(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を搬送しながら各種の工程処理を行う電子部品搬送装置であって、
前記電子部品の搬送経路と、
前記電子部品を保持して前記搬送経路に沿って間欠移動する保持手段と、
前記搬送経路上の前記保持手段へ前記電子部品を迎えに行って当該電子部品を受け取り、前記電子部品の姿勢を補正する姿勢補正手段と、
を備え、
前記姿勢補正手段は、
前記電子部品が載置されるステージと、
前記保持手段に向けた第一軸方向に前記ステージを移動させるＺ軸移動機構と、
前記ステージを前記第一軸と直交する二軸方向に移動させるＸＹ軸移動機構と、
前記ステージを前記第一軸回りに回転させるθ軸回転機構と、
を備えること、
を特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記Ｚ軸移動機構は、
前記搬送経路に沿った前記保持手段の移動とオーバーラップして、前記ステージを前記保持手段が停止予定の位置に向けて移動させ、
前記Ｚ軸移動機構、ＸＹ軸移動機構、及びθ軸回転機構は、
前記ステージと前記保持手段で前記電子部品を挟み込んだ後、前記ステージの下降とオーバーラップして、前記ステージをＸＹ方向へ移動させ、またθ軸回転させ、
前記保持手段は、
再度上昇してきた前記ステージとともに、前記ＸＹ方向への移動及びθ軸回転を終えた前記電子部品を挟み込んだ後、前記ステージの下降とオーバーラップして、前記搬送経路に沿った移動を開始すること、
を特徴とする請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記Ｚ軸移動機構は、
ボイスコイルモータと、
前記第一軸方向に軸を有し、前記ステージを支える前記ボイスコイルモータのコイルボビンと、
前記ボイスコイルモータを搭載したフレームに前記第一軸方向の力を与えて前記ステージを移動させるモータと、
を備え、
前記ボイスコイルモータは、前記ステージが前記電子部品に未達の状況下で前記コイルボビンにかかる荷重に拮抗する対抗推力を与えること、
を特徴とする請求項１又は２記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記Ｚ軸移動機構は、厚みの異なる電子部品に対して前記回転モータの回転速度及び回転角度を一律に設定すること、
を特徴とする請求項３記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
電子部品を一方の収容体から他方の収容体へ搬送する電子部品移載装置であって、
前記電子部品を先端で保持する保持手段と、
前記保持手段を回転軸周りに複数配置し、前記先端が常に外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させるロータリーテーブルと、
前記保持手段の先端と対面するように配置され、前記保持手段へ前記電子部品を迎えに行って当該電子部品を受け取り、前記電子部品の姿勢を補正する姿勢補正手段と、
を備え、
前記姿勢補正手段は、
前記電子部品が載置されるステージと、
前記保持手段に向けた第一軸方向に前記ステージを移動させるＺ軸移動機構と、
前記ステージを前記第一軸と直交する二軸方向に移動させるＸＹ軸移動機構と、
前記ステージを前記第一軸回りに回転させるθ軸回転機構と、
を備えること、
を特徴とする電子部品移載装置。
【請求項６】
前記Ｚ軸移動機構は、
前記ロータリーテーブルによる前記保持手段の移動とオーバーラップして、前記ステージを前記保持手段が停止予定の位置に向けて移動させ、
前記Ｚ軸移動機構、ＸＹ軸移動機構、及びθ軸回転機構は、
前記ステージと前記保持手段で前記電子部品を挟み込んだ後、前記ステージの下降とオーバーラップして、前記ステージをＸＹ方向へ移動させ、またθ軸回転させ、
前記保持手段は、
再度上昇してきた前記ステージとともに、前記ＸＹ方向への移動及びθ軸回転を終えた前記電子部品を挟み込んだ後、前記ステージの下降とオーバーラップして、前記ロータリーテーブルによる移動を開始すること、
を特徴とする請求項５記載の電子部品移載装置。
【請求項７】
前記Ｚ軸移動機構は、
ボイスコイルモータと、
前記第一軸方向に軸を有し、前記ステージを支える前記ボイスコイルモータのコイルボビンと、
前記ボイスコイルモータを搭載したフレームに前記第一軸方向の力を与えて前記ステージを移動させるモータと、
を備え、
前記ボイスコイルモータは、前記ステージが前記電子部品に未達の状況下で前記コイルボビンにかかる荷重に拮抗する対抗推力を与えること、
を特徴とする請求項５又は６記載の電子部品移載装置。
【請求項８】
前記Ｚ軸移動機構は、厚みの異なる電子部品に対して前記回転モータの回転速度及び回転角度を一律に設定すること、
を特徴とする請求項７記載の電子部品移載装置。
【請求項９】
電子部品を保持しつつ、搬送経路上を間欠移動する保持手段から電子部品を受け取り、電子部品の姿勢を補正する姿勢補正装置であって、
前記電子部品が載置されるステージと、
前記保持手段に向けた第一軸方向に前記ステージを移動させるＺ軸移動機構と、
前記ステージを前記第一軸と直交する二軸方向に移動させるＸＹ軸移動機構と、
前記ステージを前記第一軸回りに回転させるθ軸回転機構と、
を備え、
前記搬送経路上の前記保持手段へ前記電子部品を迎えに行って当該電子部品を受け取り、前記電子部品の姿勢を補正すること、
を特徴とする姿勢補正装置。
【請求項１０】
前記Ｚ軸移動機構は、
ボイスコイルモータと、
前記第一軸方向に軸を有し、前記ステージを支える前記ボイスコイルモータのコイルボビンと、
前記ボイスコイルモータを搭載したフレームに前記第一軸方向の力を与えて前記ステージを移動させるモータと、
を備え、
前記ボイスコイルモータは、前記ステージが前記電子部品に未達の状況下で前記コイルボビンにかかる荷重に拮抗する対抗推力を与えること、
を特徴とする請求項９記載の姿勢補正装置。
【請求項１１】
前記Ｚ軸移動機構は、厚みの異なる電子部品に対して前記回転モータの回転速度及び回転角度を一律に設定すること、
を特徴とする請求項１０記載の姿勢補正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の姿勢を補正する姿勢補正装置、及びこれを備えた電子部品搬送装置、電子部品移載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子等の電子部品は、外観検査、電気特性検査、マーキング処理等の各種工程処理が行われ、検査結果に応じて分類された後、キャリアテープなどに収容されて出荷される。外観検査、電気特性検査、及びマーキング処理は、電子部品の適正な姿勢を前提とし、そのため、これらの工程処理の前段階では、電子部品の姿勢補正処理が実施される。【０００３】
このような工程を実施する装置としては、一般的に、ダイレクトドライブモータにより旋回駆動されるテーブルの外周に、電子部品を保持及び離脱可能な保持手段を昇降可能に複数取り付けて構成される（例えば、特許文献１参照）。【０００４】
この装置において、テーブルの外周は搬送経路となる。電子部品を保持した保持手段は搬送経路に沿って移動する。搬送経路の直下には工程処理を実施するユニットが配置される。保持手段は、搬送経路から一時的に離脱するように昇降してユニットに電子部品を引き渡す。ユニットは、受け取った電子部品に工程処理を施し、保持手段は、搬送経路から再離脱して電子部品をユニットから再度引き取る。そして電子部品を引き取った保持手段は、搬送経路に沿って次の停止位置へ移動する。【０００５】
図１３は、電子部品の姿勢補正における保持手段の一般的な動作を示すタイミングチャートである。図１３に示すように、保持手段は、第１工程として、電子部品を保持しながら姿勢補正ユニットの直下まで搬送経路上を水平移動する。姿勢補正ユニットまでの移動が完了すると、第２工程として、姿勢補正ユニットに対して待避位置から受渡位置まで下降する。下降が終了すると、第３工程として、姿勢補正ユニットとの間での電子部品を受け渡す。受け渡しが完了すると、第４工程として、待避のために搬送経路上まで上昇する。搬送経路上への上昇が完了すると、第５工程として、電子部品の姿勢補正の完了後に姿勢補正ユニットに対して再度下降する。再度の下降が完了すると、第６工程として、姿勢補正ユニットから電子部品を引き取る。電子部品の引き取りが終了すると、第７工程として、搬送経路上まで再度上昇する。搬送経路上への再上昇が終了すると、第８工程として、姿勢補正を完了した電子部品を保持しながら搬送経路上の移動を再開する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−２０２８５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
昨今、電子部品のコモディティ化が進展するに従って、電子部品は熾烈な価格競争にさらされており、電子部品の大量生産性の向上が一層求められている。しかしながら、電子部品を保持する保持手段は、電子部品の移動の全てを担っている。すなわち、電子部品の保持手段は、搬送経路上の水平移動、搬送経路から離脱して姿勢補正ユニットへ向けて昇降する移動、及び姿勢補正ユニットとの電子部品の受け渡しに関与している。【０００８】
つまり、保持手段の動作の自由度が制限されていた。そのため、保持手段の動作を工夫する余地がなく、その点での電子部品の生産性向上を図ることが困難であった。言い換えれば、保持手段が担う動作の一部でも移譲できれば、保持手段の動作の自由度が向上し、保持手段の動作に選択の幅を持たせることができ、電子部品の搬送速度の向上により電子部品の一層の生産性向上を図ることができる。【０００９】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたもので、電子部品の姿勢補正において保持手段の動作の自由度を向上させることができる姿勢補正装置、及びこれを備えた電子部品搬送装置、電子部品移載装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る電子部品搬送装置は、電子部品を搬送しながら各種の工程処理を行う電子部品搬送装置であって、前記電子部品の搬送経路と、前記電子部品を保持して前記搬送経路に沿って間欠移動する保持手段と、前記搬送経路上の前記保持手段へ前記電子部品を迎えに行って当該電子部品を受け取り、前記電子部品の姿勢を補正する姿勢補正手段と、を備え、前記姿勢補正手段は、前記電子部品が載置されるステージと、前記保持手段に向けた第一軸方向に前記ステージを移動させるＺ軸移動機構と、前記ステージを前記第一軸と直交する二軸方向に移動させるＸＹ軸移動機構と、前記ステージを前記第一軸回りに回転させるθ軸回転機構と、を備えること、を特徴とする。【００１１】
前記Ｚ軸移動機構は、前記搬送経路に沿った前記保持手段の移動とオーバーラップして、前記ステージを前記保持手段が停止予定の位置に向けて移動させ、前記Ｚ軸移動機構、ＸＹ軸移動機構、及びθ軸回転機構は、前記ステージと前記保持手段で前記電子部品を挟み込んだ後、前記ステージの下降とオーバーラップして、前記ステージをＸＹ方向へ移動させ、またθ軸回転させ、前記保持手段は、再度上昇してきた前記ステージとともに、前記ＸＹ方向への移動及びθ軸回転を終えた前記電子部品を挟み込んだ後、前記ステージの下降とオーバーラップして、前記搬送経路に沿った移動を開始するようにしてもよい。【００１２】
前記Ｚ軸移動機構は、ボイスコイルモータと、前記第一軸方向に軸を有し、前記ステージを支える前記ボイスコイルモータのコイルボビンと、前記ボイスコイルモータを搭載したフレームに前記第一軸方向の力を与えて前記ステージを移動させるモータと、を備え、前記ボイスコイルモータは、前記ステージが前記電子部品に未達の状況下で前記コイルボビンにかかる荷重に拮抗する対抗推力を与えるようにしてもよい。【００１３】
前記Ｚ軸移動機構は、厚みの異なる電子部品に対して前記回転モータの回転速度及び回転角度を一律に設定するようにしてもよい。【００１４】
本発明に係る電子部品移載装置は、電子部品を一方の収容体から他方の収容体へ搬送する電子部品移載装置であって、前記電子部品を先端で保持する保持手段と、前記保持手段を回転軸周りに複数配置し、前記先端が常に外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させるロータリーテーブルと、前記保持手段の先端と対面するように配置され、前記保持手段へ前記電子部品を迎えに行って当該電子部品を受け取り、前記電子部品の姿勢を補正する姿勢補正手段と、を備え、前記姿勢補正手段は、前記電子部品が載置されるステージと、前記保持手段に向けた第一軸方向に前記ステージを移動させるＺ軸移動機構と、前記ステージを前記第一軸と直交する二軸方向に移動させるＸＹ軸移動機構と、前記ステージを前記第一軸回りに回転させるθ軸回転機構と、を備えること、を特徴とする。【００１５】
前記Ｚ軸移動機構は、前記ロータリーテーブルによる前記保持手段の移動とオーバーラップして、前記ステージを前記保持手段が停止予定の位置に向けて移動させ、前記Ｚ軸移動機構、ＸＹ軸移動機構、及びθ軸回転機構は、前記ステージと前記保持手段で前記電子部品を挟み込んだ後、前記ステージの下降とオーバーラップして、前記ステージをＸＹ方向へ移動させ、またθ軸回転させ、前記保持手段は、再度上昇してきた前記ステージとともに、前記ＸＹ方向への移動及びθ軸回転を終えた前記電子部品を挟み込んだ後、前記ステージの下降とオーバーラップして、前記ロータリーテーブルによる移動を開始するようにしてもよい。【００１６】
前記Ｚ軸移動機構は、ボイスコイルモータと、前記第一軸方向に軸を有し、前記ステージを支える前記ボイスコイルモータのコイルボビンと、前記ボイスコイルモータを搭載したフレームに前記第一軸方向の力を与えて前記ステージを移動させるモータと、を備え、前記ボイスコイルモータは、前記ステージが前記電子部品に未達の状況下で前記コイルボビンにかかる荷重に拮抗する対抗推力を与えるようにしてもよい。【００１７】
前記Ｚ軸移動機構は、厚みの異なる電子部品に対して前記回転モータの回転速度及び回転角度を一律に設定するようにしてもよい。【００１８】
本発明に係る姿勢補正装置は、電子部品を保持しつつ、搬送経路上を間欠移動する保持手段から電子部品を受け取り、電子部品の姿勢を補正する姿勢補正装置であって、前記電子部品が載置されるステージと、前記保持手段に向けた第一軸方向に前記ステージを移動させるＺ軸移動機構と、前記ステージを前記第一軸と直交する二軸方向に移動させるＸＹ軸移動機構と、前記ステージを前記第一軸回りに回転させるθ軸回転機構と、を備え、前記搬送経路上の前記保持手段へ前記電子部品を迎えに行って当該電子部品を受け取り、前記電子部品の姿勢を補正すること、を特徴とする。【００１９】
前記Ｚ軸移動機構は、ボイスコイルモータと、前記第一軸方向に軸を有し、前記ステージを支える前記ボイスコイルモータのコイルボビンと、前記ボイスコイルモータを搭載したフレームに前記第一軸方向の力を与えて前記ステージを移動させるモータと、を備え、前記ボイスコイルモータは、前記ステージが前記電子部品に未達の状況下で前記コイルボビンにかかる荷重に拮抗する対抗推力を与えるようにしてもよい。【００２０】
前記Ｚ軸移動機構は、厚みの異なる電子部品に対して前記回転モータの回転速度及び回転角度を一律に設定するようにしてもよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、保持手段の必須動作が搬送経路上の水平移動及びステージとの電子部品の受け渡しに削減され、その間のステージへ向けた移動動作が排除できる。結果として様々な搬送速度の向上措置を採ることができ、電子部品の生産性向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】電子部品搬送装置の構成を示す上面図である。
【図２】電子部品搬送装置の構成を示す側面図である。
【図３】姿勢補正装置の動作を示す側面図である。
【図４】姿勢補正装置の詳細構成図である。
【図５】姿勢補正工程の第１例を示すフローチャートである。
【図６】姿勢補正工程の第１例を示すタイミングチャートである。
【図７】姿勢補正工程の第２例に係る電子部品搬送装置の動作を示す模式図である。
【図８】姿勢補正工程の第２例を示すタイミングチャートである。
【図９】姿勢補正工程におけるボイスコイルモータのコイルボビンの移動動作を示す模式図である。
【図１０】コレットのＺ軸移動に係る回転モータの回転角度と回転速度を電子部品の厚み別に示すタイミングチャートである。
【図１１】電子部品移載装置の構成を示す正面図である。
【図１２】電子部品移載装置の姿勢補正工程を示すフローチャートである。
【図１３】電子部品の姿勢補正における保持手段の従来動作を示すタイミングチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明に係る姿勢補正装置、電子部品搬送装置、及び電子部品移載装置の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００２４】
（第１の実施形態）
（電子部品搬送装置）
（構成）
図１に、電子部品搬送装置１の全体構成を示す。電子部品搬送装置１は、電子部品Ｄの搬送経路１１を有し、搬送経路１１に沿って電子部品Ｄを整列搬送させ、搬送経路１１上で各種の工程処理を順次施す。搬送経路１１の始端には、電子部品Ｄを供給する供給ユニット２を備え、搬送経路１１の終端には、電子部品Ｄを収容する収容ユニット３を備え、その間の搬送経路１１上には、各種の工程処理ユニットＵを備える。
【００２５】
電子部品Ｄは、電気製品に使用される部品である。電子部品Ｄとしては、半導体素子、及び半導体素子以外の抵抗やコンデンサ等を挙げることができる。半導体素子としては、トランジスタ、ダイオード、ＬＥＤ、コンデンサ、及びサイリスタ等のディスクリート半導体、ＩＣやＬＳＩ等の集積回路等を挙げることができる。
【００２６】
搬送経路１１は、所定角度ずつ間欠回転する搬送テーブル１２の外周である。搬送テーブル１２の外周には、電子部品Ｄの保持手段である吸着ノズル１３が支持されている。吸着ノズル１３で電子部品Ｄを保持しつつ、搬送テーブル１２を間欠回転させることで、電子部品Ｄが搬送テーブル１２の外周に沿って移動する。
【００２７】
詳細には、搬送テーブル１２は、一点を中心に放射状に拡がる円盤や星形等の形状を有する。この搬送テーブル１２は、放射中心がモータ１２ａの回転軸で軸支されている。吸着ノズル１３は、搬送テーブル１２の外周に沿って円周等配位置、及び搬送テーブル１２の放射中心から同一距離に複数備えられている。
【００２８】
また、吸着ノズル１３は内部中空で一端が開口している。吸着ノズル１３の内部は真空ポンプやエジェクタ等の負圧発生装置の空気圧回路と連通している。吸着ノズル１３は、空気圧回路に負圧を発生させることにより、開口一端で電子部品Ｄを吸着し、真空破壊や大気解放によって電子部品Ｄを離脱させる。
【００２９】
また、搬送テーブル１２のモータ１２ａは、１ピッチずつ間欠回転するように制御されている。搬送テーブル１２の回転ピッチは、吸着ノズル１３の配置間隔に等しい。つまり、吸着ノズル１３は、共通の移動軌跡を辿り、共通の停止位置１４で停止する。
【００３０】
工程処理ユニットＵは、吸着ノズル１３の停止位置１４に配置される。工程処理ユニットＵは、電子部品Ｄを停止位置１４で受け取り、受け取った電子部品Ｄに対して工程処理を施す。工程処理としては、外観検査、電気特性検査、姿勢確認、姿勢補正、マーキング、その他各種を挙げることができる。
【００３１】
本実施形態では、隣合う二カ所の停止位置１４に、電子部品Ｄの姿勢を確認する姿勢確認ユニット４、電子部品Ｄの姿勢を補正する姿勢補正ユニット５を備えている。姿勢確認ユニット４は、電子部品Ｄを撮影し、画像処理により電子部品Ｄの姿勢ズレ、即ちＸＹ軸方向で表す位置及びθ軸回転で表す向きのズレを検出する。姿勢とは位置及び向きを含む。ＸＹ軸方向は、電子部品Ｄの吸着面が拡がる方向をいう。尚、電子部品Ｄの吸着面と直交する方向をＺ軸方向という。
【００３２】
姿勢確認ユニット４の検出結果は、電子部品ＤのＸ軸方向の位置ズレ量、Ｙ軸方向の位置ズレ量、及びθ軸方向の向きズレ量を示す情報として出力される。姿勢補正ユニット５は、位置ズレ量及び向きズレ量の情報を参照して、電子部品Ｄの姿勢ズレを解消するように、電子部品ＤをＸＹ軸方向の移動させ、またθ軸回りに回転させることで、電子部品Ｄの姿勢を正す。
【００３３】
図２に、この電子部品搬送装置１における吸着ノズル１３と工程処理ユニットＵとの間での電子部品Ｄの原則的な受け渡し方法を示す。まず、図２に示すように、吸着ノズル１３は、開口一端を搬送テーブル１２の下方（Ｚ軸方向）に延ばし、スリーブ等に保持されることで上下方向に昇降可能となっている。
【００３４】
また、停止位置１４の直上には、吸着ノズル１３の他端と対面する進退駆動装置１５が固定されている。工程処理ユニットＵは、停止位置１４の直下に、吸着ノズル１３の開口一端とステージを対面させて配置されている。進退駆動装置１５は、例えば、吸着ノズル１３を下方に押し込むロッド１５ａと、吸着ノズル１３を上方に付勢するバネ１５ｂとで構成される。
【００３５】
ロッド１５ａで吸着ノズル１３の他端を下方へ向けて押し込み、バネ１５ｂの付勢力に抗して、電子部品Ｄが工程処理ユニットＵのステージに載置されるまで吸着ノズル１３を下降させる。反対に、ロッド１５ａによる吸着ノズル１３に対する押し込み力を解除することで、バネ１５ｂの付勢力を解放させることで吸着ノズル１３を上昇させ、工程処理ユニットＵのステージから電子部品Ｄを取り上げる。
【００３６】
図３に、吸着ノズル１３と姿勢補正ユニット５との受け渡し方法を示す。図３の（ａ）に示すように、姿勢補正ユニット５受け渡しでは吸着ノズル１３を下降させない。代わりに、姿勢補正ユニット５が備えるコレット５１を上昇させる。コレット５１は、電子部品Ｄの姿勢補正を行うステージである。すなわち、姿勢補正ユニット５は、吸着ノズル１３に近づき、自ら電子部品Ｄを迎えにいく。そのため、姿勢補正ユニット５が配置される停止位置１４の直上に進退駆動装置１５を設ける必要はない。
【００３７】
そして、図３の（ｂ）に示すように、姿勢補正ユニット５は、コレット５１を下降させることで電子部品Ｄを吸着ノズル１３から離間させながら、その下降及び再上昇とオーバーラップさせて、コレット５１を左右（ＸＹ軸方向）に移動させ、更には、コレット５１をθ回転させることで、電子部品Ｄの姿勢を補正する。
【００３８】
（姿勢補正ユニット）
図４は、この姿勢補正ユニット５の詳細構成を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。図４に示すように、姿勢補正ユニット５は架台５２を備えている。コレット５１は架台５２に搭載されている。架台５２には、コレット５１をＺ軸方向に移動させるＺ軸移動機構５５が搭載されており、コレット５１はＺ軸移動機構５５を介して架台５２に搭載されている。また、架台５２は、Ｘ軸移動機構５３及びＹ軸移動機構５４を備えており、Ｘ軸及びＹ軸方向に移動可能となっている。更に、架台５２には、コレット５１をθ軸周りに回転させるθ軸回転機構５６が搭載されている。
【００３９】
コレット５１は、ゴムや金属により形成される略円錐体である。コレット５１の頂点は平坦面となっている。電子部品Ｄはコレット５１の平坦面に載置される。コレット５１には平坦面に通じる内部通路が形成されており、その内部通路は真空ポンプやエジェクタ等の負圧発生装置の空気圧回路と連通している。空気圧回路に負圧を発生させることにより、コレット５１は平坦面で電子部品Ｄを保持し、真空破壊や大気解放によって電子部品Ｄを離脱させる。
【００４０】
Ｘ軸移動機構５３とＹ軸移動機構５４は、それぞれレールとスライダとを備えている。Ｘ軸移動機構５３のレールはＸ軸方向に延び、Ｙ軸移動機構５４のレールはＹ軸方向に延びている。Ｘ軸移動機構５３のスライダは、架台５２側に固定されており、Ｘ軸移動機構５３のレールは、Ｙ軸移動機構５４のスライダに固定されている。Ｙ軸移動機構５４のレールは、姿勢補正ユニット５のベース５７に固定されている。
【００４１】
この架台５２は、Ｘ軸移動機構５３のスライダでレール上を滑ることによりＸ軸方向に移動し、Ｙ軸移動機構５４のスライダでレール上を滑ることによりＹ軸方向へ移動する。架台５２のＸ軸及びＹ軸方向への移動により、架台５２に搭載されているコレット５１もＸ軸及びＹ軸方向へ移動する。
【００４２】
Ｚ軸移動機構５５は、カム機構６、ボイスコイルモータ７、及び圧縮バネ８により構成されている。カム機構６は、コレット５１を吸着ノズル１３へ向けてＺ軸移動させ、圧縮バネ８は、コレット５１を吸着ノズル１３から離れる方向にＺ軸移動させる。ボイスコイルモータ７は、コレット５１と吸着ノズル１３とで挟み込んだ電子部品Ｄへの過大な荷重を吸収し、所定の荷重を電子部品Ｄにかける。
【００４３】
詳細には、コレット５１は、Ｚ軸方向に延びるシャフト５５ａの上端に底面で固定されている。シャフト５５ａは、水平方向に拡がる浮動板５５ｂを貫いて該浮動板５５ｂに固定されている。浮動板５５ｂは、ボイスコイルモータ７のコイルボビン７１で下方から支えられている。また、浮動板５５ｂの底面には、ボイスコイルモータ７の推力を補助する圧縮バネ５５ｃの一端が固定されている。ボイスコイルモータ７及び圧縮バネ５５ｃは、支持フレーム５５ｄに固定されている。架台５２にはＺ軸方向に延びるレール５５ｅが固定されており、支持フレーム５５ｄは、そのレール５５ｅを滑るスライダ５５ｆを介してＺ軸方向に移動可能となっている。
【００４４】
また、支持フレーム５５ｄには、Ｘ軸方向に長さを有する円筒形状のカムフォロア６１が固定されている。カムフォロア６１の周面には、Ｚ軸方向下方から円筒カム６２の周面が当接している。円筒カム６２は、Ｘ軸方向に延びる軸を有し、断面は鶏卵形であり、架台５２に固定された回転モータ６３の回転軸に軸支されている。この円筒カム６２の周面がカム面であり、すなわち、カム面には円筒カム６２の径を拡大する膨出部分６２ａが一部に形成されている。
【００４５】
更に、浮動板５５ｂの上方には、シャフト５５ａの軸受けとなるアーム５５ｇが架台５２に固定されて延びている。圧縮バネ８は、このアーム５５ｇの底面と浮動板５５ｂとを繋いでおり、浮動板５５ｂを下方へ押し下げている。
【００４６】
このＺ軸移動機構５５において、回転モータ６３を駆動させると、円筒カム６２が回転し、カムフォロア６１がカム面の膨出部分６２ａを登るころには、円筒カム６２の回転中心とカムフォロア６１の距離が拡がる。円筒カム６２は、カムフォロア６１に対してＺ軸方向下方側から当接しているため、カムフォロア６１は、Ｚ軸方向に沿って上昇するように押し退けられる。カムフォロア６１、支持フレーム５５ｄ、ボイスコイルモータ７、浮動板５５ｂ、シャフト５５ａ、及びコレット５１は、連接関係にあるため、カムフォロア６１がＺ軸方向に沿って上昇すると、コレット５１も従動してＺ軸方向に沿って上昇する。
【００４７】
また、圧縮バネ８は、伸び方向への付勢力が蓄勢されている。カムフォロア６１がカム面の膨出部分６２ａを通過するころには、円筒カム６２による押上げ力も減退し、圧縮バネ８に蓄勢された付勢力が浮動板５５ｂを押し下げる。浮動板５５ｂ、シャフト５５ａ、コレット５１は、連接関係にあるため、浮動板５５ｂがＺ軸方向に沿って押し下げられると、コレット５１も従動してＺ軸方向に沿って下降する。
【００４８】
ボイスコイルモータ７は、カム機構６によるコレット５１をＺ軸方向に沿って上昇させるための駆動と同時に、コイルボビン７１にかかる荷重と拮抗する対抗推力を発生させている。対抗推力は、コレット５１が電子部品Ｄへ未達の状況下における、コイルボビン７１にかかる荷重と拮抗する。このコイルボビン７１にかかる荷重とは圧縮バネ８と圧縮バネ５５ｃの付勢力の差である。
【００４９】
そのため、コイルボビン７１は、電子部品Ｄへ未達の際は、ボイスコイルモータ７との相対的な位置関係を維持しつつ、電子部品Ｄへ到達した際は、それ以上進もうとするときの当該電子部品Ｄから受ける荷重に押し負けて、ボイスコイルモータ７に埋没するようにＺ軸方向に沿って後退する。すなわち、ボイスコイルモータ７は、電子部品Ｄとコレット５１とが当接し、更に進もうとする際に電子部品Ｄに発生する過大な荷重を吸収する。
【００５０】
θ軸回転機構５６は、回転モータ６３、回転モータ６３の回転軸に軸支されたプーリ、及びプーリとシャフト５５ａとに巻回されたベルトを備えている。回転モータ６３を駆動させると、ベルトが回り、その回転力がシャフト５５ａに伝達されて、シャフト５５ａを軸回転させる。シャフト５５ａとコレット５１とは固定関係にあり、シャフト５５ａの軸回転に従動して、コレット５１も軸回りにθ軸回転する。
【００５１】
（作用）
このような電子部品搬送装置１においては、吸着ノズル１３が搬送経路１１から離脱する昇降移動を行わないので、吸着ノズル１３の動作の自由度が増し、電子部品Ｄの生産向上を図る各種の姿勢補正動作が可能となる。以下、その姿勢補正処理の幾つかを例示する。
【００５２】
（姿勢補正例１）
まず、供給ユニット２が配置されている停止位置１４に存在している吸着ノズル１３が、供給ユニット２から電子部品Ｄを受け取る。具体例としては、供給ユニット２は、例えばパーツフィーダである。パーツフィーダは、底面から上縁へ向かう螺旋状の溝が内周面に穿設された擂り鉢状のボウル部と、搬送テーブル１２に向かう直線の溝が形成されたシュート部とを備え、ボウル部とシュート部を揺動運動させることにより、ボウル部に投入された電子部品Ｄをシュート部を経由して搬送テーブル１２の停止位置１４の直下に導く。
【００５３】
供給ユニット２が配置されている停止位置１４には進退駆動装置１５も配置されている。進退駆動装置１５は、ロッド１５ａを押し下げることで、ロッド１５ａを吸着ノズル１３の上端に当接させ、更にロッド１５ａを押し下げることで、吸着ノズル１３を下方に押し込む。吸着ノズル１３は、直下の電子部品Ｄに向かって下降し、電子部品Ｄに開口一端を当接させると、負圧の発生により電子部品Ｄを吸着する。電子部品Ｄの吸着が終了すると、進退駆動装置１５は、ロッド１５ａを元に戻す。ロッド１５ａが元に戻ることにより、吸着ノズル１３を押し下げる力は解除され、バネ１５ｂの付勢力により吸着ノズル１３は上昇する。
【００５４】
吸着ノズル１３の上昇が終了すると、搬送テーブル１２は所定角度ずつ間欠回転し、電子部品Ｄを搬送経路１１に沿って移動させる。電子部品Ｄを保持した吸着ノズル１３が姿勢確認ユニット４が配置されている停止位置１４で停止すると、姿勢確認ユニット４は、電子部品Ｄを撮影し、画像処理により電子部品ＤのＸ軸方向の位置ズレ量、Ｙ軸方向の位置ズレ量、及びθ軸方向の向きズレ量を算出することで姿勢確認を行う。
【００５５】
各ズレ量の算出により電子部品Ｄの姿勢確認が終了すると、搬送テーブル１２は１ピッチ分回転し、姿勢確認がなされた電子部品Ｄを保持した吸着ノズル１３を、姿勢補正ユニット５が配置されている停止位置１４に位置させる。そして、この停止位置１４にて、電子部品ＤのＸ軸方向の位置ズレ量、Ｙ軸方向の位置ズレ量、及びθ軸方向の向きズレ量を示す情報を参照して、電子部品Ｄの姿勢補正処理を施す。
【００５６】
図５は、電子部品搬送装置１の姿勢補正工程を示すフローチャートである。図５に示すように、搬送テーブル１２による電子部品Ｄの姿勢補正ユニット５への水平搬送（ステップＳ０１）と並行して、姿勢補正ユニット５は、吸着ノズル１３の停止予定位置に向けてコレット５１を上昇させる（ステップＳ０２）。
【００５７】
電子部品Ｄを保持した吸着ノズル１３のコレット５１直上への移動と、コレット５１の上昇とが終了し、吸着ノズル１３とコレット５１とで電子部品Ｄを挟み込むと、コレット５１は負圧の発生により電子部品Ｄを吸着し、吸着ノズル１３は大気破壊により電子部品Ｄを離脱させる。これにより、電子部品Ｄが姿勢補正ユニット５に渡される（ステップＳ０３）。
【００５８】
コレット５１が電子部品Ｄを保持すると、姿勢補正ユニット５は、電子部品Ｄを吸着ノズル１３から待避させるようにコレット５１を下降させる（ステップＳ０４）。更に、姿勢補正ユニット５は、この下降と並行して、電子部品ＤのＸ軸方向の位置ズレ量、Ｙ軸方向の位置ズレ量、及びθ軸方向の向きズレ量を解消するように、コレット５１をＸＹ軸方向に移動させ、またコレット５１をＺ軸回りに回転させる（ステップＳ０５）。このコレット５１による下降とＸＹ軸移動及びθ軸回転の間、吸着ノズル１３は下降等することなく、停止位置１４で待機している。
【００５９】
更に、姿勢補正ユニット５は、電子部品Ｄの姿勢補正と並行して、コレット５１を吸着ノズル１３に向かって上昇させる（ステップＳ０６）。但し、上昇によりコレット５１と吸着ノズル１３で電子部品Ｄを挟み込むまでに、電子部品Ｄの姿勢補正は終了させる。
【００６０】
そして、コレット５１と吸着ノズル１３とで電子部品Ｄを再び挟み込み、コレット５１は大気破壊により電子部品Ｄを離脱させ、吸着ノズル１３は負圧の発生により電子部品Ｄを吸着する。これにより、電子部品Ｄが吸着ノズル１３へ戻る（ステップＳ０７）。
【００６１】
吸着ノズル１３による電子部品Ｄの再度の保持が終了すると、姿勢補正ユニット５は、電子部品Ｄをコレット５１から待避させるように、コレット５１を下降させる（ステップＳ０８）。更に、搬送テーブル１２は、コレット５１の下降と並行して、姿勢補正が終了した電子部品Ｄを次の停止位置１４へ搬送する（ステップＳ０９）。
【００６２】
次の停止位置１４には、例えば、電子部品Ｄの特性を検査するコンタクトユニットが配置されている。電子部品Ｄは、この停止位置１４において電気特性が検査され、次ピッチ以降の間欠搬送により、搬送経路１１の終点まで搬送される。搬送経路１１の終点には収容ユニット３が配置されている。収容ユニット３は、例えばテーピングユニットである。テーピングユニットは、ポケットがエンボス加工されたテープを間欠的に送ることにより、空のポケットを搬送テーブル１２の直下に移動させ、電子部品Ｄを収容する。
【００６３】
図６は、このような電子部品搬送装置１における電子部品Ｄの姿勢補正工程のタイミングチャートを示している。（ａ）は、比較例として従来の姿勢補正工程のタイミングチャートを示したものであり、（ｂ）は、以上のような動作例による姿勢補正工程のタイミングチャートを示している。
【００６４】
図６に示すように、従来と本実施形態の動作例とでは、姿勢補正工程の内容は同じであるが、本実施形態では、姿勢補正ユニット５がコレット５１を昇降させて電子部品Ｄを迎えにいく態様を採ることにより、吸着ノズル１３の停止位置１４への水平移動動作と、コレット５１と吸着ノズル１３による電子部品Ｄの挟み込み動作とをオーバーラップさせることができる。従来においては、吸着ノズル１３を進退駆動装置１５の真下に位置させなければ、吸着ノズル１３を押し下げることができないので、水平移動動作を終えてからでないと挟み込み動作を開始できない。
【００６５】
また、従来は、吸着ノズル１３の電子部品Ｄからの待避のための上昇を終えてから、電子部品Ｄの姿勢補正動作を実施する必要があった。しかし、本実施形態では、吸着ノズル１３の電子部品Ｄからの待避のためのコレット５１の下降動作と、電子部品Ｄの姿勢補正動作とをオーバーラップさせることができる。
【００６６】
更に、従来は、吸着ノズル１３の下降、コレット５１からの電子部品Ｄの受け取り、及び吸着ノズル１３の再上昇を終えてから、吸着ノズル１３の次の停止位置１４への水平移動動作を実施する必要があった。しかし、本実施形態では、コレット５１の上昇、コレット５１による電子部品Ｄの吸着ノズル１３への受け渡しの後、コレット５１の下降と、吸着ノズル１３の次の停止位置１４への水平移動動作とをオーバーラップさせることができる。
【００６７】
そのため、この本実施形態の動作例では、従来の姿勢補正動作に比べて、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル１３の姿勢補正ユニット５への移動開始から、姿勢補正を終えた電子部品Ｄの次の停止位置１４への移動までのタクトタイムを約３０％短縮することができる。
【００６８】
（姿勢補正例２）
このような電子部品搬送装置１において、まず、供給ユニット２配置されている停止位置１４に存在している吸着ノズル１３が、供給ユニット２から電子部品Ｄを受け取る。この電子部品Ｄの受け取りは、図７の（ａ）に示すように、１つ置きの吸着ノズル１３が担当する。すなわち、奇数番目の吸着ノズル１３は、供給ユニット２から電子部品Ｄを受け取り、偶数番目の吸着ノズル１３は、供給ユニット２から電子部品Ｄを受け取らない。
【００６９】
そして、図７の（ｂ）に示すように、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル１３が、姿勢補正ユニット５が配置されている停止位置１４に位置すると、この吸着ノズル１３は電子部品Ｄを姿勢補正ユニット５に引き渡して、姿勢補正された電子部品Ｄを受け取ることなく、搬送経路１１に沿って移動して姿勢補正ユニット５を離れる。
【００７０】
また、図７の（ｃ）に示すように、電子部品Ｄを保持していない吸着ノズル１３が、姿勢補正ユニット５が配置されている停止位置１４に停止すると、この吸着ノズル１３は、姿勢補正された電子部品Ｄを姿勢補正ユニット５から受け取った後、搬送経路１１に沿って移動して姿勢補正ユニット５を離れる。
【００７１】
図８は、このような電子部品搬送装置１における電子部品Ｄの姿勢補正工程のタイミングチャートを示している。図中、受渡（ａ）は、電子部品Ｄを保持して姿勢補正ユニット５の直上に移動した吸着ノズル１３の受け渡しタイミングを示し、受渡（ｂ）は、電子部品Ｄを保持していない吸着ノズル１３の姿勢補正工程のタイミングを示す。
【００７２】
図８に示すように、吸着ノズル１３は、電子部品Ｄをコレット５１と挟み込んで受け渡す時間だけ、姿勢補正ユニット５の直上に滞在していればいいので、姿勢補正ユニット５の直上での停止時間を最小限に短縮することができる。
【００７３】
（トルク制御例）
また、図９は、姿勢補正工程におけるボイスコイルモータ７のコイルボビン７１の移動動作を示す模式図である。図９に示すように、ボイスコイルモータ７のコイルボビン７１には、コレット５１の上昇中且つ電子部品Ｄへ未達の状況下において、圧縮バネ８の付勢力Ｆｒ１及び圧縮バネ５５ｃの付勢力Ｆｒ２の差（Ｆｒ１−Ｆｒ２）に抗して浮動板５５ｂとシャフト５５ａとコレット５１を持ち上げるのに必要な荷重がかかっている。一方、ボイスコイルモータ７は、このコイルボビン７１にかかる荷重と拮抗する対抗推力Ｆｏｐｐ（＝Ｆｒ１−Ｆｒ２）を発生させている。そのため、Ｆｏｐｐ＋Ｆｒ２＝Ｆｒ１となり、コイルボビン７１にかかる荷重は相殺されており、コイルボビン７１はボイスコイルモータ７に対して相対的に静止している。
【００７４】
換言すると、コイルボビン７１に更なる荷重（Ｆｄ）がかけられると、Ｆｏｐｐ＋Ｆｒ２＜Ｆｒ１＋Ｆｄとなり、コイルボビン７１は其の荷重（Ｆｄ）を吸収するように、ボイスコイルモータ７に対して埋入する方向に動く。そのため、電子部品Ｄにコレット５１が当接して以降、Ｚ軸移動機構５５がコレット５１を移動させるべく駆動している間、コイルボビン７１のストローク許容範囲内においては移動させようと予定している距離に誤差が生じていても、電子部品Ｄに過大な荷重を与えることはない。
【００７５】
そのため、図１０に示すように、Ｚ軸移動機構５５は、回転モータ６３の回転角度制御及び回転速度制御を電子部品Ｄの厚みに応じて高精度に設定変更する必要がなく、電子部品Ｄの厚みが変わろうとも、これら回転角度及び回転速度を電子部品Ｄの厚みに依らず一律とすることができる。
【００７６】
（効果）
以上のように、本実施形態に係る姿勢補正ユニット５は、電子部品Ｄが載置されるステージたるコレット５１を、保持手段たる吸着ノズル１３に向けたＺ方向に移動させることで、吸着ノズル１３に保持されている前記電子部品Ｄを迎えに行って、該吸着ノズル１３から電子部品Ｄを受け取る。そして、コレット５１をＺ軸と直交するＸＹ軸方向に移動させ、またＺ軸回りに回転させるようにして、電子部品Ｄの姿勢を補正するようにした。
【００７７】
これにより、吸着ノズル１３の必須動作が搬送経路１１上の水平移動及びコレット５１との電子部品Ｄの受け渡しに削減される。すなわち、吸着ノズル１３の必須動作から搬送経路１１から離脱する昇降移動を排除することができる。そのため、吸着ノズル１３の動作の自由度が増し、結果として様々な搬送速度の向上措置を採ることができ、電子部品Ｄの生産性向上を図ることができる。
【００７８】
例えば、電子部品搬送装置１において、Ｚ軸移動機構５５は、搬送経路１１に沿った吸着ノズル１３の移動とオーバーラップして、コレット５１を吸着ノズル１３が停止予定の位置に向けて移動させる。更に、Ｚ軸移動機構５５、Ｘ軸移動機構５３、Ｙ軸移動機構５４、及びθ軸回転機構５６は、コレット５１と吸着ノズル１３で電子部品Ｄを挟み込んだ後、コレット５１の下降とオーバーラップして、コレット５１をＸＹ方向へ移動させ、またθ軸回転させる。更に、吸着ノズル１３は、再度上昇してきたコレット５１とともに、ＸＹ方向への移動及びθ軸回転を終えた電子部品Ｄを挟み込んだ後、コレット５１の下降とオーバーラップして、搬送経路１１に沿った移動を開始するようにした。これにより、姿勢補正処理の工程内容の幾つかをオーバーラップさせて並行して実施でき、姿勢補正処理の所要時間を短縮し、電子部品Ｄの生産性向上を図ることができる。
【００７９】
また、例えば、電子部品搬送装置１において、吸着ノズル１３は、１つ置きに電子部品Ｄを保持する。そして、電子部品Ｄを保持しながら姿勢補正ユニット５へ向けて移動した吸着ノズル１３は、上昇してきたコレット５１に電子部品Ｄを渡して、電子部品Ｄを受け取ることなく、次の停止位置１４への移動を再開する。また、電子部品Ｄを保持せずに姿勢補正ユニット５へ向けて移動した吸着ノズル１３は、電子部品Ｄを渡しにきたコレット５１から電子部品Ｄを受け取ってから、次の停止位置１４への移動を再開する。これにより、吸着ノズル１３の停止位置１４での停止時間を最小限に抑えることができる。
【００８０】
尚、これら姿勢補正処理における工程処理内容のオーバーラップ化と停止位置滞在時間の短縮化とを併用することで、一層の生産性向上を図ることもできる。
【００８１】
また、Ｚ軸移動機構５５は、Ｚ軸方向に延びて吸着ノズル１３を支持するコイルボビン７１と、コイルボビン７１に推力を与えるボイスコイルモータ７と、ボイスコイルモータ７を搭載した支持フレーム５５ｄを介してコレット５１を移動させる回転モータ６３とを備える。そして、ボイスコイルモータ７は、コレット５１が電子部品Ｄに未達の状況下でコイルボビン７１にかかる荷重に拮抗する対抗推力を与えるようにした。これにより、コレット５１のＺ軸移動を高精度に制御しなくとも電子部品Ｄに対する悪影響を低減でき、Ｚ軸移動の速度向上を達成でき、電子部品Ｄの生産性が向上する。
【００８２】
また、Ｚ軸移動機構５５は、厚みの異なる電子部品Ｄに対して回転モータ６３の回転速度及び回転角度を一律に設定するようにした。これにより、工程処理を施す電子部品Ｄの品種が変更されても電子部品搬送装置１の設定変更作業に要する時間を低減でき、電子部品Ｄの生産性が向上する。特に、多品種の電子部品Ｄを小ロットで切り換えて工程処理する場合には飛躍的な生産性向上をもたらす。
【００８３】
（第２の実施形態）
次に、姿勢補正ユニット５の搭載例として電子部品移載装置を説明する。この電子部品移載装置において、第１の実施形態に係る電子部品搬送装置１と同一の構成及び機能については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【００８４】
（電子部品移載装置）
図１１に示すように、電子部品移載装置１０は、一方の収容体から電子部品Ｄを取り出し、姿勢補正を経た後、他方の収容体Ｄに搭載する。収容体は、例えば、ウェハシート、リードフレーム、有機系基板、無機系基板、粘着性のトレイ、基板、パーツフィーダ、或いはポケットが形成されたテープ、トレイ、分類ビン等の梱包容器である。本実施形態では、ウェアシートから電子部品Ｄを取り出して、搬送経路１１上を移動させ、搬送経路１１上に設置された姿勢補正ユニット５によって電子部品Ｄの姿勢を正してから、トレイに移し換える。
【００８５】
この電子部品移載装置１０は、設置面に対して垂直な回転面を有するロータリーテーブル１６を備えている。このロータリーテーブル１６の外周が搬送経路１１であり、ロータリーテーブル１６は、間欠回転により電子部品Ｄを外周に沿って搬送する。すなわち、このロータリーテーブル１６は、電子部品Ｄを先端で保持及び離脱させる複数の吸着ノズル１３を備えている。この吸着ノズル１３は、同一円周上に円周等配位置で設置され、その円周中心からの半径方向に沿って延びている。吸着ノズル１３は、先端を外方に向けて配置されている。ロータリーテーブル１６は、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル１３を、その円周中心を通って該半径方向と直交する軸を回転中心として所定角度ずつ回転させる。
【００８６】
また、ロータリーテーブル１６には、吸着ノズル１３をテーブル半径方向外方へ向けて進退させる進退駆動装置１５を備えている（不図示）。進退駆動装置１５の設置箇所は、電子部品Ｄが取り出される収容体を支持する供給ユニット２が設置されている停止位置１４、及び電子部品Ｄが収容される収容ユニット３が設置されている停止位置１４である。ウェアシートを支持する供給ユニット２は、例えばリングホルダであり、ロータリーテーブル１６の真横に設置される。トレイを支持する収容ユニット３は、例えばＸＹステージ装置であり、ロータリーテーブル１６の真下に設置される。
【００８７】
更に、姿勢補正ユニット５は、ロータリーテーブル１６の頂点に設置され、頂点に停止する吸着ノズル１３先端に向くように、コレット５１を下方に配置している。この姿勢補正ユニット５もＸ軸移動機構５３、Ｙ軸移動機構５４、Ｚ軸移動機構５５、及びθ軸回転機構５６を備え、またＺ軸移動機構５５にはボイスコイルモータ７も備えられている。すなわち、この姿勢補正ユニット５もコレット５１を吸着ノズル１３に向けて電子部品Ｄを迎えに行くように移動させ、ボイスコイルモータ７による過大な荷重の吸収を行い、電子部品Ｄの厚みに依らずに回転モータ６３を一律の回転速度及び回転角度で駆動させる。
【００８８】
（作用）
（姿勢補正例）
このような電子部品移載装置１０において、まず、供給ユニット２に配置されている停止位置１４に存在している吸着ノズル１３が、供給ユニット２から電子部品Ｄを受け取る。具体例としては、供給ユニット２は、リングホルダである。リングホルダは、ウェハシートが縦置きにして支持し、ウェハシートの平面に沿ってウェハシートを移動させることで、ピックアップ対象の電子部品Ｄを吸着ノズル１３に向き合わせる。そして、吸着ノズル１３の進退駆動装置１５による進出と、リングホルダが備える突き上げピンによる電子部品Ｄの突き上げにより、電子部品Ｄを吸着ノズル１３と突き上げピンとで挟み込み、吸着ノズル１３で電子部品Ｄを吸着する。
【００８９】
進退駆動装置１５により吸着ノズル１３をテーブル半径方向中心側に戻し、ロータリーテーブル１６を所定角度ずつ間欠回転させ、電子部品Ｄを搬送経路１１に沿って移動させる。電子部品Ｄを保持した吸着ノズル１３が頂点で停止すると、姿勢補正ユニット５により電子部品Ｄの姿勢補正処理を施す。
【００９０】
姿勢補正処理では、図１２に示すように、ロータリーテーブル１６による電子部品Ｄの姿勢補正ユニット５への回転搬送（ステップＳ１１）と並行して、姿勢補正ユニット５は、吸着ノズル１３の停止予定位置に向けてコレット５１を下降させる（ステップＳ１２）。電子部品Ｄを保持した吸着ノズル１３のコレット５１直下への移動と、コレット５１の下降とが終了し、吸着ノズル１３とコレット５１とで電子部品Ｄを挟み込むと、コレット５１は負圧の発生により電子部品Ｄを吸着し、吸着ノズル１３は大気破壊により電子部品Ｄを離脱させる。これにより、電子部品Ｄが姿勢補正ユニット５に渡される（ステップＳ１３）。
【００９１】
コレット５１が電子部品Ｄを保持すると、姿勢補正ユニット５は、電子部品Ｄを吸着ノズル１３から待避させるようにコレット５１を上昇させる（ステップＳ１４）。更に、姿勢補正ユニット５は、この上昇と並行して、電子部品ＤのＸ軸方向の位置ズレ量、Ｙ軸方向の位置ズレ量、及びθ軸方向の向きズレ量を解消するように、コレット５１をＸＹ軸方向に移動させ、またコレット５１を軸回りに回転させる（ステップＳ１５）。このコレット５１による下降とＸＹ軸移動及びθ軸回転の間、吸着ノズル１３は進出等することなく、停止位置１４で待機している。
【００９２】
更に、姿勢補正ユニット５は、電子部品Ｄの姿勢補正と並行して、再びコレット５１を吸着ノズル１３に向かって下降させる（ステップＳ１６）。この下降タイミングは、コレット５１と吸着ノズル１３とで電子部品Ｄを再び挟み込むまでに、電子部品Ｄの姿勢補正が終了しているタイミングである。
【００９３】
コレット５１と吸着ノズル１３とで電子部品Ｄを再び挟み込むと、コレット５１は大気破壊により電子部品Ｄを離脱させ、吸着ノズル１３は負圧の発生により電子部品Ｄを吸着する。これにより、電子部品Ｄが吸着ノズル１３へ戻る（ステップＳ１７）。
【００９４】
吸着ノズル１３による電子部品Ｄの再度の保持が終了すると、姿勢補正ユニット５は、電子部品Ｄをコレット５１から待避させるように、コレット５１を上昇させる（ステップＳ１８）。更に、ロータリーテーブル１６は、コレット５１の上昇と並行して、姿勢補正が終了した電子部品Ｄを順次各停止位置１４へ搬送する（ステップＳ１９）。
【００９５】
ロータリーテーブル１６の真下に位置するＸＹステージ装置は、真下に停止する吸着ノズル１３の開口一端と向かい合わせに平坦なステージを備え、このステージを水平移動させることで、電子部品Ｄを載置予定の空領域を吸着ノズル１３の真下に位置させる。そして、吸着ノズル１３は、進退駆動装置１５によりＸＹステージ装置に向けて下降し、空領域に電子部品Ｄを載置する。
【００９６】
（効果）
以上のように、この電子部品移載装置１０についても、吸着ノズル１３の必須動作が搬送経路１１上の水平移動及びコレット５１との電子部品Ｄの受け渡しに削減される。すなわち、吸着ノズル１３の必須動作から搬送経路１１から離脱する外方への進退移動を排除することができる。そのため、吸着ノズル１３の動作の自由度が増し、電子部品Ｄの移動動作以外に動作の選択の幅が拡がるから、結果として様々な搬送速度の向上措置を採ることができ、電子部品Ｄの生産性向上を図ることができる。
【００９７】
また、姿勢補正処理の工程内容の幾つかをオーバーラップさせて並行して実施でき、姿勢補正処理の所要時間を短縮し、電子部品Ｄの生産性向上を図ることができる。また、吸着ノズル１３の停止位置１４での停止時間を最小限に抑えることもできる。両者を併用することで更なる生産性向上を図ることもできる。
【００９８】
また、ボイスコイルモータ７は、コレット５１が電子部品Ｄに未達の状況下でコイルボビン７１にかかる荷重に拮抗する対抗推力を与えるようにすれば、コレット５１のＺ軸移動を高精度に制御しなくとも電子部品Ｄに対する悪影響を低減でき、Ｚ軸移動の速度向上を達成でき、電子部品Ｄの生産性が向上する。
【００９９】
更に、Ｚ軸移動機構５５は、厚みの異なる電子部品Ｄに対して回転モータ６３の回転速度及び回転角度を一律に設定するようにすれば、工程処理を施す電子部品Ｄの品種が変更されても電子部品搬送装置１の設定変更作業に要する時間を低減でき、電子部品Ｄの生産性が向上する。特に、多品種の電子部品Ｄを小ロットで切り換えて工程処理する場合には飛躍的な生産性向上をもたらす。
【０１００】
（その他の実施形態）
以上のように本発明の実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【０１０１】
例えば、本実施形態では、保持手段として吸着ノズル１３を例に採り説明したが、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品Ｄを機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。搬送経路１１は、直線搬送方式により形成してもよく、また複数の搬送テーブル１２やロータリーテーブル１６で一の搬送経路１１を構成するようにしてもよい。また、各種の工程処理ユニットＵを配置することができ、配置順序も適宜変更可能である。姿勢補正ユニット５が備えるステージは、コレット５１に限られず、吸着用の開口穴が形成された平板でもよい。
【符号の説明】
【０１０２】
１  電子部品搬送装置
１０  電子部品移載装置
１１  搬送経路
１２  搬送テーブル
１２ａ  モータ
１３  吸着ノズル
１４  停止位置
１５  進退駆動装置
１５ａ  ロッド
１５ｂ  バネ
１６  ロータリーテーブル
２  供給ユニット
３  収容ユニット
４  姿勢確認ユニット
５  姿勢補正ユニット
５１  コレット
５２  架台
５３  Ｘ軸移動機構
５４  Ｙ軸移動機構
５５  Ｚ軸移動機構
５５ａ  シャフト
５５ｂ  浮動板
５５ｃ  圧縮バネ
５５ｄ  支持フレーム
５５ｅ  レール
５５ｆ  スライダ
５５ｇ  アーム
５６  θ軸回転機構
５７  ベース
６  カム機構
６１  カムフォロア
６２  円筒カム
６２ａ  膨出部分
６３  回転モータ
７  ボイスコイルモータ
７１  コイルボビン
８  圧縮バネ
Ｄ  電子部品
Ｕ  工程処理ユニット
Ｆｏｐｐ  対抗推力
Ｆｒ１、Ｆｒ２  付勢力
Ｆｄ  荷重
【要約】
電子部品の姿勢補正において保持手段の動作の自由度を向上させることができる姿勢補正の手法を提供する。姿勢補正装置は、電子部品Ｄが載置されるコレット５１と、吸着ノズル１３に向けたＺ軸方向にコレット５１を移動させるＺ軸移動機構５５と、コレット５１をＺ軸と直交するＸＹの二軸方向に移動させるＸ軸移動機構５３、Ｙ軸移動機構５４と、コレット５１をＺ軸回りに回転させるθ軸回転機構５６と、を備える。そして、搬送経路１１上の吸着ノズル１３へ電子部品Ｄを迎えに行って当該電子部品Ｄを受け取り、電子部品Ｄの姿勢を補正する。【図８】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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