(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハー移動通路を開閉する開閉部材（１００）と；前記開閉部材（１００）の背面に設置され、内部後側には第１流路（１）が形成され、前側には第２流路（２）が形成され、正面にはカバー（２２１）が設置される第１シリンダー（２１０）と、前記第１シリンダー（２１０）の内部に設置されて前記第１流路（１）と前記第２流路（２）に流入される圧縮空気によって前後に作動する第１ピストン（２２０）と、前記第１ピストン（２２０）と開閉部材（１００）を連結する連結部材（Ｂ）とが備えられた前後進アクチュエーター部（２００）と；内部に形成される複数の第２シリンダー（３１０）と、前記第２シリンダー（３１０）の内部に設置されて圧縮空気によって上下に作動する第２ピストン（３２０）と、一側は前記第２ピストン（３２０）に連結され、他側は前記前後進アクチュエーター部（２００）と連結され、内部には圧縮空気が流動され、前記第１流路（１）と連通される第３流路（３）と前記第２流路（２）と連通される第４流路（４）が形成される上下シャフト（３３０）と、前記開閉部材（１００）のウエハー移動通路を閉鎖する時圧縮空気が流入されるように形成される第１圧縮空気流入通孔（３４０）と、前記第１圧縮空気流入通孔（３４０）から流入される圧縮空気によって前記第２ピストン（３２０）が上向き移動されるように前記第１圧縮空気流入通孔（３４０）から前記第２シリンダー（３１０）の下部まで連結される第５流路（５）と、前記第５流路（５）に流入される圧縮空気によって前記第２ピストン（３２０）が上死点に到逹すれば選択的に開かれるレリーフバルブ（Ｒ１）と前記第２ピストン（３２０）が下死点に到逹すれば選択的に開かれるチェックバルブ（Ｃ１）とが設置され、前記レリーフバルブ（Ｒ１）が開かれると圧縮空気が前記第１流路（１）に移動されるように前記第１圧縮空気流入通孔（３４０）課題５流路（５）及び第１流路（１）と連通される第６流路（６）とが備えられた上下作動アクチュエーター部（３００）と；を含むことを特徴とするドアバルブ。
【請求項２】
前記開閉部材（１００）によってウエハー移動通路が開放されるように圧縮空気が流入され、前記上下作動アクチュエーター部（３００）に前記第４流路（４）及び第２流路（２）と連通されるように設置される第２圧縮空気流入通孔（３５０）と；
前記第２圧縮空気流入通孔（３５０）と連通され、前記第２圧縮空気流入通孔（３５０）に流入される圧縮空気によって前記第１ピストン（２２０）が下死点に到逹すれば選択的に開かれるレリーフバルブ（Ｒ２）と前記第１ピストン（２２０）が下死点に到逹すれば選択的に開かれるチェックバルブ（Ｃ２）とが設置され、前記レリーフバルブ（Ｒ２）が開かれると前記第２シリンダー（３２０）の上側に圧縮空気が流入されるように形成される第７流路（７）と；をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のドアバルブ。
【請求項３】
前記第２ピストン（３２０）に設置される磁石部材（３２１）と；前記上下作動アクチュエーター部（３００）に設置され、前記磁石部材（３２１）を感知して前記第２ピストン（３２０）の位置を検出する磁石式センサー（３６０）と；をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のドアバルブ。
【請求項４】
前記上下作動アクチュエーター部（３００）に設置され、前記上下作動アクチュエーター部（３００）によって上下に作動する前記前後進アクチュエーター（２００）の上面と下面に接触されて前記第２ピストン（３２０）の位置を検出する接触式センサー（３６１）；をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のドアバルブ。
【請求項５】
前記開閉部材（１００）と前後進アクチュエーター部（２００）との間と前記前後進アクチュエーター部（２００）と上下作動アクチュエーター部（３００）との間にそれぞれ設置されるベローズ（４００）；をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のドアバルブ。
【請求項６】
前記上下作動アクチュエーター部（３００）の上部と下部には前記第２シリンダー（３１０）を密閉する上部カバー（３０１）及び下部カバー（３０２）と；前記上部カバー（３０１）に形成されて、前記上下シャフト（３３０）がガイドされるようにするガイド部（３０３）と；前記ガイド部（３０３）の内部に設置されて前記上下シャフト（３３０）の外周面と接触され、前記開閉部材（１００）の荷重による偏心の発生の時前記上下シャフト（３３０）とガイド部（３０３）の摩耗を防止するブッシング（３０４）と；をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のドアバルブ。
【請求項７】
前記チェックバルブは急速排気バルブであることを特徴とする請求項１または２に記載のドアバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はドアバルブに関し、さらに詳しくは開閉部材の上下方向動きを主管する上下作動アクチュエーター部と前後方向の動きを主管する前後進アクチュエーター部とが備えられて、ウエハー移動通路を開閉する開閉部材が正確にエル（Ｌ）モーションに作動されるようにするドアバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
本出願人は特許出願１０−２００３−００７１９０６号（発明の名称：スリットバルブ）を通じてウエハー移動通路の周りに配置される密封材の配置構造を改善して移動通路を密閉する密封材の損傷を防止し、バルブ駆動部に装着される指示装置で作動状態を確認することができるスリットバルブを出願した。
【０００３】
図１には従来技術によるスリットバルブの断面図が図示されている。該出願のスリットバルブはウエハー移動通路を開閉する密閉部材１００と、前記密閉部材１００と別途に形成されたハウジングブラケットト２００と、前記密閉部材１００とハウジングブラケット２００との間で延長されたメインシャフト４００と、前記ハウジングブラケット２００の内部に形成され、空気の圧力によって駆動されるエアシリンダー３１０と、前記エアシリンダー３１０の内部に形成されたピストン３２０と、前記ピストン３２０に結合されたピストンシャフト３３０と、前記ピストンシャフト３３０に結合されるムービングユニット３４０と、前記ムービングユニット３４０とメインシャフト３４０に結合されたリンクが備えられたバルブ駆動部３００とが備えられている。
【０００４】
前記のようなスリットバルブは、外部から入力される圧縮空気の圧力の変化に従ってハウジングブラケット２００の内部に形成されたエアシリンダー３１０のピストン３２０が上下に回動される。これによって、ムービングユニット３４０が前記ピストンと同時に上下に回動され、前記ムービングユニット３４０にリンク３５０を介して連結されたメインシャフト４００も回動されて密閉部材１００でウエハー移動通路を開閉する。
【０００５】
また、前記のようなスリットバルブのバルブ駆動部３００は、図２に示すように、前記メインシャフト４００を垂直上下回動させる１段階動作と前記メインシャフト４００が垂直前後方に回動されて前記密閉部材１００で半導体ウエハー移動通路を開閉する２段階動作、即ち、エル（Ｌ）字状に駆動され、前記のように、エル（Ｌ）字状に駆動されるようにガイド溝がエル（Ｌ）字状に形成されている。
【０００６】
しかし、前記リンク３５０は構造的に回転運動されるため、従来のスリットバルブのエル（Ｌ）字状、即ち直線軌跡のガイド溝ではバルブ駆動部３００を正確なエル（Ｌ）字状の運動にガイドしにくいという問題点があった。
【０００７】
また、図２に示すように、エル（Ｌ）字状のガイド溝３５１で前記リンク３５０をガイドする場合、前記リンクとガイド溝の角に繰り返し摩擦による応力集中が発生し、前記リンクがガイド溝に嵌められた状態で回動されると、図２に示すように、微細な隙間が生じて密閉部材で半導体ウエハー通路を開閉する動作が正確に制御されにくいという問題点があった。
【０００８】
また、前記のようなリンクによって半導体ウエハー移動通路を開閉する開閉部材の接触面にはゴム材質のＯリングが溝に設置される。このようなＯリングと半導体ウエハー移動通路が接触する時上側（または下側）Ｏリングには微細な回転が発生される。これによって、Ｏリングの回転によってＯリングは溝に設置された状態で回転が発生されて溝から離脱されるか硬化される虞があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は前述した問題点を解決するために創出されたもので、本発明の目的は、開閉部材の上下方向動きを主管する上下作動アクチュエーター部と前後方向の動きを主管する前後進アクチュエーター部とが備えられて、ウエハー移動通路を開閉する開閉部材が正確にエル（Ｌ）モーションに作動されるようにするドアバルブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記のような問題点を解決するために、本発明によるドアバルブは、半導体ウエハー移動通路を開閉する開閉部材１００と；前記開閉部材１００の背面に設置され、内部後側には第１流路１が形成され、前側には第２流路２が形成され、正面にはカバー２２１が設置される第１シリンダー２１０と、前記第１シリンダー２１０の内部に設置されて前記第１流路１課題２流路２に流入される圧縮空気によって前後に作動する第１ピストン２２０と、前記第１ピストン２２０と開閉部材１００を連結する連結部材Ｂとが備えられた前後進アクチュエーター部２００と；内部に形成される複数の第２シリンダー３１０と、前記第２シリンダー３１０の内部に設置されて圧縮空気によって上下に作動する第２ピストン３２０と、一側は前記第２ピストン３２０に連結され、他側は前記前後進アクチュエーター部２００と連結され、内部には圧縮空気が流動され、前記第１流路１と連通される第３流路３と前記第２流路２と連通される第４流路４が形成される上下シャフト３３０と、前記開閉部材１００のウエハー移動通路の閉鎖の時圧縮空気が流入されるように形成される第１圧縮空気流入通孔３４０と、前記第１圧縮空気流入通孔３４０から流入される圧縮空気によって前記第２ピストン３２０が上向き移動されるように前記第１圧縮空気流入通孔３４０から前記第２シリンダー３１０の下部まで連結される第５流路５と、前記第５流路５に流入される圧縮空気によって前記第２ピストン３２０が上死点に到逹すれば選択的に開かれるレリーフバルブＲ１と前記第２ピストン３２０が下死点に到逹すれば選択的に開かれるチェックバルブＣ１が設置され、前記レリーフバルブＲ１が開かれると圧縮空気が前記第１流路１に移動されるように前記第１圧縮空気流入通孔３４０課題５流路５及び第１流路１と連通される第６流路６とが備えられた上下作動アクチュエーター部３００と；を含むことを特徴とする。
【００１１】
また、前記のような問題点を解決するために、本発明のまた他の実施形態によるドアバルブは、半導体ウエハー移動通路を開閉する開閉部材１００と；前記開閉部材１００の背面に設置され、内部後側には第１流路１が形成され、前側には第２流路２が形成され、正面にはカバー２２１が設置される第１シリンダー２１０と、前記第１シリンダー２１０の内部に設置されて前記第１流路１課題２流路２に流入される圧縮空気によって前後に作動する第１ピストン２２０と、前記第１ピストン２２０と開閉部材１００とを連結する連結部材Ｂと、前記連結部材Ｂを外部から密閉する後面カバー２０１とが備えられた前後進アクチュエーター部２００と；内部に形成される複数の第２シリンダー３１０と、前記第２シリンダー３１０の内部に設置されて圧縮空気によって上下に作動する第２ピストン３２０と、一側は前記第２ピストン３２０に連結され、他側は前記前後進アクチュエーター部２００と連結され、内部には圧縮空気が流動され、前記第１流路１と連通される第３流路３と前記第２流路２と連通される第４流路４が形成される上下シャフト３３０とが備えられた上下作動アクチュエーター部３００と；を含むことを特徴とする。
【００１２】
また、前記開閉部材１００によってウエハー移動通路が開放されるように圧縮空気が流入され、前記上下作動アクチュエーター部３００に前記第４流路４及び第２流路２と連通されるように設置される第２圧縮空気流入通孔３５０と；前記第２圧縮空気流入通孔３５０と連通され、前記第２圧縮空気流入通孔３５０に流入される圧縮空気によって前記第１ピストン２２０が下死点に到逹すれば選択的に開かれるレリーフバルブＲ２と前記第１ピストン２２０が下死点に到逹すれば選択的に開かれるチェックバルブＣ２が設置され、前記レリーフバルブＲ２が開かれると前記第２シリンダー３２０の上側に圧縮空気が流入されるように形成される第７流路７と；をさらに含むことを特徴とする。
【００１３】
また、前記第２ピストン３２０に設置される磁石部材３２１と；前記上下作動アクチュエーター部３００に設置され、前記磁石部材３２１を感知して前記第２ピストン３２０の位置を検出する磁石式センサー３６０と；をさらに含むことを特徴とする。
【００１４】
また、前記上下作動アクチュエーター部３００に設置されて、前記上下作動アクチュエーター部３００によって上下に作動する前記前後進アクチュエーター２００の上面と下面に接触されて前記第２ピストン３２０の位置を検出する接触式センサー３６１をさらに含むことを特徴とする。
【００１５】
また、前記開閉部材１００と前後進アクチュエーター部２００との間と前記前後進アクチュエーター部２００と上下作動アクチュエーター部３００との間にそれぞれ設置されるベローズ４００をさらに含むことを特徴とする。
【００１６】
また、前記上下作動アクチュエーター部３００の上部と下部には前記第２シリンダー３１０を密閉する上部カバー３０１及び下部カバー３０２と；前記上部カバー３０１に形成されて、前記上下シャフト３３０がガイドされるようにするガイド部３０３と；前記ガイド部３０３の内部に設置されて前記上下シャフト３３０の外周面と接触され、前記開閉部材１００の荷重による偏心の発生の時前記上下シャフト３３０とガイド部３０３の摩耗を防止するブッシング３０４と；をさらに含むことを特徴とする。
【００１７】
また、前記チェックバルブＣ１、Ｃ２は急速排気バルブであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
上述したような本発明によれば、開閉部材の上下方向動きを主管する上下作動アクチュエーター部と前後方向の動きを主管する前後進アクチュエーター部とが備えられて、ウエハー移動通路を開閉する開閉部材が正確にエル（Ｌ）モーションに作動する長所がある。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】従来のスリットバルブの構成断面図である。
【図２】従来のスリットバルブのリンクの動きを示す状態図である。
【図３】本発明の好ましい実施形態によるドアバルブの正面斜視図である。
【図４】本発明の好ましい実施形態によるドアバルブの背面斜視図である。
【図５】図３の分解斜視図である。
【図６】本発明の好ましい実施形態によるドアバルブの前後進アクチュエーター部の正面及びＡ−Ａ、Ｂ−Ｂ断面図である。
【図７】図６のＡ−Ａ断面の断面斜視図及びＢ−Ｂ断面の断面斜視図である。
【図８】本発明の好ましい実施形態によるドアバルブの上下作動アクチュエーターの断面、平面及び底面図である。
【図９】図８のＣ−Ｃ断面の断面斜視図である。
【図１０】本発明が作動する状態を示す側面図である。
【図１１】本発明が作動する状態を示す側面図である。
【図１２】本発明が作動する状態を示す側面図である。
【図１３】本発明が作動する状態を示す側面図である。
【図１４】図１０のＤ−Ｄ断面図である。
【図１５】図１１のＥ−Ｅ断面図である。
【図１６】前後進アクチュエーターの前進及び後進する状態の断面図である。
【図１７】前後進アクチュエーターの前進及び後進する状態の断面図である。
【図１８】本発明が半導体ウエハー移動通路を開放すると同時に初期状態に復元される状態の断面図である。
【図１９】本発明が半導体ウエハー移動通路を開放すると同時に初期状態に復元される状態の断面図である。
【図２０】本発明が半導体ウエハー移動通路を開放すると同時に初期状態に復元される状態の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、添付された図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。各図面に提示された同じ符号は同じ部材を現わす。本発明を説明するにおいて、係わる公知機能若しくは構成に関する具体的な説明は本発明の要旨を明確にするために省略する。
【００２１】
図３は本発明の好ましい実施形態によるドアバルブの正面斜視図であり、図４は本発明の好ましい実施形態によるドアバルブの背面斜視図であり、図５は図３の分解斜視図であり、図６は本発明の好ましい実施形態によるドアバルブの前後進アクチュエーター部の正面及びＡ−Ａ、Ｂ−Ｂ断面図であり、図７は図６のＡ−Ａ断面の断面斜視図及びＢ−Ｂ断面の断面斜視図であり、図８は本発明の好ましい実施形態によるドアバルブの上下作動アクチュエーターの断面、平面及び底面図であり、図９は図８のＣ−Ｃ断面の断面斜視図である。
【００２２】
本発明の好ましい実施形態によるドアバルブは、開閉部材１００、前後進アクチュエーター部２００、上下作動アクチュエーター部３００が含まれ、第１流路１、第２流路２、第３流路３、第４流路４、第５流路５、第６流路６、第７流路７、第１シリンダー２１０、第１ピストン２２０、第２シリンダー３１０、第２ピストン３２０、磁石部材３２１、上下シャフト３３０、第１圧縮空気流入通孔３４０、第２圧縮空気流入通孔３５０、磁石式センサー３６０、接触式センサー３６１及び連結部材Ｂがさらに含まれることができる。
【００２３】
また、後述する第１流路〜第７流路には圧縮空気が流動され、このように第１流路〜第７流路に流動される圧縮空気によって前後進アクチュエーター部２００と上下作動アクチュエーター部３００が駆動される。
【００２４】
前記開閉部材１００は後述する前後進アクチュエーター部２００の正面に設置されて、前記前後進アクチュエーター部２００に流入される圧縮空気によって前進または後進されながら、半導体ウエハー移動通路（図示しない）を開閉する部材であって、半導体ウエハー移動通路と当接する面にはＯリングを設置することが好ましい。
【００２５】
前記前後進アクチュエーター部２００は、図６及び図７に示すように、第１シリンダー２１０と、前記第１シリンダー２１０の内部に設置される第１ピストン２２０と、前記第１ピストン２２０の中心部を貫通して開閉部材１００の背面と結合される連結部材Ｂとで構成され、前記連結部材Ｂは前記第１ピストン２２０の前後動きを開閉部材に伝達する役割を果たす。
【００２６】
前記第１シリンダー２１０は、図１６及び図１７に示すように、後側には第１流路１が形成され、前側には第２流路２が形成される。ここで開閉部材１００と隣接する側が前側である。
【００２７】
前記のような第１シリンダー２１０の内部には第１ピストン２２０が設置され、前記第１ピストン２２０は第１シリンダー２１０の内部でのみ作動されるように、図５に示すように、前記第１シリンダー２１０の正面を覆うカバー２２１が設置されることが好ましい。
【００２８】
前記第１ピストン２２０は前後に移動される。前記第１流路１に圧縮空気が流入されると前進し、前記第２流路２に圧縮空気が流入されると後進される。
【００２９】
また、前記第１ピストン２２０は連結部材Ｂが貫通設置されて、前記第１ピストン２２０と上述した開閉部材１００を連結する役割を果たす。このような連結部材Ｂは、例えばボルトや結合ピンで製作されることが好ましい。
【００３０】
前記のように、連結部材Ｂを介して第１ピストン２２０と結合された開閉部材１００は第１ピストン２２０の前進及び後進によって作動されながら半導体ウエハー移動通路を開閉する。
【００３１】
前記上下作動アクチュエーター部３００は、第２シリンダー３１０、第２ピストン３２０、上下シャフト３３０、第１圧縮空気流入通孔３４０、第２圧縮空気流入通孔３５０で構成される。
【００３２】
前記第２シリンダー３１０は、図１４及び図１５、図１８〜図２０に示すように、上下作動アクチュエーター部３００の内部に設置される。このような第２シリンダー３１０の内部には第２ピストン３２０が設置され、前記第２ピストン３２０の中心部には上下シャフト３３０が設置される。
【００３３】
前記第２ピストン３２０は第２シリンダー３１０の内部に設置されて圧縮空気によって上下に作動する部材で、このような第２ピストン３２０は第１圧縮空気流入通孔３４０課題２圧縮空気流入通孔３５０に流入される圧縮空気によって上下方向に作動する。
【００３４】
前記上下シャフト３３０は一側が前記第２ピストン３２０の中心部に連結され、他側は前記前後進アクチュエーター部２００に連結される。これによって、前記上下シャフト３３０は第２ピストンの上昇または下降される動きを前後進アクチュエーター部２００に伝達して開閉部材１００を半導体ウエハー移動通路と一致する高さに上昇させるか初期状態に下降させる。
【００３５】
前記第１圧縮空気流入通孔３４０は、図１４に示すように、前記開閉部材１００が半導体ウエハー移動通路を閉鎖する時圧縮空気が流入される部材で、このような第１圧縮空気流入通孔３４０に流入された圧縮空気は後述する複数の流路の中で開閉部材１００の前進に関与する流路に供給される。これについては後で詳細に説明する。
【００３６】
前記第２圧縮空気流入通孔３５０は、図１５に示すように、前記第１圧縮空気流入通孔３４０と反対の役割をする。即ち、前記開閉部材１００が半導体ウエハー移動通路を開放する時圧縮空気が流入される部材である。
【００３７】
前記のような第２圧縮空気流入通孔３５０に流入された圧縮空気は後述する複数の流路の中で開閉部材１００の後進に関与する流路に供給される。これについては後で詳細に説明する。
【００３８】
以下、本発明の好ましい実施形態によるドアバルブが作動する手順について、図１０〜図２０を参照して説明する。
【００３９】
図１０〜図１３は本発明が作動される状態を示す側面図であり、図１４は図１０のＤ−Ｄ断面図であり、図１５は図１１のＥ−Ｅ断面図であり、図１６及び図１７は前後進アクチュエーターの前進及び後進する状態の断面図であり、図１８〜図２０は本発明が半導体ウエハー移動通路を開放すると同時に初期状態に復元される状態の断面図である。
【００４０】
特に、第１流路〜第７流路に供給される圧縮空気の流れによる本発明の作動を主に説明する。また、後述する初期状態とは、図１０、図１４及び図２０に示すように、開閉部材１００が完全に下向き移動されている状態である。
【００４１】
一方、第１流路１は第１シリンダー２１０の下側に形成され、第２流路２は第１シリンダー２１０の上側に形成され、第３流路３は２つの上下シャフト３３０の中の一側上下シャフトの内部に上下方向に形成され、第４流路４は２つの上下シャフト３３０の中の他側上下シャフトの内部に上下方向に形成される。
【００４２】
また、第５流路５は第１圧縮空気流入通孔３４０課題６流路６と連通される。第６流路６には所定以上の圧力が発生されると開かれるレリーフバルブＲ１とチェックバルブＣ１が設置され、第７流路７は第２圧縮空気流入通孔３５０と連通される。このような第７流路７にもレリーフバルブＲ２とチェックバルブＣ１が設置されている。
【００４３】
まず、開閉部材１００で半導体ウエハー移動通路を閉鎖する動作について説明する。
【００４４】
初期状態で第１圧縮空気流入通孔３４０から圧縮空気が流入される。このように圧縮空気が第１圧縮空気流入通孔３４０に流入され始めると、圧縮空気は前記第１圧縮空気流入通孔３４０と連通される第５流路５課題６流路６に同時に進入されて、図１０、１４の状態から図１１、１５の状態に進行される。
【００４５】
この時、前記第５流路５課題６流路６には同圧、即ち、同じ圧力が発生される。前記第６流路６には所定以上の圧力が発生する場合のみ選択的に開かれるレリーフバルブＲ１が設置されて第５流路５に先に圧縮空気が流入される。
【００４６】
前記レリーフバルブＲ１は後述する第７流路７にも設置される。このようなレリーフバルブＲ１、Ｒ２は第１圧縮空気流入通孔３４０課題２圧縮空気流入通孔３５０に流入される圧縮空気が流路に流入されて発生される１次的圧力に耐えた後、最後に開かれるようにすることが好ましい。これによって、本発明の設計の時、レリーフバルブＲ１に設置されたスプリングの反撥系数を適切に選択した方が良い。
【００４７】
前記のように、第５流路５に進入された圧縮空気は第５流路５と連通された第２シリンダー３１０の下部に流入される。このように、第２シリンダー３１０の内部に圧縮空気が流入されると、第２ピストン３２０は上向きに移動され、これによって、前記第２ピストン３２０の中心部に設置されている上下シャフト３３０も上向きに移動される。
【００４８】
この時、第６流路６に設置されているレリーフバルブＲ１は閉められている状態が維持されることは当然である。
【００４９】
前記のように、第２ピストン３２０が上向きに移動され、図１１、１５に示すように、上死点に到逹すると、第１圧縮空気流入通孔３４０に流入された圧縮空気は第６流路６に集中される。圧縮空気が供給し続けられると、レリーフバルブＲ１が徐徐に開かれ始める。
【００５０】
前記のように、レリーフバルブＲ１が徐徐に開かれ始めると、圧縮空気は一側上下シャフトの内部に形成された第３流路３を経って第１流路１に流入される。このように、第１流路１に流入された圧縮空気によって第１ピストン２２０は図１２、１６に示すように前進する。
【００５１】
これによって、第１ピストン２２０と連結部材Ｂを介して連結されている開閉部材１００も前進しながら半導体ウエハー移動通路が密閉され、このような状態を密閉状態と言う。
【００５２】
次に、前記のように、開閉部材で半導体ウエハー移動通路を密閉した状態から初期状態に作動される過程を説明する。
【００５３】
前述したように、密閉状態で半導体ウエハーを移動させる場合、開閉部材１００が半導体ウエハー移動通路を開放しなければならない。このような場合、第２圧縮空気流入通孔３５０に圧縮空気を流入させる。
【００５４】
前記のように、第２圧縮空気流入通孔３５０に流入された圧縮空気は他側上下シャフトの内部に形成された第４流路４課題７流路７に同時に流入される。前記第７流路７にはレリーフバルブＲ２が設置されているので、第４流路４に圧縮空気が先に流入される。このように、第４流路４に流入された圧縮空気は第４流路４と連通された第２流路２に流入される。
【００５５】
前記のように、第２流路２に圧縮空気が流入されると、第１ピストン２２０は、図１７に示すように、後進しながら前記第１ピストン２２０に連結された連結部材Ｂも後進し、これによって、連結部材Ｂに連結された開閉部材１００も後進される。
【００５６】
前記のように、開閉部材１００が後進すれば、密閉状態を維持していた半導体ウエハー移動通路が開放され、前記第１ピストン２２０は、図１７に示すように、下死点まで後進される。
【００５７】
前記のように、第１ピストン２２０が下死点まで移動されると、第２圧縮空気流入通孔３５０に流入される圧縮空気は第７流路７に集中され、所定以上の圧力が発生されると、レリーフバルブＲ２は徐徐に開かれ始めながら、圧縮空気が図２０に示すように第７流路７を経って第２シリンダー３１０の上側に流入される。
【００５８】
前記のように、第２シリンダー３１０の上側に圧縮空気が流入されると、上死点に位置していた第２シリンダー３１０は下向きに移動されて、結局下死点まで移動するようになって初期状態に戻る。
【００５９】
また、第２圧縮空気流入通孔３５０に圧縮空気が流入されると、前後シャフト２３０の後進及び上下シャフト３３０が下向きに移動されるように、第１圧縮空気流入通孔３４０を通じて内部に流入されていた圧縮空気は外部に放出される。このような状態を開放状態と言う。
【００６０】
一方、第２ピストン３２０の上死点または下死点の位置を外部で確認できるように前記第２ピストン３２０には磁石部材３２１が設置されることが好ましく、このような磁石部材３２１を感知するセンサー３６０が図４に示すように上下作動アクチュエーター部３００に備えられることが好ましい。
【００６１】
また、前記上下作動アクチュエーター部３００はメンテナンスが容易になるように前記上下作動アクチュエーター部３００の上部には上部カバー３０１が、下部には下部カバー３０２がそれぞれ分離可能に設置されることが好ましく、第２シリンダー３１０の内部が密閉状態を維持するようにそれぞれの結合部位にはゴム材質の密閉部材Ｏリング（図示しない）が設置されることが好ましい。
【００６２】
前記下部カバー３０２には、図５に示すように、ストロー形状の管が形成されている。このような管は上下シャフトの第３流路３課題４流路４の内部に連通されるように結合され、前記上下シャフト３３０の上下方向に移動の時、上下シャフト３３０が安定的にガイドされることができるようにする役割を果たす。
【００６３】
これによって、前記管は上下シャフト３３０の上下方向に移動される距離以上の長さを有するように形成されて、前記第２ピストン３２０が上死点まで移動されても第３流路３課題４流路４と連通されることが好ましい。
【００６４】
また、前記上部カバー３０１は、図５に示すように、上下シャフト３３０の上下方向の動きを正確にガイドするようにガイド部３０３が上向きに突出して形成され、このようなガイド部３０３の内部にはゴム材質の密閉部材（Ｏリング）が設置されて、第２シリンダー３１０を密閉することが好ましい。
【００６５】
一方、前記ガイド部３０３の内部には、図５に示すように、ブッシング３０４が設置されることが好ましい。このようなブッシング３０４は前記開閉部材１００の前進及び後進の時発生される偏心によって前記上下シャフト３３０とガイド部３０３の接触によって発生される応力を減衰させる役割と、前記密閉部材とともに第２シリンダー３１０を密閉する役割を果たす。
【００６６】
前記のように設置されるブッシング３０４は応力が直接発生される所に設置されるので、銅やプラスチックなど比較的硬度の低い材質で製作された方が良い。
【００６７】
また、前記ガイド部３０３の上端と前後進アクチュエーター部２００との間及び前記開閉部材１００と前後進アクチュエーター部２００との間にはそれぞれベローズ４００が設置されることが好ましい。このようなベローズ４００は本発明の動作の時に発生される振動と騷音を減衰させる役割を果たすとともに、真空状態で本発明を設置する際半導体製造工程で発生されるパウダーから本発明の主要部を保護する役割を果たす。
【００６８】
次に、第６流路６課題７流路７に設置されるチェックバルブＣ１、Ｃ２について説明する。
【００６９】
前記第６流路６課題７流路７に設置されるチェックバルブＣ１、Ｃ２は前記レリーフバルブＲ１、Ｒ２と同じく、一方向のみに開放される部材で、このようなチェックバルブＣ１、Ｃ２は第１圧縮空気流入通孔３４０課題２圧縮空気流入通孔３５０に流入された圧縮空気が外部に排出される時に開かれ、前記レリーフバルブＲ１、Ｒ２とは反対方向に流体の流動を許容する。
【００７０】
さらに詳しく説明すれば、第６流路６に設置されるチェックバルブＣ１は密閉状態から開放状態に転換する時、第１圧縮空気流入通孔３４０に流入された圧縮空気を排出する時開かれ、第７流路７に設置されたチェックバルブＣ２は開放状態から密閉状態に転換する時、第２圧縮空気流入通孔３５０に流入された圧縮空気を排出する時開かれる。
【００７１】
また、前記チェックバルブＣ１、Ｃ２は急速排気バルブで取り替えられることもできる。前記のように取り替えられる場合、排気に消耗される時間が顕著に減少されて、より速かに半導体ウエハー移動通路を開閉することができる。
【００７２】
前記のような急速排気バルブは大韓民国特許出願番号第１０−２００６−００２３８７２号（発明の名称：急速排気バルブ装置）に記載されているように、公知技術であるため、これに対する詳細な説明は省略する。
【００７３】
図面と明細書に最適な実施形態が開示された。ここで、特定の用語を用いたが、これはただ本発明を説明するための目的で用いられたもので、意味の限定や特許請求の範囲に記載された本発明の範囲を制限するために用いられたものではない。また、本技術分野において通常の知識を有する者であれば、これから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であることは理解すべきである。従って、本発明の真の技術的保護範囲は添付された特許請求の範囲の技術的思想によって定められるべきである。
【００７４】
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図６】
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