(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面上を流体が流れる面状体を仮想の基準平面にほぼ沿うように張って支持する面状体支持装置に設けられ、上記面状体を制振する装置であって、
音圧又は風圧を含む気流圧を発生させる発生源と、上記気流圧を上記基準平面に指向するよう案内する案内路を有する案内部材と、を備え、上記気流圧の指向方向が、上記基準平面と直交する方向と、上記基準平面と平行に上記面状体の外側から上記面状体を向く方向との間の方向であることを特徴とする制振装置。
【請求項２】
上記面状体支持装置が、上記面状体に引っ張りシワが形成される程度の張力を付与することを特徴とする請求項１に記載の制振装置。
【請求項３】
上記気流圧の指向方向が、上記基準平面に対し斜めであることを特徴とする請求項１又は２に記載の制振装置。
【請求項４】
上記面状体を挟んで片側では上記流体の流れが無いか小さく反対側では上記流体の流れが大きく、上記案内部材が、上記面状体の上記片側に配置されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の制振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、表面上を流体が流れて振動する連続フィルムや紙等の面状体を制振する装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
紙、樹脂フィルム等の面状体を例えばエアフローティングにて浮上させたり垂らして支持する際、面状体の表面上にエアの隙間流れが形成され、面状体が上記隙間流れとの相互作用によって自励振動することがある。ここで、非特許文献３によれば、隙間流れとは、隙間（流体流路）の厚さに対してその隙間の長さ（流体の流れる方向の寸法）が１０倍以上の関係になっているときのその隙間内の流体の流れを指す。隙間流れによる面状体の振動を制振する技術としては、流体の流速を自励振動を招来する大きさ未満に設定する手法や、スタビライザー等で流体を整流する手法等の所謂パッシブ制御が一般的である。しかし、面状体の剛性が高かったり張力を付与したりすると、自励振動が発生する臨界流速が上昇することが知られている。そのため、パッシブ制御は、面状体の材質や張力により、振動発生の条件が大きく影響を受け、条件設定が容易でない。面状体が延伸などの変形（ネックイン変形）を来す場合、付加可能な張力に制限があり、振動しやすくなる。また、低張力のときは、適用条件が極めて限定され、結局振動を抑えることができないこともあった。
【０００３】
最近では非特許文献１、２のようなアクティブ制御による制振技術も提案されている。
非特許文献１によれば、垂直な左右一対の壁を設け、これら壁の間に狭い隙間を形成する。この隙間にウェブ等の面状体を垂直に差し入れ、左右の各壁と面状体との間の上端部から下端部へ向けて隙間流れを形成する。左右の各壁の外側には上下に２つの室を形成する。左右の各壁の上下の端部には、各室と隙間を連通するスリットを形成し、さらに各室の内部にスピーカを収容する。スピーカは、その室のスリットを向くように斜めに取り付ける。上側の室内のスピーカは面状体の上端部へ向けて斜め上向きにする。下側の室内のスピーカは面状体の下端部へ向けて斜め下向きにする。面状体の振動を変位計で検出し、その検出信号に基づいて各スピーカをフィードバック制御する。上側の左右の室のスピーカどうしは互いに位相を１８０°ずらして振動させる。これにより、面状体の上側部分が左側に振れたときは、左上の室内から流体を左上のスリットを介して隙間へ吐き出すと同時に、隙間から流体を右上のスリットを介して右上の室内に吸い込む。面状体の上側部分が右側に振れたときは、流体を隙間から左上のスリットを介して左上の室内に吸い込むと同時に、右上の室内から流体を右上のスリットを介して隙間へ吐き出す。下側の左右の室のスピーカどうしは互いに位相を１８０°ずらして振動させる。これにより、面状体の下側部分が右側に振れたときは、流体を隙間から左下のスリットを介して左下の室内に吸い込むと同時に、右下の室内から流体を右下のスリットを介して隙間へ吐き出す。面状体の下側部分が左側に振れたときは、左下の室内から流体を左下のスリットを介して隙間へ吐き出すと同時に、隙間から流体を右下のスリットを介して右下の室内に吸い込む。スリットからの吐き出し、吸い込みにより、隙間流れの流速が局所的に変動する。これにより、面状体の制振効果を得ている。
なお、非特許文献１の実際の装置のスリットの開口幅は１ｍｍ程度であり、スピーカの音波放射面の直径は十数ｃｍであった。
【０００４】
非特許文献２によれば、左右の各壁の上下に、上記スピーカに代えてスライド突起を設ける。スライド突起は、壁の内面と直交する水平方向に進退可能になっている。面状体の上側部分が左側に振れたときは、左上のスライド突起を隙間内に向かって突出させると同時に、右上のスライド突起を引っ込ませる。面状体の上側部分が右側に振れたときは、左上のスライド突起を引っ込ませると同時に、右上のスライド突起を隙間内に向かって突出させる。面状体の下側部分が右側に振れたときは、左下のスライド突起を引っ込ませると同時に、右下のスライド突起を突出させる。面状体の下側部分が左側に振れたときは、左下のスライド突起を突出させると同時に、右下のスライド突起を引っ込ませる。これにより、隙間流れの流速を局所的に変動させ、面状体の制振効果を得ている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】すきま流れにより励起されるウェブ・フラッタのアクティブフィードバック制御、（日本機械学会、機械力学・計測制御部門講演論文アブストラクト集(CD-ROM講演論文集308)、平成１８年８月６日、名古屋）
【非特許文献２】流れ制御に基づくウェブフラッタの非接触アクティブ制御に関する数値シミュレーション（日本機械学会、機械力学・計測制御部門講演論文アブストラクト集（CD-ROM講演論文集823）、平成１９年９月２５日、広島）
【非特許文献３】日本機械工学会[No.920-55]機械力学・計測制御講演論文集Vol.B  606.流路内に両端単純支持されたはりの安定性に及ぼすすきま幅の影響（長倉・金子）P683L17）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したように、面状体をエアフローティング等により浮かせ、又は垂らした状態で、面状体の表面上を流体が流れると、面状体が自励振動しやすい。このような振動に対する制振制御は、非特許文献１、２等のアクティブ制御が好ましい。
しかし、非特許文献１では、スピーカが、面状体の中央側の高さから面状体の上下の端部に向かうように斜めになっている。かつスピーカを収容した室と隙間を連通する連通部が狭隘なスリットである。そのため、スピーカの振動は、隙間流れの局所的な流速の変化に変換されて面状体に作用する。したがって、スリットと面状体との距離が大きくなると、言い換えると隙間（流体流路）の厚さが大きくなると、流体の流速が面状体に伝達するまでの減衰量が大きくなって制振に要する作用量が不足し、かつ伝達に時間がかかって即応性が悪くなり、制振しにくくなる。発明者の実験によれば、隙間の厚さが８ｍｍ以上であると、十分な制振を行うことができなかった（後記比較例５−２及び６−２参照）。隙間流れの流速を変化させて面状体を制振する点では、非特許文献２も非特許文献１と同様であり、隙間の厚さが大きくなると制振が困難になる。加えて、非特許文献２ではスライド突起を機械的に動作させるものであるため、即応性、耐久性等の確保が容易でない。さらに、面状体を挟んで隙間流れが形成されている側と隙間流れが形成されていない側とがある場合、非特許文献１，２の制振機構では隙間流れが形成されている側からしか制振を行なうことができない。隙間流れが形成されていない側からの制振効果はほとんど期待できない（比較例７−２、８−２参照）。
【０００７】
また、延伸処理等のために面状体に大きな張力を付与すると、面状体に引っ張りシワが発生することがある。この面状体に隙間流れが作用すると、引っ張りシワの部分が振動する。具体的には引っ張りシワが隙間流れの流れ方向に移動し、元の引っ張りシワが在った箇所には新たな引っ張りシワが発生する。エアフローティングの場合、浮上エア（隙間流れ）の勢いを小さくすれば引っ張りシワの伝播振動を抑えることができるが、そうすると、面状体の浮上に支障を来す。
本発明は、上記実情に鑑み、面状体を浮かせて又は垂らして支持した状態で、面状体の表面上を流れる流体によって生じる面状体の振動をスピーカを用いて制振するに際し、面状体に制振力を確実に作用させることができ、例えば隙間（流体流路）の厚さが多少大きくなっても対応できるようにすることを第１の目的とする。また、隙間流れを維持しつつ、引っ張りシワの伝播振動等を抑えることを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記第１の目的を達成するために、特許請求しない本発明の第１の特徴は、表面上を流体が流れる面状体を仮想の基準平面にほぼ沿うよう浮かせて又は垂らして支持する面状体支持装置に設けられ、上記面状体を制振する装置であって、
上記面状体の上記基準平面と直交する方向への振動を検出する検出手段と、
音圧（圧力波）を、上記基準平面と直交する方向へ指向するよう放射するスピーカ（圧力波スピーカ）と、
上記検出手段の検出結果に基づいて上記振動が抑制されるよう上記スピーカの出力を制御する制御手段と、
上記音圧を上記基準平面へ案内する案内路（導波路）を有する案内部材（導波路形成部材）と、
を備えている。そして、上記案内路の上記基準平面側の端部の開口巾が、上記スピーカの音圧放射面（圧力波放射面）の上記開口巾の方向と同方向の寸法の２０分の１以上であり、好ましくは１０分の１以上であり、より好ましくは５分の１以上である。
【０００９】
これにより、スピーカから放射された音圧（圧力波）を、案内路によって拡散を防止し、かつ該案内路の開口での減衰を抑制しながら、面状体のスピーカと対面する部分に局所的に、かつ真正面の方向から当てることができる。よって、面状体に制振力を確実に作用させことができる。音圧が案内路の開口から面状体に到達するまでの間の減衰量は、非特許文献１、２の流体の流速の減衰量と比べ十分に小さい。したがって、案内路の開口と面状体との間の距離（隙間の厚さ）が多少大きくなっても、面状体に十分な強さの制振力を付与することができる。しかも、圧力波（音圧）は音速と同じオーダーの速度で伝播するから十分な即応性を有している。この結果、面状体の自励振動を確実に抑制することができる。上記出力は、上記音圧の振動数、位相、振幅等であることが好ましい。
【００１０】
ここで、上記案内路の開口巾は、上記案内路の開口の短手方向の寸法（短直径）を言う。上記案内路の開口が真円のとき、案内路の開口巾とは該開口の直径である。上記案内路の開口が正方形等の正多角形のときは、案内路の開口巾とは該開口の対辺どうし間の距離（正方形の場合、一辺の長さ）である。
上記案内路の上記基準平面側の端部は、上記スピーカの少なくとも中心部を上記基準平面と交差する方向（より好ましくは直交する方向）に露出させるように開口しているのが好ましい。これにより、上記スピーカから音圧を面状体に効率的に伝えることができる。
上記案内路の開口巾の上限は、面状体の振動の好ましくは半波長であり、より好ましくは４分の１波長である。これにより、音圧の拡散を確実に抑制でき、音圧を面状体に局所的に作用させて、振動を確実に抑制することができる。さらに、上記案内路の開口巾の上限は、面状体の巾（短手方向の寸法）の好ましくは２分の１、より好ましくは４分の１である。
音圧は、面状体の振動の節と節の間の腹の部分に当たるようにするのが好ましく、節を跨いだ範囲に作用しないようにするのが好ましい。これにより、節自体が変位して低次モードの振動が発生するのを防止できる。
音圧の位相は、検出手段で検出した面状体の振動の位相に対し−３０°〜−２１０°ずれていることが好ましく、−１２０°〜−１８０°ずれていることがより好ましい。これにより、良好な制振効果を得ることができる。ここで、上記位相のずれ角のマイナスは、音圧の位相が面状体の振動の位相に対し進んでいることを意味する。
【００１１】
上記案内路の開口の巾方向（短手方向）は、面状体の巾方向（短手方向）に向いていてもよく、面状体の長手方向ないしは連続方向に向いていてもよい。
上記案内路の開口の巾方向（短手方向）と面状体の振動の伝播方向とが一致していてもよい。上記案内路の開口の短手方向と面状体表面上での上記流体の流れ方向とが一致していてもよい。
上記面状体の少なくとも一の縁が自由端になるようにして、上記面状体支持装置が上記面状体を支持することが好ましい。上記スピーカが、上記面状体の上記一の縁と交差する方向に沿って上記一の縁（自由端）の側に偏って配置されていることが好ましい。
上記面状体の自由端は自励振動が起きやすく、振幅が大きくなりやすい。特に、上記流体が上記面状体の表面上を自由端に向かって流れるとき、上記面状体の自由端が自励振動しやすい。この自由端の近くにスピーカから音圧を当てることで効果的に制振できる。
【００１２】
上記スピーカが、上記基準平面の片側にのみ配置されていることが好ましい。これにより、制御の容易性及び堅牢性を高めることができる。面状体の片面にだけ隙間流れが形成されている場合、上記スピーカは、上記基準平面すなわち面状体を介して隙間流れが形成されている側に配置してもよく、隙間流れが形成されていない側に配置してもよい。
なお、非特許文献１、２は、隙間流れの流速を局所的に変化させて面状体を制振するものであるため、隙間流れが形成されていない側にスピーカやスライド突起を設けても制振力を得ることができなかった。
【００１３】
第１特徴において、上記面状体を挟んで片側では上記流体の流れが無いか小さく反対側では上記流体の流れが大きく、上記スピーカ及び上記案内部材が、上記面状体の上記片側に配置されていてもよい。本発明によれば、隙間流れがまったく又は殆ど形成されていない側からでも面状体を制振することができる。
【００１４】
上記第２の目的を達成するためには、音圧放射面及び開口の大きさ及び向きが必ずしも上記第１特徴に規定する条件を満たしている必要は無い。
本発明は、表面上を流体が流れる面状体を仮想の基準平面にほぼ沿うように張って支持する面状体支持装置に設けられ、上記面状体を制振する装置であって、
音圧又は風圧を含む気流圧を発生させる発生源と、上記気流圧を上記基準平面に指向するよう案内する案内路を有する案内部材と、を備え、上記気流圧の指向方向が、上記基準平面と直交する方向と、上記基準平面と平行に上記面状体の外側から上記面状体を向く方向との間の方向であることを特許請求する第２の特徴とする。
【００１５】
上記発生源として、スピーカ、ファン、ブロア、ガス圧縮機等が挙げられる。上記気流圧は、スピーカからの音圧（圧力波）でもよく、ファンやブロアからの風圧でもよく、ガス圧縮機からのガス圧でもよい。ガス圧縮機として、エアコンプレッサ、ポンプ等が挙げられる。上記案内部材が、上記発生源を収容する室を有していてもよく、上記発生源が上記案内部材の外部に配置されていてもよい。上記案内部材が上記発生源に接続されたノズルであってもよい。
【００１６】
上記面状体支持装置が、上記面状体に引っ張りシワが形成される程度の張力を付与していてもよい。上記引っ張りシワは、面状体の上記張力の方向と直交する方向の端部付近に形成されやすい。上記端部は、通常、面状体の自由端である。上記流体が面状体の表面上を上記自由端に向けて流れると、この流れに押されて上記引っ張りシワが流れの方向に移動しようとする。この面状体の引っ張りシワ部分に上記気流圧を作用させることによって、引っ張りシワの移動を抑制でき、ひいては面状体の引っ張りシワ部分の振動を抑制できる。
上記面状体は、水平に張られていてもよく、鉛直に張られていてもよく、水平又は鉛直に対し斜めに張られていてもよい。
【００１７】
上記気流圧の指向方向が、上記面状体の引っ張りシワの部分と交差していることが好ましい。上記気流圧の指向方向が、上記基準平面に対し斜めであることが好ましい。上記気流圧の指向方向が、上記面状体の表面上での上記隙間流れの流れ方向の下流側かつ上記面状体より外側から斜めに上記面状体を向いることが好ましい。上記指向方向は、上記発生源及び上記案内部材のうち少なくとも上記案内部材の下流端の軸線と一致していることが好ましい。
【００１８】
上記気流圧の大きさは、該気流の上記案内部材からの吹き出し流速が所定範囲になるよう設定することが好ましい。上記吹き出し流速の所定範囲は、面状体の軟性度、張力、隙間流れの勢い等に応じて適宜設定することが好ましい。上記吹き出し流速の上限は、引っ張りシワが隙間流れとは反対方向に移動しない範囲で設定するのが好ましい。
【００１９】
第２特徴において、上記面状体を挟んで片側では上記流体の流れが無いか小さく反対側では上記流体の流れが大きく、上記案内部材が、上記面状体の上記片側に配置されていてもよい。第２特徴においても隙間流れがまったく又は殆ど形成されていない側から面状体を制振することができる。
上記第２特徴は、面状体に引っ張りシワが形成されていない場合における面状体の制振にも適用できる。
【００２０】
特許請求しない本発明方法は、表面上を流体が流れる面状体を仮想の基準平面にほぼ沿うように張って支持しながら、上記面状体を制振する方法であって、
音圧又は風圧を含む気流圧を、上記基準平面と直交する方向と、上記基準平面と平行に上記面状体の外側から上記面状体を向く方向との間の方向に沿って、上記面状体に局所的に付与することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、面状体を浮かせて又は垂らして支持しながら、面状体の表面上を流れる流体によって生じる面状体の振動又は引っ張りシワの伝播振動を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る制振装置付きの面状体支持装置の概略構成を示し、図２のＩ−Ｉ線に沿って矢視した正面図である。
【図２】上記第１実施形態に係る制振装置付きの面状体支持装置の概略構成を、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿って矢視した側面図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る制振装置付きの面状体支持装置の概略構成を示し、図４のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿って矢視した正面図である。
【図４】上記第２実施形態に係る制振装置付きの面状体支持装置の概略構成を、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿って矢視した側面図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係る制振装置付きの面状体支持装置の概略構成を示し、図６のＶ−Ｖ線に沿って矢視した正面図である。
【図６】上記第３実施形態に係る制振装置付きの面状体支持装置の概略構成を、図５のＶＩ−ＶＩ線に沿って矢視した側面図である。
【図７】本発明の第４実施形態に係る制振装置付きの面状体支持装置の概略構成を示し、図８のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿って矢視した正面図である。
【図８】上記第４実施形態に係る制振装置付きの面状体支持装置の概略構成を、図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿って矢視した側面図である。
【図９】本発明の第５実施形態に係る制振装置付きの面状体支持装置の概略構成を示し、図１０のＩＸ−ＩＸ線に沿って矢視した正面図である。
【図１０】上記第５実施形態に係る制振装置付きの面状体支持装置の概略構成を示す側面図である。
【図１１】本発明の第６実施形態に係る制振装置付きの面状体支持装置の概略構成を示す正面図である。
【図１２】第６実施形態の案内部材の斜視図である。
【図１３】本発明の第７実施形態に係る制振装置付きの面状体支持装置の概略構成を示す正面図である。
【図１４】本発明の第８実施形態に係る制振装置付きの面状体支持装置の概略構成を示す正面図である。
【図１５】実施例５、比較例５−１、実施例６、比較例６−１に用いた制振装置付きの面状体支持装置の概略構成を示す縦断面図である。
【図１６】比較例５−１の結果を示すグラフである。
【図１７】実施例５の結果を示すグラフである。
【図１８】実施例５の結果を示すグラフである。
【図１９】比較例５−２及び比較例６−２に用いた制振装置付きの面状体支持装置の概略構成を示す縦断面図である。
【図２０】比較例６−１の結果を示すグラフである。
【図２１】実施例７、比較例７−１、実施例８、比較例８−１に用いた制振装置付きの面状体支持装置の概略構成を示す縦断面図である。
【図２２】実施例７の結果を示すグラフである。
【図２３】比較例７−２及び比較例８−２に用いた制振装置付きの面状体支持装置の概略構成を示す縦断面図である。
【図２４】実施例９及び比較例９−１に用いた面状体の平面図である。
【図２５】実施例９において、スピーカの出力周波数及び供給電圧と案内部材からの吹き出し流速との関係の測定結果を示すグラフである。
【図２６】実施例９において、案内部材からの吹き出し流速に対する制振効果を、面状体の引っ張りシワ部分の実効振幅の正規化値にて示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
図１及び図２は、本発明の第１実施形態を示したものである。この実施形態の面状体９は、巾方向を左右方向（図１の左右）に向けて前後方向（図１の紙面と直交する方向、図２の左右方向）に連続するシート状ないしはフィルム状になっている。面状体９の材質は、紙、樹脂等である。
【００２４】
第１実施形態では、面状体９の支持装置として浮上搬送装置１を備えている。浮上搬送装置１は、面状体９を浮かせて該面状体９の連続方向（図２の矢印ａの方向）に搬送するものである。浮上搬送装置１は、上下の支持架台２Ｕ，２Ｌと、複数の浮上ノズル１０と、一対のガイドロール２１，２２を備えている。仮想の水平な平面ＰＬ１（基準平面）を挟んで、複数の浮上ノズル１０が上下に複数ずつ配置されている。以下、上下の浮上ノズル１０を互いに区別するときは、上側の浮上ノズル１０の符号に「Ｕ」を付し、下側の浮上ノズル１０の符号に「Ｌ」を付す。上側浮上ノズル１０Ｕが、上側の支持架台２Ｕに支持されている。下側浮上ノズル１０Ｌが、下側の支持架台２Ｌに支持されている。
【００２５】
図１に示すように、各浮上ノズル１０は、左右方向（図１の左右）に延びる長尺の箱状になっている。浮上ノズル１０の左右の延び方向の寸法は、面状体９の巾寸法と略同じであるが、面状体９の巾より大きくてもよく多少小さくてもよい。図２に示すように、上下の浮上ノズル１０Ｕ，１０Ｌが、それぞれ前後（図２の左右）に並べられている。上側浮上ノズル１０Ｕの列と下側浮上ノズル１０Ｌの列は、互いに並び方向（図２の左右方向）に半ピッチずれている。上側浮上ノズル１０Ｕの下面と下側浮上ノズル１０Ｌの上面との間の距離Ｄ１は、好ましくはＤ１＝０ｍｍ〜５０ｍｍ程度であり、より好ましくはＤ１＝２ｍｍ〜２０ｍｍ程度である。
【００２６】
詳細な図示は省略するが、上下の各浮上ノズル１０の内部には、浮上用ガスを該ノズル１０の長手方向（図１の左右）に均一化する均一化路が形成されている。上側浮上ノズル１０Ｕの下面及び下側浮上ノズル１０Ｌの上面の短手方向（図２の左右）の両端部には、それぞれ吹出口１１が形成されている。吹出口１１は、ノズル１０の長手方向（図１の左右）に延びるスリット状になっている。吹出口１１が、スリットに代えて、ノズル１０の長手方向に並べられた複数の小孔にて構成されていてもよい。各吹出口１１から浮上用ガスが吹き出される。浮上用ガスとしては、空気が用いられているが、窒素を用いてもよい。
【００２７】
図２に示すように、ガイドロール２１は、回転軸線を図２の紙面と直交する左右方向に向け、上下の浮上ノズル１０Ｕ，１０Ｌの列より後方（図２において左）に配置されている。ガイドロール２２は、回転軸線をガイドロール２１と平行に向け、上下の浮上ノズル１０Ｕ，１０Ｌの列より前方（図２において右）に配置されている。ガイドロール２１，２２の上端部が、ちょうど上記仮想の水平な平面ＰＬ１の高さに位置されている。ガイドロール２１，２２の上端部の高さ（仮想水平面ＰＬ１の高さ）は、上側浮上ノズル１０Ｕと下側浮上ノズル１０Ｌのちょうど中間の高さに設定されているが、それよりも上又は下に若干偏っていてもよい。ガイドロール２１，２２の高さを調節することによって、基準平面ＰＬ１の高さを調節できる。
【００２８】
面状体９が、図２において左外側の繰り出しロール（図示省略）から繰り出され、ガイドロール２１，２２間に張り渡されるとともに、図２において右外側の巻き取りロール（図示省略）に巻き取られている。面状体９のガイドロール２１，２２間に張り渡された部分は、上側浮上ノズル１０Ｕの列と下側浮上ノズル１０Ｌの列との間に通され、上記仮想の水平な平面ＰＬ１に沿うように配置される。面状体９のガイドロール２１，２２間に張り渡された部分の前後方向（図２の左右）の両端部は、ガイドロール２１，２２に部分的に掛け回されて拘束され、拘束端になっている。面状体９の上記拘束端と直交（交差）する巾方向（図１の左右）の両端部は自由端になっている。繰り出しロール及び巻き取りロールの回転速度を互いに調節することによって、面状体９の張りを調節できる。
【００２９】
浮上搬送装置１には、面状体９を制振するための制振装置３が付加されている。制振装置３は、上側の架台２Ｕに配置された複数の音圧付与手段３０（圧力波放射手段）と、音圧付与手段３０ごとに設けられた検出手段３８と、制御手段３９を備えている。音圧付与手段３０は、下側浮上ノズル１０Ｌごとに２つずつ設けられている。図１に示すように、音圧付与手段３０は、対応する下側浮上ノズル１０Ｌの左右両端部の真上にそれぞれ配置され、かつ面状体９（上記仮想水平面ＰＬ１）より上方に配置されている。音圧付与手段３０と下側浮上ノズル１０Ｌとが、面状体９を挟んで互いに対向している。各音圧付与手段３０は、音圧の発生源（圧力波放射源）となるスピーカ３１と、上記音圧の案内部材３２（導波路形成部材）を有している。スピーカ３１は、例えば円形の音圧放射面３１ａ（圧力波放射面）を有する一般的なオーディオスピーカにて構成されている。スピーカ３１の出力可能な周波数域は、例えば１Ｈｚ〜１００Ｈｚあればよく、実質的には５Ｈｚ〜５０Ｈｚあれば十分である。音圧放射面３１ａからパルス状の音圧（圧力波、振動する気流圧）が放射される。
【００３０】
案内部材３２は、軸線を垂直に向けた円筒形状をなし、下端が開口されている。スピーカ３１が、音圧放射面３１ａを真下に向けて案内部材３２の内部に収容されている。したがって、スピーカ３１の指向方向が、仮想水平面ＰＬ１と直交するように真下に向けられている。案内部材３２の内部が、スピーカ３１からの音圧を案内する案内路３２ａ（導波路）になっている。音圧の指向方向は、基準平面ＰＬ１と直交している。
【００３１】
案内部材３２の下端の周縁には径方向内側に突出する環状の鍔３２ｆが設けられている。鍔３２ｆの内周面によって、案内部材３２の下端の開口３２ｅが形成されている。開口３２ｅは、真円形状になっている。開口３２ｅを通して、スピーカ３１の少なくとも中心部が基準平面ＰＬ１と直交する方向に露出されている。開口３２ｅの直径φ３２ｅ（開口巾）は、音圧放射面３１ａの直径φ３１ａ（開口３２ｅの巾と同じ方向の寸法）の２０分の１以上（φ３２ｅ≧１／２０×φ３１ａ）であり、好ましくはφ３２ｅ≧１／１０×φ３１ａであり、より好ましくはφ３２ｅ≧１／５×φ３１ａである。鍔３２ｆを省略してもよく、開口３２ｅの直径φ３２ｅが、音圧放射面３１ａの直径φ３１ａと略同じか又は直径φ３１ａより大きくなるようにしてもよい。ここで、音圧放射面３１ａの直径φ３１ａとは、スピーカ３１の前面（図１、図２において下面）の紙状又は膜状の円形振動部の直径を云う。スピーカ３１の前面の外周に外枠が設けられている場合、音圧放射面３１ａの直径φ３１ａは外枠の内直径とほぼ等しい。
【００３２】
案内部材３２が、開口３２ｅに向かうにしたがって拡開していてもよい。その場合、開口３２ｅの巾は、面状体９の巾（左右方向の寸法）の２分の１以下好ましくは４分の１以下であることが好ましい。
案内部材３２の断面ひいては開口３２ｅの形状は円形に限られず、正方形等の正多角形でもよく、楕円形状又は長方形でもよい。開口３２ｅが楕円形状又は長方形である場合、その長径（長軸）が面状体９の連続方向（図２の左右）に向けられ、短径（短軸）が面状体９の巾方向（図１の左右）に向けられていることが好ましい。
案内部材３２の下端と仮想水平面ＰＬ１との間の距離Ｄ３は、好ましくはＤ３＝０ｍｍ〜７０ｍｍ程度であり、より好ましくはＤ３＝１ｍｍ〜３０ｍｍ程度である。
【００３３】
案内部材３２の近傍に検出手段３８が設けられている。検出手段３８は、例えばレーザー変位計にて構成されているが、これに限定されるものではなく、渦電流式変位計、赤外線変位計、超音波式変位計等の他の変位計にて構成されていてもよい。検出手段３８は、面状体９における該検出手段３８の直下の部分の垂直方向（仮想平面ＰＬ１と直交する方向）への変位を検出する。
【００３４】
検出手段３８の検出信号線３８ｃが制御手段３９に接続されている。制御手段３９からの制御信号線３９ｃが、対応するスピーカ３１の増幅器（図示省略）に接続されている。詳細な図示は省略するが、制御手段３９は、入出力インターフェース、マイクロコンピュータ、上記増幅器の駆動回路等を有している。検出手段３８の検出信号は制御手段３９に送られる。制御手段３９は、検出手段３８の検出信号に基づいて、対応するスピーカ３１の出力（音圧の振動数、位相、振幅等）をフィードバック制御する。制御手段３９は、スピーカ３１及び検出手段３８ごとに設けられているが、複数組のスピーカ３１及び検出手段３８に対し１つの制御手段３９が設けられていてもよい。
【００３５】
上記構成の浮上搬送装置１を用いて面状体９を浮上搬送する方法を、制振装置３による制振制御を中心に説明する。
面状体９をガイドロール２１，２２間に掛け回し、ガイドロール２１，２２を図２において時計回りに回転させる。これにより、面状体９が、ガイドロール２１の側からガイドロール２２の側へ矢印ａの方向に搬送される。併行して、各浮上ノズル１０の吹出口１１から浮上用ガスを吹き出す。下側浮上ノズル１０Ｌからの浮上用ガスの圧力によって面状体９の中間部を浮上させることができる。上側浮上ノズル１０Ｕからのガスによって、面状体９を上側から抑え、面状体９が上方へ必要以上に膨らむのを防止できる。
【００３６】
図２に示すように、面状体９の各浮上ノズル１０に対応する部分は、浮上ノズル１０の配置された側とは反対側に膨らむように変形する。面状体９の上記膨らみ部分と各浮上ノズル１０の間の隙間１５には、浮上用ガスによる隙間流れｆが形成される。
【００３７】
隙間流れｆは、各ノズル１０と面状体９との間に形成される。面状体９の下側浮上ノズル１０Ｌと対応する部分においては、隙間流れｆは、面状体９の下側（音圧付与手段３０側とは反対側）の表面上に形成され、面状体９の上側（音圧付与手段３０の側）の表面上では隙間流れが無いか、有っても下側より流量が十分に小さい。
【００３８】
面状体９の上側浮上ノズル１０Ｕと対応する部分（音圧付与手段３０から搬送方向ａにずれた部分）においては、隙間流れｆは、面状体９の上側の表面上に形成され、面状体９の下側の表面上では隙間流れが無いか、有っても上側より流量が十分に小さい。
【００３９】
図１に示すように、隙間流れｆは、面状体９の表面に沿って面状体９の巾方向（左右方向）の外側へ向けて流れる。面状体９の巾方向の両端部では、隙間１５内の浮上圧と大気圧との差圧によって浮上用ガスの流速が増大する。そのため、面状体９の巾方向の両端部では自励振動が発生しやすい。面状体９の巾方向の両端部は自由端であるから、振動の腹になる。
【００４０】
面状体９の巾方向の両端部の上記振動を検出手段３８にて検出する。この検出信号すなわち面状体９の振動データを制御手段３９に入力する。制御手段３９は、この振動データに基づいて、面状体９の振動が抑制されるようスピーカ３１の出力を状態フィードバック制御する。具体的には、面状体９の振動の変位データにゲイン（増幅器への出力値計算の係数）を乗じ、かつ周波数を一致させるとともに位相をずらした電気信号を増幅器に出力する。これにより、スピーカ３１から面状体９と同じ周波数で位相がずれたパルス状の音圧が面状体９に向けて放射される。
【００４１】
音圧の面状体９の振動に対する位相のずれは、−３０°〜−２１０°程度が好ましく、−１２０°〜−１８０°程度がより好ましい。音圧の振幅（ゲイン）は、振動抑制効果が得られる範囲で適宜設定する。この音圧が、案内路３２ａに案内され、開口３２ｅから下方へ放射される。これにより、面状体９の巾方向の端部における音圧付与手段３０の直下の部分に音圧が局所的に作用し、面状体９の振動を抑制できる。
【００４２】
音圧の放射方向の中心軸（指向方向）が仮想水平面ＰＬ１と直交しているため、音圧を面状体９に有効に作用させることができる。案内路３２ａによって、音圧の放射領域をスピーカ３１の直下の領域に制限でき、音圧が必要以上に拡散しないようにでき、面状体９に作用する圧力が弱まるのを回避できる。これによって、面状体９に音圧を確実に局所的に付与できる。開口３２ｅの直径φ３２ｅひいては開口巾が、音圧放射面３１ａの直径φ３１の５分の１以上であるため、音圧が大きく減衰するのを回避でき、面状体９に音圧を確実に作用させることができる。音圧は、スピーカ３１から面状体９に音速と同じオーダーで瞬間的に伝播される。したがって、制御の即応性を充分に確保できる。スピーカ３１と面状体９との離間距離が多少大きくても、音圧を面状体９に確実かつ即時に作用させることがきる。隙間流れｆの流速を制御するものではなく、隙間流れｆが形成されていない側からであっても面状体９に振動抑制力を確実に作用させることができる。この結果、面状体９を確実に制振できる。面状体９の片側（上側）からだけ音圧を作用させるため、制御の堅牢性を向上できる。面状体９を挟んで隙間流れｆが殆ど形成されていない側（上側）から音圧を面状体９に付与できる。
【００４３】
次に、本発明の他の実施形態を説明する。以下の実施形態において、既述の形態と重複する構成に関しては、図面に同一符号を付して説明を省略する。
【００４４】
図３及び図４は、本発明の第２実施形態を示したものである。この実施形態では、音圧付与手段３０が、仮想平面ＰＬ１より下側に配置されている。しかも、音圧付与手段３０は、下側浮上ノズル１０Ｌの内部に配置されている。図４に示すように、案内部材３２は、軸線を垂直にし、かつ開口３２ｅが上に向けられている。この開口３２ｅが、下側浮上ノズル１０Ｌの上面に露出している。案内部材３２の内部にスピーカ３１が音圧放射面３１ａを真上に向けて収容されている。音圧付与手段３０が、面状体９の巾方向の両端部に対応する位置に配置されている点は、第１実施形態と同じである。また、検出手段３８の位置は、第１実施形態と同じである。
第２実施形態では、音圧を下側から面状体９に作用させ、面状体９を制振できる。
【００４５】
図５及び図６は、本発明の第３実施形態を示したものである。第３実施形態では、第２実施形態（図３及び図４）と同様に、音圧付与手段３０が仮想平面ＰＬ１より下側に配置され、スピーカ３１及び案内部材３２が上向きになっている。第３実施形態の音圧付与手段３０は、下側の各浮上ノズル１０の外側かつ各浮上ノズル１０の近傍に配置されている。ここでは、音圧付与手段３０が下側の各浮上ノズル１０の後方（図６において左側）に配置されているが、浮上ノズル１０の前方（図６において右側）に配置してもよい。図５に示すように、音圧付与手段３０の左右方向の配置位置は、第２実施形態よりも中央に寄っているが、第２実施形態と同様に左右の端部に配置してもよい。検出手段３８は、第１及び第２実施形態と同じ位置に配置されている。
【００４６】
図７及び図８は、本発明の第４実施形態を示したものである。第４実施形態の浮上搬送装置１は、第１実施形態（図１及び図２）の音圧付与手段３０と第２実施形態（図３及び図４）の音圧付与手段３０の両方を有している。すなわち、第４実施形態では、音圧付与手段３０が、面状体９（仮想平面ＰＬ１）を挟んで上下両側に配置されている。上側の音圧付与手段３０は、第１実施形態と同様の配置及び構造になっている。下側の音圧付与手段３０は、第２実施形態と同様の配置及び構造になっている。上下の音圧付与手段３０は、垂直方向にまっすぐ対向している。検出手段３８は、第１実施形態と同じ位置に配置されている。制御手段３９からの２つの制御信号線３９ｃ，３９ｃが、上下の音圧付与手段３０にそれぞれ接続されている。
【００４７】
第４実施形態では、上下の音圧付与手段３０から音圧をそれぞれ面状体９に向けて放射し、面状体９に上下から音圧を作用させる。このとき、上下からの音圧の位相がちょうど１８０°ずれて面状体９に作用するようにタイミングを合わせる。これにより、面状体９を制振できる。
【００４８】
音圧付与手段の軸線ひいては音圧の指向方向（音波の波面の中心軸）は、基準平面ＰＬ１に対し直交する方向に限られない。図９に示すように、音圧の指向方向ｐは、基準平面ＰＬ１と直交する方向（α＝９０°）と、基準平面ＰＬ１と平行に面状体９の外側から面状体９を向く方向（α＝０°）との間の方向であればよい。音圧の指向方向ｐと基準平面ＰＬ１とのなす角度αが、０°≦α≦９０°であればよい。
【００４９】
図９及び図１０は、本発明の第５実施形態を示したものである。第５実施形態では、音圧付与手段３０の軸線が、基準平面ＰＬ１に対して斜めになっている。音圧付与手段３０の基端（図９において上端）が面状体９の巾方向（同図において左右）の外側に傾き、音圧付与手段３０の先端（図９において下端）が面状体９の巾方向の内側に傾いている。音圧付与手段３０の軸線と基準平面ＰＬ１とのなす角度αは、好ましくはα＝４°〜６５°程度であり、より好ましくはα＝３０°程度である。
【００５０】
図９に示すように、一対の音圧付与手段３０が、面状体９の巾方向（浮上ノズル１０の長手方向、図９において左右）の両外側にそれぞれ配置されている。各音圧付与手段３０の軸線を先端方向に延長すると、面状体９の巾方向の端部と交差する。図１０に示すように、音圧付与手段３０と下側浮上ノズル１０Ｌとが、面状体９の連続方向（図１０の左右方向）の互いに同じ位置に配置されている。面状体９の巾方向（図１０の紙面と直交する方向）から見て、音圧付与手段３０と下側浮上ノズル１０Ｌとが基準平面ＰＬ１を挟んで上下に対向している。音圧付与手段３０と上側浮上ノズル１０Ｕとは、面状体９の連続方向に互いにずれている。
【００５１】
第５実施形態の案内部材３２の先端部（下端部）は、先細のテーパ部３２ｃになっている。第５実施形態では、案内部材３２の開口３２ｅの巾（短直径）は、スピーカ３１の音圧放射面３１ａの直径の２０分の１以上に限られず、２０分の１未満であってもよい。
【００５２】
更に、第５実施形態では、面状体９の延伸処理等のために、面状体９に対してその連続方向（図１０の左右方向）にある大きさ以上の張力が付与されている。図９に示すように、この張力によって、面状体９に引っ張りシワ９ｃが形成されている。引っ張りシワ９ｃは、張力と同じ方向（図９の紙面と直交する方向）に延びている。複数本の引っ張りシワ９ｃが、張力と直交する方向（面状体９の巾方向、図９の左右方向）に並び、全体として波形状になっている。引っ張りシワ９ｃは、面状体９の巾方向の両側の自由端の部分９ｄに形成されやすい。音圧付与手段３０の軸線ひいては音圧の指向方向ｐが、面状体９の引っ張りシワ形成部分９ｄの一箇所と交差している。
【００５３】
面状体９の下側浮上ノズル１０Ｌと対向する部分においては、下側浮上ノズル１０Ｌから浮上ガスが吹き出されることで、面状体９の下面と下側浮上ノズル１０Ｌとの間の隙間１５に隙間流れｆが形成されている。下側浮上ノズル１０Ｌと対向する部分における面状体９より上側には、隙間流れが形成されていないか、流れが有ってもその流量は面状体９より下側の流れｆより十分に小さい。
【００５４】
面状体９の下面に沿う隙間流れｆは、面状体９の巾方向の外端へ向けて流れる。この隙間流れｆによって、面状体９の引っ張りシワ形成部分９ｄが振動する。具体的には、引っ張りシワ９ｃが、隙間流れｆに押されて面状体９の巾方向の外側に伝播する。面状体９の引っ張りシワ形成部分９ｄにおける巾方向内側の部分には、引っ張りシワ９ｃが移動した後に新たな引っ張りシワ９ｃが形成される。
【００５５】
第５実施形態の制振装置３は、上記引っ張りシワ９ｃの伝播振動を制振する。詳述すると、音圧付与手段３０のスピーカ３１から音圧を該スピーカ３１の軸線に沿って斜めに放射し、この音圧を案内部材３２によって案内路３２ａの軸線に沿って斜めに案内する。案内路３２ａを先細にすることによって、音圧の拡散を防止できる。この音圧を、開口３２ｅから指向方向ｐに斜めに放射し、面状体９の引っ張りシワ形成領域９ｄの一箇所に局所的にかつ斜めに当てる。面状体９上における音圧の付与方向は、引っ張りシワ９ｃの伝播方向とは逆方向の成分を含む。これによって、引っ張りシワ９ｃの伝播振動を抑制でき、更には上記伝播振動を止めることができる。隙間流れが殆ど形成されていない側から面状体９を制振できる。
【００５６】
上記の音圧が開口３２ｅから気流として吹き出されるときの吹き出し流速がある範囲内になるように、スピーカ３１の出力振動数及び振幅を設定する。気流の吹き出し流速範囲は、隙間流れｆの流速、面状体９に付与した張力等に応じて調節する。上記吹き出し流速の上限は、引っ張りシワ９ｃが逆向き（面状体９の巾方向の内側方向）に移動する流速未満とし、スピーカ３１の能力に応じて定める。面状体９の振動の位相や振幅に応じたフィードバック制御を行なう必要はない。したがって、検出手段３８を省略してもよい。
【００５７】
図１１は、本発明の第６実施形態を示したものである。この実施形態は、第５実施形態の音圧付与手段３０の変形例である。音圧付与手段３０は、スピーカ３１と、ノズル状の案内部材３７とを含む。スピーカ３１が案内部材３７の上側の外部に配置されている。スピーカ３１と案内部材３７とが、互いの軸線を一致させて配置されている。スピーカ３１と案内部材３７の軸線が基準平面ＰＬ１に対して斜めになっている点は、第５実施形態と同様である。
【００５８】
図１１及び図１２に示すように、案内部材３７は、正面方向（面状体９の連続方向）から見て、漏斗状の筒体にて構成されている。案内部材３７の巾（図１２において上下方向の寸法）は、該案内部材３７の基端（上端）から先端側（下側、図１２において手前）へ向かって途中までは急に小さくなり、そこから先端（下端）までは緩やかに小さくなっている。図１２に示すように、側面方向（図１１の左右方向）から見た案内部材３７は、長方形になっている。案内部材３７における面状体９の連続方向（図１１の紙面と直交する方向）に沿う寸法は一定である。
【００５９】
案内部材３７の基端部（上端部）は開口されている。案内部材３７の基端部が、スピーカ３１の音圧放射面３１ａにほぼ接している。案内部材３７の基端部が、スピーカ３１の音圧放射面３１ａから少し離れていてもよい。
【００６０】
案内部材３７の先端部（下端部）は開口され、開口３７ｅを形成している。開口３７ｅは、長手方向を面状体９の連続方向（図１１の紙面と直交する方向）に向けた細長い長方形（スリット状）になっている。
【００６１】
スピーカ３１から音圧が案内部材３７の内部に放射される。音圧は、案内部材３７の軸線に沿って案内路３７ａ内を先端方向へ伝播する。この音圧が開口３７ｅから斜めに出力され、面状体９の引っ張りシワ形成領域９ｄに局所的にかつ斜めに当たる。音圧は、引っ張りシワ９ｃの伝播方向とは逆方向の成分を含む。これによって、引っ張りシワ９ｃの伝播振動を抑制でき、更には上記伝播振動を止めることができる。
【００６２】
面状体９に付与する制振圧は、音圧に限られず、風圧、その他の気流圧でもよい。
図１３は、本発明の第７実施形態を示したものである。第７実施形態では、気流圧として音圧に代えて風圧を面状体９に付与する。制振装置３は、気流圧付与手段として、音圧付与手段３０に代えて、風圧付与手段３０Ｂを備えている。風圧付与手段３０Ｂは、ファン３３（風圧の発生源）と、案内部材３６（ダクト）とを有するブロアにて構成されている。ファン３３が、案内部材３６の基端部（上端部）に収容されている。ファン３３と案内部材３６が互いの軸線を一致させて配置されている。上記共通の軸線が、ブロア３０Ｂの吹き出し軸（風圧の指向方向）となる。
【００６３】
ブロア３０Ｂの吹き出し軸は、基準平面ＰＬ１と直交する方向（α＝９０°）と、基準平面ＰＬ１と平行に面状体９の外側から面状体ＰＬ１を向く方向との間を向いている。具体的には、ブロア３０Ｂの吹き出し軸は、先端（下端）が面状体９の巾方向（図１４において左右）の内側に傾くように基準平面ＰＬ１に対し斜めになっている。ブロア３０Ｂの吹き出し軸と基準平面ＰＬ１とのなす角度αは、好ましくはα＝４°〜６５°程度であり、より好ましくはα＝３０°程度である。
ファン３３の軸線は、案内部材３６の軸線とずれていてもよく、交差していてもよい。案内部材３６の軸線は、直線状に限られず、折曲していてもよい。案内部材３６の先端部（下端部）の軸方向が上記吹き出し軸と一致していればよい。
【００６４】
案内部材３６の基端部（上端部）は開放されている。案内部材３６の先端部（下端部）は、先細のテーパ部３６ｃになっている。案内部材３６の開口３６ｅの巾（短直径）は、風圧を一定方向に出力できればよく、ファン３３の直径とは無関係に設定でき、ファン３３の直径の２０分の１以上に限られず、２０分の１未満であってもよい。開口３６ｅは、真円形状でもよい。
【００６５】
ファン３３からの風圧が、案内部材３６内の案内路３６ａを伝って開口３６ｅから斜めに出力される。この風圧が、面状体９の引っ張りシワ形成領域９ｄに局所的にかつ斜めに当たる。風圧は、引っ張りシワ９ｃの伝播方向とは逆方向の成分を含む。これによって、引っ張りシワ９ｃの伝播振動を抑制又は止めることができる。
【００６６】
上記開口３６ｅからの気流（風）の吹き出し流速が所定範囲になるように、ファン３３の回転数等を調節する。第６実施形態と同様に、気流の吹き出し流速範囲は、隙間流れｆの流速、面状体９に付与した張力等に応じて調節する。気流の吹き出し流速の上限は、引っ張りシワ９ｃが逆向き（面状体９の巾方向の内側方向）に移動する流速未満とする。更に第７実施形態では、第６実施形態と同様に、面状体９の振動の位相や振幅に応じたフィードバック制御を行なう必要はなく、検出手段３８を省略してもよい。
【００６７】
図１４は、本発明の第８実施形態を示したものである。第８実施形態の気圧付与手段６０は、エアコンプレッサ６１（ガス圧縮機）と、エアノズル６３を備えている。エアコンプレッサ６１は、気流圧の発生源を構成する。第８実施形態の気流圧発生源すなわちエアコンプレッサ６１は、０°≦α≦９０°の範囲に配置する必要はない。
【００６８】
エアコンプレッサ６１からエア圧路６２が延びている。エア圧路６２が複数に分岐し、各エアノズル６３の基端部（上端部）に連なっている。
【００６９】
エアノズル６３は、気流の案内部材を構成する。エアノズル６３の吹き出し軸（気流圧の指向方向）は、基準平面ＰＬ１と直交する方向（α＝９０°）と、基準平面ＰＬ１と平行に面状体９の外側から面状体ＰＬ１を向く方向との間を向いている。具体的には、エアノズル６３の吹き出し軸は、先端（下端）が面状体９の巾方向（図１４において左右）の内側に傾くように基準平面ＰＬ１に対し斜めになっている。エアノズル６３の軸線と基準平面ＰＬ１とのなす角度αは、好ましくはα＝４°〜６５°程度であり、より好ましくはα＝３０°程度である。
【００７０】
エアノズル６３の先端部（下端部）は、先細のテーパ部６３ｃになっている。エアノズル６３の先端開口６３ｅの巾（短直径）は、エア圧を局在的に出力できればよく、例えば数ｍｍ〜数十ｍｍになっている。開口６３ｅは、真円形状でもよい。
【００７１】
エアコンプレッサ６１からのエア圧が、エア圧路６２を経てエアノズル６３内の案内路６３ａに導入され、開口６３から斜めに出力される。このエア圧が、面状体９の引っ張りシワ形成領域９ｄに局所的にかつ斜めに当たる。エア圧は、引っ張りシワ９ｃの伝播方向とは逆方向の成分を含む。これによって、引っ張りシワ９の伝播ひいては面状体９の引っ張りシワ形成部分９ｃの振動を抑制でき、更には上記伝播振動を止めることができる。
【００７２】
上記開口６３ｅからのエアの吹き出し流速が所定範囲になるように、コンプレッサ６１の出力やエア圧路６２に設けた圧力制御弁（図示せず）の開度を調節する。第６、第７実施形態と同様に、エアの吹き出し流速範囲は、隙間流れｆの流速、面状体９に付与した張力等に応じて調節する。エアの吹き出し流速の上限は、引っ張りシワ９ｃが逆向き（面状体９の巾方向の内側方向）に移動する流速未満とする。更に第８実施形態では、第６、第７実施形態と同様に、面状体９の振動の位相や振幅に応じたフィードバック制御を行なう必要はなく、検出手段３８を省略してもよい。
【００７３】
本発明は、上記実施形態に限定されず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の改変をなすことができる。
例えば、上下の浮上ノズル１０のうち下側浮上ノズル１０Ｌだけを設け、上側浮上ノズル１０Ｕを省略してもよい。
下側又は上側の複数の浮上ノズル１０の各々に対応する位置に気流圧付与手段３０，３０Ｂ，６０を設けなくてもよく、一部の浮上ノズル１０に対応する位置にだけ気流圧付与手段３０，３０Ｂ，６０を設けてもよい。
面状体支持装置は、エアフローティング等で面状体を搬送するものに限られず、面状体に乾燥ガスを吹き付ける乾燥装置であってもよく、乾燥ガスで面状体を浮かせてもよく、略垂直に垂らした面状体の表面に沿って乾燥ガスを流してもよい。
面状体の表面を流れる流体は、気体に限られず、水等の液体であってもよい。
気流圧付与手段３０，３０Ｂ，６０の案内部材の軸線と基準平面ＰＬ１とのなす角度α（図９）は、０°≦α≦９０°の範囲で適宜設定できる。α＝０°のとき、気流圧付与手段３０，３０Ｂ，６０の案内部材の軸線が基準平面ＰＬ１の上側又は下側にずれていてもよい。
引っ張りシワ９ｃの移動を抑制又は止めることを目的とする場合、案内部材３２，３７の開口３２ｅ，３７ｅの巾（短直径、短手方向の寸法）は、スピーカ３１の音圧放射面３１ａの直径の２０分の１未満であってもよい。面状体支持装置１は、面状体９を浮かせて略水平に支持するものに限られず、面状体９を垂らして支持してもよく、面状体９を水平又は鉛直に対して斜めに張って支持してもよい。
本発明は、非特許文献３に言う隙間流れすなわち隙間の長さが隙間の厚さの１０倍以上である場合に限られず、隙間の長さが隙間の厚さの１０倍未満の場合にも適用される。
【実施例１】
【００７４】
実施例を説明する。なお、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
実施例１では、図１及び図２に示す装置１と実質的に同じ構成の装置を用いた。各浮上ノズル１０の長手方向（図１の左右）の寸法は６００ｍｍであり、短手方向（図２の左右）の寸法は１２０ｍｍであり、高さは９０ｍｍであった。上側浮上ノズル１０Ｕの配置ピッチ及び下側浮上ノズル１０Ｌの配置ピッチは、それぞれ５１０ｍｍであった。上側浮上ノズル１０Ｕの下面と下側浮上ノズル１０Ｌの上面との間の間隔は、５ｍｍであった。ガイドロール２１，２２の上端部の高さは上下の浮上ノズル１０のちょうど中間の高さであり、上側浮上ノズル１０Ｕの下面と仮想水平面ＰＬ１との間の間隔及び下側浮上ノズル１０Ｌの上面と仮想水平面ＰＬ１との間の間隔との間隔は、それぞれ２．５ｍｍであった。ガイドロール２１，２２間の距離は、１５００ｍｍであった。
【００７５】
面状体９として、厚さ１６μｍのＰＥＴからなる連続シートを用いた。この面状体９をガイドロール２１，２２間に張り渡して上下の浮上ノズル１０間に通し、かつ各ガイドロール２１，２２に４分の１周程度掛け回した。面状体９のガイドロール２１から下側に垂れた後端部は、固定治具にて固定した。面状体９のガイドロール２２から下側に垂れた前端部には錘を設け、面状体９に８０Ｎ／ｍの張力を加えた。
面状体９は、連続方向の全長にわたって６００ｍｍ（一定）の巾を有する長方形であった。
スピーカ３１として、ＶＩＳＡＴＯＮ社製の型番ＷＳ２０Ｅを用いた。スピーカ３１の音圧放射面３１ａは、直径φ３１ａ＝２０７ｍｍの円形であった。案内部材３２の内径（直径）は２３６ｍｍであった。案内部材３２の開口３２ｅの直径（開口巾）は、φ３２ｅ＝５０ｍｍであった。音圧放射面３１ａから開口３２ｅまでの距離は５０ｍｍであった。開口３２ｅから仮想水平面ＰＬ１までの距離は、Ｄ３＝４０ｍｍであった。
【００７６】
上下の各浮上ノズル１０からエアを吹き出した。制振装置３による制振を行わない状態（「比較例１」とする）で、吹き出し流速を４ｍ／ｓにすると、面状体９の巾方向の両端部分が自励振動した。この振動の振幅は２．５ｍｍ以上であり、面状体９の巾方向の両端部分が上下の浮上ノズル１０に衝突した。吹き出し流速が６ｍ／ｓのとき、面状体９の振動の周波数は、１６Ｈｚであった。
【００７７】
これに対し、制振装置３を作動させ、面状体９の上側から音圧を面状体９の巾方向の端部に作用させたところ、吹き出し流速が０〜７．５ｍ／ｓの範囲で、面状体９の巾方向の両端部分の振幅を２．５ｍｍ未満に抑えることができ、上記両端部分が上下の浮上ノズル１０に衝突しないようにすることができた。吹き出し流速が６ｍ／ｓのとき、面状体９の巾方向の両端部分の振幅は０．５ｍｍであり、周波数は１６Ｈｚであった。なお、吹き出し流速が７．５ｍ／ｓ以上の範囲は、モード遷移が起き、本テスト機では制御範囲外になった。
【実施例２】
【００７８】
実施例２では、図３及び図４に示す装置１と実質的に同じ構成の装置を用いた。すなわち、面状体９の下側から音圧を面状体９の巾方向の端部に作用させた。装置１の各部の寸法、面状体９の形状及び寸法、張力等は実施例１と同じであった。制振装置３による面状体９の制振を行ったところ、吹き出し流速が０〜７．５ｍ／ｓの範囲で、面状体９の巾方向の両端部分の振幅を２．５ｍｍ未満に抑えることができ、上記両端部分が上下の浮上ノズル１０に衝突しないようにすることができた。吹き出し流速が６ｍ／ｓのとき、面状体９の巾方向の両端部分の振幅は０．５ｍｍであり、周波数は１６Ｈｚであった。
【実施例３】
【００７９】
実施例３では、図５及び図６に示す装置１と実質的に同じ構成の装置を用いた。すなわち、面状体９の下側から、かつ左右方向の少し中央寄りの位置から音圧を面状体９に作用させた。装置１の各部の寸法、面状体９の形状及び寸法、張力等は実施例１と同じであった。制振装置３による面状体９の制振を行ったところ、吹き出し流速が０〜５．０ｍ／ｓの範囲で、面状体９の巾方向の両端部分が上下の浮上ノズル１０に衝突しないようにすることができた。吹き出し流速が６ｍ／ｓのとき、面状体９の巾方向の両端部分の振幅は１．８ｍｍであり、周波数は１６Ｈｚであった。
【実施例４】
【００８０】
実施例４では、図７及び図８に示す装置１と実質的に同じ構成の装置を用いた。すなわち、面状体９の上下両側から音圧を面状体９の巾方向の端部に作用させた。装置１の各部の寸法、面状体９の形状及び寸法、張力等は実施例１と同じであった。制振装置３による面状体９の制振を行ったところ、吹き出し流速が０〜６．５ｍ／ｓの範囲で、面状体９の巾方向の両端部分が上下の浮上ノズル１０に衝突しないようにすることができた。吹き出し流速が６ｍ／ｓのとき、面状体９の巾方向の両端部分の振幅は０．８ｍｍであり、周波数は１６Ｈｚであった。
【００８１】
以上の結果をまとめると、表１のようになる。制振装置３による制振効果が確認された。音圧付与手段３０は、面状体９の巾方向のなるべく端部に対向するように配置することが好ましいことが確認された。さらに、音圧を面状体９の両側から作用させるよりも、面状体９の片側からのみ作用させることが好ましいことが確認された。
【００８２】
【表１】
0005540253.tif 000002
【実施例５】
【００８３】
はじめに、図１５にしたがって、実施例５に用いた面状体支持装置４の構成を説明する。
面状体支持装置４は、一対の垂直な壁４１，４２を有している。これら壁４１，４２が間隔をおいて向き合っている。壁４１，４２どうしの間に隙間４３が形成されている。壁４１，４２の中間部に段差が設けられており、隙間４３の上側部分は相対的に狭く、下側部分は相対的に広くなっている。壁４１，４２及び隙間４３の図１５の紙面直交方向の巾は、面状体９の巾より少し大きい。
【００８４】
隙間４３内に面状体９が垂直に差し入れられている。面状体９は、隙間４３の厚さ方向のちょうど中央を通る垂直な仮想平面ＰＬ２に沿って配置されている。面状体９の上端部は、隙間４３から外へ出され、２つのガイドバー４４に掛け回されて直角に折り曲げられ、錘４５によって引っ張られている。面状体９の下端部は、隙間４３の下側の広くなった部分に位置し、下端拘束部材４６に連結されている。したがって、隙間４３内における面状体９は、上端部と下端部がそれぞれ拘束されて拘束端になり、巾方向（図１５の紙面と直交する方向）の両端部が自由端になっている。隙間４３の下端部にブロア４７が接続されている。ブロア４７を駆動すると、隙間４３内が負圧になり、外部の空気が隙間４３の上端部から隙間４３内に入り込む。この空気は、壁４１と面状体９の間の部分隙間４３ａ及び壁４２と面状体９の間の部分隙間４３ｂを通り、隙間４３の下端部からブロア４７へ送られる。これにより、部分隙間４３ａ，４３ｂにそれぞれ隙間流れｆが形成され、面状体９が振動する。
【００８５】
面状体支持装置４は、以下の制振装置３Ｘを備えている。
壁４２の段差より下側部分に案内部材３４（導波路形成部材）が設けられている。案内部材３４は、上下一対の案内壁面３４Ｕ，３４Ｌ（導波壁面３４Ｕ，３４Ｌ）を有している。上下の案内壁面３４Ｕ，３４Ｌは、壁４２から離れるにしたがって互いの間隔が拡がるよう斜めになり、それぞれ図１５の紙面直交方向に延びている。上側の案内壁面３４Ｕが壁４２の中途の段差面に連なり、下側の案内壁面３４Ｌが壁４２の段差面より下側部分に連なっている。上下の案内壁面３４Ｕ，３４Ｌの間に案内路３４ａ（導波路３４ａ）が形成されている。案内路３４ａは、隙間４３に連通するとともに図１５の紙面直交方向に延びている。案内路３４ａの基準平面ＰＬ２側の端部が、隙間４３と連通する開口３４ｅになっている。案内路３４ａは、奥側が上下に広く、開口３４ｅに向かって上下に漸次狭くなっている。
【００８６】
案内路３４ａの奥端部にスピーカ３１が設けられている。スピーカ３１は、図１５の紙面と直交する方向に延びる案内路３４ａのちょうど中央部分に配置されている。案内路３４ａの開口３４ｅを通して、スピーカ３１の少なくとも中心部が基準平面ＰＬ２と直交する方向に露出されている。スピーカ３１の音圧放射面３１ａは、垂直をなし、案内路３４ａを通して仮想垂直平面ＰＬ２に面している。スピーカ３１の指向方向が仮想垂直平面ＰＬ２と直交している。開口３４ｅの開口巾は、音圧放射面３１ａの直径の２０分の１以上であり、好ましくは１０分の１以上であり、より好ましくは５分の１以上である。
【００８７】
壁４１の段差より下側部分には検出手段３８が設けられている。検出手段３８は、仮想垂直平面ＰＬ２と直交する線上にスピーカ３１とちょうど向かい合う位置に配置されている。検出手段３８からの検出信号線３８ｃが制御手段３９に接続されている。制御手段３９の制御信号線３９ｃが、スピーカ３１の増幅器３５に接続されている。
【００８８】
実施例５では、隙間４３の厚さ（図１５において左右の寸法）を５０ｍｍとした。隙間４３内の面状体９の上下方向の長さ（流路長さ）は、３００ｍｍであった。錘４５の重さは０．３６ｋｇｆであり、面状体９に作用する張力は２５．２Ｎ／ｍであった。面状体９の材質は、ＰＥＴであった。面状体９の厚さは、５００μｍであった。スピーカ３１として、ＶＩＳＡＴＯＮ社製の型番ＷＳ２０Ｅを用いた。スピーカ３１の音圧放射面３１ａは、直径１００ｍｍの円形であった。スピーカ３１の音圧放射面３１ａから案内路３４ａの開口３４ｅまでの距離は、１００ｍｍであった。開口３４ｅの上下方向の寸法（開口巾）は５０ｍｍであった。
【００８９】
制振を行わない状態（「比較例５−１」とする）で、隙間４３内の流れｆの流速に対する面状体９の振幅を測定した。結果を図１６に示す。隙間流れｆの流速が０〜７．０ｍ／ｓの範囲では、面状体９はほとんど振動しなかった。隙間流れｆの流速が７〜１０ｍ／ｓのとき、面状体９の振動が起きた。隙間流れｆの流速が８．６ｍ／ｓのとき、面状体９の振幅が最大の６ｍｍになった。このとき、振動の周波数は８．０Ｈｚであった。以下、隙間４３の厚さが５０ｍｍのときは隙間流れｆの流速を８．６ｍ／ｓとして、制振装置３Ｘによる制振効果を検証した。なお、１０ｍ／ｓが面状体支持装置４にて得られる最大流速であった。
【００９０】
制振装置３Ｘを作動させたところ、図１７に示す結果を得た。制振実験では、スピーカ３１からの音圧の位相を面状体９の振動に対し−１８０°〜１８０°の範囲でずらした。また、制御のゲイン（増幅器３５への出力係数）を０．０５〜０．３の範囲で調節した。隙間流れｆの流速は、非制振時に振幅が最大になった８．６ｍ／ｓとした。図１７は、音圧の位相のずれ角に対する制振時と非制振時の変位の比を示したものである。同図から明らかな通り、位相のずれが、−３０°〜−１８０°及び＋１５０°〜＋１８０°のとき、すなわち−３０°〜−２１０°のとき、比が１以下になり、面状体９を制振することができた。特に位相のずれが−１２０°〜−１８０°のとき、良好な制振効果を発現できた。ゲインの違いは位相のずれよりも制振効果への影響が小さかった。位相のずれ角が−１６５°、ゲインが０．２のとき、最も良好な制振効果を得ることができた。このとき、振動の振幅は０．６ｍｍであり、周波数は８．０Ｈｚであった。したがって、振動を非制振時の１０分の１に低減できた。図１８は、制振効果が最も良好な条件（位相のずれ角−１６５°、ゲイン０．２）での面状体９の振動状態を示したものである。この条件下では、隙間流れｆの流速を装置４の最大能力（１０ｍ／ｓ）まで大きくしても、図１８と同様の制振効果を得ることができた。
【００９１】
［比較例５−２］
比較例５−２では、非特許文献１の追試を行った。はじめに、図１９にしたがって、比較例５−２に用いた面状体支持装置４Ｙの構成を説明する。
図１９に示すように、面状体支持装置４Ｙは、実施例５に用いた面状体支持装置４と概略同じ構造であり、一対の垂直な壁４１，４２を有し、これら壁４１，４２どうしの間に隙間４３が形成されている。この隙間４３内に面状体９が垂直に差し入れられ、この面状体９の上下両端が拘束されている。ブロア４７によって隙間４３内の空気を隙間４３の下端から吸い込んで排出することで、部分隙間４３ａ，４３ｂにそれぞれ隙間流れｆが形成され、面状体９が振動する。
【００９２】
面状体支持装置４Ｙは、以下の制振装置５０を備えている。
壁４２の内部に室５２が設けられている。室５２は、図１９の紙面直交方向に延びている。この室５２の図１９の紙面直交方向の中央部にスピーカ５１が収容されている。スピーカ５１は、音圧放射面５１ａを斜め下に向けて４５度傾けて配置されている。壁４２にはスリット５３が形成されている。スリット５３は、室５２の下隅から斜め下に４５度の角度で延び、隙間４３に連なっている。スリット５３の隙間４３との連通部分は、実施例５に用いた装置４の開口３４ｅと対応する位置に配置されている。また、スリット５３は、図１９の紙面直交方向に延びている。スリット５３の図１９の紙面直交方向の寸法は、面状体９の同方向の寸法とほぼ同じである。
スピーカ５１に増幅器３５を介して制御手段３９が接続されている点、壁４３に検出手段３８が設けられている点は、実施例５の装置４と同様である。
【００９３】
比較例５−２における、隙間４３の厚さ（図１９において左右の寸法）、隙間４３内の面状体９の上下方向の長さ（流路長さ）、錘４５の重さ、面状体９に作用する張力、面状体９の材質、面状体９の厚さは、音圧放射面５１ａの直径は、実施例５と同じとした。スピーカ５１としては、実施例５のスピーカ３１と同一仕様のスピーカ（ＶＩＳＡＴＯＮ社製の型番ＷＳ２０Ｅ）を用いた。壁４２の厚さ（室５２の垂直な内面と壁４２の隙間４３を画成する垂直面との距離）は、６ｍｍであった。スリット５３の厚さｔ５３は、ｔ５３＝１ｍｍとした。
【００９４】
比較例５−２においては、隙間４３内の流れｆの流速が７．０ｍ／ｓ以上のとき面状体９が振動した。流速が８．６ｍ／ｓのとき、面状体９の振幅が最大の６ｍｍになった。このとき、振動の周波数は８．０Ｈｚであった。制御手段３９にてスピーカ５１を実施例５と同様に作動させたものの、制振の効果は認められなかった。
【実施例６】
【００９５】
実施例６では、上記面状体支持装置４の隙間４３の厚さ（図１５における左右の寸法）を６ｍｍとした。それ以外の条件は実施例５と同じであった。この隙間４３の厚さ６ｍｍの装置４において、制振を行わない状態（「比較例６−１」とする）で、面状体９の振幅を測定したところ、図２０に示す結果を得た。隙間流れｆの流速が０〜７．１ｍ／ｓの範囲では、面状体９はほとんど振動しなかった。隙間流れｆの流速が７．１ｍ／ｓ以上になると、面状体９が振動し、かつ流速が増大するにしたがって振動の振幅も増大した。隙間流れｆの流速が８．３ｍ／ｓになると、面状体９が壁４１，４２の内壁に衝突した。そこで、以下、隙間４３の厚さが６ｍｍのときは隙間流れｆの流速を８．１ｍ／ｓとして、制振装置３Ｘによる制振効果を検証した。流速８．１ｍ／ｓでの振動の周波数は、３１．６Ｈｚであった。
【００９６】
なお、図２０の縦軸の振幅は、検出手段３８の測定値である。図１５に示すように、検出手段３８は、面状体９の上下方向の中央部より下側に配置されているため、面状体９が壁４１，４２に衝突するとき、検出手段３８による振幅検出値は、面状体９の上下方向の中央部における振幅（３ｍｍ）より小さくなる。
【００９７】
隙間４３の厚さが６ｍｍの面状体支持装置４においても、制振装置３Ｘを作動すると、隙間流れｆの流速が０〜８．３ｍ／ｓの範囲で、面状体９の振動を十分に低減できた。流速８．１ｍ／ｓでは、音圧の位相のずれ角が−１６４°のとき、振動の振幅が０．４ｍになり、最も良好な制振効果が得られた。このとき、振動の周波数は、３１．６Ｈｚであった。
【００９８】
［比較例６−２］
比較例６−２では、図１９に示す比較実験装置４Ｙにおいて、隙間４３の厚さ（図１９における左右の寸法）を６ｍｍとした。それ以外の条件は実施例６ないしは比較例５−２と同じとした。その結果、隙間流れｆの流速が０〜１０ｍ／ｓの範囲で、面状体９の制振効果が認められた。流速が８．１ｍ／ｓのとき、面状体９の振幅は０．４ｍｍであり、振動周波数は３１．６Ｈｚであった。
比較例５−２及び６−２から、非特許文献１の技術では、隙間４３の厚さが比較的小さいときは制振効果を得ることができるが、隙間４３の厚さが大きくなると制振効果が得られなくなることが確認された。
【実施例７】
【００９９】
図２１に示すように、実施例７では、上記面状体支持装置４の下端拘束部材４６と壁４２との間に仕切り４８を設けた。したがって、隙間流れｆは、部分隙間４３ａ，４３ｂのうち部分隙間４３ａにのみ形成され、部分隙間４３ｂには形成されない。それ以外の条件は、実施例５と同じとした。したがって、隙間４３の厚さ（図２１において左右の寸法）は５０ｍｍであった。制振を行わない状態（「比較例７−１」とする）で面状体９の振動を調べたところ、隙間流れｆの流速が０〜７．０ｍ／ｓのときはほとんど振動せず、７．０ｍ／ｓ以上１０．０ｍ／ｓ（装置４の最大能力）までの範囲で振動が起きた。
【０１００】
これに対し、制振装置３Ｘを作動すると、隙間流れｆの流速が０〜１０．０ｍ／ｓの範囲で、面状体９の振動を十分に低減できた。図２２に示すように、隙間流れｆの流速が８．６ｍ／ｓのとき、制振を行わない状態（比較例７−１）では、面状体９の振幅が７．０ｍｍであったところ、制振装置３Ｘの作動によって面状体９の振幅を最良で０．６ｍｍまで低減できた。最良時の音圧の位相のずれ角は、−１３７°であった。流速８．６ｍ／ｓでの振動の周波数は、制振の有無に拘わらず８．０Ｈｚであった。
【０１０１】
［比較例７−２］
図２３に示すように、比較例７−２では、比較実験装置４Ｙの下端拘束部材４６と壁４２との間に仕切り４８を設けた。したがって、隙間流れｆは、実施例７と同様、部分隙間４３ａにのみ形成され、部分隙間４３ｂには形成されない。それ以外の条件は、実施例７ないしは比較例５−２と同じ（隙間４３の厚さ：５０ｍｍ）とした。その結果、隙間流れｆの流速が７．０ｍ／ｓ以上になると面状体９が振動し、制振装置５０による制振作用がまったく認められなかった。流速が８．６ｍ／ｓのとき、面状体９の振幅は７．０ｍｍであった。
【実施例８】
【０１０２】
実施例８では、図２１に示す仕切り４８付きの面状体支持装置４における、隙間４３の厚さ（図２１において左右の寸法）を６ｍｍにした。それ以外の条件は実施例７と同じにした。制振を行わない状態（「比較例８−１」とする）で面状体９の振動を調べたところ、隙間流れｆの流速が０〜７．１ｍ／ｓのときはほとんど振動せず、７．１ｍ／ｓ以上のとき振動が起きた。８．３ｍ／ｓ以上では面状体９が壁４１，４２に衝突した。
【０１０３】
これに対し、制振装置３Ｘを作動すると、隙間流れｆの流速が０〜８．３ｍ／ｓの範囲で、面状体９の振動を十分に低減できた。隙間流れｆの流速が８．１ｍ／ｓのとき、制振を行わない状態では、面状体９の振幅が１．４ｍｍであったところ、制振装置３Ｘの作動によって面状体９の振幅を最良で０．４ｍｍまで低減できた。最良時の音圧の位相のずれ角は、−１３０°であった。流速が８．１ｍ／ｓでの振動の周波数は、制振の有無に拘わらず３１．６Ｈｚであった。
【０１０４】
［比較例８−２］
比較例８−２では、図２３に示す仕切り４８付きの比較実験装置４Ｙにおいて、隙間４３の厚さ（図２３における左右の寸法）を６ｍｍとした。それ以外の条件は実施例８ないしは比較例７−２と同じとした。その結果、隙間流れｆの流速が０〜７．１ｍ／ｓのときは、面状体９の自励振動が起きなかった。流速が７．１ｍ／ｓ以上になると、面状体９が振動し、制振効果が認められなかった。流速が８．１ｍ／ｓのとき、面状体９の振幅は１．４ｍｍ（振動周波数：３１．６Ｈｚ）であった。
実施例７〜比較例８−２より、非特許文献１の技術では、隙間流れｆが形成されていない側から面状体９の制振を行うことは困難であるが、本発明によれば、隙間流れｆが形成されていない側からでも制振力を作用させることができることが確認された。
【０１０５】
表２は、実施例５〜８、比較例５−１〜８−２の結果をまとめたものである。
【表２】
0005540253.tif 000003
【実施例９】
【０１０６】
実施例９では、図１１に示す制振機能付き面状体支持装置と実質的に同じ構成の装置を用いた。音圧付与手段３０を除く面状体支持装置の構造、形状及び寸法は、実施例１と同じであった。スピーカ３１は実施例１と同じく、ＶＩＳＡＴＯＮ社製の型番ＷＳ２０Ｅを用いた。
【０１０７】
案内部材３７における面状体９の連続方向（図１１の紙面と直交する方向）に沿う寸法は、１１０ｍｍであった。案内部材３７の基端部（上端部、図１２において奥端）の巾（図１２の上下方向）は、１３０ｍｍであった。
案内部材３７の軸方向の全長は、１８３ｍｍであった。案内部材３７の基端（上端）から急に先細になる部分の軸方向の長さは、５０ｍｍであった。案内部材３７の先端側（下側）の緩やかに先細になる部分の軸方向の長さは、１３３ｍｍであった。開口３７ｅの大きさは、１００ｍｍ×１０ｍｍであった。
【０１０８】
音圧付与手段３０の軸線と基準平面ＰＬ１とのなす角度αは、α＝３０°とした。案内部材３７の先端（下端）から基準平面ＰＬ１までの垂直方向の距離は、１５ｍｍであった。なお、基準平面ＰＬ１は、上側浮上ノズル１０Ｕの下面と下側浮上ノズル１０Ｌの上面との間のちょうど中間の高さに設定した。
【０１０９】
図２４は、実施例９に用いた面状体９のガイドロール２１，２２間に架け渡した部分を示したものである。面状体９のガイドロール２１側（図２４において左端）から途中までの区間９ａは、一定の巾であり、そこからガイドロール２２（図２４において右端）までの区間９ｂは、面状体９の巾方向（図２４において上下）の両端部をそれぞれ斜めにカットし、ガイドロール２２に近づくにしたがって巾が小さくなるようにした。面状体９の一定巾の区間９ａの長さは９００ｍｍであり、巾は６００ｍｍであった。面状体９の斜めにカットされた区間９ｂの長さ（図２４において左右の寸法）は、６００ｍｍであった、面状体９のガイドロール２２に掛け回された箇所（図２４において右端）における巾寸法は４００ｍｍであった。面状体９の材質及び厚さは、実施例１と同じとした。
【０１１０】
面状体９の一定巾の区間９ａと斜めにカットされた区間９ｂとの境の部分９ｅが、音圧付与手段３０の軸線と交差するようにした。
【０１１１】
浮上ノズル１０からエアを吹き出した。制振装置３による制振を行わない状態（「比較例９−１」とする）で、エアの吹き出し流速が０〜４ｍ／ｓ未満の範囲では、面状体９の巾方向の両端部分が下側浮上ノズル１０Ｌに垂れかかる状態になった。
【０１１２】
面状体９の連続方向（図２４において左右）に３２．７Ｎ／ｍの張力を付与した。これによって、面状体９の上記境９ｅの周辺部分（図２４において模様を付けた部分）に引っ張りシワ９ｃが形成された。
制振装置３による制振を行わない状態（比較例９−１）において、浮上ノズル１０からの吹き出し流速を２．５ｍ／ｓ以上にすると、引っ張りシワ９ｃが面状体９の巾方向の外側へ移動するように、面状体９が自励振動した。この振動の振幅は２．５ｍｍ以上であり、面状体９の巾方向の両端部分が上下の浮上ノズル１０に衝突した。吹き出し流速が６ｍ／ｓのとき、面状体９の振動の周波数は、１６Ｈｚであった。
【０１１３】
これに対し、実施例９では制振装置３を作動させ、音圧付与手段３０のスピーカ３１から音圧（気流圧）を発生させた。この音圧を案内路３７ａの軸線に沿って開口３７ｅから斜めに放射した。流速計によって開口３７ｅにおける気流を測定した。流速計としてカノマックス社製、熱線式流速変換器ＭＯＤＥＬ６３３２Ｄを用いた。プローブとして、指向性プローブ０９６２型を用いた。このプローブを開口３７ｅの中央部に配置した。図２５は、スピーカ３１の出力周波数及び供給電圧に対する開口３７ｅでの気流の吹き出し流速を示したものである。開口３７ｅでの気流はスピーカ３１の振動に応じて振動する。上記気流が吹き出し方向に振れたときのピークの流速を複数個測定し、その平均をとった。図２５に示すように、スピーカ３１の出力周波数及び供給電圧ひいては音圧の周波数及び振幅を調節することによって、開口３７ｅからの気流の吹き出し流速を調節できることが確認された。
【０１１４】
上記音圧（気流圧）を面状体９の巾方向の外側かつ上側から上記境部分９ｅに斜めに作用させた。このとき、開口３７ｅの中央部での気流の吹き出し流速を約８ｍ／ｓ以上にすると、引っ張りシワ９ｃの移動を抑制ないしは止めることができた。上記吹き出し流速を約１１ｍ／ｓ以上にすると、引っ張りシワ９ｃの移動を確実に止めることができた。また、浮上ノズル１０からの吹き出し流速が０〜７．５ｍ／ｓの範囲で、面状体９の巾方向の両端部分の振幅を２．５ｍｍ未満に抑えることができ、上記両端部分が上下の浮上ノズル１０に衝突しないようにすることができた。吹き出し流速が６ｍ／ｓのとき、面状体９の巾方向の両端部分の振幅は０．５ｍｍであり、周波数は１６Ｈｚであった。
【０１１５】
図２６は、開口３７ｅからの気流の吹き出し流速に対する、面状体９の引っ張りシワ部分９ｄの実効振幅の正規化値を示したものである。開口３７ｅからの気流の吹き出し流速を０〜１４ｍ／ｓの範囲内で調節し、各々の吹き出し流速において引っ張りシワ９ｃの振幅を複数個測定し、これら測定振幅の平均二乗偏差（ＲＭＳ）を求め、これを制振時の実効振幅とした。更に、開口３７ｅからの気流の吹き出し流速を０ｍ／ｓとして（非制振時）、上記と同様にして算出した実効振幅で上記制振時の実効振幅を除し、上記正規化値を求めた。なお、図２６において、浮上ノズル１０からの浮上ガスの吹き出し流速は、５ｍ／ｓであった。
【０１１６】
図２６から明らかな通り、開口３７ｅからの気流の吹き出し流速が約８ｍ／ｓ未満のときは、実効振幅正規化値がほぼ１であり、制振効果をほとんど得ることができなかった。開口３７ｅからの気流の吹き出し流速を約８ｍ／ｓ以上にすると、実効振幅正規化値が０．５以下になり、制振効果が顕著に発現することが確認された。更に吹き出し流速を約１１ｍ／ｓ以上にすると、確実に制振できた。本実施例装置の能力上限は約１４ｍ／ｓであり、その上限流速まで制振効果を確認できた。
【実施例１０】
【０１１７】
実施例１０では、図１３に示す制振機能付き面状体支持装置と実質的に同じ構成の装置を用いた。風圧付与手段３０Ｂを除く面状体支持装置の構造、形状及び寸法は、実施例１と同じであった。浮上ノズル１０からの浮上ガスの吹き出し流速は、５ｍ／ｓとした。
【０１１８】
ファン３３を駆動し、開口３７ｅからの気流の吹き出し流速が約８ｍ／ｓ以上になるようにすると、引っ張りシワ９ｃの移動を抑制又は止めることができた。更に、開口３７ｅからの気流の吹き出し流速を１１ｍ／ｓ、１２ｍ／ｓ、１３ｍ／ｓの３通りの大きさに設定したところ、これら３通りのすべてにおいて、引っ張りシワ９ｃの移動を確実に止めることができた。
【０１１９】
開口３７ｅからの気流の吹き出し流速を１７ｍ／ｓ以上にすると、引っ張りシワ９ｃが隙間流れｆとは反対方向（面状体９の巾方向の内側）へ移動した。したがって、引っ張りシワ９ｃを制振可能な気流の吹き出し流速範囲は、８ｍ／ｓ〜１７ｍ／ｓであり、好ましくは１１ｍ／ｓ〜１７ｍ／ｓであった。
【産業上の利用可能性】
【０１２０】
本発明は、例えば紙、フィルム等の面状体を浮上させて搬送する所謂エアフローティングにおいて面状体を制振するのに適用可能である。
【符号の説明】
【０１２１】
φ３１  音圧放射面の直径（開口巾と同方向の寸法）
φ３２ｅ  案内路の開口径（開口巾）
ＰＬ１，ＰＬ２  仮想平面
１      浮上搬送装置（面状体支持装置）
２Ｌ    下側の架台
２Ｕ    上側の架台
３，３Ｘ    制振装置
１０    浮上ノズル
１１    吹出口
１５    隙間
２１，２２    ガイドロール（拘束手段）
３０    音圧付与手段（気流圧付与手段）
３０Ｂ  ブロア（風圧付与手段、気流圧付与手段）
３１    スピーカ（音圧の発生源）
３１ａ  音圧放射面
３２    案内部材
３２ａ  案内路
３２ｆ  鍔
３２ｅ  開口
３３    ファン（風圧の発生源）
３４    案内部材
３４Ｕ，３４Ｌ  案内壁面
３４ａ  案内路
３４ｅ  開口
３５    増幅器
３６    案内部材
３６ａ  案内路
３６ｅ  開口
３７    案内部材
３７ａ  案内路
３７ｅ  開口
３８    検出手段
３８ｃ  検出信号線
３９    制御手段
３９ｃ  制御信号線
４      面状体支持装置
４１，４２    壁
４３    隙間
４３ａ，４３ｂ  部分隙間
４４    ガイドバー
４５    錘
４６    下端拘束部材
４７    ブロア（吸気手段）
４８    仕切り
９      面状体
９ｃ    引っ張りシワ
９ｄ    引っ張りシワ領域
６０    気流圧付与手段
６１    エアコンプレッサ（ガス圧縮機、気流圧の発生源）
６２    エア圧路
６３    エアノズル（案内部材）
６３ａ  案内路
６３ｅ  開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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