(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）流路（２２）を開閉するバルブ（１、２）と、
（ｂ）このバルブ（１、２）の動作パターンに対応した形状のスロット（２３）を有するカム（３）と、
（ｃ）このカム（３）の回転軸（１４）を駆動するアクチュエータと、
（ｄ）前記カム（３）の回転可能範囲の一方側の限界位置であるカム全閉位置を規定するカム全閉ストッパ（３３）と、
（ｅ）前記カム（３）の回転角度を検出する回転角度検出装置（４〜７、１０）と
を備え、
前記回転角度検出装置（４〜７、１０）は、前記カム（３）の回転角度に対するセンサ出力特性を複数の点で調整可能なセンサ（４）を有し、
前記センサ（４）は、前記カム（３）の回転角度に対応した信号を出力するセンサ素子（５）、およびこのセンサ素子（５）より出力された信号を所定のセンサ出力に変換する処理を行う信号処理手段（６）を有し、
前記信号処理手段（６）は、前記カム（３）の回転角度と前記信号処理手段（６）のセンサ出力との対応関係を所定の形式で表したデータテーブルを記憶する記憶部（７）を有し、
前記記憶部（７）は、前記バルブ（１、２）の全開時における、前記信号処理手段（６）のセンサ出力をバルブ全開位置（Ｐ２、Ｐ４）として書き込まれており、
前記バルブ（１、２）の全閉時における、前記信号処理手段（６）のセンサ出力をバルブ全閉位置（Ｐ１）として書き込まれており、
前記カム（３）の全閉時における、前記信号処理手段（６）のセンサ出力をカム全閉位置（Ｐ０）として書き込まれていることを特徴とするバルブ制御装置。
【請求項２】
請求項１に記載のバルブ制御装置において、
前記回転角度検出装置は、前記信号処理手段（６）のセンサ出力に基づいて前記バルブ（１、２）のストローク量または前記カム（３）の回転角度を検出する検出部（１０）を有していることを特徴とするバルブ制御装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のバルブ制御装置において、
前記回転角度検出装置は、前記バルブ（１、２）の全閉作動時における目標位置に対して、前記バルブ（１、２）のストローク速度または前記カム（３）の作動速度を前記目標位置に向けて徐々に減速するブレーキ位置を決定する処理部（４、７、１０）を有していることを特徴とするバルブ制御装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のうちのいずれか１つに記載のバルブ制御装置において、
前記回転角度検出装置は、前記複数の点のうち隣接する２点間における前記信号処理手段（６）のセンサ出力特性を、所定量の傾きに調整する処理部（４、７、１０）を有していることを特徴とするバルブ制御装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のうちのいずれか１つに記載のバルブ制御装置において、
前記バルブ（１、２）は、その軸線方向に往復移動するシャフト（２）を有していることを特徴とするバルブ制御装置。
【請求項６】
請求項５に記載のバルブ制御装置において、
前記カム（３）の回転軸（１４）の回転運動を前記シャフト（２）の直線運動に変換する変換機構（２、３、２４〜２６）を備えたことを特徴とするバルブ制御装置。
【請求項７】
請求項６に記載のバルブ制御装置において、
前記変換機構は、前記スロット（２３）内に移動可能に挿入されるフォロワ（２４）、およびこのフォロワ（２４）を介して、前記カム（３）から前記アクチュエータの動力を受けて前記シャフト（２）を駆動する支軸（２５）を有していることを特徴とするバルブ制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バルブのシャフトをその軸線方向（ストローク方向）に往復駆動するカムの回転角度を検出する回転角度検出装置を備えたバルブ制御装置に関するもので、特に排気循環装置（ＥＧＲシステム）に使用されるＥＧＲバルブ制御装置に係わる。
【背景技術】
【０００２】
［従来の技術］
従来より、排気ガスの流量を調整するポペットバルブのバルブステム（シャフト）をその軸線方向（ストローク方向）に往復移動させるバルブ駆動装置と、出力ギアの回転角度を測定してバルブの実開度を検出する回転角度検出装置とを備え、回転角度検出装置で検出されるバルブの実開度が目標開度となるようにモータを通電制御するバルブ制御装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
バルブ駆動装置は、動力源であるモータ、このモータの回転を２段減速する減速機構、およびポペットバルブを開弁位置から全閉位置へ戻す方向に付勢する弾性力を発生するスプリングを有するアクチュエータを備えている。
【０００３】
減速機構は、モータの出力軸に固定されたピニオンギア、このピニオンギアと噛み合って回転する中間ギア、この中間ギアと噛み合って回転する出力ギアを有している。この出力ギアは、アクチュエータハウジングに設けられた出力ギア軸の周りを回転する。また、出力ギアには、アクチュエータの回転運動をバルブステムの直線運動に変換するカムスロットが一体的に形成されている。このカムスロットは、ポペットバルブの動作パターンに対応した溝形状を備えている。
出力ギアに形成されたカムスロットは、このカムスロット内に挿入されるピンによってバルブステムの入力部に取り付けられたベアリングと結合している。また、バルブステムの出力部には、ポペットバルブが結合されている。
また、カムスロットには、ポペットバルブの全閉位置よりも出力ギアが回転した際に、ベアリングが衝突してこれ以上の出力ギアの回転を規制するカム全閉ストッパが設けられている。
【０００４】
ここで、従来のバルブ制御装置は、モータのトルクによって出力ギアおよびカムスロットが回転することで、ベアリング、ピン、バルブステムおよびポペットバルブを、バルブステムの軸線方向に往復移動させて、バルブ全閉位置を規定するバルブシートにポペットバルブを着座させたり、離間（リフト）させたりする。
また、回転角度検出装置は、カムスロットが形成された出力ギアの回転角度（以下カム回転角度）に対応したセンサ信号を電子制御装置（ＥＣＵ等）に対して出力する回転角度センサを有し、バルブ全開位置とバルブ全閉位置（流量全閉位置）との２点で、カム回転角度に対するセンサ出力（電圧）特性を設定している（図８参照）。
なお、図８（ｂ）のデータテーブルの特性線（カム回転角度に対するセンサ出力特性線）には、ポペットバルブの全閉時における、回転角度センサのセンサ出力がバルブ全閉位置（Ｊ１）として書き込まれている。また、ポペットバルブの全開時における、回転角度センサのセンサ出力がバルブ全開位置（Ｊ２）として書き込まれている。
ここで、図８中のＪ１は、バルブ全閉位置におけるセンサ出力書き込み点を示す。また、図８中のＪ２は、バルブ全開位置におけるセンサ出力書き込み点を示す。
【０００５】
［従来の技術の不具合］
ところが、従来のバルブ制御装置においては、バルブ全閉位置に対するカム全閉位置が不明（ＥＧＲ制御弁個体（物）毎に異なる）であるので、ポペットバルブをバルブシートに着座させて全閉位置に保持する際、つまりポペットバルブの全閉制御時にカム全閉位置電圧が変動する。このため、ポペットバルブを開弁位置から全閉位置への全閉制御時に発生するオーバーシュート（目標開度から行き過ぎる現象）により、ベアリングがカム全閉ストッパへ突き当たることにより、バルブ駆動装置（ギヤ、カム及びモータ）が変形したり損傷したりする可能性があり、耐久性が低下するという問題が生じている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特表２００９−５３４００７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、バルブ全閉制御時にカム全閉ストッパへの衝突を防止することで、耐久性の向上を図ることのできるバルブ制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明（バルブ制御装置）は、流路を開閉するバルブと、このバルブの動作パターンに対応した形状のスロットを有するカムと、このカムの回転軸を駆動するアクチュエータと、カムの回転可能範囲の一方側（カム全閉側）の限界位置であるカム全閉位置を規定するカム全閉ストッパと、カムの回転角度を検出する回転角度検出手段とを備えている。
回転角度検出装置は、カムの回転角度に対するセンサ出力特性を複数の点で調整可能なセンサを有している。
センサは、カムの回転角度に対応した信号を出力するセンサ素子、およびこのセンサ素子より出力された信号を所定のセンサ出力に変換する処理を行う信号処理手段を有している。
【０００９】
信号処理手段は、カムの回転角度と信号処理手段のセンサ出力との対応関係を所定の形式で表したデータテーブルを記憶する記憶部を有している。
バルブの全開時における、信号処理手段のセンサ出力が、バルブ全開位置として記憶部（のデータテーブル）に書き込まれている。
バルブの全閉時における、信号処理手段のセンサ出力が、バルブ全閉位置として記憶部（のデータテーブル）に書き込まれている。
カムの全閉時における、信号処理手段のセンサ出力が、カム全閉位置として記憶部（のデータテーブル）に書き込まれている。
【００１０】
請求項１に記載の発明によれば、バルブ全開位置、バルブ全閉位置およびカム全閉位置をセンサの信号処理手段の記憶部に書き込まれているので、バルブ全閉位置に対する正確なカム全閉位置の位置関係（信号処理手段のセンサ出力差）を検知することが可能となる。これによって、バルブの全閉制御時に、カム全閉ストッパへの衝突を防止することができるので、カムやアクチュエータの耐久性の向上を図ることができる。また、カムやアクチュエータ等の品質に対する信頼性を向上することができる。
なお、バルブの移動可能範囲の一方側（バルブ全閉側）の限界位置であるバルブ全閉位置を規定するバルブ全閉ストッパを備えても良い。
また、バルブの移動可能範囲の他方側（バルブ全開側）の限界位置であるバルブ全開位置を規定するバルブ全開ストッパを備えても良い。
【００１１】
請求項２に記載の発明によれば、回転角度検出装置は、信号処理手段のセンサ出力に基づいてバルブのストローク量またはカムの回転角度を検出する検出部（信号処理手段のセンサ出力からバルブのストローク量またはカムの回転角度を算出する演算処理部：ＥＣＵ）を有している。このＥＣＵは、バルブのストローク量またはカムの回転角度の検出値と制御目標値とが一致するように、アクチュエータ（例えばモータ）を通電（駆動）制御するように構成される。すなわち、回転角度検出装置の検出部は、信号処理手段のセンサ出力を取り込んでバルブの開度（ストロークまたは流量）を検出し、バルブの開度が目標開度となるように、モータ等のアクチュエータの制御量を決定する制御ユニット（ＥＣＵ）としての機能を有していても良い。
【００１２】
請求項３に記載の発明によれば、バルブの全閉作動時における目標位置に対して、バルブのストローク速度またはカムの作動速度を目標位置に向けて徐々に減速するブレーキ位置を決定することにより、バルブ全閉位置に対する正確なカム全閉位置の位置関係（信号処理手段のセンサ出力差）を検知することが可能となる。これによって、バルブの全閉制御時に早い制御応答性（流量洩れが少なくなる）を実現することができる。
請求項４〜７に記載の発明によれば、複数の点のうち隣接する２点間における信号処理手段の出力特性を、所定量の傾きに調整することにより、バルブ全閉位置付近のセンサ出力とバルブのストローク（または流量）との対応関係を複数出力調整させることができる。これによって、カムの回転角度に応じてバルブのストローク速度を調整することができる。
ここで、請求項１〜７に記載の「センサ素子より出力された信号」や「信号処理手段のセンサ出力」とは、アナログ信号のことである。
なお、請求項１〜７に記載の「センサ」として、カムまたはこのカムの回転軸またはこの回転軸と一体回転可能に連結した連動部材に固定された磁石より放出される磁束を検出する非接触式の磁気検出素子（センサ素子）を有し、カムの回転角度に対応した出力を発生する回転角度センサを用いることが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】回転角度検出装置の回路を示した模式図である（実施例１）。
【図２】バルブ駆動装置を備えたＥＧＲ制御弁を示した断面図である（実施例１）。
【図３】図２のＩＩＩ方向矢視図である（実施例１）。
【図４】図２のＩＶ方向矢視図である（実施例１）。
【図５】（ａ）はカム回転角度に対するバルブストローク（または流量）の変化を示した特性図で、（ｂ）はカム回転角度に対するセンサ出力電圧の変化を示した特性図である（実施例１）。
【図６】（ａ）はカム回転角度に対するバルブストローク（または流量）の変化を示した特性図で、（ｂ）はカム回転角度に対するセンサ出力電圧の変化を示した特性図である（実施例２）。
【図７】（ａ）はセンサ出力電圧とバルブストローク（または流量）との関係を示した特性図で、（ｂ）はセンサ出力電圧とバルブストローク速度との関係を示した特性図である（実施例３）。
【図８】（ａ）はカム回転角度に対するバルブストローク（または流量）の変化を示した特性図で、（ｂ）はカム回転角度に対するセンサ出力電圧の変化を示した特性図である（従来例１）。
【図９】（ａ）はカム回転角度に対するバルブストローク（または流量）の変化を示した特性図で、（ｂ）はカム回転角度に対するセンサ出力電圧の変化を示した特性図である（従来例２）。
【図１０】（ａ）はセンサ出力電圧とバルブストローク（または流量）との関係を示した特性図で、（ｂ）はセンサ出力電圧とバルブストローク速度との関係を示した特性図である（従来例３）。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例】
【００１５】
［実施例１の構成］
図１ないし図５は、本発明のバルブ駆動装置を適用したＥＧＲ制御弁（実施例１）を示したものである。
【００１６】
本実施例の内燃機関の排気装置は、例えば自動車等の車両に搭載される内燃機関（エンジン）の排気管から吸気管へ排気ガス（以下ＥＧＲガス）を再循環（還流）させる排気循環装置（以下ＥＧＲシステム）を備えている。
ＥＧＲシステムは、エキゾーストマニホールドまたは排気管内の排気通路からインテークマニホールドまたは吸気管内の吸気通路へＥＧＲガスを還流させるＥＧＲガスパイプを備えている。このＥＧＲガスパイプ内には、排気通路から吸気通路へＥＧＲガスを流入させるＥＧＲガス流路が形成されている。
【００１７】
ＥＧＲガスパイプには、ＥＧＲガス流路を流れるＥＧＲガスの流量をポペットバルブ１の開閉動作により制御するＥＧＲ制御弁が設置されている。
ここで、ＥＧＲシステムは、エンジンの運転状況に基づいてＥＧＲ制御弁の弁体であるポペットバルブ１を開閉制御するＥＧＲバルブ制御装置（内燃機関のＥＧＲ制御装置）として使用される。このＥＧＲバルブ制御装置は、ポペットバルブ１のシャフト（バルブ軸：以下バルブステム２）を開閉駆動するプレートカム３の回転角度を検出する回転角度検出装置を備えている。
【００１８】
回転角度検出装置は、プレートカム３の回転角度に対するセンサ出力特性を複数の点で調整可能な回転角度センサ４と、この回転角度センサ４のセンサ出力に基づいてポペットバルブ１のストローク量（バルブストロークまたは流量）またはプレートカム３の回転角度（カム回転角度）を検出するエンジン制御ユニット（電子制御装置：以下ＥＣＵ１０）を備えている。この回転角度センサ４は、ホール素子５から出力された信号を所定のセンサ出力に変換する集積回路６と、カム回転角度と集積回路６のセンサ出力との対応関係を所定の形式で表したデータテーブルやセンサ出力特性を得るのに必要な初期データを記憶するメモリ（例えばＥＥＰＲＯＭ等）を有するマイクロコンピュータ７とを備えている。  なお、回転角度検出装置の詳細は、後述する。
【００１９】
ＥＧＲ制御弁は、ＥＧＲガス流路を開閉するポペットバルブ１のバルブステム２をその軸線方向に往復移動させるバルブ駆動装置と、軸受１１を介して、バルブステム２をその軸線方向に摺動可能に支持するバルブボディ１２とを備えている。
バルブ駆動装置は、ポペットバルブ１を駆動する回転動力を発生するモータＭ、およびこのモータＭのモータ軸１３の回転を２段減速して出力ギア軸１４に伝達する減速機構（ピニオンギア１５、中間ギア１６および出力ギア１７）を有するアクチュエータと、出力ギア軸１４に固定されたプレートカム３を有し、アクチュエータの回転運動をバルブステム２の直線運動に変換する変換機構と、アクチュエータを収容するアクチュエータケース（以下ハウジング１８）と、ポペットバルブ１の全開位置（プレートカム３の回転可能範囲の全開側の限界位置：カム全開位置）を規制する全開ストッパ１９と、プレートカム３の回転角度を検出する回転角度検出装置とを備えている。
【００２０】
ポペットバルブ１は、バルブボディ１２のバルブシート２１に対して着座、離脱して流路孔２２を閉鎖、開放する円筒状の鍔部（弁体）、およびプレートカム３のカムスロット２３の回転変位に連動して軸線方向に往復移動するバルブステム２を備えている。
ポペットバルブ１は、バルブステム２の係合部（ボールベアリング２４、ピボットピン２５およびスプリング２６）がプレートカム３のカムスロット２３の形成方向の一端側に位置している時に全閉位置に配置される（図２及び３参照）。また、ポペットバルブ１は、バルブステム２の係合部がカムスロット２３の形成方向の他端側に位置している時に全開位置に配置される。
【００２１】
バルブステム２は、その軸線方向に延伸されており、ポペットバルブ１とプレートカム３を含む変換機構とに結合されている。
バルブステム２の軸線方向の一端部には、プレートカム３からアクチュエータの動力が伝達される入力部が設けられている。また、バルブステム２の軸線方向の他端部には、ポペットバルブ１へアクチュエータの動力を出力する出力部が設けられている。
バルブステム２の入力部は、２股状に分岐（分離）した２つの対向片（第１、第２対向部）を備えている。これらの対向片は、プレートカム３の出力部が挿入可能なスリット２７を隔てて対向している。
バルブステム２の入力部（各対向片）には、２つのピボットピン２５がその軸線方向に貫通するように嵌合する第１、第２嵌合孔がそれぞれ設けられている。
【００２２】
プレートカム３は、出力ギア軸１４の外周を円周方向に取り囲む円環状の入力部を有している。この入力部には、四角孔形状の嵌合孔が貫通形成されている。これにより、プレートカム３は、出力ギア軸１４に回り止めされた状態で固定されている。
プレートカム３の入力部は、出力ギア軸１４の段差（環状段差面）と金属カラー２８の環状端面との間に挟み込まれた状態で、出力ギア１７に対して所定の軸方向距離（金属カラー２８の軸方向長さ）分だけ分離して出力ギア軸１４の中径部の外周に固定されている。
【００２３】
プレートカム３は、入力部の周囲を部分的に取り囲むように扇状の出力部が設けられている。この出力部は、出力ギア１７の最大外径部と略同一の外径を有している。また、出力部には、ポペットバルブ１の開閉動作パターン（プレートカム３の回転角度に対するポペットバルブ１のリフト量）に対応した湾曲形状のカムスロット（カム溝）２３が、プレートカム３の板厚方向に貫通形成されている。
プレートカム３の入力部には、減速機構の出力ギア軸１４の外周に出力ギア１７と分離して嵌合固定するための嵌合孔（例えば四角孔）が形成されている。また、プレートカム３の出力部には、バルブステム２に取り付けられる係合部（変換機構の一部）と係合するカムスロット２３が形成されている。
カムスロット２３は、プレートカム３の回転方向の一端側（ポペットバルブ１の全閉位置側に対応したカム全閉側）から他端側（ポペットバルブ１の全開位置側に対応したカム全開側）まで所定の曲率で延びるガイド溝である。
ここで、プレートカム３の回転角度およびカムスロット２３のカム形状（プロフィール）は、ポペットバルブ１を全閉位置から全開位置まで駆動するのに必要なバルブステム２のストローク量（バルブストロークまたは流量）に対して決定される。
【００２４】
プレートカム３の出力部は、カムスロット２３よりもプレートカム３の半径方向の内側に形成される円弧状の内側突出片（内側部）３１、およびカムスロット２３よりもプレートカム３の半径方向の外側に形成される円弧状の外側突出片（外側部）３２を有している。
カムスロット２３のカム全閉側には、内側突出片３１と外側突出片３２とを連結して、２つのボールベアリング２４のこれ以上のカム全閉側への移動を規制するカム全閉ストッパ（規制壁）３３が設けられている。
カムスロット２３のカム全開側には、プレートカム３の回転方向（カムスロット２３の形成方向）の外部側に向かって開放された開口部（切欠き部）３４が設けられている。この開口部３４は、組み付け時にバルブサブアッセンブリ（ポペットバルブ１、バルブステム２、バルブボディ１２、ボールベアリング２４、ピボットピン２５およびスプリング２６等）をカムスロット２３内に挿入するためのバルブサブアッセンブリ挿入口を構成している。
そして、プレートカム３またはこのプレートカム３と一体回転可能に連結した連動部材（出力ギア軸１４、出力ギア１７等）には、全開ストッパ１９に係止される全開ストッパ部が一体的に設けられている。
【００２５】
バルブボディ１２には、バルブステム２をその軸線方向に摺動可能に軸支する軸受１１の外周を保持する円筒状の軸受ホルダ３５が一体的に形成されている。
ハウジング１８には、モータＭを収容保持するモータケース３６、および減速機構、変換機構およびバルブステム２を収容するギアケース３７が形成されている。
ハウジング１８には、組み付け時にアクチュエータをギアケース３７内に挿入するための開口部を有している。この開口部は、センサカバー３８により塞がれている。
ハウジング１８の底部近傍、つまりギアケース３７の底部近傍には、２連ボールベアリング４１の周囲を円周方向に取り囲むように配置された円筒状の軸受ホルダ４２が設けられている。この軸受ホルダ４２には、外部へ向けて開放された開口部が形成されている。この開口部は、キャップ４３によって気密的に閉塞されている。
【００２６】
全開ストッパ１９は、例えば工具と係合可能な頭部、およびこの頭部からプレートカム３または連動部材側に延びる軸部を有し、カム全開位置調整機能付きのアジャストスクリューにより構成されている。この全開ストッパ１９は、ハウジング１８のギアケース３７の外壁部の端面より突出するように、軸部が捩じ込まれて固定されている。また、全開ストッパ１９は、プレートカム３の全開位置ストッパとしての機能だけでなく、ポペットバルブ１の全開位置（フルリフト量）およびバルブステム２のフルストローク量を規定するバルブ全開位置ストッパとしての機能も有している。
【００２７】
アクチュエータは、電力の供給を受けると回転動力（トルク）を発生するモータＭ、このモータＭのモータ軸１３に固定されたピニオンギア１５、このピニオンギア１５と噛み合って回転する中間ギア１６、この中間ギア１６と噛み合って回転する出力ギア１７、およびポペットバルブ１を所定の開弁位置から全閉位置へ戻すためのリターンスプリング４４を備えている。
出力ギア軸１４の外周には、プレートカム３と出力ギア１７とを所定の軸方向距離だけ分離させるための金属カラー２８が設置されている。また、出力ギア軸１４の外周には、２連ボールベアリング４１の各内輪および円筒状のブッシング４５が圧入嵌合によって嵌合保持されている。
【００２８】
出力ギア１７は、合成樹脂によって一体的に形成されている。この出力ギア１７の内周部には、円筒状のマグネットロータ４６が一体的に形成されている。また、出力ギア１７は、マグネットロータ４６よりも半径方向の外側に部分円筒状の最大外径部を有している。この最大外径部には、中間ギア１６と噛み合う複数の凸状歯（出力ギア歯４７）が所定の角度分だけ扇状に形成されている。
マグネットロータ４６の内周には、永久磁石であるセンサマグネット４８が固定され、また、マグネットロータ４６には、内部に２面幅（出力ギア軸１４の空回りを防ぐ構造、回り止め構造）を有する嵌合孔が形成された出力ギアレバー４９がインサート成形されている。これにより、出力ギア１７は、出力ギアレバー４９を介して、出力ギア軸１４の軸線方向の先端外周に回り止めされた状態で固定されている。
【００２９】
変換機構は、アクチュエータの回転運動（減速機構の出力ギア軸１４の回転運動）を、ポペットバルブ１のバルブステム２の直線運動に変換する運動方向変換機構である。この変換機構は、出力ギア軸１４の中心軸線を中心にして出力ギア１７の出力ギアレバー４９と一体回転可能に連結したプレートカム３と、このプレートカム３のカムスロット２３の各カム溝壁面に沿って移動可能に案内される２つのボールベアリング（カムフォロワ）２４と、各ボールベアリング２４の内輪と圧入嵌合して各ボールベアリング２４の外輪を回転自在に支持する２つのピボットピン２５と、これらのピボットピン２５と弾性接触する１つのスプリング２６とを備えている。
【００３０】
２つのピボットピン２５は、カムスロット２３内に移動可能に挿入されて、ボールベアリング２４を介してプレートカム３からアクチュエータの動力を受ける支軸である。
スプリング２６は、カムスロット２３の各カム溝壁面にボールベアリング２４を押し付ける側に付勢する弾性体である。
これらのボールベアリング２４、ピボットピン２５およびスプリング２６は、プレートカム３の出力部と共に、２つの対向片間に形成されるスリット２７内に移動可能に挿入されている。
【００３１】
次に、本実施例の回転角度検出装置の詳細を図１ないし図５に基づいて説明する。
回転角度検出装置は、減速機構の出力ギア軸１４および出力ギア１７と一体回転可能に連結された円筒状のマグネットロータ４６の回転角度を測定してプレートカム３の回転角度（カム回転角度）を検出する回転角度センサ４と、この回転角度センサ４のセンサ出力に基づいて、バルブストローク（または流量）またはカム回転角度を検出するＥＣＵ１０とを備えている。
【００３２】
回転角度センサ４は、センサカバー３８のセンサ搭載部に設置された一対のステータコアの対向部間に挟み込まれて保持されている。この回転角度センサ４は、センサ搭載部から出力ギア軸１４側へ突出するように設置されている。また、回転角度センサ４は、半導体ホール素子の感磁面を鎖交する磁束密度に対応した電圧信号（アナログ信号）をＥＣＵへ向けて出力するホールＩＣを主体として構成されている。なお、ホールＩＣの代わりに、ホール素子単体、磁気抵抗素子等の非接触式の磁気検出素子を使用しても良い。
回転角度センサ４は、センサマグネット４８およびロータヨークに対して相対回転可能に設けられたホールＩＣ（ホール素子５、集積回路６）と、このホールＩＣの集積回路６を制御するマイクロコンピュータ７とを備えている。
【００３３】
ホールＩＣは、検出部であるホール素子５と、信号処理部である集積回路６とが１つのＩＣチップ（半導体チップ）として集積回路化された磁気センサである。
ホール素子５は、プレートカム３またはこのプレートカム３の回転軸（出力ギア軸１４）と一体回転可能に連結した出力ギア１７、マグネットロータ４６の内周に固定されたセンサマグネット４８から放出される磁束（磁気）を検出する非接触式の磁気検出手段である。このホール素子５は、半導体薄膜で形成されており、半導体ホール素子の感磁面を鎖交する磁束密度に対応した電圧信号（アナログ信号）を出力する。
集積回路６は、線形電圧出力回路５１、保護抵抗５２、出力端子５３、異常検出回路５４、電流遮断スイッチ５５および電圧切替回路５６を有している。なお、集積回路６は、特許請求の範囲における「信号処理手段」に相当する。
【００３４】
線形電圧出力回路５１は、ホール素子５、アナログーデジタル変換回路（以下Ａ／Ｄ変換回路）６１、デジタルシグナルプロセッサ（以下ＤＳＰ）６２、デジタルーアナログ変換回路（以下Ｄ／Ａ変換回路）６３および変換回路（アンプ回路）６４を有している。
Ａ／Ｄ変換回路６１は、ホール素子５から出力されたアナログ信号をデジタル信号に変換するアナログ／デジタル変換手段である。
ＤＳＰ６２は、デジタル信号処理に特化したものであり、メモリに記憶された各種プログラムを実行することにより、ホール素子５から出力され、デジタル信号に変換された信号に対し補正処理および回転角度演算処理等の種々の処理を行う。
Ｄ／Ａ変換回路６３は、ＤＳＰ６２から出力されたデジタル信号をアナログ信号に変換するデジタル／アナログ変換手段である。
【００３５】
変換回路６４は、オペアンプ、制御回路およびトランジスタを有している。この変換回路６４は、Ｄ／Ａ変換回路６３から出力された信号を信号に応じた電圧に変換する。なお、オペアンプは、Ｄ／Ａ変換回路６３から出力された信号を所定の増幅率（ゲイン）で増幅する増幅回路である。
ここで、変換回路６４は、線形電圧出力回路５１の出力電圧がプレートカム３の回転角度に応じて線形に増大するように設定されている。
保護抵抗５２は、変換回路６４に接続され、瞬間大電流から集積回路を保護する。
出力端子５３は、ＥＣＵ１０と電気的に接続可能に設けられ、集積回路６の出力電圧をＥＣＵ１０に出力する。
【００３６】
異常検出回路５４は、保護抵抗５２に大電流が流れているか否かを判定するものであり、保護抵抗５２に大電流が流れていると判定した場合に、電流遮断スイッチ５５および電圧切替回路５６へ制御信号を出力する。
電流遮断スイッチ５５は、変換回路６４と保護抵抗５２との間に設けられている。この電流遮断スイッチ５５は、作動していない時ＯＮとなり、作動するとＯＦＦとなるノーマルＯＮのスイッチである。電流遮断スイッチ５５は、集積回路６が正常である時ＯＮとなる。一方、電流遮断スイッチ５５は、保護抵抗５２に大電流が流れている時、異常検出回路５４の制御信号により作動することでＯＦＦとなり、変換回路６４と保護抵抗５２との間の電流の流れを遮断する。
【００３７】
電圧切替回路５６は、保護抵抗５２と出力端子５３との間に設けられ、一端が電源ラインに電気的に接続され、また、他端がグランド（ＧＮＤ）ラインに電気的に接続されている。この電圧切替回路５６は、高電位側スイッチおよび低電位側スイッチを有し、高電位側スイッチがＯＮとなり、低電位側スイッチがＯＦＦとなることにより、電源ラインとグランドラインとの間の中間電圧より高くなるように出力端子の出力電圧を制御する。また、電圧切替回路５６は、高電位側スイッチがＯＦＦとなり、低電位側スイッチがＯＮとなることにより、電源ラインとグランドラインとの間の中間電圧より低くなるように出力端子の出力電圧を制御する。
電圧切替回路５６は、保護抵抗５２に大電流が流れている異常時に、異常検出回路５４の制御信号により作動し、出力端子の出力電圧をＨＩ側に制御するかＬＯ側に制御する。  
【００３８】
マイクロコンピュータ７は、ＣＰＵ、メモリ（ＲＯＭ、ＲＡＭおよびＥＥＰＲＯＭ）を有している。ＣＰＵは、プログラムによって様々な数値演算処理、情報処理および制御等を行う。
ＲＯＭは、ＣＰＵの様々な数値演算処理、情報処理および制御等に必要なプログラムが予め記憶されている。
ＲＡＭには、ＣＰＵの演算処理による中間情報が一時的に記録され、イグニッションスイッチがＯＦＦとなると記憶された情報は消える。
ＥＥＰＲＯＭには、出荷時において、ＣＰＵの様々な数値演算処理、情報処理および制御等に必要な情報が記憶されている。具体的には、カム回転角度とバルブストローク（または流量）との対応関係を所定の形式で表したデータテーブル（図５（ａ）参照）、およびカム回転角度と集積回路６のセンサ出力との対応関係を所定の形式で表したデータテーブル（図５（ｂ）参照）等の初期データがＥＥＰＲＯＭに予め記憶されている。その他、ＥＥＰＲＯＭには、集積回路６の用途を特定する情報が予め記憶されている。
なお、ＥＥＰＲＯＭは、特許請求の範囲における「記憶部」に相当する。
【００３９】
ここで、アクチュエータの動力源であるモータＭは、ＥＣＵ１０によって電子制御されるモータ駆動回路を介して、自動車等の車両に搭載されたバッテリに電気的に接続されている。
ＥＣＵ１０には、制御処理、演算処理を行うＣＰＵ、制御プログラムまたは制御ロジックや各種制御データ（マップ等）を保存する記憶装置（ＲＯＭやＲＡＭ等のメモリ）、入力回路（入力部）、出力回路（出力部）、電源回路、タイマー回路等の機能を含んで構成される周知の構造のマイクロコンピュータが設けられている。
ＥＣＵ１０は、回転角度センサ４より出力されるセンサ出力に基づいて、ポペットバルブ１のストローク量（バルブストロークまたは流量）を検出するストローク量（または流量）検出手段を構成している。また、ＥＣＵ１０は、回転角度センサ４より出力されるセンサ出力に基づいて、プレートカム３の回転角度（カム回転角度）を検出するカム角度検出手段を構成している。
【００４０】
ＥＣＵ１０は、イグニッションスイッチがオン（ＩＧ・ＯＮ）されると、マイクロコンピュータのメモリに格納された制御プログラム、および回転角度センサ４より出力されるセンサ出力に基づいて、ポペットバルブ１のストローク量（バルブ開度）を求め、このストローク量に基づいて、アクチュエータの動力源であるモータＭの制御量を求め、アクチュエータ側に出力するように構成されている。
具体的には、回転角度センサ４より出力されるセンサ出力が、エンジンの運転状況（特にエンジン回転速度、アクセル開度（エンジン負荷）等）に対応して設定される制御目標値（目標ＥＧＲ率、目標ＥＧＲ開度）に相当する目標開度（目標リフト量または目標ストローク量）と一致するように、ＥＧＲ制御弁のモータＭへの供給電力をフィードバック制御する。
【００４１】
ＥＣＵ１０は、回転角度センサ４、エアフロメータ、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、スロットル開度センサ、吸気温度センサ、冷却水温度センサおよび排気ガスセンサ（空燃比センサ、酸素濃度センサ）等の各種センサからのセンサ出力信号が、Ａ／Ｄ変換回路によってＡ／Ｄ変換された後に、マイクロコンピュータに入力されるように構成されている。
なお、回転角度センサ４、エアフロメータ、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、スロットル開度センサ、吸気温度センサ、冷却水温度センサおよび排気ガスセンサは、エンジンの運転状態（運転状況）を検出する運転状態検出手段を構成している。
【００４２】
ここで、クランク角度センサは、エンジンのクランクシャフトの回転角度を電気信号に変換するピックアップコイルよりなり、例えば３０°ＣＡ（クランク角度）毎にＮＥパルス信号がＥＣＵ１０に対して出力される。
ＥＣＵ１０は、クランク角度センサより出力されたＮＥパルス信号の間隔時間を計測することによってエンジン回転速度（エンジン回転数：ＮＥ）を検出するための回転速度検出手段としての機能を有している。
アクセル開度センサは、アクセルペダルの踏み込み量（アクセル開度）を検出するエンジン負荷検出手段である。なお、スロットル開度センサをエンジン負荷検出手段として使用しても良い。
【００４３】
ＥＣＵ１０は、イグニッションスイッチがオン（ＩＧ・ＯＮ）されると、エンジンの運転状況に対応して設定される制御目標値（目標開度）を演算する。
ここで、エンジン負荷が低負荷で、且つエンジン回転速度が低速回転の領域、つまりアイドル運転時には、エンジンの燃焼を安定させるために、ＥＧＲガスの導入を止める（ＥＧＲカット）。この場合、モータＭの動力を利用して、ポペットバルブ１を全閉作動させる。
【００４４】
また、ＥＣＵ１０は、ドライバーがアクセルペダルを踏み込んで、エンジンが所定の運転領域（例えば低負荷〜中負荷で、且つ低速回転〜中速回転の領域）に入ると、この運転領域（エンジン負荷およびエンジン回転速度）に対応して設定される制御目標値（目標開度）を演算する。
このとき、ＥＣＵ１０は、ポペットバルブ１が所定のバルブ開度（バルブストローク）以上に開弁するように開弁作動させる。なお、目標開度は、例えばバルブ全開位置に設定される。
【００４５】
また、ＥＣＵ１０は、ドライバーがアクセルペダルを踏み込んで、エンジンが所定の運転領域（例えば高負荷または高速回転の領域）に入ると、この運転領域（エンジン負荷およびエンジン回転速度）に対応して設定される制御目標値（目標開度）を演算する。
このとき、ＥＣＵ１０は、制御目標値（目標開度）をバルブ全閉位置に設定して、ＥＧＲガスの導入を止める（ＥＧＲカット）。この理由は、ドライバーがアクセルペダルを踏み込んで、エンジンの出力を最大限に引き出したい時に、ＥＧＲガスがエンジンの燃焼室に導入されることを要因とする、エンジンの出力低下を回避するためである。この場合も、アイドル運転時と同様に、モータＭの動力を利用して、ポペットバルブ１を全閉作動させる。
【００４６】
［実施例１の出力調整方法］
次に、本実施例のセンサ出力調整方法を図１ないし図５に基づいて簡単に説明する。
ここで、図１では、回転角度センサ４に対する基準（リファレンス）電圧を５Ｖとしている。
【００４７】
先ず、キャップ４３を取り外して、プレートカム３の回転軸である出力ギア軸１４を開弁方向に回転させ、プレートカム３または連動部材（出力ギア軸１４、出力ギア１７等）に設けられた全開ストッパ部を、全開ストッパ１９に当接させることで、プレートカム３の回転角度（位置）をバルブ全開位置にする。
このとき、図５に示したように、回転角度センサ４の集積回路６から出力されるセンサ出力（電圧）は、バルブ全開位置に対応する電圧値まで上昇する。例えばデータテーブルの特性線（カム回転角度に対するセンサ出力特性線）における最大値となる。
そして、このときのセンサ出力（電圧）をバルブ全開位置（Ｐ２）としてＥＥＰＲＯＭに取り込む。なお、バルブ全開位置（Ｐ２）は、データテーブルの特性線上に書き込まれる。
【００４８】
続いて、プレートカム３の回転軸である出力ギア軸１４を閉弁方向に回転させ、ポペットバルブ１を、バルブシート２１に着座させることで、プレートカム３の回転角度（位置）をバルブ全閉位置にする。
このとき、図５に示したように、回転角度センサ４の集積回路６から出力されるセンサ出力（電圧）は、バルブ全閉位置に対応する電圧値まで下降する。そして、このときのセンサ出力（電圧）をバルブ全閉位置（Ｐ１）としてＥＥＰＲＯＭに取り込む。なお、バルブ全閉位置（Ｐ１）は、データテーブルの特性線上に書き込まれる。
【００４９】
続いて、プレートカム３の回転軸である出力ギア軸１４を閉弁方向に更に回転させ、バルブステム２の係合部（ボールベアリング２４、ピボットピン２５およびスプリング２６）を、カムスロット２３のカム全閉ストッパ３３に当接させることで、プレートカム３の回転角度（位置）をカム全閉位置にする。
このとき、図５に示したように、回転角度センサ４の集積回路６から出力されるセンサ出力（電圧）は、カム全閉位置に対応する電圧値まで下降する。例えばデータテーブルの特性線における最小値となる。
そして、このときのセンサ出力（電圧）をカム全閉位置（Ｐ０）としてＥＥＰＲＯＭに取り込む。なお、カム全閉位置（Ｐ０）は、データテーブルの特性線上に書き込まれる。  ここで、図５中のＰ０は、カム全閉位置におけるセンサ出力書き込み点を示す。また、図５中のＰ１は、バルブ全閉位置におけるセンサ出力書き込み点を示す。また、図５中のＰ２は、バルブ全開位置におけるセンサ出力書き込み点を示す。
【００５０】
ここで、ＥＥＰＲＯＭに取り込んだ３点（Ｐ０、Ｐ１、Ｐ２）を、それぞれＥＥＰＲＯＭに対するカム全閉位置のセンサ出力書き込み点、バルブ全閉位置のセンサ出力書き込み点、バルブ全開位置のセンサ出力書き込み点とすることで、２点（Ｐ０、Ｐ１）間の他の点に対応するセンサ出力は２点（Ｐ０、Ｐ１）間の直線補間によって算出される。また、２点（Ｐ１、Ｐ２）間の他の点に対応するセンサ出力は２点（Ｐ１、Ｐ２）間の直線補間によって算出される。
このような出力調整を実施することで、カム回転角度と集積回路６のセンサ出力との対応関係を所定の形式で表したデータテーブル、つまりカム回転角度に対するセンサ出力（電圧）特性を作成することも可能である。
そして、ＥＥＰＲＯＭは、カム回転角度に対するセンサ出力（電圧）特性を更新して記憶する。この場合、ＥＥＰＲＯＭに予め記憶されたセンサ出力特性の初期データを容易に書き換えることができる。
以上のようにして回転角度センサ４のセンサ出力調整を行う。
【００５１】
［実施例１の効果］
以上のように、本実施例のＥＧＲバルブ制御装置においては、図８に示すような従来の２点出力調整センサでのセンサ出力特性（カム回転角度に対するセンサ出力特性）に対して、プレートカム３の回転角度に対するセンサ出力特性を複数の点で調整可能な回転角度センサ４を用いて、図５に示したように、カム全閉ストッパ３３に対応したカム全閉位置をバルブ全閉位置に対して所定量になるように出力調整している。
【００５２】
また、出荷時のセンサ出力調整において、カム全閉位置のセンサ出力書き込み点（Ｐ０）、バルブ全閉位置のセンサ出力書き込み点（Ｐ１）、バルブ全開位置のセンサ出力書き込み点（Ｐ２）を、回転角度センサ４のマイクロコンピュータ７のＥＥＰＲＯＭに書き込むことにより、バルブ全閉位置に対する正確なカム全閉位置の位置関係（集積回路６のセンサ出力差）を検知することが可能となる。
これによって、モータＭの動力を利用してポペットバルブ１を全閉作動させる際、つまりポペットバルブ１の全閉制御時（全閉作動時）に、カム全閉ストッパ３３に対するバルブステム２の係合部（ボールベアリング２４、ピボットピン２５等）の衝突を防止することができるので、プレートカム３やアクチュエータの耐久性の向上を図ることができる。また、プレートカム３やアクチュエータ等の品質に対する信頼性を向上することができる。
【００５３】
［実施例２］
図６は、本発明を適用したバルブ制御装置（実施例２）を示したものである。
ここで、実施例１と同じ符号は、同一の構成または機能を示すものであって、説明を省略する。
【００５４】
ここで、従来の装置は、上述したように、バルブ全閉位置に対してカム全閉位置は分かっていない。このため、従来の装置は、図９に示したように、モータの駆動力を利用してポペットバルブを全閉作動させる全閉制御時（全閉作動時）に、ポペットバルブがバルブ全閉位置に到達する直前から、ポペットバルブの作動速度をバルブ全閉位置に向けて徐々に減速する減速制御を実行することになる。但し、上記の特許文献１中に減速制御の記載はない。
このようなバルブ全閉位置に到達する直前から減速制御を実行すると、バルブ全閉位置よりも手前からブレーキが入り、早い制御応答性を得ることができない。すなわち、カム全閉ストッパに当たらない余裕を持たせた位置を指令すると、ポペットバルブの全閉への作動に対して早めのブレーキがかかってしまう。これにより、ポペットバルブがバルブ全閉位置に到達、つまりポペットバルブがバルブシートに着座するのが遅れてＥＧＲガスが吸気通路側へ洩れてしまう。したがって、エアクリーナを通過した清浄が吸気（新気）にＥＧＲガスが混入するので、エンジンストールや失火につながるという問題があった。
ここで、図９中のＪ１は、バルブ全閉位置におけるセンサ出力書き込み点を示す。また、図９中のＪ２は、バルブ全開位置におけるセンサ出力書き込み点を示す。
【００５５】
そこで、本実施例の回転角度検出装置は、ポペットバルブ１の全閉制御時（全閉作動時）における制御目標値（目標位置：Ｐｂ）に対して、プレートカム３の作動速度を制御目標値に向けて徐々に減速するブレーキ位置（Ｐａ）を決定する処理部（集積回路６、マイクロコンピュータ７、ＥＣＵ１０）を有している。
すなわち、処理部は、回転角度センサ４のセンサ出力を取得することにより得られるプレートカム３の回転角度がバルブ全閉位置を通り越すまで同一の作動速度で全閉作動させ、回転角度センサ４のセンサ出力がバルブ全閉位置を通り越した時点（Ｐａ位置）で、制御目標値（カム全閉ストッパ３３に当たらない正確な位置（Ｐｂ）を指令）に向けて徐々に減速する減速制御を実施する。
ここで、図６中のＰ０は、カム全閉位置におけるセンサ出力書き込み点を示す。また、図６中のＰ１は、バルブ全閉位置におけるセンサ出力書き込み点を示す。また、図６中のＰ２は、バルブ全開位置におけるセンサ出力書き込み点を示す。
なお、マイクロコンピュータ７のメモリ（ＥＥＰＲＯＭ）には、実施例１と同様に、カム回転角度とバルブストローク（または流量）との対応関係を所定の形式で表したデータテーブル（図６（ａ）参照）、およびカム回転角度と集積回路６のセンサ出力との対応関係を所定の形式で表したデータテーブル（図６（ｂ）参照）の初期データが予め記憶されている。
【００５６】
以上のように、本実施例のバルブ制御装置においては、実施例１と同様な効果を奏する。
また、バルブ全閉位置に対する正確なカム全閉位置の位置関係（集積回路６のセンサ出力差）を検知できるので、ポペットバルブ１の全閉制御時に早い制御応答性（流量洩れが少なくなる）を実現することができる。すなわち、カム全閉ストッパ３３の位置が正確に分かるため、ブレーキ位置をポペットバルブ１の全閉への作動に対して従来の装置よりカム全閉ストッパ３３側に近づけられる。つまりブレーキタイミングを従来の装置より遅らせることができる。したがって、ＥＧＲカット時に速やかにポペットバルブ１を全閉させることができるので、エアクリーナを通過した清浄が吸気（新気）にＥＧＲガスが混入しない。これにより、エンジンストールや失火を防止できる。
【００５７】
［実施例３の構成］
図７は、本発明を適用したバルブ制御装置（実施例３）を示したものである。
ここで、実施例１及び２と同じ符号は、同一の構成または機能を示すものであって、説明を省略する。
【００５８】
ここで、従来の装置は、図１０に示したように、データテーブルの特性線の傾きがＡとなっており、ポペットバルブのストローク速度（センサ出力変化量とある一定の時間から算出される）が一定値となっている。
ここで、図１０中のＪ１は、バルブ全閉位置におけるセンサ出力書き込み点を示す。また、図１０中のＪ２は、バルブ全開位置におけるセンサ出力書き込み点を示す。
なお、従来の装置は、上述したように、バルブ全閉位置に対してカム全閉位置は分かっていない。
【００５９】
本実施例の回転角度検出装置は、複数の点のうち隣接する２点間における集積回路６の出力特性を、所定量の傾きＡ〜Ｄに調整する処理部（集積回路６、マイクロコンピュータ７、ＥＣＵ１０）を有している。
ここで、図７中のＰ０は、カム全閉位置におけるセンサ出力書き込み点を示す。また、図７中のＰ１は、バルブ全閉位置（第１変曲点）におけるセンサ出力書き込み点を示す。また、図７中のＰ２は、センサ出力特性（Ｘ、Ｙ）の中間位置（第２変曲点）におけるセンサ出力書き込み点を示す。また、図７中のＰ３は、センサ出力特性（Ｘ、Ｙ）の中間位置（第３変曲点）におけるセンサ出力書き込み点を示す。また、図７中のＰ４は、バルブ全開位置におけるセンサ出力書き込み点を示す。
なお、Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３は、ポペットバルブ１のストローク量（バルブストロークまたは流量）に対して、集積回路６のセンサ出力を複数出力調整したものである。
【００６０】
図７（ａ）のデータテーブルの特性線であるセンサ出力特性（Ｘ）における、隣接する２点（Ｐ０、Ｐ１）間の傾きはＡとなっており、隣接する２点（Ｐ１、Ｐ２）間の傾きはＢとなっており、隣接する２点（Ｐ２、Ｐ３）間の傾きはＣとなっており、隣接する２点（Ｐ３、Ｐ４）間の傾きはＤとなっている。また、図７（ｂ）のデータテーブル（センサ出力電圧に対するバルブストローク速度の変化を示した特性図）には、傾きＡ〜Ｄのときのセンサ出力に対するバルブストローク速度が表されている。
また、図７（ａ）のデータテーブルの特性線であるセンサ出力特性（Ｙ）における、隣接する２点（Ｐ０、Ｐ１）間の傾きはＡ’となっており、隣接する２点（Ｐ１、Ｐ２）間の傾きはＢ’となっており、隣接する２点（Ｐ２、Ｐ３）間の傾きはＣ’となっており、隣接する２点（Ｐ３、Ｐ４）間の傾きはＤ’となっている。また、図７（ｂ）のデータテーブル（センサ出力電圧に対するバルブストローク速度の変化を示した特性図）には、傾きＡ’〜Ｄ’のときのセンサ出力に対するバルブストローク速度が表されている。
なお、図７（ａ）、（ｂ）のデータテーブルの初期データは、マイクロコンピュータ７のメモリ（ＥＥＰＲＯＭ）に予め記憶されている。
【００６１】
以上のように、本実施例のバルブ制御装置においては、実施例１及び２と同様な効果を奏する。
また、複数の点のうち隣接する２点間における集積回路６の出力特性を、所定量の傾き（Ａ〜Ｄ、Ａ’〜Ｄ’）に調整することにより、バルブ全閉付近のセンサ出力とバルブストローク（または流量）との対応関係を複数出力調整させることができる。これによって、プレートカム３の回転角度に応じてポペットバルブ１のストローク速度（またはプレートカム３の作動速度）を調整することができる。
すなわち、ポペットバルブ１のストローク速度（またはプレートカム３の作動速度）を各変曲点（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３）で変更できる。これにより、センサ出力特性（Ｘ）のようにポペットバルブ１の全閉への動作を早く作動させたい場合と、センサ出力特性（Ｙ）のようにポペットバルブ１の全閉への動作を遅く作動させたい場合との調整が可能となる。  なお、ポペットバルブ１の全閉への動作を早く作動させたい場合には、エンジンストールや失火を防止できる。また、ポペットバルブ１の全閉への動作を遅く作動させたい場合には、カム全閉ストッパ３３への衝撃を和らげることができる。
【００６２】
［変形例］
本実施例では、本発明のバルブ制御装置を、内燃機関の排気循環装置に組み込まれるＥＧＲ制御弁のバルブ制御装置（ＥＧＲバルブ制御装置）に適用しているが、本発明のバルブ制御装置を、内燃機関の排気装置に組み込まれる排気制御弁のバルブ制御装置に適用しても良い。また、内燃機関の吸気装置に組み込まれる吸気制御弁のバルブ制御装置に適用しても良い。
なお、排気制御弁としては、ウェイストゲート弁、スクロール切替弁、排気流量制御弁、排気圧力制御弁、排気切替弁、排気絞り弁等が考えられる。
また、吸気制御弁としては、吸気絞り弁（スロットル弁）、タンブル制御弁、スワール制御弁等が考えられる。
【００６３】
また、ＥＧＲ制御弁の弁体を構成するバルブとして、ポペットバルブ１を採用しているが、バルブとシャフトとの間にリンク機構を介することにより、バタフライバルブ、フラップバルブ、プレートバルブ、ロータリバルブ等の回転型バルブを採用しても良い。また、ダブルポペットバルブを採用しても良い。
また、シャフトとしてバルブステム２の代わりに、軸線方向に延びる作動ロッドを用いても良い。
また、内燃機関（エンジン）として、多気筒ディーゼルエンジンの代わりに、多気筒ガソリンエンジンを用いても良い。また、単気筒エンジンに適用しても良い。
【００６４】
本実施例では、プレートカム３の回転軸（出力ギア軸１４）を駆動するアクチュエータとして、電力の供給を受けてトルクを発生するモータＭ、およびこのモータＭの回転を減速する減速機構（動力伝達機構）を有する電動アクチュエータを採用しているが、カムの回転軸を駆動するアクチュエータとして、負圧制御弁を介して電動バキュームポンプからの負圧により駆動される負圧作動式アクチュエータや、コイルを含む電磁石を有するリニアソレノイド（電磁アクチュエータ）を採用しても良い。
負圧作動式アクチュエータや電磁アクチュエータの場合には、カムの回転軸との間にリンク機構等の変換機構（アクチュエータの出力部の直線運動をカムの回転運動に変換する運動方向機構）を設けることが望ましい。
【００６５】
なお、アナログ信号を出力するセンサ素子として、カムまたはこのカムの回転軸に固定された磁石から放出される磁束（磁気）を検出する非接触式の磁気検出手段（ホール素子、磁気抵抗（ＭＲ）素子）を採用しても良い。
また、バルブ全開位置、バルブ全閉位置およびカム全閉位置の、センサの信号処理手段の記憶部に対する書き込みを、信号処理手段の処理部が行っても、センサ外部に配置される外部コンピュータ（自動車等の車両外部のコンピュータも含む）が行っても良い。
本実施例では、ポペットバルブ１の移動可能範囲の他方側（バルブ全開側）の限界位置であるバルブ全開位置を規定するバルブ全開ストッパ１９を設置しているが、ポペットバルブ１の移動可能範囲の一方側（バルブ全閉側）の限界位置であるバルブ全閉位置を規定するバルブ全閉ストッパを設置しても良い。なお、バルブ全開ストッパ１９とバルブ全閉ストッパとの両者を設置するようにしても良く、また、バルブ全開ストッパ１９またはバルブ全閉ストッパの一方のみを設置するようにしても良い。
【符号の説明】
【００６６】
Ｍ  モータ（アクチュエータの動力源）
１  ポペットバルブ
３  プレートカム
４  回転角度センサ（ホールＩＣ）
５  ホール素子（センサ素子）
６  集積回路（信号処理手段）
７  マイクロコンピュータ（記憶部）
２３  カムスロット
３３  カム全閉ストッパ
４８  センサマグネット（磁石）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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