(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素が２次元状に配列された固体撮像装置であって、
半導体基板と、
前記半導体基板内に前記複数の画素に対応して形成された、入射した光を光電変換することで信号電荷を生成する複数の光電変換部と、
前記半導体基板の上方に前記複数の画素に対応して形成された複数のカラーフィルタとを備え、
隣り合う前記カラーフィルタとの間の領域であって前記半導体基板側の領域に、前記カラーフィルタより屈折率が低い低屈折率領域が形成され、
前記低屈折率領域の内部には、光を遮るための金属からなる第１遮光部が形成され、
前記複数のカラーフィルタのそれぞれは、
前記低屈折率領域の上方で、隣り合う前記カラーフィルタと接しており、
前記低屈折率領域の底面、前記第１遮光部の底面及び前記複数のカラーフィルタの底面は、同一面上に形成されている
固体撮像装置。
【請求項２】
前記低屈折率領域は、空洞、又は、前記カラーフィルタより屈折率が低い材料を含む領域である
請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記低屈折率領域は、前記カラーフィルタより屈折率が低いシリコン酸化物を含む
請求項２記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記第１遮光部は、タングステン、アルミニウム、銅、及び、チタンの少なくとも１つを含む
請求項１〜３のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記固体撮像装置は、さらに、前記複数の光電変換部間に形成され、前記複数の光電変換部とは異なる導電型の複数の不純物領域を含む分離部を備え、
前記低屈折率領域の前記半導体基板側の面の幅は、前記分離部の前記カラーフィルタ側の面の幅より短い
請求項１〜４のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項６】
前記固体撮像装置は、さらに、前記低屈折率領域と前記半導体基板との間に形成された、光を遮る第２遮光部を備える
請求項１〜５のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項７】
前記固体撮像装置は、さらに、前記低屈折率領域と前記半導体基板との間に形成された、前記カラーフィルタより屈折率が高い高屈折率膜を備える
請求項１〜６のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項８】
前記高屈折率膜は、チタン酸化物、シリコン窒化物、及び、タンタル酸化物の少なくとも１つを含む
請求項７記載の固体撮像装置。
【請求項９】
前記固体撮像装置は、さらに、前記複数のカラーフィルタの上方に前記複数の画素に対応して形成された複数のレンズを備える
請求項１〜８のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項１０】
前記固体撮像装置は、さらに、前記半導体基板の下方に形成された、前記複数の光電変換部によって生成された信号電荷を検出する検出回路部を備える
請求項１〜９のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光電変換部を含む画素部がアレイ状に配列された固体撮像装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近のカメラモジュールの小型化に伴い、レンズから固体撮像装置までの距離が短くなってきている。よって、特に受光領域の外周に向かって入射光の角度が急峻となり、感度特性及び混色特性が悪化する。【０００３】
そこで、このような特性悪化の対策として、特許文献１、２及び３に記載されているように、カラーフィルタ間に空洞又は低屈折率材料を形成する技術が提案されている。【０００４】
例えば、図１３は、特許文献１に記載の従来の固体撮像装置の構造を示す断面図である。図１３に示す固体撮像装置では、各カラーフィルタ３０９の間に中空部３１５（屈折率は、１）が設けられて、中空部３１５を封止するキャップ層３１７が形成されている。【０００５】
また、図１３に示す固体撮像装置は、シリコン基板内にフォトダイオード３０１が形成されて、シリコン基板の表面側に層間絶縁膜３０５を介して多層の配線３０６が形成されている。そして、多層の配線３０６の最上層表面（図１３では、最下層に相当する）には、接着剤層３０８を介して、支持基板３１０が接着されている。そして、シリコン基板内のフォトダイオード３０１は、分離領域３１９で分離されている。そして、シリコン基板の裏面側に、カラーフィルタ３０９がフォトダイオード３０１上方に形成され、フォトダイオード３０１間には、中空部３１５が形成されている。【０００６】
中空部３１５は、分離領域３１９上方にセルフアラインで形成される。各画素に斜入射光が入った場合、カラーフィルタ３０９の側面に到達すると、カラーフィルタ３０９の屈折率と中空部３１５の屈折率との差が大きいため、大部分の光が反射されてフォトダイオード３０１上に光が集光される。よって、感度特性及び混色特性が改善できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−８８４１５号公報
【特許文献２】特開２００９−１１１２２５号公報
【特許文献３】特開２００６−２９５１２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記従来技術では、空洞部にキャップ層が不均一に埋め込まれるため、画素間で感度特性にばらつきが生じる。また、空洞部を透過する入射光が、隣接画素へ到達することによるクロストークや、遮光金属で反射することによるフレアなどの課題がある。【０００９】
例えば、上記特許文献１及び特許文献３に記載された構造では、カラーフィルタ上部にキャップ層が必要となる。キャップ層を成膜する際に、カラーフィルタ間が空洞部であるため、原理的に一部分のキャップ層材が、空洞部に埋め込まれる。そして、キャップ層材が空洞部に不均一に埋め込まれることで、各画素で感度特性ムラが発生し、画素間、チップ間で感度特性にばらつきが生じるという課題がある。【００１０】
また、上記特許文献１〜３に記載された構造では、上述したように、カラーフィルタ間に低屈折率材料又は空洞部が形成されている。よって、カラーフィルタ間への入射光は、シリコン基板表面又は遮光配線へ到達する。【００１１】
入射光がシリコン基板表面に到達する場合、隣接画素への入射光のクロストークによって混色が生じるという課題がある。また、入射光が遮光配線へ到達する場合、遮光配線の表面で光が反射して、高光強度で特に顕著となるフレアが発生し、画質が低下するという課題がある。【００１２】
そこで、本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、カメラモジュールの小型化及び画素サイズの微細化を実現するとともに、高感度、低混色及び高画質を実現することができる固体撮像装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る固体撮像装置は、複数の画素が２次元状に配列された固体撮像装置であって、半導体基板と、前記半導体基板内に前記複数の画素に対応して形成された、入射した光を光電変換することで信号電荷を生成する複数の光電変換部と、前記半導体基板の上方に前記複数の画素に対応して形成された複数のカラーフィルタとを備え、隣り合う前記カラーフィルタとの間の領域であって前記半導体基板側の領域に、前記カラーフィルタより屈折率が低い低屈折率領域が形成され、前記複数のカラーフィルタのそれぞれは、前記低屈折率領域の上方で、隣り合う前記カラーフィルタと接している。【００１４】
これにより、斜入射光の入射角度が高角度でも、カラーフィルタの側面と低屈折率領域との境界における屈折率の差によって、大部分の光が反射される。よって、隣接画素への光の漏れ込みの低減が図れ、高集光、したがって、高感度及び低混色を実現することができる。また、低屈折率領域の上部は、カラーフィルタで被覆されているため、上方にレンズを形成しても、カラーフィルタ間の低屈折率領域の形状のバラツキを低減することができる。そして、半導体基板面からの反射光は、カラーフィルタ間の低屈折率領域上のカラーフィルタで大部分の光が吸収されるため、高光強度でもフレアを低減し、高画質を実現することができる。【００１５】
また、前記低屈折率領域は、空洞、又は、前記カラーフィルタより屈折率が低い材料を含む領域であってもよい。【００１６】
これにより、カラーフィルタ内の入射光は、カラーフィルタと低屈折率領域との境界で反射するため、隣接画素への光の漏れ込みを低減することができ、高感度を実現することができる。【００１７】
また、前記低屈折率領域は、前記カラーフィルタより屈折率が低いシリコン酸化物を含んでもよい。【００１８】
これにより、例えば、カラーフィルタ下方の平坦化膜として形成するシリコン酸化膜をエッチングすることで、容易に低屈折率領域を形成することができる。【００１９】
また、前記固体撮像装置は、さらに、前記低屈折率領域内に形成された、光を遮るための第１遮光部を備えてもよい。【００２０】
これにより、第１遮光部により、低屈折率領域に漏れ込む入射光が半導体基板へ到達することを妨げられるため、隣接画素への光の漏れ込みの低減が図れ、高感度を実現することができる。また、第１遮光部からの反射光は、低屈折率領域上方のカラーフィルタで光が吸収されるため、高光強度でもフレアを低減し、高画質を実現することができる。そして、カラーフィルタと光電変換部との間の距離が縮まり、高感度を実現することができる。【００２１】
また、前記第１遮光部は、タングステン、アルミニウム、銅、及び、チタンの少なくとも１つを含んでもよい。【００２２】
これにより、低屈折率領域内への入射光が半導体基板内へ到達するのを妨げるため、半導体基板内へ光の入射を防止して隣接画素へ光の漏れ込みを低減でき、高感度を実現することができる。そして、第１遮光部を薄膜にできるため、カラーフィルタと光電変換部との間の距離が縮まり、高感度を実現することができる。【００２３】
また、前記固体撮像装置は、さらに、前記複数の光電変換部間に形成され、前記複数の光電変換部とは異なる導電型の複数の不純物領域を含む分離部を備え、前記低屈折率領域の前記半導体基板側の面の幅は、前記分離部の前記カラーフィルタ側の面の幅より短くてもよい。【００２４】
これにより、カラーフィルタ内の入射光は、半導体基板内の分離部へ漏れ込むことなく光電変換部へ到達するために、高感度を実現することができる。【００２５】
また、前記固体撮像装置は、さらに、前記低屈折率領域と前記半導体基板との間に形成された、光を遮る第２遮光部を備えてもよい。【００２６】
これにより、低屈折率領域内への入射光は、半導体基板内へ到達しないため、カラーフィルタで分光されない光が光電変換部に蓄積されず、各色感度が向上する。また、半導体基板内へ光の入射を防止することができ、隣接画素への光の漏れ込みを低減することができる。【００２７】
また、前記固体撮像装置は、さらに、前記低屈折率領域と前記半導体基板との間に形成された、前記カラーフィルタより屈折率が高い高屈折率膜を備えてもよい。【００２８】
これにより、光の集光効率をさらに高めることができ、高感度を実現することができる。【００２９】
また、前記高屈折率膜は、チタン酸化物、シリコン窒化物、及び、タンタル酸化物の少なくとも１つを含んでもよい。【００３０】
これにより、耐湿性を確保しながら、感度向上を実現することができる。【００３１】
また、前記固体撮像装置は、さらに、前記複数のカラーフィルタの上方に前記複数の画素に対応して形成された複数のレンズを備えてもよい。【００３２】
これにより、集光効率が改善して、感度向上を実現することができる。【００３３】
また、前記固体撮像装置は、さらに、前記半導体基板の下方に形成された、前記複数の光電変換部によって生成された信号電荷を検出する検出回路部を備えてもよい。【００３４】
これにより、カラーフィルタと光電変換部との間の距離が縮まり、感度向上、低混色を実現することができる。【００３５】
また、本発明の一態様に係る固体撮像装置の製造方法は、複数の画素が２次元状に配列された固体撮像装置の製造方法であって、半導体基板内に前記複数の画素に対応して、入射した光を光電変換することで信号電荷を生成する複数の光電変換部を形成する工程と、前記半導体基板の上方に、複数のカラーフィルタより屈折率が低い低屈折率領域を形成する工程と、前記複数の画素に対応して前記半導体基板の上方に、前記複数のカラーフィルタを形成する工程とを含み、前記低屈折率領域を形成する工程では、隣り合う前記カラーフィルタとの間の領域であって前記半導体基板側の領域に、前記低屈折率領域を形成し、前記カラーフィルタを形成する工程では、前記低屈折率領域の上方で、隣り合う前記カラーフィルタが接するように、前記複数のカラーフィルタを形成する。【００３６】
これにより、斜入射光の入射角度が高角度でも、カラーフィルタの側面と低屈折率領域との境界における屈折率の差によって、大部分の光が反射される。よって、隣接画素への光の漏れ込みの低減が図れ、高感度及び低混色の固体撮像装置を製造することができる。また、低屈折率領域の上部は、カラーフィルタで被覆されているため、上方にレンズを形成しても、カラーフィルタ間の低屈折率領域の形状のバラツキを低減することができる。そして、半導体基板面からの反射光は、カラーフィルタ間の低屈折率領域上のカラーフィルタで大部分の光が吸収されるため、高光強度でもフレアを低減し、高画質の固体撮像装置を製造することができる。【００３７】
また、前記固体撮像装置の製造方法は、さらに、前記半導体基板の上方において、前記複数の画素の境界の少なくとも一部を含む領域に、光を遮るための遮光部を形成する工程を含み、前記低屈折率領域を形成する工程では、前記半導体基板の上方に、前記遮光部を内部に含むように前記低屈折率領域を形成する工程と、前記複数の画素に対応して前記半導体基板の上方に、前記複数のカラーフィルタを形成してもよい。【００３８】
これにより、遮光部により、低屈折率領域に漏れ込む入射光が半導体基板へ到達することを妨げられるため、隣接画素への光の漏れ込みの低減が図れ、高感度を実現することができる。また、遮光部からの反射光は、低屈折率領域上方のカラーフィルタで光が吸収されるため、高光強度でもフレアを低減し、高画質を実現することができる。そして、カラーフィルタと光電変換部との間の距離が縮まり、高感度を実現することができる。【００３９】
また、前記低屈折率領域を形成する工程では、前記半導体基板の上方に、前記複数のカラーフィルタより屈折率が低い材料を形成する工程と、形成した前記材料をパターニング及びエッチングすることで、前記低屈折率領域を形成する工程とを含んでもよい。【００４０】
これにより、例えば、カラーフィルタ下方の平坦化膜として形成するシリコン酸化膜をエッチングすることで、容易に低屈折率領域を形成することができる。【００４１】
また、前記低屈折率領域を形成する工程では、前記半導体基板の上方に、シリコンを形成する工程と、形成したシリコンをパターニング及びエッチングすることで、隣り合う前記カラーフィルタの間の領域に、前記シリコンからなる凸部を形成する工程と、前記複数のカラーフィルタを形成した後に、前記凸部まで貫通する孔を前記複数のカラーフィルタに形成する工程と、前記孔を介して、シリコンを除去するためのガスに前記凸部を曝して、前記凸部を除去することで、空洞である前記低屈折率領域を形成する工程とを含んでもよい。【００４２】
これにより、形状のバラツキの少ない空洞を形成することができるので、高感度の固体撮像装置を製造することができる。
【発明の効果】
【００４３】
本発明によれば、カメラモジュールの小型化及び画素サイズ微細化を実現しながら、高感度、低混色及び高画質を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置の一例を示す回路構成図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態１に係る画素部の構成の一例を示す断面図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置の製造方法の一例を示す工程断面図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置の製造方法の一例を示す工程断面図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態１の変形例に係る固体撮像装置の製造方法の一例を示す工程断面図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態１の変形例に係る固体撮像装置の製造方法の一例を示す工程断面図である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態２に係る画素部の構成の一例を示す断面図である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態２の変形例に係る画素部の構成の一例を示す断面図である。
【図９】図９は、本発明の実施の形態２に係る固体撮像装置の製造方法の一例を示す工程断面図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施の形態２の変形例に係る固体撮像装置の構成の一例を示す断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の実施の形態２の変形例に係る固体撮像装置の製造方法の一例を示す工程断面図である。
【図１２】図１２は、本発明の実施の形態２の変形例に係る固体撮像装置の製造方法の一例を示す工程断面図である。
【図１３】図１３は、従来の固体撮像装置の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４５】
以下、本発明の実施の形態に係る固体撮像装置及びその製造方法を、図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではない。また、本発明の効果を奏する範囲を逸脱しない範囲で、適宜変更は可能である。さらに、他の実施の形態との組み合わせも可能である。
【００４６】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置は、複数の画素が２次元状に配列された固体撮像装置であって、半導体基板の第１主面の上方に複数の画素に対応して形成された複数のカラーフィルタを備え、隣り合うカラーフィルタとの間の領域であって半導体基板側の領域に、カラーフィルタより屈折率が低い低屈折率領域が形成され、複数のカラーフィルタのそれぞれは、低屈折率領域の上方で、隣り合うカラーフィルタと接している。
【００４７】
まず、本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置の回路構成の一例について、図１を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置１０の一例を示す回路構成図である。
【００４８】
本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置１０は、図１に示すように、複数の画素部１００がアレイ状に配列されたＭＯＳ（Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）型の固体撮像装置である。図１に示すように、固体撮像装置１０は、撮像領域１７と、垂直シフトレジスタ１８と、水平シフトレジスタ１９と、出力端２１とを備える。
【００４９】
撮像領域１７には、複数の画素部１００がアレイ状に配列されている。複数の画素部１００はそれぞれ、光電変換部（フォトダイオード）１１と、浮遊拡散層（フローティングディフュージョン）１２と、転送トランジスタ１３と、増幅トランジスタ１４と、リセットトランジスタ１５と、選択トランジスタ１６とを備える。
【００５０】
光電変換部１１は、入射光を光電変換することで、信号電荷を生成する。光電変換部１１によって生成された信号電荷は、転送トランジスタ１３によって浮遊拡散層１２に転送される。
【００５１】
浮遊拡散層１２に転送された電荷は、増幅トランジスタ１４によって増幅され、垂直シフトレジスタ１８によって制御された選択トランジスタ１６、及び、出力信号線２０を介し、水平シフトレジスタ１９によって、出力端２１から出力される。
【００５２】
なお、浮遊拡散層１２に蓄積されている余剰電荷は、ドレイン領域が電源線に接続されたリセットトランジスタ１５により排出される。
【００５３】
図１には示していないが、画素毎に、各フォトダイオードの上方に、緑色光を透過する緑フィルタ、赤色光を透過する赤フィルタ、及び、青色光を透過する青フィルタのいずれかが形成される。また、各フィルタの上方に、オンチップマイクロレンズが形成され、集光効率の向上が図られる。
【００５４】
続いて、本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置１０が備える画素部１００の断面構成の一例について、図２を用いて説明する。
【００５５】
図２は、本発明の実施の形態１に係る画素部１００の構成の一例を示す断面図である。
【００５６】
本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置１０は、第１主面（光入射面）と、当該第１主面の反対側の面である第２主面とを有する半導体基板と、半導体基板内に複数の画素に対応して形成された、第１主面側から入射した光を光電変換することで、信号電荷を生成する複数の光電変換部とを備える。
【００５７】
また、固体撮像装置１０は、半導体基板の第２主面側に形成された、複数の光電変換部によって生成された信号電荷を検出する検出回路部を備える。検出回路部は、トランジスタ１１２及び多層配線１１４を含んでいる。さらに、固体撮像装置１０は、複数の光電変換部のそれぞれの間、及び、複数の光電変換部と検出回路部との間を電気的に分離する分離部とを備える。
【００５８】
具体的には、図２に示すように、半導体基板の一例であるシリコン層１０１内に、ｎ型（第１導電型）の拡散領域からなるフォトダイオード１１１と、フォトダイオード１１１に蓄積された電荷を読み出すトランジスタ１１２とが形成されている。
【００５９】
なお、トランジスタ１１２は、画素部１００が備えるトランジスタであり、例えば、転送トランジスタ１３、増幅トランジスタ１４、又は、選択トランジスタ１６である。図２には、一例として、転送トランジスタ１３がトランジスタ１１２として表れている。このように、図２の例では、各種トランジスタを含む検出回路部は、半導体基板の下方に形成されている。
【００６０】
フォトダイオード１１１は、光電変換部の一例であり、シリコン層１０１の表面から裏面まで広がっている。複数のフォトダイオード１１１のそれぞれの間には、分離領域１２０が形成されている。分離領域１２０は、分離部の一例であり、例えば、シリコン酸化物などの絶縁材料から構成される。なお、フォトダイオード１１１は、図１に示す光電変換部１１に相当する。
【００６１】
なお、半導体基板の第１主面は、フォトダイオード１１１に光が入射する面である光入射面であり、図２では、シリコン層１０１の上面である。また、半導体基板の第２主面は、光入射面と反対側の面であり、図２では、シリコン層１０１の下面である。
【００６２】
トランジスタ１１２は、ＭＯＳ型構造を用いており、拡散領域１１２ａを取り囲むように、絶縁膜からなるＳＴＩ（Ｓｈａｌｌｏｗ  Ｔｒｅｎｃｈ  Ｉｓｏｌａｔｉｏｎ）分離領域１１２ｂが形成され、拡散領域１１２ａ下方にゲート酸化膜（図示せず）を介して、ゲート電極１１２ｃが形成されている。
【００６３】
ゲート電極１１２ｃ下方には、多層の絶縁膜（シリコン酸化膜、シリコン窒化膜）１１３が形成され、当該絶縁膜１１３内に多層配線１１４が形成される。多層配線１１４を介して、トランジスタ１１２は制御される。本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置１０は、光入射面とは反対側の面から、フォトダイオード１１１によって生成された信号電荷を電気信号として取り出す。
【００６４】
さらに、多層の絶縁膜１１３の下方に、支持基板１０２が、貼り合わされている。シリコン層１０１は、例えば１〜５μｍと薄層である。このため、支持基板１０２は、例えば、シリコン基板であって、補強の役割を担う。これにより、固体撮像装置１０の強度を向上させることができる。
【００６５】
また、本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置１０は、さらに、第１主面側に、すなわち、半導体基板の上方に、複数の画素に対応して形成された複数のカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃを備える。複数のカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃのそれぞれは、隣り合うカラーフィルタの境界を含む領域のうち半導体基板の逆側の領域では、隣り合うカラーフィルタと接している。言い換えると、複数のカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃのそれぞれは、隣り合うカラーフィルタ間の領域であって、半導体基板の逆側の領域では、隣り合うカラーフィルタと接している。また、隣り合うカラーフィルタの境界を含む領域のうち半導体基板側の領域には、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃより屈折率が低い低屈折率領域が形成されている。言い換えると、隣り合うカラーフィルタ間の領域であって、半導体基板側の領域には、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃより屈折率が低い低屈折率領域が形成されている。
【００６６】
具体的には、トランジスタ１１２が形成されている側のシリコン層１０１の面である第２主面と反対側の第１主面の上方に、シリコン酸化膜１１５を介して、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃより屈折率が高い高屈折率膜の一例であるシリコン窒化膜１１６が５〜１００ｎｍの厚みで形成されている。
【００６７】
シリコン窒化膜１１６を設けることで、フォトダイオード１１１への入射光強度が増加して、緑（５５０ｎｍ）光の感度が約２０％改善する。このように、低屈折率領域と半導体基板との間に、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃより屈折率が高い高屈折率膜を備えてもよい。
【００６８】
なお、シリコン窒化膜１１６の代わりに、チタン酸化物（ＴｉＯ２）、及び、タンタル酸化物（ＴａＯ）の少なくとも１つを含む高屈折率膜を備えていてもよい。
【００６９】
また、シリコン窒化膜１１６の上方にシリコン酸化膜１１７が形成されて、シリコン酸化膜１１７上に、遮光の役割を担う第２遮光部の一例である金属膜１１８が格子状に形成されている。本発明の実施の形態１では、金属膜１１８の材料として、薄膜での光遮光性が高いタングステン材料を用いている。なお、金属膜１１８の材料として、アルミニウム又は銅を用いてもよい。また、金属膜１１８の厚みは、２００〜５００ｎｍである。金属膜１１８は、後述する低屈折率領域の一例である凸部１２１と第１主面との間に形成されている。
【００７０】
金属膜１１８の上方に、シリコン酸化膜からなる絶縁膜１１９がある。絶縁膜１１９の厚みは、３００〜２０００ｎｍである。
【００７１】
さらに、絶縁膜１１９上に、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃより屈折率が低い凸部１２１が形成されている。具体的には、凸部１２１は、分離領域１２０の上方に形成され、すなわち、画素と画素との境界線に沿って形成されている。例えば、凸部１２１は、格子状に形成されて、高さ１００〜５００ｎｍである。
【００７２】
さらに、各フォトダイオード１１１上方の凸部１２１の間に、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃが形成されている。言い換えると、凸部１２１は、隣り合うカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃの間の領域に形成されている。つまり、隣り合うカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃの境界を含む領域のうち、半導体基板側の領域には、低屈折率領域の一例である凸部１２１が形成されている。
【００７３】
また、凸部１２１は、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃで覆われており、凸部１２１上部で隣接画素とのカラーフィルタ境界を設けている。すなわち、隣り合うカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃの境界を含む領域のうち、半導体基板の逆側の領域では、隣り合うカラーフィルタは互いに接している。言い換えると、図２に示すように、凸部１２１の上方で隣り合うカラーフィルタは、互いに接している。
【００７４】
なお、本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置１０は、例えば、ベイヤ配列の固体撮像装置であり、カラーフィルタ１２２ａは、透過光強度で青色光が高い青フィルタであり、カラーフィルタ１２２ｂは、透過光強度で緑色光が高い緑フィルタであり、カラーフィルタ１２２ｃは、透過光強度で赤色光が高い赤フィルタである。複数のカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃは、複数の画素部１００に対応して形成されている。つまり、画素毎にカラーフィルタが形成されている。
【００７５】
各カラーフィルタの厚みは３００〜１０００ｎｍであり、凸部１２１の高さよりも厚い。凸部１２１は、シリコン酸化物を含む領域で形成されている。あるいは、凸部１２１は、空洞であってもよい。なお、空洞の場合は、図５及び図６で示す製造方法で実現できる。
【００７６】
このように、凸部１２１間にカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃを埋め込み、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃの下部の間に低屈折率領域である凸部１２１を設けることで、カラーフィルタ内を通過する斜入射光が凸部１２１界面で反射する。つまり、導波路構造となり、隣接画素への光の漏れ込み（クロストーク）を低減することができ、高感度が実現できる。
【００７７】
なお、本発明の実施の形態１では、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃの屈折率は、１．５〜１．９程度であり、凸部１２１の屈折率は、シリコン酸化膜の場合は約１．４、空洞の場合は約１である。シリコン酸化膜を凸部１２１に用いた場合に、従来比２０％増の高感度を実現できる。また、空洞を凸部１２１に用いた場合に、従来比４０％増の高感度を実現できる。
【００７８】
また、凸部１２１上にカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃを設けることで、カラーフィルタ内で所望の光以外を吸収するため、金属膜１１８での反射の戻り光による影響で、カバーガラス、レンズ界面との乱反射によるフレアを低減できる。特に、高強度な光で効果的となり、従来比２０％減の戻り光の削減を実現できる。
【００７９】
なお、本発明の実施の形態１では、トランジスタ１１２が形成されている側のシリコン層１０１の面である第２主面と反対側の第１主面の上方に、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃを凸部１２１の間に形成した。これに対して、トランジスタ１１２が形成されている第２主面側の多層配線１１４の上方（図２における絶縁膜１１３の下面）に形成しても、同様な効果が得られる。ただし、多層配線１１４による光反射が増加するため、従来比１０％増の高感度までしか実現できない。
【００８０】
さらに、固体撮像装置１０は、複数のカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃの上方に、画素毎に形成された複数のレンズ１２４を備える。具体的には、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃの上には、平坦化膜１２３を介して、レンズ１２４が形成されている。平坦化膜１２３は、例えば、有機物から構成される。レンズ１２４を設けることで、高集光可能となり、従来比３０％増の高感度を実現できる。なお、固体撮像装置１０は、レンズ１２４を備えていなくてもよい。
【００８１】
次に、本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置１０の製造方法について、図３及び図４を用いて説明する。なお、図３及び図４は、本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置１０の製造方法の一例を示す工程断面図である。
【００８２】
まず、図３の（ａ）に示すように、シリコン基板（ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  Ｏｎ  Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板を含む）内に、一般的な固体撮像装置の製造方法で、フォトダイオード１１１、分離領域１２０、トランジスタ１１２を含む各種トランジスタ、多層の絶縁膜１１３、及び、多層配線１１４を形成する。
【００８３】
続いて、図３の（ｂ）に示すように、支持基板１０２としてシリコン基板を絶縁膜１１３に貼り付ける。本発明の実施の形態では、接着剤（図示せず）を用いている。なお、絶縁膜１１３をＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）法で平坦化して、プラズマ中で表面活性化して、支持基板１０２と貼り付けてもよい。
【００８４】
続いて、図３の（ｃ）に示すように、フォトダイオード１１１を形成しているシリコン基板を薄化加工する。例えば、シリコン基板の厚みは、２〜５μｍであり、フォトダイオード１１１がシリコン層１０１の表面から裏面まで貫通するように、シリコン基板の第１主面側を研磨する。このとき、ＳＯＩ基板のＢＯＸ層（シリコン酸化膜）まで、加工して、シリコン層１０１を残す。
【００８５】
続いて、図３の（ｄ）に示すように、トランジスタ１１２が形成されているシリコン層１０１の面である第２主面の反対側の第１主面の上方に、シリコン酸化膜１１５と、シリコン窒化膜１１６と、シリコン酸化膜１１７とを積層する。例えば、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などにより、シリコン酸化膜１１５と、シリコン窒化膜１１６と、シリコン酸化膜１１７とを積層する。シリコン窒化膜１１６は、入射光のシリコン層１０１界面での反射を低減する役割を担う。
【００８６】
続いて、図４の（ａ）に示すように、タングステンからなる金属膜をスパッタリング法又はＣＶＤ法で成膜して、リソグラフィ法を用いてパターニングする。パターニング後、ドライエッチング法で分離領域１２０の上方に格子状パターンの金属膜１１８を形成する。これにより、斜入射光の隣接画素への漏れ込みを低減して、混色発生を防ぐことができる。なお、金属膜１１８の幅は、０．４μｍ程度としている。
【００８７】
続いて、図４の（ｂ）に示すように、シリコン酸化膜からなる絶縁膜１１９を、金属膜１１８及びシリコン酸化膜１１７を覆うように、ＣＶＤ法などにより成膜する。続いて、図４の（ｃ）に示すように、リソグラフィ法を用いてパターニング後、ドライエッチング法で分離領域１２０の上方に格子状パターンの凸部１２１を形成する。
【００８８】
続いて、図４の（ｄ）に示すように、ベイヤ配列となるように、凸部１２１間にカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃを埋め込む。また、凸部１２１上方にもカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃを配置する。
【００８９】
これにより、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃより屈折率が低い凸部１２１が、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃの側方に形成され、光導波路が形成されて高感度化が実現できる。また、凸部１２１の上にカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃが形成されて、金属膜１１８による反射光を吸収して、フレアを低減できる。
【００９０】
続いて、図２に示すように、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃ上に平坦化膜１２３をスピンコーター法で形成する。そして、平坦化膜１２３上に、有機膜を同様の手法で塗布して、リソグラフィ法でパターニング後にドライエッチングを行うことで、複数のレンズ１２４を形成する。
【００９１】
以上の工程を経ることで、図２に示す固体撮像装置１０を製造することができる。
【００９２】
以上のように、本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置１０は、半導体基板の上方に画素毎に形成された複数のカラーフィルタを備え、当該複数のカラーフィルタのそれぞれは、隣り合うカラーフィルタとの間の領域であって半導体基板と逆側の領域、例えば、レンズが形成される側の領域では、隣り合うカラーフィルタと接しており、半導体基板側の領域には、カラーフィルタより屈折率が低い低屈折率領域が形成されていることを特徴とする。
【００９３】
これにより、斜入射光の入射角度が高角度でも、カラーフィルタ側面と低屈折率領域との境界における屈折率の差によって、大部分の光が反射される。よって、隣接画素への光の漏れ込み（クロストーク）の低減が図れ、高集光により高感度を実現することができる。また、低屈折率領域の上方は、カラーフィルタで被覆されているため、上方に、レンズを形成しても、カラーフィルタ間の低屈折率領域の形状バラツキを低減することができる。そして、半導体基板面からの反射光は、カラーフィルタ間の低屈折率領域の上方のカラーフィルタで大部分が吸収されるため、高光強度でも、フレアを低減することができる。
【００９４】
以上、本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置及びその製造方法について説明したが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を当該実施の形態に施したものも、本発明の範囲内に含まれる。
【００９５】
例えば、上述したように、低屈折率領域の一例である凸部１２１は、空洞であってもよい。以下では、空洞である凸部１２１が形成された固体撮像装置１０の製造方法の一例について、図５及び図６を用いて説明する。なお、図５及び図６は、本発明の実施の形態１の変形例に係る固体撮像装置１０の製造方法の一例を示す工程断面図である。
【００９６】
まず、図５の（ａ）に示す金属膜１１８を形成するまでの工程は、上述した図３及び図４の（ａ）に示す工程と同じである。続いて、図５の（ｂ）に示すように、シリコン酸化膜からなる絶縁膜１１９を成膜し、さらに、スパッタリング法又はＣＶＤ法を用いて、シリコン膜１２５を１００〜５００ｎｍの厚みで形成する。なお、絶縁膜１１９の厚みは、１００〜５００ｎｍの厚みとしている。
【００９７】
続いて、図５の（ｃ）に示すように、リソグラフィ法を用いてシリコン膜１２５をパターニングした後、ドライエッチング法で、分離領域１２０の上方に格子状パターンのシリコン凸部１２１ａを形成する。
【００９８】
続いて、図５の（ｄ）に示すように、ベイヤ配列となるように、シリコン凸部１２１ａ間にカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃを埋め込む。また、シリコン凸部１２１ａの上にもカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃを配置する。
【００９９】
続いて、図６の（ａ）に示すように、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃ上に平坦化膜１２３をスピンコーター法で形成する。そして、平坦化膜１２３上に、有機膜を同様の手法で塗布して、リソグラフィ法でパターニング後にドライエッチングを行うことで、複数のレンズ１２４を形成する。
【０１００】
続いて、図６の（ｂ）に示すように、レンズ１２４間の一部にシリコン凸部１２１ａへ到達する孔１２６を開口する。つまり、互いに隣り合うカラーフィルタの接面もしくは接面近傍の一部に孔１２６が形成される。
【０１０１】
続いて、図６の（ｃ）に示すように、シリコンを除去するためのガスにシリコン凸部１２１ａを曝して、シリコン凸部１２１ａを除去することで、空洞を形成する。具体的には、フッ化キセノン（ＸｅＦ）ガスを用いて、シリコン凸部１２１ａを等方性エッチングにより除去する。これにより、空洞である凸部１２１が形成される。
【０１０２】
以上のようにして、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃより屈折率が低い凸部１２１がカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃの側方に形成され、光導波路が形成されて高感度化が実現できる。また、平坦化膜１２３及びレンズ１２４を形成してから、空洞である凸部１２１を形成するので、空洞形状が一様となり、各画素間の感度特性のバラツキを、従来の約半分にすることができる。
【０１０３】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２に係る固体撮像装置は、複数の画素が２次元状に配列された固体撮像装置であって、半導体基板の第１主面（光入射面）の上方に複数の画素に対応して形成された複数のカラーフィルタを備え、隣り合うカラーフィルタの間の領域であって、半導体基板側の領域に、カラーフィルタより屈折率が低い低屈折率領域が形成され、複数のカラーフィルタのそれぞれは、低屈折率領域の上方で、隣り合うカラーフィルタと接している。さらに、低屈折率領域内には、光を遮るための遮光部が形成されている。
【０１０４】
まず、本発明の実施の形態２に係る固体撮像装置の回路構成は、例えば、図１と同様である。したがって、ここでは、説明を省略する。
【０１０５】
続いて、本発明の実施の形態２に係る固体撮像装置が備える画素部２００の断面構成の一例について、図７を用いて説明する。
【０１０６】
図７は、本発明の実施の形態２に係る画素部２００の構成一例を示す断面図である。なお、図７では、実施の形態１に係る画素部１００の構成と同じ構成要素には同じ参照符号を付している。以下では、実施の形態１に係る画素部１００の構成と同じ点は説明を省略し、異なる点を中心に説明する。
【０１０７】
本発明の実施の形態２に係る画素部２００は、実施の形態１に係る画素部１００と比較して、金属膜１１８及び絶縁膜１１９を備えない点と、分離領域１２０及び凸部１２１の代わりに分離領域２２０及び低屈折率領域２２１を備える点と、新たに遮光部２２７を備える点とが異なっている。
【０１０８】
分離領域２２０は、光電変換部（フォトダイオード１１１）とは異なる導電型の不純物領域を含む分離部の一例である。複数のフォトダイオード１１１のそれぞれの間には、ｐ型（第２導電型）から構成される分離領域２２０が形成されている。なお、フォトダイオード１１１は、図１に示す光電変換部１１に相当している。
【０１０９】
低屈折率領域２２１は、複数のカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃより屈折率が低い領域である。図７に示すように、隣り合うカラーフィルタの間の領域のうち半導体基板側の領域に、低屈折率領域２２１が形成されている。すなわち、複数のカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃのそれぞれは、低屈折率領域２２１の上方で、隣り合うカラーフィルタと接している。
【０１１０】
具体的な低屈折率領域２２１の構造は、分離領域２２０上方にシリコン酸化膜からなる凸形状を格子状に配置しており、高さ１００〜５００ｎｍである。さらに、各フォトダイオード１１１上方にカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃが形成されて、低屈折率領域２２１の間に埋め込まれている。
【０１１１】
また、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃは、低屈折率領域２２１を覆いながら、その上部で隣接画素のカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃとの境界を設けている。つまり、隣り合うカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃは、低屈折率領域２２１の上方で互いに接している。言い換えると、隣り合うカラーフィルタの境界を含む領域のうち上部の領域において、カラーフィルタは互いに接している。
【０１１２】
なお、低屈折率領域２２１は、空洞でも同様の効果が得られて、図１１及び図１２で示す製造方法で実現できる。低屈折率領域２２１が空洞である構成については、後で図１０を用いて説明する。
【０１１３】
このように、低屈折率領域２２１間にカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃを埋め込み、すなわち、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃの下部の間に低屈折率領域２２１を設けている。これにより、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃ内を通過する斜入射光が低屈折率領域２２１の界面で反射する。つまり、導波路構造となり、隣接画素への光の漏れ込み（クロストーク）を低減することができ、高感度が実現できる。
【０１１４】
なお、本発明の実施の形態２では、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃの屈折率は、１．５〜２．０程度であり、低屈折率領域２２１の屈折率は、シリコン酸化膜の場合は約１．４である。シリコン酸化膜を低屈折率領域２２１に用いる場合、赤光（波長６５０ｎｍ）を高透過させるカラーフィルタ１２２ｃが上方に形成されているフォトダイオード１１１の感度は、従来（多層配線１１４の下方に低屈折率領域が無く、カラーフィルタが配列された固体撮像装置）比２５％増の高感度を実現できる。
【０１１５】
さらに、本発明の実施の形態２では、低屈折率領域２２１内に遮光部２２７が形成されている。このため、フォトダイオード１１１とカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃとの短距離化ができて、従来比２０％減の距離まで近づく。
【０１１６】
また、低屈折率領域２２１をカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃで覆うことで、シリコン層１０１及び遮光部２２７からの反射光をカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃで吸収可能である。このため、固体撮像装置上方に備え付けられるカバーガラス又はレンズの界面との乱反射によるフレアを低減できる。低屈折率領域２２１上部に形成されるカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃの膜厚に依存するが、例えば、２００ｎｍ厚の場合、従来比３０％減の反射光低減を実現できる。
【０１１７】
上述したように、低屈折率領域２２１内には、シリコン層１０１への入射光を妨げる第１遮光部の一例である遮光部２２７が形成されている。本実施の形態における遮光部２２７は、金属膜を有し、例えば、薄膜での光遮光性が高いタングステン材料が、膜厚２００〜５００ｎｍで形成されている。なお、アルミニウム、銅、チタンなどを同様の膜厚２００〜５００ｎｍで形成し、遮光部２２７として用いてもよい。
【０１１８】
これにより、低屈折率領域２２１にカラーフィルタから漏れ込む入射光が半導体基板へ到達することを妨ぐことができる。このため、隣接画素への光の漏れ込みのさらなる低減が図れ、高感度を実現することができる。
【０１１９】
なお、本発明の実施の形態２では、トランジスタ１１２が形成されている側のシリコン層１０１の面である第２主面の反対側の第１主面の上方に、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃを低屈折率領域２２１の間に形成した。これに対して、トランジスタ１１２が形成されている第２主面側の多層配線１１４の上方（図７における絶縁膜１１３の下面）に形成しても、同様な効果が得られる。
【０１２０】
すなわち、多層配線１１４などを含む検出回路部と、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃとを、半導体基板に対して同じ面側に形成してもよい。言い換えると、検出回路部は、半導体基板の上方、すなわち、光入射面側に形成されていてもよい。ただし、多層配線１１４による光反射が増加するため、赤光（波長６５０ｎｍ）を高透過させるカラーフィルタ１２２ｃが上方に形成されているフォトダイオード１１１の感度で、従来比１０％増の高感度までしか実現できない。
【０１２１】
さらに、図８に示すように、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃ上方に、平坦化膜１２３を介してレンズ１２４を形成してもよい。すなわち、本発明の実施の形態２に係る固体撮像装置は、複数のカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃの上方に、複数の画素部２００に対応して形成された複数のレンズ１２４を備えていてもよい。この構成によれば、さらなる高集光が可能となり、低屈折率領域２２１をシリコン酸化膜として、赤光（波長６５０ｎｍ）を高透過させるカラーフィルタ１２２ｃが上方に形成されているフォトダイオード１１１の感度は、従来比３０％増の高感度を実現できる。
【０１２２】
次に、本発明の実施の形態２に係る固体撮像装置の製造方法について、図３及び図９を用いて説明する。なお、本発明の実施の形態２に係る固体撮像装置の製造方法は、実施の形態１に係る固体撮像装置の製造方法とシリコン酸化膜１１７を形成するまでの工程（図３）が共通である。したがって、以下では、図３に示す工程については説明を省略する。なお、図９は、本発明の実施の形態２に係る固体撮像装置の製造方法の一例を示す工程断面図である。
【０１２３】
シリコン酸化膜１１７を形成後、複数の画素の境界の少なくとも一部を含む領域に遮光部２２７を形成する。具体的には、図９の（ａ）に示すように、タングステンからなる金属膜をスパッタリング法又はＣＶＤ法で成膜して、リソグラフィ法を用いてパターニングする。パターニング後、ドライエッチング法で分離領域２２０の上方に遮光部２２７を形成する。
【０１２４】
遮光部２２７は、本実施の形態では、シリコン酸化膜１１７の上方の面に格子状に形成されているものとする。これは、行列状に配置されたカラーフィルタを縁取るように形成されているためであるが、必ずしも格子状でなくともよく、隣り合うカラーフィルタ同士の境界部周辺に形成されていればよい。これにより、斜入射光の隣接画素への漏れ込みを低減できる。
【０１２５】
なお、遮光部２２７の幅は、フォトダイオード１１１上方に配置されないように、分離領域２２０の幅より狭く形成している。本実施の形態では、遮光部２２７の幅は、０．３μｍ程度としている。
【０１２６】
続いて、図９の（ｂ）に示すように、シリコン酸化膜からなる絶縁膜１１９を、遮光部２２７及びシリコン酸化膜１１７を覆うように、ＣＶＤ法などにより成膜する。
【０１２７】
続いて、図９の（ｃ）に示すように、リソグラフィ法を用いてパターニング後、ドライエッチング法で分離領域２２０の上方に格子状パターンの低屈折率領域２２１を形成する。遮光部２２７のパターン同様に、フォトダイオード１１１上方に配置されないように、低屈折率領域２２１の幅を分離領域２２０の幅より狭く形成している。
【０１２８】
すなわち、低屈折率領域２２１の半導体基板側の面の幅は、分離領域２２０のカラーフィルタ側の面の幅、すなわち、光入射面側の面の幅より短い。なお、例えば、低屈折率領域２２１の垂直方向の断面形状は実質的に、矩形、台形又は三角形である。
【０１２９】
続いて、図９の（ｄ）に示すように、ベイヤ配列となるように、低屈折率領域２２１間にカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃを埋め込む。また、低屈折率領域２２１上方にもカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃを配置する。これにより、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃより屈折率が低い低屈折率領域２２１が、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃ側方に形成される。これによって、斜入射光が低屈折率領域２２１界面で反射する光導波路が形成されて、高感度化が実現できる。また、低屈折率領域２２１の上部にカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃが形成されて、シリコン層１０１及び遮光部２２７による反射光を吸収して、フレアを低減できる。
【０１３０】
以上の工程を経ることで、図７に示す固体撮像装置を製造することができる。
【０１３１】
以上のように、本発明の実施の形態２に係る固体撮像装置は、半導体基板の上方に画素毎に形成された複数のカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃを備える。そして、当該複数のカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃのそれぞれは、隣り合うカラーフィルタの間の領域であって、半導体基板と逆側の領域、例えば、レンズ１２４が形成される側の領域では、隣り合うカラーフィルタと接している。また、半導体基板側の領域には、カラーフィルタより屈折率が低い低屈折率領域２２１が形成されている。さらに、低屈折率領域２２１内に、遮光部２２７が形成されていることを特徴とする。
【０１３２】
これにより、斜入射光の入射角度が高角度でも、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃ側面と低屈折率領域２２１との境界における屈折率の差によって、大部分の光が反射される。よって、隣接画素への光の漏れ込み（クロストーク）の低減が図れ、高集光により高感度を実現することができる。
【０１３３】
また、低屈折率領域２２１の上方は、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃで被覆されているため、上方にレンズ１２４を形成しても、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃ間の低屈折率領域２２１の形状バラツキを低減することができる。そして、反射光は、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃ間の低屈折率領域２２１の上方のカラーフィルタで大部分が吸収されるため、高光強度でも、フレアを低減することができる。さらに、遮光部２２７が低屈折率領域２２１内にあるため、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃとシリコン層１０１との距離を短くすることができ、高感度を実現することができる。
【０１３４】
以上、本発明の実施の形態２に係る固体撮像装置及びその製造方法について説明したが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を当該実施の形態に施したものも、本発明の範囲内に含まれる。
【０１３５】
例えば、上述したように、カラーフィルタ間にある低屈折率領域は、空洞であってもよい。図１０は、本発明の実施の形態２の変形例に係る固体撮像装置の構成の一例を示す断面図である。
【０１３６】
図１０に示すように、隣り合うカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃの間の領域であって、半導体基板側の領域には、低屈折率領域として、空洞２２１ａが形成されている。そして、空洞２２１ａ内に、光を遮るための遮光部２２７が形成されている。隣り合うカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃは、空洞２２１ａの上方において互いに接している。
【０１３７】
空洞２２１ａの屈折率は、約１である。空洞２２１ａが低屈折率領域として形成されている場合、赤光（波長６５０ｎｍ）を主に透過させるカラーフィルタ１２２ｃが上方に形成されているフォトダイオード１１１の感度は、従来比４５％増の高感度を実現することができる。
【０１３８】
以下では、低屈折率領域として空洞２２１ａが形成された固体撮像装置の製造方法の一例について、図１１及び図１２を用いて説明する。なお、図１１及び図１２は、本発明の実施の形態２の変形例に係る固体撮像装置の製造方法の一例を示す工程断面図である。
【０１３９】
まず、図１１の（ａ）に示す遮光部２２７を形成するまでの工程は、上述した図３及び図９の（ａ）に示す工程と同じである。
【０１４０】
続いて、図１１の（ｂ）に示すように、１０〜３０ｎｍの膜厚でシリコン酸化膜からなる絶縁膜２２８を成膜し、さらに、スパッタリング法又はＣＶＤ法を用いて、シリコン膜２２９を１００〜５００ｎｍの厚みで形成する。
【０１４１】
続いて、図１１の（ｃ）に示すように、リソグラフィ法を用いてシリコン膜２２９をパターニングした後、ドライエッチング法で、分離領域２２０の上方に格子状パターンのシリコン凸部２３０を形成する。
【０１４２】
続いて、図１１の（ｄ）に示すように、ベイヤ配列となるように、シリコン凸部２３０間にカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃを埋め込む。また、シリコン凸部２３０の上部にもカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃを配置する。
【０１４３】
続いて、図１２の（ａ）に示すように、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃの境界領域に、リソグラフィ法でパターニング後にドライエッチングを行うことで、シリコン凸部２３０へ到達する空間を開口する。つまり、互いに隣り合うカラーフィルタの接面もしくは接面近傍の一部に孔１２６が形成される。孔１２６は、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃをシリコン凸部２３０まで貫通する。なお、図１１の（ｄ）に示すカラーフィルタを埋め込む際に、画素間の境界領域に孔１２６をリソグラフィで形成してもよい。
【０１４４】
続いて、図１２の（ｂ）に示すように、シリコンを除去するためのガスの一例であるフッ化キセノン（ＸｅＦ）ガスを用いて、シリコン凸部２３０を等方性エッチングにより除去する。これにより、低屈折率領域として空洞２２１ａが形成される。
【０１４５】
以上のようにして、カラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃより屈折率が低い低屈折率領域２２１又は空洞２２１ａがカラーフィルタ１２２ａ〜１２２ｃの側方に形成されることで、光導波路が形成されて高感度化が実現できる。
【０１４６】
また、フォトダイオード１１１は、ｐ型の拡散領域からなるフォトダイオードでもよい。なお、この場合、分離領域２２０は、ｎ型の分離領域となる。
【０１４７】
以上、本発明に係る固体撮像装置及びその製造方法について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を当該実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本発明の範囲内に含まれる。
【０１４８】
例えば、低屈折率領域である低屈折率材料及び空洞の形成は、上記説明に限らず、他の方法を用いて形成してもよい。
【０１４９】
また、上記実施の形態の説明に用いた図（例えば、図２など）において、各構成要素の角部及び辺を直線的に記載しているが、製造上の理由により、角部及び辺が丸みをおびたものも本発明に含まれる。
【０１５０】
また、上記で用いた数字は、全て本発明を具体的に説明するために例示するものであり、本発明は例示された数字に制限されない。また、トランジスタ等のｎ型及びｐ型等は、本発明を具体的に説明するために例示するものであり、これらを反転させることで、同等の結果を得ることも可能である。また、上記で示した各構成要素の材料は、全て本発明を具体的に説明するために例示するものであり、本発明は例示された材料に制限されない。また、構成要素間の接続関係は、本発明を具体的に説明するために例示するものであり、本発明の機能を実現する接続関係はこれに限定されない。
【０１５１】
また、上記固体撮像装置の構成は、本発明を具体的に説明するために例示するためのものであり、本発明に係る固体撮像装置は、上記構成の全てを必ずしも備える必要はない。言い換えると、本発明に係る固体撮像装置は、本発明の効果を実現できる最小限の構成のみを備えればよい。
【０１５２】
同様に、上記の固体撮像装置の製造方法は、本発明を具体的に説明するために例示するためのものであり、本発明に係る固体撮像装置の製造方法は、上記ステップの全てを必ずしも含む必要はない。言い換えると、本発明に係る固体撮像装置の製造方法は、本発明の効果を実現できる最小限のステップのみを含めばよい。また、上記のステップが実行される順序は、本発明を具体的に説明するために例示するためのものであり、上記以外の順序であってもよい。また、上記ステップの一部が、他のステップと同時（並列）に実行されてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１５３】
本発明に係る固体撮像装置は、画素サイズの微細化しても、高感度、低混色及び高画質を実現することができるという効果を奏し、例えば、デジタルカメラなどの撮像装置に利用することができる。
【符号の説明】
【０１５４】
１０  固体撮像装置
１１  光電変換部
１２  浮遊拡散層
１３  転送トランジスタ
１４  増幅トランジスタ
１５  リセットトランジスタ
１６  選択トランジスタ
１７  撮像領域
１８  垂直シフトレジスタ
１９  水平シフトレジスタ
２０  出力信号線
２１  出力端
１００、２００  画素部
１０１  シリコン層
１０２、３１０  支持基板
１１１、３０１  フォトダイオード
１１２  トランジスタ
１１２ａ  拡散領域
１１２ｂ  ＳＴＩ分離領域
１１２ｃ  ゲート電極
１１３、１１９、２２８  絶縁膜
１１４  多層配線
１１５、１１７  シリコン酸化膜
１１６  シリコン窒化膜
１１８  金属膜
１２０、２２０、３１９  分離領域
１２１  凸部
１２１ａ、２３０  シリコン凸部
１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃ、３０９  カラーフィルタ
１２３  平坦化膜
１２４  レンズ
１２５、２２９  シリコン膜
１２６  孔
２２１  低屈折率領域
２２１ａ  空洞
２２７  遮光部
３０５  層間絶縁膜
３０６  配線
３０８  接着剤層
３１５  中空部
３１７  キャップ層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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