(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
雄螺子の頭部に形成された係合溝に係合する係合部を備えたドライバー工具であって、
該係合溝に係合する係合部を備えた作動軸手段と、該作動軸手段を軸方向に摺動可能に収容する把持手段と、該把持手段に収容された該作動軸手段を該係合部側に向けて押圧する押圧手段と、を具備し、
作動軸手段は、先端に該係合部を備えた作用部と該作用部の後端に連続して形成された被案内部および該作用部と該被案内部とを仕切る鍔部とからなる作動軸と、該被案内部に嵌挿され該鍔部上に配設された第１のバネと、該被案内部に嵌挿され該第１のバネ上に配設された移動リングとを具備し、
該把持手段は、該作動軸手段を軸方向に摺動可能に収容する案内穴を備え閉塞壁と開口とを有する円筒部材と、該円筒部材の該開口端部に装着され該作動軸の該作用部が挿通する挿通穴を備えたキャップとを具備し、
該押圧手段は、該円筒部材の該案内穴に摺動可能に配設され該作動軸手段の該作動軸を構成する該被案内部の自由端部と該円筒部材の該閉塞壁との間に配設され該被案内部の自由端部が摺動可能に侵入する収容室を備え該収容室の開口端側が該移動リングに接触して配設された押圧ピストンと、該押圧ピストンと該円筒部材の該閉塞壁との間に配設され該第１のバネのバネ定数より大きいバネ定数を有する第２のバネとを具備し、
該作動軸手段の該作動軸を構成する該被案内部の自由端部には、該自由端部が該押圧ピストンの該収容室に侵入するのを規制するストッパー手段が配設されており、
該円筒部材を該第２のバネのバネ力に抗して該作動軸手段に対して所定量相対移動した際に該ストッパー手段による規制を解除する解除手段を備えており、
該把持手段を構成する円筒部材に設けられる案内穴は断面が多角形状に形成され、該押圧ピストンは断面が多角形状に形成されているとともに該収容室も断面が多角形状に形成されており、該作動軸手段の該作動軸を構成する該被案内部の自由端部は断面が多角形状に形成されている、
ことを特徴とするドライバー工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品を締結しているビス等の雄螺子を弛める際に用いるドライバー工具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々の半導体デバイスを製造している。このようにして分割されるウエーハは、ストリートに沿って切断する前に研削装置によって裏面が研削され、所定の厚さに加工される。
【０００３】
切削装置や研削装置等の加工装置は、定期的にメンテナンスを実施したり、修理、部品交換等の作業を実施する必要がある。これらの作業を実施する際には、各部品を取り付けている雄螺子を取り外す必要がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
而して、部品を取り付けている雄螺子が頭部にドライバー工具の係合部を係合する係合溝を備えた形態ものにおいては、頭部に形成された係合溝にゴミが詰まっていたり、係合溝がつぶれていると、係合溝にドライバー工具の係合部を係合することができず、雄螺子を弛めて取り外すことができない。
【０００５】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、雄螺子の頭部に形成されドライバー工具の係合部を係合する係合溝にゴミが詰まっている場合には詰まっているゴミを除去することができるとともに、係合溝がつぶれている場合には再生することができるドライバー工具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、雄螺子の頭部に形成された係合溝に係合する係合部を備えたドライバー工具であって、
該係合溝に係合する係合部を備えた作動軸手段と、該作動軸手段を軸方向に摺動可能に収容する把持手段と、該把持手段に収容された該作動軸手段を該係合部側に向けて押圧する押圧手段と、を具備し、
作動軸手段は、先端に該係合部を備えた作用部と該作用部の後端に連続して形成された被案内部および該作用部と該被案内部とを仕切る鍔部とからなる作動軸と、該被案内部に嵌挿され該鍔部上に配設された第１のバネと、該被案内部に嵌挿され該第１のバネ上に配設された移動リングとを具備し、
該把持手段は、該作動軸手段を軸方向に摺動可能に収容する案内穴を備え閉塞壁と開口とを有する円筒部材と、該円筒部材の該開口端部に装着され該作動軸の該作用部が挿通する挿通穴を備えたキャップとを具備し、
該押圧手段は、該円筒部材の該案内穴に摺動可能に配設され該作動軸手段の該作動軸を構成する該被案内部の自由端部と該円筒部材の該閉塞壁との間に配設され該被案内部の自由端部が摺動可能に侵入する収容室を備え該収容室の開口端側が該移動リングに接触して配設された押圧ピストンと、該押圧ピストンと該円筒部材の該閉塞壁との間に配設され該第１のバネのバネ定数より大きいバネ定数を有する第２のバネとを具備し、
該作動軸手段の該作動軸を構成する該被案内部の自由端部には、該自由端部が該押圧ピストンの該収容室に侵入するのを規制するストッパー手段が配設されており、
該円筒部材を該第２のバネのバネ力に抗して該作動軸手段に対して所定量相対移動した際に該ストッパー手段による規制を解除する解除手段を備えており、
該把持手段を構成する円筒部材に設けられる案内穴は断面が多角形状に形成され、該押圧ピストンは断面が多角形状に形成されているとともに該収容室も断面が多角形状に形成されており、該作動軸手段の該作動軸を構成する該被案内部の自由端部は断面が多角形状に形成されている、
ことを特徴とするドライバー工具が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によるドライバー工具は上記のように構成されているので、雄螺子の頭部に形成された係合溝に作動軸手段を構成する作動軸の先端に形成された係合部を係合し把持手段を下方に押すと、第２のバネを圧縮して把持手段が下方に移動する。そして、把持手段を構成する円筒部材が第２のバネのバネ力に抗して作動軸手段に対して所定量相対移動すると、上記ストッパー手段による規制を解除され、衝撃ピストンが第２のバネのバネ力によって急激に押し下げられる。この結果、作動軸手段の作動軸を構成する被案内部の自由端部が衝撃ピストンの収容室に侵入し、衝撃ピストンの頭部が被案内部の自由端に急激に当接して作動軸手段の作動軸に衝撃を与える。この操作を数回繰り返して実施することにより、雄螺子の頭部に形成された係合溝に詰まっているゴミが除去されるとともに、係合溝がつぶれている場合には再生される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明に従って構成されたドライバー工具の断面図。
【図２】図1に示すドライバー工具を分解して示す斜視図。
【図３】図１および図２に示すドライバー工具を構成する作動軸手段の組み立て図。
【図４】図１および図２に示すドライバー工具を構成するストッパーの断面図。
【図５】図１におけるA―A断面図。
【図６】図１および図２に示すドライバー工具を用いて雄螺子を弛める作業の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明に従って構成されたドライバー工具の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１には本発明に従って構成されたドライバー工具の断面図が示されており、図２には図１に示すドライバー工具の分解斜視図が示されている。また、図３には図１および図２に示すドライバー工具を構成する作動軸手段の組み立て図が示されている。
図１および図２に示すドライバー工具は、雄螺子の頭部に形成された係合溝に係合する係合部を備えた作動軸手段２と、該作動軸手段２を軸方向に摺動可能に収容する把持手段４と、該把持手段４に収容された作動軸手段２を係合部側に向けて押圧する押圧手段６を具備している。
【００１１】
上記作動軸手段２は、作動軸２１と、第１のバネ２２と、移動リング２３を具備している。作動軸２１は、円柱状に形成され先端（図１および図２において下端）に後述する雄螺子の頭部に形成された係合溝に係合する係合部２１１aを備えた作用部２１１と、該作用部２１１の後端（図１および図２において上端）に連続して形成された四角柱状の被案内部２１２と、作用部２１１と被案内部２１２とを仕切る円板状の鍔部２１３とからなっている。なお、作動軸２１を構成する被案内部２１２の自由端部（図１および図２において上端部）には、ストッパー手段３が配設されている。なお、被案内部２１２は、断面形状が四角形状に限ることはなく、断面形状が多角形状であればよい。このストッパー手段３について、図４を参照して説明する。図４に示すストッパー手段３は、被案内部２１２の自由端部の一つの面に開口するストッパー収容室１２１に収容され先端部上面が先端（図において左端）に向けて下方に傾斜する傾斜面３１１を備えたストッパー３１と、該ストッパー３１の後面（図において右端面）とストッパー収容室１２１の壁面との間に配設されストッパー３１をストッパー収容室１２１から突出する方向に押圧するバネ３２とからなっている。
【００１２】
図１および図２に基づいて説明を続けると、上記第１のバネ２２は、バネ定数が比較的小さいコイルバネからなり、上記被案内部２１２に嵌挿され鍔部２１３上に配設されている。上記移動リング２３は、被案内部２１２が挿通する四角形状の嵌挿穴２３１を備え、被案内部２１２の自由端部（上端部）に嵌挿され第１のバネ２２上に配設されている。作動軸２１と第１のバネ２２および移動リング２３とからなる作動軸手段２は、図３に示すように組み立てられ、移動リング２３の上面がストッパー３１によって係止されるように構成されている。
【００１３】
次に、上述した作動軸手段２を収容する把持手段４について、図１、図２および図５を参照して説明する。
図示の実施形態における把持手段４は、作動軸手段を軸方向に摺動可能に収容する円筒部材４１と、該円筒部材４１の図１および図２において下端に装着されるキャップ４２とからなっている。円筒部材４１には図１および図５に示すように下端に開口する断面が四角形状の案内穴４１１が軸方向に形成されており、円筒部材４１の図１において上端部には閉塞壁４１１aが形成されている。なお、円筒部材４１に形成される案内穴４１１は、断面形状が四角形状に限ることはなく、断面形状が多角形状であればよい。また、円筒部材４１には、断面が四角形状の案内穴４１１の一壁面における図１において下半分の領域に上記ストッパー３１の移動を許容する案内溝４１１bが形成されている。この案内溝４１１bの上端部には、上方に向けて傾斜する傾斜面４１１cが設けられている。
【００１４】
このように構成された円筒部材４１の下端部外周には雄ネジ４１２が形成されており、この雄ネジ４１２にキャップ４２が螺合するようになっている。キャップ４２には上記作動軸手段２を構成する作動軸２１の作用部２１１が挿通する挿通穴４２１が設けられている。なお、挿通穴４２１は、作動軸２１に設けられた円板状の鍔部２１３の直径より小さい内径を有している。従って、キャップ４２は、鍔部２１３が当接して作動軸２１の図１において下方への移動を規制するストッパーとしての機能を有している。
【００１５】
次に、上記把持手段４に収容された該作動軸手段２を係合部２１１a側に向けて押圧する押圧手段６について、図１および図２を参照して説明する。
図示の実施形態における押圧手段６は、把持手段４の円筒部材４１に収容された作動軸手段２と円筒部材４１の閉塞壁４１１aとの間に配設された衝撃ピストン６１と、該衝撃ピストン６１と閉塞壁４１１aとの間に配設された第２のバネ６２とからなっている。衝撃ピストン６１は、四角柱状に形成され、円筒部材４１に設けられた案内穴４１１に摺動可能に配設される。なお、衝撃ピストン６１は、断面形状が把持手段４の円筒部材４１に形成された案内穴４１１の断面形状に対応した多角形状に形成され、案内穴４１１に摺動可能に配設される。この衝撃ピストン６１には図１において下端に開口する断面が四角形状の収容室６１１が軸方向に形成されており、この収容室６１１に上記作動軸手段２の作動軸２１を構成する被案内部２１２の自由端部（上端部）が侵入可能に構成されている。なお、収容室６１１の断面形状は、作動軸２１を構成する被案内部２１２の断面形状に対応した形状に形成される。このように構成された衝撃ピストン６１は、収容室６１１に作動軸２１を構成する被案内部２１２の自由端部（上端部）の一部を嵌合した状態で開口端側が上記移動リング２３に接触して配設される。また、衝撃ピストン６１の収容室６１１を形成する一側壁には、上記ストッパー３１の進退を許容する切り欠き凹部６１２が設けられている。
【００１６】
このように構成された衝撃ピストン６１と把持手段４を構成する円筒部材４１の閉塞壁４１１aとの間に配設された第２のバネ６２は、上記第１のバネ２２のバネ定数より大きいバネ定数に設定されている。従って、第２のバネ６２は衝撃ピストン６１および作動軸手段２を係合部２１１a側（図１において下側）に向けて押圧し、鍔部２１３がキャップ４２に当接する。また、図１に示す組み付け状態においてはストッパー手段３のストッパー３１が切り欠き凹部６１２から案内溝４１１b側に突出し、衝撃ピストン６１の図１において下方への移動を規制している。従って、ストッパー手段３のストッパー３１は、作動軸手段２の作動軸２１を構成する被案内部２１２の自由端部（上端部）が衝撃ピストン６１の収容室６１１に侵入するのを規制している。
【００１７】
以上のように構成されたドライバー工具は、把持手段４を構成する円筒部材４１に形成された断面が四角形状（多角形状）の案内穴４１１に四角柱状（多角形状）に形成された衝撃ピストン６１を摺動可能に嵌合し、衝撃ピストン６１に形成された断面が四角形状（多角形状）の収容室６１１に作動軸手段２の作動軸２１を構成する断面が四角形状（多角形状）の被案内部２１２の自由端部（上端部）が摺動可能に嵌合するように構成されているので、把持手段４を構成する円筒部材４１を回動することにより、作動軸手段２の作動軸２１に回転トルクを伝達することができる。
【００１８】
図示の実施形態におけるドライバー工具は以上のように構成されており、以下その作用について図６を参照して説明する。
図６の(a),(b),(c),(d)には、部品１０に部品１１を締結した雄螺子１２を弛めるための作業状態が示されている。図６の(a)は、雄螺子１２の頭部１２１に形成された係合溝１２２に上述したドライバー工具の作動軸手段２を構成する作動軸２１の先端に形成された係合部２１１aを係合した状態が示されている。図６の(a)に示す状態から把持手段４を下方に押すと、第２のバネ６２を圧縮して把持手段４が下方に移動し、図６の(b)に示すように円筒部材４１に形成された案内溝４１１bの上端部に設けられた傾斜面４１１cがストッパー３１に達する。図６の(ｂ)に示す状態から把持手段４が更に下方に移動すると、図６の(c)に示すようにストッパー３１は傾斜面４１１cに沿って図において右方に後退し、ストッパー３１の先端部上面に形成された傾斜面３１１が衝撃ピストン６１の切り欠き凹部６１２に達する。このようにして、ストッパー３１の先端部上面に形成された傾斜面３１１が衝撃ピストン６１の切り欠き凹部６１２に達すると、傾斜面３１１が切り欠き凹部６１２の端縁によって押されるため、ストッパー３１は図において右方に更に後退せしめられる。そして、図６の(d)に示すようにストッパー３１の先端（図において左端）がストッパー収容室１２１内に移動すると、ストッパー３１による衝撃ピストン６１のストッパー機能が解除されるので、衝撃ピストン６１は第２のバネ６２のバネ力によって急激に押し下げられる。従って、案内溝４１１bの上端部に設けられた傾斜面４１１cとストッパー３１の先端部上面に形成された傾斜面３１１は、円筒部材４１を第２のバネ６２のバネ力に抗して作動軸手段２に対して所定量相対移動した際にストッパー３１による規制を解除する解除手段として機能する。このとき、衝撃ピストン６１の下端に接触している移動リング２３は、第２のバネ６２のバネ定数より小さいバネ定数を有する第１のバネ２２のバネ力に抗して下方に移動する。このようにして、衝撃ピストン６１が第２のバネ６２のバネ力によって急激に押し下げられる。この結果、作動軸手段２の作動軸２１を構成する被案内部２１２の自由端部（上端部）が衝撃ピストン６１の収容室６１１に侵入し、衝撃ピストン６１の頭部が被案内部２１２の自由端（上端）に急激に当接して作動軸手段２の作動軸２１に衝撃を与える。
【００１９】
上述した操作を数回繰り返して実施することにより、雄螺子１２の頭部１２１に形成された係合溝１２２に詰まっているゴミが除去されるとともに、係合溝１２２がつぶれている場合には再生される。また、雄螺子１２が部品１０に対して弛む。このようにして、雄螺子１２の頭部１２１に形成された係合溝１２２に詰まっているゴミが除去されるとともに係合溝１２２が再生されたならば、係合溝１２２に作動軸手段２を構成する作動軸２１の先端に形成された係合部２１１aを係合した状態で把持手段４を回動することにより、雄螺子１２を弛めることができる。なお、上述したように本発明によるドライバー工具を用いて雄螺子１２の頭部１２１に形成された係合溝１２２に詰まっているゴミが除去されるとともに係合溝１２２が再生されたならば、一般に使用されているスクリュードライバーを用いて雄螺子１２を弛めて取り外す作業を実施してもよい。
【符号の説明】
【００２０】
２：作動軸手段
２１：作動軸
２１１：作用部
２１２：被案内部
２１３：鍔部
２２：第１のバネ
３：ストッパー手段
４：把持手段
４１：円筒部材
４１１：案内穴
４２：キャップ
６：押圧手段
６１：衝撃ピストン
６２：第２のバネ
【図１】
0005647471.tif 000002
【図２】
0005647471.tif 000003
【図３】
0005647471.tif 000004
【図４】
0005647471.tif 000005
【図５】
0005647471.tif 000006
【図６】
0005647471.tif 000007