(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸気を圧縮して送出するための蒸気圧縮機であって、
内部に蒸気室が設けられるとともにその蒸気室に蒸気を吸入するための吸気口とその蒸気室から蒸気を吐出するための吐出口とが設けられたハウジングと、
前記蒸気室内に配設され、回転駆動されることにより前記蒸気室内に蒸気を吸入して圧縮し、その圧縮した蒸気を前記吐出口から吐出するスクリュロータと、
前記スクリュロータを回転駆動するためのモータと、
前記吸気口を通じて前記蒸気室に吸入される蒸気の圧力を検出する吸気側圧力検出部と、
前記吐出口を通じて前記蒸気室から吐出される蒸気の圧力を検出する吐出側圧力検出部と、
前記モータの駆動による前記スクリュロータの回転数を調節する回転数調節部とを備え、
前記回転数調節部は、前記吸気側圧力検出部の検出圧力に対する前記吐出側圧力検出部の検出圧力の差圧が前記圧縮機の許容する差圧の制限値を超えないように前記スクリュロータの回転数を制限する差圧制限部と、前記吸気側圧力検出部の検出圧力と前記吐出側圧力検出部の検出圧力とに基づいて前記モータが前記スクリュロータを回転させるのに必要なトルクである必要トルクを算出するとともに、前記モータの回転数を検出してその回転数に対応する当該モータの許容トルクを算出し、算出した前記許容トルクが算出した前記必要トルク以上となるように前記モータの回転数を制限するトルク制限部とを含む、蒸気圧縮機。
【請求項２】
前記回転数調節部は、前記モータの出力がそのモータの最高出力以下となるように前記モータの回転数を制限する出力制限部をさらに含む、請求項１に記載の蒸気圧縮機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸気を圧縮して送出するための蒸気圧縮機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、スクリュロータを備えてその回転により空気を圧縮する圧縮機が知られている。例えば、下記特許文献１には、シリンダを有する圧縮機本体と、そのシリンダ内に配設されたロータとを備え、このロータがモータの駆動により回転してシリンダ内に空気を吸入するとともに圧縮し、圧縮した空気をシリンダの吐出口から送出する圧縮機が開示されている。この圧縮機では、シリンダの吐出口から吐出される圧縮後の空気の圧力が検出され、その検出圧力が目標圧力に一致するようにモータによって駆動されるロータの回転数が調節される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１５２８８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、工場等の蒸気利用施設では、使用後の蒸気をその再利用のために昇圧して当該蒸気の供給ラインに戻すことが望まれており、この使用後の蒸気の昇圧に圧縮機を用いることが検討されている。しかし、この圧縮機に特許文献１に記載されているような圧縮機をそのまま適用すると、圧縮機に吸入される蒸気の圧力（吸気圧力）に対する圧縮機から吐出される蒸気の圧力（吐出圧力）の差圧が圧縮機の許容可能な差圧を超えてしまい、圧縮機が異常停止する虞がある。
【０００５】
具体的には、空気と異なり、圧縮機に供給される蒸気の圧力は変動するため、圧縮機の吐出圧力が低くても吸気圧力と吐出圧力との差圧が大きい場合がある。このため、特許文献１の圧縮機のように吐出圧力が目標圧力に一致するようにロータの回転数を制御していても、吸気圧力と吐出圧力との差圧が圧縮機の許容可能な差圧を超える場合がある。
【０００６】
この発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、蒸気圧縮機に供給される蒸気の圧力が変動する場合でも、吸気圧力と吐出圧力との差圧が蒸気圧縮機の許容可能な差圧を超えることに起因する蒸気圧縮機の異常停止の発生を防ぐことである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明による蒸気圧縮機は、蒸気を圧縮して送出するための蒸気圧縮機であって、内部に蒸気室が設けられるとともにその蒸気室に蒸気を吸入するための吸気口とその蒸気室から蒸気を吐出するための吐出口とが設けられたハウジングと、前記蒸気室内に配設され、回転駆動されることにより前記蒸気室内に蒸気を吸入して圧縮し、その圧縮した蒸気を前記吐出口から吐出するスクリュロータと、前記スクリュロータを回転駆動するためのモータと、前記吸気口を通じて前記蒸気室に吸入される蒸気の圧力を検出する吸気側圧力検出部と、前記吐出口を通じて前記蒸気室から吐出される蒸気の圧力を検出する吐出側圧力検出部と、前記モータの駆動による前記スクリュロータの回転数を調節する回転数調節部とを備え、前記回転数調節部は、前記吸気側圧力検出部の検出圧力に対する前記吐出側圧力検出部の検出圧力の差圧が前記圧縮機の許容する差圧を超えないように前記回転数を制限する差圧制限部と、前記吸気側圧力検出部の検出圧力と前記吐出側圧力検出部の検出圧力とに基づいて前記モータが前記スクリュロータを回転させるのに必要なトルクである必要トルクを算出するとともに、前記モータの回転数を検出してその回転数に対応する当該モータの許容トルクを算出し、算出した前記許容トルクが算出した前記必要トルク以上となるように前記モータの回転数を制限するトルク制限部とを含む。
【０００８】
この蒸気圧縮機では、回転数調節部の差圧制限部が、吸気側圧力検出部の検出圧力に対する吐出側圧力検出部の検出圧力の差圧が圧縮機の許容する差圧を超えないようにスクリュロータの回転数を制限するため、蒸気圧縮機の吸気圧力が変動する場合でも、蒸気圧縮機の吸気圧力と吐出圧力との差圧が蒸気圧縮機の許容可能な差圧を超えるのを防止することができる。従って、この蒸気圧縮機では、当該蒸気圧縮機に供給される蒸気の圧力が変動する場合でも、蒸気圧縮機の吸気圧力と吐出圧力との差圧が蒸気圧縮機の許容可能な差圧を超えることに起因する蒸気圧縮機の異常停止の発生を防ぐことができる。また、この蒸気圧縮機では、蒸気圧縮機のスクリュロータを回転させるのに必要な前記必要トルクがモータの許容トルク以下に維持されるため、前記必要トルクがモータの許容トルクを超えるトルクオーバが生じてモータが異常停止するのを防ぐことができる。
【００１１】
上記蒸気圧縮機において、前記回転数調節部は、前記モータの出力がそのモータの最高出力以下となるように前記回転数を制限する出力制限部をさらに含むことが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、モータの出力がそのモータの最高出力を超える出力オーバーが生じてモータが異常停止するのを防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように、本発明によれば、蒸気圧縮機に供給される蒸気の圧力が変動する場合でも、蒸気圧縮機の吸気圧力と吐出圧力との差圧が蒸気圧縮機の許容可能な差圧を超えることに起因する蒸気圧縮機の異常停止の発生を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態による蒸気圧縮機の概略的な全体構成を示す系統図である。
【図２】図１に示した蒸気圧縮機を構成する圧縮機本体の構成を示す図である。
【図３】モータの回転数が６０００ｒｐｍのときの蒸気圧縮機の吸気圧力と吐出圧力との関係において蒸気圧縮機の運転可能な範囲を示す図である。
【図４】蒸気圧縮機の吸気圧力が−０．０５ＭＰａＧのときの吐出圧力とモータ回転数との関係における蒸気圧縮機の運転可能な範囲を示す図である。
【図５】蒸気圧縮機の吸気圧力が０ＭＰａＧのときの吐出圧力とモータ回転数との関係における蒸気圧縮機の運転可能な範囲を示す図である。
【図６】蒸気圧縮機の吸気圧力が０．２ＭＰａＧのときの吐出圧力とモータ回転数との関係における蒸気圧縮機の運転可能な範囲を示す図である。
【図７】蒸気圧縮機の吸気圧力が０．５ＭＰａＧのときの吐出圧力とモータ回転数との関係における蒸気圧縮機の運転可能な範囲を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
【００１６】
まず、図１及び図２を参照して、本発明の一実施形態による蒸気圧縮機の構成について説明する。
【００１７】
本実施形態による蒸気圧縮機は、例えば工場等の蒸気利用施設で使用された使用後の蒸気を再利用のために昇圧するものであり、圧縮機本体２に供給された蒸気を圧縮して送出する。具体的には、この蒸気圧縮機は、図１に示すように、圧縮機本体２と、モータ４と、吸気側圧力検出部６と、吸気側温度検出部８と、吐出側圧力検出部１０と、吐出側温度検出部１２と、回転数調節部１４と、圧力制御弁１３とを備えている。
【００１８】
圧縮機本体２は、供給された蒸気の圧縮を行う部位である。この圧縮機本体２は、図２に示すように、ハウジング２０とスクリュロータ２２と軸受２４とを有する。
【００１９】
ハウジング２０は、内部に蒸気室２０ａが設けられているとともに、蒸気室２０ａに蒸気を吸入するための吸気口２０ｂと蒸気室２０ａから圧縮後の蒸気を吐出するための吐出口２０ｃとが設けられている。
【００２０】
スクリュロータ２２は、蒸気室２０ａ内に配設されている。このスクリュロータ２２は、回転することによって蒸気室２０ａ内に蒸気を吸入して圧縮し、その圧縮した蒸気を吐出口２０ｃから吐出するものである。具体的には、スクリュロータ２２には、その軸方向両側に延びるように回転軸２２ａが一体的に設けられており、その両側に延びる回転軸２２ａがそれぞれハウジング２０内に設けられた軸受２４によって支持されている。これにより、スクリュロータ２２は、蒸気室２０ａ内でその軸回りに回転可能となっている。そして、図２では図示を省略しているが、スクリュロータ２２は、吸気口２０ｂを通じて蒸気室２０ａに吸入された蒸気を当該ロータ２２のスクリュが形成する空間に閉じ込み、当該ロータ２２の回転に伴ってその空間を吐出口２０ｃ側へ移動させながら縮小させることにより当該空間内に閉じ込んだ蒸気を圧縮するようになっている。これにより、圧縮された蒸気が吐出口２０ｃを通じて蒸気室２０ａから外部へ吐出されるようになっている。
【００２１】
モータ４（図１参照）は、スクリュロータ２２を回転駆動する電動モータである。具体的には、前記回転軸２２ａにモータ４の駆動軸が接続されており、モータ４が駆動されるとスクリュロータ２２が回転するようになっている。すなわち、スクリュロータ２２の回転数は、モータ４の回転数と等しくなる。そして、このモータ４の回転数のデータは、インバータ２６を介して回転数調節部１４の後述する制御部２８へ送られるようになっている。
【００２２】
吸気側圧力検出部６は、前記吸気口２０ｂに繋がる蒸気の供給路に接続されており、吸気口２０ｂを通じて蒸気室２０ａに吸入される蒸気の圧力を検出するものである。この吸気側圧力検出部６の検出圧力のデータは、回転数調節部１４の後述する制御部２８へ送られるようになっている。
【００２３】
吸気側温度検出部８は、前記吸気口２０ｂに繋がる蒸気の供給路に接続されており、吸気口２０ｂを通じて蒸気室２０ａに吸入される蒸気の温度を検出するものである。この吸気側温度検出部８の検出温度のデータは、回転数調節部１４の後述する制御部２８へ送られるようになっている。
【００２４】
吐出側圧力検出部１０は、前記吐出口２０ｃに繋がる蒸気の吐出路に接続されており、吐出口２０ｃを通じて蒸気室２０ａから吐出される蒸気の圧力を検出するものである。この吐出側圧力検出部１０の検出圧力のデータは、回転数調節部１４の後述する制御部２８へ送られるようになっている。
【００２５】
吐出側温度検出部１２は、前記吐出口２０ｃに繋がる蒸気の吐出路に接続されており、吐出口２０ｃを通じて蒸気室２０ａから吐出される蒸気の温度を検出するものである。この吐出側温度検出部１２の検出温度のデータは、回転数調節部１４の後述する制御部２８へ送られるようになっている。
【００２６】
圧力制御弁１３は、吐出口２０ｃに繋がる蒸気の吐出路に設けられており、吐出口２０ｃから蒸気の吐出路へ吐出された蒸気の圧力を所定の圧力に制御するものである。
【００２７】
回転数調節部１４は、モータ４の駆動によるスクリュロータ２２の回転数を調節するものである。具体的には、この回転数調節部１４は、モータ４の回転数を調節することによりスクリュロータ２２の回転数を調節する。そして、回転数調節部１４は、スクリュロータ２２の回転数を調節することによって圧縮機本体２の吸気圧力と吐出圧力との差圧を調節可能であり、吸気圧力が一定である場合には前記差圧の調節により吐出圧力を調節することができる一方、吐出圧力が一定である場合には前記差圧の調節により吸気圧力を調節できるようになっている。この回転数調節部１４は、インバータ２６と、制御部２８とを備えている。
【００２８】
インバータ２６は、モータ４と電気的に接続されており、このインバータ２６を介してモータ４に電力が供給されるようになっている。インバータ２６は、制御部２８から送られる制御信号に応じてモータ４の回転数を調節する。
【００２９】
制御部２８は、インバータ２６にモータ４の回転数を調節させるものである。この制御部２８は、後述する差圧制限、トルク制限及び出力制限の全ての制限を超えない範囲内でインバータ２６にモータ４の回転数を制御させる。具体的には、制御部２８は、機能ブロックとして差圧制限部２８ａとトルク制限部２８ｂと出力制限部２８ｃとを有する。
【００３０】
差圧制限部２８ａは、吸気側圧力検出部６の検出圧力（吸気圧力）に対する吐出側圧力検出部１０の検出圧力（吐出圧力）の差圧が圧縮機の許容する差圧、詳細には圧縮機本体２の許容する差圧を超えないようにモータ４の回転数を制限する。具体的には、差圧制限部２８ａは、吐出側圧力検出部１０の検出圧力から吸気側圧力検出部６の検出圧力を減じることによりそれらの差圧を算出し、算出した差圧が圧縮機本体２の許容する差圧以下となるようにインバータ２６にモータ４の回転数を制限させる。
【００３１】
モータ４の回転数と差圧との関係は次の通りである。モータ４の回転数が増加するとスクリュロータ２２の回転数も同じく増加し、その結果、蒸気室２０ａへの蒸気の吸入量が増加するとともに蒸気室２０ａ内での蒸気の圧縮が促進されるため、吸気圧力の低下及び吐出圧力の上昇が生じ、吸気圧力に対する吐出圧力の差圧が増加する。一方、モータ４の回転数が減少するとスクリュロータ２２の回転数も同じく減少し、その結果、蒸気室２０ａへの蒸気の吸入量が減少するとともに蒸気室２０ａ内での蒸気の圧縮が抑制されるため、吸気圧力の上昇及び吐出圧力の低下が生じ、吸気圧力に対する吐出圧力の差圧が減少する。
【００３２】
このような関係に基づいて、差圧制限部２８ａは、吸気圧力に対する吐出圧力の差圧が圧縮機本体２の許容する差圧以下となるようにモータ４の回転数を制限する。
【００３３】
なお、圧縮機本体２の許容する差圧、すなわち圧縮機本体２の差圧制限値は、圧縮機本体２の設計に起因して規定される一定の値であり、前記回転軸２２ａの直径や軸受２４の強度等を勘案して規定される。この差圧制限値は、図３に示すように、吸気圧力と吐出圧力との関係で表すと、吸気圧力の増加に伴って吐出圧力が正比例で増加する直線で表される。差圧制限部２８ａは、吸気側圧力検出部６の検出圧力と吐出側圧力検出部１０の検出圧力がこの直線を超えないようにモータ４の回転数の制限を行う。なお、図３では、モータ４の回転数が６０００ｒｐｍのときの各制限値の関係が示されている。
【００３４】
トルク制限部２８ｂは、モータ４の許容トルクが、モータ４がスクリュロータ２２を回転させるのに必要なトルクである必要トルク以上となるようにモータ４の回転数を制限する。具体的には、このトルク制限部２８ｂは、吸気側圧力検出部６の検出圧力と吐出側圧力検出部１０の検出圧力とに基づいて前記必要トルクを算出する。この必要トルクは、次式によって求められる。
【００３５】
必要トルク＝（ｎ−Ｖｉ（ｎ−１））／（（１−ｎ）×Ｐｓ＋Ｐｄ／Ｖｉ）×Ｖｔｈ
ここで、ｎは、ガス定数であり、蒸気の物性値である。Ｖｉは、内部容積比であり、蒸気室２０ａ内において吸気口２０ｂ側の位置でスクリュロータ２２によって蒸気が閉じ込められた空間が吐出口２０ｃへ至るまでに生じる体積変化率に相当する。Ｐｓは、吸気圧力であり、Ｐｄは、吐出圧力である。Ｖｔｈは、スクリュロータ２２が吸気口２０ｂ側で１回転当たりに蒸気を閉じ込める空間の体積である。なお、蒸気室２０ａに吸入される蒸気の密度及び蒸気室２０ａから吐出される蒸気の密度は、それらの蒸気の温度によって変動する。このため、トルク制限部２８ｂは、吸気側温度検出部８の検出温度（吸気温度）と吸気側圧力検出部６の検出圧力（吸気圧力）とに基づいて蒸気室２０ａに吸入される蒸気の密度を算出するとともに、吐出側温度検出部１２の検出温度（吐出温度）と吐出側圧力検出部１０の検出圧力（吐出圧力）とに基づいて蒸気室２０ａから吐出される蒸気の密度を算出し、それら算出した吸入蒸気の密度及び吐出蒸気の密度から補正係数を求め、その補正係数を上記式によって求めた必要トルクに掛けることにより、蒸気の温度による影響を補正した必要トルクを求める。
【００３６】
また、トルク制限部２８ｂは、モータ４の回転数を検出してその回転数に対応する当該モータ４の許容トルクを当該モータ４のトルク特性に基づいて算出する。具体的には、モータ４は、その回転数に対してトルクが変化するトルク特性を有する。モータ４の許容トルクは、モータ４がある回転数で駆動されている時のその回転数に応じた当該モータ４の実際のトルクに相当する。制御部２８には、モータ４のトルク特性が記憶されており、トルク制限部２８ｂは、この記憶されたトルク特性に基づいて、モータ４から送られる当該モータ４の回転数のデータに応じたその時点のモータ４の許容トルクを算出する。
【００３７】
前記必要トルクがこのモータ４の許容トルクを超えると、モータ４はオーバートルクとなって異常停止する。このため、トルク制限部２８ｂは、算出した前記許容トルクが算出した前記必要トルク以上となるようにインバータ２６にモータ４の回転数を制限させる。このトルク制限部２８ｂによるモータ４の回転数の制限によれば、ある回転数では図３に示すトルク制限値の直線以下の範囲で吸気圧力と吐出圧力が制限される。
【００３８】
出力制限部２８ｃは、モータ４の出力がそのモータ４の最高出力以下となるようにモータ４の回転数を制限する。具体的には、出力制限部２８ｃは、モータ４の回転数を検出してその回転数とその回転数に対応する当該モータ４のトルクとの積である当該モータ４の出力を算出する。制御部２８にはモータ４の最高出力が記憶されており、出力制限部２８ｃは、算出した出力がモータ４の最高出力以下となるようにインバータ２６にモータ４の回転数を制限させる。この出力制限部２８ｃによるモータ４の回転数の制限によれば、ある回転数では図３に示す出力制限値の直線以下の範囲で吸気圧力と吐出圧力が制限される。
【００３９】
なお、制御部２８には、モータ４の最大回転数が記憶されており、制御部２８は、以上のような各制限とは別にモータ４の回転数がその最大回転数を超えないようにインバータ２６にモータ４の回転数を制御させる。
【００４０】
そして、制御部２８は、以上のような、差圧制限部２８ａによるモータ４の回転数の制限（差圧制限）、トルク制限部２８ｂによるモータ４の回転数の制限（トルク制限）及び出力制限部２８ｃによるモータ４の回転数の制限（出力制限）を全て満たすようにインバータ２６にモータ４の回転数を制御させる。それによって、モータ４がある回転数では、吐出圧力と吸気圧力は、図３中のハッチングが付された範囲内で制御される。
【００４１】
また、吸気圧力Ｐｓが−０．０５ＭＰａＧ、０．００ＭＰａＧ、０．２０ＭＰａＧ、０．５０ＭＰａＧである各場合について、差圧制限、トルク制限、出力制限及びモータ４の最高回転数の制限（８０００ｒｐｍ以下）は、図４〜図７に示すようになる。そして、これらの各場合において、前記各制限を全て満たすように、図４〜図７中のハッチングが付されたＡ領域内でモータ４の回転数と吐出圧力が制御される。
【００４２】
具体的には、吸気圧力が低い、Ｐｓ＝−０．０５ＭＰａＧの場合（図４参照）には、差圧制限による吐出圧力の制限値が、トルク制限による吐出圧力の制限値よりも低く、かつ、出力制限による吐出圧力の制限値以下となる。そのため、この場合には、差圧制限とモータ４の最高回転数の制限とによって規定される範囲内でモータ４の回転数及び吐出圧力が制御される。
【００４３】
吸気圧力Ｐｓが０．００ＭＰａＧの場合（図５参照）には、モータ４の回転数が最高回転数（８０００ｒｐｍ）の近傍の領域で、出力制限による吐出圧力の制限値が差圧制限による吐出圧力の制限値を下回る。そのため、この場合には、差圧制限と出力制限とモータ４の最高回転数の制限とによって規定される範囲内でモータ４の回転数及び吐出圧力が制御される。換言すれば、差圧制限と最高回転数の制限とによって規定される範囲から図５中のＢ領域を除いた領域内でモータ４の回転数及び吐出圧力が制御される。
【００４４】
吸気圧力Ｐｓが０．２０ＭＰａＧの場合（図６参照）又は０．５０ＭＰａＧの場合（図７参照）には、トルク制限による吐出圧力の制限値が差圧制限による吐出圧力の制限値を下回り、さらに、モータ４の回転数が比較的高い領域で出力制限による吐出圧力の制限値がトルク制限による吐出圧力の制限値を下回る。そのため、これらの場合には、出力制限とトルク制限とモータ４の最高回転数の制限とによって規定される範囲内でモータ４の回転数及び吐出圧力が制御される。換言すれば、トルク制限と最高回転数の制限とによって規定される範囲から図６又は図７中のＣ領域を除いた領域内でモータ４の回転数及び吐出圧力が制御される。
【００４５】
以上説明したように、本実施形態による蒸気圧縮機では、回転数調節部１４の制御部２８に含まれる差圧制限部２８ａが、吸気側圧力検出部６の検出圧力に対する吐出側圧力検出部１０の検出圧力の差圧が圧縮機本体２の許容する差圧を超えないようにスクリュロータ２２の回転数を制限するため、吸気圧力が変動する場合でも、吸気圧力と吐出圧力との差圧が圧縮機本体２の許容可能な差圧を超えるのを防止することができる。従って、本実施形態では、蒸気圧縮機に供給される蒸気の圧力が変動する場合でも、吸気圧力と吐出圧力との差圧が蒸気圧縮機の許容可能な差圧を超えることに起因する蒸気圧縮機の異常停止の発生を防ぐことができる。
【００４６】
また、本実施形態では、回転数調節部１４の制御部２８に含まれるトルク制限部２８ｂが、モータ４の許容トルクがスクリュロータ２２を回転させるのに必要な必要トルク以上となるようにモータ４の回転数を制限するため、前記必要トルクはモータ４の許容トルク以下に維持される。このため、前記必要トルクがモータ４の許容トルクを超えるトルクオーバが生じてモータ４が異常停止するのを防ぐことができる。
【００４７】
また、本実施形態では、回転数調節部１４の制御部２８に含まれる出力制限部２８ｃが、モータ４の出力がそのモータ４の最高出力以下となるように当該モータ４の回転数を制限するため、モータ４の出力がそのモータ４の最高出力を超える出力オーバーが生じてモータ４が異常停止するのを防ぐことができる。
【００４８】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００４９】
具体的には、上記実施形態では、回転数調節部１４の制御部２８が差圧制限部２８ａ、トルク制限部２８ｂ及び出力制限部２８ｃを備えているが、本発明はこの構成に限定されない。例えば、制御部２８は、差圧制限部２８ａとトルク制限部２８ｂを備えていて、出力制限部２８ｃを備えていなくてもよい。参考例としては、回転数調節部１４の制御部２８は、差圧制限部２８ａのみを備えていてもよい。また、別の参考例としては、制御部２８は、差圧制限部２８ａと出力制限部２８ｃを備えていて、トルク制限部２８ｂを備えていなくてもよい。
【００５０】
また、吐出口２０ｃに繋がる蒸気の吐出路に設けられた圧力制御弁１３の代わりに保圧弁を設けてもよい。
【符号の説明】
【００５１】
４  モータ
６  吸気側圧力検出部
１０  吐出側圧力検出部
１４  回転数調節部
２０  ハウジング
２０ａ  蒸気室
２０ｂ  吸気口
２０ｃ  吐出口
２２  スクリュロータ
２８ａ  差圧制限部
２８ｂ  トルク制限部
２８ｃ  出力制限部
【図１】
0005450195.tif 000002
【図２】
0005450195.tif 000003
【図３】
0005450195.tif 000004
【図４】
0005450195.tif 000005
【図５】
0005450195.tif 000006
【図６】
0005450195.tif 000007
【図７】
0005450195.tif 000008