(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する基板処理装置と、
前記基板処理装置に接続された群管理システムと
を有し、
前記群管理システムは、
接続構成を定義する構成情報を記憶する構成情報記憶装置と、
前記構成情報に基づいて前記基板処理装置との間で通信を行う通信装置と、
前記構成情報に基づいて前記通信装置と接続され、前記通信装置との間で通信を行う基板処理装置に関する情報を格納する装置情報格納装置と、を有し、
前記構成情報記憶装置は、前記基板処理装置、前記構成情報記憶装置、前記通信装置及び前記装置情報格納装置の間の接続関係と、前記構成情報記憶装置、前記通信装置及び前記装置情報格納装置のそれぞれが互いに接続できる接続数が含まれる構成情報
を有する基板処理システム。
【請求項２】
前記構成情報記憶装置は、前記通信装置に障害が発生し、該障害が発生した前記通信装置に接続されている前記基板処理装置及び前記装置情報格納装置を障害が発生していない他の通信装置に接続するように前記構成情報が更新された場合、前記構成情報が更新された旨を前記他の通信装置に対して通知し、
前記他の通信装置は、更新された構成情報に基づいて、前記障害が発生した前記通信装置に接続されていた前記基板処理装置及び前記装置情報格納装置の間で接続を確立する
請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項３】
前記構成情報には、前記構成情報記憶装置、前記通信装置及び前記装置情報格納装置のそれぞれが互いに接続できる接続最大数が含まれる
請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項４】
前記構成情報記憶装置は、前記基板処理装置に関する情報であって前記装置情報格納装置に格納される情報とは異なる情報を格納する
請求項１乃至３のいずれかに記載の基板処理システム。
【請求項５】
前記構成情報に含まれる前記基板処理装置に関する情報を表示する表示手段をさらに有する
請求項１乃至４のいずれかに記載の基板処理システム。
【請求項６】
変更された前記構成情報の反映及び前記通信装置への通知を指示する指示手段をさらに有する
請求項１乃至５のいずれかに記載の基板処理システム。
【請求項７】
基板を処理する複数の基板処理装置に接続された群管理システムであって、
接続構成を定義する構成情報を記憶する構成情報記憶装置と、
前記構成情報に基づいて前記基板処理装置との間で通信を行う通信装置と、
前記構成情報記憶装置に記憶されている構成情報に基づいて前記通信装置と接続され、前記通信装置との間で通信を行う基板処理装置に関する情報を格納する装置情報格納装置と、を有し、
前記構成情報記憶装置は、前記基板処理装置、前記構成情報記憶装置、前記通信装置及び前記装置情報格納装置の間の接続関係と、前記構成情報記憶装置、前記通信装置及び前記装置情報格納装置のそれぞれが互いに接続できる接続数が含まれる構成情報
を有する群管理システム。
【請求項８】
前記構成情報記憶装置は、前記通信装置に障害が発生し、該障害が発生した前記通信装置に接続されている前記基板処理装置及び前記装置情報格納装置を障害が発生していない他の通信装置に接続するように前記構成情報が更新された場合、前記構成情報が更新された旨を前記他の通信装置に対して通知し、
前記他の通信装置は、更新された構成情報に基づいて、前記障害が発生した前記通信装置に接続されていた前記基板処理装置及び前記装置情報格納装置の間で接続を確立する
請求項７に記載の群管理システム。
【請求項９】
前記構成情報には、前記構成情報記憶装置、前記通信装置及び前記装置情報格納装置のそれぞれが互いに接続できる接続最大数が含まれる
請求項７に記載の群管理システム。
【請求項１０】
前記構成情報記憶装置は、前記基板処理装置に関する情報であって前記装置情報格納装置に格納される情報とは異なる情報を格納する
請求項７乃至９のいずれかに記載の群管理システム。
【請求項１１】
前記構成情報記憶装置は、構成管理プログラムを実行するように構成され、
前記構成管理プログラムは、
前記基板処理装置、前記構成情報記憶装置、前記通信装置及び前記装置情報格納装置を含む各ハードウェア間の通信処理を行う通信部と、
前記基板処理装置、前記構成情報記憶装置、前記通信装置及び前記装置情報格納装置の間で共有される共有情報を記憶するシステム情報記憶部と、
前記構成情報を記憶する構成情報記憶部と、
前記構成情報が編集された場合、編集内容を受付けて構成情報を更新する構成情報更新部と、
他のハードウェアからの構成情報の参照要求を受付け、前記構成情報記憶部により記憶されている構成情報を要求元のハードウェアに対して送信する構成情報管理部と、
前記基板処理装置から前記通信装置に送信される共有情報を前記システム情報記憶部に格納するシステム情報管理部と、
を有する請求項７に記載の群管理システム。
【請求項１２】
前記構成管理プログラムは、更に、ユーザ毎に設定された閲覧権限を記憶する権限記憶部と、前記権限記憶部に記憶されている閲覧権限を参照する権限設定部とを備えた
請求項１１に記載の群管理システム。
【請求項１３】
前記通信装置は、接続管理プログラムを実行するように構成され、
前記接続管理プログラムは、
前記基板処理装置、前記構成情報記憶装置、前記通信装置及び前記装置情報格納装置を含む各ハードウェア間の通信処理を行う通信部と、
前記構成情報を記憶する構成情報記憶部と、
前記通信装置の起動時に、前記構成情報記憶装置に対して構成情報を要求し、前記構成情報を受付けて前記構成情報記憶部に格納する構成情報取得部と、
前記構成情報取得部により構成情報が取得されると、前記基板処理装置及び前記装置情報格納装置との間で接続を確立する接続確立部と、
前記基板処理装置から前記通信装置に送信される温度情報、圧力情報、障害情報を含む前記基板処理装置に関する情報を格納する装置情報記憶部と、
前記情報のうち発生頻度の少ない情報を前記構成情報記憶装置に送信し、前記情報のうち発生頻度の高い情報を前記装置情報格納装置に送信する装置情報管理部と
を有する請求項７に記載の群管理システム。
【請求項１４】
基板処理装置、構成情報記憶装置、通信装置及び装置情報格納装置を含む各ハードウェア間の通信処理を行う通信部と、
前記基板処理装置、前記構成情報記憶装置、前記通信装置及び前記装置情報格納装置の間で共有される共有情報を記憶するシステム情報記憶部と、
前記基板処理装置、前記構成情報記憶装置、前記通信装置及び前記装置情報格納装置の間の接続関係と、前記構成情報記憶装置、前記通信装置及び前記装置情報格納装置のそれぞれが互いに接続できる接続数が含まれる構成情報を記憶する構成情報記憶部と、
前記構成情報が編集された場合、編集内容を受付けて構成情報を更新する構成情報更新部と、
他のハードウェアからの構成情報の参照要求を受付け、前記構成情報記憶部により記憶されている構成情報を要求元のハードウェアに対して送信する構成情報管理部と、
前記基板処理装置から前記通信装置に送信される共有情報を前記システム情報記憶部に格納するシステム情報管理部と、
を有する構成管理プログラム。
【請求項１５】
基板処理装置、構成情報記憶装置、通信装置及び装置情報格納装置を含む各ハードウェア間の通信処理を行う通信部と、
前記基板処理装置、前記構成情報記憶装置、前記通信装置及び前記装置情報格納装置の間の接続関係と、前記構成情報記憶装置、前記通信装置及び前記装置情報格納装置のそれぞれが互いに接続できる接続数が含まれる構成情報を記憶する構成情報記憶部と、
前記通信装置の起動時に、前記構成情報記憶装置に対して構成情報を要求し、前記構成情報を受け付けて前記構成情報記憶部に格納する構成情報取得部と、
前記構成情報取得部により構成情報が取得されると、前記基板処理装置及び前記装置情報格納装置との間で接続を確立する接続確立部と、
前記基板処理装置から前記通信装置に送信される温度情報、圧力情報、障害情報を含む前記基板処理装置に関する情報を格納する装置情報記憶部と、
前記情報のうち発生頻度の少ない情報を前記構成情報記憶装置に送信し、前記情報のうち発生頻度の高い情報を前記装置情報格納装置に送信する装置情報管理部と、
を有する接続管理プログラム。
【請求項１６】
更に、端末装置を備えた請求項１に記載の基板処理システムであって、
前記端末装置は、前記基板処理装置に関する情報を、前記通信装置または前記構成情報記憶装置から取得する基板処理システム。
【請求項１７】
更に、端末装置を備えた請求項１に記載の基板処理システムであって、
前記端末装置は、前記基板処理装置に関する情報の閲覧権限をユーザ毎に設定する基板処理システム。
【請求項１８】
前記端末装置は、端末プログラムを実行するように構成され、
前記端末プログラムは、基板処理装置、構成情報記憶装置、通信装置、端末装置及び装置情報格納装置を含む各ハードウェア間の通信処理を行う通信部と、
前記構成情報を記憶する構成情報記憶部と、
前記端末装置の起動時に、前記構成情報記憶装置に対して構成情報を要求し、前記構成情報を受け付けて前記構成情報記憶部に格納する構成情報取得部と、
前記構成情報取得部により構成情報が取得されると、前記基板処理装置及び前記装置情報格納装置との間で接続を確立する接続確立部と、
基板処理装置選択画面、前記構成情報を更新するための画面、前記基板処理装置に関する情報を表示する画面から前記端末装置を介して入力された内容を、他のハードウェアに対して送信するユーザインタフェース部と、
ユーザが前記端末装置にログインした際に、構成情報記憶装置に対して当該ユーザの権限を要求し、構成情報記憶装置から送信された権限を受け付け、前記接続確立部へ出力する権限取得部と、
を有する請求項１６又は１７に記載の基板処理システム。
【請求項１９】
前記端末装置は、前記基板処理装置に関する情報の閲覧権限をユーザ毎に設定する前記基板処理装置選択画面を有し、
前記基板処理装置選択画面は、装置一覧表示領域と、閲覧可能装置表示領域と、追加ボタン及び削除ボタンが含まれる請求項１８に記載の基板処理システム。
【請求項２０】
基板処理装置、構成情報記憶装置、通信装置、端末装置及び装置情報格納装置を含む各ハードウェア間の通信処理を行う通信部と、
前記基板処理装置、前記構成情報記憶装置、前記通信装置、前記端末装置及び前記装置情報格納装置の間の接続関係と、前記構成情報記憶装置、前記通信装置、前記端末装置及び前記装置情報格納装置のそれぞれが互いに接続できる接続数が含まれる構成情報を記憶する構成情報記憶部と、
前記端末装置の起動時に、前記構成情報記憶装置に対して構成情報を要求し、前記構成情報を受け付けて前記構成情報記憶部に格納する構成情報取得部と、
前記構成情報取得部により構成情報が取得されると、前記基板処理装置及び前記装置情報格納装置との間で接続を確立する接続確立部と、
基板処理装置選択画面、前記構成情報を更新するための画面、前記基板処理装置に関する情報を表示する画面から表示装置を介して入力された内容を、通信部を介して他のハードウェアに対して送信するユーザインタフェース部と、
ユーザが前記端末装置にログインした際に、構成情報記憶装置に対して当該ユーザの権限を要求し、構成情報記憶装置から送信された権限を受け付け、前記接続確立部へ出力する権限取得部と、
を有する端末プログラム。
【請求項２１】
接続構成を定義する構成情報を記憶する構成情報記憶装置と、
前記構成情報に基づいて前記基板処理装置との間で通信を行う通信装置と、
前記構成情報に基づいて前記通信装置と接続され、前記通信装置との間で通信を行う基板処理装置に関する情報を格納する装置情報格納装置と、
を含む群管理システムを構成する各ハードウェアの接続管理方法であって、
前記構成情報記憶装置は、前記基板処理装置、前記構成情報記憶装置、前記通信装置及び前記装置情報格納装置の間の接続関係と、前記構成情報記憶装置、前記通信装置及び前記装置情報格納装置のそれぞれが互いに接続できる接続数が含まれる構成情報を有する
各ハードウェアの接続管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板やガラス基板等を処理する基板処理システム、群管理システム、構成管理プログラム、接続管理プログラム、端末プログラム及び各ハードウェアの接続管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板処理システムには、基板に処理を施す複数の基板処理装置と、当該複数の基板処理装置の稼働状態の監視及び生産履歴等の保存を行う群管理装置とが含まれる。このような群管理装置を使用することにより、半導体生産の効率向上が図られている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の基板処理システムにおいては、群管理装置に接続される基板処理装置の数に、上限が設けられており、基板処理装置の数がこの上限値を超える場合には、基板処理システム自体を二分化する構成を採る必要がある。また、基板処理装置の数が例えば１台でも上限値を超えた場合、新たな１式の群管理装置が必要となるので、エンドユーザにとっては、コスト面において負担が急に増大する。さらに、基板処理装置の接続構成が変更される場合、データの移行、システムパラメータの調整等に時間を要することが多い。
【０００４】
本発明は、接続される基板処理装置の数が増大した場合においても、群管理装置を増やすことなく、多数の基板処理装置との接続を行うことができる基板処理システム、群管理システム、構成管理プログラム、接続管理プログラム、端末プログラム及び各ハードウェアの接続管理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明に係る基板処理システムは、基板を処理する複数の基板処理装置と、前記基板処理装置に接続された群管理システムとを有し、前記群管理システムは、接続構成を定義する構成情報を記憶する構成情報記憶装置と、前記構成情報に基づいて前記複数の基板処理装置の少なくともいずれかとの間で通信を行う複数の通信装置と、前記構成情報に基づいて前記複数の通信装置のいずれかと接続され、前記通信装置との間で通信を行う基板処理装置に関する情報を格納する装置情報格納装置とを有する。
【０００６】
また、本発明に係る群管理システムは、基板を処理する複数の基板処理装置に接続された群管理システムであって、前記基板処理システム内の接続構成を定義する構成情報を記憶する構成情報記憶装置と、前記構成情報に基づいて前記複数の基板処理装置の少なくともいずれかとの間で通信を行う複数の通信装置と、前記構成情報記憶装置に記憶されている構成情報に基づいて前記複数の通信装置のいずれかと接続され、前記通信装置との間で通信を行う基板処理装置に関する情報を格納する装置情報格納装置とを有する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係る基板処理システムによれば、本システム全体の接続構成を管理する構成情報記憶装置と、基板処理装置と通信する通信装置と、該通信装置を介して基板処理装置から送信される情報を格納する装置情報格納装置とを有するので、接続される基板処理装置の数が増大した場合においても、群管理装置を増やすことなく、多数の基板処理装置との接続を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
まず、図１乃至図２に基づいて、本発明の背景を説明する。
図１は、システムＡとシステムＢとを含む基板処理システム１の構成を示す図である。
図１に示すように、基板処理システム１は、複数の基板処理装置１０−１〜１０−ｎ、及び群管理装置１００を有する。基板処理装置１０−１〜１０−ｎ及び群管理装置１００は、例えばＬＡＮ、ＷＡＮなどのネットワーク１２を介して接続されている。したがって、データは、基板処理装置１０−１〜１０−ｎ及び群管理装置１００の間で、ネットワーク１２を介して送信及び受信される。なお、基板処理装置１０−１〜１０−ｎなど、複数ある構成部分のいずれかを特定せずに示すときには、単に基板処理装置１０などと略記することがある。
【０００９】
基板処理装置１０は、プロセスレシピ等に基づいて基板の処理を実行する。具体的には、プロセスレシピには、基板を処理するための手順が記載されており、基板処理装置１０は、この手順に基づいて装置内の構成要素の制御を行う。また、基板処理装置１０は、温度情報、圧力情報、障害情報等を含む装置自体の運転状態に関するデータを、ネットワーク１２を介して群管理装置に対して送信する。
【００１０】
基板処理装置１０は、一例として、半導体装置（ＩＣ）の製造方法における処理装置を実施する半導体製造装置として構成されている。なお、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置を適用した実施例について述べる。
【００１１】
群管理装置１００は、基板処理装置１０から送信される、基板処理装置１０の運転状態に関するデータを受信し、保存及び画面への表示を行う。また、群管理装置１００は、プロセスレシピ等の基板処理装置１０に関するデータを基板処理装置１０に対して送信する。
【００１２】
群管理装置１００には、接続されうる基板処理装置１０の数の最大値が、予め設定されている。基板処理装置１０の数が当該最大値を超える場合、２台目の群管理装置１００が追加され、システム自体が分割される。
【００１３】
図１に示すように、システムＡ及びシステムＢのそれぞれには、群管理装置１００及び基板処理装置１０が含まれる。システムＡには１台の群管理装置１００−１及びＮ１台の基板処理装置１０−１〜１０−Ｎ１が含まれ、システムＢには１台の群管理装置１００−２及びＮ２台の基板処理装置１０−（Ｎ１＋１）〜１０−（Ｎ１＋Ｎ２）が含まれる。例えば、１つの群管理装置１００に接続されうる基板処理装置１０の数の最大値は３２である場合、システムＡ及びシステムＢには、最大３２台の基板処理装置１０が含まれる。基板処理装置１０の数が例えば６４である場合、このようにして、システムＡ及びシステムＢのそれぞれに３２台の基板処理装置１０が含まれる必要がある。なお、システムＡ及びシステムＢなど、基板処理システム１に含まれるシステムをサブシステムともいう。
【００１４】
複数のサブシステムが基板処理システム１に含まれる場合、基板処理装置１０は、当該基板処理装置１０が含まれているサブシステムと同一のサブシステムに含まれている基板処理装置１０との間では、データの送受信を行うことができる。このため、データは、群管理装置１００を介して他の基板処理装置１０に容易にコピーされる。一方、基板処理装置１０は、当該基板処理装置１０が含まれているサブシステムとは異なるサブシステムに含まれている基板処理装置１０との間で、データの送受信を行うことができない。このため、ユーザは、異なるサブシステムに含まれる基板処理装置１０の間でデータをコピーする場合、容易にコピーを行うことができない。したがって、例えば、システムＡの基板処理装置１０において、レシピの変更が行われた場合、この変更をシステムＢの基板処理装置１０に反映させるのに、手間が掛かってしまい、基板処理システム１の稼働率の低下を招く恐れがある。
【００１５】
また、群管理装置１００は、当該群管理装置１００が含まれているサブシステムに含まれている基板処理装置１０の一覧を画面に表示する。群管理装置１００は、異なるサブシステムに含まれている基板処理装置１０を一覧として画面に表示することができない。したがって、ユーザは、基板処理システム１に含まれている全ての基板処理装置１０に関する情報を一度に閲覧することができないので、システム全体の稼働率の把握が困難である。また、ユーザは、基板処理システム１に含まれる基板処理装置１０の比較を、容易には行えない。
【００１６】
さらに、ユーザは、基板処理システム１の構成を変更する場合においても、負担を強いられることがある。例えば、サブシステムに含まれている基板処理装置１０の数が前記最大値である構成で、１台の基板処理装置１０が増設される場合、群管理装置１００もまた１台増設する必要がある。よって、ユーザは、多大な装置増設費用を工面する必要がある。
【００１７】
また、例えば、基板処理装置１０が、現在含まれているサブシステムとは異なるサブシステムに移設される場合、これらのサブシステムの群管理装置１００の間で、データを移行する必要がある。
図２は、異なるサブシステムの間における基板処理装置１０の移行を説明する図である。
図２に示すように、基板処理装置１０がシステムＡからシステムＢに移設される場合、当該基板処理装置１０に関するデータは、システムＡの群管理装置１００−１からシステムＢの群管理装置１００−２に移行される必要がある。群管理装置１００−２には、システムＢの基板処理装置１０に関する構成情報が、予め記憶されている。この構成情報に加えて、基板処理装置１０−ｋに関する構成情報が、群管理装置１００−２に新たに作成され、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）等に格納される必要がある。また、構成情報は、群管理装置１００が起動する際に反映されるので、群管理装置１００−２は、再起動される必要がある。したがって、構成変更作業に要する時間は、群管理装置１００−２に記憶されている構成情報の変更作業と、群管理装置１００−２の再起動とに要する時間である。
【００１８】
群管理装置１００は、サブシステムに含まれている基板処理装置１０に関する例えば装置固有のパラメータを含む装置情報やロギングデータ等の基板処理時に生成されるデータを、当該群管理装置１００のハードディスクドライブ（ＨＤＤ）に保存している。よって、この保存されたデータは、基板処理装置１０が異なるサブシステムに移行される場合、移行先のサブシステムに含まれている群管理装置１００のＨＤＤに保存される。さらに、基板処理装置１０が移設される際には、システムパラメータの調整及び動作確認にも時間を要する。なお、システムパラメータは、基板処理システム１又はサブシステムの構成を定義するパラメータであって、基板処理装置１０の接続手段、接続数等が指定されているものである。
【００１９】
次に、本発明の実施形態に係る基板処理システム２を説明する。
図３は、本発明の実施形態に係る基板処理システム２の構成を示す図である。
図３に示すように、基板処理システム２は、複数の基板処理装置１０−１〜１０−ｎ、表示手段及び指示手段としての端末装置６、及び群管理システム７を有する。群管理システム７には、構成情報を記憶する構成情報記憶装置としての１つの構成管理装置３、通信装置としての１以上の接続管理装置４、及び基板処理装置１０に関する情報を格納する装置情報格納装置としての１以上のデータ管理装置５が含まれている。基板処理装置１０、構成管理装置３、接続管理装置４、データ管理装置５及び端末装置６は、ネットワーク１２を介して接続されている。なお、基板処理システム２において、基板処理装置１０、構成管理装置３、接続管理装置４、データ管理装置５及び端末装置６のそれぞれを、ハードウェアとも称する。また、構成管理装置３、接続管理装置４、データ管理装置５をそれぞれ、ＧＤＢ、ＥＤＳ、ＥＤＢと略称することがある。
【００２０】
群管理システム７において、構成管理装置（ＧＤＢ）３は、基板処理システム２の構成情報を記憶する。構成情報には、各ハードウェアの名称、各ハードウェアの接続構成等が含まれている。構成情報は、接続管理装置４等の他のハードウェアが、自身の役割や他のハードウェアとの関連を認識するために用いられる。また、構成管理装置３は、基板処理システム２全体で共有する情報（共有情報）を蓄積する。共有情報は、基板処理装置１０において発生する発生頻度が少ない情報、又は突発的に発生する情報であり、例えば基板処理装置１０の障害情報やイベント情報などがある。
【００２１】
接続管理装置（ＥＤＳ）４は、構成管理装置３に記憶されている構成情報に基づいて複数の基板処理装置１０の少なくともいずれかとの間で通信を行う。接続管理装置４は、基板処理装置１０からの情報を受信し、他のハードウェアからの要求に応じて、該ハードウェアに対して基板処理装置１０に関する情報を送信する。接続管理装置４は、構成情報が更新された旨の通知を構成管理装置３から受け付けると、更新された構成情報に基づいて、複数の基板処理装置１０及びデータ管理装置５の少なくともいずれかとの間で接続を確立する。
【００２２】
データ管理装置（ＥＤＢ）５は、構成管理装置３に記憶されている構成情報に基づいて複数の接続管理装置４のいずれかと接続される。データ管理装置５は、この接続された接続管理装置４との間で通信を行う基板処理装置１０に関する情報を格納する。データ管理装置５は、基板処理装置１０からの送信されるデータ（イベント情報及びプロセス情報）を、接続管理装置４を介して取得して蓄積する。当該情報は、構成管理装置３に蓄積される情報と比較して、発生頻度が高く、多くのデータを含む情報であり、例えば基板処理装置１０の温度情報、圧力情報等である。
【００２３】
端末装置６は、各ハードウェアにより蓄積されている情報を画面に表示し、ユーザに対して情報の提供を行うインタフェースを構成する。より具体的には、端末装置６は、キーボード又はマウスなどを介してユーザの要求を受け付け、当該要求に関する情報がいずれのハードウェアにより蓄積されている情報かを判定し、この判定結果に基づいて、対象のハードウェアから情報を取得し、当該情報を画面に表示する。
なお、構成管理装置３に記憶されている構成情報、及びハードウェア上で動作するプログラムについては、後で詳述する。
【００２４】
次に、基板処理装置１０の詳細な構成を説明する。
図４は、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の斜視図を示す。また、図５は、図４に示す基板処理装置１０の側面透視図を示す。
図４及び図５に示されているように、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納したウエハキャリアとしてフープ（基板収容器。以下ポッドという。）１１０が使用されている本発明の実施形態に係る基板処理装置１０は、筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設され、この正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４、１０４がそれぞれ建て付けられている。
【００２５】
筐体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が筐体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２はフロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、かつ、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。
【００２６】
筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備えており、複数枚の棚板１１７はポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
【００２７】
筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１８はポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。
【００２８】
筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【００２９】
サブ筐体１１９はポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａ及びウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図４に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）するように構成されている。
【００３０】
移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。
【００３１】
図４に模式的に示されているように、耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の待機部１２６右端部との間にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
【００３２】
図４に模式的に示されているように移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側及びボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、図示はしないが、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置１３５が設置されている。
【００３３】
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置１３５及びウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。
【００３４】
次に、基板処理装置１０内に設けられており、基板処理装置１０内の各装置の制御を行うプロセスモジュールコントローラ（ＰＭＣ）１４について説明する。
図６は、ＰＭＣ１４を中心とした基板処理装置１０の機能構成を示す。
図６に示すように、ＰＭＣ１４は、ＣＰＵ１４０、ＲＯＭ１４２、ＲＡＭ１４４、データを記憶するハードディスクドライブ（ＨＤＤ）１５８、ディスプレイ等の表示装置及びキーボード等の入力装置を含む入力手段１４７との間でのデータの送受信を行う入出力インタフェース（ＩＦ）１４６、ネットワーク１２を介して他のハードウェア（接続管理装置４等）との間でのデータの通信を制御する通信制御部１５６、温度制御部１５０、ガス制御部１５２、圧力制御部１５４、及び温度制御部１５０等とのＩ／Ｏ制御を行うＩ／Ｏ制御部１４８を有する。これらの構成要素はバス１６０を介して相互に接続されており、データは構成要素の間でバス１６０を介して入出力される。
【００３５】
ＰＭＣ１４において、ＣＰＵ１４０は、所定のレシピに基づいて基板を処理する。具体的には、ＣＰＵ１４０は、制御データ（制御指示）を、温度制御部１５０、ガス制御部１５２及び圧力制御部１５４等に対して出力する。ＲＯＭ１４２、ＲＡＭ１４４、及びＨＤＤ１５８には、シーケンスプログラム、入出力ＩＦ１４６より入力されるデータ、通信制御部１５６を介して入力されるデータ等が格納される。
【００３６】
温度制御部１５０は、上述した処理炉２０２の外周部に設けられたヒータ３３８により該処理室２０２内の温度を制御する。ガス制御部１５２は、処理炉２０２のガス配管３４０に設けられたＭＦＣ（マスフローコントローラ）３４２からの出力値に基づいて処理炉２０２内に供給する反応ガスの供給量等を制御する。圧力制御部１５４は、処理炉２０２の排気配管３４４に設けられた圧力センサ３４６の出力値に基づいてバルブ３４８を開閉することにより処理室２０２内の圧力を制御する。搬送制御部１５９は、ポッドオープナー１２１、ボートエレベータ１１５、ウェハ移載機構１２５等の搬送系を制御する。このように、温度制御部１５０等の制御コントローラは、ＣＰＵ１４０からの制御指示に基づいて基板処理装置１０の各部（ヒータ３３８、ＭＦＣ３４２及びバルブ３４８等）の制御を行う。
【００３７】
したがって、ＣＰＵ１４０は、シーケンスプログラムを起動し、該シーケンスプログラムに従って、レシピのコマンドを呼び込み実行することで、制御パラメータの目標値等が設定されているステップが逐次実行され、Ｉ／Ｏ制御部１４８、１４９を介して温度制御部１５０、ガス制御部１５２、圧力制御部１５４、及び搬送制御部１５９に対して基板を処理するための制御指示が送信される。温度制御部１５０等の制御コントローラは、制御指示に従って基板処理装置１０内の各部（ヒータ３３８、ＭＦＣ３４２及びバルブ３４８等）の制御を行う。これにより、ウエハ２００の処理が行われる。
【００３８】
ＣＰＵ１４０は、温度情報、圧力情報など基板処理装置１０の状態に関するデータを、通信制御部１５６を介して接続管理装置４に対して送信する。さらに、ＣＰＵ１４０は、基板処理装置１０において発生したイベント及び障害に関する情報、及びプロセス情報を、同様にして接続管理装置４に対して送信する。
【００３９】
図７は、端末装置６のハードウェア構成を示す図である。
図７に示すように、端末装置６は、ＣＰＵ１８及びメモリ２０などを含む制御装置１６と、ネットワーク１２を介して外部のハードウェアなどとデータの送信及び受信を行う通信インタフェース（ＩＦ）２２と、ハードディスクドライブなどの記憶装置２６と、液晶ディスプレイなどの表示装置並びにキーボード及びマウス等のポインティングデバイスを含む表示・入力装置２４とを有する。尚、構成管理装置３、接続管理装置４、データ管理装置５は、上述した通信ＩＦ２２と、制御装置１６とを有し、必要に応じて表示・入力装置２４と接続できるように構成されている。このように、構成管理装置３等には、例えば、後述する構成管理プログラム３０などがインストールされている。
【００４０】
次に、本発明の実施形態に係る基板処理システム２において、互いに通信を行うハードウェアを説明する。
図８は、基板処理システム２において互いに通信を行うハードウェア及び接続数を説明する図である。図中に示される数字は、接続されうるハードウェアの上限値を示す。ここで、ｎ１〜ｎ６は、１以上の整数であり、予め決められた値である。
図８に示すように、構成管理装置３は、上限値をｎ１とする複数の接続管理装置４との間で通信を行う。接続管理装置４は、上限値をｎ２とする複数のデータ管理装置５、上限値をｎ３とする複数の基板処理装置１０、及び上限値をｎ４とする複数の端末装置６との間で通信を行う。基板処理装置１０及びデータ管理装置５は、複数の接続管理装置４のうち予め決められた１台の接続管理装置４との間で通信を行う。また、複数の端末装置６は、１台の構成管理装置３及び上限値をｎ５とする複数の接続管理装置４との間で通信を行う。
【００４１】
図９は、各ハードウェアと、該各ハードウェアとの間で通信を行うハードウェアとが接続される上限値（接続最大数）が記載されている上限値パラメータ表を例示する図である。
図９に例示するように、上限値パラメータ表には、それぞれのハードウェアが、他のハードウェアと接続しうる最大値が含まれている。上限値パラメータ表は、構成管理装置３に記憶されており、構成管理装置３に接続されている表示・入力装置２４を介して編集される。つまり、上限値パラメータ表に含まれている最大値は、ユーザにより変更可能な値である。なお、上限値パラメータ表は、端末装置６の表示・入力装置２４を介して入力されたデータがネットワーク１２を介して構成管理装置３に送信されることにより変更されてもよい。また、上限値パラメータ表は、構成情報に含まれていてもよい。
【００４２】
例えば、基板処理システム２において、構成管理装置３は、最大８台の接続管理装置４と接続されて通信を行う。接続管理装置４のそれぞれは、１台の構成管理装置３、最大８台のデータ管理装置５、最大３２台の基板処理装置１０と接続されて通信を行う。また、データ管理装置５のそれぞれは、１台の接続管理装置４と接続されて通信を行う。
【００４３】
それぞれのハードウェアの接続関係は、構成管理装置３に記憶されている構成情報により管理されている。
図１０は、構成管理装置３に記憶されている構成情報を例示する図である。
図１０に例示するように、構成情報は、ＸＭＬ（Extensible Markup Language）形式で記載されている。構成情報において、図中の矢印Ａで示される領域には、構成管理装置３の設定（種別、名称、アドレス（位置情報））が記載され、図中の矢印Ｂで示される領域には、接続管理装置４の設定（種別、名称、アドレス（位置情報））が記載され、図中の矢印Ｃで示される領域には、データ管理装置５の設定（種別、名称、アドレス（位置情報））が記載されている。また、図中の矢印Ｄで示される領域には、基板処理装置１０と群管理システム７との接続構成の設定（種別（ｔｙｐｅ）、名称、アドレス（位置情報））が記載されている。
【００４４】
本例では、「ｎｏｄｅｓ」タグは、構成管理装置３、接続管理装置４及びデータ管理装置５の設定情報が記載されていることを示す。「ｎｏｄｅ」タグは、それぞれのハードウェアの設定情報を示し、当該タグの「ｎｏｄｅ＿ｔｙｐｅ」は、当該ハードウェアの種別を示す。例えば、「ＧＤＢ」は、当該ハードウェアが構成管理装置３であることを示し、「ＥＤＳ」は、当該ハードウェアが接続管理装置４であることを示し、「ＥＤＢ」は、当該ハードウェアがデータ管理装置５であることを示す。また、当該タグの「ｎｏｄｅ＿ｉｄ」は、当該種別においてハードウェアを一意に識別するための識別子である。また、「ｎｏｄｅ＿ｎａｍｅ」タグは、当該ハードウェアの名称を示す。「ｉｐ＿ａｄｄｒ」タグは、当該ハードウェアに設定されているｉｐアドレスを示す。
【００４５】
したがって、矢印Ａで示される領域には、当該ハードウェアの種別が構成管理装置３（ＧＤＢ）であり、当該ハードウェアの名称が「ＧＤＢ」であり、当該ハードウェアに設定されているｉｐアドレスが１９２．１６８．１１．１であることが記載されている。また、矢印Ｂで示される領域には、当該ハードウェアの種別が接続管理装置４（ＥＤＳ）であり、接続管理装置４における識別子が「１」であり、当該ハードウェアの名称が「ＥＤＳ＃２」であり、当該ハードウェアに設定されているｉｐアドレスが１９２．１６８．１１．２であることが記載されている。また、矢印Ｃで示される領域には、当該ハードウェアの種別がデータ管理装置５（ＥＤＢ）であり、データ管理装置５における識別子が「１」であり、当該ハードウェアの名称が「ＥＤＢ＃２」であり、当該ハードウェアに設定されているｉｐアドレスが１９２．１６８．１１．１０であることが記載されている。
【００４６】
さらに、本例では、「ｅｑ」タグは、基板処理装置１０の設定情報を示し、当該タグの「ｅｑ＿ｔｙｐｅ」は、当該基板処理装置１０の種別を示す。「ｅｑ＿ｎａｍｅ」タグは、当該基板処理装置１０の名称を示す。また、「ｅｄｓ＿ｎａｍｅ」タグは、当該基板処理装置１０が接続されて通信を行う接続管理装置４の名称を示し、「ｅｄｂ＿ｎａｍｅ」タグは、「ｅｄｓ＿ｎａｍｅ」により示された接続管理装置４に接続され、当該基板処理装置１０に関する情報を蓄積するデータ管理装置５の名称を示す。ここで、「ｅｄｓ＿ｎａｍｅ」タグ及び「ｅｄｂ＿ｎａｍｅ」タグに示される名称は、上述した「ｎｏｄｅ＿ｎａｍｅ」タグで示される名称である。また、「ｅｑ＿ａｄｄｒ」タグは、当該基板処理装置１０に設定されているｉｐアドレスを示す。
【００４７】
したがって、本例では、基板処理装置１０の種別が「ｓｙｓｔｅｍ１」であり、当該ハードウェアの名称が「装置１」であり、当該基板処理装置１０は名称を「ＥＤＳ＃２」とする接続管理装置４に接続されて当該接続管理装置４との間で通信を行い、名称を「ＥＤＢ＃１」とするデータ管理装置５は当該接続管理装置４に接続され、当該基板処理装置１０に関する情報は当該データ管理装置５に蓄積されることが記載されている。
【００４８】
なお、タグの名称、設定内容等は、本例に限定されない。また、構成情報の記述形式は、ハードウェアの接続構成をデータとして記述できる形式であればよく、ＸＭＬ形式に限定されない。また、ＥＤＳ、ＥＤＢは複数でもよい。このような構成情報は、図示しないテキスト編集ソフトウェアにより編集される。テキスト編集ソフトウェアは、例えば、構成管理装置３上で動作し、構成管理装置３に記憶されている構成情報を読み込んで画面に表示し、編集内容を受け付ける。
【００４９】
図１１は、このような構成情報に基づいて構成される接続関係を模式的に例示する図ある。
図１１に例示するように、構成管理装置３は、接続管理装置４−１〜４−ｎと接続されて通信を行う。例えば、接続管理装置４−１は、構成管理装置３、２台の基板処理装置１０及び当該２台の基板処理装置１０に関する情報を蓄積する２台のデータ管理装置５と接続されて通信を行う。また、例えば、接続管理装置４−２は、構成管理装置３、１台の基板処理装置１０及び１台のデータ管理装置５と接続されて通信を行う。
【００５０】
端末装置６は、構成管理装置３及び接続管理装置４−１〜４−ｎと接続されて通信を行う。したがって、端末装置６は、接続管理装置４−１〜４−ｎに接続されている基板処理装置１０に関する情報を、接続管理装置４−１〜４−ｎに接続されているデータ管理装置５から取得し、当該情報を画面に表示する。したがって、ユーザは、端末装置６を介して基板処理装置１０に関する情報を閲覧する。なお、端末装置６は、構成情報に含まれる基板処理装置１０に関する情報を取得し、表示してもよい。
【００５１】
本発明の実施形態に係る基板処理システム２では、基板処理装置１０に関する情報であってユーザが閲覧可能な情報は、ユーザ毎に設定される。
図１２に示すように、本例では、ユーザは、端末装置６を介して、接続管理装置４−１に接続されている基板処理装置１０に関する情報及び接続管理装置４−ｎに接続されている基板処理装置１０に関する情報を閲覧することができる。このような閲覧権限は、構成管理装置３に記憶されている。ユーザが例えば端末装置６にログインした際に、端末装置６は、構成管理装置３に記憶されている閲覧権限を確認する。
【００５２】
図１２は、基板処理装置１０に関する情報の閲覧権限をユーザ毎に設定する基板処理装置選択画面７０を示す図である。
図１２に示すように、基板処理装置選択画面７０には、装置一覧表示領域７２、閲覧可能装置表示領域７４、追加ボタン７６及び削除ボタン７８が含まれる。装置一覧表示領域７２には、基板処理システム２に含まれている例えば２５６台の基板処理装置１０の一覧が表示される。本例では、基板処理装置１０のそれぞれについて、当該基板処理装置１０の識別番号、当該基板処理装置１０の名称、及び当該基板処理装置１０が接続されている接続管理装置４の名称（サーバ名称）が表示されている。
【００５３】
閲覧可能装置表示領域７４には、基板処理システム２に含まれている基板処理装置１０であって、対象となるユーザが閲覧可能であるもののの識別番号、当該基板処理装置１０の名称、及び当該基板処理装置１０が接続されている接続管理装置４の名称が表示されている。
【００５４】
追加ボタン７６は、装置一覧表示領域７２において選択された基板処理装置１０を、閲覧可能装置表示領域７４に追加するためのボタンである。基板処理装置１０が閲覧可能装置表示領域７４に追加されると、ユーザは、当該基板処理装置１０に関する情報を閲覧可能となる。削除ボタン７８は、閲覧可能装置表示領域７４において選択された基板処理装置１０を、閲覧可能装置表示領域７４から削除するためのボタンである。基板処理装置１０が閲覧可能装置表示領域７４から削除されると、ユーザは、当該基板処理装置１０に関する情報を閲覧することができなくなる。
【００５５】
基板処理装置選択画面７０は、構成管理装置３の表示・入力装置２４に表示され、設定された内容は、構成管理装置３に記憶される。なお、基板処理装置選択画面７０は、端末装置６の表示・入力装置２４に表示され、端末装置６の表示・入力装置２４を介して入力されたデータがネットワーク１２を介して構成管理装置３に送信されることにより、閲覧権限が設定されてもよい。
【００５６】
例えば、ユーザＡが、第１番目から第１２８番目の基板処理装置１０に関する情報を閲覧することができ、ユーザＢが、第１２９番目から第２５６番目の基板処理装置１０に関する情報を閲覧することができるように設定された場合、ユーザＡが端末装置６にログインすると、２５６台の基板処理装置１０のうち、権限が付与された１２８台の基板処理装置１０の一覧が画面に表示される。尚、詳述しないが、ユーザＡ、ユーザＢの両者が同一の基板処理装置１０の情報を閲覧できるのはいうまでもない。
【００５７】
次に、図１３乃至図１６に基づいて、本発明の実施形態に係る基板処理システム２に含まれるハードウェア上で動作するプログラムを説明する。
図１３は、構成管理装置３により実行される構成管理プログラム３０の機能構成を説明する図である。
図１３に示すように、構成管理プログラム３０は、通信部３００、構成情報記憶部３０２、システム情報記憶部３０４、権限記憶部３０６、構成情報更新部３０８、構成情報管理部３１０、システム情報管理部３１２、権限設定部３１４及び権限管理部３１６を有する。構成管理プログラム３０は、例えば、ＦＤ、ＣＤ又はＤＶＤなどの記録媒体２８（図７）を介して記憶装置２６に格納されて構成管理装置３に供給され、メモリ２０にロードされて、制御装置１６上で動作する図示しないＯＳ上で実行される。なお、構成管理プログラム３０は、ネットワーク１２に接続された外部のコンピュータから通信ＩＦ２２を介して制御装置１６に供給されてもよい。また、以降のプログラムも、同様にしてそれぞれのハードウェアに供給されて実行される。
【００５８】
構成管理プログラム３０において、通信部３００は、各ハードウェアとの間の通信に必要とされる通信処理を行う。具体的には、通信部３００は、構成管理プログラム３０の各構成要素により生成されたデータを通信処理に適した形式に変更し、通信ＩＦ２２を介してネットワーク１２に対して出力する。また、通信部３００は、ネットワーク１２から受け付けた所定の形式のデータを他の構成要素に対して出力する。
【００５９】
構成情報記憶部３０２は、構成管理装置３が含まれている基板処理システム２の構成情報（図１０）及び上限値パラメータ表（図９）を記憶する。構成情報記憶部３０２は、メモリ２０及び記憶装置２６の少なくともいずれかにより実現される。
【００６０】
システム情報記憶部３０４は、基板処理システム２において共有される例えば障害情報等の共有情報を記憶する。権限記憶部３０６は、基板処理装置選択画面７０（図１２）を介してユーザ毎に設定された閲覧権限を記憶する。システム情報記憶部３０４及び権限記憶部３０６は、構成情報記憶部３０２と同様にして実現される。
【００６１】
構成情報更新部３０８は、構成管理装置３又は端末装置６の表示・入力装置２４を介してなされた、構成情報に対する追加、削除等の変更操作を受け付けて、この変更内容に基づいて、構成情報記憶部３０２に記憶されている構成情報を更新する。また、構成情報更新部３０８は、同様にして、上限値パラメータ表に対する変更操作を受け付けて、この変更内容に基づいて、構成情報記憶部３０２に記憶されている上限値パラメータ表を更新する。
【００６２】
構成情報管理部３１０は、端末装置６、接続管理装置４など他のハードウェアからの構成情報の参照要求を受け付け、構成情報記憶部３０２に記憶されている構成情報を要求元のハードウェアに対して送信する。
【００６３】
システム情報管理部３１２は、基板処理装置１０から接続管理装置４に対して送信される共有情報を、接続管理装置４から受け付けて、システム情報記憶部３０４に格納する。
【００６４】
権限設定部３１４は、権限記憶部３０６に記憶されている閲覧権限を参照し、基板処理装置選択画面７０を表示・入力装置２４に表示し、当該画面を介して入力される設定内容を受け付け、当該設定内容に基づいて、権限記憶部３０６に記憶されている閲覧権限を更新する。
権限管理部３１６は、端末装置６からの閲覧権限の参照要求を受け付け、権限記憶部３０６に記憶されている閲覧権限を要求元の端末装置６に対して送信する。
【００６５】
図１４は、接続管理装置４により実行される接続管理プログラム４０の機能構成を説明する図である。
図１４に示すように、接続管理プログラム４０は、通信部３００、構成情報記憶部３０２、構成情報取得部４００、接続確立部４０２、装置情報記憶部４０４及び装置情報管理部４０６を有する。なお、図１４に示された各構成のうち、図１３に示された構成と実質的に同一のものには同一の符号が付されている。
【００６６】
接続管理プログラム４０において、構成情報取得部４００は、接続管理装置４が起動した後に、構成管理装置３に対して構成情報を要求し、構成管理装置３から送信された構成情報を受け付けて構成情報記憶部３０２に格納する。
接続確立部４０２は、構成情報取得部４００により構成情報が取得されると、構成情報記憶部３０２に記憶されている構成情報に基づいて、基板処理装置１０及びデータ管理装置５との間で接続を確立する。より具体的には、接続確立部４０２は、構成情報に記載されている各ハードウェアの名称に基づいて接続構成を認識し、当該名称のハードウェアとの間で接続を確立する。
【００６７】
装置情報記憶部４０４は、当該接続管理装置４と接続されている基板処理装置１０により送信される当該基板処理装置１０に関する情報を記憶する。この情報には、温度情報、圧力情報、ガス流量情報等を含む装置自体の運転状態に関するものが含まれている。装置情報記憶部４０４は、メモリ２０及び記憶装置２６の少なくともいずれかにより実現される。
【００６８】
装置情報管理部４０６は、当該接続管理装置４と接続されている基板処理装置１０により送信される当該基板処理装置１０に関する情報を受け付けて、装置情報記憶部４０４に格納する。装置情報管理部４０６は、このような情報のうち、障害情報など発生頻度が少ない情報を構成管理装置３に対して送信する。さらに、装置情報管理部４０６は、温度情報、圧力情報等、発生頻度が高い情報を、当該接続管理装置４と接続されているデータ管理装置５に対して送信する。また、このような情報は、装置情報記憶部４０４に格納されることなく、構成管理装置３、データ管理装置５のそれぞれに送信されてもよい。また、構成管理装置３に対してのみ情報が装置情報管理部４０６から直接送信される形態など、種々の形態で実施される。
【００６９】
図１５は、データ管理装置５により実行されるデータ管理プログラム５０の機能構成を説明する図である。
図１５に示すように、データ管理プログラム５０は、通信部３００、構成情報記憶部３０２、構成情報取得部４００、接続確立部４０２、データ情報記憶部５００及びデータ情報管理部５０２を有する。なお、図１５に示された各構成のうち、図１３及び図１４に示された構成と実質的に同一のものには同一の符号が付されている。
【００７０】
データ管理プログラム５０において、データ情報記憶部５００は、当該データ管理装置５が接続されている接続管理装置４と接続されている基板処理装置１０に関する情報を記憶する。当該情報には、例えば、温度情報、圧力情報等が含まれている。データ情報記憶部５００は、メモリ２０及び記憶装置２６の少なくともいずれかにより実現される。
【００７１】
データ情報管理部５０２は、基板処理装置１０から接続管理装置４に対して送信される情報を、接続管理装置４から受け付けて、データ情報記憶部５００に格納する。
【００７２】
図１６は、端末装置６により実行される端末プログラム６０の機能構成を説明する図である。
図１６に示すように、端末プログラム６０は、通信部３００、構成情報記憶部３０２、構成情報取得部４００、接続確立部４０２、ユーザインタフェース（ＵＩ）部６００及び権限取得部６０２を有する。なお、図１６に示された各構成のうち、図１３及び図１４に示された構成と実質的に同一のものには同一の符号が付されている。
【００７３】
端末プログラム６０において、ＵＩ部６００は、基板処理装置選択画面７０、構成情報及び上限値パラメータを更新するための画面（不図示）、基板処理装置１０に関する情報を表示する画面（不図示）などを表示・入力装置２４に表示する。また、ＵＩ部６００は、表示・入力装置２４を介して入力された内容を、通信部３００を介して他のハードウェアに対して送信する。
【００７４】
権限取得部６０２は、ユーザが端末装置６にログインした際に、構成管理装置３に対して当該ユーザの権限を要求し、構成管理装置３から送信された権限を受け付けて接続確立部４０２に対して出力する。接続確立部４０２は、当該ユーザが接続可能である範囲内で接続を確立する。
【００７５】
次に、本発明の実施形態に係る基板処理システム２の動作を説明する。
図１７は、接続管理装置４の起動時の動作（Ｓ１０）を示すシーケンス図である。
図１７に示すように、接続管理装置４が起動されると、接続管理プログラム４０が接続管理装置４上で動作し、ステップ１００（Ｓ１００）において、接続管理プログラム４０の構成情報取得部４００が、構成管理装置３に対して構成情報の送信を要求する。構成管理装置３では、構成管理プログラム３０の構成情報管理部３１０が、この要求を受け付けると、記憶されている構成情報を接続管理装置４に対して送信する。接続管理装置４では、接続管理プログラム４０の構成情報取得部４００が、送信された構成情報を受け付け、構成情報記憶部３０２に格納する。
【００７６】
ステップ１０２（Ｓ１０２）において、接続確立部４０２は、記憶されている構成情報を参照し、当該構成情報に基づいて、接続を確立すべき１台以上の基板処理装置１０を認識し、当該基板処理装置１０との間で接続を確立する。
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、接続確立部４０２は、当該構成情報に基づいて、接続を確立すべき１台以上のデータ管理装置５を認識し、当該データ管理装置５との間で接続を確立する。
なお、データ管理装置５もまた同様にして、起動時に接続を確立する動作を行う。
【００７７】
図１８は、端末装置６を用いた基板処理装置１０に関する情報の閲覧時の動作（Ｓ２０）を示すシーケンス図である。
図１８に示すように、ユーザが、端末装置６にログインすると、ステップ２００（Ｓ２００）において、端末プログラム６０の構成情報取得部４００が、構成管理装置３に対して構成情報の送信を要求し、構成情報を取得する。また、権限取得部６０２が、構成管理装置３に対して当該ユーザの権限の送信を要求し、権限を取得する。
【００７８】
ステップ２０２（Ｓ２０２）において、接続確立部４０２は、記憶されている構成情報及び権限取得部６０２により取得された権限に基づいて、接続を確立すべき１台以上の接続管理装置４を認識し、当該接続管理装置４との間で接続を確立する。
ステップ２０４（Ｓ２０４）において、接続確立部４０２は、当該構成情報及び権限に基づいて、接続を確立すべき１台以上のデータ管理装置５を認識し、接続管理装置４を介して当該データ管理装置５との間で接続を確立する。
【００７９】
このようにして基板処理システム２において接続が確立されると、基板処理装置１０により実行される基板処理の情報を受信又は蓄積することができるようになる。
次に、基板処理装置１０による基板処理を詳細に説明する。
図４及び図５に示されているように、ポッド１１０がロードポット１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。
【００８０】
搬入されたポッド１１０は回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
【００８１】
載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。
【００８２】
ポッド１１０がポッドオープナ１２１によって開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、移載室１２４の後方にある待機部１２６へ搬入され、ボート２１７に装填（チャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハ２００をボート２１７に装填する。
【００８３】
この一方（上段又は下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段又は上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。
【００８４】
予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって、開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７はシールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより、処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されて行く。
【００８５】
ローディング後、処理炉２０２にて、所定のレシピに基づいて、処理がウエハ２００に対して実施される。処理後は、図示しないノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００及びポッド１１０は筐体の外部へ払出される。
【００８６】
基板処理装置１０は、このような基板処理の間、温度情報、圧力情報など基板処理装置１０の状態に関するデータを接続管理装置４に対して送信する。さらに、基板処理装置１０は、イベント情報、障害情報及びロギング情報を接続管理装置４に対して送信する。
【００８７】
次に、編集された構成情報を基板処理システム２に反映する方法を説明する。
図１９は、基板処理システム２のシステム構成を管理するシステム管理画面８０を例示する図である。
図１９に例示するように、システム管理画面８０には、通知ボタン８２、インポートボタン８４、リストアボタン８６、ノードボタン８８、ユーザ編集ボタン９０、グループ編集ボタン９２、権限編集ボタン９４及び終了ボタン９６が含まれる。システム管理画面８０は、構成管理装置３に接続されている表示・入力装置２４に表示され、構成管理装置３は、システム管理画面８０を介して例えばマウス及びキーボード等により入力される操作を受け付ける。
【００８８】
システム管理画面８０において、インポートボタン８４は、構成管理装置３において構成情報を通知可能状態に置くためのボタンである。インポートボタン８４が押下されると、構成情報は、編集された内容に更新され、構成管理装置３の記憶装置２６に格納される。通知ボタン８２は、構成情報に基づいて接続構成を変更するためのボタンである。通知ボタン８２が押下されると、構成情報変更通知は、接続管理装置４など他のハードウェアに対して送信される。インポートボタン８４及び通知ボタン８２以外のボタンについては、本発明には直接関係がないので説明を省略する。
【００８９】
なお、システム管理画面８０は、端末装置６の表示・入力装置２４に表示され、端末装置６の表示・入力装置２４を介して入力された設定内容がネットワーク１２を介して構成管理装置３に送信されることにより、構成情報が更新されてもよい。この場合、テキスト編集ソフトウェアもまた、端末装置６上で動作する。
【００９０】
図２０は、接続管理装置４において障害が発生した際の切り換え動作を説明する図である。
図２０（Ａ）に示すように、障害が接続管理装置４−１に発生した場合、作業者は、表示・入力装置２４において、構成管理装置３に記憶されている構成情報を編集し、システム管理画面８０を介して当該編集された構成情報を基板処理システム２に反映させる。したがって、端末装置６等は、変更された構成情報の反映及び接続管理装置４への通知を指示する。
【００９１】
システム管理画面８０において通知ボタン８２が押下されると、図２０（Ｂ）に示すように、構成情報変更通知が、構成管理装置３から接続管理装置４−２に対して送信される。接続管理装置４−２は、構成情報変更通知を受け付けると、構成情報を構成管理装置３から取得し、この構成情報に基づいて基板処理装置１０及びデータ管理装置５との間で接続を確立する。したがって、接続管理装置４−１に接続されていた基板処理装置１０及びデータ管理装置５は、接続管理装置４−２との間で接続を確立し、接続管理装置４−２と通信を行う。
【００９２】
図２１は、構成情報が更新された場合のおける切り換え動作（Ｓ３０）を示すシーケンス図である。
図２１に示すように、ステップ３００（Ｓ３００）において、ユーザは、例えば端末装置６の表示・入力装置２４を用いて、テキスト編集ソフト上で、構成管理装置３に記憶されている構成情報を編集する。ユーザが、システム管理画面８０のインポートボタン８４を押下すると、構成管理装置３上で動作する構成管理プログラム３０の構成情報更新部３０８が、変更内容を構成情報記憶部３０２に反映させる。
【００９３】
ステップ３０２（Ｓ３０２）において、ユーザが、システム管理画面８０の通知ボタン８２を押下すると、構成管理プログラム３０の構成情報管理部３１０は、端末装置６から構成情報変更通知を受け付ける。
ステップ３０４（Ｓ３０４）において、構成情報管理部３１０は、接続管理装置４に対して構成情報が変更された旨の通知を送信する。
【００９４】
ステップ３０６（Ｓ３０６）において、接続管理装置４上で動作する接続管理プログラム４０の構成情報取得部４００は、構成管理装置３に対して構成情報の送信を要求する。構成管理装置３では、構成管理プログラム３０の構成情報管理部３１０が、この要求を受け付けると、記憶されている構成情報を接続管理装置４に対して送信する。接続管理装置４では、接続管理プログラム４０の構成情報取得部４００が、送信された構成情報を受け付け、構成情報記憶部３０２に格納する。
【００９５】
ステップ３０８（Ｓ３０８）において、接続確立部４０２は、記憶されている構成情報を参照し、当該構成情報に基づいて、接続を確立すべき１台以上のデータ管理装置５を認識し、当該データ管理装置５との間で接続を確立し、初期化処理を実行する。
ステップ３１０（Ｓ３１０）において、接続確立部４０２は、データ管理装置５から初期化完了通知を受け付ける。
【００９６】
ステップ３１２（Ｓ３１２）において、接続確立部４０２は、記憶されている構成情報を参照し、当該構成情報に基づいて、接続を確立すべき１台以上の基板処理装置１０を認識し、当該基板処理装置１０との間で接続を確立する。
このようにして基板処理システム２において接続が確立されると、基板処理が基板処理装置１０により実行される。
【００９７】
以上説明したように、本発明に係る基板処理システム２は、基板を処理する複数の基板処理装置１０と、前記基板処理装置１０に接続された群管理システム７とを有し、前記群管理システム７は、構成情報を記憶する構成情報記憶装置（構成管理装置３）と、前記構成情報記憶装置に記憶されている構成情報に基づいて前記複数の基板処理装置の少なくともいずれかとの間で通信を行う複数の通信装置（接続管理装置４）と、前記構成情報記憶装置に記憶されている構成情報に基づいて前記複数の通信装置のいずれかと接続され、この通信装置との間で通信を行う基板処理装置に関する情報を格納する装置情報格納装置（データ管理装置５）とを有する。このため、本発明によれば、接続される基板処理装置の数が増大した場合においても、群管理装置を増やすことなく、多数の基板処理装置との接続を行うことができる。また、基板処理装置が追加された場合においても、群管理装置を増やす必要がないので、低コスト化を実現することができる。
【００９８】
好適には、前記構成情報には、前記基板処理装置、前記構成情報記憶装置、前記通信装置及び前記装置情報格納装置の間の接続関係が含まれる。本発明によれば、接続される装置の変更、拡張等を容易に行うことができ、メンテナンスに要する時間を短縮することができる。これにより、基板処理システムの稼働率を向上することができる。
【００９９】
前記構成情報には、前記構成管理装置３、前記接続管理装置４及び前記データ管理装置５のそれぞれが互いに接続できる接続最大数が含まれ、この接続最大数を設定する設定手段をさらに有する。このため、接続最大数を変更することにより、基板処理システム２におけるハードウェアの増強が可能となるので、より簡易に、構成変更を行うことができる。特に、将来的にハードウェアの性能が向上した場合、このパラメータを変更するだけで、システム全体の仕様的な向上を図ることができる。また、構成変更が、より低コストで実現されることができる。 
【０１００】
構成情報は、構成管理装置３において集中管理されているので、それぞれのハードウェアは、起動時に、構成管理装置３から構成情報を取得することにより接続構成を認識することができる。このため、それぞれのハードウェアにおいて、起動シーケンスが固定化されることができる。
【０１０１】
また、構成情報では、各ハードウェアには固有の名称が付与されており、接続形態は、この名称により定義されている。このため、構成変更に対して、ハードウェアの名称を変更するだけで対応することが可能となった。これにより、構成変更、ハードウェアの交換作業等では、作業に要する時間を軽減できるようになった。
【０１０２】
前記構成管理装置３は、前記複数の基板処理装置１０に関する情報であって前記データ管理装置５に格納される情報とは異なるものを格納する。特に、構成管理装置３は、発生頻度の少ない情報を格納し、データ管理装置５は、発生頻度の高い情報を格納する。このため、基板処理システム２全体における負荷が増大した場合においても、システム全体の構成を見直す必要がなく、データ管理装置５を増設するだけで、基板処理システム２全体の性能を向上することができる。
【０１０３】
例えば、基板処理装置１０が、当該基板処理装置１０に関する情報をより多く発生するようになり、当該基板処理装置１０に関する情報を格納するデータ管理装置５の負荷が増大した場合、当該基板処理装置１０に関する情報を格納するデータ管理装置５の台数を増加させることにより、容易にシステムを拡張し、データ管理装置５に対する負荷を軽減することができる。
【０１０４】
また、好適には、前記構成情報に含まれる前記基板処理装置に関する情報を表示する表示手段をさらに有する。本発明に係る基板処理システム２においては、端末装置６を用いて基板処理装置１０に関する情報の閲覧を可能とする権限が、ユーザ毎に設定され、構成管理装置３に記憶されている。このため、端末装置６から接続可能である基板処理装置１０の数に上限値（例えば、１２８台）が設けられている場合においても、複数のユーザを用いることにより、上限値を超える台数の基板処理装置１０に関する情報を閲覧することができる。好適には、変更された前記構成情報の反映及び前記通信装置への通知を指示する指示手段をさらに有する。
【０１０５】
なお、本発明に係る基板処理装置１０は、半導体製造装置だけではなく、ＬＣＤ装置などのガラス基板を処理する装置にも適用されうる。また、本発明に係る基板処理装置１０は、炉内の処理を限定せず、ＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化散を形成する処理、及び金属を含む膜を形成する処理を含む成膜処理を行うことができる。また、本発明に係る基板処理装置１０は、縦型装置だけでなく、枚葉装置にも適用されうる。
【図面の簡単な説明】
【０１０６】
【図１】システムＡとシステムＢとを含む基板処理装置１の構成を示す図である。
【図２】異なるサブシステムの間における基板処理装置１０の移行を説明する図である。
【図３】本発明の実施形態に係る基板処理システム２の構成を示す図である。
【図４】本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の斜視図を示す。
【図５】本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の側面透視図を示す。
【図６】ＰＭＣ１４を中心とした基板処理装置１０の機能構成を示す。
【図７】端末装置６のハードウェア構成を示す図である。
【図８】基板処理システム２において互いに通信を行うハードウェア及び接続数を説明する図である。
【図９】各ハードウェアと、該各ハードウェアとの間で通信を行うハードウェアとが接続される上限値が記載されている上限値パラメータ表を例示する図である。
【図１０】構成管理装置３に記憶されている構成情報を例示する図である。
【図１１】構成情報に基づいて構成される接続関係を模式的に例示する図ある。
【図１２】基板処理装置１０に関する情報の閲覧権限をユーザ毎に設定する基板処理装置選択画面７０を示す図である。
【図１３】構成管理装置３により実行される構成管理プログラム３０の機能構成を説明する図である。
【図１４】接続管理装置４により実行される接続管理プログラム４０の機能構成を説明する図である
【図１５】データ管理装置５により実行されるデータ管理プログラム５０の機能構成を説明する図である。
【図１６】端末装置６により実行される端末プログラム６０の機能構成を説明する図である。
【図１７】接続管理装置４の起動時の動作（Ｓ１０）を示すシーケンス図である。
【図１８】端末装置６を用いた基板処理装置１０に関する情報の閲覧時の動作（Ｓ２０）を示すシーケンス図である。
【図１９】基板処理システム２のシステム構成を管理するシステム管理画面８０を例示する図である。
【図２０】接続管理装置４において障害が発生した際の切り換え動作を説明する図である。
【図２１】構成情報が更新された場合のおける切り換え動作（Ｓ３０）を示すシーケンス図である。
【符号の説明】
【０１０７】
２ 基板処理システム
３ 構成管理装置
４ 接続管理装置
５ データ管理装置
６ 端末装置
７ 群管理システム
１０ 基板処理装置
１２ ネットワーク
３０ 構成管理プログラム
４０ 接続管理プログラム
５０ データ管理プログラム
６０ 端末プログラム
３００ 通信部
３０２ 構成情報記憶部
３０４ システム情報記憶部
３０６ 権限記憶部
３０８ 構成情報更新部
３１０ 構成情報管理部
３１２ システム情報管理部
３１４ 権限設定部
３１６ 権限管理部
４００ 構成情報取得部
４０２ 接続確立部
４０４ 装置情報記憶部
４０６ 装置情報管理部
５００ データ情報記憶部
５０２ データ情報管理部
６００ ＵＩ部
６０２ 権限取得部
【図１】
0005461778.tif 000002
【図２】
0005461778.tif 000003
【図３】
0005461778.tif 000004
【図４】
0005461778.tif 000005
【図５】
0005461778.tif 000006
【図６】
0005461778.tif 000007
【図７】
0005461778.tif 000008
【図８】
0005461778.tif 000009
【図９】
0005461778.tif 000010
【図１０】
0005461778.tif 000011
【図１１】
0005461778.tif 000012
【図１２】
0005461778.tif 000013
【図１３】
0005461778.tif 000014
【図１４】
0005461778.tif 000015
【図１５】
0005461778.tif 000016
【図１６】
0005461778.tif 000017
【図１７】
0005461778.tif 000018
【図１８】
0005461778.tif 000019
【図１９】
0005461778.tif 000020
【図２０】
0005461778.tif 000021
【図２１】
0005461778.tif 000022