(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定管内を流れる流体に磁界を与え、測定管内に設けられた検出電極に発生する検出信号に基づいて前記流体の流量を測定する電磁流量計であって、
前記検出電極と前記流体に基準電位を与える基準電極との間の複素インピーダンスを算出するインピーダンス演算回路と、
前記複素インピーダンスの周波数特性に基づいて前記検出電極についての腐食電流指標値を算出する腐食診断回路とを備え、
前記腐食診断回路は、前記複素インピーダンスの周波数特性をコール・コール・プロット図に表わした場合に得られる円弧部の直径に基づいて電荷移動抵抗を算出し、算出された電荷移動抵抗に基づいて前記検出電極についての腐食電流指標値を算出することを特徴とする電磁流量計。
【請求項２】
前記腐食診断回路は、
算出された腐食電流指標値が所定の基準を満たさない場合に、警告を出力することを特徴とする請求項１に記載の電磁流量計。
【請求項３】
前記腐食診断回路は、
算出された腐食電流指標値を時間情報と関連付けて記録するとともに、
腐食電流指標値の経時的変化を所定の基準により評価し、評価結果が所定の警告条件を満たす場合に、警告を出力することを特徴とする請求項１または２に記載の電磁流量計。
【請求項４】
前記複素インピーダンスの算出のために、前記検出電極に印加する交流信号を出力する交流信号源をさらに備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の電磁流量計。
【請求項５】
前記交流信号を、前記流体に与える磁界の合間に前記検出電極に印加するように制御する同期回路をさらに備えたことを特徴とする請求項４に記載の電磁流量計。
【請求項６】
前記交流信号源は、正弦波あるいは複数の周波数成分を含んだ波形を前記検出電極に印加することを特徴とする請求項４に記載の電磁流量計。
【請求項７】
前記腐食診断回路は、前記腐食電流指標値を算出する際に、前記測定管内を流れる流体に関する温度情報を取得し、取得した温度情報を用いて温度補正を行なうことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の電磁流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定管内を流れる流体に磁界を与え、測定管内に設けられた１対の検出電極に発生した検出信号に基づいて流体の流量を測定する電磁流量計に関し、特に、検出電極の腐食程度を診断する電磁流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
電磁誘導を利用して導電性の流体の流量を計測する電磁流量計が知られている。電磁流量計は、直交方向に磁界がかけられた測定管内に被測定流体を流し、発生した起電力を測定管内に取り付けられた１対の検出電極を用いて計測する。この起電力は、被測定流体の流速に比例するため、計測値に基づいて被測定流体の体積流量を得ることができる。
【０００３】
電磁流量計では、検出電極に絶縁物等の汚れが付着すると測定誤差を招き、測定精度に悪影響を与えるため、検出電極に付着した汚れの度合いを診断することが行なわれている。図９は、従来行なわれている検出電極に付着した汚れの度合いを検出する仕組みを説明する図である。
【０００４】
本図は、測定管４００に取り付けられた検出電極３０１に付着した汚れの度合いを検出する場合を示している。検出電極３０１とアースリング３０６との間には、付着物の影響を含んだ接液抵抗Ｒ１１が存在し、この抵抗値を計測することにより検出電極３０１に付着した汚れの度合いを検出するようにしている。ここで、アースリング３０６は、測定管４００内の流体に測定管４００と同一の電位（接地電位）を与えるための基準電極である。
【０００５】
このため、検出電極３０１からアースリング３０６に対して、信号源抵抗Ｒ１２を含む電流源３０２から極微量の矩形波電流を流し、入力回路３０３を介して接続された演算回路３０４で、接液抵抗Ｒ１１の抵抗値を測定する。ここで、矩形波の周波数は流量信号演算には影響しないように設定されており、検出電極の汚れ付着診断を行なう時間では、流量信号はマスキングされて出力に現れないようになっている。
【０００６】
検出電極３０１に付着する汚れの度合いが進むにつれて接液抵抗Ｒ１１の抵抗値が大きくなる。したがって、接液抵抗Ｒ１１の抵抗値の時間的変動トレンドを監視することで検出電極３０１の汚れ付着度合いを知ることができ、予め閾値を設定しておけばユーザに対して警告を出力することが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−２３４８４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
検出電極に付着する物質や測定管４００を流れる流体によっては、検出電極３０１の電気化学反応が促進されて腐食が進行する場合がある。検出電極３０１の腐食が進行すると、測定管４００内で絶縁層を形成するライニングとの間に隙間ができて液漏れなどの障害が発生するおそれがある。
【０００９】
チタンや白金といった腐食耐性の高い材料を用いて検出電極３０１を構成することにより腐食に起因する障害の発生を防ぐことができるが、これらの材料は高価であり、電磁流量計のハイコスト化を招くため、全面的に採用することは現実的でない。
【００１０】
したがって、電磁流量計においては、検出電極の腐食について考慮することが望ましいと考えられる。しかしながら、従来、検出電極の腐食程度を評価することは行なわれておらず、検出電極の腐食による電磁流量計の測定精度の低下や液漏れ発生等を未然に防ぐことが困難であった。
【００１１】
そこで、本発明は、電磁流量計において、検出電極の腐食程度を把握できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するため、本発明の電磁流量計は、測定管内を流れる流体に磁界を与え、測定管内に設けられた検出電極に発生する検出信号に基づいて前記流体の流量を測定する電磁流量計であって、前記検出電極と前記流体に基準電位を与える基準電極との間の複素インピーダンスを算出するインピーダンス演算回路と、前記複素インピーダンスの周波数特性に基づいて前記検出電極についての腐食電流指標値を算出する腐食診断回路とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
ここで、前記腐食診断回路は、算出された腐食電流指標値が所定の基準を満たさない場合に、警告を出力することができる。
【００１４】
また、前記腐食診断回路は、算出された腐食電流指標値を時間情報と関連付けて記録するとともに、腐食電流指標値の経時的変化を所定の基準により評価し、評価結果が所定の警告条件を満たす場合に、警告を出力することができる。
【００１５】
また、前記複素インピーダンスの算出のために、前記検出電極に印加する交流信号を出力する交流信号源をさらに備えるようにしてもよい。
【００１６】
このとき、前記交流信号を、前記流体に与える磁界の合間に前記検出電極に印加するように制御する同期回路をさらに備えることができる。
【００１７】
また、前記交流信号源は、正弦波あるいは複数の周波数成分を含んだ波形を前記検出電極に印加することができる。
【００１８】
また、前記腐食診断回路は、前記複素インピーダンスの周波数特性をコール・コール・プロット図に表わした場合に得られる円弧部の直径に基づいて前記検出電極についての腐食電流指標値を算出することができる。さらに、前記腐食診断回路は、前記腐食電流指標値を算出する際に、前記測定管内を流れる流体に関する温度情報を取得し、取得した温度情報を用いて温度補正を行なうようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、検出電極と基準電極との間の複素インピーダンスを算出し、複素インピーダンスの周波数特性に基づいて検出電極についての腐食電流指標値を得ることができるため、電磁流量計において、検出電極の腐食程度を把握できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本実施形態に係る電磁流量計の構成を示すブロック図である。
【図２】交流電流源から第１検出電極および第２検出電極への交流信号印加タイミングを示す図である。
【図３】検出電極およびアースリングにおける電極界面のインピーダンスを抵抗とコンデンサの組合わせで表わした等価回路である。
【図４】計測された複素インピーダンスについて、その実部と虚部とをプロットしたコール・コール・プロット図である。
【図５】腐食電流指標を算出し、記録する際の電磁流量計の動作を説明するフローチャートである。
【図６】腐食診断回路が、実績記録部に蓄積された腐食電流指標値を用いて、腐食診断を行なう手順について説明するフローチャートである。
【図７】腐食電流指標値のトレンドの実験値例とトレンド評価例とを示す図である。
【図８】腐食電流指標値のトレンドの実験値例とトレンド評価例とを示す図である。
【図９】従来行なわれている検出電極に付着した汚れの度合いを検出する仕組みを説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本実施形態に係る電磁流量計の構成を示すブロック図である。本図に示すように電磁流量計１０は、検出器１００と変換器２００とに大別される。
【００２２】
検出器１００は、励磁コイル１０１、第１検出電極１０２、第２検出電極１０３、測定管内の流体に測定管と同一の電位（接地電位）を与えるための基準電極であるアースリング１０６を備えており、導電性の被測定流体を流す測定管に取り付けられる。また、測定管には、温度センサ１０７が取り付けられており、測定管内の流体の温度を間接的あるいは直接的に検出する。
【００２３】
変換器２００は、従来の電磁流量計と同様の構成として、励磁回路２０１、流量演算回路２０２、第１入力回路２０３、第２入力回路２０４、流量演算用差動アンプ２０５を備えている。
【００２４】
第１入力回路２０３、第２入力回路２０４は、いずれも高い入力インピーダンスを持ち、それぞれ第１検出電極１０２からの信号および第２検出電極１０３からの信号を増幅して流量演算用差動アンプ２０５の差動入力端子に導く。
【００２５】
電磁流量計１０における流量計測では、励磁回路２０１が励磁コイル１０１にパルス状の交流電流を供給し、測定管内を流れる導電性流体中に磁束を発生させる。すると、流体の流速に比例する誘導起電力が生じ、第１検出電極１０２と第２検出電極１０３とで検出される。この起電力を入力回路２０３、入力回路２０４でそれぞれ増幅し、流量演算用差動アンプ２０５で電位差信号を取り出して、流量演算回路２０２に出力する。流量演算回路２０２には、励磁回路２０１からの励磁タイミング信号も入力され、流量演算回路２０２は、これらの信号に基づいて測定管内を流れる導電性流体の流量値を算出する。
【００２６】
本実施形態の変換器２００は、第１検出電極１０２、第２検出電極１０３の腐食程度を診断するため、従来の構成に加え、交流信号源２１０、第１差動アンプ２１１、第２差動アンプ２１２、第１抵抗Ｒ１、第２抵抗Ｒ２、第１スイッチＳＷ１、第２スイッチＳＷ２、インピーダンス演算回路２１３、同期回路２１４、腐食診断回路２２０を備えている。
【００２７】
交流信号源２１０が出力する交流信号は、第１抵抗Ｒ１と第１スイッチＳＷ１を介して第１検出電極１０２に入力され、第２抵抗Ｒ２と第２スイッチＳＷ２を介して第２検出電極１０３に入力される。
【００２８】
交流信号源２１０は、インピーダンス演算回路２１３から送られる周波数掃引信号により制御され、例えば、１０Ｈｚ〜１０ｋＨｚ程度の範囲にわたる正弦波掃引信号を発生する。この信号電圧は、第１検出電極１０２、第２検出電極１０３の酸化還元平衡電位に対して分極を生じさせないようなｍＶオーダの小信号電圧とし、第１検出電極１０２、第２検出電極１０３の表面組成に対して電気化学的変化を与えないようにする。
【００２９】
検出器１００において、第１検出電極１０２とアースリング１０６との間には、インピーダンスが存在し、これをインピーダンスＺ１とする。また、第２検出電極１０３とアースリング１０６との間には、インピーダンスが存在し、これをインピーダンスＺ２とする。
【００３０】
本実施形態では、後述するように、インピーダンスＺ１の周波数特性に基づいて第１検出電極１０２における腐食程度を診断し、インピーダンスＺ２の周波数特性に基づいて第２検出電極１０３における腐食程度を診断する。これらの腐食診断は、第１検出電極１０２と第２検出電極１０３とで独立に行なうことができる。
【００３１】
インピーダンスＺ１を流れる電流は、第１抵抗Ｒ１の電圧降下として検出され、第１差動アンプ２１１で増幅してインピーダンス演算回路２１３に信号Ｉ１として入力される。インピーダンスＺ２を流れる電流は、第２抵抗Ｒ２の電圧降下として検出され、第２差動アンプ２１２で増幅してインピーダンス演算回路２１３に信号Ｉ２として入力される。ここで、第１入力回路２０３、第２入力回路２０４、第１差動アンプ２１１、第２差動アンプ２１２の入力インピーダンスは、インピーダンスＺ１、Ｚ２と比べて十分に大きいものとする。
【００３２】
また、第１検出電極１０２に現れる電圧は、第１入力回路２０３を介してインピーダンス演算回路２１３に信号Ｖ１として入力される。第２検出電極１０３に現れる電圧は、第２入力回路２０４を介してインピーダンス演算回路２１３に信号Ｖ２として入力される。
【００３３】
インピーダンス演算回路２１３は、信号Ｖ１／信号Ｉ１、信号Ｖ２／信号Ｉ２の演算と回路利得等による補正を行なうことで、インピーダンスＺ１、インピーダンスＺ２を、周波数特性を有する複素インピーダンスとして算出する。
【００３４】
同期回路２１４は、交流信号源２１０から第１検出電極１０２および第２検出電極１０３への交流信号印加タイミングを、第１スイッチＳＷ１、第２スイッチＳＷ２を切替えることで制御する。具体的には、図２に示すように、励磁回路２０１からの励磁信号がＯＦＦになっている期間だけ、交流信号源２１０からの交流信号がバースト的に印加させるように第１スイッチＳＷ１、第２スイッチＳＷ２を切替える。すなわち、励磁回路２０１からの励磁信号がＯＦＦになっている期間に、電極腐食診断のためのインピーダンス測定を行なうようにしている。
【００３５】
このとき、第１スイッチＳＷ１、第２スイッチＳＷ２は、励磁回路２０１からの励磁信号がＯＮになっている通常の流量測定時に、交流信号源２１０側を切り離す役割も担っている。これにより、流量測定動作と同時並行に連続して電極腐食診断のためのインピーダンス測定を行なうことができる。
【００３６】
なお、近年では、ゼロ点を安定させるとともに、耐ノイズ性、高速応答性を高めるために高周波パルスと低周波パルスとを重畳した２周波励磁波形を励磁コイル１０１に印加する２周波励磁方式が実用化されているが、励磁回路２０１においても２周波励磁方式を採用するようにしてもよい。
【００３７】
腐食診断回路２２０は、インピーダンス演算回路２１３が算出したインピーダンスＺ１、インピーダンスＺ２に基づいて、第１検出電極１０２および第２検出電極１０３の腐食診断を行なう。
【００３８】
腐食の診断は、例えば、インピーダンスＺ１、インピーダンスＺ２から腐食電流指標を演算し、その経時的変化（トレンド）と予め用意した参照データとを比較することで行なうことができる。このため、腐食診断回路２２０は、腐食電流指標演算部２２１、実績記録部２２２、参照データ格納部２２３を備えている。
【００３９】
また、腐食診断回路２２０は、腐食診断において、電磁流量計１０の精度や耐久性に対して問題が生じるかどうかの判定を行ない、問題が生じると判定した場合には、ユーザに対して警告を出力する。この判定は、例えば、予め定められた警告条件を用いて行なうことができる。警告の内容は、例えば、検出電極の交換を促したり、推奨交換時期を通知したり、電極仕様に合わない腐食性の強い流体が流されたことのアラーム等とすることができ、表示、音声出力、その他の手段で行なうことができる。
【００４０】
ここで、インピーダンスＺ１の周波数特性、インピーダンスＺ２の周波数特性に基づいて、第１検出電極１０２および第２検出電極１０３の腐食診断を行なう原理について説明する。この原理は、一般的にＦＲＡ（Frequency Response Analysis）という名称で知られている手法を適用したものである。
【００４１】
第１検出電極１０２および第２検出電極１０３の腐食診断とも同じ原理で行なうため、ここでは、両者を区別せず、「検出電極」と「インピーダンスＺ」として説明する。
【００４２】
図３は、検出電極およびアースリング（基準電極）における電極界面のインピーダンスを抵抗とコンデンサの組合わせで表わした等価回路である。ここで、Ｒｓは溶液抵抗を表わし、Ｒｐは電荷移動抵抗を表わし、Ｃｄｌは電気二重層容量を表わしている。
【００４３】
測定される複素インピーダンスＺは、検出電極とアースリングの合成インピーダンスであるが、一般に、検出電極に比べてアースリングの面積は十分大きいことから、アースリングのインピーダンスは、検出電極のインピーダンスに比べて十分に小さいと考えることができる。このため、合成インピーダンスに対するアースリングのインピーダンスの寄与は無視できると見なせ、測定値されるインピーダンスＺを検出電極界面のインピーダンスとして図３の等価回路にフィッティングすることができる。
【００４４】
図４は、周波数を変化させて計測された複素インピーダンスについて、その実部と虚部とをプロットしたコール・コール・プロット図を示している。ここで、電極界面の単純な酸化還元反応についての周波数特性は、コール・コール・プロット図上では、図４に示すような円弧を描き、円の直径が電荷移動抵抗Ｒｐを表わすことが知られている。
【００４５】
一方、酸化還元における反応速度論の基本式の１つであるバトラー・ボルマー式からは、平衡状態の電界電流である交換電流密度ｉｏと電荷移動抵抗Ｒｐとの関連性が、
ｉｏ＝ＲＴ／（ｎＦＡＲｐ）
として導かれる。
【００４６】
ここで、Ｒは気体定数であり、Ｔは絶対温度であり、ｎは電子数であり、Ｆはファラデー定数であり、Ａは電極面積である。
【００４７】
すなわち、腐食電流をＩｃｏｒｒとすると、温度が一定であれば、電荷移動抵抗Ｒｐと腐食電流Ｉｃｏｒｒとの間には、ｋを定数として、
Ｉｃｏｒｒ＝ｋ／Ｒｐ  （式１）
という関係が成り立つ。
【００４８】
したがって、電荷移動抵抗Ｒｐを算出することで、間接的に腐食電流Ｉｃｏｒｒを示す腐食電流指標を算出することができる。本実施形態では、この腐食電流指標を用いて検出電極の腐食診断を行なうものとする。
【００４９】
腐食診断回路２２０の腐食電流指標演算部２２１は、上述の原理に従って腐食電流指標を算出し、算出された腐食電流指標を、時間情報と関連付けて、メモリ回路から構成される実績記録部２２２に記録する。これにより、腐食電流指標のトレンドを得ることができる。
【００５０】
図５は、腐食電流指標を算出し、記録する際の電磁流量計１０の動作を説明するフローチャートである。
【００５１】
上述のように、インピーダンス演算回路２１３は、流量測定動作と同時並行に連続して、第１検出電極１０２、第２検出電極１０３それぞれについてインピーダンス測定を行なう（Ｓ１０１）。この際に、周波数特性が得られるように、交流信号源２１０が出力する交流信号の周波数を変化させながら複数回に分けて測定を行なうことができる。
【００５２】
そして、得られた複素インピーダンスの周波数特性に基づいて、腐食電流指標演算部２２１がコール・コール・プロット図を作成し、電荷移動抵抗Ｒｐを算出することで、第１検出電極１０２、第２検出電極１０３それぞれについて腐食電流指標値を算出する（Ｓ１０２）。なお、温度変化を考慮すると、（式１）は、ｋ'を定数として、Ｉｃｏｒｒ＝ｋ'Ｔ／Ｒｐとなり、腐食電流Ｉｃｏｒｒは、絶対温度Ｔの変動の影響を受ける。このため、腐食電流指標値算出の際には、温度センサ１０７から温度データを取得し、温度補正パラメータとして用いることで温度補正を行なうことが望ましい。
【００５３】
腐食診断回路２２０は、算出された腐食電流指標値が、予め定めた基準範囲外の異常値である場合には（Ｓ１０３：Ｙｅｓ）、ユーザの過誤等により電極仕様に合わない腐食性の強い流体が流されたものと判断して、警告を出力する（Ｓ１０４）。これにより、検出電極の腐食による電磁流量計の測定精度の低下や液漏れ発生等を未然に防ぐことができる。
【００５４】
算出された腐食電流指標値が異常値でなければ（Ｓ１０３：Ｎｏ）、算出された腐食電流指標値を、時間情報と関連付けて、実績記録部２２２に記録する（Ｓ１０５）。
【００５５】
次に、腐食診断回路２２０が、実績記録部２２２に蓄積された腐食電流指標値を用いて、腐食診断を行なう手順について図６のフローチャートを参照して説明する。
【００５６】
腐食診断回路２２０は、所定のタイミング、例えば、定期的、起動時、ユーザから指示があったとき等に、実績記録部２２２を参照して、腐食電流指標値のトレンドを取得する（Ｓ２０１）。そして、参照データ格納部２２３から参照データを取得して（Ｓ２０２）、腐食電流指標値のトレンド評価を行なう（Ｓ２０３）。参照データを用いたトレンド評価は種々の手法を採用することができ、具体例については後述する。なお、参照データは、検出電極の材料別、流体種類別に用意しておくようにする。
【００５７】
トレンド評価の結果が、予め定められた警告条件を満たす場合には（Ｓ２０４：Ｙｅｓ）、ユーザに対して警告出力することにより（Ｓ２０５）、検出電極の腐食により電磁流量計１０の測定精度が悪化したまま測定を行なってしまうことを未然に防ぐことができるようになる。
【００５８】
参照データを用いたトレンド評価の具体例について説明する。トレンド評価に用いる参照データは、例えば、初期状態の電荷移動抵抗Ｒｐに対応した腐食電流指標値としたり、腐食電流指標値のトレンドの実験値等とすることができる。
【００５９】
すなわち、同じ流体や同じ電磁流量計の形式であっても、温度、圧力、含まれる不純物等の測定条件によって腐食の状態が変わるため、現場における初期状態の電荷移動抵抗Ｒｐに対応した腐食電流指標値を参照データとして用いることができ、この参照データと、実際の腐食電流指標値のトレンドとを比較することにより、トレンド評価を行なうことができる。
【００６０】
また、腐食電流指標値のトレンドの実験値として、例えば、図７（ａ）に示すようなデータを参照データとして用いることができる。本図に示す例は、腐食電流指標値の積算値と累積時間との関係を実験で求めたものである。このとき、検出電極の腐食によって電磁流量計の精度保持が困難となったポイントを腐食電流指標値の積算値の閾値として参照データに含めておくようにする。
【００６１】
この参照データと、図７（ｂ）に示すような実際の腐食電流指標値のトレンドとから、腐食電流指標値のトレンド評価を行なうことで、例えば、図７（ｃ）に示すように、腐食電流指標値の累積値が閾値に達する時期を見積もることができる。
【００６２】
そして、警告条件を適切に定めることにより、腐食電流指標値の累積値が閾値に達する前に検出電極を交換する旨の警告を行なうことができ、検出電極の腐食により電磁流量計１０の測定精度が悪化した状態で流量測定を行なってしまうことを未然に防ぐことができるようになる。
【００６３】
また、腐食電流指標値のトレンドの実験値として、例えば、図８（ａ）に示すようなデータを参照データとして用いることができる。本図に示す例は、腐食電流指標値と累積時間との関係を実験で求めたものである。このとき、検出電極の腐食によって電磁流量計の精度保持が困難となる前兆のトレンドを検出対象トレンドとして参照データに含めておくようにする。
【００６４】
この参照データを用いて、図８（ｂ）に示すような実際の腐食電流指標値のトレンド評価を行なうと、実際の腐食電流指標値のトレンドから検出対象のトレンドが検知され、その後、検出電極の腐食により精度が悪化すると予想することができる。
【００６５】
そこで、検出対象のトレンドが検知されたことを警告条件として定めることにより、検出電極の腐食により精度が悪化する前に検出電極を交換する旨の警告を行なうことができ、検出電極の腐食により電磁流量計１０の測定精度が悪化した状態で流量測定を行なってしまうことを未然に防ぐことができるようになる。
【００６６】
なお、腐食電流指標演算部２２１がコール・コール・プロット図を作成する際に、円弧部を明確にするために１Ｈｚ程度の比較的低い周波数から掃引が必要となる場合もある。このような場合、励磁回路２０１からの励磁信号がＯＦＦになっている期間では、１Ｈｚ程度の比較的低い周波数を印加することができないことも考えられる。
【００６７】
そこで、流量測定と同時並行して測定可能な周波数を下限として、それ以下の周波数のインピーダンス値は外挿することで円弧部を含むコール・コール・プロット図を作成するようにしてもよい。あるいは、より正確なコール・コール・プロット図を作成するために、流量測定を休止して、検出電極の腐食診断のためのインピーダンス測定を行なうようにしてもよい。
【００６８】
また、上記の例では、交流信号源２１０から正弦波を出力するようにしていたが、マルチサイン波、矩形波、三角波、ホワイトノイズ等の複数の周波数成分を含んだ波形として、ＦＦＴ演算により一度に複数の周波数特性を収集するようにしてもよい。例えば、基本周波数ｆを持つ矩形波を交流信号源２１０から印加し、サンプリング点数Ｎ＝２ｎ（ｎ＝１，２，３…）で、サンプリング時間をｔとした場合、最大でＮ／２番目までの高調波成分、すなわち、ｆ×Ｎ／２までの周波数成分の電圧スペクトラムと電流スペクトラムとを時間Ｎｔの間で求めることができる。そして、電圧スペクトラムと電流スペクトラムの比から、複素インピーダンスの周波数特性を得ることができる。
【００６９】
以上説明したように、本実施形態の電磁流量計１０によれば、検出電極の腐食電流指標を算出することにより、検出電極の腐食度合いを把握することができるようになり、検出電極の腐食による電磁流量計の測定精度の低下や液漏れ発生等を未然に防ぐことができるようになる。
【符号の説明】
【００７０】
１０…電磁流量計、１００…検出器、１０１…励磁コイル、１０２…第１検出電極、１０３…第２検出電極、１０６…アースリング、１０７…温度センサ、２００…変換器、２０１…励磁回路、２０２…流量演算回路、２０３…第１入力回路、２０４…第２入力回路、２０５…流量演算用差動アンプ、２１０…交流信号源、２１１…第１差動アンプ、２１２…第２差動アンプ、２１３…インピーダンス演算回路、２１４…同期回路、２２０…腐食診断回路、２２１…腐食電流指標演算部、２２２…実績記録部、２２３…参照データ格納部、３０１…検出電極、３０２…電流源、３０３…入力回路、３０４…演算回路、３０６…アースリング、４００…測定管
【図１】
0005565628.tif 000002
【図２】
0005565628.tif 000003
【図３】
0005565628.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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