(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を粘着テープによって基板に実装する電子部品の実装装置であって、
上記基板を搬送位置決めする第１の搬送手段と、
上記電子部品を受ける受け取りポジション、この受け取りポジションで受けた電子部品に一方の面に離型テープが貼着されて所定長さに切断された粘着テープの他方の面を貼着して上記一方の面から上記離型テープを剥離する貼着剥離ポジション及び離型テープが剥離された粘着テープの一方の面によって上記電子部品を上記基板に実装する実装ポジションのそれぞれに上記電子部品を順次搬送位置決めする第２の搬送手段と、
上記実装ポジションに搬送された上記基板と、上記粘着テープが貼着された電子部品とを撮像する撮像手段と、
この撮像手段の撮像信号に基づいて上記基板の上記電子部品に対するずれ量と、所定長さに切断されて上記電子部品に貼着された上記粘着テープの上記電子部品に対するずれ量とを算出する演算処理手段と、
上記電子部品に対する基板のずれ量に基づいて上記実装ポジションにおける上記電子部品と基板との相対的な位置決めと、上記電子部品に対する粘着テープのずれ量に基づいて上記貼着剥離ポジションにおける上記電子部品と所定長さに切断された粘着テープとの相対的な位置決めとを制御する制御手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項２】
上記基板の上記電子部品が実装される部分には所定間隔で一対の第１の位置合わせマークが設けられ、上記電子部品の一端部の幅方向両端部には一対の第２の位置合わせマークが設けられていて、
上記撮像手段は、
上記一対の第１の位置合わせマークの一方と上記一対の第２の位置合わせマークの一方及び上記電子部品の幅方向一端部を同一視野内に収めて撮像する第１の撮像カメラと、
上記一対の第１の位置合わせマークの他方と上記一対の第２の位置合わせマークの他方及び上記電子部品の幅方向他端部を同一視野内に収めて撮像する第２の撮像カメラからなること
を特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
【請求項３】
上記電子部品に対する上記粘着テープのずれ量は、上記電子部品の一端或いは他端からの上記粘着テープの突出長さに基づいて算出することを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
【請求項４】
上記第２の搬送手段を制御することで、上記貼着剥離ポジションにおいて上記電子部品と所定長さに切断された粘着テープとの相対的な位置決めをすることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
【請求項５】
上記貼着剥離ポジションには、
所定長さに切断された上記粘着テープが貼着された面を上に向けて上記離型テープを所定方向に搬送する送り手段を有し、
上記制御手段によって上記送り手段による上記粘着剥離ポジションにおける上記粘着テープの位置を制御することで、上記電子部品と所定長さに切断された粘着テープとの相対的な位置決めをすることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
【請求項６】
電子部品を粘着テープによって基板に実装する電子部品の実装方法であって、
上記基板を搬送位置決めする工程と、
上記電子部品を受ける受け取りポジション、この受け取りポジションで受けた電子部品に一方の面に離型テープが貼着されて所定長さに切断された粘着テープの他方の面を貼着してから、上記一方の面から上記離型テープを剥離する貼着剥離ポジション及び上記離型テープが剥離された粘着テープの一方の面によって上記電子部品を上記基板に実装する実装ポジションのそれぞれに上記電子部品を順次搬送位置決めする工程と、
上記実装ポジションに搬送された上記基板と上記粘着テープが貼着された電子部品を撮像する工程と、
この撮像した撮像信号に基づいて上記基板の上記電子部品に対するずれ量と、所定長さに切断されて上記電子部品に貼着された上記粘着テープの上記電子部品に対するずれ量とを算出する工程と、
上記電子部品に対する基板のずれ量に基づいて上記実装ポジションにおける上記電子部品と上記基板との相対的な位置決めと、上記電子部品に対する粘着テープのずれ量に基づいて上記貼着剥離ポジションにおける上記電子部品と所定長さに切断された粘着テープとの相対的な位置決めとを制御する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法。
【請求項７】
上記基板の上記電子部品が実装される部分には所定間隔で一対の第１の位置合わせマークが設けられ、上記電子部品の一端部の幅方向両端部には一対の第２の位置合わせマークが設けられていて、
上記撮像する工程は、
上記一対の第１の位置合わせマークの一方と上記一対の第２の位置合わせマークの一方及び上記電子部品の幅方向一端部を同一視野内に収めて撮像する工程と、
上記一対の第１の位置合わせマークの他方と上記一対の第２の位置合わせマークの他方及び上記電子部品の幅方向他端部を同一視野内に収めて撮像する工程と、
を具備したことを特徴とする請求項６記載の電子部品の実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板としてのたとえば液晶表示装置に用いられるガラス製のパネルに、電子部品としてのたとえばＴＣＰ（Tape Carrier Package）を実装する電子部品の実装装置及び実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、液晶表示装置を製造する場合、基板としての上記パネルに、電子部品としての上記ＴＣＰを実装するための実装装置が用いられる。上記ＴＣＰは金型によってキヤリアテープから打ち抜かれた後、所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるインデックステーブルに供給される。このインデックステーブルには１回当たりの回転角度に応じた間隔で周方向に複数の吸着ヘッドが設けられている。そして、上記金型によって打ち抜かれたＴＣＰは複数の吸着ヘッドに順次供給される。
【０００３】
上記パネルはＸＹテーブルに位置決め載置されていて、このＸＹテーブルによってＸＹ方向に駆動されるようになっている。上記インデックステーブルの実装ポジションにおいて、上記ＴＣＰに設けられた位置合わせマークと、上記パネルに設けられた位置合わせマークとが撮像カメラによって撮像され、その撮像信号が画像処理部で処理される。そして、画像処理部での処理に基いて、上記ＴＣＰの位置合わせマークに上記パネルの位置合わせマークが一致するよう、上記ＸＹテーブルの駆動が制御されて上記パネルが位置決めされるようになっている。
【０００４】
上記ＴＣＰに対して上記パネルが位置決めされると、そのＴＣＰを保持した吸着ヘッドが下降方向に駆動され、ＴＣＰを上記パネルに設けられた異方性導電部材からなる粘着テープに加圧して貼着する、つまり実装するようになっている。インデックステーブルを用いて基板にＴＣＰを実装する従来の実装装置は、たとえば特許文献１に開示されている。
【０００５】
ところで、特許文献１に開示された実装装置においては、基板にＴＣＰを実装するための粘着テープを、上記基板の一側の長手方向全長にわたって貼着し、そこに上記ＴＣＰを所定間隔で実装するようにしている。
【０００６】
そのため、粘着テープの、所定間隔で貼着されたＴＣＰの間に位置する部分は、ＴＣＰの実装に必要ない部分となるから、その部分が無駄になり、コスト上昇につながるということがある。
【０００７】
そこで、最近では基板に粘着テープを貼着せず、ＴＣＰに、このＴＣＰの幅寸法に対応する長さで粘着テープを貼着することで、粘着テープの無駄をなくすということが考えられている。
【０００８】
その場合、離型テープに貼着された粘着テープをＴＣＰの幅寸法に対応する長さで切断し、その粘着テープを上にして離型テープとともに押し上げ、インデックステーブルの吸着ヘッドに保持されたＴＣＰに貼着した後、その粘着テープの下面から離型テープを剥離する。そして、粘着テープの離型テープが剥離された面を基板に貼着することで、上記ＴＣＰを基板に実装することになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、図８（ａ）に示すように所定長さに切断された粘着テープ１９を、インデックステーブルの吸着ヘッド１８に吸着保持されたＴＣＰ３に貼着する場合、上記粘着テープ１９が貼着された離型テープ２０の送り精度や環境の温度・湿度の変化による伸び或いは粘着テープ１９を押し上げてＴＣＰ３に貼着するときに生じる位置ずれなどによって上記粘着テープ１９がＴＣＰ３の幅方向に対してずれが生じるということがある。
【００１０】
そして、そのずれ量ΔＸが大きくなり、粘着テープ１９がＴＣＰ３の幅方向の端部から所定の長さ以上突出すると、その突出部分における粘着テープ１９の端部と離型テープ２０との粘着力が上記ずれ量ΔＸに応じて大きくなるということがある。
【００１１】
そのような状態で、上記ＴＣＰ３に貼着された粘着テープ１９から離型テープ２０を剥離すると、図８（ｂ）に示すように粘着テープ１９から離型テープ２０が剥離される前に、離型テープ２０とともに粘着テープ１９の端部がＴＣＰ３から剥離してしまう、いわゆる粘着テープ１９の捲れが生じることがあるため、そのＴＣＰ３を基板に確実に実装できなくなるということになる。
【００１２】
この発明は、電子部品に貼着される粘着テープのずれ量が大きくなるのを防止し、電子部品に粘着テープを貼着した後、この粘着テープから離型テープを剥離するときに、粘着テープの端部が電子部品から捲れることがないようにした電子部品の実装装置及び実装方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明は、  電子部品を粘着テープによって基板に実装する電子部品の実装装置であって、
上記基板を搬送位置決めする第１の搬送手段と、
上記電子部品を受ける受け取りポジション、この受け取りポジションで受けた電子部品に一方の面に離型テープが貼着されて所定長さに切断された粘着テープの他方の面を貼着して上記一方の面から上記離型テープを剥離する貼着剥離ポジション及び離型テープが剥離された粘着テープの一方の面によって上記電子部品を上記基板に実装する実装ポジションのそれぞれに上記電子部品を順次搬送位置決めする第２の搬送手段と、
上記実装ポジションに搬送された上記基板と、上記粘着テープが貼着された電子部品とを撮像する撮像手段と、
この撮像手段の撮像信号に基づいて上記基板の上記電子部品に対するずれ量と、所定長さに切断されて上記電子部品に貼着された上記粘着テープの上記電子部品に対するずれ量とを算出する演算処理手段と、
上記電子部品に対する基板のずれ量に基づいて上記実装ポジションにおける上記電子部品と基板との相対的な位置決めと、上記電子部品に対する粘着テープのずれ量に基づいて上記貼着剥離ポジションにおける上記電子部品と所定長さに切断された粘着テープとの相対的な位置決めとを制御する制御手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置にある。
【００１７】
この発明は、  電子部品を粘着テープによって基板に実装する電子部品の実装方法であって、
上記基板を搬送位置決めする工程と、
上記電子部品を受ける受け取りポジション、この受け取りポジションで受けた電子部品に一方の面に離型テープが貼着されて所定長さに切断された粘着テープの他方の面を貼着してから、上記一方の面から上記離型テープを剥離する貼着剥離ポジション及び上記離型テープが剥離された粘着テープの一方の面によって上記電子部品を上記基板に実装する実装ポジションのそれぞれに上記電子部品を順次搬送位置決めする工程と、
上記実装ポジションに搬送された上記基板と上記粘着テープが貼着された電子部品を撮像する工程と、
この撮像した撮像信号に基づいて上記基板の上記電子部品に対するずれ量と、所定長さに切断されて上記電子部品に貼着された上記粘着テープの上記電子部品に対するずれ量とを算出する工程と、
上記電子部品に対する基板のずれ量に基づいて上記実装ポジションにおける上記電子部品と上記基板との相対的な位置決めと、上記電子部品に対する粘着テープのずれ量に基づいて上記貼着剥離ポジションにおける上記電子部品と所定長さに切断された粘着テープとの相対的な位置決めとを制御する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法にある。
【発明の効果】
【００１８】
この発明によれば、基板と電子部品を撮像し、その撮像信号に基づいて電子部品を基板に対して位置決めすると同時に、電子部品に対する粘着テープのずれ量を検出し、そのずれ量に応じて電子部品に粘着テープを貼着するときの電子部品の位置決めを制御する。
【００１９】
そのため、電子部品に対する粘着テープのずれ量が所定以上になるのを防止できるから、電子部品に貼着された粘着テープから離型テープを剥離するとき、粘着テープの端部が電子部品から捲れ上がるのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。  
図１はこの発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の全体構成を示す概略図である。この実装装置は基板としてのたとえば液晶表示装置用のパネル１を搬送する第１の搬送手段であるパネルテーブル２と、電子部品としてのＴＣＰ３を搬送する第２の搬送手段としてのインデックステーブル４を有する。
【００２１】
上記パネルテーブル２はベース５上にＸ方向（図１の紙面に直交する方向）に沿って移動可能に設けられたＸテーブル６を有する。このＸテーブル６は上記ベース５に設けられたＸ駆動源７によって上記ベース５上をＸ方向に沿って駆動されるようになっている。
【００２２】
上記Ｘテーブル６にはＸ方向と直交するＹ方向〔矢印で示す〕に沿って移動可能なＹテーブル８が設けられている。このＹテーブル８は上記Ｘテーブル６に設けられたＹ駆動源９によってＹ方向に沿って駆動されるようになっている。上記Ｙテーブル８にはθテーブル１０が回転方向に移動可能に設けられ、上記Ｙテーブル８に設けられたθ駆動源１０ａによって回転方向に駆動されるようになっている。
【００２３】
そして、このθテーブル１０の上面に上記パネル１が供給され、たとえば真空吸着などの手段によって移動不能に保持される。それによって、上記パネル１は上記パネルテーブル２によってＸＹ及びθ方向に対して位置決め可能となっている。なお、θテーブル１０はパネル１よりも小さく形成されている。それによって、パネル１は周辺部をθテーブル１０の周辺部から突出させている。
【００２４】
上記インデックステーブル４は、中心に回転軸１１が設けられ、この回転軸１１はθ駆動源１２によって図２に矢印Ｒで示す時計方向に所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるようになっている。この実施の形態では、上記インデックステーブル４は９０度の回転角度で間欠駆動されるようになっている。
【００２５】
上記インデックステーブル４の上面には、９０度間隔で４つの支持体１３が設けられている。図１では２つの支持体１３だけを図示し、他の支持体１３を省略している。この支持体１３は側面形状がＬ字状をなしていて、その垂直面には可動体１４がリニアガイド１５によって垂直方向に移動可能に支持されている。
【００２６】
図１に示すように、上記支持体１３の上端にはブラケット１６が設けられ、このブラケット１６には実装シリンダ１７が軸線を垂直にし、かつロッド１７ａの先端を上記可動体１４の上端に連結して設けられている。なお、図２においては上記実装シリンダ１７の図示を省略している。
【００２７】
各可動体１４の下端面には実装手段として側面形状がＬ字状の吸着ヘッド１８が設けられている。この吸着ヘッド１８は、図２にＡで示す受け取りポジションで後述する部品供給部２１から供給されたＴＣＰ３を吸着保持し、上記パネル１に実装するようになっている。なお、インデックステーブル４は上述した受け取りポジションＡの他に、Ｂ〜Ｄで示す３つのポジション、つまり合計で４つのポジションを有する。
【００２８】
Ｂは受け取りポジションＡで吸着ヘッド１８に供給されたＴＣＰ３の端子部３ａ（図５に示す）を図示しないブラシで洗浄する洗浄ポジション、Ｃは洗浄されたＴＣＰ３の端子部３ａに図３に示すように離型テープ２０に貼着された状態で所定長さに切断された異方性導電部材からなる粘着テープ１９を後述するように貼着してから、その粘着テープ１９から離型テープ２０を剥離する貼着剥離ポジション、Ｄは端子部３ａに粘着テープ１９が貼着されたＴＣＰ３をパネル１の側辺部の上面に上記粘着テープ１９によって実装するための実装ポジションである。
【００２９】
上記部品供給部２１は、図１に示すようにキヤリアテープ２２から上記ＴＣＰ３を打ち抜く金型２３を有する。この金型２３は上下方向に駆動される上型２３ａと、この上型２３ａに対向して固定的に配置された下型２３ｂとを有し、上型２３ａにはポンチ２４が設けられ、下型２３ｂには上型２３ａが下降したときに上記ポンチ２４が入り込む貫通孔２５が設けられている。
【００３０】
上記キヤリアテープ２２は上型２３ａと下型２３ｂとの間に通され、上型２３ａが下降することで上記ＴＣＰ３が打ち抜かれ、上昇したときに＋Ｙで示す矢印方向に所定ピッチで送られて新たにＴＣＰ３が打ち抜き可能な状態となる。
【００３１】
上記下型２３ｂの下方には受け具２６が配置されている。この受け具２６はＸテーブル２７に設けられたＺθ駆動源２８によって上下方向となるＺ方向及び回転方向となるθ方向に駆動されるようになっている。上記Ｘテーブル２７はＹテーブル２９に上記Ｙ方向と直交するＸ方向に沿って移動可能に設けられている。このＹテーブル２９には上記Ｘテーブル２７をＸ方向に沿って駆動するＸ駆動源３１が設けられている。
【００３２】
上記Ｙテーブル２９は図１に矢印で示すＹ方向に沿って配置されたベース３２にＹ方向に沿って移動可能に設けられている。このベース３２の一端には上記Ｙテーブル２９をＹ方向に沿って駆動するＹ駆動源３３が設けられている。このベース３２の他端は上記インデックステーブル４の受け取りポジションＡの下方に位置している。
【００３３】
上記金型２３によってキヤリアテープ２２から打ち抜かれたＴＣＰ３を受け具２６が受けて下降すると、Ｙテーブル２９がＹ駆動源３３によってベース３２の一端から他端へ駆動される。それによって、ＴＣＰ３を保持した受け具２６が図１に鎖線で示すようにインデックステーブル４の受け取りポジションＡの下方に位置決めされる。
【００３４】
受け具２６が受け取りポジションＡの下方に位置決めされると、上記受け具２６が上昇方向に駆動され、可動体１４の下端に設けられた吸着ヘッド１８によって上記受け具２６に保持されたＴＣＰ３の端子部３ａが設けられた一端部の上面を吸着する。
【００３５】
吸着ヘッド１８が受け取りポジションＡでＴＣＰ３を吸着すると、インデックステーブル４が９０度回転駆動され、その吸着ヘッド１８が洗浄ポジションＢに位置決めされる。洗浄ポジションＢでは図示しないブラシによって吸着ヘッド１８に吸着保持されたＴＣＰ３の端子部３ａがブラッシングされる。それによって、端子部３ａに付着した汚れが除去される。
【００３６】
洗浄ポジションＢでＴＣＰ３の汚れが除去されると、インデックステーブル４は９０度回転駆動されて上記ＴＣＰ３は貼着剥離ポジションＣに位置決めされる。貼着剥離ポジションＣでは、上記ＴＣＰ３の端子部３ａに所定長さに切断された粘着テープ１９が貼着される。
【００３７】
上記貼着剥離ポジションＣは、図３と図４に示すように貼着剥離ポジションＣに位置決めされた吸着ヘッド１８の下方に対向してこの吸着ヘッド１８とほぼ同じ大きさの押圧ブロック３４が設けられている。この押圧ブロック３４にはヒータ３４ａが内蔵されている。
【００３８】
上記押圧ブロック３４は軸線を垂直にして配置された駆動シリンダ３５のロッド３５ａに取付けられ、図３に矢印で示す上下方向に駆動可能となっている。それによって、上記駆動シリンダ３５が作動して上記ロッド３５ａが突出方向に駆動されると、上記押圧ブロック３４が上記吸着ヘッド１８に向かって上昇する。
【００３９】
上記押圧ブロック３４の上面には、一方の面に上記粘着テープ１９が貼着された離型テープ２０が上記粘着テープ１９を上に向けて一対のガイドローラ３７によってガイドされて図３に矢印で示す方向に走行するようになっている。
【００４０】
上記粘着テープ１９が貼着された離型テープ２０は供給リール３８から繰り出され、巻き取りリール３９に巻き取られるようになっている。上記粘着テープ１９は、上記押圧ブロック３４の上面に対向する位置に搬送されてくる前に、図示しない切断機構によって所定長さに切断され、かつ所定長さに切断された粘着テープ１９の隣り合う端部間に隙間１９ａができるよう、その端部間の部分が除去（中抜き）される。
【００４１】
粘着テープ１９の所定長さに切断された部分がＴＣＰ３の一端部を吸着保持した吸着ヘッド１８の下方に位置決めされると、上記駆動シリンダ３５が作動してそのロッド３５ａが突出方向に駆動され、このロッド３５ａに設けられた押圧ブロック３４が離型テープ２０の所定長さに切断された粘着テープ１９が上面に貼着された部分の下面を押し上げながら上昇する。
【００４２】
それによって、図４（ａ）に示すように、所定長さに切断された上記粘着テープ１９は上記押圧ブロック３４によって吸着ヘッド１８に吸着保持されたＴＣＰ３の一端部の下面に押圧されながら、この押圧ブロック３４に内蔵されたヒータ３４ａによって加熱されて貼着される。
【００４３】
そして、図４（ｂ）に示すように、粘着テープ１９をＴＣＰ３に貼着して押圧ブロック３４が元の位置まで下降すると、離型ローラ４１が図示せぬ駆動機構によって離型テープ２０を下方へ押圧する、矢印−Ｚで示す下降方向に駆動されてから、矢印＋Ｘで示すＴＣＰ３の幅方向一端から他端に向かって駆動される。それによって、上記ＴＣＰ３に貼着された粘着テープ１９から離型テープ２０が剥離される。
【００４４】
なお、離型ローラ４１はインデックステーブル４が回転したときに、吸着ヘッド１８にぶつからないようＸ方向と直交するＹ方向に駆動可能となっている。  
ＴＣＰ３に貼着された粘着テープ１９から離型テープ２０が剥離されると、インデックステーブル４が９０度回転され、粘着テープ１９が貼着されたＴＣＰ３が実装ポジションＤに位置決めされる。実装ポジションＤには、図２と図５に示すように撮像手段としての第１の撮像カメラ４３と第２の撮像カメラ４４が配置されている。
【００４５】
上記パネル１の上記ＴＣＰ３が実装される部分には一対の第１の位置合わせマークＭ１、Ｍ２が所定間隔で設けられ、上記ＴＣＰ３の端子が設けられた一端部の幅方向両端部には上記一対の第１の位置合わせマークＭ１、Ｍ２と同じ間隔で一対の第２の位置合わせマークｍ１，ｍ２が設けられている。
【００４６】
粘着テープ１９が貼着されたＴＣＰ３が実装ポジションＤに位置決めされると、パネル１は予めティーチングされた座標に基づき、ＴＣＰ３が実装される部位が実装ポジションＤに位置決めされたＴＣＰ３に接近するようパネルテーブル２によって仮位置決めされる。この状態を図６に示す。
【００４７】
ＴＣＰ３に対してパネル１が仮位置決めされると、第１の撮像カメラ４３が一方の第１の位置合わせマークＭ１と一方の第２の位置合わせマークｍ１を第１の視野Ｓ１内に収めて撮像する。同様に、第２の撮像カメラ４４が他方の第１の位置合わせマークＭ２と他方第２の位置合わせマークｍ２を第２の視野Ｓ２内に収めて撮像する。
図６に示すように、上記第１の視野Ｓ１の一部はＴＣＰ３の幅方向一端部から外れた部分を含み、上記第２の視野Ｓ２の一部はＴＣＰ３の幅方向他端部から外れた部分を含む。
【００４８】
図７に示すように、各撮像カメラ４３，４４の撮像信号は画像処理装置４５に出力され、ここで上記撮像信号がアナログ信号からデジタル信号に変換されて制御装置４６に設けられた演算処理部４７で処理される。
【００４９】
上記演算処理部４７は、各一対の第１、第２の位置合わせマークＭ１、ｍ１及びＭ２、ｍ２のＸ、Ｙ座標を算出し、算出された座標からパネル１とＴＣＰ３とのＸ、Ｙ及びθ方向における位置ずれ量を算出する。
【００５０】
そして、演算処理部４７の算出結果が駆動出力部４８に出力されると、この駆動出力部４８は上記パネルテーブル２をＸ、Ｙ及びθ方向に駆動して、θテーブル１０上のパネル１を、上記実装ポジションＤに位置決めされたＴＣＰ３に対して位置決めする。つまり、パネル１に設けられた一対の第１の位置合わせマークＭ１、Ｍ２に対してＴＣＰ３に設けられた一対の第２の位置合わせマークｍ１，ｍ２がそれぞれ一致するよう位置決めする。
【００５１】
上記演算処理部４７は、パネル１とＴＣＰ３との位置ずれ量を算出すると同時に、粘着テープ１９がＴＣＰ３にずれることなく貼着されているか否かを検出する。すなわち、粘着テープ１９の幅方向の一端部或いは他端部がＴＣＰ３の幅方向一端部或いは他端部から突出していれば、その状態が第１の撮像カメラ４３或いは第２の撮像カメラ４４によって撮像される。
したがって、上記演算処理部４７は、第１、第２の撮像カメラ４３，４４からの撮像信号によって粘着テープ１９の一端部或いは他端部との、上記ＴＣＰ３の幅方向一端或いは他端とからの突出長さを算出する。
【００５２】
上記粘着テープ１９は上記ＴＣＰ３の幅寸法とほぼ同じ長さに分断されている。そのため、上記貼着剥離ポジションＣで、所定長さに切断された貼着テープ１９がＴＣＰ３の一端部の幅方向に対してずれて貼着されると、この粘着テープ１９の一端部或いは他端部がＴＣＰ３の幅方向一端或いは他端のいずれか一方から突出するから、その突出長さが上記演算処理部４７で算出されることになる。
【００５３】
図６は、ＴＣＰ３の幅方向に対して粘着テープ１９がずれて貼着された状態を示していて、粘着テープ１９の一端部がＴＣＰ３の幅方向一端部からｄで示す寸法で突出している。
【００５４】
図７に示すように、上記演算処理部４７における上記粘着テープ１９の上記ＴＣＰ３に対するずれ量の算出結果は比較部４９に出力される。比較部４９では上記演算処理部４７で算出されたずれ量ｄが設定値Ｔと比較され、そのずれ量が設定値Ｔを上回ると、そのことが上記駆動出力部４８に出力される。それによって、駆動出力部４８はθ駆動源１２によってインデックステーブル４を９０度回転させたときの、このインデックステーブル４の停止位置を制御する。なお、設定値Ｔは１ｍｍ以下であって、たとえば０，５ｍｍ或いはそれ以下となっている。
【００５５】
つまり、ＴＣＰ３に貼着された粘着テープ１９が上記ＴＣＰ３の幅方向の一端と他端とのどちらの方向から突出しているかによって上記インデックステーブル４の回転停止位置を、回転方向の上流側或いは下流側になるよう制御される。
【００５６】
たとえば、上記粘着テープ１９の一端が図２に矢印Ｒで示す上記インデックステーブル４の回転方向上流側に位置する上記ＴＣＰ３の幅方向一端から突出する方向にずれている場合、上記インデックステーブル４の回転停止位置が上記ずれ量に応じてそれまでより上流側になるよう制御され、逆の場合には下流側になるよう制御される。それによって、ＴＣＰ３に貼着される粘着テープ１９のずれ量は、このＴＣＰ３の幅方向に対して上記設定値Ｔ以下に制御される。
【００５７】
このように構成された実装装置によれば、パネル１にＴＣＰ３を実装するため、実装ポジションＤで第１の撮像カメラ４３と第２の撮像カメラ４４とによって、パネル１とＴＣＰ３に設けられた各一対の第１、第２の位置合わせマークＭ１、ｍ１及びＭ２、ｍ２がそれぞれ撮像される。
【００５８】
そして、一対の撮像カメラ４３，４４からの撮像信号が画像処理装置４５によって画像処理されて演算処理部４７に入力されると、この演算処理部４７ではパネル１とＴＣＰ３とのＸ、Ｙ及びθ方向のずれ量が算出され、その算出に基づいてパネルテーブル２がＸ、Ｙ及びθ方向に駆動されてパネル１がＴＣＰ３に対して位置決めされた後、実装シリンダ１７が作動して吸着ヘッド１８が下降方向に駆動される。それによって、吸着ヘッド１８に吸着保持されたＴＣＰ３がパネル１に実装される。
【００５９】
上記演算処理部４７では、第１、第２の撮像カメラ４３，４４からの撮像信号によってパネル１とＴＣＰ３とのＸ、Ｙ及びθ方向のずれ量が算出されると同時に、ＴＣＰ３に貼着された粘着テープ１９のずれ量ｄが算出され、ＴＣＰ３に対する粘着テープ１９のずれ量ｄが比較部４９に設定された設定値Ｔと比較される。
【００６０】
上記粘着テープ１９のずれ量ｄが設定値Ｔと同等以上になると、上記比較部４９から駆動出力部４８に制御信号が出力され、その制御信号によって駆動出力部４８からインデックステーブル４に駆動信号が出力される。それによって、インデックステーブル４の回転停止位置が制御される。
【００６１】
つまり、ＴＰＣ３に対して粘着テープ１９がインデックステーブル４の回転方向上流側或いは下流側のいずれの方向にずれているかによって、上記インデックステーブル４の回転停止位置がそれまでよりも回転方向の上流側或いは下流側になるよう制御される。それによって、粘着テープ１９がＴＣＰ３の幅方向に対して上記比較部４９に設定された設定値Ｔ以上にずれて貼着されるのが防止される。
【００６２】
このようにしてＴＣＰ３に貼着される粘着テープ１９のずれ量ｄが設定値Ｔ以上にならないように制御されれば、ＴＣＰ３に対する粘着テープ１９のずれが、粘着テープ１９から離型テープ２０の剥離を開始する開始端側に生じても、ＴＣＰ３の一端から突出した粘着テープ１９の突出端部と離型テープ２０との粘着力を所定以下にすることができる。
【００６３】
したがって、ＴＣＰ３に貼着された粘着テープ１９から離型テープ２０を離型ローラ４１によって剥離する際、離型テープ２０によって粘着テープ１９の端部がＴＣＰ３から剥がされて捲くれが生じるのを防止することができる。その結果、ＴＣＰ３をパネル１に確実に実装することが可能となる。
【００６４】
上記第１の撮像カメラ４３と第２の撮像カメラ４４とによって、パネル１とＴＣＰ３とに設けられた第１のマークＭ１、Ｍ２と第２のマークｍ１，ｍ２を撮像したなら、その撮像信号によってパネル１とＴＣＰ３との位置ずれ量を算出すると同時に、ＴＣＰ３に貼着された粘着テープ１９の位置ずれ量を算出するようにしている。
【００６５】
そのため、ＴＣＰ３に対する粘着テープ１９の位置ずれを検出するために、インデックステーブル４に上記粘着テープ１９の位置ずれを検出するためのポジションを設けて、その検出を別工程で行う必要がないから、粘着テープ１９の位置ずれの検出を行うために、ＴＣＰ３の実装に要するタクトタイムを長くするということがない。
【００６６】
上記一実施の形態では貼着剥離ポジションにおいて、インデックステーブルの回転停止位置を制御して所定長さに切断された粘着テープに対してＴＣＰを位置決めするようにしたが、所定長さに切断された粘着テープが貼着された離型テープの送り量を制御してＴＣＰに対して粘着テープを位置決めするようにしてもよく、要は実装ポジションにおいて検出されたＴＣＰに貼着された粘着テープのずれ量の検出に基づいて、ＴＣＰと粘着テープとが相対的に位置決めされるよう制御すればよい。
【００６７】
また、インデックステーブルの実装ポジションで位置決めされたＴＣＰに対してパネルをパネルテーブルによって位置決めして実装するようにしたが、インデックステーブルとパネルを位置決めするパネルテーブルとの間に受け渡し手段を設け、上記実装ポジションに搬送されたＴＣＰを受け渡し手段に受け渡し、この受け渡し手段によってＴＣＰを所定の位置まで搬送して位置決めした後、上記パネルに実装するようにしてもよい。
【００６８】
つまり、実装ポジションに搬送位置決めされたＴＣＰを直ちにパネルに実装してもよいが、実装ポジションに搬送されたＴＣＰを受け渡し手段に受け渡し、この受け渡し手段によって搬送位置決めしてからパネルに実装するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】この発明の一実施の形態を示す実装装置の概略的構成図。
【図２】インデックステーブルとパネルテーブルを示す平面図。
【図３】貼着剥離ポジションの構成を示す側面図。
【図４】（ａ）は貼着剥離ポジションでＴＣＰに粘着テープを貼着するときの説明図、（ｂ）はＴＣＰに貼着された粘着テープから離型テープを剥離するときの説明図。
【図５】実装ポジションにおけるパネルとＴＣＰを示す斜視図。
【図６】実装ポジションにおけるパネルとＴＣＰを示す平面図。
【図７】第１、第２の撮像カメラからの撮像信号を処理する制御系統のブロック図。
【図８】（ａ）は所定長さに切断された粘着テープがＴＣＰの幅方向にずれて貼着された状態の説明図、（ｂ）はずれて貼着された粘着テープから離型テープを剥離するときの説明図。
【符号の説明】
【００７０】
１…パネル（基板）、２…パネルテーブル（第１の搬送手段）、３…ＴＣＰ（電子部品）、４…インデックステーブル（第２の搬送手段）、１８…吸着ヘッド、１９…粘着テープ、２０…離型テープ、２１…部品供給部、４３…第１の撮像カメラ（第１の撮像手段）、４４…第２のカメラ（第２の撮像手段）、４５…画像処理部、４６…制御装置、４７…演算処理部、４９…比較部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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