(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状のワークを収納する複数の収納部を上下方向に多段に積層して配置したカセットと、
ワークに対して所定の処理を施す処理部と、
ワークを回収する回収トレイと、
前記搬入位置から前記処理部まで主搬送方向に沿って前記ワークを搬送する搬送装置と、
上下方向について前記複数の収納部のそれぞれの位置が搬送面の位置に順次一致するように前記カセットを下降又は上昇させる昇降機構と、
前記カセットと前記回収トレイとの間の前記主搬送方向に平行な第１の方向に沿って配置され、前記複数の収納部のうちで上下方向の位置が前記搬送面の位置に一致する収納部に収納されているワークを底面側から前記第１の方向に沿って搬出する第１搬出機構と、
前記第１搬出機構における前記カセットと前記回収部との間の中間位置で前記第１搬出機構が搬出したワークの上面を吸着する真空チャックと、前記真空チャックを前記第１の方向に直交する第２の方向に沿って前記中間位置と前記搬入位置との間に移動させるスライド機構と、を有する第２搬出機構と、
を備えたワーク処理装置。
【請求項２】
前記第１搬出機構はワークの底面に外周面が接触させる無端ベルトで構成された請求項１に記載のワーク処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、太陽電池用ウェハ等のシート状のワークをカセットから１枚ずつ搬送装置の搬入位置に供給して処理部による処理を施すワーク処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池用ウェハの製造時の複数の工程には、シート状のワークの検査工程が含まれる。ワークの検査工程では、例えば撮像装置によってワークの所定箇所を撮像する。ワークは、搬送装置によって撮像装置が設けられている検査位置に搬送される。ワークを搬送する搬送装置として、無端ベルトを用いたものがある（例えば、特許文献１参照。）。【０００３】
検査工程のタクトタイムを向上するためには、搬送装置にワークを１枚ずつ所定のタイミングで円滑に供給する必要がある。【０００４】
このため、搬送装置にワークを供給するワーク供給装置として、ワークを１枚ずつ収納する複数の収納部を上下方向に多段に積層して配置したカセットを用いたものがある。カセットを水平面内で搬送装置の搬送方向に直交する方向に往復移動させ、カセット内のワークを搬送装置の搬入位置で無端ベルト上に載置し、カセットを１段分だけ下降又は上昇させた後にカセットを往復移動させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−０１２６５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
カセットの各収納部にはワークを１枚ずつ収納させておく必要があるが、太陽電池用ウェハのように薄肉のワークでは誤って２枚以上のワークが単一の収納部に収納される可能性が高い。従来のワーク供給装置では、カセットの各収納部について１回の供給動作を行っており、単一の収納部に複数枚のワークが収納されている場合には、複数枚のワークが一度に搬送装置に供給され、検査工程を適正に行うことができなくなる。このような問題は、検査工程時だけでなく、搬送装置が搬送するワークに対する検査工程以外の工程に対するワークの搬送時にも同様に生じる。
【０００７】
この発明の目的は、カセット内の単一の収納部に複数枚のワークが収納された場合でも、搬送装置に１枚ずつワークを供給することができ、搬送中のワークに対する処理を適正に行うことができるワーク処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に係るワーク処理装置は、カセット、処理部、回収トレイ、昇降機構、第１搬出機構、第２搬出機構を備える。カセットは、シート状のワークを収納する複数の収納部を上下方向に多段に積層して配置している。処理部は、ワークに対して所定の処理を施す。回収トレイは、ワークを回収する。昇降機構は、上下方向について複数の収納部のそれぞれの位置が搬送面の位置に順次一致するようにカセットを下降又は上昇させる。第１搬出機構は、カセットと回収トレイとの間の前記主搬送方向に平行な第１の方向に沿って配置され、複数の収納部のうちで上下方向の位置が搬送面の位置に一致する収納部に収納されているワークを底面側から第１の方向に沿って搬出する。第２搬出機構は、第１搬出機構における前記カセットと前記回収部との間の中間位置で第１搬出機構が搬出したワークの上面を吸着する真空チャックと、真空チャックを上面側から第１の方向に直交する第２の方向に沿って中間位置と搬入位置との間に移動させるスライド機構と、を有する。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によれば、カセット内の単一の収納部に複数枚のワークが収納された場合でも、搬送装置の搬入位置に１枚ずつワークを供給することができ、搬送中のワークに対する処理を適正に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】この発明の実施形態に係るワーク供給装置を備えたワーク処理装置の平面図である。
【図２】同ワーク供給装置の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、この発明の実施形態に係るワーク供給装置及びワーク処理装置について、図面を参照して説明する。図１に示すように、この発明の実施形態に係るワーク供給装置１０は、ワーク処理装置１００の一部を構成している。ワーク処理装置１００は、シート状のワークとして例えば太陽電池用ウェハを搬送する搬送装置１１０と、搬送装置１１０が搬送するワークに対し、例えば撮像装置１２１が撮像した画像データに基づく検査処理を行う処理部１２０を備えている。搬送装置１１０は、一例として複数のローラに張架された無端ベルトで構成されている。
【００１２】
なお、搬送装置１１０は、複数のローラ又はチェーン等で構成することもできる。また、処理部１２０が行う処理は、撮像装置１２１を用いた検査処理に限るものではない。
【００１３】
図１及び図２に示すように、ワーク供給装置１０は、搬送装置１１０の搬入部１１１に近接して配置されており、ワークを１枚ずつ搬入部１１１に供給する。このため、ワーク供給装置１０は、カセット１、昇降機構２、第１搬出機構３、第２搬出機構４、回収トレイ５を備えている。
【００１４】
カセット１は、複数の収納部１１を上下方向に多段に積層して備えている。複数の収納部１１のそれぞれは、シート状のワークを原則として１枚ずつ収納する。昇降装置２は、上下方向における複数の収納部１１のそれぞれの位置が搬送装置１１０の搬入部１１１における搬送面の位置に順次一致するように、カセット１を昇降させる。
【００１５】
第１搬出機構３は、一例として複数のローラに張架された無端ベルト３１で構成されている。第１搬出機構３は、複数の収納部１１のうちで上下方向の位置が搬送面の位置に一致している収納部１１に収納されているワークを底面側から第１の方向Ｘに沿って回収トレイ５に向けて搬出する。即ち、第１搬出機構３は、無端ベルト３１の上面にワークを載置して搬出する。第１の方向Ｘは、搬送装置１１０の搬送方向に平行にされている。
【００１６】
第２搬出機構４は、一例として真空チャック４１及びスライド機構４２を備えている。第２搬出機構４は、第１搬出機構３が搬出したワークを、第１搬出機構３と回収トレイ５との間で、上面側から第１の方向Ｘに直交する第２の方向Ｙに沿って搬入部１１１へ搬出する。このため、スライド機構４２は、真空チャック４１を第２の方向Ｙに沿って第２搬出機構４の上方と搬送装置１１０の搬入部１１１との間に往復移動させる。
【００１７】
昇降機構２によってカセット１内に配置された複数の収納部１１の何れかの上下方向の位置が搬送面の位置に一致すると、その収納部１１に収納されているワークが第１搬出機構３によって底面側から第１の方向Ｘに沿って搬出される。第１の方向Ｘに搬出されたワークは、第２搬出機構４により、上面側から第２の方向Ｙに沿って搬送装置１１０の搬入部１１１へ搬出される。
【００１８】
単一の収納部１１に誤って複数枚のワークが収納されている場合、複数枚のワークの全てが第１の方向Ｘに沿って搬出された後、第２搬出機構４の真空チャック４１は最上部に位置する１枚のワークのみを吸着し、他のワークは自重によって第１搬出機構３上に停まる。したがって、最上部に位置する１枚のワークのみが第２の方向Ｙに沿って搬送装置１１０の搬入部１１１に搬出される。単一の収納部１１に誤って複数枚のワークが収納されている場合でも、搬入部１１１には１枚のワークのみが供給され、ワーク処理装置１００におけるワークに対する処理を正確に行わせることができる。
【００１９】
最上部に位置する１枚のワーク以外のワークは、第１搬出機構３によって回収トレイ５に搬送される。回収トレイ５は、この発明の回収部であり、未処理のワークを収容する。単一の収納部１１内に収納された複数枚のワークのうち、最上部に位置するワーク以外のワークが不要である場合には、回収トレイ５を省略できる。
【００２０】
なお、図１に示す例では、カセット１、昇降機構２、第１搬出機構３及び回収トレイ５は、搬入部１１１を挟んで両側のそれぞれに配置されているが、これらは搬入部１１１の少なくとも一方に配置されていればよい。但し、これらを搬入部１１１を挟んで両側のそれぞれに配置することで、一方のカセット１に収納されているワークの全てを供給した後、他方のカセット１からワークの供給を継続し、この間に一方のカセット１を新たなカセット１と交換することができる。
【００２１】
また、第１の方向Ｘを搬送装置１００の搬送方向に平行にし、第２の方向Ｙを第１の方向Ｘに直交させることで、ワーク供給装置１０の設置スペースを最小にできるが、これに限るものではない。
【００２２】
上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００２３】
１−カセット
２−昇降機構
３−第１搬出機構
４−第２搬出機構
５−回収トレイ
１０−ワーク供給装置
１１−収納部
１００−ワーク処理装置
１１０−搬送装置
１１１−搬入部
【図１】
0005606546.tif 000002
【図２】
0005606546.tif 000003