(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶パネルの貼り合せ用光照射装置であって、
紫外光を放射するＬＥＤを具備した光源を多数面状に並べて配置し、光照射部を構成し、
前記光源は、複数のＬＥＤ素子と当該複数のＬＥＤ素子からの光を混合して所定の角度成分を持つように制御する光学系を備えた光源ユニットからなり、該光源ユニットが規則的に配列されて面状の光源を構成し、
前記光照射部の面に対して直交方向に伸びると共に、互いに面が向き合うよう間隔をあけて配置されてなる複数の板状の支持部材と、
前記光源を保持し、前記光照射部と平行な面方向に伸びる複数のステージと、
前記複数のステージの各々に設けられた冷却手段とを具備し、
前記複数の支持部材の各々には、その一端部に長さ方向に伸びる嵌合部が設けられてなり、
前記複数のステージの各々には、その両側面に長さ方向に伸びる被嵌合部が設けられてなり、
前記嵌合部と前記被嵌合部とが、前記ステージにおける光源保持面より前記嵌合部が突出しない状態で嵌合構造を形成することにより、
前記ステージが前記支持部材に保持されている
ことを特徴とする液晶パネルの貼り合せ用光照射装置。
【請求項２】
前記隣接するステージの間における光源を保持した面同士の間隔は、複数のＬＥＤ光源同士の間隔よりも小さい
ことを特徴とする請求項１記載の液晶パネルの貼り合せ用光照射装置。
【請求項３】
前記冷却手段は、ステージに冷却用流体を流通させる機構からなる
ことを特徴とする請求項１記載の液晶パネルの貼り合せ用光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイパネルなどの製造工程において、２枚のパネル基板の間に塗布されたシール剤に紫外光を照射して硬化させることによりパネルを貼り合わせる際使用される光照射装置に関するものであり、特に光源にＬＥＤを備えた光照射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶画面を構成する液晶パネルは、通常、カラーフィルタ基板とＴＦＴ基板とからなる２枚の光透過性基板から構成されている。この液晶パネルは、例えば図９に示すように、一方の光透過性基板８１上に、紫外線硬化樹脂であるシール剤８２を枠状に形成しておき、その内部に液晶を滴下し、その上に、真空中で他方のガラス基板８３を載せて、液晶を拡散処理し、積層状態の基板８１，８３に紫外線を照射して、シール剤８２を硬化させることにより、２枚のガラス基板を貼り合わせて（接着して）、製造される。このような液晶パネルは、テレビやパソコンなどの表示画面に使用するものにおいては、一辺が例えば２０００ｍｍを越えるような大面積のガラス基板が使用されており、同図にあるように一枚の基板を分割するように枠状にシール剤を形成し、基板を貼り合わせた後、画郭ごとに基板を分割（切断）して製造されるいわゆる多面取りという方法を採用する。
【０００３】
近時、このようなパネル貼り合せ用の光照射装置として、ＬＥＤを光源として用いたものが提案されている（特許文献１等）。この特許文献１には、概略、前図、図９に示す構成のものが開示されている。すなわち、ＬＥＤ光源８４をステージ８５に敷き詰めた構成を有するものである。
【０００４】
上記ディスプレイパネル製造の技術分野においては、基板の大型化が急速に進み、基板を処理するために大型の光照射装置が必要となっている。
これは、ディスプレイパネルを製造する際、マザーガラスを大型化し、そこから多数のパネルを製造する方が全体の生産コストを抑えることができるためである。このような情勢に従い、基板の大きさは近時ますます大きくなり、従来Ｇ６（１５００ｍｍ×１８５０ｍｍ）〜Ｇ８（２１６０×２４６０ｍｍ）が主流であったが、更にＧ１０（２８５０×３０５０ｍｍ）となっており大型の光照射装置の開発が急務となっている。
しかしながら、１辺が２５００ｍｍを超える大面積の光照射装置となると、光源の保持が困難となる。以下これについて説明する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２３５６１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
液晶パネルの貼り合せ工程においては、基板表面において照度にムラがあり、照度が不足して未硬化のシール剤が残った場合、液晶とシール剤とが反応して液晶が動作しなくなり、不良発生の原因となってしまう。一方で、過剰な紫外線照射は、紫外線照射時間が長くなり生産性を低下させるため望ましくない。
従って、光照射装置においては、大面積の被処理物に対して均一な紫外線照射が要求され、過不足がないことが望ましい。
上記ＬＥＤ光源を備えた光照射装置において、これを実現するには、第１にＬＥＤ光源は所定の間隔を持って規則正しく配列されたものであること、第２に個々のＬＥＤ光源８４において放射される光量が同じであること、の両方を実現する必要がある。
【０００７】
ＬＥＤ光源を規則的に配置することに対しては、ステージが複数になると、ＬＥＤ光源の密な配置が困難になる可能性があることから１枚のステージで保持することが好ましい。しかしながら、上述したように１辺が２０００ｍｍを超えるものとなると、特に装置中央部付近に設置されたＬＥＤ光源の交換が困難で、作業スペースを要する。また、ステージ自体に撓みが発生し、ワークとＬＥＤ光源との間の距離が撓み具合により異なることに由来してワーク面で照度が変わってしまう。
このような問題に鑑み、ステージを多くの部分で支持しようとすると、ＬＥＤ光源の交換が必要になったときに作業が煩雑になり、稼動率が悪くなってしまう。
また、撓みを軽減するためステージを複数に分割した場合、ＬＥＤ光源の規則的な配置を維持しようとすると、ステージ同士を隙間なく配置しなければならず、保持構造が複雑になるという問題がある。
【０００８】
また更に、ＬＥＤ素子は熱により劣化が進行するため、ＬＥＤの基板の裏側に冷却機構を設けることがほぼ必須の要件となるが、基板の保持部分を多くすると、面全体を均一に冷却することができなくなってしまう。仮に、ＬＥＤ光源の冷却機能が部分部分で異なった場合、ＬＥＤ素子の劣化の進行度合いが異なって、点灯時間が経過するに従い個々のＬＥＤ光源において放射される光量が異なることになり、照度が不均一になってしまう。
【０００９】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、ＬＥＤ光源を多数有し面状の光源を構成した光照射装置において、光照射部が大面積化した場合にも、ＬＥＤの冷却を確実に行えると共に、ワークと光照射部との距離を均一にできて照度の変動を少なくできる、光照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
そこで、本発明に係る液晶パネルの貼り合せ用光照射装置は、複数のＬＥＤ素子を面状に配列させて面光源を構成した装置であり、下記構成を備えたものである。
（１）
液晶パネルの貼り合せ用光照射装置であって、
紫外光を放射するＬＥＤを具備した光源を多数面状に並べて配置し、光照射部を構成し、
前記光源は、複数のＬＥＤ素子と当該複数のＬＥＤ素子からの光を混合して所定の角度成分を持つように制御する光学系を備えた光源ユニットからなり、該光源ユニットが規則的に配列されて面状の光源を構成し、
前記光照射部の面に対して直交方向に伸びると共に、互いに面が向き合うよう間隔をあけて配置されてなる複数の板状の支持部材と、
前記光源を保持し、前記光照射部と平行な面方向に伸びる複数のステージと、
前記複数のステージの各々に設けられた冷却手段とを具備し、
前記複数の支持部材の各々には、その一端部に長さ方向に伸びる嵌合部が設けられてなり、
前記複数のステージの各々には、その両側面に長さ方向に伸びる被嵌合部が設けられてなり、
前記嵌合部と前記被嵌合部とが、前記ステージにおける光源保持面より前記嵌合部が突出しない状態で嵌合構造を形成することにより、
前記ステージが前記支持部材に保持されている
ことを特徴とする。
（２）
前記隣接するステージの光源保持面同士の間隔は複数のＬＥＤ光源同士の間隔よりも小さいことを特徴とする
（３）
前記冷却手段は、ステージに冷却用流体を流通させる機構からなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、光照射部を、各々両側面において保持されてなる複数のステージによって構成するので、光照射部を撓みが少なく保持でき、光照射部とワークとの距離を一定にすることができると共に、ステージは、互いに側面が対向するように間隔をあけて配置された支持部材の間にスライド機構により挿入することで設置されるため、各ステージ間の位置合わせが容易で、装置全体でのＬＥＤ光源間の距離を一定にすることができ、ステージの取替え、すなわち光照射部の交換を容易に行うことができる。
しかも、ＬＥＤ光源を保持するステージに冷却機構が設けられているため、ＬＥＤの過熱を防止できＬＥＤ素子の劣化を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る光照射装置の構成説明する図であり（ａ）斜視図、（ｂ）丸で囲んだ部分を拡大して示す説明図である。
【図２】第１の実施形態に係る光照射ユニットを説明する斜視図であり、（ａ）はステージとＬＥＤ光源ユニットの構成を示す図、（ｂ）は（ａ）において丸で囲んだ部分を拡大して示す図である。
【図３】第１の実施形態に係るＬＥＤ光源ユニット部分を拡大して示す説明図である。
【図４】第１の実施形態に係るＬＥＤ光源ユニット部分を拡大して示す説明図である。
【図５】第１の実施形態に係る光照射装置の嵌合部近傍を拡大して示す説明図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）本発明の他の実施形態に係る光照射装置の嵌合部近傍を拡大して示す説明図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）本発明の他の実施形態に係る光照射装置の嵌合部近傍を拡大して示す説明図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）本発明の他の実施形態に係る光照射装置の光照射ユニットおよびＬＥＤ光源部分を拡大して示す説明図である。
【図９】従来技術の光照射装置の構成を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１は本発明の第１の実施形態に係る光照射装置の構成説明する図であり（ａ）斜視図、（ｂ）丸で囲んだ部分を拡大して示す説明図である。
図２は、本発明にかかる光照射ユニットを説明する斜視図であり、（ａ）はステージとＬＥＤ光源ユニットの構成を示す図、（ｂ）は（ａ）において丸で囲んだ部分を拡大して示す図である。この光照射装置の下方には、例えば液晶パネル基板からなるワークが載置される。
なお、液晶パネル基板は、２枚のパネル基板の間に矩形にシール剤が形成されると共に、液晶が封入されたものである。シール剤は光硬化性を有するものであり、光照射装置のシール剤の直上に位置された光照射装置を構成するＬＥＤ光源が点灯してシール剤の幅部分を照射することになる。
【００１４】
図１（ａ），（ｂ）に示すように、光照射装置１００には全体を長方形の８つの領域に等分するよう板状の支持部材１０，１１が配置されている。これら支持部材１０，１１は不図示の枠体によって移動不可に固定されている。支持部材１０は、各々面が伸びる方向が平行となるよう等間隔離間して配置されており、２枚の支持部材１０の間に光照射ユニット２０が着脱自在に配置される。つまり、同図に示すように、光照射ユニット２０を、支持部材１０が伸びる方向と平行方向にスライド挿入し、装置中央に配置される支持部材１１に突き当てることで光照射ユニット２０が装着されるようになる。
【００１５】
光照射ユニット２０は、この実施形態においては支持部材１０と嵌合する被嵌合部を備えたステージ２１と、ステージ２１の上側の面に配置された電源装置２２と、ステージの下側の面２１ａに基板２４を介して取り付けられたＬＥＤ光源ユニット２３とを備えて構成されている。
具体的には、図１（ｂ）に示すように、支持部材１０の下側の端部には横方向に凸状に形成された嵌合部１０ａが支持部材１０が伸びる方向に形成されており、ステージ２１の側面に形成された長溝からなる被嵌合部２１ｂと嵌合する構造を備えている。
【００１６】
このような支持部材１０或いはステージ２１は、材質としては熱の良導体である金属からなり、具体的にはアルニミウム、ステンレス等から構成される。
【００１７】
図２は、ステージ２１と光源ユニット２３の構造を説明する図である。なお以下の図面においては説明容易のため、電源装置２２の構成については省略して記載している。
同図に示すように、ステージ２１の上側の面には断面Ｕ字型の長溝２５が形成されている。この溝２５の中に冷却流体導入管２６が設置される。ここでは不図示とするが、光照射装置１００には冷却流体導入管２６に冷却用流体の供給機構を備えており、ステージ２１に設けられた該導入管２６を通じて流体が流過され、ステージ２１全体の冷却が行われる。無論このような冷却手段によらず他の機構を採用することも可能である。
【００１８】
図２（ｂ）に示すように、ステージ２１の下方の面２１ａには、光源ユニット２３に対して給電を行う基板２４が取り付けられている。この給電用基板２４は、例えばアルミニウムを基材としてプリントにより配線パターンが形成されたものであり、その上側の面がステージ２１の一面２１ａに密着して配置される。
このように、光源ユニット２３は給電用基板２４を介してステージ２１に密着して取り付けられているため、発光、発熱により、ユニット内部に内蔵されたＬＥＤの温度が上がったとしても、給電用基板２４およびステージ２１を介して、冷却手段によって冷却が速やかに行われ、過熱による劣化を効果的に抑制することができる。
【００１９】
ところで、本発明においては、ステージ２１が複数に分かれて構成されているため、ステージ２１側縁部近傍では冷却手段から離れることになり、ＬＥＤ光源ユニット２３の冷却性能が十分に発揮されない可能性が生じる。しかしながら、本発明においては、図１（ｂ）に示すように、ステージ２１の被嵌合部２１ｂは支持部材１０の嵌合部１０ａに密に接する構造を備えていると共に支持部材１０が熱の良導体である金属からなることから、支持部材１０を介して放熱が行われ、結果的にステージ２１の全面において冷却できるようになる。この結果、光源ユニットの過熱を防止することができる。
【００２０】
図３、図４は、ＬＥＤ光源ユニット部分を拡大して示す説明図である。本実施形態において光源は、ＬＥＤ素子２３ａを複数備えた箱状のＬＥＤ光源ユニット２３により構成される。ＬＥＤ光源ユニット２３は、例えば断面が略正方形をなす光出射方向（Ｚ軸方向）に長い箱状であり、内部に複数のＬＥＤ素子２３ａが埋め込まれて構成されている。
このようなＬＥＤ光源ユニット２３がＸ方向、Ｙ方向に規則的に配列されて面状光源を形成することによって、面状の光源を構成する。
【００２１】
ＬＥＤ基板２３ｂ上には、ＬＥＤ素子２３ａ（以下ＬＥＤという）が透光性レンズ体２３１にモールドされた状態で複数、例えば５つ配置されている。本実施形態において、透光性レンズ体２３１は、ＬＥＤ２３ａから放射された光を集光し、前面の開口側に向けて平行光となるよう集光する特性を有している。複数の透光性レンズ体２３１から放射された平行光は、１つの光源ユニット２３の内部でマルチレンズ２３２により混合、均一化され、更にフレネルレンズ２３３によって所定の角度成分を持つように制御されて、これらを取り囲むレンズホルダー２３４の光取り出し部２３４ａから出射し、ワークに向けて光を照射する。なおここで示したフレネルレンズ２３３に替えてシリンドリカルレンズ或いは球面レンズを用いることも可能である。
【００２２】
ＬＥＤ光源ユニット２３の各々には、各ＬＥＤ２３ａに対して電力を供給する給電用コネクタ２３Ａを備えており、例えば給電用コネクタ２３Ａがステージ２１の一面２１ａに取り付けられた給電用基板２４に固定されて給電構造が形成される。給電にはコネクタ以外にもリード線等を用いることも可能である。本実施形態のようにコネクタ２３Ａによる給電機構を用いた場合には、多数のＬＥＤ２３ａを用いる場合でもリード線の引き出しのスペースを少なくでき、線の長短による給電量のバラつきも少なくてすむようになる。
このようにして、ステージ２１の一面２１ａにＬＥＤ光源ユニット２３が等ピッチでＸ−Ｙ面方向に規則的に並べられて、光照射部が構成される。
【００２３】
ＬＥＤ光源ユニット２３とＬＥＤ光源ユニット２３との間の間隙は、上記した光学系の集光特性によって異なるが、概ね１〜１０ｍｍの間において所定の値に設定される。そしてＬＥＤ光源ユニット２３が規則的に配置されることで、ワーク毎に照射領域が異なったとしても、均一の照度で光を照射することができる。
【００２４】
再び、図１，図２を参照して、光照射装置全体の構成を説明する。
上述したように、光照射ユニット２０においてＹ方向に伸びるステージ２１の側面には長溝からなる被嵌合部２１ｂが形成されている。この被嵌合部２１ｂは、支持部材１０の下方に形成されたレール状の嵌合部１０ａと嵌合する形状を備えたものであり、図１（ｂ）で示すように嵌合部１０ａと被嵌合部２１ｂとが嵌合することで、光照射ユニット２０が支持部材１０によって支えられて所定の位置に設置されると共に、光照射装置１００を構成する。このとき、ステージ２１の下側の面２１ａは支持部材１０の下端部１０ｂを越えて下方（すなわちワーク側）に位置される。このため、ステージ２１の下側の一面２１ａにおいては、ステージ２１同士、隙間を可及的に０（ゼロ）に近い状態となるよう密接して配置することができ、光源ユニット２３を配置する間隙もまたこれに準じて小さくすることができる。従って、例えばＬＥＤ光源ユニット２３同士の間隙を数ミリ程度まで密に配置した場合でも、光照射領域１００全体でＬＥＤ光源ユニット２３の間隔を均一に配置することができ、均一な光照射が可能となる。
【００２５】
また更に、ステージ２１が金属からなる支持部材１０に嵌合によって設置されるため、支持部材１０とステージ２１との接触面積が大きく、光源ユニット２３からステージ２１に伝わった熱を効果的に支持部材１０に伝達できて放熱することができる。この結果、ステージ２１の縁部の熱を支持部材１０を通じて放熱させることができ、ステージ２１全体を均一に冷却することができて、ＬＥＤ光源ユニット２３に装着されたＬＥＤ素子２３ａの劣化を効果的に防ぐことができる。この結果、ＬＥＤ素子２３ａの劣化の進行が異なることに由来して生じる照度ムラの発生を回避することができる。
【００２６】
なお、光照射ユニット２０を嵌合によって取り付けるため、光照射ユニット２０の位置決めが容易であり、確実に位置を規定して光照射装置１００に設置することができる。
【００２７】
このような光照射装置の支持部材１０、ステージ２１およびＬＥＤ光源ユニット２３の大きさについて図２、及び図５を参照し、各所の具体的数値の一例を述べる。
図２においてステージ２１は、横方向（Ｘ方向）長さａが６５０ｍｍ、縦方向（Ｙ方向）長さｂが１１５０ｍｍである。
図５において、支持部材１０は、高さｃが１５０ｍｍ、嵌合部１０ａを除く板部分の厚さｄが１０ｍｍ、嵌合部１０ａにおける突起の突出長さｅが１０ｍｍである。
ステージ２１の板厚ｆは２０ｍｍであり、ステージ２１上面から被嵌合部２１ｂまでの長さｇが５ｍｍ、ステージ２１の下面２１ａから被嵌合部までの長さｈが５ｍｍであり、被嵌合部における溝の幅方向長さｉは１０ｍｍである。ＬＥＤ光源ユニット２３の横方向長さｊは４７ｍｍであり、ＬＥＤ光源ユニット２３とＬＥＤ光源ユニット２３の間隔ｋは３ｍｍである。
【００２８】
以上のように、本発明に係る光照射装置によれば、光源ユニット同士の間隔が１〜１０ｍｍという狭いものであっても、ステージ２１の一面を光源ユニット２３の間隔よりも小さくなるように、ステージ２１を密に配置することができる。従って、ＬＥＤ光源ユニット２３は、ステージ２１とステージ２１の間にまたがる部分においてもピッチを変えることなく配置することができる。そしてこれと同時に、ステージ２１の大きさをワークの大きさに対して小さく区分でき、たわみが生じないように小さくすることができるので、ワークの大型化にあわせて、装置においても大型化を実現することができる。
【００２９】
本発明は、上記実施形態の内容に限定されることなく適宜変更が可能であることは言うまでもない。例えば、支持部材とステージの係合関係においては図１〜５のような態様に限定されることなく変更が可能であることは言うまでもない。
【００３０】
例えば、図６ないし図７に示すように嵌合部及び被嵌合部の形状については適宜変更が可能である。以下、これらを説明するが、これらの説明において先に図１〜図５で説明した構成については同符号で示して詳細説明を省略する。
図６（ａ）は支持部材１２の嵌合部１２ａの形状を、その下端部１２ｂが曲面となるよう断面半円状に形成したものである。この実施形態において、ステージ３１の被嵌合部３１ｂにおいては嵌合部１２ａの形状に合致して嵌り合う形状の長溝により構成される。このように、支持部材１２の下端部１２ｂがステージ３１の側面に形成された被嵌合部３１ｂに嵌合し、ステージ３１における下側の一面３１ａが支持部材１２の下端部１２ｂよりも下方に位置する。よって、隣接するステージ３１において、面３１ａと面３１ａの間に支持部材１２を間に介在させることなく配置でき、ＬＥＤ光源ユニット２３を密に配置することができる。
【００３１】
また、図６（ｂ）は支持部材１３の嵌合部の形状がその左右において異なる形状を備えたものであり、断面凹状の長溝からなる嵌合部１３１ａと凸状の鍔からなる嵌合部１３２ａとが形成されたものである。このような態様においては、紙面上左側のステージ４１には、嵌合部１３１ａ形状と嵌り合う形状の鍔状の突起からなる被嵌合部４１１ｂが形成され、右側の他方のステージ４１には、嵌合部１３２ａ形状と嵌り合う形状の長溝からなる被嵌合部４１２ｂが形成される。この構造においても、上記と同様、支持部材１３の下端部１３ｂがステージ４１の側面部分と嵌りあうことで、光源を保持した面４１ａと面４１ａの間に支持部材１３を間に介在させることなく密に配置でき、かかる面４１ａに隙間を形成させることなく、密に配置することができる。
【００３２】
更に図７を参照して他の実施形態について説明する。この実施形態においては、支持部材１４の嵌合部１４ａの両端部分に滑車１４ｃを形成したものである。このような構造によると、光照射ユニットの交換時、ステージ５１を前後方向に移動する際、滑車１４ｃが回動することで嵌合部１４ａにかかる摩擦を低減できて比較的軽い力でユニット部分をスライドできるため、光照射ユニットの引き出しを容易に行うことができるようになる。
このような実施形態においても、支持部材１４の下端部１４ｂがステージ５１の側面部分と嵌りあうことで、ステージ５１の下側一面５１ａに隙間を形成しないようステージ５１を密に並べて配置することができる。
【００３３】
以上のように、本発明に係る支持部材とステージの嵌合構造においては嵌合部と被嵌合部の形状に関してどのような態様であっても構わない。要は、支持部材においては下端部分においてステージの荷重を支持する機構を備え、ステージにおいては板の肉厚の中間部分に被支持部が位置すればよい。
【００３４】
また更に、本発明にかかる光照射装置においては、ＬＥＤ素子を備え、面状の光源装置を実現するものであれば、上述のような箱状の光源ユニットに限定されることなく適宜変更が可能である。
図８は他の実施形態を説明する光照射装置の例である。
なお、この実施形態の説明においては、先に図１〜図５で説明した光照射装置に関して光源の構成を変えたものであり他の部分は同じである。先に説明した構成については同符号で示して詳細説明を省略する。
支持部材１０の下端部１０ｂには嵌合部１０ａが設けられている。ステージ２１の下側の面２１ａには基板２４が設けられており、そこにＬＥＤ素子２７ａを透光性レンズ体でモールドしたＬＥＤ光放射体２７が多数取り付けられている。このＬＥＤ光放射体２７においても実際には規則的な配置状態が必須となる。本発明によれば、支持部材１０とステージ２１の嵌合構造によって、ステージ２１の一面２１ａにおいて隙間を形成することなくステージ２１を密に並べて配置することができ、従って、前記ＬＥＤ光放射体２７を光放射面全体で均一に配置することができる。
【００３５】
以上、本発明の実施形態について種々説明したが、本発明はこのような例に限定されることなく適宜変更が可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００３６】
１００    光照射装置
１０      支持部材
１１      支持部材
１０ａ    下端
２０      光照射ユニット
２１      ステージ
２１ａ    下側面
２１ｂ    被嵌合部
２２      電源ユニット
２３      ＬＥＤ光源ユニット
２３Ａ    給電用コネクタ
２３ａ    ＬＥＤ素子
２３１    透光性レンズ体
２３２    マルチレンズ
２３３    フレネルレンズ
２４      給電用基板
２５      Ｕ字溝
２６      冷却用流体導入管
２７      ＬＥＤ光放射体
２７ａ    ＬＥＤ素子
１２      支持部材
１２ａ    嵌合部
１２ｂ    下端部
３１      ステージ
３１ａ    下側面
３１ｂ    被嵌合部
１３      支持部材
１３１ａ  嵌合部
１３２ａ  嵌合部
１３ｂ    下端部
４１      ステージ
４１ａ    下側面
４１１ｂ  被嵌合部
４１２ｂ  被嵌合部
１４      支持部材
１４ａ    嵌合部
１４ｂ    下端部
１４ｃ    滑車
５１      ステージ
５１ａ    下側面
５１ｂ    嵌合部
【図１】
0005444891.tif 000002
【図２】
0005444891.tif 000003
【図３】
0005444891.tif 000004
【図４】
0005444891.tif 000005
【図５】
0005444891.tif 000006
【図６】
0005444891.tif 000007
【図７】
0005444891.tif 000008
【図８】
0005444891.tif 000009
【図９】
0005444891.tif 000010