(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物の光学イメージを記録し、デジタル評価することによる、光学イメージングモードにおける非干渉イメージングと干渉操作モードにおける干渉法により、測定対象物（９）をイメージ及び／又は測定する装置であって、
光路を決定し、測定対象物（９）からの光を受け、それをイメージ受容装置（１２）に供給する対物レンズ（８）、
参照ミラー（４）と共に参照光路（３）を決定し、第１照明装置（１ａ）からの光の一部が第１ビーム分割器（２）にて参照光路（３）へ反射され、第１照明装置（１ａ）からの光の残り一部が第１ビーム分割器（２）を通過して測定対象物（９）へ向けられるように、光路に配置された第１ビーム分割器（２）、
光路に連結された、測定対象物（９）を照明するための干渉操作モード用の装置であって、そこから放出された光を参照光路（３）及び光路にも導入する第１照明装置（１ａ）、及び
測定対象物（９）を照明する装置であって、その光は参照光路から遠ざけられる第２照明装置（１ｂ）を有し、
参照ミラー（４）が、干渉操作モードにおいて参照光路（３）で第１ビーム分割器（２）及び参照ミラー（４）によって反射された光と測定対象物（９）で反射された光が干渉するように、光軸上に配置されていること
を特徴とする装置。
【請求項２】
第１照明装置（１ａ）は、イメージング装置（１２）と第１ビーム分割器（２）の間の位置の光路に連結し、それでその光が、測定対象物（９）に向かう方向でビーム分割器（２）を通過し、また、第１照明装置（１ａ）の、測定対象物（９）で反射された光が、それとは反対の方向で、測定対象物（９）から離れるようにビーム分割器（２）を通過することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
第２照明装置（１ｂ）は、その光が測定対象物（９）からイメージング装置（１２）に向かう方向にのみ第１ビーム分割器（２）を通過するように配置されることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
第２照明装置（１ｂ）は、その光がまず測定対象物（９）に達し、次いで対物レンズ（８）に達するように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項５】
第２照明装置（１ｂ）は、対物レンズ（８）の外側に配置されることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項６】
第２照明装置（１ｂ）は、暗視野照明装置であることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項７】
第２照明装置（１ｂ）は、測定対象物（９）の上部に配置される鉛直照明装置である又は含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項８】
第２照明装置（１ｂ）は、測定対象物（９）の下部に配置される透過光照明のための光源（２３）である又は含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項９】
第２照明装置（１ｂ）は、テレセントリック透過光照明装置（２３）である又は含むことを特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
少なくとも１つの照明装置（１ａ，１ｂ）は、白色光源（ＬＥＤ）を有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１１】
少なくとも１つの照明装置（１ａ，１ｂ）は、カラー光源（ＬＥＤ）を有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１２】
両方の照明装置（１ａ，１ｂ）は、白色光源（ＬＥＤ）を有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１３】
両方の照明装置（１ａ，１ｂ）は、同じスペクトル組成の光を放出する光源（ＬＥＤ）を有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１４】
第２照明装置（１ｂ）は、測定対象物を同時照明するための複数の光源（ＬＥＤ）を有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１５】
第２照明装置（１ｂ）は、測定対象物の一方の照明のための複数の光源（ＬＥＤ，２３）を有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１６】
測定対象物の一方の照明のための光源（ＬＥＤ，２３）は、同じスペクトル組成の光を発することを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】
測定対象物の一方の照明のための光源（ＬＥＤ，２３）は、異なるスペクトル組成の光を発することを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項１８】
イメージ処理装置（１４）がイメージ受容装置（１２）に連結していることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１９】
第１照明装置（１ａ）は、干渉操作モードのための光源として、ショートコヒーレント光源及び／又はロングコヒーレント光源（２５）を有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項２０】
垂直スキャン干渉法を実行するために、調節装置（１３）が干渉計、対物レンズ（５）及び／又は測定対象物（９）に割り当てられることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項２１】
干渉計が移相器を有することを特徴とする請求項２０に記載の装置。
【請求項２２】
装置の視野に、点状測定スキャナー（２６）が配置されることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項２３】
スキャナー（２６）はメカニカルスキャナーであることを特徴とする請求項２２に記載の装置。
【請求項２４】
装置と測定対象物の互いに対する調節のために、位置決め装置（１３）が設けられることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項２５】
請求項１から２４のいずれか一項に記載の装置を使用するための方法にして、
干渉操作モードにおける干渉法により、測定対象物（９）の高さ値の組み合わされた領域決定をし、また測定対象物（９）の光学イメージを記録してデジタル評価することにより、イメージ処理モードにおいて形状要素のラテラル寸法を測定する方法において、
干渉操作モードを確立するために、第１照明装置（１ａ）の光が、測定対象物（９）に向かう第１方向と、参照光路（３）を装置の光路に連結するビーム分割器（２）を介してイメージ記録装置（１２）への第２方向に向けられ、
かなりの部分の光が参照光路（３）に入るのを防止し、イメージング操作モードで操作するために、第２照明装置（１ｂ）の光が、ビーム分割器（２）を介して、測定対象物（９）からイメージ記録装置（１２）に離れる方向にのみ向けられることを特徴とする方法。
【請求項２６】
干渉操作モードにおいて、さらなるロングコヒーレント光源（２５）により移相干渉法が実行されることを特徴とする請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
測定対象物（９）は、装置の視野に配置され点状の測定が可能なスキャナー（２６）によりスキャンされることを特徴とする請求項２５又は２６に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定すべき対象物を光学測定する装置及び方法に関する。当該装置及び方法は、特にマイクロシステムテクノロジーにおいてタスクを測定するのに特に適している。
【背景技術】
【０００２】
最高の精度で段の対象物上の高い構造体の領域を測定するため、垂直にスキャンする白色干渉法（ＷＬＩ）が特に適している。この目的のための共通の干渉装置はマイケルソン干渉計、リニーク（Ｌｉｎｎｉｋ）干渉計及びミラウ（Ｍｉｒａｕ）干渉計である。ＷＬＩでは、照明のために白色光、一般的にハロゲンランプが使用される。１００ｎｍ未満の距離で対象物の干渉イメージが、一般的に部分解像度でピクセルセンサー（例えば、ＣＣＤアレー又はＣＭＯＳアレー）により記録される間、測定の間測定ビーム経路と参照ビーム経路との行程距離差は連続的に増加又は減少する。経路差変化は、干渉計の方向に測定されている対象物の運動、対象物に向かう又は離れる方向への干渉計の運動、干渉対物レンズ又は干渉ミラーの運動により生じる。このプロセスは垂直スキャンと呼ばれる。次いで、それぞれのカメラピクセルのための強度曲線、光路長の差に依存するいわゆるコレログラム（相関図）がさらなる信号評価のために提出される。
【０００３】
ＷＬＩ信号評価では、１００ｎｍ以上の部分的な偏向を有する測定ポイントの高さ位置の比較的粗い見積もりを与えるコヒーレンスピーク評価と、ナノ又はナノ以下の範囲の測定誤差を与える位相評価との区別がなされる。高さ測定範囲は数ミリメートルである。
【０００４】
測定すべき対象物のラテラル形状特徴が、例えばエッジ検出アルゴリズムを用いて、ピクセルイメージのデジタル評価により決定される。従って、微視的対象物に関連して、測定顕微鏡は適切なカメラを備え、このようなピクセルイメージを記録し、次いでこれらをデジタル式に評価する。このプロセスの利点は、イメージ確立と測定対象物の励起との対応する同期によって、それぞれの測定対象物の動的挙動の検査をも実行できる高測定速度にある。しかしながら、全ての微視的プロセスは、達成可能なラテラル解像度に関して、回折限界マッピングにより設定された限界を受ける。可視光の使用によって、これは一般的に約０．５μｍのラテラル解像度になる。
【０００５】
デジタル化された光学顕微鏡イメージングに基づくラテラル構造の評価が上述の１つの干渉計装置で実行される場合、それにより生じる付加的なイメージコントラストのため干渉顕微鏡検査に関して必ず生じる干渉が煩わしい。
【０００６】
ゆえに、特許文献１は、干渉操作モード及びイメージング操作モードにおいて同じ対物レンズで作動する測定装置を提案した。この目的のため、異なるスペクトル組成の光を放出する２つの光源が設置される。この参照光路に、１つのスペクトル組成の光のみ通過させ、他の成分の光を通過させないフィルターが配置される。
【０００７】
この原則により、異なるタイプの光が異なる操作モードで使用される。
【０００８】
【特許文献１】ＷＯ２００５／１０８９１５Ａ１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、この状況を改良することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この目的は、請求項１に記載の装置及び請求項２５に記載の方法により達成される。
【００１１】
本発明に従う装置及び本発明に従う方法によれば、少なくとも２つの操作モード、すなわちイメージ処理又は測定対象物のマニュアル観察又はイメージの貯蔵若しくは後のイメージ評価のためのイメージ記録が実行されるイメージング操作モードと干渉操作モードが利用できる。
【００１２】
測定装置は、異なる又は同じスペクトル組成を有する光を発する光源を備えた第１及び第２照明装置を有する。２つの操作モードの切り換えは、第１照明装置のみ又は第２照明装置のみ作動される、２つの光源の切り換えにより実現される。異なる操作モードは、ビーム分割器を介して１つの（第１）光源の光を通過させ、ビーム分割器を介して参照光路は参照光線の分岐されない第１方向にビームインプットに接続されるか、他の（第２）光源の光が、ビーム分割器が参照光路に光を分岐しない反対方向にのみこのビーム分割器を通過することによって、照明装置の二者択一の作動により実現される。
【００１３】
この目的のために、例えば、第１照明装置の光はビーム分割器とイメージ記録装置の間の位置の測定装置のビーム経路に結合される。対照的に、第２照明の光はビーム分割器と測定対象物の間の第２位置における測定装置のビーム経路に結合されるか、それに代えて測定対象物に放射される。次いで、第１照明装置の光は、測定対象物に向かう方向にビーム分割器を通過し、測定対象物から反射した光は反対方向にビーム分割器を通過する。それは光がビーム分割器を２回、すなわち前方向と後方向に通過することを意味する。ビーム分割器を通って測定対象物に導かれる光のうち、一部は参照光路に分岐される。
【００１４】
第２照明装置の光は、光が参照光路に分岐されうる、測定対象物に向う方向にビーム分割器を通過しない。ゆえに、参照光路は、第２照明装置の光にとって全く作動せず、これは第１及び第２照明装置が同じ光源を使用する場合にも当てはまる。ゆえに、異なる測定モードを与える照明装置のための光源の選択に関する従来技術における制限は除去される。
【００１５】
第１及び第２照明装置の光源として、ショートコヒーレント光源、ロングコヒーレント光源、カラー光源、白色光源、例えばレーザーダイオード、発光ダイオード、カラー発光ダイオード、白色発光ダイオード、超放射ダイオード（スパールミネッセントダイオード）、ハロゲンランプ及び同種のものなどが使用される。操作モード間の切り換えは純粋に電子性質により、照明装置を作動又は停止させるだけでよい。機械的調節は不要であり、対物レンズを交換する必要もない。干渉光学操作モードでは、測定対象物は対物レンズを通る光で照明されるのに対し、イメージングモードでは照明は幅広い制限内で自由に決定できる。照明は、鉛直照明、透過照明又は暗視野照明又は測定対象物若しくは測定対象物キャリアの別な照明の形式で対物レンズを通って適用される。暗視野照明装置は、例えば輪状の発光ダイオード装置を具備してもよい。
【００１６】
後続の干渉測定を有する光学顕微鏡スキャンにより、さらに迅速で自動のプロセスが実現される。光学顕微鏡操作モードでは、検査されている対象物又はシステムの動的挙動のさらに迅速な検査が可能である。
【００１７】
対物レンズとして、一体化したビーム分割器及び一体化した参照ミラーを備えたミラウ干渉対物レンズが使用される。
【００１８】
例えば青色光を用いて得られる光学顕微鏡イメージは、例えば、高解像度で形状要素（ジオメトリック・エレメント）のラテラル決定を可能にする。すでに、青色光の小さい波長のために、０．５μｍ未満のラテラル解像度が実現される。青色発光ダイオードに基づく外側光源、例えば、制御可能なセグメントを有する輪状光照明を用いて、画像処理の間複雑で時間のかかる態様で測定対象物を傾斜させる必要なく傾いたミラーフランクを測定することもできる。
【００１９】
操作をマイケルソン対物レンズの使用に広げることで、（より小さい開口数に対応する減少したラテラル解像度を有する）より大きい測定範囲が１つの測定プロセスにおいてカバーされる。他方で、リニーク装置は、できるだけ大きい対物レンズの開口数を選択することでラテラル解像度を最小化するのに役立つ。例えば対物レンズレボルバーの使用により装置において複数の対物レンズを使用することもできる。
【００２０】
干渉装置は、本発明の１つの側面によれば移相器干渉計として作動される。この場合、本質的に単色光源が干渉測定に使用される。
【００２１】
顕微鏡の視野における触覚マイクロスキャナーのさらなる配置により、光学測定ではアクセスできない構造の形状測定データが決定される。ここでは、干渉測定及びイメージ処理と同じ参照システムにおける光学装置との機械的連結の結果、触覚測定が行われる。触覚マイクロスキャナーは、例えば、キャリパー偏向を測定する圧電抵抗回路を具備したシリコン屈曲アームの形状でもよい。
【００２２】
測定装置と、適切なインクリメンタル測定装置を具備するＸ，Ｙ，Ｚ軸のための機械的位置決めユニットとの連結により、互いに対して異なる対象物領域を測定することができる。測定対物レンズしだいで回転位置決め軸も役立つ。
【００２３】
本発明に従う装置は、コンパクトなセンサーモジュールの形状でもよく、比較的小さい装置費用で、特にマイクロシステムエンジニアリングの分野で多数のアプリケーションを促進する。それは、増大しつつある測定精度の必要性、測定速度、プロセスに関連するフレキシブルな応用性に適応する。ＬＥＤは、デザイン自由度、コンパクトライフ及び熱擾乱の観点から、白色干渉法において幅広く用いられるため、光源としてＬＥＤの使用は熱放射体に比べて有利である。
【００２４】
本発明の方法では、測定装置の個々のシステムは、それぞれの測定タスクが光学的に実行されるように互いに調和して作動される。ここでは、触覚マイクロスキャナーにより適用できる場合、ラテラル構造サイズはイメージ処理により解析され、構造高さは、白色干渉法とさらなる特徴、例えば垂直フランクが決定される微細構造によって決定される。全ての測定データは同じ参照システムに存在し、よって互いに組み合わせられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本発明の有利な実施形態のさらなる詳細は図面、明細書又は請求項から明らかになろう。
図１は、測定対象物９の光学イメージングによるイメージ処理モードと干渉操作モードの二者択一での測定対象物９の高さ値の組み合わされる領域決定のための装置を示す。装置の部品は、第１照明装置１ａと第２照明装置１ｂを備えた照明装置１である。照明装置１ａ，１ｂは、例えば光学構造を備えた光源を有し、光学構造を介して、光がそれぞれの場合に測定対象物９の表面に向けられる。
【００２６】
照明装置１ａ，１ｂは、同じ又は異なるスペクトル組成の光を放出する。例えば、第１照明装置１ａは、比較的広い光スペクトルを生成する白色ＬＥＤでもよい。第２照明装置１ｂは、例えば短い波長の青色光の発光ダイオードである。それに代えて、両方の照明装置１ａ，１ｂは、白色ＬＥＤ、又はカラー、例えば青色光ＬＥＤでもよく、又は他の光源も使用される。
【００２７】
測定装置は、測定対象物からイメージ記録装置１２まで延びる光路を有する。光路に、参照光路３が加えられるビーム分割器２が配置されている。参照光路３に、ミラー４が配置されている。コンデンサー５及びさらなるビーム分割器６によって、第１照明装置１ａの光源は、ビーム分割器２と参照ミラー４を含む対物レンズ８の入射瞳７に描かれる。干渉操作モードでは、ビーム分割器２による光路からビーム分割器２により分岐された光源１ａの光の一部が、ビーム分割器２を通って参照ミラー４に導かれ、そこで反射される。他の部分の光はまずビーム分割器２から、第２照明装置１ｂの光源が必要なときに反射される別なビーム分割器１０に分割される。第１照明装置１ａの光はビーム分割器１０を通過し、測定対象物９に向けられ、そこから反射される。
【００２８】
参照ミラー４と、焦点深度内にある測定対象物９の部分とが、対物レンズ８及び結像レンズ１１により検出器アレー１２、例えば８００×６０ピクセルのピクセルカメラに描かれる。測定対象物９及びミラー４から反射された光はここでビーム分割器２により結合され、ビーム分割器６を通過し、検出器アレー１２で干渉を受ける。
【００２９】
位置決めユニット１３が、測定対象物９と垂直、すなわちｚ方向に対物レンズ８を調節する働きをする。制御装置として機能するデジタルコンピューター１４が、データアレー１２により与えられたイメージを受信し、位置決めユニット１３を制御する。干渉測定は、位置決めユニット１３を光軸に沿って移動させ、デジタルコンピューター１４で評価される異なる高さ位置の対物レンズ干渉イメージを得ることで行われる。干渉操作のために、照明装置１ａ（例えば、白色光源）が操作される。照明装置１ｂ（例えば、青色ＬＥＤ）は干渉モードでは操作されない。照明装置１ａの光は、一回は測定対象物９に前方に、一回はイメージング装置１２に後方に、干渉光路３に連結したビーム分割器２を二回通過する。
【００３０】
イメージ処理モードでは、照明装置１ａは操作から外され、照明装置１ｂのスイッチが入れられる。光は、コンデンサー１５及びビーム分割器１０を介して、参照光路３が迂回されるように光路に連結する。この目的のために、ビーム分割器１０は、ビーム分割器２と測定対象物の間に配置される。照明装置１ｂの光は測定対象物９を照明し、結像レンズ１１と共に、対物レンズの焦点深度内にある対象物領域の再現を検出器アレー１２において行う。検出器アレーは対象物のイメージを記録し、それをデジタル評価のためにそこに接続したデジタルコンピューター１４に提供する。
【００３１】
干渉操作モードでは、白色干渉法に関連して知られているプロセスが、測定対象物９の構造の高さ位置を決定するのに使用される。例えば、干渉現象が生じ、次いでこれらが評価されるまで、位置決めユニット１３は調節される。
【００３２】
イメージ処理モードでは、照明装置１ｂの光により照らされる測定対象物９が検出器アレー１２に光学的に描かれる。得られるイメージはデジタルコンピューター１４で貯蔵され、又はさらに処理される。例えば、エッジ検出ルーチンによって、イメージ構造が認識され、測られる。
【００３３】
干渉測定のための照明装置１ａの光は先ずビーム分割器２に、次いで測定対象物９に達する。照明装置１ｂの光は先ず測定対象物９に達し、次いでビーム分割器２に達する。
【００３４】
図２は、ミラウ干渉計の形式の本発明に従う装置の別な実施形態を示す。対応する部品のために同じ参照番号が使用されており、先の説明が当てはまる。ビームコンダクター２は、一部反射板の形状である。参照ミラー４は光軸上に配置されている。照明装置１ｂは対物レンズの外側に配置されている。それは光を測定対象物に放射するので、先の例のように光は測定対象物に到達し、その後最初のビーム分割器を通過する。測定対象物９から達する光だけがビーム分割器２を通過し、イメージ処理装置１２に達する。
【００３５】
図３は、１つの実施形態又は暗視野照明装置における照明装置１ｂを示す。暗視野照明装置は、複数の光源、例えば測定対象物９が支持された平面１６の下に配置された発光ダイオードを有する。測定対象物９は、図示のように照明装置１ｂで照明される、複数のステップ及びエッジ１７，１８，１９，２０と側面２１，２２を有する。この目的のために、それは、既に述べたように、多数の光源、例えば発光ダイオードを有する。これらは図４に示されるように１つのリング又は複数のリングに配列されてもよい。それらはそれぞれ、例えば２５°の開口又は発光角度を有する。それらの光軸は共通点に一致すると好ましい。発光ダイオードは、それらから発光される光が対物レンズ８に直接達しないように配置されると好ましい。
【００３６】
図３に示されるように、照明装置１ｂは、装置の光軸上の測定対象物９の下に配置される、例えば発光ダイオード又は白熱電球などの別な光源の形式のさらなる光源２３を有してもよい。または、照明装置１ｂは、透過光照明のための光源或いはテレセントリック透過光照明装置であるか、または、それらを含んでもよい。この光源は、透過照明操作において測定対象物を照明するのに使用される。これは、半透明又は透明な測定対象物に関して役立つ。発光ダイオードは、カラー発光ダイオード、短波の青色発光ダイオード、紫外線放射発光ダイオード、又は白色発光ダイオードである。
【００３７】
図５は、図２に示される実施形態に基づく本発明に従う装置の別な実施形態を示す。ゆえに、それぞれの説明を参照されたい。しかし、先に説明した実施形態と異なり、照明装置１ｂは測定対象物９の上に配置され、鉛直照明として形成される。照明装置１ｂは１又は複数の光源を有し、これらは測定対象物９に光を向けるが、対物レンズに向けない。従って、測定対象物９から戻る照明装置１ｂの光だけが対物レンズ８に達する。参照光路３は、この操作モード−光学イメージングがこの場合使用される−では作動しない。
【００３８】
さらに、照明装置１ａは２つの光源２４，２５を有し、それらの光はビーム分割器２６によって結合し、コンデンサー５及びビーム分割器６を介して装置の光路に向けられる。光源２４，２５は、干渉操作モードにどちらも適する異なるスペクトル特性を有する。例えば、一方は長いコヒーレントであり、他方は短いコヒーレントでもよい。干渉生成対物レンズとして、マイケルソン、ミラウ又はリニークに従う装置が使用される。
【００３９】
図６に示されるように、さらに点測定スキャナー２６がイメージング光学系の視野に導入されてもよい。これは、前述の全ての実施形態に当てはまる。点状測定スキャナー２６はデジタルコンピューター１４と接続していると好ましい。
【００４０】
並進及び／又は回転調節装置、すなわち測定対象物９及び／又は装置、特に対物レンズ８に割り当てられた軸によって、測定対象物と測定装置との相対位置の変化が実現される。
【００４１】
本発明に従う装置は、少なくとも２つの異なる増加したモードで操作できる対物レンズを有する。第１の干渉モードでは、測定対象物９は干渉光学的に測定される。第２のイメージング操作モードでは、光学イメージが、例えばカメラのように作動する検出器アレー上に作られ、次いで当該イメージはイメージ処理ルーチンに供される。２つの測定モード間の切り換えは、装置の光路の異なる位置に連結した照明装置を切り換えることで行われる。カメラから見て、一方はビーム分割器の前にあり、他方は参照光路を光路に結合するビーム分割器の後ろにある。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】マイケルソン干渉計に基づく測定対象物を光学測定するための本発明に従う装置を概略的に示す。
【図２】ミラウ干渉計に基づく本発明に従う装置を概略的に示す。
【図３】原則として、暗視野照明装置の説明のために部分的に表された図２に従う装置である。
【図４】斜視描写の図３に従う暗視野照明装置である。
【図５】３つの測定モードが可能なミラウ干渉計に基づく本発明に従う装置を示す。
【図６】干渉操作モード、イメージング操作モード、さらに機械的スキャナー表現を有する測定装置に概略図である。
【符号の説明】
【００４３】
１ａ  第１照明装置
１ｂ  第２照明装置
２  第１ビーム分割器
３  参照光路
４  リフレクター
８  対物レンズ
９  測定対象物
１０  第２ビーム分割器
１２  イメージング装置
【図１】
0005541916.tif 000002
【図２】
0005541916.tif 000003
【図３】
0005541916.tif 000004
【図４】
0005541916.tif 000005
【図５】
0005541916.tif 000006
【図６】
0005541916.tif 000007