(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のアクチュエータを有する基部と、
前記基部に対して移動可能な可動部と、
一端部が前記複数のアクチュエータの各々に、回転軸を中心にして前記基部に対し回転可能に連結され、他端部が前記可動部に連結される複数のリンク部と、
前記基部に取り付けられ、前記リンク部の回転位置を計測する治具と、を備え、
前記基部は、基準平面を有し、
前記リンク部は、前記回転軸に対して平行に延設された可動平面であって、前記リンク部が位置較正を行うための基準位置に回転したときに前記基準平面に対する位置関係が所定の位置関係となる可動平面を有し、
前記治具は、前記基準平面に対する位置関係が既知である計測位置に配置された測定器であって、前記リンク部が前記基準位置に回転したときに前記可動平面に対向し、前記基準平面と前記可動平面との間の距離を計測する測定器を有し、
前記測定器は、ダイヤルゲージであり、前記リンク部が前記基準位置に回転したときにその先端部が前記可動平面に当接して所定量押し込まれるように配置されていることを特徴とするパラレルリンクロボット。
【請求項２】
請求項１に記載のパラレルリンクロボットにおいて、
前記基準平面と前記可動平面は、前記リンク部が前記基準位置に回転したときに互いに同一平面上に位置するように形成されていることを特徴とするパラレルリンクロボット。
【請求項３】
請求項１または２に記載のパラレルリンクロボットにおいて、
前記治具は、前記基準平面に接触して着脱可能に取り付けられ、前記測定器を支持する支持部を有することを特徴とするパラレルリンクロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置較正作業を容易にするパラレルリンクロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
ベースに３個のサーボモータを配置するとともに、各サーボモータの出力軸にそれぞれアーム（リンク）を連結し、アームの駆動によりベースの下方の３次元空間において操作ヘッド（可動部）を変位させるようにしたデルタ型のパラレルリンクロボットが知られている（例えば特許文献１参照）。この種のパラレルリンクロボットにおいては、操作ヘッドの位置精度を担保するため、予めアームを所定位置に移動して、サーボモータを較正する必要がある。特許文献１記載のパラレルリンクロボットでは、モータブラケットから原点ピンを突設するとともに、アームの基端部から基準ピンを突設し、基準ピンが原点ピンに当接した状態をリンクの原点位置として、位置較正作業を行うようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４８２２５５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１記載のパラレルリンクロボットでは、アームの駆動により基準ピンを原点ピンに当接させる際、アームの駆動量を誤って大きくさせ過ぎるおそれがある。アームの駆動量を大きくさせ過ぎると、基準ピンと原点ピンとの間の当接力が過大となり、パラレルリンクロボットの損傷を招く。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様であるパラレルリンクロボットは、複数のアクチュエータを有する基部と、基部に対して移動可能な可動部と、一端部が複数のアクチュエータの各々に、回転軸を中心にして基部に対し回転可能に連結され、他端部が可動部に連結される複数のリンク部と、基部に取り付けられ、リンク部の回転位置を計測する治具と、を備える。基部は、基準平面を有し、リンク部は、回転軸に対して平行に延設された可動平面であって、リンク部が位置較正を行うための基準位置に回転したときに基準平面に対する位置関係が所定の位置関係となる可動平面を有し、治具は、基準平面に対する位置関係が既知である計測位置に配置された測定器であって、リンク部が基準位置に回転したときに可動平面に対向し、基準平面と前記可動平面との間の距離を計測する測定器を有し、測定器は、ダイヤルゲージであり、リンク部が基準位置に回転したときにその先端部が可動平面に当接して所定量押し込まれるように配置されている。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、位置較正を行うための基準位置にリンク部を回転させる際のリンク部の駆動量が大き過ぎる場合であっても、パラレルリンクロボットを構成する各部の損傷を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の実施形態に係るパラレルリンクロボットの概略構成を示す斜視図。
【図２】図１の駆動リンクの取付部近傍の構成を示す斜視図であり、較正用治具が取り付けられた状態を示す図。
【図３】図１の駆動リンクの取付部近傍の構成を示す斜視図であり、較正用治具が取り付けられていない状態を示す図。
【図４】図２の治具の単体の構成を示す斜視図。
【図５】図４の治具を構成する支持部材の構成を示す斜視図。
【図６】図５のVI-VI線断面図。
【図７】図２の治具の取付状態を示す斜視図。
【図８】図２の治具を用いずに位置較正作業を行う例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図１〜図８を参照して本発明によるパラレルリンクロボットの一実施形態について説明する。図１は、本発明の実施形態に係るパラレルリンクロボット１００の概略構成を示す斜視図である。図１に示すように、パラレルリンクロボット１００は、基部１と、可動プレート２と、基部１と可動プレート２とを連結する３つのリンク部３とを有する。基部１は、基部プレート１０と、基部プレート１０に固定され、各リンク部３をそれぞれ駆動する３つのサーボモータ１１を有する。
【０００９】
リンク部３とサーボモータ１１は、基部１の中央の中心点１ａを基準にして１２０度毎に配置され、パラレルリンクロボット１００は、中心点１ａに対して対称形状となっている。なお、以下では、便宜上、図示のように上下方向を定義するとともに、上下方向に垂直な方向を水平方向と呼ぶ。また、中心点１ａを通って上下方向に延在する軸線Ｌ０から放射状に延びる方向を径方向と呼び、軸線Ｌ０を中心とした円の円周に沿った方向を周方向と呼ぶ。可動プレート２の下部には、図示しないエンドエフェクタの取付部材２ａが設けられている。サーボモータ１１は、基部プレート１０の上面に固定されている。
【００１０】
各リンク部３は、それぞれ駆動リンク３１と、一対の受動リンク３２とを上下に有する。駆動リンク３１は基部１から径方向外側に延在している。駆動リンク３１の一端部は、サーボモータ１１の出力軸１１ａに連結され、駆動リンク３１は、出力軸１１ａの延長線である軸線Ｌ１を中心にして、軸線Ｌ０を含む鉛直面内で回転可能（回動可能）となっている。なお、サーボモータ１１の出力軸１１ａには減速機１３（図２）が連結され、駆動リンク３１は減速機１３を介してサーボモータ１１の出力軸１１ａに連結されているが、この場合にも駆動リンク３１が出力軸１１ａに連結されているとして図示する。
【００１１】
駆動リンク３１の他端部には、一対の受動リンク３２の一端部が球面軸受けを介してそれぞれ連結されている。一対の受動リンク３２の他端部は、球面軸受けを介して可動プレート２にそれぞれ連結されている。これによりサーボモータ１１の駆動により駆動リンク３１および受動リンク３２が鉛直面内で回転し、基部１の下方の三次元点空間で可動プレート２を任意の位置に変位させることができる。以上のパラレルリンクロボット１００は、デルタ型パラレルリンクロボットと呼ばれる。
【００１２】
各サーボモータ１１は、サーボモータ１１の回転（回転量）を検出する回転検出器１２（エンコーダ）を内蔵し、回転検出器１２からの信号に基づきサーボモータ１１の駆動が制御される。回転検出器１２は、サーボモータ１１の原点位置を基準にして信号を出力するが、作業時間の経過やモータ交換等に伴い、原点位置にずれが生じる。この場合には、可動プレート２の位置精度を担保するため、位置較正作業によりサーボモータ１１を較正する必要がある。位置較正作業においては、駆動リンク３１を予め定めた基準位置に回転（回動）させ、そのときの回転検出器１２の位置信号によりサーボモータ１１の原点位置を特定する。この位置較正作業を容易かつ精度よく行うため、本実施形態では、以下のように基部１に較正用治具５を取り付ける。
【００１３】
図２、図３は、駆動リンク３１の取付部近傍の構成を示す斜視図であり、とくに図２は、較正用治具５が取り付けられた状態を示している。なお、図２，図３では、３つの駆動リンク３１のうち、一の駆動リンク３１の取付部近傍の構成を示しているが、他の駆動リンク３１の取付部近傍の構成も図２、図３と同様である。図２，図３は、図１の構成を上下逆にして示している。
【００１４】
図３に示すように、駆動リンク３１は、サーボモータ１１（厳密には減速機１３）の出力軸１１ａに連結される回転軸部３１１と、一対の受動リンク３２が連結される連結部３１３と、回転軸部３１１から連結部３１３にかけて延在するロッド３１２とを有する。回転軸部３１１は、円柱形状を呈し、外周面３１１ａの一部からロッド３１２が延在している。回転軸部３１１の端面は、出力軸１１ａが突出する減速機１３のハウジング１４の端面１４ａに対向し、駆動リンク３１は、軸線Ｌ１を中心にして図３の矢印Ｒ１方向およびＲ２方向に回転可能となっている。なお、図２と図３とでは駆動リンク３１の姿勢が異なっており、図３の姿勢から駆動リンク３１をＲ２方向に回転させると、図２の姿勢となる。
【００１５】
図３に示すように、回転軸部３１１の外周面３１１ａ、より詳しくは外周面３１１ａに連なるロッド３１２の基端部には、台形状断面の突起部３３が設けられている。突起部３３の表面には、軸線Ｌ１に平行に、かつロッド３１２の延在する方向に沿って平面（可動平面３４）が形成されている。
【００１６】
ハウジング１４の端面１４ａには、出力軸１１ａよりも下方において、上下一対の切り欠き１４ｂが設けられ、これら切り欠き１４ｂの間に、水平方向に対しやや傾斜して直方体形状の突起部１５が形成されている。突起部１５の上面および下面（厳密には斜め上面および斜め下面）には、切り欠き１４ｂにより互いに平行な平面１６，１７が形成され、とくに下側の平面１７は位置較正時の基準である基準平面となっている。基準平面１７は、駆動リンク３１を基準位置に回転させた際に、可動平面３４と同一平面上に位置するように形成されている（図８参照）。なお、基準位置とは、位置較正時における駆動リンク３１の基準となる位置であり、駆動リンク３１が基準位置にあるときは、サーボモータ１１は原点位置となる。
【００１７】
図２に示すように、位置較正時には、ハウジング１４の突起部１５に較正用治具５が取り付けられる。治具５は、ダイヤルゲージ５１を有し、ダイヤルゲージ５１の先端部を駆動リンク３１の可動平面３４に当接させ、そのときの指示値を目視しながら、駆動リンク３１の回転位置を基準位置に調整する。
【００１８】
図４は、治具５単体の構成を示す斜視図である。なお、以下では、便宜上、図示のように互いに直交する方向をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向と定義し、この定義に従い治具５の構成を説明する。
【００１９】
図４に示すように、治具５は、ハウジング１４の突起部１５に取り付けられる枠部材５２と、枠部材５２に取り付けられ、ダイヤルゲージ５１を支持する支持部材５３とを有する。枠部材５２は、Ｘ方向に延在する細長の縦板部５２１と、縦板部５２１のＸ方向両端部からＹ方向に延在する一対の細長の横板部５２２，５２３とを有し、全体がコ字形状を呈する。一方の横板部５２２は、ハウジング１４の上側の切り欠き１４ｂ（図７）に挿入されるものであり、他方の横板部５２３よりもＹ方向長さが短い。横板部５２３には、Ｘ方向に向けて一対のねじ孔５２４が開口され、各ねじ孔５２４にボルト５５が螺合されている。縦板部５２１には、Ｘ方向に細長い長穴５２５が開口され、長穴５２５を一対のフランジ付きボルト５６が貫通している。
【００２０】
図５は、支持部材５３の構成を示す斜視図である。支持部材５３は、ＸＹ方向に延在する矩形状の平板部５３１と、平板部５３１のＸ方向端部からＹＺ方向に延在する矩形状の平板部５３２とを有し、全体がＬ字形状を呈する。なお、平板部５３２は完全な矩形状ではなく、そのＹ方向端部に切り欠き５３３が設けられ、厳密にはＬ字形状となっている。
【００２１】
平板部５３２の中央部には、ダイヤルゲージ５１の円筒部５１１が貫通する貫通孔５３６が開口されている。平板部５３１のきり欠き５３３側のＹ方向端面には、フランジ付きボルト５６が螺合する一対のねじ穴５３４が設けられている。平板部５３１と平板部５３２とが交差する平板部５３１のＸ方向端面は、ボルト５５の先端部が当接する当接面５３５となっている。平板部５３２には、貫通孔５３６を覆うように領域５４ａにゲージ固定部材５４が装着される。
【００２２】
ゲージ固定部材５４は、互いに平行な一対の薄板部５４１，５４２と、薄板部５４１，５４２同士を接続する薄板部５４３とを有し、全体がコ字形状を呈する。ゲージ固定部材５４は、一対の薄板部５４１，５４２により平板部５４３を挟むように切り欠き５３３側からＹ方向に向けて取り付けられる。各薄板部５４１，５４２には、ＹＺ方向同一位置に、ダイヤルゲージ５１の円筒部５１１が貫通する貫通孔５４４が開口されている。薄板部５４３の中央部にはねじ穴５４５が設けられ、ねじ穴５４５にゲージ固定用ボルト５７が螺合している。
【００２３】
ダイヤルゲージ５１は、円筒部５１１から突出する可動部５１２を有する。可動部５１２は円筒部５１１に対して昇降可能であり、可動部５１２の昇降により目盛り５１３の指示値が変化する。図６は、ダイヤルゲージ５１の取り付け状態を示す図５のVI-VI線断面図である。ダイヤルゲージ５１を取り付ける場合、ゲージ固定部材５４を平板部５３２の領域５４ａに取り付けた状態で、円筒部５１１を貫通孔５３６，５４４に挿入する。この挿入を容易にするため、貫通穴５３６，５４４の径は、ダイヤルゲージ５１の円筒部５１１の外径よりも大きくなっている。
【００２４】
次いで、ゲージ固定用ボルト５７を締め込み、ボルト５７の先端部を平板部５３２の切り欠き５３３側の端面５３７に当接させる。これにより図６に示すように、ゲージ固定部材５４がＹ方向（図のＹ１方向）に移動し、円筒部５１１がゲージ固定部材５４の貫通孔５４４に押されてダイヤルゲージもＹ１方向に移動する。円筒部５１１が平板部５３２の貫通孔５３６に当接すると、円筒部５１１の移動が阻止される。これにより円筒部５１１が貫通孔５１１のＹ方向一端側の内周面と貫通孔５３６のＹ方向他端側の内周面との間に挟まれ、ダイヤルゲージ５１が支持部材５３に固定される。
【００２５】
このとき、ダイヤルゲージ５１の可動部５１２の先端が、平板部５３１のＹＺ方向に延在する端面５３８（接触端面と呼ぶ）からＸ方向に所定量Δｄ（例えば３ｍｍ）だけ突出するように、ダイヤルゲージ５１のＸ方向の取付位置が調整される。なお、ダイヤルゲージ５１のＸ方向の位置調整を容易にするため、例えば円筒部５１１に段差部を設け、この段差部をゲージ固定部材５４の薄板部５４１の表面に当接させることで、ダイヤルゲージ５１を位置決めするようにしてもよい。ダイヤルゲージ５１の位置を大まかに決定した後、ダイヤルゲージ５１の先端部の接触端面５３８からの位置を実測し、その実測値を所定量Δｄに設定してもよい。所定量Δｄは、ダイヤルゲージ５１のフルスケールよりも小さく、例えばフルスケールの５０％程度である。
【００２６】
次に、較正用治具５を用いた位置較正作業の手順について説明する。位置較正作業を行う場合には、まず、駆動リンク３１の回転により、図３に示すように駆動リンク３１の突起部３３をハウジング１４の突起部１５の上方に退避させる。そして、上述したようにダイヤルゲージ５１を支持部材５３に位置決めして取り付けた後、ハウジング１４の突起部１５に治具５を取り付ける。図７は、治具５の取付状態を示す斜視図である。なお、図７では、図２とは異なり、駆動リンク３１の図示を省略している。
【００２７】
治具５を取り付ける場合、まず、フランジ付きボルト５６により枠部材５２に支持部材５３を仮止めする。すなわち、フランジ付きボルト５６を長穴５２５に沿って移動可能とした状態で、枠部材５２に支持部材５３を取り付ける。この状態で、支持部材５３の平板部５３２を駆動リンク３１側に向けて、上側の切り欠き１４ｂに枠部材５２の横板部５２２を挿入し、横板部５２２の内側端面を突起部１５の平面１６に当接させる。そして、ボルト５５を締め込んで、横板部５２２と支持部材５３の接触端面５３８との間隔を狭め、接触端面５３８を突起部１５の基準平面１７に当接させる。
【００２８】
これによりボルト５５の軸力により枠部材５２（横板部５２２）と支持部材５３（平板部５３１）との間に突起部１５が挟まれる。その後、フランジ付きボルト５６を締め込み、支持部材５３を枠部材５２に固定する。以上で、治具５の取付が終了する。治具５が取り付けられた状態では、ダイヤルゲージ５１の先端部（可動部５１２の先端）が回転軸部３１１の外周面３１１を向いている。このとき、ハウジング１４の基準平面１７と治具５の接触面５３８は同一面上に位置するため、ダイヤルゲージ５１の先端部は、基準平面１７から所定量Δｄだけ突出している。なお、この場合のダイヤルゲージ５１の位置を計測位置と呼ぶ。
【００２９】
この状態で、駆動リンク３１を図３のＲ２方向に徐々に回転させる。駆動リンク３１の回転により、突起部３３の可動平面３４がダイヤルゲージ５１に接近する。図２に示すように、可動平面３４がダイヤルゲージ５１の先端部に接触すると、可動平面３４により可動部５１２が押し込まれ、ダイヤルゲージ５１の目盛り５１３の指示値が変化する。目盛り５１３を目視しながら駆動リンク３１をＲ２方向に回転し、指示値が所定値Δｄになると、駆動リンク３１の回転を停止する。
【００３０】
駆動リンク３１をＲ２方向に回転させ過ぎて、指示値が所定値Δｄを超えると、駆動リンク３１を逆方向（図３のＲ１方向）に回転させ、指示値を所定値Δｄに合わせる。ダイヤルゲージ５１の押し込み量には余裕があるため、駆動リンク３１をＲ２方向に回転させ過ぎた場合であっても、治具５の損傷を防止できる。指示値は、基準平面１７と可動平面３４との間の距離に応じて変化し、指示値が所定値Δｄになった状態では、基準平面１７と可動平面３４とは、両者間の距離が０である同一平面上に位置し、駆動リンク３１は基準位置にある。
【００３１】
このとき、オペレータは、スイッチ操作等により、駆動リンク３１が基準位置にあることを制御回路（不図示）に教示する。これにより、制御回路は回転検出器１２から出力される位置信号を読み込み、サーボモータ１１の原点位置を特定する。以上の位置較正作業は、例えば全てのサーボモータ１１について行われる。位置較正作業が終了すると、ボルト５５，５６を緩め、ハウジング１４から治具５を取り外す。
【００３２】
以上では、治具５を用いた位置較正作業について説明したが、治具５を用いずに位置較正作業を行うこともできる。図８は、治具５を用いずに行う位置較正作業を説明する図である。この場合、基準平面１７と可動平面３４の位置関係を目視で確認しながら、図８に示すように基準平面１７と可動平面３４とが同一平面上に位置するように、駆動リンク３１を回転させる。そして、基準平面１７と可動平面３４とが同一平面上に位置したとき、すなわち、駆動リンク３１を基準位置に移動させたときの回転検出器１２から出力される位置信号により、サーボモータ１１の原点位置を特定する。
【００３３】
この場合、基準平面１７がハウジング１４の駆動リンク３１側の端部に形成され、基準平面１７と可動平面３４とが回転軸Ｌ１方向に並んで配置されているため、基準平面１７と可動平面３４とが同一平面上にあるか否かを容易に判断できる。なお、基準平面１７と可動平面３４とをまたぐように平面１７，３４上に平板状のゲージを当て、ゲージと各平面１７，３４との隙間を比較して、平面１７，３４が同一平面上にあるか否かを判断することもできる。
【００３４】
本実施形態によれば以下のような作用効果を奏することができる。
（１）本実施形態のパラレルリンクロボット１００は、３つのサーボモータ１１を有する基部１と、基部１に対して移動可能な可動プレート２と、一端部が各サーボモータ１１にそれぞれ回転軸Ｌ１を中心にして基部１に対し回転可能に連結され、他端部が可動プレート２に連結される３つのリンク部３と、基部１に取り付けられ、リンク部３（駆動リンク３１）の回転位置を計測する位置較正用治具５とを備える。そして、基部１は、基準平面１７を有し、リンク部３は、位置較正を行うための基準位置に回転したときに基準平面１７に対して同一平面上となる可動平面３４を有し、治具５は、リンク部３が基準位置に回転したときに可動平面３４に対向するダイヤルゲージ５１を有し、ダイヤルゲージ５１により基準平面１７と可動平面３４との間の距離を計測しながら、両平面１７，３４が同一平面上である基準位置に駆動リンク３１を回転させるようにした。これにより駆動リンク３１を基準位置に回転させる際に、駆動リンク３１の回転量が大きくなり過ぎたとしても、ダイヤルゲージ５１が多め（但し、フルスケール以下）に押し込まれるだけで済む。したがって、治具５等の損傷を防ぐことができ、位置較正作業を容易に行うことができる。すなわち、駆動リンク３１が基準位置を超えて回転することが許容されるので、駆動リンク３１の回転速度を大きくすることができ、位置較正作業の効率が向上する。
【００３５】
（２）治具５にダイヤルゲージ５１を取り付け、駆動リンク３１が基準位置に回転したときに、ダイヤルゲージ５１の先端部が可動平面３４に当接してダイヤルゲージ５１が所定量Δｄ押し込まれるようにダイヤルゲージ５１を配置した。これによりダイヤルゲージ５１の目盛り５１３を見ながら駆動リンク３１を精度よく基準位置に回転させることができ、位置較正作業を精度よく行うことができる。また、ダイヤルゲージ５１を用いることで、安価な構成で位置較正作業を行うことができる。
【００３６】
（３）基準平面１７と可動平面３４を、駆動リンク３１が基準位置に回転したときに互いに同一平面上に位置するように形成した。これにより治具５がない場合であっても、駆動リンク３１を基準位置に移動することができ、位置較正作業が可能である。
【００３７】
（４）ダイヤルゲージ５１を支持する支持部材５３の接触平面５３８を基準平面１７に当接させ、治具５を突起部１５に取り付けるようにした。これにより、接触平面５３８からのダイヤルゲージ５１先端部の突出量Δｄが基準平面１７からの突出量Δｄと等しくなり、基準平面１７に対するダイヤルゲージ５１の位置を容易に調整することができる。
【００３８】
（５）ボルト５５，５６の締め込みにより枠部材５２と支持部材５３の端面で突起部１５を挟み込んで、治具５を突起部１５に着脱可能に取り付けるようにした。したがって、位置較正作業時以外において突起部１５から治具５を取り外すことで、治具５がパラレルリンクロボット１００の動作の妨げとなることを防止でき、パラレルリンクロボット１００の動作範囲に拘わらず、治具５の取付位置を自由に設定することができる。例えばパラレルリンクロボット１００の通常動作の範囲内に、駆動リンク３１の基準位置を設定することができる。これにより、全ての駆動リンク３１に対し治具５を取り付け、全ての駆動リンク５を同時に基準位置に移動させることができる。したがって、全てのサーボモータ１１の位置較正を一度に行うことができ、位置較正作業が一層容易となる。
【００３９】
（６）枠部材５２と支持部材５３とで突起部１５を挟み込んで、治具５をハウジング１４に取り付けるようにしたので、ハウジング１４に治具取付用のボルト穴を加工する必要がなく、治具５の取付が容易である。
【００４０】
（変形例）
本実施形態では、ダイヤルゲージ５１を有する治具５をハウジング１４に取り付け、ダイヤルゲージ５１によりリンク部３（駆動リンク３１）の回転位置を計測し、駆動リンク３１を位置較正作業時の基準位置に回転させるようにしたが、駆動リンク３１の回転位置を計測する治具５の構成はこれに限らない。例えば、測定器としてダイヤルゲージ５１の代わりにレーザ距離計を設け、レーザ距離計により基準平面１７と可動平面３４との間の距離を計測するようにしてもよい。すなわち、駆動リンク３１が基準位置に回転したときに可動平面３４に対向し、基準平面１７と可動平面３４との間の距離を計測する測定器を有するのであれば、治具の構成はいかなるものでもよい。上記実施形態では、治具５の取付状態において、ダイヤルゲージ５１の先端部を基準平面１７から所定量Δｄだけ突出させるようにしたが、基準平面１７に対する位置関係が既知である計測位置に配置するのであれば、測定器の配置は上述したものに限らない。
【００４１】
可動リンク３１に突起部３３を設け、突起部３３の表面に可動平面３４を形成したが、回転軸Ｌ１に対して平行に延設され、可動リンク３１が基準位置に回転したときに基準平面１７に対して所定の位置関係となるのであれば、可動平面３４の構成はいかなるものでもよい。したがって、位置較正作業時に基準平面１７とは異なる平面上に可動平面３４が位置するように可動平面３４を形成してもよい。例えば、基準位置において、可動平面３４が基準平面１７から所定量だけ上方または下方に位置するようにしてもよい。ハウジング１４の突起部１５に基準平面１７を形成し、この基準平面１７を用いて突起部１５に治具５を取り付けるようにしたが、治具取付部の構成は上述したものに限らない。ハウジング１４ではなく、基部プレート１０に治具取付部を設けるようにしてもよい。基準平面１７を駆動リンク３１の軸線Ｌ１と平行に延在するように形成したが、軸線Ｌ１に対して傾いて形成してもよい。上記実施形態では、ダイヤルゲージ５１を支持する支持部材５３と支持部材５３の一部を囲む枠部材５２とでハウジング１４の突起部１５を挟み込み、支持部材５３の接触平面５３８を基準平面１７に接触させて治具５を突起部１５に取り付けるようにしたが、測定器を支持する支持部の構成は上述したものに限らない。
【００４２】
上記実施形態では、リンク部３を駆動するアクチュエータとしてサーボモータ１１を用いたが、他のアクチュエータを用いることもできる。駆動リンク３１と一対の受動リンク３２とを有するリンク部３を３つ設けてパラレルリンクロボット１００を構成したが、一端部が複数のアクチュエータの各々に、回転軸Ｌ１を中心にして基部１に対し回転可能に連結され、他端部が可動プレート２に連結されるのであれば、複数のリンク部３の構成は上述したものに限らない。可動部としての可動プレート２の構成も上述したものに限らない。上記実施形態では、治具５をボルト５５，５６によって基部１に着脱可能に取り付けたが、治具５がロボット１００の通常動作の妨げとならない位置（通常動作の範囲外）に取り付けられるのであれば、治具５を基部１に固定的に取り付けてもよい。
【００４３】
以上の説明はあくまで一例であり、本発明の特徴を損なわない限り、上述した実施形態および変形例により本発明が限定されるものではない。上記実施形態および変形例の構成要素には、発明の同一性を維持しつつ置換可能かつ置換自明なものが含まれる。すなわち、本発明の技術的思想の範囲内で考えられる他の形態についても、本発明の範囲内に含まれる。また、上記実施形態と変形例の１つまたは複数を任意に組み合わせることも可能である。
【符号の説明】
【００４４】
１    基部
２    可動プレート
３    リンク部
５    位置較正用治具
１７    基準平面
３４    可動平面
５１    ダイヤルゲージ
５２    枠部材
５３    支持部材
Ｌ１    回転軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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