(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートの一方の面側に接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置であって、
帯状の剥離シートに仮着された前記接着シートを前記剥離シートとともに繰り出す繰出手段と、
前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で剥離された前記接着シートにおける接着剤層側に気体を吹き付ける吹付手段と、
前記気体が吹き付けられた接着シートが捲れ上がることを防止する捲れ防止手段と、
前記剥離手段で剥離された接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記吹付手段は、前記接着シートにおける繰り出し方向の先端部が前記剥離手段における剥離位置に到達したときに当該先端部に気体を吹き付けることで、前記先端部の前記剥離シートからの剥離を補助する先端剥離補助手段を備え、
前記剥離手段は、前記剥離シートを折り返すことで前記接着シートを剥離する剥離縁を有する板状部材を備え、
前記板状部材には、前記先端剥離補助手段から吹き付けられる気体によって、前記剥離縁を通過した剥離シートの一部を入り込ませることで、前記先端部の前記剥離シートからの剥離を促進させる剥離促進部が設けられ、
前記捲れ防止手段は、前記先端部が前記気体の吹付方向に捲れ上がることを防止することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
基材シートの一方の面側に接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置であって、
帯状の剥離シートに仮着された前記接着シートを前記剥離シートとともに繰り出す繰出手段と、
前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で剥離された前記接着シートにおける基材シートの他方の面側から当該接着シートを保持する保持手段と、
前記剥離手段で剥離された前記接着シートにおける接着剤層側に気体を吹き付ける吹付手段と、
前記気体が吹き付けられた接着シートが捲れ上がることを防止する捲れ防止手段と、
前記保持手段で保持された接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記吹付手段は、前記接着シートにおける繰り出し方向の先端部が前記剥離手段における剥離位置に到達したときに当該先端部に気体を吹き付けることで、前記先端部の前記剥離シートからの剥離を補助する先端剥離補助手段を備え、
前記剥離手段は、前記剥離シートを折り返すことで前記接着シートを剥離する剥離縁を有する板状部材を備え、
前記板状部材には、前記先端剥離補助手段から吹き付けられる気体によって、前記剥離縁を通過した剥離シートの一部を入り込ませることで、前記先端部の前記剥離シートからの剥離を促進させる剥離促進部が設けられ、
前記捲れ防止手段は、前記先端部が前記気体の吹付方向に捲れ上がることを防止することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
前記吹付手段は、前記先端部が剥離シートから剥離された後の前記接着シートにおける接着剤層側に気体を吹き付けることで、前記接着シートの貼付前姿勢を整える姿勢維持手段を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記吹付手段は、前記接着シートにおける繰り出し方向の後端部が前記剥離手段における剥離位置に到達したときに当該後端部に気体を吹き付けることで、前記後端部の前記剥離シートからの剥離を補助する後端剥離補助手段を備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項５】
前記吹付手段による気体の吹付位置ごとに、前記気体の吹付力、吹付時間の長さ、吹付タイミングのうち少なくとも一つを調整可能な吹付調整手段をさらに備えることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項６】
基材シートの一方の面側に接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法であって、
帯状の剥離シートに仮着された前記接着シートを前記剥離シートとともに繰り出す工程と、
剥離縁で前記剥離シートを折り返し、当該剥離縁を通過した剥離シートの一部を入り込ませる剥離促進部を有する板状部材を用い、前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、
前記接着シートにおける繰り出し方向の先端部が前記剥離する工程における剥離位置に到達したときに当該先端部に気体を吹き付けることで、前記先端部の前記剥離シートからの剥離を補助する工程と、
前記剥離を補助する工程で吹き付けられる気体によって、前記剥離シートの一部を前記剥離促進部に入り込ませることで、前記先端部の前記剥離シートからの剥離を促進させる工程と、
前記気体が吹き付けられた接着シートの先端部が前記気体の吹付方向に捲れ上がることを防止する工程と、
前記剥離された接着シートを前記被着体に押圧して貼付する工程とを有することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、接着シートを被着体に貼付する際に、剥離シートから剥離された接着シートの非接着面を保持して、この保持された接着シートを被着体に押し付けるものが知られている（例えば、特許文献１，２参照）。
また、剥離シートから剥離された接着シートを保持することなく、ローラ等で押圧して当該接着シートを被着体に貼付するものも知られている（例えば、特許文献３参照）。
特許文献１の貼付装置では、剥離板で帯状台紙を折り返すことで当該帯状台紙からラベルを剥離し、この剥離されたラベルを吸着板で保持する際に、このラベルの裏面側からエア噴出管によりエアを噴射することで、吸着板によるラベルの保持を補助している。
また、特許文献２の貼付装置では、特許文献１と同様の機能を有するエア噴射管が回動自在に設けられている。この構成により、例えばラベル保持の補助が十分に行われないときに、エアの噴射角度を調整することが可能となる。
さらに、特許文献３の貼付装置では、剥離板で離型フィルムを折り返すことで当該離型フィルムから粘着テープを剥離し、この剥離された粘着テープをローラ等で押圧して被着体に貼付している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２３９２２８号公報
【特許文献２】特開２００９−２１４９２６号公報
【特許文献３】特開２００５−１５９０４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１ないし３の貼付装置では、剥離シートから接着シートを剥離しにくい原反を用いた場合、剥離板で剥離シートを折り返しても接着シートが剥離シートから剥離されない場合がある。このような場合、被着体に接着シートを貼付できなくなるという不都合が発生する。
【０００５】
本発明の目的は、接着シートを確実に剥離シートから剥離できるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、基材シートの一方の面側に接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置であって、帯状の剥離シートに仮着された前記接着シートを前記剥離シートとともに繰り出す繰出手段と、前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記剥離手段で剥離された前記接着シートにおける接着剤層側に気体を吹き付ける吹付手段と、前記気体が吹き付けられた接着シートが捲れ上がることを防止する捲れ防止手段と、前記剥離手段で剥離された接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記吹付手段は、前記接着シートにおける繰り出し方向の先端部が前記剥離手段における剥離位置に到達したときに当該先端部に気体を吹き付けることで、前記先端部の前記剥離シートからの剥離を補助する先端剥離補助手段を備え、前記剥離手段は、前記剥離シートを折り返すことで前記接着シートを剥離する剥離縁を有する板状部材を備え、前記板状部材には、前記先端剥離補助手段から吹き付けられる気体によって、前記剥離縁を通過した剥離シートの一部を入り込ませることで、前記先端部の前記剥離シートからの剥離を促進させる剥離促進部が設けられ、前記捲れ防止手段は、前記先端部が前記気体の吹付方向に捲れ上がることを防止する、という構成を採用している。
また、本発明の他のシート貼付装置は、基材シートの一方の面側に接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置であって、帯状の剥離シートに仮着された前記接着シートを前記剥離シートとともに繰り出す繰出手段と、前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記剥離手段で剥離された前記接着シートにおける基材シートの他方の面側から当該接着シートを保持する保持手段と、前記剥離手段で剥離された前記接着シートにおける接着剤層側に気体を吹き付ける吹付手段と、前記気体が吹き付けられた接着シートが捲れ上がることを防止する捲れ防止手段と、前記保持手段で保持された接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記吹付手段は、前記接着シートにおける繰り出し方向の先端部が前記剥離手段における剥離位置に到達したときに当該先端部に気体を吹き付けることで、前記先端部の前記剥離シートからの剥離を補助する先端剥離補助手段を備え、前記剥離手段は、前記剥離シートを折り返すことで前記接着シートを剥離する剥離縁を有する板状部材を備え、前記板状部材には、前記先端剥離補助手段から吹き付けられる気体によって、前記剥離縁を通過した剥離シートの一部を入り込ませることで、前記先端部の前記剥離シートからの剥離を促進させる剥離促進部が設けられ、前記捲れ防止手段は、前記先端部が前記気体の吹付方向に捲れ上がることを防止する、という構成を採用している。
【０００７】
この際、本発明のシート貼付装置では、前記吹付手段は、前記先端部が剥離シートから剥離された後の前記接着シートにおける接着剤層側に気体を吹き付けることで、前記接着シートの貼付前姿勢を整える姿勢維持手段を備える、ことが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置では、前記吹付手段は、前記接着シートにおける繰り出し方向の後端部が前記剥離手段における剥離位置に到達したときに当該後端部に気体を吹き付けることで、前記後端部の前記剥離シートからの剥離を補助する後端剥離補助手段を備える、ことが好ましい。
また、発明のシート貼付装置では、前記吹付手段による気体の吹付位置ごとに、前記気体の吹付力、吹付時間の長さ、吹付タイミングのうち少なくとも一つを調整可能な吹付調整手段をさらに備える、ことが好ましい。
【０００８】
また、本発明のシート貼付方法は、基材シートの一方の面側に接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法であって、帯状の剥離シートに仮着された前記接着シートを前記剥離シートとともに繰り出す工程と、剥離縁で前記剥離シートを折り返し、当該剥離縁を通過した剥離シートの一部を入り込ませる剥離促進部を有する板状部材を用い、前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、前記接着シートにおける繰り出し方向の先端部が前記剥離する工程における剥離位置に到達したときに当該先端部に気体を吹き付けることで、前記先端部の前記剥離シートからの剥離を補助する工程と、前記剥離を補助する工程で吹き付けられる気体によって、前記剥離シートの一部を前記剥離促進部に入り込ませることで、前記先端部の前記剥離シートからの剥離を促進させる工程と、前記気体が吹き付けられた接着シートの先端部が前記気体の吹付方向に捲れ上がることを防止する工程と、前記剥離された接着シートを前記被着体に押圧して貼付する工程とを有する、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、接着シートにおける繰り出し方向の先端部が剥離手段における剥離位置に到達したときに当該先端部に気体を吹き付ける先端剥離補助手段を備えたことで、例えば接着剤層の接着力が強く剥離シートから剥離しにくい接着シートであっても、当該接着シートに剥離の切っ掛けを与え、当該接着シートを確実に剥離シートから剥離することができ、被着体に接着シートを貼付できなくなるという不都合を解消することができる。
また、捲れ防止手段を設けているため、先端剥離補助手段によって接着シートの先端部に過度に気体を吹き付けたとしても、接着シートの先端部が押圧手段の押圧部位や、保持手段の保持面以外の方向に向って捲れ上がってしまい、接着シートの貼付不良が発生することを防止することができる上、接着シートの接着力が異なる場合でも気体の吹付力や吹付時間の長さを調整する必要がなくなる。
さらに、剥離手段に剥離縁を通過した剥離シートの一部を入り込ませる剥離促進部を設けているため、より確実に接着シートの先端部を剥離シートから剥離できる。
【００１０】
さらに、姿勢維持手段により先端部が剥離シートから剥離された後の接着シートにおける接着シートの接着剤層側に気体を吹き付けることで、接着シートが自重で撓んだり、落下したりすることを防止して、接着シートの貼付前姿勢を整えることができる。
また、後端剥離補助手段を設けた構成とすれば、後端部も確実に剥離シートから剥離することができ、被着体の適切な位置に接着シートを貼付できる。
さらに、吹付調整手段を設ければ、吹付手段による気体の吹付位置ごとに、接着シートの大きさ、繰り出し速度、接着力などに応じて、剥離の補助や貼付前姿勢の調整を適切にできる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】（Ａ），（Ｂ）は、シート貼付装置の動作説明図。
【図３】（Ｃ），（Ｄ），（Ｅ）は、シート貼付装置の動作説明図。
【図４】本発明の変形例に係るシート貼付装置の側面図。
【図５】変形例に係るシート貼付装置の部分拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
また、実施形態では、特に明示しない限り、「上」、「下」、「左」、「右」といった方位を示す用語は、図１を基準として用いる。
図１において、シート貼付装置１は、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤを有する接着シートＳを被着体Ｗに貼付するものである。具体的に、接着シートＳは、予め所定のシート長にカットされており、帯状の剥離シートＲＬ上に、所定間隔で仮着された状態で原反Ｒとして予め準備されている。そして、シート貼付装置１は、この原反Ｒの剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離して、被着体Ｗに貼付する。
【００１３】
シート貼付装置１は、原反Ｒを繰り出す繰出手段２と、繰り出された原反Ｒの接着シートＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段３と、剥離された接着シートＳを基材シートＢＳ側から保持する保持手段としての吸着盤４と、吸着盤４で吸着保持した接着シートＳを被着体Ｗに押圧して貼付する押圧手段である駆動機器としてのエアシリンダ６と、剥離手段３から吸着盤４に受け渡される途中の接着シートＳに対して接着剤層ＡＤ側に気体を吹き付ける吹付手段７と、吹付手段７の気体の吹き付けによる接着シートＳの捲れ上がりを防止する捲れ防止手段８とを備え、被着体Ｗを左右方向に相対移動させるベルトコンベア等の被着体搬送手段９の上方に図示しないフレームを介して設けられている。
【００１４】
繰出手段２は、フレーム１０に支持され、原反Ｒを巻回して支持する支持ローラ２１と、支持ローラ２１から引き出された原反Ｒを案内するガイドローラ２２，２３と、駆動機器としての回動モータ２４によって駆動する駆動ローラ２５と、駆動ローラ２５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２６と、図示しない駆動機器によって剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２７とを備えている。
【００１５】
剥離手段３は、フレーム１０に支持された板状部材としてのピールプレート３１を備え、その上面部３１１と、右下方向に傾斜する傾斜面部３１２とが交差する位置を剥離縁３１４として形成する。そして、接着シートＳは、この剥離縁３１４または剥離縁３１４を通過した位置を剥離位置として剥離シートＲＬから剥離される。
また、傾斜面部３１２には、剥離縁３１４を通過した剥離シートＲＬを入り込ませることで、接着シートＳの先端部の剥離シートＲＬからの剥離を促進させる剥離促進部としての凹部３１５が設けられている。
【００１６】
吸着盤４は、複数の保持吸引孔４３（図２（Ａ）参照）によって接着剤層ＡＤと反対側の面から接着シートＳを吸着保持する保持面４１と、この保持面４１の反対側（上側）に設けられる上面部４２と、吸着盤４内部に設けられるチャンバ部４４（図２（Ａ）参照）とを有して形成され、チャンバ部４４は、配管４５を介して図示しない吸引ポンプ等の吸引手段に接続され、保持吸引孔４３に吸引力を付与する。
エアシリンダ６は、その出力軸６１が吸着盤４の上面部４２に固定され、吸着盤４が実線で示す待機位置と、二点鎖線で示す押圧位置との間で移動可能になっている。
【００１７】
吹付手段７は、ピールプレート３１の下方に設けられた略Ｌ字状の吹付本体７１を備えている。この吹付本体７１は、図２（Ａ）に示すように、下面を構成する下面部７１１と、下面部７１１の右端から上方に延びる右面部７１２と、右面部７１２の上端から左方に延びる右上面部７１３と、右上面部７１３の左端から左下方向に延びる傾斜部７１４と、傾斜部７１４の下端から下方に延びる上左面部７１５と、上左面部７１５の下端から左方に延びる中間面部７１６と、中間面部７１６の左端から下方に延びる左面部７１７とを備えている。
【００１８】
吹付本体７１には、右面部７１２と傾斜部７１４とを連通し、ピールプレート３１の傾斜面部３１２に沿って気体を吹き付け可能な先端剥離補助手段としての先端剥離補助孔７２が設けられている。なお、本実施形態の場合、気体として空気が採用されるが、気体としては、窒素ガスやネオンガス等のガスや混合気であってよい。この先端剥離補助孔７２は、接着シートＳにおける繰り出し方向の先端部Ｓ１が剥離縁３１４近傍の剥離位置に到達したときに当該先端部Ｓ１に気体を吹き付けることで、先端部Ｓ１の剥離シートＲＬからの剥離の補助を行う。ここで、剥離シートＲＬから接着シートＳが剥離しにくい原反Ｒが採用された場合、接着シートＳの先端部Ｓ１がピールプレート３１の剥離縁３１４で剥離されずに剥離シートＲＬとともに折り返され、剥離不良を発生することがあるが、この折り返された接着シートＳの先端部Ｓ１に空気を吹き付けることで、接着シートＳを確実に剥離シートＲＬから剥離できるようになっている。また、この吹き付けられる空気は、ピールプレート３１の凹部３１５内に剥離シートＲＬを入り込ませることで、当該凹部３１５の剥離促進部としての機能を発揮させるようにも構成されている。
【００１９】
また、吹付本体７１には、右面部７１２と上左面部７１５とを連通し、吸着盤４における右側（接着シートＳの繰り出し方向の上流側）および左側（前記繰り出し方向の下流側）に空気を吹き付け可能な姿勢維持手段としての第１姿勢維持孔７３と、第２姿勢維持孔７４とが上下に設けられている。この第１，第２姿勢維持孔７３，７４は、剥離シートＲＬから先端部Ｓ１が剥離された後の接着シートＳにおける接着剤層ＡＤ側に気体を吹き付けることで、接着シートＳの貼付前姿勢を整える。具体的には、第１，第２姿勢維持孔７３，７４から吹き付けられる空気は、吸着盤４で吸着保持される接着シートＳの接着剤層における右側および左側に、それぞれ吹き付けられる。
【００２０】
さらに、吹付本体７１には、右面部７１２と中間面部７１６とを連通し、ピールプレート３１の剥離縁３１４よりも若干左側に向けて空気を吹き付け可能な後端剥離補助手段としての後端剥離補助孔７５が設けられている。この後端剥離補助孔７５は、接着シートＳにおける繰り出し方向の後端部Ｓ２が剥離縁３１４近傍の剥離位置に到達したときに当該後端部Ｓ２に気体を吹き付けることで、後端部Ｓ２の剥離シートＲＬからの剥離の補助を行う。ここで、剥離シートＲＬから接着シートＳが剥離しにくい原反Ｒが採用された場合、接着シートＳの後端部Ｓ２がピールプレート３１の剥離縁３１４で剥離されずに剥離シートＲＬに仮着されたままの状態となり、剥離不良を発生することがあるが、接着シートＳの後端部Ｓ２に空気を吹き付けることで、接着シートＳを確実に剥離シートＲＬから剥離できるようになっている。
【００２１】
なお、各孔７２〜７５は、幅寸法が剥離シートＲＬの幅寸法よりも小さい孔（例えば円形の孔）が、紙面垂直方向に複数並んで構成されていてもよいし、剥離シートＲＬの幅寸法と略等しい孔（例えばスリット状の孔）１つで構成されていてもよい。
【００２２】
また、吹付本体７１には、各孔７２〜７５の右面部７１２側に連結された配管７６を介して吹付調整手段７７が設けられている。この吹付調整手段７７は、図示しない加圧ポンプ、電磁弁、エアレギュレータ等を含んで構成され、各孔７２〜７５から吹き付ける空気の吹付力、噴出（吹き付け）時間の長さ、噴出（吹き付け）タイミングを各孔７２〜７５ごとに調整可能に設けられている。
【００２３】
捲れ防止手段８は、図１に示すように、幅寸法が接着シートＳの幅寸法と略等しい板状の部材で構成されており、ピールプレート３１の上側において、ピールプレート３１に対して略平行となるように、かつ、左端が吸着盤４の右端に若干の間隔を隔てた位置に配置されている。また、捲れ防止手段８は、その下面部８１の高さ位置が図１中実線で示す待機位置で待機している吸着盤４の保持面４１と略等しくなるように、あるいは、保持面４１よりも低くなるように設けられている。
【００２４】
以上のシート貼付装置１において、被着体Ｗに接着シートＳを貼付する手順としては、まず、図１に示すように、被着体搬送手段９によって、左方向に被着体Ｗが搬送されて来ると、図示しないセンサによって検出されて吸着盤４の下方の所定位置で当該被着体Ｗの搬送が停止される。一方、シート貼付装置１は、繰出手段２が原反Ｒを繰り出すとともに、吸着盤４が吸引を開始し、剥離手段３が剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離して当該接着シートＳを吸着盤４の保持面４１に沿って送り出す。
【００２５】
接着シートＳが送り出され、図２（Ａ）に示すように、接着シートＳが剥離縁３１４を通過しても剥離されなかった場合、吹付調整手段７７は、先端剥離補助孔７２のみから吹付力Ｐ１の空気を吹付時間長さＨ１だけ吹き付ける。ここで、吹付力Ｐ１の大きさは、接着シートＳの接着力と比べて大きい値に設定されており、接着シートＳの接着剤層ＡＤの接着力に応じて任意に設定することができる。また、吹付時間長さＨ１は、０．３秒程度に設定されているが、接着シートＳの剥離シートＲＬからの剥がれ具合に応じて任意に設定することができる。つまり、吹付力Ｐ１、吹付時間長さＨ１は、先端部Ｓ１を瞬間的に剥離可能な値に設定されている。先端剥離補助孔７２から空気が吹き付けられると、接着シートＳの先端部Ｓ１は、剥離シートＲＬから剥離されることとなるが、本実施形態の場合、図２（Ｂ）に示すように、剥離シートＲＬにおける凹部３１５に対向する部分が凹部３１５内部に引き込まれ、接着シートＳの弾性復元力も働き、接着シートＳと剥離シートＲＬとの間に空気が入り易くなり、単に空気の吹き付けだけでは剥離しきれなかった接着シートＳであっても、その先端部Ｓ１を確実に剥離シートＲＬから剥離することができる。
また、先端剥離補助孔７２から空気を吹き付け、接着シートＳの先端部Ｓ１を剥離した際に、図２（Ｂ）の符号Ｘで示すように、先端部Ｓ１が保持面４１以外の方向、つまり、吸着盤４の右側の面方向に捲り上がってしまい、接着シートＳの貼付不良を発生する場合があるが、捲れ防止手段８を設けたことで、先端部Ｓ１の捲り上がりを防止して接着シートＳの貼付不良を未然に防止することができる。なお、センサを用いることなく、接着シートＳの先端部Ｓ１が剥離縁３１４を通過するタイミングで、毎回先端剥離補助孔７２から空気を吹き付けるように構成してもよい。
【００２６】
この後、吹付調整手段７７は、接着シートＳの送り出される度合い（長さ、時間）に応じて、第１、第２姿勢維持孔７３，７４から空気を吹き付ける。具体的には、先端剥離補助孔７２からの空気の吹き付けが完了した時点や、図３（Ｃ）に示すように、接着シートＳの先端部Ｓ１が保持面４１の中央よりも若干右側に到達したことを図示しないセンサや、タイマによって認識すると、第１姿勢維持孔７３のみから吹付力Ｐ２の空気を吹き付ける。さらに、吹付調整手段７７は、図３（Ｄ）に示すように、接着シートＳの先端部Ｓ１が保持面４１の中央よりも若干左側に到達したことを同様に認識すると、第１姿勢維持孔７３からの空気の吹き付けを継続しつつ、第２姿勢維持孔７４から吹付力Ｐ３の空気を吹き付ける。このように接着シートＳを繰り出しつつ、その下方から空気を吹き付けることで、接着シートＳが自重で撓んだり、落下したりすることを防止することができる。さらに、第１、第２姿勢維持孔７３，７４から空気を吹き付ける構成としたので、接着シートＳの繰り出し方向長さが長い場合であっても、当該接着シートＳの面内全域に亘って接着シートＳを保持面４１側に付勢することができ、安定した姿勢で接着シートＳを吸着盤４に保持させることができる。すなわち、接着シートＳがピールプレート３１から吸着盤４に向かって送り出される途中において、当該接着シートＳが複数の保持吸引孔４３の全てを塞いで吸着保持されるまでの間は、塞がれていない保持吸引孔４３から空気が吸引されることとなり、吸着盤４による吸引力が十分でないため、接着シートＳが自重によって下方に垂れ下がったり、落下したりする可能性高い。このため、吸着盤４の全ての保持吸引孔４３を塞いで接着シートＳが吸着保持されるまで、第１，第２姿勢維持孔７３，７４から接着シートＳに吹付力Ｐ２，Ｐ３の空気を吹き付け、接着シートＳの保持を下方から補助することによって、接着シートＳの撓みや落下を防止して、適正な姿勢で吸着盤４に吸着保持させるようになっている。
ここで、吹付力Ｐ２，Ｐ３の大きさは、同じでもよいし異なっていてもよく、また、吹付力Ｐ２，Ｐ３が大きすぎると、接着シートＳが保持面４１に強く押圧され、途中で接着シートＳが繰り出されなくなってしまう悪影響を及ぼす可能性があることから、このような悪影響が出ない大きさに設定することが好ましい。このような吹付力Ｐ２，Ｐ３の大きさとしては、吹付力Ｐ１の１／５程度が例示できる。また、第１，第２姿勢維持孔７３，７４からの空気のそれぞれの吹付時間長さＨ２，Ｈ３は、例えば、吹き付け開始から、接着シートＳの後端部Ｓ２が剥離シートＲＬから切り離されるまでの時間でよい。
【００２７】
さらに、吹付調整手段７７は、図３（Ｅ）に示すように、接着シートＳの後端部Ｓ２が剥離縁３１４上に到達したことを図示しないセンサや、タイマによって認識すると、後端剥離補助孔７５のみから吹付力Ｐ４の空気を吹付時間長さＨ４だけ吹き付ける。これにより、後端部Ｓ２は、剥離シートＲＬから瞬間的に剥離され、吸着盤４の保持面４１に吸着保持される。ここで、吹付力Ｐ４の大きさは、先端剥離補助孔７２からの空気の吹付力Ｐ１と同様に、接着シートＳの接着力と比べて大きい値に設定されている。また、吹付時間長さＨ４は、０．１秒程度に設定されている。つまり、吹付力Ｐ４および吹付時間長さＨ４は、吹付力Ｐ１および吹付時間長さＨ１の設定理由と同様の理由から、後端部Ｓ２を瞬間的に剥離可能な値に設定されている。なお、センサを用いることなく、接着シートＳの後端部Ｓ２が剥離縁３１４上に達するタイミングで、毎回後端剥離補助孔７５から空気を吹き付けるように構成してもよい。
【００２８】
そして、図１の二点鎖線で示すように、シート貼付装置１は、エアシリンダ６を駆動して出力軸６１を下方に移動させることで吸着盤４を下降させ、被着体Ｗに接着シートＳを押圧して貼付する。ここで、もしも接着シートＳの後端部Ｓ２が剥離シートＲＬから剥離されていなかったら、吸着盤４が下降したとしても接着シートＳが下降できないという現象が発生する。このとき、吸着盤４が接着シートＳを保持する保持力に対して、後端部Ｓ２が剥離シートＲＬへ接着している接着力は小さく、接着シートＳが吸着盤４から脱落してしまうようなことは稀であるが、接着シートＳが保持面４１内で移動してしまい、当該接着シートＳを被着体Ｗの所定の位置に正確に貼付することができなくなってしまうという不都合が発生する。その点、本シート貼付装置１は、後端剥離補助孔７５によって接着シートＳの後端部Ｓ２を確実に剥離シートＲＬから剥離する構成となっているため、そのような不都合は発生しない。このようにして被着体Ｗに接着シートＳを貼付したら、配管４５を介してチャンバ部４４内に空気を導入し（チャンバ部４４内を大気圧とし）、チャンバ部４４内の負圧を解除する。そして、エアシリンダ６を駆動して吸着盤４を接着シートＳから離隔させると、接着シートＳが被着体Ｗに貼付される。
以上のように被着体Ｗに対する接着シートＳの貼付が完了したら、接着シートＳが貼付された被着体Ｗは、被着体搬送手段９によって搬送されるとともに、次の被着体Ｗが搬送されてくることで上記同様の動作が繰り返される。
【００２９】
以上のような実施形態によれば、剥離シートＲＬに仮着された接着シートＳに対して、先端剥離補助孔７２により先端部Ｓ１に空気を吹き付けることで、当該先端部Ｓ１の剥離シートＲＬからの剥離を補助するので、接着力が強い接着シートＳであっても確実に剥離シートＲＬから剥離することができ、被着体Ｗの適切な位置に貼付することができる。
【００３０】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３１】
例えば、前記実施形態では、吸着盤４の下面に設けた保持面４１に沿って接着シートＳを繰り出し、繰り出す途中の接着シートＳの下面側（接着剤層ＡＤ側）に各孔７２〜７５から空気を吹き付けるように構成したが、接着シートＳの繰り出し方向や、各孔７２〜７５からの空気の吹き付け方向などは、前記実施形態に限られない。すなわち、接着シートＳを上下方向や適宜な斜め方向に繰り出してもよく、あるいは、接着シートＳの面方向が水平ではなく、垂直または適宜に傾斜した状態の接着シートを任意の方向に送り出すようにしてもよい。また、各孔７２〜７５からの空気の吹き付け方向としても、接着シートＳの繰り出し方向に応じて適宜に設定すればよく、上下方向や適宜な斜め方向に空気を吹き付けるように構成してもよい。
そして、吹付時間長さＨ１〜Ｈ４、吹付力Ｐ１〜Ｐ４、各孔７２〜７５からの空気の吹付タイミングについても同様に、適宜他の条件としてもよい。また、吹付時間長さ、吹付力、吹付タイミングのうち少なくとも一つを各孔７２〜７５で異ならせるようにしてもよい。
さらに、前記実施形態では、接着シートＳの押圧方向が下向きの例を説明したが、押圧方向としては、下向きに限らず、上向きや横向き、あるいは適宜な斜め方向であってもよい。
【００３２】
また、第１，第２姿勢維持孔７３，７４、後端剥離補助孔７５のうちいずれか一つから空気を吹き付けるようにしてもよい。さらに、凹部３１５を設けなくてもよい。姿勢維持孔は、第１，第２姿勢維持孔７３，７４の２系統に限定されることはなく、１系統でもよいし、３系統以上であってもよい。
【００３３】
さらに、図４および図５に示すようなシート貼付装置１Ａとしてもよい。
このシート貼付装置１Ａは、繰出手段２と、剥離手段３Ａと、剥離された接着シートＳを被着体Ｗに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ６Ａと、剥離手段３Ａで剥離される接着シートＳに必要に応じて気体を吹き付ける吹付手段７Ａと、吹付手段７Ａの気体の吹き付けによる接着シートＳの捲れ上がりを防止する捲れ防止手段８Ａとを備えている。
【００３４】
剥離手段３Ａを構成するピールプレート３１Ａは、左下方に傾斜するように設けられており、また、凹部３１５は設けていないが、二点鎖線で示すように設けてもよい。
捲れ防止手段８Ａは、板状の部材で構成されており、ピールプレート３１Ａに対して略平行となるように、かつ、左端が押圧ローラ６Ａの右側に若干の間隔を隔てた位置に配置されている。
【００３５】
吹付手段７Ａは、吹付本体７１Ａを備え、この吹付本体７１Ａには、ピールプレート３１Ａの傾斜面部３１２に沿って気体を吹き付け可能な先端剥離補助手段としての先端剥離補助孔７２Ａが、吹付本体７１Ａの両端面を連通するように設けられている。
また、図５に示すように、吹付手段７Ａは、捲れ防止手段８Ａ内部に設けられた後端剥離補助手段としての後端剥離補助孔７５Ａを備えている。この後端剥離補助孔７５Ａは、捲れ防止手段８Ａの右面部８２Ａと、下面部８１Ａにおける左端側とを連通し、剥離縁３１４に到達した接着シートＳの後端部Ｓ２に空気を吹き付けるように設けられている。
なお、先端剥離補助孔７２Ａおよび後端剥離補助孔７５Ａとしては、円孔状の孔が紙面垂直方向に複数並んで設けられていてもよいし、スリット状の孔１つで構成されていてもよい。
さらに、吹付手段７Ａは、各補助孔７２Ａ，７５Ａにそれぞれ連結された配管７６を介して設けられた吹付調整手段７７を備えている。
【００３６】
以上のシート貼付装置１Ａにおいて、被着体Ｗに接着シートＳを貼付する際には、まず、シート貼付装置１Ａは、図４の実線で示すように、接着シートＳの先端部Ｓ１がピールプレート３１Ａによって所定長さ剥離された状態で原反Ｒの繰り出しが停止され、スタンバイ状態となっている。そこに被着体搬送手段９により被着体Ｗが搬送され、図示しないセンサが当該被着体Ｗを検出すると、繰出手段２により原反Ｒが繰り出され、剥離手段３Ａが剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離して当該接着シートＳを被着体Ｗに向かって送り出す。そして、送り出される接着シートＳを押圧ローラ６Ａで被着体Ｗに順次押圧して貼付する。次いで、図５に示すように、接着シートＳの後端部Ｓ２が剥離縁３１４上に到達したことが図示しないセンサやタイマ等によって認識されると、後端剥離補助孔７５Ａから吹付力Ｐ４の空気を吹付時間長さＨ４だけ吹き付ける。これにより、後端部Ｓ２は、剥離シートＲＬから瞬間的に剥離され、被着体Ｗに貼付される。
繰出手段２は、後端部Ｓ２が剥離縁３１４を通過した後も原反Ｒの繰り出しを行い続け、次の接着シートＳの先端部Ｓ１が、ピールプレート３１Ａによって所定長さ剥離されるまで原反Ｒの繰り出しを行い、当該先端部Ｓ１が図示しないセンサによって検出されて停止することで、上述のスタンバイ状態となり、以降同様の動作が繰り返されることとなる。
ここで、次の接着シートＳの先端部Ｓ１が図４の二点鎖線で示すように、剥離縁３１４を通過しても剥離されなかったことを図示しないセンサが検出した場合、吹付調整手段７７は、先端剥離補助孔７２Ａから吹付力Ｐ１の空気を吹付時間長さＨ１だけ吹き付ける。この空気の吹き付けにより、次の接着シートＳの先端部Ｓ１を確実に剥離シートＲＬから剥離してスタンバイ状態を維持できることとなる。なお、センサを用いることなく、接着シートＳの先端部Ｓ１が剥離縁３１４を通過するタイミングで、毎回先端剥離補助孔７２Ａから空気を吹き付けるように構成してもよい。
また、先端剥離補助孔７２Ａから空気による接着シートＳの先端部Ｓ１の剥離の際に、先端部Ｓ１が押圧ローラ６Ａ以外の方向、つまり、図４中右上方に捲り上がってしまい接着シートＳの貼付不良を発生する場合があるが、捲れ防止手段８Ａによる捲り上がりの防止により貼付不良を未然に防止することができる。
【００３７】
なお、シート貼付装置１Ａにおいても、シート貼付装置１で採用した姿勢維持手段としての第１，第２姿勢維持孔７３，７４を設けてもよい。この場合、第１，第２姿勢維持孔７３，７４から吹き付けられる空気は、ピールプレート３１Ａによって剥離された接着シートＳの接着剤層ＡＤ側に弱い吹付力Ｐ２，Ｐ３で空気を吹き付ける。これにより、先端部Ｓ１が剥離され、スタンバイ状態となっている接着シートＳの当該先端部Ｓ１に空気を吹き付けることができ、例えば、支持ローラ２１で巻回して支持されていた接着シートＳの巻き癖によって、先端部Ｓ１が接着剤層ＡＤ側に巻き込まれて、接着シートＳの貼付ができなくなるといった不具合を未然に防止することができる。また、シート貼付装置１Ａにおいても、上述したような変形例を適宜適用してもよい。
【００３８】
また、前記実施形態では、被着体Ｗおよび接着シートＳを具体的に例示していないが、本発明のシート貼付装置（貼付方法）では、被着体および接着シートの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、被着体が適宜な物品（例えば、段ボールケースや樹脂容器等）であって、接着シートが装飾用や品質表示用のラベルであってもよく、被着体が半導体ウェハであって、接着シートが保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。この際、半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、上記に限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、被着体が光ディスク基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。また、被着体としては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の板状部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
また、ピールプレート３１以外にローラを利用したものであってもよい。
さらに、押圧手段としてエアシリンダや押圧ローラ以外に、チャンバ部４４内に高圧空気を導入することで接着シートＳを吹き飛ばす所謂エアジェットタイプのものを採用してもよい。
また、保持手段は、吸着保持以外に、駆動機器によって構成された把持機構等によって接着シートＳを挟み込んで保持する構成等であってよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３９】
１，１Ａ…シート貼付装置
２…繰出手段
３，３Ａ…剥離手段
４…吸着盤（保持手段）
６…エアシリンダ（押圧手段）
６Ａ…押圧ローラ（押圧手段）
７，７Ａ…吹付手段
８，８Ａ…捲れ防止手段
３１，３１Ａ…ピールプレート（板状部材）
７２，７２Ａ…先端剥離補助孔（先端剥離補助手段）
７３，７４…第１，第２姿勢維持孔（姿勢維持手段）
７５，７５Ａ…後端剥離補助孔（後端剥離補助手段）
７７…吹付調整手段
３１４…剥離縁
３１５…凹部（剥離促進部）
ＡＤ…接着剤層
ＢＳ…基材シート
ＲＬ…剥離シート
Ｓ…接着シート
Ｓ１…先端部
Ｓ２…後端部
Ｗ…被着体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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