(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外気を取り入れて該取り入れた外気中の水分を除去する除湿機と、
室外との境界に扉を有し、室内が所定の湿度に維持されるドライ環境室と、
前記除湿機で水分を除去した空気を、前記ドライ環境室へ供給する給気経路と、
前記ドライ環境室内の空気を、前記除湿機へ戻す還気経路と、
前記給気経路内の露点を計測する給気露点計と、
前記ドライ環境室の室外の露点を計測する周囲露点計と、
前記ドライ環境室の扉が閉じた状態では、外気と前記ドライ環境室からの還気とを前記除湿機に取り入れて該取り入れた空気中の水分を除去し、該水分を除去した空気を前記ドライ環境室へ供給し、前記ドライ環境室の扉が開いた状態では、前記ドライ環境室から前記除湿機へ戻す還気風量を減少させるとともに、該還気風量を減少させた分、前記除湿機に取り入れる外気を増加させるよう制御する制御機器とを備え、
前記制御機器は、前記ドライ環境室の扉が開いた状態において前記還気風量を減少させる際に、前記給気露点計と前記周囲露点計の計測値、及び開放している扉からの面風速に基づいて、前記扉からの水分侵入量を算出し、該算出した水分侵入量に基づいて、前記ドライ環境室内が所定の露点以下になるように、前記還気風量を制御することを特徴とするドライ環境維持システム。
【請求項２】
請求項１に記載されたドライ環境維持システムであって、
前記除湿機は、該除湿機の吸湿機能を回復させる加熱部を有し、
前記制御機器は、前記ドライ環境室の扉が開いた状態において、前記還気風量を制御するとともに、前記加熱部の加熱温度を上昇させるよう制御することを特徴とするドライ環境維持システム。
【請求項３】
外気を取り入れて該取り入れた外気中の水分を除去する除湿機と、
室外との境界に扉を有し、室内が所定の湿度に維持されるドライ環境室と、
前記除湿機で水分を除去した空気を、前記ドライ環境室へ供給する給気経路と、
前記ドライ環境室内の空気を、前記除湿機へ戻す還気経路と、
前記給気経路内の露点を計測する給気露点計と、
前記ドライ環境室の室外の露点を計測する周囲露点計と、を備えるドライ環境維持システムにおいて、
前記ドライ環境室の扉が閉じられると、外気と前記ドライ環境室からの還気とを前記除湿機に取り入れて該取り入れた空気中の水分を除去し、該水分を除去した空気を前記ドライ環境室へ供給し、
前記ドライ環境室の扉が開かれると、前記ドライ環境室から前記除湿機へ戻す還気風量を減少させるとともに、該還気風量を減少させた分、前記除湿機に取り入れる外気を増加させ、
前記ドライ環境室の扉が開いた状態において前記還気風量を減少させる際に、前記給気露点計と前記周囲露点計の計測値、及び開放している扉からの面風速に基づいて、前記扉からの水分侵入量を算出し、該算出した水分侵入量に基づいて、前記ドライ環境室内が所定の露点以下になるように、前記還気風量を制御することを特徴とするドライ環境維持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リチウムイオン電池製造ラインや有機ＥＬ（Electro Luminescence）製造ラインでの製造環境構築技術に係わり、特に、リチウムイオン電池製造ラインや有機ＥＬ（Electro Luminescence）製造ライン等で使用されるドライ環境室において、製造装置の点検などを行うためのメンテナンス扉を開放した際に、周囲からの水分侵入を抑制することのできるドライ環境維持システムやドライ環境維持方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
リチウムイオン電池製造ライン及び有機ＥＬ等の製造ラインでは、部材や材料への水分汚染が製品の性能劣化に影響を及ぼすことや、部材や材料への水分汚染により製品歩留まり低下が懸念されるため、低湿度環境での製造が行われている。このような製造ラインでは、製造装置や検査装置の周囲をパネル等で囲い、局所的なドライ環境室を構築している。このドライ環境室では、内部の装置の点検・検査を行うためのメンテナンス扉が設けられている。
【０００３】
このメンテナンス扉は、定常運転時には閉じた状態であるが、装置の点検時に開放するため、周囲環境からドライ環境室内へ水分が浸入し、ドライ環境室内の露点が上昇し環境が悪化する。そのため、装置の点検終了後にメンテナンス扉を閉めた後、ドライ環境室の環境が回復するまで時間を要する。この間、製品の製造が停止されるため、製品の生産量が低下する。このため、定常運転時はもちろんのこと、装置点検時にも、ドライ環境室への水分侵入を極力抑制する必要がある。
下記の特許文献１（特開２００９−１８６１２７号公報）には、清浄な低湿度空気を循環することにより、生成する低湿度空気の量を低減させ、省エネを図る技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１８６１２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１の手法では、室内に供給する空気を送るための給気チャンバを設ける必要があるため、設備設置面積の増加等が懸念される。
本発明の目的は、ドライ環境室の扉、例えば製造装置の点検を行うためのメンテナンス扉を開ける場合において、周囲環境中の水分がドライ環境内へ侵入することを抑制し、ドライ環境室内を所定の湿度に維持することのできるドライ環境維持システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するため、本発明では、ドライ環境室の扉開閉情報を基に、除湿機の還気風量を制御することで、ドライ環境室内を所定の湿度に維持するものである。本発明の代表的な構成は、次のとおりである。
外気を取り入れ該取り入れた外気中の水分を除去する除湿機と、
室外との境界に扉を有し、室内が所定の湿度に維持されるドライ環境室と、
前記除湿機で水分を除去した空気を、前記ドライ環境室へ供給する給気経路と、
前記ドライ環境室内の空気を、前記除湿機へ戻す還気経路と、
前記ドライ環境室の扉が閉じた状態では、外気と前記ドライ環境室からの還気とを前記除湿機に取り入れて該取り入れた空気中の水分を除去し、該水分を除去した空気を前記ドライ環境室へ供給し、前記ドライ環境室の扉が開いた状態では、前記ドライ環境室から前記除湿機へ戻す還気風量を減少させるとともに、該還気風量を減少させた分、前記除湿機に取り入れる外気を増加させるよう制御する制御機器とを備えることを特徴とするドライ環境維持システム。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の構成によれば、メンテナンス扉等のドライ環境室の扉を開ける場合、少なくとも、除湿機の還気に使用している空気の一部を、扉から排出することで、周囲の空気がドライ環境室内へ流入することを抑え、ドライ環境室内を所定の湿度に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１実施例におけるドライ環境維持システムを示す図である。
【図２】図１における除湿機の詳細を示す図である。
【図３】本発明の第１実施例における制御フローチャートを示す図である。
【図４】本発明の第２実施例におけるドライ環境維持システムを示す図である。
【図５】本発明の第２実施例における変形例のドライ環境維持システムを示す図である。
【図６】本発明の第２実施例における制御フローチャートを示す図である。
【図７】本発明の第３実施例におけるドライ環境維持システムを示す図である。
【図８】本発明の第３実施例における制御フローチャートの一部を示す図である。
【図９】本発明の第３実施例における制御フローチャートの残部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照して説明する。
（第１実施例）
まず、本発明の第１実施例について説明する。図１は、本発明の第１実施例におけるドライ環境維持システムを示す図である。図１において、１はドライ環境室、２は取り入れた空気中の水分を除去する除湿機、３は除湿機２からドライ環境室１へ空気を供給する給気経路である給気ダクト、１２はドライ環境室１内の空気を除湿機２へ戻すための還気経路である還気ダクト、５１は除湿機２へ外気を取り込むための外気ダクトである。
【００１０】
除湿機２について、図２を用いて説明する。図２は、図１における除湿機の詳細を示す図である。図２において、４は、空気中の水分を吸収する、例えばシリカゲル等の吸湿剤を内蔵する除湿ロータであり、円柱を横方向に切断した円盤形状である。除湿ロータ４は、図２の除湿ロータ４中に示す矢印方向に、例えば１時間に６回程度回転する。処理ファン５により、ダクト２１からの外気及びダクト４１からの還気を混合したダクト４２内の空気が、ダクト４３から除湿ロータ４へ放出され、除湿ロータ４で水分吸収処理される。除湿ロータ４で水分吸収処理された空気は、給気ダクト３を通り、ドライ環境室１内へ送り込まれる。
【００１１】
８は、除湿ロータ４が吸収した水分を除去するための再生ヒータである。ダクト２１からの外気及びダクト４１からの還気を混合した空気が、ダクト２２を経て、ダクト２３から放出され、除湿ロータ４を通過し、ダクト２４に取り込まれた空気を、再生ヒータ８が加熱し、ダクト２５から除湿ロータ４へ向けて放出する。ダクト２５から放出され、除湿ロータ４を通過する熱風により、除湿ロータ４が吸収した水分が除去される。除湿ロータ４を通過した空気は、排気ファン６により、ダクト２７から外部へ放出される。このように、再生ヒータ８は、除湿機２の除湿機能を回復させる加熱部として機能する。
【００１２】
７a、７ｂは、外気や還気を冷却するための冷却コイルである。冷却コイル７aは、外気を除湿機２へ導入するダクト２１に設けられ、冷却コイル７ｂは、還気を除湿機２へ導入するダクト４１に設けられる。除湿機２へ取り込まれた空気は、冷却コイル７a、７ｂで冷却されることにより、水分を除去され易くなる。
【００１３】
図１において、９は、外気ダクト５１から除湿機４への外気風量を遮断し、又は流通させ、あるいは、該ダンパの開度を調節して外気風量を調節する外気風量調整ダンパである。１０は、ドライ環境室１から除湿機２への還気風量を遮断し、又は流通させ、あるいは、該ダンパの開度を調節して還気風量を調節する還気風量調整ダンパである。１３は、ドライ環境室１の室外との境界に設けられた、ドライ環境室１を開閉するメンテナンス用扉である。１８は、メンテナンス用扉１３が開放されたときに発生する扉開信号である。１４、１５は制御機器である。１６は、制御機器１４から出力された制御信号である。１７は、制御機器１５から出力された制御信号である。
【００１４】
次に、除湿機２の動作を、給気除湿工程（Ａ）、除湿ロータ乾燥工程（Ｂ）、除湿ロータ冷却工程（Ｃ）の順に説明する。
（給気除湿工程（Ａ））
まず、外気風量調整ダンパ９を介して、外部から除湿機２へ取り込まれた外気は、図２に示すように、冷却コイル７aにより冷却される。また、還気風量調整ダンパ１０を介して、ドライ環境室１から除湿機２へ取り込まれた還気は、冷却コイル７ｂにより冷却される。冷却コイル７a、７ｂにより冷却された外気と還気は、処理ファン５により、ダクト４３から除湿ロータ４を通過し、給気ダクト３を通って、ドライ環境室１内へ送り込まれる。このようにして、冷却コイル７a、７ｂにより冷却された外気と還気は、除湿ロータ４で、水分を除去される。
【００１５】
（除湿ロータ乾燥工程（Ｂ））
次に、図２に示すように、再生ヒータ８で加熱された空気は、排気ファン６により、ダクト２５から除湿ロータ４を通過し、ダクト２６、２７を経て、外部へ排気される。再生ヒータ８からの加熱された空気により、給気除湿工程（Ａ）において除湿ロータ４に吸着された水分が除去されて、水分吸着力を回復する。
【００１６】
（除湿ロータ冷却工程（Ｃ））
次に、図２に示すように、冷却コイル７a、７ｂにより冷却された外気と還気は、ダクト２３から除湿ロータ４を通過する。これにより、除湿ロータ乾燥工程（Ｂ）において再生ヒータ８からの空気で加熱された除湿ロータ４の一部が、冷却されて、水分吸着力を回復する。さらに、ダクト２３から除湿ロータ４を通過した空気を、加熱された除湿ロータ４の一部を通すことにより、ある程度加熱でき、再生ヒータ８での加熱エネルギを低減できる。
【００１７】
次に、図１に示す第1実施例のドライ環境維持システムの動作について説明する。第1実施例のシステムは、主に、取り入れた空気中の水分を除去する除湿機２、除湿機２からドライ環境室１へ空気を供給する給気ダクト３、ドライ環境室１内の空気を除湿機２へ戻すための還気ダクト１２によって、ドライ環境室１内を所定の湿度に維持するように構成されている。
第1実施例のシステムにおいては、メンテナンス扉１３が開放されると、扉開信号１８が発信される。扉開信号１８を制御機器１４が受信すると、制御信号１６により、除湿機２への還気風量調整ダンパ１０を閉め、除湿機２への還気を遮断、つまり還気風量をゼロとする。還気を遮断することで、メンテナンス扉１３から空気が周囲環境へ流出するため、周囲環境からドライ環境室１への水分浸入を抑制することができる。
【００１８】
ここで、除湿機２は、還気と外気を取り入れて水分除去処理をしているため、還気風量を減少させると給気風量も減少する。そこで、扉開信号１８を制御機器１５でも受信し、扉開信号１８を制御機器１５で受信すると、制御信号１７により、外気を取り入れる経路に設けられた外気風量調整ダンパ９の開度を増加させ、外気取り入れ量を増加させることで、除湿機２からの給気風量を確保する。すなわち、還気風量を減少させた分、外気風量を増加させて、給気風量を減少させないようにする。また、制御機器１５で扉開信号１８を受信したときに、上記の外気風量調整ダンパ９の調整とともに、除湿機２の再生ヒータ８の再生温度設定値を、メンテナンス扉１３が開放されていない通常運転時の設定値よりも大きくする。これにより、除湿機２が吸収した水分をより多く除去することができ、外気風量が増加しても、十分な除湿機能を維持できる。
【００１９】
次に、第１実施例における制御フローチャートについて、図３を用いて説明する。図３は、第１実施例における制御フローチャートを示す図である。
まず、メンテナンス扉１３が開放されていない通常の運転中において、除湿機２の設計条件に基づき、給気風量、還気風量、外気風量を、風量調整ダンパ９、１０等により調整した風量としている（ステップＳ３１）。次に、メンテナンス扉１３が開放された場合（ステップＳ３２でＹｅｓ）、扉開信号１８を制御機器１４、制御機器１５で受信する。制御機器１４（Cont１）では、還気風量調整ダンパ１０の開度を０％（全閉状態）とする制御信号１６を、還気風量調整ダンパ１０へ送信し、還気風量（ＲＡ）の調整をする（ステップＳ３３）。また、制御機器１５（Cont２）では、外気風量を増加させるため、外気風量調整ダンパ９の開度を１００％（全開状態）とする制御信号１７を、外気風量調整ダンパ９へ送信し、外気風量（ＯＡ）を調整する（ステップＳ３４）。また、その後、再生ヒータ８の再生温度を、メンテナンス扉１３が開放されていない通常運転時の設定値よりも大きくする（ステップＳ３５）。
【００２０】
このようにして、第１実施例では、メンテナンス扉１３を開ける場合、通常運転時に除湿機２への還気に使用している空気を、メンテナンス扉１３から排出することで、周囲の空気がドライ環境室１内へ流入することを抑制し、ドライ環境室１内を所定の湿度に維持することができる。
また、再生ヒータ８の再生温度を、メンテナンス扉１３が開放されていない通常運転時の設定値よりも大きくすることにより、例えば、エネルギ節減のため、通常運転時に再生ヒータ８の再生温度を必要最低限に抑えているような場合は、メンテナンス扉１３の開放時においても、除湿機２の除湿機能（水分吸着機能）を維持することができる。通常運転時に再生ヒータ８の再生温度を必要最低限に抑えず、余裕をもたせているような場合は、再生ヒータ８の再生温度を通常運転時より大きくすることは、必ずしも必要ではない。
なお、制御機器１４と制御機器１５を、まとめて１つの制御機器とすることもできる。
【００２１】
（第２実施例）
次に、本発明の第２実施例について、図４を用いて説明する。図４は、本発明の第２実施例におけるドライ環境維持システムを示す図である。主な構成内容は、図１に示す第１実施例のシステムとほぼ同様であるが、還気ダクト１２に、還気風量を測定するための風量計２０が設置されており、制御機器１４が、風量計２０で測定した還気風量を表す信号４５に基づき、制御信号１６により還気風量調整ダンパ１０の開度を変化させることで、還気風量を所定の風量に調整する点が、第１実施例と異なる。
【００２２】
還気風量の設定値は、例えば、通常時（扉閉時）と扉開放時の２パターンを用意し、通常時では還気風量大、扉開放時では還気風量小とする。扉開信号１８を制御機器１４が受信すると、制御機器１４は、還気風量の設定値を還気風量小に変え、除湿機２への還気経路に設けられた還気風量調整ダンパ１０などの空気調整機構によって、還気風量を扉開時の設定値にする。このとき、還気風量を減少させると給気風量も減少するため、外気風量を増加させ、給気風量を確保する、つまり給気風量を減少させないようにする。
また、扉開信号１８を制御機器１５で受信すると、上記の外気風量調整ダンパ９の調整とともに、除湿機２の再生ヒータ８の再生温度設定値を、第１実施例と同様に、メンテナンス扉１３が開放されていない通常運転時の設定値よりも大きく、例えば１４０℃以上とする。これにより、除湿機２が吸収した水分をより多く除去することができ、外気風量が増加しても、十分な除湿機能を維持できる。
【００２３】
次に、第２実施例の変形例について、図５を用いて説明する。図５は、第２実施例の変形例におけるドライ環境維持システムを示す図である。主な構成内容は、図４に示す第２実施例のシステムとほぼ同様であるが、還気風量調整ダンパ１０の代わりに、還気ファン１１が設置されており、制御機器１４が、風量計２０で測定した還気風量に基づき、還気ファン１１の運転状態（回転数）を変化させることで、還気風量を所定の風量に調整する点が、第２実施例と異なる。
【００２４】
次に、第２実施例及び第２実施例の変形例における制御フローチャートについて、図６を用いて説明する。図６は、第２実施例及び第２実施例の変形例における制御フローチャートを示す図である。
まず、メンテナンス扉１３が開放されていない通常の運転中において、メンテナンス扉１３が開放された場合（ステップＳ６２でＹｅｓ）、扉開信号１８を制御機器１４、制御機器１５で受信する。制御機器１４（Cont１）では、還気風量の設定値を、通常運転中の例えばＳＰ２からＳＰ１（ＳＰ１＜ＳＰ２）へ変更し、還気風量がＳＰ１になるように、風量計２０で測定した還気風量に基づき、還気風量調整ダンパ１０の開度を変化させる、あるいは、還気ファン１１の回転数を変化させる（ステップＳ６３）。
【００２５】
また、制御機器１５（Cont２）では、外気風量を増加させるため、外気風量調整ダンパ９の開度を、例えば通常運転中の開度２から開度１（開度１＞開度２）へ変更し、再生ヒータ８の再生温度を、メンテナンス扉１３が開放されていない通常運転時の設定値よりも大きくする（ステップＳ６４）。
こうすることにより、メンテナンス扉１３を開ける場合、通常運転時に除湿機２への還気に使用している空気の一部を、メンテナンス扉１３から排出することで、周囲の空気がドライ環境室１内へ流入することを抑制し、ドライ環境室１内を所定の湿度に維持することができる。また、第1実施例に比べ、ドライ環境室１から除湿機２へ空気を還気することが可能となり、除湿機２の除湿ロータ４前段の空気質を、外気よりも低湿度にできるので、除湿機２の消費エネルギを低減できる。
【００２６】
メンテナンス扉１３が開放された状態から、メンテナンス扉１３が閉じられたとき（ステップＳ６２でＮｏ）は、制御機器１４では、還気風量の設定値を、扉開放中の例えばＳＰ１からＳＰ２（ＳＰ１＜ＳＰ２）へ変更し、還気風量がＳＰ２になるように、風量計２０で測定した還気風量に基づき、還気風量調整ダンパ１０の開度を変化させる、あるいは、還気ファン１１の回転数を変化させる（ステップＳ６５）。
【００２７】
また、制御機器１５では、外気風量を減少させるため、外気風量調整ダンパ９の開度を、扉開放中の例えば開度１から開度２（開度１＞開度２）へ変更し、再生ヒータ８の再生温度を、メンテナンス扉１３が開放されているときの設定値よりも小さい、通常運転時の設定値（初期値）にする（ステップＳ６６）。
【００２８】
（第３実施例）
次に、本発明の第３実施例について、図７を用いて説明する。図７は、本発明の第３実施例におけるドライ環境維持システムを示す図である。除湿機２等の構成内容は、図１に示す第１実施例のシステムとほぼ同様であるが、給気露点、給気風量、周囲露点、還気風量を測定する手段を設け、それらの計測値を演算器３０で収集する。
詳しくは、還気風量調整ダンパ１０の代わりに還気ファン１１が設けられ、還気ダクト１２に還気風量を測定するための風量計７３が設置され、給気ダクト３に給気風量を測定するための風量計７２が設置され、給気ダクト３に給気露点を計測する露点計７４が設置され、ドライ環境室１の外部に周囲露点を計測する露点計７５が設置され、それらの計測値を演算器３０で収集して演算し、該演算結果に基づいて、演算器３０が制御機器１４（Cont１）と制御機器１５（Cont２）を制御する。また、外気ダクト５１に外気風量を測定するための風量計７１が設置され、風量計７１が測定した外気風量に基づいて、制御機器１５が、目標の外気風量となるよう、外気風量調整ダンパ９の開度を調節する。
なお、制御機器１４と制御機器１５と演算器３０を、まとめて１つの制御機器としてもよい。
【００２９】
演算器３０は、上記の給気露点、給気風量、周囲露点、還気風量等の計測値に基づき、ドライ環境室１の扉１３からの排出風量やドライ環境室１内への水分侵入量を計算し、ドライ環境室１内の到達露点を算出する。さらに、算出した到達露点が、設定された許容露点以下となるように、還気風量を制御する。このようにして、ドライ環境室１内を、設定された許容露点以下の環境に維持する。
メンテナンス扉１３は、場所によりさまざまな形状や寸法（開口面積）があり、メンテナンス扉１３から外部への単位時間当たりの排出風量が同じであっても、メンテナンス扉１３の開口面積によって、面風速が異なる。面風速とは、メンテナンス扉１３の開口面を通過する空気の風速であり、排出風量／開口面積で算出される。面風速が異なれば、水分浸入量が異なる可能性がある。そこで、第３実施例では、水分侵入を防止するために用いるパラメータとして、風量ではなく面風速を用いる。
【００３０】
実際の計算例を挙げると、ドライ環境室１内の許容露点を−６０℃ＤＰ、ドライ環境室１外の周囲露点を＋１０℃ＤＰ、ドライ環境室１内へ供給する空気の給気露点を−８０℃ＤＰ、給気風量２，０００ｍ３／ｈ、メンテナンス扉１３の開口面積を１ｍ２とした場合、面風速０．０７２ｍ／ｓであれば水分侵入量は３．５８×１０−６ｋｇ／ｓとなり、到達露点が−６０℃ＤＰとなる。したがって、面風速０．０７２ｍ／ｓ、すなわち、排出風量を２６０ｍ３／ｈ（開口面積×面風速×３６００ｓ）とするように、還気風量（給気風量−排出風量）を制御すればよい。水分侵入量の計算方法は後述する。この面風速は、あらかじめ各扉の開口面積を演算器３０のメモリに記憶しておくことで、排出風量（給気風量−還気風量）から、各扉での面風速を計算できる。
【００３１】
次に、第３実施例における制御フローチャートについて、図８、図９を用いて説明する。図８、図９は、第３実施例における制御フローチャートを示す図である。
最初に、設定されたドライ環境室１内の許容露点と、除湿機２への還気風量の初期値（Ｑ２）と、排出風量の刻みパラメータの初期値（Ａ＝０）とを、演算器３０が取り込む（ステップＳ８１）。このとき、許容露点の設定値は、設備設計値内でユーザーが希望値を演算器３０に入力しておく。なお、還気風量の初期値Ｑ２とは、メンテナンス扉１３を開けていない通常運転時の還気風量である。
次に、給気露点ＤＰ１、給気風量Ｑ１、周囲露点ＤＰ２の各計測値を、演算器３０が取り込み（ステップＳ８２）、演算器３０は、扉開信号１８がＯＮであるか否かを判断する（ステップＳ８３）。扉開信号１８がＯＮでない場合（ステップＳ８３でＮｏ）は、通常運転を継続し、ステップＳ８２へ戻る。扉開信号１８がＯＮである場合（ステップＳ８３でＹｅｓ）場合は、開いている扉の番号を取得し、取得した扉番号から扉データ（扉の開口面積）を取得する（ステップＳ８４）。次に、給気風量Ｑ１を、還気風量の初期値Ｑ２とし（ステップＳ８５）、このときの排出風量Ｑ３を計算（Ｑ３＝Ｑ１−Ｑ２）する（ステップＳ８６）。このときは、Ｑ１＝Ｑ２なので、Ｑ３＝０である。
【００３２】
次に、演算器３０は、各扉の排出風量Ｑ３と、開いた扉の開口面積（断面積）から面風速を算出し、面風速、給気露点ＤＰ１、周囲露点ＤＰ２を用いて、下記の式（１）により、ドライ環境室１への水分侵入量Ｊを計算し、さらに水分侵入量Ｊ、給気風量Ｑ１、給気露点ＤＰ１を用いて、ドライ環境室内１の到達露点を算出する（ステップＳ９１）。
【００３３】
【数１】
0005525370.tif 000002
式（１）において、Ｐは式（２）、Ｆは式（３）のとおりである。
【００３４】
【数２】
0005525370.tif 000003
【００３５】
【数３】
0005525370.tif 000004
式（２）において、Ｄは式（４）のとおりである。
【００３６】
【数４】
0005525370.tif 000005
ここで、ρは乾き空気（ドライエア）の密度（ｋｇ（ＤＡ）／ｍ３）、φＰは給気側の代表絶対湿度（ｋｇ／ｋｇ（ＤＡ））、φｅは周囲環境の代表絶対湿度（ｋｇ／ｋｇ（ＤＡ））、ｕは代表速度、つまり面風速（ｍ／ｓ）、Γは拡散係数（ｍ２／ｓ）、
δｘは測定結果の水分侵入量に合うように調整するためのフィッティングパラメータである。
【００３７】
次に、排出風量の刻みパラメータＡを＋１し（ステップＳ９２）、排出風量Ｑ３を、還気風量の初期値Ｑ２に対し、Ａ／１０を掛けた値とする（ステップＳ９３）。このように、刻みパラメータＡは、初期値０から＋１されていき、採り得る最大値は１０である。
このとき、到達露点が許容露点以下となったか否かを、演算器３０が判定する（ステップＳ９４）。到達露点が許容露点以下でなければ（ステップＳ９４でＮｏ）、ステップＳ９１に戻り、刻みパラメータＡが＋１された排出風量Ｑ３における到達露点を計算する。
【００３８】
具体的に説明すると、最初に、ステップＳ８３で扉開信号１８がＯＮであると判断すると、ステップＳ８５で、給気風量Ｑ１を還気風量の初期値Ｑ２とする。したがって、このとき排出風量Ｑ３（Ｑ３＝Ｑ１−Ｑ２）はゼロである。この条件で、到達露点を計算し（ステップＳ９１）、到達露点が許容露点以下でなければ（ステップＳ９４でＮｏ）、排出風量Ｑ３＝還気風量の初期値Ｑ２×（１／１０）として（ステップＳ９３）、到達露点を計算する（ステップＳ９１）。これでも到達露点が許容露点以下でなければ、排出風量Ｑ３＝Ｑ２×（２／１０）として（ステップＳ９３）、到達露点を計算する（ステップＳ９１）。これでも到達露点が許容露点以下でなければ、排出風量Ｑ３＝Ｑ２×（３／１０）として（ステップＳ９３）、到達露点を計算する（ステップＳ９１）。以下同様にして、到達露点が許容露点以下になるまで、排出風量Ｑ３を徐々に増加していく。
【００３９】
到達露点が許容露点以下になると（ステップＳ９４でＹｅｓ）は、演算器３０は、そのときの還気風量を、還気風量の設定値とする（ステップＳ９５）。すなわち、そのときの還気風量は、到達露点が許容露点以下となる場合における、最大の還気風量である。換言すると、そのときの排出風量は、到達露点が許容露点以下となる場合における、最小の排出風量である。
このように、還気風量を、到達露点が許容露点以下となる場合における、最大の還気風量に設定するので、より多くの空気を除湿機２へ還気することが可能となり、除湿機２の消費エネルギを低減できる。
【００４０】
次に、上記で求めた還気風量設定値（上記の最大の還気風量）を、演算器３０は、制御機器１４（Cont１）に指示し、制御機器１４は、風量計７３の計測値が上記還気風量設定値となるように、還気ファン１１の回転数を制御する（ステップＳ９６）。また、演算器３０は、そのときの排出風量（給気風量Ｑ１−還気風量設定値）を、外気を取り込む外気風量設定値として制御機器１５（Cont２）に指示し、制御機器１５は、風量計７１の計測値が上記外気風量設定値となるように、外気風量調整ダンパ９の開度を制御する（ステップＳ９７）。また、制御機器１５は、第1実施例と同様に、再生ヒータ８の再生温度を、通常運転時の設定値よりも大きくする。
【００４１】
次に、演算器３０は、扉開信号１８がＯＮであるか否かを判断する（ステップＳ９９）。扉開信号１８がＯＮでない場合（ステップＳ９９でＮｏ）は、通常運転へ移行し（ステップＳ１００）、ステップＳ８１へ戻る。扉開信号１８がＯＮである場合（ステップＳ９９でＹｅｓ）場合は、ステップＳ９６へ戻り、還気風量や外気風量制御を継続する。
【００４２】
なお、上述の第３実施例において、予め、所定の給気風量、給気露点、周囲露点におけるドライ環境室１内の露点と還気風量との関係を求めて、演算器３０のメモリに記憶しておき、演算器３０が、ドライ環境室１内が目標の露点となるよう、還気風量、すなわち扉からの面風速を制御するようにしてもよい。
【００４３】
上述の第1実施例ないし第３実施例によれば、メンテナンス扉を開けたときに、ドライ環境室１内を所定の湿度に維持するため、除湿機２への還気に用いている空気の一部もしくは全部をメンテナンス扉から排出することで、周囲環境からドライ環境室１へ侵入する水分を抑制し、ドライ環境室１内を所定の湿度に維持することができる。
【符号の説明】
【００４４】
１：ドライ環境室、２：除湿機、３：給気ダクト、４：除湿ロータ、５：処理ファン、６：排気ファン、７：冷却コイル、８：再生ヒータ、９：外気風量調整ダンパ、１０：還気風量調整ダンパ、１１：還気ファン、１２：還気ダクト、１３：メンテナンス扉、１４：制御機器、１５：制御機器、１６：信号線、１８：扉情報信号線、２０：風量計、２１：露点計、３０：演算器、３１：測定データ取得用信号線、３２：制御機器への信号線、５１：外気ダクト、７１：風量計、７２：風量計、７３：風量計、７４：露点計、７５：露点計。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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