(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
析出硬化型の合金組成を有する素材合金薄帯を再結晶温度以上融点以下の温度まで加熱する加熱室と、
加熱室に隣接する冷却室と、
前記冷却室に内設され、前記加熱室で加熱された前記素材合金薄帯を挟み込むようにして冷却する対をなす冷却ロールと、
を備え、
前記対をなす冷却ロールは、直径が同一であり、該直径をＤ（ｍｍ）、前記素材合金薄帯の厚さをＴ（ｍｍ）とすると、（２００×Ｔ）≦Ｄ≦（２０００×Ｔ）を満たす、
析出硬化型合金薄帯の製造装置。
【請求項２】
析出硬化型の合金組成を有する素材合金薄帯を再結晶温度以上融点以下の温度まで加熱する加熱室と、
加熱室に隣接する冷却室と、
前記冷却室に内設され、前記加熱室で加熱された前記素材合金薄帯を挟み込むようにして冷却する対をなす冷却ロールと、
を備え、
前記冷却ロールは、外筒と、該外筒の内部に該外筒と同軸で配設された内筒とを有し、冷却液の流路として、前記外筒と前記内筒との間に存在する表層流路と、前記内筒内部に存在する内層流路と、表層流路と内層流路とをつなぐ連結流路とを備えたものである、
析出硬化型合金薄帯の製造装置。
【請求項３】
前記冷却ロールは、前記冷却液に乱流を発生させる乱流発生機構を有し、少なくとも表層流路において前記冷却液が乱流となる、
請求項２に記載の析出硬化型合金薄帯の製造装置。
【請求項４】
前記乱流発生機構は、突起、凹凸、メッシュ、パイプ、立て板のうちの１種以上である、
請求項３に記載の析出硬化型合金薄帯の製造装置。
【請求項５】
析出硬化型の合金組成を有する素材合金薄帯を再結晶温度以上融点以下の温度まで加熱する加熱室と、
加熱室に隣接する冷却室と、
前記冷却室に内設され、前記加熱室で加熱された前記素材合金薄帯を挟み込むようにして冷却する対をなす冷却ロールと、
を備え、
前記対をなす冷却ロールは、前記素材合金薄帯の平坦度を矯正する押圧機構を備えている、
析出硬化型合金薄帯の製造装置。
【請求項６】
析出硬化型の合金組成を有する素材合金薄帯を再結晶温度以上融点以下の温度まで加熱する加熱室と、
加熱室に隣接する冷却室と、
前記冷却室に内設され、前記加熱室で加熱された前記素材合金薄帯を挟み込むようにして冷却する対をなす冷却ロールと、
を備え、
前記冷却室は、対をなす冷却ロールを複数内設し、該対をなす冷却ロールは、加熱室側から順に直径が小さくなる、
析出硬化型合金薄帯の製造装置。
【請求項７】
析出硬化型の合金組成を有する素材合金薄帯を再結晶温度以上融点以下の温度まで加熱する加熱室と、
加熱室に隣接する冷却室と、
前記冷却室に内設され、前記加熱室で加熱された前記素材合金薄帯を挟み込むようにして冷却する対をなす冷却ロールと、
を備え、
前記冷却ロールは、直径が５０ｍｍ以上２４０ｍｍ以下である、
析出硬化型合金薄帯の製造装置。
【請求項８】
前記冷却ロールは、厚さ５μｍ以上９７μｍ以下のクロム、ジルコニウム、クロム化合物、ジルコニウム化合物のいずれか１種以上からなる層を表面に有する、
請求項１〜７のいずれか１項に記載の析出硬化型合金薄帯の製造装置。
【請求項９】
前記加熱室は、内部を不活性ガス雰囲気とする雰囲気形成機構を備え、
前記加熱室及び前記冷却室の少なくとも一方は、該加熱室内の圧力が該冷却室内の圧力より高くなるように圧力を調整する圧力調整機構を備えている、
請求項１〜８のいずれか１項に記載の析出硬化型合金薄帯の製造装置。
【請求項１０】
外筒と、該外筒の内部に該外筒と同軸で配設された内筒とを有し、前記外筒と前記内筒との間に存在する表層流路と、前記内筒内部に存在する内層流路と、表層流路と内層流路とをつなぐ連結流路とを、冷却液の冷却流路として備えた、冷却ロール。
【請求項１１】
前記冷却液に乱流を発生させる乱流発生機構を有し、少なくとも表層流路において前記冷却液が乱流となる、請求項１０に記載の冷却ロール。
【請求項１２】
前記乱流発生機構は、突起、凹凸、メッシュ、パイプ、立て板のうちの１種以上である、請求項１１に記載の冷却ロール。
【請求項１３】
析出硬化型の合金組成を有する素材合金箔帯を再結晶温度以上融点以下の温度まで加熱する加熱工程と、
対をなす冷却ロールにより、前記加熱工程で加熱された前記素材合金薄帯を挟み込むようにして冷却する冷却工程と、
を含み、前記冷却工程では、前記素材合金薄帯の温度が５０℃以下となるまでの前記素材合金薄帯の降温速度が２７５℃／ｓ以上となるように冷却する、
析出硬化型合金薄帯の製造方法。
【請求項１４】
析出硬化型の合金組成を有する素材合金箔帯を再結晶温度以上融点以下の温度まで加熱する加熱工程と、
対をなす冷却ロールにより、前記加熱工程で加熱された前記素材合金薄帯を挟み込むようにして冷却する冷却工程と、
を含み、
前記冷却工程では、前記冷却工程で冷却した後の前記素材合金薄帯の持つ弾性限界の１／５０以上１／５以下の圧力で、前記冷却ロールを介して前記素材合金薄帯を押圧する、
析出硬化型合金薄帯の製造方法。
【請求項１５】
前記冷却工程では、対をなす冷却ロールを複数用いて前記素材合金薄帯を冷却する、請求項１３又は１４に記載の析出硬化型合金薄帯の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、析出硬化型合金薄帯の製造装置、冷却ロール及び析出硬化型合金薄帯の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、加熱後の合金薄帯を急冷する合金薄帯の製造装置としては、例えば、温度制御された単ロールを千鳥状に配置し、これに薄板を接触走行させて片面ずつ交互に急冷するものが提案されている（例えば特許文献１）。この特許文献１の装置では、冷却時のエネルギー効率がよく消費電力と設備スペースが小さくて済むとされている。また、例えば、焼鈍炉本体の熱処理後の金属材料搬出側に冷却室を設け、冷却室内に具えられたスプレーノズルで金属材料を冷却し、焼鈍炉本体内の雰囲気ガス圧を冷却室内のガス圧より高くして焼鈍炉本体内部から冷却室内部へガスが流れるように構成したものが提案されている（例えば特許文献２）。この特許文献２の装置では、炉本体内への水蒸気の侵入を防止できるとともに、均一な仕上がり形状の材料を得ることができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−２７２００３号公報
【特許文献２】特開昭６３−３０３０１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の装置では、合金薄帯の片面ずつしか冷却できず、十分な急冷ができないことがあった。また、表面と裏面との冷却されるタイミングの違いにより、板厚方向の冷却が不均一となり、薄帯に反りやうねりが生じることがあった。一方、特許文献２に記載の装置では、圧力差を利用して水蒸気が炉本体内へ侵入することを抑制しているが、水蒸気の侵入をさらに抑制して薄帯の表面状態をより良好にするものが望まれていた。また、スプレーノズルからの冷却水を均一に噴射することには限界があり、より均一に冷却して薄帯の形状をより良好にするものが望まれていた。
【０００５】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、合金薄帯を急冷することができ、かつ、形状と表面状態の良好な析出硬化型合金薄帯を得ることができる析出硬化型合金薄帯の製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した目的を達成するために鋭意研究したところ、本発明者らは、溶体化処理における冷却の際に、合金薄帯を挟み込むように対をなす冷却ロールで冷却すると、合金薄帯を急冷することができ、かつ、形状と表面状態の良好な析出硬化型合金薄帯を得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００７】
即ち、本発明の析出硬化型合金薄帯の製造装置は、
析出硬化型の合金組成を有する合金薄帯を再結晶温度以上融点以下の温度まで加熱する加熱室と、
加熱室に隣接する冷却室と、
前記冷却室に内設され、前記加熱室で加熱された前記合金薄帯を挟み込むように対をなして冷却する冷却ロールと、
を備えたものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の析出硬化型合金薄帯の製造装置では、対をなすロールで同時に合金薄帯を冷却する。こうすれば、両面から効率よく冷却されるため、合金薄帯を急冷することができる。また、単ロールの場合と比較して一つの冷却ロールの熱容量を小さくすることが可能であるため、直径を小さくして加熱後最初に冷却されるまでの距離・時間を短くし、降温速度を高めることができる。また、例えば水を噴霧して冷却するものに比して水蒸気が発生しにくいから、加熱室への水蒸気の侵入を抑制する目的で加熱室と冷却装置との距離を広くする必要がないため、降温速度をより高めることができる。また、薄帯が冷却ロールと接触する際に、ロールと接触している線状の領域は表面と裏面とから対をなす冷却ロールによって同時に冷却されるため、冷却ムラが生じにくく、形状の良好な析出硬化型合金薄帯を得ることができる。また、冷却室内に水蒸気の発生の原因となるような設備等が存在せず、水蒸気に起因する酸化被膜の形成を抑制可能であるため、表面状態の良好な析出硬化型合金薄帯を得ることができる。
【０００９】
本発明において、薄帯とは厚さが１．００ｍｍ以下のものをいう。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の製造装置１０の一例を示す構成図である。
【図２】溶体化処理部２０の一例を示す構成図である。
【図３】突起を設けた冷却ロールの一例を示す模式図である。
【図４】蛇腹板を設けた冷却ロールの一例を示す模式図である。
【図５】パイプを設けた冷却ロールの一例を示す模式図である。
【図６】溶体化処理部２０の一例を示す構成図である。
【図７】実施例１と参考例１の温度変化を示すグラフである。
【図８】実施例１の合金薄帯の写真である。
【図９】参考例１の合金薄帯の写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
次に、本発明を実施するための形態を図面を用いて説明する。図１は、本発明の製造装置１０の一例を示す構成図である。この製造装置１０は、析出硬化型合金薄帯を製造する装置であり、析出硬化型の合金組成となるように原料を溶解し鋳造する溶解・鋳造部１１と、析出硬化型の合金組成を有する合金の鋳塊を所望の厚さまで冷間圧延して素材合金薄帯を得る中間圧延部１２と、この素材合金薄帯を加熱・急冷して析出硬化型元素を過飽和に固溶させる溶体化処理部２０と、溶体化処理後の素材合金薄帯を洗浄する酸洗部１３と、さらに必要な厚さまで冷間で圧延を行う仕上げ圧延部１４と、仕上げ圧延後の素材合金薄帯に時効硬化処理を施して第２相を析出させると同時に仕上げ圧延で導入された塑性歪みを除去する時効処理部１５とを有するものである。
【００１２】
図２は、本発明の一実施形態である製造装置のうち、溶体化処理部２０の一例を示す構成図である。この溶体化処理部２０は析出硬化型の合金組成を有する素材合金薄帯１８を再結晶温度以上融点以下の温度まで加熱する加熱室３０と、加熱室３０に隣接する冷却室４０と、冷却室４０に内設され、加熱室３０で加熱された素材合金薄帯１８を挟み込むようにして冷却する対をなす冷却ロール５０とを備えている。この溶体化処理部２０では、素材合金薄帯を連続走行させながら溶体化処理することが可能であり、加熱室３０で加熱を行い冷却ロール５０を有する冷却室４０で急冷を行うものである。
【００１３】
加熱室３０は、析出硬化型の合金組成を有する素材合金薄帯１８を再結晶温度以上融点以下の温度まで加熱するものである。このように、再結晶温度以上融点以下の温度まで加熱するものとすれば、その後の急冷によって、析出硬化元素が過飽和に固溶した固溶体を得ることができる。析出硬化型の合金組成としては、ステンレス鋼の６００番台のものやアルミニウム合金の２０００番系、６０００番系、７０００番系のもの、銅合金などが挙げられる。このうち銅合金薄帯が特に適している。このような銅系の合金は導電率が高いことから、電子部品等として用いられることが多く、より小型化・薄型化が求められ、形状の良好な薄帯を得ることができる本発明の適用意義が高いからである。なかでもベリリウム−コバルト系、ニッケル−シリコン系、チタン−鉄系、クロム−ジルコニウム系の銅合金薄帯であることが好ましい。いずれも過飽和固溶体からの第二相の析出が起こる合金系だからである。例えば、ベリリウムを１．９０質量％コバルトを０．２０質量％含むものや、ニッケルを２．４０質量％、シリコンを０．６０質量％含むもの、チタンを３．２０質量％、鉄を０．２０質量％含むもの、クロムを０．３０質量％、ジルコニウムを０．１２質量％含むものなどとすることができる。なお、強化機構の面で厳密には析出硬化型と区別されるものの、急冷によって溶質元素が最大限に固溶することで強化される固溶強化型合金、さらに時効処理の際に過飽和固溶体の分解が起こって周期的な変調構造を生成することにより強化されるスピノーダル分解型合金などについても本手法の基本的考え方が有効であることは言うまでもない。
【００１４】
この加熱室３０は、素材合金薄帯１８を搬入するための搬入口３２と、加熱室３０と冷却室４０との間に設けられ素材合金薄帯１８を冷却室４０側へと通過させる通過口３４と、加熱室３０の内部を電気ヒータで加熱する加熱装置３６と、加熱室３０の内部に不活性ガスを供給するガス配管３８とを備えている。このガス配管３８は、図示しないガスボンベに接続しており、連続的に加熱室内に不活性ガスを供給して、加熱室３０内部の不活性ガス雰囲気を維持するものである。このため、素材合金薄帯１８の過剰な酸化などを抑制することが可能となり、素材合金薄帯１８の表面状態を良好に保つことができる。不活性ガスとしては、アルゴンガス、ヘリウムガス、窒素ガスのいずれか１種を用いることが好ましい。また、ガス配管３８は図示しないレギュレータを設置して冷却室内より高い圧力の不活性ガスが発生するように調整したものである。このため、加熱室３０内の圧力が冷却室４０内の圧力より高くなり、冷却室から加熱室内への水蒸気や空気などの侵入を抑制可能であり、素材合金薄帯１８の表面状態を良好に保つことができる。ここで、加熱室３０と冷却室４０との圧力差は、１００ｈＰａ以上５００ｈＰａ以下であることが好ましい。１００ｈＰａ以上であれば加熱室外からの水蒸気や空気などの侵入をより抑制でき、５００ｈＰａ以下であれば加熱室からの雰囲気ガスの流出量が多くなり過ぎず、不活性ガスの消費量を抑制でき、また、冷却室側に多量の熱風が流れ込むことによる冷却効率の低下を抑制することができるからである。このとき、加熱室３０及び冷却室４０は、内部が大気圧より僅かに高い気圧に保たれていることが好ましい。こうすれば、外部からの雰囲気ガスの流入をより容易に抑制することができるからである。この加熱室３０は、素材合金薄帯１８の通路である通過口３４によって冷却室４０とつながっているから、不活性ガスが素材合金薄帯１８に沿って流れ、まだ十分に冷却されていない素材合金薄帯と酸素や水蒸気などが接触することを抑制することができる。さらに、不活性な雰囲気ガスが冷却室４０に流れ込むから、冷却ロール５０の表面が結露しにくく、水蒸気の発生を抑制できる点でも好ましい。また、この通過口３４は冷却室側に向けて開口面積が小さくなるように配置された整流板３５が設けられている。このため、冷却室側からの水蒸気等の侵入をより抑制することができる。なお、ここでは、ガス配管３８とガスボンベとレギュレータが本発明の雰囲気形成機構および圧力調整機構に該当する。
【００１５】
冷却室４０は、加熱室３０に隣接しており、冷却ロール５０が内設されている。このように冷却室４０が加熱室３０と接するように隣接しているから、加熱室３０で加熱された直後の素材合金薄帯１８を冷却して加熱から急冷までの時間をより短くすることが可能であり、素材合金薄帯１８の降温速度をより高めることができる。
【００１６】
冷却ロール５０は、冷却室４０の内部であって、通過口３４の近傍に内設され、加熱室３０で加熱された素材合金薄帯１８を挟み込むようにして冷却する対をなすものである。この冷却ロール５０は、シャフト５１により回転可能に軸支されている。このように、加熱室３０で加熱された素材合金薄帯１８を挟み込むようにして冷却するものとすれば、両面から効率よく冷却することが可能であり、素材合金薄帯１８を急冷することができる。また、対をなす冷却ロールを用いることによって、単ロールの場合と比較して一つの冷却ロールの熱容量を小さくすることが可能であり、冷却ロールの直径を小さくして合金薄帯が加熱後最初に冷却されるまでの距離・時間を短くし、降温速度を高めることができる。また、例えば冷却水を噴射するものに比して水蒸気が発生しにくいから、加熱室への水蒸気の侵入を抑制することを目的として加熱室と冷却装置との距離を広くする必要がないため、降温速度をより高めることができる。また、素材合金薄帯１８が冷却ロール５０と接触する際に、ロールと接触している線状の領域は表面と裏面とから対をなす冷却ロールによって同時に冷却されるから、冷却ムラが生じにくく、形状をより良好に保つことができる。形状をより良好に保つことができれば、形状を矯正する工程や設備（例えばレベラーなど）を省略することができる点でも好ましい。さらに、冷却ロールを用いて冷却すれば、冷却室内に水蒸気の発生の原因となるような設備等が存在しないから、水蒸気に起因する過剰な酸化被膜の形成を抑制できる。
【００１７】
この対をなす冷却ロール５０は、直径が同一であり、その直径をＤ（ｍｍ）、素材合金薄帯１８の厚さをＴ（ｍｍ）とすると、（２００×Ｔ）≦Ｄ≦（２０００×Ｔ）を満たすものである。このうち、（２２２×Ｔ）≦Ｄ≦（２０００×Ｔ）であることが好ましい。このように直径を同一なものとすれば、加熱された素材合金薄帯１８を両面から均一に冷却することができ、形状を良好なものとすることができる。また、（２００×Ｔ）≦Ｄとすれば、素材合金薄帯１８を急冷することが可能であるし、所望の降温速度を得るのに十分な水量でかつ乱流を作り出す水路をロール内部に設けることが可能である。また、Ｄ≦（２０００×Ｔ）とすれば、加熱された素材合金薄帯１８が冷却ロール５０で冷却されるまでの距離・時間を短くすることができ、より降温速度を高めることができる。また、省スペースとすることができる点でも好ましい。このとき、素材合金薄帯１８は、厚さが１．００ｍｍ以下であるものとし、０．０５ｍｍ以上０．９０ｍｍ以下であることが好ましく、０．０８ｍｍ以上０．３０ｍｍ以下であることがより好ましい。また、直径Ｄは５０ｍｍ以上２４０ｍｍ以下であることが好ましく、６０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であることがより好ましい。なお、冷却ロール５０は、素材合金薄帯１８を圧延するものではなく、冷却ロール通過前後における素材合金薄帯１８の板厚減少はほぼゼロとなるように設計されている。
【００１８】
対をなす冷却ロール５０が内設された冷却室４０は、素材合金薄帯１８の温度が５０℃以下となるまでの素材合金薄帯１８の降温速度が２７５℃／ｓ以上で冷却するように構成されている。このようにすれば、析出硬化型合金薄帯、特に析出硬化型銅合金薄帯において、析出硬化元素をより良好な状態で過飽和に固溶した固溶体を得ることができるからである。一般に析出硬化型銅合金の溶体化処理温度は通常６００℃〜１０００℃程度であり、この温度から内部組織が変化しない５０℃以下まで過飽和状態を保つためには２秒〜３秒程度で冷却を完了させる必要がある。よって、このような降温速度の急冷は、析出硬化型銅合金薄帯の溶体化処理に特に適しているといえる。そして、上述したロール径の範囲はこの降温速度とするのに特に適している。なお、析出硬化型鉄合金や析出硬化型アルミニウム合金においても、降温速度は２７５℃／ｓ以上であることが好ましい。
【００１９】
冷却ロール５０は、外周が素材合金薄帯１８と接する外筒５５と、外筒５５の内部に外筒５５と同軸で配設された内筒５６とを有し、冷却液の流路として外筒５５と内筒５６との間に存在する表層流路５７と、内筒５６の内部に存在する内層流路５８と、表層流路５７と内層流路５８とをつなぐ連結流路５９とを備えている。このように、表層流路５７と内層流路５８との間で冷却液の交換を可能なものとることで、内層流路５８などで冷却された冷却液を表層流路５７に流したり、表層流路５７で高温になった冷却液を内層流路に流したりすることが可能であり、より効率よく冷却することができる。ここで、表層流路５７と内層流路５８と連結流路５９とは冷却液が循環可能なとなるように繋がっている。このように冷却液が循環可能であれば、冷却効率がよい。冷却液は、特に限定されるものではないが、水またはクーラント（エチレングリコール水溶液など）を用いることが好ましい。
【００２０】
冷却ロール５０は、乱流発生機構５２を有している。この乱流発生機構５２は、内筒５６の表層流路５７側に形成した略直方体の突起であり、軸方向および円周方向に等間隔に設けられている。冷却ロール５０内の冷却液は、この乱流発生機構５２によって、少なくとも表層流路５７において乱流となっている。図３は乱流発生機構５２として突起を設けた冷却ロール５０の模式図である。このように表層流路５７内の冷却液が乱流となるようにすれば、効率よく外筒５５を冷却可能であり、その結果、素材合金薄帯１８の降温速度を速くすることができる。
【００２１】
冷却ロール５０には、図示しないモータが接続されており、回転の接線速度が素材合金薄帯１８の進行速度と一致するように制御可能となっている。このようにすれば、素材合金薄帯１８の表面に擦り傷ができることの他、素材合金薄帯１８の進行が妨げられることに起因する形状不良、冷却ロール５０と素材合金薄帯１８との間で摩擦熱が発生して素材合金薄帯１８の冷却が不均一になることに起因する形状不良などを抑制することができる。
【００２２】
この対をなす冷却ロール５０は、素材合金薄帯１８の平坦度を矯正する押圧機構６０を備えている。この押圧機構６０は、シャフト５１の両端に配設されシャフト５１を上下動および回転可能に支持する支持部材と、シャフト５１の両端に配設されシャフト５１を素材合金薄帯１８のほうへ押圧するコイルバネとを備えている。このような押圧機構６０を有するものとすれば、素材合金薄帯の形状をより良好に保つことができる。押圧機構６０は、素材合金薄帯１８に板厚減少を生じない範囲で押圧するものであることが好ましい。加工による相変態の発生などを抑制するためである。このような押圧力として、加熱室３０で加熱した直後の素材合金薄帯１８の持つ弾性限界Ａの１／１００より大きく１／２未満の圧力で、冷却ロール５０を介して素材合金薄帯１８を押圧することが好ましい。このうち、弾性限界Ａの１／５０以上１／５以下の圧力で押圧することがより好ましい。押圧比が弾性限界Ａの１／１００より大きくなるようにすれば、平坦度を矯正することができるし、１／２未満となるようにすれば、板厚減少を抑制できるからである。また、冷却ロール５０が弾性限界Ａの１／５０以上１／５以下の荷重で、薄帯の幅方向一直線上に押圧するものとすれば、均質性を保ちながら形状を平坦に保つことができる。
【００２３】
次に、図１に示す本発明の製造装置１０の動作を説明する。本発明の製造装置１０は、図示しない制御部（例えばコンピュータなど）を備えており、作業者が制御部を操作して設定値を入力すると、制御部はその設定値に応じて各ユニットを制御するように構成されている。ここでは、析出硬化型合金薄帯として、ベリリウム銅合金薄帯を製造する場合を例に挙げて説明する。まず、作業者が設定値を入力すると、制御部は各ユニットの制御を開始し、各ユニットは制御部の指示に従って作動する。具体的には、まず、溶解・鋳造部１１で原料を溶解し、ビレット状に鋳造した後、中間圧延部１２でビレットを所定の厚さまで冷間圧延して、素材合金薄帯１８とする。次に、この素材合金薄帯１８を溶体化処理部２０で溶体化処理する（図２参照）。この溶体化処理部２０では、まず、素材合金薄帯１８を搬入口３２から加熱室３０内に連続的に搬入する。加熱装置３６は、加熱室３０を所定の温度（例えば８００℃）に維持するように制御部によって制御されている。また、ガス配管３８から加熱室３０に冷却室４０内より圧力の高い不活性ガス（例えば窒素ガス）を連続的に供給して、加熱室３０の圧力が冷却室４０の圧力より高い状態に維持している。次に、所定の温度に加熱された素材合金薄帯１８は、通過口３４から冷却室４０内に連続的に搬入される。次に、対をなす冷却ロール５０で素材合金薄帯１８を挟み込むようにして冷却する。この冷却ロール５０は、回転の接線速度が素材合金薄帯１８の走行速度と一致するように、シャフト５１に設けられた図示しないモーターによって駆動されている。また、この冷却ロール５０の表層流路５７と内層流路５８と連結流路５９とには冷却液が流れており、その流れは、突起５２によって乱流となっている。このような冷却ロール５０などによって素材合金薄帯１８を冷却室４０の内部で５０℃以下の温度まで例えば２７５℃／ｓの降温速度で冷却して、搬出口４２から搬出する。続いて、搬出された素材合金薄帯１８の表面に生成したスケールなどを酸洗部１３で洗い流した後、仕上げ圧延部１４で素材合金薄帯１８を所望の厚さまで冷間圧延する。そして、冷間圧延された素材合金薄帯１８を時効硬化部１５で時効温度に保持して、析出硬化型元素を析出させるとともに、仕上げ圧延で導入された塑性ひずみを除去する。
【００２４】
以上説明した析出硬化型合金の製造装置によれば、対の冷却ロールを用いるため、合金薄帯を急冷することができ、かつ、形状と表面状態の良好な析出硬化型合金薄帯を得ることができる。
【００２５】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
【００２６】
上述した実施形態では、加熱室３０は、加熱装置３６としての電気ヒータで加熱されるものとしたが、例えばバーナーのような直火方式のものやラジアントチューブのような輻射管方式のもので加熱されるものであってもよい。また、誘導加熱方式のものであってもよい。加熱装置３６は加熱室３０に内包されている素材合金薄帯１８を一様に加熱すること可能であることが好ましく、加熱室内全体の温度を略一定に保つように制御可能なものであることが好ましい。析出硬化型元素をより均一に析出させることができるからである。
【００２７】
上述した実施形態では、加熱室３０は、加熱室３０の内部に不活性ガスを供給するガス配管３８を備え、このガス配管３８はガスボンベと接続しており、レギュレータが設置されているものとしたが、このようなガス配管３８を有さなくてもよい。水蒸気等が発生しにくい製造装置１０では、これらがなくても表面状態が良好な析出硬化型合金薄帯を製造できる。また、通過口３４は整流板３５を備えているものとしたが、これを省略してもよい。こうしても、素材合金薄帯１８を急冷することができ、かつ、形状と表面状態の良好な析出硬化型合金薄帯を得ることができる。
【００２８】
上述した実施形態では、圧力調整機構は、加熱室３０に備えられたガス配管３８などにより加熱室３０内の圧力を高めるものとしたが、これとともに、冷却室４０に備えられた減圧装置で冷却室４０内の圧力を低下させるものとしてもよい。また、冷却室４０に備えられた減圧装置だけとしてもよい。こうしても、素材合金薄帯１８を急冷することができ、かつ、形状と表面状態の良好な析出硬化型合金薄帯を得ることができる。
【００２９】
上述した実施形態では、対をなす冷却ロールは上下一対となっているが、冷却ロールの配置される方向は特に限定されるものではなく、左右一対となっていてもよい。このように冷却ロールの配置される方向が特に限定されない点で、ストリップキャスト等溶融金属を冷却する製造装置とは異なるものである。
【００３０】
上述した実施形態では、対をなす冷却ロール５０は、直径が同一であり、その直径をＤ（ｍｍ）、素材合金薄帯１８の厚さをＴ（ｍｍ）とすると、（２００×Ｔ）≦Ｄ≦（２０００×Ｔ）を満たすものとしたが、これに限定されるものではなく、所望の急冷をすることができるよう適宜選択することができる。こうしても、形状と表面状態の良好な析出硬化型合金薄帯を得ることができる。
【００３１】
上述した実施形態では、対をなす冷却ロール５０が内設された冷却室４０は、素材合金薄帯１８の降温速度が２７５℃／ｓ以上となるように冷却するものとしたが、これに限定されるものではなく、溶体化処理に必要な急冷をするものとすればよい。こうしても、形状と表面状態の良好な析出硬化型合金薄帯を得ることができる。
【００３２】
上述した実施形態では、冷却ロール５０は、外筒５５と、内筒５６、表層流路５７と、内層流路５８と、連結流路５９とを備えたものとしたが、これに限定されるものではない。例えば、冷却ロール５０は冷却液の流路を備えないものとしてもよい。また、外筒５５と内筒５６とを有さないもの、即ち１層構造としてもよい。また、外筒、内筒による２層構造のみならず、３層以上の構造としてもよく、また、冷却をより均一に、効率よく行うことができるように冷却液の流路を設けたものとしてもよい。このようにしても、合金薄帯を急冷することができ、かつ、形状と表面状態の良好な析出硬化型合金薄帯を得ることができる。また、表層流路５７と内層流路５８と連結流路５９とは、冷却液が循環可能となるようにつながっているものとしたが、これに限定されず、例えば、外部から冷却液が表層流路５７に供給され、連結流路５９、内層流路５８を通って、外部に排出されるものであってもよい。
【００３３】
上述した実施例では、乱流発生機構５２は内筒５６の表層流路５７側に軸方向及び円周方向にほぼ等間隔に形成した直方体状の突起としたが（図３参照）、このような突起に限られることなく円柱状、円錐状、三角柱状、三角錐状などの突起であってもよい。また、例えば凹凸、メッシュ、パイプ、立て板のうちの１種以上などを用いることができる。図４は凹凸の一例として乱流発生機構５２ｂ（蛇腹板）を設けた冷却ロールの一例を示す模式図である。また、図５は乱流発生機構５２ｃ（パイプ）を設けた冷却ロールの一例を示す模式図である。
【００３４】
上述した実施形態では、冷却ロール５０は、冷却液に乱流を発生させる乱流発生機構５２を有し、少なくとも表層流路５７において冷却液が乱流となっているものとしたが、乱流発生機構を有していなくてもよいし、冷却ロール内部の冷却液の流れが層流であってもよい。このようにしても、合金薄帯を急冷することができ、かつ、形状と表面状態の良好な析出硬化型合金薄帯を得ることができる。
【００３５】
上述した実施形態では、冷却ロール５０は回転の接線速度が素材合金薄帯１８の進行速度と一致するように制御可能なものとしたが、これに限定されるものではない。このようにしても合金薄帯を急冷することができ、かつ、形状と表面状態の良好な析出硬化型合金薄帯を得ることができる。
【００３６】
上述した実施形態では、対をなす冷却ロール５０は素材合金薄帯の平坦度を矯正する押圧機構６０を備えたものとしたが、押圧機構６０を省略してもよい。このとき、冷却ロール５０は回転可能に固定されていてもよい。このようにしても合金薄帯を急冷することができ、かつ、形状と表面状態の良好な析出硬化型合金薄帯を得ることができる。
【００３７】
上述した実施形態では、押圧機構６０はコイルバネを備えるものとしたが、これに代えて、例えば弾性体、油圧、ガス圧、電磁力、加圧モーター、ギヤー、ネジのいずれか１以上により押圧力を調整するものなどを用いることができる。このような押圧機構６０は、例えば、冷却ロール５０の一方にのみ備えられ、他方の冷却ロール５０は固定されたものであってもよい。また、冷却ロール５０の両方に各々独立して備えられたものであってもよいし、共通して備えられたものであってもよい。
【００３８】
上述した実施形態では、冷却室４０は一対の冷却ロール５０を内設したものとしたが、冷却室４０は、対をなす冷却ロールを複数内設していてもよい。このように複数の冷却ロールで順次素材合金薄帯１８を冷却するから、素材合金薄帯の降温速度を高めることが可能であり、急冷に適している。また、冷却室外へ薄帯を搬出したときに常温まで完全に降温して安全性と作業性を確保することができる点においても好ましい。対をなす冷却ロールを複数内設するものとする場合には、各々の対をなす冷却ロールの直径は同一であっても異なるものであってもよいが、対をなす冷却ロール５０は、加熱室側から順に直径が小さくなるものとすることが好ましい（図６参照）。こうすれば、特に急冷が望まれる冷却初期における降温速度を高めることができると同時に、冷却室内の省スペース化を図ることができる。
【００３９】
上述した実施形態では、冷却ロール５０は、ステンレス製のものとしたが、これに限定されるものではない。冷却ロール５０には種々の素材を用いることができるが、金属製であることが好ましい。熱伝導性がよく、急冷に適しているからである。また、表面をより平滑にすることができる点においても好ましい。耐食性や強度、熱強度の観点からステンレス製であることが好ましい。また、降温速度をより高めるという観点では、冷却ロール５０として熱伝導率の高いキュプロニッケルを用いることが好ましい。また、冷却ロール５０は、クロム、ジルコニウム、クロム化合物、ジルコニウム化合物のいずれか１種以上からなる層１０を表面に有するものとしてもよい。銅と反応性の少ないこれらのコーティングを施すことで、銅合金薄帯を製造する場合にロールへの銅付着を抑制することが可能であり、また、この付着した銅が更に素材合金薄帯１８に転写されることを抑制することができる。この層は、厚さ２μｍ以上１２０μｍ以下であることが好ましく、３μｍ以上１００μｍ以下であることがより好ましく厚さ５μｍ以上９７μｍ以下であることがさらに好ましい。２μｍ以上では剥離が生じにくく、また、ムラのない層とすることが可能だからである。また、１２０μｍ以下であれば、冷却ロール５０の熱伝導率を低下させずに素材合金薄帯１８を急冷できるからである。      
【実施例】
【００４０】
次に、本発明の溶体化処理部２０を用いて析出硬化型合金薄帯を作製した具体例を実施例として説明する。
【００４１】
［実施例１］
まず、Ｂｅを１．９０質量％、Ｃｏを０．２０質量％、残部をＣｕとするＣｕ−Ｂｅ−Ｃｏ系合金を溶解・鋳造後、冷間圧延し、幅５０ｍｍ、厚さ０．２７ｍｍの素材合金薄帯を準備した。この組成は、事前に化学分析した値であり、厚さはマイクロメーターでの測定値である。この素材合金薄帯について、以下に示すようにように連続して溶体化処理を行った。まず、素材合金薄帯を窒素雰囲気で０．１５ＭＰａとなるように維持した加熱室内で８００℃まで加熱した。この温度は、加熱室の終端部付近に設置した熱電対の指示温度である。続いて、加熱した素材合金薄帯を冷却室と繋がる通過口から冷却室内に連続的に搬出し、冷却室に内設された１対の冷却ロールで冷却した。この冷却ロールはいずれもステンレス（ＳＵＳ３１６）製で、外筒と内筒の２重構造を有するものとし、外筒は直径１２０ｍｍ厚さ９ｍｍ、内筒は直径６０ｍｍ厚さ９ｍｍのものとした。この冷却ロールは図３に示すような突起を有するものとした。また、外筒の表面には膜厚５μｍの硬質Ｃｒめっきを施したものを用いた。この膜厚は、膜厚計（ケット科学研究所製、フィッシャースコープ・ＭＭＳ−３ＡＭ）を用いた実測値である。冷却に際して、冷却ロールの接線速度は、薄帯の進行速度と一致するようにした。また、冷却ロールには押圧比が１／１０となるようにコイルバネを用いて押圧力を調整した。この押圧比は、押圧力を溶体化処理後の弾性限界値を推定した推定弾性限界で除した値である。このようにして得られた合金薄帯を、実施例１の合金薄帯とした。なお、冷却室から搬出された直後の合金薄帯の温度（以下炉外温度とも称する）は、４１℃であった。この温度は接触式温度計で測定した値である。
【００４２】
［実施例２〜７］
冷却ロールを、外筒が直径６０ｍｍ厚さ５ｍｍ、内筒が直径３０ｍｍ厚さ５ｍｍのものとしたこと以外は実施例１と同様に実施例２の合金薄帯を得た。また、素材合金薄帯の厚さを０．１０ｍｍとし、冷却ロールを、外筒が直径２００ｍｍ厚さ９ｍｍ、内筒が直径１４０ｍｍ厚さ９ｍｍのものとしたこと以外は実施例１と同様に実施例３の合金薄帯を得た。また、冷却ロール表面の硬質Ｃｒめっきの膜厚を９７μｍとしたこと以外は、実施例１と同様に実施例４の合金薄帯を得た。また、素材合金薄帯の厚さを０．３０ｍｍとし、押圧比が１／５となるように押圧力を調整したこと以外は実施例１と同様に実施例５の合金薄帯を得た。また、素材合金薄帯の厚さを０．０８ｍｍとし、押圧比が１／５０となるように押圧力を調整したこと以外は実施例１と同様に実施例６の合金薄帯を得た。また、冷却室内に３対の冷却ロールを設置し、加熱室側の冷却ロール（１段目）を、外筒が直径１２０ｍｍ厚さ９ｍｍ、内筒が直径６０ｍｍ厚さ９ｍｍのものとし、次の冷却ロール（２段目）のロール径をこれより小さいものとし、さらに次の冷却ロールの２段目のロール径より小さいものとしたこと以外は、実施例１と同様に実施例７の合金薄帯を得た。
【００４３】
［実施例８，９］
Ｎｉを２．４０質量％、Ｓｉを０．６０質量％、残部をＣｕとするＣｕ−Ｎｉ−Ｓｉ系合金を用い、素材合金薄帯の厚さを０．１５ｍｍとし、加熱温度を８５０℃としたこと以外は実施例１と同様に実施例８の合金薄帯を得た。また、加熱温度を７００℃としたこと以外は実施例８と同様に実施例９の合金薄帯を得た。
【００４４】
［実施例１０，１１］
Ｃｒを０．３０質量％、Ｚｒを０．１２質量％、残部をＣｕとするＣｕ−Ｃｒ−Ｚｒ系合金を用い、素材合金薄帯の厚さを０．２０ｍｍとし、加熱温度を９５０℃としたこと以外は実施例１と同様に実施例１０の合金薄帯を得た。また、素材合金薄帯の厚さを０．１５ｍｍとし、加熱温度を７７０℃としたこと以外は実施例１０と同様に実施例１１の合金薄帯を得た。
【００４５】
［実施例１２〜２０］
冷却ロールを、外筒が直径５０ｍｍ厚さ５ｍｍ、内筒が直径２４ｍｍ厚さ５ｍｍのものとしたこと以外は実施例１と同様に実施例１２の合金薄帯を得た。また、冷却ロールを、外筒が直径２４０ｍｍ厚さ９ｍｍ、内筒が直径１２０ｍｍ厚さ９ｍｍのものとしたこと以外は実施例１と同様に実施例１３の合金薄帯を得た。また、冷却ロール表面の硬質Ｃｒめっきの膜厚を２μｍとしたこと以外は実施例１と同様に実施例１４の合金薄帯を得た。また、冷却ロール表面の硬質Ｃｒめっきの膜厚を１２０μｍとしたこと以外は実施例１と同様に実施例１５の合金薄帯を得た。また、冷却ロールの回転を一時停止させ、押圧力を加えなかったこと以外は実施例１と同様に実施例１６の合金薄帯を得た。また、押圧比が１／１００となるように押圧力を調整したこと以外は実施例１と同様に実施例１７の合金薄帯を得た。また、押圧比が１／２となるように押圧力を調整したこと以外は実施例１と同様に実施例１８の合金薄帯を得た。また、素材合金薄帯の厚さを０．６０ｍｍとしたこと以外は実施例１３と同様に実施例１９の合金薄帯を得た。また、素材合金薄帯の厚さを０．９５ｍｍとしたこと以外は実施例１３と同様に実施例２０の合金薄帯を得た。
【００４６】
［実施例２１，２２］
素材合金薄帯を厚さ０．８０ｍｍのステンレス鋼（ＳＵＳ６３０）とし、加熱温度を１０６０℃とし、押圧比が１／５となるように押圧力を調整したこと以外は実施例３と同様に実施例２１の合金薄帯を得た。また、素材合金薄帯を厚さ０．３０ｍｍのステンレス鋼（ＳＵＳ６３０）とし、加熱温度を１０６０℃としたこと以外は実施例１と同様に実施例２２の合金薄帯を得た。
【００４７】
［実施例２３，２４］
素材合金薄帯を厚さ０．９０ｍｍのアルミニウム合金（Ａ６０６１）とし、加熱温度を５３０℃としたこと以外は実施例３と同様にして、実施例２３の合金薄帯を得た。また、素材合金薄帯を厚さ０．４０ｍｍのアルミニウム合金（Ａ６０６１）とし、加熱温度を５２０℃としたこと以外は実施例１と同様にして、実施例２４の合金薄帯を得た。
【００４８】
［参考例１〜３］
冷却ロールを用いず、スプレーノズルで冷却水を噴射して合金薄帯を冷却したこと以外は、実施例１と同様に参考例１の合金薄帯を得た。素材合金薄帯を厚さ０．３０ｍｍのステンレス鋼（ＳＵＳ６３０）とし、加熱温度を１０６０℃としたこと以外は参考例１と同様に参考例２の合金薄帯を得た。また、素材合金薄帯を厚さ０．４０ｍｍのアルミニウム合金（Ａ６０６１）とし、加熱温度を５２０℃としたこと以外は参考例１と同様に参考例３の合金薄帯を得た。
【００４９】
（評価）
上述した実施例１〜２４および参考例１〜３の合金薄帯について、降温速度、表面状態及び形状を評価した。図７は実施例１および参考例１の温度変化を示すグラフである。また、図８は実施例１の合金薄帯の写真であり、図９は参考例１の合金薄帯の写真である。さらに、実施例１〜７，１２〜２４、参考例１〜３について時効処理を行い、時効処理後のビッカース硬さを測定した。これらの結果を表１に示す。表１には、この他に、素材銅合金薄帯の組成、素材銅合金薄帯の厚さ（Ｔ）、加熱温度、冷却ロールの直径（Ｄ）、冷却ロールの直径を素材銅合金薄帯の厚さで除した値であるＤ／Ｔ比、冷却ロールの数、硬質Ｃｒめっきの膜厚、冷却ロールの回転の有無、押圧比、炉外温度についても示した。降温速度は、素材合金薄帯の表面にあらかじめ溶接した熱電対で薄帯温度を測定し、冷却室内に入った時刻ｔ0および温度Ｔ0、５０℃となったときの時刻ｔ1から降温速度Ｖ＝（Ｔ0−５０）／（ｔ1−ｔ0）を計算して求めた。表面状態は冷却室から外に薄帯が出たところを目視で観察して、表面の変色状態から酸化皮膜形成の抑制状態が良好か否かを判定した。判定として、ほぼ変色がないものを◎、やや変色が見られるものを○、変色が目立つものを△とした。形状は、冷却室外に薄帯が出たところを目視で観察して、判定した。判定として、形状が良好であるものを◎、若干の形状不良があるものを○、形状不良がやや目立つものを△とした。ビッカース硬さについては、以下のように求めた。まず、それぞれの合金薄帯から長さ３０ｃｍの試験片を採取し、濃度１５％の硝酸水溶液内に６０秒間攪拌浸漬して酸化皮膜を除去した。その後、小型圧延機で一律１５％の板厚減少率とする冷間圧延を行った。さらに窒素置換して３１５℃に保持された熱処理炉内で２．５ｈの時効硬化処理を行い、その後水冷した。こうして得られた時効硬化後の試験片の一部を切り取って熱硬化性樹脂に埋め込み、表面を鏡面磨きした後で板断面の硬さ測定試験を行った。試験はＪＩＳＺ２２４４に準じて行い、ビッカース硬さを求めた。
【００５０】
【表１】
0005626956.tif 000002
【００５１】
実施例１〜２０では、降温速度、表面状態、形状、ビッカース硬さの全てにおいて、参考例１と比較して良好な結果が得られた。このことから、溶体化処理の際に対をなす冷却ロールを用いて冷却する本発明の製造装置を用いると、合金薄帯を急冷することができ、かつ、形状と表面状態の良好な析出硬化型合金薄帯を得られることがわかった。なかでも、素材合金薄帯の厚さが０．３０ｍｍ以下で、Ｄ／Ｔ比が２２２以上２０００以下の範囲にあり、冷却ロール表面の硬質Ｃｒめっきの膜厚が５μｍ以上９７μｍ以下であり、押圧比が１／５０以上１／５以下である実施例１〜１１では、降温速度、表面状態、形状、ビッカース硬さがより良好となることがわかった。この理由として、例えば、冷却ロールの直径が５０ｍｍでＤ／Ｔ比が１８５の実施例１２と比較して冷却ロールの直径が大きくＤ／Ｔ比が大きいから、冷却水路を十分に確保することができ、降温速度を高めることができたものと推察された。また、冷却ロールの直径が２４０ｍｍでＤ／Ｔ比が２４００の実施例１３と比較して冷却ロールの直径が大きすぎず、最初に冷却ロールに接するまでの距離・時間を短くして降温速度を高めることができたものと推察された。また、硬質Ｃｒめっきの膜厚が２μｍの実施例１４と比較して、ロール表面のめっきを均質で剥がれにくいものとすることが可能なため、より形状を良好にすることができたものと推察された。また、硬質Ｃｒめっきの膜厚が１２０μｍの実施例１５と比較して、硬質Ｃｒめっきによる熱伝導率の低下が少なく、良好な降温速度とすることができたものと推察された。また、冷却ロールの回転を行わなかった実施例１６と比較して、ロールの引きずり等による傷が発生しにくく、形状をより良好なものとすることができたと推察された。また、押圧比を１／１００とした実施例１７と比較して、押圧力が大きく、形状を矯正することができたからと推察された。また、押圧比を１／２とした実施例１８と比較して板厚が減少するほどの押圧力とならなかったため、より適切に形状を矯正することができたものと推察された。また、素材合金薄帯の厚さを０．６０ｍｍとした実施例１９や、素材合金薄帯の厚さを０．９５ｍｍとしたものであっても、Ｄ／Ｔ比を２２２以上２０００以下の範囲とすることで、降温速度、表面状態、形状、ビッカース硬さが良好なものが得られることが分かった。
【００５２】
このように実施例１〜１１では、２７５℃／ｓ以上の降温速度が得られ、より好ましい過飽和状態が得られ、その際には、酸化皮膜の形成もより抑止され、板形状もより良好に保つことができることがわかった。また、冷却室外に搬出されたときに安全な温度まで冷却されていることがわかった。
【００５３】
また、溶体化処理後に２７５℃／ｓ以上の速い降温速度とすることができた実施例１〜１１，１４，１６〜１８では、析出硬化型のＣｕ−Ｂｅ−Ｃｏ系合金で特に好まし４３０Ｈｖ以上のビッカース硬さを得られることがわかった。このことから、これらの実施例では、溶体化処理において、好ましい過飽和状態の固溶体を得ることができたものと推察された。
【００５４】
また、合金の組成はＣｕ−Ｂｅ−Ｃｏ系だけでなく、Ｃｕ−Ｎｉ−Ｓｉ系やＣｕ−Ｃｒ−Ｚｒ系の合金においても、急冷をすることができると同時に、表面状態と形状を良好にすることができたことから、析出硬化型銅合金であれば、特に種類は限定されず本発明の製造装置を用いることが可能であると推察された。
【００５５】
また、素材合金薄帯としてステンレス鋼（ＳＵＳ６３０）を用いた実施例２１，２２では、降温速度、表面状態、形状、ビッカース硬さの全てにおいて、参考例２と比較して良好な結果が得られた。また、素材合金薄帯としてアルミニウム合金（Ａ６０６１）を用いた実施例２３，２４では、降温速度、表面状態、形状、ビッカース硬さの全てにおいて、参考例３と比較して良好な結果が得られた。このことから、溶体化処理の際に対をなす冷却ロールを用いて冷却する本発明の製造装置を用いると、合金薄帯を急冷することができ、析出効果型合金であれば特に材質は限定されることなく形状と表面状態の良好な析出硬化型合金薄帯を得られるものと推察された。
【符号の説明】
【００５６】
１０  製造装置、１１  溶解・鋳造部、１２  中間圧延部、１３  酸洗部、１４  仕上げ圧延部、１５  時効処理部、１８  素材合金薄帯、２０，１２０  溶体化処理部、３０  加熱室、３２  搬入口、３４  通過口、３５  整流板、３６  加熱装置、３８  ガス配管、４０  冷却室、４２  搬出口、５０，５０ｂ，５０ｃ  冷却ロール、５１  シャフト、５２，５２ｂ，５２ｃ  乱流発生機構、５５  外筒、５６  内筒、５７  表層流路、５８  内層流路、５９  連結流路、６０  押圧機構。
【図１】
0005626956.tif 000003
【図２】
0005626956.tif 000004
【図３】
0005626956.tif 000005
【図４】
0005626956.tif 000006
【図５】
0005626956.tif 000007
【図６】
0005626956.tif 000008
【図７】
0005626956.tif 000009
【図８】
0005626956.tif 000010
【図９】
0005626956.tif 000011