(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定すべき基板の対向し合う辺を対向する基板クランプで挟持固定する基板固定機構であって、
一対のピストンが共通のシリンダ室を挟んで互いに逆向きに配置された圧力流体シリンダと、
該基板方向に進退自在に配置され、駆動体を介して一方の該ピストンに引かれて該基板と反対方向に移動可能な、該基板の辺部を載置するための載置爪と、
該載置爪の上側に該基板方向に進退自在に配置され、他方の該ピストンに押されて該基板方向に移動可能な、該基板の辺部を押圧するための基板押爪と、
該載置爪を該基板方向に常時付勢する載置爪用付勢体と、
該基板押爪を該基板の反対方向に常時付勢する押爪用付勢体と、
該載置爪に付された係合部と、
挟持固定状態で該基板を載置すべき所定の幅だけ該載置爪が該基板押爪よりも突き出したときに、該係合部に当接する該基板押爪に付された係合当接部とを有して、
該一方のピストン及び該載置爪用付勢体による総合の該載置爪を基板と反対方向に引く力よりも、該他方のピストン及び該押爪用付勢体による総合の該基板押爪を基板方向に押す力の方が大きく設定されている該基板クランプが、
少なくとも一対、対向して配置されていることを特徴とする基板固定機構。
【請求項２】
前記一対のピストンが、各々同じピストン断面積で形成されており、前記載置爪用付勢体の方が前記押爪用付勢体よりも大きな付勢力で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板固定機構。
【請求項３】
前記一方のピストンの方が前記他方のピストンよりもピストン断面積が小さく形成されており、前記載置爪用付勢体と前記押爪用付勢体とが同じ付勢力で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板固定機構。
【請求項４】
前記固定すべき基板が四角板であり、４つの前記基板クランプが該基板の４辺側に配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の基板固定機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の検査装置や基板の搬送装置などに基板を位置固定するための基板固定機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線された基板やこれに部品実装された基板を検査する基板検査装置では、基板を予め位置固定する必要がある。このような基板固定機構が例えば特許文献１に記載されている。この特許文献１に記載された基板固定機構では、基板の辺を下支えする一対のチャックの間隔を、基板のサイズに合わせて予め調整しておく。そして基板を真空吸着した基板吸着装置が、両チャックのちょうど間に位置するように基板を移動させる。この基板は、クランプ辺によって押圧されて両チャック間に位置固定される。
【０００３】
基板を載置して基板の辺を下支えする部分の両チャックの爪幅は、基板の部品実装領域に干渉しないように狭い幅で形成されている。この幅の狭いチャックの爪に基板を搭載するためには、位置や姿勢を高精度に制御して基板を移動させる必要がある。また、このように高精度に基板の位置等を制御しても、基板固定機構自体に寸法のばらつきがあると基板を両チャックやクランプ辺で固定できなくなる場合があるため、基板固定機構を高い寸法精度で製造する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−３２４０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、高精度な寸法精度で製造する必要がなく、さらに、基板を搭載する際に高精度に基板の位置や姿勢の制御を行う必要がなく簡便に搭載することができるにも関わらず、基板を正確に位置固定することができる基板固定機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記の目的を達成するためになされた、特許請求の範囲の請求項１に記載された基板固定機構は、固定すべき基板の対向し合う辺を対向する基板クランプで挟持固定する基板固定機構であって、一対のピストンが共通のシリンダ室を挟んで互いに逆向きに配置された圧力流体シリンダと、該基板方向に進退自在に配置され、駆動体を介して一方の該ピストンに引かれて該基板と反対方向に移動可能な、該基板の辺部を載置するための載置爪と、該載置爪の上側に該基板方向に進退自在に配置され、他方の該ピストンに押されて該基板方向に移動可能な、該基板の辺部を押圧するための基板押爪と、該載置爪を該基板方向に常時付勢する載置爪用付勢体と、該基板押爪を該基板の反対方向に常時付勢する押爪用付勢体と、該載置爪に付された係合部と、挟持固定状態で該基板を載置すべき所定の幅だけ該載置爪が該基板押爪よりも突き出したときに、該係合部に当接する該基板押爪に付された係合当接部とを有して、該一方のピストン及び該載置爪用付勢体による総合の該載置爪を基板と反対方向に引く力よりも、該他方のピストン及び該押爪用付勢体による総合の該基板押爪を基板方向に押す力の方が大きく設定されている該基板クランプが、少なくとも一対、対向して配置されていることを特徴とする。
【０００７】
請求項２に記載された基板固定機構は、請求項１に記載されたもので、前記一対のピストンが、各々同じピストン断面積で形成されており、前記載置爪用付勢体の方が前記押爪用付勢体よりも大きな付勢力で形成されていることを特徴とする。
【０００８】
請求項３に記載された基板固定機構は、請求項１に記載されたもので、前記一方のピストンの方が前記他方のピストンよりもピストン断面積が小さく形成されており、前記載置爪用付勢体と前記押爪用付勢体とが同じ付勢力で形成されていることを特徴とする。
【０００９】
請求項４に記載された基板固定機構は、請求項１〜３のいずれかに記載されたもので、前記固定すべき基板が四角板であり、４つの前記基板クランプが該基板の４辺側に配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の基板固定機構によれば、基板クランプの圧力流体シリンダに圧力流体が供給されていないときには、載置爪用付勢体に付勢された載置爪が基板方向に移動すると共に、押爪用付勢体に付勢された基板押爪が基板と反対方向に移動する。したがって、基板を搭載する載置爪の幅が広がるため、高精度に基板の位置や姿勢の制御を行わなくても幅広になった載置爪の上に簡便に基板を搭載することができる。一方、搭載した基板を固定するときには、圧力流体シリンダのシリンダ室に圧力流体が供給される。これにより、シリンダ室を挟んで逆向きに配置された一対のピストンが互いに離反する方向に移動する。このため、載置爪は一方のピストンに引かれて基板と反対方向に移動すると共に、基板押爪は他方のピストンに押されて基板方向に移動し、両爪は相対的に反対方向に移動する。この移動で、載置爪に形成された載置爪用係合部と、基板押爪に形成された係合当接部とが当接したときに、載置爪が基板を載置すべき所定の幅で基板押爪よりも突き出す状態になる。さらに、載置爪を基板と反対方向に引く力よりも、基板押爪を基板方向に押す力の方が大きいので、係合部と係合当接部とが当接したまま、つまり所定の幅で載置爪が基板押爪よりも突き出したままの状態で、両爪は基板方向に移動する。この両爪を基板方向に移動させる力、つまり載置爪を引く力と基板押爪を押す力との差の力で基板押爪が基板方向に押圧して基板の辺どうしをしっかりと挟持固定することができる。基板は予め規定された所定の幅の載置爪の上に載置されるため、基板を正確に位置固定することができる。
【００１１】
また、基板をセットする際に載置爪の幅が広くなり、基板を載置する位置に自由度が大きくなるため、従来の特許文献１の基板固定機構と比べて高精度な寸法精度で製造する必要がなく、安価な装置とすることができる。
【００１２】
圧力流体シリンダの一対のピストンを、各々同じピストン断面積で形成して、載置爪用付勢体の方を押爪用付勢体よりも大きな付勢力で形成する場合、圧力流体シリンダの内部形状が複雑にならず圧力流体シリンダを簡便に製造できるので好ましい。
【００１３】
圧力流体シリンダの一方のピストンの方が他方のピストンよりもピストン断面積を小さくして形成し、載置爪用付勢体と押爪用付勢体とを同じ付勢力で形成する場合、両付勢体に同等な部品を使用することができるので好ましい。
【００１４】
この基板クランプを四角形状の基板の４辺側に備えた場合には、基板を載置する際に４つの載置爪の幅が各々広くなるので、一層簡便に基板を搭載することができ、しかも基板を正確に位置固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明を適用する基板固定機構の使用状態を示す平面図である。
【図２】本発明を適用する基板固定機構の基板クランプの使用状態を、一部を断面で示した平面図である。
【図３】図２に示した状態のＡ−Ａ断面図である。
【図４】本発明を適用する基板固定機構の基板クランプの使用状態を、一部を断面で示した平面図である。
【図５】本発明を適用する他の基板固定機構の基板クランプの使用状態を、一部を断面で示した平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施形態に限定されるものではない。
【００１７】
本発明を適用する基板固定機構は、一例として図１に示すように、基板クランプ１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄが固定すべき四角板状の基板９０を取り囲むように、基板９０の４辺の各中央部となる位置に配置されているものである。基板固定機構は、この基板クランプ１ａ〜１ｄで４辺を挟持固定して基板９０を位置固定する。
【００１８】
基板クランプ１ａ〜１ｄは、圧力流体の一例である圧縮空気Ａｉｒが供給及び排気されて作動するものであり、各々には、圧縮空気給排用の配管（図示せず）が接続されている。基板クランプ１ａ〜１ｄは、基本的に同様の構成のものであるが、一例として、同図に示すように、対向し合う基板クランプ１ａと基板クランプ１ｃとが、対称形状で形成されている。また、対向し合う基板クランプ１ｂと基板クランプ１ｄとが、対称形状で形成されている。基板クランプ１ａ，１ｂは同様の形状であり、基板クランプ１ｃ，１ｄは同様の形状である。このように対向し合う基板クランプを対称形状で形成すると、圧縮空気給排用の配管を同一方向に引き出せるため、配管処理が容易になるため好ましい。なお、基板クランプ１ａ〜１ｄが、全て同様の形状のものであってもよい。基板クランプ１ａ〜１ｄは、対称形状であるか否かの違いはあるが、基本的に同様の構成であり、同様に動作するので、基板クランプ１ａについて説明し、基板クランプ１ｂ〜１ｄについての詳細な説明は省略する。なお、基板クランプ１ａ〜１ｄを特に区別しないときには、単に基板クランプ１ともいう。
【００１９】
図２に、基板クランプ１ａの一部を断面で示した拡大平面図を図示し、図３に、そのＡ−Ａ断面図を図示する。図２に示すように、基板クランプ１ａは、空気圧シリンダ２、載置爪３、基板押爪４、駆動体５、載置爪用付勢体６、及び押爪用付勢体７を備えている。
【００２０】
空気圧シリンダ２は、本発明における圧力流体シリンダの一例であって、図２に断面で示すように、一対のピストン２１，２２が各々進退自在に空気圧シリンダ２の筒内に、共通のシリンダ室２３を挟んで逆向きに嵌め込まれて配置されているものである。一方のピストン２１、及び他方のピストン２２は、一例として同様の形状で形成されている。ピストン２１，２２のシリンダ室２３側に形成されている各々の鍔部は圧縮空気の圧力を受ける部分である。ピストン２１，２２の両鍔部が空気圧を受ける面積、つまりピストン断面積は、同じ断面積で形成されている。この鍔部には、空気漏れを防止するためにピストンリングが装着されている。空気圧シリンダ２の筒内の中央部には、筒内壁を周回するように、ピストン２１，２２の鍔部が当たるストッパ２５が形成されている。このストッパ２５によって、空気圧シリンダ２の筒の中間部分にシリンダ室２３が形成されている。シリンダ室２３には、圧縮空気を供給し、排気するための給排ノズル２４が繋がっている。給排ノズル２４には、圧縮空気給排用の配管（図示せず）が接続されている。空気圧シリンダ２は、固定状態の基板９０（図４（ｂ）参照）の辺に対して、ピストン２１，２２の軸線が垂直になる向きで、その筒が基台（図示せず）の上に固定されている。
【００２１】
図２，３に示すように、載置爪３は、その上側（図３の上側）に基板９０の辺部を載置するためにものであり、基板９０方向に進退自在に配置され、駆動体５を介して一方のピストン２１に引かれて基板９０と反対方向に移動可能なものである。この載置爪３は、図２に示すように、一例として樹脂で形成された平坦な台形板状に形成されている。
【００２２】
この載置爪３の上側（図３の上側）には、固定状態の基板９０の辺と平行になるように、壁状の係合部３１ａ，３１ｂが付されている。この係合部３１ａ，３１ｂは、後述する係合当接部４１と共に、固定状態の基板９０を載置する載置爪３の爪幅を規定するものであり、詳細については後述する。係合部３１ａ、３１ｂは、間隔を開けて直線状に並べられており、載置爪３と一体的に樹脂で形成されている。係合部３１ａと係合部３１ｂとの間隔は、その間に基板押爪４が嵌って基板９０方向に進退自在となる間隔で形成されている。また、係合部３１ａ，３１ｂの壁の厚さは、基板押爪４の基板９０方向への進退をガイド可能な厚さで形成されている。
【００２３】
駆動体５は、駆動軸５１、軸ガイド５２、及びピストン受部５３を備えている。駆動軸５１は、棒状に形成されており、その一端が載置爪３の下側（図３の下側）に連結されている。軸ガイド５２は、基台（図示せず）に固定されていて、駆動軸５１が嵌って摺動自在な溝を有し、駆動軸５１の基板９０方向に進退する動きをガイドする。駆動軸５１の他端は、角柱状のピストン受部５３に、直角に連結されている。ピストン受部５３は、ピストン２１と当接している。このピストン受部５３と基台（図示せず）との間には、一例として引張コイルばねである載置爪用付勢体６が架け渡されている。載置爪用付勢体６がピストン受部５３を基板９０方向に常時付勢することで、駆動軸５１の連結された載置爪３は、基板９０方向に常時付勢されている。
【００２４】
基板押爪４は、基板９０の辺部を押圧するためのものであり、載置爪３の上側に、基板９０方向に進退自在に配置されていて、他方のピストン２２に押されて基板９０方向に移動可能なものである。基板押爪４は、一例として樹脂によって、基板載置爪よりも小さなサイズの平坦な四角板状に形成されている。基板押爪４は、少なくとも基板９０の厚さ以上の板厚で形成されている。前述したように、基板押爪４は、係合部３１ａ，３１ｂの間でガイドされることで、載置爪３の上側を摺動して進退する。
【００２５】
基板押爪４には、図２，３に示すように、基板９０と反対側（図の左側）に、角柱状の係合当接部４１が、基板押爪４の板幅よりも幅広のフランジ状となるように付されている。係合当接部４１は、図３に示すように、その底面が基板押爪４の底面と同一面を形成するように、基板押爪４と一体的に樹脂で形成されている。
【００２６】
基板押爪４に付された係合当接部４１は、挟持固定状態の基板９０を載置すべき所定の幅Ｄ（図４参照）だけ載置爪３が基板押爪４よりも突き出したときに、載置爪３の上部に付された係合部３１ａ，３１ｂに当接する位置に付されている。つまり、載置爪３の上部に付された係合部３１ａ，３１ｂと、基板押爪４に付された係合当接部４１とは、互いに当接したときに、載置爪３が基板押爪４よりも所定の幅Ｄだけ突き出す位置関係になっている。このような位置関係にするために、載置爪３の爪長さ、及び基板押爪４の爪長さ、載置爪３に付す係合部３１ａ，３１ｂの位置、及び基板押爪４に付す係合当接部４１の位置を適宜規定する。
【００２７】
係合当接部４１は、基板９０の反対側でピストン２２と当接している。この係合当接部４１と基台（図示せず）との間には、一例として引張コイルばねである押爪用付勢体７が架け渡されている。押爪用付勢体７が係合当接部４１を基板９０と反対方向に常時付勢することで、基板押爪４は、基板９０と反対方向に常時付勢されている。
【００２８】
載置爪用付勢体６は押爪用付勢体７の付勢力よりも大きな付勢力で形成されたものである。
【００２９】
基板クランプ１ａ〜１ｄは、図１及び後述する図４（ｂ）のように、固定状態の基板９０のサイズに合わせて、基板９０の辺部を固定可能な位置に予め基台（図示せず）に位置決めされて固定されている。
【００３０】
次に、本発明の基板固定装置の動作について説明する。
【００３１】
基板固定装置に基板９０を搭載するときには、基板クランプ１ａ〜１ｄの空気圧シリンダ２に圧縮空気を供給せず、シリンダ室２３を大気圧に開放する。この状態の基板クランプ１ａは、図２，３に示す状態になっている。この状態では、ピストン２１，２２は、圧縮空気で駆動されないので、載置爪３は、載置爪用付勢体６の付勢力で搭載される基板９０の方向に移動しており、基板押爪４は、押爪用付勢体７の付勢力で基板９０と反対方向に移動している。したがって、基板９０を搭載可能な載置爪３の爪幅、つまり図２，３に示す載置爪３の右端から基板押爪４の右端までの幅（長さ）が所定の幅Ｄ（図４参照）よりも広くなる。しかも、載置爪３は、その先端（図の右端）が基板固定時よりも基板９０方向に移動しているので、載置爪３からの基板９０の脱落が防止される。また、基板押爪４は、その先端（図の右端）が基板固定時よりも基板９０と反対方向に移動している。したがって、基板９０を真空吸着して移動させる基板移動装置（図示せず）は、基板９０の位置や姿勢を高精度に制御しなくても、載置爪３の上に、基板９０を簡便に搭載することができる。
【００３２】
基板移動装置は、基板固定装置に基板９０を搭載した後に、真空開放して基板９０を開放し、上方に移動する。
【００３３】
続いて、各基板クランプ１ａ〜１ｄに圧縮空気を供給する。この圧縮空気の供給により、図４（ａ）に示すように、給排ノズル２４からシリンダ室２３に圧縮空気Ａｉｒが流入する。これにより、載置爪用付勢体６や押爪用付勢体７の付勢力に抗してピストン２１，２２が駆動され、ピストン２１，２２が互いに離反する方向に移動する。このとき、ピストン２１，２２の両ピストン断面積は同じため、圧縮空気によって各々同じ力で離反する方向に移動しようとするが、載置爪用付勢体６の付勢力のほうが押爪用付勢体７の付勢力よりも大きいので、ピストン２２のほうが大きく移動する。
【００３４】
ピストン２１の移動により、載置爪３が駆動体５を介して引かれて基板９０と反対方向に移動すると共に、ピストン２２の移動により、基板押爪４が係合当接部４１を介して押されて基板９０方向に移動する。このように両爪３，４が互いに反対方向に移動することで、載置爪３に付された係合部３１ａ，３１ｂに、基板押爪４に付された係合当接部４１が当接する。これにより、所定の幅Ｄだけ載置爪３が基板押爪４よりも突き出す。
【００３５】
この状態から、さらに図４（ｂ）に示すように、係合部３１ａ，３１ｂに係合当接部４１が当接したままの状態で、載置爪用付勢体６と押爪用付勢体７との付勢力の差の力で、両爪３，４は、全体的に基板９０方向に付勢されて移動する。言い換えると、ピストン２１及び載置爪用付勢体６による総合の載置爪３を基板９０と反対方向に引く力よりも、ピストン２２及び押爪用付勢体７による総合の基板押爪４を基板方向に押す力の方が大きく設定されているため、両爪３，４が一体的に基板９０方向に移動する。
【００３６】
これにより、基板押爪４が、基板９０の辺を押圧して、基板９０の辺部が、予め決められた所定の幅Ｄだけ載置爪３に載置された状態で位置固定される。したがって、基板クランプ１ａ〜１ｄで基板９０の辺を挟み込んで正確に位置固定することができる。基板９０の姿勢が曲がって載置爪３上に載置されていたとしても、各クランプ１ａ〜１ｄの基板押爪４で各辺が押圧されるので、その姿勢は修正される。図４（ａ）から図４（ｂ）まで移行する時間は、僅かな時間である。
【００３７】
基板固定装置から基板９０の固定を解除するときには、空気圧シリンダ２への圧縮空気の供給を停止して大気圧に開放する。これにより、シリンダ室２３が大気圧となるため、載置爪用付勢体６や押爪用付勢体７の付勢力で、載置爪３が基板９０と反対方向に移動すると共に、基板押爪４が基板９０方向に移動して図２の状態に戻る。これにより、基板９０の固定が解除される。以上で、基板固定機構の動作の説明を終了する。
【００３８】
本発明の基板固定機構には、図５に示す基板クランプ７０を用いてもよい。
【００３９】
同図に示す基板クランプ７０は、既に説明した基板クランプ１ａの空気圧シリンダ２、載置爪用付勢体６、及び押爪用付勢体７を、空気圧シリンダ２ａ、載置爪用付勢体６ａ、及び押爪用付勢体７ａに換えたものである。なお、同図において既に説明した構成と同様の構成については同じ符号を付すことで詳細な説明は省略する。
【００４０】
基板クランプ７０の空気圧シリンダ２ａは、一方のピストン２１ａのピストン断面積を他方のピストン２２ａのピストン断面積よりも小さく形成したものである。以下、詳細に説明すると、空気圧シリンダ２ａは、一対のピストン２１ａ，２２ａが各々進退自在に空気圧シリンダ２ａの筒内に、共通のシリンダ室２３を挟んで逆向きに嵌め込まれて配置されているものである。ピストン２１ａ，２２ａは、異なる形状で形成されている。具体的には、ピストン２１ａのシリンダ室２３側に形成されている鍔部のピストン断面積は、ピストン２２ａのシリンダ室２３側に形成されている鍔部のピストン断面積よりも小さな断面積で形成されている。空気圧シリンダ２ａの筒の内壁は、同図に示すように、これらピストン２１ａ，２２ａがちょうど嵌って各々進退自在となるように、左右で異なる内径で形成されている。この空気圧シリンダ２ａ内の中央部には、ピストン２１ａ，２２ａの鍔部が当たるストッパ２５が形成され、このストッパ２５によって、空気圧シリンダ２ａの中間部分にシリンダ室２３が形成されている。シリンダ室２３には、圧縮空気を供給し、排気するための給排ノズル２４が繋がっている。
【００４１】
基板クランプ７０の載置爪用付勢体６ａと押爪用付勢体７ａとは同じ付勢力のものであり、一例として互いに同形状に形成された引張コイルばねである。基板クランプ７０の載置爪用付勢体６ａは、基板クランプ１ａの載置爪用付勢体６と同様に、ピストン２１ａの当接するピストン受部５３を基板方向に付勢している。また、基板クランプ７０の押爪用付勢体７ａは、基板クランプ１ａの押爪用付勢体７と同様に、ピストン２２ａの当接する係合当接部４１を基板と反対方向に付勢している。
【００４２】
このような基板クランプ７０に圧縮空気を給排ノズル２４から供給すると、ピストン２１ａ，２２ａは、載置爪用付勢体６ａ，押爪用付勢体７ａの付勢力に抗して互いに離反する方向に移動する。このとき、ピストン２１ａとピストン２２ａとのピストン断面積が異なることから、パスカルの原理により、ピストン２１ａが基板９０と反対方向に動こうとする力は、ピストン２２ａが基板９０方向に動こうとする力よりも小さくなる。載置爪用付勢体６ａと押爪用付勢体７ａとの付勢力は同じであることから、ピストン２１ａよりもピストン２２ａの方が大きく移動する。
【００４３】
このピストン２１ａ，２２ａの移動により、図４（ａ）に示した状態と同じように、両爪３，４が互いに反対方向に移動して、所定の幅Ｄだけ載置爪３が基板押爪４よりも突き出す。このような状態から、さらに図４（ｂ）に示した状態と同じように、ピストン２１ａとピストン２２ａとが圧縮空気で移動しようとする互いの力の差の力で、両爪３，４は、所定の幅Ｄを維持したまま全体的に基板９０方向に移動する。したがって、基板クランプ７０を用いた基板固定機構は、基板クランプ１ａを用いた基板固定機構と同様に基板９０を挟持固定することができる。
【００４４】
この基板クランプ７０は、付勢体６ａ，７ａの付勢力は同じであるが、ピストン２１ａ，２２ａのピストン断面積を互いに異ならせることで、ピストン２１ａ及び載置爪用付勢体６ａによる総合の載置爪３を基板９０と反対方向に引く力よりも、ピストン２２ａ及び押爪用付勢体７ａによる総合の基板押爪４を基板９０方向に押す力の方を大きく設定した例である。このような載置爪３及び基板押爪４の力の関係が成り立てば、ピストン２１ａ，２２ａのピストン断面積を互いに異ならせると共に付勢体６ａ，７ａの付勢力を互いに異ならせてもよい。
【００４５】
なお、上記の説明では、四角板の基板９０を固定する例について説明したが、対向し合う辺を基板クランプ１や基板クランプ７０で固定可能であれば、固定する基板の形状は、五角板、六角板等の多角板であってもよい。また、四角板の基板９０の４辺側全てに基板クランプ１（７０）を配置することが好ましいが、例えば基板９０の対向し合う一方の２辺側に基板クランプ１（７０）を配置して、対向し合う他の２辺側に、基板クランプ１とは異なる公知の基板クランプを配置してもよい。このように、少なくとも一対の基板クランプ１（７０）を有する基板固定機構であれば、本発明の適用範囲内である。
【００４６】
また、圧力流体シリンダの一例として空気圧シリンダ２（２ａ）を用いたが、油圧シリンダや水圧シリンダを用いてもよい。また、載置爪用付勢体６及び押爪用付勢体７の一例として引張コイルばねを用いたが、付勢する方向を合わせて圧縮コイルばね、板ばね等を用いてもよい。
【００４７】
また、係合部３１ａ，３１ｂ及び係合当接部４１の形状は、互いに当接可能であれば適宜変更することができる。例えば、係合当接部として、基板押爪４の両側面（図２の上下方向の面）に係合部３１ａ，３１ｂに当接する突起を付してもよい。また、係合部を載置爪３の後端部（図３の左端部）として、この載置爪３の後端部に当接するように、基板押爪４の後端部（図３の左端部）側に下向きの突起を係合当接部として付してもよい。
【符号の説明】
【００４８】
１ａ・１ｂ・１ｃ・１ｄは基板クランプ、２・２ａは空気圧シリンダ、３は載置爪、４は基板押爪、５は駆動体、６は載置爪用付勢体、７は押爪用付勢体、２１・２１ａは一方のピストン、２２・２２ａは他方のピストン、２３はシリンダ室、２４は給排ノズル、２５はストッパ、３１ａ・３１ｂは係合部、４１は係合当接部、５１は駆動軸、５２は軸ガイド、５３はピストン受部、７０は基板クランプ、９０は基板、Ａｉｒは圧縮空気、Ｄは所定の幅である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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