(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺板状部材が相対移動可能に挿通された筒状部材を有し、前記長尺板状部材及び筒状部材の一方を固定子とし、他方を可動子とされるリニアモータにおいて、
前記筒状部材の筒軸方向に対して略垂直に前記筒状部材を貫通する貫通孔と、
該貫通孔を貫通して前記筒状部材の内面から突出し、前記長尺板状部材の一面及び他面夫々を支持して前記筒軸方向に案内する少なくとも一対の案内部材とを備え、
該一対の案内部材夫々は、
前記貫通孔を貫通して着脱自在に取り付けられるシャフトと、
該シャフトの端部に前記筒軸方向に対して回転軸が略直交するよう回転自在に設けられ、外周面が前記長尺板状部材を支持し、前記シャフトの外径よりも小なる外径を有するローラと
を備えることを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
前記シャフトの外周面に設けられたシャフトネジ部と、
前記貫通孔の内周面に設けられており、前記シャフトネジ部が螺合する貫通孔ネジ部と
を備えることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項３】
前記長尺板状部材は、Ｈ型部材であり、
前記案内部材は、前記Ｈ型部材のフランジを支持してあることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項４】
長尺板状部材が相対移動可能に挿通された筒状部材を有し、前記長尺板状部材及び筒状部材の一方を固定子とし、他方を可動子とされるリニアモータと、該リニアモータの駆動により前記筒状部材の筒軸方向に移動するステージ部とを備えた駆動ステージにおいて、
前記筒軸方向に対して略垂直に前記筒状部材を貫通する貫通孔と、
該貫通孔を貫通して前記筒状部材の内面から突出し、前記長尺板状部材の一面及び他面夫々を支持して前記筒軸方向に案内する少なくとも一対の案内部材とを備え、
該一対の案内部材夫々は、
前記貫通孔を貫通して着脱自在に取り付けられるシャフトと、
該シャフトの先端に前記筒軸方向に対して回転軸が略直交するよう回転自在に設けられ、外周面が前記長尺板状部材の一面又は他面を支持し、前記シャフトの外径よりも小なる外径を有するローラと
を備えることを特徴とする駆動ステージ。
【請求項５】
リニアモータが有する筒状部材の筒軸方向に挿通された長尺板状部材を前記筒軸方向に案内する案内部材であって、
前記筒状部材を貫通して取り付けられるシャフトと、
該シャフト部の先端に突設してあり、前記シャフトの軸に対して回転軸が略一致するよう回転自在に設けられ、前記シャフトの外径よりも小なる外径を有するローラと
を備え、
前記長尺板状部材の一面又は他面を前記ローラの外周面で支持することを特徴とする案内部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、案内部材が着脱可能なリニアモータ及び駆動ステージと、リニアモータから着脱可能な案内部材とに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁性体及びコイルからなる筒状の電機子と、長尺板上に磁石列が配置されてなり、当該電機子の筒軸方向に相対移動可能に挿通される磁石列部とからなるリニアモータが提案されている。このようなリニアモータには、装着時及びメンテナンス時に磁石列部を、挿通している電機子に対して磁気的中立位置に保持して案内する案内部材が設けられることがある。例えば、特許文献１には、電機子の挿通開口部周辺に磁石列部を案内する案内部材を設けたリニアモータが開示されている。特許文献２には、磁石列部が有する案内部材と、当該案内部材を支持する支持部材とを設けたリニアモータが開示されている。また、リニアモータに設けられた案内部材よりも高精度な案内を可能とする案内機構をリニアモータの外部に設けることがある。このような外部の高精度な案内機構を用いる場合、リニアモータに設けられた案内部材が高精度な案内を妨げることがあるため、リニアモータから案内部材を取り外すことが望ましい場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２４４９２５号公報
【特許文献２】特開２００６−３２００３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来技術では、リニアモータへの案内部材の着脱が容易でないという問題があった。
【０００５】
本願は、斯かる事情に鑑みてなされたものである。その目的は、シャフトの外径よりも小なる外径を有し、長尺板状部材の一面又は他面を支持するローラを案内部材が備えることにより、案内部材が着脱可能となるリニアモータ及び駆動ステージを提供することにある。また、その他の目的は、シャフトの外径よりも小なる外径を有し、長尺板状部材の一板面又は他板面を支持するローラを備えることにより、リニアモータへの着脱が容易となる案内部材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願に開示するリニアモータは、長尺板状部材が相対移動可能に挿通された筒状部材を有し、前記長尺板状部材及び筒状部材の一方を固定子とし、他方を可動子とされるリニアモータにおいて、前記筒状部材の筒軸方向に対して略垂直に前記筒状部材を貫通する貫通孔と、該貫通孔を貫通して前記筒状部材の内面から突出し、前記長尺板状部材の一面及び他面夫々を支持して前記筒軸方向に案内する少なくとも一対の案内部材とを備え、該一対の案内部材夫々は、前記貫通孔を貫通して着脱自在に取り付けられるシャフトと、該シャフトの端部に前記筒軸方向に対して回転軸が略直交するよう回転自在に設けられ、外周面が前記長尺板状部材を支持し、前記シャフトの外径よりも小なる外径を有するローラとを備えることを特徴とする。
【０００７】
本願にあっては、筒状部材が固定子として固定された場合、当該筒状部材に挿通された磁石列部等の長尺板状部材が可動子として移動する。また、長尺板状部材が固定子として固定された場合、当該長尺板状部材が挿通する筒状部材が可動子として移動する。筒状部材を略垂直に貫通する貫通孔に、一対の案内部材のシャフト夫々が取り付けられた場合、シャフトの端部に設けられたローラ部が筒状部材の内面から突出し、長尺板状部材の一面及び他面を支持して筒状部材の筒軸方向に案内する。貫通孔から一対の案内部材のシャフト夫々が取り外された場合、シャフトの外径よりも小なる外径を有するローラが貫通孔を通過してリニアモータから取り外される。
【０００８】
本願に開示するリニアモータは、前記シャフトの外周面に設けられたシャフトネジ部と、前記貫通孔の内周面に設けられており、前記シャフトネジ部が螺合する貫通孔ネジ部とを備えることを特徴とする。
【０００９】
本願にあっては、シャフトの外周面に設けられたシャフトネジ部が貫通孔の内周面に設けられた貫通孔ネジ部に螺合することにより、案内部材がリニアモータに着脱可能に取り付けられる。
【００１０】
本願に開示するリニアモータは、前記長尺板状部材は、Ｈ型部材であり、前記案内部材は、前記Ｈ型部材のフランジを支持してあることを特徴とする。
【００１１】
本願にあっては、長尺板状部材がＨ型部材からなり、長手方向の高い剛性を有する。案内部材によりＨ型部材のフランジが支持されて、筒状部材が筒軸方向に案内される。
【００１２】
本願に開示する駆動ステージは、長尺板状部材が相対移動可能に挿通された筒状部材を有し、前記長尺板状部材及び筒状部材の一方を固定子とし、他方を可動子とされるリニアモータと、該リニアモータの駆動により前記筒状部材の筒軸方向に移動するステージ部とを備えた駆動ステージにおいて、前記筒軸方向に対して略垂直に前記筒状部材を貫通する貫通孔と、該貫通孔を貫通して前記筒状部材の内面から突出し、前記長尺板状部材の一面及び他面夫々を支持して前記筒軸方向に案内する少なくとも一対の案内部材とを備え、該一対の案内部材夫々は、前記貫通孔を貫通して着脱自在に取り付けられるシャフトと、該シャフトの先端に前記筒軸方向に対して回転軸が略直交するよう回転自在に設けられ、外周面が前記長尺板状部材の一面又は他面を支持し、前記シャフトの外径よりも小なる外径を有するローラとを備えることを特徴とする。
【００１３】
本願にあっては、例えば、駆動ステージにリニアモータを取り付ける場合、又はリニアモータのメンテナンスを行う場合、長尺板状部材を案内する少なくとも一対の案内部材がリニアモータに取り付けられる。また、例えば、長尺状板部材を可動子とし、重量物を移動させる場合に、少なくとも一対の案内部材がリニアモータに取り付けられる。一対の案内部材のシャフト夫々は、筒状部材の筒軸方向に略垂直に貫通する貫通孔に取り付けられ、シャフトの端部に設けられたローラが筒状部材の内面から突出する。突出したローラは、長尺板状部材の一面又は他面を支持し、長尺板状部材を筒状部材の内側の磁気的中立位置に保持するよう筒軸方向に案内する。長尺板状部材を案内部材により案内しない場合、当該案内部材がリニアモータから取り外される。
【００１４】
本願に開示する案内部材は、リニアモータが有する筒状部材の筒軸方向に挿通された長尺板状部材を前記筒軸方向に案内する案内部材であって、前記筒状部材を貫通して取り付けられるシャフトと、該シャフト部の先端に突設してあり、前記シャフトの軸に対して回転軸が略一致するよう回転自在に設けられ、前記シャフトの外径よりも小なる外径を有するローラとを備え、前記長尺板状部材の一面又は他面を前記ローラの外周面で支持することを特徴とする。
【００１５】
本願にあっては、リニアモータの筒状部材に挿通された長尺板状部材を筒状部材の筒軸方向に案内する場合、少なくとも一対の案内部材がリニアモータに取り付けられる。一対の案内部材のシャフト夫々は、筒状部材の筒軸方向に略垂直に貫通する貫通孔に取り付けられ、シャフトの端部に設けられたローラが筒状部材の内面から突出する。突出したローラは、長尺板状部材の一面又は他面を外周面で支持し、長尺板状部材を筒状部材の内側の磁気的中立位置に保持するよう筒軸方向に案内する。長尺板状部材を案内部材により案内しない場合、当該案内部材がリニアモータから取り外される。
【発明の効果】
【００１６】
当該装置の一観点によれば、シャフトの外径よりも小なる外径を有し、長尺板状部材の一面又は他面を支持するローラを案内部材が備えることにより、リニアモータへの着脱が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施の形態１に係る駆動ステージを示す模式的上面図である。
【図２】実施の形態１に係る駆動ステージを示す模式的側面図である。
【図３】駆動ステージから取外したリニアモータを示す模式的上面図である。
【図４】図２のIV‐IV線における模式的断面図である。
【図５】図２のV‐V線における模式的断面図である。
【図６】実施の形態１に係る案内部材を示す模式的断面図及び模式的側面図である。
【図７】実施の形態２に係る駆動ステージを示す模式的側面図である。
【図８】図７のVIII‐VIII線における模式的断面図である。
【図９】図７のIX‐IX線における模式的断面図である。
【図１０】実施の形態２に係る案内部材を示す模式的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
実施の形態１
以下、実施の形態を図面を参照して具体的に説明する。本願に係るリニアモータは、例えば、ステージに載置された物体を直線状に移動させる駆動ステージに内蔵され、当該ステージを移動させる駆動源として用いられる。また、ステージに載置された物体をＸＹ面内で移動させるＸＹ駆動ステージに内蔵され、当該ステージをＸ方向及びＹ方向夫々に直線状に移動させる駆動源として用いられる。ＸＹ駆動ステージは、例えば電子顕微鏡等に試料ステージとして用いられ、当該試料ステージに載置された観察対象物を移動させる。また、ＸＹ駆動ステージは、例えば露光装置等に露光ステージとして用いられ、当該露光ステージに載置された露光対象物を移動させる。本実施の形態１では、ステージを直線状に移動させる駆動ステージの駆動源として用いられるリニアモータを例に挙げて説明する。
【００１９】
図１及び図２夫々は、実施の形態１に係る駆動ステージを示す模式的上面図及び模式的側面図である。駆動ステージは、長尺状のステージ案内部１及びステージ案内部１の長手方向に摺動可能にしてあるステージ部２からなる直動スライダと、当該直動スライダに組み込まれたリニアモータとからなる。ステージ案内部１は、矩形の底板と、短手方向に対向しており、長手方向に延びる側面板とからなり、短手方向の断面がＵ字状をなす。ステージ案内部１の側面板夫々の上面には、長手方向に沿って延びるレール部１１、１１が設けられている。
【００２０】
ステージ部２の底面には、レール部１１、１１に摺動自在に嵌合するレール嵌合部２２、２２、…が４隅に設けられている。また、駆動ステージは、筒状の電機子（筒状部材）３及び当該電機子３に挿通する磁石列部（長尺板状部材）４からなるリニアモータが組み込まれている。磁石列部４は、Ｎ極及びＳ極がステージ案内部１の長手方向に交互に並ぶよう複数の永久磁石４１、４１、…を配列させた磁石列と、当該磁石列が埋設された長尺平板とからなる。永久磁石４１、４１、…は、例えばＮｄ−Ｆｅ―Ｂ系希土類磁石を用いるとよい。
【００２１】
また、永久磁石４１、４１、…は、例えば特許第４２４１９００号又は特許第２８５９５１７号に開示された製造方法で製造された希土類磁石を用いてもよい。特に特許第４２４１９００号に開示された製造方法で製造された永久磁石は、高い飽和磁束密度及び保磁力を有しており、本願に係る有鉄心タイプのリニアモータに適している。磁石列部４の長尺平板は、非磁性体が好ましく、例えばＳＵＳ３０３、アルミニウム及びセラミック等から形成するとよい。ステージ案内部１の底板の長手方向両端には、磁石列部４を当該底板に対して略平行に間隙を有して固定するための取付部１２、１２が設けられている
【００２２】
磁石列部４は、長手方向の両端部に設けられた複数の取付孔を貫通する取付ネジ４２、４２、…が取付部１２、１２に設けられたネジ孔に螺合することにより、ステージ案内部１の底板にネジ留めされる。ネジ留めされた磁石列部４が挿通している電機子３は、筒軸方向に移動可能なように、ステージ案内部１の底板から間隙を有して配置される。電機子３は、電機子３及び磁石列部４が発生する磁場間の相互作用により、電機子３の筒軸方向に沿って移動する。この場合、電機子３及び磁石列部４夫々は、リニアモータの可動子及び固定子となる。そして、電機子３の移動に伴って、電機子３に取付ネジ２１、２１、…を用いて固定されているステージ部２が移動する。
【００２３】
また、ステージ部２は、外部の部材等に取り付けて固定することが可能にしてある。ステージ部２を固定し、磁石列部４の両端部をネジ留めしている取付ネジ４２、４２、…を取り外した場合、ステージ部２と共に固定された電機子３に対して磁石列部４が電機子３の筒軸方向に移動する。この場合、電機子３及び磁石列部４夫々は、リニアモータの固定子及び可動子となる。これにより、電機子３及び磁石列部４夫々は、選択的に固定子及び可動子とすることができる。ステージ案内部１の側面板には、案内部材３０を電機子３に取り付けるための開口部１３が設けられている。
【００２４】
図３は、駆動ステージから取外したリニアモータを示す模式的上面図である。電機子３は、リニアモータのＵ相、Ｖ相及びＷ相に各対応する３つの電機子ユニット３２が非磁性体のスペーサ３３を介し、連結している。磁石列部４の両端部夫々には、取付ネジ４２が貫通する４つの孔４０が設けられている。各スペーサ３３には、取付ネジ２１が螺合する２つネジ孔３１が設けられている。電機子ユニット３２は、内蔵する後述のコイルへの通電により、磁石列部４の複数の永久磁石４１、４１、…と協働して、電機子３及び磁石列部４間で推力を発生し、電機子３及び磁石列部４を電機子３の筒軸方向に相対移動させるようになっている。
【００２５】
図４は、図２のIV‐IV線における模式的断面図である。電機子ユニット３２は、磁性体からなり、磁石列部４の挿通方向に延びるＨ字状断面の貫通孔を有する。電機子ユニット３２の貫通孔は、磁石列部４の永久磁石４１、４１、…が設けられた幅方向略中央部が挿通する空隙を有する。電機子ユニット３２は、磁石列部４の幅方向略中央部の上面及び下面夫々に対面するコイル３２１、３２１を備える。電機子ユニット３２、３２の貫通孔の空隙及びコイル３２１、３２１は、磁気回路を形成する。コイル３２１、３２１は、通電された場合、磁石列部４に対して略垂直に交差する磁場を発生するようにしてある。
【００２６】
図５は、図２のV‐V線における模式的断面図である。スペーサ３３は、筒軸方向が電機子３の筒軸方向と略一致する筒状部材であり、磁石列部４が挿通する。スペーサ３３の両側面夫々には、磁石列部４の上面及び下面近傍に向けて電機子３の筒軸方向に略垂直に貫通する一対の貫通ネジ孔（貫通孔）３３１、３３１、…が設けられている。貫通ネジ孔３３１、３３１、…は、例えば電機子３の筒軸方向の垂直方向から±１°以内となるようスペーサ３３に設けるとよい。貫通ネジ孔３３１には、ステージ案内部１の開口部１３を通過して、案内部材３０のシャフト３０２が取り付けられる。
【００２７】
シャフト３０２の端部には、ローラ３０１が設けられ、貫通ネジ孔３３１から電機子３の内側に向けてローラ３０１が突出する。突出したローラ３０１が磁石列部４の上面又は下面を回転自在に支持することにより、案内部材３０は、磁石列部４を電機子３の筒軸方向に案内する。貫通ネジ孔３３１は、取り付けられた案内部材３０が磁石列部４を電機子ユニット３２の空隙の磁気的中立位置に支持するように配置してある。ここで、磁気的中立位置とは、空隙間の永久磁石４１、４１、…夫々の上面の磁極及び下面の磁極夫々と、電機子３との間で生じる吸引力が略同一となる位置である。磁気的中立位置にある磁石列部４には、吸引力差による曲げ応力が発生しない。貫通ネジ孔３３１から取り外された案内部材３０は、ステージ案内部１の開口部１３を通過して、駆動ステージから取り外すことができる。
【００２８】
図６は、実施の形態１に係る案内部材３０を示す模式的断面図及び模式的側面図である。図６Ａ及び図６Ｂ夫々は、模式的断面図及び模式的側面図を示す。案内部材３０は、ローラ３０１の回転軸となる軸部３０１ｂを有する。軸部３０１ｂは、一端に嵌め込まれたローラ３０１を回転自在に挟持する支持壁を有する。シャフト３０２は、一端が封じされた円筒状をなす。軸部３０１ｂの他端に設けられたネジ溝が、シャフト３０２の封じ部の略中央に設けられたネジ孔に螺合することにより、軸部３０１ｂがシャフト３０２の一端に取り付けられている。これにより、ローラ３０１の回転軸は、シャフト３０２の軸と略一致する。また、ローラ３０１の内周面及び軸部３０１ｂの外周面間に針状ころ３０１ａが介挿されている。
【００２９】
シャフト３０２は、外周面及び内周面夫々にシャフトネジ部３０２ａ及び六角孔３０２ｂを有する。開口部１３を介して案内部材３０を貫通ネジ孔３３１に差込み、シャフト３０２の六角孔３０２ｂに六角レンチの先端を挿入して回転させる。回転したシャフトネジ部３０２ａは、貫通ネジ孔３３１に螺合する。これにより、案内部材３０を電機子３に容易に取り付けることが可能となる。また、開口部１３を介して六角レンチの先端を六角孔３０２ｂに挿入して逆回転させることにより、シャフトネジ部３０２ａを貫通ネジ孔３３１から取り外す。そして、シャフト３０２の外径Ｄ２よりも小さい外径Ｄ１を有するロータ３０１を貫通ネジ孔３３１を介してシャフト３０２と共に電機子３から取り外し、更に開口部１３を介して駆動ステージから取り外す。これにより、案内部材３０を駆動ステージから容易に取り外すことが可能となる。
【００３０】
本実施の形態１では、スペーサ３３に貫通ネジ孔３３１を設ける場合を示したが、これに限るものではなく電機子ユニット３２に貫通ネジ孔を設けて案内部材３０を取り付けてもよい。
【００３１】
ステージ部２を案内部材３０よりも精度よく案内する駆動ステージの外部の案内機構を用いる場合、案内部材３０をリニアモータから取り外すことにより、精度の低い案内部材３０が電機子３を案内することにより生じる擾乱を防ぐことが可能となる。また、リニアモータに取り付けた案内部材３０により磁石列部４を磁気的中立位置に保った状態で、リニアモータに外部の案内機構を取り付けることが可能となる。磁石列部４が可動子とされ、重量物を磁石列部４により移動させる場合、案内部材３０を取着することにより、重量物により荷重が加わった磁石列部４が磁気的中立位置からずれることがないよう支持して案内することが可能となる。
【００３２】
尚、磁気的中立位置は、一般に電機子ユニット３２の対向空隙の中央に位置する。この場合、磁石列部４は、電機子ユニット３２の対向空隙方向の中央に上下均等な間隙（クリアランス）を有して配置することが好適であるが、これに限るものではない。磁石列部４の中心位置は、例えば磁気的中立位置となる対向空隙の中央から磁石列部４の板面に略垂直方向へ±０．１ｍｍ以内に位置していればよい。
【００３３】
磁石列部４の長手方向に渡って複数の案内部材３０を電機子３に設けることにより、磁石列部４の長手方向の撓み及び撓みを原因とする振動を抑制することが可能となる。また、電機子３の挿通孔の開口部周辺にのみ案内部材を設けることができる従来技術と比較して、より多数の案内部材３０を電機子３に設けることにより、磁石列部４が自重により長手方向に撓むことを、より効果的に防止することが可能となる。
【００３４】
実施の形態２
本実施の形態２は、実施の形態１のリニアモータが長尺平板状の磁石列部４を備えるのに対して、Ｈ型部材からなる磁石列部を備える。図７は、実施の形態２に係る駆動ステージを示す模式的側面図である。駆動ステージは、磁石列部８を有するリニアモータを備える。その他の各部は、実施の形態１と同様なので符号の違いを記載するに留める。駆動ステージは、複数の案内部材７０と、ステージ案内部５と、ステージ部６と、レール部５１、５１と、レール嵌合部６２、６２、…、取付部５２、５２と、電機子７とを備える。電機子７は、３つの電機子ユニットが複数のスペーサを介して連結してなる。
【００３５】
図８は、図７のVIII‐VIII線における模式的断面図である。磁石列部８は、磁石列が埋設されたウェブと、ウェブの長手方向に沿った両端部に略垂直に設けられ、互いに略平行となるフランジとからなるＨ型部材である。電機子ユニット７２は、磁性体からなり、磁石列部８の挿通方向に延びるＨ字状断面の貫通孔を有する。電機子ユニット７２の貫通孔は、磁石列部８のウェブが挿通する空隙を有する。電機子ユニット７２は、磁石列部８のウェブの上面及び下面夫々に対面するコイル７２１、７２１を備える。電機子ユニット７２、電機子ユニット７２の貫通孔の空隙及びコイル７２１、７２１は、磁気回路を形成する。コイル７２１、７２１は、通電された場合、磁石列部８のウェブに対して略垂直に交差する磁場を発生するようにしてある。
【００３６】
図９は、図７のIX‐IX線における模式的断面図である。スペーサ７３は、筒軸方向が電機子７の筒軸方向と略一致する筒状部材であり、磁石列部８が挿通する。スペーサ７３の両側面夫々には、磁石列部８の上面及び下面近傍に向けて電機子７の筒軸方向に略垂直に貫通する一対の貫通ネジ孔（貫通孔）７３１、７３１、…が設けられている。貫通ネジ孔７３１には、ステージ案内部５の開口部５３を通過して、案内部材７０のシャフト７０２が取り付けられる。
【００３７】
シャフト７０２の端部には、ローラ７０１が設けられ、貫通ネジ孔７３１から電機子７の内側に向けてローラ７０１が突出する。突出したローラ７０１が磁石列部８のフランジの上面又は下面を回転自在に支持することにより、案内部材７０は、磁石列部８を電機子７の筒軸方向に案内する。貫通ネジ孔７３１は、取り付けられた案内部材７０が磁石列部８を電機子ユニット７２の空隙の磁気的中立位置に支持するように配置してある。また、貫通ネジ孔７３１から取り外された案内部材７０は、ステージ案内部５の開口部５３を通過して、駆動ステージから取り外すことができる。
【００３８】
図１０は、実施の形態２に係る案内部材７０を示す模式的断面図である。実施の形態２に係る案内部材７０は、実施の形態１に係る案内部材３０のシャフト３０２にフランジが形成された構造を有する。案内部材７０は、一端にローラ７０１、軸部７０１ｂ及び針状ころ７０１ａからなるカムフォロアを有し、他端にフランジ７０２ｃが形成されたシャフト７０２を備える。シャフト７０２は、外周面及び内周面夫々にシャフトネジ部７０２ａ及び六角孔７０２ｂを有する。
【００３９】
ロータ７０１の外径Ｄ３は、シャフト７０２の外径Ｄ４よりも小さくなるよう設定される。これにより、電機子７の内側から外側に向けて貫通ネジ孔７３１に取り付けた案内部材７０を貫通ネジ孔７３１から取り外し、開口部５３を通過させて駆動ステージから取り外すことが可能となる。また、案内部材７０を貫通ネジ孔７３１に取り付ける場合、フランジ７０２ｃが貫通ネジ孔７３１の開口部周縁に設けられた段部に当接することによりローラ７０１が電機子７の内側に突出する長さを制限することが可能となる。
【００４０】
本実施の形態２では、スペーサ７３に貫通ネジ孔７３１を設ける場合を示したが、これに限るものではなく電機子ユニット７２に貫通ネジ孔を設けて案内部材７０を取り付けてもよい。本実施の形態２では、磁石列部８をＨ型部材とすることにより、磁石列部８の長手方向の撓み及び撓みを原因とする振動を抑制することが可能となる。また、磁石列部８の長手方向の剛性を高めるために略中央部に長手方向に沿った凸部材を設ける必要がなく、磁束密度が最も大きくなる電機子ユニット７２の空隙の略中央に磁石列部８を挿通させることが可能となる。
【００４１】
磁石列部８の長手方向の剛性をより増大させるべくフランジの幅を長くした場合、案内部材７０は、磁石列部８の重心位置から、より離れた位置で磁石列部８のフランジを支持する。これにより、磁石列部８が長手方向を軸として回転し、傾斜した場合、フランジの両端部の変位が大きくなる。このような場合であっても、フランジの両端部を案内部材７０が支持することにより、磁石列部８の回転を抑制して案内することが可能となる。
【００４２】
本実施の形態２は以上の如きであり、その他は実施の形態１と同様であるので対応する部分には同一の符号及び処理名を付してその詳細な説明を省略する。
【符号の説明】
【００４３】
１、５  ステージ案内部
１１、５１  レール部
１２、５２  取付部
１３、５３  開口部
２、６  ステージ部
２１、４２  取付ネジ
２２、６２  レール嵌合部
３、７  電機子（筒状部材）
３０、７０  案内部材
３０１、７０１  ローラ
３０１ａ、７０１ａ  針状ころ
３０１ｂ、７０１ｂ  軸部
３０２、７０２  シャフト
３０２ａ、７０２ａ  シャフトネジ部
３０２ｂ、７０２ｂ  六角孔
７０２ｃ  フランジ
３２、７２  電機子ユニット
３２１、７２１  コイル
３３、７３  スペーサ
３１  ネジ孔
３３１、７３１  貫通ネジ孔（貫通孔、貫通孔ネジ部）
４、８  磁石列部（長尺板状部材）
４０  孔
４１  永久磁石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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