(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
切削加工機により被加工物に対し周状に溝または段差部を形成する切削加工の加工状態検出方法において、
前記切削加工機または前記被加工物が発生する振動または音の時間波形を測定し、
前記時間波形の輪郭を抽出した輪郭波形をもとに前記切削加工を行う本加工時間領域における任意の時間から時間を遡って前記本加工時間領域の開始時間を特定し、
前記本加工時間領域の開始時間よりも前の時間における前記切削加工を行わない無加工時間領域を特定し、
前記無加工時間領域の前記輪郭波形にて前記本加工時間領域の前記輪郭波形の振幅の値よりも小さく良否判定閾値よりも大きい振幅の値からなる異常波形の有無を判定して前記被加工物の加工状態を検出すること、
を特徴とする加工状態検出方法。
【請求項２】
請求項１の加工状態検出方法において、
前記時間波形に対しフィルタをかけて前記切削加工により発生する周波数成分を抽出すること、
を特徴とする加工状態検出方法。
【請求項３】
請求項１または２の加工状態検出方法において、
前記被加工物は歯形部品であり、
前記切削加工は、断続的に切削を行う断続切削加工であること、
を特徴とする加工状態検出方法。
【請求項４】
切削加工機により被加工物に対し周状に溝または段差部を形成する切削加工の加工状態検出プログラムにおいて、
前記切削加工機または前記被加工物が発生する振動または音の時間波形を測定するステップと、
前記時間波形の輪郭を抽出した輪郭波形をもとに前記切削加工を行う本加工時間領域における任意の時間から時間を遡って前記本加工時間領域の開始時間を特定するステップと、
前記本加工時間領域の開始時間よりも前の時間における前記切削加工を行わない無加工時間領域を特定するステップと、
前記無加工時間領域の前記輪郭波形にて前記本加工時間領域の前記輪郭波形の振幅の値よりも小さく良否判定閾値よりも大きい振幅の値からなる異常波形の有無を判定して前記被加工物の加工状態を検出するステップと、をコンピュータに実行させること、
を特徴とする加工状態検出プログラム。
【請求項５】
切削加工機により被加工物に対し周状に溝または段差部を形成する切削加工の加工状態検出プログラムを記録した記録媒体において、
前記切削加工機または前記被加工物が発生する振動または音の時間波形を測定するステップと、
前記時間波形の輪郭を抽出した輪郭波形をもとに前記切削加工を行う本加工時間領域における任意の時間から時間を遡って前記本加工時間領域の開始時間を特定するステップと、
前記本加工時間領域の開始時間よりも前の時間における前記切削加工を行わない無加工時間領域を特定するステップと、
前記無加工時間領域の前記輪郭波形にて前記本加工時間領域の前記輪郭波形の振幅の値よりも小さく良否判定閾値よりも大きい振幅の値からなる異常波形の有無を判定して前記被加工物の加工状態を検出するステップと、をコンピュータに実行させるための加工状態検出プログラムを記録したこと、
を特徴とする記録媒体。
【請求項６】
切削加工機により被加工物に対し周状に溝または段差部を形成する切削加工の加工状態検出装置において、
前記切削加工機または前記被加工物が発生する振動または音の時間波形を測定する測定手段と、
前記時間波形の輪郭を抽出した輪郭波形をもとに前記切削加工を行う本加工時間領域における任意の時間から時間を遡って前記本加工時間領域の開始時間を特定し、前記本加工時間領域の開始時間よりも前の時間における前記切削加工を行わない無加工時間領域を特定し、前記無加工時間領域の前記輪郭波形にて前記本加工時間領域の前記輪郭波形の振幅の値よりも小さく良否判定閾値よりも大きい振幅の値からなる異常波形の有無を判定して前記被加工物の加工状態を検出する検出手段と、
を有することを特徴とする加工状態検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物に対する切削加工時に発生する振動または音を測定して加工状態を検出する加工状態検出方法、加工状態検出プログラム、記録媒体、加工状態検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば薄肉円筒状の被加工物に対する切削加工において、被加工物の変形や被加工物の切削機への取り付け時の異物の付着などが生じると、被加工物の偏芯や浮き上がりなどが生じて被加工物の加工精度が低下し、精度不良となってしまう。そこで、このような切削加工における精度不良を検出する必要がある。
【０００３】
ここで、特許文献１には、ワーク（被加工物）が装着されたホルダと当該ホルダを脱着可能に保持する保持部との当接面における異物の挟み込みを検出する技術が開示されている。そして、この特許文献１の技術では、加工時に発生する実振動量のピーク値が加工前にホルダと保持部とを空回転させた時の基準振動量を超えると、ホルダと保持部との当接面に異物を挟み込んでいると判定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２８３４６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の技術はホルダと保持部とがアンバランスに当接していることにより加工時に発生する負荷変動を検出するものであるが、ワークの偏芯や浮き上がりなどによるワークの加工時のアンバランス量は極めて小さい。そのため、特許文献１の技術ではワークの偏芯や浮き上がりなどによる切削加工における精度不良を検出することは困難であり、切削加工におけるワークの加工状態を確実に検出することができない。
【０００６】
また、予めスプラインが形成された円筒状の被加工物に対して切削加工により溝を形成する場合には、断続的に切削が行われる断続切削加工となる。そして、このような断続切削加工において、被加工物の偏芯や浮き上がりなどが生じても加工時に発生する振動や音の周波数は一定である。そのため、加工時に発生する振動や音の周波数をもとに被加工物の加工状態を検出することは困難である。
【０００７】
そこで、本発明は上記した問題点を解決するためになされたものであり、切削加工における被加工物の加工状態を確実に検出することができる加工状態検出方法、加工状態検出プログラム、記録媒体、加工状態検出装置を提供すること、を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するためになされた本発明の一態様は、切削加工機により被加工物に対し周状に溝または段差部を形成する切削加工の加工状態検出方法において、前記切削加工機または前記被加工物が発生する振動または音の時間波形を測定し、前記時間波形の輪郭を抽出した輪郭波形をもとに前記切削加工を行う本加工時間領域における任意の時間から時間を遡って前記本加工時間領域の開始時間を特定し、前記本加工時間領域の開始時間よりも前の時間における前記切削加工を行わない無加工時間領域を特定し、前記無加工時間領域の前記輪郭波形にて前記本加工時間領域の前記輪郭波形の振幅の値よりも小さく良否判定閾値よりも大きい振幅の値からなる異常波形の有無を判定して前記被加工物の加工状態を検出すること、を特徴とする。
【０００９】
ここで、被加工物の偏芯や浮き上がりなどが発生したときに、本加工時間領域よりも前の無加工時間領域において切削加工機の切削歯が被加工物の浮き上がり部などに部分的に接触した場合には、無加工時間領域の輪郭波形にて異常波形が発生しうる。そこで、前記の態様のように、この異常波形の有無を判定することにより、被加工物の偏芯や浮き上がりなどが発生したことによる被加工物の加工精度の不良を検出することができる。このようにして、切削加工における被加工物の加工状態を確実に検出することができる。なお、良否判定閾値は、電気的ノイズや周囲の振動などにより発生しうる波形の振幅の値よりも大きく、切削加工における被加工物の加工精度の良・不良を判定する振幅の境界値である。
【００１０】
また、測定した振動や音の時間波形の輪郭を抽出した輪郭波形をもとに、本加工時間領域における任意の時間から時間を遡って切削開始時間を特定するので、被加工物の加工前の寸法などの仕様の影響を受けることなく本加工時間領域と無加工時間領域を特定することができる。そのため、検出対象の被加工物の加工前の寸法などの仕様の影響を受けることなく、切削加工における被加工物の加工状態を確実に検出することができる。
【００１１】
上記の態様においては、前記時間波形に対しフィルタをかけて前記切削加工により発生する周波数成分を抽出すること、が好ましい。
【００１２】
この態様によれば、ノイズや周囲の振動などの外乱の影響を受けることなく、切削加工により発生する周波数成分だけを抽出することができる。そのため、ノイズや周囲の振動などの外乱の影響を受けることなく、切削加工における被加工物の加工状態を確実に検出することができる。
【００１３】
上記の態様においては、前記被加工物は歯形部品であり、前記切削加工は、断続的に切削を行う断続切削加工であることが好ましい。
【００１４】
この態様によれば、切削加工時に発生する振動の周波数は一定である断続切削加工においても、切削加工における被加工物の加工状態を確実に検出することができる。
【００１５】
上記課題を解決するためになされた本発明の他の態様は、切削加工機により被加工物に対し周状に溝または段差部を形成する切削加工の加工状態検出プログラムにおいて、前記切削加工機または前記被加工物が発生する振動または音の時間波形を測定するステップと、前記時間波形の輪郭を抽出した輪郭波形をもとに前記切削加工を行う本加工時間領域における任意の時間から時間を遡って前記本加工時間領域の開始時間を特定するステップと、前記本加工時間領域の開始時間よりも前の時間における前記切削加工を行わない無加工時間領域を特定するステップと、前記無加工時間領域の前記輪郭波形にて前記本加工時間領域の前記輪郭波形の振幅の値よりも小さく良否判定閾値よりも大きい振幅の値からなる異常波形の有無を判定して前記被加工物の加工状態を検出するステップと、をコンピュータに実行させること、を特徴とする。
【００１６】
上記課題を解決するためになされた本発明の他の態様は、切削加工機により被加工物に対し周状に溝または段差部を形成する切削加工の加工状態検出プログラムを記録した記録媒体において、前記切削加工機または前記被加工物が発生する振動または音の時間波形を測定するステップと、前記時間波形の輪郭を抽出した輪郭波形をもとに前記切削加工を行う本加工時間領域における任意の時間から時間を遡って前記本加工時間領域の開始時間を特定するステップと、前記本加工時間領域の開始時間よりも前の時間における前記切削加工を行わない無加工時間領域を特定するステップと、前記無加工時間領域の前記輪郭波形にて前記本加工時間領域の前記輪郭波形の振幅の値よりも小さく良否判定閾値よりも大きい振幅の値からなる異常波形の有無を判定して前記被加工物の加工状態を検出するステップと、をコンピュータに実行させるための加工状態検出プログラムを記録したこと、を特徴とする。
【００１７】
上記課題を解決するためになされた本発明の他の態様は、切削加工機により被加工物に対し周状に溝または段差部を形成する切削加工の加工状態検出装置において、前記切削加工機または前記被加工物が発生する振動または音の時間波形を測定する測定手段と、前記時間波形の輪郭を抽出した輪郭波形をもとに前記切削加工を行う本加工時間領域における任意の時間から時間を遡って前記本加工時間領域の開始時間を特定し、前記本加工時間領域の開始時間よりも前の時間における前記切削加工を行わない無加工時間領域を特定し、前記無加工時間領域の前記輪郭波形にて前記本加工時間領域の前記輪郭波形の振幅の値よりも小さく良否判定閾値よりも大きい振幅の値からなる異常波形の有無を判定して前記被加工物の加工状態を検出する検出手段と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る加工状態検出方法、加工状態検出プログラム、記録媒体、加工状態検出装置によれば、切削加工における被加工物の加工状態を確実に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】振動判定機の構成図である。
【図２】ワークの例を示す図である。
【図３】加工状態検出方法の内容を表したフローチャート図である。
【図４】振動データのサンプリング例を示す図である。
【図５】振動波形に対しエンベロープ処理を行った例を示す図である。
【図６】ワークに対する全周加工の開始時間を特定する手法を示す図である。
【図７】ワークの精度不良の検出例を示す図である。
【図８】円筒状のワークに段差部を形成する例を示す図である。
【図９】円盤状のワークの面に溝を形成する例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明を具体化した実施例について、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００２１】
〔振動判定機の構成の説明〕
まず、本発明の加工状態検出装置の一例である振動判定機１の構成について説明する。振動判定機１は、図１に示すように、加速度ピックアップ１０、振動計１２（アンプ部）、ＦＦＴ分析装置１４、インタフェース装置１６などを有する。この振動判定機１は、ワーク（被加工物）を切削する工作機械１８（切削加工機）における振動を判定し、この判定結果からワークの加工状態を検出する。
【００２２】
なお、ここでは一例として、工作機械１８により図２に示すようなワーク２０を製作する例を挙げて、以下に説明する。図２に示すように、ワーク２０は、円筒状のドラムであり、全周にわたってスプライン２２が形成されている。そして、ワーク２０の内周側のスプライン２２に溝２４が形成されている。工作機械１８は、切削歯（不図示）によるワーク２０の径方向（ラジアル方向、肉厚方向）の切削によりワーク２０の内周側のスプライン２２に溝２４を形成する。これにより、ワーク２０の内周側に溝２４を断続的に周状に形成する。このように、ワーク２０は全周にわたってスプライン２２が形成されており、工作機械１８により溝２４を形成する際には断続的にスプライン２２のみを切削することから、工作機械１８によるワーク２０の製作においては断続切削加工を行うことになる。そして、このような断続切削加工を行う時には、一定の周波数の振動や一定間隔の音が発生することになる。
【００２３】
図１の説明に戻り、加速度ピックアップ１０（振動ピックアップ）は、感知した振動に応じて電気信号に変換するセンサである。振動計１２は、この加速度ピックアップ１０で変換した電気信号から振動の時間波形（例えば時間軸に対する出力電圧値の波形、以下、振動波形という）を測定する測定手段である。ＦＦＴ分析装置１４は、振動計１２で測定された振動波形をもとに周波数を分析する装置である。インタフェース装置１６は、工作機械１８とのインタフェースを行う装置であり、例えば、パーソナルコンピュータやワークステーションなどの汎用コンピュータシステムが考えられる。
【００２４】
また、インタフェース装置１６は、測定された振動波形をもとにワーク２０の加工状態を検出する検出手段であり、以下に説明する加工状態検出方法を規定した加工状態検出プログラムを実行することによりワーク２０の加工状態を検出する。なお、加工状態検出プログラムをコンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録された加工状態検出プログラムをインタフェース装置１６に読み込ませるようにしておいてもよい。
【００２５】
〔加工状態検出方法の説明〕
次に、工作機械１８により切削加工を行うときに、前記のような構成を有する振動判定機１を使用してワーク２０の加工状態を検出する加工状態検出方法について、図３を用いて説明する。なお、図３は、加工状態検出方法の内容を表したフローチャート図である。
【００２６】
まず、振動判定機１を初期状態に設定し（ステップＳ１）、振動判定機１を構成する加速度ピックアップ１０、振動計１２、ＦＦＴ分析装置１４、インタフェース装置１６などにおける各種設定を初期状態にする。
【００２７】
次に、工作機械１８に対しインタフェース装置１６からタレット旋回信号（加工指示信号）を送信すると同時に、振動判定機１による判定をスタートさせる（ステップＳ２）。これにより、工作機械１８は、タレット（旋回式の刃物台）の旋回を開始して、切削歯をワーク２０に近づけていき、やがて切削歯がワーク２０に接触してワーク２０を切削することにより溝２４を形成する。また、同時に、振動判定機１はワーク２０の加工状態を検出する動作を開始する。
【００２８】
次に、振動判定機１は振動データのサンプリングを行う（ステップＳ３）。具体的には、工作機械１８がワーク２０のタレットの旋回を開始して加工動作を開始した時から、確実に工作機械１８の切削歯がワーク２０に接触してワーク２０の全周加工する時間までに加速度ピックアップ１０と振動計１２で測定した振動データを採取する。より具体的には、工作機械１８が加工動作を開始した時（図４における時間＝０）から、工作機械１８がワーク２０の全周加工を始めてしばらく経過した時までの時間Ｔ１（図４では一例としてＴ１＝２ｓｅｃとしている）における振動データを採取する。そして、採取した振動データをＦＦＴ分析装置１４に記録する。
【００２９】
次に、ＦＦＴ分析装置１４に記録した振動データに対してフィルタを施して必要な周波数成分を抽出する（ステップＳ４）。これにより、ＦＦＴ分析装置１４に記録した振動データについて、断続切削により発生する周波数成分だけを抽出する。
【００３０】
次に、無加工時間領域での振幅から閾値ａを決める振動データを抽出する（ステップＳ５）。具体的には、無加工時間領域において、工作機械１８が加工動作を開始した直後の一部の時間ｔ（図４参照、例えばｔ＝０．０５ｓｅｃ）内における振動データを抽出する。これにより、無加工時間領域の振動の実効値（電気的ノイズや周囲の振動などの外乱により発生する振幅値）を把握する。ここで、工作機械１８がワーク２０の全周を加工する時間領域を本加工時間領域とすると、無加工時間領域とは工作機械１８が加工動作を開始した後の時間領域であって本加工時間領域より前の時間領域である。すなわち、無加工時間領域とは、工作機械１８がワーク２０の全周加工を開始する前の時間領域である。そして、このように抽出した振動データをもとに、振幅の閾値ａを設定する。閾値ａは、例えば無加工時間領域の振動の実効値の１．５倍の値とし、電気的ノイズや周囲の振動などの外乱の影響を受けない値とする。
【００３１】
次に、エンベロープ処理により振動波形の輪郭を求める（ステップＳ６）。具体的には、加速度ピックアップ１０で測定された振動データをもとに作成し、前記のように断続切削により発生する周波数成分だけを抽出して得られた振動波形に対してエンベロープ処理を行う。そして、これにより、図５に示すように振動波形の輪郭を捉えた輪郭波形を作成する。
【００３２】
次に、振動波形の輪郭をもとにワーク２０の全周加工を開始する時間Ｔ２を求める（ステップＳ７）。具体的には、振動波形の輪郭を捉えた輪郭波形の終端側から時間を遡って最初に閾値ａ以下の振幅となった時間Ｔ２を、ワーク２０の全周加工を開始する時間（本加工時間領域の開始時間）であると特定する。すなわち、図６に示すように、振動波形の輪郭を捉えた輪郭波形において、前記の時間Ｔ１から時間を遡って振幅が最初に閾値ａ以下となった時間Ｔ２を、ワーク２０の全周加工を開始する時間であると特定する。なお、図６では、説明の便宜上、出力が「＋」側のみの輪郭を示している。
【００３３】
次に、加工開始から時間Ｔ２までの間（無加工時間領域Ｄ１）に良否判定閾値ｂを超える振幅のピーク値が存在するか否かを判定する（ステップＳ８）。図７に示すように、良否判定閾値ｂは、前記のステップＳ５にて把握した無加工時間領域Ｄ１の振動の実効値よりも大きな値であって、ワーク２０の加工精度の良否を判定するための閾値である。本実施例では、良否判定閾値ｂは、前記の閾値ａよりも大きく設定している。なお、図７では、説明の便宜上、出力が「＋」側のみの輪郭を示している。
【００３４】
そして、加工開始から時間Ｔ２までの間（無加工時間領域Ｄ１）に良否判定閾値ｂを超える振幅のピーク値が存在すると判定した場合には、切削加工の終了後にワーク２０を不良品シュート（不良品回収部への誘導路）へ搬送することを指示する（ステップＳ９）。具体的には、振動波形の輪郭を捉えた輪郭波形において無加工時間領域Ｄ１に良否判定閾値ｂを超える振幅のピーク値が表れる異常波形が存在する場合には、ワーク２０の偏芯や浮き上がりなどが生じ、ワーク２０の全周加工の開始前に切削歯がワーク２０の浮き上がり部などを部分的に切削しているものと考えられる。そのため、ワーク２０を楕円状に加工する楕円加工などが行われて、ワーク２０の加工精度が低下する。したがって、インタフェース装置１６から工作機械１８に対し、ワーク２０を不良品回収部（不図示）にて回収するように指示を送る。なお、前記の異常波形の振幅は、図７に示すように、本加工時間領域Ｄ２における輪郭波形の振幅よりも小さい。
【００３５】
一方、加工開始から時間Ｔ２までの間（無加工時間領域Ｄ１）に良否判定閾値ｂを超える振幅のピーク値が存在しないと判定した場合には、切削加工の終了後にワーク２０を良品シュート（良品供給部への誘導路）へ搬送することを指示する（ステップＳ１０）。具体的には、振動波形の輪郭を捉えた輪郭波形において無加工時間領域Ｄ１に良否判定閾値ｂを超える振幅のピーク値が存在しない場合には、ワーク２０の偏芯や浮き上がりなどが生じていないと考えられる。あるいは、ワーク２０の偏芯や浮き上がりなどが生じていても、ワーク２０の加工精度に影響はないと考えられる。そのため、ワーク２０の加工精度は良好であるので、インタフェース装置１６から工作機械１８に対し、ワーク２０を良品供給部（不図示）へ供給するように指示を送る。
【００３６】
次に、前記のように測定や判定を行った各種データをＦＦＴ分析装置１４に記録しておく（ステップＳ１１）。次に、新たなワーク２０の切削加工を行うか否かを判定し（ステップＳ１２）、新たなワーク２０の切削加工を行う場合には再びステップＳ１に戻り、新たなワーク２０の切削加工を行わない場合にはそのまま終了する。以上のようにして、ワーク２０の加工状態を検出する。
【００３７】
〔本実施例の効果の説明〕
以上説明したように、ワーク２０の偏芯や浮き上がりなどが発生したときに、本加工時間領域Ｄ２よりも前の無加工時間領域Ｄ１において工作機械１８の切削歯がワーク２０の浮き上がり部などに部分的に接触した場合には、無加工時間領域Ｄ１の輪郭波形にて本加工時間領域Ｄ２の輪郭波形の振幅の値よりも小さく良否判定閾値ｂよりも大きい振幅の値からなる異常波形が発生しうる。そこで、本実施例によれば、この異常波形の有無を判定することにより、ワーク２０の偏芯や浮き上がりなどが発生したことによるワーク２０の加工精度の不良を検出することができる。このようにして、切削加工におけるワーク２０の加工状態を確実に検出することができる。なお、良否判定閾値ｂは、電気的ノイズや周囲の振動などにより発生しうる波形の振幅の値よりも大きく、切削加工におけるワーク２０の加工精度の良・不良を判定する振幅の境界値である。
【００３８】
また、本実施例によれば、工作機械１８がワーク２０の全周加工を開始する時間Ｔ２を特定して、工作機械１８がワーク２０の全周加工を開始する前の時間領域である無加工時間領域Ｄ１を特定し、当該無加工時間領域Ｄ１においてワーク２０を部分的に切削していか否かを判定して、ワーク２０の加工状態を検出する。そのため、ワーク２０の肉厚のバラツキなどの個体差の影響を受けることなく安定してワーク２０の加工状態を検出することができる。
【００３９】
また、加速度ピックアップ１０を工作機械１８に取り付けるだけでよいので、ワーク２０の製造工程ラインの小さなスペースに短時間で設置することができ、製造工程ラインの小スペース化や、振動判定機１の設置時間の短縮化を図ることができる。
【００４０】
また、切削加工時に発生する振動の周波数は一定である断続切削加工においても、切削加工におけるワーク２０の加工状態を確実に検出することができる。
【００４１】
なお、前記の説明においてはワーク２０の内周側に溝２４を形成する実施例を挙げたが、これに限定されず、本発明は、ワーク２０の外周側に溝２４を形成する実施例にも適用できる。また、前記の説明においては予めスプライン２２が形成された円筒状のワーク２０に対し溝２４を形成する断続切削加工を実施例に挙げたが、これに限定されず、本発明は、スプラインが形成されていない円筒状のワークに対し溝を形成する連続切削加工であって切削加工時に一定の周波数の振動や音などが発生する場合の実施例にも適用できる。
【００４２】
また、本発明は、例えば、図８に示すように円筒状のワーク２６に対し段差部２８を形成する実施例や、図９に示すように円盤状のワーク３０の面３２に溝３４や段差部（不図示）を切削加工により形成する実施例にも適用できる。
【００４３】
また、前記の説明においては工作機械１８の振動を測定したが、これに限定されず、ワーク２０の振動を測定する実施例も考えられる。また、その他、工作機械１８またはワーク２０で発生する切削音を測定して、その測定結果から算出した切削音の時間波形をもとに加工状態を検出する実施例も考えられる。
【００４４】
なお、上記した実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。
【符号の説明】
【００４５】
１    振動判定機
１０  加速度ピックアップ
１２  振動計
１４  ＦＦＴ分析装置
１６  インタフェース装置
１８  工作機械
２０  ワーク
２２  スプライン
２４  溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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