(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を用いて被検査物内に格納された多数の物品の個数を計測するＸ線計数装置において、
被検査物を位置決めする位置決め手段と、
被検査物に対して第１方向からＸ線を照射するＸ線照射手段と、
前記第１方向に直交する平面内に配置されて被検査物に照射されたＸ線を検出するセンサと、
前記センサによる検出結果に基づき被検査物内部の画像を作成する画像作成手段と、
前記画像作成手段が作成した画像を必要に応じて合成する画像合成手段とを備え、
Ｘ線によってセンサ上に描かれる各物品の輪郭が重ならない距離範囲を、隣接する物品間の距離及び各物品の第１方向の厚みに基づいて求め、
前記位置決め手段が、第１方向に直交する平面全体の被検査物の内部画像を前記距離範囲内で得るために必要な回数だけ被検査物を第１方向に直交する平面内で移動させ、
前記画像作成手段が移動後の各位置における前記距離範囲内の画像データを取り込んで当該各位置における画像を作成し、
前記画像合成手段が当該各画像を合成して被検査物内部の１枚の画像を作成することを特徴とするＸ線計数装置。
【請求項２】
前記Ｘ線照射手段が扇状のＸ線を照射するものであり、
前記センサが前記第１方向に直交する第２方向に沿って配置されるラインセンサであり、
Ｘ線によってセンサ上に描かれる各物品の輪郭が重ならないように前記位置決め手段が被検査物を第２方向に１回以上移動させた場合に、前記画像作成手段が移動後の各位置における被検査物の画像データを取り込んで当該各位置における画像を作成し、前記画像合成手段が当該各画像を合成して被検査物内部の１枚の画像を作成することを特徴とする請求項１に記載のＸ線計数装置。
【請求項３】
被検査物の寸法を計測する寸法計測手段と、
前記寸法計測手段によって計測された寸法データに基づき、前記位置決め手段が被検査物を前記１回以上移動させる必要があるか否かを判定する判定手段とを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線計数装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、容器等の内部に格納された多数の物品の個数を正確に計測するＸ線計数装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
回路基板に実装される電子部品はトレイに格納されたり、リールに巻き取られた状態で格納されることが多い。
電子部品を取扱う工場等では、工場内に実在する電子部品の種類及び個数を管理するために一定頻度で計測を行うが、その方法に省力化や精度向上が求められている。
通常、トレイやリールに格納された電子部品の個数を目視によらず計測する手段としては、トレイやリール全体の重量と電子部品単体の重量とに基づいて算出する方法や、電子部品がリールに格納されている場合には、リールからキャリアテープを引き出し、他方のリールに巻き取りながら電子部品を一個ずつ周知の測定装置により計測する方法等が知られている。
【０００３】
周知の測定装置として例えば特許文献１には、図１２に示すように、ベルトコンベア上に載置した被検査物に対して上方のＸ線源から扇状のＸ線（斜線範囲）を照射し、透過したＸ線をベルトコンベア下方のラインセンサで検出し、当該被検査物１個の画像を作成することで個数を計測するＸ線検査装置が開示されている。
また、特許文献２には、容器内において上下方向に重なり合う複数の内容物に対して上方からＸ線を照射し、ラインセンサに到達するＸ線の濃度値の差に基づいて内容物の個数を計測するＸ線検査装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３８３９６５８号公報
【特許文献２】特開２０１０−３８６２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記従来技術では以下のような問題がある。
すなわち、トレイやリールの重量に基づいて電子部品の個数を計測する方法では、電子部品の個体差によってその重量にばらつきがある場合には精度が低下するという問題がある。
また、リールからキャリアテープを引き出して、他方のリールで巻き取りながら電子部品を一個ずつ計測する方法では、引き出し及び巻き取り時に電子部品に作用する外力によって電子部品が破損したり、キャリアテープから脱落するおそれがあり、また巻き取り作業に時間がかかるという問題がある。
【０００６】
また、特許文献１記載の技術は、ベルトコンベアを正逆方向に移動させながら、ベルトコンベアの上方に配置したＸ線源から、搬送方向（Ｘ方向）に直交する方向（Ｙ方向）にのびるラインセンサに向けて扇状のＸ線を照射するものである。
ここで、図１３（ａ）に示すように、Ｘ線源から照射されるＸ線について搬送方向（Ｘ方向）に沿った断面を見ると、被検査物の縁部分に対する入射角θ１は９０度近くになるため、当該縁部分を透過したＸ線がＸ線ラインセンサに入射する位置（Ｘ線のＸ方向の中心線Ｌｘからの距離）δ１は、当該縁部分からＸ方向にほとんど離れない。
一方、図１３（ｂ）に示すように、Ｘ線について搬送方向に直交する方向（Ｙ方向）の断面を見ると、被検査物の縁部分に対する入射角θ２は９０度よりも相当小さくなるため、当該縁部分を透過したＸ線がＸ線ラインセンサに入射する位置（Ｘ線のＹ方向の中心線Ｌyからの距離）δ２は、当該縁部分からＹ方向に相当離れてしまう。
【０００７】
このようにＸ線ラインセンサに入射するＸ線の位置（δ１とδ２）を比較した場合に、δ２の方が相対的に大きくなるため、ラインセンサ上に形作られる被検査物の輪郭はＹ方向に大きく歪んで広がった形となる。
したがって、計数対象物品がトレイやリールに格納された電子部品の場合、特にＹ方向に隣接する２つの電子部品の輪郭がラインセンサ上で重なってしまうことがあり、これが画像処理段階において当該２つの電子部品の境界線を画定し辛くし、結果として計数エラーが生じるという問題がある。
【０００８】
また、特許文献２記載の技術は、物品が容器内において上下方向に重なり合っている場合に有効な技術であり、トレイやリールに格納された電子部品のようにＸＹ方向（水平面内）に隣接配置された物品の計数には適していない。
なお、このような問題はトレイやリールに格納された電子部品だけでなく、ＸＹ方向に隣接配置される物品全般について生じ得るものである。
【０００９】
本発明はこのような問題に鑑み、容器内に格納された多数の物品の個数を正確に計測するＸ線計数装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のＸ線計数装置は、Ｘ線を用いて被検査物内に格納された多数の物品の個数を計測するＸ線計数装置において、被検査物を位置決めする位置決め手段と、被検査物に対して第１方向からＸ線を照射するＸ線照射手段と、前記第１方向に直交する平面内に配置されて被検査物に照射されたＸ線を検出するセンサと、前記センサによる検出結果に基づき被検査物内部の画像を作成する画像作成手段と、前記画像作成手段が作成した画像を必要に応じて合成する画像合成手段とを備え、Ｘ線によってセンサ上に描かれる各物品の輪郭が重ならない距離範囲を、隣接する物品間の距離及び各物品の第１方向の厚みに基づいて求め、前記位置決め手段が、第１方向に直交する平面全体の被検査物の内部画像を前記距離範囲内で得るために必要な回数だけ被検査物を第１方向に直交する平面内で移動させ、前記画像作成手段が移動後の各位置における前記距離範囲内の画像データを取り込んで当該各位置における画像を作成し、前記画像合成手段が当該各画像を合成して被検査物内部の１枚の画像を作成することを特徴とする。
【００１１】
また、前記センサが、前記第１方向に直交する第２方向に沿って配置されるラインセンサであり、Ｘ線によってセンサ上に描かれる各物品の輪郭が重ならないように前記位置決め手段が被検査物を第２方向に１回以上移動させた場合に、前記画像作成手段が移動後の各位置における被検査物の画像データを取り込んで当該各位置における画像を作成し、前記画像合成手段が当該各画像を合成して被検査物内部の１枚の画像を作成することを特徴とする。
また、被検査物の寸法を計測する寸法計測手段と、前記寸法計測手段によって計測された寸法データに基づき、前記位置決め手段が被検査物を前記１回以上移動させる必要があるか否かを判定する判定手段とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
被検査物を第１方向に直交する平面内で１回以上移動させて各位置における画像を作成することにより、物品に対してほぼ垂直にＸ線が入射する範囲内の画像を得られる。したがって、これら画像を１枚の全体画像に合成することにより、被検査物に格納された複数の物品が第１方向に直交する平面内に隣接して配置されている場合でも、Ｘ線によってラインセンサ上に描かれる各物品の輪郭が重なっていない鮮明な画像を得ることができ、容器内に格納された多数の物品の個数を正確に計測できる。
また、Ｘ線計数装置が寸法計測手段と判定手段を備えることにすれば、計数作業の省力化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】Ｘ線計数装置の外観を示す斜視図
【図２】Ｘ線照射手段及びラインセンサの概略を示す斜視図
【図３】Ｘ線計数装置の構成を示すブロック図
【図４】被検査物の例を示す図（ａ）及び（ｂ）
【図５】被検査物にＸ線を照射した状態を示すＹＺ平面図
【図６】被検査物にＸ線を照射した状態を示すＹＺ平面図
【図７】被検査物を第２方向に１回以上移動させた状態を示すＹＺ平面図（ａ）〜（ｃ）
【図８】被検査物全体が写った１枚の内部画像を示す図
【図９】Ｘ線照射手段が円錐状のＸ線を照射し、これをエリアセンサで検出する場合の概略を示す斜視図
【図１０】Ｘ線照射手段が扇状のＸ線を照射し、これをエリアセンサで検出する場合の概略を示す斜視図
【図１１】センサとしてエリアセンサを用いた場合の被検査物の撮像範囲を示す図
【図１２】従来のＸ線検査装置の概略図
【図１３】従来のＸ線検査装置の問題点を示すＸＺ平面図（ａ）及びＹＺ平面図（ｂ）
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明のＸ線計数装置１の実施の形態について図面を用いて説明する。
本実施の形態においては、Ｘ線照射手段から扇状のＸ線を照射し、このＸ線をラインセンサで検出する場合について説明する。
図１〜図３に示すように、Ｘ線計数装置１はＸ線を用いて被検査物３内に格納された多数の物品の個数を計測する装置である。
Ｘ線計数装置１の筐体２内にはＸ線の遮蔽ボックスや制御手段１０（制御用コンピュータ）が格納されており、筐体２外にはモニタ２２ａや必要に応じてバーコードリーダ２２ｃ等が配置される。
【００１５】
制御手段１０はＣＰＵ１１、制御プログラムおよび各種データなどを格納するＲＯＭ１２、ワーキングエリアを提供するＲＡＭ１３及び周辺回路とのインターフェース部１４等を備えており、これらがバスによって接続されている。
ＣＰＵ１１にはテーブル制御部１５ｂ、Ｘ線源制御部１６ｂ、ラインセンサ制御部１７ｂ、寸法計測用センサ制御部１８ｂ、判定手段１９、画像作成手段２０、画像合成手段２１、表示制御部２２ｂ、計数手段２３等が格納されており、ＣＰＵ１１が制御プログラムを実行することによりこれらの駆動が制御される。
【００１６】
被検査物３としては、図４（ａ）に示すような内部に電子部品４（物品）を巻き取った状態で格納したリール５や、図４（ｂ）に示すような電子部品４を格子状に格納したトレイ６が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
図３及び図５に示すように、位置決め手段１５は被検査物３を搬送方向（Ｘ方向）及び水平面内でＸ方向に直交する方向（Ｙ方向）に位置決めするために設けられる。位置決め手段１５は被検査物３を載置するためのテーブル１５ａと、テーブル１５ａを所定位置に移動させるためのテーブル制御部１５ｂとを備える。位置決め手段１５として周知のＸＹステージ装置を利用することができる。
【００１７】
Ｘ線照射手段１６は被検査物３にＸ線を照射するために設けられる。Ｘ線照射手段１６は、テーブル１５ａの上方に配置されて被検査物３に対して第1方向（本実施の形態においてはＸＹ平面に直交するＺ方向（上下方向））から扇状のＸ線をラインセンサ本体１７ａに向けて照射するＸ線源１６ａと、Ｘ線源１６ａからのＸ線の照射タイミング等を制御するＸ線源制御部１６ｂとを備える。
Ｘ線源１６ａから照射されるＸ線１６ｃは、そのＸＹ平面での断面形状がラインセンサ本体１７ａの長手方向（次に述べる第２方向）にのびるほぼ長方形状になっており、下方に向かうにつれて当該長方形の短辺及び長辺が大きくなるようなほぼ扇型の形状になっている。
【００１８】
ラインセンサ１７はＸ線照射手段１６が照射したＸ線１６ｃを検出するために設けられる。ラインセンサ１７は、テーブル１５ａの下方において被検査物３に照射されたＸ線を検出するべくＸＹ平面内において上記第１方向（Ｚ方向）に直交する第２方向（Ｙ方向）に沿って多数の画素を一列に配置して構成されるラインセンサ本体１７ａと、ラインセンサ本体１７ａの駆動を制御すると共に撮像したＸ線の画像データを出力するラインセンサ制御部１７ｂとを備える。Ｘ線源１６ａから照射されたＸ線は被検査物３及びテーブル１５ａを透過してラインセンサ本体１７ａに至り、各画素において電荷に変換され、画像データとして画像作成手段２０に出力される。
【００１９】
寸法計測手段１８は被検査物３の寸法を計測するために設けられる。寸法計測手段１８は、被検査物３の寸法を計測する寸法計測用センサ本体１８ａと、当該センサ本体１８ａの駆動を制御すると共に計測された被検査物３の寸法データを判定手段１９に出力する寸法計測用センサ制御部１８ｂとを備える。寸法計測用センサ本体１８ａは例えばテーブル１５ａに取り付けることにしてもよい。
判定手段１９は、詳しい説明は後述するが、寸法計測手段１８によって計測された寸法データを受け取り、位置決め手段１５が被検査物３を第２方向に１回以上移動させる必要があるか否かを判定するために設けられる。
【００２０】
画像作成手段２０はラインセンサ１７による透過Ｘ線の検出結果に基づき被検査物３内部の画像を作成するために設けられる。画像作成手段２０は、ラインセンサ制御部１７ｂから出力された被検査物３の画像データを取り込んで処理することにより被検査物３の内部画像を作成し、モニタ２２ａに出力する。
画像合成手段２１は、画像作成手段２０が作成した画像を必要に応じて合成するために設けられる。詳しい説明は後述するが、判定手段１９の判定に基づいて位置決め手段１５が被検査物３を第２方向に１回以上移動させた場合に、画像作成手段２０が作成した移動後の各位置における被検査物３の画像を画像合成手段２１が合成処理することで被検査物３全体が写った１枚の内部画像を作成する。
【００２１】
表示手段２２は被検査物３の種類、画像作成手段２０及び画像合成手段２１で作成された被検査物３の内部画像、計測された被検査物３の個数等の種々の情報を表示するために設けられ、モニタ２２ａと、モニタ２２ａの駆動を制御する表示制御部２２ｂとを備える。モニタ２２ａにはタッチパネル機能を持たせてもよく、この場合、キー入力回路を介して使用者から各種情報の手入力が可能になる。
【００２２】
次に、Ｘ線計数装置１の動作について説明する。
まず、使用者は被検査物３をテーブル１５ａに載置する。
次に、寸法計測用センサ制御部１８ｂが寸法計測用センサ本体１８ａを駆動させ、被検査物３のＸ，Ｙ，Ｚ方向の長さ（ａ，ｂ，ｃ）を計測する。計測した被検査物３の寸法データは寸法計測用センサ制御部１８ｂによって判定手段１９に出力される。
【００２３】
寸法データを受け取った判定手段１９は、ＲＯＭ１２に格納されている参照テーブルを参照し、位置決め手段１５が被検査物３を第２方向に１回以上移動させる必要があるか否かを判定する。
参照テーブルに含まれるパラメータとしては、例えば被検査物３内に格納されている物品のＸ，Ｙ，Ｚ方向の長さ（ｄ，ｅ，ｆ）、Ｙ方向に隣接する２つの物品間の距離ｇ、Ｘ線源１６ａからラインセンサ本体１７までの距離ｈ等が挙げられる。また、被検査物３がリール５の場合にはその直径であってもよい。
これらパラメータは予めＲＯＭ１２に記憶されており、使用者が被検査物３の種類に応じてモニタ２２ａを介して適宜選択することにしてもよいし、あるいは被検査物３の一部に貼り付けたバーコードを使用者がバーコードリーダ２２ｃで読み取ることでＲＯＭ１２に記憶されることにしてもよい。
【００２４】
図５に示すように、被検査物３のＹ方向の長さｂが大きい場合には、被検査物３内に格納されている多数の電子部品４（物品）のうち、Ｘ線のＹ方向の中心線Ｌyからの距離が離れている電子部品４の縁部分に入射するＸ線の角度θ２が９０度よりも相当小さくなる。そして、当該縁部分を透過したＸ線がラインセンサ本体１７ａに入射する位置が、当該縁部分からＹ方向に相当離れてしまう結果、Ｙ方向に隣接する２つの電子部品４の輪郭がラインセンサ本体１７ａ上で重なってしまうという問題がある（実線のＸ線１６ｃと破線のＸ線１６ｃ参照）。
また、このような問題は電子部品４のＺ方向の長さｆが大きい（厚みが大きい）場合にも生じるし、また、Ｙ方向に隣接する２つの電子部品間の距離ｇが小さい（間隔が狭い）場合にも生じる。更には、Ｘ線源１６ａからラインセンサ本体１７ａまでの距離ｈが小さい（間隔が狭い）場合にも同様の問題が生じ得る。
【００２５】
したがって、判定手段１９は、被検査物３のＸ，Ｙ，Ｚ方向の長さ（ａ，ｂ，ｃ）やＲＯＭ１２に記憶されている各パラメータを総合的に考慮した上で、位置決め手段１５が被検査物３を第２方向に１回以上移動させる必要があるか否かを判定する。
例えば、Ｘ線源１６ａからラインセンサ本体１７ａまでの距離ｈが変動しないという条件下において、Ｙ方向に隣接する２つの電子部品４間の距離ｇと電子部品４のＺ方向の長さｆが分かれば、Ｙ方向に隣接する２つの電子部品４の輪郭がラインセンサ本体１７ａ上で重ならないＹ方向の距離範囲Ｐ（図６を参照）を算出することができる。すなわち、当該距離範囲Ｐは被検査物３内に格納された各電子部品４を重なりなくほぼ正確に撮像できる範囲といえる。
【００２６】
したがって、寸法計測手段１８が計測した被検査物３のＹ方向の大きさｂが当該距離範囲Ｐ以内の場合には、被検査物３を第２方向に移動させる必要がないと判定手段１９が判定することにしてもよい。一方、被検査物３のＹ方向の大きさｂが当該距離範囲Ｐを超えている場合、例えばｂ／Ｐが１より大きい場合、図７に示すように被検査物３をＹ方向に何回移動させれば被検査物３のＹ方向の全体を撮像できるか、換言すると距離範囲Ｐ内で被検査物３の内部画像を取得するためには、被検査物３をＹ方向に何回移動させればよいかを判定手段１９が判定することにしてもよい。図７の場合は（ａ）の状態から（ｂ）及び（ｃ）の状態へと被検査物３を第２方向へ２回移動させている。
【００２７】
そして、判定手段１９は、被検査物３を第２方向に移動させる必要がないと判定した場合には、テーブル制御部１５ｂにその旨の信号を出力し、テーブル制御部１５ｂはテーブル１５ａをＸ方向に移動させる。
次に、Ｘ線照射手段１６が被検査物３へのＸ線照射を開始し、画像作成手段２０はラインセンサ制御部１７ｂから出力される被検査物３の画像データを取り込んで、これをシェーディング補正、平均化処理、２値化処理等の周知の手法で処理することにより、被検査物３全体が写った１枚の内部画像（図８を参照）を作成し、これを計数手段２３及びモニタ２２ａに出力する。
【００２８】
一方、判定手段１９が被検査物３を１回以上移動させる必要があると判定した場合には、テーブル１５ａを当該回数分移動させる。
そして、画像作成手段２０は移動後の各位置における被検査物３の画像データを取り込み、これを処理することにより当該各位置における被検査物３の画像を作成し、これらを画像合成手段２１に出力する。
画像合成手段２１は、画像作成手段２０が作成した移動後の各位置における被検査物３の各画像を合成処理することにより、被検査物３全体が写った１枚の内部画像を作成し、これを計数手段２３及びモニタ２２ａに出力する。
【００２９】
計数手段２３は被検査物３全体が写った１枚の内部画像に基づき、当該被検査物３に格納されている電子部品４の個数を計測し、計測結果をモニタ２２ａに出力すると共にＲＯＭ１２に記憶させる。そして、使用者は次の被検査物３をテーブル１５ａに載置する。
計数手段２３による電子部品４の個数の計測方法は周知の手法を用いることができる。例えば、電子部品１個の寸法データをＲＯＭ１２やバーコードリーダから読み込んでおき、被検査物３全体が写った１枚の内部画像に対してエッジ検出により輪郭追跡を行い、この寸法データに最も近いものを基準物品として決定する。そして暗部輪郭検出やラベリング等の周知の手法を利用して基準物品と同じ輪郭となる部分の個数を計測することで電子部品４の個数を計測できる。
なお、計数手段２３が電子部品４の個数の計測を行えなかった場合には、上記画像作成手段２０による画像処理を再度行って被検査物３全体が写った１枚の新たな内部画像を作成し、再度計数手段２３で計測することにすればよい。
【００３０】
なお、本実施の形態においてはＸ線計数装置１が寸法計測手段１８と判定手段１９を備えており、被検査物３の寸法データの計測や被検査物３を第２方向に移動させるか否かの判定を自動的に行うものとしたが、これに限らず、寸法データの計測や入力を使用者が行なったり、被検査物３の第２方向への移動の要否を使用者が判定することにしてもよい。
また、被検査物３を第２方向に移動させずに被検査物３全体が写った１枚の内部画像を一旦作成し、この画像で計数手段２３が計数測定を行い、測定が正確に行える場合には判定手段１９は被検査物３を第２方向に移動させない旨を判定し、計数が正確に行なえないことが判明した場合には判定手段１９は被検査物３を第２方向に移動させる旨を判定することにしてもよい。
【００３１】
また、本実施の形態においては、Ｘ線源１６ａから扇状のＸ線を照射し、このＸ線をラインセンサ本体１７ａで検出する場合について説明したが、これに限らず、図９に示すようにＸ線源１６ａから円錐状のＸ線１６ｄを照射し、このＸ線１６ｄをエリアセンサ２４で検出することにしてもよく、或いは図１０に示すようにＸ線源１６ａから扇状のＸ線１６ｃを照射し、このＸ線１６ｃをエリアセンサ２４で検出することにしてもよい。
Ｘ線源１６ａから円錐状のＸ線１６ｄを照射する場合には、図５に示したようなＹ方向に隣接する２つの電子部品４の輪郭がラインセンサ本体１７ａ上で重なってしまうという問題が、ＸＹ平面全体において生じてしまう。この場合、センサとしてエリアセンサ２４を用いることにし、位置決め手段１５は円錐状のＸ線１６ｄによってエリアセンサ２４上に描かれる各電子部品４の輪郭が重ならないように、被検査物３をＸＹ平面内で複数回移動させることにすればよい。図１１は被検査物３を８回移動させる場合の各撮像範囲Ａ１〜Ａ９を示している。
【００３２】
また、被検査物３の種類としては、本実施の形態で説明したような電子部品４を格納したリール５やトレイ６のような、被検査物３内において複数の物品がＸＹ方向（水平面内）に隣接配置されたものが挙げられる。例えば、包装容器内に多数の食品が水平面内に配置され封入された食品類であってもよい。
また、本発明のＸ線計数装置１は容器に格納されていない物品の計数にも利用できる。例えば、ビス、ボルト、ナット等の各種部品、錠剤やカプセル状の薬等の物品について、水平面内で移動させた場合にテーブル１５ａ上を移動しないように、テーブル１５ａに粘着性のシート等を敷いてこの上に互いに重ならないように載置すれば計数が可能になる。
また、計測した物品の個数や計測日等の情報をラベルプリンターで出力し、ラベルを被検査物３に貼り付けることにしてもよい。
また、テーブル１５ａやＸ線源１６ａをＺ方向にも移動可能な構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明は容器内に格納された多数の物品の個数を正確に計測するＸ線計数装置であり、産業上の利用可能性を有する。
【符号の説明】
【００３４】
１      Ｘ線計数装置
２      筐体
３      被検査物
４      電子部品
５      リール
６      トレイ
１０    制御手段
１１    ＣＰＵ
１２    ＲＯＭ
１３    ＲＡＭ
１４    インターフェース部
１５    位置決め手段
１５ａ  テーブル
１５ｂ  テーブル制御部
１６    Ｘ線照射手段
１６ａ  Ｘ線源
１６ｂ  Ｘ線源制御部
１６ｃ  Ｘ線
１６ｄ  Ｘ線
１７    ラインセンサ
１７ａ  ラインセンサ本体
１７ｂ  ラインセンサ制御部
１８    寸法計測手段
１８ａ  寸法計測用センサ本体
１８ｂ  寸法計測用センサ制御部
１９    判定手段
２０    画像作成手段
２１    画像合成手段
２２    表示手段
２２ａ  モニタ
２２ｂ  表示制御部
２２ｃ  バーコードリーダ
２３    計数手段
２４    エリアセンサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0005613359.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0005613359.tif 000011
【図１１】
0005613359.tif 000012
【図１２】
0005613359.tif 000013
【図１３】
0005613359.tif 000014