(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
締結部によって連結された第１駆動軸及び第２駆動軸を備えた複数軸駆動機械に設けられる複数軸駆動装置であって、
前記第１駆動軸を駆動するための第１モータ、及び、前記第２駆動軸を駆動する第２モータ、を設け、
前記第１モータに機械結合され前記第１モータの駆動位置を検出する第１位置検出器、及び、前記第２モータに機械結合され前記第２モータの駆動位置を検出する第２位置検出器、を設け、
前記第１駆動軸及び前記第２駆動軸に共通の駆動指令信号、及び、前記第１位置検出器で検出された前記第１モータの駆動位置、を入力し、前記共通の駆動指令信号で指示された前記第１モータの目標駆動位置と前記入力した前記第１モータの駆動位置との第１位置偏差に基づき前記第１モータの駆動を制御するための第１位置制御部、を備えた第１モータ制御回路を設け、
前記第１駆動軸及び前記第２駆動軸に共通の駆動指令信号、及び、前記第２位置検出器で検出された前記第２モータの駆動位置、を入力し、前記共通の駆動指令信号で指示された前記第２モータの目標駆動位置と前記入力された前記第２モータの駆動位置との第２位置偏差に基づき前記第２モータの駆動を制御するための第２位置制御部、を備えた第２モータ制御回路を設け、
前記第１モータ制御回路は、
当該第１モータ制御回路内の異常を検出し、対応する異常通知信号を出力可能な異常検出手段と、
前記異常検出手段により前記第１モータ制御回路内の異常が検出された場合に、前記共通の駆動指令信号から遮断した状態で前記第１モータの駆動を停止する停止制御手段と、
を有し、
前記第２モータ制御回路は、
前記異常通知信号が入力された場合に、前記共通の駆動指令信号の前記第２位置制御部への入力を遮断し、当該共通の駆動指令信号に代えて、前記第１位置検出器で検出された前記第１モータの駆動位置が前記第２位置制御部へ入力されるように、信号経路を切り替える第２モータ用信号切替手段
を有し、
前記第２位置制御部は、
前記異常通知信号が入力された場合に、前記第２位置偏差を初期化処理するとともに、前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差に基づき前記第２モータの駆動を追従制御し、
前記第２モータ制御回路は、さらに、
前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置とを入力するとともに、それら入力された第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差に基づいて、前記第２モータ用信号切替手段の信号経路の切り替えによって前記共通の駆動指令信号の入力が遮断された状態の前記第２位置制御部へ入力される前記第１モータの駆動位置を、補正するための追従用位置補正信号を生成する第１位置補正信号生成手段と、
前記第２モータ用信号切替手段から入力される前記第１モータの駆動位置を、前記第１位置補正信号生成手段からの前記追従用位置補正信号により補正する、第１位置補正手段と、
を有することを特徴とする複数軸駆動装置。
【請求項２】
請求項１記載の複数軸駆動装置において、
前記第１位置補正信号生成手段は、
前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差に対し、所定の第１ゲインを乗算する第１乗算部と、
前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差を微分する第１微分器と、
前記第１微分器での微分値に対し、所定の第２ゲインを乗算する第２乗算部と、
前記第１乗算部からの出力値と、前記第２乗算部からの出力値とを、加算して前記追従用位置補正信号とする加算器と、
を備えることを特徴とする複数軸駆動装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載の複数軸駆動装置において、
前記第１モータ制御回路は、
前記第１位置制御部から出力された、前記第１モータの駆動を制御するための速度指令、及び、前記第１位置検出器で検出された前記第１モータの駆動位置を微分した第１モータの駆動速度、を入力し、前記第１位置制御部からの速度指令で指示された前記第１モータの目標駆動速度と前記入力した前記第１モータの駆動速度との第１速度偏差に基づき前記第１モータの駆動を制御するための第１速度制御部を有し、
前記第２モータ制御回路は、
前記第２位置制御部から出力された、前記第２モータの駆動を制御するための速度指令、及び、前記第２位置検出器で検出された前記第２モータの駆動位置を微分した第２モータの駆動速度、を入力し、前記第２位置制御部からの速度指令で指示された前記第２モータの目標駆動速度と前記入力した前記第２モータの駆動速度との第２速度偏差に基づき前記第２モータの駆動を制御するための第２速度制御部と、
前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置とを入力するとともに、それら入力された第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差に基づいて、前記第２速度制御部へ入力される前記第２位置制御部からの速度指令を補正するための速度補正信号を生成する速度補正信号生成手段と、
前記第２位置制御部から入力される前記速度指令を、前記速度補正信号生成手段からの前記速度補正信号により補正する、速度補正手段と、
を有することを特徴とする複数軸駆動装置。
【請求項４】
請求項１記載の複数軸駆動装置において、
前記速度補正信号生成手段は、
前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差を微分する第２微分器と、
前記第２微分器での微分値に対し、所定の第３ゲインを乗算し、前記速度補正信号とする第３乗算部と、
を備えることを特徴とする複数軸駆動装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の複数軸駆動装置において、
前記第１駆動軸及び前記第２駆動軸に連結された第３駆動軸を駆動するための第３モータと、
前記第３モータに機械結合され前記第３モータの駆動位置を検出する第３位置検出器と、
前記共通の駆動指令信号、及び、前記第３位置検出器で検出された前記第３モータの駆動位置、を入力し、前記共通の駆動指令信号で指示された前記第３モータの目標駆動位置と前記入力した前記第３モータの駆動位置との第３位置偏差に基づき前記第３モータの駆動を制御するための第３位置制御部を備えた第３モータ制御回路と、
を有し、
前記第３モータ制御回路は、
前記異常通知信号が入力された場合に、前記共通の駆動指令信号の前記第３位置制御部への入力を遮断し、当該共通の駆動指令信号に代えて、前記第１位置検出器で検出された前記第１モータの駆動位置が前記第３位置制御部へ入力されるように、信号経路を切り替える第３モータ用信号切替手段と、
を有し、
前記第３位置制御部は、
前記異常通知信号が入力された場合に、前記第３位置偏差を初期化処理するとともに、前記第１モータの駆動位置と前記第３モータの駆動位置との位置偏差に基づき前記第３モータの駆動を追従制御する、
ことを特徴とする複数軸駆動装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載の複数軸駆動装置において、
前記第１駆動軸及び前記第２駆動軸は、
前記締結部を構成し直線的に移動可能な第１被駆動部材及び第２被駆動部材にそれぞれ係合されるとともに、駆動により前記第１被駆動部材及び前記第２被駆動部材をそれぞれ直線的に移動させるように構成されており、
前記第２モータ制御回路は、
前記第１被駆動部材と前記第２被駆動部材との間で許容可能な前記直線的な移動方向に沿った相対変位量を保持し、前記相対変位量に基づいて、前記第２モータ用信号切替手段の前記切り替えにより前記第２位置制御部へ入力される前記第１モータの駆動位置を補正するための、相対変位許容用位置補正信号を生成する第２位置補正信号生成手段と、
前記第２モータ用信号切替手段から前記第２位置制御部へ入力される前記第１モータの駆動位置を、前記第２位置補正信号生成手段からの前記相対変位許容用位置補正信号により補正する、第２位置補正手段と、
を有することを特徴とする複数軸駆動装置。
【請求項７】
請求項６記載の複数軸駆動装置において、
前記第２位置補正信号生成手段は、
前記第１被駆動部材が、前記移動方向に沿って前記第２被駆動部材よりも前記相対変位量以内で先行した位置となるような、前記相対変位許容用位置補正信号を生成する
ことを特徴とする複数軸駆動装置。
【請求項８】
それぞれが直線的に移動可能に配置されるとともに互いに連結された第１被駆動部材及び第２被駆動部材と、前記第１被駆動部材に係合され、駆動により前記第１被駆動部材を直線的に移動させる第１駆動軸と、前記第２被駆動部材に係合され、駆動により前記第２被駆動部材を直線的に移動させる第２駆動軸と、前記第１駆動軸及び前記第２駆動軸を含む複数の駆動軸を制御する複数軸駆動装置と、を備えた複数軸駆動機械であって、
前記複数軸駆動装置は、
前記第１駆動軸を駆動するための第１モータ、及び、前記第２駆動軸を駆動する第２モータ、と、
前記第１モータに機械結合され前記第１モータの駆動位置を検出する第１位置検出器、及び、前記第２モータに機械結合され前記第２モータの駆動位置を検出する第２位置検出器、と、
前記第１駆動軸及び前記第２駆動軸に共通の駆動指令信号、及び、前記第１位置検出器で検出された前記第１モータの駆動位置、を入力し、前記共通の駆動指令信号で指示された前記第１モータの目標駆動位置と前記入力した前記第１モータの駆動位置との第１位置偏差に基づき前記第１モータの駆動を制御するための第１位置制御部、を備えた第１モータ制御回路と、
前記第１駆動軸及び前記第２駆動軸に共通の駆動指令信号、及び、前記第２位置検出器で検出された前記第２モータの駆動位置、を入力し、前記共通の駆動指令信号で指示された前記第２モータの目標駆動位置と前記入力された前記第２モータの駆動位置との第２位置偏差に基づき前記第２モータの駆動を制御するための第２位置制御部、を備えた第２モータ制御回路と、
を有し、
前記第１モータ制御回路は、
当該第１モータ制御回路内の異常を検出し、対応する異常通知信号を出力可能な異常検出手段と、
前記異常検出手段により前記第１モータ制御回路内の異常が検出された場合に、前記共通の駆動指令信号から遮断した状態で前記第１モータの駆動を停止する停止制御手段と、
を備え、
前記第２モータ制御回路は、
前記異常通知信号が入力された場合に、前記共通の駆動指令信号の前記第２位置制御部への入力を遮断し、当該共通の駆動指令信号に代えて、前記第１位置検出器で検出された前記第１モータの駆動位置が前記第２位置制御部へ入力されるように、信号経路を切り替える第２モータ用信号切替手段
を備え、
前記第２位置制御部は、
前記異常通知信号が入力された場合に、前記第２位置偏差を初期化処理するとともに、前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差に基づき前記第２モータの駆動を追従制御し、
前記第２モータ制御回路は、さらに、
前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置とを入力するとともに、それら入力された第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差に基づいて、前記第２モータ用信号切替手段の信号経路の切り替えによって前記共通の駆動指令信号の入力が遮断された状態の前記第２位置制御部へ入力される前記第１モータの駆動位置を、補正するための追従用位置補正信号を生成する第１位置補正信号生成手段と、
前記第２モータ用信号切替手段から入力される前記第１モータの駆動位置を、前記第１位置補正信号生成手段からの前記追従用位置補正信号により補正する、第１位置補正手段と、
を有する
ことを特徴とする複数軸駆動機械。
【請求項９】
請求項８記載の複数軸駆動機械において、
前記複数軸駆動装置の前記第２モータ制御回路は、
前記第１被駆動部材と前記第２被駆動部材との間で許容可能な前記直線的な移動方向に沿った相対変位量を保持し、前記相対変位量に基づいて、前記第２モータ用信号切替手段の前記切り替えにより前記第２位置制御部へ入力される前記第１モータの駆動位置を補正するための、相対変位許容用位置補正信号を生成する位置補正信号生成手段と、
前記第２モータ用信号切替手段から前記第２位置制御部へ入力される前記第１モータの駆動位置を、前記位置補正信号生成手段からの前記相対変位許容用位置補正信号により補正する、位置補正手段と、
を有することを特徴とする複数軸駆動機械。
【請求項１０】
締結部によって連結された第１駆動軸及び第２駆動軸と；前記第１駆動軸及び前記第２駆動軸に共通の駆動指令信号、及び、前記第１駆動軸を駆動するための第１モータの駆動位置、を入力し、前記共通の駆動指令信号で指示された前記第１モータの目標駆動位置と前記入力した前記第１モータの駆動位置との第１位置偏差に基づき前記第１モータの駆動を制御する第１モータ制御回路と；前記第１駆動軸及び前記第２駆動軸に共通の駆動指令信号、及び、前記第２駆動軸を駆動するための第２モータの駆動位置、を入力し、前記共通の駆動指令信号で指示された前記第２モータの目標駆動位置と前記入力された前記第２モータの駆動位置との第２位置偏差に基づき前記第２モータの駆動を制御する第２モータ制御回路と；を備えた複数軸駆動装置の駆動制御方法であって、
前記第１モータ制御回路内の異常を検出した場合に、前記共通の駆動指令信号から遮断した状態で前記第１モータの駆動を停止する停止制御手順と、
前記第１モータ制御回路内の異常を検出した場合に、前記第２位置偏差を初期化処理する偏差初期化手順と、
前記第１モータ制御回路内の異常を検出した場合に、前記共通の駆動指令信号の前記第２モータ制御回路への入力を遮断し、当該共通の駆動指令信号に代えて、前記第１モータの駆動位置が前記第２モータ制御回路へ入力されるように、信号経路を切り替える信号切替手順と、
前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置の位置偏差に基づいて、前記第２信号切替手順での信号経路の切り替えによって前記共通の駆動指令信号の入力が遮断された状態で前記第２モータ制御部へ入力される前記第１モータの駆動位置を、補正するための追従用位置補正信号を生成する位置補正信号生成手順と、
前記第１モータの駆動位置を、前記位置補正信号生成手順で生成された前記追従用位置補正信号により補正する、位置補正手順と、
前記位置補正手順で補正された前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差を、少なくするように前記第２モータの駆動を追従制御する、位置制御手順と、
を有することを特徴とする複数軸駆動装置の駆動制御方法。
【請求項１１】
請求項１０記載の複数軸駆動装置の駆動制御方法において、
前記締結部を構成し直線的に移動可能な第１被駆動部材及び前記第２被駆動部材にそれぞれ係合された前記第１被駆動部材及び前記第２被駆動部材の相互の間で許容可能な、前記第１被駆動部材及び前記第２被駆動部材の移動する直線的な移動方向に沿った相対変位量に基づいて、前記第２モータ用信号切替手順での前記切り替えにより入力される前記第１モータの駆動位置を補正するための、相対変位許容用位置補正信号を生成する位置補正信号生成手順と、
前記入力される前記第１モータの駆動位置を、前記前記相対変位許容用位置補正信号により補正する、位置補正処理手順と、
を有することを特徴とする複数軸駆動装置の駆動制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、同一の剛性構造物の移動を複数軸で同期制御する複数軸駆動装置、複数軸駆動機械、及び複数軸駆動装置の駆動制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばマウンタなどの産業用機械に利用されるいわゆるガントリ構造では、比較的大きな剛性構造物を、複数の駆動軸で連結して移動させる。従来、それら複数の駆動軸をそれぞれ個別のモータで駆動制御する複数軸駆動装置が、既に開発されている。この複数軸駆動装置においては、複数のモータそれぞれに対応してそれぞれ制御回路が設けられている。そして、各制御回路は、複数の駆動軸どうしの間の軸間誤差が小さくなるように、各モータのフィードバック制御を互いに同期して行う。
【０００３】
従来、上記複数軸駆動装置において、例えばいずれかのモータの制御回路に異常が発生した場合に対応したものがある（例えば、特許文献１参照）。この従来の複数軸駆動装置では、異常が発生していない通常の駆動状態では、複数のモータに共通の駆動指令信号が入力され、各モータの制御回路が、対応するモータの実際の駆動位置と上記駆動指令信号で指示される目標駆動位置との位置偏差を少なくするように、各モータをフィードバック制御する。このようにして各モータは、共通の目標駆動位置に追従するように同期してフィードバック制御される。
【０００４】
上記従来の複数軸駆動装置において、一方のモータに係わるモータ制御回路に異常が発生した際には、当該モータ制御回路により上記一方のモータが停止制御されるとともに、当該モータ制御回路から他方のモータ制御回路へと異常通知信号が出力される。そして、上記異常通知信号が入力された他方の制御回路は、上記共通の駆動指令信号に代えて、一方のモータの実際の駆動位置を入力するよう信号経路を切り替える。これにより、当該他方のモータ制御回路は、入力された一方のモータのモータ駆動位置と自らに係わる他方のモータのモータ駆動位置との間の位置偏差を求めて保持し、その位置偏差を少なくするように他方のモータを追従制御する。したがって、一方のモータ制御回路が故障した状態における他方のモータ制御回路での他方のモータの制御は、停止制御される一方のモータの位置に追従するように行われる。この結果、それら一方のモータ及び他方のモータにより駆動される複数の駆動軸は、それらの間の軸間誤差が小さくなるように駆動制御される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４３８５４０４号公報（段落０００９、図４）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来技術の複数軸駆動装置において、前述の一方のモータ制御回路の異常発生時に他方のモータ制御回路が信号経路を切り替えて追従制御を行う際、当該切り替わった時点において、それまでのフィードバック制御で実行していた、目標駆動位置と他方のモータのモータ駆動位置との位置偏差が保持されて残っている場合がある。この場合、上記のようにして求められた、一方のモータのモータ駆動位置と他方のモータのモータ駆動位置との間の位置偏差に、上記残っている位置偏差が合算された形で、切り替わり後の他方のモータの追従制御が開始されることとなり、高精度な追従を迅速に行えない可能性がある。この結果、２つのモータが駆動する駆動軸の間の軸間誤差が大きくなり、締結部に過大な内部応力が発生するおそれがあった。
【０００７】
本発明の目的は、複数のモータ制御回路のいずれかに異常が生じた場合であっても、複数の駆動軸の軸間誤差による締結部の過大な内部応力の発生を防止できる複数軸駆動装置、複数軸駆動機械、及び複数軸駆動装置の駆動制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本願第１発明は、締結部によって連結された第１駆動軸及び第２駆動軸を備えた複数軸駆動機械に設けられる複数軸駆動装置であって、前記第１駆動軸を駆動するための第１モータ、及び、前記第２駆動軸を駆動する第２モータ、を設け、前記第１モータに機械結合され前記第１モータの駆動位置を検出する第１位置検出器、及び、前記第２モータに機械結合され前記第２モータの駆動位置を検出する第２位置検出器、を設け、前記第１駆動軸及び前記第２駆動軸に共通の駆動指令信号、及び、前記第１位置検出器で検出された前記第１モータの駆動位置、を入力し、前記共通の駆動指令信号で指示された前記第１モータの目標駆動位置と前記入力した前記第１モータの駆動位置との第１位置偏差に基づき前記第１モータの駆動を制御するための第１位置制御部、を備えた第１モータ制御回路を設け、前記第１駆動軸及び前記第２駆動軸に共通の駆動指令信号、及び、前記第２位置検出器で検出された前記第２モータの駆動位置、を入力し、前記共通の駆動指令信号で指示された前記第２モータの目標駆動位置と前記入力された前記第２モータの駆動位置との第２位置偏差に基づき前記第２モータの駆動を制御するための第２位置制御部、を備えた第２モータ制御回路を設け、前記第１モータ制御回路は、当該第１モータ制御回路内の異常を検出し、対応する異常通知信号を出力可能な異常検出手段と、前記異常検出手段により前記第１モータ制御回路内の異常が検出された場合に、前記共通の駆動指令信号から遮断した状態で前記第１モータの駆動を停止する停止制御手段と、を有し、前記第２モータ制御回路は、前記異常通知信号が入力された場合に、前記共通の駆動指令信号の前記第２位置制御部への入力を遮断し、当該共通の駆動指令信号に代えて、前記第１位置検出器で検出された前記第１モータの駆動位置が前記第２位置制御部へ入力されるように、信号経路を切り替える第２モータ用信号切替手段を有し、前記第２位置制御部は、前記異常通知信号が入力された場合に、前記第２位置偏差を初期化処理するとともに、前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差に基づき前記第２モータの駆動を追従制御し、前記第２モータ制御回路は、さらに、前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置とを入力するとともに、それら入力された第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差に基づいて、前記第２モータ用信号切替手段の信号経路の切り替えによって前記共通の駆動指令信号の入力が遮断された状態の前記第２位置制御部へ入力される前記第１モータの駆動位置を、補正するための追従用位置補正信号を生成する第１位置補正信号生成手段と、前記第２モータ用信号切替手段から入力される前記第１モータの駆動位置を、前記第１位置補正信号生成手段からの前記追従用位置補正信号により補正する、第１位置補正手段と、を有する、ことを特徴とする。
【０００９】
剛性を有する同一の締結部を第１駆動軸と第２駆動軸で個別に駆動制御する場合には、各駆動軸を駆動する第１及び第２モータにそれぞれに対応する２系統の制御回路が同期して駆動制御を行う必要がある。本願第１発明においては、通常の駆動状態では、第１モータ及び第２モータに共通の駆動指令信号が第１及び第２モータ制御回路に入力される。そして、各モータ制御回路の位置制御部が、位置検出器を介して検出した当該モータ制御回路に対応したモータのモータ駆動位置と上記共通の駆動指令信号の指示する目標駆動位置との位置偏差（第１位置偏差及び第２位置偏差）を求め、これら第１及び第２位置偏差に基づき、例えば各偏差を少なくするように第１及び第２モータをフィードバック制御する。このように通常の駆動状態における各モータ制御回路でのフィードバック制御は、共通の目標駆動位置に追従するように行われ、第１及び第２駆動軸の間の軸間誤差が小さくなるよう同期制御される。
【００１０】
ここで、例えば第１モータに係わる第１モータ制御回路に異常が発生した際には、当該第１モータ制御回路が備える異常検出手段が異常通知信号を出力し、停止制御手段が第１モータの駆動を停止する。その際、本願第１発明においては、第２モータに係わる第２モータ制御回路において、上記異常通知信号が入力された際に、第２モータ用信号切替手段が上記共通の駆動指令信号に代えて第１モータの位置検出器からの検出信号を入力するよう信号経路を切り替える。これにより、第２モータ制御回路の位置制御部は、第１モータのモータ駆動位置と第２モータのモータ駆動位置との間の位置偏差を求め、例えばその偏差を少なくするように第２モータを追従制御する。この結果、第１モータ制御回路が故障した状態における第２モータ制御回路での制御は、停止制御手段により停止制御される第１モータの位置に追従するように行われ、第１及び第２駆動軸の間の軸間誤差が小さくなるよう同期することができる。
【００１１】
ところで、以上のようにして信号経路を切り替えて追従制御を行う際、当該切り替わった時点において、それまでのフィードバック制御で実行していた、目標駆動位置と実際の第２モータのモータ駆動位置との第２位置偏差が、第２位置制御部に残っている場合がある。この場合、上記のようにして求められた、第１モータのモータ駆動位置と第２モータのモータ駆動位置との間の位置偏差に、上記残っている第２位置偏差が合算された形で、信号経路切り替わり後の第２モータの追従制御が開始されることとなり、高精度な追従を迅速に行えない可能性がある。
【００１２】
そこで、本願第１発明においては、第１モータ制御回路から上記異常通知信号が第２モータ制御回路に入力された際（すなわち上記の経路切り替えの際）に、第２位置制御部が、それまで当該第２位置制御部自体に保持されていた位置偏差を直ちに例えば０に初期化処理する。これにより、上記信号経路切り替わり後の第２モータの追従制御の開始時において、上記フィードバック制御で実行していた第２位置偏差の影響のない高精度な追従制御を、迅速に開始することができる。したがって、第１モータの駆動停止後における第２モータの追従制御の精度を向上させることができる。この結果、第１駆動軸と第２駆動軸の間の軸間誤差による、締結部の過大な内部応力の発生を防止することができる。
【００１４】
また、本願第１発明においては、第１位置補正信号生成手段からの追従用位置補正信号により、第１位置補正手段が、第１モータの駆動位置と第２モータの駆動位置との位置偏差（すなわち実際の２軸間誤差）に応じた位置補正を行う。これにより、第１モータの駆動停止後における第２モータの追従制御状態においてより高い精度で２軸間の同期駆動制御を行うことができる。
【００１５】
第２発明は、上記第１発明において、前記第１位置補正信号生成手段は、前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差に対し、所定の第１ゲインを乗算する第１乗算部と、前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差を微分する第１微分器と、前記第１微分器での微分値に対し、所定の第２ゲインを乗算する第２乗算部と、前記第１乗算部からの出力値と、前記第２乗算部からの出力値とを、加算して前記追従用位置補正信号とする加算器と、を備えることを特徴とする。
【００１６】
第１位置補正信号生成手段が、いわゆるＰＩＤ演算のうちのＰＤ演算によって追従用位置補正信号を生成し、第２位置制御部がこの追従用位置補正信号を用いて２軸間誤差を補正する制御を行うことにより、第１モータの駆動停止後における第２モータの追従制御状態において高い精度での２軸間の同期駆動制御を実現できる。
【００１７】
第３発明は、上記第１又は第２発明において、前記第１モータ制御回路は、前記第１位置制御部から出力された、前記第１モータの駆動を制御するための速度指令、及び、前記第１位置検出器で検出された前記第１モータの駆動位置を微分した第１モータの駆動速度、を入力し、前記第１位置制御部からの速度指令で指示された前記第１モータの目標駆動速度と前記入力した前記第１モータの駆動速度との第１速度偏差に基づき前記第１モータの駆動を制御するための第１速度制御部を有し、前記第２モータ制御回路は、前記第２位置制御部から出力された、前記第２モータの駆動を制御するための速度指令、及び、前記第２位置検出器で検出された前記第２モータの駆動位置を微分した第２モータの駆動速度、を入力し、前記第２位置制御部からの速度指令で指示された前記第２モータの目標駆動速度と前記入力した前記第２モータの駆動速度との第２速度偏差に基づき前記第２モータの駆動を制御するための第２速度制御部と、前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置とを入力するとともに、それら入力された第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差に基づいて、前記第２速度制御部へ入力される前記第２位置制御部からの速度指令を補正するための速度補正信号を生成する速度補正信号生成手段と、前記第２位置制御部から入力される前記速度指令を、前記速度補正信号生成手段からの前記速度補正信号により補正する、速度補正手段と、を有することを特徴とする。
【００１８】
本願第３発明においては、速度補正信号生成手段からの速度補正信号により、速度補正手段が、第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差（すなわち実際の２軸間誤差）に応じた速度補正を行う。これにより、第１モータの駆動停止後における第２モータの追従制御状態においてより高い精度で２軸間の同期駆動制御を行うことができる。
【００１９】
第４発明は、上記第１発明において、前記速度補正信号生成手段は、前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差を微分する第２微分器と、前記第２微分器での微分値に対し、所定の第３ゲインを乗算し、前記速度補正信号とする第３乗算部と、を備えることを特徴とする。
【００２０】
速度補正信号生成手段が、いわゆるＰＩＤ演算のうちのＤ演算によって速度補正信号を生成し、第２速度制御部がこの速度補正信号を用いて２軸間誤差を補正する制御を行うことにより、第１モータの駆動停止後における第２モータの追従制御状態において高い精度での２軸間の同期駆動制御を実現できる。
【００２１】
第５発明は、上記第１乃至第４発明のいずれかにおいて、前記第１駆動軸及び前記第２駆動軸に連結された第３駆動軸を駆動するための第３モータと、前記第３モータに機械結合され前記第３モータの駆動位置を検出する第３位置検出器と、前記共通の駆動指令信号、及び、前記第３位置検出器で検出された前記第３モータの駆動位置、を入力し、前記共通の駆動指令信号で指示された前記第３モータの目標駆動位置と前記入力した前記第３モータの駆動位置との第３位置偏差に基づき前記第３モータの駆動を制御するための第３位置制御部を備えた第３モータ制御回路と、を有し、前記第３モータ制御回路は、前記異常通知信号が入力された場合に、前記共通の駆動指令信号の前記第３位置制御部への入力を遮断し、当該共通の駆動指令信号に代えて、前記第１位置検出器で検出された前記第１モータの駆動位置が前記第３位置制御部へ入力されるように、信号経路を切り替える第３モータ用信号切替手段と、を有し、前記第３位置制御部は、前記異常通知信号が入力された場合に、前記第３位置偏差を初期化処理するとともに、前記第１モータの駆動位置と前記第３モータの駆動位置との位置偏差に基づき前記第３モータの駆動を追従制御することを特徴とする。
【００２２】
本願第５発明においては、上記のように第２モータ制御回路と同様の構成の第３モータ制御回路を増設することにより、３軸で駆動する複数軸駆動装置にも対応することができる。なお、さらに同様の構成を増設することによって４軸以上で駆動する複数軸駆動装置にも対応することができる。
【００２３】
第６発明は、上記第１乃至第５発明のいずれかにおいて、前記第１駆動軸及び前記第２駆動軸は、前記締結部を構成し直線的に移動可能な第１被駆動部材及び第２被駆動部材にそれぞれ係合されるとともに、駆動により前記第１被駆動部材及び前記第２被駆動部材をそれぞれ直線的に移動させるように構成されており、前記第２モータ制御回路は、前記第１被駆動部材と前記第２被駆動部材との間で許容可能な前記直線的な移動方向に沿った相対変位量を保持し、前記相対変位量に基づいて、前記第２モータ用信号切替手段の前記切り替えにより前記第２位置制御部へ入力される前記第１モータの駆動位置を補正するための、相対変位許容用位置補正信号を生成する第２位置補正信号生成手段と、前記第２モータ用信号切替手段から前記第２位置制御部へ入力される前記第１モータの駆動位置を、前記第２位置補正信号生成手段からの前記相対変位許容用位置補正信号により補正する、第２位置補正手段と、を有することを特徴とする。
【００２４】
第２位置制御部の追従制御により、第１モータの駆動停止後、第２モータは、２軸間の誤差ができるだけ少なくなるように駆動制御される。しかし、そのような追従制御の間、第１モータは駆動速度を減速し続けているため、第２モータの駆動位置が第１モータの駆動位置を追い越してしまう場合がある。この場合、第２駆動軸により駆動される第２被駆動部材から第１駆動軸により駆動される第１被駆動部材へ移動方向に押し込む力が作用することとなり、減速途中の第１被駆動部材の停止距離を増大させる可能性がある。
【００２５】
そこで本願第６発明においては、第１被駆動部材と第２被駆動部材との間で許容可能な相対変位量に基づく位置補正信号生成手段からの相対変位許容用位置補正信号により、第２位置補正手段が、第２モータ用信号切替手段から第２位置制御部へ入力される第１モータの駆動位置を補正する。これにより、例えば、駆動停止側の第１モータの駆動位置よりも所定量だけ遅れた駆動位置を追従するように、第２モータの駆動位置を駆動制御することが可能となる。こうすることで、上述した第２被駆動部材による第１被駆動部材の追い越しを防ぐことができるので、結果的に停止距離の増大を防止することができる。
【００２６】
また、能動的に駆動制御される第２モータの駆動位置を、駆動減速中の第１モータの駆動位置よりも意図的に遅らせることで、第２被駆動部材が締結部を介して第１被駆動部材の惰性移動を抑え、停止距離を縮小できる効果もある。
【００２７】
第７発明は、上記第６発明において、前記第２位置補正信号生成手段は、前記第１被駆動部材が、前記移動方向に沿って前記第２被駆動部材よりも前記相対変位量以内で先行した位置となるような、前記相対変位許容用位置補正信号を生成することを特徴とする。
【００２８】
これにより、第２被駆動部材が第１被駆動部材を追い越すのを確実に防ぐことができる。
【００２９】
上記目的を達成するために、第８発明は、それぞれが直線的に移動可能に配置されるとともに互いに連結された第１被駆動部材及び第２被駆動部材と、前記第１被駆動部材に係合され、駆動により前記第１被駆動部材を直線的に移動させる第１駆動軸と、前記第２被駆動部材に係合され、駆動により前記第２被駆動部材を直線的に移動させる第２駆動軸と、前記第１駆動軸及び前記第２駆動軸を含む複数の駆動軸を制御する複数軸駆動装置と、を備えた複数軸駆動機械であって、前記複数軸駆動装置は、前記第１駆動軸を駆動するための第１モータ、及び、前記第２駆動軸を駆動する第２モータ、と、前記第１モータに機械結合され前記第１モータの駆動位置を検出する第１位置検出器、及び、前記第２モータに機械結合され前記第２モータの駆動位置を検出する第２位置検出器、と、前記第１駆動軸及び前記第２駆動軸に共通の駆動指令信号、及び、前記第１位置検出器で検出された前記第１モータの駆動位置、を入力し、前記共通の駆動指令信号で指示された前記第１モータの目標駆動位置と前記入力した前記第１モータの駆動位置との第１位置偏差に基づき前記第１モータの駆動を制御するための第１位置制御部、を備えた第１モータ制御回路と、前記第１駆動軸及び前記第２駆動軸に共通の駆動指令信号、及び、前記第２位置検出器で検出された前記第２モータの駆動位置、を入力し、前記共通の駆動指令信号で指示された前記第２モータの目標駆動位置と前記入力された前記第２モータの駆動位置との第２位置偏差に基づき前記第２モータの駆動を制御するための第２位置制御部、を備えた第２モータ制御回路と、を有し、前記第１モータ制御回路は、当該第１モータ制御回路内の異常を検出し、対応する異常通知信号を出力可能な異常検出手段と、前記異常検出手段により前記第１モータ制御回路内の異常が検出された場合に、前記共通の駆動指令信号から遮断した状態で前記第１モータの駆動を停止する停止制御手段と、を備え、前記第２モータ制御回路は、前記異常通知信号が入力された場合に、前記共通の駆動指令信号の前記第２位置制御部への入力を遮断し、当該共通の駆動指令信号に代えて、前記第１位置検出器で検出された前記第１モータの駆動位置が前記第２位置制御部へ入力されるように、信号経路を切り替える第２モータ用信号切替手段を備え、前記第２位置制御部は、前記異常通知信号が入力された場合に、前記第２位置偏差を初期化処理するとともに、前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差に基づき前記第２モータの駆動を追従制御し、前記第２モータ制御回路は、さらに、前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置とを入力するとともに、それら入力された第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差に基づいて、前記第２モータ用信号切替手段の信号経路の切り替えによって前記共通の駆動指令信号の入力が遮断された状態の前記第２位置制御部へ入力される前記第１モータの駆動位置を、補正するための追従用位置補正信号を生成する第１位置補正信号生成手段と、前記第２モータ用信号切替手段から入力される前記第１モータの駆動位置を、前記第１位置補正信号生成手段からの前記追従用位置補正信号により補正する、第１位置補正手段と、を有することを特徴とする。
【００３０】
本願第８発明の複数軸駆動機械においては、直線的に移動可能な第１被駆動部材及び第２被駆動部材が互いに連結されるとともに、それぞれが第１駆動軸及び第２駆動軸に係合される。第１駆動軸は第１モータによって駆動され、第２駆動軸は第２モータによって駆動される。そして、通常の駆動状態では、第１モータ及び第２モータに共通の駆動指令信号が第１及び第２モータ制御回路に入力される。そして、各モータ制御回路の位置制御部が、位置検出器を介して検出した当該モータ制御回路に対応したモータのモータ駆動位置と上記共通の駆動指令信号の指示する目標駆動位置との位置偏差（第１位置偏差及び第２位置偏差）を求め、これら第１及び第２位置偏差に基づき、例えば各偏差を少なくするように第１及び第２モータをフィードバック制御する。このように通常の駆動状態における各モータ制御回路でのフィードバック制御は、共通の目標駆動位置に追従するように行われ、第１及び第２駆動軸の間の軸間誤差が小さくなるよう同期することができる。
【００３１】
例えば第１モータに係わる第１モータ制御回路に異常が発生した際には、当該第１モータ制御回路が備える異常検出手段が異常通知信号を出力し、停止制御手段が第１モータの駆動を停止する。その際、本願第８発明においては、第２モータに係わる第２モータ制御回路において、上記異常通知信号が入力された際に、第２モータ用信号切替手段が上記共通の駆動指令信号に代えて第１モータの位置検出器からの検出信号を入力するよう信号経路を切り替える。これにより、第２モータ制御回路の位置制御部は、第１モータのモータ駆動位置と第２モータのモータ駆動位置との間の位置偏差を求め、例えばその位置偏差を少なくするように第２モータを追従制御する。この結果、第１モータ制御回路が故障した状態における第２モータ制御回路での制御は、停止制御手段により停止制御される第１モータの位置に追従するように行われ、第１及び第２駆動軸の間の軸間誤差が小さくなるよう同期することができる。
【００３２】
そして、本願第８発明の複数軸駆動機械においては、第１モータ制御回路から上記異常通知信号が第２モータ制御回路に入力された際（すなわち上記の経路切り替えの際）に、第２位置制御部が、それまで当該第２位置制御部自体に保持されていた位置偏差を直ちに例えば０に初期化処理する。これにより、上記信号経路切り替わり後の第２モータの追従制御の開始時において、上記フィードバック制御で実行していた第２位置偏差の影響のない高精度な追従制御を、迅速に開始することができる。したがって、第１モータの駆動停止後における第２モータの追従制御の精度を向上させることができる。この結果、第１駆動軸と第２駆動軸の間の軸間誤差による、締結部の過大な内部応力の発生を防止することができる。
また、本願第８発明においては、第１位置補正信号生成手段からの追従用位置補正信号により、第１位置補正手段が、第１モータの駆動位置と第２モータの駆動位置との位置偏差（すなわち実際の２軸間誤差）に応じた位置補正を行う。これにより、第１モータの駆動停止後における第２モータの追従制御状態においてより高い精度で２軸間の同期駆動制御を行うことができる。
【００３３】
第９発明は、上記第８発明において、前記複数軸駆動装置の前記第２モータ制御回路は、前記第１被駆動部材と前記第２被駆動部材との間で許容可能な前記直線的な移動方向に沿った相対変位量を保持し、前記相対変位量に基づいて、前記第２モータ用信号切替手段の前記切り替えにより前記第２位置制御部へ入力される前記第１モータの駆動位置を補正するための、相対変位許容用位置補正信号を生成する位置補正信号生成手段と、前記第２モータ用信号切替手段から前記第２位置制御部へ入力される前記第１モータの駆動位置を、前記位置補正信号生成手段からの前記相対変位許容用位置補正信号により補正する、位置補正手段と、を有することを特徴とする。
【００３４】
本願第９発明においては、第１被駆動部材と第２被駆動部材との間で許容可能な相対変位量に基づく位置補正信号生成手段からの相対変位許容用位置補正信号により、第２位置補正手段が、第２モータ用信号切替手段から第２位置制御部へ入力される第１モータの駆動位置を補正する。これにより、例えば、駆動停止側の第１モータの駆動位置よりも所定量だけ遅れた駆動位置を追従するように、第２モータの駆動位置を駆動制御することが可能となる。こうすることで、第２モータ制御回路による第２モータの追従制御時における第２被駆動部材による第１被駆動部材の追い越しの発生を防ぐことができ、停止距離の増大を防止することができる。また、能動的に駆動制御される第２モータの駆動位置を、駆動減速中の第１モータの駆動位置よりも意図的に遅らせることで、第２被駆動部材が締結部を介して第１被駆動部材の惰性移動を抑え、停止距離を縮小できる効果もある。
【００３５】
上記目的を達成するために、第１０発明は、締結部によって連結された第１駆動軸及び第２駆動軸と；前記第１駆動軸及び前記第２駆動軸に共通の駆動指令信号、及び、前記第１駆動軸を駆動するための第１モータの駆動位置、を入力し、前記共通の駆動指令信号で指示された前記第１モータの目標駆動位置と前記入力した前記第１モータの駆動位置との第１位置偏差に基づき前記第１モータの駆動を制御する第１モータ制御回路と；前記第１駆動軸及び前記第２駆動軸に共通の駆動指令信号、及び、前記第２駆動軸を駆動するための第２モータの駆動位置、を入力し、前記共通の駆動指令信号で指示された前記第２モータの目標駆動位置と前記入力された前記第２モータの駆動位置との第２位置偏差に基づき前記第２モータの駆動を制御する第２モータ制御回路と；を備えた複数軸駆動装置の駆動制御方法であって、前記第１モータ制御回路内の異常を検出した場合に、前記共通の駆動指令信号から遮断した状態で前記第１モータの駆動を停止する停止制御手順と、前記第１モータ制御回路内の異常を検出した場合に、前記第２位置偏差を初期化処理する偏差初期化手順と、前記第１モータ制御回路内の異常を検出した場合に、前記共通の駆動指令信号の前記第２モータ制御回路への入力を遮断し、当該共通の駆動指令信号に代えて、前記第１モータの駆動位置が前記第２モータ制御回路へ入力されるように、信号経路を切り替える信号切替手順と、前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置の位置偏差に基づいて、前記第２信号切替手順での信号経路の切り替えによって前記共通の駆動指令信号の入力が遮断された状態で前記第２モータ制御部へ入力される前記第１モータの駆動位置を、補正するための追従用位置補正信号を生成する位置補正信号生成手順と、前記第１モータの駆動位置を、前記位置補正信号生成手順で生成された前記追従用位置補正信号により補正する、位置補正手順と、前記位置補正手順で補正された前記第１モータの駆動位置と前記第２モータの駆動位置との位置偏差を、少なくするように前記第２モータの駆動を追従制御する、位置制御手順と、を有することを特徴とする。
【００３６】
本願第１０発明においては、通常の駆動状態では、第１モータ及び第２モータに共通の駆動指令信号が第１及び第２モータ制御回路に入力される。そして、各モータ制御回路が、対応したモータの駆動位置と上記共通の駆動指令信号の指示する目標駆動位置との位置偏差（第１位置偏差及び第２位置偏差）を求め、例えば各位置偏差を少なくするように第１及び第２モータをフィードバック制御する。このように通常の駆動状態における各モータ制御回路でのフィードバック制御は、共通の目標駆動位置に追従するように行われ、第１及び第２駆動軸の間の軸間誤差が小さくなるよう同期することができる。
【００３７】
第１モータに係わる第１モータ制御回路に異常が発生した際には、停止制御手順で、上記共通の駆動指令信号から遮断した状態で第１モータの駆動を停止する。また、偏差初期化手順で、第２モータ制御回路に保持された第２位置偏差を初期化処理する。また、信号切替手順で、上記共通の駆動指令信号の第２モータ制御回路への入力を遮断し、これに代えて第１モータの駆動位置が第２モータ制御回路へ入力するよう、信号経路を切り替える。その後、上記初期化処理の実行とともに上記第２モータ用信号切替手順での切り替えにより入力される第１モータの駆動位置と、第２モータの駆動位置との位置偏差を少なくするように位置制御手順が第２モータを追従制御する。
【００３８】
これにより、位置制御手順で第２モータの追従制御が開始される時、信号切替手順での経路切り替え前に第２モータ制御回路がフィードバック制御で実行していた第２位置偏差の影響のない、高精度な追従制御を迅速に開始することができる。したがって、第１モータの駆動停止後における第２モータの追従制御の精度を向上させることができる。この結果、第１駆動軸と第２駆動軸の間の軸間誤差による、締結部の過大な内部応力の発生を防止することができる。
また、本願第１０発明においては、位置補正信号生成手順で生成された追従用位置補正信号により、位置補正手順で、第１モータの駆動位置と第２モータの駆動位置との位置偏差（すなわち実際の２軸間誤差）に応じた位置補正を行う。これにより、第１モータの駆動停止後における第２モータの追従制御状態においてより高い精度で２軸間の同期駆動制御を行うことができる。
【００３９】
第１１発明は、上記第１０発明において、前記締結部を構成し直線的に移動可能な第１被駆動部材及び前記第２被駆動部材にそれぞれ係合された前記第１被駆動部材及び前記第２被駆動部材の相互の間で許容可能な、前記第１被駆動部材及び前記第２被駆動部材の移動する直線的な移動方向に沿った相対変位量に基づいて、前記第２モータ用信号切替手順での前記切り替えにより入力される前記第１モータの駆動位置を補正するための、相対変位許容用位置補正信号を生成する位置補正信号生成手順と、前記入力される前記第１モータの駆動位置を、前記前記相対変位許容用位置補正信号により補正する、位置補正処理手順と、を有することを特徴とする。
【００４０】
本願第１１発明においては、位置補正信号生成手順で、第１被駆動部材と第２被駆動部材との間で許容可能な相対変位量に基づき、相対変位許容用位置補正信号が生成され、位置補正処理手順で、第２モータ用信号切替手順での切り替えにより入力される第１モータの駆動位置を補正する。これにより、例えば、駆動停止側の第１モータの駆動位置よりも所定量だけ遅れた駆動位置を追従するように、第２モータの駆動位置を駆動制御することが可能となる。こうすることで、第２モータ制御回路による第２モータの追従制御時における、第２被駆動部材による第１被駆動部材の追い越しの発生を防ぐことができ、停止距離の増大を防止することができる。また、能動的に駆動制御される第２モータの駆動位置を、駆動減速中の第１モータの駆動位置よりも意図的に遅らせることで、第２被駆動部材が締結部を介して第１被駆動部材の惰性移動を抑え、停止距離を縮小できる効果もある。
【発明の効果】
【００４１】
本発明によれば、複数のモータ制御回路のいずれかに異常が生じた場合であっても、複数の駆動軸の軸間誤差による締結部の過大な内部応力の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の実施形態に係る複数軸駆動装置の機能的構成を表す機能ブロック図である。
【図２】モータ制御回路の位置制御部の詳細な構成を示す機能ブロック図である。
【図３】モータ制御回路の位置補正処理部の詳細な構成を示す機能ブロック図である。
【図４】モータ制御回路の速度補正処理部の詳細な構成を示す機能ブロック図である。
【図５】位置偏差カウンタでの偏差の初期化と、位置補正処理部及び速度補正処理部の補正とを実行する、本発明の一実施形態の効果を説明するグラフである。
【図６】位置偏差カウンタでの偏差の初期化を行わず、位置補正処理部及び速度補正処理部の補正のみを実行する、比較例の挙動を説明するグラフである。
【図７】位置補正処理部及び速度補正処理部の補正を実行せず、位置偏差カウンタでの偏差の初期化のみを行う、別の実施形態を説明するグラフである。
【図８】３つの駆動軸で制御する変形例に係る複数軸駆動装置の機能的構成を表す機能ブロック図である。
【図９】許容誤差分だけ遅らせて追従制御する変形例に係る複数軸駆動装置の機能的構成を表す機能ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００４３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しつつ説明する。
【００４４】
図１は、本実施形態の複数軸駆動装置である駆動装置１を含む駆動機械１００の機能的構成を表す機能ブロック図である。なお、駆動機械１００の例としては、マウンタなどの産業用機械を挙げることができる。
【００４５】
図１において、駆動機械１００は、駆動装置１と、駆動軸１５２と、駆動軸１５３と、ガントリテーブル８（想像線で概念的に示す）に設けられた被駆動部材８ａ及び被駆動部材８ｂとを有している。
【００４６】
駆動装置１は、上記駆動軸１５２を駆動するモータ２と、上記駆動軸１５３を駆動するモータ３と、位置検出器４と、位置検出器５と、モータ制御回路６と、モータ制御回路７とを有している。
【００４７】
ガントリテーブル８の被駆動部材８ａは、ボールネジにより構成される上記駆動軸１５２に係合（この例では螺合）しており、被駆動部材８ｂは、ボールネジにより構成される上記駆動軸１５３に係合（この例では螺合）している。被駆動部材８ａ及び被駆動部材８ｂは、締結部８ｃを介して互いに連結されている。このような構造により、モータ２，３が駆動軸１５２，１５３を回転駆動することにより、各被駆動部材８ａ，８ｂをそれぞれ図１中の左右方向に直線的に移動させ、結果としてガントリテーブル８全体を直線的に図１中の左右方向（両方向矢印参照）に移動させることができる。その際、ガントリテーブル８は、全体が剛性を備えた一体構造物であるため、各モータ２，３は、それぞれ対応する駆動軸１５２，１５３を同一方向にできるだけ同じ駆動速度で同期駆動するようになっている（詳細は後述）。
【００４８】
位置検出器４及び位置検出器５（図中ではそれぞれ「検出器」と略記）は、例えば対応するモータ２，３に機械的に連結されたロータリエンコーダで構成されている。これら位置検出器４，５は、それぞれモータ２，３の積算回転量に相当するモータ駆動位置情報を個別に検出し、対応するモータ制御回路６，７に出力する。モータ２のモータ駆動位置情報は、駆動軸１５２の回転駆動を介し被駆動部材８ａが図１中の左右方向のどの位置にあるか（どこまで移動したか）に対応しており、モータ３のモータ駆動位置情報は、駆動軸１５３の回転駆動を介し被駆動部材８ｂが図１中の左右方向のどの位置にあるか（どこまで移動したか）に対応している。
【００４９】
（Ａ）モータ制御回路の概略構成及び基本的機能
次に、上記モータ制御回路６及びモータ制御回路７の概略構成と基本的機能について説明する。
【００５０】
モータ制御回路６及びモータ制御回路７には、上位の制御装置であるコントローラ９からの共通の駆動指令信号、すなわち目標駆動位置指令が制御用ネットワーク１０を介し入力される。この目標駆動位置指令は、モータ２，３のモータ駆動位置の目標値、すなわち目標駆動位置を含む。
【００５１】
モータ制御回路６は、単位変換部１０１と、位置制御部１０２と、速度制御部１０３と、微分器１０４と、位置補正処理部１０５と、速度補正処理部１０６と、異常検出部１０７と、異常処理部１０８と、切替スイッチＳＷ１とを有している。
【００５２】
モータ制御回路７は、単位変換部２０１と、位置制御部２０２と、速度制御部２０３と、微分器２０４と、位置補正処理部２０５と、速度補正処理部２０６と、異常検出部２０７と、異常処理部２０８と、切替スイッチＳＷ２とを有している。
【００５３】
モータ制御回路６の単位変換部１０１は、上記位置検出器４から検出されたモータ駆動位置情報の単位変換を行い、コントローラ９が出力する上記目標駆動位置指令と互換性のあるフォーマットの信号に変換する。同様に、モータ制御回路７の単位変換部２０１は、上記位置検出器５から検出されたモータ駆動位置情報の単位変換を行い、コントローラ９が出力する上記目標駆動位置指令と互換性のあるフォーマットの信号に変換する。また、例えば位置検出器４と位置検出器５とがそれぞれの分解能の違いなどにより位置制御の単位系が異なる場合には、単位変換部１０１，２０１が予め設定した各系統共通の単位に変換する。このように単位変換部１０１，２０１は信号の形式的な変換を行うに過ぎず、信号自体を実質的に変化させるものではない。したがって、以下において、位置検出器４より単位変換部１０１による変換を介した各部への信号の送信の説明や、位置検出器５より単位変換部２０１による変換を介した各部への信号の送信の説明において、単位変換部２０１の存在及びその変換機能の記述は省略する。
【００５４】
モータ制御回路６の位置制御部１０２は、上記目標駆動位置指令と位置検出器４が検出したモータ２のモータ駆動位置情報との間の位置偏差に基づき（この例では位置偏差を少なくするように）、当該モータ２の駆動を制御する機能を備える。モータ制御回路７の位置制御部２０２は、上記目標駆動位置指令と位置検出器５が検出したモータ３のモータ駆動位置情報との間の位置偏差に基づき（この例では位置偏差を少なくするように）、当該モータ３の駆動を制御する機能を備える。これら位置制御部１０２及び位置制御部２０２の詳細機能を、図２及び上記図１を用いて説明する。
【００５５】
図２は、上記位置制御部１０２，２０２の詳細な構成を示す機能ブロック図である。図２において、位置制御部１０２，２０２は、位置偏差カウンタ５０と、微分器５１と、２つの乗算器５２，５３と、加算器５４とを有している。
【００５６】
モータ制御回路６に備えられる位置制御部１０２の位置偏差カウンタ５０には、通常の制御状態では、切替スイッチＳＷ１及び加算器１０９を介しコントローラ９からの上記目標駆動位置指令が入力される。後述の異常処理部１０８からの指示信号が入力されるモータ制御回路７の異常発生時には、上記目標駆動位置指令に代えて、上記位置検出器５から出力されたモータ３のモータ駆動位置情報（以下適宜、第２モータ駆動位置情報という）が入力される。また、位置偏差カウンタ５０には、位置検出器４が検出したモータ２のモータ駆動位置情報（以下適宜、第１モータ駆動位置情報という）も入力される。
【００５７】
そして、位置偏差カウンタ５０は、上記目標駆動位置指令又は第２モータ駆動位置情報と上記第１モータ駆動位置情報との位置偏差（以下適宜、第１位置偏差という）を求め、内部に保持する。そして、この位置偏差カウンタ５０が保持した第１位置偏差は、乗算器５２へ出力される。なお、後述するように異常処理部１０８，２０８から指示信号が入力された際には、位置偏差カウンタ５０は、それまで保持していた上記第１位置偏差を直ちに初期化する（例えば０にリセットする）。
【００５８】
乗算器５２は、上記第１位置偏差に対し所定の位置ループゲインを乗算して目標駆動速度指令を生成し、加算器５４へ出力する。一方、上記目標駆動位置指令はまた微分器５１にも入力される。微分器５１は、上記目標駆動位置指令を微分した後、その微分値を乗算器５３へ出力する。乗算器５３は、上記微分値に所定の速度フィードフォワードゲインＫｖＦＦを乗算した値を加算器５４へ出力する。加算器５４は、上記乗算器５２からのゲイン乗算後の目標駆動速度指令に、応答性を向上させるための上記乗算器５３からの乗算値を加算し、目標駆動速度指令を生成して上記速度制御部１０３へ出力する。
【００５９】
モータ制御回路７に備えられる位置制御部２０２の位置偏差カウンタ５０には、通常の制御状態では、上記同様、切替スイッチＳＷ２及び加算器２０９を介しコントローラ９からの上記目標駆動位置指令が入力される。後述の異常処理部２０８からの指示信号が入力されるモータ制御回路６の異常発生時には、上記目標駆動位置指令に代えて、上記位置検出器４からの上記第１モータ駆動位置情報が、入力される。また位置偏差カウンタ５０には、位置検出器５からの上記第２モータ駆動位置情報も入力される。そして、位置偏差カウンタ５０は、上記目標駆動位置指令又は第１モータ駆動位置情報と上記第２モータ駆動位置情報との位置偏差（以下適宜、第２位置偏差という）を求め、内部に保持する。そして、上記同様、異常処理部２０８から指示信号が入力された際には、位置偏差カウンタ５０は、それまで保持していた上記第２位置偏差を直ちに初期化する。この第２位置偏差に対し乗算器５２でループゲインが乗算されたものと、目標駆動位置指令が微分器５１で微分されさらに乗算器５３で速度フィードフォワードゲインＫｖＦＦが乗算されたものとが、加算器５４で加算されて目標駆動速度指令が生成され、上記速度制御部２０３へ出力される。なお、目標駆動速度指令が各請求項記載の速度指令に相当する。
【００６０】
なお、上記の位置ループゲインやフィードフォワードゲインＫｖＦＦは、使用するガントリテーブル８も併せた当該駆動装置１の固有パラメータとして予め調整・記憶された値を用いる。
【００６１】
図１に戻り、モータ制御回路６の速度制御部１０３は、上記位置制御部１０２から加算器１１５を介して入力された上記目標駆動速度指令と、上記位置検出器４からの上記第１モータ駆動位置情報を微分器１０４が微分した速度フィードバックとを、入力する。そして、速度制御部１０３は、それら目標駆動速度指令で指示されるモータ２の目標駆動速度と速度フィードバック（モータ２の駆動速度に相当）との間の速度偏差に基づき（この例では速度偏差を少なくするように）、いわゆるＰＩＤ演算などにより算出したトルク指令をモータ２に出力し当該モータ２の駆動速度を制御する。
【００６２】
モータ制御回路７の速度制御部２０３は、上記同様、上記位置制御部２０２から加算器２１５を介して入力された上記目標駆動速度指令と、上記位置検出器５からの上記第２モータ駆動位置情報を微分器２０４が微分した速度フィードバック（モータ３の駆動速度に相当）とを入力し、それらの間の速度偏差に基づき（この例では速度偏差を少なくするように）トルク指令をモータ３に出力し駆動速度を制御する。
【００６３】
以上のようにして、上記位置制御部１０２及び上記速度制御部１０３を備えたモータ制御回路６は、基本的には、通常状態においては、モータ２の駆動位置が上記目標駆動位置指令の表す駆動位置となるように、モータ３の駆動をフィードバック制御する（モータ制御回路７の異常発生時については後述）。同様に、上記位置制御部２０２及び上記速度制御部２０３を備えたモータ制御回路７は、基本的に、通常状態においては、モータ３の駆動位置が上記目標駆動位置指令の表す駆動位置となるように、モータ３の駆動をフィードバック制御する（モータ制御回路６の異常発生時については後述）。
【００６４】
（Ｂ）位置補正処理部及び速度補正処理部
図１に示すように、モータ制御回路６には、上記基本構成に加え、位置補正処理部１０５及び速度補正処理部１０６が設けられている。
【００６５】
位置補正処理部１０５は、モータ制御回路７の異常発生（後述）に伴って切替スイッチＳＷ１が図１中の下方位置に切り替えられ、位置検出器５からの第２モータ駆動位置情報が位置制御部１０２へ入力される際、当該第２モータ駆動位置情報を補正するための位置補正信号を生成する。
【００６６】
同様に、モータ制御回路７には、上記基本構成に加え、位置補正処理部２０５及び速度補正処理部２０６が設けられている。
【００６７】
位置補正処理部２０５は、モータ制御回路６の異常発生（後述）に伴って切替スイッチＳＷ２が図１中の上方位置に切り替えられ、位置検出器４からの第１モータ駆動位置情報が位置制御部２０２へ入力される際、当該第１モータ駆動位置情報を補正するための位置補正信号を生成する。
【００６８】
図３は、モータ制御回路６，７が備える上記位置補正処理部１０５，２０５の詳細な構成を示す機能ブロック図である。図３において、位置補正処理部１０５，２０５は、減算器６６と、微分器６７と、２つの乗算器６８，６９と、加算器７０とを有している。
【００６９】
モータ制御回路６に備えられる位置補正処理部１０５の減算器６６には、位置検出器５からの上記第２モータ駆動位置情報と、位置検出器４からの上記第１モータ駆動位置情報とが入力される。減算器６６は、第１モータ駆動位置情報から第２モータ駆動位置情報を減算することで、モータ３の駆動位置を基準としたモータ２の駆動位置の相対的な軸間誤差、つまりモータ駆動位置情報間の位置偏差を算出する。この位置偏差は乗算器６８において所定のゲインＫ１が乗算された後加算器７０へ出力される。また上記位置偏差はまた微分器６７にも出力されて微分された後に乗算器６９で所定のゲインＫ２が乗算され、加算器７０へ出力される。加算器７０は、乗算器６８からの乗算値と乗算器６９からの乗算値とを加算し、上記位置制御部１０２へ入力される第２モータ駆動位置情報を補正するための上記位置補正信号を生成する。このような構成により、位置補正処理部１０５は、駆動軸１５２，１５３の間の軸間誤差に対していわゆるＰＩＤ演算のうちのＰＤ演算により上記位置補正信号を生成する。そして、この位置補正信号を、位置制御部１０２に入力する第２モータ駆動位置情報に対し上記加算器１０９で加算することにより、当該位置制御部１０２が２軸間誤差を補正する位置制御を行うことができる。
【００７０】
同様に、モータ制御回路７に備えられる位置補正処理部２０５の減算器６６は、入力された位置検出器４からの上記第１モータ駆動位置情報を、位置検出器５からの上記第２モータ駆動位置情報から減算することで、モータ２の駆動位置を基準としたモータ３の駆動位置の相対的な軸間誤差（２つのモータ駆動位置情報間の位置偏差）を算出する。この位置偏差は、上記同様、一方は乗算器６８でゲインＫ１が乗算され、他方は微分器６７で微分され乗算器６９でゲインＫ２が乗算され、それら両方の値が加算器７０で加算される。この結果、上記位置制御部２０２へ入力される第１モータ駆動位置情報を補正するための上記位置補正信号が生成される。このＰＤ演算による上記位置補正信号を、位置制御部２０２に入力される第１モータ駆動位置情報に対し上記加算器２０９が加算することで、位置制御部２０２が２軸間誤差を補正する位置制御を行うことができる。
【００７１】
なお、上記ゲインＫ１が各請求項記載の第１ゲインに相当し、ゲインＫ２が第２ゲインに相当し、これらゲインＫ１，Ｋ２は、使用するガントリテーブル８も併せた当該駆動装置１の固有パラメータとして予め調整・記憶された値を用いる。また、乗算部６８が第１乗算部に相当し、微分器６７が第１微分器に相当し、乗算部２１９が第２乗算部に相当する。
【００７２】
一方、モータ制御回路６の速度補正処理部１０６は、モータ制御回路７の異常発生（後述）に伴って上記位置検出器５から入力された第２モータ駆動位置情報を用いて位置制御部１０２から速度制御部１０３へ目標駆動速度指令が入力される際、当該目標駆動速度指令を補正するための速度補正信号を生成する。モータ制御回路７の速度補正処理部２０６は、モータ制御回路６の異常発生（後述）に伴って上記位置検出器４から入力された第１モータ駆動位置情報を用いて位置制御部２０２から速度制御部２０３へ目標駆動速度指令が入力される際、当該目標駆動速度指令を補正するための速度補正信号を生成する。
【００７３】
図４は、モータ制御回路６，７が備える上記速度補正処理部１０６，２０６の詳細な構成を示す機能ブロック図である。図４において、速度補正処理部１０６，２０６は、減算器７１と、微分器７２と、乗算器７３とを有している。
【００７４】
モータ制御回路６に備えられる速度補正処理部１０６の減算器７１には、位置検出器５からの上記第２モータ駆動位置情報と、位置検出器４からの上記第１モータ駆動位置情報とが入力される。減算器７１は、第１モータ駆動位置情報から第２モータ駆動位置情報を減算することで、モータ３の駆動位置を基準としたモータ２の駆動位置の相対的な軸間誤差、つまり２つのモータ駆動位置情報間の位置偏差を算出する。この位置偏差は微分器７２に出力されて微分された後、乗算器７３へ出力される。乗算器７３は、上記微分器７２からの微分値に対し所定のゲインＫ３を乗算し、これによって、第１モータ駆動位置情報を用いて位置制御部１０２から速度制御部１０３へ目標駆動速度指令が入力される際の当該目標駆動速度指令を補正する上記速度補正信号を生成する。このような構成により、速度補正処理部１０６は、駆動軸１５２，１５３の間の軸間誤差に対していわゆるＰＩＤ演算のうちのＤ演算により上記速度補正信号を生成する。そして、この速度補正信号を、速度制御部１０３に入力する上記目標駆動速度指令に対し加算器１１５で加算することにより、当該速度制御部１０３が２軸間誤差を補正する速度制御を行うことができる。
【００７５】
同様に、モータ制御回路７に備えられる速度補正処理部２０６の減算器７１は、入力された位置検出器４からの上記第１モータ駆動位置情報を、位置検出器５からの上記第２モータ駆動位置情報から減算することで、モータ２の駆動位置を基準としたモータ３の駆動位置の相対的な軸間誤差（２つのータ駆動位置情報間の位置偏差）を算出する。この位置偏差は、上記同様、微分器７２で微分された後乗算器７３でゲインＫ３が乗算される。この結果、第２モータ駆動位置情報を用いて位置制御部２０２から速度制御部２０３へ目標駆動速度指令が入力される際の当該目標駆動速度指令を補正する上記速度補正信号が生成される。このＤ演算による上記速度補正信号を、速度制御部２０３に入力される上記目標駆動速度指令に対し加算器２１５が加算することで、速度制御部２０３が２軸間誤差を補正する速度制御を行うことができる。
【００７６】
なお、上記ゲインＫ３が各請求項記載の第３ゲインに相当し、このゲインＫ３は、使用するガントリテーブル８も併せた当該駆動装置１の固有パラメータとして予め調整・記憶された値を用いる。また、微分器７２が第２微分器に相当し、乗算部７３が第３乗算部に相当する。
【００７７】
（Ｃ）異常検出部及び異常処理部
既に述べたように、本実施形態の特徴として、モータ制御回路６は、当該モータ制御回路６の異常の発生を検出する異常検出部１０７を備えている。また、モータ制御回路７は、当該モータ制御回路７の異常の発生を検出する異常検出部２０７を備えている。
【００７８】
モータ制御回路６の異常検出部１０７は、当該モータ制御回路６内の異常の発生を検出する。具体的には、異常検出部１０７は、例えば過熱、過電圧、不足電圧、過電流等の異常状態を公知の手法で検出し、対応する異常通知信号（どのような異常が発生しているかという情報を含む）をモータ制御回路７の異常処理部２０８へ出力する。同様に、モータ制御回路７の異常検出部２０７は、モータ制御回路内の異常状態を検出し、対応する上記異常通知信号をモータ制御回路６内の異常処理部１０８へ出力する。なお、このモータ制御回路６とモータ制御回路７との相互的な異常通知信号の送受は、図示のように専用の配線を個別に接続して送受してもよいし、又は上記制御ネットワーク１０上でコントローラ９による処理を介入させずに２つの制御回路６，７だけで相互に直接送受してもよい。
【００７９】
モータ制御回路６の異常処理部１０８は、モータ制御回路７の異常検出部２０７から上記異常通知信号を入力すると、対応する指示信号を、位置制御部１０２、位置補正処理部１０５、速度補正処理部１０６、及び切替スイッチＳＷ１へ出力する。これによって、位置制御部１０２の位置偏差カウンタ５０の上記初期化（リセット）や、位置補正処理部１０５における上記位置補正信号の生成・出力開始、速度補正処理部１０６における上記速度補正信号の生成・出力開始、及び切替スイッチＳＷ１の信号経路の切り替え、がそれぞれ行われる。切替スイッチＳＷ１は、通常状態（モータ制御回路６，７のいずれも正常に動作している状態）においては、図１に示す上方位置に切り替えられており、コントローラ９からの上記目標駆動位置指令が上記位置制御部１０２へ入力される状態にある。モータ制御回路７で異常が発生して上記異常処理部１０８からの指示信号が入力されると、切替スイッチＳＷ１は、図１に示す下方位置に切り替えられ、位置制御部１０２はコントローラ９からの上記目標駆動位置指令と遮断されるとともに、位置検出器５からの上記第２モータ駆動位置情報が位置制御部１０２へと入力される。
【００８０】
同様に、モータ制御回路７の異常処理部２０８は、モータ制御回路６の異常検出部１０７から上記異常通知信号を入力すると、対応する指示信号を、位置制御部２０２、位置補正処理部２０５、速度補正処理部２０６、及び切替スイッチＳＷ２へ出力する。これによって、位置制御部２０２の位置偏差カウンタ５０の上記初期化（リセット）や、位置補正処理部２０５における上記位置補正信号の生成・出力開始、速度補正処理部２０６における上記速度補正信号の生成・出力開始、及び切替スイッチＳＷ２の信号経路の切り替え、がそれぞれ行われる。切替スイッチＳＷ２は、通常状態においては、図１に示す下方位置に切り替えられており、コントローラ９からの上記目標駆動位置指令が上記位置制御部２０２へ入力される状態にある。モータ制御回路６で異常が発生して上記異常処理部２０８からの指示信号が入力される、切替スイッチＳＷ２は、図１に示す上方位置に切り替えられ、位置制御部２０２はコントローラ９からの上記目標駆動位置指令と遮断されるとともに、位置検出器４からの上記第１モータ駆動位置情報が位置制御部２０２へと入力される。
【００８１】
（Ｄ）通常状態のフィードバック制御、及び、異常検出時の追従制御
以上のように構成された本実施形態の駆動装置１の動作及び作用を以下に説明する。
【００８２】
駆動装置１は、剛性を有する同一の締結部８ｃを駆動軸１５２と駆動軸１５３とで個別に駆動制御する。このため、各駆動軸１５２，１５３を駆動するモータ２，３にそれぞれに対応する２系統のモータ制御回路６，７が、互いに同期して駆動制御を行う必要がある。通常の駆動状態（モータ制御回路６，７のいずれも正常に動作している状態）では、コントローラ９から両モータ２，３に共通の目標駆動位置指令がモータ制御回路６，７に入力される。そして、各モータ制御回路６，７の位置制御部１０２，２０２が、位置検出器４，５を介して検出した各系統のモータ２，３のモータ駆動位置と上記共通の目標駆動指令が指示する目標駆動位置との位置偏差（第１位置偏差及び第２位置偏差）を求め、これら第１位置偏差及び第２位置偏差に基づき（この例では当該位置偏差を少なくするように）各モータ２，３をフィードバック制御する。このように通常の駆動状態における各モータ制御回路６，７でのフィードバック制御は、共通の目標駆動位置に追従するように行われ、駆動軸１５２，１５３の間の軸間誤差が小さくなるよう同期制御される。
【００８３】
ここで、例えばモータ制御回路６に異常が発生した場合を例にとって説明する。モータ制御回路６に異常が発生した際には、当該モータ制御回路６が備える異常検出部１０７がモータ制御回路７の異常処理部２０８へ異常通知信号を出力するとともに、切替スイッチＳＷ１が図１中のどの端子とも接続せずに信号の入力を遮断する。これにより、コントローラ９からモータ制御回路６の位置制御部１０２への目標駆動位置指令の入力が遮断され、また当該モータ制御回路６が備える特に図示しない停止制御部（停止制御手段に相当）がモータ２の駆動を停止する。なお、このときに実行する制御手順が、各請求項記載の停止制御手順に相当する。このモータの駆動停止は、公知の適宜の手法で行えば足りるが、例えば、モータ２をモータ制御回路６から遮断し、その代わりにモータ２の端子を抵抗で短絡させることで制動トルクを得るダイナミックブレーキを利用することができる。
【００８４】
一方、モータ制御回路７では、モータ制御回路６の異常検出部１０７からの上記異常通知信号が異常処理部２０８に入力され、この異常処理部２０８からの上記指示信号により、切替スイッチＳＷ２が図１中の上方位置に切り替わる。なお、このときに実行する制御手順が、各請求項記載の信号切替手順に相当する。これにより、信号経路が切り替わり、位置制御部２０２には、コントローラ９からの上記共通の目標駆動位置指令に代えて、モータ２の位置検出器４からの第１モータ駆動位置情報が入力されるようになる。この結果、位置制御部２０２の位置偏差カウンタ５０がモータ２のモータ駆動位置とモータ３のモータ駆動位置との間の位置偏差を求めて保持し、この位置偏差に基づきモータ３の追従制御が行われる。このように、モータ制御回路６が故障した状態におけるモータ制御回路７でのモータ３の制御は、上記のようにコントローラ９側から遮断された状態で停止制御されるモータ２の位置に追従するように行われ、この結果、駆動軸１５２，１５３の間の軸間誤差が小さくなるよう同期することができる。
【００８５】
ところで、モータ制御回路７において、上記のようにスイッチＳＷ２が信号経路を切り替えてモータ３の追従制御が行われる際、当該切り替わった時点において、それまでの上記フィードバック制御で実行していた、目標駆動位置と実際のモータ３のモータ駆動位置との位置偏差が、モータ制御回路７の位置偏差カウンタ５０に残っている場合がある。この場合、上記のようにして切替スイッチＳＷ２の切り替え後に位置偏差カウンタ５０で求められた、モータ２のモータ駆動位置とモータ３のモータ駆動位置との間の位置偏差に、上記残っているフィードバック制御時の位置偏差が合算された形で、信号経路切り替わり後のモータ３の追従制御が開始されることとなり、高精度な追従を迅速に行えない可能性がある。
【００８６】
そこで、本実施形態では、上述したように、モータ制御回路６の異常検出部１０７からの異常通知信号のモータ制御回路７の異常処理部２０８への入力に応じ、位置制御部２０２が、その位置偏差カウンタ５０に保持されていた上記フィードバック制御時の位置偏差が初期化処理される（偏差初期化手順に相当）。これにより、モータ３の追従制御の開始時において、上記フィードバック制御で実行していた位置偏差の影響のない高精度な追従制御を、迅速に開始することができる。なお、このときに実行する制御手順が、各請求項記載の位置制御手順に相当する。
【００８７】
また逆に、本実施形態では、例えばモータ制御回路７に異常が発生した場合も上記同様の制御が行われる。すなわち、モータ制御回路７に異常が発生した際には、上記同様、当該モータ制御回路７が備える異常検出部２０７がモータ制御回路６の異常処理部１０８へ異常通知信号を出力するとともに、切替スイッチＳＷ２が図１中のどの端子とも接続せずに信号の入力を遮断する。これにより、コントローラ９からモータ制御回路７の位置制御部２０２への目標駆動位置指令の入力が遮断され、また当該モータ制御回路７が備える特に図示しない停止制御部（停止制御手段に相当）がモータ３の駆動を停止する（停止制御手順に相当）。モータ制御回路６では、モータ制御回路７の異常検出部２０７からの上記異常通知信号が異常処理部１０８に入力され、この異常処理部１０８からの上記指示信号により、切替スイッチＳＷ１が図１中の下方位置に切り替わる（信号切替手順に相当）。これにより、位置制御部１０２には、コントローラ９からの上記共通の目標駆動位置指令に代えて、モータ３の位置検出器５からの第２モータ駆動位置情報が入力されるようになる。この結果、位置制御部１０２の位置偏差カウンタ５０がモータ２のモータ駆動位置とモータ３のモータ駆動位置との間の位置偏差を求めて保持し、この位置偏差に基づきモータ２の追従制御が行われる。すなわち、モータ制御回路７が故障した状態におけるモータ制御回路６でのモータ２の制御は、上記同様、コントローラ９側から遮断された状態で停止制御されるモータ３の位置に追従するように行われる。そして、モータ制御回路７の異常検出部２０７からの異常通知信号のモータ制御回路６の異常処理部１０８への入力に応じ、上記同様、位置制御部１０２の位置偏差カウンタ５０に保持されていた上記フィードバック制御時の位置偏差が初期化処理される（偏差初期化手順に相当）。これにより、モータ２の追従制御の開始時において、上記フィードバック制御で実行していた位置偏差の影響のない高精度な追従制御を、迅速に開始することができる（位置制御手順に相当）。
【００８８】
（Ｅ）各請求項の用語との対照
以上において、モータ制御回路６における異常検出に対応してモータ２を停止制御するとともに、モータ制御回路７がモータ３を追従制御する場合には、モータ２が第１モータに相当し、モータ３が第２モータに相当し、駆動軸１５２が第１駆動軸に相当し、駆動軸１５３が第２駆動軸に相当し、位置検出器４が第１位置検出器に相当し、位置検出器５が第２位置検出器に相当する。また、モータ制御回路６が第１モータ制御回路に相当し、そのうち位置制御部１０２が第１位置制御部に相当し、速度制御部１０３が第１速度制御部に相当する。また、位置制御部１０２の位置偏差カウンタ５０が算出する、目標駆動位置指令で指示されたモータ２の目標駆動位置と第１モータ駆動位置情報の表すモータ２の駆動位置との偏差が、第１位置偏差に相当する。また異常検出部１０７が、異常検出手段に相当する。
【００８９】
さらに、モータ制御回路７が第２モータ制御回路に相当し、そのうち位置制御部２０２が第２位置制御部に相当し、速度制御部２０３が第２速度制御部に相当する。また、位置偏差カウンタ５０が算出する目標駆動位置指令の指示するモータ３の目標駆動位置と第２モータ駆動位置情報の表すモータ３の駆動位置との偏差が、第２位置偏差に相当する。また、切替スイッチＳＷ２が、第２モータ用信号切替手段に相当する。そして、位置補正処理部２０５が第１位置補正信号生成手段に相当し、位置補正処理部２０５が生成する上記位置補正信号が追従用位置補正信号に相当し、加算器２０９が第１位置補正手段に相当する。さらに、速度補正処理部２０６が速度補正信号生成手段に相当し、加算器２１５が速度補正手段に相当する。
【００９０】
一方、モータ制御回路７における異常検出に対応してモータ３を停止制御するとともに、モータ制御回路６がモータ２を追従制御する場合には、モータ３が第１モータに相当し、モータ２が第２モータに相当し、駆動軸１５３が第１駆動軸に相当し、駆動軸１５２が第２駆動軸に相当し、位置検出器５が第１位置検出器に相当し、位置検出器４が第２位置検出器に相当する。また、モータ制御回路７が第１モータ制御回路に相当し、そのうち位置制御部２０２が第１位置制御部に相当し、速度制御部２０３が第１速度制御部に相当する。また、位置制御部２０２の位置偏差カウンタ５０が算出する、目標駆動位置指令で指示されたモータ３の目標駆動位置と第２モータ駆動位置情報の表すモータ３の駆動位置との偏差が、第１位置偏差に相当する。また異常検出部１０７が、異常検出手段に相当する。
【００９１】
さらに、モータ制御回路６が第２モータ制御回路に相当し、そのうち位置制御部１０２が第２位置制御部に相当し、速度制御部１０３が第２速度制御部に相当する。また、位置偏差カウンタ５０が算出する目標駆動位置指令の指示するモータ２の目標駆動位置と第１モータ駆動位置情報の表すモータ２の駆動位置との偏差が、第２位置偏差に相当する。また、切替スイッチＳＷ１が、第２モータ用信号切替手段に相当する。そして、位置補正処理部１０５が第１位置補正信号生成手段に相当し、位置補正処理部１０５が生成する上記位置補正信号が追従用位置補正信号に相当し、加算器１０９が第１位置補正手段に相当する。さらに、速度補正処理部１０６が速度補正信号生成手段に相当し、加算器１１５が速度補正手段に相当する。
【００９２】
（Ｆ）本実施形態の効果
以上説明したように、本実施形態の駆動装置１によれば、モータ制御回路６での異常発生時には、モータ制御回路７の位置制御部２０２の位置偏差カウンタ５０に保持されていた位置偏差が直ちに初期化処理されるので、信号経路切り替わり後のモータ３の追従制御の開始時において、それまでのフィードバック制御で実行していた位置偏差の影響のない高精度な追従制御を、迅速に開始することができる。また、モータ制御回路７での異常発生時には、モータ制御回路６の位置制御部１０２の位置偏差カウンタ５０に保持されていた位置偏差が直ちに初期化処理されるので、信号経路切り替わり後のモータ２の追従制御の開始時において、それまでのフィードバック制御で実行していた位置偏差の影響のない高精度な追従制御を、迅速に開始することができる。この結果、モータ２，３の駆動停止後におけるモータ３，２の追従制御の精度を向上させ、駆動軸１５２，１５３の間の軸間誤差による、ガントリテーブル８の締結部８ｃの過大な内部応力の発生を防止できる。
【００９３】
また、この実施形態では特に、異常処理部１０８，２０８からの指示信号に応じ、モータ制御回路６，７の位置補正処理部１０５，２０５によって位置制御部１０２，２０２が２軸間誤差を補正する位置制御を行うことができる。これにより、モータ２，３の駆動停止後におけるモータ３，２の追従制御状態において、より高い精度で２軸間の同期駆動制御を行うことができる。
【００９４】
また、この実施形態では特に、異常処理部１０８，２０８からの指示信号に応じ、モータ制御回路６，７の速度補正処理部１０６，２０６によって速度制御部１０３，２０３が２軸間誤差を補正する速度制御を行うことができる。これにより、モータ２，３の駆動停止後におけるモータ３，２の追従制御状態において、より高い精度で２軸間の同期駆動制御を行うことができる。
【００９５】
以上説明した本実施形態による効果を、以下、比較例を参照しつつ具体的に説明する。
【００９６】
図５〜図７は、モータ制御回路６での異常発生を想定して、上記の手法によりモータ２を停止制御するとともにモータ制御回路７の追従制御を行ったときの、モータ３の速度挙動、及び、駆動軸１５２，１５３間に生じる軸間誤差の挙動、のシミュレーション結果を表す図である。いずれの図も横軸には時間をとっている。
【００９７】
図５（ａ）〜図５（ｃ）は、上記本実施形態の駆動装置１におけるシミュレーション結果を表している。図５（ａ）は、モータ制御回路６の位置制御部１０２に対しコントローラ９から入力される上記目標駆動位置指令による目標駆動速度の挙動を表しており、縦軸は、図中の１目盛を所定の速度Ｖとした相対値により表している。図５（ｂ）は、位置検出器５により検出されるモータ３の実際の速度の挙動を表しており、縦軸は、上記図５（ａ）同様、図中の１目盛を所定の速度Ｖとした相対値により表している。図５（ｃ）は、駆動軸１５２と駆動軸１５３との間に生じる軸間誤差の挙動を表しており、縦軸は、図中の１目盛を所定の距離Ｘとした相対値により表している。
【００９８】
図５（ａ）〜図５（ｃ）において、本実施形態の駆動装置１においては、モータ制御回路７の異常発生とともに、前述のスイッチＳＷ１の経路切替により位置制御部１０２へ入力されていた目標駆動位置指令が遮断され、目標駆動速度が０となる（図５（ａ）参照）。そしてモータ３は、上記の際に停止制御されるモータ２に対し追従するように制御される結果、速やかに減速され、停止する（図５（ｂ）参照）。その際、前述の位置制御部２０２の位置偏差カウンタ５０における偏差の初期化（リセット）や、位置補正処理部２０５及び速度補正処理部２０６の補正の結果、駆動軸１５２と駆動軸１５３との間に生じる軸間誤差を小さい値（図中の−Ｘ程度）にとどめることができる（図５（ｃ））。
【００９９】
一方、図６（ａ）〜図６（ｃ）は、上記実施形態の比較例として、上記実施形態の位置偏差カウンタ５０における偏差の初期化（リセット）を行わなかった場合の同様のシミュレーション結果を表している。なお、この比較例は、上記初期化による効果を明確にするために、位置補正処理部２０５及び速度補正処理部２０６の補正は引き続き行う場合の比較例としている。図６（ａ）及び図６（ｂ）は、上記図５（ａ）及び図５（ｂ）と同様、目標駆動位置指令による目標駆動速度の挙動、及び、モータ３の実際の速度の挙動を表しており、縦軸も上記図５（ａ）及び図５（ｂ）と同様である。図６（ｃ）は、図５（ｃ）と同様の軸間誤差の挙動を表しており、縦軸は、図５（ｃ）と異なり、図中の１目盛を所定の距離１０Ｘとした相対値により表している（すなわち縦軸は図５（ｃ）の１／１０倍に圧縮した状態で表されている）。
【０１００】
図６（ｂ）において、この比較例では、モータ３は、図５（ｂ）と同様にモータ制御回路７の異常発生とともにモータ２に対し追従するように制御され、減速され停止する。しかしながら、前述の位置制御部２０２の位置偏差カウンタ５０における偏差の初期化（リセット）が行われないため、モータ３の追従制御の開始時においてそれまでのフィードバック制御で実行していた上記偏差の影響が残り、迅速な高精度追従制御が十分に行えない。この結果、駆動軸１５２と駆動軸１５３との間に生じる軸間誤差が著しく大きくなる（図中の−４０Ｘ程度）ことがわかる（図６（ｃ））。したがって、この比較例と比べた場合には、図５（ｃ）に示す本実施形態の駆動装置１では、位置制御部２０２の位置偏差カウンタ５０における偏差の初期化（リセット）の機能により、軸間誤差が１／４０程度まで低減できることがわかる。
【０１０１】
一方、図７（ａ）〜図７（ｃ）は、上記のように位置制御部２０２の位置偏差カウンタ５０における偏差の初期化の効果が大きいことに鑑み、別の実施形態として、前述の位置補正処理部２０５及び速度補正処理部２０６の補正を行わず、上記位置制御部２０２の位置偏差カウンタ５０における偏差の初期化のみを行った場合の同様のシミュレーション結果を表している。図７（ａ）、図７（ｂ）、図７（ｃ）はそれぞれ、上記図５（ａ）、図５（ｂ）、図５（ｃ）と同様、目標駆動位置指令による目標駆動速度の挙動、モータ３の実際の速度の挙動、軸間誤差の挙動を表し、縦軸についても図５（ａ）、図５（ｂ）、図５（ｃ）とそれぞれ同一となっている。
【０１０２】
図６（７）に示す他の実施形態においても、上記図５（ｂ）の実施形態と同様、モータ制御回路７の異常発生とともにモータ２に対し追従するように制御され、減速され停止する。その際、前述の位置制御部２０２の位置偏差カウンタ５０における偏差の初期化（リセット）の効果により、モータ３の追従制御の開始時においてそれまでのフィードバック制御で実行していた上記偏差の影響をなくし、迅速な高精度追従制御を行うことがわかる。この際、上記図５（ａ）〜図５（ｃ）に示した実施形態と異なり、位置補正処理部２０５及び速度補正処理部２０６の補正を行っていないため、当該実施形態に比べれば駆動軸１５２と駆動軸１５３との間に生じる軸間誤差が若干大きくなっている（図中の−２Ｘ程度）。しかしながら、例えば図６（ｃ）の比較例と比べた場合には、位置制御部２０２の位置偏差カウンタ５０における偏差の初期化（リセット）の機能により、軸間誤差が１／２０程度まで低減できることがわかる。
【０１０３】
なお、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。以下、そのような変形例を順を追って説明する。
【０１０４】
（１）駆動軸を３軸以上備える場合
上記実施形態においては、ガントリテーブル８をモータ２，３で駆動される２つの駆動軸１５２，１５３により移動させる２軸構成の例を説明したが、本発明はこれに限られない。例えば、図８に示すように、３つのモータ２，３，１１によりそれぞれ駆動される３つの駆動軸１５２，１５３，１５４によりガントリテーブルを移動させる、３軸構成に本発明を適用してもよい。
【０１０５】
なお、この図８においては、上記実施形態と同等の部分には同一の符号を付している。また、図８では、ガントリテーブルの図示を省略するとともに、コントローラ９と各位置検出器４，５，１２と各モータ制御回路６，７，１３の切替スイッチＳＷ１，ＳＷ２，ＳＷ３との間の接続配線だけを図示し、各モータ制御回路６，７，１３の内部構成を簡略化して示している。なお、第３モータ制御回路１３は、上記モータ制御回路６，７と同等の構成となっている。
【０１０６】
この構成の場合の各切替スイッチＳＷ１，ＳＷ２，ＳＷ３は、切替接続する対象の端子を３つ有している。３つのうち、１つの端子は、コントローラ９からの目標駆動位置指令を入力する端子である。他の２つの端子は、それぞれ他の系統の位置検出器４，５，１２からモータ駆動位置情報を入力する端子である。すなわち、モータ制御回路６に係わる切替スイッチＳＷ１は、上記目標駆動位置指令を入力する「Ｃ」端子と、モータ３の位置検出器５からの第２モータ駆動位置情報を入力する「２」端子と、モータ１１の位置検出器１２からのモータ駆動位置情報（以下適宜、第３モータ駆動位置情報という）を入力する「３」端子とを備えている。モータ制御回路７に係わる切替スイッチＳＷ２は、上記目標駆動位置指令を入力する「Ｃ」端子と、モータ２の位置検出器４からの第１モータ駆動位置情報を入力する「１」端子と、モータ１１の位置検出器１２からの第３モータ駆動位置情報を入力する「３」端子とを備えている。モータ制御回路１３に係わる切替スイッチＳＷ３は、上記目標駆動位置指令を入力する「Ｃ」端子と、モータ２の位置検出器４からの第１モータ駆動位置情報を入力する「１」端子と、モータ３の位置検出器５からの第３モータ駆動位置情報を入力する「２」端子とを備えている。通常の駆動状態（モータ制御回路６，７，１３のいずれも正常に動作している状態）では、いずれの切替スイッチＳＷ１，ＳＷ２，ＳＷ３も「Ｃ」端子に切り替わることでコントローラ９からの目標駆動位置指令をモータ制御回路６，７，１３に入力する。
【０１０７】
ここで、例えばモータ制御回路６に何らかの異常が発生し上記異常検出部１０７（図１参照）で検出された場合には、図示するように切替スイッチＳＷ１は上記３つのどの端子とも接続せずに信号の入力を遮断する。
【０１０８】
そして、上記異常検出部１０７からの異常通知信号に基づく異常処理部２０８（図１参照）の指示信号により、切替スイッチＳＷ２は端子「１」へ切り替えられる。これにより、位置検出器４とモータ制御回路７とが接続され、モータ制御回路７の位置制御部２０２（図１参照）へモータ２の第１モータ駆動位置情報が入力される。この結果、前述と同様にして、モータ３は、モータ制御回路７により、停止制御されるモータ２の位置に追従するように駆動制御される。
【０１０９】
同様に、上記異常検出部１０７からの異常通知信号に基づく異常処理部（図示せず。上記異常処理部２０８と同等の機能を備える）の指示信号により、切替スイッチＳＷ３は端子「１」へ切り替えられる。これにより、位置検出器４とモータ制御回路１３とが接続され、モータ制御回路１３の位置制御部（図示せず。上記位置制御部２０２と同等の機能を備える）には、コントローラ９からの共通の目標駆動位置指令に代えて、モータ２の第１モータ駆動位置情報が入力される。この結果、位置制御部に備えられた位置偏差カウンタ（上記位置偏差カウンタ５０と同等の機能を備える）がモータ２のモータ駆動位置とモータ１１のモータ駆動位置との間の位置偏差を求めて保持し、この位置偏差に基づきモータ１１の追従制御が行われる。その際、上記異常処理部からの指示信号に応じ、上記同様、位置制御部の位置偏差カウンタに保持されていた、それまでのフィードバック制御時の位置偏差が初期化処理される。この結果、前述と同様にして、モータ１１が、モータ制御回路１３により、停止制御されるモータ２の位置に高精度かつ迅速に追従するよう、駆動制御される。
【０１１０】
以上において、駆動軸１５４が各請求項記載の第３駆動軸に相当し、モータ１１が第３モータに相当し、位置検出器１２が第３位置検出器に相当する。またモータ制御回路１３が第３モータ制御回路に相当し、モータ制御回路１３に備えられた位置制御部が第３位置制御部に相当する。また切替スイッチＳＷ３が第３モータ用信号切替手段に相当する。
【０１１１】
なお、以上はモータ制御回路６に何らかの異常が発生したときにモータ制御回路７，１３でモータ３，１１の追従制御を行う場合を例にとって説明したが、本変形例では、同様に、モータ制御回路７に何らかの異常が発生したときにモータ制御回路６，１３でモータ２，１１の追従制御が行われ、さらにモータ制御回路１３に何らかの異常が発生したときにモータ制御回路６，７でモータ２，３の追従制御が行われる。これらの場合も、同様の効果を得る。
【０１１２】
以上のように、モータ３に係わるモータ制御回路７と同様の構成及び機能を備えた、モータ１１に係わるモータ制御回路１３を増設することにより、上記のような３軸構成の駆動装置１Ａを実現することができる。なお、さらに同様の構成を増設することによって４軸以上で駆動する複数軸駆動装置を実現することも可能である（特に図示せず）。
【０１１３】
（２）ガントリテーブルの許容誤差分だけ遅らせて追従制御する場合
上記実施形態において、例えばモータ２の駆動停止後におけるモータ３の追従制御では、駆動軸１５２，１５３の間の２軸間誤差をできるだけ少なくするように駆動制御される。しかしながら、そのような追従制御の間、モータ２は駆動速度を減速し続けているため、モータ３の駆動位置がモータ２の駆動位置を追い越してしまう場合がある。この場合、駆動軸１５３により駆動される被駆動部材８ｂから駆動軸１５２により駆動される被駆動部材８へ、移動方向に押し込む力が作用することとなり、減速途中の被駆動部材８ａの停止距離を増大させる可能性がある。本変形例は、このような場合に対応し、ガントリテーブル８が許容可能な軸間誤差分だけ意図的にモータ３の追従を遅らせることで、モータ３の駆動位置がモータ２の駆動位置を追い越してしまうのを防ぐ例である。
【０１１４】
図９は、本変形例による駆動装置１Ｂを含む駆動機械１００の機能的構成を表す機能ブロック図であり、上記図１に対応する図である。上記図１と同等の部分については同じ符号を付し、適宜説明を省略又は簡略化する。
【０１１５】
この図９において、本変形例では、モータ２に係わるモータ制御回路６Ｂにおいて、上記実施形態のモータ制御回路６の構成に加え、新たに許容誤差補正処理部１２５及び減算器１２６を設けている。また、モータ３に係わるモータ制御回路７Ｂにおいて、上記実施形態のモータ制御回路７の構成に加え、新たに許容誤差補正処理部２２５及び減算器２２６を設けている。
【０１１６】
許容誤差補正処理部１２５，２２５には、ガントリテーブル８の被駆動部材８ａ及び被駆動部材８ｂとの間（言い換えれば駆動軸１５２，１５３の間）で許容可能な、直線的な移動方向（図９中左右方向）に沿った許容軸間誤差（各請求項記載の相対変位量に相当）を記憶保持しており、この許容軸間誤差に対応する補正信号（各請求項記載の相対変位許容用位置補正信号に相当）を減算器１２６，２２６へ出力する。補正信号に含まれる補正量は、上記許容軸間誤差以下の量となっている。なお、この許容軸間誤差は、当該ガントリテーブル８Ｂがその軸間誤差を保持したままの状態で、振動などを発生させることなく全体を円滑に直線移動できる程度の誤差である。
【０１１７】
前述のように、例えばモータ制御回路６Ｂにおいて何らかの異常が発生した場合、異常処理部２０８からの指示信号により切替スイッチＳＷ２が図９中の上方位置に切り替わり、コントローラ９からの上記共通の目標駆動位置指令に代わって、モータ２の位置検出器４からの第１モータ駆動位置情報が位置制御部２０２へ入力されるようになる。本変形例では、その際、許容誤差補正処理部２２５が上記補正信号を生成する。なお、このときに実行する手順が、各請求項記載の位置補正信号生成手順に相当する。そして、減算器２２６が、第１モータ駆動位置情報から、上記許容誤差補正処理部２２５からの補正信号を減算処理し、切替スイッチＳＷ２を介して位置制御部２０２へ出力する。なお、このときに実行する手順が、各請求項記載の位置補正処理手順に相当する。これにより、モータ制御回路６Ｂに異常が発生してモータ２の駆動を停止した場合、モータ制御回路７Ｂは、駆動停止制御中のモータ２の駆動位置から、その移動方向に対して上記許容軸間誤差以内だけ遅れた位置に追従するよう（言い換えれば、被駆動部材８ａが上記移動方向に沿って上記許容時間誤差以内で被駆動部材８ｂより先行した位置となるよう）、モータ３を駆動制御する。なお、この場合、許容誤差補正処理部２２５が各請求項記載の第２位置補正信号生成手段に相当し、許容誤差補正処理部２２５が出力する上記補正信号が相対変位許容用位置補正信号に相当し、減算器２２６が第２位置補正手段に相当する。
【０１１８】
一方、例えばモータ制御回路７Ｂにおいて何らかの異常が発生した場合、異常処理部１０８からの指示信号により切替スイッチＳＷ１が図９中の下方位置に切り替わり、コントローラ９からの上記共通の目標駆動位置指令に代わって、モータ３の位置検出器５からの第２モータ駆動位置情報が位置制御部１０２へ入力されるようになる。本変形例では、その際、許容誤差補正処理部１２５が上記補正信号を生成し（各請求項記載の位置補正信号生成手順に相当）し、減算器１２６が、第２モータ駆動位置情報から、上記許容誤差補正処理部１２５からの補正信号を減算処理し（各請求項記載の位置補正処理手順に相当）、切替スイッチＳＷ１を介して位置制御部１０２へ出力する。これにより、モータ制御回路７Ｂに異常が発生してモータ３の駆動を停止した場合、モータ制御回路６Ｂは、駆動停止制御中のモータ３の駆動位置から、その移動方向に対して上記許容軸間誤差以内だけ遅れた位置に追従するよう（言い換えれば、被駆動部材８ｂが上記移動方向に沿って上記許容時間誤差以内で被駆動部材８ａより先行した位置となるよう）、モータ２を駆動制御する。なお、この場合、許容誤差補正処理部１２５が各請求項記載の第２位置補正信号生成手段に相当し、許容誤差補正処理部１２５が出力する上記補正信号が相対変位許容用位置補正信号に相当し、減算器１２６が第２位置補正手段に相当する。
【０１１９】
以上説明したように、本変形例においては、駆動停止側のモータ２，３の駆動位置よりも、移動方向に対して許容軸間誤差だけ遅れた位置を追従するようにモータ３，２の駆動位置を駆動制御する。これにより、被駆動部材８ｂによる被駆動部材８ａの追い越し、又は、被駆動部材８ａによる被駆動部材８ｂの追い越しを防ぐことができるので、結果的に停止距離の増大を防止することができる。
【０１２０】
また、能動的に駆動制御されているモータ３，２の駆動位置を、駆動減速中のモータ２，３の駆動位置より意図的に遅らせることで、被駆動部材８ｂ，８ａが締結部８ｃを介して被駆動部材８ａ，８ｂの惰性移動を抑え、停止距離を縮小できる効果もある。
【０１２１】
（３）その他
なお、以上においては、各系統のモータ２，３に回転型のモータを用いた構成を例にとって説明したが、これに限られない。他にも、直動型のモータを用いて各駆動軸を駆動する構成としてもよい。この場合も、上記同様の効果を得ることができる。
【０１２２】
また、以上既に述べた以外にも、上記実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用しても良い。
【０１２３】
その他、一々例示はしないが、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。
【符号の説明】
【０１２４】
１，１Ａ，１Ｂ    駆動装置（複数軸駆動装置）
２                モータ
３                モータ
４                位置検出器
５                位置検出器
６，６Ｂ          モータ制御回路
７，７Ｂ          モータ制御回路
８                ガントリテーブル
８ａ              被駆動部材
８ｂ              被駆動部材
８ｃ              締結部
９                コントローラ
１１              モータ
１２              位置検出器
１３              モータ制御回路
５０              位置偏差カウンタ
１００            駆動機械
１０２            位置制御部
１０３            速度制御部
１０５            位置補正処理部
１０６            速度補正処理部
１０７            異常検出部
１０８            異常処理部
１０９            加算器
１１５            加算器
１２５            許容誤差補正処理部
１２６            減算器
１５２            駆動軸
１５３            駆動軸
１５４            駆動軸
２０２            位置制御部
２０３            速度制御部
２０５            位置補正処理部
２０６            速度補正処理部
２０７            異常検出部
２０８            異常処理部
２０９            加算器
２１５            加算器
２２５            許容誤差補正処理部
２２６            減算器
ＳＷ１            切替スイッチ
ＳＷ２            切替スイッチ
ＳＷ３            切替スイッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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