(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートの一方の面に接着剤層が積層され、当該接着剤層を介して被着体に貼付された接着シートを当該被着体から剥離するシート剥離装置であって、
前記接着シートが前記被着体から剥離する剥離縁に当該接着シートの基材シート側から流体を噴出して前記接着シートを被着体側に抑え付ける抑え付け手段と、
前記抑え付け手段における前記流体を噴出する領域を前記剥離縁の長さに合わせて可変とする噴出領域可変手段と、
前記抑え付け手段から噴出される流体を排出する流体排出手段と、
前記流体排出手段における排気口を前記剥離縁の長さに合わせて移動可能な排気口移動手段とを備えることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
基材シートの一方の面に接着剤層が積層され、当該接着剤層を介して被着体に貼付された接着シートに剥離テープを貼着し、前記剥離テープと前記被着体とを相対移動させることで前記接着シートを当該被着体から剥離するシート剥離装置であって、
前記接着シートが前記被着体から剥離する剥離縁に当該接着シートの基材シート側から流体を噴出して前記接着シートを被着体側に抑え付ける抑え付け手段と、
前記抑え付け手段における前記流体を噴出する領域を前記剥離縁の長さに合わせて可変とする噴出領域可変手段と、
前記抑え付け手段から噴出される流体を排出する流体排出手段と、
前記流体排出手段における排気口を前記剥離縁の長さに合わせて移動可能な排気口移動手段とを備えることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項３】
前記抑え付け手段に供給される流体の温度を制御する温度制御手段を備えることを特徴とする請求項１または請求項２の何れか一項に記載のシート剥離装置。
【請求項４】
基材シートの一方の面に接着剤層が積層され、当該接着剤層を介して被着体に貼付された接着シートを当該被着体から剥離するシート剥離方法であって、
前記接着シートが前記被着体から剥離する剥離縁に当該接着シートの基材シート側から流体を噴出して前記接着シートを前記被着体側に抑え付けながら剥離し、
前記流体を噴出する領域を前記剥離縁の長さに合わせて変更するとともに、噴出される流体を排出する排気口を前記剥離縁の長さに合わせて移動させて当該流体を排出することを特徴とするシート剥離方法。
【請求項５】
基材シートの一方の面に接着剤層が積層され、当該接着剤層を介して被着体に貼付された接着シートに剥離テープを貼着し、前記剥離テープと前記被着体とを相対移動させることで前記接着シートを当該被着体から剥離するシート剥離方法であって、
前記接着シートが前記被着体から剥離する剥離縁に当該接着シートの基材シート側から流体を噴出して前記接着シートを前記被着体側に抑え付けながら剥離し、
前記流体を噴出する領域を前記剥離縁の長さに合わせて変更するとともに、噴出される流体を排出する排気口を前記剥離縁の長さに合わせて移動させて当該流体を排出することを特徴とするシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置およびシート剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハなどの被着体に貼付された保護テープなどの接着シートを剥離するシート剥離装置として、接着シート表面に剥離テープを貼着し、エッジ部材の先端で剥離テープ若しくは接着シートを抑えながら剥離シートをエッジ部材先端で鋭角に折り返して引っ張り、同時にエッジ部材を接着シートに沿って後退させることで接着シートをウエハ表面から剥離する構成が知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１２４４９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１のような構成では、接着シートとこれに貼り付けられた剥離テープをエッジ部材の先端で抑え付けながら接着シートを被着体から剥離するので、接着シート自体の剥離力に加えて、エッジ部材の先端で接着シートを挟み込むことによって発生する接着シートとエッジ部材の先端との摩擦抵抗による力に抗して剥離テープを引っ張らなければならない。このため、剥離テープを引っ張る力が大きくなってしまい、剥離テープが接着シートから剥がれたり切断したりして接着シートの剥離不良を引き起こしてしまうという不都合がある。また、被着体がバンプを有する半導体ウエハの場合、剥離テープを抑え付けながらウエハ表面に沿って移動するエッジ部材先端がバンプに引っ掛かり、バンプを剥ぎ取ってしまったり、ウエハを破損させてしまったりするという不都合が生じる。
【０００５】
本発明は、確実に接着シートを被着体側に抑え付け、剥離に要する力が大きくなることを抑制し、かつ被着体を破損させることなく接着シートを剥離することができるシート剥離装置及びシート剥離方法を得ることを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明の請求項１に記載のシート剥離装置は、基材シートの一方の面に接着剤層が積層され、当該接着剤層を介して被着体に貼付された接着シートを当該被着体から剥離するシート剥離装置であって、前記接着シートが前記被着体から剥離する剥離縁に当該接着シートの基材シート側から流体を噴出して前記接着シートを被着体側に抑え付ける抑え付け手段と、前記抑え付け手段における前記流体を噴出する領域を前記剥離縁の長さに合わせて可変とする噴出領域可変手段と、前記抑え付け手段から噴出される流体を排出する流体排出手段と、前記流体排出手段における排気口を前記剥離縁の長さに合わせて移動可能な排気口移動手段とを備えることを特徴としている。
【０００７】
（２）請求項２に記載の発明は、基材シートの一方の面に接着剤層が積層され、当該接着剤層を介して被着体に貼付された接着シートに剥離テープを貼着し、前記剥離テープと前記被着体とを相対移動させることで前記接着シートを当該被着体から剥離するシート剥離装置であって、前記接着シートが前記被着体から剥離する剥離縁に当該接着シートの基材シート側から流体を噴出して前記接着シートを被着体側に抑え付ける抑え付け手段と、前記抑え付け手段における前記流体を噴出する領域を前記剥離縁の長さに合わせて可変とする噴出領域可変手段と、前記抑え付け手段から噴出される流体を排出する流体排出手段と、前記流体排出手段における排気口を前記剥離縁の長さに合わせて移動可能な排気口移動手段とを備えることを特徴としている。
【０００８】
（３）請求項３に記載の発明は、（１）又は（２）に記載のシート剥離装置であって、前記抑え付け手段に供給される流体の温度を制御する温度制御手段を備える。
【０００９】
（４）本発明の請求項４に記載のシート剥離方法は、基材シートの一方の面に接着剤層が積層され、当該接着剤層を介して被着体に貼付された接着シートを当該被着体から剥離するシート剥離方法であって、前記接着シートが前記被着体から剥離する剥離縁に当該接着シートの基材シート側から流体を噴出して前記接着シートを前記被着体側に抑え付けながら剥離し、前記流体を噴出する領域を前記剥離縁の長さに合わせて変更するとともに、噴出される流体を排出する排気口を前記剥離縁の長さに合わせて移動させて当該流体を排出することを特徴としている。
【００１０】
（５）請求項５の発明は、基材シートの一方の面に接着剤層が積層され、当該接着剤層を介して被着体に貼付された接着シートに剥離テープを貼着し、前記剥離テープと前記被着体とを相対移動させることで前記接着シートを当該被着体から剥離するシート剥離方法であって、前記接着シートが前記被着体から剥離する剥離縁に当該接着シートの基材シート側から流体を噴出して前記接着シートを前記被着体側に抑え付けながら剥離し、前記流体を噴出する領域を前記剥離縁の長さに合わせて変更するとともに、噴出される流体を排出する排気口を前記剥離縁の長さに合わせて移動させて当該流体を排出することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、確実に接着シートを被着体側に抑え付け、剥離に要する力が大きくなることを抑制し、かつ被着体を破損させることなく接着シートを剥離することができるシート剥離装置及びシート剥離方法を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態であるシート剥離装置の斜視図である。
【図２】図１の抑え付け手段の内部機構を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。図１、図２において、シート剥離装置１０は、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤが積層され、当該接着剤層ＡＤを介して被着体としての半導体ウエハＷに貼付された接着シートＳを半導体ウエハＷから剥離する装置である。
【００１６】
接着シートＳがその表面に貼付された半導体ウエハＷは、テーブル１１上に載置され、このテーブル１１に設けられた図示しない吸引孔により吸着保持される。
テーブル１１に保持された半導体ウエハＷには、例えば特開平１１−１６８６２号公報に開示されたシート剥離装置などを用いて剥離テープ１３が接着シートＳの上面（基材シートＢＳ側）に貼着される。なお、剥離テープ１３は、貼着装置１２内から剥離動作毎に繰り出され、図示しない駆動手段により図１中矢印Ａで示される方向に移動可能なチャック機構１４により保持される。一方、テーブル１１は、リニアモータ１５の図示しないスライダ上に固定され、チャック機構１４の移動方向とは逆向きの図１中矢印Ｂで示される方向に移動可能に設けられている。これにより、剥離テープ１３と半導体ウエハＷとの相対移動を可能にする。
【００１７】
剥離テープ１３が貼着された接着シートＳの上方には、所定の隙間を置いて、非接触な状態で抑え付け手段１６が配置される。抑え付け手段１６は、断面視略楔形状の外形に設けられ筐体で構成された噴出しノズル１６Ａと、この噴出しノズル１６Ａの楔形状の先細り縁側に形成され、その長手方向に沿ってスリット状に設けられた噴出し口１７と、ポンプなどからなる図示しない流体供給手段から噴出しノズル１６Ａの内部に空気等の流体を供給する供給管１８とを備えている。噴出しノズル１６Ａ及び噴出し口１７の長手方向の長さは半導体ウエハＷの外径よりも大きく設定され、半導体ウエハＷの上方に掛け渡し可能に設けられている。これにより、噴出しノズル１６Ａ内に供給された空気が噴出し口１７から噴出可能になっており、接着シートＳおよび剥離テープ１３は、半導体ウエハＷの上方に掛け渡された噴出しノズル１６Ａの噴出し口１７に沿って折り返される。つまり、抑え付け手段１６は、噴出し口１７から噴出される空気によって、接着シートＳが半導体ウエハＷから剥離する剥離縁Ｆを接着シートＳの基材シートＢＳ側から半導体ウエハＷ側に抑え付ける（押え付ける）ことが可能となっている。
【００１８】
円形の半導体ウエハＷに貼付された円形の接着シートＳを剥離する場合、接着シートＳの剥離が進行するに従って、剥離縁Ｆの長さが変化する。そこで、空気が噴出される噴出し口１７の幅も剥離縁Ｆの長さに合わせて可変とすることが好ましい。そこで、図２に示されるように、噴出し口１７の幅を剥離縁Ｆの長さに合わせて可変とする噴出領域可変手段３６が採用される。噴出領域可変手段３６は、噴出しノズル１６Ａの内部に設けられた一対のネジ軸２６、２７と、これらネジ軸２６、２７の一端側に図示しない出力軸が接続されたモータ２８、２９と、ネジ軸２６、２７それぞれの他端側を回転可能に支持する回転軸受３４、３５と、ネジ軸２６、２７それぞれに螺着されたナット部材３０、３１と、これらナット部材３０、３１に取り付けられた仕切板３２、３３とを備える。仕切板３２、３３は、噴出しノズル１６Ａの内側の面に摺動可能とされ、噴出しノズル１６Ａの内部において、これら仕切板３２、３３によって挟まれる内側空間３７と、これら仕切板３２、３３の外側に位置する外側空間３８とを気密に隔離する。また、供給管１８は、噴出しノズル１６Ａの長手方向における中央部に接続され、仕切板３２、３３で挟まれる空間にのみに空気を供給する。このような構成により、上記のように剥離が進行するに従って、剥離縁Ｆの長さが変わる場合、モータ２８、２９の作動によって、各仕切板３２、３３が剥離縁Ｆの長さに合わせて移動可能となっている。
【００１９】
また、噴出し口１７の気体噴出方向下流側には、流体排出手段２０が設けられている。流体排出手段２０は、剥離縁Ｆの両脇に位置するとともに、それら開口部２１Ａがそれぞれ向かい合わせの状態で配置された排気口２１と、各排気口２１に吸引力を付与する図示しないポンプ等の吸引手段が接続された排気管２２とを備えている。噴出し口１７から噴出され、剥離縁Ｆの基材シートＢＳ側に当たって半導体ウエハＷの外縁方向に噴出される空気は、各排気口２１から吸引され、それぞれ排気管２２を通って外部へと排出される。
【００２０】
更に、流体排出手段２０は、排気口移動手段２３によって噴出しノズル１６Ａの長手方向に沿って移動可能に支持されている。排気口移動手段２３は、噴出しノズル１６Ａの長手方向に沿って配置された一対のリニアモータ２４と、これらリニアモータ２４の各スライダ２４Ａに取り付けられ、各排気口２１を支持する一対のアーム２５とを備えている。このような構成により、上記のように剥離が進行するに従って、剥離縁Ｆの長さが変わる場合、リニアモータ２４の作動によって、各排気口２１が常に所定間隔を維持して剥離縁Ｆの両脇に位置可能となっている。
【００２１】
また、供給管１８の途中には、ヒータやペルチェ素子等からなる温度制御手段１９が設けられ、供給される空気の加熱または冷却が行われ、適正な温度の空気が噴出しノズル１６Ａ内に供給され、噴出し口１７から噴出される。これは、例えば、基材シートＢＳに剛性の高いものが採用され、接着シートＳを折り返して剥離縁Ｆが適切に形成できないような場合、噴出しノズル１６Ａ内に供給される空気を加熱し、この加熱された空気を接着シートＳに噴出する。これにより、剛性の高い基材シートＢＳであっても、軟化して適切に剥離縁Ｆを形成して接着シートＳをウエハＷから隔離することができる。また、接着剤層ＡＤを構成する接着剤の性質によっては、加熱したり冷却したりすることで、その粘着力が低下する場合があるため、採用される接着剤の性質に応じて噴出しノズル１６Ａ内に供給する空気の温度を適宜加熱または冷却するようにしてもよい。
【００２２】
以上のように、本実施形態によれば、抑え付け手段１６を剥離シート１３や接着シートＳに接触させることなく、剥離縁Ｆを接着シートＳの基材シートＢＳ側から半導体ウエハＷ側に抑え付けることができるので、従来のように、エッジ部材の先端で接着シートＳを挟み込む力が発生することはない。つまり、抑え付け手段１６から噴出される空気によって、接着シートＳを半導体ウエハＷ側に抑え付ける力は付与されるものの、空気は流体であるため、接着シートＳとの間で摩擦抵抗が上昇することは殆どない。これにより、従来のように、接着シートＳ自体の剥離力に加えて、エッジ部材の先端で接着シートＳを挟み込むことによって発生する接着シートＳとエッジ部材の先端との摩擦抵抗による力に抗して剥離テープを引っ張るようなことはなく、剥離テープ１３が接着シートＳから剥がれたり、切断したりして接着シートＳの剥離不良を引き起こすことを解消することができる。また、半導体ウエハＷにバンプが形成されていたとしても、バンプを剥ぎ取ることはなくなる。
【００２３】
更に、噴出領域可変手段３６によって空気が噴出される噴出し口１７の幅を変更することができるので、噴出し口１７から吹き出される空気を効率よく剥離縁Ｆの基材シートＢＳ側に吹き付け、剥離縁Ｆを適切に形成することができる。
また、流体排出手段２０を設けているため、噴出される空気により塵や埃が巻き上げられることを防止できる。
更に、排気口移動手段２３によって排気口２１の位置を変更することができるので、塵や埃の巻き上げを更に低減できる。
また、温度制御手段１９を備えた場合、基材シートＢＳ、接着剤層ＡＤを構成する接着剤及び剥離テープ１３の種類や性質等に合わせ、噴出し口１７から噴出される空気の温度を調整し、より効率的な剥離を実現することも可能である。
【００２４】
なお、本実施形態では、被着体は半導体ウエハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよく、接着シートを剥離する装置であれば同様に本発明を適用することができる。
【００２５】
また、チャック機構１４、このチャック機構１４を移動させる図示しない駆動手段、テーブル１１を移動させるリニアモータ１５、仕切り板３２、３３を移動させる機構及び排気口２１を移動させる機構等は一例であり、従来周知のどのような駆動機構を用いてもよい。
【００２６】
更に、抑え付け手段１６に抑え付け手段移動機構を設け、テーブル１１を停止させた状態で、抑え付け手段１６とチャック機構１４との相対移動で接着シートＳを剥離するように構成してもよいし、チャック機構１４を停止させた状態で、抑え付け手段１６とテーブル１１とを相対移動で接着シートＳを剥離するように構成してもよい。
また、抑え付け手段１６が噴出する流体は空気以外に、窒素ガス、ネオンガス、水、アルコール、洗浄液等を採用することができる。
【符号の説明】
【００２７】
１０  シート剥離装置
１３  剥離テープ
１６  抑え付け手段
３６  噴出領域可変手段
１９  温度制御手段
２０  流体排出手段
２１  排気口
２３  排気口移動手段
ＡＤ  接着剤層
ＢＳ  基材シート
Ｆ  剥離縁
Ｓ  接着シート
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
0005450153.tif 000002
【図２】
0005450153.tif 000003