(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器本体内に充填された蒸着材料を蒸発させる蒸発用容器と、この蒸発用容器の上方に配置されるとともに蒸発された蒸着材料を連通部を介して導き被蒸着部材に蒸着させる蒸着用容器と、上記連通部に配置されて蒸発された蒸着材料の通過量を調整する調整手段とを具備する蒸着装置であって、
上記蒸発用容器の容器本体内の上方に、一部の連通空間を残して上側空間部と下側空間部とに区画し得る区画部材を配置し、
この区画部材の下面側に下側空間部内の蒸着材料を加熱し得る下部加熱手段を配置するとともに、上記区画部材の上面側に下側空間部から上記連通空間を介して上側空間部内に移動した蒸着材料を冷却し得る冷却手段および当該区画部材の上面に付着した蒸着材料を加熱し蒸発させ得る上部加熱手段を配置したことを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
容器本体内に充填された蒸着材料を蒸発させる蒸発用容器を複数有し、これら蒸発用容器の上方に配置されるとともに蒸発された各蒸着材料を連通部を介して導き被蒸着部材に蒸着させる蒸着用容器と、上記連通部に配置されて蒸発された各蒸着材料の通過量を調整する調整手段とを具備する蒸着装置であって、
上記各蒸発用容器の容器本体内の上方に、一部の連通空間を残して上側空間部と下側空間部とに区画し得る区画部材をそれぞれ配置し、
これら各区画部材の下面側に下側空間部内の各蒸着材料を加熱し得る下部加熱手段をそれぞれ配置するとともに、上記各区画部材の上面側に下側空間部から上記連通空間を介して上側空間部内に移動した各蒸着材料を冷却し得る冷却手段および当該区画部材の上面に付着した各蒸着材料を加熱し蒸発させ得る上部加熱手段をそれぞれ配置したことを特徴とする蒸着装置。
【請求項３】
区画部材を、蒸発用容器の容器本体の内周壁面から内側に突出する環状に形成したことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばガラス基板の表面に金属材料、有機材料などの蒸着材料を蒸着させるための蒸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ディスプレイなどを製造する際に、例えばガラス基板の表面に金属材料、有機材料などの蒸着材料を蒸着させて薄膜を形成しているが、従来、このような薄膜を形成する場合、蒸着材料の蒸発室および蒸発した蒸着材料の蒸着室を有する蒸着装置が用いられている。
【０００３】
すなわち、この蒸着装置は、蒸着材料である有機材料を収納するとともに、蒸発源として当該有機材料を加熱して蒸発させる金属製のルツボ（蒸発室）と、このルツボを収容して当該ルツボの上方に配置されたガラス基板に有機材料を蒸着させる蒸着室とを有し、また金属製のルツボを加熱するための高周波電源を蒸着室外に設け、この高周波電源からの電線をルツボの外周面に誘電コイルとして配設し、誘電電流によりルツボを加熱するものである（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
上記構成において、有機材料（蒸着材料）を蒸着させる場合、蒸着室内を所定の真空状態にするとともに、高周波電源により金属製のルツボを誘電加熱して、このルツボに収容された有機材料を蒸発させて、ガラス基板に蒸着させていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１３４２５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、蒸着速度を上げるためには、一般に有機材料（蒸着材料）を収納したルツボの加熱温度を上げればよいが、有機材料（蒸着材料）を長時間高温にすると、その性状が劣化するという問題があった。また、有機材料（蒸着材料）の性状が劣化すると却って蒸着速度が低下し、十分な蒸着速度が得られないという問題もあった。
【０００７】
そこで、本発明は、蒸着材料の性状の劣化を抑制して、十分な蒸着速度が得られる蒸着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明の請求項１に係る蒸着装置は、容器本体内に充填された蒸着材料を蒸発させる蒸発用容器と、この蒸発用容器の上方に配置されるとともに蒸発された蒸着材料を連通部を介して導き被蒸着部材に蒸着させる蒸着用容器と、上記連通部に配置されて蒸発された蒸着材料の通過量を調整する調整手段とを具備する蒸着装置であって、
上記蒸発用容器の容器本体内の上方に、一部の連通空間を残して上側空間部と下側空間部とに区画し得る区画部材を配置し、
この区画部材の下面側に下側空間部内の蒸着材料を加熱し得る下部加熱手段を配置するとともに、上記区画部材の上面側に下側空間部から上記連通空間を介して上側空間部内に移動した蒸着材料を冷却し得る冷却手段および当該区画部材の上面に付着した蒸着材料を加熱し蒸発させ得る上部加熱手段を配置したものである。
【０００９】
また、請求項２に係る蒸着装置は、容器本体内に充填された蒸着材料を蒸発させる蒸発用容器を複数有し、これら蒸発用容器の上方に配置されるとともに蒸発された各蒸着材料を連通部を介して導き被蒸着部材に蒸着させる蒸着用容器と、上記連通部に配置されて蒸発された各蒸着材料の通過量を調整する調整手段とを具備する蒸着装置であって、
上記各蒸発用容器の容器本体内の上方に、一部の連通空間を残して上側空間部と下側空間部とに区画し得る区画部材をそれぞれ配置し、
これら各区画部材の下面側に下側空間部内の各蒸着材料を加熱し得る下部加熱手段をそれぞれ配置するとともに、上記各区画部材の上面側に下側空間部から上記連通空間を介して上側空間部内に移動した各蒸着材料を冷却し得る冷却手段および当該区画部材の上面に付着した各蒸着材料を加熱し蒸発させ得る上部加熱手段をそれぞれ配置したものである。
【００１０】
さらに、請求項３に係る蒸着装置は、請求項１または請求項２に記載の蒸着装置において、区画部材を、蒸発用容器の容器本体の内周壁面から内側に突出する環状に形成したものである。
【発明の効果】
【００１１】
上記蒸着装置によると、容器本体内の蒸着材料を全て蒸着用に加熱するのではなく、蒸着材料を必要な分だけ区画部材に付着させた上で蒸着用に加熱するため、蒸着材料の性状の劣化を抑制できる。また、蒸着材料の性状が劣化しないことから、十分な蒸着速度を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施例１に係る蒸着装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】同蒸着装置のＡ−Ａ断面図である。
【図３】本発明の実施例２に係る蒸着装置の概略構成を示す断面図である。
【図４】本発明の実施例３に係る蒸着装置を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００１３】
以下、本発明の実施例１に係る蒸着装置を、図面に基づき説明する。
この蒸着装置には、図１に示すように、内部に蒸着室２１を有するとともにこの蒸着室２１内に被蒸着部材であるガラス基板Ｋの保持具２２が設けられた蒸着用容器２と、この蒸着用容器２の下方に配置され且つ蒸着材料が充填される円柱形状の蒸発容器本体（ルツボともいい、その内部が蒸発室３１となる）３０を有する蒸発用容器３と、上記蒸着用容器２とこの蒸発用容器３との間に配置されて蒸発容器本体３０内すなわち蒸発室３１で蒸発された蒸着材料（以下、蒸着材蒸気という）を蒸着室２１に導く連通部４とが具備されている。
【００１４】
この蒸着用容器２は、蒸着材蒸気を蒸着室２１に導入する導入口２３が底壁部に形成されており、この導入口２３の下側に取り付けられて上記連通部４と接続するためのフランジ部２Ｆと、上記導入口２３と内周面が同一面になるように蒸着室２１内に設けられて蒸着材蒸気を整流して蒸着室２１に導く導入管部２４と、この導入管部２４に配設された電熱線とこの電熱線に通電する電源（図示せず）とからなり当該導入管部２４を通過する蒸着材蒸気を加熱して温度低下を防止する導入管加熱部２５と、導入管部２４の上端に取り付けられて蒸着材蒸気を拡散させる拡散穴が上面に多数形成された拡散用箱体２６と、蒸着室２１を所定の真空度にし得る真空装置２７とが具備されている。また、この蒸着用容器２は、ガラス基板Ｋの搬入出用の基板交換用開口部２８が側壁部に形成され、この基板交換用開口部２８に基板交換用のロードロック室２９が接続されている。また、この基板交換用開口部２８には、仕切弁２９Ｖが設けられている。なお、上記真空装置２７は、蒸着室２１を排気する排気ポンプ２７Ｐと、この排気ポンプ２７Ｐと蒸着室２１を接続する真空用配管２７Ｄと、この真空用配管２７Ｄに設けられて蒸着室２１の真空度を調整する真空用開閉弁２７Ｖとから構成される。
【００１５】
上記連通部４は、蒸発室３１からの蒸着材蒸気を通過させて蒸着室２１に導くために下端および上端にそれぞれ下部連通口４３Ｌおよび上部連通口４３Ｕが形成された連通本体部４０と、この連通本体部４０を２つの室に仕切るとともに開口部（以下、流入調整開口部４８という）を有してこれらの室を連通する弁座部４６と、連通本体部４０に配設された電熱線とこの電熱線に通電する電源（図示せず）とからなり連通本体部４０を通過する蒸着材蒸気を加熱して温度低下を防止する連通加熱部４５と、下部連通口４３Ｌの下側および上部連通口４３Ｕの上側に取り付けられてそれぞれ蒸発用容器３および蒸着用容器２と接続するためのフランジ部４Ｆとから構成される。
【００１６】
上記弁座部４６は、鉛直板および２枚の水平板からなるとともに断面視が乙形状であり、この弁座部４６により仕切られる２つの室のうち、一方は、下部連通口４３Ｌを有する導入室４１Ｉであり、他方は、隣接する導入室４１Ｉから上記流入調整開口部４８を介して蒸着材蒸気を流入させるとともに上部連通口４３Ｕを介して当該蒸着材蒸気を蒸着室２１へ導出する導出室４１Ｏである。また、上記鉛直板に形成されるとともにこれらの室４１Ｉ，４１Ｏを連通する流入調整開口部４８はテーパ形状であり、導出室４１Ｏ側の開口面積の方が大きくなるように形成されている。
【００１７】
一方、連通部４には、蒸着材蒸気の通過量を調整する蒸気流量調整弁（調整手段の一例である）５が具備されている。この蒸気流量調整弁５は、上記導出室４１Ｏ内に位置して上記流入調整開口部４８に納まるテーパ形状（すなわち円錐台形状であり、小さい方の平面が流入調整開口部４８と対面する）の弁体部５８と、この弁体部５８が先端に取り付けられて出退自在なピストンロッドを有するシリンダ部５１とから構成される。また、シリンダ部５１は、伸展時では流入調整開口部４８を弁体部５８で完全に密閉し、収縮時では流入調整開口部４８から弁体部５８を十分離す程度に、ピストンロッドを出退できる構造である。
【００１８】
一方、蒸発用容器３は、蒸発容器本体３０の上面に形成されて蒸着材蒸気を上記連通部４に導出する導出口３３を有し、この導出口３３の上側に取り付けられて上記連通部４と接続するためのフランジ部３Ｆと、蒸発容器本体３０の側壁部（円周面である）および底壁部に亘って配設された電熱線とこの電熱線に通電する電源（図示せず）とからなるとともに蒸発室３１に充填された蒸着材料を加熱して蒸発させる蒸発加熱部３５とが具備されている。また、蒸発容器本体３０の側壁部には、直方体形状の区画部材６を水平に挿入しており、この区画部材６は、当該区画部材６の挿入側の先端と蒸発室３１の内周壁面の間に蒸着材蒸気が通過する空間を確保するように配置される。また、この区画部材６は、幅方向（挿入方向と直交する方向）の大きさが蒸発室３１の内径よりも小さくされているので、蒸発室３１の内周壁面と区画部材６との空間である連通空間３１Ｍは、図２に示すように、平面視において区画部材６の挿入方向および両幅方向の３方向で形成される。すなわち、蒸発室３１は、図１に示すように、区画部材６の下方に位置して蒸着材料が充填される下側空間部３１Ｌと、蒸発室３１の内周壁面と区画部材６との隙間である連通空間３１Ｍと、区画部材６の上方に位置して下側空間部３１Ｌから連通空間３１Ｍを介して上昇（移動）した蒸着材蒸気が滞留する上側空間部３１Ｕとが設けられていることになる。
【００１９】
上記区画部材６は、蒸発室３１に充填された蒸着材料を蒸発させるとともに、上側空間部３１Ｕに滞留した蒸着材蒸気を冷却して上面に付着させ、この付着した蒸着材料を加熱することにより再度蒸発させるものである。したがって、区画部材６には、下側空間部３１Ｌに充填された蒸着材料を加熱して蒸着材蒸気とする下部加熱部（下部加熱手段の一例である）６５Ｌと、上側空間部３１Ｕ内に滞留する蒸着材蒸気を冷却媒体により冷却する冷却部（冷却手段の一例である）６２と、区画部材６の上面に付着した蒸着材料を再度加熱して蒸発させる上部加熱部（上部加熱手段の一例である）６５Ｕとが設けられている。この下部加熱部６５Ｌは、区画部材６の下部に配設された電熱線と、この電熱線に通電する電源（図示せず）とから構成され、上部加熱部６５Ｕは、区画部材６の上部に配設された電熱線と、この電熱線に通電する電源（図示せず）とから構成される。一方、冷却部６２は、区画部材６の内部に配設されて冷却媒体（例えば図１で示すように冷却水である）を循環させる冷却媒体循環管６３と、この冷却媒体循環管６３への冷却媒体の流量を調整する冷却媒体流量調整弁６４とから構成される。
【００２０】
ところで、上側空間部３１Ｕ内に滞留した蒸着材蒸気を効率よく冷却するためにも、上側空間部３１Ｕは下側空間部３１Ｌに対して十分狭くなるようにされている。つまり、区画部材６が挿入される高さは、図１に示すように、蒸発容器本体３０のフランジ部３Ｆ寄り（上側）である。
【００２１】
また、蒸着装置１には、上記各加熱部（導入管加熱部２５、連通加熱部４５、蒸発加熱部３５、下部加熱部６５Ｌおよび上部加熱部６５Ｕである）および冷却部６２の温度、並びに蒸着材蒸気の流量を制御する制御装置７が具備されている。具体的には、この制御装置７は、電熱線に流れる電流を調整することにより当該電熱線の発熱量を制御して各加熱部の加熱温度を制御し得る加熱制御部７５と、冷却媒体流量調整弁６４の開度を調整することにより冷却媒体循環管６３を通過する冷却媒体の流量を制御して冷却部６２の冷却温度を制御し得る冷却制御部７２と、蒸気流量調整弁５における弁体部５８の出退を制御して連通部４から導出される蒸着材蒸気の流量（蒸着レート）を制御する蒸着レート制御部７８とから構成される。なお、加熱制御部７５は少なくとも２つの設定温度、すなわち、蒸着材料を劣化させない程度に蒸発させる温度と、蒸着材料を適切な速度で蒸発させる温度との切り替えが可能である。
【００２２】
上記構成において動作を説明する。
まず、蒸着室２１では、基板交換用開口部２８からガラス基板Ｋを搬入し、このガラス基板Ｋを保持具２２で保持させる。一方、蒸発室３１には蒸着材料を充填させておく。また、蒸気流量調整弁５では、制御装置７の蒸着レート制御部７８により、蒸気流量調整弁５の弁体部５８を流入調整開口部４８から離しておく（以下では、蒸気流量調整弁５は開状態にある、という）。
【００２３】
次に、真空用開閉弁２７Ｖを開くとともに排気ポンプ２７Ｐを作動させて、蒸着室２１を排気し、所定の真空度（例えば１０−４Ｐａ以下）にする。なお、蒸気流量調整弁５は開状態にあるので、蒸着室２１と同様に、連通本体部４０および蒸発室３１でも所定の真空度にされる。
【００２４】
そして、蒸着レート制御部７８により、弁体部５８を流入調整開口部４８へ挿入して弁座部４６を密閉する（以下では、蒸気流量調整弁５は閉状態にある、という）。
その後、制御装置７の加熱制御部７５により、蒸発加熱部３５、上部加熱部６５Ｕおよび下部加熱部６５Ｌで、蒸着材料を劣化させない程度に蒸発させる温度まで、蒸着材料を加熱する。また、蒸着材蒸気を蒸着室２１へ導く際に、蒸着材蒸気が冷却されて連通本体部４０および導入管部２４に付着するのを防ぐため、予め連通加熱部４５および導入管加熱部２５も加熱制御部７５によりオンにしておく。
【００２５】
これにより、蒸発室３１の蒸着材料は蒸発し、蒸着材蒸気として下側空間部３１Ｌから連通空間３１Ｍおよび上側空間部３１Ｕを介して連通部４の導入室４１Ｉまで上昇するが、蒸気流量調整弁５は閉状態にあるので、蒸着材蒸気は弁体部５８で遮断され、主として上側空間部３１Ｕに滞留する。
【００２６】
次に、加熱制御部７５により上部加熱部６５Ｕをオフにするとともに、冷却制御部７２により冷却部６２で上側空間部３１Ｕに滞留した蒸着材蒸気を冷却する。これにより、蒸着材蒸気は凝縮して区画部材６の上面に付着し、蒸発室３１の蒸着材蒸気が減少するので、下部加熱部６５Ｌによる加熱温度をさらに上げて、蒸着材料の蒸発を促進させる。
【００２７】
区画部材６の上面に付着した蒸着材料が所定量（ガラス基板Ｋに蒸着させる目標膜厚および蒸着面積から算出される）に達すると、冷却部６２をオフにするとともに、この蒸着材料を適切な速度で蒸発させる温度まで、蒸着材料を上部加熱部６５Ｕで加熱する。一方、蒸着レート制御部７８により蒸気流量調整弁５を開状態にし、上部加熱部６５Ｕで加熱された蒸着材料を、蒸着材蒸気として蒸着室２１まで導き、ガラス基板Ｋへの蒸着が開始される。
【００２８】
このとき、蒸着レート制御部７８により、流入調整開口部４８に対する弁体部５８の出退量を調整して、蒸着レートが一定になるようにする。一般に蒸着レートは、区画部材６に付着した蒸着材料の量が十分であれば大きいが、この蒸着材料の量が減少するにつれて小さくなる。したがって、区画部材６に付着した蒸着材料が上部加熱部６５Ｕによる蒸発で減少するにつれて、シリンダ部５１を収縮させて弁体部５８を流入調整開口部４８から離していく、すなわち流入調整開口部４８における蒸着材蒸気の通過断面積を増大させていくことで、当該蒸着材蒸気の単位時間あたりの通過量を一定にする。なお、弁体部５８を十分に流入調整開口部４８から離しても、蒸着材蒸気の単位時間あたりの通過量が不足するときは、下部加熱部６５Ｌによる加熱温度を必要に応じて上げることで、蒸着レートを一定に保つ。
【００２９】
そして、ガラス基板Ｋに蒸着した蒸着材料の膜厚が目標膜厚となれば、各加熱部をオフにするとともに、蒸気流量調整弁５を閉状態にして、蒸着材蒸気の蒸着室２１への流入を遮断する。そして、基板交換用開口部２８を介してガラス基板Ｋを交換し、新たなガラス基板Ｋを保持させる。この後、仕切弁２９Ｖを閉じて、蒸着室２１を真空装置２７により所定の真空度にする。
【００３０】
以後は、上述と同様に、蒸発室３１の蒸着材料の加熱、蒸着材蒸気の冷却および区画部材６に付着した蒸着材料の加熱による蒸着を行っていく。
このように、蒸発室３１の蒸着材料を全て蒸着用に加熱するのではなく、蒸着材料を必要な分だけ区画部材６に付着させた上で蒸着用に加熱するため、蒸着材料の性状の劣化を抑制できる。また、蒸着材料の性状が劣化しないことから、十分な蒸着速度を得ることができる。
【実施例２】
【００３１】
次に、本発明の実施例２に係る蒸着装置を図面に基づき説明する。
上記実施例１に係る蒸着装置１においては、円柱形状の蒸発容器本体３０に区画部材６が挿入された構成であったのに対し、本実施例２に係る蒸着装置においては、区画部材を円柱形状の蒸発容器本体の内周壁面から内側に突出する環状に形成したものである。
【００３２】
以下、本発明の実施例２に係る蒸着装置について説明するが、実施例１と異なる箇所である区画部材の構成について着目して説明するとともに、実施例１と同一の構成については、同一番号を付してその説明を省略する。
【００３３】
図３に示すように、蒸発容器本体１３０の内周壁面には、円環形状の区画部材１０６が突出して形成されており、この区画部材１０６が配置された蒸発容器本体１３０は、括れを有する円柱形状となる。また、当該区画部材１０６の下面側は、蒸着材蒸気を淀みなく上方へ導くため蒸発容器本体１３０の中心に向けて高くなるように傾斜させており、上面側は、蒸発容器本体１３０の中心に向けて低くなるように傾斜させている。また、上記区画部材１０６には、下面側に下部加熱部１６５Ｌが、上面側に冷却部１６２および上部加熱部１６５Ｕが設けられている。
【００３４】
さらに、上述の通り区画部材１０６は円環形状であるため、この区画部材１０６の内周側が、蒸着材蒸気が通過する空間（連通空間１３１Ｍ）となる。この連通空間１３１Ｍは、実施例１と異なり、円柱形状の蒸発容器本体１３０と同心の短円柱形状として形成される。すなわち、蒸発室１３１は、図３に示すように、区画部材１０６の下方に位置して蒸着材料が充填される下側空間部１３１Ｌと、区画部材１０６の内周側の連通空間１３１Ｍと、区画部材１０６の上方に位置して下側空間部１３１Ｌから連通空間１３１Ｍを介して上昇（移動）した蒸着材蒸気が滞留する上側空間部１３１Ｕとが設けられていることになる。
【００３５】
ところで、実施例１と同様に、上側空間部１３１Ｕ内に滞留した蒸着材蒸気を効率よく冷却するためにも、上側空間部１３１Ｕは下側空間部１３１Ｌに対して十分狭くなるようにされている。つまり、区画部材１０６が形成される高さは、図３に示すように、蒸発容器本体１３０のフランジ部３Ｆ寄り（上側）である。
【００３６】
なお、上記構成における動作は、実施例１と同様である。
このように、実施例１と同様に、蒸発室１３１の蒸着材料を全て蒸着用に加熱するのではなく、蒸着材料を必要な分だけ区画部材１０６に付着させた上で蒸着用に加熱するため、実施例１と同様の効果を有する。
【００３７】
さらに、実施例２では、連通空間１３１Ｍが蒸発容器本体１３０と同心に形成されているとともに、上記区画部材１０６の下面側を蒸発容器本体体１３０の中心に向けて高くなるように傾斜させているので、蒸着材蒸気を上側空間部１３１Ｕへ淀みなく導くことで、区画部材１０６の上面に蒸着材料を付着させやすくし、蒸着の効率を高めることができる。
【００３８】
ところで、上記実施例２では、区画部材１０６の上面側を傾斜させたものとして説明したが、付着する蒸着材料の流れ落ちを防止するため、水平にしてもよい。
また、上述した実施例１および実施例２での蒸発容器本体３０，１３０は、円柱形状として説明したが、この形状に限定されるものではなく、多角柱形状など他の形状であってもよい。
【００３９】
さらに、上述した実施例１および実施例２において、各加熱部は電熱線および電源からなり、冷却部６２は冷却媒体循環管６３，１６３および冷却媒体流量調整弁６４からなるものとして説明したが、他の加熱手段および冷却手段であってもよい。
【実施例３】
【００４０】
次に、本発明の実施例３に係る蒸着装置を図面に基づき説明する。
上記実施例１および実施例２に係る蒸着装置１においては、１つの蒸発用容器３が蒸着用容器２の下方に配置されたものであるのに対し、本実施例３に係る蒸着装置においては、４つの蒸発用容器が蒸着用容器の下方に配置されたものである。
【００４１】
以下、本発明の実施例３に係る蒸着装置について説明するが、実施例１および実施例２と異なる箇所である蒸発用容器の数および連通部の構成について着目して説明するとともに、実施例１および実施例２と同一の構成については、同一番号を付してその説明を省略する。
【００４２】
図４に示すように、４つの蒸発用容器３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄには、それぞれ異なる蒸着材料Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄが充填されている。また、連通本体部２４０は、上記４つの蒸発用容器３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄの各蒸発室３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄから各蒸着材料Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを蒸着用容器２の蒸着室２１に導くものであるから、上部連通口２４３Ｕは１つであるが、下部連通口２４３Ｌは４つ形成されている。すなわち、連通本体部２４０は、上部では１本であるが、下部では４本に分岐して各蒸発用容器３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄに接続されている。また、この連通本体部２４０の４本に分岐した箇所においては、それぞれ蒸着流量調整弁５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄが具備されている。なお、各蒸発用容器３、蒸気流量調整弁５および上記構成以外の連通部２０４は、実施例１と同じ構成であるので、図４ではこれらの構成を概略的に示す。
【００４３】
また、図示しないが、実施例１および実施例２と同様に、上記各加熱部および冷却部の温度、並びに蒸着材蒸気の流量を制御する制御装置が具備されている。
上記構成において動作を説明する。
【００４４】
基本的には、実施例１で説明した動作と同様である。しかし、本実施例３に係る蒸着装置１では、実施例１と異なり、複数の蒸着材料および蒸発用容器を具備するので、蒸着を行う蒸着材料の順序に着目して説明する。
【００４５】
まず、全ての蒸着材料Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを蒸発用容器３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄから蒸発させて蒸着材蒸気とし、その後に冷却して凝縮させた蒸着材料Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを各区画部材６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄの上面にそれぞれ付着させるまでの動作については、実施例１で説明した通りに行う。
【００４６】
そして、まず蒸着材料Ａを、実施例１で説明した動作により、区画部材６Ａから蒸発させて、ガラス基板Ｋに蒸着させる。
次に蒸着材料Ｂを、同様に実施例１で説明した動作により、区画部材６Ｂから蒸発させて、ガラス基板Ｋに蒸着させる。一方、蒸着材料Ｂを蒸発させている間に、蒸発用容器３Ａ内の蒸着材料Ａを、上述した通り、蒸発させて蒸着材蒸気とした後に冷却して凝縮させ、それぞれ区画部材６Ａの上面に付着させておく。
【００４７】
さらに、同様にして蒸着材料Ｃをガラス基板Ｋに蒸着させ、この間に蒸着材料Ｂを区画部材６Ｂの上面に付着させておく。
同様にして各蒸発用容器からの蒸着を順に繰り返し、ガラス基板Ｋに各蒸着材料Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの多層膜を形成させる。
【００４８】
以後は、実施例１と同様にして、ガラス基板Ｋを交換し、新たなガラス基板Ｋに上述ように多層膜を形成させていく。
このように、本実施例３に係る蒸着装置は、実施例１と同様の効果を有し、さらに、複数の蒸着材料による多層膜を得ることができる。
【００４９】
ところで、上記実施例３では、各蒸発用容器３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄは実施例１での蒸発用容器３と同一のものとして説明したが、実施例２での蒸発用容器３と同一のものを用いてもよい。
【００５０】
また、上記実施例３では、蒸発用容器の数は４つとして説明したが、複数であればよく、４つに限定されるものではない。
【符号の説明】
【００５１】
１      蒸着装置
２      蒸着用容器
３      蒸発用容器
４      連通部
５      蒸気流量調整弁
６      区画部材
７      制御装置
２９    ロードロック室
３０      蒸発容器本体
３１Ｕ    上側空間部
３１Ｍ    連通空間
３１Ｌ    下側空間部
４６      弁座部
４８      流入調整開口部
５１      シリンダ部
５８      弁体部
６２      冷却部
６５Ｕ    上部加熱部
６５Ｌ    下部加熱部
７２      冷却制御部
７５      加熱制御部
７８      蒸着レート制御部
１０６      区画部材
１３１      蒸発室
１６３      冷却媒体循環管
１６５Ｕ    上部加熱部
１６５Ｌ    下部加熱部
２０４      連通部
２４０      連通本体部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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