(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に電子部品の実装を行う電子部品の実装方法であって、
（ａ）前記電子部品を準備する電子部品準備工程と、
（ｂ）前記電子部品を搭載する基板を準備する基板準備工程と、
（ｃ）配置機構に設けた第１の撮像カメラで前記基板を撮像した後に、前記第１の撮像カメラの認識結果である前記基板上のパターンの配置状態に応じて前記配置機構を動作させて、前記基板の所定箇所に前記電子部品を配置するとともに仮圧着する配置工程と、
（ｄ）前記配置機構によって前記電子部品が仮圧着された前記基板を、前記基板における前記電子部品の実装面に対して平行移動可能な加圧機構に設けた第２の撮像カメラで撮像した後に、前記第２の撮像カメラの認識結果である前記実装面上に仮圧着された前記電子部品の配置状態に応じて前記加圧機構を動作させて、前記電子部品を前記基板に本圧着する圧着工程と、
を有することを特徴とする電子部品の実装方法。
【請求項２】
請求項１記載の電子部品の実装方法において、前記配置工程は、前記第１の撮像カメラで前記基板上の前記パターンの不良箇所を検出後、前記配置機構の動作を複数の前記電子部品のうち一つずつ行い、前記圧着工程は、前記第２の撮像カメラで前記電子部品の欠落部分を認識した場合は、前記欠落部分をスキップさせて、前記加圧機構の動作を複数の前記電子部品のうち一つずつ行うことを特徴とする電子部品の実装方法。
【請求項３】
基板上に電子部品の実装を行う電子部品の実装装置であって、
前記基板における前記電子部品の実装面に対して平行移動可能に設けられ、前記電子部品を前記基板上の所定箇所に配置して第１の加圧面によって仮圧着する配置機構と、
前記配置機構に設けられ、前記電子部品を仮圧着する前に前記基板を撮像する第１の撮像カメラと、
前記基板における前記電子部品の実装面に対して平行移動可能に設けられ、前記配置機構によって仮圧着された前記電子部品を第２の加圧面によって本圧着する加圧機構と、
前記加圧機構に設けられ、前記電子部品を本圧着する前に前記電子部品が仮圧着された前記基板を撮像する第２の撮像カメラとを有し、
前記配置機構を前記第１の撮像カメラの認識結果である前記基板上のパターンの配置状態に応じて動作するようにし、前記加圧機構を前記第２の撮像カメラの認識結果である前記実装面上に仮圧着された前記電子部品の配置状態に応じて動作するようにしたことを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項４】
請求項３記載の電子部品の実装装置において、前記配置機構は、少なくとも一つの前記電子部品に対応する一つの前記第１の加圧面を有し、前記第１の撮像カメラは、前記第１の加圧面に対して、前記基板の移動方向の上流側に配置され、
前記加圧機構は、少なくとも一つの前記電子部品に対応する一つの前記第２の加圧面を有し、前記第２の撮像カメラは、前記第２の加圧面に対して、前記基板の移動方向の上流側に配置されていることを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項５】
請求項３または４記載の電子部品の実装装置において、前記加圧機構に隣接して前記加圧機構の前記第２の加圧面をクリーニングするヘッドクリーナを設けることを特徴とする電子部品の実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の製造技術に係り、特に、基板に向かって電子部品を加圧して圧着する電子部品の実装方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板上に電子部品としての半導体チップが実装される半導体装置は、基板上に塗布される接着剤としての熱硬化性樹脂等を介して半導体チップを実装するものが知られている。半導体チップの基板への実装方法としては、半導体チップを基板上の所定箇所に熱硬化樹脂を介して配置した後、半導体チップに対して基板に向けて所定荷重（加圧力）を負荷するとともに加熱して圧着する方法等を採用している。そして、半導体装置の量産時等においては、ダイシングによって個々に分離された複数の半導体チップを、基板としてのリードフレームやサブストレートに対して加圧機構等によって同時に圧着して固定するようにしている。
【０００３】
このように、複数の半導体チップを基板上に同時に圧着して固定する半導体チップの実装装置としては、例えば、特許文献１に記載されたものが知られている。この特許文献１に記載された半導体チップの実装装置は、複数の半導体チップを受け取りアーム（配置機構）で基板上に配置し、その後、９個の半導体チップよりなるグループを、個々の半導体チップに割り当てられる９個のプランジャを有するツール（加圧機構）によって基板に向けて加圧して圧着し、これにより、９個の半導体チップを基板に対して同時に固定するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００２−５３４７９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載された半導体チップの実装装置においては、加圧機構が基板における半導体チップの実装面に対する垂直方向にのみ動作可能に設けられているので、半導体チップに対する加圧機構の加圧位置は、半導体チップが配置された基板を配置機構から加圧機構の所定位置に搬送する搬送機構の動作精度に依存することになる。
【０００６】
よって、搬送機構の長期に亘る使用等によって動作精度が低下したような場合には、加圧機構による半導体チップへの加圧位置がずれる虞があり、ずれが生じた場合には、搬送機構の分解整備等のメンテナンスが必要となるばかりか、半導体チップのピッチが狭い基板に対応するのが困難になるといった問題が生じる。
【０００７】
本発明の目的は、基板上に配置された電子部品に対する加圧機構の位置精度を向上することができる電子部品の実装方法および装置を提供することにある。
【０００８】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【００１０】
すなわち、本発明は、基板上に電子部品の実装を行う電子部品の実装方法であって、前記電子部品を準備する電子部品準備工程と、前記電子部品を搭載する基板を準備する基板準備工程と、配置機構に設けた第１の撮像カメラで前記基板を撮像した後に、前記第１の撮像カメラの認識結果である前記基板上のパターンの配置状態に応じて前記配置機構を動作させて、前記基板の所定箇所に前記電子部品を配置するとともに仮圧着する配置工程と、前記配置機構によって前記電子部品が仮圧着された前記基板を、前記基板における前記電子部品の実装面に対して平行移動可能な加圧機構に設けた第２の撮像カメラで撮像した後に、前記第２の撮像カメラの認識結果である前記実装面上に仮圧着された前記電子部品の配置状態に応じて前記加圧機構を動作させて、前記電子部品を前記基板に本圧着する圧着工程と、を有することを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明は、基板上に電子部品の実装を行う電子部品の実装装置であって、前記基板における前記電子部品の実装面に対して平行移動可能に設けられ、前記電子部品を前記基板上の所定箇所に配置して第１の加圧面によって仮圧着する配置機構と、前記配置機構に設けられ、前記電子部品を仮圧着する前に前記基板を撮像する第１の撮像カメラと、前記基板における前記電子部品の実装面に対して平行移動可能に設けられ、前記配置機構によって仮圧着された前記電子部品を第２の加圧面によって本圧着する加圧機構と、前記加圧機構に設けられ、前記電子部品を本圧着する前に前記電子部品が仮圧着された前記基板を撮像する第２の撮像カメラとを有し、前記配置機構を前記第１の撮像カメラの認識結果である前記基板上のパターンの配置状態に応じて動作するようにし、前記加圧機構を前記第２の撮像カメラの認識結果である前記実装面上に仮圧着された前記電子部品の配置状態に応じて動作するようにしたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【００１３】
電子部品の圧着工程において、電子部品を加圧する前に基板を撮像カメラで撮像し、その後、撮像カメラの認識結果に応じて加圧機構の動作を行うようにしたので、基板上に配置された電子部品に対する正しい対向位置に加圧機構を平行移動するように動作させて、引き続き加圧動作させることがでる。したがって、電子部品に対する加圧機構の位置精度を向上させることができる。また、基板上に配置すべき電子部品の欠落等を撮像カメラで認識した場合には、加圧機構を非加圧動作させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】一例の半導体装置における外部端子側の構造を示す斜視図である。
【図２】図１における半導体装置のチップ側の封止体を透過して示す斜視図である。
【図３】図１における半導体装置の断面図である。
【図４】図１における半導体装置の組立手順を示す製造プロセスフロー図である。
【図５】図４の組立てにおける基板を表面側から見た平面図である。
【図６】図４の組立てにおける基板を裏面側から見た平面図である。
【図７】図４の組立てにおけるダイボンディング後の基板を裏面側から見た平面図である。
【図８】本発明の一実施の形態におけるチップマウンタの概略構造を示す斜視図である。
【図９】図８のチップマウンタにおける加圧機構を拡大して示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施の形態について図１ないし図９に基づき詳細に説明する。
【００１６】
図１は一例の半導体装置における外部端子側の構造を示す斜視図を、図２は図１における半導体装置のチップ側の封止体を透過して示す斜視図を、図３は図１における半導体装置の断面図を、図４は図１における半導体装置の組立手順を示す製造プロセスフロー図を、図５は図４の組立てにおける基板を表面側から見た平面図を、図６は図４の組立てにおける基板を裏面側から見た平面図を、図７は図４の組立てにおけるダイボンディング後の基板を裏面側から見た平面図を、図８は本発明の一実施の形態におけるチップマウンタの概略構造を示す斜視図を、図９は図８のチップマウンタにおける加圧機構を拡大して示す断面図をそれぞれ表している。
【００１７】
本実施の形態における半導体チップの実装装置によって組立てられる半導体装置は、基板としての有機基板１０と電子部品としての半導体チップ１１とを接合した樹脂封止タイプの半導体パッケージであり、本実施の形態においては、その一例として、図１に示すようなＢＯＣ（Board On Clip）１２を取り上げて以下説明する。
【００１８】
図１ないし図３に示すＢＯＣ１２の構造について説明すると、ＢＯＣ１２は、一方の面の中央部にその長手方向に沿って形成された細長い開口部１０ａを有し、さらに開口部１０ａの両側に２列ずつ並んで配置されたバンプランド１０ｂ，開口部１０ａに近接して設けられた複数のボンディング電極１０ｃおよびバンプランド１０ｂとボンディング電極１０ｃとを電気的に接続する配線１０ｄを有する有機基板１０を備えている。また、ＢＯＣ１２は、有機基板１０の他方の面に絶縁性を有するダイボンドテープ１３を介して接合された半導体チップ１１と、半導体チップ１１のパッド（表面電極）１１ａとこれに対応するボンディング電極１０ｃとを電気的に接続する複数のワイヤ１４と、半導体チップ１１と複数のワイヤ１４とを封止する樹脂性の封止体１５と、各バンプランド１０ｂに設けられた外部端子としての複数のはんだボール１６とを備えている。なお、封止体１５は、例えば、エポキシ樹脂等によって形成されている。
【００１９】
半導体チップ１１は、例えば、シリコン等によって形成されており、その内部には集積回路（図示せず）が組み込まれている。さらに、半導体チップ１１は、その主面１１ｂを有機基板１０側に向けて、有機基板１０に対してダイボンドテープ１３（エラストマやダイアタッチテープ，ダイボンドフィルム等）を介して実装されている。
【００２０】
すなわち、半導体チップ１１の主面１１ｂ上に、ダイボンドテープ１３を介して有機基板１０が配置されており、図３に示すように、有機基板１０の開口部１０ａを介して半導体チップ１１のパッド１１ａと、これに対応する有機基板１０の図１に示すボンディング電極１０ｃとがワイヤ１４によって接続されている。なお、ワイヤ１４は、例えば、導電性に優れた金線等によって形成されている。
【００２１】
また、有機基板１０は有機配線基板であり、有機材からなるベース基材に、銅などからなる配線１０ｄやバンプランド１０ｂ，ボンディング電極１０ｃを形成したものである。なお、配線１０ｄは、有機系の絶縁膜（有機層）としてのソルダレジスト膜等によって覆われて絶縁・保護されている。
【００２２】
次に、ＢＯＣ１２の組立て方法（半導体チップ１１の実装方法）について図面に基づき詳細に説明する。
【００２３】
まず、ダイシングによって個々に分離した半導体チップ１１を準備する（電子部品準備工程）。
【００２４】
次いで、図４のステップＳ１および図５に示すように、半導体チップ１１が搭載されて複数のＢＯＣ１２を成形する領域となるデバイス領域１０ｅが、マトリクス配置で形成された多数個取り基板１０ｆを準備する（基板準備工程）。ここで、準備した多数個取り基板１０ｆは、複数の有機基板１０を有するものとなっている。図５は、多数個取り基板１０ｆの表面１０ｇ側の構造を示すものであり、それぞれのデバイス領域１０ｅには、中央の開口部１０ａの両側に複数の配線１０ｄが形成されている。
【００２５】
また、図６は、多数個取り基板１０ｆの裏面１０ｈ側の構造を示すものであり、それぞれのデバイス領域１０ｅには、中央の開口部１０ａの両側にエラストマであるダイボンドテープ１３が貼り付けられている。あるいは、ダイボンドテープに換えて、熱硬化性樹脂等の粘性を有する接着剤を、ディスペンサ等を介して塗布するようにしても良い。なお、接着剤は熱硬化性または熱可塑性を有するものであれば何れでも良く、例えば、単層構造の材料からなる。また、接着剤が塗布状のものである場合には、半硬化状態の接着剤を塗布するようにする。
【００２６】
多数個取り基板１０ｆを準備した後、図４のステップＳ２および図７に示すように、多数個取り基板１０ｆの裏面１０ｈ側の各デバイス領域１０ｅに、ダイボンドテープ１３を介して半導体チップ１１を実装するチップマウント（ダイボンディング）を行う。その際、半導体チップ１１の主面１１ｂ側をダイボンドテープ１３に接合して、半導体チップ１１の各パッド１１ａが多数個取り基板１０ｆの各デバイス領域１０ｅの開口部１０ａ内に配置されるように両者を接合する。なお、このチップマウント工程（配置工程，圧着工程）については、後で詳述する。
【００２７】
チップマウント工程を終えた後、ステップＳ３に示すワイヤボンディングを行う。すなわち、図３に示すように半導体チップ１１のパッド１１ａと、これに対応する多数個取り基板１０ｆのデバイス領域１０ｅのボンディング電極１０ｃ（図１参照）とをワイヤ１４で接続する。
【００２８】
その後、ステップＳ４に示す樹脂モールディング（封止工程）を実施する。ここでは、多数個取り基板１０ｆ上に形成された複数のデバイス領域１０ｅを、一括して樹脂モールディングする。
【００２９】
次いで、ステップＳ５に示すボールマウント（ボールマウント工程）を実施する。ここでは、多数個取り基板１０ｆの各デバイス領域１０ｅにおける各バンプランド１０ｂに外部端子となるはんだボール１６を搭載する。
【００３０】
その後、ステップＳ６に示すダイシングを行って各半導体パッケージへの個片化（トリミング工程）を実施する。すなわち、ダイシングによって多数個取り基板１０ｆと封止体１５とを、各デバイス領域１０ｅ単位に切断して個片化する。これにより、ＢＯＣ１２の組み立てが完了する。
【００３１】
次に、半導体装置（ＢＯＣ１２）の製造方法として、ＢＯＣ１２の組立てにおけるチップマウント工程についてその詳細を説明する。まず、チップマウントに用いる本発明における実施の形態に係るチップマウンタ（電子部品の実装装置）２０の主要構成について説明する。
【００３２】
図８に示すチップマウンタ２０は、図示しないウェハステージ上の半導体ウェハからダイシング済みの半導体チップ１１をピックアップするとともに、多数個取り基板１０ｆ上の所定箇所、つまり、デバイス領域１０ｅに対応する部分に半導体チップ１１を配置する第１の圧着部（配置機構）２１を備え、この第１の圧着部２１は、多数個取り基板１０ｆに対して半導体チップ１１を仮圧着（仮接合）するようになっている。また、チップマウンタ２０は、第１の圧着部２１によって仮圧着された半導体チップ１１を、多数個取り基板１０ｆに向けて所定の加圧力で加圧して本圧着（本接合）する第２の圧着部（加圧機構）２２を備えている。
【００３３】
ここで、半導体チップ１１を多数個取り基板１０ｆに対して配置して仮圧着する工程が本発明における配置工程を構成し、また、半導体チップ１１を多数個取り基板１０ｆに対して本圧着する工程が本発明における圧着工程を構成している。
【００３４】
チップマウンタ２０には、多数個取り基板１０ｆを図示しないストッカーから、第１の圧着部２１を介して第２の圧着部２２へ向けて搬送する搬送機構としてのガイドレール２３が設けられ、このガイドレール２３は多数個取り基板１０ｆを一定の間隔をおいて所定速度で搬送するようになっている。
【００３５】
チップマウンタ２０は、第２の圧着部２２に隣接するようにして設けられるヘッドクリーナ２４を備え、このヘッドクリーナ２４の図中上方には、第２の圧着部２２における半導体チップ１１を加圧する加圧面Ｐが対向可能となっている。ヘッドクリーナ２４には、その表面にルビー等の微少粒子がコーティングされたクリーニングマット２４ａが装着されている。そして、このクリーニングマット２４ａ上を定期的に第２の圧着部２２の加圧面Ｐが、例えば、Ｘ方向に３往復，Ｙ方向に３往復する等、摺接動作することによって、加圧面Ｐをクリーニングするようになっている（図８中破線：クリーニングモード）。なお、第２の圧着部２２の加圧面Ｐは、ＳＵＳ材やタングステン材等の鋼材により形成されている。
【００３６】
図８および図９に示すように、第１の圧着部２１には、半導体チップ１１を多数個取り基板１０ｆに配置した後、半導体チップ１１を加圧する第１のヘッド２１ａと、半導体チップ１１が配置された多数個取り基板１０ｆが搭載される第１の加熱ステージ２１ｂとが設けられており、それぞれには加熱装置としてのヒータＨが内装されている。第１のヘッド２１ａの先端側（図中下方側）には、第１のヘッド２１ａに対して図中上下方向に移動可能な加圧体２１ｃを有しており、この加圧体２１ｃは、コイルスプリング２１ｄによって半導体チップ１１側へ常時付勢されるようになっている。また、第１のヘッド２１ａには、加圧体２１ｃの半導体チップ１１に対する傾きを調整可能な傾斜調整機構２１ｅが内装されている。
【００３７】
第１の圧着部２１における第１のヘッド２１ａには、加圧体２１ｃに隣接して撮像カメラ２１ｆが装着されており、撮像カメラ２１ｆは、加圧体２１ｃに対してガイドレール２３の作動方向における上流側に配置されている。そして、撮像カメラ２１ｆは図示しないコントローラに配線を介して接続されており、これにより、撮像カメラ２１ｆで捉えた多数個取り基板１０ｆの撮像データに基づき、半導体チップ１１を多数個取り基板１０ｆ上の所定箇所に精度良く配置するとともに仮圧着するようになっている。また、コントローラは、撮像カメラ２１ｆによって多数個取り基板１０ｆに形成される配線１０ｄのパターン不良等を検出するようになっている。
【００３８】
第１のヘッド２１ａは、図示しないボールネジ等の駆動機構によって、ＸＹＺ軸方向に自由に移動できるように構成されている。また、第１の加熱ステージ２１ｂはＸＹステージ２１ｇに取り付けられており、これにより、半導体チップ１１の多数個取り基板１０ｆに対する加圧時に、第１の加熱ステージ２１ｂが第１のヘッド２１ａの加圧体２１ｃと対向する位置に配置されるようになっている。
【００３９】
このようにして、第１の圧着部２１では、第１ステップとして半導体チップ１１の多数個取り基板１０ｆに対する位置決めと配置、および半導体チップ１１の多数個取り基板１０ｆに対する仮圧着を行うようになっている。ここで言う仮圧着とは、半導体チップ１１が多数個取り基板１０ｆから剥がれない程度の接合のことであり、第１の圧着部２１では、半導体チップ１１を加圧体２１ｃによって一つずつコイルスプリング２１ｄの付勢力を作用させて熱圧着を行う。
【００４０】
なお、上記熱圧着の際には、半導体チップ１１を、多数個取り基板１０ｆの図中上方側に配置された第１のヘッド２１ａ内のヒータＨによって直接的に加熱するとともに、第１の加熱ステージ２１ｂ内のヒータＨによって多数個取り基板１０ｆを介して加熱するようになっており、第１の圧着部２１による１つの半導体チップ１１に対する加圧時間は、例えば、０．１秒程度である。
【００４１】
第２の圧着部２２は上述した第１の圧着部２１と同様の構成を採っており、図９のカッコ内の符号が第２の圧着部２２の構成に対応している。
【００４２】
第２の圧着部２２は、半導体チップ１１を多数個取り基板１０ｆに向けて加圧する第２のヘッド２２ａと、半導体チップ１１が配置された多数個取り基板１０ｆが搭載される第２の加熱ステージ２２ｂとが設けられており、それぞれには加熱装置としてのヒータＨが内装されている。第２のヘッド２２ａの先端側（図中下方側）には、第２のヘッド２２ａに対して図中上下方向に移動可能な加圧体２２ｃを有しており、この加圧体２２ｃは、コイルスプリング２２ｄによって半導体チップ１１側へ常時付勢されるようになっている。また、第２のヘッド２２ａには、加圧体２２ｃの半導体チップ１１に対する傾きを調整可能な傾斜調整機構２２ｅが内装されている。
【００４３】
第２の圧着部２２における第２のヘッド２２ａには、加圧体２２ｃに隣接して撮像カメラ２２ｆが装着されており、撮像カメラ２２ｆは、加圧体２２ｃに対してガイドレール２３の作動方向における上流側に配置されている。そして、撮像カメラ２２ｆは図示しないコントローラに配線を介して接続されており、これにより、撮像カメラ２２ｆで捉えた多数個取り基板１０ｆの撮像データに基づき、半導体チップ１１を多数個取り基板１０ｆに向けて精度良く、つまり、位置ずれが無いように加圧位置を補正しつつ加圧して圧着（本圧着）するようになっている。また、コントローラは、撮像カメラ２２ｆによって多数個取り基板１０ｆ上に配置されるべき半導体チップ１１の欠落等を検出した場合に、第２の圧着部２２の加圧動作を停止させるようになっている。
【００４４】
第２のヘッド２２ａは、図示しないボールネジ等の駆動機構によって、ＸＹＺ軸方向に自由に移動できるように構成されている。つまり、第２の圧着部２２は、多数個取り基板１０ｆにおける半導体チップ１１の実装面（裏面１０ｈ）に対して平行移動可能に構成されている。また、第２の加熱ステージ２２ｂはＸＹステージ２２ｇに取り付けられており、これにより、半導体チップ１１の多数個取り基板１０ｆに対する加圧時に、第２の加熱ステージ２２ｂが第２のヘッド２２ａの加圧体２２ｃと対向する位置に配置されるようになっている。
【００４５】
このようにして、第２の圧着部２２では、第２ステップとして半導体チップ１１の多数個取り基板１０ｆに対する本圧着を行うようになっている。この時コントローラは、撮像カメラ２２ｆによる撮像データから半導体チップ１１の配置状態を認識して、この認識結果に応じて第２の圧着部２２の動作、つまり、半導体チップ１１に対する加圧動作や加圧位置補正動作、また、加圧動作を停止させる非加圧動作を行うようになっている。この第２の圧着部２２による本圧着では、半導体チップ１１を加圧体２２ｃによって一つずつコイルスプリング２２ｄの付勢力を作用させて熱圧着を行う。
【００４６】
なお、上記熱圧着の際には、半導体チップ１１を、多数個取り基板１０ｆの図中上方側に配置された第２のヘッド２２ａ内のヒータＨによって直接的に加熱するとともに、第２の加熱ステージ２２ｂ内のヒータＨによって多数個取り基板１０ｆを介して加熱するようになっており、第２の圧着部２２による１つの半導体チップ１１に対する加圧時間は、第１の圧着部２１に比して遥かに長く、例えば、４秒程度である。
【００４７】
前記実施の形態によれば、以下のような効果が得られる。
【００４８】
１）  第２の圧着部２２に撮像カメラ２２ｆを設けたので、多数個取り基板１０ｆ上に配置された半導体チップ１１に対して正しい対向位置に第２のヘッド２２ａの加圧面Ｐを平行移動させた後、半導体チップ１１の多数個取り基板１０ｆに対する加圧動作を行うことができ、よって、半導体チップ１１に対する加圧面Ｐの位置精度を向上させることができる。
【００４９】
２）  多数個取り基板１０ｆ上に配置すべき半導体チップ１１の欠落等を撮像カメラ２２ｆで認識した場合（図９中破線参照）には、第２の圧着部２２の加圧動作を停止させたり、また、欠落部分をスキップさせて他の半導体チップ１１の加圧動作を継続させたりでき、したがって、加圧面Ｐにダイボンドテープ１３の一部が付着して加圧面Ｐが汚れることを未然に防ぐことができる。
【００５０】
３）  第２のヘッド２２ａの加圧面Ｐの位置補正を精度良く行うことができるので、複数の半導体チップ間の幅（ピッチ）が狭い多数個取り基板に対応することができ、したがって、半導体装置の製造時における歩留まりを向上させることができる。
【００５１】
４）  第２のヘッド２２ａの加圧面Ｐの位置補正を精度良く行うことができるので、多数個取り基板１０ｆを搬送するガイドレール２３のメンテナンスが不要となる。
【００５２】
５）  撮像カメラ２２ｆの認識結果に応じて加圧面Ｐによって半導体チップ１１を一つずつ加圧して圧着（本圧着）するので、例えば、半導体チップがマトリックス配置されずに、不規則に配置される異形形状の多数個取り基板等に対応することができる。
【００５３】
以上本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能あることはいうまでもない。
【００５４】
例えば、前記実施の形態においては、加圧機構としての第２の圧着部２２によって、電子部品としての半導体チップ１１を基板としての多数個取り基板１０ｆに対して一つずつ加圧して圧着するものを示したが、本発明はこれに限らず、第２の圧着部２２を構成する第２のヘッドを交換して、例えば、横一列に並ぶ３つの半導体チップ１１を同時に加圧して圧着するようにしても構わない。
【００５５】
また、前記実施の形態においては、単一種類の半導体チップ１１を順次加圧して圧着するものを示したが、本発明はこれに限らず、異種の半導体チップが混在するような場合においても対応することができる。
【００５６】
さらに、上記実施の形態においては、加圧機構としての第２の圧着部２２を、ボールネジ等の駆動機構によってＸＹＺ軸方向に移動できるように構成したものを示したが、本発明はこれに限らず、任意の位置制御が可能であれば、例えば、油圧シリンダ等の他の駆動機構を用いることもできる。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明をその背景となった利用分野である半導体チップの実装装置に適用した場合について説明したが、それに限定されるものではなく、基板に対して複数の電子部品を加圧して圧着するものであれば、トランジスタやコンデンサ，レジスタ，抵抗素子等の実装装置としても幅広く適用することができる。
【符号の説明】
【００５８】
１０    有機基板（基板）
１０ａ    開口部
１０ｂ    バンプランド
１０ｃ    ボンディング電極
１０ｄ    配線
１０ｅ    デバイス領域
１０ｆ    多数個取り基板（基板）
１０ｇ    表面
１０ｈ    裏面
１１    半導体チップ（電子部品）
１１ａ    パッド
１１ｂ    主面
１２    ＢＯＣ（半導体装置）
１３    ダイボンドテープ
１４    ワイヤ
１５    封止体
１６    はんだボール
２０    チップマウンタ（電子部品の実装装置）
２１    第１の圧着部（配置機構）
２１ａ    第１のヘッド
２１ｂ    第１の加熱ステージ
２１ｃ，２２ｃ    加圧体
２１ｄ，２２ｄ    コイルスプリング
２１ｅ，２２ｅ    傾斜調整機構
２１ｆ，２２ｆ    撮像カメラ
２１ｇ，２２ｇ    ＸＹステージ
２２    第２の圧着部（加圧機構）
２２ａ    第２のヘッド
２２ｂ    第２の加熱ステージ
２３    ガイドレール
２４    ヘッドクリーナ
２４ａ    クリーニングマット
Ｈ    ヒータ
Ｐ    加圧面
【図１】
0005512723.tif 000002
【図２】
0005512723.tif 000003
【図３】
0005512723.tif 000004
【図４】
0005512723.tif 000005
【図５】
0005512723.tif 000006
【図６】
0005512723.tif 000007
【図７】
0005512723.tif 000008
【図８】
0005512723.tif 000009
【図９】
0005512723.tif 000010