(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
タービン及びコンプレッサで成り、前記タービン内のタービンホイールと前記コンプレッサ内のコンプレッサホイールとがターボシャフトで連結されているターボチャージャの回転を検出するターボチャージャ回転検出装置において、
円筒状外套管で被覆され、かつコイルを一本の円柱状のフェライト芯に巻回して成る渦電流センサを、前記コンプレッサホイールを収容する部分であるコンプレッサハウジングに貫通させて、嵌着、螺合若しくは溶接で装着すると共に、前記コンプレッサホイールのブレードの湾曲した凹部の回転表面に前記渦電流センサのセンサトップが近接しており、且つ、前記ブレードに対して、前記コイルの表面から前記フェライト芯の先端が突出しているように配置し、前記渦電流センサと共振回路を２芯シールド線若しくは同軸ケーブルで接続し、２０万〜５０万ｒｐｍの回転数で回転する前記ブレードの回転に基づく前記渦電流センサの電圧の変化によって前記ターボチャージャの回転速度を検出するようになっており、
検出回路が、前記共振回路から信号成分を抽出する検波回路と、前記検波回路で抽出された信号を増幅器で増幅してパルス信号とする２値化回路とで構成されていることを特徴とするターボチャージャ回転検出装置。
【請求項２】
前記パルス信号を分周し、前記ターボチャージャの例えば１回転に１パルスを出力するようになっている請求項１に記載のターボチャージャ回転検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型で安価な渦電流センサ及びそれを用いたターボチャージャ回転検出装置に関し、特に渦電流センサの検出感度を向上すると共に、センサトップ部渦電流センサを用いることにより、高温高速等の悪条件下においてもターボチャージャの回転数若しくは回転速度を確実に検出することができるターボチャージャ回転検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
導体板などの被測定物（ターゲット）の変位（間隔の変動、移動など）を非接触で計測するセンサとして、従来渦電流センサが知られている。【０００３】
一般に磁界の中で導体を動かすか、導体中を貫通している磁界が変化することによって、導体には誘起電圧が生ずる。導体が拡がりを持つときは、この誘起電圧によって電流が磁束の周囲に円状になって渦電流が流れ、この渦電流は導体抵抗によって熱エネルギーとなる。この損失が渦流損であり、渦流損を検出することによって導体の変位を計測するのが渦電流センサである。渦電流センサとして種々の形式が存在するが、安価に構成することができる共振型渦電流センサの一例を図１に示して説明する。【０００４】
図１の共振型渦電流センサでは、計測部１側の直流電圧源Ｖｂに接続されたコンデンサＣ１と、ケーブル２を介して被測定側の導体板（ターゲット）３に対向して配設されたセンサトップ部４のインダクタンスとで発振回路を形成し、所定周波数及び所定振幅値（交流電圧）で高周波信号（数ＭＨｚ）を発振させる。この構成の電気的等価回路は図２に示すように、共振コイルＬ１とコンデンサＣ１の等価回路（電流ｉ１）と、ターゲット３側の等価回路（電流ｉ２）とが、結合係数をｋとして、相互インダクタンス
0005645207.tif 000002
で結合されている。【０００５】
上記等価回路において、ωを角周波数（＝２πｆ）とすると、インピーダンスＺ１、Ｚ２、Ｚｍは下記数１のように表わされる。【０００６】
【数１】
0005645207.tif 000003
そして、計測部１側の交流電流ｉ１は数２で表わされ、ターゲット３側の交流電流ｉ２は数３で表わされる。【０００７】
【数２】
0005645207.tif 000004
【０００８】
【数３】
0005645207.tif 000005
計測部１側から見た合成インピーダンスＺは、下記数４で表わされる。【０００９】
【数４】
0005645207.tif 000006
ここで、数４に数１を代入すると下記数５のようになる。【００１０】
【数５】
0005645207.tif 000007
数５の最終項の第１項はレジスタンス成分を示し、第２項はリアクタンス成分を示している。【００１１】
ここで、ターゲット３が無限に遠くなった時は等価回路は図３に示すようになる。このときのインピーダンスＺ０は数６となる。【００１２】
【数６】
0005645207.tif 000008
数６と数５を比較すると、相互インダクタンスｍによってターゲット回路を結合すると、レジスタ成分Ｒ１は“Ｒ１＋ω２ｍ２／（Ｒ２２＋ω２Ｌ２２）・Ｒ２”と変化したことになり、レジスタ成分Ｒ１は増加したように変化する。また、リアクタンス成分Ｌ１は“Ｌ１−ω２ｍ２／（Ｒ２２＋ω２Ｌ２２）・Ｌ２”と変化したことになり、リアクタンス成分Ｌ１は減少したように変化する。【００１３】
ここで、電源ｅを定電流電源にすると、図４における電圧ＶＡＢはターゲット３の抵抗Ｒ２、リアクタンスＬ２及び相互インダクタンスｍの関数ｆになる。即ち、下記数７が成立する【００１４】
【数７】
0005645207.tif 000009
そして、相互インダクタンスｍはターゲット３の距離ｄであるから、下記数８となる。【００１５】
【数８】
0005645207.tif 000010
更に、リアクタンスＬ２、抵抗Ｒ２はターゲット３の形状、材質の関数であるから、これらをＰｔとすると、数８は数９となる。【００１６】
【数９】
0005645207.tif 000011
そして、同一形状、同一材質のターゲット３を用いるとＰｔ＝定数となり、結局数９は下記数１０となる。【００１７】
【数１０】
0005645207.tif 000012
以上のことより、共振回路の電圧ＶＡＢを計測することにより、ターゲット３の距離ｄを検出することができる。距離ｄと電圧ＶＡＢの関係は例えば図５に示すようになる。【００１８】
一方、自動車用等の内燃機関においては、その出力は、機関に燃焼のために提供され得る空気質量と相応の燃料量とに関連しており、内燃機関の出力を向上させたい場合には、より多くの燃焼空気と、より多くの燃料とが供給されなければならない。大型化することなく出力向上等を図るための過給機として、ターボチャージャを設けたものが知られている。ターボチャージャは、主として流体コンプレッサとタービンとから成っており、流体コンプレッサとタービンとは共通のシャフトで結合されており、同じ回転数で回転する。タービンは、排ガスの、通常使用されずに消失するエネルギーを回転エネルギーに変換し、コンプレッサを駆動する。コンプレッサは新空気を吸い込み、予圧縮された空気を機関の個々のシリンダに圧送する。シリンダ内のより大きな空気質量には、増加させられた燃料量が供給され得る。これによって、内燃機関がより多くの出力を放出するものである。【００１９】
図６はタービン２０とコンプレッサ３０とを備えた一般的なターボチャージャ１０の構造例を示しており、コンプレッサ３０内には、コンプレッサホイール３１が回転可能に支承されており、ターボシャフト１１に結合されている。ターボシャフト１１も回転可能に支承されており、その他方の端部でタービンホイール２１に結合されている。タービン入口２２を介して、高温の排ガスが内燃機関（図示せず）からタービン２０内に流入させられることによりタービンホイール２１が回転する。排ガス流はタービン２０からタービン出口２３を通って流出する。タービンホイール２１がターボシャフト１１を介してコンプレッサホイール３１に結合されているので、これによってタービン２０がコンプレッサ３０を駆動する。コンプレッサ３０内には、空気が空気入口３２（図８）を通して吸い込まれ、圧縮され、空気出口３３を介して内燃機関に供給される。【００２０】
図７は、タービンホイール２１と、ターボシャフト１１と、コンプレッサホイール３１との結合関係を示しており、タービンホイール２１は、一般的に耐熱性のオーステナイト系のニッケル化合物から成っている。タービンホイール２１は精密鋳造法で製作され、一般的に調質鋼から成るターボシャフト１１に、例えば摩擦溶接によって結合されている。タービンホイール２１とターボシャフト１１とから成る構成部分は、ロータ又は回転体と呼ばれる。コンプレッサホイール３１は、例えばアルミニウム合金から精密鋳造法等で製作される。コンプレッサホイール３１はターボシャフト１１のコンプレッサ側の端部１２に、固定エレメント３４によって固定される。固定エレメント３４は、例えば袋ナット３５であってよい。袋ナット３５はタービンホイール２１をシールブシュと、支承つばと、スペーサブシュとでターボシャフトつばに対して固く緊締する。従って、回転体は固いユニットをコンプレッサホイール３１と共に形成している。【００２１】
図８は、空気入口３２と空気出口３３とを備えたコンプレッサ３０を示しており、空気入口３２には円筒状のアダプタ３６が配置されている。アダプタ３６は螺旋状のコンプレッサハウジング３７に、例えばねじ３８によって結合されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２２】
【特許文献１】特開２００８−５０６０７４号公報
【特許文献２】特開２００７−８９３３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２３】
ターボチャージャの回転数はエンジン制御等に必要であるが、ターボチャージャの回転数は２０万〜５０万ｒｐｍにも達し、温度も５００〜１０００℃となり、計測環境が苛酷であることから、コンプレッサホイール又はタービンホイールにおける回転数の直接的な計測は非常に困難である。【００２４】
このため、特開２００８−５０５０７４号公報（特許文献１）では、ターボシャフトの回転数を検出するための装置として、ターボシャフトのコンプレッサ側の端部に磁界を変化させるためのエレメントを設け、磁界の変化が、ターボシャフトの回転に関連して生ぜしめられるようになっており、磁界を変化させるためのエレメントの近くにセンサ素子を配置しており、センサ素子が磁界の変化を検出するようになっている。【００２５】
しかしながら、特許文献１によるターボシャフトの回転数検出では、ターボシャフトのコンプレッサ側端部に磁界を変化させるためのエレメントを装着しなければならず、ターボシャフトの軸径が小さいためにエレメントを大きくすることができず、その結果磁界変化を感度良く検出することができない。また、センサ素子が空気の流れを阻害するためターボチャージャの性能低下をおこす。そのため、ターボチャージャ製造上のコストアップと共に、検出精度の点で問題がある。【００２６】
また、特開２００２−８９３３６号公報（特許文献２）では、センサレス永久磁石同期モータをターボシャフトに設け、駆動電流検出手段が検出したモータ駆動電流に基づいてセンサレス永久磁石同期モータの駆動時における回転状態を推定する回転状態推定手段と、非駆動時における回転状態を検出する回転状態検出手段とを切替えて使用する。特許文献２の装置では、装置として大型なセンサレス永久磁石同期モータを設けると共に、その制御に必要な手段を別途設置しなければならない問題がある。【００２７】
本発明は上述のような事情よりなされたものであり、本発明の目的は、製造コストを上げることなく安価な構成で、精度良くターボチャージャの回転数を検出できる渦電流センサを提供すると共に、それを用いた簡易な構成でターボチャージャの回転速度（回転数）を検出することができるターボチャージャ回転検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００３０】
また、本発明は、タービン及びコンプレッサで成り、前記タービン内のタービンホイールと前記コンプレッサ内のコンプレッサホイールとがターボシャフトで連結されているターボチャージャの回転を検出するターボチャージャ回転検出装置に関し、本発明の上記目的は、円筒状外套管で被覆され、かつコイルを一本の円柱状のフェライト芯に巻回して成る渦電流センサを、前記コンプレッサホイールを収容する部分であるコンプレッサハウジングに貫通させて、嵌着、螺合若しくは溶接で装着すると共に、前記コンプレッサホイールのブレードの湾曲した凹部の回転表面に前記渦電流センサのセンサトップが近接しており、且つ、前記ブレードに対して、前記コイルの表面から前記フェライト芯の先端が突出しているように配置し、前記渦電流センサと共振回路を２芯シールド線若しくは同軸ケーブルで接続し、２０万〜５０万ｒｐｍの回転数で回転する前記ブレードの回転に基づく前記渦電流センサの電圧の変化によって前記ターボチャージャの回転速度を検出するようになっており、検出回路が、前記共振回路から信号成分を抽出する検波回路と、前記検波回路で抽出された信号を増幅器で増幅してパルス信号とする２値化回路とで構成されていることにより達成される。
【００３１】
本発明の上記目的は、前記パルス信号を分周し、前記ターボチャージャの例えば１回転に１パルスを出力するようになっていることにより、より効果的に達成される。
【発明の効果】
【００３２】
本発明の渦電流センサによれば、コイル中にフェライト芯が介挿されているので、コイルの巻数を大きくすることなく、感度を大きくすることができ、小型化が可能である。また、コイルの表面からフェライト芯の先端を突出させている突出型渦電流センサでは、湾曲したターゲットに対しても近接させることができるので、検出精度を低下させることなく、確実な検出を行うことができる。【００３３】
また、本発明のターボチャージャ回転検出装置によれば、円筒状外套管で被覆され、かつコイルを円柱状のフェライト芯に巻回して成る渦電流センサをターボチャージャのコンプレッサに装着すると共に、コンプレッサホイールのブレードの回転表面に渦電流センサのセンサトップ部が近接するように配置し、渦電流センサの共振回路及び検出回路を２芯シールド線若しくは同軸ケーブルで接続し、ブレードの回転に基づく渦電流センサの電圧の変化によってターボチャージャの回転速度を検出している。渦電流センサのトップ部をブレードに近接して配設することができるため、検出精度を高めることができ、渦電流センサのコンプレッサへの装着も容易である。検出用マグネットやモータを設ける必要もないので、検出装置の構成が簡易であり、安価に構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】共振型渦電流センサの基本的構成例を示す結線図である。
【図２】共振型渦電流センサの等価回路である。
【図３】ターゲットが無限遠のときの等価回路である。
【図４】渦電流センサの計測原理を説明するための等価回路である。
【図５】渦電流センサの検出特性の一例を示す特性図である。
【図６】一般的なターボチャージャの構造例を示す一部断面構造図である。
【図７】タービンホイールと、ターボシャフトと、コンプレッサホイールとの接続関係を示す構造図である。
【図８】空気入口と空気出口を備えたコンプレッサの一例を示す斜視図である。
【図９】本発明の渦電流センサの原理を示す模式図である。
【図１０】従来の渦電流センサの特性例を示す波形図である。
【図１１】本発明に係る渦電流センサの特性例を示す波形図である。
【図１２】本発明に係る渦電流センサのトップ部の一例を示す斜視図である。
【図１３】センサトップ部（コイル及びフェライト芯）と回路用コネクタを接続するケーブル例を示す図である。
【図１４】本発明に係る平面型渦電流センサをターボ羽の計測に適用した一例を示す断面構造図である。
【図１５】本発明に係る突出型渦電流センサをターボ羽の計測に適用した一例を示す断面構造図である。
【図１６】平面型渦電流センサの特性例を示す波形図である。
【図１７】突出型渦電流センサの特性例を示す波形図である。
【図１８】本発明に係るターボチャージャ回転センサの取り付け構造を示す斜視図である。
【図１９】本発明に係るターボチャージャ回転センサの取り付け構造を示す断面図である。
【図２０】本発明に係るターボチャージャ回転センサの検出回路の一例を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
本発明では、安価に構成できる渦電流センサの精度を向上すると共に、小型化が可能な構造を提案する。渦電流センサの原理は上述の通りであるが、本発明ではコイルが巻回されているセンサトップ部にフェライト芯を用いると共に、フェライト芯の形状とコイルとの位置関係を工夫して、ターボチャージャのように機械的に取付スペースに余裕がない箇所においても、また、高温度の環境が悪い場所においても回転数若しくは回転速度を正確に検出できる構成としている。渦電流センサのターゲットは磁性材料でなくても良く、アルミニウム等の導電体であれば良い。
【００３６】
共振型渦電流センサの感度を大きくするためにはコイルの巻数を多くすれば良いが、巻数を多くするとセンサトップ部のサイズが大きくなり、ターボチャージャ等の取付場所に余裕がない分野には適用することができない。そのため、本発明では図９に示すように円柱状のフェライト芯１０１の先端にコイル１０２を巻回して共振回路１１０を形成し、コイル１０２の巻数が少なくても小型で高感度出力を得られるような渦電流センサ１００としている。図１０はフェライト芯１０１がない場合の渦電流センサ１００の出力波形の例を示しており、図１１は同じ巻数でフェライト芯１０１がある場合の渦電流センサ１００の出力波形の例を示している。図１０の波形はレンジが４０〜５０ｍＶ（Ｐ−Ｐ）であり、図１１の波形はレンジが９００〜１１００ｍＶ（Ｐ−Ｐ）であり、フェライト芯１０１を介挿することによって、渦電流センサ１００の感度は約２０〜２５倍上がっていることが分かる。
【００３７】
更に本発明では、フェライト芯１０１とコイル１０２の巻回場所の関係について、ターボチャ−ジャのブレード（ターボ羽）のような湾曲した表面に対向して配置される場合でも、高速回転するブレードの回転（センサ通過）を確実に計測できるようにすると共に、装着を容易な構造としている。図１２はセンサトップ部の斜視図であり、例えば径が４．６ｍφの円筒状外套管１２０内にフェライト芯１０１を埋め込むと共に、先端部にコイル１０２を巻回してモールド等によって一体構造としており、コイル１０２と計測部とはリード線１０３によって接続している。このような外套管１２０内に渦電流センサ１００を一体構造としているため、ターボチャージャ等への装着が容易になっている。
【００３８】
渦電流センサ１００の測定原理は上述のように、コイル１０２に供給される共振電圧の変化を計測することによりターゲットの変位を検出することにある。実際の計測ではフェライト芯１０１に巻かれたコイル１０２と発振回路の間に接続用のリード線１０３が必要であり、リード線１０３の長さは測定するターゲットの大きさにもよるが、長い場合は数１０ｍ以上必要となることがある。この場合、コイル１０２のリアクタンス、ターゲットの等価抵抗、フェライト芯１０１の鉄損に起因する抵抗は、リード線１０３のリアクタンス成分、抵抗成分の影響を受けて計測誤差の要因となる。そのため、このような影響をできるだけ小さくするように、図１３に示すように２芯シールド線又は同軸ケーブルを用いてセンサトップとコネクタを繋ぐと共に、コネクタで遠隔の制御部コネクタに接続することによって、ターゲットの渦電流の大きさの変化を示す検出信号をインピーダンス等の影響を受けることなく制御部に伝送する。
【００３９】
また、本発明では、フェライト芯１０１の表面位置と、フェライト芯１０１に巻回するコイル１０２との先端部との関係を、最も検出感度を高くできる関係にしている。図１４は、平面型渦電流センサ１００Ａの構造例をブレード（羽）に対向させて設けた場合を示しており、コイル１０２の巻回面の表面とフェライト芯１０１の先端が同一平面に合わせられている。この場合、フェライト芯１０１の表面とブレードとの距離は約１．０ｍｍである。図１５は、突出型渦電流センサ１００Ｂの構造例をブレードに対向させて設けた場合を示しており、コイル１０２の巻回面の表面より先にフェライト芯１０１の先端を突出させている。この場合、フェライト芯１０１の表面とブレードとの距離は約０．４ｍｍである。平面型渦電流センサ１００Ａの場合にはフェライト芯１０１の先端をブレードの表面に近接させることができず、突出型渦電流センサ１００Ｂの場合にはフェライト芯１０１の先端をブレードの表面に近接させることができる。その結果、検出波形は、平面型渦電流センサ１００Ａの場合には図１６に示すように、出力波形のレンジが３５０〜４００ｍＶ（Ｐ−Ｐ）であるのに対し、突出型渦電流センサ１００Ｂの場合には図１７に示すように、出力波形のレンジが９００〜１１００ｍＶ（Ｐ−Ｐ）であり、突出型は平面型のほぼ３倍の感度であることが分かる。
【００４０】
本発明ではターボチャージャの回転センサに上述した突出型渦電流センサ１００Ｂを用い、この渦電流センサ１００Ｂをターボチャージャのコンプレッサ３０に図１８及び図１９に示すように装着する。即ち、図１８は図８に対応させてコンプレッサ３０を斜視的に示しており、本発明ではコンプレッサ３０の空気入口３２に、コンプレッサホイール３１のブレード回転面と対向するように渦電流センサ１００Ｂを装着している。渦電流センサ１００Ｂの装着は、例えばコンプレッサ３０空気入口３２の近辺に所定穴を開け、渦電流センサ１００Ｂの外套管１２０を穴に嵌着することにより、或いは螺合させることにより、或いは溶接により固定する。
【００４１】
図１９は図６に対応させて示す断面図であり、ターボチャージャ１０は、エンジンの排気ガス流によって回転駆動されるタービン２０と、そのタービン２０の回転により回転駆動されて吸入空気を加圧するコンプレッサ３０と、タービン２０及びコンプレッサ３０を連結するターボシャフト１１とによって構成される。また、ハウジング１３内には、ターボシャフト１１をラジアル方向に回転可能に支持するベアリング１４が収容されている。タービン２０は、複数枚のタービンブレードを有するタービンホイール２１と、ハウジング１３のうちタービンホイール２１を収容する部分であるタービンハウジング２４とを備えている。また、コンプレッサ３０は、複数枚（例えば５〜１２枚）のコンプレッサブレード（羽）を有するコンプレッサホイール３１と、ハウジング１３のうちコンプレッサホイール３１を収容する部分であるコンプレッサハウジング３７とを有している。渦電流センサ１００Ｂはコンプレッサハウジング３７に貫通して、嵌着、螺合若しくは溶接で装着され、センサトップがブレード回転表面に近接（例えば図１５に示すように０．４ｍｍの距離）して装着される。そして、タービンホイール２１が排気ガスにより回転すると、コンプレッサホイール３１がターボシャフト１１と共に回転し、コンプレッサハウジング３７内の吸気通路に吸入した空気を加圧圧縮し燃焼室に送り込む。
【００４２】
また、図２０は渦電流センサ１００Ｂに接続してターボ回転数を検出する検出回路の一例を示しており、上述のようにコンプレッサホイール３１のブレード回転表面に近接して配設された渦電流センサ１００Ｂは共振回路１１０で駆動されると共に、ブレードの回転による変位に対応して変化する信号成分を抽出する検波回路１１１に接続されている。検波回路１１１で抽出された信号成分は増幅器１１２で増幅され、比較器等の２値化回路（Ａ／Ｄ変換回路）１１３で２値化され、２値化されたパルス信号Ｐ１が分周回路１１４で分周され、例えばタービン１回転で１パルスを出力するように変換する。これにより分周パルスＰ２を計数することによって、回転数検出回路（カウンタ）１１５はタービン回転数ＲＮを検出することができる。
【００４３】
ここで、ターボチャージャ１０は、エンジンがアイドリング時１万〜２万ｒｐｍ付近から、全負荷時の超高速回転（例えば約２０万ｒｐｍ）までの非常に広い範囲で回転する。渦電流センサ１００Ｂは、磁界発生手段としてのコイル１０２を有しており、コンプレッサブレードと向き合うようにコンプレッサハウジング３７に取り付けられている。渦電流センサ１００Ｂの突出したフェライト芯１０１とコンプレッサブレードとの距離は、渦電流センサ１００Ｂが十分な感度を得られるように、かつコンプレッサブレードの回転が妨げられない範囲で極力近いことが望ましく、例えば０．５ｍｍ〜０．９ｍｍの範囲に設定される。本発明の渦電流センサ１００Ｂはフェライト芯１０１がコイル１０２より突出しているので、よりブレード表面近くに近接させることができる。
【００４４】
共振回路１１０の共振周波数は、コンプレッサブレードの回転数を基に、渦電流センサ１００Ｂのコイル１０２の発生する磁界を、各ブレードが通過することを検出できる程度に設定される。高周波電流を供給されたコイル１０２は、コンプレッサハウジング３７の厚さ方向に磁束を発生し、磁界を形成する。タービンホイール２１と共にコンプレッサホイール３１が回転すると、渦電流センサ１００Ｂのコイル１０２が発生する磁界を、回転する各コンプレッサブレードが通過する。このとき、各ブレードには、コイル１０２が発生する磁界を打ち消すように渦電流が発生する。そして、各ブレードに発生する渦電流により、コイル１０２の発生する磁界の強さが変化すると、コイル１０２に流れる電流値が変化することによりコンプレッサブレードに渦電流が発生したことを検出し、検波回路１１１を経て図１７に示すような波形の出力電圧が得られる。つまり、コンプレッサホイール３１が回転することにより、コンプレッサブレードが渦電流センサ１００Ｂのセンサトップ部と近づいたり離れたりし、それに対応した検出信号が出力される。検出信号は増幅器１１２で増幅され、２値化回路でパルス信号Ｐ１に変換される。パルス信号Ｐ１は分周回路１１４でコンプレッサブレードの数に対応して分周され、例えばコンプレッサホイール３１の１回転で１パルスが出力されるように分周される。分周回路１１４で分周されたパルス信号Ｐ２は回転数検出回路１１５に入力され、パルス信号Ｐ２を計数することによって回転数ＲＮを出力する。これにより、ターボチャージャ１０の回転数を正確に検出することができる。
【００４５】
なお、２値化回路１１３、分周回路１１４及び回転数検出回路１１５はソフトウェアによっても可能である。また、発振電圧と距離とは図５に示すように比例関係ではないので、距離（変位）を計測する場合には増幅器の前段若しくは後段に直線化回路を設け、発振電圧と距離とを比例関係にするとよい。
【符号の説明】
【００４６】
１                計測部
２                ケーブル
３                導体板（ターゲット）
４                センサトップ部
１０              ターボチャージャ
１１              ターボシャフト
１２              端部
１３              ハウジング
１４              ベアリング
２０              タービン
２１              タービンホイール
２２              タービン入口
２３              タービン出口
２４              タービンハウジング
３０              コンプレッサ
３１              コンプレッサホイール
３２              空気入口
３３              空気出口
３４              固定エレメント
３５              袋ナット
３６              アダプタ
３７              コンプレッサハウジング
３８              ねじ
１００            渦電流センサ
１００Ａ          平面型渦電流センサ
１００Ｂ          突出型渦電流センサ
１０１            フェライト芯
１０２            コイル
１０３            リード線
１１０            共振回路
１１１            検波回路
１１２            増幅器
１１３            ２値化回路（Ａ／Ｄ変換回路）
１１４            分周回路
１１５            回転数検出回路（カウンタ）
１２０            外套管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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