(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂フィルムの両面に金属蒸着膜が積層形成されてなるコンデンサ用両面金属化フィルムを製造する方法であって、
一方の面に対してコロナ放電処理による表面改質処理が予め施されたポリプロピレンフィルムを巻回してなるロールを用いて、該ロールから、該ポリプロピレンフィルムを前記樹脂フィルムとして巻き出した後、
該ロールから巻き出されたポリプロピレンフィルムの他方の面に対して、表面濡れ性を高める表面改質処理を施す第一の表面改質処理工程を実施し、更に、該ポリプロピレンフィルムを該ロールから巻き出したままの状態で、該ポリプロピレンフィルムの他方の面の表面改質処理が施された部分に対して、金属蒸着膜を積層形成する第一の金属蒸着膜形成工程を実施する一方、
前記ポリプロピレンフィルムを前記ロールから巻き出したままの状態で、該ポリプロピレンフィルムの前記一方の面の表面改質処理が予め施された部分に対して、金属蒸着膜を積層形成する第二の金属蒸着膜形成工程を、前記第一の表面改質処理工程の実施前か、又は該第一の表面改質処理工程の実施後で且つ前記第一の金属蒸着膜形成工程の実施前か、或いは該第一の金属蒸着膜形成工程の実施後に行い、
その後、かかる巻き出されたポリプロピレンフィルムを再び巻回することを特徴とするコンデンサ用両面金属化フィルムの製造方法。
【請求項２】
前記第一の表面改質処理工程が、前記ロールから巻き出されたポリプロピレンフィルムの他方の面に対してコロナ放電処理を施すか、又は該他方の面に対して、極性基を有する樹脂の蒸着膜を形成することによって実施される請求項１に記載のコンデンサ用両面金属化フィルムの製造方法。
【請求項３】
前記ポリプロピレンフィルムの一方の面に積層形成された前記金属蒸着膜と、その他方の面に積層形成された前記金属蒸着膜のうちの少なくとも何れか一方に対して、ポリフッ化ビニリデンよりなる薄膜を更に積層形成する工程が実施される請求項１又は請求項２に記載のコンデンサ用両面金属化フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンデンサ用両面金属化フィルムの製造方法に係り、特に、樹脂フィルムの両面に金属蒸着膜が積層形成されて構成された、フィルムコンデンサの作製に用いられるコンデンサ用両面金属化フィルムの有利な製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電子機器に使用されるフィルムコンデンサとして、例えば、特開平１０−２０８９７２号公報（特許文献１）や特開２００７−２２０７２０号公報（特許文献２）等に記載される如き積層タイプや巻回タイプのフィルムコンデンサが知られている。これら積層タイプや巻回タイプのフィルムコンデンサは、何れも、樹脂フィルムに金属蒸着膜が積層形成されてなる金属化フィルムを用いて、作製されている。
【０００３】
そのようなフィルムコンデンサの作製に用いられる金属化フィルム、所謂コンデンサ用金属化フィルムには、樹脂フィルムの片面のみに金属蒸着膜が形成されてなる片面金属化フィルムと、樹脂フィルムの両面に金属蒸着膜が形成されてなる両面金属化フィルムとがある。両面金属化フィルムを用いる場合、二つの片面金属化フィルムを必要するところが、一つの両面金属化フィルムで済むため、フィルムコンデンサの作製に掛かる工数の削減が図られる等の利点がある。
【０００４】
両面金属化フィルムとしては、現在のところ、ポリエステルフィルムの両面に金属蒸着膜が形成されてなるものが、一般的に使用されている。ポリエステルフィルムは、良好なアンチブロッキング性を有し、しかも、高い表面濡れ性を有しているため、金属化フィルムとして構成した際に、金属蒸着膜の付着力が大きく、金属蒸着膜の剥離が効果的に防止され得るといった優れた特徴が発揮される。しかしながら、その反面、誘電正接や絶縁破壊電圧等の電気的特性を十分に確保することが難しいといった欠点を有していた。
【０００５】
一方、ポリプロピレンフィルムに金属蒸着膜を積層形成してなる金属化フィルムを用いたフィルムコンデンサも、知られている。ポリプロピレンフィルムは、例えば、誘電損失が小さい、耐電圧が高い、誘電率の温度変化や周波数変化が小さい等の優れた電気的特性を有している。しかしながら、ポリプロピレンフィルムは、表面濡れ性が低いため、金属化フィルムとして構成した場合、金属蒸着膜の付着力が小さく、そのために、金属蒸着膜が剥離し易いといった欠点を有していた。そこで、ポリプロピレンの金属化フィルムを製造する際には、従来、ポリプロピレンフィルムの表面に対して、コロナ放電処理等による表面改質処理を施すことにより、表面濡れ性を改善した上で、かかる表面改質部分に金属蒸着膜が積層形成されていた。
【０００６】
ところが、よく知られているように、コロナ放電処理等による表面改質処理が両面に施されたポリプロピレンフィルムを巻回して、ロールを形成した場合、ブロッキングの発生により、かかるロールからのポリプロピレンフィルムの巻出しが困難となったり、或いはポリプロピレンフィルムを巻き出す際にフィルム切れが生じたりする恐れがあった。
【０００７】
それ故、ポリプロピレンフィルムは、今まで、コロナ放電処理が施された片面にのみ金属蒸着膜が形成されてなる片面金属化フィルムのベースフィルム（金属蒸着膜が形成されるべき樹脂フィルム）として使用されているに過ぎなかった。従って、現状では、十分な電気的特性を備えた両面金属化フィルムが得られておらず、そのような両面金属化フィルムの製造手法の確立が、強く望まれているのである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１０−２０８９７２号公報
【特許文献２】特開２００７−２２０７２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ここにおいて、本発明は、上述せる如き事情を背景にして為されたものであって、その解決課題とするところは、優れた電気的特性を有すると共に、金属蒸着膜の付着力が大きな両面金属化フィルムが、樹脂フィルムの両面に対する金属蒸着膜の形成時にブロッキングを発生させることなく、有利に製造され得る方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
そして、本発明にあっては、上記の課題の解決のために、樹脂フィルムの両面に金属蒸着膜が積層形成されてなるコンデンサ用両面金属化フィルムを製造する方法であって、一方の面に対してコロナ放電処理による表面改質処理が予め施されたポリプロピレンフィルムを巻回してなるロールを用いて、該ロールから、該ポリプロピレンフィルムを前記樹脂フィルムとして巻き出した後、該ロールから巻き出されたポリプロピレンフィルムの他方の面に対して、表面濡れ性を高める表面改質処理を施す第一の表面改質処理工程を実施し、更に、該ポリプロピレンフィルムを該ロールから巻き出したままの状態で、該ポリプロピレンフィルムの他方の面の表面改質処理が施された部分に対して、金属蒸着膜を積層形成する第一の金属蒸着膜形成工程を実施する一方、前記ポリプロピレンフィルムを前記ロールから巻き出したままの状態で、該ポリプロピレンフィルムの前記一方の面の表面改質処理が予め施された部分に対して、金属蒸着膜を積層形成する第二の金属蒸着膜形成工程を、前記第一の表面改質処理工程の実施前か、又は該第一の表面改質処理工程の実施後で且つ前記第一の金属蒸着膜形成工程の実施前か、或いは該第一の金属蒸着膜形成工程の実施後に行い、その後、かかる巻き出されたポリプロピレンフィルムを再び巻回することを特徴とするコンデンサ用両面金属化フィルムの製造方法を、その要旨とするものである。
【００１１】
なお、このような本発明の好ましい態様の一つによれば、前記第一の表面改質処理工程が、前記ロールから巻き出されたポリプロピレンフィルムの他方の面に対してコロナ放電処理を施すか、又は該他方の面に対して、極性基を有する樹脂の蒸着膜を形成することによって実施される。
【００１２】
また、本発明の望ましい態様の一つによれば、前記ポリプロピレンフィルムの一方の面に積層形成された前記金属蒸着膜と、その他方の面に積層形成された前記金属蒸着膜のうちの少なくとも何れか一方に対して、ポリフッ化ビニリデンよりなる薄膜を更に積層形成する工程が実施される。
【００１３】
さらに、本発明の有利な態様の一つによれば、内部を真空状態と為し得る真空槽を用い、該真空槽内で、前記ロールから巻き出された前記ポリプロピレンフィルムに対して、前記第一の表面改質処理工程と前記第一の金属蒸着膜形成工程と前記第二の金属蒸着膜形成工程とが、それぞれ実施される。
【００１４】
なお、樹脂フィルムの両面に金属蒸着膜が積層形成されてなるコンデンサ用両面金属化フィルムを製造するための装置であって、（ａ）一方の面に対してコロナ放電処理による表面改質処理が予め施されて、巻回された、前記樹脂フィルムとして用いられるポリプロピレンフィルムのロールからポリプロピレンフィルムを巻き出す巻出し機と、（ｂ）該ロールから巻き出されたポリプロピレンフィルムを巻き取る巻取り機とが内部に設置された真空槽と、（ｃ）該真空槽内の空気を排出して、該真空槽内を真空状態とする排気手段と、（ｄ）前記真空槽内に設置されており、前記巻出し機にて前記ロールから巻き出された前記ポリプロピレンフィルムが、前記巻取り機に巻き取られる前に、該ポリプロピレンフィルムの他方の面に対して、濡れ性を高める表面改質処理を施す表面改質処理手段と、（ｅ）前記真空槽内に設置されており、前記巻出し機にて前記ロールから巻き出された前記ポリプロピレンフィルムが、前記巻取り機に巻き取られる前に、前記予め表面改質処理された一方の面を外側にして巻き掛けられる第一のローラと、（ｆ）前記真空槽内に設置されており、該第一のローラに巻き掛けられた前記ポリプロピレンフィルムの一方の面の前記予め表面改質処理が施された部分に対して金属蒸着膜を形成する第一の金属蒸着膜形成手段と、（ｇ）前記真空槽内に設置されており、前記第一のローラから送り出された前記ポリプロピレンフィルムが、前記巻取り機に巻き取られる前に、前記表面改質処理手段にて表面改質処理が施された前記他方の面を外側にして巻き掛けられる第二のローラと、（ｈ）前記真空槽内に設置されており、該第二のローラに巻き掛けられた前記ポリプロピレンフィルムの他方の面の、前記表面改質処理手段にて表面改質処理が施された部分に対して金属蒸着膜を形成する第二の金属蒸着膜形成手段とを有して構成されていることを特徴とするコンデンサ用両面金属化フィルムの製造装置が、コンデンサ用両面金属化フィルムの製造に際して、有利に用いられる。
【００１５】
また、樹脂フィルムの両面に金属蒸着膜が積層形成されてなるコンデンサ用両面金属化フィルムは、樹脂フィルムの少なくとも一方の面に積層形成された金属蒸着膜に対して、ポリフッ化ビニリデンよりなる薄膜が、更に積層形成されて構成されることとなる。
【発明の効果】
【００１６】
要するに、本発明に従うコンデンサ用両面金属化フィルムの製造方法は、金属蒸着膜が積層形成されるべき樹脂フィルムとして、ポリプロピレンフィルムを用いているところから、最終的に得られる金属化フィルムにおいて、優れた電気的特性が確保され得る。また、使用されるポリプロピレンフィルムの一方の面に対して、予め、コロナ放電処理が施されているため、かかるポリプロピレンフィルムの一方の面において、高い表面濡れ性が確保されている。そして、ポリプロピレンフィルムの他方の面に対しても、表面濡れ性を高める表面改質処理が施されるため、かかる他方の面の表面濡れ性の向上も有利に図られ得る。
【００１７】
しかも、本発明手法は、一旦、ロールから巻き出されたポリプロピレンフィルムを再び巻回する前に、かかるポリプロピレンフィルムの予めコロナ放電処理された一方の面と、巻き出されてから表面改質処理が施された他方の面とに対して、金属蒸着膜をそれぞれ形成し、その後、両面に金属蒸着膜が形成されたポリプロピレンフィルムが再び巻回するものである。それ故、本発明手法では、例えば、両面に表面改質処理が施されたポリプロピレンフィルムを巻回してなるロールからポリプロピレンフィルムを巻き出して、かかるポリプロピレンフィルムの両面に金属蒸着膜を形成する場合とは異なって、金属蒸着膜の形成時にブロッキングが発生して、ロールからのポリプロピレンフィルムの巻出しが困難となったり、或いはポリプロピレンフィルムを巻き出す際にフィルム切れが生じたりすることが、全くない。
【００１８】
従って、かくの如き本発明に従うコンデンサ用両面金属化フィルムの製造方法によれば、優れた電気的特性を有すると共に、金属蒸着膜の付着力が大きな両面金属化フィルムが、樹脂フィルムの両面に対する金属蒸着膜の形成時にブロッキングを発生させることなく、極めて有利に製造され得るのである。そして、その結果として、電気的特性に優れるだけでなく、金属蒸着膜の剥離のない耐久性に富み、しかもフィルム欠陥のない安定した品質のフィルムコンデンサの提供が可能となるのである。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明手法に従って製造されたコンデンサ用金属化フィルムの一実施形態を示す断面説明図である。
【図２】図１に示されたコンデンサ用両面金属化フィルムを製造する際に用いられる両面金属化フィルム製造装置の一例を概略的に示す説明図である。
【図３】図２に示された両面金属化フィルム製造装置を用いて製造された両面金属化フィルムの金属蒸着膜上に、ポリフッ化ビニリデンの薄膜を更に積層形成する際に用いられる薄膜形成装置の一例を概略的に示す説明図である。
【図４】図３に示された薄膜形成装置が有するコーティング装置の一例を概略的に示す説明図である。
【図５】図１に示されたコンデンサ用両面金属化フィルムを製造する際に用いられる両面金属化フィルム製造装置の別の例を概略的に示す説明図である。
【図６】図１に示されたコンデンサ用両面金属化フィルムを製造する際に用いられる両面金属化フィルム製造装置の更に別の例を概略的に示す説明図である。
【図７】本発明手法に従って製造されたコンデンサ用金属化フィルムの別の実施形態を示す、図１に対応する図である。
【図８】図７に示されたコンデンサ用両面金属化フィルムを製造する際に用いられる両面金属化フィルム製造装置の他の例を概略的に示す説明図である。
【図９】図３に示された薄膜形成装置が有するコーティング装置の別の例を概略的に示す説明図である。
【図１０】図３に示された薄膜形成装置が有するコーティング装置の更に別の例を概略的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明を更に具体的に明らかにするために、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ、詳細に説明することとする。
【００２１】
先ず、図１には、本発明手法に従って製造されたコンデンサ用両面金属化フィルムの一例が、その縦断面形態において示されている。かかる図１から明らかなように、コンデンサ用両面金属化フィルム１０（以下、両面金属化フィルム１０と略称する）は、樹脂フィルムとしてのポリプロピレンフィルム１２の厚さ方向一方の面たる第一の表面１３ａに、第一金属蒸着膜１４ａが、その厚さ方向他方の面たる第二の表面１３ｂに、第二金属蒸着膜１４ｂが、それぞれ積層形成されて、構成されている。
【００２２】
ポリプロピレンフィルム１２は、両面金属化フィルム１０のベースとなるもので、ここでは、延伸フィルムからなり、１〜１０μｍ程度の薄い厚さを有している。また、かかるポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａと第二の表面１３ｂの両面には、コロナ放電処理が、それぞれ施されている。これにより、ポリプロピレンフィルム１２の第一及び第二の表面１３ａ，１３ｂに極性基が発生させられて、それら第一及び第二の表面１３ａ，１３ｂの表面濡れ性の向上がそれぞれ図られ、以て、第一及び第二金属蒸着膜１４ａ，１４ｂの第一及び第二表面１３ａ，１３ｂに対する付着性が、十分に大きくされている。
【００２３】
そのようなポリプロピレンフィルム１２の第一及び第二の表面１３ａ，１３ｂにそれぞれ積層形成される第一及び第二金属蒸着膜１４ａ，１４ｂは、ここでは、何れも、アルミニウムからなっている。それら第一及び第二金属蒸着膜１４ａ，１４ｂは、両面金属化フィルム１０を用いて作製されるフィルムコンデンサの内部電極として、公知の手法に従って、ポリプロピレンフィルム１２のコロナ放電処理された第一及び第二の表面１３ａ，１３ｂの両方に積層形成されるものである。つまり、第一及び第二金属蒸着膜１４ａ，１４ｂは、従来品と同様に、フィルムコンデンサの内部電極を形成する公知の金属材料（例えば、アルミニウムや亜鉛等）を蒸着材として用いて、ＰＶＤやＣＶＤの範疇に属する、従来から公知の真空蒸着法を実施することにより、ポリプロピレンフィルム１２の両方の面（第一及び第二の表面１３ａ，１３ｂ）上に成膜される。このような第一及び第二金属蒸着膜１４ａ，１４ｂの抵抗値は１〜５０Ω／ｃｍ2 程度とされ、また、その膜厚は、抵抗値等によって、適宜に決定される。
【００２４】
なお、ポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａの幅方向一端部（図１での左側端部）と、第二の表面１３ｂの幅方向他端部（図１での下面の右側端部）には、第一及び第二金属蒸着膜１４ａ，１４ｂが形成されていない金属非蒸着部分が、存在している。そして、そのようなポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａにおける金属非蒸着部分が、第一端部マージン１６ａとされ、また、第二の表面１３ｂにおける金属非蒸着部分が、第二端部マージン１６ｂとされている。これにより、それら第一及び第二端部マージン１６ａ，１６ｂが、ポリプロピレンフィルム１２の第一及び第二の表面１３ａ，１３ｂにおける幅方向の互いに異なる端部に対して、全長に亘って連続して延びる狭幅の帯状形態をもって、それぞれ形成されている。これら第一及び第二端部マージン１６ａ，１６ｂは、両面金属化フィルム１０を用いて作製されたフィルムコンデンサの第一及び第二金属蒸着膜１４ａ，１４ｂと、かかるフィルムコンデンサの互いに対向する一対の端面（両面金属化フィルム１０の幅方向両側に位置して、第一及び第二の表面１３ａ，１３ｂと隣り合う幅面であって、積層形フィルムコンデンサでは、両面金属化フィルム１０の幅方向両側に位置する一対の側面に相当する面で、巻回形フィルムコンデンサでは、軸方向両側に位置する一対の端面に相当する面）に形成される一対のメタリコン電極との非接続部として、それぞれ構成されるものである。
【００２５】
また、ポリプロピレンフィルム１２の第一及び第二の表面１３ａ，１３ｂに形成された第一及び第二金属蒸着膜１４ａ，１４ｂ上には、それぞれ、第一及び第二亜鉛蒸着膜１８ａ，１８ｂが、更に積層形成されている。それら第一及び第二亜鉛蒸着膜１８ａ，１８ｂは、各第一及び第二金属蒸着膜１４ａ，１４ｂにおける第一及び第二端部マージン１６ａ，１６ｂ側とは反対側の端部上において、ポリプロピレンフィルム１２の全長に亘って、長さ方向に連続して延びる狭幅の帯状形態を有している。これら第一及び第二亜鉛蒸着膜１８ａ，１８ｂは、ポリプロピレンフィルム１２における前記一対のメタリコン電極との接続側となる幅方向両端側に位置する第一金属蒸着膜１４ａ部分上や第二金属蒸着膜１４ｂ部分上に形成されることで、両面金属化フィルム１０を用いて作製されるフィルムコンデンサの一対の端面へのメタリコン電極の付着性向上を図るものである。このような第一及び第二亜鉛蒸着膜１８ａ，１８ｂの形成に際しては、亜鉛を蒸着材として用いた、ＰＶＤやＣＶＤの範疇に属する、従来から公知の真空蒸着法が、何れも採用可能である。また、第一及び第二亜鉛蒸着膜１８ａ，１８ｂの抵抗値は、特に限定されるものではないものの、一般には、２．５〜５．５Ω／ｃｍ2 程度とされる。また、それらの膜厚は、抵抗値等によって、適宜に決定される。
【００２６】
そして、ここでは、ポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａに形成された第一金属蒸着膜１４ａのポリプロピレンフィルム１２側とは反対側の面に対して、ポリフッ化ビニリデンからなる樹脂薄膜層２０が、更に積層形成されている。この樹脂薄膜層２０は、ポリプロピレンフィルム１２の幅方向両端部を除く部位に配置されている。即ち、樹脂薄膜層２０は、第一金属蒸着膜１４ａの幅方向一端部に形成された第一亜鉛蒸着膜１８ａ上と、その他端部に形成された第一端部マージン１６ａ上とには形成されることなく、ポリプロピレンフィルム１２の幅方向の中間部に位置するように形成されている。
【００２７】
そのような樹脂薄膜層２０を構成するポリフッ化ビニリデンは、ポリプロピレンよりも誘電率が高く且つ安価であるといった特徴を有している。そして、かかるポリフッ化ビニリデンからなる薄膜樹脂層２０は、後述するように、両面金属化フィルム１０の一つを巻回して、又は複数の両面金属化フィルム１０を互いに積層した積層体を巻回して得られる巻回形のコンデンサ素子において、或いはかかる積層体からなる積層形のコンデンサ素子において、ポリプロピレンフィルム１２と共に、誘電体として機能する。なお、複数の両面金属化フィルム１０を積層する際には、互いに積層されるべき両面金属化フィルム１０のうちの一方のものの樹脂薄膜層２０と、それらのうちの他方のものの第二金属蒸着膜１４ｂとが互いに重ね合わされるように配置されることとなる。
【００２８】
かくして、金属蒸着膜１６ａ上にポリフッ化ビニリデンからなる樹脂薄膜層２０が積層形成された両面金属化フィルム１０を用いて得られるコンデンサ端子においては、例えば、ポリプロピレンフィルム１２の第一及び第二の表面１３ａ，１３ｂに第一及び第二金属蒸着膜１４ａ，１４ｂが積層形成されるものの、ポリフッ化ビニリデンからなる樹脂薄膜層２０が形成されていない金属化フィルムとポリプロピレンフィルム１２とを互いに積層した積層体を用いて得られるコンデンサ素子、つまり、誘電体がポリプロピレンフィルム１２のみにて構成されたコンデンサ素子に比して、ポリフッ化ビニリデンからなる樹脂薄膜層２０において高い誘電率が確保されて、静電容量の増大が有利に図られ、また、誘電体の半分が安価なポリフッ化ビニリデンからなる樹脂薄膜層２０にて構成されることにより、低コスト化が効果的に図られるといった利点が得られる。
【００２９】
このようなポリフッ化ビニリデンからなる樹脂薄膜層２０の第一金属蒸着膜１４ａ上への形成に際しては、公知のコーティング法の従来手法が、適宜に採用される。また、かかる樹脂薄膜層２０の厚さは、何等限定されるものではないものの、好ましくは５μｍ以下とされる。何故なら、樹脂薄膜層２０が５μｍを超える厚さであると、乾燥時間が長くなり、設備サイズも大きくなるといった問題が生ずるからである。
【００３０】
そして、かくの如き構造を有する両面金属化フィルム１０は、図示されてはいないものの、上記のように、一つのものが、或いは互いに積層された複数のものが、巻回されることにより、巻回形のコンデンサ素子として、構成される。また、複数の両面金属化フィルム１０が互いに積層されることにより、積層形のコンデンサ素子として、構成される。そして、それら巻回形或いは積層形のコンデンサ素子に対して、一対のメタリコン電極が形成されることにより、フィルムコンデンサとして構成されるのである。なお、このようなフィルムコンデンサは、必要に応じて、コンデンサケース内に収容され、非導電性の封止材にて封止されることにより、ケースモールド型のフィルムコンデンサとして使用されることとなる。
【００３１】
ところで、上記の如き構造の両面金属化フィルム１０は、例えば、図２に示される構造を有する両面金属化フィルム製造装置２２を用いて、樹脂薄膜層２０が未形成の金属化フィルムを作製した後、図３に示される構造を備えた薄膜形成装置２３を用いて、かかる金属化フィルムに樹脂薄膜層２０を形成することにより、製造される。
【００３２】
図２から明らかなように、両面金属化フィルム製造装置２２は、所定大きさの真空槽２４を有している。この真空槽２４内には、その内側空間を三つに仕切る仕切壁２６が、複数個設けられている。そして、かかる真空槽２４内に仕切壁２６にて画成された三つの空間のうちの一つが、第一真空室２８とされている一方、それらのうちの二つが、第一真空室２８よりも容積の小さな第二真空室３０ａ，３０ｂとされている。
【００３３】
また、第一真空室２８と第二真空室３０ａ，３０ｂとには、それら各真空室２８，３０ａ，３０ｂの内側空間を外部に連通させる排気パイプ３２，３２，３２が、それぞれ接続されている。そして、それら各排気パイプ３２，３２，３２上には、排気手段としての真空ポンプ３４，３４，３４が、各々設けられている。かくして、第一真空室２８内の空気と第二真空室３０ａ，３０ｂ内の空気とが、三つの真空ポンプ３４，３４，３４の作動により、排気パイプ３２，３２，３２を通じて外部に排出されて、それら第一及び第二真空室２８，３０ａ，３０ｂ内が、それぞれ真空状態とされるようになっている。また、ここでは、それら三つの真空ポンプ３４，３４，３４の作動が、互いに独立して制御されるようになっており、それによって、二つの第二真空室３０ａ，３０ｂを同じ真空度で、且つ第一真空室２８を、それら二つの第二真空室３０ａ，３０ｂとは異なる真空度で、それぞれ真空状態とすることが可能となっている。これらのことから明らかなように、本実施形態では、排気パイプ３２と真空ポンプ３４とにて、排気手段が構成されている。
【００３４】
真空槽２４の第一真空室２８内には、巻出し機としての巻出しローラ３６と、巻取り機としての巻取りローラ３８とが、所定距離を隔てた位置に、互いに平行な回転軸回りに回転可能に設置されている。巻出しローラ３６は、ポリプロピレンフィルム１２が巻回されてなるフィルムロール４０が取り付けられるようになっており、巻取りローラ３８は、巻出しローラ３６に取り付けられたフィルムロール４０から巻き出されたポリプロピレンフィルム１２の先端部分が取り外し可能に取り付けられるようになっている。また、巻取りローラ３８は、例えば、図示しない電動モータ等によって回転駆動するようになっている。これにより、フィルムロール４０から巻き出されたポリプロピレンフィルム１２が、巻取りローラ３８の回転駆動に伴って、巻取りローラ３８にて巻き取られるようになっている。
【００３５】
なお、ここでは、フィルムロール４０を形成するポリプロピレンフィルム１２として、厚さ方向の一方の面たる第一の表面１３ａに対して、コロナ放電処理が、巻回される前に、予め施されて、かかる第一の表面１３ａの表面濡れ性が高められてなるものが用いられる。そして、そのようなポリプロピレンフィルム１２が、コロナ放電処理された第一の表面１３ａを外側面とするように巻回されて、フィルムロール４０が形成されている。
【００３６】
また、第一真空室２８内には、第一のローラとしての第一キャンローラ４２ａと、第二のローラとしての第二キャンローラ４２ｂとが、巻出しローラ３６や巻取りローラ３８の回転軸と平行な回転軸回りに回転可能に設置されている。第一キャンローラ４２ａは、巻出しローラ３６の設置個所の近傍に配置されており、第二キャンローラ４２ｂは、巻取りローラ３８の設置個所の近傍に配置されている。
【００３７】
それら第一及び第二キャンローラ４２ａ，４２ｂは、何れも、鉄等の金属製で、互いに同一径の円筒体からなり、図示しない電動モータ等により、同期して、回転駆動するようになっている。また、第一キャンローラ４２ａは、その外周部の一部分が、二つの第二真空室３０ａ，３０ｂのうちの一方の第二真空室３０ａと第一真空室２８とを仕切る仕切壁２６に設けられた窓部４４ａを通じて、第二真空室３０ａ内に突入している。一方、第二キャンローラ４２ｂも、その外周部の一部分が、他方の第二真空室３０ｂと第一真空室２８とを仕切る仕切壁２６に設けられた窓部４４ｂを通じて、第二真空室３０ｂ内に突入している。これにより、第一及び第二キャンローラ４２ａ，４２ｂの各外周面の一部が、第二真空室３０ａ，３０ｂ内にそれぞれ露呈して、配置されるようになっている。
【００３８】
第一及び第二キャンローラ４２ａ，４２ｂの内部には、冷却機構４６が、それぞれ設けられている。それらの冷却機構４６，４６は、何れも、例えば、冷却媒体の循環等によって、第一及び第二キャンローラ４２ａ，４２ｂの筒部の外周面を冷却する公知の構造を有している。
【００３９】
そして、巻出しローラ３６に取り付けられたフィルムロール４０から巻き出されたポリプロピレンフィルム１２が、巻取りローラ３８に巻き取られる前に、第一及び第二キャンローラ４２ａ，４２ｂの両方に対して、それぞれ巻き掛けられている。即ち、フィルムロール４０から巻き出されたポリプロピレンフィルム１２が、第一キャンローラ４２ａに巻き掛けられた後、第二キャンローラ４２ｂに巻き掛けられ、その後、巻取りローラ３８に取り付けられるようになっているのである。
【００４０】
また、ここでは、フィルムロール４０から巻き出されたポリプロピレンフィルム１２が、フィルムロール４０において外側面とされた、予めコロナ放電処理されたポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａを外側にして、第一キャンローラ４２ａに巻き掛けられるようになっている。そして、第一キャンローラ４２ａから送り出されたポリプロピレンフィルム１２は、第一キャンローラ４２ａの設置個所と第二キャンローラ４２ｂの設置個所との間に設置された複数のエキスパンダロール４８と、後述するコロナ放電処理装置７０の誘電体ロール７４に巻き掛けられており、それによって、予めコロナ放電処理された第一の表面１３ａとは反対の第二の表面１３ｂを外側にして、第二キャンローラ４２ｂに巻き掛けられるようになっている。
【００４１】
さらに、真空槽２４の第一真空室２８内には、第一の端部マスク部形成装置５０ａと第二の端部マスク部形成装置５０ｂとが設置されている。それら第一及び第二の端部マスク部形成装置５０ａ，５０ｂは、何れも、オイル蒸発源５２とノズル５４とバックアップロール５６とを備えた、互いに同一の構造を有している。オイル蒸発源５２は、ヒータ等の加熱装置を内蔵し、かかる加熱装置にて、金属付着防止剤としてのオイルを加熱して、蒸発させるようになっている。ノズル５４は、オイル蒸発源５２にて蒸発させられたオイルの蒸気を、一方向に狭い範囲で吹き出し得るように構成されている。バックアップロール５６は、ノズル５４によるオイルの吹出方向の前方側に配置されて、ポリプロピレンフィルム１２が巻き掛けられ得るように構成されている。また、このバックアップロール５６には、その外周面を冷却するための冷却機構５８が内蔵されている。
【００４２】
そして、第一の端部マスク部形成装置５０ａは、巻出しローラ３６の設置個所と第一キャンローラ４２ａの設置個所との間において、第一キャンローラ４２ａに巻き掛けられる前のポリプロピレンフィルム１２が、第一の表面１３ａを外側にしてバックアップロール５６に巻き掛けられるように配置されている。これにより、取出しローラ３６にてフィルムロール４０から巻き出されたポリプロピレンフィルム１２が第一キャンローラ４２ａに巻き掛けられる前に、かかるポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａの幅方向一端部に対して、第一の端部マスク部形成装置５０ａのノズル５４から吹き出されたオイルの蒸気が吹き付けられて、付着させられようになっている。
【００４３】
一方、第二の端部マスク部形成装置５０ｂは、第一キャンローラ４２ａの設置個所と第二キャンローラ４２ｂの設置個所との間において、第二キャンローラ４２ｂに巻き掛けられる前のポリプロピレンフィルム１２が、第二の表面１３ｂを外側にしてバックアップロール５６に巻き掛けられるように配置されている。これにより、第一キャンローラ４２ａから送り出されたポリプロピレンフィルム１２が第二キャンローラ４２ｂに巻き掛けられる前に、かかるポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂの幅方向他端部（ポリプロピレンフィルム１２の幅方向において、第一の端部マスク部形成装置５０ａのノズル５４にて蒸気が噴き出される端部側とは反対側の端部）に対して、第二のマスク部形成装置５０ｂのノズル５４から吹き出されたオイルの蒸気が吹き付けられて、付着させられるようになっている。
【００４４】
かくして、第一の端部マスク部形成装置５０ａが、第一キャンローラ４２ａに巻き掛けられる前のポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａの幅方向一端部に対して、第一金属蒸着膜１４ａの形成を阻止するオイルマスク（オイル蒸着膜）からなる第一端部マスク部を、ポリプロピレンフィルム１２の長さ方向に連続形成するように構成されている。また、この第一端部マスク部のポリプロピレンフィルム１２への形成位置が、前記した第一端部マージン１６ａのポリプロピレンフィルム１２への形成位置と対応した位置と為し得るようになっている。
【００４５】
一方、第二の端部マスク部形成装置５０ｂは、第二キャンローラ４２ｂに巻き掛けられる前のポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂの幅方向他端部に対して、金属蒸着膜１６ｂの形成を阻止するオイルマスク（オイル蒸着膜）からなる第二端部マスク部を、ポリプロピレンフィルム１２の長さ方向に連続形成するように構成されている。そして、この第二端部マスク部のポリプロピレンフィルム１２への形成位置が、前記した第二端部マージン１６ｂのポリプロピレンフィルム１２への形成位置と対応した位置と為し得るようになっている。
【００４６】
また、真空槽２６の第二真空室３０ａ内における第一キャンローラ４２ａの周囲には、第一の金属蒸着電極形成手段としての第一の金属蒸着電極形成装置６０ａと、亜鉛蒸着膜形成手段としての第一の亜鉛蒸着膜形成装置６２ａとが、第一キャンローラ４２ａに巻き掛けられるポリプロピレンフィルム１２の走向方向の上流側から下流側に向かって、上記の順番で、第一キャンローラ４２ａの周方向に、所定の間隔を隔てて並んで設置されている。更に、真空槽２６の第二真空室３０ｂ内における第二キャンローラ４２ｂの周囲にも、第二の金属蒸着電極形成手段としての第二の金属蒸着電極形成装置６０ｂと、第二の亜鉛蒸着膜形成装置６２ｂとが、第二キャンローラ４２ｂに巻き掛けられるポリプロピレンフィルム１２の走向方向の上流側から下流側に向かって、上記の順番で、第二キャンローラ４２ｂの周方向に、所定の間隔を隔てて並んで設置されている。
【００４７】
第一の金属蒸着電極形成装置６０ａと第二の金属蒸着膜形成装置６０ｂは、何れも、アルミニウムを蒸発させる金属蒸発源６４を備えた、互いに同一の構造を有している。この金属蒸発源６４は、ヒータ等の加熱装置を内蔵し、かかる加熱装置にてアルミニウムを加熱し、蒸発させて、第一キャンローラ４２ａや第二キャンローラ４２ｂに巻き掛けられたポリプロピレンフィルム１２の外側面に、かかるアルミニウムの蒸気を付着させ得る構造を有している。
【００４８】
かくして、第一の金属蒸着電極形成装置６０ａにあっては、第一キャンローラ４２ａに巻き掛けられたポリプロピレンフィルム１２の外側面となる第一の表面１３ａにおける第一端部マスク部の形成部位を除く部分に、第一金属蒸着電極１４ａを形成し得るようになっている。また、そのような第一金属蒸着膜１４ａの形成と同時に、ポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａにおける第一端部マスク部の形成部位を、第一端部マージン１６ａと為し得るようになっている。一方、第二の金属蒸着電極形成装置６０ｂは、第二キャンローラ４２ｂに巻き掛けられたポリプロピレンフィルム１２の外側面となる第二の表面１３ｂにおける第二端部マスク部の形成部位を除く部分に、第二金属蒸着電極１４ｂを形成し得るようになっている。また、そのような第二金属蒸着膜１４ｂの形成と同時に、ポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂにおける第二端部マスク部の形成部位を、第二端部マージン１６ｂと為し得るように構成されている。
【００４９】
第一の亜鉛蒸着膜形成装置６２ａと第二の亜鉛蒸着膜形成装置６２ｂは、何れも、亜鉛蒸発源６６とノズル６８とを備えた同一の構造を有している。亜鉛蒸発源６６は、ヒータ等の加熱装置を内蔵し、かかる加熱装置にて亜鉛を加熱して、蒸発させるようになっている。そして、第一の亜鉛蒸着膜形成装置６２ａのノズル６８は、第一の亜鉛蒸着膜形成装置６２ａの亜鉛蒸発源６６にて蒸発した亜鉛の蒸気を、第一キャンローラ４２ａに巻き掛けられるポリプロピレンフィルム１２の外側面の幅方向における第一端部マージン１６ａ側とは反対側の端部に向かって吹き出して、付着させるようになっている。また、第二の亜鉛蒸着膜形成装置６２ｂのノズル６８は、第二の亜鉛蒸着膜形成装置６２ｂの亜鉛蒸発源６６にて蒸発した亜鉛の蒸気を、第二キャンローラ４２ｂに巻き掛けられるポリプロピレンフィルム１２の外側面の幅方向における第二端部マージン１６ｂ側とは反対側の端部に向かって吹き出して、付着させるようになっている。
【００５０】
かくして、第一の亜鉛蒸着膜形成装置６２ａが、第一キャンローラ４２ａに巻き掛けられるポリプロピレンフィルム１２に形成された第一金属蒸着電極１４ａの第一端部マージン１６ａ側とは反対側の端部に、ポリプロピレンフィルム１２の長さ方向に連続して延びる第一亜鉛蒸着膜１８ａを形成し得るようになっている。また、第二の亜鉛蒸着膜形成装置６２ｂが、第二キャンローラ４２ｂに巻き掛けられるポリプロピレンフィルム１２に形成された第二金属蒸着電極１４ｂの第二端部マージン１６ｂ側とは反対側の端部に、ポリプロピレンフィルム１２の長さ方向に連続して延びる第二亜鉛蒸着膜１８ｂを形成し得るようになっている。
【００５１】
さらに、真空槽２４の第一真空室２８内における第一キャンローラ４２ａの設置個所と第二の端部マスク部形成装置５０ｂの設置個所との間には、表面改質処理手段としてのコロナ放電処理装置７０が、設置されている。コロナ放電処理装置７０は、コロナ放電電極（図示せず）を内蔵した装置本体７２と、この装置本体７２に内蔵のコロナ放電電極との間に微細な隙間を開けて、かかるコロナ放電電極に対応配置された誘電体ロール７４とを有し、それら装置本体７２内のコロナ放電電極と誘電体ロール７４との間でコロナ放電を生じさせる公知の構造を有している。そして、第一キャンローラ４２ａから送り出されたポリプロピレンフィルム１２が、かかるコロナ放電処理装置７０の誘電体ロール７４に、第二の表面１３ｂを外側にして巻き掛けられるようになっている。また、誘電体ロール７４は、図示しない電動モータ等によって回転駆動させられるようになっている。
【００５２】
かくして、コロナ放電処理装置７０が、第一キャンローラ４２ａにて送り出されてから、第二の端部マスク部形成装置５０ｂのバックアップロール５６ｂに巻き掛けられる前に、誘電体ロール７４に巻き掛けられたポリプロピレンフィルム１２を第二の端部マスク部形成装置５０ｂ側に徐々に送り出しつつ、ポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂに対してコロナ放電処理を施すようになっている。また、それにより、かかる第二の表面１３ｂの全面の表面濡れ性を高め得るように構成されている。
【００５３】
そして、かくの如き構造とされた両面金属化フィルム製造装置２２を用いて、両面金属化フィルム１０の製造工程を実施する際には、例えば、先ず、第一の表面１３ａに対してコロナ放電処理が予め施されたポリプロピレンフィルム１２を巻回してなるフィルムロール４０を巻出しローラ３６に取り付けて、フィルムロール４０からポリプロピレンフィルム１２の一部を巻き出す。
【００５４】
次に、フィルムロール４０から巻き出されたポリプロピレンフィルム１２を、第一の表面１３ａを外側にして、第一の端部マスク部形成装置５０ａのバックアップロール５６に巻き掛けた後、第一キャンローラ４２ａに、第一の表面１３ａを外側にして巻き掛ける。更に、かかるポリプロピレンフィルム１２を幾つかのエキスパンダロール４８と巻き掛けた後、コロナ放電処理装置７０の誘電体ロール７４に、第二の表面１３ｂを外側にして巻き掛ける。次いで、かかるポリプロピレンフィルム１２をエキスパンダロール４８に巻き掛けた後、第二の端部マスク部形成装置５０ｂのバックアップロール５６に、第二の表面１３ｂを外側にして巻き掛け、更に、それを第二キャンローラ４２ｂに、第二の表面１３ｂを外側にして巻き掛ける。そして、かかるポリプロピレンフィルム１２をエキスパンダロール４８に巻き掛けた後、ポリプロピレンフィルム１２の端部を巻取りローラ３８に取り付ける。
【００５５】
また、そのようなポリプロピレンフィルム１２の巻き掛け操作を行う一方で、第一及び第二キャンローラ４２ａ，４２ｂに内蔵の冷却機構４６，４６や第一及び第二の端部マスク部形成装置５０ａ，５０ｂの各バックアップロール５６に内蔵された冷却機構５８，５８を作動させて、第一及び第二キャンローラ４２ａ，４２ｂや各バックアップロール５６の外周面を冷却する。それらの冷却機構４６，４６，５８，５８による冷却温度は、特に限定されるものではないものの、一般に、−１５〜−５℃程度とされる。
【００５６】
次に、真空槽２４の第一真空室２８と第二真空室３０ａ，３０ｂとにそれぞれ接続された排気パイプ３２，３２，３２上の真空ポンプ３４，３４，３４を各々作動させる。これにより、第一真空室２８内と第二真空室３０ａ，３０ｂ内の空気を排出して、それら第一及び第二真空室２８，３０ａ，３０ｂ内を真空状態とする。このとき、好適には、第一真空室２８の内圧が、１０-1〜１Ｐａ程度とされ、また、第二真空室３０ａ，３０ｂの内圧が、第一真空室２８の内圧よりも低い５×１０-2Ｐａ程度とされる。
【００５７】
その後、巻取りローラ４０と第一及び第二キャンローラ４２ａ，４２ｂとコロナ放電処理装置７０の誘電体ロール７４とをそれぞれ回転駆動させて、フィルムロール４０からポリプロピレンフィルム１２を次々と巻き出しながら、かかるポリプロピレンフィルム１２を、第一及び第二キャンローラ４２ａ，４２ｂや誘電体ロール７４の周方向一方側（図２の矢印方向）に向かって走向させる。また、その一方で、第一及び第二の端部マスク部形成装置５０ａ，５０ｂと、第一及び第二の金属蒸着膜形成装置６０ａ，６０ｂと第一及び第二の亜鉛蒸着膜形成装置６２ａ，６２ｂとコロナ放電処理装置７０の装置本体７２とを作動させる。
【００５８】
これにより、フィルムロール４０から巻き出されたポリプロピレンフィルム１２が第一キャンローラ４２ａに巻き掛けられる前に、第一真空室２８内において、先ず、かかるポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａに対して、第一端部マスク部を、第一の端部マスク部形成装置５０ａにて形成する。
【００５９】
次に、第二真空室３０ａ内において、第一キャンローラ４２ａに巻き掛けられたポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａに対して、第一金属蒸着膜１４ａを、第一の金属蒸着膜形成装置６０ａにて形成すると同時に、第一端部マスク部を第一端部マージン１６ａと為す。その後、かかる第一金属蒸着膜１４ａの幅方向における第一端部マージン１６ａ側とは反対の端部側に、第一亜鉛蒸着膜１８ａを積層形成する。
【００６０】
このとき、第二真空室３０ａの内圧が、第一真空室２８の内圧よりも低くされているため、第一金属蒸着膜１４ａや第一亜鉛蒸着膜１８ａを形成するアルミニウムの蒸気や亜鉛の蒸気が、第二真空室３０ａから第一真空室２８内に侵入することが有利に防止される。また、第一の端部マスク部形成装置５０ａのバックアップロール５６と第一キャンローラ４２ａの外周面が、それらに内蔵された冷却機構５８，４６にて冷却されていることで、バックアップロール５６と第一キャンローラ４２ａに巻き掛けられたポリプロピレンフィルム１２が冷却されるようになっている。これにより、第一端部マスク部と第一金属蒸着膜１４ａと第一亜鉛蒸着膜１８ａの形成時において、ポリプロピレンフィルム１２のオイル蒸気やアルミニウム蒸気、亜鉛蒸気との接触による熱ダメージの発生が、有利に防止される。
【００６１】
次いで、第一金属蒸着膜１４ａと第一端部マージン１６ａと第一亜鉛蒸着膜１８ａとが第一の表面１３ａに形成されたポリプロピレンフィルム１２が第二のキャンローラ４２ｂに巻き掛けられる前に、第一真空室２８内において、かかるポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂの全面に対して、コロナ放電処理装置７０によるコロナ放電処理を実施する。これにより、ポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂの全面を改質して、その表面濡れ性を向上させる。そして、それに引き続いて、ポリプロピレンフィルム１２が第二のキャンローラ４２ｂに巻き掛けられる前に、第一真空室２８内において、ポリプロピレンフィルム１２のコロナ放電処理された第二の表面１３ｂに対して、第二端部マスク部を、第二の端部マスク部形成装置５０ｂにて形成する。
【００６２】
その後、第二真空室３０ａ内において、第二キャンローラ４２ｂに巻き掛けられたポリプロピレンフィルム１２のコロナ放電処理された第二の表面１３ｂに対して、第二金属蒸着膜１４ｂを、第二の金属蒸着膜形成装置６０ｂにて形成すると同時に、第二端部マスク部を第二端部マージン１６ｂと為す。引き続き、かかる第二金属蒸着膜１４ｂの幅方向における第二端部マージン１６ｂ側とは反対の端部側に、第二亜鉛蒸着膜１８ｂを積層形成する。
【００６３】
このとき、第二真空室３０ｂの内圧が、第一真空室２８の内圧よりも低くされているため、第二金属蒸着膜１４ｂや第二亜鉛蒸着膜１８ｂを形成するアルミニウムの蒸気や亜鉛の蒸気が、第二真空室３０ｂから第一真空室２８内に侵入することが有利に防止される。また、第二の端部マスク部形成装置５０ｂのバックアップロール５６と第二キャンローラ４２ｂの外周面が、それらに内蔵された冷却機構５８，４６にて冷却されていることで、バックアップロール５６と第二キャンローラ４２ｂに巻き掛けられたポリプロピレンフィルム１２が冷却されるようになっている。これにより、第二端部マスク部と第二金属蒸着膜１４ｂと第二亜鉛蒸着膜１８ｂの形成時において、ポリプロピレンフィルム１２のオイル蒸気やアルミニウム蒸気、亜鉛蒸気との接触による熱ダメージの発生が、有利に防止される。
【００６４】
かくして、予めコロナ放電処理された第一の表面１３ａに、第一金属蒸着膜１４ａと第一端部マージン１６ａと第一亜鉛蒸着膜１８ａとが形成される一方、コロナ放電処理装置７０にてコロナ放電処理された第二の表面１３ｂに、第二金属蒸着膜１４ｂと第二端部マージン１６ｂと第二亜鉛蒸着膜１８ｂとが形成されたポリプロピレンフィルム１２、即ち、樹脂薄膜層２０が未形成である両面金属化フィルム７６を作製する。そして、そのような樹脂薄膜層２０が未形成の両面金属化フィルム７６を巻取りローラ３８にて巻き取って、樹脂薄膜層２０が未形成の両面金属化フィルムロール７８を得る。
【００６５】
一方、薄膜形成装置２３は、図３に示されるように、巻出し機としての巻出しローラ８０と、巻取り機としての巻取りローラ８２とを有している。それら巻出しローラ８０と巻取りローラ８２は、所定距離を隔てた箇所において、互いに平行な回転軸回りに回転可能に配置されている。また、巻出しローラ８０の設置個所と巻取りローラ８２の設置個所との間には、複数のエキスパンダロール８４が設置されている。
【００６６】
巻出しローラ８０は、前記した両面金属化フィルム製造装置２２にて製造された樹脂薄膜層２０が未形成の両面金属化フィルムロール７８が取り付けられるようになっており、巻取りローラ８２は、巻出しローラ８０に取り付けられた両面金属化フィルムロール７８から巻き出された両面金属化フィルム７６の先端部分が取り外し可能に取り付けられるようになっている。また、巻取りローラ８２は、例えば、図示しない電動モータ等によって回転駆動するようになっている。更に、複数のエキスパンダロール８４は、何れも、両面金属化フィルムロール７８から巻き出された両面金属化フィルム７６が巻き掛けられて、かかる両面金属化フィルム７６に対して、適当なテンションを加え得るようになっている。これにより、両面金属化フィルムロール７８から巻き出された両面金属化フィルム７６が、巻取りローラ８２の回転駆動に伴って、複数のエキスパンダロール８４に巻き掛けられた状態で、一方向（図３の矢印方向）に走向し、巻取りローラ８２にて巻き取られるようになっている。
【００６７】
また、薄膜形成装置２３は、コーティング装置８６と乾燥装置８８とを有している。それらコーティング装置８６と乾燥装置８８は、巻出しローラ８０の設置個所と巻取りローラ８２の設置個所との間に、両面金属化フィルム７６の走向方向の上流側から下流側に向かって、その順番に並んで配置されている。
【００６８】
コーティング装置８６は、従来のコーティング方式を実施可能な公知の構造を有し、ここでは、キス・リバースグラビア方式を実施可能な構造を有している。即ち、図４に示されるように、コーティング装置８６は、メッシュ状の外周面を有する転写ロール９０と、ポリフッ化ビニリデン溶液９２が収容される溶液槽９４とを備えている。転写ロール９０は、溶液槽９４内のポリフッ化ビニリデン溶液９２中に、外周面の一部を浸漬する一方、外周面の別の一部を、二つのエキスパンダローラ８４間を走向する両面金属化フィルム７６の第一の表面１３ａに接触させた状態で、配置されている。
【００６９】
そして、かかるコーティング装置８６にあっては、両面金属化フィルム７６の走向に伴って、転写ロール９０の外周面に付着したポリフッ化ビニリデン溶液９２を、両面金属化フィルム７６の第一の表面１３ａに積層形成された第一金属蒸着膜１４ａ上に転写し、それによって、ポリフッ化ビニリデン溶液９２のコーティング層を、第一金属蒸着膜１４ａ上に形成し得るように構成されている。なお、転写ロール９０は、そのロール長さが、両面金属化フィルム７６の幅よりも所定寸法だけ短い長さとされている。一方、乾燥装置８８は、ヒータ等の加熱装置を有する公知の構造とされている。
【００７０】
そして、このような薄膜形成装置２３を用いて、両面金属化フィルム７６に樹脂薄膜層２０を形成する工程を実施する際には、例えば、先ず、両面金属化フィルムロール７８を巻出しローラ８０に取り付けて、両面金属化フィルムロール７８から、樹脂薄膜層２０が未形成の両面金属化フィルム７６の一部を巻き出す。
【００７１】
次に、両面金属化フィルムロール７８から巻き出された両面金属化フィルム７６を、第一金属蒸着膜１４ａの形成面たる第一の表面１３ａがコーティング装置８６の転写ロール９０と接触するようにコーティング装置８６内を通過させて、セットすると共に、複数のエキスパンダロール８４に巻き掛け、更に、乾燥装置８８内を一方向に走向するようにセットする。そして、乾燥装置８８内から送り出された両面金属化フィルム７６を、巻取りローラ８２に取り付ける。また、そのような両面金属化フィルム７６の巻き掛け操作を行う一方で、乾燥装置８８を作動させて、乾燥装置８８内の温度を予め設定された温度にまで加熱する。
【００７２】
その後、巻取りローラ８２を回転駆動させて、両面金属化フィルムロール７８から巻き出される両面金属化フィルム７６を、巻出しローラ８０側から、コーティング装置８６内と乾燥装置８８内とを通過させつつ、巻取りローラ８２側の一方向に走向させる。
【００７３】
かくして、両面金属化フィルムロール７８から巻き出される両面金属化フィルム７６の第一の表面１３ａに積層された第一金属蒸着膜１４ａ上に、ポリフッ化ビニリデンのコーティング層を、コーティング装置８６にて、必要な厚さで形成した後、このコーティング層を乾燥装置８８にて乾燥、固化させる。これにより、かかる第一金属蒸着膜１４ａ上に、ポリフッ化ビニリデンからなる樹脂薄膜層２０を形成して、図１に示される如き構造を有する、目的とする両面金属化フィルム１０を得る。その後、かくして得られた両面金属化フィルム１０を巻取りローラ８２にて巻き取って、両面金属化フィルム１０のロールを得るのである。
【００７４】
このように、本実施形態では、ポリプロピレンフィルム１２をベースフィルムとして用いて、両面金属化フィルム１０が形成されるようになっているところから、かかる両面金属化フィルム１０において、ポリプロピレンフィルム１２特有の優れた電気的特性、例えば、誘電損失が小さい、耐電圧が高い、誘電率の温度変化や周波数変化が小さい等の優れた電気的特性が十分に確保され得る。
【００７５】
また、そのようなポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａと第二の表面１３ｂの両面に対してコロナ放電処理されて、それらの表面濡れ性が高められた上で、第一及び第二の表面１３ａ，１３ｂ上に、第一及び第二金属蒸着膜１４ａ，１４ｂがそれぞれ形成されている。それによって、ポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａと第二の表面１３ｂの両面に対する第一及び第二金属蒸着膜１４ａ，１４ｂの付着力の増大が効果的に図られている。
【００７６】
そして、本実施形態では、第一の表面１３ａに予めコロナ放電処理されたポリプロピレンフィルム１２が、フィルムロール４０から巻き出された後、巻取りローラ４０にて巻き取られる前に、かかる巻出し状態において、ポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａに第一金属蒸着膜１４ａが形成される一方、第二の表面１３ｂに対して、コロナ放電処理を施した上で、第二金属蒸着膜１４ｂが形成されるようになっている。それ故、例えば、両面にコロナ放電処理が予め施されたポリプロピレンフィルムを巻回してなるロールからポリプロピレンフィルムを巻き出して、かかるポリプロピレンフィルムの両面に金属蒸着膜を形成する場合とは異なって、第一及び第二金属蒸着膜１４ａ，１４ｂの形成時にブロッキングが発生して、フィルムロール４０からのポリプロピレンフィルム１２の巻出しが困難となったり、或いはポリプロピレンフィルム１２を巻き出す際にフィルム切れが生じたりすることが、全くない。
【００７７】
しかも、本実施形態では、第一の表面１３ａに対してコロナ放電処理が予め施されてなるポリプロピレンフィルム１２のフィルムロール４０が用いられているため、ポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａに対するコロナ放電処理を行う手間が有利に省かれ得る。それによって、第一の表面１３ａと第二の表面１３ｂの両面に対してコロナ放電処理等の表面改質処理が何等施されていないポリプロピレンフィルムを用いて、目的とする両面金属化フィルム１０を製造する場合に比して、製造サイクルの短縮化と生産効率の向上とが、有利に図られ得る。
【００７８】
従って、かくの如き本実施形態によれば、優れた電気的特性を有すると共に、ポリプロピレンフィルム１２に対する第一金属蒸着膜１４ａ，１４の付着力が大きな両面金属化フィルム１０を、ポリプロピレンフィルム１２の第一及び第二の表面１３ａ，１３ｂの両面に対する第一及び第二金属蒸着膜１４ａ，１４ｂの形成時にブロッキングを発生させることなしに、極めて有利に且つ効率的に製造することができる。そして、その結果として、電気的特性に優れるだけでなく、金属蒸着膜の剥離のない耐久性に富み、しかもフィルム欠陥のない安定した品質のフィルムコンデンサの提供が可能となるのである。
【００７９】
また、本実施形態では、ポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａに積層された第一金属蒸着膜１４ａ上に、ポリプロピレンフィルム１２よりも誘電率が高く且つ安価なポリフッ化ビニリデンからなる樹脂薄膜層２０を更に積層形成している。それ故、目的とする両面金属化フィルム１０、更にはそれを用いて得られるフィルムコンデンサの静電容量を、低いコストで、より効果的に且つ十分に高めることができるのである。
【００８０】
以上、本発明の具体的な構成について詳述してきたが、これはあくまでも例示に過ぎないのであって、本発明は、上記の記載によって、何等の制約をも受けるものではない。
【００８１】
例えば、前記第一の実施形態では、フィルムロール４０からポリプロピレンフィルム１２を巻き出した後、先ず、かかるポリプロピレンフィルム１２のコロナ放電処理が予め施された第一の表面１３ａに対して、第一金属蒸着膜１４ａと第一端部マージン１６ａと第一亜鉛蒸着膜１８ａとを形成し、その後、第二の表面１３ｂに対して、コロナ放電処理を施し、更に、第二金属蒸着膜１４ｂと第二端部マージン１６ｂと第二亜鉛蒸着膜１８ｂとを、第二の表面１３ｂに形成していた。しかしながら、第二の表面１３ｂに対する第二金属蒸着膜１４ｂと第二端部マージン１６ｂと第二亜鉛蒸着膜１８ｂの形成工程は、第二の表面１３ｂに対するコロナ放電処理工程を実施した後に行う必要があるものの、第一の表面１３ａに対する第一金属蒸着膜１４ａと第一端部マージン１６ａと第一亜鉛蒸着膜１８ａの形成工程は、第二の表面１３ｂに対するコロナ放電処理工程と、第二の表面１３ｂに対する第二金属蒸着膜１４ｂと第二端部マージン１６ｂと第二亜鉛蒸着膜１８ｂの形成工程の間に行っても良く、或いは第二の表面１３ｂに対する第二金属蒸着膜１４ｂと第二端部マージン１６ｂと第二亜鉛蒸着膜１８ｂの形成工程の実施後に行っても良い。
【００８２】
第一の表面１３ａに対する第一金属蒸着膜１４ａと第一端部マージン１６ａと第一亜鉛蒸着膜１８ａの形成工程を、第二の表面１３ｂに対するコロナ放電処理工程と、第二の表面１３ｂに対する第二金属蒸着膜１４ｂと第二端部マージン１６ｂと第二亜鉛蒸着膜１８ｂの形成工程の間に行う場合には、例えば、図５に示される如き構造を有する両面金属化フィルム製造装置９６が、好適に用いられる。なお、この両面金属化フィルム製造装置９６は、前記第一の実施形態において用いられる両面金属化フィルム製造装置２２に対して、真空槽２４内でのコロナ放電処理装置７０の設置位置のみが異なる構造を有している。それ故、図５に示される両面金属化フィルム製造装置９６に関しては、図２に示される両面金属化フィルム製造装置２２と同様な構造とされた部材及び部位について、図２と同一の符号を付すことにより、詳細な説明を省略する。また、後述する図６や図８に示される両面金属化フィルム製造装置に関しても、同様とする。
【００８３】
図５から明らかなように、両面金属化フィルム製造装置９６においては、真空槽２４の第一真空室２８内での巻出しローラ３６の設置個所と第一の端部マスク部形成装置５０ａの設置個所との間に、コロナ放電処理装置７０が設置されている。そして、フィルムロール４０から巻き出されたポリプロピレンフィルム１２が、第一の端部マスク部形成装置５０ａのバックアップロール５６に巻き掛けられる前に、コロナ放電処理装置７０の誘電体ロール７４に対して、第二の表面１３ｂを外側にして、巻き掛けられるようになっている。また、第一キャンローラ４２ａから送り出されたポリプロピレンフィルム１２が、第二の端部マスク部形成装置５０ｂのバックアップロール５６と第二キャンローラ４２ｂとに対して、第二の表面１３ｂを外側にして巻き掛けられるようになっている。
【００８４】
このような構造の両面金属化フィルム製造装置９６を用いて、樹脂薄膜層２０が未形成の両面金属化フィルム７６を製造する工程を実施する際には、第一真空室２８内において、先ず、フィルムロール４０から巻き出されたポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂに対して、コロナ放電処理を、コロナ放電処理装置７０にて実施する。これにより、かかる第二の表面１３ｂの全面を表面改質して、その表面濡れ性を高める。次いで、第一の端部マスク部形成装置５０ａと第一の金属蒸着膜形成装置６０ａと第一の亜鉛蒸着膜形成装置６２ａとよって、フィルムロール４０から巻き出されたポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａに対して、第一金属蒸着膜１４ａと第一端部マージン１６ａと第一亜鉛蒸着膜１８ａとを形成する。その後、第二の端部マスク部形成装置５０ｂと第二の金属蒸着膜形成装置６０ｂと第二の亜鉛蒸着膜形成装置６２ｂとよって、フィルムロール４０から巻き出されたポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂに対して、第二金属蒸着膜１４ｂと第二端部マージン１６ｂと第二亜鉛蒸着膜１８ｂとを形成する。これによって、樹脂薄膜層２０が未形成の両面金属化フィルム７６を得るのである。
【００８５】
本実施形態においても、第一の表面１３ａに対するコロナ放電処理が予め施されたポリプロピレンフィルム１２のフィルムロール４０が用いられていると共に、そのようなフィルムロール４０からポリプロピレンフィルム１２を巻き出して、それを巻き取る前に、第一の表面１３ａに対する第一金属蒸着膜１４ａの形成工程と、第二の表面１３ｂに対するコロナ放電処理工程及び第二金属蒸着膜１４ｂの形成工程とが実施されるようになっている。従って、本実施形態によっても、前記第一の実施形態において奏される作用・効果と実質的に同一の作用・効果が、有効に享受され得る。
【００８６】
また、第一の表面１３ａに対する第一金属蒸着膜１４ａと第一端部マージン１６ａと第一亜鉛蒸着膜１８ａの形成工程を、第二の表面１３ｂに対する第二金属蒸着膜１４ｂと第二端部マージン１６ｂと第二亜鉛蒸着膜１８ｂの形成工程の実施後に行う場合には、例えば、図６に示される如き構造を有する両面金属化フィルム製造装置９８が、好適に用いられる。
【００８７】
図６から明らかなように、両面金属化フィルム製造装置９８においては、真空槽２４の第一真空室２８内での巻出しローラ３６の設置個所と第二の端部マスク部形成装置５０ｂの設置個所との間に、コロナ放電処理装置７０が設置されている。また、第二キャンローラ４２ｂとその周囲に配置された第二の金属蒸着膜形成装置６０ｂ及び第二の亜鉛蒸着膜形成装置６２ｂとが、第一キャンローラ４２ａの設置個所と巻取りローラ３８の設置個所の間に設置されている。更に、第二の端部マスク部形成装置５０ｂが、第一キャンローラ４２ａの設置個所と第二キャンローラ４２ｂの設置個所の間に設置されている。
【００８８】
そして、フィルムロール４０から巻き出されたポリプロピレンフィルム１２が、第一の端部マスク部形成装置５０ａのバックアップロール５６に巻き掛けられる前に、コロナ放電処理装置７０の誘電体ロール７４と、第二の端部マスク部形成装置５０ｂのバックアップロール５６と、第二キャンローラ４２ｂとに対して、その順番で、第二の表面１３ｂを外側にした状態で、順次、巻き掛けられるようになっている。また、第二キャンローラ４２ｂから送り出されたポリプロピレンフィルム１２が、第一の端部マスク部形成装置５０ａのバックアップロール５６と第一キャンローラ４２ａとに対して、第一の表面１３ａを外側にして巻き掛けられるようになっている。
【００８９】
このような構造の両面金属化フィルム製造装置９８を用いて、樹脂薄膜層２０が未形成の両面金属化フィルム７６を製造する工程を実施する際には、第一真空室２８内において、先ず、フィルムロール４０から巻き出されたポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂに対して、コロナ放電処理をコロナ放電処理装置７０にて実施する。その後、コロナ放電処理されたポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂに対して、第二金属蒸着膜１４ｂと第二端部マージン１６ｂと第二亜鉛蒸着膜１８ｂとを、第二の端部マスク部形成装置５０ｂと第二の金属蒸着膜形成装置６０ｂと第二の亜鉛蒸着膜形成装置６２ｂとにて、形成する。その後、第二キャンローラ４２ｂから送り出されたポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａに対して、第一金属蒸着膜１４ａと第一端部マージン１６ａと第一亜鉛蒸着膜１８ａとを、第一の端部マスク部形成装置５０ａと第一の金属蒸着膜形成装置６０ａと第一の亜鉛蒸着膜形成装置６２ａとにて形成する。これによって、樹脂薄膜層２０が未形成の両面金属化フィルム７６を得るのである。
【００９０】
本実施形態においても、第一の表面１３ａに対するコロナ放電処理が予め施されたポリプロピレンフィルム１２のフィルムロール４０が用いられていると共に、そのようなフィルムロール４０からポリプロピレンフィルム１２を巻き出して、それを巻き取る前に、第一の表面１３ａに対する第一金属蒸着膜１４ａの形成工程と、第二の表面１３ｂに対するコロナ放電処理工程及び第二金属蒸着膜１４ｂの形成工程とが実施されるようになっている。従って、本実施形態によっても、前記第一の実施形態において奏される作用・効果と実質的に同一の作用・効果が、有効に享受され得る。
【００９１】
また、ポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂに対する表面改質処理工程は、第二の表面１３ｂの表面濡れ性を向上させ得るものであれば、前記第一の実施形態において採用されるコロナ放電処理工程以外の処理工程を採用することもできる。そのような表面改質処理には、例えば、プラズマ処理や、グロー放電処理、紫外線照射処理、或いは極性基を有する樹脂（ポリマー）の蒸着膜を形成する処理等が、挙げられる。
【００９２】
上記に例示された幾つかの表面改質処理のうち、極性基を有する樹脂の蒸着膜を形成する処理を実施する場合には、両面金属化フィルム１０が、例えば、図７に示される如き構造とされる。即ち、図７から明らかなように、かかる両面金属化フィルム１０は、ポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂに対して、極性基を有する樹脂の蒸着膜からなる被覆樹脂層１００が、第二の表面１３ｂの全面を被覆するように積層形成されて、構成される。これにより、ポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂに極性基が存在させられて、かかる第二の表面１３ｂの表面濡れ性の向上が図られる。
【００９３】
被覆樹脂層１００を構成する樹脂材料の種類は、ポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂ上に積層形成された状態で、極性基を有するものであれば、何等限定されない。また、かかる被覆樹脂層１００の形成方法も、特に限定されるものではない。例えば、ジヒドロシクロペンタジエチルアクリレート（ＤＣＰＡ）のモノマーに公知の重合開始剤を混合した混合物を蒸発させて、ポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂ上に付着させ、それを加熱により重合させることにより、被覆樹脂層１００を形成する方法や、極性基を有する樹脂の溶液をポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂ上に吹き付ける等して、付着させ、その後、それを乾燥、固化させることによって、被覆樹脂層１００を形成する方法等が、適宜に採用される。
【００９４】
ポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂに被覆樹脂層１００が積層形成されてなる両面金属化フィルム１００を製造する場合には、例えば、図８に示される如き構造を有する両面金属化フィルム製造装置１０２が、好適に用いられる。
【００９５】
図８から明らかなように、両面金属化フィルム製造装置１０２は、真空槽２４の第一真空室２８内に、コロナ放電処理装置（７０）に代えて、被覆樹脂層形成装置１０４が設置されている。この被覆樹脂層形成装置１０４は、ヒータ等の加熱装置を内蔵し、かかる加熱装置にて、ＤＣＰＡと重合開始剤の混合物を蒸発させる蒸発源１０６と、電子ビーム照射器１０８と、冷却機構１１０を内蔵したバックアップロール１１２とを有している。そして、第一キャンローラ４２ａから送り出されたポリプロピレンフィルム１２が、バックアップロール１１２に対して、第二の表面１３ｂを外側にして巻き掛けられるようになっている。
【００９６】
このような構造の両面金属化フィルム製造装置１０２を用いて、樹脂薄膜層２０が未形成の両面金属化フィルム７６を製造する工程を実施する際には、先ず、フィルムロール４０から巻き出されたポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａに対して、第一金属蒸着膜１４ａと第一端部マージン１６ａと第一亜鉛蒸着膜１８ａとを、第一の端部マスク部形成装置５０ａと第一の金属蒸着膜形成装置６０ａと第一の亜鉛蒸着膜形成装置６２ａとにて形成する。
【００９７】
次いで、第一キャンローラ４２ａから送り出されて、被覆樹脂層形成装置１０４のバックアップロール１１２に巻き掛けられたポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂに対して、被覆樹脂層形成装置１０４の蒸発源１０６にて蒸発させられたＤＣＰＡと重合開始剤の混合物の蒸気を付着させる。その後、第二の表面１３ｂに付着したＤＣＰＡと重合開始剤の混合物に対して、電子ビーム照射器１０８からの電子ビームを照射する。それにより、ＤＣＰＡを重合して、第二の表面１３ｂに被覆樹脂層１００を形成する。そうして、第二の表面１３ｂの表面改質処理を行って、その表面濡れ性を向上させる。このとき、バックアップロール１１２に巻き掛けられたポリプロピレンフィルム１２は、バックアップロール１１２に内蔵の冷却機構１１０にて冷却されるため、熱ダメージを受けることがない。
【００９８】
引き続き、被覆樹脂層１００が形成されたポリプロピレンフィルム１２の第二の表面１３ｂに対して、第二金属蒸着膜１４ｂと第二端部マージン１６ｂと第二亜鉛蒸着膜１８ｂとを、第二の端部マスク部形成装置５０ｂと第二の金属蒸着膜形成装置６０ｂと第二の亜鉛蒸着膜形成装置６２ｂとにて形成する。
【００９９】
なお、真空槽２４内に、被覆樹脂層形成装置１０４をコロナ放電処理装置７０に代えて設置する場合には、前記幾つかの実施形態において用いられる両面金属化フィルム製造装置９６，９８におけるコロナ放電処理装置７０の設置箇所に、かかるコロナ放電処理装置７０の代わりに被覆樹脂層形成装置１０４を設置しても良い。
【０１００】
また、薄膜形成装置２３が有するコーティング装置８６の構造も、適宜に変更可能である。例えば、図９に示される如きバー方式のコーティングが可能な構造や、図１０に示される如き減圧付ダイ方式のコーティングが可能な構造も採用可能である。なお、図９及び図１０に示されるコーティング装置１１４，１１６に関しては、図４に示されるコーティング装置８６と同様な構造とされた部材及び部位について、図４と同一の符号を付すことにより、その詳細な説明を省略する。
【０１０１】
すなわち、図９に示されるコーティング装置１１４は、外周面にピアノ線等の線材が巻き付けられてなる転写ロール９０と、ポリフッ化ビニリデン溶液９２が収容される溶液槽９４と、ブレード１１８とを備えている。かかるコーティング装置８６にあっては、両面金属化フィルム７６の走向に伴って、転写ロール９０の外周面に付着したポリフッ化ビニリデン溶液９２を、両面金属化フィルム７６の第一の表面１３ａに積層形成された第一金属蒸着膜１４ａ上に転写し、そして、第一の表面１３ａに付着したポリフッ化ビニリデン溶液９２の余剰量をブレード１１８にて掻き取るようになっている。これにより、第一金属蒸着膜１４ａ上に、ポリフッ化ビニリデン溶液９２のコーティング層を必要な厚さで形成し得るように構成されている。
【０１０２】
また、図１０に示されるコーティング装置１１６は、図示しない真空ポンプ等にて減圧される減圧室１２０と、この減圧室１２０内に外周面の一部を露呈させて、配置されたバックアップロール１２２と、かかるバックアップロール１２２の外周面に向かってポリフッ化ビニリデン溶液９２を吐出させる吐出装置１２４とを有している。そして、このようなコーティング装置１１６においては、減圧室１２０内を所定の減圧状態とした上で、バックアップロール１２２に巻き掛けられた両面金属化フィルム７６の第一金属蒸着膜１４ａ上に、ポリフッ化ビニリデン溶液９２を吹き付け、これにより、第一金属蒸着膜１４ａ上に、ポリフッ化ビニリデン溶液９２のコーティング層を必要な厚さで形成し得るようになっている。このとき、減圧室１２０内が減圧されているため、吐出装置１２４から吐出したポリフッ化ビニリデン溶液９２は、減圧室１２０の外部に飛散することがない。
【０１０３】
なお、上記のようにして、ポリプロピレンフィルム１２（両面金属化フィルム７６）に形成される、ポリフッ化ビニリデンからなる樹脂薄膜層２０は、ポリプロピレンフィルム１２の第一の表面１３ａに積層形成された第一金属蒸着膜１４ａ上のみだけでなく、かかる第一の金属蒸着膜１４ａ上と、第二の表面１３ｂ上に積層形成された第二金属蒸着膜１４ｂ上の両方に設けても良い。
【０１０４】
その他、一々列挙はしないが、本発明は、当業者の知識に基づいて種々なる変更、修正、改良等を加えた態様において実施され得るものであり、また、そのような実施態様が、本発明の趣旨を逸脱しない限り、何れも、本発明の範囲内に含まれるものであることは、言うまでもないところである。
【符号の説明】
【０１０５】
１０  コンデンサ用両面金属化フィルム    １２  ポリプロピレンフィルム
１３ａ  第一の表面                      １３ｂ  第二の表面
１４ａ  第一金属蒸着膜                  １４ｂ  第二金属蒸着膜
２０  樹脂薄膜層
２２，９６，９８，１０２  両面金属化フィルム製造装置
２３  薄膜形成装置                      ４０  フィルムロール
６０ａ  第一の金属蒸着膜形成装置        ６０ｂ  第二の金属蒸着膜形成装置
７０  コロナ放電処理装置                １００  被覆樹脂層
１０４  被覆樹脂層形成装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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