(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動部と当該駆動部と回転軸を介して接続されたファンとを有するリフロー装置本体のリフロー処理によって発生したフラックスを回収するためのフラックス回収装置を備えたリフロー装置であって、
前記フラックス回収装置は、
前記リフロー装置本体に取り付けられるベース部材と、
前記ベース部材の前記ファンとの対向側であってかつ前記回転軸の周辺部に設けられ、前記リフロー処理により発生した前記フラックスを流入させて外部に排出するドレン部と、
前記フラックスを前記ドレン部を介して回収するフラックス回収部と、
前記フラックス回収部内を減圧させる減圧部と
を備えることを特徴とするリフロー装置。
【請求項２】
前記リフロー装置本体は、予備加熱ゾーン、加熱ゾーンおよび冷却ゾーンを有し、
前記予備加熱ゾーン、前記加熱ゾーンおよび前記冷却ゾーンのそれぞれには、前記ファンの駆動に伴って、前記気体が吸い込まれる吸い込み部と、前記気体が吹き出される吹き出し部とが設けられ、
前記減圧部の前記一端は前記フラックス回収部に接続され、前記減圧部の前記他端は前記リフロー装置本体の前記吸い込み部のいずれかに接続されていることを特徴とする請求項１に記載のリフロー装置。
【請求項３】
前記リフロー装置本体には、当該リフロー装置本体の内部に窒素を供給するための窒素注入部がエジェクターを介して接続され、
前記エジェクターは、窒素注入口と、窒素出力口と、前記窒素の注入に伴って気体を引き込む引込口とを有し、
前記減圧部は、一端が前記フラックス回収部に接続され、他端が前記エジェクターの前記引き込み口に接続されたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のリフロー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラックスを含むはんだ上に電子部品が実装された基板をリフロー処理することにより電子部品を基板上にはんだ付けするリフロー装置に関する。詳しくは、リフロー処理により発生した気化したフラックスの一部が予備加熱ゾーンと本加熱ゾーンと冷却ゾーンに配置されているファンを回転させるためのモータ回転軸に付着して固化することを防止するためのフラックス回収装置を備えたリフロー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線基板上に電子部品をはんだ付けする場合には、一般にリフロー装置が使用される。リフロー装置は、プリント配線基板を搬送するコンベアとコンベアによりプリント配線基板が搬送されるリフロー装置本体とを備える。リフロー装置本体の内部は、予備加熱ゾーン、加熱ゾーンおよび冷却ゾーンのそれぞれに分割されている。予備加熱ゾーンおよび加熱ゾーンにはヒータおよびモータが設置され、冷却ゾーンには冷却部材、冷却ファンおよびモータが設置されている。
【０００３】
リフロー処理においては、予めはんだペーストが印刷された基板がリフロー装置内に搬送される。基板に印刷されるはんだペーストには、粉末はんだ、溶剤、フラックスが含まれている。このうちフラックスは、成分としてロジンなどを含んでおり、はんだ付けされる金属表面の酸化膜を除去すると共にはんだ付けの際に加熱で再酸化するのを防止し、はんだの表面張力を小さくして濡れ性を良くする効果を有している。
【０００４】
リフロー装置内に搬送された基板は、予備加熱ゾーンにおいて、ペーストはんだに含まれる溶剤が揮発される。続けて、加熱ゾーンにおいて、熱風が基板に吹き付けられてペーストはんだが溶融される。そして、冷却ゾーンにおいて、加熱されたプリント基板が冷却され、溶融したはんだが固化される。このような一連の工程により、プリント基板上の接合部に電子部品がはんだ付けされる。
【０００５】
ところで、上述した加熱工程では、ヒータによる加熱により、フラックスが気化してリフロー装置内に充満する。このように、リフロー本体内に充満した気化したフラックスは、一般的にはマッフル外に設けられたフラックス成分を除去する除去装置を介して清浄化された後、循環路を経由してマッフル内に再び戻される。しかし、リフロー処理ではファンの回転駆動に伴って、ファンの背面側に回り込む流れが生じるため、この流れにより気化したフラックスの一部がファンの背面側に回り込んでしまう場合がある。ファンの背面側に回り込んだ気化したフラックスは、温度の低下に伴い流動性のある液体のフラックスとなるので、この場合には液体化したフラックスがファンの背面側に設けられたベース部材上に滞留してしまう問題が発生する。
【０００６】
この問題を解決するために、ファンの背面側に設けられたベース部材の周縁部にフラックス回収用のドレン部を設けると共に、ベース部材の中心からドレン部に向かって傾斜した傾斜面を設けたリフロー装置が提案されている（特許文献１参照）。また、ファンの背面側では中央に向かって気体が流れることを利用して、ベース部材の中央部にドレン部を設け、ドレン部の排出側にドレン部から排出されるフラックスを回収するためのフラックス回収用容器を配管を介して設置したリフロー装置も提案されている。これらのリフロー装置によれば、ベース部材上に堆積するフラックスを効率的に回収できるようになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００８−２７２７９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記特許文献１等に開示されるリフロー装置等では、以下のような問題がある。すなわち、近年では、モータの回転軸とその周辺部の中央ドレンブロックとの間に機密性の高いシール部材が取り付けられている。そのため、この近辺における圧力が外部等に漏れ出すことがないので、ファンの背面側やフラックス回収容器内は高気密となる。このような高気密の環境下では、上記特許文献１のようにベース部材のドレン部に向かって傾斜した傾斜面を設けたとしても、フラックスの流動性が悪くなってしまい、フラックスがモータベース上で停滞してしまう場合があった。その結果、フラックスの再蒸発やフラックス停滞による汚れ等を引き起こしてしまうという問題がある。
【０００９】
また、従来のリフロー装置では、フラックスがベース部材上からドレン部に流動したとしてもドレン部とフラックス回収用器との間に配設される配管が斜めに延在しているので、ドレン部から流動したフラックスが配管の途中で停滞してしまう場合があった。この場合には、配管の途中でフラックスが堆積して固着し、配管を詰まらせてしまうという問題が発生する。配管におけるフラックスの固着問題は、特に、配管同士を接続する接続部において発生することが多い。
【００１０】
そこで、本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ベース部材上や配管等でのフラックスの滞留を抑制することが可能なリフロー装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明に係るリフロー装置は、駆動部と当該駆動部と回転軸を介して接続されたファンとを有するリフロー装置本体のリフロー処理によって発生したフラックスを回収するためのフラックス回収装置を備えたリフロー装置であって、フラックス回収装置は、リフロー装置本体に取り付けられるベース部材と、ベース部材のファンとの対向側であってかつ回転軸の周辺部に設けられ、リフロー処理により発生したフラックスを流入させて外部に排出するドレン部と、フラックスをドレン部を介して回収するフラックス回収部と、該フラックス回収部内を減圧させる減圧部とを備えるものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、フラックス回収部内を減圧部により減圧させるので、ベース部材上やドレン部等に堆積したフラックスをフラックス回収部内に強制的に吸引させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るリフロー装置の構成例を示す図である。
【図２】冷却ゾーンの構成例を示す図である（その１）。
【図３】冷却ゾーンの構成例を示す図である（その２）。
【図４】減圧部の設置例を示す斜視図である。
【図５】フラックス回収装置の構成例を示す斜視図である。
【図６】フラックス回収装置の構成例を示す断面図である。
【図７】フラックス回収装置の構成例を示す分解斜視図である。
【図８】排出管の蓋部の構成例を示す図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係るリフロー装置の減圧部の設置例を示す斜視図である。
【図１０】減圧部を構成するエジェクターの構成例を示す断面図である。
【図１１】本発明の第３の実施の形態に係るフラックス回収装置の構成例を示す斜視図である。
【図１２】本発明の第３の実施の形態に係るフラックス回収装置の構成例を示す分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、発明を実施するための最良の形態（以下実施の形態とする）について説明する。
＜１．第１の実施の形態＞
［リフロー装置の構成例］
図１は、本発明に係るリフロー装置１００Ａの構成の一例を示している。本発明に係るリフロー装置１００Ａは、リフロー装置本体１０とコンベア９２とを備える。リフロー装置本体１０は、搬入口１０ａと搬出口１０ｂとを有したトンネル状の筐体からなる。コンベア９２は、搬入口１０ａから搬出口１０ｂに至る搬送経路Ｘに沿うようにして延在しており、プリント基板９０をリフロー装置本体１０の搬入口１０ａから搬出口１０ｂに向かって所定の速度で搬送する。
【００１９】
リフロー装置本体１０の内部には、搬送経路Ｘに沿って、予備加熱ゾーンＺ１、加熱ゾーンＺ２および冷却ゾーンＺ３が順番に設けられている。予備加熱ゾーンＺ１は、はんだペーストに含まれる溶剤を揮発させるための領域であり、ヒータ１２、ファン１４およびモータ１６等が設置される。はんだペーストとしては、例えば錫−銀−銅や錫−亜鉛−ビスマス等を含有する鉛フリーはんだが用いられる。この溶融はんだの融点は、例えば１８０℃〜２２０℃程度である。加熱ゾーンＺ２は、プリント基板９０を加熱することによりはんだを溶融させるための領域であり、ヒータ１２、ファン１４およびモータ１６等が設置される。なお、予備加熱ゾーンＺ１と加熱ゾーンＺ２では、ヒータ１２、ファン１４およびモータ１６の構成は、同一構成を用いて温度設定のみ異なるようにすることが一般的には行われているが、異なる構成としても良い。異なる構成を採用した場合においても基本的な構成および機能は同一であるため、便宜上説明を省略する。
【００２０】
ヒータ１２は、コンベア９２の上下のそれぞれに対向するようにして配置され、予備加熱ゾーンＺ１および加熱ゾーンＺ２内部の空気を加熱する。本例の場合、図１に示すように、予備加熱ゾーンＺ１には上下のそれぞれに３個のヒータ１２が配置され、加熱ゾーンＺ２には上下のそれぞれに２個のヒータ１２が配置される。
【００２１】
モータ１６は、コンベア９２の上下のそれぞれに対向するようにして配置され、各ゾーンに配置されるファン１４を回転駆動させる。本例の場合、図１に示すように、予備加熱ゾーンＺ１には上下のそれぞれに３個のモータ１６が配置され、加熱ゾーンＺ２には上下のそれぞれに２個のモータ１６が配置される。
【００２２】
ファン１４は、例えばターボファンやシロッコファン等から構成され、モータ１６に電気的に接続される。このファン１４は、モータ１６の駆動により回転駆動し、ヒータ１２によって加熱された熱風を予備加熱ゾーンＺ１および加熱ゾーンＺ２内部で循環させてプリント基板９０の上面および下面のそれぞれに吹き付ける。本例の場合、予備加熱ゾーンＺ１には上下のそれぞれに３個のファン１４が配置され、加熱ゾーンＺ２には上下のそれぞれに２個のファン１４が配置される。
【００２３】
［冷却ゾーンの構成例］
次に、冷却ゾーンＺ３の構成の一例について説明する。なお、以下の説明では、リフロー装置本体１０の下部側に設けられた冷却ゾーンＺ３の構成について説明する。図２は搬送経路Ｘに直交する方向でリフロー装置本体１０の冷却ゾーンＺ３を切断した断面図を示しており、図３は略搬送経路Ｘに沿って冷却ゾーンＺ３を切断した断面図を示している。
【００２４】
図１〜図３に示すように、リフロー装置本体１０の冷却ゾーンＺ３は、加熱ゾーンＺ２で加熱されたプリント基板９０を冷却して溶融したはんだを固化するための領域である。冷却ゾーンＺ３には、冷却部材１８とファン１４とモータ１６とフラックス回収装置８０Ａとが設けられる。これらの部材が配置される冷却ゾーンＺ３には、複数の隔壁によって仕切られた吸い込み部Ｓ１と吹き出し部Ｓ２とがそれぞれ独立して設けられている。吸い込み部Ｓ１は、図２および図３に示すように、ノズル７０に形成された吸込孔から吸い込んだ空気をファン１４に供給するための空間部である。吹き出し部Ｓ２は、図３に示すように、ファン１４から吹き出された空気をノズル７０に形成された吹出孔に供給するための空間部である。
【００２５】
冷却部材１８は、ノズル７０下方の吸い込み部Ｓ１に配置され、ノズル７０の吸込孔から吸い込まれた気体を冷却する。冷却部材１８は、搬送経路Ｘに直交（Ｙ方向）して延びる冷却管１８ａと、この冷却管１８ａの長手方向に沿って取り付けられた円盤状をなす多数のフィン１８ｂとから構成される。本例では、図３に示すように、４個の冷却部材１８が搬送経路Ｘに沿って所定間隔を隔てて並設されている。冷却部材１８とファン１４との間には横板１５が設けられる。この横板１５の略中央部（ファンの正面）には、冷却部材１８によって冷却された空気を下方のファン１４に供給するための流入口１５ａが形成されている。冷却管１８ａは一例としてパイプ状となっており、パイプ内に冷却用の水、空気等の冷却媒体が通過することによってパイプ自体が冷却されるようになっている。
【００２６】
ファン１４は、例えばターボモータ等により構成され、横板１５の流入口１５ａの下方側に設置される。ファン１４は、モータ１６の駆動により回転軸１７を介して回転駆動し、冷却部材１８により冷却された空気をプリント基板９０の下面に吹き付ける。ファン１４の側方に位置する図示しない隔壁には、ファン１４によって吸い込まれた冷気を吹き出し部Ｓ２に供給するための図示しない流出口が形成される。
【００２７】
モータ１６は、リフロー装置本体１０を構成するケーシングの外面部に取り付けられ、回転軸１７を介してファン１４を回転駆動する。本例の場合、図１に示すように、冷却ゾーンＺ３には上下のそれぞれに１個のファン１４、ヒータ１２および冷却部材１８が配置される。なお、モータ１６は、駆動部の一例を構成している。
【００２８】
続けて、冷却ゾーンＺ３を構成するケーシングの外面側に設けられるフラックス回収装置８０Ａの構成の一例について説明する。図４は、フラックス回収装置８０Ａの設置例を示す斜視図である。図５はフラックス回収装置８０Ａを含むリフロー装置１００Ａの構成の一例を示す斜視図であり、図６はその断面図であり、図７はその分解斜視図である。図８は、排出管３２を構成する蓋部３３の構成例を示している。なお、モータベース２０に堆積した液体のフラックスは、その自重により下方に流動するため、フラックス回収装置８０Ａは基本的に図１に示すリフロー装置１００Ａのコンベア９２の下方側にのみ設置されるものとする。
【００２９】
図４〜図８に示すように、フラックス回収装置８０Ａは、モータベース２０とドレン部２２とドレン管２８と排出管３２と回収用容器３４と減圧部４０Ａとを備える。モータベース２０は、ファン１４よりも若干大きな外径を有した円盤状をなし、例えばステンレス（ＳＵＳ）やアルミ等の耐食性、耐熱性に優れた金属材料から構成される。モータベース２０は、後述するモータ１６を支持する部材であって、ベース部材の一例を構成している。モータベース２０のファン１４との対向面には、その周縁部から回転軸１７（中心部）に向かって平面部の高さが低くなるように傾斜した傾斜面２１が形成される。後述するように、回転軸１７の周辺部にはドレン部２２が形成されるので、傾斜面２１によりモータベース２０に堆積したフラックスを効率的にドレン部２２に流動させることができる。
【００３０】
モータベース２０の背面側（ファン１４と反対側）には、中央ドレンブロック２６を介してモータ１６が取り付けられている。モータ１６は、例えば図示しない商用の電源部に接続されており、図示しない制御装置からの指示に基づいて回転軸１７を介してファン１４を回転駆動させる。
【００３１】
回転軸１７の外周面と中央ドレンブロック２６の内周面との間には、回転軸１７と中央ドレンブロック２６との間隙へのフラックスヒュームや外気（大気）の侵入を防止するためのシール部材２４が介挿されている。シール部材２４には、例えば、オイルシールやＶパッキン、テフロン（登録商標）シール等の接触型のシール部材や、非接触型のシール部材（例えば、ラビリンスシール）等が用いられる。本例では、Ｖパッキンおよびテフロン（登録商標）シールを使用した例を示している。
【００３２】
ドレン部２２は、モータベース２０上に堆積するフラックスをモータベース２０から外部に排出するものである。このドレン部２２は、谷部（溝部）により構成され、モータベース２０の中心に位置する回転軸１７の周方向に沿って形成されている。ドレン部２２をモータベース２０の中心部に形成するのは、ファン１４の回転時に発生する中心に向かう風によりフラックスがモータベース２０の中心部（回転軸１７）に集まってくることを考慮したためである。このドレン部２２は、図５に示すように、モータベース２０の平面位置からモータベース２０の背面側に設けられるドレン管３８（排出口２３）に向かって傾斜した傾斜面２２ｃを有する。ドレン部２２の傾斜面２２ｃの下流側に位置した壁面部２２ｄには、図５に示すように、ドレン部２２に流入したフラックスを外部に排出するための排出口２３が形成されている。
【００３３】
ドレン管２８は、図７に示すように、ドレン部２２に形成された排出口２３に連通され、ドレン部２２に流れ込んだフラックスを回収用容器３４に供給する。このドレン管２８は、ドレン管本体２８ａとフランジ部２８ｂと挿入部２８ｃとを有する。ドレン管本体２８ａは、排出口２３から斜め下方に延在しており、ドレン部２２の排出口２３から排出されたフラックスを後段の排出管３２に導くものである。挿入部２８ｃは、ドレン管本体２８ａの先端部から円筒状に突設されると共に、その外径Ｄ１が排出管３２の内径Ｄ２以下に選定されることで、排出管３２の内側に挿脱（係合）可能となっている。これにより、挿入部２８ｃは、排出管３２の上端入口よりも奥側に侵入するようになる。フランジ部２８ｂは、挿入部２８ｃの基端に外方向に延出して設けられ、後述するパッキン３６の形状に対応して平面視矩形状に構成される。このフランジ部２８ｂの４箇所のそれぞれの角部には、図７に示すように、排出管３２を取り付けるためのねじ孔２８ｄが形成される。
【００３４】
排出管３２は、図６および図７に示すように、フランジ部３２ａと排出管本体３２ｂと蓋部３３とを有する。排出管本体３２ｂは、その上端側がドレン管本体２８ａの延在方向に沿って斜め下方に延在し、その長手方向の中間部よりも若干上側で鉛直方向に折り曲げられて所定の長さだけ延在している。フランジ部３２ａは、排出管本体３２ｂのドレン管２８側の端部に外方向に延出して設けられ、後述するパッキン３６の形状に対応して平面視矩形状に構成される。このフランジ部３２ａの４箇所の角部のそれぞれには、図７に示すように、ドレン管２８に取り付けるためのねじ孔３２ｃが形成される。
【００３５】
蓋部３３は、後述する回収用容器３４の蓋として機能するものであり、排出管本体３２ｂの下端部に取り付けられる。この蓋部３３は、図６〜図８に示すように、回収用容器３４の外径と略同一の径を有する頂面部３３ａと、頂面部３３ａの周縁に形成された側壁部３３ｂとを有する。側壁部３３ｂの内周面には、図８に示すように、回収用容器３４のねじ溝３４ｂに対応したねじ溝３３ｃが形成される。また、頂面部３３ａの内面側には、排出管本体３２ｂに連通すると共に鉛直方向に突出した円筒状の突出部３３ｄが設けられる。この突出部３３ｄは、排出管３２から回収用容器３４内に流れ込むフラックスが頂面部３３ａの内面や側壁部３３ｂのねじ溝３３ｃ等に固着しないようにするための防波堤として機能する。
【００３６】
回収用容器３４は、フラックス回収部の一例を構成しており、排出管３２を介してドレン管２８に連結され、ドレン部２２、排出口２３、ドレン管２８および排出管３２を経由して流れ込むフラックスを収容する。回収用容器３４は、上端が開口されると共に下端に底部を有する円筒状の容器本体３４ａを備える。この容器本体３４ａの上端部周縁には、その周方向に沿ってねじ溝３４ｂが形成されている。このねじ溝３４ｂを蓋部３３のねじ溝３３ｃをねじ込むことで、回収用容器３４を排出管３２に着脱可能に取り付けることが可能となっている。この回収用容器３４は、作業者が取り外し易く、かつ、フラックスがある程度収容可能な大きさに選定される。また、回収用容器３４は、回収用容器３４の内部に回収されたフラックス量を確認し易いように透明材料により構成しても良い。回収用容器３４は、鉛直方向に延びる排出管３２の端部に取り付けられるので、その取り付け角度も鉛直方向となる。そのため、例えば、回収用容器３４を斜めに取り付ける場合と比べて、フラックスの収容量を多くすることができる。
【００３７】
このように構成された排出管３２のフランジ部３２ａのねじ孔３２ｃ、パッキン３６のねじ孔３６ｂおよびドレン管２８のフランジ部２８ｂのねじ孔２８ｄの対応したねじ孔のそれぞれに、図７に示すように、ねじ６０が締め付けられ、排出管３２がパッキン３６を介してドレン管２８に着脱可能に取り付けられる。
【００３８】
減圧部４０Ａは、回収用容器３４内を減圧させて、回収用容器３４内にフラックスを吸引して回収するためのものである。回収用容器３４内を減圧させる手段の一例として、図３に示すように、ファン１４の回転駆動によってファン１４の裏面側やドレン管２８、排出管３２および回収用容器３４が加圧状態とされる場合に、この圧力を冷却ゾーンＺ３の負圧となっている吸い込み部Ｓ１（図２および図３参照）に回収用容器３４と連通する減圧部４０Ａを設け、回収用容器３４内を減圧させるようにしたものである。この減圧部４０Ａは、容器側連結部４２と連結チューブ４４と本体側連結部４６とから構成される。容器側連結部４２は、蓋部３３の頂面部３３ａの外面の排出管３２と重ならない位置に取り付けられており、蓋部３３を介して回収用容器３４の内部に連通している。本体側連結部４６は、リフロー装置本体１０の冷却ゾーンＺ３を構成するケーシングの側壁部１０ｃに取り付けられており、この側壁部１０ｃを介して冷却ゾーンＺ３の吸い込み部Ｓ１に連通している。連結チューブ４４は、一端が容器側連結部４２に接続され、他端が本体側連結部４６に接続される。
【００３９】
［リフロー装置の動作例］
次に、上述した減圧部４０を採用した場合におけるリフロー装置１００Ａの動作の一例について説明する。以下では、冷却ゾーンＺ３について詳細に説明する。リフロー装置１００Ａの電源オンがオンされると、コンベア９２やファン１４が駆動すると共に、ヒータ１２がオンされる。そして、リフロー装置本体１０内部の酸素濃度を低くするために、リフロー装置本体１０の内部に窒素が注入される。
【００４０】
モータ１６の駆動によりファン１４が回転駆動すると、ファン１４の正面側に吸い込み方向の流れが発生する。そのため、吸い込み部Ｓ１は負圧となる。これにより、ノズル７０に形成された吸込孔から吸い込んだ空気が吸い込み部Ｓ１に吸い込まれ、吸い込まれた空気がノズル７０の下方に設けられた冷却部材１８を通過することで冷却される。冷却された空気は、流入口１５ａを介してファン１４に供給される。ファン１４に供給された冷気は、ファン１４の側方から吹き出され、吹き出し部Ｓ２を経由してノズル７０に形成された吹出孔から吹き出される。これにより、プリント基板９０の下面側に冷気が吹き付けられ、プリント基板９０が冷却される。プリント基板９０の下面に吹き付けられた冷気は、プリント基板９０の熱を奪って温度が上昇する。この上昇した気体は、上述したノズル７０の吸込孔から再び吸い込まれ、冷却部材１８によって冷却されてファン１４に供給される。冷却ゾーンＺ３では、このような気体の循環が繰り返し行われ、コンベア９２によって搬送されるプリント基板９０を冷却する。
【００４１】
一方で、ファン１４が回転駆動すると、ファン１４の背面側には圧力がかかる。このファン１４とモータベース２０との間の空間部は、ドレン管２８、排出管３２および回収用容器３４に連通しているので、これらの内部も加圧された状態となる。このとき、シール部材２４により、回転軸１７とファン１４の中央ドレンブロック２６との間が密閉されているので、上述したファン１４の背面側の空間部、ドレン管２８、排出管３２および回収用容器３４の内部は高気密となる。さらに、冷却ゾーンＺ３は、雰囲気温度が低いため、他の予備加熱ゾーンＺ１および加熱ゾーンＺ２と比べてフラックスの粘度が増加する。そのため、圧力（気体）の流れが停滞してしまい、フラックスの流動が妨げられる。
【００４２】
本発明では、回収用容器３４と冷却ゾーンＺ３の吸い込み部Ｓ１との間を連結チューブ４４により接続している。そのため、回収用容器３４側の圧力が減圧されるため、フラックスが吸引されるので、モータベース２０上に堆積したフラックスが回収用容器３４に収容される。
【００４３】
以上説明したように、第１の実施の形態によれば、回収用容器３４と冷却ゾーンＺ３の吸い込み部Ｓ１との間を連結チューブ４４により接続することにより、回収用容器３４側の圧力が減圧されるため、傾斜面２１上でのフラックスの停滞を防止できる。その結果、モータベース２０上で停滞しているフラックスの再蒸発、停滞するフラックスによる汚れ、垂れを回避することができるので、リフロー装置１００Ａのメンテナンス時間の短縮を図ることができる。
【００４４】
ここで、ドレン管を排出管の内側ではなく外側に外装し、上述した回収用容器の取り付け角度を鉛直方向ではなく斜め方向に取り付けたリフロー装置が提案されている。しかしながら、このリフロー装置では、ドレン管と排出管との隙間にドレン部から流れるフラックスが侵入して固着してしまうという問題があった。さらに、回収用容器の取り付け角度が斜めなので、フラックスの収容量が少ないという問題があった。
【００４５】
これに対し、本発明のリフロー装置１００Ａによれば、排出管３２の回収用容器３４側を鉛直方向に延在させることにより、この排出管３２に取り付けられる回収用容器３４の取り付け角度も鉛直方向とすることができるので、回収用容器３４に収容可能なフラックス量を、回収用容器３４を斜めに取り付けた場合と比べて多くすることができる。これにより、回収用容器３４内部のフラックスの回収頻度を少なくすることができ、ユーザのメンテナンス時間の短縮を図ることができる。
【００４６】
また、ドレン管２８に挿入部２８ｃを設け、挿入部２８ｃを排出管３２の内側に挿入して排出管３２の上端入口よりも奥側に侵入させるので、ドレン管２８の外周面と排出管３２の内周面との間隙へのフラックスの侵入を確実に防止できる。これにより、ドレン管２８と排出管３２との連結部でのフラックスの固着を防止できる。さらに、フラックスが固着した場合でも、フラックスはドレン管２８の内側に固着することになるので、ドレン管２８の外側に装着される排出管３２についてはドレン管２８から容易に取り外すことができる。その結果、メンテナンス作業の負担を軽減できると共に、メンテナンス作業時間の短縮を図ることができる。
【００４７】
＜２．第２の実施の形態＞
第２の実施の形態では、エジェクター５０を用いて回収用容器３４の内部の圧力を強制的に減圧させる点において第１の実施の形態と相違している。なお、その他のリフロー装置１００Ｂおよびフラックス回収装置８０Ｂ等の構成は上述した第１の実施の形態で説明したリフロー装置１００Ａおよびフラックス回収装置８０Ａの構成と同一であるため、共通の構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００４８】
［減圧部の構成例］
図９は、エジェクター５０を有する減圧部４０Ｂが採用されたリフロー装置１００Ｂの冷却ゾーンＺ３におけるフラックス回収装置８０Ｂの構成の一例を示している。減圧部４０Ｂは、図９に示すように、エジェクター５０とエジェクター側連結部５８と容器側連結部４２と連結チューブ４４とを有する。エジェクター５０は、一定方向に気体を注入したときにその流れの周辺が負圧になることを利用することにより、回収用容器３４側の圧力を強制的に冷却ゾーンＺ３に引っ張り込む部材である。
【００４９】
図１０は、エジェクター５０の断面の構成の一例を示している。エジェクター５０の内部には、水平方向に延びる窒素供給経路５０ａと、窒素供給経路５０ａの途中から下方に分岐した吸い込み経路５０ｂとが設けられる。窒素供給経路５０ａのリフロー装置本体１０と反対側の端部は入口５０ｃとなっており、他端は出口５０ｄとなっている。吸い込み経路５０ｂの下端は吸込口５０ｅとなっている。窒素供給経路５０ａの分岐部には、内側に絞られた凹部５０ｆが設けられる。
【００５０】
エジェクター５０の吸込口５０ｅには、図９および図１０に示すように、エジェクター側連結部５８を介して連結チューブ４４の一端が接続される。連結チューブ４４の他端には容器側連結部４２が接続される。これにより、回収用容器３４の内部と冷却ゾーンＺ３の吸い込み部Ｓ１の内部とが連結チューブ４４を介して連通される。エジェクター５０の入口５０ｃには、窒素供給連結部５４を介して窒素供給チューブ５６の一端が接続される。窒素供給チューブ５６の他端には図示しない窒素発生部が取り付けられる。エジェクター５０の出口５０ｄは、リフロー装置本体１０の冷却ゾーンＺ３の側壁部１０ｃに接続される。
【００５１】
［リフロー装置の動作例］
次に、減圧部４０Ｂが用いられたリフロー装置１００Ｂの動作の一例について説明する。窒素発生部により発生した窒素が窒素供給チューブ５６を介してエジェクター５０に供給されると、供給された窒素はエジェクター５０内部の窒素供給経路５０ａを通過する。このとき、窒素供給経路５０ａの途中に設けられた凹部５０ｆにより窒素が高流ジェット気流となり、気流が増す代わりに圧力が低下する。つまり、この圧力損失により、吸い込み経路５０ｂが負圧となる。これにより、回収用容器３４側の圧力（気体）が連結チューブ４４を介してエジェクター５０の吸い込み経路５０ｂに引き込まれ、分岐部において瞬時に窒素供給経路５０ａを流れる窒素に混ざり合う。混ざり合った窒素および回収用容器３４側の気体は、冷却ゾーンＺ３の吸い込み部Ｓ１に流れ込む。このように第２の実施の形態では、窒素の注入時に発生させた負圧を利用して、回収用容器３４の内部を減圧させて回収用容器３４内にフラックスを強制的に吸引する。
【００５２】
以上説明したように、第２の実施の形態の圧力均等化手法は、第１の実施の形態で説明した連結チューブ４４を用いて回収用容器３４と冷却ゾーンＺ３とを直接接続することによる圧力の吸引力が不足するような場合に好適に利用できる。すなわち、エジェクター５０を用いることで、窒素注入によるより大きな引き込み力（負圧）で、モータベース２０の傾斜面２１上に堆積したフラックスをドレン部２２に流動させて、回収用容器３４内にフラックスを強制的に吸引させることができる。その結果、傾斜面２１上でのフラックスの停滞を防止できるので、モータベース２０上で停滞しているフラックスの再蒸発、停滞するフラックスによる汚れ、垂れを回避することができ、リフロー装置１００Ｂのメンテナンス時間の短縮を図ることができる。
【００５３】
＜３．第３の実施の形態＞
第３の実施の形態では、ドレン部２２をモータベース２０の中央部ではなく、モータベース２０の周縁部の２箇所に形成する点において上記第１の実施の形態と相違している。なお、その他のリフロー装置１００Ｃ等の構成は上述した第１の実施の形態で説明したリフロー装置１００Ａの構成と同一であるため、共通の構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００５４】
図１１および図１２は、フラックス回収装置８０Ｃの構成の一例を示している。図１１および図１２に示すように、フラックス回収装置８０Ｃは、モータベース２０とドレン部２２と排出管３２と回収用容器３４と減圧部４０Ｃとを備える。
【００５５】
ドレン部２２は、ドレン管２２ａとフランジ部２２ｂと挿入部２２ｅとを有する。ドレン管２２ａは、モータベース２０の上面の周縁部からモータベース２０を斜め外下方に貫通するようにして形成される。本例では、ドレン部２２が２箇所に設けられており、これらのドレン部２２，２２の上端開口がモータベース２０の周縁部の互いに対向する位置に形成されている。モータベース２０の上面部は、モータベース２０の中心部から外方向に形成されたドレン部２２に向かって傾斜した傾斜面２０ａとなっている。これにより、液化したフラックスは、傾斜面２０ａに沿って外方向に流動し、ドレン部２２に流れ込んで後述する回収用容器３４に排出される。
【００５６】
挿入部２２ｅは、ドレン管２２ａの先端部に設けられ、その外径Ｄ１が排出管３２の内径Ｄ２以下に選定されることで、排出管３２の内側に挿脱（係合）可能となっている。フランジ部２２ｂは、挿入部２２ｅの基端に設けられ、パッキン３６の形状に対応して平面視矩形状に構成される。このフランジ部２２ｂの４箇所のそれぞれの角部には、排出管３２を取り付けるためのねじ孔（図示省略）が形成される。
【００５７】
排出管３２は、フランジ部３２ａと排出管本体３２ｂと蓋部３３とを有する。排出管本体３２ｂは、その上端側がドレン管２２ａの延在方向に沿って斜め下方に延在し、その中間部よりも若干上側で鉛直方向に折り曲げられて所定の長さだけ下方に延在している。フランジ部３２ａは、排出管本体３２ｂのドレン部２２側の端部に設けられ、パッキン３６の形状に対応して平面視矩形状に構成される。このフランジ部３２ａの４箇所の角部のそれぞれには、ドレン部２２に取り付けるためのねじ孔（図示省略）が形成される。
【００５８】
蓋部３３は、後述する回収用容器３４の蓋として機能するものであり、排出管本体３２ｂの下端部に取り付けられる。この蓋部３３は、回収用容器３４の外径と略同一の径を有する頂面部３３ａと、頂面部３３ａの周縁に形成された側壁部３３ｂとを有する。側壁部３３ｂの内周面には、回収用容器３４のねじ溝に対応したねじ溝が形成される（図示省略）。また、頂面部３３ａの内面側には、ドレン部２２から回収用容器３４内に流れ込んだフラックスが頂面部３３ａの内周面や側壁部３３ｂのねじ溝等に固着しないようにするための円筒状の突出部３３ｄが設けられる。
【００５９】
回収用容器３４は、蓋部３３に着脱可能に取り付けられ、ドレン部２２および排出管３２を経由して流れ込むフラックスを収容する。回収用容器３４は、上端が開口されると共に下端に底部を有する円筒状の容器本体３４ａを備える。この容器本体３４ａの上端部周縁には、その周方向に沿ってねじ溝が形成される（図示省略）。
【００６０】
減圧部４０Ｃは、モータ１６の両側に設けられる２個の回収用容器３４のそれぞれに設置される。減圧部４０Ｃは、容器側連結部４２と連結チューブ４４と本体側連結部４６とから構成される。容器側連結部４２は、蓋部３３の頂面部３３ａの外面の排出管３２と重ならない位置に取り付けられており、蓋部３３を介して回収用容器３４の内部に連通している。本体側連結部４６は、リフロー装置本体１０の冷却ゾーンＺ３を構成する側壁部１０ｃに取り付けられ、冷却ゾーンＺ３の吸い込み部Ｓ１に連通している（図２参照）。連結チューブ４４は、一端が容器側連結部４２に接続され、他端が本体側連結部４６に接続される。
【００６１】
以上説明したように、第３の実施の形態によれば、ドレン部２２をモータベース２０の周縁部に形成した場合でも、それぞれに設けた減圧部４０Ｃにより、回収用容器３４側の圧力を減圧することができる。これにより、モータベース２０の傾斜面２０ａ上においてもドレン部２２に向かう気体の流れが生じるので、傾斜面２０ａ上でのフラックスの停滞を防止できる。その結果、モータベース２０上で停滞しているフラックスの再蒸発、停滞するフラックスによる汚れ、垂れを回避することができると共に、効率的にフラックスを回収用容器３４に流入させることができるので、リフロー装置１００Ｃのメンテナンス時間の短縮を図ることができる。
【００６２】
なお、本発明の技術範囲は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。上述した第１〜第３の実施の形態では、連結チューブ４４の他端を冷却ゾーンＺ３の吸い込み部Ｓ１に連結させていたが、これに限定されることはない。例えば、リフロー装置１００に負圧を発生させる吸引装置を設け、この吸引装置に連結チューブ４４の他端を連結するようにしても良い。また、吸引装置には、例えば吸引レベルを調整するための機能を設け、ベース部材上に堆積するフラックス量に応じて吸引レベルを調節できるようにしても良い。これによれば、ベース部材上のフラックスをより効率的に回収用容器３４に流入させることができる。さらに、上述した冷却ゾーンＺ３の吸い込み部Ｓ１以外で、負圧が発生するような空間部がリフロー装置１００内にあれば、その空間部に連結チューブ４４の他端を接続することもできる。
【００６３】
また、上述した第１〜第３の実施の形態では、減圧部４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃを冷却ゾーンＺ３に設置した場合について詳細に説明したが、予備加熱ゾーンＺ１および加熱ゾーンＺ２のそれぞれにも減圧部４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃを適用することができる。これにより、予備加熱ゾーンＺ１および加熱ゾーンＺ２においても、モータベース２０上へのフラックスの堆積を効果的に抑制できる。
【符号の説明】
【００６４】
１０・・・リフロー装置本体、１２・・・ヒータ、１４・・・ファン、１６・・・モータ、２０・・・モータベース（ベース部材）、２２・・・ドレン部、２８・・・ドレン管、３０Ａ，３０Ｃ・・・フラックス回収部、３２・・・排出管、３４・・・回収用容器（フラックス回収部）、４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ・・・減圧部、５０・・・エジェクター（減圧部）、８０Ａ，８０Ｂ，８０Ｃ・・・フラックス回収装置、１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ・・・リフロー装置、Ｓ１・・・吸い込み部、Ｓ２・・・吹き出し部、Ｚ１・・・予備加熱ゾーン、Ｚ２・・・加熱ゾーン、Ｚ３・・・冷却ゾーン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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