(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明・半透明のウェーハに所定の間隔をもって備えられた複数本のストリートを、ブレードによって切削することにより、切断用の溝を前記ウェーハに加工するダイシング装置による検査方法において、
前記ブレードによって加工された前記溝の上面から照明光を該溝に照射、又前記溝の側面上方から斜めに照明光を該溝に照射し、
前記溝に隣接した隣接溝、又は前記ウェーハの表面からウェーハの内部に入射した照明光が、ウェーハの内部で反射して前記隣接溝及び前記溝から外部に放射された光をカメラで撮像し、
前記カメラで撮像された画像に基づいて前記ウェーハを検査することを特徴とするダイシング装置による検査方法。
【請求項２】
前記溝の領域以外から前記ウェーハに入射する前記照明光を遮蔽した場合の画像と、遮蔽しない場合の画像との差分をとることにより、前記溝を抽出してカーフチェックを行う請求項１に記載のダイシング装置による検査方法。
【請求項３】
前記画像の輝度を、内部欠陥無しの画像の輝度と比較することにより前記ウェーハの内部欠陥を検出する請求項１に記載のダイシング装置による検査方法。
【請求項４】
前記ウェーハの内部反射により前記溝の壁面に映し出される前記ウェーハの内部パターン画像に基づいてウェーハのチップを検査する請求項１に記載のダイシング装置による検査方法。
【請求項５】
前記ウェーハの内部反射により前記溝の壁面に映し出される前記ブレードの研削痕画像に基づいてブレードの刃先状態を検査する請求項１に記載のダイシング装置による検査方法。
【請求項６】
前記溝の画像の輝度の変化に基づいて溝の切削終端位置を測定する請求項１に記載のダイシング装置による検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はダイシング装置による検査方法に係り、特に透明・半透明のウェーハをブレードによってウェーハをダイス状に切断するダイシング装置の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイシング装置は、外周部に砥粒が固着されたブレードによってウェーハを、ストリートに沿って切削し、ダイス状に切断することによりウェーハからチップを得る装置である。このダイシング装置では、ブレードの磨耗によって、ウェーハのストリートにチッピングが生じたり、ブレードの熱変形によって、ブレードで切削された溝（カーフ）の位置がストリートの中心からずれたりする。このためダイシング装置では、あらかじめ設定されたタイミングでブレードのカーフチェックを実施している。すなわち、ブレードで切削された溝に照明光を照射して、この溝をカメラで撮像し、その画像信号を画像処理又は画像を目視検査して、溝の位置、幅、チッピングの有無等をチェックしている。このようなカーフチェックのタイミングは、１枚のチップの間隔をもって所定本数のストリートを切削した後、その最後のストリートに加工された溝についてカーフチェックを実施するのが一般的である。
【０００３】
特許文献１には、ツインスピンドルダイサのステップカット方式におけるカーフチェック方法が開示されている。このカーフチェック方法によれば、未切削のストリートを第１のブレードによって所定深さ切削するとともに、未切削のストリートを第２のブレードによって所定深さ切削し、その切削された２本の溝を検査して、第１のブレードと第２のブレードのカーフチェックを実施している。
【０００４】
特許文献１のカーフチェック方法によれば、第２のブレードのカーフチェックを実施するに際し、未切削のストリートを切削してカーフチェックを実施するので、第１のブレードで切削した溝と第２のブレードで切削した溝とが重なることがなく、正確なカーフチェックを行うことができるという利点がある。
【０００５】
ところで最近では、シリコンカーバイトを主材料とする透明・半透明のウェーハが生産されており、このような透明・半透明のウェーハにおいても、同様のカーフチェックが実施されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１２９８２２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ウェーハのカーフチェックにおいて、不透明のウェーハでは、カメラで撮像されて画像処理された溝全体が、例えば黒色で鮮明に表示されるため、溝形状の視認性がよくカーフチェックを正確に行うことができる。
【０００８】
しかしながら、前述した透明・半透明のウェーハにおいては、溝の黒色が不鮮明であり、溝と思われる部分であっても、溝以外の箇所（チップ、切削前のストリート）の色（白色）と略同色に表示されるため、カーフチェックを正確に行うことが難しいという問題があった。この問題は、透明・半透明のウェーハに入射した照明光が、ウェーハの内部で反射することにより発生するものと考えられる。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、透明・半透明なウェーハの内部で発生する照明光の内部反射を利用して、カーフチェック等の多種の検査を実施することができるダイシング装置による検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のダイシング装置による検査方法は、前記目的を達成するために、透明・半透明のウェーハに所定の間隔をもって備えられた複数本のストリートを、ブレードによって切削することにより、切断用の溝を前記ウェーハに加工するダイシング装置による検査方法において、前記ブレードによって加工された前記溝の上面から照明光を該溝に照射、又前記溝の側面上方から斜めに照明光を該溝に照射し、前記溝に隣接した隣接溝、又は前記ウェーハの表面からウェーハの内部に入射した照明光が、ウェーハの内部で反射して前記隣接溝及び前記溝から外部に放射された光をカメラで撮像し、前記カメラで撮像された画像に基づいて前記ウェーハを検査することを特徴としている。
【００１１】
本発明は、検査対象部位であるカーフチェック用の溝以外からウェーハに入射した照明光が、カーフチェック用の溝からカメラ側に戻ってくる特性を利用した検査方法の発明である。本発明によれば、従来実施することができなかったウェーハ内部のパターン構造の欠陥、内部欠陥（亀裂・空孔などの界面）の認識、加工状態（ブレード先端状態、ブレート中心位置：カーフチェック）の認識、及び位置決めを、内部反射光で映し出されている溝及び隣接溝の画像に基づいて検査することができる。よって、本発明は、透明・半透明なウェーハの内部で発生する照明光の内部反射を利用して、多種の検査を実施することができる。
【００１２】
ところで、発明者は、透明・半透明のウェーハに対するカーフチェック改善策を鋭意検討した結果、次の知見を得た。すなわち、透明・半透明のウェーハにカーフチェック用の照明光を照射すると、その照明光はカーフチェック用の溝の他、その溝に隣接した直近の溝（以下、隣接溝という）にも照射される。そして、隣接溝に照射された照明光の一部は、ウェーハが透明・半透明であるがゆえに、隣接溝からウェーハの内部に入射する。そして、ウェーハの内部で内面反射して、その反射光の一部がカーフチェック用の溝から外方に出射する。その出射した光と、カーフチェック用の溝から反射した光とが干渉し、この干渉光をカメラが撮像する。この結果、画像処理後の画像には、カーフチェック用の溝が鮮明な黒色として表示されず、白色を含んだ色に表示される。つまり、隣接溝からウェーハの内部に入射して内部反射し、内部反射した光のうちカーフチェック用の溝から外方に出射する光が、カーフチェック不良を引き起こす原因であることを実験によって突き止めた。実際に、溝であっても略白色に表示される部分は、隣接溝に近い部分であり、隣接溝に沿って表示された。また、溝のうち隣接溝から離れた部分は黒色に表示された。
【００１３】
本発明は、前記溝の領域以外から前記ウェーハに入射する前記照明光を遮蔽した場合の画像と、遮蔽しない場合の画像との差分をとることにより、前記溝を抽出してカーフチェックを行うことが好ましい。
【００１４】
これにより、本発明によれば、透明・半透明なウェーハであってもカーフチェック用の前記溝を抽出することができるので、カーフチェックを正確に実施することができる。
【００１５】
本発明は、前記画像の輝度を、内部欠陥無しの画像の輝度と比較することにより前記ウェーハの内部欠陥を検出することが好ましい。
【００１６】
ウェーハに内部欠陥（亀裂・空孔などの界面）がある場合、カーフチェック用の溝以外の入射光は、ウェーハの内部で反射してもカーフチェック用の溝からカメラ側に戻らない。すなわち、内部欠陥の発生している溝の周辺では、溝の内部が黒く変色するため、内部欠陥無しの画像と比較して輝度が小さい。本発明では、この輝度の変化（変色）を検出することにより、ウェーハの内部欠陥を検査できる。
【００１７】
従来の検査技術では、被検査部位の外観を画像処理で認識するだけであったが、本発明では、内部反射光を利用することにより、ウェーハ内部の状態を検査することができる。
【００１８】
本発明は、前記ウェーハの内部反射により前記溝の壁面に映し出される前記ウェーハの内部パターン画像に基づいてウェーハのチップを検査することが好ましい。
【００１９】
これにより、本発明はウェーハのダイシング加工中にチップの健全性を検査することができる。
【００２０】
従来の検査技術では、被検査部位の外観を画像処理で認識するだけであったが、本発明では、内部反射光を利用することにより、チップの状態を検査することができる。
【００２１】
本発明は、前記ウェーハの内部反射により前記溝の壁面に映し出される前記ブレードの研削痕画像に基づいてブレードの刃先状態を検査することが好ましい。
【００２２】
本発明は、内部反射によって溝壁面に映し出されるブレードの研削痕の画像、すなわち、内部反射により改善されるコントラスト差がはっきりとした画像を利用してフレードの刃先状態を評価する。よって、本発明は、ウェーハのダイシング加工中にブレードの健全性を検査することができる。
【００２３】
本発明は、前記溝の画像の輝度の変化に基づいて溝の切削終端位置を測定することが好ましい。
【００２４】
本発明は、溝の変色を利用した切削制御に関する発明であり、溝（隣接溝）の輝度状態を認識することで、切削終端位置の測定が可能となる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明のダイシング装置による検査方法によれば、透明・半透明なウェーハの内部で発生する照明光の内部反射を利用したので、多種の検査を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】ツインスピンドルダイサの主要構成を示した平面図
【図２】図１に示したツインスピンドルダイサの側面図
【図３】ＩＴＶカメラの構成を示した概略構造図
【図４】ダイシング装置によるカーフチェック方法の説明図
【図５】ダイシング装置によるカーフチェック方法の説明図
【図６】カーフチェックを行うための画像処理方法の説明図
【図７】ダイシング装置による内部欠陥検査方法の説明図
【図８】内部欠陥検査を行うための画像処理方法の説明図
【図９】ダイシング装置による内部構造検査方法の説明図
【図１０】内部構造検査を行うための画像処理方法の説明図
【図１１】ブレード刃先状態検査を行うための画像処理方法の説明図
【図１２】溝の切削終端位置検査を行うための画像処理方法の説明図
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、添付図面に従って本発明に係るダイシング装置による検査方法の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２８】
図１は、本発明が適用されるツインスピンドルダイサ１０の主要構成を示した平面図であり、図２は、図１に示したツインスピンドルダイサ１０の側面図である。
【００２９】
これらの図に示すツインスピンドルダイサ１０は、ウェーハＷを保持するウェーハテーブル１２と、ウェーハテーブル１２に保持されたウェーハＷを切削する一対の切削ユニット１４Ａ、１４Ｂと、ウェーハＷを撮像する一対の撮像ユニット１６Ａ、１６Ｂと、ツインスピンドルダイサ１０を構成する駆動系、及び制御系を統括制御する制御装置１８とから構成される。
【００３０】
ウェーハテーブル１２は、図１の如く円盤状に構成されており、ウェーハＷの裏面を真空吸着して保持する。ウェーハテーブル１２は、図示しない送り機構に駆動されることによって、図１中Ｘ軸方向に沿って往復移動される。また、ウェーハテーブル１２は、図示しない回転駆動機構に駆動されることによって、中心軸（θ軸）回りに回転される。
【００３１】
なお、ウェーハＷは、ウェーハフレーム（不図示）にマウントされた状態でウェーハテーブル１２に保持される。すなわち、ウェーハＷは、ウェーハフレームに貼られたウェーハシートに貼り付けられた状態でウェーハテーブル１２に保持される。
【００３２】
切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、それぞれウェーハＷを切削するブレード２０Ａ、２０Ｂを備えている。各ブレード２０Ａ、２０Ｂは、それぞれモータ２２Ａ、２２Ｂのスピンドル２２ａ、２２ｂに連結されている。この切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、スピンドル移動機構に駆動されることによって、図１中Ｙ軸方向及び図２中Ｚ軸方向に個別に移動される。
【００３３】
前記スピンドル移動機構は、図２に示すように一対のＹキャリッジ２４Ａ、２４Ｂを備えている。一対のＹキャリッジ２４Ａ、２４Ｂは、ともにＹ軸方向に沿って配設されたガイドレール２６、２６にスライド自在に支持されている。そして、図示しないスライド駆動手段（たとえばリニアモータなど）に駆動されることによって、図１、２中Ｙ軸方向に沿って個別にスライドされる。
【００３４】
Ｙキャリッジ２４Ａ、２４Ｂには、それぞれ図示しないリニアガイドと駆動手段とからなるＺ軸方向移動機構２８Ａ、２８Ｂが設置されている。Ｚ軸方向移動機構２８Ａ、２８Ｂは、Ｚキャリッジ３０Ａ、３０Ｂを図２中Ｚ軸方向に沿って駆動する。Ｚキャリッジ３０Ａ、３０Ｂの先端部には、モータブラケット３２Ａ、３２Ｂが取り付けられ、モータブラケット３２Ａ、３２Ｂにモータ２２Ａ、２２Ｂが取り付けられている。
【００３５】
また、前記スピンドル移動機構は、以上のように構成され、このスピンドル移動機構に駆動されることによって、切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、Ｙ軸方向及びＺ軸方向にそれぞれ移動される。すなわち、切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、Ｙキャリッジ２４Ａ、２４Ｂをガイドレール２６、２６に沿ってスライドさせることによりＹ軸方向に沿って移動され、Ｚ軸方向移動機構２８Ａ、２８ＢのＺキャリッジ３０Ａ、３０Ｂの移動によってＺ軸方向に沿って移動（上下動）される。
【００３６】
このように移動する切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、Ｙ軸方向に沿って移動することによって切削ピッチが可変され、Ｚ軸方向に沿って移動することにより切削切込み量が可変される。
【００３７】
撮像ユニット１６Ａ、１６Ｂは、ＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂを備えている。ＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂは、図１に示すように、カメラホルダ３６Ａ、３６Ｂに保持され、カメラホルダ３６Ａ、３６Ｂはモータブラケット３２Ａ、３２Ｂに固定されている。ＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂは、ウェーハテーブル１２に保持されたウェーハＷの上面を撮像し、その画像データを画像処理装置（画像処理手段）３８に出力する。
【００３８】
画像処理装置３８は、得られた画像データを画像処理してブレード２０Ａ、２０Ｂで切削された溝のカーフチェック、ウェーハＷ内部の欠陥（亀裂・空孔などの界面）検査、ウェーハＷ内部のパターン構造の欠陥検査、溝の加工状態（ブレード先端状態、ブレート中心位置）の検査を実施する。この検査内容については後述する。
【００３９】
なお、画像処理装置３８によるカーフチェックにおいては、ブレード２０Ａ、２０Ｂで切削された溝の位置、幅、チッピングの有無等が計測される。また、画像処理装置３８からモニタ４０に画像信号を出力することにより、モニタ４０の画面にウェーハＷが表示される。
【００４０】
図３は、ＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂの構成を示した概略構造図である。
【００４１】
ＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂは、鉛直方向に２枚のハーフミラー４２、４４を備えている。また、ハーフミラー４２、４４の鉛直方向の上方にはライト４６が配置され、ライト４６からの照明光がハーフミラー４２、４４を介してウェーハＷに照射される。照明光の照明角度は、溝の上面（真上）からでもよく、又は溝の側面上方から斜めの角度であってもよい。
【００４２】
ハーフミラー４２の側方には、低倍率の光学系（Ｌ）を備えた撮像素子４８が配置され、ハーフミラー４４の側方には、高倍率の光学系（Ｈ）を備えた撮像素子５０が配置されている。すなわち、ＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂによれば、ライト４６からの照明光を、ハーフミラー４２、４４を介してウェーハＷに照射し、ウェーハＷからの反射光を、ハーフミラー４４、４２を介して低倍率の撮像素子４８によって撮像する。同様に、ウェーハＷからの反射光を、ハーフミラー４４を介して高倍率の撮像素子５０によって撮像する。なお、図３の符号５２は、ブレード２０Ａ（２０Ｂ）によって切削されたカーフチェック用の溝である。この溝５２は、Ｖ字状カットであるが、溝の角度及び形状はこれに限定されるものではない。
【００４３】
図１、図２に示した制御装置１８は、ウェーハテーブル１２と切削ユニット１４Ａ、１４Ｂの駆動系を制御する。この制御装置１８は、あらかじめ設定された切削パターンに従ってウェーハテーブル１２と切削ユニット１４Ａ、１４Ｂとを制御し、ウェーハテーブル１２に保持されたウェーハＷをストリートに沿って切削し図３の溝５２をウェーハＷに加工する。また、あらかじめデータ上で設定されたタイミング、又はオペレータからの指示に応じてカーフチェック等の前述した検査を実施する。すなわち、制御装置１８は、ＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂ及び画像処理装置３８をカーフチェック等の検査時に制御する。
【００４４】
次に、前記の如く構成されたツインスピンドルダイサ１０による検査方法について説明する。実施の形態の検査方法は、ウェーハＷとして透明・半透明のウェーハを対象としている。
【００４５】
まず、ダイシング装置によるカーフチェック方法について説明する。
【００４６】
この検査方法は、図４に示すようにカーフチェック用の溝５２の領域以外からウェーハＷに入射する照明光を、シャッタ５４によって遮蔽した場合の画像と、図５の如くシャッタ５４で遮蔽しない場合の画像との差分をとることにより、溝５２を抽出してカーフチェックを行う方法である。
【００４７】
図６（Ａ）に示す画像は、前記二つの画像の差分をとった画像である。シャッタ５４によって遮蔽しない場合の画像は、図６（Ｂ）の画像のように、隣接溝５２Ａから入射して内部反射した光が、カーフチェック用の溝５２からカメラ３４Ａ（３４Ｂ）側に戻るため、隣接溝５２Ａ側の色が白色となり、その反対側の色が黒色となっている。また、シャッタ５４によって遮蔽した場合の画像は、図６（Ｃ）の画像のように、内部反射が起こらないためカーフチェック用の溝５２が黒色となっている。制御装置１８は、これらの二つの画像の差分をとり、これを図６（Ｄ）に示す画像の如く正規化し、この画像を二値化処理して図６（Ｅ）で示す画像を得る。この画像は、中央に白色の筋が入った黒色となるので、制御装置１８は、この画像の白色ラインをカーフチェック用の溝５２として抽出する。
【００４８】
したがって、このカーフチェック検査方法によれば、ウェーハＷの内部反射光を利用して透明・半透明なウェーハＷのカーフチェックを正確に実施することができる。
【００４９】
次に、ダイシング装置によるウェーハＷの内部欠陥検査方法について説明する。
【００５０】
この検査方法は、溝の画像の輝度を、内部欠陥無しの画像の輝度と比較することによってウェーハの内部欠陥（亀裂・空孔などの界面）を検出する方法である。
【００５１】
図７に示すウェーハＷの断面図の如く、ウェーハＷに内部欠陥５６がある場合、カーフチェック用の溝５２以外からウェーハＷに入射した光は、ウェーハＷの内部で反射しても、内部欠陥５６によって遮断されるので、カーフチェック用の溝５２からカメラ側に戻らない。すなわち、内部欠陥５６の発生している溝５２の周辺では、図８（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）で示す画像の如く溝５２の内部が黒く変色するため、内部欠陥無しの画像と比較して輝度が小さい。この検査方法では、この輝度の変化（変色）を検出したので、ウェーハＷの内部欠陥５６を検査することができる。
【００５２】
したがって、この内部欠陥検査方法によれば、ウェーハＷの内部反射光を利用してウェーハＷの内部状態を検査することができる。
【００５３】
次に、ダイシング装置によるウェーハＷのチップ検査方法について説明する。
【００５４】
この検査方法は、図９の如くウェーハＷの内部反射により溝５２の壁面５３に映し出される、図１０（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示したウェーハＷの内部パターン画像５５に基づいてウェーハＷのチップＴを検査する方法である。これにより、ウェーハＷのダイシング加工中にチップＴの健全性を検査することができる。
【００５５】
したがって、このチップ検査方法によれば、ウェーハＷの内部反射光を利用してチップＴの状態を検査することができる。
【００５６】
次に、ダイシング装置によるブレード２０Ａ（２０Ｂ）の刃先状態を検査する方法について説明する。
【００５７】
この検査方法は、ウェーハＷの内部反射により溝５２の壁面に映し出されるブレード２０Ａ（２０Ｂ）の研削痕画像に基づいてブレード２０Ａ（２０Ｂ）の刃先状態を検査する方法である。
【００５８】
すなわち、図１１（Ａ）に示すように、ウェーハＷの内部反射によって溝５２の壁面に映し出されるブレード２０Ａ（２０Ｂ）の研削痕の画像、つまり、図１１（Ｂ）の抽出画像に示すように、内部反射により改善されるコントラストの差がはっきりとした画像を利用してフレード２０Ａ（２０Ｂ）の刃先状態を評価する。
【００５９】
したがって、この検査方法によれば、ウェーハＷの内部反射光を利用してブレード２０Ａ（２０Ｂ）の健全性を検査することができる。
【００６０】
次に、ダイシング装置による溝の切削終端位置を検査する方法について説明する。
【００６１】
この検査方法は、溝の画像の輝度の変化に基づいて溝の切削終端位置を測定し、検査する方法である。
【００６２】
図１２に示す画像の如く、カーフチェック用の溝５２は、隣接溝５２Ｂから入射した光の内部反射によって隣接溝５２Ｂ側の溝壁が白くなっている。また、隣接溝５２Ａ、５２Ｂは、ウェーハＷのエッジＥに近づくに従い、エッジＥ側の溝壁が黒くなっている。この現象原因は、照明光がエッジＥからウェーハＷに入射しないことにある。換言すれば、隣接溝５２Ａにおいては、隣接溝５２Ｂの切削終端部を超えた位置から黒くなる。隣接溝５２Ｂにおいても同様である。すなわち、隣接溝５２Ａの黒色発生位置を検出することにより、隣接溝５２Ｂの切削終端位置を測定し、検査することができる。
【００６３】
この検査方法は、溝の変色を利用した切削制御に関する発明であり、溝（隣接溝）の輝度状態を認識することで、切削終端位置の測定が可能となる。
【符号の説明】
【００６４】
１０…ツインスピンドルダイサ、１２…ウェーハテーブル、１４Ａ、１４Ｂ…切削ユニット、１６Ａ、１６Ｂ…撮像ユニット、１８…制御装置、２０Ａ、２０Ｂ…ブレード、２２Ａ、２２Ｂ…モータ、２２ａ、２２ｂ…スピンドル、２４Ａ、２４Ｂ…Ｙキャリッジ、２６…ガイドレール、２８Ａ、２８Ｂ…Ｚ軸方向移動機構、３０Ａ、３０Ｂ…Ｚキャリッジ、３２Ａ、３２Ｂ…モータブラケット、３４Ａ、３４Ｂ…ＩＴＶカメラ、３６Ａ、３６Ｂ…カメラホルダ、３８…画像処理装置、４０…モニタ、４２、４４…ハーフミラー、４６…ライト、４８、５０…撮像素子、５２…カーフチェック用の溝、５２Ａ…隣接溝、５４…シャッタ、５６…内部欠陥
【図１】
0005505790.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
0005505790.tif 000010
【図１０】
0005505790.tif 000011
【図１１】
0005505790.tif 000012
【図１２】
0005505790.tif 000013