(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
前方に開口する開口部を介して荷が出し入れされる棚を複数備える保管装置において、前記荷を前記棚から前記開口部を介して前方に引き出すための引出し装置であって、
前記棚に前記荷が収容されている状態で前記荷の下方の間隙に挿入され、前記棚に固定される支持部と、
前記間隙に挿入可能な第１の高さ位置と、前記第１の高さ位置よりも高く且つ前記荷を持ち上げ可能な第２の高さ位置とに切り替えられるように前記支持部に設けられ、前記第２の高さ位置において前記荷を前記棚の前方に摺動可能となっている持上げ部と、
を備えることを特徴とする引出し装置。
【請求項２】
前記棚には、前記荷が収容されたときに、前記荷の底部に設けられた位置決め穴に挿入される位置決めピンが設けられており、
前記第２の高さ位置は、前記位置決め穴から前記位置決めピンが外れる位置であることを特徴とする請求項１記載の引出し装置。
【請求項３】
前記支持部及び前記持上げ部は長尺状の部材であり、
前記支持部と前記持上げ部とは、前記持上げ部が前記第１の高さ位置と前記第２の高さ位置とに切り替えられるようにリンク機構で連結されていることを特徴とする請求項１又は２記載の引出し装置。
【請求項４】
前記支持部及び前記持上げ部は長尺状の部材であり、
前記持上げ部は、前記第１の高さ位置と前記第２の高さ位置との移動を規制するガイド部に沿って移動し、
前記持上げ部を前記第１の高さ位置と前記第２の高さ位置とに切り替えるカム部が前記支持部及び前記持上げ部の少なくとも一方に設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の引出し装置。
【請求項５】
前記支持部は、長尺状の部材であり、軸を中心に回動可能に設けられており、
前記持上げ部は、断面が略楕円形状を呈し、前記支持部に一体的に設けられており、
前記第１の高さ位置は、前記持上げ部の断面の長軸が水平方向に略一致している状態であり、
前記第２の高さ位置は、前記持上げ部の断面の長軸が鉛直方向に略一致している状態であることを特徴とする請求項１又は２記載の引出し装置。
【請求項６】
筐体と、
前記筐体内において複数備えられ、前方に開口する開口部を介して荷が出し入れされる棚と、
前記荷の入出庫を行うポートと、
前記棚と前記ポートとの間において前記荷を移載する移載装置と、
前記荷を前記棚から前記開口部を介して前方に引き出すための引出し装置とを備える保管装置において、
前記引出し装置は、
前記棚に前記荷が収容されている状態で前記荷の下方の間隙に挿入され、前記棚に固定される支持部と、
前記間隙に挿入可能な第１の高さ位置と、前記第１の高さ位置よりも高く且つ前記荷を持ち上げ可能な第２の高さ位置とに切り替えられるように前記支持部に設けられ、前記第２の高さ位置において前記荷を前記棚の前方に摺動可能となっている持上げ部と、を備えることを特徴とする保管装置。
【請求項７】
前記荷を把持可能な把持部と、
前記把持部に連結されたベルトの繰り出し及び巻き取りを行うホイスト部と、
前記ホイスト部が配置されると共に、前記筐体の上部に敷設されたレールに沿って移動する移動部とを有し、手動で操作可能な搬送装置を更に備えることを特徴とする請求項６記載の保管装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保管装置に保管されている荷を手動で引き出すための引出し装置及びそれを備えた保管装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハを収容したＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）を保管する保管装置では、入出庫を行うためのポートと棚との間のＦＯＵＰの移載が移載装置により行われている。この移載装置を備える保管装置において、移載装置の動作が故障などにより不能となった場合には、ＦＯＵＰの移載を人手によって行うことになるが、近年半導体ウェハは大径化し、これに伴ってＦＯＵＰも大型化・大重量化しているため、人手でＦＯＵＰを扱うことは困難である。【０００３】
そこで、例えば特許文献１に記載の保管装置では、移載装置とは別に手動で操作できるマニュアル搬送装置を備えている。このマニュアル搬送装置は、ＦＯＵＰのフランジを把持可能な把持部と、把持部に連結されたベルトと、ベルトを巻き上げるホイスト部と、保管装置内の天井をスライド可能に設けられたスライド部とを備えており、移載装置が使用できない場合に、手動でＦＯＵＰの搬送を行える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１１４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記保管装置のマニュアル搬送装置では、ＦＯＵＰのフランジに把持部を装着する必要があるが、ＦＯＵＰと棚との狭い間隙に把持部を挿入して作業を行うことは容易ではない。したがって、手動によるＦＯＵＰの搬送に関して、作業性の更なる改善が求められている。【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、作業性の向上を図れる引出し装置及び保管装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る引出し装置は、前方に開口する開口部を介して荷が出し入れされる棚を複数備える保管装置において、荷を棚から開口部を介して前方に引き出すための引出し装置であって、棚に荷が収容されている状態で荷の下方の間隙に挿入され、棚に固定される支持部と、間隙に挿入可能な第１の高さ位置と、第１の高さ位置よりも高く且つ荷を持ち上げ可能な第２の高さ位置とに切り替えられるように支持部に設けられ、第２の高さ位置において荷を棚の前方に摺動可能となっている持上げ部と、を備えることを特徴とする。【０００８】
この引出し装置は、荷の下方の間隙に挿入されて棚に固定される支持部と、第１の高さ位置と第２の高さ位置とに切り替えられる持上げ部とを備えている。持上げ部が第１の高さ位置では、支持部と共に狭い間隙にも挿入でき、支持部を棚に容易に固定できる。そして、支持部を固定して持上げ部を第２の高さ位置に切り替えることにより、荷を持ち上げ、棚の手前まで摺動させて引き出すことができる。このように、この引出し装置では、棚と荷との間の狭い間隙に容易に設置できるため、例えば狭い間隙において把持部を装着する作業が不要となり、作業性の向上を図れる。【０００９】
棚には、荷が収容されたときに、荷の底部に設けられた位置決め穴に挿入される位置決めピンが設けられており、第２の高さ位置は、位置決め穴から位置決めピンが外れる位置であることが好ましい。荷は、棚に設けられた位置決めピンによって位置決めされていると共に、前後左右方向への移動が規制されている。このような棚から荷を持ち上げるために、第２の高さ位置を位置決め穴から位置決めピンが外れる位置とすることで、位置決めピンが設けられた棚から荷を確実に引き出すことができる。【００１０】
支持部及び持上げ部は長尺状の部材であり、支持部と持上げ部とは、持上げ部が第１の高さ位置と第２の高さ位置とに切り替えられるようにリンク機構で連結されている。このような構成によれば、持上げ部がリンク機構によって支持部と近接又は離間するように移動し、第１の高さ位置と第２の高さ位置とに切り替えられる。そのため、操作を容易に行うことができると共に、動作の信頼性を確保できる。【００１１】
支持部及び持上げ部は長尺状の部材であり、持上げ部は、第１の高さ位置と第２の高さ位置との移動を規制するガイド部に沿って移動し、持上げ部を第１の高さ位置と第２の高さ位置とに切り替えるカム部が支持部及び持上げ部の少なくとも一方に設けられている。このような構成によれば、ガイド部に沿って持上げ部が移動するため、第１の高さ位置と第２の高さ位置との切り替えを正確に行うことができる。また、カム部によって、持上げ部の高さ位置の切り替えが好適に行われる。【００１２】
支持部は、長尺状の部材であり、軸を中心に回動可能に設けられており、持上げ部は、断面が略楕円形状を呈し、支持部に一体的に設けられており、第１の高さ位置は、持上げ部の断面の長軸が水平方向に略一致している状態であり、第２の高さ位置は、持上げ部の断面の長軸が鉛直方向に略一致している状態である。このような構成によれば、支持部を回動させる操作によって、持上げ部を第１の高さ位置及び第２の高さ位置に容易に切り替えられる。また、支持部と持上げ部とを一体的にすることにより、簡易な構成とすることができると共に、耐久性を高めることができる。【００１３】
本発明に係る保管装置は、筐体と、筐体内において複数備えられ、前方に開口する開口部を介して荷が出し入れされる棚と、荷の入出庫を行うポートと、棚とポートとの間において荷を移載する移載装置と、荷を棚から開口部を介して前方に引き出すための引出し装置とを備える保管装置において、引出し装置は、棚に荷が収容されている状態で荷の下方の間隙に挿入され、棚に固定される支持部と、間隙に挿入可能な第１の高さ位置と、第１の高さ位置よりも高く且つ荷を持ち上げ可能な第２の高さ位置とに切り替えられるように支持部に設けられ、第２の高さ位置において荷を棚の前方に摺動可能となっている持上げ部と、を備えることを特徴とする。【００１４】
この保管装置では、引出し装置を備えている。引出し装置は、荷の下方の間隙に挿入されて棚に固定される支持部と、第１の高さ位置と第２の高さ位置とに切り替えられる持上げ部とを備えている。持上げ部が第１の高さ位置では、支持部と共に狭い間隙にも挿入でき、支持部を棚に容易に固定できる。そして、支持部を固定して持上げ部を第２の高さ位置に切り替えることにより、荷を持ち上げ、棚の手前まで摺動させて引き出すことができる。したがって、移載装置が動作しない場合であっても、荷を棚から容易に引き出すことができる。以上のように、この引出し装置では、棚と荷との間の狭い間隙に容易に設置できるため、例えば狭い間隙において把持部を装着する作業が不要となり、作業性の向上を図れる。【００１５】
また、引出し装置は棚の下方の狭い間隙に挿入できるため、棚同士の間隔を、荷が持ち上がったときに上方の棚と当接しない程度に設定することができる。したがって、従来のように把持部を挿入するためのスペースを確保する必要がなく、保管装置における荷の収納効率の向上を図れる。【００１６】
荷を把持可能な把持部と、把持部に連結されたベルトの繰り出し及び巻き取りを行うホイスト部と、ホイスト部が配置されると共に、筐体の上部に敷設されたレールに沿って移動する移動部とを有し、手動で操作可能な搬送装置を更に備えることが好ましい。このように、手動で操作できる搬送装置を備えることで、引出し装置によって取り出した荷を、筐体の外やポートに容易に搬送することができる。したがって、作業性を更に向上できると共に、搬送時間の短縮を図れる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、保管装置における荷の取り出し作業性の向上を図れる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、一実施形態に係る保管装置を備える搬送システムの外観を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１に示す保管装置の内部構造を模式的に示す断面図である。
【図３】図３は、棚の載置部及び固定部を示す図である。
【図４】図４は、第１実施形態に係る引出し装置を下方から見た斜視図である。
【図５】図５は、支持部が固定部に固定された状態を一部拡大して示す図である。
【図６】図６は、横材の構成を示す斜視図である。
【図７】図７は、支持部の取り付けを説明するための図である。
【図８】図８は、引出し装置が棚に取り付けられた状態を横から見た図である。
【図９】図９は、引出し装置が棚に取り付けられた状態を上から見た図である。
【図１０】図１０は、引出し装置の動作を説明するための図である。
【図１１】図１１は、第２実施形態に係る引出し装置を示す図である。
【図１２】図１２は、引出し装置が棚に取り付けられた状態を横から見た図である。
【図１３】図１３は、引出し装置の動作を説明するための図である。
【図１４】図１４は、変形例に係る引出し装置を示す図である。
【図１５】図１５は、変形例に係る引出し装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照して、好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２０】
［搬送システム］
図１は、一実施形態に係る保管装置を備える搬送システムの外観を示す斜視図である。図２は、図１に示す保管装置の内部構造を模式的に示す断面図である。図１及び図２に示すように、搬送システム１００は、ビークル１０２、ストッカ１０４、及びビークル１０２が走行するためのレールＲ１の他、制御系として、搬送指示部１０６、ビークルコントローラ１０８及びストッカコントローラ１１０を備えている。搬送システム１００は、半導体素子製造における搬送スケジュールに従って、各種製造装置及びストッカ１０４などに対してＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）１２０の搬送を行うと共に、ストッカ１０４においてＦＯＵＰ１２０の収容或いは保管を行う。
【００２１】
ＦＯＵＰ１２０は、ストッカ１０４において収容・保管される荷であり、複数枚の半導体ウェハを収容したカセットである。ＦＯＵＰ１２０は、ビークル１０２によりレールＲ１に沿って搬送されると共に、ストッカ１０４内において入出庫、又は保管位置の調整のために搬送される。ＦＯＵＰ１２０の上面には、ビークル１０２、及び後述するマニュアル搬送装置１３８に把持（保持）されるフランジ１２２が設けられている。ＦＯＵＰ１２０は、例えば口径が３００ｍｍや４５０ｍｍの半導体ウェハを収容している。
【００２２】
ビークル１０２は、リニアモータを動力源とするＯＨＴ（Overhead Hoist Transport：天井走行車）であり、レールＲ１に沿って走行する。ビークル１０２は、ＦＯＵＰ１２０を搬送すると共に、レールＲ１の所定の位置において停止し、各種製造装置及びストッカ１０４などにそれぞれ備えられたポート１３２，１３３との間においてＦＯＵＰ１２０を移載可能に構成されている。ビークル１０２は、ホイスト、ベルト及びグリッパを備えており、これら各部は、ビークルコントローラ１０８によって制御される。
【００２３】
ストッカ１０４は、ビークル１０２によって搬送されたＦＯＵＰ１２０を複数収容可能な保管装置である。ストッカ１０４は、本体部（筐体）１３０と、複数（ここでは２つ）のポート１３２，１３３と、複数の棚１３４と、自動搬送装置（移載装置）１３６と、マニュアル搬送装置（搬送装置）１３８と、引出し装置１（図４参照）とを備える。
【００２４】
本体部１３０には、複数（ここでは３つ）の開口部Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３が設けられている。開口部Ｋ１，Ｋ２は、本体部１３０の一側面に設けられており、ポート１３２，１３３が配置されている。開口部Ｋ３は、本体部１３０の一側面に連続する他の一側面に設けられている。開口部Ｋ３には、後述するレールＲ２が配置されている。
【００２５】
ポート１３２，１３３は、開口部Ｋ１，Ｋ２を介して本体部１３０の内部及び外部に設けられている。ポート１３２，１３３は、ビークル１０２とストッカ１０４との間においてＦＯＵＰ１２０を移載可能に構成されており、ＦＯＵＰ１２０を移動可能なスライド機構を備えている。
【００２６】
図２に示すように、棚１３４は、本体部１３０の内部において、上下方向に複数（ここでは８段）段設けられている。棚１３４は、対向して配置されており、対向する棚１３４の間には、空間Ｓが形成されている。図３は、棚の載置部及び固定部を示す図である。図３に示すように、棚１３４は、ＦＯＵＰ１２０が載置される載置部１３４ａと、載置部１３４ａを支持固定する固定部１３４ｂとから構成されている。
【００２７】
載置部１３４ａは、板状の部材であり、上面視において略Ｕ字状を呈している。載置部１３４ａには、前方に開口する開口部１３５が形成されている。つまり、載置部１３４ａは、ＦＯＵＰ１２０の両端部及び後端部に当接する。また、載置部１３４ａには、複数（ここでは３つ）の位置決めピン１３４ｃが設けられている。位置決めピン１３４ｃは、載置部１３４ａの上面（載置面）から突出しており、円柱状をなしている。位置決めピン１３４ｃは、ＦＯＵＰ１２０が載置部１３４ａに載置されたときに、ＦＯＵＰ１２０の底部に形成された位置決め穴１２４に挿入される部分であり、ＦＯＵＰ１２０の位置決め及び前後左右方向への移動を規制する。
【００２８】
固定部１３４ｂは、上面視において略Ｕ字状を呈しており、載置部１３４ａの下部に設けられている。固定部１３４ｂは、本体部１３０内に配設されたフレーム（図示しない）に例えばボルトによって固定される。固定部１３４ｂには、複数（ここでは２つ）の開口部Ｈ１，Ｈ２が形成されている。開口部Ｈ１，Ｈ２は、貫通穴であり、固定部１３４ｂの幅方向に並設されている。具体的には、開口部Ｈ１，Ｈ２は、略Ｕ字状の載置部１３４ａの開口部１３５よりも内側に位置している。開口部Ｈ１の幅は、開口部Ｈ２に比べて大きく形成されている。
【００２９】
なお、棚１３４の上下方向における間隔は、ＦＯＵＰ１２０の位置決め穴１２４から位置決めピン１３４ｃが外れた（ＦＯＵＰ１２０が位置決めピン１３４ｃの上端面よりも上方に持ち上げられた）ときに、上方の棚１３４と干渉しない程度であればよい。つまり、棚１３４の間隔は、ＦＯＵＰ１２０の高さに位置決めピン１３４ｃの高さを合わせた寸法程度であればよい。このような構成により、ストッカ１０４におけるＦＯＵＰ１２０の収納効率を向上できる。
【００３０】
図１及び図２に戻って、自動搬送装置１３６は、ストッカコントローラ１１０の制御により、複数の棚１３４間、及びポート１３２，１３３と棚１３４との間でＦＯＵＰ１２０を自動的に搬送可能なスタッカ（スタッカクレーン）である。自動搬送装置１３６は、本体部１３０内の空間Ｓにおいて、移動自在に設けられている。
【００３１】
マニュアル搬送装置１３８は、作業員によるチェーンブロック（図示しない）の操作により、ＦＯＵＰ１２０を搬送（移動）可能な装置である。マニュアル搬送装置１３８は、ＦＯＵＰ１２０のフランジ１２２を把持可能なグリッパ（把持部）１３８ａと、本体部１３０の天井に敷設されたレールＲ２に沿って往復移動可能に構成されたスライド部（移動部）１３８ｂと、スライド部１３８ｂ内に設けられ、グリッパ１３８ａに連結されたベルト１３８ｃの繰り出し及び巻き取りを行うホイスト部１３８ｄとを備えている。
【００３２】
搬送指示部１０６は、ＭＣＳ（Material Control System）である。搬送指示部１０６は、メインコントローラである製造指示部（図示しない）の半導体素子製造スケジュールに基づいて搬送スケジュールを作成し、この搬送スケジュールに基づいて、ビークルコントローラ１０８及びストッカコントローラ１１０を制御可能に構成されている。搬送指示部１０６は、ビークルコントローラ１０８に対してビークル１０２によるＦＯＵＰ１２０の搬送を指示すると共に、ストッカコントローラ１１０に対してストッカ１０４内部におけるＦＯＵＰ１２０の搬送を指示する。
【００３３】
ビークルコントローラ１０８は、搬送指示部１０６の指示により、ビークル１０２を制御し、レールＲ１に沿ったＦＯＵＰ１２０の搬送を実行すると共に、各種製造装置及びストッカ１０４などとの間においてＦＯＵＰ１２０の移載を実行可能に構成されている。
【００３４】
ストッカコントローラ１１０は、搬送指示部１０６の指示により、ポート１３２，１３３及び自動搬送装置１３６の各部を制御し、ビークル１０２との間でポート１３２，１３３を介してＦＯＵＰ１２０の移載（入庫若しくは出庫）を実行すると共に、自動搬送装置１３６を制御し、ストッカ１０４内部におけるＦＯＵＰ１２０の搬送（保管装置内搬送）を実行可能に構成されている。
【００３５】
［引出し装置：第１実施形態］
次に、上述の構成を有するストッカ１０４内部で使用される引出し装置について説明する。図４は、第１実施形態に係る引出し装置を下方から見た斜視図である。図４（ａ）は引出し装置の初期状態を示しており、図４（ｂ）は引出し装置の動作状態を示している。引出し装置１は、ストッカ１０４内部において、手動によりＦＯＵＰ１２０を棚１３４から引き出すための装置である。引出し装置１は、例えば自動搬送装置１３６が使用できない場合に、ＦＯＵＰ１２０を棚１３４の手前の空間Ｓ（図８参照）まで引き出し可能に構成されている。
【００３６】
図４に示すように、引出し装置１は、支持部２ａ，２ｂと、持上げ部４ａ，４ｂと、支持部２ａ，２ｂと持上げ部４ａ，４ｂとを連結する各連結部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄとを有している。支持部２ａ，２ｂは、棚１３４の固定部１３４ｂに取り付け可能に構成されており、対向する一対の棚１３４の固定部１３４ｂに掛け渡される。支持部２ａは、長尺状の角部材であり、支持部２ａ，２ｂの延在方向の両端部には、図５に示すように、係止部３が設けられている。
【００３７】
図５に示すように、係止部３は、支持部２ａの端部に例えばねじＮで固定されており、支持部２ａ，２ｂが固定部１３４ｂの開口部Ｈ１，Ｈ２に挿入されたときに、開口部Ｈ１，Ｈ２の周縁の部分に引っ掛かる。これにより、支持部２ａ，２ｂが固定部１３４ｂに取り付けられたときに、支持部２ａ，２ｂが固定部１３４ｂの開口部Ｈ１，Ｈ２から抜けることが防止される。なお、支持部２ａ，２ｂの長さは、ストッカ１０４に応じて適宜設定されている。支持部２ａと支持部２ｂとは、同様の構成を有している。
【００３８】
支持部２ａと支持部２ｂとは、横材８によって連結されている。図６は、横材の構成を示す斜視図である。図６に示すように、横材８は、断面が凹状の部材であり、対向する一対の支持部２ａ，２ｂに掛け渡されている。横材８は、支持部２ａ，２ｂに着脱可能に設けられており、複数（ここでは２本）のピンＰが支持部２ａ，２ｂの接合部５ａ，５ｂにそれぞれ挿入されて取り付けられる。横材８の延在方向の両端部には、張出部８ａ，８ｂがそれぞれ設けられている。張出部８ａ，８ｂは、下方に張り出しており、支持部２ａ，２ｂの側面に沿うよう、横材８の幅方向に沿って形成されている。この横材８は、支持部２ａ，２ｂを一体化し、支持部２ａ，２ｂが互いに移動することを規制する。
【００３９】
図４に戻って、持上げ部４ａ，４ｂは、ＦＯＵＰ１２０に当接してＦＯＵＰ１２０を持ち上げる部分である。持上げ部４ａ，４ｂは、支持部２ａ，２ｂよりも短尺の部材であり、図８に示すように、支持部２ａ，２ｂよりも棚１３４の奥行き分以上短くなっている。
【００４０】
持上げ部４ａ，４ｂは、支持部２ａ，２ｂの一側面において、支持部２ａ，２ｂの延在方向の一端側寄りにそれぞれ取り付けられている。持上げ部４ａ，４ｂは、連結部６ａ〜６ｄによって、第１の高さ位置と第２の高さ位置とに切り替えられるように支持部２ａ，２ｂに設けられている。具体的には、持上げ部４ａ，４ｂは、図１０（ａ）に示すように、支持部２ａ，２ｂと当接（近接）している第１の高さ位置と、図１０（ｂ）に示すように、支持部２ａ，２ｂから離間した第２の高さ位置とに移動可能に設けられている。第１の高さ位置は、支持部２ａ，２ｂと共に固定部１３４ｂと下方のＦＯＵＰ１２０との間隙に挿入可能な高さである。また、第２の高さ位置は、ＦＯＵＰ１２０の底部に当接し、ＦＯＵＰ１２０の位置決め穴１２４から載置部１３４ａの位置決めピン１３４ｃが外れる高さ、すなわち、ＦＯＵＰ１２０を位置決めピン１３４ｃの上端面よりも上方に持ち上げる高さである。
【００４１】
連結部６ａ〜６ｄは、リンク機構を構成している。連結部６ａ〜６ｄは、支持部２ａ，２ｂ及び持上げ部４ａ，４ｂのそれぞれに略等間隔で取り付けられており、支持部２ａ，２ｂ及び持上げ部４ａ，４ｂにそれぞれ揺動可能に取り付けられている。連結部６ａ〜６ｄは、支持部２ａ，２ｂと持上げ部４ａ，４ｂとを互いに近接及び離間可能としている。連結部６ａは、その一端が支持部２ａ，２ｂに軸支されていると共に、他端が持上げ部４ａ，４ｂに軸支されている。図１０（ｂ）に示すように、連結部６ａが支持部２ａ，２ｂに連結された位置と、持上げ部４ａ，４ｂに連結された位置とは、支持部２ａ，２ｂと持上げ部４ａ，４ｂとが最も離間した状態（第２の高さ位置）で一直線上となる。つまり、図１０（ａ）に示すように、支持部２ａ，２ｂと持上げ部４ａ，４ｂとが当接した状態（第１の高さ位置）では、連結部６ａのそれぞれの連結位置は、支持部２ａ，２ｂと持上げ部４ａ，４ｂとの対向方向において一直線上に位置せず、所定の間隔を空けてずれている。
【００４２】
つまり、連結部６ａは、持上げ部４ａ，４ｂが第１の高さ位置の状態では、支持部２ａ，２ｂ（持上げ部４ａ，４ｂ）に対して傾斜した状態となり、持上げ部４ａ，４ｂが第２の高さ位置の状態では、支持部２ａ，２ｂ（持上げ部４ａ，４ｂ）に対して略垂直に起立する。連結部６ｂ〜６ｄについても、連結部６ａと同様の構成を有している。
【００４３】
連結部６ｃは、レバーＬと一体形成されている。すなわち、レバーＬの一端部が連結部６ｃを構成している。レバーＬは、作業者に把持される把持部分ＬＨを有しており、支持部２ａ，２ｂと持上げ部４ａ，４ｂとが当接する初期状態においては、把持部分ＬＨが支持部２ａ，２ｂ（持上げ部４ａ，４ｂ）と略平行となる。持上げ部４ａ，４ｂは、レバーＬの操作に連動して昇降する。具体的には、レバーＬが押し下げられると、これに応じて連結部６ｃが立ち上がり、持上げ部４ａ，４ｂが支持部２ａ，２ｂと離間して持ち上げられる。一方、レバーＬが押し上げられると、これに応じて連結部６ｃが傾斜し、持上げ部４ａ，４ｂが支持部２ａ，２ｂに近接して下げられる。なお、レバーＬには、図示しないロック機構が設けられており、このロック機構は、持上げ部４ａ，４ｂの第２の高さ位置を維持可能となっている。
【００４４】
続いて、引出し装置１の取り付け方法について説明する。まず、引き出し対象のＦＯＵＰ１２０の下方に持上げ部４ａが位置するように、支持部２ａを準備する。そして、支持部２ａの一端（係止部３）を一方の固定部１３４ｂの開口部Ｈ１に挿入し、その後に、固定部１３４ｂに対向する他方の固定部１３４ｂの開口部Ｈ２に支持部２ａの他端を挿入して、支持部２ａを対向する固定部１３４ｂに掛け渡して固定する。
【００４５】
このとき、図７に示すように、支持部２ａを横に倒した状態（支持部２ａと持上げ部４ａの対向方向が水平方向と略一致する状態）で固定部１３４ｂの開口部Ｈ１，Ｈ２に挿入し、開口部Ｈ１，Ｈ２に支持部２ａを挿入した後に、略９０°回転させて支持部２ａを縦の状態（支持部２ａと持上げ部４ａの対向方向が鉛直方向と略一致する状態）とする。同様にして、支持部２ｂを対向する固定部１３４ｂに掛け渡して固定する。そして、支持部２ａと支持部２ｂとに横材８を掛け渡して固定し、図８及び図９に示すように、引出し装置１を取り付ける。
【００４６】
次に、引出し装置１を用いたＦＯＵＰ１２０の取り出し方法について説明する。図１０は、引出し装置の動作を示す図である。図１０（ａ）に示すように、引き出し対象となるＦＯＵＰ１２０の下方に持上げ部４ａ，４ｂが位置するように引出し装置１を設置する。このとき、持上げ部４ａ，４ｂは、第１の高さ位置となっている。そして、図１０（ｂ）に示すように、レバーＬを下方に押し下げる。
【００４７】
これにより、持上げ部４ａ，４ｂが連結部６ａ〜６ｄを介して支持部２ａ，２ｂから離間して第２の高さ位置まで持ち上がり、持上げ部４ａ，４ｂがＦＯＵＰ１２０と当接してＦＯＵＰ１２０を持ち上げる。このとき、持上げ部４ａ，４ｂの上面は、載置部１３４ａに設けられた位置決めピン１３４ｃの上端面よりも高い位置まで持ち上がる。そして、ＦＯＵＰ１２０を持ち上げた状態で、ＦＯＵＰ１２０を持上げ部４ａ，４ｂ上でスライドさせて、ＦＯＵＰ１２０を棚１３４の手前に引き出す。
【００４８】
ＦＯＵＰ１２０を引き出した後、マニュアル搬送装置１３８を用意し、グリッパ１３８ａによりＦＯＵＰ１２０のフランジ１２２を把持する。そして、ＦＯＵＰ１２０をホイスト部１３８ｄにより巻き上げて開口部Ｋ３を介してＦＯＵＰ１２０を取り出す。以上のように、引出し装置１及びマニュアル搬送装置１３８によって、ＦＯＵＰ１２０が取り出される。
【００４９】
以上説明したように、引出し装置１は、ＦＯＵＰ１２０の下方の間隙に挿入されて棚１３４に固定される支持部２ａ，２ｂと、第１の高さ位置と第２の高さ位置とに切り替えられる持上げ部４ａ，４ｂとを備えている。持上げ部４ａ，４ｂが第１の高さ位置では、支持部２ａ，２ｂと共に狭い間隙にも挿入でき、支持部２ａ，２ｂを棚に容易に固定できる。そして、支持部２ａ，２ｂを固定して持上げ部４ａ，４ｂを第２の高さ位置に切り替えることにより、ＦＯＵＰ１２０を持ち上げ、棚１３４の手前まで摺動させて引き出すことができる。このように、この引出し装置１では、棚１３４とＦＯＵＰ１２０との間の狭い間隙に容易に設置できるため、例えば狭い間隙において把持部を装着する作業が不要となり、作業性の向上を図れる。
【００５０】
また、上述のように、引出し装置１は、棚１３４とＦＯＵＰ１２０との間に狭い間隙に挿入することができる。そのため、棚１３４同士の間隔を、ＦＯＵＰ１２０が持ち上がったときに上方の棚１３４と当接しない程度に設定することができる。したがって、従来のようにグリッパを挿入するためのスペースを確保する必要がなく、ストッカ１０４におけるＦＵＰ１２０の収納効率の向上を図れる。
【００５１】
また、引出し装置１は、支持部２ａ，２ｂと持上げ部４ａ，４ｂとが連結部６ａ〜６ｄによって互いに近接及び離間可能に設けられている。そのため、持上げ部４ａ，４ｂを支持部２ａ，２ｂに近接又は離間するように移動させることにより、第１の高さ位置及び第２の高さ位置に持上げ部４ａ，４ｂを変更できる。そのため、操作を容易に行うことができると共に、動作の信頼性を確保できる。
【００５２】
［引出し装置：第２実施形態］
続いて、第２実施形態に係る引出し装置について説明する。図１１は、第２実施形態に係る引出し装置を示す図である。図１１（ａ）は、引出し装置を上から見た部、図１１（ｂ）は、（ａ）におけるｂ−ｂ線断面部図である。図１１に示す引出し装置２０は、ストッカ１０４内部において、手動によりＦＯＵＰ１２０を棚１３４から引き出すための装置である。
【００５３】
図１１に示すように、引出し装置２０は、支持部２１ａ，２１ｂと、持上げ部２４ａ，２４ｂとを有している。支持部２１ａ，２１ｂは、棚１３４の固定部１３４ｂに取り付け可能に構成されており、対向する棚１３４の固定部１３４ｂに掛け渡される。支持部２１ａ，２１ｂは、長尺状の部材であり、軸を中心に回動可能となっている。
【００５４】
支持部２１ａ，２１ｂの延在方向の両端部には、係止部３（図５参照）と、この係止部３よりも中央寄りに係止部２５とが設けられている。係止部２５は、支持部２１ａ，２１ｂが固定部１３４ｂに取り付けられたときに、開口部Ｈ１，Ｈ２よりも手前側に位置し、係止部３と協働で支持部２１ａ，２１ｂの移動（ずれ）を防止する。なお、支持部２１ａ，２１ｂの断面は、円形状であってもよいし、矩形状を呈し、その角部分が面取りされているものであってもよい。固定部１３４ｂに設置されたときの安定性の観点からは、断面矩形状であり、その角部分が面取りされている形状が好ましい。
【００５５】
持上げ部２４ａ，２４ｂは、ＦＯＵＰ１２０に当接してＦＯＵＰ１２０を持ち上げる部分である。持上げ部２４ａ，２４ｂは、支持部２１ａ，２１ｂよりも短尺の部材であり、具体的には、支持部２１ａ，２１ｂよりも棚１３４の奥行き分以上短くなっている。
【００５６】
持上げ部２４ａ，２４ｂは、支持部２１ａ，２１ｂと一体成形されている。持上げ部２４ａ，２４ｂは、断面が略楕円形状を呈しており、支持部２１ａ，２１ｂの延在方向の一端側寄りに設けられている。持上げ部２４ａ，２４ｂは、その断面の長軸方向を変えることより、第１の高さ位置と第２の高さ位置とに切り替えられる。具体的には、持上げ部２４ａ，２４ｂは、図１１（ｂ）に示すように、長軸方向が水平方向に略一致する第１の高さ位置と、長軸方向が鉛直方向に略一致する第２の高さ位置とに切り替え可能に設けられている。第１の高さ位置は、支持部２１ａ，２１ｂと共に固定部１３４ｂと下方のＦＯＵＰ１２０との間隙に挿入可能な高さである。また、第２の高さ位置は、ＦＯＵＰ１２０の底部に当接し、ＦＯＵＰ１２０の位置決め穴１２４から載置部１３４ａの位置決めピン１３４ｃが外れる高さ、すなわち、ＦＯＵＰ１２０を位置決めピン１３４ｃ（図１３参照）の上端面よりも上方に持ち上げる高さである。
【００５７】
持上げ部２４ａ，２４ｂが設けられた支持部２１ａ，２１ｂ部分には、レバーＬ１がそれぞれ取り付けられている。レバーＬ１は、持上げ部２４ａ，２４ｂの長軸方向に略平行に取り付けられている。このような構成により、レバーＬ１が水平方向と略一致している状態では、持上げ部２４ａ，２４ｂが第１の高さ位置となり、レバーＬ１が鉛直方向と略一致している状態では、持上げ部２４ａ，２４ｂが第２の高さ位置となる。レバーＬ１は、支持部２１ａ，２１ｂに着脱可能に設けられている。具体的には、例えばレバーＬ１の先端にねじ山が形成されており、レバーＬ１が支持部２１ａ，２１ｂに螺入されることにより、レバーＬ１が支持部２１ａ，２１ｂに取り付けられる。これにより、未使用時のコンパクトな収納が可能となる。
【００５８】
続いて、引出し装置２０の取り付け方法について説明する。まず、引き出し対象のＦＯＵＰ１２０の下方に持上げ部２４ａが位置するように、支持部２１ａを準備する。そして、支持部２１ａの一端を一方の固定部１３４ｂの開口部Ｈ１に挿入し、その後に、固定部１３４ｂに対向する他方の固定部１３４ｂの開口部Ｈ２に支持部２１ａの他端を挿入して、支持部２１ａを固定部１３４ｂに掛け渡して固定する。同様に、支持部２ｂを固定部１３４ｂに掛け渡して固定する。そして、図１２に示すように、引出し装置２０を取り付ける。
【００５９】
次に、引出し装置２０を用いたＦＯＵＰ１２０の取り出し方法について説明する。図１３は、引出し装置の動作を示す図である。図１３に示すように、引き出し対象となるＦＯＵＰ１２０の下方に持上げ部２４ａ，２４ｂが位置するように引出し装置２０を設置する。この状態では、持上げ部２４ａ，２４ｂは第１の高さ位置となる。そして、図１３（ａ）に示す矢印方向に支持部２１ａ，２１ｂが回動するように、レバーＬ１を下方に押し下げる。
【００６０】
これにより、図１３（ｂ）に示すように、持上げ部２４ａ，２４ｂが回転してその長軸方向が鉛直方向に略一致し、持上げ部２４ａ，２４ｂが第２の高さ位置となり、持上げ部２４ａ，２４ｂがＦＯＵＰ１２０と当接してＦＯＵＰ１２０を持ち上げる。このとき、ＦＯＵＰ１２０は、その底面が載置部１３４ａに設けられた位置決めピン１３４ｃの上端面よりも高い位置まで持ち上げられる。そして、ＦＯＵＰ１２０を持ち上げた状態で、ＦＯＵＰ１２０を持上げ部２４ａ，２４ｂ上でスライドさせて、ＦＯＵＰ１２０を棚１３４の手前に引き出す。
【００６１】
ＦＯＵＰ１２０を引き出した後、マニュアル搬送装置１３８を用意し、グリッパ１３８ａによりＦＯＵＰ１２０のフランジ１２２を把持する。そして、ＦＯＵＰ１２０をホイスト部１３８ｄにより巻き上げて開口部Ｋ３を介してＦＯＵＰ１２０を取り出す。以上のように、引出し装置２０及びマニュアル搬送装置１３８によって、ＦＯＵＰ１２０が取り出される。
【００６２】
以上説明したように、引出し装置２０は、ＦＯＵＰ１２０の下方の間隙に挿入されて棚１３４に固定される支持部２１ａ，２１ｂと、第１の高さ位置と第２の高さ位置とに切り替えられる持上げ部２４ａ，２４ｂとを備えている。持上げ部２４ａ，２４ｂが第１の高さ位置では、支持部２１ａ，２１ｂと共に狭い間隙にも挿入でき、支持部２１ａ，２１ｂを棚に容易に固定できる。そして、支持部２１ａ，２１ｂを固定して持上げ部２４ａ，２４ｂを第２の高さ位置に切り替えることにより、ＦＯＵＰ１２０を持ち上げ、棚１３４の手前まで摺動させて引き出すことができる。このように、この引出し装置２０では、棚１３４とＦＯＵＰ１２０との間の狭い間隙に容易に設置できるため、例えば狭い間隙において把持部を装着する作業が不要となり、作業性の向上を図れる。
【００６３】
また、引出し装置２０では、支持部２１ａ，２１ｂと持上げ部２４ａ，２４ｂとが一体的に形成されている。このような構成によれば、支持部２１ａ，２１ｂを回動させる操作によって、持上げ部２４ａ，２４ｂを第１の高さ位置及び第２の高さ位置に容易に変更できる。また、支持部２１ａ，２１ｂと持上げ部２４ａ，２４ｂとを一体的にすることにより、簡易な構成とすることができると共に、耐久性を高めることができる。
【００６４】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、引出し装置は、以下のような構成であってもよい。図１４は、変形例に係る引出し装置を示す図である。図１４に示すように、引出し装置４０は、支持部４１と、持上げ部４２と、支持部４１と持上げ部４２とを連結する連結部４３とから構成されている。支持部４１及び持上げ部４２は、長尺状の部材である。連結部４３は、第１部材４３ａと第２部材４３ｂとから構成されている。
【００６５】
第１部材４３ａ及び第２部材４３ｂは、互いに交差するように配置されている。第１部材４３ａの一端部（図示左側）は、支持部２ａ，２ｂに揺動自在に軸支されており、第２部材４３ｂの一端部は、持上げ部４２に揺動自在に軸支されている。第１部材４３ａの他端部（例えば、図示右側）は、持上げ部４２に摺動自在に設けられており、第２部材４３ｂの他端部は、支持部４１に摺動自在に設けられている。このような構成により、引出し装置４０は、支持部４１と持上げ部４２とが当接する第１の高さ位置と、支持部４１と持上げ部４２とが離間した第２の高さ位置とに移動可能に構成されている。持上げ部４２の移動には、例えば電動モータやエアシリンダ、電動シリンダ等を用いることができる。
【００６６】
また、図１５に示すように、引出し装置５０は、支持部５１と、持上げ部５２と、カム部５３と、ガイド部５４とから構成されている。カム部５３は、支持部５１に回動自在に設けられている。カム部５３の回動には、例えば電動モータを用いることができる。
【００６７】
ガイド部５４は、支持部５１の両端側に設けられている。ガイド部５４は、支持部５１に略垂直に立設されており、持上げ部５２の移動を規制する。持上げ部５２は、ガイド部５４に沿って上下に移動する。このような構成により、引出し装置５０は、カム部５３の回動により、支持部５１と持上げ部５２とが当接する第１の高さ位置と、支持部５１と持上げ部５２とが離間した第２の高さ位置とに移動可能に構成されている。なお、カム部５３は、持上げ部５２に設けられてもよい。
【００６８】
また、上記実施形態では、支持部２ａ，２ｂの接合部５ａ，５ｂと横材８との接合に２本のピンを用いているが、ピンの本数は、１本であってもよい。この場合、ピンの断面が多角形状であればよい。また、横材８は、複数設けられてもよい。要は、支持部２ａ，２ｂが互いに移動することを規制できればよい。
【００６９】
また、上記実施形態では、引出し装置２０において、支持部２１ａ，２１ｂと持上げ部２４ａ，２４ｂとを一体成形しているが、持上げ部２４ａ，２４ｂは、支持部２１ａ，２１ｂに着脱可能に設けられてもよい。
【符号の説明】
【００７０】
１，２０，４０，５０…引出し装置、２ａ，２ｂ，２１ａ，２１ｂ，４１，５１…支持部、４ａ，４ｂ，２４ａ，２４ｂ，４２，５２…持上げ部、６ａ〜６ｄ…連結部（リンク機構）、５３…カム部、５４…ガイド部、１０４…ストッカ（保管装置）、１２０…ＦＯＵＰ（荷）、１３０…本体部（筐体）、１３２，１３３…ポート、１３４…棚、１３４ａ…載置部、１３４ｂ…支持部、１３６…自動搬送装置（移載装置）、１３８…マニュアル搬送装置（移送装置）、１３８ａ…グリッパ（把持部）、１３８ｂ…スライド部（移動部）、１３８ｃ…ベルト、１３８ｄ…ホイスト部。
【図１】
0005626464.tif 000002
【図２】
0005626464.tif 000003
【図３】
0005626464.tif 000004
【図４】
0005626464.tif 000005
【図５】
0005626464.tif 000006
【図６】
0005626464.tif 000007
【図７】
0005626464.tif 000008
【図８】
0005626464.tif 000009
【図９】
0005626464.tif 000010
【図１０】
0005626464.tif 000011
【図１１】
0005626464.tif 000012
【図１２】
0005626464.tif 000013
【図１３】
0005626464.tif 000014
【図１４】
0005626464.tif 000015
【図１５】
0005626464.tif 000016