(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像素子及び／又は論理素子が形成されたウエハの検査装置であって、
プローブカードを介して上記ウエハに接続され上記撮像素子のイメージセンサテストを行うテストヘッドと、上記プローブカードを介して上記ウエハに接続され上記論理素子のロジックテストを行うロジックテスタと、を備え、
上記ロジックテスタと上記テストヘッドとが合体可能な別体に構成され、
上記テストヘッドには、上記プローブカードに接続する複数のカード用プローブピンが設けられるとともに、合体された上記ロジックテスタと上記カード用プローブピンとを電気的に接続する接続配線部が設けられている、ウエハ検査装置。
【請求項２】
前記ロジックテスタは、複数の合体用プローブピンを有し、
前記テストヘッドは、上記合体用プローブピンが接続される複数の合体用電極と、前記プローブカードの複数のカード電極に接続する複数のカード用プローブピンと、を有し、
前記接続配線部は、上記各合体用電極と上記複数のカード用プローブピンを接続するロジックテスト用配線部と、上記テストヘッドの画像取込部と上記複数のカード用プローブピンとを接続するイメージセンサテスト用配線部と、を有する、請求項１に記載のウエハ検査装置。
【請求項３】
前記接続配線部は、前記ロジックテスト用配線部と前記イメージセンサテスト用配線部とを択一的に又は並列に切り替えるリレーを備える、請求項２に記載のウエハ検査装置。
【請求項４】
前記テストヘッドは回動してプローバに位置合わせされ、前記ロジックテスタは水平移動して上記テストヘッドに位置合わせされる、請求項１乃至３の何れかに記載のウエハ検査装置。
【請求項５】
前記テストヘッドにおける前記ロジックテスタが合体される接合受部は、光源部の鏡筒の長手方向両端側を除く該テストヘッドの側面に設けられている、請求項１乃至４の何れかに記載のウエハ検査装置。
【請求項６】
撮像素子が形成されたウエハに、プローバに配置されたプローブカードを介して接続して上記撮像素子のイメージセンサテストを行うテストヘッドであり、
上記テストヘッドは、上記プローバと対向しない第１面と該プローバと対向する第２面とを有し、
上記第１面には、上記ウエハの論理素子のロジックテストを行うためのロジックテスタと接続可能な接合受部が設けられ、
該接合受部には、上記ロジックテスタの複数の合体用プローブピンと接続する合体用電極が設けられ、
上記第２面には、上記プローブカードに接続可能な複数のカード用プローブピンが設けられ、
上記合体用電極と上記カード用プローブピンとが接続配線部により電気的に接続されている、テストヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ上に形成された論理素子と撮像素子との一方又は双方を検査するためのウエハ検査装置とこの検査装置に使用可能なテストヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
多数の論理素子が設けられたウエハについて、各論理素子のロジックテストを行う検査装置が知られている（例えば下記特許文献１）。
ロジックテストでは、多数の論理素子が設けられたウエハを、プローバのウエハステージに装着して精密に位置制御し、ウエハに設けられた電極にプローブカードのプローブ針を接触させると共に、プローブカードの電極にロジックテスタのプローブピンを接触させ、ロジックテスタから例えばテストパターンを印加してロジックテストを行う。
【０００３】
多数のＣＣＤ、ＣＭＯＳ等の撮像素子が設けられたウエハについて、各撮像素子のイメージセンサテストを行う検査装置も知られている（例えば下記特許文献２）。
イメージセンサテストでは、多数の撮像素子が設けられたウエハを、プローバのウエハステージに装着して精密に位置制御し、ウエハに設けられた電極にプローブカードのプローブ針を接触させると共に、プローブカードの電極にイメージセンサテスタのプローブピンを接触させる。そしてイメージセンサテスタの光源部から光を照射し、各撮像素子で生成された画像信号をイメージセンサテスタの画像取込部に入力してイメージセンサテストを行う。
【０００４】
さらに多数の論理素子及び撮像素子が設けられたウエハについて、ロジックテスト及びイメージセンサテストを行う検査装置も知られている。この検査装置ではロジックテスタの機能とイメージセンサテスタの機能とを一体化したモジュールがプローバに装着されている。論理素子及び撮像素子が設けられたウエハを、プローバのウエハステージに装着して精密に位置制御し、ウエハに設けられた電極にプローブカードのプローブ針を接触させると共に、プローブカードの電極にモジュールのプローブピンを接触させ、ロジックテストとイメージセンサテストとを行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−４５９１７号公報
【特許文献２】特開２００２−２１７２５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のロジックテスタ単体やイメージセンサテスタ単体では、ロジックテスト及びイメージセンサテストを行うためにそれぞれ別の装置が必要であった。
一方、両方の機能を有するモジュールを備えた検査装置では、ロジックテスト及びイメージセンサテストを同じ装置で行うことができる。ところがロジックテスタ及びイメージセンサテスタの機能を一体化した検査装置では、各機能を実現するための構造が一体に組み込まれている。そのため、ロジックテスタ単体やイメージセンサテスタ単体に比べて重さやサイズが大型になり易かった。特に検査能力を向上するような場合にはモジュールの重さや大きさの増加が問題となることがあった。
【０００７】
例えばイメージセンサテスタの機能を実現する部位について、広い領域に均一な光を照射できるように大きな鏡筒を用いたり、各種の光学部材の構造を大型化したり、キャプチャーユニットの数を増加し、一度に検査できる撮像素子の数を多くするとすれば、モジュールの重量や大きさが増加することになる。
【０００８】
このようなロジックテスト及びイメージセンサテストのためのモジュールはプローバに移動可能に装着されているため、モジュールの重量や大きさが大きくなるとプローバに装着することが容易でなく、精密に離接することが困難になったり、別のプローバが必要になったりすることがあった。
【０００９】
その結果、重さや大きさなどの機械的な制約が多く、各種の仕様を変更したり、ロジックテストの能力やイメージセンサテストの能力を向上させたりすることが容易でなかった。
【００１０】
本発明は、仕様を変更したり検査能力を向上することが容易で簡素な構造を有するウエハ検査装置及びテストヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成する本発明のウエハ検査装置は、撮像素子及び／又は論理素子が形成されたウエハの検査装置であり、プローブカードを介してウエハに接続され撮像素子のイメージセンサテストを行うテストヘッドと、プローブカードを介してウエハに接続され論理素子のロジックテストを行うロジックテスタと、を備え、ロジックテスタとテストヘッドとが合体可能な別体に構成され、テストヘッドには、プローブカードに接続するカード用プローブピンが設けられるとともに、合体されたロジックテスタとカード用プローブピンとを電気的に接続する接続配線部が設けられている。
【００１２】
このウエハ検査装置では、ロジックテスタは、複数の合体用プローブピンを有し、テストヘッドは、合体用プローブピンが接続される複数の合体用電極と、プローブカードの複数のカード電極に接続する複数のカード用プローブピンと、を有し、接続配線部は、各合体用電極と複数のカード用プローブピンとを接続するロジックテスト用配線部と、テストヘッドの画像取込部と複数のカード用プローブピンとを接続するイメージセンサテスト用配線部と、を有することができる。
接続配線部は、ロジックテスト用配線部とイメージセンサテスト用配線部とを択一的に又は並列に切り替えるリレーを備えるのが好適である。
【００１３】
このウエハ検査装置では、テストヘッドは回動してプローバに位置合わせされ、ロジックテスタは水平移動して上記テストヘッドに位置合わせされるのが好ましい。
またテストヘッドにおけるロジックテスタが合体される接合受部は、光源部の鏡筒の長手方向両端側を除くテストヘッドの側面に設けられているのがよい。
【００１４】
上記目的を達成する本発明のテストヘッドは、撮像素子が形成されたウエハに、プローバに配置されたプローブカードを介して接続して撮像素子のイメージセンサテストを行うテストヘッドであり、このテストヘッドは、プローバと対向しない第１面とプローバと対向する第２面とを有し、第１面には、ウエハの論理素子のロジックテストを行うためのロジックテスタと接続可能な接合受部が設けられ、該接合受部には、ロジックテスタの複数の合体用プローブピンと接続する合体用電極が設けられ、第２面には、プローブカードに接続可能な複数のカード用プローブピンが設けられ、合体用電極とカード用プローブピンとが接続配線部により電気的に接続されている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のウエハ検査装置によれば、ロジックテスタとテストヘッドとが合体可能な別体に構成されているので、ロジックテスタ及びテストヘッドのそれぞれにおいて重量や大きさなどの制約を少なくでき、ロジックテスタ及びテストヘッドの仕様や構成等を容易に設定したり変更したりすることができる。その際、ロジックテスタやテストヘッドの重量や大きさが増加しても、別々に構成されているため、十分な支持強度を確保でき、しかも、各部の接続の際に精密な位置合わせを行うことが容易である。
そして、テストヘッドにはプローブカードに接続するカード用プローブピンと、このカード用プローブピンとロジックテスタとを電気的に接続する接続配線部と、が設けられているため、テストヘッドに設けられたカード用プローブピンによりテストヘッドとロジックテスタとの両者をプローブカードに接続することができる。そのため、ロジックテスタとテストヘッドとを別体に構成していても、電気的な接続機構が複雑化せず簡素な構造を実現できる。
よって、ロジックテスタ及びテストヘッドの仕様を変更したり検査能力を向上したりすることが容易で、簡素な構造を有する検査装置を提供することができる。
【００１６】
本発明のテストヘッドによれば、第１面にはロジックテスタの複数の合体用プローブピンと接続する合体用電極が設けられ、第２面にはプローブカードに接続可能な複数のカード用プローブピンが設けられ、合体用電極とカード用プローブピンとが接続配線部により電気的に接続されている。
そのため、電気的な接続機構を複雑化することなく、別体に構成されたロジックテスタを容易にプローブカードに接続することが可能である。よって、簡素な構造でロジックテスタとテストヘッドとを別体に構成した検査装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態に係るウエハ検査装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る検査装置を模式的に示した分解斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係る検査装置のテストヘッドの斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係る検査装置のテストヘッドの概略ブロック図である。
【図５】本発明の実施形態に係る検査装置のテストヘッドを回動させた状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態について図を用いて説明する。
［ウエハ］
まず検査対象のウエハについて説明する。
検査対象となるウエハは、前工程によりウエハ表面に多数の半導体集積回路が配列して形成されたウエハである。各半導体集積回路は、論理素子が形成された回路、撮像素子が形成された回路、論理素子及び撮像素子が形成された回路の何れであってもよい。画像素子は例えばＣＣＤ、ＣＭＯＳ等が挙げられる。
本実施形態では、ＣＭＯＳからなる撮像素子とＣＭＯＳにより生成された信号を処理するための論理素子とが形成されたウエハの例を用いて説明する。
【００１９】
［全体構成］
本実施形態のウエハ検査装置１０は、図１及び図２に示すように、精密に位置制御可能なウエハステージ１２を有するプローバ１１と、ウエハステージ１２上に配置されたウエハＷにプローブカード１３を介して接続され、撮像素子のイメージセンサテストを行うテストヘッド１５と、テストヘッド１５及びプローブカード１３を介してウエハＷに接続され、論理素子のロジックテストを行うロジックテスタ１７と、を備えている。
【００２０】
この実施形態では、プローブカード１３がプローバ１１の挿入部１９から挿入されて所定位置に配置されるように構成されている。このプローバ１１では、プローブカード１３が所定位置に配置されることで、プローブカード１３の多数のプローブ針がウエハＷの多数の電極と精密に位置合わせされた状態で接続されるようになっている。
【００２１】
ロジックテスタ１７及びテストヘッド１５は、それぞれ個別の装置として別体に構成され、合体可能となっている。これらは別々に支持されており、ロジックテスタ１７が移動可能な台車２１に支持され、テストヘッド１５がプローバ１１に支持されている。
【００２２】
［テストヘッド］
テストヘッド１５は、ロジックテスタ１７が接合される接合受部２３と、プローブカード１３との接続部２５と、ウエハＷに基準光を照射するための光源部２７と、撮像素子で生成された信号を格納するためのキャプチャー等を含む画像取込部２９と、各部を電気的に接続する接続配線部３１と、を備えている。
【００２３】
接合受部２３は、ロジックテスタ１７が合体される部位であり、ロジックテスタ１７と機械的及び電気的に接続可能に構成されている。この接合受部２３は、光源部２７の後述する鏡筒３３の長手方向両端側を除くテストヘッド１５の側面に設けられている。即ち、照射方向に沿う長さが長い鏡筒３３に対し、この鏡筒３３の周囲を囲む面に接合受部２３が設けられている。
接合受部２３は、ロジックテスタ１７を所定相対位置で機械的に固定可能な固定手段３５と、固定手段３５により固定されたロジックテスタ１７の多数の合体用プローブピン３７が接続される多数の合体用電極３９と、を備えている。
【００２４】
合体用電極３９は、図３に示すように、環状に配置された複数の板に分割してロジックテスタ１７の多数の合体用プローブピン３７の配置に対応するように配設している。合体用電極３９はプローブカードと同様の構成を有し、それぞれ微細なパッド状に形成されている。各板のパッド状の合体用電極３９は裏面側で接続配線部３１に接続されている。
【００２５】
プローブカード１３との接続部２５は、中央に光源部２７からの光が透過可能な貫通孔４１を有するタワー部４３と、プローブカード１３の多数のカード電極４５に接続可能にタワー部４３に設けられた多数のカード用プローブピン４７と、を備えている。
【００２６】
光源部２７は、接続部２５の貫通孔４１に一方の端部を臨ませて配設された鏡筒３３と、鏡筒３３に光を供給する光源３２とを備え、ウエハＷに設けられた多数の撮像素子に均一に基準光を照射できるように構成されている。
【００２７】
画像取込部２９は、照光されて撮像素子で生成されて伝達された信号を格納する回路であり、例えばキャプチャーボード４９などを備えている。
【００２８】
接続配線部３１は、図４に示すように、接合受部２３、接続部２５及び画像取込部２９との間を電気的に接続するもので、接合受部２３の合体用電極３９と接続部２５のカード用プローブピン４７とを接続するロジックテスト用配線部５１と、テストヘッド１５の画像取込部２９とカード用プローブピン４７とを接続するイメージセンサテスト用配線部５３と、ロジックテスト用配線部５１とイメージセンサテスト用配線部５３との何れか一方を択一的に接続するか両者を並列に接続するかを切り替えるリレー部５４と、を備える。
なお、図４中に仮想線で示すように、リレー部５４は制御部５０により切替等が制御されていてもよい。またロジックテスタ１７の例えば電源部等の一部がリレー部５４の切替状態に拘わらずカード用プローブピン４７と接続されていてもよい。さらに画像取込部２９は外部のコンピュータ５２等に接続されていてもよい。
【００２９】
このテストヘッド１５は十分な剛性を有するヒンジ部５５によりプローバ１１に装着されている。図５に示すように、ヒンジ部５５によりテストヘッド１５を回動させて反転させることが可能となっており、反転させた際の上面にタワー部４３及びカード用プローブピン４７が設けられている。
ヒンジ部を中心にテストヘッド１５を回動させると、タワー部４３及びカード用プローブピン４７がプローバ１１に設けられた開口５７の内側に配置され、ウエハステージ１２に対して精密に位置合わせされる。
【００３０】
［ロジックテスタ］
ロジックテスタ１７は、内部に電源部、テストパターンの生成部、判定部等を備え、一方の側面にテストヘッド１５の接合受部２３と接合して合体するための接合部５９を備えている。接合部５９は、環状のタワー部６１と、タワー部６１に設けられてロジックテスタ１７の内部と接続された多数の合体用プローブピン３７とを備えている。合体用プローブピン３７はプローブカード１３に直接接続するものではないが、上述のカード用プローブピン４７と同様の構成を有しており、ここではスプリングコンタクトピンからなる。
【００３１】
本実施形態では、ロジックテスタ１７として、従来からプローバ１１に装着されてプローブカードと接続してロジックテストに使用されていたロジックテスタをそのまま用いている。そのためタワー部６１及び合体用プローブピン３７として、従来のプローブカードの電極に接続する構造を利用している。
【００３２】
このロジックテスタ１７は、スライド支持部６３により水平移動可能に支持されている。スライド支持部６３は、キャスター等により床面上で移動可能な台車２１と、台車２１に立設されたフレーム部６５とを備えている。フレーム部６５に支持されたロジックテスタ１７は台車２１により略水平方向に移動可能となっている。ロジックテスタ１７は、テストヘッド１５に対して水平移動することで、ロジックテスタ１７の接合部５９がテストヘッド１５の接合受部２３に接合されて固定され、これによりテストヘッド１５に合体される。
【００３３】
ロジックテスタ１７とテストヘッド１５との接合を容易にするために、本実施の形態では、ロジックテスタ１７の合体用プローブピン３７をテストヘッド１５の合体用電極３９に精密に位置合わせするガイド部材６７等がロジックテスタ１７に設けられている。
【００３４】
［検査装置の使用方法］
次に、このような検査装置１０の使用方法について説明する。
まず、ロジックテスタ１７とテストヘッド１５とを分離した、例えば図２に示すような状態で、検査対象のウエハＷに応じて適宜メンテナンスなどを行なう。このときテストヘッド１５のキャプチャーボード４９やロジックテスタ１７のテストボードなどが適宜装着される。
【００３５】
その後、テストヘッド１５をヒンジ部５５により回動させ、図１に示すように、プローバ１１に対して所定位置に精度よく配置し、接続部２５をプローバ１１の開口５７内に配置する。これによりテストヘッド１５の多数のカード用プローブピン４７がプローブカード１３の多数のカード電極４５に精度よく接触可能な位置となる。
【００３６】
一方、ロジックテスタ１７を台車２１により水平移動させ、ロジックテスタ１７の接合部５９とテストヘッド１５の接合受部２３とをガイド部材６７を利用して精度よく対向させて接合し、ロジックテスタ１７の多数の合体用プローブピン３７をテストヘッド１５の多数の合体用電極３９に接触させる。
【００３７】
またプローバ１１では、検査対象のウエハＷに対応したプローブカード１３を挿入部１９から挿入して所定位置に配置し、検査対象のウエハＷを供給してプローバ１１のウエハステージ１２に配置し、プローブカード１３のプローブ針を精密にウエハの所定の多数の電極に接触させる。
【００３８】
さらに接続配線部３１のロジックテスト用配線部５１により、ロジックテスタ１７の合体用プローブピン３７とテストヘッド１５のカード用プローブピン４７とをリレー部５４を介して接続可能にする。また接続配線部３１のイメージセンサテスト用配線部５３により、テストヘッド１５の画像取込部２９と多数のカード用プローブピン４７とをリレー部５４を介して接続可能にする。
【００３９】
そしてロジックテストを行う場合には、リレー部５４の切替により合体用プローブピン３７をカード用プローブピン４７と接続し、ロジックテスタ１７からロジックテスト用配線部５１、カード用プローブピン４７、及びプローブカード１３を介してウエハＷの論理素子にテストパターンを印加してロジックテストを行う。
イメージセンサテストを行う場合には、ロジックテスタ１７の電源等に対応する合体用プローブピン３７の一部をカード用プローブピン４７と接続しておき、リレー部５４の切替により画像取込部２９をカード用プローブピン４７と接続する。テストヘッド１５の光源３２及び鏡筒３３から開口５７を通してウエハＷの複数の撮像素子に基準光を照射し、撮像素子において生成された信号をプローブカード１３、カード用プローブピン４７、イメージセンサテスト用配線部５３を介して画像取込部２９に伝達して格納する。ここでは格納した信号を外部のコンピュータ５２に転送して撮像素子のテスト判定処理などのイメージセンサテストを行う。
これらは接続配線部３１のリレーボードを切り替えて、何れか一方のテストを行ってもよく、両テストを順次行ってもよく、両テストを並列に行ってもよい。
【００４０】
その後、ウエハＷ上の検査対象となる全ての撮像素子及び論理素子についてのテストを行うことで検査工程を終了することができる。
【００４１】
［実施形態における作用効果］
以上のような検査装置１０によれば、ロジックテスタ１７とテストヘッド１５とが合体可能な別体として構成されているので、ロジックテスタ１７及びテストヘッド１５のそれぞれにおいて重量や大きさなどの制約を少なくできる。そのため、ロジックテスタ１７及びテストヘッド１５の仕様や構成等を容易に設定又は変更することが可能である。
【００４２】
例えば、ロジックテスタ１７やテストヘッド１５の構成を増加したり大型化して検査能力を向上させ、又は検査対象のウエハＷに応じて仕様を変更することが容易である。この実施形態では、テストヘッド１５において、光源部２７の光源３２を大きくすると共に鏡筒３３を大径にし、画像取込部２９のキャプチャーボード４９を増加しており、これにより一度に検査できる撮像素子の数を多くして検査効率を向上している。
【００４３】
またこのようにロジックテスタ１７やテストヘッド１５の重量や大きさを増加させても、ロジックテスタ１７とテストヘッド１５とが別々に構成されているため、それぞれ十分な支持強度を確保でき、各部の接続の際に精密な位置合わせを容易に行うことができる。
【００４４】
そしてテストヘッド１５に接続配線部３１を設けたので、テストヘッド１５に設けられたカード用プローブピン４７によりテストヘッド１５とロジックテスタ１７との両者をプローブカード１３に接続できる。そのためロジックテスタ１７とテストヘッド１５とを別体に構成していても、電気的な接続機構が複雑化せず簡素な構造にできる。
【００４５】
この検査装置１０によれば、ロジックテスタ１７に多数の合体用プローブピン３７が設けられ、この多数の合体用プローブピン３７をテストヘッド１５の多数の合体用電極３９に接続可能にし、接続配線部３１により各合体用電極３９と多数のカード用プローブピン４７とを接続したので、従来から使用しているロジックテスタ１７を利用してロジックテストとイメージセンサテストとを行う検査装置１０を容易に形成することが可能である。
ここでは従来からロジックテストに使用されていたプローブカードの電極と同じ配置で合体用電極３９をテストヘッド１５に配置することでロジックテスタ１７をテストヘッド１５に接続可能にし、接続配線部３１によりカード用プローブピン４７と接続可能にしているため、ロジックテストのためにテストヘッド１５に必要となる構造を簡素化でき検査装置１０を容易に形成できる。
【００４６】
この検査装置１０によれば、接続配線部３１にロジックテスト用配線部５１とイメージセンサテスト用配線部５３とを択一的又は並列に切り替えるリレーを設けたので、ロジックテスタ１７とテストヘッド１５とを合体した状態でロジックテストとイメージセンサテストとを自在に選択して行うことができる。
【００４７】
この検査装置１０によれば、テストヘッド１５を回動させてプローバ１１に位置合わせするので、ロジックテスタ１７に比べてプローブピンが多く存在するテストヘッド１５をプローバ１１のウエハステージ１２に対して容易に精度よく位置合わせして所定位置に配置することができる。
またロジックテスタ１７を水平移動させてテストヘッド１５に位置合わせするので、合体する際に高さ方向の位置合わせを少なく又は無くすことができ、容易に精度よく合体させることができる。
【００４８】
この検査装置１０によれば、テストヘッド１５におけるロジックテスタ１７と合体させる接合受部２３を光源部２７の鏡筒３３の長手方向両端側を除くテストヘッド１５の側面に設けたので、装置全高を高くすることなく鏡筒３３を長くし、或いは端部側に光源３２や光学部材などを配設することができる。そのため鏡筒３３を大径にし、さらに光源３２や光学部材を大型化することが容易で、ウエハＷの照射領域をより広くして、一度に検査できる撮像素子の数を多くすることが可能である。
【００４９】
上記のテストヘッド１５によれば、第１面にはロジックテスタ１７の多数の合体用プローブピン３７と接続する合体用電極３９を設け、第２面にはプローブカード１３に接続可能な多数のカード用プローブピン４７を設け、合体用電極３９とカード用プローブピン４７とを接続配線部３１により電気的に接続してテストヘッド１５を構成している。そのため電気的な接続機構を複雑化することなく、別体のロジックテスタ１７を容易にプローブカード１３に接続することが可能なテストヘッド１５が得られる。
【符号の説明】
【００５０】
Ｗ  ウエハ
１０  検査装置
１１  プローバ
１２  ウエハステージ
１３  プローブカード
１５  テストヘッド
１７  ロジックテスタ
１９  挿入部
２１  台車
２３  接合受部
２５  接続部
２７  光源部
２９  画像取込部
３１  接続配線部
３２  光源
３３  鏡筒
３５  固定手段
３７  合体用プローブピン
３９  合体用電極
４１  貫通孔
４３  タワー部
４５  カード電極
４７  カード用プローブピン
４９  キャプチャーボード
５０  制御部
５１  ロジックテスト用配線部
５２  コンピュータ
５３  イメージセンサテスト用配線部
５４  リレー部
５５  ヒンジ部
５７  開口
５９  接合部
６１  タワー部
６３  スライド支持部
６５  フレーム部
６７  ガイド部材
【図１】
0005495164.tif 000002
【図２】
0005495164.tif 000003
【図３】
0005495164.tif 000004
【図４】
0005495164.tif 000005
【図５】
0005495164.tif 000006