(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウム膜用エッチング液を調合する調合槽と、前記調合槽に接続された管路と、前記管路へ前記エッチング液または前記エッチング液の調合に使用される液を送るポンプとを備え、前記管路によりエッチング装置に接続されたエッチング液調合装置において、
前記調合槽内のエッチング液を希釈液の導電率と前記エッチング液の硝酸濃度との間に直線関係があるように純水で所定比率に希釈した希釈液の導電率を導電率計で検出することにより前記希釈液の導電率と前記エッチング液の硝酸濃度との間の直線関係に基づいて得られた前記エッチング液の硝酸濃度または前記エッチング液の吸光度を２５０ｎｍから３２０ｎｍの範囲の測定波長を用いて吸光光度計で検出することにより得られた前記エッチング液の硝酸濃度に基づきその硝酸濃度が所定の目標値となるように単酸原液、混酸原液または純水の少なくとも一つを前記調合槽に補給する硝酸濃度検出・液補給手段と、
前記エッチング液の吸光度を１９２０ｎｍから１９６０ｎｍの範囲の測定波長を用いて吸光光度計で検出することにより得られた前記エッチング液の水分濃度に基づきその水分濃度が所定の目標値となるように単酸原液、混酸原液または純水の少なくとも一つを前記調合槽に補給する水分濃度検出・液補給手段と、
前記エッチング液の吸光度を近赤外線領域のうち特定の測定波長を用いて吸光光度計で検出することにより前記特定の測定波長を用いて測定した前記エッチング液の吸光度と燐酸濃度との間の直線関係に基づいて得られた前記エッチング液の燐酸濃度に基づきその燐酸濃度が所定の目標値となるように単酸原液、混酸原液及び純水の少なくとも一つを前記調合槽に補給する燐酸濃度検出・液補給手段と、
を備えたことを特徴とするエッチング液調合装置。
【請求項２】
アルミニウム膜用エッチング液であって、前記エッチング液の燐酸濃度の所定の目標値を含む所定の燐酸濃度域において前記エッチング液の密度と前記エッチング液の燐酸濃度との間に直線関係があるエッチング液を調合する調合槽と、前記調合槽に接続された管路と、前記管路へ前記エッチング液または前記エッチング液の調合に使用される液を送るポンプとを備え、前記管路によりエッチング装置に接続されたエッチング液調合装置において、
前記調合槽内のエッチング液を希釈液の導電率と前記エッチング液の硝酸濃度との間に直線関係があるように純水で所定比率に希釈した希釈液の導電率を導電率計で検出することにより前記希釈液の導電率と前記エッチング液の硝酸濃度との間の直線関係に基づいて得られた前記エッチング液の硝酸濃度または前記エッチング液の吸光度を２５０ｎｍから３２０ｎｍの範囲の測定波長を用いて吸光光度計で検出することにより得られた前記エッチング液の硝酸濃度に基づきその硝酸濃度が所定の目標値となるように単酸原液、混酸原液または純水の少なくとも一つを前記調合槽に補給する硝酸濃度検出・液補給手段と、
前記エッチング液の吸光度を１９２０ｎｍから１９６０ｎｍの範囲の測定波長を用いて吸光光度計で検出することにより得られた前記エッチング液の水分濃度に基づきその水分濃度が所定の目標値となるように単酸原液、混酸原液または純水の少なくとも一つを前記調合槽に補給する水分濃度検出・液補給手段と、
前記エッチング液の密度を密度計で検出することにより前記エッチング液の密度と前記エッチング液の燐酸濃度との間の直線関係に基づいて得られた前記エッチング液の燐酸濃度に基づきその燐酸濃度が前記所定の目標値となるように単酸原液、混酸原液及び純水の少なくとも一つを前記調合槽に補給する燐酸濃度検出・液補給手段と、
を備えたことを特徴とするエッチング液調合装置。
【請求項３】
アルミニウム膜用エッチング液を調合する調合槽と、前記調合槽に接続された管路と、前記管路へ前記エッチング液または前記エッチング液の調合に使用される液を送るポンプとを備え、前記管路によりエッチング装置に接続されたエッチング液調合装置において、
前記調合槽内のエッチング液を希釈液の導電率と前記エッチング液の硝酸濃度との間に直線関係があるように純水で所定比率に希釈した希釈液の導電率を検出する導電率計または前記エッチング液の硝酸濃度を２５０ｎｍから３２０ｎｍの範囲の測定波長を用いて検出する吸光光度計と、
前記エッチング液の水分濃度を１９２０ｎｍから１９６０ｎｍの範囲の測定波長を用いて検出する吸光光度計と、
近赤外線領域のうち特定の測定波長を用いて測定した前記エッチング液の吸光度と直線関係にある前記エッチング液の燐酸濃度を検出する吸光光度計と、
硝酸濃度と直線関係にある前記希釈液の導電率を検出する前記導電率計の導電率値または硝酸濃度を２５０ｎｍから３２０ｎｍの範囲の測定波長を用いて検出する前記吸光光度計の吸光度値と、水分濃度を１９２０ｎｍから１９６０ｎｍの範囲の測定波長を用いて検出する前記吸光光度計の吸光度値と、燐酸濃度と直線関係にある吸光度を近赤外線領域のうち特定の測定波長を用いて検出する前記吸光光度計の吸光度値と、から多変量解析法により前記エッチング液の成分濃度を演算する成分濃度演算手段と、
単酸原液、混酸原液及び純水の少なくとも一つを前記調合槽に補給する液補給手段と、
を備えたことを特徴とするエッチング液調合装置。
【請求項４】
アルミニウム膜用エッチング液であって、所定の燐酸濃度域において前記エッチング液の密度と前記エッチング液の燐酸濃度との間に直線関係があるエッチング液を調合する調合槽と、前記調合槽に接続された管路と、前記管路へ前記エッチング液または前記エッチング液の調合に使用される液を送るポンプとを備え、前記管路によりエッチング装置に接続されたエッチング液調合装置において、
前記調合槽内のエッチング液を希釈液の導電率と前記エッチング液の硝酸濃度との間に直線関係があるように純水で所定比率に希釈した希釈液の導電率を検出する導電率計または前記エッチング液の硝酸濃度を２５０ｎｍから３２０ｎｍの範囲の測定波長を用いて検出する吸光光度計と、
前記エッチング液の水分濃度を１９２０ｎｍから１９６０ｎｍの範囲の測定波長を用いて検出する吸光光度計と、
前記エッチング液の燐酸濃度と一定の直線関係にある前記エッチング液の密度を検出する密度計と、
硝酸濃度と直線関係にある前記希釈液の導電率を検出する前記導電率計の導電率値または硝酸濃度を２５０ｎｍから３２０ｎｍの範囲の測定波長を用いて検出する前記吸光光度計の吸光度値と、水分濃度を１９２０ｎｍから１９６０ｎｍの範囲の測定波長を用いて検出する前記吸光光度計の吸光度値と、前記エッチング液の燐酸濃度と一定の直線関係にある前記エッチング液の密度を検出する前記密度計の密度値と、から多変量解析法により前記エッチング液の成分濃度を演算する成分濃度演算手段と、
単酸原液、混酸原液及び純水の少なくとも一つを前記調合槽に補給する液補給手段と、
を備えたことを特徴とするエッチング液調合装置。
【請求項５】
前記エッチング液が燐酸、硝酸を含む水溶液である請求項１から４のいずれか１項に記載のエッチング液調合装置。
【請求項６】
前記エッチング液が、さらに有機酸、塩酸、硫酸、過塩素酸の少なくとも１種を含む水溶液である請求項５記載のエッチング液調合装置。
【請求項７】
前記有機酸が、酢酸、マロン酸である請求項６記載のエッチング液調合装置。
【請求項８】
前記エッチング液調合装置が、連続調合方式である請求項１から７のいずれか１項に記載のエッチング液調合装置。
【請求項９】
アルミニウム膜用エッチング液を希釈液の導電率と前記エッチング液の硝酸濃度との間に直線関係があるように純水で所定比率に希釈した希釈液の導電率を検出する導電率計または前記エッチング液の硝酸濃度を２５０ｎｍから３２０ｎｍの範囲の測定波長を用いて検出する吸光光度計と、
前記エッチング液の水分濃度を１９２０ｎｍから１９６０ｎｍの範囲の測定波長を用いて検出する吸光光度計と、
近赤外線領域のうち特定の測定波長を用いて測定した前記エッチング液の吸光度と直線関係にある前記エッチング液の燐酸濃度を検出する吸光光度計と、
硝酸濃度と直線関係にある前記希釈液の導電率を検出する前記導電率計の導電率値または硝酸濃度を２５０ｎｍから３２０ｎｍの範囲の測定波長を用いて検出する前記吸光光度計の吸光度値と、水分濃度を１９２０ｎｍから１９６０ｎｍの範囲の測定波長を用いて検出する前記吸光光度計の吸光度値と、燐酸濃度と直線関係にある吸光度を近赤外線領域のうち特定の測定波長を用いて検出する前記吸光光度計の吸光度値と、から多変量解析法により前記エッチング液の成分濃度を演算する成分濃度演算手段と、を備えたことを特徴とするエッチング液濃度測定装置。
【請求項１０】
アルミニウム膜用エッチング液であって、所定の燐酸濃度域において前記エッチング液の密度と前記エッチング液の燐酸濃度との間に直線関係があるエッチング液を希釈液の導電率と前記エッチング液の硝酸濃度との間に直線関係があるように純水で所定比率に希釈した希釈液の導電率を検出する導電率計または前記エッチング液の硝酸濃度を２５０ｎｍから３２０ｎｍの範囲の測定波長を用いて検出する吸光光度計と、
前記エッチング液の水分濃度を１９２０ｎｍから１９６０ｎｍの範囲の測定波長を用いて検出する吸光光度計と、
前記エッチング液の燐酸濃度と一定の直線関係にある前記エッチング液の密度を検出する密度計と、
硝酸濃度と直線関係にある前記希釈液の導電率を検出する前記導電率計の導電率値または硝酸濃度を２５０ｎｍから３２０ｎｍの範囲の測定波長を用いて検出する前記吸光光度計の吸光度値と、水分濃度を１９２０ｎｍから１９６０ｎｍの範囲の測定波長を用いて検出する前記吸光光度計の吸光度値と、前記エッチング液の燐酸濃度と一定の直線関係にある前記エッチング液の密度を検出する前記密度計の密度値と、から多変量解析法により前記エッチング液の成分濃度を演算する成分濃度演算手段と、を備えたことを特徴とするエッチング液濃度測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程やフラットパネルディスプレイ製造工程（液晶基板製造工程、有機ＥＬディスプレイ製造工程など）においてアルミニウム膜（例えばアルミニウムあるいはアルミニウム合金の薄膜、モリブデンあるいはモリブデン合金の第１薄膜とアルミニウムあるいはアルミニウム合金の第２薄膜；以下アルミニウム膜という）用のエッチング装置に管路で接続されたエッチング液調合装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶基板製造工程などでのアルミニウム膜のエッチング工程においては、エッチング液として硝酸と燐酸の混合水溶液、硝酸と燐酸と酢酸の混合水溶液、硝酸と燐酸とマロン酸の混合水溶液、など酸を主成分とした混酸水溶液がスプレー方式あるいはディップ方式などで使用されている。主として、硝酸と燐酸と酢酸の混合水溶液が多用されている。例えば、燐酸濃度が７０.０％、酢酸濃度が１０.０％、硝酸濃度が４.０％、残りの水分濃度が１６.０％の水溶液が挙げられる。
【０００３】
液晶基板製造工程のアルミニウム膜用のエッチング液は、エッチング工程に合わせて最高の解像力、パターニングの切れ、所定のテーパー角度、安定性および高い歩留まりを得るために、その組成および濃度は厳密に管理されなければならない。特に、近年のパターニングの高精細化に伴って、パターニング幅の微細化が要求されている。これに伴い、エッチング液の濃度の調合精度の向上が強く要求されるようになってきた。
【０００４】
また、エッチング液の使用量は、液晶ディスプレイの大型化、多面取りによるガラス基板の大型化、大量生産化により、大量のエッチング液が必要となってきた。さらには、国際的な液晶ディスプレイの低価格競争によりエッチング液のコストダウンが強く要求されるようになってきた。
【０００５】
このような問題に対応するため、例えば複数のエッチング槽を順次切替えて、１つの測定系で薬液の濃度または温度を連続として測定し管理する薬液モニタ装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００３−０８６５６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来においては、エッチング液は液晶ディスプレイ等の製造工場で、調合および濃度を目標値に調整した上で用いることは、設備および運転コストの面のみならず、濃度測定などの技術的な観点から、極めて困難であった。硝酸の原液、燐酸の原液、酢酸の原液と純水とを混合したエッチング液は、所定の組成および濃度となっていることを検証するために、各成分の濃度を測定する必要がある。
【０００７】
しかしながら、エッチング液の硝酸、燐酸および酢酸の濃度をインラインまたはオンラインで、正確に測定することが行なわれず、調合後の酸濃度をリアルタイムで測定することが不可能であった。  
【０００８】
従来、このような３種類の混合酸を分別定量するための良い測定法が知られていなかった。エッチング液メーカにおいては、例えば、一次調合後のエッチング液をサンプリングして、オフラインのイオンクロマト分析計にて酸濃度を測定して、不足分の原液を補充して調整する二次調合していた。一部では、非水中和滴定法により間歇的に測定してバッチ的に濃度調合する装置があるが、装置が複雑であること、滴定試薬を使用する必要があること、廃液が発生すること、間歇的な測定であるため制御性が良くないことなど多くの問題があった。  
【０００９】
従って、液晶ディスプレイ等の製造工場（以下、「使用側」という。）では、エッチング液メーカ（以下、「供給側」という。）で組成および濃度を調整したエッチング液を使用せざるを得なかった。
【００１０】
この場合、供給側において、所定の濃度に調整した硝酸の原液、燐酸の原液、酢酸の原液と純水とを混合して、所定の組成および濃度となるよう調合したエッチング液を容器に充填し、使用側に供給する方法が採られる。
【００１１】
供給側で調製したエッチング液が使用側で使用されるまでには運搬および保管に相応の期間を要し、この間にエッチング液が劣化するという問題があった。さらに、エッチング液中の酢酸は揮発性があるので酢酸濃度が低下し、硝酸はＮＯｘガスとして揮散して硝酸濃度が低下してしまうという問題もあった。
【００１２】
また、連続調合方式のエッチング液調合装置は、使用側ばかりではなく供給側においても皆無であった。これは、連続的にエッチング液の成分濃度を測定する濃度測定装置が皆無であったからである。これらの問題も、エッチング液の調合が液晶ディスプレイ等の製造工場（使用側）で行われなかった大きな理由として挙げられる。
【００１３】
そこで、本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、使用側において、エッチング原液から所望濃度のエッチング液を精度良くかつ迅速に調合することができると共に、調合されたエッチング液の組成および濃度を精度良く管理することが可能なエッチング液調合装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明者は前記目的を達成するために、まず調合槽のエッチング液の硝酸濃度が、図９に示すようにエッチング液を純水で所定倍率に希釈した液の導電率との間に相関関係にあることを実験によって確認した。また、調合槽のエッチング液の硝酸濃度は、図１０に示すようにその吸光度と相関関係にあることを実験により確認した。また、調合槽のエッチング液の水分濃度は、図１１に示すようにその吸光度と相関関係にあることを実験により確認した。さらに、エッチング液の燐酸濃度が、図１２に示すようにその吸光度と相関関係にあることを実験により確認した。また、エッチング液の燐酸濃度が、図１３に示すようにその密度と相関関係にあることを実験により確認した。
【００１５】
本発明は、硝酸濃度を希釈水溶液の導電率測定により調整、制御し、または、硝酸濃度を吸光度測定により調整、制御し、水分濃度を吸光度測定により調整、制御し、燐酸濃度を吸光度測定により調整、制御し、または、燐酸濃度を密度測定により調整、制御するようにしたもので、硝酸濃度、水分濃度および燐酸濃度の３成分の濃度を総合的に調整、制御するようにしたものである。
【００１６】
また、本発明は、相関関係による濃度演算精度の向上を意図して、調合槽内のエッチング液を純水で希釈した希釈液の導電率を検出する導電率計の導電率値（またはエッチング液の吸光光度計の吸光度値）とエッチング液の水分濃度を検出する吸光光度計の吸光度値とエッチング液の燐酸濃度を検出する吸光光度計の吸光度値（または密度計の密度値）とから多成分演算法（重回帰分析法・多変量解析法）により正確なエッチング液の成分濃度を演算して調整、制御するようにしたものである。この場合、硝酸濃度、水分濃度および燐酸濃度を１００％から差し引くことにより酢酸濃度を算出することができる。
【００１７】
すなわち、上記の目的を達成するために、本発明のエッチング液調合装置は、図１および図５に示すように、アルミニウム膜用エッチング液を調合する調合槽と、前記調合槽に接続された管路と、前記管路へ前記エッチング液または前記エッチング液の調合に使用される液を送るポンプとを備え、前記管路によりエッチング装置に接続されたエッチング液調合装置において、前記調合槽内のエッチング液を純水で希釈した希釈液の導電率を導電率計で検出することにより得られた前記エッチング液の硝酸濃度または前記エッチング液の吸光度を吸光光度計で検出することにより得られた前記エッチング液の硝酸濃度に基づき単酸原液、混酸原液または純水の少なくとも一つを前記調合槽に補給する硝酸濃度検出・液補給手段と、前記エッチング液を吸光光度計で検出することにより得られた前記エッチング液の水分濃度に基づき単酸原液、混酸原液または純水の少なくとも一つを前記調合槽に補給する水分濃度検出・液補給手段と、前記エッチング液の吸光度を吸光光度計で検出することにより得られた前記エッチング液の燐酸濃度または前記エッチング液の密度を密度計で検出することにより得られた前記エッチング液の燐酸濃度に基づき単酸原液、混酸原液及び純水の少なくとも一つを前記調合槽に補給する燐酸濃度検出・液補給手段と、を備えたことを特徴としている。
【００１８】
また、本発明のエッチング液調合装置は、図２および図６に示すように、アルミニウム膜用のエッチング液を調合する調合槽と、前記調合槽に接続された管路と、前記管路へ前記エッチング液または前記エッチング液の調合に使用される液を送るポンプとを備え、前記管路によりエッチング装置に接続されたエッチング液調合装置において、前記調合槽内のエッチング液を純水で希釈した希釈液の導電率を検出する導電率計または前記エッチング液の硝酸濃度を検出する吸光光度計と、前記エッチング液の水分濃度を検出する吸光光度計と、前記エッチング液の燐酸濃度を検出する吸光光度計または密度計と、硝酸濃度を検出する前記導電率計の導電率値または硝酸濃度を検出する前記吸光光度計の吸光度値と、水分濃度を検出する前記吸光光度計の吸光度値と、燐酸濃度を検出する前記吸光光度計の吸光度値または燐酸濃度を前記密度計の密度値と、から多成分演算法（重回帰分析法・多変量解析法）により前記エッチング液の成分濃度を演算する成分濃度演算手段と、単酸原液、混酸原液及び純水の少なくとも一つを前記調合槽に補給する液補給手段と、を備えたことを特徴としている。
【００１９】
また、本発明のエッチング液調合装置は、前記エッチング液が燐酸、硝酸を含む水溶液であって、前記エッチング液が、さらに有機酸、塩酸、硫酸、過塩素酸の少なくとも１種を含む水溶液であって、前記有機酸が、酢酸、マロン酸であり、前記エッチング液調合装置が、連続調合方式であることを特徴としている。
【発明の効果】
【００２０】
以上説明したように、本発明のエッチング液調合装置によれば、つぎのような効果を奏する。
【００２１】
（１）  半導体製造工場やフラットパネルディスプレイ製造工場の使用側において、従来、困難であったアルミニウムのエッチング液調合装置が実現できる。
【００２２】
（２）エッチング液の硝酸濃度、水分濃度、燐酸濃度および酢酸濃度を、リアルタイムで連続的に測定することができ、所定濃度に一定に精度よく連続調合することができる。
【００２３】
（３）エッチング液中の酢酸は揮発性があるので酢酸濃度が低下し、硝酸はＮＯxガスとして揮散して硝酸濃度が低下してしまう場合においても、連続的に濃度を測定しているので、目標値の濃度に自動調整される。  
【００２４】
（４）調合されたエッチング液の濃度が精度よく一定になるので、アルミニウム薄膜の高精細寸法の制御が一定化し、またアルミニウム薄膜のテーパー角度の制御も一定化して製品の歩留りが大幅に向上する。
【００２５】
（５）使用側においてエッチング液の調合および濃度の検証が可能となったために、大量のエッチング液の製造、エッチング装置へ管路で直接供給、およびコストダウンができるようになった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施の形態を詳細に説明する。ただし、これらの実施の形態に記載されている構成機器の形状、その相対配置などは、とくに特定的な記載がない限りは、本発明の範囲をそれらのみに限定するものではなく、単なる説明例にすぎない。
【００２７】
図１は本発明の第一の実施の形態を示す装置系統図である。図中の参照番号は、エッチング液調合装置を構成する機器および部品である。すなわち、このエッチング液調合装置は、エッチング液を調合する調合槽１、液面レベル計２、エッチング液の清浄化と撹拌のための循環ポンプ１１（エッチング装置への送液も兼ねる。）、管路１２、エッチング液中の微細粒子等を除去するためのフィルター１３、循環撹拌用のエアー弁１４、燐酸原液供給缶２０、燐酸原液供給用の流量調節弁２４、酢酸原液供給缶２１、酢酸原液供給用の流量調節弁２５、硝酸原液供給缶２２、硝酸原液供給用の流量調節弁２６、純水供給用の流量調節弁２７、ユースポイントへの送液用のエアー弁２９と、これら各機器を接続する配管類、ならびにＮ2 ガス配管２３、純水等の配管類などからなっている。
【００２８】
本発明にもとづき、上記エッチング液調合装置に付設される機器は、サンプリングポンプ３、希釈ポンプ３８、純水ポンプ３９、硝酸濃度を検出する導電率計１５、水分濃度を検出する吸光光度計１６、燐酸濃度を検出する吸光光度計１７、電気計装類又は空気計装類などである。
【００２９】
供給液としては、燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液、混酸原液及び純水であるが、必ずしも全て必要というのではなく、エッチング液の組成、設備条件、運転条件、供給液の入手条件などにより、最適な供給液及び供給装置が選択され、図２〜８についても同様である。
【００３０】
調合方式としては、連続調合方式が望ましいが、バッチ調合方式でも良い。連続調合方式の場合、一次調合には、純水、燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液を使用して、酢酸濃度を大きくした酢酸リッチの一次調合液とし、純水、燐酸原液、硝酸原液の補充により所定濃度へ微調整しても良い。バッチ調合方式の場合、原液の調合順序は、純水、燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液とするのが良い。
【００３１】
燐酸原液を貯留する燐酸原液供給缶２０は、配管２３からのＮ２ガスで０．１〜０．２ＭＰａ に加圧されており、燐酸原液流量調節弁２４の開により圧送される。酢酸原液を貯留する酢酸原液供給缶２１は、配管２３からのＮ２ガスで０．１〜０．２ＭＰａに加圧されており、酢酸原液流量調節弁２５の開により圧送される。硝酸原液を貯留する硝酸原液供給缶２２は、配管２３からのＮ2ガスで０．１〜０．２ＭＰａに加圧されており、硝酸原液流量調節弁２６の開により圧送される。純水は既設配管からの分岐管に通じており、純水流量調節弁２７の開により送液される。これらの供給液はそれぞれの弁を自動調節して送液され、調合槽１に供給される。
【００３２】
また、調合槽１から管路１８のサンプリングポンプ３によりサンプリングされたエッチング液の一部を管路３４の希釈ポンプ３８により分取し、管路３５の純水ポンプ３９からの純水と合流し管路３６により混合撹拌して所定比率に希釈されたのち、硝酸濃度を検出する導電率計１５において希釈液の導電率が連続測定され、測定済み希釈液は管路３７からドレンされる。
【００３３】
エッチング液の純水による希釈方式は、連続希釈方式が望ましいが、エッチング液と純水を撹拌槽などで受けるバッチ希釈方式も可能である。
【００３４】
希釈液の導電率を測定することにより希釈液の硝酸濃度が測定できるが、所定比率（例えば１０倍）に希釈されているので希釈前のエッチング液の硝酸濃度が測定できる。なお、希釈前のエッチング液の導電率を測定して硝酸濃度を測定することは、燐酸濃度や酢酸濃度による導電率への影響が大きく困難である。
【００３５】
図２は、本発明の第二の実施の形態を示す装置系統図である。本実施形態は、第一の実施形態に測定精度を向上させるための多成分演算器３３を付加したものである。他の構成等は図１の場合と同様である。
【００３６】
図３は、本発明の第三の実施の形態を示す装置系統図である。本実施形態では、調合槽１からサンプリングポンプ３によりサンプリングされ、オンラインで設置された硝酸濃度を検出する吸光光度計１９、水分濃度を検出する吸光光度計１６および燐酸濃度を検出する吸光光度計１７には、管路１８から試料液が導入されて吸光度が連続測定され、測定済み液は調合槽１に戻される。他の構成等は図１の場合と同様である。
【００３７】
図４は、本発明の第四の実施の形態を示す装置系統図である。本実施形態は、第三の実施形態に測定精度を向上させるための多成分演算器３３を付加したものである。他の構成等は図１および図３の場合と同様である。
【００３８】
図５は、本発明の第五の実施の形態を示す装置系統図である。本実施形態は、バッチ調合を行うために、図１の調合槽１に、液面レベル計２の代わりにロードセル４を取り付けて、調合槽１の調合液の重量を正確に測定して、一次調合の制御および濃度測定値による濃度調整を行うものである。他の構成等は図１の場合と同様である。
【００３９】
図６は、本発明の第六の実施の形態を示す装置系統図である。本実施形態は、バッチ調合を行うために、図２の調合槽１に、液面レベル計２の代わりにロードセル４を取り付けて、調合槽１の調合液の重量を正確に測定して、濃度測定値からの補充重量の計算および補充重量の制御を行うものである。他の構成等は図２の場合と同様である。
【００４０】
図７は、本発明の第七の実施の形態を示す装置系統図である。本実施形態は、バッチ調合を行うために、図３の調合槽１に、液面レベル計２の代わりにロードセル４を取り付けて、調合槽１の調合液の重量を正確に測定して、一次調合の制御および濃度測定値による濃度調整を行うものである。他の構成等は図３の場合と同様である。
【００４１】
図８は、本発明の第八の実施の形態を示す装置系統図である。本実施形態は、バッチ調合を行うために、図４の調合槽１に、液面レベル計２の代わりにロードセル４を取り付けて、調合槽１の調合液の重量を正確に測定して、濃度測定値からの補充重量の計算および補充重量の制御を行うものである。他の構成等は図４の場合と同様である。
【００４２】
次に図１〜８に示す実施形態による装置の制御系統について説明する。図１〜４においては、液面レベル計２と調合槽１の液面レベル、導電率計１５（または吸光光度計１９）とエッチング液の硝酸濃度、吸光光度計１６とエッチング液の水分濃度、吸光光度計１７（または密度計１７）とエッチング液の燐酸濃度は、本質的にはそれぞれ独立機能として作用するが、本発明においては、これらを相互の補完的な関連において機能させることを特徴としている。エッチング液の濃度は、最適なエッチングスピードによるエッチングを行い、最適なエッチングプロフィールによるエッチングを行うために、所定の濃度に管理する必要がある。また、はじめに製品基板の品質管理上で必要なエッチング液の硝酸濃度の目標値、水分濃度の目標値、燐酸濃度の目標値、酢酸濃度の目標値などは、操業実績又は計算に基づき予め各制御器に設定しておかねばならない。
【００４３】
以下、エッチング液として硝酸と燐酸と酢酸と純水を混合した溶液を使用した実施例について説明する。
【００４４】
エッチング液の硝酸濃度は、最適なエッチング性能を発揮させるために所定の濃度範囲に管理する必要がある。硝酸濃度は所定の目標値、例えば４.０±０.５％に調合する必要がある。
【００４５】
本発明者は、エッチング液の硝酸濃度と導電率との関係を実験により検討し、調合槽のエッチング液の硝酸濃度が、エッチング液を純水で所定倍率に希釈した液の導電率との間に相関関係にあることを実験によって確認した。図９に示す如く、エッチング液を純水で所定倍率に希釈した液の導電率とエッチング液の硝酸濃度とは直線関係にあり、エッチング液を純水で所定倍率に希釈した液の導電率を検出することにより硝酸濃度が測定できることを確認した。図１、５に示すように、管路３７に設置された導電率計１５は、測定誤差を最小限とするための諸補償機能と導電率制御器３０を備えている。純水で所定倍率に希釈した液の導電率測定値を、導電率制御器３０に入力して、その値が目標値になるように、出力信号により燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液及び純水の少なくとも一方を、流量調節弁２４、２５、２６、２７によりそれぞれ自動制御して、硝酸濃度を目標値に調整するまで補給する。
【００４６】
本発明者は、エッチング液の硝酸濃度と吸光度との関係を実験により検討し、調合槽のエッチング液の硝酸濃度が、エッチング液の吸光度との間に相関関係にあることを実験によって確認した。吸光度の測定波長は、紫外線領域の２５０ｎｍから３２０ｎｍの範囲が適切であり、２９０ｎｍ付近が感度が大きく特に良好であった。図１０に示す如く、測定波長λ＝２９０nmにおける紫外吸光光度計の吸光度と硝酸濃度とは高度な直線関係にあり、吸光度を測定することにより硝酸濃度が正確に測定できることを確認した。図３、７に示すように、管路１８にオンラインで設置された吸光光度計１９は、測定誤差を最小限とするための諸補償機能と吸光度制御器４０を備えている。管路１８から導入した試料液の吸光度測定値を、吸光度制御器４０に入力して、その値が目標値になるように、出力信号により燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液及び純水の少なくとも一方を、流量調節弁２４、２５、２６、２７によりそれぞれ自動制御して、硝酸濃度を目標値に調整するまで補給する。
【００４７】
また、エッチング液の水分濃度は、最適なエッチング性能を発揮させるために所定の濃度範囲に管理する必要がある。このため、水分濃度は所定の目標値、例えば１６.０±１.０％に調合する必要がある。
【００４８】
本発明者は、エッチング液の水分濃度と吸光度との関係を実験により検討し、調合槽のエッチング液の水分濃度が、エッチング液の吸光度との間に相関関係にあることを実験によって確認した。吸光度の測定波長は、近赤外線領域の１９２０nmから１９６０nmの範囲が適切であり、１９３１nm付近が感度が大きく特に良好であった。図１１に示す如く、測定波長λ＝１９３１nmにおける吸光度と水分濃度とは高度な直線関係にあり、吸光度を測定することにより水分濃度が正確に測定できることを確認した。図１、３、５、７に示すように、管路１８にオンラインで設置された吸光光度計１６は、測定誤差を最小限とするための諸補償機能と吸光度制御器３１を備えている。管路１８から導入した試料液の吸光度測定値を、吸光度制御器３１に入力して、その値が目標値になるように、出力信号により燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液及び純水の少なくとも一方を、流量調節弁２４、２５、２６、２７によりそれぞれ自動制御して、水分濃度を目標値に調整するまで補給する。
【００４９】
また、エッチング液の燐酸濃度は、最適なエッチング性能を発揮させるために所定の濃度範囲に管理する必要がある。このため、燐酸濃度は所定の目標値、例えば７０.０±１.０％に調合する必要がある。
【００５０】
本発明者は、エッチング液の燐酸濃度と吸光度との関係を実験により検討し、吸光度の測定波長は、近赤外線領域の２０５０nmから２２００nmの範囲が適切であり、２１０１nm付近は感度が大きく特に良好であった。図１２に示す如く、測定波長λ＝２１０１nmにおける吸光度と燐酸濃度とは直線関係にあり、吸光度を測定することにより燐酸濃度が測定できることを確認した。図１、３、５、７に示すように、管路１８にオンラインで設置された吸光光度計１７は、測定誤差を最小限とするための諸補償機能と吸光度制御器３２を備えている。管路１８から導入した試料液の吸光度測定値を、吸光度制御器３２に入力して、その値が目標値になるように、出力信号により燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液及び純水の少なくとも一方を、流量調節弁２４、２５、２６、２７によりそれぞれ自動制御して、燐酸濃度を目標値に調整するまで補給する。
【００５１】
また、本発明者は、エッチング液の燐酸濃度と密度との関係を実験により検討し、燐酸濃度の上昇により、密度が高くなることを見出した。図１３に示す如く、密度と燐酸濃度とは直線関係にあり、密度を測定することにより燐酸濃度が測定できることを確認した。図１、３、５、７において、吸光光度計１７を密度計に置き換え、吸光度制御器３２を密度制御器に置き換えたものであり、機能関連については吸光光度計１７および吸光度制御器３２の場合と同様である。  
【００５２】
さらに、本発明者は、相関関係による研究および解析により、後述する表１に示す如く、調合槽内のエッチング液を純水で希釈した希釈液の導電率を測定する導電率計の導電率値（またはエッチング液の硝酸濃度を測定する吸光光度計の吸光度値）とエッチング液の水分濃度を測定する吸光光度計の吸光度値とエッチング液の燐酸濃度を測定する吸光光度計の吸光度値（または密度計の密度値）の３種類の特性値から線形重回帰分析法（ＭＬＲ−ＩＬＳ）により正確なエッチング液の成分濃度を演算して求めることができた。この場合、硝酸濃度、水分濃度および燐酸濃度を１００％から差し引くことにより酢酸濃度を算出することができた。
【００５３】
図２に示すように、導電率計１５、吸光光度計１６と吸光光度計１７からの測定値の出力が、多成分演算器３３に入力されて、多成分演算法（重回帰分析法・多変量解析法）により、正確なエッチング液の成分濃度を演算して調整、制御するようにしたものである。硝酸濃度、酢酸濃度、水分濃度および燐酸濃度が目標値になるように、多成分演算器３３の出力信号により燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液及び純水の少なくとも一方を、流量調節弁２４、２５、２６、２７によりそれぞれ自動制御して、各成分濃度を目標値に調整するまで補給する。図４、図６、図８の説明も、図２の説明と同様であるので、省略する。
【００５４】
図１〜図４の実施形態は、バッチ調合方式でも使用可能であるが、連続調合方式で使用される。ここで、図１に示す実施の第１形態の装置が意図した制御系統の機能的関連について述べる。液面レベル計２は、図示しない液面レベル制御器に接続されている。調合槽１が空の建浴時においては、液面レベル計２が空であることを検出して、液面レベル制御器の出力信号により燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液及び純水を、流量調節弁２４、２５、２６、２７によりそれぞれ自動制御して送液し、液面レベルを設定位置にする。一次調合には、純水、燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液を使用して、エッチング新液よりも酢酸濃度を大きくした酢酸リッチの一次調合液とし、燐酸原液、硝酸原液、純水の補充により所定濃度に微調整される。なお、液面レベル制御器の出力信号により、燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液及び純水をエッチング新液とほぼ同等の濃度となるように適正な流量比において、流量調節弁２４、２５、２６、２７により弁開度を調節して送液してもよい。
【００５５】
ついで、導電率計１５がエッチング液の希釈液の導電率を連続測定して、導電率制御器３０の出力信号により、燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液及び純水の少なくとも一方が適正な微少流量において、流量調節弁２４、２５、２６及び２７の少なくとも一方により弁開度を調節して送液され、目標値の硝酸濃度になるよう自動制御される。
【００５６】
硝酸濃度が小さい場合は、導電率計１５がエッチング液の希釈液の導電率を連続測定して、導電率制御器３０の出力信号により、硝酸原液が適正な微少流量において流量調節弁２６により弁開度を調節して送液され、目標値の硝酸濃度になるよう自動制御される。また、吸光光度計１６がエッチング液の水分濃度を連続測定して、吸光度制御器３１の出力信号により、燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液及び純水の少なくとも一方が適正な微少流量において、流量調節弁２４、２５、２６及び２７の少なくとも一方により弁開度を調節して送液され、目標値の硝酸濃度になるよう自動制御される。
【００５７】
水分濃度が小さい場合は、吸光光度計１６がエッチング液の水分濃度を連続測定して、吸光度制御器３１の出力信号により、純水が適正な微少流量において流量調節弁２７により弁開度を調節して送液され、目標値の水分濃度になるよう自動制御される。
【００５８】
また、吸光光度計１７がエッチング液の燐酸濃度を連続測定して、吸光度制御器３２の出力信号により、燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液及び純水の少なくとも一方が適正な微少流量において、流量調節弁２４、２５、２６及び２７の少なくとも一方により弁開度を調節して送液され、目標値の燐酸濃度になるよう自動制御される。
【００５９】
燐酸濃度が小さい場合は、吸光光度計１７がエッチング液の燐酸濃度を連続測定して、吸光度制御器３２の出力信号により、燐酸原液が適正な微少流量において流量調節弁２４により弁開度を調節して送液され、目標値の燐酸濃度になるよう自動制御される。
【００６０】
次に、図２に示す実施の第２形態の装置が意図した制御系統の機能的関連について述べる。本実施形態は、主として、硝酸濃度、水分濃度、燐酸濃度及び酢酸濃度を正確に測定して調合する場合などに適用される。図２に示すように、導電率計１５、吸光光度計１６と吸光光度計１７からの測定値の出力が、多成分演算器３３に入力されて、多成分演算法（重回帰分析法・多変量解析法）により、正確なエッチング液の成分濃度を演算して調整、制御するようにしたものである。調合槽１が空の建浴時においては、液面レベル計２が空であることを検出して、液面レベル制御器の出力信号により燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液及び純水を、流量調節弁２４、２５、２６、２７によりそれぞれ自動制御して送液し、液面レベルを設定位置にする。一次調合には、燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液及び純水をエッチング新液とほぼ同等の濃度となるように適正な流量比において、流量調節弁２４、２５、２６、２７により弁開度を調節して送液される。ついで、硝酸濃度、酢酸濃度、水分濃度および燐酸濃度が目標値になるように、多成分演算器３３の出力信号により燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液及び純水を、流量調節弁２４、２５、２６、２７によりそれぞれ自動制御して送液し、各成分濃度を目標値に調整するまで補給する。ユースポイントからの要求信号により、循環送液ポンプ１１を運転し、送液用のエアー弁２９を開にしてユースポイントに送液をする。送液が開始されると液面レベルが低下するので、液面レベル計２が低下したことを検出して、液面レベル制御器の出力信号により燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液及び純水を、流量調節弁２４、２５、２６、２７によりそれぞれ自動制御して送液し、液面レベルを設定位置に回復する。その他の制御系統の機能的関連については、図１の場合と同様である。
【００６１】
［多成分演算器３３］
本発明者は、実験により、硝酸、燐酸、さらには酢酸が共存する場合、硝酸濃度の希釈水溶液の導電率、硝酸濃度の吸光度、水分濃度の吸光度、燐酸濃度の吸光度、燐酸濃度の密度の測定値は、それぞれ一つの成分だけに感応するわけではなく、相互に相関するので、重回帰分析によらなければより正確な濃度を求められないことを知見した。
【００６２】
また、本発明者は、相関関係による研究、及び、解析の結果、３種類の特性値（アルミニウム膜用エッチング処理槽内のエッチング液を純水で希釈した希釈液の導電率を測定する導電率計の導電率値またはエッチング液の硝酸濃度を測定する吸光度計の吸光度値、エッチング液の水分濃度を測定する吸光光度計の吸光度値、エッチング液の燐酸濃度を測定する吸光光度計の吸光度値（または密度計の密度値））から、線形重回帰分析法（ＭＬＲ−ＩＬＳ）によりさらに正確なエッチング液の成分濃度（硝酸濃度、水分濃度、及び、燐酸濃度）を演算できること、この演算された硝酸濃度、水分濃度、及び、燐酸濃度を１００％から差し引くことにより酢酸濃度を算出すること、を見出した。
【００６３】
ここで、重回帰分析の演算式について例示する。重回帰分析は校正と予測の二段階からなる。ｎ成分系の重回帰分析において、校正標準溶液をｍ個用意したとする。ｉ番目の溶液中に存在するｊ番目の成分の濃度をＣｉｊと表す。ここで、ｉ＝１〜ｍ、ｊ＝１〜ｎである。ｍ個の標準溶液について、それぞれ、ｐ個の特性値（例えば、ある波長における吸光度とか導電率）Ａｉｋ（ｋ＝１〜ｐ）を測定する。濃度データと特性値データは、それぞれ、まとめて行列の形（Ｃ，Ａ）に表すことができる。
【００６４】
【数１】
0005405042.tif 000002
【００６５】
これらの行列を関係づける行列を校正行列といい、ここでは記号Ｓ（Ｓｋｊ；ｋ＝１〜ｐ、ｊ＝１〜ｎ）で表す。
【００６６】
【数２】
0005405042.tif 000003
【００６７】
既知のＣとＡ（Ａの内容は同質の測定値のみならず異質の測定値が混在しても構わない。例えば、吸光度と導電率。）からＳを行列演算により算出するのが校正段階である。この時、ｐ＞＝ｎ、且つ、ｍ＞＝ｎｐでなければならない。Ｓの各要素は全て未知数であるから、ｍ＞ｎｐであることが望ましく、その場合は次のように最小二乗演算を行う。
【００６８】
【数３】
0005405042.tif 000004
【００６９】
ここで、上付きのTは転置行列を、上付きの−1は逆行列を意味する。濃度未知の試料液についてｐ個の特性値を測定し、それらをＡｕ（Ａｕｋ；ｋ＝１〜ｐ）とすれば、それにＳを乗じて求めるべき濃度Ｃｕ（Ｃｕｊ；ｊ＝１〜ｎ）を得ることができる。
【００７０】
【数４】
0005405042.tif 000005
【００７１】
これが予測段階である。校正標準１２（１２個の校正標準溶液）のうち、一つを未知試料に見立てて、残り１１標準で校正行列を求め、仮定した未知試料の濃度を算出して既知の値（重量調製値）と比べる手法Ｌｅａｖｅ−Ｏｎｅ−Ｏｕｔ法によって、ＭＬＲ−ＩＬＳ計算を行った計算結果を表１に示す。表１は、近赤外２波長（１９３１，２１０１ｎｍ)と１０倍希釈導電率から求めた燐酸、硝酸、水分の濃度である。
【００７２】
【表１】
0005405042.tif 000006
【００７３】
多成分演算器３３は、上記発明者の知見に基づき、多成分演算法（重回帰分析法・多変量解析法）により、正確なエッチング液の成分濃度を演算して調整、制御する。
【００７４】
多成分演算器３３には、導電率計１５、吸光光度計１６、及び、吸光光度計１７が接続されている。
【００７５】
多成分演算器３３は、導電率計１５、吸光光度計１６、及び、吸光光度計１７から入力される導電率、各吸光度から、多成分演算法（重回帰分析法・多変量解析法）によりさらに正確なエッチング液の成分濃度（硝酸濃度、水分濃度、及び、燐酸濃度）を演算し、さらに、この演算された硝酸濃度、水分濃度、及び、燐酸濃度を、１００％から差し引くことにより酢酸濃度を算出し、これらの各濃度が予め定められた目標値となるように、流量調節弁２４、２５、２６、２７のうちの少なくとも１つの流量調整弁を開閉制御する。これにより、その制御された流量調整弁に対応する原液あるいは純水をエッチング処理槽１内に供給し、各成分濃度を調整する。
【００７６】
次に、図３に示す実施の第３形態の装置が意図した制御系統の機能的関連について述べる。本実施形態は、図１の調合槽内のエッチング液を純水で希釈した希釈液の導電率を導電率計により検出する代わりに、前記エッチング液の硝酸濃度を吸光光度計により検出して制御するようにしたものである。その他の制御系統の機能的関連については、図１の場合と同様である。
【００７７】
次に、図４に示す実施の第４形態の装置が意図した制御系統の機能的関連について述べる。本実施形態は、図２の調合槽内のエッチング液を純水で希釈した希釈液の導電率を導電率計により検出する代わりに、前記エッチング液の硝酸濃度を吸光光度計により検出して制御するようにしたものである。その他の制御系統の機能的関連については、図２の場合と同様である。
【００７８】
連続調合方式においては、通常、調合槽の液面レベルは満杯の上限レベル付近を維持するよう制御される。すなわち、調合されたエッチング液が、貯留槽やユースポイントに送液され液面レベルが低下すると、直ちに一次調合が行われ、ついで各成分濃度が目標値となるよう調整制御される。従って、調合槽の液面レベルは満杯状態が維持されるので、有効な貯留槽としての機能も合わせて持つものである。
【００７９】
図５〜図８の実施形態は、バッチ調合方式で使用される。ここで、図５に示す実施の第５形態の装置が意図した制御系統の機能的関連について述べる。本実施形態は、バッチ調合を行うために、図１の調合槽１に、液面レベル計２の代わりにロードセル４を取り付け、調合槽１の調合液の重量を正確に測定して、一次調合の制御および濃度測定値による濃度調整を行うものである。調合されたエッチング液は、ほぼ全量が貯留槽やユースポイントに送液されて、調合槽１が空の状態になる。調合槽１が空の状態においては、ロードセル４が下限であることを検出して、ロードセル４の出力信号により、純水の調合重量が所定の重量となるまで流量調節弁２７により送液される。
【００８０】
次に、ロードセル４の出力信号により、燐酸原液の調合重量が所定の重量となるまで流量調節弁２４により送液される。次に、ロードセル４の出力信号により、酢酸原液の調合重量が所定の重量となるまで流量調節弁２５により送液される。さらに、ロードセル４の出力信号により、硝酸原液の調合重量が所定の重量となるまで流量調節弁２６により送液される。ここで、調合槽１内の混合された混合液は、循環ポンプ１１により撹拌される。
【００８１】
次に、サンプリングポンプ３により、サンプリングされた混合液の各成分濃度が測定される。各原液の調合重量と各成分濃度の濃度測定値に応じて、燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液、純水の補充の制御が行われ、流量調節弁２４、２５、２６、２７によりそれぞれ自動制御して送液し、目標値の濃度になるよう微調整される。ここで再度、調合槽１内の混合された混合液は、循環ポンプ１１により撹拌される。次に、サンプリングポンプ３により、サンプリングされた混合液の各成分濃度が測定される。各成分濃度の濃度測定値が目標値の濃度範囲に入っていた場合、1バッチの調合が終了する。その他の制御系統の機能的関連については、図１の場合と同様である。
【００８２】
次に、図６に示す実施の第６形態の装置が意図した制御系統の機能的関連について述べる。本実施形態は、バッチ調合を行うために、図２の調合槽１に、液面レベル計２の代わりにロードセル４を取り付け、調合槽１の調合液の重量を正確に測定して、多成分演算器３３において濃度測定値の正確な計算、補充重量の計算および補充重量の制御を行うものである。調合されたエッチング液は、ほぼ全量が貯留槽やユースポイントに送液されて、調合槽１が空の状態になる。調合槽１が空の状態においては、ロードセル４が下限であることを検出して、ロードセル４の出力信号により、純水の調合重量が所定の重量となるまで流量調節弁２７により送液される。次に、ロードセル４の出力信号により、燐酸原液の調合重量が所定の重量となるまで流量調節弁２４により送液される。次に、ロードセル４の出力信号により、酢酸原液の調合重量が所定の重量となるまで流量調節弁２５により送液される。さらに、ロードセル４の出力信号により、硝酸原液の調合重量が所定の重量となるまで流量調節弁２６により送液される。ここで、調合槽１内の混合された混合液は、循環ポンプ１１により撹拌される。次に、サンプリングポンプ３により、サンプリングされた混合液の各成分濃度が測定される。多成分演算器３３において、各原液の調合重量の制御と各成分濃度の濃度測定値に応じて、燐酸原液、酢酸原液、硝酸原液、純水の補充重量の計算により補充重量の制御が行われ、流量調節弁２４、２５、２６、２７によりそれぞれ自動制御して送液し、目標値の濃度になるよう微調整される。ここで再度、調合槽１内の混合された混合液は、循環ポンプ１１により撹拌される。次に、サンプリングポンプ３により、サンプリングされた混合液の各成分濃度が測定される。各成分濃度の濃度測定値が目標値の濃度範囲に入っていた場合、1バッチの調合が終了する。その他の制御系統の機能的関連については、図５の場合と同様である。図７、図８の制御系統の機能的関連については、図５、図６の説明と同様であるので、省略する。
【００８３】
本発明者は、以上のように各制御機能に基づく結果を相互補完的な関連で運用することによって、総合的にエッチング液組成が一定な調合および連続調合を容易に実現することができることを知見している。
【００８４】
なお、以上において、本発明は、エッチング液として硝酸と酢酸と燐酸及び純水の溶液を使用した場合に限らず、エッチング液として燐酸と硝酸と純水の溶液、燐酸と硝酸にさらに有機酸、塩酸、硫酸、過塩素酸の少なくとも１種を含む水溶液、前記の有機酸が、酢酸、マロン酸である水溶液を使用した場合などにも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の実施の第１形態によるエッチング液調合装置の系統図。
【図２】本発明の実施の第２形態によるエッチング液調合装置の系統図。
【図３】本発明の実施の第３形態によるエッチング液調合装置の系統図。
【図４】本発明の実施の第４形態によるエッチング液調合装置の系統図。
【図５】本発明の実施の第５形態によるエッチング液調合装置の系統図。
【図６】本発明の実施の第６形態によるエッチング液調合装置の系統図。
【図７】本発明の実施の第７形態によるエッチング液調合装置の系統図。
【図８】本発明の実施の第８形態によるエッチング液調合装置の系統図。
【図９】本発明に係わるエッチング液の硝酸濃度と希釈液の導電率との関係を示すグラフ。
【図１０】本発明に係わるエッチング液の硝酸濃度と吸光度との関係を示すグラフ。
【図１１】本発明に係わるエッチング液の水分濃度と吸光度との関係を示すグラフ。
【図１２】本発明に係わるエッチング液の燐酸濃度と吸光度との関係を示すグラフ。
【図１３】本発明に係わるエッチング液の燐酸濃度と密度との関係を示すグラフ。
【符号の説明】
【００８６】
１…調合槽，２…液面レベル計，３…サンプリングポンプ，４…ロードセル，１１…循環ポンプ，１５…導電率計，１６…吸光光度計，１７…吸光光度計（密度計），１９…吸光光度計，２０…燐酸原液供給缶，２１…酢酸原液供給缶，２２…硝酸原液供給缶，２４…燐酸原液流量調節弁，２５…酢酸原液流量調節弁，２６…硝酸原液流量調節弁，２７…純水流量調節弁，３０…導電率制御器，３１…吸光度制御器，３２…吸光度制御器（密度制御器），３３…多成分演算器，４０…吸光度制御器
【図１】
0005405042.tif 000007
【図２】
0005405042.tif 000008
【図３】
0005405042.tif 000009
【図４】
0005405042.tif 000010
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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