(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電機子巻線と、前記電機子巻線を囲むように設けられ内部空間に冷媒が供給される冷却ジャケットと、を有するリニアモータ電機子であって、
前記冷却ジャケットは、
薄板状で、且つ、板面方向に略平行に配置された複数の冷媒流路を板厚方向に多重に有し、板面方向に略平行に配置された前記複数の冷媒流路同士が板厚方向に互い違いに配置された構造である
ことを特徴とするリニアモータ電機子。
【請求項２】
前記冷却ジャケットの流路を、板厚方向に複数の内側冷媒流路および複数の外側冷媒流路の二層に分けた構成にした
ことを特徴とする請求項１記載のリニアモータ電機子。
【請求項３】
前記冷却ジャケットの流路断面形状を、台形にした
ことを特徴とする請求項１または２記載のリニアモータ電機子。
【請求項４】
前記冷却ジャケットは、
リニアモータの進行方向となる両端部分に冷媒を流すようにした冷媒入口または冷媒出口を備えた構造を有する
ことを特徴とする請求項１または２に記載のリニアモータ電機子。
【請求項５】
前記冷却ジャケットにおけるリニアモータの進行方向と平行する４面のうち１面に、前記冷却ジャケットに替えて平板状のベースを配設した
ことを特徴とする請求項１または２に記載のリニアモータ電機子。
【請求項６】
前記ベースと前記冷却ジャケットの接続部位にフランジを設けた
ことを特徴とする請求項５記載のリニアモータ電機子。
【請求項７】
前記ベースと前記冷却ジャケットの接続部位をネジで固定した
ことを特徴とする請求項５または６記載のリニアモータ電機子。
【請求項８】
前記冷却ジャケットと前記フランジを炭素繊維により一体化した
ことを特徴とする請求項６記載のリニアモータ電機子。
【請求項９】
前記内側冷媒流路と前記外側冷媒流路は、
各々における前記冷媒の流れ方向が同じとなるように並列に接続されており、
前記冷却ジャケットは、
前記外側冷媒流路の出口側である第１出口側流路と前記内側冷媒流路の出口側である第２出口側流路が、当該冷却ジャケットの内部において合流しないように構成されている
ことを特徴とする請求項２記載のリニアモータ電機子。
【請求項１０】
前記冷却ジャケットにおけるリニアモータの進行方向と平行する４面のうち１面に、前記冷却ジャケットに替えて平板状のベースが配設されており、
前記第１出口側流路と前記第２出口側流路は、
前記ベース内において合流する
ことを特徴とする請求項９記載のリニアモータ電機子。
【請求項１１】
前記冷却ジャケットにおけるリニアモータの進行方向と平行する４面のうち１面に、前記冷却ジャケットに替えて平板状のベースが配設されており、
前記ベースは、
前記冷媒が流出する２つの冷媒出口を有しており、
前記第１出口側流路と前記第２出口側流路は、
前記２つの冷媒出口に個別に連通している
ことを特徴とする請求項９記載のリニアモータ電機子。
【請求項１２】
前記外側冷媒流路と前記内側冷媒流路は、
前記冷却ジャケットにおけるリニアモータの進行方向一端側で流路を折返すことにより、各々における前記冷媒の流れ方向が反対となるように直列に接続されており、前記外側冷媒流路が上流側、前記内側冷媒流路が下流側に配置されている
ことを特徴とする請求項２記載のリニアモータ電機子。
【請求項１３】
前記冷却ジャケットは、
リニアモータの進行方向一端側に、前記内側冷媒流路の入口である内側入口流路及び出口である内側出口流路を有すると共に、
前記リニアモータの進行方向他端側に、前記外側冷媒流路の入口である外側入口流路及び出口である外側出口流路を有し、
前記内側冷媒流路及び前記外側冷媒流路は、前記電機子巻線の周囲を一周するようにそれぞれ設けられている
ことを特徴とする請求項２記載のリニアモータ電機子。
【請求項１４】
前記冷却ジャケットは、
前記内側冷媒流路と前記外側冷媒流路の各々における前記冷媒の流れ方向が同じとなるように構成されている
ことを特徴とする請求項１３記載のリニアモータ電機子。
【請求項１５】
前記冷却ジャケットは、
前記内側冷媒流路と前記外側冷媒流路の各々における前記冷媒の流れ方向が反対となるように構成されている
ことを特徴とする請求項１３記載のリニアモータ電機子。
【請求項１６】
前記冷却ジャケットは、
前記内側入口流路、前記内側出口流路、及び、前記外側冷媒流路の一部を内包すると共に、各流路を仕切る流路仕切り板を有する第１筒部材を、前記リニアモータの進行方向一端側に有すると共に、
前記外側入口流路、前記外側出口流路、及び、前記内側冷媒流路の一部を内包すると共に、各流路を仕切る流路仕切り板を有する第２筒部材を、前記リニアモータの進行方向他端側に有する
ことを特徴とする請求項１３乃至１５のいずれか１項に記載のリニアモータ電機子。
【請求項１７】
前記冷却ジャケットは、
前記電機子巻線の軸方向一方側に配置され、リニアモータの進行方向一端側で流路を折返すことにより、前記冷媒の流れ方向が反対となるように直列に接続された第１外側冷媒流路及び第１内側冷媒流路と、
前記電機子巻線の軸方向他方側に配置され、前記リニアモータの進行方向他端側で流路を折返すことにより、前記冷媒の流れ方向が反対となるように直列に接続された第２外側冷媒流路及び第２内側冷媒流路と、を有する
ことを特徴とする請求項２記載のリニアモータ電機子。
【請求項１８】
前記第１外側冷媒流路及び前記第２外側冷媒流路が上流側、前記第１内側冷媒流路及び前記第２内側冷媒流路が下流側に配置されている
ことを特徴とする請求項１７記載のリニアモータ電機子。
【請求項１９】
前記第１内側冷媒流路及び前記第２内側冷媒流路が上流側、前記第１外側冷媒流路及び前記第２外側冷媒流路が下流側に配置されている
ことを特徴とする請求項１７記載のリニアモータ電機子。
【請求項２０】
前記冷却ジャケットは、
前記第１外側冷媒流路または前記第１内側冷媒流路の入口である第１入口流路、前記第１外側冷媒流路または前記第１内側冷媒流路の出口である第１出口流路、及び、前記第２外側冷媒流路と前記第２内側冷媒流路との間の第２折返し流路を内包すると共に、各流路を仕切る流路仕切り板を有する第３筒部材を、前記リニアモータの進行方向他端側に有すると共に、
前記第２外側冷媒流路または前記第２内側冷媒流路の入口である第２入口流路、前記第２外側冷媒流路または前記第２内側冷媒流路の出口である第２出口流路、及び、前記第１外側冷媒流路と前記第１内側冷媒流路との間の第１折返し流路を内包すると共に、各流路を仕切る流路仕切り板を有する第４筒部材を、前記リニアモータの進行方向一端側に有する
ことを特徴とする請求項１７乃至１９のいずれか１項に記載のリニアモータ電機子。
【請求項２１】
請求項１〜２０のいずれか１項記載のリニアモータ電機子と、
前記電機子と磁気的空隙を介して対向配置すると共に強磁性体からなるヨーク上に複数の永久磁石を並べて取り付けられた界磁と、を備えた
ことを特徴とするリニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体露光装置、液晶露光装置のステージ駆動や工作機械のテーブル送り等のＦＡ機器に使用される冷媒冷却を施した構成のリニアモータ電機子およびそれを備えたリニアモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体露光装置、液晶露光装置のステージ駆動や工作機械のテーブル送りのＦＡ機器に使用されると共に、送りや加工の高速化・高精度化を狙ったリニアモータが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１のリニアモータは、界磁極を構成する磁石と、磁石に磁気的空隙を介して対向配置された電機子を構成するコイルと、コイルの外側を所定の隙間を空けて隙間に冷媒を通してコイルを冷却可能なシェルと、シェルの外側を所定の隙間を空けて隙間に冷媒を通してシェルを冷却可能な外側カバーと、を備えており、所謂２重冷却構造を採用している。このような構成において、コイルとシェルの間に形成された外側第１主流路によって先ず（低温状態の）冷媒がコイルの長手方向に案内され、この外側第１主流路を経てシェルと外側カバーの間に形成された外側第２主流路を幅方向に冷媒が流れる構造になっている。この冷媒は外側第２主流路を経てシェル内部に供給されて、コイル表面を幅方向に流れて（最も高温になった状態で）排出管から排出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３４５９９７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来技術は、冷媒冷却により表面温度上昇をある程度抑制できるものの、同等のリニアモータの体格で推力向上を狙った場合、推力向上のために電機子に通電する際、コイルの発熱に伴った電機子表面の温度上昇を犠牲にせざるを得ず、冷却効率向上に問題があった。
【０００６】
本発明は、このような問題点を鑑みてなされたものであり、同等体格で推力向上を狙った場合、電機子の表面温度上昇を抑制すると共に冷却効率を向上することができるリニアモータ電機子およびリニアモータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記問題を解決するため、本発明は次のように構成したものである。
【０００８】
請求項１の発明は、電機子巻線と、前記電機子巻線を囲むように設けられ内部空間に冷媒が供給される冷却ジャケットと、を有するリニアモータ電機子であって、前記冷却ジャケットは、薄板状で、且つ、板面方向に略平行に配置された複数の冷媒流路を板厚方向に多重に有し、板面方向に略平行に配置された前記複数の冷媒流路同士が板厚方向に互い違いに配置された構造であることを特徴としている。
【０００９】
また、請求項２の発明は、請求項１記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットの流路を、板厚方向に複数の内側冷媒流路および複数の外側冷媒流路の二層に分けた構成にしたことを特徴としている。
【００１０】
また、請求項３の発明は、請求項１または２記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットの流路断面形状を、台形にしたことを特徴としている。
【００１１】
また、請求項４の発明は、請求項１または２記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットは、リニアモータの進行方向となる両端部分に冷媒を流すようにした冷媒入口または冷媒出口を備えた構造を有することを特徴としている。
【００１２】
また、請求項５の発明は、請求項１または２記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットにおけるリニアモータの進行方向と平行する４面のうち１面に、前記冷却ジャケットに替えて平板状のベースを配設したことを特徴としている。
【００１３】
また、請求項６の発明は、請求項５記載のリニアモータ電機子において、前記ベースと前記冷却ジャケットの接続部位にフランジを設けたことを特徴としている。
【００１４】
また、請求項７の発明は、請求項５または６記載のリニアモータ電機子において、前記ベースと前記冷却ジャケットの接続部位をネジで固定したことを特徴としている。
【００１５】
また、請求項８の発明は、請求項６記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットと前記フランジを炭素繊維により一体化したことを特徴としている。
【００１６】
また、請求項９の発明は、請求項２記載のリニアモータ電機子において、前記内側冷媒流路と前記外側冷媒流路は、各々における前記冷媒の流れ方向が同じとなるように並列に接続されており、前記冷却ジャケットは、前記外側冷媒流路の出口側である第１出口側流路と前記内側冷媒流路の出口側である第２出口側流路が、当該冷却ジャケットの内部において合流しないように構成されていることを特徴としている。
【００１７】
また、請求項１０の発明は、請求項９記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットにおけるリニアモータの進行方向と平行する４面のうち１面に、前記冷却ジャケットに替えて平板状のベースが配設されており、前記第１出口側流路と前記第２出口側流路は、前記ベース内において合流することを特徴としている。
【００１８】
また、請求項１１の発明は、請求項９記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットにおけるリニアモータの進行方向と平行する４面のうち１面に、前記冷却ジャケットに替えて平板状のベースが配設されており、前記ベースは、前記冷媒が流出する２つの冷媒出口を有しており、前記第１出口側流路と前記第２出口側流路は、前記２つの冷媒出口に個別に連通していることを特徴としている。
【００１９】
また、請求項１２の発明は、請求項２記載のリニアモータ電機子において、前記外側冷媒流路と前記内側冷媒流路は、前記冷却ジャケットにおけるリニアモータの進行方向一端側で流路を折返すことにより、各々における前記冷媒の流れ方向が反対となるように直列に接続されており、前記外側冷媒流路が上流側、前記内側冷媒流路が下流側に配置されていることを特徴としている。
【００２１】
また、請求項１３の発明は、請求項２記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットは、リニアモータの進行方向一端側に、前記内側冷媒流路の入口である内側入口流路及び出口である内側出口流路を有すると共に、前記リニアモータの進行方向他端側に、前記外側冷媒流路の入口である外側入口流路及び出口である外側出口流路を有し、前記内側冷媒流路及び前記外側冷媒流路は、前記電機子巻線の周囲を一周するようにそれぞれ設けられていることを特徴としている。
【００２２】
また、請求項１４の発明は、請求項１３記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットは、前記内側冷媒流路と前記外側冷媒流路の各々における前記冷媒の流れ方向が同じとなるように構成されていることを特徴としている。
【００２３】
また、請求項１５の発明は、請求項１３記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットは、前記内側冷媒流路と前記外側冷媒流路の各々における前記冷媒の流れ方向が反対となるように構成されていることを特徴としている。
【００２４】
また、請求項１６の発明は、請求項１３乃至１５のいずれか１項に記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットは、前記内側入口流路、前記内側出口流路、及び、前記外側冷媒流路の一部を内包すると共に、各流路を仕切る流路仕切り板を有する第１筒部材を、前記リニアモータの進行方向一端側に有すると共に、前記外側入口流路、前記外側出口流路、及び、前記内側冷媒流路の一部を内包すると共に、各流路を仕切る流路仕切り板を有する第２筒部材を、前記リニアモータの進行方向他端側に有することを特徴としている。
【００２５】
また、請求項１７の発明は、請求項２記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットは、前記電機子巻線の軸方向一方側に配置され、リニアモータの進行方向一端側で流路を折返すことにより、前記冷媒の流れ方向が反対となるように直列に接続された第１外側冷媒流路及び第１内側冷媒流路と、前記電機子巻線の軸方向他方側に配置され、前記リニアモータの進行方向他端側で流路を折返すことにより、前記冷媒の流れ方向が反対となるように直列に接続された第２外側冷媒流路及び第２内側冷媒流路と、を有することを特徴としている。
【００２６】
また、請求項１８の発明は、請求項１７記載のリニアモータ電機子において、前記第１外側冷媒流路及び前記第２外側冷媒流路が上流側、前記第１内側冷媒流路及び前記第２内側冷媒流路が下流側に配置されていることを特徴としている。
【００２７】
また、請求項１９の発明は、請求項１７記載のリニアモータ電機子において、前記第１内側冷媒流路及び前記第２内側冷媒流路が上流側、前記第１外側冷媒流路及び前記第２外側冷媒流路が下流側に配置されていることを特徴としている。
【００２８】
また、請求項２０の発明は、請求項１７乃至１９のいずれか１項に記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットは、前記第１外側冷媒流路または前記第１内側冷媒流路の入口である第１入口流路、前記第１外側冷媒流路または前記第１内側冷媒流路の出口である第１出口流路、及び、前記第２外側冷媒流路と前記第２内側冷媒流路との間の第２折返し流路を内包すると共に、各流路を仕切る流路仕切り板を有する第３筒部材を、前記リニアモータの進行方向他端側に有すると共に、前記第２外側冷媒流路または前記第２内側冷媒流路の入口である第２入口流路、前記第２外側冷媒流路または前記第２内側冷媒流路の出口である第２出口流路、及び、前記第１外側冷媒流路と前記第１内側冷媒流路との間の第１折返し流路を内包すると共に、各流路を仕切る流路仕切り板を有する第４筒部材を、前記リニアモータの進行方向一端側に有することを特徴としている。
【００２９】
請求項２１の発明は、請求項１〜２０のいずれか１項記載のリニアモータ電機子と、前記電機子と磁気的空隙を介して対向配置すると共に強磁性体からなるヨーク上に複数の永久磁石を並べて取り付けられた界磁と、を備えたリニアモータを特徴としている。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、リニアモータの電機子の表面温度上昇を抑制すると共に冷却効率を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】第１実施形態に用いるリニアモータの全体斜視図である。
【図２】第１実施形態に係るリニアモータ電機子の分解斜視図である。
【図３】第１実施形態に係るリニアモータ電機子の正断面図である。
【図４】第１実施形態の変形例に係るリニアモータ電機子の正断面図である。
【図５】第２実施形態に係るリニアモータ電機子の正断面図、図５（ａ）中ＶＢ−ＶＢ断面による側断面図、及び図５（ｂ）中ＶＣ−ＶＣ断面による水平断面図である。
【図６】第２実施形態の変形例に係るリニアモータ電機子の側断面図である。
【図７】第３実施形態に係るリニアモータ電機子の正断面図、図７（ａ）中ＶＩＩＢ−ＶＩＩＢ断面による側断面図、及び図７（ｂ）中ＶＩＩＣ−ＶＩＩＣ断面による水平断面図である。
【図８】第４実施形態に係るリニアモータ電機子の斜視図である。
【図９】図８中ＩＸＡ−ＩＸＡ断面による正断面図、及び、図８及び図９（ａ）中ＩＸＢ−ＩＸＢ断面による水平断面図である。
【図１０】第４実施形態に係るリニアモータ電機子のうち、その冷却ジャケットにおけるリニアモータ電機子の進行方向一端側に設けられた第１筒部材の一部破断斜視図である。
【図１１】第４実施形態の変形例における、図８及び図９（ａ）中ＩＸＢ−ＩＸＢ断面相当による水平断面図である。
【図１２】第５実施形態に係るリニアモータ電機子の斜視図である。
【図１３】図１２中ＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ断面による水平断面図である。
【図１４】第５実施形態に係るリニアモータ電機子のうち、その冷却ジャケットにおけるリニアモータ電機子の進行方向一端側に設けられた第４筒部材の一部破断斜視図である。
【図１５】第５実施形態の変形例における、図１２中ＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ断面相当による水平断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
（第１実施形態）
以下、第１実施形態を図に基づいて説明する。
【００３３】
図１は第１実施形態に用いるリニアモータの全体斜視図である。
【００３４】
図１において、１は冷媒冷却を施した構成のリニアモータ、２は界磁、３はヨーク、４は界磁用永久磁石、５は電機子、６はベースである。
【００３５】
図１に示すリニアモータ１は、強磁性体で構成されるヨーク３上に長手方向に沿って複数の界磁用永久磁石４を並べて設けた界磁２を固定子とし、界磁２と磁気的空隙を介して配置した電機子５を可動子として、固定子に対して、可動子を相対移動する構成となっている。
【００３６】
図２は第１実施形態に係るリニアモータ電機子の分解斜視図である。
【００３７】
図２において、７は電機子巻線、８は冷却ジャケット、８ａは第１冷却ジャケット、８ｂは第２冷却ジャケット、８ｃは第３冷却ジャケット、８ｅは第４冷却ジャケット、８ｆは第５冷却ジャケット、９ａは冷媒入口、９ｂは冷媒出口、１０は基板である。
【００３８】
図２に示すように、電機子５は、内部空間に冷媒が供給される冷却ジャケット８と、この冷却ジャケット８における電機子５の進行方向と平行する方向の４面のうちの上面に配設された平板状のベース６とを有しており、所謂Ｔ形のリニアモータ電機子を構成したものとなっている。具体的には、リニアモータ１の電機子５は、基板１０に固定された電機子巻線７と、電機子巻線７の周囲を囲むように装入されると共に、電機子５の進行方向と平行する方向の３面（冷却ジャケット８ａ，８ｂ，８ｃ）と電機子５の進行方向と直交する方向の２面（冷却ジャケット８ｅ，８ｆ）を対向させて箱状に連結するように構成した箱状の冷却ジャケット８と、１枚の平板状のベース６で構成されている。
【００３９】
図３は、第１実施形態に係るリニアモータ電機子の正断面図である。
【００４０】
図３において、１１はフランジ、１２はネジ、１３ａは内側冷媒流路、１３ｂは外側冷媒流路である。
【００４１】
第１実施形態は、図３に示すように電機子巻線７と、流路を内蔵する冷却ジャケット８と、ベース６とで構成された電機子５は、電機子巻線７が冷却ジャケット８の内側に密着するように樹脂モールド１４で固着されるか、もしくは図示しない接着剤により接着されて一体化するようになっている。
【００４２】
また、図３に示すように、電機子５の進行方向と直交する方向の２面（紙面の手前と奥に位置する２面。冷却ジャケット８ｅ，８ｆ）と、電機子５の進行方向と平行な方向の３面（冷却ジャケット８ａ，８ｂ，８ｃ）とで箱状に連結するように構成した箱状の冷却ジャケット８において、冷却ジャケット８の端部表面を９０°曲げて成形してなるフランジ１１をＣＦＲＰ（炭素繊維）で一体に成形し、冷却ジャケット８のフランジ１１をベース６に対してネジ１２により固定してある。
【００４３】
上記の冷却ジャケット８のＣＦＲＰ（炭素繊維）による一体成形は、強度を増すことが可能である。具体的には、電機子５の姿勢を横向きにしても電機子５の質量を十分保持できるように、角部には推力方向と直交する方向に炭素繊維の方向を一致するように配置して剛性を強化している。このように構成することで、ベース６は電機子巻線７が発生する推力を外部に伝達することができる。
【００４４】
また、箱状の冷却ジャケット８と、１枚の平板状のベース６とを接続する接続構成として、上記フランジ１１を別部材により接着により固定し、冷却ジャケット８を当該フランジ１１を介してベース６に対してネジ１２により固定してもよい。あるいはまた、冷却ジャケット８とベース６とを接続する接続部位として、フランジを用いずに、単に冷却ジャケット８をベース６に対して接着した後、ネジ１２で固定する構成にしても良く、何れの場合も同様にベース６は電機子巻線７が発生する推力を外部に伝達することができる。
【００４５】
また、第１実施形態は、冷却ジャケット８が薄板状で、且つ、冷却ジャケット８の冷媒が供給される流路を板厚方向（表面への熱伝達方向）に多重に分けた構成となっており、特に、図３に示す如く内側冷媒流路１３ａ、外側冷媒流路１３ｂの二層に分けた構成にしたことを特徴としている。図３に示す内側冷媒流路１３ａおよび外側冷媒流路１３ｂを有する冷却ジャケット８には、図２で示した冷媒の導入、排出を行うための冷媒入口９ａおよび冷媒出口９ｂを有するベース６が設けられると共に、冷媒入口９ａおよび冷媒出口９ｂは各々、内側冷媒流路１３ａおよび外側冷媒流路１３ｂに連通している。その動作については、冷媒入口９ａから流入した冷媒は、内側冷媒流路１３ａ、外側冷媒流路１３ｂに分岐して流れ、冷媒出口９ｂから外部に排出されることになる。
【００４６】
詳細に説明すると、電機子巻線７に近い内側冷媒流路1３ａを流れる冷媒は、従来どおり電機子巻線７の発熱を回収する目的に使用される。リニアモータ表面に近い外側冷媒流路１３ｂを流れる冷媒は、内側冷媒流路１３ａを流れる冷媒で回収できなかった僅かな熱量を回収すると同時に、リニアモータ表面温度を、導入した冷媒の温度に保つシールド効果、いわゆる表面温度抑制効果を奏することができる。
【００４７】
以上説明したように、第１実施形態に係る電機子５は、流路内蔵ジャケット８の流路を板厚方向に二層（多層）にすることで、熱回収を行うための冷媒が流れる熱回収流路と表面温度抑制を行うための冷媒が流れる表面温度抑制流路に分担することができ、リニアモータ１の表面温度上昇を格段に抑制することができる。その結果、同等体格で推力向上を狙った場合でも、電機子５の表面温度上昇を抑制することができることから、冷却効率を向上することができ、冷媒圧力による変形を防止することができる。また、これにより、製作が容易で安価なリニアモータ電機子が得られる。また、内部に二重の流路を内蔵した流路内蔵ジャケット構造のため、二重の流路間は各々仕切られているため内圧の影響を受けにくく、流量アップによる高圧力仕様にも耐えることが可能である。
【００４８】
次に、第１実施形態の変形例について説明する。
【００４９】
図４は、第１実施形態の変形例に係るリニアモータ電機子の正断面図である。本変形例のリニアモータ電機子の構成は基本的に第１実施形態の図２、図３と同等であるが、流路を内蔵した冷却ジャケット８の流路を板厚方向に二重にせず、流路の断面形状を従来の長方形から台形にした点で異なっている。
【００５０】
内側冷媒流路１３ａは、電機子巻線７に近い辺の長さが長く、リニアモータ表面側の辺の長さが短い。従って、内側冷媒流路１３ａを流れる冷媒は、電機子巻線７の熱回収効果は大きく、リニアモータ表面への熱伝達は小さくなる。一方、外側冷媒流路１３ｂは、電機子巻線７に近い辺の長さが短く、リニアモータ表面側の辺の長さが長い。従って、外側冷媒流路１３ｂを流れる冷媒は、電機子巻線７からの熱影響が小さく、表面温度上昇の抑制効果が大きい。従って、流路を内蔵した冷却ジャケット８の流路を板厚方向に二層にすることと同等の効果を奏することができる。
【００５１】
以上説明したように、本変形例に係る電機子５は、流路の断面形状を従来の長方形から台形にすることによりリニアモータ１の表面温度上昇を格段に抑制することができる。
【００５２】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態を図に基づいて説明する。
【００５３】
図５（ａ）は第２実施形態に係るリニアモータ電機子の正断面図、図５（ｂ）は図５（ａ）中ＶＢ−ＶＢ断面による側断面図、図５（ｃ）は図５（ｂ）中ＶＣ−ＶＣ断面による水平断面図である。
【００５４】
本実施形態のリニアモータ１００（図示せず）は、以下に説明する電機子１０５以外の構成については、第１実施形態のリニアモータ１と同様である。
【００５５】
図５において、１１１はフランジ、１１２はネジ、１１３ａは内側冷媒流路、１１３ｂは外側冷媒流路である。電機子１０５は、第１実施形態の電機子５と同様に、電機子巻線１０７と、流路を内蔵する冷却ジャケット１０８と、ベース１０６とを有している。電機子巻線１０７は、冷却ジャケット１０８の内側に密着するように樹脂モールド１１４で固着されるか、もしくは図示しない接着剤により接着されて一体化されている。
【００５６】
また、冷却ジャケット１０８は、電機子１０５の進行方向と直交する方向の２面（冷却ジャケット１０８ｅ，１０８ｆ）と、電機子１０５の進行方向と平行な方向の３面（冷却ジャケット１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃ）とで、箱状に構成されている。また、図５（ａ）に示すように、冷却ジャケット１０８の側面を構成する冷却ジャケット１０８ａ，１０８ｃ，１０８ｅ，１０８ｆの上端部表面を９０°曲げて成形されたフランジ１１１をＣＦＲＰ（炭素繊維）で一体に成形し、当該フランジ１１１がベース１０６に対してネジ１１２により固定されている。
【００５７】
冷却ジャケット１０８は、第１実施形態の電機子５と同様に、薄板状で、且つ、冷媒が供給される流路を板厚方向に多重に分けた構成、すなわち、図５（ａ）及び図５（ｃ）に示すように、内側冷媒流路１１３ａ及び外側冷媒流路１１３ｂの二層に分けた構成となっている。これら内側冷媒流路１１３ａと外側冷媒流路１１３ｂは、各々における冷媒の流れ方向（図５中矢印Ｆで示す）が同じとなるように並列に接続されている。
【００５８】
具体的には、図５（ｂ）及び図５（ｃ）に示すように、複数（図５に示す例では７つ）の外側冷媒流路１１３ｂが入口側において第１入口側流路１１５に連通すると共に、出口側において第１出口側流路１１６に連通している。同様に、複数（図５に示す例では８つ）の内側冷媒流路１１３ａが入口側において第２入口側流路１１７に連通すると共に、出口側において第２出口側流路１１８に連通している。第１入口側流路１１５と第２入口側流路１１７は、ベース１０６内において接続され、ベース１０６の上面に設けられた冷媒入口１０９ａに連通している。同様に、第１出口側流路１１６と第２出口側流路１１８は、ベース１０６内において接続され、ベース１０６の上面に設けられた冷媒出口１０９ｂに連通している。
【００５９】
上記構成により、冷却ジャケット１０８は、外側冷媒流路１１３ｂの出口側である第１出口側流路１１６と内側冷媒流路１１３ａの出口側である第２出口側流路１１８が、当該冷却ジャケット１０８の内部において合流しないようになっている。なお、図５に示す例では、外側冷媒流路１１３ｂの入口側である第１入口側流路１１５と内側冷媒流路１１３ａの入口側である第２入口側流路１１７についても、ベース１０６内において接続される構成としたが、これら入口側の第１入口側流路１１５と第２入口側流路１１７については、冷却ジャケット１０８の内部において接続される構成としてもよい。
【００６０】
以上説明した第２実施形態の効果について説明する。
【００６１】
電機子１０５においては、第１実施形態の電機子５と同様に、冷却ジャケット１０８の流路が内側冷媒流路１１３ａ及び外側冷媒流路１１３ｂからなっており、板厚方向に二層に分けた構成となっている。電機子巻線１０７に近い内側冷媒流路１１３ａを流れる冷媒は、電機子巻線１０７の発熱を回収する。一方、リニアモータ１００の表面に近い外側冷媒流路１１３ｂを流れる冷媒は、内側冷媒流路１１３ａを流れる冷媒で回収できなかった微量の熱量を回収すると共に、リニアモータ１００の表面温度を導入した冷媒の温度に保ち、表面温度の上昇を抑制する。
【００６２】
このとき、内側冷媒流路１１３ａの出口側である第２出口側流路１１８を流れる冷媒は、外側冷媒流路１１３ｂの出口側である第１出口側流路１１６を流れる冷媒よりも吸収熱量が多いため、温度が高くなっている。このため、冷却ジャケット１０８の内部において第１出口側流路１１６と第２出口側流路１１８が合流する構成とした場合、リニアモータ１００の表面温度を抑制するための外側冷媒流路１１３ｂ（第１出口側流路１１６）の冷媒の温度が合流により上昇する。その結果、冷媒出口付近におけるリニアモータ１００の表面温度が他の部分に比べて上昇する可能性がある。このような表面温度の上昇が生じると、リニアモータ１００の周囲機器への影響が懸念される。そこで第２実施形態では、上述のように第１出口側流路１１６と第２出口側流路１１８が冷却ジャケット１０８の内部において合流しないような構成とすることにより、冷媒出口付近におけるリニアモータ１００の表面温度の上昇を抑制することが可能となり、リニアモータ１００の信頼性を向上することができる。
【００６３】
また、本実施形態では特に、第1出口側流路１１６と第２出口側流路１１８をベース１０６内で合流させることにより、冷却ジャケット１０８の内部において合流しない構成を確実に実現できると共に、ベース１０６に設ける冷媒出口１０９ｂが１箇所で済み、構成を簡素化できる。
【００６４】
次に、第２実施形態の変形例について説明する。
【００６５】
図６は、本変形例に係るリニアモータ電機子の図５（ａ）中ＶＢ−ＶＢ断面相当による側断面図であり、冷媒出口側のみを部分的に示している。
【００６６】
図６に示すように、本変形例の電機子１０５においては、ベース１０６に、冷媒が流出する２つの冷媒出口１０９ｂ，１０９ｂが設けられている。そして、外側冷媒流路１１３ｂの出口側である第１出口側流路１１６と、内側冷媒流路１１３ａの出口側である第２出口側流路１１８とが、２つの冷媒出口１０９ｂ，１０９ｂに個別に連通している。すなわち、本変形例では、第１出口側流路１１６と第２出口側流路１１８が、冷却ジャケット１０８の内部のみでなく、ベース１０６内においても合流しない構成となっている。
【００６７】
上記構成である本変形例によれば、第１出口側流路１１６と第２出口側流路１１８が、冷却ジャケット１０８に加えてさらにベース１０６の内部においても合流しない構成を実現できるので、冷媒出口付近におけるリニアモータ１００の表面温度の上昇をさらに抑制することが可能となり、リニアモータ１００の信頼性をより向上することができる。
【００６８】
（第３実施形態）
次に、第３実施形態を図に基づいて説明する。
【００６９】
図７（ａ）は第３実施形態に係るリニアモータ電機子の正断面図、図７（ｂ）は図７（ａ）中ＶＩＩＢ−ＶＩＩＢ断面による側断面図、図７（ｃ）は図７（ｂ）中ＶＩＩＣ−ＶＩＩＣ断面による水平断面図である。
【００７０】
本実施形態のリニアモータ２００（図示せず）は、以下に説明する電機子２０５以外の構成については、第１実施形態のリニアモータ１と同様である。また、本実施形態の電機子２０５は、冷媒流路の構成において前述の第２実施形態の電機子１０５と異なっているが、冷媒流路以外の構成については電機子１０５と同様であるので、説明を省略する。
【００７１】
冷却ジャケット２０８は、第２実施形態の電機子１０５と同様に、薄板状で、且つ、冷媒が供給される流路を板厚方向に多重に分けた構成、すなわち、図７（ａ）及び図７（ｃ）に示すように、内側冷媒流路２１３ａ及び外側冷媒流路２１３ｂの二層に分けた構成となっている。これら内側冷媒流路２１３ａ及び外側冷媒流路２１３ｂは、冷却ジャケット２０８におけるリニアモータ２００の進行方向一端側（図７（ｂ）及び図７（ｃ）中左端側）で流路を折返すことにより、各々における冷媒の流れ方向（図７中矢印Ｆで示す）が反対となるように直列に接続されている。また、外側冷媒流路２１３ｂが上流側、内側冷媒流路２１３ａが下流側に配置されている。
【００７２】
具体的には、図７（ｂ）及び図７（ｃ）に示すように、複数（図７に示す例では７つ）の外側冷媒流路２１３ｂのそれぞれには、進行方向他端側（図７（ｂ）及び図７（ｃ）中右端側）に連通孔２２０が設けられており、各連通孔２２０は入口側流路２１５に連通している。この入口側流路２１５は、ベース２０６の上面に設けられた冷媒入口２０９ａに連通している。一方、外側冷媒流路２１３ｂのそれぞれには、進行方向一端側に連通孔２２１が設けられており、各連通孔２２１は接続流路２２２に連通している。この接続流路２２２は、外側冷媒流路２１３ｂと内側冷媒流路２１３ａとを接続するための流路である。
【００７３】
同様に、複数（図７に示す例では８つ）の内側冷媒流路２１３ａのそれぞれには、進行方向一端側に連通孔２２３が設けられており、各連通孔２２３は上記接続流路２２２に連通している。一方、内側冷媒流路２１３ａのそれぞれには、進行方向他端側に連通孔２２４が設けられており、各連通孔２２４は出口側流路２１８に連通している。この出口側流路２１８は、ベース２０６の上面に設けられた冷媒出口２０９ｂに連通している。
【００７４】
なお、外側冷媒流路２１３ｂと内側冷媒流路２１３ａは、高さ方向（図７（ａ）中上下方向）において互い違いに配置されている。このため、接続流路２２２は、例えば１つの外側冷媒流路２１３ｂより流入した冷媒をその高さ方向両側に位置する２つの内側冷媒流路２１３ａのそれぞれに分配するように、外側冷媒流路２１３ｂと内側冷媒流路２１３ａとを接続している。
【００７５】
また、図７（ｂ）に示すように、冷媒入口２０９ａ及び冷媒出口２０９ｂは、ベース２０６におけるリニアモータ２００の進行方向他端側（図７（ｂ）及び図７（ｃ）中右端側）に設けられており、冷媒出口２０９ｂは冷媒入口２０９ａよりも冷却ジャケット２０８ｅの板厚方向において内側に配置されている。
【００７６】
上記構成である電機子２０５においては、ベース２０６に設けられた冷媒入口２０９ａを介して冷却ジャケット２０８に導入された冷媒は、入口側流路２１５及び連通孔２２０を介して上流側の外側冷媒流路２１３ｂを流れ、次に連通孔２２１、接続流路２２２及び連通孔２２３を介して下流側の内側冷媒流路２１３ａを通り、その後、連通孔２２４及び出口側流路２１８を経て、ベースに設けられた冷媒出口２０９ｂを介して外部に流出する。
【００７７】
以上説明した第３実施形態の効果について説明する。
【００７８】
本実施形態の電機子２０５においては、冷却ジャケット２０８の流路をリニアモータ２００の進行方向一端側で折返すことにより、外側冷媒流路２１３ｂと内側冷媒流路２１３ａとが直列に接続された構成となっている。そして、外側冷媒流路２１３ｂが上流側、内側冷媒流路２１３ａが下流側に配置されている。このような構成により、冷媒はまず上流側の外側冷媒流路２１３ｂを流れ、リニアモータ２００の表面温度を冷媒の温度に保ちつつ、次に下流側の内側冷媒流路２１３ａを流れ、電機子巻線２０７の発熱を回収する。このように、冷却ジャケット２０８内に導入した冷媒をまず最初に外側冷媒流路２１３ｂに流すことができるので、リニアモータ２００の表面温度の上昇を抑制できる。また、外側冷媒流路２１３ｂと内側冷媒流路２１３ａとが直列に接続されているので、内側冷媒流路２１３ａを流れて温度が上昇した冷媒が冷却ジャケット２０８内において外側冷媒流路２１３ｂに合流することがない。したがって、リニアモータ２００の表面温度の上昇を確実に抑制することができ、リニアモータ２００の信頼性を向上することができる。
【００７９】
また、本実施形態では特に、ベース２０６の進行方向他端側において、冷媒出口２０９ｂは冷媒入口２０９ａよりも冷却ジャケット２０８ｅの板厚方向において内側に配置されている。これにより、図７（ｃ）に示すように、冷媒出口２０９ｂに連通する出口側流路２１８を冷媒入口２０９ａに連通する入口側流路２１５よりも内側に配置することができる。その結果、内側冷媒流路２１３ａを流れて温度が上昇した冷媒がリニアモータ２００の表面近くを流れることがないので、リニアモータ２００の表面温度の上昇を確実に抑制することができる。
【００８０】
（第４実施形態）
次に、第４実施形態を図に基づいて説明する。
【００８１】
図８は第４実施形態に係るリニアモータ電機子の斜視図である。図９（ａ）は図８中ＩＸＡ−ＩＸＡ断面による正断面図、図９（ｂ）は図８及び図９（ａ）中ＩＸＢ−ＩＸＢ断面による水平断面図である。図１０は第４実施形態に係るリニアモータ電機子のうち、その冷却ジャケットにおけるリニアモータ電機子の進行方向一端側に設けられた第１筒部材の一部破断斜視図である。
【００８２】
本実施形態のリニアモータ３００（図示せず）は、以下に説明する電機子３０５以外の構成については、第１実施形態のリニアモータ１と同様である。
【００８３】
図８、図９、及び図１０において、本実施形態の電機子３０５は、第１実施形態の電機子５と同様、電機子巻線（図示せず）と、この電機子巻線の周囲を囲むように装入されると共に、流路を内蔵する冷却ジャケット３０８と、ベース３０６とを有している。電機子巻線は、その軸方向がリニアモータ３００の進行方向、すなわち電機子３０５の進行方向と直交する第１方向（図８、図９（ａ）、及び図９（ｂ）中上下方向）となるように図示しない基板に固定されており、冷却ジャケット３０８の内側に密着するように図示しない樹脂モールドで固着されるか、もしくは図示しない接着剤により接着されて一体化されている。ベース３０６は、冷却ジャケット３０８における電機子３０５の進行方向と平行する方向の４面のうち、当該進行方向と直交する第２方向（図８中左上−右下の斜め方向、図９（ａ）中左右方向）の一方側（図８中右下側、図９（ａ）中右側）の面に配設されている。
【００８４】
冷却ジャケット３０８は、上記第２方向の２面（冷却ジャケット３０８ｅ，３０８ｆ）と、電機子３０５の進行方向と平行する方向の３面（冷却ジャケット３０８ａ，３０８ｂ，３０８ｃ）とで、箱状に構成されている。また、図９（ａ）に示すように、冷却ジャケット３０８の側面を構成する冷却ジャケット３０８ａ，３０８ｃ，３０８ｅ，３０８ｆの上記第２方向一方側表面を９０°曲げて成形されたフランジ３１１をＣＦＲＰ（炭素繊維）で一体に成形し、当該フランジ３１１がベース３０６に対してネジ３１２により固定されている。
【００８５】
また、冷却ジャケット３０８は、第１実施形態の電機子５と同様、薄板状で、且つ、冷媒が供給される流路を板厚方向に多重に分けた構成、すなわち、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように、内側冷媒流路３１３ａ及び外側冷媒流路３１３ｂの二層に分けた構成となっている。これら内側冷媒流路３１３ａ及び外側冷媒流路３１３ｂは、上記電機子巻線の周囲を一周するようにそれぞれ設けられている。またこれと共に、複数（図９（ａ）に示す例では９つ）の内側冷媒流路３１３ａの入口である内側入口流路３３０ａ及び出口である内側出口流路３３１ａと、複数（図９（ａ）に示す例では８つ）の外側冷媒流路３１３ｂの入口である外側入口流路３３０ｂ及び出口である外側出口流路３３１ｂとが、冷却ジャケット３０８における電機子３０５の進行方向両端側に振り分けて配置されている。また、冷却ジャケット３０８は、内側冷媒流路３１３ａと外側冷媒流路３１３ｂとの各々における冷媒の流れ方向（図９（ｂ）中矢印Ｆで示す）が同じとなるように構成されている。
【００８６】
具体的には、図８、図９（ａ）、及び図９（ｂ）に示すように、冷却ジャケット３０８は、電機子３０５の進行方向一端側（図８中左下側、図９（ｂ）中左側）に、上記内側入口流路３３０ａ及び内側出口流路３３１ａと、第１筒部材３３２ａとを有すると共に、電機子３０５の進行方向他端側（図８中右上側、図９（ｂ）中右側）に、上記外側入口流路３３０ｂ及び外側出口流路３３１ｂと、第２筒部材３３２ｂとを有している。
【００８７】
内側入口流路３３０ａ及び内側出口流路３３１ａは、それぞれ、ベース３０６における電機子３０５の進行方向一端側に設けられた、冷媒の導入を行うための内側冷媒入口３３３ａ、及び、冷媒の排出を行うための内側冷媒出口３３４ａに連通している。第１筒部材３３２ａは、図１０に示すように、内側入口流路３３０ａ、内側出口流路３３１ａ、及び、外側冷媒流路３１３ｂの一部を内包しており、これら各流路を仕切る流路仕切り板３３５ａを有している。本実施形態では、流路仕切り板３３５ａは、第１筒部材３３２ａ内の電機子３０５の進行方向他端側（言い換えれば、冷却ジャケット３０８の内側）における電機子巻線の軸方向（すなわち、上記第１方向）一方側（図９（ｂ）中下側）に内側入口流路３３０ａが配置され、第１筒部材３３２ａ内の電機子３０５の進行方向他端側における電機子巻線の軸方向他方側（図９（ｂ）中上側）に内側出口流路３３１ａが配置され、第１筒部材３３２ａ内の電機子３０５の進行方向一端側（言い換えれば、冷却ジャケット３０８の外側）に外側冷媒流路３１３ｂの一部が配置されるように、これら各流路を仕切っている。
【００８８】
外側入口流路３３０ｂ及び外側出口流路３３１ｂは、それぞれ、ベース３０６における電機子３０５の進行方向他端側に設けられた、冷媒の導入を行うための外側冷媒入口３３３ｂ、及び、冷媒の排出を行うための外側冷媒出口３３４ｂに連通している。第２筒部材３３２ｂは、上記第１筒部材３３２ａと同様の構造であり、外側入口流路３３０ｂ、外側出口流路３３１ｂ、及び、内側冷媒流路３１３ａの一部を内包しており、これら各流路を仕切る流路仕切り板３３５ｂを有している。本実施形態では、流路仕切り板３３５ｂは、第２筒部材３３２ｂ内の電機子３０５の進行方向他端側（言い換えれば、冷却ジャケット３０８の外側）における電機子巻線の軸方向他方側に外側入口流路３３０ｂが配置され、第２筒部材３３２ｂ内の電機子３０５の進行方向他端側における電機子巻線の軸方向一方側に外側出口流路３３１ｂが配置され、第２筒部材３３２ｂ内の電機子３０５の進行方向他端側（言い換えれば、冷却ジャケット３０８の内側）に内側冷媒流路３１３ａの一部が配置されるように、これら各流路を仕切っている。
【００８９】
上記構成により、内側冷媒流路３１３ａ及び外側冷媒流路３１３ｂは、電機子巻線の周囲をそれぞれ一周するようになっている。また、冷却ジャケット３０８においては、内側冷媒流路３１３ａと外側冷媒流路３１３ｂとの各々における冷媒の流れ方向Ｆが同じとなっている。すなわち、内側冷媒入口３３３ａを介して導入された冷媒は、冷却ジャケット３０８における電機子３０５の進行方向一端側において第１筒部材３３２ａに内包された内側入口流路３３０ａに流入する。そして、内側入口流路３３０ａを介して電機子巻線の軸方向一方側に配置された上流側の内側冷媒流路３１３ａを流れ、第２筒部材３３２ｂの内部を通り、電機子巻線の軸方向他方側に配置された下流側の内側冷媒流路３１３ａを流れて、電機子巻線の周囲を一周する。その後、冷却ジャケット３０８における電機子３０５の進行方向一端側において第１筒部材３３２ａに内包された内側出口流路３３１ａから流出し、内側冷媒出口３３４ａを介して外部に排出される。一方、外側冷媒入口３３３ｂを介して導入された冷媒は、冷却ジャケット３０８における電機子３０５の進行方向他端側において第２筒部材３３２ｂに内包された外側入口流路３３０ｂに流入する。そして、外側入口流路３３０ｂを介して電機子巻線の軸方向他方側に配置された上流側の外側冷媒流路３１３ｂを流れ、第１筒部材３３２ａの内部を通り、電機子巻線の軸方向一方側に配置された下流側の外側冷媒流路３１３ｂを流れて、電機子巻線の周囲を一周する。その後、冷却ジャケット３０８における電機子３０５の進行方向他端側において第２筒部材３３２ｂに内包された外側出口流路３３１ｂから流出し、外側冷媒出口３３４ｂを介して外部に排出される。
【００９０】
以上説明した第４実施形態の効果について説明する。
【００９１】
本実施形態の電機子３０５においては、内側冷媒流路３１３ａの入口である内側入口流路３３０ａ及び出口である内側出口流路３３１ａを電機子３０５の進行方向一端側に設けると共に、外側冷媒流路３１３ｂの入口である外側入口流路３３０ｂ及び出口である外側出口流路３３１ｂを電機子３０５の進行方向他端側に設け、これら内側冷媒流路３１３ａ及び外側冷媒流路３１３ｂを電機子巻線の周囲を一周するようにそれぞれ設ける構成となっている。このような構成により、内側冷媒流路３１３ａを流れる冷媒は、冷却ジャケット３０８における電機子３０５の進行方向一端側において内側入口流路３３０ａに流入し、電機子巻線の周囲を一周するように流れて、進行方向一端側の内側出口流路３３１ａから流出する。一方、外側冷媒流路３１３ｂを流れる冷媒は、冷却ジャケット３０８における電機子３０５の進行方向他端側において外側入口流路３３０ｂに流入し、電機子巻線の周囲を一周するように流れて、進行方向他端側の外側出口流路３３１ｂから流出する。このように、内側冷媒流路３１３ａと外側冷媒流路３１３ｂとをそれぞれ電機子巻線の周囲を一周するように設けると共に、内側冷媒流路３１３の入口流路３３０ａ及び出口流路３３１ａと、外側冷媒流路３１３ｂの入口流路３３０ｂ及び出口流路３３１ｂとを、冷却ジャケット３０８における電機子３０５の進行方向両端側に振り分けて配置することにより、冷却ジャケット３０８による冷却効率を進行方向に沿って略均一にすることができる。その結果、電機子３０５及びリニアモータ３００の表面温度を進行方向に沿って略均一にすることができる。
【００９２】
また、本実施形態では特に、冷却ジャケット３０８における電機子３０５の進行方向両端側に第１筒部材３３２ａ及び第２筒部材３３２ｂを設けている。これにより、簡単な構成によって、内側冷媒流路３１３ａと外側冷媒流路３１３ｂとをそれぞれ電機子巻線の周囲を一周するように設けると共に、内側冷媒流路３１３ａの入口流路３３０ａ及び出口流路３３１ａと、外側冷媒流路３１３ｂの入口流路３３０ｂ及び出口流路３３１ｂとを、冷却ジャケット３０８における電機子３０５の進行方向両端側に振り分けて配置した構成を実現できる。
【００９３】
また、本実施形態では特に、冷却ジャケット３０８は、内側冷媒流路３１３ａと外側冷媒流路３１３ｂとの各々における冷媒の流れ方向Ｆが同じとなるように構成されている。そして、内側冷媒流路３１３ａと外側冷媒流路３１３ｂとの各々における冷媒の流れ方向Ｆを同じとすることで、内側冷媒流路３１３ａの上流側と外側冷媒流路３１３ｂの上流側とを、それぞれ電機子巻線の軸方向一方側（図９（ｂ）中下側）と他方側（図９（ｂ）中上側）とに振り分けて配置している。これにより、電機子巻線の軸方向一方側及び他方側における冷却効率を略均一にすることができ、表面温度を電機子巻線の軸方向両側において略均一にすることができる。
【００９４】
なお、内側冷媒流路３１３ａ及び外側冷媒流路３１３ｂにおける冷媒の流れ方向Ｆを共に上記とは逆向きとすることで、内側冷媒流路３１３ａの上流側と外側冷媒流路３１３ｂの上流側とを、それぞれ電機子巻線の軸方向他方側（図９（ｂ）中上側）と一方側（図９（ｂ）中下側）とに振り分けて配置してもよい。この場合も同様の効果を得ることができる。
【００９５】
次に、第４実施形態の変形例について説明する。
【００９６】
図１１は図８及び図９（ａ）中ＩＸＢ−ＩＸＢ断面相当による水平断面図である。
【００９７】
図１１において、本変形例の電機子３０５においては、冷却ジャケット３０８は、内側冷媒流路３１３ａと外側冷媒流路３１３ｂとの各々における冷媒の流れ方向（図１１中矢印Ｆで示す）が反対となるように構成されている。
【００９８】
具体的には、本変形例においては、内側入口流路３３０ａ′及び内側出口流路３３１ａ′は、それぞれ、前述のベース３０６（図８参照）における電機子３０５の進行方向一端側（図１１中左側）に設けられた前述の内側冷媒出口３３４ａ及び内側冷媒入口３３３ａ（図８参照）に連通している。なお、本変形例においては、内側冷媒入口３３３ａ及び内側冷媒出口３３４ａの対向関係が反対となっている。すなわち、内側冷媒出口３３４ａより冷媒の導入が行われ、内側冷媒入口３３３ａより冷媒の排出が行われるようになっている。また、本変形例においては、前述の第１筒部材３３２ａの流路仕切り板３３５ａは、第１筒部材３３２ａ内の電機子３０５の進行方向他端側（図１１中右側）における前述の電機子巻線の軸方向他方側（図１１中上側）に内側入口流路３３０ａ′が配置され、第１筒部材３３２ａ内の電機子３０５の進行方向他端側における電機子巻線の軸方向一方側（図１１中下側）に内側出口流路３３１ａ′が配置され、第１筒部材３３２ａ内の電機子３０５の進行方向一端側に前述の外側冷媒流路３１３ｂの一部が配置されるように、これら各流路を仕切っている。
【００９９】
上記以外の本変形例の電機子３０５の構成は、上記第４実施形態の電機子３０５と同様である。
【０１００】
上記構成により、内側冷媒流路３１３ａ及び外側冷媒流路３１３ｂは、電機子巻線の周囲をそれぞれ一周するようになっており、冷却ジャケット３０８においては、内側冷媒流路３１３ａと外側冷媒流路３１３ｂとの各々における冷媒の流れ方向Ｆが反対となっている。この例では、内側冷媒流路３１３ａにおける冷媒の流れ方向Ｆが、上記第４実施形態においての内側冷媒流路３１３ａにおける冷媒の流れ方向Ｆと反対となっている。すなわち、内側冷媒出口３３４ａを介して導入された冷媒は、冷却ジャケット３０８における電機子３０５の進行方向一端側において第１筒部材３３２ａに内包された内側入口流路３３０ａ′に流入する。そして、内側入口流路３３０ａ′を介して電機子巻線の軸方向他方側に配置された上流側の内側冷媒流路３１３ａを流れ、前述の第２筒部材３３２ｂの内部を通り、電機子巻線の軸方向一方側に配置された下流側の内側冷媒流路３１３ａを流れて、電機子巻線の周囲を一周する。その後、冷却ジャケット３０８における電機子３０５の進行方向一端側において第１筒部材３３２ａに内包された内側出口流路３３１ａ′から流出し、内側冷媒入口３３４ａを介して外部に排出される。一方、前述の外側冷媒入口３３３ｂ（図８参照）を介して導入された冷媒は、上記第４実施形態と同様、冷却ジャケット３０８における電機子３０５の進行方向他端側において第２筒部材３３２ｂに内包された前述の外側入口流路３３０ｂに流入する。そして、外側入口流路３３０ｂを介して電機子巻線の軸方向他方側に配置された上流側の外側冷媒流路３１３ｂを流れ、第１筒部材３３２ａの内部を通り、電機子巻線の軸方向一方側に配置された下流側の外側冷媒流路３１３ｂを流れて、電機子巻線の周囲を一周する。その後、冷却ジャケット３０８における電機子３０５の進行方向他端側において第２筒部材３３２ｂに内包された前述の外側出口流路３３１ｂから流出し、前述の外側冷媒出口３３４ｂ（図８参照）を介して外部に排出される。
【０１０１】
本変形例によれば、上記第４実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本変形例においては、冷却ジャケット３０８は、内側冷媒流路３１３ａと外側冷媒流路３１３ｂの各々における冷媒の流れ方向Ｆが反対となるように構成されている。そして、内側冷媒流路３１３ａと外側冷媒流路３１３ｂの各々における冷媒の流れ方向Ｆを反対とすることで、内側冷媒流路３１３ａの上流側と外側冷媒流路３１３ｂの上流側とを、電機子巻線の軸方向他方側（図９（ｂ）中上側）に集中して配置している。これにより、電機子巻線の軸方向他方側の冷却効率を一方側に比べて大きくすることが可能となり、電機子巻線の他方側の表面温度を一方側よりも下げたいような場合に有効である。
【０１０２】
なお、内側冷媒流路３１３ａ及び外側冷媒流路３１３ｂにおける冷媒の流れ方向Ｆを共に上記とは逆向きとすることで、内側冷媒流路３１３ａの上流側と外側冷媒流路３１３ｂの上流側とを、電機子巻線の軸方向一方側（図９（ｂ）中下側）に集中して配置してもよい。この場合には、電機子巻線の軸方向一方側の冷却効率を他方側に比べて大きくすることが可能となり、電機子巻線の一方側の表面温度を他方側よりも下げたいような場合に有効である。
【０１０３】
（第５実施形態）
次に、第５実施形態を図に基づいて説明する。
【０１０４】
図１２は第５実施形態に係るリニアモータ電機子の斜視図である。図１３は図１２中ＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ断面による水平断面図である。図１４は第５実施形態に係るリニアモータ電機子のうち、その冷却ジャケットにおけるリニアモータ電機子の進行方向一端側に設けられた第４筒部材の一部破断斜視図である。
【０１０５】
本実施形態のリニアモータ４００（図示せず）は、以下に説明する電機子４０５以外の構成については、第１実施形態のリニアモータ１と同様である。
【０１０６】
図１２、図１３、及び図１４において、本実施形態の電機子４０５は、第１実施形態の電機子５と同様、電機子巻線（図示せず）と、この電機子巻線の周囲を囲むように装入されると共に、流路を内蔵する冷却ジャケット４０８と、ベース４０６とを有している。電機子巻線は、その軸方向がリニアモータ４００の進行方向、すなわち電機子４０５の進行方向と直交する第１方向（図１２及び図１３中上下方向）となるように図示しない基板に固定されており、冷却ジャケット４０８の内側に密着するように図示しない樹脂モールドで固着されるか、もしくは図示しない接着剤により接着されて一体化されている。ベース４０６は、冷却ジャケット４０８における電機子４０５の進行方向と平行する方向の４面のうち、当該進行方向と直交する第２方向（図１２中左上−右下の斜め方向）の一方側（図１２中右下側）の面に配設されている。
【０１０７】
冷却ジャケット４０８は、上記第２方向の２面（冷却ジャケット４０８ｅ，４０８ｆ）と、電機子４０５の進行方向と平行する方向の３面（冷却ジャケット４０８ａ，４０８ｂ，４０８ｃ）とで、箱状に構成されている。また、図１２（ａ）に示すように、冷却ジャケット４０８の側面を構成する冷却ジャケット４０８ａ，４０８ｃ，４０８ｅ，４０８ｆの上記第２方向一方側表面を９０°曲げて成形されたフランジ４１１をＣＦＲＰ（炭素繊維）で一体に成形し、当該フランジ４１１がベース４０６に対して図示しないネジにより固定されている。
【０１０８】
また、冷却ジャケット４０８は、第１実施形態の電機子５と同様、薄板状で、且つ、冷媒が供給される流路を板厚方向に多重に分けた構成、すなわち、図１３に示すように、第１内側冷媒流路４１３ａＡと第２内側冷媒流路４１３ａＢとからなる内側冷媒流路、及び、第１外側冷媒流路４１３ｂＡと第２外側冷媒流路４１３ｂＢとからなる外側冷媒流路の二層に分けた構成となっている。これら内側冷媒流路及び外側冷媒流路のうち、第１外側冷媒流路４１３ｂＡ及び第１内側冷媒流路４１３ａＡは、電機子巻線の軸方向（すなわち、上記第１方向）一方側（図１３中下側）に配置されており、電機子４０５の進行方向一端側（図１３中左側）で流路を折返すことにより、各々における冷媒の流れ方向（図１３中矢印Ｆで示す）が反対となるように直列に接続されている。また、第２外側冷媒流路４１３ｂＢ及び第２内側冷媒流路４１３ａＢは、電機子巻線の軸方向他方側（図１３中上側）に配置されており、電機子４０５の進行方向他端側（図１３中右側）で流路を折返すことにより、各々における冷媒の流れ方向Ｆが反対となるように直列に接続されている。また、第１外側冷媒流路４１３ｂＡ及び第２外側冷媒流路４１３ｂＢが上流側、第１内側冷媒流路４１３ａＡ及び第２内側冷媒流路４１３ａＢが下流側に配置されている。
【０１０９】
具体的には、図１２及び図１３に示すように、冷却ジャケット４０８は、電機子巻線の軸方向一方側に、電機子４０５の進行方向一端側で流路を折返した上記第１外側冷媒流路４１３ｂＡ及び第１内側冷媒流路４１３ａＡを有すると共に、電機子巻線の軸方向他方側に、電機子４０５の進行方向他端側で流路を折返した上記第２外側冷媒流路４１３ｂＢ及び第２内側冷媒流路４１３ａＢを有している。またこれと共に、冷却ジャケット４０８は、電機子４０５の進行方向他端側に、複数の第１外側冷媒流路４１３ｂＡの入口である第１入口流路４４０Ａ、及び、複数の第１内側冷媒流路４１３ａＡの出口である第１出口流路４４１Ａと、第３筒部材４４２Ａとを有すると共に、電機子４０５の進行方向一端側に、複数の第２外側冷媒流路４１３ｂＢの入口である第２入口流路４４０Ｂ、及び、複数の第２内側冷媒流路４１３ａＢの出口である第２出口流路４４１Ｂと、第４筒部材４４２Ｂとを有している。
【０１１０】
第１入口流路４４０Ａ及び第１出口流路４４１Ａは、それぞれ、ベース４０６における電機子４０５の進行方向他端側に設けられた、冷媒の導入を行うための第１冷媒入口４４３Ａ、及び、冷媒の排出を行うための第１冷媒出口４４４Ａに連通している。第３筒部材４４２Ａは、第４筒部材４４２Ｂと同様の構造であり、後述の図１４に示す第４筒部材４４２Ｂを図１４中上下逆さまにした状態で設置されている。この第３筒部材４４２Ａは、第１入口流路４４０Ａ、第１出口流路４４１Ａ、及び、第２外側冷媒流路４１３ｂＢと第２内側冷媒流路４１３ａＢとの間の第２折返し流路４４５Ｂを内包しており、これら各流路を仕切る流路仕切り板４４６Ａを有している。本実施形態では、流路仕切り板４４６Ａは、第３筒部材４４２Ａ内の電機子巻線の軸方向一方側における電機子４０５の進行方向他端側（言い換えれば、冷却ジャケット４０８の外側）に第１入口流路４４０Ａが配置され、第３筒部材４４２Ａ内の電機子巻線の軸方向一方側における電機子４０５の進行方向一端側（言い換えれば、冷却ジャケット４０８の内側）に第１出口流路４４１Ａが配置され、第３筒部材４４２Ａ内の電機子巻線の軸方向他方側に第２折返し流路４４５Ｂが配置されるように、これら各流路を仕切っている。
【０１１１】
第２入口流路４４０Ｂ及び第２出口流路４４１Ｂは、それぞれ、ベース４０６における電機子４０５の進行方向一端側に設けられた、冷媒の導入を行うための第２冷媒入口４４３Ｂ、及び、冷媒の排出を行うための第２冷媒出口４４４Ｂに連通している。第４筒部材４４２Ｂは、図１４に示すように、第２入口流路４４０Ｂ、第２出口流路４４１Ｂ、及び、第１外側冷媒流路４１３ｂＡと第１内側冷媒流路４１３ａＡとの間の第１折返し流路４４５Ａを内包しており、これら各流路を仕切る流路仕切り板４４６Ｂを有している。本実施形態では、流路仕切り板４４６Ｂは、第４筒部材４４２Ｂ内の電機子巻線の軸方向他方側における電機子４０５の進行方向一端側（言い換えれば、冷却ジャケット４０８の外側）に第２入口流路４４０Ｂが配置され、第４筒部材４４２Ｂ内の電機子巻線の軸方向他方側における電機子４０５の進行方向他端側（言い換えれば、冷却ジャケット４０８の内側）に第２出口流路４４１Ｂが配置され、第４筒部材４４２Ｂ内の電機子巻線の軸方向一方側に第１折返し流路４４５Ａが配置されるように、これら各流路を仕切っている。
【０１１２】
上記構成により、第１外側冷媒流路４１３ｂＡ及び第１内側冷媒流路４１３ａＡは、電機子４０５の進行方向一端側で流路を折返すことにより、冷媒の流れ方向Ｆが反対となるように直列に接続され、第２外側冷媒流路４１３ｂＢ及び第２内側冷媒流路４１３ａＢは、電機子４０５の進行方向他端側で流路を折返すことにより、冷媒の流れ方向Ｆが反対となるように直列に接続されるようになっている。また、第１外側冷媒流路４１３ｂＡ及び第２外側冷媒流路４１３ｂＢが上流側、第１内側冷媒流路４１３ａＡ及び第２内側冷媒流路４１３ａＢが下流側に配置されているようになっている。すなわち、第１冷媒入口４４３Ａを介して導入された冷媒は、冷却ジャケット４０８における電機子４０５の進行方向他端側において第３筒部材４４２Ａに内包された第１入口流路４４０Ａに流入する。そして、第１入口流路４４０Ａを介して電機子巻線の軸方向一方側に配置された上流側の第１外側冷媒流路４１３ｂＡを流れ、電機子４０５の進行方向一端側において第４筒部材４４２Ｂに内包された第１折返し流路４４５Ａで折返すことにより流れ方向Ｆが反対となって、電機子巻線の軸方向一方側に配置された下流側の第１内側冷媒流路４１３ａＡを流れる。その後、冷却ジャケット４０８における電機子４０５の進行方向他端側において第３筒部材４４２Ａに内包された第１出口流路４４１Ａから流出し、第１冷媒出口４４４Ａを介して外部に排出される。一方、第２冷媒入口４４３Ｂを介して導入された冷媒は、冷却ジャケット４０８における電機子４０５の進行方向一端側において第４筒部材４４２Ｂに内包された第２入口流路４４０Ｂに流入する。そして、第２入口流路４４０Ｂを介して電機子巻線の軸方向他方側に配置された上流側の第２外側冷媒流路４１３ｂＢを流れ、電機子４０５の進行方向他端側において第３筒部材４４２Ａに内包された第２折返し流路４４５Ｂで折返すことにより流れ方向Ｆが反対となって、電機子巻線の軸方向他方側に配置された下流側の第２内側冷媒流路４１３ａＢを流れる。その後、冷却ジャケット４０８における電機子４０５の進行方向一端側において第４筒部材４４２Ｂに内包された第２出口流路４４１Ｂから流出し、第２冷媒出口４４４Ｂを介して外部に排出される。
【０１１３】
以上説明した第５実施形態の効果について説明する。
【０１１４】
本実施形態の電機子４０５においては、電機子４０５の進行方向一端側で流路を折返した第１外側冷媒流路４１３ｂＡ及び第１内側冷媒流路４１３ａＡと、電機子４０５の進行方向他端側で流路を折返した第２外側冷媒流路４１３ｂＢ及び第２内側冷媒流路４１３ａＢとを、電機子巻線の軸方向一方側及び他方側に配置する。これにより、第１外側冷媒流路４１３ｂＡの入口流路４４０Ａ、及び、第１内側冷媒流路４１３ａＡの出口流路４４１Ａと、第２外側冷媒流路４１３ｂＢの入口流路４４０Ｂ、及び、第２内側冷媒流路４１３ａＢの出口流路４４１Ｂとを、冷却ジャケット４０８における電機子４０５の進行方向両端側に振り分けて配置することが可能となる。その結果、冷却ジャケット４０８による冷却効率を進行方向に沿って略均一にすることができ、電機子４０５及びリニアモータ４００の表面温度を進行方向に沿って略均一にすることができる。
【０１１５】
また、本実施形態では特に、冷却ジャケット４０８における電機子４０５の進行方向両端側に第３筒部材４４２Ａ及び第４筒部材４４２Ｂを設けている。これにより、簡単な構成によって、電機子４０５の進行方向一端側で流路を折返した第１外側冷媒流路４１３ｂＡ及び第１内側冷媒流路４１３ａＡと、電機子４０５の進行方向他端側で流路を折返した第２外側冷媒流路４１３ｂＢ及び第２内側冷媒流路４１３ａＢとを、電機子巻線の軸方向一方側及び他方側に配置した構成を実現できる。
【０１１６】
また、本実施形態では特に、第１外側冷媒流路４１３ｂＡ及び第２外側冷媒流路４１３ｂＢが上流側、第１内側冷媒流路４１３ａＡ及び第２内側冷媒流路４１３ａＢが下流側に配置されている。外側冷媒流路４１３ｂＡ，４１３ｂＢを上流側、内側冷媒流路４１３ａＡ，４１３ａＢを下流側に配置することで、冷却ジャケット４０８に導入した冷媒をまず最初に外側冷媒流路４１３ｂＡ，４１３ｂＢに流すことができるので、リニアモータ４００の表面温度の上昇を抑制できる。
【０１１７】
次に、第５実施形態の変形例について説明する。
【０１１８】
図１５は図１２中ＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ断面相当による水平断面図である。
【０１１９】
図１５において、本変形例の電機子４０５においては、第１内側冷媒流路４１３ａＡ及び第２内側冷媒流路４１３ａＢが上流側、第１外側冷媒流路４１３ｂＡ及び第２外側冷媒流路４１３ｂＢが下流側に配置されている。
【０１２０】
具体的には、冷却ジャケット４０８は、電機子４０５の進行方向他端側（図１５中右側）に、複数の第１内側冷媒流路４１３ａＡの入口である第１入口流路４４０Ａ′、及び、複数の第１外側冷媒流路４１３ｂＡの出口である第１出口流路４４１Ａ′と、前述の第３筒部材４４２Ａとを有すると共に、電機子４０５の進行方向一端側（図１５中左側）に、複数の第２内側冷媒流路４１３ａＢの入口である第２入口流路４４０Ｂ′、及び、複数の第２外側冷媒流路４１３ｂＢの出口である第２出口流路４４１Ｂ′と、前述の第４筒部材４４２Ｂとを有している。
【０１２１】
第１入口流路４４０Ａ′及び第１出口流路４４１Ａ′は、それぞれ、前述のベース４０６（図１２参照）における電機子４０５の進行方向他端側に設けられた、前述の第１冷媒出口４４４Ａ及び第１冷媒入口４４３Ａ（図１２参照）に連通している。なお、本変形例においては、第１冷媒入口４４３Ａ及び第１冷媒出口４４４Ａの対向関係が反対となっている。すなわち、第１冷媒出口４４４Ａより冷媒の導入が行われ、第１冷媒入口４４３Ａより冷媒の排出が行われるようになっている。また、本変形例においては、第３筒部材４４２Ａの流路仕切り板４４６Ａは、第３筒部材４４２Ａ内の電機子巻線の軸方向一方側（図１５中下側）における電機子４０５の進行方向一端側（言い換えれば、冷却ジャケット４０８の内側）に第１入口流路４４０Ａ′が配置され、第３筒部材４４２Ａ内の電機子巻線の軸方向一方側における電機子４０５の進行方向他端側（言い換えれば、冷却ジャケット４０８の外側）に第１出口流路４４１Ａ′が配置され、第３筒部材４４２Ａ内の電機子巻線の軸方向他方側（図１５中上側）に前述の第２折返し流路４４５Ｂが配置されるように、これら各流路を仕切っている。
【０１２２】
第２入口流路４４０Ｂ′及び第２出口流路４４１Ｂ′は、それぞれ、ベース４０６における電機子４０５の進行方向一端側に設けられた、前述の第２冷媒出口４４４Ｂ及び第２冷媒入口４４３Ｂ（図１２参照）に連通している。なお、本変形例においては、第２冷媒入口４４３Ｂ及び第２冷媒出口４４４Ｂの対向関係が反対となっている。すなわち、第２冷媒出口４４４Ｂより冷媒の導入が行われ、第２冷媒入口４４３Ｂより冷媒の排出が行われるようになっている。また、本変形例においては、第４筒部材４４２Ｂの流路仕切り板４４６Ｂは、第２筒部材４４２Ｂ内の電機子巻線の軸方向他方側における電機子４０５の進行方向他端側（言い換えれば、冷却ジャケット４０８の内側）に第２入口流路４４０Ｂ′が配置され、第４筒部材４４２Ｂ内の電機子巻線の軸方向他方側における電機子４０５の進行方向一端側（言い換えれば、冷却ジャケット４０８の外側）に第２出口流路４４１Ｂ′が配置され、第４筒部材４４２Ｂ内の電機子巻線の軸方向一方側に前述の第１折返し流路４４５Ａが配置されるように、これら各流路を仕切っている。
【０１２３】
上記以外の本変形例の電機子４０５の構成は、上記第５実施形態の電機子４０５と同様である。
【０１２４】
上記構成により、第１外側冷媒流路４１３ｂＡ及び第１内側冷媒流路４１３ａＡは、電機子４０５の進行方向一端側で流路を折返すことにより、冷媒の流れ方向Ｆが反対となるように直列に接続され、第２外側冷媒流路４１３ｂＢ及び第２内側冷媒流路４１３ａＢは、電機子４０５の進行方向他端側で流路を折返すことにより、冷媒の流れ方向Ｆが反対となるように直列に接続されるようになっている。また、第１内側冷媒流路４１３ａＡ及び第２内側冷媒流路４１３ａＢが上流側、第１外側冷媒流路４１３ｂＡ及び第２外側冷媒流路４１３ｂＢが下流側に配置されているようになっている。すなわち、第１冷媒出口４４４Ａを介して導入された冷媒は、冷却ジャケット４０８における電機子４０５の進行方向他端側において第３筒部材４４２Ａに内包された第１入口流路４４０Ａ′に流入する。そして、第１入口流路４４０Ａ′を介して電機子巻線の軸方向一方側に配置された上流側の第１内側冷媒流路４１３ａＡを流れ、電機子４０５の進行方向一端側において第４筒部材４４２Ｂに内包された第１折返し流路４４５Ａで折返すことにより流れ方向Ｆが反対となって、電機子巻線の軸方向一方側に配置された下流側の第１外側冷媒流路４１３ｂＡを流れる。その後、冷却ジャケット４０８における電機子４０５の進行方向他端側において第３筒部材４４２Ａに内包された第１出口流路４４１Ａ′から流出し、第１冷媒入口４４３Ａを介して外部に排出される。一方、第２冷媒出口４４４Ｂを介して導入された冷媒は、冷却ジャケット４０８における電機子４０５の進行方向一端側において第４筒部材４４２Ｂに内包された第２入口流路４４０Ｂ′に流入する。そして、第２入口流路４４０Ｂ′を介して電機子巻線の軸方向他方側に配置された上流側の第２内側冷媒流路４１３ａＢを流れ、電機子４０５の進行方向他端側において第３筒部材４４２Ａに内包された第２折返し流路４４５Ｂで折返すことにより流れ方向Ｆが反対となって、電機子巻線の軸方向他方側に配置された下流側の第２外側冷媒流路４１３ｂＢを流れる。その後、冷却ジャケット４０８における電機子４０５の進行方向一端側において第４筒部材４４２Ｂに内包された第２出口流路４４１Ｂ′から流出し、第２冷媒入口４４３Ｂを介して外部に排出される。
【０１２５】
本変形例によれば、上記第５実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本変形例においては、第１内側冷媒流路４１３ａＡ及び第２内側冷媒流路４１３ａＢが上流側、第１外側冷媒流路４１３ｂＡ及び第２外側冷媒流路４１３ｂＢが下流側に配置されている。内側冷媒流路４１３ａＡ，４１３ａＢを上流側、外側冷媒流路４１３ｂＡ，４１３ｂＢを下流側に配置することで、冷却ジャケット４０８に導入した冷媒をまず最初に内側冷媒流路４１３ａＡ，４１３ａＢに流すことができるので、電機子巻線の冷却を促進することができる。
【０１２６】
なお、実施の形態は、上記第１〜第５実施形態及び各変形例に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。
【０１２７】
例えば、以上では、界磁２を固定子とし、電機子５等を可動子としたリニアモータ１等を一例として説明したが、反対に、電機子５等を固定子とし、界磁２を可動子とするリニアモータに対して適用してもよい。この場合も、同様の効果を得ることができる。
【０１２８】
また、以上既に述べた以外にも、上記各実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用しても良い。
【０１２９】
その他、一々例示はしないが、上記各実施形態や各変形例は、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。
【符号の説明】
【０１３０】
１                リニアモータ
２                界磁
３                ヨーク
４                界磁用永久磁石
５                電機子（リニアモータ電機子）
６                ベース
７                電機子巻線
８                冷却ジャケット
８ａ              第１冷却ジャケット
８ｂ              第２冷却ジャケット
８ｃ              第３冷却ジャケット
８ｅ              第４冷却ジャケット
８ｆ              第５冷却ジャケット
９ａ              冷媒入口
９ｂ              冷媒出口
１０              基板
１１              フランジ
１２              ネジ
１３ａ            内側冷媒流路
１３ｂ            外側冷媒流路
１００            リニアモータ
１０５            電機子（リニアモータ電機子）
１０６            ベース
１０７            電機子巻線
１０８            冷却ジャケット
１０８ａ          第１冷却ジャケット
１０８ｂ          第２冷却ジャケット
１０８ｃ          第３冷却ジャケット
１０８ｅ          第４冷却ジャケット
１０８ｆ          第５冷却ジャケット
１０９ａ          冷媒入口
１０９ｂ          冷媒出口
１１１            フランジ
１１２            ネジ
１１３ａ          内側冷媒流路
１１３ｂ          外側冷媒流路
１１６            第１出口側流路
１１８            第２出口側流路
２００            リニアモータ
２０５            電機子（リニアモータ電機子）
２０６            ベース
２０７            電機子巻線
２０８            冷却ジャケット
２０８ａ          第１冷却ジャケット
２０８ｂ          第２冷却ジャケット
２０８ｃ          第３冷却ジャケット
２０８ｅ          第４冷却ジャケット
２０８ｆ          第５冷却ジャケット
２０９ａ          冷媒入口
２０９ｂ          冷媒出口
２１１            フランジ
２１２            ネジ
２１３ａ          内側冷媒流路
２１３ｂ          外側冷媒流路
３００            リニアモータ
３０５            電機子（リニアモータ電機子）
３０６            ベース
３０８            冷却ジャケット
３０８ａ          第１冷却ジャケット
３０８ｂ          第２冷却ジャケット
３０８ｃ          第３冷却ジャケット
３０８ｅ          第４冷却ジャケット
３０８ｆ          第５冷却ジャケット
３１１            フランジ
３１２            ネジ
３１３ａ          内側冷媒流路
３１３ｂ          外側冷媒流路
３３０ａ          内側入口流路
３３０ａ′        内側入口流路
３３０ｂ          外側入口流路
３３１ａ          内側出口流路
３３１ａ′        内側出口流路
３３１ｂ          外側出口流路
３３２ａ          第１筒部材
３３２ｂ          第２筒部材
３３３ａ          内側冷媒入口
３３３ｂ          外側冷媒入口
３３４ａ          内側冷媒出口
３３４ｂ          外側冷媒出口
３３５ａ          流路仕切り板
３３５ｂ          流路仕切り板
４００            リニアモータ
４０５            電機子（リニアモータ電機子）
４０６            ベース
４０８            冷却ジャケット
４０８ａ          第１冷却ジャケット
４０８ｂ          第２冷却ジャケット
４０８ｃ          第３冷却ジャケット
４０８ｅ          第４冷却ジャケット
４０８ｆ          第５冷却ジャケット
４１１            フランジ
４１３ａＡ        第１内側冷媒流路（内側冷媒流路）
４１３ａＢ        第２内側冷媒流路（内側冷媒流路）
４１３ｂＡ        第１外側冷媒流路（外側冷媒流路）
４１３ｂＢ        第２外側冷媒流路（外側冷媒流路）
４４０Ａ          第１入口流路
４４０Ｂ          第２入口流路
４４１Ａ          第１出口流路
４４１Ｂ          第２出口流路
４４２Ａ          第３筒部材
４４２Ｂ          第４筒部材
４４３Ａ          第１冷媒入口
４４３Ｂ          第２冷媒入口
４４４Ａ          第１冷媒出口
４４４Ｂ          第２冷媒出口
４４５Ａ          第１折返し流路
４４５Ｂ          第２折返し流路
４４６Ａ          流路仕切り板
４４６Ｂ          流路仕切り板
Ｆ                冷媒の流れ方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
0005582415.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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