(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水圧によってワークを昇降させる昇降装置であって、
設置面に対して立設されるピストンロッドと、
前記ピストンロッドの外周に固設される第１ピストンと、
前記第１ピストンを摺動自在に収容して前記第１ピストンの上側に第１圧力室を画成する第１シリンダチューブと、
前記第１シリンダチューブの上端に連結され前記ピストンロッドに対して摺接する第２ピストンと、
前記第２ピストンを摺動自在に収容して前記第２ピストンの上側に第２圧力室を画成する第２シリンダチューブと、
前記ピストンロッドの内部に穿設され、前記ピストンロッドの下端側から前記第１圧力室までを連通する第１連通孔と、
前記第２ピストンに穿設され、前記第１圧力室と前記第２圧力室とを連通する第２連通孔と、
前記第２シリンダチューブの外側に設けられ前記ワークを上方に持ち上げるワーク支持部と、
を備え、
前記第１連通孔を介して前記第１圧力室に水圧が供給されると、前記第２連通孔を介して前記第２圧力室に水圧が供給され、前記第２圧力室の拡大に伴って前記第２シリンダチューブが上昇し、
前記第２シリンダチューブが上昇端まで上昇すると、前記第１圧力室の拡大に伴って前記第１シリンダチューブ及び前記第２シリンダチューブがともに上昇する、
ことを特徴とする昇降装置。
【請求項２】
前記第２連通孔に設けられ、前記第１圧力室から前記第２圧力室への流れのみを許容する逆止機能を発揮するとともに前記第２ピストンが下降して前記第１ピストンに当接すると前記逆止機能が解除される第１逆止弁をさらに備え、
前記第１シリンダチューブ及び前記第２シリンダチューブがともに上昇している状態で前記第１連通孔の水圧を排出すると、前記第１圧力室の水圧が前記第１連通孔を介して排出されて前記第１シリンダチューブ及び前記第２シリンダチューブがともに自重によって下降し、
前記第２ピストンが前記第１ピストンに当接すると前記第１逆止弁の前記逆止機能が解除され、前記第２圧力室の水圧が第２連通孔及び前記第１連通孔を介して排出されて前記第２シリンダチューブが自重によって下降する、
ことを特徴とする請求項１に記載の昇降装置。
【請求項３】
前記第２シリンダチューブの上端に連結され前記ピストンロッドに対して摺接する第３ピストンと、
前記第３ピストンを摺動自在に収容して前記第３ピストンの上側に第３圧力室を画成する第３シリンダチューブと、
前記第３ピストンに穿設され、前記第２圧力室と前記第３圧力室とを連通する第３連通孔と、
をさらに備え、
前記ワーク支持部は、前記第３シリンダチューブの外側に設けられ、
前記第１連通孔を介して前記第１圧力室に水圧が供給され、前記第２連通孔を介して前記第２圧力室に水圧が供給されると、前記第３連通孔を介して前記第３圧力室に水圧が供給され、前記第３圧力室の拡大に伴って前記第３シリンダチューブが上昇し、
前記第３シリンダチューブが上昇端まで上昇すると、前記第２圧力室の拡大に伴って前記第２シリンダチューブ及び前記第３シリンダチューブがともに上昇し、
前記第２シリンダチューブが上昇端まで上昇すると、前記第１圧力室の拡大に伴って前記第１シリンダチューブ、前記第２シリンダチューブ及び前記第３シリンダチューブがともに上昇する、
ことを特徴とする請求項２に記載の昇降装置。
【請求項４】
前記第３連通孔に設けられ、前記第２圧力室から前記第３圧力室への流れのみを許容する逆止機能を発揮するとともに前記第３ピストンが下降して前記第２ピストンに当接すると前記逆止機能が解除される第２逆止弁をさらに備え、
前記第１シリンダチューブ、前記第２シリンダチューブ及び前記第３シリンダチューブがともに上昇している状態で前記第１連通孔の水圧を排出すると、前記第１圧力室の水圧が前記第１連通孔を介して排出されて前記第１シリンダチューブ、前記第２シリンダチューブ及び前記第３シリンダチューブがともに自重によって下降し、
前記第２ピストンが前記第１ピストンに当接すると前記第１逆止弁の前記逆止機能が解除され、前記第２圧力室の水圧が第２連通孔及び前記第１連通孔を介して排出されて前記第２シリンダチューブ及び前記第３シリンダチューブが自重によって下降し、
前記第３ピストンが前記第２ピストンに当接すると前記第２逆止弁の前記逆止機能が解除され、前記第３圧力室の水圧が第３連通孔、前記第２連通孔及び前記第１連通孔を介して排出されて前記第３シリンダチューブが自重によって下降する、
ことを特徴とする請求項３に記載の昇降装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、昇降装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
医薬品や食品等は異物の混入を避けるため、空気清浄度の高いクリーンルーム内において製造される。クリーンルーム内では、ワークを昇降させるために昇降装置が用いられる。
【０００３】
特許文献１には、クリーンルームで使用することを想定した昇降装置が開示されている。この昇降装置は、垂直方向に延設され所定の間隔をあけて配置される一対のマストと、マスト間に配置されマストに沿って上下に昇降する昇降台と、各マスト内の上下にそれぞれ配置されるスプロケットと、上下のスプロケットに巻回されるチェーンと、を備える。スプロケットを駆動してチェーンを回転させると、昇降台がマストに沿って上下に昇降する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−６２４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来の技術では、スプロケットやチェーン等の摺動部から摩耗粉等の塵埃が発生したり、この塵埃がグリースとともに飛散したりする可能性がある。したがって、クリーンルーム内の空気清浄度を高く保つことが困難となる。
【０００６】
本発明は、このような技術的課題に鑑みてなされたものであり、塵埃の発生を抑制可能な昇降装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、水圧によってワークを昇降させる昇降装置であって、設置面に対して立設されるピストンロッドと、ピストンロッドの外周に固設される第１ピストンと、第１ピストンを摺動自在に収容して第１ピストンの上側に第１圧力室を画成する第１シリンダチューブと、第１シリンダチューブの上端に連結されピストンロッドに対して摺接する第２ピストンと、第２ピストンを摺動自在に収容して第２ピストンの上側に第２圧力室を画成する第２シリンダチューブと、ピストンロッドの内部に穿設され、ピストンロッドの下端側から第１圧力室までを連通する第１連通孔と、第２ピストンに穿設され、第１圧力室と第２圧力室とを連通する第２連通孔と、第２シリンダチューブの外側に設けられワークを上方に持ち上げるワーク支持部と、を備え、第１連通孔を介して第１圧力室に水圧が供給されると、第２連通孔を介して第２圧力室に水圧が供給され、第２圧力室の拡大に伴って第２シリンダチューブが上昇し、第２シリンダチューブが上昇端まで上昇すると、第１圧力室の拡大に伴って第１シリンダチューブ及び第２シリンダチューブがともに上昇する、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、水圧によってシリンダチューブを上昇させてワークを持ち上げるので、スプロケットやチェーン等の摺動部がなく、昇降装置からの塵埃の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係る昇降装置を示す断面図である。
【図２】シリンダユニットを拡大して示す拡大図である。
【図３】昇降装置の動作について説明するための図である。
【図４】昇降装置の動作について説明するための図である。
【図５】昇降装置の動作について説明するための図である。
【図６】昇降装置の伸長状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
【００１１】
図１は、本実施形態における昇降装置１００を示す断面図である。
【００１２】
昇降装置１００は、医薬品や食品の製造工場等、高い空気清浄度が要求されるクリーンルーム内において原料等を収納したコンテナ等の容器を昇降させるための装置である。以下の説明において、このコンテナ等の容器を「ワークＷ」と称する。
【００１３】
図１に示すように、昇降装置１００は、クリーンルーム内の設置面としての床面に固定されるベースフランジ１と、ベースフランジ１の内周に嵌装されるロッドボス２と、ロッドボス２の上部に垂設されるピストンロッド３と、ロッドボス２の上部に介装されるボトムプレート４と、ボトムプレート４によって下方へのストローク端が規定されるシリンダユニット１０と、を備える。
【００１４】
ピストンロッド３は、下端がロッドボス２の上部に凹設される孔２ａに嵌装され、鉛直方向上方に延びる円柱状部材である。ピストンロッド３の上端にはロッドキャップ５が装着される。ピストンロッド３は、下端から上方へと軸方向に穿設されるとともに軸心から径方向に形成され、ピストンロッド３の下端からピストンロッド３の外周面までを連通する第１連通孔３ａを有する。
【００１５】
ボトムプラグ６は、ロッドボス２の下部に凹設される孔２ｂに挿入され、ピストンロッド３の第１連通孔３ａの下端に形成されたねじ溝３ｂに螺設されることでピストンロッド３とロッドボス２とを密着固定する。
【００１６】
ピストンロッド３の第１連通孔３ａのボトムプラグ６より上部には、径方向に形成されピストンロッド３の内外を連通する貫通孔３ｃが設けられる。ロッドボス２には、内周面から外周面までを貫通する貫通孔２ｃが形成される。ピストンロッド３は、ロッドボス２の貫通孔２ｃとピストンロッド３の貫通孔３ｃとが互いに連通するようにボトムプラグ６によって固定される。
【００１７】
シリンダユニット１０は、同心状であって互いに径が異なる３つのシリンダチューブ１２、２２、３２から構成され、各シリンダチューブ１２、２２、３２が入れ子状に３重に格納される。
【００１８】
図２は、シリンダユニット１０を拡大して示す拡大図である。
【００１９】
シリンダユニット１０は、ピストンロッド３の外周であって第１連通孔３ａの開口部より下側に一体的に固設される第１ピストン１１と、第１ピストン１１を摺動自在に収容して第１ピストン１１の上側に第１圧力室Ｒ１を画成する第１シリンダチューブ１２と、を備える。
【００２０】
第１ピストン１１は、ピストンロッド３より大径の円柱部であり、外周がピストンロッド３の内周と摺接してロッドパッキン１３によって封止される。第１圧力室Ｒ１は、ピストンロッド３に形成される第１連通孔３ａと連通する。
【００２１】
第１シリンダチューブ１２は、ピストンロッド３を覆うようにピストンロッド３の外周に設けられる円筒状部材であり、内周が第１ピストン１１の外周に摺接する。第１シリンダチューブ１２の下端部には、第１シリンダチューブ１２より小径のスリーブ１４が嵌装される。スリーブ１４の内周にはピストンロッド３の外周と摺接するウェアリング１５が設けられる。第１シリンダチューブ１２の下端には、第１フランジ部１６が形成される。第１フランジ部１６は、スリーブ１４の抜け止めを行うとともに、ボトムプレート４に当接することで第１シリンダチューブ１２の下降端を規定する。
【００２２】
シリンダユニット１０はさらに、第１シリンダチューブ１２の上端に一体的に連結されピストンロッド３に対して摺接する第２ピストン２１と、第２ピストン２１を摺動自在に収容して第２ピストン２１の上側に第２圧力室Ｒ２を画成する第２シリンダチューブ２２と、を備える。
【００２３】
第２ピストン２１は、第１シリンダチューブ１２より大径の円柱部である。第２ピストン２１の内周は、ウェアリング２３を介してピストンロッド３の外周と摺接してロッドパッキン２４によって封止される。
【００２４】
第２ピストン２１は、内部に穿設され第１圧力室Ｒ１と第２圧力室Ｒ２とを軸方向に連通する第２連通孔２１ａと、第２連通孔２１ａの下端に配置され第１圧力室Ｒ１から第２圧力室Ｒ２への流れのみを許容する逆止機能を発揮する逆止弁２５と、を有する。
【００２５】
逆止弁２５は、第２連通孔２１ａの内周に固設されるバルブガイド２５ａと、バルブガイド２５ａに上方から離着座することで第２連通孔２１ａを開閉する弁体２５ｂと、から構成される。逆止弁２５は、弁体２５ｂがバルブガイド２５ａから離座することで第１圧力室Ｒ１から第２圧力室Ｒ２への水圧の流れを許容し、弁体２５ｂがバルブガイド２５ａに着座することで第２圧力室Ｒ２から第１圧力室Ｒ１への水圧の流れを阻止する。
【００２６】
弁体２５ｂの長さは、弁体２５ｂがバルブガイド２５ａに着座した状態で弁体２５ｂの下端が第２連通孔２１ａから下方へと突出するように設定される。これにより、第２ピストン２１が下降して第１ピストン１１に当接した時、弁体２５ｂがバルブガイド２５ａから離座して逆止弁２５の逆止機能が解除され、第２圧力室Ｒ２から第１圧力室Ｒ１へ水圧が流れる。
【００２７】
第２シリンダチューブ２２は、第１シリンダチューブ１２を覆うように第１シリンダチューブ１２の外周に設けられる円筒状部材である。第２シリンダチューブ２２の内周は、ウェアリング２６を介して第２ピストン２１の外周に摺接するとともにロッドパッキン２７によって封止される。
【００２８】
第２シリンダチューブ２２の下端部の内周には、第１シリンダチューブ１２の外周と摺接するウェアリング２８が設けられる。ウェアリング２８の上部にはウェアリング２８と第２ピストン２１との衝突を受け止めるストッパリング２９が設けられる。第２シリンダチューブ２２の下端には、第２フランジ部４１が形成される。第２フランジ部４１は、ウェアリング２８の抜け止めを行うとともに、第１フランジ部１６に当接することで第２シリンダチューブ２２の下降端を規定する。
【００２９】
シリンダユニット１０はさらに、第２シリンダチューブ２２の上端に一体的に連結されピストンロッド３に対して摺接する第３ピストン３１と、第３ピストン３１を摺動自在に収容して第３ピストン３１の上側に第３圧力室Ｒ３を画成する第３シリンダチューブ３２と、第３シリンダチューブ３２の上端に一体的に連結されるシリンダヘッド３４と、第３シリンダチューブ３２の外周に連結されワークＷを支持するワーク支持部５０と、を備える。
【００３０】
第３ピストン３１は、第２シリンダチューブ２２より大径の円柱部である。第３ピストン３１の内周は、ウェアリング３５を介してピストンロッド３の外周と摺接してロッドパッキン３６によって封止される。
【００３１】
第３ピストン３１は、内部に穿設され第２圧力室Ｒ２と第３圧力室Ｒ３とを軸方向に連通する第３連通孔３１ａと、第３連通孔３１ａの下端に配置され第２圧力室Ｒ２から第３圧力室Ｒ３への流れのみを許容する逆止機能を発揮する逆止弁３７と、を有する。
【００３２】
逆止弁３７は、第３連通孔３１ａの内周に固設されるバルブガイド３７ａと、バルブガイド３７ａに上方から離着座することで第３連通孔３１ａを開閉する弁体３７ｂと、から構成される。逆止弁３７は、弁体３７ｂがバルブガイド３７ａから離座することで第２圧力室Ｒ２から第３圧力室Ｒ３への水圧の流れを許容し、弁体３７ｂがバルブガイド３７ａに着座することで第３圧力室Ｒ３から第２圧力室Ｒ２への水圧の流れを阻止する。
【００３３】
弁体３７ｂの長さは、弁体３７ｂがバルブガイド３７ａに着座した状態で弁体３７ｂの下端が第３連通孔３１ａから下方へと突出するように設定される。これにより、第３ピストン３１が下降して第２ピストン２１に当接した時、弁体３７ｂがバルブガイド３７ａから離座して逆止弁３７の逆止機能が解除され、第３圧力室Ｒ３から第２圧力室Ｒ２へ水圧が流れる。
【００３４】
第３シリンダチューブ３２は、第２シリンダチューブ２２を覆うように第２シリンダチューブ２２の外周に設けられる円筒状部材である。第３シリンダチューブ３２の内周は、ウェアリング３８を介して第２ピストン２１の外周に摺接するとともにロッドパッキン３９によって封止される。
【００３５】
第３シリンダチューブ３２の下端部の内周には、第２シリンダチューブ２２の外周と摺接する軸受４２が設けられる。第３シリンダチューブ３２の下端には、第３フランジ部４３が形成される。第３フランジ部４３は、軸受４２の抜け止めを行うとともに、第２フランジ部４１に当接することで第３シリンダチューブ３２の下降端を規定する。
【００３６】
シリンダヘッド３４は、第３シリンダチューブ３２の上端の一部であり、内周がピストンロッド３の外周に密接してロッドパッキン４４によって封止される。
【００３７】
ワーク支持部５０は、第３シリンダチューブ３２の外周であって上下２か所に環状に連結される。ワーク支持部５０は、ワークＷを載置する昇降台等をネジ固定することで第３シリンダチューブ３２の昇降に応じてワークＷを昇降させる。
【００３８】
以上のように、第１シリンダチューブ１２と第２ピストン２１とが一体であり、第２シリンダチューブ２２と第３ピストン３１とが一体であり、第３シリンダチューブ３２とシリンダヘッド３４とが一体である。これら３つのシリンダチューブ１２、２２、３２は、ピストンロッド３に対して同心状に配置され、各シリンダチューブ１２、２２、３２が入れ子状に３重に格納される。
【００３９】
次に、昇降装置１００の上昇動作について説明する。
【００４０】
図１に示すように、第１シリンダチューブ１２、第２シリンダチューブ２２及び第３シリンダチューブ３２がすべて下降端に位置している場合、シリンダユニット１０は最収縮状態であり、ワーク支持部５０が最も低い位置に保持される。
【００４１】
この状態でロッドボス２の貫通孔２ｃから水圧を供給すると、水圧が第１連通孔３ａを介して第１圧力室Ｒ１に供給される。さらに、水圧は第２連通孔２１ａ、第２圧力室Ｒ２及び第３連通孔３１ａを介して第３圧力室Ｒ３まで供給される。
【００４２】
これにより、図３に示すように、第３圧力室Ｒ３が拡大して第３シリンダチューブ３２及びシリンダヘッド３４がピストンロッド３に沿って上昇する。第３シリンダチューブ３２及びシリンダヘッド３４は、軸受４２の上端が第３ピストン３１の下端に当接する上昇端まで上昇する。これに伴って、ワークＷが第３シリンダチューブ３２とともに上昇する。
【００４３】
水圧をさらに供給すると、図４に示すように、第２圧力室Ｒ２が拡大して第２シリンダチューブ２２及び第３ピストン３１がピストンロッド３に沿って上昇する。第２シリンダチューブ２２及び第３ピストン３１は、ストッパリング２９の上端が第２ピストン２１の下端に当接する上昇端まで上昇する。これに伴って、ワークＷが第３シリンダチューブ３２及び第２シリンダチューブ２２とともに上昇する。
【００４４】
水圧をさらに供給すると、図５に示すように、第１圧力室Ｒ１が拡大して第１シリンダチューブ１２及び第２ピストン２１がピストンロッド３に沿って上昇する。第１シリンダチューブ１２及び第２ピストン２１は、スリーブ１４の上端が第１ピストン１１の下端に当接する上昇端まで上昇する。これに伴って、ワークＷが第３シリンダチューブ３２、第２シリンダチューブ２２及び第１シリンダチューブ１２とともに上昇する。
【００４５】
これにより、シリンダヘッド３４がピストンロッド３の上端に装着されるロッドキャップ５に当接し、シリンダユニット１０は最伸長状態となり、ワーク支持部５０が最も高い位置に保持される。
【００４６】
なお、供給される水圧から上方に力を受ける受圧面積は、シリンダヘッド３４、第３ピストン３１、第２ピストン２１の順に大きい。したがって、受圧面積の大きい方から順に上記のように第３シリンダチューブ３２、第２シリンダチューブ２２、第１シリンダチューブ１２が順に上昇していく。
【００４７】
次に、昇降装置１００の下降動作について説明する。
【００４８】
図５に示すように、シリンダユニット１０が最伸長状態でありワーク支持部５０が最も高い位置に保持されている状態で、ロッドボス２の貫通孔２ｃから水圧を排出すると、第１圧力室Ｒ１の水圧が第１連通孔３ａを介して排出される。
【００４９】
これにより、第１圧力室Ｒ１が縮小して第１シリンダチューブ１２及び第２ピストン２１が自重によってピストンロッド３に沿って下降する。第１シリンダチューブ１２及び第２ピストン２１は、第２ピストン２１の下端が第１ピストン１１の上端に当接する下降端まで下降する。これに伴って、ワークＷが第３シリンダチューブ３２、第２シリンダチューブ２２及び第１シリンダチューブ１２とともに下降する。
【００５０】
ここで、第２連通孔２１ａは逆止弁２５の逆止機能によって閉塞されているので、第１圧力室Ｒ１の水圧が排出され第２ピストン２１が下降している時は、第２圧力室Ｒ２の水圧は排出されない。
【００５１】
図４に示すように、第１シリンダチューブ１２及び第２ピストン２１が自重によってピストンロッド３に沿って下降して、第２ピストン２１の下端が第１ピストン１１の上端に当接すると、逆止弁２５の弁体２５ｂがバルブガイド２５ａから離座して第２連通孔２１ａにおける逆止機能が解除される。
【００５２】
これにより、第２圧力室Ｒ２の水圧が第２連通孔２１ａ及び第１連通孔３ａを介して排出され、第２圧力室Ｒ２が縮小して第２シリンダチューブ２２及び第３ピストン３１がピストンロッド３に沿って下降する。第２シリンダチューブ２２及び第３ピストン３１は、第３ピストン３１の下端が第２ピストン２１の上端に当接する下降端まで下降する。これに伴って、ワークＷが第３シリンダチューブ３２及び第２シリンダチューブ２２とともに下降する。
【００５３】
ここで、第３連通孔３１ａは逆止弁３７の逆止機能によって閉塞されているので、第２圧力室Ｒ２の水圧が排出され第３ピストン３１が下降している時は、第３圧力室Ｒ３の水圧は排出されない。
【００５４】
図３に示すように、第２シリンダチューブ２２及び第３ピストン３１が自重によってピストンロッド３に沿って下降して、第３ピストン３１の下端が第２ピストン２１の上端に当接すると、逆止弁３７の弁体３７ｂがバルブガイド３７ａから離座して第３連通孔３１ａにおける逆止機能が解除される。
【００５５】
これにより、第３圧力室Ｒ３の水圧が第第３連通孔３１ａ、第２連通孔２１ａ及び第１連通孔３ａを介して排出され、第３圧力室Ｒ３が縮小して第３シリンダチューブ３２及びシリンダヘッド３４がピストンロッド３に沿って下降する。第３シリンダチューブ３２及びシリンダヘッド３４は、シリンダヘッド３４の下端が第３ピストン３１の上端に当接する下降端まで下降する。これに伴って、ワークＷが第３シリンダチューブ３２とともに下降する。
【００５６】
よって、図１に示すように、シリンダユニット１０は最収縮状態となり、ワーク支持部５０が最も低い位置に保持される。
【００５７】
なお、図１〜図５では、細部の明確化のため、シリンダユニット１０の伸縮ストローク量が小さくなるように示したが、各シリンダチューブ１２、２２、３２の全長を長くして、図６に示すように、各シリンダチューブ１２、２２、３２の全長に対して３倍以上のストローク量を確保するようにしてもよい。これにより、ワークＷをより高い位置まで上昇させることができる。
【００５８】
以上の実施形態によれば、以下に示す効果を奏する。
【００５９】
昇降装置１００は、水圧によって各シリンダチューブを上昇させてワークＷを持ち上げるので、スプロケットやチェーン等の摺動部がなく、塵埃の発生を抑制することができる。
【００６０】
さらに、昇降装置１００の摺動部であるウェアリング２３、２６、３５、３８及びロッドパッキン１３、２４、２７、３６、３９は水中にあるため、昇降装置１００の伸縮に伴って生じる摩耗粉が水中に留まり、昇降装置１００の外部に漏出することを防止することができる。よって、発塵をより確実に抑制することができるので、要求されるクリーン度が特に高い環境下においても使用することができる。
【００６１】
さらに昇降装置１００は、３つのシリンダチューブ１２、２２、３２を供給される水圧に応じて順に上昇させるので、シリンダチューブ１２、２２、３２の全長を長くすることなくより長いストローク量を確保することができる。
【００６２】
３つのシリンダチューブ１２、２２、３２が上方へ行くほど大径に設定されるので、シリンダチューブ１２、２２、３２間に粉溜りや水溜りが生じにくい。したがって、コンテナ等の容器に収納されている粉粒体が空気中に飛散してもシリンダチューブ１２、２２、３２の内部に侵入することを防止することができる。また、昇降装置１００が高活性の医薬品を生産するクリーンルームにおいて使用される場合、クリーンルーム内の洗浄、点検などのためにウェットダウンを行っても、上方から降り注ぐ水がシリンダチューブ１２、２２、３２間の隙間に侵入することを防止することができる。よって、ウェットダウンに使用する水に溶け込んだ粉体などの原料が、シリンダチューブ１２、２２、３２間に侵入することを防止することができる。
【００６３】
第２連通孔２１ａに第２圧力室Ｒ２から第１圧力室Ｒ１への流れを阻止する逆止弁２５を設け、第３連通孔３１ａに第３圧力室Ｒ３から第２圧力室Ｒ２への流れを阻止する逆止弁３７を設けたので、昇降装置１００によってワークＷを下降させる際に、シリンダチューブ１２、２２、３２を１つずつ順に下降させることができる。よって、あるシリンダチューブ１２、２２、３２が下降中に他のシリンダチューブ１２、２２、３２が予期せず下降することを防止でき危険を回避することができる。
【００６４】
さらに、ワークＷを下降させる場合には水圧を排出するだけで、第１シリンダチューブ１２、第２シリンダチューブ２２及び第３シリンダチューブ３２が自重によって下降するので、昇降装置１００の消費エネルギーを低減させることができる。
【００６５】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一つを示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。
【００６６】
例えば、上記実施形態では、昇降装置１００が第１シリンダチューブ１２、第２シリンダチューブ２２及び第３シリンダチューブ３２の３つのシリンダチューブを有しているが、２つ又は４つ以上のシリンダチューブを有していてもよい。
【００６７】
さらに、上記実施形態では、第１ピストン１１がピストンロッド３の一部であるとして説明したが、第１ピストン１１がピストンロッド３と別部材であってもよい。同様に、第２ピストン２１が第１シリンダチューブ１２の一部であるとして説明したが、第２ピストン２１が第１シリンダチューブ１２と別部材であってもよい。また、第３ピストン３１が第２シリンダチューブ２２の一部であるとして説明したが、第３ピストン３１が第２シリンダチューブ２２と別部材であってもよい。また、シリンダヘッド３４が第３シリンダチューブ３２の一部であるとして説明したが、シリンダヘッド３４が第３シリンダチューブ３２と別部材であってもよい。
【符号の説明】
【００６８】
３    ピストンロッド
３ａ  第１連通孔
１１    第１ピストン
１２    第１シリンダチューブ
２１    第２ピストン
２１ａ  第２連通孔
２２    第２シリンダチューブ
２５    逆止弁
３１    第３ピストン
３２    第３シリンダチューブ
３７    逆止弁
５０    ワーク支持部
１００    昇降装置
Ｒ１    第１圧力室
Ｒ２    第２圧力室
Ｒ３    第３圧力室
Ｗ    ワーク
【要約】
【課題】塵埃の発生を抑制可能な昇降装置を提供する。
【解決手段】昇降装置１００は、ピストンロッド３と、ピストンロッド３の外周に固設される第１ピストン１１と、第１ピストン１１の上側に第１圧力室Ｒ１を画成する第１シリンダチューブ１２と、第１シリンダチューブ１２の上端に連結される第２ピストン２１と、第２ピストン２１の上側に第２圧力室Ｒ２を画成する第２シリンダチューブ２２と、ピストンロッド３の下端側と第１圧力室Ｒ１とを連通する第１連通孔３ａと、第１圧力室Ｒ１と第２圧力室Ｒ２とを連通する第２連通孔２１ａと、ワーク支持部５０と、を備える。第１圧力室Ｒ１に水圧が供給されると第２圧力室Ｒ２に水圧が供給され第２圧力室Ｒ２の拡大に伴って第２シリンダチューブ２２が上昇し、第２シリンダチューブ２２が上昇端まで上昇すると第１圧力室Ｒ１の拡大に伴って第１シリンダチューブ１２及び第２シリンダチューブ２２がともに上昇する。
【選択図】図１【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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