(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基端を固定端とし且つ先端を自由端として水平方向に延在した状態で基板を支持するためのサポートバーであって、
繊維強化プラスチックからなり、前記基端から前記先端に渡って延在する円管状の内側層と、
少なくとも前記内側層における前記基端側の部分の上側及び下側に配置された制振弾性層と、
繊維強化プラスチックからなり、前記制振弾性層を覆うように前記内側層の外側に配置された外側層と、を備え、
前記制振弾性層の積層数は、前記先端側よりも前記基端側のほうが多くなっており、
前記内側層の積層数は、前記先端側と前記基端側とで同じであり、前記外側層の積層数は、前記先端側と前記基端側とで同じであることを特徴とするサポートバー。
【請求項２】
前記制振弾性層は、前記内側層の周方向において連続していることを特徴とする請求項１記載のサポートバー。
【請求項３】
前記制振弾性層は、前記基端から前記先端に渡って延在していることを特徴とする請求項１又は２記載のサポートバー。
【請求項４】
複数層の前記制振弾性層が積層される場合、前記制振弾性層は、繊維強化プラスチックからなる中間層を介して積層されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載のサポートバー。
【請求項５】
基板を収容するための筐体と、
前記筐体内に複数本設置された請求項１〜４のいずれか一項記載のサポートバーと、を備えることを特徴とする基板収納カセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を支持するためのサポートバー、及び基板を収納するための基板収納カセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の製造工程では、工程間においてガラス基板が基板収納カセット内の複数段の収納部に一時的に収納される場合がある。このような基板収納カセットとして、基端を固定端とし且つ先端を自由端として水平方向に延在する複数本のサポートバーによって１枚のガラス基板が収納部ごとに支持されるものが知られている（例えば、特許文献１，２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３４０４８０号公報
【特許文献２】特開２００７−１９６６１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述したような基板収納カセットにあっては、ガラス基板の収納枚数を増加させる観点から、各収納部の高さが極力抑えられる傾向にある。そのような傾向下において、各収納部に対するガラス基板の搬入及び搬出を素早く行って生産効率を向上させるためには、サポートバーの剛性の確保及び振動減衰特性の向上がより強く望まれる。
【０００５】
そこで、本発明は、剛性の確保及び振動減衰特性の向上を図ることができるサポートバー、及びそのようなサポートバーを備える基板収納カセットを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明に係るサポートバーは、基端を固定端とし且つ先端を自由端として水平方向に延在した状態で基板を支持するためのサポートバーであって、繊維強化プラスチックからなり、基端から先端に渡って延在する円管状の内側層と、少なくとも内側層における基端側の部分の上側及び下側に配置された制振弾性層と、繊維強化プラスチックからなり、制振弾性層を覆うように内側層の外側に配置された外側層と、を備え、制振弾性層の積層数は、先端側よりも基端側のほうが多くなっており、内側層の積層数は、先端側と基端側とで同じであり、外側層の積層数は、先端側と基端側とで同じであることを特徴とする。
【０００７】
このサポートバーでは、少なくとも固定端となる基端側の部分において、繊維強化プラスチックからなる内側層と外側層との間に、制振弾性層が配置されている。更に、制振弾性層の積層数は、先端側よりも基端側のほうが多くなっており、内側層の積層数は、先端側と基端側とで同じであり、外側層の積層数は、先端側と基端側とで同じである。これにより、振動減衰時間の短縮化等、振動減衰特性の向上を図ることができる。しかも、繊維強化プラスチックからなる内側層が円管状であり、繊維強化プラスチックからなる外側層が制振弾性層を覆うように内側層の外側に配置されている。これにより、制振弾性層の適用に起因した剛性の低下を防止することができる。従って、このサポートバーによれば、剛性の確保及び振動減衰特性の向上を図ることが可能となる。なお、制振弾性層は、繊維強化プラスチックに比べ、柔軟な材料であることが好ましく、特にゴム、エラストマー等の弾性材料からなる層である。また、制振弾性層の積層数は、先端側で０（零）層の場合を含む。
【０００８】
本発明に係るサポートバーにおいては、制振弾性層は、内側層の周方向において連続していることが好ましい。また、制振弾性層は、基端から先端に渡って延在していることが好ましい。これらの構成によれば、より一層の振動減衰特性の向上を図ることが可能
となる。
【０００９】
本発明に係るサポートバーにおいては、複数層の制振弾性層が積層される場合、制振弾性層は、繊維強化プラスチックからなる中間層を介して積層されていることが好ましい。この構成によれば、より一層の振動減衰特性の向上を図るために複数層の制振弾性層が積層されても、剛性の確保を図ることが可能となる。
【００１０】
また、本発明に係る基板収納カセットは、基板を収容するための筐体と、筐体内に複数本設置された上記サポートバーと、を備えることを特徴とする。この基板収納カセットにおいては、上述したように、サポートバーの剛性の確保及び振動減衰特性の向上を図ることが可能となる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、剛性の確保及び振動減衰特性の向上を図ることができるサポートバー、及びそのようなサポートバーを備える基板収納カセットを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る基板収納カセットの第１実施形態の斜視図である。
【図２】本発明に係るサポートバーの第１実施形態の側面図である。
【図３】図２のIII−III線に沿っての断面図である。
【図４】本発明に係るサポートバーの第２実施形態の側面図である。
【図５】図４のV−V線に沿っての断面図である。
【図６】図４のVI−VI線に沿っての断面図である。
【図７】本発明に係るサポートバーの第３実施形態の側面図である。
【図８】図７のVIII−VIII線に沿っての断面図である。
【図９】図７のIX−IX線に沿っての断面図である。
【図１０】比較例の経過時間とたわみとの関係を示すグラフである。
【図１１】実施例１の経過時間とたわみとの関係を示すグラフである。
【図１２】実施例２の経過時間とたわみとの関係を示すグラフである。
【図１３】実施例３の経過時間とたわみとの関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［第１実施形態］
【００１４】
図１に示されるように、基板収納カセット１は、基板Ｓを収容するための直方体箱状の筐体２を備えている。筐体２の一側壁には、筐体２内に対する基板Ｓの搬入及び搬出を行うための開口２ａが形成されている。筐体２内には、複数段（例えば２０〜３０段）の収納部３が設けられている。この基板収納カセット１は、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の製造工程において使用され、基板Ｓとしてガラス基板がロボットハンドによって各収納部３に一時的に収納される。
【００１５】
各収納部３には、複数本（例えば３本）のサポートバー１０、複数本（例えば３本）のサイドバー４及び複数本（例えば３本）のサイドバー５が設置されている。これにより、各収納部３においては、複数本のサポートバー１０、複数本のサイドバー４及び複数本のサイドバー５によって１枚の基板Ｓが水平に支持される。
【００１６】
サポートバー１０は、開口２ａに対向する筐体２の背面に片持ち状態で固定され、水平方向に延在している。すなわち、サポートバー１０は、基端１０ａを固定端とし且つ先端１０ｂを自由端として水平方向に延在した状態で基板Ｓを支持する。サポートバー１０の先端１０ｂは、開口２ａの近傍に至っている。
【００１７】
サイドバー４は、開口２ａに対向する背面に垂直な筐体２の一方の側面に片持ち状態で固定され、水平方向に延在している。すなわち、サイドバー４は、基端４ａを固定端とし且つ先端４ｂを自由端として水平方向に延在した状態で基板Ｓの一方の縁部を支持する。サイドバー４の先端４ｂは、一方のサポートバー１０の近傍に至っている。
【００１８】
サイドバー５は、開口２ａに対向する背面に垂直な筐体２の他方の側面に片持ち状態で固定され、水平方向に延在している。すなわち、サイドバー５は、基端５ａを固定端とし且つ先端５ｂを自由端として水平方向に延在した状態で基板Ｓの他方の縁部を支持する。サイドバー５の先端５ｂは、他方のサポートバー１０の近傍に至っている。
【００１９】
上述したサポートバー１０の構成について、より詳細に説明する。なお、サイドバー４，５についても、サポートバー１０と同様の構成を採用することができる。
【００２０】
図２に示されるように、サポートバー１０は、先端１０ｂに向かって先細りとなるテーパ形状の中空パイプとなっている。これにより、基板Ｓが載置されてサポートバー１０の先端１０ｂが下方に若干たわんだとしても、上下方向にて隣り合う収納部３間においてサポートバー１０の先端１０ｂの間隔が十分に維持される。なお、図１には示されていないが、開口２ａに対向する筐体２の背面には、円柱状の突起部材が立設されており、その突起部材がサポートバー１０の基端１０ａ側の端部に挿入され、接着等によって互いに固定される。
【００２１】
図２及び３に示されるように、サポートバー１０は、基端１０ａから先端１０ｂに渡って延在する円管状（換言すれば、円筒状）の内側層１１を備えている。内側層１１は、基端１０ａから先端１０ｂに渡って延在する円管状の制振弾性層１２によって覆われている。更に、制振弾性層１２は、基端１０ａから先端１０ｂに渡って延在する円管状の外側層１３によって覆われており、外側層１３の上側及び下側は、基端１０ａから先端１０ｂに渡って延在する断面円弧状の外側層１４によって覆われている。つまり、制振弾性層１２は、内側層１１の周方向において連続し且つ基端１０ａから先端１０ｂに渡って延在している。また、外側層１３は、制振弾性層１２を覆うように内側層１１の外側に配置されている。なお、円弧状の外側層１４の断面円周方向の長さは、円周のおおむね１／４に相当する長さ、すなわち角度ではおおむね９０°に相当する長さとなっている。
【００２２】
内側層１１及び外側層１３，１４は、ＧＦＲＰ（glass  fiber  reinforced  plastics）やＣＦＲＰ（carbon  fiber  reinforced  plastics）等の繊維強化プラスチックからなり、１枚又は複数枚（例えば、内側層１１については８枚、外側層１３については１枚、外側層１４については３枚）のプリプレグが積層されることにより構成されている。また、制振弾性層１２は、繊維強化プラスチックに比べ、柔軟な材料であることが好ましく、特にゴム、エラストマー等の弾性材料からなる層である。制振弾性層の貯蔵弾性率としては、０．１〜５００ＭＰａ、好ましくは０．１〜１００ＭＰａ、更に好ましくは０．１〜５０ＭＰａであることが望ましい。また、制振弾性層としては、炭素繊維プリプレグからＣＦＲＰへの転換を熱硬化により行うことから、その際の熱に対しても安定な材料を使用することが好ましい。更に、制振弾性層は、ＣＦＲＰのマトリックス樹脂であるエポキシ樹脂材との接着性に優れた材料であることが好ましい。このような観点から、柔軟性樹脂材料としては、好ましくはスチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、クロロプレンゴム（ＣＲ）、ブチルゴム（ＩＩＲ）、ニトリルゴム（ＮＢＲ）、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＭ，ＥＰＤＭ）等のゴムや、柔軟鎖を持つポリマーであるゴム、エラストマー等を添加することにより、弾性率を低くしたエポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ビニルエステル樹脂、ポリウレタン樹脂等、繊維強化プラスチックに比べ柔軟な材料からなる。
【００２３】
以上説明したように、サポートバー１０においては、繊維強化プラスチックからなる内側層１１と外側層１３との間に、内側層１１の周方向において連続し且つ基端１０ａから先端１０ｂに渡って延在するように制振弾性層１２が配置されている。これにより、振動減衰時間の短縮化等、振動減衰特性の向上を図ることができる。しかも、繊維強化プラスチックからなる内側層１１が円管状であり、繊維強化プラスチックからなる内側層１１と外側層１３とで制振弾性層１２が挟まれている。これにより、制振弾性層１２の適用に起因した剛性の低下を防止することができる。従って、サポートバー１０によれば、剛性の確保及び振動減衰特性の向上を図ることが可能となる。
［第２実施形態］
【００２４】
第２実施形態の基板収納カセットは、第１実施形態の基板収納カセット１と同様の構成であり、第２実施形態のサポートバー２０は、制振弾性層１２が基端１０ａから先端１０ｂに渡って延在していない点で第１実施形態のサポートバー１０と相違している。すなわち、図４に示されるように、サポートバー２０は、先端２０ｂに向かって先細りとなるテーパ形状の中空パイプとなっており、基端２０ａから全長の１／３までの基端側部分２１と、先端２０ｂから全長の２／３までの先端側部分２２とは、互いに異なる積層構造を有している。
【００２５】
サポートバー２０の基端側部分２１では、図４及び５に示されるように、円管状の内側層１１が円管状の制振弾性層１２によって覆われており、制振弾性層１２が円管状の外側層１３によって覆われている。外側層１３の上側及び下側は、断面円弧状の外側層１４によって覆われている。一方、サポートバー２０の先端側部分２２では、図４及び６に示されるように、基端２０ａから先端２０ｂに渡って延在する円管状の内側層１１が、基端２０ａから先端２０ｂに渡って延在する円管状の外側層１３によって直接覆われている。外側層１３の上側及び下側は、基端２０ａから先端２０ｂに渡って延在する断面円弧状の外側層１４によって覆われている。
【００２６】
つまり、制振弾性層１２は、内側層１１における基端２０ａ側の部分のみに配置されており、外側層１３は、制振弾性層１２を覆うように内側層１１の外側に配置されている。また、制振弾性層１２の積層数は、基端側部分２１で１層、先端側部分２２で０（零）層というように、先端２０ｂ側よりも基端２０ａ側のほうが多くなっている。
【００２７】
以上のように構成されたサポートバー２０においては、内側層１１における基端２０ａ側の部分を覆うように（すなわち、内側層１１の周方向において連続するように）制振弾性層１２が配置されている。これにより、振動減衰時間の短縮化等、振動減衰特性の向上を図ることができる。しかも、繊維強化プラスチックからなる内側層１１が円管状であり、繊維強化プラスチックからなる内側層１１と外側層１３とで制振弾性層１２が挟まれている。これにより、制振弾性層１２の適用に起因した剛性の低下を防止することができる。従って、サポートバー２０によれば、剛性の確保及び振動減衰特性の向上を図ることが可能となる。
［第３実施形態］
【００２８】
第３実施形態の基板収納カセットは、第１実施形態の基板収納カセット１と同様の構成であり、第３実施形態のサポートバー３０は、制振弾性層１２が基端３０ａ側で複数層となっている点で第１実施形態のサポートバー１０と相違している。すなわち、図７に示されるように、サポートバー３０は、先端３０ｂに向かって先細りとなるテーパ形状の中空パイプとなっており、基端３０ａから全長の１／３までの基端側部分３１と、先端３０ｂから全長の２／３までの先端側部分３２とは、互いに異なる積層構造を有している。
【００２９】
サポートバー３０の基端側部分３１では、図７及び８に示されるように、円管状の内側層１１が円管状の制振弾性層１２によって覆われており、制振弾性層１２が円管状の中間層１５によって覆われている。更に、中間層１５が円管状の制振弾性層１２によって覆われており、制振弾性層１２が円管状の外側層１３によって覆われている。外側層１３の上側及び下側は、断面円弧状の外側層１４によって覆われている。一方、サポートバー３０の先端側部分３２では、図７及び９に示されるように、基端３０ａから先端３０ｂに渡って延在する円管状の内側層１１が、基端３０ａから先端３０ｂに渡って延在する円管状の制振弾性層１２によって覆われており、制振弾性層１２が、基端３０ａから先端３０ｂに渡って延在する円管状の中間層１５によって覆われている（すなわち、内側層１１、制振弾性層１２及び中間層１５が基端３０ａから先端３０ｂに渡って延在している）。更に、先端側部分３２では、中間層１５が、基端３０ａから先端３０ｂに渡って延在する円管状の外側層１３によって直接覆われている。外側層１３の上側及び下側は、基端３０ａから先端３０ｂに渡って延在する断面円弧状の外側層１４によって覆われている。ここで、中間層１５は、内側層１１及び外側層１３と同様に、繊維強化プラスチックからなり、１枚又は複数枚（例えば４枚）のプリプレグが積層されることにより構成されている。
【００３０】
つまり、複数層の制振弾性層１２は、繊維強化プラスチックからなる中間層１５を介して積層されており、外側層１３は、制振弾性層１２を覆うように内側層１１の外側に配置されている。また、制振弾性層１２の積層数は、基端側部分３１で２層、先端側部分３２で１層というように、先端３０ｂ側よりも基端３０ａ側のほうが多くなっている。
【００３１】
以上のように構成されたサポートバー３０においては、繊維強化プラスチックからなる内側層１１と中間層１５との間に、内側層１１の周方向において連続し且つ基端３０ａから先端３０ｂに渡って延在するように制振弾性層１２が配置されている。更に、サポートバー３０の基端側部分３１では、繊維強化プラスチックからなる中間層１５と外側層１３の間に、内側層１１の周方向において連続するように制振弾性層１２が配置されている。このように、先端３０ｂ側よりも基端３０ａ側のほうが制振弾性層１２の積層数が多くなっていることにより、振動減衰時間の短縮化等、振動減衰特性の向上を図ることができる。しかも、サポートバー３０の基端側部分３１では、繊維強化プラスチックからなる内側層１１が円管状であり、繊維強化プラスチックからなる内側層１１、中間層１５及び外側層１３によって制振弾性層１２が挟まれている。更に、サポートバー３０の先端側部分３２では、繊維強化プラスチックからなる内側層１１が円管状であり、繊維強化プラスチックからなる内側層１１と中間層１５とで制振弾性層１２が挟まれている。これにより、制振弾性層１２の適用に起因した剛性の低下を防止することができる。従って、サポートバー３０によれば、剛性の確保及び振動減衰特性の向上を図ることが可能となる。
【００３２】
本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではない。例えば、サポートバーは、テーパ形状のものに限定されず、基端から先端に渡って同等の外径を有するものであってもよい。また、制振弾性層は、内側層の周方向において連続しているものに限定されず、少なくとも内側層における基端側の部分の上側及び下側に配置されたものであればよい。
［実施例］
【００３３】
比較例として、制振弾性層１２が存在しない点を除いて第１実施形態のサポートバー１０と同様の構成を有するサポートバーを用意した。具体的な仕様は表１の通りであり、次のように、比較例のサポートバーを製造した。
【００３４】
テーパを有する中空円形パイプの製造に際して、まず先端側直径２１ｍｍ、手元側直径３４ｍｍ、長さ２３８０ｍｍのスチール製マンドレルを用意した。そして、ガラス繊維クロスにエポキシ樹脂を含浸したガラス繊維プリプレグ（株式会社ダイトー製、商品名：H150-EP）を用いて、マンドレルに８層巻き付け、肉厚１ｍｍの内側層を形成した。ガラス繊維の配向方向は、サポートバーの長手方向および円周方向とおおむね一致するようにした。
【００３５】
続いて、上記内側層の外側に、炭素繊維を一方向に引き揃えながらエポキシ樹脂を含浸させ、さらにガラススクリムクロスを貼り合わせた炭素繊維プリプレグ（新日本石油株式会社製、商品名：E6026E-31K3）を１層巻き付け、肉厚０．２５mmの全周の外側層を形成した。炭素繊維の配向方向は、サポートバーの長手方向とおおむね一致するようにした。
【００３６】
更に、上記全周の外側層の上下部分、円周の１／４に相当する長さ、すなわち角度では９０°に相当する長さの部分に配置する上下の外側層として、炭素繊維プリプレグ（新日本石油株式会社製、商品名：E6026E-31K3）を３層積層したプリプレグを配置することにより、上下の外側層、いずれも肉厚０．７５ｍｍの層を形成した。炭素繊維の配向方向は、サポートバーの長手方向とおおむね一致するようにした。
【００３７】
最後に、幅１０ｍｍの熱収縮テープ（ポリプロピレン製）を巻きつけることによりプリプレグを固定し、内側層、全周の外側層および上下の外側層を同時に加熱硬化させ、硬化後に芯材を抜き取ることにより、手元側長径（鉛直方向）３８ｍｍ、先端側長径（鉛直方向）２５ｍｍ、手元側短径（水平方向）３６．５ｍｍ、先端側短径（水平方向）２３．５ｍｍの楕円パイプ状のサポートバーを得た。
【表１】
0005495731.tif 000002
【００３８】
実施例１として、第１実施形態のサポートバー１０と同様の構成を有するサポートバーを用意した。具体的な仕様は表２の通りであり、次のように、実施例１のサポートバーを製造した。
【００３９】
ガラス繊維プリプレグ（株式会社ダイトー製、商品名：H150-EP）を用いて、マンドレルに８層巻き付け、肉厚１ｍｍの内側層を形成した。ガラス繊維の配向方向は、サポートバーの長手方向及び円周方向とおおむね一致するようにした。その後、その外側に制振弾性層（アスク工業株式会社製、商品名：アスナーシート、スチレンブタジエンゴム製、厚さ０．１２mm）を１層巻き付けた。
【００４０】
続いて、上記制振弾性層の外側に、炭素繊維プリプレグ（新日本石油株式会社製、商品名：E6026E-31K3）を１層巻き付け、肉厚０．２５mmの全周の外側層を形成した。炭素繊維の配向方向は、サポートバーの長手方向とおおむね一致するようにした。
【００４１】
更に、上記全周の外側層の上下部分、円周の１／４に相当する長さ、すなわち角度では９０°に相当する長さの部分に配置する上下の外側層として、炭素繊維プリプレグ（新日本石油株式会社製、商品名：E6026E-31K3）を３層積層したプリプレグを配置することにより、上下の外側層（いずれも肉厚０．７５ｍｍの層）を形成した。炭素繊維の配向方向は、サポートバーの長手方向とおおむね一致するようにした。
【００４２】
最後に、幅１０ｍｍの熱収縮テープ（ポリプロピレン製）を巻きつけることによりプリプレグを固定し、内側層、制振弾性層、全周の外側層および上下の外側層を同時に加熱硬化させ、硬化後に芯材を抜き取ることにより、手元側長径（鉛直方向）３８．２４ｍｍ、先端側長径（鉛直方向）２５．２４ｍｍ、手元側短径（水平方向）３６．７４ｍｍ、先端側短径（水平方向）２３．７４ｍｍの楕円パイプ状のサポートバーを得た。
【表２】
0005495731.tif 000003
【００４３】
実施例２として、第２実施形態のサポートバー２０と同様の構成を有するサポートバーを用意した。具体的な仕様は表３及び４の通りである。実施例２において、基端２０ａから全長の１／３までの基端側部分２１（表３）には、実施例１と同様に制振弾性層を配置しているが、先端２０ｂから全長の２／３までの先端側部分２２（表４）は、比較例と同様の積層構成である（すなわち制振弾性層を持たない）。
【表３】
0005495731.tif 000004
【表４】
0005495731.tif 000005
【００４４】
実施例３として、第３実施形態のサポートバー３０と同様の構成を有するサポートバーを用意した。具体的な仕様は表５及び６の通りである。実施例３は、実施例１と実施例２とを組み合わせた形態となっている。すなわち、まず、基端３０ａから先端３０ｂまで制振弾性層を１層配置していることに加えて、基端３０ａから全長の１／３までの基端側部分３１に制振弾性層を１層追加している。つまり、基端３０ａから全長の１／３までの基端側部分３１には制振弾性層が２層、先端３０ｂから全長の２／３までの先端側部分３２には、制振弾性層が１層配置されていることになる。
【表５】
0005495731.tif 000006
【表６】
0005495731.tif 000007
【００４５】
表１〜４において、配向角度とは、プリプレグ中の繊維がサポートバーの長手方向に対してなす角度である。そして、０／９０とは、配向角度が０°のプリプレグと配向角度が９０°のプリプレグとを交互に積層したことを意味する。
【００４６】
なお、サポートバーの積層構成として、炭素繊維プリプレグ（例えば、新日本石油株式会社製、商品名：E6026E-31K3）のみを使用する場合もある。また、上下の外側層を用いず、すなわち真円状断面を有する場合もある。更に、制振弾性層を、上下の外側層の層間に配置する、すなわち、サポートバーの上下部分のみ、円周方向の長さでおおむね１／４に相当する部分のみに配置する構造としてもよい。
【００４７】
以上のように構成された比較例及び実施例１〜３のサポートバーの先端に初期荷重１．８ｋｇを付与し、その初期荷重を除荷した後の減衰自由振動波形を計測した。その結果、比較例では、図１０に示されるように、初期荷重除荷後１５秒経過しても、±５ｍｍの振動があった。それに対し、実施例１では、図１１に示されるように、初期荷重除荷後１０秒経過した時点で、±１ｍｍ以下の振動に収束した。また、実施例２では、図１２に示されるように、初期荷重除荷後１５秒経過した時点で、±２ｍｍ以下の振動に収束した。更に、また、実施例３では、図１３に示されるように、初期荷重除荷後５秒経過した時点で、±５ｍｍ以下の振動に収束した。これらの結果から、少なくとも内側層１１における基端１０ａ，２０ａ，３０ａ側の部分に配置された制振弾性層１２の存在が、振動減衰時間の短縮化等、振動減衰特性の向上に大きく寄与していることが分かった。
【００４８】
なお、サポートバーの肉厚０．５ｍｍ〜１．５ｍｍに対し、制振弾性層の厚さ０．１ｍｍ〜０．２ｍｍというように、サポートバーの肉厚に対する制振弾性層の厚さは６．７〜４０％が好ましい。
【符号の説明】
【００４９】
１…基板収納カセット、２…筐体、１０，２０，３０…サポートバー、１０ａ，２０ａ，３０ａ…基端、１０ｂ，２０ｂ，３０ｂ…先端、１１…内側層、１２…制振弾性層、１３…外側層、１５…中間層、Ｓ…基板。
【図１】
0005495731.tif 000008
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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