(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の通気用貫通孔を有し、気流に対して略直交する姿勢で当該気流の流路に配設される第１ないし第３の多孔板を備え、気流が前記第１ないし第３の多孔板を順に通過することで当該気流を整流するように構成された気流整流装置であって、
前記第１ないし第３の多孔板は、互いに間隔をあけて平行に配設されており、前記第１ないし第３の多孔板全てがメッシュスクリーンからなり、
中間位置に配されるメッシュスクリーンの所定長さ当りの通気用貫通孔の数が、その両側位置に配される各メッシュスクリーンの前記所定長さ当りの通気用貫通孔の数よりも少ないことを特徴とする気流整流装置。
【請求項２】
前記最下流位置に配される第３の多孔板のメッシュスクリーンは、断面面取り形状の線材で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の気流整流装置。
【請求項３】
直方体の箱形状のケーシングと、枠体と、押えプレートとをさらに備え、
前記ケーシングは、気流の上流側を向く面に形成された第１上流側開口と、気流の下流側を向く面に形成され、前記第３の多孔板を固定した第１下流側開口と、側面の前記上流側開口寄りの部分に形成された、前記枠体を挿入するための挿入用開口と、互いに対向する内側面に設けられ、前記挿入用開口から挿入される前記枠体を支持するための一対のレールとを備え、
前記枠体は、気流の上流側を向く面に形成され、前記第１の多孔板を固定した第２上流側開口と、気流の下流側を向く面に形成され、前記第２の多孔板を固定した第２下流側開口とを備え、
前記押えプレートは、前記第１および第２の多孔板を固定した前記枠体を前記挿入用開口から前記ケーシング内に挿入されて前記挿入用開口を塞ぐように前記ケーシングの側面に取り付けられることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の気流整流装置。
【請求項４】
気流を生成するための送風機と、この送風機で生成される気流の流路に設けられ、気流を通過させることで当該気流を整流する請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の気流整流装置とを備えることを特徴とする気流整流システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気流を整流する気流整流装置およびこの気流整流装置を備えた気流整流システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、気流を生成するための送風機と、この送風機で生成された気流を整流する気流整流装置とを備えた気流整流システムが知られている。
【０００３】
このような気流整流システムは、整流された気流を供給することが可能であり、プッシュ・プル装置、エアカーテン装置、クリーンルーム、クリーンブース等に適用される。
【０００４】
例えば、特許文献１には、複数の多孔板を気流に対して垂直となるような姿勢で互いに間隔をあけて平行に配設し、気流をそれらの多孔板の各通気用貫通孔を通過させることで整流するようにした一様空気流吹出装置が開示されている。
【０００５】
この特許文献１での多孔板は、具体的には、ハニカムコアとパンチング板である。
【０００６】
一般に、ハニカムコアとは、正六角柱状の通気用貫通孔がほぼ隙間無く隣接配置されるように構成されたものを言う。このようなハニカムコアの特徴は、気流の直進性を向上させ易い一方、気流の均一性を向上させ難いという点にある。
【０００７】
また、一般に、パンチング板とは、全面に亘って連続する板材にプレス加工によって複数の通気用貫通孔を形成することにより構成されたものを言う。このようなパンチング板の特徴は、気流に比較的大きな抵抗を作用させることが可能であり、この抵抗により気流の均一性を向上させ易いという点にある。
【０００８】
ところで、上記ハニカムコアには、分厚く嵩張る、低強度を補うための補強によって重くなる、高コストであるといったような種々の不都合な点がある。
【０００９】
そこで、本願発明者は、パンチング板のみによって装置を構成し、これによって装置の薄型化、軽量化、コストダウンを実現することを考えた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００１−２８９５００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上記パンチング板のみの構成では、上述した不都合を解消することはできるものの、パンチング板ではハニカムコアに比べて気流の直進性を得難いことから、気流の整流性を向上させ難いという新たな課題が発生することがわかった。
【００１２】
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、薄型化、軽量化、コストダウンが可能でかつ気流を十分に整流可能な気流整流装置および気流整流システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１に記載の気流整流装置は、複数の通気用貫通孔を有し、気流に対して略直交する姿勢で当該気流の流路に配設される第１ないし第３の多孔板を備え、気流が前記第１ないし第３の多孔板を順に通過することで当該気流を整流するように構成された気流整流装置であって、前記第１ないし第３の多孔板は、互いに間隔をあけて平行に配設されており、前記第１ないし第３の多孔板全てがメッシュスクリーンからなり、中間位置に配されるメッシュスクリーンの所定長さ当りの通気用貫通孔の数が、その両側位置に配される各メッシュスクリーンの前記所定長さ当りの通気用貫通孔の数よりも少ないことを特徴とする。
【００１４】
請求項２に記載の気流整流装置は、上記請求項１に記載の気流整流装置において、前記最下流位置に配される第３の多孔板のメッシュスクリーンは、断面面取り形状の線材で形成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項３に記載の気流整流装置は、上記請求項１または請求項２に記載の気流整流装置において、直方体の箱形状のケーシングと、枠体と、押えプレートとをさらに備え、前記ケーシングは、気流の上流側を向く面に形成された第１上流側開口と、気流の下流側を向く面に形成され、前記第３の多孔板を固定した第１下流側開口と、側面の前記上流側開口寄りの部分に形成された、前記枠体を挿入するための挿入用開口と、互いに対向する内側面に設けられ、前記挿入用開口から挿入される前記枠体を支持するための一対のレールとを備え、前記枠体は、気流の上流側を向く面に形成され、前記第１の多孔板を固定した第２上流側開口と、気流の下流側を向く面に形成され、前記第２の多孔板を固定した第２下流側開口とを備え、前記押えプレートは、前記第１および第２の多孔板を固定した前記枠体を前記挿入用開口から前記ケーシング内に挿入されて前記挿入用開口を塞ぐように前記ケーシングの側面に取り付けられることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の請求項４に記載の気流整流システムは、気流を生成するための送風機と、この送風機で生成される気流の流路に設けられ、気流を通過させることで当該気流を整流する請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の気流整流装置とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の気流整流装置によれば、当該装置の薄型化、軽量化、コストダウンを実現することができるとともに、気流を十分に整流することができる。
【００２０】
また、本発明の気流整流システムによれば、十分に整流された気流を生成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施形態による気流整流システムの全体構成を示した断面図である。
【図２】図１の気流整流装置の分解斜視図である。
【図３】（ａ）はメッシュスクリーンによる整流作用を説明するための断面図であり、（ｂ）はパンチング板による整流作用を説明するための断面図である。
【図４】実施例１による気流整流装置の整流特性を示した図表である。
【図５】実施例２による気流整流装置の整流特性を示した図表である。
【図６】実施例３による気流整流装置の整流特性を示した図表である。
【図７】比較例による気流整流装置の整流特性を示した図表である。
【図８】実施形態の気流整流システムを適用したプッシュ・プル装置の構成を示した概略図である。
【図９】実施形態の気流整流システムを適用したクリーンルームの構成を示した概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２３】
まず、本実施形態の気流整流システム１の基本的な構成について説明する。
【００２４】
この気流整流システム１は、整流された気流を供給可能なように構成されている。
【００２５】
なお、「整流された気流」は、気流と直交する面上の複数点の風速の平均値に対して風速の最大値および最小値が±２０％の範囲内にあるような気流と定義される場合もあるが、本実施形態では、単に、気流の整流性（均一性および直進性）が従来の気流整流装置（後述の比較例の気流整流装置を参照）に比べて向上している場合に、当該気流を「整流された気流」と呼ぶ。
【００２６】
気流整流システム１は、図１に示すように、気流を生成するための送風機１１を有する気流生成装置１０と、この気流生成装置１０に対して気流の流路の下流側に設けられる気流整流装置２０とを備えている。
【００２７】
送風機１１としては、例えばターボファン、軸流ファン、ＦＦＵ（ファンフィルタユニット）のフィルタを省略したもの、および、シロッコファン等が挙げられる。
【００２８】
気流整流装置２０は、気流の流路に配設される３つの多孔板３１〜３３、すなわち、流路の最上流位置に配される第１多孔板３１と、流路の中間位置に配される第２多孔板３２と、流路の最下流位置に配される第３多孔板３３とを有している。
【００２９】
３つの多孔板３１〜３３は、気流に対して略直交する面に沿って拡がるような姿勢で互いに平行に、かつ、当該多孔板３１〜３３の配設方向に互いに所定の間隔を空けて設けられている。この多孔板同士の間隔は、気流整流装置１０の厚みに寄与するものであるので、装置の薄型化という観点からは、できる限り小さい値であることが好ましい。しかし、一方で、当該間隔が狭過ぎると、多孔板に挟まれた空間を空気が横方向（多孔板の拡がる方向）に移動し難くなり、その結果、気流の均一性が低下することになる。従って、多孔板同士の間隔は、例えば２５ｍｍ〜１２５ｍｍ程度に設定されるのが好ましい。
【００３０】
各多孔板３１〜３３は、それぞれ、複数の通気用貫通孔３１ａ〜３３ａを有している。これら複数の通気用貫通孔３１ａ（３２ａ，３３ａ）は、多孔板３１（３２，３３）の全面に亘って所定ピッチで配列するように設けられており、互いに同一形状に形成されている。
【００３１】
以下、図２を参照して、上記気流整流装置２０の詳細な構成について説明する。
【００３２】
気流整流装置２０は、図２に示すように、直方体の箱形状のケーシング２１と、枠体２２と、図略の押えプレートと、上述した３つの多孔板３１〜３３とで構成されている。
【００３３】
ケーシング２１の気流の上流側を向く面（図２では上面）には上流側開口２１ａが形成されており、ケーシング２１の気流の下流側を向く面（図２では下面）には下流側開口２１ｂが形成されている。また、ケーシング２１の側面の上流側開口２１ａ寄りの部分には、上記枠体２２を挿入するための挿入用開口２１ｃが設けられている。
【００３４】
また、ケーシング２１の互いに対向する内側面には、挿入用開口２１ｃから挿入された枠体２２を当該ケーシング２１内で支持するための一対のレール２１ｄ（図２では一方のレールのみを図示している。）が設けられている。
【００３５】
枠体２２は、断面コの字状に形成されている。この枠体２２の気流の上流側を向く面（図２では上面）には上流側開口２２ａが形成されており、枠体２２の気流の下流側を向く面（図２では下面）には下流側開口２２ｂが形成されている。
【００３６】
多孔板３１〜３３には、それぞれ、当該多孔板３１〜３３を囲む補強枠２３〜２５が取り付けられている。
【００３７】
第１多孔板３１は、補強枠２３が枠体２２の上流側開口２２ａを有する上面にビス等によって固定されることによって枠体２２の上面に取り付けられる。また、第２多孔板３２は、補強枠２４が枠体２２の下流側開口２２ｂを有する下面にビス等によって固定されることによって枠体２２の下面に取り付けられる。
【００３８】
そして、枠体２２が挿入用開口２１ｃからケーシング２１内に挿入されることにより、ケーシング２１の内部空間の上部および中央部に多孔板３１，３２がそれぞれセットされる。なお、第１多孔板３１は、ケーシング２１の上流側開口２１ａを通して外部に表出している。
【００３９】
また、第３多孔板３３は、補強枠２５がケーシング２１の下流側開口２１ｂを有する下面にビス等によって固定されることによってケーシング２１の下面に取り付けられる。
【００４０】
また、図略の押えプレートは、挿入用開口２１ｃを塞ぐようにケーシング２１の側面に取り付けられるものであり、枠体２２がケーシング２１から抜け落ちるのを防ぐために設けられている。
【００４１】
なお、補強枠２３〜２５を省略して、多孔板３１〜３３を単体でケーシング２１あるいは枠体２２に取り付けることもできる。
【００４２】
また、ケーシング２１や枠体２２の厚み方向の寸法（図２では上下方向の寸法）を変えることで、多孔板３１〜３３同士の間隔を調整することが可能である。
【００４３】
このように構成された気流整流装置２０を、多孔板３１〜３３が気流生成装置１０によって生成される気流（以下、この気流の流れる方向を「気流方向」と呼ぶ。）に対して略直交するような姿勢で気流生成装置１０の気流方向の下流側に設けることで、気流生成装置１０によって生成された気流が３つの多孔板３１〜３３の各通気用貫通孔３１ａ〜３３ａを順に通過し、これによって当該気流が整流される。
【００４４】
次に、上述した気流整流装置２０を基本構成とする第１の形態による気流整流装置２０Ａについて説明する。すなわち、この第１の形態の気流整流装置２０Ａでは、３つ全ての多孔板３１〜３３がメッシュスクリーンで構成されている。なお、本願発明では、多孔板を、厚み方向に貫通する複数の通気用貫通孔を有する板状体と定義しており、メッシュスクリーン、パンチング板、ハニカムコア等の総称として用いている。
【００４５】
ここでのメッシュスクリーン（メッシュシートとも言う）としては、例えば、鋼鉄製の線材を平織や綾織等で平面的に編み込んで形成されるもの、あるいは、樹脂を網目状となるように成形することで形成されるものが挙げられ、先の背景技術で述べたハニカムコアやパンチング板とは異なるものである。このようなメッシュスクリーンでは、１インチ当りのメッシュ数（通気用貫通孔の数）を示す規格化された数値が知られており、この数値によってメッシュスクリーンの網目の細かさが表される。例えば、１００メッシュとは、１インチ当りのメッシュの数が１００であることを表しており、当該１００メッシュは２０メッシュに比べて網目が細かいことを意味する。なお、上記数値が異なれば、一般に、メッシュスクリーンを構成する線材の径や、オープニング、開口率、網厚等は異なる。
【００４６】
上記第１の形態の気流整流装置２０Ａによれば、当該装置２０Ａの薄型化、軽量化、コストダウンを実現することができるとともに、気流を十分に整流することができる。
【００４７】
つまり、この気流整流装置２０Ａでは、分厚く嵩張り、低強度を補うための補強によって重く、さらに高コストのハニカムコアを使用していないため、ハニカムコアを使用する場合に比べて、当該装置２０Ａの薄型化、軽量化、コストダウンが実現される。
【００４８】
また、最下流位置の第３多孔板３３をメッシュスクリーンで構成しているため、例えばこの位置の多孔板をパンチング板で構成する場合に比べて、気流に対してより高い整流作用が得られる。このようなメッシュスクリーンの整流作用の優位性については、後述する比較実験の結果からも明らかであるが、本願発明者はその整流の仕組みについて以下のように推察している。
【００４９】
すなわち、図３（ａ）に示すように、断面略円形の線材（いわゆる丸線）を編み込んで形成される一般的なメッシュスクリーンからなる多孔板１３３では、その通気抵抗部１３３ｂの断面形状が、角の取れたいわゆる面取り形状となっている。従って、このようなメッシュスクリーンからなる多孔板１３３の通気用貫通孔１３３ａの入口側部位および出口側部位は、ともにその開口面積が気流方向で徐々に小さく、あるいは大きくなるような略錘形状となっている。このため、通気用貫通孔１３３ａを気流が通過することによって通気抵抗部１３３ｂの直下流位置に形成される渦流ｒ１が比較的小さく、通気用貫通孔１３３ａを通過した気流ｆ１の乱れ（乱流）度合いは小さい。なお、樹脂成形で形成されるメッシュスクリーンにおいても、成形型の形状を工夫するだけで、容易に通気抵抗部の断面形状を上記面取り形状とすることができる。
【００５０】
一方、図３（ｂ）に示すように、プレス加工により形成される一般的なパンチング板からなる多孔板２３３では、その通気抵抗部２３３ｂの断面形状が、面取りされていない角のある矩形状となっている。従って、このようなパンチング板からなる多孔板２３３の通気用貫通孔２３３ａの入口側部位および出口側部位は、ともにその開口面積が気流方向で急激に変化するような形状となっている。このため、通気用貫通孔２３３ａを気流が通過することによって通気抵抗部２３３ｂの直下流位置に形成される渦流ｒ２が比較的大きく、通気用貫通孔２３３ａを通過した気流ｆ２の乱れ度合いは大きい。
【００５１】
以上より、メッシュスクリーンからなる多孔板１３３では、通気用貫通孔１３３ａを通過する気流に対する整流作用（特に直進性向上作用）がより発揮され、当該気流が十分に整流される。このように、本形態の気流整流装置２０Ａでは、最下流位置の第３多孔板３３により気流が十分に整流されるので、全体では十分に高い整流作用が得られる。
【００５２】
また、第１の形態の気流整流装置２０Ａでは、多孔板の数を３つにすることにより、気流を十分に整流することができるとともに、装置が分厚く嵩張るのを抑えることができる。つまり、気流に対する十分な整流作用の確保と装置の薄型化とが両立される。
【００５３】
また、第１の形態の気流整流装置２０Ａでは、３つ全ての多孔板をメッシュスクリーンで構成することによって、メッシュスクリーンはパンチング板やハニカムコアに比べて軽量であるので、当該装置のさらなる軽量化を図ることができる。また、メッシュスクリーンはパンチング板に比べて圧力損失が小さいため、所定の風速を得るための送風機１１の駆動力が小さくて済む。これにより、整流された気流を効率良く生成することができる。
【００５４】
また、第１の形態の気流整流装置２０Ａを備えた気流整流システム１によれば、気流生成装置１０からの気流が気流整流装置２０Ａによって十分に整流されるようになるため、十分に整流された気流を供給することができる。
【００５５】
次に、上記気流整流装置２０を基本構成とする第２の形態による気流整流装置２０Ｂについて説明する。すなわち、この第２の形態の気流整流装置２０Ｂの上記第１の形態の気流整流装置２０Ａと異なる点は、最上流位置の第１多孔板３１がメッシュスクリーンではなくパンチング板で構成されている点である。
【００５６】
つまり、第２の形態では、第１多孔板３１がパンチング板で構成されており、第２多孔板３２および第３多孔板３３がメッシュスクリーンで構成されている。
【００５７】
この第２の形態の気流整流装置２０Ｂでは、上記のように、最上流位置の第１多孔板３１をパンチング板により構成することで、当該装置２０Ｂを通過する気流に対して初期の段階で第１多孔板３１によって大きな抵抗を付与し、これによって当該気流の均一性を向上させることができるので、最終的に気流の整流性をより向上させることができる。
【００５８】
なお、第２の形態の気流整流装置２０Ｂにおけるその他の効果およびこの気流整流装置２０Ｂを備える気流整流システム１における効果は、上記第１の形態で説明したものと同様である。
【００５９】
次に、上記気流整流装置２０を基本構成とする第３の形態による気流整流装置２０Ｃについて説明する。すなわち、この第３の形態の気流整流装置２０Ｃの上記第２の形態２０Ｂと異なる点は、中間位置の第２多孔板３２がメッシュスクリーンではなくパンチング板で構成されている点である。
【００６０】
つまり、第３の形態では、第１多孔板３１および第２多孔板３２がパンチング板で構成されており、第３多孔板３３がメッシュスクリーンで構成されている。
【００６１】
この第３の形態の気流整流装置２０Ｃおよびこの気流整流装置２０Ｃを備える気流整流システム１においても、上記第１の形態および第２の形態で記載した各効果が同様に発揮される。
【実施例】
【００６２】
次に、上記第１〜第３の形態の気流整流装置２０Ａ〜２０Ｃによる整流作用を証明するために行った比較実験について図４〜図７を参照して説明する。
【００６３】
すなわち、本発明の第１の形態に対応する実施例１による気流整流装置と、第２の形態に対応する実施例２による気流整流装置と、第３の形態に対応する実施例３による気流整流装置とを作製するとともに、従来技術に対応する比較例による気流整流装置を作製し、それらの気流整流装置の整流特性を比較した。
【００６４】
実施例１の気流整流装置は、上述の第１の形態の気流整流装置２０Ａと基本的に同一構成であり、３つ全ての多孔板がメッシュスクリーンで構成されている。
【００６５】
より詳細に、実施例１の試料ａの気流整流装置では、最上流位置の第１多孔板に２０メッシュのメッシュスクリーンを用いており、中間位置の第２多孔板に６０メッシュのメッシュスクリーンを用いており、最下流位置の第３多孔板に１００メッシュのメッシュスクリーンを用いている。
【００６６】
実施例１の試料ｂの気流整流装置では、第１多孔板に６０メッシュのメッシュスクリーンを用いており、第２多孔板に１００メッシュのメッシュスクリーンを用いており、第３多孔板に１００メッシュのメッシュスクリーンを用いている。
【００６７】
実施例１の試料ｃの気流整流装置では、第１多孔板に１００メッシュのメッシュスクリーンを用いており、第２多孔板に２０メッシュのメッシュスクリーンを用いており、第３多孔板に１００メッシュのメッシュスクリーンを用いている。
【００６８】
実施例１の試料ｄの気流整流装置では、第１多孔板に１００メッシュのメッシュスクリーンを用いており、第２多孔板に６０メッシュのメッシュスクリーンを用いており、第３多孔板に１００メッシュのメッシュスクリーンを用いている。
【００６９】
実施例１の試料ｅの気流整流装置では、第１多孔板に１００メッシュのメッシュスクリーンを用いており、第２多孔板に８０メッシュのメッシュスクリーンを用いており、第３多孔板に１００メッシュのメッシュスクリーンを用いている。
【００７０】
実施例１の試料ｆの気流整流装置では、第１多孔板に１００メッシュのメッシュスクリーンを用いており、第２多孔板に１００メッシュのメッシュスクリーンを用いており、第３多孔板に１００メッシュのメッシュスクリーンを用いている。
【００７１】
また、実施例２の気流整流装置は、上述の第２の形態の気流整流装置２０Ｂと基本的に同一構成であり、最上流位置の第１多孔板がパンチング板で構成されているとともに、中間位置および最下流位置の各多孔板がメッシュスクリーンで構成されている。
【００７２】
より詳細に、実施例２の試料ｇの気流整流装置では、最上流位置の第１多孔板にパンチング板を用いており、中間位置の第２多孔板に１００メッシュのメッシュスクリーンを用いており、最下流位置の第３多孔板に１００メッシュのメッシュスクリーンを用いている。
【００７３】
実施例２の試料ｈの気流整流装置では、第１多孔板にパンチング板を用いており、第２多孔板に６０メッシュのメッシュスクリーンを用いており、第３多孔板に１００メッシュのメッシュスクリーンを用いている。
【００７４】
また、実施例３の気流整流装置は、上述の第３の形態の気流整流装置２０Ｃと基本的に同一構成であり、最上流位置および中間位置の各多孔板がパンチング板で構成されているとともに、最下流位置の第３多孔板がメッシュスクリーンで構成されている。
【００７５】
より詳細に、実施例３の試料ｉの気流整流装置では、最上流位置および中間位置の各多孔板にパンチング板を用いており、最下流位置の第３多孔板に１００メッシュのメッシュスクリーンを用いている。
【００７６】
これに対して、比較例の試料ｐの気流整流装置は、３つ全ての多孔板がパンチング板で構成されている。
【００７７】
なお、２０メッシュのメッシュスクリーンの線材径は０．５φであり、その開口率は３７％である。また、６０メッシュのメッシュスクリーンの線材径は０．１４φであり、その開口率は４５％である。また、１００メッシュのメッシュスクリーンの線材径は０．１φであり、その開口率は３７％である。
【００７８】
また、パンチング板の通気用貫通孔の孔径は１．５ｍｍであり、通気用貫通孔の配列ピッチは３ｍｍであり、開口率は２２．８％である。
【００７９】
そして、気流生成装置の風速機により気流を発生させ、気流整流装置を通過した気流に対して、最下流位置の多孔板から下流側に５０ｍｍだけ隔てた平面上の２０箇所での各風速を、超音波風速計を用いて測定した。
【００８０】
そして、それらの測定結果から、気流整流装置を通過した気流の平均風速、バラツキ、最大風速、最小風速を求め、当該気流整流装置の整流特性を求めた。
【００８１】
また、多孔板同士の間隔（ピッチ）を、この例では均等ピッチの２５ｍｍ、５０ｍｍ、７５ｍｍ、１００ｍｍに変えて、それぞれにおいて上記測定を行って整流特性を求めた。
【００８２】
以上のようにして求めた実施例１の気流整流装置の整流特性を図４の表１に示し、実施例２の気流整流装置の整流特性を図５の表２に示し、実施例３の気流整流装置の整流特性を図６の表３に示し、比較例の気流整流装置の整流特性を図７の表４に示す。
【００８３】
表１〜表４を参照して、実施例１〜３の試料ａ〜ｉの各気流整流装置における整流特性と比較例の試料ｐの気流整流装置における整流特性とを比較すると、実施例１〜３の各気流整流装置を通過した気流のバラツキが比較例の気流整流装置を通過した気流のバラツキよりも小さいことがわかった。これにより、第１〜第３の形態の気流整流装置２０Ａ〜２０Ｃにおける最下流位置の第３多孔板３３をメッシュスクリーンで構成したことによる整流作用向上の効果が確実に得られることが確認できた。
【００８４】
特に、表３，表４を参照して、実施例３の試料ｉの気流整流装置における整流特性と比較例の試料ｐの気流整流装置における整流特性とを比較すると、実施例３の気流整流装置を通過した気流のバラツキが比較例の気流整流装置を通過した気流のバラツキよりも小さく、実施例３の気流整流装置を通過した気流の最大風速（％）が比較例の気流整流装置を通過した気流の最大風速（％）よりも小さく、さらに、実施例３の気流整流装置を通過した気流の最小風速（％）が比較例の気流整流装置を通過した気流の最小風速（％）よりも大きいことがわかった。すなわち、実施例３の気流整流装置において全ての整流特性が向上したことがわかった。従って、気流整流装置の最下流位置の第３多孔板をパンチング板からメッシュスクリーンに代えるだけで、装置の薄型化、軽量化、コストダウンを図りつつ、気流整流装置の整流作用を格段に向上させるという効果が得られると推察される。
【００８５】
また、表１を参照して、実施例１の６つの試料ａ〜ｆのうち試料ｄの気流整流装置において比較的良好な整流特性が得られた。このことから、第２多孔板を構成するメッシュスクリーンの１インチ当りのメッシュ数が、その両側位置の各多孔板を構成するメッシュスクリーンの１インチ当りのメッシュ数よりも少ない場合、整流特性がより向上すると推察される。
【００８６】
また、表１を参照して、実施例１の試料ａ〜ｆの気流整流装置では、多孔板同士の間隔が５０ｍｍ、７５ｍｍ、１００ｍｍの場合において、最大風速および最小風速が平均風速に対してほぼ±２０％以内となり、当該気流整流装置を通過した気流は上述した「整流された気流」の定義に適うものとなっている。また、表２，表３を参照して、実施例２，３の試料ｇ〜ｉの気流整流装置では、多孔板同士の間隔が２５ｍｍ、５０ｍｍ、７５ｍｍ、１００ｍｍのいずれの場合においても、最大風速および最小風速が平均風速に対してほぼ±２０％以内となり、当該気流整流装置を通過した気流は上述した「整流された気流」の定義に適うものとなっている。
【００８７】
上記実施形態の気流整流システム１は、図８に示すようなプッシュ・プル装置に適用可能である。すなわち、図８に示すプッシュ・プル装置は、左方に配置された上記実施形態の気流整流システム１からなるプッシュ側装置と、右方に配置されたプル側装置３０１とで構成されている。プル側装置３０１は、吸引機能をもつ送風機３１０とこの送風機３１０の気流の流路の上流側に設けられる上記実施形態の気流整流装置からなる気流整流装置３２０とを有している。このプッシュ・プル装置では、両装置１，３０１の間の空間に、整流された気流が生成される。なお、プル側装置３０１の送風機３１０に吸い込まれた空気は、図略の通気路を通ってプッシュ側装置の気流生成装置１０に送り込まれる。
【００８８】
また、上記実施形態の気流整流システム１は、図９に示すようなクリーンルームに適用可能である。すなわち、図９に示すクリーンルームは、下向きの気流を生成可能な上記実施形態の気流整流システム１と、この気流整流システム１の下方に設けられる空間部４０１と、空間部４０１の下端に設けられる吸引用の送風機４１０と、気流整流システム１および空間部４０１を囲むように設けられる通気路４０２と、気流整流システム１の上方に隣接配置されるＦＦＵ（ファンフィルタユニット）４２０とで構成されている。このクリーンルームでは、整流された下向きの気流が空間部４０１に生成される。なお、送風機４１０に吸い込まれた空気は、通気路４０２を通ってＦＦＵ４２０に送り込まれる。
【００８９】
なお、上記実施形態と異なり、最上流位置および最下流位置の各多孔板をメッシュスクリーンで構成するとともに、中間位置の多孔板をパンチング板で構成した気流整流装置であってもよい。この構成の気流整流装置でも、最下流位置の第３多孔板がメッシュスクリーンで構成されているため、上記実施形態の整流効果を奏する。
【００９０】
また、上記実施形態では、多孔板を３つ備えた気流整流装置について示したが、これに限らず、４つ以上の多孔板を備えた気流整流装置であってもよい。ただし、４つ以上の多孔板を備えた構成であると、装置が分厚く嵩張り過ぎるようになるので、整流作用向上と薄型化の両立の観点から言えば、多孔板の数は３つであることが好ましい。
【符号の説明】
【００９１】
１  気流整流システム
１１  送風機
２０、２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ  気流整流装置
３１  第１多孔板
３１ａ  通気用貫通孔
３２  第２多孔板
３２ａ  通気用貫通孔
３３  第３多孔板
３３ａ  通気用貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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