(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
極性の異なる一対の励振電極が表面及び裏面に形成される圧電振動板と、該圧電振動板の少なくとも一側面から外方向に延び、前記励振電極と電気的に導通する配線電極が形成された支持アームとを備えた圧電振動子において、
前記圧電振動板の側面には、圧電振動板の表面及び裏面に形成されている励振電極と導通する側面配線電極が形成され、
この側面配線電極が前記支持アームの全外周面に形成されている前記配線電極と電気的に接続されていることを特徴とする圧電振動子。
【請求項２】
極性の異なる一対の励振電極が表面及び裏面に形成される圧電振動板と、該圧電振動板の一側面から外方向に延び、前記それぞれの励振電極と電気的に導通する配線電極が設けられる一の支持アームとを備えた圧電振動子において、
前記圧電振動板の側面には、圧電振動板の表面及び裏面に形成されている励振電極と導通する側面配線電極が形成され、
前記支持アームには、前記圧電振動板に向けて延びる絶縁領域が設けられ、この絶縁領域を挟んだ左右方向に前記一対の励振電極のそれぞれに導通する第１配線電極及び第２配線電極が形成され、
前記圧電振動板の側面配線電極が前記支持アームの絶縁領域を除く上下面及び側面の全外周面に形成されている前記第１配線電極及び第２配線電極と電気的に接続されていることを特徴とする圧電振動子。
【請求項３】
極性の異なる一対の励振電極が表面及び裏面に形成される圧電振動板と、該圧電振動板の対向する両側面からそれぞれ外方向に延び、前記励振電極と電気的に導通する配線電極がそれぞれ形成された一対の支持アームとを備えた圧電振動子において、
前記圧電振動板の側面には、圧電振動板の表面及び裏面に形成されている励振電極と導通する側面配線電極が形成され、
前記各支持アームには、対応する極性の励振電極に導通する配線電極が上下面及び側面の全外周面に形成され、
前記圧電振動板の側面配線電極が前記支持アームの全外周面に形成されている前記配線電極と電気的に接続されていることを特徴とする圧電振動子。
【請求項４】
前記配線電極は、前記支持アームの外周面に沿って、導電性金属薄膜を被膜して形成される請求項１乃至３のいずれかに記載の圧電振動子。
【請求項５】
前記支持アームが上下面と四方向の側面とを有する断面四角形状からなり、この支持アームの上下面及び四方向の側面の全ての面に前記配線電極が形成されている請求項１乃至３のいずれかに記載の圧電振動子。
【請求項６】
前記圧電振動板が、幅縦・長さ縦結合モードの輪郭振動を伴う四角形状である請求項１乃至３のいずれかに記載の圧電振動子。
【請求項７】
前記支持アームが、圧電振動板の側面の略中央部から外方向に延びている請求項１乃至３のいずれかに記載の圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、励振電極が形成された圧電振動板と、この圧電振動板から延びる支持アームとを備えた圧電振動子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電振動子は、少なくとも一対の励振電極を有する圧電振動板及びこの圧電振動板から延び、その一端がパッケージ内の電極端子に支持される支持アームとを有して構成されている。前記支持アームが圧電振動板から複数延びる場合は、それぞれの支持アーム同志が繋がり、圧電振動板の周囲を囲うようにして設けられる共通のフレーム板を備えて構成される場合がある（特許文献１参照）。
【０００３】
通常、圧電振動子は、セラミックや樹脂などのパッケージ内に備える外部端子に前記支持アームの一端を導電性接着剤などで固定させている。また、前記外部端子と圧電振動板に形成されている励振電極とを電気的に接続させるため、支持アームやフレーム板に配線電極をパターン形成する必要がある。
【０００４】
前記圧電振動板に複数の振動領域を有して構成される場合は、同極の励振電極同志を効率よく繋ぎ、異極の励振電極とショートしないようにして、圧電振動板、支持アームに配線電極を形成する必要がある。前記配線電極は、通常、導電性金属膜によるフォトリソ加工を経て形成するため、主に圧電振動板や支持アームの上面又は下面に形成され、側面には形成しないか、上面と下面との間を繋ぐ部分に限定して形成することが一般的に行われている。このように、ショート等による危険性が高くなる圧電振動板、支持アームあるいはフレーム板の側面に配線電極をあえて形成することはなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１−１２６００９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
輪郭振動を利用した圧電振動子の場合、従来は１．０〜３．５ＭＨｚ程度の比較的低い周波数で実施された例が多い。そこで、共振周波数を４ＭＨｚにしようとすると、圧電振動板が非常に小さくなり、例えば、共振周波数１０ＭＨｚの基本波の場合には、圧電振動板の一辺の長さは５００μｍ以下となる。このようなサイズの圧電振動子にあっては、振動エネルギーそのものが小さくなると共に、圧電振動板の振動を阻害し、等価直列抵抗（Ｒ１）が増大する傾向がある。このため、満足な電気的特性を得るためには、支持アームやフレーム板の寸法を小さくする必要がある。
【０００７】
このような小型の圧電振動子の電気的特性を満足させる手段としては、支持アームやフレーム板を長く、細く又薄くして構成する場合がある。しかしながら、前記支持アームやフレーム板の寸法を小さくした上で、上面と下面だけで配線電極を構成すると、これらの電極幅が細くなり、結果として、配線電極にかかる電気抵抗が増大し、圧電振動子の振動特性に悪影響を及ぼすといった問題があった。
【０００８】
特に、蒸着、スパッタリングなどの導電性薄膜形成工程を経て形成される配線電極の電気抵抗率は、同一材質におけるバルク状態の電気抵抗率よりも著しく大きな値を持つが、一般的にその膜厚が０．８μｍ以下となると、電気抵抗率に影響を及ぼすことが知られている。このため、圧電振動子の励振電極や配線電極を０．８μｍ以下とし、従来から行われている上面や下面だけの電極構成であると、圧電振動子デバイスとして形成した際、十分満足するような電気的特性（等価直列抵抗）が得られないといった問題があった。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、励振電極を備えた圧電振動板を支持するための支持アームやフレーム板に設けられる配線電極の形成面積を最大限に広くすることによって、励振電極における電気抵抗及び等価直列抵抗値を低減させ、これによって振動効率の向上を図ることのできる圧電振動子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明の圧電振動子は、極性の異なる一対の励振電極が表面及び裏面に形成される圧電振動板と、該圧電振動板の少なくとも一側面から外方向に延び、前記励振電極と電気的に導通する配線電極が形成された支持アームとを備えた圧電振動子において、前記圧電振動板の側面には、圧電振動板の表面及び裏面に形成されている励振電極と導通する側面配線電極が形成され、この側面配線電極が前記支持アームの全外周面に形成されている前記配線電極と電気的に接続されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の圧電振動子によれば、圧電振動板の表面及び裏面に形成された励振電極が圧電振動板の側面に形成された側面配線電極と導通し、この側面配線電極が支持アームの全外周面に形成されている配線電極と電気的に接続されているので、電気抵抗を低減した状態で圧電振動板に形成されている励振電極と電気的に接続させることができる。これによって、励振電極における等価直列抵抗値を低減させ、振動効率の向上を図ることができる。
【００１２】
また、前記配線電極が支持アームの全外周面に沿って形成されているため、断線が生じにくくなり、圧電振動子の電気的な耐久性を向上する効果も得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１実施形態の圧電振動子の斜視図である。
【図２】上記圧電振動子の各部の断面図である。
【図３】第２実施形態の圧電振動子（表面）の平面図である。
【図４】第２実施形態の圧電振動子（裏面）の平面図である。
【図５】第３実施形態の圧電振動子（表面及び裏面）の平面図である。
【図６】第４実施形態の圧電振動子（表面）の平面図である。
【図７】第４実施形態の圧電振動子（裏面）の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１及び図２に本発明における第１実施形態の圧電振動子１１の全体形状及び各部の断面形状を示す。圧電振動子１１は、幅縦・長さ縦結合モードの輪郭振動を伴う四角形状の圧電振動板１２と、この圧電振動板１２の一端を支持する支持アーム１３とを備えて構成されている。前記圧電振動子１１は、パッケージ２７内に設けられている端子電極２８，２９上に前記支持アーム１３の端部を導通接続することによって、圧電振動板１２を浮かせた状態で収容される。
【００１５】
前記圧電振動板１２及び支持アーム１３は、機械軸（Ｙ軸）に垂直となるＹ板水晶を電気軸（Ｘ軸）を回転軸として角度θx＝＋４０°〜＋６０°回転し、更に、前記Ｘ軸の回転後の新軸（Ｙ´軸）を回転軸として、角度θy＝４０°〜５０°回転した上下面及び四方向の側面を有する薄板状の水晶基板１４を所定の形状に加工して形成されている。また、前記Ｙ軸の回転後の新軸であるＹ´軸に垂直な面となる圧電振動板１２の上面及び下面には極性の異なる少なくとも一対の励振電極が対向して配置されている。
【００１６】
前記圧電振動板１２は、水晶基板１４の上面１４ａに第１励振電極１７、下面１４ｂに第２励振電極１８が形成され、それぞれの励振電極に対して逆位相の電圧をパッケージ２７に設けられている一対の端子電極２８，２９から支持アーム１３を介して印加することで、圧電振動板１２の外周辺が撓み変形して幅縦・長さ縦結合モードの振動が生じる。
【００１７】
幅縦・長さ縦結合モードは、通常、長さ縦モードの方を調整して、幅縦モードを結合させることにより、温度特性などの良好な振動子特性を得る。前記支持アーム１３は、長さ縦モードの錘として機能すると共に、バネ性を有しているため、振動を抑制することで周波数を調整する役割を備えている。
【００１８】
前記支持アーム１３は、圧電振動板１２で発生した振動を外部に漏らさないように緩衝すると共に、等価直列抵抗値の増加を抑えるために、強度や安定性に影響を及ぼさない範囲で面積を小さくして形成するのが好ましい。このため、本実施形態では、前記支持アーム１３が圧電振動板１２の一側面のみを支持する構成となっている。
【００１９】
図１に示したように、前記支持アーム１３は、圧電振動板１２の一側面の略中央部から延びる支持本体部１５と、この支持本体部１５の先端に設けられ、パッケージ２７内の端子電極２８，２９にハンダ接合される幅広の支持電極部１６とによって形成されている。前記支持本体部１５及び支持電極部１６には、前記第１励振電極１７に導通接続される第１配線電極２１と、前記第２励振電極１８に導通接続される第２配線電極２２が形成される。この第１配線電極２１と第２配線電極２２は、図２に示すように、支持本体部１５及び支持電極部１６を構成する水晶基板１４の上面１４ａ及び下面１４ｂの中央部を圧電振動板１２に向けて延びる方向と、支持電極部１６の側面１４ｅに回り込む方向とでコ字状に露出する絶縁部１９を隔てて形成される。絶縁部１９は、水晶基板１４を露出したもので、前記第１配線電極２１と第２配線電極２２をエッチングする際に形成される。
【００２０】
前記第１励振電極１７及び第２励振電極１８は、図２の（Ｃ−Ｃ），（Ｄ−Ｄ），（Ｅ−Ｅ）断面図に示すように、圧電振動板１２の支持本体部１５が繋がる側面を介してそれぞれ圧電振動板１２における水晶基板１４の上面１４ａと下面１４ｂに平面形成される。なお、前記第１励振電極１７と第２励振電極１８とがショートしないように、前記支持本体部１５が繋がる側面を除いた圧電振動板１２の上面１４ａ及び下面１４ｂの３方向の外周縁部に水晶基板１４が露出した絶縁領域が設けられる。
【００２１】
前記第１配線電極２１及び第２配線電極２２は、図２の（Ａ−Ａ），（Ｂ−Ｂ）断面図に示すように、支持本体部１５が繋がる圧電振動板１２の側面から絶縁部１９を除く支持本体部１５及び支持電極部１６を二分するようにして、水晶基板１４の上面１４ａ、下面１４ｂ及び左右の側面１４ｃ，１４ｄを導電性金属膜で被覆される。
【００２２】
本実施形態による圧電振動子１１にあっては、前記第１励振電極１７及び第２励振電極１８に対応する第１配線電極２１及び第２配線電極２２がショートしないように、共通の１本の支持アーム１３に絶縁部１９を隔てて形成されているので、最小の支持構造でありながら、効率よく圧電振動板１２を励振させることができる。
【００２３】
また、前記絶縁部１９を介して電気的に二分された支持本体部１５及び支持電極部１６の上面１４ａ、下面１４ｂ及び左右の側面１４ｃ，１４ｄと、支持電極部１６の基端側の側面１４ｅが導電性金属膜による第１配線電極２１及び第２配線電極２２で全面が被覆形成されている。これによって、前記第１励振電極１７及び第２励振電極１８に接続するための電気抵抗が低減して電流の流れがスムーズになると共に、等価直列抵抗値も低減するので、圧電振動板１２における励振効率の向上効果が得られる。
【００２４】
図３及び図４は、本発明の第２実施形態の圧電振動子３１を示したものである。図３は上面（表面）側の平面形状で、図４は図３をミラー対称とした下面（裏面）側の平面形状を示す。この圧電振動子３１は、表面及び裏面にそれぞれ３つの振動領域が設定される長方形状の圧電振動板３２と、この圧電振動板３２を支持するために、この圧電振動板３２の一側面から外方向に延びる支持アーム３３とを備えて構成されている。前記振動領域には、極性の異なる第１励振電極３７と第２励振電極３８が交互に配置される。前記支持アーム３３は、圧電振動板３２の一側面から延びる支持本体部３５と、この支持本体部３５の先端に設けられる支持電極部３６とを有して構成される。また、前記支持本体部３５と支持電極部３６となる水晶基板３４の上面３４ａ、下面３４ｂ及び側面３４ｃ，３４ｄには、中央部に延びる絶縁部３９を隔てて、極性の異なる第１配線電極４１及び第２配線電極４２が全面に形成される。
【００２５】
前記第１配線電極４１は、圧電振動板３２における水晶基板３４の上面３４ａの中央部に位置する振動領域をカバーする励振電極部３７ａに電気的に接続され（図３）、支持本体部３５と繋がる圧電振動板３２の側面を介して圧電振動板３２の下面３４ｂの上部振動領域をカバーする励振電極部３７ｂに電気的に接続される（図４）。なお、前記圧電振動板３２の下面３４ｂの下部振動領域をカバーする励振電極部３７ｃは、前記励振電極部３７ａから支持アーム３３と反対側の圧電振動板３２の側面を経て下面３４ｂに繋がる第１側面配線電極４３によって電気的接続が図られる。
【００２６】
また、前記第２配線電極４２は、圧電振動板３２における水晶基板３４の下面３４ｂの中央部に位置する振動領域をカバーする励振電極３８ａに電気的に接続され（図４）、支持アーム体部３５と繋がる圧電振動板３２の側面を介して圧電振動板３２の上面３４ａの下部振動領域をカバーする励振電極部３８ｂに電気的に接続される（図３）。なお、前記圧電振動板３２の上面３４ａの上部振動領域をカバーする励振電極部３８ｃは、前記励振電極部３８ａから支持アーム３３と反対側の圧電振動板３２の側面を経て上面３４ａに繋がる第２側面配線電極４４によって電気的接続が図られる。
【００２７】
前記圧電振動板３２における水晶基板３４の上面３４ａと下面３４ｂに形成される第１励振電極３７及び第２励振電極３８は、各振動領域の略全面に形成されるが、極性の異なる励振電極同志がショートしないような最小幅を有して水晶基板３４が露出する絶縁領域が設けられる。また、前記圧電振動板３２の上辺及び下辺の内側にも水晶基板３４が露出する絶縁領域を設けることによって、第１励振電極３７と第２励振電極３８とのショートを防止している。
【００２８】
図５は、本発明の第３実施形態の圧電振動子５１を示したものである。ここで、（ａ）は上面（表面）側の平面形状で、（ｂ）は（ａ）をミラー対称とした下面（裏面）側の平面形状を示す。この圧電振動子５１は、四角形状の圧電振動板５２と、この圧電振動板５２の外周部の２カ所を支持する一対の支持アーム５３とを備えて構成されている。前記圧電振動板５２には、水晶基板５４の上面５４ａと下面５４ｂの略全面に振動領域を有し、それぞれの振動領域に極性の異なる第１励振電極５７及び第２励振電極５８が形成される。前記一対の支持アーム５３は、前記圧電振動板５２の対向する側面からそれぞれコ字状に延びる一対の支持本体部５５ａ，５５ｂと、この一対の支持本体部５５ａ，５５ｂの先端同志を繋ぐフレーム板５６とを有して構成されている。前記フレーム板５６は、前記一対の支持本体部５５ａ，５５ｂの端部が安定するように保持するために設けられる。なお、この実施形態の圧電振動子５１は、図５（ｂ）に示したように、前記フレーム板５６の両端部に繋がる一対の支持本体部５５ａ，５５ｂの一部が図１に示したようなパッケージ内に設けられる端子電極に導通接続するための電極パッド部６３，６４となっている。
【００２９】
前記一対の支持本体部５５ａ，５５ｂは、断面図で示すように、水晶基板５４の上面５４ａ、下面５４ｂ及び左右側面５４ｃ，５４ｄの全ての外周面を導電性金属膜によって被覆され、一方の支持本体部５５ａには第１配線電極６１が形成され、他方の支持本体部５５ｂには第２配線電極６２が形成される。前記第１配線電極６１と第２配線電極６２は、それぞれ一対の支持本体部５５ａ，５５ｂと繋がる圧電振動板５２における水晶基板５４の側面５４ｃ，５４ｄを介して上面５４ａ及び下面５４ｂに形成されている第１励振電極５７及び第２励振電極５８に電気的に接続される。
【００３０】
この実施形態では、圧電振動板５２が、この圧電振動板５２の対向する両側面から延びる支持アーム５３によって支持されているので、パッケージ内の端子電極に安定して実装することができると共に、落下等による外部からの衝撃に対する耐久性も向上させることができる。また、第１及び第２励振電極５７，５８に導通接続される第１及び第２配線電極６１，６２がそれぞれの支持本体部５５ａ，５５ｂの全ての外周面を被覆して形成されているので、電気抵抗の低減による導電性の向上効果と、等価直列抵抗の大幅な低減効果を得ることができる。
【００３１】
図６及び図７は、本発明の第４実施形態の圧電振動子７１を示したものである。図６は上面（表面）側の平面形状で、図７は図６をミラー対称とした下面（裏面）側の平面形状を示す。この圧電振動子７１は、表面及び裏面にそれぞれ３つの振動領域が設定される長方形状の圧電振動板７２と、この圧電振動板７２を支持するために、圧電振動板７２の長手方向に対向する両側面からそれぞれ外方向に延びる一対の支持アーム７３とを備えて構成されている。前記圧電振動板７２の振動領域には、極性の異なる第１励振電極７７と第２励振電極７８が交互に配置される。前記一対の支持アーム７３は、前記圧電振動板７２の長手方向に対向する両側面から屈曲しながらコ字状に延びる一対の支持本体部７５ａ，７５ｂと、この一対の支持本体部７５ａ，７５ｂの先端同志を繋ぐフレーム板７６とを有して構成されている。前記フレーム板７６は、前記一対の支持本体部７５ａ，７５ｂの端部が安定するように保持するために設けられる。なお、この実施形態の圧電振動子７１は、図７に示したように、前記フレーム板７６の両端部に繋がる一対の支持本体部７５ａ，７５ｂの一部が図１に示したようなパッケージ内に設けられる端子電極に導通接続するための電極パッド部８５，８６となっている。
【００３２】
前記一対の支持本体部７５ａ，７５ｂは、断面図で示すように、水晶基板７４の上面７４ａ、下面７４ｂ及び左右側面７４ｃ，７４ｄの全ての外周面を導電性金属膜によって被覆され、一方の支持本体部７５ａには第１配線電極８１が形成され、他方の支持本体部７５ｂには第２配線電極８２が形成される。前記第１配線電極８１と第２配線電極８２は、それぞれ一対の支持本体部７５ａ，７５ｂと繋がる圧電振動板７２の側面を介して上面７４ａ及び下面７４ｂに形成されている第１励振電極７７及び第２励振電極７８に電気的に接続される。
【００３３】
前記第１配線電極８１は、圧電振動板７２における水晶基板７４の上面７４ａの中央部に位置する振動領域をカバーする励振電極部７７ａに電気的に接続され（図６）、支持本体部７５ａと繋がる圧電振動板７２の側面に回り込む第１側面配線電極８３を介して圧電振動板７２の下面７４ｂの上部及び下部の振動領域をカバーする励振電極部７７ｂ，７７ｃに電気的に接続される（図７）。
【００３４】
また、前記第２配線電極８２は、圧電振動板７２における水晶基板７４の下面７４ｂの中央部に位置する振動領域をカバーする励振電極７８ａに電気的に接続され（図７）、支持アーム体部７５ｂと繋がる圧電振動板７２の側面に回り込む第２側面配線電極８４を介して圧電振動板７２の上面７４ａの上部及び下部の振動領域をカバーする励振電極部７８ｂ，７８ｃに電気的に接続される（図６）。
【００３５】
この実施形態では、圧電振動板７２が、この圧電振動板７２両側面から延びる支持アーム７３によって支持されているので、パッケージ内の端子電極に安定して実装することができると共に、落下等による外部からの衝撃に対する耐久性も向上させることができる。また、第１及び第２励振電極７７，７８に導通接続される第１及び第２配線電極８１，８２がそれぞれの支持本体部７５ａ，７５ｂの上下面及び左右側面の全ての外周面を被覆して形成されているので、電気抵抗の低減による導電性の向上効果と、等価直列抵抗の大幅な低減効果が得られる。さらに、支持本体部７５ａ，７５ｂの圧電振動板７２に繋がる部分が蛇腹状の屈曲部８７，８８を有して形成されているので、圧電振動板７２による撓み変形を吸収することができると共に、導電性金属膜の形成面積を広くして電気抵抗を低減させる効果がある。
【００３６】
上記第３及び第４実施形態では、二極の励振電極に対応させるために２本の支持アームを有して構成したが、３本以上の支持アームを有して構成する場合であっても同様に、各支持アームの外周面を導電性金属膜で被覆して形成することができる。例えば、圧電振動板の四隅の節点を支持するために４本の支持アームを有して形成した場合は、１つの励振電極に対して、２カ所以上から延びる配線電極によって導通接続されることになる。このように、励振電極に向けた導電性金属膜の形成領域が広くなるほど、電気抵抗をさらに低減させることができるので、振動効率のアップが図られる。
【００３７】
上記実施形態では、圧電振動板及び支持アームを一枚の水晶基板から一体に形成されるため、断面が四角形状となっているが、前記支持アームについては、断面が四角形状のものに限らず、円形状、三角形状あるいは五角形状以上の多角形状であってもよい。いずれの形状にあっても、その外周面全面に導電性薄膜からなる配線電極を形成することで、上述したような効果が得られる。
【００３８】
以上説明したように、本発明の圧電振動子は、圧電振動板に設けられる励振電極に電圧を供給するための配線電極が前記圧電振動板を支持する支持アームの全外周面を被覆したことで、電流が流れる有効面積を広くした。これによって、配線における電気抵抗値を低減させることができたので、励振電極が形成されている圧電振動板の振動効率がアップし、結果として圧電振動子に特有の等価直列抵抗値の減少が図られることになる。
【００３９】
なお、上記実施形態では、幅縦・長さ縦結合モードに代表される輪郭振動型の圧電振動子を例にして励振電極に通じる支持アームの形態及びこの支持アームに形成される配線電極について説明したが、このような輪郭振動型の圧電振動子に限定されることなく、励振電極が形成された圧電振動板及びこの圧電振動板を支える支持アームのような配線電極が形成された接続を有する構造であれば、どのような振動モードの圧電振動子にも応用が可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１１  圧電振動子
１２  圧電振動板
１３  支持アーム
１４  水晶基板
１４ａ  上面
１４ｂ  下面
１４ｃ  側面
１４ｄ  側面
１４ｅ  側面
１５  支持本体部
１６  支持電極部
１７  第１励振電極
１８  第２励振電極
１９  絶縁部
２１  第１配線電極
２２  第２配線電極
２７  パッケージ
２８，２９  端子電極
３１  圧電振動子
３２  圧電振動板
３３  支持アーム
３４  水晶基板
３５  支持本体部
３６  支持電極部
３７  第１励振電極
３８  第２励振電極
３９  絶縁部
４１  第１配線電極
４２  第２配線電極
４３  第１側面配線電極
４４  第２側面配線電極
５１  圧電振動子
５２  圧電振動板
５３  支持アーム
５４  水晶基板
５５  支持本体部
５６  フレーム板
５７  第１励振電極
５８  第２励振電極
５９  絶縁部
６１  第１配線電極
６２  第２配線電極
６３，６４  電極パッド部
７１  圧電振動子
７２  圧電振動板
７３  支持アーム
７４  水晶基板
７５  支持本体部
７６  フレーム板
７７  第１励振電極
７８  第２励振電極
７９  絶縁部
８１  第１配線電極
８２  第２配線電極
８３  第１側面配線電極
８４  第２側面配線電極
８５，８６  電極パッド部
８７，８８  屈曲部
【図１】
0005603728.tif 000002
【図２】
0005603728.tif 000003
【図３】
0005603728.tif 000004
【図４】
0005603728.tif 000005
【図５】
0005603728.tif 000006
【図６】
0005603728.tif 000007
【図７】
0005603728.tif 000008