(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の発光デバイスに対して順方向に流れる一定の検査用電流を供給する定電流源としての給電部と、
前記発光デバイス毎にそれぞれ設けられ、前記検査用電流に応じて発光している各前記発光デバイスの輝度に係る情報をそれぞれ取得する複数の測定部と、
各前記発光デバイスについて、前記輝度に係る評価値が第１閾値以下となる第１条件、および前記輝度に基づいて推定される各前記発光デバイスの発光に必要な電流の下限値が第２閾値以上となる第２条件、のうちの１つの条件が満たされる場合に、許容値を超える漏れ電流が生じ得るものと判定する判定部と、
前記複数の測定部のうちの前記複数の発光デバイスに含まれる１つの発光デバイスの輝度に係る情報を取得する１つの測定部と、前記複数の発光デバイスのうちの前記１つの発光デバイス以外の他の発光デバイスとの間に配されている、可視光線を遮蔽する遮蔽部と、
を備えることを特徴とする発光デバイス検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の発光デバイス検査装置であって、
前記検査用電流が、
漏れ電流が生じない前記発光デバイスにおいて前記測定部によって検出可能な輝度の下限値を実現するための第１電流以上の電流であり、且つ該第１電流に前記許容値を加えた第２電流よりも小さな電流であることを特徴とする発光デバイス検査装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の発光デバイス検査装置であって、
前記複数の発光デバイスが、
前記給電部に対して電気的に直列に接続されており、
前記複数の測定部が、
前記検査用電流に応じて発光している前記複数の発光デバイスの輝度に係る情報を同時期に取得することを特徴とする発光デバイス検査装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３の何れか１つの請求項に記載の発光デバイス検査装置であって、
各前記測定部が、
前記検査用電流に応じて発光している前記発光デバイスの発光可能領域を捉えた検査用画像を取得することで、前記発光デバイスの輝度に係る情報を取得する撮像部を含むことを特徴とする発光デバイス検査装置。
【請求項５】
請求項４に記載の発光デバイス検査装置であって、
前記輝度に係る評価値が、
前記発光可能領域に係る輝度の平均値を含むことを特徴とする発光デバイス検査装置。
【請求項６】
請求項４に記載の発光デバイス検査装置であって、
前記輝度に係る評価値が、
前記発光可能領域において第３閾値以上の輝度を有する領域が占める割合を含むことを特徴とする発光デバイス検査装置。
【請求項７】
請求項４から請求項６の何れか１つの請求項に記載の発光デバイス検査装置であって、
前記撮像部によって取得される調整用画像に基づいて、前記検査用画像において前記発光可能領域が捉えられる画像領域が占める位置を特定する特定部、
を更に備え、
前記調整用画像が、
前記検査用電流よりも大きな調整用電流に応じて発光している各前記発光デバイスを捉えた画像であることを特徴とする発光デバイス検査装置。
【請求項８】
請求項１から請求項３の何れか１つの請求項に記載の発光デバイス検査装置であって、
各前記測定部が、
前記検査用電流に応じて発光している前記発光デバイスの輝度に係る情報を取得するフォトダイオードを含むことを特徴とする発光デバイス検査装置。
【請求項９】
請求項１に記載の発光デバイス検査装置であって、
前記検査用電流が、
第１検査用電流と第２検査用電流と第３検査用電流とを含み、
各前記測定部が、
前記第１検査用電流に応じて発光している前記発光デバイスの第１輝度に係る情報、前記第２検査用電流に応じて発光している前記発光デバイスの第２輝度に係る情報、および前記第３検査用電流に応じて発光している前記発光デバイスの第３輝度に係る情報を順次に取得し、
前記下限値が、
各前記発光デバイスについて、前記第１検査用電流と前記第１輝度との組、前記第２検査用電流と前記第２輝度との組、および前記第３検査用電流と前記第３輝度との組を用いた曲線近似の演算によって推定されることを特徴とする発光デバイス検査装置。
【請求項１０】
複数の発光デバイスに含まれる発光デバイス毎に測定部を配置するとともに、複数の該測定部のうちの前記複数の発光デバイスに含まれる１つの発光デバイスの輝度に係る情報を取得する１つの測定部と、前記複数の発光デバイスのうちの前記１つの発光デバイス以外の他の発光デバイスとの間に、可視光線を遮蔽する遮蔽部を配するステップと、
定電流源としての給電部によって前記複数の発光デバイスに対して順方向に流れる一定の検査用電流を供給し、該検査用電流に応じて発光している各前記発光デバイスの輝度に係る情報を、前記複数の測定部によってそれぞれ取得するステップと、
各前記発光デバイスについて、前記輝度に係る評価値が第１閾値以下となる第１条件、および前記輝度に基づいて推定される前記発光デバイスの発光に必要な電流の下限値が第２閾値以上となる第２条件、のうちの１つの条件が満たされる場合に、判定部によって許容値を超える漏れ電流が生じ得るものと判定するステップと、
を備えることを特徴とする発光デバイス検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光デバイスを検査する装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電力の消費量が低い面発光を行うデバイス（面発光デバイスとも言う）として、有機ＥＬを利用した発光デバイス（有機ＥＬデバイスとも言う）が注目されており、照明装置および表示装置等への応用が進められている。【０００３】
有機ＥＬデバイスは、２つの電極（アノード電極とカソード電極）が発光層を挟む構造を有している。このため、有機ＥＬデバイスでは、発光層において異物の混入による欠陥があれば、その異物の近傍の領域で漏れ電流が生じる。漏れ電流は、発光に寄与せず、発光効率（一定のエネルギーに応じた発光で明るく出来る度合いを示す指標）の低下を招く。従って、漏れ電流が大きな有機ＥＬデバイスは、欠陥品として検出される必要がある。【０００４】
ところで、従来から、有機ＥＬデバイスにおける漏れ電流について検査する技術として、次の第１および第２の検査技術が知られている。【０００５】
第１の検査技術では、２つの電極間に、発光時に印加される電圧の方向（順方向とも言う）とは逆方向に電圧が印加され、その際に流れる微弱な電流の検出によって漏れ電流の有無が検査される（例えば、特許文献１等）。【０００６】
第２の検査技術では、２つの電極間において順方向または逆方向に微小な電流が流され、その際に発光層の微弱なリーク発光が検出されることで漏れ電流の有無が検査される（例えば、特許文献２，３等）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００８−１１２６４９号公報
【特許文献２】特開２００９−２６６８７号公報
【特許文献３】特開２００９−２７７５２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記第１の検査技術では、微弱な電流を計測する高性能な計測装置（例えば、ソースメータ等）が必要である。また、上記第２の検査技術では、通常の発光時よりも低い電圧の印加によって生じる微弱な発光現象が捉えられるため、発光レベルおよび発光領域が微小となり、解像度および感度が高い測定装置（例えば、エミッション顕微鏡等）が必要である。従って、第１および第２の検査技術の何れの技術であっても、検査装置の複雑化と製造コストの上昇等といった問題が生じる。【０００９】
また、仮に複数の有機ＥＬデバイスを同時期に並行して検査することでタクトタイムの削減を図ろうとすれば、更なる検査装置の複雑化と製造コストの上昇とを招く。【００１０】
なお、上記問題は、有機ＥＬデバイスにおいてのみ生じるものではなく、発光デバイス一般に共通する。【００１１】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、簡単な構成で発光デバイスの漏れ電流に関する検査が可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、第１の態様に係る発光デバイス検査装置は、複数の発光デバイスに対して順方向に流れる一定の検査用電流を供給する定電流源としての給電部と、前記発光デバイス毎にそれぞれ設けられ、前記検査用電流に応じて発光している各前記発光デバイスの輝度に係る情報をそれぞれ取得する複数の測定部と、各前記発光デバイスについて、前記輝度に係る評価値が第１閾値以下となる第１条件、および前記輝度に基づいて推定される各前記発光デバイスの発光に必要な電流の下限値が第２閾値以上となる第２条件、のうちの１つの条件が満たされる場合に、許容値を超える漏れ電流が生じ得るものと判定する判定部と、前記複数の測定部のうちの前記複数の発光デバイスに含まれる１つの発光デバイスの輝度に係る情報を取得する１つの測定部と、前記複数の発光デバイスのうちの前記１つの発光デバイス以外の他の発光デバイスとの間に配されている、可視光線を遮蔽する遮蔽部と、を備える。
【００１３】
第２の態様に係る発光デバイス検査装置は、第１の態様に係る発光デバイス検査装置であって、前記検査用電流が、漏れ電流が生じない前記発光デバイスにおいて前記測定部によって検出可能な輝度の下限値を実現するための第１電流以上の電流であり、且つ該第１電流に前記許容値を加えた第２電流よりも小さな電流である。【００１４】
第３の態様に係る発光デバイス検査装置は、第１または第２の態様に係る発光デバイス検査装置であって、前記複数の発光デバイスが、前記給電部に対して電気的に直列に接続されており、前記複数の測定部が、前記検査用電流に応じて発光している前記複数の発光デバイスの輝度に係る情報を同時期に取得する。
【００１５】
第４の態様に係る発光デバイス検査装置は、第１から第３の何れか１つの態様に係る発光デバイス検査装置であって、各前記測定部が、前記検査用電流に応じて発光している前記発光デバイスの発光可能領域を捉えた検査用画像を取得することで、前記発光デバイスの輝度に係る情報を取得する撮像部を含む。
【００１６】
第５の態様に係る発光デバイス検査装置は、第４の態様に係る発光デバイス検査装置であって、前記輝度に係る評価値が、前記発光可能領域に係る輝度の平均値を含む。【００１７】
第６の態様に係る発光デバイス検査装置は、第４の態様に係る発光デバイス検査装置であって、前記輝度に係る評価値が、前記発光可能領域において第３閾値以上の輝度を有する領域が占める割合を含む。【００１８】
第７の態様に係る発光デバイス検査装置は、第４から第６の何れか１つの態様に係る発光デバイス検査装置であって、前記撮像部によって取得される調整用画像に基づいて、前記検査用画像において前記発光可能領域が捉えられる画像領域が占める位置を特定する特定部、を更に備え、前記調整用画像が、前記検査用電流よりも大きな調整用電流に応じて発光している各前記発光デバイスを捉えた画像である。【００１９】
第８の態様に係る発光デバイス検査装置は、第１から第３の何れか１つの態様に係る発光デバイス検査装置であって、各前記測定部が、前記検査用電流に応じて発光している前記発光デバイスの輝度に係る情報を取得するフォトダイオードを含む。
【００２０】
第９の態様に係る発光デバイス検査装置は、第１の態様に係る発光デバイス検査装置であって、前記検査用電流が、第１検査用電流と第２検査用電流と第３検査用電流とを含み、各前記測定部が、前記第１検査用電流に応じて発光している前記発光デバイスの第１輝度に係る情報、前記第２検査用電流に応じて発光している前記発光デバイスの第２輝度に係る情報、および前記第３検査用電流に応じて発光している前記発光デバイスの第３輝度に係る情報を順次に取得し、前記下限値が、各前記発光デバイスについて、前記第１検査用電流と前記第１輝度との組、前記第２検査用電流と前記第２輝度との組、および前記第３検査用電流と前記第３輝度との組を用いた曲線近似の演算によって推定される。
【００２１】
第１０の態様に係る発光デバイス検査方法は、複数の発光デバイスに含まれる発光デバイス毎に測定部を配置するとともに、複数の該測定部のうちの前記複数の発光デバイスに含まれる１つの発光デバイスの輝度に係る情報を取得する１つの測定部と、前記複数の発光デバイスのうちの前記１つの発光デバイス以外の他の発光デバイスとの間に、可視光線を遮蔽する遮蔽部を配するステップと、定電流源としての給電部によって前記複数の発光デバイスに対して順方向に流れる一定の検査用電流を供給し、該検査用電流に応じて発光している各前記発光デバイスの輝度に係る情報を、前記複数の測定部によってそれぞれ取得するステップと、各前記発光デバイスについて、前記輝度に係る評価値が第１閾値以下となる第１条件、および前記輝度に基づいて推定される前記発光デバイスの発光に必要な電流の下限値が第２閾値以上となる第２条件、のうちの１つの条件が満たされる場合に、判定部によって許容値を超える漏れ電流が生じ得るものと判定するステップと、を備える。
【発明の効果】
【００２２】
第１から第９の何れの態様に係る発光デバイス検査装置によっても、簡単な構成で発光デバイスの漏れ電流に関する検査が可能となる。【００２３】
第２の態様に係る発光デバイス検査装置によれば、許容値を超える漏れ電流が生じている場合には発光デバイスが発光しないため、検査の精度が高まり得る。【００２４】
第３の態様に係る発光デバイス検査装置によれば、検査の迅速化が図られ得る。【００２５】
第４から第７の何れの態様に係る発光デバイス検査装置によっても、例えば、汎用の撮像部等を用いた簡単な構成で迅速な検査が可能となる。また、例えば、複数の発光デバイスの輝度に係る情報が単一の撮像部によって取得されれば、検査の迅速化が図られ得る。【００２６】
第５および第６の何れの態様に係る発光デバイス検査装置によっても、１つの発光デバイス内において発光に必要な電流の下限値がばらついても、安定した検査が可能となる。【００２７】
第７の態様に係る発光デバイス検査装置によれば、発光デバイスの発光可能領域が捉えられる画像領域の位置が特定されることで、発光可能領域のより広い領域に係る輝度に基づいた検査が可能となる。【００２８】
第８の態様に係る発光デバイス検査装置によれば、更に構成の簡略化が図られ得る。【００２９】
第９の態様に係る発光デバイス検査装置によれば、測定部を用いて安定して検出可能な輝度を生じさせる検査用電流が用いられることで、測定部の構成の簡略化が図られ得る。【００３０】
第１０の態様に係る発光デバイス検査方法によれば、簡単な構成で発光デバイスの漏れ電流に関する検査が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】図１は、有機ＥＬデバイスにおける駆動電流と発光輝度との関係を例示する図である。
【図２】図２は、デバイス間の特性のばらつきを例示する図である。
【図３】図３は、図１に検出可能な発光輝度の下限値に係る情報等を加えた図である。
【図４】図４は、一実施形態に係る発光デバイス検査装置の概略的な構成を例示する図である。
【図５】図５は、測定部の構成を例示する図である。
【図６】図６は、情報処理部の構成を例示する図である。
【図７】図７は、発光デバイス検査装置の機能的な構成を示すブロック図である。
【図８】図８は、領域特定情報のデータ例を示す図である。
【図９】図９は、発光評価情報のデータ例を示す図である。
【図１０】図１０は、判定結果情報のデータ例を示す図である。
【図１１】図１１は、発光デバイス検査装置の動作フローを例示するフローチャートである。
【図１２】図１２は、一変形例に係る発光評価値の算出方法を説明するための図である。
【図１３】図１３は、一変形例に係る発光デバイス検査装置の機能的な構成を例示する図である。
【図１４】図１４は、一変形例に係る発光開始電流の推定方法を説明するための図である。
【図１５】図１５は、一変形例に係る測定部の概略的な構成を例示する図である。
【図１６】図１６は、一変形例に係る発光デバイス検査装置の機能的な構成を例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。なお、図面においては同様な構成および機能を有する部分については同じ符号が付されており、下記説明では重複説明が省略される。また、図面は模式的に示されたものであり、各図における各種構造のサイズおよび位置関係等は正確に図示されたものではない。
【００３３】
＜(1)許容値を超える漏れ電流の有無に係る検査原理＞
有機ＥＬを利用した発光デバイス（有機ＥＬデバイスとも言う）は、２つの電極（アノード電極とカソード電極）が発光層を挟む構造を有している。この有機ＥＬデバイスについては、発光層に異物等が極力混入しないように製造される。しかし、仮に発光層に異物等が混入すれば、異物等とその周辺部分との界面近傍における電気抵抗が低下し、異物等の近傍で電流（漏れ電流とも言う）が相対的に流れ易くなり、発光を生じるために発光層で本来流れるべき経路に電流が相対的に流れ難くなり得る。
【００３４】
このため、漏れ電流が生じない有機ＥＬデバイス（漏れ電流非発生デバイスとも言う）と比較して、漏れ電流が生じる有機ＥＬデバイス（漏れ電流発生デバイスとも言う）では、発光層を介して両電極間に流れる電流（駆動電流とも言う）が、漏れ電流を補う程度に高く設定されなければ、所望の発光が生じ得ない。
【００３５】
図１は、有機ＥＬデバイスにおける駆動電流とこの駆動電流に応じて発光し得る領域（発光可能領域とも言う）の輝度（発光輝度とも言う）との関係を示す図である。図１では、漏れ電流非発生デバイスにおける駆動電流と発光輝度との関係が一点鎖線の曲線ＣＶSで示され、漏れ電流発生デバイスにおける駆動電流と発光輝度との関係が二点鎖線の曲線ＣＶLで示されている。
【００３６】
図１で示されるように、漏れ電流非発生デバイスは、駆動電流が電流Ｉ0を超えると発光し始める。この電流Ｉ0を理想発光開始電流とも言う。一方、漏れ電流発生デバイスは、漏れ電流を補う電流（補償電流とも言う）ＩLを理想発光開始電流Ｉ0に加えた電流（Ｉ0＋ＩL）を駆動電流が超えると発光し始める。この電流（Ｉ0＋ＩL）を漏れ補償発光開始電流とも言う。
【００３７】
ここでは、漏れ電流非発生デバイスは、理想発光開始電流Ｉ0と漏れ補償発光開始電流（Ｉ0＋ＩL）との間の電流ＩCが駆動電流として与えられると発光する。このとき、漏れ電流非発生デバイスの発光輝度が輝度ＬC0となる。その一方で、漏れ電流発生デバイスは、電流ＩCが駆動電流として与えられても発光しない。
【００３８】
そこで、本実施形態では、ある補償電流ＩLが漏れ電流の許容値とされるとともに、電流ＩCが検査用の電流（検査用電流とも言う）とされる。そして、この検査用電流ＩCが駆動電流とされる際に検出される有機ＥＬデバイスの発光輝度に基づいて、許容値ＩLを超える漏れ電流が生じ得る有機ＥＬデバイスであるか否かが判定される。なお、許容値ＩLは、例えば、有機ＥＬデバイスに要求される発光効率の規格に基づいて決定され得る。
【００３９】
ところで、実際に製造される漏れ電流非発生デバイスについては、デバイス間の特性のばらつきによって、理想発光開始電流Ｉ0に若干のずれが生じる。
【００４０】
図２は、漏れ電流非発生デバイスにおいて生じるデバイス間の特性のばらつきを例示する図である。図２では、漏れ電流非発生デバイスのうち、想定される理想発光開始電流Ｉ0のばらつきの範囲における最小値Ｉ0minと最大値Ｉ0maxとが示されている。そして、理想発光開始電流Ｉ0が最小値Ｉ0minとなる漏れ電流非発生デバイスに係る駆動電流と発光輝度との関係が破線の曲線ＣＶSminで示され、理想発光開始電流Ｉ0が最大値Ｉ0maxとなる漏れ電流非発生デバイスに係る駆動電流と発光輝度との関係が一点鎖線の曲線ＣＶSmaxで示されている。
【００４１】
例えば、検査用電流ＩCが理想発光開始電流Ｉ0の最大値Ｉ0maxを超える値に設定される場合が想定される。このとき、理想発光開始電流Ｉ0が最小値Ｉ0minとなる漏れ電流非発生デバイスが検査用電流ＩCに応じた発光によって発光輝度ＬC0を実現し、想発光開始電流Ｉ0が最大値Ｉ0maxとなる漏れ電流非発生デバイスが検査用電流ＩCに応じた発光によって発光輝度ＬC1を実現する。つまり、発光輝度ＬC1と発光輝度ＬC0との差ＬVが生じる。
【００４２】
また、検査用電流ＩCが理想発光開始電流Ｉ0の最大値Ｉ0max以下の値に設定される場合も想定される。このとき、理想発光開始電流Ｉ0が最小値Ｉ0minとなる漏れ電流非発生デバイスは、検査用電流ＩCに応じて発光するが、理想発光開始電流Ｉ0が最大値Ｉ0maxとなる漏れ電流非発生デバイスは、検査用電流ＩCに応じて発光しない。
【００４３】
そこで、本実施形態では、図２で示されるようなデバイス間の特性のばらつきが考慮されて、検査用電流ＩCが設定される。具体的には、検査用電流ＩCが駆動電流とされる場合に漏れ電流非発生デバイスが確実に発光し得るように、理想発光開始電流Ｉ0の最大値Ｉ0maxが代表として理想発光開始電流Ｉ0とされ、この理想発光開始電流Ｉ0と漏れ補償発光開始電流（Ｉ0＋ＩL）との間の範囲内で、検査用電流ＩCが設定される。
【００４４】
また、有機ＥＬデバイスの発光輝度を検出するセンサの感度によって、検出可能な発光輝度の下限値ＬLLが存在する。図３は、図１に下限値ＬLLに係る情報を加えた図である。
【００４５】
図３で示されるように、漏れ電流非発生デバイスにおいて発光輝度ＬLLが実現されるためには、発光輝度ＬLLに対応する電流（オフセット電流とも言う）Ｉ0OFFSETが理想発光開始電流Ｉ0に加えられた値（Ｉ0＋Ｉ0OFFSET）が、駆動電流として設定されれば良い。また、漏れ電流発生デバイスにおいて発光輝度ＬLLが実現されるためには、オフセット電流Ｉ0OFFSETが漏れ補償発光開始電流（Ｉ0＋ＩL）に加えられた値（Ｉ0＋ＩL＋Ｉ0OFFSET）が、駆動電流として設定されれば良い。
【００４６】
換言すれば、第１電流としての電流（Ｉ0＋Ｉ0OFFSET）は、センサによって検出可能な発光輝度の下限値が漏れ電流非発生デバイスにおいて実現される駆動電流である。また、第２電流としての電流（Ｉ0＋ＩL＋Ｉ0OFFSET）は、センサによって検出可能な発光輝度の下限値が漏れ電流発生デバイスにおいて実現される駆動電流である。従って、検査用電流ＩCが、電流（Ｉ0＋Ｉ0OFFSET）以上であり、且つ電流（Ｉ0＋ＩL＋Ｉ0OFFSET）未満の電流となるように設定されることが好ましい。
【００４７】
なお、例えば、発光層の作製工程において、発光層を形成するための有機材料等を含む溶液が塗布される際の条件により、発光層の厚み等がばらつき得る。このため、１つの有機ＥＬデバイスにおける発光可能領域で発光輝度のムラが生じ、発光可能領域の全体が一様に発光しない場合が生じ得る。具体的には、発光可能領域において、発光している領域（発光領域とも言う）と発光していない領域（非発光領域とも言う）とが生じ得る。このような現象が生じる場合であっても、本実施形態に係る検査装置および検査方法によれば、許容値を超える漏れ電流の有無の判定が可能となり、簡単な構成で有機ＥＬデバイスの漏れ電流に関する検査が可能となる。
【００４８】
以下、本実施形態に係る検査装置および検査方法について、具体的に説明する。
【００４９】
＜(2)発光デバイス検査装置の概略構成＞
図４は、一実施形態に係る発光デバイス検査装置１の概略的な構成を示す図である。図４で示されるように、発光デバイス検査装置１は、測定部２と情報処理部３とを備えている。ここで、測定部２と情報処理部３とについて順次に説明する。
【００５０】
＜(2-1)測定部の構成＞
図５は、一実施形態に係る測定部２の構成を例示する図である。図５で示されるように、測定部２は、搬送系２１、遮蔽用箱部２２、撮像部２３、およびトレイ２４を備えている。
【００５１】
搬送系２１は、トレイ２４が載置される部分であり、このトレイ２４を所定方向（ここでは、水平方向）に移動させる部分である。
【００５２】
遮蔽用箱部２２は、下方に開口を有する箱状の形状を有し、可視光線を遮蔽する部分である。遮蔽用箱部２２では、一端部および他端部における外壁面の最下部の近傍にそれぞれ位置する部分に対して、電力を供給する第１配線ＦＷPおよび第２配線ＦＷMがそれぞれ接続されている。
【００５３】
ここで、第１配線ＦＷPは、遮蔽用箱部２２の外壁面から内壁面に至るまで遮蔽用箱部２２を貫通するように設けられ、遮蔽用箱部２２の内壁面側に設けられた第１接続端子ＣＮPに対して電気的に接続されている。一方、第２配線ＦＷMは、遮蔽用箱部２２の外壁面から内壁面に至るまで遮蔽用箱部２２を貫通するように設けられ、遮蔽用箱部２２の内壁面側に設けられた第２接続端子ＣＮMに対して電気的に接続されている。
【００５４】
また、遮蔽用箱部２２は、箱駆動部２２MT（図７参照）によって上下に移動可能である。図５では、遮蔽用箱部２２が最も下方まで移動した状態が示されている。この状態では、遮蔽用箱部２２とトレイ２４等とが密着することで遮蔽用箱部２２の内部空間が密閉された状態となり、遮蔽用箱部２２の外部から遮蔽用箱部２２の内部空間への可視光線の浸入が遮蔽される。一方、遮蔽用箱部２２が上方に移動した状態では、搬送系２１によってトレイ２４の搬送が可能となり、あるトレイ２４を遮蔽用箱部２２の直下の領域から移動させ、他のトレイ２４を遮蔽用箱部２２の直下の領域に移動させることが可能となる。
【００５５】
撮像部２３は、遮蔽用箱部２２の上部に設けられ、遮蔽用箱部２２の内部空間の撮影が可能である。この撮像部２３は、例えば、画素がマトリックス状に配列されたＣＣＤ等からなる撮像センサを有し、被写体の輝度に対応する画素値の２次元的な分布を示す画像データ（ここでは、モノクロ画像データ）を得るものであれば良い。以下では、画像データおよびこの画像データで示される画像を単に画像と総称する。
【００５６】
なお、図５では、撮像部２３によって撮影可能な範囲の外縁が一点鎖線で示されている。そして、遮蔽用箱部２２が最も下方まで移動してトレイ２４等と密着している際には、撮像部２３によってトレイ２４上に配置された４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４が発光している様子が撮像可能となる。
【００５７】
トレイ２４は、４箇所の凹み部を有し、発光可能領域が上方に向けられた４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４が４箇所の凹み部にそれぞれ嵌め込まれた状態で、４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４の搬送を可能とするものである。また、トレイ２４は、トレイ２４上に４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４が配置された状態で、４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４を電気的に直列に接続する導電部ＣＬ１〜ＣＬ５を有している。
【００５８】
ここでは、有機ＥＬデバイスＥＤ１が、アノード電極に接続する正極端子１ＴPとカソード電極に接続する負極端子１ＴMとを有し、有機ＥＬデバイスＥＤ２が、アノード電極に接続する正極端子２ＴPとカソード電極に接続する負極端子２ＴMとを有している。また、有機ＥＬデバイスＥＤ３が、アノード電極に接続する正極端子３ＴPとカソード電極に接続する負極端子３ＴMとを有し、有機ＥＬデバイスＥＤ４が、アノード電極に接続する正極端子４ＴPとカソード電極に接続する負極端子４ＴMとを有している。
【００５９】
そして、導電部ＣＬ１が正極端子１ＴPに電気的に接続し、導電部ＣＬ２が負極端子１ＴMと正極端子２ＴPとを電気的に接続し、導電部ＣＬ３が負極端子２ＴMと正極端子３ＴPとを電気的に接続し、導電部ＣＬ４が負極端子３ＴMと正極端子４ＴPとを電気的に接続し、正極端子４ＴPが導電部ＣＬ５に電気的に接続する。
【００６０】
また、遮蔽用箱部２２が最も下方まで移動してトレイ２４等と密着している際には、第１接続端子ＣＮPと導電部ＣＬ１とが接触して電気的に接続され、第２接続端子ＣＮMと導電部ＣＬ５とが接触して電気的に接続された状態となる。これにより、給電部２５（図７参照）によって第１配線ＦＷPと第２配線ＦＷMとの間に所望の電流を流すことが可能となる。
【００６１】
なお、トレイ２４上に配置される各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４については、例えば、基板上にアノード電極と発光層とカソード電極とが積層されて封止膜が設けられた状態であっても良いし、更に、封止の効果が高まるように樹脂等が用いられてラミネートされた状態であっても良い。なお、各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４の劣化を防ぐ目的で、遮蔽用箱部２２の内部空間に不活性ガスが導入されても良い。
【００６２】
＜(2-2)情報処理部の構成＞
図６は、一実施形態に係る情報処理部３の構成を例示する図である。図６で示されるように、情報処理部３は、例えばパーソナルコンピュータ（ＰＣ）で構成され、操作部３１、表示部３２、インターフェース(Ｉ／Ｆ)部３３、記憶部３４、入出力部３５、および制御部３６を備える。
【００６３】
操作部３１は、マウスやキーボード等を含む。表示部３２は、液晶ディスプレイ等を備えて構成されている。Ｉ／Ｆ部３３は、通信回線を介して測定部２との間で各種信号の送受信を行う。
【００６４】
記憶部３４は、例えばハードディスク等で構成され、測定部２で得られる測定結果に係る情報を記憶する。また、記憶部３４は、有機ＥＬデバイスの検査を行う処理（デバイス検査処理とも言う）を実行するためのプログラムＰＧ等が格納される。
【００６５】
入出力部３５は、例えばディスクドライブを備えて構成され、光ディスク等の記憶媒体９を受け付け、制御部３６との間で各種データの授受を行う。
【００６６】
制御部３６は、プロセッサーとして働くＣＰＵ３６ａと、情報を一時的に記憶するメモリ３６ｂとを有し、情報処理部３の各部を統括的に制御する。制御部３６では、記憶部３４内のプログラムＰＧが読み込まれて実行されることで、デバイス検査処理に係る各種機能および各種情報処理等が実現される。なお、記憶媒体９に記憶されているプログラムおよびデータを、入出力部３５を介してメモリ３６ｂ等に格納させることも可能である。
【００６７】
＜(3)発光デバイス検査装置の機能的な構成＞
図７は、一実施形態に係る発光デバイス検査装置１の機能的な構成を示すブロック図である。ここでは、制御部３６の機能的な構成が、プログラムＰＧの実行によって実現されるものとして説明されているが、専用のハードウエアによって実現されても良い。
【００６８】
図７で示されるように、測定部２は、搬送系２１、箱駆動部２２MT、撮像部２３、識別情報取得部２４OB、および給電部２５を備えている。また、情報処理部３は、搬送制御部３６１、電流制御部３６２、撮像制御部３６３、領域特定部３６４、画像補正部３６５、評価値算出部３６６、判定部３６７、および結果出力部３６８を備えている。
【００６９】
搬送系２１は、上述したように、トレイ２４が載置される部分であり、このトレイ２４を水平方向に移動させることが可能である。搬送系２１によるトレイ２４の移動は、例えば、ベルトコンベアまたはロボットアーム等を用いた構成によって実現され得る。
【００７０】
箱駆動部２２MTは、遮蔽用箱部２２を上下に移動させるものである。この箱駆動部２２MTは、例えば、遮蔽用箱部２２に対して連結されるシャフトを上下に移動させるシリンダー等が用いられて実現され得る。
【００７１】
撮像部２３は、給電部２５から供給される所望の電流に応じて４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４が発光している様子を撮像する。ここで、所望の電流には、検査用電流ＩCと、漏れ電流発生デバイスも十分発光し得る調整用の電流（調整用電流とも言う）ＩAD（図１および図３参照）とが含まれる。なお、調整用電流ＩADは、例えば、漏れ電流非発生デバイスの発光可能領域が通常の照明としての発光輝度を生じ得る駆動電流に相当し、検査用電流ＩCよりもかなり大きい電流となる。
【００７２】
そして、撮像部２３は、調整用電流ＩADが印加されている各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４の発光可能領域を捉えた画像（調整用画像とも言う）を取得する。また、撮像部２３は、検査用電流ＩCが印加されている各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４の発光可能領域を捉えた画像（検査用画像とも言う）を取得する。調整用画像および検査用画像は、ともに各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４の発光輝度に係る情報であり、ここでは、発光輝度に対応する画素値の２次元的な分布を示すモノクロ画像である。なお、ここでは、撮像部２３の合焦状態と絞りの状態とが、トレイ２４に装着された４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４の撮像に適した状態となっているものとする。
【００７３】
ところで、例えば、撮像部２３に単純なデジタルカメラが適用される場合、撮像部２３によって取得される画像を構成する各画素の画素値は、被写体の輝度そのものの絶対値を示さず、被写体の輝度に対応する信号レベルを示す。
【００７４】
この場合、例えば、まず、被写体の輝度に相当する多数の画素値からなる画像を直接的に取得可能なデジタルカメラ（輝度測定カメラとも言う）と、撮像部２３に適用されたデジタルカメラとによって、同一のチャート（例えば、マクベスのカラーチャート）が撮像される。次に、得られる２つの画像の比較によって、撮像部２３に適用されたデジタルカメラの出力（各画素値）と輝度との関係が求められる。そして、この関係を示す情報が、予め記憶部３４に格納され、撮像制御部３６３等において、撮像部２３で得られた画素値の２次元的な分布から被写体に係る輝度の２次元分布が適時に求められれば良い。
【００７５】
識別情報取得部２４OBは、遮蔽用箱部２２の直下に存在するトレイ２４の識別情報を取得する。識別情報取得部２４OBとしては、例えば、トレイ２４に貼り付けられているＩＣタグから識別情報（例えばトレイＩＤ等）を読み出すＩＣタグリーダ等が挙げられ、遮蔽用箱部２２および搬送系２１の何れか一方に設けられれば良い。ＩＣタグの代わりにバーコードが用いられ、ＩＣタグリーダの代わりにバーコードリーダが用いられても良い。
【００７６】
給電部２５は、第１配線ＦＷPおよび第２配線ＦＷMを介して、４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４に一定の電流を安定して供給可能な定電流源である。一定の電流には、検査用電流ＩCと調整用電流ＩADとが含まれる。なお、これらの電流ＩC，ＩADは、各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４を発光させ得る方向（順方向とも言う）に流れる電流である。
【００７７】
搬送制御部３６１は、搬送系２１を制御することで、トレイ２４を移動させる。また、搬送制御部３６１は、トレイ２４の移動と同期させて、箱駆動部２２MTを制御することで、遮蔽用箱部２２を上下に移動させる。
【００７８】
電流制御部３６２は、給電部２５を制御することで、トレイ２４上に配置された４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４に検査用電流ＩCまたは調整用電流ＩADを供給する。
【００７９】
撮像制御部３６３は、電流制御部３６２による給電部２５の制御と同期して、撮像部２３を制御することで、トレイ２４上に配置された４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４が発光する様子をそれぞれ捉えた調整用画像および検査用画像を順次に取得する。また、撮像制御部３６３は、識別情報取得部２４OBを制御することで、遮蔽用箱部２２の直下に存在するトレイ２４の識別情報（ここではトレイＩＤ）を取得する。
【００８０】
領域特定部３６４は、撮像部２３によって取得された調整用画像に基づいて、発光可能領域が捉えられる画像領域が検査用画像を占める位置を特定する。具体的には、調整用画像のうち、撮像部２３で検出可能な発光輝度の下限値ＬLL以上の発光輝度に対応する画素値を示す一塊の複数の画素からなる領域が、１つの有機ＥＬデバイスの発光可能領域が捉えられる画像領域として特定される。
【００８１】
領域特定部３６４では、各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４にそれぞれ対応する発光可能領域が捉えられる画像領域の位置がそれぞれ特定される。また、領域特定部３６４で特定される４つの画像領域は、評価値算出部３６６において発光輝度に係る評価値（発光評価値とも言う）の算出に用いられる画像領域（評価エリアとも言う）となる。
【００８２】
具体的には、例えば、撮像部２３によって得られる画像が、横方向（Ｘ方向）に沿って伸び且つ相互に対向する２辺と縦方向（Ｙ方向）に沿って伸び且つ相互に対向する２辺とによって外縁が構成される矩形の画像であるものとされる。そして、外縁がＸ方向に伸びる２辺とＹ方向に伸びる２辺とからなる矩形であって、発光輝度ＬLL以上の発光輝度に対応する画素値を示す一塊の多数の画素からなる領域に内接する領域（矩形領域とも言う）が、評価エリアとされる。なお、矩形領域は、設計上で得られる発光可能領域に対して相似の関係を有する。
【００８３】
また、例えば、４つの評価エリアが並んでいる順番によって、４つの評価エリアが、４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４のうちの何れの有機ＥＬデバイスに係る評価エリアにそれぞれ相当するのかが特定されれば良い。
【００８４】
なお、調整用画像において４つの発光可能領域がそれぞれ捉えられると予測される画素Ｐ１〜Ｐ４が予め設定され、画素Ｐ１〜Ｐ４に基づいて、４つの評価エリアが、４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４のうちの何れの有機ＥＬデバイスに係る評価エリアにそれぞれ相当するのかが特定されても良い。この場合、例えば、画素Ｐ１を含む評価エリアが、有機ＥＬデバイスＥＤ１に係る評価エリアとされ、画素Ｐ２を含む評価エリアが、有機ＥＬデバイスＥＤ２に係る評価エリアとされる。また、画素Ｐ３を含む評価エリアが、有機ＥＬデバイスＥＤ３に係る評価エリアとされ、画素Ｐ４を含む評価エリアが、有機ＥＬデバイスＥＤ４に係る評価エリアとされる。
【００８５】
このようにして特定された４つの評価エリアを示す情報（領域特定情報とも言う）は、図８で示すような態様とされて、評価値算出部３６６に対して出力される。図８で示されるように、領域特定情報は、トレイＩＤに対して、有機ＥＬデバイスの配置順毎に、評価エリアにおける左上の画素のＸＹ座標と、右下の画素のＸＹ座標とが関連付けられたものである。なお、各画像の左上の座標が原点とされる。
【００８６】
画像補正部３６５は、撮像部２３によって取得された検査用画像に対して、いわゆるシェーディング補正を行う。
【００８７】
評価値算出部３６６は、シェーディング補正後の検査用画像に基づいて、各評価エリアについて発光輝度に係る評価値（発光評価値）をそれぞれ算出する。各発光評価値は、例えば、評価エリアにおける発光輝度の平均値等であれば良い。この平均値は、例えば、いわゆる算術平均の値であれば良く、幾何平均、２乗平均、および大きく外れた値を除いた上での算術平均等といった各種平均のうちの何れの平均の値であっても良い。更に、発光評価値は、評価エリアにおける発光輝度の最大値、最頻値、および中央値等といった各種代表値のうちの何れの値であっても良い。
【００８８】
また、評価値算出部３６６では、算出された各有機ＥＬデバイスに係る発光評価値が、領域特定部３６４から入力される領域特定情報に追記された情報（発光評価情報とも言う）が生成される。なお、発光評価情報のデータ例は、図９で示されるようなものとなる。図９では、有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４の発光評価値がそれぞれ１．５，１．２，１．６，０．０１である例が示されている。
【００８９】
判定部３６７は、各有機ＥＬデバイスを対象として、発光評価値が閾値Ｔ1以下となる条件が満たされる場合に、許容値を超える漏れ電流が生じ得るものと判定する。閾値Ｔ1は、例えば、設計上において、漏れ電流非発生デバイスにおいて実現され得る発光輝度から算出される発光評価値（基準発光評価値とも言う）よりも明らかに小さな値（例えば、基準発光評価値の１０分の１程度の値等といった１桁小さな値）等であれば良い。また、検査用電流ＩCが、電流（Ｉ0＋Ｉ0OFFSET）以上であり且つ電流（Ｉ0＋ＩL＋Ｉ0OFFSET）未満の電流であれば、例えば、閾値Ｔ1は、０に近い値に設定されても良い。
【００９０】
例えば、閾値Ｔ1が０．１と設定されると、発光評価情報が図９で示されるようなものであれば、４番目の有機ＥＬデバイスＥＤ４は、発光評価値が閾値Ｔ1以下であるために許容値を超える漏れ電流が生じ得る不適格なデバイスであると判定される。一方、１〜３番目の有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ３は、発光評価値が閾値Ｔ1を超えているために許容値を超える漏れ電流が生じ得ない適格なデバイスであると判定される。
【００９１】
また、判定部３６７では、評価値算出部３６６から入力される発光評価情報に対して、判定結果としての適格（ＯＫ）および不適格（ＮＧ）である旨の情報が追記された情報（判定結果情報とも言う）が生成される。なお、判定結果情報のデータ例は、図１０で示されるようなものとなる。図１０では、１〜３番目の有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ３には適格（ＯＫ）との判定結果がそれぞれ記され、４番目の有機ＥＬデバイスＥＤ４には不適格（ＮＧ）との判定結果が記された例が示されている。
【００９２】
そして、判定部３６７は、判定結果情報を、表示部３２において可視的に出力させるとともに、記憶部３４に記憶させる。なお、表示部３２において可視的に出力される判定結果情報の態様としては、図１０で示されるテーブルの態様等であれば良い。
【００９３】
結果出力部３６８は、通信回線を介して、判定部３６７から転送されてきた判定結果情報を、発光デバイス検査装置１の外部に設置される集計サーバ５００等に送信する。
【００９４】
＜(4)発光デバイス検査装置の動作フロー＞
図１１は、発光デバイス検査装置１の動作フローを示すフローチャートである。本動作フローは、制御部３６がプログラムＰＧを読み込んで実行することで実現される。なお、本動作フローは、例えば、操作部３１からの指示に応じて開始されて、図１１のステップＳ１に進む。
【００９５】
ステップＳ１では、搬送制御部３６１の制御下で、搬送系２１によってトレイ２４が遮蔽用箱部２２の直下まで搬送されるとともに、箱駆動部２２MTによって遮蔽用箱部２２が下降して、遮蔽用箱部２２の内部空間が密閉された状態とされる。
【００９６】
ステップＳ２では、電流制御部３６２の制御下で、給電部２５から４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４に対する調整用電流ＩADの供給が開始される。このとき、各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４が調整用電流ＩADに応じた発光を開始する。
【００９７】
ステップＳ３では、撮像制御部３６３の制御下で、撮像部２３によって調整用画像が取得される。
【００９８】
ステップＳ４では、電流制御部３６２の制御下で、給電部２５から４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４に対する調整用電流ＩADの供給が終了される。このとき、各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４が調整用電流ＩADに応じた発光を終了する。
【００９９】
ステップＳ５では、領域特定部３６４によって、ステップＳ３で取得された調整用画像に基づいて、各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４の発光可能領域に対応する評価エリアの位置が特定され、各評価エリアの位置をそれぞれ示す領域特定情報が生成される。
【０１００】
ステップＳ６では、電流制御部３６２の制御下で、給電部２５から４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４に対する検査用電流ＩCの供給が開始される。このとき、各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４が検査用電流ＩCに応じた発光を開始する。
【０１０１】
ステップＳ７では、撮像制御部３６３の制御下で、撮像部２３によって検査用画像が取得される。
【０１０２】
ステップＳ８では、電流制御部３６２の制御下で、給電部２５から４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４に対する検査用電流ＩCの供給が終了される。このとき、各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４が検査用電流ＩCに応じた発光を終了する。
【０１０３】
ステップＳ９では、評価値算出部３６６によって、ステップＳ７で取得された検査用画像に基づいて、各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４に係る評価エリアについて発光評価値がそれぞれ算出される。
【０１０４】
ステップＳ１０では、判定部３６７によって、ステップＳ９で算出された各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４に係る発光評価値に基づいて、各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４が適格であるかまたは不適格であるかが判定される。
【０１０５】
ステップＳ１１では、判定部３６７によって、ステップＳ１０で得られた判定結果を示す判定結果情報を、表示部３２において可視的に出力させるとともに、記憶部３４に記憶させる。また、結果出力部３６８によって、判定結果情報が、通信回線を介して集計サーバ５００等に送信される。
【０１０６】
ステップＳ１２では、搬送制御部３６１の制御下で、箱駆動部２２MTによって遮蔽用箱部２２が上昇するとともに、搬送系２１によってトレイ２４が遮蔽用箱部２２の直下から搬出される。
【０１０７】
ステップＳ１３では、制御部３６によって、次のトレイ２４があるか否かが判定される。ここで、次のトレイ２４があれば、ステップＳ１に戻り、次のトレイ２４がなければ、本動作フローが終了する。
【０１０８】
＜(5)一実施形態のまとめ＞
以上のように、一実施形態に係る発光デバイス検査装置１では、検査用電流ＩCに応じて発光する有機ＥＬデバイスの発光輝度に係る情報が取得され、この発光輝度から算出される評価値に基づいて許容値を超える漏れ電流が生じ得るか否かが判定される。このため、簡単な構成によって有機ＥＬデバイスの漏れ電流に関する検査が可能となる。
【０１０９】
また、複数の有機ＥＬデバイスが電気的に直列に接続された状態で検査用電流ＩCに応じて発光する様子が撮像部２３によって撮像される。このとき、複数の有機ＥＬデバイスのうちの或る有機ＥＬデバイスにおける漏れ電流が、他の有機ＥＬデバイスにおける発光輝度に影響を及ばさない。その結果、複数の有機ＥＬデバイスの検査が同時期に可能となるため、検査の迅速化が図られ得る。
【０１１０】
また、撮像部２３によって、検査用電流ＩCに応じて発光する有機ＥＬデバイスの発光輝度に係る情報が取得される。このため、例えば、汎用のデジタルカメラ等の簡単な構成によって迅速な検査が可能となる。また、例えば、複数の有機ＥＬデバイスの発光輝度が単一の撮像部２３によって測定されるため、簡単な構成によって迅速に検査され得る。
【０１１１】
また、検査用電流ＩCに応じて発光している有機ＥＬデバイスの発光輝度から求まる発光評価値が、評価対象の領域に係る発光輝度の平均値であれば、１つの有機ＥＬデバイス内において発光に必要な電流の下限値がばらついても、安定した検査が可能となる。
【０１１２】
また、調整用電流ＩADに応じて発光している有機ＥＬデバイスを捉えた調整用画像が撮像によって取得され、この調整用画像に基づいて、各有機ＥＬデバイスの発光可能領域が捉えられる画像領域が検査用画像を占める位置が特定される。このため、有機ＥＬデバイスの発光可能領域のより広い領域に係る発光輝度に基づいた検査が可能となる。
【０１１３】
＜(6)変形例＞
なお、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
【０１１４】
◎例えば、上記一実施形態では、発光評価値が、評価エリアに係る発光輝度の平均値等であったが、これに限られない。例えば、発光評価値が、発光可能領域に対応する評価エリアにおいて、閾値Ｔ2以上の発光輝度に対応する画素値を示す１以上の画素からなる画像領域が占める割合であっても良い。
【０１１５】
例えば、図１２で示されるように、評価エリアが、閾値Ｔ2以上の発光輝度に係る画像領域ＡＲ１と、閾値Ｔ2未満の発光輝度に係る画像領域ＡＲ２とによって構成される場合を想定する。このとき、画像領域ＡＲ１の面積が、画像領域ＡＲ１の面積と画像領域ＡＲ２の面積との合算値で除されることで、発光評価値が導出される。
【０１１６】
このような構成によれば、１つの有機ＥＬデバイス内において発光に必要な電流の下限値がばらついても、安定した検査が可能となる。
【０１１７】
◎また、上記一実施形態では、４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４が電気的に直列に接続されていたが、これに限られない。例えば、各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４に対して個別に電流が付与されても良いし、２以上の任意の個数の有機ＥＬデバイスが電気的に直列に接続されていても良い。そして、１回の撮像で捉えられる有機ＥＬデバイスの個数は、１以上の任意の個数であれば良い。
【０１１８】
但し、検査の迅速化が図られる観点から言えば、検査対象の１以上の有機ＥＬデバイスが、給電部２５に対して電気的に直列に接続された複数の有機ＥＬデバイスであることが好ましい。このような態様では、検査用電流ＩCの供給に応じて発光する複数の有機ＥＬデバイスの発光輝度に係る情報が同時期に並行して取得され得る。
【０１１９】
◎また、上記一実施形態では、発光輝度に係る発光評価値に基づいて、有機ＥＬデバイスが適格または不適格であるとの判定がなされたが、これに限られない。例えば、各有機ＥＬデバイスについて、駆動電流を徐々に上昇させていく際に発光が開始する電流（発光開始電流とも言う）が推定され、この発光開始電流が閾値ＩT以上となる条件が満たされれば、不適格であるとの判定がなされても良い。
【０１２０】
なお、発光開始電流は、次の工程(Ａ)，(Ｂ)が順次に行われることで推定され得る。
【０１２１】
(Ａ)複数の異なる検査用の電流（検査用電流）が順次に供給されつつ、各検査用電流に応じて発光している有機ＥＬデバイスの発光輝度に係る情報が撮像部２３によって取得される。このとき、例えば、各有機ＥＬデバイスについて、撮像部２３で得られる発光輝度に係る２次元的な分布を示す情報から発光輝度の平均値が求められて、有機ＥＬデバイスの発光輝度とされれば良い。
【０１２２】
(Ｂ)複数の異なる検査用電流の値と、各検査用電流にそれぞれ対応する発光輝度の値とが用いられて、駆動電流と発光輝度との関係を示す曲線が近似的に算出される演算（曲線近似の演算とも言う）が行われることで、有機ＥＬデバイスの発光開始電流が推定される。なお、別の観点から言えば、発光開始電流は、測定結果としての発光輝度に基づいて推定される有機ＥＬデバイスの発光に必要な駆動電流の下限値に相当する。
【０１２３】
ここで、発光開始電流の推定について具体例を挙げて説明する。
【０１２４】
図１３は、一変形例に係る発光デバイス検査装置１の機能的な構成を示す図である。図１３で示される機能的な構成は、図７で示された一実施形態に係る発光デバイス検査装置１の機能的な構成がベースとされて、評価値算出部３６６が推定部３６９に置換されたものである。
【０１２５】
図１４は、一変形例に係る発光開始電流の推定方法を説明するための図である。なお、図１４では、図１と同様に、漏れ電流非発生デバイスにおける駆動電流と発光輝度との関係が一点鎖線の曲線ＣＶSで示され、漏れ電流発生デバイスにおける駆動電流と発光輝度との関係が二点鎖線の曲線ＣＶLで示されている。
【０１２６】
例えば、電流制御部３６２の制御下で、給電部２５から４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４に対して、３つの異なる第１〜第３検査用電流Ｉ1〜Ｉ3が順次に印加される。このとき、撮像部２３によって、第１検査用電流Ｉ1が４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４に印加されている状態が捉えられた画像（第１検査用画像とも言う）が取得される。また、撮像部２３によって、第２検査用電流Ｉ2が４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４に印加されている状態が捉えられた画像（第２検査用画像とも言う）が取得される。更に、撮像部２３によって、第３検査用電流Ｉ3が４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４に印加されている状態が捉えられた画像（第３検査用画像とも言う）が取得される。
【０１２７】
これにより、第１検査用電流Ｉ1に応じて発光している各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４の発光輝度（第１発光輝度とも言う）Ｌ1に係る情報が取得される。また、第２検査用電流Ｉ2に応じて発光している各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４の発光輝度（第２発光輝度とも言う）Ｌ2に係る情報が取得される。第３検査用電流Ｉ3に応じて発光している各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４の発光輝度（第３発光輝度とも言う）Ｌ3に係る情報が取得される。
【０１２８】
そして、推定部３６９により、各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４について、第１検査用電流Ｉ1と第１発光輝度Ｌ1との組、第２検査用電流Ｉ2と第２発光輝度Ｌ2との組、および第３検査用電流Ｉ3と第３発光輝度Ｌ3との組が用いられた曲線近似の演算によって、発光開始電流が推定される。
【０１２９】
より具体的には、例えば、駆動電流Ｉと発光輝度Ｌとの関係が、定数ａ，ｂ，ｃが用いられた多項式であるＬ＝ａ×Ｉ2＋ｂ×Ｉ＋ｃの関係式で示されるものとする。ここで、この関係式に対し、ＩにＩ1が代入され且つＬにＬ1が代入されて得られる第１の式と、ＩにＩ2が代入され且つＬにＬ2が代入されて得られる第２の式と、ＩにＩ3が代入され且つＬにＬ3が代入されて得られる第３の式とから、定数ａ，ｂ，ｃが求められる。そして、求められた定数ａ，ｂ，ｃが上記関係式に代入されることで、駆動電流と発光輝度との関係を示す曲線が近似的に算出され、Ｌ＝０となる際の電流Ｉが発光開始電流として推定される。
【０１３０】
なお、ここでは、３つの異なる駆動電流にそれぞれ対応する３つの発光輝度が撮像によって求められたが、これに限られず、設計上で求まる曲線のモデル（曲線モデルとも言う）が予め設定され、１つの駆動電流に対する発光輝度が撮像によって求められれば、曲線モデルの平行移動によって駆動電流と発光輝度との関係を示す曲線が近似的に算出されるような態様も考えられる。但し、この態様では、検査対象としての有機ＥＬデバイスの間で、駆動電流と発光輝度との関係を示す曲線の傾きが異なれば、検査精度が低下し得る。
【０１３１】
このため、検査精度が維持され得る観点から言えば、２つの異なる駆動電流にそれぞれ対応する２つの発光輝度が撮像によって得られ、例えば、曲線モデルの平行移動と変形とが行われる処理（カーブフィッティング）が実行されて、駆動電流と発光輝度との関係を示す曲線が求められる方が好ましい。更に、上述した３つの異なる駆動電流にそれぞれ対応する３つの発光輝度が撮像によって求められ、上記多項式が用いられて、駆動電流と発光輝度との関係を示す曲線が求められる方がより好ましい。
【０１３２】
本変形例に係る態様によれば、撮像部２３によって安定して検出可能な発光輝度を生じさせる検査用電流が用いられ得る。このため、撮像部２３の高感度化等が不要となり、撮像部２３の構成の簡略化が図られ得る。
【０１３３】
◎また、上記一実施形態では、検査用電流ＩCが、電流（Ｉ0＋Ｉ0OFFSET）以上であり且つ電流（Ｉ0＋ＩL＋Ｉ0OFFSET）未満の範囲内で設定されたが、これに限られない。例えば、判定部３６７における判定の基準となる閾値Ｔ1が適宜調整されるのであれば、検査用電流ＩCが、電流（Ｉ0＋ＩL＋Ｉ0OFFSET）以上の値に設定されても良い。
【０１３４】
但し、検査用電流ＩCが、電流（Ｉ0＋Ｉ0OFFSET）以上であり且つ電流（Ｉ0＋ＩL＋Ｉ0OFFSET）未満の範囲内で設定されれば、許容値を超える漏れ電流が生じている場合は有機ＥＬデバイスの発光が検出されない。つまり、不適格な有機ＥＬデバイスの発光輝度が０として検出される。このため、適格な有機ＥＬデバイスと不適格な有機ＥＬデバイスとが明確に区別されて、検査精度の向上が図られる。従って、検査の精度が高められる観点から言えば、上記一実施形態のように、検査用電流ＩCが、電流（Ｉ0＋Ｉ0OFFSET）以上であり且つ電流（Ｉ0＋ＩL＋Ｉ0OFFSET）未満の範囲内で設定されることが好ましい。
【０１３５】
◎また、上記一実施形態では、撮像部２３によって各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４の発光輝度に係る情報が得られたが、これに限られない。例えば、検査用電流ＩCに応じて発光している各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４の発光輝度に係る情報が、フォトダイオード等による検出によってそれぞれ取得されても良い。このような構成によれば、極めて単純な構成で有機ＥＬデバイスの漏れ電流に関する検査が可能となる。
【０１３６】
図１５は、本変形例に係る発光デバイス検査装置１Ａを構成する測定部２Ａの概略的な構成を例示する図である。
【０１３７】
フォトダイオードが採用される場合には、１つの有機ＥＬデバイスの発光輝度が、他の有機ＥＬデバイスの発光輝度の影響から分離されつつ取得され得るような構成が必要となる。このため、図１５で示されるように、本変形例に係る測定部２Ａは、上記一実施形態に係る測定部２がベースとされて、遮蔽用箱部２２が、遮蔽板Ｗ１〜Ｗ３が追加された遮蔽用箱部２２Ａに置換されるとともに、撮像部２３が、フォトダイオードをそれぞれ有する４つのセンサ部２３１〜２３４に置換されたものとなっている。
【０１３８】
測定部２Ａでは、遮蔽用箱部２２Ａが下降してトレイ２４に密着する場合には、センサ部２３１が有機ＥＬデバイスＥＤ１の直上に位置し、センサ部２３２が有機ＥＬデバイスＥＤ２の直上に位置し、センサ部２３３が有機ＥＬデバイスＥＤ３の直上に位置し、センサ部２３４が有機ＥＬデバイスＥＤ４の直上に位置する。この構成によれば、各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４に係る評価エリアが特定される処理が不要となり、構成および処理の簡素化に資する。
【０１３９】
図１６は、本変形例に係る発光デバイス検査装置１Ａの機能的な構成を示すブロック図である。本変形例に係る発光デバイス検査装置１Ａは、上記一実施形態に係る発光デバイス検査装置１がベースとされて、撮像部２３が４つのセンサ部２３１〜２３４に置換されるとともに、電流制御部３６２と撮像制御部３６３と判定部３６７とが、それぞれ電流制御部３６２Ａと検出制御部３６３Ａと判定部３６７Ａとに置換され、更に、領域特定部３６４と画像補正部３６５と評価値算出部３６６とが取り除かれたものとなっている。
【０１４０】
電流制御部３６２Ａは、給電部２５によって各有機ＥＬデバイスＥＤ１〜ＥＤ４に検査用電流ＩCを供給する。検出制御部３６３Ａは、４つのセンサ部２３１〜２３４による検出とその検出結果としての発光輝度に係る情報を取得する。判定部３６７Ａは、各センサ部２３１〜２３４が用いられて取得された発光輝度を発光評価値として、発光評価値が閾値Ｔ1以下となる条件が満たされる場合に、許容値を超える漏れ電流が生じ得る不適格なものと判定する。
【０１４１】
なお、４つのセンサ部２３１〜２３４が、それぞれ撮像部とされる態様も考えられる。この態様では、撮像部における暗電流の影響が抑制され、検査精度の向上が図られ得る。
【０１４２】
◎また、上記一実施形態では、撮像部２３が用いられて取得された発光輝度の２次元的な分布が用いられたが、これに限られない。例えば、各評価エリアにそれぞれ含まれている１点の画素に係る発光輝度が、発光評価値として使用されても良い。
【０１４３】
◎また、上記一実施形態では、検査対象が有機ＥＬデバイスであったが、これに限られない。例えば、検査対象は、無機材料が用いられて構成されているＥＬデバイス（無機ＥＬデバイスとも言う）等といったその他の面発光デバイスであっても良い。
【０１４４】
◎なお、上記一実施形態および各種変形例をそれぞれ構成する全部または一部を、適宜、矛盾しない範囲で組み合わせ可能であることは、言うまでもない。
【符号の説明】
【０１４５】
１，１Ａ  発光デバイス検査装置
２，２Ａ  測定部
２２，２２Ａ  遮蔽用箱部
３４  記憶部
３６  制御部
２３１〜２３４  センサ部
３６２，３６２Ａ  電流制御部
３６３  撮像制御部
３６３Ａ  検出制御部
３６４  領域特定部
３６５  画像補正部
３６６  評価値算出部
３６７，３６７Ａ  判定部
３６８  結果出力部
３６９  推定部
ＥＤ１〜ＥＤ４  有機ＥＬデバイス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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