(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子と、
前記光学素子の自重を受ける保持面を有する保持台と、
前記光学素子の外周縁と前記保持台の前記保持面の間に配置され、前記外周縁側に平面を有し、前記保持面に接触するシリンドリカル面を有する台座と、
前記光学素子の前記外周縁と前記台座の前記平面の間に配置された弾性部材と、を有し、
前記保持台の前記保持面に接触する前記シリンドリカル面受けの接触部は、前記光学素子の前記光軸に平行な方向に交差する方向に伸びる線であることを特徴とする光学素子保持装置。
【請求項２】
前記光学素子の前記外周縁が前記光軸に平行な方向にずれないように支持する光学素子支えを有することを特徴とする請求項１に記載の光学素子保持装置。
【請求項３】
前記台座と前記弾性部材の間に設けられる前記弾性部材を受ける部材と、
前記保持台に固定される光学素子支えベースと、
前記光学素子の外周縁と前記光学素子支えベースとの間に介在され、ネジを有し、回転されることにより前記光学素子を光軸方向に動かす前記光学素子支えと、を有することを特徴とする請求項２に記載の光学素子保持装置。
【請求項４】
前記弾性部材を受ける部材は、前記弾性部材を受ける光学素子受けベースと、
前記光学素子受けベースをスライド可能に受けるローラー部材と、を有することを特徴とする請求項３に記載の光学素子保持装置。
【請求項５】
前記弾性部材を受ける部材は、前記弾性部材を受ける光学素子受けベースと、
前記光学素子受けベースを受けるブロックと、
前記ブロックをスライド可能に受けるレールと、を有することを特徴とする請求項３記載の光学素子保持装置。
【請求項６】
前記弾性部材を受ける部材は、炭素鋼、ステンレスのいずれかを含むことを特徴とする請求項３から５のいずれかに記載の光学素子保持装置。
【請求項７】
前記弾性部材は、テフロン（登録商標）、ナイロンおよびプラスティックのいずれかを含むことを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の光学素子保持装置。
【請求項８】
前記台座は、炭素鋼、ステンレスのいずれかを含むことを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の光学素子保持装置。
【請求項９】
前記保持台の前記保持面に接触する前記台座の前記シリンドリカル面の曲率は、前記光学素子の半径および前記弾性部材の厚さに基づいて設定されることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の光学素子保持装置。
【請求項１０】
前記光学素子は、ミラーであることを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載の光学素子保持装置。
【請求項１１】
前記光学素子の自重を受ける複数の保持面を備え、
前記台座および前記弾性部材は、各々の保持面に設けられることを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載の光学素子保持装置。
【請求項１２】
投影光学系を介して原版のパターンを基板上に露光する露光装置であって、
前記投影光学系は、請求項１から１１のいずれかに記載の光学素子保持装置により保持された光学素子を含むことを特徴とする露光装置。
【請求項１３】
前記投影光学系は、重力方向に平行な方向に伸びる光軸を有する別の光学素子をさらに有することを特徴とする請求項１１に記載の露光装置。
【請求項１４】
前記基板は、ガラス基板であることを特徴とする請求項１２または１３のいずれかに記載の露光装置。
【請求項１５】
デバイスを製造するデバイス製造方法であって、請求項１２から１４のいずれかに記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記基板を現像する工程と、
該現像された基板を用いて、デバイスを形成する工程と、を備えることを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１６】
前記デバイスは、液晶パネルであることを特徴とする請求項１５に記載のデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有するレンズ、ミラーなどの光学素子有する光学素子保持装置、その光学素子保持装置を有する露光装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、特開平１１−２３１１９２号公報(特許文献１)により、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子を保持する光学素子保持装置が提案されている。
図８、図９、図１０に示されるこの従来例は、両可動支持部６３ａ、６３ｂは、レンズ６２の外周部に係合する受け部材６７と、装置本体としてのレンズ鏡筒５１に接合保持される基台部６８と、それらの間に介在された軸受構造とから構成される。
可動支持部６３ａ、６３ｂは、主にレンズ６２の重量に基づく荷重を支持する機能を有する荷重支持手段を構成する。
受け部材６７のレンズ６２側の対向面の中央には、レンズ６２の円周方向に沿って延びる溝７０が形成され、溝７０内の両端には、溝７０と交差するように延びる円弧状突部７１が形成されている。
溝７０には、レンズ６２の外周部に形成されたコバ部６２ａが係合し、円弧状凸部７１がレンズ６２のコバ部６２ａの外周面に当接する。
また、溝７０の内側面とレンズ６２のコバ部６２ａの側面との間には、ゴム等の弾性体によりなるパッキン７２が装着されている。
また、受け部材６７のレンズ６２側の対向面と反対側の面の中央には、軸受構造の一部を構成する円錐状凹部７３が形成されている。
【０００３】
一方、基台部６８のレンズ６２側の面の中央には、受け部材６７の円錐状凹部７３に対向するように、軸受構造の一部を構成する円錐状凹部７４が形成され、両円錐状凹部７３、７４の間に、軸受構造の一部を構成するボール７５が挿入されている。
この基台部６８は、レンズ６２側の面と反対側の面において、レンズ鏡筒５１の内周面に形成された支持座７６に対してボルト７７により接合固定される。
ここで、ボール７５は、受け部材６７の両円弧状突部７１のほぼ中央に対応する位置に配置されている。
このボール７５の配置と、前述のように両可動支持部６３ａ、６３ｂがＺ軸に対して対称に配置されていることから、各可動支持部６３ａ、６３ｂの各支持点ＳＰも前記Ｚ軸に対して対称に配置されていることになる。
この重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子保持装置であるレンズ支持装置６１では、３箇所の第1可動支持部６３ａ、第２可動支持部６３ｂ、固定支持部６４が、等角度間隔をおいて配置されている。
両可動支持部６３ａ、６３ｂにおいてレンズ６２の重量が上向きに支持され、固定支持部６４においてレンズ６２の傾動が規制され、支持部６３ａ、６３ｂ、６４は、レンズ鏡筒５１の支持座７６，８５に接合固定されている。
このため、レンズ６２のＺ軸を中心とした回転も規制されることになる。
つまり、各支持部６３ａ、６３ｂ、６４は、レンズ６２の回転規制機能を有する回転規制手段をも構成している。
【特許文献１】特開平１１−２３１１９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
半導体素子、液晶パネル等をフォトリソグラフィー法により製造する露光装置においては、光学素子の面精度として、ミクロンあるいはナノオーダーの精度が要求される。
しかし、この面精度が高精度でないことにより光学性能が劣化した場合、一度、鏡筒内に配置した光学素子を鏡筒内から取り出し、再加工をする必要がある。
このため、光学素子を鏡筒内から取り出し、光学素子に加工を施し、再度、鏡筒内に戻して搭載した場合に面精度の再現性を保証する必要がある。
図８、図９、図１０に示される特許文献１の従来例の光学素子保持装置においては、レンズ６２が可動支持部６３ａ、６３ｂの球面座でレンズ６２の自重を受ける。
実際に、レンズ６２と受け部材６７が接する部分は、図１１（ａ）に示される２本の線１０１（左右なので、２×２本の線）である。
しかし、レンズ６２の左右の受けどちらかにおいて、理想的には２本の線１０１で接することであるが、受け部材６７の２本の線１０１の加工精度の限界があるため、実際には２本の線１０１で接するということはない。
理想的な受け方をした場合のレンズ６２と受け部材６７が接する線１０１が図１１（ａ）に示され、実際の加工精度の限界により受け方が理想的でなくなり、レンズ６２と受け部材６７の接する偏った線１０２が図１１（ｂ）に示される。
さらに、レンズ６２が接する測定機上の部分あるいは加工機上の部分と、鏡筒５１内に搭載したときの受け部材６７とを同じに構成したとしても、加工精度の限界があり、同じ物ではない。
このため、レンズ６２が接する測定機上の部分あるいは加工機上の部分と、鏡筒５１内に搭載されたときのレンズ６２と受け部材６７の接する部分は異なる。
このことは、レンズ６２が受け部材６７から受ける力の場所、量が異なり、レンズ６２が測定機上あるいは加工機上で面精度を高精度に形成されたとしても、鏡筒５１内に搭載した場合、レンズ６２の面精度が劣化することを意味する。
このため、予め測定機と加工機で光学素子であるレンズ６２の面形状を形成し、レンズ６２の面精度を高精度に形成する。
しかし、レンズ６２を鏡筒５１内に搭載したときに、測定機あるいは加工機でのレンズ６２の受けと、鏡筒５１内のレンズ６２の受けを同形状に形成したとしても、受けの加工公差によって、レンズ６２の面精度が劣化する。
【０００５】
次に、図１２、図１２の部分拡大図である図１３を参照して、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子を保持する他の光学素子保持装置を説明する。
レンズ６２は、そのコバ部６２ａをパッキン７２及び受け部材６７で挟まれており、光軸方向に力を受けている。
この構成の状態を２つの場合で説明すると、まず、パッキン７２が受け部材６７に予め装着されている状態にレンズ６２を挿入する場合である。
この場合は、コバ部６２ａの光軸方向にかかる力は等しくなるが、挿入の再に、コバ部６２ａにおいて円周方向に摩擦力が働き、レンズ６２の面精度を劣化させる。
また、レンズ６２を搭載し直した場合は、この摩擦力は再現されないので、面精度も一定にならない。
次に、受け部材６７にレンズ６２を挿入し、後からパッキン７２を挿入する場合を説明する。
この場合は、受け部材６７の底面とレンズ６２の外周面との間に摩擦力が働くため、レンズ６２を搭載する場合によって、図１３（ａ）に示されるようにパッキン７２から受ける力１１３が、受け部材６７から受ける力１１４よりも小さい場合もある。
逆に、図１３（ｂ）に示されるように、パッキン７２から受ける力１１３が受け部材６７から受ける力１１４よりも大きい場合もある。
この結果、コバ部６２ａの挟み込みの力が一定にならないため、レンズ６２の面精度を一定に保つことが困難である。  
しかし、レンズ６２の面精度を一定に保つためには、光学素子であるレンズ６２のコバ部６２ａにおいて、光軸方向にかかる力を一定にする必要性がある。
そこで、本発明は、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子を鏡筒内から取り出し、加工を施し、再度、鏡筒内に搭載した場合に、その光学素子の面変形量を低減し、所定の面精度を再現できる光学素子保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための本発明の光学素子保持装置は、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子と、前記光学素子の自重を受ける保持面を有する保持台と、前記光学素子の外周縁と前記保持台の前記保持面の間に配置され、前記外周縁側に平面を有し、前記保持面に接触するシリンドリカル面を有する台座と、前記光学素子の前記外周縁と前記台座の前記平面の間に配置された弾性部材と、を備え、前記保持台の前記保持面に接触する前記シリンドリカル面受けの接触部は、前記光学素子の前記光軸に平行な方向に交差する方向に伸びる線であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子を鏡筒内から取り出し、加工を施し、再度、鏡筒内に搭載した場合に、その光学素子の面変形量を低減し、所定の面精度を再現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施例を説明する。
まず、図７の全体構成図を参照して、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する本発明の実施例の光学素子保持装置が搭載される本発明の実施例の走査型露光装置を説明する。
本実施例の露光装置は、投影光学系であるミラー光学系２２を介して原版であるマスク２１のパターンを基板上であるワーク２８の上に露光する装置である。
照明系１９は、スリット状に成形された照明先を照射する光学系、アライメントスコープ２０は、原版であるマスク２１とガラス基板であるワーク２８のアライメントマークを検出する手段である。
ミラー光学系２２は照明系１９により照明されるマスク２１上のパターンの像をワーク２８上に投影する手段、光学薄体２３はミラー光学系２２内の入口側または出口側の光路上に配置した光学素子である。
照明系１９によって照明されるマスク２１上のパターンの像は、ミラー光学系２２の反射ミラー２４、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１、凸面鏡２７、再び凹面鏡１、反射ミラー２５、そして光学薄体２３を経てワーク２８に結像する。
光学素子１は、凹面鏡などのミラー、レンズなどから成る。
この状態において、ワーク２８をＹ方向に走査し、マスク２１上の全てのパターンを露光する。
ミラー光学系２２は、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子である凹面鏡１以外に、重力方向に平行な方向に伸びる光軸を有する別のミラーなどの光学素子をさらに有する場合もある。
【０００９】
次に、図１、図２、図３を参照して、本発明の実施例１の光学素子保持装置を説明する。
図１（ａ）は、本発明の実施例１の光学素子保持装置の構成図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
図２（ａ）は、図１の部分拡大構成図で、図２(ｂ)は、図２（ａ）のＣ矢視図である。
図３（ａ）は、図１の部分拡大構成図で、図３(ｂ)は図３（ａ）のＣ矢視図である。
重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する凹面鏡である光学素子１は、その外周のコバ部７の部分を２箇所の光学素子受け２及び球面受け３で保持する。
２箇所の光学素子受け２及び球面受け３は、保持台４を介して、保持台ベース５に保持される。  
保持台４は、光学素子１の自重を受ける保持面を有し、台座である球面受け３は、光学素子１の外周縁であるコバ部７と保持台４の保持面の間に配置され、外周縁側であるコバ部７の側に平面を有し、保持面に接触する球面を有する。
弾性部材である光学素子受け２は、光学素子１の外周縁あるコバ部７と台座である球面受け３の平面の間に配置される。
すなわち、光学素子１は、光学素子受け２、球面受け３、保持台４を介して、保持台ベース５で保持される。
光学素子１の外周縁であるコバ部７は、光軸方向と平行な方向であるＹ方向にずれないように、図１（ｂ）に示されるように、不図示の鏡筒に取り付けられている光学素子支え６により支えられている。
光学素子支え６は、光学素子１のコバ部７に対して接しているが、光軸方向であるＹ方向に力が掛からないため、光学素子１の光学面に、その力による変形を起こさせない。
【００１０】
光学素子受け２は、弾性変形を起こす柔らかい素材で構成され、例えば、テフロン(登録商標)、ナイロン、プラスティック、ゴムなどから成る。
この素材は、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１の重量により、光学素子受け２との接触部が弾性変域内で変形する素材から成る。
光学素子受け２の下に配置される球面受け３は、金属製、例えば、Ｓ４５Ｃ等の炭素鋼、もしくはステンレスなどから成り、球面受け３は、光学素子受け２と接している面の反対側が球面に形成され、その面が保持台４に接している。
また、保持台４と球面受け３の接触する側の面は、高周波焼入れ等の材料硬化処理が施される。
なお、保持台４の保持面に接触する台座である球面受け３の球面の曲率は、光学素子１の半径および弾性部材である光学素子受け２の厚さに基づいて設定される。
すなわち、図１に示されるように光学素子１の半径及び光学素子受け２の厚さ、さらに、球面受け３の厚さを足し合わせたＲの値に設定する。
【００１１】
ここで、図２を参照して、光学素子１の受け部分である光学素子受け２、球面受け３の力の掛かり方について説明する。
まず、球面受け３は、保持台４から力８を受け、球面受け３は球面部分で力を受けるので、小さい面積で力８を受けることになる。
次に、球面受け３と光学素子受け２は、不図示の接着剤もしくはネジ等で接続されるが、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１のコバ部７は、柔らかい素材から成る光学素子受け２に沈み込み７ａの深さで沈み込む。
コバ部７が沈み込み７ａの深さで沈み込むことで、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１のコバ部７は、一定の力９を受けることになる。
この力９を重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１が受けるため、光学素子受け２との接触部分は、図２に示されるように線１０のように線状になる。
【００１２】
次に、図３を参照して、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１が、光学素子受け２´、球面受け３´、保持台４´に搭載された実施例１を説明する。
図３の実施例１は、図２の実施例１と比較して、各々の部材に公差があるので、その範囲内で寸法が若干異なってくる。
図３の実施例１は、その寸法違いのために、図２の実施例１と比較して、保持台４´に傾き４ａが発生し、球面受け３´が保持台４´から受ける力８´は、その大きさ、方向が、図２の実施例における力８と，若干異なる。
しかし、球面受け３´と保持台４´の接する部分が球面であるために、球面受け３´が保持台４´から受ける力８´の面積は小さいまま受けることには変わりがない。
また、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１のコバ部７は光学素子受け２´に、沈み込み７ａの深さで沈み込んで力９´を受けていることに変わりはない。
この力９´を重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１が受けるため、光学素子受け２との接触部分は、図３に示されるように線１０´のように線状になる。
このため、保持台４´、光学素子受け２´、球面受け３´が公差の範囲内で変化しても、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１のコバ部７が図２の光学素子受け２から受ける力９と、図３の光学素子受け２´から受ける力９´は、ほぼ同じである。
よって、図２の実施例１と図３の実施例１とにおいて、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１の面変形に与える影響は同じである。
以上説明したように、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１は、図２、図３の実施例１におけるＹ方向の受ける力９、９´によって面の変形が起こり、また、Ｙ方向の受けの力９、９´の分布に敏感である。
このため、球面受け３はＸ軸周りに回転し、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１のコバ部７のＹ方向に均一の力９、９´が掛かるようにすることが必要となる。
本実施例１によれば、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１を鏡筒内から取り出し、加工を施し、再度、鏡筒内に搭載した場合に、その光学素子１の面変形量を低減し、所定の面精度を再現できる。
さらに、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１を、別の光学素子受け２´に搭載し直した場合でも、その光学素子１の面変形量を低減し、所定の面精度を再現できる。
【００１３】
次に、図４を参照して、本発明の実施例２を説明する。
図４（ａ）は、本発明の実施例２の光学素子保持装置の構成図、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
図４の本実施例２と図１の実施例１とが異なる点は、保持台４と接する部材が、球面受け３ではなく、一方向に円形である形状のシリンドリカル面受け１１である点である。
台座であるシリンドリカル面受け１１は、光学素子１の外周縁であるコバ部７と保持台４の保持面の間に配置され、外周縁側であるコバ部７の側に平面を有し、保持面に接触するシリンドリカル面を有する。
保持台４の保持面に接触するシリンドリカル面受け１１の接触部１１ａは、光学素子１の光軸に平行な方向に交差する方向に伸びる線である。
ここで、保持台４の保持面に接触する台座であるシリンドリカル面受けの曲率は、光学素子１の半径および弾性部材である光学素子受け２の厚さに基づいて設定される。
シリンドリカル面受け１１が、円形である方向は、図４におけるＹ方向である。
重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１の重量が重い場合、図１の実施例１のように球面受け３を用いると、球面受け３及び保持台４の間に発生する応力が大きくなり、塑性変形を起こしてしまう場合がある。
このため、本実施例２においては、球面受け３の代わりにシリンドリカル面受け１１を用いる。
この理由は、実施例１のように球面受け３は、点に近い小さい面積で受けることになるが、シリンドリカル面受け１１を使用する場合は、線に近いより大きな面積で受けるため、応力が小さくなるからである。
実施例１においては、図２、図３における球面受け３、３´が、保持台４、４´から受ける力８、８´が、点に近い面積から受ける力であるが、本実施例２においては、線に近い面積から受ける点が異なる。
本実施例２によれば、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１を鏡筒内から取り出し、加工を施し、再度、鏡筒内に搭載した場合に、その光学素子１の面変形量を低減し、所定の面精度を再現できる。
さらに、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１を、別の光学素子受け２´に搭載し直した場合でも、その光学素子１の面変形量を低減し、所定の面精度を再現できる。
【００１４】
次に、図５の部分拡大構成図を参照して、本発明の実施例３を説明する。
図４の実施例２と異なる点は、光学素子受け２及びシリンドリカル面受け１１の間に光学素子受けベース１２１及びローラー部材１２０を配置している点である。
弾性部材を受ける部材は、弾性部材を受ける光学素子受けベース１２１と、光学素子受けベース１２１をスライド可能に受けるローラー部材１２０とから成る。
光学素子受けベース１２１及びローラー部材１２０は、台座であるシリンドリカル面受け１１と弾性部材である光学素子受け２の間に設けられる。
光学素子受け２と光学素子受けベース１２１は不図示のネジ等で締結され、ローラー部材１２０は、シリンドリカル面受け１１と同じく不図示のネジ等で締結されている。
光学素子受けベース１２１及びシリンドリカル面受け１１は、保持台４に締結されたばね保持台１１８に締結されている板ばね１１９、コイルばね１２３で、その位置を固定されている。
ローラー部材１２０、光学素子受けベース１２１の材質は、金属製、たとえば、Ｓ４５Ｃ等の炭素鋼、ステンレス等から成り、ローラー部材１２０と接する側の面は、高周波焼入れ等の材料硬化処理を施す。
保持台４には光学素子支えベース１１５ａ、１１５ｂが締結され、固定される。
光学素子支え６ａ，６ｂは、光学素子１の外周縁であるコバ部７と光学素子支えベース１１５ａ、１１５ｂとの間に介在され、光学素子支え６ｂはネジを有し、回転されることにより光学素子１を光軸方向に動かす手段である。
重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１のコバ部７の光軸方向に押さえるため、光学素子支えベース１１５ａからは光学素子支え６ａが、また、光学素子支えベース１１５ｂからは光学素子支え６ｂが伸びている。
光学素子支え６ａは、固定されるが、光学素子支え６ｂはネジ形状になっている。
光学素子支え６ｂが、光学素子支えベース１１５ｂを通る部分にもネジが切ってある。
このため、重力に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１のコバ部７を光軸方向に光学素子支え６ａに一定の力で押し当てた後は、ナット１１７を締めて重力に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１を光軸方向に動かないようにする。
その際に、重力に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１のコバ部７は、光学素子受け２及び光学素子受けベース１２１と共に光軸方向に移動する。
その役目を果たすのがローラー部材１２０で、ローラー部材１２０は、光学素子受けベースの上方に回転軸１２２を有するローラーが配置されている部材である。
また、この機能は、一般にＬＭガイドと呼ばれている、レールとブロックから構成されるものでも達成できるので、ローラー部材１２０でなくＬＭガイドを使用しても良い。
本実施例３によれば、光学素子１を光軸方向に動かす部材を配置するため、光学素子１のコバ部７に掛かる光軸方向の力を一定にする。
このため、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１を鏡筒内から取り出し、加工を施し、再度、鏡筒内に搭載した場合に、その光学素子１の面変形量を低減し、所定の面精度を再現できる。
【００１５】
次に、図６の部分拡大構成図を参照して、ＬＭガイドを使用した本発明の実施例４を説明する。
図５の実施例３と異なる点は、ブロック２０１、レール２０２を有する点である。
弾性部材を受ける部材は、弾性部材を受ける光学素子受けベース１２１と、光学素子受けベース１２１を受けるブロック２０１と、ブロック２０１をスライド可能に受けるレール２０２とから成る。
ブロック２０１はレール２０２にはめ込まれる形で搭載されており、ブロック２０１がレール２０２の上を、図６における光軸方向に動くことができる。
このような構造にすることで、重力に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１のコバ部７にかかる光軸方向の挟み込みの力は一定になる。
ブロック２０１、レール２０２の材質は、金属製、たとえば、Ｓ４５Ｃ等の炭素鋼、ステンレス等から成る。
本実施例４によれば、光軸方向に光学素子１を動かす部材を配置するため、光学素子１のコバ部７に掛かる光軸方向の力を一定にする。
このため、重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子１を鏡筒内から取り出し、加工を施し、再度、鏡筒内に搭載した場合に、その光学素子１の面変形量を低減し、所定の面精度を再現できる。
【００１６】
（デバイス製造方法の実施例）
デバイス（半導体集積回路素子、液晶表示素子等）は、前述のいずれかの実施例の露光装置を使用して、感光剤を塗布した基板（ウェハ、ガラスプレート等）を露光する工程と、その基板を現像する工程と、他の周知の工程と、を経ることにより形成、製造される。他の周知の工程には、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等を含む。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１（ａ）は、本発明の実施例１の光学素子保持装置の構成図である。        図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図２】図２（ａ）は、図１の部分拡大構成図である。        図２(ｂ)は、図２（ａ）のＣ矢視図である。
【図３】図３（ａ）は、図１の部分拡大構成図である。        図３(ｂ)は、図３（ａ）のＣ矢視図である。
【図４】図４（ａ）は、本発明の実施例２の光学素子保持装置の構成図である。        図４（ｂ）は、図４（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図５】本発明の実施例３の部分拡大構成図である。
【図６】本発明の実施例４の部分拡大構成図である。
【図７】本発明の本実施例の露光装置の全体構成図である。
【図８】従来例の光学素子保持装置の構成図である。
【図９】従来例の光学素子保持装置の構成図である。
【図１０】従来例の光学素子保持装置の構成図である。
【図１１】従来例の光学素子保持装置の構成図である。
【図１２】従来例の他の光学素子保持装置の構成図である。
【図１３】図１２の部分拡大図である。
【符号の説明】
【００１８】
１：重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子
２，２´：光学素子受け        ３，３´：球面受け
４，４´：保持台              ５：保持台ベース
６：光学素子支え              ７：コバ部
８，８´：球面受けが保持台から受ける力
９，９´：光学素子が受けから受ける力
１０，１０´：光学素子と光学素子受けの接触部分
１１：シリンドリカル面受け    １６：保持角度
１９：照明系                  ２０：アライメントスコープ
２１：マスク                  ２２：ミラー光学系
２３：光学薄体                ２４：反射ミラー
２５：反射ミラー              ２７：凸面鏡
２８：ワーク                  ３１：板ばね保持台
３２：板ばね
１１３：パッキンから受ける力
１１４：受け部材から受ける力
１１５ａ，１１５ｂ：光学素子支えベース
１１６ａ，１１６ｂ：コバ部にかかる力
６ａ，６ｂ：光学素子支え      １１７：ナット
１１８：ばね保持台            １１９：板ばね
１２０：ローラー部材        １２１：光学素子受けベース
１２２：回転軸              １２３：コイルばね
２０１：ブロック            ２０２：レール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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