(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体本体と、
前記被検査体本体から外方に突出する端子と、を有する被検査体に対して通電検査を行う通電検査装置であって、
前記端子に接触する導電性のプローブ本体と、
前記プローブ本体を前記端子に押圧する押圧手段と、
前記端子を挟んだ前記プローブ本体の反対側に位置し、且つ前記端子に接触可能な第１接触部材と、
前記第１接触部材を移動可能に支持すると共に、前記端子に向かう上方に前記第１接触部材を付勢する第１弾性部材を含む第１付勢支持手段と、
前記被検査体本体を支持する支持手段と、を備え、
前記支持手段は、前記被検査体本体に接触する第２接触部材と、
前記第２接触部材を移動可能に支持すると共に、前記被検査体本体に向かう上方に前記第２接触部材を付勢する第２弾性部材を含む第２付勢支持手段と、を有し、
前記第２接触部材及び前記第２弾性部材は、前記被検査体本体の中心から前記端子が位置する側とは反対側にオフセットして複数設けられ、
前記第１弾性部材のばね定数は、前記第２弾性部材のばね定数よりも大きく設定されている、
ことを特徴とする通電検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の通電検査装置において、
前記被検査体は、前記端子を複数有しており、
前記プローブ本体と前記押圧手段と前記第１弾性部材とは、各端子に対応して設けられていることを特徴とする通電検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査体に対して通電検査を行う通電検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、通電検査装置として、プリント基板等の被検査体の端子にプローブ本体を押し付けて通電したり（特許文献１参照）、集積回路素子等の被検査体の球形電極をプローブピンに押し付けて通電したり（特許文献２参照）することにより、該被検査体の電気特性を検査するものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−４２０９０号公報
【特許文献２】特許第４０４５６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
小電流用の通電検査装置は、プローブ本体の径が細く、又該プローブ本体と被検査体の端子（装置端子）の間の電気抵抗が数［ｍΩ］〜数十［ｍΩ］と大きいため、大電流（数百［Ａ］〜数千［Ａ］）を流す検査では、該プローブ本体自体が発熱して壊れたり、前記プローブ本体と前記装置端子の接触箇所が発熱して破壊（溶融）したりする可能性がある。
【０００５】
そのため、大電流用の通電検査装置では、プローブ本体の径を太くすることでプローブ本体自体の電気抵抗を低くしたり、プローブ本体に平面を形成して該平面を前記装置端子に押し当てることにより、該プローブ本体と該装置端子の接触面積を大きくして電気抵抗を低くしたりすることがある。
【０００６】
そして、前記プローブ本体を前記装置端子に確実に接触させるために、前記プローブ本体と前記装置端子をねじ等によって締め付けることが考えられる。しかしながら、この場合、ねじの締め付け時間が必要で検査工程が煩雑になり、サイクルタイムが長期化する。
【０００７】
上述した特許文献１（特許文献２）のように、プローブ本体を装置端子に押し付ける方法を採用すれば、サイクルタイムの長期化を抑えることができるが、前記通電検査装置は、小電流用に構成されているため、該プローブ本体の押圧力が低く、十分な接触面積を確保することができないことがある。
【０００８】
つまり、十分な接触面積を確保するためには、前記プローブ本体の押圧力を高めればよいが、例えば、装置端子が被検査体本体から突出するようにして形成されていると、前記プローブ本体の押圧力を該装置端子と該被検査体本体との接続部で受けることとなるので、該接続部が破損することがある。
【０００９】
前記接続部の破損を防止する対策としては、例えば、前記装置端子を挟んだ前記プローブ本体の反対側に該プローブ本体の押圧力を受ける接触部材を配置することが考えられる。
【００１０】
しかしながら、通常、被検査体は複数の部品の組立品として構成されており、該装置端子には積み上げ公差（各部品の公差の総和）が発生するため、前記被検査体を検査位置に配置した際に、該装置端子と該接触部材が非接触となり、上述したように接続部（装置端子）が破損するおそれがある。
【００１１】
本発明は、このような課題を考慮してなされたものであり、被検査体の端子と接触部材とを確実に接触させた状態でプローブ本体を該端子に押圧させることにより、該端子の破損を抑えることができる通電検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る通電検査装置は、被検査体本体と、前記被検査体本体から外方に突出する端子と、を有する被検査体に対して通電検査を行う通電検査装置であって、前記端子に接触する導電性のプローブ本体と、前記プローブ本体を前記端子に押圧する押圧手段と、前記端子を挟んだ前記プローブ本体の反対側に位置し、且つ前記端子に接触可能な第１接触部材と、前第１記接触部材を移動可能に支持すると共に、前記端子に向かう方向に前記第１接触部材を付勢する第１付勢支持手段と、を備えることを特徴とする。
【００１３】
このような構成によれば、被検査体の積み上げ公差によって被検査体本体に対する端子の接続位置にバラツキがあっても、第１接触部材を移動させることで該バラツキを吸収することができる。これにより、前記第１接触部材を前記端子に確実に接触させることができる。なお、第１接触部材を前記端子に向かう方向に付勢しているので、その付勢力にてプローブ本体の押圧力を好適に受けることができる。よって、該端子と前記被検査体本体の接続部が破損することを抑えることができる。
【００１４】
また、前記第１付勢支持手段は、前記端子に向かう方向に前記第１接触部材を付勢する第１弾性部材を有してもよい。この場合、第１弾性部材の弾発力を利用して第１接触部材を付勢することができるので、第１付勢支持手段を簡易な構成にすることができる。
【００１５】
ところで、被検査体の通電検査は、被検査体本体を載置台等（支持手段）に載置した状態で行われることがある。しかしながら、前記被検査体本体には積み上げ公差があるので、該被検査体本体の前記載置台に対する接触が不安定になり易い。そのため、プローブ本体を端子に押圧した際に、該被検査体本体が揺らぎ（ふらつき）該プローブ本体と該端子の接触位置がずれることがある。
【００１６】
そこで、本発明では、前記被検査体本体を支持する支持手段を備え、前記支持手段は、前記被検査体本体に接触可能な第２接触部材と、前記第２接触部材を移動可能に支持すると共に、前記被検査体本体に向かう方向に前記第２接触部材を付勢する第２付勢支持手段と、を有してもよい。
【００１７】
このような構成によれば、前記被検査体本体に積み上げ公差があったとしても、第２接触部材を移動させることで該積み上げ公差を吸収することができる。これにより、該被検査体本体の支持手段に対する接触が安定する。よって、プローブ本体を端子に押圧した際に、該被検査体本体が揺らぐことを抑えることができる。なお、第２接触部材を前記被検査体本体に向かう方向に付勢しているので、その付勢力にて該被検査体本体の重量を好適に支持することができる。
【００１８】
また、前記第２付勢支持手段は、前記被検査体本体に向かう方向に前記第２接触部材を付勢する第２弾性部材を有してもよい。この場合、第２弾性部材の弾発力を利用して第２接触部材を付勢することができるので、第２付勢支持手段を簡易な構成にすることができる。
【００１９】
さらに、前記１弾性部材のばね係数は、前記第２弾性部材のばね定数よりも大きく設定されていてもよい。
【００２０】
この場合、プローブ本体の押圧力に応じて、第１弾性部材及び第２弾性部材を圧縮させて、第１弾性部材の弾発力を調整することができる。つまり、第１弾性部材のばね定数が第２弾性部材のばね定数よりも大きいので、第２弾性部材を被検査体の位置調整用の弾性部材として機能させると共に、第１弾性部材を前記プローブ本体の押圧力を受けるための弾性部材として機能させることができる。これにより、前記プローブ本体の押圧力を第２弾性部材の弾発力で受けるのではなく、第１弾性部材の弾発力で受けることができるので、前記端子と前記被検査体本体の接続部の破損をより確実に抑えることができる。
【００２１】
また、前記被検査体は、前記端子を複数有しており、前記プローブ本体と前記押圧手段と前記第１付勢支持手段とは、各端子に対応して設けられていてもよい。
【００２２】
そうすると、一度に複数箇所の端子の通電検査が可能となるので、被検査体の通電検査を効率的に行うことができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、被検査体の公差によって被検査体本体に対する端子の接続位置にバラツキがあっても、第１接触部材を移動させることで該バラツキを吸収することができる。これにより、前記第１接触部材を前記端子に確実に接触させることができるので、該端子と前記被検査体本体の接続部が破損することを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】被検査体を支持機構に配置した状態の本実施形態に係る通電検査装置の一部断面側面図である。
【図２】被検査体を支持機構に配置した状態の本実施形態に係る通電検査装置の一部断面正面図である。
【図３】被検査体本体の積み上げ公差を説明するための図である。
【図４】本実施形態に係る通電検査装置を用いた被検査体の通電検査の手順を示したフローチャートである。
【図５】第１及び第２プローブの接触部が第１及び第２端子の端子板に接触した状態を示す通電検査装置の一部断面正面図である。
【図６】第３プローブの接触部が第３端子の端子板に接触した状態を示す通電検査装置の一部断面正面図である。
【図７】第１〜第３プローブが第１〜第３端子を押圧している状態を示す通電検査装置の一部断面正面図である。
【図８】第１〜第３プローブの押圧力が予め設定した所定範囲内に到達した状態を示す通電検査装置の一部断面正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明に係る通電検査装置について好適な実施形態を例示し、添付の図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２６】
本実施形態に係る通電検査装置１０は、被検査体１００の電気特性を検査するために用いられるものである（図１及び図２参照）。被検査体１００としては、例えば、大電流を通電するインバータ等が挙げられる。
【００２７】
なお、以下の説明では、通電検査装置１０に関する部材については参照符号１０以降を付し、被検査体１００に関する部材については参照符号１００以降を付して説明する。
【００２８】
そして、図１及び図２に示すように、被検査体１００は、被検査体本体１０２と、被検査体本体１０２の側部から外方に突出した第１〜第３端子１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃ（図２参照）とを備えている。
【００２９】
被検査体本体１０２は、筐体の中にパワーモジュール等が設けられたインバータ１０６とヒートシンク１０８とを有している。
【００３０】
ヒートシンク１０８は、インバータ１０６の下面に設けられた天板部１１０と、天板部１１０の下面から下方に延びたフィン部１１２とを含む。図２から諒解されるように、天板部１１０は、その両端部がフィン部１１２よりも外側に張り出すようにして形成されている。なお、ヒートシンク１０８は、フィンを有する形状のものでなくても、天板部１１０が張り出しているものであればよい。
【００３１】
第１〜第３端子１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃは、等間隔に離間して配置されている（図２参照）。第１端子１０４ａは、前記筐体に対して一体に設けられて中央に貫通孔が形成された端子本体１１４と、端子本体１１４の上面に埋め込まれたナット１１６と、ナット１１６の上面に配置されてインバータ１０６の前記パワーモジュールに電気的に接続された端子板１１８とを有している。
【００３２】
なお、第２端子１０４ｂ及び第３端子１０４ｃは、第１端子１０４ａと同一の構成を有しているので、その構成の説明を省略する。
【００３３】
上述したように、被検査体１００は、複数の部品を組み合わせた組立品として構成されている。そのため、被検査体１００には積み上げ公差が発生することとなる。その結果、図２に示すように、第３端子１０４ｃが第２端子１０４ｂよりも距離Ａだけ下方にずれて位置すると共に、図３に示すように、天板部１１０の両端部（張出部１１０ａ、１１０ｂ）のうち、一方の張出部１１０ａの下面が他方の張出部１１０ｂの下面よりも距離Ｂだけ下方にずれて位置している。
【００３４】
なお、前記距離Ａ及び前記距離Ｂは、被検査体１００の積み上げ公差範囲内となる。また、図２では一例として、第１端子１０４ａと第２端子１０４ｂは、第１端子１０４ａの厚さ方向の位置が揃った状態を示している。
【００３５】
通電検査装置１０は、図１及び図２に示すように、第１端子１０４ａの上方に位置する第１プローブ１２ａと、第２端子１０４ｂの上方に位置する第２プローブ１２ｂと、第３端子１０４ｃの上方に位置する第３プローブ１２ｃと、第１プローブ１２ａ、第２プローブ１２ｂ、及び第３プローブ１２ｃを連結する連結部材１４と、被検査体１００を支持する支持手段として支持機構１６とを備えている。なお、第１〜第３プローブ１２ａ、１２ｂ、１２ｃは、その昇降方向の位置が揃うように配置されている。
【００３６】
次に、第１プローブ１２ａの構成について説明するが、第２プローブ１２ｂ及び第３プローブ１２ｃは、第１プローブ１２ａと同一の構成を有しているので、その構成の説明を省略する。
【００３７】
図１及び図２に示すように、第１プローブ１２ａは、一方向（Ｘ方向）に延びたプローブ本体１８と、プローブ本体１８を支持するプローブ本体支持部材２０とを有している。
【００３８】
プローブ本体１８は、金属で構成されている。具体的には、プローブ本体１８は、ステンレス鋼や真鍮等の母材に対してニッケル（Ｎｉ）や金（Ａｕ）等のメッキ処理を施すことにより構成されている。
【００３９】
また、プローブ本体１８は、先端側に位置する第１細径部２２と、後端側に位置して第１細径部２２と略同一の径を有する第２細径部２４と、第１細径部２２と第２細径部２４の間に位置する大径部２６とを有する。
【００４０】
第１細径部２２と第２細径部２４のそれぞれは、棒状に形成されている。第１細径部２２の先端には、第１端子１０４ａの端子板１１８に接触する接触部２８が設けられ、接触部２８は平面に形成されている。これにより、接触部を半球状に形成した場合と比較して、第１端子１０４ａの端子板１１８に対する接触部２８の接触面積を大きくすることができる。よって、第１端子１０４ａの端子板１１８と接触部２８との間の電気抵抗を低くすることができる。
【００４１】
なお、接触部２８の表面粗さ（Ｒａ）は、１０［μｍ］以下に設定されている。これにより、接触部２８と端子板１１８との間の電気抵抗を一層低くすることができる。
【００４２】
大径部２６の後端には、一対のワッシャ３０、３２に挟まれた押圧手段としての押圧用弾性部材３４が設けられている。なお、各ワッシャ３０、３２は、例えば、樹脂等の電気絶縁性の高い材料で構成されている。押圧用弾性部材３４としては、例えば、圧縮コイルばねが利用される。
【００４３】
押圧用弾性部材３４のばね定数は、所定（例えば、５００［Ｎ］以上）の押圧力を端子板１１８に対して付与可能な程度に設定されている。
【００４４】
第２細径部２４には、図示しない電流供給部が接続されており、該電流供給部から数百［Ａ］〜数千［Ａ］の電流が供給される。
【００４５】
プローブ本体支持部材２０は、大径部２６と接触することによりプローブ本体１８の下方への移動を制限する第１移動制限部材３６と、ワッシャ３２と接触することによりプローブ本体１８の上方への移動を制限する第２移動制限部材３８とを有している。
【００４６】
なお、大径部２６と第１移動制限部材３６とが接触している状態で、ワッシャ３２と第２移動制限部材３８とは離間しており、その離間間隔は、被検査体１００の積み上げ公差よりも大きく設定されている。
【００４７】
また、図２に示すように、連結部材１４は、第１〜第３プローブ１２ａ、１２ｂ、１２ｃのプローブ本体支持部材２０に接続しており、床面等に載置される図示しない固定台に対して昇降可能に構成されている。これにより、第１〜第３プローブ１２ａ、１２ｂ、１２ｃが一体に昇降可能となる。
【００４８】
支持機構１６は、第１端子１０４ａを支持する第１端子支持部材４０ａと、第２端子１０４ｂを支持する第２端子支持部材４０ｂと、第３端子１０４ｃを支持する第３端子支持部材４０ｃと、被検査体本体１０２を支持する第１及び第２ステージ４２ａ、４２ｂとを有している。
【００４９】
図１及び図２に示すように、第１端子支持部材４０ａは、第１端子１０４ａの端子本体１１４の下面に接触可能な第１接触部材４４と、第１接触部材４４がＸ方向に移動可能な状態で挿入される第１挿入穴４６が形成され、且つ床面に載置された第１固定部４８と、第１挿入穴４６に配置され、且つ端子本体１１４に向かう方向（上方）に第１接触部材４４を付勢する第１弾性部材５０とを含む。
【００５０】
第１接触部材４４は、例えば、ＰＥＥＫ（ポリエーテル・エーテル・ケトン）やＰＥＳ（ポリエーテルサルフォン）等の電気絶縁性の高い材料で構成されている。また、第１接触部材４４の移動可能距離（ストローク）は、被検査体１００の積み上げ公差よりも大きく設定されている。例えば、前記積み上げ公差が±０．５［ｍｍ］に設定されていた場合には、第１接触部材４４のストロークは、４．５［ｍｍ］〜５．５［ｍｍ］程度の範囲に設定される。
【００５１】
第１弾性部材５０のばね定数は、プローブ本体１８の押圧力と第１接触部材４４のストロークに基づいて設定されている。具体的には、第１弾性部材５０のばね定数は、プローブ本体１８の押圧力を受けられる程度に設定されており、例えば、１００［Ｎ／ｍｍ］程度に設定されている。
【００５２】
第１弾性部材５０としては、例えば、圧縮ばねが用いられる。但し、第１弾性部材５０として、ゴム等を利用してもよい。
【００５３】
なお、第２端子支持部材４０ｂと第３端子支持部材４０ｃは、第１端子支持部材４０ａと同一の構成を有しているため、その構成の説明を省略する。
【００５４】
第１及び第２ステージ４２ａ、４２ｂは、天板部１１０の張出部１１０ａ、１１０ｂと床面の間に位置している。具体的には、第１及び第２ステージ４２ａ、４２ｂは、被検査体本体１０２の中心から第１〜第３端子１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃが位置する側とは反対側にオフセットしている（図１参照）。これにより、被検査体１００を支持機構１６に配置したときに、第１〜第３端子支持部材４０ａ、４０ｂ、４０ｃから被検査体１００に生じる反力を第１及び第２ステージ４２ａ、４２ｂによって受ける（相殺させる）ことができるので、被検査体１００をバランスよく支持することができる。
【００５５】
第１ステージ４２ａは、張出部１１０ａの下面に接触可能な第２接触部材５２と、第２接触部材５２がＸ方向に移動可能な状態で挿入される第２挿入穴５４が形成され、且つ床面に載置された第２固定部５６と、第２挿入穴５４に配置され、且つ張出部１１０ａに向かう方向（上方）に第２接触部材５２を付勢する第２弾性部材５８とを含む。
【００５６】
第２接触部材５２は、第１接触部材４４と同様の材料で構成されている。また、第２接触部材５２の移動可能距離（ストローク）は、第１接触部材４４のストロークと略同等に設定されている。
【００５７】
第２弾性部材５８のばね定数は、第１弾性部材５０のばね定数よりも充分に小さく設定されている。第２弾性部材５８としては、例えば、圧縮ばねが利用される。但し、第２弾性部材５８として、ゴム等を利用してもよい。
【００５８】
なお、第２ステージ４２ｂは、第１ステージ４２ａと同一の構成を有しているため、その構成の説明を省略する。
【００５９】
本実施形態では、押圧用弾性部材３４のばね定数をｋ１、第１弾性部材５０のばね定数をｋ２、第２弾性部材５８のばね定数をｋ３とすると、ｋ２≧ｋ１＞ｋ３の関係が成立している。
【００６０】
以上のように構成される通電検査装置を用いた被検査体の通電検査の手順について図２、図４〜図８を参照しながら説明する。
【００６１】
先ず、図２に示すように、被検査体１００を支持機構１６に配置する（図４のステップＳ１）。具体的には、作業者（又はロボット）が、被検査体１００を所定の場所から支持機構１６の上方まで運び、該被検査体１００を水平に維持したまま降下する。
【００６２】
そうすると、先ず、第３端子１０４ｃが第３端子支持部材４０ｃの第１接触部材４４に接触すると共に、一方の張出部１１０ａが第１ステージ４２ａの第２接触部材５２に接触する。なお、このとき、第１端子１０４ａ、第２端子１０４ｂ、及び他方の張出部１１０ｂは、被検査体１００に対して非接触状態となっている。上述したように、第３端子１０４ｃが、第１端子１０４ａ及び第２端子１０４ｂよりも距離Ａだけ下方に位置すると共に、一方の張出部１１０ａの下面が他方の張出部１１０ｂの下面よりも距離Ｂだけ下方に位置しているからである。
【００６３】
被検査体１００が支持機構１６に接触すると、支持機構１６に被検査体１００の自重が作用するので、第３端子支持部材４０ｃの第１接触部材４４が、第１弾性部材５０を圧縮しながら下方に移動すると共に、第１ステージ４２ａの第２接触部材５２が、第２弾性部材５８を圧縮しながら下方に移動する。
【００６４】
そして、第３端子支持部材４０ｃの第１接触部材４４が距離Ａだけ下方に移動したときに、第１端子１０４ａが第１端子支持部材４０ａの第１接触部材４４に接触すると共に、第２端子１０４ｂが第２端子支持部材４０ｂの第１接触部材４４に接触し、第１ステージ４２ａの第２接触部材５２が距離Ｂだけ下方に移動したときに、他方の張出部１１０ｂが第２ステージ４２ｂの第２接触部材５２に接触する。このとき、被検査体１００の支持機構１６への配置が完了する。
【００６５】
これにより、被検査体１００の積み上げ公差によって第３端子１０４ｃが第１端子１０４ａ及び第２端子１０４ｂよりも下方にずれている場合であっても、第３端子支持部材４０ｃの第１接触部材４４を移動させることで該ずれを吸収することができるので、第１〜第３端子１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃに第１〜第３端子支持部材４０ａ、４０ｂ、４０ｃを確実に接触させることができる。
【００６６】
また、被検査体本体１０２の積み上げ公差によって一方の張出部１１０ａが他方の張出部１１０ｂよりも下方にずれている場合であっても、第１ステージ４２ａの第２接触部材５２を移動させることで該ずれを吸収することができるので、第１ステージ４２ａ及び第２ステージ４２ｂに両方の張出部１１０ａ、１１０ｂを確実に接触させることができる。
【００６７】
なお、前記距離Ａ及び前記距離Ｂは、被検査体１００の積み上げ公差範囲内であり、第１及び第２接触部材４４、５２のストロークに比べて充分小さいため、第３端子支持部材４０ｃの第１弾性部材５０の弾発力と、第１ステージ４２ａの第２弾性部材５８の弾発力とによって、被検査体１００が傾くことはない。つまり、被検査体１００は、支持機構１６に配置された状態で略水平に維持される。
【００６８】
次に、連結部材１４を降下する（ステップＳ２）と、図５に示すように、第１プローブ１２ａの接触部２８が第１端子１０４ａの端子板１１８に接触すると共に、第２プローブ１２ｂの接触部２８が第２端子１０４ｂの端子板１１８に接触する（ステップＳ３）。なお、このとき、第３プローブ１２ｃの接触部２８は、被検査体１００に対して非接触である。
【００６９】
続いて、連結部材１４をさらに降下すると、図６に示すように、第１及び第２プローブ１２ａ、１２ｂのプローブ本体支持部材２０がプローブ本体１８に対して相対的に下方に移動して大径部２６と第１移動制限部材３６とが離間すると共に、第３プローブ１２ｃの接触部２８が第３端子１０４ｃの端子板１１８に接触する（ステップＳ４）。
【００７０】
そして、連結部材１４をさらに降下すると、図７に示すように、第１〜第３プローブ１２ａ、１２ｂ、１２ｃのワッシャ３２が第２移動制限部材３８に接触して押圧用弾性部材３４が圧縮され、第１〜第３端子１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃに押圧用弾性部材３４の弾発力に相当する押圧力が作用する。
【００７１】
このとき、第１〜第３端子支持部材４０ａ、４０ｂ、４０ｃの第１接触部材４４が第１〜第３端子１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃに接触しているので、第１〜第３プローブ１２ａ、１２ｂ、１２ｃのプローブ本体１８から第１〜第３端子１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃに作用する押圧力を第１〜第３端子支持部材４０ａ、４０ｂ、４０ｃにて好適に受けることができる。
【００７２】
また、上述したように、張出部１１０ａ、１１０ｂを第１及び第２ステージ４２ａ、４２ｂの第２接触部材５２に確実に接触させているので、プローブ本体１８の押圧力が作用したときに、被検査体１００が揺らぐ（ふらつく）ことを抑えることができる。
【００７３】
その後、押圧用弾性部材３４の弾発力の総和が第１及び第２弾性部材５０、５８の弾発力の総和よりも大きくなったときに、図８に示すように、被検査体１００が、第１及び第２弾性部材５０、５８を圧縮しながら下方に移動する。
【００７４】
このとき、第１弾性部材５０のばね定数ｋ２を第２弾性部材５８のばね定数ｋ３よりも充分大きく設定しているので、第２弾性部材５８を被検査体１００の高さ調整用の弾性部材として機能させると共に、第１弾性部材５０をプローブ本体１８の押圧力を受けるための弾性部材として機能させることができる。
【００７５】
これにより、第１〜第３プローブ１２ａ、１２ｂ、１２ｃのプローブ本体１８の押圧力を第１及び第２ステージ４２ａ、４２ｂの第２弾性部材５８の弾発力で受けるのではなく、第１〜第３端子支持部材４０ａ、４０ｂ、４０ｃの第１弾性部材５０の弾発力にて受けることができるので、第１〜第３端子１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃとインバータ１０６との接続部の破損をより確実に抑えることができる。
【００７６】
そして、プローブ本体１８の押圧力が予め設定した所定範囲内に到達したときに、連結部材１４の降下を停止する（ステップＳ５）。なお、このとき、プローブ本体１８の押圧力は、例えば、５００［Ｎ］以上となりプローブ本体１８と端子板１１８の接触面積が大きくなるため、プローブ本体１８の接触部２８と端子板１１８との間の電気抵抗は、１［ｍΩ］以下になっている。
【００７７】
次に、前記電流供給部は、プローブ本体１８及び端子板１１８を介してインバータ１０６に電流を供給する（ステップＳ６）。そして、インバータ１０６の電気特性結果を取得した（ステップＳ７）後、連結部材１４を上昇する（ステップＳ８）。
【００７８】
連結部材１４が上昇すると、押圧用弾性部材３４、第１弾性部材５０、及び第２弾性部材５８に作用していた圧縮力が解除され、ワッシャ３２と第２移動制限部材３８とが離間する。そして、連結部材１４がさらに上昇すると、大径部２６が第１移動制限部材３６に接触すると共に、接触部２８が端子板１１８から離間するに至る。
【００７９】
その後、連結部材１４が所定の位置に到達したときに、連結部材１４の上昇を停止する（ステップＳ９）。この段階で、本実施形態に係る通電検査装置１０を用いた被検査体１００の通電検査手順は終了する。
【００８０】
本実施形態に係る通電検査装置１０によれば、プローブ本体１８の押圧力を第１弾性部材５０の弾発力を利用して受けているので、第１〜第３端子支持部材４０ａ、４０ｂ、４０ｃを簡易な構成にすることができる。
【００８１】
また、同様に、被検査体１００の重量を第２弾性部材５８の弾発力を利用して受けているので、第１及び第２ステージ４２ａ、４２ｂを簡易な構成にすることができる。
【００８２】
本実施形態によれば、第１〜第３端子１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃに対して、第１〜第３プローブ１２ａ、１２ｂ、１２ｃ及び第１〜第３端子支持部材４０ａ、４０ｂ、４０ｃを設けているので、一度に３箇所の端子の通電検査が可能となり、被検査体１００の通電検査を効率的に行うことができる。
【００８３】
本発明は上記実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることは当然可能である。
【００８４】
上記実施形態では、第１〜第３端子支持部材において、第１弾性部材の弾発力を利用して第１接触部材を上方に付勢している例を説明したが、第１弾性部材に換えてピストンが移動可能に挿入されるシリンダに流体を供給することにより、該ピストンを押圧して前記第１接触部材を上方に付勢してもよい。このことは、上述した第１及び第２ステージに対しても同様である。
【符号の説明】
【００８５】
１０…通電検査装置                      １２ａ…第１プローブ
１２ｂ…第２プローブ                    １２ｃ…第３プローブ
１８…プローブ本体                      ３４…押圧用弾性部材（押圧手段）
４０ａ…第１端子支持部材                ４０ｂ…第２端子支持部材
４０ｃ…第３端子支持部材                ４２ａ…第１ステージ
４２ｂ…第２ステージ                    ４４…第１接触部材
５０…第１弾性部材（第１付勢支持手段）  ５２…第２接触部材
５８…第２弾性部材（第２付勢支持手段）  １００…被検査体
１０２…被検査体本体                    １０４ａ…第１端子
１０４ｂ…第２端子                      １０４ｃ…第３端子
１１４…端子本体                        １１８…端子板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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