(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力側部材として構成され第１の接合される表面を含む第１の部材を用意し、
吸引側部材として構成され第２の接合される表面を含む別の第２の部材を用意し、
第１の部材の少なくとも一部と合致する輪郭を有する第１の表面、および第２の部材の少なくとも一部と合致する輪郭を有する第２の表面を含むマンドレルを用意し、
第１および第２の部材をマンドレル上に配置して、第１の接合される表面および第２の接合される表面が、合致した接合部を形成し、
第１の接合される表面から延在し、第１の部材の長さ方向に沿って互いに間隔をおいて配置された複数のタブと、第２の接合される表面から延在し、第２の部材の長さ方向に沿って互いに間隔をおいて配置された複数のタブとを接続することにより、第１の部材を第２の部材へ接続し、
接続された第１および第２の部材をマンドレルとともにダイアセンブリ中に配置し、その場合ダイアセンブリは、第１のダイ、第２のダイ、並びに第１のダイを第２のダイへ離脱可能に確保する複数の固締部材を含み、第１および第２のダイは、第１の熱膨張係数を有する第１の材料から形成され、固締部材は、第２のより低い熱膨張係数を有する第２の材料から形成され、該第１および第２の部材の少なくとも１つは、該第１および第２のダイ並びに該固締部材とは異なる組成を有する材料から形成され、
ダイアセンブリを真空炉中で拡散接合サイクルに置き、
第１および第２の部材間の拡散接合を汚染しそして不利に干渉するガスを炉から排気し、
炉の温度を予定された温度へ上げ、
第１および第２の部材の第１および第２の接合される表面の間の界面に均等な圧力を適用し、均等な圧力を適用する該工程が、可撓性のシート材料から形成されるガスを満たした容器の使用を含み、その場合容器は、第１および第２の部材の１つと第１および第２のダイの１つとの間に配置され、容器内の圧力は、予定された圧力へコントロールされ、そして予定された時間維持され、容器は、第１および第２の接合される表面の間の該拡散接合の該形成中、第１および第２の部材の第１および第２の接合される表面の界面へ均等な負荷をかけ、
炉内の真空レベル、温度および圧力を予定された時間維持して、第１および第２の接合される表面の間の拡散接合を形成させ、
拡散接合された第１および第２の部材を含むダイアセンブリを炉から取り出す
ことを特徴とする第１の部材および第２の部材を含み２つの部材がともに拡散接合される部品を形成する方法。
【請求項２】
第１および第２のダイの１つの内部の表面上に凹み部分を形成し、その中に容器の少なくとも一部を拡散接合の形成のために配置することをさらに含む請求項１の方法。
【請求項３】
均等な圧力を適用する該工程が、それぞれ第１および第２のダイの第１および第２の材料および複数の固締部材の使用を含み、その場合炉中の温度の上昇は、第１および第２のダイを複数の固締部材よりも早い速度で膨張させ、複数の固締部材は、第１および第２の接合される表面の間の該拡散接合の該形成中、第１および第２のダイの膨張を制限する請求項１または２の方法。
【請求項４】
異なる長さの少なくとも２つの固締部材を用意することをさらに含む請求項１−３の何れか１つの項の方法。
【請求項５】
チタン合金プレート原料から第１および第２の部材を製造することをさらに含み、その場合第１および第２の部材の少なくとも１つは非平面状の形態を有し、Ｈａｙｎｅｓ２３０合金から複数の固締部材を製造することをさらに含み、該第１および第２のダイ部材の少なくとも１つが、標準の鋳込３０９ステンレス鋼よりも高い炭素含量を有する鋳込ステンレス鋼材料から形成される請求項１−４の何れか１つの項の方法。
【請求項６】
第１および第２の接合される表面の間の該拡散接合の形成中の炉の温度が、華氏１７２０度（９３８℃）以下であり、温度は１７０分以内で華氏１５５０度（８４３℃）より上に保持され、第１および第２の接合される表面の間の拡散接合の形成中の容器中の圧力を増大させ、次に少なくとも５０分間少なくとも９０ｐｓｉ（６．３ｋｇ／ｃｍ２）に維持され、次に増大させそして次に少なくとも５０分間２６０ｐｓｉ（１８．２ｋｇ／ｃｍ２）以下に維持され、次に低下されそして拡散接合サイクルの残りの間２１０ｐｓｉ（１４．７ｋｇ／ｃｍ２）以下に維持される請求項１−５の何れか１つの項の方法。
【請求項７】
マンドレル並びに第１および第２のダイをリリース剤により被覆することをさらに含む請求項１−６の何れか１つの項の方法。
【請求項８】
波形の形態を有する第１の接合される表面を含む第１の部材を用意し、
波形の形態を有する第２の接合される表面を含む第２の部材を用意し、
拡散接合される合致した第１および第２の接合される表面を、表面の間の界面の拡散接合を可能にする予定された条件に調製し、汚れを落とし、
第１の接合される表面から延在し、第１の部材の長さ方向に沿って互いに間隔をおいて配置された複数のタブと、第２の接合される表面から延在し、第２の部材の長さ方向に沿って互いに間隔をおいて配置された複数のタブとを接続することにより、第１の部材を第２の部材へ接続して、第１および第２の接合される表面を合致した接合部とし、
接続された部材をその中に離脱可能に確保する構成の拡散接合ダイアセンブリを用意し、その場合ダイアセンブリは、第１のダイ、第２のダイ並びに第１のダイを第２のダイへ離脱可能に確保する複数の固締部材を含み、第１および第２の部材の材料が第１および第２のダイの材料とは異なり、該固締部材の該材料が第１および第２のダイおよび第１および第２の部材とは異なり、第１の材料から形成された第１および第２のダイが第１の熱膨張係数を有し、第２の材料から形成された固締部材は、第１の材料の熱膨張係数より小さい第２の熱膨張係数を有する、
第１および第２の部材の選択された部分並びにダイアセンブリをリリース剤により被覆し、その場合第１および第２の接合される表面を被覆することがなく、
合致した接合部の第１および第２の接合される表面を有する第１および第２の部材をダイアセンブリ中に置き、
該第１の部材と該ダイアセンブリの間、該第２の部材と該ダイアセンブリの間、またはそれらの組み合わせと該ダイアセンブリの間に、可撓性の金属シート材料から形成されるガスを満たした容器を配置し、その場合該ガスを満たした容器は該第１の部材、該第２の部材、またはそれらの組み合わせに、拡散接合過程の間に均等な圧力を適用するように構成され、
ダイアセンブリを拡散接合サイクルのために真空炉中に置き、
第１および第２の部材間の拡散接合を汚染しそして不利に干渉するガスを炉から排気し、
炉の温度を第１の温度へ上げ、
第１の温度を予定された時間維持し、
炉の温度を第１の温度よりも高い第２の温度へ上げ、
第２の温度を予定された時間維持し、
第１の圧力を第２の温度で予定された時間第１および第２の部材の界面に適用し、
適用圧力を第１の圧力よりも高い第２の圧力へ上げ、
第２の圧力を第２の温度で予定された時間第１および第２の部材の界面に適用し、
適用圧力を第１の圧力よりも高い第３の圧力へ下げ、
第３の圧力を第２の温度で予定された時間第１および第２の部材の界面に適用し、
炉の温度を第１の温度より低い第３の温度へ下げ、
拡散接合された第１および第２の部材を含むダイアセンブリを炉から取り出すことからなることを特徴とする拡散接合の方法。
【請求項９】
均等な圧力を適用する工程が、第１および第２のダイ並びに複数の固締部材の使用を含み、その場合炉中の温度の上昇は、第１および第２のダイを複数の固締部材より早い速度で膨張させ、複数の固締部材は、第１および第２のダイの膨張を制限し、それにより次に少なくとも部分的に第１および第２のダイが第１および第２の部材の界面へ均等な負荷をかける請求項８の方法。
【請求項１０】
第２の温度が華氏１６８５−１７１５度（９１８−９３５℃）であり、その場合温度は１５０−１７０分間保持され、適用される第１の圧力は、５０−６０分間９０−１１０ｐｓｉ（６．３−７．７ｋｇ／ｃｍ２）であり、適用される第２の圧力は、５０−６０分間２４０−２６０ｐｓｉ（１６．８−１８．２ｋｇ／ｃｍ２）であり、そして適用される第３の圧力は、拡散接合サイクルの残りの間１９０−２１０ｐｓｉ（１３．３−１４．７ｋｇ／ｃｍ２）であり、第３の温度が少なくとも華氏１０００度（５３８℃）である請求項８または９の方法。
【請求項１１】
第２の温度が華氏１６８５−１７１５度（９１８−９３５℃）であり、その場合温度は１５０−１７０分間保持され、適用される第１の圧力は、５０−６０分間９０−１１０ｐｓｉ（６．３−７．７ｋｇ／ｃｍ２）であり、適用される第２の圧力は、５０−６０分間１９０−２１０ｐｓｉ（１３．３−１４．７ｋｇ／ｃｍ２）であり、そして適用される第３の圧力は、拡散接合サイクルの残りの間１４０−１６０ｐｓｉ（９．８−１１．２ｋｇ／ｃｍ２）であり、第３の温度が少なくとも華氏１２００度（６４９℃）である請求項８または９の方法。
【請求項１２】
拡散接合された第１および第２の部材の接合域を超音波により検査することをさらに含む請求項８−１１の何れか１つの項の方法。
【請求項１３】
非平面の第１の接合される表面を有する第１の部材を非平面の第２の接合される表面を有する第２の部材へ拡散接合する拡散接合ダイアセンブリであって、
第１および第２の部材を離脱可能に保持する構成をもつマンドレル、その場合第１の接合される表面および第２の接合される表面はマンドレル上で合致した接合部を形成し、複数のタブが第１の接合される表面から延在し、第１の部材の長さ方向に沿って互いに間隔をおいて配置され、別の複数のタブが第２の接合される表面から延在し、第２の部材の長さ方向に沿って互いに間隔をおいて配置され、第１の部材の複数のタブと第２の部材の複数のタブとが接続されることにより、第１の部材を第２の部材に接続し、
上方の表面および下方の表面を含む上方のダイ、その場合下方の表面は、マンドレルと係合する構成を有する第１の部分、並びに第１および第２の部材の１つと合致する構成を有する第２の成分を含む、
上方の表面および下方の表面を含む下方のダイ、その場合上方の表面は、マンドレルと係合する構成を有する第１の部分、並びに第１および第２の部材の１つと合致する構成を有する第２の成分を含む、
上方および下方のダイの１つと、第１および第２の部材の第１および第２の接合される表面の１つとの間に少なくとも部分的に配置されるデザインをもつ可撓性の圧力バッグ、
上方のダイを下方のダイへ確保する複数の固締部材、その場合複数の固締部材は、拡散接合サイクルの間上方および下方のダイの膨張を制限する構成を有し、上方および下方のダイは第１の熱膨張係数を有する第１の材料から形成され、固締部材は、第１の熱膨張係数より低い第２の熱膨張係数を有する第２の材料から形成される、
からなることを特徴とする拡散接合ダイアセンブリ。
【請求項１４】
上方のダイが複数の第１のカットアウトを含み、下方のダイが複数の対応する第２のカットアウトを含み、第１および第２のカットアウトの寸法は、固締部材の少なくとも一部を受容するものである請求項１３の拡散接合ダイアセンブリ。
【請求項１５】
マンドレルが、固締部材の少なくとも一部を受容する複数のカットアウトを含む請求項１３または１４の拡散接合ダイアセンブリ。
【請求項１６】
各固締部材が、上方および下方のダイのその設定位置に依存する予定された長さを有し、複数の固締具は異なる長さを有する請求項１３−１５の何れか１つの項の拡散接合ダイアセンブリ。
【請求項１７】
上方のダイの下方の表面が凹み部分を含み、圧力容器の少なくとも一部は、拡散接合の形成のために凹み部分に配置される請求項１３−１６の何れか１つの項の拡散接合ダイアセンブリ。
【請求項１８】
マンドレルが、ベースおよびベースから延在する腕状部を含み、その場合腕状部は、第１の表面およびそれに対する第２の表面を含み、第１の部材の少なくとも一部は、第１の表面へ離脱可能に確保され、第２の部材の少なくとも一部は、第２の表面へ離脱可能に確保され、マンドレルの腕状部は、弓形の末端部分を含み、弓形の末端部分は、第１の部材の一部と係合して第１の部材をマンドレルへ離脱可能に保持する請求項１３−１７の何れか１つの項の拡散接合ダイアセンブリ。
【請求項１９】
部品が、第１の接合される表面、接続する弓形の壁を経て第１の接合される表面の凹みの第２の表面、並びに第１および第２の表面と相対する第３の表面を含む第１の部材；第１の表面および第２の表面を含む第２の部材からなり；第２の表面の部分は、第１の部材の第１の接合される表面へ接合した第２の接合される表面を形成し、第１の接合される表面および第２の接合される表面は、リボン状の形態を有し；第１の部材は、第１の接合される表面から延在し、第１の部材の長さ方向に沿って互いに間隔をおいて配置された複数のタブを有し、第２の部材は、第２の接合される表面から延在し、第２の部材の長さ方向に沿って互いに間隔をおいて配置された複数のタブを有し、第１の部材の複数のタブと第２の部材の複数のタブとが接続され、第１および第２の接合される表面はともに拡散接合され；第１の部材は第１の部分および第２の部分を含み、第１の部材は、第１の部分から第２の部分へ２つの相対する直径に沿って概して曲がり；第２の部材は、第１の部分および第２の部分を含み、第２の部材は、第１の部分から第２の部分へ２つの相対する直径に沿って概して曲がっていることを特徴とする拡散接合により形成される部品。
【請求項２０】
第１および第３の表面が、ともに第１の部材の第１の部分を画成し、第２および第３の表面が、ともに第１の部材の第２の部分を画成し、第１の部分は、それが第２の部分へ変わるにつれその厚さを増大し、第２の部分は、それが第１の部分から延在するにつれその厚さを減らす請求項１９の部品。
【請求項２１】
第２の部材の第１の部分が一定の厚さを有し、第２の部材の第２の部分の厚さが減少する請求項１９または２０の部品。
【請求項２２】
壁と第１の表面とを接続するランプをさらに含み、ランプの末端部分は第１の表面の凹みである請求項１９−２１の何れか１つの項の部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、拡散接合およびその改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
等方圧技術を用いて金属部材をともに拡散接合するのは周知である。拡散接合は、２つの接した表面が、界面を通して原子の相互交換を可能にする温度、時間および圧力の条件下、ともにプレスされるとき生ずる。接合されるべき表面に汚れがなく、そして温度、圧力および時間の変数が厳密にコントロールされて、原子の必要な相互交換が達成できることを要する。等方圧技術は、接合されるべき部材に加圧容器内で高温度で高圧ガス（例えばアルゴン）を適用する技術である。ガス圧は、接合されるべき部材の形態に最少の変化が生ずるかまたは全く生じないように、等方性を保ちつつ適用される。この拡散接合プロセスは、部材の有効なシーリングを必要とし、従来、準備段階で加圧容器の外側で行われてきた。しかし、この準備段階後の部材間のシールは弱いものであり、そのため接合した部材を拡散接合プロセスが行われる装置へ移動するのに、多大の注意を払わねばならなかった。
【０００３】
その上、それがジェットエンジンファンのブレードの衝撃の保護のための部品に関するとき、このような部品は、特に最も厳しい応力の下にあり、同時に最も衝撃を受けやすい離陸時に、鳥およびそれ以外の他からの物体による衝撃に曝される危険が潜在する。従来、部品は一体作りとして構成された。しかしながら、一体作りの部品は、製造するのに高いコストがかかる。溶接された結合および／または従来の拡散接合プロセスによって接合された結合を有する二体作りの部品は、部品の使用にともなう衝撃に抵抗できなかった。一体作りの部品を作るのに必要な原材料は、コストが高くつき、二体作りの部品よりも２倍かかる。そして、これは、内面および外面を作るのに必要な機械加工の手間とあいまって、驚くべきものになる。必要な機械加工の時間のほとんどは、切削の深さおよび内部の突出部の範囲の小さいサイズ（そのため小さい切削工具を用いる必要がある）により、内部の表面そして特に内部の突出部の範囲を生成するのに費やされる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、より良くかつより有利な結果をもたらし、従来法がもつ或る困難を克服する拡散接合のプロセスを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明を制限しない本発明の１つの側面に従って、ジェットエンジンファンのブレードの保護に使用される部品を接合する方法が提供される。本発明は、本明細書では、１つ以上の航空機のエンジン部品の拡散接合に特に関し、そしてそれに関する特定の例について記載されるが、本発明の拡散接合プロセスは、材料をともに接合して他のタイプの装置（例えば、自動車の部品、軍事用部材、宇宙船・人工衛星などの部材など）のための部品を形成するのに使用されることが理解されるだろう。ジェットエンジンファンのブレードで使用される部品は、第１の部材、および第１の部材へ接合された第２の部材を含む。第１の部材は、圧力側部材として形成され、そして第１の主要な接合ランド表面を含む。第２の部材は、吸引側部材として形成され、そして第２の組み合わされる接合ランド表面を含む。マンドレルが設けられ、第１の部材の少なくとも一部と合致する輪郭を有する第１の表面、および第２の部材の少なくとも一部と合致する輪郭を有する第２の表面を含む。第１の部材および第２の部材は、第１の接合ランド表面および第２の接合ランド表面が合致した接合部を形成してマンドレルに配置される。第１の部材は、第２の部材へ離脱可能に接続される。マンドレルとともに接続された第１の部材および第２の部材は、ダイアセンブリ中に配置される。第１のダイ、第２のダイ、および第１のダイを第２のダイへ離脱可能に確保される複数の固締部材を含む。第１のダイおよび第２のダイは、熱膨張の第１の係数を有する第１の材料から形成される。固締部材は、熱膨張の第２のより小さい係数を有する第２の材料から形成される。ダイアセンブリは、拡散接合サイクルのために真空炉または他のタイプの加熱装置に置かれる。加熱装置は排気される。例えば、加熱装置は、まずアルゴンガスによりパージされてすべての大気の汚染を置換し、次に加熱装置は予定の真空レベルへ排気される。加熱装置の温度は、予定の温度に上げられる。均等の圧力が、第１の部材および第２の部材の第１の接合ランド表面および第２の接合ランド表面の間の界面に適用される。真空のレベル、温度および圧力は、予定された時間炉内で維持される。拡散接合された第１の部材および第２の部材を含むダイアセンブリは、炉から取り出される。
【０００６】
本発明の他の局面によれば、それは本発明を制限しないが、非平面の第２の接合ランド表面を有する第２の部材に対して、非平面の第１の接合ランド表面を有する第１の部材を拡散接合するための拡散接合ダイアセンブリが提供される。拡散接合ダイアセンブリは、マンドレル、上方のダイおよび下方のダイからなる。マンドレルは、第１の部材および第２の部材を離脱可能に保持するように形成される。第１の接合ランド表面および第２の接合ランド表面は、マンドレルに置かれたとき、合致した接合部を形成する。上方のダイは、上方の表面と下方の表面とを含む。下方の表面は、マンドレルと係合するように形成された第１の部分、並びに第１の部材および第２の部材の１つと合致するように形成される第２の部分を含む。下方のダイは、上方の表面と下方の表面とを含む。上方の表面は、マンドレルと係合するように形成される第１の部分、並びに第１の部材および第２の部材の１つと合致する第２の部分を含む。可撓性の圧力容器は、上方のダイおよび下方のダイの１つ、並びに第１の部材および第２の部材の第１の接合ランド表面および第２の接合ランド表面の１つの間に少なくとも一部配置される。複数の固締部材は、上方のダイを下方のダイへ確保し、そして拡散接合サイクル中拡散接合ダイアセンブリを保持する。複数の固締具は、拡散接合サイクルの間上方のダイと下方のダイとの膨張を制限するように形成される。
【０００７】
本発明の他の局面によれば、それは本発明を制限するものではないが、拡散接合の方法は、第１の部材および第２の部材をまず用意する。第１の部材は、波形の形態を有する第１の接合ランド表面を含む。第２の部材は、波形の形態を有する第２の接合ランド表面を含む。拡散接合される合致した第１の接合ランド表面および第２のそれは、表面間の界面の拡散接合が可能な予定された条件におかれる。第２の部材に対して第１の部材は、第１および第２の接合ランド表面が合致した接合部を形成するように接続される。その中に接続された部材を離脱可能に確保するように形成された拡散接合ダイアセンブリが提供される。ダイアセンブリは、第１のダイ、第２のダイおよび第１のダイを第２のダイへ離脱可能に確保する複数の固締部材を含む。ダイアセンブリは、第１の部材および第２の部材の特に同定された重要域とともに、リリース剤により被覆される。合致した接合部を形成する第１および第２の接合ランド表面を有する第１および第２の部材は、ダイアセンブリ中に置かれる。ダイアセンブリは、拡散接合サイクルのために真空炉またはそれ以外のタイプの加熱配置に置かれる。加熱装置は排気され、そして加熱装置の温度は、第１の温度へ上げられる。第１の温度は、予定された時間維持される。加熱装置の温度は、第２の温度に上げられ、それは予定された時間維持される。第１の圧力が、予定された時間第１および第２の部材の界面に第２の温度で適用される。適用された圧力は、第２の圧力へ上げられる。第２の圧力は、予定された時間第１および第２の部材の界面で第２の温度で適用される。適用された圧力が第３の圧力へ下げられる。第３の圧力が、予定された時間第１および第２の部材の界面で第２の温度で適用される。加熱装置の温度は、第３の温度へ下げられる。次に、拡散接合された第１および第２の成分を含むダイアセンブリは、加熱装置から取り出される。
【０００８】
本発明の他の局面によれば、それは本発明を制限しないが、拡散接合により形成される部品は、第１の部材および第２の部材からなる。第１の部材は、第１の接合ランド表面、接続により第１の表面から壁段を形成する第２の表面、弓形の壁並びに第１および第２の表面と相対する第３の表面を含む。第２の部材は、第１の表面と第２の表面とを含む。第２の表面の一部分は、第２の接合ランド表面を形成し、それは第１の部材の第１の接合ランド表面へ接合される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の拡散接合プロセスによる第１の部材および第１の部材へ接合した第２の部材を含む本発明を制限しない部品の側面図である。
【図２】図１の部品の第１の部材の側面図である。
【図３】図２の第１の部材の斜視上面図である。
【図４】図２の線４−４にほぼ沿ってとられた図２の第１の部材の断面図である。
【図５】図４の一部拡大図である。
【図６】図１の部品の第２の部材の側面図である。
【図７】図６の線７−７にほぼ沿ってとられた図６の第２の部材の断面図である。
【図８】本発明を制限しない接合ランド表面を描いた、図１の部品の第１の部材の側面図である。
【図９】本発明を制限しない接合ランド表面を描いた、図１の部品の第２の部材の側面図である。
【図１０】その上に配置された第１および第２の部材を有するマンドレルの斜視正面図である。
【図１１】図１０の一部拡大図である。
【図１２】図１０の側面断面図である。
【図１３】第１のダイ、第２のダイ、加圧バッグおよびマンドレルおよび図１０の第１および第２の部材を含む、図１の部品を形成するための本発明を制限しない拡散接合ダイアセンブリの分解斜視正面図である。
【図１４】組み立てられた条件下の図１３の拡散接合ダイアセンブリの斜視正面図である。
【図１５】図１３の線１５−１５にほぼ沿ってとられた図１３の拡散接合ダイアセンブリの断面図である。
【図１６】図１５の一部拡大図である。
【図１７】図１３の線１７−１７にほぼ沿ってとられた図１３の拡散接合ダイアセンブリの断面図である。
【図１８】図１７の一部拡大図である。
【図１９】拡散接合後の検査条件の第１および第２のダイおよびマンドレルの斜視正面図である。
【図２０】図１の部品の斜視側面図である。
【図２１】図２０の部品の断面図である。
【図２２】図２１の一部拡大図である。
【図２３】本発明による、本発明を制限しない拡散接合プロセスの要約チャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本明細書の記述および図面は単なる例示に過ぎず、さらに種々の改変および変化が本明細書の記述から離れることなく、開示された構造へ実施できることを、もちろん理解すべきである。本明細書の拡散接合プロセスに関する部材と同様な種々の部材の使用は、単なる技術上の問題でありそして本発明を制限するものと見なしてはならないことを理解するだろう。
【００１１】
さらに、本明細書の部材材料が、単に例示に過ぎないことも理解すべきである。部材材料は、元素状金属ばかりでなく、金属合金それ自体およびセラミック材料との金属の合金も含むことができる。材料は、焼結粉末、鋳込物、シート、プレートまたは鍛造品の形でもよい。
【００１２】
図面について説明するが、複数の図面中の同じ数字は、同じ部分を意味する。図１は、本発明による拡散接合プロセスにより製造される部品１００の本発明を制限しない例を示す。例は、本発明の拡散接合プロセスを理解しかつ実施するのに有用であることを目的としており、本発明を制限するものではない。
【００１３】
拡散接合プロセスの一般的な全体像がまず示される。部品１００は、２つの別々の部材で製造され、すなわち、接合点１１０で第２の吸引側部材１０４に接合した第１の圧力側部材１０２からなる。理解できるように、部品１００は、２つより多い部材から形成できるが、これは必要とするものではない。第１の部材１０２は、ＡＭＳ４９１１プレート原料（厚さ約０．３７５インチ）から製造され、それは仕上げられることなく機械加工され、加熱形成されそして次に拡散接合のために仕上げ加工される。第２の部材１０４は、ＡＭＳ４９１１シート原料（厚さ約０．４０インチ）から製造され、それは平らな形状に仕上げ加工されそして次に加熱形成される。理解できるように、部材の１つまたは両者は、異なる材料から形成される、および／または異なる厚さを有する。
【００１４】
周知のように、ＡＭＳ４９１１は、チタン合金であり、それは熱処理できそして優れた強度および腐蝕抵抗性の両者を併せ有する。ＡＭＳ４９１１は、種々のタービン（すなわち、タービンディスク）および「加熱」構造物において航空機産業で広く使用されている。それは、華氏７５０度（４００℃）までの用途に一般に使用される。
【００１５】
拡散接合プロセスのための製造において、２つの部材１０２、１０４は、典型的な例では、本発明に従って、汚れをとり、ともに接続され、そして拡散接合ダイアセンブリ１０６中に置かれる（図１３および１４）。拡散接合ダイアセンブリ１０６は、次に加熱装置例えば真空炉に入れられ、そして拡散接合サイクルが予定されたパラメーターで作動する。接合後、金属組織用サンプルを採取しそして接合の完全性を評価するが、これは必要とされない。部品１００は、また或いは別に、超音波検査されるが、これは必要とされない。超音波検査後、部品は、典型的な例では、仕上げ加工され、そして予定された肉眼による必要条件を満たすために人手で処理される。また、部品１００は、例示に過ぎない。それとは異なる材料、形状および／またはサイズを有する部品が、本明細書の拡散接合プロセスを経て製造できることを理解すべきである。
【００１６】
部品１００の第１および第２の部材１０２および１０４は、より詳細に以下に記述される。図２−５に関し、第１の部材１０２は、波状またはリボン状の形態を有する第１の細長い部材１１２からなる。特に、図３に示されているように、細長い部材が第１の末端部分１１４から第２の末端部分１１６へ捻られると、細長い部材は２つの相対する直径に沿って曲がる。細長い部材は、第１すなわち主要な接合ランド表面１２０、壁１２６を経て接合ランド表面から壁段の第２の表面１２２、および第１および第２の表面に相対する第３の表面１２８を含む。複数の間隔のあいたタブ１３０は、第１の表面から延在する。図４に示されているように、第１および第３の表面１２０、１２８は、ともに細長い部材の第１の部分１３４を画成し、そして第２および第３の表面１２２、１２８は、ともに細長い部材の第２の部分１３６を画成する。第１の部分１３４は、それが第２の部分１３６中に移動するときその厚さが増すが、これは必要とされない。第２の部分は、それが第１の部分から鋭角で延在するとき、その厚さを減らす。図１に示されているように、第１の部材１０２の厚さは変わる。
【００１７】
図４および５について、壁１２６は、第１の表面１２０および第２の表面１２２と接続している。壁は、第２の表面へ接続している第１の末端１４２およびランプ１５０へ接続する第２の末端１４４を有する弓形の表面１４０を含む。ランプは、ほぼ三角形の形状を有し、ランプの末端部分は、第１の表面に低い壁段を形成する。
【００１８】
図６および７について、第２の部材１０４は、波形またはリボン状の形態を有する第２の細長い部材１６０からなり、それは第１の末端部分１６６から第２の末端部分１６８へ捻られる。第２の細長い部材は、第１の表面１６２および第２の表面１６４を含む。第２の表面の部分１７０は、第１の接合ランド表面１２０へ接合している第２の合致した接合ランド表面を少なくとも部分的に画成する。第１の細長い部材と同じく、複数の間隔のあいたタブ１７２は、接合表面部分１７０から延在している。図１に示されているように、第２の部材１０４は、一定の厚さを有する第１の部分１７４、および厚さが減る第２の転移部分を含むが、これは必要とされない。
【００１９】
拡散接合プロセスに関する製造においてそして上記のように、第１および第２の部材１０２、１０４は、汚れを落とされそして第１および第２の部材の合致する表面は、予定された平滑さ（例えば約１ミクロンまたはそれより良好な平滑さ）に処理される。部材１０２、１０４は、次に接続されそして拡散接合ダイアセンブリ１０６中に置かれる。汚れ落としおよびすべての次の検査を助けるために、さらに図８および９に示されるように、第１および第２の部材は、少なくとも１つの孔１８０、１８２を含み、それらは、第１および第２の部材がそれら以外の表面と接触するのを避けるために、それら部材を吊すことができる。理解できるように、部材中に１つ以上の孔を含むことは、必要とされない。
【００２０】
図１０−１２に関して、マンドレル２００は、第２の部材１０４への第１の部材１０２の適切な接続を確実にするように設けられる。マンドレルは、ベース２０２およびベースから延在する腕状部２０４を含む。腕状部は、ほぼ三角形であり、そして第１の表面２０５、第２の表面２０６および弓形の末端部分２０８を含む。理解できるように、腕状部２０４は、他の形状も有することができる。第１および第２の表面は、それぞれの第１および第２の部材１０２、１０４のリボン状の輪郭と互いに合う輪郭を有する。末端部分２０８は、壁１２６の弓形の表面１４０と合致する輪郭を有する。これは、第１の部材１０２をマンドレル上に離脱可能に配置するのを可能にする。少なくとも１つのピン２１０は、腕状部２０４の第２の表面２０６の下方部分から外側に延在する。少なくとも１つのピンにより、第２の部材は、マンドレル上に離脱可能に配置できる。２つのピンが設けられることを示しているが、しかし、より多いまたはより少ない数のピンが使用できる。第２の部材１０４がピン２１０の上に配置されると、タブ１７２がタブ１３０と一直線に並ぶように、ピンは、末端部分２０８から予定された距離で配置される（図１１参照）。一直線に並ぶと、タブ１３０，１７２は、好適な固締手段、例えば小さいＣ字状クランプ（図示せず）（これに限定されない）によりともに保持される。マンドレル２００およびクランプされた第１および第２の部材１０２、１０４は、次にアルゴンチェンバー（図示せず）に入れられ、タブ１３０、１７２はともに仮付け溶接される。しかし、第１および第２の部材が追加または別の手段により接続できることも理解すべきである。その場合、タブ１３０、１７２は必要とされない。マンドレルおよび接続された第１および第２の部材は、次に直ぐに拡散接合ダイアセンブリ１０６に置かれて、接合表面が汚れるのを防ぐ。
【００２１】
図１３および１４に示されているように、拡散接合ダイアセンブリ１０６は、第１のダイ２２０および第２のダイ２２２からなる。第２のダイは、第１および第２の部材１０２、１０４の１つと合致する構成を有する表面２３０を含む。第１のダイは、第１および第２の部材１０２、１０４の他の１つと合致する表面２３２を含む。例えば、表面２３０、２３２は、本明細書では、波状またはリボン状の形態を有するが、他の形状または追加の形状を有することができる。描かれた態様では、表面２３０は、第２のダイから少なくとも一部突き出しており、そして第２の部材１０４と係合する。表面２３２は、第１のダイから少なくとも一部突き出しており、第１の部材１０２と係合する。第１のダイ２２０は、ダイの相対する側面２５２、２５４に配置された複数の間隔のあいたカットアウト２５０を含む。第１のダイの壁２５６は、壁２５６から外側に延在する複数の間隔のあいた棚状部２５８を含む。カットアウト２５０は、棚状部２５８をへて延在する。同様に、第２のダイは、ダイの相対する側面２６２、２６４上に配置される複数の間隔のあいたカットアウト２６０を含む。第２のダイ２２２の壁２７０は、壁２７０から外側に延在する複数の間隔のあいた棚状部２７２を含む。カットアウト２６０は、棚状部２７２をへて延在する。組み立てられた位置（図１４）では、壁２５６は、壁２７０と平行しているが、これは必要とされない。第１および第２のダイ２２０、２２２は、高い炭素含量を有する３０９ステンレス鋼であるＨＨ２鋳込物により形成されるが、他の材料も使用できる。
【００２２】
図１５および１６に示されるように、組み立てられた位置では、マンドレル２００は、第１および第２のダイ２２０、２２２の間に取り付けられる。特に、マンドレル２００は、それぞれ第１および第２の相対する溝２７４および２７８を含む。それぞれの溝は、マンドレルのベース２０２の長さ方向に延在するが、しかしこれは必要とされない。第１および第２の溝２７４，２７６は、それぞれの第１および第２のダイ２２０，２２２上に配置された第１および第２の突起２８０、２８２を受容する構成を有する。ベース２０２の部分と第１および第２のダイとの間に隙間が存在する。図１７および１８に示されるように、マンドレル２００は、それぞれ第１および第２の凹所２８８、２９０をさらに含む。凹所は、マンドレルベースの壁段の域２９２に配置され、第１および第２の溝２７４、２７６に対してほぼ直角である。第１および第２の凹所２８８、２９０は、それぞれ第１および第２のダイ２２０、２２２の上に配置されている第１および第２のタブ２９４、２９６を受容するように構成される。それぞれのタブは、各ダイ２２０、２２２のそれぞれの壁段の域３００、３０２から内側に延在する。さらに、第１のダイ２２０の表面２３２は、壁段の部分３０４を含む。圧力バッグ３４０の少なくとも一部は、接合転移のために壁段の部分に配置される。
【００２３】
図１４に関し、組み立てられた位置で、カットアウト２５０は、マンドレル２００のベース２０２に配置されるカットアウト２６０および対応するカットアウト３１０と一直線にされる。カットアウトの寸法は、固締部材またはピン３２０を受容する大きさである。示されているように、それぞれのピンは、ほぼダンベル状であるが、これは必要ではない。ピンは、シャフト３２２、およびシャフトの末端に配置されているキャップ３２４、３２６を含む。シャフトは円筒状であり、キャップは方形状であるが、これは必要ではない。１６本のピンが示されているが、それぞれの第１および第２のダイ２２０、２２２の各側面について８本である。しかし、１６本より多いまたは少ないピンも使用でき、拡散接合ダイアセンブリ１０６を確保する。各ピンは、それ自体の独自の数を打ち抜かれ、そしてダイアセンブリ１０６の打ち抜かれたカットアウトの位置と相関する。さらに、ピンは、特定のダイとそれらを組み合わせるアルファベットの字でマークされる。それぞれのピンは、予定された長さを有し、ピンの長さはダイのその位置に依存する。
【００２４】
ピンは、Ｈａｙｎｅｓ２３０合金から形成できるが、他の材料も使用できる。周知のように、Ｈａｙｎｅｓ２３０合金は、ニッケル・クロム・タングステン・モリブデン合金であり、優れた高温強度、華氏２１００度（１１４９℃）までの酸化環境下の長期間の暴露に対する優れた抵抗性、窒化環境に対する優れた抵抗性、および優れた長期間の熱安定性を有する。それは容易に加工でき、形成されそして鋳込可能である。他の魅力のある特徴は、ほとんどの高温合金よりも低い熱膨張特性、および高温度への長期間の暴露によるあらい目に対する優れた抵抗性を含む。
【００２５】
図１３に描かれたように、圧力容器またはバッグ３４０は、拡散接合プロセス中、第１および第２のダイの１つと第１および第２の部材との間に均等な圧力を適用するために、第１および第２のダイ２２０，２２２の１つとマンドレル２００の上に配置された第１および第２の部材１０２、１０４の１つとの間に配置される。圧力バッグは、可撓性の原料のシート、例えば３０９ステンレス鋼のシート（これに限定されない）から作られ、圧力バッグは、マンドレル２００の上に配置された第１および第２の部材の１つの形状と適合する。第１および第２の部材が従来のダイで単にプレスされるのをリボン状の形状の各部材１０２、１０４の捻りのため難しくなっていることから、これは望ましいことである。
【００２６】
図１３の描かれた態様では、圧力バッグは、第１のダイ２２０の表面２３２とマンドレル２００の上に配置された第２の部材１０４との間に配置される。第１のダイおよびマンドレルの１つは、その上に圧力バッグを適切に配置するための手段を含む。例えば、第１のダイは、配置ピン（図示せず）を含み、それらは圧力バッグに配置された対応する孔（図示せず）と係合する。圧力バッグ３４０は、圧力バッグへ接続されたガスライン３４２を経る外の源からのガスを受容する室（図示せず）を画成する。この態様では、圧縮されたアルゴンガスは、約２００−約２５０ｐｓｉで貯蔵タンクから放出されるが、別のガスおよび圧力も含まれる。アルゴンガスは、ホースを経て流れ、そして圧力バッグライン３４２に入る。ラインは、オペレーターによりモニターされるデジタル圧力ゲージ（図示せず）により制御できる。アルゴンガスの露点は、周期的にモニターされて（例えば、月ごとなど）、水分量が一般に華氏約−７６度を超えないようにする。
【００２７】
ＨＨ２材料は、第１および第２のダイ２２０，２２２およびピン３２０の補足的な材料に関することから、Ｈａｙｎｅｓ２３０合金に比べて、２つの金属の間の熱膨張の係数において小さいが顕著な相違をもたらす。代替の補足的金属または金属合金は、異なる熱膨張係数が代替の材料間に存在する限り、含まれることを当業者は理解するべきである。周知のように、物質の熱膨張係数は複雑であり、そして温度が変化するとき劇的に変化するものであり、物質の温度が変化するにつれて物質のサイズの変化の関係を規定する。熱膨張係数は、温度の単位の上昇あたりの長さの微小な増加である。それは、精密な温度でまたは温度の範囲にわたって定義される。熱膨張は、デザインするとき多大の考慮を払うべきものであるが、しばしば軽視されている。当業者が理解するように、ＨＨ２材料に関する熱膨張係数は、Ｈａｙｎｅｓ２３０合金よりも僅かに高い。従って、第１および第２のダイ２２０、２２２は、両方の材料のアニール温度を超えた温度に曝されるとき、ピン３２０より僅かに膨張する。使用にあたって、炉の温度が上がるにつれ、第１および第２のダイ２２０、２２２は膨張し始める。この膨張は、ピン３２０により制限され、ピンはより遅い速度で膨張し続ける。さらに、ピン３２０が異なる長さをもつため、ピンの長さは、第１および第２のダイの膨張をさらに制限する。第１および第２のダイとピンとの間の膨張の差は、圧力を圧力バッグ３４０へ伝え、それは次に第１および第２の部材１０２、１０４の接合ランド表面１２０、１７０へ均等な負荷をもたらす。その上、炉中の温度の上昇は、圧力バッグ３４０内の圧力を高め、次に第１および第２のダイ２２０，２２２と第１および第２の部材１０２、１０４との間の圧力を高める。
【００２８】
膨張しない熱電対３４４は、温度をモニターするために第１および第２のダイ２２０、２２２の少なくとも１つに配置できる。熱電対は、一般に３０接合サイクルに使用され、そして特殊な限界に較正される。熱電対の使用は、±華氏４度（±０．４％）の最大偏差から最大±華氏５度で華氏約１５００度で行われるか、または３０回接合サイクル以内の何れか始めに起こるシステム正確度テストによりコントロールされる。
【００２９】
図２０−２１について、部品１００は、拡散接合プロセス後そして接続されたタブ１３０および１７２が注意して部品から除かれた後、接合域３７０を含む。接合域は、超音波で検査されて、第１の部材１０２の接合ランド表面１２０と、第２の部材１０４の第２の表面１６４の部分１７０との間の適切な接続を確実なものにする。部品の外部の表面を次にきれいにしそして仕上げる。
【００３０】
図２３について、本発明による拡散接合プロセスの要約が示される。既に指示したように、第１の部材１０２は、ＡＭＳ４９１１プレート原料（厚さ約０．３７５インチ）から製造され、そして粗く機械加工され、熱形成されそして次に拡散接合のために仕上げ加工される。第２の部材１０４は、ＡＭＳ４９１１シート原料（例えば厚さ０．０４０インチ）から製造され、平らなパターンに機械仕上げされ次に熱形成される。
【００３１】
拡散接合プロセスのための製造において、２つの部材１０２、１０４は、汚れを落とされ、ともに接続され、そして拡散接合ダイアセンブリ１０６中に置かれる。第１および第２の部材を化学的にきれいにするために、半分を３１６ステンレス鋼から作られたクリーニングラックに置く。４つまでの別々な処理タンク、すなわちアルカリクリナータンク、化学的クリーンエッチタンク、水道水濯ぎタンクおよび／または脱イオン水濯ぎタンクがクリーニングに利用される。タンクのそれぞれのパラメーターは以下に示される。クリーニングと拡散接合との間の最大の時間は、約８時間以内である。
【００３２】
【表１】
0005502737.tif 000002
【００３３】
第１および第２のダイ２２０，２２２は検査されて、ダイのランドさおよび平行さを確実にする。各ピン３２０の長さは、典型的な例では、正確に測定される。各ダイ２２０，２２２およびマンドレル２００の輪郭は、１０回目の接合サイクル後に検査されるが、検査は接合サイクルのそれより多いまたはそれより少ない回数後に行うことができる。第２のダイは、複数の部分（例えば、３，４，５，６の部分など）に分割されそして或るダイのパラメーターと比較される。ダイに関するデータは採集され、そして電子的に貯蔵されてモニターされる。このデータの採集は、部品の品質に関して問題解決の道具として働く。圧力バッグ３４０は、接合サイクル毎にその前に圧力をテストされて圧力バッグが圧力（例えばアルゴンガスによる５０ｐｓｉ）を保ち、そしてどんな漏れもないことを確かめる。図１９に関して、拡散接合ダイアセンブリ１０６およびマンドレルは、１回以上のサイクル後に検査される。特に、第１および第２のダイ２２０、２２２およびマンドレル２００は、圧力バッグ３４０なしに一般に組み立てられて、第１および第２のダイおよびマンドレルを囲む隙間３０６が最大約０．０１０インチの隙間を越えないことを確認する。
【００３４】
炉も周期的にチェックされる。例えば、炉のバーンアウトは、１時間華氏約２０００度で毎週行われる。毎時約３ミクロン以下に等しいかまたはそれより小さい炉の漏れ率の検査は、毎週行われる。±華氏約１５度の炉温度の均等性の検討は、３月毎に行われる。システムの正確さのテストは、毎月行われて、約０．５％から最大±華氏約５度である（これはコントロール熱電対および負荷熱電対を含む）。装置の較正は、３月毎に行われて、華氏約１度内で読み取られる±華氏約２度である。
【００３５】
拡散接合の前に、以下の項目が、一般に確認される。（１）計画されたバーンアウトが行われている、（２）漏れ率が計画された通りでありそして毎時の予定された量以下である、（３）接合サイクル中圧力バッグへ十分なガスを送る、（４）第１および第２のダイ２２０，２２２は汚れがなくそしてすべての油／グリース／切削流体の残渣などがなく、もし拡散接合ダイアセンブリ１０６が汚れている場合には、拡散接合ダイを約１時間華氏約１８００度でバーンアウトすべきであり、炉を最大華氏約１０００度へ冷却しそしてガスファンで冷やす、（５）第１および第２のダイ２２０、２２２およびマンドレル２００および圧力バッグ３４０が、すべての前の接合サイクルからの汚れがなく（すなわち、Ｓｃｏｔｃｈ−Ｂｒｉｔｅにより滑らかにされる）、残った固体、残渣または表面上の盛り上がりがない。また表面は乾いていなければならない。
【００３６】
拡散接合サイクルのために拡散接合ダイアセンブリ１０６を組み立てるには、オペレーターは、毛羽のないしかも清潔な手袋をつけなければならない。マンドレル２００、第１および第２のダイ２２０、２２２および圧力バッグ３４０は、リリース剤例えば窒化硼素スプレイにより被覆される。第１および第２の部材の特に同定された重要な域もリリース剤により被覆される。リリース剤は、典型的な例では、拡散接合チタン部材のときに使用される。部品１００は、マンドレル２００上に置かれ、マンドレルは上記のように第２のダイ２２２上に置かれて、部品１００の接続されたタブ１３０、１７２が第２のダイへ適切に置かれることを確実なものにする。圧力バッグ３４０は、部品の上に少なくとも部分的に置かれ、そして第１のダイへ確保される。ピン３２０は、次に拡散接合ダイアセンブリ１０６へ確保され、ピンに数字が付されそしてその数字を第１のダイ２２０上の数字の位置と一致するようにする。圧力バッグ３４０は、ガスにより膨らまされそして保持されて、圧力バッグが適切な圧力を維持することを確認する。マンドレル２００および部品１００を含む拡散接合ダイアセンブリ１０６は、次に予定された方向（すなわち、４５度前部を右、後部を左）で真空炉中に入れる。ガス圧弁を開け放しにして、浸透点まで圧力バッグ中の圧力の形成を防ぐ。炉の熱測定システムが、設定された要求事項毎にコントロールされる。炉をまずアルゴンガスでパージして、すべての大気中の汚染を置換し、次に炉を予定された真空レベルへ排気する。複数の接合ダイは、使用される真空炉のサイズに応じて、１つの炉の装入として処理される。
【００３７】
本発明の拡散接合サイクルは、典型的な例では、以下の予定されたパラメーターで操業されるが、例示のパラメーターが変化できることを理解すべきである。
【００３８】
【表２】
0005502737.tif 000003
【００３９】
【表３】
0005502737.tif 000004
【００４０】
接合後、金属組織検査用のサンプルをとり、そして接合の一体性について評価する。部品１００は、また超音波により検査される。例えば、接合域３７０は、パルスエコーＬ波モードを用いて検査される。接合域は、部品の表面へほぼ直角（例えば±約１度）の角度で接合部に焦点をあてた超音波ビームにより検査される。実験室のテストは、各拡散接合部品から切り取ったものから得られたサンプルについて直接行われる。超音波による検査後、部品を次に仕上げ加工し、汚れを落とし、手で処理して予定された肉眼による必要条件に適合するようにする。また、説明に用いた部品１００は、例示に過ぎない。別の形状およびサイズを有する部品が、本明細書で記述された拡散接合プロセスにより製造できることを理解すべきである。
【００４１】
前述から明らかなように、拡散接合ダイアセンブリ１０６は、いくつかの理由により独特なものである。ダイは華氏約１７２０度まで操作できる。ダイ材料は、鋳込ＨＨ２であり、それは標準の鋳込３０９ステンレス鋼より僅かに炭素含量が多い。使用温度で接合ランド部へ適用される機械的に均等な負荷が、３０９ステンレス鋼圧力バッグ３４０を用いて生成される。これは、このタイプの工具を、圧力バッグへの配管を僅かばかり改変することにより、ほとんどすべての標準の真空炉での使用を可能にする。第１および第２のダイ２２０、２２２は、Ｈａｙｎｅｓ２３０合金からつくられたピン３２０を用いて、使用温度でともに保持される。この材料は、ＨＨ２ダイ材料に比べて僅かに低い熱膨張係数を有することから、使用できる。図１６に示されるように、これにより、ダイは一緒にされ、そして次に負荷が接合ランド部へかけられるとき、使用温度で緊密になる。
【００４２】
上記および他の特徴および方法またはその代替のいくつかが、多くの他の異なるシステムまたは用途に所望により組み合わされることを理解するだろう。また、現在分かっていないまたは予想されない代替、改変、変化または改良は、当業者により行われるだろう。これらは、また請求の範囲またはその均等の範囲により含まれることを望む。
【符号の説明】
【００４３】
１００    部品
１０２    第１の部材
１０４    第２の部材
１０６    ダイアセンブリ
１１０    接合部
１１２    第１の細長い部材
１１４    第１の末端部分
１１６    第２の末端部分
１２０    第１の表面
１２２    第２の表面
１２６    壁
１２８    第３の表面
１３０    タブ
１３４    １１２の第１の部分
１３６    １１２の第２の部分
１４０    弓形の表面
１４２    第１の末端
１４４    第２の末端
１５０    ランプ
１６０    第２の細長い部材
１６２    １６０の第１の表面
１６４    １６０の第２の表面
１６６    １６０の第１の末端部分
１６８    １６０の第２の末端部分
１７０    １６４の部分
１７２    タブ
１７４    １０４の第１の部分
１８０    孔
１８２    孔
２００    マンドレル
２０２    ベース
２０４    腕状部
２０５    ２０４の第１の表面
２０６    ２０４の第２の表面
２０８    ２０４の弓形の末端部分
２１０    ピン
２２０    第１のダイ
２２２    第２のダイ
２３０    ２２２の表面
２３２    ２２０の表面
２５０    カットアウト
２５２    ダイの側面
２５４    ダイの側面
２５６    壁
２５８    棚状部
２６０    カットアウト
２６２    ダイの側面
２６４    ダイの側面
２７０    壁
２７２    棚状部
２７４    溝
２７６    溝
２８０    突起
２８２    突起
２８８    凹所
２９０    凹所
２９２    壁段の域
２９４    タブ
２９６    タブ
３００    壁段
３０２    壁段
３０４    壁段
３０６    隙間
３１０    カットアウト
３２０    ピン
３２２    シャフト
３２４    キャップ
３２６    キャップ
３４０    バッグ
３４２    ガスライン
３４４    熱電対
３７０    接合域
【図１】
0005502737.tif 000005
【図２】
0005502737.tif 000006
【図３】
0005502737.tif 000007
【図４】
0005502737.tif 000008
【図５】
0005502737.tif 000009
【図６】
0005502737.tif 000010
【図７】
0005502737.tif 000011
【図８】
0005502737.tif 000012
【図９】
0005502737.tif 000013
【図１０】
0005502737.tif 000014
【図１１】
0005502737.tif 000015
【図１２】
0005502737.tif 000016
【図１３】
0005502737.tif 000017
【図１４】
0005502737.tif 000018
【図１５】
0005502737.tif 000019
【図１６】
0005502737.tif 000020
【図１７】
0005502737.tif 000021
【図１８】
0005502737.tif 000022
【図１９】
0005502737.tif 000023
【図２０】
0005502737.tif 000024
【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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