(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下方向で互いに近接する位置と離反する位置との間で相対移動する一対の支持部材を有し、該各支持部材に回転軸を板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー及び回転軸を板状部材幅方向に傾けた傾斜圧接ローラーを板状部材幅方向に並べて支持させてなるローラーユニットと、該ローラーユニットを板状部材幅方向で移動させる幅方向移動手段とを備え、
片面又は両面に保護フィルムが貼着された板状部材の端縁部表面に前記両圧接ローラーを圧接させた状態で前記ローラーユニットを板状部材幅方向に移動させることにより前記保護フィルムの端縁部を前記板状部材表面より剥離させるようにした端部剥離機構を備えてなるフィルム剥離装置において、
前記ローラーユニットは、上下方向に向けたベース部材を備え、該ベース部材の板状部材移送方向手前側面に前記一対の支持部材を上下方向で互いに近接する位置と離反する位置との間で相対移動可能に支持させ、
前記幅方向移動手段は、前記ベース部材を板状部材幅方向の板状部材幅より外側に回避した位置まで移動可能に支持する支持レール部材と、該支持レール部材に沿って前記ベース部材を板状部材幅方向の板状部材幅より外側に回避した位置までの任意の位置に移動させる動作ユニットと、該動作ユニットを制御する制御ユニットとを備えたことを特徴としてなるフィルム剥離装置。
【請求項２】
前記動作ユニットは、板状部材幅方向に向けた軌道部材と、前記制御ユニットにより動作が制御される駆動体と、該駆動体の動作に連動して前記軌道部材上の任意の位置に移動するスライダとを備え、該スライダに前記ローラーユニットを固定させた請求項１に記載のフィルム剥離装置。
【請求項３】
前記制御ユニットは、前記動作ユニットを制御するためのデータを入力する入力手段と、該入力手段により入力された複数の制御データを記憶する記憶手段とを備えた請求項１又は２に記載のフィルム剥離装置。
【請求項４】
前記制御ユニットは、前記板状部材を製造する過程に使用される他の装置からのデータを入力する外部入力手段を備え、該外部入力データに基づき前記動作ユニットを制御するようにした請求項１〜３の何れか1項に記載のフィルム剥離装置。
【請求項５】
前記支持部材は、前記標準圧接ローラーと前記傾斜圧接ローラーとの間に板状部材側に吐出口を向けたエアノズルを備えた請求項１〜４の何れか１項に記載のフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線基板、液晶パネル、半導体ウエハー等の板状部材の製造過程において基板等の板状部材の片面又は両面に貼着された保護フィルムを板状部材より剥離させるためのフィルム剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線基板の製造では、絶縁性の基板本体の片面又は両面に積層させた銅箔等からなる導電層の表面に感光性を有するフォトレジスト層を形成した後、フォトレジスト層の表面に保護フィルムを貼着し、露光前のフォトレジスト層を保護するようにしている。
【０００３】
そして、この保護フィルムは、露光されたフォトレジスト層を現像してエッチング処理用のマスクパターンを形成する際に不要であるため、配線パターン像をフォトレジスト層に所定時間露光した後に剥離されるようになっている。
【０００４】
この保護フィルムを基板より剥離させる作業には、フィルム剥離装置が使用され、このフィルム剥離装置としては、例えば図６に示す如き基板の片面又は両面に貼着された保護フィルムの端縁部を基板より剥離させる端部剥離機構を備え、この端部剥離機構により剥離させた保護フィルムの端縁部を切掛けとしてエアナイフ等からなる本剥離機構で順次保護フィルム全体を基板より剥離させるようにしたものが知られている（例えば、特許文献１）。
【０００５】
この端部剥離機構は、回転軸を違えた２種類の圧接ローラー２０１を基板幅方向に並べて支持させた一対の支持部材２０２，２０２を有するローラーユニット２０３を備え、両支持部材２０２，２０２を互いに近接する方向に移動させて圧接ローラー２０１を基板の端縁部の上下両面側よりそれぞれ圧接させ、その状態でローラーユニット２０３を基板幅方向に移動させることにより、回転軸角度が異なる二つの圧接ローラー２０１によって保護フィルム端縁部にせん断力を作用させ、それにより基板表面より保護フィルム端縁部を剥離させるようになっている。
【０００６】
このローラーユニット２０３を基板幅方向で移動させる幅方向移動機構は、基板幅方向に向けた支持レール２０４，２０４にガイドさせたローラーユニット２０３をシリンダ機構２０５により移動させる構造を有し、このシリンダ機構２０５には、シリンダ本体部に対し出入自在なシャフトを有するエアシリンダ等を使用し、このエアシリンダ本体部を装置本体のフレームに基板幅方向に向けて固定するとともに、シャフトをローラーユニット２０３に固定することにより、シャフトの出入りに連動してローラーユニット２０３が支持レール２０４，２０４に沿って基板幅方向で移動するようになっている。
【０００７】
また、このシリンダ機構２０５のストローク量は、端部剥離機構２００による保護フィルム端縁部の剥離が終了し、本剥離機構２０６に移送される際にローラーユニット２０３がその基板の移送を阻害しない位置に回避できるように、ローラーユニット２０３の幅方向移動の開始位置及び終端位置が基板幅より外側に位置するように設定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】実開平０６−８７９６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上述の如き従来の技術では、ローラーユニットの基板幅方向の移動がシリンダ機構のストローク量に依存し、ローラーユニットの幅方向移動の開始位置及び終端位置が基板幅より外側に位置するため、剥離動作の際にローラーユニットをシリンダ機構により基板幅方向で移動させた際、圧接ローラーが基板側縁より基板上に乗り上げ又は基板上より脱落し、当該乗り上げ又は脱落の際に基板及び装置に衝撃が生じる。
【００１０】
この様な衝撃は、衝撃そのものが基板の破損及び装置の故障を引き起こす原因となる虞があり、また、基板表面に圧接させたローラーを基板幅方向で移動させた際にフォトレジスト層や導電層より生じる微細な破片等を飛散させ、この微細な破片等が基板の汚れや装置の故障の原因となる虞があった。
【００１１】
また、圧接ローラーが基板上に乗り上げられずに、基板側縁部に接触して基板を曲げてしまう虞があり、更にこのような基板の変形が装置の停止や故障の原因となる虞があった。
【００１２】
そこで本発明は、このような従来の問題に鑑み、基板等の板状部材に貼着された保護フィルムの端縁部を剥離させる際の衝撃を抑制し、基板等の板状部材の破損及び装置の故障を防止することができ、しかも、ロット毎の切り替えが容易なフィルム剥離装置の提供を目的としてなされたものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上述の如き従来の問題を解決し、所期の目的を達成するための請求項1に記載の発明の特徴は、上下方向で互いに近接する位置と離反する位置との間で相対移動する一対の支持部材を有し、該各支持部材に回転軸を板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー及び回転軸を板状部材幅方向に傾けた傾斜圧接ローラーを板状部材幅方向に並べて支持させてなるローラーユニットと、該ローラーユニットを板状部材幅方向で移動させる幅方向移動手段とを備え、片面又は両面に保護フィルムが貼着された板状部材の端縁部表面に前記両圧接ローラーを圧接させた状態で前記ローラーユニットを板状部材幅方向に移動させることにより前記保護フィルムの端縁部を前記板状部材表面より剥離させるようにした端部剥離機構を備えてなるフィルム剥離装置において、前記ローラーユニットは、上下方向に向けたベース部材を備え、該ベース部材の板状部材移送方向手前側面に前記一対の支持部材を上下方向で互いに近接する位置と離反する位置との間で相対移動可能に支持させ、前記幅方向移動手段は、前記ベース部材を板状部材幅方向の板状部材幅より外側に回避した位置まで移動可能に支持する支持レール部材と、該支持レール部材に沿って前記ベース部材を板状部材幅方向の板状部材幅より外側に回避した位置までの任意の位置に移動させる動作ユニットと、該動作ユニットを制御する制御ユニットとを備えたフィルム剥離装置にある。
【００１４】
請求項２に記載の発明の特徴は、請求項１の構成に加え、前記動作ユニットは、板状部材幅方向に向けた軌道部材と、前記制御ユニットにより動作が制御される駆動体と、該駆動体の動作に連動して前記軌道部材上の任意の位置に移動するスライダとを備え、該スライダに前記ローラーユニットを固定させたことにある。
【００１５】
請求項３に記載の発明の特徴は、請求項１又は２の構成に加え、前記制御ユニットは、前記動作ユニットを制御するためのデータを入力する入力手段と、該入力手段により入力された複数の制御データを記憶する記憶手段とを備えたことにある。
【００１６】
請求項４に記載の発明の特徴は、請求項１、２又は３の構成に加え、前記制御ユニットは、前記板状部材を製造する過程に使用される他の装置からのデータを入力する外部入力手段を備え、該外部入力データに基づき前記動作ユニットを制御するようにしたことにある。
【００１７】
請求項５に記載の発明の特徴は、請求項１〜３又は４の構成に加え、前記支持部材は、前記標準圧接ローラーと前記傾斜圧接ローラーとの間に板状部材側に吐出口を向けたエアノズルを備えたことにある。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係るフィルム剥離装置は、上述したように、上下方向で互いに近接する位置と離反する位置との間で相対移動する一対の支持部材を有し、該各支持部材に回転軸を板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー及び回転軸を板状部材幅方向に傾けた傾斜圧接ローラーを板状部材幅方向に並べて支持させてなるローラーユニットと、該ローラーユニットを板状部材幅方向で移動させる幅方向移動手段とを備え、片面又は両面に保護フィルムが貼着された板状部材の端縁部表面に前記両圧接ローラーを圧接させた状態で前記ローラーユニットを板状部材幅方向に移動させることにより前記保護フィルムの端縁部を前記板状部材表面より剥離させるようにした端部剥離機構を備えてたことにより、回転軸方向の異なる２種類のローラーにより保護フィルムの端縁部にせん断方向の力を作用させ、それにより基板等の板状部材の表面より保護フィルムの端縁部を剥離させることができる。
【００１９】
また、本発明において、前記ローラーユニットは、上下方向に向けたベース部材を備え、該ベース部材の板状部材移送方向手前側面に前記一対の支持部材を上下方向で互いに近接する位置と離反する位置との間で相対移動可能に支持させ、前記幅方向移動手段は、前記ベース部材を板状部材幅方向の板状部材幅より外側に回避した位置まで移動可能に支持する支持レール部材と、該支持レール部材に沿って前記ベース部材を板状部材幅方向の板状部材幅より外側に回避した位置までの任意の位置に移動させる動作ユニットと、該動作ユニットを制御する制御ユニットとを備えたことにより、制御ユニットの命令に基づきローラーユニットの移動を精密に制御でき、圧接ローラーの基板等の板状部材に対する乗り上げ又は脱落等を回避し、安定した状態で圧接ローラーを基板等の板状部材の端縁部表面上で移動させることができ、圧接ローラーが板状部材幅方向で移動する際の衝撃等を抑え、微細な破片等の飛散を抑制することができる。
【００２０】
また、本発明において、前記動作ユニットは、板状部材幅方向に向けた軌道部材と、前記制御ユニットにより動作が制御される駆動体と、該駆動体の動作に連動して前記軌道部材上の任意の位置に移動するスライダとを備え、該スライダに前記ローラーユニットを固定させたことにより、好適にローラーユニットの移動を制御することができる。
【００２１】
また、本発明において、前記制御ユニットは、前記動作ユニットを制御するためのデータを入力する入力手段と、該入力手段により入力された複数の制御データを記憶する記憶手段とを備えたことにより、入力データに基づきローラーユニットの幅方向の移動を精密に制御することができる。また、幅方向移動機構を調整することなく、板状部材幅の異なる複数のロットに対応することができる。
【００２２】
更に本発明において、前記制御ユニットは、前記板状部材を製造する過程に使用される他の装置からのデータを入力する外部入力手段を備え、該外部入力データに基づき前記動作ユニットを制御するようにしたことにより、プリント配線基板等の板状部材の製造工程に使用される他の機器と連携して動作させることができる。
【００２３】
更にまた、本発明において、前記支持部材は、前記標準圧接ローラーと前記傾斜圧接ローラーとの間に板状部材側に吐出口を向けたエアノズルを備えたことにより、保護フィルム端縁部を好適に剥離させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明に係るフィルム剥離装置の一例の概略示す側面図である。
【図２】図１中の端部剥離機構の概略を示す部分拡大側面図である。
【図３】同上の端部剥離機構の幅方向移動機構部分を示す正面図である。
【図４】図３中の圧接ローラー及び支持部材の取付け状態を示す部分拡大正面図である。
【図５】同上の圧接ローラーの取り付け状態を示す部分拡大平面図である。
【図６】従来のフィルム剥離装置の一例の概略を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
次に、本発明に係るフィルム剥離装置の実施の態様を図１〜図５に示した実施例に基づいて説明する。尚、図中符号Ａは板状部材である基板、符号１はフィルム剥離装置である。
【００２６】
また、ここで板状部材移送方向とは、図1中の右側より左側に向けた作業工程に基づいて板状部材である基板Ａを移送させる方向を言い、板状部材幅方向とは、板状部材移送方向と水平方向で交差する方向を言うものとする。
【００２７】
基板Ａは、絶縁性の基板本体の片面又は両面に積層させた銅箔等からなる導電層の表面に感光性を有するフォトレジスト層が形成され、さらにフォトレジスト層の表面に保護フィルムＢが貼着されている。
【００２８】
フィルム剥離装置１は、基板Ａを移送する板状部材移送機構２を備えるとともに、その板状部材移送方向の上流側に端部剥離機構３を、下流側に本剥離機構４をそれぞれ備え、板状部材移送機構２、端部剥離機構３及び本剥離機構４が図示しない制御ユニットによる命令に基づきシーケンス制御され、同期して動作するようになっている。
【００２９】
板状部材移送機構２は、回転軸を板状部材幅方向に向けた複数の案内ローラー５，５...を板状部材移送方向に間隔を置いた配置に備え、この案内ローラー５，５...を図示しないモータ等からなる駆動手段により回転させるようになっている。
【００３０】
また、板状部材移送機構２は、装置フレーム６にエアシリンダ７を介して上下動可能に支持された支持枠８と、支持枠８に回転自在に支持されたピンチローラー９とを備え、エアシリンダ７を動作させてピンチローラー９を基板Ａ上面に圧接させ、案内ローラー５とピンチローラー９との間に基板Ａを挟むことにより案内ローラー５による動力が基板Ａに伝達され、基板Ａが板状部材移送方向に向けて移送されるようになっている。
【００３１】
このフィルム剥離装置１では、板状部材移送機構２により基板Ａの移送方向前端部が端部剥離機構３に送られ、この端部剥離機構３により基板Ａの片面又は両面に貼着された保護フィルムＢの端縁部を剥離させた後、基板Ａが板状部材移送機構２により本剥離機構４に移送され、剥離させた保護フィルムＢの端縁部を切掛けにエアナイフ等からなる本剥離機構４で保護フィルムＢ全体を順次剥離させるようになっている。
【００３２】
端部剥離機構３は、図２に示すように、基板Ａを所定の位置に固定するための板状部材固定手段１０と、保護フィルムＢの端縁部を基板Ａより剥離させるフィルム端部剥離手段１１とを備え、板状部材移送機構２により送り込まれた基板Ａの端部を所定の位置で板状部材固定手段１０により固定し、その状態で保護フィルム端縁部をフィルム端部剥離手段１１により剥離させるようになっている。
【００３３】
板状部材固定手段１０は、長手方向を板状部材幅方向に向けた上下で互いに平行に配置された一対の挟持部材１２，１２と、両挟持部材１２，１２を互いに近接する位置と離反する位置との間で移動させる上下動ユニット１３，１３とを備え、両挟持部材１２，１２間に基板Ａ端部を挟持することにより基板Ａを所定の位置で固定するようになっている。
【００３４】
各挟持部材１２は、長手方向両端部が図示しない上下方向に向けた支持レール部材を介して装置のフレーム６に移動自在に支持されている。
【００３５】
一方、上下動ユニット１３には、シリンダ本体部に対し出入自在なシャフト１３ａを有するエアシリンダ等を使用し、シャフト１３ａ側を互いに対向させて上下に配置された上下一対のエアシリンダ１３，１３を動作させることによりシャフト先端に連結された両挟持部材１２，１２が互いに近接する位置と離反する位置との間で移動するようになっている。
【００３６】
また、この板状部材固定手段１０は、図示しない位置決め手段を備え、この位置決め手段により所定の位置、即ち、後述する上下に配置された圧接ローラー間に基板Ａの端縁部が差し込まれる位置で基板Ａを停止させ、且つその位置において基板Ａの前端縁部より上流側部を両挟持部材１２，１２により挟持し、基板Ａを固定するようになっている。
【００３７】
フィルム端部剥離手段１１は、圧接ローラー１５，１６を有するローラーユニット１７と、ローラーユニット１７を板状部材幅方向で移動させる幅方向移動手段１８とを備えている。
【００３８】
ローラーユニット１７は、図２〜図５に示すように、平板状のベース部材１９と、ベース部材１９の板状部材移送方向手前側面に上下方向で相対移動可能に支持された一対の支持部材２０，２１とを備え、上下両支持部材２０，２１の板状部材移送方向手前側面に回転軸角度の異なる２種類の圧接ローラー１５，１６がそれぞれ回転自在に支持されている。
【００３９】
ベース部材１９は、縦方向に長い長方形状に形成され、その板状部材移送方向手前側面に上下に向けた一対の丸棒状のスライドガイド部材２２，２２が板状部材幅方向に間隔を置いた平行配置に固定されている。
【００４０】
上下の支持部材２０，２１は、このスライドガイド部材２２，２２に上下方向で移動可能にガイドされ、下側支持部材２１が受け部２３を介してベース部材１９に支持されるとともに、ベース部材１９に固定されたエアシリンダ２４のシャフト２４ａの先端が上側支持部材２０の上面部に連結され、エアシリンダ２４を動作させることにより両支持部材２０，２１が互いに近接する位置と離反する位置との間で相対移動するようになっている。
【００４１】
尚、受け部２３は、ベース部材１９に固定された受け部本体２３ａと、受け部本体２３ａに上下方向に向けて螺合された高さ調整ボルト２３ｂとを備え、この高さ調整ボルト２３ｂの上端部が下側支持部材２１の下面部に当接され、高さ調整ボルト２３ｂを回転させて受け部本体２３ａに対して上下方向に移動させることによりそれに連動して下側支持部材２１の高さ位置を調整できるようになっている。
【００４２】
上下各支持部材２０，２１は、図５に示すように、直方体状のブロック材をもって形成され、板状部材移送方向手前側面部に回転軸１５ａを板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー１５と、回転軸１６ａが板状部材移送方向手前側を水平方向に傾けた傾斜圧接ローラー１６とが回転自在に支持されている。
【００４３】
両圧接ローラー１５，１６は、傾斜圧接ローラー１６が一対の標準圧接ローラー１５、１５間に位置するように板状部材幅方向に直列配置され、両支持部材２０，２１を互いに近接する方向に移動させることにより、基板Ａを挟んで上下側に配置された圧接ローラー１５，１６、１５，１６間に基板Ａを挟持し、両圧接ローラー１５，１６が基板Ａ表面（保護フィルムＢ表面）に圧接されるようになっている。
【００４４】
そして、両圧接ローラー１５，１６を基板Ａ表面（保護フィルムＢ表面）に圧接させた状態でローラーユニット１７を板状部材幅方向で移動させることにより、保護フィルムＢの端縁部表面に方向の異なる力が作用し、それにより保護フィルムＢに歪みが生じるようになっている。
【００４５】
また、両圧接ローラー１５，１６間には、板状部材移送方向手前側に吐出口を向けたエアノズル２５が備えられ、両圧接ローラー１５，１６により生じた基板Ａより剥離された部分に図示しない空気供給手段より供給された圧縮空気を吹き込むようになっている。
【００４６】
一方、ベース部材１９の板状部材移送方向奥側面部には、スライド軸受２６が固定され、このスライド軸受２６を介してローラーユニット１７全体が幅方向移動手段１８を構成する支持レール部材２７，２７に板状部材幅方向に移動自在に支持されている。
【００４７】
幅方向移動手段１８は、長手方向を板状部材幅方向に向けた一対の支持レール部材２７，２７と、支持レール部材２７，２７に沿ってローラーユニット１７を任意の位置に任意の速度で移動させる動作ユニット２８とを備え、動作ユニット２８は制御ユニットにより制御されるようになっている。
【００４８】
支持レール部材２７，２７は、その両端が端部剥離機構３の両側部に設置された支柱２９，２９に固定部材３０を介して固定され、両支柱２９，２９間に上下で互いに平行配置に架設されている。
【００４９】
動作ユニット２８は、板状部材幅方向に向けた軌道部材３１と、軌道部材３１に沿って移動するスライダ３２と、制御ユニットにより制御される駆動体３３とを備え、スライダ３２にローラーユニット１７を構成するベース部材１９が固定されている。
【００５０】
この動作ユニット２８では、スライダ軌道部材３１内にその長さ方向に向けた図示しないボールねじを備え、このボールねじを駆動体３３により回転させることにより、ボールねじを構成するナット部と一体化させたスライダ３２が軌道部材３１に沿った方向で移動するようになっている。
【００５１】
駆動体３３には、例えば、サーボモータやパルスモータ（ステッピングモータ）等のように回転（角度）及び回転速度を制御可能なモータ等を使用し、制御ユニットからの命令に基づき駆動体３３の回転（角度）及び回転速度を制御することにより、この駆動体３３の回転動作に連動してスライダ３２を任意の位置に移動させることができ、また、スライダ３２を任意の移動距離、速度、移動（往復）回数等で移動させることができるようになっている。
【００５２】
尚、ローラーユニット１７は、図３中実線で示す一方に片寄せた位置、即ち基板Ａ幅より外側に回避した位置を原点位置とし、原点位置においては、ローラーユニット１７が基板Ａの端部剥離機構３から本剥離機構４への移送を阻害しないようになっている。
【００５３】
制御ユニットは、動作ユニット２８を制御するためのデータを入力するタッチパネル等の入力手段と、入力手段により入力された複数の制御データを記憶する記憶手段とを備え、入力手段により直接入力されたデータに基づいて動作ユニット２８を制御でき、また、記憶手段に記憶された複数の制御データから製品（製造ロット）に応じて選択された制御データに基づいて制御することもできる。
【００５４】
また、制御ユニットは、プリント配線基板Ａ等の板状部材を製造する過程に使用される他の装置、例えば、基板投入機等から出力されたデータを入力する外部入力手段を備え、その外部入力データに基づいてその他の装置と同期させて動作ユニット２８を制御できるようになっている。
【００５５】
このように構成されたフィルム剥離装置１では、片面又は両面に保護フィルムＢが貼着された基板Ａ等の板状部材が装置に投入されると、板状部材移送機構２により基板Ａが板状部材移送方向に沿って移送されて端部剥離機構３に移動し、基板Ａが所定の位置に到達すると図示しない位置決め手段により停止させられる。
【００５６】
そして、その位置において板状部材固定手段１０のエアシリンダ１３を動作させ、基板Ａ端部を両挟持部材１２，１２間に挟持して固定し、その位置でフィルム端部剥離手段１１により保護フィルムＢの端縁部を基板Ａより剥離させる。
【００５７】
このフィルム端部剥離手段１１による剥離作業は、ローラーユニット１７の両支持部材２０，２１を互いに近接方向に移動させ、回転軸角度が異なる２種類の圧接ローラー１５，１６を基板Ａ表面に圧接させ、その状態でローラーユニット１７を板状部材幅方向に移動させることにより、２種類の圧接ローラー１５，１６より方向の異なる力が作用して保護フィルムＢを歪ませるとともに、その歪み部にエアノズル２５より圧縮空気を噴射することにより保護フィルムＢの端縁部を基板Ａより剥離させるようになっている。
【００５８】
このとき、動作ユニット２８が制御ユニットにより制御されているので、作業を任意の位置から開始することができる。
【００５９】
例えば、ローラーユニット１７を原点位置より基板Ａの板状部材幅方向のほぼ中央部まで移動させ、その位置で上下両支持部材２０，２１を互いに近接する方向に移動させて両圧接ローラー１５，１６を基板Ａ表面に圧接させ、その位置から剥離動作を開始し、基板Ａの両側部まで移動させるようにしてもよい。このようにすることにより、圧接ローラー１５，１６が側縁より基板Ａ上に乗り上げること或いは基板Ａ上より脱落することがなく、それにより生じる衝撃又は基板Ａの破損を防止することができる。
【００６０】
また、ローラーユニット１７を入力されたデータに基づき原点位置から一方の板状部材幅方向の基板Ａ側端部に移動させ、その位置で上下両支持部材２０，２１を互いに近接する方向に移動させて両圧接ローラー１５，１６を基板Ａ表面に圧接させ、その位置から他方の基板Ａ側端部まで移動させるようにしてもよい。この場合であっても、動作ユニット２８が制御ユニットにより精密に制御することができるので、圧接ローラー１５，１６が基板Ａに対して乗り上げ又は脱落することなく、基板Ａの端から端まで圧接ローラー１５，１６を圧接させた状態でローラーユニット１７を移動させることができる。
【００６１】
更に、基板Ａ端縁部上の板状部材幅方向の一定範囲内でローラーユニット１７を往復動作させ、一部分のみを剥離させることもできる。
【００６２】
尚、板状部材は、上述した基板に限定されるものではなく、本願装置は、液晶パネルや半導体ウエハー等の板状部材の片面又は両面に保護フィルムを貼着させたものにも対応させることができる。
【００６３】
また、上述の実施例では、動作ユニット２８がボールねじを備え、このボールねじをサーボモータ等の駆動体３３により回転させることにより、ボールねじを構成するナット部と一体化させたスライダ３２が軌道部材３１に沿った方向で移動するようにしたものについて説明したが、動作ユニット２８は、このような構成に限定されるものではなく、例えば、サーボモータ等の駆動体３３の回転に連動して動作する駆動ベルトを用いた構造であってもよく、また、モータを使用しないものであっても、制御ユニットの命令に基づいてスライダ３２を軌道部材上の任意の位置に任意の速度で移動させることができる構造のものであればよい。
【符号の説明】
【００６４】
Ａ 基板
Ｂ 保護フィルム
１ フィルム剥離装置
２ 板状部材移送機構
３ 端部剥離機構
４ 本剥離機構
５ 案内ローラー
６ フレーム
７ エアシリンダ
８ 支持枠
９ ピンチローラー
１０ 板状部材固定手段
１１ フィルム端部剥離手段
１２ 挟持部材
１３ 上下動ユニット（エアシリンダ）
１４ フローティングジョイント
１５ 標準圧接ローラー
１６ 傾斜圧接ローラー
１７ ローラーユニット
１８ 幅方向移動手段
１９ ベース部材
２０ 上側支持部材
２１ 下側支持部材
２２ スライドガイド部材
２３ 受け部
２４ エアシリンダ
２５ エアノズル
２６ スライド軸受
２７ 支持レール部材
２８ 動作ユニット
２９ 支柱
３０ 固定部材
３１ 軌道部材
３２ スライダ
３３ 駆動体
【図１】
0005645164.tif 000002
【図２】
0005645164.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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