(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
原板から直線によって複数に切り出されたままの小基板を整列するために、この小基板の複数を上面にて水平に支承する支承台と、この支承台上に突出して前記小基板の一辺端が当接する整列部と、前記支承台を傾斜させてから水平に戻す傾斜機構とを備えた整列機であって、
前記支承台を第２機枠に取付け、この第２機枠を第２枢軸によって支承枠に連結し、この支承枠を、前記第２枢軸に対して直交する状態で機枠に取付けた枢軸に連結し、
前記傾斜機構として第１傾斜機構と第２傾斜機構とからなるものを採用し、前記第１傾斜機構を前記支承枠の枢軸とは反対側部分である長辺側遥動端に連結するとともに、前記第２傾斜機構を前記機枠の第２枢軸とは反対側部分である短辺側遥動端に連結して、
前記第１傾斜機構及び第２傾斜機構を同時に作動させることにより、前記機枠の枢軸を中心とする傾斜と、この傾斜方向と直交する方向であって、前記第２機枠の第２枢軸を中心とする傾斜とが同時に行われるようにして、
整列されるべき一個の前記小基板について、前記第１傾斜機構が整列する一辺端と、前記第２傾斜機構が整列する一辺端とが、互いに直交するようにしたことを特徴とする整列機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、次工程に送る前に、複数の小基板を整列するための整列機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品を搭載するための基板は、現在では種々なものがあるが、近年では非常に小さくなってきている。このような小基板は、各種製造工程での効率化を図るために、図４にも例示するように、一般的には大型の原板Ｗから切り出して形成されることが多いものである。
【０００３】
このような大型の原板Ｗから多数の小基板ｗを切り出すには、プリント配線を保護する必要等から、剪断機よりもカッターが多く利用されるが、カッターだと「切り粉」がより発生し易い。「切り粉」は、そのまま放置しておけば、小基板ｗ上の配線等に悪影響を及ぼすことがあるので、小基板ｗは、図４に示すように、一旦は洗浄・乾燥工程を経なければならない。
【０００４】
洗浄工程を経た小基板ｗは、乾燥されて次工程に移送されるのであるが、この移送時に各小基板ｗが完全に整列されていないと、次工程への搬送が行いにくいだけでなく、次工程装置に掛けにくいことになる。そこで、小基板ｗの「整列」が必要になるのであるが、基板を整列させる装置としては、例えば特許文献１にて提案されているようなものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−２５５１５７号公報、要約、図２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この特許文献１にて提案されている「カセット保持装置、基板供給装置および基板供給方法」は、「基板のたわみ量を減少し大型基板または薄型基板を収納可能にしつつ、基板カセットに収納される複数枚の基板の整列が簡易に行える基板カセット保持装置を提供する」ことを目的としてなされたものである。
【０００７】
この特許文献１にて提案されている「カセット保持装置、基板供給装置および基板供給方法」は、図１３にも示すように、「基板カセット保持装置１０において、カセット載置台１１および載置台傾斜手段１２を備える。カセット載置台１１は複数枚の基板１５を収納する基板カセット１４を載置保持する。載置台傾斜手段はカセット載置台１１を傾斜させ、このカセット載置台１１に載置保持された基板カセット１４に収納される複数枚の基板１５の表面を傾斜した状態に維持する」ものである。しかしながら、「複数枚の基板１５の表面を傾斜した状態に維持する」と、各基板１５の搬送途中において、各基板１５の表面に形成してある配線回路が擦れ合うことがあり、各基板１５が損傷する虞があると考えられる。
【０００８】
また、前工程からきた小基板ｗを次工程へ送り込むために、従来一般的に行われていた方法は、前工程と次工程との間に入った作業者が、一個一個の小基板ｗを手で摘んで整列させて移動させるものであった。この方法だと、作業者が必要になるだけでなく、小基板ｗ上の配線回路に傷を付ける可能性もある。
【０００９】
そこで、本発明者等は、小基板ｗの整列が、作業者を要することなく自動的に、しかも損傷を与えることなく行えるようにするにはどうしたらよいか、について種々検討を重ねてきた結果、本発明を完成したのである。
【００１０】
すなわち、本発明の目的とするところは、次工程に搬送すべき複数の小基板を、損傷を与えることなく自動的に整列することのできる整列機を、簡単な構成によって提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
以上の課題を解決するために、本発明の採った手段は、後述する最良形態の説明中で使用する符号を付して説明すると、
「原板Ｗから直線によって複数に切り出されたままの小基板ｗを整列するために、小基板ｗの複数を上面にて水平に支承する支承台１０と、この支承台１０上に突出して小基板ｗの一辺端が当接する整列部２０と、支承台１０を傾斜させてから水平に戻す傾斜機構３０とを備えた整列機１００であって、
支承台１０を第２機枠１１１に取付け、この第２機枠１１１を第２枢軸１５によって支承枠１２に連結し、この支承枠１２を、第２枢軸１５に対して直交する状態で機枠１１０に取付けた枢軸１１に連結し、
傾斜機構３０として第１傾斜機構３１と第２傾斜機構３２とからなるものを採用し、第１傾斜機構３１を支承枠１２の枢軸１１とは反対側部分である長辺側遥動端に連結するとともに、第２傾斜機構３２を機枠１１０の第２枢軸１５とは反対側部分である短辺側遥動端に連結して、
第１傾斜機構３１及び第２傾斜機構３２を同時に作動させることにより、機枠１１０の枢軸１１を中心とする傾斜と、この傾斜方向と直交する方向であって、第２機枠１１１の第２枢軸１５を中心とする傾斜とが同時に行われるようにして、
整列されるべき一個の小基板ｗについて、第１傾斜機構３１が整列する一辺端と、第２傾斜機構３２が整列する一辺端とが、互いに直交するようにしたことを特徴とする整列機１００」
である。
【００１２】
すなわち、この整列機１００は、例えば図４に示すように、大型の原板Ｗから多数個取りされた小基板ｗの洗浄及び乾燥等を行う前工程の次段に配置されるものであり、洗浄及び乾燥がなされた各小基板ｗについての次の加工を行う次工程の前段に配置されるものである。そして、この整列機１００は、前工程での加工が済んだ各小基板ｗについて整列を行って、整列した各小基板ｗを次工程に向けて送り出すものなのである。
【００１３】
ここで、各小基板ｗの「一辺端」について説明すると、この一辺端は、原板Ｗをカッターによって直線状に切り出したときにできる端の線を言う。一般的に、小基板ｗは４つの直角コーナーを有した四角形状に切り出されるものであり、この場合には、一辺端は４カ所できることになるから、通常形状の小基板ｗでは、互いに直交する４つのものが存在している。
【００１４】
この整列機１００は、図１〜図３に示すように、複数の小基板ｗを支承するための支承台１０と、この支承台１０に複数設けられて、互いに平行となる整列部２０と、上記支承台１０全体の傾斜及び原位置（水平状態）への復帰を行う傾斜機構３０とを備えたものである。
【００１５】
支承台１０は、図１及び図２の各（ａ）に示すように、前工程から複数の小基板ｗを受け取るものであり、この受取時には、傾斜機構３０によって傾斜されることはなく、各小基板ｗを水平状態に支承するものである。また、この支承台１０の上面は、支承した各小基板ｗの整列を行うために、各小基板ｗの移動または滑りが容易に行えるようにしてある。
【００１６】
そして、この支承台１０は、傾斜機構３０による傾斜が行えるように、当該整列機１００を構成している機枠の一部に枢軸１１によって枢着してある。つまり、この支承台１０は、図１の（ａ）の水平状態と、図１の（ｂ）に示す傾斜状態になされるものであり、当然のことながら、傾斜は枢軸１１を中心にしてなされる。
【００１７】
支承台１０上の整列部２０は、小基板ｗの一辺端が当接するものであれば何で構成してもよいが、例えば図２から理解できるような「板」であってもよいし、後述する実施形態におけるように、小基板ｗの一辺端が複数箇所で当接し得る複数の整列ピンであってもよいものである。
【００１８】
換言すれば、各整列部２０は、板ならその一面に、複数の整列ピンであればその並んだ方向に、小基板ｗの一辺端の全部あるいは一部の直線部分が当接したとき、この小基板ｗの整列を行うものである。勿論、この整列部２０は、複数の小基板ｗを個別に整列するために、整列すべき小基板ｗの数分用意されるものであり、各小基板ｗの大きさに合わせた位置調整もできるようにされるものである。
【００１９】
傾斜機構３０は、上記の支承台１０を傾斜させるものであり、図１に示すような「エアシリンダ」を採用したり、後述する実施形態で採用しているようなサーボモータを使用した「ロボシリンダ」が採用される。その他にも、支承台１０の、枢軸１１とは反対側の端部に連結したワイヤ等を、サーボモータによって上下させるようなものであってもよい。いずれにしても、この傾斜機構３０は、図１の（ａ）と（ｂ）との比較から分かるように、支承台１０の水平状態と傾斜状態を交互に作り出すものである。
【００２０】
以上のように構成した整列機１００では、その支承台１０が、図１及び図２の各（ａ）にて示した水平状態にあるときに、前工程から複数の小基板ｗが送り込まれる。送り込まれた各小基板ｗは、図２の（ｂ）に示すように、各整列部２０間においてあらゆる方向に向いているから、そのままでは次工程に送り出せない。
【００２１】
そこで、本発明に係る整列機１００では、図３にも示すように、支承台１０を傾斜させることによって各小基板ｗをこの支承台１０上にて「滑り落下」させるのである。小基板ｗの滑り落下先には整列部２０が待ちかまえているから、各小基板ｗはこの整列部２０によって、図３の（ｂ）に示すように、整列されることになるのである。何故なら、自然落下による力は、整列部２０が板であれ複数のピンであれ、これに小基板ｗの一辺端の全体または部分が密着するように、各小基板ｗに回転モーメントをも引き起こすから、結果的に、各小基板ｗは整列部２０に当接することによって、整列されるのである。
【００２２】
各小基板ｗが整列されたときに、傾斜機構３０によって支承台１０を再び水平状態に戻せば、重力による回転モーメントは最早発生しないだけでなく、他の力も何ら発生しないから、各小基板ｗは、整列されたままの状態、つまり、図３の（ｂ）に示すような状態で搬出を待つことができるのである。
【００２３】
以上の結果、前工程から送られてきた各小基板ｗの整列は、重力による自然落下という極めて効率的な力を有効に利用できて、整列機１００全体の構成も簡略化でき、しかも人手を要することなく自動的に行えるのである。勿論、各小基板ｗは、滑りやすくした支承台１０上を、単に支承台１０の傾斜によって滑るだけであり、他に何らの接触もしないのであるから、当該小基板ｗに損傷の発生する余地は全くないのである。
【００２４】
なお、整列された各小基板ｗの搬出は、後述する実施形態におけるような搬出ベルトによって行ってもよいし、支承台１０上にて搬送方向に移動する「爪」によって小基板ｗの後端部を押すようにしてもよい。
【００２５】
従って、本発明に係る整列機１００は、次工程に搬送すべき複数の小基板ｗを、損傷を与えることなく自動的に整列するものとなっているのである。
【発明の効果】
【００２６】
以上、説明した通り、本発明においては、
「原板Ｗから直線によって複数に切り出されたままの小基板ｗを整列するために、小基板ｗの複数を上面にて水平に支承する支承台１０と、この支承台１０上に突出して小基板ｗの一辺端が当接する整列部２０と、支承台１０を傾斜させてから水平に戻す傾斜機構３０とを備えた整列機１００であって、
支承台１０を第２機枠１１１に取付け、この第２機枠１１１を第２枢軸１５によって支承枠１２に連結し、この支承枠１２を、第２枢軸１５に対して直交する状態で機枠１１０に取付けた枢軸１１に連結し、
傾斜機構３０として第１傾斜機構３１と第２傾斜機構３２とからなるものを採用し、第１傾斜機構３１を支承枠１２の枢軸１１とは反対側部分である長辺側遥動端に連結するとともに、第２傾斜機構３２を機枠１１０の第２枢軸１５とは反対側部分である短辺側遥動端に連結して、
第１傾斜機構３１及び第２傾斜機構３２を同時に作動させることにより、機枠１１０の枢軸１１を中心とする傾斜と、この傾斜方向と直交する方向であって、第２機枠１１１の第２枢軸１５を中心とする傾斜とが同時に行われるようにして、
整列されるべき一個の小基板ｗについて、第１傾斜機構３１が整列する一辺端と、第２傾斜機構３２が整列する一辺端とが、互いに直交するようにしたこと」
にその構成上の特徴があり、これにより、次工程に搬送すべき複数の小基板ｗを、損傷を与えることなく自動的に整列することのできる整列機１００を、簡単な構成によって提供することができるのである。また、各第１傾斜機構３１及び第２傾斜機構３２は同時に行われるように制御されているから、第１傾斜機構３１による支承台１０の傾斜が行われている最中に、第２傾斜機構３２による支承台１０の傾斜が行われ、複数に切り出された小基板ｗの、第１傾斜機構３１が整列する一辺端と、第２傾斜機構３２が整列する一辺端とを互いに直交させた整列を、効果的に行えるのである。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明のクレーム対応図であり、（ａ）は支承台１０を水平状態にしたときの整列機１００の側面図、（ｂ）は支承台１０を傾斜状態にしたときの整列機１００の側面図である。
【図２】本発明に係る整列機１００を示すもので、（ａ）は前工程と次工程との間に配置し支承台１０を水平状態にしたときの正面図、（ｂ）は小基板ｗが搬入されたままの状態にある支承台１０の平面図である。
【図３】同整列機１００を示すもので、（ａ）は支承台１０を傾斜状態にしたときの正面図、（ｂ）は小基板ｗが整列されたときの支承台１０と平行にみた支承台１０上の状態図である。
【図４】本発明に係る整列機１００が、切断工程にて切り出された小基板ｗの洗浄・乾燥工程と、次工程との間に配置されている様子を示す概略側面図である。
【図５】実施例に係る整列機１００の平面図である。
【図６】同整列機１００を構成している支承枠１２内の様子を概略的に示す側面図である。
【図７】同整列機１００のカバーを外したときの様子を示す図であり、支承台１０の水平状態と傾斜状態とを同時に示した側面図である。
【図８】同整列機１００のカバーを外したときの正面図である。
【図９】同整列機１００のユニット化した支承台１０の拡大平面図である。
【図１０】同整列機１００を構成している支承枠１２内の様子を示す拡大側面図である。
【図１１】同整列機１００を構成している支承枠１２内の様子と、この支承枠１２を傾斜させる第２傾斜機構３２との位置関係を示す部分拡大正面図である。
【図１２】同整列機１００の細部を示すもので、（ａ）は図１１の左上部分を拡大して示した拡大図、（ｂ）は支承台１０に多数も受けてあるコロガリ受１３の拡大図である。
【図１３】特許文献１に示された技術を示すもので、（ａ）、（ｂ）共に基板を傾斜させた様子を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
次に、上記のように構成した本発明を、図面に示した実施の形態である整列機１００について説明すると、図５〜図１２には、本実施形態に係る整列機１００が示してある。
【００２９】
この実施形態に係る整列機１００は、傾斜機構３０として、図７に示した第１傾斜機構３１と、図１１に示した第２傾斜機構３２とからなるものを採用したものであり、これらの第１傾斜機構３１及び第２傾斜機構３２は、その各傾斜方向面が直交するようにしたものである。また、これらの第１傾斜機構３１及び第２傾斜機構３２は同時に行われるように制御されるのであり、第１傾斜機構３１による支承台１０の傾斜が行われている最中に、第２傾斜機構３２による支承台１０の傾斜が行われるのである。換言すれば、整列されるべき一個の小基板ｗについて、第１傾斜機構３１が整列する一辺端と、第２傾斜機構３２が整列する一辺端とは、互いに直交するのである。
【００３０】
また、この実施形態に係る整列機１００は、例えば図５に示すように、前工程から複数の小基板ｗを当該整列機１００内に受け入れるための搬入部４０を備えたもので、この搬入部４０は、支承台１０上への小基板ｗの搬入を人手を要することなく行うものである。具体的には、この搬入部４０は、後述する搬出部５０の回転軸５１と平行で、表面に搬送ベルトを巻回した回転軸を多数有していて、この回転軸を回転させて、その表面にある搬送ベルトによる小基板ｗの搬送を行うものである。
【００３１】
なお、本実施形態の搬入部４０にも、本発明に係る構成を有しているものであり、支承台１０上に搬入する前の各小基板ｗの一辺端についてのみ予め整列を行っておくようにしているが、本発明の実施にあたって、この搬入部４０は必ずしも必要ではない。
【００３２】
さらに、本実施形態の整列機１００は、支承台１０上にて整列された各小基板ｗを次工程に搬出するための搬出部５０を備えている。本実施形態における搬出部５０は、図１１に示したように、後に詳述する支承台１０の全体を囲み込む多数の搬出ベルト５２を備えているもので、これらの搬出ベルト５２は、支承台１０の全体を囲み込んで回転駆動される４本の回転軸５１に掛装してある。各回転軸５１の回転駆動を行うのは、図１１中に示した駆動モータ５３である。
【００３３】
さて、当該整列機１００が有する支承台１０であるが、この支承台１０は、図７〜図１２に示したように、前述した搬出部５０を組み込んだ支承枠１２内の、さらにこの支承枠１２に対して水平移動可能に組み付けた第２機枠１１１に設けてある。支承枠１２は、図７の図示右方に示した枢軸１１によって、当該整列機１００の機枠１１０に傾動可能に連結したものであり、当該支承枠１２内には、上記支承台１０や第２機枠１１１等が、図１０及び図１１に示したように組み込んである。一方、第２機枠１１１は、図９に示したように、第２枢軸１５によって支承枠１２内に傾動可能に連結してある。
【００３４】
換言すれば、支承台１０を包み込んで支持している支承枠１２は、枢軸１１によって当該整列機１００の機枠１１０に対して傾動可能に連結してあるのであり、支承枠１２に支持されている第２機枠１１１は、図９に示したように、第２枢軸１５によって、支承枠１２に対して図９の上下方向に傾動可能になっているのである。そして、支承枠１２は、図７に示したように、後述する第１傾斜機構３１によって図示左端を自由端とした傾動がなされるのであり、第２機枠１１１は、図８に示したように、後述する第２傾斜機構３２によって図示左端を自由端とした傾動がなされるのである。
【００３５】
また、支承台１０は、図１０にも示したように、機枠１１０とは独立した第２機枠１１１に連結したものであり、この第２機枠１１１は、後述するピン支持台２２を支持する各支持軸２１をも連結したものである。さらに、この第２機枠１１１は、図１０の両側にてエアシリンダ１４を介して支承枠１２に組み付けたものであり、これらのエアシリンダ１４が作動することによって、図１０中の矢印にて示したように、支承台１０及び支持軸２１を支承枠１２に対して上下動させることになるものである。
【００３６】
以上の各エアシリンダ１４が上動作用をすると第２機枠１１１が上動し、この第２機枠１１１に設けてあった支承台１０及び各支持軸２１も上動するから、図１２の（ａ）中の実線にて示したように、支承台１０が有している後述するコロガリ受１３の上端が、搬出部５０を構成している搬出ベルト５２より上方に突出するとともに、ピン支持台２２に設けてある各整列ピン２３も突出する。以上の結果、各コロガリ受１３の上端上にある小基板ｗが搬出部５０の各搬出ベルト５２より浮き上がることになるから、この小基板ｗは、各コロガリ受１３上にての整列は可能ではあるが、搬出部５０によって搬出されることはない状態となるのである。
【００３７】
以上とは反対に、各エアシリンダ１４が下動作用をすると第２機枠１１１が下動し、この第２機枠１１１に設けてあった支承台１０及び各支持軸２１も下動するから、図１２の（ａ）中の仮想線にて示したように、第２機枠１１１及びこれに設けてあった支承台１０も下動する。その結果、支承台１０が有している後述するコロガリ受１３の上端が、搬出部５０を構成している搬出ベルト５２より下方に下がるとともに、図１０に示したように、各整列ピン２３の先端が搬出部５０の搬出ベルト５２が形成している搬送面よりも下方に下がる。以上の結果、各コロガリ受１３の上端上にあった小基板ｗが搬出部５０の各搬出ベルト５２上に残ることになるから、この小基板ｗは、各コロガリ受１３上にての整列や各コロガリ受１３にての移動が不可能となるとともに、搬出部５０によって搬出されることになるのである。
【００３８】
支承台１０には、図１２に示したように、多数の溝１６が支承台１０の略全長方向（図５及び図９では、図示左右方向）に亘って形成してあるが、これらの溝１６には、支承台１０の下方から整列ピン２３が突出することになる。なお、最前列（図１２では図示左端の整列ピン２３の列）の整列ピン２３については、支承台１０の略全長方向全体に所定間隔で固定してあるが、それ以外の各整列ピン２３については、前述した各溝１６内にて、図５の図示左右方向に移動するものである。
【００３９】
換言すれば、最前（図５では搬入部４０の搬出部に隣接する側）の整列ピン２３列は、各小基板ｗの後端（図１２では図示左端となる）の一辺端を支承することになる部分で、各小基板ｗの後端の整列を行うものである。これに対して次段以降の整列ピン２３列は、各溝１６の同一位置から突出させることにより、最前列の整列ピン２３列に直交する方向の整列ピン２３列を形成するのであり、この直交整列ピン２３列の間隔は、各小基板ｗの大きさに応じて設定される。
【００４０】
最前列を構成している整列ピン２３以外の整列ピン２３は、図６に示したように、上述した支承枠１２に支持軸２１を渡しておいて、これらの各支持軸２１上に移動可能に組み付けたピン支持台２２に取り付けてある。各支持軸２１は、上述した支承台１０側の各溝１６と平行になっているものであり、図１１、及び図１２の（ａ）に示したように、数本の溝１６毎に設けてある。各支持軸２１上には、図６にも示したように、複数のピン支持台２２が移動自在に組み付けてあり、各ピン支持台２２は、図示しない制御装置によって、支持軸２１上の適宜位置に配置されるものである。
【００４１】
各ピン支持台２２は、図１１、及び図１２の（ａ）にて示したように、複数（本実施形態では２本）の整列ピン２３を立設したものであり、この立設に際しては、各整列ピン２３が支承台１０に形成してある各溝１６から支承台１０上に突出できるように位置決めしてある。なお、本実施形態では、多数のピン支持台２２を左右半分宛のグループに分けて、これを支承台１０の左右毎で調整できるようにすることによって、各整列ピン２３の立設位置の変更を短時間で行えるようにしてある。
【００４２】
以上の結果、支承台１０の上面には、最前列の整列ピン２３列と、これに直交する方向に並んだ整列ピン２３列によって構成された整列部２０が組み込んであるのであり、最前列の整列ピン２３列に直交する方向に並んだ整列ピン２３列は、ピン支持台２２の移動によって他の列との間隔が自在に設定できるものである。つまり、この支承台１０上には、各小基板ｗの大きさに合わせた整列区画が自由に設定できるようにしてあるのである。
【００４３】
以上のように、本実施形態に係る整列機１００では、整列部２０として多数の整列ピン２３を採用したものである。整列ピン２３は、上記搬出部５０の各搬出ベルト５２の間に対して出入させるのに有効であるだけでなく、同一部品を組み合わせることによって、前述した第１傾斜機構３１による整列方向と、整列ピン２３による整列方向とを簡単に構成することができるものである。
【００４４】
そして、支承台１０には、図１１、及び図１２の（ａ）に示したように、多数のコロガリ受１３が取り付けてあり、これらのコロガリ受１３の上端は、支承台１０上にて各小基板ｗの下面を支承するものである。各コロガリ受１３は、図１２の（ｂ）に示したように、取付部１３ｂとボール１３ａとからなるものであって、取付部１３ｂは、支承台１０に対して取り付けることができるようにしたものであり、ボール１３ａは取付部１３ｂに回転自在に組み付けられて、当該取付部１３ｂから突出するものである。
【００４５】
支承台１０の表面に多数のボール１３ａが、例えば図５に示したように突出していることにより、１枚の小基板ｗは、図１２の（ａ）に示したように、これら多数のコロガリ受１３によって極めて小さい滑り抵抗で支承されることになる。従って、支承台１０が傾斜すれば、各小基板ｗは、各コロガリ受１３のボール１３ａによって支承台１０上を殆ど無抵抗（摩擦）で移動（滑り落下）するのである。
【００４６】
そして、本実施形態に係る整列機１００において、その傾斜機構３０として採用した第１傾斜機構３１と傾斜機構３０とは、傾斜効率を考慮して次のようなものを採用している。第１傾斜機構３１は、図７に示したように、支承台１０の長辺方向の傾斜を司るものであり、具体的にはロボシリンダ３３を採用したものである。このロボシリンダ３３は、整列機１００の機枠１１０内側に傾斜状態で取り付けた案内レールに対して、電気的作用によって移動するものであり、このロボシリンダ３３に対して支承台１０の長辺側揺動端（図７では支承枠１２の図示左部で枢軸１１とは反対側部分）が移動可能に連結してある。
【００４７】
一方、傾斜機構３０を構成している第２傾斜機構３２は、図８及び図１１に示したように、機枠１１０に取り付けられる流体圧シリンダを採用したものであり、そのシリンダロッドの先端を支承台１０の短辺側揺動端（図８では支承枠１２の図示左部で第２枢軸１５とは反対側部分）に回動可能に連結してある。
【００４８】
以上のように構成した各装置や部材は、電気や流体圧で作動するものであり、これら各装置や部材、及び小基板ｗの作動タイミング及び位置は、図示しない各種リミットスイッチによって検知できるようになっていることは、言うまでもない。また、各装置や部材、及び小基板ｗの作動タイミング（シークエンス）、そしてリミットスイッチからの信号は、図示しない制御装置によって制御されていることも、言うまでもない。
【００４９】
さて、以上のように構成した整列機１００の作動について順に説明すると、多数の小基板ｗが、図５に示した白抜き矢印方向から搬入部４０に搬入されてくるのであるが、この場合、多数の小基板ｗは、搬入部４０の全幅（図５の左右方向）にわたって所定間隔で搬入される。そして、各小基板ｗは、当該搬入部４０によってある程度の整列がなされた状態で、本実施例に係る整列機１００内に搬入される。
【００５０】
この各小基板ｗの搬入部４０からの搬入にあたって、整列機１００においては、図１１に示したように、支承台１０が水平状態になっていることは勿論、支承台１０のコロガリ受１３が搬出部５０の搬出ベルト５２より上方に位置している。従って、搬入部４０から送り込まれた各小基板ｗは、支承台１０上の各コロガリ受１３によって自由に方向が変えられる状態で支承されている。勿論、このときには、各整列ピン２３は小基板ｗのための整列空間を形成している。この状態は、例えば図２の（ｂ）に示したような場合である。
【００５１】
小基板ｗが図１１に示した位置にきたことが検知されると、傾斜機構３０を構成している第１傾斜機構３１及び第２傾斜機構３２がほぼ同時に作動され、図７及び図８に示したような傾斜がなされる。第１傾斜機構３１が傾斜することによって、各小基板ｗは、例えば図３の（ｂ）に示したような状態となるのである。ここで、あるいはこの途中で、第２傾斜機構３２が作動すれば、各小基板ｗは、図３の（ｂ）に示した位置から左端に寄ることによって整列される。
【００５２】
その後、第１傾斜機構３１及び第２傾斜機構３２が原位置に復帰してそれぞれ水平状態に戻れば、各小基板ｗは、最前列の整列ピン２３と、これと直交する整列ピン２３列によって、図１１に示した位置であって、互いに直交する２つの一辺端にて整列されることになる。
【００５３】
そこで、今度は、図１０に示したエアシリンダ１４の作動によって支承台１０全体が下がれば（図１０に示した状態）、コロガリ受１３の上端も搬出部５０の搬出ベルト５２が作る平面より下側に降下する。これによって各小基板ｗは搬出ベルト５２上に残されることになるから、各小基板ｗは搬出ベルト５２に接触し、この搬出ベルト５２が回転駆動されれば（具体的には図１１中の矢印方向に回転駆動される）、各小基板ｗは、当該整列機１００の機外に搬出されることになる。
【００５４】
この各小基板ｗの搬出部５０による搬出時においては、各小基板ｗの下面は、搬出方向に回転駆動されている搬出ベルト５２にしか接触していないから、当該小基板ｗは、搬出ベルト５２による搬送がなされることはあっても、整列された状態が変更されることはない。
【００５５】
以上によって、本発明に係る整列機１００は、前工程から乱雑に送り込まれてきた各小基板ｗを、機内で整列し、後工程に整列されたままの状態で送り出すのである。
【符号の説明】
【００５６】
１００  整列機
１０    支承台
１１    枢軸
１２    支承枠
１３    コロガリ受
１３ａ  ボール
１３ｂ  取付部
１４    エアシリンダ
１５    第２枢軸
１６    溝
２０    整列部
２１    支持軸
２２    ピン支持台
２３    整列ピン
３０    傾斜機構
３１    第１傾斜機構
３２    第２傾斜機構
３３    ロボシリンダ
４０    搬入部
５０    搬出部
５１    回転軸
５２    搬出ベルト
５３    駆動モータ
１１０  機枠
１１１  第２機枠
Ｗ  原板
ｗ  小基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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