(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の搬送と各種の処理を行う電子部品搬送装置であって、
一定の広さを有し、電子部品に対する処理を行う処理ユニットが上面に設置された架台と、
前記架台の上面に設置され、水平盤を有し、その水平盤の外周囲で電子部品を保持しつつ間欠回転する搬送テーブルと、
前記水平盤を前記架台の上面よりも高い位置に支持する支持手段と、
電子部品が載置されるステージを有し、本ユニット底面から当該ステージまでの高さが前記架台の上面と前記水平盤との間の高さよりも高く、前記ステージが前記架台の上面と前記水平盤との間の高さに位置し、前記ステージで電子部品に対する処理を行う横付けユニットと、
を備え、
前記架台の上面に設置された前記処理ユニットは、前記架台の上面と前記水平盤との間のスペースに潜り込んで設置され、前記搬送テーブルが搬送する電子部品に対する処理を行い、
前記搬送テーブルは、前記架台の縁から外周囲の一部が張り出した張り出し区間を有し、
前記架台は、その縁の一部が前記搬送テーブルの外周よりも内側に引っ込み、その縁の他部が前記搬送テーブルの外周よりも外側に迫り出し、前記処理ユニットを迫り出し部分の上面に載置し、
前記横付けユニットは、前記張り出し区間の直下に位置させ、
前記搬送テーブルと前記横付けユニットとは、電子部品を直接受け渡しすること、
を特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記張り出し区間の間近に設置されるブラケットを更に備え、
前記横付けユニットの前記ステージは、前記横付けユニットの本体と分離して前記ブラケットに固定されていること、
を特徴とする請求項１記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記横付けユニットは、電子部品の電気特性を検査する電気テストユニットであること、
を特徴とする請求項１又は２記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記横付けユニットを固定するブラケットを更に備え、
前記ブラケットは、前記張り出し区間の間近に前記横付けユニットとの固定部を有すること、
を特徴とする請求項１記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記ブラケットに前記ステージが前記横付けユニットの本体と分離して設けられ、
前記横付けユニットは、前記ブラケットに固定されつつ、前記ステージと接続されること、
を特徴とする請求項４記載の電子部品搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送経路を形成して電子部品を搬送し、搬送途中で電子部品の検査を行う電子部品搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品は、電気製品に使用される部品である。電子部品としては、半導体素子、及び半導体素子以外の抵抗やコンデンサ等を挙げることができる。半導体素子としては、トランジスタ、ダイオード、ＬＥＤ、及びサイリスタ等のディスクリート半導体、ＩＣやＬＳＩ等の集積回路等を挙げることができる。この電子部品の搬送と周囲の各点で各種処理を行う電子部品搬送装置がある。搬送経路は、架台上に設けられた円盤形状の搬送テーブルにより形成される。搬送テーブルは外周に吸着ノズルを備える。搬送テーブルは架台から一定の高さで支持され、搬送テーブルと架台上面との間には一定の収容スペースが存在する。電子部品に対して各種処理を行う処理ユニットは、原則的には、この収容スペースに設置される。【０００３】
しかしながら、電子部品の電気特性を検査する電気テストユニットは、装置の高さが搬送テーブルと架台との間の収容スペースに収まらない。そのため、架台の外側に設置せざるを得なかったが、単純に設置すると、電子部品の受口となるソケットに吸着ノズルが届かない。そこで、従来から、電気テストユニットを架台の外側に設置しつつも、電子部品をソケットに届ける各種構成が提案されている。【０００４】
例えば、ソケットをユニット本体から切り離し、ソケットは吸着ノズルが届く位置に設置し、ユニット本体とソケットとはケーブルで接続する構成が提案されている（例えば特許文献１参照）。ソケットやソケットを実装する基板のみであれば、搬送テーブルと架台との間の収容スペースに収容可能だからである。【０００５】
また、例えば、搬送テーブルと電気テストユニットとの間をシャトルで結び、シャトルと電気テストユニットとの間にはアームを設置する構成が提案されている（例えば特許文献２参照）。電子部品は、搬送テーブルからシャトルに移し替えられ、シャトルで電気テストユニットの間近まで運搬され、アームでシャトルからソケットに移し替えられる。また、電子部品は、アームでソケットからシャトルに移し替えられ、シャトルで搬送テーブルの間近まで運ばれ、吸着ノズルによる保持によって搬送テーブルが形成する搬送経路に復帰する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−１２７７４０号公報
【特許文献２】特開２０１０−０１４６３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
何れの方法もそれぞれのデメリットが存在する。主に、一方は検査に対する信頼性低下、他方は電子部品の生産効率低下を招来する。【０００８】
ソケットと電気テストユニットのユニット本体とを切り離す方式では、通常は３００〜５００ｍｍ程度のケーブルで両者を接続する必要があり、微小電流の注入やロジック信号に対する応答等、電気特性の検査内容によっては、ケーブル長による信号遅延や減衰等の影響により測定結果が目的精度に満たないおそれがある。目的精度を満たすためには、高度なケーブルやゲイン回路を採用したり、複雑な解析及び補正処理を必要としていた。【０００９】
また、シャトルやアームで搬送テーブルと電気テストユニットとの間を接続する方式では、部品点数の増加によるコスト増を伴い、また、シャトルへの載せ替え時間及びシャトルの往復時間が発生し、電子部品の時間当たりの生産量に影響を与えるなど、電子部品の生産効率の低下が指摘されていた。それを補うためには、電子部品搬送装置による搬送速度の高速化や並列動作による時間短縮等が必要となり、モータをはじめとする各種部品に高度なスペック及び高精度な動作が要求されることとなり、装置のコスト増、精密な調整作業を必要とする。【００１０】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたもので、電子部品の検査精度と生産効率の両立を図ることのできる電子部品搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る電子部品搬送装置は、電子部品の搬送と各種の処理を行う電子部品搬送装置であって、一定の広さを有し、電子部品に対する処理を行う処理ユニットが上面に設置された架台と、前記架台の上面に設置され、水平盤を有し、その水平盤の外周囲で電子部品を保持しつつ間欠回転する搬送テーブルと、前記水平盤を前記架台の上面よりも高い位置に支持する支持手段と、電子部品が載置されるステージを有し、本ユニット底面から当該ステージまでの高さが前記架台の上面と前記水平盤との間の高さよりも高く、前記ステージが前記架台の上面と前記水平盤との間の高さに位置し、前記ステージで電子部品に対する処理を行う横付けユニットと、を備え、前記架台の上面に設置された前記処理ユニットは、前記架台の上面と前記水平盤との間のスペースに潜り込んで設置され、前記搬送テーブルが搬送する電子部品に対する処理を行い、前記搬送テーブルは、前記架台の縁から外周囲の一部が張り出した張り出し区間を有し、前記架台は、その縁の一部が前記搬送テーブルの外周よりも内側に引っ込み、その縁の他部が前記搬送テーブルの外周よりも外側に迫り出し、前記処理ユニットを迫り出し部分の上面に載置し、前記横付けユニットは、前記張り出し区間の直下に位置させ、前記搬送テーブルと前記横付けユニットとは、電子部品を直接受け渡しすること、を特徴とする。
【００１２】
前記張り出し区間の間近に設置されるブラケットを更に備え、
前記横付けユニットの前記ステージは、前記横付けユニットの本体と分離して前記ブラケットに固定されているようにしてもよい。
【００１３】
前記横付けユニットは、電子部品の電気特性を検査する電気テストユニットであるようにしてもよい。【００１４】
前記横付けユニットを固定するブラケットを更に備え、前記ブラケットは、前記張り出し区間の間近に前記横付けユニットとの固定部を有するようにしてもよい。【００１５】
前記ブラケットに前記ステージが前記横付けユニットの本体と分離して設けられ、前記横付けユニットは、前記ブラケットに固定されつつ、前記ステージと接続されるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、部品点数の削減による電子部品搬送装置の製造コストの低下、電子部品の搬送テーブルからユニットへの移載時間の減少による電子部品の生産効率の向上、電子部品の検査結果に対する信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】電子部品搬送装置の構成を示す斜視図である。
【図２】電子部品搬送装置の構成を示す上面図である。
【図３】電子部品搬送装置の構成を示す側面図である。
【図４】ブラケットによる横付けユニットの接続の一例を示す拡大斜視図である。
【図５】ブラケットによる横付けユニットの接続の他の例を示す拡大斜視図である。
【図６】ブラケットによる横付けユニットの接続の更に他の例を示す拡大斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
（電子部品搬送装置）
以下、本発明に係る電子部品搬送装置の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。図１は、電子部品搬送装置１の斜視図であり、図２は、電子部品搬送装置１の全体構成を示す上面図であり、図３は、電子部品搬送装置１の全体構成を示す側面図である。
【００１９】
電子部品搬送装置１は、架台１４上に電子部品の搬送経路１１を配設し、搬送経路１１に沿って複数の電子部品を同時に整列搬送し、搬送経路１１上で電子部品の検査を行う。架台１４は、装置が設置される直方体の台であり、内部にコンピュータやドライバ等の制御機器、電源、ケーブル類、真空ポンプや空気管を収容している。
【００２０】
電子部品搬送装置１の搬送経路１１の始端には、電子部品を搬送経路１１に供給する供給ユニット２を備えている。搬送経路１１の終端には、電子部品を収容する収容ユニット３を備えている。供給ユニット２と収容ユニット３との間の搬送経路１１には、電気テストユニット４、外観検査ユニット５、分類ユニット６、その他各種の処理ユニットを並設している。
【００２１】
電気テストユニット４は、電子部品に電圧印加又は電流注入を行い、電気特性を検査する。電気特性は、電子部品への電流注入又は電圧印加に対する電子部品の電圧、電流、抵抗、又は周波数、ロジック信号に対する出力信号等である。外観検査ユニット５は、撮影及び画像処理により、電子部品の外観を検査する。分類ユニット６は、電気特性及び外観の検査結果に応じて、収容ユニット３への収容に値しない電子部品を収容する。
【００２２】
搬送経路１１は、搬送テーブル１２により形成される。搬送テーブル１２は、吸着ノズル１３を外周に有する水平盤であり、一点を中心にして放射状に拡がる円盤又は星形等の形状を有する。この搬送テーブル１２は、周方向に間欠的に所定角度ずつ回転する。搬送テーブル１２の動力源は、ダイレクトドライブモータ１５であり、搬送テーブル１２は、ダイレクトドライブモータ１５を介して架台１４に設置される。
【００２３】
搬送テーブル１２が備える吸着ノズル１３は、電子部品を保持及び離脱させる保持手段であり、水平盤の外周に円周等配位置で、且つ水平盤の中心から同一距離に複数取り付けられている。吸着ノズル１３は内部が中空で一端が開口しており、開口端を下向きにして水平盤に設置される。吸着ノズル１３の内部は真空ポンプやエジェクタ等の負圧発生装置の空気圧回路と連通している。空気圧回路に負圧を発生させることにより、吸着ノズル１３は開口一端で電子部品を吸着し、真空破壊や大気解放によって電子部品を離脱させる。
【００２４】
ダイレクトドライブモータ１５は、架台１４上面に設置される。ダイレクトドライブモータ１５は、１ピッチずつ間欠回転するように制御されている。そのピッチは、吸着ノズル１３の配置間隔に等しくなるように調整されている。つまり、吸着ノズル１３は、搬送テーブル１２の間欠回転に伴って共通の移動軌跡を辿り、共通の停止位置で停止する。この停止位置に処理ユニットを設けることで、電子部品に対する検査等の処理が可能となる。
【００２５】
処理ユニットを設けた各停止位置には、搬送テーブル１２の直上に進退駆動装置８を備えている。進退駆動装置８は、吸着ノズル１３を処理ユニットのステージに向けて下降させる装置である。例えば、吸着ノズル１３は、上下方向に軸線を有する筒状の軸受けを介して搬送テーブル１２に設けられることにより昇降可能となっており、圧縮バネにより上方へ常に付勢されている。また、進退駆動装置８は、吸着ノズル１３の頭部に向けて延びるロッドと、このロッドに対して軸線方向の推力を与える回転モータ及びカム機構を備える。
【００２６】
進退駆動装置８は、回転モータにより推力を発生させ、その推力をカム機構及びロッドにより吸着ノズル１３の軸線に沿った直線推力に変換し、ロッドで圧縮バネの付勢力に抗するように吸着ノズル１３を押し込む。吸着ノズル１３が保持した電子部品は、吸着ノズル１３の下降によって処理ユニットのステージに載置され、その処理ユニットに応じた処理を受ける。ロッドが吸着ノズル１３を解放すると、吸着ノズル１３は、電子部品を保持しつつ、圧縮バネの付勢力により元の位置に向けて上昇する。
【００２７】
これにより、電子部品搬送装置１は、供給ユニット２から供給された電子部品を、搬送テーブル１２で各ユニットに順次搬送し、各処理ユニット直上では、進退駆動装置８で吸着ノズル１３を昇降させて電子部品を処理ユニットとの間で受け渡す。
【００２８】
ここで、ダイレクトドライブモータ１５の回転軸は上方に延び、搬送テーブル１２は放射中心で回転軸に軸支される。つまり、搬送テーブル１２の水平盤は、架台１４の上面よりも高い位置にある。また、ダイレクトドライブモータ１５の外径は、搬送テーブル１２の径より小さい。そのため、搬送テーブル１２の底面と架台１４の上面との間には、高さを有する収容スペースが存在する。
【００２９】
供給ユニット２、外観検査ユニット５、分類ユニット６、及び収容ユニット３は、それぞれ、搬送テーブル１２の外周に潜り込んで、搬送テーブル１２と架台１４の間の収容スペースに設置され、吸着ノズル１３の停止位置直下に位置する。
【００３０】
一方、電気テストユニット４は、脚や底面等の最下端から、電子部品が載置されるステージであるソケット部４１までの高さが、収容スペースよりも高くなっており、その大きさの制限により架台１４と横並びにされる横付けユニットである。但し、搬送経路１１は、一部区間が架台１４からはみ出した張り出し区間Ａとなっている。すなわち、搬送テーブル１２の中心から架台１４の縁Ｅまでの距離は、連続する所定角度の範囲において、搬送テーブル１２の半径よりも短くなっている。
【００３１】
具体的には、搬送テーブル１２は、架台１４の中心ではなく、その中心から所定距離ずらされて縁Ｅ側に偏って設置されている。これにより、搬送テーブル１２は、架台１４の縁Ｅから外周囲の一部が張り出した張り出し区間Ａを有することになる。
【００３２】
電気テストユニット４の設置位置は、この張り出し区間Ａの直下である。これにより、電気テストユニット４は、架台１４が物理的障害となることはなく、搬送テーブル１２の外周に潜り込ませ、吸着ノズル１３の直下に位置することができる。
【００３３】
すなわち、張り出し区間Ａは、電気テストユニット４のソケット部４１と吸着ノズル１３とを対面させるために設けられる。張り出し区間Ａの長さは、吸着ノズル１３と対面させるソケット部４１の数に応じる。例えば、ソケット部４１が８個存在する場合、張り出し区間Ａは、少なくとも８箇所の停止位置を包含する。
【００３４】
図４に示すように、このような搬送テーブル１２の直下に配置可能な電気テストユニット４において、ソケット部４１は、内部に端子を配設し、電気テストユニット４の上面に縦置きされた基板４２に搭載され、開口を上方に向けている。基板４２は、ドライバ回路を含み、ユニット本体４ａから電力や制御信号を受けて、電流、電圧、又はロジック信号を生成してソケット部４１の端子に入力し、試験結果をユニット本体４ａへ返す。ユニット本体４ａは、試験結果を解析して電子部品の良否判定を行い、架台１４内部の制御機器に通知する。
【００３５】
各ソケット部４１は、吸着ノズル１３の各停止位置に１対１で対応して、その直下に配置される。すなわち、各ソケット部４１の配置間隔は、吸着ノズル１３の配置間隔と等しい。また、ソケット部４１の配列は、搬送経路１１に沿って湾曲している。更に、各ソケット部４１は、搬送テーブル１２の中心に向いている。換言すると、各基板４２は、搬送経路１１に対して直交するように扇形状に配列されている。更に、換言すると、各基板４２は、電気テストユニット４が備えるスロット４４（図５参照）に挿入されるが、このスロット４４が搬送経路１１に対して直交するように扇形形状に配列されている。
【００３６】
この電気テストユニット４は、高さ調整可能な設置台９に載せることで高さ調整される。また、この電気テストユニット４は、ブラケット７を用いて架台１４に固定される。図４に示すように、ブラケット７は、架台１４の上面に立設される。ブラケット７は、張り出し区間Ａの間近に固定部７２を有し、ユニット本体４ａではなく、ソケット部４１を搭載する基板４２側を固定する。少なくとも、張り出し区間Ａに停止した吸着ノズル１３とソケット部４１との位置関係を精度良く固定するためである。
【００３７】
すなわち、ブラケット７は、奥行きを有する概略Ｌ字型の補強部７１と、補強部７１に立設されて架台１４から張り出すように水平方向に延びた固定部７２とを一体的に加工して成る。補強部７１は、ブラケット７が電気テストユニット４の重量に負けて曲がらないように設けられる。固定部７２は、同一水平面上に沿って延びるコの字状の枠であり、張り出し区間Ａを３方向から囲むように架台１４から張り出している。コの字状の枠の両端は、垂直に折れ曲がり、補強部７１の奥行き方向両端に接続している。
【００３８】
一方、電気テストユニット４は、各基板４２を固定した共通のドッキングプレート４３を備える。ドッキングプレート４３は、水平に拡がる平面を有し、各基板４２を平面に対して垂直に嵌合し、その外形は固定部７２の外枠と同一寸法を有する。張り出し区間Ａで停止した吸着ノズル１３にソケット部４１を対面させるように、固定部７２の底面とドッキングプレート４３の上面とを重ね合わせ、ボルト等により締結する。また、平板状の支持プレートを別途用意し、固定部７２と支持プレートでドッキングプレート４３を挟み込むことで、緩みのない固定関係を実現し、ソケット部４１と吸着ノズル１３との位置関係を精度良く保つこともできる。
【００３９】
或いは、ドッキングプレート４３は固定部７２の内枠と同一寸法を有する。この場合、電気テストユニット４は、固定部７２の枠内にドッキングプレート４３を嵌め込み、側方からボルト等で締結することで固定される。ドッキングプレート４３に固定部７２の枠に合わせた窪みを形成してもよく、ドッキングプレート４３と固定部７２の位置決めも容易となる。
【００４０】
また、図５に示すように、ブラケット７に各基板４２を予め備え付けておき、ユニット本体４ａに対して基板４２とブラケット７とをそれぞれを接続するようにしてもよい。すなわち、電気テストユニット４は、ユニット本体４ａと基板４２とを分離して備える。ユニット本体４ａには、基板４２と電気的に結合するスロット４４が設けられている。ブラケット７の固定部７２は、張り出し区間Ａの直下で水平に延びた板であり、ソケット部４１が実装された各基板４２が板に対して垂直に嵌合し、ソケット部４１を各吸着ノズル１３の停止位置に対応して予め固定している。
【００４１】
このような電気テストユニット４の連接態様では、ユニット本体４ａを張り出し区間Ａの直下におき、各基板４２を各スロット４４に挿入する。基板４２に実装したソケット部４１と吸着ノズル１３の停止位置とは予め対応がとれているので、連接のための位置決め作業が電子部品の受け渡し精度に影響することはなくなる。
【００４２】
以上のような電子部品搬送装置１では、大きさの制限により架台１４と横並びで接続せざるを得ない横付けユニットであっても、吸着ノズル１３と電子部品の受け渡しをするソケット部４１のようなステージとを対面して設けることができるため、そのユニットは、吸着ノズル１３から電子部品を直接受け取ることができる。そのため、ユニットと吸着ノズル１３との間にシャトル等を配置する必要がなくなり、部品点数の削減による電子部品搬送装置１の製造コストの低下、及び電子部品の吸着ノズル１３からユニットへの移載時間の劇的減少による電子部品の生産効率の向上をもたらす。
【００４３】
また、横付けユニットが電気テストユニット４である場合には、ソケット部４１とユニット本体４ａとを繋ぐケーブルが不要となるため、ケーブルがもたらす電気特性検査への影響を排除でき、電子部品の電気特性検査により得られた結果に対する信頼性が向上する。
【００４４】
さらに、架台１４と横並びさせるユニットは、架台１４に連接させ、そのユニットとブラケット７との固定点を吸着ノズル１３の停止位置の間近とすることにより、位置決めや固定の誤差が吸着ノズル１３とユニットとの受け渡しに大きく波及することを防止でき、電子部品の受け渡し精度を容易に向上させることができる。
【００４５】
また、この電子部品搬送装置１では、張り出し区間Ａに重複させたソケット部４１の数だけ同時検査が可能となる。同時検査は、同時数に応じて搬送テーブル１２が停止している停止時間の削減をもたらす。すなわち、吸着ノズル１３が供給ユニット２から順番に電子部品を一個ずつ受け取った後、全てのソケット部４１直上に電気特性検査未実施の電子部品が揃うまで、電子部品の検査を行わずに、搬送テーブル１２の間欠回転のみを行う。そして、全てのソケット部４１直上に電子部品が揃うと、電子部品搬送装置１は、電子部品の電気特性検査処理、及びその前後時間での吸着ノズル１３とソケット部４１との間の受渡処理を行う。つまり、搬送テーブル１２が停止している時間は、平均して、電気特性検査処理の所要時間をソケット部４１の数で除した時間分だけ削減できる。
【００４６】
（変形例）
（横付けユニット）
以上の実施形態では、横付けユニットとして電気テストユニット４を例に挙げたが、その他、その大きさの制限により架台１４と横並びせざるを得ない各種ユニットに対する設置態様にも適用できる。
【００４７】
（張り出し区間）
また、張り出し区間Ａについても、１箇所のみならず、複数箇所設けるようにしてもよく、架台１４と横並びさせざるを得ない各種ユニットを同時に搬送テーブル１２の直下に設置することもできる。また、架台１４は、張り出し区間Ａを含む矩形領域が切り欠かれるようにして、コの字状に形成され、そのコの字状の其の切り欠かれた部分に横付けユニットを配置することもできる。
【００４８】
また、２台の搬送テーブル１２で１台の電気テストユニット４を共有することで、２経路の搬送経路を実現することもできる。すなわち、この電子部品搬送装置１は、２台の架台１４で１台の電気テストユニット４を挟み込む。両架台１４には各々搬送テーブル１２が設置され、張り出し区間Ａは、電気テストユニット４側に各々設ける。これにより、２つの張り出し区間Ａの直下に１台の電気テストユニット４が設置されることとなる。挟み込まれた電気テストユニット４には、両張り出し区間Ａに存在する吸着ノズル１３の各停止位置の直下にソケット部４１を配置すればよい。
【００４９】
（電気テストユニット）
また、電気テストユニット４に関しても、実施形態では、ユニット本体４ａとソケット部４１を実装した基板４２とが一体である構成、若しくは基板４２をスロット４４に挿入することにより一体的となる構成について例示したが、これに限られるものではない。ユニット本体４ａと基板４２とが別体でケーブルにより接続してなる電気テストユニット４についても適用可能であり、ユニット本体４ａを搬送テーブル１２の直下まで近づけることができる分だけケーブル長を短縮できる利点がある。
【００５０】
例えば、図６に示すように、電気テストユニット４は、ユニット本体４ａ（不図示）とヘッドボックス４ｂとを分離させて備える。ヘッドボックス４ｂは基板４２を収容しており、ソケット部４１は、ヘッドボックス４ｂから分離されている。ソケット部４１と基板４２とはケーブルで接続されている。ブラケット７は、２段構造を有し、下段７ｂにはソケット部４１が配設され、上段７ａにはヘッドボックス４ｂが配設される。下段７ｂは、表面が架台１４の上面と面一になるように、架台１４の縁に取り付けられる。上段７ａは、下段７ｂから延ばした支柱フレームに固定されている。この上段７ａは、下段７ｂに極力近づきつつも、搬送経路１１の張り出し区間Ａと物理的障害とならないように、張り出し区間Ａよりも更に外側に設けられる。
【００５１】
これにより、ヘッドボックス４ｂとソケット部４１とは共に張り出し区間Ａの近傍に設けることができるため、ヘッドボックス４ｂとソケット部４１とを繋ぐケーブル長も短縮でき、ヘッドボックス４ｂを備える従来タイプの電気テストユニット４であっても適用可能となる。
【００５２】
また、電気テストユニット４は、ソケット部４１を搬送経路１１に沿って湾曲配置させる構成としたが、従来のように直線上にソケット部４１が配置される電気テストユニット４でであっても、変換アダプタを用いることで設置が可能となる。変換アダプタは、ソケット部４１を搬送経路１１に沿って湾曲して上面に並べたボードである。ボードの裏面には、直線上に配列されたソケット部４１が嵌め込まれる。ボードの内部は、嵌め込まれたソケット部４１と上面に並べられたソケット部４１とを電気的に繋ぐ配線が形成されている。従来型の電気テストユニット４は、ソケット部４１が直線上に配列されているのが一般的である。この電気テストユニット４に変換アダプタを被せることで、簡便にソケット部４１を搬送経路１１に沿って並べる態様に変換できる。
【００５３】
また、基板４２単位で分割するのではなく、基板４２を個別のヘッドボックス４ｂに収容し、ヘッドボックス４ｂ単位で搬送経路１１に沿って並べることもできる。このヘッドボックス４ｂは、上面にソケット部４１を露出させて備え、内部に基板４２を収容している。ユニット本体４ａに、各ソケット部４１に対応した個別のヘッドボックス４ｂをケーブル接続し、ヘッドボックス４ｂは、搬送経路１１に沿って扇形に配置する。
【００５４】
更に、実施形態では、ソケット部４１の向きを搬送テーブル１２の中心に向けるようにしたが、ソケット部４１の向きが全て平行であってもよい。この場合は、電気テストユニット４の前段及び後段に、電子部品の向きを変化させる位置補正ユニットを配置する。位置補正ユニットは、ステージをモータ軸に軸支して配置し、ステージをθ回転させるユニットである。前段の位置補正ユニットは、電子部品が載置される予定のソケット部４１の向きに合わせて予め電子部品の向きを変更しておく。後段の位置補正ユニットは、電子部品の向きを搬送テーブル１２の中心に向くように元に戻す。
【００５５】
（進退駆動装置）
また、進退駆動装置８も各種置き換えが可能である。例えば、進退駆動装置８において、吸着ノズル１３の頭部に向けて延びるロッドはボイスコイルモータのコイルボビンが延長されたものとする。ロッドは、ボイスコイルモータの推力未発生状態では、吸着ノズル１３から受ける反力に押し負けてボイスコイルモータ内部に退入する。一方、ボイスコイルモータが反力と拮抗する対抗推力以上を発生させると、ロッドは移動ブロックに沈み込まず、吸着ノズル１３を押し込む。ボイスコイルモータは、電子部品をソケット部４１に押し付ける押圧力と、吸着ノズル１３からの反力と拮抗する反対推力とを加えた合計推力を発生させる。
【００５６】
これにより、電子部品に予定している押圧力を微細な精度で実現でき、且つ過大な力が電子部品にかかろうとすれば、ロッドが移動ブロックに沈み込んで、過剰分を吸収することができる。多ピン電極を有する電子部品の電気特性検査では、各ピンの端子への正確な接触のために電子部品をソケット部４１に押し付ける大きな押圧力が必要だが、寧ろ繊細且つ微小な押圧力を必要とする例えば脆い電子部品に対しては、このようなボイスコイルモータ付きの進退駆動装置８が有効である。
【００５７】
搬送テーブル１２と電気テストユニット４との間の電子部品の受け渡しは、吸着ノズル１３とソケット部４１とを相対的に接近又は離反させればよい。つまり、ソケット部４１を吸着ノズル１３に向けて移動させるようにしてもよい。この場合、ブラケット７の固定部７２と補強部７１とは、ガイドシャフトと引張りバネ等で連結し、進退駆動装置８により引張りバネに抗して固定部７２全体を吸着ノズル１３を向けて移動させるようにする。この移動態様では、基板４２とユニット本体４ａとを分離し、ケーブルで接続する必要があるが、ソケット部４１と吸着ノズル１３との接近距離程度の極短いケーブルで十分であり、ケーブル長による電気特性検査の精度への影響は微少である。
【００５８】
また、固定部７２ごと吸着ノズル１３へ向けて移動させるのではなく、ソケット部４１を搭載した基板４２の下部に進退駆動装置８のロッド先端を連結し、基板４２を押し上げるようにしてもよい。この場合、基板４２ごとに進退駆動装置８を設けてもよいし、全基板４２を連結する共通板を設けて、その共通板の下部に進退駆動装置８のロッド先端を連結するようにしてもよい。
【００５９】
各吸着ノズル１３またはソケット部４１毎に進退駆動装置８を設けると、ボイスコイルモータは、吸着ノズル１３とソケット部４１との接近量を予め計測しておくために利用することもでき、電子部品搬送装置１の稼動時には、その計測値に従って吸着ノズル１３とソケット部４１とを接近させることもできる。
【００６０】
すなわち、ロッドの移動ブロックへの沈み込みを検出し、進退駆動装置８の回転モータが駆動を開始してから検出タイミングまでの合計回転角度を計測する。計測値は、架台１４の制御機器に入力され、吸着ノズル１３とソケット部４１との相対移動の制御で再現される。
【００６１】
ロッドの移動ブロックへの沈み込みは、ロッドに蓋の役割を果たす段部を設けておき、一方、移動ブロックには、ロッドが移動ブロックから進出していると段部で塞がれる位置に空気穴を設けておく。また、空気穴には正圧又は負圧をかけておき、空気穴の連通する空気管に圧力センサを設けておく。ロッドが移動ブロックへ沈み込むと、段部が空気穴から離れるため、空気穴が大気と連通し、空気管内に圧力の変化が発生する。圧力センサがこの圧力変化を検出することで、ロッドの移動ブロックへの沈み込みを検出する。
【００６２】
このように、吸着ノズル１３ごと、または基板４２ごとに進退駆動装置８を設けると、個別に接近量や荷重調整が可能となる。電気テストユニット４と架台１４とは、張り出し区間Ａの近傍でブラケット７により固定されているため、吸着ノズル１３とソケット部４１との位置決め精度は高い。
【００６３】
但し、ブラケット７の歪み誤差とドッキングプレート４３の厚みの均一性誤差との累積誤差によっては、吸着ノズル１３とソケット部４１の距離にバラつきが発生する場合がある。この場合、人手によらず、搬送テーブル１２を一周間欠回転させ、両者の距離を自動測定し、吸着ノズル１３の高さにフィードバックさせればよいので、メンテナンスコストの削減、またメンテナンス所要時間の削減による電子部品の生産効率の向上をもたらす。
【００６４】
（その他）
また、保持手段として吸着ノズル１３を例に採り説明したが、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品を機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。また、搬送テーブル１２の直下には、電気テストユニット４の他にも各種の工程処理ユニットを配置することができる。他の工程処理ユニットとしては、位置補正ユニット、マーキングユニット、不良品排出装置等を挙げることができる。
【００６５】
以上のように本発明の実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００６６】
１  電子部品搬送装置
１２  搬送テーブル
１３  吸着ノズル
１４  架台
１５  ダイレクトドライブモータ
２  供給ユニット
３  収容ユニット
４  電気テストユニット
４ａ  ユニット本体
４ｂ  ヘッドボックス
４１  ソケット部
４２  基板
４３  ドッキングプレート
４４  スロット
５  外観検査ユニット
６  分類ユニット
７  ブラケット
７１  補強部
７２  固定部
７ａ  上段
７ｂ  下段
８  進退駆動装置
９  設置台
Ａ  張り出し区間
Ｅ  縁
【要約】
電子部品の検査精度と生産効率の両立を図ることのできる電子部品搬送装置を提供する。
電子部品搬送装置（１）は、一定の広さを有する架台（１４）に搬送テーブル（１２）を設置し、搬送テーブル（１２）は、架台（１４）の上面よりも高い位置に水平盤を有し、その水平盤の外周囲で電子部品を保持しつつ間欠運転する。電子部品に対して処理を行う横付けユニット（４）は、その横付けユニットの上面に配置されたステージ（４１）の高さが、架台（１４）と水平盤との間の高さの範囲に設定され、架台（１４）に横並びにして設置される。搬送テーブル（１２）は、架台（１４）の縁（Ｅ）から外周囲の一部が張り出した張り出し区間（Ａ）を有する。横付けユニット（４）は、張り出し区間（Ａ）の直下に位置させることによって、搬送テーブル（１２）の保持手段（１３）と横付けユニット（４）のステージ（４１）との間で、電子部品を直接受け渡しする。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図６】
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【図４】
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【図５】
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