(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
断面矩形状のエキシマランプと、該エキシマランプを収容し、真空紫外光取出し開口が形成されたハウジングと、該ハウジングの内部に不活性ガスを供給するガス供給機構とからなり、前記ハウジング外のワークに真空紫外光を照射するための光照射装置において、
前記ハウジングの真空紫外光取出し開口に不活性ガスを通す伝熱性スクリーンが設けられ、該伝熱性スクリーンを冷却する冷却機構が設けられていることを特徴とする光照射装置。
【請求項２】
前記伝熱性スクリーンが、前記エキシマランプの放電容器の光取出し側の外表面に配置された電極を兼ねていることを特徴とする請求項１の光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は光照射装置に関するものであり、特に、紫外線照射処理に使用されるエキシマランプを備えた光照射装置に係わるものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示パネルのガラス基板の紫外線照射による洗浄工程等においては、波長２００ｎｍ以下の真空紫外光を放射するエキシマランプを備えた光照射装置が使用されている。
特開２００９−２１２４２９号公報（特許文献１）には、例えば、波長１７２ｎｍの真空紫外光を放射するエキシマランプを備えた光照射装置が開示されている。
図５にその概略構造が示されていて、ハウジング１内にエキシマランプ２が収納されていて、ハウジング１の下方は光取出し用開口３となっている。
そして、前記エキシマランプ２の下方にはワークＷが配置されている。ハウジング１内の上方には窒素ブロー管４、４が設けられ、その噴出し口４ａ、４ａから窒素ガスＮ２が噴出されていて、エキシマランプ２からの真空紫外光が大気中の酸素によって吸収されることを抑制している。
噴出された窒素ガスＮ２はエキシマランプ２とワークＷの間隙に流入し、エキシマランプ２からワークＷに照射される真空紫外光が酸素に吸収されることを抑制している。
【０００３】
ところが、かかる従来技術においては、ハウジング１内に導入された窒素ガスは、エキシマランプ２からの照射熱を受けて加熱されてしまい、この加熱された窒素ガスがワークＷに吹き付けられるので、ワークＷが加熱され、該ワークＷが変形したり、損傷したりしてしまうという不具合があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２１２４２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この発明が解決しようとする課題は、断面矩形状のエキシマランプを収容し、光取出用し開口が形成されたハウジングと、該ハウジングの内部に不活性ガスを供給するガス供給機構とからなる光照射装置において、ハウジング内に噴出されてエキシマランプによって加熱された不活性ガスが、加熱されたままの状態でワークに吹き付けられることを防止した構造を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、この発明に係る光照射装置は、エキシマランプを収容するケーシングの光取出し開口に伝熱性スクリーンが設けられ、該伝熱性スクリーンを冷却する冷却機構が設けられていることを特徴とするものである。
また、前記伝熱性スクリーンが、前記エキシマランプの放電容器の光取出し側の外表面に配置された外部電極を兼ねていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
この発明の光照射装置によれば、ガス供給機構からハウジング内に噴出されて、エキシマランプによって加熱された不活性ガスは、光取出し開口に設けられ、冷却機構によって冷却された伝熱性スクリーンを通過する際に冷却されるので、ワークに対して加熱状態のままで吹きつけられることがなく、ワークに悪影響を及ぼすことがない。
また、前記伝熱性スクリーンがエキシマランプの光取り出し側の外部電極を兼ねているので、部品点数の削減に寄与するものである。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の光照射装置の断面図。
【図２】図１の部分斜視図。
【図３】本発明の他の実施例の斜視図。
【図４】本発明の更に他の実施例の断面図。
【図５】従来技術の断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１は、本発明の光照射装置の断面図であり、図２は、その部分斜視図である。
図において、ハウジング１内には長尺の断面矩形状の放電容器２ａからなるエキシマランプ２が配置されており、該ハウジング１の下方は開放されていて光取出し開口３を形成している。前記ハウジング１内には、ブロー管４、４とガス噴出し口４ａ、４ａからなるガス供給機構５が設けられている。
前記ハウジング１の光取出し開口３には、網状体からなる伝熱性スクリーン６が設けられ、その両端は冷却ジャケット８を有する冷却機構７に当接支持されている。該冷却ジャケット８内には冷却水が流通し、これにより、前記伝熱性スクリーン６を冷却している。
【００１０】
前記ハウジング１はアルミニウムやステンレス、あるいはそれらの合金などの金属製であり、伝熱性スクリーン６は耐紫外光性や熱伝導性に優れた材料、例えばステンレスで形成される。
また、その寸法の一例を示すと以下の通り。
ランプと伝熱性スクリーンとの距離２ｍｍ
伝熱性スクリーンとワークとの距離２ｍｍ
ワークとランプとの距離は、約４〜５ｍｍ
伝熱性スクリーンの素線径は１ｍｍ、好ましくは０．５ｍｍ
伝熱性スクリーンの網目のサイズは、２ｍｍ×２ｍｍ
【００１１】
上記構成において、エキシマランプ２の点灯時には、ブロー管４の噴出し口４ａから窒素ガスＮ２がハウジング１内に導入され、一方、冷却機構７のジャケット８には冷却水が流されていて、伝熱性スクリーン６は冷却されている。
窒素ガスＮ２は、エキシマランプ２とワークＷとの間に流入して酸素濃度を低下させ、エキシマランプ２からワークＷに照射される真空紫外光が酸素に吸収されることを抑制する。
そして、該窒素ガスＮ２は、エキシマランプ２とワークＷとの間に流入するまでに、エキシマランプ２によって加熱されるが、冷却されている伝熱性スクリーン６の網目を通過するときに冷却されるので、ワークＷが窒素ガスＮ２によって加熱されることが抑制される。
【００１２】
また、前記伝熱性スクリーン６は図２では網状体のものを示したが、これに限られず、図３に示すように、素線を一方向に張り渡した形状のものであってもよい。
【００１３】
図４には別に実施例が示されている。この実施例では、エキシマランプ２の放電容器２ａの光取出し側の外表面の外部電極が省略されていて、前記放電容器２ａが前記伝熱性スクリーン６に当接されており、該伝熱性スクリーン６が外部電極を兼ねている。
そして、伝熱性スクリーン６は、前述のように、金属又は合金部材で形成され、この伝熱性スクリーン６が電気伝導性を有する冷却機構７及びハウジング１に電気的に接続され、このハウジング１を接地することで、前記伝熱性スクリーン６が低圧側の電極として機能する。
この実施例によれば、部品点数の削減が図られる。
【００１４】
以上のように、本発明の光照射装置では、ハウジングの光取出し開口に伝熱性スクリーンを設け、該伝熱性スクリーンを冷却機構により冷却する構成としたので、ハウジング内に噴出した不活性ガスがエキシマランプによって加熱されても、伝熱性スクリーンを通過するときに冷却されるので、加熱状態の不活性ガスがそのままワークに吹き付けられることがない。
【符号の説明】
【００１５】
１          ハウジング
２          エキシマランプ
３          光取出し開口
４          窒素ガスブロー管
４ａ        ガス噴出し口
５          ガス供給機構
６          伝熱性スクリーン
７          冷却機構
８          冷却ジャケット
Ｗ          ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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