(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
波長毎のΔ値及びΨ値、又はこれらΔ値及びΨ値から直接的に算出される値からなる実測データに対し、一又は複数のパラメータによって定められるフィッティングデータを、前記パラメータを逐次変化させることによって近似させ、近似させたフィッティングデータにおけるパラメータの値から試料の特性を算出する分光エリプソメータであって、
前記実測データと比較の対象となるリファレンスデータを格納するリファレンスデータ格納部と、
前記実測データ又は前記リファレンスデータの一方のデータを、他方のデータを取得した条件に合わせて変換し、又は、前記実測データ及び前記リファレンスデータを、共通の条件に合わせて変換して、それらを比較可能にする変換演算部と、
前記変換演算部により比較可能にされた実測データ及びリファレンスデータを比較して、一致度を判定する比較判定部と、を具備する分光エリプソメータ。
【請求項２】
前記リファレンスデータが、予め入力された基準リファレンスデータ、過去の実測データを解析した結果である解析結果データ、及び分散式を示す分散式データの少なくとも１つを含む請求項１記載の分光エリプソメータ。
【請求項３】
前記変換演算部が、前記実測データ又は前記リファレンスデータを、前記試料への入射光の入射角度、波長の測定レンジ、及びデータ点数の少なくとも１つを含む条件に基づいて変換する請求項１又は２記載の分光エリプソメータ。
【請求項４】
前記変換演算部が、前記リファレンスデータを前記実測データに合わせてベースライン補正を行うものであり、
前記比較判定部が、前記補正されたリファレンスデータにより表されるグラフ形状と、実測データにより表されるグラフ形状を比較するものである請求項１、２又は３記載の分光エリプソメータ。
【請求項５】
波長毎のΔ値及びΨ値、又はこれらΔ値及びΨ値から直接的に算出される値からなる実測データに対し、複数のパラメータによって定められるフィッティングデータを、前記パラメータを逐次変化させることによって近似させ、近似させたフィッティングデータにおけるパラメータの値から試料の特性を算出する分光エリプソメータに用いられるものであって、
前記実測データと比較の対象となるリファレンスデータを格納するリファレンスデータ格納部と、
前記実測データ又は前記リファレンスデータの一方のデータを、他方のデータを取得した条件に合わせて変換し、又は、前記実測データ及び前記リファレンスデータを、共通の条件に合わせて変換して、それらを比較可能にする変換演算部と、
前記変換演算部により比較可能にされた実測データ及びリファレンスデータを比較して、一致度を判定する比較判定部と、としての機能をコンピュータに発揮させることを特徴とする分光エリプソメータ用プログラム。
【請求項６】
波長毎のΔ値及びΨ値、又はこれらΔ値及びΨ値から直接的に算出される値からなる実測データに対し、一又は複数のパラメータによって定められるフィッティングデータを、前記パラメータを逐次変化させることによって近似させ、近似させたフィッティングデータにおけるパラメータの値から試料の特性を算出する分光エリプソメータであって、
前記実測データと比較の対象となるリファレンスデータを格納するリファレンスデータ格納部と、
前記実測データ又は前記リファレンスデータの一方のデータを、他方のデータを取得した条件に合わせて変換し、又は、前記実測データ及び前記リファレンスデータを、共通の条件に合わせて変換して、それらを比較可能にする変換演算部と、を具備する分光エリプソメータ。
【請求項７】
波長毎のΔ値及びΨ値、又はこれらΔ値及びΨ値から直接的に算出される値からなる実測データに対し、複数のパラメータによって定められるフィッティングデータを、前記パラメータを逐次変化させることによって近似させ、近似させたフィッティングデータにおけるパラメータの値から試料の特性を算出する分光エリプソメータに用いられるものであって、
前記実測データと比較の対象となるリファレンスデータを格納するリファレンスデータ格納部と、
前記実測データ又は前記リファレンスデータの一方のデータを、他方のデータを取得した条件に合わせて変換し、又は、前記実測データ及び前記リファレンスデータを、共通の条件に合わせて変換して、それらを比較可能にする変換演算部と、としての機能をコンピュータに発揮させることを特徴とする分光エリプソメータ用プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば半導体ウェハやレティクル／マスク、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）のガラス基板などの表面の薄膜の厚み等を測定するための分光エリプソメータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
エリプソメータは、特許文献１に開示されているように、試料の表面で光が反射又は透過する際の偏光状態の変化を観測して、その試料の光学定数（屈折率、消衰係数）を、また、試料の表面に薄膜層が存在する場合は、その膜厚や光学定数を測定するものである。具体的な測定値は、ｐ偏光とｓ偏光のそれぞれのフレネル反射係数ＲｐとＲｓの比に関係するプサイ：ｐｓｉ（Ψ）とデルタ：ｄｅｌｔａ（Δ）で表される。
【０００３】
ρ＝Ｒｐ／Ｒｓ＝ｔａｎ（Ψ）ｅｘｐ（ｉΔ）
【０００４】
ｔａｎ（Ψ）はｐ方向とｓ方向の複素反射係数の比の振幅に等しく、Δはｐとｓの反射係数の間の位相差となる。
【０００５】
ところで、単一波長のエリプソメータでは、膜厚値を前記ｔａｎ（Ψ）やΔなどのエリプソパラメータから単純計算しているが、多層膜になるとモデル式が複雑になり過ぎるため、簡単に求めることができない。そこで、近時では、分光エリプソメトリと称され、波長を変化させて、パラメータ・フィッティングを行い、多変量解析することにより、多層膜の解析を行うようにしたものが開発されている。
【０００６】
かかる分光エリプソメトリでは、試料に照射される入射光に対する反射光の波長毎のΔ値及びΨ値からなる実測データに対し、試料の膜厚や光学定数、表面荒さなどの複数のパラメータによって定められるフィッティングデータを、各パラメータを逐次変化させることによって近づけていく。そして、実測データとの誤差が最小と推定される時点での近似フィッティングデータの各パラメータの値をもって、前記試料の特性を算出するようにしている。
【０００７】
そして現状において、分光エリプソメトリにおける一般的なフィッティング計算は、前述したように、実測データとフィッティングデータとの誤差が最小と目されるところで終了する。
【０００８】
ここで、フィッティングについて説明する。Ｎ個の実測データ対Ｅｘｐ（ｉ＝１，２，…，Ｎ）と前記フィッティングデータの対応するＮ個のモデルの計算データ対Ｍｏｄ（ｉ＝１，２，…，Ｎ）とし、測定誤差は正規分布するとして、標準偏差をσ１とすると、平均二乗誤差（χ２）は、次のように与えられる。
【０００９】
【数１】
0005461020.tif 000002
【００１０】
ここで、Ｐは、パラメータの数である。χ２が小さいということは測定結果とモデルの一致度が大きいということに他ならないから、複数のモデルについて比較するときに、χ２の最も低いものがベストモデルということになる。
【００１１】
しかしながら、このような平均二乗誤差（χ２）を用いるフィッティング手法においては、実測データとフィッティングデータとのデータ点数が異なる場合には、適用することができないという問題がある。
【００１２】
また、分光エリプソメータにおいては、通常、試料の表面に照射される入射光の入射角度、波長の測定レンジ、データ点数等と言った測定条件が異なり、実測データとリファレンスデータとを単純に比較することができないという問題がある。
【００１３】
さらに、実測データに対してパラメータ・フィッティングされるフィッティングデータの初期値の取り方により、その後の計算量が多くなり、時間の無駄になってしまうという問題もある。そして、フィッティングデータの初期値の設定には、作業者の経験に大きく左右されてしまい、初心者には非常に困難な作業であり、試行錯誤が強いられてしまうという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００５−３０８６０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
そこで本発明はこういった問題点を解決し、測定条件の異なるデータを比較可能にするとともに、初心者などの経験の浅い作業者であっても、フィッティングデータの初期値、具体的には分散式の初期値又は膜厚の初期値の設定を極めて簡単に行うこと及び解析モデルの設定の容易にすることができる分光エリプソメータ等を提供すべく図ったものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
すなわち本発明に係る分光エリプソメータは、波長毎のΔ値及びΨ値、又はこれらΔ値及びΨ値から直接的に算出される値からなる実測データに対し、複数のパラメータによって定められるフィッティングデータを、前記パラメータを逐次変化させることによって近似させ、近似させたフィッティングデータにおけるパラメータの値から試料の特性を算出するものである。ここで波長とは、試料に測定用の光を入射させたときのその入射光の波長、または入射光による反射光の波長のことである。
【００１７】
そして、前記実測データと比較の対象となるリファレンスデータを格納するリファレンスデータ格納部と、前記実測データ又は前記リファレンスデータの一方のデータを、他方のデータを取得した条件に合わせて変換し、又は、前記実測データ及び前記リファレンスデータを、共通の条件に合わせて変換して、それらを比較可能にする変換演算部と、前記変換演算部により比較可能にされた実測データ及びリファレンスデータを比較して、一致度を判定する比較判定部と、を具備していることを特徴とする。
【００１８】
このようなものであれば、実測データ又はリファレンスデータの少なくとも一方をそれらが比較可能となるように変換しているので、実測データの測定条件及びリファレンスデータの条件等に関係なく、実測データとリファレンスデータとを比較することができるようになる。また、比較可能に変換したリファレンスデータ及び実測データを自動で比較し、その一致度を判定するようにしているので、経験の浅い初心者などの作業者であっても、簡単にフィッティングデータの初期値、具体的には分散式の初期値又は膜厚の初期値の設定を行うことができる。同時に、解析モデルの設定の容易にすることができる。従って、ユーザにとって使い勝手の良い分光エリプソメータを提供することができる。
【００１９】
リファレンスデータとしては、予め入力された基準リファレンスデータ、過去の実測データを解析した結果である解析結果データ、及び分散式を示す分散式データの少なくとも１つを含むことが望ましい。
【００２０】
前記変換演算部の変換の具体的な実施の態様としては、前記変換演算部が、前記実測データ又は前記リファレンスデータを、前記試料への入射光の入射角度、波長の測定レンジ、及びデータ点数の少なくとも１つを含む条件に基づいて変換することが望ましい。
【００２１】
試料上に形成された各層の膜厚やその層の誘電率等の光学定数により、実測データ及びリファレンスデータのベースが異なるため、これらのベースを一致させるためには、前記変換演算部が、前記リファレンスデータを前記実測データに合わせてベースライン補正（疑似屈折率ｎ’、疑似消衰係数ｋ’）を行うものであり、前記比較判定部が、前記補正されたリファレンスデータにより表されるグラフ形状と、実測データにより表されるグラフ形状を比較するものであることが望ましい。
【００２２】
また、本発明に係る分光エリプソメータ用プログラムは、上記分光エリプソメータに用いられるものであって、前記実測データと比較の対象となるリファレンスデータを格納するリファレンスデータ格納部と、前記実測データ又は前記リファレンスデータの一方のデータを、他方のデータを取得した条件に合わせて変換し、又は、前記実測データ及び前記リファレンスデータを、共通の条件に合わせて変換して、それらを比較可能にする変換演算部と、前記変換演算部により比較可能にされた実測データ及びリファレンスデータを比較して、一致度を判定する比較判定部と、としての機能をコンピュータに発揮させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
このように本発明によれば、測定条件の異なるデータを比較可能にするとともに、初心者などの経験の浅い作業者であっても、フィッティングデータの初期値、具体的には分散式の初期値又は膜厚の初期値の設定を極めて簡単に行うこと及び解析モデルの設定の容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態に係る分光エリプソメータの全体模式図である。
【図２】同実施形態における情報処理装置の機能ブロック図である。
【図３】実測データの理解を図るため、Δ値、Ψ値をエネルギ（波長）を横軸にとって示したグラフである。
【図４】比較判定部による判定結果画面を示す図である。
【図５】その他の変形実施形態における検索設定画面を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の一実施形態を図面を参照して説明する。
【００２６】
本実施形態にかかる分光エリプソメータ１００は、試料の表面で光が反射する際の偏光状態の変化を観測して、その試料の特性である膜厚や光学定数（屈折率、消衰係数）等を測定するものである。
【００２７】
図１に本実施形態に係る分光エリプソメータ１００の全体概略を示す。この分光エリプソメータ１００は、例えば回転補償子の働きにより、高速でΨとΔを検出可能なものである。図１中、符号１は光源であり、ここでは例えばキセノンランプを用いている。符号２は偏光子、符号３は回転補償子、符号Ｓは分析対象となる試料、符号４は回転検光子、符号６は分光器、符号７は分光器６から出力されるデータを取り込んで処理する情報処理装置である。また、符号５１は光源１からの光を偏光子２に導くための光ファイバ、符号５２は回転検光子４を通過した光を導入して分光器６に導く光ファイバである。
【００２８】
しかして、この実施形態の情報処理装置７は、波長毎のΔ値及びΨ値、又はこれらΔ値及びΨ値から直接的に算出される値からなる実測データに対し、複数のパラメータによって定められるフィッティングデータを近似させ、当該近似フィッティングデータを定める前記パラメータの値から前記試料の特性を算出するものである。その機器構成は、ＣＰＵ、内部メモリ、入出力インタフェース、ＡＤ変換器等からなる汎用又は専用のコンピュータと、このコンピュータに接続されたディスプレイやキーボード、マウスなどの入力手段を備えたものである。そして、この実施形態では、前記内部メモリの所定領域に格納してあるプログラムに基づいてＣＰＵやその周辺機器等が作動することにより、図２に示すように、実測データ受付部７１、リファレンスデータ格納部Ｄ１、測定条件受付部７２、変換演算部７３、比較判定部７４、解析部７５等として機能する。
【００２９】
以下、各部７１〜７５、Ｄ１を詳細に説明する。
【００３０】
実測データ受付部７１は、分光器６から実測データを受け付けるものである。ここで実測データとは、試料に照射される入射光に対する反射光の波長毎のΔ値及びΨ値であり、その理解のために、この実測データを、波長（又はエネルギ）を横軸にしてグラフ化表示した例を図３に示しておく。なお、実測データとはこれらΔ値及びΨ値に限られず、これらから直接的に求めうる値、例えば疑似屈折率ｎ’、疑似消衰係数ｋ’や、Ｉｓ値、Ｉｃ値（光弾性変調器（ＰＥＭ）を用いた位相変調方式の場合、直接的に測定される。）、あるいはその元となるフレネル反射係数Ｒｐ、Ｒｓなどでも構わない。そして、実測データ受付部７１は、その実測データを比較判定部７４及び解析部７５に出力する。
【００３１】
リファレンスデータ格納部Ｄ１は、実測データとの比較の対象となるリファレンスデータを格納するものである。ここで、リファレンスデータとは、予め入力された基準リファレンスデータ（文献値）、分散式データ（分散式、誘電関数）、過去の実測データを解析した結果である解析結果データ（解析モデル）、スペクトルデータ（過去の実測データ及びこれに結び付けられた解析結果データ）、及びキャリキュレーションデータ（基準リファレンスデータ、実測データ又はスペクトルデータ等を加工したデータであり、例えば複数の実測データを合成したデータ（例えば１つの実測データの所定のエネルギ範囲（例えば１．５〜２ｅＶ）のΨ値及びΔ値と、別の実測データの所定のエネルギ範囲（例えば２〜５ｅｖ）のΨ値及びΔ値とを組み合わせたデータ。）、リファレンスデータを合成したデータ、実測データ及びリファレンスデータを合成したデータ、ノイズを除去したデータ、スペクトルデータやリファレンスデータ等の所定のエネルギ範囲を一部抽出したデータ（１．５〜５ｅＶのエネルギ範囲のデータから２〜４ｅＶの範囲を抽出したデータ。）又はユーザ自ら作成したデータ等である。）を含むものである。なお、リファレンスデータには、解析モデルが関連付けられていても良い。また、リファレンスデータ格納部Ｄ１は、前記データの少なくとも１つを含むものであっても良い。このとき、各リファレンスデータは、例えば入射角度等の測定条件の項目別に体系付けられて格納されている。また、各リファレンスデータは、予めオペレータが入力手段により格納するようにしても良いし、過去の解析時において得られた解析結果を格納するようにしても良い。また、リファレンスデータとしてスペクトルデータを用いて、実測データとスペクトルデータとを比較した場合、互いのスペクトルが同一又は類似している場合に解析モデルを用いることができるので、解析スピードを速くすることができる。
【００３２】
測定条件受付部７２は、例えばオペレータの入力操作により、前記分光器６からの実測データを求めた際の測定条件を示す測定条件データを受け付ける。ここで、測定条件とは、入射光の入射角度、波長の測定レンジ及びデータ点数（測定ピッチ）等の少なくとも１つを含むものであり、実測データを取得する際の条件である。そして、測定条件受付部７２は、その測定条件データを変換演算部７３に出力する。
【００３３】
変換演算部７３は、実測データを取得した測定条件に合わせてリファレンスデータを変換するものである。具体的に、変換演算部７３は、オペレータにより入力された測定条件データを取得して、さらに、リファレンスデータ格納部Ｄ１から、当該格納部に格納されているリファレンスデータの全てを取得して、その全てのリファレンスデータを、実測データを取得する測定条件と一致するように、変換する。
【００３４】
例えば、あるリファレンスデータが、入射角度６０度におけるデータである場合において、測定条件が入射角度７５度の場合には、そのリファレンスデータを入射角度７５度にした場合のデータとなるように変換する。
【００３５】
また、実測データとリファレンスデータとのデータ点数が異なる場合であっても、両データを比較可能とするため、リファレンスデータを例えばスプライン関数等の補完関数により近似曲線を生成する。そして、その近似曲線のデータ点数を測定条件におけるデータ点数に合わせる。これにより、平均二乗誤差（χ２）等を用いるフィッティング手法を用いることができる。
【００３６】
比較判定部７４は、変換演算部７３から複数の変換データを受け付けて、その複数の変換データと実測データとをそれぞれ比較する。このとき、最小二乗法等を用いて一致度を算出する。このとき、一致度は、０％〜１００％の間の数値で示される。また、最小二乗法を用いることなく、実測データ及びリファレンスデータのピーク数や、ピークの波長位置から一致度を判定することも考えられる。
【００３７】
また、比較判定部７４は、図４に示すように、一致度の大きい順に、変換データを並べ替えて、一致度とともにその識別子（例えば変換データの変換される前の元リファレンスデータのファイル名）を一致度結果としてディスプレイ上に表示する。そして、比較判定部７４は、オペレータにより選択されたリファレンスデータをフィッティングデータとして、解析部７５に出力する。なお、このとき、比較判定部７４は、一致度をパラメータとして、フィッティングデータを決定するようにしても良い。つまり、一致度が、最高値のリファレンスデータをフィッティングデータとしても良いし、例えば９５％以上のリファレンスデータをフィッティングデータとしても良いし、さらには、上位何個かのリファレンスデータをフィッティングデータとしても良い。なお、一致度が約１００％（ほぼ一致する）の場合には、そのリファレンスデータの値を測定値とする。
【００３８】
解析部７５は、実測データ受付部７１から実測データ及び比較判定部７４からフィッティングデータを受け付ける。そして、解析部７５は、フィッティングデータとして分散式データを用いた場合、前記フィッティングデータを定める複数のパラメータを逐次変化させたときのフィッティングデータをそれぞれ算出しながらフィッティングする。このときの算出式には、例えば所定のＤＳＰ（分散式）が用いられる。なお、解析部７５は、フィッティングデータとして基準リファレンスデータを用いた場合には、膜厚値のみを変化させながらフィッティングを行い、フィッティングデータとして解析結果データを用いた場合には、分散式の係数又は膜厚値を変化させながら、又は分散式の係数及び膜厚値を変化させながら行う。
【００３９】
＜本実施形態の動作＞
【００４０】
次に、本実施形態の分光エリプソメータ１００の動作について説明する。
【００４１】
まず、分光器６から実測データが情報処理装置７に送信されると、実測データ受付部７１が、この実測データを受信する。そして、その実測データを比較判定部７４及び解析部７５に送信する。
【００４２】
また、測定条件受付部７２は、入力手段から測定条件データを受信して、その測定条件データを変換演算部７３に出力する。そうすると、変換演算部７３は、リファレンスデータ格納部Ｄ１に格納されている全てのリファレンスデータをその測定条件に合わせて変換する。その後、変換演算部７３は、その変換データを比較判定部７４に送信する。
【００４３】
比較判定部７４は、実測データ及び変換データの一致度を算出し、その一致度の大きい順に並べ替えて、ディスプレイ上にその識別子を表示する。
【００４４】
そして、比較判定部７４は、ディスプレイ上に表示に表示された識別子のうち、オペレータにより選択された変換データをフィッティングデータとして、解析部７５に送信する。そして、実測データ及びフィッティングデータを受信した解析部７５は、フィッティングデータのパラメータを逐次変更しながらフィッティングする。
【００４５】
＜本実施形態の効果＞
【００４６】
したがって、このように構成した本実施形態による分光エリプソメータ１００によれば、実測データの測定条件に合わせて、リファレンスデータを変換しているので、測定条件に関係なく、実測データとリファレンスデータとを比較することができるようになる。また、測定条件に合わせて変換したリファレンスデータを自動で実測データを比較し、フィッティングデータを決定しているので、経験の浅い初心者などの作業者であっても、簡単にフィッティングデータの初期値、具体的には分散式の初期値又は膜厚の初期値の設定を行うことができる。同時に、解析モデルの設定の容易にすることができる。従って、ユーザにとって使い勝手の良い分光エリプソメータ１００を提供することができる。
【００４７】
＜その他の変形実施形態＞
【００４８】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
【００４９】
例えば、前記実施形態の変換演算部は、リファレンスデータ格納部に格納されているリファレンスデータ全てを変換演算するようにしているが、リファレンスデータの一部を変換演算するものであっても良い。この場合、例えば、図５の検索設定画面に示すように、オペレータにより、変換演算するリファレンスデータを選択できるようにすることが考えられる。図５においては、検索対象として、「スペクトルデータ（ｓｐｅｃｔｒｅ）」、「文献値（ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ）」、「分散式（ｄｉｓｐｅｒｔｉｏｎ）」、「キャリキュレーションデータ（ｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎ  ｄａｔａ）」、「全てのデータ（ａｌｌ  ｄａｔａ）」を選択可能にしている。なお、このとき、入射光（照射光）の単位として、エネルギ（ｅＶ）又は波長（ｎｍ）等の選択を可能としている。さらに、検索条件として、「入射角度シミュレーション（ＡＯＩ  ｓｉｍｕｌａｔｅｄ）」、「レンジ制限（Ｒａｎｇｅ  ｌｉｍｉｔｅｄ）」、「レンジシミュレーション（Ｒａｎｇｅ  ｓｉｍｕｌａｔｅｄ）」、「条件選択（Ψ値及びΔ値、疑似屈折率ｎ及び疑似消衰係数ｋ、又はＩｓ値及びＩｃ値の選択）」、「入射角度選択（６０度、７０度、７５度、又は任意入力などの選択）」、「形状のみ（ｏｎｌｙ  ｐａｔｔｅｒｎ）」を選択可能にしている。このとき、「形状のみ（ｏｎｌｙ  ｐａｔｔｅｒｎ）」の選択を可能にしているのは、厚み又は誘電率の違いによって振幅数やベースが異なるためである。
【００５０】
また、「形状のみ（ｏｎｌｙ  ｐａｔｔｅｒｎ）を選択して検索を行う場合、変換演算部が、検索されたリファレンスデータを実測データに合わせてベースライン補正を行い、比較判定部が、補正されたリファレンスデータにより表されるグラフ形状と、実測データにより表されるグラフ形状を比較することが望ましい。
【００５１】
また、リファレンスデータをグループ分けしてリファレンスデータ格納部に格納するようにしても良い。このとき、所定の試料を測定する際に頻繁に用いられるデータをグループすることや、類似する条件に関するリファレンスデータをグループ化することが考えられる。そして、複数のグループの中から、測定条件などに基づいて選択されたグループのみを変換するようにしても良い。
【００５２】
さらに、リファレンスデータ格納部内に格納されている分散式データには、物質名を対応させて格納し、物質名により、当該分散式データを検索可能にしても良い。
【００５３】
加えて、検索された情報は、フィッティングデータ（初期値）とされたリファレンスデータにリンクし、リファレンスデータから検索された情報を呼び出すことができるようにしても良い。
【００５４】
その上、解析部により得られた解析結果データ（例えば分散式データ）を用いて、リファレンスデータ格納部内のリファレンスデータを検索する検索部と、当該検索部により検索された既知の物質により得られるリファレンスデータにより示される屈折率、波形形状、パラメータ等、及び前記解析結果データにより示される屈折率、波形形状、パラメータ等を比較して、解析結果が妥当か否かを判断する判断部と、をさらに備えるようにしても良い。このようなものであれば、解析結果が正しいか否か（解析結果の妥当性）を自動で判断することができ、オペレータが判断することによる誤りを防止することができる。なお、判断部を備えることなく、検索部により検索されたリファレンスデータと、解析結果データをディスプレイ上に表示するようにしても良い。
【００５５】
測定条件受付部は、測定条件データを分光器などから受信するようにしても良い。
【００５６】
また、前記実施形態の変換演算部は、実測データを取得した測定条件に合わせてリファレンスデータを変換するものであったが、リファレンスデータを取得した条件に合わせて実測データを変換しても良い。このとき、比較判定部は、リファレンスデータと、変換された実測データと比較して、一致度を算出する。その他、変換演算部は、実測データ及びリファレンスデータを共通する１つの条件に合わせて変換しても良い。このとき、比較判定部は、変換されたリファレンスデータと、変換された実測データを比較して、一致度を算出する。すなわち、変換演算部は、同一条件で実測データ及びリファレンスデータを比較できるように変換すれば良く、つまり、変換演算部は、実測データ及びリファレンスデータが、同一条件となるように変換すればよい。
【００５７】
また、前記実施形態では、解析モデルが解析結果データ及びスペクトルデータに関連付けられているが、その他の基準リファレンスデータ、キャリキュレーションデータ等の種々のリファレンスデータに関連付けられるものであっても良い。
【００５８】
さらに、分光エリプソメータが、リファレンスデータに関連付けられた解析モデルを用いて試料のモデルを予め定めて、その後フィッティングして測定するようにしても良い。このようなものであれば、経験の浅い初心者などの作業者であっても、解析モデルの設定の容易にすることができる。
【００５９】
また、前記実施形態のリファレンスデータと試料のモデルとを組み合わせたデータを新たなリファレンスデータとしても良い。
【００６０】
その他、前述した実施形態や変形実施形態の一部又は全部を適宜組み合わせてよいし、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００６１】
Ｓ    ・・・試料
１００・・・分光エリプソメータ
Ｄ１  ・・・リファレンスデータ格納部
７３  ・・・変換演算部
７４  ・・・比較判定部
【図１】
0005461020.tif 000003
【図２】
0005461020.tif 000004
【図３】
0005461020.tif 000005
【図４】
0005461020.tif 000006
【図５】
0005461020.tif 000007