(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバー内に回転可能に設けられた円盤状のサセプタと、該サセプタの外周部周方向に回転可能に設けられた複数の外歯車部材と、該外歯車部材に噛合する内歯車を備えたリング状の固定内歯車部材とを備えた自公転機構を有する気相成長装置において、前記サセプタ及び前記内歯車部材の少なくともいずれか一方を、前記外歯車部材と前記内歯車部材とが互いに噛み合う噛み合い状態の位置と両歯車部材が回転軸線方向に離間した非噛み合い状態の位置とに、回転軸線方向に移動可能に形成するとともに、両歯車部材の少なくともいずれか一方の歯車部材の歯側面に、両歯車部材が前記非噛み合い状態の位置から前記噛み合い状態の位置へと移動したときに、他方の歯車部材の歯側面に当接して両歯車部材を前記噛み合い状態にガイドするためのガイド斜面を設けた気相成長装置。
【請求項２】
チャンバー内に回転可能に設けられた円盤状のサセプタと、該サセプタの外周部周方向に回転可能に設けられた複数の外歯車部材と、該外歯車部材に噛合する内歯車を備えたリング状の固定内歯車部材とを備えた自公転機構を有する気相成長装置において、前記サセプタを支持して回転させる軸部材の上面とサセプタの中央部下面との間に上下一対のサセプタ高さ調節部材が対向して設けられ、該サセプタ高さ調節部材は、各サセプタ高さ調節部材の対向面の周方向に、対向するサセプタ高さ調節部材に向かって突出する突出部と該突出部の間に形成される凹部とを交互に複数組形成し、前記一対のサセプタ高さ調節部材の突出部先端面同士を当接させたときに前記サセプタを成膜時より高い位置に支持して前記外歯車部材と前記内歯車部材とが僅かに噛み合った状態とし、前記一対のサセプタ高さ調節部材の突出部を前記凹部内に位置させたときに前記サセプタを成膜時の位置に支持して前記外歯車部材と前記内歯車部材とが所定の噛み合い状態となる気相成長装置。
【請求項３】
チャンバー内に回転可能に設けられた円盤状のサセプタと、該サセプタの外周部周方向に回転可能に設けられた複数の外歯車部材と、該外歯車部材に噛合する内歯車を備えたリング状の固定内歯車部材とを備えた自公転機構を有する気相成長装置において、前記サセプタ及び前記内歯車部材の少なくともいずれか一方を、前記外歯車部材と前記内歯車部材とが互いに噛み合う噛み合い状態の位置と両歯車部材が回転軸線方向に離間した非噛み合い状態の位置とに、回転軸線方向に移動可能に形成するとともに、両歯車部材の少なくともいずれか一方の歯車部材の歯側面に、両歯車部材が前記非噛み合い状態の位置から前記噛み合い状態の位置へと移動したときに、他方の歯車部材の歯側面に当接して両歯車部材を前記噛み合い状態にガイドするためのガイド斜面を設け、前記サセプタを支持して回転させる軸部材の上面とサセプタの中央部下面との間に上下一対のサセプタ高さ調節部材が対向して設けられ、該サセプタ高さ調節部材は、各サセプタ高さ調節部材の対向面の周方向に、対向するサセプタ高さ調節部材に向かって突出する突出部と該突出部の間に形成される凹部とを交互に複数組形成し、前記一対のサセプタ高さ調節部材の突出部先端面同士を当接させたときに前記サセプタを成膜時より高い位置に支持して前記外歯車部材と前記内歯車部材とが前記ガイド斜面で噛み合った状態とし、前記一対のサセプタ高さ調節部材の突出部を前記凹部内に位置させたときに前記サセプタを成膜時の位置に支持して前記外歯車部材と前記内歯車部材とが所定の噛み合い状態となる気相成長装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気相成長装置に関し、詳しくは、基板を自公転させながら基板面に半導体薄膜を気相成長させる自公転型の気相成長装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一度に多数枚の基板に気相成長させる気相成長装置として、公転サセプタの外周部周方向に複数の自転サセプタを配置し、該自転サセプタの外周部に外歯車を設け、チャンバ内に設けた固定内歯車と前記外歯車とを噛み合わせることによって成膜中の基板を自公転させる自公転型気相成長装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２４３０６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述のような自公転型の気相成長装置において、基板交換作業や保守作業のために公転サセプタを取り外すと、固定内歯車と外歯車との噛み合いが外れるため、作業後に公転サセプタを取り付ける際に、固定内歯車と外歯車とを手作業で所定の状態に噛み合わせなければならず、自転サセプタの数が多い場合には、噛み合い状態を確認するだけでも手間や時間が掛かっていた。また、固定内歯車と外歯車とが非噛み合い状態のときには自転サセプタが大きく傾いた状態になり、歯車に大きな力が作用して歯車に欠けが生じるおそれもあった。【０００５】
そこで本発明は、外歯車と内歯車とを自動的に噛み合い状態にすることができる自公転型の気相成長装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の気相成長装置の第１の構成は、チャンバー内に回転可能に設けられた円盤状のサセプタと、該サセプタの外周部周方向に回転可能に設けられた複数の外歯車部材と、該外歯車部材に噛合する内歯車を備えたリング状の固定内歯車部材とを備えた自公転機構を有する気相成長装置において、前記サセプタ及び前記内歯車部材の少なくともいずれか一方を、前記外歯車部材と前記内歯車部材とが互いに噛み合う噛み合い状態の位置と両歯車部材が回転軸線方向に離間した非噛み合い状態の位置とに、回転軸線方向に移動可能に形成するとともに、両歯車部材の少なくともいずれか一方の歯車部材の歯側面に、両歯車部材が前記非噛み合い状態の位置から前記噛み合い状態の位置へと移動したときに、他方の歯車部材の歯側面に当接して両歯車部材を前記噛み合い状態にガイドするためのガイド斜面を設けている。【０００７】
本発明の気相成長装置の第２の構成は、チャンバー内に回転可能に設けられた円盤状のサセプタと、該サセプタの外周部周方向に回転可能に設けられた複数の外歯車部材と、該外歯車部材に噛合する内歯車を備えたリング状の固定内歯車部材とを備えた自公転機構を有する気相成長装置において、前記サセプタを支持して回転させる軸部材の上面とサセプタの中央部下面との間に上下一対のサセプタ高さ調節部材が対向して設けられ、該サセプタ高さ調節部材は、各サセプタ高さ調節部材の対向面に、対向するサセプタ高さ調節部材に向かって突出する突出面が周方向にそれぞれ形成され、突出面同士を当接させたときに前記サセプタを成膜時より高い位置に支持して前記外歯車部材と前記内歯車部材とが噛み合った状態となり、突出寸法が小さな突出面同士を当接させたときに前記サセプタを成膜時の位置に支持して前記外歯車部材と前記内歯車部材とが所定の噛み合い状態となるように形成されている。【０００８】
本発明の気相成長装置の第３の構成は、チャンバー内に回転可能に設けられた円盤状のサセプタと、該サセプタの外周部周方向に回転可能に設けられた複数の外歯車部材と、該外歯車部材に噛合する内歯車を備えたリング状の固定内歯車部材とを備えた自公転機構を有する気相成長装置において、前記サセプタ及び前記内歯車部材の少なくともいずれか一方を、前記外歯車部材と前記内歯車部材とが互いに噛み合う噛み合い状態の位置と両歯車部材が回転軸線方向に離間した非噛み合い状態の位置とに、回転軸線方向に移動可能に形成するとともに、両歯車部材の少なくともいずれか一方の歯車部材の歯側面に、両歯車部材が前記非噛み合い状態の位置から前記噛み合い状態の位置へと移動したときに、他方の歯車部材の歯側面に当接して両歯車部材を前記噛み合い状態にガイドするためのガイド斜面を設け、前記サセプタを支持して回転させる軸部材の上面とサセプタの中央部下面との間に上下一対のサセプタ高さ調節部材が対向して設けられ、該サセプタ高さ調節部材は、各サセプタ高さ調節部材の対向面に、突出寸法が異なる突出面が周方向にそれぞれ形成され、突出寸法が大きな突出面同士を当接させたときに前記サセプタを成膜時より高い位置に支持して前記外歯車部材と前記内歯車部材が前記ガイド斜面で噛み合った状態となり、突出寸法が大きな突出面と突出寸法が小さな突出面とを当接させたときに前記サセプタを成膜時の位置に支持して前記外歯車部材と前記内歯車部材とが所定の噛み合い状態となるように形成されている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の気相成長装置の第１の構成によれば、サセプタを取り付けるときに、外歯車部材と内歯車部材とが非噛み合い状態の位置から噛み合い状態の位置に移動する際に、ガイド斜面によって両歯車部材を噛み合い状態にガイドすることができる。通常は、サセプタに対して自由回転状態で設けられている外歯車部材がいずれかの方向に僅かに回動するだけで、両歯車部材が噛み合い状態に確実にガイドされる。したがって、手作業によるかみ合わせ作業を解消してサセプタの着脱を自動化することも可能となる。【００１０】
本発明の気相成長装置の第２の構成によれば、サセプタを取り付けるときに、サセプタ高さ調節部材でサセプタを成膜時より高い位置支持した状態とすることにより、外歯車部材と内歯車部材とが非噛み合い状態となっていても外歯車部材が大きく傾くことはなく、歯車に欠けが生じることがなくなる。サセプタを成膜時より高い位置に支持した状態で軸部材によりサセプタを回転させることにより、外歯車部材と内歯車部材とが非噛み合い状態から噛み合い状態となるので、サセプタ高さ調節部材でサセプタを成膜時の位置に支持した状態とすることにより、外歯車部材と内歯車部材とを所定の噛み合い状態にすることができるとともに、チャンバー内におけるサセプタの位置を所定の高さにすることができる。【００１１】
本発明の気相成長装置の第３の構成によれば、歯車に欠けが生じることをより確実に防止できるとともに、外歯車部材と内歯車部材とを非噛み合い状態から噛み合い状態への移行をより確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の気相成長装置の第１形態例を示す断面正面図である。
【図２】サセプタと外歯車部材とが相対的に回転軸線方向に移動した状態を示す要部の断面正面図である。
【図３】歯車部材の歯側面に設けたガイド斜面の一形状例を示す平面図である。
【図４】同じく歯車部材の歯の部分を示す正面図である。
【図５】図３のＶ−Ｖ断面図である。
【図６】歯車部材の歯側面に設けたガイド斜面の他の形状例を示す平面図である。
【図７】同じく歯車部材の歯の部分を示す正面図である。
【図８】図６のVIII−VIII断面図である。
【図９】本発明の気相成長装置の第２形態例を示す断面正面図である。
【図１０】サセプタ高さ調節部材を示す断面正面図である
【図１１】軸部材の上面に設けたサセプタ高さ調節部材の平面図である。
【図１２】サセプタの中央部下面に設けたサセプタ高さ調節部材の底面図である。
【図１３】サセプタ高さ調節部材によりサセプタを成膜時より高い位置に支持した状態を示す説明図である。
【図１４】サセプタ高さ調節部材によりサセプタを成膜時の位置に支持した状態を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１乃至図８に示す気相成長装置は、本発明の第１形態例を示すものである。この気相成長装置は、チャンバー１１内に円盤状のサセプタ１２を回転可能に設けるとともに、該サセプタ１２の外周部周方向に形成された複数の円形開口１２ａ内にそれぞれ設けられたリング状の軸受部材１３と、各軸受部材１３上に複数の転動部材（ボール）１３ａを介してそれぞれ回転可能に載置された外歯車部材（自転サセプタ）１４と、該外歯車部材１４に噛合するリング状の固定内歯車部材１５と、前記外歯車部材１４の表面に保持された基板１６を前記サセプタ１２の裏面側から加熱する加熱手段（ヒーター）１７と、前記基板１６の表面に平行な方向に原料ガスを導くフローチャンネル１８とを備えている。
【００１４】
前記サセプタ１２の中央下部には、該サセプタ１２を回転させるための軸部材１９が設けられており、前記フローチャンネル１８の中央上部には、フローチャンネル１８内に原料ガスを導入するガス導入部２０が設けられ、フローチャンネル１８の外周には、複数のガス排出部２１が設けられている。
【００１５】
軸受部材１３及び外歯車部材１４を組み付けて外歯車部材１４に基板１６を保持した状態で、軸受部材１３の下面及び外歯車部材１４の下面とサセプタ１２の下面とが面一になり、外歯車部材１４の外周部上面及び基板１６の上面とサセプタ１２の上面とが面一になるように形成されている。
【００１６】
サセプタ１２と固定内歯車部材１５とは、いずれか一方又は双方が回転軸線方向（上下方向）に移動可能に設けられており、基板交換作業や保守作業などの際には、図２に示すように、軸受部材１３及び外歯車部材１４がサセプタ１２と共に固定内歯車部材１５の上方に離れた位置になり、外歯車部材１４の外歯車１４ａと固定内歯車部材１５の内歯車１５ａとは、図１に示す噛み合い状態の位置から図２に示す非噛み合い状態の位置になる。
【００１７】
基板交換作業や保守作業などを終えた後、サセプタ１２と固定内歯車部材１５とを組み付ける際に、非噛み合い状態の外歯車部材１４の外歯車１４ａと固定内歯車部材１５の内歯車１５ａとを噛み合い状態にするため、外歯車１４ａ及び内歯車１５ａの少なくともいずれか一方の歯車部材の歯側面に、他方の歯車部材の歯側面に当接して両歯車部材を前記噛み合い状態にガイドするためのガイド斜面を設けている。
【００１８】
図３乃至図５に示すガイド斜面３１は、歯車部材３２の歯３３の一方の側面を山形の傾斜面としたものであって、このようなガイド斜面３１を外歯車部材１４の外歯車１４ａと固定内歯車部材１５の内歯車１５ａとの対向側面にそれぞれ設けておくことにより、図２に示す非噛み合い状態の位置から図１に示す噛み合い状態の位置に移動する際に、両者の歯の位置がずれていた場合は、両歯車の歯側面に設けたガイド斜面３１同士が当接した状態になる。このとき、固定内歯車部材１５がチャンバー１１に固定されており、外歯車部材１４が軸受部材１３によりサセプタ１２に自由回転可能な状態で設けられているため、外歯車部材１４の外歯車１４ａがガイド斜面３１にガイドされることによって外歯車部材１４が僅かに回動することにより、外歯車１４ａの歯が内歯車１５ａの歯間に入り込み、外歯車１４ａと内歯車１５ａとが所定の噛み合い状態になる。
【００１９】
また、図６乃至図８に示すガイド斜面４１は、歯車部材４２の歯４３の一方の側面を全体的に傾斜面としたものであって、対向する外歯車１４ａと内歯車１５ａとには、両者の当接時に同一方向に傾斜するガイド斜面４１をそれぞれ設けておく。これにより、ガイド斜面４１同士が当接したときに、両ガイド斜面４１の傾斜に沿って外歯車１４ａが移動するように外歯車部材１４が僅かに回動し、外歯車１４ａの歯が内歯車１５ａの歯間に入り込んで両歯車１４ａ，１５ａとが所定の噛み合い状態になる。
【００２０】
このように、非噛み合い状態の歯車の歯を噛み合い状態にガイドするためのガイド斜面３１又はガイド斜面４１を設けておくことにより、軸受部材１３及び外歯車部材１４を装着したサセプタ１２と固定内歯車部材１５とを組み付ける際に、外歯車１４ａの歯と内歯車１５ａの歯とがずれた非噛み合い状態になっていても、ガイド斜面によって外歯車１４ａの歯と内歯車１５ａの歯とを自動的に、かつ、確実に所定の噛み合い状態とすることができる。また、サセプタ１２を適当な速度で回転させながら固定内歯車部材１５を組み付けることにより、両歯車１４ａ，１５ａの噛み合いをより円滑に行うことができる。サセプタ１２を回転させるにあたっては、例えば、成膜時の回転速度より遅い回転速度で２〜３回転程度回転させてもよいし、一方向のみ回転させてもよい。
【００２１】
なお、各構成部材の形状や組み合わせは、気相成長装置の大きさや一度に処理する基板の枚数、基板の大きさ、原料ガスの種類などに応じて適宜設定することができ、チャンバーの開閉機構やサセプタの搬送機構は任意である。また、歯車の状態によっては、ガイド斜面をいずれか一方の歯の側面に設けるだけでもよく、ガイド斜面は曲面であってもよい。
【００２２】
図９乃至図１４に示す気相成長装置は、本発明の第２形態例を示すものである。なお、以下の説明において、前記第１形態例に示した気相成長装置の構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００２３】
本形態例に示す気相成長装置は、基本的には、前記第１形態例に示した気相成長装置と同じ構成を有している。チャンバー１１内に回転可能に設けられる円盤状のサセプタ１２は、軸部材１９の上面とサセプタ１２の中央部下面とにそれぞれ設けられた石英製の上下一対のサセプタ高さ調節部材５１，６１を介して軸部材１９に支持されている。
【００２４】
軸部材１９の上面に設けた下部サセプタ高さ調節部材５１は、上面外周部の周方向に、対向する上部サセプタ高さ調節部材６１に向かって上方に突出した３個の突出部５２と、各突出部５２の間に形成される３個の凹部５３とを交互に３組形成した階段状凹凸部５４が１２０度間隔で設けられている。また、階段状凹凸部５４の内周側には、上部サセプタ高さ調節部材６１に向かって上方に突出したリング状突出部５５が形成され、リング状突出部５５の内周側には、下部サセプタ高さ調節部材５１を軸部材１９の上面に取り付けるための８個のビス５６を挿通するビス孔５７が周方向の８箇所に等間隔で形成されている。下部サセプタ高さ調節部材５１は石英製であり、軸部材１９はカーボン製である。このように、異質な材質の部材同士を接合するために、両者を機械的に接合している。
【００２５】
一方、サセプタ１２の中央部下面に設けた上部サセプタ高さ調節部材６１は、前記リング状突出部５５の外径に対応した内径を有する円形開口部６２が中央部に形成され、該円形開口部６２の外周上面に、サセプタ１２の中央部下面に形成した嵌合凹部１２ｂの内径に対応した外径を有するリング状の嵌合突出部６３が上方に向かって突設されている。この嵌合突出部６３の裏面には、前記下部サセプタ高さ調節部材５１の突出部５２及び凹部５３に対応する階段状凹凸部６４が形成されている。さらに、階段状凹凸部６４の外周には、前記下部サセプタ高さ調節部材５１の外径に対応した内径を有するリング状突出部６５が下方に向かって突設され、該リング状突出部６５の外周に上部サセプタ高さ調節部材６１をサセプタ１２の中央部下面に取り付けるためのフランジ６６が設けられている。上部サセプタ高さ調節部材６１は石英製であり、サセプタ１２はＳｉＣコートされたカーボン製である。このように、異質な材質の部材同士を接合するために、上部サセプタ高さ調節部材６１にフランジ６６を設け、例えば、図示しないビス孔とビスとを用いて機械的に接合している。
【００２６】
上部サセプタ高さ調節部材６１の前記階段状凹凸部６４は、周方向に所定間隔で形成された凹部６７と、下部サセプタ高さ調節部材５１に向かって下方に２段階に突出した第１突出部６８ａ及び第２突出部６８ｂを有する階段状の突出部６８と、該突出部６８よりも下方に突出した回り止め凸部６９とが周方向に１２０度間隔で３組設けられている。
【００２７】
上部サセプタ高さ調節部材６１の凹部６７の大きさは、下部サセプタ高さ調節部材５１の前記突出部５２を収容可能な大きさを有しており、下部サセプタ高さ調節部材５１の凹部５３の大きさは、上部サセプタ高さ調節部材６１の突出部６８及び回り止め凸部６９を収容可能な大きさを有している。
【００２８】
前記突出部６８における第１突出部６８ａ及び第２突出部６８ｂの突出高さは、前記外歯車部材１４及び前記固定内歯車部材１５の厚さや前記ガイド斜面の有無に応じて適宜な高さに設定されている。また、各突出部５２，６８ａ，６８ｂ及び回り止め凸部６９は、軸部材１９の上面にサセプタ高さ調節部材５１，６１を介してサセプタ１２を載置した状態で軸部材１９を正方向（成膜時の回転方向）に回転させたときに、各突出部５２，６８ａ，６８ｂ及び回り止め凸部６９の立ち上がり部（段差部）同士が当接して軸部材１９の回転をサセプタ１２に伝達する機能を有している。
【００２９】
サセプタ１２を取り外して基板交換作業や保守作業などを終えた後、サセプタ１２を軸部材１９の上にセットする際には、図１３に示すように、下部サセプタ高さ調節部材５１の突出部５２の先端面と、上部サセプタ高さ調節部材６１の突出部６８の先端面、本形態例では第１突出部６８ａ及び第２突出部６８ｂのいずれか一方の先端面とを当接させた状態とする。このように両突出部５２，６８の先端面同士を当接させることにより、軸部材１９に対してサセプタ１２が成膜時の高さより高い位置に支持された状態になる。
【００３０】
このように、サセプタ１２を成膜時の高さより高い位置に支持することにより、サセプタ１２の外周部に位置する外歯車部材（自転サセプタ）１４が固定内歯車部材１５より高い位置となり、外歯車部材１４の下部と固定内歯車部材１５の上部とが僅かに噛み合った状態、例えば１〜２ｍｍ噛み合った状態にすることができる。したがって、外歯車部材１４と内歯車部材１５とが非噛み合い状態で、外歯車部材１４の外歯車１４ａが内歯車部材１５の内歯車１５ａの上に乗り上げた状態となっていても、外歯車部材１４が大きく傾くことはなく、歯車に欠けが生じることがなくなる。
【００３１】
さらに、外歯車部材１４と内歯車部材１５とが非噛み合い状態になっていても、サセプタ１２を成膜時より高い位置に支持した状態で軸部材１９を正転させると、前述のように両突出部５２，６８の立ち上がり部同士が当接して軸部材１９の回転がサセプタ１２に伝達され、サセプタ１２の回転に伴って外歯車部材１４が固定内歯車部材１５の内周側を移動するので、外歯車１４ａと内歯車１５ａとが噛み合う位置になると、内歯車１５ａの上に乗り上げた状態になっていた外歯車１４ａが内歯車１５ａと噛み合って図１３に示す状態となる。
【００３２】
したがって、サセプタ１２を軸部材１９の上にセットした後、サセプタ１２を回転させることにより、例えば、成膜時の回転速度より遅い回転速度で１回転程度回転させることにより、内歯車１５ａの上に乗り上げた状態になっていた外歯車１４ａの歯が内歯車１５ａの歯の間に落ち込み、外歯車部材１４と内歯車部材１５とが噛み合った状態にすることができる。
【００３３】
外歯車部材１４と内歯車部材１５とが噛み合い状態になった後、軸部材１９を逆方向に回転させると、サセプタ高さ調節部材５１，６１には逆方向への回り止めとなる突出部や回り止め凸部が設けられていないので、サセプタ１２がほとんど回転しない状態で軸部材１９が逆方向に回転する。これにより、図１４に示すように、下部サセプタ高さ調節部材５１の突出部５２が上部サセプタ高さ調節部材６１の凹部６７に収容されるとともに、上部サセプタ高さ調節部材６１の突出部６８及び回り止め凸部６９が下部サセプタ高さ調節部材５１の凹部５３に収容された状態になる。
【００３４】
このように各突出部６８，５２を各凹部５３，６７にそれぞれ収容することにより、サセプタ１２は、成膜時の高さに対応した位置に支持された状態になり、固定内歯車部材１５に対して外歯車部材１４が下降することにより、外歯車部材１４と固定内歯車部材１５とが、所定の成膜時の噛み合い状態になる。
【００３５】
また、前記第１形態例で示したガイド斜面が設けられているときには、サセプタ１２を成膜時より高い位置に支持したときに外歯車部材１４と固定内歯車部材１５とがガイド斜面の部分で噛み合うようにサセプタ１２の高さを設定することにより、外歯車部材１４と固定内歯車部材１５とをより確実に噛み合い状態にすることができる。
【００３６】
なお、突出部は１段だけでもよく、回り止め凸部は上下のサセプタ高さ調節部材のいずれかに設ければよい。
【符号の説明】
【００３７】
１１…チャンバー、１２…サセプタ、１２ａ…円形開口、１２ｂ…嵌合凹部、１３…軸受部材、１３ａ…転動部材、１４…外歯車部材、１４ａ…外歯車、１５…固定内歯車部材、１５ａ…内歯車、１６…基板、１７…加熱手段、１８…フローチャンネル、１９…軸部材、２０…ガス導入部、２１…ガス排出部、３１，４１…ガイド斜面、３２，４２…歯車部材、３３，４３…歯、５１…下部サセプタ高さ調節部材、５２…突出部、５３…凹部、５４…階段状凹凸部、５５…リング状突出部、５６…ビス、５７…ビス孔、６１…上部サセプタ高さ調節部材、６２…円形開口部、６３…嵌合突出部、６４…階段状凹凸部、６５…リング状突出部、６６…フランジ、６７…凹部、６８…突出部、６８ａ…第１突出部、６８ｂ…第２突出部、６９…回り止め凸部
【図１】
0005613159.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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