(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に物品が載置される載置部が左右上下に複数設けられた棚と、
前記物品の上部を保持して前記物品を移載する移載装置とを備えており、
前記移載装置は、
最上段の載置部の支持面近傍にある上端を有する鉛直レールと、前記鉛直レールに沿って昇降可能な部材であって前記最上段の載置部に載置される物品の上部を保持可能な長さを有する鉛直アームを有しているハンド部材とを有しており、
前記鉛直レールの上端は前記最上段の載置部の支持面以下にあり、
前記鉛直アームは、上下方向に並んだ一対の載置部同士の上下方向間隔より長く、
前記棚に取り外し可能に設けられた上側の四隅の支柱と、前記棚に設けられた第１カバーと、前記支柱に対応して設けられると共に前記最上段の載置部に載置される物品の周囲を覆って前記棚に取り外し可能に設けられた第２カバーとをさらに備え、
前記第２カバーの上端は、前記最上段の載置部に置かれる物品の上面以上の位置にある、
自動倉庫。
【請求項２】
前記鉛直アームは、上下方向に１つの載置部を挟んで並んだ一対の載置部同士の上下方向間隔より短い、請求項１に記載の自動倉庫。
【請求項３】
前記ハンド部材は、前記鉛直アームの上端部に設けられた物品保持部をさらに有している、請求項１に記載の自動倉庫。
【請求項４】
前記ハンド部材は、前記鉛直アームの上端部に設けられた物品保持部をさらに有している、請求項２に記載の自動倉庫。
【請求項５】
前記棚の下部に取り外し可能に設けられた車輪をさらに備えている、請求項１に記載の自動倉庫。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動倉庫、特に、処理装置の近傍で物品を保管する自動倉庫に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や液晶の製造工場では、シリコンウェハやガラスプレート等の基板上に薄膜形成、酸化、エッチング等の種々の処理構成を経て、基板上に半導体デバイスや液晶デバイスが形成される。この種の処理装置の間では、カセットに基板が収納されて基板はカセット単位で天井搬送車により搬送される。処理装置と天井搬送車との間でのカセットの受け渡し場所には、天井搬送車と処理装置との間の処理時間を調整するために装置前自動倉庫と呼ばれるバッファが設けられている（例えば、特許文献１参照）。【０００３】
従来の装置前自動倉庫は、上下に間隔を隔てて配置されたカセット保管用の複数の固定棚と、各固定棚の間で物品を受け渡し可能な移載装置と、を備えている。固定棚は上下に間隔を隔てて配置されており、最上段の固定棚が天井搬送車とのカセット受け渡し場所になっている。そして、最下段の固定棚の下方に処理装置とのカセット受け渡しポートが配置されている。この受け渡しポートに載置されたカセットから、処理装置が基板を取り出して処理する。【０００４】
移載装置は、固定棚の処理装置側と反対側に面して配置され、各固定棚間および各固定棚と受け渡しポートとの間でカセットを移載する。このような装置前自動倉庫を設けることにより、処理装置や搬送装置のトラブルによりカセットの供給又は搬出が滞っても、システムダウンすることなく連続してカセットを搬入および搬出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２９８０６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載のような自動倉庫を運搬する際には、例えば空輸において装置高さが制限される。そこで、従来は、自動倉庫を上下に分割して、それぞれを運搬していた。しかし、この場合は自動倉庫の分解および組み立てに手間がかかり、さらには組み立て後には分解前と比較して移載装置の移載ヘッダの移載位置にずれが生じる可能性がある。移載位置にずれが生じた場合には、現地での移載位置再ティーチング作業が必要になる。
本発明の目的は、自動倉庫の運搬に伴う不具合を低減することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組合せることができる。
本発明の一見地に係る自動倉庫は、棚と、移載装置とを備えている。棚は、上面に物品が載置される載置部が左右上下に複数設けられている。移載装置は、物品の上部を保持して物品を移載する。移載装置は、鉛直レールと、ハンド部材とを有している。鉛直レールの上端は、最上段の載置部の近傍にある。ハンド部材は、鉛直レールに沿って昇降可能な部材である。ハンド部材は、最上段の載置部に載置される物品の上部を保持可能な長さを有する鉛直アームを有している。
この自動倉庫では、鉛直レール上端の高さを最上段の載置部の支持面以下にしており、つまり鉛直レールが最上段の載置部の支持面から上方に大きく突出していない。したがって、自動倉庫の高さを低くできる。この結果、ハンド部材を装着したままで、自動倉庫を運搬する際の高さを十分に低くできる。また、使用時には、ハンド部材によって最上段の載置部に載置された物品の上部をつかむことができる。
なお、鉛直レールの「上端」とは、最も高い位置にある部分をいう。【０００８】
鉛直レールの上端は最上段の載置部の支持面以下でもよい。
この自動倉庫では、鉛直レール上端の高さを最上段の載置部の支持面以下にしており、つまり鉛直レールが最上段の載置部の支持面から上方に突出していない。したがって、自動倉庫の高さを低くできる。具体的には、ハンド部材を下方に下げることで、最上段の載置部の支持面を最上部とすることができる。この結果、ハンド部材を装着したままで、自動倉庫を運搬する際の高さを十分に低くできる。また、使用時には、ハンド部材によって最上段の載置部に載置された物品の上部をつかむことができる。【０００９】
鉛直アームは、上下方向に並んだ一対の載置部同士の上下方向間隔より長くてもよい。【００１０】
鉛直アームは、上下方向に１つの載置部を挟んで並んだ一対の載置部同士の上下方向間隔より短くてもよい。【００１１】
ハンド部材は、鉛直アームの上端部に設けられた物品保持部をさらに有していてもよい。この場合、ハンド部材において物品保持部よりさらに上方に延びる部分がない。したがって、鉛直アームの上下方向長さが特別に長くならない。【００１２】
自動倉庫は、棚に取り外し可能に設けられた四隅の支柱と、支柱に対応しており棚に取り外し可能に設けられたカバーをさらに備えていてもよい。この場合、運搬時にはカバーを取り外すことができる。
【００１３】
カバーは、最上段の載置部に載置される物品の周囲を覆っていてもよい。この場合カバーを取り外すことで、運搬時の自動倉庫の高さを低くできる。【００１４】
カバーの上端は、最上段の載置部に置かれる物品の最上面以上の位置にあってもよい。この場合、使用時にはカバーの上端が自動倉庫の最も高い部分になる。【００１５】
カバーの下端は、最上段の載置部の支持面の近傍にあってもよい。この場合、カバーを取り除くと、最上段の載置部の支持面付近が自動倉庫の最も高い部分になる。【００１６】
カバーは、複数の分割カバーを有していてもよい。この場合、カバーの取り外しおよび取付が容易である。【００１７】
棚の下部に取り外し可能に設けられた車輪をさらに備えていてもよい。この場合、車輪を外すことで運搬時の自動倉庫の高さをさらに低くできる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る自動倉庫では、運搬時に高さを低くできる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態としての自動倉庫の斜視図。
【図２】外壁パネルを除いた自動倉庫の正面図。
【図３】自動倉庫の側面断面図。
【図４】移載装置の正面拡大図。
【図５】自動倉庫の側面断面図。
【図６】輸送用にカバーやフレームを装置本体から外した状態を示す斜視図。
【図７】輸送時の装置本体の斜視図。
【図８】自動倉庫の側面断面図。
【図９】自動倉庫の制御系のブロック図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（１）自動倉庫の全体構成
図１および図２を用いて、本発明の一実施形態による自動倉庫１０を説明する。図１は、本発明の一実施形態としての自動倉庫の斜視図である。図２は、外壁パネルを除いた自動倉庫の正面図である。
【００２１】
自動倉庫１０は、例えば、半導体処理装置１２の前に近接して配置される装置前自動倉庫であり、天井搬送車(図示せず）と半導体処理装置１２との間のバッファとして機能する。自動倉庫１０は、処理前または処理後の複数枚の基板を収納するカセットＣを保管する。
半導体処理装置１２は、カセットＣを開けて、内部に収納された円形の基板に処理を施し、処理済みの基板をカセットＣに収納する。半導体処理装置１２の外周には、受け渡しポート１４が設けられている。受け渡しポート１４は、例えば、４個のカセット載置台１４ａを有している。受け渡しポート１４は、自動倉庫１０の装置本体内部に入り込むように配置されている。
【００２２】
自動倉庫１０は、フレーム２０と、フレーム２０の外側面を囲むように配置された外壁パネル２２と、固定棚２４と、スライド棚２５と、移載装置２６と、を備えている。スライド棚２５は、作業者が人手によりカセットＣを自動倉庫１０に搬入および搬出するために使用される。移載装置２６は、図９に示す倉庫制御部１００により制御される。移載装置２６は、カセットＣを、複数の固定棚２４と、スライド棚２５と、複数のカセット載置台１４ａとの間で搬送する。
【００２３】
（２）フレームおよび外壁パネルの構成
フレーム２０は、図２に示すように、例えば、四隅に配置された４本の柱部材２０ａと、柱部材２０ａを前後左右に連結する連結部材２０ｂと、を有している。なお、左右をつなぐ連結部材２０ｂは、主に半導体処理装置１２側の背面に配置されており、正面には配置されていない。
【００２４】
柱部材２０ａは、下部の第１部分２０Ａと、上部の第２部分２０Ｂとから構成されている。前述の連結部材２０ｂは、第１部分２０Ａの上端部を互いに連結している。第２部分２０Ｂは、図６に示すように、第１部分２０Ａから取り外し可能である。
【００２５】
外壁パネル２２は、自動倉庫１０の正面および左右の側面を覆うとともに、背面の上部を覆うように形成されている。外壁パネル２２の正面の下部には、スライド棚２５及びそれに載置されるカセットＣを通過させるための開口が形成されている。
【００２６】
外壁パネル２２は、装置本体１０ａの下側半分を覆う第１カバー２２Ａと、装置本体１０ａの上側半分を覆う第２カバー２２Ｂとを有している。第２カバー２２Ｂは、柱部材２０ａの第２部分２０Ｂ全体および第１部分２０Ａの上側部分に対応している。第２カバー２２Ｂは、最上段の固定棚２４にカセットＣが載置されているときには、載置されたカセットＣの周囲を囲んでおり、その高さは前述のカセットＣより高くなっている。つまり、第２カバー２２Ｂの上端２７は、最上段の固定棚２４に置かれるカセットＣの上面２９以上の位置にある。したがって、自動倉庫１０の使用時には、第２カバー２２Ｂの上端２７が自動倉庫１０の最も高い部分になる。一方、第２カバー２２Ｂの下端２８は、最上段の固定棚２４の支持面２４ａの近傍、具体的には支持面２４ａ以下の位置にある。したがって、第２カバー２２Ｂを取り外すと、最上段の固定棚２４の支持面２４ａが自動倉庫１０の最も高い部分になる。
【００２７】
第２カバー２２Ｂは、さらに、図６に示すように、前面および両側面を構成する前側カバー２２Ｃと後面を構成する後側カバー２２Ｄに分割可能であり、そのため、第２カバー２２Ｂの取り外しおよび取付が容易になっている。
【００２８】
フレーム２０下部には、車輪９０が固定されている。車輪９０は、フレーム２０から取り外し可能である。
【００２９】
（３）固定棚の構成
図２に示すように、固定棚２４は、上下方向および左右方向に配置されている。この実施形態では、左右に４列、上下に３段の合計１２個設けられている。最上段の固定棚２４は、天井搬送車（図示せず）とのカセットＣの受け渡しに使用される。固定棚２４は、フレーム２０の左右の連結部材２０ｂに固定されている。固定棚２４は、受け渡しポート１４の上方に所定のスペースを空けて配置されている。
固定棚２４には、カセットＣを識別するカセット読み取り器（図示せず）が設けられている。固定棚２４の支持面２４ａには、カセットＣを位置決めする位置決め機構（図示せず）が設けられている。
【００３０】
左右方向において、固定棚２４の間には、移載装置２６が上下に通過可能な鉛直通路３０ａが設けられている。この実施形態では、固定棚２４は、左右方向において、固定棚２４，鉛直通路３０ａ，固定棚２４，固定棚２４、鉛直通路３０ａ，固定棚２４の順に並んでおり、すべての固定棚２４が鉛直通路３０ａに面している。これにより、移載装置２６がすべての固定棚２４および受け渡しポート１４との間でカセットＣを移載できる。
最下段の固定棚２４と受け渡しポート１４との間は、水平通路３０ｂとなっている。
【００３１】
（４）移載装置の構成
図２〜図４を用いて、移載装置２６を説明する。図３は、自動倉庫の側面断面図である。図４は、移載装置の正面拡大図である。
【００３２】
移載装置２６は、左右方向に沿った水平軸および鉛直軸の二軸を有する装置であり、カセットＣを保持可能である。移載装置２６は、主に、水平レール３２と、水平レール３２に沿って移動する鉛直レール３４と、鉛直レール３４に沿って各別に移動する移載ヘッド３６とから構成されている。水平レール３２は、固定棚２４の正面側に固定棚２４と隙間を空けて水平方向に配置されている。
【００３３】
図２に示すように、水平レール３２は、左右方向に沿って配置されている。水平レール３２は、図４に示すように、上レール部材４０ａおよび下レール部材４０ｂと、水平駆動モータ４４と、上駆動プーリ４６ａおよび下駆動プーリ４６ｂと、上従動プーリ４８ａおよび下従動プーリ４８ｂと、上歯付きベルト５０ａおよび下歯付きベルト５０ｂと、を有している。水平駆動モータ４４は、鉛直レール３４を水平方向に駆動するため装置である。上レール部材４０ａおよび下レール部材４０ｂは、両端部で上下方向に配置された接続部材４１によりつながれている。
【００３４】
水平駆動モータ４４は、上レール部材４０ａの図４左端（図２右端）に固定された減速機付きのモータであり、９０度曲げて回転を出力可能である。水平駆動モータ４４の出力は、上駆動プーリ４６ａに伝達され、かつ連結軸５４を介して下駆動プーリ４６ｂに伝達される。上駆動プーリ４６ａおよび下駆動プーリ４６ｂは、上レール部材４０ａおよび下レール部材４０ｂの図２右端（図４左端）に配置されている。上従動プーリ４８ａおよび下従動プーリ４８ｂは、上レール部材４０ａおよび下レール部材４０ｂの図２左端（図４右端）に配置されている。上歯付きベルト５０ａは、上駆動プーリ４６ａと上従動プーリ４８ａに巻回されている。上歯付きベルト５０ａには、上レール部材４０ａに水平方向に案内される上スライダ５２ａが固定されている。下歯付きベルト５０ｂには、下レール部材４０ｂに水平方向に案内される下スライダ５２ｂが固定されている。上スライダ５２ａおよび下スライダ５２ｂに鉛直レール３４が固定されている。
【００３５】
鉛直レール３４は、図４に示すように、鉛直レール部材６０と、移載ヘッド３６を鉛直方向に駆動するための鉛直駆動モータ６４と、駆動プーリ６６と、従動プーリ６８と、歯付きベルト７０と、を有している。これらの構造は、水平レール３２の上レール部材４０ａと同様である。移載ヘッド３６は、歯付きベルト７０に固定されたスライダ７２に固定されている。
【００３６】
移載ヘッド３６は、鉛直アーム３６ａと、鉛直アーム３６ａの上端部３６ｄに設けられた物品保持部３６ｂを有している。鉛直アーム３６ａは、上下方向に長く延びており、鉛直レール３４に沿って配置されている。物品保持部３６ｂは、図３に示すように、カセットＣの上面に突出して形成されたフランジＣ１を保持可能な一対の部材である。一対の物品保持部３６ｂは、左右方向（図３紙面直交方向）に開閉可能に配置されている。また、移載ヘッド３６のカセットＣに対向可能な位置には、カセットＣを識別するためのカセット識別センサ３６ｃが設けられている。移載ヘッド３６は、さらに、物品保持部３６ｂを開閉するヘッドモータ１０４（図９）を有している。移載ヘッド３６は、固定棚２４に対してカセットＣを搬入する時および固定棚２４からカセットＣを搬出する時には、物品保持部３６ｂを開閉してフランジＣ１を保持解除および保持する。移載ヘッド３６は、水平レール３２および鉛直レール３４に案内されて、２つの鉛直通路３０ａおよび水平通路３０ｂを移動する。
スライダ７２は、鉛直アーム３６ａの下端部に装着されている。
なお、移載ヘッドの物品保持部の構造は上記開閉式に限定されない。例えば、物品保持部は側方から移動してカセットのフランジをすくい上げる構造でもよい。
【００３７】
鉛直レール３４の上端３４ａは、最上段の固定棚２４の支持面２４ａより低くなっている。より具体的には、鉛直レール３４の最上面の上下方向位置は、最上段の固定棚２４の支持面２４ａの上下方向位置よりわずかに低くなっている。
一方、移載ヘッド３６の鉛直アーム３６ａは、最上段の固定棚２４に載置されるカセットＣのフランジＣ１を保持可能な長さを有している。具体的には、鉛直アーム３６ａは、鉛直レール３４の最上位位置から最上段の固定棚２４に載置されるカセットＣのフランジＣ１までの距離より長い。鉛直アーム３６ａの長さは、上下方向に並んだ一対の固定棚２４同士の上下方向間隔より長くて、しかも最上段の固定棚２４と最下段の固定棚２４同士の上下方向間隔より短い。
以上の構造により、図４に示すように、移載ヘッド３６は、鉛直レール３４に対して最も高い位置まで移動して、最上段の固定棚２４に載置されるカセットＣのフランジＣ１を保持可能である。さらに、図５に示すように、移載ヘッド３６は、鉛直レール３４に対して最も低い位置まで移動して、受け渡しポート１４に載置されるカセットＣのフランジＣ１を保持可能である。
【００３８】
物品保持部３６ｂは、鉛直アーム３６ａの上端部３６ｄに設けられており、そのために、移載ヘッド３６において物品保持部３６ｂよりさらに上方に延びる部分がない。したがって、鉛直アーム３６ａの上下方向長さが特別に長くならない。
【００３９】
鉛直レール３４の最上部は、最上段の固定棚２４に近接しているので、鉛直アーム３６ａの上下方向長さを特別に長くしなくても、物品保持部３６ｂが最上段の固定棚２４に載置されたカセットＣを保持することができる。
【００４０】
（５）制御系の構成
倉庫制御部１００は、例えば、マイクロコンピュータを有するものである。倉庫制御部１００は、ソフトウェアにより、移載装置２６の水平駆動モータ４４、鉛直駆動モータ６４およびヘッドモータ１０４を制御する。また、倉庫制御部１００には、水平駆動モータ４４と、鉛直駆動モータ６４と、ヘッドモータ１０４と、他の入出力部１０６と、が接続されている。他の入出力部１０６とは、カセット識別センサ３６ｃ等のその他のセンサおよび半導体処理装置１２等の外部装置とのデータの入出力を行う機器である。
【００４１】
（６）自動倉庫の動作
このように構成された自動倉庫１０では、天井搬送車（図示せず）がカセットＣを最上段の固定棚２４のいずれかに搬入する。次に、移載装置２６が、搬入されたカセットＣを、搬入された最上段の固定棚２４が面する鉛直通路３０ａから下方の２列の２段の固定棚２４のいずれかに移載する。また、移載命令によっては、移載装置２６は、受け渡しポート１４のカセット載置台１４ａ又はスライド棚２５にカセットＣを直接移載する。
以上の移載動作時には、最初に、移載ヘッド３６が、物品保持部３６ｂを開けた状態で移載対象のカセットＣの中心の上方に移動する。具体的には、移載ヘッド３６は、移載対象のカセットＣが面する鉛直通路３０ａに移動して、鉛直レール３４に沿って上昇する。そしてカセットＣの上方に到達すると、移載ヘッド３６は、水平レール３２に沿って水平にカセットＣの中心に移動する。次に、移載ヘッド３６は下降して、最後に物品保持部３６ｂを閉じてフランジＣ１を保持する。これによりフランジＣ１が保持され、カセットＣを移載することができる。
上記の動作において、移載ヘッド３６の鉛直アーム３６ａは、上下移動する際には、鉛直レール３４に沿って移動する。
鉛直アーム３６ａは、図３に示すように、最上面の固定棚２４ａに載置されたカセットＣを保持する場合は、鉛直レール３４の最も高い位置に支持されて、鉛直アーム３６ａの上半分および物品保持部３６ｂが鉛直アーム３６ａの上端面より高い位置に延びている。また、このとき、スライダ７２は、鉛直アーム３６ａによって支持可能な部分の最も高い位置付近にある。
鉛直アーム３６ａは、図５に示すように、カセット載置台１４ａに載置されたカセットＣを保持する場合は、鉛直レール３６ａの最も低い位置に支持されて、鉛直アーム３６ａの下半分がカセット載置台１４ａより低い位置に延びている。また、このとき、スライダ７２は、鉛直アーム３６ａによって支持可能な部分の最も低い位置付近にある。
【００４２】
（７）輸送時の分解作業
自動倉庫１０を運搬する際には、図６に示すように、第２カバー２２Ｂの前側カバー２２Ｃおよび後側カバー２２Ｄを装置本体１０ａから取り外し、さらに柱部材２０ａの第２部分２０Ｂを装置本体１０ａから取り外す。図７および図８は、上記部材が取り外された後の自動倉庫１０の装置本体を示す。図７は、輸送時の装置本体の斜視図である。図８は、自動倉庫の側面断面図である。
【００４３】
この自動倉庫１０では、鉛直レール３４の上端３４ａが最上段の固定棚２４の支持面２４ａの近傍に、具体的には支持面２４ａ以下になっているので、鉛直レール３４が最上段の固定棚２４の支持面２４ａから上方にわずかにしかまたは全く突出していない。さらに、運搬時には、図８に示すように、移載ヘッド３６が最上位位置から下方に下げられており、その結果、移載ヘッド３６は最上段の固定棚２４の支持面２４ａより下方に配置されている。このため、輸送時における自動倉庫１０の装置本体１０ａ最も高い部分は、最上段の固定棚２４の支持面２４ａになっている。以上より、移載装置２６の鉛直レール３４および移載ヘッド３６を装着したままで、運搬時における自動倉庫１０の高さを低くできる。
【００４４】
さらに、車輪９０を装置本体１０ａから取り外すことで、輸送時の自動倉庫１０の高さをさらに低くできる。
【００４５】
以上に述べたように運搬時に移載装置２６を分解しないので、運搬後に現地で移載装置２６に対して移載位置再ティーチングを行う必要がない。
また、上述の実施形態では、装置全体を上下に分割してから運搬する自動倉庫に比べると、分解の作業が少なくなり、また現地での組み立て作業も少なくなる。また、上述の実施形態では、現地での作業において天井クレーン等の特別な設備が不要になる。
【００４６】
（８）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態および変形例は必要に応じて任意に組合せ可能である。
【００４７】
移載装置においてカセットを保持する構造は前記実施形態に限定されない。例えば、保持部はフック形状であって横方向からカセットの突起部に係合してもよい。
外壁パネルを構成するカバーの構造は前記実施形態に限定されない。例えば、カバーは棚の上面を覆っていてもよい。その場合、カセットは自動倉庫の前面から搬入されることになる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明は、自動倉庫、特に、処理装置の近傍で物品を保管する自動倉庫に広く適用できる。
【符号の説明】
【００４９】
１０      自動倉庫
１０ａ    装置本体（棚）
１２      半導体処理装置
１４      受け渡しポート
１４ａ    カセット載置台
２０      フレーム
２０ａ    柱部材
２０ｂ    連結部材
２０Ａ    第１部分
２０Ｂ    第２部分
２２      外壁パネル
２２Ａ    第１カバー
２２Ｂ    第２カバー
２２Ｃ    前側カバー
２２Ｄ    後側カバー
２４      固定棚（載置部）
２４ａ    支持面
２５      スライド棚
２６      移載装置
２７      上端
２８      下端
２９      上面
３０ａ    鉛直通路
３０ｂ    水平通路
３２      水平レール
３４      鉛直レール
３４ａ    上面
３６      移載ヘッド（ハンド部材）
３６ａ    鉛直アーム
３６ｂ    物品保持部
３６ｃ    カセット識別センサ
３６ｄ    上端部
４０ａ    上レール部材
４０ｂ    下レール部材
４１      接続部材
４４      水平駆動モータ
４６ａ    上駆動プーリ
４６ｂ    下駆動プーリ
４８ａ    上従動プーリ
４８ｂ    下従動プーリ
５０ａ    上歯付きベルト
５０ｂ    下歯付きベルト
５２ａ    上スライダ
５２ｂ    下スライダ
５４      連結軸
６０      鉛直レール部材
６４      鉛直駆動モータ
６６      駆動プーリ
６８      従動プーリ
７０      歯付きベルト
７２      スライダ
９０      車輪
１００    倉庫制御部
１０４    ヘッドモータ
１０６    他の入出力部
Ｃ        カセット
Ｃ１      突起部
【図１】
0005590118.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0005590118.tif 000007
【図７】
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【図８】
0005590118.tif 000009
【図９】
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