(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子の発光特性を測定する発光特性測定装置において、
配列された複数の発光素子からの光が入射され得る大きさの入射口を有し、該入射口から入射した光を均一化する光学積分器と、
前記光学積分器で均一化された光を受光する受光装置と、
前記複数の発光素子を択一的に順次発光させるとともに、前記受光装置から順次得られる受光結果を前記光学積分器の入射口に対する前記発光素子の位置に応じて補正する制御処理装置と
を備えることを特徴とする発光特性測定装置。
【請求項２】
前記複数の発光素子を配列方向に沿って移動させ得るステージ装置を備えており、
前記制御処理装置は、前記ステージ装置を制御して、前記光学積分器の入射口で光を取り込み可能な数の発光素子を単位として、前記複数の発光素子を前記配列方向に移動させる
ことを特徴とする請求項１記載の発光特性測定装置。
【請求項３】
前記制御処理装置は、前記光学積分器の入射口の中心位置に配置された前記発光素子が発光した場合に前記受光装置から得られる受光結果と同じくなるように、前記受光素子から順次得られる受光結果を補正することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の発光特性測定装置。
【請求項４】
前記制御処理装置は、予め求められた高次の補正関数或いは補正テーブルを用いて、前記受光素子から順次得られる受光結果を補正することを特徴とする請求項３記載の発光特性測定装置。
【請求項５】
前記受光装置は、前記光学積分器で均一化された光を分光する分光器と、
前記分光器で分光された光を受光する受光器と
を備えることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の発光特性測定装置。
【請求項６】
発光素子の発光特性を測定する発光特性測定方法であって、
配列された複数の発光素子からの光が入射され得る大きさの入射口を有する光学積分器に対し、射出される光が前記光学積分器の入射口に入射するように前記複数の発光素子を配置する第１ステップと、
前記複数の発光素子を択一的に順次発光させるとともに、前記光学積分器で均一化された光を順次受光して得られる受光結果を前記光学積分器の入射口に対する前記発光素子の位置に応じて補正する第２ステップと
を有することを特徴とする発光特性測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光素子の発光特性を測定する発光特性測定装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
発光ダイオード（ＬＥＤ：Light Emitting Diode）やレーザダイオード（ＬＤ：Laser Diode）等の発光素子は、寿命が長い、発光効率が高い、消費電力が少ない、小型である等の利点を有するため、近年、様々な分野で多用されている。例えば、発光ダイオードは、消費電力が少ないという利点から、白熱電球に替わる照明装置として用いられる機会が飛躍的に増大している。また、レーザダイオードは、小型のコヒーレントな光源として、光学ドライブの光ピックアップ、コピー機やレーザプリンタ等の様々な機器で広く用いられている。
【０００３】
これらの光源素子は、周知の通り、半導体基板上にｐｎ接合を形成するための成膜工程、ｐｎ接合が形成された半導体基板をチップ状に加工する加工工程等を含む一連の製造工程を経て製造された後に、最終検査工程において発光特性が測定される。ここで、発光素子の発光特性とは、例えば発光素子から射出される光の光量や波長特性（スペクトル）等の特性である。以下の特許文献１，２には、発光素子の発光特性を測定する従来の測定方法が開示されている。
【０００４】
具体的に、以下の特許文献１には、積分球の内部に発光素子を配置して発光素子を発光させることによって、発光素子から射出される光の光量を測定する方法が開示されている。以下の特許文献２には、反射筒部内に発光素子を配置して発光素子から射出された光を反射させるとともに、反射筒部からの光を拡散板で拡散させた後に受光素子で受光することによって、発光素子の発光量を検査する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−７６１２６号公報
【特許文献２】特開２０１１−２２６８６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、近年においては、前述した通り、発光ダイオードやレーザダイオード等の発光素子の需要が急速に高まっているため、発光素子の最終検査を効率的に行うことが望まれている。また、最終検査に要する時間が長くなるとその分だけ発光素子のコスト上昇に繋がるため、コスト低減の面からも発光素子の最終検査を効率的に行うことが望まれている。
【０００７】
上述した特許文献１，２に開示された測定方法は、基本的には積分球又は反射筒部の内部に配置された発光素子の発光特性を１つずつ測定するものである。このため、これらの測定方法を用いて複数の発光素子の発光特性を測定しようとすると、１つの発光素子を積分球等の内部に配置して発光特性を測定した後で、測定を終えた発光素子を積分球等から取り出すとともに、次に測定を行う新たな発光素子を積分球等の内部に配置するという動作を繰り返す必要があり、測定に時間を要するという問題があった。ここで、仮に測定時間が短縮できたとしても測定精度が低下したのでは検査の意義が薄れてしまうため、測定精度を維持しつつ測定時間を短縮する必要がある。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、複数の発光素子の発光特性を精度良く効率的に測定することができる発光特性測定装置及び方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の発光特性測定装置は、発光素子の発光特性を測定する発光特性測定装置（１）において、配列された複数の発光素子（Ｌ）からの光が入射され得る大きさの入射口（１４ａ）を有し、該入射口から入射した光を均一化する光学積分器（１４）と、前記光学積分器で均一化された光を受光する受光装置（１５）と、前記複数の発光素子を択一的に順次発光させるとともに、前記受光装置から順次得られる受光結果を前記光学積分器の入射口に対する前記発光素子の位置に応じて補正する制御処理装置（１６）とを備えることを特徴としている。
また、本発明の発光特性測定装置は、前記複数の発光素子を配列方向（Ｄ１）に沿って移動させ得るステージ装置（１１）を備えており、前記制御処理装置は、前記ステージ装置を制御して、前記光学積分器の入射口で光を取り込み可能な数の発光素子を単位として、前記複数の発光素子を前記配列方向に移動させることを特徴としている。
また、本発明の発光特性測定装置は、前記制御処理装置が、前記光学積分器の入射口の中心位置に配置された前記発光素子が発光した場合に前記受光装置から得られる受光結果と同じくなるように、前記受光素子から順次得られる受光結果を補正することを特徴としている。
また、本発明の発光特性測定装置は、前記制御処理装置が、予め求められた高次の補正関数或いは補正テーブルを用いて、前記受光素子から順次得られる受光結果を補正することを特徴としている。
また、本発明の発光特性測定装置は、前記受光装置が、前記光学積分器で均一化された光を分光する分光器（１５ａ）と、前記分光器で分光された光を受光する受光器（１５ｂ）とを備えることを特徴としている。
本発明の発光特性測定方法は、発光素子の発光特性を測定する発光特性測定方法であって、配列された複数の発光素子（Ｌ）からの光が入射され得る大きさの入射口（１４ａ）を有する光学積分器（１４）に対し、射出される光が前記光学積分器の入射口に入射するように前記複数の発光素子を配置する第１ステップ（Ｓ１１、Ｓ１２）と、前記複数の発光素子を択一的に順次発光させるとともに、前記光学積分器で均一化された光を順次受光して得られる受光結果を前記光学積分器の入射口に対する前記発光素子の位置に応じて補正する第２ステップ（Ｓ１３、Ｓ１４）とを有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、配列された複数の発光素子からの光が入射され得る大きさの入射口を有する光学積分器に対し、射出される光が光学積分器の入射口に入射するように複数の発光素子を配置し、複数の発光素子を択一的に順次発光させるとともに、光学積分器で均一化された光を順次受光して得られる受光結果を光学積分器の入射口に対する発光素子の位置に応じて補正するようにしているため、複数の発光素子の発光特性を精度良く効率的に測定することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態による発光特性測定装置の要部構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態による発光特性測定装置が備える電源コンタクト部を模式的に示す斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態による発光特性測定装置が備える積分球の外観を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態による発光特性測定方法を示すフローチャートである。
【図５】本発明の一実施形態による発光特性装置の測定時における発光素子とピンとの接触状態を示す図である。
【図６】本発明の一実施形態による発光特性測定装置の測定結果の一例を示す図である。
【図７】本発明の一実施形態による発光特性測定装置の測定時間の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態による発光特性測定装置及び方法について詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態による発光特性測定装置の要部構成を示す図である。図１に示す通り、本実施形態による発光特性測定装置１は、ステージ装置１１、電源装置１２、電源コンタクト部１３、積分球１４（光学積分器）、受光装置１５、及び制御処理装置１６を備えており、ステージ１１ａ上に配列された複数の発光素子Ｌの発光特性を測定する。
【００１３】
ここで、測定対象である発光素子Ｌは、発光ダイオード（ＬＥＤ）やレーザダイオード（ＬＤ）等であり、光の射出面をステージ１１ａの上方に向けた状態でステージ１１ａ上に配列される。尚、本実施形態では、説明を簡単にするため、発光素子Ｌは、ステージ１１ａ上において、ステージ１１ａの移動方向Ｄ１に一定の間隔をもって直線状に配列（一次元配列）されているものとする。また、上記の発光素子Ｌの発光特性とは、例えば発光素子Ｌから射出される光の光量や波長特性（スペクトル）等の特性である。
【００１４】
ステージ装置１１は、移動方向Ｄ１及び昇降方向Ｄ２に移動可能に構成されたステージ１１ａを備えており、制御処理装置１６から出力される制御信号Ｃ１に基づいて、ステージ１１ａを移動方向Ｄ１又は昇降方向Ｄ２に移動させる。このステージ装置１１は、ステージ１１ａの移動方向Ｄ１及び昇降方向Ｄ２の位置を検出するエンコーダ（図示省略）を備えており、その検出結果Ｑ１を制御処理装置１６に出力する。
【００１５】
電源装置１２は、制御処理装置１６から出力される制御信号Ｃ２に基づいて、ステージ１１ａ上に載置された発光素子Ｌを発光させるための電流又は電圧（以下、単に電流という）を電源コンタクト部１３に供給する。具体的に、電源装置１２は、電流を個別に供給することが可能な複数の出力端子（チャネル）を備えており、制御処理装置１６からの制御信号Ｃ２に基づいて電流を供給するチャネルを順次切り替えることによって、発光素子Ｌを択一的に順次発光させるための電流を電源コンタクト部１３に供給する。
【００１６】
電源コンタクト部１３は、ステージ装置１１の上方に配置されており、電源装置１２からの電流をステージ１１ａ上に載置された発光素子Ｌに供給する。図２は、本発明の一実施形態による発光特性測定装置が備える電源コンタクト部を模式的に示す斜視図であって、（ａ）は上面斜視図であり、（ｂ）は裏面斜視図である。図２に示す通り、電源コンタクト部１３は、支持板１３ａと、支持板１３ａの裏面に設けられた複数対（図１，図２に示す例では５対）のピンＰとを備えており、ステージ１１ａが上昇した場合にピンＰがステージ１１ａ上の発光素子Ｌに接触可能な位置に配置される。
【００１７】
支持板１３ａは、裏面に設けられたピンＰの根本部を支持する平板部材であり、その中央部には発光素子Ｌから射出された光を透過させるための矩形形状の開口部ＯＰが形成されている。尚、この開口部ＯＰは、形状及び大きさが積分球１４の入射口１４ａの形状及び大きさとほぼ同様に形成されており、支持板１３ａは、開口部ＯＰの長辺がステージ１１ａの移動方向Ｄ１に沿うように配置される。ピンＰは、例えばアルミニウム（Ａｌ）や銅（Ｃｕ）等の金属で形成された針状の部材であり、発光素子Ｌに接触することによって電源装置１２からの電流を発光素子Ｌに供給する。
【００１８】
具体的に、ピンＰは、支持板１３ａの裏面側において、対をなすものの先端部が互いに近接するように開口部ＯＰの長辺に沿って複数対設けられている。尚、図１，２においては、５対のピンＰを図示しているが、ピンＰの数は任意（例えば、数十対程度）である。ステージ１１ａが上昇した場合に、対をなすピンＰの先端部が発光素子Ｌに形成された一対の電極パッド（図示省略）にそれぞれ接触することによって、電源装置１２からの電流を発光素子Ｌに供給し得る状態になる。
【００１９】
積分球１４は、入射した光を空間的に積分して均一化するものであり、電源コンタクト部１３の上方に、電源コンタクト部１３に対して位置決めされた状態で配置される。図３は、本発明の一実施形態による発光特性測定装置が備える積分球の外観を示す図であって、（ａ）は正面図であり、（ｂ）は右側面図であり、（ｃ）は底面図である。図３に示す通り、積分球１４は、光が入射される入射口１４ａ、入射口１４ａから入射した光を空間的に積分して均一化する本体部１４ｂ、及び本体部１４ｂで均一化した光を射出する射出口１４ｃからなる。
【００２０】
入射口１４ａは、ステージ１１ａ上の複数の発光素子Ｌからの光を本体部１４ｂに取り込み得る大きさを有する底面視形状が矩形形状の開口であり、本体部１４ｂの底部から四角環形状の部材が下方に突出した状態に形成されることによって実現されている。尚、本実施形態では説明を簡単にするために、入射口１４ａの大きさは、電源コンタクト部１３部に設けられたピンＰの対の数と同数の５個の発光素子Ｌからの光を本体部１４ｂに取り込み可能な大きさであるとする。
【００２１】
本体部１４ｂは、発光素子Ｌから射出される光に対して高い反射率を有するとともに拡散性に優れた材料で形成された内壁を有する球形状の部材であり、入射口１４ａから入射した光を繰り返し内壁で拡散及び反射させることにより空間的に積分して均一化する。射出口１４ｃは、本体部１４ｂの背面側に設けられており、本体部１４ｂで均一化された光を外部に射出する。この射出口１４ｃには、本体部１４ｂで均一化された光を外部に導くための光ファイバＦ（図１参照）が取り付け可能である。
【００２２】
この積分球１４は、電源コンタクト部１３の支持板１３ａに形成された開口部ＯＰの上方に入射口１４ａが配置されるように電源コンタクト部１３に対して位置決めされる。尚、図１に示す例では、積分球１４と電源コンタクト部１３が離間して配置される状態を図示しているが、積分球１４の入射口１４ａが電源コンタクト部１３のピンＰに接触しないように電源コンタクト部１３の支持板１３ａに形成された開口部ＯＰに介挿されていても良い。
【００２３】
積分球１４の具体的な大きさの一例を挙げると以下の通りである。積分球１４の入射口１４は、短辺の長さが１０ｍｍ程度であって、長辺の長さが２０ｍｍ程度の大きさである。また、積分球１４の本体部１４ｂは、直径が５０ｍｍ程度の大きさである。かかる大きさの積分球１４を用いた場合には、発光素子Ｌの大きさが０．５ｍｍ角程度の大きさであるとすると、積分球１４の入射口１４は、３０〜４０個程度の発光素子Ｌからの光を本体部１４ｂに取り込み可能である。
【００２４】
受光装置１５は、光ファイバＦを介して積分球１４の射出口１４ｃに接続されており、積分球１４で均一化された光を受光して受光信号Ｒ１（受光結果）を出力する。具体的に、受光装置１５は、分光器１５ａ及び受光器１５ｂを備えており、積分球１４で均一化された光を分光器１５ａで分光し、分光された光を受光器１５ｂで受光することにより上記の受光信号Ｒ１を出力する。尚、分光器１５ａで分光する波長や分光を開始するタイミングは制御処理装置１６によって制御される。また、受光器１５ｂとしてはフォトダイオード（ＰＤ：PhotoDiode）等の受光素子を用いることができる。
【００２５】
制御処理装置１６は、制御信号Ｃ１，Ｃ２を出力してステージ装置１１及び電源装置１２を制御するとともに、受光装置１５から出力される受光信号Ｒ１に基づいて発光素子Ｌの発光特性を測定する。具体的に、制御処理装置１６は、制御信号Ｃ１を出力してステージ装置１１を制御し、積分球１４の入射口１４ａで光を取り込み可能な数の発光素子Ｌ（ここでは、５個の発光素子Ｌ）を単位として、ステージ１１ａ上の発光素子Ｌを移動方向Ｄ１に移動させる。また、制御信号Ｃ１を出力してステージ装置１１を制御し、ステージ１１ａを昇降させる。
【００２６】
また、制御処理装置１６は、電源装置１２に対して制御信号Ｃ２を出力し、ステージ１１ａ上に配列された発光素子Ｌのうちの電源コンタクト部１３のピンＰに接触している発光素子Ｌを択一的に順次発光させる。そして、発光装置１５から順次出力される受光信号Ｒ１を、積分球１４の入射口１４ａに対する発光素子Ｌの位置に応じて補正する。このような補正を行うのは、発光素子Ｌの位置に応じて積分球１４の入射口１４ａにおけるケラレの量が変わるため、そのままでは精度の良い測定を行うことができないからである。
【００２７】
具体的に、制御処理装置１６は、積分球１４の入射口１４ａの中心位置の下方に配置された発光素子Ｌが発光した場合に受光装置１５から得られる受光結果と同じくなるように、受光素子Ｌから順次得られる受光結果を補正する。つまり、入射口１４ａの中心位置の下方に受光素子Ｌが配置されている場合には、受光素子Ｌから射出された光の殆どが入射口１４ａから本体部１４ｂに入射し、ケラレの量が最小であると考えられることから、上記の補正を行っている。
【００２８】
制御処理装置１６は、予め求められた高次の補正関数（例えば、４次の補正関数）或いは補正テーブルを用いて発光装置１５から順次出力される受光信号Ｒ１を補正する。尚、補正関数や補正テーブルは、例えば以下の手順で求められる。まず、発光特性が既知である基準の発光素子をステージ１１ａに載置して発光素子の位置を変えながら発光装置１５からの受光信号Ｒ１を順次取得する。そして、各々の位置で取得された受光信号Ｒ１が、積分球１４の入射口１４ａの中心位置の下方に発光素子Ｌが配置されているときに受光装置１５から得られた受光信号Ｒ１と等しくなる補正係数や補正値を求めることによって補正関数や補正テーブルを作成する。
【００２９】
次に、上記構成における発光特性測定装置１の動作について説明する。図４は、本発明の一実施形態による発光特性測定方法を示すフローチャートである。測定に先立って、測定対象である複数の発光素子Ｌをステージ１１ａ上に載置する作業が行われる。具体的には、移動方向Ｄ１に沿って一定間隔をもって直線状に配列されるように複数の発光素子Ｌを載置する作業が行われる。
【００３０】
以上の作業が終了して測定開始の指示がなされると、制御処理装置１６からステージ装置１１に対して制御信号Ｃ１が出力され、最初に測定すべき複数の発光素子Ｌ（５個の発光素子Ｌ）を予め規定された測定準備位置に配置する処理が行われる。具体的には、最初に測定すべき５個の発光素子Ｌが、電源コンタクト部１３に設けられた５対のピンＰの下方（測定準備位置）にそれぞれ位置するようにステージ１１ａを移動方向Ｄ１に移動させる処理が行われる（ステップＳ１１：第１ステップ）。
【００３１】
ステージ１１ａの移動が完了すると、制御処理装置１６からステージ装置１１に対して再び制御信号Ｃ１が出力され、ステージ１１ａを上昇させる処理が行われる。かかる処理が行われると、測定準備位置に配置された５個の発光素子Ｌがステージ１１ａの上昇とともに上昇し、図５に示す通り、最初に測定すべき５個の発光素子Ｌが電源コンタクト部１３に設けられた５対のピンＰにそれぞれ接触した状態になる（ステップＳ１２：第１ステップ）。図５は、本発明の一実施形態による発光特性装置の測定時における発光素子とピンとの接触状態を示す図であって、（ａ）は正面図であり、（ｂ）は右側面図である。
【００３２】
以上の処理が終了すると、制御処理装置１６から電源装置１２に対して制御信号Ｃ２が出力され、最初に測定すべき５個の発光素子Ｌを択一的に順次発光させる処理が行われる（ステップＳ１３：第２ステップ）。例えば、図５（ａ）に示すピンＰに接触している５個の発光素子のうち、最も右側に位置している発光素子Ｌから左側に位置する発光素子Ｌに向かう順で択一的に順次発光させる処理が行われる。
【００３３】
発光素子Ｌの発光によって発光素子Ｌから射出された光は、積分球１４の入射口１４ａを介して本体部１４ｂに入射して空間的に積分されて均一化された後、射出口１４ｃから射出される。積分球１４の射出口１４ｃから射出された光は、光ファイバＦによって受光装置１５に導かれ、分光器１５ａで分光された後に受光器１５ｂで受光される。これにより、受光装置１５からは受光信号Ｒ１が出力される。
【００３４】
受光装置１５からの受光信号Ｒ１は、発光素子Ｌを発光させる度に出力され、順次制御処理装置１６に入力される。制御処理装置１６に順次入力される受光信号Ｒ１は、予め求められている補正関数や補正テーブルを用いて補正される。具体的に、制御処理装置１６に順次入力される受光信号Ｒ１は、積分球１４の入射口１４ａの中心位置の下方に配置された発光素子Ｌが発光した場合に受光装置１５から得られる受光結果と同じくなるように補正関数や補正テーブルを用いて補正される（ステップＳ１４：第２ステップ）。
【００３５】
以上の補正が終了すると、制御処理装置１６は、単位数の発光素子Ｌ（最初に測定すべき５個の発光素子Ｌ）の発光が終了したか否かを判断する（ステップＳ１５）。単位数の発光素子Ｌの発光が終了していないと判断した場合（判断結果が「ＮＯ」である場合）には、制御処理装置１６は、ステップＳ１３，Ｓ１４の処理を繰り返す。これに対し、単位数の発光素子Ｌの発光が終了したと判断した場合（判断結果が「ＹＥＳ」である場合）には、制御処理装置１６は、ステージ１１ａ上に載置された全ての発光素子Ｌの発光が終了したか否かを判断する（ステップＳ１６）。
【００３６】
ステージ１１ａ上に載置された全ての発光素子Ｌの発光が終了していないと判断した場合（ステップＳ１６の判断結果が「ＮＯ」の場合）には、制御処理装置１６は、ステージ装置１１に対して制御信号Ｃ１を出力してステージ１１ａを下降させ、発光素子ＬをピンＰから離間させる（ステップＳ１７）。そして、制御処理装置１６は、ステージ装置１１に対して制御信号Ｃ１を出力して次に測定すべき複数の発光素子Ｌ（５個の発光素子Ｌ）を測定準備位置に配置させ、これら発光素子Ｌの発光特性の測定を行う（ステップＳ１１〜Ｓ１４）。これに対し、ステージ１１ａ上に載置された全ての発光素子Ｌの発光が終了したと判断した場合（ステップＳ１６の判断結果が「ＹＥＳ」の場合）には、図４に示す一連の処理が終了する。
【００３７】
図６は、本発明の一実施形態による発光特性測定装置の測定結果の一例を示す図であって、（ａ）は補正を行わない場合の測定結果を示す図であり、（ｂ）は補正を行った場合の測定結果を示す図である。尚、図６（ａ），（ｂ）に示すグラフは、移動方向Ｄ１における位置を横軸にとり、受光信号Ｒ１の相対強度を縦軸にとっている。ここで、横軸の原点は、積分球１４の入射口１４ａの中心位置であり、縦軸は、積分球１４の入射口１４ａの中心位置の下方に配置された発光素子Ｌが発光した場合に受光装置１５から得られる受光信号Ｒ１に対する相対強度である。
【００３８】
図６（ａ）を参照すると、受光装置１５から出力される受光信号Ｒ１（補正を行わない場合の測定結果）の強度は、原点に配置された発光素子Ｌが発光した場合に最も高くなるが、発光している発光素子Ｌの位置が原点からずれるにつれて徐々に小さくなることが分かる。これは、原点からずれるにつれて、積分球１４の入射口１４ａにおけるケラレの量が大きくなり、積分球１４の本体部１４ｂに入射する光の量が減少するためである。
【００３９】
これに対し、受光装置１５から出力される受光信号Ｒ１に対して前述した補正を行うと、図６（ｂ）に示す通り、測定結果の強度が、位置に拘わらずほぼ一定になることが分かる。具体的には、原点からずれた位置に配置された発光素子Ｌが発光した場合に得られる受光信号Ｒ１を、原点に配置された発光素子Ｌが発光した場合に得られる受光信号Ｒ１とほぼ同じにすることができる。
【００４０】
以上の通り、本実施形態では、配列された複数の発光素子Ｌからの光が入射され得る大きさの入射口１４ａを有する積分球１４を用い、複数の発光素子Ｌを択一的に順次発光させるとともに、受光装置１５から順次得られる受光信号Ｒ１を積分球１４の入射口１４ａに対する発光素子Ｌの位置に応じて補正している。このため、複数の発光素子Ｌの発光特性を精度良く測定することができる。
【００４１】
また、本実施形態では、積分球１４の入射口１４ａで光を取り込み可能な数の発光素子Ｌ（本実施形態では、５個の発光素子Ｌ）を単位として、発光特性の測定とステージ１１ａの移動とを行っている。このため、従来に比べてステージ１１ａの移動回数を低減することができ、複数の発光素子Ｌの発光特性を効率的に測定することができる。
【００４２】
具体的に、発光素子Ｌを移動させて電源コンタクト部１３のピンＰに接触させるために必要な時間（搬送時間）をＴ１、１個の発光素子Ｌを発光させて発光特性を測定するために必要な時間（測定時間）をＴ２とする。ステージ１１ａの一度の移動で測定を行う発光素子Ｌの数（単位数）をｎ（ｎは１以上の整数）とすると、ｎ個の発光素子Ｌの発光特性を測定するために必要な時間（単位数測定時間）Ｔａは以下の（１）式で示される。
Ｔａ＝Ｔ１＋ｎ・Ｔ２  …（１）
ステージ１１ａ上に載置された発光素子Ｌの総数をＮ個とすると、Ｎ個の発光素子Ｌを測定するために必要な時間Ｔｂは以下の（２）式で示される。
Ｔｂ＝Ｎ・Ｔａ／ｎ  …（２）
【００４３】
図７は、本発明の一実施形態による発光特性測定装置の測定時間の一例を示す図である。尚、図７においては、搬送時間Ｔ１が１００［ｍｓｅｃ］、測定時間Ｔ２が１０［ｍｓｅｃ］であって、単位数ｎが１，５，１０である場合の測定時間を示している。図７に示す通り、搬送時間Ｔ１は単位数ｎに拘わらず１００［ｍｓｅｃ］である。また、測定時間Ｔ２が１０［ｍｓｅｃ］であることから、単位数ｎが１，５，１０である場合の測定に要する時間は、それぞれ１０，５０，１００［ｍｓｅｃ］である。
【００４４】
すると、単位数ｎが１，５，１０である場合の単位数測定時間Ｔａは、上記（１）式からそれぞれ１１０，１５０，２００［ｍｓｅｃ］になり、１個あたりの時間は、単位数測定時間Ｔａを単位数ｎで除算して得られ、それぞれ１１０，３０，２０［ｍｓｅｃ］になる。搬送時間Ｔ１は測定時間Ｔ２に比べて長いため、単位数ｎが小さい場合（例えば、単位数ｎが１の場合）には、１個あたりの時間の多くが搬送時間Ｔ１で占められることになる。これに対し、単位数ｎが大きくなると、搬送時間Ｔ１がいわばｎ個の発光素子Ｌに振り分けられて１個あたりの時間に占める搬送時間Ｔ１が小さくなるため、測定時間を短縮することができる。
【００４５】
以上、本発明の一実施形態による発光特性測定装置及び方法について説明したが、本発明は上述した実施形態に制限されることなく、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。例えば、上記実施形態では、説明を簡単にするために、一次元配列された発光素子Ｌを測定する例について説明したが、本発明は、二次元配列された発光素子Ｌを測定することとも可能である。
【００４６】
また、上述した実施形態において、積分球１４は、開口部１４ａが本体部１４ｂの底部から下方に突出した状態のものであったが、開口部１４ａは、必ずしも本体部１４ｂの底部から下方に突出している必要はない。例えば、本体部１４ｂの底面に切欠を形成することによって開口部１４ａが設けられていても良い。また、積分球１４の入射口１４ａの形状（底面視形状）は、矩形形状に限らず、楕円形状であっても良い。
【００４７】
また、上述した実施形態では、受光装置１５が分光器１５ａ及び受光器１５ｂを備えており、受光素子Ｌから射出される光のスペクトルを測定することが可能な発光特性測定装置を例に挙げて説明したが、スペクトルを測定する必要が無い場合には、分光器１５ａを省略することが可能である。また、かかる場合には、積分球１４の射出口１４ｃに受光装置１５（受光器１５ｂ）を直接取り付けた構成にすることも可能である。
【符号の説明】
【００４８】
１        発光特性測定装置
１１      ステージ装置
１４      積分球
１４ａ    入射口
１５      受光装置
１５ａ    分光器
１５ｂ    受光器
１６      制御処理装置
Ｄ１      移動方向
Ｌ        発光素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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