(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉛直方向をＺ方向とし、該Ｚ方向に直交する方向をＹ方向とし、該Ｚ方向及び該Ｙ方向に直交する方向をＸ方向とした場合に、
ワークを保持する保持面を有する保持テーブルと、支持面を有し該保持テーブルを該Ｚ方向を回転軸として回転させる回転支持部と、を有する保持手段と、
該保持手段に保持されたワークを切削加工する切削ブレードと、該切削ブレードを該Ｙ方向を回転軸として回転させるスピンドルと、該スピンドルの先端に該切削ブレードを端面で支持するフランジと、を有する切削手段と、
該保持手段と該切削手段とを該Ｚ方向に相対的に移動させるＺ方向移動手段と、
該保持手段と該切削手段とを該Ｙ方向に相対的に移動させるＹ方向移動手段と、
該保持手段と該切削手段とを該Ｘ方向に相対的に移動させるＸ方向移動手段と、
該フランジの該端面を研削する研削砥石と、該研削砥石を支持する砥石支持部材と、を有する端面修正治具を用いて該フランジの該端面を修正する端面修正手段と、
を有する切削装置であって、
該端面修正治具は、該保持テーブルの該保持面又は該回転支持部の該支持面上に配設され、該砥石支持部材が板部材の上面に固定され、
該端面修正手段は、
該板部材に配設され、該保持テーブルの該保持面又は該回転支持部の該支持面に配設される該端面修正治具の該砥石支持部材を該保持面又は該支持面に対して位置決めする位置決め部と、
該フランジの該端面と該研削砥石との少なくともＸ方向及びＺ方向の相対位置を記憶する記憶部と、
該フランジと該研削砥石とのＹ方向の相対的移動による該フランジの該端面と該研削砥石との接触を検出する検出部と、
該フランジの該端面と該研削砥石との少なくともＸ方向及びＺ方向の位置関係を調整した後に、該フランジの該端面と該研削砥石とを互いにＹ方向に接近させて該フランジの該端面と該研削砥石とが接触したことを該検出部が検出することによって該Ｙ方向の端面修正開始位置を決定する制御部と、
を有する切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削ブレードを支持するフランジの端面を研削して修正する手段を有する切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面にＩＣ、ｌＳＩ等の電子回路が複数形成された半導体ウェーハや、電子部品、光学部品に使用される樹脂基板、ガラス基板、各種セラミック基板等の被加工物は、切削装置によって個々のチップに分割され、分割されたチップは各種電気機器に広く利用されている。
【０００３】
切削装置としては、被加工物を保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持された被加工物を切削する切削手段とを具備し、切削手段が、ダイヤモンドやCBN(Cubic Boron Nitride)等の超砥粒を金属や樹脂等で固めた砥石部を有する切削ブレードと、切削ブレードを高速回転させるスピンドルとから少なくとも構成されているものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
切削ブレードは、フランジを介してスピンドルの先端に装着され、例えば３００００ｒｐｍ等の高速で切削ブレードが回転しつつ被加工物へ切り込むことで切削が遂行される。
より詳細には、ワッシャーブレードと呼ばれる円環状に成形された砥石部からなる切削ブレードは、２つのフランジで挟持された状態でスピンドルの先端にナットで固定されている。また、ハブブレードと呼ばれる円盤状基台の外周に円環状の砥石が配設された切削ブレードは、１つのフランジに対峙した状態でスピンドルの先端にナットで固定されている。
【０００５】
このように、切削ブレードは、ワッシャーブレード、ハブブレードのいずれについても、フランジに接触した状態でスピンドルの先端に装着される。したがって、ブレードに接触するフランジの端面が平坦ではない場合や、フランジの端面とスピンドルの軸線とのなす角度が直角でない場合には、スピンドル回転時に切削ブレードがばたつき、精密な加工ができないという問題がある。そこで、フランジの端面を修正するためのフランジ端面修正治具が提案されている（特許文献２参照）。このフランジ端面修正治具は、フランジの端面を研削するための研削部材（研削チップ）と、研削部材を固定する固定部と、固定部を支持する支持部とから構成されており、この研削部材をフランジの端面に当接させて、フランジを回転させつつ研削部材で研削することで、フランジの端面が平坦化されるとともに、スピンドルの軸線とフランジ端面とのなす角が直角に修正される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平８−２５２０９号公報
【特許文献２】特許第３４７２３９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、従来は、研削部材とフランジの端面とを作業者が当接させており、オペレータが、当接の有無を目視で確認するとともに、端面修正を開始する位置への位置付けも目視で位置の確認を行っており、作業が煩雑であった。また、手作業であるために、不適切な位置に端面修正治具を設置してしまう場合もあった。さらに、端面に研削部材を必要以上に押し当ててしまうと、端面に傷をつけてしまうことがあった。端面を傷つけてしまうと端面修正で削らねばならない端面の量は増え、フランジの寿命が縮むとともに、端面修正にかかる時間も増大するという問題が生じる。その一方、端面と研削部材とが当接していない場合には、端面修正時に必要以上に端面修正治具を動かす必要があり、端面修正にかかる時間を増大させてしまう。
【０００８】
本発明は、上記事実に鑑みてなされたもので、その技術的課題は、適切な端面修正作業を自動で遂行できる切削装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、鉛直方向をＺ方向とし、Ｚ方向に直交する方向をＹ方向とし、Ｚ方向及びＹ方向に直交する方向をＸ方向とした場合に、ワークを保持する保持面を有する保持テーブルと、支持面を有し保持テーブルをＺ方向を回転軸として回転させる回転支持部とを有する保持手段と、保持手段に保持されたワークを切削加工する切削ブレードと切削ブレードをＹ方向を回転軸として回転させるスピンドルとスピンドルの先端に切削ブレードを端面で支持するフランジとを有する切削手段と、保持手段と切削手段とをＺ方向に相対的に移動させるＺ方向移動手段と、保持手段と切削手段とをＹ方向に相対的に移動させるＹ方向移動手段と、保持手段と切削手段とをＸ方向に相対的に移動させるＸ方向移動手段と、フランジの端面を研削する研削砥石と研削砥石を支持する砥石支持部材とを有する端面修正治具を用いてフランジの該端面を修正する端面修正手段とを有する切削装置に関するもので、端面修正治具は、保持テーブルの保持面又は回転支持部の支持面上に配設され、砥石支持部材が板部材の上面に固定され、端面修正手段は、板部材に配設され、保持テーブルの保持面又は回転支持部の支持面に配設される端面修正治具の砥石支持部材を保持面又は支持面に対して位置決めする位置決め部と、フランジの端面と研削砥石との少なくともＸ方向及びＺ方向の相対位置を記憶する記憶部と、フランジと研削砥石とのＹ方向の相対的移動によるフランジの端面と研削砥石との接触を検出する検出部と、フランジの端面と研削砥石との少なくともＸ方向及びＺ方向の位置関係を調整した後にフランジの端面と研削砥石とを互いにＹ方向に接近させてフランジの端面と研削砥石とが接触したことを検出部が検出することによってＹ方向の端面修正開始位置を決定する制御部とを有する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、制御部による制御の下で、切削手段を構成するフランジの端面と端面研削用の研削砥石との位置関係が３次元に認識されるため、フランジの端面と研削砥石との当接をオペレータが目視により確認したりする必要がなく、すべて自動で適切な端面修正作業を遂行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】切削装置の一例を示す斜視図である。
【図２】切削手段の一例を示す断面図である。
【図３】切削手段の別の例を示す断面図である。
【図４】保持手段及び端面修正治具の一例を示す分解斜視図である。
【図５】保持手段及び端面修正治具の別の例を示す分解斜視図である。
【図６】切削手段と端面修正手段との接続関係を示す説明図である。
【図７】フランジと研削砥石とのＸ方向及びＺ方向の位置関係の一例を示す説明図である。
【図８】フランジの端面と研削砥石とが接触した状態を示す説明図である。
【図９】研削砥石の基準位置を決める手順を示した説明図であり、（Ａ）は研削砥石がフランジ端面の下端に位置合わせされた状態、（Ｂ）は研削砥石のＺ方向の位置が所定位置に位置合わせされた状態、（Ｃ）研削砥石のＸ方向の位置が所定位置に位置合わせされた状態を示す。
【図１０】フランジの端面を研削する状態を示す説明図である。
【図１１】端面修正治具の別の例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に示す切削装置１は、保持手段２において保持された被加工物（ワーク）を２つの切削手段３ａ、３ｂが切削加工する装置である。なお、切削手段は、１つだけであってもよい。切削対象のワークは特に限定はされないが、例えばシリコンウェーハ、ガリウム砒素等の半導体ウェーハや、チップ実装用としてウェーハの裏面に設けられるＤＡＦ（Die Attach Film）等の粘着部材、半導体製品のパッケージ、セラミックス、ガラス、サファイア（Al2O3）系の無機材料基板、ＬＣＤドライバ等の各種電子部品、さらには、ミクロンオーダーの加工位置精度が要求される各種加工材料が挙げられる。
【００１３】
保持手段２は、ワークを保持する保持テーブル２０と、鉛直方向であるＺ方向を回転軸として保持テーブル２０を回転させる回転支持部２１と、ワークを外周側から固定するクランプ部２２とを有している。保持テーブル２０は、多孔質部材で形成され負圧によりワークを保持する吸引部２００と吸引部２００を囲繞する枠体２０１とを有し、吸引部２００及び枠体２０１の上面は面一に形成された保持面２０ａとなっている。一方、回転支持部２１は、保持テーブル２０を所定角度回転させることができる。
【００１４】
２つの切削手段３ａ、３ｂは同様に構成されるため、共通の符号を付して説明する。切削手段３ａ、３ｂは、保持手段２に保持されたワークを切削加工する切削ブレード３０と、Ｚ方向に直交する方向であるＹ方向を回転軸として切削ブレード３０を回転させるスピンドル３１とを有している。スピンドル３１は、ＳＵＳ等の金属によって形成され導電性を有している。
【００１５】
保持手段２は、Ｘ方向移動手段４によって駆動されてＺ方向及びＹ方向に直交するＸ方向）に移動可能となっている。Ｘ方向移動手段４は、Ｘ軸方向の回転軸を有するボールスクリュー４０と、ボールスクリュー４０と平行に配設されたガイドレール４１と、ボールスクリュー４０の一端に連結されたモータ４２と、下部がガイドレール４１に摺接するとともに内部の図示しないナットがボールスクリュー４０に螺合する移動基台４３とを備えており、モータ４２によって駆動されたボールスクリュー４０が回動することにより移動基台４３がガイドレール４１にガイドされてＸ方向に移動する構成となっている。
【００１６】
２つの切削手段３ａ、３ｂは、２つのＺ方向移動手段５ａ、５ｂによってそれぞれ駆動されてＺ方向に移動可能となっているとともに、２つのＹ方向移動手段６ａ、６ｂによってそれぞれ駆動されてＹ方向に移動可能となっている。
【００１７】
２つのＺ方向移動手段５ａ、５ｂは同様に構成されるため、共通の符号を付して説明する。Ｚ方向移動手段５は、鉛直方向の回転軸を有するボールスクリュー５０と、ボールスクリュー５０と平行に配設されたガイドレール５１と、ボールスクリュー５０の一端に連結されたパルスモータ５２と、側部がガイドレール５１に摺接するとともに内部の図示しないナットがボールスクリュー５０に螺合する昇降基台５３とを備えており、パルスモータ５２によって駆動されたボールスクリュー５０が回動することにより昇降基台５３がガイドレール５１にガイドされてＺ方向に移動し、昇降基台５３に固定された切削手段３ａ、３ｂをＺ方向に昇降させる構成となっている。
【００１８】
２つのＹ方向移動手段６ａ、６ｂは同様に構成されるため、共通の符号を付して説明する。Ｚ方向移動手段６は、Ｙ軸方向の回転軸を有するボールスクリュー６０と、ボールスクリュー６０と平行に配設されたガイドレール６１と、ボールスクリュー６０の一端に連結されたパルスモータ６２と、側部がガイドレール６１に摺接するとともに内部の図示しないナットがボールスクリュー６０に螺合する移動基台６３とを備えており、パルスモータ６２によって駆動されたボールスクリュー６０が回動することにより移動基台６３がガイドレール６１にガイドされてＹ軸方向に移動して切削手段３ａ、３ｂをＹ方向に移動させる構成となっている。
【００１９】
Ｘ方向移動手段４、Ｚ方向移動手段５及びＹ方向移動手段６の動作は制御部１０によって制御される。したがって、Ｘ方向移動手段４によって駆動される保持テーブル２のＸ方向の位置、Ｚ方向移動手段５及びＹ方向移動手段６によって駆動される切削手段３ａ、３ｂのＹ方向及びＺ方向の位置も、制御部１０によって制御される。制御部１０は、保持テーブル２及び切削手段３ａ、３ｂの制御に必要な位置情報を記憶部１１に記憶させ、必要に応じてその記憶内容を読み出して制御に利用することができる。
【００２０】
切削手段３ａ、３ｂの切削ブレード３０としては、例えば、図２に示すハブブレード３２と図３に示すワッシャーブレード３３という２種類のものがある。図２に示すハブブレード３２は、スピンドル３１に挿通させるための貫通孔が厚さ方向に形成されリング状に形成された基台３２０と、基台３２０の一面側の外周部に電着された切り刃３２１とから構成される。切り刃３２１は、例えば、ニッケル母材中にダイヤモンド砥粒が分散して形成されている。一方、図３に示すワッシャーブレード３３は、例えば、ニッケル母材中にダイヤモンド砥粒が分散し極薄のリング状に形成された切り刃のみからなるブレードである。
【００２１】
図２及び図３に示すように、切削手段３ａ、３ｂのスピンドル３１にはフランジ３４が装着される。フランジ３４は、ＳＵＳ等の金属によって形成され導電性を有しており、Ｙ方向に突出するボス部３４０と、ボス部３４０から拡径する拡径部３４１とを備えている。ボス部３４０の先端部には雄ねじ３４０ａが形成されている。また、拡径部３４１の周縁部には、ハブブレード３２またはワッシャーブレード３３を側方から支持する端面３４１ａを有している。
【００２２】
図２に示すハブブレード３２は、切り刃３２１がフランジ３４の端面３４１ａに当接するように挿入され、ナット３６がボス部３４０に形成された雄ねじ３４０ａに螺着されることによりフランジ３４に固定される。フランジ３４は、スピンドル３１の先端部に形成された雌ねじ３１０にボルト３５が螺着されることによりスピンドル３１に固定される。
【００２３】
図３に示すワッシャーブレード３３は、一方の面がフランジ３４の端面３４１ａに当接するように挿入され、フランジ３４と同じ外径を有する着脱フランジ３７をボス部３４０に挿入し、ナット３６をボス部３４０に形成された雄ねじ３４０ａに螺着することによりフランジ３４に固定される。フランジ３４は、スピンドル３１の先端部に形成された雌ねじ３１０にボルト３５が螺着されることによりスピンドル３１に固定される。
【００２４】
図４に示すように、保持テーブル２０の保持面２０ａには、複数の収容穴２０ｂが形成されている。そして、保持面２０に対しては、端面修正治具７を着脱可能となっている。
【００２５】
端面修正治具７は、板部材７０と、板部材７０の下面から突出する複数の位置決めピン７１と、板部材７０の上面７０ａに固定された砥石支持部材７２と、砥石支持部材７２によって支持された研削砥石７３とから構成されており、位置決めピン７１を収容穴２０ｂに挿入することにより、保持面２０に対して一定の位置に位置決めされた状態で端面修正治具７を取り付けることができる。
【００２６】
砥石支持部材７２は、ＳＵＳ等の金属によって形成され導電性を有している。研削砥石７３も導電性を有しており、例えばホワイトアランダムやグリーンカーボランダム等の砥粒を樹脂と導電性材料との混合材で固めて構成される。研削砥石７３は、砥粒を導電性樹脂材中に分散させ固めて構成してもよいし、超硬材によって形成してもよい。
【００２７】
回転支持部２１の上面は、支持面２１０となっており、支持面２１０には、凹部２１１が形成されている。凹部２１１の底部には、吸引源２２と連通し保持テーブル２０を吸引保持するための吸引孔２１２が形成されている。また、凹部２１１の底部の中央部にはさらに凹部２１３が形成されており、凹部２１３の底部には、吸引源２２と連通し保持テーブル２０の吸引部２００に負圧を作用させてワークを保持するための吸引孔２１４が形成されている。
【００２８】
図５に示すように、回転支持部２１に保持テーブル２０が保持されていない状態で、回転支持部２１に対して端面修正治具７を直接固定してもよい。この場合は、図５に示すように、回転支持部２１の支持面２１０に収容穴２１０ａを位置決めピン７１と同数形成しておくことにより、収容穴２１０ａに位置決めピン７１を収容し、支持面２１０に対する端面修正治具７の位置決めを行うことができる。この場合においても、端面修正治具７は、回転支持部２１に支持された状態で回転可能となっている。
【００２９】
図６に示すように、砥石支持部材７２は、導通検出部８０、電源８１及びスピンドル３１と直列に接続されている。導通検出部８０は、例えば電流計により構成される。また、導通検出部８０における検出結果は、制御部１０において読み出すことができ、制御部１０では、検出結果に応じた処理を行うことができる。なお、図６においては、スピンドル３１に切削ブレード３０が装着されていない状態を示している。
【００３０】
このように構成される切削装置１では、図２及び図３に示したフランジ３４の端面３４１ａとハブブレード３２の切り刃３２１またはワッシャーブレード３３とを密着させるとともに、フランジ３４の端面３４１ａとスピンドル３１の軸線とを直角とするために、端面３４１ａの研削による端面修正を行う。かかる研削には、端面修正治具７を構成する研削砥石７３を用いることができる。
【００３１】
フランジ３４の端面３４１ａを研削するにあたり、まず、図４及び図５に示した端面修正治具７を、保持テーブル２０または回転支持部２１に装着する。
【００３２】
端面修正治具７は、図４に示したように、位置決めピン７１を収容穴２０ｂまたは収容穴２１０ａに挿入することで保持テーブル２０に対して位置決めされた状態で載置される。そして、吸引源２２からの吸引力を吸引部２００に作用させることにより吸引保持される。
【００３３】
フランジ３４１の端面３４１ａの研削を開始する前に、制御部１０は、例えば図７に示すように、端面３４１ａの下端と研削砥石７３のＸ方向の中心との距離Ｘ０、及び、端面３４１ａの下端と研削砥石７３のＺ方向の下端との距離Ｚ０とを端面３４１ａと研削砥石７３との相対位置に関する情報として記憶部１１に記憶している。なお、端面３４１ａと研削砥石７３とのＸ方向及びＺ方向の相対的な位置関係に加えて、端面３４１ａと研削砥石７３とのＹ方向の相対的な位置関係を記憶部１１に記憶させてもよい。
【００３４】
次いで、かかる位置関係を利用して、フランジ３４１と研削砥石７３とを相対的にＸ方向及びＺ方向に移動させることにより、フランジ３４１の端面３４１ａと研削砥石７３とのＸ方向及びＺ方向の位置合わせを行う。具体的には、制御部１０による制御の下で、図１に示したＺ方向移動手段５ａまたは５ｂが切削手段３ａまたは３ｂをＺ方向にＺ０だけ移動させるとともに、図１に示したＸ方向移動手段４が、保持手段２をＸ０だけ移動させる。かかる移動により、フランジ３４１の端面の下端と研削砥石７３とのＸ方向及びＺ方向の位置合わせが正確に行われる。
【００３５】
こうしてフランジ３４１の端面３４１ａと研削砥石７３とのＸ方向及びＺ方向の位置合わせが行われた後、切削手段３ａまたは切削手段３ｂと端面修正治具７とをＹ方向に相対移動させ、図８に示すように、フランジ３４１の端面３４１ａの下端と研削砥石７３とを当接させる。本実施形態では、切削手段３ａまたは切削手段３ｂをＹ方向移動手段６ａまたはＹ方向移動手段６ｂの駆動によりフランジ３４１を研削砥石７３に接近させることにより端面３４１ａの下端と研削砥石７３とを当接させる。ここで、端面３４１ａと研削砥石７３とのＹ方向の相対的な位置関係を記憶部１１に記憶させておいた場合は、制御部１０がそのＹ方向の相対的な位置関係を記憶部１１から読み出し、フランジ３４１の端面３４１ａと研削砥石７３とが接触する付近まではその位置関係情報を利用して高速でＹ方向にフランジ３４１を移動させ、その後の微調整は低速でＹ方向にフランジ３４１を移動させて接触検出を行うことで、フランジ３４１の端面３４１ａと研削砥石７３とが接触するまでの時間を短縮することができる。
【００３６】
端面３４１ａと研削砥石７３とが当接すると、閉回路８が形成され、導通検出部８０によってフランジ３４１と研削砥石７３とが接触したことが検知される。制御部１０は、フランジ３４１と研削砥石７３とが接触したことを確認すると、直ちにＹ方向移動手段６ａまたはＹ方向移動手段６ｂによる切削手段３ａまたは切削手段３ｂのＹ方向への移動を停止させる。このときの接触位置が、Ｙ方向の端面修正開始位置となる。
【００３７】
次に、端面３４１ａの下端と研削砥石７３とが当接した図９（Ａ）に示す状態から、フランジ３４１と研削砥石７３とを相対的にＺ方向に移動させることにより、図９（Ｂ）に示すように、研削砥石７３をフランジ３４１との関係でＺ方向の所定位置に位置決めする。そして、その状態から保持手段２をＸ方向に移動させることにより、図９（Ｃ）に示すように、研削砥石７３をフランジ３４１との関係でＸ方向の所定位置に位置決めする。
【００３８】
こうして研削砥石７３の位置がフランジ３４１の端面３４１ａとの関係で所定位置に位置決めされた後、図１０に示すように、スピンドル３１の回転によりフランジ３４１を矢印Ａ方向に回転させながら、保持手段２の研削砥石７３をＸ方向に複数回往復移動させることにより、フランジ３４１の端面３４１ａを研削する。また、フランジ３４１をＹ方向に所定距離ずつインデックス送りし、同様の研削を行う。そうすると、端面３４１ａが平坦化されるとともに、スピンドル３１の軸線と端面３４１ａとが直角となる。
【００３９】
以上のようにして、位置決めピン（位置決め部）７１により保持手段２に対する端面修正治具７の位置決めが行われ、その位置決め状態における研削砥石７３とフランジ３４１とのＸ方向及びＺ方向の相対位置が記憶部１１に記憶され、導通検出部（検出部）８０によってフランジ３４１の端面３４１ａと研削砥石７３との接触が検出され、制御部１０によって研削砥石７３とフランジ３４１とのＸ方向及びＺ方向の相対位置が調整された後に、フランジ３４１の端面３４１ａと研削砥石７３との接触が認識されＹ方向の端面修正開始位置が認識されるため、位置決め部７１と記憶部１１と検出部８０と制御部１０とで端面修正手段が構成される。
【００４０】
フランジ３４１の端面３４１ａと研削砥石７３とのと位置決め及び研削作業は、すべて制御部１０による制御の下で位置関係が認識された状態で正確に行われるため、端面３４１ａの適切な位置に研削砥石７３を接触させることができる。また、研削砥石７３を端面３４１ａに必要以上に押し当ててしまうことがないため端面３４１ａに傷をつけることがなく、端面３４１ａに対して押し当てる力が足りないために研削に時間がかかりすぎるといった問題も生じない。
【００４１】
図１に示した切削装置１のように、２つの切削手段を有している装置においては、片方の切削手段のフランジの端面を研削して修正した後、端面修正治具７を１８０度回転させることにより、他方のフランジについても同様に端面を研削することができる。その場合も、制御部１０が同様の制御を行うことができる。また、端面修正治具に、互いに背を向けた状態で配設された２つの研削砥石を備える場合は、２つの切削手段のそれぞれのフランジの端面を同時に研削することができる。
【００４２】
さらに、図１１に示す端面修正治具９のように、円形の板部材９０の上面に円弧状に複数の砥石支持部材９１を配置し、各砥石支持部材９１から外周側に向けて径方向に突出した研削砥石９２を配設すれば、複数のフランジの端面を同時に研削することができ、さらに、特定の研削砥石９２に摩耗や目詰まりが生じた場合には、板部材９０を回転させることにより、摩耗や目詰まりのない別の研削砥石を用いた研削をすぐに開始することができる。
【００４３】
本実施形態では、保持手段２がＸ方向に移動する構成としたが、切削手段３ａ、３ｂがＸ方向に移動することにより、保持手段２と切削手段３ａ、３ｂとのＸ方向の相対移動が実現される構成としてもよい。また、本実施形態では、切削手段３ａ、３ｂがＹ方向に移動する構成としたが、保持手段２がＹ方向に移動することにより保持手段２と切削手段３ａ、３ｂとのＹ方向の相対移動が実現される構成としてもよい。さらに、本実施形態では、切削手段３ａ、３ｂがＺ方向に移動する構成としたが、保持手段２がＺ方向に移動することにより保持手段２と切削手段３ａ、３ｂとのＺ方向の相対移動が実現される構成としてもよい。
【符号の説明】
【００４４】
１：切削装置
２：保持手段
２０：保持テーブル  ２０ａ：保持面  ２０ｂ：収容穴  ２００：吸引部  ２０１：枠体
２１：回転支持部  ２１０：支持面  ２１０ａ：収容穴
２１１：凹部  ２１２：吸引孔  ２１３：凹部
２１４：吸引孔
２２：クランプ部
３ａ、３ｂ：切削手段
３０：切削ブレード  ３１：スピンドル  ３１０：雄ねじ
３２：ハブブレード  ３２０：基台  ３２１：切り刃
３３：ワッシャーブレード
３４：フランジ  ３４０：ボス部  ３４０ａ：雄ねじ
３４１：拡径部  ３４１ａ：端面
３５：ボルト  ３６：ナット
４：Ｘ方向移動手段
４０：ボールスクリュー  ４１：ガイドレール  ４２：モータ  ４３：移動基台
５ａ、５ｂ：Ｚ方向移動手段
５０：ボールスクリュー  ５１：ガイドレール  ５２：パルスモータ  ５３：昇降基台
６ａ、６ｂ：Ｙ方向移動手段
６０：ボールスクリュー  ６１：ガイドレール  ６２：パルスモータ  ６３：移動基台
７：端面修正治具  ７０：板部材  ７０ａ：上面  ７１：位置決めピン（位置決め部）
７２：砥石支持部材  ７３：研削砥石
８：閉回路  ８０：導通検出部（検出部）  ８１：電源
９：端面修正治具  ９０：板部材  ９１：砥石支持部材  ９２：研削砥石
１０：制御部  １１：記憶部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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