(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗工対象である基材の上方に塗工液を塗工する塗工ノズルが配され、
上部が大気に開放され、下端部が前記塗工液の吐出口となった複数の毛管状隙間が任意の間隔を開けた前記塗工ノズルの内部に、前記塗工ノズルの左右方向に設けられ、
前記塗工ノズルに前記塗工液の液入口が設けられ、
前記液入口と前記各毛管状隙間のそれぞれとを連結する連結空間が前記塗工ノズル内部に設けられ、
大気開放された状態で前記塗工液を貯留すると共に、前記液出口にサイフォン管によって連結されて前記塗工液を供給する塗工液供給部が配され、かつ、前記貯留された塗工液の液高さが前記連結空間の前記各毛管状隙間側の出口より高く配置され、
前記塗工ノズルを前記基材に対し相対的に前後方向に移動させる移動部が設けられ、
前記移動部により前記基材と前記塗工ノズルとを相対的に移動と停止を繰り返しながら、前記塗工液供給部から前記サイフォン管と前記連結空間を経て前記各毛管状隙間のそれぞれに供給されている前記塗工液を、前記各吐出口のそれぞれから前記基材の上面へパターン塗工し、
前記塗工ノズルは、
前記複数の毛管状隙間の一方の壁面を構成する第１分割部と、
前記複数の毛管状隙間の他方の壁面を構成する第２分割部と、
前記第１分割部と前記第２分割部との間の空間に挟持されるスペーサとを備え、
前記第１分割部は前記液入口と前記連結空間とを有し、
前記第１分割部、又は、前記第２分割部は前記複数の毛管状隙間の上部を大気に開放させるための大気連通孔を有し、
前記スペーサは、左右方向に延びた連結板から下方に前記間隔を開けて複数の櫛歯部が形成された櫛歯状であって、前記複数の櫛歯部の間の空間によって、前記複数の毛管状隙間がそれぞれ形成され、
前記櫛歯部の左右両下端の形状は三角形状をなし、
前記塗工ノズルの前後両下端の形状はくちばし状をなし、
前記第１分割部における下端の前後方向の大きさが、前記第２分割部の下端の前後方向の大きさより大きい、
塗工装置。
【請求項２】
前記塗工液供給部が、
大気開放された状態で前記塗工液を貯留する塗工タンクと、
前記塗工タンクを前記塗工ノズルに対して相対的に上下動させる塗工タンク上下動部と、
前記塗工タンク内の液面高さを非接触で検出する液面検出部と、
前記塗工タンク上下動部を用いて、前記液面検出部によって検出した液面高さを設定値に調整して、前記塗工液を前記基材の上面に接液した後に塗工を開始し、塗工終了後に離液を行う液面制御部と、
を備える請求項１記載の塗工装置。
【請求項３】
前記液面制御部は、
前記基材の上面に前記塗工液を塗工している間、前記液面高さを塗工高さ設定値に維持する、
請求項２記載の塗工装置。
【請求項４】
前記液面制御部は、
前記基材が塗工開始位置に位置し、かつ、前記塗工ノズルを前記基材に近接させた状態で、前記液面高さを前記塗工高さ設定値より高い接液高さ設定値へ相対的に上昇させて、前記塗工液を前記基材の上面へ接液する、
請求項３記載の塗工装置。
【請求項５】
前記液面制御部は、
前記基材が塗工終了位置に位置したとき、前記液面高さを前記塗工高さ設定値から離液高さ設定値へ相対的に下降させて、前記塗工液を前記基材の上面から離液する、
請求項３記載の塗工装置。
【請求項６】
前記基材が塗工終了位置に位置したとき、前記毛管状隙間と前記塗工タンクとの連結するサイフォン管を遮断した後に、前記毛管状隙間内に残っている前記塗工液を吸引して、前記離液を促進する吸引部を備える、
請求項２記載の塗工装置。
【請求項７】
前記基材に塗工することにより減少した塗工液量分を前記塗工タンクに補充する塗工液補充部を備え、
前記塗工タンクに常時所定の塗工液量が充満される、
請求項２乃至６のいずれか一項に記載の塗工装置。
【請求項８】
前記基材は板状の基材であり、
前記板状の基材を上面に吸着して前後方向に搬送するサクションテーブルを前記塗工ノズルの下方に配する、
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の塗工装置。
【請求項９】
前記基材は長尺状の基材であり、
前記長尺状の基材を前後方向に搬送するバックアップロールを前記塗工ノズルの下方に配する、
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の塗工装置。
【請求項１０】
前記連結空間の前記毛管状隙間側の出口が、前記液入口側と同じ高さか、又は、前記液入口側より高い、
請求項１記載の塗工装置。
【請求項１１】
前記連結空間は前記塗工ノズルの左右方向に設けられ、
前記連結空間の前記液入口付近に液溜め部が形成されている、
請求項１記載の塗工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面表示装置や太陽電池などのガラス基板、又は、長尺状のウエブなどの基材に塗工液を塗工する塗工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置などの平面表示装置や薄膜太陽電池の普及に伴い、これらを構成するガラス基板、高分子基板、又は、長尺状のウエブ等の基材に、塗工液を薄く塗工するために、毛管状隙間を有した塗工装置を提案した（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００５−１９９２０８公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１における塗工装置は、毛細管現象とサイフォン現象を利用して、基板の上面に塗工液を塗工するものであるが、塗工対象となる基板の幅方向の全面にしか塗工液を塗工することができず、基板上の必要に領域のみ選択的に塗工液を塗工することができなかった。すなわち、図７に示すように、幅方向において任意の間隔毎に塗工液を塗工するストライプ塗工や、図８に示すような幅方向及び長手方向において、任意の間隔を開けて行うパターン塗工を行うことができないという問題点があった。
【０００４】
そこで、本発明は上記問題点に鑑み、ストライプ塗工やパターン塗工を行うことができる塗工装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、塗工対象である基材の上方に塗工液を塗工する塗工ノズルが配され、上部が大気に開放され、下端部が前記塗工液の吐出口となった複数の毛管状隙間が任意の間隔を開けた前記塗工ノズルの内部に、前記塗工ノズルの左右方向に設けられ、前記塗工ノズルに前記塗工液の液入口が設けられ、前記液入口と前記各毛管状隙間のそれぞれとを連結する連結空間が前記塗工ノズル内部に設けられ、大気開放された状態で前記塗工液を貯留すると共に、前記液出口にサイフォン管によって連結されて前記塗工液を供給する塗工液供給部が配され、かつ、前記貯留された塗工液の液高さが前記連結空間の前記各毛管状隙間側の出口より高く配置され、前記塗工ノズルを前記基材に対し相対的に前後方向に移動させる移動部が設けられ、前記移動部により前記基材と前記塗工ノズルとを相対的に移動と停止を繰り返しながら、前記塗工液供給部から前記サイフォン管と前記連結空間を経て前記各毛管状隙間のそれぞれに供給されている前記塗工液を、前記各吐出口のそれぞれから前記基材の上面へパターン塗工し、前記塗工ノズルは、前記複数の毛管状隙間の一方の壁面を構成する第１分割部と、前記複数の毛管状隙間の他方の壁面を構成する第２分割部と、前記第１分割部と前記第２分割部との間の空間に挟持されるスペーサとを備え、前記第１分割部は前記液入口と前記連結空間とを有し、前記第１分割部、又は、前記第２分割部は前記複数の毛管状隙間の上部を大気に開放させるための大気連通孔を有し、前記スペーサは、左右方向に延びた連結板から下方に前記間隔を開けて複数の櫛歯部が形成された櫛歯状であって、前記複数の櫛歯部の間の空間によって、前記複数の毛管状隙間がそれぞれ形成され、前記櫛歯部の左右両下端の形状は三角形状をなし、前記塗工ノズルの前後両下端の形状はくちばし状をなし、前記第１分割部における下端の前後方向の大きさが、前記第２分割部の下端の前後方向の大きさより大きい、塗工装置である。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、ストライプ塗工、又は、パターン塗工を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
（第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施形態の塗工装置１０について図１〜図７に基づいて説明する。
【０００８】
本実施形態の塗工装置１０は、板状の基材Ｗに塗工液を塗工するものである。例えば、液晶表示装置の製造工程において、ガラス板の表面にフォトレジストや反射防止層や保護膜を形成するため、有機ＥＬ表示装置の製造工程において、ガラス板の表面に材料を塗工するため、又は、太陽電池の製造工程において、ガラス板の表面に材料を塗工するためのものであり、その塗工厚さはドライ状態で０．０１μｍ〜１０μｍである。なお、これは例示であり、板状の基材Ｗであれば塗工可能であり、また、塗工液の種類も限定されない。
【０００９】
（１）塗工装置１０の構成
まず、塗工装置１０の構成について図１に基づいて説明する。
【００１０】
板状の基材Ｗは、上面に複数の吸引口を有したサクションテーブル１２に吸引された状態で支持されるものであり、このサクションテーブル１２は、テーブル走行用モータ１３によって前後方向に移動し、また、このサクションテーブル１２には、バキューム装置よりなる吸引装置５８が接続され、複数の吸引口から基材Ｗを吸引できる。
【００１１】
サクションテーブル１２の上面には、基材Ｗの上面に塗工液を塗工するための塗工ノズル１４が配されている。この塗工ノズル１４についは、後から詳しく説明する。
【００１２】
塗工ノズル１４は、上下動装置２０によって上下動可能である。すなわち、ノズル高さモータ４６の回転軸に連結されたネジ棒４８にラック５０が螺合し、このラック５０に塗工ノズル１４が固定されている。ノズル高さモータ４６を回転させることにより、ラック５０及び塗工ノズル１４が上下方向に移動する。なお、塗工ノズル１４の上下動装置２０におけるネジ棒４８を支持する支持部５２は床に固定されている。
【００１３】
塗工ノズル１４の外部には、塗工液を供給するための塗工タンク２２が設けられている。床に固定された支持部２４には垂直方向にネジ棒２６が回転自在に配され、このネジ棒２６にラック２８が螺合している。このラック２８に塗工タンク２２が取り付けられ、ネジ棒２６はタンク高さモータ３０によって回動し、タンク高さモータ３０を回動させるとネジ棒２６が回転し、それと共にラック２８と塗工タンク２２が塗工ノズル１４に対し上下動するこの塗工タンク２２は、塗工液が貯留されており、その上部が開口し、大気に開放されている。
【００１４】
塗工タンク２２の底面から塗工ノズル１４の側面の液入口４１に向かって塗工液を供給するためのサイフォン管３４が設けられている。このサイフォン管３４は、後から説明する塗工ノズル１４の液入口４１に連結されている
塗工タンク２２の上方には非接触式（例えば、光学式）の液面レベルセンサ３２が配されている。この液面レベルセンサ３２は、塗工タンク２２に溜まっている塗工液の液面高さを測定する。
【００１５】
塗工タンク２２に塗工液を供給するための補充タンク３６が設けられている。この補充タンクから塗工タンク２２の上部に向かって補充パイプ３８が延びている。補充パイプ３８には、不図示のフィルターと電磁弁３９が設けられている。また、補充タンク３６は密閉式であり、コンプレッサ等のポンプ４０から送られてくるイナートガス（例えば、不活性ガス、窒素ガス）により塗工液を補充パイプ３８へ供給する。そして、電磁弁３９を操作することにより、一定量の塗工液を塗工タンク２２に補給する。ここで、不活性ガスを送るのは防爆のためであるが、防爆を目的としない場合は空気等のその他の気体でもよい。
【００１６】
（２）塗工ノズル１４の構成
塗工ノズル１４は、その下部がくちばし状に尖った形状をなし、左右方向に沿って複数の毛細管隙間１６が設けられ、これら毛管状隙間１６のそれぞれの下端部が塗工液の吐出口１８である。
【００１７】
図２の分解斜視図に示すように、塗工ノズル１４は、複数の毛管状隙間１６の前面を構成する第１分割部１４１と、複数の毛管状隙間１６の後面を構成する第２分割部１４２と、第１分割部１４１と第２分割部１４２の間の空間に挟持されるスペーサ１４３より構成される。
【００１８】
スペーサ１４３は、塗工ノズル１４の左右方向（幅方向）に沿って挟持されるものであり、図２及び図３に示すように、連結板１４４から例えば４枚の櫛歯部１４５が延設され、スペーサ１４３は全体として櫛歯状に形成されている。
【００１９】
第１分割部１４１の前面には、塗工液の入口である液入口４１が設けられ、この液入口４１から上方に傾斜した液通路４２が形成されている。この液通路４２の途中には液溜め部４０が形成され、液通路４２の出口には連結口４４が開口している。また、この連結口４４は、第１分割部１４１の後面に左右方向に刻まれた連結溝４５に通じている。
【００２０】
第２分割部１４２の上部には、大気連通スリット１４６が左右方向に設けられている。
【００２１】
第１分割部１４１と第２分割部１４２の間にスペーサ１４３を挟みボルトによって固定すると、複数の櫛歯部１４５，１４５の間の空間によって、複数の毛管状隙間１６が形成される。この毛管状隙間１６の上端は、連結板１４４によって閉塞されているが、この連結板１４４より下の位置に開口している大気連通スリット１４６によって複数の毛管状隙間１６の上部が大気に開放された状態となる。また、この複数の毛管状隙間１６の下端は、開口され塗工液の吐出口１８を形成している。
【００２２】
液入口４１から流入した塗工液は、液溜め部４０を経て、連結口４４から連結溝４５に流れる。この連結溝４５は左右方向に延びているため、この中を流れた塗工液はそれぞれの毛管状隙間１６に流れて、各吐出口１８から塗工液を塗工することができる。
【００２３】
また、櫛歯部１４５の両下端は形状は、図３の拡大図に示すように、三角形状をなし、水平方向に対する角度θ１が、４５°〜９０°、好ましくは５０°〜７０°に尖った形状となっている。
【００２４】
また、塗工ノズル１４の左右方向から見た、くちばし状になっている角度θ２は、図４に示すように３０°〜６０°、好ましくは４０°〜５０°に形成されている。そして、吐出口１８の前後方向の大きさＰは、０．０５〜０．５ｍｍであり、第１分割部１４１における下端の前後方向の大きさＬＲは０．５〜１．０ｍｍであり、第２分割部１４２の下端の前後方向の大きさＬＦは、０．２〜０．５ｍｍとなっている。
【００２５】
このように、角度θ１と角度θ２及びＬＦ、ＬＲ、Ｐを限定する理由は、塗工液を基材Ｗに塗工した場合に、塗工ノズル１４から、塗工液が離れ易くするためである。
【００２６】
（３）塗工装置１０の電気的構成
塗工装置１０の電気的構成について図４に基づいて説明する。
【００２７】
この塗工装置１０を制御するためにマイクロコンピュータよりなる制御部５６が設けられている。この制御部５６には、サクションテーブル１２の移動を行なうテーブル走行用モータ１３、上下動装置２０のノズル高さモータ４６、塗工タンク２２を上下動させるタンク高さモータ３０、液面レベルセンサ３２、ポンプ５４及びサクションテーブル１２の吸着装置５８が接続されている。
【００２８】
制御部５６は、液面レベルセンサ３２によって塗工液の塗工高さを検出して、この検出したデータに基づいてタンク高さモータ３０を駆動させて塗工タンク２２を上下動させ、下記で説明するように塗工タンク２２の液面高さを所定の設定値になるようにフィードバック制御する。
【００２９】
また、塗工によって塗工液が少なくなり、液面レベルセンサ３２によって検出した液面高さが基準値より低くなった場合には、制御部５６はポンプ５４を作動させてイナートガスによって圧力をかけ、補充タンク３６から補充パイプ３８を介して塗工液を送り、電磁弁３９を操作することにより所定量補充して、常に塗工タンク２２内部には、基準値以上の塗工液を貯留させる。
【００３０】
（４）塗工方法
上記構成の塗工装置１０を用いて、基材Ｗの上面に塗工液をストライプ塗工する方法について図１、図３、図６、図７に基づいて説明する。
【００３１】
（４−１）待機工程
待機工程では、サクションテーブル１２の上面に基材Ｗが吸引され、塗工ノズル１４は初期位置である上昇位置からやや下がった待機位置で待機している。
【００３２】
（４−２）接液工程
サクションテーブル１２をテーブル走行用モータ１３によって移動させ、基材Ｗを塗工開始位置に停止させる。
【００３３】
塗工ノズル１４を上下動装置２０によって下降させ、ノズル高さを接液位置に下降させる。
【００３４】
塗工タンク２２を上昇させ、図１に示すように、塗工ノズル１４の吐出口１８から液面までの高さＨ（以下、これを塗工液高さという）を、接液位置まで上昇させる。そして、塗工タンク２２における塗工液液高さＨが、連結溝４５の連結口４４より高く配置されているため、サイフォン現象により塗工タンク２２内部の塗工液が、サイフォン管３４、液溜め部４０、連結溝４５を通り複数の毛管状隙間１６にそれぞれ至る。ここで、連結溝４５の液入口４１側より毛管状隙間１６側ほど上方に傾斜するように設けられていため、サイフォン現象をより発揮させることができる。
【００３５】
各毛管状隙間１６に至った塗工液は、毛細管現象により各毛管状隙間１６から各吐出口１８に至り、基材Ｗの上面に図３に示すように塗工液がストライプ状に接液される。この場合に、図１に示すように各毛管状隙間１６の上部は大気連通スリット１４６により大気に開放されているため、各毛管状隙間１６の幅方向の長さＡに合わせて、塗工液が供給される。これによって、ストライプ塗工が可能となる。
【００３６】
この場合の塗工タンク２２の液面高さである接液位置は、液面レベルセンサ３２によって測定した液面の高さに基づいて決定する。そして、この接液時の状態を約１秒継続する。なお、この時間は例示であって、塗工液の粘性、塗工幅、塗工厚さによって変化する。ここでは、塗工液の粘性として１〜１００ミリパスカル秒であり、好ましくは１〜３０ミリパスカル秒である。
【００３７】
（４−３）接待ち工程
接液工程が終了すると、サクションテーブル１２を停止したままで、塗工タンク２２について、塗工液高さＨを接液位置から接待ち位置に下降させる。これによって、サイフォン現象に基づいて各吐出口１８の位置にある塗工液に対する圧力が小さくなるため、接液工程で吐出口１８と基材Ｗの間に滞留した余分な塗工液が、塗工タンク２２側に吸引される。この吸引が終了した時間（例えば、２秒）後に塗工ノズル１４の高さを塗工位置に下降させる。これによって、目的の塗工厚さｄで塗工液が塗工できる状態となる。この接待ち工程は約５秒である。なお、図１に示すように、ウエット状態で塗工厚さｄは吐出口１８と基材Ｗとの距離ｍ（ｍとしては５０〜３００μｍ）より小さい。
【００３８】
（４−４）塗工工程
接待ち工程が終了すると、サクションテーブル１２を速度Ｖ０で移動させ、塗工厚さｄで毛細管現象とサイフォン現象とを利用して塗工液を基材Ｗの上面にストライプ塗工する。この場合に、毛細管現象により、毛管状隙間１６のそれぞれから基材Ｗの上面に幅方向Ａでストライプ塗工される（図７参照）。そして、サイフォン現象により圧力が一定であるため塗工厚さもｄで維持することができる。そして、サクションテーブル１２を塗工終了位置まで移動させる。なお、塗工により塗工タンク２２内部の塗工液が減少するため、その塗工液高さを一定にする必要があるため、塗工液の減少分だけ塗工タンク２２を上昇させてもよい（図６の点線の部分）。
【００３９】
また、塗工タンク２２と塗工ノズル１４が塗工位置に移動完了後、塗工開始までにサクションテーブル１２の移動を待機させておく。これにより、より塗工厚さｄで塗工することができる。すなわち、接待ち工程において塗工液の余分な分を吸引したが、ここで塗工開始までにサクションテーブル１２の移動を待機させることにより、塗り始めの盛り上がりをより小さくすることができる。
【００４０】
（４−５）離液工程
塗工工程が終了すると、サクションテーブル１２が停止し、塗工ノズル１４が塗工位置の高さのまま、先ず塗工タンク２２を離液位置まで下降させる。これは、サイフォン現象によって圧力を下げて離液を促進させるためである。そして、この離液を促進した後、塗工ノズル１４を離液位置まで上昇させる。これによって、離液が完全に行える。
【００４１】
この後は、塗工タンク２２と塗工ノズル１４とを、初期状態である待機工程のそれぞれの位置に復帰させる。
【００４２】
（５）効果
塗工装置１０であると、以上のようにして塗工開始位置から塗工終了位置まで所定の塗工厚さｄでストライプ塗工を行うことができる。
【００４３】
塗工開始時においては、塗工液高さを接液位置から接待位置に下げることにより、接液工程から接待ち工程に移行するときに塗工量が少なくなり塗工厚さｄより厚くなることが無い。すなわち、接液時に接液位置の高さでサイフォン現象により圧力は高くなっているが、接待ち時には高さを接待位置に下降してサイフォン現象による圧力を下げて接液される塗工量を減らしているため、塗工開始部分における盛り上がり状態を防止ができる。
【００４４】
塗工終了時においては、塗工液高さを塗工位置から離液位置に下げてサイフォン現象による圧力を下げることにより、離液を促進させ、また、塗工終了位置における盛り上がり状態を防止できる。
【００４５】
このように、サイフォン現象によって圧力を調整するため、ポンプ等による圧力調整よりも微調整を行なうことができ、塗工厚さを目的のｄにすることができる。
【００４６】
毛細管現象及びサイフォン現象による圧力を利用しているため、従来の下方から塗工液を毛細管現象によって塗工する場合よりもサクションテーブル１２の移動速度を１．５倍以上速くすることができ、生産効率も高めることができる。
【００４７】
さらに、液溜め部を設けることによって、毛管状隙間１６が複数存在しても、均等な圧力で塗工液を塗工でき、各毛管状隙間１６によって塗工される厚みｄに差が生じない。
【００４８】
（第２の実施形態）
第２の実施形態の塗工装置１０について、図９に基づいて説明する。
【００４９】
本実施形態と第１の実施形態の異なる点は、基材Ｗが板状で無く、長尺状の基材Ｗであり、この長尺状の基材Ｗをバックアップロール６２で走行させている点にある。
【００５０】
塗工ノズル１４は、バックアップロール６２の上方に配置させ、このバックアップロール６２の上方を走行する基材Ｗに塗工液を塗工する。
【００５１】
この塗工装置１０においては、バックアップロール６２を用いることにより板状の基材Ｗだけでなく長尺状の基材Ｗにもストライプ塗工ができる。
【００５２】
（変更例）
本発明は上記各実施形態に限らず、その主旨を逸脱しない限り種々に変更することができる。
【００５３】
（１）変更例１
上記各実施形態では、連結溝４５の液入口４１側より毛管状隙間１６側ほど上方に傾斜するように設けられていたが、同じ高さであってもサイフォン現象を発揮させることができる。
【００５４】
（２）変更例２
上記各実施形態では、液溜め部４０を設けたが、この液溜め部４０を設けないで、液出口から連結溝４５に直接連結してもよい。
【００５５】
（３）変更例３
上記各実施形態では、ストライプ塗工を行う場合について説明したが、図８に示すようなパターン塗工を行う場合には、ストライプ塗工を行った後、一旦塗工を中止し、基材Ｗのみを移動させて無塗工部分を形成し、その後再び塗工を行う工程を繰り返すことにより、図８に示すようなパターン塗工を行うことができる。
【００５６】
（４）変更例４
変更例４としては、塗工装置１０のサイフォン管３４の途中に吸引装置６０を設ける。この吸引装置６０は、塗工が終了し、基材Ｗの移動を停止させて離液を行う場合に、各毛管状隙間１６内部の塗工液を吸引装置６０で吸引して塗工液の離液をより促進させ、塗工終了位置における塗工液の盛り上がり状態を防止できる。
【００５７】
（５）変更例５
上記実施形態では、各毛管状隙間１６の上部を開口する部分は、スリット状の大気連通スリット１４６であったが、これに限らず、各毛管状隙間１６毎に設けられた孔部であってもよい。
【００５８】
また、大気連通スリット１４６は第２分割部１４２に設けたが、これに限らず第１分割部１４１に設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す塗工装置の説明図である。
【図２】塗工ノズルの分解斜視図である。
【図３】塗工ノズルの前方から見た縦断面図及び拡大図である。
【図４】塗工ノズルの下端部の拡大図である。
【図５】塗工装置のブロック図である。
【図６】塗工装置の動作を示すタイムチャートである。
【図７】ストライプ塗工を行った基材の斜視図である。
【図８】パターン塗工を行った基材の斜視図である。
【図９】第２の実施形態を示す塗工装置の説明図である。
【符号の説明】
【００６０】
１０  塗工装置
１２  サクションテーブル
１３  テーブル走行用モータ
１４  塗工ノズル
１６  毛管状隙間
１８  吐出口
２０  上下動装置
２２  塗工タンク
３０  タンク高さモータ
３２  液面レベルセンサ
３４  サイフォン管
３６  補充タンク
５６  制御部
１４１  第１分割部
１４２  第２分割部
１４３  スペーサ
１４４  連結板
１４５  櫛歯部
１４６  大気連通スリット
【図１】
0005405061.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0005405061.tif 000009
【図９】
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