(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フロート板ガラス製造装置用のフロートバスルーフにおいて、天井面を形成する耐火レンガを吊り下げるためのハンガー組立体であって、
当該ハンガー組立体は、支持部材と、被支持部材とをピンにより係止することにより構成され、
前記被支持部材は、前記支持部材よりも前記耐火レンガに近接しており、
前記支持部材は、耐熱性ニッケル基合金で構成され、
前記被支持部材および前記ピンは、窒化珪素材料で構成され、該窒化珪素材料は、実質的にアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）とシリカ（ＳｉＯ２）を含まず、イットリア（Ｙ２Ｏ３）を含むことを特徴とするハンガー組立体。
【請求項２】
前記窒化珪素材料は、イットリア（Ｙ２Ｏ３）を、窒化珪素に対し３〜１０質量％含有する請求項１に記載のハンガー組立体。
【請求項３】
前記窒化珪素材料は、さらに、
ランタノイド（Ｌ）、アクチノイド（Ａ）、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、およびハフニウム（Ｈｆ）からなる群から選定された、少なくとも一種の金属の酸化物を含むことを特徴とする請求項１に記載のハンガー組立体。
【請求項４】
前記窒化珪素材料は、さらに、ランタノイド（Ｌ）、アクチノイド（Ａ）、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、およびハフニウム（Ｈｆ）からなる群から選定された、少なくとも一種の金属の酸化物を、この１種の金属酸化物、あるいはこれらの複数の合量で、窒化珪素に対し２〜１８質量％含有する請求項１乃至３のいずれか１項に記載のハンガー組立体。
【請求項５】
前記窒化珪素材料は、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）および／または酸化エルビウム（Ｅｒ２Ｏ３）を含むことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のハンガー組立体。
【請求項６】
前記窒化珪素材料は、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）および酸化エルビウム（Ｅｒ２Ｏ３）を、窒化珪素に対し２〜１２質量％含有する請求項１乃至５のいずれか１項に記載のハンガー組立体。
【請求項７】
前記窒化珪素材料は、室温でのヤング率に対する室温での曲げ強度の比が０．００３以上であり、室温でのヤング率に対する１２００℃での曲げ強度の比が０．００２以上であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のハンガー組立体。
【請求項８】
内部に溶融スズが収容されるフロートバスと、
ハンガー組立体に耐火レンガを係合させることにより形成された天井面を有するフロートバスルーフと、
を備えるフロート板ガラス製造装置であって、
前記ハンガー組立体は、請求項１乃至７のいずれか１項に記載のハンガー組立体で構成されることを特徴とするフロート板ガラス製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハンガー組立体に関し、特に、フロート法による板ガラス製造用のフロートバス装置のフロートバスルーフにおいて、天井面を形成する耐火レンガを吊り下げるためのハンガー組立体に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス製品を製造する一方法として、フロート法が知られている。このフロート法では、
（１）フロートバスと呼ばれる溶融スズを収容する浴槽内に、溶融ガラスを導入し、
（２）溶融スズ上で、溶融ガラスを上流から下流に沿って連続的に搬送し、
（３）この溶融ガラスを冷却しながら、フロートバスから排出させることにより、ガラス製品が製造される。【０００３】
通常、フロートバスの上部には、フロートバスルーフと呼ばれる天井部分が設置される。このフロートバスルーフは、下面（すなわちフロートバスと対面する側）が複数のハンガーに係合された耐火物レンガで構成され、すなわちフロートバスルーフは、吊り構造となっている。また、ハンガーは、該ハンガーの上部に、該ハンガーをつり下げるために設置された鋼材により、支持されている。【０００４】
このようなハンガーを構成する部材の材料として、炭化珪素または窒化珪素を使用することが提案されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平６−２３９６３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、液晶パネル等の表示装置等に使用される、無アルカリガラスと呼ばれる板ガラス製品のニーズが拡大している。しかしながら、このようなガラス製品には、高融点のものが多く、このようなガラス製品を製造する際に使用されるフロートバスの表面温度は、上昇する傾向にある。またこれに伴い、ハンガー組立体が晒される温度もまた、上昇する傾向にある。【０００７】
このような状況に対応するため、最近では、ハンガーを、複数の部材の組立体で構成する場合が増えてきている。例えば、ハンガーは、支持部材と、この支持部材の下側の被支持部材とを、係合ピンで係合させることにより構成される。なお、被支持部材は、ハンガーの他の部材に比べてより高温に晒されるため、被支持部材の材料として、窒化珪素を使用するケースが増えてきている。【０００８】
しかしながら、通常の場合、ハンガー組立体の被支持部材を構成する窒化珪素は、焼結の際に結合促進剤として使用される酸化物、例えばアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）とシリカ（ＳｉＯ２）の酸化物等を含んでいる。また、このような酸化物は、１１００℃〜１２００℃のような温度範囲では、軟化する傾向にある。従って、窒化珪素で構成された被支持部材（特に、ガラスの表面と近接する先端部）は、使用とともにクリープ変形し、最終的に破断する危険性がある。また、フロートバスの表面温度のさらなる上昇によって、このようなクリープ変形の問題は、今後、より顕在化するおそれがある。【０００９】
本発明は、このような問題に鑑みなされたものであり、本発明では、長期にわたって安定に使用することの可能なハンガー組立体を提供することを目的とする。また、そのようなハンガー組立体を有するフロート板ガラス製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明では、
フロート板ガラス製造装置用のフロートバスルーフにおいて、天井面を形成する耐火レンガを吊り下げるためのハンガー組立体であって、
当該ハンガー組立体の少なくとも一部は、窒化珪素で構成され、
窒化珪素で構成された窒化珪素材料は、実質的にアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）とシリカ（ＳｉＯ２）を含まず、イットリア（Ｙ２Ｏ３）を含むことを特徴とするハンガー組立体が提供される。【００１１】
また本発明では、
内部に溶融スズが収容されるフロートバスと、
ハンガー組立体に耐火レンガを係合させることにより形成された天井面を有するフロートバスルーフと、
を備えるフロート板ガラス製造装置であって、
前記ハンガー組立体は、前述のような特徴を有するハンガー組立体で構成されることを特徴とするフロート板ガラス製造装置が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、長期にわたって安定に使用することの可能な、フロート板ガラス製造装置のフロートバス装置のフロートバスルーフの耐火レンガを吊り下げるのに好適なハンガー組立体を提供することが可能となる。また、そのようなハンガー組立体の使用により、長期間に渡って安定したフロート板ガラスの操業ができるフロート板ガラス製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】フロート法により、ガラス製品を製造する際に使用されるフロート板ガラス製造装置のフロートバス装置の一例を模式的に示した横断面図である。
【図２】本発明によるハンガー組立体の概略的な断面図の一例である。
【図３】ハンガー組立体において、ピンの支持部材と接触する部分が、支持部材の貫通孔の下側部分に食い込まれた状態を模式的に示した図である。
【図４】サンプルの評価試験用装置の構成を模式的に示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して、本発明についてより詳しく説明する。
【００１５】
図１に示すように、フロート板ガラス製造装置のフロートバス装置１００は、フロートバス１１０と、該フロートバス１１０の上方に設置されたフロートバスルーフ１４０とを有する。以下、一連のフロート板ガラス製造装置の板ガラスの成形領域となるフロートバス装置部分をフロート板ガラス製造装置またはフロートバス装置と称する。
【００１６】
フロートバス１１０は、内部に溶融スズ１２０が収容されている。溶融スズ１２０の上には、溶融ガラス１３０が供給され、この溶融ガラス１３０は、ガラスリボン状となって、厚さが調整されながら上流から下流に向かって進行する。図１の例では、溶融ガラス１３０は、紙面に垂直な方向（以下、この方向をＹ方向とも称する）に進行する。従って、図１は、フロート板ガラス製造装置１００を、溶融ガラス１３０の進行方向（Ｙ方向）に対して平行な方向から見たときの断面図に相当する。
【００１７】
フロートバスルーフ１４０は、略鉛直方向（図１のＺ方向）に延在する複数のハンガー組立体２００と、該ハンガー組立体２００の下端に係合された耐火レンガ１５０と、ハンガー組立体２００の上端を支持する鋼材１６０とを有する。また、フロートバスルーフ１４０の側部は、耐火レンガ製の横壁１７０で構成されている。
【００１８】
ハンガー組立体２００に係合された耐火レンガ１５０は、水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に揃うように２次元的に配置され、フロートバスルーフ１４０の天井面１８０を形成する。この天井面１８０には、溶融ガラス１３０の進行方向と略直交する方向（図１のＸ方向）に沿って、複数のヒータ１９０が配設される。なお、実際のフロート板ガラス製造装置１００では、溶融ガラス１３０の進行方向（Ｙ方向）に沿って、複数のＹ座標の位置に、図１に示すような構造が繰り返されている。
【００１９】
次に、図２を参照して、ハンガー組立体２００の構成について、詳しく説明する。
【００２０】
図２は、フロート板ガラス製造装置１００のフロートバスルーフの耐火レンガを吊り下げるために使用されるハンガー組立体２００の概略的な断面を示した図である。
【００２１】
図２に示すように、本発明によるハンガー組立体２００は、支持部材２１０と、被支持部材２４０と、ピン２８０とで構成される。
【００２２】
図２の例では、支持部材２１０は、略円柱状であり、一端が、前述の鋼材１６０に接続されている（図２には、示されていない）。また、支持部材２１０の別の端部２１５は、２つの凸部２２０を有し、逆Ｕ字型に形成されている。２つの凸部２２０の間には、被支持部材２４０が挿入し得る寸法の空間２４２が設けられている。また、２つの凸部２２０の各々には、一本のピン２８０が水平方向（図２のＸ方向）に沿って貫通できるように、貫通孔２３０が設置されている。
【００２３】
図２の例では、被支持部材２４０は、略円柱状であり、支持部材２１０と同軸方向（図２のＺ方向）に延在する。被支持部材２４０は、第１の端部２４５が支持部材２１０の凸部２２０の間（すなわち空間２４２）に挿入され得る形状となっている。例えば、図２の例では、被支持部材２４０の第１の端部２４５は、該被支持部材２４０の延伸部分と直径が等しくなっており、この直径は、支持部材２１０の凸部２２０同士の間の間隔よりも狭くなっている。
【００２４】
また、被支持部材２４０の第１の端部２４５は、ピン２８０が貫通する貫通孔２５０を有する。この貫通孔２５０は、被支持部材２４０の第１の端部２４５を、支持部材２１０の凸部２２０の間の空間２４２に挿入して、一方の凸部２２０に設けられた貫通孔２３０にピン２８０を挿入した際に、丁度、ピン２８０が貫通孔２５０を通り、支持部材２１０の端部２１５の他方の凸部２２０に設けられた貫通孔２３０を貫通するように形成される。従って、支持部材２１０と被支持部材２４０の各貫通孔２３０、２５０に、ピン２８０を貫通させることにより、支持部材２１０と被支持部材２４０が一体化され、ハンガー組立体２００を構成することができる。
【００２５】
被支持部材２４０の第２の端部２６０は、例えば、直方体状のフック部材２６５が設けられた構造となっており、このフック部材２６５に、前述の耐火物レンガ１５０が係合される。
【００２６】
ところで、このようなフロート板ガラス製造装置１００において、ガラスリボン状に成形された溶融ガラス１３０の最高温度は、最終的に得られる製品によって異なるが、おおよそ１０００℃〜１１００℃の範囲である。ただし、最近では、液晶パネル等の表示装置等に使用される、無アルカリガラスと呼ばれるガラス製品のニーズが拡大している。このようなガラス製品には、高融点のものが多く、近年、溶融ガラス１３０の最高温度は、徐々に上昇する傾向にある（例えば１２００℃）。これに伴って、ハンガー組立体２００が晒される温度もまた、上昇する傾向にある。例えば、ハンガー組立体２００のうち最も高温に晒される被支持部材２４０の第２の端部２６０は、例えば１１００℃〜１２００℃の温度に晒され得る。
【００２７】
また、通常の場合、フロート板ガラス製造装置１００内は、溶融スズ１２０の酸化を抑制するため、還元性雰囲気とされる。そのため、フロート板ガラス製造装置１００内のフロートバスの上部空間は水素と窒素の混合ガス雰囲気にされる。従って、ハンガー組立体２００は、耐火レンガ１５０を係合支持した状態（すなわち引張応力が負荷された状態）で、極めて高温の還元性雰囲気に晒されていることになる。
【００２８】
このような環境での使用に対応するため、従来ではハンガー組立体２００の支持部材２１０の材料として、耐熱性のニッケル基合金が使用される。また、より高温に晒されるハンガー組立体２００の被支持部材２４０およびピン２８０の材料として、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）を使用するケースが増えてきている。
【００２９】
しかしながら、通常の場合、窒化珪素材料は、焼結の際に結合促進剤として使用される酸化物、例えばアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）とシリカ（ＳｉＯ２）の酸化物等を含んでいる。このような酸化物は、１１００℃〜１２００℃のような温度範囲では、軟化する傾向にある。
【００３０】
従って、窒化珪素材料で構成された被支持部材２４０およびピン２８０は、使用とともにクリープ変形し、最終的に破断する危険性がある。特に、被支持部材２４０の第２の端部２６０は、溶融ガラス１３０の表面に最も近く、温度が高いため、クリープ変形する可能性が極めて高い。さらに、溶融ガラス１３０のさらなる温度上昇によって、このようなクリープ変形の問題は、今後、より顕在化するおそれがある。
【００３１】
また、ハンガー組立体２００のピン２８０は、被支持部材２４０と同様の窒化珪素材料で構成される。従って、ピン２８０においても、同様の問題が生じ得る。
【００３２】
ここで、ピン２８０は、溶融ガラス１３０の表面からは、比較的離れており、被支持部材２４０ほどの高温には晒されないと予想される。しかしながら、ピン２８０は、該ピンのほぼ中心に位置する比較的狭小の領域で、被支持部材２４０全体を支持する必要がある。このため、ピン２８０においては、被支持部材２４０に比べて、より低い温度であっても、クリープ変形、さらには破断が生じる可能性は、十分にある。
【００３３】
また、破断には至らなくとも、高温により、ピン２８０の強度が低下した場合、図３に模式的に示すように、ピン２８０の支持部材２１０と接触する部分が、支持部材２１０の貫通孔２３０の下側部分に食い込まれ、ピン２８０が支持部材２１０の貫通孔２３０に固着するおそれがある。一般に、ハンガー組立体は、定期的に点検され、比較的損傷の激しい被支持部材２４０（およびピン２８０）は、支持部材２１０よりも短い間隔で交換される。しかしながら、図３に示すような状態で、ピン２８０が支持部材２１０と固着されると、被支持部材２４０を交換することができなくなってしまうという問題が生じる。
【００３４】
これらの問題を解決するため、本発明では、ハンガー組立体２００の被支持部材２４０およびピン２８０は、実質的にアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）とシリカ（ＳｉＯ２）とを含まず、イットリア（Ｙ２Ｏ３）を含む窒化珪素の焼結体の材料で構成される。特に、本発明においては、イットリアは、窒化珪素に対し３〜１０質量％含有するのが好ましい。また、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）とシリカ（ＳｉＯ２）とを含有させないことにより、クリープ変形防止効果を高めることができる。また、上記したフック部材２６５も、上記した被支持部材およびピンと同様な窒化珪素材料により構成されるのが好ましい。この場合、フック部材は被支持部材と一体成形して製造することができる。
【００３５】
このような窒化珪素材料は、前述のようなアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）および／またはシリカ（ＳｉＯ２）の酸化物、または混合酸化物を含む窒化珪素材料に比べて、高温でも軟化が生じ難いという特徴を有する。従って、このような窒化珪素材料により構成された被支持部材２４０およびピン２８０では、高温での耐クリープ特性や耐変形性が有意に向上する。
【００３６】
従って、本発明によるハンガー組立体２００は、無アルカリガラスのような高融点ガラス製品の製造工程においても、長期にわたって安定に使用することができる。また、ピン２８０が支持部材２１０と固着することも、有意に抑制される。従って、ハンガー組立体２００の定期的なメンテナンスの際に、被支持部材２４０および／またはピン２８０を、適正に交換することができる。
【００３７】
なお、被支持部材２４０およびピン２８０を構成する窒化珪素材料は、イットリア（Ｙ２Ｏ３）の他、さらに、ランタノイド（Ｌ）、アクチノイド（Ａ）、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）、および珪素（Ｓｉ）からなる群から選定された、少なくとも一つの金属の酸化物を含んでも良い。かかる酸化物は、かかる酸化物の含有割合を合量で、窒化珪素に対し２質量％〜１８質量％とするのが好ましい。
【００３８】
ランタノイド（Ｌ）には、周期律表の５７番から７１番までの元素、例えば、ランタン（Ｌａ）、セリウム（Ｃｅ）、およびエルビウム（Ｅｒ）が含まれる。また、アクチノイド（Ａ）には、周期律表の８９番から１０３番までの元素、例えば、トリウム（Ｔｈ）が含まれる。
【００３９】
特に、被支持部材２４０およびピン２８０を、イットリア（Ｙ２Ｏ３）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）および酸化エルビウム（Ｅｒ２Ｏ３）の群から選ばれる少なくとも１種を含む窒化珪素材料で構成した場合、極めて良好な耐クリープ特性が得られる。かかる酸化物を含む場合は、かかる酸化物の含有割合を合量で、窒化珪素に対し２質量％〜１２質量％とするのが好ましい。
【００４０】
また、被支持部材２４０およびピン２８０を構成する窒化珪素材料は、室温でのヤング率に対する室温での曲げ強度の比が０．００３以上であることが好ましい。また、本発明の窒化珪素材料は、室温でのヤング率に対する１２００℃での曲げ強度の比が０．００２以上であることが好ましい。この場合、前述のような支持部材２１０へのピン２８０の固着を、有意に抑制することができる。
【実施例】
【００４１】
以下、本発明の実施例について説明する。【００４２】
（実施例１）
窒化珪素材料のサンプルを使用して、高温での耐クリープ特性の評価試験を実施した。評価試験は、高温での４点曲げ試験とし、以下の方法で実施した。【００４３】
まず、幅１０ｍｍ×長さ１００ｍｍ×厚さ２ｍｍの短冊状の窒化珪素材料のサンプルを準備した。このサンプルは、Ｓｉ３Ｎ４を主成分とし、結合促進剤としてＹ２Ｏ３を（イットリアの含有割合：６質量％）有する窒化珪素焼結体である。またこのサンプルは、室温でのヤング率に対する室温での曲げ強度の比が０．００３３であり、室温でのヤング率に対する１２００℃での曲げ強度の比が０．００２５である。【００４４】
次に、図４に示すように、曲げ試験用の電気炉４１０に、サンプル４２０を、１００ｍｍ×１０ｍｍの上表面が水平になるように設置した。この電気炉４１０内では、サンプル４２０は、サンプルの長辺の中央近傍に、短辺の幅方向にわたって２つの支持Ａ、Ｂが配置され、サンプル４２０の両端側近傍に、別の２つの支持Ｃ、Ｄが配置されるようにして設置される。支持Ａ、Ｂは、サンプル４２０の上表面側に配置され、支持Ｃ、Ｄは、サンプル４２０の下表面側に配置される。支持ＡとＢの間の距離は、１０ｍｍである。また、支持ＣとＤの間の距離は、８０ｍｍである。なお、Ｃ点からその端部までの距離は、１０ｍｍであり、Ｄ点からその端部までの距離も、１０ｍｍである。【００４５】
次に、大気中で、サンプル４２０を１２００℃まで昇温した後、支持Ａ、Ｂの間に、上方から最大曲げ応力が１８ＭＰａとなるように荷重を加え、この状態で、５００時間保持した。その後、荷重を除去し、サンプル４２０を室温まで冷却（炉冷）した。【００４６】
その後、サンプル４２０を電気炉４１０から取り出し、試験後のサンプルの撓みを測定した。【００４７】
測定の結果、撓み量は、最大でも０．１ｍｍ未満であった。【００４８】
（比較例１）
別の組成の窒化珪素材料のサンプルを使用して、同様の評価を行った。使用サンプルは、結合促進剤としてＡｌ２Ｏ３およびＳｉＯ２、またＭｇＯを有するものである。またこのサンプルは、室温でのヤング率に対する室温での曲げ強度の比が０．００２７であり、室温でのヤング率に対する１２００℃での曲げ強度の比が０．００１７である。このサンプルのＡｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、及びＭｇＯの含有量は、窒化珪素に対しそれぞれ８質量％、３質量％、２質量％である。【００４９】
測定の結果、撓み量は、９ｍｍに達していた。この結果から、実施例１のサンプルでは、従来の窒化珪素に比べて、変形強度が有意に改善されることが示された。【００５０】
（長時間使用後の評価）
図１に示したフロートバス装置を用いて、板ガラスの製造を行った。ハンガー組立体には、図２の構造のものを使用した。ハンガー組立体において、支持部材は、ニッケル基合金製とし、被支持部材およびピンは、前述の実施例１に使用した組成の窒化珪素材料で構成した。【００５１】
本発明のフロートガラス製造装置で製造される板ガラスの組成の一例を以下に示す。【００５２】
酸化物基準の質量百分率で、５０〜６６％のＳｉＯ２、１０．５〜２２％のＡｌ２Ｏ３、０〜１２％のＢ２Ｏ３、０〜８％のＭｇＯ、０〜１４．５％のＣａＯ、０〜２４％のＳｒＯ、０〜１３．５％のＢａＯ、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯの量：９〜２９．５％、を含む無アルカリガラス。【００５３】
なお、使用したフロートバス装置の稼働中、ハンガー組立体の被支持部材の第２の端部側の温度は、おおよそ１１００℃〜１３００℃の範囲であった（計算値）。【００５４】
フロートバス装置を稼働させてから約５年経過後に、フロートバス装置の点検を行う。その結果、フロートバスルーフの天井面の垂れ下がりは、ほとんど認められない。またいずれのハンガー組立体においても、構成部材に、破断は全く生じない。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明によれば、フロートバス装置のフロートバスルーフの天井面を形成する耐火レンガを吊り下げるためのハンガー構造体の耐熱性、耐クリープ特性を向上させることができるので、長期間に渡って安定的に板ガラスを生産することができ、特により高温度において板ガラスの成形が要求されるガラス板の製造に有用である。
なお、２００９年６月２４日に出願された日本特許出願２００９−１５０３１３号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の開示として取り入れるものである。
【符号の説明】
【００５６】
１００    フロート板ガラス製造装置
１１０    フロートバス
１２０    溶融スズ
１３０    溶融ガラス
１４０    フロートバスルーフ
１５０    耐火レンガ
１６０    鋼材
１７０    横壁
１８０    天井面
１９０    ヒータ
２００    ハンガー組立体
２１０    支持部材
２１５    支持部材の端部
２２０    凸部
２３０、２５０    貫通孔
２４０    被支持部材
２４２    空間
２４５    被支持部材の第１の端部
２６０    被支持部材の第２の端部
２６５    フック部材
２８０    ピン
４１０    電気炉
４２０    サンプル。
【図１】
0005510454.tif 000002
【図２】
0005510454.tif 000003
【図３】
0005510454.tif 000004
【図４】
0005510454.tif 000005