(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｓｂを０．２原子％以上２．０原子％以下、Ｍｇを０．０５原子％以上１．００原子％以下、残部がＡｇと不可避不純物とからなる組成を有することを特徴とするＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲット。
【請求項２】
含有されるＳｂとＭｇの原子比が１．０≦Ｓｂ／Ｍｇ≦４０．０であることを特徴とする請求項１に記載のＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲット。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットによって成膜されたことを特徴とするＡｇ合金膜。
【請求項４】
請求項１又は請求項２に記載のＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットによって成膜されたことを特徴とするＡｇ合金反射膜。
【請求項５】
請求項１又は請求項２に記載のＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットによって成膜されたことを特徴とするＡｇ合金導電膜。
【請求項６】
請求項１又は請求項２に記載のＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットによって成膜されたことを特徴とするＡｇ合金半透過膜。
【請求項７】
波長４０５〜５５０ｎｍの反射率が８５％以上であることを特徴とする請求項４記載のＡｇ合金反射膜。
【請求項８】
比抵抗が１０μΩ・ｃｍ以下であることを特徴とする請求項５記載のＡｇ合金導電膜。
【請求項９】
膜厚１５ｎｍ以下でかつ波長３５０〜８５０ｎｍにおける平均透過率が３５％以上であることを特徴とする請求項６記載のＡｇ合金半透過膜。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスプレイや照明に使用される発光素子及び光記録用ディスク等の光反射層、タッチパネル等の配線、赤外線カットフィルムや透明導電膜等に使用されるＡｇ合金膜（Ａｇ合金反射膜、Ａｇ合金導電膜、Ａｇ合金半透過膜）を形成するためのＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットおよびＡｇ合金膜、Ａｇ合金反射膜、Ａｇ合金導電膜、Ａｇ合金半透過膜に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、有機ＥＬや反射型液晶等のディスプレイや、ＬＥＤ等の発光素子、あるいは光記録用ディスク等には、光取り出し効率を向上させる目的で光反射層が形成されている。ここで、Ａｇ及びＡｇ合金からなるＡｇ膜及びＡｇ合金膜は、反射率が高いことから、上述の光反射層として広く使用されている。
例えば、特許文献１には、有機ＥＬ素子の反射電極の構成材料としてＡｇ合金を用いることが開示されている。
特許文献２には、半導体発光素子の電極の構成材料として、高効率で光を反射するＡｇまたはＡｇ合金を用いることが開示されている。
特許文献３には、光記録媒体の反射層の構成材料として、ＡｇまたはＡｇ合金を用いることが開示されている。
また、Ａｇ膜及びＡｇ合金膜は、上述の用途のみでなく、光学機器用反射ミラー、太陽電池用反射膜、照明装置のリフレクタ等にも利用されている。
【０００３】
一方、上述のＡｇ膜及びＡｇ合金膜は、導電性にも優れていることから、例えば特許文献４に開示されているように、タッチパネルの引き出し配線としても使用されている。さらに、特許文献５に記載されているように、膜厚の薄いＡｇ膜は半透過膜としても用いられている。Ａｇからなる半透過膜は、ディスプレイ用の透明導電膜やボトムエミッション方式の有機ＥＬのアノードとしても使用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−０５９５７６号公報
【特許文献２】特開２００６−２４５２３０号公報
【特許文献３】特開２００４−３２２５５６号公報
【特許文献４】特開２００９−０３１７０５号公報
【特許文献５】特許第４３９５８４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、純ＡｇからなるＡｇ膜は、反射率や透過率等の光学特性に優れているものの、耐環境性（耐湿環境への耐性）が不十分であることから、使用環境下において反射率や透過率等の光学特性が低下するため、長時間使用時の信頼性に問題を有していた。
また、上述の発光素子やディスプレイにおいては、その製造過程で高温の熱処理が行われることがあるため、熱処理後にＡｇ膜またはＡｇ合金膜の反射率が低下し、十分な特性を発揮できなくなるおそれがあった。このため、できるだけ純Ａｇ膜に近い高反射率を維持しつつ、熱処理後においても、反射率が低下しないＡｇ合金膜が求められている。
さらに、純ＡｇからなるＡｇ膜を配線として使用した場合には、熱湿環境下において粒成長が生じ、比抵抗値が変動してしまうといった問題があった。また、純Ａｇは、耐塩水性、耐熱性、耐湿性等の各種耐性が不十分なため、使用環境下や製造プロセスにおいて、Ａｇ膜が変質してしまうおそれがあった。
【０００６】
この発明は、前述した事情に鑑みてなされたものであって、反射率や透過率等の光学特性に優れるとともに低い比抵抗値を有し、かつ、耐熱性、耐環境性等の各種耐性に優れ、熱処理後においても反射率が大きく変化せず、使用環境下においても反射率や透過率等の光学特性及び比抵抗値が大きく変化しないＡｇ合金膜を形成可能なＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲット、Ａｇ合金膜、このＡｇ合金膜からなるＡｇ合金導電膜、Ａｇ合金反射膜、Ａｇ合金半透過膜を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明のＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットは、Ｓｂを０．２原子％以上２．０原子％以下、Ｍｇを０．０５原子％以上１．００原子％以下、残部がＡｇと不可避不純物とからなる組成を有することを特徴としている。
【０００８】
このような構成とされた本発明のＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットにおいては、Ｓｂの含有量が０．２原子％以上とされているので、耐熱性、耐環境性を向上させることができ、成膜後の製造過程で熱処理などが行われても反射率が大きく変化することを抑制できるとともに、長時間使用時においても反射率や透過率等の光学特性及び比抵抗値が大きく変化することがない。また、Ｓｂの含有量が２．０原子％以下とされているので、成膜直後においても優れた光学特性と低い比抵抗値を確保することができる。
また、Ｍｇの含有量が０．０５原子％以上とされているので、Ａｇの粒成長を抑制でき、Ｓｂとの相乗効果によって、耐熱性を大幅に向上させることができるとともに、耐塩水性も向上させることができる。また、Ｍｇの含有量が１．００原子％以下とされているので優れた光学特性と低い比抵抗値を確保できるとともに、熱湿環境下で反射率や透過率等の光学特性及び比抵抗値が大きく変化することを抑制できる。
以上のことから、成膜直後の光学特性に優れるとともに低い比抵抗値を有し、かつ、成膜後の製造過程での熱処理などによっても反射率が大きく変化せず、使用環境下においても反射率や透過率等の光学特性及び比抵抗値が大きく変化しないＡｇ合金膜を形成することが可能となる。
【０００９】
ここで、本発明のＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットにおいては、含有されるＳｂとＭｇの原子比が１．０≦Ｓｂ／Ｍｇ≦４０．０であることが好ましい。
この場合、熱湿環境下における反射率及び抵抗値の変化がより少ないＡｇ合金膜を成膜することができる。
【００１０】
本発明のＡｇ合金膜は、上述のＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットを用いて成膜されたことを特徴としている。
このような構成とされた本発明のＡｇ合金反射膜においては、耐熱性、耐環境性等の各種耐性に優れ、成膜後の製造過程での熱処理などによっても反射率が大きく変化せず、使用環境下においても反射率や透過率等の光学特性及び比抵抗値が大きく変化しない。
【００１１】
本発明のＡｇ合金反射膜は、上述のＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットを用いて成膜されたことを特徴としている。
このような構成とされた本発明のＡｇ合金反射膜においては、耐熱性、耐環境性等の各種耐性に優れ、成膜後の製造過程での熱処理などによっても反射率が低下せず、使用環境下においても反射率が大きく変化しないため、ＬＥＤ等の発光素子や、有機ＥＬや反射型液晶等のディスプレイ、あるいは光記録用ディスク等の光反射膜として、特に適している。
【００１２】
本発明のＡｇ合金導電膜は、上述のＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットを用いて成膜されたことを特徴としている。
このような構成とされたＡｇ合金導電膜は、耐環境性、耐塩水性等の各種耐性に優れ、使用環境下においても腐食による外観変化が発生しないため、導電膜として特に優れている。
【００１３】
本発明のＡｇ合金半透過膜は、上述のＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットを用いて成膜されたことを特徴としている。
このような構成とされたＡｇ合金半透過膜は、耐環境性に優れ、使用環境下においても透過率が大きく変化しないため、半透過膜として特に優れている。
【００１４】
ここで、本発明のＡｇ合金反射膜においては、波長４０５〜５５０ｎｍの反射率が８５％以上であることが好ましい。
また、本発明のＡｇ合金導電膜においては、比抵抗が１０μΩ・ｃｍ以下であることが好ましい。
さらに、本発明のＡｇ合金半透過膜においては、膜厚１５ｎｍ以下でかつ波長３５０〜８５０ｎｍにおける平均透過率が３５％以上であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明によれば、反射率や透過率等の光学特性に優れるとともに低い比抵抗値を有し、かつ、耐熱性、耐環境性等の各種耐性に優れ、熱処理後においても反射率が大きく変化せず、使用環境下においても反射率や透過率等の光学特性及び比抵抗値が大きく変化しないＡｇ合金膜を形成可能なＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲット、Ａｇ合金膜、このＡｇ合金膜からなるＡｇ合金導電膜、Ａｇ合金反射膜、Ａｇ合金半透過膜を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施例２において恒温恒湿試験後の外観観察結果が「○」と評価される例を示す写真である。
【図２】実施例２において恒温恒湿試験後の外観観察結果が「×」と評価される例を示す写真である。
【図３】実施例２において塩水試験後の外観観察結果および光学顕微鏡観察結果が「◎」と評価される例を示す写真である。
【図４】実施例２において塩水試験後の外観観察結果および光学顕微鏡観察結果が「○」と評価される例を示す写真である。
【図５】実施例２において塩水試験後の外観観察結果および光学顕微鏡観察結果が「×」と評価される例を示す写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に、本発明の一実施形態であるＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲット、および、Ａｇ合金膜について説明する。
本実施形態であるＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットは、Ａｇ合金膜を形成する際に用いられるものである。ここで、本実施形態であるＡｇ合金膜は、例えばディスプレイ、発光素子等の光反射層として使用されるＡｇ合金反射膜、タッチパネルのパネル面周縁部に形成される配線を構成するＡｇ合金導電膜、透明導電膜や赤外線カットフィルムに用いられるＡｇ半透過膜として使用される。
【００１８】
＜Ａｇ合金膜形成用スパッタリングターゲット＞
本実施形態であるＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットは、Ｓｂを０．２原子％以上２．０原子％以下、Ｍｇを０．０５原子％以上１．００原子％以下、残部がＡｇと不可避不純物とからなる組成を有するＡｇ合金からなる。
以下に、本実施形態であるＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットの組成を上述のように規定した理由について説明する。
【００１９】
Ｓｂ：０．２原子％以上２．０原子％以下
Ｓｂは、耐熱性、耐環境性（熱湿環境への耐性）を向上させる作用効果を有する元素である。
ここで、Ｓｂの含有量が０．２原子％未満の場合には、耐熱性、耐環境性が十分に向上しない。一方、Ｓｂの含有量が２．０原子％を超えた場合には、成膜直後においても反射率が低くなり、反射膜としての特性を確保できなくなるおそれがある。また、比抵抗値が高くなるとともに透過率が低くなり、導電膜又は半透過膜としての特性を確保できなくなるおそれがある。
このような理由から、本実施形態では、Ｓｂの含有量を、０．２原子％以上２．０原子％以下の範囲内に設定している。なお、上述の作用効果を確実に奏功せしめるためには、Ｓｂの含有量を、０．３原子％以上１．５原子％以下の範囲内とすることが好ましい。
【００２０】
Ｍｇ：０．０５原子％以上１．００原子％以下
Ｍｇは、熱湿環境下においてＡｇの粒成長を抑制する作用効果を有する元素である。また、Ｓｂを上述のように含有することとの相乗効果によって、高温における耐熱性を向上させる作用効果も有する。また、耐塩水性も向上させる作用効果も有する。
ここで、Ｍｇの含有量が０．０５原子％未満の場合には、粒成長を十分に抑制できず、耐熱性・耐環境性を向上させることができなくなるおそれがある。また、耐塩水性も向上させることができなくなるおそれがある。一方、Ｍｇの含有量が１．００原子％を超えた場合には、熱湿環境下で反射率が大きく低下し、反射膜としての特性を確保できなくなるおそれがある。また、比抵抗値が高くなるとともに透過率が低くなり、導電膜又は半透過膜としての特性を確保できなくなるおそれがある。
このような理由から、本実施形態では、Ｍｇの含有量を、０．０５原子％以上１．００原子％以下の範囲内に設定している。なお、上述の作用効果を確実に奏功せしめるためには、Ｍｇの含有量を、０．１０原子％以上０．５０原子％以下の範囲内とすることが好ましい。
【００２１】
また、Ｍｇの含有量は、Ｓｂに対して原子比で１．０≦Ｓｂ／Ｍｇ≦４０．０とすることで、熱湿環境下においての反射率や抵抗値の変化をより少なくすることができる。
【００２２】
＜Ａｇ合金膜＞
本実施形態であるＡｇ合金膜は、上述のように、ディスプレイ、発光素子等の光反射層として使用される。これらの用途においては、特定の波長の光に対する反射率が高いこと、あるいは、広い波長域の光に対する反射率が高いことが要求される。また、ディスプレイや発光素子の製造過程においては、光反射層を形成した後に、例えば２５０℃以上の熱処理が施されることがあるため、熱処理後においても高い反射率を確保する必要がある。さらに、信頼性を向上させるために、長時間の使用によっても反射率が大きく変化せずに安定していることが好ましい。
さらに、本実施形態であるＡｇ合金膜は、上述のように、タッチパネルのパネル面周縁部に形成される配線を構成するＡｇ合金導電膜、透明導電膜や赤外線カットフィルムに用いられるＡｇ半透過膜として使用される。これらの用途においては、比抵抗値が低いこと、あるいは、透過率が高いことが求められており、さらに使用環境においても、比抵抗値や透過率が大きく変化せずに安定していることが求められている。
【００２３】
以上のような構成とされた本実施形態であるＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットおよびＡｇ合金膜（Ａｇ合金反射膜、Ａｇ合金導電膜、Ａｇ合金半透過膜）によれば、Ｓｂの含有量が０．２原子％以上２．０原子％以下とされているので、成膜直後において反射率や透過率等の光学特性に優れ、かつ、低い比抵抗値を有するとともに、耐熱性に優れているので、熱処理後であっても反射率が大きく変化することを抑制できる。さらに、耐環境性に優れているので、長時間使用時においても反射率や透過率等の光学特性及び比抵抗値が大きく変化しない。
また、Ｍｇの含有量が０．０５原子％以上１．００原子％以下とされているので、成膜直後において反射率や透過率等の光学特性に優れ、かつ、低い比抵抗値を有するとともに、Ａｇの粒成長を抑制でき、耐熱性、耐環境性を向上させることができる。
以上のことから、成膜後の製造過程での熱処理などによっても反射率に優れ、かつ、低い比抵抗値を有するとともに、使用環境下においても反射率や透過率等の光学特性及び比抵抗値が大きく変化しないＡｇ合金膜（Ａｇ合金反射膜、Ａｇ合金導電膜、Ａｇ合金半透過膜）を形成することが可能となる。
【００２４】
また、本実施形態であるＡｇ合金膜（Ａｇ合金反射膜、Ａｇ合金導電膜、Ａｇ合金半透過膜）は、上述のＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットによって成膜されており、耐熱性に優れているので、ディスプレイや発光素子の製造過程において２５０℃以上といった比較的高温で熱処理された場合であっても反射率が大きく変化しない。また、耐環境性にも優れているので、使用環境下においても反射率や透過率等の光学特性及び比抵抗値が大きく変化せずに安定することになる。
【００２５】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されることはなく、その発明の技術的思想を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、本実施形態では、ディスプレイ、発光素子等の光反射層、タッチパネルのパネル面周縁部に形成される配線を構成するＡｇ合金導電膜、透明導電膜や赤外線カットフィルムに用いられるＡｇ半透過膜として使用されるものとして説明したが、これに限定されることはなく、その他の用途に適用してもよい。
【実施例】
【００２６】
（実施例１）
以下に、本発明に係るＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲット及びＡｇ合金膜（Ａｇ合金反射膜）の作用効果について評価した評価試験の結果について説明する。
【００２７】
＜Ａｇ合金膜形成用スパッタリングターゲット＞
溶解原料として、純度９９．９質量％以上のＡｇと、純度９９．９質量％以上のＳｂ，Ｍｇと、を準備し、表１に示す所定の組成となるように秤量した。
次に、溶解炉を用いて、Ａｇを不活性ガス雰囲気中で溶解し、得られたＡｇ溶湯に、Ｓｂ，Ｍｇを添加し、不活性ガス雰囲気中で溶解した。その後、鋳型へと注湯して、表１に示す組成の鋳塊を製造した。より具体的には、Ａｇの溶解時には、雰囲気を一度真空（５×１０−２Ｐａ以下）にしたあとＡｒガスで置換した雰囲気で行った。また、Ｓｂ，Ｍｇの添加は、Ａｒガス雰囲気中で実施した。
【００２８】
次いで、得られた鋳塊に対して、圧下率７０％で冷間圧延を行って板材を得た後、大気中で６００℃、２時間保持の熱処理を実施した。そして、機械加工を実施することにより、直径１５２．４ｍｍ、厚さ６ｍｍ寸法を有する本発明例１〜９の組成のスパッタリングターゲット、及び、比較例１〜４の組成のスパッタリングターゲットを作製した。
また、従来例として、純Ａｇ（純度９９．９質量％以上）からなる上記と同一寸法のスパッタリングターゲットを準備した。
【００２９】
＜Ａｇ合金反射膜＞
上述した本発明例１〜９、比較例１〜４のスパッタリングターゲットを用いて、以下の条件でＡｇ合金膜（Ａｇ合金反射膜）を成膜した。
上述した本発明例１〜９、比較例１〜４のスパッタリングターゲットを無酸素銅製のバッキングプレートにインジウム半田を用いて半田付けしてターゲット複合体を構成し、これをスパッタ装置に装着し、ガラス基板（コーニング社製イーグルＸＧ）との距離：７０mm、電力：直流２５０Ｗ、到達真空度：５×１０−５Ｐａ、Ａｒガス圧：０．６Ｐａの条件でスパッタリングを実施し、ガラス基板の表面に、厚さ：１００ｎｍを有するＡｇ合金膜（Ａｇ合金反射膜）を形成した試料を作製した。
なお、上述した従来例のスパッタリングターゲットを無酸素銅製のバッキングプレートにインジウム半田を用いて半田付けしてターゲット複合体を構成し、これをスパッタ装置に装着し、上記と同様の条件でガラス基板上に厚さ：１００ｎｍのＡｇ膜（Ａｇ反射膜）を形成した試料を作製した。
【００３０】
＜反射率の測定＞
上述のようにして得られた成膜直後のＡｇ合金膜（Ａｇ合金反射膜）およびＡｇ膜（Ａｇ反射膜）の反射率Ｒ０を、分光光度計を用いて、波長８００ｎｍから４００ｎｍの範囲の光を用いて測定した。波長４０５ｎｍの光の反射率を表１に、波長４５０ｎｍの光の反射率を表２に、波長５５０ｎｍの光の反射率を表３に示す。
【００３１】
＜耐熱試験＞
上述の試料を、窒素雰囲気中で温度５００℃、保持時間１時間の熱処理を行った。
この耐熱試験後のＡｇ合金膜（Ａｇ合金反射膜）およびＡｇ膜（Ａｇ反射膜）の反射率Ｒ１を上述と同様の方法で測定した。そして、耐熱試験前後の反射率の変化量（Ｒ１−Ｒ０）を求めた。耐熱試験後の波長４０５ｎｍの光の反射率及び反射率の変化量を表１に、耐熱試験後の波長４５０ｎｍの光の反射率及び反射率の変化量を表２に、耐熱試験後の波長５５０ｎｍの光の反射率及び反射率の変化量を表３に示す。
【００３２】
＜恒温恒湿試験＞
上述の試料を、温度８５℃、湿度８５％の恒温恒湿槽中に２５０時間放置した。
この恒温恒湿試験後のＡｇ合金膜（Ａｇ合金反射膜）およびＡｇ膜（Ａｇ反射膜）の反射率Ｒ２を上述と同様の方法で測定した。そして、恒温恒湿試験前後の反射率の変化量（Ｒ２−Ｒ０）を求めた。恒温恒湿試験後の波長４０５ｎｍの光の反射率及び反射率の変化量を表１に、恒温恒湿試験後の波長４５０ｎｍの光の反射率及び反射率の変化量を表２に、恒温恒湿試験後の波長５５０ｎｍの光の反射率及び反射率の変化量を表３に示す。
【００３３】
【表１】
0005590258.tif 000002
【００３４】
【表２】
0005590258.tif 000003
【００３５】
【表３】
0005590258.tif 000004
【００３６】
Ｓｂの含有量が本発明の範囲よりも少ない比較例１は、波長４０５ｎｍ，４５０ｎｍ，５５０ｎｍのいずれにおいても、耐熱試験後の反射率が低く、恒温恒湿試験前後における反射率の変化量が大きかった。
Ｓｂの含有量が本発明の範囲よりも多い比較例２は、波長４０５ｎｍ，４５０ｎｍ，５５０ｎｍのいずれにおいても、成膜直後の反射率が低かった。
Ｍｇの含有量が本発明の範囲よりも少ない比較例３は、波長４０５ｎｍ，４５０ｎｍ，５５０ｎｍのいずれにおいても、耐熱試験後の反射率が低かった。
Ｍｇの含有量が本発明の範囲よりも多い比較例４は、波長４０５ｎｍ，４５０ｎｍ，５５０ｎｍのいずれにおいても、恒温恒湿試験前後で反射率が大きく変化した。
純Ａｇからなる従来例は、波長４０５ｎｍ，４５０ｎｍ，５５０ｎｍのいずれにおいても、耐熱試験後の反射率が低く、恒温恒湿試験前後における反射率の変化量も大きかった。
【００３７】
これに対して、Ｓｂ，Ｍｇの含有量が本発明の範囲内とされた本発明例１〜９においては、成膜直後の反射率が、波長４０５ｎｍ，４５０ｎｍ，５５０ｎｍのいずれでも高く、耐熱試験後の反射率も高いままであった。また、恒温恒湿試験前後における反射率の変化量も小さく、反射率が安定していることが確認された。
【００３８】
以上のことから、本発明例によれば、反射率が高く、かつ、耐熱性、耐環境性に優れたＡｇ合金膜（Ａｇ合金反射膜）及びこのＡｇ合金膜（Ａｇ合金反射膜）を形成可能なＡｇ合金膜形成用ターゲットを提供可能であることが確認された。
【００３９】
（実施例２）
次に、本発明に係るＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲット及びＡｇ合金膜（Ａｇ合金導電膜）の作用効果について評価した評価試験の結果について説明する。
【００４０】
＜Ａｇ合金膜形成用スパッタリングターゲット＞
溶解原料として、純度９９．９質量％以上のＡｇと、純度９９．９質量％以上のＳｂ，Ｍｇと、を準備し、表４に示す所定の組成となるように秤量した。
次に、溶解炉を用いて、Ａｇを不活性ガス雰囲気中で溶解し、得られたＡｇ溶湯に、Ｓｂ，Ｍｇを添加し、不活性ガス雰囲気中で溶解した。その後、鋳型へと注湯して、表４に示す組成の鋳塊を製造した。より具体的には、Ａｇの溶解時には、雰囲気を一度真空（５×１０−２Ｐａ以下）にしたあとＡｒガスで置換した雰囲気で行った。また、Ｓｂ，Ｍｇの添加は、Ａｒガス雰囲気中で実施した。
【００４１】
次いで、得られた鋳塊に対して、圧下率７０％で冷間圧延を行って板材を得た後、大気中で６００℃、２時間保持の熱処理を実施した。そして、機械加工を実施することにより、直径１５２．４ｍｍ、厚さ６ｍｍ寸法を有する本発明例１１〜１７の組成のスパッタリングターゲット、及び、比較例１１〜１４の組成のスパッタリングターゲットを作製した。また、従来例として、純Ａｇ（純度９９．９質量％以上）からなる上記と同一寸法のスパッタリングターゲットを準備した。
【００４２】
＜Ａｇ合金導電膜＞
上述した本発明例１１〜１７、比較例１１〜１４のスパッタリングターゲットを用いて、以下の条件でＡｇ合金膜（Ａｇ合金導電膜）を成膜した。
上述した本発明例１１〜１７、比較例１１〜１４のスパッタリングターゲットを無酸素銅製のバッキングプレートにインジウム半田を用いて半田付けしてターゲット複合体を構成し、これをスパッタ装置に装着し、ガラス基板（コーニング社製イーグルＸＧ）との距離：７０mm、電力：直流２５０Ｗ、到達真空度：５×１０−５Ｐａ、Ａｒガス圧：０．６Ｐａの条件でスパッタリングを実施し、ガラス基板の表面に、厚さ：１００ｎｍを有するＡｇ合金膜（Ａｇ合金導電膜）を形成した試料を作製した。
なお、上述した従来例のスパッタリングターゲットを無酸素銅製のバッキングプレートにインジウム半田を用いて半田付けしてターゲット複合体を構成し、これをスパッタ装置に装着し、上記と同様の条件でガラス基板上に厚さ：１００ｎｍのＡｇ膜（Ａｇ反射膜）を形成した試料を作製した。
【００４３】
＜成膜後の比抵抗値＞
上述のようにして得られたＡｇ合金膜（Ａｇ合金導電膜）およびＡｇ膜（Ａｇ反射膜）のシート抵抗値を四探針法によって測定し、比抵抗値を算出した。得られた成膜後の比抵抗値を表４に示す。
【００４４】
＜恒温恒湿試験＞
上述の試料を、温度８５℃、湿度８５％の恒温恒湿槽中に２５０時間放置した。
この恒温恒湿試験後の試料外観を目視し、恒温恒湿試験前後で外観に変化がないものを「○」、腐食による斑点や白濁が認められたものを「×」と評価した。評価結果を表４に示す。なお、「○」と評価される外観観察結果の一例を図１に、「×」と評価される外観観察結果の一例を図２に示す。ここで、図１，２の黒い影は、カメラのレンズの影であり、図２の大小の白い丸が白濁点を示している。
【００４５】
＜塩水試験＞
基板をＩＴＯ膜（厚さ１０ｎｍ）付のガラス基板として、上述した条件でＡｇ合金膜（Ａｇ合金導電膜）およびＡｇ膜（Ａｇ導電膜）を成膜して、試料を作製した。
この試料を、５％ＮａＣｌ水溶液に１２時間浸漬し、取り出した後の外観を目視および光学顕微鏡にて観察した。光学顕微鏡観察でも外観変化が認められないものを「◎」、目視では光沢が失われていないが光学顕微鏡観察により黒い斑点が確認されたものを「○」、目視で腐食による白濁が確認されたものを「×」と評価した。評価結果を表４に示す。なお、「◎」と評価される外観観察結果及び光学顕微鏡観察結果の一例を図３に、「○」と評価される外観観察結果及び光学顕微鏡観察結果の一例を図４に、「×」と評価される外観観察結果及び光学顕微鏡観察結果の一例を図５に示す。
【００４６】
【表４】
0005590258.tif 000005
【００４７】
Ｓｂの含有量が本発明の範囲よりも少ない比較例１１においては、恒温恒湿試験後の外観観察で腐食が認められており、耐湿性が不十分であることが確認された。
Ｓｂの含有量が本発明の範囲よりも多い比較例１２においては、成膜後の比抵抗値が高くなっていた。
【００４８】
Ｍｇの含有量が本発明の範囲よりも少ない比較例１３においては、塩水試験後の外観観察で腐食が認められており、耐塩水性が不十分であることが確認された。
Ｍｇの含有量が本発明の範囲よりも多い比較例１４においては、成膜後の比抵抗値が高くなっていた。
【００４９】
純Ａｇからなる従来例においては、恒温恒湿試験後、塩水試験後の外観観察で腐食が認められており、耐湿性、耐塩水性が不十分であった。
【００５０】
これに対して、Ｓｂ，Ｍｇの含有量が本発明の範囲内とされた本発明例１１〜１７においては、成膜後の比抵抗値が低く、また、恒温恒湿試験後、塩水試験後の外観観察で腐食は認められなかった。
【００５１】
以上のことから、本発明例によれば、比抵抗値が低く、かつ、耐湿性、耐塩水性に優れたＡｇ合金膜（Ａｇ合金導電膜）及びＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットを提供可能であることが確認された。
【００５２】
（実施例３）
次に、実施例２のスパッタリングターゲットを用いて形成したＡｇ合金膜（Ａｇ合金半透過膜）の作用効果について評価した評価試験の結果について説明する。
【００５３】
＜Ａｇ合金膜（Ａｇ合金半透過膜）＞
上述のスパッタリングターゲットをスパッタ装置に装着し、ガラス基板（コーニング社製イーグルＸＧ）との距離：７０ｍｍ、電力：直流２５０Ｗ、到達真空度：５×１０−５Ｐａ以下、Ａｒガス圧：０．６Ｐａの条件でスパッタリングを実施し、ガラス基板の表面に、表５に示す膜厚を有するＡｇ合金膜（Ａｇ合金半透過膜）を形成した試料を作製した。
また、上述した従来例のスパッタリングターゲットを用いて、同様の条件でガラス基板上に表５に示す膜厚を有するＡｇ膜（Ａｇ半透過膜）を形成した試料を作製した。
なお、Ａｇ合金半透過膜の膜厚の測定は、分光エリプソメーター（例えばＨＯＲＩＢＡ  Ｊｏｂｉｎ  Ｙｖｏｎ社製  ＵＮＩＳＥＬ  ＮＩＲ  ＡＧＭ）により、ガラス基板上に成膜した半透明Ａｇ合金膜の光学パラメーターδ，ψを波長２６０〜２１００ｎｍの範囲で測定し、それらの解析により膜厚を算出した。さらに、Ａｇ合金半透過膜の膜厚は、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）により膜の断面を観察することによっても確認された。ＴＥＭによる断面を観察するための試料作製は、例えばクロスセクションポリッシャー（ＣＰ）や集積イオンビーム法（ＦＩＢ）などを用いることができる。
【００５４】
＜成膜後の比抵抗値＞
上述のようにして得られたＡｇ合金膜（Ａｇ合金半透過膜）およびＡｇ膜（Ａｇ半透過膜）のシート抵抗値を四探針法によって測定し、比抵抗値を算出した。得られた成膜後の比抵抗値を表６に示す。
【００５５】
＜透過率測定＞
分光光度計（日本分光株式社製Ｕｂｅｓｔシリーズ）により波長８５０ｎｍ〜３５０ｎｍの範囲でＡｇ合金膜（Ａｇ合金半透過膜）およびＡｇ膜（Ａｇ半透過膜）の透過率を測定した。透過率測定の際には、最初に基板をセットしない中空の状態で測定を行って、分光光度計のキャリブレーションを行った。続いてＡｇ合金膜（Ａｇ合金半透過膜）およびＡｇ膜（Ａｇ半透過膜）が成膜されていないガラス基板の透過率Ｔｓを測定し、その後、Ａｇ合金膜（Ａｇ合金半透過膜）およびＡｇ膜（Ａｇ半透過膜）が成膜されたガラス基板の透過率Ｔｔを測定し、Ａｇ合金膜（Ａｇ合金半透過膜）およびＡｇ膜（Ａｇ半透過膜）の透過率Ｔｆを  Ｔｆ=Ｔｔ／Ｔｓ  として計算した。表６に測定結果を示す。なお、表５に示す透過率は、波長８５０ｎｍ〜３５０ｎｍの範囲の平均値である。
【００５６】
＜恒温恒湿試験＞
上述の試料を、温度８５℃、湿度８５％の恒温恒湿槽中に２５０時間放置した。
この恒温恒湿試験後のＡｇ合金膜（Ａｇ合金半透過膜）およびＡｇ膜（Ａｇ半透過膜）の比抵抗値と透過率Ｔｆ１を、上述と同様の方法で測定した。測定結果を表６に示す。
そして、恒温恒湿試験前後の比抵抗値の変化率を求めた。また、恒温恒湿試験前後の透過率の変化量（Ｔｆ１−Ｔｆ０）を求めた。恒温恒湿試験前後の比抵抗値の変化率および透過率の変化量を表６に示す。
【００５７】
【表５】
0005590258.tif 000006
【００５８】
【表６】
0005590258.tif 000007
【００５９】
Ｓｂの含有量が本発明の範囲よりも少ない比較例２１においては、恒温恒湿試験前後で比抵抗値が大きく変化した。
Ｓｂの含有量が本発明の範囲よりも多い比較例２２においては、成膜後の比抵抗値が高く、かつ、透過率が低かった。さらに、恒温恒湿試験前後で比抵抗値が大きく変化した。
【００６０】
Ｍｇの含有量が本発明の範囲よりも少ない比較例２３においては、恒温恒湿試験前後で透過率が大きく変化した。
Ｍｇの含有量が本発明の範囲よりも多い比較例２４においては、成膜後の比抵抗値が高く、かつ、透過率が低かった。さらに、恒温恒湿試験前後で比抵抗値が大きく変化した。
【００６１】
純Ａｇからなる従来例においては、熱処理前後で比抵抗値、透過率が大きく変化した。
【００６２】
これに対して、Ｓｂ，Ｍｇの含有量が本発明の範囲内とされた本発明例２１〜２９においては、成膜後の比抵抗値が低く、かつ、透過率が高く、恒温恒湿試験前後で比抵抗値および透過率が大きく変化せずに安定していた。
【００６３】
以上のことから、本発明例によれば、比抵抗値が低いとともに透過率が高く、かつ、耐熱性、耐湿性、耐塩水性に優れたＡｇ合金膜（Ａｇ合金半透過膜）及びＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットを提供可能であることが確認された。
【図１】
0005590258.tif 000008
【図２】
0005590258.tif 000009
【図３】
0005590258.tif 000010
【図４】
0005590258.tif 000011
【図５】
0005590258.tif 000012