(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持する基板保持部と、基板保持部により保持された基板の上面に接触されるマスクと、マスクの上方に設けられたスキージベースと、スキージベースに設けられたシリンダによって下降されてマスクの上面に当接されるスキージとを備え、スキージをマスクの上面に当接させた状態でスキージベースを水平面内の一の方向であるペースト掻き寄せ方向に移動させることにより、マスク上に供給されたペーストをスキージで掻き寄せて基板にペーストを転写させるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷方法であって、
スキージベースに対してスキージを下降させながら、スキージが所定量下降したことの検出を行う工程と、
スキージが所定量下降したことが検出されたとき、シリンダによるスキージベースに対するスキージの下降を停止させることなく、スキージベースを前記ペースト掻き寄せ方向とは反対の水平方向に所定時間移動させる工程と、
スキージベースを前記ペースト掻き寄せ方向とは反対の水平方向に所定時間移動させ、スキージがマスクの上面に当接したところでスキージの下降とスキージベースの水平方向への移動を停止させる工程と、
スキージをマスクの上面に当接させた状態でスキージベースを前記ペースト掻き寄せ方向に移動させ、マスクの上面に供給されたペーストをスキージで掻き寄せて基板にペーストを転写させる工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスクを介して基板にペーストを転写させるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷機は、基板を保持する基板保持部、基板保持部により保持された基板の上面に接触されるマスク、マスクの上方に設けられたスキージベース、スキージベースに対して下降されることによりマスクの上面に当接されるスキージを備えて成り、スキージをマスクの上面に当接させた状態でスキージベースを水平面内の一の方向（ペースト掻き寄せ方向）に移動させることにより、マスク上に供給されたペーストをスキージで掻き寄せて基板にペーストを転写させるようになっている。
【０００３】
このようなスクリーン印刷機では、基板へのペーストの転写後、マスクから上昇（離間）させたスキージを次にマスクに当接させるときにマスクに対して垂直に降ろすと、マスクから離間させたスキージに付着して垂れ下がっていたペーストがスキージの背面（スキージのペースト掻き寄せ面とは反対側の面）に回り込んでしまい、その後スキージがマスク上を移動（摺動）したときに、マスクに形成されたマスク孔の角（孔縁）にペーストが引っ掛かって上方に突出した突起状部を形成してしまう、いわゆるペーストの角立ちが発生する場合がある。このようなペーストの角立ちは、その後マスクを基板から離れさせる版離れをした後も基板の電極上に残り、印刷不良の原因となる。
【０００４】
このようなペーストの角立ちを防止する技術として、従来、スキージを下降させてマスクの上面にスキージを当接させる際、スキージの下降開始と同時にスキージベースをペースト掻き寄せ方向とは反対の水平方向に移動させることにより、スキージがマスクの上面に対し斜めに当接するようにしたものが知られている（例えば、特許文献１）。これにより、スキージに付着して垂れ下がっていたペーストはスキージの前面（ペースト掻き寄せ面）側に回り込むことになり、ペーストの角立ちの発生を防ぐことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３９８９０６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来、スキージを昇降させるアクチュエータがシリンダである場合、シリンダは動作開始時における動作応答性（制御装置から出力される動作指令信号に対する応答性）が悪く、下降開始直後は動作指令信号に対して下降動作が遅れることから、動作応答性のよい電動モータによって駆動されるスキージベースの水平方向への移動が終了するタイミングよりも遅れて下降動作が終了する。このため、スキージは下降開始から下降終了までの間の全下降工程において、スキージの下降動作とスキージベースの水平方向への移動動作とが同期した斜め軌道では移動せず、当初は斜め下方に移動するものの、スキージベースの水平方向への移動が終了してしまった後はマスクに対して垂直に下降する軌道で移動していた。このためスキージに付着して垂れ下がっていたペーストはうまくスキージの背面に回り込まず、ペーストの角立ちの発生を十分に防止しきれないという問題点があった。
【０００７】
そこで本発明は、スキージがマスクに対して斜めに当接するようにしてペーストの角立ちの発生を確実に防止することができるようにしたスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載のスクリーン印刷方法は、基板を保持する基板保持部と、基板保持部により保持された基板の上面に接触されるマスクと、マスクの上方に設けられたスキージベースと、スキージベースに設けられたシリンダによって下降されてマスクの上面に当接されるスキージとを備え、スキージをマスクの上面に当接させた状態でスキージベースを水平面内の一の方向であるペースト掻き寄せ方向に移動させることにより、マスク上に供給されたペーストをスキージで掻き寄せて基板にペーストを転写させるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷方法であって、スキージベースに対してスキージを下降させながら、スキージが所定量下降したことの検出を行う工程と、スキージが所定量下降したことが検出されたとき、シリンダによるスキージベースに対するスキージの下降を停止させることなく、スキージベースを前記ペースト掻き寄せ方向とは反対の水平方向に所定時間移動させる工程と、スキージベースを前記ペースト掻き寄せ方向とは反対の水平方向に所定時間移動させ、スキージがマスクの上面に当接したところでスキージの下降とスキージベースの水平方向への移動を停止させる工程と、スキージをマスクの上面に当接させた状態でスキージベースを前記ペースト掻き寄せ方向に移動させ、マスクの上面に供給されたペーストをスキージで掻き寄せて基板にペーストを転写させる工程とを含む。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、シリンダの動作応答性のよくないスキージの下降開始直後にはスキージベースを水平方向へ移動させず、スキージベースに対してスキージが所定量下降してシリンダの動作応答性が安定してから、スキージベースに対するスキージの下降を継続しつつ、スキージベースの水平方向への移動を開始するようになっている。このため、スキージはスキージの下降動作とスキージベースの水平方向への移動動作とが同期した斜め軌道で移動してマスクに当接することになり、スキージに付着して垂れ下がっていたペーストをスキージの背面に回り込ませることができるので、ペーストの角立ちの発生を確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダ及びマスクの平面図
【図５】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図
【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスク及びスキージの拡大正面図
【図７】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷工程の流れを示すメインルーチンのフローチャート
【図８】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷工程の流れを示すサブルーチンのフローチャート
【図９】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機がスクリーン印刷作業を実行するときのスクリーン印刷機の動作説明図
【図１０】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機がスクリーン印刷作業を実行するときのスクリーン印刷機の動作説明図
【図１１】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機がスクリーン印刷作業を実行するときのスクリーン印刷機の動作説明図
【図１２】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機がスクリーン印刷作業を実行するときのスクリーン印刷機の動作説明図
【図１３】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機がスキージをマスクに当接させる工程におけるスキージとペーストの位置関係を示す図
【図１４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機がスキージをマスクに当接させる工程におけるスキージの下降動作とスキージベースの水平方向移動動作に対する動作指令信号の出力状態を示すグラフ
【図１５】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機がスキージをマスクに当接させる工程におけるスキージの移動軌跡を示す図
【図１６】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機がスクリーン印刷作業を実行するときのスクリーン印刷機の動作説明図
【図１７】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機がスクリーン印刷作業を実行するときのスクリーン印刷機の動作説明図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１、図２及び図３に示すスクリーン印刷機１は、外部から投入された基板２を搬入して位置決めし、基板２の表面の電極３上に半田ペーストや導電性ペースト等のペーストＰｓｔ（図３参照）を転写するスクリーン印刷を行って外部に搬出する動作を連続実行するものであり、図示しない部品実装機や検査機等とともに部品実装ラインを形成する。以下、説明の便宜上、スクリーン印刷機１における基板２の搬送方向をＸ軸方向（図１の紙面左右方向）、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向（図１の紙面上下方向）とし、上下方向をＺ軸方向とする。また、Ｙ軸方向をスクリーン印刷機１の前後方向、Ｘ軸方向をスクリーン印刷機１の横（左右）方向とする。更に、前後方向のうち、スクリーン印刷機１のオペレータＯＰ（図１）がスクリーン印刷機１に対して作業を行う側（図１の紙面下方）をスクリーン印刷機１の前方、その反対側（図１の紙面上方）をスクリーン印刷機１の後方とする。
【００１２】
図１、図２及び図３において、スクリーン印刷機１は、基台１１上に基板保持移動ユニット１２を有し、基板保持移動ユニット１２の上方には金属製の薄板材料から成るプレート状のマスク１３、前後一対のスキージ１４及びカメラユニット１５を備えている。
【００１３】
図２及び図３において、基板保持移動ユニット１２は、水平移動部２１、昇降部２２、コンベア部２３、基板支持部２４及び基板クランプ部２５から成る。
【００１４】
図２及び図３において、水平移動部２１は、Ｙテーブル駆動モータＭｙの作動によって基台１１に対してＹ軸方向に移動するＹテーブル２１ａ、Ｘテーブル駆動モータＭｘの作動によってＹテーブル２１ａに対してＸ軸方向に移動するＸテーブル２１ｂ、Ｘテーブル２１ｂに対してＺ軸回りに回転するθテーブル２１ｃ、θテーブル２１ｃの上面に固定されたベーステーブル２１ｄ及びベーステーブル２１ｄの上面から上方に延びて設けられた複数の昇降テーブルガイド２１ｅから成る。
【００１５】
図２及び図３において、昇降部２２は、水平移動部２１の複数の昇降テーブルガイド２１ｅにガイドされてベーステーブル２１ｄに対して昇降する昇降テーブル２２ａ及び昇降テーブル２２ａの上面から上方に延びて設けられた複数の下受けユニット昇降ガイド２２ｂから成る。
【００１６】
図２及び図３において、コンベア部２３は下受けユニット昇降ガイド２２ｂの上端に取り付けられて昇降テーブル２２ａとともにベーステーブル２１ｄに対して昇降する前後一対のベルトコンベア支持部材２３ａと、各ベルトコンベア支持部材２３ａに支持された前後一対のベルトコンベア２３ｂから成っており、これら前後のベルトコンベア２３ｂが同期して作動することにより、基板２のＸ軸方向への搬送がなされる。
【００１７】
図２及び図３において、基板支持部２４は、コンベア部２３の下方において、下受けユニット昇降ガイド２２ｂにガイドされて昇降する下受けユニット支持テーブル２４ａ及び下受けユニット支持テーブル２４ａの上面に設けられた下受けユニット２４ｂから成り、下受けユニット２４ｂの上面には複数の下受けピン２４ｃが上方に延びて設けられている。基板支持部２４は、下受けユニット２４ｂが下受けユニット支持テーブル２４ａとともに昇降テーブル２２ａに対して昇降し、複数の下受けピン２４ｃを前後のベルトコンベア２３ｂによって両端が支持された基板２の下面に当接させることによって基板２を下方から支持する。
【００１８】
図２及び図３において、基板クランプ部２５は、コンベア部２３が備える前後のベルトコンベア支持部材２３ａそれぞれの上部にＹ軸方向に移動自在に設けられた前後一対のクランプ部材２５ａ（図１も参照）から成り、前後のベルトコンベア２３ｂによって両端部が支持され、下受けユニット２４ｂによって下面が支持された基板２のＹ軸方向の両側部（両端面）を基板２の外方から挟んでクランプする。
【００１９】
図１及び図２において、基板保持移動ユニット１２を構成するコンベア部２３の上流側には前後一対のベルトコンベア２６ａから成る基板搬入コンベア２６が設けられており、コンベア部２３の下流側には前後一対のベルトコンベア２７ａから成る基板搬出コンベア２７が設けられている。基板搬入コンベア２６は、スクリーン印刷機１の外部から投入された基板２を搬入して基板保持移動ユニット１２のコンベア部２３に受け渡し、基板搬出コンベア２７は、基板保持移動ユニット１２のコンベア部２３から受け渡された基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する。このように、基板搬入コンベア２６、基板保持移動ユニット１２のコンベア部２３及び基板搬出コンベア２７は基板２の搬送を行う基板搬送路２８（図１）として機能する。
【００２０】
図１及び図２において、基台１１上には基板搬入コンベア２６及び基板搬出コンベア２７をそれぞれＹ軸方向に跨ぐ一対の門型フレーム３１が設けられており、これら一対の門型フレーム３１によってマスクホルダ３２が支持されている。マスクホルダ３２は、門型フレーム３１に両端が取り付けられて基板保持移動ユニット１２の上方をＸ軸方向に延びて配置された前後一対のガイド部材３３と、一対のガイド部材３３上をＹ軸方向に延びて設けられた左右一対のマスク支持レール３４とから成る。マスク１３はマスクホルダ３２が備える左右一対のマスク支持レール３４によって左右両端が支持されて基板保持移動ユニット１２の上方に水平姿勢に保持される（図４も参照）。
【００２１】
図１及び図４において、マスク１３は平面視において矩形の枠状部材から成るマスク枠１３ｗによって四辺が支持されており、マスク枠１３ｗによって囲まれた矩形の領域には、基板２上の複数の電極３に対応した多数のパターン孔１３ａが設けられている。すなわちマスク１３は、基板２の電極３の配置に応じて形成された多数のパターン孔１３ａを有したものとなっている。
【００２２】
図１において、基板２の対角位置には２つ一組の基板側位置決め用マークｍｋが設けられている。一方、図４において、マスク１３には、基板側位置決め用マークｍｋに対応して配置された２つ一組のマスク側位置決め用マークＭＫが設けられている。これら基板側位置決め用マークｍｋとマスク側位置決め用マークＭＫが上下に合致する状態で基板２をマスク１３に接触させると、基板２の電極３とマスク１３のパターン孔１３ａは上下に合致した状態となる。
【００２３】
図１及び図２において、一対の門型フレーム３１には、Ｘ軸方向に延びたＸ軸ステージ３５の両端部がＹ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸ステージ３５上にはカメラ支持ステージ３６がＸ軸方向に移動自在に設けられており、カメラ支持ステージ３６には前述のカメラユニット１５が取り付けられている。カメラユニット１５は、撮像視野を下方に向けた第１カメラ１５ａと撮像視野を上方に向けた第２カメラ１５ｂを備えている（図３）。
【００２４】
図１及び図２において、一対の門型フレーム３１にはＸ軸方向に延びたスキージベース３７の両端が支持されており、スキージベース３７は門型フレーム３１に沿ってＹ軸方向に往復移動自在となっている。
【００２５】
図２及び図３において、スキージベース３７の上面中央部のＹ軸方向に対向する位置には２つのスキージ昇降シリンダ３８が設けられている。これら２つのスキージ昇降シリンダ３８からはそのピストンロッドから成るスキージ昇降軸３８ａがスキージベース３７を上下方向に貫通して下方に延びている。
【００２６】
各スキージ昇降シリンダ３８が備えるスキージ昇降軸３８ａの下端にはＸ軸方向に延びたスキージホルダ３９が取り付けられており、各スキージホルダ３９には前述のスキージ１４が保持されている。各スキージ１４は、スキージホルダ３９に沿ってＸ軸方向に延びた「へら」状の部材から成る。
【００２７】
各スキージ昇降シリンダ３８によりスキージ昇降軸３８ａが下方に突没されると、スキージ昇降軸３８ａの下端にスキージホルダ３９を介して取り付けられたスキージ１４がスキージベース３７に対して昇降する。ここで、マスク１３とスキージベース３７の上下方向の間隔は変化しないので、スキージ１４はマスク１３に対して昇降することになる。
【００２８】
基板２の搬送を行う基板搬送路２８としての基板搬入コンベア２６、基板保持移動ユニット１２のコンベア部２３及び基板搬出コンベア２７の各動作は、制御装置４０（図５）が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送路作動機構４１（図５）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２９】
基板保持移動ユニット１２の水平移動部２１の作動（Ｙテーブル２１ａのＹ軸方向への移動、Ｙテーブル２１ａに対するＸテーブル２１ｂのＸ軸方向への移動及びＸテーブル２１ｂに対するθテーブル２１ｃの（すなわちベーステーブル２１ｄの）Ｚ軸回りの回転）は、制御装置４０が前述のＹテーブル駆動モータＭｙやＸテーブル駆動モータＭｘを含むアクチュエータ等から成る水平面内方向移動機構４２（図５）の作動制御を行うことによってなされる。
【００３０】
基板保持移動ユニット１２の昇降部２２の作動（ベーステーブル２１ｄに対する昇降テーブル２２ａの昇降）動作は、制御装置４０が図示しないアクチュエータ等から成る上下方向移動機構４３（図５）の作動制御を行うことによってなされる。
【００３１】
基板保持移動ユニット１２の下受けユニット２４ｂの昇降動作、すなわち昇降テーブル２２ａに対する下受けユニット支持テーブル２４ａの昇降動作は、制御装置４０が図示しないアクチュエータ等から成る下受けユニット昇降機構４４（図５）の作動制御を行うことによってなされる。
【００３２】
基板保持移動ユニット１２のクランプ部２５の作動（前後のクランプ部材２５ａの開閉作動）による基板２のクランプ及びその解除動作は、制御装置４０が図示しないアクチュエータ等から成るクランプ部作動機構４５（図５）の作動制御を行うことによってなされる。
【００３３】
カメラユニット１５の水平面内での移動動作（一対の門型フレーム３１に対するＸ軸ステージ３５のＹ軸方向への移動動作及びＸ軸ステージ３５に対するカメラ支持ステージ３６のＸ軸方向への移動動作）は、制御装置４０が図示しないアクチュエータから成るカメラユニット移動機構４６（図５）の作動制御を行うことによってなされる。
【００３４】
前後のスキージ１４をＹ軸方向に往復移動させるスキージベース３７の作動制御は、制御装置４０が図示しないアクチュエータ等から成るスキージベース移動機構４７（図５）の制御を行うことによってなされる。また、各スキージ１４のスキージベース３７に対する昇降動作は、制御装置４０がスキージベース３７の上部に取り付けられた２つのスキージ昇降シリンダ３８の作動制御を行うことによってなされる。
【００３５】
カメラユニット１５を構成する第１カメラ１５ａは、制御装置４０に制御されて、基板保持移動ユニット１２の基板支持部２４及び基板クランプ部２５から成る基板保持部によって保持された基板２の基板側位置決め用マークｍｋの撮像を行い、第２カメラ１５ｂは、制御装置４０に制御されて、マスク１３に設けられたマスク側位置決め用マークＭＫの撮像を行う。第１カメラ１５ａの撮像によって得られた画像データと第２カメラ１５ｂの撮像によって得られた画像データはともに制御装置４０に入力される（図５）。
【００３６】
図６（ａ），（ｂ），（ｃ）において、スキージベース３７には、各スキージ１４のスキージベース３７に対する下降量が予め定めた所定量に達したことの検出を行う２つの下降量到達検出センサ４８（図５）が設けられている。各下降量到達検出センサ４８は、対応するスキージ１４がスキージベース３７に対して下降する過程において（図６（ａ）→図６（ｂ）→図６（ｃ））、スキージ１４と一体となってスキージベース３７に対して昇降するスキージホルダ３９に設けられた突起部３９ａがスキージベース３７の下方に所定量ＳＬ下降したときに（図６（ｂ））、突起部３９ａを検出して制御装置４０に検出信号を出力する。
【００３７】
ここで、上記所定量ＳＬは、例えば、スキージベース３７に対するスキージ１４の下降開始位置にスキージ１４が位置している状態からスキージ昇降シリンダ３８を作動させてスキージ１４の移動を開始した場合に、制御装置４０から出力される動作指令信号に対するスキージ昇降シリンダ３８の動作応答性が安定するようになるまでの時間を超える時間として設定される。
【００３８】
なお、下降量到達検出センサ４８はリミットスイッチのような接触型のセンサであってもよいし、光センサ等のような非接触型のセンサであってもよい。
【００３９】
次に、図７、図８のフローチャート及び図９〜図１７の説明図を加えてスクリーン印刷機１によるスクリーン印刷作業の実行手順を説明する。ここで、図７はスクリーン印刷機１が実行するスクリーン印刷工程の流れを示すメインルーチンのフローチャートであり、図８はメインルーチンの中の一工程のサブルーチンのフローチャートである。
【００４０】
本実施の形態におけるスクリーン印刷機１によりスクリーン印刷作業を行う場合、制御装置４０は先ず、このスクリーン印刷機１が備えるディスプレイ装置５１（図５）を介した画像表示により、オペレータＯＰにペーストＰｓｔの供給を促す。オペレータＯＰは、現在マスク１３上に残っているペーストＰｓｔを目視し、そのペーストＰｓｔの量に基づいてペーストＰｓｔの供給（補充）を行うべきかどうかの判断を行う。そして、ペーストＰｓｔの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ（図示せず）により、マスク１３上へのペーストＰｓｔの供給を行い、ペーストＰｓｔの供給が終わったら、このスクリーン印刷機１が備える動作開始ボタン５２（図５）の操作を行う。オペレータＯＰは、ペーストＰｓｔの供給が不要と判断した場合においても、動作開始ボタン５２の操作を行う。
【００４１】
制御装置４０はオペレータＯＰによって動作開始ボタン５２が操作されたことを検知したら、基板搬入コンベア２６とコンベア部２３を連動作動させ、スクリーン印刷機１の上流側に設置された他の装置から送られてきた基板２をスクリーン印刷機１内に搬入したうえで、基板２をコンベア部２３上の所定の作業位置に静止させる（図９（ａ）。図７に示すステップＳＴ１の基板搬入工程）。
【００４２】
制御装置４０は、ステップＳＴ１の基板搬入工程が終了したら、前後のクランプ部材２５ａを閉作動させて、コンベア部２３上の基板２をＹ軸方向からクランプする（図９（ｂ）。図中に示す矢印Ａ１）。そして、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対する下降位置に位置させたまま、下受けユニット２４ｂを上昇させる（図９（ｃ）中に示す矢印Ｂ１）。
【００４３】
制御装置４０は、下受けユニット２４ｂを上昇させることによって、下受けユニット２４ｂの下受けピン２４ｃを基板２の中央部の下面に下方から当接させて基板２を上方に押し上げ、基板２の両端部を前後のベルトコンベア２３ｂから上方に離間させ、かつ、基板２の両端部（両側面）を前後のクランプ部材２５ａに対して摺動させながら基板２を上方に移動させる。そして、基板２の上面の高さがクランプ部材２５ａの上面と同じ高さとなったところで下受けユニット２４ｂの上昇を停止させる。これにより基板２は基板保持部（基板支持部２４及び基板クランプ部２５）によって保持された状態となる（図９（ｃ）。図７に示すステップＳＴ２の基板保持工程）。
【００４４】
制御装置４０は、ステップＳＴ２の基板保持工程が終了したら、カメラユニット移動機構４６の作動制御を行い、Ｘ軸ステージ３５をＹ軸方向に移動させるとともに、カメラ支持ステージ３６をＸ軸方向に移動させることによって、第１カメラ１５ａを基板２に設けられた基板側位置決め用マークｍｋの直上に位置させる。そして、第１カメラ１５ａに基板側位置決め用マークｍｋの撮像を行わせてその画像データを取得し、基板２の位置を検出する（図１０（ａ）。図７に示すステップＳＴ３の基板位置検出工程）。また制御装置４０は、第２カメラ１５ｂをマスク１３に設けられたマスク側位置決め用マークＭＫの直下に位置させ、第２カメラ１５ｂにマスク側位置決め用マークＭＫの撮像を行わせることによってその画像データを取得し、マスク１３の位置を検出する（図１０（ｂ）。図７に示すステップＳＴ４のマスク位置検出工程）。
【００４５】
制御装置４０は、ステップＳＴ４のマスク位置検出工程が終了したら、基板保持移動ユニット１２が備える水平移動部２１の作動制御を行って基板保持部（基板支持部２４及び基板クランプ部２５）により保持した基板２を水平面内方向に移動させ、基板側位置決め用マークｍｋとマスク側位置決め用マークＭＫが上下に対向するようにして、マスク１３に対する基板２の水平面内方向の位置決めを行う（図７に示すステップＳＴ５の位置決め工程）。
【００４６】
制御装置４０は、ステップＳＴ５の位置決め工程が終了したら、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対して上昇させることにより（図１０（ｃ）中に示す矢印Ｃ１）、基板２の上面（被印刷面）をマスク１３の下面に接触させる（図１０（ｃ）。図７に示すステップＳＴ６の接触工程）。これにより基板２の電極３とマスク１３のパターン孔１３ａは上下に合致し、基板２はスキージ１４によるペーストＰｓｔの転写作業が行われる位置に位置した状態となる。
【００４７】
制御装置４０はステップＳＴ６の接触工程が終了したら、２つのスキージ１４のうちの一方のスキージ１４を下降させて、そのスキージ１４の下端を基板２に接触されているマスク１３に上方から当接させる（図１１（ａ）→図１１（ｂ）。図７示すステップＳＴ７のスキージ当接工程）。
【００４８】
なお、このときマスク１３に当接させるスキージ１４は、スキージベース３７が前方のクランプ部材２５ａの上方に位置しているときには（図１１（ａ））、前方のスキージ１４（図１１（ａ），（ｂ）における紙面左側のスキージ１４）であり、スキージベース３７が後方のクランプ部材２５ａの上方に位置しているときには、後方のスキージ１４（図１１（ａ），（ｂ）における紙面右側のスキージ１４）である。
【００４９】
ここで、ステップＳＴ７のスキージ当接工程では、制御装置４０は、図８のサブルーチンに示すように、先ず、スキージ昇降シリンダ３８の作動制御を行ってスキージ１４の下降動作を開始する（図８に示すステップＳＴ２１のスキージ下降工程。図１２（ａ），（ｂ），（ｃ）及び図１３（ａ），（ｂ）中に示す矢印Ｄ）。なお、このときスキージ１４を昇降させるスキージ昇降シリンダ３８は、マスク１３の上面に当接させようとしているスキージ１４に連結されたスキージ昇降シリンダ３８である（図１２及び図１３では前方のスキージ１４を下降させる場合を示している）。
【００５０】
図１４は、スクリーン印刷機１がスキージ１４をマスク１３に当接させるときのスキージ１４の昇降動作とスキージベース３７の水平方向移動動作に対する指令信号の出力状態を示しており、グラフの縦軸は制御装置４０が出力する動作指令信号の出力レベル（オンオフ）、横軸は時間である。この図中に示す時間ｔ０はスキージ１４の下降動作を開始した時間である。
【００５１】
制御装置４０は、ステップＳＴ２１でスキージ１４の下降動作を開始したら、下降量到達検出センサ４８からの出力に基づいて、現在下降させているスキージ１４のスキージベース３７に対する下降量が所定量ＳＬに達したことの検出を行う（図８に示すステップＳＴ２２の下降量到達検出工程）。そして、制御装置４０は、下降量到達検出センサ４８からの出力に基づいて、現在下降させているスキージ１４のスキージベース３７に対する下降量が所定量ＳＬに達したことを検出したら（図１２（ｂ）。図１４中に示す時間ｔ１）、スキージベース３７に対してスキージ１４を下降させながらスキージベース３７をペースト掻き寄せ方向とは反対の水平方向へ移動させる（図８に示すステップＳＴ２３の下降及び水平移動工程。図１２（ｃ）及び図１３（ａ），（ｂ）中に示す矢印Ｅ）。ここで、前方のスキージ１４は前方のクランプ部材２５ａの上面から後方のクランプ部材２５ａの上面までペーストＰｓｔを掻き寄せ、後方のスキージ１４は後方のクランプ部材２５ａの上面から前方のクランプ部材２５ａの上面までペーストＰｓｔを掻き寄せるので、ペースト掻き寄せ方向は、前方のスキージ１４については後方、後方のスキージ１４については前方となる。
【００５２】
制御装置４０は、ステップＳＴ２３でスキージベース３７をペースト掻き寄せ方向とは反対の水平方向へ移動させ始めた後、図示しないタイマーによって所定時間ＤＴ（図１４）が経過したことを検知したら（図８に示すステップＳＴ２４の所定時間経過検知工程）、スキージ１４の下降動作とスキージベース３７の水平方向への移動動作の双方を停止させる（図８に示すステップＳＴ２５の移動停止工程。図１４中に示す時間ｔ２）。
【００５３】
ここで、上記所定時間ＤＴは、スキージ１４のスキージベース３７に対する下降量が所定量ＳＬに達した後、スキージ１４とスキージベース３７をそれぞれ所定の速度で同時に移動（下降又は水平方向移動）させたときに、スキージ１４の下端がマスク１３の上面にちょうど当接することとなる時間に設定されている。このため、制御装置４０がスキージ１４を下降させながらスキージベース３７をペースト掻き寄せ方向とは反対の水平方向へ移動させ、スキージベース３７の移動開始から所定時間ＤＴの経過後にスキージ１４の下降動作とスキージベース３７の移動動作をともに停止させると、スキージ１４はマスク１３に対してペースト掻き寄せ方向とは反対の水平方向に向けてマスク１３に対して斜めの方向に移動しながらマスク１３に近接し、そのままマスク１３の上面に当接することとなる。図１５には、スキージ１４が下降動作を開始してからマスク１３の上面に当接するまでのスキージ１４の下端の移動軌跡Ｐ１→Ｐ２→Ｐ３を示している。
【００５４】
スキージ１４の下端が図１５に示す移動軌跡で移動し、マスク１３の上面に対して斜めに当接すると、図１３及び図１５に示すように、マスク１３に当接させる前のスキージ１４からペーストＰｓｔが垂れ下がっていた場合であっても、その垂れ下がっていたペーストＰｓｔをスキージ１４の前面側（ペースト掻き寄せ面側。図１３及び図１５における紙面右側）に回り込ませることができる（図１３（ａ）→図１３（ｂ）→図１３（ｃ））。なお、図１５に示すように、スキージ１４をマスク１３に当接させるときは、スキージ１４がマスク１３に当接したときに、マスク１３上に供給されているペーストＰｓｔがスキージ１３のペースト掻き寄せ面の進行方向前方（図１５では紙面右側）に位置するようにする。
【００５５】
制御装置４０は、スキージ１４の下降動作とスキージベース３７の移動動作をともに停止させることによってスキージ１４をマスク１３の上面に当接させたら、そのスキージ１４がペースト掻き寄せ方向に移動するようにスキージベース３７を移動させる。ここで、マスク１３に当接させたスキージ１４が前方のスキージ１４であればスキージベース３７は後方に移動され（図１６（ａ）中に示す矢印Ｆ１）、マスク１３に当接させたスキージ１４が後方のスキージ１４であればスキージベース３７は前方に移動される（図１６（ｂ）中に示す矢印Ｆ２）。
【００５６】
これによりスキージ１４はマスク１３に対して相対移動（摺動）し、マスク１３上のペーストＰｓｔはスキージ１４のペースト掻き寄せ面で掻き寄せられてマスク１３のパターン孔１３ａ内に押し込まれるので、基板２の電極３上にペーストＰｓｔが転写された状態となる（図７に示すステップＳＴ８のペースト転写工程）。
【００５７】
制御装置４０は、メインルーチンのステップＳＴ８のペースト転写工程が終了したら、スキージ１４を上昇させて、スキージ１４をマスク１３から離間させる（図７に示すステップＳＴ９のスキージ離間工程）。
【００５８】
制御装置４０は、ステップＳＴ９のスキージ離間工程が終了したら、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対して下降させ（図１７（ａ）中に示す矢印Ｃ２）、マスク１３から基板２を離間させる（図１７（ａ））。これにより版離れが行われる（図７に示すステップＳＴ１０の版離れ工程）。
【００５９】
制御装置４０は、ステップＳＴ１０の版離れ工程が終了したら、クランプ部材２５ａを作動させて基板２のクランプを解除したうえで（図１７（ｂ）中に示す矢印Ａ２）、下受けユニット２４ｂを昇降テーブル２２ａに対して下降させる（図１７（ｃ）中に示す矢印Ｂ２）。これにより基板２はコンベア部２３上に降ろされて基板保持部（基板支持部２４及び基板クランプ部２５）による基板２の保持が解除される（図１７（ｃ）。図７に示すステップＳＴ１１の基板保持解除工程）。
【００６０】
制御装置４０は、ステップＳＴ１１の基板保持解除工程が終了したら、基板保持移動ユニット１２が備える水平移動部２１を作動させ、基板搬出コンベア２７に対するコンベア部２３の位置調整を行ったうえで、コンベア部２３と基板搬出コンベア２７を連動作動させ、コンベア部２３上の基板２を基板搬出コンベア２７に受け渡してそのまま基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図７に示すステップＳＴ１２の基板搬出工程）。
【００６１】
制御装置４０は、ステップＳＴ１２の基板搬出工程が終了したら、他にスクリーン印刷を施す基板２があるかどうかの判断を行う（図７に示すステップＳＴ１３の基板有無判断工程）。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板２があった場合にはステップＳＴ１に戻って新たな基板２の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板２がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。
【００６２】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法は、基板２を保持する基板保持部（基板支持部２４及び基板クランプ部２５）と、基板保持部により保持された基板２の上面に接触されるマスク１３と、マスク１３の上方に設けられたスキージベース３７と、スキージベース３７に設けられたシリンダであるスキージ昇降シリンダ３８によって下降されてマスク１３の上面に当接されるスキージ１４とを備え、スキージ１４をマスク１３の上面に当接させた状態でスキージベース３７を水平面内の一の方向であるペースト掻き寄せ方向に移動させることにより、マスク１３上に供給されたペーストＰｓｔをスキージ１４で掻き寄せて基板２にペーストＰｓｔを転写させるスクリーン印刷機１によるスクリーン印刷方法であり、スキージベース３７に対してスキージ１４を下降させながら、スキージ１４が所定量ＳＬ下降したことの検出を行う工程（ステップＳＴ２１のスキージ下降工程及びステップＳＴ２２の下降量到達検出工程）と、スキージ１４が所定量ＳＬ下降したことが検出されたとき、スキージベース３７に対するスキージ１４の下降を停止させることなく、シリンダによるスキージベース３７に対するスキージ１４の下降を停止させることなく、スキージベース３７をペースト掻き寄せ方向とは反対の水平方向に所定時間（ＤＴ）移動させる工程（ステップＳＴ２３の下降及び水平移動工程）と、スキージベース３７をペースト掻き寄せ方向とは反対の水平方向に所定時間（ＤＴ）移動させ、スキージ１４がマスク１３の上面に当接したところでスキージ１４の下降とスキージベース３７の水平方向への移動を停止させる工程（ステップＳＴ２５の移動停止工程）と、スキージ１４をマスク１３の上面に当接させた状態でスキージベース３７をペースト掻き寄せ方向に移動させ、マスク１３の上面に供給されたペーストＰｓｔをスキージ１４で掻き寄せて基板２にペーストＰｓｔを転写させる工程（ステップＳＴ８のペースト転写工程）を含むものとなっている。
【００６３】
本実施の形態におけるスクリーン印刷方法では、スキージ昇降シリンダ３８の動作応答性のよくないスキージ１４の下降開始直後にはスキージベース３７を水平方向へ移動させず、スキージベース３７に対してスキージ１４が所定量ＳＬ下降してスキージ昇降シリンダ３８の動作応答性が安定してから、スキージベース３７に対するスキージ１４の下降を継続しつつ、スキージベース３７の水平方向への移動を開始するようになっている。このため、スキージ１４はスキージ１４の下降動作とスキージベースの水平方向への移動動作とが同期した斜め軌道で移動してマスク１３に当接することになり、スキージ１４に付着して垂れ下がっていたペーストＰｓｔをスキージ１４の背面に回り込ませることができるので、ペーストＰｓｔの角立ちの発生を確実に防止することができる。
【００６４】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、下降量到達検出センサ４８は、スキージホルダ３９に設けられた突起部３９ａの位置を検出するものであったが、スキージベース３７に対してスキージが所定量ＳＬ下降したことの検出を行うことができるものであればよく、必ずしもスキージホルダ３９に設けられた突起部３９ａの位置を検出するものでなくてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
スキージがマスクに対して斜めに当接するようにしてペーストの角立ちの発生を確実に防止することができるようにしたスクリーン印刷方法を提供する。
【符号の説明】
【００６６】
１  スクリーン印刷機
２  基板
１３  マスク
１４  スキージ
２４  基板支持部（基板保持部）
２５  基板クランプ部（基板保持部）
３７  スキージベース
３８  スキージ昇降シリンダ（シリンダ）
Ｐｓｔ  ペースト
ＳＬ  所定量
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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