(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力センサを検出対象となる機器に取り付けるための圧力センサの取り付け構造であって、
前記機器のハウジングと該ハウジングの外面に取り付けられる他の部材との間に、ダイアフラムを有する圧力検出部を収容するための収容スペースが設けられるとともに、前記収容スペースと前記ハウジングの内部空間とを連通する連通孔が設けられ、
前記ダイアフラムの感圧面が前記連通孔を介して前記ハウジング内部の圧力を受けられるように、前記圧力検出部が前記収容スペースに収容され、
前記圧力検出部の出力信号を外部に取り出すための配線であるＦＰＣが、前記収容スペースから前記ハウジングの外部まで引き出され、
前記圧力検出部及び前記ＦＰＣは、ケース部材に一体的に取り付けられ、
該ケース部材が前記収容スペース内において前記ハウジングと前記他の部材との間に挟まれて固定され、
前記ＦＰＣは、前記収容スペース内を前記ケース部材から前記ハウジングと前記他の部材との取り付け面に沿って引き延ばされるとともに、前記圧力検出部の出力信号を増幅する増幅回路を含む回路基板が実装され、
該回路基板と前記圧力検出部とが、前記取り付け面に沿って配置されることを特徴とする圧力センサの取り付け構造。
【請求項２】
圧力センサを検出対象となる機器に取り付けるための圧力センサの取り付け構造であって、
前記機器のハウジングと該ハウジングの外面に取り付けられる他の部材との間に、ダイアフラムを有する圧力検出部を収容するための収容スペースが設けられるとともに、前記収容スペースと前記ハウジングの内部空間とを連通する連通孔が設けられ、
前記ダイアフラムの感圧面が前記連通孔を介して前記ハウジング内部の圧力を受けられるように、前記圧力検出部が前記収容スペースに収容され、
前記圧力検出部の出力信号を外部に取り出すための配線が、前記収容スペースから前記ハウジングの外部まで引き出され、
前記圧力検出部及び前記配線は、ケース部材に一体的に取り付けられ、
該ケース部材が前記収容スペース内において前記ハウジングと前記他の部材との間に挟まれて固定され、
前記収容スペース内を前記ハウジングと前記他の部材との取り付け面に沿って延びるとともに一端が前記ケース部材に固定された回路基板上に、前記圧力検出部の出力信号を増幅する増幅回路を含む実装部品が実装され、
該実装部品と前記圧力検出部とが、前記取り付け面に沿って配置されることを特徴とする圧力センサの取り付け構造。
【請求項３】
前記ダイアフラムと前記連通孔の開口部との間にシール部材が配置され、
該シール部材は、前記他の部材が前記ハウジングに取り付けられる際に、前記ケース部材が前記他の部材によって前記ハウジングに対して押し付けられることにより、前記ダイアフラムと前記連通孔の開口部との間で圧縮されることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサの取り付け構造。
【請求項４】
前記配線は、
前記他の部材と前記ハウジングとの間を通って、前記収容スペースから外部に引き出されるとともに、
前記他の部材と前記ハウジングとの間を通る部位に、前記収容スペースを取り囲んで前記他の部材と前記ハウジングとの間を封止するガスケットを一体的に備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の圧力センサの取り付け構造。
【請求項５】
前記配線は、
前記ハウジングに設けられた引き出し孔を通って、前記収容スペースから外部に引き出されるとともに、
前記引き出し孔と前記配線との間の隙間を封止するグロメットを一体的に備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の圧力センサの取り付け構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力センサの取り付け構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１、２に開示されたような圧力センサが従来から知られている。この圧力センサは、圧力を受けて変形するダイアフラムを有し、ダイアフラムの変形による抵抗や静電容量などの変化を電気信号に変換して出力する圧力検出部を備えている。圧力検出部からの信号は、ワイヤボンディング、回路基板、ピン、ＦＰＣ（フレキシブルプリントサーキット）又はリード線、コネクタピン、バスバーなどを介して外部に取り出される。
【０００３】
図９は、従来技術に係る圧力センサの外観図である。図９に示すように、従来技術に係る圧力センサ１００は、圧力検出部や回路基板が収容されるケース１０１を備える。ケース１０１には、検出対象となる機器のボディに結合するためのねじ部１０２や、外部に信号を取り出すためのコネクタ１０３などが一体化されている。なお、ねじ部１０２の代わりにフランジ部を設ける場合もある。
【０００４】
この圧力センサ１００は、ダイアフラムや回路基板等の内部部品がケース１０１やコネクタ１０３などにより保護されており、ねじやフランジなど検出対象機器との取り付け構造が指定されることで、仕様や使用環境などが異なる種々の機器に対して広範囲に使用することができる。
【０００５】
このような圧力センサ１００が使用される機器としては、自動車において油圧制御される機器である変速機が挙げられる。ＡＴ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ）やＣＶＴ（Ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓｌｙ  Ｖａｒｉａｂｌｅ  Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ）などの変速機の内部には、ソレノイドバルブや圧力センサが複数配置されている。これらは変速機を制御するＣＵ（ｃｏｎｔｒｏｌ  ｕｎｉｔ）によって制御される。
【０００６】
ＣＵは、変速機からワイヤハーネスを介して変速機とは別の場所に配置されるのが一般的であるが、近年、ＣＵを変速機内部に配置する機電一体型の構成が提案されている。ＣＵは比較的大きな配置スペースが必要となるため、同じく変速機内部に配置されるソレノイドバルブや圧力センサの小型化、省スペース化が求められている。
【０００７】
上述したように、圧力センサ１００は、ねじ部１０２等の取り付け部やコネクタ１０３が一体となったケース１０１を有しているため、削減可能な設置スペースに限界がある。ケース１０１からねじ部１０２等の取り付け部をなくした構成も存在するが、圧力検出部の近傍には増幅回路などが入った回路基板を設置するスペースが必要となるため、ケース１０１の小型化にも限界がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許第３４６３５３６号公報
【特許文献２】特許第３８１５２８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は上記の従来技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、省スペース化、軽量化、低コスト化を図ることができる圧力センサの取り付け構造
を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明における圧力センサの取り付け構造は、
圧力センサを検出対象となる機器に取り付けるための圧力センサの取り付け構造であって、
前記機器のハウジングと該ハウジングの外面に取り付けられる他の部材との間に、ダイアフラムを有する圧力検出部を収容するための収容スペースが設けられるとともに、前記収容スペースと前記ハウジングの内部空間とを連通する連通孔が設けられ、
前記ダイアフラムの感圧面が前記連通孔を介して前記ハウジング内部の圧力を受けられるように、前記圧力検出部が前記収容スペースに収容され、
前記圧力検出部の出力信号を外部に取り出すための配線であるＦＰＣが、前記収容スペースから前記ハウジングの外部まで引き出され、
前記圧力検出部及び前記ＦＰＣは、ケース部材に一体的に取り付けられ、
該ケース部材が前記収容スペース内において前記ハウジングと前記他の部材との間に挟まれて固定され、
前記ＦＰＣは、前記収容スペース内を前記ケース部材から前記ハウジングと前記他の部材との取り付け面に沿って引き延ばされるとともに、前記圧力検出部の出力信号を増幅する増幅回路を含む回路基板が実装され、
該回路基板と前記圧力検出部とが、前記取り付け面に沿って配置されることを特徴とする。
また、上記目的を達成するために、本発明における圧力センサの取り付け構造は、
圧力センサを検出対象となる機器に取り付けるための圧力センサの取り付け構造であって、
前記機器のハウジングと該ハウジングの外面に取り付けられる他の部材との間に、ダイアフラムを有する圧力検出部を収容するための収容スペースが設けられるとともに、前記収容スペースと前記ハウジングの内部空間とを連通する連通孔が設けられ、
前記ダイアフラムの感圧面が前記連通孔を介して前記ハウジング内部の圧力を受けられるように、前記圧力検出部が前記収容スペースに収容され、
前記圧力検出部の出力信号を外部に取り出すための配線が、前記収容スペースから前記ハウジングの外部まで引き出され、
前記圧力検出部及び前記配線は、ケース部材に一体的に取り付けられ、
該ケース部材が前記収容スペース内において前記ハウジングと前記他の部材との間に挟まれて固定され、
前記収容スペース内を前記ハウジングと前記他の部材との取り付け面に沿って延びるとともに一端が前記ケース部材に固定された回路基板上に、前記圧力検出部の出力信号を増幅する増幅回路を含む実装部品が実装され、
該実装部品と前記圧力検出部とが、前記取り付け面に沿って配置されることを特徴とする。
【００１１】
圧力センサは、圧力検出部を収容するためのケース部材等を有しておらず、圧力検出部は、取り付け相手であるハウジングとハウジングに取り付けられる他の部材との間に設けられた収容スペースに収容される。すなわち、圧力センサに独自のケースを備えさせる代わりに、相手機器のハウジングとこれに取り付けられる他の部材とを、圧力センサのケースとして利用する。これにより、圧力センサ独自のケース部材が不要となり、部材点数が削減されるとともに、圧力センサを配置するためのスペースを縮小することができる。したがって、圧力センサの取り付け構造における部材点数の削減、低コスト化、省スペース化、相手機器全体の軽量化、小型化等を図ることもできる。
【００１３】
このように、圧力検出部と配線とをケース部材に一体化してユニットとすることにより、取り付け作業の簡易化を図ることができる。また、ハウジングに取り付けられる他の部材を利用して、ケース部材をハウジングと他の部材との間に挟んで固定することにより、圧力検出部を収容スペース内において位置決め固定することができる。これにより、圧力検出部を固定するための手段を別途設ける必要がなくなる。したがって、構成部品が簡素化され、また、取り付け作業も容易となる。
【００１４】
前記ダイアフラムと前記連通孔の開口部との間にシール部材が配置され、
該シール部材は、前記他の部材が前記ハウジングに取り付けられる際に、前記ケース部材が前記他の部材によって前記ハウジングに対して押し付けられることにより、前記ダイアフラムと前記連通孔の開口部との間で圧縮されるとよい。
【００１５】
このように、他の部材による押し付け力を利用してシール部材の圧縮状態を形成できるようにすることで、構成の簡易化をさらに図ることができる。
【００１７】
ＦＰＣ（フレキシブルプリントサーキット）は、可撓性・柔軟性を有する平たい伝導部材であり、設置スペースの空間的な制約を受けずに自由度の高い配線が可能である。ＦＰＣを、ケース部材（圧力検出部）からハウジングと他の部材との取り付け面に沿って引き
延ばし、回路基板と圧力検出部とを、取り付け面に沿った配置でＦＰＣ上に実装する。これにより、収容スペースの高さを低く抑えることができる。
【００１９】
このように、増幅回路等を含む回路基板もケース部材に固定して、回路基板を含めて一体化することで、取り付け作業のさらなる容易化を図ることができる。また、回路基板の実装部品と圧力検出部とが、ハウジングと他の部材との取り付け面に沿って配置されることで、収容スペースの高さを低く抑えることができる。
【００２０】
前記配線は、
前記他の部材と前記ハウジングとの間を通って、前記収容スペースから外部に引き出されるとともに、
前記他の部材と前記ハウジングとの間を通る部位に、前記収容スペースを取り囲んで前記他の部材と前記ハウジングとの間を封止するガスケットを一体的に備えるとよい。
【００２１】
前記配線は、
前記ハウジングに設けられた引き出し孔を通って、前記収容スペースから外部に引き出されるとともに、
前記引き出し孔と前記配線との間の隙間を封止するグロメットを一体的に備えるとよい。
【００２２】
これにより、収容スペースが外部から遮断され、圧力検出部に対する外部環境の影響を低減し、圧力検出部を保護することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、省スペース化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施例１に係る圧力センサの取り付け構造を示す模式的断面図である。
【図２】本発明の実施例１に係る圧力センサの構成を示す模式的断面図である。
【図３】図１の圧力センサの取り付け構造をハウジングの外面側から見たときの模式的斜視図である。
【図４】他の部材におけるハウジングとの取り付け面を示す模式的斜視図である。
【図５】本発明の実施例２に係る圧力センサの取り付け構造を示す模式的断面図である。
【図６】図５の圧力センサの取り付け構造をハウジングの外面側から見たときの模式的斜視図である。
【図７】本発明の実施例３に係る圧力センサの取り付け構造を示す模式的断面図である。
【図８】図７の圧力センサの取り付け構造をハウジングの外面側から見たときの模式的斜視図である。
【図９】従来技術に係る圧力センサの外観を示す模式的斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に
詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【００２６】
（実施例１）
図１〜図４を参照して、本発明の実施例１に係る圧力センサの取り付け構造について説明する。図１は、本発明の実施例１に係る圧力センサの取り付け構造を示す模式的断面図である。図２は、本発明の実施例１に係る圧力センサの構成を示す模式的断面図である。図３は、図１の圧力センサの取り付け構造をハウジングの外面側（他の部材の取り付け面側）から見たときの模式的斜視図である。図４は、他の部材におけるハウジングとの取り付け面を示す模式的斜視図である。
【００２７】
＜取り付け構造の概略構成＞
図１に示すように、本実施例に係る圧力センサの取り付け構造は、圧力センサ１を、検出対象となる機器のハウジング２に取り付けるための構造である。ハウジング２の外面２０には、他の部材３が取り付けられる領域に凹部２１が形成されている。この凹部２１によりハウジング２と他の部材３との間に圧力センサ１を収容する収容スペースが形成される。凹部２１は他の部材３が取り付けられることにより塞がれる。凹部２１の底面２２には、ハウジング２の内部圧力を検出可能にすべく、ハウジング２を貫通する（ハウジング２の内部と外部とを連通する）連通孔２３が設けられている。
【００２８】
本実施例では、圧力の検出対象となる機器は、油圧制御される自動車の変速機である。また、他の部材３は、変速機を制御するＣＵ３０及びＣＵケース３１である。ただし、圧力センサが取り付けられる相手部材はこれに限られるものではない。ＣＵ３０はＣＵケース３１の上面に取り付けられる。ＣＵケース３１にはＣＵ３０用の配線や放熱板などが取り付けられる場合もある。また、保護用のカバーが装着される場合もある。
【００２９】
＜圧力センサの構成＞
図２に示すように、圧力センサ１は、ダイアフラム１０と、歪ゲージ１１と、からなる圧力検出部１２を有している。ダイアフラム１０は、薄肉に形成された感圧部１０ａを有している。感圧部１０ａの感圧面１０ｂとは反対側の面には、絶縁層を介して複数の歪ゲージ１１が配置されている。圧力検出部１２の具体的な構成や圧力検出原理は従来技術であり詳細な説明は省略するが、圧力検出部１２は、感圧部１０ａが感圧面１０ｂで受ける圧力によって変形し、この感圧部１０ａの変形を歪ゲージ１１の出力変化として出力するように構成されている。ダイアフラム１０は、金属、シリコン、セラミック等種々の材質のものを使用することができる。また、圧力の検出方式としては、上記の薄膜式のほか、半導体式、静電容量式なども使用することができる。また、圧力センサ１は、圧力検出部１２からの出力信号を外部へ取り出すための配線としてＦＰＣ１３を有している。
【００３０】
図１に示すように、圧力センサ１は、圧力検出部１２とＦＰＣ１３がケース部材１５によって一体化されたユニットで構成されている。ケース部材１５は、圧力検出部１２のダイアフラム１０の外周に固定されている。本実施例では、図２に示すように、ケース部材１５の下面とダイアフラム１０下端に設けられたフランジ部１０ｃの上面とを接着等により固定している。また、ケース部材１５の上面には、ＦＰＣ１３の一端側が重ねられて固定されている。圧力検出部１２とＦＰＣ１３は、ワイヤボンディング１４によって電気的に接続される。また、ＦＰＣ１３は、接着剤等によりケース部材１５の上面に接着固定される。ＦＰＣ１３は、圧力検出部１２からハウジング２とＣＵケース３１との取り付け面（ハウジング２の外面２０）に略沿って引き延ばされるとともに、ハウジング２の外面２０とＣＵケース３１との間を通ってハウジング２の外部に引き出されている。
【００３１】
ワイヤボンディング１４は、外部環境から保護するため、ポッティング部１６によって覆われている。ポッティング部１６は、ＦＰＣ１３の上面にワイヤボンディング１４の外側を覆うように樹脂製の保護板１６ａを設け、この保護板１６ａの内側にジェル状のポッティング剤が流し込まれることにより形成される。
【００３２】
圧力センサ１は、回路基板１７を有している。回路基板１７には、歪ゲージ１１の出力信号を増幅して出力するための増幅回路等が実装されている。回路基板１７とＦＰＣ１３との電気的な接続は、直接ハンダ付けしてもよいし、不図示のピン等を介してハンダ付けしてもよい。また、溶接などにより接続してもよい。また、回路基板１７は、ガラスエポキシ等の基板を使用せず、個々の回路部品をＦＰＣ１３上に直接実装してもよい。なお、ダイアフラム１０がシリコンダイアフラムなどの場合には、ダイアフラムに直接増幅回路等を形成してもよい。
【００３３】
圧力センサ１は、圧力検知部１２と回路基板１７とが、ハウジング２とＣＵケース３１との取り付け面に沿って並んで配置される。ＣＵケース３１がハウジング２の外面２０に取り付けられると、圧力センサ１のケース部材１５は、ＣＵケース３１によって凹部２１の底面２２に押し付けられる。これにより圧力センサ１は凹部２１内において位置決め固定される。ＣＵケース３１の下面３２には、ケース部材１５の上面に当接してケース部材１５を下方に押し付けるための押付部３３が設けられている。
【００３４】
ＦＰＣ１３には、環状のガスケット１８が一体成形等により一体的に設けられている。ガスケット１８は、凹部２１の外周を囲むようにハウジング２とＣＵケース３１との間に配置され、ハウジング２とＣＵケース３１との間を封止する。これにより、凹部２１とＣＵケース３１との間の空間、すなわち、圧力センサ１の収容スペースが外部に対してシールされる。図３、図４に示すように、本実施例では、ハウジング２の外面２０とこれに当接するＣＵケース３１の下面３２に、ガスケット１８を装着するための装着溝２４、３４がそれぞれ設けられている。
【００３５】
ダイアフラム１０下端に設けられたフランジ部１０ｃと連通孔２３の開口縁部との間には、シール部材としてゴム製のＯリング４が配置されている。フランジ部１０ｃは、ケース部材１５がＣＵケース３１によって押し付けられることにより凹部２１の底面２２に押し付けられる。これにより、Ｏリング４がダイアフラム１０のフランジ部１０ｃと連通孔２３の開口縁部との間で圧縮され、フランジ部１０ｃと連通孔２３の開口縁部との間をシールする。
【００３６】
＜本実施例の優れた点＞
上述したように、本発明の圧力センサの取り付け構造は、従来のように、圧力センサが、独自のケース部材等を有しておらず、ダイアフラムや歪ゲージ、増幅回路等の内部部品を、検出対象となる機器のハウジングに直接組み付ける構成となっている。すなわち、圧力センサに独自のケースを備えさせる代わりに、相手機器のハウジングとこれに取り付けられる他の部材を、圧力センサのケースとして利用する。これにより、圧力センサの取り付け構造における部品点数の削減、低コスト化、省スペース化、相手機器の軽量化、小型化等に寄与することができる。
【００３７】
圧力センサは、圧力検出部や配線がユニット化され、該ユニットは、ハウジングに取り付けられる他の部材によって凹部の底面に押し付けられることにより、ハウジングと他の部材とに挟まれて位置決め固定される。したがって、圧力センサを位置決め固定するための固定手段を別途設ける必要がなく、構成部品が簡素化され、また、取り付け作業も容易となる。
【００３８】
また、ユニットは、溶接や接着、嵌合などによってハウジングや他の部材に対して完全に固定されているわけではないので、取り外しが容易となる。
【００３９】
さらに、ユニットはハウジングや他の部材とＯリングやガスケット等のシール部材を介してつながっているため、温度変化によるハウジング等との線膨張係数の差によって生じるダイアフラムへの歪みの影響を低減することができる。
【００４０】
増幅回路等を含む回路基板は、圧力検出部からハウジングと他の部材との取り付け面に沿って引き延ばされたＦＰＣ上に実装される。すなわち、圧力検出部と回路基板とが該取り付け面（ハウジング外面）に沿って並んで配置される。これにより、凹部の深さを浅く、すなわち、圧力センサの構成部品の収容スペースの高さを低く抑えることができる。
【００４１】
また、ＡＴやＣＶＴ用のＣＵの場合、ＣＵは圧力センサと比較してサイズが大きく、ハウジングにおける取り付け面積も大きくなる。したがって、ハウジングにおけるＣＵの取り付け面の下方のデッドスペースを有効に利用して圧力センサを取り付けることにより、変速機の小型化、省スペース化等を図ることができる。
【００４２】
なお、本実施例では、圧力センサを収容するための収容スペースをハウジングに凹部を設けることで形成しているが、他の部材に凹部を設けて形成してもよく、ハウジングと他の部材のそれぞれに凹部を設けて形成してもよい。
【００４３】
（実施例２）
図５及び図６を参照して、本発明の実施例２に係る圧力センサの取り付け構造について説明する。図５は、本実施例に係る圧力センサの取り付け構造を示す模式的断面図である。図６は、図５の圧力センサの取り付け構造をハウジングの外面側から見たときの模式的斜視図である。
【００４４】
ここでは、上記実施例と異なる構成についてのみ説明する。上記実施例と共通する構成については、同じ符号を付し、詳しい説明は省略する。
【００４５】
本実施例では、ハウジング２に、凹部２１とハウジング２の外部と連通する連通孔２５が設けられている。ＦＰＣ１３は、ハウジング２の外面２０とＣＵケース３１との間ではなく、連通孔２５を通ってハウジング２の外部に延びている。ＦＰＣ１３と連通孔２５との間の隙間はグロメット１９によって封止される。なお、ハウジング２とＣＵケース３１との間は、必要に応じてガスケット等のシール部材（不図示）が配置されてシールされる。
【００４６】
（実施例３）
図７及び図８を参照して、本発明の実施例３に係る圧力センサの取り付け構造について説明する。図７は、本実施例に係る圧力センサの取り付け構造を示す模式的断面図である。図８は、図５の圧力センサの取り付け構造をハウジングの外面側から見たときの模式的斜視図である。
【００４７】
ここでは、上記実施例と異なる構成についてのみ説明する。上記実施例と共通する構成については、同じ符号を付し、詳しい説明は省略する。
【００４８】
本実施例では、ダイアフラム１０とケース部材１５が一体化されており、さらに、回路基板１７´がケース部材１５に直接一体化されている。回路基板１７´は、一端がケース部材１５の上面に積層固定され、凹部２１内をケース部材１５からハウジング２とＣＵケース３１との取り付け面に沿って延びるように配置される。増幅回路等の回路基板１７´
に実装される部品は、該取り付け面に沿って圧力検出部１２と並んだ配置となっている。
【００４９】
圧力検出部１２は、ワイヤボンディング１４´によって回路基板１７´に接続される。回路基板１７´には圧力検出部１２の出力信号を外部に取り出すためのリード線１３´が接続されている。なお、リード線１３´に代えて上記実施例と同様にＦＰＣを使用してもよい。
【００５０】
ハウジング２には、凹部２１とハウジング２の外部と連通する連通孔２５´が設けられている。リード線１３´は連通孔２５´を通ってハウジング２の外部まで延びている。リード線１３´と連通孔２５´との間の隙間はグロメット１９´によって封止される。なお、ハウジング２とＣＵケース３１との間は、必要に応じてガスケット等のシール部材（不図示）が配置されてシールされる。
【００５１】
本実施例によれば、回路基板１７´をケース部材１５に固定して一体化することで、取り付け作業のさらなる容易化を図ることができる。また、増幅回路等の実装位置を圧力検出部１２と並んだ配置とすることで、凹部２１の深さを浅く、すなわち、収容スペースの高さを低く抑えることができる。
【符号の説明】
【００５２】
１   圧力センサ
１０ ダイアフラム
１１ 歪ゲージ
１２ 圧力検出部
１３ ＦＰＣ
１４ ワイヤボンディング
１５ ケース部材
１６ ポッティング部
１７ 回路基板
１８ ガスケット
２   ハウジング
２０ 上面
２１ 凹部
２２ 底面
２３ 連通孔
３   他の部材
３０ ＣＵ
３１ ＣＵケース
４   Ｏリング
【図１】
0005500001.tif 000002
【図２】
0005500001.tif 000003
【図３】
0005500001.tif 000004
【図４】
0005500001.tif 000005
【図５】
0005500001.tif 000006
【図６】
0005500001.tif 000007
【図７】
0005500001.tif 000008
【図８】
0005500001.tif 000009
【図９】
0005500001.tif 000010