(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とにより、実質的に３個のレンズ群からなり、
無限遠物体から近距離物体への合焦時に、前記第２レンズ群が移動し、前記第１レンズ群と前記第３レンズ群の位置が固定であり、
前記第３レンズ群の少なくとも一部が光軸と直交する方向の成分を含むように移動し、
前記第３レンズ群の前記少なくとも一部は、負の屈折力を有する負レンズ群であり、
以下の条件式を満足し、
前記第１レンズ群から前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成されていることを特徴とする光学系。
０．３０＜ｆ１／ｆ＜０．６０
０．２０＜（−ｆ２）／ｆ＜０．６０
０．３０＜ｆ３／ｆ＜０．６０
０．５０＜｜ｆＶＲ｜／ｆ３≦１．００
ただし、
ｆ  ：前記光学系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離
ｆＶＲ：前記第３レンズ群の前記少なくとも一部の焦点距離
【請求項２】
前記反射防止膜は多層膜であり、
前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうちの最も表面側の層であることを特徴とする請求項１に記載の光学系。
【請求項３】
前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄが１．３０以下であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光学系。
【請求項４】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項５】
前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像側のレンズ面であることを特徴とする請求項４に記載の光学系。
【請求項６】
前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項４に記載の光学系。
【請求項７】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項８】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることを特徴とする請求項７に記載の光学系。
【請求項９】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、像側から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項１０】
前記像側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることを特徴とする請求項９に記載の光学系。
【請求項１１】
前記第３レンズ群は、前記負レンズ群よりも物体側に配置された正の屈折力を有する第１正レンズ群と、前記負レンズ群よりも像側に配置された正の屈折力を有する第２正レンズ群とを有することを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項１２】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１１に記載の光学系。
０．６０＜（−ｆＶＲ）／ｆｐ２＜１．５０
ただし、
ｆＶＲ：前記負レンズ群の焦点距離
ｆｐ２：前記第２正レンズ群の焦点距離
【請求項１３】
前記第１正レンズ群は、正レンズと負レンズとを接合してなる１つの接合レンズからなることを特徴とする請求項１１又は請求項１２に記載の光学系。
【請求項１４】
前記第２レンズ群は、２枚の負レンズと１枚の正レンズを有することを特徴とする請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項１５】
物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とにより、実質的に３個のレンズ群からなり、
無限遠物体から近距離物体への合焦時に、前記第２レンズ群が移動し、前記第１レンズ群と前記第３レンズ群の位置が固定であり、
前記第３レンズ群の少なくとも一部が光軸と直交する方向の成分を含むように移動し、
以下の条件式を満足し、
前記第１レンズ群から前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成されていることを特徴とする光学系。
０．３０＜ｆ１／ｆ＜０．６０
０．３０≦（−ｆ２）／ｆ＜０．６０
０．３０＜ｆ３／ｆ＜０．６０
０．５０＜｜ｆＶＲ｜／ｆ３≦１．００
ただし、
ｆ  ：前記光学系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離
ｆＶＲ：前記第３レンズ群の前記少なくとも一部の焦点距離
【請求項１６】
請求項１から請求項１５のいずれか一項に記載の光学系を備えたことを特徴とする光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学系、光学装置、光学系の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、写真用カメラ、電子スチルカメラ、ビデオカメラ等に適した光学系が提案されている（例えば、特許文献１を参照）。また近年、このような光学系に対しては、収差性能だけでなく、光学性能を損なう要因の一つであるゴーストやフレアに関する要求も厳しさを増している。そのため、光学系のレンズ面に施される反射防止膜にもより高い性能が要求され、斯かる要求に応えるべく多層膜の設計技術や成膜技術も進歩を続けている（例えば、特許文献２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１４５５８４号公報
【特許文献２】特開２０００−３５６７０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述のような従来の光学系は、像ぶれ補正時の収差変動が大きいという問題があった。また、それと同時に従来の光学系におけるレンズ面では、ゴーストやフレアとなる反射光が発生しやすいという問題もあった。
そこで本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、ゴーストやフレアをより低減させ、像ぶれ補正時の収差変動を良好に抑えた光学系、光学装置、光学系の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために本発明は、
物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とにより、実質的に３個のレンズ群からなり、
無限遠物体から近距離物体への合焦時に、前記第２レンズ群が移動し、前記第１レンズ群と前記第３レンズ群の位置が固定であり、
前記第３レンズ群の少なくとも一部が光軸と直交する方向の成分を含むように移動し、
前記第３レンズ群の前記少なくとも一部は、負の屈折力を有する負レンズ群であり、
以下の条件式を満足し、
前記第１レンズ群から前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成されていることを特徴とする光学系を提供する。
０．３０＜ｆ１／ｆ＜０．６０
０．２０＜（−ｆ２）／ｆ＜０．６０
０．３０＜ｆ３／ｆ＜０．６０
０．５０＜｜ｆＶＲ｜／ｆ３≦１．００
ただし、
ｆ  ：前記光学系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離
ｆＶＲ：前記第３レンズ群の前記少なくとも一部の焦点距離
また本発明は、
物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とにより、実質的に３個のレンズ群からなり、
無限遠物体から近距離物体への合焦時に、前記第２レンズ群が移動し、前記第１レンズ群と前記第３レンズ群の位置が固定であり、
前記第３レンズ群の少なくとも一部が光軸と直交する方向の成分を含むように移動し、
以下の条件式を満足し、
前記第１レンズ群から前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成されていることを特徴とする光学系を提供する。
０．３０＜ｆ１／ｆ＜０．６０
０．３０≦（−ｆ２）／ｆ＜０．６０
０．３０＜ｆ３／ｆ＜０．６０
０．５０＜｜ｆＶＲ｜／ｆ３≦１．００
ただし、
ｆ  ：前記光学系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離
ｆＶＲ：前記第３レンズ群の前記少なくとも一部の焦点距離
【０００６】
また本発明は、
前記光学系を備えたことを特徴とする光学装置を提供する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ゴーストやフレアをより低減させ、像ぶれ補正時の収差変動を良好に抑えた光学系、光学装置、光学系の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本願の第１実施例に係る光学系のレンズ構成を示す図である。
【図２】（ａ）、及び（ｂ）はそれぞれ、第１実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時の諸収差図、及び無限遠物体合焦時に０．３°の回転ぶれに対して防振を行った場合のメリディオナル横収差図である。
【図３】本願の第１実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図であって、入射した光線が第１番目のゴースト発生面と第２番目のゴースト発生面で反射する様子の一例を説明する図である。
【図４】本願の第２実施例に係る光学系のレンズ構成を示す図である。
【図５】（ａ）、及び（ｂ）はそれぞれ、第２実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時の諸収差図、及び無限遠物体合焦時に０．３°の回転ぶれに対して防振を行った場合のメリディオナル横収差図である。
【図６】本願の第３実施例に係る光学系のレンズ構成を示す図である。
【図７】（ａ）、及び（ｂ）はそれぞれ、第３実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時の諸収差図、及び無限遠物体合焦時に０．３°の回転ぶれに対して防振を行った場合のメリディオナル横収差図である。
【図８】本願の光学系を備えたカメラの構成を示す図である。
【図９】本願の光学系の製造方法を示す図である。
【図１０】反射防止膜の層構造の一例を示す説明図である。
【図１１】反射防止膜の分光特性を示すグラフである。
【図１２】変形例に係る反射防止膜の分光特性を示すグラフである。
【図１３】変形例に係る反射防止膜の分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。
【図１４】従来技術で作成した反射防止膜の分光特性を示すグラフである。
【図１５】従来技術で作成した反射防止膜の分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本願の光学系、光学装置、光学系の製造方法について説明する。
本願の光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、無限遠物体から近距離物体への合焦時に、前記第２レンズ群が移動し、前記第３レンズ群の少なくとも一部が光軸と直交する方向の成分を含むように移動し、以下の条件式（１）、（２）、（３）を満足することを特徴とする。
（１）  ０．３０＜ｆ１／ｆ＜０．６０
（２）  ０．１０＜（−ｆ２）／ｆ＜０．６０
（３）  ０．３０＜ｆ３／ｆ＜０．６０
ただし、
ｆ  ：前記光学系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離
【００１０】
上述のように本願の光学系は、第２レンズ群を合焦レンズ群として光軸方向へ移動させて無限遠物体から近距離物体への合焦を行うことにより、合焦時の収差変動を小さくすることができる。また、合焦レンズ群の軽量化を図ることができ、これによって高速な合焦を行うことが可能となる。
また、上述のように本願の光学系は、第３レンズ群の少なくとも一部を防振レンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動させることにより、手ぶれ等によって生じる像ぶれの補正（防振）を行うことができる。そして、像ぶれ補正時の収差変動を小さくすることができる。
【００１１】
上記条件式（１）は、本願の光学系全体の焦点距離と第１レンズ群の焦点距離を規定するものである。本願の光学系は、条件式（１）を満足することにより、光学系の全長が大きくなることを防止し、像面湾曲やコマ収差を良好に補正することができる。
本願の光学系の条件式（１）の対応値が上限値を上回ると、第１レンズ群の屈折力が小さくなり、光学系の全長が増大し、さらに周辺光量を確保することが困難になってしまうため好ましくない。また、光学系の全長を短縮するために第３レンズ群の屈折力を大きくすれば、球面収差や像面湾曲を補正することが困難になってしまうため好ましくない。なお、条件式（１）の上限値を０．５９に設定することで、本願の効果をより確実なものとすることができる。
一方、本願の光学系の条件式（１）の対応値が下限値を下回ると、第１レンズ群の屈折力が大きくなり、像面湾曲やコマ収差を補正することが困難になってしまうため好ましくない。なお、条件式（１）の下限値を０．４０に設定することで、本願の効果をより確実なものとすることができる。
【００１２】
上記条件式（２）は、本願の光学系全体の焦点距離と第２レンズ群の焦点距離を規定するものである。本願の光学系は、条件式（２）を満足することにより、球面収差や像面湾曲を良好に補正し、光学系の全長が大きくなることを防止することができる。
本願の光学系の条件式（２）の対応値が上限値を上回ると、第２レンズ群の屈折力が小さくなり、球面収差や像面湾曲を十分に補正することができなくなってしまうため好ましくない。また、合焦レンズ群である第２レンズ群の合焦時の移動量が大きくなり、光学系の全長が大きくなってしまうため好ましくない。なお、条件式（２）の上限値を０．５０に設定することで、本願の効果をより確実なものとすることができる。
一方、本願の光学系の条件式（２）の対応値が下限値を下回ると、第２レンズ群の屈折力が大きくなり、球面収差や像面湾曲を補正することが困難になってしまうため好ましくない。なお、条件式（２）の下限値を０．２０に設定することで、本願の効果をより確実なものとすることができる。
【００１３】
上記条件式（３）は、本願の光学系全体の焦点距離と第３レンズ群の焦点距離を規定するものである。本願の光学系は、条件式（３）を満足することにより、球面収差、コマ収差、及び歪曲収差を良好に補正することができ、バックフォーカスを十分に確保することができる。
本願の光学系の条件式（３）の対応値が上限値を上回ると、第３レンズ群の屈折力が小さくなり、光学系の全長が大きくなってしまうため好ましくない。この影響を緩和するために第１レンズ群と第２レンズ群の屈折力を大きくすれば、球面収差、コマ収差、及び歪曲収差を補正することが困難になってしまうため好ましくない。なお、条件式（３）の上限値を０．５９に設定することで、本願の効果をより確実なものとすることができる。
一方、本願の光学系の条件式（３）の対応値が下限値を下回ると、第３レンズ群の屈折力が大きくなる。このため、球面収差やコマ収差を補正することが困難になり、また、バックフォーカスを確保することが困難になってしまうため好ましくない。バックフォーカスを確保するために第２レンズ群の屈折力を大きくすれば、球面収差を補正することが困難になってしまうため好ましくない。なお、条件式（３）の下限値を０．４０に設定することで、本願の効果をより確実なものとすることができる。
以上の構成により、像ぶれ補正時の収差変動及び合焦時の収差変動を良好に抑えた光学系を実現することができる。
【００１４】
また本願の光学系は、前記第１レンズ群から前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成されていることを特徴とする。この構成により、本願の光学系は、物体からの光が光学面で反射されることによって生じるゴーストやフレアをより低減させることができ、高い結像性能を達成することができる。
【００１５】
また本願の光学系は、前記反射防止膜が多層膜であり、前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうちの最も表面側の層であることが望ましい。この構成により、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。
また本願の光学系は、前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄが１．３０以下であることが望ましい。この構成により、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。
【００１６】
また本願の光学系は、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることが望ましい。第１レンズ群から第３レンズ群における光学面のうち、開口絞りから見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
また本願の光学系は、前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面が、像側のレンズ面であることが望ましい。第１レンズ群から第３レンズ群における光学面のうち、開口絞りから見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
また本願の光学系は、前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面が、物体側のレンズ面であることが望ましい。第１レンズ群から第３レンズ群における光学面のうち、開口絞りから見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００１７】
また本願の光学系は、前記反射防止膜が設けられた前記光学面が、物体側から見て凹形状のレンズ面であることが望ましい。第１レンズ群から第３レンズ群における光学面のうち、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
特に本願の光学系は、前記物体側から見て凹形状のレンズ面が、前記第２レンズ群内のレンズのレンズ面であることが望ましい。第２レンズ群内のレンズのレンズ面であって、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
また本願の光学系は、前記物体側から見て凹形状のレンズ面が、前記第２レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることが望ましい。第２レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であって、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００１８】
また本願の光学系は、前記反射防止膜が設けられた前記光学面が、像側から見て凹形状のレンズ面であることが望ましい。第１レンズ群から第３レンズ群における光学面のうち、像側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
特に本願の光学系は、前記像側から見て凹形状のレンズ面が、前記第３レンズ群内のレンズのレンズ面であることが望ましい。第３レンズ群内のレンズのレンズ面であって、像側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
また本願の光学系は、前記像側から見て凹形状のレンズ面が、前記第３レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることが望ましい。第３レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であって、像側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００１９】
なお、本願の光学系における反射防止膜は、ウェットプロセスに限られず、ドライプロセス等によって形成してもよい。この場合、反射防止膜は屈折率が１．３０以下となる層を少なくとも１層含むようにすることが好ましい。この構成により、反射防止膜をドライプロセス等によって形成した場合でも、反射防止膜をウェットプロセスによって形成した場合と同様の効果を得ることができる。なお、屈折率が１．３０以下となる層は、多層膜を構成する層のうちの最も表面側の層であることが好ましい。
【００２０】
また本願の光学系は、以下の条件式（４）を満足することが望ましい。
（４）  ０．５０＜｜ｆＶＲ｜／ｆ３≦１．００
ただし、
ｆＶＲ：前記第３レンズ群の前記少なくとも一部の焦点距離
ｆ３  ：前記第３レンズ群の焦点距離
【００２１】
条件式（４）は、第３レンズ群の焦点距離と、光軸と直交する方向の成分を含むように移動可能に第３レンズ群に設けられた少なくとも一部（以下、防振レンズ群と称す）の焦点距離を規定するものである。本願の光学系は、条件式（４）を満足することにより、光学系の大型化を防止し、像ぶれ補正時の偏心コマ収差を良好に補正することができる。
本願の光学系の条件式（４）の対応値が上限値を上回ると、第３レンズ群における防振レンズ群の屈折力が小さくなる。このため、像ぶれ補正時の防振レンズ群の移動量が大きくなり、防振ユニットや鏡筒の外径が大型化してしまうため好ましくない。また、本願の光学系の条件式（４）の対応値が上限値を上回らないように第３レンズ群の屈折力を小さくすれば、光学系の全長が増大してしまうため好ましくない。なお、条件式（４）の上限値を０．９０に設定することで、本願の効果をより確実なものとすることができる。
一方、本願の光学系の条件式（４）の対応値が下限値を下回ると、防振レンズ群の屈折力が大きくなり、像ぶれ補正時の偏心コマ収差を補正することが困難になってしまうため好ましくない。なお、条件式（４）の下限値を０．５５に設定することで、本願の効果をより確実なものとすることができる。
【００２２】
また本願の光学系は、前記第３レンズ群の前記少なくとも一部（防振レンズ群）が、負の屈折力を有する負レンズ群であることが望ましい。この構成により、像ぶれ補正時の収差変動を小さくすることができる。
また本願の光学系は、前記第３レンズ群が、前記負レンズ群よりも物体側に配置された正の屈折力を有する第１正レンズ群と、前記負レンズ群よりも像側に配置された正の屈折力を有する第２正レンズ群とを有することが望ましい。この構成により、像ぶれ補正時の収差変動を小さくすることができる。
また本願の光学系は、以下の条件式（５）を満足することが望ましい。
（５）  ０．６０＜（−ｆＶＲ）／ｆｐ２＜１．５０
ただし、
ｆＶＲ：前記負レンズ群の焦点距離
ｆｐ２：前記第２正レンズ群の焦点距離
【００２３】
条件式（５）は、第３レンズ群における第２正レンズ群の焦点距離と負レンズ群の焦点距離を規定するものである。本願の光学系は、条件式（５）を満足することにより、光学系の大型化を防止し、像ぶれ補正時の偏心コマ収差を良好に補正することができる。
本願の光学系の条件式（５）の対応値が上限値を上回ると、負レンズ群、即ち防振レンズ群の屈折力が小さくなる。このため、像ぶれ補正時の防振レンズ群の移動量が大きくなり、防振ユニットや鏡筒の外径が大型化してしまうため好ましくない。なお、条件式（５）の上限値を１．３０に設定することで、本願の効果をより確実なものとすることができる。
一方、本願の光学系の条件式（５）の対応値が下限値を下回ると、防振レンズ群の屈折力が大きくなり、像ぶれ補正時の偏心コマ収差を補正することが困難になってしまうため好ましくない。なお、条件式（５）の下限値を０．７０に設定することで、本願の効果をより確実なものとすることができる。
【００２４】
また本願の光学系は、前記第１正レンズ群が、正レンズと負レンズとを接合してなる１つの接合レンズからなることが望ましい。この構成により、鏡筒の小型化を図ることができる。
また本願の光学系は、前記第２レンズ群が、２枚の負レンズと１枚の正レンズを有することが望ましい。この構成により、合焦時の収差変動を小さくすることができる。
また本願の光学装置は、上述した構成の光学系を備えていることを特徴とする。これにより、ゴーストやフレアをより低減させ、像ぶれ補正時の収差変動を良好に抑えた光学装置を実現することができる。
【００２５】
また本願の光学系の製造方法は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有する光学系の製造方法であって、前記第１レンズ群から前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜を設け、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成し、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、及び前記第３レンズ群が以下の条件式（１）、（２）、（３）を満足するようにし、無限遠物体から近距離物体への合焦時に、前記第２レンズ群が移動するようにし、前記第３レンズ群の少なくとも一部が光軸と直交する方向の成分を含むように移動するようにすることを特徴とする。
（１）  ０．３０＜ｆ１／ｆ＜０．６０
（２）  ０．１０＜（−ｆ２）／ｆ＜０．６０
（３）  ０．３０＜ｆ３／ｆ＜０．６０
ただし、
ｆ  ：前記光学系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離
斯かる本願の光学系の製造方法により、ゴーストやフレアをより低減させ、像ぶれ補正時の収差変動を良好に抑えた光学系を製造することができる。
【００２６】
以下、本願の数値実施例に係る光学系を添付図面に基づいて説明する。
（第１実施例）
図１は、本願の第１実施例に係る光学系のレンズ構成を示す図である。
本実施例に係る光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、両凸形状の正レンズＬ１３と両凹形状の負レンズＬ１４との接合レンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１５と両凸形状の正レンズＬ１６との接合レンズとからなる。
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と、両凸形状の正レンズＬ２２と両凹形状の負レンズＬ２３との接合レンズとからなる。
【００２７】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、開口絞りＳと、正の屈折力を有する第１正レンズ群Ｇｐ１と、負の屈折力を有する負レンズ群ＧＶＲと、正の屈折力を有する第２正レンズ群Ｇｐ２とからなる。
第１正レンズ群Ｇｐ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３１と両凸形状の正レンズＬ３２との接合レンズのみからなる。
負レンズ群ＧＶＲは、物体側から順に、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との接合レンズのみからなる。
第２正レンズ群Ｇｐ２は、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３５と像側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３６との接合レンズのみからなる。
【００２８】
本実施例に係る光学系では、第２レンズ群Ｇ２全体が像側へ移動し、これによって無限遠物体から近距離物体への合焦が行われる。
また本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３内の負レンズ群ＧＶＲが防振レンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動し、これによって像ぶれの補正を行うことができる。
また本実施例に係る光学系は、第１レンズ群Ｇ１における正レンズＬ１３の物体側レンズ面（面番号５）と、第３レンズ群Ｇ３における正レンズＬ３２の像側レンズ面（面番号１９）に、後述する反射防止膜が形成されている。
【００２９】
以下の表１に、本実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。
表１において、ｆは焦点距離、ＢＦはバックフォーカスを示す。
[面データ]において、面番号は物体側から数えたレンズ面の順番、ｒはレンズ面の曲率半径、ｄはレンズ面の間隔、ｎｄはｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対する屈折率、νｄはｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対するアッベ数をそれぞれ示している。また、物面は物体面、(絞りＳ)は開口絞りＳ、像面は像面Ｉをそれぞれ示している。なお、曲率半径ｒ＝∞は平面を示し、空気の屈折率ｎｄ＝1.00000の記載は省略している。
【００３０】
［各種データ］において、ＦＮＯはＦナンバー、２ωは画角、Ｙは像高、ＴＬは光学系全長をそれぞれ示す。
ここで、表１に掲載されている焦点距離ｆや曲率半径ｒ及びその他長さの単位は一般に「ｍｍ」が使われる。しかしながら光学系は、比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるため、これに限られるものではない。
なお、以上に述べた表１の符号は、後記表２、３においても同様に用いるものとする。
【００３１】
ここで、レンズ全系の焦点距離がｆ、防振係数（ぶれ補正時の防振レンズ群の移動量に対する像面Ｉ上での像の移動量の比）がＫであるレンズにおいて、角度θの回転ぶれを補正するためには、防振レンズ群を（ｆ・tanθ）／Ｋだけ光軸と直交する方向へ移動させればよい。したがって、本実施例に係る光学系は、防振係数が０．８０、焦点距離が１３２．９（ｍｍ）であるため、０．３°の回転ぶれを補正するための防振レンズ群の移動量は０．８７（ｍｍ）となる。
【００３２】
（表１）第１実施例
[面データ]
面番号          ｒ       ｄ       ｎｄ     νｄ
物面           ∞       ∞
1         218.5583   7.000   1.618000   63.37
2        -540.2614   0.200
3         103.9713   7.000   1.618000   63.37
4         438.0518   0.200
5          70.4602  12.000   1.497820   82.51
6        -296.9672   3.000   1.834807   42.72
7         138.0366   9.005
8          62.1858   2.500   1.800999   34.96
9          38.2633  12.000   1.497820   82.51
10        -456.2726   3.000
11        -496.4748   2.500   1.583130   59.39
12          45.5419   4.281
13         357.5640   4.000   1.846660   23.78
14        -110.4606   2.000   1.658441   50.89
15          46.8715  15.123
16(絞りＳ)    ∞      2.000
17         173.9463   2.000   1.728250   28.46
18          35.3526   7.500   1.834807   42.72
19        -111.2682   2.000
20        -166.6361   4.000   1.846660   23.78
21         -42.0037   1.500   1.667551   41.96
22          44.0612   7.964
23          55.3579   7.500   1.834807   42.72
24         -50.6631   2.000   1.846660   23.78
25       -1557.1808   ＢＦ
像面           ∞
［各種データ］
ｆ        132.9
ＦＮＯ      1.8
２ω       18.3
Ｙ         21.6
ＴＬ      162.5
ＢＦ       42.2
［レンズ群データ］
群    始面         ｆ
1       1        72.618
2      11       -39.896
3      16        72.553
p1     17        69.290
VR     20       -62.121
p2     23        65.095
［条件式対応値］
（１） ｆ１／ｆ＝ 0.55
（２） （−ｆ２）／ｆ＝ 0.30
（３） ｆ３／ｆ＝ 0.55
（４） （−ｆＶＲ）／ｆ３＝ 0.86
（５） （−ｆＶＲ）／ｆｐ２＝ 0.95
【００３３】
図２（ａ）、及び図２（ｂ）はそれぞれ、第１実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時の諸収差図、及び無限遠物体合焦時に０．３°の回転ぶれに対して防振を行った場合のメリディオナル横収差図である。
図２（ａ）及び図２（ｂ）において、ＦＮＯはＦナンバー、Ａは半画角をそれぞれ示す。なお、球面収差図では最大口径に対応するＦナンバーの値を示し、非点収差図及び歪曲収差図では半画角の最大値をそれぞれ示し、コマ収差図では各半画角の値を示す。ｄはｄ線（５８７．６ｎｍ）、ｇはｇ線（４３５．８ｎｍ）をそれぞれ示す。非点収差図において、実線はサジタル像面、破線はメリディオナル像面をそれぞれ示す。なお、以下に示す各実施例の収差図においても、本実施例と同様の符号を用いる。
各諸収差図より、本実施例に係る光学系は、諸収差を良好に補正し優れた結像性能を有しており、さらに防振時にも優れた結像性能を有していることがわかる。
【００３４】
ここで、本実施例に係る光学系においてゴーストやフレアが発生する原因について説明する。
図３は、本実施例に係る光学系においてゴーストやフレアとなる反射光が生じる様子の一例を示す図である。
図３において、物体側からの光線ＢＭが図示のように光学系に入射すると、光線ＢＭの一部は第３レンズ群Ｇ３における正レンズＬ３２の像側レンズ面（面番号１９、ゴーストやフレアとなる反射光が生じる第１番目の面）で反射され、さらに第１レンズ群Ｇ１における正レンズＬ１３の物体側レンズ面（面番号５、ゴーストやフレアとなる反射光が生じる第２番目の面）で再度反射され、最終的に像面Ｉに到達してゴーストやフレアを発生させてしまう。なお、前記第１番目の面は開口絞りＳから見て凹形状のレンズ面であり、前記第２番目の面は開口絞りＳから見て凹形状のレンズ面である。そこで本実施例に係る光学系は、斯かるレンズ面に広い波長範囲で広い入射角の光線に対応した後述の反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００３５】
（第２実施例）
図４は、本願の第２実施例に係る光学系のレンズ構成を示す図である。
本実施例に係る光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、両凸形状の正レンズＬ１３と両凹形状の負レンズＬ１４との接合レンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１５と両凸形状の正レンズＬ１６との接合レンズとからなる。
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２と両凹形状の負レンズＬ２３との接合レンズとからなる。
【００３６】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、開口絞りＳと、正の屈折力を有する第１正レンズ群Ｇｐ１と、負の屈折力を有する負レンズ群ＧＶＲと、正の屈折力を有する第２正レンズ群Ｇｐ２とからなる。
第１正レンズ群Ｇｐ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３１と両凸形状の正レンズＬ３２との接合レンズのみからなる。
負レンズ群ＧＶＲは、物体側から順に、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との接合レンズのみからなる。
第２正レンズ群Ｇｐ２は、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３５と両凹形状の負レンズＬ３６との接合レンズのみからなる。
【００３７】
本実施例に係る光学系では、第２レンズ群Ｇ２全体が像側へ移動し、これによって無限遠物体から近距離物体への合焦が行われる。
また本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３内の負レンズ群ＧＶＲが防振レンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動し、これによって像ぶれの補正を行うことができる。
また本実施例に係る光学系は、第１レンズ群Ｇ１における正レンズＬ１３の物体側レンズ面（面番号５）と、第２レンズ群Ｇ２における正メニスカスレンズＬ２２の物体側レンズ面（面番号１３）と、第３レンズ群Ｇ３における正メニスカスレンズＬ３３の物体側レンズ面（面番号２０）に、後述する反射防止膜が形成されている。
【００３８】
以下の表２に、本実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。
ここで、本実施例に係る光学系は、防振係数が０．８０、焦点距離が１３２．２（ｍｍ）であるため、０．３°の回転ぶれを補正するための防振レンズ群の移動量は０．８７（ｍｍ）となる。
【００３９】
（表２）第２実施例
[面データ]
面番号          ｒ       ｄ       ｎｄ     νｄ
物面           ∞       ∞
1         187.7777   7.000   1.618000   63.37
2        -496.3475   0.200
3         103.0350   7.000   1.618000   63.37
4         361.8571   0.200
5          73.1998  12.000   1.497820   82.51
6        -276.4051   3.000   1.834807   42.72
7         139.3412   8.016
8          82.0080   2.500   1.603420   38.01
9          36.2666  12.000   1.497820   82.51
10        -432.9076   3.000
11        -322.8976   2.500   1.579570   53.71
12          46.9288   5.140
13       -1251.6819   4.000   1.846660   23.78
14         -88.6342   2.000   1.516800   64.11
15          46.3513  15.826
16(絞りＳ)    ∞      2.000
17         100.2261   2.000   1.672700   32.11
18          35.6468   7.500   1.729157   54.66
19        -100.6435   2.000
20        -149.0360   4.000   1.846660   23.78
21         -46.1845   1.500   1.623740   47.05
22          41.7440   8.298
23          51.6961   7.000   1.729157   54.66
24         -53.1754   2.000   1.728250   28.46
25        3202.3299   ＢＦ
像面           ∞
［各種データ］
ｆ        132.3
ＦＮＯ      1.8
２ω       18.4
Ｙ         21.6
ＴＬ      162.5
ＢＦ       41.8
［レンズ群データ］
群    始面         ｆ
1       1        74.678
2      11       -42.925
3      16        75.297
p1     17        65.749
VR     20       -62.768
p2     23        71.890
［条件式対応値］
（１） ｆ１／ｆ＝ 0.56
（２） （−ｆ２）／ｆ＝ 0.32
（３） ｆ３／ｆ＝ 0.57
（４） （−ｆＶＲ）／ｆ３＝ 0.83
（５） （−ｆＶＲ）／ｆｐ２＝ 0.87
【００４０】
図５（ａ）、及び図５（ｂ）はそれぞれ、第２実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時の諸収差図、及び無限遠物体合焦時に０．３°の回転ぶれに対して防振を行った場合のメリディオナル横収差図である。
各諸収差図より、本実施例に係る光学系は、諸収差を良好に補正し優れた結像性能を有しており、さらに防振時にも優れた結像性能を有していることがわかる。
【００４１】
（第３実施例）
図６は、本願の第３実施例に係る光学系のレンズ構成を示す図である。
本実施例に係る光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ１１と、両凸形状の正レンズＬ１２と両凹形状の負レンズＬ１３との接合レンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１４と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１５との接合レンズとからなる。
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と、両凸形状の正レンズＬ２２と両凹形状の負レンズＬ２３との接合レンズとからなる。
【００４２】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、開口絞りＳと、正の屈折力を有する第１正レンズ群Ｇｐ１と、負の屈折力を有する負レンズ群ＧＶＲと、正の屈折力を有する第２正レンズ群Ｇｐ２とからなる。
第１正レンズ群Ｇｐ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３１と両凸形状の正レンズＬ３２との接合レンズのみからなる。
負レンズ群ＧＶＲは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との接合レンズと、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３５とからなる。
第２正レンズ群Ｇｐ２は、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３６と、両凸形状の正レンズＬ３７と像側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３８との接合レンズとからなる。
【００４３】
本実施例に係る光学系では、第２レンズ群Ｇ２全体が像側へ移動し、これによって無限遠物体から近距離物体への合焦が行われる。
また本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３内の負レンズ群ＧＶＲ全体が防振レンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動し、これによって像ぶれの補正を行うことができる。
また本実施例に係る光学系は、第２レンズ群Ｇ２における両凸形状の正レンズＬ２２の物体側レンズ面（面番号１１）と、第３レンズ群Ｇ３における負メニスカスレンズＬ３１の物体側レンズ面（面番号１５）と、第３レンズ群Ｇ３における両凸形状の正レンズＬ３２の像側レンズ面（面番号１７）に、後述する反射防止膜が形成されている。
【００４４】
以下の表３に、本実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。
ここで、本実施例に係る光学系は、防振係数が０．９２、焦点距離が１３２．３（ｍｍ）であるため、０．３°の回転ぶれを補正するための防振レンズ群の移動量は０．７５（ｍｍ）となる。
【００４５】
（表３）第３実施例
[面データ]
面番号          ｒ       ｄ       ｎｄ     νｄ
物面           ∞       ∞
1          99.8339  11.000   1.603001   65.46
2        -592.6523   0.200
3          84.1919  13.000   1.497820   82.51
4        -203.6824   3.000   1.672700   32.11
5         331.1476   0.200
6          59.7075   3.000   1.834807   42.72
7          32.0183  14.000   1.618000   63.37
8         129.9551   5.190
9        -417.2325   2.500   1.804000   46.57
10          74.2498   1.659
11         141.2688   5.000   1.846660   23.78
12        -201.1402   2.000   1.603001   65.46
13          42.5251  17.021
14(絞りＳ)    ∞      2.000
15         156.9902   1.800   1.903660   31.27
16          30.0000   8.000   1.816000   46.62
17        -234.0935   2.000
18         403.6661   5.000   2.000690   25.45
19         -56.0817   1.500   1.548141   45.79
20          34.7886   6.892
21         -37.1080   1.500   1.548141   45.79
22        -545.2217   7.499
23          97.2472   6.000   1.603001   65.46
24         -48.6236   0.100
25          74.0949   8.000   1.497820   82.51
26         -40.5063   2.000   1.612930   36.96
27        -788.8992   ＢＦ
像面           ∞
［各種データ］
ｆ        132.3
ＦＮＯ      1.8
２ω       18.4
Ｙ         21.6
ＴＬ      172.5
ＢＦ       42.4
［レンズ群データ］
群    始面         ｆ
1       1        74.741
2       9       -49.371
3      14        76.734
p1     15       159.420
VR     18       -52.643
p2     23        43.282
［条件式対応値］
（１） ｆ１／ｆ＝ 0.57
（２） （−ｆ２）／ｆ＝ 0.37
（３） ｆ３／ｆ＝ 0.58
（４） （−ｆＶＲ）／ｆ３＝ 0.69
（５） （−ｆＶＲ）／ｆｐ２＝ 1.22
【００４６】
図７（ａ）、及び図７（ｂ）はそれぞれ、第３実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時の諸収差図、及び無限遠物体合焦時に０．３°の回転ぶれに対して防振を行った場合のメリディオナル横収差図である。
各諸収差図より、本実施例に係る光学系は、諸収差を良好に補正し優れた結像性能を有しており、さらに防振時にも優れた結像性能を有していることがわかる。
【００４７】
ここで、本願の光学系に用いられる反射防止膜（多層広帯域反射防止膜）について説明する。
図１０は、本願の光学系に用いられる反射防止膜の構成の一例を示す図である。
図１０に示すように反射防止膜１０１は、第１層１０１ａから第７層１０１ｇまでの７層構造をしており、レンズ等の光学部材１０２の光学面に設けられている。
第１層１０１ａは、光学部材１０２の光学面上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる。
第２層１０１ｂは、第１層１０１ａ上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる。
【００４８】
第３層１０１ｃは、第２層１０１ｂ上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる。
第４層１０１ｄは、第３層１０１ｃ上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる。
第５層１０１ｅは、第４層１０１ｄ上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる。
第６層１０１ｆは、第５層１０１ｅ上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる。
【００４９】
第７層１０１ｇは、第６層１０１ｆ上にウェットプロセスで形成されたフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる。ここで、第７層１０１ｇの形成には、具体的にはウェットプロセスの一種であるゾル−ゲル法が用いられる。ゾル−ゲル法とは、原料を混合することにより得られたゾルを、加水分解・重縮合反応等によって流動性のないゲルとし、このゲルを加熱・分解して生成物を得る方法であり、光学薄膜の作製においては、光学部材の光学面上に光学薄膜材料ゾルを塗布し、乾燥固化によりゲル膜とすることで膜を生成することができる。なお、このようなゾル−ゲル法に限らず、ゲル状態を経ずに固体膜を生成する方法をウェットプロセスとして用いてもよい。
【００５０】
以上のように、反射防止膜１０１の第１層１０１ａから第６層１０１ｆまではドライプロセスである電子ビーム蒸着によって形成されており、最上層である第７層１０１ｇはフッ酸／酢酸マグネシウム法で調製したゾル液を用いたウェットプロセスによって形成されている。なお、斯かる第１層１０１ａから第７層１０１ｇは、詳細には以下のような手順で形成される。
まず、真空蒸着装置を用いて、レンズ成膜面（上述の光学部材１０２の光学面）に第１層１０１ａとなる酸化アルミニウム層、第２層１０１ｂとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第３層１０１ｃとなる酸化アルミニウム層、第４層１０１ｄとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第５層１０１ｅとなる酸化アルミニウム層、及び第６層１０１ｆとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層を順に形成する。
【００５１】
次に、フッ酸／酢酸マグネシウム法により調製したゾル液にシリコンアルコキシドを加えたものをスピンコート法によって塗布することにより、第７層１０１ｇとなるフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる層を形成する。なお、フッ酸／酢酸マグネシウム法によって調製される際の反応式は次式（ａ）である。
（ａ）  ２ＨＦ＋Ｍｇ（ＣＨ3ＣＯＯ）2 → ＭｇＦ2＋２ＣＨ3ＣＯＯＨ
この成膜に用いたゾル液は、原料混合後、オートクレーブで１４０℃、２４時間高温加圧熟成処理を施した後、成膜に用いられる。また、光学部材１０２は、第７層１０１ｇの成膜終了後、大気中で１６０℃、１時間加熱処理して完成される。このようなゾル−ゲル法を用いることにより、大きさが数ｎｍから数十ｎｍの粒子が空隙を残して堆積することにより第７層１０１ｇが形成される。
【００５２】
このようにして形成された反射防止膜１０１を有する光学部材の光学的性能について図１１に示す分光特性を用いて説明する。
本願の反射防止膜を有する光学部材（レンズ）は、以下の表４に示す条件で形成されている。ここで、表４は、基準波長をλとし、基板（光学部材）の屈折率が１．６２、１．７４、及び１．８５について反射防止膜１０１の各層１０１ａ（第１層）〜１０１ｇ（第７層）の光学膜厚をそれぞれ求めたものである。なお、表４及び後記表５、６では、酸化アルミニウムをAl2O3、酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物をZrO2＋TiO2、フッ化マグネシウムとシリカの混合物をMgF2＋SiO2とそれぞれ表記している。
【００５３】
（表４）
物質     屈折率  光学膜厚  光学膜厚  光学膜厚
媒質        空気      1
第７層   MgF2＋SiO2   1.26    0.268λ   0.271λ   0.269λ
第６層   ZrO2＋TiO2   2.12    0.057λ   0.054λ   0.059λ
第５層   Al2O3        1.65    0.171λ   0.178λ   0.162λ
第４層   ZrO2＋TiO2   2.12    0.127λ   0.13λ    0.158λ
第３層   Al2O3        1.65    0.122λ   0.107λ   0.08λ
第２層   ZrO2＋TiO2   2.12    0.059λ   0.075λ   0.105λ
第１層   Al2O3        1.65    0.257λ   0.03λ    0.03λ
基板の屈折率                  1.62      1.74      1.85
【００５４】
図１１は、表４において基準波長λを５５０ｎｍとして反射防止膜１０１の各層の光学膜厚を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示している。
図１１から、基準波長λを５５０ｎｍで設計した反射防止膜１０１を有する光学部材は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率を０．２％以下に抑えられることがわかる。また、表４において基準波長λをｄ線（波長５８７．６ｎｍ）として各光学膜厚を設計した反射防止膜１０１を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図１１に示す基準波長λが５５０ｎｍの場合と略同等の分光特性を有する。
【００５５】
次に、反射防止膜の変形例について説明する。
変形例に係る反射防止膜は、第１層から第５層までの５層構造をしており、表４と同様に、以下の表５で示される条件で基準波長λに対する各層の光学膜厚が設計される。本変形例では、第５層の形成に前述のゾル−ゲル法を用いている。
【００５６】
（表５）
物質     屈折率  光学膜厚  光学膜厚
媒質        空気      1
第５層   MgF2＋SiO2   1.26    0.275λ   0.269λ
第４層   ZrO2＋TiO2   2.12    0.045λ   0.043λ
第３層   Al2O3        1.65    0.212λ   0.217λ
第２層   ZrO2＋TiO2   2.12    0.077λ   0.066λ
第１層   Al2O3        1.65    0.288λ   0.290λ
基板の屈折率          1.46    1.52
【００５７】
図１２は、表５において、基板の屈折率が１．５２及び基準波長λを５５０ｎｍとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示している。
図１２から、本変形例に係る反射防止膜は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率が０．２％以下に抑えられることがわかる。なお、表５において基準波長λをｄ線（波長５８７．６ｎｍ）として各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図１２に示す分光特性と略同等の特性を有する。
【００５８】
図１３は、図１２に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、及び６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。なお、図１２、図１３には、表５に示す基板の屈折率が１．４６の反射防止膜を有する光学部材の分光特性は図示されていないが、基板の屈折率が１．５２と略同等の分光特性を有していることは言うまでもない。
【００５９】
また比較のため、図１４に従来の真空蒸着法等のドライプロセスのみで成膜した反射防止膜の一例を示す。図１４は、表５と同じ基板の屈折率１．５２に以下の表６で示される条件で構成される反射防止膜を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示す。図１５は、図１４に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、及び６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。
【００６０】
（表６）
物質     屈折率  光学膜厚
媒質        空気      1
第７層   MgF2         1.39    0.243λ
第６層   ZrO2＋TiO2   2.12    0.119λ
第５層   Al2O3        1.65    0.057λ
第４層   ZrO2＋TiO2   2.12    0.220λ
第３層   Al2O3        1.65    0.064λ
第２層   ZrO2＋TiO2   2.12    0.057λ
第１層   Al2O3        1.65    0.193λ
基板の屈折率                  1.52
【００６１】
図１１〜図１３で示される本願の反射防止膜を有する光学部材の分光特性を、図１４及び図１５で示される従来例の分光特性と比較すると、本願の反射防止膜はいずれの入射角においてもより低い反射率を有し、しかもより広い帯域を有することがよくわかる。
【００６２】
次に、以上に述べた本願の反射防止膜及びその変形例（表４、表５の反射防止膜）の上記各実施例に係る光学系への適用例について説明する。
第１実施例に係る光学系において、第１レンズ群Ｇ１の正レンズＬ１３の屈折率は、表１に示したように１．４９７８２０であり、第３レンズ群Ｇ３の正レンズＬ３２の屈折率は、表１に示したように１．８３４８０７である。
そこで、正レンズＬ１３の物体側レンズ面に、表５に示した屈折率が１．５２の基板に対応する反射防止膜、正レンズＬ３２の像側レンズ面に、表４に示した屈折率が１．８５の基板に対応する反射防止膜を用いる。
これにより、第１実施例に係る光学系は、反射防止膜を用いた各レンズ面からの反射光を少なくすることができ、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００６３】
第２実施例に係る光学系において、第１レンズ群Ｇ１の正レンズＬ１３の屈折率は、表２に示したように１．４９７８２０である。また、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の屈折率、及び第３レンズ群Ｇ３の正メニスカスレンズＬ３３の屈折率は、表２に示したようにいずれも１．８４６６６０である。
そこで、正レンズＬ１３の物体側レンズ面に、表５に示した屈折率が１．４６の基板に対応する反射防止膜を用いる。また、正メニスカスレンズＬ２２の物体側レンズ面、及び正メニスカスレンズＬ３３の物体側レンズ面の両方に、表４に示した屈折率が１．８５の基板に対応する反射防止膜を用いる。
これにより、第２実施例に係る光学系は、反射防止膜を用いた各レンズ面からの反射光を少なくすることができ、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００６４】
第３実施例に係る光学系において、第２レンズ群Ｇ２の正レンズＬ２２の屈折率は、表３に示したように１．８４６６６０である。また、第３レンズ群Ｇ３の負メニスカスレンズＬ３１の屈折率は、表３に示したように１．９０３６６０である。また、第３レンズ群Ｇ３の正レンズＬ３２の屈折率は、表３に示したように１．８１６０００である。
そこで、正レンズＬ２２の物体側レンズ面、負メニスカスレンズＬ３１の物体側レンズ面、及び正レンズＬ３２の像側レンズ面の全てに、表４に示した屈折率が１．８５の基板に対応する反射防止膜を用いる。
これにより、第３実施例に係る光学系は、反射防止膜を用いた各レンズ面からの反射光を少なくすることができ、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００６５】
以上より、上記各実施例によれば、ゴーストやフレアをより低減させ、像ぶれ補正時の収差変動及び合焦時の収差変動を良好に抑えた光学系を実現することができる。
なお、上記各実施例は本願発明の一具体例を示しているものであり、本願発明はこれらに限定されるものではない。以下の内容は、本願の光学系の光学性能を損なわない範囲で適宜採用することが可能である。
本願の光学系の数値実施例として３群構成のものを示したが、本願はこれに限られず、その他の群構成（例えば、４群、５群等）の光学系を構成することもできる。具体的には、本願の光学系の最も物体側や最も像側にレンズ又はレンズ群を追加した構成でも構わない。なお、レンズ群とは、空気間隔で分離された少なくとも１枚のレンズを有する部分を示す。
【００６６】
また、本願の光学系は、無限遠物体から近距離物体への合焦を行うために、レンズ群の一部、１つのレンズ群全体、或いは複数のレンズ群を合焦レンズ群として光軸方向へ移動させる構成としてもよい。特に、第２レンズ群の少なくとも一部を合焦レンズ群とすることが好ましい。また、斯かる合焦レンズ群は、オートフォーカスに適用することも可能であり、オートフォーカス用のモータ、例えば超音波モータ等による駆動にも適している。
また、本願の光学系において、いずれかのレンズ群全体又はその一部を、防振レンズ群として光軸に垂直な成分を含むように移動させ、又は光軸を含む面内方向へ回転移動（揺動）させることで、手ぶれによって生じる像ぶれを補正する構成とすることもできる。特に、本願の光学系では第３レンズ群の少なくとも一部を防振レンズ群とすることが好ましい。
【００６７】
また、本願の光学系を構成するレンズのレンズ面は、球面又は平面としてもよく、或いは非球面としてもよい。レンズ面が球面又は平面の場合、レンズ加工及び組立調整が容易になり、レンズ加工及び組立調整の誤差による光学性能の劣化を防ぐことができるため好ましい。また、像面がずれた場合でも描写性能の劣化が少ないため好ましい。レンズ面が非球面の場合、研削加工による非球面、ガラスを型で非球面形状に成型したガラスモールド非球面、又はガラス表面に設けた樹脂を非球面形状に形成した複合型非球面のいずれでもよい。また、レンズ面は回折面としてもよく、レンズを屈折率分布型レンズ（ＧＲＩＮレンズ）或いはプラスチックレンズとしてもよい。
【００６８】
また、本願の光学系において開口絞りは第３レンズ群の中又は近傍に配置されることが好ましいが、開口絞りとして部材を設けずにレンズ枠でその役割を代用する構成としてもよい。
また、本願の光学系を構成するレンズのレンズ面に、広い波長域で高い透過率を有する反射防止膜を施してもよい。これにより、フレアやゴーストを軽減し、高コントラストの高い光学性能を達成することができる。
【００６９】
次に、本願の光学系を備えたカメラを図８に基づいて説明する。
図８は、本願の光学系を備えたカメラの構成を示す図である。
本カメラ１は、図８に示すように撮影レンズ２として上記第１実施例に係る光学系を備えたデジタル一眼レフカメラである。
本カメラ１において、不図示の物体（被写体）からの光は、撮影レンズ２で集光されて、クイックリターンミラー３を介して焦点板４に結像される。そして焦点板４に結像されたこの光は、ペンタプリズム５中で複数回反射されて接眼レンズ６へ導かれる。これにより撮影者は、被写体像を接眼レンズ６を介して正立像として観察することができる。
【００７０】
また、撮影者によって不図示のレリーズボタンが押されると、クイックリターンミラー３が光路外へ退避し、不図示の被写体からの光は撮像素子７へ到達する。これにより被写体からの光は、当該撮像素子７によって撮像されて、被写体画像として不図示のメモリに記録される。このようにして、撮影者は本カメラ１による被写体の撮影を行うことができる。
以上の構成により、上記第１実施例に係る光学系を撮影レンズ２として搭載した本カメラ１は、ゴーストやフレアをより低減させ、像ぶれ補正時の収差変動を良好に抑え、良好な光学性能を実現することができる。なお、上記第２、第３実施例に係る光学系を撮影レンズ２として搭載したカメラを構成しても上記カメラ１と同様の効果を奏することができる。また、クイックリターンミラー３を有しないミラーレスカメラに上記各実施例に係る光学系を搭載した場合でも、上記カメラ１と同様の効果を奏することができる。
【００７１】
最後に、本願の光学系の製造方法の概略を図９に基づいて説明する。
図９は、本願の光学系の製造方法を示す図である。
本願の光学系の製造方法は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有する光学系の製造方法であって、以下の各ステップＳ１〜Ｓ４を含むものである。
【００７２】
ステップＳ１：第１レンズ群から第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜を設け、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成する。
ステップＳ２：第１レンズ群、第２レンズ群、及び第３レンズ群が以下の条件式（１）、（２）、（３）を満足するように各レンズ群を用意し、鏡筒内に物体側から順に配置する。
（１）  ０．３０＜ｆ１／ｆ＜０．６０
（２）  ０．１０＜（−ｆ２）／ｆ＜０．６０
（３）  ０．３０＜ｆ３／ｆ＜０．６０
ただし、
ｆ  ：光学系の焦点距離
ｆ１：第１レンズ群の焦点距離
ｆ２：第２レンズ群の焦点距離
ｆ３：第３レンズ群の焦点距離
【００７３】
ステップＳ３：公知の移動機構を設ける等することで、無限遠物体から近距離物体への合焦時に、第２レンズ群が移動するようにする。
ステップＳ４：公知の移動機構を設ける等することで、第３レンズ群の少なくとも一部が光軸と直交する方向の成分を含むように移動するようにする。
斯かる本願の光学系の製造方法によれば、ゴーストやフレアをより低減させ、像ぶれ補正時の収差変動を良好に抑えた光学系を製造することができる。
【符号の説明】
【００７４】
Ｇ１          第１レンズ群
Ｇ２          第２レンズ群
Ｇ３          第３レンズ群
Ｇｐ１        第１正レンズ群
Ｇｐ２        第２正レンズ群
ＧＶＲ        負レンズ群
Ｉ            像面
Ｓ            開口絞り
１０１        反射防止膜
１０１ａ      第１層
１０１ｂ      第２層
１０１ｃ      第３層
１０１ｄ      第４層
１０１ｅ      第５層
１０１ｆ      第６層
１０１ｇ      第７層
１０２        光学部材
【図１】
0005429244.tif 000002
【図２】
0005429244.tif 000003
【図３】
0005429244.tif 000004
【図４】
0005429244.tif 000005
【図５】
0005429244.tif 000006
【図６】
0005429244.tif 000007
【図７】
0005429244.tif 000008
【図８】
0005429244.tif 000009
【図９】
0005429244.tif 000010
【図１０】
0005429244.tif 000011
【図１１】
0005429244.tif 000012
【図１２】
0005429244.tif 000013
【図１３】
0005429244.tif 000014
【図１４】
0005429244.tif 000015
【図１５】
0005429244.tif 000016