(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージ部に載置された被計測物体を観察部に対して相対移動させて、当該観察部で観察している前記被計測物体上の座標データを出力する位置情報処理部と、
ネットワークを介して接続された操作端末に、前記位置情報処理部から取得した前記座標データおよび前記座標データの取得に関するプログラムを起動させる情報を送信するサーバ部と、
前記サーバ部で実行される前記プログラムを記憶する記憶部と、を有し、
前記サーバ部は、前記操作端末からの起動要求に応じて、前記記憶部から前記プログラムを読み出して起動することにより、前記位置情報処理部から前記座標データを取得して、当該座標データを、前記操作端末に対する画面の表示と、前記画面において操作されたときの前記サーバ部に対する起動要求とを含む画面表示・制御情報とともに前記操作端末に送信するように構成された測定顕微鏡装置。
【請求項２】
前記被測定物体上の複数の座標データを取得して、当該複数の座標データから所定の計測値を取得するときに、前記複数の座標データの各々に対して、前記プログラムを前記記憶部に記憶させ、
前記画面表示・制御情報は、前記座標データの取得順序に従って、当該座標データに対応する前記プログラムを起動要求するように設定された請求項１に記載の測定顕微鏡装置。
【請求項３】
前記画面表示・制御情報は、前記プログラムの起動要求とともに、当該画面表示・制御情報に含まれる前記座標データを前記サーバ部に送信するように構成され、
前記プログラムは、前記操作端末から送信された前記座標データと、前記位置情報処理部から取得した前記座標データとを、前記画面表示・制御情報とともに前記操作端末に送信するように構成された請求項２に記載の測定顕微鏡装置。
【請求項４】
前記画面表示・制御情報は、前記操作端末に実行させる処理を含むことができ、前記座標データを前記処理により前記操作端末で演算させるように構成された請求項１〜３のいずれか一項に記載の測定顕微鏡装置。
【請求項５】
前記画面表示・制御情報は、前記座標データ及び前記演算結果を前記処理により前記操作端末で記憶させるように構成された請求項４に記載の測定顕微鏡装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定顕微鏡装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
測定顕微鏡装置は、金属加工部品、電子部品、自動車部品などの微小領域の寸法測定に使用される装置である。このような測定顕微鏡装置には、専用の操作端末若しくは専用のソフトウェアが実装されたパーソナルコンピュータ（以下、まとめて「操作端末」と呼ぶ）が接続され、観察部の焦点上にある被計測物体の座標データをこの操作端末で取得して演算することにより、寸法を測定するように構成されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２１０６１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、測定顕微鏡装置と操作端末とは１対１に接続されているため、例えば、複数の測定顕微鏡装置で測定した結果を統合して利用する場合には、操作端末からデータを取り出して別のパーソナルコンピュータ等で処理しなければならず、操作が煩雑になるという課題があった。
【０００５】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、複数の操作端末から、必要なときに接続して操作可能なように構成された測定顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するために、本発明に係る測定顕微鏡装置は、ステージ部に載置された被計測物体を観察部に対して相対移動させて、当該観察部で観察している被計測物体上の座標データを出力する位置情報処理部と、ネットワークを介して接続された操作端末に、位置情報処理部から取得した座標データおよび座標データの取得に関するプログラムを起動させる情報を送信するサーバ部と、を有する。
【０００７】
また、このような測定顕微鏡装置は、サーバ部で実行される前記プログラムを記憶する記憶部を有し、サーバ部は、操作端末からの起動要求に応じて、記憶部からインタフェースプログラムを読み出して起動することにより、位置情報処理部から座標データを取得して、当該座標データを、操作端末に対する画面の表示と、この画面において操作されたときのサーバ部に対する起動要求とを含む画面表示・制御情報とともに操作端末に送信するように構成される。
【０００８】
また、このような測定顕微鏡装置は、被測定物体上の複数の座標データを取得して、当該複数の座標データから所定の計測値を取得するときに、複数の座標データの各々に対して、前記プログラムを記憶部に記憶させ、また、画面表示・制御情報は、座標データの取得順序に従って、当該座標データに対応する前記プログラムを起動要求するように設定されることが好ましい。
【０００９】
このとき、画面表示・制御情報は、前記プログラムの起動要求とともに、当該画面表示・制御情報に含まれる座標データをサーバ部に送信するように構成され、前記プログラムは、操作端末から送信された座標データと、位置情報処理部から取得した座標データとを、画面表示・制御情報とともに操作端末に送信するように構成されることが好ましい。
【００１０】
また、このような測定顕微鏡装置において、画面表示・制御情報は、操作端末に実行させる処理を含むことができ、座標データをこの処理により操作端末で演算させるように構成されることが好ましい。
【００１１】
さらに、このような測定顕微鏡装置において、画面表示・制御情報は、座標データ及び演算結果を前記処理により操作端末で記憶させるように構成されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る測定顕微鏡装置を以上のように構成すると、１台の操作端末と固定して接続されるのではなく、複数の操作端末と必要なときに接続することができ、各々の操作端末からこの測定顕微鏡装置の操作を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】測定顕微鏡装置と操作端末の接続関係を説明するための説明図である。
【図２】測定顕微鏡装置の外観を示す側面図である。
【図３】測定顕微鏡装置の機能を示すブロック図である。
【図４】中点計測をするときのクライアント部及びサーバ部間のデータの流れを説明するための説明図である。
【図５】操作端末に表示される初期画面を示す説明図である。
【図６】操作端末に表示される第１位置選択画面を示す説明図である。
【図７】操作端末に表示される第２位置選択画面を示す説明図である。
【図８】操作端末に表示される結果表示画面を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、図１〜図３を用いて、本実施形態に係る測定顕微鏡装置の構成について説明する。図１に示すように、測定顕微鏡装置１００は、ネットワーク２００に接続されており、このネットワーク２００を介して接続される携帯端末３００ａやパーソナルコンピュータ３００ｂ（以下、まとめて「操作端末３００」と呼ぶ）からの操作により、この測定顕微鏡装置１００で観察している被計測物体の位置情報（座標データ）を出力するように構成されている。なお、ここでは、ネットワーク２００として、測定顕微鏡装置１００とパーソナルコンピュータ３００ｂとを有線で接続するハブ２００ａと、このハブ２００ａに接続されて、携帯端末３００ａを無線で接続する無線ハブ２００ｂとから構成した場合について示しているが、例えば、全ての機器を無線で接続するように構成することも可能である。また、ここでは、３台の測定顕微鏡装置１００が、ネットワーク２００に接続されている場合について示している。
【００１５】
測定顕微鏡装置１００は、図２に示すように、ベース部１１０と、ステージ部１２０と、観察部１３０と、を有して構成されている。ベース部１１０は、透過照明のための照明光学系や光源が格納された照明部１１０ａと、この照明部１１０ａの後部から上方に延びるように取り付けられた支柱１１０ｂと、から構成されている。また、ステージ部１２０は、照明部１１０ａの上部に取り付けられた基部１２１と、この測定顕微鏡装置１００を正面から見たときに、基部１２１に対して左右方向に相対移動する下ステージ１２２と、この下ステージ１２２に対して前後方向に相対移動する上ステージ１２３と、から構成される。なお、基部１２１に対する下ステージ１２２の移動は、下ハンドル１２４を回転させることにより行われ、下ステージ１２２に対する上ステージ１２３の移動は、上ハンドル１２５を回転させることにより行われる。
【００１６】
観察部１３０は、支柱１１０ｂの前側側面に、上下方向に移動可能に取り付けられ、ステージ部１２０の上方に位置している。すなわち、観察部１３０はステージ部１２０に対して、光軸に沿って上下方向に相対移動可能に構成されている。この観察部１３０には、図３に示すように、ステージ部１２０側から順に、対物レンズ１３１と、結像レンズ１３２と、接眼レンズ１３３と、を有している。ステージ部１２０の上面に載置された図示しない被計測物体から出た光は、対物レンズ１３１で集光されて略平行光に変換され、結像レンズ１３２で結像されて一次像を形成する。そして、この一次像を接眼レンズ１３３で拡大観察することにより、この観察部１３０により被計測物体を目視することができる。なお、一次像が形成される位置には指標板１３４が配置されている。この指標板１３４には、例えば、十字形状のレチクル（指標）が形成されており、レチクルの中心と、観察部１３０の光軸とが略一致するように配置されている。そのため、この観察部１３０で被計測物体を測定する測定者は、この被計測物体の像と重ね合わせてレチクルを視認することができ、この観察部１３０の光軸と被測定物体の計測箇所とを正確に位置合わせすることができる。なお、観察部１３０の物体に対する焦点合わせは、焦点調節ハンドル１３５を操作することによりこの観察部１３０を支柱１１０ｂに沿って（光軸に沿って）上下させることにより行われる。
【００１７】
以上のように、ステージ部１２０の上ステージ１２３は、観察部１３０の光軸をＺ軸方向とすると、基部１２１に対して、このＺ軸に垂直な面（ＸＹ平面）内で相対移動可能に構成されている。ここで、このＸＹ平面内でのこのステージ部１２０の移動量を検出するために、ステージ位置検出部１２６が設けられている。このステージ位置検出部１２６は、例えば、下ハンドル１２４及び上ハンドル１２５のそれぞれの回転軸上に設けられ、上下ハンドル１２４，１２５の回転方向及び回転量を出力するエンコーダで構成されている。
【００１８】
測定顕微鏡装置１００には、ステージ部１２０の上ステージ１２３の位置、すなわちこのステージ部１２０上に載置された被計測物体上の座標データを算出し、操作端末３００に出力するための制御部１４０が設けられている。なお、被計測物体上の位置は、観察部１３０の光軸（Ｚ軸）と上ステージ１２３の上面とが交差する点の座標（Ｘ，Ｙ）で表され、この座標の原点は、例えば、上ステージ１２３の略中心に設定されている。すなわち、観察部１３０で観察している被計測物体の像のうち、レチクルの中心（十字の交差部分）の位置（座標データ）を測定することができる。また、観察部１３０のＺ軸方向の位置を検出するように構成すると、被計測物体上において、観察部１３０の焦点が合っている位置の高さ情報を得ることができ、この場合は座標データ（Ｘ，Ｙ，Ｚ）で表される（以降の説明は、ＸＹ平面内での座標で説明する）。
【００１９】
制御部１４０は、位置情報処理部１４１と、インタフェース部１４２と、サーバ部１４３と、記憶部１４４と、を有している。また、操作端末３００は、クライアント部３１０と、入出力部３２０と、を有している。ここで、位置情報処理部１４１は、ステージ位置検出部１２６から出力される検出値（例えば、エンコーダから出力される回転方向及び回転量）から、ＸＹ平面内での被計測物体の座標（上ステージ１２３の所定の位置を原点として、観察部１３０の光軸が位置する座標）を算出するものである。また、インタフェース部１４２は、位置情報処理部１４１から上述の座標データを取り出すためのインタフェースである。サーバ部１４３は、ネットワーク２００を介して接続される操作端末３００のクライアント部３１０からの要求に応じて、記憶部１４４に予め記憶されている画面表示・制御情報を読み出して操作端末３００に送信するか、若しくは、インタフェースプログラムを読み出して処理を実行し、その結果生成された画面表示・制御情報を操作端末３００に送信するものである。また、本実施形態における操作端末３００の入出力部３２０は、タッチパネル式のスクリーンで構成され、クライアント部３１０により画面表示・制御情報に基づいてこの入出力部３２０に情報が出力されるとともに、タップ（タッチパネルを押す操作）された情報が入力されるように構成されている。
【００２０】
なお、本実施形態では、サーバ部１４３とクライアント部３１０とは、通信プロトコルとしてＨＴＴＰ（HyperText Transfer Protocol）を用いる場合について説明する。すなわち、本実施形態においては、サーバ部１４３はＷｅｂサーバとして実装され、クライアント部３１０はＷｅｂブラウザとして実装されている。また、画面表示・制御情報は、ハイパーテキスト記述言語（ＨＴＭＬ）で表現され、さらに、インターフェースプログラムは、Ｗｅｂサーバから呼び出されて実行されるコモンゲートウェイインタフェース（ｃｇｉ）で構成されるものとして説明する。
【００２１】
それでは、図４〜図８を用いて、被計測物体上の２点を指定して、これらの点の間の中点を計測する場合について説明する。まず、計測者は、操作端末３００において、クライアント部（Ｗｅｂブラウザー）３１０を起動し、計測を行いたい測定顕微鏡装置１００のサーバ部１４３に接続する。具体的には、クライアント部３１０に測定顕微鏡装置１００のアドレス情報を入力し、当該測定顕微鏡装置１００のサーバ部１４３に対して接続要求を送信する（ステップＳ５００）。ここで、アドレスは、ＵＲＩ（Uniform Resource Identifier）により指定することができるが、このＵＲＩには、例えば、測定顕微鏡装置１００に割り当てられたＩＰアドレスを用いることができる。なお、操作端末３００から測定顕微鏡装置１００に接続するときは、その都度ＵＲＩを入力する代わりに、Ｗｅｂブラウザーであるクライアント部３１０のお気に入りに登録しておけば、選択は容易となる。
【００２２】
測定顕微鏡装置１００のサーバ部１４３は、操作端末３００のクライアント部３１０から接続要求を受信すると、記憶部１４４から初期画面に対応する画面表示・制御情報を読み出し、操作端末３００に送信する（ステップＳ５１０）。そして、画面表示・制御情報を受信したクライアント部３１０は、この画面表示・制御情報にしたがって、例えば、図５に示す初期画面Ｇ１を入出力部３２０に表示する（ステップＳ５２０）。この初期画面Ｇ１は、接続している測定顕微鏡装置１００の情報を表示する装置情報表示領域Ｇ１ａと、測定顕微鏡装置１００に予め設定されている測定方法の一覧を表示し、選択可能なボタンで構成された測定方法選択領域Ｇ１ｂとから構成されている。ここで、画面表示・制御情報は、この測定方法選択領域Ｇ１ｂのボタンの各々が選択されると、ボタン毎に予め設定されたインタフェースプログラム（ｃｇｉ）の起動をサーバ部１４３に要求するように構成されている。なお、この図５においては、３つの測定方法（中点測定、円測定及び角度測定）が設定されている場合について示しているが、これ以外の測定方法も設定することが可能であるし、これらの測定方法の選択もボタンに限られることはない。以上のような初期画面Ｇ１が表示されている入出力部３２０において、測定者は、この初期画面Ｇ１の測定方法選択領域Ｇ１ｂの中から、所望の測定方法、ここでは、中点測定を選択する（入出力部３２０上の中点測定のボタンをタップする）と、クライアント部３１０は、当該ボタンに設定されているインタフェースプログラムの起動をサーバ部１４３に要求する（ステップＳ５３０）。
【００２３】
クライアント部３１０から中点測定のインタフェースプログラムの起動要求を受信したサーバ部１４３は、記憶部１４４から第１位置選択画面生成プログラムを読み出して起動し、このプログラムにより生成された画面表示・制御情報（第１位置選択画面）をクライアント部３１０に送信する（ステップＳ５４０）。そして、この画面表示・制御情報を受信したクライアント部３１０は、図６に示す第１位置選択画面Ｇ２を入出力部３２０に表示する（ステップＳ５５０）。ここで、第１位置選択画面Ｇ２は、計測状態及び結果が表示される計測表示領域Ｇ２ａと、計測の進行状況が表示される進行状況領域Ｇ２ｂと、上述の初期画面に戻る指示を選択するメニュー領域Ｇ２ｃと、計測表示領域Ｇ２ａ及び進行状況領域Ｇ２ｂを覆うように配置されたデータ取得指示領域Ｇ２ｄと、から構成されている。このとき、データ取得指示領域Ｇ２ｄは、透明なボタンで構成することにより、計測表示領域Ｇ２ａ及び進行状況領域Ｇ２ｂの表示を妨げないようにすることができる。また、このデータ取得指示領域Ｇ２ｄを構成するボタンも、予め設定されたインタフェースプログラム（ｃｇｉ）の起動をサーバ部１４３に要求するように設定されている。さらに、進行状況領域Ｇ２ｂには、計測において選択する座標の数が表示されている（中点計測場合、２点の座標を取得するため２個の記号が表示されている）。
【００２４】
計測者は、観察部１３０により被測定物体を観察し、上下ハンドル１２４，１２５を操作して、この観測部１３０の光軸上に、計測したい領域の第１点目を移動（レチクルの十字マークの交点と第１点目を一致）させた後、入出力部３２０のデータ取得指示領域Ｇ２ｄをタップする。すると、クライアント部３１０は、この計測表示領域Ｇ２ａを構成するボタンに設定されたインターフェースプログラム（第２位置選択画面生成プログラム）の起動を、サーバに要求する（ステップＳ５６０）。
【００２５】
クライアント部３１０からインタフェースプログラムの起動要求を受信したサーバ部１４３は、記憶部１４４から第２位置選択画面生成プログラムを読み出して起動する（ステップＳ５７０）。この第２位置選択画面生成プログラムは、まず、インタフェース部１４２を介し、位置情報処理部１４１に対して現在の座標データを要求し（ステップＳ５７１）、位置情報処理部１４１は、ステージ位置検出部１２６から出力されるエンコーダ値に基づいて座標データを算出して第２位置選択画面生成プログラムに渡す（ステップＳ５７２）。そして、この第２位置選択画面生成プログラムにより生成された画面表示・制御情報（第２位置選択画面）をクライアント部３１０に送信する（ステップＳ５７３）。ここで、この画面表示・制御情報（第２位置選択画面）には、上述の座標データが埋め込まれているが、この座標データは、後述するように、第２位置情報が選択されたときに、クライアント部３１０からサーバ部１４３に対して送信されるように設定されている。
【００２６】
サーバ部１４３から画面表示・制御情報を受信したクライアント部３１０は、図７に示す第２位置選択画面Ｇ３を入出力部３２０に表示する（ステップＳ５９０）。ここで、この第２位置選択画面Ｇ３は、第１位置選択画面Ｇ２と同様の構成を有しており、計測状態及び結果が表示される計測表示領域Ｇ３ａと、計測の進行状況が表示される進行状況領域Ｇ３ｂと、上述の初期画面に戻る指示を選択するメニュー領域Ｇ３ｃと、計測表示領域Ｇ３ａ及び進行状況領域Ｇ３ｂを覆うように配置されたデータ取得指示領域Ｇ３ｄと、から構成されている。このデータ取得指示領域Ｇ３ｄも透明なボタンで構成されており、さらに、予め設定されたインタフェースプログラム（ｃｇｉ）の起動をサーバ部１４３に要求するように設定されている。なお、計測表示領域Ｇ３ａには、第１点目が計測されたことを示すために、この第１点目を示す記号Ｇ３ｅの色が変化し、また、進行状況領域Ｇ３ｂには、同様に１つめの記号Ｇ３ｆの色が変化している。
【００２７】
計測者は、観察部１３０により被測定物体を観察し、上下ハンドル１２４，１２５を操作して、この観測部１３０の光軸上に、計測したい第２点目を移動させた後、入出力部３２０のデータ取得指示領域Ｇ３ｄをタップする。すると、クライアント部３１０は、この計測表示領域Ｇ３ａを構成するボタンに設定されたインターフェースプログラム（結果表示画面生成プログラム）の起動を、サーバ部１４３に要求する（ステップＳ５９０）。ここで、上述のように、ステップＳ５７０で取得された第１点目の座標が、インターフェースプログラムの起動要求とともに、サーバ部１４３に送信される（例えば、ＵＲＬエンコーディング（パーセントエンコーディング）されて送信される）。
【００２８】
クライアント部３１０からインタフェースプログラムの起動要求を受信したサーバ部１４３は、記憶部１４４から結果表示画面生成プログラムを読み出して起動する（ステップＳ６００）。この結果表示画面生成プログラムは、まず、クライアント部３１０から送信されたデータ（第１点目の座標データ）を取り出す（ステップＳ６０１）。次に、インタフェース部１４２を介し、位置情報処理部１４１に対して現在の座標データ（第２点目の座標データ）を要求し（ステップＳ６０２）、位置情報処理部１４１は、ステージ位置検出部１２６から出力されるエンコーダ値に基づいて座標データを算出して結果表示画面生成プログラムに渡す（ステップＳ６０３）。そして、この結果表示画面生成プログラムにより画面表示・制御情報（結果表示画面）を生成してクライアント部３１０に送信する（ステップＳ６０４）。ここで、この画面表示・制御情報（結果表示画面）には、上述の第１点目の座標データと、ステップＳ６０１，Ｓ６０２で取得された第２点目の座標データとが埋め込まれている。さらに、この画面表示・制御情報には、クライアント部３１０で実行されることにより、これらの座標データから２点間の距離Ｌ、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の２点間の距離ｄＸ，ｄＹ並びに中点の座標Ｘ，Ｙを算出して入出力部３２０に表示するとともに、操作端末３００の図示しない記憶部にこれらの測定結果を記憶するための処理が埋め込まれている（例えば、ＪＡＶＡＳＣＲＩＰＴ（登録商標）で実装されている）。
【００２９】
サーバ部１４３から画面表示・制御情報を受信したクライアント部３１０は、図８に示す結果表示画面Ｇ４を入出力部３２０に表示する（ステップＳ６１０）。ここで、この結果表示画面Ｇ４も、第１及び第２位置選択画面Ｇ２，Ｇ３と同様の構成を有しており、計測状態及び結果が表示される計測表示領域Ｇ４ａと、計測の進行状況が表示される進行状況領域Ｇ４ｂと、上述の初期画面に戻る指示を選択するメニュー領域Ｇ４ｃと、計測表示領域Ｇ４ａ及び進行状況領域Ｇ４ｂを覆うように配置されたデータ取得指示領域Ｇ４ｄと、から構成されている。このデータ取得指示領域Ｇ４ｄも、透明なボタンで構成されており、予め設定されたインタフェースプログラム（ｃｇｉ）の起動をサーバ部１４３に要求するように設定されている。なお、計測表示領域Ｇ４ａには、第２点目が計測されたことを示すために、第１点目を示す記号Ｇ４ｅと第２点目を示す記号Ｇ４ｇの色が変化し、また、進行状況領域Ｇ４ｂには、同様に２つの記号Ｇ４ｆ，Ｇ４ｈの色が変化している。さらに、クライアント部３１０は、画面表示・制御情報を入出力部３２０に表示するときに、この画面表示・制御情報に埋め込まれた座標データ及び処理から、２点間の距離Ｌ、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の２点間の距離ｄＸ，ｄＹ並びに中点の座標Ｘ，Ｙを算出し、計測表示領域Ｇ４ａに表示するとともに、この結果を、記憶部に記憶する（ステップＳ６２０）。なお、記憶部に記憶された結果は例えばＣＳＶ形式のデータとして出力可能となっている。
【００３０】
また、図４には図示していないが、結果表示画面Ｇ４のデータ取得指示領域Ｇ４ｄがタップされると、ステップＳ５３０に戻って、次の中点計測処理を行うように構成されている。あるいは、他の計測方法を実行したい場合には、メニュー領域Ｇ４ｃを選択することにより、ステップＳ５００から実行することができる。
【００３１】
以上のように、測定顕微鏡装置１００から座標データを得て被測定物体の寸法測定を行う操作端末３００を、ネットワーク２００を介してこの測定顕微鏡装置１００に接続するように構成することにより、測定を行おうとする測定顕微鏡装置１００のアドレス情報を操作端末３００のクライアント部３１０に入力することで接続して計測を行うことができるので、操作端末３００が測定顕微鏡装置１００に固定されることがない。そのため、測定者毎にこの操作端末３００を所有して、測定顕微鏡装置１００を切り替えて測定することができるので、この操作端末３００に測定結果を記憶してそれぞれの測定者が計測したデータを利用することができる。特に、複数の測定顕微鏡装置１００で測定した結果を利用する場合には、一台の操作装置３００にすべての測定結果が記憶されていることから、これらの結果をまとめて利用することができる。
【００３２】
また、各種の測定方法は、画面表示・制御情報（ＨＴＭＬ）及びインタフェースプログラム（ｃｇｉ）で記述されて記憶部１４４に記憶され、これらの処理は操作端末３００のクライアント部３１０で実行されるため、測定顕微鏡装置１００の制御部１４０が有するサーバ部１４３は、ＨＴＭＬによるＨＴＴＰ通信と、インタフェースプログラム（ｃｇｉ）を起動してその結果（座標データ）を送信する、いわゆるＷｅｂサーバの機能だけを実装すれば良い。これにより、新しい測定方法を登録する場合でも、ＨＴＭＬ及びインタフェースプログラムを記憶部１４４に登録することだけで実現でき、サーバ部１４３等の改良が不要となり、容易に実現することができる。
【００３３】
また、本実施形態で説明した様に、複数の測定点の座標を計測し、それらの座標から所望の測定を行う場合には、それぞれの測定点ごとに、画面表示・制御情報若しくはインタフェースプログラムを作成し、１点毎に次の画面表示・制御情報若しくはインタフェースプログラムの起動要求を行うように構成することでこのような測定を実現できるため、制御部１４０（特にサーバ部１４３）の構造を簡単にすることができる。ここで、各測定点のデータ（座標データ）は、次の画面を呼び出す時に、そのインタフェースプログラムの起動要求とともに送信し、次の測定点の座標とともにクライアント部３１０に送信するという構成にすることにより、サーバ部１４３やクライアント部３１０でこれらのデータを記憶しておく必要がなく、サーバ部１４３及びクライアント部３１０の処理を簡単にすることができる。また、以上の説明では、２点の座標データを取得して処理する場合について説明したが、例えば３点の座標を取得して、これらの点が円周上にある円の中心と半径を求める場合に適用することも可能である。
【００３４】
さらに、操作端末３００として、タッチパネル式のＰＤＡ（パーソナルデータアシスタント）を用いることにより、測定者は、観察部１３０で被測定物体を観察しながら、この操作端末（ＰＤＡ）３００のタッチパネルをタップすることにより計測を行うことができる。このとき、上述のように、データ取得の指示をするためのデータ取得指示領域Ｇ２ｄ，Ｇ３ｄ，Ｇ４ｄを、タッチパネルの多くの部分を占めるように設けることにより、タップの度に被測定物体から目を離さずに計測が行えるため、計測効率を高くすることができる。ここで、図５〜図８に示す画面例は、一例であり、このレイアウトに限定されることはない。また、被測定物体から目を離さずに操作端末３００をタップすると、操作が正確に実行されたかを測定者が知ることができないため、例えば、制御部１４０において、インタフェース部１４２を介して位置情報処理部１４１から座標データが取得されたときに、ビープ音を鳴らすように構成することが好ましい。
【００３５】
なお、以上の説明においては、計測時に操作端末３００の入出力部３２０に画面を表示するために送信される画面表示・制御情報（ＨＴＭＬ）をインタフェースプログラム（ｃｇｉ）にて生成する場合について説明したが、予め作成された画面表示・制御情報（ＨＴＭＬ）の中に座標データを取得する処理を埋め込んだＳＳＩ（サーバサイドインクルード）で実現することもできるし、ＪＡＶＡ（登録商標）をベースとしたサーブレットで実現することもできる。
【符号の説明】
【００３６】
１００  測定顕微鏡装置    １２０  ステージ部    １３０  観察部
１４１  位置情報処理部    １４３  サーバ部    １４４  記憶部
２００  ネットワーク    ３００  操作端末
【図１】
0005582285.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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