(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷定盤に搭載された被印刷物にペーストを印刷するスクリーン印刷装置において、
前記印刷定盤の上方に配置され、ペーストが充填される貫通穴を有するスクリーン版と、
前記スクリーン版を所定のテンションで張設する一対の張設具と、
前記一対の張設具のうち少なくとも１つの張設具を水平方向に移動させる張設具水平駆動部と、
所定の押し込み圧力で下方に押されているスキージであって、前記スクリーン版上を走行して、前記スクリーン版の前記貫通穴にペーストを充填する、または、前記貫通穴に充填されたペーストを被印刷物上に転写するスキージと、
前記スキージを下方に押すとともに水平方向に移動させるスキージ駆動部と、
前記印刷定盤に取り付けられ、充填時に前記印刷定盤を前記スクリーン版の下方から退避させる印刷定盤駆動部と、
前記張設具水平駆動部および前記スキージ駆動部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記スクリーン版のテンションおよび前記スキージの押し込み圧力が、充填時に第１テンションおよび第１押し込み圧力となり、転写時に前記第１テンションおよび前記第１押し込み圧力よりも小さい第２テンションおよび第２押し込み圧力となるよう、前記張設具水平駆動部および前記スキージ駆動部を制御することを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記スクリーン版上における前記スキージの走行速度が、充填時に第１走行速度となり、転写時に前記第１走行速度よりも大きい第２走行速度となるよう、前記制御部が前記スキージ駆動部を制御することを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
前記スキージは、充填時に用いられる第１スキージと、転写時に用いられる第２スキージと、からなることを特徴とする請求項１または２に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
前記スキージに接続され、前記スクリーン版に対する前記スキージの角度を調整するスキージ角度調整部をさらに備え、
前記スクリーン版に対する前記スキージの角度が、充填時に第１スキージ角度となり、転写時に前記第１スキージ角度とは異なる第２スキージ角度となるよう、前記制御部が前記スキージ角度調整部を制御することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
【請求項５】
前記一対の張設具のうち少なくとも１つの張設具を上下方向に移動させる張設具上下駆動部をさらに備え、
前記スキージが前記スクリーン版上を走行するにつれて少なくとも１つの張設具の高さが変化するよう、前記制御部が前記張設具上下駆動部を制御することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
【請求項６】
少なくとも１つの張設具の高さの変化の程度が、充填時と転写時とで異なることを特徴とする請求項５に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項７】
前記スクリーン版を上方から覆うとともに、スクリーン版近傍における温度および湿度を調整する温度調整機構をさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
【請求項８】
前記張設具は、前記スクリーン版を挟持する取付具と、当該取付具と前記スクリーン版との間に介在された補強板と、を有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
【請求項９】
印刷定盤に搭載された被印刷物にスクリーン版を介してペーストを印刷するスクリーン印刷方法において、
前記印刷定盤を前記スクリーン版の下方から退避させると工程と、
前記スクリーン版に第１テンションを印加するとともに、第１押し込み圧力で下方に押されているスキージを前記スクリーン版上で走行させることにより、貫通穴にペーストを充填する工程と、
前記スクリーン版の前記貫通穴にペーストを充填した後、前記印刷定盤を前記スクリーン版の下方に配置する工程と、
前記スクリーン版に前記第１テンションよりも小さい第２テンションを印加するとともに、前記第１押し込み圧力よりも小さい第２押し込み圧力で下方に押されている前記スキージを前記スクリーン版上で走行させることにより、前記貫通穴に充填されたペーストを被印刷物上に転写する工程と、
前記ペーストが転写された前記被印刷物を乾燥することにより、前記被印刷物上にバンプを形成する工程と、を備えたことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項１０】
前記被印刷物上にペーストを転写した後、前記スクリーン版に前記第１テンションを印加するとともに、前記第１押し込み圧力で下方に押されている前記スキージを前記スクリーン版上で走行させることにより、前記スクリーン版の前記貫通穴にペーストを充填する工程と、
前記スクリーン版の前記貫通穴にペーストを充填した後、前記スクリーン版に前記第２テンションを印加するとともに、前記第２押し込み圧力で下方に押されている前記スキージを前記スクリーン版上で走行させることにより、前記貫通穴に充填されたペーストを被印刷物の前記バンプ上に転写する工程と、
前記バンプ上に導電性ペーストが転写された前記被印刷物を乾燥する工程と、をさらに備えたことを特徴とする請求項９に記載のスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン版を介して被印刷物にペーストを印刷するスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
微細な構造物を精度良く形成するため、スクリーン印刷を応用した技術が様々な分野において用いられている。例えば、多層プリント配線板の製造において、銅箔等の金属箔からなる基板シート（被印刷物）の表面に複数の略円錐状の導電性バンプを形成するためにスクリーン印刷方法が用いられることが知られている（例えば、特許文献１乃至３等参照）。導電性バンプ付基板シートを備えた多層プリント配線板においては、導電性バンプ付基板シートの上に、プリプレグ等の絶縁シートと追加の基板シートとが重ね合わせられる。この場合、基板シートの表面に形成された導電性バンプが絶縁シートを貫通することにより、当該絶縁シートの両側にある基板シート同士が導電性バンプによって電気的に接続される。
【０００３】
基板シートに形成される導電性バンプが絶縁シートを貫通するためには、導電性バンプが所定の高さを有することが必要となる。スクリーン印刷法により導電性バンプを基板シートに形成する場合、一般に、１回の印刷で所望の高さの導電性バンプを得るのは困難である。このため従来は、数回の重ね印刷を行うことにより、絶縁シートを貫通できる高さを有する導電性バンプが形成される。このように数回の重ね印刷を行う場合、毎回の印刷において、基板シートにおける導電性バンプが形成されるべき箇所とスクリーン版の貫通穴との位置合わせ、基板シートへの導電性ペーストの転写、および、基板シート上に導電性ペーストを転写した後の基板シートの乾燥からなる一連の工程がそれぞれ行われる。このため、導電性バンプ付基板シートを製造するにあたり時間がかかるという問題があった。
【０００４】
また、特許文献４には、スクリーン印刷法を行うにあたり、初期状態においてスクリーン版の貫通穴にハンダを充填し、この貫通穴の両側面にハンダ膜を形成し、その後、このハンダを基板シートに転写する技術が記載されている。しかしながら、特許文献４に示す方法は、印刷の初期段階においてハンダの供給量不足を改善するものであり、２回目以降の印刷では従来のスクリーン印刷法と比較して印刷に要する時間は変わらないという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３１６７８４０号
【特許文献２】特許第４１２７４９２号
【特許文献３】特開２００２−３０５３７６号公報
【特許文献４】特許第３３８４４１４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、スクリーン印刷法による導電性バンプの形成方法においては、はじめに、貫通穴に導電性ペーストが充填されたスクリーン版を上方から基板シートに接触させ、これによって、スクリーン版の貫通穴に充填された導電性ペーストを基板シートに粘着させる。次に、スクリーン版を基板シートから離間させる。この際、貫通穴に充填された導電性ペーストの一部分が基板シートから引っ張られ、これによって、貫通穴に充填された導電性ペーストの一部分が基板シート上に転写される。この場合、スクリーン版の貫通穴においては、貫通穴内に充填されている導電性ペーストの量が、基板シート上に転写された導電性ペーストの分だけ減少することになる。すなわち、貫通穴内に、導電性ペーストが充填されていない非充填部分が存在している。このような状態のスクリーン版をそのまま用いてその後の重ね印刷を行う場合、１回の印刷によって基板シート上に転写される導電性ペーストの量が、非充填部分の分だけ少なくなると考えられる。
【０００７】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、１回のスクリーン印刷で被印刷物上に転写されるペーストの量を多くすることができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、印刷定盤に搭載された被印刷物にペーストを印刷するスクリーン印刷装置において、前記印刷定盤の上方に配置され、ペーストが充填される貫通穴を有するスクリーン版と、前記スクリーン版を所定のテンションで張設する一対の張設具と、前記一対の張設具のうち少なくとも１つの張設具を水平方向に移動させる張設具水平駆動部と、所定の押し込み圧力で下方に押されているスキージであって、前記スクリーン版上を走行して、前記スクリーン版の前記貫通穴にペーストを充填する、または、前記貫通穴に充填されたペーストを被印刷物上に転写するスキージと、前記スキージを下方に押すとともに水平方向に移動させるスキージ駆動部と、前記印刷定盤に取り付けられ、充填時に前記印刷定盤を前記スクリーン版の下方から退避させる印刷定盤駆動部と、前記張設具水平駆動部および前記スキージ駆動部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記スクリーン版のテンションおよび前記スキージの押し込み圧力が、充填時に第１テンションおよび第１押し込み圧力となり、転写時に前記第１テンションおよび前記第１押し込み圧力よりも小さい第２テンションおよび第２押し込み圧力となるよう、前記張設具水平駆動部および前記スキージ駆動部を制御することを特徴とするスクリーン印刷装置である。
【０００９】
本発明によるスクリーン印刷装置によれば、充填時のスクリーン版のテンションおよびスキージの押し込み圧力と、転写時のスクリーン版のテンションおよびスキージの押し込み圧力とが、それぞれ独立に調整可能となっている。このため、転写時の第２テンションおよび第２押し込み圧力を、充填時の第１テンションおよび第１押し込み圧力よりも小さくすることができる。このことにより、充填時において、より多くのペーストをスクリーン版の貫通穴内に充填することができ、また転写時において、スキージがスクリーン版の貫通部内に過剰に押し込まれるのを防ぐことができる。
【００１０】
本発明によるスクリーン印刷装置において、前記スクリーン版上における前記スキージの走行速度が、充填時に第１走行速度となり、転写時に前記第１走行速度よりも大きい第２走行速度となるよう、前記制御部が前記スキージ駆動部を制御してもよい。
【００１１】
本発明によるスクリーン印刷装置において、前記スキージは、充填時に用いられる第１スキージと、転写時に用いられる第２スキージと、からなっていてもよい。
【００１２】
本発明によるスクリーン印刷装置は、前記スキージに接続され、前記スクリーン版に対する前記スキージの角度を調整するスキージ角度調整部をさらに備えていてもよい。この場合、前記スクリーン版に対する前記スキージの角度が、充填時に第１スキージ角度となり、転写時に前記第１スキージ角度とは異なる第２スキージ角度となるよう、前記制御部が前記スキージ角度調整部を制御してもよい。
【００１３】
本発明によるスクリーン印刷装置は、前記一対の張設具のうち少なくとも１つの張設具を上下方向に移動させる張設具上下駆動部をさらに備えていてもよい。この場合、前記スキージが前記スクリーン版上を走行するにつれて少なくとも１つの張設具の高さが変化するよう、前記制御部が前記張設具上下駆動部を制御してもよい。
【００１４】
本発明によるスクリーン印刷装置において、少なくとも１つの張設具の高さの変化の程度が、充填時と転写時とで異なっていてもよい。
【００１５】
本発明によるスクリーン印刷装置は、前記スクリーン版を上方から覆うとともに、スクリーン版近傍における温度および湿度を調整する温度調整機構をさらに備えていてもよい。
【００１６】
本発明によるスクリーン印刷装置において、前記張設具は、前記スクリーン版を挟持する取付具と、当該取付具と前記スクリーン版との間に介在された補強板と、を有していてもよい。
【００１７】
本発明は、印刷定盤に搭載された被印刷物にスクリーン版を介してペーストを印刷するスクリーン印刷方法において、前記印刷定盤を前記スクリーン版の下方から退避させると工程と、前記スクリーン版に第１テンションを印加するとともに、第１押し込み圧力で下方に押されているスキージを前記スクリーン版上で走行させることにより、貫通穴にペーストを充填する工程と、前記スクリーン版の前記貫通穴にペーストを充填した後、前記印刷定盤を前記スクリーン版の下方に配置する工程と、前記スクリーン版に前記第１テンションよりも小さい第２テンションを印加するとともに、前記第１押し込み圧力よりも小さい第２押し込み圧力で下方に押されている前記スキージを前記スクリーン版上で走行させることにより、前記貫通穴に充填されたペーストを被印刷物上に転写する工程と、前記ペーストが転写された前記被印刷物を乾燥することにより、前記被印刷物上にバンプを形成する工程と、を備えたことを特徴とするスクリーン印刷方法である。
【００１８】
本発明によるスクリーン印刷方法によれば、転写時の第２テンションおよび第２押し込み圧力が、充填時の第１テンションおよび第１押し込み圧力よりも小さくなっている。このため、充填時において、より多くのペーストをスクリーン版の貫通穴内に充填することができ、また転写時において、スキージがスクリーン版の貫通部内に過剰に押し込まれるのを防ぐことができる。
【００１９】
本発明によるスクリーン印刷方法は、前記被印刷物上にペーストを転写した後、前記スクリーン版に前記第１テンションを印加するとともに、前記第１押し込み圧力で下方に押されている前記スキージを前記スクリーン版上で走行させることにより、前記スクリーン版の前記貫通穴にペーストを充填する工程と、前記スクリーン版の前記貫通穴にペーストを充填した後、前記スクリーン版に前記第２テンションを印加するとともに、前記第２押し込み圧力で下方に押されている前記スキージを前記スクリーン版上で走行させることにより、前記貫通穴に充填されたペーストを被印刷物の前記バンプ上に転写する工程と、前記バンプ上に導電性ペーストが転写された前記被印刷物を乾燥する工程と、をさらに備えていてもよい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、１回のスクリーン印刷で被印刷物上に転写されるペーストの量を多くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は、本発明の実施の形態によるスクリーン印刷装置を示す側面図。
【図２】図２は、図１のスクリーン印刷装置のスキージを拡大して示す側面図。
【図３】図３は、図１のスクリーン印刷装置のスクリーン版を拡大して示す平面図。
【図４】図４は、図１のスクリーン印刷装置のスクリーン版を拡大して示す側面図。
【図５】図５（ａ）〜（ｄ）は、本発明の実施の形態において、１回目の充填時の手順を示す図。
【図６】図６（ａ）〜（ｄ）は、本発明の実施の形態において、１回目の転写時の手順を示す図。
【図７】図７（ａ）〜（ｄ）は、本発明の実施の形態において、２回目以降の充填時の手順を示す図。
【図８】図８（ａ）〜（ｄ）は、本発明の実施の形態において、２回目以降の転写時の手順を示す図。
【図９】図９（ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施の形態において、２回目以降の転写時における動作を詳細に示す図。
【図１０】図１０（ａ）〜（ｃ）は、第１の比較の形態において、２回目以降の転写時における動作を詳細に示す図。
【図１１】図１１（ａ）〜（ｃ）は、第２の比較の形態において、２回目以降の転写時における動作を詳細に示す図。
【図１２】図１２は、本発明の実施の形態により製造された導電性バンプ付基板シートを用いて多層プリント配線板を製造する方法を示す図。
【図１３】図１３は、最終的に得られる多層プリント配線板の構成を示す図。
【図１４】図１４は、本発明の実施の形態の変形例におけるスキージを示す図。
【図１５】図１５（ａ）〜（ｄ）は、本発明の実施の形態の変形例において、充填時の手順を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００２３】
スクリーン印刷装置
はじめに、図１乃至４を参照して、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１５について説明する。まず図１を参照して、スクリーン印刷装置１５全体について説明する。
【００２４】
図１に示すように、スクリーン印刷装置１５は、銅箔等の金属箔からなる基板シート１０（被印刷物）を載置する印刷定盤１２と、印刷定盤１２の上方に配置され、導電性ペースト６０（ペースト）が充填される貫通穴２０ａを有するスクリーン版２０と、所定の押し込み圧力で下方に押されるとともに、スクリーン版２０上を走行するスキージ３２と、を備えている。また図１に示すように、印刷定盤１２には、矢印Ｄ１で示す水平方向に移動自在の印刷定盤駆動部１３が取り付けられている。このため、後述するように、導電性ペースト６０の充填時、または、基板シート１０上に印刷された導電性ペースト６０を乾燥させる際、基板シート１０および印刷定盤１２を、スクリーン版２０の下方から、図１に示す左方向に移動させる（退避させる）ことができる。
【００２５】
またスクリーン印刷装置１５は、図１に示すように、スクリーン版２０を上方から覆うとともに、スクリーン版２０近傍における温度および湿度を調整する温度調整機構１６をさらに備えている。温度調整機構１６は、スクリーン版２０を上方から覆う隔壁１６ａと、隔壁１６ａの内側に設けられ、隔壁１６ａの内側における温度および湿度を調整する調整手段（図示せず）と、を有している。このため、後述するように、導電性ペースト６０の充填時または転写時における導電性ペースト６０の周囲の温度および湿度を常に一定にすることができ、これによって、充填時または転写時における導電性ペースト６０の粘度を常に一定に保つことができる。なお図示はしないが、温度調整機構１６の隔壁１６ａには、印刷定盤駆動部１３をスクリーン版２０の下方から退避させる際に基板シート１０および印刷定盤１２が通る開口部が形成されている。
【００２６】
スキージ
次に図１および図２を参照して、スキージ３２およびスキージ３２の周辺の機構についてより詳細に説明する。スキージ３２は、スクリーン版２０上を走行して、スクリーン版２０の貫通穴２０ａに導電性ペースト６０を充填する、または、貫通穴２０ａに充填された導電性ペースト６０を基板シート１０上に転写するものであり、ウレタンゴム等の弾性体から形成されている。このスキージ３２は、スキージ３２を下方に押すとともに水平方向に移動させるスキージ駆動部３０によって支持されている。
【００２７】
スキージ駆動部３０は、スキージ３２の上端３２ａに接続されたアーム部材３４と、アーム部材を支持する転写ユニット本体部３６とを有している。転写ユニット本体部３６は、矢印Ｄ２で示す水平方向においてスキージ用レール３８に沿って移動自在となっており、この転写ユニット本体部３６によって、スキージ３２をスクリーン版２０上で走行させることができる。スキージ３２がスクリーン版２０上を走行する速度（走行速度）は、例えば５〜１５０ｍｍ／ｓの範囲内となっており、この範囲内において、場合に応じて走行速度が適宜調整される。
【００２８】
またアーム部材３４は、転写ユニット本体部３６に対して矢印Ｄ４で示す上下方向に伸縮自在となっている。このため、スキージ３２の下端３２ｂがスクリーン版２０に接している際にアーム部材３４を下方に所定長さだけ伸ばすことにより、所定の押し込み圧力Ｆ１（図１および図２参照）でスキージ３２を下方に押すことができる。すなわち、アーム部材３４を伸ばす長さを調整することにより、スキージ３２に印加される押し込み圧力Ｆ１を任意に調整することができる。このスキージ３２を下方に押す押し込み圧力Ｆ１は、後述する充填時および転写時において、スキージ３２がスクリーン版２０および導電性ペースト６０を下方に押し込む力として用いられる。なお押し込み圧力Ｆ１は、スキージ３２の下端３２ｂがスクリーン版２０に接していない場合、すなわち、アーム部材３４とスキージ３２との間にスキージ３２の自重を支持する力のみが働いている場合の押し込み圧力Ｆ１がゼロとなるよう定義されている。
【００２９】
上述のスキージ駆動部３０は、後述する充填時および転写時において、例えば、当該押し込み圧力Ｆ１をスキージの幅ｓ８で割った値が０．３〜０．９Ｎ／ｍｍの範囲内となるよう制御される。この範囲内において、場合に応じて押し込み圧力Ｆ１が適宜調整される。
【００３０】
また図２に示すように、スキージ３２とアーム部材３４との間には、スクリーン版２０に対するスキージ３２の角度θ１を調整するスキージ角度調整部３３が介在されている。このスキージ角度調整部３３は、スキージ３２を矢印Ｄ３で示す方向において回動自在に支持するものであり、このため、スクリーン版２０に対するスキージ３２の角度θ１を場合に応じて適宜調整することができる。
【００３１】
スクリーン版
次に図１乃至図４を参照して、スクリーン版２０およびスクリーン版２０の周辺の機構についてより詳細に説明する。はじめに、スクリーン版２０の構造について説明する。
【００３２】
図３は、スクリーン版２０およびスキージ３２を上方から見た場合を示す平面図である。スクリーン版２０は、例えばアルミニウム製のメタルマスクやメッシュ版等からなっており、上述のように、導電性ペースト６０が充填される複数の貫通穴２０ａを有している。なお、スクリーン版２０の材料がアルミニウムに限られることはなく、ステンレス鋼やニッケルなど、様々な材料を適宜用いることができる。また、スクリーン版２０に貫通穴２０ａを形成する方法が特に限られることはなく、ドリル等を用いた機械的切削法や、レーザーなどを用いた光加工法など、様々な加工方法を適宜用いることができる。
【００３３】
このスクリーン版２０は、例えば矩形状の平面形状を有しており、その幅ｓ３は例えば３００〜８００ｍｍの範囲内となっており、その長さｓ２は例えば４５０〜９５０ｍｍの範囲内となっている。また、スクリーン版２０の厚さ（＝貫通穴２０ａの深さ）ｓ１（図２参照）は、例えば１５０μｍとなっている。また、貫通穴２０ａの直径ｓ１０は、一般に５０〜３００μｍの範囲内となっており、例えば１５０μｍとなっている。
【００３４】
次に図１、図３および図４を参照して、スクリーン版２０の周辺の機構について説明する。図１に示すように、スクリーン版２０は、水平方向に張った状態で保持されている。すなわち、張設されている。具体的には、スクリーン版２０は、図４に示す一対の張設具２１により、所定のテンションＦ２で張設されている。
【００３５】
図４に示すように、一対の張設具２１は、所定の間隔を空けて各々配置されており、各張設具２１は、スクリーン版２０を挟持する取付具２４と、当該取付具２４とスクリーン版２０との間に介在された補強板２２と、からなっている。この補強板２２は、スクリーン版２０を固定するためのスクリーン版２０の取付穴２３（図３参照）が変形するのを防ぐために、取付具２４とスクリーン版２０との間に介在されている。この補強板２２は、例えば銅やアルミニウムを材料とする金属板からなっていてもよく、若しくは、樹脂を材料とする樹脂板からなっていてもよい。
【００３６】
上述の補強板２２において、その幅ｓ５は例えば４０ｍｍとなっており、その長さｓ４は例えば５５０ｍｍとなっている。また、補強板２２の厚さｓ６は、スクリーン版２０の厚さｓ１よりも大きくなっており、例えば０．２ｍｍとなっている。しかしながら、補強板２２の寸法がこれらの値に限られることはなく、スクリーン版２０の材質などに応じて、補強板２２の寸法が適宜設定される。例えば、補強板２２の厚さｓ６が、スクリーン版２０の厚さｓ１と略同一となっていてもよい。
【００３７】
図４に示すように、一対の張設具２１のうち右側に配置された張設具２１には、矢印Ｄ６で示す水平方向に伸縮自在の張設具水平駆動部２５が取り付けられている。このため、張設具水平駆動部２５を伸縮させることにより、スクリーン版２０に印加されるテンションＦ２を調整することができる。この場合、張設具水平駆動部２５は、スクリーン版２０に印加されるテンションＦ２をスクリーン版２０の幅ｓ３で割った値が１．４〜３．６Ｎ／ｍｍの範囲内となるよう制御される。この範囲内において、場合に応じてスクリーン版２０に印加されるテンションＦ２が適宜調整される。
【００３８】
また図４に示すように、張設具水平駆動部２５には、矢印Ｄ５で示す上下方向に延びる張設具用レール２８に沿って移動自在の張設具上下駆動部２６が接続されている。このため、張設具上下駆動部２６を上下方向に移動させることにより、スクリーン版２０の一端２０ｂと基板シート１０との間の距離ｓ９を調整することができる。この場合、張設具上下駆動部２６は、スクリーン版２０の一端２０ｂと基板シート１０との間の距離ｓ９が０．５〜１０ｍｍの範囲内となるよう制御される。この範囲内において、場合に応じて上述の距離ｓ９が適宜調整される。
【００３９】
上述の印刷定盤駆動部１３、温度調整機構１６、スキージ駆動部３０、張設具水平駆動部２５および張設具上下駆動部２６は、スクリーン印刷装置１５の制御部１８により制御される。
【００４０】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。ここでは、はじめに、スクリーン印刷装置１５を用いて基板シート１０上に導電性ペースト６０を複数回印刷し、これによって、基板シート１０上に導電性バンプを形成する方法について説明する。その後、得られた導電性バンプ付基板シートを用いて多層プリント配線板を製造する方法について説明する。
【００４１】
導電性バンプの形成方法
はじめに、図５乃至図９を参照して、基板シート１０上に導電性バンプを形成する方法について説明する。
【００４２】
（前処理工程）
まず、その貫通穴２０ａに導電性ペースト６０が充填されていないスクリーン版２０が導電性ペースト２０に対してなじむとともに、貫通穴２０ａに導電性ペースト６０が充填されるよう、スクリーン版２０に対して図５（ａ）〜（ｄ）に示す前処理（空印刷）を施す。
【００４３】
はじめに、図５（ａ）に示すように、導電性ペースト供給機構（図示せず）により、スクリーン版２０上に導電性ペースト６０を載せる。導電性ペースト６０としては、例えば、せん断速度１（１／ｓ）のときの粘度が、２０℃において１０７０Ｐａ・ｓ、２３℃において１１１０Ｐａ・ｓ、２６℃において１２９０Ｐａ・ｓとなっている金属ペースト（銀ペーストや銅ペーストなど）が用いられる。ここで、スキージ３２および導電性ペースト６０が図５（ａ）に示す位置にあるときをスキージ３２および導電性ペースト６０の初期位置とする。
【００４４】
次に、スクリーン版２０上に載せられた導電性ペースト６０の周囲の温度および湿度が一定となるよう、制御部１８によって温度調整機構１６を制御する。温度および湿度の値は、導電性ペースト６０の粘度の値が所望の範囲内となるよう、導電性ペースト６０の仕様に応じて設定される。例えば、温度が２３±３℃の範囲内となり、湿度が５０±５％の範囲内となるよう、温度調整機構１６が制御される。
【００４５】
その後、図５（ｂ）（ｃ）に示すように、スキージ３２により、スクリーン版２０上にある導電性ペースト６０を当該スクリーン版２０に押圧する。より具体的には、転写ユニット本体部３６を左方向に移動させるとともにアーム部材３４を下方に伸ばす。これによって、スキージ３２が、図５（ｂ）（ｃ）の左方向に移動しながらスクリーン版２０を下方に押圧する。この際の、スキージ３２の走行速度を前処理時走行速度とし、スキージ３２の押し込み圧力Ｆ１を前処理時押し込み圧力とし、スクリーン版２０に印加されるテンションを前処理時テンションＦ２とし、スクリーン版２０に対するスキージ３２の角度θ１を前処理時角度とする。
【００４６】
図５（ｂ）（ｃ）に示すように、スキージ３２が左方向に移動することによって、スクリーン版２０に載せられた導電性ペースト６０がスクリーン版２０上で左方向に搬送される。このようにして搬送される導電性ペースト６０においては、導電性ペースト６０の塊の中で液が回転する現象（いわゆるローリング現象）が生じており、このため、導電性ペースト６０の粘度が低減されるとともに、導電性ペースト６０の流動性が増加されている。また、スクリーン版２０の貫通穴２０ａが設けられた箇所では、スキージ３２により導電性ペースト６０が貫通穴２０ａに向かって押圧される。この結果、上述のローリング現象と、スキージ３２からの下方への押圧によって、図５（ｂ）（ｃ）に示すように、導電性ペースト６０が貫通穴２０ａに充填される。このようにして、スクリーン版２０の貫通穴２０ａ内に導電性ペースト６０を充填させることができる。
【００４７】
図５（ｂ）（ｃ）に示す工程において、好ましくは、スキージ３２が左方向に移動するにつれて、スクリーン版２０の一端２０ｂと基板シート１０との間の距離ｓ９が大きくなるよう、張設具上下駆動部２６が制御される。これによって、各貫通穴２０ａにおける版離れの程度（スキージ２０が貫通穴２０ａ上を走行した後に当該貫通穴２０ａの位置が上方に戻る程度）を、貫通穴２０ａの位置によらず一定にすることができ、このことにより、各貫通穴２０ａにおける導電性ペースト６０の充填量をほぼ一定にすることができる。
【００４８】
スキージ３２が全ての貫通穴２０ａ上を走行した後、図５（ｄ）に示すように、スキージ３２を初期位置に戻す。なお図５（ａ）〜（ｄ）に示す前処理工程において、スクリーン版２０の下方に何も配置されていない例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、スクリーン版２０の下方にダミーの基板シート（図示せず）が配置されていてもよい。
【００４９】
（初回の転写工程）
次に、スクリーン版２０の貫通穴２０ａに充填された導電性ペースト６０を、基板シート１０上に転写する。以下、図６（ａ）〜（ｄ）を参照して、初回の転写工程について説明する。
【００５０】
はじめに、図６（ａ）に示すように、基板シート１０を印刷定盤１２の上に載置し、この印刷定盤１２をスクリーン版２０の真下に移動させる。印刷定盤１２をスクリーン版２０の真下に移動させる際、基板シート１０における導電性バンプ（後述）が設けられるべき位置と、スクリーン版２０の貫通穴２０ａとの位置合わせが行われる。
【００５１】
次に、図６（ｂ）に示すように、スキージ３２により、スクリーン版２０上にある導電性ペースト６０を当該スクリーン版２０の貫通穴２０ａに押圧する。より具体的には、転写ユニット本体部３６を左方向に移動させるとともにアーム部材３４を下方に伸ばす。このことにより、スキージ３２が、図６（ｂ）の左方向に移動しながらスクリーン版２０を下方に押圧し、これによって、スキージ３２により押圧された箇所のスクリーン版２０が基板シート１０に接触する。この際の、スキージ３２の走行速度を初回転写時走行速度とし、スキージ３２の押し込み圧力Ｆ１を初回転写時押し込み圧力とし、スクリーン版２０に印加されるテンションＦ２を初回転写時テンションとし、スクリーン版２０に対するスキージ３２の角度θ１を初回転写時角度とする。
【００５２】
図６（ｂ）に示すように、スキージ３２が左方向に移動することによって、スクリーン版２０に載せられた導電性ペースト６０がスクリーン版２０上で左方向に搬送される。また、スクリーン版２０における貫通穴２０ａが設けられた箇所では、スキージ３２により導電性ペースト６０が貫通穴２０ａに向かって押圧される。これによって、図６（ｂ）に示すように、貫通穴２０ａに充填されている導電性ペースト６０が、当該貫通穴２０ａの下に位置する基板シート１０と接触する。その後、スキージ３２が当該貫通穴２０ａからさらに左方向に移動すると（図６（ｃ）参照）、当該貫通穴２０ａが基板シート１０から離れていく。この際、当該貫通穴２０ａに充填されている導電性ペースト６０の一部が、粘着力または表面張力により基板シート１０から引っ張られ、これによって、導電性ペースト６０の一部が基板シート１０に残る。このようにして、貫通穴２０ａに充填されている導電性ペースト６０の一部が基板シート１０に転写され、その他の導電性ペースト６０が貫通穴２０ａ内に残留する。
【００５３】
図６（ｂ）（ｃ）に示す工程において、好ましくは、スキージ３２が左方向に移動するにつれて、スクリーン版２０の一端２０ｂと基板シート１０との間の距離ｓ９が大きくなるよう、張設具上下駆動部２６が制御される。これによって、各貫通穴２０ａにおける版離れの程度を、貫通穴２０ａの位置によらず一定にすることができ、このことにより、基板シート１０からスクリーン版２０が離れていく際に基板シート１０上に転写される導電性ペースト６０の量を、位置によらずほぼ一定にすることができる。
【００５４】
スキージ３２が全ての貫通穴２０ａ上を走行した後、図６（ｄ）に示すように、スキージ３２および導電性ペースト６０を初期位置に戻すとともに、印刷定盤１２をスクリーン版２０の真下の位置から退去させる。退去された印刷定盤１２は、乾燥機（図示せず）に搬送される。そして、乾燥機により、印刷定盤１２上の基板シート１０を乾燥する。このことにより、基板シート１０上の導電性ペースト６０が熱により硬化し、略円錐形形状の導電性バンプ６２となる。
【００５５】
（２回目の充填工程）
次に、基板シート１０上への転写によって減少したスクリーン版２０の貫通穴２０ａ内の導電性ペースト６０を補充する工程（２回目の充填工程）について、図７（ａ）〜（ｄ）を参照して説明する。なお図７（ａ）に示すように、２回目の充填工程は、スクリーン版２０の下方から印刷定盤１２が退避されている状態で行われる。
【００５６】
図７（ｂ）（ｃ）に示すように、スキージ３２により、スクリーン版２０上にある導電性ペースト６０を当該スクリーン版２０に押圧する。より具体的には、転写ユニット本体部３６を左方向に移動させるとともにアーム部材３４を下方に伸ばす。これによって、スキージ３２が、図７（ｂ）（ｃ）の左方向に移動しながらスクリーン版２０を下方に押圧する。この際の、スキージ３２の走行速度を第１走行速度とし、スキージ３２の押し込み圧力Ｆ１を第１押し込み圧力とし、スクリーン版２０に印加されるテンションＦ２を第１テンションとし、スクリーン版２０に対するスキージ３２の角度θ１を第１角度とする。
【００５７】
上述のように、２回目の充填工程は、スクリーン版２０の下方から印刷定盤１２が退避されている状態で行われる。この場合、スキージ３２により下方に押圧されたスクリーン版２０が、印刷定盤１２上の基板シート１０などに接触することはない。すなわち、スクリーン版２０を下方から支持する構造物が存在していない。このため、スキージ駆動部３０のアーム部材３４から印加されているスキージ３２の第１押し込み圧力のうち、大部分の力は、スクリーン版２０を下方に押し込む力として用いられることになる。すなわち、スクリーン版２０を下方から支持する構造物が存在しない場合は、スクリーン版２０を下方から支持する構造物が存在する場合に比べて、スキージ３２に印加されている押し込み圧力Ｆ１が同一であっても、導電性ペースト６０を下方に押し込む力が相対的に小さくなってしまう。従って、導電性ペースト６０を下方に押し込む力を一定以上確保するため、２回目の充填工程における第１押し込み圧力は、上述の初回の転写工程における初回転写時押し込み圧力、および、後述する２回目の転写工程における第２押し込み圧力に比べて大きくなっていることが好ましい。また、スクリーン版２０が下方に押し込まれすぎるのを防ぐため、２回目の充填工程における第２テンションは、上述の初回の転写工程における初回転写時テンション、および、後述する２回目の転写工程における第２テンションに比べて大きくなっていることが好ましい。
【００５８】
図７（ｂ）（ｃ）に示すように、スキージ３２が左方向に移動することによって、スクリーン版２０に載せられた導電性ペースト６０がスクリーン版２０上で左方向に搬送される。このようにして搬送される導電性ペースト６０においても上述のローリング現象が生じており、このため、導電性ペースト６０の粘度が低減されるとともに、導電性ペースト６０の流動性が増加されている。また、スクリーン版２０の貫通穴２０ａが設けられた箇所では、スキージ３２により導電性ペースト６０が貫通穴２０ａに向かって押圧される。この結果、上述のローリング現象と、スキージ３２からの下方への押圧によって、図７（ｂ）（ｃ）に示すように、各貫通穴２０ａに追加の導電性ペースト６０が充填される。このようにして、スクリーン版２０の貫通穴２０ａ内に導電性ペースト６０を補充することができる。
【００５９】
図７（ｂ）（ｃ）に示す工程においては、上述のスキージ３２の第１押し込み圧力およびスクリーン版２０の第１テンションを実現するよう、制御部１８がスキージ駆動部３０および張設具水平駆動部２５を制御している。このため、スキージ３２からの適切な力で導電性ペースト６０を各貫通穴２０ａ内に押し込むことができ、このことにより、貫通穴２０ａ内に導電性ペースト６０を十分に追加で充填することができる。
【００６０】
また図７（ｂ）（ｃ）に示す工程においては、図５（ｂ）（ｃ）に示す前処理時と同様に、好ましくは、スキージ３２が左方向に移動するにつれて、スクリーン版２０の一端２０ｂと基板シート１０との間の距離ｓ９が大きくなるよう、張設具上下駆動部２６が制御される。これによって、各貫通穴２０ａにおける版離れの程度を、貫通穴２０ａの位置によらず一定にすることができ、このことにより、各貫通穴２０ａにおける導電性ペースト６０の補充量をほぼ一定にすることができる。
【００６１】
スキージ３２が全ての貫通穴２０ａ上を走行した後、図７（ｄ）に示すように、スキージ３２を初期位置に戻す。
【００６２】
（２回目の転写工程）
次に、スクリーン版２０の貫通穴２０ａに充填された導電性ペースト６０を、基板シート１０上に形成されている導電性バンプ６２上にさらに転写する。以下、図８（ａ）〜（ｄ）を参照して、２回目の転写工程について説明する。
【００６３】
はじめに、図８（ａ）に示すように、導電性バンプ６２が形成された基板シート１０を載置した印刷定盤１２をスクリーン版２０の真下に移動させる。この際に、基板シート１０における導電性バンプ６２と、スクリーン版２０の貫通穴２０ａとの位置合わせを行う。
【００６４】
そして、図８（ｂ）に示すように、スキージ３２により、スクリーン版２０上にある導電性ペースト６０を当該スクリーン版２０の貫通穴２０ａに押圧する。より具体的には、転写ユニット本体部３６を左方向に移動させるとともにアーム部材３４を下方に伸ばす。このことにより、スキージ３２が、図８（ｂ）の左方向に移動しながらスクリーン版２０を下方に押圧し、これによって、スキージ３２により押圧された箇所のスクリーン版２０が基板シート１０に接触する。この際の、スキージ３２の走行速度を第２走行速度とし、スキージ３２の押し込み圧力Ｆ１を第２押し込み圧力とし、スクリーン版２０に印加されるテンションを第２テンションとし、スクリーン版２０に対するスキージ３２の角度θ１を第２角度とする。
【００６５】
図８（ｂ）に示すように、スキージ３２が左方向に移動することによって、スクリーン版２０に載せられた導電性ペースト６０がスクリーン版２０上で左方向に搬送される。また、スクリーン版２０における貫通穴２０ａが設けられた箇所では、スキージ３２により導電性ペースト６０が貫通穴２０ａに向かって押圧される。これによって、図８（ｂ）に示すように、貫通穴２０ａに充填されている導電性ペースト６０が、当該貫通穴２０ａの下に位置する基板シート１０、および基板シート１０上の導電性バンプ６２と接触する。その後、スキージ３２が当該貫通穴２０ａからさらに左方向に移動すると（図８（ｃ）参照）、当該貫通穴２０ａが基板シート１０から離れていく。この際、当該貫通穴２０ａに充填されている導電性ペースト６０の一部が、粘着力または表面張力により基板シート１０および導電性バンプ６２から引っ張られ、これによって、導電性ペースト６０の一部が基板シート１０に残る。以下、この際の作用を、図９（ａ）〜（ｃ）を参照してより詳細に説明する。
【００６６】
図９（ａ）〜（ｃ）は、前回の基板シート１０への導電性ペースト６０の転写の後にスクリーン版２０の貫通穴２０ａに導電性ペースト６０を充填（補充）した場合であって、その後にスキージ３２により貫通穴２０ａ内の導電性ペースト６０を基板シート１０の導電性バンプ６２上に転写させる場合の動作を順に示す図である。
【００６７】
図９（ａ）に示すように、スクリーン版２０の貫通穴２０ａには、前回の基板シート１０への導電性ペースト６０の転写の際に貫通穴２０ａに残った導電性ペースト６０ｃ、および前回の基板シート１０への導電性ペースト６０の転写の後に貫通穴２０ａに充填された導電性ペースト６０ｂからなる２層の導電性ペースト６０ｂ、６０ｃが充填されている。このため、図９（ｂ）に示すように、スキージ３２によりスクリーン版２０上の導電性ペースト６０ａが貫通穴２０ａに押圧されたときに、導電性ペースト６０ｃが導電性バンプ６２の下部の側面に付着するとともに、導電性ペースト６０ｂが導電性バンプ６２の頂部に付着する。これによって、図９（ｃ）に示すように、導電性ペースト６０ｂ、６０ｃの両方が導電性バンプ６２上に転写される。このように、前回の基板シート１０への導電性ペースト６０の転写の際に貫通穴２０ａに残った導電性ペースト６０ｃ、および前回の基板シート１０への導電性ペースト６０の転写の後に貫通穴２０ａに充填された導電性ペースト６０ｂの両方が導電性バンプ６２上に転写されるの。このため、導電性バンプ６２上に転写される導電性ペーストの量が比較的多くなる。
【００６８】
次に、印刷定盤１２をスクリーン版２０の真下の位置から退去させ、この印刷定盤１２を乾燥機（図示せず）に搬送する。そして、乾燥機により、印刷定盤１２上の基板シート１０を乾燥する。このことにより、基板シート１０上の導電性ペースト６０が熱により硬化する。これによって、硬化した導電性ペースト６０が、既に基板シート１０上に形成されていた導電性バンプ６２と一体化し、このことにより、より大きな導電性バンプ６２が得られる。
【００６９】
その後、図７（ａ）〜（ｄ）に示す充填工程と、図８（ａ）〜（ｄ）に示す転写工程とを、所望の高さの導電性バンプ６２が得られるまで繰り返す。このようにして、所望の高さを有する導電性バンプ６２が形成された基板シート１０を得ることができる。
【００７０】
このように本実施の形態によれば、基板シート１０上に導電性ペースト６０の１回目の転写を行った後、２回目以降の転写を行う前に、スクリーン版２０の貫通穴２０ａに導電性ペースト６０が追加で充填（補充）される。このため、スクリーン版２０の貫通穴２０ａに導電性ペースト６０を追加で充填しないで２回目以降の転写する場合と比較して、より多くの量の導電性ペースト６０を１回の転写で基板シート１０に転写することができる。従って、１回のスクリーン印刷でより大きな導電性バンプ６２を基板シート１０に形成することができる。このことにより、基板シート１０における導電性バンプ６２が形成されるべき箇所とスクリーン版２０の貫通穴２０ａとの位置合わせ、基板シート１０への導電性ペースト６０の転写、および基板シート１０上に導電性ペースト６０を転写した後の基板シート１０の乾燥からなる一連の工程を行う回数を減少させることができる。このため、導電性バンプ６２付き基板シート１０を製造するのに必要な時間を短縮することができる。
【００７１】
また本実施の形態によれば、上述のように、制御部１８により、スキージ駆動部３０のアーム部材３４の伸縮の程度、および、張設具水平駆動部２５の伸縮の程度を調整することができる。すなわち、制御部１８により、スキージ３２に印加される押し込み圧力Ｆ１およびスクリーン版２０に印加されるテンションＦ２を場合に応じて調整することができる。このため、スクリーン版２０を下方から支持する構造物が存在しない状況で導電性ペースト６０を貫通穴２０ａに充填するとき（充填時）の第１押し込み圧力および第１テンションを、転写時の第２押し込み圧力および第２テンションよりも大きくすることができる。これによって、充填時および転写時の双方において、スキージ３２が導電性ペースト６０を下方に押し込む力の大きさを最適に調整することができる。このことにより、充填時に貫通穴２０ａに十分な量の導電性ペースト６０を充填することができ、かつ、転写時に貫通穴２０ａ内の導電性ペースト６０を適切に基材シート１０上に転写することができる。
【００７２】
また本実施の形態によれば、上述のように、スクリーン版２０の下方から印刷定盤１２が退避されている状態で、貫通穴２０ａへの導電性ペースト６０の追加の充填を行うことができる。このため、貫通穴２０ａに導電性ペースト６０を追加で充填する工程と、基板シート１０上に転写された導電性ペースト６０を乾燥する工程とを同時に実施することができる。このことにより、スクリーン版２０の下方に印刷定盤１２を配置した状態で追加の充填を実施する場合に比べて、導電性バンプ６２付き基板シート１０を製造するのに必要な時間を短縮することができる。
【００７３】
また本実施の形態によれば、スクリーン印刷装置１５は、スクリーン版２０近傍における温度および湿度を調整する温度調整機構１６を備えている。このため、充填時または転写時における導電性ペースト６０の周囲の温度および湿度を常に一定にすることができ、これによって、充填時または転写時における導電性ペースト６０の粘度を常に一定に保つことができる。このように導電性ペースト６０の粘度を常に一定に保つことと、上述のように充填時および転写時の押し込み圧力Ｆ１およびテンションＦ２を適切に制御することの組合せにより、充填時に貫通穴２０ａ内に充填される導電性ペースト６０の量、および、転写時に基材シート１０上に転写される導電性ペースト６０の量を、精度良く制御することが可能となる。
【００７４】
第１の比較の形態
次に、図１０（ａ）〜（ｄ）を参照して、本実施の形態の効果を、第１の比較の形態と比較して説明する。図１０（ａ）〜（ｄ）は、第１の比較の形態において、２回目以降の転写時における動作を詳細に示す図である。第１の比較の形態は、所定の転写を行った後、貫通穴２０ａへの導電性ペースト６０の追加の充填（補充）を行うことなく、その次の転写を行う点が異なるのみであり、他の構成は、図１乃至図９に示す本発明の実施の形態と略同一である。
【００７５】
図１０（ａ）に示すように、スクリーン版２０の貫通穴２０ａには、前回の基板シート１０への導電性ペースト６０の転写の際に貫通穴２０ａに残った導電性ペースト６０ｂのみが充填されている。ここで、当然のことながら、追加の充填を行わない第１の比較の形態において貫通穴２０ａに充填されている導電性ペーストの量（図１０（ａ）参照）は、本実施の形態の場合において貫通穴２０ａに充填されている導電性ペーストの量（図９（ａ）参照）よりも少なくなっている。
図１０（ｂ）に示すように、スキージ３２によりスクリーン版２０上の導電性ペースト６０ａが貫通穴２０ａに押圧されると、導電性ペースト６０ｂが導電性バンプ６２の頂部に付着する。その後、図１０（ｃ）に示すように、導電性ペースト６０ｂが導電性バンプ６２上に転写される。この場合、貫通穴２０ａ内に残っている導電性ペースト６０ｂの量は少なく、このため、導電性バンプ６２の下部の側面には導電性ペーストがそれほど付着しない。従って、第１の比較の形態においては、図９（ｃ）に示す本発明の実施の形態と比較して、導電性バンプ６２上に転写される導電性ペースト６０の量が少なくなっている（図１０（ｃ）参照）。
【００７６】
これに対して本発明の実施の形態によれば、基板シート１０上に導電性ペースト６０の１回目の転写を行った後、２回目以降の転写を行う前に、スクリーン版２０の貫通穴２０ａに導電性ペースト６０が追加で充填（補充）される。このため、追加の充填を行わない場合と比較して、より多くの量の導電性ペースト６０を１回の転写で基板シート１０に転写することができる。従って、１回のスクリーン印刷でより大きな導電性バンプ６２を基板シート１０に形成することができる。
【００７７】
第２の比較の形態
次に、図１１（ａ）〜（ｄ）を参照して、本実施の形態の効果を、第２の比較の形態と比較して説明する。図１１（ａ）〜（ｄ）は、第２の比較の形態において、２回目以降の転写時における動作を詳細に示す図である。第２の比較の形態は、２回目以降の充填時におけるスキージ３２の第１押し込み圧力およびスクリーン版２０の第１テンションと、２回目以降の転写時におけるスキージ３２の第２押し込み圧力およびスクリーン版２０の第２テンションとが等しくなっている点が異なるのみであり、他の構成は、図１乃至図９に示す本発明の実施の形態と略同一である。
【００７８】
図１１（ａ）に示すように、スクリーン版２０の貫通穴２０ａには、導電性ペースト６０ｂ，６０ｃが充填されている。このとき、スクリーン版２０に印加される第２テンションは、充填時にスクリーン版２０に印加される第１テンションと等しくなっている。
その後、スクリーン版２０上でスキージ３２を走行させ、これによって、図１１（ｂ）に示すように、スキージ３２が貫通穴２０ａに到達する。このとき、スキージ３２に印加される第２押し込み圧力は、充填時にスキージ３２に印加される第１押し込み圧力と等しくなっている。このため、図１１（ｂ）に示すように、スキージ３２の先端がスクリーン版２０の貫通穴２０ａ内に押し込まれている。このようにスキージ３２の先端が貫通穴２０ａ内に深く押し込まれると、スキージ３２により、貫通穴２０ａ内に充填されている導電性ペースト６０ｂが掻きとられてしまう。このため、図１１（ｃ）に示すように、本発明の実施の形態の場合（図９（ｃ）参照）と比べて、導電性バンプ６２上に転写される導電性ペースト６０の量が少なくなっている。
また、スキージ３２の先端が貫通穴２０ａ内に深く押し込まれると、導電性バンプ６２および基材シート１０上に転写される導電性ペースト６０が広域にわたって広がる、すなわち印刷がにじんでしまうことも考えられる。このように印刷がにじんでしまうと、得られる導電性バンプ６２の断面積が増加し、かつ、１回の印刷で得られる導電性バンプ６２の高さが減少するため、好ましくない。
【００７９】
これに対して、本発明の実施の形態によれば、２回目以降の充填時におけるスキージ３２の第１押し込み圧力およびスクリーン版２０の第１テンションと、２回目以降の転写時におけるスキージ３２の第２押し込み圧力およびスクリーン版２０の第２テンションとが、制御部１８により適切に制御されている。具体的には、上述のように、転写時の第２押し込み圧力および第２テンションが、充填時の第１押し込み圧力および第１テンションよりも小さくされている。これによって、充填時および転写時の双方において、スキージ３２が導電性ペースト６０を下方に押し込む力の大きさを最適に調整することができる。このことにより、充填時に貫通穴２０ａに十分な量の導電性ペースト６０を充填することができ、かつ、転写時に貫通穴２０ａ内の導電性ペースト６０を適切に基材シート１０上に転写することができる。
【００８０】
多層プリント配線板の製造方法
次に、上述の方法により得られた本実施の形態による導電性バンプ６２付き基板シート１０を用いて多層プリント配線板を製造する方法について、図１２および図１３を用いて説明する。
【００８１】
図１２に示すように、導電性バンプ６２付き基板シート１０が印刷定盤１２に載せられた状態で、この導電性バンプ６２付き基板シート１０における導電性バンプ６２が形成された面にプリプレグ等の絶縁シート７４を載せる。次に、この絶縁シート７４の上に緩衝材７６を載せる。そして、印刷定盤１２、導電性バンプ６２付き基板シート１０、絶縁シート７４および緩衝材７６の積層体を挟圧および加熱し、これによって、導電性バンプ６２を絶縁シート７４に貫通させる。より具体的には、各々が連続的に回転する一対の加熱ローラ７０、７２の間に、印刷定盤１２、導電性バンプ６２付き基板シート１０、絶縁シート７４および緩衝材７６からなる積層体を搬送し、これによって、この積層体を上下方向から挟圧するとともに加熱を行う。このようにして、絶縁シート７４の裏面（図１２の下側の面）が基板シート１０の導電性バンプ６２に押圧される。これによって、絶縁シート７４が導電性バンプ６２により破断され、このようにして、導電性バンプ６２を絶縁シート７４に貫通させる。
【００８２】
その後、印刷定盤１２、導電性バンプ６２付き基板シート１０、絶縁シート７４および緩衝材７６からなる積層体から緩衝材７６を取り除く。次に、絶縁シート７４の上に追加の基板シート１１を重ね合わせ、その後、絶縁シート７４を貫通した導電性バンプ６２と追加の基板シート１１とを電気的に接続する。このようにして、図１３に示す多層プリント配線板８０が得られる。
【００８３】
なお、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１５および導電性バンプ６２付き基板シート１０の製造方法（スクリーン印刷方法）は、上述のような例に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。
【００８４】
変形例
例えば、本実施の形態において、充填時および転写時に同一のスキージ３２が用いられる例を示したが、これに限られることはなく、充填時に用いるスキージ（スクレーパ）と、転写時に用いるスキージとが異なっていてもよい。以下、図１４および図１５（ａ）〜（ｄ）を参照して、充填時にスクレーパが用いられ、転写時にスキージが用いられる変形例について説明する。
【００８５】
図１４は、本発明の実施の形態の変形例におけるスキージを示す図であり、図１５（ａ）〜（ｄ）は、本発明の実施の形態の変形例において、充填時の手順を示す図である。図１４および図１５（ａ）〜（ｄ）に示す変形例において、図１乃至図９に示す本実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００８６】
図１４に示すようにスクリーン印刷装置１５は、スキージ４２（第１スキージ）と、スクレーパ４６（第２スキージ）と、スキージ４２およびスクレーパ４６を駆動するスキージ駆動部４０と、を備えている。スキージ駆動部４０は、スキージ４２の上端４２ａに接続された第１アーム部材４４と、スクレーパ４６の上端４６ａに接続された第２アーム部材４８と、第１アーム部材４４および第２アーム部材４８の両方を支持する転写ユニット本体部４９と、を有している。転写ユニット本体部４９は水平方向に沿って図１４で矢印Ｄ２により示す方向に移動自在となっている。また、第１アーム部材４４および第２アーム部材４８は、それぞれ、転写ユニット本体部４９に対して互いに独立して下方（矢印Ｄ４または矢印Ｄ８により示す方向）に伸縮自在となっている。このため、スキージ４２の下端４２ｂがスクリーン版２０に接している際に第１アーム部材４４を下方に所定長さだけ伸ばすことにより、所定の押し込み圧力Ｆ１でスキージ４２を下方に押すことができる。すなわち、第１アーム部材４４を伸ばす長さを調整することにより、スキージ４２に印加される押し込み圧力Ｆ１を任意に調整することができる。同様に、スクレーパ４６の下端４６ｂがスクリーン版２０に接している際に第２アーム部材４８を下方に所定長さだけ伸ばすことにより、所定の押し込み圧力Ｆ３でスクレーパ４６を下方に押すことができる。すなわち、第２アーム部材４８を伸ばす長さを調整することにより、スクレーパ４６に印加される押し込み圧力Ｆ３を任意に調整することができる。
【００８７】
また図１４に示すように、スキージ４２と第１アーム部材４４との間には、スクリーン版２０に対するスキージ４２の角度θ１を調整するスキージ角度調整部４３が介在されている。このスキージ角度調整部４３は、スキージ４２を矢印Ｄ３で示す方向において回動自在に支持するものであり、このため、スクリーン版２０に対するスキージ４２の角度θ１を場合に応じて適宜調整することができる。
同様に、スクレーパ４６と第２アーム部材４８との間には、スクリーン版２０に対するスクレーパ４６の角度θ２を調整するスクレーパ角度調整部４７が介在されている。このスクレーパ角度調整部４７は、スクレーパ４６を矢印Ｄ７で示す方向において回動自在に支持するものであり、このため、スクリーン版２０に対するスクレーパ４６の角度θ２を場合に応じて適宜調整することができる。
【００８８】
スキージ４２の構成（形状、材料など）は、図１に示す上述のスキージ３２と略同一となっており、詳細な説明は省略する。スクレーパ４６としては、例えばウレタンゴム等の弾性体を用いた平スキージ、剣スキージ、角スキージからなるものが用いられる。ここで、平スキージとは、断面が長方形形状でありスクリーン版２０には面部分が接触するようなものであり、剣スキージとは、断面が先細形状でありスクリーン版２０には角部分が接触するようなものであり、角スキージとは、断面が菱形形状でありスクリーン版２０には角部分が接触するようなものであり、これらのものは導電性ペースト６０をスクリーン版２０の貫通穴２０ａに充填しやすいような形状となっている。また、スクレーパ４６として、平スキージの芯部分を剛性の高い材料で補強したもの、あるいは金属製のメタルスキージ等を用いることもできる。
【００８９】
次に、変形例におけるスキージ４２およびスクレーパ４６を用いて導電性バンプ６２付き基板シート１０を製造する方法について、図１５（ａ）〜（ｄ）を参照して説明する。図１５（ａ）〜（ｄ）は、転写後の追加の充填の手順を示す図である。なお、前処理時および転写時の手順は、スキージ３２の代わりにスキージ４２が用いられる点が異なる点を除いて、図５、図６および図８に示す本実施の形態における手順と略同一であるので、詳細な説明は省略する。
【００９０】
図１５（ａ）は、転写が終了した後であって、スクリーン版２０の下方から印刷定盤１２が退避された状態を示す図である。はじめに、スキージ４２を支持する第１アーム部材４４を上方に縮めるとともに、スクレーパ４６を支持する第２アーム部材４８を下方に伸ばす。これによって、図１５（ａ）に示すように、スクレーパ４６をスクリーン版２０に接触させる。
【００９１】
次に、転写ユニット本体部４９を右方向に移動させるとともに第２アーム部材４８をさらに下方に伸ばす。これによって、スクレーパ４６が、図１５（ｂ）（ｃ）の右方向に移動しながらスクリーン版２０を下方に押圧する。この際の、スクレーパ４６の走行速度を第１走行速度とし、スクレーパ４６の押し込み圧力Ｆ３を第１押し込み圧力とし、スクリーン版２０に印加されるテンションＦ２を第１テンションとし、スクリーン版２０に対するスクレーパ４６の角度θ２を第１角度とする。
【００９２】
図７（ａ）〜（ｄ）に示す本実施の形態の場合と同様に、２回目の充填工程は、スクリーン版２０の下方から印刷定盤１２が退避されている状態で行われる。この場合、スクレーパ４６により下方に押圧されたスクリーン版２０が、印刷定盤１２上の基板シート１０などに接触することはない。すなわち、スクリーン版２０を下方から支持する構造物が存在していない。このため、第２アーム部材４８から印加されているスクレーパ４６の第１押し込み圧力のうち、大部分の力は、スクリーン版２０を下方に押し込む力として用いられることになる。すなわち、スクリーン版２０を下方から支持する構造物が存在しない場合は、スクリーン版２０を下方から支持する構造物が存在する場合に比べて、スクレーパ４６に印加されている押し込み圧力Ｆ３が同一であっても、導電性ペースト６０を下方に押し込む力が小さくなってしまう。従って、導電性ペースト６０を下方に押し込む力を一定以上確保するため、２回目の充填工程におけるスクレーパ４６の第１押し込み圧力が、初回の転写工程におけるスキージ４２の初回転写時押し込み圧力、および、２回目の転写工程におけるスキージ４２の第２押し込み圧力に比べて大きくなっていることが好ましい。また、スクリーン版２０が下方に押し込まれすぎるのを防ぐため、２回目の充填工程における第１テンションが、初回の転写工程における初回転写時テンション、および、２回目の転写工程における第２テンションに比べて大きくなっていることが好ましい。
【００９３】
図１５（ｂ）（ｃ）に示すように、スクレーパ４６が右方向に移動することによって、スクリーン版２０に載せられた導電性ペースト６０がスクリーン版２０上で右方向に搬送される。このようにして搬送される導電性ペースト６０においてはローリング現象が生じており、このため、導電性ペースト６０の粘度が低減されるとともに、導電性ペースト６０の流動性が増加されている。また、スクリーン版２０の貫通穴２０ａが設けられた箇所では、スクレーパ４６により導電性ペースト６０が貫通穴２０ａに向かって押圧される。この結果、上述のローリング現象と、スクレーパ４６からの下方への押圧によって、図１５（ｂ）（ｃ）に示すように、各貫通穴２０ａに追加の導電性ペースト６０が充填される。このようにして、スクリーン版２０の貫通穴２０ａ内に導電性ペースト６０を補充することができる。
【００９４】
図１５（ｂ）（ｃ）に示す工程においては、上述のスクレーパ４６の第１押し込み圧力およびスクリーン版２０の第１テンションを実現するよう、制御部１８が張設具水平駆動部２５およびスキージ駆動部４０を制御している。このため、スクレーパ４６からの適切な力で導電性ペースト６０を各貫通穴２０ａ内に押し込むことができ、このことにより、貫通穴２０ａ内に導電性ペースト６０を十分に充填させることができる。
【００９５】
また図１５（ｂ）（ｃ）に示す工程においては、好ましくは、スクレーパ４６が右方向に移動するにつれて、スクリーン版２０の一端２０ｂと基板シート１０との間の距離ｓ９が小さくなるよう、張設具上下駆動部２６が制御される。これによって、各貫通穴２０ａにおける版離れの程度を、貫通穴２０ａの位置によらず一定にすることができ、このことにより、各貫通穴２０ａにおける導電性ペースト６０の補充量をほぼ一定にすることができる。
【００９６】
スクレーパ４６が全ての貫通穴２０ａ上を走行した後、図１５（ｄ）に示すように、スクレーパ４６を支持する第２アーム部材４８を上方に縮めるとともに、スキージ４２を支持する第１アーム部材４４を下方に伸ばす。
【００９７】
このように本変形例によれば、はじめにスクリーン版２０上で一の方向（図１５の左方向）にスキージ４２を走行させることにより基板シート１０上に導電性ペースト６０を転写し、その後、スクリーン版２０上で一の方向とは逆の方向（図１５の右方向）にスクレーパ４６を走行させることにより貫通穴２０ａに導電性ペースト６０を追加で充填することができる。このように、スキージ４２およびスクレーパ４６の組み合わせを一往復させることにより、転写および追加の充填を実施することができる。このことにより、導電性バンプ６２付き基板シート１０を製造するのに必要な時間をより一層短縮することができる。
【００９８】
なお上述の本実施の形態およびその変形例において、１回目の転写が実施される前に、貫通穴２０ａに導電性ペースト６０を充填する前処理（空印刷）が実施される例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、前処理を実施することなく１回目の転写を実施してもよい。
【００９９】
また本実施の形態およびその変形例において、一対の張設具２１のうち一方の張設具２１のみが上下方向に移動可能となっている例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、両方の張設具２１が上下方向に移動可能となっていてもよい。
【０１００】
また本実施の形態およびその変形例において、充填時のスキージ３２（またはスクレーパ４６）の第１走行速度と、転写時のスキージ３２（またはスキージ４２）の第２走行速度とが適宜調整可能となっている例を示した。この場合、好ましくは、制御部１８は、充填時の第１走行速度が、転写時の第２走行速度よりも小さくなるよう、スキージ駆動部３０（またはスキージ駆動部４０）を制御する。このように、充填時の走行速度をより遅くすることにより、より多くの導電性ペースト６０をスクリーン版２０の貫通穴２０ａ内に充填することができる。また、転写時の走行速度をより速くすることにより、スキージ３２，４２が貫通穴２０ａ上を通った後に当該貫通穴２０ａがスクリーン版２０から離れる速度を大きくすることができ、これによって、スクリーン版２０上に転写される導電性ペースト６０の高さをより大きくすることができる。
なお、１回目の転写時においては、スクリーン版２０上に導電性バンプ６２が形成されていない。このため、１回目の転写時においては、導電性バンプ６２上に導電性ペースト６０を転写する場合（２回目以降の転写時）に比べて、貫通穴２０ａ内の導電性ペースト６０がスクリーン版２０にしっかりと密着するまでの所要時間が長くなることが考えられる。このため、好ましくは、制御部１８は、１回目の転写時における走行速度（上述の初回転写時走行速度）が、２回目以降の転写時の第２走行速度よりも小さくなるよう、スキージ駆動部３０を制御する。
【０１０１】
また本実施の形態およびその変形例において、スキージ３２，４２またはスクレーパ４６が移動するにつれて、スクリーン版２０の一端２０ｂと基板シート１０との間の距離ｓ９を変化させる例を示した。この場合、好ましくは、充填時と転写時とで距離ｓ９の変化の程度が最適となるよう、その他の条件（押し込み圧力Ｆ１、テンションＦ２、走行速度など）に応じて、制御部１８が張設具上下駆動部２６を制御する。この際、充填時と転写時とで距離ｓ９の変化の程度が同一となっていてもよく、若しくは、充填時と転写時とで距離ｓ９の変化の程度が異なっていてもよい。例えば、制御部１８は、スクリーン版２０の所定の貫通穴２０ａ上をスキージ３２が走行する際、充填時における距離ｓ９の大きさが転写時における距離ｓ９の大きさよりも大きくなるよう、張設具上下駆動部２６を制御してもよい。これによって、当該貫通穴２０ａ近傍においてスクリーン版２０と基板シート１０との間に形成される角度を、充填時により大きくすることができる。このため、充填時にスキージ３２から導電性ペースト６０に印加される下方への押し込み圧力をより大きくすることができ、このことにより、充填時により多くの導電性ペースト６０を貫通穴２０ａ内に充填することができる。
【０１０２】
また本実施の形態およびその変形例において、スクリーン版２０に対するスキージ３２，４２の角度θ１およびスクリーン版２０に対するスクレーパ４６の角度θ２が適宜調整可能となっている例を示した。この場合、充填時のスキージ３２またはスクレーパ４６の第１角度、および、転写時のスキージ３２，４２の第２角度が最適となるよう、その他の条件（押し込み圧力Ｆ１、テンションＦ２、走行速度など）に応じて、制御部１８によりスキージ角度調整部３３，４３またはスクレーパ角度調整部４７が制御される。この際、充填時の第１角度と転写時の第２角度とが同一となっていてもよく、若しくは異なっていてもよい。例えば、制御部１８は、充填時の第１角度が転写時の第２角度よりも大きくなるよう、スキージ角度調整部３３，４３またはスクレーパ角度調整部４７を制御してもよい。これによって、充填時、スキージ３２またはスクレーパ４６から導電性ペースト６０に印加される下方への押し込み圧力をより大きくすることができ、このことにより、より多くの導電性ペースト６０を貫通穴２０ａ内に充填することができる。
【０１０３】
また本実施の形態およびその変形例において、スクリーン版２０を下方から支持する構造物が存在しない状況で導電性ペースト６０が貫通穴２０ａに充填される例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、充填時、スクリーン版２０と接触しない程度に下方に下げられた位置に、印刷定盤１２および基板シート１０が配置されていてもよい。若しくは、充填時、スクリーン版２０の下方にダミーの印刷定盤および基板シートなどが配置されていてもよい。
【０１０４】
また本実施の形態およびその変形例において、スクリーン印刷装置１５を用いたスクリーン印刷方法により、基板シート１０上に導電性バンプ６２が形成される例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、本実施の形態によるスクリーン印刷装置１５およびスクリーン印刷方法を、厚肉の印刷が必要とされる様々な用途において用いることができる。この場合、用いられるペーストが導電性ペーストに限られることはなく、非導電性ペーストが用いられてもよい。
【符号の説明】
【０１０５】
１０  基板シート
１１  追加の基板シート
１２  印刷定盤
１３  印刷定盤駆動部
１４  定盤用レール
１５  スクリーン印刷装置
１６  温度調整機構
１６ａ  隔壁
１７  支持台
１８  制御部
２０  スクリーン版
２０ａ  貫通穴
２１  張設具
２２  補強板
２３  取付穴
２４  取付具
２５  張設具水平駆動部
２６  張設具上下駆動部
２８  張設具用レール
３０  スキージ駆動部
３２  スキージ
３２ａ  スキージの上端
３２ｂ  スキージの下端
３３  スキージ角度調整部
３４  アーム部材
３６  転写ユニット本体部
３８  スキージ用レール
４０  スキージ駆動部
４２  スキージ
４２ａ  スキージの上端
４２ｂ  スキージの下端
４３  スキージ角度調整部
４４  アーム部材
４６  スクレーパ
４６ａ  スクレーパの上端
４６ｂ  スクレーパの下端
４７  スクレーパ角度調整部
４８  アーム部材
４９  転写ユニット本体部
６０  導電性ペースト
６２  導電性バンプ
７０、７２  加熱ローラ
７４  絶縁シート
７６  緩衝材
８０  多層プリント配線板
【図１】
0005423537.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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