(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気対象室から空気排気口につながる排気ダクトと、前記排気対象室を含む既設建物の壁に施設されて前記空気排気口を有する前記排気ダクトの排気端部を収容する排気ダクト収容ボックスと、前記排気ダクトを通る空気を前記対象室から排気する排気ファンと、前記空気排気口と前記排気ファンとの間に延びる前記排気ダクトに設置されて旋回羽根の旋回によって該ダクトを通る空気の量を調節するモータダンパと、前記対象室と前記モータダンパとの間に延びる前記排気ダクトに設置されて該ダクトを通る空気の圧力を測定する圧力センサと、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節するコントローラとを備え、
前記排気ダクト収容ボックスが、前記既設建物の壁に取り付けられたガラリと、前記既設建物の壁から内側に突出する５面体のチャンバーとから形成され、前記チャンバーが、互いに対向する頂壁および底壁と、互いに対向する両側壁と、それら両側壁の間に位置する後側壁とから作られ、
前記排気ダクトの排気端部が、前記排気ダクト収容ボックスの内部空間において前後方向へ延びる水平部分と、前記水平部分につながって前記排気ダクト収容ボックスの内部空間において上下方向へ延びるとともに、前記チャンバーの頂壁と底壁とに向かって開口する前記空気排気口を有する垂直部分とから形成され、
前記コントローラが、前記圧力センサから出力された前記排気ダクト内の測定圧力とあらかじめ設定された設定圧力とを比較する圧力比較手段と、前記空気排気口の外側に吹く風の影響で所定量の空気が前記排気ダクトに流入または該ダクトから流出し、それによって前記測定圧力が前記設定圧力の範囲から外れると、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節して前記測定圧力を前記設定圧力の範囲内に戻す圧力制御手段とを有することを特徴とする排気装置。
【請求項２】
排気対象室から空気排気口につながる排気ダクトと、前記排気対象室を含む既設建物の壁に施設されて前記空気排気口を有する前記排気ダクトの排気端部を収容する排気ダクト収容ボックスと、前記排気ダクトを通る空気を前記対象室から排気する排気ファンと、前記空気排気口と前記排気ファンとの間に延びる前記排気ダクトに設置されて旋回羽根の旋回によって該ダクトを通る空気の量を調節するモータダンパと、前記対象室と前記モータダンパとの間に延びる前記排気ダクトに設置されて該ダクトを通る空気の圧力を測定する圧力センサと、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節するコントローラとを備え、
前記排気ダクト収容ボックスが、前記既設建物の壁に取り付けられたガラリと、前記既設建物の壁から内側に突出する５面体のチャンバーとから形成され、前記チャンバーが、互いに対向する頂壁および底壁と、互いに対向する両側壁と、それら両側壁の間に位置する後側壁とから作られ、
前記排気ダクトの排気端部が、前記排気ダクト収容ボックスの内部空間において前後方向へ延びる第１水平部分と、前記第１水平部分につながって前記排気ダクト収容ボックスの内部空間において横方向へ延びる第２水平部分と、前記第２水平部分につながって前記排気ダクト収容ボックスの内部空間において上下方向へ延びるとともに、前記チャンバーの頂壁と底壁とに向かって開口する前記空気排気口を有する垂直部分とから形成され、
前記コントローラが、前記圧力センサから出力された前記排気ダクト内の測定圧力とあらかじめ設定された設定圧力とを比較する圧力比較手段と、前記空気排気口の外側に吹く風の影響で所定量の空気が前記排気ダクトに流入または該ダクトから流出し、それによって前記測定圧力が前記設定圧力の範囲から外れると、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節して前記測定圧力を前記設定圧力の範囲内に戻す圧力制御手段とを有することを特徴とする排気装置。
【請求項３】
前記圧力制御手段では、前記風の影響で所定量の空気が前記排気ダクトに流入し、それによって前記測定圧力が前記設定圧力の範囲を超過すると、前記モータダンパの旋回羽根の開度が全開でなければ該旋回羽根の開度を大きくし、前記風の影響で所定量の空気が前記排気ダクトから流出し、それによって前記測定圧力が前記設定圧力の範囲未満になると、前記モータダンパの旋回羽根の開度を小さくし、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節したことによって前記測定圧力が前記設定圧力の範囲内に戻ると、そのときの旋回羽根の開度を保持する請求項１または請求項２に記載の排気装置。
【請求項４】
前記設定圧力が、−１０００Ｐａ〜１０００Ｐａの範囲にある請求項３に記載の排気装置。
【請求項５】
前記モータダンパの旋回羽根の旋回速度が、１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にある請求項３または請求項４に記載の排気装置。
【請求項６】
前記モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの該旋回羽根の最小開度が、３〜２５％の範囲にあり、前記圧力制御手段では、前記測定圧力が前記設定圧力の範囲未満になったときに、前記モータダンパの旋回羽根の開度が前記最小開度であれば、その開度を保持する請求項３ないし請求項５いずれかに記載の排気装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、排気ダクトを介して排気対象室から空気を排気する排気装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルームにつながる給気ダクトに設置されたケーシングと、ケーシングの内部に直列に配置されて空気の圧力を変更可能な複数の給気ファンと、ケーシングの内部に並列に配置されて空気の風量を変更可能な複数の給気ファンと、それら給気ファンの出力を変更してクリーンルームに供給する空気の圧力や風量を調節するコントローラと、コントローラに接続されてクリーンルーム内の圧力を測定する圧力センサと、クリーンルームの空気を外部に排気する排気ダクトとを有する圧力制御ユニットがある（特許文献１参照）。
【０００３】
この圧力制御ユニットでは、屋外に位置する空気取込口から給気ダクトに空気（外気）を取り入れ、それら給気ファンによって給気ダクトを通る空気をクリーンルームに送り込み、さらに、クリーンルームから排気ダクトに空気を流入させ、屋外に位置する空気排気口から空気を排気する。コントローラには、クリーンルーム内を陽圧に保持するためのクリーンルームの設定圧力が格納されている。圧力センサは、測定したクリーンルーム内の測定圧力をコントローラに出力する。コントローラは、設定圧力と圧力センサから出力された測定圧力とを比較し、測定圧力が設定圧力の範囲から外れると、それら給気ファンの出力を変更して空気の圧力や風量を調節し、測定圧力を設定圧力の範囲内に戻す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３２９４４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
屋外に位置する空気排気口の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で排気口から排気ダクト内へ余分かつ不要な空気が一気に流入する場合がある。空気排気口から排気ダクト内へ流入した空気はクリーンルーム内に強制的に流入するから、所定量の空気をクリーンルーム外に排気することができない場合があるのみならず、空気排気口から排気ダクト内に空気が流入すると、給気ファンから給気される空気の圧力（流入量）にもよるが、給気ファンからクリーンルームに給気される空気の流入を妨げ、設定量の空気をクリーンルームに安定して給気することができない場合がある。
【０００６】
なお、前記公報に開示の圧力制御ユニットでは、排気ダクトから排気する空気を一定に保持する手段がないから、空気排気口の外側に吹く風の影響で余分かつ不要な空気が不規則に排気ダクト内に流入する場合がある。この圧力制御ユニットは、余分かつ不要な空気が排気ダクト内に流入すると、給気ファンから給気する空気を一定に保持することができず、給気ファンからクリーンルームに給気する空気の量が減少し、クリーンルーム内の室内気圧を設定圧力に保持することができない。
【０００７】
本発明の目的は、排気ダクトから一定圧かつ一定量の空気を排気することで、給気対象室から排気する空気を一定に保持することができ、給気対象室内の室内気圧を設定圧力に保持することができる排気装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するための本発明に係る排気装置の第１の特徴は、排気対象室から空気排気口につながる排気ダクトと、排気対象室を含む既設建物の壁に施設されて空気排気口を有する排気ダクトの排気端部を収容する排気ダクト収容ボックスと、排気ダクトを通る空気を対象室から排気する排気ファンと、空気排気口と排気ファンとの間に延びる排気ダクトに設置されて旋回羽根の旋回によって排気ダクトを通る空気の量を調節するモータダンパと、対象室とモータダンパとの間に延びる排気ダクトに設置されて排気ダクトを通る空気の圧力を測定する圧力センサと、モータダンパの旋回羽根の開度を調節するコントローラとを備え、排気ダクト収容ボックスが、既設建物の壁に取り付けられたガラリと、既設建物の壁から内側に突出する５面体のチャンバーとから形成され、チャンバーが、互いに対向する頂壁および底壁と、互いに対向する両側壁と、それら両側壁の間に位置する後側壁とから作られ、排気ダクトの排気端部が、排気ダクト収容ボックスの内部空間において前後方向へ延びる水平部分と、水平部分につながって排気ダクト収容ボックスの内部空間において上下方向へ延びるとともに、チャンバーの頂壁と底壁とに向かって開口する空気排気口を有する垂直部分とから形成され、コントローラが、圧力センサから出力された排気ダクト内の測定圧力とあらかじめ設定された設定圧力とを比較する圧力比較手段と、空気排気口の外側に吹く風の影響で所定量の空気が排気ダクトに流入または排気ダクトから流出し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲から外れると、モータダンパの旋回羽根の開度を調節して測定圧力を設定圧力の範囲内に戻す圧力制御手段とを有することにある。
【０００９】
前記課題を解決するための本発明に係る排気装置の第２の特徴は、排気対象室から空気排気口につながる排気ダクトと、排気対象室を含む既設建物の壁に施設されて空気排気口を有する排気ダクトの排気端部を収容する排気ダクト収容ボックスと、排気ダクトを通る空気を対象室から排気する排気ファンと、空気排気口と排気ファンとの間に延びる排気ダクトに設置されて旋回羽根の旋回によって排気ダクトを通る空気の量を調節するモータダンパと、対象室とモータダンパとの間に延びる排気ダクトに設置されて排気ダクトを通る空気の圧力を測定する圧力センサと、モータダンパの旋回羽根の開度を調節するコントローラとを備え、排気ダクト収容ボックスが、既設建物の壁に取り付けられたガラリと、既設建物の壁から内側に突出する５面体のチャンバーとから形成され、チャンバーが、互いに対向する頂壁および底壁と、互いに対向する両側壁と、それら両側壁の間に位置する後側壁とから作られ、排気ダクトの排気端部が、排気ダクト収容ボックスの内部空間において前後方向へ延びる第１水平部分と、第１水平部分につながって排気ダクト収容ボックスの内部空間において横方向へ延びる第２水平部分と、第２水平部分につながって排気ダクト収容ボックスの内部空間において上下方向へ延びるとともに、チャンバーの頂壁と底壁とに向かって開口する空気排気口を有する垂直部分とから形成され、コントローラが、圧力センサから出力された排気ダクト内の測定圧力とあらかじめ設定された設定圧力とを比較する圧力比較手段と、空気排気口の外側に吹く風の影響で所定量の空気が排気ダクトに流入または排気ダクトから流出し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲から外れると、モータダンパの旋回羽根の開度を調節して測定圧力を設定圧力の範囲内に戻す圧力制御手段とを有することにある。
【００１０】
本発明に係る排気装置の一例として、圧力制御手段では、風の影響で所定量の空気が排気ダクトに流入し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパの旋回羽根の開度が全開でなければ旋回羽根の開度を大きくし、風の影響で所定量の空気が排気ダクトから流出し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくし、モータダンパの旋回羽根の開度を調節したことによって測定圧力が設定圧力の範囲内に戻ると、そのときの旋回羽根の開度を保持する。
【００１１】
本発明に係る排気装置の他の一例としては、設定圧力が−１０００Ｐａ〜１０００Ｐａの範囲にある。
【００１２】
本発明に係る排気装置の他の一例としては、モータダンパの旋回羽根の旋回速度が１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にある。
【００１３】
本発明に係る排気装置の他の一例としては、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの旋回羽根の最小開度が３〜２５％の範囲にあり、圧力制御手段では、測定圧力が設定圧力の範囲未満になったときに、モータダンパの旋回羽根の開度が最小開度であれば、その開度を保持する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る排気装置によれば、空気排気口の外側に吹く風の影響で排気口から排気ダクトに余分かつ不要な空気が流入し、または、排気ダクトから必要以上の空気が流出することによって排気ダクト内の測定圧力が設定圧力の範囲から外れると、コントローラがモータダンパの旋回羽根の開度を調節して測定圧力を設定圧力の範囲内に戻すから、空気排気口の外側に吹く風の影響をモータダンパによって回避することができ、余分かつ不要な空気の排気ファン内への不規則な流入を防ぐことができるとともに、空気の排気ダクトからの不規則な流出を防ぐことができる。排気装置は、排気ファンやモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を排気対象室外に排気することができるから、排気対象室から排気する空気を一定に保持することができ、排気対象室から排気する空気の排気過少や排気過多を防ぐことができるとともに、排気対象室の室内気圧を一定に保持することができる。この排気装置は、排気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルームでの使用に特に有効であり、クリーンルームにおいて室内気圧の変動がない安定した空調環境を作ることが可能である。
【００１５】
測定圧力が設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパの旋回羽根の開度を大きくし、測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくし、測定圧力が設定圧力の範囲内に戻ると、そのときのモータダンパの旋回羽根の開度を保持する排気装置は、空気排気口の外側に吹く風の影響で余分かつ不要な空気が排気ダクトに流入して測定圧力が設定圧力の範囲を超過すると、旋回羽根の開度を大きくして排気対象室外に排気する空気の量を増加させ、測定圧力を設定圧力に戻すから、排気ファンやモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を排気対象室外に排気することができ、排気対象室から排気する空気を一定に保持することができるとともに、排気対象室の室内気圧を一定に保持することができる。排気装置は、空気排気口の外側に吹く風の影響で必要以上の空気が排気ダクトから流出して測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくして排気対象室外に排気する空気の量を減少させ、測定圧力を設定圧力に戻すから、排気ファンやモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を排気対象室外に排気することができ、排気対象室から排気する空気を一定に保持することができるとともに、排気対象室の室内気圧を一定に保持することができる。この排気装置は、測定圧力が設定圧力の範囲に戻ると、そのときのモータダンパの旋回羽根の開度を保持するから、排気ファンやモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を排気対象室外に排気することができ、排気対象室から排気する空気を一定に保持することができるとともに、排気対象室の室内気圧を一定に保持することができる。
【００１６】
排気装置は、排気ダクトを介して一定圧かつ一定量の空気を安定して排気対象室外に排気させるには排気ダクト内が正圧に保持される必要があるが、設定圧力が−１０００Ｐａ〜１０００Ｐａの範囲にあるから、空気排気口から余分かつ不要な空気が排気ダクトに流入し、または、必要以上の空気が排気ダクトから流出したとしても、モータダンパの旋回羽根が迅速に作動し、排気ダクト内の空気の圧力が負圧になることを防ぐことができる。この排気装置は、余分かつ不要な空気の排気ファン内への不規則な流入を防ぐことができ、必要以上の空気の排気ダクトからの不規則な流出を防ぐことができるから、排気ファンやモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を排気対象室外に排気することができ、排気対象室から排気する空気を一定に保持することができるとともに、排気対象室の室内気圧を一定に保持することができる。
【００１７】
排気装置は、モータダンパの旋回羽根の旋回速度が１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にあるから、空気排気口から余分かつ不要な空気が排気ダクトに流入し、または、必要以上の空気が排気ダクトから流出したとしても、モータダンパの旋回羽根が前記旋回速度で瞬時に旋回するから、測定圧力を設定圧力の範囲内に速やかに戻すことができ、排気ダクト内の空気の圧力が負圧になることを防ぐことができる。この排気装置は、余分かつ不要な空気の排気ファン内への不規則な流入を防ぐことができ、必要以上の空気の排気ダクトからの不規則な流出を防ぐことができるから、排気ファンやモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を排気対象室外に排気することができ、排気対象室から排気する空気を一定に保持することができるとともに、排気対象室の室内気圧を一定に保持することができる。
【００１８】
排気装置は、旋回羽根の開度が全閉（０％）なると、排気対象室から空気が排気されず、排気ファン内への空気の流入が停止し、排気ファンを介して空気を排気対象室外に排気することができないが、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときのその旋回羽根の最小開度が３〜２５％の範囲にあり、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの羽根の最小開度が３〜２５％に保持されるから、排気対象室外への空気の未排気状態が回避され、排気ファンやモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を排気対象室外に排気することができる。この排気装置は、排気対象室の室内気圧の極端な変動を防ぐことができ、排気対象室の室内気圧を一定に保持することができる。
【００１９】
排気装置は、排気ダクトの排気端部の空気排気口がチャンバーの頂壁と底壁とに向かって開口し、空気排気口がその外側に吹く風の影響を直接受けることがない方向に向いているから、空気排気口の外側に吹く風の排気口への直接の進入を防ぐことができ、モータダンパの旋回羽根の開度調節と相俟って、一定圧かつ一定量の空気を安定して排気対象室外に排気することができ、給気対象室から排気する空気を一定に保持することができるとともに、給気対象室の室内気圧を一定に保持することができる。この排気装置は、排気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルームでの使用に特に有効であり、クリーンルームにおいて室内気圧の変動がない安定した空調環境を作ることが可能である。
【００２０】
排気装置は、空気排気口を含む排気ダクトの排気端部が対象室を含む既設建物の壁に施設された排気ダクト収容ボックス内に収容されているから、空気排気口を含む排気ダクトの排気端部が外気に直接曝露されている場合と比較し、建物の外部に吹く風の影響を受け難く、建物の外側に吹く風の空気排気口への進入を最小限にすることができ、モータダンパの旋回羽根の開度調節と相俟って、一定圧かつ一定量の空気を安定して排気対象室外に排気することができ、給気対象室から排気する空気を一定に保持することができるとともに、給気対象室の室内気圧を一定に保持することができる。この排気装置は、排気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルームでの使用に特に有効であり、クリーンルームにおいて室内気圧の変動がない安定した空調環境を作ることが可能である。
【００２１】
排気装置は、排気ダクト収容ボックスが既設建物の壁に取り付けられたガラリと既設建物の壁から内側に突出する５面体のチャンバーとから形成され、チャンバーが互いに対向する頂面壁および底面壁と互いに対向する両側面壁と後側壁とから作られ、空気排気口を含む排気ダクトの排気端部がチャンバー内に収容されるから、排気端部が外気に直接曝露されている場合と比較し、建物の外部に吹く風の影響を受け難く、建物の外側に吹く風の空気排気口への進入を最小限にすることができ、モータダンパの旋回羽根の開度調節と相俟って、一定圧かつ一定量の空気を安定して排気対象室外に排気することができ、給気対象室から排気する空気を一定に保持することができるとともに、給気対象室の室内気圧を一定に保持することができる。この排気装置は、排気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルームでの使用に特に有効であり、クリーンルームにおいて室内気圧の変動がない安定した空調環境を作ることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】排気装置を含む室圧制御機構の一例を示す構成図。
【図２】排気装置を含む室圧制御機構の構成図。
【図３】一例として示す排気装置の構成図。
【図４】ガラリを備えた排気ダクト収容ボックスの一例を示す斜視図。
【図５】排気ダクト収容ボックスの側面図。
【図６】モータダンパのコントローラが実行する各手段を示すフローチャート。
【図７】一例として示す排気ダクトの排気端部を収容した排気ダクト収容ボックスの斜視図。
【図８】図７の８−８線矢視断面図。
【図９】他の一例として示す排気ダクトの排気端部を収容した排気ダクト収容ボックスの斜視図。
【図１０】図９の１０−１０線矢視断面図。
【図１１】他の一例として示す排気ダクトの排気端部を収容した排気ダクト収容ボックスの斜視図。
【図１２】図１１の１２−１２線矢視断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
排気装置１４を含む室圧制御機構１０の一例を示す構成図である図１等の添付の図面を参照し、本発明に係る排気装置の詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図２は、排気装置１４を含む室圧制御機構１０の構成図であり、図３は、一例として示す排気装置１４の構成図である。図４は、ガラリを備えた排気ダクト収容ボックス３３の一例を示す斜視図であり、図５は、図４の５−５線矢視断面図である。図１は、クリーンルーム１１，１２（排気対象室）を上方から示し、図２は、クリーンルーム１１，１２を側方から示す。図４，５では、上下方向を矢印Ｘ、横方向を矢印Ｙで示し（図５を除く）、前後方向を矢印Ｚで示す。
【００２４】
なお、排気対象室として半導体の製造や薬剤の製造、各種実験等に使用するクリーンルーム１１，１２を例示しているが、排気対象室をクリーンルーム１１，１２に限定するものではなく、排気対象室としてあらゆる室が含まれる。また、図１，２では２つのクリーンルーム１１，１２（排気対象室）を図示しているが、排気対象室を２つに限定するものではなく、１つまたは３つ以上の排気対象室にこの排気装置を適用することができる。
【００２５】
室圧制御機構１０は、所定容積を有するクリーンルーム１１，１２に空気（外気）を供給する給気装置１３と、クリーンルーム１１，１２から空気（室内空気）を排出する排気装置１４とから形成されている。クリーンルーム１１，１２は、工場１５（既設建物）内部に設置され、その四方を天井１６および床１７と、各側壁１８とに囲繞され、高い気密性を有する。天井１６には、空気をクリーンルーム１１，１２内に取り入れるための給気口（図示せず）が施設されている。側壁１８には、クリーンルーム１１，１２内から空気を排出するためのガラリ排気口１９が施設されている。側壁１８には、クリーンルーム１１，１２に出入りするためのドア２０が設置されている。クリーンルーム１１，１２の室内気圧は、あらかじめ設定された目標室内気圧に保持される。クリーンルーム１１，１２の目標室内気圧に特に限定はなく、クリーンルーム１１，１２の用途や容積等によって目標室内気圧を適宜設定することができる。
【００２６】
給気装置１３は、クリーンルーム１１，１２につながる金属製の給気ダクト２１と、給気ダクト２１を通る空気の所定量をクリーンルーム１１，１２に強制的に給気する給気ファン２２（送風機）と、クリーンルーム１１，１２に供給する空気を一定に保持する定風量ユニット２３とを有する。給気装置１３では、空気取込口２４からクリーンルーム１１，１２に向かって、給気ファン２２、定風量ユニット２３の順に並んでいる。空気取込口２４は、工場１５の壁２５に設置されたガラリ（図示せず）につながっている。給気ファン２２は、インターフェイスを介して制御装置（図示せず）に接続されている。制御装置は、給気ファン２２の出力を設定されたそれに保持し、給気ファン２２から送り出される空気の圧力および量を一定に保持する。
【００２７】
給気ダクト２１は、天井１６空間に配置され、空気取込口２４とクリーンルーム１１，１２の天井１６に施設された給気口との間に延びている。給気ダクト２１は、空気取込口２４から流入した空気をクリーンルーム１１，１２に搬送する。給気ファン２２は、定風量ユニット２３と空気取込口２４との間に延びる給気ダクト２１に取り付けられている。給気ファン２２は、一定量かつ一定圧の空気をクリーンルーム１１，１２に給気する。定風量ユニット２３は、給気ファン２２と給気口との間に延びる給気ダクト２１に取り付けられている。定風量ユニット２３は、給気ダクト２１の内部気圧の変動に対してユニット２３内を流れる空気量を調節し、クリーンルーム１１，１２に供給する空気量を常時一定に保持する。空気取込口２４から流入した空気は、給気ダクト２１を通って給気ファン２２に流入し、給気ファン２２からダクト２１を通って定風量ユニット２３に流入した後、ユニット２３からダクト２１を通り、給気口からクリーンルーム１１，１２内に供給される。
【００２８】
排気装置１４は、クリーンルーム１１，１２につながる金属製の排気ダクト２６と、クリーンルーム１１，１２から排出する空気を一定に保持する定風量ユニット２７と、排気ダクト２６を流れる空気の圧力を測定する圧力センサ２８と、クリーンルーム１１，１２から所定量の空気を強制的に排気する排気ファン２９（送風機）と、排気ダクト２６を流れる空気の量を調節するモータダンパ３０とを有する。排気ファン２９は、インターフェイスを介して制御装置（図示せず）に接続されている。制御装置は、排気ファン２９の出力を設定されたそれに保持し、排気ファン２９から送り出される空気の圧力および量を一定に保持する。なお、この実施の形態では、排気装置１４が定風量ユニット２７を備えているが、排気装置１４に定風量ユニット２７が含まれていなくてもよい。
【００２９】
排気ダクト２６は、床１７の下方に配置され、クリーンルーム１１，１２の側壁１８に施設されたガラリ排気口１９と空気排気口３１との間に延びている。排気ダクト２６は、ガラリ排気口１９から流出した空気を工場１５外（クリーンルーム１１，１２外）に搬送する。空気排気口３１を含む排気ダクト２６の排気端部３２は、図４，５に示すように、工場１５の壁２５に施設された排気ダクト収容ボックス３３内に収容されている。
【００３０】
定風量ユニット２７は、排気ファン２９とガラリ排気口１９との間に延びる給気ダクト２６に取り付けられている。圧力センサ２８は、排気ファン２９と定風量ユニット２７との間に延びる排気ダクト２６に設置されている。排気ファン２９は、定風量ユニット２７と排気ダクト収容ボックス３３との間に延びる排気ダクト２６に取り付けられている。排気ファン２９は、一定量かつ一定圧の空気をクリーンルーム１１，１２から排気する。モータダンパ３０は、排気ファン２９と空気排気口３１との間に延びる排気ダクト２６に設置されている。
【００３１】
排気装置１４では、クリーンルーム１１，１２から空気排気口３１に向かって、定風量ユニット２７、圧力センサ２８、排気ファン２９、モータダンパ３０の順に並んでいる。定風量ユニット２７は、排気ダクト２６の内部気圧の変動に対してユニット２７内を流れる空気量を調節し、クリーンルーム１１，１２から排出する空気量を常時一定に保持する。ガラリ排気口１９から流出した空気は、定風量ユニット２７に流入し、ユニット２７からダクト２６を通って排気ファン２９に流入した後、排気ファン２９からダクト２６を通り、空気排気口３１から工場１５の屋外に排気される。
【００３２】
排気ダクト収容ボックス３３は、工場１５の壁２５に取り付けられたガラリ３４と、工場１５の壁２５から内側に延出する５面体のチャンバー３５とから形成されている。チャンバー３５は、金属製の５つの壁３６から作られた横方向へ長い直方体であり、その内部に所定容積の内部空間３６を有する。それら壁３６は、互いに対向する頂壁３６Ａおよび底壁３６Ｂと、互いに対向する両側壁３６Ｃ，３６Ｄと、それら両側壁３６Ｃ，３６Ｄの間に位置する後側壁３６Ｅとから形成され、その平面形状が矩形に成形されている。
【００３３】
排気ダクト２６は、その一部が所定の固定手段（図示せず）を介して後側壁３６Ｅに着脱可能に取り付けられている。排気ダクト２６の排気端部３２は、排気ダクト収容ボックス３３の内部空間３７に収容されている。排気ダクト収容ボックス３３の内部空間３７では、排気端部３２が前後方向前方へ延び、空気排気口３１がガラリ３４に対向し、排気口３１が工場１５の外（屋外）に向かって前後方向前方へ開口している。なお、図４では、排気ダクト収容ボックス３３にクリーンルーム１１，１２から延びる２本の排気ダクト２６が接続されているが、ダクト２６の数を２本に限定するものではなく、２本を超過する数のダクトが排気ダクト収容ボックス３３に接続される場合もある。
【００３４】
モータダンパ３０は、モジュトロールモータ（図示せず）と、モータの回転を制御する（モータダンパ３０の旋回羽根３９の開度を調節する）コントローラ３８（制御装置）と、モータの駆動力によって旋回する旋回羽根３９とから形成されている。モータダンパ３０は、旋回羽根３９の旋回によって開閉される空気流路（図示せず）を有する。モータダンパ３０のコントローラ３８は、演算処理を行う中央処理部と各種条件を記憶可能なメモリ（記憶部）とを有するマイクロプロセッサである。
【００３５】
モータダンパ３０では、コントローラ３８からの制御信号によってモジュトロールモータが回転するとともに旋回羽根３９が所定角度に旋回し、空気流路に対する羽根３９の開度（旋回角度）を調整して空気流路を通過する空気量を調節する。コントローラ３８には、各種条件を入力するための入力装置、入力確認のための表示装置がインターフェイスを介して接続されている（図示せず）。モータダンパ３０には、平行翼ダンパまたは対向翼ダンパを使用することができる。なお、圧力センサ２８は、インターフェイス４０を介してモータダンパ３０のコントローラ３８に接続されている。
【００３６】
モータダンパ３０のコントローラ３８のメモリには、圧力センサ２８によって測定された排気ダクト２６の測定圧力と比較する設定圧力が格納されている。なお、設定圧力は、入力装置によって自由に設定変更することができる。設定圧力は、−１０００Ｐａ〜１０００Ｐａの範囲に設定される。
【００３７】
モータダンパ３０のコントローラ３８の中央処理部は、オペレーティングシステムによる制御に基づいてメモリに格納されたアプリケーションプログラムを起動し、起動したアプリケーションプログラムに従って以下の各手段を実行する。コントローラ３８の中央処理部は、圧力センサ２８から出力された排気ダクト２６内の測定圧力とあらかじめ設定された設定圧力とを比較する圧力比較手段を実行する。中央処理部は、測定圧力と設定圧力とを比較した結果、測定圧力が設定圧力の範囲から外れている場合、モータダンパ３０の旋回羽根３９の開度を調節して測定圧力を設定圧力の範囲内に戻す圧力制御手段を実行する。
【００３８】
測定圧力が設定圧力の範囲から外れているとは、測定圧力が設定圧力の範囲を超過している場合と測定圧力が設定圧力の範囲未満の場合とがある。排気ダクト収容ボックス３３の外部（工場１５の屋外）に吹く風の影響で、空気がガラリ３４を通ってボックス３３の内部空間３７に逆流し、空気排気口３１から排気ダクト２６に空気が流入すると、ダクト２６内の圧力が増加する。その結果、測定圧力が設定圧力の範囲を超過する場合がある。逆に、排気ダクト収容ボックス３３の外部に吹く風の影響で、空気がガラリ３４を通ってボックス３３の内部空間３７から流出し、排気ダクト２６から空気が流出すると、ダクト２６内の圧力が減少する。その結果、測定圧力が設定圧力の範囲未満となる場合がある。
【００３９】
測定圧力が設定圧力の範囲を超過している場合、コントローラ３８は、モータダンパ３０の旋回羽根３９が全開（開度１００％）でなければ、旋回羽根３９の開度を大きくし、ダンパ３０の空気流路を通る空気の量を増加させる（空気排気口３１から排気する空気の量を増加させる）。その結果、排気ダクト２６内の圧力が下がり、測定圧力が低下して測定圧力が設定圧力の範囲内に復帰する。逆に、測定圧力が設定圧力の範囲未満の場合、コントローラ３８は、旋回羽根３９が最小開度（開度３〜２５％）でなければ、旋回羽根３９の開度を小さくし、ダンパ３０の空気流路を通る空気の量を減少させ、排気ダクト２６からの空気の流出を制限する。その結果、排気ダクト２６内の圧力が上がり、測定圧力が増加して測定圧力が設定圧力の範囲内に復帰する。
【００４０】
測定圧力が設定圧力の範囲内にある場合、コントローラ３８は、旋回羽根３９が全開であれば、羽根３９の全開を保持するとともに、旋回羽根３９が最小開度であれば、羽根３９の最小開度を保持する。または、旋回羽根３９が全開でなければ、そのときの旋回羽根３９の開度を保持するとともに、旋回羽根３９が最小開度でなければ、そのときの旋回羽根３９の開度を保持する。コントローラ３８は、測定圧力が設定圧力の範囲から外れた後、旋回羽根３９の開度を調節したことによって測定圧力が設定圧力の範囲内に戻ると、そのときの旋回羽根３９の開度を保持する。
【００４１】
モータダンパ３０の旋回羽根３９の旋回速度は、１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲、好ましくは、１〜５ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にある。旋回速度が３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅを超えると、モータダンパ３０のレスポンスが低下し、排気ダクト収容ボックス３３の外部に吹く風の影響で、空気排気口３１から排気ダクト２６に空気が流入し、または、ダクト２６から空気が流出して測定圧力が急激に変化したときに、旋回羽根３９の旋回がそれに迅速に対応することができず、ダンパ３０の空気流路を通過する空気量の調節が遅れ、排気ファン２９やモータダンパ３０を利用して一定量かつ一定圧の空気をクリーンルーム１１，１２から排気できなくなる場合がある。モータダンパ３０では、その旋回羽根３９の旋回速度が１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にあるから、測定圧力が急激に変化したとしても、旋回羽根３９の旋回がそれに迅速に対応し、ダンパ３０の空気流路を通過する空気量を速やかに調節し、測定圧力を設定圧力の範囲内に速やかに復帰させる。
【００４２】
モータダンパ３０の旋回羽根３９の開度を小さくしたときの羽根３９の最小開度は、３〜２５％の範囲、好ましくは、５〜２０％に設定されている。したがって、旋回羽根３９の開度を最小にしたとしても、羽根３９が全閉（開度０％）になることはない。開度３〜２５％は、羽根３９が全開のときを開度１００％とし、その開度に対する割合である。たとえば、開度３％では、羽根全開１００％に対して３％だけ開いた状態を示し、開度２５％では、羽根全開１００％に対して２５％だけ開いた状態を示す。
【００４３】
給気ダクト２１や排気ダクト２６に取り付けられた定風量ユニット２３，２７は、図示はしていないが、モータダンパおよび風速センサと、制御装置と、それらを収容する筐体とから形成されている。定風量ユニット２３，２７のモータダンパは、モータダンパ３０と同一である。それら定風量ユニット２３，２７では、制御装置からの制御信号によってモジュトロールモータが回転するとともに旋回羽根が所定角度に旋回する。定風量ユニット２３，２７の制御装置は、演算処理を行う中央処理部と各種条件を記憶可能なメモリ（記憶部）とを有するマイクロプロセッサである。制御装置には、各種条件を入力するための入力装置、入力確認のための表示装置がインターフェイスを介して接続されている（図示せず）。
【００４４】
定風量ユニット２３，２７の制御装置のメモリには、クリーンルーム１１，１２の目標室内気圧と、定風量ユニット２３，２７を通過する空気通過量との相関関係が格納され、目標室内気圧に対応する空気通過量と、その空気通過量に対応するモータダンパの旋回羽根の開度（旋回角度）との相関関係が格納されている。目標室内気圧は、入力装置によって自由に設定変更することができる。定風量ユニット２３，２７の制御装置は、目標室内気圧が入力されると、メモリに格納された相関関係に基づいて目標室内気圧に対応する空気流路における空気通過量を決定し、空気流路を通過する空気通過量が決定したそれになるように、相関関係に基づいてモータダンパの旋回羽根の開度を決定した後、旋回羽根の開度を決定したそれに保持する。
【００４５】
それら定風量ユニット２３，２７は、給気ダクト２１や排気ダクト２６の内部気圧の変動に対してユニット２３，２７内を通る空気通過量を目標室内気圧に対応するそれに調節し、クリーンルーム１１，１２へ供給する空気量を一定に保持するとともに、クリーンルーム１１，１２から排気する空気量を一定に保持する。具体的には以下のとおりである。定風量ユニット２３，２７の制御装置は、風速センサから出力された風速からモータダンパの空気流路を通る空気通過量を演算し、演算した空気通過量と目標室内気圧に対応する空気通過量とを比較する。
【００４６】
定風量ユニット２３の制御装置は、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれよりも多い場合、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくし、空気流路を通過する空気通過量を少なくする。定風量ユニット２３の制御装置は、旋回羽根の開度を小さくした後、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれの範囲に入ると、そのときの旋回羽根の開度を維持する。演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれよりも少ない場合、定風量ユニット２３の制御装置は、モータダンパの旋回羽根の開度を大きくし、空気流路を通過する空気通過量を多くする。定風量ユニット２３の制御装置は、旋回羽根の開度を大きくした後、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれの範囲に入ると、そのときの旋回羽根の開度を維持する。
【００４７】
定風量ユニット２７の制御装置は、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれよりも多い場合、モータダンパの旋回羽根の開度を大きくし、空気流路を通過する空気通過量を多くする。定風量ユニット２７の制御装置は、旋回羽根の開度を大きくした後、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれの範囲に入ると、そのときの旋回羽根の開度を維持する。演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれよりも少ない場合、定風量ユニット２７の制御装置は、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくし、空気流路を通過する空気通過量を少なくする。定風量ユニット２７の制御装置は、旋回羽根の開度を小さくした後、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれの範囲に入ると、そのときの旋回羽根の開度を維持する。
【００４８】
図６は、モータダンパ３０のコントローラ３８が実行する各手段の一例を示すフローチャートである。図６のフローチャートに基づき、コントローラ３８によって実行される排気装置１４のプロセスの一例を説明すると、以下のとおりである。室圧制御機構１０を起動すると、給気ファン１３および排気ファン１４、定風量ユニット２３，２７、圧力センサ２８、モータダンパ３０が稼動する。圧力センサ２８は、排気ダクト２６内を流れる空気の圧力を測定し、その測定圧力をコントローラ３８に出力する。
【００４９】
室圧制御機構１０では、図１，２に矢印Ａ１で示すように、給気ファン２２や排気ダクト２１を介してクリーンルーム１１，１２内へ所定量の空気が給気され、矢印Ａ２で示すように、排気ファン２９や排気ダクト２６を介してクリーンルーム１１，１２から工場１５の屋外に所定量の空気が排気される。室圧制御機構１０の運転開始時点では、設定圧力に対応する量の空気がモータダンパ３０の空気流路を通過するように、旋回羽根３９の開度が所定開度に調節され、給気ファン２２や排気ファン２９の出力が調節されているとともに、定風量ユニット２３，２７の空気通過量が調節されており、圧力センサ２８から出力された測定圧力が設定圧力の範囲内にある（Ｓ−１）。
【００５０】
また、室圧制御機構１０では、給気ファン２２と定風量ユニット２３との間に延びる給気ダクト２１において、そこを流れる空気に圧力変動が生じたとしても、定風量ユニット２３によってダクト２１の空気通過量が一定に保持され、常時一定量の空気がクリーンルーム１１，１２に給気される。また、定風量ユニット２７と排気ファン２９との間に延びる排気ダクト２６において、そこを流れる空気に圧力変動が生じたとしても、定風量ユニット２７によってダクト２６の空気通過量が一定に保持され、常時一定量の空気がクリーンルーム１１，１２から排気される。
【００５１】
図５に矢印Ａ３で示すように、工場１５の壁２５に取り付けられたガラリ３４の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気が排気ダクト収容ボックス３３の内部空間３７に進入し、さらに、空気排気口３１から排気ダクト２６内へ不要かつ余分な空気が一気に流入する場合がある。空気排気口３１からダクト２６内へ空気が流入すると、その空気がダクト２６を通って排気ファン２９の内部に流入し、ダクト２６（定風量ユニット２７と排気ファン２９との間に延びる排気ダクト２６）内の圧力が増加し、測定圧力が設定圧力の範囲を超過する場合がある。また、図５に矢印Ａ４で示すように、ガラリ３４の外側近傍で吹く風の影響で空気が排気ダクト２６から一気に流出する場合がある。排気ダクト２６から空気が流出すると、ダクト２６（定風量ユニット２７と排気ファン２９との間に延びる排気ダクト２６）内の圧力が減少し、測定圧力が設定圧力の範囲未満となる場合がある。
【００５２】
定風量ユニット２７では、モータダンパの旋回羽根の開度を調節することで、そこを通る空気の通過量を一定に保持するが、余分な空気が排気ダクト２６に一気に流入し、または、余分な空気が排気ダクト２６から一気に流出すると、定風量ユニット２７のモータダンパがそれに追い付かず、排気ダクト２６内の圧力が急激に変化する場合がある。排気ダクト２６内の圧力の変化によって、余分な空気がダクト２６からクリーンルーム１１，１２内に流入し、または、余分な空気がクリーンルーム１１，１２から流出すると、クリーンルーム１１，１２の内部気圧を目標室内気圧に保持することができない場合がある。クリーンルーム１１１，１２ではその内部気圧を厳格に管理する必要があるが、排気ダクト２６内の圧力変動による影響でクリーンルーム１１，１２の内部気圧が変動する場合があり、排気ダクト２６内の圧力変動による影響を無視することはできない。
【００５３】
しかし、この室圧制御機構１０における排気装置１４では、排気ダクト２６を通過する空気の圧力（モータダンパ３０の空気流路を通過する空気量）を監視し、ダクト２６を通る空気の量（空気圧）を一定に保持するから、排気ファン２９に余分な空気が不定期かつ不規則に流入することや排気ダクト２６から余分な空気が不定期かつ不規則に流出することはない。具体的にモータダンパ３０のコントローラ３８は、圧力センサ２８から出力された測定圧力とメモリに格納した設定圧力とを比較する（圧力比較手段）（Ｓ−２）。次に、コントローラ３８は、測定圧力と設定圧力とを比較した結果、測定圧力が設定圧力の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−３）。
【００５４】
モータダンパ３０のコントローラ３８は、測定圧力が設定圧力の範囲内にあると判断すると、そのときの旋回羽根３９の開度を保持する。次に、コントローラ３８は、室圧制御機構１０を停止するかを判断する（Ｓ−４）。室圧制御機構１０の停止指示があると、コントローラ３８は、排気装置１４の運転を停止する。室圧制御機構１０を継続して運転する場合、ステップ２（Ｓ−２）に戻って測定圧力と設定圧力とを比較し、ステップ２（Ｓ−２）からのプロセスを繰り返す。
【００５５】
ステップ３（Ｓ−３）においてモータダンパ３０のコントローラ３８は、測定圧力が設定圧力の範囲内になく、測定圧力が設定圧力の範囲を超過していると判断すると、旋回羽根３９が全開（開度１００％）でなければ、旋回羽根３９の開度を大きくする（Ｓ−５）。なお、旋回羽根３９が全開であれば、全開を保持する（Ｓ−５）。
【００５６】
モータダンパ３０のコントローラ３８は、排気ダクト２６を通る空気の設定圧力とその設定圧力に対応する空気通過量との相関関係、圧力センサ２８から出力される各測定圧力とそれら測定圧力に対応する空気通過量との相関関係、測定圧力に対応する空気通過量から設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量に対応する旋回羽根３９の開度（旋回角度）に基づいて、旋回羽根３９の開度を決定することもできる。この場合、コントローラ３８のメモリには、それら相関関係や旋回羽根３９の開度が格納されている。
【００５７】
具体的には以下のとおりである。モータダンパ３０のコントローラ３８は、測定圧力が設定圧力の範囲を超過している場合、設定圧力とその設定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、設定圧力に対応する空気通過量を決定するとともに、測定圧力とその測定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、圧力センサ２８から出力された測定圧力に対応する空気通過量を決定する。測定圧力に対応する空気通過量は、設定圧力に対応する空気通過量よりも多い。
【００５８】
さらに、モータダンパ３０のコントローラ３８は、測定圧力に対応する空気通過量から設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量を算出する。算出した空気通過量はプラスとなる。コントローラ３８は、設定圧力に対応する空気通過量から測定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量（プラス）に対応するモータダンパ３０の旋回羽根３９の開度に基づいて、算出した空気通過量に対応する旋回羽根３９の開度を決定する。なお、旋回羽根３９の開度はプラスになる。したがって、コントローラ３８は、旋回羽根３９の開度が全開であれば、旋回羽根３９の開度を全開に保持し、旋回羽根３９の開度が全開でなければ、旋回羽根３９の開度を大きくする（Ｓ−５）。
【００５９】
モータダンパ３０のコントローラ３８は、旋回羽根３９の開度を全開に保持し、または、旋回羽根３９の開度を大きくした後、室圧制御機構１０を停止するかを判断する（Ｓ−４）。室圧制御機構１０の停止指示があると、コントローラ３８は、排気装置１４の運転を停止する。室圧制御機構１０を継続して運転する場合、開度全開または大きくした開度を保持した状態で室圧制御機構１０が運転され、ステップ２（Ｓ−２）に戻って圧力センサ２８から出力された測定圧力とメモリに格納した設定圧力とを比較する（圧力比較手段）（Ｓ−２）。旋回羽根３９の開度が全開または大きくなると、モータダンパ３０の空気流路を通過する空気量が増加し、測定圧力が低下して測定圧力が設定圧力の範囲内に復帰する（圧力制御手段）。ゆえに、空気排気口３１から不要かつ余分な空気が排気ダクト２６に流入したとしても、排気ファン２９を介して排気する空気量を設定圧力に対応するそれに保持することができる。
【００６０】
ステップ３（Ｓ−３）においてモータダンパ３０のコントローラ３８は、測定圧力が設定圧力の範囲内になく、測定圧力が設定圧力の範囲未満であると判断すると、旋回羽根３９が最小開度（開度３〜２５％）でなければ、旋回羽根３９の開度を小さくする（Ｓ−５）。なお、旋回羽根３９が最小開度（開度３〜２５％）であれば、その開度を保持し（Ｓ−５）、最小開度未満にすることはなく、旋回羽根３９が全閉になることはない。
【００６１】
メモリに格納された各相関関係や旋回羽根３９の開度に基づいて、開度を決定する場合は以下のとおりである。モータダンパ３０のコントローラ３８は、測定圧力が設定圧力の範囲未満である場合、設定圧力とその設定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、設定圧力に対応する空気通過量を決定するとともに、測定圧力とその測定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、圧力センサ２８から出力された測定圧力に対応する空気通過量を決定する。測定圧力に対応する空気通過量は、設定圧力に対応する空気通過量よりも少ない。
【００６２】
さらに、モータダンパ３０のコントローラ３８は、測定圧力に対応する空気通過量から設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量を算出する。算出した空気通過量はマイナスとなる。コントローラ３８は、測定圧力に対応する空気通過量から設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量（マイナス）に対応するモータダンパ３０の旋回羽根３９の開度に基づいて、算出した空気通過量に対応する旋回羽根３９の開度を決定する。なお、旋回羽根３９の開度はマイナスになる。したがって、コントローラ３８は、旋回羽根３９が最小開度でなければ、旋回羽根３９の開度を小さくする（Ｓ−５）。
【００６３】
モータダンパ３０のコントローラ３８は、旋回羽根３９を最小開度に保持し、または、旋回羽根３９の開度を小さくした後、室圧制御機構１０を停止するかを判断する（Ｓ−４）。室圧制御機構１０の停止指示があると、コントローラ３８は、排気装置１４の運転を停止する。室圧制御機構１０を継続して運転する場合、旋回羽根３９を最小開度または小さくした開度を保持した状態で室圧制御機構１０が運転され、ステップ２（Ｓ−２）に戻って圧力センサ２８から出力された測定圧力とメモリに格納した設定圧力とを比較する（圧力比較手段）（Ｓ−２）。旋回羽根３９の開度が最小開度または小さくなると、モータダンパ３０の空気流路を通過する空気量が減少し、排気ダクト２６からの空気の排気を制限することで、測定圧力が上昇して測定圧力が設定圧力の範囲内に復帰する（圧力制御手段）。ゆえに、空気排気口３１から不要かつ余分な空気が流出したとしても、排気ファン２９を介して排気する空気量を設定圧力に対応するそれに保持することができる。
【００６４】
工場１５の壁２５に取り付けられたガラリ３４の外側近傍に吹いていた風が納まり、空気排気口３１から排気ダクト２６への余分な空気の流入が停止すると、モータダンパ３０の空気流路を通過する空気量が旋回羽根３９の開度を大きくした直後の空気流路を通過するそれに比較して増加し、圧力センサ２８から出力される測定圧力も低下する。測定圧力と設定圧力との比較（Ｓ−２）においてモータダンパ３０のコントローラ３８は、ステップ３（Ｓ−３）において測定圧力が設定圧力の範囲内にあると判断すると、そのときの旋回羽根３９の開度を保持し、室圧制御機構１０を継続して運転する場合、ステップ２（Ｓ−２）に戻って測定圧力と設定圧力とを比較し、ステップ２（Ｓ−２）からのプロセスを繰り返す。なお、旋回羽根３９の開度を大きくした後、圧力センサ２８から出力される測定圧力が低下し、測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、コントローラ３８は、旋回羽根３９の開度を再び小さくする（Ｓ−５）。
【００６５】
モータダンパ３０のコントローラ３８は、ガラリ３４の外側近傍で再び強い風が吹き、その風の影響で余分な空気が再び排気ダクト２６に流入し、測定圧力が設定圧力の範囲外になり、測定圧力が設定圧力を超過すると、旋回羽根３９の開度が全開であれば、旋回羽根３９の開度を全開に保持し、旋回羽根３９の開度が全開でなければ、旋回羽根３９の開度を大きくする（Ｓ−５）。コントローラ３８は、旋回羽根３９の開度を大きくした後、大きくした開度を保持した状態で、ステップ２（Ｓ−２）に戻って圧力センサ２８から出力された測定圧力とメモリに格納した設定圧力とを比較する（圧力比較手段）（Ｓ−２）。
【００６６】
工場１５の壁２５に取り付けられたガラリ３４の外側近傍に吹いていた風が納まり、排気ダクト２６からの不要かつ余分な空気の流出が停止すると、モータダンパ３０の空気流路を通過する空気量が旋回羽根３９の開度を小さくした直後の空気流路を通過するそれに比較して減少し、圧力センサ２８から出力される測定圧力も上昇する。測定圧力と設定圧力との比較（Ｓ−２）においてモータダンパ３０のコントローラ３８は、ステップ３（Ｓ−３）において測定圧力が設定圧力の範囲内にあると判断すると、そのときの旋回羽根３９の開度を保持し、室圧制御機構１０を継続して運転する場合、ステップ２（Ｓ−２）に戻って測定圧力と設定圧力とを比較し、ステップ２（Ｓ−２）からのプロセスを繰り返す。なお、旋回羽根３９の開度を小さくした後、圧力センサ２８から出力される測定圧力が上昇し、測定圧力が設定圧力を超過すると、コントローラ３８は、旋回羽根３９の開度を再び大きくする（Ｓ−５）。
【００６７】
排気装置１４は、工場１５の壁２５に取り付けられたガラリ３４の外側近傍（工場１５の屋外）に吹く風の影響で不要かつ余分な空気が排気ダクト２６に流入し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパ３０の旋回羽根３９の開度を大きくしてモータダンパ３０の空気流路を通過する空気量を増加させるから、空気排気口３１から排気する空気の量を増加させることができ、排気ファン２９やモータダンパ３０を利用して一定圧かつ一定量の空気を安定してクリーンルーム１１，１２外に排気することができる。
【００６８】
排気装置１４は、ガラリ３４の外側近傍に吹く風の影響で不要かつ余分な空気が排気ダクト２６から流出し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、モータダンパ３０の旋回羽根３９の開度を小さくしてモータダンパ３０の空気流路を通過する空気量を減少させるから、空気排気口３１から排気する空気の量を減少させることができ、排気ファン２９やモータダンパ３０を利用して一定圧かつ一定量の空気を安定してクリーンルーム１１，１２外に排気することができる。また、測定圧力が設定圧力の範囲に戻ると、そのときのモータダンパ３０の旋回羽根３９の開度を保持するから、排気ファン２９やモータダンパ３０を利用して一定圧かつ一定量の空気を安定してクリーンルーム１１，１２外に排気することができる。
【００６９】
排気装置１４は、それを利用することで、クリーンルーム１１，１２から排気する空気を一定に保持することができ、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を目標室内気圧に維持することができる。この排気装置１４は、排気ファン２９から排気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルーム１１，１２での使用に特に有効であり、クリーンルーム１１，１２において室内気圧の変動がない空調環境を作ることが可能である。
【００７０】
一定圧かつ一定量の空気を安定して空気排気口３１からクリーンルーム１１，１２外に排気させるには排気ダクト２６内が正圧に保持される必要があるが、この排気装置１４は、設定圧力が−１０００Ｐａ〜１０００Ｐａの範囲にあるから、空気排気口３１から空気が排気ダクト２６に流入し、または、空気が排気ダクト２６から流出したとしても、モータダンパ３０の旋回羽根３９が迅速に作動し、排気ダクト２６内の空気の圧力が負圧になることを防ぐことができる。
【００７１】
排気装置１４は、モータダンパ３０の旋回羽根３９の旋回速度が１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にあるから、空気排気口３１から空気が排気ダクト２６に流入し、または、空気が排気ダクト２６から流出することで排気ダクト２６の内部気圧が変動したとしても、モータダンパ３０の旋回羽根３９が前記旋回速度で瞬時に旋回し、測定圧力を設定圧力の範囲内に速やかに戻すことができ、排気ダクト２６内の空気の圧力変動を確実に防ぐことができる。排気装置１４は、余分な空気が不定期かつ不規則に排気ファン２９内に流入することはなく、余分な空気が不定期かつ不規則に排気ダクト２６から流出することもないから、排気ファン２９やモータダンパ３０を利用して一定圧かつ一定量の空気をクリーンルーム１１，１２外に排気することができ、クリーンルーム１１，１２から排気する空気を一定に保持することができる。
【００７２】
旋回羽根３９の開度が全閉（０％）なると、クリーンルーム１１，１２から空気が排気されず、排気ファン２９内への空気の流入が停止し、排気ファン２９を介して空気をクリーンルーム１１，１２外に排気することができないが、この排気装置１４は、モータダンパ３０の旋回羽根３９の開度を小さくしたときの羽根３９の最小開度が３〜２５％の範囲にあるから、旋回羽根３９の開度が全閉（０％）なることはなく、クリーンルーム１１，１２外への空気の未排気状態が回避され、クリーンルーム１１，１２の室内気圧の極端な上昇を防ぐことができるとともに、排気ファン２９やモータダンパ３０を利用して一定圧かつ一定量の空気をクリーンルーム１１，１２外に排気することができる。
【００７３】
排気装置１４は、空気排気口３１を含む排気ダクト２６の排気端部３２が排気ダクト収容ボックス３３の内部空間３７に収容されるから、排気端部３２が外気に直接曝露されている場合と比較し、工場１５の屋外に吹く風の影響を受け難く、工場１５の屋外に吹く風の空気排気口３１への進入や排気ダクト２６からの空気の流出を最小限にすることができ、モータダンパ３０の旋回羽根３９の開度調節と相俟って、一定圧かつ一定量の空気を安定してクリーンルーム１１，１２外に排気することができ、クリーンルーム１１，１２から排気する空気を一定に保持することができるとともに、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を一定に保持することができる。
【００７４】
図７は、一例として示す排気ダクト２６の排気端部３２を収容した排気ダクト収容ボックス３３の斜視図であり、図８は、図７の８−８線矢視断面図である。図７，８では、上下方向を矢印Ｘ、横方向を矢印Ｙで示し（図８を除く）、前後方向を矢印Ｚで示す。排気ダクト２６は、その一部が所定の固定手段を介してチャンバー３５の後側壁３６Ｅに着脱可能に取り付けられている。排気ダクト２６の排気端部３２は、排気ダクト収容ボックス３３の内部空間３７に収容されている。排気端部３２は、内部空間３７において前後方向前方へ延びた後、上下方向上方へ屈曲して上方へ延びている。この排気ダクト２６では、空気排気口３１がチャンバー３５の頂壁３６Ａに対向し、排気口３１が頂壁３６Ａに向かって上下方向上方へ開口している。
【００７５】
なお、図示はしていないが、排気端部３２が内部空間３７において前後方向前方へ延びた後、上下方向下方へ屈曲して下方へ延びていてもよい。この場合は、空気排気口３１がチャンバー３５の底壁３６Ｂに対向し、排気口３１が底壁３６Ｂに向かって上下方向下方へ開口する。また、排気端部３２が内部空間３７において前後方向前方へ延びた後、横方向左方と横方向右方とのいずれか一方へ屈曲して横方向へ延びていてもよい。この場合は、空気排気口３１がチャンバー３５の両側壁３６Ｃ，３６Ｄのいずれかに対向し、排気口３１が両側壁３６Ｃ，３６Ｄのいずれかに向かって横方向へ開口する。
【００７６】
この排気ダクト２６では、その排気端部３２がガラリ３４の外側に吹く風（空気の動圧）の影響を直接受けることがない方向へ延出し、それによって空気排気口３１がガラリ３４の外側に吹く風（空気の動圧）の影響を直接受けることがない方向に向いている。ガラリ３４の外側近傍で強い風が吹き、図８に矢印Ａ３で示すように、その風の影響で空気がガラリ３４を通って排気ダクト収容ボックス３３の内部空間３７に進入し、空気が空気排気口３１に流入しようとしても、排気口３１が頂壁３６Ａに向かって開口しているから（排気口３１が底壁３６Ｂや両側壁３６Ｃ，３６Ｄに向かって開口する場合もある）、空気が排気口３１から進入し難く、排気ダクト２６内への空気の流入を最小限にすることができる。排気ダクト２６の排気端部３２は、排気ファン２９から排気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルーム１１，１２での使用に特に有効である。
【００７７】
この排気ダクト２６の排気端部３２を備えた排気装置１４のモータダンパ３０のコントローラ３８が実行する各手段は図１のそれと同一であり、図６およびその説明を援用することで、各手段の説明は省略する。排気ダクト２６の排気端部３２を備えた排気装置１４は、図１に示す排気装置１４が有する効果に加え、以下の効果を有する。
【００７８】
図７の排気端部３２を備えた排気装置１４は、ガラリ３４の外側近傍に吹く風（空気）がガラリ３４を通って排気ダクト収容ボックス３３の内部空間３７に進入し、その風の影響で空気が空気排気口３１に流入しようとしても、排気口３１がチャンバー３５の頂壁３６Ａに対向し、排気口３１がガラリ３４の外側に吹く風の影響を直接受けることがない方向に向いているから、空気がボックス３３の内部空間３７に進入したとしても、わずかな空気（静圧）のみが排気ダクト２６内へ流入するに過ぎない。
【００７９】
この排気装置１４は、わずかな空気が排気ダクト２６内へ流入し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲を超過したとしても、モータダンパ３０の旋回羽根３９の開度を大きくしてダンパ３０の空気流路を通過する空気量を増加させ、空気排気口３１から排気する空気の量を増加させるから、ダンパ３０を利用してガラリ３４の外側近傍に吹く風の影響を打ち消すことができ、一定圧かつ一定量の空気を安定してクリーンルーム１１，１２外に排気することができる。この排気装置１４は、クリーンルーム１１，１２において室内気圧の変動がない空調環境を確実に作ることが可能である。
【００８０】
図９は、他の一例として示す排気ダクト２６の排気端部３２を収容した排気ダクト収容ボックス３３の斜視図であり、図１０は、図９の１０−１０線矢視断面図である。図９，１０では、上下方向を矢印Ｘ、横方向を矢印Ｙで示し（図１０を除く）、前後方向を矢印Ｚで示す。排気ダクト２６は、その一部が所定の固定手段を介してチャンバー３５の後側壁３６Ｅに着脱可能に取り付けられている。排気ダクト２６の排気端部３２は、排気ダクト収容ボックス３３の内部空間３７に収容されている。
【００８１】
排気端部３２は、内部空間３７において前後方向前方へ延びる水平部分３２Ａと、空気排気口３１を有して上下方向へ延びる垂直部分３２Ｂとから形成されている。垂直部分３２Ｂは、水平部分３２Ａの先端につながっている。水平部分３２Ａと垂直部分３２Ｂとは、溶接によって気密に接続されている。この排気ダクト２６では、空気排気口３１がチャンバー３５の頂壁３６Ａと底壁３６Ｂとに対向し、排気口３１が頂壁３６Ａと底壁３６Ｂとに向かって上下方向へ開口している。
【００８２】
この排気ダクト２６では、その排気端部３２の垂直部分３２Ｂがガラリ３４の外側に吹く風（空気の動圧）の影響を直接受けることがない方向へ延出し、それによって空気排気口３１がガラリ３４の外側に吹く風（空気の動圧）の影響を直接受けることがない方向に向いている。ガラリ３４の外側近傍で強い風が吹き、図１０に矢印Ａ３で示すように、その風の影響で空気がガラリ３４を通って排気ダクト収容ボックス３３の内部空間３７に進入し、空気が空気排気口３１に流入しようとしても、排気口３１が頂壁３６Ａと底壁３６Ｂとに向かって開口しているから、空気が排気口３１から進入し難く、排気ダクト２６内への空気の流入を最小限にすることができる。排気ダクト２６の排気端部３２は、排気ファン２９から排気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルーム１１，１２での使用に特に有効である。
【００８３】
この排気ダクト２６の排気端部３２を備えた排気装置１４のモータダンパ３０のコントローラ３８が実行する各手段は図１のそれと同一であり、図６およびその説明を援用することで、各手段の説明は省略する。排気ダクト２６の排気端部３２を備えた排気装置１４は、図１に示す排気装置１４が有する効果に加え、以下の効果を有する。
【００８４】
図９の排気端部３２を備えた排気装置１４は、ガラリ３４の外側近傍に吹く風（空気）がガラリ３４を通って排気ダクト収容ボックス３３の内部空間３７に進入し、その風の影響で空気が空気排気口３１に流入しようとしても、排気端部３２の垂直部分３２Ｂがガラリに向かって延びておらず、排気口３１がチャンバー３５の頂壁３６Ａと底壁３６Ｂとに対向し、排気口３１がガラリ３４の外側に吹く風の影響を直接受けることがない方向に向いているから、空気がボックス３３の内部空間３７に進入したとしても、わずかな空気（静圧）のみが排気ダクト２６内へ流入するに過ぎない。
【００８５】
この排気装置１４は、わずかな空気が排気ダクト２６内へ流入し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲を超過したとしても、モータダンパ３０の旋回羽根３９の開度を大きくしてダンパ３０の空気流路を通過する空気量を増加させ、空気排気口３１から排気する空気の量を増加させるから、ダンパ３０を利用してガラリ３４の外側近傍に吹く風の影響を打ち消すことができ、一定圧かつ一定量の空気を安定してクリーンルーム１１，１２外に排気することができる。この排気装置１４は、クリーンルーム１１，１２において室内気圧の変動がない空調環境を確実に作ることが可能である。
【００８６】
図１１は、他の一例として示す排気ダクト２６の排気端部３２を収容した排気ダクト収容ボックス３３の斜視図であり、図１２は、図１１の１２−１２線矢視断面図である。図１１，１２では、上下方向を矢印Ｘ、横方向を矢印Ｙで示し（図１２を除く）、前後方向を矢印Ｚで示す。排気ダクト２６は、その一部が所定の固定手段を介してチャンバー３５の後側壁３６Ｅに着脱可能に取り付けられている。排気ダクト２６の排気端部３２は、排気ダクト収容ボックス３３の内部空間３７に収容されている。
【００８７】
排気端部３２は、内部空間３７において前後方向前方へ延びる第１水平部分３２Ａと、横方向へ延びる第２水平部分３２Ｂと、空気排気口３１を有して上下方向へ延びる２本の垂直部分３２Ｃとから形成されている。第２水平部分３２Ｂは、第１水平部分３２Ａの先端につながり、垂直部分３２Ｂは、第２水平部分３２Ｂの横方向両端につながっている。第１水平部分３２Ａと第２水平部分３２Ｂとは、溶接によって気密に接続されている。第２水平部分３２Ｂと垂直部分３２Ｃとは、溶接によって気密に接続されている。この排気ダクト２６では、空気排気口３１がチャンバー３５の頂壁３６Ａと底壁３６Ｂとに対向し、排気口３１が頂壁３６Ａと底壁３６Ｂとに向かって上下方向へ開口している。
【００８８】
この排気ダクト２６では、その排気端部３２の垂直部分３２Ｃがガラリ３４の外側に吹く風（空気の動圧）の影響を直接受けることがない方向へ延出し、それによって空気排気口３１がガラリ３４の外側に吹く風（空気の動圧）の影響を直接受けることがない方向に向いている。ガラリ３４の外側近傍で強い風が吹き、図１２に矢印Ａ３で示すように、その風の影響で空気がガラリ３４を通って排気ダクト収容ボックス３３の内部空間３７に進入し、空気が空気排気口３１に流入しようとしても、排気口３１が頂壁３６Ａと底壁３６Ｂとに向かって開口しているから、空気が排気口３１から進入し難く、排気ダクト２６内への空気の流入を最小限にすることができる。排気ダクト２６の排気端部３２は、排気ファン２９から排気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルーム１１，１２での使用に特に有効である。
【００８９】
この排気ダクト２６の排気端部３２を備えた排気装置１４のモータダンパ３０のコントローラ３８が実行する各手段は図１のそれと同一であり、図６およびその説明を援用することで、各手段の説明は省略する。排気ダクト２６の排気端部３２を備えた排気装置１４は、図１に示す排気装置１４が有する効果に加え、以下の効果を有する。
【００９０】
図１１の排気端部３２を備えた排気装置１４は、ガラリ３４の外側近傍に吹く風（空気）がガラリ３４を通って排気ダクト収容ボックス３３の内部空間３７に進入し、その風の影響で空気が空気排気口３１に流入しようとしても、排気端部３２のそれら垂直部分３２Ｃがガラリに向かって延びておらず、排気口３１がチャンバー３５の頂壁３６Ａと底壁３６Ｂとに対向し、排気口３１がガラリ３４の外側に吹く風の影響を直接受けることがない方向に向いているから、空気がボックス３３の内部空間３７に進入したとしても、わずかな空気（静圧）のみが排気ダクト２６内へ流入するに過ぎない。
【００９１】
この排気装置１４は、わずかな空気が排気ダクト２６内へ流入し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲を超過したとしても、モータダンパ３０の旋回羽根３９の開度を大きくしてダンパ３０の空気流路を通過する空気量を増加させ、空気排気口３１から排気する空気の量を増加させるから、ダンパ３０を利用してガラリ３４の外側近傍に吹く風の影響を打ち消すことができ、一定圧かつ一定量の空気を安定してクリーンルーム１１，１２外に排気することができる。この排気装置１４は、クリーンルーム１１，１２において室内気圧の変動がない空調環境を確実に作ることが可能である。
【符号の説明】
【００９２】
１０    室圧制御機構
１１    クリーンルーム（排気対象室）
１２    クリーンルーム（排気対象室）
１３    給気装置
１４    排気装置
１５    工場（既設建物）
２１    給気ダクト
２２    給気ファン
２３    定風量ユニット
２５    壁
２６    排気ダクト
２７    定風量ユニット
２８    圧力センサ
２９    排気ファン
３０    モータダンパ
３２    排気端部
３１    空気排気口
３２    排気端部
３３    排気ダクト収容ボックス
３４    ガラリ
３５    チャンバー
３６    壁
３８    コントローラ
３９    旋回羽根
【図１】
0005502392.tif 000002
【図２】
0005502392.tif 000003
【図３】
0005502392.tif 000004
【図４】
0005502392.tif 000005
【図５】
0005502392.tif 000006
【図６】
0005502392.tif 000007
【図７】
0005502392.tif 000008
【図８】
0005502392.tif 000009
【図９】
0005502392.tif 000010
【図１０】
0005502392.tif 000011
【図１１】
0005502392.tif 000012
【図１２】
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