(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングの縦軸に沿って、前記ハウジングにわずかに沈み込み、少なくともわずかに可動的である少なくとも１つのセンサ素子を有する前記ハウジングを備えた、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブであって、前記測定プローブを測定物体の面上にセットするために、前記少なくとも１つのセンサ素子に割り当てられたコンタクト球状キャップを備えた測定プローブにおいて、
前記少なくとも１つのセンサ素子が、前記ハウジングの前記縦軸に沿ってばね荷重状態に弾性的に形成され、かつ、前記ハウジング上に固着された保持要素によって保持されており、
前記保持要素が、円盤形状のダイヤフラムとして設計され、前記円盤形状のダイヤフラムが、前記保持要素の前記中心軸と同心的に、少なくとも１つの波状のくぼみ、または、隆起、または、くぼみと隆起、を備えてなる
ことを特徴とする測定プローブ。
【請求項２】
ハウジングの縦軸に沿って、前記ハウジングにわずかに沈み込み、少なくともわずかに可動的である少なくとも１つのセンサ素子を有する前記ハウジングを備えた、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブであって、前記測定プローブを測定物体の面上にセットするために、前記少なくとも１つのセンサ素子に割り当てられたコンタクト球状キャップを備えた測定プローブにおいて、
前記少なくとも１つのセンサ素子が、前記ハウジングの前記縦軸に沿ってばね荷重状態に弾性的に形成され、かつ、前記ハウジング上に固着された保持要素によって保持されており、
円弧状の打ち抜きを備えたばね円盤として設計された前記保持要素が、前記打ち抜きをふさぎ、かつ、媒体に固定して前記ハウジングに固着されたフィルム状の層を備えてなる
ことを特徴とする測定プローブ。
【請求項３】
前記ばね荷重状態の弾性的な保持要素が、前記測定物体に面する、前記ハウジングの終端部分上に配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の測定プローブ。
【請求項４】
前記保持要素が、円弧状の打ち抜きを持つばね円盤として形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の測定プローブ。
【請求項５】
前記保持要素が、中心軸に、前記コンタクト球状キャップ、または、前記少なくとも１つのセンサ素子を挿入することができる孔を備えてなることを特徴とする請求項１または２に記載の測定プローブ。
【請求項６】
前記少なくとも１つのセンサ素子が、前記保持要素上に、前記中心軸に一致して、直接に固定されて受け入れられていることを特徴とする請求項１または２に記載の測定プローブ。
【請求項７】
前記保持要素が、前記コンタクト球状キャップと、結合素子として働く測定ポールとの間に差し挟まれて保持され、前記コンタクト球状キャップまたは前記結合素子に設けられた段部に取り付けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の測定プローブ。
【請求項８】
前記少なくとも１つのセンサ素子が、前記ハウジング内に延び、ハウジング固定軸受中を可動的に案内される、特に棒状の案内要素を備えてなることを特徴とする請求項１または２に記載の測定プローブ。
【請求項９】
前記センサ素子と、ハウジング固定軸受または前記ハウジングの壁部分との間に前記保持要素を、少なくとも弱いプレストレス下に保ち、そして、特に、前記保持要素を、外側に反るように配置させる、少なくとも１つのばね部材が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の測定プローブ。
【請求項１０】
前記ハウジングの少なくとも１つの終端部分を、測定物体上にセットされた前記センサ素子の前記コンタクト球状キャップと同一平面に配置することができるように、前記保持要素が、ばねによる偏位を有することを特徴とする請求項１または２に記載の測定プローブ。
【請求項１１】
前記センサ素子の沈み込み移動が、調整可能なリミットストップによって制限されることを特徴とする請求項１または２に記載の測定プローブ。
【請求項１２】
前記軸受、または、前記ハウジングの壁部分で止まっている少なくとも１つのばね部材を備えた前記リミットストップが、案内要素に設けられていることを特徴とする請求項１または２記載の測定プローブ。
【請求項１３】
前記センサ素子が、接続部に接続されている少なくとも１つの著しく可撓性の導線、または、少なくとも１つのライン・ストリップを有するフレキシブルプリント回路板に接続されていることを特徴とする請求項１または２に記載の測定プローブ。
【請求項１４】
前記保持要素が、ハウジング終端側くぼみに固定されていることを特徴とする請求項１または２に記載の測定プローブ。
【請求項１５】
前記保持要素が、接着接続、ねじ接続、溶接接続、半田接続、クランプ接続、または、スナップ接続によって、前記ハウジングに受け取られていることを特徴とする請求項１または２に記載の測定プローブ。
【請求項１６】
円盤形状のダイヤフラムとして設計された前記保持要素が、前記ハウジングに、媒体に固定して配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の測定プローブ。
【請求項１７】
前記保持要素が、渦電流法による測定用に非金属物質で作られていることを特徴とする請求項１または２に記載の測定プローブ。
【請求項１８】
前記保持要素が、磁気誘導測定用に金属の非磁性物質で作られていることを特徴とする請求項１または２に記載の測定プローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハウジングの縦軸に沿って、ハウジングに対して少なくともわずかに可動的に受け入れられている少なくとも１つのセンサ素子を有する前記ハウジングを備えた、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１で、少なくとも１つのセンサ素子を収容したハウジングを有する測定プローブが知られている。測定物体の面上に測定プローブをセットするために、センサ素子に接続するコンタクト球状キャップが設けられている。センサ素子は、例えば、ハウジング接続部につながる接続導線としてのフレキシブル・ストリップを有するプリント回路板に接続されている。センサ素子を収容しているハウジングが、スリーブ中を可動的に案内される。測定物体上に測定プローブをセットしているとき、ハウジングは、スリーブ内に沈み込むことができ、したがって、（そのスリーブを介して）測定プローブが、測定物体上に位置決めされ、測定物体の面上へのコンタクト球状キャップの据え付けが、確実になる。ハウジングをスリーブ中に可動的に収容させるに際して、コンタクト球状キャップが一方のスリーブ端から出るように、スリーブに対してハウジングをより低い位置に置くために、圧縮ばねとともにガイドがハウジングとスリーブの間に設けられる。
【０００３】
これらの装置は、うまく使用できることが分かっている。しかしながら、そのような測定プローブの測定精度に対する要求が着実に増加している。
【０００４】
【特許文献１】独国特許出願公開第１０３４８６５２号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
したがって、本発明は、前述のタイプの測定装置をさらに発展させて、測定プローブ素子の、摩擦を低減させた配置によって、測定プローブによる測定精度の増加を可能にするという目的に基づいている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、この目的は、請求項１の特徴によって解決される。他の有利な例が他の従属請求項に示されている。
ハウジングの縦軸に沿って、少なくとも１つのセンサ素子を受け入れている、ばね荷重された状態の弾性的な保持要素を設けた、本発明による１つの測定プローブの開発は、ハウジングに対するセンサ素子の、相当に摩擦の低減された、または、実質的に摩擦のない配置を可能にする。これは、測定プローブが測定物体の面上にセットされたとき、保持要素のいかなるたわみも、摩擦によって影響を受けることなく、感度の高い測定を可能にすることができる。さらに、運動する部分の数が相当に低減される。その上、運動する質量の低減を達成することができ、その結果、測定精度を増加させることができる。
【０００７】
本発明の有利な一開発によれば、測定物体に面する１つのハウジング終端上に、ばね荷重状態の弾性的な保持要素を設けることが提供される。これは、ハウジングへの保持要素の容易な固着を可能にする。さらに、保持要素が、その上に少なくとも１つのセンサ素子を配置されて、ハウジング内に単純に挿入され、その後、その保持要素が、測定物体に面するハウジング終端に接続されるために、容易な取り付けが実現される。
【０００８】
本発明の好適な一実施態様によれば、保持要素が、円盤形状のダイヤフラムとして形成される。そのような円盤形状のダイヤフラムは低重量を持つ。それらの厚さは、１ミリメートルの１０分の１のレンジ内で設計することができる。そのようなダイヤフラムは、中心軸に対して確定されたたわみを可能にし、さらに、半径方向に対して、ハウジングへの、少なくとも１つのセンサ素子の安全かつ正確な受け取りが与えられ、または、中心軸の何らのずれも起こさせないという利点を備える。したがって、プローブは、半径方向にゆとりを持たせることなく位置決めされる。低質量の結果として、この配置は、高感度面へのいかなるダメージ、および、球状測定ポールのいかなる摩耗も低減させる。半径方向の案内にゆとりを持たせないことによって、測定プローブのいかなる傾きも防がれるから、その結果、測定プローブの統計的なコンタクト因子が相当に減少する。したがって、ナノメートルのレンジの層厚をも測定することができる。したがって、少なくとも１つのセンサ素子の不明確さをともなわない案内、または、変位が、ハウジングの縦軸に沿って可能になり、また、傾きまたは半径方向のずれの防止が、可能になる。
【０００９】
円盤形状のダイヤフラムとして形成された保持要素の弾性の調整のために、少なくとも１つの波状のくぼみ、および／または、隆起が設けられる。それによって、たわみ力を決定することができる。たわみ力を調整する別のパラメータは、ダイヤフラムの壁厚、および、それに用いられる物質である。さらに、円盤形状の保持要素のたわみのリフトさえ、その円盤形状のダイヤフラムのサイズによって定めることができる。
【００１０】
保持要素の一代替実施態様によれば、円弧状の打ち抜きを備えたばね円盤を、弾性的な保持要素として用いることが提供される。そのようなばね円盤も、ハウジングの縦軸に沿う弾性、および、半径方向における不撓性を可能にする。したがって、コンタクト球状キャップ、および、したがって、センサ素子が、測定物体の面上にセットされている間、不要な成分のない変位移動が達成される。
【００１１】
コンタクト球状キャップまたはセンサ素子を挿入することができる孔を、保持要素がその中心軸に有することが好ましい。それによって、測定プローブの孔が、ダイヤフラムの製造中に正確に設けられ、したがって、その孔へのセンサ素子の直接の位置合わせが可能になるので、測定プローブの精密な製造を達成することができる。同時に、保持要素への少なくとも１つのセンサ素子の単純で高速な取り付けが、可能になる。
【００１２】
少なくとも1つのセンサ素子は、中心軸に対して位置合わせされた保持要素上に直接固着させるのが好ましい。その結果、それによって、重量の低減を達成することができ、また、製造のコスト低減を達成することができる。
【００１３】
本発明の好適な一実施態様によれば、保持要素が、コンタクト球状キャップと、センサ素子、または、センサ素子の結合素子の間に差し挟まれて保持される。これは、単純で精密な位置決めを与えることができる。コンタクト球状キャップ、および／または、結合素子には、保持要素の打ち抜き部が載せられる段部を設けるのが好ましい。同時に、それによって、部品の特別の位置合わせ、および、さらに、精密な受け取りを不要とすることが可能な単純な製造が、実現される。本発明の別の有利な一実施形態によれば、少なくとも１つのセンサ素子が、ハウジング中に延び、そして、ハウジング固定軸受中を可動的に案内される案内要素を備えることが提供される。この配置によって、測定プローブの接触方向に限られたセンサ素子のたわみ移動を、ハウジングに対する、少なくとも１つのセンサ素子のいかなる傾きも伴うことなく、達成することができる。
【００１４】
センサ素子と、ハウジング固定軸受、または、ハウジングの壁部分との間に、少なくとも低いプレストレス下に保持要素を保つばね部材を設けるのが好ましい。それによって、センサ素子の確定された位置を、持久的に調節することができる。同時に、それによって、たわみ、または、ハウジング内へのセンサ素子の沈み込みにおいて、改善されたパワー比率を実現することができる。このプレストレスによって、保持要素は、測定プローブのハウジングに対して位置決めされる（少なくともわずかに、外側に反って）。
【００１５】
保持要素は、ハウジングの終端部分を、測定物体上にセットされたセンサ素子のコンタクト球状キャップと同一平面にすることを少なくとも可能にするばねによる偏位を有するのが好ましい。したがって、測定物体の面上に測定プローブをセットしているとき、保持要素に、過度の歪みを負わせることなしに、ハウジングの終端部分に対比して、コンタクト球状キャップの完全な沈み込みを確実にすることができる。
【００１６】
センサ素子の沈み込み移動が、好ましくは調整可能なリミットストップによって制限されることを実現するのが好ましい。この制限を、例えば、保持要素のばねのよる偏位と連携して実現させることができる。さらに、そのような調整可能なリミットストップを、保持要素のたわみに対する保護機能とすることもできる。
【００１７】
軸受、または、ハウジングの壁部分で止まるばね、ばね部材、または、復帰装置を、リミットストップとセンサ素子の間で案内要素に設けるのが好ましい。これは、測定プローブを測定物体の面から持ち上げた後、センサ素子の初期位置への自動復帰を支援し、とりわけ、それを確実にすることを確実にする。
【００１８】
本発明による保持要素の半径方向の位置合わせのために、本発明の好適な一実施態様によれば、保持要素を、ハウジング終端側くぼみ内に設けることが実現される。これは、ハウジングに対する保持要素の半径方向の厳密な配置、および、したがって、ハウジングの縦軸方向のたわみ移動の位置合わせを可能にする。
【００１９】
保持要素を、接着接続、ねじ接続、溶接接続、半田接続、クランプ接続、または、スナップ接続によって、ハウジング上に固着させるように実現するのが好ましい。個々の固着のタイプは、保持要素の物質やハウジングの物質に応じて選択することができる。
【００２０】
円盤形状のダイヤフラムとして形成された保持要素を、ハウジングに（媒体にしっかりと固定して）固着させるのが好ましい。これは、耐用年数を増加させるだけでなく、測定精度をも増加させる。たわみ移動が、円盤形状のダイヤフラムとして形成された保持要素を介して行われ、また、したがって、測定プローブが、外部に対して完全に閉じているから、微細なごみ粒子またはチリによるいかなる汚染も、少なくとも１つのセンサ素子のたわみ移動を障害するということはない。
【００２１】
円形の打ち抜きを備えたばね円盤として形成された保持要素の場合には、フィルム状の層で、その打ち抜きを閉じるように実現するのが好ましい。それによって、そのようなばね円盤の可撓性を維持することができ、同時に、外部に対して完全に閉じた測定プローブが形成される。このフィルム状の層は、プラスチックフィルム、または金属箔、または、非鉄金属箔として実現することができる。
【００２２】
特に、測定プローブが、渦電流原理による測定のために用いられるときには、保持要素は、プラスチックフィルムまたは複合プラスチックフィルム、特に、マイラ、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリエステル、または、カプトンで作られる。保持要素は、高精度を達成するために、特にレーザ加工による機械加工で作ることもできる。
【００２３】
測定プローブが、磁気誘導原理による測定プロセスを遂行するために用いられるときには、金属の非磁性物質（特に、銅／ベリリウム合金）のダイヤフラムを用いることができる。
【００２４】
以下において、本発明が、追加の有利な実施形態、および、その改良とともに、図面に表わされている例に基づいて詳細に説明され、記述される。その記述と図面から集めることができる特徴を、本発明にしたがって、それら自身で個々に、または、任意の組合せの複数において用いることができる。
【発明の効果】
【００２５】
ハウジングの縦軸に沿って、少なくとも１つのセンサ素子を取り付ける、ばねによる荷重状態の弾性的な保持要素を設けた、本発明による一測定プローブの開発は、ハウジングに対するセンサ素子の、相当に摩擦の低減された、または、実質的に摩擦のない配置を可能にする。これは、測定プローブが、測定物体の面上にセットされたとき、保持要素のいかなるたわみも、摩擦によって影響を受けることなしに、感度の高い測定を可能にすることができる。さらに、移動部分の数が、相当に低減される。その上、移動質量の低減を達成することができ、その結果、それは、測定精度を増加させる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
図１は、薄層の厚さ測定装置（特には示されていない）用の測定プローブ１１を示している。この測定プローブ１１は、層厚の非破壊測定に用いられる。例示的な実施形態によれば、この測定プローブ１１は、薄層の厚さ測定装置と分離して設けられ、得られた測定値を接続導線１２を介して伝送する。それに代えて、この測定プローブ１１は、定置型の装置または手動型の装置の形式の、薄層の厚さ測定装置の一部であってもよい。
【００２７】
測定プローブ１１は、その設計において、とりわけ円筒状のハウジング１４を有する。ハウジング１４の縦軸１６に、少なくとも１つのセンサ素子１７を配置するのが好ましい。このセンサ素子１７は、ハウジング１４の終端部分１９に設けられた保持要素１８によって支えられている。この少なくとも１つのセンサ素子１７の上には、測定物体（特には示されていない）の面上に、測定プローブ１１をセットすることによって載せられるコンタクト球状キャップ２１が、ハウジング１４の縦軸１６に設けられている。
【００２８】
この少なくとも１つのセンサ素子１７は、例えば、１つの磁石を備え、少なくとも１つがソレノイド上に配置された一次コイルと二次コイルによって形成されるか、非遮蔽ダイポールとして形成される。そのようなセンサ素子１７は、磁気誘導法による測定を可能にする。磁気誘導法は、例えば鋼や鉄のような、磁化できる基材上の、例えば、クロム、銅、亜鉛、または、同様のもののような非鉄金属層や、例えば鋼や鉄のような磁化できる基材上の、染料、塗料、プラスチックの層の厚さを測定するのに適している。測定範囲は、例えば、１，８００μｍまでの層厚であり、３００ヘルツ未満の周波数を用いるのが好ましい。それに代えて、少なくとも１つのセンサ素子１７が、Ｈａｌｌセンサの近傍の集磁器上に設けられるコイルを有するようにしてもよい。このＨａｌｌセンサは、コンタクト球状キャップ２１の真後ろに設けられる。そのようなセンサ素子を用いると、渦電流法による実施が可能になる。即ち、高周波交番磁界中において、例えば、アルミニウム、銅、真ちゅう、ステンレス・スティール上の染料、塗料、プラスチック、または、他に、アルミニウム上の陽極酸化層からなる、非鉄金属上の非導電層の厚さ測定が可能になる。
【００２９】
少なくとも１つのセンサ素子１７は、縦軸１６に同軸に配置された、ハウジング固定軸受２４に可動に受け取られている案内要素２３を有する。測定物体の面上へ測定プローブ１１を移動させるときの傾きなしの移動の精度が、それによって増加する。軸受２４は、エアクッション軸受、または、低摩擦の滑り軸受として形成することができる。このハウジングに固定された軸受２４は、ハウジング１４の段部２６に配置するのが好ましく、その結果、半径方向と軸方向への、軸受２４の高速で容易な位置決めが可能になる。軸受２４は、さらに、接続導線１２の接続のために設けられる接続部２８を有する。応用の目的に応じて、ハウジング１４を、相応に仕上げることができる。例えば、例示的な実施形態による独立プローブの設計において、ハウジング１４は、接続導線１２の接続の後に、カバー２９または閉鎖部材（ファスナなどの閉じるもの）によって閉じられ、ハンドヘルド測定プローブが、接続導線１２を介して、定置型の装置に接続される。手動型の測定プローブ、または、定置型の装置に挿入する場合には、カバー２９を省略することができる。
【００３０】
センサ素子１７と、例えば、軸受２４上の接続部２８の間に、曲げ応力に耐える可撓性の導線３１、または、可撓性のライン・ストリップが設けられている。そのような曲げ応力は、測定物体の面上にプローブをセットしたときの、少なくとも１つのセンサ素子１７の持ち上がり移動によって与えられる。この場合、センサ素子１７は、ハウジング１４中に、少なくともわずかではあるが沈み込む。
【００３１】
円盤形状に設計された保持要素１８の周辺を、終端部分１９にあるハウジング終端側くぼみ３３に固着させるのが好ましい。その結果、単純に、これは、半径方向と軸方向の位置合わせを確実にする。第一の実施形態において、保持要素１８は、くぼみ３３中に（媒体にしっかりと固定して）固着される。同時に、コンタクト球状キャップ２１、および／または、センサ素子１７が、保持要素１８の孔３５中で、媒体にしっかりと固定して、設置される。したがって、ハウジング１４が外部に対して密閉され、セット時の移動と、したがって、ハウジング１４内への少なくとも1つのセンサ素子１７の沈み込みの、汚染による障害がない。
【００３２】
図２は、図１による保持要素１８の概略的な平面図を示している。この薄い円盤形状のダイヤフラムは、コンタクト球状キャップ２１を通過させることができる中心孔３５を有する。その孔のすぐ近傍の周縁エリアに、少なくとも１つのセンサ素子１７を、保持要素１８に当接させるか、または、その上に取り付けることができる。したがって、平らなコンタクト面が形成されるので好ましい。その隣に、保持要素１８の曲がり、および、それに必要な力を決定する隆起，および／または，くぼみ３６が設けられている。同時に、たわみ移動の感度を、それによって決定することができる。
【００３３】
図３は、図２に対する保持要素１８の一代替実施形態を示している。この円盤形状の保持要素１８は、例えば、図３の例示によれば、互いに噛み合う、円弧状の打ち抜き３８を有する。これは、図２による実施形態に類似して、縦軸１６に沿った軸方向の移動中の、ハウジング１４に対する半径方向の位置合わせを確実にする。そのような保持要素１８は、打ち抜き、またはレーザ加工によって、容易かつ安価に製造することができる。
【００３４】
少なくとも１つのセンサ素子１７のために、ばね荷重状態の弾性的な保持要素１８を持つ、本発明による測定プローブ１１の実施形態によれば、少なくとも1つのセンサ素子１７をねじりに抗して受け入れ、また、精密で摩擦がない案内のために傾きなく配置することを可能にする、非常に軽い測定プローブ１１が設計される。
【００３５】
図４は、測定プローブ１１の別の一代替実施形態を示している。特徴が整合する、または、変わらないという観点で、図１や、それらの代替実施形態が参照される。以下に、図１による実施形態に、それぞれに、移すこともできる代替物について記述する。軸受２４が、終端側１９の方向から、ハウジング１４の終端部分１９内に挿入されて、段部２６に載せられる。その軸受２４が案内要素２３を受け入れる。このとき、センサ素子１７が測定物体の面から持ち上げられた後、初期位置に復帰するようにするばね部材４２が、センサ素子１７と軸受２４の間に設けられる。それに代えて、ばね部材４２を、案内要素２３の外側に設けて、ハウジング１４の壁部分、または、軸受２３に接触するようにしてもよい。例示的な実施形態において、ばね部材４２が、弱いプレストレス下に保持要素１８を保ち、それによって、保持要素１８は、その基本姿勢として、外側に反って保持される。したがって、ハウジング１４に対して確定したセンサ素子１７の基本姿勢が可能になる。案内要素２３には、保持要素１８のたわみに対する自由偏位パスに関して調整可能なリミットストップ４３を設けるのが好ましい。リミットストップ４３を、偏位を極限にするために、軸受２４に据えることもできる。それに代えて、リミットストップ４３を、センサ素子上に設けて、ハウジング１４の内壁部分に止まるようにしてもよい。
【００３６】
センサ素子１７と反対側の終端に、ハウジング１４は、例えば、ねじ山として形成される固着部分４５を有する。したがって、測定プローブ１１を、種々の装置の異なる接続部に接続することができる。
【００３７】
ハウジング１４のくぼみ３３内に配置されている保持要素１８の外壁部分は、図１の実施形態に対比して、さらに奥に引っ込められている。したがって、コンタクト球状キャップ２１が、終端部分１９と、また、測定物体の面とも、同一平面上に止まるようになるのに、 わずかの量までの保持要素１８のたわみ移動で十分である。
【００３８】
センサ素子１７上に、フレキシブルプリント回路板４４（図５に、より詳細に示す）を設けるのが好ましい。このプリント回路板４４は、接続部２８と接続されている。プリント回路板４４には、案内要素２３のための打ち抜き４７を持ち、外周がセンサ素子１７に等しいか、それより小さく設計されている中央エリア４６が備えられている。半径方向に、各々、外側に向かって延びるように、接続部２８への連結を与える導線３１、または、可撓性のライン・ストリップが備えられている。それらは、センサ素子１７の沈み込み移動に追随することができるほどに可撓性である。そのようなプリント回路板４４は、通常、設計において、２ポールから６ポールにできる。加えて、プリント回路板４４の接続部を、センサ素子１７と接続部２８に、単純に差し込むことができる。
【００３９】
例示の目的で、図６は、センサ素子１７の結合素子２２として設計されている測定ポールへの保持要素１８の固着を示している。コンタクト球状キャップ２１は、ねじ接続、クランプ接続、接着接続、または、スナップ接続によって、結合素子２２に接続される。
測定ポール、または、結合素子２２は、ダイポールとして設計される。結合素子２２、および／または、コンタクト球状キャップ２１に、段部２５が設けられて、（結合素子２２に対するコンタクト球状キャップ２１の位置決めのすぐ後に、）保持要素１８が、クランプ接続によって固定される。段部２５は、同時に、保持要素１８に対するセンサ素子１７の半径方向の位置合わせのために用いられ、ハウジング１４に対する保持要素１８の半径方向の位置合わせも、ハウジング１４のくぼみ３３によって与えられる。コンタクト球状キャップ２１、または、球状ポールは、とりわけ、センサ素子１７が、渦電流法にしたがって働くときには、例えば、サファイア、セラミック、または、同様に耐摩耗性の非導電性物質から成ってもよい。低周波動作の場合には、コンタクト球状キャップを、面に薄い耐摩耗性の層を設けてもよい、鋼、または、同様に磁化可能な物質で作ることもできる。
【００４０】
前述の特徴は全て、各々単独で、本発明にとって本質的であり、互いに任意に組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明による測定プローブの概略的な断面を示す。
【図２】本発明による保持要素の第１の実施形態の概略的な平面図である。
【図３】本発明による保持装置の別の一実施形態の概略的な平面図である。
【図４】本発明の一代替実施形態の概略的な断面図である。
【図５】フレキシブルプリント回路板の概略図である。
【図６】コンタクト球状キャップの拡大概略図である。
【符号の説明】
【００４２】
１１  測定プローブ、１２  接続導線、１４  ハウジング、１７  少なくとも１つのセンサ素子、１８  保持要素、１９  終端部分、２１  コンタクト球状キャップ、２２  結合素子、２３  案内要素、２４  軸受、２５、２６  段部、２８  接続部、３１  導線、３３  ハウジング終端側くぼみ、３６  くぼみ、または、隆起、４２  ばね部材、４３  リミットストップ、４４  フレキシブルプリント回路板
【図１】
0005603532.tif 000002
【図２】
0005603532.tif 000003
【図３】
0005603532.tif 000004
【図４】
0005603532.tif 000005
【図５】
0005603532.tif 000006
【図６】
0005603532.tif 000007