(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブカード搬送手段からプローブカードを取り出すプローブカード取り出し手段を有し、このプローブカード取り出し手段が、プローブカードの上下動駆動部と、上記プローブカードの直径方向に対向する２個所の吊下部に夫々一端を接続し、他端を上記上下動駆動部の、上記プローブカードの吊下部間の間隔より大きく離間した直径方向に対向する２個所に固定した２本の線状体と、上記線状体をその走行路の内側からガイドするガイド体と、このガイド体を支持する支台と、この支台を上記上下動駆動部に相対的に上下動せしめる支台駆動手段とより成り、上記線状体を上記ガイド体により外方に抑制せしめることによって上記吊下されるプローブカードの中心を上記上下動駆動部の中心に一致せしめることを特徴とするプローブカード移載装置。
【請求項２】
プローブカード搬送手段からプローブカードを取り出すプローブカード取り出し手段を有し、このプローブカード取り出し手段が、プローブカードの上下動駆動部と、上記プローブカードの直径方向に対向する４個所の吊下部に夫々一端を接続し、他端を上記上下動駆動部の、上記プローブカードの吊下部間の間隔より大きく離間した直径方向に対向する４個所に固定した４本の線状体と、上記線状体をその走行路の内側からガイドするガイド体と、このガイド体を支持する支台と、この支台を上記上下動駆動部に相対的に上下動せしめる支台駆動手段とより成り、上記線状体を上記ガイド体により外方に抑制せしめることによって上記吊下されるプローブカードの中心を上記上下動駆動部の中心に一致せしめることを特徴とするプローブカード移載装置。
【請求項３】
上記プローブカードが直径方向に対向する２個所に夫々起立自在な把手を有し、上記吊下部が上記把手に形成されていることを特徴とする請求項１または２記載のいプローブカード移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプローブカード移載装置、特に、手動式プローブカード搬送装置とプローブカード移載装置間でプローブカードを移載自在ならしめるためのプローブカード取り出し手段を有するプローブカード移載装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年ウエハー（集積回路の材料となる薄斤）の外径の大形化（現在は直径３００ｍｍが主流）に伴いその回路、機能を検査するプローブカード（針付き検査冶具）も大形化し、その外形も４８０ｍｍ程度となり重量も最大２５ｋｇ程度となるものもある。
【０００３】
また、ウエハーの種類（回路構成）も多岐にわたり、その都度、プローブカード交換の必要があるが、プローブカードの生命である針先の保護が重大な課題となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２００３９０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に示すプローブカード移載装置によればプローブカードの検査針部にダメージを与えるおそれがないという利点はあるがプローブカード取り出し手段として複数のリンク機構より成る多関節機構と、チャック素子とより成るためその構造が極めて複雑で高価となるばかりでなく、吊下されたプローブカードの中心がプローブカード取り出し手段の中心に一致しない場合が生ずるおそれがあった。
【０００６】
本発明はこのような欠点を除くようにしたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のプローブカード移載装置は、プローブカード搬送手段からプローブカードを取り出すプローブカード取り出し手段を有し、このプローブカード取り出し手段が、プローブカードの上下動駆動部と、上記プローブカードの直径方向に対向する２個所の吊下部に夫々一端を接続し、他端を上記上下動駆動部の、上記プローブカードの吊下部間の間隔より大きく離間した直径方向に対向する２個所に固定した２本の線状体と、上記線状体をその走行路の内側からガイドするガイド体と、このガイド体を支持する支台と、この支台を上記上下動駆動部に相対的に上下動せしめる支台駆動手段とより成り、上記線状体を上記ガイド体により外方に抑制せしめることによって上記吊下されるプローブカードの中心を上記上下動駆動部の中心に一致せしめることを特徴とする。
【０００８】
本発明のプローブカード移載装置は、プローブカード搬送手段からプローブカードを取り出すプローブカード取り出し手段を有し、このプローブカード取り出し手段が、プローブカードの上下動駆動部と、上記プローブカードの直径方向に対向する４個所の吊下部に夫々一端を接続し、他端を上記上下動駆動部の、上記プローブカードの吊下部間の間隔より大きく離間した直径方向に対向する４個所に固定した４本の線状体と、上記線状体をその走行路の内側からガイドするガイド体と、このガイド体を支持する支台と、この支台を上記上下動駆動部に相対的に上下動せしめる支台駆動手段とより成り、上記線状体を上記ガイド体により外方に抑制せしめることによって上記吊下されるプローブカードの中心を上記上下動駆動部の中心に一致せしめることを特徴とする。
【０００９】
上記プローブカードは直径方向に対向する２個所に夫々起立自在な把手を有し、上記吊下部が上記把手に形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のプローブカード移載装置によれば極めて簡単な構成によってプローブカードをプローブカード取り出し手段の中心位置に確実に保持できるようになる大きな利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明のプローブカード移載装置の正面図である。
【図２】本発明において用いるプローブカード取り出し手段の正面図である。
【図３】図２に示すプローブカード取り出し手段の側面図である。
【図４】本発明において用いるプローブカードの平面図である。
【図５】図４に示すプローブカードの正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下図面によって本発明の実施例を説明する。
【実施例１】
【００１３】
図１はプローブカード１の入ったプローブケースを搬送する搬送装置２からプローブカード１を受け取るプローブカード移載装置３を示す。
【００１４】
図２及び図３はプローブカード移載装置３におけるプローブカード取り出し手段４の正面図及び側面図を示す。図４はプローブカード１の平面図、図５は側面図であって、５はプローブカード１の検査針部、６はプローブカード１の中心に対し直径方向に対称な上面２個所に設けた起伏自在なアーチ状の２個の把手を示す。
【００１５】
本発明においては図４及び図５に示すようにプローブカード１の上面に設けた２個の把手６を上方に起立せしめ、この２個の把手６の夫々の両端部に図２及び図３に示すように夫々フック７を引っ掛け、この各フック７に弾性線状体８の下端を取り付け、この弾性線状体８を夫々その走行路の内側に位置するガイド滑車９の外周に沿うよう斜め外方に且つ上方に延ばし、上記線状体８の上端を、上記プローブカード移載装置３に設けたプローブカード取り出し手段４の上下動駆動部１０の、上記２個の把手６間の間隔より大きく離間した直径方向に対向する４個所の位置に固定し、上記ガイド滑車９を回転自在に支持する支台１１を上記駆動部１０によってガイド柱１２に沿って上下動自在ならしめると共に、上記支台１１を流体シリンダー１３によって上記駆動部１０に相対的に上下動自在ならしめる。
【００１６】
本発明のプローブカード移載装置３は上記のような構成であるから、プローブカード１の取り出しに際してはプローブカード１の上面両側に位置する把手６を起立せしめ、この把手６に夫々フック７を引っ掛け、上下動駆動部１０によってプローブカード取り出し手段４を図１及び図２の鎖線に示す位置に例えば１５０ｍｍ上昇せしめて弾性線状体８を緊張せしめ、その後上記上下動駆動部１０の位置はそのままで上記支台１１と滑車９のみを流体シリンダー１３によって上記駆動部１０に相対的に上記プローブカード１の方向に向って例えば５０ｍｍ下降し図１及び図２の実線で示される位置ならしめる。
【００１７】
この操作によって上記線状体８の走行路が滑車９によって外方によって押され上記線状体８が更に緊張され、これによって４個のフック７及び４本の弾性線状体８を介して吊下されていたプローブカード１の中心が自動的にプローブカード取り出し手段４の中心部に位置決めされるようになる。
【００１８】
プローブカード１をプローブカード取り出し手段４から除去する場合には上記の操作を順次逆に行なえば良い。
【００１９】
なお、夫々の把手６に取り付ける上記フック７は１個のみとし、従って上記弾性線状体８の数を２本のみとしても良い。
【００２０】
上記のように本発明のプローブカード移載装置によれば極めて簡単な構成によってプローブカードをその芯出しを確実ならしめながら安全、確実に取り出し、移載できるようになる。
【符号の説明】
【００２１】
１  プローブカード
２  搬送装置
３  プローブカード移載装置
４  プローブカード取り出し手段
５  検査針部
６  把手
７  フック
８  弾性線状体
９  ガイド滑車
１０  上下動駆動部
１１  支台
１２  ガイド柱
１３  流体シリンダー
【図１】
0005510963.tif 000002
【図２】
0005510963.tif 000003
【図３】
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【図４】
0005510963.tif 000005
【図５】
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