(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が供給される加圧室が形成されており、前記加圧室に臨む貫通孔が形成されている貫通孔形成部と、前記加圧室に臨む振動部とを有する霧化器本体と、
前記振動部を振動させる圧電振動子とを備える霧化器であって、
前記圧電振動子は、一方の端部が前記振動部の外縁部に接合されている筒状の圧電体と、前記圧電体に電圧を印加する第１の電極及び第２の電極とを有する、霧化器。
【請求項２】
前記貫通孔と前記振動部とは、前記加圧室を介して対向している、請求項１に記載の霧化器。
【請求項３】
前記振動部は、前記貫通孔形成部とは反対側に突出する板状に形成されている、請求項２に記載の霧化器。
【請求項４】
前記振動部は、焦点を有する曲面状に形成されており、前記貫通孔形成部は、前記振動部の任意の点から前記振動部の焦点を通って前記貫通孔形成部に至るまでの距離が、前記振動部の任意の点から前記振動部の焦点までの距離の２倍以内となるように配置されている、請求項３に記載の霧化器。
【請求項５】
前記振動部は、前記貫通孔形成部側に突出する板状に形成されており、前記貫通孔形成部と、前記振動部の前記貫通孔形成部と対向している部分との間の距離は、前記貫通孔形成部と前記振動部との間に前記加圧室内の液体が毛細管現象により給液される距離とされている、請求項２に記載の霧化器。
【請求項６】
前記圧電体は、回転対称軸を有する、請求項１〜５のいずれか一項に記載の霧化器。
【請求項７】
前記圧電体は、円筒状である、請求項６に記載の霧化器。
【請求項８】
前記振動部と前記圧電体とは一体に形成されている、請求項１〜７のいずれか一項に記載の霧化器。
【請求項９】
前記圧電振動子は、円筒呼吸振動する、請求項１〜８のいずれか一項に記載の霧化器。
【請求項１０】
前記加圧室には、前記液体が満たされる、請求項１〜９のいずれか一項に記載の霧化器。
【請求項１１】
前記加圧室に配置されており、前記加圧室内の液体を前記貫通孔形成部に供給する液体供給部材をさらに備える、請求項１〜９のいずれか一項に記載の霧化器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、霧化器に関する。特には、本発明は、圧電振動子を備えるインクジェット式の霧化器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、芳香剤や消臭剤などの種々の液体を霧化するための霧化器が種々提案されている。霧化器には、主として、キャビテーション噴霧を行うキャビテーション式霧化器と、インクジェット噴霧を行うインクジェット式霧化器とがある。【０００３】
キャビテーション式霧化器は、超音波振動子を備えている。キャビテーション式霧化器では、この超音波振動子により発生する超音波によりもたらされる大きな圧力変動により、液体の表面から霧が発生する。このため、発生する霧の直径は、超音波振動子により発生する超音波と相関する。具体的には、霧の直径は、超音波の周波数が高くなるほど小さくなる。従って、５μｍ程度の小さな直径の所謂ドライフォッグを発生させるためには、超音波振動子を高周波で振動させる必要があり、超音波振動子の駆動に大きな電力が必要となる。よって、省電力駆動が求められる用途には適していない。【０００４】
一方、インクジェット式霧化器では、ノズルの直径によって霧の直径が決まり、振動の周波数は、霧の直径に大きく影響しない。このため、ノズルの直径を小さくすることにより、振動の周波数が低い場合であっても、直径が小さなドライフォッグを発生させることができる。従って、ドライフォッグを発生させるインクジェット式霧化器は、比較的小さな電力で駆動可能である。【０００５】
このため、例えば、下記の特許文献１，２などにおいて、種々のインクジェット式霧化器が提案されている。【０００６】
図１０は、特許文献１に記載の霧化器の略図的断面図である。図１０に示すように、霧化器１００は、加圧室１０１ａを有する基体１０１を備えている。基体１０１には、加圧室１０１ａに臨むノズル１０２ａが形成されているノズル部１０２と、同じく加圧室１０１ａに臨む振動子１０３とが取り付けられている。振動子１０３は、振動板１０３ａと、圧電素子１０３ｂとにより構成されている。【０００７】
霧化器１００では、圧電素子１０３ｂが屈曲振動することにより、圧電素子１０３ｂと共に振動板１０３ａも屈曲振動する。これにより、加圧室１０１ａ内の圧力が変動する。その結果、ノズル１０２ａから霧が放出される。【０００８】
図１１は、特許文献２に記載の霧化器の略図的断面図である。図１１に示すように、霧化器２００は、加圧室２０１に臨むノズル２０２ａを有するノズル板２０２を備えている。ノズル板２０２の加圧室２０１側の表面上には、たわみ振動（屈曲振動）する圧電素子２０３が取り付けられている。圧電素子２０３は、ノズル板２０２のノズル２０２ａが設けられている中央部を覆わないように、リング状に形成されている。【０００９】
霧化器２００では、圧電素子２０３が屈曲振動することにより、ノズル板２０２も屈曲振動する。これにより、加圧室２０１内の圧力が変動する。その結果、ノズル２０２ａから霧が放出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開昭５８−６２４１１号公報
【特許文献２】特開平６−６３４７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記霧化器１００，２００のように、圧電素子１０３ｂ、２０３により、振動板１０３ａやノズル板２０２を振動させる場合、振動板１０３ａやノズル板２０２の形状によっては、振動板１０３ａやノズル板２０２が好適に振動しない場合があった。例えば、振動板１０３ａやノズル板２０２の一部のみが振動し、他の部分が振動しない場合もあった。このため、振動板１０３ａやノズル板２０２の形状を、加圧室１０１ａ、２０１に対して好適な圧力変動を付与できる形状にできない場合があった。従って、上記霧化器１００，２００では、十分に霧化性能を実現することが困難であるという問題があった。【００１２】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、高い霧化性能を実現し得る霧化器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係る霧化器は、霧化器本体と、圧電振動子とを備えている。霧化器本体には、液体が供給される加圧室が形成されている。霧化器本体は、貫通孔形成部と振動部とを含む。貫通孔形成部には、加圧室に臨む貫通孔が形成されている。振動部は、加圧室に臨んでいる。圧電振動子は、振動部を振動させる。圧電振動子は、筒状の圧電体と、第１の電極と、第２の電極とを有する。圧電体の一方の端部は、振動部の外縁部に接合されている。第１及び第２の電極は、圧電体に電圧を印加する。【００１４】
本発明に係る霧化器のある特定の局面では、貫通孔と振動部とは、加圧室を介して対向している。この構成では、加圧室の貫通孔形成部付近の部分の圧力を効率的に変動させることができる。従って、より高い霧化性能を得ることができる。【００１５】
本発明に係る霧化器の他の特定の局面では、振動部は、貫通孔形成部とは反対側に突出する板状に形成されている。この構成では、加圧室の貫通孔形成部付近の部分の圧力をさらに効率的に変動させることができる。従って、さらに高い霧化性能を得ることができる。【００１６】
本発明に係る霧化器の別の特定の局面では、振動部は、焦点を有する曲面状に形成されており、貫通孔形成部は、振動部の任意の点から振動部の焦点を通って貫通孔形成部に至るまでの距離が、上記振動部の任意の点から振動部の焦点までの距離の２倍以内となるように配置されている。すなわち、振動部から発生した波面が、貫通孔形成部に到達する時には、少なくとの振動部から発生した波面より小さくなる位置に、貫通孔形成部が配置されている。例えば、振動部と焦点との間の領域に貫通孔形成部が配置されていてもよい。この構成では、加圧室の貫通孔付近の部分の圧力を特に効率的に変動させることができる。従って、特に高い霧化性能を得ることができる。なお、焦点を有する曲面とは、球面、楕円面、放物面などが挙げられる。このとき、曲面状の振動部は、貫通孔形成部よりも面積が大きいことが好ましい。この場合、振動部で振動を、貫通孔形成部の全体に集束させることができ、複数の貫通孔への振動伝搬が容易になるためである。
なお、本発明では、焦点とは幾何的な焦点でだけでなく、曲面状の振動部から発生した波面が媒質を伝搬する場合、波面が一旦集束して、その後に拡散するとき、波面が極小となる領域を指す概念とする。【００１７】
本発明に係る霧化器のさらに他の特定の局面では、振動部は、貫通孔形成部側に突出する板状に形成されており、貫通孔形成部と、振動部の貫通孔形成部と対向している部分との間の距離は、貫通孔形成部と振動部との間に加圧室内の液体が毛細管現象により給液される距離とされている。この構成によれば、霧化が行われる貫通孔形成部の全体に効率的に液体を供給することができる。【００１８】
本発明に係る霧化器のさらに別の特定の局面では、圧電体は、回転対称軸を有する。この構成によれば、振動部をより効率的に振動させることができる。【００１９】
本発明に係る霧化器のまた他の特定の局面では、圧電体は、円筒状である。この構成によれば、振動部をさらに効率的に振動させることができる。【００２０】
本発明に係る霧化器のまた別の特定の局面では、振動部と圧電体とは一体に形成されている。この場合、振動部と圧電体とを同一工程で作製できる。従って、霧化器の製造コストを低減することができる。また、振動部と圧電体との接合強度を高めることができる。【００２１】
本発明に係る霧化器のさらにまた他の特定の局面では、前記圧電振動子は、円筒呼吸振動する。
【００２２】
本発明に係る霧化器のさらにまた別の特定の局面では、加圧室には、液体が満たされる。【００２３】
本発明に係る霧化器のまたさらに他の特定の局面では、霧化器は、加圧室に配置されており、加圧室内の液体を貫通孔形成部に供給する液体供給部材をさらに備えている。
【発明の効果】
【００２４】
本発明では、半径方向に分極されている筒状の圧電体を有する圧電振動子が振動部の外縁部に接続されている。このため、振動部に面方向に沿った応力変動が付与され、その結果、振動部が振動する。よって、振動部がどのような形状である場合にも、振動部を効率的に振動させることができる。従って、振動部の形状を加圧室に圧力変動を付与するのに適した構造とすることができる。その結果、高い霧化性能の実現が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１は、第１の実施形態に係る霧化器の略図的部分断面斜視図である。
【図２】図２は、第１の実施形態に係る霧化器の略図的断面図である。
【図３】図３（ａ）〜（ｃ）は、第１の実施形態に係る霧化器の霧化態様を説明するための略図的断面図である。
【図４】図４は、第２の実施形態に係る霧化器の略図的部分断面斜視図である。
【図５】図５は、第３の実施形態に係る霧化器の略図的部分断面斜視図である。
【図６】図６は、第４の実施形態に係る霧化器の略図的部分断面斜視図である。
【図７】図７は、第５の実施形態における圧電振動子の略図的斜視図である。
【図８】図８は、第５の実施形態における圧電振動子の略図的断面図である。
【図９】図９は、第５の実施形態における圧電振動子の電極の略図的展開図である。
【図１０】図１０は、特許文献１に記載の霧化器の略図的断面図である。
【図１１】図１１は、特許文献２に記載の霧化器の略図的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明を実施した好ましい形態について、図１〜図５に示す霧化器１〜３を例に挙げて説明する。但し、霧化器１〜３は単なる例示である。本発明は、霧化器１〜３に何ら限定されない。
【００２７】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る霧化器の略図的部分断面斜視図である。図２は、第１の実施形態に係る霧化器の略図的断面図である。
【００２８】
本実施形態の霧化器１は、霧化器本体１０と、圧電振動子２０とを備えている。
【００２９】
霧化器本体１０は、加圧室区画部１１と、フランジ部１２とを備えている。加圧室区画部１１は、円板状の上壁部１１ｂと、円板状の底壁部１１ｃと、周壁部１１ｄとを備えている。底壁部１１ｃは、上壁部１１ｂと対向している。周壁部１１ｄは、上壁部１１ｂの周縁と、底壁部１１ｃの周縁とを接続している。これら上壁部１１ｂ、底壁部１１ｃ及び周壁部１１ｄによって、霧化対象となる液体が満たされる加圧室１１ａが区画形成されている。なお、加圧室１１ａ内には、例えば、不織布などの、液体を吸収する給液部材が配置されていてもよい。
【００３０】
底壁部１１ｃと周壁部１１ｄとの接合部には、フランジ部１２が接続されている。フランジ部１２は、外方に向かって延びている。フランジ部１２には、パイプ部１２ａが設けられている。パイプ部１２ａの内部には、液体供給通路１２ａ１が形成されている。この液体供給通路１２ａ１を経由して、霧化対象となる液体が加圧室１１ａに供給される。
【００３１】
なお、霧化対象となる液体の種類は特に限定されない。霧化対象となる液体の具体例としては、例えば、水、水溶液、アルコールや石油類などの有機溶媒などが挙げられる。霧化対象となる液体は、例えば、芳香剤、消臭剤、殺虫剤、防虫剤、香水類、化粧水、洗剤などであってもよい。
【００３２】
また、霧化器本体１０の材質も特に限定されない。霧化器本体１０は、例えば、合成樹脂、金属、ガラス、セラミック、紙などにより形成することができる。具体的には、本実施形態では、霧化器本体１０は、セラミックにより形成されている。より詳細には、後述する圧電体２０ａと霧化器本体１０とは、圧電セラミックにより一体に形成されている。このため、少ない製造工程で霧化器１を製造することができる。従って、霧化器１の製造コストを低減することができる。また、霧化器１の剛性及び強度を高めることができる。
【００３３】
上壁部１１ｂの中央部には、貫通孔形成部１３が設けられている。貫通孔形成部１３には、１または複数の貫通孔１３ａが等間隔に形成されている。貫通孔１３ａは、加圧室１１ａに臨むように形成されている。後に詳述するように、霧化器１では、この貫通孔１３ａから液体が霧として放出される。
【００３４】
なお、貫通孔形成部１３の形状寸法は、少なくとも貫通孔１３ａが形成されている限りにおいて特に限定されない。また、貫通孔形成部１３は、上壁部１１ｂと一体に形成されていなくてもよい。例えば、別体に形成した円板状の貫通孔形成部を上壁部に取り付けてもよい。例えば上壁部１１ｂと貫通孔形成部１３とが別体に形成されている場合は、上壁部１１ｂと貫通孔形成部１３とが一体に形成されている場合と比較して、貫通孔１３ａの形成が容易となる。
【００３５】
貫通孔１３ａの形状及び寸法及び貫通孔１３ａの数量は、発生させようとする霧の直径や、霧化対象となる液体の性質（例えば粘性等）、所望の霧化性能に応じて適宜設計することができる。例えば、発生させようとする霧の直径が５μｍである場合は、貫通孔１３ａの直径を約５μｍとすることができる。
【００３６】
貫通孔１３ａは、貫通方向に直径が変化しない円筒状の孔であってもよい。また、貫通孔１３ａは、貫通方向に直径が変化する部分を有する孔であってもよい。例えば、貫通孔１３ａは、貫通方向外側に向かって先細る孔であってもよい。さらに、貫通孔１３ａの平面形状は、円形でなくてもよい。貫通孔１３ａの平面形状は、例えば、多角形状、楕円形状等であってもよい。
【００３７】
底壁部１１ｃの中央部には、振動部１４が設けられている。この振動部１４は、圧電振動子２０が駆動されることにより、図２に示す上下方向ｚに振動し、加圧室１１ａに圧力変動を付与する部分である。
【００３８】
振動部１４は、加圧室１１ａを介して貫通孔１３ａと対向するように配置されている。振動部１４は、貫通孔形成部１３とは反対側に突出する板状に形成されている。すなわち、振動部１４は、ドーム状に形成されている。より詳細には、図２に示すように、振動部１４は、例えば、球面状、楕円面状、放物面状などの、焦点Ｆを有する曲面状に形成されている。貫通孔１３ａは、この焦点Ｆと振動部１４との間の領域Ａ内に配置されている。換言すれば、振動部１４は、貫通孔１３ａが焦点Ｆと振動部１４との間の領域Ａ内に位置する形状に形成されている。
【００３９】
圧電振動子２０は、筒状の圧電体２０ａと、第１及び第２の電極２０ｂ、２０ｃとを備えている。圧電体２０ａは、回転対称軸を有する。詳細には、本実施形態では、圧電体２０ａは、円筒状に形成されている。圧電体２０ａの一方の端部は、振動部１４の外縁部に接続されている。圧電体２０ａは、振動部１４と一体に形成されている。
【００４０】
圧電体２０ａを構成する圧電材料は、特に限定されない。圧電材料の具体例としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系セラミックなどが挙げられる。
【００４１】
第１及び第２の電極２０ｂ、２０ｃは、圧電体２０ａに電圧を印加するための電極である。第１の電極２０ｂは、圧電体２０ａの内周面上に形成されている。第２の電極２０ｃは、圧電体２０ａの外周面上に形成されている。
【００４２】
第１及び第２の電極２０ｂ、２０ｃは、圧電体２０ａに電圧を印加可能であれば特に限定されない。第１及び第２の電極２０ｂ、２０ｃは、例えば、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ｓｎなどの金属やＣｒ／Ｎｉ合金、Ｎｉ／Ｃｕ合金などの合金により形成することができる。
【００４３】
なお、第１及び第２の電極２０ｂ、２０ｃの耐水性が低い場合は、第１及び第２の電極２０ｂ、２０ｃの表面に保護膜を形成してもよい。保護膜は、第１及び第２の電極２０ｂ、２０ｃよりも耐水性の高いものであれば特に限定されない。保護膜は、例えば、シリコーン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂などの弾性樹脂により形成することができる。
【００４４】
第１及び第２の電極２０ｂ、２０ｃの形成方法としては、例えば、スパッタ法や蒸着法などの薄膜形成方法や、導電性ペーストを用いた方法などが挙げられる。
【００４５】
圧電体２０ａは、例えば、３ｋＶ／ｍｍ程度の電圧を第１及び第２の電極２０ｂ、２０ｃ間に印加することにより、圧電体２０ａの半径方向に分極されている。このため、圧電振動子２０は、第１及び第２の電極２０ｂ、２０ｃ間に交流電圧が印加されると、圧電体２０ａの径方向に振動（以下、「円筒呼吸振動」と称呼する。）する。この円筒呼吸振動は、ｄ３１モード及びｄ３３モードの少なくとも一方によるものである。
【００４６】
具体的には、円筒呼吸振動は、図３に示すような態様の振動である。すなわち、図３（ａ）〜（ｃ）に示すように、第１及び第２の電極２０ｂ、２０ｃ間に電圧が印加されると、圧電効果により、円筒状の圧電体２０ａが拡径と縮径とを繰り返す。このため、振動部１４に面方向（振動部の延びる方向）に沿った応力変動が付与される。その結果、振動部１４が上下方向ｚに沿って振動する。このため、振動部１４の形状に関わらず、振動部１４を効率的に振動させることができる。従って、振動部１４の形状を加圧室１１ａの圧力変動を付与するのに適した構造とすることができる。例えば、本実施形態のように、振動部１４をドーム状に形成した場合であっても、円筒呼吸振動を利用する本実施形態においては、高い効率で振動部１４を振動させることができる。従って、高い霧化性能を実現することができる。
【００４７】
特に、本実施形態では、貫通孔形成部１３は、振動部１４の任意の点から振動部１４の焦点Ｆを通って貫通孔形成部１３に至るまでの距離が、上記振動部１４の任意の点から振動部１４の焦点Ｆまでの距離の２倍以内となるように配置されている。すなわち、振動部１４から発生した波面が、貫通孔形成部１３に到達する時には、少なくとの振動部１４から発生した波面より小さくなる位置に、貫通孔形成部１３が配置されている。具体的には、本実施形態では、振動部１４が焦点Ｆを有する曲面状に形成されており、焦点Ｆと振動部１４との間の領域Ａ内に貫通孔１３ａが配置されている。従って、加圧室１１ａ内の貫通孔１３ａ付近の領域を効果的に圧力変動させることができる。その結果、より高い霧化性能を実現することができる。
【００４８】
また、本実施形態では、圧電体２０ａが回転対称軸を有する円筒状とされている。従って、さらに高い霧化性能を実現することができる。
【００４９】
なお、圧電体２０ａの振動は、自励振であってもよいし、他励振であってもよい。但し、圧電体２０ａの振動が他励振の場合は、圧電振動子２０の表面に液体が付着すると共振周波数が変動する。このため、周波数を変動させないための制御回路が必要となる。従って、圧電体２０ａの振動は、自励振であることが好ましい。
【００５０】
また、圧電体２０ａに印加する電圧の波形は、例えば、サイン波、ノコギリ波、方形波などであってもよい。中でも、圧電体２０ａに印加する電圧の波形は、方形波であることが好ましい。方形波を圧電体２０ａに印加することにより、より高い霧化効率を得ることができるからである。
【００５１】
霧化のオン／オフ制御は、圧電体２０ａに印加する電圧をオン／オフ制御することにより行うが、圧電体２０ａに印加する電圧の波形をＡＭ変調やＦＭ変調するようにしてもよい。
【００５２】
以下、他の実施形態及び変形例について説明する。なお、以下の他の実施形態及び変形例の説明において、上記第１の実施形態と実質的に同じ機能を有する部材を同じ符号で参照し、説明を省略する。
【００５３】
（第２の実施形態）
図４は、第２の実施形態に係る霧化器の略図的部分断面斜視図である。
【００５４】
上記第１の実施形態では、振動部１４がドーム状に形成されている場合について説明した。但し、本発明において、振動部の形状はドーム状に限定されない。例えば、図４に示す霧化器２のように、振動部１４は、平板状に形成されていてもよい。
【００５５】
（第３の実施形態）
図５は、第３の実施形態に係る霧化器の略図的部分断面斜視図である。
【００５６】
図５に示すように、本実施形態の霧化器３では、振動部１４は、貫通孔形成部１３側に突出する板状に形成されている。振動部１４は、貫通孔１３ａと対向する対向部１４ａを備えている。この対向部１４ａと貫通孔形成部１３との間の距離は、貫通孔形成部１３と対向部１４ａとの間に加圧室１１ａ内の液体が毛細管現象により給液される距離とされている。すなわち、加圧室１１ａのうち、貫通孔形成部１３と対向部１４ａとの間に位置している部分１１ａ１には、毛細管現象により液体が進入可能である。このため、霧化が行われる貫通孔形成部１３の全体に効率的に液体を供給することができる。
【００５７】
（第４の実施形態）
図６は、第４の実施形態に係る霧化器の略図的部分断面斜視図である。図６に示すように、本実施形態では、加圧室１１ａ内に、加圧室１１ａ内の液体を貫通孔形成部１３に供給する液体供給部２１が配置されている。具体的には、液体供給部２１は、毛細管現象により液体を供給する部材であり、例えば、フェルト、不織布、織布、不織紙、キャピラリなどにより構成されている。本実施形態のように、液体供給部２１を設けた場合、加圧室１１ａには、液体が満たされている必要は必ずしもない。
【００５８】
本実施形態では、振動部１４の振動が液体供給部２１に伝搬し、貫通孔形成部１３に対向している液体供給部２１の表面上に位置する液体が霧化される。このため、貫通孔形成部１３と液体供給部２１との間には、ある程度のギャップが形成されていることが好ましい。
【００５９】
なお、液体供給部２１の厚み寸法は、特に限定されないが、例えば、０．０５ｍｍ〜０．２ｍｍ程度であることが好ましい。また、液体供給部２１の貫通孔形成部１３と対向している表面は、凹状に形成されていることが好ましい。これらの場合には、霧化効率をより高めることができる。
【００６０】
（第５の実施形態）
図７は、第５の実施形態における圧電振動子の略図的斜視図である。図８は、第５の実施形態における圧電振動子の略図的断面図である。図９は、第５の実施形態における圧電振動子の電極の略図的展開図である。
【００６１】
上記第１の実施形態では、圧電体２０ａの内周面の上に第１の電極２０ｂが形成されており、圧電体２０ａの外周面の上に第２の電極２０ｃが形成されている例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。第１及び第２の電極は、例えば、両方が外周面上に形成されていてもよいし、両方が内周面上に形成されていてもよい。
【００６２】
図７〜図９に示す第５の実施形態における圧電振動子２０では、第１及び第２の電極２０ｂ、２０ｃは、互いに間挿し合うくし歯状に形成されており、両方が圧電体２０ａの外周面上に設けられている。圧電体２０ａは、図８に示すように、第１及び第２の電極２０ｂ、２０ｃの電極指間で分極されている。圧電体２０ａの分極は、第１及び第２の電極２０ｂ、２０ｃ間に電圧を印加することにより行うことができる。
【符号の説明】
【００６３】
１〜３…霧化器
１０…霧化器本体
１１…加圧室区画部
１１ａ…加圧室
１１ｂ…上壁部
１１ｃ…底壁部
１１ｄ…周壁部
１２…フランジ部
１２ａ…パイプ部
１２ａ１…液体供給通路
１３…貫通孔形成部
１３ａ…貫通孔
１４…振動部
１４ａ…対向部
２０…圧電振動子
２０ａ…圧電体
２０ｂ…第１の電極
２０ｃ…第２の電極
２１…液体供給部
【図１】
0005423813.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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