に、操作者は、治具１０の操作部１４を押圧操作すると共に、図５（ａ）に示すように、固定ピン５４の環状部５４Ａに一対の腕部１２の先端部１２Ｔを通して、腕部１２の先端部１２Ｔ同士を交差させる。このとき、一対の腕部１２は、ストッパ１８によって、先端部１２Ｔの交差量が形成され、先端部１２Ｔ同士が接触していない状態が維持される（図３（ｂ）参照）。
【００３８】
次に、操作者は、図４（ｂ）に示すように、操作部１４を押圧操作したまま先端部１２Ｔ同士が交差した状態で、腕部１２で固定ピン５４を押して固定ピン５４を操作し、固定ピン５４をスリット６０内でウエハ５２の端面側に移動させる。これにより、固定ピン５４でウエハ５２の端面が押さえられ、ウエハ５２が固定される。
【００３９】
次に、操作者は、操作部１４の押圧操作をやめて、腕部１２の先端部１２Ｔ同士を離間させて、固定ピン５４の環状部５４Ａから治具１０を外す。
【００４０】
本実施形態に係る治具１０によれば、一対の腕部１２の先端部１２Ｔが交差するので、固定ピン５４を挟持するのではなく、上記のように、腕部１２の先端部１２Ｔを固定ピン５４の環状部５４Ａに通して固定ピン５４を操作した場合でも、固定ピン５４が一対の腕部１２の先端部１２Ｔから外れにくい。このため、固定ピン５４を取り扱う際の作業性が良い。
【００４１】
また、本実施形態では、一対の腕部１２の先端部１２Ｔ同士が接触しないので、先端部１２Ｔ同士は接触による弾性変形をしない。このため、交差した先端部１２Ｔを離間させた際に振動が生じず、固定ピン５４を取り扱う際の作業性が良い。
【００４２】
また、本実施形態では、ストッパ１８によって、交差量が規制されるので、一対の腕部１２の先端部１２Ｔが固定ピン５４の環状部５４Ａに入り込む量が変化しにくく、固定ピン５４を取り扱う際の作業性が良い。
【００４３】
また、本実施形態では、操作部１４が、腕部１２の他の部位よりも肉厚とされているので、操作部１４が変形しにくく、操作者が操作部１４を押圧する力が変わっても、先端部１２Ｔの交差量が変動しにくい。このため、一対の腕部１２の先端部１２Ｔが固定ピン５４の環状部５４Ａに入り込む量が変化しにくく、固定ピン５４を取り扱う際の作業性が良い。
【００４４】
さらに、ストッパ１８は、操作部１４と基端１２Ｒ側の薄肉部１２Ａとの境界部分に設けられているので、境界部分が変形しにくく、操作者が操作部１４を押圧する力が変わっても、先端部１２Ｔの交差量が変動しにくい。このため、一対の腕部１２の先端部１２Ｔが固定ピン５４の環状部５４Ａに入り込む量が変化しにくく、固定ピン５４を取り扱う際の作業性が良い。
【００４５】
また、本実施形態では、一対の腕部１２が、一対の腕部１２の基端１２Ｒ側の間に設けられた押圧部材２０によって、先端部１２Ｔが離間する方向へ押圧されるので、押圧部材２０が設けられていない構成に比べ、先端部１２Ｔの離間動作が安定する。
【００４６】
また、本実施形態では、上述したように固定ピン５４を挟持せずに固定ピン５４を操作することで、腕部１２の先端部１２Ｔを固定ピン５４に接触させないようにできる。また、本実施形態では、腕部１２の先端部１２Ｔ同士も接触しないので、腕部１２の先端部１２Ｔの塑性変形や劣化が抑制される。
【００４７】
なお、上記実施形態では、操作部１４が腕部１２の他の部位よりも肉厚とされている構成を示したが、この構成に限られず、例えば、操作部１４が腕部１２の他の部位と同じ厚さにされている構成であっても良い。
【００４８】
また、上記実施形態では、ストッパ１８が操作部１４と基端１２Ｒ側の薄肉部１２Ａとの境界部分に設けられた構成を示したが、この構成に限られず、例えば、ストッパ１８が境界部分よりも基端１２Ｒ側又は先端１２Ｓ側に設けられた構成であっても良い。
【００４９】
また、上記実施形態では、治具１０が押圧部材２０を備える構成を示したが、押圧部材２０を備えない構成であっても良い。
【００５０】
本発明は、上記の実施形態に限るものではなく、種々の変形、変更、改良が可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１０   治具
１２   腕部
１２Ｔ 先端部
１４   操作部
１８   ストッパ（規制部の一例）
２０   押圧部材
５４   固定ピン（穴形成部材の一例）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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