(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空空間内においてワークを搬送するためのリンクアーム機構と、前記リンクアーム機構を鉛直軸周りに回転可能に軸支する旋回軸と、を備える搬送装置であって、
前記リンクアーム機構は、下段アームと、前記下段アームと連結される上段アームと、前記上段アームの他端と連結されるワークを支持する水平移動部材と、を有し、前記上段アームと水平移動部材との間に冷却板を配置し、
前記冷却板は、前記上段アームの平面視での移動範囲を全て含み、
前記冷却板の水平移動部材側の面に反射材を貼設した搬送装置。
【請求項２】
前記下段アームの下側に冷却板を配置した請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記旋回軸の周囲に冷却板を巻回した請求項１または請求項２に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空空間で基板を搬送するための搬送装置の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空空間において基板などのワークを搬送する搬送装置は従来から公知となっている（例えば、特許文献１参照）。前記搬送装置は、真空空間内においてワークを水平移動させるリンクアーム機構を有する。
また、搬送装置で搬送するワークは高温状態であるため、ワークの周辺の部材に輻射熱が伝わる。そこで、レール機構を有する搬送装置であって、高温状態のワークからの輻射熱を受けやすいレール機構のガイドレール部分に冷媒通路を設けた搬送装置が公知となっている（例えば、特許文献２参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１５３２５３号公報
【特許文献２】特開２０１０−１７７４１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記リンクアーム機構を有する搬送装置によって高温状態のワークを搬送する場合、特に上部アーム及び下部アームがワークからの輻射熱の影響を受けやすい。ワークからの輻射熱の影響を受けると、上部アーム及び下部アームの各部分が熱膨張することにより位置精度や軌跡精度が低下する。また、輻射熱の影響により、上部アーム及び下部アームの各部分が劣化し破損するおそれがある。また、輻射熱により、上部アーム及び下部アームの各部分に塗布した潤滑油が蒸発するため、潤滑油により上部アーム及び下部アームの各部分が汚染されるおそれがある。潤滑油を使用しない材料で上部アーム及び下部アームを構成した場合には、コストが上昇する。
【０００５】
そこで、本発明は係る課題に鑑み、リンクアーム機構を有する搬送装置において、特にリンクアーム機構を冷却し、高温状態のワークからの輻射熱の影響を減少させることができる搬送装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００７】
即ち、請求項１においては、真空空間内においてワークを搬送するためのリンクアーム機構と、前記リンクアーム機構を鉛直軸周りに回転可能に軸支する旋回軸と、を備える搬送装置であって、前記リンクアーム機構は、下段アームと、前記下段アームと連結される上段アームと、前記上段アームの他端と連結されるワークを支持する水平移動部材と、を有し、前記上段アームと水平移動部材との間に冷却板を配置し、前記冷却板は、前記上段アームの平面視での移動範囲を全て含み、前記冷却板の水平移動部材側の面に反射材を貼設したものである。
【０００８】
請求項２においては、前記下段アームの下側に冷却板を配置したものである。
【０００９】
請求項３においては、前記旋回軸の周囲に冷却板を巻回したものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００１１】
請求項１においては、リンクアーム機構の上段アームと高温状態のワークとの間に冷却板が配置されることにより、上段アームを冷却板で冷却することができる。したがって、高温状態のワークからの輻射熱の影響を減少させることができる。
また、高温状態のワークに近い側の面に反射材を貼設することで、ワークからの輻射熱を反射することができる。したがって、高温状態のワークからの輻射熱の影響を減少させることができる。
【００１２】
請求項２においては、高温状態のワークからの輻射熱が真空空間内で反射してリンクアーム機構の下側から伝わってきた場合であっても、リンクアーム機構の下段アームの下側に冷却板が配置されることにより、下段アームを冷却板で冷却することができる。したがって、高温状態のワークからの輻射熱の影響を減少させることができる。
【００１３】
請求項３においては、リンクアーム機構を軸支する旋回軸を冷却板で冷却することができる。したがって、高温状態のワークからの輻射熱の影響を減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態にかかる搬送装置の左前方斜視図。
【図２】搬送装置の右前方斜視図。
【図３】搬送装置の平面図。
【図４】搬送装置の正面図。
【図５】搬送装置の左側面図。
【図６】左冷却板を示す（ａ）平面図（ｂ）Ａ−Ａ線断面図。
【図７】別実施形態に係る左冷却板を示す（ａ）Ａ−Ａ線断面図（ｂ）Ａ−Ａ線断面図。
【図８】右冷却板を示す（ａ）平面図（ｂ）Ｂ−Ｂ線断面図。
【図９】第二実施形態に係る搬送装置の左前方斜視図。
【図１０】第二実施形態に係る搬送装置の正面図。
【図１１】第二実施形態に係る搬送装置の左側面図。
【図１２】下側冷却板を示す（ａ）平面図（ｂ）Ｃ−Ｃ線断面図。
【図１３】第三実施形態に係る搬送装置の正面図。
【図１４】旋回軸冷却板のＤ−Ｄ線断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
次に、発明の実施の形態を説明する。
まず、図１から図５を用いて、搬送装置１００の全体構成について説明する。なお、図１において矢印Ａ方向を前方とし、図１の各矢印方向が示す方向をそれぞれ、前後方向、左右方向、上下方向とする。
【００１６】
搬送装置１００は、図１から図５に示すように、真空空間内においてワーク２００を搬送するためのリンクアーム機構２と、リンクアーム機構２を鉛直軸周りに回転可能に軸支する旋回軸３と、を備える。
旋回軸３は、その下部が筐体４に固設されている。また、上部には、リンクアーム機構２が設けられている。旋回軸３の内部には図示せぬ駆動ユニットが設けられており、駆動ユニットを駆動することにより、リンクアーム機構２の左下段アーム３１Ｌ及び右下段アーム３１Ｒはそれぞれ回動移動する。
また、旋回軸３を回動することにより、リンクアーム機構２全体を鉛直軸周りに回転させることができる。また、旋回軸３は筐体４に対して上下方向に摺動することができ、旋回軸３及びリンクアーム機構２を上下方向へ摺動させることができる。
旋回軸３の下面と筐体の上面との境目よりも上方はワーク２００を搬送する真空空間とされる。
【００１７】
リンクアーム機構２は、ワーク２００を水平移動させる機構である。ワーク２００とは、本実施形態においては例えば基板や液晶パネルなどであり、板状に形成されている。
リンクアーム機構２は、旋回ベース２０と、左右のリンクアーム２１Ｌ・２１Ｒと、左右の水平移動部材２２Ｌ・２２Ｒと、から構成される。左リンクアーム２１Ｌは、左下段アーム３１Ｌ、左中間リンク３２Ｌ、左上段アーム３３Ｌ、及び左水平移動部材連結部３４Ｌを有する。また、右リンクアームは２１Ｒ、右下段アーム３１Ｒ、右中間リンク３２Ｒ、右上段アーム３３Ｒ、及び右水平移動部材連結部３４Ｒを有する。なお、左右のリンクアーム２１Ｌ・２１Ｒの構成は限定するものでなく、左右反対に構成されていても構わない。
【００１８】
旋回ベース２０は、旋回軸３の上部に連結されている。旋回軸３は、図４に示すように、底板４１と、左リンクアーム回動軸部４２と、右リンクアーム回動軸部４３と、前エプロン部４４と、を有している。
底板４１は、板状の部材であり、旋回軸３と相対回転不能となるように連結されている。
左リンクアーム回動軸部４２は、左リンクアーム２１Ｌの回動中心となる部分であり、駆動軸４２ａと、従動軸４２ｂとを有する。駆動軸４２ａには、図示せぬ駆動ユニットの駆動軸が連結されている。駆動軸４２ａが駆動ユニットによって回動されることにより、左下段アーム３１Ｌは左リンクアーム回動軸部４２を回動中心として回動移動する。
右リンクアーム回動軸部４３は、右リンクアーム２１Ｒの回動中心となる部分であり、駆動軸４３ａと、従動軸４３ｂとを有する。駆動軸４３ａには、図示せぬ駆動ユニットの駆動軸が連結されている。駆動軸４３ａが駆動ユニットによって回動されることにより、右下段アーム３２Ｒは右リンクアーム回動軸部４３を回動中心として回動移動する。
底板４１の上面には、駆動軸４２ａ及び駆動軸４３ａが設けられている。駆動軸４２ａ及び駆動軸４３ａは、旋回軸３の回転軸からずれた位置に配置されている。
また、底板４１の前面には、前エプロン部４４が固設されている。前エプロン部４４は、側面視略鉤型の部材であり、その下端が底板４１の前面に固設されている。前エプロン部４４の上面には、従動軸４２ｂ及び従動軸４３ａが設けられている。
【００１９】
次に、左リンクアーム２１Ｌの構成について、図１、図３、図４及び図５を用いて説明する。
左下段アーム３１Ｌは、一対の長板状の部材である第一アーム部材５１Ｌと第二アーム部材５２Ｌとから構成されている。当該左下段アーム３１Ｌと、左リンクアーム回動軸部４２と、左中間リンク３２Ｌとの間で平行リンク機構を構成している。
第一アーム部材５１Ｌの基端部は、左リンクアーム回動軸部４２の駆動軸４２ａに相対回転不能に連結される。また、第二アーム部材５２Ｌの基端部は、従動軸４２ｂに回転自在に連結される。これにより、左下段アーム３１Ｌは、左リンクアーム回動軸部４２を回動中心として回動移動する。
また、第一アーム部材５１Ｌの他端部は、左中間リンク３２Ｌに設けられた連動軸３２ａに相対回転不能に連結される。第二アーム部材５２Ｌの他端部は、左中間リンク３２Ｌに設けられた回動軸３２ｂに回動自在に連結される。
【００２０】
左中間リンク３２Ｌは、左下段アーム３１Ｌと左上段アーム３３Ｌとを連結し、左上段アーム３３Ｌを左下段アーム３１Ｌの動きと連動させて回動させる部材である。左中間リンク３２Ｌは、連動軸３２ａと、回動軸３２ｂ、３２ｃとを有する。連動軸３２ａには、内部に図示せぬ連動機構が設けられている。
【００２１】
左上段アーム３３Ｌは、一対の長板状の部材である第三アーム部材５３Ｌと第四アーム部材５４Ｌとから構成されている。当該左上段アーム３３Ｌと、左中間リンク３２Ｌと、左水平移動部材連結部３４Ｌとの間で平行リンク機構を構成している。
第三アーム部材５３Ｌの基端部は、左中間リンク３２Ｌの連動軸３２ａに相対回転不能に連結される。また、第四アーム部材５４Ｌの基端部は、左中間リンク３２Ｌの回動軸３２ｃに回転自在に連結される。これにより、第三アーム部材５３Ｌは、連動軸３２ａの図示せぬ連動機構を介して、第一アーム部材５１Ｌの動きと連動して回動される。
また、第三アーム部材５３Ｌの他端部は、左水平移動部材連結部３４Ｌに設けられた支持軸３４ａに相対回転不能に連結される。第四アーム部材５４Ｌの他端部は、左水平移動部材連結部３４Ｌに設けられた回動軸３４ｂに回動自在に連結される。
【００２２】
左水平移動部材２２Ｌは、水平移動ベース６５Ｌと爪６６Ｌとを有している。
水平移動ベース６５Ｌは、左水平移動部材連結部３４Ｌの支持軸３４ａの下部であって、第三アーム部材５３Ｒの下側に連結されている。水平移動ベース６５Ｌは板状に構成されており、その前端には、左右二本の爪６６Ｌ・６６Ｌが突設されている。
爪６６Ｌ・６６Ｌは、細い板状の部材であり、その上面にワーク２００が載置されることが可能となっている。
【００２３】
このように構成することにより、第一アーム部材５１Ｌを、駆動軸４２ａの鉛直軸周りに回動させた場合、第二アーム部材５２Ｌは第一アーム部材５１Ｌと平行を保ちながら回動することで、結果として左中間リンク３２Ｌが第一アーム部材５１Ｌを半径とする円周上を水平移動する。
また、第一アーム部材５１Ｌの動きに連動して、第三アーム部材５３Ｌは第四アーム部材５４Ｌと平行を保ちながら回動することで、結果として左水平移動部材連結部３４Ｌが前後方向に水平移動する。
このように、左下段アーム３１Ｌ及び左上段アーム３３Ｌが伸縮するようなリンク動作を行うことにより、左水平移動部材２２Ｌを前後方向に水平移動させることが可能となる。
【００２４】
次に、右リンクアーム２１Ｒの構成について、図２、図４を用いて説明する。
右下段アーム３１Ｒは、一対の長板状の部材である第一アーム部材５１Ｒと第二アーム部材５２Ｒとから構成されている。当該右下段アーム３１Ｒと、右リンクアーム回動軸部４３と、右中間リンク３２Ｒとの間で平行リンク機構を構成している。
第一アーム部材５１Ｒの基端部は、右リンクアーム回動軸部４３の駆動軸４３ａに相対回転不能に連結される。また、第二アーム部材５２Ｒの基端部は、従動軸４３ｂに回転自在に連結される。これにより、右下段アーム３１Ｒは、右リンクアーム回動軸部４３を回動中心として回動移動する。
また、第一アーム部材５１Ｒの他端部は、右中間リンク３２Ｒに設けられた連動軸３２ａに相対回転不能に連結される。第二アーム部材５２Ｒの他端部は、右中間リンク３２Ｒに設けられた回動軸３２ｂに回動自在に連結される。
【００２５】
右中間リンク３２Ｒは、右下段アーム３１Ｒと右上段アーム３３Ｒとを連結し、右上段アーム３３Ｒを右下段アーム３１Ｒの動きと連動させて回動させる部材である。右中間リンク３２Ｒは、連動軸３２ａと、回動軸３２ｂ、３２ｃとを有する。連動軸３２ａには、内部に図示せぬ連動機構が設けられている。また、右中間リンク３２Ｒの連動軸３２ａは、左中間リンク３２Ｌの連動軸３２ａに比べて、上下方向の長さが短く形成されている。これにより、右上段アーム３３Ｒ、右水平移動部材連結部３４Ｒ、及び右水平移動部材２２Ｒが、それぞれ、左上段アーム３３Ｌ、左水平移動部材連結部３４Ｌ、及び左水平移動部材２２Ｌよりも低い位置に配置される。
【００２６】
右上段アーム３３Ｒは、一対の長板状の部材である第三アーム部材５３Ｒと第四アーム部材５４Ｒとから構成されている。当該右上段アーム３３Ｒと、右中間リンク３２Ｒと、右水平移動部材連結部３４Ｒとの間で平行リンク機構を構成している。
第三アーム部材５３Ｒの基端部は、右中間リンク３２Ｒの連動軸３２ａに相対回転不能に連結される。また、第四アーム部材５４Ｒの基端部は、右中間リンク３２Ｒの回動軸３２ｃに回転自在に連結される。これにより、第三アーム部材５３Ｒは、連動軸３２の図示せぬ連動機構を介して、第一アーム部材５１Ｒの動きと連動して回動される。
また、第三アーム部材５３Ｒの他端部は、右水平移動部材連結部３４Ｒに設けられた支持軸３４ａに相対回転不能に連結される。第四アーム部材５４Ｒの他端部は、右水平移動部材連結部３４Ｒに設けられた回動軸３４ｂに回動自在に連結される。
【００２７】
右水平移動部材２２Ｒは、水平移動ベース６５Ｒと爪６６Ｒとを有している。
水平移動ベース６５Ｒは、右水平移動部材連結部３４Ｒの支持軸３４ａの上部であって、第三アーム部材５３Ｒの上側に連結されている。水平移動ベース６５Ｒは板状に構成されており、その前端には、左右二本の爪６６Ｒ・６６Ｒが突設されている。
爪６６Ｒ・６６Ｒは、細い板状の部材であり、その上面にワーク２００が載置されることが可能となっている。
【００２８】
このように構成することにより、第一アーム部材５１Ｒを、駆動軸４３ａの鉛直軸周りに回動させた場合、第二アーム部材５２Ｒは第一アーム部材５１Ｒと平行を保ちながら回動することで、結果として右中間リンク３２Ｒが第一アーム部材５１Ｒを半径とする円周上を水平移動する。
また、第一アーム部材５１Ｒの動きに連動して、第三アーム部材５３Ｒは第四アーム部材５４Ｒと平行を保ちながら回動することで、結果として右水平移動部材連結部３４Ｒが前後方向に水平移動する。
このように、右下段アーム３１Ｒ及び右上段アーム３３Ｒが伸縮するようなリンク動作を行うことにより、右水平移動部材２２Ｒを前後方向に水平移動させることが可能となる。
【００２９】
左右の水平移動部材２２Ｌ・２２Ｒは、上下方向の位置が異なるため互いに接触することなく、所定の間隔を持って重なるように構成されている。
【００３０】
次に本実施形態の冷却板２５Ｌ・２５Ｒについて説明する。
冷却板２５Ｌ・２５Ｒは、左右のリンクアーム２１Ｌ・２１Ｒにそれぞれ対応する左冷却板２５Ｌと右冷却板２５Ｒとからなる。
左冷却板２５Ｌは、板状の部材であり、黒色等の熱を吸収しやすい色の部材である。また左冷却板２５Ｌは、図６に示すように、その表面には、冷媒通路７１が設けられている。冷媒通路７１は、左冷却板２５Ｌの表面に設けられた溝に嵌設されている。左冷却板２５Ｌは、冷媒通路７１が上面に位置するように配置されている。冷媒通路７１は、ジグザグ状に折り曲げられて左冷却板２５Ｌの表面全面を冷却するように配置されている。また、冷媒通路７１に流れる冷媒は、水や油などから構成されている。
【００３１】
また、冷媒通路７１は、図７（ａ）に示すように、左冷却板２５Ｌの表面に取付具７２によって取り付けられることもできる。左冷却板２５Ｌの表面と、冷媒通路７１の外周面と、取付具７２の内周面とに囲まれた空間には熱伝達率を上げるための充填材７３が充填されている。冷媒通路７１及び取付具７２は、ジグザグ状に折り曲げられて左冷却板２５Ｌの表面全面を冷却するように配置されている。
また、冷媒通路７１は、図７（ｂ）に示すように、左冷却板２５Ｌの内部に設けられることもできる。冷媒通路７１は、ジグザグ状に折り曲げられて左冷却板２５Ｌ全面を冷却するように配置されている。
【００３２】
左冷却板２５Ｌは第三アーム部材５３Ｌ及び第四アーム部材５４Ｌの下方であって、水平移動ベース６５Ｌの上方に配置されている。すなわち、左冷却板２５Ｌは、左上段アーム３３Ｌの左水平移動部材２２Ｌ側の面と左水平移動部材２２Ｌとの間に設けられている。また、左冷却板２５Ｌは、左上段アーム３３Ｌの平面視での移動範囲を全て含む面積を有している。また、左冷却板２５Ｌの平面視左右方向中間部前側には、図４及び図６に示すように、支持軸３４ａの半径より少しだけ大きい幅の支持軸通過溝２５ａが設けられている。支持軸通過溝２５ａは、水平移動部材２２Ｌが前後方向に移動する際に支持軸３４ａが前後方向に移動するのを妨げることが無い範囲で設けられている。
【００３３】
また、右冷却板２５Ｒは、板状の部材であり、黒色等の熱を吸収しやすい色の部材である。また、右冷却板２５Ｒは、左冷却板２５Ｌと同様の構成であり、図８に示すように、その表面には、冷媒通路７１が設けられている。右冷却板２５Ｒは、冷媒通路７１が下面に位置するように配置されている。冷媒通路７１は、ジグザグ状に折り曲げられて右冷却板２５Ｒの表面全面を冷却するように配置されている。また、冷媒通路７１に流れる冷媒は、水や油などから構成されている。
【００３４】
また、冷媒通路７１は、左冷却板２５Ｌの冷媒通路７１と同様に、図７（ａ）に示すように、右冷却板２５Ｒの表面に取付具７２によって取り付けられることもできる。右冷却板２５Ｒの表面と、冷媒通路７１の外周面と、取付具７２の内周面とに囲まれた空間には熱伝達率を上げるための充填材７３が充填されている。冷媒通路７１及び取付具７２は、ジグザグ状に折り曲げられて右冷却板２５Ｒの表面全面を冷却するように配置されている。
また、冷媒通路７１は、図７（ｂ）に示すように、右冷却板２５Ｒの内部に設けられることもできる。冷媒通路７１は、ジグザグ状に折り曲げられて右冷却板２５Ｒ全面を冷却するように配置されている。
【００３５】
右冷却板２５Ｒは第三アーム部材５３Ｒの上方であって、第四アーム部材５４Ｒ及び水平移動ベース６５Ｒの下方に配置されている。すなわち、右冷却板２５Ｒは、右上段アーム３３Ｒの右水平移動部材２２Ｒ側の面と右水平移動部材２２Ｒとの間に設けられている。
また、右冷却板２５Ｒは、右上段アーム３３Ｒの平面視での移動範囲を全て含む面積を有している。また、右冷却板２５Ｒの平面視左右方向右寄り前側には、図４及び図８に示すように、支持軸３４ａの半径より少しだけ大きい幅の支持軸通過溝２５ａが設けられている。支持軸通過溝２５ａは、水平移動部材２２Ｌが前後方向に移動する際に支持軸３４ａが前後方向に移動するのを妨げることが無い範囲で設けられている。
【００３６】
次に、右冷却板２５Ｒ及び左冷却板２５Ｌの支持方法について説明する。図４及び図５に示すように、旋回ベース２０の底板４１の後面から第一冷却板支持部材７５が後上方に突出して設けられている。前エプロン部４４の上面からは、二本の柱状部材からなる第二冷却板支持部材７６・７６が上方に突設されている。また、左リンクアーム回動軸部４２の駆動軸４２ａには、第三冷却板支持部材７７が上方に突設されている。右冷却板２５Ｒは、第一冷却板支持部材７５、第二冷却板支持部材７６・７６、及び第三冷却板支持部材７７によって下方から支持されている。
【００３７】
また、右冷却板２５Ｒの左側面および後面には複数の左冷却板支持部材７８・７８・７８・７８が立設されている。左冷却板２５Ｌは左冷却板支持部材７８・７８・７８・７８の上部に固定されて下方から支持されている。
【００３８】
左冷却板２５Ｌの下面には反射材８１が貼設されている。すなわち、左冷却板２５Ｌの左水平移動部材２２Ｌ側の面に反射材８１が貼設されている。反射材８１は、複数の接着部材８２によって、左冷却板２５Ｌに貼設されている。反射材８１は、ワーク２００からの輻射熱を反射することができる金属の薄い板で構成されている。
また、右冷却板２５Ｒの上面には同様の構成の反射材８１が貼設されている。すなわち、右冷却板２５Ｒの右水平移動部材２２Ｒ側の面に反射材８１が貼設されている。
【００３９】
＜第二実施形態＞
また、別の実施形態においては、図９から図１１に示すように、左下段アーム３１Ｌ及び右下段アーム３１Ｒの下側に下側冷却板９１が配置されている。なお、下側冷却板９１以外の搬送装置１００の構成は、第一実施形態に示す搬送装置１００の構成と同様の構成であることから、説明を省略する。
【００４０】
下側冷却板９１は、板状の部材であり、黒色等の熱を吸収しやすい色の部材である。また、下側冷却板９１は、左下段アーム３１Ｌ及び右下段アーム３１Ｒの下面に設けられている。また、下側冷却板９１は、左冷却板２５Ｌと同様の構成であり、図１２に示すように、その表面には、冷媒通路７１が設けられている。下側冷却板９１は、冷媒通路７１が上面に位置するように配置されている。冷媒通路７１は、ジグザグ状に折り曲げられて下側冷却板９１の表面全面を冷却するように配置されている。
【００４１】
また、冷媒通路７１は、左冷却板２５Ｌの冷媒通路７１と同様に、図７（ａ）に示すように、下側冷却板９１の表面に取付具７２によって取り付けられることもできる。下側冷却板９１の表面と、冷媒通路７１の外周面と、取付具７２の内周面とに囲まれた空間には熱伝達率を上げるための充填材７３が充填されている。冷媒通路７１及び取付具７２は、ジグザグ状に折り曲げられて下側冷却板９１の表面全面を冷却するように配置されている。
また、冷媒通路７１は、図７（ｂ）に示すように、下側冷却板９１の内部に設けられることもできる。冷媒通路７１は、ジグザグ状に折り曲げられて下側冷却板９１全面を冷却するように配置されている。
【００４２】
下側冷却板９１は、左下段アーム３１Ｌ及び右下段アーム３１Ｒの平面視での移動範囲を全て含む面積を有している。下側冷却板９１は、旋回ベース２０の底板４１の後面から突設した支持部材９２によって下方から支持されている。
【００４３】
＜第三実施形態＞
また、別の実施形態においては、図１３に示すように、旋回軸３の周囲に旋回軸冷却板９５が配置されている。なお、旋回軸冷却板９５以外の搬送装置１００の構成は、第一実施形態に示す搬送装置１００の構成と同様の構成であることから、説明を省略する。
【００４４】
旋回軸冷却板９５は、長板を環状に丸めた形状に形成されている。旋回軸冷却板９５は、黒色等の熱を吸収しやすい色の部材である。旋回軸冷却板９５は、左冷却板２５Ｌと同様の構成であり、図１４に示すように、その表面には、冷媒通路７１が設けられている。旋回軸冷却板９５は、冷媒通路７１が内面に位置するように配置されている。冷媒通路７１は、ジグザグ状に折り曲げられて旋回軸冷却板９５の内面全面を冷却するように配置されている。旋回軸冷却板９５は、旋回軸３の外側に貼設されている。
【００４５】
また、冷媒通路７１は、左冷却板２５Ｌの冷媒通路７１と同様に、図７（ａ）に示すように、旋回軸冷却板９５の表面に取付具７２によって取り付けられることもできる。旋回軸冷却板９５の表面と、冷媒通路７１の外周面と、取付具７２の内周面とに囲まれた空間には熱伝達率を上げるための充填材７３が充填されている。冷媒通路７１及び取付具７２は、ジグザグ状に折り曲げられて旋回軸冷却板９５の内面全面を冷却するように配置されている。
また、冷媒通路７１は、図７（ｂ）に示すように、旋回軸冷却板９５の内部に設けられることもできる。冷媒通路７１は、ジグザグ状に折り曲げられて旋回軸冷却板９５全面を冷却するように配置されている。
【００４６】
以上のように、搬送装置１００は、真空空間内においてワーク２００を搬送するためのリンクアーム機構２と、リンクアーム機構２を鉛直軸周りに回転可能に軸支する旋回軸３と、を備える搬送装置であって、リンクアーム機構２は、下段アーム３１Ｌ・３１Ｒと、下段アーム３１Ｌ・３１Ｒと連結される上段アーム３３Ｌ・３３Ｒと、上段アーム３３Ｌ・３３Ｒの他端と連結されるワーク２００を支持する水平移動部材２２Ｌ・２２Ｒと、を有し、上段アーム３３Ｌ・３３Ｒと水平移動部材２２Ｌ・２２Ｒとの間に冷却板２５Ｌ・２５Ｒを配置し、冷却板２５は、上段アーム３３Ｌ・３３Ｒの平面視での移動範囲を全て含み、冷却板２５Ｌ・２５Ｒの水平移動部材２２Ｌ・２２Ｒ側の面に反射材８１・８１を貼設したものである。
このように構成することにより、ワーク２００を水平移動部材２２Ｌ・２２Ｒの上面に載置した際に、リンクアーム機構２の上段アーム３３Ｌ・３３Ｒと高温状態のワーク２００・２００との間に冷却板２５Ｌ・２５Ｒが配置されることにより、上段アーム３３Ｌ・３３Ｒを冷却板２５Ｌ・２５Ｒで冷却することができる。より詳しくは、左上段アーム３３Ｌの下面と左水平移動部材２２Ｌ上に載置されたワーク２００との間に左冷却板２５Ｌが配置されることにより、左上段アーム３３Ｌを左冷却板２５Ｌで冷却することができる。また、右上段アーム３３Ｒのうち特に第三アーム５３Ｒの上面と右水平移動部材２２Ｒ上に載置されたワーク２００との間に右冷却板２５Ｒが配置されることにより、右上段アーム３３Ｒを右冷却板２５Ｒで冷却することができる。したがって、高温状態のワーク２００からの輻射熱の影響を減少させることができる。
また、このように構成することにより、高温状態のワーク２００に近い側の面に反射材８１を貼設することで、ワーク２００からの輻射熱を反射することができる。したがって、高温状態のワーク２００からの輻射熱の影響を減少させることができる。
【００４７】
また、搬送装置１００は、下段アーム３１Ｌ・３１Ｒの下側に下側冷却板９１を配置したものである。
このように構成することにより、高温状態のワーク２００からの輻射熱が真空空間内で反射してリンクアーム機構２の下側から伝わってきた場合であっても、リンクアーム機構２の下段アーム３１Ｌ・３１Ｒの下側に下側冷却板９１が配置されることにより、下段アーム３１Ｌ・３１Ｒを冷却板で冷却することができる。したがって、高温状態のワーク２００からの輻射熱の影響を減少させることができる。
【００４８】
また、搬送装置１００は、旋回軸３の周囲に旋回軸冷却板９５を巻回したものである。
このように構成することにより、リンクアーム機構２を軸支する旋回軸３を旋回軸冷却板９５で冷却することができる。したがって、高温状態のワーク２００からの輻射熱の影響を減少させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明は、真空空間で基板を搬送するための搬送装置に利用可能である。
【符号の説明】
【００５０】
２    リンクアーム機構
３    旋回軸
２１Ｌ    左リンクアーム
２１Ｒ    右リンクアーム
２２Ｌ    左水平移動部材
２２Ｒ    右水平移動部材
２５Ｌ    左冷却板
２５Ｒ    右冷却板
３１Ｌ    左下段アーム
３１Ｒ    右下段アーム
３２Ｌ    左中間リンク
３２Ｒ    右中間リンク
３３Ｌ    左上段アーム
３３Ｒ    右上段アーム
７１    冷媒通路
８１    反射板
９１    下側冷却板
９５    旋回軸冷却板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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