(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリカ質膜の製造過程において、ポリシラザン組成物塗布済み基板を焼成前に浸漬させるための浸漬用溶液であって、過酸化水素と、アルコール、界面活性剤、およびその混合物からなる群から選択される気泡付着防止剤と、前記アルコールとは異なる溶媒とを含んでなる浸漬用溶液であって、前記浸漬用溶液全体に対する前記過酸化水素の含有量が３０〜６０重量%であることを特徴とする浸漬用溶液。
【請求項２】
前記アルコールが、炭素数１〜３の飽和炭化水素の水素が１〜３個の水酸基で置換されたモノオール、ジオール、またはトリオールである、請求項１に記載の浸漬用溶液。
【請求項３】
前記アルコールが、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノール、およびそれらの混合物からなる群から選択される、請求項１または２に記載の浸漬用溶液。
【請求項４】
前記界面活性剤がノニオン性界面活性剤である、請求項１に記載の浸漬用溶液。
【請求項５】
前記ノニオン性界面活性剤がポリオキシエチレンアルキルエーテルである、請求項４に記載の浸漬用溶液。
【請求項６】
前記アルコールとは異なる溶媒が水である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の浸漬用溶液。
【請求項７】
凹凸を有する基板の表面上に、ポリシラザン化合物を含んでなる組成物を塗布する塗布工程、
塗布済み基板を請求項１〜６のいずれか１項に記載の浸漬用溶液に浸漬させる浸漬工程、および
浸漬後の基板を加熱処理してポリシラザン化合物をシリカ質膜に転化させる硬化工程
を含んでなることを特徴とする、シリカ質膜の製造法。
【請求項８】
前記塗布工程と浸漬工程との間に、さらに基板を予備加熱する工程を含んでなる、請求項７に記載のシリカ質膜の製造法。
【請求項９】
前記硬化工程における加熱処理を水蒸気濃度１％以上の不活性ガスまたは酸素雰囲気下で行う、請求項７または８に記載のシリカ質膜の製造法。
【請求項１０】
前記硬化工程における加熱処理を４００℃以上１，２００℃以下の温度で行う、請求項７〜９のいずれか１項に記載のシリカ質膜の製造法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子デバイスにおけるシリカ質膜の製造過程において用いられる、浸漬用溶液、およびそれを用いたシリカ質膜の製造法に関するものである。より詳しくは、本発明は、半導体素子などの電子デバイスの製造において、電子デバイスに絶縁のために形成されるシャロー・トレンチ・アイソレーション構造または絶縁膜をポリシラザン化合物を用いて形成させるために用いられる浸漬用溶液およびそれを用いたシャロー・トレンチ・アイソレーション構造または絶縁膜の製造方法にも関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体装置の様な電子デバイスにおいては、半導体素子、例えばトランジスタ、抵抗、およびその他、が基板上に配置されているが、これらは電気的に絶縁されている必要がある。したがって、これら素子の間には、素子を分離するための領域が必要であり、これをアイソレーション領域と呼ぶ。従来は、このアイソレーション領域を半導体基板の表面に選択的に絶縁膜を形成させることにより行うことが一般的であった。
【０００３】
一方、電子デバイスの分野においては、近年、高密度化、および高集積化が進んでいる。このような高密度および高集積度化が進むと、必要な集積度に見合った、微細なアイソレーション構造を形成させることが困難となり、そのようなニーズに合致した新たなアイソレーション構造が要求される。そのようなものとして、トレンチ・アイソレーション構造が挙げられる。この構造は、半導体基板の表面に微細な溝を形成させ、その溝の内部に絶縁物を充填して、溝の両側に形成される素子の間を電気的に分離する構造である。このような素子分離のための構造は、従来の方法に比べてアイソレーション領域を狭くできるため、昨今要求される高集積度を達成するために有効な素子分離構造である。
【０００４】
このようなトレンチ・アイソレーション構造を形成させるための方法として、ＣＶＤ法や高密度プラズマＣＶＤ法が挙げられる（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、これらの方法によると、昨今要求される、例えば１００ｎｍ以下の微細な溝内を埋設使用とする場合に、溝内にボイドが形成されることがあった。これらの構造欠陥は、基板の物理的強度や絶縁特性を損なう原因となる。
【０００５】
また、一方で、トレンチ溝の埋設性を改良するために、水酸化シリコンを溶液として塗布した後、形成された塗膜を熱処理して二酸化シリコンに転化させる方法も検討されている（例えば、特許文献１参照）。しかし、この方法では、水酸化シリコンが二酸化シリコンに転化する際に体積収縮が起きてクラックが発生することがあった。
【０００６】
そのようなクラックを抑制するための方法として、水酸化シリコンの代わりにポリシラザンを用いる方法も検討されている（例えば、特許文献１〜４）。これらの方法では、二酸化シリコンに転化される際の体積収縮がより小さいポリシラザンを用いることによって、体積収縮に起因するクラックを防止しようとするものである。ポリシラザンを含む組成物を塗布して溝を埋設した後に酸化雰囲気において処理して、高純度かつ緻密な二酸化ケイ素を形成させてトレンチ・アイソレーション構造を形成させる方法は、組成物の浸透性が優れているためにボイドが発生しにくいという利点がある。しかしながら、本発明者らの検討によれば、このようなトレンチ・アイソレーション構造においては、ポリシラザンが二酸化ケイ素に転化してシリカ質膜が形成される際に、塗膜の表面部分とトレンチ内部とで反応条件が微妙に異なるために、シリカ質膜の膜質がトレンチの内部と外部とで、あるいは溝内の深さによって異なり、エッチングレートが均一にならないという問題があることがわかった。この問題は、デバイス設計およびプロセス設計の制限から要求される低温処理を行った場合に顕著であり、特に高アスペクトレシオのトレンチ部でエッチングレートが大きくなるという現象として発現する。
【特許文献１】特許第３１７８４１２号公報（段落０００５〜００１６）
【特許文献２】特開平９−３１３３３号公報
【特許文献３】特開２００１−３０８０９０号公報
【特許文献４】特開２００５−４５２３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来技術では、トレンチ内の膜質が均一ではなくトレンチの深部に行くにつれて膜質が悪化する傾向があった。さらには、この膜物性のトレンチ深さに対する分布は、特に低温処理膜およびアスペクトレシオが高い微細なトレンチで顕著であった。
最先端デバイスでは回路の高密度化が進んでいるため、微細なトレンチ内部であっても均一な膜質を得ることができる新たなプロセスが望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明による浸漬用溶液は、シリカ質膜の製造過程において、ポリシラザン組成物塗布済み基板を焼成前に浸漬させるための浸漬用溶液であって、過酸化水素と、アルコール、界面活性剤、およびその混合物からなる群から選択される気泡付着防止剤と、前記アルコールとは異なる溶媒とを含んでなることを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明によるシリカ質膜の製造法は、
凹凸を有する基板の表面上に、ポリシラザン化合物を含んでなる組成物を塗布する塗布工程、
塗布済み基板を前記の浸漬用溶液に浸漬させる浸漬工程、および
浸漬後の基板を加熱処理してポリシラザン化合物をシリカ質膜に転化させる硬化工程
を含んでなることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明により、トレンチのアスペクト比が非常に高い場合、あるいはトレンチ幅が非常に狭い場合でも、トレンチの内部まで均一な膜質を得ることができる。より高いアスペクト比が要求される次世代デバイスにおいても、ポリシラザンをベースとした塗布型絶縁膜材料を有効な技術として延命することができる。また、浸漬用溶液を用いる際に気泡の付着が抑制されるために、浸漬用溶液を用いることのデメリットもない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
浸漬用溶液
本発明における浸漬用溶液は、後述するシリカ質膜の製造過程において、ポリシラザン組成物塗布済み基板を焼成前に浸漬するのに用いるものである。一般に、ポリシラザン組成物を加熱焼成することにより酸化反応が起こり、シリカ質膜が形成される。ここで、焼成前に本発明による浸漬用溶液で処理することにより、例えば基板上に形成された溝に充填されたポリシラザン組成物も表面部と同様に酸化され、均一なシリカ質膜が形成される。
【００１２】
本発明による浸漬用溶液は、過酸化水素と、気泡付着防止剤と、溶媒とを含んでなる。それぞれの成分について説明すると以下の通りである。
【００１３】
（ａ）過酸化水素
過酸化水素は、一般的な酸化剤としてよく知られているものである。しかしながら、本発明においては、ポリシラザンの酸化、すなわちシリカ質膜の形成はもっぱら焼成によって達成されるのであり、浸漬用溶液中の過酸化水素によってポリシラザンの酸化が支配されるわけではない。むしろ、ポリシラザン組成物から形成される塗膜全体を均一に酸化させるために補助的に作用するものである。
【００１４】
すなわち、一般に凹凸を有する基板上に形成されたポリシラザン塗膜をシリカ質膜に転化させる場合、トレンチ内まで膜質を均一にするためには、酸素源を膜厚に依存することなく速やかに拡散させることが必要であると同時に、その酸素源はポリシラザンと速やかに反応することが重要であると考えられる。本発明においては、塗布されたポリシラザン膜を過酸化水素水に浸漬することで、予備的な酸化を行い、微細なトレンチ内部であっても均一な膜質を得ることができるものと考えられる。
【００１５】
過酸化水素は、単体では不安定な液体であるため、一般に水溶液として取り扱われる。このため、本発明においても浸漬用溶液の調製には過酸化水素水溶液が用いられるのが一般的である。所望の過酸化水素濃度となるように浸漬用溶液に水溶液で配合することが好ましい。例えば硫酸水素アンモニウム水溶液の電気分解や、ペルオキソ酸の加水分解などにより得られた過酸化水素を直接浸漬用溶液に配合することもできるが、水溶液を用いる方が簡便である。
【００１６】
浸漬用溶液中における過酸化水素の含有量は、均一な焼成膜を得るという観点からは多い方が好ましい一方で、浸漬用溶液を取り扱う作業者の安全性に配慮すると一定以下であることが好ましい。このような観点から、組成物全体に対する過酸化水素の含有量は３０〜６０重量％であることが好ましく、３０〜３５重量％であることがより好ましい。
【００１７】
（ｂ）気泡付着防止剤
本発明による浸漬用溶液は気泡付着防止剤を含んでなる。本発明において、浸漬用溶液中における気泡付着防止剤は、基板を浸漬用溶液に浸漬したときに付着する気泡を減少させる作用がある。浸漬用溶液中において基板に付着した気泡は、その後浸漬用溶液から取り出された後にも残留し、結果的に基板の表面積を増大させる。表面積が大きいほど環境から混入するダストなどが付着しやすくなり、最終的には形成されるシリカ質膜の欠陥になる可能性がある。本発明においては気泡付着防止剤によりこの気泡の発生を減少させ、最終的なシリカ質膜の品質を改良させることができる。さらには、焼成後のシリカ質膜をさらに均一化させる作用もある。
【００１８】
本発明において用いられる気泡付着防止剤は、アルコール、界面活性剤、およびそれらの混合物からなる群から選択される。アルコールおよび界面活性剤は、それらを組み合わせて用いても、またそれぞれ一方だけを用いることもできる。また、アルコールまたは界面活性剤のいずれか一方から、複数種類のものを選択して組み合わせることもできる。
【００１９】
ここで、アルコールとは炭化水素に含まれる水素の少なくとも一つが水酸基で置換されたものをいう。しかしながら、本発明において好ましいアルコールは、取扱い性および泡付着低減の観点から、炭素数１〜３の飽和炭化水素の水素が１〜３個の水酸基で置換されたモノオール、ジオール、またはトリオールが好ましい。アルコールには、炭化水素鎖の種類や水酸基などの置換基により非常に多くのものがある。しかしながら、泡の発生を抑えるために表面張力を小さくする作用があること、形成されるシリカ質膜への残留を防ぐために低沸点であること、過酸化水素などの他の成分と反応性が低いことが望ましい。このため、比較的低分子量のアルコールを用いることが好ましい。より具体的には、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノール、およびそれらの混合物からなる群から選択される。
【００２０】
また、本発明における気泡付着防止剤として界面活性剤を用いることもできる。界面活性剤は種々のものが知られており、必要に応じて任意のものを用いることができるが、形成されるシリカ質膜に混入して絶縁膜としての物性、例えば誘電率などを劣化させることが少ないノニオン系界面活性剤が好ましい。特に、ポリオキシエチレンアルキルエーテルは好ましい界面活性剤の一つである。
【００２１】
浸漬用溶液中における気泡付着防止剤の含有量は、気泡の付着低減、および均一な焼成膜を得るという観点からは多い方が好ましい一方で、絶縁体となるシリカ質膜への有機物混入の観点からは上限値以下であることが好ましい。このような観点から、気泡付着防止剤がアルコールである場合には、その含有量は１〜２０重量％であることが好ましく、１〜１０重量％であることがより好ましい。また気泡付着防止剤が界面活性剤、特にノニオン性界面活性剤である場合には、その含有量は０．１〜２０重量％であることが好ましく、０．１〜１０重量％であることがより好ましい。
【００２２】
（ｃ）溶媒
本発明による浸漬用溶液は、溶媒を含んでなる。この溶媒は、前記の過酸化水素および気泡付着防止剤を均一に溶解させるものである。なお、前記気泡付着防止剤として用いられるアルコールは液体であり、一般的に溶媒としても作用し得るものであるが、本発明においてアルコールは溶媒に含めないものとする。すなわち、本発明における「溶媒」は前記アルコール以外のものから選択されるものである。
【００２３】
溶媒には、前記の各成分を均一に溶解し得るものであれば任意に選択することができるが、好ましくは水が用いられる。基板への不純物付着を防ぐために、純度が高いもの、例えば蒸留水や脱イオン水を用いることが好ましい。なお、例えば過酸化水素または界面活性剤を水溶液として配合する場合の溶媒（すなわち水）も、本発明における浸漬用溶液の溶媒である。
【００２４】
本発明による浸漬用溶液は、上記の各成分を混合し、均一に溶解させることにより調製される。このとき、混合の順番は特に限定されない。また、調製後の浸漬用溶液は、比較的安定性の劣る過酸化水素を含むため、保存する場合には冷暗所に保存すべきである。
【００２５】
シリカ質膜の製造法
本発明によるシリカ質膜の製造法は、（ａ）凹凸を有する基板の表面上に、ポリシラザン化合物を含んでなる組成物を塗布し、（ｂ）塗布済み基板を前記した浸漬用溶液に浸漬させ、さらに（ｃ）浸漬後の基板を加熱処理してポリシラザン化合物を二酸化シリコン膜に転化させることを含んでなる。
【００２６】
（ａ）塗布工程
用いられる基板の表面材質は特に限定されないが、例えばベアシリコン、必要に応じて熱酸化膜や窒化珪素膜を成膜したシリコンウェハー、などが挙げられる。本発明においては。このような基板に対して、最終的に製造しようとする半導体素子などに対応した溝や孔が設けられた、凹凸を有する基板が用いられる。これらは、トレンチ・アイソレーション構造や、コンタクトホールなどに対応した凹凸であり、必要に応じて種々のものが選択される。
【００２７】
特にトレンチ・アイソレーション構造を形成させる場合には所望の溝パターンを有するシリコン基板を用いるのが一般的である。この溝形成には、任意の方法を用いることができるが、例えば以下に示す方法で形成させることができる。
【００２８】
まず、シリコン基板表面に、例えば熱酸化法により、二酸化シリコン膜を形成させる。ここで形成させる二酸化シリコン膜の厚さは一般に５〜３０ｎｍである。
【００２９】
必要に応じて、形成された二酸化シリコン膜上に、例えば減圧ＣＶＤ法により、窒化シリコン膜を形成させる。この窒化シリコン膜は、後のエッチング工程におけるマスク、あるいは後述する研磨工程におけるストップ層として機能させることのできるものである。窒化シリコン膜は、形成させる場合には、一般に１００〜４００ｎｍの厚さで形成させる。
【００３０】
このように形成させた二酸化シリコン膜または窒化シリコン膜の上に、任意のフォトレジストを塗布する。必要に応じてフォトレジスト膜を乾燥または硬化させた後、所望のパターンで露光および現像してパターンを形成させる。露光の方法はマスク露光、走査露光など、任意の方法で行うことができる。また、フォトレジストも解像度などの観点から任意のものを選択して用いることができる。
【００３１】
形成されたフォトレジスト膜をマスクとして、窒化シリコン膜およびその下にある二酸化シリコン膜を順次エッチングする。この操作によって、窒化シリコン膜および二酸化シリコン膜に所望のパターンが形成される。
【００３２】
パターンが形成された窒化シリコン膜および二酸化シリコン膜をマスクとして、シリコン基板をドライエッチングして、トレンチ・アイソレーション溝を形成させる。
【００３３】
形成されるトレンチ・アイソレーション溝の幅は、フォトレジスト膜を露光するパターンにより決定される。半導体素子におけるトレンチ・アイソレーション溝は、目的とする半導体素子により異なるが、幅は一般に０．０２〜１０μｍ、好ましくは０．０５〜５μｍ、であり、深さは２００〜１０００ｎｍ、好ましくは３００〜７００ｎｍである。本発明による方法は、従来のトレンチ・アイソレーション構造の形成方法に比べて、より狭く、より深い部分まで、均一に埋設することが可能であるため、より狭く、より深いトレンチ・アイソレーション構造を形成させる場合に適しているものである。特に、従来のシリカ質膜の形成方法では、溝の深い部分まで均一なシリカ質膜の形成が困難であった、溝の幅が一般に０．５μｍ以下、特に０．１μｍ以下、アスペクト比が５以上であるトレンチ・アイソレーション構造を形成する場合、本発明による浸漬用溶液を用いることにより溝内のシリカ質膜を均一に形成させることができる。
【００３４】
次いで、このように準備されたシリコン基板上に、シリカ質膜の材料となるポリシラザン組成物を塗布して、塗膜を形成させる。このポリシラザン組成物は、従来知られている任意のポリシラザン化合物を溶媒に溶解させたものを用いることができる。
【００３５】
本発明に用いられるポリシラザン化合物は特に限定されず、本発明の効果を損なわない限り任意に選択することができる。これらは、無機化合物あるいは有機化合物のいずれのものであってもよい。これらポリシラザンのうち、無機ポリシラザンとしては、例えば一般式（Ｉ）：
【化１】
0005405031.tif 000002
で示される構造単位を有する直鎖状構造を包含し、６９０〜２０００の分子量を持ち、一分子中に３〜１０個のＳｉＨ３基を有し、化学分析による元素比率がＳｉ：５９〜６１、Ｎ：３１〜３４およびＨ：６．５〜７．５の各重量％であるペルヒドロポリシラザン、およびポリスチレン換算平均分子量が３，０００〜２０，０００の範囲にあるペルヒドロポリシラザンが挙げられる。
【００３６】
また、他のポリシラザンの例として、例えば、主として一般式：
【化２】
0005405031.tif 000003
（式中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立に水素原子、アルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、アリール基、もしくはこれらの基以外でフルオロアルキル基等のケイ素に直結する基が炭素である基、アルキルシリル基、アルキルアミノ基またはアルコキシ基を表す。但し、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３の少なくとも１つは水素原子である。）で表される構造単位からなる骨格を有する数平均分子量が約１００〜５０，０００のポリシラザンまたはその変性物が挙げられる。これらのポリシラザン化合物は２種類以上を組み合わせて用いることもできる。
【００３７】
本発明に用いられるポリシラザン組成物は、前記のポリシラザン化合物を溶解し得る溶媒を含んでなる。ここで用いられる溶媒は、前記の浸漬用溶液に用いられる溶媒とは別のものである。このような溶媒としては、前記の各成分を溶解し得るものであれば特に限定されるものではないが、好ましい溶媒の具体例としては、次のものが挙げられる：
（ａ）芳香族化合物、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、ジエチルベンゼン、トリメチルベンゼン、トリエチルベンゼン等、（ｂ）飽和炭化水素化合物、例えばｎ−ペンタン、ｉ−ペンタン、ｎ−ヘキサン、ｉ−ヘキサン、ｎ−ヘプタン、ｉ−ヘプタン、ｎ−オクタン、ｉ−オクタン、ｎ−ノナン、ｉ−ノナン、ｎ−デカン、ｉ−デカン等、（ｃ）脂環式炭化水素化合物、例えばエチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキセン、ｐ−メンタン、デカヒドロナフタレン、ジペンテン、リモネン等、（ｄ）エーテル類、例えばジプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジエチルエーテル、メチルターシャリーブチルエーテル（以下、ＭＴＢＥという）、アニソール等、および（ｅ）ケトン類、例えばメチルイソブチルケトン（以下、ＭＩＢＫという）等。これらのうち、（ｂ）飽和炭化水素化合物、（ｃ）脂環式炭化水素化合物（ｄ）エーテル類、および（ｅ）ケトン類がより好ましい。
【００３８】
これらの溶媒は、溶剤の蒸発速度の調整のため、人体への有害性を低くするため、または各成分の溶解性の調製のために、適宜２種以上混合したものも使用できる。
【００３９】
本発明に用いられるポリシラザン組成物は、必要に応じてその他の添加剤成分を含有することもできる。そのような成分として、例えば粘度調整剤、架橋促進剤等が挙げられる。また、半導体装置に用いられたときにナトリウムのゲッタリング効果などを目的に、リン化合物、例えばトリス（トリメチルシリル）フォスフェート等、を含有することもできる。
【００４０】
また、前記の各成分の含有量は、目的とする組成物の用途によって変化するが、十分な膜厚のシリカ質材料を形成させるためにポリシラザン化合物の含有率が０．１〜４０重量％であることが好ましく、０．５〜２０重量％とすることがより好ましく、５〜２０重量％とすることがさらに好ましい。通常、ポリシラザン化合物の含有量を５〜２０重量％とすることで、一般的に好ましい膜厚、例えば２０００〜８０００Å、を得ることができる。
【００４１】
前記のポリシラザン組成物を基板表面に対する組成物の塗布方法としては、従来公知の方法、例えば、スピンコート法、ディップ法、スプレー法、転写法等が挙げられる。これらのうち、特に好ましいのはスピンコート法である。
【００４２】
（ｂ）浸漬工程
塗布済みの基板は、必要に応じて基板表面に形成された塗布膜から過剰の有機溶媒を除去（乾燥）するために予備加熱（プリベーク）したあと、前記した浸漬用溶液に浸漬される。予備加熱はポリシラザンを硬化させることが目的ではないため、一般に低温で短時間加熱することにより行われる。具体的には７０〜１５０℃、好ましくは１００〜１５０℃で、１〜１０分、好ましくは３〜５分加熱することにより行われる。
【００４３】
浸漬用溶液に浸漬する温度、すなわち浸漬用溶液の温度は特に限定されないが、一般に２０〜５０℃、好ましくは２０〜３０℃である。また、浸漬時間は膜厚やポリシラザン化合物の種類、または浸漬用溶液の濃度などにより変化するが、一般に１〜３０分、好ましくは１０〜３０分である。このとき、本発明による浸漬用溶液中では、基板に気泡が付着しにくい。このために、この後の工程でのダスト等の付着が減少するため、最終的な基板の欠陥が少なくなる。
【００４４】
（ｃ）硬化工程
浸漬工程のあと、基板は加熱処理され、表面のポリシラザン組成物が硬化してシリカ質膜に転化される。このとき、加熱処理は好ましくは水蒸気、酸素、またはその混合ガスを含む雰囲気中、すなわち酸化雰囲気中で行われる。本発明においては、特に加熱処理を酸素を含む雰囲気下で焼成することが好ましい。ここで、酸素の含有率は体積を基準として１％以上であることが好ましく、１０％以上であることがより好ましい。ここで、本発明の効果を損なわない範囲で、雰囲気中に窒素やヘリウムなどの不活性ガスが混在していてもよい。
【００４５】
また、本発明の方法において、水蒸気を含む雰囲気下で加熱処理を行う場合には、体積を基準として０．１％以上であることが好ましく、１％以上であることがより好ましい。本発明においては、特に酸素と水蒸気とを含む混合ガス雰囲気下で焼成を行うことが好ましい。
【００４６】
加熱処理の温度は、ポリシラザン化合物がシリカ質膜に添加し得る温度で行うことが必要である。好ましくは４００〜１，２００℃、より好ましくは４００〜７００℃で加熱処理を行う。また、加熱時間は加熱温度に応じて適切に選択することができるが、一般に０．５〜５時間、好ましくは０．５〜１時間である。また、加熱処理を高湿度条件下で行うことにより、転化に必要な温度を低くし、また必要な時間を短縮することが可能である。
【００４７】
以上の方法により、基板上の凹部の内側まで均一なシリカ質膜が形成される。本発明の方法によれば、アスペクト比の高いトレンチ・アイソレーション溝などの内部においてもシリカ質膜が均一に形成され、品質の高いトレンチ・アイソレーション構造を得ることができる。
【００４８】
実施例
本発明を諸例を用いて説明すると以下の通りである。
【００４９】
まず、ペルヒドロポリシラザンをジブチルエーテルに２０％の濃度で溶解させたポリシラザン組成物を調製した。
【００５０】
前記のポリシラザン組成物をスピンコート法で表面が窒化ケイ素ライナー層で被覆されたＴＥＧ基板に塗布した。塗布条件は回転速度１０００ｒｐｍ、回転時間２０秒とした。この条件でベアシリコン基板上に塗布を行ったとき、その膜厚は約０．６μｍであった。また、ＴＥＧ基板のパターンは以下のとおり、０．０５ｕｍ，  ０．１μｍ、０．２μｍ、０．５μｍ、および１．０μｍの順のライン＆スペースである。
【００５１】
次いで、塗布した基板を１５０℃のホットプレートで３分間プリベークした。
【００５２】
プリベーク後のポリシラザン膜を３５％過酸化水素と１０％のエタノールを含有する浸漬用溶液に３０分浸漬した後、さらに１５０℃のホットプレートで３分間のポストベークを行った。この段階で膜をＦＴ−ＩＲで調べたところ、波数１０８０ｃｍ−１にＳｉ−Ｏ結合に帰属される吸収が得られた。
【００５３】
ポストベーク後、２００℃に保持したまま、純酸素雰囲気下でキュア炉に導入し、４００℃まで昇温速度１０℃／ｍｉｎで加熱し、さらに水蒸気濃度８０％を含む酸素雰囲気中３０分加熱処理して硬化させた。このとき、膜厚変化から計算される、膜の体積収縮率は以下の通りであった。
浸漬用溶液処理なし   １６．９％
浸漬用溶液処理あり     ８．０％
【００５４】
膜質評価方法
全工程終了後の成膜された基板を、溝の長手方向に対して直角の方向で切断した後、０．５％ｗｔ．フッ化水素酸水溶液に２３℃で３０秒浸漬し、その後純水でよく洗浄してから乾燥させた。基板断面の溝部分をＳＥＭにより５００００倍で、断面に垂直な方向の仰角３０度上方から溝最深部を観察してエッチング量を評価した。浸漬なしのものはトレンチ底部のエッチング量が多く、トレンチ内部が不均一であった。浸漬用溶液処理ありのものは、トレンチ底部のエッチング量が少なく、トレンチ内部が均一な膜が良質な膜であった。
【００５５】
気泡付着評価
前記と同様にして、ＴＥＧ基板上にポリシラザン組成物を塗布し、プリベークした後、浸漬用溶液に浸漬し、浸漬開始から５分後の基板表面上の気泡数を計測した。ここで、浸漬用溶液としては、３０％の過酸化水素と１０％のエタノールを含むもの（実施例）と、エタノールを含まない、３０％過酸化水素水（比較例）を用いた。得られた結果は表１に示す通りであった。
【００５６】
焼成後の欠陥数評価
気泡付着を評価した後、浸漬後、および焼成後の実施例および比較例のＴＥＧ基板表面の欠陥数を表面欠陥検査計（ＫＬＡ−２１１５（商品名）、ＫＬＡテンコール社製）により評価した。焼成は、４００℃、８０％水蒸気雰囲気下で３０分の条件でおこなった。得られた結果は表１に示す通りであった。なお、このとき参照例として浸漬用溶液に浸漬しないものについても同様の評価を行った。
【００５７】
【表１】
0005405031.tif 000004