(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アンテナと、
アンテナから信号を送信する送信回路と、
アンテナと送信回路を気密に一括収容したタグ体と、
タグ体から露出した第１感応部と、
第１感応部に覆われた第２感応部と、
第１感応部を外気と非接触状態に維持する取り外し可能な封止体と、を備え、
第２感応部と外気との接触は第１感応部によって阻止されており、
第１感応部及び第２感応部を検知対象ガスとの反応によりその電気抵抗率が変化する物質で形成し、
第１感応部及び第２感応部の電気抵抗率の変化に応じた信号がアンテナから送信されるように構成し、
封止体は、タグ体の表面に第１感応部を覆うようにして密着させて貼り付けられた剥離シートであり、
第１感応部は、剥離シートがはぎ取られているか否かを判別するために設けられた感応部である、無線タグ型ガスセンサ。
【請求項２】
第１のアンテナと、
第２のアンテナと、
第１及び第２のアンテナから識別信号を送信する送信回路と、
第１及び第２のアンテナと送信回路とを気密に一括収容したタグ体と、
タグ体から露出した第１感応部と、
第１感応部に覆われた第２感応部と、
第１感応部を外気と非接触状態に維持する取り外し可能な封止体と、を備え、
第２感応部と外気との接触は第１感応部によって阻止されており、
第１感応部及び第２感応部を検知対象ガスとの反応によりその電気抵抗率が変化する物質で形成し、
第１感応部の電気抵抗率が変化することにより第１のアンテナから送信される信号が変化し、
第２感応部の電気抵抗率が変化することにより第２のアンテナから送信される信号が変化するように構成し、
封止体は、タグ体の表面に第１感応部を覆うようにして密着させて貼り付けられた剥離シートであり、
第１感応部は、剥離シートがはぎ取られているか否かを判別するために設けられた感応部である、無線タグ型ガスセンサ。
【請求項３】
第１感応部は、第１のアンテナの回路の途中に設けられた一対の電極間に掛け渡して設けられることにより、第１のアンテナの回路の一部をなし、
第２感応部は、第２のアンテナの回路の途中に設けられた一対の電極間に掛け渡して設けられることにより、第２のアンテナの回路の一部をなしている請求項２の無線タグ型ガスセンサ。
【請求項４】
第１及び第２感応部を鉄薄膜で構成した請求項１乃至３の何れかの無線タグ型ガスセンサ。
【請求項５】
第１及び第２感応部を水素を吸蔵することにより電気抵抗率が低下する水素感応膜で構成した請求項１乃至３の何れかの無線タグ型ガスセンサ。
【請求項６】
第１及び第２感応部を酸化スズで構成した請求項１乃至３の何れかの無線タグ型ガスセンサ。
【請求項７】
被貼着物に貼り付けるための粘着剤層と、粘着剤層を覆う剥離シートとを備えた請求項１乃至６の何れかの無線タグ型ガスセンサ。
【請求項８】
アンテナと、
アンテナから信号を送信する送信回路と、
アンテナと送信回路を気密に一括収容したタグ体と、
タグ体から露出した第１感応部と、
第１感応部に覆われた第２感応部と、
第１感応部を外気と非接触状態に維持する取り外し可能な封止体と、を備え、
第２感応部と外気との接触は第１感応部によって阻止されており、
第１感応部及び第２感応部を検知対象ガスとの反応によりその電気抵抗率が変化する物質で形成し、
第１感応部及び第２感応部の電気抵抗率の変化に応じた信号がアンテナから送信されるように構成し、
封止体は、タグ体の表面に第１感応部を覆うようにして密着させて貼り付けられた剥離シートであり、
第１感応部は、剥離シートがはぎ取られているか否かを判別するために設けられた感応部である、ＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【請求項９】
一つ又は複数の電源プラグを挿抜自在に接続可能なコンセント装置であって、
アンテナと、
アンテナから信号を送信する送信回路と、
アンテナと送信回路を気密に一括収容したタグ体と、
タグ体から露出した第１感応部と、
第１感応部に覆われた第２感応部と、
第１感応部を外気と非接触状態に維持する取り外し可能な封止体と、を備え、
第２感応部と外気との接触は第１感応部によって阻止されており、
第１感応部及び第２感応部を検知対象ガスとの反応によりその電気抵抗率が変化する物質で形成し、
第１感応部及び第２感応部の電気抵抗率の変化に応じた信号がアンテナから送信されるように構成し、
封止体は、タグ体の表面に第１感応部を覆うようにして密着させて貼り付けられた剥離シートであり、
第１感応部は、剥離シートがはぎ取られているか否かを判別するために設けられた感応部である、ＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【請求項１０】
導電体の建造物構造体、導電体の流体物供給管或いは導電体の電気供給管に高周波電流を誘起し、これら被誘起体を伝播路として作用させて電磁界を発生させる電磁界発生装置と、
建造物の各所に設置された無線タグと、
前記無線タグに記憶されている情報を読み取る読取装置と、を備え、
前記無線タグと前記読取装置との通信を前記電磁界を利用して行うように構成した施設内監視システムにおいて、
前記無線タグとして、請求項１乃至７の何れかに記載の無線タグ型ガスセンサを用いたことを特徴とする施設内監視システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はセンサ機能を備えた無線タグすなわち無線タグ型センサに関する。この無線タグ型センサには、塵や埃、花粉など粒子状物質を検知する機能を備えた無線タグ、油分を検出する機能を備えた無線タグ、特定のガスを検知する機能を備えた無線タグが含まれる。
【背景技術】
【０００２】
センサ機能を備えた無線タグとして、雨検知用の無線タグが知られている。その一つとして、雨滴を受ける位置に二つの電極を互いに離間させて配置しておき、雨滴によって両電極間が短絡することによりアンテナの回路が形成され、そのアンテナによる受信電力により発信回路を作動させるように構成したものがある（特許文献１）。また、両電極間に雨滴（水滴）が付着したことによる両電極間の静電容量の変化を検知することで降雨を検知する技術も知られている（特許文献２）。さらに、油分を検出する技術も知られている（特許文献３、特許文献４、特許文献５、等）。特定のガスを検出する技術も知られている（特許文献６、特許文献７、特許文献８、特許文献９、等）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１３４１３２号公報
【特許文献２】特開平９−６１３９４号公報
【特許文献３】特開２００６−０４７０３０号公報
【特許文献４】特表２００６−５０１３４４号公報
【特許文献５】特表２００５−５０８６６０号公報
【特許文献６】特開２００４−２８８３８号公報
【特許文献７】特開２００６−１１２８９４号公報
【特許文献８】特開２００５−３３１３６４号公報
【特許文献９】特開２０００−１１１５０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したように、雨滴（水滴）を検知する機能を備えた無線タグは知られている。油分を検出する技術は周知である。
【０００５】
しかし、塵や埃など粒子状物質を検知する機能を備えた無線タグは知られていない。油分を検知する機能を備えた無線タグは知られていない。特定のガスを検出する機能を備えた無線タグは知られていない。
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、塵や埃など粒子状物質を検知する機能を備えた新規な無線タグ（すなわち無線タグ型粉塵センサ）を提供すること、更には、油分を検出する機能を備えた無線タグ（すなわち無線タグ型油センサ）及び特定のガスを検知する機能を備えた無線タグ（すなわち無線タグ型ガスセンサ）を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のセンサには、以下のものが含まれる。
［導体微粒子検出用センサ］
構成１−１：アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容したタグ体と、タグ体の表面の一部であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域を挟んで対向配置（粒子検出領域を両者の間に介在させて互いに離間させて配置）された一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着（単に接触している状態を含む。以下同様。）した検知対象粒子によって両電極間が短絡（導通、電気的に接続）することによりアンテナの回路又はアンテナと送信回路とを接続する回路が形成されるように構成した無線タグ型粉塵センサ。
構成１−２：アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容したタグ体と、タグ体の表面の一部に形成された凹部の内面又は内部空間であって検知対象粒子が付着又は堆積する粒子検出領域と、粒子検出領域を挟んで対向配置された一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間が短絡することによりアンテナの回路が形成されるように構成した無線タグ型粉塵センサ。
構成１−３：構成１−２を前提にして、粒子検出領域を挟んで対向配置された対をなす電極を凹部の深さ方向に離間させて複数対配置するとともにアンテナを複数備え、複数対の電極間が順次短絡することにより複数のアンテナの回路が順次形成されるように構成した無線タグ型粉塵センサ。
構成１−４：構成１−２を前提にして、対をなす電極を凹部の深さ方向に離間させて複数対配置し、短絡した電極対に応じて又は短絡した電極対の数に応じて異なる信号を送信するように構成した無線タグ型粉塵センサ。
構成１−５：構成１−１〜１−４のいずれかを前提にして、両電極相互の間隔が、両電極間に存在する粒子検出領域に検知対象粒子が複数個付着したときに両電極間が短絡する大きさに選定されている無線タグ型粉塵センサ。
【０００８】
［誘電体粒子検出用センサ］
構成２−１：アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容したタグ体と、タグ体の表面の一部であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域に互いの間隙が重なるようにして互いに並行に設けられた一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間の静電容量が変化することにより、アンテナから送信される信号が変化（データ内容或いは周波数が変化）するように構成した無線タグ型粉塵センサ。
構成２−２：アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容したタグ体と、タグ体の表面の一部に形成された凹部の内面又は内部空間であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域を挟んで対向配置された一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間の静電容量が変化することにより、アンテナから送信される信号が変化（データ内容或いは周波数が変化）するように構成した無線タグ型粉塵センサ。
構成２−３：構成２−１又は２−２を前提にして、両電極相互の間隔は、両電極間に存在する粒子検出領域に検知対象粒子が複数個付着し得る大きさに選定されている。
構成２−４：構成２−１〜２−３を前提にして、電極が、タグ体を構成する樹脂で覆われている無線タグ型粉塵センサ。
【０００９】
［導体微粒子・誘電体粒子検出用センサ（明所用）］
構成３−１：アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容したタグ体と、タグ体の表面の検知対象粒子が付着する位置に形成された受光窓と、受光窓を通して入射する光を検出する受光素子と、を備え、受光素子の出力に応じてアンテナから送信される信号が変化（内容（値）、強度又は周波数が変化）するように構成した無線タグ型粉塵センサ。
構成３−２：構成３−１を前提にして、受光素子が、フォトダイオード又は太陽電池である無線タグ型粉塵センサ。
【００１０】
［導体微粒子・誘電体粒子検出用センサ（暗所用）］
構成４−１：アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容したタグ体と、タグ体の検知対象粒子が付着する位置に固定して設けられ且つ所定の出力で発光する発光素子と、タグ体の検知対象粒子が付着する位置に固定して設けられ且つ発光素子からの光を受光する受光素子と、を備え、受光素子の出力に応じてアンテナから送信される信号の強度又は周波数が変化するように構成した無線タグ型粉塵センサ。
【００１１】
［無線タグ型油センサ］
構成５−１：アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容したタグ体と、タグ体の表面の一部に形成された凹部の内面又は内部空間であって油分が浸入する油分検出領域と、油分検出領域を挟んで対向配置された電極の対と、を備え、油分検出領域に浸入した油分によって電極間の静電容量が順次変化することにより、アンテナから送信される信号が変化（内容（値）、強度又は周波数が変化）するように構成した無線タグ型油センサ。
構成５−２：構成５−１を前提にして、電極は、タグ体を構成する樹脂で覆われている無線タグ型油センサ。
【００１２】
［無線タグ型ガスセンサ］
構成６−１：アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を気密に一括収容したタグ体と、タグ体から露出した感応部と、を備え、前記感応部を検知対象ガスとの反応によりその電気抵抗率が変化する物質で形成し、前記感応部の電気抵抗率が変化することにより、前記アンテナから送信される信号が変化するように構成した無線タグ型ガスセンサ。
構成６−２：構成６−１を前提にして、前記感応部を外気と非接触状態に維持する封止体を取り外し可能に備えた。
構成６−３：構成６−２を前提にして、前記封止体は、前記タグ体の表面に前記感応部を覆うようにして密着させて貼り付けられた剥離シートである無線タグ型ガスセンサ。
構成６−４：構成６−１〜６−３のいずれかを前提にして、前記感応部の電気抵抗率が増大することにより前記アンテナ又は前記送信回路が機能し得ない状態になるように構成した無線タグ型ガスセンサ。
構成６−５：構成６−１〜６−３のいずれかを前提にして、前記感応部の電気抵抗率が低下することにより前記アンテナ又は前記送信回路が機能し得る状態になるように構成した無線タグ型ガスセンサ。
構成６−６：構成６−４を前提にして、前記感応部をＦｅ（鉄）の薄膜で構成した無線タグ型ガスセンサ。
構成６−７：構成６−５を前提にして、前記感応部が水素を吸蔵することにより電気抵抗率が低下する水素感応膜で構成されている無線タグ型ガスセンサ。水素感応膜として、配位高分子金属錯体を用いた無線タグ型ガスセンサ。水素感応膜として、酸化タングステンを主成分とする結晶微粒子の集合体で構成され、結晶微粒子酸化タングステンの表面に酸化状態の触媒金属を含有する膜を用いた無線タグ型ガスセンサ。
構成６−８：構成６−５を前提にして、前記感応部を酸化スズで構成した無線タグ型ガスセンサ。
【００１３】
［貼着式センサ］
構成７：構成１〜８のうちのいずれかを前提にして、被貼着物に貼り付けるための粘着剤層と、粘着剤層を覆う剥離シートとを備えた無線タグ型センサ。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の無線タグ型粉塵センサによれば、このセンサからの信号に基づいて粒子状物質を検出することができる。
【００１５】
本発明の無線タグ型油センサによれば、このセンサからの信号に基づいて油分を検出することができる。
【００１６】
本発明の無線タグ型ガスセンサによれば、このセンサからの信号に基づいて特定のガスを検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】粉塵センサの形態例を示す斜視図
【図２】図１に示す粉塵センサの平面図
【図３】図１に示す粉塵センサの側面図
【図４】図１に示す粉塵センサの下面図
【図５】図１に示す粉塵センサの要部断面図
【図６】図１に示す粉塵センサの回路図
【図７】図１〜図６に示す粉塵センサの両電極が短絡した状態を例示する要部断面図
【図８】粉塵センサの別の形態例を示す斜視図
【図９】図８に示す粉塵センサの平面図
【図１０】図８に示す粉塵センサの側面図
【図１１】図８に示す粉塵センサの下面図
【図１２】図８に示す粉塵センサの要部断面図
【図１３】図８に示す粉塵センサの回路図
【図１４】図８〜図１３に示す粉塵センサの両電極が短絡した状態を例示する要部断面図
【図１５】粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図
【図１６】図１５に示す粉塵センサの平面図
【図１７】図１５に示す粉塵センサの側面図
【図１８】図１５に示す粉塵センサの下面図
【図１９】図１５に示す粉塵センサの要部断面図
【図２０】図１５に示す粉塵センサの回路図
【図２１】図１５〜図２０に示す粉塵センサの凹部の低位置に設けられた両電極が短絡した状態を例示する要部断面図
【図２２】図１５〜図２０に示す粉塵センサの凹部の高位置に設けられた両電極が短絡した状態を例示する要部断面図
【図２３】凹部を有する粉塵センサの別の形態例を示す要部断面図
【図２４】図２３に示す粉塵センサの凹部の低位置に設けられた両電極が短絡した状態を例示する要部断面図
【図２５】図２３に示す粉塵センサの凹部の高位置に設けられた両電極が短絡した状態を例示する要部断面図
【図２６】凹部の更に別の形態例を示す斜視図
【図２７】複数対の電極を備えた粉塵センサの別の形態例を示す回路図
【図２８】粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図
【図２９】図２８に示す粉塵センサの平面図
【図３０】図２８に示す粉塵センサの側面図
【図３１】図２８に示す粉塵センサの下面図
【図３２】図２８に示す粉塵センサの要部断面図
【図３３】図２８に示す粉塵センサの回路図
【図３４】図２８に示す粉塵センサの表面に誘電体微粒子が付着した状態を例示する要部断面図
【図３５】粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図
【図３６】図３５に示す粉塵センサの平面図
【図３７】図３５に示す粉塵センサの側面図
【図３８】図３５に示す粉塵センサの下面図
【図３９】図３５に示す粉塵センサの要部断面図
【図４０】図３５に示す粉塵センサの回路図
【図４１】図３５に示す粉塵センサの凹部に誘電体微粒子が浸入し付着又は堆積した状態を例示する要部断面図
【図４２】粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図
【図４３】図４２に示す粉塵センサの平面図
【図４４】図４２に示す粉塵センサの側面図
【図４５】図４２に示す粉塵センサの下面図
【図４６】図４２に示す粉塵センサの要部断面図
【図４７】図４２に示す粉塵センサの回路図
【図４８】図４２に示す粉塵センサの表面に検知対象粒子が付着又は堆積した状態を例示する要部断面図
【図４９】粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図
【図５０】図４９に示す粉塵センサの平面図
【図５１】図４９に示す粉塵センサの側面図
【図５２】図４９に示す粉塵センサの下面図
【図５３】図４９に示す粉塵センサの要部断面図
【図５４】図４９に示す粉塵センサの回路図
【図５５】図４９に示す粉塵センサの発光素子の光が凹部内の検知対象粒子によって遮られている状態を例示する要部断面図
【図５６】発光素子と受光素子を複数対備えた粉塵センサにおいて高位置の発光素子の光が凹部内の検知対象粒子によって遮られている状態を例示する要部断面図
【図５７】油センサの形態例を示す斜視図
【図５８】図５７に示す油センサの平面図
【図５９】図５７に示す油センサの側面図
【図６０】図５７に示す油センサの下面図
【図６１】図５７に示す油センサの要部断面図
【図６２】図５７に示す油センサの回路図
【図６３】図５７に示す油センサの凹部に油分が溜まった状態を例示する要部断面図
【図６４】ガスセンサの形態例を示す斜視図
【図６５】図６４に示すガスセンサの平面図
【図６６】図６４に示すガスセンサの側面図
【図６７】図６４に示すガスセンサの下面図
【図６８】図６４に示すガスセンサの要部透視平面図
【図６９】図６８のＡ−Ａ断面図
【図７０】図６８のＢ−Ｂ断面図
【図７１】図６４に示すガスセンサの回路図
【図７２】（ａ）図６４に示すガスセンサの未使用状態の側面図、（ｂ）図６４に示すガスセンサの未使用状態の平面図
【図７３】図６４に示すガスセンサの未使用時と使用時の状態を示した側面図
【図７４】図６４に示すガスセンサの未使用時又は使用開始直後の状態を示す回路図
【図７５】（ａ）図６４に示すガスセンサの第１のアンテナが機能し得なくなった時の回路図、（ｂ）図６４に示すガスセンサの第１及び第２のアンテナが機能し得なくなった状態を示す回路図
【図７６】ガスセンサの別の形態例を示す回路図
【図７７】ガスセンサの更に別の形態例を示す斜視図
【図７８】図７７に示すガスセンサの平面図
【図７９】図７７に示すガスセンサの側面図
【図８０】図７７に示すガスセンサの下面図
【図８１】図７７に示すガスセンサの要部断面図
【図８２】図７７に示すガスセンサの回路図
【図８３】（ａ）図７７に示すガスセンサの未使用状態の側面図、（ｂ）図７７に示すガスセンサの未使用状態の平面図
【図８４】（ａ）図７７に示すガスセンサのアンテナが機能し得ない状態の時の回路図、（ｂ）図７７に示すガスセンサのアンテナが機能し得る状態を示す回路図
【図８５】ガスセンサの更に別の形態例を示す斜視図
【図８６】センサの剥離シートを剥ぎ取る過程を示す側面図
【図８７】センサを被貼着物に貼り付けて固定した状態を例示する側面図
【図８８】本発明のセンサを子局に用いた施設内監視システム（エバネセント通信システム）の原理説明図
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の無線タグ型センサの実施形態について説明する。
【００１９】
１．導体微粒子検出用センサ
【００２０】
１−１．第１の形態例
図１は無線タグ型粉塵センサ（以下、単に粉塵センサという。）の形態例を示す斜視図である。図２は図１に示す粉塵センサの平面図である。図３は図１に示す粉塵センサの側面図である。図４は図１に示す粉塵センサの下面図である。図５は図１に示す粉塵センサの要部断面図である。図５は図１に示す粉塵センサの回路図である。
【００２１】
１−１−１．構成
この粉塵センサ１０−１は、アンテナ１１と、アンテナ１１から識別信号ｓｉｇ．１を送信する送信回路１２と、アンテナ１１と送信回路１２を一括収容した樹脂製のタグ体１３と、タグ体１３の表面の一部であって検知対象粒子である導体微粒子Ｐｃが付着する粒子検出領域１４と、粒子検出領域１４を挟んで対向配置された一対の電極１５ａ、１５ｂと、を備えている。
【００２２】
両電極１５ａ、１５ｂ相互の間隔Ｄ0は、両電極１５ａ、１５ｂ間に存在する粒子検出
領域１４に導体微粒子Ｐｃが複数個付着したときに、それらの導体微粒子Ｐｃによって両電極１５ａ、１５ｂ間が短絡する大きさに選定されている。たとえば導体微粒子Ｐｃの平均粒径がＤであるとき、間隔Ｄ0は、Ｄ0＞Ｄで表される関係が成立するように選定される。この例では、Ｄ0を約３Ｄとしている。
【００２３】
アンテナ１の回路は、粒子検出領域１４に付着した導体微粒子Ｐｃによって両電極１５ａ、１５ｂ間が短絡（導通、電気的に接続）することにより形成される。アンテナ１１の同調周波数ｆ0は、アンテナコイル１１ＡのインダクタンスＬとコンデンサ１１Ｂの容量
Ｃによって定まる。
【００２４】
送信回路１２は、アンテナ１１による受信電力を使用して作動し、識別信号ｓｉｇ．１をアンテナ１１から送信する。識別信号ｓｉｇ．１は、粉塵センサ１０−１に個別に割り当てられたＩＤ情報（ユニーク値）の信号である。
【００２５】
タグ体１３は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。
【００２６】
両電極１５ａ、１５ｂは、その表面１５ｓを露出させてタグ体１３に埋設されている。この例では、両電極１５ａ、１５ｂの表面１５ｓとタグ体１３の表面（上面）１３ａは同一平面をなしている。
【００２７】
タグ体１３の下面には、粘着剤層８１が形成されている。粘着剤層８１は、剥離シート８２で覆われている。剥離シート８２は簡単に剥がすことができるようになっている（図８７参照）。
【００２８】
１−１−２．作用・効果
粉塵センサ１０−１は、鉄粉などの導体微粒子Ｐｃが発生する空間（被監視空間）における導体微粒子Ｐｃの発生量や堆積量の監視用に使用される。導体微粒子Ｐｃが発生する空間の床面などに粉塵センサ１０−１を設置しておくと、空間中に浮遊あるいは飛散した導体微粒子Ｐｃが粉塵センサ１０−１の表面に付着する。そして、粉塵センサ１０−１の表面の一部をなす粒子検出領域１４に付着した導体微粒子Ｐｃによって両電極１５ａ、１５ｂ間が短絡すると（図７参照）、アンテナ１１の回路が形成される。その結果、図示しないリーダからの電波をアンテナ１１が受信し始める。そして、アンテナ１１による受信電力で送信回路１２が作動する。送信回路１２が作動することにより、アンテナ１１から識別信号が送信される。
【００２９】
したがって、粉塵センサ１０−１からの識別信号ｓｉｇ．１を図示しないリーダで受信できるようにしておき、その識別信号ｓｉｇ．１の有無を監視することにより、被監視空間における導体微粒子Ｐｃの発生量や堆積量が規定値以上になったか否かを知ることができる。この規定値は、導体微粒子Ｐｃの平均粒径Ｄと両電極１５ａ、１５ｂ相互の間隔Ｄ0との関係によって概略定められる。この例では、Ｄ0の値を約３Ｄに選定している。したがって、３乃至５個以上の導体微粒子Ｐｃが連続して並んで堆積或いは付着する程度の導体微粒子Ｐｃの発生量又は堆積量になったことを、粉塵センサ１０からの識別信号ｓｉｇ．１を受信することにより検知できる。粉塵センサ１０−１上への導体微粒子Ｐｃの堆積量がある程度以上大きくなると、堆積した導体微粒子Ｐｃによってアンテナ１１の機能が阻害されるようになるので、上記規定値はこのような機能阻害が発生しない程度の値に選定しておく必要がある。なお、粉塵の粒径は数ｎｍ〜数十μｍと幅広いので、検出目標粒径によって両電極１５ａ、１５ｂ相互の間隔Ｄ0も広い範囲から選定されることになる。
【００３０】
また、識別信号ｓｉｇ．１を受信することにより、粉塵センサ１０−１のＩＤ情報（ユニーク値）を知ることができるので、複数の粉塵センサ１０が設置されている場合でも、どの粉塵センサ１０からの信号であるかを判別することができる。
【００３１】
また、この粉塵センサ１０−１は、タグ体１３の下面に粘着剤層８１が形成され、その粘着剤層８１が剥離シート８２で覆われているので、剥離シート８２を剥がせば、図８７に示すように、粉塵センサ１０−１を被貼着物８５に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物８５の例として、鉄粉などの導体微粒子が発生する工場や作業現場の床面や壁面、作業者の保安帽、防じんマスクなどを挙げることができる。
【００３２】
１−２．第２の形態例
図８は粉塵センサの別の形態例を示す斜視図である。図９は図８に示す粉塵センサの平面図である。図１０は図８に示す粉塵センサの側面図である。図１１は図８に示す粉塵センサの下面図である。図１２は図８に示す粉塵センサの要部断面図である。図１３は図８に示す粉塵センサの回路図である。
【００３３】
１−２−１．構成
この粉塵センサ１０−２は、アンテナ１１と、アンテナ１１から識別信号ｓｉｇ．１を送信する送信回路１２と、アンテナ１１と送信回路１２を一括収容した樹脂製のタグ体１３と、タグ体１３の表面の一部に形成された凹部１６の内面又は内部空間であって検知対象粒子である導体微粒子Ｐｃが付着又は堆積する粒子検出領域１７と、粒子検出領域１７を挟んで対向配置された一対の電極１５ａ、１５ｂと、を備えている。
【００３４】
両電極１５ａ、１５ｂ相互の間隔Ｄ0は、両電極１５ａ、１５ｂ間に存在する粒子検出
領域１７に導体微粒子Ｐｃが複数個付着したときに、それらの導体微粒子Ｐｃによって両電極１５ａ、１５ｂ間が短絡する大きさに選定されている。たとえば導体微粒子Ｐｃの平均粒径がＤであるとき、間隔Ｄ0は、Ｄ0＞Ｄで表される関係が成立するように選定される。この例では、Ｄ0を約２．８Ｄとしている。
【００３５】
アンテナ１１の回路は、粒子検出領域１７に付着又は堆積した導体微粒子Ｐｃによって両電極１５ａ、１５ｂ間が短絡（導通、電気的に接続）することにより形成される。アンテナ１１の同調周波数ｆ0は、アンテナコイル１１ＡのインダクタンスＬとコンデンサ１
１Ｂの容量Ｃによって定まる。
【００３６】
送信回路１２は、アンテナ１１による受信電力を使用して作動し、識別信号ｓｉｇ．１をアンテナ１１から送信する。識別信号ｓｉｇ．１は、粉塵センサ１０に個別に割り当てられたＩＤ情報（ユニーク値）の信号である。
【００３７】
タグ体１３は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。
【００３８】
両電極１５ａ、１５ｂは、その表面１５ｓを露出させてタグ体１３の凹部１６の側面部に埋設されている。この例では、両電極１５ａ、１５ｂの表面１５ｓとタグ体１３の凹部１６の側面１６ａは同一平面をなしている。
【００３９】
タグ体１３の下面には、粘着剤層８１が形成されている。粘着剤層８１は、剥離シート８２で覆われている。剥離シート８２は簡単に剥がすことができるようになっている（図８６参照）。
【００４０】
１−２−２．作用・効果
粉塵センサ１０−２は、鉄粉などの導体微粒子Ｐｃが発生する空間（被監視空間）における導体微粒子Ｐｃの発生量や堆積量の監視用に使用される。導体微粒子Ｐｃが発生する空間の床面などに粉塵センサ１０−２を設置しておくと、空間中に浮遊あるいは飛散した導体微粒子Ｐｃが粉塵センサ１０−２の凹部１６に浸入する。そして、粉塵センサ１０−２の内面又は内部空間である粒子検出領域１７に付着又は堆積した導体微粒子Ｐｃによって両電極１５ａ、１５ｂ間が短絡すると（図１４参照）、アンテナ１１の回路が形成される。その結果、図示しないリーダからの電波をアンテナ１１が受信し始める。そして、アンテナ１１による受信電力で送信回路１２が作動する。送信回路１２が作動することにより、アンテナ１１から識別信号が送信される。
【００４１】
したがって、粉塵センサ１０からの識別信号ｓｉｇ．１を図示しないリーダで受信できるようにしておき、その識別信号ｓｉｇ．１の有無を監視することにより、被監視空間における導体微粒子Ｐｃの発生量や堆積量が規定値以上になったか否かを知ることができる。この規定値は、導体微粒子Ｐｃの平均粒径Ｄと両電極１５ａ、１５ｂ相互の間隔Ｄ0と
の関係によって概略定められる。この例では、Ｄ0の値を約２．８Ｄに選定している。し
たがって、３乃至４個以上の導体微粒子Ｐｃが連続して並んで堆積或いは付着する程度の導体微粒子Ｐｃの発生量又は堆積量になったことを、粉塵センサ１０−２からの識別信号ｓｉｇ．１を受信することにより検知できる。粉塵センサ１０−２上への導体微粒子Ｐｃの堆積量がある程度以上大きくなると、堆積した導体微粒子Ｐｃによってアンテナ１１の機能が阻害されるようになるので、上記規定値はこのような機能阻害が発生しない程度の値に選定しておく必要がある。
【００４２】
また、識別信号ｓｉｇ．１を受信することにより、粉塵センサ１０−２のＩＤ情報（ユニーク値）を知ることができるので、複数の粉塵センサ１０−２が設置されている場合でも、どの粉塵センサ１０−２からの信号であるかを判別することができる。
【００４３】
また、この粉塵センサ１０−２は、タグ体１３の下面に粘着剤層８１が形成され、その粘着剤層８１が剥離シート８２で覆われているので、剥離シート８２を剥がせば、図８７に示すように、粉塵センサ１０−２を被貼着物８５に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物８５の例として、鉄粉などの導体微粒子が発生する工場や作業現場の床面や壁面、作業者の保安帽、防じんマスクなどを挙げることができる。
【００４４】
１−３．第３の形態例
図１５は粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図である。図１６は図１５に示す粉塵センサの平面図である。図１７は図１５に示す粉塵センサの側面図である。図１８は図１５に示す粉塵センサの下面図である。図１９は図１５に示す粉塵センサの要部断面図である。図２０は図１５に示す粉塵センサの回路図である。
【００４５】
１−３−１．構成
この粉塵センサ１０−３は、二つのアンテナ１１−１、１１−２と、アンテナ１１−１、１１−２から識別信号ｓｉｇ．１−１、ｓｉｇ．１−２を送信する送信回路１２と、アンテナ１１−１、１１−２と送信回路１２を一括収容した樹脂製のタグ体１３と、タグ体１３の表面の一部に形成された凹部１６の内面又は内部空間であって検知対象粒子である導体微粒子Ｐｃが付着又は堆積する粒子検出領域１７と、粒子検出領域１７を挟んで対向配置された対をなす電極１５ａ、１５ｂと、を備えている。この例では、電極１５ａ、１５ｂの対が凹部１６の深さ方向に離間させて二対配置されている。
【００４６】
両電極１５ａ、１５ｂ相互の間隔Ｄ0は、両電極１５ａ、１５ｂ間に存在する粒子検出
領域１７に導体微粒子Ｐｃが複数個付着したときに、それらの導体微粒子Ｐｃによって両電極１５ａ、１５ｂ間が短絡する大きさに選定されている。たとえば導体微粒子Ｐｃの平均粒径がＤであるとき、間隔Ｄ0は、Ｄ0＞Ｄで表される関係が成立するように選定される。この例では、Ｄ0を約２．８Ｄとしている。
【００４７】
第１のアンテナ１１−１の回路は、粒子検出領域１７に付着又は堆積した導体微粒子Ｐｃによって下側の電極対１５Ｌを構成する電極１５ａ、１５ｂ間が短絡（導通、電気的に接続）することにより形成される。アンテナ１１−１の同調周波数ｆ0は、アンテナコイ
ル１１Ａ−１のインダクタンスＬ１とコンデンサ１１Ｂ−１の容量Ｃ１によって定まる。第２のアンテナ１１−２の回路は、粒子検出領域１７に付着又は堆積した導体微粒子Ｐｃによって上側の電極対１５Ｕを構成する電極１５ａ、１５ｂ間が短絡（導通、電気的に接続）することにより形成される。アンテナ１１−２の同調周波数ｆ0は、アンテナコイル
１１Ａ−２のインダクタンスＬ２とコンデンサ１１Ｂ−２の容量Ｃ２によって定まる。
【００４８】
送信回路１２は、アンテナ１１−１、１１−２による受信電力を使用して作動する。そして、第１のアンテナ１１−１が形成されているときには、識別信号ｓｉｇ．１−１をアンテナ１１−１から送信し、第２のアンテナ１１−２が形成されているときには、識別信号ｓｉｇ．１−２をアンテナ１１−２から送信する。識別信号ｓｉｇ．１−１は、粉塵センサ１０−３に個別に割り当てられたＩＤ情報（ユニーク値）と検出量が小であることを示す値とを含む信号である。識別信号ｓｉｇ．１−２は、当該ＩＤ情報（ユニーク値）と検出量が大であることを示す値とを含む信号である。
【００４９】
タグ体１３は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。
【００５０】
第１及び第２の電極対１５Ｌ、１５Ｕを構成する各電極１５ａ、１５ｂは、その表面１５ｓを露出させてタグ体１３の凹部１６の側面部に埋設されている。この例では、各電極１５ａ、１５ｂの表面１５ｓとタグ体１３の凹部１６の側面１６ａは同一平面をなしている。
【００５１】
タグ体１３の下面には、粘着剤層８１が形成されている。粘着剤層８１は、剥離シート８２で覆われている。剥離シート８２は簡単に剥がすことができるようになっている（図８６参照）。
【００５２】
１−３−２．作用・効果
粉塵センサ１０−３は、鉄粉などの導体微粒子Ｐｃが発生する空間（被監視空間）における導体微粒子Ｐｃの発生量や堆積量の監視用に使用される。導体微粒子Ｐｃが発生する空間の床面などに粉塵センサ１０−３を設置しておくと、空間中に浮遊あるいは飛散した導体微粒子Ｐｃが粉塵センサ１０−３の凹部１６に浸入する。そして、粉塵センサ１０−３の内面又は内部空間である粒子検出領域１７に付着又は堆積した導体微粒子Ｐｃによって第１の電極対１５Ｌを構成する両電極１５ａ、１５ｂ間が短絡すると（図２１参照）、第１のアンテナ１１−１の回路が形成される。その結果、図示しないリーダからの電波を第１のアンテナ１１−１が受信し始める。そして、第１のアンテナ１１−１による受信電力で送信回路１２が作動する。送信回路１２が作動することにより、第１のアンテナ１１−１から識別信号ｓｉｇ．１−１が送信される。
【００５３】
第１の電極対１５Ｌの両電極１５ａ、１５ｂ間が短絡した後も粉塵センサ１０−３を放置しておくと、導体微粒子Ｐｃが粉塵センサ１０−３の凹部１６に浸入しさらに堆積する。そして、粒子検出領域１７に堆積した導体微粒子Ｐｃによって第２の電極対１５Ｕの両電極１５ａ、１５ｂ間が短絡すると（図２２参照）、第２のアンテナ１１−２の回路が形成される。その結果、図示しないリーダからの電波を第２のアンテナ１１−２が受信し始める。そして、両方のアンテナ１１−１、１１−２による受信電力で送信回路１２が作動する。その結果、第１のアンテナ１１−１から識別信号ｓｉｇ．１−１が送信されるとともに、第２のアンテナ１１−２から識別信号ｓｉｇ．１−２が送信される。
【００５４】
したがって、この粉塵センサ１０−３からの識別信号ｓｉｇ．１−１、ｓｉｇ．１−２を図示しないリーダで受信できるようにしておき、両識別信号ｓｉｇ．１−１、ｓｉｇ．１−２の有無を監視することにより、被監視空間における導体微粒子Ｐｃの発生量や堆積量が規定値以上になったか否かを段階的（この例では、未発生（或いは発生量極小）、発生量小、発生量大の３段階）に知ることができる。すなわち、識別信号ｓｉｇ．１−１が受信されなければ、導体微粒子Ｐｃが未発生或いは第１の電極対１５Ｌの両電極１５ａ、１５ｂ間が短絡しない程の極少量しか発生していないことを知ることができる。そして、識別信号ｓｉｇ．１−１を検知することにより、第１の電極対１５Ｌの両電極１５ａ、１５ｂ間が短絡する程度の少量の導体微粒子Ｐｃが粉塵センサ１０−３上に堆積したことを知ることができる。また、識別信号ｓｉｇ．１−２を検知することにより、高い位置にある第２の電極対１５Ｕの両電極１５ａ、１５ｂ間が短絡する程度の大量の導体微粒子Ｐｃが粉塵センサ１０−３上に堆積したことを知ることができる。
【００５５】
また、識別信号ｓｉｇ．１−１、ｓｉｇ．１−２を受信することにより、粉塵センサ１０−３のＩＤ情報（ユニーク値）を知ることができるので、複数の粉塵センサ１０−３が設置されている場合でも、どの粉塵センサ１０−３からの信号であるかを判別することができる。
【００５６】
また、この粉塵センサ１０−３は、タグ体１３の下面に粘着剤層８１が形成され、その粘着剤層８１が剥離シート８２で覆われているので、剥離シート８２を剥がせば、図８７に示すように、粉塵センサ１０−３を被貼着物８５に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物８５の例として、鉄粉などの導体微粒子が発生する工場や作業現場の床面や壁面、作業者の保安帽、防じんマスクなどを挙げることができる。
【００５７】
なお、第１〜第３の実施形態では、粒子検出領域１７を画成する凹部１６として、矩形状の凹部１６を例示したが、凹部１６の形状は矩形状である必要はない。図２３〜図２５に示すように、凹部１６の形状を逆台形状に設計しておけば、凹部１６に堆積した導体微粒子Ｐｃの除去作業が容易になる。図２６に示すように、逆台形状の凹部１６の長手方向両端面も含めて四側面全てが傾斜面になっていれば、凹部１６に堆積した導体微粒子Ｐｃの除去作業がより容易になる。
【００５８】
また、第３の実施形態では、凹部１６の上下に離間させて二対の電極対１５Ｌ、１５Ｕを配置するとともに二つのアンテナ１１−１、１１−２を備え、二対の電極１５Ｌ、１５Ｕが順次短絡することにより二つのアンテナ１１−１、１１−２の回路が順次形成され、それに対応して識別信号ｓｉｇ．１−１、ｓｉｇ．１−２を送信するように構成した例について説明したが、図２７に示すように、二対の電極対１５Ｌ、１５Ｕに対してアンテナ１１を一つだけ備えた構成としてもよい。この場合、各電極対１５Ｌ、１５Ｕの短絡を送信回路１２が検知し、短絡した電極対１５Ｌ、１５Ｕに応じた識別信号ｓｉｇ．１−１、ｓｉｇ．１−２を送信する。
【００５９】
また、第３の実施形態の構成において、下側の電極対１５Ｌは、粉塵センサ１０−３が正常に機能しているか否かのチェック用として使用することもできる。すなわち、粉塵センサ１０−３から識別信号ｓｉｇ．１−１が送信されていることを確認することにより、この粉塵センサ１０−３の導体微粒子検出機能が正常に働いていることを知ることができる。そして、粉塵センサ１０−３から識別信号ｓｉｇ．１−２が送信されてきたら、導体微粒子Ｐｃの堆積量が相当量に達したと判断することができる。
【００６０】
２．誘電体微粒子検出用センサ
【００６１】
２−１．第４の形態例
図２８は粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図である。図２９は図２８に示す粉塵センサの平面図である。図３０は図２８に示す粉塵センサの側面図である。図３１は図２８に示す粉塵センサの下面図である。図３２は図２８に示す粉塵センサの要部断面図である。図３３は図２８に示す粉塵センサの回路図である。
【００６２】
２−１−１．構成
この粉塵センサ２０−１は、アンテナ２１と、アンテナ２１から識別信号ｓｉｇ．２を送信する送信回路２２と、送信回路２２を一括収容した樹脂製のタグ体２３と、タグ体２３の表面の一部であって検知対象粒子である誘電体微粒子Ｐｉが付着する粒子検出領域２４と、粒子検出領域２４に互いの間隙が重なるようにして互いに並行に設けられた一対の電極２５ａ、２５ｂと、を備えている。
【００６３】
両電極２５ａ、２５ｂ相互の間隔は、粒子検出領域２４に誘電体微粒子Ｐｉが付着したときに、両電極２５ａ、２５ｂ間の静電容量Ｃｘが変化する大きさに選定されている。
【００６４】
アンテナ２１の同調周波数ｆｘは、アンテナコイル２１ＡのインダクタンスＬとコンデンサ２１Ｂの容量Ｃ１と上記一対の電極２５ａ、２５ｂ間の静電容量Ｃｘによって定まる。すなわち、このアンテナ２１は、上記一対の電極２５ａ、２５ｂからなる容量可変コンデンサをエレメントとして含んでいる。
【００６５】
送信回路２２は、アンテナ２１が図示しないリーダからの電波に同調したときのアンテナ２１による受信電力を使用して作動し、識別信号ｓｉｇ．２をアンテナ２１から送信する。識別信号ｓｉｇ．２は、粉塵センサ２０−１に個別に割り当てられたＩＤ情報（ユニーク値）の信号である。
【００６６】
タグ体２３は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。
【００６７】
両電極２５ａ、２５ｂは、タグ体２３の表面近傍に埋設されている。
【００６８】
タグ体２３の下面には、粘着剤層８１が形成されている。粘着剤層８１は、剥離シート８２で覆われている。剥離シート８２は簡単に剥がすことができるようになっている（図８６参照）。
【００６９】
２−１−２．作用・効果
粉塵センサ２０−１は、埃、合成樹脂粉、花粉などの誘電体微粒子Ｐｉが発生或いは浸入する空間（被監視空間）における誘電体微粒子Ｐｉの発生量や堆積量の監視用に使用される。誘電体微粒子Ｐｉが発生する空間の床面などに粉塵センサ２０−１を設置しておくと、空間中に浮遊あるいは飛散した誘電体微粒子Ｐｉが粉塵センサ２０−１の表面に付着する（図３４参照）。粉塵センサ２０−１の表面の一部をなす粒子検出領域２４に付着した導体微粒子Ｐｃの影響により粒子検出領域２４近傍の誘電率が変化する。その結果、両電極２５ａ、２５ｂ間の静電容量Ｃｘが変化する。アンテナ２１の同調周波数ｆｘが図示しないリーダからの電波の周波数と一致すると、当該リーダからの電波をアンテナ２１が受信し始める。そして、アンテナ２１による受信電力で送信回路２２が作動する。送信回路２２が作動することにより、アンテナ２１から識別信号ｓｉｇ．２が送信される。
【００７０】
したがって、粉塵センサ２０−１からの識別信号ｓｉｇ．２を図示しないリーダで受信できるようにしておき、リーダから所定周波数（アンテナ２１の同調周波数）の電波を常時又は定期的に送信し、粉塵センサ２０−１からの識別信号ｓｉｇ．２の送信の有無を監視することにより、被監視空間における誘電体微粒子Ｐｉの発生量や堆積量が規定値以上になったか否かを知ることができる。この規定値は、誘電体微粒子Ｐｉの誘電率、両電極２５ａ、２５ｂ相互の間隔、両電極２５ａ、２５ｂの面積などによって概略定められる。  
【００７１】
また、識別信号ｓｉｇ．２を受信することにより、粉塵センサ２０−１のＩＤ情報（ユニーク値）を知ることができるので、複数の粉塵センサ２０−１が設置されている場合でも、どの粉塵センサ２０−１からの信号であるかを判別することができる。
【００７２】
また、この粉塵センサ２０−１は、タグ体２３の下面に粘着剤層８１が形成され、その粘着剤層８１が剥離シート８２で覆われているので、剥離シート８２を剥がせば、図８７に示すように、粉塵センサ２０−１を被貼着物８５に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物８５の例として、合成樹脂粉、コンクリート破砕粉、穀物粉などの誘電体微粒子が発生する工場や作業現場の床面や壁面、作業者の保安帽、防じんマスクなどを挙げることができる。
【００７３】
２−２．第５の形態例
図３５は粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図である。図３６は図３５に示す粉塵センサの平面図である。図３７は図３５に示す粉塵センサの側面図である。図３８は図３５に示す粉塵センサの下面図である。図３９は図３５に示す粉塵センサの要部断面図である。図４０は図３５に示す粉塵センサの回路図である。
【００７４】
２−２−１．構成
この粉塵センサ２０−２は、アンテナ２１と、アンテナ２１から識別信号ｓｉｇ．２を送信する送信回路２２と、送信回路２２を一括収容した樹脂製のタグ体２３と、タグ体２３の表面の一部に形成された凹部２６の内面又は内部空間であって検知対象粒子である誘電体微粒子Ｐｉが付着又は堆積する粒子検出領域２７と、粒子検出領域２７を挟んで対向配置された一対の電極２５ａ、２５ｂと、を備えている。凹部２６の底部周縁部は断面円弧状の曲面になっている。
【００７５】
両電極２５ａ、２５ｂ相互の間隔は、粒子検出領域２４に誘電体微粒子Ｐｉが付着又は堆積したときに、両電極２５ａ、２５ｂ間の静電容量Ｃｘが変化する大きさに選定されている。
【００７６】
アンテナ２１の同調周波数ｆｘは、アンテナコイル２１ＡのインダクタンスＬとコンデンサ２１Ｂの容量Ｃ１と上記一対の電極２５ａ、２５ｂ間の静電容量Ｃｘによって定まる。すなわち、このアンテナ２１は、上記一対の電極２５ａ、２５ｂからなる容量可変コンデンサをエレメントとして含んでいる。
【００７７】
送信回路２２は、アンテナ２１が図示しないリーダからの電波に同調したときのアンテナ２１による受信電力を使用して作動し、識別信号ｓｉｇ．２をアンテナ２１から送信する。識別信号ｓｉｇ．２は、粉塵センサ２０−１に個別に割り当てられたＩＤ情報（ユニーク値）の信号である。
【００７８】
タグ体２３は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。
【００７９】
両電極２５ａ、２５ｂは、タグ体２３の凹部２６の側面近傍に埋設されている。
【００８０】
タグ体２３の下面には、粘着剤層８１が形成されている。粘着剤層８１は、剥離シート８２で覆われている。剥離シート８２は簡単に剥がすことができるようになっている（図８６参照）。
【００８１】
２−２−２．作用・効果
粉塵センサ２０−２は、埃、合成樹脂粉、花粉などの誘電体微粒子Ｐｉが発生或いは浸入する空間（被監視空間）における誘電体微粒子Ｐｉの発生量や堆積量の監視用に使用される。誘電体微粒子Ｐｉが発生する空間の床面などに粉塵センサ２０−２を設置しておくと、空間中に浮遊あるいは飛散した誘電体微粒子Ｐｉが粉塵センサ２０−２の表面に付着するとともに凹部２６に浸入する（図４１参照）。凹部２６に浸入し付着又は堆積した誘電体微粒子Ｐｉの影響により粒子検出領域２４の誘電率が変化する。その結果、両電極２５ａ、２５ｂ間の静電容量Ｃｘが変化する。アンテナ２１の同調周波数ｆｘが図示しないリーダからの電波の周波数ｆrと一致すると、当該リーダからの電波をアンテナ２１が受
信し始める。そして、アンテナ２１による受信電力で送信回路２２が作動する。送信回路２２が作動することにより、アンテナ２１から識別信号ｓｉｇ．２が送信される。
【００８２】
したがって、粉塵センサ２０−１からの識別信号ｓｉｇ．２を図示しないリーダで受信できるようにしておき、リーダから所定周波数ｆrの電波を常時又は定期的に送信し、ア
ンテナ２１の同調周波数ｆｘがリーダからの送信電波の周波数ｆrと一致したときに粉塵
センサ２０−１から送られてくる識別信号ｓｉｇ．２の有無を監視することにより、被監視空間における誘電体微粒子Ｐｉの発生量や堆積量が規定値以上になったか否かを知ることができる。この規定値は、誘電体微粒子Ｐｉの誘電率、両電極２５ａ、２５ｂ相互の間隔、両電極２５ａ、２５ｂの面積などによって概略定められる。
【００８３】
また、識別信号ｓｉｇ．２を受信することにより、粉塵センサ２０−１のＩＤ情報（ユニーク値）を知ることができるので、複数の粉塵センサ２０−１が設置されている場合でも、どの粉塵センサ２０からの信号であるかを判別することができる。
【００８４】
また、この粉塵センサ２０−１は、タグ体２３の下面に粘着剤層８１が形成され、その粘着剤層８１が剥離シート８２で覆われているので、剥離シート８２を剥がせば、図８７に示すように、粉塵センサ２０−１を被貼着物８５に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物８５の例として、合成樹脂粉、コンクリート破砕粉、穀物粉などの誘電体微粒子が発生する工場や作業現場の床面や壁面、作業者の保安帽、防じんマスクなどを挙げることができる。
【００８５】
また、凹部２６の底部周縁部が断面円弧状の曲面になっているので、凹部２６内をクリーニングした際に凹部２６の底部周縁部に誘電体微粒子Ｐｉなど異物が残留し難い。
【００８６】
なお、第４及び第５の実施形態では、アンテナ２１の同調周波数ｆｘがリーダからの送信電波の周波数ｆrと一致したときに粉塵センサ２０から送られてくる識別信号ｓｉｇ．
２の有無を監視することにより、被監視空間における誘電体微粒子Ｐｉの発生量や堆積量が規定値以上になったか否かを検知する方式を採用しているが、粉塵センサ２０との交信状態が保たれるように、アンテナ２１の同調周波数ｆｘに追従させて送信電波の周波数ｆrを変化させる機能を備えたリーダを使用すれば、同調周波数ｆｘ（＝ｆr）の変化に基づいて、誘電体微粒子Ｐｉの発生量や堆積量の変化を検知することもできる。すなわち、粒子検出領域２４に付着又は堆積した誘電体微粒子Ｐｉによって両電極２５ａ、２５ｂ間の静電容量Ｃｘが変化することにより、アンテナ２１から送信される信号の周波数が変化するように構成してもよい。また、両電極２５ａ、２５ｂ間の静電容量Ｃｘの変化に応じて、すなわちアンテナ２１の同調周波数ｆｘの変化に応じて、識別信号ｓｉｇ．２の内容（値）を送信回路２２が能動的に変化させるように構成してもよい。
【００８７】
３．導体微粒子・誘電体粒子検出用センサ（明所用）
【００８８】
３−１．第６の形態例
図４２は粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図である。図４３は図４２に示す粉塵センサの平面図である。図４４は図４２に示す粉塵センサの側面図である。図４５は図４２に示す粉塵センサの下面図である。図４６は図４２に示す粉塵センサの要部断面図である。図４７は図４２に示す粉塵センサの回路図である。
【００８９】
３−１−１．構成
この粉塵センサ３０は、アンテナ３１と、アンテナ３１から識別信号ｓｉｇ．３を送信する送信回路３２と、アンテナ３１と送信回路３２を一括収容した樹脂製のタグ体３３と、タグ体３３の表面の検知対象粒子Ｐが付着する位置に形成された受光窓３４と、受光窓３４を通して入射する光を検出する受光素子３５と、を備えている。
【００９０】
アンテナ３１の同調周波数ｆ0は、アンテナコイル３１ＡのインダクタンスＬ１とコン
デンサ３１Ｂの容量Ｃ１によって定まる。
【００９１】
タグ体３３は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。
【００９２】
受光窓３４は、タグ体３３の表面に矩形状に開口している。受光窓３４は、光を良好に透過する透明樹脂板３６によって気密に閉塞されている。
【００９３】
受光素子３５は、その受光面を受光窓３４を通して外部に臨ませた状態でタグ体３３内に収容され保持されている。受光素子３５の出力は送信回路３２に入力される。
【００９４】
送信回路３２は、アンテナ３１による受信電力を使用して作動する。そして、受光素子３５の出力が所定のレベル以上のときに識別信号ｓｉｇ．３をアンテナ３１から送信する。識別信号ｓｉｇ．３は、粉塵センサ３１に個別に割り当てられたＩＤ情報（ユニーク値）を示す信号である。
【００９５】
タグ体３３の下面には、粘着剤層８１が形成されている。粘着剤層８１は、剥離シート８２で覆われている。剥離シート８２は簡単に剥がすことができるようになっている（図８６参照）。
【００９６】
３−３−２．作用・効果
粉塵センサ３０は、検知対象粒子（金属微粒子、誘電体微粒子）Ｐが発生或いは浸入する空間（被監視空間）における検知対象粒子Ｐの発生量や堆積量の監視用に使用されるものであり、自然光や照明光によって明るく照らされた場所に設置して使用されるものである。自然光や照明光によって明るく照らされた場所に粉塵センサ３０を設置すると、受光窓３４を通して受光素子３５に光が入射する。受光素子３５は、その入射光を受光し、その受光量に応じたレベルの電力を出力する。図示しないリーダからの電波をアンテナ３１が受信すると、その受信電力により送信回路３２が作動する。送信回路３２は、受光素子３５の出力レベルが所定の値（しきい値）以上であれば、識別信号ｓｉｇ．３をアンテナ３１から送信する。すなわち、この粉塵センサ３０は、図示しないリーダからの電波をアンテナ３１が受信しており且つ受光素子３５の出力レベルが所定の値以上である限り、識別信号ｓｉｇ．３を送信し続ける。
【００９７】
この粉塵センサ３０を検知対象粒子Ｐが発生する空間の床面などに粉塵センサ３０を設置しておくと、空間中に浮遊あるいは飛散した検知対象粒子Ｐが粉塵センサ３０の表面に付着又は堆積する。検知対象粒子Ｐは受光窓３４の透明樹脂板３６の上にも付着又は堆積する（図４８）。その結果、受光素子３５への入射光量が減少し、それに伴って受光素子３５の出力レベルも低下する。そして、受光素子３５の出力レベルが所定の値未満になると、送信回路３２は識別信号ｓｉｇ．３の送信を停止する。
【００９８】
したがって、この粉塵センサ３０によれば、これを自然光や照明光によって明るく照らされた場所に設置し、粉塵センサ３０からの識別信号ｓｉｇ．３の有無を監視することにより、被監視空間における検知対象粒子Ｐの発生量や堆積量が規定値以上になったか否かを知ることができる。すなわち、粉塵センサ３０から識別信号ｓｉｇ．３の送信がなされていれば、被監視空間における検知対象粒子Ｐの発生量や堆積量が規定値未満であると判断できる。一方、リーダから所定周波数ｆ0の電波を送信しているにも拘わらず、粉塵セ
ンサ３０から識別信号ｓｉｇ．３が送信されてこなくなったら、被監視空間における検知対象粒子Ｐの発生量や堆積量が規定値以上になったと判断できる。
【００９９】
また、識別信号ｓｉｇ．３を受信することにより、粉塵センサ３０のＩＤ情報（ユニーク値）を知ることができるので、複数の粉塵センサ３０が設置されている場合でも、どの粉塵センサ３０からの信号であるかを判別することができる。
【０１００】
また、この粉塵センサ３０は、タグ体３３の下面に粘着剤層８１が形成され、その粘着剤層８１が剥離シート８２で覆われているので、剥離シート８２を剥がせば、図８７に示すように、粉塵センサ２０−１を被貼着物８５に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物８５の例として、導体微粒子や誘電体微粒子が発生又は浸入する工場や作業現場の床面や壁面などを挙げることができる。
【０１０１】
なお、上記実施形態では、受光素子３５の出力レベルが所定の値以上のときに識別信号ｓｉｇ．３が送信され、出力レベルが所定の値未満になったら識別信号ｓｉｇ．３の送信が停止される構成としたが、これとは逆に、受光素子３５の出力レベルが所定の値以上のときは識別信号ｓｉｇ．３が送信されず、出力レベルが所定の値未満になったら識別信号ｓｉｇ．３が送信される構成としてもよい。後者の構成によれば、粉塵センサ３０からの識別信号ｓｉｇ．３を受信することにより検知対象粒子Ｐの発生量が規定値以上になったことを知ることができる。
【０１０２】
また、受光素子３５の出力に応じてアンテナ３１から送信される識別信号ｓｉｇ．３の周波数や強度を変化させるように構成してもよい。このように構成すれば、粉塵センサ３０から送信された識別信号ｓｉｇ．３の周波数や強度に基づいて検知対象粒子Ｐの発生量を知ることができる。
【０１０３】
また、受光素子３５として太陽電池を使用すれば、受光素子３５の出力によって送信回路３２を駆動することも可能である。この場合、受光素子３５に十分な光量の光が入射している間は粉塵センサ３０から識別信号ｓｉｇ．３が送信され続ける。そして、受光素子３５への入射光量が低下し、受光素子３５の出力が不十分になったら送信回路３２が作動を停止するため、粉塵センサ３０から識別信号ｓｉｇ．３が送信されなくなる。したがって、粉塵センサ３０から識別信号ｓｉｇ．３が送信されてこなくなったら、被監視空間における検知対象粒子Ｐの発生量や堆積量が規定値以上になったと判断できる。
【０１０４】
４．導体微粒子・誘電体粒子検出用センサ（暗所用）
【０１０５】
４−１．第７の形態例
図４９は粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図である。図５０は図４９に示す粉塵センサの平面図である。図５１は図４９に示す粉塵センサの側面図である。図５２は図４９に示す粉塵センサの下面図である。図５３は図４９に示す粉塵センサの要部断面図である。図５４は図４９に示す粉塵センサの回路図である。
【０１０６】
４−１−１．構成
この粉塵センサ４０は、アンテナ４１と、アンテナ４１から識別信号ｓｉｇ．４を送信する送信回路４２と、アンテナ４１と送信回路４２を一括収容した樹脂製のタグ体４３と、タグ体４３の検知対象粒子Ｐが付着する位置に固定して設けられ且つ所定の出力で発光する発光素子４４と、タグ体４３の検知対象粒子Ｐが付着する位置に固定して設けられ且つ発光素子４４からの光を受光する受光素子４５と、を備えている。
【０１０７】
アンテナ４１の同調周波数ｆ0は、アンテナコイル４１ＡのインダクタンスＬ１とコン
デンサ４１Ｂの容量Ｃ１によって定まる。
【０１０８】
タグ体４３は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。
【０１０９】
タグ体４３の表面（上面）部には矩形状の凹部４６が形成されている。この凹部４６の隙間を隔てて、発光素子４４と受光素子４５とが互いに対向して配置されている。
【０１１０】
発光素子４４は、送信回路４２内の図示しない駆動回路によって駆動され、特定の波長の光を発する。受光素子４５は、発光素子４４からの光を受光し直流電力を出力する。受光素子４５の出力は送信回路４２に入力される。
【０１１１】
送信回路４２は、図示しないバッテリを内蔵しており、そのバッテリの電力で発光素子４４を駆動（発光）させるとともに受光素子４５の出力を監視する。そして、受光素子４５の出力が所定のレベル未満のときに識別信号ｓｉｇ．４をアンテナ４１から送信する。識別信号ｓｉｇ．４は、粉塵センサ４１に個別に割り当てられたＩＤ情報（ユニーク値）を示す信号である。
【０１１２】
タグ体４３の下面には、粘着剤層８１が形成されている。粘着剤層８１は、剥離シート８２で覆われている。剥離シート８２は簡単に剥がすことができるようになっている（図８６参照）。
４−１−２．作用・効果
粉塵センサ４０は、検知対象粒子（金属微粒子、誘電体微粒子）Ｐが発生或いは浸入する空間（被監視空間）における検知対象粒子Ｐの発生量や堆積量の監視用に使用されるものであり、主として暗所に設置して使用されるものである。発光素子４４の発光波長の光が入射しない場所であれば明るい場所でも使用可能である。受光素子４５は、発光素子４４からの光を受光し、その受光量に応じたレベルの電力を出力する。送信回路４２は、受光素子４５の出力レベルが所定の値（しきい値）以上であれば送信動作は行わない。
【０１１３】
この粉塵センサ４０を検知対象粒子Ｐが発生する空間の床面などに設置しておくと、空間中に浮遊あるいは飛散した検知対象粒子Ｐが粉塵センサ４０の凹部４６に浸入する。そして、凹部４６内に堆積した或いは凹部４６の側面に付着した検知対象粒子Ｐによって発光素子４４の光が遮られはじめると（図５５）、それに伴って受光素子４５の出力レベルが低下する。送信回路４２は、受光素子４５の出力レベルが所定の値未満になったら、識別信号ｓｉｇ．４をアンテナ４１から送信する。
【０１１４】
したがって、この粉塵センサ４０によれば、識別信号ｓｉｇ．４の有無を監視することにより、被監視空間における検知対象粒子Ｐの発生量や堆積量が規定値以上になったか否かを知ることができる。すなわち、粉塵センサ４０から識別信号ｓｉｇ．４が送信されてこなければ、被監視空間における検知対象粒子Ｐの発生量や堆積量が規定値未満であると判断できる。一方、粉塵センサ４０から識別信号ｓｉｇ．４が送信されてきたら、被監視空間における検知対象粒子Ｐの発生量や堆積量が規定値以上になったと判断できる。
【０１１５】
また、識別信号ｓｉｇ．４を受信することにより、粉塵センサ４０のＩＤ情報（ユニーク値）を知ることができるので、複数の粉塵センサ４０が設置されている場合でも、どの粉塵センサ４０からの信号であるかを判別することができる。
【０１１６】
また、この粉塵センサ４０は、タグ体４３の下面に粘着剤層８１が形成され、その粘着剤層８１が剥離シート８２で覆われているので、剥離シート８２を剥がせば、図８７に示すように、粉塵センサ４０を被貼着物８５に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物８５の例として、導体微粒子や誘電体微粒子が発生又は浸入する工場や作業現場の床面や壁面などを挙げることができる。
【０１１７】
なお、上記実施形態では、受光素子４５の出力レベルが所定の値未満のときに識別信号ｓｉｇ．４が送信される構成としたが、これとは逆に、受光素子４５の出力レベルが所定の値以上のときに識別信号ｓｉｇ．４が送信され、出力レベルが所定の値未満になったら識別信号ｓｉｇ．４の送信が停止される構成としてもよい。後者の構成によれば、粉塵センサ４０からの識別信号ｓｉｇ．４が送られてこなくなることにより、検知対象粒子Ｐの発生量が規定値以上になったことを知ることができる。
【０１１８】
また、受光素子４５の出力に応じてアンテナ４１から送信される識別信号ｓｉｇ．４の周波数や強度を変化させるように構成してもよい。このように構成すれば、粉塵センサ４０から送信された識別信号ｓｉｇ．４の周波数や強度に基づいて検知対象粒子Ｐの発生量を知ることができる。
【０１１９】
また、図５６に示すように、発光素子４４と受光素子４５の対を凹部４６の深さ方向に離間させて二対配置し、各対の受光素子４５の出力レベルに応じて、第の実施形態と同様に２種類の識別信号（ｓｉｇ．４−１、ｓｉｇ．４−２）がアンテナ４１から送信されるように構成しておけば、被監視空間における導体微粒子Ｐｃの発生量や堆積量が規定値以上になったか否かを段階的（この例では、未発生（或いは発生量極小）、発生量小、発生量大の３段階）に知ることができる。
【０１２０】
５．油センサ
【０１２１】
５−１．第８の形態例
図５７は本発明の無線タグ型油センサ（以下、単に油センサと記す。）の形態例を示す斜視図である。図５８は図５７に示す油センサの平面図である。図５９は図５７に示す油センサの側面図である。図６０は図５７に示す油センサの下面図である。図６１は図５７に示す油センサの要部断面図である。図６２は図５７に示す油センサの回路図である。
【０１２２】
５−１−１．構成
この油センサ５０は、アンテナ５１と、アンテナ５１から識別信号ｓｉｇ．５を送信する送信回路５２と、送信回路５２を一括収容した樹脂製のタグ体５３と、タグ体５３の表面の一部に形成された凹部５６の内面又は内部空間であって検知対象である油分（Ｏｉｌ）が浸入する油分検出領域５４と、油分検出領域５４を挟んで対向配置された一対の電極５５ａ、５５ｂと、を備えている。凹部５６の底部周縁部は断面円弧状の曲面になっている。
【０１２３】
両電極５５ａ、５５ｂ相互の間隔は、油分検出領域５４に油分（Ｏｉｌ）が浸入したときに、両電極５５ａ、５５ｂ間の静電容量Ｃｘが変化する大きさに選定されている。
【０１２４】
アンテナ５１の同調周波数ｆｘは、アンテナコイル５１ＡのインダクタンスＬとコンデンサ５１Ｂの容量Ｃ１と上記一対の電極５５ａ、５５ｂ間の静電容量Ｃｘによって定まる。すなわち、このアンテナ５１は、上記一対の電極５５ａ、５５ｂからなる容量可変コンデンサをエレメントとして含んでいる。
【０１２５】
送信回路５２は、アンテナ５１が図示しないリーダからの電波に同調したときのアンテナ５１による受信電力を使用して作動し、識別信号ｓｉｇ．５をアンテナ５１から送信する。識別信号ｓｉｇ．５は、油センサ５０に個別に割り当てられたＩＤ情報（ユニーク値）の信号である。
【０１２６】
タグ体５３は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。
【０１２７】
両電極５５ａ、５５ｂは、タグ体５３の凹部５６の側面近傍に埋設されている。
【０１２８】
タグ体５３の下面には、粘着剤層８１が形成されている。粘着剤層８１は、剥離シート８２で覆われている。剥離シート８２は簡単に剥がすことができるようになっている（図８６参照）。
【０１２９】
５−１−２．作用・効果
油センサ５０は、油微粒子が発生或いは浸入したり油漏れが発生したりする可能性のある空間（被監視空間）における油分（Ｏｉｌ）の発生量や油分（Ｏｉｌ）による汚染量の監視用に使用される。油微粒子が浮遊あるいは飛散する空間の床面などに油センサ５０を設置しておくと、油分（Ｏｉｌ）が油センサ５０の表面に付着するとともに凹部５６に浸入する（図６３参照）。凹部５６に浸入した油分（Ｏｉｌ）の影響により油分検出領域５４の誘電率が変化する。その結果、両電極５５ａ、５５ｂ間の静電容量Ｃｘが変化する。アンテナ５１の同調周波数ｆｘが図示しないリーダからの電波の周波数ｆrと一致すると
、当該リーダからの電波をアンテナ５１が受信し始める。そして、アンテナ５１による受信電力で送信回路５２が作動する。送信回路５２が作動することにより、アンテナ５１から識別信号ｓｉｇ．５が送信される。
【０１３０】
したがって、油センサ５０からの識別信号ｓｉｇ．５を図示しないリーダで受信できるようにしておき、リーダから所定周波数ｆrの電波を常時又は定期的に送信し、アンテナ
５１の同調周波数ｆｘがリーダからの送信電波の周波数ｆrと一致したときに油センサ５
０から送られてくる識別信号ｓｉｇ．５の有無を監視することにより、被監視空間における油分（Ｏｉｌ）の発生量や油分（Ｏｉｌ）による汚染量が規定値以上になったか否かを知ることができる。この規定値は、油分（Ｏｉｌ）の誘電率、両電極５５ａ、５５ｂ相互の間隔、両電極５５ａ、５５ｂの面積などによって概略定められる。
【０１３１】
また、識別信号ｓｉｇ．５を受信することにより、油センサ５０のＩＤ情報（ユニーク値）を知ることができるので、複数の油センサ５０が設置されている場合でも、どの油センサ５０からの信号であるかを判別することができる。
【０１３２】
また、この油センサ５０は、タグ体５３の下面に粘着剤層８１が形成され、その粘着剤層８１が剥離シート８２で覆われているので、剥離シート８２を剥がせば、図８７に示すように、油センサ５０を被貼着物８５に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物８５の例として、食品工場や厨房の床面や壁面などを挙げることができる。
【０１３３】
また、凹部５６の底部周縁部が断面円弧状の曲面になっているので、凹部５６内をクリーニングした際に凹部５６の底部周縁部に油分（Ｏｉｌ）など異物が残留し難い。
【０１３４】
なお、第８の実施形態では、アンテナ５１の同調周波数ｆｘがリーダからの送信電波の周波数ｆrと一致したときに油センサ５０から送られてくる識別信号ｓｉｇ．５の有無を
監視することにより、被監視空間における油分（Ｏｉｌ）の発生量や油分（Ｏｉｌ）による汚染量が規定値以上になったか否かを検知する方式を採用しているが、油センサ５０との交信状態が保たれるように、アンテナ５１の同調周波数ｆｘに追従させて送信電波の周波数ｆrを変化させる機能を備えたリーダを使用すれば、同調周波数ｆｘ（＝ｆr）の変化に基づいて、油分（Ｏｉｌ）の発生量や油分（Ｏｉｌ）による汚染量の変化を検知することもできる。すなわち、油分検出領域５４に付着又は溜まった油分（Ｏｉｌ）によって両電極５５ａ、５５ｂ間の静電容量Ｃｘが変化することにより、アンテナ５１から送信される信号の周波数が変化するように構成してもよい。また、両電極５５ａ、５５ｂ間の静電容量Ｃｘの変化に応じて、すなわちアンテナ５１の同調周波数ｆｘの変化に応じて、識別信号ｓｉｇ．５の内容（値）を送信回路５２が能動的に変化させるように構成してもよい。
【０１３５】
６．無線タグ型ガスセンサ
【０１３６】
６−１．第９の形態例
図６４は本発明の無線タグ型ガスセンサ（以下、単にガスセンサと記す。）の形態例を示す斜視図である。図６５は図６４に示すガスセンサの平面図である。図６６は図６４に示すガスセンサの側面図である。図６７は図６４に示すガスセンサの下面図である。図６８は図６４に示すガスセンサの要部透視平面図である。図６９は図６８のＡ−Ａ断面図である。図７０は図６８のＢ−Ｂ断面図である。図７１は図６４に示すガスセンサの回路図である。
【０１３７】
６−１−１．構成
このガスセンサ６０−１は、二つのアンテナ６１−１、６１−２と、アンテナ６１−１、６１−２から識別信号ｓｉｇ．１−１、ｓｉｇ．１−２を送信する送信回路６２と、アンテナ６１−１、６１−２と送信回路６２を一括収容した樹脂製のタグ体６３と、タグ体６３から露出した第１感応部６８−１と、第１感応部６８−１に覆われた第２感応部６８−２と、を備えている。第２感応部６８−２と外気との接触は第１感応部６８−１によって阻止されている。
【０１３８】
第１感応部６８−１は、Ｆｅ薄膜６６からなる。第１感応部６８−１は、第１のアンテナ６１−１の回路の途中に設けられた一対の電極６５−１a、６５−１b間に掛け渡して設けられることにより、第１のアンテナ６１−１の回路の一部をなしている。第１感応部６８−１の表面とタグ体６３の表面は互いに同一平面をなしている。第１感応部６８−１の厚さは数ｎｍから数μｍの範囲から選定される。第１感応部６８−１を構成するＦｅ薄膜６６の厚さを５ｎｍ以上に選定する場合、Ｆｅ薄膜６６として貫通孔のないポーラス状のＦｅ薄膜が使用される。
【０１３９】
第２感応部６８−２は、第１感応部６８−１と交差（この例では直交）させて且つ互いに離間させて並行に設けられた複数本（この例では４本）の帯状のＦｅ薄膜６７からなる。第２感応部６８−１は、第２のアンテナ６１−２の回路の途中に設けられた一対の電極６５−２a、６５−２b間に掛け渡して設けられることにより、第２のアンテナ６１−２の回路の一部をなしている。第２感応部６８−２と第１感応部６８−１は互いに重なり合った状態で密に接触している。第２感応部６８−２を構成するＦｅ薄膜６７の厚さは数ｎｍから数ｍｍの範囲から選定される。第２感応部６８−２を構成するＦｅ薄膜６７の厚さを５ｎｍ以上に選定する場合、Ｆｅ薄膜６７としてポーラス状の薄膜やメッシュ状のＦｅ薄膜が使用される。これらに代えて、Ｆｅ繊維からなる不織布の薄膜を使用することも可能である。第２感応部６８−１の両端に位置する一対の電極６５−２a、６５−２bの対向方向と第１感応部６８−１の両端に位置する一対の電極６５−１a、６５−１bの対向方向は互いに直交している。
【０１４０】
第１のアンテナ６１−１の回路側の一対の電極６５−１a、６５−１bは、第１感応部６８−１を介して電気的に接続されている。一方、第２のアンテナ６１−２の回路側の一対の電極６５−２a、６５−２bは、第１感応部６８−１と第２感応部６８−２を介して互いに電気的に接続されている。
【０１４１】
第１のアンテナ６１−１の同調周波数ｆ0-1は、アンテナコイル６１Ａ−１のインダク
タンスＬ１とコンデンサ６１Ｂ−１の容量Ｃ１によって定まる。第２のアンテナ６１−２の同調周波数ｆ0-2は、アンテナコイル６１Ａ−２のインダクタンスＬ２とコンデンサ６
１Ｂ−２の容量Ｃ２によって定まる。この例では、両同調周波数ｆ0-1、ｆ0-2を同じ値ｆ0に選定している。
【０１４２】
送信回路６２は、第１及び第２のアンテナ６１−１、６１−２による受信電力を使用して作動する。そして、第１のアンテナ６１−１から識別信号ｓｉｇ．６−１を送信し、第２のアンテナ６１−２から識別信号ｓｉｇ．６−２を送信する。識別信号ｓｉｇ． ６−
１は、ガスセンサ６０−１に個別に割り当てられたＩＤ情報（ユニーク値）と第１感応部６８−１が導通状態にあること、すなわち第１のアンテナ６１−１が機能していることを示す値とを含む信号である。識別信号ｓｉｇ． ６−２は、当該ＩＤ情報（ユニーク値）
と第２感応部６８−２が導通状態にあること、すなわち第２のアンテナ６１−２が機能していることを示す値とを含む信号である。
【０１４３】
タグ体６３は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。
【０１４４】
タグ体６３の表面（上面）には、第１感応部６８−１を外気と非接触状態に維持する封止体６９が取り外し可能に装着されている。封止体６９は、タグ体６３の表面に第１感応部６８−１を覆うようにして密着させて貼り付けられた剥離シートである。
【０１４５】
タグ体６３の裏面（下面）には、粘着剤層８１が形成されている。粘着剤層８１は、剥離シート８２で覆われている。剥離シート８２は簡単に剥がすことができるようになっている（図８６参照）。
【０１４６】
６−１−２．作用・効果
図７３は、ガスセンサ６０−１の未使用時の状態及び使用時の状態を示す側面図である。ガスセンサ６０−１は、未使用時には、その第１感応部６８−１がタグ体６３の表面に貼り付けられた封止体６９によって気密に封止されており、使用時に封止体６９が剥がされることにより、第１感応部６８−１がガスに触れる状態になる。また、必要に応じて、剥離シート８２を剥がして使用することができる。
【０１４７】
図７４は、ガスセンサ６０−１の未使用時又は使用開始直後すなわち封止体６９が剥ぎ取られ第１感応部６８−１が空気にさらされた直後における状態を示す等価回路である。この時点では、第１感応部６８−１を構成するＦｅ薄膜６６も第２感応部６８−２を構成するＦｅ薄膜６７も未だ酸化されていないので、第１のアンテナ６１−１も第２のアンテナ６１−２も共に機能し得る状態にある。このとき、図示しないリーダから周波数f0の電波を送信すると、その電波を両アンテナ６１−１、６１−２が受信する。そして、両アンテナ６１−１、６１−２による受信電力で送信回路６２が作動する。送信回路６２が作動することにより、両アンテナ６１−１、６１−２からそれぞれ識別信号ｓｉｇ． ６−１
、ｓｉｇ． ６−２が送信される。
【０１４８】
ガスセンサ６０−１は、酸化性ガス（塩素、二酸化窒素、オゾン、酸素、等）が発生又は浸入する空間（被監視空間）における酸化性ガスの発生量や浸入量の監視用に使用される。封止体６９を剥ぎ取って、酸化性ガスが発生する空間の壁面などにガスセンサ６０−１を設置すると、空間中に存在する酸化性ガスが第１感応部６８−１に接触するようになるため、第１感応部６８−１を構成しているＦｅ薄膜６６の酸化が始まる。Ｆｅ薄膜６６の酸化の進行に伴い、第１感応部６８−１の電気抵抗率が増大していく。すなわち、第１感応部６８−１は、当初の導体の状態から半導体の状態を経て、絶縁体の状態に近づいていく。Ｆｅ薄膜６６が酸化反応によりＦｅ2Ｏ3膜に変化していくのである。そして、最後には絶縁体の状態になる。その結果、第１のアンテナ６１−１の両電極６５−１a、６５
−１b間の電気的導通が遮断され、第１のアンテナ６１−１は機能し得ない状態になる。
図７５（ａ）はこの時点での状態を示す等価回路であり、第１のアンテナ６１−１は機能停止しているが、第２のアンテナ６１−２は未だ機能している。この状態では、第１のアンテナ６１−１からの識別信号ｓｉｇ．６−１の送信は停止しているが、第２のアンテナ６１−２からの識別信号ｓｉｇ． ６−２の送信は継続されている。
【０１４９】
識別信号ｓｉｇ．６−１の送信が停止した後もガスセンサ６０−１を放置しておくと、酸化性ガスによる酸化が第１感応部６８−１から第２感応部６８−２にも拡大していく。そして、第２感応部６８−２を構成しているＦｅ薄膜６７の酸化の進行に伴い、第２感応部６８−２の電気抵抗率が増大していく。すなわち、第２感応部６８−２は、当初の導体の状態から半導体の状態を経て、絶縁体の状態に近づいていく。Ｆｅ薄膜６７が酸化反応によりＦｅ2Ｏ3膜に変化していくのである。そして、最後には絶縁体の状態になる。その結果、第２のアンテナ６１−２の両電極６５−２a、６５−２b間の電気的導通が遮断され、第１のアンテナ６１−２は機能し得ない状態になる。図７５（ｂ）はこの時点での状態を示す等価回路であり、第１のアンテナ６１−１も第２のアンテナ６１−２も共に機能停止している。この状態ではもはや、第１のアンテナ６１−１からの識別信号ｓｉｇ．６−１の送信も第２のアンテナ６１−２からの識別信号ｓｉｇ．６−２の送信もなされない。  
【０１５０】
したがって、このガスセンサ６０−１からの識別信号ｓｉｇ．６−１、ｓｉｇ．６−２を図示しないリーダで受信できるようにしておき、両識別信号ｓｉｇ．６−１、ｓｉｇ．６−２の有無を監視することにより、被監視空間における酸化性ガスの発生量や浸入量の累積値を知ることができる。すなわち、両識別信号ｓｉｇ．６−１、ｓｉｇ．６−２を受信できていれば、被監視空間における酸化性ガスの発生量や浸入量の累積値が未だ第１感応部６８−１を絶縁状態に変化させる程の量に達していないことを知ることができ、一方の識別信号ｓｉｇ．１−１が受信されなくなったら、被監視空間における酸化性ガスの発生量や浸入量の累積値が第１感応部６８−１を絶縁状態に変化させる程の量に達したことを知ることができる。そして、更にもう一方の識別信号ｓｉｇ．６−２も受信できなくなったら、被監視空間における酸化性ガスの発生量や浸入量の累積値が第２感応部６８−２まで絶縁状態に変化させる程の量に達したことを知ることができる。
【０１５１】
また、識別信号ｓｉｇ．６−１、ｓｉｇ．６−２を受信することにより、ガスセンサ６０−１のＩＤ情報（ユニーク値）を知ることができるので、複数のガスセンサ６０−１が設置されている場合でも、どのガスセンサ６０−１からの信号であるかを判別することができる。
【０１５２】
また、このガスセンサ６０−１は、タグ体６３の下面に粘着剤層８１が形成され、その粘着剤層８１が剥離シート８２で覆われているので、剥離シート８２を剥がせば、図８７に示すように、ガスセンサ６０−１を被貼着物８５に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物８５の例として、酸化性ガスが発生する工場や作業現場の床面や壁面、作業者の保安帽、更には、自動車などの排気ガスに曝される建物の外壁面などを挙げることができる。
【０１５３】
なお、第９の実施形態では、二つのアンテナ６１−１、６１−２を備え、両アンテナ６１−１、６１−２が順次機能停止状態になり、それに対応して識別信号ｓｉｇ．６−１、ｓｉｇ．６−２が順次送信されなくなるように構成した例について説明したが、図７６に示すように、第１及び第２の感応部６８−１、６８−２を送信回路６２に接続し、アンテナ６１を一つだけ備えた構成としてもよい。この場合、第１及び第２の感応部６８−１、６８−２の状態を送信回路６２が検知し、それぞれの状態に応じた識別信号ｓｉｇ．６−１、ｓｉｇ．６−２を送信する。
【０１５４】
また、第９の実施形態の構成において、第１感応部６８−１は、封止体６９が剥ぎ取られているか否かのチェック用として使用することもできる。すなわち、ガスセンサ６０−１から識別信号ｓｉｇ．６−１が送信されてこなくなったことを確認することにより、封止体６９が剥ぎ取られた状態でガスセンサ６０−１が作動していることを知ることができる。そして、ガスセンサ６０−１から識別信号ｓｉｇ．６−２が送信されて来なくなったら、被監視空間における酸化性ガスの発生量や浸入量の累積値が相当量に達したと判断することができる。酸化性ガスの存在する雰囲気中に設置されているにもかかわらず、識別信号ｓｉｇ．６−１の送信が途絶えないということは、ガスセンサ６０−１の第１感応部６８−１が雰囲気に曝されていないことを意味するので、識別信号ｓｉｇ．６−１を監視することにより、封止体６９の剥ぎ取り忘れを検知することができる。これにより目標ガスの検知漏れを防止できる。そして、特に目標ガスが有害ガスである場合におけるガス検知の確実性、信頼性が高められることにより安全性が向上する。
【０１５５】
また、第９の実施形態では、両感応部６８−１、６８−２をＦｅ薄膜で構成したが、いずれか一方又は両方の感応部をＮｉ薄膜、Ｃｒ薄膜その他の金属薄膜で構成してもよい。
【０１５６】
また、第９の実施形態では、感応部を二層備えたガスセンサについて説明したが、感応部を三層以上備えたガスセンサも実現可能である。もちろん感応部を一層のみ備えたガスセンサも有効である。
【０１５７】
６−２．第１０の形態例
図７７は本発明のガスセンサの形態例を示す斜視図である。図７８は図７７に示すガスセンサの平面図である。図７９は図７７に示すガスセンサの側面図である。図８０は図７７に示すガスセンサの下面図である。図８１は図７７に示すガスセンサの要部断面図である。図８２は図７７に示すガスセンサの回路図である。
【０１５８】
６−２−１．構成
このガスセンサ６０−２は、アンテナ６１と、アンテナ６１から識別信号ｓｉｇ．１を送信する送信回路６２と、アンテナ６１と送信回路６２を一括収容した樹脂製のタグ体６３と、タグ体６３から露出した感応部６８と、を備えている。
【０１５９】
水素感応膜７０は、Ｒ2 ｄｔｏａ（ジチオオキサミド）の配位高分子金属錯体Ｒ2 ｄｔｏａＭ（ここで、Ｍは金属）からなる膜である。配位高分子金属錯体Ｒ2 ｄｔｏａＭのＭは、遷移金属である。遷移金属として、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、鉄（Ｆｅ）、または、コバルト（Ｃｏ）の何れか１つを用いることができる。配位高分子金属錯体Ｒ2 ｄｔｏａＭのアルキル基Ｒは、（Ｃ3 Ｈ6 ＯＨ）、（Ｃ2 Ｈ4 ＯＨ）又はＨ（水素）である。（特開２００４−２８８３８号公報参照）
水素感応膜７０は当初絶縁体の状態にある。このため、当初アンテナ６１の両電極６５a、６５b間の電気的導通は遮断されており、アンテナ６１は機能し得えない状態になっている。図８４（ａ）はこの時点での状態を示す等価回路である。
【０１６０】
アンテナ６１の同調周波数ｆ0は、アンテナコイル６１ＡのインダクタンスＬとコンデ
ンサ６１Ｂの容量Ｃによって定まる。
【０１６１】
送信回路６２は、アンテナ６１による受信電力を使用して作動する。そして、アンテナ６１から識別信号ｓｉｇ．６を送信する。識別信号ｓｉｇ．６は、ガスセンサ６０に個別に割り当てられたＩＤ情報（ユニーク値）を示す信号である。
【０１６２】
タグ体６３は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。
【０１６３】
図８３に示すように、タグ体６３の表面（上面）には、感応部７０を外気と非接触状態に維持する封止体６９が取り外し可能に装着されている。封止体６９は、タグ体６３の表面に感応部６８を覆うようにして密着させて貼り付けられた剥離シートである。
【０１６４】
タグ体６３の裏面（下面）には、粘着剤層８１が形成されている。粘着剤層８１は、剥離シート８２で覆われている。剥離シート８２は簡単に剥がすことができるようになっている（図８６参照）。
【０１６５】
６−２−２．作用・効果
ガスセンサ６０−２は、水素が発生、浸入、漏出などする空間（被監視空間）における水素の発生量等の監視用に使用される。封止体６９を剥ぎ取って、水素が発生する空間の天井などにガスセンサ６０−２を設置すると、空間中に存在する水素が感応部６８に接触するようになるため、感応部６８を構成している水素感応膜７０による水素の吸蔵が始まる。そして、水素の吸蔵に伴い、水素感応膜７０の電気抵抗率が減少していく。すなわち、水素感応膜７０は、当初の絶縁体の状態から半導体の状態を経て、導体の状態に近づいていく。水素の吸蔵に伴って共役酸化還元系の電子伝導体のエネルギー準位が低下することにより、電子伝導性が高くなるのである。そして、最後には金属と同等の導体の状態になる。その結果、アンテナ６１の両電極６５a、６５b間が短絡（電気的に導通）し、アンテナ６１が機能し得る状態になる。図８４（ｂ）はこの時点での状態を示す等価回路であり、図示しないリーダから周波数f0の電波が送信されていると、その電波をアンテナ６１が受信し、その受信電力で送信回路６２が作動する。送信回路６２が作動することにより、アンテナ６１から識別信号ｓｉｇ．６が送信される。
【０１６６】
したがって、ガスセンサ６０−２からの識別信号ｓｉｇ．６を図示しないリーダで受信できるようにしておき、その識別信号ｓｉｇ．６の有無を監視することにより、被監視空間における水素の発生量が規定値以上になったか否かを知ることができる。すなわち、識別信号ｓｉｇ．６を受信できたら、被監視空間における水素の発生量や浸入量の累積値が感応部６８を構成している水素感応膜７０を導体の状態に変化させる程の量に達したことを知ることができる。
【０１６７】
また、識別信号ｓｉｇ．６を受信することにより、ガスセンサ６０−２のＩＤ情報（ユニーク値）を知ることができるので、複数のガスセンサ６０−２が設置されている場合でも、どのガスセンサ６０−２からの信号であるかを判別することができる。
【０１６８】
また、このガスセンサ６０−２は、タグ体６３の下面に粘着剤層８１が形成され、その粘着剤層８１が剥離シート８２で覆われているので、剥離シート８２を剥がせば、図８７に示すように、ガスセンサ６０−２を被貼着物８５に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物８５の例として、水素が発生する工場や作業現場の天井面や壁面などを挙げることができる。
【０１６９】
なお、第１０の形態例では、感応部６８を構成する水素感応膜７０が絶縁体から導体に変化することによってアンテナ６１が機能し得る状態になるように構成した例を示したが、水素感応膜７０が絶縁体から導体に変化することによって送信回路６２が機能し得る状態になるように構成してもよい（図８５参照）。
【０１７０】
また、第１０の形態例では、水素感応膜７０として、水素を吸蔵することにより電気抵抗率が低下する配位高分子金属錯体膜を用いた例を示したが、水素ガスに感応するその他の膜を用いてもよい。その一例として、酸化タングステンを主成分とする結晶微粒子の集合体で構成され、結晶微粒子酸化タングステンの表面に酸化状態の触媒金属を含有した水素感応膜を挙げることができる。結晶微粒子酸化タングステンは、その平均粒子径が１５ｎｍから８０ｎｍであることが望ましい。結晶微粒子酸化タングステンは、所定の比率の酸素欠陥を有する。結晶微粒子酸化タングステンの酸素原子数とタングステン原子数との比は２．５４から２．６３であることが望ましい。結晶微粒子酸化タングステンは、少なくとも三斜晶系（ｔｒｉｃｌｉｎｉｃ）と斜方晶系（ｍｏｎｏｃｌｉｎｉｃ）の結晶構造とを含む。微粒子酸化タングステンに、バナジウム（Ｖ）、クロム（Ｃｒ）、マンガン（Ｍｎ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、ニオブ（Ｎｂ）、モリブデン（Ｍｏ）、レニウム（Ｒｅ）、チタン（Ｔｉ）のいずれかの金属、または、これらの金属のいずれかの混合物が、タングステンに対して、０．２５モル％〜５モル％の濃度でドープされていてもよい。上記触媒金属は、微粒子酸化タングステンに含有される全触媒金属量の１８％から９０％が酸化状態であることが望ましいとされている。上記触媒金属のタングステンに対する割合は、１．８モル％〜１１モル％であることが望ましいとされている。上記触媒金属の平均粒子径は２ｎｍから３５ｎｍであることが望ましいとされている。上記触媒金属として、白金、（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、オスニウム（Ｏｓ）、パラジウム（Ｐｄ）、ロジウム（Ｒｈ）、ルテニウム（Ｒｕ）のいずれかの金属、または、これらの金属のいずれかの混合物を用いることもできる。（特開２００５−３３１３６４号公報参照）
【０１７１】
また、感応部６８としてＳｎＯ2薄膜を使用すればその他の還元性ガス（一酸化炭素ガ
ス、炭化水素系ガス（ＬＰＧ、都市ガス、天然ガス、メタンガス、ハロゲン化炭化水素系ガス等）、アルコール系ガス、アルデヒド系ガス、硫化水素ガス、等）用のガスセンサを実現することも可能である。すなわち、正常な空気中では表面の酸素原子（または酸素分子）がＳｎＯ2薄膜中の電子をとらえているため電気が流れにくい状態にあるが、還元性
ガス中ではＳｎＯ2薄膜の表面の酸素原子が還元ガスと反応して取り去られて、ＳｎＯ2薄膜中の電子が自由になり、その結果として電気が流れやすくなる。この原理を利用して、感応部６８の電気抵抗が低下したらアンテナ６１から識別信号ｓｉｇ．６が送信されるように構成するのである。
【産業上の利用可能性】
【０１７２】
［防災用センサ］
本発明の無線タグ型センサは、防災用のセンサとして利用できる。たとえば、無線タグ型センサをコンセントの近くに設置して、綿埃や湿気、油分などを検知することにより、トラッキング現象の発生を未然に防ぐことができる。すなわち、コンセントに電気器具のプラグを長期間差し込んだままにしていると、コンセントとプラグの隙間に綿埃などが溜まり、コンセントとプラグの間で火花が発生する可能性があるが、無線タグ型センサによって綿埃などが溜まったことを検知することにより、そのような危険な状態になる前に掃除をするなど適切に対処できる。更に、本発明の無線タグ型センサは、自動車の排気ガス、煙、花粉など環境有害物質を検出する環境計測用センサとしても利用できる可能性がある。更に、本発明の無線タグ型センサは、粉塵爆発等の危険防止装置の部品として使用することも可能である。
【０１７３】
［ＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ、ＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置］
また、本発明の無線タグ型センサによれば、これを電気機器の電源プラグ（差込プラグ）と一体化することにより、ＲＦＩＤセンサ付き電源プラグを実現できる。このＲＦＩＤセンサ付き電源プラグは、コンセント（商用電源の電力出力端子）からの電力を利用してセンサ部（粒子検出部、油分検出部、等）、アンテナ及び送信回路を作動させ、識別信号を高出力で送信することができる。
【０１７４】
また、本発明の無線タグ型センサによれば、これを電源プラグが接続されるコンセント装置と一体化することにより、ＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置を実現できる。このＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置は、商用電源の電力を利用してセンサ部（粒子検出部、油分検出部、等）、アンテナ及び送信回路を作動させ、識別信号を高出力で送信することができる。
【０１７５】
ＲＦＩＤセンサ付き電源プラグは、たとえば以下の構成により実現できる。
【０１７６】
構成例１：アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体（樹脂製のプラグ本体）と、樹脂体の表面の一部であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域を挟んで対向配置された一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間が短絡することによりアンテナの回路が形成されるように構成したＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１７７】
構成例２：アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体（樹脂製のプラグ本体）と、樹脂体の表面の一部に形成された凹部の内面又は内部空間であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域を挟んで対向配置された一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間が短絡することによりアンテナの回路が形成されるように構成したことを特徴とするＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１７８】
構成例３：構成例２において、前記電極を前記凹部の深さ方向に離間させて複数対配置するとともに前記アンテナを複数備え、複数対の電極間が順次短絡することにより複数のアンテナの回路が順次形成されるように構成したＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１７９】
構成例４：構成例２において、前記電極を前記凹部の深さ方向に離間させて複数対配置し、短絡した電極対に応じて又は短絡した電極対の数に応じて異なる信号を送信するように構成したＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１８０】
構成例５：構成例１〜４のいずれかにおいて、前記電極は、前記粒子検出領域に前記検知対象粒子が複数個付着したときに対をなす電極間が短絡するように対をなす両電極相互の間隔が選定されているＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１８１】
構成例６：アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体（樹脂製のプラグ本体）と、樹脂体の表面の一部であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域に互いの間隙が重なるようにして互いに並行に設けられた一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間の静電容量が変化することにより、アンテナから送信される信号が変化するように構成したＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１８２】
構成例７：アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体（樹脂製のプラグ本体）と、樹脂体の表面の一部に形成された凹部の内面又は内部空間であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域を挟んで対向配置された一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間の静電容量が変化することにより、アンテナから送信される信号が変化するように構成したＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１８３】
構成例８：構成例６または７において、前記一対の電極は、前記粒子検出領域に前記検知対象粒子が複数個付着し得るように両電極相互の間隔が選定されているＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１８４】
構成例９：構成例６〜８のいずれかにおいて、前記電極は、前記樹脂体を構成する樹脂で覆われているＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１８５】
構成例１０：アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体（樹脂製のプラグ本体）と、樹脂体の表面の検知対象粒子が付着する位置に形成された受光窓と、受光窓を通して入射する光を検出する受光素子と、を備え、受光素子の出力に応じてアンテナから送信される信号が変化するように構成したＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１８６】
構成例１１：構成例１０において、前記受光素子は、フォトダイオード又は太陽電池であるＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１８７】
構成例１２：アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体（樹脂製のプラグ本体）と、樹脂体の検知対象粒子が付着する位置に固定して設けられ且つ所定の出力で発光する発光素子と、樹脂体の検知対象粒子が付着する位置に固定して設けられ且つ発光素子からの光を受光する受光素子と、を備え、受光素子の出力に応じてアンテナから送信される信号が変化するように構成したＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１８８】
構成例１３：構成例１〜１２のいずれかにおいて、被貼着物に貼り付けるための粘着剤層と、粘着剤層を覆う剥離シートとを備えたＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１８９】
構成例１４：アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体（樹脂製のプラグ本体）と、樹脂体の表面の一部に形成された凹部の内面又は内部空間であって油分が浸入する油分検出領域と、前記油分検出領域を挟んで対向配置された電極の対と、を備え、前記油分検出領域に浸入した油分によって両電極間の静電容量が変化することにより、アンテナから送信される信号が変化するように構成したＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１９０】
構成例１５：構成例１４において、前記電極は、前記樹脂体を構成する樹脂で覆われているＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１９１】
構成例１６：構成例１４または１５において、被貼着物に貼り付けるための粘着剤層と、粘着剤層を覆う剥離シートとを備えたＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１９２】
構成例１７：アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を気密に一括収容した樹脂体（樹脂製のプラグ本体）と、樹脂体から露出した感応部と、を備え、前記感応部を検知対象ガスとの反応によりその電気抵抗率が変化する物質で形成し、前記感応部の電気抵抗率が変化することにより、前記アンテナから送信される信号が変化するように構成したＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１９３】
構成例１８：前記感応部を外気と非接触状態に維持する封止体を取り外し可能に備えた請求項１７のＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１９４】
構成例１９：構成例１８において、前記封止体は、前記樹脂体の表面に前記感応部を覆うようにして密着させて貼り付けられた剥離シートであるＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１９５】
構成例２０：構成例１７〜１９のいずれかにおいて、前記感応部の電気抵抗率が増大することにより前記アンテナ又は前記送信回路が機能し得ない状態になるように構成したＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１９６】
構成例２１：構成例１７〜１９のいずれかにおいて、前記感応部の電気抵抗率が低下することにより前記アンテナ又は前記送信回路が機能し得る状態になるように構成したＲＦＩＤセンサ付き電源プラグ。
【０１９７】
ＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置は、たとえば以下の構成により実現できる。
【０１９８】
構成例１：一つ又は複数の電源プラグを挿抜自在に接続可能なコンセント装置であって、アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体（樹脂製のコンセント本体）と、樹脂体の表面の一部であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域を挟んで対向配置された一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間が短絡することによりアンテナの回路が形成されるように構成したＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０１９９】
構成例２：一つ又は複数の電源プラグを挿抜自在に接続可能なコンセント装置であって、アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体（樹脂製のコンセント本体）と、樹脂体の表面の一部に形成された凹部の内面又は内部空間であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域を挟んで対向配置された一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間が短絡することによりアンテナの回路が形成されるように構成したことを特徴とするＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２００】
構成例３：構成例２において、前記電極を前記凹部の深さ方向に離間させて複数対配置するとともに前記アンテナを複数備え、複数対の電極間が順次短絡することにより複数のアンテナの回路が順次形成されるように構成したＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２０１】
構成例４：構成例２において、前記電極を前記凹部の深さ方向に離間させて複数対配置し、短絡した電極対に応じて又は短絡した電極対の数に応じて異なる信号を送信するように構成したＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２０２】
構成例５：構成例１〜４のいずれかにおいて、前記電極は、前記粒子検出領域に前記検知対象粒子が複数個付着したときに対をなす電極間が短絡するように対をなす両電極相互の間隔が選定されているＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２０３】
構成例６：一つ又は複数の電源プラグを挿抜自在に接続可能なコンセント装置であって、アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体（樹脂製のコンセント本体）と、樹脂体の表面の一部であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域に互いの間隙が重なるようにして互いに並行に設けられた一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間の静電容量が変化することにより、アンテナから送信される信号が変化するように構成したＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２０４】
構成例７：一つ又は複数の電源プラグを挿抜自在に接続可能なコンセント装置であって、アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体（樹脂製のコンセント本体）と、樹脂体の表面の一部に形成された凹部の内面又は内部空間であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域を挟んで対向配置された一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間の静電容量が変化することにより、アンテナから送信される信号が変化するように構成したＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２０５】
構成例８：構成例６または７において、前記一対の電極は、前記粒子検出領域に前記検知対象粒子が複数個付着し得るように両電極相互の間隔が選定されているＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２０６】
構成例９：構成例６〜８のいずれかにおいて、前記電極は、前記樹脂体を構成する樹脂で覆われているＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２０７】
構成例１０：一つ又は複数の電源プラグを挿抜自在に接続可能なコンセント装置であって、アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体（樹脂製のコンセント本体）と、樹脂体の表面の検知対象粒子が付着する位置に形成された受光窓と、受光窓を通して入射する光を検出する受光素子と、を備え、受光素子の出力に応じてアンテナから送信される信号が変化するように構成したＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２０８】
構成例１１：構成例１０において、前記受光素子は、フォトダイオード又は太陽電池であるＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２０９】
構成例１２：一つ又は複数の電源プラグを挿抜自在に接続可能なコンセント装置であって、アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体（樹脂製のコンセント本体）と、樹脂体の検知対象粒子が付着する位置に固定して設けられ且つ所定の出力で発光する発光素子と、樹脂体の検知対象粒子が付着する位置に固定して設けられ且つ発光素子からの光を受光する受光素子と、を備え、受光素子の出力に応じてアンテナから送信される信号が変化するように構成したＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２１０】
構成例１３：構成例１〜１２のいずれかにおいて、被貼着物に貼り付けるための粘着剤層と、粘着剤層を覆う剥離シートとを備えたＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２１１】
構成例１４：一つ又は複数の電源プラグを挿抜自在に接続可能なコンセント装置であって、アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体（樹脂製のコンセント本体）と、樹脂体の表面の一部に形成された凹部の内面又は内部空間であって油分が浸入する油分検出領域と、前記油分検出領域を挟んで対向配置された電極の対と、を備え、前記油分検出領域に浸入した油分によって両電極間の静電容量が変化することにより、アンテナから送信される信号が変化するように構成したＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２１２】
構成例１５：構成例１４において、前記電極は、前記樹脂体を構成する樹脂で覆われているＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２１３】
構成例１６：構成例１４または１５において、被貼着物に貼り付けるための粘着剤層と、粘着剤層を覆う剥離シートとを備えたＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２１４】
構成例１７：一つ又は複数の電源プラグを挿抜自在に接続可能なコンセント装置であって、アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を気密に一括収容した樹脂体（樹脂製のコンセント本体）と、樹脂体から露出した感応部と、を備え、前記感応部を検知対象ガスとの反応によりその電気抵抗率が変化する物質で形成し、前記感応部の電気抵抗率が変化することにより、前記アンテナから送信される信号が変化するように構成したＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２１５】
構成例１８：前記感応部を外気と非接触状態に維持する封止体を取り外し可能に備えた請求項１７のＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２１６】
構成例１９：構成例１８において、前記封止体は、前記樹脂体の表面に前記感応部を覆うようにして密着させて貼り付けられた剥離シートであるＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２１７】
構成例２０：構成例１７〜１９のいずれかにおいて、前記感応部の電気抵抗率が増大することにより前記アンテナ又は前記送信回路が機能し得ない状態になるように構成したＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２１８】
構成例２１：構成例１７〜１９のいずれかにおいて、前記感応部の電気抵抗率が低下することにより前記アンテナ又は前記送信回路が機能し得る状態になるように構成したＲＦＩＤセンサ付きコンセント装置。
【０２１９】
［エバネセントモードを用いた無線通信システム］
本発明の無線タグ型センサは、エバネセントモードを用いた無線通信システムの子局（センサ）として用いることもできる。以下、本発明の無線タグ型センサを用いた無線通信システム（粒子状物質監視システム、油分監視システム、ガス監視システム、等を含む。）について説明する。ここでは、特開２００４−３２５８１号公報の記載を利用させていただく。
【０２２０】
従来の無線ＬＡＮ、例えばＧＨｚ帯を利用する無線ＬＡＮでは、その使用電波の周波数特性から、以下に示す課題がある。
（１）アクセスポイント（親局）とクライアント（子局）との間に所定の空中線電界強度を得るために、局間の見通しを確保する必要があり、建物内の設備の配置計画時、設備の移設時に局配置に制約を受けやすく、導入・維持管理コストの削減に限界がある。
（２）建屋外に電波の漏れが生じやすい周波数帯であり、隣接した建屋の無線
ＬＡＮ間で混信が発生しやすく、建物ごとの独立性が確保しにくい。
（３）既設の無線通信（ＩＥＥＥ８０２．１１やＰＨＳ、赤外線通信等）で構築されたサービスに加え、新たなサービスを無線通信で構築しようとする場合、混信なく併設可能となる無線通信の選択肢が限定される。
【０２２１】
セキュリティシステム分野でのデータ伝送には、上記のＧＨｚ帯を使用したネットワーク（ＬＡＮ）や、種々の無線技術が使われてきたことは上記のとおりである。しかるに、大規模で複雑な建物内の設備配置から構成される生産ラインに無線技術を適用するには、上記の課題に対して、何らかの改良が行われることが強く望まれている。
【０２２２】
例えば、大型プラント内における作業者の位置の把握を行う手法を考える。自己申告の不要な所在確認として近年ＰＨＳ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｈａｎｄｙｐｈｏｎｅ  Ｓｙｓｔｅｍ）を使用したシステムが取り入れられている。各部屋にＰＨＳの基地局（親局）を設置し、部屋の中で端末（子局）を保持する物体の有無を確認、全体を統括するコンピュータで各端末がどの部屋に存在するかを記録、監視する。しかし、この場合親局間距離が近い場合混信が生じる場合があることと子局と親局の間の見通しを確保する必要があるため様々な機械が入り組むプラント内では親局の適正な設置計画を組むことが難しい。さらに、設備・機器の改修が行われた場合には再び親局の設置を見直す必要がある。
【０２２３】
本発明は、無線タグ（子局）と読取装置（親局）との間の見通しを確保することが困難な建造物（施設）においても、建造物の各所に設置した無線タグ型センサからの信号に基づいて、建造物の各所の状況（粒子状物質の発生或いは浸入状況、油分の発生或いは浸入状況、特定のガスの発生或いは浸入状況）を検知できる施設内監視システムを提供するものである。
【０２２４】
この施設内監視システムは、導電体の建造物構造体、導電体の流体物供給管或いは導電体の電気供給管に高周波電流を誘起し、これら被誘起体を伝播路として作用させて電磁界を発生させる電磁界発生装置と、建造物の各所（床、天井、壁、等）に設置された無線タグ（子局）と、前記無線タグに記憶されている情報を読み取る読取装置（親局）と、を備え、前記無線タグと前記読取装置との通信を前記電磁界を利用して行うように構成される。そして、無線タグ（子局）として、本発明の粉塵センサ、油センサ又はガスセンサ（すなわち、請求項１〜２５のいずれかに記載の無線タグ型センサ）を用いる。
【０２２５】
上記のように構成されたシステムは、導入・維持が容易で、建物間の独立性を確保し、既設の無線通信方式と併設が可能である。そして、このシステムによれば、大規模で複雑な構造をもつ建物内の各所の状況（粒子状物質の発生或いは浸入状況、油分の発生或いは浸入状況、特定のガスの発生或いは浸入状況）を一括して監視可能な施設内監視システムを実現することができる。
【０２２６】
エバネセントモードの形成は次のように行われる。
（１）建物に高周波電流を注入する。注入された高周波電流が、壁内の鉄骨、電線管等を誘起する。
（２）高周波電流が、建物内で電気的に接続された鉄骨、電線管等が給電路として作用し、各部屋の壁までエネルギーを伝える。
（３）そして、部屋を取り囲む壁が、次の２つの物理現象によってエバネセントモードを室内に形成する。
（ａ）導波管の注入面として動作し、壁面に垂直な方向に指数的に減衰するエバネセント波を作り出す。
（ｂ）電導体の表面に誘電体が接触した「２層の表面波線路」を形成し、誘電体の中を壁面に平行な方向に高周波電流が進行波として伝播し、誘電体の表面から室内に向かう壁面に垂直な方向に指数関数的に減衰するエバネセント波を作り出す。
【０２２７】
上記（３）（ａ）の電磁波挙動は、導波管のカットオフ周波数以下でのエバネセントモードであり、「Ｔｈｅ  Ｆｅｙｎｍａｎ  Ｌｅｃｔｕｒｅｓ  ｏｎ  Ｐｈｙｓｉｃｓ  Ｖｏｌ．  ＩＩＩ，  Ｃｈａｐｔｅｒ  ３  "Ｗａｖｅ  Ｇｕｉｄｅ"，Ｆｅｙｎｍａｎ，  Ｌｅｉｇｈｔｏｎ  ａｎｄ  Ｓａｎｄｓ，  Ａｄｄｉｓｏｎ−Ｗｅｓｌｅｙ  ＰｕｂｌｉｓｈｉｎｇＣｏｍｐａｎｙ  （１９６５）」に解説がある。また、上記（３）（ｂ）の電磁波挙動は、電導体と誘電体とを組み合わせた表面波線路からのエバネセン波であり、「稲垣直樹著，"電気・電子学生のための電磁波工学"丸善（１９８０）」に解説がある。
【０２２８】
図８８を参照して、エバネッセン通信による施設内監視システムを具体的に説明する。
【０２２９】
建物１００は、鉄骨等の構造物１２０が機械的に接合されたものであり、構造物１２０が電気的にも接続されたものとなっている。さらに、建物１００の壁内、床・天井間もしくは部屋内には、水道管１３０、電線管・ケーブル（あるいは「ケーブル」は「ケーブルトレイ」とも称する。以下同様）・ダクト１４０等金属性のものが配置されている。読取装置（リーダ、親局、アクセスポイント）は、建物構造物１２０、水道管１３０、電線管・ケーブル・ダクト１４０等の電導体に対して高周波電流を注入し建物内の各部屋にエバネセントモードの電場を形成するための電気エネルギー注入器１５０（以下、エキサイタと称す）と、データ・制御信号を電気エネルギーとの間の相互変換を行うためのハブ１６０とを備えている。ハブ１６０は、有線或いは無線によるネットワークシステム１７０によって、建物１００内或いは建物１００外の図示しない通信システム或いはサーバと接続されている。導電体に高周波電流を誘起し、伝播路を伝播させ、電磁界を発生させるエバネセント通信では、この発生させた電磁界を利用して、通信をおこなう。
【０２３０】
建物１００内には、無線タグ型センサ（子局）１８０が各所に配置されている。無線タグ型センサ（子局）１８０は、エバネセントモードの空中線電界とエネルギー交換するアンテナ１８０Ａ（１１、２１、３１、４１、５１、６１）とセンサ本体１８０Ｂ（１３、２３、３３、４３、５３、６３）とを備える。図８８では、アンテナ１８０Ａがセンサ本体１８０Ｂに接続された形態として描かれているが、アンテナ１８０Ａは、実際には、送信回路（１２、３２、４２、５２、６２）と共にセンサ本体１８０Ｂ内に一括収容されている。
【０２３１】
このエバネセント通信技術では、例えば短波帯近傍の高周波を用いることにより、建物１００の内部に空中線電界強度を得られ、見通しの遮られた個々の部屋への通信が可能となる。また、建物固有のカットオフ周波数以下での運用によって、建物１００の外部への空中線電界の漏洩がないため、建物１００ごとに独立した通信環境を確立することが可能となる。
【０２３２】
この施設内監視システムは、無線タグ型センサ（子局）１８０が他の物体（金属部品を多く含む機械器具、鉄板、金網その他の電波遮蔽体）の裏側に設置されている場合でも、他の通信方式に比べて良好な回り込み特性により良好な通信を行うことができるので（すなわち、無線タグ型センサ（子局）１８０が建物１００の床や壁、天井などエバネセントモードの電磁波強度の強い場所に設置されているので）、見通しの遮断によるエラー率の悪化等がない。よって、無線タグ型センサ（子局）１８０からの信号を確実にキャッチすることができる。人や荷物など無線通信の障害に成り得る物体が無線タグ型センサ（子局）１８０の見通しを遮断する場合も同様である。つまり、従来無線通信の障害物となっていた物体の存在の有無に拘わらず、エバネセントモードでは良好な通信を行うことができる。
【０２３３】
この施設内監視システムは、鉄鋼工場、半導体装置製造工場、食品工場、病院、一般住居、等、様々な施設の状況監視システムとして適用可能である。
【符号の説明】
【０２３４】
１０−１  粉塵センサ
１０−２  粉塵センサ
１０−３  粉塵センサ
１１  アンテナ
１１−１  アンテナ
１１−２  アンテナ
１２  送信回路
１３  タグ体（樹脂体、電磁波を透過する物質で形成された気密封止体）
１４  粒子検出領域
１５ａ  電極
１５ｂ  電極
１５Ｌ  電極対
１５Ｕ  電極対
１６  凹部
１７  粒子検出領域
２０−１  粉塵センサ
２０−２  粉塵センサ
２１  アンテナ
２２  送信回路
２３  タグ体（樹脂体、電磁波を透過する物質で形成された気密封止体）
２４  粒子検出領域
２５ａ  電極
２５ｂ  電極
２６  凹部
２７  粒子検出領域
３０  粉塵センサ
３１  アンテナ
３２  送信回路
３３  タグ体（樹脂体、電磁波を透過する物質で形成された気密封止体）
３４  受光窓
３５  受光素子
３６  透明樹脂板
４０  粉塵センサ
４１  アンテナ
４２  送信回路
４３  タグ体（樹脂体、電磁波を透過する物質で形成された気密封止体）
４４  発光素子
４５  受光素子
５０  油センサ
５１  アンテナ
５２  送信回路
５３  タグ体（樹脂体、電磁波を透過する物質で形成された気密封止体）
５４  油分検出領域
５５ａ  電極
５５ｂ  電極
５６  凹部
６０−１  ガスセンサ
６０−２  ガスセンサ
６１  アンテナ
６１−１  第１のアンテナ
６１−２  第２のアンテナ
６２  送信回路
６３  タグ体（樹脂体、電磁波を透過する物質で形成された気密封止体）
６５−１a  電極
６５−１b  電極
６５−２a  電極
６５−２b  電極
６６  Ｆｅ薄膜
６７  Ｆｅ薄膜
６８−１  第１感応部
６８−２  第２感応部
６８  感応部
７０  水素感応膜
７１  絶縁体
８１  粘着剤層
８２  剥離シート
Ｄ0  間隔
Ｐ  検知対象粒子
Ｐｃ  導体微粒子（検知対象粒子）
Ｐｉ  誘電体微粒子（検知対象粒子）
Ｏｉｌ  油分
【図１】
0005495077.tif 000002
【図２】
0005495077.tif 000003
【図３】
0005495077.tif 000004
【図４】
0005495077.tif 000005
【図５】
0005495077.tif 000006
【図６】
0005495077.tif 000007
【図７】
0005495077.tif 000008
【図８】
0005495077.tif 000009
【図９】
0005495077.tif 000010
【図１０】
0005495077.tif 000011
【図１１】
0005495077.tif 000012
【図１２】
0005495077.tif 000013
【図１３】
0005495077.tif 000014
【図１４】
0005495077.tif 000015
【図１５】
0005495077.tif 000016
【図１６】
0005495077.tif 000017
【図１７】
0005495077.tif 000018
【図１８】
0005495077.tif 000019
【図１９】
0005495077.tif 000020
【図２０】
0005495077.tif 000021
【図２１】
0005495077.tif 000022
【図２２】
0005495077.tif 000023
【図２３】
0005495077.tif 000024
【図２４】
0005495077.tif 000025
【図２５】
0005495077.tif 000026
【図２６】
0005495077.tif 000027
【図２７】
0005495077.tif 000028
【図２８】
0005495077.tif 000029
【図２９】
0005495077.tif 000030
【図３０】
0005495077.tif 000031
【図３１】
0005495077.tif 000032
【図３２】
0005495077.tif 000033
【図３３】
0005495077.tif 000034
【図３４】
0005495077.tif 000035
【図３５】
0005495077.tif 000036
【図３６】
0005495077.tif 000037
【図３７】
0005495077.tif 000038
【図３８】
0005495077.tif 000039
【図３９】
0005495077.tif 000040
【図４０】
0005495077.tif 000041
【図４１】
0005495077.tif 000042
【図４２】
0005495077.tif 000043
【図４３】
0005495077.tif 000044
【図４４】
0005495077.tif 000045
【図４５】
0005495077.tif 000046
【図４６】
0005495077.tif 000047
【図４７】
0005495077.tif 000048
【図４８】
0005495077.tif 000049
【図４９】
0005495077.tif 000050
【図５０】
0005495077.tif 000051
【図５１】
0005495077.tif 000052
【図５２】
0005495077.tif 000053
【図５３】
0005495077.tif 000054
【図５４】
0005495077.tif 000055
【図５５】
0005495077.tif 000056
【図５６】
0005495077.tif 000057
【図５７】
0005495077.tif 000058
【図５８】
0005495077.tif 000059
【図５９】
0005495077.tif 000060
【図６０】
0005495077.tif 000061
【図６１】
0005495077.tif 000062
【図６２】
0005495077.tif 000063
【図６３】
0005495077.tif 000064
【図６４】
0005495077.tif 000065
【図６５】
0005495077.tif 000066
【図６６】
0005495077.tif 000067
【図６７】
0005495077.tif 000068
【図６８】
0005495077.tif 000069
【図６９】
0005495077.tif 000070
【図７０】
0005495077.tif 000071
【図７１】
0005495077.tif 000072
【図７２】
0005495077.tif 000073
【図７３】
0005495077.tif 000074
【図７４】
0005495077.tif 000075
【図７５】
0005495077.tif 000076
【図７６】
0005495077.tif 000077
【図７７】
0005495077.tif 000078
【図７８】
0005495077.tif 000079
【図７９】
0005495077.tif 000080
【図８０】
0005495077.tif 000081
【図８１】
0005495077.tif 000082
【図８２】
0005495077.tif 000083
【図８３】
0005495077.tif 000084
【図８４】
0005495077.tif 000085
【図８５】
0005495077.tif 000086
【図８６】
0005495077.tif 000087
【図８７】
0005495077.tif 000088
【図８８】
0005495077.tif 000089