(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
銅板をハーフエッチング加工して形成された空間部のエッチング開始側の上端周縁は、前記空間部の側面に形成された１０〜３０μｍの窪み深さに対応する張り出し長さの庇状の突出部を有し、エッチング開始側の前記銅板表面にめっき層を有することを特徴とする半導体素子搭載用リードフレーム。
【請求項２】
前記空間部のエッチング開始側の前記めっき層周縁に前記銅板表面が幅５〜３０μｍの大きさで露出していることを特徴とする請求項１に記載の半導体素子搭載用リードフレーム。
【請求項３】
厚さ１００〜２００μｍの銅板の表裏面に所定形状のめっき層を形成し、表面側には前記形成しためっき層を覆うレジストマスクを形成し、裏面側には銅板の全面を覆うレジストマスクを形成し、前記表面側よりエッチング抑制剤として銅と親和性のある窒素を含んだ有機化合物を含有するエッチング液を用いてハーフエッチング加工を行い、前記銅板の深さ方向に銅板を貫通しないように５０〜１００μｍ溶解除去して空間部を形成するとともに、前記空間部の側面には深さ１０〜３０μｍの窪みを形成し前記空間部の上端周縁にこの窪み深さに対応する張り出し長さの庇状の突出部が形成されるようにしたことを特徴とする半導体素子搭載用リードフレームの製造方法。
【請求項４】
前記空間部のエッチング開始側の前記めっき層周縁に前記銅板表面が幅５〜３０μｍの大きさで露出されるようにしたことを特徴とする請求項３に記載の半導体素子搭載用リードフレームの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハーフエッチング面と封止樹脂の密着強度を高めることを可能とする半導体素子搭載用リードフレームの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯機器向けを中心として、半導体装置（パッケージ）の小型化が進んでいる。このため様々なＣＳＰ（Ｃｈｉｐ  Ｓｃａｌｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）が上市されているが、特許文献１に記載された半導体装置は、これらの中でも、構成が単純で低コスト化が可能であり、また多ピン化も可能であることから、ＦＰＢＧＡ（Ｆｉｎｅ  Ｐｉｔｃｈ  Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）の代替として期待されている。
【０００３】
特許文献１に記載された半導体装置の製造方法は、金属材料として主にリードフレーム用の銅材を用い、一方の面（表面側）のワイヤボンディング部、および他方の面（裏面側）の半導体素子搭載部の反対面およびワイヤボンディング部の反対面に相当する外部接続端子面の部分にめっきを施す。その後、裏面側の全面にレジストによるマスクを形成し、表面側は、形成しためっきをエッチング用マスクとして使用し、前記銅材に表面側から所定の深さとなるハーフエッチングを施し、半導体素子搭載用リードフレームを完成する。（図２参照）
【０００４】
そして半導体素子２１を搭載し、ボンディングワイヤ２２にて半導体素子２１の電極とリードフレームのワイヤボンディング部を接続後、半導体素子２１およびボンディングワイヤ２２等をエポキシ樹脂２３などで封止する。（図４参照）
次に外部接続端子面として形成しためっきをエッチング用マスクとして前記銅材をエッチングし、半導体素子搭載部および外部接続端子部を各々電気的に独立させ、最後にパッケージの大きさに切断し個々のパッケージを完成する。
【０００５】
これによれば、樹脂封止まではそれぞれの端子部（ワイヤボンディング部と外部接続端子部）がハーフエッチングの残部でつながっており、樹脂封止後に前記ハーフエッチングの残部をエッチング加工で除去するため、それぞれの外部接続端子を外形フレームとつなげておく必要がなく、そのため従来のリードフレームのような支え部が必要なく、設計の自由度が増し、例えば外部接続端子を２列以上に並べることも可能であり、小型のパッケージサイズで多ピン化が可能となる。
【０００６】
同様の技術として特許文献２では、表裏面に同じめっきを形成する場合、ボンディングを考慮してＡｕめっきなどの貴金属めっきを裏面側にも形成することになりコスト高となることやエッチング加工により金属面（銅面）が露出し、酸化する問題から、外部接続端子面である裏面側には安価な半田めっきを形成し、形成した半田めっきを溶融することで露出している金属面を覆う技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−２４１３５号公報
【特許文献２】特開２００９−１６４２３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１や特許文献２に記載された半導体装置は、外部接続端子と封止樹脂との接続強度が弱いという問題点がある。これは、この半導体装置の製造方法が金属板１０の片面からハーフエッチングを行い、そのハーフエッチング面が封止樹脂２３との接続面を形成するために、封止樹脂２３内の端子部形状が台形になってしまい抜け止めが形成できないためである。そのため携帯電話など取り扱い時の衝撃でパッケージに応力が加わる製品に適用する場合には、強度的な問題から信頼性が十分でない場合がある。
【０００９】
つまり図１（１）、（２）に示すように、ハーフエッチング面が側面となる端子部４に、庇となる金属板１０の表面側の窪み深さ３による張り出しが長いほど、封止樹脂からの抜け止めの効果が高くなることから、樹脂２３と端子部４の密着強度が増すように端子部４の窪み深さ３による庇の張り出し長さを大きくすることが望ましい。
【００１０】
しかし、図２に示すように、ハーフエッチングを行なう従来のエッチング加工では、エッチング量を多くすることで、端子部４に庇を形成することは可能であるが、特許文献１に記載された半導体装置は、ハーフエッチングの深さ２は通常１００μｍ程度までであり、この量を超えてエッチング量を多くする（深くハーフエッチングする）ことができず、そのときの庇が形成される大きさは５μｍ程度が限界である。またエッチング量を多くすると、エッチング中にエッチングマスクであるレジストやワイヤボンディング部に形成しためっき１１の下にある金属板１０の部分がエッチングされ、レジストやめっきの一部が折れ、形状不良の原因となることや、バリ不良となることがあり、半導体装置の信頼性を落とす要因となる。
さらに、エッチング時に、フォトレジストの開口幅を狭くすることで、相対的にエッチング量を大きくするような加工方法も可能であるが、ハーフエッチング量の半分程度以下のレジスト開口幅にする必要があり、この場合は配線のデザインに制約が出ることとなる。
【００１１】
なお、特許文献２に示されるものにおいては図面上は若干の庇状の凸部があるように示されているが、特許文献２にはこれについての具体的な大きさや製法についての説明はなく、また従来行われているエッチングでは大きな庇状の突出部は形成できないが、このことについての説明もない。
【００１２】
そこで、本発明は前記課題に鑑みてなされたものであり、端子部と封止樹脂との密着性を高めた半導体素子搭載用リードフレームの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
そこで、本発明の半導体素子搭載用リードフレームは、銅板をハーフエッチング加工して形成された空間部のエッチング開始側の上端周縁は、前記空間部の側面に形成された１０〜３０μｍの窪み深さに対応する張り出し長さの庇状の突出部を有し、エッチング開始側の前記銅板表面にめっき層を有することを特徴としている。
【００１４】
また、本発明の半導体素子搭載用リードフレームは、前記空間部のエッチング開始側の前記めっき層周縁に前記銅板表面が幅５〜３０μｍの大きさで露出していることが好ましい。
【００１５】
また、本発明の半導体素子搭載用リードフレームの製造方法は、厚さ１００〜２００μｍの銅板の表裏面に所定形状のめっき層を形成し、表面側には前記形成しためっき層を覆うレジストマスクを形成し、裏面側には銅板の全面を覆うレジストマスクを形成し、前記表面側よりエッチング抑制剤として銅と親和性のある窒素を含んだ有機化合物を含有するエッチング液を用いてハーフエッチング加工を行い、前記銅板の深さ方向に銅板を貫通しないように５０〜１００μｍ溶解除去して空間部を形成するとともに、前記空間部の側面には深さ１０〜３０μｍの窪みを形成し前記空間部の上端周縁にこの窪み深さに対応する張り出し長さの庇状の突出部が形成されるようにしたことを特徴とする。
【００１６】
本発明において、エッチング液に含有させる銅と親和性のある窒素を含んだ有機化合物は、エッチング抑制剤として機能するものである。エッチング抑制剤は、横方向へのエッチングを抑制する作用があり、これにより端子部の上方側面部のエッチングが抑制され、上面が庇状に張り出して突出部が形状されるようにエッチングすることが出来る。従来用いられている通常のエッチング液によるエッチング法でも、横方向へのエッチング量を多くすることで庇状の突出部を形成することも可能ではあるが、横方向のエッチング量を多くしようとすると、同時に縦方向（深さ方向）へのエッチングも進むことになり、ハーフエッチング部分に貫通穴が開いてしまい、樹脂封止の際に樹脂が漏れてしまう不具合を起こす。本発明では、エッチング抑制剤を含むエッチング液を用いるため、縦方向の一定深さのエッチング量でも庇状の突出部が形成でき、上記のような問題がない。
【００１７】
エッチング抑制剤としては、金属板として銅材を用いる本発明の場合は、銅と親和性のある窒素を含んだ有機化合物を用いる。この窒素化合物がエッチングされた端子部上面部の側面の銅に吸着されることで端子部上方側面のエッチングが抑制され、庇形状の突出部が形成される。
【００１８】
銅と親和性のある窒素を含んだ有機化合物具体例としては、アゾール類が挙げられ、さらに環内にある異原子として窒素原子のみを有するアゾールが好ましい。
前記アゾールはさらにイミダゾール系化合物、トリアゾール系化合物またはテトラゾール系化合物が望ましい。
この時、エッチング液としては、第二銅イオンが７０〜１１０ｇ／リットル、第一銅イオンが５ｇ／リットル以下、塩酸が３０〜５５ｇ／リットル、添加剤として、例えばテトラゾール系化合物として０．1〜５０ｇ／リットルの組成となる。
【００１９】
金属板をエッチング（ハーフエッチング）加工するには、形成しためっきをマスクとして用いる方法と、レジストマスクを形成して用いる方法がある。めっきをマスクとして用いると、レジストマスクを形成する工程を省略することができるが、エッチング量を多くすると形成しためっきの下にある金属板がエッチングされ、めっきの縁が折れてしまいバリ問題や形状不良を引き起こすことになる。一方レジストマスクを用いる方法では、レジストマスク形成の工程は増えるが、形成しためっきより大きい（広い）範囲をマスクすることが可能となり、エッチング量を多くすることで金属板による庇量を長くすることができるため、密着強度の向上には有利である。また、めっき層をボンディング領域等の必要最小限領域に形成すればよく、めっきをマスクを用いる方法に比してめっき金属の使用量を低減できる。
【００２０】
また、本発明の半導体素子搭載用リードフレームの製造方法は、前記空間部のエッチング開始側の前記めっき層周縁に前記銅板が５〜３０μｍ露出されるようにすることが好ましい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明により、端子部と封止樹脂との密着性を高めた半導体素子搭載用リードフレームを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１（１）は、本発明の製造方法により製造された本発明の半導体素子搭載用リードフレームの端子部を断面図で示した図である。図１（２）は、本発明の製造方法により製造された本発明の半導体素子搭載用リードフレームを用いて、樹脂封止した後、半導体素子搭載用リードフレームの不要部分を除去した後の端子部の断面図である。
【図２】従来の製造方法による半導体素子搭載用リードフレームの端子部を断面図で示した図である。
【図３】本発明の半導体素子搭載用リードフレームの製造方法を示すフローである。（１）は金属板１０の両面にレジストを形成し、露光・現像によりめっき層１１を形成するための所定のパターンに形成されたレジストマスク１２を形成した後、必要なめっき層１１を形成した断面図である。（２）は、レジストマスク１２を除去し、めっき層１１が形成された金属板１０の両面にレジストを形成し、そのレジストにより表面側は形成しためっき層１１より所定量大きいレジストマスク１３を形成し、裏面側は全面にレジストマスク１３を形成した断面図である。（３）は、ハーフエッチングを施し空間部１を形成した後の断面図である。（４）は、（３）の加工後、レジストマスク１３を除去したものを示している。
【図４】半導体素子搭載用リードフレームを使用して、半導体素子を搭載し、半導体素子およびボンディングワイヤ等をエポキシ樹脂で封止した状態の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
次に、本発明の実施の形態について説明する。
本発明の半導体素子搭載用リードフレームの製造方法は、厚さ１００〜２００μｍの銅板の表裏面に所定形状のめっき層を形成し、表面側に形成した前記めっき層を覆うレジストマスクを形成し、裏面側は銅板の全面を覆うレジストマスクを形成し、表面側よりエッチング抑制剤として銅と親和性のある窒素を含んだ有機化合物を含有するエッチング液を用いてハーフエッチング加工を行い、銅板の深さ方向に銅板を貫通しないように５０〜１００μｍ溶解除去して空間部を形成するとともに、空間部の側面には深さ１０〜３０μｍの窪みを形成し空間部の上端周縁にこの窪み深さに対応する張り出し長さの庇状の突出部が形成されるようにする。
【００２４】
金属板としては銅材が用いられ、通常のリードフレームで用いられている高強度のものが望ましく、また厚みはハンドリングなどを鑑み、通常１００〜２００μｍの範囲で選択されている。
【００２５】
銅材の両面にドライフィルムレジストをラミネートする。ドライフィルムレジストの種類、厚みは特に限定されないが、通常感光部が硬化するネガタイプのものを用いる。この他にポジタイプのドライフィルムレジストでも良い。また液状のフォトレジストを塗布することでも良い。レジストの厚みは形成するパターンの線幅・線間距離で決定されるが、１５〜４０μｍの範囲を用いることが多い。
【００２６】
次にドライフィルムレジストに所定の位置に所定の形状のめっきを形成するためのパターンを露光する。これは、一般的な方法と同じで、ドライフィルムレジストにパターンを形成したフォトマスクを密着させ、紫外線を照射することでフォトマスクのパターンをドライフィルムレジストに露光する。照射量は２０〜１００ｍＪ／ｃｍ2程度である。このとき、半導体素子が搭載される面側となる表面側と反対側の外部接続端子となる裏面側が区別される。
【００２７】
そして次に現像する。これはアルカリ現像型のフォトレジストを用いる場合は通常１％程度の濃度の炭酸ナトリウムを用いる。
【００２８】
このようにして銅材の両面に所定形状の開口部が形成されためっき用のレジストマスクを形成する。
【００２９】
次にレジストの開口部にめっきを行なう。めっきの金属は耐熱性、半導体素子との接続のためのワイヤボンディング性、およびプリント基板実装時の半田ぬれ性などで適宜選択される。通常は電気めっきで、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕ、Ａｇなどをめっきする。
【００３０】
その後、レジストマスクを剥離する。剥離には、アルカリ現像型のフォトレジストを用いている場合は通常１％程度の濃度の水酸化ナトリウムを用いる。
【００３１】
次に、表面側は形成しためっきより大きなレジストマスクを形成し、裏面側は全面を覆うレジストマスクを形成する。この方法は前述のラミネート、露光、現像と同様である。そして、ハーフエッチング処理の後にめっきのバリが出来ないように、エッチング量や露光の位置ズレを考慮した上でめっきより大きいレジストを形成する。
【００３２】
次に表面側のレジストマスク開口部からハーフエッチングを行ない空間部を形成する。
エッチング液は、エッチング抑制剤を含んだエッチング液を用いる。これにより、銅材表面からエッチング加工が進み、形成される端子部の上方側面に抑制剤が吸着されることで端子部上部（銅材の表面近傍）のエッチングが抑制され、庇型の突出部を得ることが出来る。
【００３３】
エッチング抑制剤としては、例えばイミダゾール系化合物、トリアゾール系化合物またはテトラゾール系化合物が挙げられる。
また、エッチング液は、第一銅濃度１ｇ／リットル、第二銅濃度９５ｇ／リットル、塩酸４５ｇ／リットル、添加剤として５−メチル−１Ｈ−テトラゾールを３ｇ／リットルを添加したものが例えば使用できる。
【００３４】
このハーフエッチングの深さは、後のエッチング加工量が少なくなる点で深い方が良いが、深すぎるとリードフレーム強度が弱くなることや部分的に貫通穴ができてしまうなどの不具合が起こることから、少なくとも３０μｍ程度は銅材が残るようにハーフエッチングを行なうことが望ましい。
【００３５】
そして、レジストマスクを剥離することで本発明の半導体素子搭載用リードフレームが得られる。
【００３６】
次に、得られた半導体素子搭載用リードフレームの表面側に半導体素子をダイペースト等を用いて搭載し、半導体素子と端子部をワイヤボンディングする。ダイペーストは、銀ペーストが用いられることが多く、ワイヤボンディングは、金ワイヤや銅ワイヤなど２０〜４０μｍφの大きさのワイヤが用いられる。
【００３７】
そして次にエポキシ樹脂等を用いて銅材の表面側を樹脂封止する。
次に裏面側に形成しためっきをエッチングマスクとして、銅材をエッチング加工することで、端子部が独立する。そして、ダイシングなどの方法で個々のパッケージサイズに切断する。
このようにして、封止樹脂にハーフエッチングした部分が食い込む形状を有する端子部となったパッケージが得られる。
【００３８】
なお、空間部のめっき層周縁に銅板の表面が５〜３０μｍ露出されるようにしてもよい。例えば、銅板のエッチング開始側は形成しためっき層より２０〜５０μｍ大きなレジストマスクを形成し、ハーフエッチング加工を行って空間部を形成し、エッチング開始側のめっき層より銅板の表面が５〜３０μｍ露出されるようにすればよい。
【実施例】
【００３９】
次に、本発明の半導体素子搭載用リードフレームと半導体素子搭載用リードフレームの製造方法の一実施例を図３に示すフローに従って説明する。
金属板１０として、厚さ０．１２５ｍｍの銅系合金材（古河電工製ＥＦＴＥＣ６４−Ｔ）を用いて、両面にドライフィルムレジスト（旭化成製２５５８）をラミネートした。
【００４０】
次に所定のパターンで両面に露光を行い、現像してめっきが必要な部分が開口されたレジストマスク１２を形成した。
【００４１】
次に、形成したレジストマスク１２の開口部から露出している金属板１０に、Ｎｉを１μｍ、Ｐｄを０．０７μｍ、Ａｕを０．００３μｍの厚さで順次めっき層１１を形成する。（図３（１）参照）
【００４２】
次に、レジストマスク１２を剥離し、めっき層１１が形成された金属板１０の両面に、前記と同じドライフィルムレジストをラミネートし、半導体素子２１が搭載される表面側は、形成しためっき層１１より５０μｍ大きいパターンで露光し現像を行い、めっき層より５０μｍ大きいレジストマスク１３を形成した。そして、反対面の裏面側は、全面を覆うレジストマスク１３を形成した。（図３（２）参照）
【００４３】
次に、液温４０℃のエッチング液を用いて、スプレー圧０．２０ＭＰａで４分間エッチング加工を行い、表面側から約８０μｍの深さまでハーフエッチングを行い空間部１を形成した。（図３（３）参照）
【００４４】
その後、両面のレジストマスク１３を剥離することで本発明の半導体素子搭載用リードフレームが得られた。
【００４５】
このようにして得られた半導体素子搭載用リードフレームのハーフエッチング時のサイドエッチングによる空間部１の窪み深さ３（端子部の横方向の凹部）は、１６〜１９μｍであった。
【００４６】
次に、エッチング加工のスプレー圧を０．１４〜０．２４ＭＰａの範囲でハーフエッチングを行ない、ハーフエッチングの深さ２を７５±２５μｍで形成した時のサイドエッチングによる空間部１の窪み深さ３（端子部の横方向の凹部）を表１に示す。
【００４７】
また、上記と同じレジストマスクを形成した材料を用いて、エッチング加工では従来使用されていた塩化第二鉄液を用い、従来の加工条件である５ＭＰａのスプレー圧で約８０μｍの深さまでハーフエッチングを行なった結果、形成されたサイドエッチングによる空間部１の窪みの深さ３は３〜４μｍであった。
【００４８】
さらに、上記と同じレジストマスクを形成した材料を用いて、エッチング加工のスプレー圧を０．２０ＭＰａに設定し、ハーフエッチング量を変更した時のサイドエッチングによる空間部１の窪み深さ３を表２に示す。
【００４９】
【表１】
0005626785.tif 000002
【００５０】
【表２】
0005626785.tif 000003
【００５１】
簡易的に密着性を判断するため、スプレー圧０．１４〜０．２４ＭＰａで得られた幅５０ｍｍ長さ１８０ｍｍのそれぞれ１０シートの半導体素子搭載用リードフレームと従来使用していた塩化第二鉄液を用いて得られた幅５０ｍｍ長さ１８０ｍｍの１０シートの半導体素子搭載用リードフレームを用いて、半導体素子の搭載とボンディングワイヤによる連結を省略して、半導体素子搭載用リードフレームの表面側をエポキシ樹脂により封止した後、裏面側のめっき層１１をエッチングマスクとして金属板を塩化第二鉄液で端子部が独立して外部接続端子を形成するようにエッチング処理を行い（図１（２）参照）試験サンプルを作製した。
【００５２】
市販されているガムテープに試験サンプルの樹脂側が上になるようにして外部接続端子面を貼り付け、ガムテープを剥がすことで端子部が樹脂から抜ける数を比較した結果、従来の塩化第二鉄液を用いて得られた半導体素子搭載用リードフレームは、４シートに端子部の抜けが確認され、本発明の製造方法による半導体素子搭載用リードフレームでは、窪み深さが５μｍのサンプルで１シートにのみ端子部の抜けが確認された以外は、本発明の製造方法による窪み深さが９〜３０μｍのサンプルの半導体素子搭載用リードフレームでは端子部の抜けは発生しなかった。
【符号の説明】
【００５３】
１      ハーフエッチングにより形成された空間部
２      ハーフエッチングの深さ（縦方向）
３      窪み深さ（端子部の横方向の凹部）
４      端子部
５      めっき層の周囲に露出している金属板の表面
１０      金属板
１１      めっき層
１２      めっき層形成の為のレジストマスク
１３      エッチング用のレジストマスク
２１      半導体素子
２２      ボンディングワイヤ
２３      樹脂
【図１】
0005626785.tif 000004
【図２】
0005626785.tif 000005
【図３】
0005626785.tif 000006
【図４】
0005626785.tif 000007