(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象基板を電気的に検査する基板検査システムであって、
少なくとも一対の第１検査用プローブ、および当該各第１検査用プローブを別個独立して移動させてプロービング位置にプロービングさせる複数の第１移動機構を有して、前記各第１検査用プローブを用いて前記検査対象基板を検査する第１検査装置と、
予め規定されたプロービング位置に応じた位置に複数の第２検査用プローブがプローブ保持部によって保持されたプローブユニット、および当該プローブユニットと前記検査対象基板との少なくとも一方を他方に向けて移動させることによって当該各第２検査用プローブを当該検査対象基板にプロービングさせる第２移動機構を有して、前記各第２検査用プローブを用いて前記検査対象基板を検査する第２検査装置と、
前記検査対象基板を保持する基板保持部が設けられたインデックステーブル、および当該基板保持部によって保持されている当該検査対象基板を前記インデックステーブルを回転させて搬送する回転機構を有する回転式基板搬送装置と、
前記回転式基板搬送装置を制御して前記検査対象基板を搬送させると共に、前記第１検査装置および前記第２検査装置を制御して当該検査対象基板を検査させる制御装置とを備え、
前記回転式基板搬送装置は、前記第１検査装置によって前記検査対象基板が検査される第１検査位置、および当該第１検査位置とは異なる位置であって前記第２検査装置によって前記検査対象基板が検査される第２検査位置に前記検査対象基板を搬送可能に構成され、
前記制御装置は、前記第２検査装置による前記検査対象基板の検査結果が不良のときに、前記回転式基板搬送装置を制御して当該不良と検査された検査対象基板を前記第２検査位置から前記第１検査位置に搬送させると共に、前記第１検査装置を制御して当該不良と検査された検査対象基板を対象とする不良時検査処理を実行させる基板検査システム。
【請求項２】
前記検査対象基板に対する前記各第２検査用プローブのプロービング位置を補正するためのプロービング位置補正量を取得する補正量取得装置を備え、
前記回転式基板搬送装置は、前記補正量取得装置によってプロービング位置補正量を取得するための補正量取得位置に前記検査対象基板を搬送可能に構成され、
前記制御装置は、前記第２検査装置による前記検査対象基板の検査に先立って前記回転式基板搬送装置を制御して前記検査対象基板を前記補正量取得位置に搬送させると共に前記補正量取得装置を制御して前記プロービング位置補正量を取得させ、当該第２検査装置による当該検査対象基板の検査時に当該第２検査装置を制御して前記各第２検査用プローブのプロービング位置を当該プロービング位置補正量に応じて補正させる請求項１記載の基板検査システム。
【請求項３】
前記回転式基板搬送装置は、当該基板検査システムに対する前記検査対象基板の搬入および当該基板検査システムからの当該検査対象基板の搬出を行うための搬入搬出位置に当該検査対象基板を搬送可能に構成されている請求項１または２記載の基板検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象基板を電気的に検査する基板検査システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特開２０１０−４８５６５号公報には、プリント配線基板などの各種基板を電気的に検査可能に構成された基板検査装置が開示されている。この基板検査装置は、検査対象の基板を保持可能に構成されると共に基板移動部に取り付けられた基板保持部と、複数の検査用プローブが取り付けられると共に検査治具移動部に取り付けられた検査治具と、基板移動部および検査治具移動部の動作を制御する制御装置とを備えている。この基板検査装置による基板の検査に際しては、まず、基板移動部が基板保持部を所定の検査位置（接触位置）に移動させる。次いで、検査治具移動部が検査治具を基板保持部に向かって移動させる。これにより、基板保持部によって保持されている基板の各ランドに検査治具の各検査用プローブがそれぞれ接触させられる。
【０００３】
続いて、検査治具移動部が基板面に沿って検査治具を移動させることで各検査用プローブの先端部を各ランドの表面に擦り付ける。これにより、ランドの表面に形成された酸化膜が検査用プローブによってはぎ取られ、各検査用プローブが各ランドに対して直接的に接触した状態となる。この後、各検査用プローブを介して、測定用の電流を供給しつつ所定の一対の検査用プローブの間の電圧を測定することにより、各ランド間（配線パターン）の絶縁状態や導通状態が検査される。この場合、この基板検査装置では、各ランドに接触させた状態の各検査用プローブを切り替えて使用して各配線パターンを順に検査することができるため、例えば、各配線パターンの検査の都度、検査用プローブを移動させて対象とする配線パターンのランドにプロービングするタイプの検査装置（フライングプローブ式の検査装置）と比較して、１枚の基板を検査するのに要する検査用プローブの移動回数を少数回とすることが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−４８５６５号公報（第３−１４頁、第１−７Ｂ図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、従来の基板検査装置には、以下の問題点が存在する。すなわち、従来の基板検査装置では、複数の検査用プローブがプローブ保持部によって保持された検査治具を用いて基板を電気的に検査する構成が採用されている。これにより、上記したように、従来の基板検査装置では、１枚の基板を検査するのに要する検査用プローブの移動回数が少数回となり、短時間で検査を完了させることが可能となっている。しかしながら、従来の基板検査装置では、検査対象の基板における検査点（ランド）の位置に応じて各検査用プローブがプローブ保持部によって保持されて検査治具が構成されている。したがって、ファインピッチ化が進んでいる今日の基板を検査するための検査治具では、各検査用プローブが密集しており、各検査用プローブの間に浮遊容量が生じた状態となっている。
【０００６】
また、従来の基板検査装置では、各検査用プローブおよび検査部（測定用電流の供給や電圧の測定を実行する部位）を相互に接続する接続ケーブルの数も多数となっている。この場合、この種の基板検査装置では、検査治具移動部による検査用治具の移動に際して各接続ケーブルが邪魔とならないように、一般的には、複数本の接続ケーブルが１本に束ねられている。したがって、この種の基板検査装置では、束ねられた各接続ケーブルの間にも浮遊容量が生じた状態となっている。このため、従来の基板検査装置では、例えば、その静電容量が小さいコンデンサを含む電気回路の検査に際して、上記の各浮遊容量の影響を受けて、正常な電気回路を不良と検査したり、不良が生じている電気回路を正常と検査したりするおそれがある。
【０００７】
したがって、従来の基板検査装置では、上記の浮遊容量の影響を受けて誤って検査するおそれがある部位については、検査治具を使用した一連の検査に先立って、或いは、検査治具を使用した一連の検査が完了した後に、フライングプローブ式の検査装置によって別個に検査する必要が生じている。このため、従来の基板検査装置では、１枚の基板の検査に際して、従来の基板検査装置に対する基板の着脱作業と、フライングプローブ式の検査装置に対する基板の着脱作業とを別個に実施しなくてはならないため、これらの作業が煩雑であるだけでなく、着脱作業の回数が多いことに起因して、１枚の基板を検査するのに要する時間を短縮するのが困難となっているという問題点がある。
【０００８】
また、検査治具を用いて基板を検査する検査装置では、各検査用プローブのうちのいずれかに基板に対する接触不良が生じたときに、基板保持部から検査治具を一旦離間させた後に基板保持部に向かって検査治具を移動させる再プロービング処理が実行される。この際に、接触不良が生じていた検査用プローブについては、再プロービング処理の実行によって、例えば、接触不良の原因となっていた塵埃や酸化膜の影響が排除されて、規定されたランド等に対して正常にプロービングされる。しかしながら、最初のプロービング時において正常にプロービングされていた検査用プローブについては、再プロービング処理の実行によって、同一のプロービング位置（ランド等）に対して２回に亘って接触させられることとなる。このため、再プロービング処理を実行したときには、正常にプロービングされていた検査用プローブの接触位置においてランド等が大きく傷付くおそれがあり、この点を改善すべきとの要望がある。
【０００９】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、検査精度を低下させることなく、検査対象基板を短時間で容易に検査し得る基板検査システムを提供することを主目的とし、検査対象基板に与えるダメージを軽減し得る基板検査システムを提供することを他の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成すべく請求項１記載の基板検査システムは、検査対象基板を電気的に検査する基板検査システムであって、少なくとも一対の第１検査用プローブ、および当該各第１検査用プローブを別個独立して移動させてプロービング位置にプロービングさせる複数の第１移動機構を有して、前記各第１検査用プローブを用いて前記検査対象基板を検査する第１検査装置と、予め規定されたプロービング位置に応じた位置に複数の第２検査用プローブがプローブ保持部によって保持されたプローブユニット、および当該プローブユニットと前記検査対象基板との少なくとも一方を他方に向けて移動させることによって当該各第２検査用プローブを当該検査対象基板にプロービングさせる第２移動機構を有して、前記各第２検査用プローブを用いて前記検査対象基板を検査する第２検査装置と、前記検査対象基板を保持する基板保持部が設けられたインデックステーブル、および当該基板保持部によって保持されている当該検査対象基板を前記インデックステーブルを回転させて搬送する回転機構を有する回転式基板搬送装置と、前記回転式基板搬送装置を制御して前記検査対象基板を搬送させると共に、前記第１検査装置および前記第２検査装置を制御して当該検査対象基板を検査させる制御装置とを備え、前記回転式基板搬送装置は、前記第１検査装置によって前記検査対象基板が検査される第１検査位置、および当該第１検査位置とは異なる位置であって前記第２検査装置によって前記検査対象基板が検査される第２検査位置に前記検査対象基板を搬送可能に構成され、前記制御装置は、前記第２検査装置による前記検査対象基板の検査結果が不良のときに、前記回転式基板搬送装置を制御して当該不良と検査された検査対象基板を前記第２検査位置から前記第１検査位置に搬送させると共に、前記第１検査装置を制御して当該不良と検査された検査対象基板を対象とする不良時検査処理を実行させる。
【００１２】
また、請求項２記載の基板検査システムは、請求項１記載の基板検査システムにおいて、前記検査対象基板に対する前記各第２検査用プローブのプロービング位置を補正するためのプロービング位置補正量を取得する補正量取得装置を備え、前記回転式基板搬送装置は、前記補正量取得装置によってプロービング位置補正量を取得するための補正量取得位置に前記検査対象基板を搬送可能に構成され、前記制御装置は、前記第２検査装置による前記検査対象基板の検査に先立って前記回転式基板搬送装置を制御して前記検査対象基板を前記補正量取得位置に搬送させると共に前記補正量取得装置を制御して前記プロービング位置補正量を取得させ、当該第２検査装置による当該検査対象基板の検査時に当該第２検査装置を制御して前記各第２検査用プローブのプロービング位置を当該プロービング位置補正量に応じて補正させる。
【００１３】
さらに、請求項３記載の基板検査システムは、請求項１または２記載の基板検査システムにおいて、前記回転式基板搬送装置は、当該基板検査システムに対する前記検査対象基板の搬入および当該基板検査システムからの当該検査対象基板の搬出を行うための搬入搬出位置に当該検査対象基板を搬送可能に構成されている。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１記載の基板検査システムでは、少なくとも一対の第１検査用プローブを第１移動機構によって別個独立して移動させてプロービング位置にプロービングさせた状態において各第１検査用プローブを用いて検査対象基板を検査する第１検査装置と、プローブユニットにおける複数の第２検査用プローブと検査対象基板との少なくとも一方を第２移動機構によって他方に向けて移動させることによって各第２検査用プローブを検査対象基板にプロービングさせた状態において各第２検査用プローブを用いて検査対象基板を検査する第２検査装置とを備えると共に、制御装置が、回転式基板搬送装置を制御して、第１検査装置によって検査対象基板が検査される第１検査位置、および第２検査装置によって検査対象基板が検査される第２検査位置に検査対象基板を搬送させると共に、第１検査装置および第２検査装置を制御して検査対象基板を検査させる。
【００１５】
したがって、請求項１記載の基板検査システムによれば、各検査用プローブの間や接続ケーブルの間に生じる浮遊容量の影響を受けてその良否を誤って検査するおそれがある検査部位については、第１検査装置によって電気的に検査することで検査精度を十分に向上させることができると共に、浮遊容量の影響を受ける可能性が低い検査部位については、第２検査装置によって電気的に検査することで検査に要する時間を十分に短縮することができるだけでなく、治具型プローブ式検査装置およびフライングプローブ式検査装置を別個に用意して２つの検査装置によって検査対象基板を検査する構成とは異なり、基板検査システムに対する検査対象基板の着脱や、検査対象基板の搬入および搬出等をそれぞれ１回実行するだけで第１検査装置および第２検査装置による電気的検査を実行することができるため、検査対象基板を短時間で容易に検査することができる。
【００１６】
また、請求項１記載の基板検査システムによれば、制御装置が、第２検査装置による検査対象基板の検査結果が不良のときに、回転式基板搬送装置を制御して不良と検査された検査対象基板を第２検査位置から第１検査位置に搬送させると共に、第１検査装置を制御して不良と検査された検査対象基板を対象とする不良時検査処理を実行させることにより、実際には不良が生じていない検査対象基板であるにも拘わらず、各検査用プローブの間や接続ケーブルの間に生じる浮遊容量の影響を受けて、第２検査装置において不良が生じていると誤って検査された検査対象基板について、第１検査装置による再検査時に良品であると検査されるため、良品の検査対象基板が不良品であると誤って検査される事態を回避することができる。また、この基板検査システムによれば、第２検査装置による検査対象基板の検査時に各第２検査用プローブのうちのいずれかに接触不良が生じて検査結果が不良となったときに、第２検査装置において再プロービング処理を実行することなく、接触不良に起因して検査結果が不良となった検査点を第１検査装置によって再検査することができる。このため、第２検査装置による検査時に接触不良が生じていない検査点に対して第２検査用プローブが複数回に亘ってプロービングされてその検査点が大きく傷付く事態を回避することができる結果、検査対象基板に与えるダメージを十分に軽減することができる。
【００１７】
さらに、請求項２記載の基板検査システムによれば、制御装置が、第２検査装置による検査対象基板の検査に先立って回転式基板搬送装置を制御して補正量取得装置によってプロービング位置補正量を取得するための補正量取得位置に検査対象基板を搬送させると共に補正量取得装置を制御してプロービング位置補正量を取得させ、第２検査装置による検査対象基板の検査時に第２検査装置を制御して各第２検査用プローブのプロービング位置をプロービング位置補正量に応じて補正させることにより、ファインピッチ化が進む検査対象基板に対してプローブユニットの各第２検査用プローブを正確にプロービングさせることがきでる。
【００１８】
また、請求項３記載の基板検査システムによれば、基板検査システムに対する検査対象基板の搬入および基板検査システムからの検査対象基板の搬出を行うための搬入搬出位置に検査対象基板を搬送可能に回転式基板搬送装置を構成したことにより、第１検査装置や第２検査装置によって他の検査対象基板に対する電気的検査が実行されている間に、搬入搬出位置に搬送された検査対象基板を搬出し、未検査の検査対象基板を搬入搬出位置に搬入することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】基板検査システム１の構成を示す構成図である。
【図２】基板検査システム１の平面図である。
【図３】基板検査処理１００のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、基板検査システムの実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２１】
図１に示す基板検査システム１は、電子部品等が実装されていない基板、および電子部品が実装された基板などの各種の検査対象基板１０（図２参照）を電気的に検査可能に構成されたシステムであって、図１，２に示すように、搬入搬出装置２、フライングプローブ式検査装置３、アライメント情報取得装置４、治具型プローブ式検査装置５、回転式基板搬送装置６および制御装置７を備えて構成されている。搬入搬出装置２は、移動機構２１および保持機構２２を備えている。この搬入搬出装置２は、後述するように、制御装置７からの制御信号Ｓ２に従い、未検査基板載置位置Ｐ０に配設された載置台１１の上に載置されている検査対象基板１０を保持機構２２によって保持して移動機構２１によって搬入搬出位置Ｐ１に搬入すると共に、一連の検査が完了して搬入搬出位置Ｐ１に搬送された検査対象基板１０を保持機構２２によって保持して移動機構２１によって検査済み基板載置位置Ｐ５に配設されている載置台１２の上に搬出する。
【００２２】
フライングプローブ式検査装置３（以下、単に「検査装置３」ともいう）は、「第１検査装置」の一例であって、図２に示すように、移動機構３１ａ，３１ｂ、検査用プローブ３２ａ，３２ｂ（「第１検査用プローブ」の一例）、カメラ３３、および図示しない検査部を備えている。移動機構３１ａ，３１ｂは、それぞれ「第１移動機構」に相当し、移動機構３１ａには、検査用プローブ３２ａおよびカメラ３３が取り付けられると共に、移動機構３１ｂには、検査用プローブ３２ｂが取り付けられている。この検査装置３は、後述するように、制御装置７からの制御信号Ｓ３に従い、移動機構３１ａ，３１ｂが検査用プローブ３２ａ，３２ｂを別個独立して移動させて任意のプロービング位置にプロービングさせ、その状態において、検査部が、検査用プローブ３２ａ，３２ｂを用いて検査対象基板１０を電気的に検査し、その検査結果データＤ１を制御装置７に出力する。
【００２３】
アライメント情報取得装置４は、図２に示すように、移動機構４１、および移動機構４１に取り付けられたカメラ４２を備え、制御装置７と相俟って「補正量取得装置」を構成する。このアライメント情報取得装置４は、後述するように、制御装置７からの制御信号Ｓ４に従い、移動機構４１がカメラ４２を移動させると共に、カメラ４２が検査対象基板１０を撮像してアライメントデータＤ２として制御装置７に出力する。
【００２４】
治具型プローブ式検査装置５（以下、単に「検査装置５」ともいう）は、「第２検査装置」の一例であって、図２に示すように、移動機構５１と、移動機構５１に取り付けられた治具型のプローブユニット５２と、図示しない検査部とを備えている。移動機構５１は、「第２移動機構」に相当し、この検査装置５では、後述するように、制御装置７からの制御信号Ｓ５に従い、移動機構５１が検査対象基板１０に対する接離方向にプローブユニット５２を移動させる。なお、検査対象基板１０に対する接離方向にプローブユニット５２を移動させる構成に代えて、所定位置に固定されたプローブユニット５２に対する接離方向に検査対象基板１０を移動させる構成や、プローブユニット５２および検査対象基板１０の双方を移動させて互いに接離させる構成を採用することもできる。
【００２５】
プローブユニット５２は、予め規定されたプロービング位置に応じた位置に、プローブ保持部（図示せず）によって数十本から数百本の検査用プローブ（図示せず）が保持（植設）されて構成されている。この検査装置５は、上記したように、移動機構５１がプローブユニット５２を検査対象基板１０に向けて移動させて各検査用プローブを予め規定されたプロービング位置にプロービングさせた状態において、検査部が、プローブユニット５２の各検査用プローブを用いて検査対象基板１０を電気的に検査し、その検査結果データＤ４を制御装置７に出力する。
【００２６】
回転式基板搬送装置６は、図２に示すように、回転機構６１、および検査対象基板１０を保持する４つの基板保持部６３が設けられたインデックステーブル６２を備えて構成されている。この回転式基板搬送装置６では、後述するようにして、回転機構６１が制御装置７からの制御信号Ｓ６に従い、回転機構６１が回転軸６１ａを中心としてインデックステーブル６２を回転させることにより、基板保持部６３によって保持されている検査対象基板１０を搬送する。なお、この回転式基板搬送装置６では、一例として、上記の４つの基板保持部６３が９０°の等角度間隔でインデックステーブル６２に取り付けられている。
【００２７】
また、この基板検査システム１では、検査装置３，５による検査が未実施の検査対象基板１０が積載される未検査基板載置位置Ｐ０、前述した搬入搬出装置２によって検査対象基板１０が搬入・搬出される搬入搬出位置Ｐ１、検査装置３による電気的検査が実行される第１検査位置Ｐ２、アライメント情報取得装置４によるアライメントデータＤ２の取得が実行されるアライメント情報取得位置Ｐ３（「補正量取得位置」の一例）、検査装置５による電気的検査が実行される第２検査位置Ｐ４、および検査装置３，５による検査が完了した検査対象基板１０が積載される検査済み基板載置位置Ｐ５の６つの位置が規定されると共に、搬入搬出位置Ｐ１、第１検査位置Ｐ２、アライメント情報取得位置Ｐ３および第２検査位置Ｐ４が回転式基板搬送装置６の回転機構６１における回転軸６１ａを中心として９０°の等角度間隔で規定されている。
【００２８】
したがって、この基板検査システム１では、上記の回転式基板搬送装置６における回転機構６１がインデックステーブル６２を９０ずつ回転させることで、搬入搬出装置２によって搬入されて搬入搬出位置Ｐ１に位置している基板保持部６３によって保持された検査対象基板１０を第１検査位置Ｐ２に搬送し、第１検査位置Ｐ２に位置している基板保持部６３によって保持されている検査対象基板１０をアライメント情報取得位置Ｐ３に搬送し、アライメント情報取得位置Ｐ３に位置している基板保持部６３によって保持されている検査対象基板１０を第２検査位置Ｐ４に搬送し、第２検査位置Ｐ４に位置している基板保持部６３によって保持されている検査対象基板１０を搬入搬出位置Ｐ１に搬送することが可能となっている。
【００２９】
制御装置７は、基板検査システム１を総括的に制御する。具体的には、制御装置７は、図３に示す基板検査処理１００を実行して、搬入搬出装置２や回転式基板搬送装置６を制御して検査対象基板１０を搬送させると共に、検査装置３，５を制御して検査対象基板１０を検査させ、かつ、検査装置３を制御してアライメントデータＤ２を取得させる。また、制御装置７は、検査装置３，５によって不良と検査された検査対象基板１０を対象とする不良時検査処理を検査装置３に実行させる。また、制御装置７は、アライメント情報取得装置４から出力されたアライメントデータＤ２に基づき、検査装置５によるプローブユニット５２のプロービングに際してそのプロービング位置を補正するための補正量データＤ３（「プロービング位置補正量」の一例）を生成する。
【００３０】
次に、基板検査システム１による検査対象基板１０の検査方法について、添付図面を参照して説明する。なお、この基板検査システム１では、回転式基板搬送装置６の４つの基板保持部６３によって保持される４枚の検査対象基板１０を対象とする下記の一連の処理が並行して実行されるが、検査手順についての理解を容易とするために、１枚の検査対象基板１０を検査する例について以下に説明する。
【００３１】
この基板検査システム１では、図示しない操作部のスタートスイッチが操作されたときに、制御装置７が、図３に示す基板検査処理１００を開始する。この基板検査処理１００では、制御装置７は、まず、搬入搬出装置２に対して制御信号Ｓ２を出力することにより、未検査基板載置位置Ｐ０から搬入搬出位置Ｐ１に検査対象基板１０を搬入させる（ステップ１０１）。この際に、搬入搬出装置２では、移動機構２１が保持機構２２を未検査基板載置位置Ｐ０に移動させ、保持機構２２が未検査基板載置位置Ｐ０において載置台１１上の検査対象基板１０を保持する。次いで、移動機構２１が保持機構２２を搬入搬出位置Ｐ１に移動させ、保持機構２２が搬入搬出位置Ｐ１において検査対象基板１０の保持を解除する。これにより、検査対象基板１０の搬入が完了する。
【００３２】
次いで、制御装置７は、回転式基板搬送装置６に制御信号Ｓ６を出力することにより、搬入搬出位置Ｐ１から第１検査位置Ｐ２に検査対象基板１０を搬送させる（ステップ１０２）。この際に、回転式基板搬送装置６では、制御装置７からの制御信号Ｓ６に応じて、４つの基板保持部６３のうちの搬入搬出位置Ｐ１に位置している基板保持部６３が検査対象基板１０を保持すると共に、回転機構６１がインデックステーブル６２を９０°回転させることにより、検査対象基板１０を保持している基板保持部６３を搬入搬出位置Ｐ１から第１検査位置Ｐ２に移動させる。これにより、検査対象基板１０の搬送が完了する。
【００３３】
続いて、制御装置７は、検査装置３に制御信号Ｓ３を出力することにより、検査対象基板１０に対する電気的検査を実行させる（ステップ１０３）。なお、この基板検査システム１では、検査装置５によって検査した場合に、プローブユニット５２における各検査用プローブ間や、接続ケーブル間に生じる浮遊容量の存在に起因して良否を誤って検査するおそれがある検査部位をこの検査装置３によって検査する構成が採用されている。具体的には、この検査装置３では、まず、移動機構３１ａが、検査対象基板１０における図示しない基準位置特定用マークの上方にカメラ３３を移動させ、カメラ３３が、検査対象基板１０を撮像し、検査部が、カメラ３３の撮像データに基づいて、基板保持部６３による検査対象基板１０の保持位置のずれ量を検出する。
【００３４】
次いで、移動機構３１ａ，３１ｂが検査用プローブ３２ａ，３２ｂを別個独立して移動させて任意のプロービング位置にプロービングさせる。この際には、カメラ３３の撮像データに基づいて検出された上記のずれ量に応じてプロービング位置が補正される。続いて、検査部が、検査用プローブ３２ａ，３２ｂを介して配線パターンや実装部品等の良否を電気的に検査し、その検査結果を検査結果データＤ１として制御装置７に出力する。また、制御装置７は、検査装置３から出力された検査結果データＤ１を、その検査対象基板１０に関連付けて記憶する。
【００３５】
続いて、制御装置７は、回転式基板搬送装置６に制御信号Ｓ６を出力することにより、第１検査位置Ｐ２からアライメント情報取得位置Ｐ３に検査対象基板１０を搬送させる（ステップ１０４）。この際に、回転式基板搬送装置６では、回転機構６１がインデックステーブル６２を９０°回転させることにより、検査対象基板１０を保持している基板保持部６３を第１検査位置Ｐ２からアライメント情報取得位置Ｐ３に移動させる。これにより、検査対象基板１０の搬送が完了する。
【００３６】
次いで、制御装置７は、アライメント情報取得装置４に制御信号Ｓ４を出力することにより、アライメント情報を取得させる（ステップ１０５）。この際に、アライメント情報取得装置４では、移動機構４１が、検査対象基板１０における図示しない基準位置特定用マークの上方にカメラ４２を移動させ、カメラ４２が、検査対象基板１０を撮像し、その撮像データをアライメントデータＤ２（アライメント情報）として制御装置７に出力する。また、制御装置７は、アライメント情報取得装置４から出力されたアライメントデータＤ２に基づき、補正量データＤ３を生成して記憶する。
【００３７】
続いて、制御装置７は、回転式基板搬送装置６に制御信号Ｓ６を出力することにより、アライメント情報取得位置Ｐ３から第２検査位置Ｐ４に検査対象基板１０を搬送させる（ステップ１０６）。この際に、回転式基板搬送装置６では、回転機構６１がインデックステーブル６２を９０°回転させることにより、検査対象基板１０を保持している基板保持部６３をアライメント情報取得位置Ｐ３から第２検査位置Ｐ４に移動させる。これにより、検査対象基板１０の搬送が完了する。
【００３８】
次いで、制御装置７は、検査装置５に制御信号Ｓ５および補正量データＤ３を出力することにより、検査対象基板１０に対する電気的検査を実行させる（ステップ１０７）。この際に、検査装置５では、まず、移動機構５１が、プローブユニット５２を検査対象基板１０に向けて移動させることにより、基板保持部６３によって保持されている検査対象基板１０に各検査用プローブをプロービングさせる。この際には、制御装置７から出力された補正量データＤ３に応じて各検査用プローブのプロービング位置が補正される。この場合、この基板検査システム１では、プローブユニット５２の各検査用プローブのうちのいずれかに接触不良が生じたときに、検査対象基板１０に対する再プロービング処理を実行することなく、接触不良が生じた検査用プローブのプロービング位置（検査点）を検査結果データＤ４に含ませて制御装置７に報知することにより、後に、検査装置３によって再検査する構成が採用されている。
【００３９】
一方、プローブユニット５２の各検査用プローブに接触不良が生じていないときには、検査部が、各検査用プローブを介して配線パターンや実装部品等の良否を電気的に検査し、その検査結果を検査結果データＤ４として制御装置７に出力する。また、各検査用プローブのうちのいずれかに接触不良が生じていたときには、検査部は、接触不良が生じていない検査用プローブだけを使用して配線パターンや実装部品等の良否を電気的に検査し、その検査結果を検査結果データＤ４として制御装置７に出力する。この際に、検査部は、接触不良が生じていた検査用プローブの検査点を不良として検査結果データＤ４を出力する。これに応じて、制御装置７は、検査装置５から出力された検査結果データＤ４を、その検査対象基板１０に関連付けて記憶する。
【００４０】
続いて、制御装置７は、検査装置３から出力された検査結果データＤ１、および検査装置５から出力された検査結果データＤ４に基づき、第２検査位置Ｐ４に位置している検査対象基板１０に不良と検査された箇所が存在するか否かを判別する（ステップ１０８）。この際に、すべての検査箇所について良好であったと判別したときには、制御装置７は、回転式基板搬送装置６に制御信号Ｓ６を出力することにより、第２検査位置Ｐ４から搬入搬出位置Ｐ１に検査対象基板１０を搬送させる（ステップ１０９）。この際に、回転式基板搬送装置６では、回転機構６１がインデックステーブル６２を９０°回転させることにより、検査対象基板１０を保持している基板保持部６３を第２検査位置Ｐ４から搬入搬出位置Ｐ１に移動させる。これにより、検査対象基板１０の搬送が完了する。
【００４１】
次いで、制御装置７は、搬入搬出装置２に対して制御信号Ｓ２を出力することにより、搬入搬出位置Ｐ１に搬送された検査対象基板１０を検査済み基板載置位置Ｐ５に搬出させる（ステップ１１０）。この際に、搬入搬出装置２では、移動機構２１が保持機構２２を搬入搬出位置Ｐ１に移動させ、保持機構２２が搬入搬出位置Ｐ１において検査対象基板１０を保持する。次いで、移動機構２１が保持機構２２を検査済み基板載置位置Ｐ５に移動させ、保持機構２２が検査済み基板載置位置Ｐ５において検査対象基板１０の保持を解除して載置台１２上に載置する。これにより、検査対象基板１０の搬出が完了し、１枚の検査対象基板１０についての基板検査処理１００が終了する。
【００４２】
一方、検査結果データＤ１，Ｄ４に基づき、第２検査位置Ｐ４に位置している検査対象基板１０に不良と検査された箇所が存在すると判別したときには（ステップ１０８）、制御装置７は、回転式基板搬送装置６に制御信号Ｓ６を出力することにより、第２検査位置Ｐ４から、搬入搬出位置Ｐ１を介して第１検査位置Ｐ２に検査対象基板１０を搬送させる（ステップ１１１）。この際に、回転式基板搬送装置６では、回転機構６１が、インデックステーブル６２を９０°回転させることにより、検査対象基板１０を保持している基板保持部６３を第２検査位置Ｐ４から搬入搬出位置Ｐ１に移動させた後に、インデックステーブル６２をさらに９０°回転させることにより、検査対象基板１０を保持している基板保持部６３を搬入搬出位置Ｐ１から第１検査位置Ｐ２に移動させる。これにより、検査対象基板１０の搬送が完了する。
【００４３】
続いて、制御装置７は、検査装置３に制御信号Ｓ３を出力することにより、検査対象基板１０に対する再検査（「不良時検査処理」の一例）を実行させる（ステップ１１２）。具体的には、制御装置７は、検査結果データＤ１，Ｄ４に基づいて不良と検査された検査箇所を特定し、特定した検査箇所を再検査するように制御信号Ｓ３を出力する。これに応じて、検査装置３では、移動機構３１ａ，３１ｂが、検査用プローブ３２ａ，３２ｂを別個独立して移動させて再検査すべき検査箇所にプロービングさせる。続いて、検査部が、検査用プローブ３２ａ，３２ｂを介して配線パターンや実装部品等の良否を電気的に検査し、その検査結果を検査結果データＤ１として制御装置７に出力する。これにより、検査対象基板１０についての再検査が完了する。
【００４４】
次いで、制御装置７は、回転式基板搬送装置６に制御信号Ｓ６を出力することにより、第１検査位置Ｐ２から、アライメント情報取得位置Ｐ３および第２検査位置Ｐ４を介して搬入搬出位置Ｐ１に検査対象基板１０を搬送させる（ステップ１１３）。この際に、回転式基板搬送装置６では、回転機構６１がインデックステーブル６２を９０°回転させることにより、検査対象基板１０を保持している基板保持部６３を第１検査位置Ｐ２からアライメント情報取得位置Ｐ３に移動させた後に、インデックステーブル６２をさらに９０°回転させることにより、検査対象基板１０を保持している基板保持部６３をアライメント情報取得位置Ｐ３から第２検査位置Ｐ４に移動させ、インデックステーブル６２をさらに９０°回転させることにより、検査対象基板１０を保持している基板保持部６３を第２検査位置Ｐ４から搬入搬出位置Ｐ１に移動させる。これにより、検査対象基板１０の搬送が完了する。
【００４５】
この後、制御装置７は、搬入搬出装置２に制御信号Ｓ２を出力することにより、再検査が完了した検査対象基板１０を搬入搬出位置Ｐ１から検査済み基板載置位置Ｐ５に搬出させる（ステップ１１０）。以上により、１枚の検査対象基板１０についての基板検査処理１００が終了する。
【００４６】
このように、この基板検査システム１では、一対の検査用プローブ３２ａ，３２ｂを移動機構３１ａ，３１ｂによって別個独立して移動させてプロービング位置にプロービングさせた状態において各検査用プローブ３２ａ，３２ｂを用いて検査対象基板１０を検査するフライングプローブ式検査装置３と、プローブユニット５２における複数の検査用プローブと検査対象基板１０との少なくとも一方（この例では、プローブユニット５２）を移動機構５１によって他方（この例では、検査対象基板１０）に向けて移動させることによって各検査用プローブを検査対象基板１０にプロービングさせた状態において各検査用プローブを用いて検査対象基板１０を検査する治具型プローブ式検査装置５とを備えると共に、制御装置７が、回転式基板搬送装置６を制御して、フライングプローブ式検査装置３によって検査対象基板１０が検査される第１検査位置Ｐ２、および治具型プローブ式検査装置５によって検査対象基板１０が検査される第２検査位置Ｐ４に検査対象基板１０を搬送させると共に、両検査装置３，５を制御して検査対象基板１０を検査させる。
【００４７】
したがって、この基板検査システム１によれば、各検査用プローブの間や接続ケーブルの間に生じる浮遊容量の影響を受けてその良否を誤って検査するおそれがある検査部位については、検査装置３によって電気的に検査することで検査精度を十分に向上させることができると共に、浮遊容量の影響を受ける可能性が低い検査部位については、検査装置５によって電気的に検査することで検査に要する時間を十分に短縮することができるだけでなく、治具型プローブ式検査装置およびフライングプローブ式検査装置を別個に用意して２つの検査装置によって検査対象基板１０を検査する構成とは異なり、基板検査システム１に対する検査対象基板１０の着脱（基板保持部６３による保持および保持の解除）や、検査対象基板１０の搬入および搬出等をそれぞれ１回実行するだけで検査装置３，５による電気的検査を実行することができるため、検査対象基板１０を短時間で容易に検査することができる。また、この基板検査システム１によれば、検査装置５による検査対象基板１０の検査時に各検査用プローブのうちのいずれかに接触不良が生じて検査結果が不良となったときに、検査装置５において再プロービング処理を実行することなく、接触不良に起因して検査結果が不良となった検査点を検査装置３によって再検査することができる。このため、検査装置５による検査時に接触不良が生じていない検査点に対して検査用プローブが複数回に亘ってプロービングされてその検査点が大きく傷付く事態を回避することができる結果、検査対象基板１０に与えるダメージを十分に軽減することができる。
【００４８】
また、この基板検査システム１によれば、制御装置７が、治具型プローブ式検査装置５による検査対象基板１０の検査結果が不良のときに、回転式基板搬送装置６を制御して不良と検査された検査対象基板１０を第２検査位置Ｐ４から第１検査位置Ｐ２に搬送させると共に、フライングプローブ式検査装置３を制御して不良と検査された検査対象基板１０を対象とする不良時検査処理（基板検査処理１００におけるステップ１１２）を実行させることにより、実際には不良が生じていない検査対象基板１０であるにも拘わらず、各検査用プローブの間や接続ケーブルの間に生じる浮遊容量の影響を受けて、検査装置５において不良が生じていると誤って検査された検査対象基板１０について、検査装置３による再検査時に良品であると検査されるため、良品の検査対象基板１０が不良品であると誤って検査される事態を回避することができる。
【００４９】
さらに、この基板検査システム１によれば、制御装置７が、治具型プローブ式検査装置５による検査対象基板１０の検査に先立って回転式基板搬送装置６を制御してアライメント情報取得装置４によってアライメントデータＤ２を取得するためのアライメント情報取得位置Ｐ３に検査対象基板１０を搬送させると共にアライメント情報取得装置４を制御してアライメントデータＤ２を取得させ、治具型プローブ式検査装置５による検査対象基板１０の検査時に治具型プローブ式検査装置５を制御して各検査用プローブのプロービング位置をアライメントデータＤ２に応じて補正させることにより、ファインピッチ化が進む検査対象基板１０に対してプローブユニット５２の各検査用プローブを正確にプロービングさせることがきでる。
【００５０】
また、この基板検査システム１によれば、この基板検査システム１に対する検査対象基板１０の搬入、およびこの基板検査システム１からの検査対象基板１０の搬出を行うための搬入搬出位置Ｐ１に検査対象基板１０を搬送可能に回転式基板搬送装置６を構成したことにより、検査装置３や検査装置５によって他の検査対象基板１０に対する電気的検査が実行されている間に、搬入搬出位置Ｐ１に搬送された検査対象基板１０を搬出し、未検査の検査対象基板１０を搬入搬出位置Ｐ１に搬入することができる。
【００５１】
なお、基板検査システムの構成は、上記の構成および検査方法に限定されない。例えば、検査装置３による電気的検査を実行した後に、アライメント情報取得装置４によるアライメントデータＤ２の取得、および検査装置５による電気的検査を実行する構成の基板検査システム１を例に挙げて説明したが、例えば、アライメント情報取得装置４によるアライメントデータＤ２の取得、および検査装置５による電気的検査を実行した後に、検査装置３による電気的検査を実行する構成を採用してもよい。このような構成を採用する場合には、一例として、上記の基板検査システム１における第１検査位置Ｐ２に対応する位置にアライメント情報取得装置４を配設し、基板検査システム１におけるアライメント情報取得位置Ｐ３に対応する位置に検査装置５を配設し、基板検査システム１における第２検査位置Ｐ４に対応する位置に検査装置３を配設すればよい。このような構成を採用した場合においても、上記の基板検査システム１と同様の効果を奏することができる。
【００５２】
また、搬入搬出位置Ｐ１に検査対象基板１０を搬入すると共に搬入搬出位置Ｐ１から検査対象基板１０を搬出する構成の基板検査システム１を例に挙げて説明したが、基板検査システムに対して検査対象基板１０を搬入する搬入位置、および基板検査システムから検査対象基板１０を搬出する搬出位置を別個に規定することもできる。この場合、上記の基板検査システム１のように、第１検査位置Ｐ２、アライメント情報取得位置Ｐ３および第２検査位置Ｐ４の他に搬入位置および搬出位置を規定する場合には、インデックステーブル６２に対して５つの基板保持部６３を７２°の等角度間隔で配設すればよい。このような構成を採用した場合においても、上記の基板検査システム１と同様の効果を奏することができる。
【００５３】
さらに、上記の基板検査システム１におけるアライメント情報取得装置４によって取得したアライメントデータＤ２に基づいて、検査装置５による電気的検査時におけるプローブユニット５２（各検査用プローブ）のプロービング位置の補正だけでなく、検査装置３による電気的検査時における検査用プローブ３２ａ，３２ｂのプロービング位置の補正を行うように構成することもできる。このような構成を採用する場合には、上記の基板検査システム１におけるアライメント情報取得装置４と検査装置３とを入れ替えて配設すればよい。また、アライメント情報取得装置４によってアライメントデータＤ２を取得する構成に代えて、検査装置３におけるカメラ３３によって撮像した撮像データをアライメントデータＤ２として利用する構成を採用することもできる。このような構成を採用した場合においても、上記の基板検査システム１と同様の効果を奏することができると共に、カメラ３３、またはアライメント情報取得装置４が不要となる分だけ、基板検査システムの製造コストを低減することができる。
【００５４】
また、上記の基板検査システム１では、検査装置３，５による検査結果を問わず、検査が終了した検査対象基板１０を搬入搬出位置Ｐ１から検査済み基板載置位置Ｐ５に搬出する構成を採用しているが、検査結果が良好であった検査対象基板１０を搬出する検査済み基板載置位置と、検査結果が不良であった検査対象基板１０を搬出する検査済み基板載置位置とを別個に規定して、検査結果に応じて検査対象基板１０を搬出する位置を変更する構成を採用することもできる。加えて、上記の基板検査システム１における搬入搬出装置２に代えて、手作業によって検査対象基板１０を搬入・搬出する構成を採用することもできる。このような構成を採用した場合においても、上記の基板検査システム１と同様の効果を奏することができる。
【符号の説明】
【００５５】
１  基板検査システム
２  搬入搬出装置
３  フライングプローブ式検査装置
４  アライメント情報取得装置
５  治具型プローブ式検査装置
６  回転式基板搬送装置
７  制御装置
１０  検査対象基板
２１，３１ａ，３１ｂ，４１，５１  移動機構
２２  保持機構
３２ａ，３２ｂ  検査用プローブ
３３，４２  カメラ
５２  プローブユニット
６１  回転機構
６１ａ  回転軸
６２  インデックステーブル
６３  基板保持部
１００  基板検査処理
Ｐ０  未検査基板載置位置
Ｐ１  搬入搬出位置
Ｐ２  第１検査位置
Ｐ３  アライメント情報取得位置
Ｐ４  第２検査位置
Ｐ５  検査済み基板載置位置
Ｓ２〜Ｓ６  制御信号
Ｄ１，Ｄ４  検査結果データ
Ｄ２  アライメントデータ
Ｄ３  補正量データ
【図１】
0005461268.tif 000002
【図２】
0005461268.tif 000003
【図３】
0005461268.tif 000004