(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム内で使用する製品又は中間品用ストッカーであって、ストッカーが棚状の構造を持ち、さらには前後が開口してクリーンルーム内の気流を流通させることが出来るようにしたものであり、ストッカーの背面側に、アームを介して一定距離を置いて背面パネルを設けることによって、ストッカー外部からの異物の侵入を防ぐようにしてなり、
ストッカーに設ける背面パネルのサイズが、ストッカーの背面側開口部面積と同じ又はそれ以上であり、パネルのストッカーの背面開口部との距離が５〜２０ｃｍであることを特徴とするクリーンルーム内製品保管用ストッカー。
【請求項２】
保管する製品が半導体リソグラフィ用のペリクルまたはその中間体である請求項１に記載のクリーンルーム内製品保管用ストッカー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム内で製造される製品（特にはペリクル）又はその中間品の保管用のストッカーに関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム内で製造する製品、中間品を保管する場合、製品を空気中に露出して保管する場合、製品に製造工程中に異物が付着しないようにすることが非常に重要である。
【０００３】
例えばリソグラフィ用のペリクルは、クリーンルーム内で空気中に露出して仮保管する事があり、その場合にはスペース効率良く保管するために棚状のストッカーに保管される。
【０００４】
この棚状のストッカー１は、図１に示すように、入り口部分４が開口しているだけではなく、背面部分５も開口していることが望ましい。この様に両側が開口していることによって、クリーンルーム内に設置した際にクリーンルームのダウンフロー６によってストッカー１内に空気の流通が起こり、常に新鮮な空気によってストッカー棚内の空気が入れ替わり、製品７を清浄に保つことが可能である。なお、９は、キャスターである。
【０００５】
しかし、図１に示すように、ストッカー周辺に発塵原因１０（例えば作業する人、装置）が有る場合、逆に異物１１を含んだ汚れた空気が周辺からストッカー内に浸入し、製品を汚損してしまうことが多くあった。この場合、図２の様に、ストッカー１の背面を仕切り板１２によって塞いでしまえば、背面からの異物を含んだ空気の流通は無くなるため、ストッカー内に保管した製品７を汚染することは無くなると考えられるが、実際には、ストッカー内に製品を出し入れする際に異物がストッカー棚内に巻き込まれ、背面が閉塞されているため空気の流通が無く、一旦発生した異物がなかなか外部へ排出されないため、製品を汚染してしまう事があった。
【０００６】
そこで、例えば図３に示すような、ファンフィルターユニット１３を搭載した製品用のストッカー１が考案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−２１４５７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、このようなファンフィルターユニット１３を搭載するためには、ストッカー１に電源を供給しなくてはならず、配線によって移動がしづらくなることや、重量が重くなり同じく移動に支障が出たり、騒音やストッカーの保管、さらには価格が高価なものになるという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、以上の事情に鑑みて、クリーンルーム内で製造される製品（特にはペリクル）又はその中間品の保管用のストッカーにおいて、ストッカー周辺に発塵原因が有る場合でも製品を汚染することのないストッカーを提供することを課題とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ストッカー内に常時ダウンフローが流通し得ることによって、製品が異物で汚染される可能性を極限まで減少させることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】従来のストッカーの形態を示す説明図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は背面図である。
【図２】従来のストッカーの改良形態を示す説明図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は背面図である。
【図３】従来のストッカーの更なる改良形態を示す説明図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は背面図である。
【図４】本発明の実施の形態を示す説明図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は背面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明では、従来からある棚式のストッカーに一定の間隔を開けて背面パネルを設置することによりストッカー棚部に清浄空気の流通を行い、ストッカー内の清浄度を維持しながら周辺からの異物の浸入を防止することが出来ることを見出し、本発明を完成させた。
【００１３】
以下に本発明について、図面を参照しながら、さらに詳細に説明する。
本発明に使用するストッカーは、材質に特に制限はないが、アルミニウム合金、ステンレス鋼、鉄等の金属及びこれに表面処理を行ったもの、ポリアセタール、ポリプロピレン、ポリエチレン等の樹脂材料、またはこれらに帯電防止処理を行うか、帯電防止剤を混合して形成したもの、を用いることが出来る。一例としては、金属製の棚板を持ったストッカーが適用できる。
【００１４】
形状は特に制限はないが、スペースを取らず、床面、空間を有効に使用できる様に、立方体ないしは直方体形状のものが良い。ストッカーには、適宜架台や移動のためのキャスターなどを取り付けて使用することが出来、そのサイズも適宜選択すればよいが、高さは、人が作業しやすい高さであって、少なくとも最上段に作業者の手が届く範囲が好ましい。
【００１５】
ストッカー１は、図４に示す通り、従来用いられていた形態を基本的に継承し、適当な段数の棚板２を持ち、両側面は棚板を支えるための壁面３からなり、溶接ないしはねじ止めによって棚板と固定される。ストッカー前部は、製品を取り出せるように開口（入り口部分４）しており、また背面もクリーンルーム内の気流の流通を保たせるために、開口（背面部分５）させる。
【００１６】
次に、ストッカーを載せる架台８ないしはストッカーの側面に支柱１４を設ける。支柱１４は、ストッカー背面高さと同じかやや大きなサイズとし、背面幅より一定の距離を離れるようにアーム１５を出して設置する。背面部分５との距離は、背面から離れていれば良いが、好ましくは、アーム１５により５〜２０ｃｍ離すと良い。
設置した支柱１４間には、背面部分５からの異物１１の侵入を防止するために、幅がストッカー１と同じかやや大きめの背面パネル１６を設ける。背面パネル１６の高さは、ストッカー１の棚板２部分と同じサイズか、やや大きめであることが好ましい。
【実施例】
【００１７】
［実施例１］
以下に実施例を述べる。
アルミ合金にアルマイト処理を施した、縦１０００ｍｍ×横１０００ｍｍ×奥行き５００ｍｍの棚板５段のストッカーを用意した。このストッカーの前面と背面には、開口部を設け、棚板簡にクリーンルーム内の気流が流れるようにした。また、ストッカーは、高さ１０００ｍｍのキャスター付きの架台に載せた。架台には、長さ１００ｍｍのアームを取り付け、ここに厚さ１０ｍｍ、長さ１０００ｍｍの支柱を取り付けた。支柱には、幅１０００ｍｍ、高さ１００ｍｍの透明塩ビ製のパネルを取り付けた。
【００１８】
次いで、このストッカーに、予め膜上の異物数を測定したペリクルを製品搬送用のトレーに載せてセットし、このストッカーの背面パネルの近くで無塵衣を着て立ち、無塵衣の表面を軽く３分間たたいた。その後、ストッカー内にセットしたペリクルを取り出し、レーザー異物検査装置によりサイズ０．３μｍ以上の異物数を調べた。この結果、ペリクル膜上に異物の増加は無かった。
【００１９】
［比較例１］
以下に比較例を述べる。
背面に支柱とパネルを設けなかった以外は実施例１と同様に、ストッカーを準備した。次いで、このストッカーに予め膜上の異物数を測定したペリクルを製品搬送用のトレーに載せてセットし、このストッカーの背面パネルの近くで無塵衣を着て立ち、無塵衣の表面を軽く３分間たたいた。その後、ストッカー内にセットしたペリクルを取り出し、レーザー異物検査装置によりサイズ０．３μｍ以上の異物数を調べた。この結果、ペリクル膜上に異物が２個増加していた。
【００２０】
背面パネルの位置と大きさ、更にはストッカー棚間の風速を変えて、ペリクル膜上の異物の増加数について調べ、結果を表１にまとめた。
【００２１】
【表１】
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【００２２】
表１に示した結果から、ストッカー／パネル間の距離が５ｃｍ以上３０ｃｍ未満（２５ｃｍ）であれば、ストッカー周辺からの発塵による異物のストッカー内への侵入および製品への付着が防止できることが分かった。逆にパネルを５ｃｍ以下の距離または３０ｃｍ以上離れた位置に設置すると異物の侵入及び製品への付着が防止できないことが判明した。
ストッカー／パネル間の距離が５ｃｍ未満であると、クリーンルーム内のダウンフローによる気流の流通が十分に起こらず、製品をストッカー内に出し入れする際にストッカー内部へ入り込んだ異物がすぐに排出されず、製品を汚染するものと考えられる。また、ストッカー／パネル間の距離が３０ｃｍ以上あると、パネルの距離がストッカーから離れすぎていて、ストッカー周辺部分で発生した異物がダウンフローによる気流とともに流入して製品を汚染してしまうものと考えられる。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
複雑な機構、エネルギー源を必要とせず、クリーンルームの特性を利用したものであり、安価で、製品の性能や歩留まりを向上できるため、クリーンルーム内で製造される様々な製品に適用可能な優れた方法である。
【符号の説明】
【００２４】
１：（棚状の）ストッカー
２：棚板
３：（両側面は棚板を支えるための）壁面
４：入り口部分
５：背面部分
６：ダウンフロー
７：製品
８：架台
９：キャスター
１０：発塵原因
１１：異物
１２：仕切り板
１３：ファンフィルターユニット
１４：支柱
１５：アーム
１６：背面パネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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