(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
暗視装置であって、
長波長反応カットオフを１．２５μｍ〜１．４μｍの波長範囲に制限する組成を有する半導体吸収層を含むセンサーと、
前記センサーの裏側に配置されて且つ前記センサーに接続されるイメージングチップと、
前記イメージングチップから信号を収集する電子機器とを備えており、
当該暗視装置は、大気動作温度で低暗電流を有する１．４μｍよりも小さい波長にて、微弱光条件下で、光を検知する、暗視装置。
【請求項２】
請求項１に記載の暗視装置において、
前記半導体吸収層は、長波長反応カットオフを１．２５μｍ〜１．４μｍの波長に制限する組成を有する、ＩｎＧａＡｓＰを含む、暗視装置。
【請求項３】
請求項２に記載の暗視装置において、
前記半導体吸収層は、Ｉｎ０．６８Ｇａ０．３２Ａｓ０．６９Ｐ０．３１からＩｎ０．７６Ｇａ０．２４Ａｓ０．５１Ｐ０．４９の範囲で、Ｉｎ１−ｘＧａｘＡｓｙＰ１−ｙの組成を含む、暗視装置。
【請求項４】
請求項２に記載の暗視装置において、
前記半導体吸収層は、Ｉｎ０．７１Ｇａ０．２９Ａｓ０．６３Ｐ０．３７を含む、暗視装置。
【請求項５】
請求項２に記載の暗視装置において、
前記半導体吸収層は、１．３５ミクロン〜１．４０ミクロンの波長内でバンドギャップを有する半導体を含む、暗視装置。
【請求項６】
請求項１に記載の暗視装置において、
前記イメージングチップは、１６００ピクセル×１２００ピクセルを有するＣＭＯＳアノードアレイを含む、暗視装置。
【請求項７】
請求項６に記載の暗視装置において、
前記イメージングチップは、１０．８ミクロンの画素ピッチを含む、暗視装置。
【請求項８】
請求項７に記載の暗視装置において、
前記イメージングチップは、６０Ｈｚで動作する、暗視装置。
【請求項９】
暗視アプリケーション用のセンサーであって、
ＩｎＰ基板と、
前記ＩｎＰ基板の一表面上に形成されたＩｎＰバッファ層と、
前記ＩｎＰバッファ層上に形成されたＩｎＧａＡｓＰ吸収層と、
前記ＩｎＧａＡｓＰ吸収層の上方に形成されたＩｎＰキャップ層とを備えており、
前記ＩｎＧａＡｓＰ吸収層は、長波長反応カットオフを１．２５μｍ〜１．４μｍの範囲の波長に制限する、暗視アプリケーション用のセンサー。
【請求項１０】
請求項９に記載の暗視アプリケーション用のセンサーにおいて、
前記ＩｎＧａＡｓＰ吸収層と前記ＩｎＰキャップ層との間に形成されたグレーディング層（grading layer）をさらに備えており、
前記ＩｎＰキャップ層は、エミッタ層を形成している、暗視アプリケーション用のセンサー。
【請求項１１】
請求項１０に記載の暗視アプリケーション用のセンサーにおいて、
前記ＩｎＰキャップ層の上方に形成されたショットキーバリア層と、
前記ＩＮＰキャップ層の上方に形成された接触格子とを含む、暗視アプリケーション用のセンサー。
【請求項１２】
請求項９に記載の暗視アプリケーション用のセンサーにおいて、
前記ＩｎＰキャップ層を介して形成されて且つ部分的に前記ＩｎＧａＡｓＰ吸収層へ延伸している、Ｐ型拡散層を含む、暗視アプリケーション用のセンサー。
【請求項１３】
請求項９に記載の暗視アプリケーション用のセンサーにおいて、
前記ＩｎＧａＡｓＰ吸収層は、Ｉｎ０．６８Ｇａ０．３２Ａｓ０．６９Ｐ０．３１からＩｎ０．７６Ｇａ０．２４Ａｓ０．５１Ｐ０．４９の範囲で、Ｉｎ１−ｘＧａｘＡｓｙＰ１−ｙ組成を含む、暗視アプリケーション用のセンサー。
【請求項１４】
請求項１１に記載の暗視アプリケーション用のセンサーにおいて、
前記ＩｎＧａＡｓＰ吸収層は、Ｉｎ０．６８Ｇａ０．３２Ａｓ０．６９Ｐ０．３１からＩｎ０．７６Ｇａ０．２４Ａｓ０．５１Ｐ０．４９の範囲で、Ｉｎ１−ｘＧａｘＡｓｙＰ１−ｙ組成を含む、暗視アプリケーション用のセンサー。
【請求項１５】
請求項１２に記載の暗視アプリケーション用のセンサーにおいて、
前記ＩｎＧａＡｓＰ吸収層は、Ｉｎ０．６８Ｇａ０．３２Ａｓ０．６９Ｐ０．３１からＩｎ０．７６Ｇａ０．２４Ａｓ０．５１Ｐ０．４９の範囲で、Ｉｎ１−ｘＧａｘＡｓｙＰ１−ｙ組成を含む、暗視アプリケーション用のセンサー。
【請求項１６】
暗視装置であって、
長波長反応カットオフを１．２５μｍ〜１．４μｍの範囲の波長に制限するセンサーと、
前記センサーの裏側に位置して且つ前記センサーに接続されており、１０．８ミクロンの画素ピッチで１６００ピクセル×１２００ピクセルを有すると共に６０Ｈｚで動作するアレイを含む、イメージングチップとを備える、暗視装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載の暗視装置において、
前記センサーは、
ＩｎＰ基板と、
前記ＩｎＰ基板の上方に形成されたＩｎＧａＡｓＰ吸収層とを備えている、暗視装置。
【請求項１８】
請求項１７に記載の暗視装置において、
前記ＩｎＧａＡｓＰ吸収層は、Ｉｎ０．６８Ｇａ０．３２Ａｓ０．６９Ｐ０．３１からＩｎ０．７６Ｇａ０．２４Ａｓ０．５１Ｐ０．４９の範囲で、Ｉｎ１−ｘＧａｘＡｓｙＰ１−ｙ組成を含む、センサー。
【請求項１９】
請求項１に記載の暗視装置において、
前記半導体吸収層は、ｓ及びｔが０と１との間で変化する（ＡｌｓＧａ１−ｓ）１−ｔＩｎｔＡｓ半導体アロイシステムを含む、暗視装置。
【請求項２０】
請求項１６に記載の暗視装置において、
前記センサーは、ｓ及びｔが０と１との間で変化する（ＡｌｓＧａ１−ｓ）１−ｔＩｎｔＡｓ半導体アロイシステムからなる吸収層を含む、暗視装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（関連出願）
本願は、２００９年８月３１日に提出され、シリアル番号６１／２３８，６４１の米国仮出願からの優先的利益を主張し、その全体的な開示は参照によりここに組み込まれるものである。
【０００２】
（発明の分野）
本発明は、暗視アプリケーション用の微弱光イメージングの分野に関する。
【背景技術】
【０００３】
（関連技術）
光電陰極に基づくイメージ増強チューブ、電子打ち込み式ＣＣＤ（ＥＢＣＣＤ）及び電子衝突型アクティブピクセルセンサー（ＥＢＡＰＳ）は、弱光照明条件下でイメージを取得する目的で、広く知られている。ＥＢＡＰＳは、米国特許第６，２８５，０１８Ｂ１号（特許文献１）に記述されている。ＥＢＣＣＤは、米国特許第４，６８７，９２２号（特許文献２）に記述されている。これらの光陰電極ベースのデバイスは、幅広いアレイを有する光陰電極材料、いわゆる第２世代のイメージインテンシファイア中に用いられた伝統的なマルチアルカリ又はバイアルカリの光陰電極から、ＧａＡｓを用いた近代の負電子親和力（ＮＥＡ）を有するＩＩＩ−Ｖ族半導体光陰電極、ＧａＡｓ１−ｘＰｘ（格子定数及びバンドギャップはｘの値によって決定され、０≦ｘ≧１である）、及び関連するＩＩＩ−Ｖ族半導体材料までを利用する。ＧａＡｓ光電陰極を用いるイメージ増強装置は、米国特許第６，５９７，１１２号で記述されるように、暗視ゴーグルにおいて広く利用されている第３世代のイメージ増強装置中で利用されている。イメージ増強装置内で利用されるＩｎＧａＡｓのＮＥＡ光電陰極は、米国特許第６，１２１，６１２号に記述されている。ＧａＡｓ光電陰極を用いたＥＢＡＰＳカメラは、弱光イメージングカメラ及びデジタル暗視システム用に広く利用されている。
【０００４】
より近年では、ＩｎＧａＡｓ光吸収層格子整合ＩｎＰ（ＩｎＧａＡｓ組成がＩｎＰ構成整合ＩｎＧａＡｓに対してＩｎ０．５３Ｇａ０．４７Ａｓである）とＩｎＰ放出層とを用いた遷移電子（ＴＥ）光陰電極は、１．０６ミクロンの波長で、又は１．５ミクロン〜１．６ミクロンの波長範囲で、レーザ照射を利用する活性システム用にＥＢＡＰＳ内で用いられてきた。ＴＥ光陰電極は、米国特許第７，０４７，８２１号（特許文献３）及び第５，５７６，５５９号（特許文献４）に記述されている。これらのシステムにおいて、レーザはパルス化され、光陰電極−陽極高電圧は、レーザとのタイミング関係でパルス化されて、これにより、レーザ及びＥＢＡＰＳカメラを用いたシステムから所定の範囲で光が当てられた物体のイメージングを可能にする。
【０００５】
固体撮像焦点面アレイはまた、暗視アプリケーション用に標的とされる微弱光イメージングシステム中で用いられる。例示的な固体撮像（半導体）イメージングセンサーは、シリコンＣＭＯＳイメージングアレイ、シリコン電荷結合デバイス（ＣＣＤ）、光検知フォトダイオードが読み出し回路（ＲＯＩＣ）に接続されたハブリッド化されたフォトダイオード又はアバランシェフォトダイオードアレイ、及び、半導体読み出し回路に集積されたゲルマニウムフォトダイオードを含んでいる。本開示では、フォトダイオードという用語は、フォトダイオード、アバランシェフォトダイオード、及びＲＯＩＣに直接的に統合されたフォトディテクターを含むように定義されるであろう。
【０００６】
ハイブリッド化されたフォトダイオードアレイは、光検知素子のために、シリコン以外の半導体の利用を可能にする。ハイブリッド化されたフォトダイオードアレイ用に用いられる半導体は、当該技術分野において知られた他の物質の中で、１と０との間のｘの値によって決定される可変の組成を有するＨｇ１−ｘＣｄｘＴｅ、ＩｎＳｂ及びＩｎＧａＡｓを含む。これらの半導体物質は、他のスペクトル領域においてシリコンよりも感度を有する。典型的には、これらの物質は、ＳＷＩＲ（短波長赤外線）中、又は１．７μｍから１２μｍまでの範囲の長波長カットオフを有する電磁スペクトルの赤外線部分中に、長波長カットオフを有する。長波長カットオフは、物質のエネルギーバンドギャップによって決定される。エネルギーバンドギャップは、３元及び４元半導体合金用の物質組成の機能である。これらの半導体物質は、スペクトルの可視（０．４−０．７ミクロン波長）部分又は近赤外線（０．７−１ミクロン波長）部分内に延伸する短波長カットオフを有するかもしれない。ＩｎＧａＡｓフォトダイオードアレイイメージセンサーは、米国特許第６，８５２，９７６Ｂ２号（特許文献５）及び米国特許第６，５７３，５８１Ｂ１号（特許文献６）に開示されている。
【０００７】
シリコン読み出し回路に直接的に統合されるゲルマニウムからなる感光性素子を用いるモノリシックイメージセンサーは、米国特許第７，４５３，１２９号（特許文献７）及び米国特許第７，６５１，８８０Ｂ２号（特許文献８）に開示されている。これらのイメージセンサーは、光吸収物質としてゲルマニウムを用いると共に１．６μｍの長波長カットオフを有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】米国特許第６，２８５，０１８号
【特許文献２】米国特許第４，６８７，９２２号
【特許文献３】米国特許第７，０４７，８２１号
【特許文献４】米国特許第５，５７６，５５９号
【特許文献５】米国特許第６，８５２，９７６号
【特許文献６】米国特許第６，５７３，５８１号
【特許文献７】米国特許第７，４５３，１２９号
【特許文献８】米国特許第７，６５１，８８０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
暗視センサーは、夜間に利用できる光の使用が制限される。図１は、０．４７ミクロン〜１．９３ミクロンのスペクトル範囲に亘ってＶａｔｓｉａによって測定され、月が照らされている夜と月がない夜において、波長に対する相対的な夜間光束を示している。特定の波長バンドでの利用できる光における変化は、水や他の大気ガスによる特定領域に渡る大気吸収が原因であると共に、月光、星光、及び上層大気からの放出を含む夜における光源の放出スペクトルが原因である。２ミクロンよりも大きい波長で、室温での物体の黒体放射による熱放射が、夜に利用できるその他の光源と比べて重要になり、該熱放射は熱的イメージングの領域中に移動する。本発明の目的は、黒体放射を用いた熱的イメージングではなく、反射された環境光を用いて改善された夜間イメージング性能を提供することである。
【００１０】
図１の実施例は、長波長において、実質的により多くの光が月のない夜に利用可能であることを示している。月のない夜に利用できる光の低い量は、暗視イメージセンサーに対する最大の挑戦を提供する。暗視装置性能は、月のない夜に利用できる光の量によって制限される。１．５μｍ以上の波長での増加した光束が原因で、暗視イメージセンサーの設計者は、感度をこれらの高い波長にまで拡張する、言い換えると、１．４μｍ−１．９μｍの範囲で光子の検知を含むためのセンサーを開発することに専念してきた。この例は米国特許第７，６０８，８２５号に開示されており、そこでは、半導体光学吸収層の長波長カットオフは、Ｉｎ０．５３Ｇａ０．４７Ａｓに対する１．７μｍから、３元又は４元半導体格子整合ＩｎＰ基板に関する３族及び４族の構成元素の組成を変化させるＧａＩｎＮＡｓＰ、ＧａＩｎＮＡｓＳｂ又はＧａＩｎＮＡｓ半導体層のエピタキシャル成長による３．０μｍの波長へと延伸されている。
【００１１】
高性能センサーは、スペクトル反応範囲に加えて、良好な暗視性能のためのその他の要件を有している。二つの基本的な要件は、対応する低ダークノイズを備えた高感度波長を越える高量子効率（光子検知効率）である。ダークノイズは、高性能センサーにおいて熱的に生成された暗電流によって支配されている。基本的には暗電流に関連するダークノイズは、所定の光レベルでイメージング性能を得るために、光生成電流よりも小さいことが要求されるので、暗電流の大きさは重要な性能パラメータである。光検知素子に対するこれらの要件の組み合わせは、光陰電極又はフォトダイオードのための半導体物質の選択を制限し、且つ、イメージセンサーの動作温度を特定する。
【００１２】
ＩｎＧａＡｓ格子整合ＩｎＰ基板は、光検知物質のためのこれらの要件を満たすために、昔から用いられてきた。ＩｎＰと同じ格子定数をもたらすＩｎＧａＡｓ組成は、Ｉｎ０．５３Ｇａ０．４７Ａｓである。ＩｎＧａＡｓのこうした組成はまた、本開示における「格子整合ＩｎＧａＡｓ、又はＩｎＰに格子整合したＩｎＧａＡｓ」という用語によって表示されている。ＩｎＰに対して格子整合したＩｎＧａＡｓは、１．７ミクロン及びより短い波長に対して感受性がある。短波長カットオフは、光陰電極又はフォトダイオードの特定の構造に依存する０．４ミクロン〜０．９５ミクロンの範囲である。この波長範囲は、０．４ミクロン〜０．９ミクロンの可視近赤外線（ＶＮＩＲ）波長バンドを超える感度をもつ共通して用いられるＧａＡｓ、第３世代、光陰電極よりも実質的に多くの光を捕獲する。ＩｎＰに対するＩｎＧａＡｓ格子整合の使用は、エピタキシャル成長ＩｎＧａＡｓ層中の物質欠陥を最小限する。これにより、エピタキシャル層中の欠陥によって典型的に生成される暗電流を最小限にする。
【００１３】
人間が携帯できる暗視システムのスペクトル反応を短波長赤外線（ＳＷＩＲ）スペクトルバンド（不可欠のＩｎＰ基板を備えたＩｎ０．５３Ｇａ０．４７Ａｓフォトダイオード焦点面アレイ又は光陰電極に対して０．９５μｍ〜１．７μｍ）にまで拡張する際に、かなりの利益がある。これらのアプリケーションにとって、性能、サイズ、重さ、及び電力は全て重要な要件である。今日、ＲＯＩＣに結合されるＩｎ０．５３Ｇａ０．４７Ａｓフォトダイオードバンプのアレイを構成するハイブリッド化された光陰電極／ＲＯＩＣ焦点面アレイ（ＦＰＡ）は、最先端技術である。しかしながら、これらのＦＰＡは、人間が携帯できる暗視システムに対する適応性を制限する性能、サイズ、及び電力制限を有している。
【００１４】
システムサイズ、重さ、ユニットコスト、及び電力消費は、重要な暗視システムの基準である。サイズ及び性能は、利用可能なＳＷＩＲ  ＦＰＡの相対的に大きな画素サイズ（最先端の発展的なＦＰＡに対して１５μｍであり、商業的に利用可能な製品に対して２５μｍである）によって影響が与えられる。最小限の画素サイズは、ＲＯＩＣにフォトダイオードを取り付けるために用いられるバンプのボンディング技術によって制限されている。このことは、全体的なセンサーのフォーマットをＳＸＧＡ（１２８０×１０２４）及び低アレイサイズに制限して許容できる全体的なＦＰＡサイズを維持する。より大きなＦＰＡは、人間が携帯できるアプリケーション用の許容できないレベルに、システムサイズ及びコストを増加させるであろう。
【００１５】
より小さいアレイサイズは、人間が携帯できる暗視用の所望の大きな領域の視野システムに対して、システム解像度及び物体検知範囲を制限する。典型的なイメージ増強チューブに基づく暗視ゴーグルは、４０°領域の視野を有ると共に、近代のイメージ増強装置の当解像度は約６メガピクセル〜９メガピクセルである。本発明のひとつの目的は、暗視イメージセンサーとしての利用のための従来技術と比較して、ＳＷＩＲイメージセンサーのアレイサイズを増加させることである。
【００１６】
電力は、レーザースポット検知器以外の夜間ＳＷＩＲイメージングアプリケーションのためのある程度の冷却要件から影響が与えられる。ＳＷＩＲバンド中又はより長い波長でイメージングするために用いられるＩｎ１−ｘＧａｘＡｓ又は他の半導体によって放出される暗電流のレベルが室温（２０℃〜２５℃）において高過ぎることで月のない夜での弱光レベルのイメージングを実現することができないので、冷却が要求される。携帯できるアプリケーションのための冷却条件は、バッテリーに対する高い要求を課しており、それゆえ、バッテリーがなくなる前に装置の有用な動作時間を低減する。
【００１７】
ＳＷＩＲ  ＥＢＣＣＤは、ＧａＡｓ光電陰極をＩｎ０．５３Ｇａ０．４７Ａｓをベースとする光電陰極に取り換えることによって実現され得る。このことは、パルスレーザ照射観察測距（ＬＩＶＡＲ（登録商標））装置に対して、Ｉｎｔｅｖａｃ社によって実証されている（Ｖ．Ａｅｂｉ及びＰ．Ｖａｌｌｉａｎｏｓ、“Ｌａｓｅｒ−ｉｌｌｕｍｉｎａｔｅｄ  ｖｉｅｗｉｎｇ  ｐｒｏｖｉｄｅｓ  Ｌｏｎｇ−ｒａｎｇｅ  ｄｅｔａｉｌ，”  ＬＡＳＥＲ  ＦＯＣＵＳ  ＷＯＲＬＤ，  ９月、２０００）。これらのアプリケーションは、１．５７μｍで一般的に動作する目に安全なパルスレーザ照明器を利用している。現在のＬＩＶＡＲカメラは、ＣＭＯＳアノードアレイを有するＥＢＡＰＳ中に用いられているＩｎＧａＡｓ光陰電極を利用している。
【００１８】
ＬＩＶＡＲアプリケーションにおいて、光陰電極は、非常に短い間隔の間（典型的には、２μｓ時間範囲）、ゲートでコントロールされている。こうした低いデューティーサイクルにより、光陰電極の暗電流が制限される性能を備えることなく、大気温度（＜４０℃）での動作を可能にしている。ＩｎＰに対して格子整合すると共にＴＥ光陰電極構成において用いられるＩｎＧａＡｓは、１０ｎＡ／ｃｍ２〜４０ｎＡ／ｃｍ２の範囲内における２０℃で放出された暗電流を有すると共に目に安全なレーザ照明器への適合可能性のために１．５ミクロン〜１．６ミクロンのスペクトル範囲内における高感度を有する、本アプリケーションにとって、良い選択である。
【００１９】
パッシブ夜間イメージングは、光収集を最大化するために、イメージセンサーによる光の連続的なインテグレーションを要求する。これらの条件の下で、夜間のシグナル制限性能を実現するために暗電流を許容できるレベルにまで低減する目的で、実質的な冷却がＩｎ０．５３Ｇａ０．４７Ａｓ  ＴＥ光陰電極に要求される（典型的には、−４０℃にまで冷却することが要求される）。こうしたレベルの冷却は、バッテリー駆動暗視アプリケーションに対してアプローチを不適切にするシステムサイズ及び電力要件を実質的に増加させる。
【００２０】
暗視アプリケーション用に用いられるその他の焦点面アレイはまた、焦点面暗電流を月のない夜での性能に制限しないレベルに低減するために、冷却を必要とする。これは、暗電流が約１０℃を超える動作温度での性能に制限するＩｎＧａＡｓ  ＦＰＡを含むと共に、−７０℃範囲にまでの冷却を要求するＲＯＩＣに直接的に統合されるモノリシックＧｅフォトディテクターを含んでいる。ＩｎＳｂ又はＨｇ１−ｘＣｄｘＴｅの種々の合金などのより小さいバンドギャップの半導体はまた、暗電流を低減するために、実質的に２０℃以下の気温に冷却することを要求する。これらの冷却要件は、焦点面冷却のための高電力要件が原因で、これらのＳＷＩＲイメージセンサーのアプリケーションをバッテリー駆動アプリケーションに制限する。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明の後述する要旨は、本発明のある側面及び特徴について基礎的な理解を提供するために含まれているものである。本要旨は、本発明の広範囲の概観ではなく、そうであるとして、本発明の鍵や重要な要素を特別に特定したりする意図でも、本発明の範囲を描写する意図でもない。その唯一の目的は、後述で提示されるより詳細な説明に対する前置として、単純化された形態における本発明のある概念を提示することである。
【００２２】
本発明の側面によると、暗視カメラ用のセンサーが提供され、該センサーは、長波長反応カットオフを１．２５μｍ〜１．４μｍの波長範囲に制限する組成を有する半導体吸収層を含んでいる。理解され得るように、当業者は従来から、できるだけ多くの光を吸収するために最も可能性の高い長波長反応カットオフをセンサーが有することを求めるのと同様に、こうした選択は反直感的に見える。それゆえ、当業者は、図１に示すように、１．４μｍ〜１．５μｍの波長範囲の中に利用可能な光における大幅な低減を超えて利用可能な光を吸収できるように、１．７μｍを超える光を吸収する吸収層を有するセンサーを求めている。しかしながら、本発明者らは、携帯性アプリケーションにとって、１．２５μｍ〜１．４μｍの範囲に対して長波長反応カットオフを有するセンサーの低減された暗電流が、１．４μｍを超える波長での光検出ロスに対する補償よりも大きい利点を提供するということを、見出した。これらの利点は後述で議論されるであろう。
【００２３】
本発明の側面によると、暗視カメラは、独創的なセンサーと、該センサーの裏側に位置すると共に該センサーに接続されるイメージングチップと、該イメージングチップからの信号を収集する電子回路とを含み、該カメラは、大気動作温度にて低暗電流を有する１．４μｍよりも小さい波長で且つ微弱光条件下で、光を感知する。その結果、センサーは能動冷却を必要としないので、エネルギー消費が低減される。
【００２４】
本発明の側面によると、光陰電極、フォトダイオード、又はアバランシェフォトダイオードは、短波長赤外線（ＳＷＩＲ）０．９μｍ〜２．０μｍの波長バンドにおける使用のための可動性暗視システム内で使用するために最適化されている。光電陰極又はフォトダイオードアレイ用の新規の半導体構造は、従来のＳＷＩＲイメージセンサーに比べて高い動作温度での改善された性能を実現するために最適化されている。該新規な構造は、直視型暗視システム、光陰電極に基づくカメラ用のイメージ増強装置における利用にとって適していると共に、半導体焦点面に基づくイメージセンサー、及びフォトダイオード又はアバランシェダフォトダイオードアレイに基づいたカメラにおける利用にとって適している。
【００２５】
本発明の側面によると、光陰電極又はフォトダイオードの暗電流及びカメラの全体的な電力消費は、ＳＷＩＲ光陰電極又はフォトダイオードアレイのために、ＩｎＰに対して格子整合したＩｎ１−ｘＧａｘＡｓｙＰ１−ｙの利用を通じて行われる。Ｉｎ１−ｘＧａｘＡｓｙＰ１−ｙの組成は、ＩｎＰ格子定数に整合する格子定数を得るために最適化されている。ｘ及びｙの関数としてＩｎ１−ｘＧａｘＡｓｙＰ１−ｙのためのＩｎＰ格子整合条件は、下記の公式によって与えられる。
【００２６】
（０≦ｙ≦１）であって且つｘ＝０．１８９４ｙ／（０．４１８４−０．０１３ｙ）を満たす値
直接的なエネルギーバンドギャップ、つまり、上記公式によって特定されるＩｎＰ格子整合Ｉｎ１−ｘＧａｘＡｓｙＰ１−ｙのＥｇ，ｄｉｒは、Ｅｇ，ｄｉｒ＝１．３５−０．０７５ｙ＋０．１４９ｙ２によって与えられる。ここで、エネルギーバンドギャップＥｇ，ｄｉｒはｅＶ内にあり、ｙはＩｎＰに対して格子整合するための先行式中で定義されたＡｓの組成値である。エネルギーバンドギャップＥｇ，ｄｉｒは、温度２９８°Ｋにおける上記公式によって定義される。
【００２７】
Ｉｎ１−ｘＧａｘＡｓｙＰ１−ｙの組成は、月のない夜空の明かりの検知を最大化する一方でＩｎ１−ｘＧａｘＡｓｙＰ１−ｙ吸収層中で生成される暗電流を最小限にするように、Ｉｎ１−ｘＧａｘＡｓｙＰ１−ｙのスペクトル反応を最適化するために選択される。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
本明細書に含まれて且つその一部を構成する添付の図面は、本発明の一実施例を具現化し、その詳細な説明と一緒になって、本発明の原理を説明し且つ例示する役割を果たす。その図面は、図表の態様における実施例の主要な特徴を示すことを意図したものである。その図面は、実際の実施形態の全ての特徴を記述することが意図されたものでもなければ、その記述された要素の相対的な大きさを記述することを意図したものでもなく、さらに、一定の縮尺で描かれたものでもない。
【図１】図１は、満月光から月がない状態に対して、波長に対する夜間照明データで示したグラフである。
【図２】図２は、ＥＢＡＰＳイメージセンサーの概略図である。
【図３】図３は、代表的なIII-V族半導体光電陰極に対するスペクトル反応曲線を用いたグラフである。
【図４】図４は、３０Ｈｚフレームレートで動作されるＩｎＧａＡｓＰ光電陰極ＥＢＡＰＳカメラからの日中のＮＳＷＩＲイメージである。高電圧デューティサイクルは１μｓであった。
【図５】図５は、Ｉｎ０．７１Ｇａ０．２９Ａｓ０．６３Ｐ０．３７遷移電子光電陰極構造の概略図である。
【図６】図６は、Ｉｎ０．７１Ｇａ０．２９Ａｓ０．６３Ｐ０．３７ＰＩＮフォトダイオード構造の概略図である。
【図７】図７は、本発明の実施形態にかかるイメージセンサーを示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
図１は、波長関数として夜間照明のスペクトル強度を示している。本データは、Ｖａｔｓｉａ，Ｍｉｒｓｈｒｉ，Ｌによる「Ａｔｍｏｓｐｈｅｒｉｃ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔ」，Ｒｅｓｅａｒｃｈ  ａｎｄ  Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ  Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ  Ｒｅｐｏｒｔ  ＥＣＯＭ−７０２３，Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ（１９７２）に開示されている。本グラフの曲線１は、月が出ていない夜における波長に対する照明レベルをプロットしている。１．４μｍ〜１．５μｍの波長の範囲にて、夜に利用可能な光に大きな減少があることが観察され得る。こうした減少は、大気中の水によるこうしたバンド中における光学的照射の吸収によって引き起こされる。他方で、約１．６３μｍを中心とする、１．４μｍを超えて第２の「最大値」が存在している。それゆえ、当業者は、この第２の最大値を捕獲するために、１．７μｍを超える長波長カットオフを有するセンサーの開発を求めてきた。反対に、本発明の実施形態は、イメージセンサーにおける半導体吸収層の長波長カットオフを１．４μｍ又はそれよりも小さい値に制限する。例えば、一実施形態によると、Ｉｎ１−ｘＧａｘＡＳｙＰ１−ｙ吸収層は、１．４μｍのカットオフ波長を有するように設計されている。一実施形態によると、格子整合物質に対して、１．４μｍのカットオフ波長を生じる特定組成は、Ｉｎ０．６８Ｇａ０．３２Ａｓ０．６９Ｐ０．３１である。当業者はまた、その他の半導体システムは、同じ効果を実現するために、Ｉｎ１−ｘＧａｘＡｓｙＰ１−ｙに取って代えられ得ることを理解するであろう。一つの例は、ｓ及びｔが０と１との間で可変する（ＡｌｓＧａ１−ｓ）１−ｔＩｎｔＡｓ半導体アロイシステムである。本システムはまた、ＩｎＰ基板に格子整合する組成の範囲を有すると共に、ここで記述され且つＩｎ１−ｘＧａｘＡｓｙＰ１−ｙ格子整合システムと同じような暗電流生成の低減という効果を持つ、半導体層の長波長を１．２５μｍ〜１．４μｍの範囲に制限するように用いられ得る。
【００３０】
本物質のスペクトル範囲は９５０ｎｍ〜１４００ｎｍである（Ｎｅａｒ  ＳＷＩＲ、つまりＮＳＷＩＲ）が、本範囲は、同じ気温で動作させた従来のＩｎＧａＡｓ光電陰極又はフォトダイオードアレイと比べて、１００倍又はそれよりも大きく低減された暗電流の効果を持ち、それゆえ、センサーの冷却要件を大いに低減することができる。このスペクトル範囲は、ＧａＡｓＶＮＩＲバンドと比べて５倍又はそれよりも大きい光束を持ち、バンドレーザポインター、照明器、およびマーカーのいずれにも共通に利用可能な１．３μｍレーザ又はＬＥＤ源に適合され得る。ＩｎＧａＡｓＰ光電陰極の長波長カットオフは、約１２８０ｎｍを中心とする月のない夜の照明強度におけるピークを良好に検出することができるようにするために、１２５０ｎｍ−１４００ｎｍの範囲の中で選択された（図１）。
【００３１】
一実施形態によると、本カメラは、１０．８μｍの画素を持つ１６００×１２００フォーマットを有し、６０Ｈｚのフレームレートで動作する。
【００３２】
本発明のある側面は、ＳＷＩＲスペクトルバンド中で動作する最先端のＦＰＡを大きく超えることである。本発明の一実施形態によると、センサーは、感度を単一光子に近いレベルにまで伸ばし、ＵＸＧＡアレイ（１６００×１２００フォーマット、２メガピクセルアレイ）に対する画素サイズを１０．８μｍにまで低減させる。ＦＰＡのこうした性能は、電子衝突（ＥＢ）モードにおける背面照明２メガピクセルＡｃｔｉｖｅ  Ｐｉｘｅｌ  Ｓｅｎｓｏｒ（ＡＰＳ）ＣＭＯＳイメージチップと、ＮＳＷＩＲスペクトルバンド中で３０％よりも大きいＱＥを持つ、ＩｎＧａＡｓＰに基づく遷移電子（ＴＥ）光電陰極とを組み合わせることによって、実現されている。このＴＥ光電陰極に基づくＥｌｅｃｔｒｏｎ  Ｂｏｍｂａｒｄｅｄ  Ａｃｔｉｖｅ  Ｐｉｘｅｌ  Ｓｅｎｓｏｒ（ＥＢＡＰＳ（登録商標））は、高解像度と組み合わせた現在のＳＷＩＲカメラ（ＩｎＧａＡｓ焦点面アレイ）を超えて上昇する感度に対して微弱光感度（単一光子感度）を実現している。ＮＳＷＩＲ  ＥＢＡＰＳは、低減された冷却条件による低電力で、充電動作のカメラに対して適合され得ると共に、低電力ＡＰＳ  ＣＭＯＳイメージチップに対して適合され得る。
【００３３】
ＥＢＡＰＳ技術において、高量子効率光電陰極からの光電子は、印加電圧（典型的には現在の近接焦点装置において１ｋＶ〜３ｋＶ）によって加速されて、センサーのアノードを形成する背面照明（１００％曲線因子）シリコンＣＭＯＳイメージチップ中で直接に撮像される（図２）。低ノイズゲインは、電子衝突半導体ゲインプロセスによって電子−ホール対を生成するために高速電子ビームがそのエネルギーをイメージチップのシリコン中に消散するときに生じる電子倍増によって実現される。高電子衝突ゲインと組み合わされたときのＣＭＯＳチップの低読み出しノイズは、単一の光子感度に近い１光電子の下で、光電陰極ウェルと称される効率的なノイズフロアをもたらす。
【００３４】
ＥＢＡＰＳ技術により、イメージセンサーのスペクトル範囲は光電陰極を変化させることにより変更され得る。これにより、ＣＭＯＳ読み出しアレイとカメラ電子機器の再利用が実現される。図３は、Ｉｎｔｅｖａｃ社によって形成されたIII-V族半導体光電陰極に対する量子効率曲線を示している。
【００３５】
大気温で動作させたステアリング（パッシブ）ＳＷＩＲセンサーの性能は、典型的には、微弱光レベルに制限された暗電流である。一般的に、センサーは、光束の流入によって生成されるインテグレーション時間ごとの画素によって収集された光電子の数が、同じインテグレーション時間の間に画素中に生成された暗電流電子の数の平方根よりも小さくなるときに、制限された暗電流になる。実際には、イメージセンサーは、該イメージセンサー中の暗電流生成の不均一さが原因で高入力信号レベルに制限された暗電流になり、該暗電流は、画素の信号対ノイズにおけるノイズ項の一部として信号ショットノイズを含んでいる。
【００３６】
特に、月のない夜の照明条件に対して規定された動作温度での最大の信号対ノイズ比（ＳＮＲ）を実現するための所定の物質システムには、最適な半導体バンドギャップが存在する。この結果は、一般的に夜空に誘発された光電流がバンドギャップ（より広いイメージセンサースペクトルバンド幅）に伴って増加するときに生じるが、光電流は、イメージセンサーの長波長カットオフにおける増加に伴って指数関数的には増加しない一方で、暗電流は、カットオフ波長に伴って指数関数的に増加する。このことは、気温に対する半導体中の暗電流生成の指数関数的依存性の結果である。拡散制限暗電流性能のために、暗電流気温依存性は、e-Eg/kTに比例するであろう。再結合制限暗電流性能のために、暗電流気温依存性はe-Eg/2kTに比例するであろう。両式におけるＥｇは、半導体バンドギャップであり、ｋはボルツマン定数、ＴはＫ温度である。実際には、センサーを検知する最大の電流光子は、二つのバンド間に存在する気温につれて、暗電流中に指数関数的上昇を示す。
【００３７】
Ｉｎ０．５３Ｇａ０．４７ＡｓからなるＴＥ光電陰極ＥＢＡＰＳは、ＬＩＶＡＲに対して大気温（＞２０℃）で動作されると共に、夜間の照明条件下でパッシブイメージセンサーとして動作するときに制限された暗電流になる。このことは、現在の光電陰極アレイＦＰＡの場合も同じである。
【００３８】
加えて、現在のＩｎ０．５３Ｇａ０．４７ＡｓからなるＴＥ光電陰極ＥＢＡＰＳカメラは、ＳＷＩＲバンドにおけるパッシブナイトビジョンイメージング用のＥＢＡＰＳに基づくカメラに関するアプリケーションを可能にするために、複数のその他の改良が求められている。本発明の実施形態によって提供される改良は、以下のものを含む。
【００３９】
１．光学フォーマットは、幅広い視界（４０°又はそれよりも大きい）を持つナイトビジョンアプリケーション用の改善された弱光レベル性能のためのサイズにおいて、増加することが要求される（２／３”  から４／３”光学フォーマット）。
【００４０】
２．アレイサイズは、改善された解像度のためにＶＧＡからＵＸＧＡへの増加が要求される。
【００４１】
３．フレームレートは、ヘッド搭載可動式アプリケーションのために３０Ｈｚ〜６０Ｈｚへの増加が要求される。
【００４２】
４．２０℃のＴＥ光電陰極暗電流は、最小限の冷却条件を持つパッシブ夜間イメージングアプリケーション用に、二桁の大きさで、低減される必要がある。
【００４３】
最初の三つの改良は、より大きなフォーマットを持つＣＭＯＳアノードアレイを用いるＥＢＡＰＳアノードＥＢＡＰＳを作製することにより、得られ得る。本発明の一つの実施形態において、本アレイは、イメージセンサーに対して４／３”光学フォーマットとなる１０．８ミクロン画素を持つＵＸＧＡ（１６００ピクセル×１２００ピクセル）である。ＳＷＩＲ波長バンドにおける反応は、ＩｎＧａＡｓからなるＴＥ光電陰極を用いることによって得られ得る。
【００４４】
第４番目の改良は、ＴＥ光電陰極の長波長カットオフを約１．３５μｍに制限することによって得られ得る（図３：Ｉｎ０．７１Ｇａ０．２９Ａｓ０．６３Ｐ０．３７組成を有するＩｎＧａＡｓＰに対するＩｎＧａＡｓＰ光電陰極スペクトル反応）。このアプローチの不具合は、図３に示したＩｎＧａＡｓ光電陰極のスペクトル反応に対応する月のない夜における利用可能な光の減少である。表１は、Ｖａｔｓｉａ（図１）によって測定された月のない夜での波長バンドに対する相対的な夜間の光束を示している。ＮＳＷＩＲ及びＳＷＩＲ検知器のための短波長カットオフは、９５０ｎｍであるようにしばしば選択される。この値は、標準的なＩｎＰ基板が９５０ｎｍよりも長い波長で透過可能であって、且つ、遷移電子光電陰極用の図５およびフォトダイオード用の図６に示されるように、検知器に対する透明補助材として機能する点で、都合のよい値である。しかしながら、追加の半導体処理を用いることで、この短波長カットオフは、本発明の示唆に違反することなく、低波長にシフトされ得る。
【００４５】
［表１］
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【００４６】
図１及び表１から、本実施形態にかかるＩｎ０．７１Ｇａ０．２９Ａｓ０．６３Ｐ０．３７のＮＳＷＩＲセンサーは、Ｉｎ０．５３Ｇａ０．４７ＡｓのＳＷＩＲに基づくセンサーと比べて、光束の５２％に対して感度を有することが分かる。その結果、暗視アプリケーションのためにそのようなセンサーを用いることは、反直感的であるように見える。しかしながら、本発明者によって決定されるように、この低減された信号レベルは、ＮＳＷＩＲ光電陰極用の大いに低減された冷却条件によるオフセットよりも大きいものである。このことは、人間が携帯できるアプリケーションがバッテリーを保持するために極めて重要である。ＮＳＷＩＲに基づくイメージセンサーは、それらの低暗電流が原因で、１０℃〜２０℃の動作温度において、Ｉｎ０．５３Ｇａ０．４７Ａｓに基づくＳＷＩＲよりも高いＳＮＲ性能を有すると共に、Ｉｎ０．５３Ｇａ０．４７Ａｓに基づくＳＷＩＲよりも高い温度範囲を有する。
【００４７】
ＮＳＷＩＲセンサーは、緑葉背景の状態において、約１４００ｎｍでのコントラスト反転のために、Ｉｎ０．５３Ｇａ０．４７ＡｓのＳＷＩＲ  ＦＰＡと比べて更なる利点を示すかもしれない。緑葉は、約７００ｎｍから１３７０ｎｍまでの高い反射性を持つ一方でこのバンド外では低い反射性を有する。多くの関心のある物体や標的の緑葉背景に対するコントラストは、ＮＳＷＩＲスペクトル反応によって高められるかもしれない。このＮＳＷＩＲスペクトル反応では、焦点面は、ＳＷＩＲスペクトル反応を持つセンサーと比較して、このスペクトルバンド以内でのみ高感度である。
【００４８】
０．９５ミクロン〜１．３５ミクロンのスペクトル反応を持つＩｎ０．７１Ｇａ０．２９Ａｓ０．６３Ｐ０．３７光電陰極を利用して、本発明者によって作製された最近のＩｎＧａＡｓＰ  ＮＳＷＩＲ  ＥＢＡＰＳの量子効率及び暗電流性能は、Ｉｎ０．５３Ｇａ０．４７Ａｓ  ＳＷＩＲ  ＥＢＡＰＳに対する暗電流と比較して、表２に与えられている。
【００４９】
［表２］
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【００５０】
表２から、独創性のあるＩｎ０．７１Ｇａ０．２９Ａｓ０．６３Ｐ０．３７のＮＳＷＩＲ光電陰極の暗電流は、２０℃において、ＩｎＧａＡｓのＳＷＩＲ光陰電極の暗電流よりも４００倍を超えて小さい。
【００５１】
暗視性能は、Ｉｎ０．７１Ｇａ０．２９Ａｓ０．６３Ｐ０．３７のＮＳＷＩＲ光電陰極を、ＩｎＰに格子整合するＩｎ０．５３Ｇａ０．４７Ａｓ光電陰極を利用するイメージセンサーと比較しながらモデル化されてきた。性能は、夜光のみの図１のＶａｔｓｉａによって報告された最も暗い条件下で比較された。このモデリングは、特定のスペクトルバンドを超えて３０％反射の目標物、Ｔ／１．４レンズの利用、１／３０秒のインテグレーション時間を持つ毎秒３０フレームのイメージセンサーを前提とした。ＳＮＲは０．２ｍｍのスポットサイズを超えて計算されたが、これは、暗視ゴーグルに利用されるイメージ増強装置の場合と同じである。このアプローチは、低ＳＮＲイメージを一時的及び空間的に統合するために、観察者の目／脳の能力を考慮している。このモデリングは、ＳＷＩＲバンドを超える追加的な光が、およそ二つの大きな信号要素中に生じることを示している。高い方の信号は、ＩｎＧａＡｓＰ光電陰極と比べて、ＩｎＧａＡｓ光電陰極のかなり高い暗電流による、２０℃の動作温度におけるオフセットよりも大きい。ＩｎＧａＡｓＰ光電陰極デバイスは、ＩｎＧａＡｓの光電陰極デバイスに比べて５倍優れたＳＮＲを有している。
【００５２】
［表３］
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【００５３】
ＮＳＷＩＲ  ＥＢＡＰＳを用いて撮影された未修正（不均一修正は適用されていない）の昼間のイメージが図４に示されている。このイメージは、ＳＷＩＲバンドに対して最適化されたｆ／１．４、２５ｍｍの焦点距離のレンズを用いて、日中、撮影された。このイメージに対する高電圧ゲート時間は、イメージ飽和を回避するために、１μｍであった。このことは、インテグレーション時間が映像レート夜間イメージング用に約５桁のオーダーで増加され得るように、カメラが高感度であることを示している。加えて、その画像は、ＮＳＷＩＲイメージの例を与えている。ＮＳＷＩＲバンドにおける緑葉の高反射性はまた、イメージにおいて明らかである。このことは、ＮＳＷＩＲスペクトルバンド中で得られた、群葉に対して良好な画像コントラストを実証している。
【００５４】
本発明の実施形態にかかるＥＢＡＰＳ  ＮＳＷＩＲは、現在の固体状態であって且つ光電陰極に基づくＩｎＧａＡｓイメージセンサーカメラの性能を（弱光感度及び低電力の点で）遥かに超えている。表４は、今回の新しいカメラの一つの実施形態に対する性能をまとめている。
【００５５】
［表４］
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【００５６】
本発明の利点及び改良は、ＥＢＡＰＳ中の高電子衝突によって可能となる低有効読み出しノイズが組み合わさった低電力動作に対する、室温での低減された暗電流である。他の特徴は、小画素サイズとＵＸＧＡフォーマットである。ＵＸＧＡフォーマットは、より長い認識範囲を可能にする全ての光レベルでの解像度を実質的に改善する。小画素サイズにより、所定の視野に対して小さい光学系が可能となる。小さい光学系は、人が携帯できる装置のためのサイズ目標や重さ目標を満足するために重要である。
【００５７】
ＮＳＷＩＲ  ＴＥ光電陰極の実施形態のための構造は図５に示されている。ＩｎＰ基板５００は、その表面（光受光表面）上に、反射防止膜ＡＲＣ５０５がコーティングされている。ＩｎＰバッファ層は、基板５００の裏側に形成されている。そして、吸収層５１５が、バッファ層の上に形成されている。この特定の実施形態では、Ｉｎ０．７１Ｇａ０．２９Ａｓ０．６３Ｐ０．３７層は、光子吸収層として用いられる。光電陰極のための所望の長波長カットオフを選択するために、（ＩｎＰに対して格子整合する）本半導体の組成が選択される。この場合、バンドギャップは、１．３５ミクロン〜１．４０ミクロンの波長の範囲で選択される。このことにより、暗電流の生成を最小限にし、これは、暗電流が半導体ギャップ中における減少に伴って指数関数的に増加するためであるが、一方で、夜間応答を最大限にする。グレーディング層５２０は、吸収層の上に形成され、ＩｎＰ放出層５２５はグレーディング層の上に形成されている。最後に、ショットキーバリア層５３０がセンサーの裏側を覆っており、バイアス電圧がショットキーバリア層に適用されるようにグリッド線５３５が設けられている。
【００５８】
ＩｎＧａＡｓＰバンドエッジは、Ｖａｔｓｉａによって示されるように、１．４ミクロン〜１．５ミクロンの範囲で、夜間照明における減少が存在するのと同様に、１．３５ミクロン〜１．４ミクロンの範囲内で減少するように選択される。１．４ミクロン〜１．５ミクロンの範囲での感度は、夜間照明条件下で、検知される光子の数を大いには増加させないであろう。
【００５９】
一実施形態によると、ＳＸＧＡフォーマットのＣＭＯＳに基づくＥＢＡＰＳは、９５０ｎｍから１３５０ｎｍまでの範囲のスペクトル反応を有するＮＳＷＩＲ  ＩｎＧａＡｓＰ  ＴＥ光電陰極を利用して作製されている。ＮＳＷＩＲ  ＥＢＡＰＳセンサーを利用したカメラが作製され得る。カメラには、室温よりも低い２０℃の低動作温度まで実現すると共に大気動作温度よりも低い温度での性能調査を可能にするために、サーモエレクトリッククーラー（ＴＥＣ）コントローラが設けられてもよい。カメラはカメラリンク映像インターフェイスを利用する。カメラには標準レンズが組み込まれ得る。
【００６０】
本発明の多くの利点はまた、読み出し集積回路（ＲＯＩＣ）に結合されるＰＩＮフォトダイオードアレイ中に現在用いられているＩｎＧａＡｓ半導体層を、ここで述べたＴＥ光電陰極構造中で用いられるようなＩｎＧａＡｓＰ（例えば、Ｉｎ０．７１Ｇａ０．２９Ａｓ０．６３Ｐ０．３７）に取って代えることによって得られ得る。この構造はまた、規定された動作温度に対して大いに低減された暗電流とＮＳＷＩＲ  ＴＥ光電陰極を備える場合と同じスペクトル反応という効果を有している。
【００６１】
本発明の一実施形態に係るＰＩＮ光電陰極構造は、図６に示されている。当業者にとってよく知られたこの構造又は類似の構造を備えた光電陰極アレイは、本発明に係るＮＳＷＩＲイメージセンサーを形成するために、ＲＯＩＣを用いてハイブリッド化され得る。ＩｎＰバッファ層６０５は、ｎ＋型のＩｎＰ基板６００の上方に形成されている。そして、ＩｎＧａＡｓ活性層６１０は、ＩｎＰバッファ層の上方に形成されている。ＩｎＧａＡｓＰ層は、１．４μｍのカットオフ波長を有するｎ−型の層である。例えば、３ミクロンの厚さを有するＩｎ０．７１Ｇａ０．２９Ａｓ０．６３Ｐ０．３７が用いられ得る。ＩｎＰキャップ層６１５は、活性層６１０の上方に形成されており、ｎ＋型の拡散層６２０がキャップ層を介して形成されており、その一部（この例では、０．２５ミクロン）は活性層６１０中に延伸している。
【００６２】
実施例の電子衝突活性画素センサー部品は、図７に示されている。図７において、活性画素センサー部品は、特殊化された活性画素アレイセンサーチップ１３に近接的にフォーカスされた光電陰極１２を収容する真空筐体３を含んでいる。センサーチップ１３は、光電陰極１２から近接的にフォーカスされた光電子を受け取るためのアノードを形成する。活性画素アレイセンサー１３は、裏側が光電陰極１２に対抗するように搭載されている。一実施形態では、活性画素アレイセンサー１３の基板の裏側は薄くなっている。基板の裏側を薄くすることにより、光電子励起キャリアのより優れた収集効率を提供すると共に、拡散の結果として画素間のクロストークを低減する。活性画素センサーアレイ１３はまた、不動態化された表面又は層を含んでもよい。
【００６３】
真空デバイス３の土台は、透明フェースプレート２１である。光電陰極１２は、フェースプレート２１上に位置している。真空筐体の側壁２２は、透明フェースプレート２１とヘッダーアセンブリ２３との間に伸びている。活性画素センサーチップ１３は、ヘッダーアセンブリ２３の上に位置している。ヘッダーアセンブリ２３はまた、活性画素アレイセンサーチップ１３に関連する、制御電圧１７、バイアス電圧１８、及び信号出力ライン２０を印加しリードバックするために、電気的フィードスルーを可能にする。制御電子回路（図示せず）は読み出しに用いられると共に、画素アレイを動作させる。
【００６４】
光電陰極１２は、ＩｎＰ／ＩｎＧａＡｓＰの遷移電子光電陰極である。光電陰極バイアス電圧は、グリッド線（図５）とＩｎＰ基板との間に、光電陰極をバイアスして且つ光子放出をさせるために、印加される。例えば、米国特許第５，０４７，８２１号を参照せよ。ここにその全てを参照によって組み込むものとする。電子加速電圧３７は、活性画素センサーチップ１３に対応して光電陰極１２に印加される。光電子１５は、光学画像９の形態で入射光に応答して、光電陰極１２から放出される。光学部品（図示せず）は、典型的には、光電陰極１２の上に光学画像を形成することに用いられる。投影システムが、光電陰極１２の上に画像を載せるために用いられてもよい。
【００６５】
アノード電圧１８はセンサー１３に適用される。光電子１５は、加速電圧３７とアノード電圧１８との相違のために、加速される。一実施形態では、加速電圧３７はアノード電圧１８に関して負である。このことで、センサー１３を接地電位近く（又は接地電位）にバイアスして他の部品間の相互作用を単純化することが可能になる。制御信号及びバイアス電圧１７は活性画素センサー1３に印加されて、映像出力信号２０は該センサー１３から取り出される。
【００６６】
電子衝突活性画素アレイセンサー１３は、カメラ、暗視撮像装置及びその他のような種々のシステムに役立つように用いられる。その目的で、光学レンズ又はその他は、光陰電極１２に一致して配置される焦点面上に実物の画像を形成する。まとめると、光学系、電力供給、及び制御電子部品を備える電子衝突活性画素アレイ部品は、カメラシステムとみなされてもよい。
【００６７】
ここで述べられたプロセス及び技術は本来的にいかなる特別な装置と関連するものではないし、いかなる適切な組み合わせ部品によって実行されてもよい。さらに、種々のタイプの汎用デバイスは、ここで述べられた示唆に応じて用いられてもよい。本発明は、全ての側面において制限的というよりもむしろ例示的であるように意図された特別の実施例に関連して述べられてきた。当業者は、多くの異なる組み合わせが本発明を実施するために適しているであろうことを理解する。
【００６８】
さらに、本発明のその他の実施例は、明細書の考慮及びここで開示された本発明の実施から、当業者にとって明らかになるであろう。主従の側面及び／又は部品に関して述べられた実施形態は、単一で又はいかなる組み合わせで用いられてもよい。本明細書及び実施例は、後述する特許請求の範囲によって意図されている本発明の真実の範囲及び精神をもって、例示のみとしてみなされるように意図されている。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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