(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象体に対して検査用信号を供給したときに生じる物理量を検出する複数の検出部と、前記検査用信号の供給に伴う放電の発生の有無を前記各検出部による検出結果に基づいて判定する判定部とを備え、
前記各検出部は、前記物理量に対する検出周波数帯域が当該各検出部毎に互いに異なるようにそれぞれ構成され、
前記判定部は、前記各検出部によって検出された前記物理量の少なくとも１つが予め決められた条件を満たすときに前記放電が発生したと判定する検査装置であって、
前記検査用信号としての電圧信号を生成する信号生成部を備え、
第１の検出部、第２の検出部、第３の検出部および第４の検出部を前記各検出部として備え、
前記第１検出部は、前記検査対象体に対して前記電圧信号を供給したときに生じる前記物理量としての低周波成分の電圧を検出して当該電圧値を示す電圧データを出力し、
前記第２検出部は、前記検査対象体に対して前記電圧信号を供給したときに生じる前記物理量としての高周波成分の電圧を検出して当該電圧値が予め規定された基準電圧値以上のときに検出信号を出力し、
前記第３検出部は、前記検査対象体に対して前記電圧信号を供給したときに生じる前記物理量としての高周波成分の電流を検出して当該電流値が予め規定された基準電流値以上のときに検出信号を出力し、
前記第４検出部は、前記検査対象体に対して前記電圧信号を供給したときに生じる前記物理量としての低周波成分の電流を検出して当該電流値を示す電流データを出力し、
前記判定部は、前記第１検出部から出力された前記電圧データが予め決められた基準値以上のとき、前記第２検出部から前記検出信号が出力されたとき、前記第３検出部から前記検出信号が出力されたとき、および前記第４検出部から出力された前記電流データが予め決められた基準値以上のときのいずれかのときに前記予め決められた条件を満たしたとする検査装置。
【請求項２】
前記各検出部は、前記物理量を検出する際の検出感度を任意に設定可能に構成されている請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
前記条件を前記検出部毎に任意に設定可能に構成されている請求項１または２記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象体に対して検査用信号を供給したときに生じる物理量を検出してその検出結果に基づいて検査用信号の供給に伴う放電の発生の有無を判定する検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の検査装置として、特許第３５４６０４６号公報に開示された絶縁検査装置が知られている。この絶縁検査装置は、可変電圧源、電圧計、制御部およびスパーク検出回路などを備えて構成され、回路基板における配線パターン間の絶縁状態の良否を判定し、絶縁状態が不良な配線パターンが存在するときにはその回路基板が不良品であると判定する。また、この絶縁検査装置は、絶縁検査中に配線パターン間で発生するスパークをスパーク検出回路が検出し、スパークを検出したときにも、その回路基板が不良品であると判定する。この場合、可変電圧源から出力される直流電圧の印加によってスパークが発生すると、可変電圧源の出力電圧が急変動（急低下）する。このため、スパーク検出回路がこの変動する電圧を検出することにより、スパークの発生が検出される。スパーク検出回路は、例えば、サンプルホールド回路や比較器等で構成され、電圧計から出力される電圧信号を所定の周期でサンプリングして電圧を比較し、電圧が基準値以上に変動した（立ち下がったこと）を検出したときに、スパーク発生信号を出力する。また、制御部は、スパーク検出回路からスパーク発生信号が出力されたときに、回路基板が不良品であると判定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３５４６０４６号公報（第５−６頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記した従来の絶縁検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、この絶縁検査装置では、電圧が基準値以上に変動したことを検出したときにスパーク（放電）が発生したと判定している。一方、絶縁検査装置の周囲において特定の周波数のノイズが頻発して発生しているときには、そのノイズによって電圧が変動したことがスパークの発生として誤検出されるおそれがある。このような誤検出を防止するには、スパーク検出回路の検出感度を低く設定したり、基準値を高い（大きい）値に設定する必要がある。しかしながら、このような設定を行ったときには、スパーク発生に伴って電圧が変動したことも検出し難くなり、この結果、スパーク発生の判定精度が低下するという問題点が存在する。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、検査対象体に対して検査用信号を供給したときの放電の発生を判定する際の判定精度を向上し得る検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の検査装置は、検査対象体に対して検査用信号を供給したときに生じる物理量を検出する複数の検出部と、前記検査用信号の供給に伴う放電の発生の有無を前記各検出部による検出結果に基づいて判定する判定部とを備え、前記各検出部は、前記物理量に対する検出周波数帯域が当該各検出部毎に互いに異なるようにそれぞれ構成され、前記判定部は、前記各検出部によって検出された前記物理量の少なくとも１つが予め決められた条件を満たすときに前記放電が発生したと判定する検査装置であって、前記検査用信号としての電圧信号を生成する信号生成部を備え、第１の検出部、第２の検出部、第３の検出部および第４の検出部を前記各検出部として備え、前記第１検出部は、前記検査対象体に対して前記電圧信号を供給したときに生じる前記物理量としての低周波成分の電圧を検出して当該電圧値を示す電圧データを出力し、前記第２検出部は、前記検査対象体に対して前記電圧信号を供給したときに生じる前記物理量としての高周波成分の電圧を検出して当該電圧値が予め規定された基準電圧値以上のときに検出信号を出力し、前記第３検出部は、前記検査対象体に対して前記電圧信号を供給したときに生じる前記物理量としての高周波成分の電流を検出して当該電流値が予め規定された基準電流値以上のときに検出信号を出力し、前記第４検出部は、前記検査対象体に対して前記電圧信号を供給したときに生じる前記物理量としての低周波成分の電流を検出して当該電流値を示す電流データを出力し、前記判定部は、前記第１検出部から出力された前記電圧データが予め決められた基準値以上のとき、前記第２検出部から前記検出信号が出力されたとき、前記第３検出部から前記検出信号が出力されたとき、および前記第４検出部から出力された前記電流データが予め決められた基準値以上のときのいずれかのときに前記予め決められた条件を満たしたとする。
【０００８】
また、請求項２記載の検査装置は、請求項１記載の検査装置において、前記各検出部は、前記物理量を検出する際の検出感度を任意に設定可能に構成されている。
【０００９】
また、請求項３記載の検査装置は、請求項１または２記載の検査装置において、前記条件を前記検出部毎に任意に設定可能に構成されている。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１記載の検査装置によれば、物理量に対する検出周波数帯域が互いに異なる検出部を複数備え、判定部が各検出部によって検出された物理量の少なくとも１つが予め決められた条件を満たすときに放電が発生したと判定することにより、ノイズの周波数が属する周波数帯域内で変動する物理量を検出する検出部については、ノイズを放電の発生と誤判定しないように条件を設定し、ノイズの周波数が属さない周波数帯域内で変動する物理量を検出する検出部については、物理量の僅かな変動も検出するように条件を設定することで、ノイズを放電の発生と誤判定する事態を回避しつつ放電の発生を確実に判定することができる。したがって、この検査装置によれば、放電の発生を判定する際の判定精度を十分に向上させることができる。
【００１１】
また、この検査装置によれば、低周波成分の電圧を検出して電圧値を示す電圧データを出力する第１検出部と、高周波成分の電圧を検出して電圧値が予め規定された基準電圧値以上のときに検出信号を出力する第２検出部と、高周波成分の電流を検出して電流値が予め規定された基準電流値以上のときに検出信号を出力する第３検出部と、低周波成分の電流を検出して電流値を示す電流データを出力する第４検出部とを備えたことにより、放電発生に伴って変動する物理量の周波数が広範囲の周波数帯域に亘っている場合においても、放電発生の誤判定を回避しつつ放電の発生を確実に判定することができる。
【００１２】
また、請求項２記載の検査装置によれば、物理量を検出する際の検出感度を任意に設定可能に各検出部を構成したことにより、例えば、ノイズを検出しない範囲で検出感度をできるだけ高く設定して、小さな放電の発生も確実に判定するようにしたり、検出感度を低く設定して、大きな放電の発生だけを判定するようにしたりすることができるため、様々な使用形態に対応させることができる。
【００１３】
また、請求項３記載の検査装置によれば、放電の発生を判定するための条件を検出部毎に任意に設定可能に構成したことにより、例えば、ノイズを検出しない範囲で、できるだけ小さな放電の発生も確実に判定するように条件を設定したり、大きな放電の発生だけを判定するように基準を設定したりすることができるため、様々な使用形態に対応させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】回路基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】各検出部３によって検出される物理量の周波数帯域を説明する説明図である。
【図３】放電が発生したときに導体パターン１０１の間に生じる電圧の波形を示す波形図であって、（ａ）図は、高い周波数および低い周波数の電圧変動を伴う放電Ａが発生したときの波形図であり、（ｂ）図は、主として低い周波数の電圧変動を伴う放電Ｂが発生したときの波形図であり、（ｃ）図は、主として高い周波数の電圧変動を伴う放電Ｃが発生したときの波形図である。
【図４】放電が発生したときに第１検出部３ａの電圧検出回路１１によって検出される電圧の波形を示す波形図であって、（ａ）図は、放電Ａが発生したときの波形図であり、（ｂ）図は、放電Ｂが発生したときの波形図であり、（ｃ）図は、放電Ｃが発生したときの波形図である。
【図５】放電が発生したときに第２検出部３ｂの電圧検出回路２１によって検出される電圧の波形を示す波形図であって、（ａ）図は、放電Ａが発生したときの波形図であり、（ｂ）図は、放電Ｂが発生したときの波形図であり、（ｃ）図は、放電Ｃが発生したときの波形図である。
【図６】放電が発生したときに第３検出部３ｃの電流検出回路３１によって検出される電圧の波形を示す波形図であって、（ａ）図は、放電Ａが発生したときの波形図であり、（ｂ）図は、放電Ｂが発生したときの波形図であり、（ｃ）図は、放電Ｃが発生したときの波形図である。
【図７】放電が発生したときに第４検出部３ｄの電流検出回路４１によって検出される電圧の波形を示す波形図であって、（ａ）図は、放電Ａが発生したときの波形図であり、（ｂ）図は、放電Ｂが発生したときの波形図であり、（ｃ）図は、放電Ｃが発生したときの波形図である。
【図８】放電の発生がないときに導体パターン１０１の間に生じる電圧の波形を示す波形図である。
【図９】放電の発生がないときに第１検出部３ａの電圧検出回路１１によって検出される電圧の波形を示す波形図である。
【図１０】放電の発生がないときに第２検出部３ｂの電圧検出回路２１によって検出される電圧の波形を示す波形図である。
【図１１】放電の発生がないときに第３検出部３ｃの電流検出回路３１によって検出される電圧の波形を示す波形図である。
【図１２】放電の発生がないときに第４検出部３ｄの電流検出回路４１によって検出される電圧の波形を示す波形図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係る検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１６】
最初に、検査装置の一例としての回路基板検査装置１の構成について説明する。図１に示す回路基板検査装置１は、例えば、電子部品が実装されていない回路基板（ベアボード）１００における導体パターン１０１の間の絶縁状態を検査可能に構成されている。具体的には、回路基板検査装置１は、同図に示すように、信号生成部２、第１検出部３ａ、第２検出部３ｂ、第３検出部３ｃ、第４検出部３ｄ（以下、第１検出部３ａ〜第４検出部３ｄを区別しないときには「検出部３」ともいう）および制御部４を備えて構成されている。
【００１７】
信号生成部２は、制御部４の制御に従い、電圧が５０Ｖ〜２００Ｖ程度の範囲内に規定された検査用信号の一例としての直流の電圧信号Ｖｅを生成して出力する。
【００１８】
第１検出部３ａは、図１に示すように、電圧検出回路１１およびＡ／Ｄコンバータ１２を備えて構成されている。電圧検出回路１１は、ローパスフィルタおよびレンジ回路を備えて構成され、回路基板１００の導体パターン１０１に対して電圧信号Ｖｅを供給したときに生じる物理量としての導体パターン１０１の間の電圧の低周波成分を検出する。Ａ／Ｄコンバータ１２は、電圧検出回路１１によって検出された電圧の低周波成分のサンプリングデータＤ１を出力する。
【００１９】
第２検出部３ｂは、図１に示すように、電圧検出回路２１およびコンパレータ２２を備えて構成されている。電圧検出回路２１は、ハイパスフィルタおよびレンジ回路を備えて構成され、回路基板１００の導体パターン１０１に対して電圧信号Ｖｅを供給したときに生じる物理量としての導体パターン１０１の間の電圧の高周波成分を検出する。コンパレータ２２は、電圧検出回路２１によって検出された変動する電圧の高周波成分の値が第２基準値（基準電圧値）Ｎ２以上のときに検出信号Ｓ２を出力する。
【００２０】
第３検出部３ｃは、図１に示すように、電流検出回路３１およびコンパレータ３２を備えて構成されている。電流検出回路３１は、ハイパスフィルタおよびレンジ回路を備えて構成され、回路基板１００の導体パターン１０１に対して電圧信号Ｖｅを供給したときに生じる物理量としての導体パターン１０１の間に流れる電流の高周波成分を検出する。コンパレータ３２は、電流検出回路３１によって検出された変動する電流の高周波成分の値が第３基準値（基準電流値）Ｎ３以上のときに検出信号Ｓ３を出力する。
【００２１】
第４検出部３ｄは、図１に示すように、電流検出回路４１およびＡ／Ｄコンバータ４２を備えて構成されている。電流検出回路４１は、ローパスフィルタおよびレンジ回路を備えて構成され、回路基板１００の導体パターン１０１に対して電圧信号Ｖｅを供給したときに生じる物理量としての導体パターン１０１の間に流れる電流の低周波成分を検出する。Ａ／Ｄコンバータ４２は、電流検出回路４１によって検出された電流の低周波成分の第４サンプリングデータＤ４を出力する。
【００２２】
この回路基板検査装置１では、図２に示すように、第１検出部３ａの電圧検出回路１１が、０Ｈｚ〜１１ｋＨｚ程度の周波数帯域（以下、この周波数帯域を「第１周波数帯域」ともいう）内で変動する電圧を検出可能に構成され、第２検出部３ｂの電圧検出回路２１が、１．５ｋＨｚ〜２００ｋＨｚ程度の周波数帯域（以下、この周波数帯域を「第２周波数帯域」ともいう）内で変動する電圧を検出可能に構成されている。また、第３検出部３ｃの電流検出回路３１が、１００ｋＨｚ〜２ＭＨｚ程度の周波数帯域（以下、この周波数帯域を「第３周波数帯域」ともいう）内で変動する電流を検出可能に構成され、第４検出部３ｄの電流検出回路４１が、０Ｈｚ〜１．１ｋＨｚ程度の周波数帯域（以下、この周波数帯域を「第４周波数帯域」ともいう）内で変動する電流を検出可能に構成されている。つまり、この回路基板検査装置１では、検出開始時からの時間経過に応じて値が変動する物理量（電圧または電流）についての各検出部３による検出可能な周波数帯域（検出周波数帯域）が、各検出部３毎に互いに異なるように構成されている。また、この回路基板検査装置１では、物理量（電圧または電流）を検出する際の各検出部３の検出感度を、設定操作によって各検出部３毎に任意に設定することが可能となっている。
【００２３】
また、この回路基板検査装置１では、各検出部３を上記のように構成したことにより、例えば、導体パターン１０１に対して電圧信号Ｖｅを供給したときに導体パターン１０１の間に生じる電圧が図３に示すように変動する場合において、第１検出部３ａによって図４に示すように変動する電圧（電圧の波形）が検出され、第２検出部３ｂによって図５に示すように変動する電圧（電圧の波形）が検出される。また、第３検出部３ｃによって図６に示すように変動する電流（電流の波形）が検出され、第４検出部３ｄによって図７に示すように変動する電流（電流の波形）が検出される。
【００２４】
具体的には、第１検出部３ａの電圧検出回路１１は、図３の（ａ）図に示すように、高い周波数および低い周波数の電圧変動を伴う放電Ａが発生したときには、図４の（ａ）図に示すように、主として低い周波数成分の電圧をやや大きい電圧として検出し、図３の（ｂ）図に示すように、主として低い周波数の電圧変動を伴う放電Ｂが発生したときには、図４の（ｂ）図に示すように、低い周波数成分の電圧を大きい電圧として検出し、図３の（ｃ）図に示すように、主として高い周波数の電圧変動を伴う放電Ｃが発生したときには、図４の（ｃ）図に示すように、高い周波数成分の電圧を小さい電圧として検出する。また、第２検出部３ｂの電圧検出回路２１は、放電Ａが発生したときには、図５の（ａ）図に示すように、主として高い周波数成分の電圧をやや大きい瞬時的な電圧として検出し、放電Ｂが発生したときには、図５の（ｂ）図に示すように、低い周波数成分の電圧を小さい瞬時的な電圧として検出し、放電Ｃが発生したときには、図５の（ｃ）図に示すように、高い周波数成分の電圧を大きい瞬時的な電圧として検出する。
【００２５】
さらに、第３検出部３ｃの電流検出回路３１は、放電Ａが発生したときには、図６の（ａ）図に示すように、主として高い周波数成分の電流をやや大きい瞬時的な電流として検出し、放電Ｂが発生したときには、図６の（ｂ）図に示すように、低い周波数成分の電流を小さい瞬時的な電流として検出し、放電Ｃが発生したときには、図６の（ｃ）図に示すように、高い周波数成分の電流を大きい瞬時的な電流として検出する。また、第４検出部３ｄの電流検出回路４１は、放電Ａが発生したときには、図７の（ａ）図に示すように、主として低い周波数成分の電流をやや大きい電流として検出し、放電Ｂが発生したときには、図７の（ｂ）図に示すように、低い周波数成分の電流を大きい電流として検出し、放電Ｃが発生したときには、図７の（ｃ）図に示すように、高い周波数成分の電流を小さい電流として検出する。つまり、各検出部３は、物理量（電圧または電流）が変動するときに、予め決められた周波数帯域に属する周波数成分の物理量を検出する。
【００２６】
制御部４は、信号生成部２による電圧信号Ｖｅの出力を制御する。また、制御部４は、第１検出部３ａによって出力されるサンプリングデータＤ１から特定した電圧、および第４検出部３ｄによって出力される第４サンプリングデータＤ４から特定した電流に基づき、回路基板１００における導体パターン１０１の間の抵抗値を算出し、導体パターン１０１の間の絶縁状態を検査する。
【００２７】
また、制御部４は、判定部として機能し、各検出部３による検出結果に基づいて電圧信号Ｖｅの供給に伴う放電の発生の有無を判定する。この場合、制御部４は、第１検出部３ａによって出力されるサンプリングデータＤ１から特定した電圧の予め決められた時間に対する変動量（言い替えれば変動率でもある）が第１基準値Ｎ１以上に変動したとき、第２検出部３ｂによって検出信号Ｓ２が出力されたとき（つまり、第２検出部３ｂの電圧検出回路２１によって検出された変動する電圧の値が第２基準値Ｎ２以上のとき）、第３検出部３ｃによって検出信号Ｓ３が出力されたとき（つまり、第３検出部３ｃの電流検出回路３１によって検出された変動する電流の値が第３基準値Ｎ３以上のとき）、および第４検出部３ｄによって出力される第４サンプリングデータＤ４から特定した電流の予め決められた時間に対する変動量（言い替えれば変動率でもある）が第４基準値Ｎ４以上のときのいずれかのときに、予め決められた条件を満たしたとして、電圧信号Ｖｅの供給に伴って放電が発生したと判定する（以下、第１基準値Ｎ１〜第４基準値Ｎ４を区別しないときには「基準値Ｎ」ともいう）。つまり、制御部４は、各検出部３毎（各周波数帯域毎）に予め決められた基準値以上の物理量（電圧または電流）が各検出部３のうちの少なくとも１つによって検出されたときに放電が発生したと判定する。この場合、この回路基板検査装置１では、第１基準値Ｎ１〜第４基準値Ｎ４を設定操作によって任意の値に設定（変更）することが可能となっており、制御部４は、設定された第１基準値Ｎ１〜第４基準値Ｎ４に基づいて放電の発生の有無を判定する。
【００２８】
次に、回路基板検査装置１を用いて回路基板１００における導体パターン１０１の間の絶縁状態を検査する検査方法、およびその際の回路基板検査装置１の動作について、図面を参照して説明する。
【００２９】
検査に先立ち、各検出部３の検出感度の設定、および第１基準値Ｎ１〜第４基準値Ｎ４の設定（放電の発生を判定するための条件の設定）を行う。検出感度の設定では、一例として、各検出部３毎に予め規定された標準的な検出感度に設定する（図２参照）。また、第１基準値Ｎ１〜第４基準値Ｎ４の設定では、まず、第１検出部３ａを標準的な検出感度に設定した状態で、良品の回路基板１００（電圧信号Ｖｅの供給によって放電が発生しない回路基板１００）の導体パターン１０１に対して電圧信号Ｖｅを供給したときに、第１検出部３ａによって検出されるべき電圧として予め規定された標準的な電圧に１０％程度の値を加えた値を第１基準値Ｎ１として仮設定する。同様にして、第２検出部３ｂについて規定された標準的な電圧に１０％程度の値を加えた値を第２基準値Ｎ２として仮設定する。また、同様にして、第３検出部３ｃについて規定された標準的な電流に１０％程度の値を加えた値を第３基準値Ｎ３として仮設定し、第４検出部３ｄについて規定された標準的な電流に１０％程度の値を加えた値を第４基準値Ｎ４として仮設定する。
【００３０】
次に、上記した良品の回路基板１００を用意し、この回路基板１００に対する検査を回路基板検査装置１に実行させる。この検査では、制御部４は、プローブ２００を回路基板１００の導体パターン１０１に接触させた状態で（図１参照）、信号生成部２を制御して電圧信号Ｖｅの出力を開始させる。次いで、制御部４は、第１検出部３ａによって出力されたサンプリングデータＤ１から電圧を特定する。また、制御部４は、特定した電圧が上記の手順で仮設定した第１基準値Ｎ１以上に変動したか否か（具体的には、電圧降下したか否か）を判定する。この場合、良品の回路基板１００では、放電が発生しないで第１基準値Ｎ１以上に電圧が変動したときには、それが特定の周波数（例えば、図２に示すように１ｋＨｚをやや超える周波数）のノイズに起因するものであると考えられる。このため、このときには、電圧が第１基準値Ｎ１以上に変動しないように（ノイズの影響を受けないように）第１基準値Ｎ１をより大きい値に変更する。この場合、第１基準値Ｎ１の変更に代えて、または第１基準値Ｎ１の変更と共に、第１検出部３ａの検出感度を変更してもよい。
【００３１】
また、制御部４は、第２検出部３ｂから検出信号Ｓ２が出力されたか否かを判定する。この場合、検出信号Ｓ２が出力されたとき（つまり、第２検出部３ｂの電圧検出回路２１によって検出された変動する電圧の値が第２基準値Ｎ２以上のとき）には、それがノイズに起因するものであると考えられるため、検出信号Ｓ２が出力されないように、第２基準値Ｎ２の変更や、第２検出部３ｂの検出感度の変更を行う。同様にして、制御部４が第３検出部３ｃからの検出信号Ｓ３の出力を判定したときには、検出信号Ｓ３が出力されないように、第３基準値Ｎ３の変更や、第３検出部３ｃの検出感度の変更を行う。また、同様にして、制御部４が第４サンプリングデータＤ４から特定される電圧が第４基準値Ｎ４以上に変動したと判定したときには、電圧が第４基準値Ｎ４以上に変動しないように第４基準値Ｎ４の変更や、第４検出部３ｄの検出感度の変更を行う。以上により、各検出部３の検出感度の設定、および第１基準値Ｎ１〜第４基準値Ｎ４の設定が終了する。
【００３２】
次に、検査対象の回路基板１００に対する検査を回路基板検査装置１に実行させる。この検査では、制御部４は、プローブ２００を回路基板１００の導体パターン１０１に接触させた状態で、信号生成部２を制御して電圧信号Ｖｅの出力を開始させる。続いて、制御部４は、放電が発生したか否かを判定する判定処理を実行する。この判定処理では、制御部４は、第１検出部３ａによって出力されたサンプリングデータＤ１から電圧を測定し、第１基準値Ｎ１以上に電圧が変動したか否かを判定する。また、制御部４は、第２検出部３ｂから検出信号Ｓ２が出力されたか否かを判定し、第３検出部３ｃから検出信号Ｓ３が出力されたか否かを判定する。また、制御部４は、第４検出部３ｄによって出力された第４サンプリングデータＤ４から電流を測定し、第４基準値Ｎ４以上に電流が変動したか否かを判定する。
【００３３】
ここで、導体パターン１０１に短絡や近接などの欠陥が存在して、電圧信号Ｖｅの供給によって図３に示す放電Ａ〜Ｃが発生し、これに伴って導体パターン１０１の間の電圧が同図に示すように変動したときには、各検出部３によって図４〜図７に示すような変動する電圧または電流が検出される。この場合、図３の（ａ）図に示す放電Ａが発生したときには、図４〜図７における各（ａ）図に示すように、各検出部３によって検出される電圧または電流が各基準値Ｎ以上に変動する。つまり、各検出部３によって検出される物理量の少なくとも１つが予め決められた条件を満たす。このため、制御部４は、放電が発生したと判定して、その旨を図外の表示部に表示させる。また、図３の（ｂ）図に示す放電Ｂが発生したときには、図４〜図７における各（ｂ）図に示すように、第１検出部３ａおよび第４検出部３ｄによって検出される電圧または電流が各基準値Ｎ以上に変動するため、このときにも制御部４は、放電が発生したと判定する。さらに、図３の（ｃ）図に示す放電Ｃが発生したときには、図４〜図７における各（ｃ）図に示すように、第２検出部３ｂおよび第３検出部３ｃによって検出される電圧または電流が各基準値Ｎ以上に変動するため、このときにも制御部４は、放電が発生したと判定する。
【００３４】
一方、導体パターン１０１に欠陥が存在せず、電圧信号Ｖｅの供給による放電の発生がないときには、導体パターン１０１の間の電圧が図８に示すように変動する。また、各検出部３によって図９〜図１２に示すような変動する電圧または電流が検出される。この場合、例えば、図２に示すように、上記したノイズＤの周波数が第１周波数帯域および第４周波数帯域に属するときには、図９，１２に示すように、第１検出部３ａおよび第４検出部３ｄによってノイズＤに伴って変動する電圧または電流が検出される。ここで、上記したように、ノイズを放電の発生と誤判定しないように、第１基準値Ｎ１および第４基準値Ｎ４、並びに各検出部３の検出感度が設定されているため、制御部４は、放電が発生していないと判定する。上記したように、この回路基板検査装置１では、変動する物理量（電圧または電流）に対する検出周波数帯域が互いに異なる検出部３を複数備え、制御部４が、各検出部３によって検出された物理量の少なくとも１つが予め決められた基準を満たすときに放電が発生したと判定している。このため、ノイズの周波数が属する周波数帯域内で変動する物理量を検出する検出部３については、基準値Ｎを大きい値に設定したり、その検出部３の検出感度を低く設定し、ノイズの周波数が属さない周波数帯域内で変動する物理量を検出する検出部３については、基準値Ｎを小さい値に設定したり、その検出部３の検出感度を高く設定することで、ノイズを放電の発生と誤判定する事態を回避しつつ放電の発生を確実に検出することが可能となっている。
【００３５】
次いで、制御部４は、第１検出部３ａによって出力されるサンプリングデータＤ１から特定した電圧、および第４検出部３ｄによって出力される第４サンプリングデータＤ４から特定した電流に基づき、導体パターン１０１の間の抵抗値を算出する。続いて、制御部４は、算出した抵抗値が基準値以上であるか否かを判定し、基準値以上であるときには導体パターン１０１の間の絶縁状態が良好であると判定し、基準値未満であるときには、絶縁状態が不良であると判定して、その判定結果を図外の表示部に表示して、回路基板１００に対する検査を終了する。
【００３６】
このように、この回路基板検査装置１によれば、変動する物理量（電圧または電流）に対する検出周波数帯域が互いに異なる検出部３を複数備え、制御部４が、各検出部３によって検出された物理量の少なくとも１つが予め決められた条件を満たすときに放電が発生したと判定することにより、ノイズの周波数が属する周波数帯域内で変動する物理量を検出する検出部３については、ノイズを放電の発生と誤判定しないように条件を設定し、ノイズの周波数が属さない周波数帯域内で変動する物理量を検出する検出部３については、物理量の僅かな変動も検出するように条件を設定することで、ノイズを放電の発生と誤判定する事態を回避しつつ放電の発生を確実に判定することができる。したがって、この回路基板検査装置１によれば、放電の発生を判定する際の判定精度を十分に向上させることができる。
【００３７】
また、この回路基板検査装置１によれば、低周波成分の電圧を検出してサンプリングデータＤ１を出力する第１検出部３ａと、高周波成分の電圧を検出してその電圧値が第２基準値Ｎ２以上のときに検出信号Ｓ２を出力する第２検出部３ｂと、高周波成分の電流を検出してその電流値が第３基準値Ｎ３以上のときに検出信号Ｓ３を出力する第３検出部３ｃと、低周波成分の電流を検出して第４サンプリングデータＤ４を出力する第４検出部３ｄとを備えたことにより、放電発生に伴って変動する物理量の周波数が広範囲の周波数帯域に亘っている場合においても、放電発生の誤判定を回避しつつ放電の発生を確実に判定することができる。
【００３８】
また、この回路基板検査装置１によれば、物理量を検出する際の検出感度を任意に設定可能に各検出部３を構成したことにより、例えば、ノイズを検出しない範囲で検出感度をできるだけ高く設定して、小さな放電の発生も確実に判定するようにしたり、検出感度を低く設定して、大きな放電の発生だけを判定するようにしたりすることができるため、様々な使用形態に対応させることができる。
【００３９】
また、この回路基板検査装置１によれば、放電の発生を判定するための条件を検出部３毎に任意に設定可能に構成したことにより、例えば、ノイズを検出しない範囲で、できるだけ小さな放電の発生も確実に判定するように条件を設定したり、大きな放電の発生だけを判定するように条件を設定したりすることができるため、様々な使用形態に対応させることができる。
【００４０】
なお、４つの検出部３を備えた構成例について上記したが、この構成には限定されず、２つ、または３つの検出部３を備えた構成や、５つ以上の検出部３を備えた構成を採用することもできる。また、第１基準値Ｎ１〜第４基準値Ｎ４を任意の値に設定可能に構成した例について上記したが、これらの基準値の一部または全部が予め設定された値に固定されている構成を採用することもできる。また、各検出部３の検出感度を任意に設定可能に構成した例について上記したが、これらの検出感度が予め設定された値に固定されている構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００４１】
１  回路基板検査装置
２  信号生成部
３ａ  第１検出部
３ｂ  第２検出部
３ｃ  第３検出部
３ｄ  第４検出部
４  制御部
１１，２１  電圧検出回路
１２，４２  Ａ／Ｄコンバータ
２２，３２  コンパレータ
３１，４１  電流検出回路
１００  回路基板
１０１  導体パターン
Ｄ１，Ｄ４  サンプリングデータ
Ｎ１  第１基準値
Ｎ２  第２基準値
Ｎ３  第３基準値
Ｎ４  第４基準値
Ｓ２，Ｓ３  検出信号
Ｖｅ  電圧信号
【図１】
0005541720.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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