(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に金属シリサイド材料を形成するための方法であって、
基板のシリコン含有表面を覆って金属材料を堆積させるステップと、
前記金属材料を覆って窒化チタン材料を堆積させるステップと、
前記窒化チタン材料を覆って窒化タングステン材料を堆積させるステップと、
前記窒化タングステン材料を覆って金属接点材料を堆積させるステップと、
前記基板を無拡散アニールプロセスにさらして、金属シリサイド材料を形成するステップと
を含む方法。
【請求項２】
前記無拡散アニールプロセスは、レーザアニールプロセスまたはフラッシュランプアニールプロセスを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記金属シリサイド材料は、前記窒化チタン材料と前記シリコン含有表面との間に形成される、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記無拡散アニールプロセスは、前記窒化チタンが前記シリコン含有表面層と反応しないようなプロセス条件を使用して行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記基板を無拡散アニールプロセスにさらすステップは、前記基板を約９００℃と約１１００℃との間の温度にさらすステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記無拡散アニールプロセスは、約１０ミリ秒未満の時間間隔にわたって行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記金属材料は、コバルト、チタン、タンタル、タングステン、モリブデン、白金、ニッケル、鉄、ニオブ、パラジウム、およびそれらの組合せを含む群から選択される、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記無拡散アニールプロセスは、約０．２５から１ミリ秒の間のドウェル時間にわたって約３×１０４Ｗ／ｃｍ２から約１×１０５Ｗ／ｃｍ２の電力密度の印加を包含するレーザアニールプロセスである、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記レーザアニールプロセスのレーザ走査速度は、２５ｍｍ／秒から２５０ｍｍ／秒の間である、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
基板上に金属シリサイド材料を形成するための方法であって、
ゲート電極スタックを形成するステップを含み、このゲート電極スタックを形成するステップが、
前記基板を覆ってポリシリコン層を堆積させるステップと、
前記ポリシリコン層を覆ってチタン層を堆積させるステップと、
前記チタン層を覆って窒化チタン層を堆積させるステップと、
前記窒化チタン層を覆って窒化タングステン層を堆積させるステップと、
前記窒化タングステン層を覆ってタングステン層を堆積させるステップとを含む、ステップと、
前記ゲート電極スタックを無拡散アニールプロセスでアニールして、ケイ化チタン層を形成するステップと
を含む方法。
【請求項１１】
前記ゲート電極スタックをアニールする前記ステップは、前記チタン層を覆って窒化チタン層を堆積させた後に行われる、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記ゲート電極スタックをアニールする前記ステップは、前記窒化タングステン層を覆ってタングステン層を堆積させた後に行われる、請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
前記無拡散アニールプロセスは、約０．２５から１ミリ秒の間のドウェル時間にわたって約３×１０４Ｗ／ｃｍ２から約１×１０５Ｗ／ｃｍ２の電力密度の印加を包含するレーザアニールプロセスである、請求項１０に記載の方法。
【請求項１４】
前記レーザアニールプロセスのレーザ走査速度は、２５ｍｍ／秒から２５０ｍｍ／秒の間である、請求項１３に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は一般に、半導体および他の電子デバイスの製作にならびに基板上に金属シリサイド材料を形成するための方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路は、多くの、例えば何百万ものトランジスタ、コンデンサ、および抵抗器などのデバイスから成る。電界効果トランジスタなどのトランジスタは典型的には、ソース、ドレイン、およびゲートスタックを包含する。ゲートスタックは典型的には、シリコン基板などの基板、基板上の二酸化シリコン（ＳｉＯ２）などのゲート誘電体、およびゲート誘電体上の多結晶シリコンなどのゲート電極を包含する。
【０００３】
集積回路デバイス形状は、そのようなデバイスが数十年前に初めて導入されて以来サイズが劇的に減少し、現在もサイズが継続的に減少している。タングステンで作られた金属ゲートは、これらのより小さいデバイスの抵抗要件のために重要になっている。タングステンは、それが広く利用可能であり、他の導電性材料と比較してより低い抵抗率およびより低い接触抵抗を有するので、望ましい材料である。
【０００４】
しかしながら、金属ゲートにタングステンを使用することの１つの障害は、障壁層が典型的には、ケイ化タングステンの形成を防止するためにシリコンとタングステンとの間に必要とされることである。ケイ化タングステンは、タングステンと比べてより高い抵抗率を有し、それ故にゲートの全体的な抵抗を増加させる。金属窒化物などの障壁層が、使用されてきたが、しかし金属窒化物層のシリコンゲートとの反応に起因して、追加の金属層が、金属窒化物層とシリコンゲートとの間に置かれる。金属層は、シリコンゲートと反応して、金属シリサイドを形成する。しかしながら、金属窒化物層からの窒素はなお、シリコンゲートと反応して、誘電体であり、ゲートスタックの全体的な界面抵抗を増加させる窒化シリコンを形成する。
【０００５】
したがって、ゲートスタックの低減した界面抵抗を提供するケイ化チタン層を形成するための新しい方法の必要性がある。
【発明の概要】
【０００６】
本明細書で述べられる実施形態は、無拡散アニールプロセスを使用して金属シリサイド層を形成する方法を包含する。無拡散アニールプロセスの短い時間枠は、窒素がシリコン含有界面に拡散して窒化シリコンを形成する時間を低減し、それ故に界面抵抗を最小限にする。短い時間枠はまた、反応物のグレイン下方への拡散を包含するすべての拡散プロセスを最小限にすることによって極めて滑らかなシリサイド層も生成する。
【０００７】
一実施形態では、基板上に金属シリサイド材料を形成するための方法が、提供される。その方法は、基板のシリコン含有表面を覆って金属材料を堆積させるステップと、金属材料を覆って金属窒化物材料を堆積させるステップと、金属窒化物材料を覆って金属接点材料を堆積させるステップと、基板を無拡散アニールプロセスにさらして、金属シリサイド材料を形成するステップとを含む。
【０００８】
別の実施形態では、基板を覆って金属シリサイド材料を形成するための方法が、提供される。その方法は、基板のシリコン含有表面を覆ってチタン材料を堆積させるステップと、金属材料を覆って窒化チタン材料を堆積させるステップと、窒化チタン材料を覆ってタングステン接点材料を堆積させるステップと、基板を無拡散アニールプロセスにさらして、ケイ化チタン材料を形成するステップとを含む。
【０００９】
なお別の実施形態では、基板を覆って金属シリサイド材料を形成するための方法が、提供される。その方法は、ゲートスタック電極を形成するステップと、ゲートスタック電極を無拡散アニールプロセスでアニールして、金属シリサイド層を形成するステップとを含む。ゲートスタック電極は、基板を覆ってポリシリコン層を堆積させるステップと、基板を覆って第１の金属層を堆積させるステップと、基板を覆って金属窒化物材料を堆積させるステップと、基板を覆って第２の金属材料を堆積させるステップとによって形成される。
【００１０】
本発明の上で列挙された特徴が、詳細に理解できるように、上で簡潔に要約された本発明のより詳しい記述が、実施形態の参照によりなされてもよく、その実施形態のいくつかは、添付の図面で例示される。しかしながら、本発明は、他の同等に効果的な実施形態を認めてもよいので、添付の図面は、この発明の典型的な実施形態だけを例示し、したがって本発明の範囲を限定すると考えられるべきでないことに留意すべきである。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本明細書で述べられる実施形態による統合されたマルチチャンバ装置の概略上面図を例示する図である。
【図２】本明細書で述べられる一実施形態による無拡散アニールプロセスを使用する金属シリサイド材料の形成のためのプロセス順序を例示する図である。
【図３】本明細書で述べられる別の実施形態による無拡散アニールプロセスを使用する金属シリサイド材料の形成のためのプロセス順序を例示する図である。
【図４】本明細書で述べられるなお別の実施形態による無拡散アニールプロセスを使用する金属シリサイド材料の形成のためのプロセス順序を例示する図である。
【図５】本明細書で述べられる実施形態に従って形成される金属シリサイド材料を利用する例となるゲート酸化物デバイスの横断面図を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
理解を容易にするために、同一の参照数字が、図に共通する同一の要素を指定するために、可能であれば使用された。一実施形態で開示される要素は、明確な列挙なしに他の実施形態で有益に利用されてもよいと熟考される。
【００１３】
約３０オングストローム以下などの５０オングストローム未満の厚さを有するケイ化チタン層（ＴｉｘＳｉｙ）は、本明細書で述べられる無拡散アニールプロセスの実施形態を使用して形成される。無拡散アニールプロセスの短い時間枠は、窒素がシリコン含有界面に拡散して窒化シリコンを形成する時間を低減し、それ故に界面抵抗を最小限にする。短い時間枠はまた、反応物のポリＳｉグレイン下方への拡散を包含するすべての拡散プロセスを最小限にすることによって極めて滑らかなシリサイド層も生成する。ケイ化チタン層は、約１００μΩ−ｃｍ以下の抵抗率を有し、例えばデバイス抵抗を著しく増加させることなく、ＤＲＡＭかまたはコンデンサの電極などのさまざまなデバイス応用のための優れた抵抗特性を提供する。
【００１４】
無拡散アニール方法またはプロセスは、ドーパントを周囲の層中に実質的に拡散させず、ドーパントを半導体層の意図した部分に保つそれらのアニールプロセスのことである。無拡散アニールプロセスは、例えば１０ミリ秒未満の短いドウェル時間を有してもよく、その短いドウェル時間は、周囲の層中へのドーパントの拡散を最小限にする（いくつかの場合には、２．５ｎｍ未満の拡散）。無拡散アニールプロセスは、ミリ秒アニールプロセス、ナノ秒アニールプロセス、およびマイクロ秒アニールプロセスなどのレーザアニールプロセスならびにキセノンフラッシュランプアニールプロセスを包含するフラッシュランプアニールプロセスを包含してもよい。
【００１５】
レーザアニール方法またはプロセスは、基板の表面（複数可）をアニールするために使用されてきたそれらのアニールプロセスのことである。一般に、これらのプロセスは、基板が小さな領域に配送されるエネルギーに対して平行移動されるまたは走査される間に、基板の表面の小さな領域に一定のエネルギー束を配送する。シリコン含有基板で行われるレーザアニールプロセスについては、放射の波長は、典型的には約８００ｎｍ未満であり、深紫外線（ＵＶ）、赤外線（ＩＲ）または他の望ましい波長で配送できる。一実施形態では、エネルギー源は、約５００ｎｍと約１１マイクロメータとの間の波長で放射を配送するように構成されるレーザなどの強い光源であってもよい。大部分の実施形態では、アニールプロセスは一般に、約１秒以下の程度などの比較的短時間にわたって基板の所与の領域について行われる。一実施形態では、レーザアニールプロセスは、基板温度を約１１５０〜１３５０℃の間に約１秒だけにわたって上昇させて、基板の損傷を除去し、所望のドーパント分布を達成する。
【００１６】
レーザアニール方法またはプロセスは、パルスレーザアニールプロセスを包含する。パルスレーザアニールプロセスは、基板の表面の有限領域をアニールして、基板の表面の明瞭に定義されたアニールおよび／または再融解領域を提供するために使用されてもよい。一般に、パルスレーザアニールプロセスの間に、基板の表面のさまざまな領域は、レーザから配送される所望量のエネルギーにさらされて、基板の所望の領域の好ましい加熱をもたらす。基板のさらされる領域の重なりは典型的には、ダイ間の未使用スペースまたは「切り口」線に限定されるから、基板の所望の領域を横断する均一なアニールを確実にするために隣接走査領域間の重なりを厳重に制御する必要性は、問題ではないので、パルスレーザアニール方法およびプロセスは、基板の表面を横断してレーザエネルギーを掃引する他のプロセスに優る利点を有する。
【００１７】
フラッシュランプアニール方法およびプロセスは、基板上にパルス照射するための可視光エネルギーを発生させるために使用されてもよい。一態様では、エネルギー源からのエネルギーのパルスは、アニール領域に配送されるエネルギー量および／またはパルス周期にわたって配送されるエネルギー量が、所望エリアの目標とするアニールを行うために最適化されるように合わせられる。一態様では、レーザの波長は、放射のかなりの部分が基板上に配置されるシリコン層によって吸収されるように同調される。
【００１８】
一態様では、ケイ化チタン材料などの金属シリサイド層は、シリコン材料およびチタン材料を無拡散アニールプロセスにさらすことによって基板表面上に形成される。無拡散アニールプロセスは、金属層からの窒素がシリコン含有界面に拡散して窒化シリコンを形成することがないようなプロセス条件のもとで行われる。一実施形態では、無拡散アニールプロセスは、約９００℃と約１２００℃との間、例えば約１０００℃などの、約８００℃と約１３００℃との間の温度で金属シリサイド層を形成する。一実施形態では、無拡散アニールプロセスは、５ミリ秒未満、例えば１ミリ秒未満などの、１０ミリ秒未満にわたって行われる。一実施形態では、無拡散アニールプロセスは、０．２５から１ミリ秒のドウェル時間にわたって約３×１０４Ｗ／ｃｍ２から約１×１０５Ｗ／ｃｍ２の電力密度の印加を包含するレーザアニールプロセスであってもよい。レーザ走査速度は、これらのミリ秒ドウェル時間を達成するために２５ｍｍ／秒から２５０ｍｍ／秒に及んでもよい。
【００１９】
本明細書で述べられるような「基板表面」は、膜処理が行われる任意の基板表面のことである。例えば、基板表面は、応用に応じて、シリコン、酸化シリコン、ドープシリコン、ゲルマニウム、ヒ化ガリウム、ガラス、サファイア、ならびに金属、金属合金、および他の導電性材料などの任意の他の材料を包含してもよい。基板表面はまた、二酸化シリコンおよび炭素ドープ酸化シリコンなどの誘電体材料を包含してもよい。
【００２０】
基板上に材料を堆積させ、形成するための処理システムは、少なくとも１つの堆積チャンバおよび少なくとも１つのアニールチャンバを含有してもよい。一般に、そのシステムは、少なくとも１つの物理気相堆積チャンバ（ＰＶＤ）および／または少なくとも１つの無拡散アニールチャンバを含有する。他のチャンバは、例えば化学気相堆積（ＣＶＤ）チャンバ、原子層堆積（ＡＬＤ）チャンバ、および前洗浄チャンバを包含してもよい。一実施形態では、金属材料が、シリコン含有材料上に堆積され、オプションの金属窒化物障壁層が、堆積されてもよく、金属接点材料が、基板上に堆積される。基板は、堆積プロセスのいずれかより前に、その間に、および／またはその後に少なくとも１つの無拡散アニールプロセスにさらされて、金属シリサイド層を形成する。別の実施形態では、チタン材料が、ポリシリコン材料上に堆積され、オプションの窒化チタン障壁層が、チタン材料上に堆積されてもよく、タングステン接点材料が、基板上に堆積される。基板は、堆積プロセスのいずれかより前に、その間に、および／またはその後に少なくとも１つの無拡散アニールプロセスにさらされて、ケイ化チタン層を形成する。
【００２１】
図１は、本明細書で述べられる堆積およびアニールプロセスの少なくとも１つの実施形態を行うのに適している統合されたマルチチャンバ基板処理システムを示す。堆積およびアニールプロセスは、それに配置される少なくとも１つのＰＶＤチャンバおよび少なくとも１つの無拡散アニールチャンバを有するマルチチャンバ処理システムまたはクラスタツールで行われてもよい。本明細書で述べられるプロセスの間に使用されてもよい処理プラットフォームは、Ｓａｎｔａ  Ｃｌａｒａ、Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａに位置するＡｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ、Ｉｎｃ．から市販されているＥＮＤＵＲＡ（登録商標）処理プラットフォームである。他の製造業者からの他のシステムもまた、本明細書で述べられるプロセスを行うために使用されてもよい。
【００２２】
図１は、２つの移送チャンバ４８、５０、移送チャンバ４８、５０内に丁重に配置された移送ロボット４９、５１、ならびに２つの移送チャンバ４８、５０に配置された複数の処理チャンバ３６、３８、４０、４１、４２および４３を包含する処理プラットフォームシステム３５の一実施形態の概略上面図である。第１の移送チャンバ４８および第２の移送チャンバ５０は、パススルーチャンバ５２によって分離され、そのパススルーチャンバは、冷却または予熱チャンバを含んでもよい。パススルーチャンバ５２はまた、第１の移送チャンバ４８および第２の移送チャンバ５０が異なる圧力で動作するとき、基板取扱いの間ポンプで排気されるまたは空気を通されてもよい。例えば、第１の移送チャンバ４８は、約４００ｍＴｏｒｒなどの、約１００ｍＴｏｒｒから約５Ｔｏｒｒの範囲内の圧力で動作してもよく、第２のチャンバ５０は、約１×１０−７Ｔｏｒｒなどの、約１×１０−５Ｔｏｒｒから約１×１０−８Ｔｏｒｒの範囲内の圧力で動作してもよい。処理プラットフォームシステム３５は、マイクロプロセッサコントローラ５４をプログラムすることによって自動化される。
【００２３】
第１の移送チャンバ４８は、２つの脱気チャンバ４４、２つのロードロックチャンバ４６、反応性前洗浄チャンバ４２およびＡＬＤ処理チャンバまたはＰＶＤチャンバなどのチャンバ３６、ならびにパススルーチャンバ５２と結合される。前洗浄チャンバ４２は、Ｓａｎｔａ  Ｃｌａｒａ、ＣａｌｉｆｏｒｎｉａのＡｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ、Ｉｎｃ．から市販されているＰｒｅＣｌｅａｎ  ＩＩチャンバであってもよい。基板（図示されず）は、ロードロックチャンバ４６を通じて処理プラットフォームシステム３５中にロードされる。その後、基板は、脱気チャンバ４４および前洗浄チャンバ４２でそれぞれ連続して脱気され、洗浄される。移送ロボット４９は、基板を脱気チャンバ４４と前洗浄チャンバ４２との間で移動させる。
【００２４】
第２の移送チャンバ５０は、処理チャンバ３８、４０、４１、および４３のクラスタに結合される。一例では、チャンバ３８および４０は、操作者が望むように、チタン、窒化チタン、またはタングステンなどの材料を堆積させるためのＰＶＤチャンバであってもよい。別の例では、ＰＶＤチャンバは、Ｓａｎｔａ  Ｃｌａｒａ、Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａに位置するＡｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ、Ｉｎｃ．から市販されているＣＥＮＴＵＲＡ（登録商標）処理プラットフォームなどの別個のプラットフォームに置かれてもよい。別の例では、チャンバ３８および４０は、操作者が望むように、タングステンなどの材料を堆積させるためのＣＶＤチャンバであってもよい。適切なＰＶＤチャンバの例は、Ｓａｎｔａ  Ｃｌａｒａ、Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａに位置するＡｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ、Ｉｎｃ．から市販されているＳＩＰ（Ｓｅｌｆ  Ｉｏｎｉｚｅｄ  Ｐｌａｓｍａ）およびＡＬＰＳ（Ａｄｖａｎｃｅｄ  Ｌｏｗ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｓｏｕｒｃｅ）チャンバを包含する。チャンバ４１および４３は、極めて高速で基板をアニールできる無拡散アニールチャンバであってもよい。別の例では、無拡散アニールチャンバは、Ｓａｎｔａ  Ｃｌａｒａ、Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａに位置するＡｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ、Ｉｎｃ．から市販されているＶａｎｔａｇｅ処理プラットフォームなどの別個のプラットフォームに置かれてもよい。無拡散アニールチャンバの例は、Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ、Ｉｎｃ．、Ｓａｎｔａ  Ｃｌａｒａ、Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａから市販されている動的表面アニール（ＤＳＡ）プラットフォームまたはフラッシュランプアニールチャンバである。別法として、チャンバ４１および４３は、低圧ＣＶＤ堆積を行う能力がある低圧ＣＶＤ（ＬＰＣＶＤ）堆積Ｐｏｌｙｇｅｎチャンバであってもよい。ＰＶＤ処理基板は、パススルーチャンバ５２を介して移送チャンバ４８から移送チャンバ５０中に移動される。その後、移送ロボット５１は、処理に必要とされるような材料堆積およびアニールのために、基板を処理チャンバ３８、４０、４１、および４３の１つまたは複数の間で移動させる。
【００２５】
ＲＴＡ（Ｒａｐｉｄ  Ｔｈｅｒｍａｌ  Ａｎｎｅａｌｉｎｇ）チャンバなどの追加のアニールチャンバおよび／または無拡散アニールチャンバがまた、処理プラットフォームシステム３５の第１の移送チャンバ４８に配置されて、処理プラットフォームシステム３５からの基板除去または第２の移送チャンバ５０への移送より前に堆積後アニールプロセスを提供してもよい。
【００２６】
図示されないが、複数の真空ポンプが、それぞれのチャンバの圧力を独立して調節するために各移送チャンバおよび処理チャンバの各々と流体連通して配置される。ポンプは、ロードロックチャンバから処理チャンバへと装置を横断して圧力が増加する真空勾配を構築してもよい。
【００２７】
別法として、Ｓａｎｔａ  Ｃｌａｒａ、ＣａｌｉｆｏｒｎｉａのＡｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ、Ｉｎｃ．から入手できるＤＰＳ（登録商標）チャンバなどの、プラズマエッチングチャンバまたは減結合プラズマ源チャンバが、ＰＶＤ金属堆積および／または堆積金属のアニールの後に未反応金属を除去するために処理プラットフォームシステム３５に結合されるまたは基板表面をエッチングするための別個の処理システムにあってもよい。
【００２８】
図１を参照すると、処理チャンバ３６、３８、４０，４１、４２および４３は、マイクロプロセッサコントローラ５４によって各々制御される。マイクロプロセッサコントローラ５４は、処理チャンバを制御するために工業環境で使用できる任意の形の汎用コンピュータプロセッサ（ＣＰＵ）の１つならびにサブプロセッサであってもよい。コンピュータは、ランダムアクセスメモリ、読み出し専用メモリ、フロッピーディスクドライブ、ハードドライブ、または任意の他の形のデジタル記憶装置などの、ローカルまたはリモートの任意の適切なメモリを使用してもよい。さまざまな支援回路が、従来の方法でプロセッサを支援するためにＣＰＵに結合されてもよい。必要とされるようなソフトウェアルーチンは、メモリに保存されるまたは遠く離れて置かれる第２のＣＰＵによって実行されてもよい。
【００２９】
ソフトウェアルーチンは、プロセスレシピまたは順序を開始するために実行される。ソフトウェアルーチンは、実行されると、汎用コンピュータをチャンバプロセスが行われるようにチャンバ動作を制御する特定プロセスコンピュータに変換する。別法として、ソフトウェアルーチンは、特定用途向け集積回路もしくは他の種類のハードウェア実装のようなハードウェアで、またはソフトウェアおよびハードウェアの組合せで行われてもよい。
【００３０】
金属シリサイド形成
図２は、本明細書で述べられる一実施形態による無拡散アニールプロセスを使用する金属材料の形成のためのプロセス順序２００を例示する。ステップ２０２で示されるように、基板は、例えばＰＶＤプロセスチャンバ３８などのプロセスチャンバに提供される。温度および圧力などのプロセスチャンバ条件は、基板への金属の堆積を強化するように調整される。
【００３１】
一実施形態では、基板１５４は、結晶シリコン（例えば、Ｓｉ＜１００＞またはＳｉ＜１１１＞）、酸化シリコン、歪みシリコン、シリコンゲルマニウム、ドープまたは非ドープポリシリコン、ドープまたは非ドープシリコンウエハおよびパターン化または非パターン化ウエハシリコンオンインシュレータ（ＳＯＩ）、ドープシリコン、ゲルマニウム、ヒ化ガリウム、ガラス、ならびにサファイアなどの材料であってもよい。基板２０２は、２００ｍｍまたは３００ｍｍ直径ウエハなどのさまざまな寸法、ならびに長方形または正方形のペインを有してもよい。特に断りのない限り、本明細書で述べられる実施形態および例は、２００ｍｍ直径または３００ｍｍ直径の基板について実施される。一実施形態では、基板は、基板を覆って配置されるゲート誘電体層上に形成されるポリシリコンゲート電極を有してもよい。
【００３２】
ステップ２０２の後、障壁層として機能してもよい第１の金属層が、ステップ２０４で基板のシリコン含有表面を覆って堆積される。第２の金属層のための障壁層が、堆積され、アニールされて、真空を破ることなく金属シリサイド層を形成してもよいように、第１の金属層は、チャンバ３８に配置される基板１５４上に堆積されてもよい。基板１５４は、その上に配置されるシリコンまたは酸化シリコン材料などの誘電体材料を包含してもよく、特徴を規定するようにパターン化されてもよく、その特徴中には金属膜が、堆積されてもよくまたは金属シリサイド膜が、形成されることになる。第１の金属層は、物理気相堆積（ＰＶＤ）技術、ＣＶＤ技術、または原子層堆積技術によって堆積されてもよい。金属層の適切な例は、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、ハフニウム（Ｈｆ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、それらの合金、またはそれらの任意の組合せを包含する。
【００３３】
ＰＶＤプロセスでは、金属は、ＰＶＤチャンバ３８を使用して堆積される。堆積させるべきチタンなどの材料のターゲットは、チャンバの上部に配置される。基板１５４は、チャンバ３８に提供され、基板支持台上に配置される。処理ガスは、約５ｓｃｃｍと約３０ｓｃｃｍとの間の流量でチャンバ３８中に導入される。チャンバ圧力は、共形ＰＶＤ金属層の堆積を促進するために約５ｍＴｏｒｒより下に維持される。好ましくは、約０．２ｍＴｏｒｒと約２ｍＴｏｒｒとの間のチャンバ圧力が、堆積の間使用されてもよい。より好ましくは、約０．２ｍＴｏｒｒと約１．０ｍＴｏｒｒとの間のチャンバ圧力が、基板上へチタンをスパッタするのに十分であると観察された。
【００３４】
プラズマは、約０ボルト（Ｖ）と約−２，４００Ｖとの間の負電圧をターゲットに印加することによって発生される。例えば、負電圧は、約０Ｖと約−１，０００Ｖとの間でターゲットに印加されて、２００ｍｍ基板上に材料をスパッタする。約０Ｖと約−７００Ｖとの間の負電圧が、基板表面へのスパッタ材料の方向性を改善するために基板支持台に印加されてもよい。基板１５４は、堆積プロセスの間は約１０℃から約５００℃の範囲内の温度に維持される。
【００３５】
金属堆積プロセスの例は、アルゴンなどの不活性ガスを約５ｓｃｃｍと約３０ｓｃｃｍとの間の流量でチャンバ３８中に導入するステップと、チャンバ圧力を約０．２ｍＴｏｒｒと約１．０ｍＴｏｒｒとの間に維持するステップと、約０ボルトと約１，０００ボルトとの間の負バイアスをターゲットに印加して、ガスをプラズマ状態に励起するステップと、スパッタプロセスの間は基板１５４を約１０℃から約５００℃の範囲内、好ましくは約５０℃および約２００℃、より好ましくは約５０℃と約１００℃との間の温度に維持するステップと、２００ｍｍ基板についてはターゲットを基板表面から約１００ｍｍと約３００ｍｍとの間に間隔をあけるステップとを包含する。チタンは、このプロセスを使用して約３００Å／ｍｉｎと約２，０００Å／ｍｉｎとの間の速度でシリコン材料上に堆積されてもよい。一実施形態では、第１の金属層は、約２０Åと約１００Åとの間の厚さを有してもよい。コリメータが、堆積速度への悪影響を最小にしながら本明細書で述べられるプロセスで使用されてもよい。
【００３６】
図示されないが、第１の金属層は、図１で示される装置を使用する別の方法によって堆積されてもよい。チタン材料は、ＣＶＤ技術、ＡＬＤ技術、イオン化磁気プラズマＰＶＤ（ＩＭＰ−ＰＶＤ）技術、自己イオン化プラズマＰＶＤ（ＳＩＰ−ＰＶＤ）技術、無電解析出プロセス、またはそれらの組合せによって堆積されてもよい。例えば、チタン材料は、図１で示されるような処理プラットフォームシステム３５のチャンバ４１などのＣＶＤチャンバでＣＶＤによって、または図１で示されるように位置４１に配置されるＡＬＤチャンバもしくはＣＶＤチャンバでＡＬＤによって堆積されてもよい。基板は、真空を破るまたは基板を他の外的環境条件にさらすことなく処理プラットフォームシステム３５内のさまざまなチャンバ間で移送されてもよい。
【００３７】
ステップ２０６では、タングステンなどの第２の金属の堆積より前に、チタンまたは窒化チタンなどの障壁材料の層が、第１の金属層上に堆積されてもよい。障壁材料の層は、下にある基板またはシリコン材料中への第２の金属層の層間拡散への耐性を改善する。加えて、障壁材料の層は、第１の金属層と第２の金属層との間の層間接着を改善することもある。適切な障壁層材料は、チタン、窒化チタン、タンタル、窒化タンタル、タングステン、窒化タングステン、チタン−タングステン合金、それらの派生物、およびそれらの組合せを包含する。例えば、窒化タングステンが、窒化チタン上に堆積されてもよい。障壁材料の層は、ＣＶＤ技術、ＡＬＤ技術、ＩＭＰ−ＰＶＤ技術、ＳＩＰ−ＰＶＤ技術、またはそれらの組合せによって堆積されてもよい。
【００３８】
一実施形態では、金属窒化物材料は、窒化チタン材料である。別の実施形態では、金属窒化物材料は、窒化タングステン材料である。金属窒化物材料は、金属層の形成の間に窒素ガスを処理チャンバ中に流すことによって形成されてもよい。一実施形態では、処理ガスは、１０％と３０％との間の窒素ガス、例えば２０％の窒素ガスを含んでもよい。一実施形態では、窒素ガスは、１０ｓｃｃｍと３０ｓｃｃｍとの間などの、５ｓｃｃｍ（標準立方センチメートル毎分）と５０ｓｃｃｍとの間の適正な流量で提供されてもよい。基板は、約１ｔｏｒｒと約５ｔｏｒｒとの間のチャンバ圧力で約５０℃と約５００℃との間の温度に維持される。一実施形態では、金属窒化物材料は、約２ｎｍと約１０ｎｍとの間の厚さを有してもよい。
【００３９】
金属窒化物層は、第１の金属層と同じチャンバで堆積されてもよい。例えば、もし第１の金属層が、ＰＶＤプロセスによって堆積されるチタン層であるならば、金属窒化物層は、チタン層を堆積させながら同じチャンバ中に窒素含有ガスを流すことによって形成されてもよい。
【００４０】
金属接点材料堆積プロセス
ステップ２０８において、金属接点材料または第２の金属層が、金属窒化物材料を覆って堆積される。一実施形態では、金属接点材料は、タングステン材料を含む。従来のＣＶＤ、ＡＬＤ、またはＰＶＤなどの任意の金属堆積プロセスが、金属接点材料を堆積させるために使用されてもよい。
【００４１】
金属接点材料を堆積させる１つの例となるプロセスは、物理気相堆積を包含する。ＰＶＤプロセスでは、金属は、ＰＶＤチャンバ４０を使用して堆積されてもよい。堆積させるべきタングステンなどの材料のターゲットは、チャンバの上部に配置される。基板１５４は、チャンバ４０に提供され、基板支持台上に配置される。処理ガスは、約５ｓｃｃｍと約３０ｓｃｃｍとの間の流量でチャンバ４０中に導入される。チャンバ圧力は、共形ＰＶＤ金属層の堆積を促進するために約５ｍＴｏｒｒより下に維持される。好ましくは、約０．２ｍＴｏｒｒと約２ｍＴｏｒｒとの間のチャンバ圧力が、堆積の間使用されてもよい。より好ましくは、約０．２ｍＴｏｒｒと約１．０ｍＴｏｒｒとの間のチャンバ圧力が、基板上へタングステンをスパッタするのに十分であると観察された。
【００４２】
プラズマは、約０ボルト（Ｖ）と約−２，４００Ｖとの間の負電圧をターゲットに印加することによって発生される。例えば、負電圧は、約０Ｖと約−１，０００Ｖとの間でターゲットに印加されて、２００ｍｍ基板上に材料をスパッタする。約０Ｖと約−７００Ｖとの間の負電圧が、基板表面へのスパッタ材料の方向性を改善するために基板支持台に印加されてもよい。基板１５４は、堆積プロセスの間は約１０℃から約５００℃の範囲内の温度に維持される。
【００４３】
堆積プロセスの例は、アルゴンなどの不活性ガスを約５ｓｃｃｍと約３０ｓｃｃｍとの間の流量でチャンバ４０中に導入するステップと、チャンバ圧力を約０．２ｍＴｏｒｒと約１．０ｍＴｏｒｒとの間に維持するステップと、約０ボルトと約１，０００ボルトとの間の負バイアスをターゲットに印加して、ガスをプラズマ状態に励起するステップと、スパッタプロセスの間は基板１５４を約１０℃から約６００℃の範囲内、好ましくは約５０℃および約３００℃、より好ましくは約５０℃と約１００℃との間の温度に維持するステップと、２００ｍｍ基板についてはターゲットを基板表面から約１００ｍｍと約３００ｍｍとの間に間隔をあけるステップとを包含する。タングステンは、このプロセスを使用して約３００Å／ｍｉｎと約２，０００Å／ｍｉｎとの間の速度でシリコン材料上に堆積されてもよい。一実施形態では、第２の金属層は、約２００Åと約１０００Åとの間の厚さを有してもよい。コリメータが、堆積速度への悪影響を最小にしながら本明細書で述べられるプロセスで使用されてもよい。
【００４４】
金属シリサイド形成プロセス
ステップ２１０において、基板は、無拡散アニールプロセスにさらされて、金属シリサイド材料を形成する。シリサイド化プロセスは、基板のシリコン含有表面を覆って堆積された金属層を金属シリサイド層に転換する。一実施形態では、金属シリサイド材料は、ケイ化チタン材料である。一実施形態では、無拡散アニールは、ミリ秒レーザアニールなどのレーザアニールを含む。別の実施形態では、無拡散アニールは、例えばキセノンフラッシュランプを使用するフラッシュランプアニールを含む。
【００４５】
金属シリサイド層を形成するための１つの例となるプロセスは、動的表面アニール（ＤＳＡ）プロセスなどのレーザアニールプロセスに基板をさらすステップを包含する。レーザアニールプロセスは、基板の増分部分を約８００℃と約１３００℃との間の温度に短い継続期間にわたって加熱するエネルギービームで基板を走査することによって行われてもよい。エネルギービームによって加熱される部分は、１ミリ秒未満などの１０ミリ秒未満にわたって上昇した温度に維持される。ＤＳＡプロセスに適した１つのチャンバは、Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ、Ｉｎｃ．から入手できるＤＳＡプラットフォームである。他の製造業者からのそれらを包含する他のＤＳＡプラットフォームが、レーザアニールプロセスを行うために利用されてもよいと熟考される。
【００４６】
ステップ２１０でのＤＳＡプロセスは、基板を所定の高温で加熱し、活性化してもよい。一実施形態では、ＤＳＡプロセスは、約９００℃と約１２００℃との間、例えば約１０００℃などの、約８００℃と約１３００℃との間の温度で金属シリサイド化層を形成する。基板は、さまざまな継続時間にわたってレーザにさらされる。一実施形態では、ＤＳＡプロセスは、５ミリ秒未満、例えば１ミリ秒未満などの、１０ミリ秒未満にわたって行われる。一実施形態では、レーザは、約０．１ミリ秒と約１ミリ秒との間の時間間隔にわたってパルス照射される。一実施形態では、レーザは、約１０．６μｍまたは約０．８８μｍに選択される波長の光を放出するが、他の波長が、利用されてもよい。ＤＳＡプロセスは、Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ、Ｉｎｃ．から入手できるＤＳＡプラットフォームで行われてもよい。動的表面アニールプロセスおよびプラットフォームの１つの例となる実施形態は、参照によりそれの全体が本明細書に組み込まれる、Ｊｅｎｎｉｎｇｓおよびその他の「ＡＰＰＡＲＡＴＵＳＥＳ  ＦＯＲ  ＴＨＥＲＭＡＬ  ＰＲＯＣＥＳＳＩＮＧ  ＳＴＲＵＣＴＵＲＥＳ  ＦＯＲＭＥＤ  ＯＮ  Ａ  ＳＵＢＳＴＲＡＴＥ」という名称の米国特許出願公開第２００７／０２２１６４０号で述べられる。
【００４７】
金属シリサイド層を形成するための別の例となるプロセスは、キセノンフラッシュランプＲＴＰプロセスなどのフラッシュランプＲＴＰプロセスに基板をさらすステップを包含する。フラッシュＲＴＰプロセスは、（１）中間温度への基板の急速な加熱、および（２）基板が中間温度に加熱されると同時に最終温度への基板の非常に急速な加熱を包含する。最終温度は、中間温度よりも高く、第２のステップの継続時間は、第１のステップの第１の継続時間未満である。例として、フラッシュＲＴＰプロセスの第１のステップは、約５００℃から約９００℃の範囲の中間温度範囲に約０．１秒から約１０秒の時間範囲にわたって基板を加熱するステップを包含してもよい。第２のステップは、約１０００℃から約１３００℃の範囲の最終温度に、好ましくは約０．１ミリ秒から１０ミリ秒の範囲で、好ましくは約０．１から約２ミリ秒の範囲の時間にわたってドープ表面層を加熱するステップを包含してもよい。
【００４８】
図３は、本明細書で述べられる別の実施形態による無拡散アニールを使用する金属シリサイド材料の形成のためのプロセス順序３００を例示する。その順序は、基板を処理チャンバ中にロードするステップ（ステップ３０２）と、基板のシリコン含有表面を覆って金属層を堆積させるステップ（ステップ３０４）と、金属材料を覆って金属窒化物材料を堆積させるステップ（ステップ３０６）と、基板を無拡散アニールプロセスにさらして、金属シリサイド材料を形成するステップ（ステップ３０８）と、金属窒化物材料を覆って金属接点材料を堆積させるステップ（ステップ３１０）とを包含する。
【００４９】
図４は、本明細書で述べられるなお別の実施形態による無拡散アニールプロセスを使用する金属シリサイド材料の形成のためのプロセス順序４００を例示する。その順序は、基板を処理チャンバ中にロードするステップ（ステップ４０２）と、基板のシリコン含有表面を覆って金属層を堆積させるステップ（ステップ４０４）と、基板を無拡散アニールプロセスにさらして、金属シリサイド材料を形成するステップ（ステップ４０６）と、金属材料を覆って金属窒化物材料を堆積させるステップ（ステップ４０８）と、金属窒化物材料を覆って金属接点材料を堆積させるステップ（ステップ４１０）とを包含する。
【００５０】
オプションとして、基板上への金属堆積より前に、基板の表面は、汚染物質を除去するために洗浄されてもよい。洗浄プロセスは、フッ化水素酸溶液にさらすなどの湿式エッチングプロセスによって、または不活性ガス、水素もしくはアンモニアなどの還元ガス、もしくはそれらの組合せのプラズマにさらすなどのプラズマ洗浄プロセスによって行われてもよい。洗浄プロセスはまた、処理の間の基板表面の汚染を最小限にするために処理ステップ間に行われてもよい。プラズマ洗浄プロセスは、本明細書で述べられるＰｒｅＣｌｅａｎ  ＩＩ処理チャンバおよびＲＰＣ＋処理チャンバで行われてもよく、その両方の処理チャンバは、Ｓａｎｔａ  Ｃｌａｒａ  ＣａｌｉｆｏｒｎｉａのＡｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ、Ｉｎｃ．から市販されている。
【００５１】
図５は、本明細書で述べられる実施形態に従って形成される金属シリサイド材料を利用する例となるゲート酸化物デバイスの横断面図を示す。そのデバイスは一般に、スペーサ５１６によって囲まれる露出ゲート５１０および基板表面５１２内に形成されるシリコンソース／ドレインエリア５２０を包含する。スペーサ５１６は典型的には、ＳｉＯ２などの酸化物から成る。
【００５２】
金属ゲート５１０は、酸化物層５１１、ポリシリコン層５１４、ケイ化チタン層５１５、窒化チタン層５１８、およびタングステン層５２２を包含する。ケイ化チタン層５１５は、図２〜４を参照して上で述べられた実施形態を使用して形成される。例えばＳｉＯ２層などの酸化物層５１１は、基板５１２をポリシリコン層５１４から分離する。酸化物層５１１およびポリシリコン層５１４は、従来の堆積技術を使用して堆積される。
【実施例１】
【００５３】
チタン材料が、基板上に配置されたポリシリコン材料を覆って堆積され、窒化チタン材料が、チタン材料を覆って堆積され、タングステン材料が、窒化チタン材料を覆って堆積される。基板は、無拡散アニールで処理されて、ポリシリコン材料と窒化チタン材料との間に二ケイ化チタン（ＴｉＳｉ２）を形成する。オプションの前洗浄プロセスが、処理より前に基板について行われてもよい。チタン材料および窒化チタン材料は、第１の処理チャンバで堆積されてもよく、タングステン材料は、第２の処理チャンバで堆積されてもよく、ケイ化チタン材料は、第３の処理チャンバで形成されてもよい。
【実施例２】
【００５４】
チタン材料が、基板上に配置されたポリシリコン材料を覆って堆積され、窒化チタン材料が、チタン材料を覆って堆積され、窒化タングステン材料が、窒化チタン材料を覆って堆積され、タングステン材料が、窒化タングステン材料を覆って堆積される。基板は、無拡散アニールで処理されて、ポリシリコン材料と窒化チタン材料との間に二ケイ化チタン（ＴｉＳｉ２）を形成する。オプションの前洗浄プロセスが、処理より前に基板について行われてもよい。チタン材料および窒化チタン材料は、第１の処理チャンバで堆積されてもよく、窒化タングステンおよびタングステン材料は、第２の処理チャンバで堆積されてもよく、ケイ化チタン材料は、第３の処理チャンバで形成されてもよい。
【００５５】
本明細書で述べられる実施形態は、無拡散アニールを使用して金属シリサイド層を形成する方法を包含する。本明細書で述べられる実施形態はさらに、低減した界面抵抗のためのタングステン−ポリＤＲＡＭ電極のミリ秒アニールのための方法を提供する。無拡散アニールの短い時間枠は、窒素がシリコン含有界面に拡散して窒化シリコンを形成する時間を低減し、それ故に界面抵抗を最小限にする。短い時間枠はまた、反応物のグレイン下方への拡散を包含するすべての拡散プロセスを最小限にすることによって極めて滑らかなシリサイド層も生成する。
【００５６】
先述のことは、本発明の実施形態を対象にするが、本発明の他のおよびさらなる実施形態が、本発明の基本的範囲から逸脱することなく考案されてもよく、本発明の範囲は、次にくる特許請求の範囲によって決定される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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