(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電歪材料からなり、片面又は両面に内部電極が形成されている複数のフィルムを積層したアクチュエータ素子であって、
前記内部電極から前記フィルムの外側に向かって引き出された引き出し電極が形成されており、
該引き出し電極に少なくとも一の切り込み部が設けられており、
該切り込み部に導電性インクが付与されており、
積層された複数の前記フィルムの間で、異なる極性を有する前記引き出し電極それぞれに重ね合わせて、導電性インクを保持する保持部材が配置されていることを特徴とするアクチュエータ素子。
【請求項２】
前記引き出し電極は、異なる極性を有する電極が前記フィルムの積層方向に互いに重なり合わないように形成されており、
前記切り込み部が、異なる極性を有する前記引き出し電極ごとに設けられていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ素子。
【請求項３】
前記保持部材は、前記引き出し電極が形成されている側の前記フィルムの外周に接するように配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のアクチュエータ素子。
【請求項４】
電歪材料からなり、片面又は両面に内部電極が形成されている複数のフィルムを積層し、
前記内部電極から前記フィルムの外側に向かって引き出された引き出し電極を形成し、該引き出し電極に少なくとも一の切り込み部を設け、
該切り込み部に導電性インクを付与し、
積層された複数の前記フィルムの間で、異なる極性を有する前記引き出し電極それぞれに重ね合わせて、導電性インクを保持する保持部材を配置することを特徴とするアクチュエータ素子の製造方法。
【請求項５】
前記引き出し電極を、異なる極性を有する電極が前記フィルムの積層方向に互いに重なり合わないように形成し、前記切り込み部を、異なる極性を有する前記電極ごとに設けることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ素子の製造方法。
【請求項６】
前記保持部材を、前記引き出し電極が形成されている側の前記フィルムの外周に接するように配置することを特徴とする請求項４又は５に記載のアクチュエータ素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電歪材料からなるフィルムを積層したアクチュエータ素子及び該アクチュエータ素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
医療機器、産業用ロボット等は、精緻な動きを要求される機会が多い。したがって、小型、軽量であり、しかも柔軟性に富むアクチュエータ素子の開発が急務となっている。例えば電歪材料で形成された二枚のシートを張り合わせて撓み部材として用いるアクチュエータ素子等が多々開発されている。【０００３】
最近では、より軽量化するために、電歪材料で形成されたフィルムを積層したアクチュエータ素子も開発されている。斯かるアクチュエータ素子では、電歪材料で形成されたフィルムを複数枚積層し、積層したフィルムの分断面から露出している電極を導電ペースト等でＴ字接続することにより、アクチュエータ素子を外部の機器等と接続する外部電極を形成している。【０００４】
また、斯かるアクチュエータ素子を製造する場合に、セラミック基板の製造方法を転用することができる。例えば特許文献１には、導体パターンが形成されているセラミックシート（グリーンシート）を積層した積層体に分割溝を形成し、所望の大きさの基板を切り出すモジュール用基板の製造方法が開示されている。特許文献１では、切り出した基板の内部に設けてある配線パターンをビア及び外部接続電極を介して基板の側面から露出させてメッキ加工するとともに、スルーホール等に導体ペーストを印刷することで側面電極（外部電極）を形成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０６−０８５４６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、電歪材料で形成されたシートの代わりに、電歪材料で形成されたフィルムを用いる場合、厚みが数μｍ以下と薄くなることから、断面をきれいに分断すること自体が困難であり、Ｔ字接続により内部電極と電気的に接続された外部電極（側面電極）を確実に形成することが困難になるという問題点があった。【０００７】
セラミックシートのように、堅くてある程度の厚みを有するシートでは、分断した後の研磨工程等で分断面（側面）から内部電極を引き出すことにより、分断面から確実に電極を露出させることができる。しかし、柔らかくて薄いフィルムでは、断面をきれいに分断すること自体が困難であり、分断面から電極が露出しないおそれがある。また、内部電極に金属を用いるのではなく、有機材料を用いた場合、分断面から内部電極を引き出すことがより困難になり、Ｔ字接続により内部電極と電気的に接続された外部電極（側面電極）を確実に形成することができないおそれがある。また、電極間のＴ字接続が不十分である場合、外部電極と内部電極との間に大きな電界が生じたときには、わずかな接続不良が原因で微小な放電が発生し、電極の劣化が進行するという問題も生じる。【０００８】
本発明は、斯かる事情に鑑みてなされたものであり、電歪材料からなるフィルムを用いる場合であっても、内部電極と電気的に接続された外部電極を確実に形成することができるアクチュエータ素子及び該アクチュエータ素子の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために本発明に係るアクチュエータ素子は、電歪材料からなり、片面又は両面に内部電極が形成されている複数のフィルムを積層したアクチュエータ素子であって、前記内部電極から前記フィルムの外側に向かって引き出された引き出し電極が形成されており、該引き出し電極に少なくとも一の切り込み部が設けられており、該切り込み部に導電性インクが付与されており、積層された複数の前記フィルムの間で、異なる極性を有する前記引き出し電極それぞれに重ね合わせて、導電性インクを保持する保持部材が配置されていることを特徴とする。
【００１０】
上記構成では、電歪材料からなり、片面又は両面に内部電極が形成されている複数のフィルムを積層してある。内部電極からフィルムの外側に向かって引き出された引き出し電極が形成されており、引き出し電極に少なくとも一の切り込み部が設けられており、切り込み部に導電性インクが付与されている。切り込み部に導電性インクが付与されているので、導電性インクは切り込み部から引き出し電極まで到達し、付与された導電性インクを加熱硬化させることにより、引き出し電極をそれぞれフィルムの積層方向に接続することができ、内部電極と電気的に接続された外部電極を確実に形成することが可能となる。また、積層された複数のフィルムの間で、異なる極性を有する引き出し電極それぞれに重ね合わせて、導電性インクを保持する保持部材が配置されているので、保持部材を介して異なる極性を有する引き出し電極をそれぞれフィルムの積層方向に確実に接続することができ、内部電極と電気的に接続された外部電極を確実に形成することが可能となる。また、積層された複数のフィルムの間で、異なる極性を有する引き出し電極それぞれに重ね合わせて保持部材が配置されているので、正負の異なる極性を有する引き出し電極間で短絡することを未然に回避することができる。さらに、引き出し電極の厚みを厚くすることができ、切り込み部を容易に設けることができるとともに、結果として外部電極の厚みを厚くすることができ、外部電極の耐久性を向上させることも可能となる。
【００１１】
また、本発明に係るアクチュエータ素子は、前記引き出し電極は、異なる極性を有する電極が前記フィルムの積層方向に互いに重なり合わないように形成されており、前記切り込み部が、異なる極性を有する前記引き出し電極ごとに設けられていることが好ましい。【００１２】
上記構成では、引き出し電極は、異なる極性を有する電極がフィルムの積層方向に互いに重なり合わないように形成されており、切り込み部が、異なる極性を有する引き出し電極ごとに設けられているので、例えば正負の極性が異なる外部電極をそれぞれ形成することができ、正負の異なる極性を有する外部電極同士が短絡することを未然に回避することが可能となる。【００１５】
また、本発明に係るアクチュエータ素子は、前記保持部材は、前記引き出し電極が形成されている側の前記フィルムの外周に接するように配置されていることが好ましい。【００１６】
上記構成では、保持部材が、引き出し電極が形成されている側のフィルムの外周に接するように配置されているので、引き出し電極の厚みを厚くすることができ、切り込み部を容易に設けることができるとともに、結果として外部電極の厚みを厚くすることができ、外部電極の耐久性を向上させることも可能となる。【００１７】
次に、上記目的を達成するために本発明に係るアクチュエータ素子の製造方法は、電歪材料からなり、片面又は両面に内部電極が形成されている複数のフィルムを積層し、前記内部電極から前記フィルムの外側に向かって引き出された引き出し電極を形成し、該引き出し電極に少なくとも一の切り込み部を設け、該切り込み部に導電性インクを付与し、積層された複数の前記フィルムの間で、異なる極性を有する前記引き出し電極それぞれに重ね合わせて、導電性インクを保持する保持部材を配置することを特徴とする。
【００１８】
上記構成では、電歪材料からなり、片面又は両面に内部電極が形成されている複数のフィルムを積層してある。内部電極からフィルムの外側に向かって引き出された引き出し電極が形成されており、引き出し電極に少なくとも一の切り込み部が設けられており、切り込み部に導電性インクが付与されている。切り込み部に導電性インクが付与されているので、導電性インクは切り込み部から引き出し電極まで到達し、付与された導電性インクを加熱硬化させることにより、引き出し電極をそれぞれフィルムの積層方向に接続することができ、内部電極と電気的に接続された外部電極を確実に形成することが可能となる。また、積層された複数のフィルムの間で、異なる極性を有する引き出し電極それぞれに重ね合わせて、導電性インクを保持する保持部材が配置されているので、保持部材を介して異なる極性を有する引き出し電極をそれぞれフィルムの積層方向に確実に接続することができ、内部電極と電気的に接続された外部電極を確実に形成することが可能となる。また、積層された複数のフィルムの間で、異なる極性を有する引き出し電極それぞれに重ね合わせて保持部材が配置されているので、正負の異なる極性を有する引き出し電極間で短絡することを未然に回避することができる。さらに、引き出し電極の厚みを厚くすることができ、切り込み部を容易に設けることができるとともに、結果として外部電極の厚みを厚くすることができ、外部電極の耐久性を向上させることも可能となる。
【００１９】
また、本発明に係るアクチュエータ素子の製造方法は、前記引き出し電極を、異なる極性を有する電極が前記フィルムの積層方向に互いに重なり合わないように形成し、前記切り込み部を、異なる極性を有する前記電極ごとに設けることが好ましい。【００２０】
上記構成では、引き出し電極は、異なる極性を有する電極がフィルムの積層方向に互いに重なり合わないように形成されており、切り込み部が、異なる極性を有する引き出し電極ごとに設けられているので、例えば正負の極性が異なる外部電極をそれぞれ形成することができ、正負の異なる極性を有する外部電極同士が短絡することを未然に回避することが可能となる。【００２３】
また、本発明に係るアクチュエータ素子の製造方法は、前記保持部材を、前記引き出し電極が形成されている側の前記フィルムの外周に接するように配置することが好ましい。【００２４】
上記構成では、保持部材を、引き出し電極が形成されている側のフィルムの外周に接するように配置するので、引き出し電極の厚みを厚くすることができ、切り込み部を容易に設けることができるとともに、結果として外部電極の厚みを厚くすることができ、外部電極の耐久性を向上させることも可能となる。
【発明の効果】
【００２５】
上記構成により、切り込み部に導電性インクが付与されているので、導電性インクは切り込み部から引き出し電極まで到達し、付与された導電性インクを加熱硬化させることにより、引き出し電極をそれぞれフィルムの積層方向に接続することができ、内部電極と電気的に接続された外部電極を確実に形成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ素子の構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ素子の製造工程を模式的に示す斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ素子の製造工程を模式的に示す斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態２に係るアクチュエータ素子の製造工程を模式的に示す斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係るアクチュエータ素子の製造工程を模式的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の実施の形態では、高分子電歪材料からなる複数の矩形の電歪フィルム（フィルム）を積層して形成されたアクチュエータ素子について説明する。もちろん、積層する電歪フィルム（フィルム）の形状は矩形に限定されるものではない。
【００２８】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ素子の構成を模式的に示す斜視図である。本実施の形態１に係るアクチュエータ素子１０は、高分子電歪材料からなる複数の矩形の電歪フィルム（フィルム）３１を積層して形成してある。電歪フィルム３１の表裏両面には、それぞれ内部電極として導体パターン４１、４２が形成されており、導体パターン４１、４２から矩形の電歪フィルム３１の外側に向かって、例えば同一辺側に引き出された引き出し電極４３、４４が形成されている。
【００２９】
引き出し電極４３、４４には、それぞれ複数の切り込み部１２を設けてあり、複数の切り込み部１２に導電性インク１３を付与してある。切り込み部１２は、分断面から電歪フィルム３１の積層方向と直交する方向に、導体パターン４１、４２に到達しない深さ、すなわち引き出し電極４３、４４の引き出し元に到達しない深さまで切り込んである。これにより、切り込み部１２に導電性インク１３を含浸させた場合であっても、導電性インク１３が導体パターン４１及び導体パターン４２に到達することはなく、導体パターン４１と導体パターン４２とが短絡することはない。
【００３０】
切り込み部１２を導電性インク１３に浸漬させることにより、導電性インク１３を切り込み部１２へ含浸させる。切り込み部１２へ含浸させた導電性インク１３を加熱硬化させることにより、引き出し電極４３、４４をそれぞれ電歪フィルム３１の積層方向に接続することができ、内部電極（導体パターン４１、４２）と電気的に接続された外部電極１４を確実に形成することが可能となる。
【００３１】
もちろん、切り込み部１２から滲み出て露出している導電性インク１３を、Ａｕ導電ペースト、又はＣｕ導電ペーストで覆っても良い。導電ペーストで覆うことにより、より堅牢な外部電極１４を形成することができる。
【００３２】
図２及び図３は、本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ素子１０の製造工程を模式的に示す斜視図である。まず図２（ａ）に示すように、高分子電歪材料からなる複数の矩形の電歪フィルム（フィルム）３１を準備し、複数のアクチュエータ素子１０を製造するために、電歪フィルム３１の表裏両面に、複数個の導体パターン４１、４２を形成する。
【００３３】
電歪フィルム３１を形成する高分子電歪材料は、永久双極子を有する高分子圧電材料であれば、特に限定されるものではない。例えばＰＶＤＦ（ポリビニリデンフルオロイド）、ＰＶＤＦ（ポリビニリデンフルオロイド）系の共重合体、コーポリマであるＰ（ＶＤＦ−ＴｒＦＥ−ＨＦＰ）、あるいはＰＶＤＦ系のターポリマであるＰ（ＶＤＦ−ＴｒＦＥ−ＣＦＥ）、Ｐ（ＶＤＦ−ＴｒＦＥ−ＣＴＦＥ）、Ｐ（ＶＤＦ−ＴｒＦＥ−ＣＤＦＥ）、Ｐ（ＶＤＦ−ＴｒＦＥ−ＨＦＡ）、Ｐ（ＶＤＦ−ＴｒＦＥ−ＨＦＰ）、Ｐ（ＶＤＦ−ＴｒＦＥ−ＶＣ）、Ｐ（ＶＤＦ−ＶＦ）等が好ましい。なお、Ｐはポリを、ＶＤＦはビニリデンフルオロイドを、ＴｒＦＥはトリフルオロエチレンを、ＣＦＥはクロロフルオロエチレンを、ＣＴＦＥはクロロトリフルオロエチレンを、ＣＤＦＥはクロロディフルオロエチレンを、ＨＦＡはヘキサフルオロアセトンを、ＨＦＰはヘキサフルオロプロピレンを、ＶＣはビニルクロライドを、ＶＦはビニルフルオロイドを、それぞれ示している。
【００３４】
特に、大きな歪を得ることができるＰ（ＶＤＦ−ＴｒＦＥ−ＣＦＥ）が好ましい。また、電歪フィルム３１の厚みは適宜設定することが可能であるが、例えば数μｍ〜１００μｍ程度が好ましい。
【００３５】
具体的には、電歪フィルム３１を、厚みが数μｍ〜１００μｍ程度のフィルムとして成形し、電歪フィルム３１の表裏両面に、マスク越しに導電性インクを噴霧することにより、導体パターン（内部電極）４１、４２を形成する。導電性インクの粘度にもよるが、インクジェット方式、はけ塗り、スクリーン印刷方式等、適宜形成方法を変更しても良い。
【００３６】
導電性インクとしては、ＰＥＤＯＴ（ポリエチレンジオキシチオフェン）、ＰＰｙ（ポリピロール）、ＰＡＮI（ポリアニリン）等の有機導電性材料を用い、有機バインダーとともに、溶剤に溶解させて使用する。有機バインダーとしては、例えばゼラチン系バインダー、アクリル系バインダー、ポリビニルアルコール系バインダー等を用いることができる。溶剤としては、メタノール、エタノール等の有機導電性材料のような、有機バインダーを溶解することが可能な溶剤から選択すればよい。
【００３７】
次に、図２（ｂ）に示すように、導体パターン４１、４２から電歪フィルム３１の同一辺側に引き出された引き出し電極４３、４４を形成する。なお、図２（ｂ）以後は、図２（ａ）において形成した複数個の導体パターン４１、４２のうち、アクチュエータ素子１０の一素子分を模式的に示している。したがって、実際には図２（ａ）に示すように複数個の導体パターン４１、４２を配置した状態で図２（ｂ）以下の手順で積層体を形成し、最後に一素子ごとに切断することにより図１に示すアクチュエータ素子１０を得る。
【００３８】
図２（ｂ）において、引き出し電極４３と引き出し電極４４とは、アクチュエータ素子１０として機能する場合に、異なる極性を有する。異なる極性を有する引き出し電極４３と引き出し電極４４とは電歪フィルム３１の積層方向に互いに重なり合わないように形成する。このようにすることで、引き出し電極４３と引き出し電極４４とを、互いに接触することなく露出させることができる。そして、図２（ｃ）に示すように、矩形の電歪フィルム３１の同一辺の左右に極性の異なる引き出し電極４３、４４を形成することができる。
【００３９】
そして、図３（ａ）に示すように、引き出し電極４３、４４に、それぞれ複数の切り込み部１２を設ける。切り込み部１２は、分断面から電歪フィルム３１の積層方向と直交する方向に、導体パターン４１、４２に到達しない深さまで切り込んである。これにより、切り込み部１２に導電性インク１３を含浸させた場合であっても、導電性インク１３が導体パターン４１、４２に到達することはなく、導体パターン４１と導体パターン４２とが短絡することはない。
【００４０】
そして、図３（ｂ）に示すように、切り込み部１２を導電性インク１３に浸漬させることにより、導電性インク１３を切り込み部１２へ含浸させる。切り込み部１２へ含浸させた導電性インク１３を加熱硬化させることにより、引き出し電極４３、４４をそれぞれ電歪フィルム３１の積層方向に接続することができ、内部電極（導体パターン４１、４２）と電気的に接続された外部電極１４を確実に形成することが可能となる。
【００４１】
本実施の形態１では、切り込み部１２から滲み出て露出している導電性インク１３を覆うように、導電性インク１３を引き出し電極４３、４４の端部に付与する。導電性インク１３を加熱硬化させることにより、引き出し電極４３、４４の端部全体をそれぞれ外部電極１４として機能させることができる。なお、導電性インク１３の代わりに金属ペースト、例えば銀ペーストを付与しても良い。
【００４２】
以上のように本実施の形態１によれば、アクチュエータ素子１０は、電歪材料からなり、表裏両面に内部電極として導体パターン４１、４２が形成されている複数の矩形の電歪フィルム３１を積層してある。導体パターン４１、４２から電歪フィルム３１の同一辺側に引き出された引き出し電極４３、４４を形成し、引き出し電極４３、４４に複数の切り込み部１２を設け、切り込み部１２に導電性インク１３を付与する。付与された導電性インク１３を加熱硬化させることにより、引き出し電極４３、４４をそれぞれ電歪フィルム３１の積層方向に接続することができ、内部電極（導体パターン４１、４２）と電気的に接続された外部電極１４を確実に形成することが可能となる。
【００４３】
なお、上述した実施の形態１では、複数の切り込み部１２を設けているが、内部電極（導体パターン４１、４２）と電気的に接続された外部電極１４を形成することができれば足りるので、少なくとも一の切り込み部１２を設ければ良い。ただし、引き出し電極４３、４４の電歪フィルム３１の積層方向の接続がたとえ一部で不良となった場合であっても導通特性を損なうことがないので、複数の切り込み部１２を設けておくことが好ましいことは言うまでもない。
【００４４】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２に係るアクチュエータ素子の構成は、実施の形態１と同様であることから、同一の符号を付することにより詳細な説明は省略する。本実施の形態２は、より確実に切り込み部１２に導電性インク１３を含浸させるために導電性インク１３を保持する保持部材を配置する点で実施の形態１と相違する。
【００４５】
図４及び図５は、本発明の実施の形態２に係るアクチュエータ素子１０の製造工程を模式的に示す斜視図である。まず図４（ａ）に示すように、高分子電歪材料からなる複数の矩形の電歪フィルム（フィルム）３１を準備し、複数のアクチュエータ素子１０を製造するために、電歪フィルム３１の表裏両面に、複数個の導体パターン４１、４２を形成する。
【００４６】
具体的には、電歪フィルム３１を、厚みが数μｍ〜１００μｍ程度のフィルムとして成形し、電歪フィルム３１の表裏両面に、マスク越しに導電性インクを噴霧することにより、導体パターン（内部電極）４１、４２を形成する。導電性インクの粘度にもよるが、インクジェット方式、はけ塗り、スクリーン印刷方式等、適宜形成方法を変更しても良い。
【００４７】
次に、図４（ｂ）に示すように、導体パターン４１、４２から電歪フィルム３１の同一辺側に引き出された引き出し電極４３、４４を形成する。引き出し電極４３と引き出し電極４４とは、アクチュエータ素子１０として機能する場合に、異なる極性を有する。異なる極性を有する引き出し電極４３と引き出し電極４４とは電歪フィルム３１の積層方向に互いに重なり合わないように形成する。このようにすることで、引き出し電極４３と引き出し電極４４とを、互いに接触することなく露出させることができる。
【００４８】
本実施の形態２では、積層された複数の矩形の電歪フィルム３１の間で、異なる極性を有する引き出し電極４３、４４それぞれに重ね合わせて、導電性インク１３を保持する保持部材４５、例えば和紙等を配置する。図４（ｂ）に示すように、保持部材４５を、異なる極性を有する引き出し電極４３、４４にそれぞれ重ね合わせて配置する。なお、図４（ｂ）以後は、実施の形態１と同様に、図４（ａ）において形成した複数個の導体パターン４１、４２のうち、アクチュエータ素子１０の一素子分を模式的に示している。したがって、実際には図４（ａ）に示すように複数個の導体パターン４１、４２を配置した状態で図４（ｂ）以下の手順で積層体を形成し、最後に一素子ごとに切断することにより図５（ｂ）に示すアクチュエータ素子１０を得る。
【００４９】
図４（ｂ）において、保持部材４５は、引き出し電極４３、４４が形成されている側の電歪フィルム３１の外周、本実施の形態２では矩形の電歪フィルム３１の同一辺に接するように配置することが好ましい。導電性インク１３を保持する保持部材４５は導体として機能し、引き出し電極４３、４４の厚みを厚くするのと同様の効果を奏する。
【００５０】
そして、図４（ｃ）に示すように、矩形の電歪フィルム３１の同一辺の左右に極性の異なる引き出し電極４３、４４を形成することができる。引き出し電極４３、４４は、保持部材４５の分、厚みが厚くなっている。
【００５１】
次に、実施の形態１と同様、図５（ａ）に示すように、引き出し電極４３、４４に、それぞれ複数の切り込み部１２を設ける。切り込み部１２は、分断面から電歪フィルム３１の積層方向と直交する方向に、導体パターン４１、４２に到達しない深さまで切り込んである。これにより、切り込み部１２に導電性インク１３を含浸させた場合であっても、導電性インク１３が導体パターン４１、４２に到達することはなく、導体パターン４１と導体パターン４２とが短絡することがない。しかも、実施の形態１よりも引き出し電極４３、４４の厚みが厚いので、切り込み部１２を比較的容易に設けることができる。
【００５２】
そして、図５（ｂ）に示すように、切り込み部１２を導電性インク１３に浸漬させることにより、導電性インク１３を切り込み部１２へ含浸させる。切り込み部１２へ含浸させた導電性インク１３を加熱硬化させることにより、引き出し電極４３、４４をそれぞれ電歪フィルム３１の積層方向に接続することができ、内部電極（導体パターン４１、４２）と電気的に接続された外部電極１４を確実に形成することが可能となる。また、引き出し電極４３、４４の電歪フィルム３１の積層方向の接続が、たとえ一部で不良となった場合であっても、導体として機能する保持部材４５を介して引き出し電極４３、４４をそれぞれ電歪フィルム３１の積層方向に確実に接続することが可能となる。
【００５３】
本実施の形態２でも、切り込み部１２から滲み出て露出している導電性インク１３を覆うように、導電性インクを引き出し電極４３、４４の端部に付与する。導電性インク１３を加熱硬化させることにより、引き出し電極４３、４４の端部全体をそれぞれ外部電極１４として機能させることができる。なお、導電性インクの代わりに金属ペースト、例えば銀ペーストを付与しても良い。
【００５４】
以上のように本実施の形態２によれば、積層された複数の矩形の電歪フィルム３１の間で、異なる極性を有する引き出し電極４３、４４それぞれに重ね合わせて、導電性インク１３を保持する保持部材４５を配置するので、保持部材４５を介して異なる極性を有する引き出し電極４３、４４をそれぞれ電歪フィルム３１の積層方向に確実に接続することができ、内部電極（導体パターン４１、４２）と電気的に接続された外部電極１４を確実に形成することが可能となる。また、積層された矩形の複数のフィルムの間で、異なる極性を有する引き出し電極４３、４４それぞれに重ね合わせて保持部材４５を配置しているので、異なる極性を有する引き出し電極４３と引き出し電極４４とが短絡することを未然に回避することができる。さらに、引き出し電極４３、４４の厚みを厚くすることができ、切り込み部１２を容易に設けることができるとともに、結果として外部電極１４の厚みを厚くすることができ、外部電極の耐久性を向上させることも可能となる。
【００５５】
なお、上述した実施の形態２では、複数の切り込み部１２を設けているが、内部電極（導体パターン４１、４２）と電気的に接続された外部電極１４を形成することができれば足りるので、少なくとも一の切り込み部１２を設ければ良い。ただし、引き出し電極４３、４４の電歪フィルム３１の積層方向の接続が、たとえ一部で不良となった場合であっても導通特性を損なうことがないので、複数の切り込み部１２を設けておくことが好ましいことは言うまでもない。
【００５６】
その他、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内であれば多種の変形、置換等が可能であることは言うまでもない。例えば、本発明のアクチュエータ素子１０の製造工程において、電歪フィルム３１の表裏両面に導体パターン４１、４２を形成しているが、いずれか一方の面に導体パターン４１、４２を形成して、電歪フィルム３１を積層しても良い。また、電歪フィルム３１の表裏両面に、導電性インク１３により導体パターン４１、４２を形成しているが、例えば従来と同様、蒸着、スパッタ等により、Ｎｉ（ニッケル）、Ｐｔ（白金）、Ｐｔ−Ｐｄ（白金−パラジウム合金）、Ａｌ（アルミニウム）、Ａｕ（金）、Ａｕ−Ｐｄ（金パラジウム合金）等の金属膜を形成しても良い。
【００５７】
また、上述した実施の形態１及び２では、引き出し電極４３、４４は、電歪フィルム３１の表裏両面に形成しているが、いずれか一方の面、例えば表面だけに導体パターン４１、４２から引き出した引き出し電極４３、４４を形成して、電歪フィルム３１を積層しても良い。結果として、異なる極性を有する引き出し電極４３と、引き出し電極４４とを、互いに接触することなく露出させれば足りる。
【符号の説明】
【００５８】
１０  アクチュエータ素子
１２  切り込み部
１３  導電性インク
３１  電歪フィルム
４１、４２  導体パターン（内部電極）
４３、４４  引き出し電極
４５  保持部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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