(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品搬送車を案内する走行レールが、天井部から吊下げ支持される状態で設けられ、前記走行レールの横側方でかつ下方箇所に、前記物品搬送車との間で移載する物品を載置支持する物品載置体が、前記天井部から吊下げ支持される状態で、かつ、前記走行レールの横側方でかつ下方箇所に位置して前記物品搬送車との間で物品を移載する移載用位置と、その移載用位置から前記走行レールの横側方において上方に退避させた退避位置と、に位置調整自在に支持された状態で設けられた物品搬送設備であって、
前記物品載置体が、物品を載置した状態で、前記移載用位置と前記退避位置とに位置変更自在に支持されている物品搬送設備。
【請求項２】
前記物品載置体が、前記退避位置に位置するときに前記走行レールを走行する前記物品搬送車との接当干渉を回避すべく、前記退避位置においては前記移載用位置よりも前記走行レールに対して横側方に大きく離間される形態で位置変更自在に支持されている請求項１記載の物品搬送設備。
【請求項３】
前記物品載置体が、前記移載用位置から前記退避位置に上昇されるほど、前記走行レールに対して横側方に大きく離間されるスライド移動形態で位置変更自在に支持されている請求項２記載の物品搬送設備。
【請求項４】
前記走行レールの長手方向に沿う長尺状の物品載置台に、前記物品載置体が前記走行レールの長手方向に沿って並ぶ状態で設けられ、
前記物品載置台における前記走行レールの長手方向の両端部に、上方に向けて突出する姿勢で下枠が備えられ、
それらの一対の下枠の夫々が、前記天井部に吊下げ支持された一対の上枠に対して、上昇されるほど前記走行レールに対して横側方に大きく離間される形態でスライドレール機構により昇降自在に支持されることによって、前記物品載置体が、前記スライド移動形態で位置変更自在に支持されている請求項３記載の物品搬送設備。
【請求項５】
前記物品載置体の識別情報を表示する表示体が、前記物品載置体が前記移載用位置に位置するときには、前記物品搬送車に装備した識別情報検出センサが検出可能な被検出位置となり、かつ、前記物品載置体が前記退避位置に位置するときには、前記識別情報検出センサが検出不能な検出不能位置となるように、前記物品載置体の位置変更に連動して、前記被検出位置と前記検出不能位置とに位置変更される状態で設けられている請求項１〜４のいずれか１項に記載の物品搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品搬送車を案内する走行レールが、天井部から吊下げ支持される状態で設けられ、前記走行レールの横側方でかつ下方箇所に、前記物品搬送車との間で移載する物品を載置支持する物品載置体が、前記天井部から吊下げ支持される状態で、かつ、前記走行レールの横側方でかつ下方箇所に位置して前記物品搬送車との間で物品を移載する移載用位置と、その移載用位置から前記走行レールの横側方において上方に退避させた退避位置と、に位置調整自在に支持された状態で設けられた物品搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる物品搬送設備は、例えば、クリーンルーム内に設置されて、シリコン基板等の基板を収納する収納容器を物品として搬送することに使用される。
すなわち、基板に対して複数種の処理を行う複数の基板処理装置の搬出入部を経由する状態で走行レールが配設されて、物品搬送車が物品を複数の基板処理装置に対して搬送することになり、そして、物品載置体が、処理途中の物品を一時的に保管することに用いられる。
【０００３】
つまり、物品載置体は、走行レールの横側方の空間を利用して、走行レールの長手方向の各所に多数設けることができるものであるため、処理途中の物品を、次に搬送すべき基板処理装置に近くの物品載置体に保管することにより、物品の搬送効率を向上させる上で有利となり、また、物品載置体を設けない場合には、処理途中の物品を保管する保管装置を床面に設置するにあたり、大掛かりな保管装置を設ける必要があるが、物品載置体を設けることにより、保管装置を不要にするあるいは保管装置の小型化を図ることができるものとなる。
【０００４】
また、物品搬送設備においては、例えば、クリーンルームにおいてレイアウトの変更等のために基板処理装置を搬出入するときに、天井部側に位置するものの、走行レールよりも下方に位置することになる物品載置体が、基板処理装置の搬送に邪魔になる等、物品載置体が邪魔になることがあるが、このようなときには、物品載置体を移載用位置から上方に退避させた退避位置に位置変更させることができるため、物品載置体が邪魔になることを回避できることになる。
【０００５】
物品搬送設備の従来例として、物品載置体が、物品を載置しない状態で、移載用位置と退避位置とに位置変更自在に支持されたものがある（例えば、特許文献１参照。）。
つまり、この特許文献１においては、複数のリンクを屈折自在に連結したリンク機構により、天井部に対して物品載置体を吊下げ支持している。そして、物品載置体を移載用位置に位置させるときには、リンク機構が直線状に伸びた姿勢となるものの、物品載置体を退避位置に位置させるときには、リンク機構が物品載置体の上方に重複する状態で屈折姿勢となるため、物品載置体を移載用位置から退避位置に位置変更したときには、物品載置体の上方には、物品が存在するための空間が確保されないものとなり、その結果、物品載置体を退避位置に位置させるときには、物品載置体には物品を載置できないものとなる。
【０００６】
しかも、従来例の物品搬送設備においては、物品載置体を退避位置に位置させると、物品載置体と天井部との間の間隔が、物品を存在させるために必要な間隔よりも小さくなるため、この点からも、物品載置体を移載用位置から退避位置に位置変更したときには、物品載置体の上方には、物品を存在するための空間が確保されないものとなり、物品載置体を退避位置に位置させるときには、物品載置体には物品を載置できないものとなる。
【０００７】
ちなみに、特許文献１においては、上下方向にスライドするスライド機構を用いて、物品載置体を移載用位置と退避位置とに位置変更させることが、別の実施形態として記載されているが、このようなスライド機構を用いるとしても、物品載置体を退避位置に位置させたときに、物品載置体と天井部との間の間隔が物品を存在させるために必要な間隔よりも小さくなるため、物品載置体を退避位置に位置させるときには、物品載置体には物品を載置できないものとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−１６９００５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
物品載置体を移載用位置から退避位置に退避させる必要が生じたときに、退避させる物品載置体に物品が載置されていることがあるが、このような場合において、従来の物品搬送設備では、先ず、手作業にて物品を物品載置体から除去し、その後、物品載置体を退避位置に位置変更させることになり、物品載置体を移載用位置と退避位置とに位置変更する作業が煩雑な作業となる。
しかも、物品載置体を退避位置から移載用位置に戻したときには、手作業にて、除去した物品を除去する前と同じ状態に戻す必要があり、この点からも、物品載置体を移載用位置と退避位置とに位置変更する作業が煩雑な作業となる。
【００１０】
ちなみに、一般に、搬送される物品の位置は、物品搬送設備を管理する管理手段にて管理されることになるため、除去した物品を物品載置体に戻すときには、除去する前と同じ位置に正確に戻す必要がある。
しかしながら、複数の物品載置体が同時に退避位置に退避されるような場合等においては、除去した物品を戻す位置が除去する前とは異なる誤りが発生して、搬送される物品の位置管理を適正通り行えない状態を招く虞もある。
【００１１】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、物品が載置されている物品載置体を移載用位置と退避位置とに位置変更する作業の簡略化を図ることができる物品搬送設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の物品搬送設備は、物品搬送車を案内する走行レールが、天井部から吊下げ支持される状態で設けられ、前記走行レールの横側方でかつ下方箇所に、前記物品搬送車との間で移載する物品を載置支持する物品載置体が、前記天井部から吊下げ支持される状態で、かつ、前記走行レールの横側方でかつ下方箇所に位置して前記物品搬送車との間で物品を移載する移載用位置と、その移載用位置から前記走行レールの横側方において上方に退避させた退避位置と、に位置調整自在に支持された状態で設けられたものであって、
その第１特徴構成は、前記物品載置体が、物品を載置した状態で、前記移載用位置と前記退避位置とに位置変更自在に支持されている点を特徴とする。
【００１３】
すなわち、物品載置体が、物品を載置した状態で、移載用位置と退避位置とに位置変更自在に支持されるものであるから、物品載置体を移載用位置から退避位置に移動させる際に、物品載置体に物品が載置されていても、その状態のまま、物品載置体を移載用位置から退避位置に移動させることができ、また、物品載置体を退避位置から移載用位置に戻すことができる。
【００１４】
ちなみに、物品を載置した物品載置体が移載用位置と退避位置とに位置変更自在な状態とは、物品載置体を移載用位置から退避位置に位置変更させる途中、並びに、退避位置において、物品載置体が物品を載置する姿勢に維持され、かつ、物品載置体の上方には、物品を存在するための空間が確保される状態であることを意味するものである。
【００１５】
このように、物品載置体を移載用位置から退避位置に位置変更させる際に、物品載置体に物品が載置されていても、その状態のまま、物品載置体を移載用位置から退避位置に移動させることができ、かつ、物品載置体を退避位置から移載用位置に戻すことができるため、物品載置体を移載用位置と退避位置とに位置変更する作業の簡略化を図ることができるのである。
【００１６】
要するに、本願発明の第１特徴構成によれば、物品が載置されている物品載置体を移載用位置と退避位置とに位置変更する作業の簡略化を図ることができる物品搬送設備を提供できる。
【００１７】
本発明の物品搬送設備の第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、
前記物品搬送車が、物品を前記物品載置体よりも上方に支持した状態で搬送するように構成され、
前記物品載置体が、前記退避位置に位置するときに前記走行レールを走行する前記物品搬送車との接当干渉を回避すべく、前記退避位置においては前記移載用位置よりも前記走行レールに対して横側方に大きく離間される形態で位置変更自在に支持されている点を特徴とする。
【００１８】
すなわち、物品搬送車が、物品を物品載置体よりも上方に支持した状態で搬送するように構成されているから、移載用位置の物品載置体を、平面視において、物品搬送車の通過する空間に近づけるあるいは空間内に突出する状態で設けるようにして、物品を移載する際に、走行レールの横幅方向に物品を移動する量を少なくして、物品の移載を効率良く行えるようにすることができる。
【００１９】
このように、移載用位置の物品載置体を、平面視において、物品搬送車の通過する空間に近づけるあるいは空間内に突出する状態で設けると、退避位置の物品載置体が、走行レールを走行する物品搬送車と接当干渉する虞があるが、物品載置体が、退避位置に位置するときに走行レールを走行する物品搬送車との接当干渉を回避すべく、退避位置においては移載用位置よりも走行レールに対して横側方に大きく離間される形態で位置変更自在に支持されているから、退避位置の物品載置体が、走行レールを走行する物品搬送車と接当干渉することがない。
【００２０】
つまり、物品載置体を退避位置に位置変更させるときとは、例えば、クリーンルームにおいてレイアウトの変更等のために基板処理装置を搬出入するときであるため、物品の搬送作業は停止することになり、物品載置体を退避位置に位置させた状態においては、物品搬送車を物品の搬送のために走行させる必要はないものの、物品載置体を退避位置に位置させた状態において、例えば、物品搬送車をレイアウトの変更作業に邪魔にならない退避箇所に走行させる等、物品搬送車を走行させることが望まれる場合があるが、このような場合において、物品搬送車を、退避位置の物品載置体と接当させることなく、良好に走行させることができるのである。
【００２１】
要するに、本発明の第２特徴構成によれば、上記第１特徴構成による作用効果に加えて、物品載置体が退避位置に位置変更された状態においても、物品搬送車を良好に走行させることができる物品搬送設備を提供できる。
【００２２】
本発明の物品搬送設備の第３特徴構成は、上記第２特徴構成に加えて、
前記物品載置体が、前記移載用位置から前記退避位置に上昇されるほど、前記走行レールに対して横側方に大きく離間されるように直線状にスライド移動されるスライド移動形態で位置変更自在に支持されている点を特徴とする。
【００２３】
すなわち、物品載置体を移載用位置から退避位置に直線状にスライド移動させることによって、物品載置体を、退避位置においては移載用位置よりも走行レールに対して横側方に大きく離間されることができ、また、物品載置体を退避位置から移載用位置に直線状にスライド移動させることによって、物品載置体を、移載用位置から退避位置に戻すことができる。
つまり、物品載置体を、退避位置においては移載用位置よりも走行レールに対して横側方に大きく離間させるようにしながら、移載用位置と退避位置との間で位置変更させることを、物品載置体を、単に、直線状にスライド移動させるだけの簡単な操作にて行うことができる。
【００２４】
説明を加えると、物品載置体を、退避位置においては移載用位置よりも走行レールに対して横側方に大きく離間されるようにしながら、移載用位置と退避位置との間で位置変更させるにあたり、例えば、移載用位置の物品載置体を、先ず、走行レールの横幅方向に沿って、走行レールから離間する方向に移動させ、その後、退避位置に向けて上方に移動させるようにする等、物品載置体を、走行レールの横幅方向での移動と上方への移動との２段階の移動を組み合わせた形態にて、移載用位置から退避位置に位置変更させ、また、退避位置から移載用位置に戻すようにすることが考えられるが、この２段階の移動を組み合わせた形態で物品載置体を移載用位置と退避位置と間で位置変更させる場合には、物品載置体の移動操作が煩雑になる。
【００２５】
本第３特徴構成によれば、物品載置体を、単に、直線状にスライド移動させることにより、物品載置体を移載用位置と退避位置との間で位置変更させることができるため、物品載置体の移動操作の簡略化を図ることができる。
【００２６】
要するに、本発明の第３特徴構成によれば、上記第２特徴構成による作用効果に加えて、物品載置体の移動操作の簡略化を図ることができる物品搬送設備を提供できる。
【００２７】
本発明の物品搬送設備の第４特徴構成は、上記第３特徴構成に加えて、
前記走行レールの長手方向に沿う長尺状の物品載置台に、前記物品載置体が前記走行レールの長手方向に沿って並ぶ状態で設けられ、
前記物品載置台における前記走行レールの長手方向の両端部に、上方に向けて突出する姿勢で下枠が備えられ、
それらの一対の下枠の夫々が、前記天井部に吊下げ支持された一対の上枠に対して、上昇されるほど前記走行レールに対して横側方に大きく離間される形態でスライドレール機構により昇降自在に支持されることによって、前記物品載置体が、前記スライド移動形態で位置変更自在に支持されている点を特徴とする。
【００２８】
すなわち、走行レールの長手方向に沿う長尺状の物品載置台に備えさせた下枠が、天井部に吊下げ支持された上枠に対して、上昇されるほど走行レールに対して横側方に大きく離間される形態でスライドレール機構により昇降自在に支持されることにより、走行レールの長手方向に沿って並ぶ状態で物品載置台に設けた複数の物品載置体が、移載用位置から退避位置に上昇されるほど、走行レールに対して横側方に大きく離間されるように直線状にスライド移動されるスライド移動形態で位置変更自在に支持されるものであるから、物品載置台をスライドレール機構に沿って昇降させることにより、複数の物品載置体を、一挙に、移載用位置と退避位置とに位置変更させることができる。
【００２９】
しかも、物品載置台の両端に備える下枠の夫々が、天井部に吊下げ支持された上枠に支持されるものであるから、つまり、走行レールの長手方向に沿う長尺状の物品載置台の両端が昇降自在に支持されるものであるから、複数の物品載置体を移載用位置と退避位置とに位置変更させるために昇降される物品載置台の姿勢が安定するため、その物品載置台に設けた複数の物品載置体の姿勢が安定することになり、物品載置体を移載用位置と退避位置とに位置変更させる際に、物品載置体に載置支持している物品の姿勢が乱れることを回避することができる。
【００３０】
要するに、本発明の第４特徴構成によれば、上記第３特徴構成による作用効果に加えて、複数の物品載置体を、一挙に、移載用位置と退避位置とに位置変更させることができ、しかも、物品載置体を移載用位置と退避位置とに位置変更させる際に、物品載置体に載置支持している物品の姿勢が乱れることを回避できる物品搬送設備を提供できる。
【００３１】
本発明の物品処理設備の第５特徴構成は、上記第１特徴構成〜第４特徴構成のいずれかに加えて、
前記物品載置体の識別情報を表示する表示体が、前記物品載置体が前記移載用位置に位置するときには、前記物品搬送車に装備した識別情報検出センサが検出可能な被検出位置となり、かつ、前記物品載置体が前記退避位置に位置するときには、前記識別情報検出センサが検出不能な検出不能位置となるように、前記物品載置体の位置変更に連動して、前記被検出位置と前記検出不能位置とに位置変更される状態で設けられている点を特徴とする。
【００３２】
すなわち、物品載置体が移載用位置に位置するときには、物品載置体の識別情報を表示する表示体が被検出位置に位置する状態となって、物品搬送車に装備した識別情報検出センサが、表示体が表示する識別情報を検出することによって、その識別情報に基づいて、物品載置体が移載対象の物品載置体であるか否かを判別させることができる。
【００３３】
物品載置体が退避位置に位置するときには、表示体が検出不能位置に位置する状態となって、物品搬送車に装備した識別情報検出センサが、表示体が表示する識別情報を検出することができないため、移載対象の物品載置体が存在しない状態であるとして、誤った物品の移載を停止することができる。
【００３４】
つまり、表示体が、物品載置体が移載用位置に位置するときには、被検出位置となり、かつ、物品載置体が退避位置に位置するときには、検出不能位置となるように、物品載置体の位置変更に連動して、被検出位置と検出不能位置とに位置変更されるため、物品載置体が退避位置に位置するときに、その物品載置体に対する物品の移載が物品搬送車に指示されるようなことがあっても、その物品載置体に対応する表示体が表示する識別情報を、識別情報検出センサが検出できないため、退避位置の物品載置体に対して、誤って物品の移載を行うことを回避できることになる。
【００３５】
したがって、物品載置体を退避位置に位置変更させて、例えば、クリーンルームにおいてレイアウトの変更等のために基板処理装置を搬出入する作業を行った後、物品載置体を移載用位置に戻すことを忘れた場合等において、退避位置の物品載置体に対して、誤って物品の移載を行うことを回避できることになる。
【００３６】
要するに、本発明の第５特徴構成によれば、上記第１特徴構成〜第４特徴構成のいずれかの作用効果に加えて、退避位置の物品載置体に対して、誤って物品の移載を行うことを回避できる物品搬送設備を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】物品搬送設備を示す斜視図
【図２】同設備の正面図
【図３】物品載置台を退避させた状態の正面図
【図４】物品載置台の装着部を示す斜視図
【図５】物品載置台の支持手段を示す分解斜視図
【図６】別実施形態の正面図
【発明を実施するための形態】
【００３８】
次に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１及び図２に示すように、物品搬送車Ａを案内する走行レールＬが、天井部Ｔから吊下げ支持される状態で設けられ、走行レールＬの両横側方でかつ下方箇所に、物品搬送車Ａとの間で移載する物品Ｂを載置支持する物品載置体Ｕが、天井部Ｔから吊下げ支持される状態で設けられて、物品搬送車Ａが、搬送する物品Ｂを物品載置体Ｕに受渡して保管し、かつ、物品載置体Ｕに保管した物品Ｂを取出して搬送する物品搬送設備が構成されている。
【００３９】
すなわち、本実施形態の物品搬送設備は、クリーンルームにおいて、シリコン基板等の基板を収納する収納容器（ＦＯＵＰ）を物品Ｂとして搬送するものであって、例示はしないが、走行レールＬが複数の基板処理装置の物品搬出入部を経由する状態で配設されて、物品搬送車Ａが物品Ｂを複数の基板処理装置に対して搬送するように構成され、そして、物品Ｂを物品載置体Ｕに一時的に保管するように構成されている。
【００４０】
走行レールＬは、レール用支持体１によって、天井部Ｔに吊下げた状態で設置されている。
すなわち、走行レールＬは、間隔を隔てて左右に並ぶ左右一対の走行レール部２からなり、左右の走行レール部２が、レール用支持体１にて天井部Ｔに吊下げられた状態で設置されている。
【００４１】
物品搬送車Ａは、図２に示すように、走行レールＬ上を走行する走行部Ａ１と、走行レールＬの下方に位置する車体本体部Ａ２とを備え、車体本体部Ａ２が、左右の走行レール部２の間に位置する連結軸３によって、走行部Ａ１に吊下げ支持されている。
【００４２】
車体本体部Ａ２は、側面視形状が逆Ｕ字状のカバー体４の内部の上方箇所に、物品Ｂを吊り下げ状態で把持する把持部５が、昇降駆動自在並びに横方向沿って横スライド駆動自在に備えられており、把持部５の昇降と横スライドとにより、物品載置体Ｕや基板処理装置の物品搬出入部との間で、物品Ｂを移載するように構成されている。
【００４３】
物品載置体Ｕとの間での物品Ｂの移載について説明を加えると、物品Ｂを物品載置体Ｕに受け渡す場合には、物品Ｂを把持した把持部５を横外側方に向けてスライドさせ、かつ、下降させた後、把持を解除し、その後、把持部５を上昇かつ車体内方側にスライドさせて、カバー体４の内部箇所に戻すことになる。
また、物品Ｂを物品載置体Ｕから受け取る場合には、把持部５を横外側方に向けてスライドさせ、かつ、下降させた後、物品Ｂを把持し、その後、物品Ｂを把持した把持部５を上昇かつ車体内方側にスライドさせて、カバー体４の内部箇所に戻すことになる。
【００４４】
物品載置体Ｕは、物品搬送車Ａとの間で物品Ｂを授受する移載用位置（図２参照）とその移載用位置から上方に退避させた退避位置（図３参照）とに位置調整自在に支持された状態で設けられている。
すなわち、天井部Ｔに対して物品載置体Ｕを吊下げ支持する支持手段Ｄが、物品Ｂを載置した物品載置体Ｕが移載用位置と退避位置とに位置変更自在な状態で、物品載置体Ｕを支持し、加えて、移載用位置よりも退避位置を走行レールＬの横側方に離間させる状態で、物品載置体Ｕを支持するように構成されている
【００４５】
支持手段Ｄについて説明を加えると、図４に示すように、天井部Ｔに吊下げ支持体７にて吊下げ支持される左右一対の上枠８が設けられ、この左右一対の上枠８の夫々に対して、下枠９が、スライド式のレール機構１０によって、昇降自在に案内されている。
そして、図２及び図３に示すように、スライド式のレール機構１０が、上方側ほど走行レールＬに対して横外方側に位置する傾斜姿勢で設けられて、下枠９を上方側ほど走行レールＬに対して横外方側に位置させる状態に案内するように構成されている。
【００４６】
レール機構１０は、上枠８及び下枠９に取付けた固定レール１０Ａと、それら固定レール１０Ａをスライド自在に結合する中間レール１０Ｂとから構成されている。
【００４７】
図５に示すように、上枠８の下端部に、一対の上枠側接当体１１が設けられ、そして、下枠９の上端部に、上枠側接当体１１の接当により、下枠９の下降範囲を規制する一対の下降限度規制用接当体１２が設けられ、かつ、下枠９の下端部に、下枠９の上昇範囲を規制する一対の上昇限度規制用接当体１３が設けられて、上枠８に対する下枠９の昇降範囲が規制されるように構成されている。
【００４８】
そして、図２に示すように、下枠９が下降限度に位置するとき、つまり、下降限度規制用接当体１２が上枠側接当体１１に接当した状態となるときに、物品載置体Ｕが移載用位置となり、図３に示すように、下枠９が上昇限度に位置するとき、つまり、上昇限度規制用接当体１３が上枠側接当体１１に接当した状態となるときに、物品載置体Ｕが退避位置となるように構成されている。
【００４９】
ちなみに、図４及び図５に示すように、物品載置体Ｕを退避位置に保持するときには、一対の上枠側接当体１１のうちの一方の上枠側接当体１１に螺進移動自在に螺合させた位置決めピン１４を、下枠９に形成した位置決め孔１５に嵌合させて、下枠９の下降を規制するように構成されている。
【００５０】
本実施形態においては、図１及び図４に示すように、３つの物品載置体Ｕが、走行レールＬの長手方向に並べた状態で物品載置台Ｅに備えられ、この物品載置台Ｅの両端部に、上述の下枠９が上方に突出する姿勢で備えられている。
つまり、左右一対の下枠９の夫々の下端部に、受け枠１７がボルト連結され、走行レールＬの長手方向に一対の長尺枠１８が、走行レールＬの横幅方向に並ぶ状態で、その両端部を受け枠１７に載置支持されて、一対の長尺枠１８を主要部として、物品載置台Ｅが構成されている。
そして、３つの物品載置体Ｕが、一対の長尺枠１８にて載置支持された状態で、走行レールＬの長手方向に並べて設けられている。
【００５１】
物品載置体Ｕが、物品Ｂを載置した状態で、移載用位置と退避位置とに位置変更自在に支持されている。
すなわち、支持手段Ｄは、物品載置体Ｕが退避位置に位置するときにも、各物品載置体Ｕの上方に物品Ｂを存在させる空間を確保するものであって、物品Ｂを載置した物品載置体Ｕが移載用位置と退避位置とに位置変更自在な状態で、物品載置体Ｕを支持するように構成されている。
【００５２】
図１及び図４に示すように、上枠８と下枠９との間には、コンストンバネ１９が、巻取り部１９Ａを上枠８に位置する状態で配設されている。
したがって、３つの物品載置体Ｕを備える物品載置台Ｅの昇降を小さな操作力にて軽快に行えるように構成されている。
【００５３】
物品搬送車Ａには、物品載置体Ｕに物品Ｂが存在するか否かを検出する物品存否検出センサ２１、及び、各物品載置体Ｕの識別情報を検出する識別情報検出センサ２２が装備されている。
物品存否検出センサ２１は、各物品載置体Ｕの載置面相当箇所に設けた光反射体２３を検出する、反射式光センサを用いて構成されている。
識別情報検出センサ２２は、各物品載置体Ｕから上方に離れた箇所に設けた表示体２４に表示されている識別情報（ＱＲコード（登録商標））を検出するように構成されている。
【００５４】
すなわち、物品搬送車Ａは、各物品載置体Ｕに対して物品Ｂを移載するときには、表示体２４にて示される識別情報を識別情報検出センサ２２にて検出して、物品Ｂを移載する移載対象の物品載置体Ｕであるか否かを確認し、また、移載対象の物品載置体Ｕに物品Ｂが載置されているか否かを、物品存否検出センサ２１の情報に基づいて確認するように構成されている。
【００５５】
表示体２４が、物品載置体Ｕが移載用位置に位置するときには、識別情報検出センサ２２が検出可能な被検出位置となり、かつ、物品載置体Ｕが退避位置に位置するときには、識別情報検出センサ２２が検出不能な検出不能位置となるように、物品載置体Ｕの位置変更に連動して、被検出位置と検出不能位置とに位置変更される状態で設けられている。
【００５６】
説明を加えると、図１及び図４に示すように、３つの物品載置体Ｕに対応する３つの表示体２４を支持する長尺状の支持枠２５が設けられ、これら支持枠２５の両端部を受止め支持する一対の受け体２６が、図４及び図５に示すように、表示体２４を被検出位置と検出不能位置とに位置変更させるべく、一対の上枠８の夫々に設けた案内レール２７にて一定範囲にて昇降自在に支持されている。
【００５７】
図５に示すように、受け体２６が昇降範囲の最下降位置に位置するときに、上枠８の位置決め孔２８に係合するロックピン２９が、支持枠２５に連結した支持ブラケット３０に、スライド自在に支持される状態で設けられ、また、その支持ブラケット３０には、ロックピン２９をスライド操作する揺動レバー３１が装備されている。
つまり、受け体２６が昇降範囲の最下降位置に位置するときに、表示体２４が被検出位置となり、そして、ロックピン２９を位置決め孔２８に係合させることにより、表示体２４を被検出位置に保持できるように構成されている。
【００５８】
また、図３及び図５に示すように、物品載置体Ｕが移載用位置から退避位置に移動される際に、受け体２６の一部にて形成される被接当体３２を押圧して、受け体２６を上昇させる押圧体３３が、下枠９に装着されており、物品載置体Ｕを移載位置から退避位置に移動させるために下枠９を上昇させると、表示体２４を支持する支持枠２５が上昇されるように構成されている。
【００５９】
つまり、物品載置体Ｕを移載位置から退避位置に移動させるために下枠９を最上昇位置に上昇させるときに、表示体２４が検出不能位置となり、そして、上述の如く、最上昇位置に上昇させた下枠９の下降を位置決めピン１４にて保持することにより、表示体２４が検出不能位置に保持されるように構成されている。
【００６０】
したがって、表示体２４は、物品載置体Ｕを移載位置から退避位置に移動させるために下枠９を最上昇位置に上昇させるに伴って、被検出位置から検出不能位置に上昇操作され、且つ、物品載置体Ｕを退避位置から移載用位置に移動させるために下枠９を下降させるに伴って、被検出位置に落下移動するように構成されている。
尚、物品載置体Ｕを移載用位置から退避位置に移動させるために下枠９を最上昇位置に上昇させるときには、ロックピン２９を位置決め孔２８から離脱させることになり、そして、物品載置体Ｕを退避位置から移載用位置に移動させるために下枠９を下降させた後において、ロックピン２９を位置決め孔２８に係合させることになる。
【００６１】
以上の通り、本実施形態の物品搬送設備は、物品載置体Ｕが、移載用位置と退避位置とに位置変更自在に支持されるものであるから、レイアウトの変更等のために基板処理装置を搬出入する際に、物品載置体Ｕを退避位置に位置変更することにより、物品載置体Ｕが基板処理装置の搬送に邪魔になることを回避できることになる。
そして、物品載置体Ｕが、物品Ｂを載置した状態で、移載用位置と退避位置とに位置変更自在に支持されるものであるから、物品載置体Ｕに物品Ｂが載置されていても、物品Ｂを除去する等の手間なく、物品載置体Ｕを退避位置に位置変更することができる。
【００６２】
また、物品載置体Ｕの移載用位置と退避位置との位置変更に連動して、物品載置体Ｕの識別情報を表示する表示体２４が、被検出位置と検出不能位置に位置変更するものであるから、物品載置体Ｕを退避位置から移載用位置に戻すことを忘れた状態で、物品搬送車Ａによる物品Ｂの搬送を再開した際に、退避位置の物品載置体Ｕに対して物品搬送車Ａが誤って物品Ｂの移載を行うことを回避できる。
【００６３】
〔別実施形態〕
次に、別実施形態を列記する。
（１）上記実施形態では、コンストンバネ１９を用いて、上枠８に対して下枠９を保持して、物品載置台Ｅを昇降操作する形態を例示したが、図６に示すように、天井部Ｔに設けた手巻き滑車３５から水平方向に繰り出される索状体３６を、天井部Ｔに設けた遊転滑車３７にて下向きに案内し、その端部を下枠９に接続することにより、手巻き滑車３５の回動操作によって、物品載置台Ｅを昇降操作する形態で実施してもよい。
つまり、手巻き滑車３５は、クランクレバー等を用いて、小さな操作力にて回動操作できるため、３つの物品載置体Ｕを備える物品載置台Ｅを良好に昇降操作できる。
【００６４】
（２）上記実施形態では、走行レールＬの長手方向に沿う物品載置台Ｅに、３つの物品載置体Ｕを載置する場合を例示したが、物品載置台Ｅに、２つや４つ以上の物品載置体Ｕを載置する形態で実施してもよく、また、物品載置台Ｅを備えさせずに、各物品載置体Ｕの夫々を、各別に位置変更自在に支持する形態で実施してもよい。
【００６５】
（３）上記実施形態では、走行レールＬの両横側方に物品載置体Ｕを設置する場合を例示したが、走行レールＬの横一側方にのみ物品載置体Ｕを設置する等、走行レールＬに対する物品載置体Ｕの設置形態は各種変更できる。
【００６６】
（４）上記実施形態では、物品Ｂとして、基板を収納する収納容器（ＦＯＵＰ）を例示したが、本発明の物品搬送設備は、各種の物品を搬送するのに用いることができるものであり、そして、物品搬送車Ａの具体構成は、搬送する物品に応じて各種変更できる。
【符号の説明】
【００６７】
８        上枠
９        下枠
１０      スライドレール機構
２２      識別情報検出センサ
２４      表示体
Ａ        物品搬送車
Ｅ        物品載置台
Ｌ        走行レール
Ｕ        物品載置体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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