(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
既設建物の内外を隔てる壁の開口に取り付けられたガラリと、前記ガラリに連接されて前記壁の内側に施設され、所定の室に空気を送り込む給気装置の給気ダクトの延出端部がつながるチャンバーとを備えたダクト収容ボックスにおいて、
前記チャンバーが、上下方向へ対向する頂壁および底壁と、横方向へ対向する両側壁と、前記ガラリに対向してそれら両側壁の間に位置する後側壁とから形成された５面体であり、前記給気ダクトの延出端部が、前記チャンバーの後側壁に形成された挿通孔からチャンバー内に挿通され、前記ガラリに向かって直状に延びているとともに該チャンバー内に位置し、前記延出端部の開口端が、前記ガラリに対向し、前記後側壁には、前記ガラリから前記チャンバーに進入した空気の圧力（動圧）に応じてチャンバー内の空気をチャンバー外に排出する逆止弁ダンパを備えた第１排気ユニットが設置され、前記両側壁の少なくとも一方には、前記ガラリから前記チャンバーに進入した空気の圧力（静圧）に応じてチャンバー内の空気をチャンバー外に排出する逆止弁ダンパを備えた第２排気ユニットが設置されていることを特徴とするダクト収容ボックス。
【請求項２】
前記逆止弁ダンパが、前記排気ユニットに取り付けられた軸と、前記軸に取り付けられて前記排気ユニットの空気流路を開閉する旋回羽根と、前記軸に取り付けられて前記排気ユニットを閉鎖する方向へ前記旋回羽根を旋回させる錘とから形成され、前記逆止弁ダンパでは、あらかじめ設定された前記チャンバー内の第１設定圧力と前記錘とが釣り合うように該錘の重量が調節され、前記チャンバー内の圧力が前記第１設定圧力を超えると、前記錘の重量に抗して前記旋回羽根が前記排気ユニットを開放する方向へ旋回し、前記排気ユニットの空気流路に所定面積の空気排出口が形成される請求項１に記載のダクト収容ボックス。
【請求項３】
前記逆止弁ダンパが、前記排気ユニットに取り付けられた軸と、前記軸に取り付けられて自重によって前記排気ユニットの空気流路を閉鎖する旋回羽根とから形成され、前記逆止弁ダンパでは、あらかじめ設定された前記チャンバー内の第１設定圧力と前記旋回羽根の重量とが釣り合うように該旋回羽根の重量が調節され、前記チャンバー内の圧力が前記第１設定圧力を超えると、前記旋回羽根の重量に抗して該旋回羽根が前記排気ユニットを開放する方向へ旋回し、前記排気ユニットの空気流路に所定面積の空気排出口が形成される請求項１に記載のダクト収容ボックス。
【請求項４】
前記第１設定圧力が、５Ｐａ〜４０Ｐａの範囲にある請求項２または請求項３に記載のダクト収容ボックス。
【請求項５】
前記チャンバー内に位置する前記延出端部の開口端と前記ガラリとの間には、前記ガラリから進入した空気の前記開口端への直接の流入を遮る遮蔽板が設置され、前記遮蔽板が、前記給気ダクトの延出端部の開口端の周縁から延びる複数本の連結棒を介して該開口端の前方に固定されている請求項１ないし請求項４いずれかに記載のダクト収容ボックス。
【請求項６】
前記遮蔽板の面積が、前記延出端部の開口端の開口面積以上であり、前記開口端の全域が、前記遮蔽板によって前記ガラリに対して遮蔽される請求項５に記載のダクト収容ボックス。
【請求項７】
前記チャンバー内に位置する前記延出端部には、前記ガラリに対向しない方向へ屈曲する屈曲ダクトが取り付けられ、前記屈曲ダクトが、前記延出端部の開口端に接続された第１開口端と、前記第１開口端の反対側に位置して前記空気が流入する第２開口端とを有する請求項１ないし請求項４いずれかに記載のダクト収容ボックス。
【請求項８】
前記屈曲ダクトが、前記延出端部の軸線に対して９０〜１８０度の範囲で屈曲している請求項７に記載のダクト収容ボックス。
【請求項９】
前記チャンバー内に位置する前記延出端部には、前記ガラリに対向しない方向へ直状に延びる接続ダクトが取り付けられ、前記接続ダクトが、前記延出端部の開口端に接続された中央開口端と、前記中央開口端の両側に位置して前記空気が流入する両側開口端とを有する請求項１ないし請求項４いずれかに記載のダクト収容ボックス。
【請求項１０】
前記接続ダクトの軸線が、前記延出端部の軸線に対して直交している請求項９に記載のダクト収容ボックス。
【請求項１１】
前記チャンバー内に位置する前記延出端部には、前記ガラリに対向しない方向へ直状に延びる１本の第１接続ダクトが取り付けられ、前記第１接続ダクトには、前記ガラリに対向しない方向へ直状に延びる２本の第２接続ダクトが取り付けられ、前記第１接続ダクトが、前記延出端部の開口端に接続された第１中央開口端と、前記第１中央開口端の両側に位置する第１両側開口端とを有し、それら第２接続ダクトが、前記第１接続ダクトの第１両側開口端に接続された第２中央開口端と、前記第２中央開口端の両側に位置して前記空気が出入する第２両側開口端とを有する請求項１ないし請求項４いずれかに記載のダクト収容ボックス。
【請求項１２】
前記第１接続ダクトの軸線が、前記延出端部の軸線に対して直交し、前記第２接続ダクトの軸線が、前記第１接続ダクトの軸線に対して直交している請求項１１に記載のダクト収容ボックス。
【請求項１３】
前記給気装置が、前記給気ダクトを通る空気を前記室に給気する給気ファンと、前記ダクト収容ボックスと前記給気ファンとの間に延びる前記給気ダクトに設置されて旋回羽根の旋回によって該給気ダクトを通る空気の量を調節するモータダンパと、前記給気ファンと前記モータダンパとの間に延びる前記給気ダクトに設置されて該給気ダクトを通る空気の圧力を測定する圧力センサと、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節するコントローラとを含み、
前記コントローラが、前記圧力センサから出力された前記給気ダクト内の測定圧力とあらかじめ設定された第２設定圧力とを比較する圧力比較手段と、前記ガラリの外側に吹く風の影響で所定量の空気が前記給気ダクトに流入しまたは該給気ダクトから流出しようとし、それによって前記測定圧力が前記第２設定圧力の範囲から外れると、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節して前記測定圧力を前記第２設定圧力の範囲内に戻す圧力制御手段とを有する請求項１ないし請求項１２いずれかに記載のダクト収容ボックス。
【請求項１４】
前記圧力制御手段では、前記風の影響で所定量の空気が前記給気ダクトに流入し、それによって前記測定圧力が前記第２設定圧力の範囲を超過すると、前記モータダンパの旋回羽根の開度が最小開度でなければ該旋回羽根の開度を小さくし、前記風の影響で所定量の空気が前記給気ダクトから流出しようとし、それによって前記測定圧力が前記第２設定圧力の範囲未満になると、前記モータダンパの旋回羽根の開度が全開でなければ該旋回羽根の開度を大きくし、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節したことによって前記測定圧力が前記第２設定圧力の範囲内に戻ると、そのときの旋回羽根の開度を保持する請求項１３に記載のダクト収容ボックス。
【請求項１５】
前記モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの該旋回羽根の最小開度が、３〜２５％の範囲にあり、前記圧力制御手段では、前記測定圧力が前記第２設定圧力の範囲を超過したときに、前記モータダンパの旋回羽根の開度が前記最小開度であれば、その開度を保持する請求項１４に記載のダクト収容ボックス。
【請求項１６】
前記第２設定圧力が、−１０００Ｐａ〜１０００Ｐａの範囲にある請求項１３ないし請求項１５いずれかに記載のダクト収容ボックス。
【請求項１７】
前記モータダンパの旋回羽根の旋回速度が、１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にある請求項１３ないし請求項１６いずれかに記載のダクト収容ボックス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の室に空気を送り込む給気装置の給気ダクトの延出端部がつながるダクト収容ボックスに関する。
【背景技術】
【０００２】
既設建物の内外を隔てる壁の開口につながる給気ダクトと、壁の開口に取り付けられたガラリと、ガラリを覆うように壁の外側に取り付けられたパイプフードとを有し、ガラリが、建物の屋内に向かって下方へ傾斜するとともに、縦方向へ沿って平行かつ所定間隔で並ぶ複数の横長板状部材を有する給気ダクトの開口部構造がある（特許文献１参照）。この開口部構造は、パイプフードの内側に進入する雨水や気流の通過方向を各横長板状部材によって遮ることができ、雨水の進入を開口部近傍で止めることができる。
【０００３】
また、クリーンルームにつながる給気ダクトに設置されたケーシングと、ケーシングの内部に直列に配置されて空気の圧力を変更可能な複数の送風機と、ケーシングの内部に並列に配置されて空気の風量を変更可能な複数の送風機と、それら送風機の出力を変更してクリーンルームに供給する空気の圧力や風量を調節するコントローラと、コントローラに接続されてクリーンルーム内の圧力を測定する圧力センサとを有する圧力制御ユニットがある（特許文献２参照）。この圧力制御ユニットでは、屋外に位置する空気取込口から給気ダクトに空気（外気）を取り入れ、それら送風機によって給気ダクトを通る空気をクリーンルームに送り込む。コントローラには、クリーンルーム内を陽圧に保持するためのクリーンルームの設定圧力が格納されている。圧力センサは、測定したクリーンルーム内の測定圧力をコントローラに出力する。コントローラは、設定圧力と圧力センサから出力された測定圧力とを比較し、測定圧力が設定圧力の範囲から外れると、それら送風機の出力を変更して空気の圧力や風量を調節し、測定圧力を設定圧力の範囲内に戻す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−３３０８４号公報
【特許文献２】特開２００６−３２９４４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記特許文献１に開示の開口部構造では、パイプフードの近傍で強い風が吹くと、その風の影響で余分な空気がガラリを通り、給気ダクトに流入する場合がある。給気ダクトに空気が流入すると、給気ダクトから必要以上の空気が室に給気され、室の室内気圧が急激に変動する場合がある。
【０００６】
前記特許文献２に開示の圧力制御ユニットでは、屋外に位置する空気取入口の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気取入口から給気ダクト内へ余分な空気が一気に流入する場合がある。空気取入口から給気ダクトへ流入した空気は給気ファンへ流入し、その圧力（流入量）にもよるが、給気ファンから供給される空気の圧力を押し上げ、設定圧力を大幅に上回る圧力で多量の空気が給気ファンからクリーンルーム内に供給される場合がある。
【０００７】
前記特許文献２に開示の圧力制御ユニットでは、給気ダクトを通る空気を一定に保持する手段がないから、空気取入口の外側に吹く風の影響で余分な空気が一気に給気ダクトに流入すると、給気ファンから送り出す空気を一定に保持することができず、給気ファンからクリーンルームに供給する空気の供給過多が生じ、クリーンルーム内の室内気圧を設定圧力に保持することができない。
【０００８】
本発明の目的は、給気ダクトへの余分な空気の流入を防ぐことができるダクト収容ボックスを提供することにある。本発明の他の目的は、給気装置を介して一定圧かつ一定量の空気を給気することで、室に給気する空気を一定に保持することができ、室の室内気圧を設定圧力に保持することができるダクト収容ボックスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するための本発明の前提は、既設建物の内外を隔てる壁の開口に取り付けられたガラリと、ガラリに連接されて壁の内側に施設され、所定の室に空気を送り込む給気装置の給気ダクトの延出端部がつながるチャンバーとを備えたダクト収容ボックスである。
【００１０】
前記前提における本発明の特徴としては、チャンバーが、上下方向へ対向する頂壁および底壁と、横方向へ対向する両側壁と、ガラリに対向してそれら両側壁の間に位置する後側壁とから形成された５面体であり、給気ダクトの延出端部が、チャンバーの後側壁に形成された挿通孔からチャンバー内に挿通され、ガラリに向かって直状に延びているとともにチャンバー内に位置し、延出端部の開口端が、ガラリに対向し、後側壁には、ガラリからチャンバーに進入した空気の圧力（動圧）に応じてチャンバー内の空気をチャンバー外に排出する逆止弁ダンパを備えた第１排気ユニットが設置され、両側壁の少なくとも一方には、ガラリからチャンバーに進入した空気の圧力（静圧）に応じてチャンバー内の空気をチャンバー外に排出する逆止弁ダンパを備えた第２排気ユニットが設置されていることにある。
【００１１】
本発明の他の一例としては、逆止弁ダンパが、排気ユニットに取り付けられた軸と、軸に取り付けられて排気ユニットの空気流路を開閉する旋回羽根と、軸に取り付けられて排気ユニットを閉鎖する方向へ旋回羽根を旋回させる錘とから形成され、逆止弁ダンパでは、あらかじめ設定されたチャンバー内の第１設定圧力と錘とが釣り合うように錘の重量が調節され、チャンバー内の圧力が第１設定圧力を超えると、錘の重量に抗して旋回羽根が排気ユニットを開放する方向へ旋回し、排気ユニットの空気流路に所定面積の空気排出口が形成される。
【００１２】
本発明の他の一例としては、逆止弁ダンパが、排気ユニットに取り付けられた軸と、軸に取り付けられて自重によって排気ユニットの空気流路を閉鎖する旋回羽根とから形成され、逆止弁ダンパでは、あらかじめ設定されたチャンバー内の第１設定圧力と旋回羽根の重量とが釣り合うように旋回羽根の重量が調節され、チャンバー内の圧力が第１設定圧力を超えると、旋回羽根の重量に抗して旋回羽根が排気ユニットを開放する方向へ旋回し、排気ユニットの空気流路に所定面積の空気排出口が形成される。
【００１３】
本発明の他の一例としては、第１設定圧力が５Ｐａ〜４０Ｐａの範囲にある。
【００１４】
本発明の他の一例として、チャンバー内に位置する延出端部の開口端とガラリとの間には、ガラリから進入した空気の開口端への直接の流入を遮る遮蔽板が設置されている。
【００１５】
本発明の他の一例としては、遮蔽板の面積が延出端部の開口端の開口面積以上であり、開口端の全域が遮蔽板によってガラリに対して遮蔽される。
【００１６】
本発明の他の一例として、チャンバー内に位置する延出端部には、ガラリに対向しない方向へ屈曲する屈曲ダクトが取り付けられ、屈曲ダクトが、延出端部の開口端に接続された第１開口端と、第１開口端の反対側に位置して空気が流入する第２開口端とを有する。
【００１７】
本発明の他の一例としては、屈曲ダクトが延出端部の軸線に対して９０〜１８０度の範囲で屈曲している。
【００１８】
本発明の他の一例として、チャンバー内に位置する延出端部には、ガラリに対向しない方向へ直状に延びる接続ダクトが取り付けられ、接続ダクトが、延出端部の開口端に接続された中央開口端と、中央開口端の両側に位置して空気が流入する両側開口端とを有する。
【００１９】
本発明の他の一例としては、接続ダクトの軸線が延出端部の軸線に対して直交している。
【００２０】
本発明の他の一例として、チャンバー内に位置する延出端部には、ガラリに対向しない方向へ直状に延びる１本の第１接続ダクトが取り付けられ、第１接続ダクトには、ガラリに対向しない方向へ直状に延びる２本の第２接続ダクトが取り付けられ、第１接続ダクトが、延出端部の開口端に接続された第１中央開口端と、第１中央開口端の両側に位置する第１両側開口端とを有し、それら第２接続ダクトが、第１接続ダクトの第１両側開口端に接続された第２中央開口端と、第２中央開口端の両側に位置して空気が流入する第２両側開口端とを有する。
【００２１】
本発明の他の一例としては、第１接続ダクトの軸線が延出端部の軸線に対して直交し、第２接続ダクトの軸線が第１接続ダクトの軸線に対して直交している。
【００２２】
本発明の他の一例としては、給気装置が、給気ダクトを通る空気を室に給気する給気ファンと、ダクト収容ボックスと給気ファンとの間に延びる給気ダクトに設置されて旋回羽根の旋回によって給気ダクトを通る空気の量を調節するモータダンパと、給気ファンとモータダンパとの間に延びる給気ダクトに設置されて給気ダクトを通る空気の圧力を測定する圧力センサと、モータダンパの旋回羽根の開度を調節するコントローラとを含み、コントローラが、圧力センサから出力された給気ダクト内の測定圧力とあらかじめ設定された第２設定圧力とを比較する圧力比較手段と、ガラリの外側に吹く風の影響で所定量の空気が給気ダクトに流入しまたは給気ダクトから流出しようとし、それによって測定圧力が第２設定圧力の範囲から外れると、モータダンパの旋回羽根の開度を調節して測定圧力を第２設定圧力の範囲内に戻す圧力制御手段とを有する。
【００２３】
本発明の他の一例として、圧力制御手段では、風の影響で所定量の空気が給気ダクトに流入し、それによって測定圧力が第２設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパの旋回羽根の開度が最小開度でなければ旋回羽根の開度を小さくし、風の影響で所定量の空気が給気ダクトから流出しようとし、それによって測定圧力が第２設定圧力の範囲未満になると、モータダンパの旋回羽根の開度が全開でなければ旋回羽根の開度を大きくし、モータダンパの旋回羽根の開度を調節したことによって測定圧力が第２設定圧力の範囲内に戻ると、そのときの旋回羽根の開度を保持する。
【００２４】
本発明の他の一例としては、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの旋回羽根の最小開度が３〜２５％の範囲にあり、圧力制御手段では、測定圧力が第２設定圧力の範囲を超過したときに、モータダンパの旋回羽根の開度が最小開度であれば、その開度を保持する。
【００２５】
本発明の他の一例としては、第２設定圧力が−１０００Ｐａ〜１０００Ｐａの範囲にある。
【００２６】
本発明の他の一例としては、モータダンパの旋回羽根の旋回速度が１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にある。
【発明の効果】
【００２７】
本発明に係るダクト収容ボックスによれば、チャンバーの後側壁に逆止弁ダンパを有する第１排気ユニットが設置され、両側壁の少なくとも一方に逆止弁ダンパを有する第２排気ユニットが設置されているから、ガラリの外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー内に進入したときに、第１排気ユニットの逆止弁ダンパおよび第２排気ユニットの逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができ、必要以上の空気の給気ダクトへの流入を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、第１排気ユニットの逆止弁ダンパを利用してガラリから直接給気ダクトの延出端部に向かう空気の動圧を除圧することができるとともに、第２排気ユニットの逆止弁ダンパを利用してチャンバーの側壁に向かう空気の静圧を除圧することができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに確実に流入させることができる。このダクト収容ボックスは、給気装置から室に給気する空気を一定に保持することができ、室の室内気圧を設定圧力に保持することができる。
【００２８】
逆止弁ダンパが排気ユニットに取り付けられた軸とユニットの空気流路を開閉する旋回羽根とユニットを閉鎖する方向へ旋回羽根を旋回させる錘とから形成され、チャンバー内の第１設定圧力と錘とが釣り合うように錘の重量が調節されたダクト収容ボックスは、チャンバー内の圧力が第１設定圧力を超えると、錘の重量に抗して旋回羽根が排気ユニットの空気流路を開放するから、ガラリの外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー内に進入したときに、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができ、必要以上の空気の給気ダクトへの流入を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、第１排気ユニットの逆止弁ダンパを利用してガラリから直接給気ダクトの延出端部に向かう空気の動圧を除圧することができ、また、第２排気ユニットがチャンバーの側壁に設置されている場合、第２排気ユニットの逆止弁ダンパを利用してチャンバーの側壁に向かう空気の静圧を除圧することができる。ダクト収容ボックスは、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができるから、給気装置から室に給気する空気を一定に保持することができ、室の室内気圧を設定圧力に保持することができる。このダクト収容ボックスは、チャンバー内の圧力が第１設定圧力の範囲内に戻ると、錘の重量によって旋回羽根が排気ユニットの空気流路を閉鎖するから、必要以上の空気がチャンバー外に排気されることはなく、給気ダクトへの空気の流入減を防ぐことができる。
【００２９】
逆止弁ダンパが排気ユニットに取り付けられた軸と自重によってユニットの空気流路を閉鎖する旋回羽根とから形成され、チャンバー内の第１設定圧力と旋回羽根の重量とが釣り合うように旋回羽根の重量が調節されたダクト収容ボックスは、チャンバー内の圧力が第１設定圧力を超えると、旋回羽根の重量に抗して旋回羽根が排気ユニットの空気流路を開放するから、ガラリの外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー内に進入したときに、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができ、必要以上の空気の給気ダクトへの流入を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、第１排気ユニットの逆止弁ダンパを利用してガラリから直接給気ダクトの延出端部に向かう空気の動圧を除圧することができ、また、第２排気ユニットがチャンバーの側壁に設置されている場合、第２排気ユニットの逆止弁ダンパを利用してチャンバーの側壁に向かう空気の静圧を除圧することができる。ダクト収容ボックスは、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができるから、給気装置から室に給気する空気を一定に保持することができ、室の室内気圧を設定圧力に保持することができる。このダクト収容ボックスは、チャンバー内の圧力が第１設定圧力の範囲内に戻ると、錘の重量によって旋回羽根が排気ユニットの空気流路を閉鎖するから、必要以上の空気がチャンバー外に排気されることはなく、給気ダクトへの空気の流入減を防ぐことができる。
【００３０】
第１設定圧力が５Ｐａ〜４０Ｐａの範囲にあるダクト収容ボックスは、第１設定圧力を前記範囲にすることで、ガラリからチャンバー内に余分な空気が進入したとしても、逆止弁ダンパの旋回羽根が迅速に旋回して空気をチャンバー外に速やかに逃がすことができ、必要以上の空気の給気ダクトへの流入を防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができるから、給気装置から室に給気する空気を一定に保持することができ、室の室内気圧を設定圧力に保持することができる。
【００３１】
チャンバー内に位置する給気ダクトの延出端部の開口端とガラリとの間に、ガラリから進入した空気の開口端への直接の流入を遮る遮蔽板が設置されたダクト収容ボックスは、遮蔽板によって延出端部の開口端がガラリに対して遮蔽されるから、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気がガラリから給気ダクトに向かって進入したとしても、その空気が遮蔽板に衝突し、チャンバー内に進入した空気の給気ダクトへの直接の流入を防ぐことができ、給気ダクトに流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリの外側に吹く風の影響で空気がチャンバーから流出したとしても、遮蔽板によって空気の給気ダクトからの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクトへ一気に流入することはなく、空気が給気ダクトから一気に流出することもないから、給気ダクトの内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができることに加え、遮蔽板を利用して給気ダクトへの空気の直接の流入や給気ダクトからの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクトから流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができる。
【００３２】
遮蔽板の面積が延出端部の開口端の開口面積以上であり、開口端の全域が遮蔽板によってガラリに対して遮蔽されるダクト収容ボックスは、遮蔽板によって延出端部の開口端の全域がガラリに対して確実に遮蔽されるから、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気がガラリから給気ダクトに向かって進入したとしても、その空気が遮蔽板に衝突し、チャンバー内に進入した空気の給気ダクトへの直接の流入を防ぐことができ、給気ダクトに流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリの外側に吹く風の影響で空気がチャンバーから流出したとしても、遮蔽板によって空気の給気ダクトからの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクトへ一気に流入することはなく、空気が給気ダクトから一気に流出することもないから、給気ダクトの内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができることに加え、遮蔽板を利用して給気ダクトへの空気の直接の流入や給気ダクトからの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクトから流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができる。
【００３３】
ガラリに対向しない方向へ屈曲する屈曲ダクトがチャンバー内に位置する給気ダクトの延出端部に取り付けられたダクト収容ボックスは、屈曲ダクトがガラリに対向しない方向へ延出し、屈曲ダクトの第２開口端がガラリに対向しない方向へ開口するから、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気がチャンバー内に進入したとしても、その空気が屈曲ダクトの第２開口端に直接進入することはなく、チャンバー内に進入した空気の給気ダクトへの直接の流入を防ぐことができ、給気ダクトに流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリの外側に吹く風の影響で空気がチャンバーから流出したとしても、空気が屈曲ダクトの第２開口端から直接流出することはなく、空気の給気ダクトからの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクトへ一気に流入することはなく、空気が給気ダクトから一気に流出することもないから、給気ダクトの内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができることに加え、屈曲ダクトを利用して給気ダクトへの空気の直接の流入や給気ダクトからの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクトから流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができる。
【００３４】
屈曲ダクトが給気ダクトの延出端部の軸線に対して９０〜１８０度の範囲で屈曲するダクト収容ボックスは、屈曲ダクトが前記範囲で屈曲することで屈曲ダクトがガラリに対向しない方向へ延出し、屈曲ダクトの第２開口端がガラリに対向しない方向へ開口するから、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気がチャンバー内に進入したとしても、その空気が屈曲ダクトの第２開口端に直接進入することはなく、チャンバー内に進入した空気の給気ダクトへの直接の流入を防ぐことができ、給気ダクトに流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリの外側に吹く風の影響で空気がチャンバーから流出したとしても、空気が屈曲ダクトの第２開口端から直接流出することはなく、空気の給気ダクトからの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクトへ一気に流入することはなく、空気が給気ダクトから一気に流出することもないから、給気ダクトの内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができることに加え、屈曲ダクトを利用して給気ダクトへの空気の直接の流入や給気ダクトからの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクトから流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができる。
【００３５】
ガラリに対向しない方向へ直状に延びる接続ダクトがチャンバー内に位置する給気ダクトの延出端部に取り付けられたダクト収容ボックスは、接続ダクトがガラリに対向しない方向へ延出し、接続ダクトの両側開口端がガラリに対向しない方向へ開口するから、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気がチャンバー内に進入したとしても、その空気が接続ダクトの両側開口端に直接進入することはなく、チャンバー内に進入した空気の給気ダクトへの直接の流入を防ぐことができ、給気ダクトに流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリの外側に吹く風の影響で空気がチャンバーから流出したとしても、空気が接続ダクトの両側開口端から直接流出することはなく、空気の給気ダクトからの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクトへ一気に流入することはなく、空気が給気ダクトから一気に流出することもないから、給気ダクトの内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができることに加え、接続ダクトを利用して給気ダクトへの空気の直接の流入や給気ダクトからの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクトから流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができる。
【００３６】
接続ダクトの軸線が給気ダクトの延出端部の軸線に対して直交するダクト収容ボックスは、接続ダクトが延出端部に対して直交することで接続ダクトがガラリに対向しない方向へ延出し、接続ダクトの両側開口端がガラリに対向しない方向へ開口するから、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気がチャンバー内に進入したとしても、その空気が接続ダクトの両側開口端に直接進入することはなく、チャンバー内に進入した空気の給気ダクトへの直接の流入を防ぐことができ、給気ダクトに流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリの外側に吹く風の影響で空気がチャンバーから流出したとしても、空気が接続ダクトの両側開口端から直接流出することはなく、空気の給気ダクトからの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクトへ一気に流入することはなく、空気が給気ダクトから一気に流出することもないから、給気ダクトの内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができることに加え、接続ダクトを利用して給気ダクトへの空気の直接の流入や給気ダクトからの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクトから流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができる。
【００３７】
ガラリに対向しない方向へ直状に延びる１本の第１接続ダクトが給気ダクトの延出端部に取り付けられ、ガラリに対向しない方向へ直状に延びる２本の第２接続ダクトが第１接続ダクトに取り付けられたダクト収容ボックスは、第１接続ダクトがガラリに対向しない方向へ延出し、第２接続ダクトがガラリに対向しない方向へ延出することで第２接続ダクトの第２両側開口端がガラリに対向しない方向へ開口するから、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気がチャンバー内に進入したとしても、その空気が第２接続ダクトの第２両側開口端に直接進入することはなく、チャンバー内に進入した空気の給気ダクトへの直接の流入を防ぐことができ、給気ダクトに流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリの外側に吹く風の影響で空気がチャンバーから流出したとしても、空気が第２接続ダクトの第２両側開口端から直接流出することはなく、空気の給気ダクトからの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクトへ一気に流入することはなく、空気が給気ダクトから一気に流出することもないから、給気ダクトの内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができることに加え、第１および第２接続ダクトを利用して給気ダクトへの空気の直接の流入や給気ダクトからの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクトから流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができる。
【００３８】
第１接続ダクトの軸線が空気搬送ダクトの延出端部の軸線に対して直交し、第２接続ダクトの軸線が第１接続ダクトの軸線に対して直交するダクト収容ボックスは、第１接続ダクトが延出端部に対して直交することで第１接続ダクトがガラリに対向しない方向へ延出し、さらに、第２接続ダクトが第１接続ダクトに対して直交することで第２接続ダクトがガラリに対向しない方向へ延出し、第２接続ダクトの両側開口端がガラリに対向しない方向へ開口するから、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気がチャンバー内に進入したとしても、その空気が第２接続ダクトの第２両側開口端に直接進入することはなく、チャンバー内に進入した空気の給気ダクトへの直接の流入を防ぐことができ、給気ダクトに流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリの外側に吹く風の影響で空気がチャンバーから流出したとしても、空気が第２接続ダクトの第２両側開口端から直接流出することはなく、空気の給気ダクトからの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクトへ一気に流入することはなく、空気が給気ダクトから一気に流出することもないから、給気ダクトの内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができることに加え、第１および第２接続ダクトを利用して給気ダクトへの空気の直接の流入や給気ダクトからの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクトから流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができる。
【００３９】
ガラリの外側に吹く風の影響で給気ダクトに余分な空気が流入し、または、給気ダクトから空気が流出しようとすることによって給気ダクト内の測定圧力が設定圧力の範囲から外れると、給気装置のコントローラがモータダンパの旋回羽根の開度を調節して測定圧力を設定圧力の範囲内に戻すダクト収容ボックスは、ガラリの外側に吹く風の影響をモータダンパによって回避することができ、余分な空気の給気ダクトへの流入を防ぐことができるとともに、給気ダクトへの空気の流入減を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、第１および第２排気ユニットやモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を室に給気することができるから、室に給気する空気を一定に保持することができ、室に給気する空気の給気過少や給気過多を防ぐことができるとともに、室の室内気圧を一定に保持することができる。このダクト収容ボックスは、給気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルームでの使用に特に有効であり、クリーンルームにおいて室内気圧の変動がない安定した空調環境を作ることが可能である。
【００４０】
圧力制御手段において、測定圧力が設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくし、測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、モータダンパの旋回羽根の開度を大きくし、測定圧力が設定圧力の範囲内に戻ると、そのときのモータダンパの旋回羽根の開度を保持するダクト収容ボックスは、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気が給気ダクトに流入し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくして空気の給気ダクト内への流入を制限し、測定圧力を設定圧力に戻すから、ガラリの外側に吹く風の影響をモータダンパによって回避することができ、第１および第２排気ユニットやモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を室内に給気することができるとともに、室の室内気圧を一定に保持することができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に吹く風の影響で空気が給気ダクトから流出しようとして測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、旋回羽根の開度を大きくして給気ダクト内への空気の流入減を防ぐから、ガラリの外側に吹く風の影響をモータダンパによって回避することができ、第１および第２排気ユニットやモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を室内に給気することができるとともに、室の室内気圧を一定に保持することができる。また、測定圧力が設定圧力の範囲に戻ると、そのときのモータダンパの旋回羽根の開度を保持するから、第１および第２排気ユニットやモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を室内に給気することができ、室の室内気圧を一定に保持することができる。このダクト収容ボックスは、給気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルームでの使用に特に有効であり、クリーンルームにおいて室内気圧の変動がない安定した空調環境を作ることが可能である。
【００４１】
モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの旋回羽根の最小開度が３〜２５％の範囲にあるダクト収容ボックスは、旋回羽根の開度が全閉（０％）なると、給気ダクト内への空気の流入が停止し、給気ダクトから室に空気が送られない場合が生じるが、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの羽根の最小開度が３〜２５％に保持されるから、給気ダクトから室への空気の未給気状態が回避され、室の室内気圧の極端な変動を防ぐことができる。
【００４２】
設定圧力が−１０００Ｐａ〜１０００Ｐａの範囲にあるダクト収容ボックスは、給気ダクトを介して一定圧かつ一定量の空気を安定して室内に流入させるには給気ダクト内が負圧に保持される必要があるが、設定圧力を前記範囲にすることで、給気ダクトに余分な空気が流入したとしても、モータダンパが迅速に作動し、給気ダクト内の空気の圧力が陽圧になることを防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、給気ダクトを介して一定圧かつ一定量の空気を安定して室に流入させることができ、室の室内気圧を一定に保持することができる。
【００４３】
モータダンパの旋回羽根の旋回速度が１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にあるダクト収容ボックスは、旋回羽根の旋回速度を前記範囲にすることで、余分な空気が給気ダクトに流入し、または、空気が給気ダクトから流出しようとしたとしても、モータダンパの旋回羽根が前記旋回速度で瞬時に旋回するから、測定圧力を設定圧力の範囲内に速やかに戻すことができ、給気ダクト内の空気の圧力が陽圧になることを防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、一定圧かつ一定量の空気を安定して室に流入させることができ、室の室内気圧を一定に保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】一例として示すダクト収容ボックスの斜視図。
【図２】図１のダクト収容ボックスの部分破断正面図。
【図３】一例として示す排気ユニットの斜視図。
【図４】空気流路を開放した状態の排気ユニットの斜視図。
【図５】空気流路を閉鎖した状態の排気ユニットの側面図。
【図６】空気流路を開放した状態の排気ユニットの側面図。
【図７】空気流路が開放された状態の図１のＡ−Ａ線矢視断面図。
【図８】他の一例として示すダクト収容ボックスの斜視図。
【図９】空気流路が開放された状態の図８のＢ−Ｂ線矢視断面図。
【図１０】他の一例として示すダクト収容ボックスの斜視図。
【図１１】他の一例として示す排気ユニットの斜視図。
【図１２】空気流路を開放した状態の排気ユニットの部分破断斜視図。
【図１３】空気流路が開放された状態の図１０のＣ−Ｃ線矢視断面図。
【図１４】他の一例として示すダクト収容ボックスの斜視図。
【図１５】空気流路が開放された状態の図１４のＤ−Ｄ線矢視断面図。
【図１６】他の一例として示すダクト収容ボックスの斜視図。
【図１７】図１６のダクト収容ボックスの部分破断正面図。
【図１８】空気流路が開放された状態の図１６のＥ−Ｅ線矢視断面図。
【図１９】他の一例として示すダクト収容ボックスの斜視図。（接続ダクト）
【図２０】図１９のダクト収容ボックスの部分破断正面図。
【図２１】空気流路が開放された状態の図１９のＦ−Ｆ線矢視断面図。
【図２２】他の一例として示すダクト収容ボックスの斜視図。（接続ダクト）
【図２３】図２２のダクト収容ボックスの部分破断正面図。
【図２４】空気流路が開放された状態の図２２のＦ−Ｆ線矢視断面図。
【図２５】給気装置を含む室圧制御機構の一例を示す構成図。
【図２６】給気装置を含む室圧制御機構の構成図。
【図２７】一例として示す給気装置の構成図。
【図２８】コントローラが実行する各手段を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００４５】
添付の図面を参照し、本発明に係るダクト収容ボックスの詳細を説明すると、以下のとおりである。図１，２，７では、上下方向を矢印Ｘ、横方向を矢印Ｙ（図７を除く）で示し、前後方向を矢印Ｚ（図２を除く）で示す。図１では、第１排気ユニット２９の空気流路３０が閉鎖された状態にある。図２では、ガラリ１２の一部を破断して示す。なお、図１，２では、ダクト収容ボックス１０Ａに２本の給気ダクト１１が接続されているが、ダクト１１の数を２本に限定するものではなく、２本を超過する数のダクト１１がボックス１０Ａ（ボックス１０Ｂ〜１０Ｇを含む）に接続される場合もある。
【００４６】
ダクト収容ボックス１０Ａは、クリーンルーム７２，７３（室）（図２５，２６参照）から延びる複数本の給気ダクト１１を一纏めにした状態で、工場７６（図２５，２６参照）（既設建物）の屋外から外気を取り入れ、その外気を給気ダクト１１に供給する。ダクト収容ボックス１０Ａは、金属製またはプラスチック製のガラリ１２と、ガラリ１２につながる金属製のチャンバー１３とから形成されている。ボックス１０Ａの内部には、所定容積の内部空間１４が画成されている。
【００４７】
ガラリ１３は、工場７６の内外を隔てる壁１５に作られた開口１６に整合させた状態で、その壁１５に取り付けられている。チャンバー１３は、ガラリ１２に連接されて壁１５の内側に施設された横方向へ長い５面体である。チャンバー１３は、上下方向へ対向する頂壁１７および底壁１８と、横方向へ対向する両側壁１９，２０と、それら両側壁１９，２０の間に位置する後側壁２１とから形成されている。それら壁１７〜２１は、その平面形状が矩形に成形されている。チャンバー１３では、頂底壁１７，１８と両側壁１９，２０と後側壁２１とが気密に接続されている。チャンバー１３は、頂底壁１７，１８と両側壁１９，２０とのうちの壁１５に当接する部分が壁１５に気密に固定されている。
【００４８】
後側壁２１には、給気ダクト１１の延出端部２２を挿通する挿通孔２３が形成されている。ダクト収容ボックス１０Ａでは、後側壁２１の挿通孔２３に給気ダクト１１の延出端部２２が挿通され、挿通孔２３の周縁にダクト１１の周面が気密に固定されている。給気ダクト１１の延出端部２２は、挿通孔２３からチャンバー１３内に引き込まれ、ボックス１０Ａの内部空間１４に収容されている。
【００４９】
ダクト収容ボックス１０Ａの内部空間１５（チャンバー１３内）では、給気ダクト１１の延出端部２２がガラリ１２に向かって前後方向前方へ直状に延び、延出端部２２の開口端２４がガラリ１２に対向し、開口端２４が工場７６の外（屋外）に向かって前後方向前方へ開口している。なお、給気ダクト１１はその断面形状が円形に成型されているが、断面形状を円形に限定するものではなく、四角形等の他の断面形状を有するダクト１１を使用することもできる。
【００５０】
給気ダクト１１の延出端部２２の開口端２４とガラリ１２との間には、平面形状が円形の遮蔽板２５が設置されている。遮蔽板２５は、開口端２４の周縁から延びる複数本の連接棒２６を介して開口端２４の前方に固定されている。遮蔽板２５は、その面積（平面形状の面積）が延出端部２２の開口端２４の開口面積よりも大きく、ガラリ１２に対して延出端部２２の開口端２４の全域を遮蔽する。遮蔽板２５は、ガラリ１２から進入した空気の開口端２４への直接の流入を遮る。なお、遮蔽板２５は、その面積が開口端２４の開口面積と同一であってもよい。また、遮蔽板２５は、給気ダクト１１の断面形状が四角形であれば、その平面形状が四角形に成形される。
【００５１】
チャンバー１３の後側壁２１には、図１に示すように、各側壁３５〜３８から作られた中空四角柱状の筐体２７と逆止弁ダンパ２８Ａとを備えた第１排気ユニット２９が設置されている。逆止弁ダンパ２８は、各側壁３５〜３８に囲繞されたユニット２９の空気流路３０に設置され、ガラリ１２からチャンバー１３内に進入した空気の圧力に応じてボックス１０Ａの内部空間１５（チャンバー１３内）の空気を内部空間１５外（チャンバー１３外）に逃がす。なお、第１排気ユニット２９の後側壁２１における設置箇所に特に限定はなく、後側壁２１であればいずれの箇所に設置してもよい。
【００５２】
逆止弁ダンパ２８は、図３，４に示すように、筐体２７に回転可能に取り付けられた回転軸３１（軸）と、回転軸３１に取り付けられて排気ユニット２９の空気流路３０を開閉する旋回羽根３２と、回転軸３１に取り付けられて排気ユニット２９の空気流路３０を閉鎖する方向へ旋回羽根３２を旋回させる所定重量の錘３３と、ストッパー３４とを有する。
【００５３】
回転軸３１は、第１および第３側壁３５，３７に回転可能に取り付けられている。回転軸３１は、筐体２７の内側に延びる内側部分３９と、第１側壁３５を貫通して筐体２７の外側に延びる外側部分４０と、外側部分４０から径方向外方に延びる錘支持棒４１とを有する。旋回羽根３２は、ユニット２９の空気流路３０と略同一の面積を有する四角形の金属板であり、回転軸３１の内側部分３９に旋回可能に取り付けられている。旋回羽根３２は、回転軸３１の回転によって空気流路３０を閉鎖する方向と流路３０を開放する方向とへ旋回する。
【００５４】
ストッパー３４は、金属板から作られ、第２側壁３６の内側に取り付けられて側壁３６から空気流路３０に向かって延びている。旋回羽根３２の先端部分がストッパー３４に当接すると、羽根３２の旋回が停止する。排気ユニット２９では、旋回羽根３２によってユニット２９の空気流路３０が閉鎖されたときにその羽根３２のそれ以上の旋回がストッパー３４によって阻止され、羽根３２がストッパー３４の前方へ旋回することはないから、ユニット２９の空気流路３０に開口が形成されることはない。ゆえに、後側壁２１からチャンバー１３内への空気の流入を防ぐことができる。
【００５５】
錘支持棒４１は、回転軸３１の外側部分４０の先端に着脱可能に取り付けられている。錘支持棒４１の基端部には、装着リング４２が取り付けられている。支持棒４１を回転軸３１に取り付けるには、リング４２を回転軸３１の外側部分４０に嵌め込んだ後、ビス４３によってそのリング４２を外側部分４０に固定する。ビス４３を取り外し、装着リング４２を回転軸３１の外側部分４０から抜き取ることによって支持棒４１を外側部分４０から取り外すことができる。
【００５６】
錘３３は、金属を円盤状に成形したものであり、その中央に円形の挿入口が形成されている。錘３３は、錘支持棒４１に着脱可能に取り付けられている。錘３３の両側には、固定リング４４が配置されている。錘３３を錘支持棒４１に取り付けるには、支持棒４１に一方の固定リング４４を嵌め込んだ後、錘３３の挿入口を支持棒４１に挿入し、さらに、他方の固定リング４４を支持棒４１に嵌め込み、それらリング４４で錘３３を挟み、ビス４５によってそれらリング４４を支持棒４１に固定する。支持棒４１におけるリング４４の固定位置を変えることによって、支持棒４１における錘３３の取り付け位置を調節することができる。ビス４５を取り外し、リング４４や錘３３を支持棒４１から抜き取ることによってリング４４や錘３３を支持棒４１から取り外すことができる。
【００５７】
図５に示す旋回羽根３２が空気流路３０を閉じた状態または図６に示す旋回羽根３２が前後方向後方へ旋回した状態において、錘３３は、回転軸３１の中心を通る仮想垂直線Ｌ１の左方に位置する。したがって、錘３３は、その重量によって排気ユニット２９の空気流路３０を閉鎖する方向へ旋回羽根３２を旋回させる。旋回羽根３２は、錘３３によって排気ユニット２９の空気流路３０を閉鎖する方向へ常時付勢されている。
【００５８】
図７に矢印Ａ１で示すように、ガラリ１２の外側近傍（工場７６の屋外）で強い風が吹くと、その風の影響でガラリ１２からダクト収容ボックス１０Ａの内部空間１４（チャンバー１３内）に余分な空気が一気に進入する場合がある。ガラリ１２から余分な空気が進入すると、その空気が内部空間１４を通って排気ユニット２９に進入し、図７に矢印Ａ３で示すように、ユニット２９内に流入した空気が旋回羽根３２に衝突し、その空気圧によって羽根３２に所定の動圧（押圧力）が作用する。旋回羽根３２に作用する動圧は、図６に示すように、錘３３の重量に抗して回転軸３１を時計回り方向へ回転させるように旋回羽根３２を押圧する。
【００５９】
逆止弁ダンパ２８Ａでは、ダクト収容ボックス１０Ａの内部空間１４（チャンバー１３内）の第１設定圧力と錘３３とが釣り合うように錘３３の重量が調節されている。錘３３の重量の調節は、重量の異なる錘３３を錘支持棒４１に取り付ける場合と支持棒４１に対する錘３３の固定位置を変更する場合との少なくとも一方によって行われる。第１設定圧力を高くする場合は、錘３３の重量そのものを増加させてもよく、錘支持棒４１における錘３３の固定位置を回転軸３１から離間する方向へずらしてもよい。第１設定圧力を低くする場合は、錘３３の重量そのものを減少させてもよく、錘支持棒４１における錘３３の固定位置を回転軸３１に近接する方向へずらしてもよい。
【００６０】
第１設定圧力は、５Ｐａ〜４０Ｐａの範囲、好ましくは、５Ｐａ〜２０Ｐａの範囲、より好ましくは、５Ｐａ〜１０Ｐａの範囲に設定される。第１設定圧力が４０Ｐａを超過すると、ガラリ１２からチャンバー１３内に余分な空気が進入したときに、その空気をチャンバー１３外に速やかに逃がすことができず、必要以上の空気の給気ダクト１１への流入を防ぐことができない場合がある。ダクト収容ボックス１０Ａは、第１設定圧力を前記範囲にすることで、ガラリ１２からチャンバー１３内に余分な空気が進入したとしても、逆止弁ダンパ２８Ａの旋回羽根３２が迅速に旋回して空気をチャンバー１３外に速やかに逃がすことができ、必要以上の空気の給気ダクト１１への流入を防ぐことができる。
【００６１】
内部空間１４（チャンバー１３内）の空気の圧力が錘３３の重量（錘３３の重量を空気圧に変換した第１設定圧力）よりも大きいと、旋回羽根３２が錘３３の重量に抗して空気流路３０を開放する方向へ旋回する（図６では回転軸３１が時計回り方向へ回転する）。旋回羽根３２が空気流路３０を開放する方向へ旋回すると、空気流路３０に所定面積の開口４６（空気排出口）が形成され、空気がその開口４６を通って内部空間１４の外（チャンバー１３外）に排気される。逆に、内部空間１４の空気の圧力が錘３３の重量（第１設定圧力）よりも小さいと、錘３３の重量によって旋回羽根３２が空気流路３０を閉鎖する方向へ旋回する（図６では回転軸３１が反時計回り方向へ回転する）。
【００６２】
ダクト収容ボックス１０Ａは、チャンバー１３の後側壁２１に逆止弁ダンパ２８Ａを有する第１排気ユニット２９が設置されているから、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー１３内に進入したときに、第１排気ユニット２９の逆止弁ダンパ２８Ａを利用してチャンバー１３に進入した空気をチャンバー１３内からチャンバー１３外に逃がすことができ、その結果、ガラリ１２から直接給気ダクト１１の延出端部２２に向かう空気の動圧を除圧することができ、給気ダクト１１への必要以上の空気の流入を防ぐことができる。
【００６３】
ダクト収容ボックス１０Ａは、遮蔽板２５によって延出端部２２の開口端２４の全域がガラリ１２に対して確実に遮蔽されるから、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で余分な空気がガラリ１２から給気ダクト１１に向かって進入したとしても、その空気が遮蔽板２５に衝突し、チャンバー１３内に進入した空気の給気ダクト１１への直接の流入を防ぐことができ、給気ダクト１１に流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で空気がチャンバー１３から流出したとしても、遮蔽板２５によって空気の給気ダクト１１からの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックス１０Ａは、ガラリ１２の外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクト１１へ一気に流入することはなく、空気が給気ダクト１１から一気に流出することもないから、給気ダクト１１の内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。
【００６４】
ダクト収容ボックス１０Ａは、逆止弁ダンパ２８Ａを利用してチャンバー１３に進入した空気をチャンバー１３内からチャンバー１３外に逃がすことができることに加え、遮蔽板２５を利用して給気ダクト１１への空気の直接の流入や給気ダクト１１からの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト１１に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクト１１から流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクト１１に流入させることができる。
【００６５】
図８は、他の一例として示すダクト収容ボックス１０Ｂの斜視図であり、図９は、空気流路３０が開放された状態の図８のＢ−Ｂ線矢視断面図である。図８，９では、上下方向を矢印Ｘ、横方向を矢印Ｙで示し、前後方向を矢印Ｚ（図９を除く）で示す。図８では、第１および第２排気ユニット２９，４７の空気流路３０が閉鎖された状態にある。このダクト収容ボックス１０Ｂが図１のそれと異なるのはボックス１０Ｂに第２排気ユニット４７が設置されている点にあり、その他の構成は図１のボックス１０Ａのそれと同一であるから、図１と同一の符号を付すとともに、図１のボックス１０Ａの説明を援用することで、このボックス１０Ｂのその他の構成の説明は省略する。
【００６６】
チャンバー１３の側壁１９には、図８に示すように、各側壁３６〜３８から作られた中空四角柱状の筐体２７と逆止弁ダンパ２８Ｂとを備えた第２排気ユニット４７が設置されている。逆止弁ダンパ２８Ｂは、各側壁３６〜３８に囲繞されたユニット４７の空気流路３０に設置され、ガラリ１２からダクト収容ボックス１０Ｂに進入した空気の圧力に応じてボックス１０Ｂの内部空間１４（チャンバー１３内）の空気を内部空間１４の外（チャンバー１３外）に逃がす。なお、第２排気ユニット４７の側壁１９における設置箇所に特に限定はなく、側壁１９であればいずれの箇所に設置してもよい。また、第２排気ユニット４７は、側壁１９のみならず、側壁２０に設置されていてもよい。
【００６７】
第２排気ユニット４７の構成は、図３〜７のそれと同一であるから、図３〜７と同一の符号（ただし、第１排気ユニット２９の逆止弁ダンパ２８Ａに末尾符号Ａを付け、第２排気ユニット４７の逆止弁ダンパ２８Ｂに末尾符号Ｂを付けることで両者を区別する）を付すとともに、図３〜７の排気ユニット２９の説明を援用することで、この排気ユニット４７の説明は省略する。
【００６８】
ガラリ１２の外側近傍（工場７６の屋外）に吹く風の影響で、ガラリ１２から余分な空気が一気に進入すると、その空気がチャンバー１３を通って第１排気ユニット２９に進入し、その空気が逆止弁ダンパ２８Ａの旋回羽根３２に衝突して羽根３２に所定の動圧（押圧力）が作用する（図７援用）。さらに、後側壁２１に衝突した空気によって内部空間１４（チャンバー１３内）の気圧が上がり、その気圧が第２排気ユニット４７に作用して逆止弁ダンパ２８Ｂの旋回羽根３２に所定の静圧（押圧力）が作用する。逆止弁ダンパ２８Ａの旋回羽根３２に作用する動圧は、錘３３の重量に抗して回転軸３１を回転させるように羽根３２を押圧する。また、逆止弁ダンパ２８Ｂの旋回羽根３２に作用する静圧は、錘３３の重量に抗して回転軸３１を回転させるように羽根３２を押圧する。
【００６９】
各逆止弁ダンパ２８Ａ，２８Ｂでは、ダクト収容ボックス１０Ｂの内部空間１４（チャンバー１３内）の第１設定圧力と錘３３とが釣り合うように錘３３の重量が調節されている。錘３３の重量の調節は、図３〜６のそれと同様に、重量の異なる錘３３を錘支持棒４１に取り付ける場合と支持棒４１に対する錘３３の固定位置を変更する場合との少なくとも一方によって行われる。第１設定圧力を高くする場合は、錘３３の重量そのものを増加させてもよく、錘支持棒４１における錘３３の固定位置を回転軸３１から離間する方向へずらしてもよい。第１設定圧力を低くする場合は、錘３３の重量そのものを減少させてもよく、錘支持棒４１における錘３３の固定位置を回転軸３１に近接する方向へずらしてもよい。
【００７０】
逆止弁ダンパ２８Ａ，２８Ｂにおける第１設定圧力は、５Ｐａ〜４０Ｐａの範囲、好ましくは、５Ｐａ〜２０Ｐａの範囲、より好ましくは、５Ｐａ〜１０Ｐａの範囲に設定される。第１設定圧力が４０Ｐａを超過すると、ガラリ１２からチャンバー１３内に余分な空気が進入したときに、その空気をチャンバー１３外に速やかに逃がすことができず、必要以上の空気の給気ダクト１１への流入を防ぐことができない場合がある。ダクト収容ボックス１０Ｂは、第１設定圧力を前記範囲にすることで、ガラリ１２からチャンバー１３内に余分な空気が進入したとしても、逆止弁ダンパ２８Ａ，２８Ｂの旋回羽根３２が迅速に旋回して空気をチャンバー１３外に速やかに逃がすことができ、必要以上の空気の給気ダクト１１への流入を防ぐことができる。
【００７１】
内部空間１４の空気の圧力が錘３３の重量（錘３３の重量を空気圧に変換した第１設定圧力）よりも大きいと、旋回羽根３２が錘３３の重量に抗して空気流路３０を開放する方向へ旋回し（図６援用）、旋回羽根３２が錘３３の重量に抗して空気流路３０を開放する方向へ旋回する（図９参照）。逆止弁ダンパ２８Ａ，２８Ｂの旋回羽根３２が空気流路３０を開放する方向へ旋回すると、空気流路３０に所定面積の開口４６（空気排出口）が形成され、空気がその開口４６を通って内部空間１３の外（チャンバー１３外）に排気される。逆に、内部空間１３の空気の圧力が錘３３の重量（第１設定圧力）よりも小さいと、錘３３の重量によって逆止弁ダンパ２８Ａ，２８Ｂの旋回羽根３２が空気流路３０を閉鎖する方向へ旋回する。
【００７２】
ダクト収容ボックス１０Ｂは、チャンバー１３の後側壁２１に逆止弁ダンパ２８Ａを有する第１排気ユニット２９が設置され、側壁１９に逆止弁ダンパ２８Ｂを有する第２排気ユニット４７が設置されているから、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー１３内に進入したときに、第１および第２排気ユニット２９，４７の逆止弁ダンパ２８Ａ，２８Ｂを利用してチャンバー１３に進入した空気をチャンバー１３内からチャンバー１３外に逃がすことができ、その結果、ガラリ１２から直接給気ダクト１１の延出端部２２に向かう空気の動圧や逆止弁ダンパ２８Ｂに作用する静圧を除圧することができ、必要以上の空気の給気ダクト１１への流入を防ぐことができる。
【００７３】
ダクト収容ボックス１０Ｂは、遮蔽板２５によって延出端部２２の開口端２４の全域がガラリ１２に対して確実に遮蔽されるから、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で余分な空気がガラリ１２から給気ダクト１１に向かって進入したとしても、その空気が遮蔽板２５に衝突し、チャンバー１３内に進入した空気の給気ダクト１１への直接の流入を防ぐことができ、給気ダクト１１に流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で空気がチャンバー１３から流出したとしても、遮蔽板２５によって空気の給気ダクト１１からの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックス１０Ｂは、ガラリ１２の外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクト１１へ一気に流入することはなく、空気が給気ダクト１１から一気に流出することもないから、給気ダクト１１の内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。
【００７４】
ダクト収容ボックス１０Ｂは、逆止弁ダンパ２８Ａ，２８Ｂを利用してチャンバー１３に進入した空気をチャンバー１３内からチャンバー１３外に逃がすことができることに加え、遮蔽板２５を利用して給気ダクト１１への空気の直接の流入や給気ダクト１１からの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト１１に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクト１１から流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクト１１に流入させることができる。
【００７５】
図１０は、他の一例として示すダクト収容ボックス１０Ｃの斜視図であり、図１１は、他の一例として示す排気ユニット４８の斜視図である。図１２は、空気流路５２を開放した状態の排気ユニット４８の部分破断斜視図であり、図１３は、空気流路５２が開放された状態の図１０のＣ−Ｃ線矢視断面図である。図１０，１３では、上下方向を矢印Ｘ、横方向を矢印Ｙ（図１３を除く）で示し、前後方向を矢印Ｚで示す。図１０では、第１排気ユニット４８の空気流路５２が閉鎖された状態にある。
【００７６】
このダクト収容ボックス１０Ｃが図１のそれと異なるのはボックス１０Ｃに図１とは異なる態様の第１排気ユニット４８が設置されている点にあり、その他の構成は図１のボックス１０Ａのそれと同一であるから、図１と同一の符号を付すとともに、図１のボックス１０Ａの説明を援用することで、このボックス１０Ｃのその他の構成の説明は省略する。第１排気ユニット４８は、図１０に示すように、周壁４９から作られた中空円筒状の筐体５０と逆止弁ダンパ５１Ａとを備え、チャンバー１３の後側壁２１に設置されている。
【００７７】
逆止弁ダンパ５１Ａは、周壁４９に囲繞されたユニット４８の空気流路５２に設置され、ガラリ１２からダクト収容ボックス１０Ｃに進入した空気の圧力に応じてボックス１０Ｃの内部空間１４（チャンバー１３内）の空気を内部空間１４の外（チャンバー１３外）に逃がす。逆止弁ダンパ５１Ａは、排気ユニット４８に固定された支持板５３に回転可能に取り付けられた軸５４（蝶番）と、軸５４に取り付けられて排気ユニット４８の空気流路５２を開閉する旋回羽根５５と、ストッパー５６とを有する。
【００７８】
旋回羽根５５は、排気ユニット４８の空気流路５２と略同一の面積を有する略円形の金属板であり、軸５４に旋回可能に取り付けられている。旋回羽根５５は、軸５４を中心に空気流路５２を閉鎖する方向と空気流路５２を開放する方向とへ旋回する。ストッパー５６は、金属板から作られ、周壁４９の内側に取り付けられて周壁４９から空気流路５２に向かって延びている。旋回羽根５５の周縁部がストッパー５６に当接すると、羽根５５の旋回が停止する。第１排気ユニット４８では、旋回羽根５５によってユニット４８の空気流路５２が閉鎖されたときにその羽根５５のそれ以上の旋回がストッパー５６によって阻止され、羽根５５がストッパー５６の前方へ旋回することはないから、ユニット４８の空気流路５２に開口が形成されることはない。ゆえに、後側壁２１からチャンバー１３内への空気の流入を防ぐことができる。
【００７９】
旋回羽根５５は、その自重（羽根５５の重量）によって第１排気ユニット４８の空気流路５２を閉鎖する方向へ旋回する。ガラリ１２の外側近傍（工場７６の屋外）で強い風が吹くと、その風の影響でガラリ１２からダクト収容ボックス１０Ｃの内部空間１４（チャンバー１３内）に余分な空気が一気に進入する場合がある。ガラリ１２から余分な空気が進入すると、その空気がチャンバー１３を通って第１排気ユニット４８に進入し、空気が旋回羽根５５に衝突して羽根５５に所定の動圧（押圧力）が作用する。旋回羽根５５に作用する動圧は、錘３３の重量に抗して軸５４を回転させるように羽根５５を押圧する。
【００８０】
逆止弁ダンパ５１Ａでは、ダクト収容ボックス１０Ｃの内部空間１４（チャンバー１３内）の第１設定圧力と旋回羽根５５とが釣り合うように羽根５５の重量が調節されている。第１設定圧力を高くする場合は、旋回羽根５５の重量を増加させる。第１設定圧力を低くする場合は、羽根５５の重量を減少させる。第１設定圧力は、５Ｐａ〜４０Ｐａの範囲、好ましくは、５Ｐａ〜２０Ｐａの範囲、より好ましくは、５Ｐａ〜１０Ｐａの範囲に設定される。第１設定圧力が４０Ｐａを超過すると、ガラリ１２からチャンバー１３内に余分な空気が進入したときに、その空気をチャンバー１３外に速やかに逃がすことができず、必要以上の空気の給気ダクト１１への流入を防ぐことができない場合がある。ダクト収容ボックス１０Ｃは、第１設定圧力を前記範囲にすることで、ガラリ１２からチャンバー１３内に余分な空気が進入し、逆止弁ダンパ５１Ａの旋回羽根５５に動圧が作用したとしても、羽根５５が迅速に旋回して空気をチャンバー１３外に速やかに逃がすことができ、必要以上の空気の給気ダクト１１への流入を防ぐことができる。
【００８１】
内部空間１４の空気の圧力が旋回羽根５５の重量（羽根５５の重量を空気圧に変換した第１設定圧力）よりも大きいと、羽根５５がその重量に抗して空気流路５２を開放する方向へ旋回する。旋回羽根５５が空気流路５２を開放する方向へ旋回すると、空気流路５２に所定面積の開口５７（空気排出口）が形成され、空気がその開口５７を通って内部空間１４の外（チャンバー１３外）に排気される。逆に、内部空間１４の空気の圧力が旋回羽根５５の重量（第１設定圧力）よりも小さいと、羽根５５の重量によって羽根５５が空気流路５２を閉鎖する方向へ旋回する。空気流路５２が閉鎖された状態では、旋回羽根５５の周縁部がストッパー５６に当接している。
【００８２】
ダクト収容ボックス１０Ｃは、チャンバー１３の側壁１９に逆止弁ダンパ５１Ａを有する第１排気ユニット４８が設置されているから、図１３に矢印Ａ１で示すように、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー１３内に進入したときに、第１排気ユニット４８の逆止弁ダンパ５１Ａを利用してチャンバー１３に進入した空気をチャンバー１３内からチャンバー１３外に逃がすことができ、その結果、ガラリ１２から直接給気ダクト１１の延出端部２２に向かう空気の動圧を除圧することができ、必要以上の空気の給気ダクト１１への流入を防ぐことができる。
【００８３】
ダクト収容ボックス１０Ｃは、遮蔽板２５によって延出端部２２の開口端２４の全域がガラリ１２に対して確実に遮蔽されるから、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で余分な空気がガラリ１２から給気ダクト１１に向かって進入したとしても、その空気が遮蔽板２５に衝突し、チャンバー１３内に進入した空気の給気ダクト１１への直接の流入を防ぐことができ、給気ダクト１１に流入する空気を最小限にすることができる。また、図１３に矢印Ａ２で示すように、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で空気がチャンバー１３から流出したとしても、遮蔽板２５によって空気の給気ダクト１１からの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックス１０Ｃは、ガラリ１２の外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクト１１へ一気に流入することはなく、空気が給気ダクト１１から一気に流出することもないから、給気ダクト１１の内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。
【００８４】
ダクト収容ボックス１０Ｃは、逆止弁ダンパ５１Ａを利用してチャンバー１３に進入した空気をチャンバー１３内からチャンバー１３外に逃がすことができることに加え、遮蔽板２５を利用して給気ダクト１１への空気の直接の流入や給気ダクト１１からの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト１１に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクト１１から流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクト１１に流入させることができる。
【００８５】
図１４は、他の一例として示すダクト収容ボックス１０Ｄの斜視図であり、図１５は、空気流路５２が開放された状態の図１４のＤ−Ｄ線矢視断面図である。図１４，１５では、上下方向を矢印Ｘ、横方向を矢印Ｙ（図１５を除く）で示し、前後方向を矢印Ｚで示す。図１４では、第１および第２排気ユニット４８，５８の空気流路５２が閉鎖された状態にある。このダクト収容ボックス１０Ｄが図１０のそれと異なるのはボックス１０Ｄに第２排気ユニット５８が設置されている点にあり、その他の構成は図１０のボックス１０Ｃのそれと同一であるから、図１０と同一の符号を付すとともに、図１０のボックス１０Ｃの説明を援用することで、このボックス１０Ｄのその他の構成の説明は省略する。
【００８６】
チャンバー１３の側壁１９には、図１４に示すように、周壁４９から作られた中空円筒状の筐体５０と逆止弁ダンパ５１Ｂとを備えた第２排気ユニット５８が設置されている。逆止弁ダンパ５１Ｂは、周壁４９に囲繞されたユニット５８の空気流路５２に設置され、ガラリ１２からダクト収容ボックス１０Ｄに進入した空気の圧力に応じてボックス１０Ｄの内部空間１４（チャンバー１４内）の空気を内部空間１４の外（チャンバー１３外）に逃がす。
【００８７】
第２排気ユニット５８の構成は、図１１，１２のそれと同一であるから、図１１，１２と同一の符号（ただし、第１排気ユニット４８の逆止弁ダンパ５１Ａに末尾符号Ａを付け、第２排気ユニット５８の逆止弁ダンパ５１Ｂに末尾符号Ｂを付けることで両者を区別する）を付すとともに、図１１，１２の排気ユニット４８の説明を援用することで、この排気ユニット５８の説明は省略する。
【００８８】
ガラリ１２の外側近傍（工場７６の屋外）に吹く風の影響で、ガラリ１２から余分な空気が一気に進入すると、その空気がチャンバー１３を通って第１排気ユニット４８に進入し、ユニット４８内に流入した空気が旋回羽根５５に衝突し、その空気圧によって羽根５５に所定の動圧（押圧力）が作用する。さらに、後側壁２１に衝突した空気によって内部空間１４（チャンバー１３内）の気圧が上がり、その気圧が第２排気ユニット５８に作用して旋回羽根５５に所定の静圧（押圧力）が作用する。逆止弁ダンパ５１Ａの旋回羽根５５に作用する動圧は、羽根５５の重量に抗して軸５４を回転させるように羽根５５を押圧する。また、逆止弁ダンパ５１Ｂの旋回羽根５５に作用する静圧は、羽根５５の重量に抗して軸５４を回転させるように羽根５５を押圧する。
【００８９】
それら逆止弁ダンパ５１Ａ，５１Ｂでは、ダクト収容ボックス１０Ｄの内部空間１４（チャンバー１３内）の第１設定圧力と旋回羽根５５とが釣り合うように羽根５５の重量が調節されている。第１設定圧力を高くする場合は、旋回羽根５５の重量を増加させ、第１設定圧力を低くする場合は、羽根５５の重量を減少させる。第１設定圧力は、５Ｐａ〜４０Ｐａの範囲、好ましくは、５Ｐａ〜２０Ｐａの範囲、より好ましくは、５Ｐａ〜１０Ｐａの範囲に設定される。第１設定圧力が４０Ｐａを超過すると、ガラリ１２からチャンバー１３内に余分な空気が進入したときに、その空気をチャンバー１３外に速やかに逃がすことができず、必要以上の空気の給気ダクト１１への流入を防ぐことができない場合がある。ダクト収容ボックス１０Ｄは、第１設定圧力を前記範囲にすることで、ガラリ１２からチャンバー１３内に余分な空気が進入し、逆止弁ダンパ５１Ａの旋回羽根５５に動圧が作用するとともに逆止弁ダンパ５１Ｂの羽根５５に静圧が作用したとしても、それら旋回羽根５５が迅速に旋回して空気をチャンバー１３外に速やかに逃がすことができ、必要以上の空気の給気ダクト１１への流入を防ぐことができる。
【００９０】
内部空間１４の空気の圧力が旋回羽根５５の重量（羽根５５の重量を空気圧に変換した第１設定圧力）よりも大きいと、羽根５５がその重量に抗して空気流路５２を開放する方向へ旋回し（図１１，１２援用）、羽根５５がその重量に抗して空気流路５２を開放する方向へ旋回する。それら旋回羽根５５が空気流路５２を開放する方向へ旋回すると、空気流路５２に所定面積の開口５７（空気排出口）が形成され、空気がその開口５７を通って内部空間１４の外（チャンバー１３外）に排気される。逆に、内部空間１４の空気の圧力が旋回羽根５５の重量（第１設定圧力）よりも小さいと、羽根５５の重量によってそれら羽根５５が空気流路５２を閉鎖する方向へ旋回する。
【００９１】
ダクト収容ボックス１０Ｄは、チャンバー１３の後側壁２１に逆止弁ダンパ５１Ａを有する第１排気ユニット４８が設置され、側壁１９に逆止弁ダンパ５１Ｂを有する第２排気ユニット５８が設置されているから、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー１３内に進入したときに（図１３援用）、第１および第２排気ユニット４８，５８の逆止弁ダンパ５１Ａ，５１Ｂを利用してチャンバー１３に進入した空気をチャンバー１３内からチャンバー１３外に逃がすことができ、その結果、利用してガラリ１２から直接給気ダクト１１の延出端部２２に向かう空気の動圧や逆止弁ダンパ５１Ｂに作用する静圧を除圧することができ、必要以上の空気の給気ダクト１１への流入を防ぐことができる。
【００９２】
ダクト収容ボックス１０Ｄは、遮蔽板２５によって延出端部２２の開口端２４の全域がガラリ１２に対して確実に遮蔽されるから、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で余分な空気がガラリ１２から給気ダクト１１に向かって進入したとしても、その空気が遮蔽板２５に衝突し、チャンバー１３内に進入した空気の給気ダクト１１への直接の流入を防ぐことができ、給気ダクト１１に流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で空気がチャンバー１３から流出したとしても（図１３援用）、遮蔽板２５によって空気の給気ダクト１１からの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックス１０Ｄは、ガラリ１２の外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクト１１へ一気に流入することはなく、空気が給気ダクト１１から一気に流出することもないから、給気ダクト１１の内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。
【００９３】
ダクト収容ボックス１０Ｄは、逆止弁ダンパ５１Ａ，５１Ｂを利用してチャンバー１３に進入した空気をチャンバー１３内からチャンバー１３外に逃がすことができることに加え、遮蔽板２５を利用して給気ダクト１１への空気の直接の流入や給気ダクト１１からの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト１１に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクト１１から流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクト１１に流入させることができる。
【００９４】
図１６は、他の一例として示すダクト収容ボックス１０Ｅの斜視図であり、図１７は、図１６のダクト収容ボックス１０Ｅの部分破断正面図である。図１８は、図１６のＥ−Ｅ線矢視断面図である。図１６〜図１８では、上下方向を矢印Ｘ、横方向を矢印Ｙ（図１８を除く）で示し、前後方向を矢印Ｚ（図１７を除く）で示す。図１６では、第１排気ユニット２９の空気流路３０が閉鎖された状態にある。図１７では、ガラリ１２の一部を破断して示す。
【００９５】
このダクト収容ボックス１０Ｅが図１のそれと異なるのは給気ダクト１１の延出端部２２に屈曲ダクト５９が接続され、遮蔽板２５がない点にあり、その他の構成は図１のボックス１０Ａのそれと同一であるから、図１と同一の符号を付すとともに、図１のボックス１０Ａの説明を援用することで、このボックス１０Ｅのその他の構成の説明は省略する。
【００９６】
このダクト収容ボックス１０Ｅでは、図１６に示すように、チャンバー１３の後側壁２１に図１と同様の第１排気ユニット２９が設置されているが、後側壁２１に図１０と同様の第１排気ユニット４８が設置されていてもよい。また、チャンバー１３の後側壁２１と側壁１９とに図８と同様の第１および第２排気ユニット２９，４７が設置されていてもよく、チャンバー１３の後側壁２１と側壁１９とに図１４と同様の第１および第２排気ユニット４８，５８が設置されていてもよい。第１設定圧力は、５Ｐａ〜４０Ｐａの範囲、好ましくは、５Ｐａ〜２０Ｐａの範囲、より好ましくは、５Ｐａ〜１０Ｐａの範囲に設定される。
【００９７】
給気ダクト１１の延出端部２２には、ガラリ１２に対向しない方向へ屈曲する屈曲ダクト５９が接続されている。屈曲ダクト５９は、給気ダクト１１の延出端部２２の開口端２４から流入する空気の流れをガラリ１２に対向しない方向へ向ける。屈曲ダクト５９は、給気ダクト１１の延出端部２２の開口端２４に気密に接合された第１開口端６０と、第１開口端６０の反対側に位置して空気が流入する第２開口端６１とを有する。
【００９８】
屈曲ダクト５９は、給気ダクト１１の延出端部２２の軸線Ｌ２に対して略９０度で上下方向上方へ屈曲している。屈曲ダクト５９の第２開口端６１は、チャンバー１３の頂壁１７に向かって上下方向上方へ開口している。ガラリ１２からボックス１０Ｅの内部空間１４に流入した空気は、頂壁１７に向かって開口する屈曲ダクト５９の第２開口端６１からダクト５９に流入し、ダクト５９を通って給気ダクト１１に流入する。
【００９９】
なお、屈曲ダクト５９が給気ダクト１１の延出端部２２の軸線Ｌ２に対して略９０度で上下方向下方へ屈曲していてもよい。屈曲ダクト５９が上下方向下方へ屈曲する場合は、第２開口端６１がチャンバー１３の底壁１８に向かって上下方向下方へ開口する。また、屈曲ダクト５９が給気ダクト１１の延出端部２２の軸線Ｌ２に対して略９０度で横方向へ屈曲していてもよい。屈曲ダクト５９が横方向へ屈曲する場合は、第２開口端６１がチャンバー１３の側壁１９，２０に向かって横方向左方または横方向右方へ開口する。屈曲ダクト５９は、延出端部２２の軸線Ｌ２に対して９０〜１８０度の範囲で上下方向または横方向へ屈曲していればよい。屈曲ダクト５９が延出端部２２の軸線Ｌ２に対して１８０度で上下方向または横方向へ屈曲する場合は、屈曲ダクト５９の第２開口端６１がチャンバー１３の後側壁２１に向かって前後方向後方へ開口する。
【０１００】
ダクト収容ボックス１０Ｅは、チャンバー１３の後側壁２１に逆止弁ダンパ２８Ａを有する第１排気ユニット２９が設置されているから、図１８に矢印Ａ１で示すように、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー１３内に進入したときに、第１排気ユニット２９の逆止弁ダンパ２８Ａを利用してチャンバー１３に進入した空気をチャンバー１３内からチャンバー１３外に逃がすことができ、その結果、利用してガラリ１２から直接給気ダクト１１の延出端部２２に向かう空気の動圧を除圧することができ、必要以上の空気の給気ダクト１１への流入を防ぐことができる。
【０１０１】
ダクト収容ボックス１０Ｅは、屈曲ダクト５９が上下方向上方へ屈曲してガラリ１２に対向しない方向へ延出し、屈曲ダクト５９の第２開口端６１がチャンバー１３の頂壁１７に向かって開口（ガラリ１２に対向しない方向へ開口）するから、図１８に矢印Ａ１で示すように、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で余分な空気がボックス１０Ｅの内部空間１４（チャンバー１３内）に進入したとしても、その空気が屈曲ダクト５９の周面に衝突し、空気がダクト５９の第２開口端６１に直接進入することはなく、内部空間１４に進入した空気の給気ダクト１１への直接の流入を防ぐことができ、ダクト１１に流入する空気を最小限にすることができる。また、図１８に矢印Ａ２で示すように、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で空気がチャンバー１３から流出したとしても、空気が屈曲ダクト５９の第２開口端６１から直接流出することはなく、空気の給気ダクト１１からの直接の流出を防ぐことができる。
【０１０２】
ダクト収容ボックス１０Ｅは、逆止弁ダンパ２８Ａを利用してチャンバー１３に進入した空気をチャンバー１３内からチャンバー１３外に逃がすことができることに加え、屈曲ダクト５９を利用して給気ダクト１１への空気の直接の流入や給気ダクト１１からの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト１１に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクト１１から流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクト１１に流入させることができる。
【０１０３】
図１９は、他の一例として示すダクト収容ボックス１０Ｆの斜視図であり、図２０は、図１９のダクト収容ボックス１０Ｆの部分破断正面図である。図２１は、図１９のＦ−Ｆ線矢視断面図である。図１９〜図２１では、上下方向を矢印Ｘ、横方向を矢印Ｙ（図２１を除く）で示し、前後方向を矢印Ｚ（図２０を除く）で示す。図１９では、第１排気ユニット２９の空気流路３０が閉鎖された状態にある。図２０では、ガラリ１２の一部を破断して示す。
【０１０４】
このダクト収容ボックス１０Ｆが図１のそれと異なるのは給気ダクト１１の延出端部２２に接続ダクト６２が接続され、遮蔽板２５がない点にあり、その他の構成は図１のボックス１０Ａのそれと同一であるから、図１と同一の符号を付すとともに、図１のボックス１０Ａの説明を援用することで、このボックス１０Ｆのその他の構成の説明は省略する。
【０１０５】
このダクト収容ボックス１０Ｆでは、図１９に示すように、チャンバー１３の後側壁２１に図１と同様の第１排気ユニット２９が設置されているが、後側壁２１に図１０と同様の第１排気ユニット４８が設置されていてもよい。また、チャンバー１３の後側壁２１と側壁１９とに図８と同様の第１および第２排気ユニット２９，４７が設置されていてもよく、チャンバー１３の後側壁２１と側壁１９とに図１４と同様の第１および第２排気ユニット４８，５８が設置されていてもよい。第１設定圧力は、５Ｐａ〜４０Ｐａの範囲、好ましくは、５Ｐａ〜２０Ｐａの範囲、より好ましくは、５Ｐａ〜１０Ｐａの範囲に設定される。
【０１０６】
給気ダクト１１の延出端部２２には、上下方向（ガラリ１２に対向しない方向）へ直状に延びる接続ダクト６２が接続されている。接続ダクト６２は、給気ダクト１１の延出端部２２の開口端２４から流入する空気の流れをガラリ１２に対向しない方向へ向ける。接続ダクト６２は、給気ダクト１１の延出端部２２の開口端２４に接続された中央開口端６３と、中央開口端６３の両側に位置して空気が流入する両側開口端６４とを有する。
【０１０７】
接続ダクト６２の中央開口端６３は、その周縁が延出端部１１の開口端２４の周縁に気密に接合されている。接続ダクト６２の両側開口端６４の一方は、チャンバー１３の頂壁１７に向かって上下方向上方へ開口し、両側開口端６４の他方は、チャンバー１３の底壁１８に向かって上下方向下方へ開口している。ガラリ１２からボックス１０Ｆの内部空間１４に流入した空気は、頂底壁１７，１８に向かって開口する接続ダクト６２の両側開口端６４からダクト６２に流入し、ダクト６２を通って給気ダクト１１に流入する。
【０１０８】
接続ダクト６２は、その軸線Ｌ３が給気ダクト１１の延出端部２２の軸線Ｌ２に対して直交している。換言すれば、接続ダクト６２と延出端部２２との交差角度が９０度であり、接続ダクト６２と延出端部２２との側面形状がＴ字形を呈する。なお、接続ダクト６２の軸線Ｌ３が給気ダクト１１の延出端部２２の軸線Ｌ２に対して９０度未満で交差していてもよく、接続ダクト６２の軸線Ｌ３がダクト１１の延出端部２２の軸線Ｌ３に対して９０度を超過して交差していてもよい。また、接続ダクト６２が横方向（ガラリ１２に対向しない方向）へ直状に延びていてもよい。接続ダクト６２が横方向へ延びる場合は、両側開口端６４がチャンバー１３の側壁１９，２０に向かって横方向左方と横方向右方とへ開口する。
【０１０９】
ダクト収容ボックス１０Ｆは、チャンバー１３の後側壁２１に逆止弁ダンパ２８Ａを有する第１排気ユニット２９が設置されているから、図２１に矢印Ａ１で示すように、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー１３内に進入したときに、第１排気ユニット２９の逆止弁ダンパ２８Ａを利用してチャンバー１３に進入した空気をチャンバー１３内からチャンバー１３外に逃がすことができ、その結果、利用してガラリ１２から直接給気ダクト１１の延出端部２２に向かう空気の動圧を除圧することができ、必要以上の空気の給気ダクト１１への流入を防ぐことができる。
【０１１０】
ダクト収容ボックス１０Ｆは、接続ダクト６２が上下方向へ延びていてガラリ１２に対向しない方向へ延出し、接続ダクト６２の両側開口端６４がチャンバー１３の頂底壁１７，１８に向かって開口（ガラリ１２に対向しない方向へ開口）するから、図２１に矢印Ａ１で示すように、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で余分な空気がボックス１０Ｆの内部空間１４（チャンバー１３内）に進入したとしても、その空気が接続ダクト６２の周面に衝突し、空気が接続ダクト６２の両側開口端６４に直接進入することはなく、内部空間１４に進入した空気の給気ダクト１１への直接の流入を防ぐことができ、ダクト１１に流入する空気を最小限にすることができる。また、図２１に矢印Ａ２で示すように、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で空気がチャンバー１３から流出したとしても、空気が接続ダクト６２の両側開口端６４から直接流出することはなく、空気の給気ダクト１１からの直接の流出を防ぐことができる。
【０１１１】
ダクト収容ボックス１０Ｆは、逆止弁ダンパ２８Ａを利用してチャンバー１３に進入した空気をチャンバー１３内からチャンバー１３外に逃がすことができることに加え、接続ダクト６２を利用して給気ダクト１１への空気の直接の流入や給気ダクト１１からの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト１１に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクト１１から流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクト１１に流入させることができる。
【０１１２】
図２２は、他の一例として示すダクト収容ボックス１０Ｇの斜視図であり、図２３は、図２２のダクト収容ボックス１０Ｇの部分破断正面図である。図２４は、図２２のＦ−Ｆ線矢視断面図である。図２２〜図２４では、上下方向を矢印Ｘ、横方向を矢印Ｙ（図２４を除く）で示し、前後方向を矢印Ｚ（図２３を除く）で示す。図２２では、第１排気ユニット２９の空気流路３０が閉鎖された状態にある。図２３では、ガラリ１２の一部を破断して示す。
【０１１３】
このダクト収容ボックス１０Ｇが図１のそれと異なるのは給気ダクト１１の延出端部２２に第１接続ダクト６５が接続されているとともに、第１接続ダクト６５に第２接続ダクト６６が接続され、遮蔽板２５がない点にあり、その他の構成は図１のボックス１０Ａのそれと同一であるから、図１と同一の符号を付すとともに、図１のボックス１０Ａの説明を援用することで、このボックス１０Ｇのその他の構成の説明は省略する。
【０１１４】
このダクト収容ボックス１０Ｇでは、図２３に示すように、チャンバー１３の後側壁２１に図１と同様の第１排気ユニット２９が設置されているが、後側壁２１に図１０と同様の第１排気ユニット４８が設置されていてもよい。また、チャンバー１３の後側壁２１と側壁１９とに図８と同様の第１および第２排気ユニット２９，４７が設置されていてもよく、チャンバー１３の後側壁２１と側壁１９とに図１４と同様の第１および第２排気ユニット４８，５８が設置されていてもよい。第１設定圧力は、５Ｐａ〜４０Ｐａの範囲、好ましくは、５Ｐａ〜２０Ｐａの範囲、より好ましくは、５Ｐａ〜１０Ｐａの範囲に設定される。
【０１１５】
給気ダクト１１の延出端部２２には、横方向（ガラリ１２に対向しない方向）へ直状に延びる１本の第１接続ダクト６５が接続されている。第１接続ダクト６５には、上下方向（ガラリ１２に対向しない方向）へ直状に延びる２本の第２接続ダクト６６が接続されている。第１および第２接続ダクト６５，６６は、給気ダクト１１の延出端部２２の開口端２４から出入する空気の流れをガラリ１２に対向しない方向へ向ける。
【０１１６】
第１接続ダクト６５は、給気ダクト１１の延出端部２２の開口端２４に接続された第１中央開口端６７と、第１中央開口端６７の両側に位置する第１両側開口端６８とを有する。第１接続ダクト６５の第１中央開口端６７は、その周縁が延出端部２２の開口端２４の周縁に気密に接合されている。それら第２接続ダクト６６は、第１接続ダクト６５の第１両側開口端６８に接続された第２中央開口端６９と、第２中央開口端６９の両側に位置して空気が流入する第２両側開口端７０とを有する。第２接続ダクト６６の第２中央開口端６９は、その周縁が第１接続ダクト６５の第１両側開口端６７に気密に接合されている。
【０１１７】
第２接続ダクト６６の第２両側開口端７０の一方は、チャンバー１３の頂壁１７に向かって上下方向上方へ開口し、第２両側開口端７０の他方は、チャンバー１３の底壁１８に向かって上下方向下方へ開口している。ガラリ１２からボックス１０Ｇの内部空間１４に流入した空気は、頂底壁１７，１８に向かって開口する第２接続ダクト６６の第２両側開口端７０からダクト６６に流入し、第１および第２接続ダクト６５，６６を通って給気ダクト１１に流入する。
【０１１８】
第１接続ダクト６５は、その軸線Ｌ３が給気ダクト１１の延出端部２２の軸線Ｌ２に対して直交している。換言すれば、接続ダクト６５と延出端部２２との交差角度が９０度である。第２接続ダクト６６は、その軸線Ｌ４が第１接続ダクト６６の軸線Ｌ３に対して直交している。換言すれば、第１接続ダクト６５と第２接続ダクト６６との交差角度が９０度である。第１および第２接続ダクト６５，６６の正面形状はＨ形を呈する。
【０１１９】
なお、第１接続ダクト６５の軸線Ｌ３が給気ダクト１１の延出端部２２の軸線Ｌ２に対して９０度未満で交差していてもよく、第１接続ダクト６５の軸線Ｌ３が延出端部２２の軸線Ｌ２に対して９０度を超過して交差していてもよい。また、第２接続ダクト６６の軸線Ｌ４が第１接続ダクト６５の軸線Ｌ３に対して９０度未満で交差していてもよく、接続ダクト６６の軸線Ｌ４が接続ダクト６５の軸線Ｌ３に対して９０度を超過して交差していてもよい。さらに、第１接続ダクト６５が上下方向（ガラリ１２に対向しない方向）へ直状に延びていてもよい。第１接続ダクト６５が上下方向へ延びる場合は、第２接続ダクト６６が横方向へ直状に延び、接続ダクト６６の第２両側開口端７０の一方がチャンバー１３の側壁１９に向かって横方向左方へ開口し、第２両側開口端７０の他方がチャンバー１３の側壁２０に向かって横方向右方へ開口する。
【０１２０】
ダクト収容ボックス１０Ｇは、チャンバー１３の後側壁２１に逆止弁ダンパ２８Ａを有する第１排気ユニット２９が設置されているから、図２４に矢印Ａ１で示すように、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー１３内に進入したときに、第１排気ユニット２９の逆止弁ダンパ２８Ａを利用してチャンバー１３に進入した空気をチャンバー１３内からチャンバー１３外に逃がすことができ、その結果、利用してガラリ１２から直接給気ダクト１１の延出端部２２に向かう空気の動圧を除圧することができ、必要以上の空気の給気ダクト１１への流入を防ぐことができる。
【０１２１】
ダクト収容ボックス１０Ｇは、第１接続ダクト６５が横方向へ延びていてガラリ１２に対向しない方向へ延出し、第２接続ダクト６６が上下方向へ延びていてガラリ１２に対向しない方向へ延出し、第２接続ダクト６６の第２両側開口端７０が頂底壁１７，１８に向かって開口（ガラリ１２に対向しない方向へ開口）するから、図２４に矢印Ａ１で示すように、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で余分な空気がボックス１０Ｇの内部空間１４（チャンバー１３内）に進入したとしても、その空気が第１および第２接続ダクト６５，６６の周面に衝突し、空気が第２接続ダクト６６の第２両側開口端７０に直接進入することはなく、内部空間１４に進入した空気の給気ダクト１１への直接の流入を防ぐことができ、給気ダクト１１に流入する空気を最小限にすることができる。また、図２４に矢印Ａ２で示すように、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で空気がチャンバー１３から流出したとしても、空気が第２接続ダクト６６の第２両側開口端７０から直接流出することはなく、空気の給気ダクト１１からの直接の流出を防ぐことができる。
【０１２２】
ダクト収容ボックス１０Ｇは、逆止弁ダンパ２８Ａを利用してチャンバー１３に進入した空気をチャンバー１３内からチャンバー１３外に逃がすことができることに加え、第１および第２接続ダクト６５，６６を利用して給気ダクト１１への空気の直接の流入や給気ダクト１１からの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト１１に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクト１１から流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクト１１に流入させることができる。
【０１２３】
図２５，２６は、給気装置７４を含む室圧制御機構７１の一例を示す構成図であり、図２７は、一例として示す給気装置７４の構成図である。図２５は、クリーンルーム７２，７３（室）を上方から示し、図２６は、クリーンルーム７２，７３を側方から示す。なお、図２５，２６の室圧制御機構７１では、室として半導体の製造や薬剤の製造、各種実験等に使用するクリーンルーム７２，７３を例示しているが、室をクリーンルーム７２，７３に限定するものではなく、室としてクリーンルーム７２，７３を含むあらゆる室が含まれる。また、２つのクリーンルーム７２，７３を図示しているが、室を２つに限定するものではなく、１つまたは３つ以上の室にこの給気装置７４を適用することができる。
【０１２４】
図２５の室圧制御機構７１では、クリーンルーム７２，７３から延びる給気ダクト１１がダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇのうちのいずれかの態様のボックスに接続されている。なお、給気ダクト１１の延出端部２２には、遮蔽板２５や屈曲ダクト５９、接続ダクト６２，６５，６６のいずれかが接続されている。室圧制御機構７１は、所定容積を有するクリーンルーム７２，７３に空気（外気）を供給する給気装置７４と、クリーンルーム７２，７３から空気を排出する排気装置７５とから形成されている。クリーンルーム７２，７３は、工場７６（既設建物）内部に設置され、その四方を天井７７および床７８と、各側壁７９とに囲繞され、高い気密性を有する。
【０１２５】
天井７７には、空気をクリーンルーム７２，７３内に取り入れるための給気口（図示せず）が施設されている。側壁７９には、クリーンルーム７２，７３内から空気を排出するためのガラリ排気口８０が施設されている。側壁７９には、クリーンルーム７２，７３に出入りするためのドア８１が設置されている。クリーンルーム７２，７３の室内気圧は、あらかじめ設定された目標室内気圧に保持される。クリーンルーム７２，７３の目標室内気圧に特に限定はなく、クリーンルーム７２，７３の用途や容積等によって目標室内気圧を適宜設定することができる。
【０１２６】
給気装置７４は、クリーンルーム７２，７３につながる金属製の給気ダクト１１と、給気ダクト１１を通る空気（外気）の所定量をクリーンルーム７２，７３に強制的に送り込む給気ファン８２（送風機）と、給気ファン８２に流入する空気の量を調節するモータダンパ８３と、給気ダクト１１を通る空気の圧力を測定する圧力センサ８４と、クリーンルーム７２，７３に給気する空気を一定に保持する定風量ユニット８５とを有する。
【０１２７】
給気ファン８２は、インターフェイスを介して制御装置（図示せず）に接続されている。制御装置は、給気ファン８２の出力を設定されたそれに保持し、給気ファン８２から送り出される空気の圧力および量を一定に保持する。なお、この実施の形態では、給気装置７４が定風量ユニット８５を備えているが、給気装置７４に定風量ユニット８５が含まれていなくてもよい。
【０１２８】
給気ダクト１１は、天井７７空間に配置され、天井７７に施設された給気口と工場７６の壁１５に施設されたダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇとの間に延びている。給気ダクト１１は、ガラリ１２から流入した空気をクリーンルーム７２，７３内に搬送する。給気ダクト１１の延出端部２２は、ダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇの内部空間１４（チャンバー１３内）に収容されている。モータダンパ８３は、ダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇと給気ファン８２との間に延びる給気ダクト１１に設置されている。圧力センサ８４は、モータダンパ８３と給気ファン８２との間に延びる給気ダクト１１に設置されている。定風量ユニット８５は、給気ファン８２とクリーンルーム７２，７３と間に延びる給気ダクト１１に取り付けられている。
【０１２９】
給気装置７４では、ダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇからクリーンルーム７２，７３に向かって、モータダンパ８３、圧力センサ８４、給気ファン８２、定風量ユニット８５の順に並んでいる。定風量ユニット８５は、給気ダクト８２の内部気圧の変動に対してユニット８５内を流れる空気量を調節し、クリーンルーム７２，７３に供給する空気量を常時一定に保持する。ガラリ１２からダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇに流入した空気は、給気ダクト１１を通ってモータダンパ８３から給気ファン８２に流入し、給気ファン８２からダクト１１を通って定風量ユニット８５に流入した後、ユニット８５からダクト１１を通り、給気口からクリーンルーム７２，７３内に供給される。
【０１３０】
モータダンパ８３は、モジュトロールモータ（図示せず）と、モータの回転を制御する（モータダンパ８３の旋回羽根８７の開度を調節する）コントローラ８６（制御装置）と、モータの駆動力によって旋回する旋回羽根８７とから形成されている。モータダンパ８３は、旋回羽根８７の旋回によって開閉される空気流路（図示せず）を有する。モータダンパ８３のコントローラ８６は、演算処理を行う中央処理部と各種条件を記憶可能なメモリ（記憶部）とを有するマイクロプロセッサである。
【０１３１】
モータダンパ８３では、コントローラ８６からの制御信号によってモジュトロールモータが回転するとともに旋回羽根８７が所定角度に旋回し、空気流路に対する羽根８７の開度（旋回角度）を調整して空気流路を通過する空気量を調節する。コントローラ８６には、各種条件を入力するための入力装置、入力確認のための表示装置がインターフェイスを介して接続されている（図示せず）。モータダンパ８３には、平行翼ダンパまたは対向翼ダンパを使用することができる。圧力センサ８４は、インターフェイス８８を介してモータダンパ８３のコントローラ８６に接続されている。
【０１３２】
モータダンパ８３のコントローラ８６のメモリには、圧力センサ８４によって測定された給気ダクト１１の測定圧力と比較する第２設定圧力が格納されている。なお、第２設定圧力は、入力装置によって自由に設定変更することができる。第２設定圧力は、−１０００Ｐａ〜１０００Ｐａの範囲に設定される。なお、逆止弁ダンパ２８Ａ，２８Ｂ，５１Ａ，５１Ｂの第１設定圧力は、５Ｐａ〜４０Ｐａの範囲、好ましくは、５Ｐａ〜２０Ｐａの範囲、より好ましくは、５Ｐａ〜１０Ｐａの範囲に設定されており、第２設定圧力のプラス側の設定値よりも低く設定される（第２設定圧力（＋）＞第１設定圧力（＋））。
【０１３３】
モータダンパ８３のコントローラ８６の中央処理部は、オペレーティングシステムによる制御に基づいてメモリに格納されたアプリケーションプログラムを起動し、起動したアプリケーションプログラムに従って以下の各手段を実行する。コントローラ８６の中央処理部は、圧力センサ８４から出力された給気ダクト１１内の測定圧力とあらかじめ設定された第２設定圧力とを比較する圧力比較手段を実行する。中央処理部は、測定圧力と第２設定圧力とを比較した結果、測定圧力が第２設定圧力の範囲から外れている場合、モータダンパ８３の旋回羽根８７の開度を調節して測定圧力を第２設定圧力の範囲内に戻す圧力制御手段を実行する。なお、測定圧力が第２設定圧力の範囲から外れているとは、測定圧力が第２設定圧力の範囲を超過している場合と測定圧力が第２設定圧力の範囲未満の場合とがある。
【０１３４】
図７、図１３、図１８、図２１、図２４に矢印Ａ１で示すように、工場７６の壁１５に取り付けられたガラリ１２の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気がガラリ１２を通ってダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇの内部空間１４（チャンバー１３内）に進入する場合がある。空気がガラリ１２を通ってボックス１０Ａ〜１０Ｇの内部空間１４に進入したとしても、第１排気ユニット２９，４８や第２排気ユニット４８，５８の逆止弁ダンパ２８Ａ，２８Ｂ，５１Ａ，５１Ｂを利用して、チャンバー１３内の空気をチャンバー１３外に排気するから、余分な空気が給気ダクト１１に流入することはなく、余分な空気がダクト１１に流入したとしても、定風量ユニット８５によってクリーンルーム７２，７３に供給する空気量が一定に保持される。また、風の影響で、空気がガラリ１２を通ってボックス２８Ａ，２８Ｂ，５１Ａ，５１Ｂの内部空間１４に一気に進入したとしても、上述のとおり、給気ダクト１１の延出端部２２に接続された遮蔽板２５や屈曲ダクト５９、接続ダクト６２，６５，６６によって空気が給気ダクト１１に直接流入することはない。
【０１３５】
しかし、逆止弁ダンパ２８Ａ，２８Ｂ，５１Ａ，５１Ｂの排気機能を超過する量の空気がチャンバー１３内に一気に流入した場合、その空気によってダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇ内の気圧が一気に上昇し、それによって、空気が給気ダクト１１に流入する場合がある。給気ダクト１１に空気が流入すると、ダクト１１内の圧力が増加する。その結果、測定圧力が第２設定圧力の範囲を超過する場合がある。なお、定風量ユニット８５では、後記するモータダンパの旋回羽根の開度を調節することで、そこを通る空気の通過量を一定に保持するが、一度に余分な空気が給気ダクト１１に一気に流入すると、モータダンパがそれに追い付かず、ユニット８５を通って余分な空気がクリーンルーム７２，７３内に流入する場合があり、クリーンルーム７２，７３内を目標室内気圧に保持することができない場合がある。
【０１３６】
それとは逆に、図７、図１３、図１８、図２１、図２４に矢印Ａ２示すように、工場７６の壁１５に取り付けられたガラリ１２の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気がガラリ１２を通ってダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇの内部空間１４（チャンバー１３内）から工場７６の屋外に流出する場合がある。空気がボックス１０Ａ〜１０Ｇの内部空間１４からガラリ１２を通って流出したとしても、定風量ユニット８５によってクリーンルーム７２，７３に供給する空気量が一定に保持される。また、風の影響で、空気がボックス１０Ａ〜１０Ｇの内部空間１４から流出したとしても、上述のとおり、給気ダクト１１の延出端部２２に接続された遮蔽板２５や屈曲ダクト５９、接続ダクト６２，６５，６６によって空気が給気ダクト１１から直接流出することはない。しかし、ダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇの内部空間１４（チャンバー１３）から流出した空気によって内部空間１４の気圧が一気に下降し、それによって、空気が給気ダクト１１から流出しようとする場合がある。
【０１３７】
給気ダクト１１から空気が流出しようとすると、ダクト１１内の圧力が減少する。その結果、測定圧力が第２設定圧力の範囲未満となる場合がある。なお、定風量ユニット８５では、モータダンパの旋回羽根の開度を調節することで、そこを通る空気の通過量を一定に保持するが、一度に余分な空気が給気ダクト１１から一気に流出しようとすると、モータダンパがそれに追い付かず、クリーンルーム７２，７３内を目標室内気圧に保持することができない場合がある。クリーンルーム７２，７３ではその内部気圧を厳格に管理する必要があるが、給気ダクト１１内の圧力変動による影響でクリーンルーム７２，７３の内部気圧が変動する場合があり、給気ダクト１１内の圧力変動による影響を無視することはできない。
【０１３８】
測定圧力が第２設定圧力の範囲を超過している場合、コントローラ８６は、モータダンパ８３の旋回羽根８７が最小開度でなければ、羽根８７の開度を小さくし、ダンパ８３の空気流路を通る空気の量を減少させる（給気ダクト１１を通る空気の量を減少させる）。その結果、給気ダクト１１内の圧力が下がり、測定圧力が低下して測定圧力が第２設定圧力の範囲内に復帰する。逆に、測定圧力が第２設定圧力の範囲未満の場合、コントローラ８６は、旋回羽根８７が全開（開度１００％）でなければ、羽根８７の開度を大きくし、ダンパ８３の空気流路を通る空気の量を増加させる（給気ダクト１１を通る空気の量を増加させる）。その結果、給気ダクト１１内の圧力が上がり、測定圧力が増加して測定圧力が第２設定圧力の範囲内に復帰する。
【０１３９】
測定圧力が第２設定圧力の範囲内にある場合、コントローラ８６は、旋回羽根８７が全開であれば、羽根８７の全開を保持するとともに、旋回羽根８７が最小開度であれば、羽根８７の最小開度を保持する。または、旋回羽根８７が全開でなければ、そのときの羽根８７の開度を保持するとともに、旋回羽根８７が最小開度でなければ、そのときの羽根８７の開度を保持する。コントローラ８６は、測定圧力が第２設定圧力の範囲から外れた後、旋回羽根８７の開度を調節したことによって測定圧力が第２設定圧力の範囲内に戻ると、そのときの羽根８７の開度を保持する。
【０１４０】
モータダンパ８３の旋回羽根８７の旋回速度は、１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲、好ましくは、１〜５ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にある。旋回速度が３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅを超えると、モータダンパ８３のレスポンスが低下し、ガラリ１２の外側近傍に吹く風の影響で、給気ダクト１１に空気が流入し、または、給気ダクト１１から空気が流出しようとして測定圧力が急激に変化したときに、旋回羽根８７の旋回がそれに迅速に対応することができず、ダンパ８３の空気流路を通過する空気量の調節が遅れ、給気ファン８２やモータダンパ８３を利用して一定量かつ一定圧の空気をクリーンルーム７２，７３に給気することができなくなる場合がある。モータダンパ８３では、その旋回羽根８７の旋回速度が１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にあるから、測定圧力が急激に変化したとしても、羽根８７の旋回がそれに迅速に対応し、ダンパ８３の空気流路を通過する空気量を速やかに調節し、測定圧力を第２設定圧力の範囲内に速やかに復帰させる。
【０１４１】
モータダンパ８３の旋回羽根８７の開度を小さくしたときの羽根８７の最小開度は、３〜２５％の範囲、好ましくは、５〜２０％に設定されている。したがって、旋回羽根８７の開度を最小にしたとしても、羽根８７が全閉（開度０％）になることはない。開度３〜２５％は、羽根８７が全開のときを開度１００％とし、その開度に対する割合である。たとえば、開度３％では、羽根全開１００％に対して３％だけ開いた状態を示し、開度２５％では、羽根全開１００％に対して２５％だけ開いた状態を示す。
【０１４２】
排気装置７５は、クリーンルーム７２，７３につながる金属製の排気ダクト８９と、クリーンルーム７２，７３から所定量の空気を強制的に排気する排気ファン９０（送風機）と、クリーンルーム７２，７３から排気する空気を一定に保持する定風量ユニット９１とを有する。排気ファン９０は、インターフェイスを介して制御装置（図示せず）に接続されている。制御装置は、排気ファン９０の出力を設定されたそれに保持し、排気ファン９０から送り出される空気の圧力および量を一定に保持する。
【０１４３】
排気ダクト８９は、床７８の下方に配置され、クリーンルーム７２，７３の側壁７９に施設されたガラリ排気口８０と空気排気口９２との間に延びている。排気ダクト８９は、その詳細な図示は省略するが、その延出端部がダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇのうちのいずれかの態様のボックスに接続されている。なお、排気給気ダクト８９の延出端部には、遮蔽板２５や屈曲ダクト５９、接続ダクト６２，６５，６６のいずれかが接続されている。空気排気口９２は、工場７６の壁１５に設置されたガラリ（図示せず）である。排気装置７５では、空気排気口９２からクリーンルーム７２，７３に向かって、排気ファン９０、定風量ユニット９１の順に並んでいる。排気ダクト８９は、ガラリ排気口８０から流出した空気を工場７６外（クリーンルーム７２，７３外）に搬送する。
【０１４４】
排気ファン９０は、定風量ユニット９１と空気排気口９２との間に延びる排気ダクト８９に取り付けられている。定風量ユニット９１は、排気ファン９０とガラリ排気口８０との間に延びる排気ダクト８９に取り付けられている。排気ファン９０は、一定量かつ一定圧の空気をクリーンルーム７２，７３から排気する。定風量ユニット９１は、排気ダクト８９の内部気圧の変動に対してユニット９１内を流れる空気量を調節し、クリーンルーム７２，７３から排出する空気量を常時一定に保持する。ガラリ排気口８０から流出した空気は、定風量ユニット９１に流入し、ユニット９１から排気ダクト８９を通って排気ファン９０に流入した後、排気ファン９０からダクト８９を通り、空気排気口９２から工場７６の屋外に排気される。
【０１４５】
給気ダクト１１や排気ダクト８９に取り付けられた定風量ユニット８５，９１は、図示はしていないが、モータダンパおよび風速センサと、制御装置と、それらを収容する筐体とから形成されている。定風量ユニット８５，９１のモータダンパは、モータダンパ８３と同一である。それら定風量ユニット８５，９１では、制御装置からの制御信号によってモジュトロールモータが回転するとともに旋回羽根が所定角度に旋回する。定風量ユニット８５，９１の制御装置は、演算処理を行う中央処理部と各種条件を記憶可能なメモリ（記憶部）とを有するマイクロプロセッサである。制御装置には、各種条件を入力するための入力装置、入力確認のための表示装置がインターフェイスを介して接続されている（図示せず）。
【０１４６】
定風量ユニット８５，９１の制御装置のメモリには、クリーンルーム７２，７３の目標室内気圧と、定風量ユニット８５，９１を通過する空気通過量との相関関係が格納され、目標室内気圧に対応する空気通過量と、その空気通過量に対応するモータダンパの旋回羽根の開度（旋回角度）との相関関係が格納されている。目標室内気圧は、入力装置によって自由に設定変更することができる。定風量ユニット８５，９１の制御装置は、目標室内気圧が入力されると、メモリに格納された相関関係に基づいて目標室内気圧に対応する空気流路における空気通過量を決定し、モータダンパの空気流路を通過する空気通過量が決定したそれになるように、相関関係に基づいてモータダンパの旋回羽根の開度を決定した後、旋回羽根の開度を決定したそれに保持する。
【０１４７】
それら定風量ユニット８５，９１は、給気ダクト１１や排気ダクト８９の内部気圧の変動に対してユニット８５，９１内を通る空気通過量を目標室内気圧に対応するそれに調節し、クリーンルーム７２，７３へ供給する空気量を一定に保持するとともに、クリーンルーム７２，７３から排気する空気量を一定に保持する。具体的には以下のとおりである。定風量ユニット８５，９１の制御装置は、風速センサから出力された風速からモータダンパの空気流路を通る空気通過量を演算し、演算した空気通過量と目標室内気圧に対応する空気通過量とを比較する。
【０１４８】
給気装置１１の定風量ユニット８５の制御装置は、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれよりも多い場合、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくし、空気流路を通過する空気通過量を少なくする。定風量ユニット８５の制御装置は、旋回羽根の開度を小さくした後、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれの範囲に入ると、そのときの旋回羽根の開度を維持する。演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれよりも少ない場合、定風量ユニット８５の制御装置は、モータダンパの旋回羽根の開度を大きくし、空気流路を通過する空気通過量を多くする。定風量ユニット８５の制御装置は、旋回羽根の開度を大きくした後、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれの範囲に入ると、そのときの旋回羽根の開度を維持する。
【０１４９】
排気装置７５の定風量ユニット９１の制御装置は、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれよりも多い場合、モータダンパの旋回羽根の開度を大きくし、空気流路を通過する空気通過量を多くする。定風量ユニット９１の制御装置は、旋回羽根の開度を大きくした後、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれの範囲に入ると、そのときの旋回羽根の開度を維持する。演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれよりも少ない場合、定風量ユニット９１の制御装置は、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくし、空気流路を通過する空気通過量を少なくする。定風量ユニット９１の制御装置は、旋回羽根の開度を小さくした後、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれの範囲に入ると、そのときの旋回羽根の開度を維持する。
【０１５０】
図２８は、モータダンパ８３のコントローラ８６が実行する各手段の一例を示すフローチャートである。図２８のフローチャートに基づき、コントローラ８６によって実行される給気装置７４のプロセスの一例を説明すると、以下のとおりである。室圧制御機構７１を起動すると、給気ファン８２および排気ファン９０、定風量ユニット８５，９１、圧力センサ８４、モータダンパ８３が稼動する。圧力センサ８４は、給気ダクト１１内を流れる空気の圧力を測定し、その測定圧力をコントローラ８６に出力する。
【０１５１】
室圧制御機構では、図２５，２６に矢印Ａ４で示すように、給気ファン８２や給気ダクト１１を介してクリーンルーム７２，７３内へ所定量の空気が供給され、矢印Ａ５で示すように、排気ファン９０や排気ダクト８９を介してクリーンルーム７２，７３から工場７６の屋外に所定量の空気が排気される。室圧制御機構７１の運転開始時点では、第２設定圧力に対応する量の空気がモータダンパ８３の空気流路を通過するように、旋回羽根８７の開度が所定開度に調節され、給気ファン８２や排気ファン９０の出力が調節されているとともに、定風量ユニット８５，９１の空気通過量が調節されており、圧力センサ８４から出力された測定圧力が第２設定圧力の範囲内にある（Ｓ−１）。
【０１５２】
また、室圧制御機構７１では、給気ファン８２と定風量ユニット８５との間に延びる給気ダクト１１において、そこを流れる空気に圧力変動が生じたとしても、定風量ユニット８５によってダクト１１の空気通過量が一定に保持され、常時一定量の空気がクリーンルーム７２，７３に給気される。また、定風量ユニット９１と排気ファン９０との間に延びる排気ダクト８９において、そこを流れる空気に圧力変動が生じたとしても、定風量ユニット９１によってダクト８９の空気通過量が一定に保持され、常時一定量の空気がクリーンルーム７２，７３から排気される。
【０１５３】
既述のように、工場７６の壁１５に取り付けられたガラリ１２の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気がガラリ１２を通ってダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇの内部空間１４（チャンバー１３内）に進入し、内部空間１４の気圧が一気に上昇して空気が給気ダクト１１に流入する場合がある。
【０１５４】
しかし、この室圧制御機構７１における給気装置７４では、給気ダクト１１を通過する空気の圧力（モータダンパ８３の空気流路を通過する空気量）を監視し、ダクト１１を通る空気の量（空気圧）を一定に保持するから、給気ファン８２に余分な空気が不定期かつ不規則に流入することや給気ダクト１１から余分な空気が不定期かつ不規則に流出することはない。
【０１５５】
具体的にモータダンパ８３のコントローラ８６は、圧力センサ８４から出力された測定圧力とメモリに格納した第２設定圧力とを比較する（圧力比較手段）（Ｓ−２）。次に、コントローラ８６は、測定圧力と第２設定圧力とを比較した結果、測定圧力が第２設定圧力の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−３）。
【０１５６】
モータダンパ８３のコントローラ８６は、測定圧力が第２設定圧力の範囲内にあると判断すると、そのときの旋回羽根８７の開度を保持する。次に、コントローラ８６は、室圧制御機構７１を停止するかを判断する（Ｓ−４）。室圧制御機構７１の停止指示があると、コントローラ８６は、給気装置７４の運転を停止する。室圧制御機構７１を継続して運転する場合、ステップ２（Ｓ−２）に戻って測定圧力と第２設定圧力とを比較し、ステップ２（Ｓ−２）からのプロセスを繰り返す。
【０１５７】
第１設定圧力は第２設定圧力未満であり、たとえば、第２設定圧力のプラス側が４１Ｐａ以上に設定され、第１設定圧力が５Ｐａ〜４０Ｐａに設定されている場合、風の影響で余分な空気がダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇの内部空間１４（チャンバー１３内）に進入したときのチャンバー１３内の空気の圧力が第２設定圧力以内にあっても、チャンバー１３内の空気の圧力が錘３３の重量（第１設定圧力）よりも大きくなる場合がある。この場合は、逆止弁ダンパ２８Ａ，２８Ｂの旋回羽根３２が錘３３の重量に抗して空気流路３０を開放する方向へ旋回し、第１排気ユニット２９や第２排気ユニット４７の空気流路３０に所定面積の開口４６が形成され、空気がその開口４６を通ってチャンバー１３外に排気される。空気が排気ユニット２９，４７からチャンバー１３外に排気され、チャンバー１３内の空気の圧力が錘３３の重量よりも小さくなると、錘３３の重量によって旋回羽根３２が空気流路３０を閉鎖する方向へ旋回し、羽根３２によって空気流路３０が閉鎖される。空気流路３０が閉鎖された状態では、旋回羽根３２の先端部がストッパー３４に当接する。
【０１５８】
また、チャンバー１３内の空気の圧力が第２設定圧力以内にあっても、チャンバー１３内の空気の圧力が旋回羽根５５の重量（第１設定圧力）よりも大きくなる場合がある。この場合は、逆止弁ダンパ５１Ａ，５１Ｂの旋回羽根５５がその重量に抗して空気流路５２を開放する方向へ旋回し、第１排気ユニット４８や第２排気ユニット５８の空気流路５２に所定面積の開口５７が形成され、空気がその開口５７を通ってチャンバー１３外に排気される。空気が排気ユニット４８，５８からチャンバー１３外に排気され、チャンバー１３内の空気の圧力が旋回羽根５５の重量よりも小さくなると、羽根５５の重量によって羽根５５が空気流路５２を閉鎖する方向へ旋回し、羽根５５によって空気流路５２が閉鎖される。空気流路５２が閉鎖された状態では、旋回羽根５５の先端部がストッパー５６に当接する。
【０１５９】
空気が排気ユニット２９，４７，４８，５８からチャンバー１３外に排気されたにもかかわらず、空気が給気ダクト１１に流入し、測定圧力が第２設定圧力を超過すると、ステップ３（Ｓ−３）においてモータダンパ８３のコントローラ８６は、測定圧力が第２設定圧力の範囲内になく、測定圧力が第２設定圧力の範囲を超過していると判断する。この場合、コントローラ８６は、旋回羽根８７の開度が最小開度（開度３〜５％）であれば、その開度を保持し、羽根８７の開度が最小開度（開度３〜５％）でなければ、羽根８７の開度を小さくする（Ｓ−５）。なお、旋回羽根８７の開度を小さくしたとしても、開度を３〜２５％未満にすることはなく、羽根８７が全閉になることはない。
【０１６０】
モータダンパ８３のコントローラ８６は、給気ダクト１１を通る空気の第２設定圧力とその設定圧力に対応する空気通過量との相関関係、圧力センサ８４から出力される各測定圧力とそれら測定圧力に対応する空気通過量との相関関係、測定圧力に対応する空気通過量から第２設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量に対応するモータダンパ８３の旋回羽根８７の開度（旋回角度）に基づいて、羽根８７の開度を決定することもできる。この場合、コントローラ８６のメモリには、それら相関関係や旋回羽根８７の開度が格納されている。
【０１６１】
具体的には以下のとおりである。モータダンパ８３のコントローラ８６は、測定圧力が第２設定圧力の範囲を超過している場合、第２設定圧力とその設定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、第２設定圧力に対応する空気通過量を決定するとともに、測定圧力とその測定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、圧力センサ８４から出力された測定圧力に対応する空気通過量を決定する。測定圧力に対応する空気通過量は、第２設定圧力に対応する空気通過量よりも多い。
【０１６２】
さらに、モータダンパ８３のコントローラ８６は、測定圧力に対応する空気通過量から第２設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量を算出する。算出した空気通過量はプラスとなる。コントローラ８６は、測定圧力に対応する空気通過量から第２設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量（プラス）に対応するモータダンパ８３の旋回羽根８７の開度に基づいて、算出した空気通過量に対応する羽根８７の開度を決定する。なお、旋回羽根８７の開度はマイナスになる。したがって、コントローラ８６は、旋回羽根８７の開度が最小開度であれば、羽根８７の開度を最小開度に保持し、羽根８７の開度が最小開度でなければ、羽根８７の開度を小さくする（Ｓ−５）。
【０１６３】
なお、測定圧力が第２設定圧力の範囲を超過すると、チャンバー１３内の空気の圧力が錘３３の重量（第１設定圧力）よりも大きくなり、旋回羽根３２が錘３３の重量に抗して空気流路３０を開放する方向へ旋回し、空気流路３０に所定面積の開口４６が形成され、空気がその開口４６を通ってチャンバー１３外に排気される。空気がチャンバー１３外に排気され、チャンバー１３内の空気の圧力が錘３３の重量よりも小さくなると、錘３３の重量によって旋回羽根３２が空気流路３０を閉鎖する方向へ旋回し、羽根３２によって空気流路３０が閉鎖される。
【０１６４】
また、測定圧力が第２設定圧力の範囲を超過すると、チャンバー１３内の空気の圧力が旋回羽根５５の重量（第１設定圧力）よりも大きくなり、羽根５５がその重量に抗して空気流路５２を開放する方向へ旋回し、空気流路５２に所定面積の開口５７が形成され、空気がその開口５７を通ってチャンバー１３外に排気される。空気がチャンバー１３外に排気され、チャンバー１３内の空気の圧力が旋回羽根５５の重量よりも小さくなると、羽根５５の重量によって羽根５５が空気流路５２を閉鎖する方向へ旋回し、羽根５５によって空気流路５２が閉鎖される。
【０１６５】
モータダンパ８３のコントローラ８６は、旋回羽根８７の開度を最小開度に保持し、または、羽根８７の開度を小さくした後、室圧制御機構７１を停止するかを判断する（Ｓ−４）。室圧制御機構７１の停止指示があると、コントローラ８６は、給気装置７４の運転を停止する。室圧制御機構７１を継続して運転する場合、旋回羽根８７の開度を最小開度または小さくした開度を保持した状態で室圧制御機構７１が運転され、ステップ２（Ｓ−２）に戻って圧力センサ８４から出力された測定圧力とメモリに格納した第２設定圧力とを比較する（圧力比較手段）（Ｓ−２）。
【０１６６】
旋回羽根８７の開度が最小開度または小さくなると、モータダンパ８３の空気流路を通過する空気量が減少し、測定圧力が低下して測定圧力が第２設定圧力の範囲内に復帰する（圧力制御手段）。ゆえに、ダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇから余分な空気が給気ダクト１１に流入したとしても、給気ファン８２に流入する空気量を第２設定圧力に対応するそれに保持することができる。
【０１６７】
ステップ３（Ｓ−３）においてモータダンパ８３のコントローラ８６は、測定圧力が第２設定圧力の範囲内になく、測定圧力が第２設定圧力の範囲未満であると判断すると、旋回羽根８７が全開（開度１００％）であれば、その開度を保持し、羽根８７が全開でなければ、羽根８７の開度を大きくする（Ｓ−５）。この場合、排気ユニット２９，４７，４８，５８の空気流路３０，５２は、旋回羽根３２，５５によって閉鎖されている。
【０１６８】
メモリに格納された各相関関係や旋回羽根８７の開度に基づいて、開度を決定する場合は以下のとおりである。モータダンパ８３のコントローラ８６は、測定圧力が第２設定圧力の範囲未満である場合、第２設定圧力とその設定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、第２設定圧力に対応する空気通過量を決定するとともに、測定圧力とその測定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、圧力センサ８４から出力された測定圧力に対応する空気通過量を決定する。測定圧力に対応する空気通過量は、第２設定圧力に対応する空気通過量よりも少ない。
【０１６９】
さらに、モータダンパ８３のコントローラ８６は、測定圧力に対応する空気通過量から第２設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量を算出する。算出した空気通過量はマイナスとなる。コントローラ８６は、測定圧力に対応する空気通過量から第２設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量（マイナス）に対応するモータダンパ８３の旋回羽根８７の開度に基づいて、算出した空気通過量に対応する羽根８７の開度を決定する。なお、旋回羽根８７の開度はプラスになる。したがって、コントローラ８６は、旋回羽根８７が全開であれば、羽根８７の開度を全開に保持し、羽根８７が全開でなければ、羽根８７の開度を大きくする（Ｓ−５）。
【０１７０】
モータダンパ８３のコントローラ８７は、旋回羽根８７の開度を全開に保持し、または、羽根８７の開度を大きくした後、室圧制御機構７１を停止するかを判断する（Ｓ−４）。室圧制御機構７１の停止指示があると、コントローラ８６は、給気装置７４の運転を停止する。室圧制御機構７１を継続して運転する場合、旋回羽根８７の開度を全開または大きくした開度を保持した状態で室圧制御機構７１が運転され、ステップ２（Ｓ−２）に戻って圧力センサ８４から出力された測定圧力とメモリに格納した第２設定圧力とを比較する（圧力比較手段）（Ｓ−２）。
【０１７１】
旋回羽根８７の開度が全開または大きくなると、モータダンパ８３の空気流路を通過する空気量が増加し、測定圧力が上昇して測定圧力が第２設定圧力の範囲内に復帰する（圧力制御手段）。ゆえに、給気ファン８２内への空気の流入減を防ぐことができ、給気ファン８２に流入する空気量を第２設定圧力に対応するそれに保持することができる。
【０１７２】
工場７６の壁１５に取り付けられたガラリ１２の外側近傍に吹いていた風が納まり、ダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇから給気ダクト１１への余分な空気の流入が停止すると、モータダンパ８３の空気流路を通過する空気量が旋回羽根８７の開度を小さくした直後の空気流路を通過するそれに比較して減少し、圧力センサ８４から出力される測定圧力も低下する。測定圧力と第２設定圧力との比較（Ｓ−２）においてモータダンパ８３のコントローラ８６は、ステップ３（Ｓ−３）において測定圧力が第２設定圧力の範囲内にあると判断すると、そのときの旋回羽根８７の開度を保持し、室圧制御機構７１を継続して運転する場合、ステップ２（Ｓ−２）に戻って測定圧力と第２設定圧力とを比較し（圧力比較手段）（Ｓ−２）、ステップ２（Ｓ−２）からのプロセスを繰り返す。なお、旋回羽根８７の開度を小さくした後、圧力センサ８４から出力される測定圧力が低下し、測定圧力が第２設定圧力の範囲未満になると、羽根８７の開度を大きくする（Ｓ−５）。
【０１７３】
モータダンパ８３のコントローラ８６は、ガラリ１２の外側近傍で再び風が吹き、その風の影響で余分な空気が再びダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇに進入して空気が給気ダクト１１に流入し、測定圧力が第２設定圧力の範囲外になり、測定圧力が第２設定圧力を超過すると、旋回羽根８７が最小開度であれば、羽根８７の開度を最小開度に保持し、羽根８７が最小開度でなければ、羽根８７の開度を小さくする（Ｓ−５）。コントローラ８６は、旋回羽根８７の開度を小さくした後、小さくした開度を保持した状態で、ステップ２（Ｓ−２）に戻って圧力センサ８４から出力された測定圧力とメモリに格納した第２設定圧力とを比較し（給気圧力比較手段）（Ｓ−２）、ステップ２（Ｓ−２）からのプロセスを繰り返す。
【０１７４】
測定圧力が第２設定圧力を再び超過すると、チャンバー１３内の空気の圧力が錘３３の重量（第１設定圧力）よりも大きくなり、旋回羽根３２が錘３３の重量に抗して空気流路３０を開放する方向へ旋回し、空気流路３０に所定面積の開口４６が形成され、空気がその開口４６を通ってチャンバー１３外に排気される。また、測定圧力が第２設定圧力の範囲を超過すると、チャンバー１３内の空気の圧力が旋回羽根５５の重量（第１設定圧力）よりも大きくなり、羽根５５がその重量に抗して空気流路５２を開放する方向へ旋回し、空気流路５２に所定面積の開口５７が形成され、空気がその開口５７を通ってチャンバー１３外に排気される。
【０１７５】
モータダンパ８３のコントローラ８６は、ガラリ１２の外側近傍で再び風が吹き、その風の影響で空気が再びチャンバー１３から流出して空気が給気ダクト１１から流出しようとし、測定圧力が第２設定圧力の範囲外になり、測定圧力が第２設定圧力未満になると、旋回羽根８７の開度を大きくする（Ｓ−５）。コントローラ８６は、旋回羽根８７の開度を大きくした後、大きくした開度を保持した状態で、ステップ２（Ｓ−２）に戻って圧力センサ８４から出力された測定圧力とメモリに格納した第２設定圧力とを比較し（給気圧力比較手段）（Ｓ−２）、ステップ２（Ｓ−２）からのプロセスを繰り返す。
【０１７６】
給気装置７４を備えたダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇは、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で余分な空気がボックス１０Ａ〜１０Ｇの内部空間１４（チャンバー１３内）に進入したとしても、遮蔽板２５や屈曲ダクト５９、接続ダクト６２，６５，６６によってチャンバー１３内に進入した空気の給気ダクト１１への直接の流入を防ぐことができ、ダクト１１に流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で空気がチャンバー１３から流出したとしても、遮蔽板２５や屈曲ダクト５９、接続ダクト６２，６５，６６によって空気の給気ダクト１１からの直接の流出を防ぐことができる。
【０１７７】
給気装置７４を備えたダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇは、ガラリ１２の外側に吹く風の影響で余分な空気がチャンバー１３内に進入したときに、第１排気ユニット２９，４８や第２排気ユニット４７，５８の逆止弁ダンパ２８Ａ，２８Ｂ，５１Ａ，５１Ｂを利用してチャンバー１３に進入した空気をチャンバー１３内からチャンバー１３外に逃がすことができ、必要以上の空気の給気ダクト１１への流入を防ぐことができる。また、第１排気ユニット２９，４８の逆止弁ダンパ２８Ａ，５１Ａを利用してガラリ１２から直接給気ダクト１１の延出端部２２に向かう空気の動圧を除圧することができ、第２排気ユニット４７，５８の逆止弁ダンパ２８Ｂ，５１Ｂを利用してチャンバー１３の側壁１９に向かう空気の静圧を除圧することができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト１１に流入することはなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクト１１に確実に流入させることができる。
【０１７８】
給気装置７４を備えたダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇは、ガラリ１２の外側近傍に吹く風の影響で、余分な空気がボックス１０Ａ〜１０Ｇの内部空間１４（チャンバー１３内）に進入して空気が給気ダクト１１に流入し、それによって測定圧力が第２設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパ８３の旋回羽根８７の開度を小さくして空気の給気ファン８２内への流入を制限するから、一定圧かつ一定量の空気を安定して給気ファン８２に流入させることができ、給気ファン８２やモータダンパ８３を利用してクリーンルーム７２，７３に一定圧かつ一定量の空気を安定して流入させることができる。
【０１７９】
給気装置７４を備えたダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇは、ガラリ１２の外側近傍に吹く風の影響で、余分な空気がチャンバー１３内から流出して空気が給気ダクト１１から流出しようとし、測定圧力が第２設定圧力の範囲未満になると、モータダンパ８３の旋回羽根８７の開度を大きくして給気ファン８２内への空気の流入減を防ぐから、一定圧かつ一定量の空気を安定して給気ファン８２に流入させることができ、給気ファン８２やモータダンパ８３を利用してクリーンルーム７２，７３に一定圧かつ一定量の空気を安定して流入させることができる。また、測定圧力が第２設定圧力の範囲に戻ると、そのときの旋回羽根８７の開度を保持するから、一定圧かつ一定量の空気を安定して給気ファン８２に流入させることができ、給気ファン８２やモータダンパ８３を利用してクリーンルーム７２，７３に一定圧かつ一定量の空気を安定して流入させることができる。
【０１８０】
給気装置７４を備えたダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇは、それを利用することで、クリーンルーム７２，７３に給気する空気を一定に保持することができ、クリーンルーム７２，７３の室内気圧を目標室内気圧に維持することができる。給気装置７４を備えたダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇは、給気ファン８２から給気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルーム７２，７３での使用に特に有効であり、クリーンルーム７２，７３において室内気圧の変動がない空調環境を作ることが可能である。
【０１８１】
一定圧かつ一定量の空気を安定して給気ダクト１１からクリーンルーム７２，７３に給気させるには給気ダクト１１内の空気の圧力が負圧に保持される必要があるが、給気装置７４を備えたダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇは、その第２設定圧力が−１０００Ｐａ〜１０００Ｐａの範囲にあるから、空気が給気ダクト１１に流入し、または、空気が給気ダクト１１から流出しようとしたとしても、モータダンパ８３の旋回羽根８７が迅速に作動し、給気ダクト１１内の空気の圧力が正圧になることを防ぐことができ、ダクト１１内の空気の圧力を負圧に保持することができる。
【０１８２】
給気装置７４を備えたダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇは、モータダンパ８３の旋回羽根８７の旋回速度が１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲、好ましくは、１〜５ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にあるから、給気ダクト１１に空気が流入し、または、空気が給気ダクト１１から流出しようとして給気ダクト１１の内部気圧が変動したとしても、モータダンパ８３の旋回羽根８７が前記旋回速度で瞬時に旋回し、測定圧力を第２設定圧力の範囲内に速やかに戻すことができ、給気ダクト１１内の空気の圧力変動を確実に防ぐことができる。給気装置７４を備えたダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇは、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ファン８２内に流入することはなく、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト１１から流出することもないから、給気ファン８２やモータダンパ８３を利用して一定圧かつ一定量の空気をクリーンルーム７２，７３に給気することができ、クリーンルーム７２，７３に給気する空気を一定に保持することができる。
【０１８３】
旋回羽根８７の開度が全閉（０％）なると、クリーンルーム７２，７３に空気が給気されず、給気ファン８２内への空気の流入が停止し、給気ファン８２を介して空気をクリーンルーム７２，７３に給気することができないが、給気装置７４を備えたダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｇは、モータダンパ８３の旋回羽根８７の開度を小さくしたときの羽根８７の最小開度が３〜２５％の範囲にあるから、羽根８７の開度が全閉（０％）なることはなく、クリーンルーム７２，７３への空気の未給気状態が回避され、クリーンルーム７２，７３の室内気圧の極端な下降を防ぐことができるとともに、給気ファン８２やモータダンパ８３を利用して一定圧かつ一定量の空気をクリーンルーム７２，７３に給気することができる。
【符号の説明】
【０１８４】
１０Ａ〜１０Ｇ    ダクト収容ボックス
１１    給気ダクト
１２    ガラリ
１３    チャンバー
１４    内部空間
１５    壁
１７    頂壁
１８    底壁
１９    側壁
２０    側壁
２１    後側壁
２２    延出端部
２４    開口端
２５    遮蔽板
２８Ａ，２８Ｂ    逆止弁ダンパ
２９    第１排気ユニット
３０    空気流路
３１    回転軸
３２    旋回羽根
３３    錘
３４    ストッパー
４６    開口（空気排出口）
４７    第２排気ユニット
４８    第１排気ユニット
５１Ａ，５１Ｂ    逆止弁ダンパ
５２    空気流路
５４    軸
５５    旋回羽根
５６    ストッパー
５７    開口（空気排出口）
５８    第２排気ユニット
５９    屈曲ダクト
６０    第１開口端
６１    第２開口端
６２    接続ダクト
６３    中央開口端
６４    両側開口端
６５    第１接続ダクト
６６    第２接続ダクト
６７    第１中央開口端
６８    第１両側開口端
６９    第２中央開口端
７０    第２両側開口端
７１    室圧制御機構
７２    クリーンルーム（室）
７３    クリーンルーム（室）
７４    給気装置
７５    排気装置
７６    工場（既設建物）
８２    給気ファン
８３    モータダンパ
８４    圧力センサ
８５    定風量ユニット
８６    コントローラ
８７    旋回羽根
８９    排気ダクト
９０    排気ファン
９１    定風量ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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