(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数の基板を垂直方向に配置して受納する受納部材と、
前記垂直方向に互いに対向するように配置されるとともに基板が各々積載される多数の移送アームと、前記移送アームの下に設置され、前記移送アームと結合して、各移送アームを水平方向に移動させるアーム駆動部とを具備し、前記受納部材に対して少なくとも１つの基板を引出及び積載する移送部材と、
前記移送部材の移動速度と位置を制御し、少なくとも２つの移送アームが同時に前記受納部材内の目標地点に到達するように前記アーム駆動部を制御し、同時制御する各移送アームの目標地点に対応する予想速度プロファイルを比較して前記各移送アームの移動速度を制御する制御部と、を含み、
前記予想速度プロファイルは、出発地点から到着地点までの移動速度の変化を前もって示す速度プロファイルであって、最大加速度、最大等速度、及び最大減速度の値に基づいて算出されるものであり、出発時点から前記最大等速度に到達する時点まで加速移動し、前記最大等速度に到達した時点から既設定の時間、等速運動し、その後、目標地点に到達する時まで減速移動するといった速度プロファイルであり、
前記制御部は、前記各移送アームの前記予想速度プロファイルを比較し、前記各移送アームの前記予想速度プロファイルの内何れか１つを基準プロファイルに設定するか、或いは既設定の速度プロファイルを基準プロファイルに設定し、この基準プロファイルに基づいて、前記各移送アームが該当目標地点に到達する時点が同一となるように、前記各移送アームの最大加速度、最大等速度、及び最大減速度の値を再設定して、前記各移送アームの移動速度を制御することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記移送部材は、
前記アーム駆動部の下部に設置され、前記アーム駆動部と結合して、前記アーム駆動部を回転させる回転部と、
前記回転部の下部に設置され、前記回転部と結合して、前記回転部を昇降及び下降させて前記各移送アームの垂直位置を調節する垂直移動部と、
前記垂直移動部の下部に設置され、前記垂直移動部と結合して、水平方向に移動して前記移送部材の水平位置を調節する水平移動部と、をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記制御部は、
前記各移送アームの最大加速度、最大等速度、及び最大減速度の値を含む速度値と、前記回転部と前記垂直移動部と前記水平移動部各々の移送速度値とを含む速度情報と、前記各移送アームの各目標地点に対する位置情報と、が入力されて出力する入力処理部と、
前記入力処理部から受信した前記速度情報と前記位置情報に基づいて、前記各移送アームの前記予想速度プロファイルを算出し、前記各移送アームの前記予想速度プロファイルを比較し、前記各移送アームの前記予想速度プロファイルの内何れか１つを基準プロファイルに設定するか、或いは既設定の速度プロファイルを基準プロファイルに設定し、この基準プロファイルに基づいて、前記各移送アームが該当目標地点に到達する時点が同一となるように、前記各移送アームの前記速度値を再設定し、その再設定した速度値を出力する比較演算部と、
前記比較演算部から出力された前記各移送アームの前記速度値と、前記回転部、前記垂直移動部及び前記水平移動部に対応する各移送速度値と、を出力する出力制御部と、
前記出力制御部から出力された前記各移送アームに対応する速度値と、前記回転部、前記垂直移動部及び前記水平移動部各々に対応する移送速度値とをパルス値に各々変換して出力するモーションカードと、
前記モーションカードから出力されたパルス値を増幅させて、前記移送部材に提供する駆動ユニットと、を含むことを特徴とする請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
処理待機中である基板、または処理完了した基板を垂直方向に離隔させて受納する受納容器と、
前記処理待機中である基板と前記処理完了した基板を垂直方向に離隔させて受納するバッファー部と、
前記垂直方向に互いに対向するように配置されるとともに基板が各々積載される多数のインデックスアームと、前記インデックスアームの下部に設置され、前記インデックスアームと結合されて、各インデックスアームを水平方向に移動させるアーム駆動部と、を具備し、前記受納容器と前記バッファー部の間で基板を移送し、前記受納容器、または前記バッファー部に対して少なくとも１つの基板を引出及び積載するインデックスロボットと、
前記インデックスロボットの移動速度と位置を制御し、少なくとも２つのインデックスアームが同時に前記受納容器、または前記バッファー部内の目標地点に到達するように前記アーム駆動部を制御し、同時制御する各インデックスアームの予想速度プロファイルを比較して前記各インデックスアームの移動速度を制御する第１制御部と、を含み、
前記予想速度プロファイルは、出発地点から到着地点までの移動速度の変化を前もって示す速度プロファイルであって、最大加速度、最大等速度、及び最大減速度の値に基づいて算出されるものであり、出発時点から前記最大等速度に到達する時点まで加速移動し、前記最大等速度に到達した時点から既設定の時間、等速運動し、その後、目標地点に到達する時まで減速移動するといった速度プロファイルであり、
前記第１制御部は、前記各インデックスアームの前記予想速度プロファイルを比較し、前記各インデックスアームが該当目標地点に到達する時点が同一となるように、前記各インデックスアームの前記予想速度プロファイルの内何れか１つを基準プロファイルに設定するか、或いは既設定の速度プロファイルを基準プロファイルに設定し、この基準プロファイルに基づいて、前記各インデックスアームの最大加速度、最大等速度、及び最大減速度の値を再設定して、前記各インデックスアームの移動速度を制御することを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
基板の処理を行う工程チャンバーと、
前記垂直方向に互いに対向するように配置されるとともに基板が各々積載される多数のピックアップハンドと、各ピックアップハンドを水平方向に移動させるアーム駆動部とを具備し、前記工程チャンバーと前記バッファー部の間で基板を移送し、前記バッファー部に対して少なくとも１つの基板を引出及び積載するメーン移送ロボットと、
前記メーン移送ロボットの移動速度と位置を制御し、少なくとも２つのピックアップハンドが同時に前記バッファー部内の各目標地点に到達するように前記アーム駆動部を制御し、同時に制御する各ピックアップハンドの予想速度プロファイルを比較して前記各ピックアップハンドの移動速度を制御する第２制御部と、をさらに含み、
前記第２制御部は、前記各ピックアップハンドの前記予想速度プロファイルを比較し、前記各ピックアップハンドが該当目標地点に到達する時点が同一となるように、前記各ピックアップハンドの前記予想速度プロファイルの内何れか１つを基準プロファイルに設定するか、或いは既設定の速度プロファイルを基準プロファイルに設定し、この基準プロファイルに基づいて、前記各ピックアップハンドが該当目標地点に到達する時点が同一となるように、前記各ピックアップハンドの最大加速度、最大等速度、及び最大減速度の値を再設定して、前記各ピックアップハンドの移動速度を制御することを特徴とする請求項４に記載の基板処理装置。
【請求項６】
基板を移送する移送部材の各移動軸の速度値を含む移送情報と、前記移送部材が基板を引出または積載する受納部材内の各目標地点に対する位置情報と、を受信する段階と、
前記移送部材の各移送アームが水平移動し、対応する各目標地点に到達する時点が同一となるように前記各移送アームの予想速度プロファイルを比較して前記各移送アームの速度値を再設定する段階と、
再設定された速度値と共に、前記各移送アームを除外した前記移送部材の各移動軸の速度値を出力する段階と、
出力された速度値をパルス値に変換する段階と、
前記パルス値を増幅して前記移送部材に提供する段階と、
前記再設定された速度値により、前記各移送アームを対応する各目標地点に水平移動させて、前記対応する各目標地点に同時に到達させた後、前記受納部材に対して基板を同時に積載または引出する段階と、を含み、
前記予想速度プロファイルは、出発地点から到着地点までの移動速度の変化を前もって示す速度プロファイルであって、最大加速度、最大等速度、及び最大減速度の値に基づいて算出されるものであり、出発時点から前記最大等速度に到達する時点まで加速移動し、前記最大等速度に到達した時点から既設定の時間、等速運動し、その後、目標地点に到達する時まで減速移動するといった速度プロファイルであり、
前記各移送アームの速度値を再設定する段階は、前記各移送アームの前記予想速度プロファイルを比較し、前記各移送アームの前記予想速度プロファイルの内何れか１つを基準プロファイルに設定するか、或いは既設定の速度プロファイルを基準プロファイルに設定し、この基準プロファイルに基づいて、前記各移送アームが該当目標地点に到達する時点が同一となるように、前記各移送アームの最大加速度、最大等速度、及び最大減速度の値を含む前記速度値を再設定することを特徴とする基板移送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板を製造する装置に関し、より詳細には、半導体基板を処理する基板処理装置及びその基板移送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に基板製造工程では、絶縁膜及び金属物質の蒸着（Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、蝕刻（Ｅｔｃｈｉｎｇ）、感光剤（Ｐｈｏｔｏ  Ｒｅｓｉｓｔ）の塗布（Ｃｏａｔｉｎｇ）、現像（Ｄｅｖｅｌｏｐ）、アッシャー（Ａｓｈｅｒ）除去などが数回反復されて微細なパターニング（Ｐａｔｔｅｒｎｉｎｇ）の配列を作るが、このような工程の進行により基板内には蝕刻やアッシャーの除去工程に完全除去されなかった異質物が残る。この異質物の除去のための工程では、純水（Ｄｅｉｏｎｉｚｅｄ  Ｗａｔｅｒ）、または薬液（Ｃｈｅｍｉｃａｌ）を利用した洗浄工程（Ｗｅｔ  Ｃｌｅａｎｉｎｇ）がある。
【０００３】
洗浄工程を随行する基板洗浄装置は、バッチ洗浄装置（Ｂａｔｃｈ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）とシングル洗浄装置（Ｓｉｎｇｌｅ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）に分けられる。バッチ洗浄装置は、一度に２５枚、または５０枚を処理できる大きさの薬液槽（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｂａｔｈ）、リンス槽（Ｒｉｎｓｅ  Ｂａｔｈ）、乾燥槽（Ｄｒｙ  Ｂａｔｈ）などを具備する。バッチ洗浄装置は、基板を各々の槽（Ｂａｔｈ）に一定時間に浸して異物を除去する。このようなバッチ洗浄装置は基板の上部及び下部が同時に洗浄され、同時に大容量を処理することができる利点がある。しかし、基板直径が大型化するほど、槽大きくなって装置の大きさ及び薬液の使用量が増大するだけではなく、同時に薬液槽内で同時に洗浄が進行中の基板に隣接した基板から落ちた異物が再付着するという問題がある。
【０００４】
最近では、基板直径の大型化によってシングル洗浄装置が多く使われる。シングル洗浄装置は、一つの基板を処理できる小さなチャンバー（Ｃｈａｍｂｅｒ）で基板を基板チャック（Ｃｈｕｃｋ）に固定させた後、モーター（Ｍｏｔｏｒ）により基板を回転させながら、基板上部でノズル（Ｎｏｚｚｌｅ）を通じて薬液、または純水を基板に提供する。基板の回転力により薬液、または純水などが基板上部に広がり、これにより基板に付着された異物が除去される。このようなシングル洗浄装置はバッチ洗浄装置に比べて装置が小さくて、均質の洗浄効果を有することが長所である。
【０００５】
一般的にシングル洗浄装置は一側からローディング／アンローディング部、インデックスロボット、バッファー部、工程チャンバー及びメーン移送ロボットとを含む構造からなる。インデックスロボットはバッファー部とローディング／アンローディング部との間で基板を移送し、メーン移送ロボットはバッファー部と工程チャンバーとの間で基板を移送する。バッファー部には、洗浄前の基板が工程チャンバーに投入されるために待機し、或いは洗浄が完了した基板がローディング／アンローディング部に移送されるために待機する。
【０００６】
インデックスロボット及びメーン移送ロボットのような移送用ロボットは基板１つを各々載せる多数のアームを具備し、各アームは水平移動してフープ（ＦＯＵＰ）やバッファー部のような受納装置から基板の引出や積載をする。
【０００７】
このような移送用ロボットの各アームは、各々別個に駆動されるため、各々別の水平駆動軸を有し、各移送用ロボットアームの間に組立誤差が発生する。したがって、少なくとも２つのアームを共に駆動する際、各アームの移動速度が異なるので、各アームが各目標地点に到達する時点が異なる。このように、移送用ロボットの各アームを同時に駆動する際、各々目標地点に到達する時点が異なるので、受納装置から多数の基板を同時に引出するのが難しい。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は基板のローディング／アンローディングの効率を向上させる基板処理装置を提供することにある。また、本発明の目的は前記基板処理装置で基板を移送する方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の目的を達成するための本発明の基板処理装置は、受納部材、移送部材及び制御部からなる。受納部材は多数の基板を垂直方向に配置して受納する。移送部材は前記垂直方向に互いに対向するように配置されるとともに基板が各々積載される多数の移送アームと、前記移送アームの下に設置され、前記移送アームと結合して、各移送アームを水平方向に移動させるアーム駆動部とを具備し、前記受納部材に対して少なくとも１つの基板を引出及び積載する。制御部は前記移送部材の移動速度と位置を制御し、少なくとも２つの移送アームが同時に前記受納部材内の目標地点に到達するように前記アーム駆動部を制御し、同時制御する各移送アームの目標地点に対応する予想速度プロファイルを比較して前記各移送アームの移動速度を制御する。そして、前記予想速度プロファイルは、出発地点から到着地点までの移動速度の変化を前もって示す速度プロファイルであって、最大加速度、最大等速度、及び最大減速度の値に基づいて算出されるものであり、出発時点から前記最大等速度に到達する時点まで加速移動し、前記最大等速度に到達した時点から既設定の時間、等速運動し、その後、目標地点に到達する時まで減速移動するといった速度プロファイルである。そして、前記制御部は、前記各移送アームの前記予想速度プロファイルを比較し、前記各移送アームの前記予想速度プロファイルの内何れか１つを基準プロファイルに設定するか、或いは既設定の速度プロファイルを基準プロファイルに設定し、この基準プロファイルに基づいて、前記各移送アームが該当目標地点に到達する時点が同一となるように、前記各移送アームの最大加速度、最大等速度、及び最大減速度の値を再設定して、前記各移送アームの移動速度を制御する。
【００１０】
また、前記移送部材は、回転部、垂直移動部、水平移動部をさらに含む。前記回転部は前記アーム駆動部の下部に設置され、前記アーム駆動部と結合して、前記アーム駆動部を回転させる。垂直移動部は、前記回転部の下部に設置され、前記回転部と結合して、前記回転部を昇降及び下降させて前記各移送アームの垂直位置を調節する。
【００１１】
また、前記水平移動部は、前記垂直移動部の下部に設置され、前記垂直移動部と結合して、水平方向に移動して前記移送部材の水平位置を調節する。
【００１２】
前記制御部は、入力処理部、比較演算部、出力制御部、モーションカード、及び駆動ユニットを含む。入力処理部は、前記各移送アームの最大加速度、最大等速度、及び最大減速度の値を含む速度値、前記回転部、前記垂直移動部及び前記水平移動部各々の移送速度値とを含む速度情報と、前記各移送アームの各目標地点に対する位置情報を、入力及び出力する。比較演算部は、前記入力処理部から受信した前記速度情報と前記位置情報に基づいて、各移送アームの前記予想移動速度プロファイルを算出し、前記各移送アームの前記予想速度プロファイルを比較し、前記各移送アームの前記予想速度プロファイルの内何れか１つを基準プロファイルに設定するか、或いは既設定の速度プロファイルを基準プロファイルに設定し、この基準プロファイルに基づいて、前記各移送アームが該当目標地点に到達する時点が同一となるように、前記各移送アームの前記速度値を再設定して出力する。出力制御部は、前記比較演算部から出力された前記各移送アームの前記速度値、前記回転部、垂直移動部及び水平移動部に対応する各々の移送速度値を出力する。モーションカードは、前記出力制御部から出力された前記各移送アームに対応する速度値と、前記回転部、前記垂直移動部及び前記水平移動部各々に対応する移送速度値とをパルス値に各々変換して出力する。駆動ユニットは、前記モーションカードから出力されたパルス値を増幅させ、前記移送部材に提供する。
【００１３】
また、上述の目的を達成するための本発明の基板移送方法は、まず、基板を移送する移送部材の各移動軸の速度値を含む移送情報と、前記移送部材が基板を引出または積載する受納部材内の目標地点に対する位置情報とを受信する。前記移送部材の各移送アームが水平移動し、対応する目標地点に到達する時点が同一となるように前記各移送アームの予想速度プロファイルを比較して前記各移送アームの速度値を再設定する。再設定された速度値と共に、前記移送アームを除外した前記移送部材の残りの移動軸各々の速度値を出力する。出力された速度値をパルス値に変換する。前記パルス値を増幅して前記移送部材に提供する。前記各移送アームが前記再設定された速度値により、対応する各目標地点に水平移動して前記対応する各目標地点に同時に到達した後、前記受納部材に対して基板を同時に積載または引出する。前記予想速度プロファイルは、出発地点から到着地点までの移動速度の変化を前もって示す速度プロファイルであって、最大加速度、最大等速度、及び最大減速度の値に基づいて算出されるものであり、出発時点から前記最大等速度に到達する時点まで加速移動し、前記最大等速度に到達した時点から既設定の時間、等速運動し、その後、目標地点に到達する時まで減速移動するといった速度プロファイルである。そして、前記各移送アームの速度値を再設定する段階では、前記各移送アームの前記予想速度プロファイルを比較し、前記各移送アームの前記予想速度プロファイルの内何れか１つを基準プロファイルに設定するか、或いは既設定の速度プロファイルを基準プロファイルに設定し、この基準プロファイルに基づいて、前記各移送アームが該当目標地点に到達する時点が同一となるように、前記各移送アームの最大加速度、最大等速度、及び最大減速度の値を含む前記速度値を再設定する。
【発明の効果】
【００１４】
上述した本発明によれば、基板処理装置は各移送アームの速度を調節する制御部を具備し、同時駆動される各移送アームが各目標地点に同時に到達するように制御する。これにより、移送部材は多数の基板を収納部材に一度に積載または引出することができるので、基板処理装置は移送時間が短縮し、生産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態による基板処理システムを概略的に示した図面である。
【図２】図１のインデックスロボットを示す斜視図である。
【図３】図１のバッファー部を示した斜視図である。
【図４】図１のメーン移送ロボットを示した斜視図である。
【図５】図１の第１制御部の構成を概念的に示したブロック図である。
【図６】図５の第１制御部がインデックスアーム等の水平移動を制御する過程を示したフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付の図面を参照して本発明の望ましい実施形態をより詳細に説明する。
【００１７】
以下には、ウェハーを基板の一例として説明するが、本発明の技術的思想と範囲とはこれに限定されない。
【００１８】
図１は本発明の一実施形態の基板処理システムを概略的に示した図面であり、図２は図１のインデックスロボット２００を示す斜視図である。
【００１９】
図１及び図２を参照すれば、本発明の基板処理システム１０００はローディング／アンローディング部１１０、インデックスロボット（Ｉｎｄｅｘ  Ｒｏｂｏｔ）２００、バッファー部３００、メーン移送ロボット（Ｍａｉｎ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ  Ｒｏｂｏｔ）５００、多数の工程チャンバー６００、第１制御部７１０及び第２制御部７２０を含みうる。
【００２０】
前記ローディング／アンローディング部１１０は多数のロードポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄを含む。この実施形態において、前記ローディング／アンローディング部１１０は、４個のロードポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄを具備するが、前記ロードポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄの個数は前記基板処理システム１０００の工程効率及びフットプリント（Ｆｏｏｔ  ｐｒｉｎｔ）条件によって増加や減少できる。
【００２１】
前記ロードポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄには、ウェハーが受納されるフープ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄｓ：ＦＯＵＰｓ）１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄが設置される。各フープ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄはウェハーを地面に対して水平に配置した状態に受納するための多数のスロットが形成される。前記フープ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄには、工程チャンバー６００の中に投入されて処理完了したウェハー、或いは前記工程チャンバー６００に投入されて処理されるウェハーを受納する。以下、説明の便宜を図るために、前記基板処理システム１０００によって処理完了したウェハーを加工ウェハーとし、まだ処理されないウェハーを原始ウェハーとする。
【００２２】
前記ローディング／アンローディング部１１０と前記バッファー部３００との間には前記インデックスロボット２００が設置され、前記インデックスロボット２００の下には、第１移送レール２０が設置される。前記インデックスロボット２００は前記第１移送レール２０に沿って移動し、ウェハーを移送する。前記インデックスロボット２００はアーム駆動部２１０、インデックスアーム部２２０、多数の連結部２３０、回転部２４０、垂直移動部２５０及び水平移動部２６０を含みうる。
【００２３】
具体的には、前記アーム駆動部２１０はインデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４を各々水平移動させ、インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４は前記アーム駆動部２１０により個別駆動になる。
【００２４】
前記アーム駆動部２１０の上部には前記インデックスアーム部２２０が設置される。前記インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４は垂直方向に互いに対向するように配置されて、各々１枚のウェハーを積載できる。この実施形態において、前記インデックスロボット２００は４個のインデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４を具備するが、前記インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４の個数は前記基板処理システム１０００の工程効率によって増加や減少ができる。
【００２５】
前記インデックスアーム部２２０は、原始ウェハーを移送する投入用インデックスアーム２２１、２２２と加工ウェハーを移送する搬出用インデックスアーム２２３、２２４に区分して運用でき、この場合、投入用インデックスアーム２２１、２２２と搬出用インデックスアーム２２３、２２４は互いに混在して位置しない。本発明の一例では、前記搬出用インデックスアーム２２３、２２４が前記投入用インデックスアーム２２１、２２２の上部に位置する。これにより、前記インデックスロボット２００は原始ウェハーと加工ウェハーを移送する過程で、原始ウェハーによって加工ウェハーが汚染されることを防止できるので、製品の収率を向上させることができる。
【００２６】
前記投入用インデックスアーム２２１、２２２は、前記ローディング／アンローディング部１１０上に位置して、工程待機中のいずれか１つのフープ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄから原始ウェハーを引出した後、その原始ウェハーを前記バッファー部３００に積載する。前記インデックスロボット２００は工程待機中のフープから一度に少なくとも１つの原始ウェハーを引出することができる。すなわち、前記投入用インデックスアーム２２１、２２２が同時に前記工程待機中のフープ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄから２つの原始ウェハーを同時に引出し得る。したがって、前記工程待機中のフープ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄから２つの原始ウェハーが同時に引出される。
【００２７】
また、前記インデックスロボット２００は、少なくとも１つの原始ウェハーを前記バッファー部３００に積載できる。すなわち、前記投入用インデックスアーム２２１、２２２を同時に前記バッファー部３００に引入した後、その上部の原始ウェハーを前記バッファー部３００に積載する。したがって、２つの原始ウェハーが前記バッファー部３００に同時に積載できる。
【００２８】
本発明の一例では、前記インデックスロボット２００が前記工程待機中のフープ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄから一度に引出することができるウェハーの最大個数と、前記バッファー部３００に一度に積載できるウェハーの最大個数は、前記投入用インデックスアーム２２１、２２２の個数と同一である。
【００２９】
一方、前記搬出用インデックスアーム２２３、２２４は、前記バッファー部３００から加工ウェハーを引出した後、その加工ウェハーを前記インデックスロボット２００に積載する。前記インデックスロボット２００は、前記バッファー部３００から少なくとも１つの加工ウェハーを一度に引出することができる。すなわち、前記搬出用インデックスアーム２２３、２２４を同時に前記バッファー部３００に引入した後、加工ウェハーを同時に引出することができる。したがって、前記バッファー部３００から２つの加工ウェハーを同時に引出することができる。
【００３０】
また、前記インデックスロボット２００は再び、少なくとも１つの加工ウェハーを前記工程待機中のフープ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄに一度に積載できる。すなわち、前記搬出用インデックスアーム２２３、２２４を前記工程待機中のフープ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄに同時に引入した後、その上部の加工ウェハーをその工程待機中のフープ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄに同時に積載する。したがって、２つの加工ウェハーが前記工程待機中のフープ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄに同時に積載される。
【００３１】
本発明の一例では、前記インデックスロボット２００が前記バッファー部３００から一度に引出することができるウェハーの最大個数と、フープ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄに一度に積載できるウェハーの最大個数は、前記搬出用インデックスアーム２２３、２２４の個数と同一である。
【００３２】
このように、前記インデックスロボット２００は、フープ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄと前記バッファー部３００に対して一度に多数のウェハーを引出及び積載できるので、ウェハー移送に必要とする時間を短縮させ、生産性を向上させることができる。
【００３３】
前記インデックスアーム部２２０は、前記連結部２３０と連結される。前記連結部２３０は前記アーム駆動部２１０に結合され、前記アーム駆動部２１０の駆動によって連結したインデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４を水平移動させる。
【００３４】
前記アーム駆動部２１０の下には前記回転部２４０が設置される。前記回転部２４０は前記アーム駆動部２１０と結合し、回転して前記アーム駆動部２１０を回転させる。これにより、前記インデックスアーム部２２０が共に回転する。
【００３５】
前記回転部２４０の下には前記垂直移動部２５０が設置され、前記垂直移動部２５０の下には水平移動部２６０が設置される。前記垂直移動部２５０は前記回転部２４０と結合して前記回転部２４０を昇降及び下降させ、これにより、前記アーム駆動部２１０及び前記インデックスアーム部２２０の垂直位置が調節される。前記水平移動部２６０は前記第１移送レール２０に結合され、前記第１移送レール２０に沿って水平移動する。これにより、前記インデックスロボット２００が前記ロードポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄらの配置方向に沿って移動できる。
【００３６】
一方、前記バッファー部３００は前記インデックスロボット２００が設置された領域と、前記多数の工程チャンバー６００及び前記メーン移送ロボット５００が設置された領域との間に位置する。前記バッファー部３００は前記インデックスロボット２００により移送された原始ウェハーを受納し、前記工程チャンバー６００で処理された加工ウェハーを受納する。
【００３７】
図３は図１のバッファー部３００を示した斜視図である。
【００３８】
図１及び図３を参照すれば、前記バッファー部３００は本体３１０と第１支持部３２０及び第２支持部３３０からなる。
【００３９】
具体的には、前記本体３１０は、底面３１１、前記底面３１１から垂直に延長された第１側壁３１２及び第２側壁３１３、第１側壁３１２及び第２側壁３１３の上端に結合された上面３１４を含みうる。
【００４０】
前記本体３１０は、ウェハーを出入するために、前記インデックスロボット２００と対向する前方側壁と、前記メーン移送ロボット５００と対向する後方側壁とが開放されている。これにより、前記インデックスロボット２００と前記メーン移送ロボット５００は、前記バッファー部３００に対してウェハーを容易に引入及び引出できる。
【００４１】
前記第１側壁３１２と第２側壁３１３は、互いに対向するように配置され、前記上面３１４は、一部分除去されて開口部３１４ａが形成される。
【００４２】
前記本体３１０内部には、前記第１支持部３２０と第２支持部３３０が形成される。前記第１支持部３２０は、前記第１側壁３１２に結合され、前記第２支持部３３０は第２側壁３１３に結合される。前記第１支持部３２０及び第２支持部３３０は、各々多数の支持台を含む。前記第１支持部３２０の支持台は、前記第２支持部３３０の支持台と互いに一対一に対応し、互いに対応する前記第１支持部３２０の支持台と前記第２支持部３３０の支持台により、ウェハーはその端部が支持され、前記バッファー部３００に受納される。この時、前記ウェハーは前記底面３１１と対向するように配置される。
【００４３】
前記第１支持部３２０の各支持台は垂直方向に互いに離隔されて位置し、前記第２支持部３３０の各支持台は垂直方向に互いに離隔されて位置する。前記第１支持部３２０の各支持台は、前記投入用インデックスアーム２２１、２２２（図２参照）と前記搬出用インデックスアーム２２３、２２４（図２参照）の個数の分だけ、第１間隔に垂直方向に互いに離隔されて位置する。前記第２支持部３２０の支持台は、前記投入用インデックスアーム２２１、２２２（図２参照）と前記搬出用インデックスアーム２２３、２２４（図２参照）の個数の分だけ、第１間隔に垂直方向に互いに離隔されて位置する。前記投入用インデックスアーム２２１、２２２と前記搬出用インデックスアーム２２３、２２４も同じく各々前記第１間隔に離隔されて位置する。したがって、前記インデックスロボット２００が前記バッファー部３００に対して多数のウェハーを一度に引出及び積載できる。ここで、前記第１間隔は前記フープ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄのスロット間隔と同一である。
【００４４】
前記第１支持部３２０及び第２支持部３３０の各支持台には、ウェハーの位置をガイドするガイド部３１を形成することができる。前記ガイド部３１は前記支持台の上面から突出されて形成され、ウェハーの側面を支持する。
【００４５】
上述したように、前記バッファー部３００の、連続して位置する各支持台間の間隔が、同時にピックアップまたは積載するインデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４間の間隔と、同一の間隔となっている。したがって、前記インデックスロボット２００が前記バッファー部３００に対して多数のウェハーを一度に引出及び積載できるので、作業効率が向上し、工程時間が短縮され、生産性が向上する。
【００４６】
前記バッファー部３００に受納された原始ウェハーは、前記メーン移送ロボット５００により各工程チャンバー６００に移送される。前記メーン移送ロボット５００は、移送通路４００に設置され、その移送通路４００に設置された第２移送レール３０に沿って移動する。前記移送通路４００は前記各工程チャンバー６００と連結する。
【００４７】
前記メーン移送ロボット５００は前記バッファー部３００から原始ウェハーをピックアップした後、前記第２移送レール３０に沿って移動する。その後、前記メーン移送ロボット５００は該当する１つの工程チャンバー６００に原始ウェハーを提供する。また、前記メーン移送ロボット５００は工程チャンバー６００で処理された多数の加工ウェハーを前記バッファー部３００に積載する。
【００４８】
図４は図１のメーン移送ロボット５００を示した斜視図である。
【００４９】
図１及び図４を参照すれば、前記メーン移送ロボット５００は、アーム駆動部５１０、ピックアップハンド部５２０、多数の連結部５３０、回転部５４０、垂直移動部５５０及び水平移動部５６０を含みうる。
【００５０】
具体的には、前記アーム駆動部５１０は各ピックアップハンド５２１、５２２、５２３、５２４を各々水平移動させ、各ピックアップハンド５２１、５２２、５２３、５２４は前記アーム駆動部５１０によって個別駆動になる。
【００５１】
前記アーム駆動部５１０の上部には前記ピックアップハンド部５２０が設置される。各ピックアップハンド５２１、５２２、５２３、５２４は垂直方向に互いに対向するように配置され、各々１つのウェハーを積載できる。この実施形態において、前記メーン移送ロボット５００は４個のピックアップハンド５２１、５２２、５２３、５２４を具備するが、前記ピックアップハンド５２１、５２２、５２３、５２４の個数は前記基板処理システム１０００の工程効率によって増加や減少することができる。
【００５２】
前記ピックアップハンド５２０は、原始ウェハーを移送する投入用ピックアップハンド５２１、５２２と加工ウェハーを移送する搬出用ピックアップハンド５２３、５２４に区分して運用でき、この場合、投入用ピックアップハンド５２１、５２２と搬出用ピックアップハンド５２３、５２４とは、互いに混在して位置しない。本発明の一例では、前記搬出用ピックアップハンド５２３、５２４が、前記投入用ピックアップハンド５２１、５２２の上部に位置する。したがって、前記メーン移送ロボット５００は、原始ウェハーと加工ウェハーを移送する過程で原始ウェハーによって加工ウェハーが汚染されるのを防止できるので、製品の収率を向上させることができる。
【００５３】
前記投入用ピックアップハンド５２１、５２２は各々前記バッファー部３００から前記加工ウェハーを引出し、その加工ウェハーを遊休状態の１つの工程チャンバー６００に提供する。前記投入用ピックアップハンド５２１、５２２とは、前記バッファー部３００の各支持台の前記第１間隔に離隔される。したがって、前記投入用ピックアップハンド５２１、５２２は、前記バッファー部３００から原始ウェハーを同時に引出することができる。
【００５４】
一方、前記搬出用ピックアップハンド５２３、５２４は、工程完了した工程チャンバー６００から加工ウェハーを引出した後、その加工ウェハーを前記バッファー部３００に積載する。前記搬出用ピックアップハンド５２３、５２４は前記第１間隔に離隔される。したがって、前記搬出用ピックアップハンド５２３、５２４は、工程チャンバー６００から引出した加工ウェハーを前記バッファー部３００に同時に積載できる。
【００５５】
この実施形態において、前記加工用ピックアップハンド５２１、５２２と前記搬出用ピックアップハンド５２３、５２４は、各々２つのピックアップハンドでなされるが、前記加工用ピックアップハンド５２１、５２２と前記搬出用ピックアップハンド５２３、５２４の個数は、前記基板処理システム１０００の処理効率によって増加や減少できる。
【００５６】
本発明の一例では、前記第１間隔に離隔され、連続的に配置された前記バッファー部３００の各支持台の個数と、前記バッファー部３００に対してウェハーを一度に引出または積載できる前記インデックスロボット２００のインデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４の最大個数と、前記バッファー部３００に対してウェハーを一度に引出または積載できる前記メーン移送ロボット５００のピックアップハンド５２１、５２２、５２３、５２４の最大個数とが、互いに同一である。
【００５７】
このように、前記メーン移送ロボット５００は、前記バッファー部３００から一度に多数あるいは、１つの原始ウェハーを引出することができる。また、前記メーン移送ロボット５００は、前記バッファー部３００に一度に多数あるいは、１つの加工ウェハーを積載することができる。したがって、ウェハーの移送時間が短縮されるので、前記基板処理システム１０００は工程時間を短縮させ、生産性を向上させることができる。
【００５８】
前記ピックアップハンド５２１、５２２、５２３、５２４は前記連結部５３０と連結する。前記連結部５３０は前記アーム駆動部５１０に結合され、前記アーム駆動部５１０の駆動によって連結したピックアップハンド５２１、５２２、５２３、５２４を水平移動させる。
【００５９】
前記アーム駆動部５１０の下には前記回転部５４０が設置される。前記回転部５４０は前記アーム駆動部５１０と結合し、回転して前記アーム駆動部５１０を回転させる。これにより、前記ピックアップハンド５２１、５２２、５２３、５２４が共に回転する。
【００６０】
前記回転部５４０の下には前記垂直移動部５５０が設置され、前記垂直移動部５５０の下には水平移動部５６０が設置される。前記垂直移動部５５０は前記回転部５４０と結合し、前記回転部５４０を昇降及び下降させ、これにより、前記アーム駆動部５１０及び前記ピックアップハンド部５２０の垂直位置が調節される。前記水平移動部は前記第２移送レール３０に結合され、前記第２移送レール３０に沿って水平移動する。これにより、前記メーン移送ロボット５００は、前記バッファー部３００と工程チャンバー６００の間で移動できる。
【００６１】
前記メーン移送ロボット５００が設置される移送通路４００の両側には、前記原始ウェハーを処理して前記加工ウェハーを生成する前記工程チャンバー６００が各々配置されている。前記工程チャンバー６００で行われる処理工程には、前記原始ウェハーを洗浄する洗浄工程がある。２つの工程チャンバー６００は前記移送通路４００を介して互いに対向するように配置され、前記移送通路４００の両側には各々３個の工程チャンバーが配置されている。
【００６２】
この実施形態において、前記基板処理システム１０００は６個の工程チャンバーを具備するが、前記工程チャンバー６００の個数は前記基板処理システム１０００の工程効率及びフットプリント条件によって増加や減少することができる。また、この実施形態において、前記工程チャンバー６００は一層構造に配置されるが、１２個の工程チャンバーを２組、復層構造で６個ずつ配置することもできる。
【００６３】
前記インデックスロボット２００は前記第１制御部７１０と連結し、前記メーン移送ロボット５００は前記第２制御部７２０に連結する。前記第１制御部７１０は前記インデックスロボット２００の位置を制御し、前記第２制御部７２０は前記メーン移送ロボット５００の位置を制御する。
【００６４】
この実施形態において、前記第１制御部７１０及び第２制御部７２０は互いに同一の構成を有する。したがって、以下、前記第１制御部７１０及び第２制御部７２０の各構成に対する具体的な説明において、前記第１制御部７１０を一例として説明する。
【００６５】
図５は図１の第１制御部７１０の構成を示したブロック図である。
【００６６】
図２及び図５を参照すれば、前記第１制御部７１０は、入力処理部７１１、データレジスター７１２、比較演算部７１３、出力制御部７１４、モーションカード７１５、第１から第４のｘ軸駆動部７１６ａ、７１６ｂ、７１６ｃ、７１６ｄ、ｙ軸駆動部７１６ｅ、ｚ軸駆動部７１６ｆ及び回転軸駆動部７１６ｇを含みうる。
【００６７】
具体的には、前記入力処理部７１１には、各インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４の目標地点に対する位置情報と、前記インデックスロボット２００の各移動軸の移送情報、すなわち、前記それぞれのインデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４、前記回転部２４０、前記垂直移動部２５０及び前記水平移動部２６０それぞれの移送速度と、を示す速度情報が入力される。ここで、前記インデックスロボット２００の移動軸は、前記回転部２４０に対応する回転軸、前記垂直移動部２５０に対応するＺ軸、前記各インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４に対応する第１乃至第４Ｘ軸、及び前記水平移動部２６０に対応するＹ軸からなる。
【００６８】
前記入力処理部７１１は外部から受信された位置情報と速度情報を前記データレジスター７１２と前記比較演算部７１３に提供する。ここで、前記速度情報は前記各インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４の最大加速度、最大減速度及び最大等速度の値を含みうる。
【００６９】
前記データレジスター７１２は、前記入力処理部７１１から受信した前記位置情報と前記速度情報を指定されたレジスターに格納する。
【００７０】
前記比較演算部７１３は、前記速度情報と前記位置情報に基づいて、前記各インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４の出発地点から目標地点までの移動を予想する予想速度プロファイルを算出する。ここで、前記予想速度プロファイルは、該当の１つのインデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４が水平移動を開始した時点から該当目標地点に到達する時点まで現れる移動速度の変化を前もって示す。
【００７１】
本発明の一例では、前記各インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４は出発時点から既設定の最大速度に到達する時点まで加速移動し、前記最大速度に到達した時点から既設定の時間、等速移動し、その後、目標地点に到達する時まで減速移動する。したがって、前記各インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４の速度プロファイルをグラフィックに示すと、台形形状になる。ここで、前記各インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４が減速移動する時間は、加速移動する時間と同一である。
【００７２】
前記比較演算部７１３は、前記各インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４の予想速度プロファイルと基準プロファイルをそれぞれ比較した後、インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４のうち少なくとも２つが同一時点に各々の目標地点に到達するように、前記各インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４の予想速度プロファイルと基準プロファイルを各々演算し、前記各インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４の速度プロファイルを調節する。したがって、前記各インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４の速度値が再設定され、これにより、該当インデックスアームの対応する速度プロファイルが再設定される。その結果、インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４のうち少なくとも２つを同時駆動する時に、該当のインデックスアームが該当の目標地点に同一時点に到達できる。
【００７３】
ここで、前記基準プロファイルは、前記インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４の予想速度プロファイルの内何れか１つ、或いは既設定の速度プロファイルであり得る。例えば、前記基準プロファイルは前記インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４の予想速度プロファイルの内、目標地点までの予想所要時間が一番長い予想速度プロファイルでありえる。
【００７４】
前記比較演算部７１３は、再設定された各インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４の調節された速度プロファイルを前記出力制御部７１４に出力する。
【００７５】
前記出力制御部７１４は、前記比較演算部７１３から出力された速度プロファイルに基づいて、前記各インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４が目標地点に到達するための速度値を前記モーションカード７１５に出力する。また、前記出力制御部７１４は、前記回転部２４０と垂直移動部２５０と水平移動部２６０が対応する目標地点に到達するための、前記回転部２４０と垂直移動部２５０と水平移動部２６０それぞれの速度値を出力する。
【００７６】
前記モーションカード７１５は、各々対応する移動軸の速度値をパルス値に変換してそのパルス値を出力する、第１乃至第４Ｘ軸パルス変換器７１５ａ、７１５ｂ、７１５ｃ、７１５ｄと、Ｙ軸パルス変換器７１５ｅと、Ｚ軸パルス変換器７１５ｆと、回転軸パルス変換器７１５ｇとを含む。
【００７７】
前記駆動部は、第１乃至第４Ｘ軸駆動部７１６ａ、７１６ｂ、７１６ｃ、７１６ｄと、Ｙ軸駆動部７１６ｅと、Ｚ軸駆動部７１６ｆと回転軸駆動部７１６ｇとを含み、各々前記モーションカード７１５のパルス変換器７１５ａ、７１５ｂ、７１５ｃ、７１５ｄ、７１５ｅ、７１５ｆ、７１５ｇからそれぞれパルス値を受信する。
【００７８】
具体的には、前記第１Ｘ軸駆動部７１６ａは前記第１Ｘ軸パルス変換器７１５ａからパルス値を受け、前記第２Ｘ軸駆動部７１６ｂは前記第２Ｘ軸パルス変換器７１５ｂからパルス値を受け、前記第３Ｘ軸駆動部７１６ｃは前記第３Ｘ軸パルス変換器７１５ｃからパルス値を受け、前記第４Ｘ軸駆動部７１６ｄは前記第４Ｘ軸パルス変換器７１５ｄからパルス値を受ける。前記各Ｘ軸駆動部７１６ａ、７１６ｂ、７１６ｃ、７１６ｄは、前記第１乃至第４Ｘ軸パルス変換器７１５ａ、７１５ｂ、７１５ｃ、７１５ｄの対応する１つから受けたパルス値を増幅して、その増幅したパルス値を前記アーム駆動部２１０に提供する。前記アーム駆動部２１０は、前記第１乃至第４Ｘ軸駆動部７１６ａ、７１６ｂ、７１６ｃ、７１６ｄから受信したパルス値に従って前記各インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４の水平移動速度を調節する。
【００７９】
前記Ｙ軸駆動部７１６ｅは、前記Ｙ軸パルス変換器７１５ｅからパルス値を受けてこれを増幅し、前記水平移動部２６０に提供する。
【００８０】
前記水平移動部２６０の水平移動速度は、前記Ｙ軸駆動部７１６ｅから受信したパルス値に従って調節される。
【００８１】
前記Ｚ軸駆動部７１６ｆは、前記Ｚ軸パルス変換器７１５ｆからパルス値を受け、これを増幅して前記垂直駆動部２５０に提供する。
【００８２】
前記垂直駆動部２５０の垂直移動速度は、前記Ｚ軸駆動部７１６ｆから受信したパルス値に従って調節される。
【００８３】
前記回転軸駆動部７１６ｇは、前記回転軸パルス変換器７１５ｇからパルス値を受け、これを増幅して前記回転部２４０に提供する。前記回転部２４０は、前記回転軸駆動部７１６ｇから受信したパルス値に従って回転速度及び回転角度が調節される。
【００８４】
以下、図面を参照して、前記インデックスロボット２００のインデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４の内少なくとも２つが同時に目標地点に到達するようにする過程を具体的に説明する。詳しくは、搬出用インデックスアームである第１及び第２インデックスアーム２２４、２２３を同時に駆動させる場合を一例に説明する。
【００８５】
図６は図５に示した第１制御部７１０が第１及び第２インデックスアーム２２４、２２３の水平移動を制御する過程を示したフロー図である。
【００８６】
図２、図５及び図６を参照すれば、まず、前記入力処理部７１１は、インデックスロボット２００の各移動軸の速度値を含む移送情報と、第１及び第２インデックスアーム２２４、２２３がウェハーを引出または積載する目標地点についての位置情報とを受信する（段階Ｓ１１０）。
【００８７】
続いて、前記データレジスター７１２は前記移送情報を格納する（段階Ｓ１２０）。
【００８８】
前記比較演算部７１３は、前記第１及び第２インデックスアーム２２４、２２３が対応する目標地点に到達する時点が同一となるように、前記第１及び第２インデックスアーム２２４、２２３の速度値を再設定するために、前記第１インデックスアーム２２４の予想速度プロファイルと前記第２インデックスアーム２２３の予想速度プロファイルを比較し、その後、前記第１インデックスアーム２２４の予想速度プロファイルと第２インデックスアーム２２３の基準プロファイルの演算を随行する。前記比較演算部７１３は、前記第１及び第２インデックスアーム２２４、２２３の予想速度プロファイルの内何れか１つを基準プロファイルに設定するか、または既設定の速度プロファイルを基準プロファイルに設定することができる（段階Ｓ１３０）。続いて、前記比較演算部７１３は、段階Ｓ１３０で再設定された速度値と、前記回転部２４０と垂直移動部２５０と水平移動部２６０の速度値とを出力する（段階Ｓ１４０）。前記モーションカード７１５は、前記比較演算部１７３から出力された速度値をパルス値に変換して、そのパルス値を前記駆動部７１６ａ、７１６ｂ、７１６ｃ、７１６ｄ、７１６ｅ、７１６ｆ、７１６ｇに出力する（段階Ｓ１５０）。
【００８９】
前記駆動部７１６ａ、７１６ｂ、７１６ｃ、７１６ｄ、７１６ｅ、７１６ｆ、７１６ｇは、受信されたパルス値を増幅して前記インデックスロボット２００に提供する（段階Ｓ１６０）。
【００９０】
続いて、前記インデックスロボット２００は、前記第１制御部７１０により設定された速度で目標地点に移動し、前記第１及び第２インデックスアーム２２４、２２３は、前記第１制御部７１０により調節された速度で水平移動し、それぞれ異なる目標地点に同時に位置する（段階Ｓ１７０）。
【００９１】
この実施形態において、前記第１制御部７１０による前記インデックスロボット２００の位置と速度を調節する過程と、前記第２制御部７２０による前記メーン移送ロボット５００の位置と速度を調節する過程は互いに同一なので、前記第２制御部７２０による前記メーン移送ロボット５００の位置調節の過程は省略する。
【００９２】
以上実施形態を参照して説明したが、該当技術分野の熟練された当業者は特許請求の範囲に記載の本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲内で本発明を多様に修正及び変更させることができることを理解できる。
【符号の説明】
【００９３】
１０００      基板処理システム
１１０        ローディング／アンローディング部
２００        インデックスロボット
３００        バッファー部
【図１】
0005516907.tif 000002
【図２】
0005516907.tif 000003
【図３】
0005516907.tif 000004
【図４】
0005516907.tif 000005
【図５】
0005516907.tif 000006
【図６】
0005516907.tif 000007