(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、マスクパターン領域と、該マスクパターン領域の外側に位置するＥＵＶ光吸収領域と、を有し、前記マスクパターン領域において、前記基板上にＥＵＶ光を反射する反射層を有し、該反射層上にＥＵＶ光を吸収する吸収体層を有する部位と、前記吸収体層を有さない部位と、を有し、前記吸収体層を有する部位と、前記吸収体層を有さない部位と、の配置がマスクパターンをなすＥＵＶリソグラフィ（ＥＵＶＬ）用反射型マスクであって、
前記ＥＵＶ光吸収領域において、前記基板上にＥＵＶ光を反射する反射層、ＥＵＶ光を吸収する第１の吸収体層、および、前記第１の吸収体層に隣接してＥＵＶ光を吸収する第２の吸収体層をこの順に有し、前記マスクパターン領域に存在する前記吸収体層の膜厚が１０〜６０ｎｍであり、前記ＥＵＶ光吸収領域に存在する前記第１および第２の吸収体層の膜厚の合計が７０〜１２０ｎｍであり、
前記吸収体層表面からのＥＵＶ反射光が５〜１５％の反射率であり、前記ＥＵＶ光吸収領域表面からのＥＵＶ反射光が１％以下の反射率であることを特徴とするＥＵＶＬ用反射型マスク。
【請求項２】
前記吸収体層および前記第１の吸収体層が、タンタル（Ｔａ）を主成分として、ハフニウム（Ｈｆ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、珪素（Ｓｉ）、硼素（Ｂ）、窒素（Ｎ）、水素（Ｈ）のうち少なくとも１成分を含み、
前記第２の吸収体層が、タンタル（Ｔａ）、ハフニウム（Ｈｆ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、珪素（Ｓｉ）、硼素（Ｂ）、チタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、パラジウム（Ｐｄ）のうち少なくとも１成分を含むことを特徴とする請求項１に記載のＥＵＶＬ用反射型マスク。
【請求項３】
前記吸収体層は、該吸収体層表面からのＥＵＶ反射光の位相が、前記反射層からのＥＵＶ反射光の位相とは１７５〜１８５度異なる層であることを特徴とする請求項１または２に記載のＥＵＶＬ用反射型マスク。
【請求項４】
基板上に、ＥＵＶ光を反射する反射層、ＥＵＶ光を吸収する第１の吸収体層、およびＥＵＶ光を吸収する第２の吸収体層を、この順に有するＥＵＶリソグラフィ（ＥＵＶＬ）用反射型マスクブランクであって、
前記第１の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光が５〜１５％の反射率であり、前記第２の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光が１％以下の反射率であり、前記第２の吸収体層のエッチングレートに対する前記第１の吸収体層のエッチングレートの比（エッチング選択比）が０．１未満であることを特徴とするＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
【請求項５】
前記第１の吸収体層は、該第１の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光の位相が、前記反射層からのＥＵＶ反射光の位相とは１７５〜１８５度異なる層であることを特徴とする請求項４に記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
【請求項６】
基板上に、ＥＵＶ光を反射する反射層、ＥＵＶ光を吸収する第１の吸収体層、マスクパターンの検査時におけるコントラストを良好とするための低反射層、およびＥＵＶ光を吸収する第２の吸収体層を、この順に有するＥＵＶリソグラフィ（ＥＵＶＬ）用反射型マスクブランクであって、
前記低反射層表面からのＥＵＶ反射光が５〜１５％の反射率であり、前記第２の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光が１％以下の反射率であり、
前記第２の吸収体層のエッチングレートに対する前記低反射層のエッチングレートの比（エッチング選択比）が０．１未満であることを特徴とするＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
【請求項７】
前記低反射層は、該低反射層表面からのＥＵＶ反射光の位相が、前記反射層からのＥＵＶ反射光の位相とは１７５〜１８５度異なる層であることを特徴とする請求項６に記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
【請求項８】
前記第１の吸収体層、前記低反射層および前記第２の吸収体層が、タンタル（Ｔａ）を主成分として、ハフニウム（Ｈｆ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、珪素（Ｓｉ）、硼素（Ｂ）、窒素（Ｎ）、水素（Ｈ）のうち少なくとも１成分を含むことを特徴とする請求項６または７に記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
【請求項９】
前記低反射層が、タンタル（Ｔａ）を主成分として、ハフニウム（Ｈｆ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、珪素（Ｓｉ）、硼素（Ｂ）、窒素（Ｎ）、水素（Ｈ）、酸素（Ｏ）のうち少なくとも１成分を含むことを特徴とする請求項６〜８のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
【請求項１０】
前記低反射層の膜厚が１〜２０ｎｍであることを特徴とする請求項６〜９のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
【請求項１１】
基板上に、ＥＵＶ光を反射する反射層およびＥＵＶ光を吸収する第１の吸収体層を、この順に有するＥＵＶリソグラフィ（ＥＵＶＬ）用反射型マスクブランクであって、
該ＥＵＶＬ用反射型マスクブランクを用いて製造されるＥＵＶリソグラフィ（ＥＵＶＬ）用反射型マスクにおいてマスクパターン領域となる部位よりも外側に存在する前記第１の吸収体層上に、前記第１の吸収体層に隣接してＥＵＶ光を吸収する第２の吸収体層を有し、前記第１の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光が５〜１５％の反射率であり、前記第２の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光が１％以下の反射率であることを特徴とするＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
【請求項１２】
前記第１の吸収体層は、該第１の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光の位相が、前記反射層からのＥＵＶ反射光の位相とは１７５〜１８５度異なる層であることを特徴とする請求項１１に記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
【請求項１３】
前記前記第１の吸収体層が、タンタル（Ｔａ）を主成分として、ハフニウム（Ｈｆ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、珪素（Ｓｉ）、硼素（Ｂ）、窒素（Ｎ）、水素（Ｈ）のうち少なくとも１成分を含み、
前記第２の吸収体層が、タンタル（Ｔａ）、ハフニウム（Ｈｆ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、珪素（Ｓｉ）、硼素（Ｂ）、チタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、パラジウム（Ｐｄ）のうち少なくとも１成分を含むことを特徴とする請求項１１または１２に記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
【請求項１４】
前記第１の吸収体層の膜厚が１０〜６０ｎｍであることを特徴とする請求項４〜１３のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
【請求項１５】
前記第２の吸収体層の膜厚が１０〜６０ｎｍであることを特徴とする請求項４〜１４のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
【請求項１６】
前記反射層と前記第１の吸収体層との間に、マスクパターンを形成する際に前記反射層を保護するための保護層を有することを特徴とする請求項４〜１５のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
【請求項１７】
請求項４または５に記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランクを用いてＥＵＶＬ用反射型マスクを製造する方法であって、製造されるＥＵＶＬ用反射型マスクにおいてマスクパターン領域となる部位に存在する前記第２の吸収体層を除去して前記第１の吸収体層を露出させる工程、および、前記工程で露出した前記第１の吸収体層にマスクパターンを形成する工程を有するＥＵＶＬ用反射型マスクの製造方法。
【請求項１８】
基板上に、ＥＵＶ光を反射する反射層、ＥＵＶ光を吸収する第１の吸収体層、およびＥＵＶ光を吸収する第２の吸収体層を、この順に有し、
前記第１の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光が５〜１５％の反射率であり、前記第２の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光が１％以下の反射率であるＥＵＶＬ用反射型マスクブランクを用いてＥＵＶＬ用反射型マスクを製造する方法であって、
製造されるＥＵＶＬ用反射型マスクにおいてマスクパターン領域となる部位に存在する前記第２の吸収体層を除去して前記第１の吸収体層を露出させる工程、および、前記工程で露出した前記第１の吸収体層にマスクパターンを形成する工程を有するＥＵＶＬ用反射型マスクの製造方法。
【請求項１９】
請求項６〜１０のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランクを用いてＥＵＶＬ用反射型マスクを製造する方法であって、製造されるＥＵＶＬ用反射型マスクにおいてマスクパターン領域となる部位に存在する第２の吸収体層を除去して前記低反射層を露出させる工程、および、前記工程で露出した前記低反射層および該低反射層の下に位置する前記第１の吸収体層にマスクパターンを形成する工程を有するＥＵＶＬ用反射型マスクの製造方法。
【請求項２０】
請求項１〜３のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクを用いて被露光体に露光を行うことにより半導体集積回路を製造する半導体集積回路の製造方法。
【請求項２１】
請求項１７〜１９のいずれかに記載の方法により製造されたＥＵＶＬ用反射型マスクを用いて被露光体に露光を行うことにより半導体集積回路を製造する半導体集積回路の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造等に使用されるＥＵＶ（Ｅｘｔｒｅｍｅ  Ｕｌｔｒａ  Ｖｉｏｌｅｔ：極端紫外）リソグラフィ用反射型マスクブランク（以下、本明細書において、「ＥＵＶマスクブランク」という。）、および、該ＥＵＶマスクブランクの吸収体層にマスクパターンを形成してなるＥＵＶリソグラフィ用反射型マスク（以下、本明細書において、「ＥＵＶマスク」という。）に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体産業において、Ｓｉ基板等に微細なパターンからなる集積回路を形成する上で必要な微細パターンの転写技術として、可視光や紫外光を用いたフォトリソグラフィ法が用いられてきた。しかし、半導体デバイスの微細化が加速している一方で、従来のフォトリソグラフィ法の限界に近づいてきた。フォトリソグラフィ法の場合、パターンの解像限界は露光波長の１／２程度であり、液浸法を用いても露光波長の１／４程度と言われており、ＡｒＦレーザ（１９３ｎｍ）の液浸法を用いても４５ｎｍ程度が限界と予想される。そこで４５ｎｍ以降の露光技術として、ＡｒＦレーザよりさらに短波長のＥＵＶ光を用いた露光技術であるＥＵＶリソグラフィが有望視されている。本明細書において、ＥＵＶ光とは、軟Ｘ線領域または真空紫外線領域の波長の光線をさし、具体的には波長１０〜２０ｎｍ程度、特に１３．５ｎｍ±０．３ｎｍ程度の光線を指す。【０００３】
ＥＵＶ光は、あらゆる物質に対して吸収されやすく、かつこの波長で物質の屈折率が１に近いため、従来の可視光または紫外光を用いたフォトリソグラフィのような屈折光学系を使用することができない。このため、ＥＵＶ光リソグラフィでは、反射光学系、すなわち反射型フォトマスク（ＥＵＶマスク）とミラーとが用いられる。【０００４】
マスクブランクは、フォトマスクにマスクパターンを形成する前の積層体である。ＥＵＶマスクブランクの場合、ガラス等の基板上にＥＵＶ光を反射する反射層と、ＥＵＶ光を吸収する吸収体層とがこの順で形成された構造を有している（特許文献１参照）。この他、ＥＵＶマスクブランクには、反射層と吸収体層との間には、吸収体層にマスクパターンを形成する際に反射層を保護するための保護層が通常形成されている。また、吸収体層上にはマスクパターンの検査時におけるコントラストを良好とするための低反射層が通常形成されている。【０００５】
ＥＵＶマスクブランクでは、吸収体層の膜厚を薄くすることが好ましい。ＥＵＶリソグラフィでは、露光光はＥＵＶマスクに対して垂直方向から照射されるのではなく、垂直方向より数度、通常は６度傾斜した方向から照射される。吸収体層の膜厚が厚いと、ＥＵＶリソグラフィの際に、該吸収体層の一部をエッチングにより除去して形成したマスクパターンに露光光による影が生じ、該ＥＵＶマスクを用いてＳｉウェハなどの基板上レジストに転写されるマスクパターン（以下、「転写パターン」という。）の形状精度や寸法精度が悪化しやすくなる。この問題は、ＥＵＶマスク上に形成されるマスクパターンの線幅が小さくなるほど顕著となるため、ＥＵＶマスクブランクの吸収体層の膜厚をより薄くすることが求められる。【０００６】
ＥＵＶマスクブランクの吸収体層には、ＥＵＶ光に対する吸収係数の高い材料が用いられ、その膜厚も該吸収体層表面にＥＵＶ光を照射した際に、照射したＥＵＶ光が吸収体層で全て吸収されるような膜厚とすることが理想である。しかし、上記したように、吸収体層の膜厚を薄くすることが求められているため、照射されたＥＵＶ光を吸収体層ですべて吸収することはできず、その一部は反射光となる。
ＥＵＶリソグラフィにより、基板上レジスト上に転写パターンを形成する際に要求されるのは、ＥＵＶマスクでの反射光のコントラスト、すなわち、マスクパターン形成時に吸収体層が除去され、反射層が露出した部位からの反射光と、マスクパターン形成時に吸収体が除去されなかった部位からの反射光と、のコントラストである。よって、反射光のコントラストが十分確保できる限り、照射されたＥＵＶ光が吸収体層で全て吸収されなくても全く問題ないと考えられていた。【０００７】
上記の考えに基づき、吸収体層の膜厚をより薄くするために、位相シフトの原理を利用したＥＵＶマスクが提案されている（特許文献２参照）。これは、マスクパターン形成時に吸収体層が除去されなかった部位からの反射光が、５〜１５％の反射率を有し、かつ、マスクパターン形成時に吸収体層が除去され反射層が露出した部位からの反射光に対して１７５〜１８５度の位相差を有すること、を特徴としている。このＥＵＶマスクは、吸収体層からの反射光に対して、位相シフトの原理を利用することによって、反射層とのコントラストを十分維持することが可能であるため、吸収体層の膜厚を薄くすることが可能である、と記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−６７９８号公報（米国登録第７３９０５９６号公報）
【特許文献２】特開２００６−２２８７６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記の原理および膜構成は、実際のマスクパターン領域（マスクパターンが形成され、ＥＵＶＬの際にパターンの転写に用いられる領域）に関しては問題無いが、パターンエリアの外周部に関しては、上記構造に課題があることを本発明者らは見出した。この点について、以下、図９を用いて説明する。図９は、パターン形成後のＥＵＶマスクの一例を示した概略断面図であり、基板１２０上に反射層１３０および吸収体層１４０がこの順に形成されており、マスクパターン領域２１０には、吸収体層１４０を一部除去することで形成されたマスクパターンが存在している。図９に示すＥＵＶマスク１００のマスクパターン領域２１０に関しては、上記の位相シフトの原理により、反射層１３０の表面と吸収体層１４０の表面との反射コントラストが十分維持できる。しかしながら、実際にＥＵＶ光が照射される領域は、実際の露光領域２００である。よって、マスクパターン領域２１０の外側の領域２２０にもＥＵＶ光が照射される。このとき反射層１３０からの反射光との位相シフトによる効果が十分得られず、吸収体層１４０の表面から５〜１５％程度の反射が生じる。結果として、この５〜１５％程度のＥＵＶ光がＳｉ基板上のレジストに照射され、不必要なレジストが感光してしまうという問題が生じる恐れがある。特に重ね合わせ露光を行う時にはこの問題が顕著である。【００１０】
本発明は、上記した従来技術の問題点を解決するため、マスクパターン領域よりも外側の領域からの反射光による影響が抑制されたＥＵＶマスク、および、該ＥＵＶマスクの製造に用いるＥＵＶマスクブランクを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明は、以下の要旨を有する。
（１）基板上に、マスクパターン領域と、該マスクパターン領域の外側に位置するＥＵＶ光吸収領域と、を有し、前記マスクパターン領域において、前記基板上にＥＵＶ光を反射する反射層を有し、該反射層上にＥＵＶ光を吸収する吸収体層を有する部位と、前記吸収体層を有さない部位と、を有し、前記吸収体層を有する部位と、前記吸収体層を有さない部位と、の配置がマスクパターンをなすＥＵＶリソグラフィ（ＥＵＶＬ）用反射型マスクであって、
前記吸収体層表面からのＥＵＶ反射光が５〜１５％の反射率であり、前記ＥＵＶ光吸収領域表面からのＥＵＶ反射光が１％以下の反射率であることを特徴とするＥＵＶＬ用反射型マスク。（以下、（１）のマスクを「本発明のＥＵＶマスク（Ａ−１）」という。）
（２）前記ＥＵＶ光吸収領域において、前記基板上にＥＵＶ光を反射する反射層、ＥＵＶ光を吸収する第１の吸収体層、およびＥＵＶ光を吸収する第２の吸収体層をこの順に有し、前記マスクパターン領域に存在する前記吸収体層の膜厚が１０〜６０ｎｍであり、前記ＥＵＶ光吸収領域に存在する前記第１および第２の吸収体層の膜厚の合計が７０〜１２０ｎｍであることを特徴とする上記（１）に記載のＥＵＶＬ用反射型マスク。（以下、（２）のマスクを「本発明のＥＵＶマスク（Ａ−２）」という。）
（３）前記ＥＵＶ光吸収領域において、前記基板上にＥＵＶ光を反射する反射層およびＥＵＶ光を吸収する吸収体層をこの順に有し、前記マスクパターン領域に存在する前記吸収体層の膜厚が１０〜６０ｎｍであり、前記ＥＵＶ光吸収領域に存在する前記吸収体層の膜厚が７０〜１２０ｎｍであることを特徴とする上記（１）に記載のＥＵＶＬ用反射型マスク。（以下、（３）のマスクを「本発明のＥＵＶマスク（Ａ−３）」という。）
（４）前記吸収体層および前記第１の吸収体層が、タンタル（Ｔａ）を主成分として、ハフニウム（Ｈｆ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、珪素（Ｓｉ）、硼素（Ｂ）、窒素（Ｎ）、水素（Ｈ）のうち少なくとも１成分を含み、
前記第２の吸収体層が、タンタル（Ｔａ）、ハフニウム（Ｈｆ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、珪素（Ｓｉ）、硼素（Ｂ）、チタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、パラジウム（Ｐｄ）のうち少なくとも１成分を含むことを特徴とする上記（２）に記載のＥＵＶＬ用反射型マスク。
（５）前記吸収体層が、タンタル（Ｔａ）を主成分として、ハフニウム（Ｈｆ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、珪素（Ｓｉ）、硼素（Ｂ）、窒素（Ｎ）、水素（Ｈ）のうち少なくとも１成分を含むことを特徴とする上記（３）に記載のＥＵＶＬ用反射型マスク。
（６）前記吸収体層は、該吸収体層表面からのＥＵＶ反射光の位相が、前記反射層からのＥＵＶ反射光の位相とは１７５〜１８５度異なる層であることを特徴とする上記（１）〜（５）のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスク。
（７）基板上に、マスクパターン領域と、該マスクパターン領域の外側に位置するＥＵＶ光吸収領域と、を有し、前記マスクパターン領域において、前記基板上にＥＵＶ光を反射する反射層を有し、該反射層上にＥＵＶ光を吸収する吸収体層およびマスクパターンの検査時におけるコントラストを良好とするための低反射層をこの順に有する部位と、前記吸収体層および前記低反射層を有さない部位と、を有し、前記吸収体層および前記低反射層を有する部位と、前記吸収体層および前記低反射層を有さない部位と、の配置がマスクパターンをなすＥＵＶリソグラフィ（ＥＵＶＬ）用反射型マスクであって、前記低反射層表面からのＥＵＶ反射光が５〜１５％の反射率であり、前記ＥＵＶ光吸収領域表面からのＥＵＶ反射光が１％以下の反射率であることを特徴とするＥＵＶＬ用反射型マスク。（以下、（７）のマスクを「本発明のＥＵＶマスク（Ｂ−１）」という。）
（８）前記ＥＵＶ光吸収領域において、前記基板上にＥＵＶ光を反射する反射層、ＥＵＶ光を吸収する第１の吸収体層、マスクパターンの検査時におけるコントラストを良好とするための低反射層およびＥＵＶ光を吸収する第２の吸収体層をこの順に有し、前記マスクパターン領域に存在する前記吸収体層および前記低反射層の膜厚の合計が１０〜６５ｎｍであり、前記ＥＵＶ光吸収領域に存在する前記第１および第２の吸収体層、ならびに前記低反射層の膜厚の合計が１２〜１００ｎｍであることを特徴とする上記（７）に記載のＥＵＶＬ用反射型マスク。
（９）前記第１の吸収体層、前記低反射層および前記第２の吸収体層が、タンタル（Ｔａ）を主成分として、窒素（Ｎ）を含む上記（８）に記載のＥＵＶＬ用反射型マスク。
（１０）前記第１の吸収体層および前記第２の吸収体層が、酸素の含有率が１５ａｔ％以下である上記（９）に記載のＥＵＶＬ用反射型マスク。
（１１）前記低反射層は、該低反射層表面からのＥＵＶ反射光の位相が、前記反射層からのＥＵＶ反射光の位相とは１７５〜１８５度異なる層であることを特徴とする上記（７）〜（１０）のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスク。
（１２）基板上に、ＥＵＶ光を反射する反射層、ＥＵＶ光を吸収する第１の吸収体層、およびＥＵＶ光を吸収する第２の吸収体層を、この順に有するＥＵＶリソグラフィ（ＥＵＶＬ）用反射型マスクブランクであって、
前記第１の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光が５〜１５％の反射率であり、前記第２の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光が１％以下の反射率であることを特徴とするＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。（以下、（１２）のマスクブランクを「本発明のＥＵＶマスクブランク（Ａ）」という。）
（１３）前記第２の吸収体層のエッチングレートに対する前記第１の吸収体層のエッチングレートの比（エッチング選択比）が０．１未満であることを特徴とする上記（１２）に記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
（１４）前記第１の吸収体層は、該第１の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光の位相が、前記反射層からのＥＵＶ反射光の位相とは１７５〜１８５度異なる層であることを特徴とする上記（１２）または（１３）に記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
（１５）基板上に、ＥＵＶ光を反射する反射層、ＥＵＶ光を吸収する第１の吸収体層、マスクパターンの検査時におけるコントラストを良好とするための低反射層、およびＥＵＶ光を吸収する第２の吸収体層を、この順に有するＥＵＶリソグラフィ（ＥＵＶＬ）用反射型マスクブランクであって、
前記低反射層表面からのＥＵＶ反射光が５〜１５％の反射率であり、前記第２の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光が１％以下の反射率であることを特徴とするＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。（以下、（１５）のマスクブランクを「本発明のＥＵＶマスクブランク（Ｂ）」という。）
（１６）前記第２の吸収体層のエッチングレートに対する前記低反射層のエッチングレートの比（エッチング選択比）が０．１未満であることを特徴とする上記（１５）に記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
（１７）前記低反射層は、該低反射層表面からのＥＵＶ反射光の位相が、前記反射層からのＥＵＶ反射光の位相とは１７５〜１８５度異なる層であることを特徴とする上記（１５）または（１６）に記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
（１８）前記第１の吸収体層、前記低反射層および前記第２の吸収体層が、タンタル（Ｔａ）を主成分として、ハフニウム（Ｈｆ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、珪素（Ｓｉ）、硼素（Ｂ）、窒素（Ｎ）、水素（Ｈ）のうち少なくとも１成分を含むことを特徴とする上記（１５）〜（１７）のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
（１９）前記低反射層が、タンタル（Ｔａ）を主成分として、ハフニウム（Ｈｆ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、珪素（Ｓｉ）、硼素（Ｂ）、窒素（Ｎ）、水素（Ｈ）、酸素（Ｏ）のうち少なくとも１成分を含むことを特徴とする上記（１５）〜（１８）のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
（２０）前記低反射層の膜厚が１〜２０ｎｍであることを特徴とする上記（１５）〜（１９）のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
（２１）基板上に、ＥＵＶ光を反射する反射層およびＥＵＶ光を吸収する第１の吸収体層を、この順に有するＥＵＶリソグラフィ（ＥＵＶＬ）用反射型マスクブランクであって、
該ＥＵＶＬ用反射型マスクブランクを用いて製造されるＥＵＶリソグラフィ（ＥＵＶＬ）用反射型マスクにおいてマスクパターン領域となる部位よりも外側に存在する前記第１の吸収体層上にＥＵＶ光を吸収する第２の吸収体層を有し、前記第１の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光が５〜１５％の反射率であり、前記第２の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光が１％以下の反射率であることを特徴とするＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。（以下、（２１）のマスクブランクを「本発明のＥＵＶマスクブランク（Ｃ）」という。）
（２２）前記第１の吸収体層は、該第１の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光の位相が、前記反射層からのＥＵＶ反射光の位相とは１７５〜１８５度異なる層であることを特徴とする上記（２１）に記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
（２３）前記第１の吸収体層上に、マスクパターンの検査時におけるコントラストを良好とするための低反射層をさらに有することを特徴とする上記（２１）に記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
（２４）前記低反射層は、該低反射層表面からのＥＵＶ反射光の位相が、前記反射層からのＥＵＶ反射光の位相とは１７５〜１８５度異なる層であることを特徴とする上記（２３）に記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
（２５）前記前記第１の吸収体層が、タンタル（Ｔａ）を主成分として、ハフニウム（Ｈｆ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、珪素（Ｓｉ）、硼素（Ｂ）、窒素（Ｎ）、水素（Ｈ）のうち少なくとも１成分を含み、
前記第２の吸収体層が、タンタル（Ｔａ）、ハフニウム（Ｈｆ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、珪素（Ｓｉ）、硼素（Ｂ）、チタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、パラジウム（Ｐｄ）のうち少なくとも１成分を含むことを特徴とする上記（２１）〜（２４）のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
（２６）前記低反射層が、タンタル（Ｔａ）を主成分として、ハフニウム（Ｈｆ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、珪素（Ｓｉ）、硼素（Ｂ）、窒素（Ｎ）、水素（Ｈ）、酸素（Ｏ）のうち少なくとも１成分を含むことを特徴とする上記（２３）〜（２５）のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
（２７）前記低反射層の膜厚が１〜２０ｎｍであることを特徴とする上記（２３）〜（２６）のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
（２８）前記第１の吸収体層の膜厚が１０〜６０ｎｍであることを特徴とする上記（１２）〜（２７）のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
（２９）前記第２の吸収体層の膜厚が１０〜６０ｎｍであることを特徴とする請求項１２〜２８のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
（３０）前記反射層と前記第１の吸収体層との間に、マスクパターンを形成する際に前記反射層を保護するための保護層を有することを特徴とする上記（１２）〜（２９）請求項１２〜２９のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランク。
（３１）上記（１２）〜（１４）のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランクを用いてＥＵＶＬ用反射型マスクを製造する方法であって、製造されるＥＵＶＬ用反射型マスクにおいてマスクパターン領域となる部位に存在する前記第２の吸収体層を除去して前記第１の吸収体層を露出させる工程、および、前記工程で露出した前記第１の吸収体層にマスクパターンを形成する工程を有するＥＵＶＬ用反射型マスクの製造方法。（以下、（３１）の製造方法を「本発明のＥＵＶマスクの製造方法（１）」という。）
（３２）上記（１５）〜（２０）のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクブランクを用いてＥＵＶＬ用反射型マスクを製造する方法であって、製造されるＥＵＶＬ用反射型マスクにおいてマスクパターン領域となる部位に存在する第２の吸収体層を除去して前記低反射層を露出させる工程、および、前記工程で露出した前記低反射層および該低反射層の下に位置する前記第１の吸収体層にマスクパターンを形成する工程を有するＥＵＶＬ用反射型マスクの製造方法。（以下、（３２）の製造方法を「本発明のＥＵＶマスクの製造方法（２）」という。）
（３３）上記（１）〜（１１）のいずれかに記載のＥＵＶＬ用反射型マスクを用いて被露光体に露光を行うことにより半導体集積回路を製造する半導体集積回路の製造方法。
（３４）上記（３１）または（３２）に記載の方法により製造されたＥＵＶＬ用反射型マスクを用いて被露光体に露光を行うことにより半導体集積回路を製造する半導体集積回路の製造方法。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のＥＵＶマスクでは、マスクパターン領域の外側にＥＵＶ光吸収領域を設けることにより、マスクパターン領域よりも外側の領域からの反射光を低減することができる。これにより、マスクパターン領域よりも外側の領域からの反射光による基板上レジストの不必要な感光を防ぐことができる。
マスクパターン領域内では、位相シフトの原理を利用することにより、吸収体層の膜厚を薄くすることができる。よって、パターンの微細化が可能であり、該ＥＵＶマスクを用いて基板上レジストに形成される転写パターンが形状精度や寸法精度に優れている。
本発明のＥＵＶマスクは、本発明のＥＵＶマスクブランク、および、本発明のＥＵＶマスクの製造方法により得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明のＥＵＶマスク（Ａ−２）の１実施形態を示す概略断面図である。
【図２】図２は、本発明のＥＵＶマスク（Ａ−３）の１実施形態を示す概略断面図である。
【図３】図３は、本発明のＥＵＶマスク（Ｂ−１）の１実施形態を示す概略断面図である。
【図４】図４は、本発明のＥＵＶマスクブランク（Ａ）の１実施形態を示す概略断面図である。
【図５】図５は、本発明のＥＵＶマスクブランク（Ｂ）の１実施形態を示す概略断面図である。
【図６】図６は、本発明のＥＵＶマスクブランク（Ｃ）の１実施形態を示す概略断面図である。
【図７】図７は、本発明のＥＵＶマスクの製造方法（１）を説明するための図である。
【図８】図８は、本発明のＥＵＶマスクの製造方法を説明するための図である。
【図９】図９は、従来のＥＵＶマスクの１構成例を示した概略断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明のＥＵＶマスクブランクおよびＥＵＶマスクについて説明する。
図１は、本発明のＥＵＶマスク（Ａ−１）の一態様である、ＥＵＶマスク（Ａ−２）の１実施形態を示す概略断面図である。図１に示すＥＵＶマスク１０は、基板２上に、マスクパターン領域２１と、該マスクパターン領域２１の外側に位置するＥＵＶ光吸収領域２２と、を有している。
マスクパターン領域２１は、マスクパターンを有し、ＥＵＶＬの際にパターンの転写に用いられる領域である。ＥＵＶマスク（Ａ−２）は、マスクパターン領域２１において、基板２上にＥＵＶ光を反射する反射層３を有し、該反射層３上にはＥＵＶ光を吸収する吸収体層４を有する部位と、吸収体層４を有しない部位と、が存在する。吸収体層４を有する部位と、吸収体層４を有さない部位と、が所望のマスクパターンをなすように配置されている。【００１５】
一方、ＥＵＶマスク（Ａ−２）は、ＥＵＶ光吸収領域２２において、基板２上にＥＵＶ光を反射する反射層３、ＥＵＶ光を吸収する第１の吸収体層４ａ、およびＥＵＶ光を吸収する第２の吸収体層６をこの順に有している。ここで、第２の吸収体層と区別する都合上、第１の吸収体層としているが、ＥＵＶ光吸収領域２２の第１の吸収体層４ａは、マスクパターンを形成する前のＥＵＶマスクブランクの段階において、マスクパターン領域２１の吸収体層４と同一の層をなしている。要するに、本発明のＥＵＶマスク（Ａ−２）は、ＥＵＶ光吸収領域２２において、マスクパターン領域２１での吸収体層４までの構成（基板２、反射層３、吸収体層４）に加えて第２の吸収体層６をさらに有しているものである。
このような構成にすることにより、本発明のＥＵＶマスク（Ａ−２）では、マスクパターン領域２１に存在する吸収体層４表面からのＥＵＶ反射光の反射率に比べて、ＥＵＶ光吸収領域２２の第２の吸収体層６からのＥＵＶ反射光の反射率がきわめて低くなる。具体的には、マスクパターン領域２１に存在する吸収体層４表面からのＥＵＶ反射光が５〜１５％の反射率であるのに対して、ＥＵＶ光吸収領域２２表面、より具体的には、第２の吸収体層６表面からのＥＵＶ反射光が１％以下の反射率となる。ここで、「ＥＵＶ反射光」とは、ＥＵＶ光の波長域の光線を入射角６度で照射した際に生じる反射光を言い、「ＥＵＶ反射光の反射率」とは、ＥＵＶ反射光のうち波長１３．５ｎｍ付近の光線の反射率を意図している。
第２の吸収体層６表面からのＥＵＶ反射光は、０．８％以下、特に０．６％以下であることが好ましい。【００１６】
上述したように、吸収体層の厚さを薄くすることが求められており、ＥＵＶマスクにＥＵＶ光を照射した際、吸収体層表面からはある程度の反射光が生じる。本発明のＥＵＶマスクの場合、吸収体層表面からのＥＵＶ反射光の反射率は５〜１５％である。吸収体層表面からのＥＵＶ反射光の反射率が５〜１５％であっても、ＥＵＶマスクのマスクパターン領域においては、位相シフトの原理を利用することにより、反射層表面と吸収体層表面との反射コントラストが十分維持できる。しかしながら、マスクパターン領域よりも外側の部位については、反射層からの反射光との位相シフトによる効果が十分得られず、マスクパターン領域よりも外側の部位の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光によって、Ｓｉ基板上のレジストが感光するという問題が生じる可能性がある。【００１７】
本発明のＥＵＶマスク（Ａ−２）では、マスクパターン領域２１の外側にＥＵＶ光吸収領域２２を設けることにより、マスクパターン領域２１の吸収体層４の厚さを薄くしつつ、マスクパターン領域２１よりも外側の部位からのＥＵＶ反射光を低減し、ＥＵＶリソグラフィの際に、マスクパターン領域よりも外側の部位からのＥＵＶ反射光による上記の問題を防止する。【００１８】
なお、本発明のＥＵＶマスク（Ａ−２）の上位概念に当たる本発明のＥＵＶマスク（Ａ−１）は、マスクパターン領域の吸収体層の厚さを薄くしつつ、マスクパターン領域よりも外側の部位からのＥＵＶ反射光を低減することができる限り、図１に示すＥＵＶマスク１０とは異なる構成であってもよい。
図２は、本発明のＥＵＶマスク（Ａ−１）の一態様である、ＥＵＶマスク（Ａ−３）の１実施形態を示す概略断面図である。図２に示すＥＵＶマスク１０´は、ＥＵＶ光吸収領域２２の吸収体層が二層構造（第１の吸収体層４ａ、第２の吸収体層６）となった図１に示すＥＵＶマスク１０とは違い、ＥＵＶ光吸収領域２２の吸収体層が単一の吸収体層４ｂである。但し、マスクパターン領域２１と、ＥＵＶ光吸収領域２２では、吸収体層の膜厚が異なっており、ＥＵＶ光吸収領域２２の吸収体層４ｂのほうがマスクパターン領域２１の吸収体層４よりも膜厚が厚くなっている。吸収体層のＥＵＶ光の吸収特性は、吸収体層の膜厚に依存するので、マスクパターン領域２１に存在する吸収体層４表面からのＥＵＶ反射光が５〜１５％の反射率で、ＥＵＶ光吸収領域２２の吸収体層４ｂの表面からのＥＵＶ反射光が１％以下の反射率となる限り、本発明のＥＵＶマスクは図２に示す構成であってもよい。ＥＵＶ光吸収領域２２の吸収体層４ｂの表面からのＥＵＶ反射光は、０．８％以下、特に０．６％以下であることが好ましい。【００１９】
以下、ＥＵＶマスク（Ａ−１）の各構成要素について説明する。なお、説明上、ＥＵＶマスクの各構成要素を表わす符号には、図１に示すＥＵＶマスク１０で使用しているものを用いる。なお、以下の基板２や反射層３、保護層の記載は、（Ａ−１）のみならず他の実施形態についても同様に適用可能である。
基板２は、ＥＵＶマスク用の基板としての特性を満たすことが要求される。
そのため、基板２は、低熱膨張係数（具体的には、２０℃における熱膨張係数が０±０．０５×１０-7／℃であることが好ましく、特に好ましくは０±０．０３×１０-7／℃）を有し、平滑性、平坦度、および、ＥＵＶマスクの洗浄や吸収体層にマスクパターンを形成する前のＥＵＶマスクブランクの洗浄等に用いる洗浄液への耐性に優れたものが好ましい。基板２としては、具体的には低熱膨張係数を有するガラス、例えばＳｉＯ2−ＴｉＯ2系ガラス等を用いるが、これに限定されず、β石英固溶体を析出した結晶化ガラスや石英ガラスやシリコンや金属などの基板を用いることもできる。
基板２は、表面粗さ（ｒｍｓ）が、ＪＩＳ−Ｂ０６０１で、０．１５ｎｍ以下で、平坦度が１００ｎｍ以下の平滑な表面を有していることが、ＥＵＶマスクにおいて高反射率および転写精度が得られるために好ましい。
基板２の大きさや厚みなどはＥＵＶマスクの設計値等により適宜決定されるものであるが、一例を挙げると外形約６インチ（１５２ｍｍ）角で、厚さ約０．２５インチ（６．３ｍｍ）である。
基板２の成膜面（反射層３が形成される側の面）には欠点が存在しないことが好ましい。しかし、存在している場合であっても、凹状欠点および／または凸状欠点によって位相欠点が生じないように、凹状欠点の深さおよび凸状欠点の高さが２ｎｍ以下であり、かつこれら凹状欠点および凸状欠点の半値幅が６０ｎｍ以下であることが好ましい。【００２０】
反射層３は、ＥＵＶマスクの反射層として所望の特性を有するものである限り特に限定されない。ここで、反射層３に特に要求される特性は、高ＥＵＶ光線反射率であることである。具体的には、反射層３におけるＥＵＶ反射光の反射率の最大値が６０％以上であることが好ましく、６５％以上であることがより好ましい。また、反射層３の上に保護層や低反射層を設けた場合であっても、ＥＵＶ反射光の反射率の最大値が６０％以上であることが好ましく、６５％以上であることがより好ましい。【００２１】
反射層３としては、高ＥＵＶ光線反射率を達成できることから、通常は高屈折率層と低屈折率層を交互に複数回積層させた多層反射膜が用いられる。反射層３をなす多層反射膜において、高屈折率層には、Ｍｏが広く使用され、低屈折率層にはＳｉが広く使用される。すなわち、Ｍｏ／Ｓｉ多層反射膜が最も一般的である。但し、多層反射膜はこれに限定されず、Ｒｕ／Ｓｉ多層反射膜、Ｍｏ／Ｂｅ多層反射膜、Ｍｏ化合物／Ｓｉ化合物多層反射膜、Ｓｉ／Ｍｏ／Ｒｕ多層反射膜、Ｓｉ／Ｍｏ／Ｒｕ／Ｍｏ多層反射膜、Ｓｉ／Ｒｕ／Ｍｏ／Ｒｕ多層反射膜も用いることができる。【００２２】
反射層３をなす多層反射膜を構成する各層の膜厚および層の繰り返し単位の数は、使用する膜材料および反射層に要求されるＥＵＶ光線反射率に応じて適宜選択することができる。Ｍｏ／Ｓｉ反射膜を例にとると、ＥＵＶ光線反射率の最大値が６０％以上の反射層とするには、多層反射膜は膜厚２．３±０．１ｎｍのＭｏ層と、膜厚４．５±０．１ｎｍのＳｉ層とを繰り返し単位数が３０〜６０になるように積層させればよい。【００２３】
なお、反射層３をなす多層反射膜を構成する各層は、マグネトロンスパッタリング法、イオンビームスパッタリング法など、周知の成膜方法を用いて所望の厚さになるように成膜すればよい。例えば、イオンビームスパッタリング法を用いてＳｉ／Ｍｏ多層反射膜を形成する場合、ターゲットとしてＳｉターゲットを用い、スパッタガスとしてＡｒガス（ガス圧１．３×１０-2Ｐａ〜２．７×１０-2Ｐａ）を使用して、イオン加速電圧３００〜１５００Ｖ、成膜速度０．０３〜０．３０ｎｍ／ｓｅｃで厚さ４．５ｎｍとなるようにＳｉ膜を成膜し、次に、ターゲットとしてＭｏターゲットを用い、スパッタガスとしてＡｒガス（ガス圧１．３×１０-2Ｐａ〜２．７×１０-2Ｐａ）を使用して、イオン加速電圧３００〜１５００Ｖ、成膜速度０．０３〜０．３０ｎｍ／ｓｅｃで厚さ２．３ｎｍとなるようにＭｏ膜を成膜することが好ましい。これを１周期として、Ｓｉ膜およびＭｏ膜を４０〜５０周期積層させることによりＳｉ／Ｍｏ多層反射膜が成膜される。なお、Ｓｉターゲットとしては、ＢをドープしたＳｉターゲットであることが導電性の点で好ましい。【００２４】
反射層３表面が酸化されるのを防止するため、反射層３をなす多層反射膜の最上層は酸化されにくい材料の層とすることが好ましい。酸化されにくい材料の層は反射層３のキャップ層として機能する。キャップ層として機能する酸化されにくい材料の層の具体例としては、Ｓｉ層を例示することができる。反射層３をなす多層反射膜がＳｉ／Ｍｏ膜である場合、最上層をＳｉ層とすることによって、該最上層をキャップ層として機能させることができる。その場合キャップ層の膜厚は、１１±２ｎｍであることが好ましい。【００２５】
反射層３と吸収体層４との間に保護層が形成されてもよい。保護層は、エッチング（通常はドライエッチング）により吸収体層４にマスクパターンを形成する際に、反射層３がエッチングによるダメージを受けないよう、反射層３を保護することを目的として設けられる。したがって保護層の材質としては、吸収体層４のエッチングによる影響を受けにくい、つまりこのエッチング速度が吸収体層４よりも遅く、しかもこのエッチングによるダメージを受けにくい物質が選択される。この条件を満たす物質としては、たとえばＣｒ、Ａｌ、Ｔａ及びこれらの窒化物、Ｒｕ及びＲｕ化合物（ＲｕＢ、ＲｕＳｉ等）、ならびにＳｉＯ2、Ｓｉ3Ｎ4、Ａｌ2Ｏ3やこれらの混合物が例示される。これらの中でも、Ｒｕ及びＲｕ化合物（ＲｕＢ、ＲｕＳｉ等）、ＣｒＮおよびＳｉＯ2が好ましく、Ｒｕ及びＲｕ化合物（ＲｕＢ、ＲｕＳｉ等）が特に好ましい。
保護層を設ける場合、その厚さは１〜６０ｎｍ、特に１〜４０ｎｍであることが好ましい。【００２６】
保護層を設ける場合、マグネトロンスパッタリング法、イオンビームスパッタリング法など周知の成膜方法を用いて成膜する。マグネトロンスパッタリング法によりＲｕ膜を成膜する場合、ターゲットとしてＲｕターゲットを用い、スパッタガスとしてＡｒガス（ガス圧１．０×１０-2Ｐａ〜１０×１０-1Ｐａ）を使用して投入電力３０〜１５００Ｖ、成膜速度０．０２〜１．０ｎｍ／ｓｅｃで厚さ２〜５ｎｍとなるように成膜することが好ましい。【００２７】
吸収体層４に特に要求される特性は、反射層３（該反射層３上に保護層が形成されている場合は該保護層。以下同じ）との関係で、ＥＵＶ反射光のコントラストが十分高くなることである。上記の特性を達成するには、吸収体層４表面からのＥＵＶ反射光の反射率をきわめて低くすることが好ましいが、吸収体層４の膜厚を薄くすることが求められていることから、吸収体層４表面からのＥＵＶ反射光の反射率を低くすることのみで、ＥＵＶ反射光のコントラストを十分高くすることは現実的ではない。そこで、反射層３からの反射光との関係で位相シフトの原理を利用して、ＥＵＶ反射光のコントラストを十分高くすることが好ましい。
反射層３からの反射光との関係で位相シフトの原理を利用するためには、吸収体層４からのＥＵＶ反射光の位相が、反射層３からのＥＵＶ反射光の位相と１７５〜１８５度異なることが好ましい。【００２８】
位相シフトの原理を利用する場合、吸収体層４表面からのＥＵＶ反射光の反射率が５〜１５％であることが好ましい。ＥＵＶ反射光のコントラストを十分高めるためには、吸収体層４表面からのＥＵＶ反射光の反射率の最大値が６〜１５％であることが好ましく、７〜１５％であることがさらに好ましい。なお、ＥＵＶ反射光の「反射率の最大値」とは、吸収体層４表面の各測定点における反射率の中の、最も大きい反射率の値をいう。
また、ＥＵＶ反射光のコントラストを十分高めるためには、吸収体層４からのＥＵＶ反射光と反射層３からのＥＵＶ反射光との位相差が、１７５〜１８５度であることが好ましく、１７７〜１８３度であることがさらに好ましい。
なお、位相シフトの原理を利用しなくても、ＥＵＶ反射光のコントラストを十分高めることができる場合、吸収体層４からのＥＵＶ反射光と反射層３からのＥＵＶ反射光との間に位相差を設けなくてもよい。但し、この場合であっても、吸収体層４表面からのＥＵＶ反射光の反射率は上記範囲を満たすことが好ましい。【００２９】
上記の特性を達成するため、吸収体層４は、ＥＵＶ光の吸収係数が高い材料で構成される。ＥＵＶ光の吸収係数が高い材料としては、タンタル（Ｔａ）を主成分とする材料を用いることが好ましい。本明細書において、タンタル（Ｔａ）を主成分とする材料と言った場合、当該材料中Ｔａを４０ａｔ％以上含有する材料を意味する。吸収体層４は、好ましくは５０ａｔ％以上、より好ましくは５５ａｔ％以上、タンタル（Ｔａ）を含有することが好ましい。
吸収体層４に用いるＴａを主成分とする材料は、Ｔａ以外にハフニウム（Ｈｆ）、珪素（Ｓｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、硼素（Ｂ）、水素（Ｈ）および窒素（Ｎ）のうち少なくとも１成分を含有することが好ましい。Ｔａ以外の上記の元素を含有する材料の具体例としては、例えば、ＴａＮ、ＴａＮＨ、ＴａＨｆ、ＴａＨｆＮ、ＴａＢＳｉ、ＴａＢＳｉＮ、ＴａＢ、ＴａＢＮ、ＴａＳｉ、ＴａＳｉＮ、ＴａＧｅ、ＴａＧｅＮ、ＴａＺｒ、ＴａＺｒＮなどが挙げられる。【００３０】
ただし、吸収体層４中には、酸素（Ｏ）を含まないことが好ましい。具体的には、吸収体層４中のＯの含有率が２５ａｔ％未満であることが好ましい。ＥＵＶマスクブランクの吸収体層にマスクパターンを形成してＥＵＶマスクを作成する際には、通常はドライエッチングプロセスが用いられ、エッチングガスとしては、塩素系ガス（あるいは塩素系ガスを含む混合ガス）あるいはフッ素ガス（あるいはフッ素系ガスを含む混合ガス）が通常に用いられる。エッチングプロセスにより反射層がダメージを受けるのを防止する目的で、反射層上に保護層としてＲｕまたはＲｕ化合物を含む膜が形成されている場合、保護層のダメージが少ないことから、エッチングガスとして主に塩素系ガスが使われる。しかしながら、塩素系ガスを用いてドライエッチングプロセスを実施する場合に、吸収体層４が酸素を含有していると、エッチング速度が低下し、レジストダメージが大きくなり好ましくない。吸収体層４中の酸素の含有率は、１５ａｔ％以下であることが好ましく、特に１０ａｔ％以下であることがより好ましく、５ａｔ％以下であることがさらに好ましい。【００３１】
吸収体層４の厚さは、吸収体層４からのＥＵＶ反射光と反射層３からのＥＵＶ反射光との位相差が１７５〜１８５度となるように選択されることが好ましい。また、吸収体層４の厚さは１０〜６０ｎｍ、特に１０〜４０ｎｍ、さらに１０〜３０ｎｍであることが好ましい。【００３２】
上記した構成の吸収体層４は、公知の成膜方法、例えば、マグネトロンスパッタリング法またはイオンビームスパッタリング法を実施することにより形成することができる。
例えば、吸収体層４として、マグネトロンスパッタリング法を用いてＴａＨｆ膜を形成する場合、以下の条件で実施すればよい。
スパッタリングターゲット：ＴａＨｆ化合物ターゲット（Ｔａ＝３０〜７０ａｔ％、Ｈｆ＝７０〜３０ａｔ％）
スパッタガス：Ａｒガス等の不活性ガス（ガス圧１．０×１０-1Ｐａ〜５０×１０-1Ｐａ、好ましくは１．０×１０-1Ｐａ〜４０×１０-1Ｐａ、より好ましくは１．０×１０-1Ｐａ〜３０×１０-１Ｐａ）
成膜前真空度：１×１０-4Ｐａ以下、好ましくは１×１０-5Ｐａ以下、より好ましくは１０-6Ｐａ以下
投入電力：３０〜１０００Ｗ、好ましくは５０〜７５０Ｗ、より好ましくは８０〜５００Ｗ
成膜速度：２．０〜６０ｎｍ／ｍｉｎ、好ましくは３．５〜４５ｎｍ／ｍｉｎ、より好ましくは５〜３０ｎｍ／ｍｉｎ【００３３】
上述したように、本発明のＥＵＶマスク（Ａ−２）（図１に示すＥＵＶマスク１０）において、ＥＵＶ光吸収領域２２に形成される第１の吸収体層４ａは、マスクパターンを形成する前のＥＵＶマスクブランクの段階において、マスクパターン領域２１の吸収体層４と同一の層をなしている。したがって、第１の吸収体層４ａについては、上記マスクパターン領域２１の吸収体層４に関する記載を同様に適用できる。【００３４】
上述したように、本発明のＥＵＶマスク（Ａ−２）（図１に示すＥＵＶマスク１０）では、第２の吸収体層６表面からのＥＵＶ反射光の反射率が１％以下である。但し、本発明のＥＵＶマスク（Ａ−２）は、第１の吸収体層４ａおよび第２の吸収体層６を合わせた層構造全体で、１％以下のＥＵＶ反射光の反射率を達成できればよく、第２の吸収体層６のみで１％以下のＥＵＶ反射光の反射率を達成することは要求されない。なお、第１の吸収体層４ａおよび第２の吸収体層６は単層であっても複数層であってもよい。
なお、第２の吸収体層６表面からのＥＵＶ反射光の反射率０．８％以下がより好ましく、０．５％以下がさらに好ましい。【００３５】
上述した理由により、第２の吸収体層６は、吸収体層４と同様、ＥＵＶ光の吸収係数が高い材料で構成される。但し、ＥＵＶ光吸収領域２２に形成される第２の吸収体層６は、マスクパターン領域２１の吸収体層４とは違い、マスクパターンの形成しやすさ、マスクパターン検査光に対する低反射化等が要求されないため、マスクパターン領域２１の吸収体層４よりも幅広い材料から選択することができる。
上記の特性を満足する第２の吸収体層の材料としては、以下に挙げる元素または化合物のうち、少なくとも１つを主成分として含む材料が挙げられる。
ゲルマニウム（Ｇｅ），アルミニウム（Ａｌ），チタン（Ｔｉ），ニッケル（Ｎｉ），窒化タンタル（ＴａＮ），亜鉛（Ｚｎ），銅（Ｃｕ），テルル（Ｔｅ），タンタル（Ｔａ），ハフニウム（Ｈｆ），ガリウム（Ｇａ），スズ（Ｓｎ），ビスマス（Ｂｉ），アンチモン（Ｓｂ），インジウム（Ｉｎ），オスミウム（Ｏｓ），白金（Ｐｔ），ロジウム（Ｒｈ），コバルト（Ｃｏ），マンガン（Ｍｎ），パラジウム（Ｐｄ），レニウム（Ｒｅ），ルテニウム（Ｒｕ），バナジウム（Ｖ），イリジウム（Ｉｒ），クロム（Ｃｒ），銀（Ａｇ），タリウム（Ｔｌ），タングステン（Ｗ），鉄（Ｆｅ），金（Ａｕ），二酸化チタン（ＴｉＯ2），パラジウム（Ｐｄ），テクネチウム（Ｔｃ）【００３６】
なお、第２の吸収体層６は、ＥＵＶ光の吸収係数が高い材料で構成されることに加えて、ＥＵＶマスクの製造方法によっては、第１の吸収体層４ａとは異なる特性を有することが好ましい。
後述する本発明のＥＵＶマスクの製造方法（１）のように、第１の吸収体層の表面上全体に第２の吸収体層を有しているＥＵＶマスクブランク（Ａ）から、製造されるＥＵＶマスクにおいてマスクパターン領域となる部位に存在する第２の吸収体層を除去して第１の吸収体層を露出させる場合、第２の吸収体層には、以下の特性が要求される。
・現実的な条件で成膜可能であること（好ましくはスパッタリング法により、第１の吸収体層と同様の手順で成膜可能であること）。
・現実的な条件で除去可能であること（好ましくは第１の吸収体層と同様の手順でエッチング除去可能であること）。
・除去時に第１の吸収体層と区別可能であること（第２の吸収体層を除去して第１の吸収体層を露出させる際に、第２の吸収体層の除去の終点を判定できること）。【００３７】
前者２つの特性を満たすうえで好適な材料としては、マスクパターン領域２１の吸収体層４の構成材料として挙げたタンタル（Ｔａ）を主成分とする材料がある。但し、ＥＵＶマスクのマスクパターン領域となる部位において第２の吸収体層を除去して第１の吸収体層を露出させるため、第２の吸収体層は、除去時に第１の吸収体層と区別可能であることが要求される。
第２の吸収体層を除去する際にその終点を判定するための手段の一つとして、第１の吸収体層には含まれない元素を第２の吸収体層に含有させておくこと、あるいは、第２の吸収体層には含まれない元素を第１の吸収体層に含有させておくことが挙げられる。この目的で含有させる元素としては、例えば、プラズマ発光モニターを用いて終点判定をする場合、発光スペクトルの変化の識別がしやすい理由から、クロム（Ｃｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ケイ素（Ｓｉ）、窒素（Ｎ）が挙げられる。【００３８】
また、別の一つの方法としては、第１の吸収体層と、第２の吸収体層と、の間で十分なエッチング選択比が確保できるように両者の材料を選択することが挙げられる。具体的には、第２の吸収体層のエッチングレートに対する第１の吸収体層のエッチングレートの比（エッチング選択比）が０．１未満であることが好ましい。上記エッチング選択比は０．０５未満であることがより好ましく、０．０２未満であることがさらに好ましい。このようなエッチングレートを満たす第１の吸収体層および第２の吸収体層の組合せは、第１の吸収体層の材料がＴａＨｆで第２の吸収体層の材料がＴａＮＨであるとき、第１の吸収体層の材料がＴａＮＨで第２の吸収体層の材料がＣｒＮであるとき、第１の吸収体層の材料がＴａＨｆで第２の吸収体層の材料がＣｒＮであるとき、などが例示される。【００３９】
なお、後述するように、第１の吸収体層と第２の吸収体層との間にマスクパターンの検査時におけるコントラストを良好とするための低反射層を有している場合、該低反射層の存在により第２の吸収体層を除去する際の終点を判定できることから、第１の吸収体層と、第２の吸収体層と、が同一の材料で構成されていてもよい。エッチング条件を同じにできる点で、同一材料であることが好ましい。【００４０】
一方、ＥＵＶマスクの製造に本発明のＥＵＶマスクブランク（Ｃ）を用いる場合、マスクパターン領域よりも外側に存在する第１の吸収体層上にのみ第２の吸収体層を有しているため、上述した３つの特性のうち、現実的な条件で成膜可能であることのみが要求される。
この特性を満たす第２の吸収体層の材料としては、Ｔａ、ＴａＢ、Ｈｆ、ＴａＨｆ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｐｄ、およびこれらの窒化物または酸化物が挙げられる。【００４１】
第２の吸収体層６の厚さは、１０〜６０ｎｍであることが好ましい。第２の吸収体層の厚さが１０ｎｍ未満だと、第１の吸収体層の厚さにもよるが第２の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光の反射率が１％以下とならないおそれがある。一方、第２の吸収体層の厚さを５０ｎｍ超としても、第２の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光の反射率の低減にはもはや寄与せず、第２の吸収体層の形成に要する時間が長くなること、および、本発明のＥＵＶマスクの製造方法（１）を採用する場合に、第２の吸収体層の除去に要する時間が長くなることから好ましくない。
第２の吸収体層６の膜厚は、１０〜５０ｎｍであることがより好ましく、１０〜３０ｎｍであることがさらに好ましい。【００４２】
第１の吸収体層４ａおよび第２の吸収体層６の厚さの合計は、７０〜１２０ｎｍであることが好ましい。第１の吸収体層および第２の吸収体層の厚さの合計は７０ｎｍ未満だと、第２の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光の反射率が１％以下とならないおそれがある。一方、第１の吸収体層および第２の吸収体層の厚さの合計を１２０ｎｍ超としても、第２の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光の反射率の低減にはもはや寄与せず、第１吸収体層および第２の吸収体層の形成に要する時間が長くなること、本発明のＥＵＶマスクの製造方法（１）を採用する場合に第２の吸収体層の除去に要する時間が長くなること、および、マスクパターン領域内の吸収体層にパターン形成するのに要する時間が長くなることから好ましくない。
第１の吸収体層および第２の吸収体層の厚さの合計は、７５〜１１０ｎｍであることがより好ましく、７５〜９０ｎｍであることがさらに好ましい。ただし、吸収体層の吸収係数を考慮すると、さらに薄い膜となる可能性があり、そうなると第１の吸収体層および第２の吸収体層の厚さの合計は５０〜１２０ｎｍが好ましく、５０〜１００ｎｍであることが好ましい。
なお、本発明のＥＵＶマスク（Ａ−３）、すなわち、図２に示すＥＵＶマスク１０´では、ＥＵＶ光吸収領域２２に存在する吸収体層４ｂの厚さが、上記第１の吸収体層および第２の吸収体層の厚さの合計と同一の範囲となる。マスクパターン領域２１の吸収体層４の厚さの範囲については、本発明のＥＵＶマスク（Ａ−２）と同様である。【００４３】
本発明のＥＵＶマスク（Ａ−２）において、第２の吸収体層は、公知の成膜方法、例えば、マグネトロンスパッタリング法またはイオンビームスパッタリング法を実施することにより形成することができる。例えば、第２の吸収体層としてＴａＮＨ膜を形成する場合、以下の条件でマグネトロンスパッタリング法を実施すればよい。
スパッタリングターゲット：Ｔａターゲット
スパッタガス：ＡｒとＮ2とＨ2の混合ガス（Ｈ2ガス濃度１〜５０ｖｏｌ％、好ましくは１〜３０ｖｏｌ％、Ｎ2ガス濃度１〜８０ｖｏｌ％、好ましくは５〜７５ｖｏｌ％、Ａｒガス濃度５〜９５ｖｏｌ％、好ましくは１０〜９４ｖｏｌ％、ガス圧１．０×１０-1Ｐａ〜５０×１０-1Ｐａ、好ましくは１．０×１０-1Ｐａ〜４０×１０-1Ｐａ、より好ましくは１．０×１０-1Ｐａ〜３０×１０-1Ｐａ。）
投入電力：３０〜１０００Ｗ、好ましくは５０〜７５０Ｗ、より好ましくは８０〜５００Ｗ
成膜速度：０．５〜６０ｎｍ／ｍｉｎ、好ましくは１．０〜４５ｎｍ／ｍｉｎ、より好ましくは１．５〜３０ｎｍ／ｍｉｎ【００４４】
本発明のＥＵＶマスクは、基板上に反射層、吸収体層、第１の吸収体層および第２の吸収体層以外の構成を有していてもよい。図３は、本発明のＥＵＶマスク（Ｂ−１）の１実施形態を示す概略断面図である。図３に示すＥＵＶマスク１０´´は、マスクパターン領域２１において、吸収体層４上にマスクパターンの検査時におけるコントラストを良好とするための低反射層（以下、「低反射層」という。）５を有しており、ＥＵＶ光吸収領域２２において、第１の吸収体層４ａと第２の吸収体層６との間に低反射層５を有している。要するに、本発明のＥＵＶマスク（Ｂ−１）は、本発明のＥＵＶマスク（Ａ−２）の吸収体層上に低反射層を有しているものである。上述したように、ＥＵＶ光吸収領域２２の第１の吸収体層４ａは、マスクパターンを形成する前のＥＵＶマスクブランクの段階において、マスクパターン領域２１の吸収体層４と同一の層をなすため、吸収体層上に低反射層を有している場合、ＥＵＶ光吸収領域２２では、第１の吸収体層４ａと第２の吸収体層６との間に低反射層５を有していることになる。
なお、ＥＵＶマスク（Ｂ−１）であっても、基板２や反射層３、保護層の記載は上述した記載をそのまま適用できる。【００４５】
ＥＵＶマスクを作製する際、吸収体層にマスクパターンを形成した後、このマスクパターンが設計通りに形成されているかどうか検査する。このマスクパターンの検査では、検査光として通常２５７ｎｍ程度の光を使用した検査機が使用される。つまり、この２５７ｎｍ程度の波長域における反射光のコントラストによって検査される。ＥＵＶマスクの吸収体層は、ＥＵＶ反射光の反射率が極めて低く、ＥＵＶマスクの吸収体層として優れた特性を有しているが、検査光の波長域について見た場合、反射光の反射率が必ずしも十分低いとは言えず、マスクパターンの検査時にはコントラストが十分得られない可能性がある。コントラストが十分得られないと、マスクパターンの検査時に欠陥を十分判別できず、正確な欠陥検査を行えないことになる。【００４６】
吸収体層上にマスクパターンの検査時におけるコントラストを良好とするための低反射層を形成すると、マスクパターンの検査光を低反射層表面に照射した際に生じる反射光の反射率が極めて低くなるので、マスクパターンの検査時のコントラストが良好となる。具体的には、マスクパターンの検査光を低反射層５表面に照射した際に生じる反射光の反射率が１５％以下であることが好ましく、１０％以下であることがより好ましく、５％以下であることがさらに好ましい。【００４７】
低反射層５は、上記の特性を達成するため、検査光の波長の屈折率が吸収体層４よりも低い材料で構成されることが好ましい。
低反射層５にはタンタル（Ｔａ）を主成分とする材料を用いることが好ましい。低反射層５に用いるＴａを主成分とする材料は、Ｔａ以外にハフニウム（Ｈｆ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、珪素（Ｓｉ）、硼素（Ｂ）、窒素（Ｎ）、水素（Ｈ）、酸素（Ｏ）のうち少なくとも１成分を含有する。
Ｔａ以外の上記の元素を含有する材料の具体例としては、例えば、ＴａＯ、ＴａＯＮ、ＴａＯＮＨ、ＴａＨｆＯ、ＴａＨｆＯＮ、ＴａＢＮＯ、ＴａＢＳｉＯ、ＴａＢＳｉＯＮ等が挙げられる。【００４８】
マスクパターン領域２１において、吸収体層４および低反射層５の厚さの合計が１０〜６５ｎｍであることが好ましく、３０〜６５ｎｍであることがより好ましく、３５〜６０ｎｍであることがさらに好ましい。また、低反射層５の膜厚が吸収体層４の膜厚よりも厚いと、吸収体層４でのＥＵＶ光吸収特性が低下するおそれがあるので、低反射層５の膜厚は吸収体層の膜厚よりも薄いことが好ましい。このため、低反射層５の厚さは１〜２０ｎｍであることが好ましく、３〜１５ｎｍであることがより好ましく、５〜１０ｎｍであることがさらに好ましい。【００４９】
ＥＵＶ光吸収領域２２において、第１の吸収体層４ａ、低反射層５および第２の吸収体層６の厚さの合計は、１２〜１００ｎｍであることが好ましく、１５〜１００ｎｍであることがより好ましく、１５〜９０ｎｍであることがさらに好ましい。なお、第１の吸収体層４ａ、低反射層５および第２の吸収体層６は単層であっても複数層であってもよい。
なお、パターニング性が良好となることから、吸収体層４および第１の吸収体層４ａは同じ材質であることが好ましく、さらに同じ膜厚であることが好ましい。【００５０】
本発明のＥＵＶマスク（Ｂ−１）においては、低反射層を有する場合であっても、本発明のＥＵＶマスク（Ａ−１）と同様の特性を有することが好ましい。
例えば、反射層３からの反射光との関係で位相シフトの原理を利用するためには、低反射層５からのＥＵＶ反射光の位相が、反射層３からのＥＵＶ反射光の位相と１７５〜１８５度異なることが好ましい。また、位相シフトの原理を利用する場合、低反射層５表面からのＥＵＶ反射光の反射率が５〜１５％であることが好ましい。ＥＵＶ反射光のコントラストを十分高めるためには、低反射層５表面からのＥＵＶ反射光の反射率の最大値が６〜１５％であることが好ましく、７〜１５％であることがさらに好ましい。
また、ＥＵＶ反射光のコントラストを十分高めるためには、低反射層５からのＥＵＶ反射光と反射層３からのＥＵＶ反射光との位相差が、１７６〜１８４度であることが好ましく、１７７〜１８３度であることがさらに好ましい。【００５１】
低反射層５は、公知の成膜方法、例えば、マグネトロンスパッタリング法またはイオンビームスパッタリング法を実施することにより形成することができる。
例えば、低反射層５として、イオンビームスパッタリング法を用いてＴａＨｆＯ膜を形成する場合、具体的には以下の成膜条件で実施すればよい。
スパッタリングターゲット：ＴａＨｆ化合物ターゲット（Ｔａ＝３０〜７０ａｔ％、Ｈｆ＝７０〜３０ａｔ％）
スパッタガス：ＡｒとＯ2の混合ガス（Ｏ2ガス濃度３〜８０ｖｏｌ％、好ましくは５〜６０ｖｏｌ％、より好ましくは１０〜４０ｖｏｌ％；ガス圧１．０×１０-１Ｐａ〜５０×１０-1Ｐａ、好ましくは１．０×１０-1Ｐａ〜４０×１０-1Ｐａ、より好ましくは１．０×１０-1Ｐａ〜３０×１０-1Ｐａ）
投入電力：３０〜１０００Ｗ、好ましくは５０〜７５０Ｗ、より好ましくは８０〜５００Ｗ
成膜速度：２．０〜６０ｎｍ／ｍｉｎ、好ましくは３．５〜４５ｎｍ／ｍｉｎ、より好ましくは５〜３０ｎｍ／ｍｉｎ【００５２】
第１の吸収体層４ａおよび第２の吸収体層６は、上述したような材質や膜厚を有し、かつ上述したような方法によって形成されることが好ましい。ただし、ＥＵＶマスクが第１の吸収体層４ａ、低反射層５および第２の吸収体層６のような膜構成を有する場合、そのエッチング特性やＥＵＶ光における反射率などを考慮すると、第１の吸収体層４ａ、低反射層５および第２の吸収体層６のすべての層について、Ｔａを主成分とする膜であることが好ましい。また、さらにエッチング特性やＥＵＶ光における反射率などを考慮すると、第１の吸収体層４ａ、低反射層５および第２の吸収体層６のすべての層について、Ｔａを主成分とし、かつ窒素が添加されていることが好ましい。窒素の添加量は、すべての層で２〜４５ａｔ％、特に３〜４０ａｔであることが好ましい。また、エッチングガスの使用選択性を考慮すると、第１の吸収体層４ａおよび第２の吸収体層６について、酸素の含有率は、１５ａｔ％以下であることが好ましく、特に１０ａｔ％以下であることがより好ましく、５ａｔ％以下であることがさらに好ましい。一方、低反射層の酸素の含有率は、３０〜７０ａｔ％であることが好ましい。
第２の吸収体層６についても同様に、低反射層を有する場合であっても、本発明のＥＵＶマスク（Ａ−１）と同様の特性を有することが好ましい。
後述する本発明のＥＵＶマスクの製造方法（２）のように、低反射層の表面上全体に第２の吸収体層を有するＥＵＶマスクブランク（Ｂ）から、製造されるＥＵＶマスクにおいてマスクパターン領域となる部位に存在する第２の吸収体層を除去して低反射層を露出させる場合、第２の吸収体層は除去時に低反射層と区別可能であることが要求される。このため、低反射層と、第２の吸収体層と、の間で十分なエッチング選択比が確保できるように両者の材料を選択することが挙げられる。具体的には、第２の吸収体層のエッチングレートに対する低反射層のエッチングレートの比（エッチング選択比）が０．１未満となるように低反射層および第２の吸収体層の材料を選択することが好ましい。具体的には、例えば低反射層としてＴａＯＮを選択し、第２の吸収体層としてＣｒＮを採用することにより、硝酸第２セリウムアンモニウム溶液を用いたウエットエッチングによって０．０３程度のエッチング選択比をうることができる。
上記のエッチング選択比が０．０５未満となることがより好ましく、０．０２未満となることがさらに好ましい。【００５３】
本発明のＥＵＶマスクは、上記した構成、すなわち、反射層、保護層、吸収体層、第１の吸収体層、第２の吸収体層および低反射層以外に、ＥＵＶマスクの分野において公知の機能膜を有していてもよい。このような機能膜の具体例としては、例えば、特表２００３−５０１８２３号公報に記載されているもののように、基板の静電チャッキングを促すために、基板の裏面側に施される高誘電性コーティングが挙げられる。ここで、基板の裏面とは、ＥＵＶマスクの基板において、反射層が形成されている側とは反対側の面を指す。このような目的で基板の裏面に施す高誘電性コーティングは、シート抵抗が１００Ω／□以下となるように、構成材料の電気伝導率と厚さを選択する。高誘電性コーティングの構成材料としては、公知の文献に記載されているものから広く選択することができる。例えば、特表２００３−５０１８２３号公報に記載の高誘電率のコーティング、具体的には、シリコン、ＴｉＮ、モリブデン、クロム、ＴａＳｉからなるコーティングを適用することができる。高誘電性コーティングの厚さは、例えば１０〜１０００ｎｍとすることができる。
高誘電性コーティングは、公知の成膜方法、例えば、マグネトロンスパッタリング法、イオンビームスパッタリング法といったスパッタリング法、ＣＶＤ法、真空蒸着法、電解メッキ法を用いて形成することができる。【００５４】
次に、本発明のＥＵＶマスクブランクについて説明する。図４は、本発明ＥＵＶマスクブランク（Ａ）の１実施形態を示す概略断面図である。図４に示すＥＵＶマスクブランク１は、基板２上に、反射層３、第１の吸収体層４ａおよび第２の吸収体層６をこの順に有している。第１の吸収体層４ａは、該ＥＵＶマスクブランク１にパターン形成してＥＵＶマスクを作製した際に、マスクパターン領域においては吸収体層、ＥＵＶ光吸収領域においては第１の吸収体層となる。
したがって、ＥＵＶマスクブランク１の各構成要素の構成材料、厚さ、要求される特性、形成方法等については、ＥＵＶマスクにおける該当個所に関する記載を参考にすることができる。【００５５】
図５は、本発明ＥＵＶマスクブランク（Ｂ）の１実施形態を示す概略断面図である。図５に示すＥＵＶマスクブランク１´において、第１の吸収体層４ａと第２の吸収体層６との間に低反射層５を有している点以外は、図４に示すＥＵＶマスクブランク１と同様である。
ＥＵＶマスクブランク１´の各構成要素の構成材料、厚さ、要求される特性、形成方法等については、ＥＵＶマスクにおける該当個所に関する記載を参考にすることができる。【００５６】
図６は、本発明ＥＵＶマスクブランク（Ｃ）の１実施形態を示す概略断面図である。図６に示すＥＵＶマスクブランク１´´は、基板２上に反射層３および第１の吸収体層４ａをこの順に有している点は、図４に示すＥＵＶマスクブランク１と同様である。但し、図６に示すＥＵＶマスクブランク１´´では、ＥＵＶＬを用いて製造されるＥＵＶマスクにおいてマスクパターン領域２１となる部位よりも外側の第１の吸収体層４上にのみ第２の吸収体層６を有している。
ＥＵＶマスクにおいてマスクパターン領域２１となる部位よりも外側の第１の吸収体層４上にのみ第２の吸収体層６を形成するには、基板２上に反射層３および第１の吸収体層４をこの順に形成した後、第１の吸収体層４のうち、ＥＵＶマスクにおいてマスクパターン領域２１となる部位をマスクで覆った状態で第２の吸収体層６を形成すればよい。
ここでマスクブランクに異物が付着したり、マスクブランクが損傷したりするのを防止するため、第２の吸収体層の形成時に使用するマスクは、マスクブランクに接触させることなく、０．２〜１．０ｍｍ程度の隙間を開けた状態で配置することが好ましい。この場合、マスクを固定するための支持部をマスクブランク上に設ける必要がある。マスクブランクによっては、支持部の跡（すなわち、支持部であったため第２の吸収体層が形成されなかった部分）が生じることが許容できない場合もある。この場合、支持部の位置が異なる２つのマスクを用いて、第２の吸収体層の形成を２回に分けて行うことで、支持部の跡が残らないようにすることができる。【００５７】
本発明のＥＵＶマスクブランク（Ｃ）において、第１の吸収体層上に低反射層を有していてもよい。この場合、ＥＵＶＬを用いて製造されるＥＵＶマスクにおいてマスクパターン領域２１となる部位よりも外側の低反射層上にのみ第２の吸収体層６を有している。この場合、ＥＵＶマスクブランクを用いて製造されるＥＵＶマスクにおいてマスクパターン領域２１となる部位よりも外側では、第１の吸収体層４ａと、第２の吸収体層６と、の間に低反射層が存在することになる。
また、この場合に、ＥＵＶマスクにおいてマスクパターン領域となる部位よりも外側にのみ第２の吸収体層を形成するには、基板上に反射層、第１の吸収体層および低反射層をこの順に形成した後、低反射層のうち、ＥＵＶマスクにおいてマスクパターン領域となる部位をマスクで覆った状態で第２の吸収体層を形成すればよい。【００５８】
次に、本発明のＥＵＶマスクの製造方法について説明する。【００５９】
本発明のＥＵＶマスクの製造方法（１）は、本発明のＥＵＶマスクブランク（Ａ）を用いてＥＵＶマスク（Ａ−１）を製造する方法である。図４に示すＥＵＶマスクブランク１を例に本発明のＥＵＶマスクの製造方法（１）を説明する。【００６０】
本発明のＥＵＶマスクの製造方法（１）では、まず始めにＥＵＶマスクブランク１の第２の吸収体層６のうち、製造されるＥＵＶＬマスクにおいてマスクパターン領域２１となる部位に存在する第２の吸収体層６を除去して第１の吸収体層４ａを露出させる。図７はこの手順を実施した後のマスクブランク１を示している。第２の吸収体層６の除去は、フォトリソグラフィプロセスによりマスクパターンを形成する際に通常使用される手順で実施することができる。具体的には例えば、以下の手順で実施することができる。
・第２の吸収体層６上にレジスト膜を形成する。
・電子線または紫外線を用いて該レジスト膜をパターン露光する。
・パターン露光後のレジスト膜を現像してレジストパターンを形成する。
・エッチングプロセスを実施して、レジスト膜で覆われていない部分の第２の吸収体層６を除去する。
第２の吸収体層６の除去に用いるエッチングプロセスとしては、ドライエッチングプロセスまたはウエットエッチングプロセスを用いることができる。
次に、フォトリソグラフィプロセスを実施して、上記手順で露出させた第１の吸収体層４にマスクパターンを形成する。これにより図１に示すＥＵＶマスク１０が製造される。なお、フォトリソグラフィプロセスを実施して、吸収体層４にマスクパターンを形成する手順は、ＥＵＶマスクまたは屈折光学系のフォトマスクにおいて、マスクパターンを形成する際に用いられる通常の手順であってよい。【００６１】
本発明のＥＵＶマスクの製造方法（２）は、本発明のＥＵＶマスク（Ｂ）を用いてＥＵＶマスク（Ｂ−１）を製造する方法である。
本発明のＥＵＶマスクの製造方法（２）は、製造されるＥＵＶマスクにおいてマスクパターン領域２１となる部位に存在する第２の吸収体層６を除去して露出させるのが低反射層５であること、および、フォトリソグラフィプロセスにより低反射層５と該低反射層５の下に位置する第１の吸収体層４にマスクパターンを形成すること以外は、本発明のＥＵＶマスクの製造方法（１）と同様である。【００６２】
本発明のＥＵＶマスク（Ａ−３）も上記と類似した手順で製造することができる。
本発明のＥＵＶマスク（Ａ−３）の製造に用いるＥＵＶマスクブランクは、基板上に反射層および吸収体層がこの順に有する構造であり、吸収体層が図２に示すＥＵＶマスク１０´のＥＵＶ光吸収領域２２の吸収体層４ｂに相当する厚さを有する。このようなＥＵＶマスクブランクを用いて、ＥＵＶマスク（Ａ−３）を製造するには、製造されるＥＵＶマスクにおいてマスクパターン領域２１となる部位に存在する吸収体層４ｂを所定の厚さになるまで除去した後、具体的には、残存する吸収体層４ｂの厚さがＥＵＶマスク１０´におけるパターン領域２１の吸収体層４の厚さになるまで吸収体層４ｂを除去した後、フォトリソグラフィプロセスにより、マスクパターン領域２１となる部位に存在する吸収体層４ｂにマスクパターンを形成すればよい。【００６３】
本発明のＥＵＶマスクブランク（Ｃ）を用いてＥＵＶマスク（Ａ−２）を製造する場合、製造されるＥＵＶマスクにおいてマスクパターン領域２１となる部位で第１の吸収体層４ａが露出しているので、フォトリソグラフィプロセスにより、マスクパターン領域２１となる部位に存在する吸収体層４ａにマスクパターンを形成すればよい。
本発明のＥＵＶマスクブランク（Ｃ）において、第１の吸収体層上に低反射層を有する場合、フォトリソグラフィプロセスにより、ＥＵＶマスクにおいてマスクパターン領域となる部位に存在する低反射層にマスクパターンを形成すればよい。【００６４】
本発明のＥＵＶマスクブランク（Ａ）を用いてＥＵＶマスク（Ａ−２）を製造する場合、以下の手順を実施してもよい。
図４に示すＥＵＶマスクブランク１を例にとると、該ＥＵＶマスクブランクを用いて製造されるＥＵＶマスクにおいてマスクパターン領域となる部位に存在する第２の吸収体層６およびその下にある第１の吸収体層４にフォトリソグラフィプロセスによりマスクパターンを形成する。図８は、この手順を実施した後のＥＵＶマスクブランク１を示している。
次に、フォトリソグラフィプロセスにより、ＥＵＶマスクにおいてマスクパターン領域となる部位に存在する第２の吸収体層６を除去して、第１の吸収体層４を露出させる。これにより図１に示すＥＵＶマスク１０が製造される。
本発明のＥＵＶマスクブランク（Ｂ）を用いてＥＵＶマスク（Ｂ−１）を製造する場合も同様の手順を実施することができる。図５に示すＥＵＶマスクブランク１´を例にとると、該ＥＵＶマスクブランクを用いて製造されるＥＵＶマスクにおいてマスクパターン領域となる部位に存在する第２の吸収体層６ならびにその下にある低反射層５および第１の吸収体層４ａにフォトリソグラフィプロセスによりマスクパターンを形成する。次に、フォトリソグラフィプロセスにより、ＥＵＶマスクにおいてマスクパターン領域となる部位に存在する第２の吸収体層６を除去して、低反射層５を露出させる。これにより図３に示すＥＵＶマスク１０´´が製造される。【００６５】
次に、本発明のＥＵＶマスクを用いた半導体集積回路の製造方法について説明する。本発明のＥＵＶマスクは、ＥＵＶ光を露光用光源として用いるフォトリソグラフィ法による半導体集積回路の製造方法に適用できる。具体的には、レジストを塗布したシリコンウェハ等の基板をステージ上に配置し、反射鏡を組み合わせて構成した反射型の露光装置に本発明のＥＵＶマスクを設置する。そして、ＥＵＶ光を光源から反射鏡を介してＥＵＶマスクに照射し、ＥＵＶ光をＥＵＶマスクによって反射させてレジストが塗布された基板に照射する。このパターン転写工程により、回路パターンが基板上に転写される。回路パターンが転写された基板は、現像によって感光部分または非感光部分をエッチングした後、レジストを剥離する。半導体集積回路は、このような工程を繰り返すことで製造される。
【実施例】
【００６６】
以下、実施例を用いて本発明をさらに説明する。
実施例１
本実施例では、図４に示すＥＵＶマスクブランク１を作製する。
成膜用の基板２として、ＳｉＯ2−ＴｉＯ2系のガラス基板（外形約６インチ（約１５２ｍｍ）角、厚さが約６．３ｍｍ）を使用する。このガラス基板の熱膨張係数は０．０２×１０-7／℃、ヤング率は６７ＧＰａ、ポアソン比は０．１７、比剛性は３．０７×１０7ｍ2／ｓ2である。このガラス基板を研磨により、表面粗さ（ｒｍｓ）が０．１５ｎｍ以下で平坦度が１００ｎｍ以下の平滑な表面にする。【００６７】
基板２の裏面側には、マグネトロンスパッタリング法を用いて厚さ１００ｎｍのＣｒ膜を成膜することによって、シート抵抗１００Ω／□の高誘電性コーティングを施す。
平板形状をした通常の静電チャックに、形成したＣｒ膜を用いて基板２（外形６インチ（１５２ｍｍ）角、厚さ６．３ｍｍ）を固定して、該基板２の表面上にイオンビームスパッタリング法を用いてＳｉ膜およびＭｏ膜を交互に成膜することを４０周期繰り返すことにより、合計膜厚２７２ｎｍ（（４．５ｎｍ＋２．３ｎｍ）×４０）のＳｉ／Ｍｏ多層反射膜（反射層３）を形成する。
さらに、Ｓｉ／Ｍｏ多層反射膜（反射層３）上に、イオンビームスパッタリング法を用いてＲｕ膜（膜厚２．５ｎｍ）と成膜することにより、保護層（図示しない）を形成する。【００６８】
Ｓｉ膜、Ｍｏ膜およびＲｕ膜の成膜条件は以下の通りである。
Ｓｉ膜の成膜条件
ターゲット：Ｓｉターゲット（ホウ素ドープ）
スパッタガス：Ａｒガス（ガス圧０．０２Ｐａ）
電圧：７００Ｖ
成膜速度：０．０７７ｎｍ／ｓｅｃ
膜厚：４．５ｎｍ
Ｍｏ膜の成膜条件
ターゲット：Ｍｏターゲット
スパッタガス：Ａｒガス（ガス圧０．０２Ｐａ）
電圧：７００Ｖ
成膜速度：０．０６４ｎｍ／ｓｅｃ
膜厚：２．３ｎｍ
Ｒｕ膜の成膜条件
ターゲット：Ｒｕターゲット
スパッタガス：Ａｒガス（ガス圧０．０２Ｐａ）
電圧：５００Ｖ
成膜速度：０．０２３ｎｍ／ｓｅｃ
膜厚：２．５ｎｍ【００６９】
次に、保護層上に、ＴａおよびＨｆを含有する第１の吸収体層４ａ（ＴａＨｆ膜）を、マグネトロンスパッタリング法を用いて形成することにより、基板２上に反射層３、保護層および第１の吸収体層４ａをこの順を有しているマスクブランクを得る。なお、このマスクブランクは第１の吸収体層４ａ表面からのＥＵＶ反射光の反射率を測定するためのマスクブランク（第１の吸収体層の評価用のマスクブランク）である。
第１の吸収体層４ａの成膜条件は以下の通りである。第１の吸収体層ａは、反射層３からの反射光との関係で位相シフトの原理を利用するために必要と想定される厚さとする。
具体的には、４４ｎｍの厚さとする。
第１の吸収体層４ａ（ＴａＨｆ膜）の成膜条件
ターゲット：ＴａＨｆターゲット
スパッタガス：Ａｒ（ガス圧：０．４６Ｐａ）
投入電力：７００Ｗ
成膜速度：６．２ｎｍ／ｍｉｎ
膜組成：Ｔａの含有率が５５ａｔ％、Ｈｆの含有率が４５ａｔ％【００７０】
次に、上記の手順で得られる第１の吸収体層の評価用のマスクブランクの第１の吸収体層４ａの上に、Ｔａ、ＮおよびＨを含有する第２の吸収体層６（ＴａＮＨ膜）を、マグネトロンスパッタリング法を用いて形成することにより、基板２上に反射層３、保護層、第１の吸収体層４ａおよび第２の吸収体層６をこの順に有しているＥＵＶマスクブランク１を得る。
第２の吸収体層の成膜条件は以下の通りである。なお、第２の吸収体層６は、ＥＵＶ光（１３．５ｎｍ）の反射率が１％以下となるように、第１の吸収体層４ａとの合計膜厚を７８ｎｍとする。
第２の吸収体層６（ＴａＮＨ膜）の成膜条件
ターゲット：Ｔａターゲット
スパッタガス：ＡｒとＮ2とＨ2の混合ガス（Ａｒ：８９ｖｏｌ％、Ｎ2：８．３ｖｏｌ％、Ｈ2：２．７ｖｏｌ％、ガス圧：０．４６Ｐａ）
投入電力：３００Ｗ
成膜速度：１．５ｎｍ／ｍｉｎ
膜組成：Ｔａの含有率が５８．１ａｔ％、Ｎの含有率が３８．５ａｔ％、Ｈの含有率３．４ａｔ％【００７１】
ＥＵＶ反射光の反射率評価
上記の手順で得られる第１の吸収体層評価用のマスクブランクの第１の吸収体層４ａの表面にＥＵＶ光（波長１３．５ｎｍ）を照射して、第１の吸収体層４ａの表面からのＥＵＶ反射光の反射率を測定する。同様に、上記手順で得られるＥＵＶマスクブランク１の第２の吸収体層６の表面にＥＵＶ光（波長１３．５ｎｍ）を照射して、第２の吸収体層６の表面からのＥＵＶ反射光の反射率を測定する。
なお、ＥＵＶ反射光の反射率の測定方法は、以下のとおりである。
シンクロトロン放射光を用いて、まず所望の波長に分光されたＥＵＶ光をフォトダイオードに直接入射した時のＥＵＶ光強度を計測し、引き続いてマスクブランク表面に対して法線から６度方向からＥＵＶ光を入射し、その反射光強度を計測する。このようにして計測された直接光強度に対する反射光強度比を計算することで所望の波長における反射率を求めることができる。
結果は以下の通り。
（第１の吸収体層４ａの表面からのＥＵＶ反射光の反射率）
膜厚４４ｎｍにおいて５．２％
（第２の吸収体層６の表面からのＥＵＶ反射光の反射率）
第１の吸収体層４ａとの合計膜厚７８ｎｍにおいて０．４％
第２の吸収体層６の表面からのＥＵＶ反射光の反射率が１％以下であり、マスクパターン領域の外側に設けるＥＵＶ光吸収領域として機能するのに十分な低反射率である。
また、実施例１における、吸収体層４からのＥＵＶ反射光と反射層３からのＥＵＶ反射光との位相差は１７７〜１８３度程度である。
このような第１の吸収体層４ａと第２の吸収体層６とを組み合わせた、図１に例示されたようなＥＵＶマスクとすることにより、マスクパターン領域では反射層からの反射光との関係で位相シフトの原理を利用することができ、マスクパターン領域の外側からのＥＵＶ反射光の反射率が低減されることにより、マスクパターン領域の外側からの反射光による基板上レジストの不要な感光を抑制できることが期待される。【００７２】
＜実施例２＞
本実施例では、図５に示すＥＵＶマスクブランク１´を作製する。
基板２上に反射層３、保護層（図示しない）、第１の吸収体層４ａ、低反射層５および第２の吸収体層６をこの順に形成して、ＥＵＶマスクブランクを得る。ＥＵＶマスクブランクの各構成は以下の通り。
基板２：ＳｉＯ2−ＴｉＯ2系のガラス基板（外形約６インチ（約１５２ｍｍ）角、厚さが約６．３ｍｍ）
反射層３：Ｓｉ／Ｍｏ多層反射膜、Ｓｉ／Ｍｏ繰り返し単位におけるＳｉ膜の膜厚２．５ｎｍ、Ｍｏ膜の膜厚２．３ｎｍ、合計膜厚２７２ｎｍ（（４．５ｎｍ＋２．３ｎｍ）×４０）
保護層：Ｒｕ膜、膜厚２．５ｎｍ
第１の吸収体層４ａ：ＴａＮＨ膜、膜厚４０ｎｍ、
低反射層：ＴａＯＮ膜、膜厚７ｎｍ
第２の吸収体層６：ＣｒＮ膜、膜厚３５ｎｍ
第１の吸収体層４ａ（ＴａＮＨ膜）の成膜条件（マグネトロンスパッタリング法）
ターゲット：Ｔａターゲット
スパッタガス：ＡｒとＮ2とＨ2の混合ガス（Ａｒ：８９ｖｏｌ％、Ｎ2：８．３ｖｏｌ％、Ｈ2：２．７ｖｏｌ％、ガス圧：０．４６Ｐａ）
投入電力：３００Ｗ
成膜速度：１．５ｎｍ／ｍｉｎ
膜組成：Ｔａの含有率が５８．１ａｔ％、Ｎの含有率が３８．５ａｔ％、Ｈの含有率３．４ａｔ％
低反射層５（ＴａＯＮ膜）の成膜条件（マグネトロンスパッタリング法）
ターゲット：Ｔａターゲット
スパッタガス：ＡｒとＮ2とＯ2（Ａｒ：５０ｖｏｌ％、Ｎ2：１３ｖｏｌ％、Ｏ2：３７ｖｏｌ％、ガス圧：０．３Ｐａ）
投入電力：１５０Ｗ
成膜速度：５．１ｎｍ／ｍｉｎ
膜厚：７ｎｍ
膜組成：Ｔａの含有率が２２ａｔ％、Ｏの含有率が６５ａｔ％、Ｎの含有率が１３ａｔ％
第２の吸収体層６（ＣｒＮ膜）の成膜条件（マグネトロンスパッタリング法）
ターゲット：Ｃｒターゲット
スパッタガス：ＡｒとＮ2混合ガス（Ａｒ：８０ｖｏｌ％、Ｎ2：２０ｖｏｌ％、ガス圧：０．２Ｐａ）
投入電力：５００Ｗ
成膜速度：５．２ｎｍ／ｍｉｎ
膜組成：Ｃｒの含有率が６４．５ａｔ％、Ｎの含有率が３５．５ａｔ％
なお、Ｓｉ膜、Ｍｏ膜、Ｒｕ膜の成膜条件は実施例１と同様である。
このＥＵＶマスクブランクに対して、フォトリソグラフィプロセスにより模擬的なマスクパターンの形成を実施する。具体的には、紫外線ポジ型レジスト膜をＥＵＶマスクブランクの第２の吸収体層の全面に形成した後に、マスクパターン領域を紫外線露光し、現像してレジストパターンを形成したのち、硝酸第二セリウムアンモニウム（Ｃｒエッチング溶液）を用いたウェットエッチングプロセスにより、マスクパターン領域全面のＣｒＮ膜（第２の吸収体層）を除去する。その後、マスクパターン領域の外側に設けられたＥＵＶ光吸収領域に残留する紫外線ポジ型レジスト膜を５％ＫＯＨを用いて剥離する。
上記によりマスクパターン領域の第２の吸収体層が除去されたマスクブランクを洗浄した後、ポジレジストＦＥＰ１７１（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製）を用いてマスクブランク上にレジスト膜を形成した後、マスクパターン領域のレジスト膜に所望のパターンを電子線描画装置を用いて描画し、現像する。引き続いて、ＩＣＰ（反応性イオン）エッチング装置を用いて、エッチングガスとしてＣＦ4ガスを使用してマスクパターン領域のＴａＯＮ膜をドライエッチングプロセスにより除去し、ついでエッチングガスとしてＨｅで希釈したＣｌ2を使用してＴａＮＨ膜をドライエッチングプロセスにより除去する。この結果、マスクパターン領域はＲｕ膜が露出した状態となる。
ＴａＯＮ膜およびＴａＮＨ膜の除去後、マスクブランク上に存在するレジスト膜を洗浄除去し、図３に例示するようなＥＵＶマスクを形成する。形成されたＥＵＶマスクのＲｕ膜表面およびＣｒＮ膜表面にＥＵＶ光（波長１３．５ｎｍ）を照射して、Ｒｕ膜表面およびＣｒＮ膜表面からのＥＵＶ反射光の反射率を測定する。
ＥＵＶマスクのマスクパターン領域のうち、保護層が露出した部分に相当するＲｕ膜表面からのＥＵＶ反射光の反射率は６３％である。低反射層５の表面からのＥＵＶ反射光の反射率は５．３％である。マスクパターン領域の外側に設けられたＥＵＶ光吸収領域に相当するＣｒＮ膜表面からのＥＵＶ反射光の反射率は０．５％未満である。【００７３】
実施例３〜５
本実施例では、本発明のＥＵＶマスクブランク（Ｃ）を作製する。作製するマスクブランクは、図６に示すＥＵＶマスクブランク１´´の第１の吸収体層４ａ上に低反射層を設けた構成（第１の吸収体層４ａと第２の吸収体層６との間に低反射層を設けた構成）である。
＜実施例３＞
基板２上に反射層３、保護層（図示しない）、第１の吸収体層４ａおよび低反射層（図示しない）がこの順に形成されたマスクブランクを準備し、該マスクブランクのマスクパターン領域をマスクで覆った状態で第２の吸収体層６を形成してＥＵＶマスクブランクを得る。各層の成膜条件は実施例２と同様である。
ＥＵＶマスクブランクの各構成は以下の通り。
基板２：ＳｉＯ2−ＴｉＯ2系のガラス基板（外形約６インチ（約１５２ｍｍ）角、厚さが約６．３ｍｍ
反射層３：Ｓｉ／Ｍｏ多層反射膜、Ｓｉ／Ｍｏ繰り返し単位におけるＳｉ膜の膜厚２．５ｎｍ、Ｍｏ膜の膜厚２．３ｎｍ、合計膜厚２７２ｎｍ（（４．５ｎｍ＋２．３ｎｍ）×４０）
保護層：Ｒｕ膜、膜厚２．５ｎｍ
第１の吸収体層４ａ：ＴａＮＨ膜、膜厚４０ｎｍ、
低反射層：ＴａＯＮ膜、膜厚７ｎｍ
第２の吸収体層６：ＣｒＮ膜、膜厚３５ｎｍ
このＥＵＶマスクブランクに対して、フォトリソグラフィプロセスにより模擬的なマスクパターンの形成を実施する。ポジレジストＦＥＰ１７１（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製）を用いてレジスト膜を形成した後、マスクパターン領域のレジスト膜に所望のパターンを電子線描画装置を用いて描画、現像する。引き続いて、ＩＣＰ（反応性イオン）エッチング装置を用いて、エッチングガスとしてＣＦ4ガスを使用してＴａＯＮ膜をドライエッチングプロセスにより除去し、ついでエッチングガスとしてＨｅで希釈したＣｌ2を使用してＴａＮＨ膜をドライエッチングプロセスにより除去する。この結果、マスクパターン領域はＲｕ膜が露出した状態となる。
ＴａＯＮ膜およびＴａＮＨ膜の除去後、マスクブランク上に存在するレジスト膜を洗浄除去し、図３に例示するようなＥＵＶマスクを形成する。形成されたＥＵＶマスクのＲｕ膜表面およびＣｒＮ膜表面にＥＵＶ光（波長１３．５ｎｍ）を照射して、Ｒｕ膜表面およびＣｒＮ膜表面からのＥＵＶ反射光の反射率を測定する。
ＥＵＶマスクのマスクパターン領域のうち、保護層が露出した部分に相当するＲｕ膜表面からのＥＵＶ反射光の反射率は６３％である。低反射層５の表面からのＥＵＶ反射光の反射率は５．３％である。マスクパターン領域の外側に設けられたＥＵＶ光吸収領域に相当するＣｒＮ膜表面からのＥＵＶ反射光の反射率は０．５％未満である。【００７４】
＜実施例４＞
第２の吸収体層６として、ＣｒＮ膜の代わりに、ＴａＮＨ（５０ｎｍ）、Ｔｉ膜（５０ｎｍ）、ＴａＨｆ膜（３５ｎｍ）またはＴａＨｆＯＮ膜（３５ｎｍ）を形成すること以外は、実施例３と同様に実施する。
各膜の成膜条件は以下の通り。
ＴａＮＨ膜の成膜条件：実施例１と同様
Ｔｉ膜の成膜条件（マグネトロンスパッタリング法）
ターゲット：Ｔｉターゲット
スパッタガス：Ａｒ（Ａｒ：１００ｖｏｌ％、ガス圧：０．２５Ｐａ）
投入電力：３５０Ｗ
成膜速度：８．９ｎｍ／ｍｉｎ
膜組成：Ｔｉの含有率が１００ａｔ％
ＴａＨｆ膜の成膜条件：実施例１と同様
ＴａＨｆＯＮ膜の成膜条件（マグネトロンスパッタリング法）
ターゲット：ＴａＨｆ化合物ターゲット（組成比：Ｔａ５５ａｔ％、Ｈｆ４５ａｔ％）
スパッタガス：ＡｒとＮ2とＯ2の混合ガス（Ａｒ：４５ｖｏｌ％、Ｎ2：２３ｖｏｌ％、Ｏ2：３２ｖｏｌ％、ガス圧：０．３Ｐａ）
投入電力：１５０Ｗ
成膜速度：６．８ｎｍ／ｍｉｎ
膜組成：Ｔａの含有率が３５ａｔ％、Ｈｆの含有率が１５ａｔ％、Ｏの含有率が３５ａｔ％、Ｎの含有率が１５ａｔ％
実施例３と同様の手順でＴａＯＮ膜およびＴａＮＨ膜を除去した後、Ｒｕ膜表面および第２の吸収体層（ＴａＮＨ膜、Ｔｉ膜、ＴａＨｆ膜またはＴａＨｆＯＮ膜）表面からのＥＵＶ反射光の反射率を測定すると、各吸収体層の反射率が実施例３と同等であることが確認される。【００７５】
＜実施例５＞
第１の吸収体層４ａがＴａＨｆ膜（膜厚４０ｎｍ）、低反射層がＴａＨｆＯＮ（膜厚７０ｎｍ）である点が実施例３とは異なるマスクブランクを準備し、第２の吸収体層６として、Ｐｔ膜（膜厚４０ｎｍ）、ＣｒＮ膜（５０ｎｍ）、ＴａＨｆ膜（３５ｎｍ）またはＴｉＮ膜（６０ｎｍ）を形成すること以外は、実施例３と同様に実施する。ＴａＨｆ膜の成膜条件は実施例１と同様であり、ＴａＨｆＯＮ膜の成膜条件は実施例４と同様である。第２の吸収体層としての各膜の成膜条件は以下の通りである。
Ｐｔ膜の成膜条件（マグネトロンスパッタリング法）
ターゲット：Ｐｔターゲット
スパッタガス：Ａｒ（Ａｒ：１００ｖｏｌ％、ガス圧：０．３Ｐａ）
投入電力：４００Ｗ
成膜速度：４．２ｎｍ／ｍｉｎ
ＣｒＮ膜の成膜条件：実施例２と同様
ＴａＨｆ膜の成膜条件：実施例１と同様
ＴｉＮ膜の成膜条件（マグネトロンスパッタリング法）
ターゲット：Ｔｉターゲット
スパッタガス：ＡｒとＮ2（Ａｒ：７５ｖｏｌ％、Ｎ2：２５ｖｏｌ％、ガス圧：０．４Ｐａ）
投入電力：５５０Ｗ
成膜速度：３．９ｎｍ／ｍｉｎ
膜組成：Ｔｉの含有率が６２ａｔ％、Ｎの含有率が３８ａｔ％
エッチングガスとしてＨｅで希釈したＣｌ2を使用して、マスクパターン領域の低反射層および第１の吸収体層をドライエッチングプロセスにより除去した後、Ｒｕ膜表面および第２の吸収体層表面からのＥＵＶ反射光の反射率を測定すると、各吸収体層の反射率が実施例３と同等であることが確認される。
＜実施例６＞
実施例１と同様の方法で、Ｓｉ／Ｍｏ多層反射膜およびＲｕ膜（保護層）を形成する。次に、保護層上に、第１の吸収体層４ａ（ＴａＮＨ膜）を、マグネトロンスパッタリング法を用いて形成することにより、基板２上に反射層３、保護層および第１の吸収体層４ａをこの順に有しているマスクブランクを得る。
第１の吸収体層４ａの成膜条件は以下の通りである。第１の吸収体層４ａは、反射層３からの反射光との関係で位相シフトの原理を利用するために必要と想定される厚さとする。具体的には、４４ｎｍの厚さとする。
第１の吸収体層４ａ（ＴａＮＨ膜）の成膜条件：実施例２と同様
次に、上記の手順で得られる第１の吸収体層の評価用のマスクブランクの第１の吸収体層４ａの上に、第２の吸収体層６（ＴａＨｆ膜）を、マグネトロンスパッタリング法を用いて形成することにより、基板２上に反射層３、保護層、第１の吸収体層４ａおよび第２の吸収体層６をこの順に有しているＥＵＶマスクブランク１を得る。
第２の吸収体層の成膜条件は以下の通りである。なお、第２の吸収体層６は、ＥＵＶ光（１３．５ｎｍ）の反射率が１％以下となるように、第１の吸収体層４ａとの合計膜厚を７８ｎｍとする。
第２の吸収体層６（ＴａＨｆ膜）の成膜条件：実施例１と同様
ＥＵＶ反射光の反射率評価
実施例１と同様の方法により反射率を測定した。結果は以下の通り。
（第１の吸収体層４ａの表面からのＥＵＶ反射光の反射率）
膜厚４４ｎｍにおいて５．２％
（第２の吸収体層６の表面からのＥＵＶ反射光の反射率）
第１の吸収体層４ａとの合計膜厚７８ｎｍにおいて０．４％
上記反射率が１％以下であり、マスクパターン領域の外側に設けるＥＵＶ光吸収領域として機能するのに十分な低反射率である。
また、実施例６における、吸収体層４からのＥＵＶ反射光と反射層３からのＥＵＶ反射光との位相差は１７７〜１８３度程度である。
このような第１の吸収体層４ａと第２の吸収体層６とを組み合わせた、図１に例示されたようなＥＵＶマスクとすることにより、マスクパターン領域では反射層からの反射光との関係で位相シフトの原理を利用することができ、マスクパターン領域の外側からのＥＵＶ反射光の反射率が低減されることにより、マスクパターン領域の外側からの反射光による基板上レジストの不要な感光を抑制できることが期待される。
＜実施例７＞
実施例１と同様の方法で、Ｓｉ／Ｍｏ多層反射膜およびＲｕ膜（保護層）を形成する。次に、保護層上に、第１の吸収体層４ａ（ＴａＢＮ膜）を、マグネトロンスパッタリング法を用いて形成することにより、基板２上に反射層３、保護層および第１の吸収体層４ａをこの順に有しているマスクブランクを得る。ＴａＢＮ膜の厚さは４５ｎｍであり、ＴａＢＮ膜は、Ｔａ及びＢを含むターゲットを用いて、Ａｒに窒素を１０％添加して、ＤＣマグネトロンスパッタ法によって形成する。このＴａＢＮ膜の組成比は、Ｔａは６０ａｔ％、Ｂは１０ａｔ％、Ｎは３０ａｔ％とする。ＴａＢＮ膜の結晶状態はアモルファスである。
次に第１の吸収体層の上に低反射層として、タンタルホウ素合金の酸窒化物（ＴａＢＮＯ）膜を１５ｎｍの厚さに形成する。このＴａＢＮＯ膜は、ＤＣマグネトロンスパッタ法によって、Ｔａ及びＢを含むターゲットを用いて、Ａｒに窒素を１０％と酸素を２０％添加して成膜する。ここで成膜された低反射層のＴａＢＮＯ膜の組成比は、Ｔａは４０ａｔ％、Ｂは１０ａｔ％、Ｎは１０ａｔ％、Ｏは４０ａｔ％である。
次に低反射層上に第２の吸収体層６として、ＴａＢＮ膜を３０ｎｍの厚さで形成する。形成方法は、第１の吸収体層４ａを形成する場合と同様である。
得られるマスクブランクについて、第１の吸収体層４ａの表面からのＥＵＶ反射光の反射率および第２の吸収体層６の表面からのＥＵＶ反射光の反射率について測定を行うと、それぞれ５．３％および０．３％であり、十分な低反射率を有していることが分かる。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明のＥＵＶマスクおよびＥＵＶマスクブランクは、マスクパターン領域よりも外側の領域からの反射光による影響が抑制され、形状精度や寸法精度に優れる転写パターンを実現できるため、半導体産業において広く利用できる。
なお、２００８年７月１４日に出願された日本特許出願２００８−１８２４３９号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として取り入れるものである。
【符号の説明】
【００７７】
１，１´，１´´：ＥＵＶマスクブランク
２：基板
３：反射層
４，４ａ，４ｂ：吸収体層（第１の吸収体層）
５：低反射層
６：第２の吸収体層
１０，１０´，１０´´：ＥＵＶマスク
２１：マスクパターン領域
２２：ＥＵＶ光吸収領域
１００：ＥＵＶマスク
１２０：基板
１３０：反射層
１４０：吸収体層
２００：実際の露光領域
２１０：マスクパターン領域
２２０：マスクパターン領域の外側の領域
【図１】
0005541159.tif 000002
【図２】
0005541159.tif 000003
【図３】
0005541159.tif 000004
【図４】
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【図５】
0005541159.tif 000006
【図６】
0005541159.tif 000007
【図７】
0005541159.tif 000008
【図８】
0005541159.tif 000009
【図９】
0005541159.tif 000010