(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空外囲器と、前記真空外囲器内に設けられた陽極ターゲットと、前記真空外囲器内に設けられて前記陽極ターゲットに照射する電子を放出する陰極と、を有するＸ線管と、
開口を有し、前記Ｘ線管を収納したハウジングと、
前記Ｘ線管及びハウジング間に充填された冷却液と、
前記冷却液に直接又は間接的に接し前記冷却液に熱を伝達する熱伝達面と、前記ハウジングの開口に対向した接着面と、を含み、前記真空外囲器の一部を構成し、真空内部において前記陽極ターゲット又は陰極が取り付けられている高電圧絶縁部材と、
前記高電圧絶縁部材に設けられ、前記ハウジングの外側に露出した高電圧供給端子と、
前記ハウジングの外側に露出し、前記接着面より大きい面積を有した平坦な端面と、前記高電圧絶縁部材の接着面に接着された他端面と、前記高電圧供給端子の前記ハウジングの外側への露出を維持するよう前記端面及び他端面に開口する貫通孔と、を含む電気絶縁性部材と、
前記接着面及び他端面間の接着界面への冷却液の侵入を防止するシール部と、を備え、
前記接着面は、前記ハウジングの内部に位置しているＸ線管装置。
【請求項２】
前記電気絶縁性部材の端面に直接又は間接的に密着される電気絶縁材を含み、前記高電圧供給端子に高電圧を与える高電圧コネクタをさらに備えている請求項１に記載のＸ線管装置。
【請求項３】
前記電気絶縁性部材は、セラミクス材で形成され、接着剤を介して前記高電圧絶縁部材の接着面に接着されている請求項１又は２に記載のＸ線管装置。
【請求項４】
前記電気絶縁性部材は、ガラス材で形成され、接着剤を介して前記高電圧絶縁部材の接着面に接着されている請求項１又は２に記載のＸ線管装置。
【請求項５】
前記電気絶縁性部材は、モールド材で形成され、前記高電圧絶縁部材の接着面に直に接着されている請求項１又は２に記載のＸ線管装置。
【請求項６】
真空外囲器と、前記真空外囲器内に設けられた陽極ターゲットと、前記真空外囲器内に設けられて前記陽極ターゲットに照射する電子を放出する陰極と、を有するＸ線管と、
開口を有し、前記Ｘ線管を収納したハウジングと、
前記Ｘ線管及びハウジング間に充填された冷却液と、
前記冷却液に直接又は間接的に接し前記冷却液に熱を伝達する熱伝達面と、前記ハウジングの開口に対向した接着面と、を含み、前記真空外囲器の一部を構成し、真空内部において前記陽極ターゲット又は陰極が取り付けられている高電圧絶縁部材と、
前記高電圧絶縁部材に設けられ、前記ハウジングの外側に露出した高電圧供給端子と、
前記ハウジングの外側に露出し、前記接着面より大きい面積を有した平坦な端面と、前記高電圧絶縁部材の接着面に接着された他端面と、前記高電圧供給端子の前記ハウジングの外側への露出を維持するよう前記端面及び他端面に開口する貫通孔と、を含む電気絶縁性部材と、を備え、
前記接着面は、前記ハウジングの外部に位置しているＸ線管装置。
【請求項７】
前記冷却液は、水系冷却液である請求項１乃至６の何れか１項に記載のＸ線管装置。
【請求項８】
真空外囲器と、前記真空外囲器内に設けられた陽極ターゲットと、前記真空外囲器内に設けられて前記陽極ターゲットに照射する電子を放出する陰極と、を有するＸ線管と、
開口を有し、前記Ｘ線管を収納したハウジングと、
前記Ｘ線管及びハウジング間に充填された冷却液と、
前記冷却液に直接又は間接的に接し前記冷却液に熱を伝達する熱伝達面と、前記ハウジングの開口に対向した接着面と、を含み、前記真空外囲器の一部を構成し、真空内部において前記陽極ターゲット又は陰極が取り付けられている高電圧絶縁部材と、
前記高電圧絶縁部材に設けられ、前記ハウジングの外側に露出した高電圧供給端子と、
前記ハウジングの外側に露出し、前記接着面より大きい面積を有した平坦な端面と、前記高電圧絶縁部材の接着面に接着された他端面と、前記高電圧供給端子の前記ハウジングの外側への露出を維持するよう前記端面及び他端面に開口する貫通孔と、を含む電気絶縁性部材と、
前記真空外囲器の内部に位置し前記陽極ターゲットを支持する支持体と、を備え、
前記高電圧絶縁部材は、前記熱伝達面を有した筒部と、前記筒部の一端側を閉塞し前記接着面を有した底部と、を含み、
前記支持体は、前記筒部の内面に接合された接合部を含んでいるＸ線管装置。
【請求項９】
前記高電圧絶縁部材の内面に形成され、前記接合部に接続されたメタライズ層をさらに備え、
前記高電圧供給端子は、前記底部の一部を貫通して前記メタライズ層に接続されている請求項８に記載のＸ線管装置。
【請求項１０】
真空外囲器と、前記真空外囲器内に設けられた陽極ターゲットと、前記真空外囲器内に設けられて前記陽極ターゲットに照射する電子を放出する陰極と、を有するＸ線管と、
開口を有し、前記Ｘ線管を収納したハウジングと、
前記Ｘ線管及びハウジング間に充填された冷却液と、
前記冷却液に直接又は間接的に接し前記冷却液に熱を伝達する熱伝達面と、前記ハウジングの開口に対向した接着面と、を含み、前記真空外囲器の一部を構成し、真空内部において前記陽極ターゲット又は陰極が取り付けられている高電圧絶縁部材と、
前記高電圧絶縁部材に設けられ、前記ハウジングの外側に露出した高電圧供給端子と、
前記ハウジングの外側に露出し、前記接着面より大きい面積を有した平坦な端面と、前記高電圧絶縁部材の接着面に接着された他端面と、前記高電圧供給端子の前記ハウジングの外側への露出を維持するよう前記端面及び他端面に開口する貫通孔と、を含む電気絶縁性部材と、
前記真空外囲器の内部に位置し前記陰極を支持する支持体と、を備え、
前記高電圧絶縁部材は、前記熱伝達面を有した筒部と、前記筒部の一端側を閉塞し前記接着面を有した底部と、を含み、
前記支持体は、前記筒部の内面に接合された接合部を含んでいるＸ線管装置。
【請求項１１】
前記接合部は、可撓性を示し、高温時に弾性変形し熱応力の少なくとも一部を緩和する請求項８又は１０に記載のＸ線管装置。
【請求項１２】
前記接合部は、前記筒部の内面に対向した凹凸面を有し、
前記筒部の内面に、前記接合部の凸部が接合されている請求項１１に記載のＸ線管装置。
【請求項１３】
前記支持体は、高温時に弾性変形し熱応力の少なくとも一部を緩和する可撓性部品を介して前記高電圧絶縁部材の内面に接合されている請求項８又は１０に記載のＸ線管装置。
【請求項１４】
前記高電圧絶縁部材は、前記熱伝達面に設けられ、前記冷却液に接した熱伝達促進部をさらに含んでいる請求項１乃至１３の何れか１項に記載のＸ線管装置。
【請求項１５】
前記熱伝達促進部は、前記高電圧絶縁部材自体の表面に形成された凹凸パターンである請求項１４に記載のＸ線管装置。
【請求項１６】
前記熱伝達促進部は、前記熱伝達面に接合された金属部材である請求項１４に記載のＸ線管装置。
【請求項１７】
前記ハウジングに連結され、前記冷却液の流れを前記ハウジング内に作り出す冷却液循環ポンプをさらに備えている請求項１乃至１６の何れか１項に記載のＸ線管装置。
【請求項１８】
前記ハウジング及び冷却液循環ポンプ間に連結され、前記冷却液の熱を外部に放出する熱交換器をさらに備えている請求項１７に記載のＸ線管装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、Ｘ線管装置及びＸ線管装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線管装置は、医療診断機器など、多くの用途に利用されている。Ｘ線管装置は、高電圧発生装置から高電圧ケーブルを介して高電圧が供給され作動する。高電圧ケーブルの先端には高電圧コネクタが設けられている。高電圧コネクタは、Ｘ線管側の接続部である高電圧絶縁部材に着脱自在に取り付けられている。高電圧コネクタを介して、Ｘ線管の陰極又は陽極ターゲットに高電圧が供給される。
【０００３】
高電圧コネクタとしては、Ｘ線管の高電圧絶縁部材に圧力をかけて取り付けられる方式の高電圧コネクタが知られている（例えば、特許文献１乃至３参照）。圧力を加えることにより、高電圧コネクタの電気絶縁ゴム部と、Ｘ線管の高電圧絶縁部材と、の間の空気層が取り除かれ、互いの表面がしっかりと密着する。この結果、密着界面に沿った放電を断つことが可能となる。このような方式の高電圧コネクタを使用することのメリットは、高電圧絶縁のために絶縁油を使用した場合に比べて、Ｘ線管装置がコンパクトになることである。
【０００４】
上述したＸ線管装置では、高電圧コネクタの電気絶縁ゴム部とＸ線管側の高電圧絶縁部材との圧着面がテーパー面である。圧着面を管軸方向に長いテーパー面とすることで、Ｘ線管側の高電圧絶縁部材の外径が小さい場合にも高電圧の絶縁を維持することが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２１６６８２号公報
【特許文献２】米国特許第６５５６６５４号明細書
【特許文献３】特開２００９−１１７０８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述した特許文献１及び特許文献２に示されるＸ線管装置では、次のような問題がある。すなわち、高電圧コネクタの電気絶縁ゴム部とＸ線管側の高電圧絶縁部材との圧着面が管軸方向に長くなるため、Ｘ線管装置をコンパクトに設計する上での障害となる。
【０００７】
特許文献３には、高電圧コネクタの電気絶縁ゴム部とＸ線管側の高電圧絶縁部材との圧着面が平面である例が開示されている。これにより、管軸方向に短い高電圧コネクタ接続部を実現することが可能である。
【０００８】
この場合、十分な絶縁距離を確保するためには、管軸方向にコンパクトとなる分、径方向の寸法を大きくする必要がある。しかしながら、回転陽極型のＸ線管のサイズが小さい場合、ステータコイルと対向した個所の真空外囲器の径寸法が小さいため、陽極ターゲットが取付けられる高電圧絶縁部材の外径も小さくなる。この場合、高電圧絶縁部材を高電圧コネクタとの接続部として利用しても十分な絶縁距離を確保することは困難である。
【０００９】
単純にステータコイルと対向した個所の真空外囲器の径寸法を大きくしてしまうと、従来に比べてステータコイルの外径が大きくなったり、Ｘ線管部品の重量の増加を招く。この結果、Ｘ線管装置を軽量かつコンパクトに設計することが困難となる。
【００１０】
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、重量の増加及び大型化を抑制でき、長期にわたって信頼性の高いＸ線管装置及びＸ線管装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明の態様に係るＸ線管装置は、
真空外囲器と、前記真空外囲器内に設けられた陽極ターゲットと、前記真空外囲器内に設けられて前記陽極ターゲットに照射する電子を放出する陰極と、を有するＸ線管と、
開口を有し、前記Ｘ線管を収納したハウジングと、
前記Ｘ線管及びハウジング間に充填された冷却液と、
前記冷却液に直接又は間接的に接し前記冷却液に熱を伝達する熱伝達面と、前記ハウジングの開口に対向した接着面と、を含み、前記真空外囲器の一部を構成し、真空内部において前記陽極ターゲット又は陰極が取り付けられている高電圧絶縁部材と、
前記高電圧絶縁部材に設けられ、前記ハウジングの外側に露出した高電圧供給端子と、
前記ハウジングの外側に露出し、前記接着面より大きい面積を有した平坦な端面と、前記高電圧絶縁部材の接着面に接着された他端面と、前記高電圧供給端子の前記ハウジングの外側への露出を維持するよう前記端面及び他端面に開口する貫通孔と、を含む電気絶縁性部材と、
前記接着面及び他端面間の接着界面への冷却液の侵入を防止するシール部と、を備え、
前記接着面は、前記ハウジングの内部に位置している。
【発明の効果】
【００１４】
この発明によれば、重量の増加及び大型化を抑制でき、長期にわたって信頼性の高いＸ線管装置及びＸ線管装置の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るＸ線管装置を分解して示す縦断面図である。
【図２】図１に示した接合部を示す正面図である。
【図３】図１に示した接合部を示す平面図である。
【図４】上記第１の実施の形態に係るＸ線管装置を製造している状態を示す図である。
【図５】上記第１の実施の形態に係るＸ線管装置の変形例を分解して示す縦断面図である。
【図６】図５に示したＸ線管装置の一部を示す断面図である。
【図７】上記第１の実施の形態に係るＸ線管装置の接合部の変形例を示す正面図である。
【図８】上記第１の実施の形態に係るＸ線管装置の接合部の変形例を示す平面図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係るＸ線管装置を分解して示す縦断面図である。
【図１０】本発明の第３の実施の形態に係るＸ線管装置を分解して示す縦断面図である。
【図１１】本発明の第４の実施の形態に係るＸ線管装置を分解して示す縦断面図である。
【図１２】本発明の第５の実施の形態に係るＸ線管装置を分解して示す縦断面図である。
【図１３】上記第５の実施の形態に係るＸ線管装置を製造している状態を示す図である。
【図１４】本発明の第６の実施の形態に係るＸ線管装置を分解して示す縦断面図である。
【図１５】上記第６の実施の形態に係るＸ線管装置を製造している状態を示す図である。
【図１６】上記第１の実施の形態に係るＸ線管装置の他の変形例を分解して示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照しながらこの発明の第１の実施の形態に係るＸ線管装置及びＸ線管装置の製造方法について詳細に説明する。始めに、Ｘ線管装置の構成について説明する。  
図１に示すように、Ｘ線管装置１０は、ハウジング２０と、ハウジング２０内に収容されたＸ線管３０と、ハウジング２０の内部に充填された冷却液７と、を備えている。
【００１７】
ハウジング２０は、ハウジング本体２０ａと、円環部２０ｂと、を有している。ハウジング本体２０ａは、筒部２０ｃと、筒部２０ｃの一端に設けられた円環部２０ｄと、が一体となって形成されている。筒部２０ｃの一部には、Ｘ線を外部に放射するための放射窓２４が形成されている。円環部２０ｂは、筒部２０ｃ（ハウジング本体２０ａ）の他端に取付けられている。ここでは、円環部２０ｂは、筒部２０ｃに取り外し可能にネジ留め（図示せず）されている。
【００１８】
ハウジング２０には、ゴムベローズ２１が設けられ、冷却液７の圧力調整が行われている。ハウジング２０の外部には、冷却液循環ポンプ２２及び熱交換器２３が設けられている。冷却液循環ポンプ２２は、ハウジング２０に連結されている。冷却液循環ポンプ２２は、冷却液７の流れをハウジング２０内に作り出すものである。熱交換器２３は、ハウジング２０及び冷却液循環ポンプ２２間に連結されている。熱交換器２３は、冷却液７の熱を外部に放出するものである。
【００１９】
Ｘ線管３０は、真空外囲器３１を備えている。真空外囲器３１は、銅、ステンレス、アルミニウム等の金属で形成された真空容器３２と、高電圧絶縁部材４０と、高電圧絶縁部材５０とを備えている。陽極ターゲット３５ａ及び陰極３６は、真空外囲器３１に収納されている。真空外囲器３１の内部は真空状態である。放射窓３３は、真空容器３２に気密に設けられている。ここでは、放射窓３３は、ベリリウムで形成されている。
【００２０】
高電圧絶縁部材４０は、真空外囲器３１の一部を形成している。高電圧絶縁部材４０には陽極ターゲット３５ａが間接的に取り付けられている。高電圧絶縁部材４０は、冷却液７に直接又は間接的に接し冷却液７に熱を伝達する熱伝達面４３と、ハウジング２０（円環部２０ｄ）の開口に対向した端面４１を含んでいる。詳しくは、高電圧絶縁部材４０は、熱伝達面４３を有した筒部４６と、筒部４６の一端側を閉塞し、熱伝達面４３及び端面４１を有した円環状の底部４７と、が一体となって形成されている。  
この実施の形態において、熱伝達面４３は、冷却液７に直に接している。端面４１は、平坦な面である。端面４１は接着面として機能している。
【００２１】
底部４７には高電圧供給端子４４が設けられている。高電圧供給端子４４は、底部４７の開口部に設けられている。高電圧供給端子４４は、陽極３５に高電圧を供給するものである。高電圧供給端子４４は、ハウジング２０の外側に露出している。高電圧供給端子４４は金属端子であり、円環状の底部４７にろう付けされている。
【００２２】
陽極３５は、陽極ターゲット３５ａを有している。陽極ターゲット３５ａは、ターゲット層３５ｔを有している。ターゲット層３５ｔは、電子が照射されることによりＸ線を放出する。
【００２３】
Ｘ線管装置１０は、ステータコイル９１０、ロータ９２０、軸受け９３０、固定体１、回転体２及び支持体３５ｂを備えている。固定体１は円柱状に形成されている。回転体２は筒状に形成され、固定体１と同軸的に設けられている。回転体２の外面にロータ９２０が取り付けられている。ステータコイル９１０は、ハウジング２０に取付けられ、ロータ９２０と対向している。軸受け９３０は、固定体１及び回転体２の間の隙間に設けられている。
【００２４】
支持体３５ｂは、真空外囲器３１の内部に位置している。支持体３５ｂは、テーパ穴を有し、テーパ穴に固定体１のテーパ部が嵌合されている。支持体３５ｂは、陽極ターゲット３５ａを間接的に支持している。支持体３５ｂには、円環状のスリット溝が形成されている。
【００２５】
支持体３５ｂは、底部４７に間隔を置いて位置している。支持体３５ｂは、筒部４６の内面に接合された接合部３５ｃを含んでいる。接合部３５ｃは、支持体３５ｂにろう付けされている。接合部３５ｃを含む支持体３５ｂは、金属で形成されている。
【００２６】
図１、図２及び図３に示すように、接合部３５ｃは、可撓性を示すものである。このため、接合部３５ｃは、高温時に弾性変形し熱応力の少なくとも一部を緩和するものである。この実施の形態において、接合部３５ｃは、筒部４６の内面に対向した凹凸面３５ｄを有している。凸部３５ｅは、接合部３５ｃの周りに互いに隣合って並べられている。筒部４６の内面に、接合部３５ｃの凸部３５ｅが接合されている。なお、支持体３５ｂは、高温時に弾性変形し熱応力の少なくとも一部を緩和する可撓性部品を介して高電圧絶縁部材４０の内面に接合されていればよい。
【００２７】
図１に示すように、高電圧絶縁部材４０の内面には、メタライズ層１１が形成されている。メタライズ層１１は、高電圧供給端子４４及び接合部３５ｃに接続されている。このため、高電圧供給端子４４、メタライズ層１１、支持体３５ｂ、固定体１、軸受け９３０及び回転体２を介して陽極ターゲット３５ａに高電圧が供給される。
【００２８】
高電圧供給端子４４及び接合部３５ｃを繋ぐメタライズ層１１の形状を幅の狭い帯状とすることにより、メタライズ層１１を介した陽極３５からの不要な熱伝導を抑制することができる。
【００２９】
電気絶縁性部材６０は、底部４７より外径の大きい円盤状に形成されている。電気絶縁性部材６０は、端面６１と、他端面６２と、貫通孔６３とを含んでいる。端面６１は、ハウジング２０の外側に露出し、端面（接着面）４１より大きい面積を有している。端面６１は平坦な面である。他端面６２は、端面（接着面）４１より大きい面積を有している。貫通孔６３は、端面６１及び他端面６２に開口している。貫通孔６３は、高電圧供給端子４４のハウジング２０の外側への露出を維持する。他端面６２は、接着剤１４を介して端面（接着面）４１に接着（永久接着）されている。
【００３０】
電気絶縁性部材６０は、セラミクス材又はガラス材で形成されている。セラミクス材としては、酸化アルミニウム、ジルコニア（酸化ジルコニウム）、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、等の材料が挙げられる。ガラス材としては、石英ガラス、サファイア、無アルカリガラス、等の材料が挙げられる。  
接着剤１４は、エポキシ樹脂又はシリコーン樹脂を主成分とする材料を利用できる。
【００３１】
支持部材２５は、円環状に形成されている。電気絶縁性部材６０は支持部材２５に取付けられている。支持部材２５は、円環部２０ｄに対向している。円環部２０ｄは、支持部材２５と対向した側に形成された円環状の溝部を有している。支持部材２５及び円環部２０ｄ間の隙間は、上記溝部に設けられた円環状のＯリングによりシールされている。上記Ｏリングは、支持部材２５及び円環部２０ｄ間の隙間から外部への冷却液７の漏れを防止する機能を有している。
【００３２】
高電圧絶縁部材５０は、真空外囲器３１の一部を形成している。高電圧絶縁部材５０には、陰極３６間接的に取り付けられている。高電圧絶縁部材５０は、冷却液７に直接又は間接的に接し冷却液７に熱を伝達する熱伝達面５３と、ハウジング２０（円環部２０ｂ）の開口に対向した端面５１を含んでいる。詳しくは、高電圧絶縁部材５０は、熱伝達面５３を有した筒部５６と、筒部５６の一端側を閉塞し、端面５１を有した円環状の底部５７と、が一体となって形成されている。  
この実施の形態において、熱伝達面５３は、冷却液７に直に接している。端面５１は、平坦な面である。
【００３３】
高電圧絶縁部材５０の内部には、陰極３６に接続され、端面５１側へ導出する高電圧供給端子５４が設けられている。高電圧供給端子５４は、高電圧絶縁部材５０に対し、低膨張合金であるＫＯＶ部材５５で支持されている。高電圧供給端子５４及び高電圧絶縁部材５０間、並びにＫＯＶ部材５５及び高電圧絶縁部材５０間は、ろう付けされている。高電圧供給端子５４は、陰極３６に高電圧を供給するものである。高電圧供給端子５４は、ハウジング２０の外側に露出している。高電圧供給端子５４は金属端子である。
【００３４】
図示しないが、陰極３６は、電子を放出する電子放出源を有している。このため、陰極３６は、陽極ターゲット３５ａ（ターゲット層３５ｔ）に照射する電子を放出することができる。
【００３５】
高電圧絶縁部材４０、５０は、電気絶縁性部材６０と同じ材料で形成することができる。高電圧絶縁部材４０、５０は、熱伝導率の大きい窒化アルミニウムやベリリア等のセラミクスを用いて形成した方が好ましい。
【００３６】
支持部材２６は、円環状に形成されている。高電圧絶縁部材５０は支持部材２６に取付けられている。支持部材２６は、円環部２０ｂに対向している。円環部２０ｂは、支持部材２６と対向した側に形成された円環状の溝部を有している。支持部材２６及び円環部２０ｂ間の隙間は、上記溝部に設けられた円環状のＯリングによりシールされている。上記Ｏリングは、支持部材２６及び円環部２０ｂ間の隙間から外部への冷却液７の漏れを防止する機能を有している。
【００３７】
高電圧コネクタ１００は、有底筒状のハウジング１０１と、ハウジング１０１内にその先端が挿入された高電圧ケーブル１０２と、ハウジング１０１内に充填され、高電圧ケーブル１０２の端子１０２ａをハウジング１０１の開口部側に向けて固定する電気絶縁材１０３と、この電気絶縁材１０３と電気絶縁性部材６０の端面６１との間に挿入されたシリコーン樹脂材製のシリコーンプレート１０４とを備えている。
【００３８】
この実施の形態において、高電圧コネクタ１００の電気絶縁材１０３は、電気絶縁性部材６０の端面６１に間接的に密着されている。なお、電気絶縁材１０３は、端面６１に直接密着されていても良い。電気絶縁材１０３は、例えば、電気絶縁ゴムやエポキシ樹脂を利用できる。高電圧コネクタ１００は、高電圧供給端子４４に高電圧を与えるものである。
【００３９】
このように構成された高電圧コネクタ１００をハウジング２０に取り付ける際に、シリコーンプレート１０４が、それぞれ電気絶縁材１０３と、電気絶縁性部材６０の端面６１とに密着するように押圧する。
【００４０】
高電圧コネクタ２００は、有底筒状のハウジング２０１と、ハウジング２０１内にその先端が挿入された高電圧ケーブル２０２と、ハウジング２０１内に充填され、高電圧ケーブル２０２の端子２０２ａをハウジング２０１の開口部側に向けて固定する電気絶縁材２０３と、この電気絶縁材２０３と高電圧絶縁部材５０の端面５１との間に挿入されたシリコーン樹脂材製のシリコーンプレート２０４とを備えている。
【００４１】
この実施の形態において、高電圧コネクタ２００の電気絶縁材２０３は、高電圧絶縁部材５０の端面５１に間接的に密着されている。なお、電気絶縁材２０３は、端面５１に直接密着されていても良い。電気絶縁材２０３は、例えば、電気絶縁ゴムやエポキシ樹脂を利用できる。高電圧コネクタ２００は、高電圧供給端子５４に高電圧を与えるものである。
【００４２】
このように構成された高電圧コネクタ２００をハウジング２０に取り付ける際に、シリコーンプレート２０４が、それぞれ電気絶縁材２０３と、高電圧絶縁部材５０の端面５１とに密着するように押圧する。
【００４３】
冷却液７は、ハウジング２０内に充填され、Ｘ線管３０及びハウジング２０間を満たしている。冷却液７としては、絶縁油又は水系冷却液を用いることができる。この実施の形態において、冷却液７として水系冷却液を用いている。
【００４４】
このように構成されたＸ線管装置１０では、ステータコイル９１０に所定の電流を印加することでロータ９２０が回転し、陽極ターゲット３５ａ（陽極３５）が回転する。次に、高電圧コネクタ１００、２００に所定の高電圧を印加すると、陰極３６から陽極ターゲット３５ａのターゲット層３５ｔに電子が照射され、ターゲット層３５ｔからＸ線が放射窓２４、３３から外部へ放射される。  
上記のように、Ｘ線管装置１０が形成されている。
【００４５】
次に、上記Ｘ線管装置１０の製造方法について説明する。  
図４に示すように、まず、真空外囲器３１と、陽極３５と、陰極３６と、高電圧絶縁部材４０、５０と、高電圧供給端子４４、５４と、ＫＯＶ部材５５と、を有するＸ線管３０を用意する。
【００４６】
次いで、治具９１を収容した真空槽９０内にＸ線管３０を搬入する。治具９１は、ハウジング９２及び支持部材９３を有している。Ｘ線管３０を搬入した後、ハウジング９２にＸ線管３０を載置する。ハウジング９２は一端が閉塞して形成されている。ここでは、ハウジング９２は真空容器３２を支持している。続いて、ハウジング９２の他端に支持部材９３を設ける。その後、高電圧絶縁部材４０にステータコイル９１０を嵌め、支持部材９３にステータコイル９１０を載置する。
【００４７】
一方、電気絶縁性部材６０を用意する。ここでは、用意した電気絶縁性部材６０に支持部材２５が取付けられている。次いで、他端面６２が端面（接着面）４１と対向するよう、真空槽９０内の昇降機構９４に支持部材２５を載置する。続いて、支持部材２５上に、重し９５を置く。
【００４８】
続いて、端面（接着面）４１及び他端面６２の少なくとも一方に接着剤１４を塗布する。ここでは、端面（接着面）４１及び他端面６２の両方に接着剤１４を塗布した。接着剤１４を塗布した後、真空槽９０の内部を真空排気する。その後、昇降機構９４により、電気絶縁性部材６０を降下させ、接着剤１４を介在させて端面（接着面）４１に他端面６２を接触させる。
【００４９】
接触させた後、支持部材２５から昇降機構９４を離間させる。これにより、重し９５が電気絶縁性部材６０を押圧する。そして、接着剤１４が硬化することにより、電気絶縁性部材６０は、接着剤１４を介して高電圧絶縁部材４０に接着する。なお、真空中で接着することにより、接着剤１４の接着界面に残る恐れのある空気等の気泡が残らないようにすることができる。
【００５０】
図１に示すように、その後、ハウジング２０を用意する。詳しくは、開口を有したハウジング本体２０ａを用意する。次いで、ハウジング本体２０ａに、ステータコイル９１０、電気絶縁性部材６０及び支持部材２５が設けられたＸ線管３０を収納する。この際、端面４１をハウジング２０（円環部２０ｄ）の開口に対向させ、端面６１及び高電圧供給端子４４をハウジング２０の外側に露出させる。貫通孔６３は、高電圧供給端子４４のハウジング２０の外側への露出を維持している。
【００５１】
続いて、高電圧絶縁部材５０に支持部材２６を取付けた後、円環部２０ｂをハウジング本体２０ａの他端にネジ留めする。その後、Ｘ線管３０及びハウジング本体２０ａ間に冷却液７を充填する。これにより、冷却液７を液密に保持するハウジング２０が形成される。その後、ハウジング２０に、冷却液循環ポンプ２２、熱交換器２３、高電圧コネクタ１００、２００を取付けることにより、Ｘ線管装置１０が完成する。
【００５２】
上記のように構成された第１の実施の形態に係るＸ線管装置１０及びＸ線管装置１０の製造方法によれば、Ｘ線管装置１０は、真空外囲器３１と、陽極ターゲット３５ａと、陰極３６と、を有するＸ線管３０と、ハウジング２０と、冷却液７と、高電圧絶縁部材４０、５０と、高電圧供給端子４４、５４と、電気絶縁性部材６０と、を備えている。
【００５３】
電気絶縁性部材６０は、端面（接着面）４１より大きい面積を有した平坦な端面６１と、端面（接着面）４１より大きい面積を有し、高電圧絶縁部材４０の端面（接着面）４１に接着された他端面６２と、を含んでいる。この実施の形態において、電気絶縁性部材６０の径は、底部４７の径より大きい。電気絶縁性部材６０を接着する製造工程において、ステータコイル９１０は、予め高電圧絶縁部材４０に嵌めておけばよい。
【００５４】
これにより、Ｘ線管３０のサイズに拘ること無しに、高電圧コネクタ１００の接続部の絶縁性を長期にわたって確保することができる。高電圧絶縁部材４０やステータコイル９１０の径を大きくしなくともよいため、Ｘ線管装置１０（Ｘ線管３０）の重量の増加及び大型化を抑制することができる。
【００５５】
接着界面に気泡が残らないよう高電圧絶縁部材４０及び電気絶縁性部材６０を接着することにより、高電圧絶縁部材４０及び電気絶縁性部材６０を一体形成した場合と同等の絶縁特性を得ることができる。すなわち、接着界面に沿った放電通路を断つことができ、高い電気絶縁特性を得ることができる。
【００５６】
高電圧絶縁部材４０及び電気絶縁性部材６０の接着界面は、高電圧コネクタ１００及び電気絶縁性部材６０の密着界面より電気絶縁性に優れている。ここで、接着とは、永久接着の意で、破壊しないと離せない。密着とは、押圧の意で、圧力を除くと離れる。また、密着の場合、微妙な圧力変化によって電気絶縁特性が大きく影響される。
【００５７】
また、Ｘ線の照射が続くと、陽極ターゲット３５ａ及び陰極３６の温度が上昇する。陽極ターゲット３５ａの熱は、回転体２、軸受け９３０、固定体１及び支持体３５ｂを介して高電圧絶縁部材４０に伝達される。陰極３６の熱は、高電圧供給端子５４を介して高電圧絶縁部材５０に伝達される。高電圧絶縁部材４０、５０は、これらの熱伝達面４３、５３が冷却液７に接しているため、冷却されている。すなわち、陽極３５及び陰極３６の熱は、冷却液７に放散され、高電圧コネクタ１００、２００の温度を低くできるため、高電圧コネクタ１００、２００の熱変形が抑制される。その結果、高電圧コネクタ１００、２００及び端面５１、端面６１の密着界面に沿った放電が抑制され、長期にわたって絶縁性を確保することができる。  
接合部３５ｃは、可撓性を示すものである。このため、陽極３５と高電圧絶縁部材４０との良好な接続状態の安定化を図ることができる。
【００５８】
冷却液７は、冷却液循環ポンプ２２で循環され、熱交換器２３により熱が外部に放出される。なお、冷却液７として、熱伝達率が最も高い、水を主成分とする水系冷却液を用いることができるため、高電圧絶縁部材４０、５０を効率よく冷却できる。水系の冷却液７は、熱伝達率が高いため、冷却液７全体がより均一な温度となる。また、水系の冷却液７は、絶縁油に比べて、比熱が大きい（絶縁油の約２倍）ため、Ｘ線管３０の放熱による冷却液の温度上昇が低く抑えられる。  
上記したことから、重量の増加及び大型化を抑制でき、長期にわたって信頼性の高いＸ線管装置１０及びＸ線管装置１０の製造方法を得ることができる。
【００５９】
ここで、図５及び図６に示すように、上記Ｘ線管装置１０において、高電圧絶縁部材４０は、熱伝達面４３に設けられ、冷却液７に接した熱伝達促進部１６をさらに含んでいても良い。熱伝達促進部１６は、熱伝達面４３に、例えばろう付けにより接合された襞状の包囲体である。
【００６０】
熱伝達促進部１６は、それぞれＶ字形の断面を有し、筒部４６の延出した方向に沿って延び、熱伝達面４３から外側に向かって突出し、筒部４６を中心に熱伝達面４３の周りに互いに隣接して並べられた複数の凸部１６ａで形成されている。熱伝達促進部１６は、金属等の熱伝導率の高い材料で形成されている。なお、筒部４６は、熱伝達促進部１６を介して冷却液７に間接的に接している。
【００６１】
この場合、熱伝達面４３に熱伝達促進部１６が設けられているため、熱伝達促進部１６を設けない場合に比べ冷却液７と接する表面積が増える。つまり、高電圧絶縁部材４０を一層冷却することができ、高電圧コネクタ１００の熱変形を一層抑制することができ、高電圧コネクタ１００及び端面６１の密着界面に沿った放電を一層抑制することができる。
【００６２】
熱伝達促進部１６の形状は、上記した例に限定されるものではなく、種々変形可能であり、形状を変えても冷却液７と接する総表面積を大きくできればよい。また、熱伝達促進部１６は、高電圧絶縁部材４０自体の表面に形成された凹凸パターンであってもよい。これにより、高電圧コネクタ１００の熱変形を抑制することができ、高電圧コネクタ１００及び端面６１の密着界面に沿った放電を抑制することができる。
【００６３】
また、図７及び図８に示すように、接合部３５ｃの形状は、上記した例に限定されるものではなく、種々変形可能である。例えば、凸部３５ｅは、接合部３５ｃの延出した方向に沿って互いに隣合って並べられていても良い。
【００６４】
次に、本発明の第２の実施の形態に係るＸ線管装置１０及びＸ線管装置１０の製造方法について説明する。この実施の形態において、上記第１の実施の形態と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００６５】
図９に示すように、電気絶縁性部材６０は、端面６１と、他端面６２と、貫通孔６３とを含んでいる。電気絶縁性部材６０は、底部４７より外径の大きい有底筒状に形成されている。詳しくは、電気絶縁性部材６０は、他端面６２を有した筒部６６と、筒部６６の一端側を閉塞し、端面６１、他端面６２及び貫通孔６３を有した円盤状の底部６７とを有している。
【００６６】
端面６１は、ハウジング２０の外側に露出し、端面（接着面）４１より大きい面積を有している。端面６１は平坦な面である。他端面６２は、接着剤１４を介して底部４７の外面に接着（永久接着）されている。
【００６７】
上記電気絶縁性部材６０を接着する際、底部４７の外面及び他端面６２の少なくとも一方に接着剤１４を塗布し、接着剤１４を介在させて底部４７の外面に他端面６２を接触させた後、電気絶縁性部材６０を押圧し、電気絶縁性部材６０を高電圧絶縁部材４０に接着すればよい。
【００６８】
上記のように構成された第２の実施の形態に係るＸ線管装置１０及びＸ線管装置１０の製造方法によれば、Ｘ線管装置１０は、真空外囲器３１と、陽極ターゲット３５ａと、陰極３６と、を有するＸ線管３０と、ハウジング２０と、冷却液７と、高電圧絶縁部材４０、５０と、高電圧供給端子４４、５４と、電気絶縁性部材６０と、を備えている。
【００６９】
電気絶縁性部材６０は、端面（接着面）４１より大きい面積を有した平坦な端面６１と、高電圧絶縁部材４０の外面に接着された他端面６２と、を含んでいる。この実施の形態において、電気絶縁性部材６０の径は、底部４７の径より大きい。電気絶縁性部材６０を接着する製造工程において、ステータコイル９１０は、予め高電圧絶縁部材４０に嵌めておけばよい。
【００７０】
これにより、Ｘ線管３０のサイズに拘ること無しに、高電圧コネクタ１００の接続部の絶縁性を長期にわたって確保することができる。高電圧絶縁部材４０やステータコイル９１０の径を大きくしなくともよいため、Ｘ線管装置１０（Ｘ線管３０）の重量の増加及び大型化を抑制することができる。
【００７１】
この実施の形態において、電気絶縁性部材６０は、端面（接着面）４１とだけでなく底部４７の外面にも接着されているため、第１の実施の形態に比べ、高電圧絶縁部材４０及び電気絶縁性部材６０間の電気絶縁特性や接着強度を向上することができる。
【００７２】
その他、この実施の形態のＸ線管装置１０は、上述した第１の実施の形態のＸ線管装置１０と同様の効果を得ることができる。  
上記したことから、重量の増加及び大型化を抑制でき、長期にわたって信頼性の高いＸ線管装置１０及びＸ線管装置１０の製造方法を得ることができる。
【００７３】
次に、本発明の第３の実施の形態に係るＸ線管装置１０及びＸ線管装置１０の製造方法について説明する。この実施の形態において、上記第１の実施の形態と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００７４】
図１０に示すように、電気絶縁性部材６０は、端面６１と、他端面６２と、貫通孔６３とを含んでいる。電気絶縁性部材６０は、底部４７より外径の大きい円盤状に形成されている。
【００７５】
端面（接着面）４１は、ハウジング２０の内部に位置している。端面６１は、ハウジング２０の外側に露出し、端面（接着面）４１より大きい面積を有している。端面６１は平坦な面である。他端面６２は、接着剤１４を介して底部４７の外面に接着（永久接着）されている。
【００７６】
この実施の形態において、支持部材２５は、電気絶縁性部材６０の側面及び底部４７の側面を覆っている。支持部材２５は、底部４７の側面と対向した側に形成された円環状の溝部を有している。底部４７の側面及び支持部材２５間の隙間は、上記溝部に設けられた円環状のＯリングによりシールされている。上記Ｏリングは、接着剤１４の接着界面への冷却液７の侵入を防止する機能を有している。
【００７７】
支持部材２５及びＯリングは、接着剤１４の接着界面への冷却液７の侵入を防止するシール部を形成している。接着剤１４の接着界面が、冷却液７に接しないことは言うまでもない。
【００７８】
上記電気絶縁性部材６０を接着する際、底部４７の外面及び他端面６２の少なくとも一方に接着剤１４を塗布し、支持部材２５の溝部にＯリングを設けた状態で、接着剤１４を介在させて底部４７の外面に他端面６２を接触させた後、電気絶縁性部材６０を押圧し、電気絶縁性部材６０を高電圧絶縁部材４０に接着すればよい。
【００７９】
上記のように構成された第３の実施の形態に係るＸ線管装置１０及びＸ線管装置１０の製造方法によれば、Ｘ線管装置１０は、真空外囲器３１と、陽極ターゲット３５ａと、陰極３６と、を有するＸ線管３０と、ハウジング２０と、冷却液７と、高電圧絶縁部材４０、５０と、高電圧供給端子４４、５４と、電気絶縁性部材６０と、を備えている。
【００８０】
電気絶縁性部材６０は、端面（接着面）４１より大きい面積を有した平坦な端面６１と、高電圧絶縁部材４０の外面に接着された他端面６２と、を含んでいる。この実施の形態において、電気絶縁性部材６０の径は、底部４７の径より大きい。電気絶縁性部材６０を接着する製造工程において、ステータコイル９１０は、予め高電圧絶縁部材４０に嵌めておけばよい。
【００８１】
これにより、Ｘ線管３０のサイズに拘ること無しに、高電圧コネクタ１００の接続部の絶縁性を長期にわたって確保することができる。高電圧絶縁部材４０やステータコイル９１０の径を大きくしなくともよいため、Ｘ線管装置１０（Ｘ線管３０）の重量の増加及び大型化を抑制することができる。
【００８２】
この実施の形態において、Ｘ線管装置１０は、接着剤１４の接着界面への冷却液７の侵入を防止するよう形成されているため、高電圧絶縁部材４０からの電気絶縁性部材６０の剥離や、電気絶縁特性の低下を防止することがより確実にできる。すなわち、上記Ｘ線管装置１０は、第１の実施の形態のＸ線管装置１０に比べ、電気絶縁性部材６０がより剥がれ難く、電気絶縁特性がより低下し難いものである。
【００８３】
その他、この実施の形態のＸ線管装置１０は、上述した第１の実施の形態のＸ線管装置１０と同様の効果を得ることができる。  
上記したことから、重量の増加及び大型化を抑制でき、長期にわたって信頼性の高いＸ線管装置１０及びＸ線管装置１０の製造方法を得ることができる。
【００８４】
次に、本発明の第４の実施の形態に係るＸ線管装置１０及びＸ線管装置１０の製造方法について説明する。この実施の形態において、上記第１の実施の形態と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００８５】
図１１に示すように、電気絶縁性部材６０は、端面６１と、他端面６２と、貫通孔６３とを含んでいる。電気絶縁性部材６０は、底部４７より外径の大きい円盤状に形成されている。
【００８６】
端面（接着面）４１は、ハウジング２０の外部に位置している。端面６１は、ハウジング２０の外側に露出し、端面（接着面）４１より大きい面積を有している。端面６１は平坦な面である。他端面６２は、接着剤１４を介して底部４７の外面に接着（永久接着）されている。
【００８７】
この実施の形態において、円環部２０ｄは、高電圧絶縁部材４０と対向した側に形成された円環状の溝部を有している。円環部２０ｄ及び高電圧絶縁部材４０間の隙間は、上記溝部に設けられた円環状のＯリングによりシールされている。上記Ｏリングは、円環部２０ｄ及び高電圧絶縁部材４０間の隙間から外部への冷却液７の漏れを防止する機能を有している。すなわち、円環部２０ｄ及びＯリングは、接着剤１４の接着界面への冷却液７の侵入を防止するシール部を形成している。接着剤１４の接着界面が、冷却液７に接しないことは言うまでもない。
【００８８】
上記電気絶縁性部材６０を接着する際、端面（接着面）４１及び他端面６２の少なくとも一方に接着剤１４を塗布し、接着剤１４を介在させて端面（接着面）４１に他端面６２を接触させた後、電気絶縁性部材６０を押圧し、電気絶縁性部材６０を高電圧絶縁部材４０に接着すればよい。
【００８９】
上記のように構成された第４の実施の形態に係るＸ線管装置１０及びＸ線管装置１０の製造方法によれば、Ｘ線管装置１０は、真空外囲器３１と、陽極ターゲット３５ａと、陰極３６と、を有するＸ線管３０と、ハウジング２０と、冷却液７と、高電圧絶縁部材４０、５０と、高電圧供給端子４４、５４と、電気絶縁性部材６０と、を備えている。
【００９０】
電気絶縁性部材６０は、端面（接着面）４１より大きい面積を有した平坦な端面６１と、高電圧絶縁部材４０の外面に接着された他端面６２と、を含んでいる。この実施の形態において、電気絶縁性部材６０の径は、底部４７の径より大きい。電気絶縁性部材６０を接着する製造工程において、ステータコイル９１０は、予め高電圧絶縁部材４０に嵌めておけばよい。
【００９１】
これにより、Ｘ線管３０のサイズに拘ること無しに、高電圧コネクタ１００の接続部の絶縁性を長期にわたって確保することができる。高電圧絶縁部材４０やステータコイル９１０の径を大きくしなくともよいため、Ｘ線管装置１０（Ｘ線管３０）の重量の増加及び大型化を抑制することができる。
【００９２】
この実施の形態において、Ｘ線管装置１０は、接着剤１４の接着界面への冷却液７の侵入を防止するよう形成されているため、高電圧絶縁部材４０からの電気絶縁性部材６０の剥離や、電気絶縁特性の低下をより確実に防止することができる。すなわち、上記Ｘ線管装置１０は、第１の実施の形態のＸ線管装置１０に比べ、電気絶縁性部材６０がより剥がれ難く、電気絶縁特性がより低下し難いものである。
【００９３】
その他、この実施の形態のＸ線管装置１０は、上述した第１の実施の形態のＸ線管装置１０と同様の効果を得ることができる。  
上記したことから、重量の増加及び大型化を抑制でき、長期にわたって信頼性の高いＸ線管装置１０及びＸ線管装置１０の製造方法を得ることができる。
【００９４】
次に、本発明の第５の実施の形態に係るＸ線管装置１０及びＸ線管装置１０の製造方法について説明する。この実施の形態において、上記第１の実施の形態と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００９５】
図１２に示すように、電気絶縁性部材６０は、端面６１と、他端面６２と、貫通孔６３とを含んでいる。電気絶縁性部材６０は、底部４７より外径の大きい有底筒状に形成されている。詳しくは、電気絶縁性部材６０は、他端面６２を有した筒部６６と、筒部６６の一端側を閉塞し、端面６１、他端面６２及び貫通孔６３を有した円盤状の底部６７とを有している。
【００９６】
端面６１は、ハウジング２０の外側に露出し、端面（接着面）４１より大きい面積を有している。端面６１は平坦な面である。電気絶縁性部材６０は、モールド材で形成され、底部４７の外面及び支持部材２５に直に接着（永久接着）されている。すなわち、電気絶縁性部材６０自体が接着性を有する材料で形成されている。支持部材２５は、電気絶縁性部材６０より長く形成されている。  
モールド材としては、エポキシ樹脂又はシリコーン樹脂を主成分とする材料が挙げられる。
【００９７】
次に、上記Ｘ線管装置１０の製造方法について説明する。  
図１３に示すように、まず、真空外囲器３１と、陽極３５と、陰極３６と、高電圧絶縁部材４０、５０と、高電圧供給端子４４、５４と、ＫＯＶ部材５５と、を有するＸ線管３０を用意する。
【００９８】
次いで、治具９１を収容した真空槽９０内に支持部材２５を搬入する。
【００９９】
ここで、治具９１は、一端が閉塞して形成されたハウジング９２を有している。また、ハウジング９２には、貫通孔９２ｈが形成されている。なお、貫通孔９２ｈに限らず、ハウジング９２には、凹部が形成されていてもよい。ハウジング９２上に、円環状の板部材９７が固着されている。板部材９７のサイズは、支持部材２５のサイズに対応している。板部材９７は、平坦な端面９７ａを有している。端面９７ａは、ポリテトラフルオロエチレンで形成されている。
【０１００】
支持部材２５を搬入した後、ハウジング９２上に支持部材２５を載置する。これにより、支持部材２５は板部材９７にほとんど隙間なく嵌合される。板部材９７及び支持部材２５は、モールド材槽９６を形成している。
【０１０１】
次いで、真空槽９０内にステータコイル９１０を搬入し、ハウジング９２にステータコイル９１０を載置する。続いて、真空槽９０内にＸ線管３０を搬入した後、ハウジング９２にＸ線管３０を載置する。ここでは、ハウジング９２は真空容器３２を支持している。これにより、モールド材槽９６の内部に高電圧絶縁部材４０の端面（接着面）４１が搬入され、板部材９７の開口部及び貫通孔９２ｈに高電圧供給端子４４が挿入される。なお、ステータコイル９１０は、高電圧絶縁部材４０に嵌った状態となる。
【０１０２】
続いて、ハウジング９２の他の貫通孔に、モールド材注入用のパイプ９８を通す。その後、真空槽９０の内部を真空排気する。次いで、パイプ９８を用いて、モールド材槽９６内にモールド材を注入する。なお、真空中で注入することにより、モールド材中に残る恐れのある空気等の気泡が残らないようにすることができる。
【０１０３】
その後、注入したモールド材が硬化することにより、平坦な端面６１と、端面（接着面）４１に直に接着された他端面６２と、貫通孔６３と、を含む電気絶縁性部材６０が形成される。電気絶縁性部材６０は、支持部材２５及び高電圧絶縁部材４０に接着される。
【０１０４】
真空槽９０の内部を大気開放させた後、ハウジング９２からパイプ９８を取外した後、ハウジング９２からステータコイル９１０、電気絶縁性部材６０及び支持部材２５が設けられたＸ線管３０を取外す。これにより、端面９７ａから電気絶縁性部材６０が剥離し、電気絶縁性部材６０の平坦な端面６１が露出する。
【０１０５】
図１２に示すように、その後、ハウジング２０を用意する。詳しくは、開口を有したハウジング本体２０ａを用意する。次いで、ハウジング本体２０ａに、ステータコイル９１０、電気絶縁性部材６０及び支持部材２５が設けられたＸ線管３０を収納する。この際、端面４１をハウジング２０（円環部２０ｄ）の開口に対向させ、端面６１及び高電圧供給端子４４をハウジング２０の外側に露出させる。貫通孔６３は、高電圧供給端子４４のハウジング２０の外側への露出を維持している。
【０１０６】
続いて、高電圧絶縁部材５０に支持部材２６を取付けた後、円環部２０ｂをハウジング本体２０ａの他端にネジ留めする。その後、Ｘ線管３０及びハウジング本体２０ａ間に冷却液７を充填する。これにより、冷却液７を液密に保持するハウジング２０が形成される。その後、ハウジング２０に、高電圧コネクタ１００、２００等を取付けることにより、Ｘ線管装置１０が完成する。
【０１０７】
上記のように構成された第５の実施の形態に係るＸ線管装置１０及びＸ線管装置１０の製造方法によれば、Ｘ線管装置１０は、真空外囲器３１と、陽極ターゲット３５ａと、陰極３６と、を有するＸ線管３０と、ハウジング２０と、冷却液７と、高電圧絶縁部材４０、５０と、高電圧供給端子４４、５４と、電気絶縁性部材６０と、を備えている。
【０１０８】
電気絶縁性部材６０は、端面（接着面）４１より大きい面積を有した平坦な端面６１と、高電圧絶縁部材４０の外面に接着された他端面６２と、を含んでいる。この実施の形態において、電気絶縁性部材６０の径は、底部４７の径より大きい。電気絶縁性部材６０を形成するためのモールド材注入工程において、ステータコイル９１０は、予め高電圧絶縁部材４０に嵌めておけばよい。
【０１０９】
これにより、Ｘ線管３０のサイズに拘ること無しに、高電圧コネクタ１００の接続部の絶縁性を長期にわたって確保することができる。高電圧絶縁部材４０やステータコイル９１０の径を大きくしなくともよいため、Ｘ線管装置１０（Ｘ線管３０）の重量の増加及び大型化を抑制することができる。
【０１１０】
この実施の形態において、電気絶縁性部材６０は、端面（接着面）４１とだけでなく底部４７の側面にも接着されているため、第１の実施の形態に比べ、高電圧絶縁部材４０及び電気絶縁性部材６０間の電気絶縁特性や接着強度を向上することができる。
【０１１１】
また、電気絶縁性部材６０は、接着剤１４無しに、高電圧絶縁部材４０に直に接着されているため、第１の実施の形態に比べ、高電圧絶縁部材４０及び電気絶縁性部材６０間の電気絶縁特性や接着強度をより向上することができる。
【０１１２】
その他、この実施の形態のＸ線管装置１０は、上述した第１の実施の形態のＸ線管装置１０と同様の効果を得ることができる。  
上記したことから、重量の増加及び大型化を抑制でき、長期にわたって信頼性の高いＸ線管装置１０及びＸ線管装置１０の製造方法を得ることができる。
【０１１３】
次に、本発明の第６の実施の形態に係るＸ線管装置１０及びＸ線管装置１０の製造方法について説明する。この実施の形態において、上記第５の実施の形態と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【０１１４】
図１４に示すように、Ｘ線管装置１０は、電気絶縁性部材７０を備えている。電気絶縁性部材７０は、支持部材２５内に嵌め込まれ、支持部材２５に接着されている。電気絶縁性部材７０は、高電圧供給端子４４のハウジング２０の外側への露出を維持するよう円環状に形成されている。電気絶縁性部材７０は、ハウジング２０の外側に露出し、端面（接着面）４１より大きい面積を有した平坦な端面７１を含んでいる。電気絶縁性部材７０は、電気絶縁性部材６０と同様、セラミクス材又はガラス材で形成されている。
【０１１５】
電気絶縁性部材６０は、端面６１と、他端面６２と、貫通孔６３とを含んでいる。電気絶縁性部材６０は、底部４７より外径の大きい有底筒状に形成されている。詳しくは、電気絶縁性部材６０は、他端面６２を有した筒部６６と、筒部６６の一端側を閉塞し、端面６１、他端面６２及び貫通孔６３を有した円盤状の底部６７とを有している。
【０１１６】
端面６１は、端面（接着面）４１より大きい面積を有している。電気絶縁性部材６０は、モールド材で形成され、底部４７の外面、支持部材２５及び電気絶縁性部材７０に直に接着（永久接着）されている。すなわち、電気絶縁性部材６０自体が接着性を有する材料で形成されている。支持部材２５は、電気絶縁性部材６０より長く形成されている。  
モールド材としては、エポキシ樹脂又はシリコーン樹脂を主成分とする材料が挙げられる。
【０１１７】
次に、上記Ｘ線管装置１０の製造方法について説明する。  
図１５に示すように、まず、真空外囲器３１と、陽極３５と、陰極３６と、高電圧絶縁部材４０、５０と、高電圧供給端子４４、５４と、ＫＯＶ部材５５と、を有するＸ線管３０を用意する。
【０１１８】
次いで、治具９１を収容した真空槽９０内に、電気絶縁性部材７０が取付けられた支持部材２５を搬入する。支持部材２５を搬入した後、ハウジング９２上に支持部材２５を載置する。電気絶縁性部材７０及び支持部材２５は、モールド材槽９６を形成している。
【０１１９】
次いで、真空槽９０内にステータコイル９１０を搬入し、ハウジング９２にステータコイル９１０を載置する。続いて、真空槽９０内にＸ線管３０を搬入した後、ハウジング９２にＸ線管３０を載置する。ここでは、ハウジング９２は真空容器３２を支持している。これにより、モールド材槽９６の内部に高電圧絶縁部材４０の端面（接着面）４１が搬入され、電気絶縁性部材７０の開口部及び貫通孔９２ｈに高電圧供給端子４４が挿入される。なお、ステータコイル９１０は、高電圧絶縁部材４０に嵌った状態となる。
【０１２０】
続いて、ハウジング９２の他の貫通孔に、モールド材注入用のパイプ９８を通す。その後、真空槽９０の内部を真空排気する。次いで、パイプ９８を用いて、モールド材槽９６内にモールド材を注入する。
【０１２１】
その後、注入したモールド材が硬化することにより、端面６１と、端面（接着面）４１に直に接着された他端面６２と、貫通孔６３と、を含む電気絶縁性部材６０が形成される。電気絶縁性部材６０は、電気絶縁性部材７０、支持部材２５及び高電圧絶縁部材４０に接着される。
【０１２２】
真空槽９０の内部を大気開放させた後、ハウジング９２からパイプ９８を取外した後、ハウジング９２からステータコイル９１０、電気絶縁性部材６０、７０及び支持部材２５が設けられたＸ線管３０を取外す。
【０１２３】
図１４に示すように、その後、ハウジング２０を用意する。詳しくは、開口を有したハウジング本体２０ａを用意する。次いで、ハウジング本体２０ａに、ステータコイル９１０、電気絶縁性部材６０、７０及び支持部材２５が設けられたＸ線管３０を収納する。この際、端面４１をハウジング２０（円環部２０ｄ）の開口に対向させ、端面７１及び高電圧供給端子４４をハウジング２０の外側に露出させる。
【０１２４】
続いて、高電圧絶縁部材５０に支持部材２６を取付けた後、円環部２０ｂをハウジング本体２０ａの他端にネジ留めする。その後、Ｘ線管３０及びハウジング本体２０ａ間に冷却液７を充填する。これにより、冷却液７を液密に保持するハウジング２０が形成される。その後、ハウジング２０に、高電圧コネクタ１００、２００等を取付けることにより、Ｘ線管装置１０が完成する。
【０１２５】
上記のように構成された第６の実施の形態に係るＸ線管装置１０及びＸ線管装置１０の製造方法によれば、Ｘ線管装置１０は、真空外囲器３１と、陽極ターゲット３５ａと、陰極３６と、を有するＸ線管３０と、ハウジング２０と、冷却液７と、高電圧絶縁部材４０、５０と、高電圧供給端子４４、５４と、電気絶縁性部材６０と、電気絶縁性部材７０と、を備えている。
【０１２６】
電気絶縁性部材６０は、端面（接着面）４１より大きい面積を有した端面６１と、高電圧絶縁部材４０の外面に接着された他端面６２と、を含んでいる。この実施の形態において、電気絶縁性部材６０の径は、底部４７の径より大きい。電気絶縁性部材７０は、端面（接着面）４１より大きい面積を有した平坦な端面７１を含んでいる。電気絶縁性部材６０を形成するためのモールド材注入工程において、ステータコイル９１０は、予め高電圧絶縁部材４０に嵌めておけばよい。
【０１２７】
これにより、Ｘ線管３０のサイズに拘ること無しに、高電圧コネクタ１００の接続部の絶縁性を長期にわたって確保することができる。高電圧絶縁部材４０やステータコイル９１０の径を大きくしなくともよいため、Ｘ線管装置１０（Ｘ線管３０）の重量の増加及び大型化を抑制することができる。
【０１２８】
電気絶縁性部材７０の端面７１の平坦性を向上させることにより、電気絶縁性部材７０は、予め平坦性に優れた端面７１を持つことができる。このため、端面７１の平坦度は、モールド材で形成した上記第５の実施の形態の端面６１の平坦度より高い。高電圧コネクタ１００を上記第５の実施の形態の端面６１に密着させた場合に比べ電気絶縁性部材７０に密着させた場合の方が密着界面に沿った放電を抑制することができる。
【０１２９】
この実施の形態において、電気絶縁性部材６０は、端面（接着面）４１とだけでなく底部４７の側面にも接着されているため、第１の実施の形態に比べ、高電圧絶縁部材４０及び電気絶縁性部材６０間の電気絶縁特性や接着強度を向上することができる。
【０１３０】
また、電気絶縁性部材６０は、接着剤１４無しに、高電圧絶縁部材４０に直に接着されているため、第１の実施の形態に比べ、高電圧絶縁部材４０及び電気絶縁性部材６０間の電気絶縁特性や接着強度をより向上することができる。
【０１３１】
その他、この実施の形態のＸ線管装置１０は、上述した第１の実施の形態のＸ線管装置１０と同様の効果を得ることができる。  
上記したことから、重量の増加及び大型化を抑制でき、長期にわたって信頼性の高いＸ線管装置１０及びＸ線管装置１０の製造方法を得ることができる。
【０１３２】
なお、この発明は上記実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化可能である。また、上記実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【０１３３】
例えば、接着剤１４を用いて高電圧絶縁部材４０及び電気絶縁性部材６０を接着する際や、モールド材を注入する際、真空中で実施することが望ましいが、これに限らず、大気中で実施してもよい。
【０１３４】
電気絶縁性部材６０を高電圧絶縁部材４０に接着させるための、電気絶縁性部材６０を押圧する手法及び構成は、上述した手法及び構成に限定されるものではなく、種々変形可能である。モールド材槽９６内にモールド材を注入する手法及び構成は、上述した手法及び構成に限定されるものではなく、種々変形可能である。
【０１３５】
高電圧供給端子４４及び支持体３５ｂを接続する部材は、メタライズ層１１に限定されるものではなく、種々変形可能であり、高電圧供給端子４４及び支持体３５ｂを接続するように構成されていれば良い。
【０１３６】
電気絶縁性部材６０を高電圧絶縁部材４０及び電気絶縁性部材７０に接着剤を介して接着させる際、各部材の接着面のうち少なくとも一つに接着強度を向上させるための事前処理を施してもよい。事前処理として公知のプライマーコーティングを採用することができる。
【０１３７】
陽極３５が取り付けられた高電圧絶縁部材４０に電気絶縁性部材６０を接着したが、これに限らず、陰極３６が取り付けられた高電圧絶縁部材５０に電気絶縁性部材を接着してもよい。
【０１３８】
図１６に示すように、例えば、Ｘ線管装置１０は、電気絶縁性部材８０及び支持体３６ｂを備えている。電気絶縁性部材８０は、底部５７より外径の大きい円盤状に形成されている。電気絶縁性部材８０は、端面８１と、他端面８２と、貫通孔８３とを含んでいる。端面８１は、ハウジング２０の外側に露出し、端面５１より大きい面積を有している。端面８１は平坦な面である。他端面８２は、端面５１より大きい面積を有している。貫通孔８３は、端面８１及び他端面８２に開口している。貫通孔８３は、高電圧供給端子５４のハウジング２０の外側への露出を維持する。他端面８２は、接着剤１４を介して端面（接着面）５１に接着（永久接着）されている。  
電気絶縁性部材８０は、電気絶縁性部材６０と同様、セラミクス材又はガラス材で形成されている。
【０１３９】
支持体３６ｂは、底部５７に間隔を置いて位置している。支持体３６ｂは、筒部５６の内面に接合された接合部３６ｃを含み、真空外囲器３１の内部に位置し、陰極３６を支持するものである。接合部３６ｃは、可撓性を示すものである。このため、接合部３６ｃは、高温時に弾性変形し熱応力の少なくとも一部を緩和するものである。ＫＯＶ部材５５及び支持体３６ｂ間は、ろう付けされている。  
この発明は、上記Ｘ線管装置１０及びＸ線管装置１０の製造方法に限らず、各種Ｘ線管装置及びその製造方法に適用することができる。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
［１］真空外囲器と、前記真空外囲器内に設けられた陽極ターゲットと、前記真空外囲器内に設けられて前記陽極ターゲットに照射する電子を放出する陰極と、を有するＸ線管と、
開口を有し、前記Ｘ線管を収納したハウジングと、
前記Ｘ線管及びハウジング間に充填された冷却液と、
前記冷却液に直接又は間接的に接し前記冷却液に熱を伝達する熱伝達面と、前記ハウジングの開口に対向した接着面と、を含み、前記真空外囲器の一部を構成し、真空内部において前記陽極ターゲット又は陰極が取り付けられている高電圧絶縁部材と、
前記高電圧絶縁部材に設けられ、前記ハウジングの外側に露出した高電圧供給端子と、
前記ハウジングの外側に露出し、前記接着面より大きい面積を有した平坦な端面と、前記高電圧絶縁部材の接着面に接着された他端面と、前記高電圧供給端子の前記ハウジングの外側への露出を維持するよう前記端面及び他端面に開口する貫通孔と、を含む電気絶縁性部材と、を備えているＸ線管装置。
［２］前記電気絶縁性部材の端面に直接又は間接的に密着される電気絶縁材を含み、前記高電圧供給端子に高電圧を与える高電圧コネクタをさらに備えている［１］に記載のＸ線管装置。
［３］前記電気絶縁性部材は、セラミクス材で形成され、接着剤を介して前記高電圧絶縁部材の接着面に接着されている［１］又は［２］に記載のＸ線管装置。
［４］前記電気絶縁性部材は、ガラス材で形成され、接着剤を介して前記高電圧絶縁部材の接着面に接着されている［１］又は［２］に記載のＸ線管装置。
［５］前記電気絶縁性部材は、モールド材で形成され、前記高電圧絶縁部材の接着面に直に接着されている［１］又は［２］に記載のＸ線管装置。
［６］前記接着面及び他端面間の接着界面への冷却液７の侵入を防止するシール部をさらに備え、
前記接着面は、前記ハウジングの内部に位置している［１］乃至［５］の何れか１に記載のＸ線管装置。
［７］前記接着面は、前記ハウジングの外部に位置している［１］乃至［５］の何れか１に記載のＸ線管装置。
［８］前記冷却液は、水系冷却液である［１］乃至［７］の何れか１に記載のＸ線管装置。
［９］前記真空外囲器の内部に位置し前記陽極ターゲットを支持する支持体をさらに備え、
前記高電圧絶縁部材は、前記熱伝達面を有した筒部と、前記筒部の一端側を閉塞し前記接着面を有した底部と、を含み、
前記支持体は、前記筒部の内面に接合された接合部を含んでいる［１］乃至［８］の何れか１に記載のＸ線管装置。
［１０］前記高電圧絶縁部材の内面に形成され、前記接合部に接続されたメタライズ層をさらに備え、
前記高電圧供給端子は、前記底部の一部を貫通して前記メタライズ層に接続されている［９］に記載のＸ線管装置。
［１１］前記真空外囲器の内部に位置し前記陰極を支持する支持体をさらに備え、
前記高電圧絶縁部材は、前記熱伝達面を有した筒部と、前記筒部の一端側を閉塞し前記接着面を有した底部と、を含み、
前記支持体は、前記筒部の内面に接合された接合部を含んでいる［１］乃至［８］の何れか１に記載のＸ線管装置。
［１２］前記接合部は、可撓性を示し、高温時に弾性変形し熱応力の少なくとも一部を緩和する［９］又は［１１］に記載のＸ線管装置。
［１３］前記接合部は、前記筒部の内面に対向した凹凸面を有し、
前記筒部の内面に、前記接合部の凸部が接合されている［１２］に記載のＸ線管装置。
［１４］前記支持体は、高温時に弾性変形し熱応力の少なくとも一部を緩和する可撓性部品を介して前記高電圧絶縁部材の内面に接合されている［９］又は［１１］に記載のＸ線管。
［１５］前記高電圧絶縁部材は、前記熱伝達面に設けられ、前記冷却液に接した熱伝達促進部をさらに含んでいる［１］乃至［１４］の何れか１に記載のＸ線管装置。
［１６］前記熱伝達促進部は、前記高電圧絶縁部材自体の表面に形成された凹凸パターンである［１５］に記載のＸ線管装置。
［１７］前記熱伝達促進部は、前記熱伝達面に接合された金属部材である［１５］に記載のＸ線管装置。
［１８］前記ハウジングに連結され、前記冷却液の流れを前記ハウジング内に作り出す冷却液循環ポンプをさらに備えている［１］乃至［１７］の何れか１に記載のＸ線管装置。
［１９］前記ハウジング及び冷却液循環ポンプ間に連結され、前記冷却液の熱を外部に放出する熱交換器をさらに備えている［１８］に記載のＸ線管装置。
［２０］真空外囲器と、前記真空外囲器内に設けられた陽極ターゲットと、前記真空外囲器内に設けられて前記陽極ターゲットに照射する電子を放出する陰極と、熱伝達面及び接着面を含み、前記真空外囲器の一部を構成し、真空内部において前記陽極ターゲット又は陰極が取り付けられる高電圧絶縁部材と、前記高電圧絶縁部材に設けられた高電圧供給端子と、を有するＸ線管を用意し、
前記接着面より大きい面積を有した平坦な端面と、他端面と、前記端面及び他端面に開口する貫通孔と、を含む電気絶縁性部材を用意し、
前記接着面及び他端面の少なくとも一方に接着剤を塗布し、
前記接着剤を介在させて前記接着面に前記他端面を接触させ、
前記接触させた後、前記電気絶縁性部材を押圧し、前記電気絶縁性部材を高電圧絶縁部材に接着し、
開口を有したハウジングを用意し、
前記ハウジングに、前記電気絶縁性部材が設けられた前記Ｘ線管を収納し、前記接着面を前記開口に対向させ、前記端面及び高電圧供給端子を前記ハウジングの外側に露出させ、前記貫通孔は前記高電圧供給端子の前記ハウジングの外側への露出を維持し、
前記Ｘ線管及びハウジング間に冷却液を充填するＸ線管装置の製造方法。
［２１］真空外囲器と、前記真空外囲器内に設けられた陽極ターゲットと、前記真空外囲器内に設けられて前記陽極ターゲットに照射する電子を放出する陰極と、熱伝達面及び接着面を含み、前記真空外囲器の一部を構成し、真空内部において前記陽極ターゲット又は陰極が取り付けられる高電圧絶縁部材と、前記高電圧絶縁部材に設けられた高電圧供給端子と、を有するＸ線管を用意し、
モールド材槽内部に前記高電圧絶縁部材の接着面を搬入し、前記モールド材槽に形成された貫通孔又は凹部に前記高電圧供給端子を挿入し、
前記モールド材槽内にモールド材を注入し、
前記注入したモールド材を硬化し、前記接着面より大きい面積を有した平坦な端面と、前記接着面に直に接着された他端面と、前記高電圧供給端子を囲み前記端面及び他端面に開口する貫通孔と、を含む電気絶縁性部材を形成し、
開口を有したハウジングを用意し、
前記ハウジングに、前記電気絶縁性部材が設けられた前記Ｘ線管を収納し、前記接着面を前記開口に対向させ、前記端面及び高電圧供給端子を前記ハウジングの外側に露出させ、前記電気絶縁性部材の貫通孔は前記高電圧供給端子の前記ハウジングの外側への露出を維持し、
前記Ｘ線管及びハウジング間に冷却液を充填するＸ線管装置の製造方法。
【符号の説明】
【０１４０】
１…固定体、２…回転体、７…冷却液、１０…Ｘ線管装置、１１…メタライズ層、１４…接着剤、１６…熱伝達促進部、１６ａ…凸部、２０…ハウジング、２０ａ…ハウジング本体、２０ｂ，２０ｄ…円環部、２０ｃ…筒部、２２…冷却液循環ポンプ、２３…熱交換器、２４，３３…放射窓、２５，２６…支持部材、３０…Ｘ線管、３１…真空外囲器、３２…真空容器、３５…陽極、３５ａ…陽極ターゲット、３５ｂ…支持体、３５ｃ…接合部、３５ｄ…凹凸面、３６…陰極、３６ｂ…支持体、３６ｃ…接合部、４０，５０…高電圧絶縁部材、４１，５１…端面、４３，５３…熱伝達面、４４，５４…高電圧供給端子、６０，７０，８０…電気絶縁性部材、６１，７１，８１…端面、６２，８２…他端面、６３，８３…貫通孔、９０…真空槽、９１…治具、９２…ハウジング、９２ｈ…貫通孔、９３…支持部材、９４…昇降機構、９６…モールド材槽、１００，２００…高電圧コネクタ、１０３，２０３…電気絶縁材、１０４，２０４…シリコーンプレート。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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