(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着剤が充填された吸着槽にコンプレッサからの圧縮空気を供給して該吸着槽内を昇圧させ、該吸着槽内の吸着剤により生成された製品ガスを該吸着槽から取り出すよう構成された気体分離装置において、
前記コンプレッサからの圧縮空気を充填するタンクと、
前記タンクに充填された圧縮空気の圧力を検出する圧力検出器と、
前記コンプレッサを駆動するモータと、
前記吸着槽に前記コンプレッサからの圧縮空気を供給して前記吸着槽内を昇圧させる吸着工程開始後に前記モータの回転数を前記吸着工程開始前よりも増加させ、前記吸着槽内の圧力が所定圧力に達した後、前記モータの回転数を前記吸着槽内の圧力が所定圧力に達する前よりも減少させ、前記圧力検出器により検出された圧縮空気の圧力が所定値以上のとき前記モータの回転数をさらに減少させるインバータ制御手段と、
を備えることを特徴とする気体分離装置。
【請求項２】
前記コンプレッサはスクロール式の圧縮機からなることを特徴とする請求項１に記載の気体分離装置。
【請求項３】
前記インバータ制御手段は吸着工程になってから予め設定された時間が経過したとき前記モータの回転数を定常速度に減速することを特徴とする請求項１または２に記載の気体分離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はＰＳＡ式（Pressure Swing Adsorption ）の気体分離装置に係り、特にコンプレッサからの圧縮空気の使用状態に応じてコンプレッサの運転効率を高めるよう構成した気体分離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ＰＳＡ式気体分離装置は、分子ふるいカーボンやゼオライトなどからなる吸着剤を用いて空気を窒素と酸素に分離し、いずれか一方を製品ガスとして取出し、使用するものである。
【０００３】
このため、例えば窒素ガスを取り出すＰＳＡ式気体分離装置にあっては、(1)吸着剤が充填された吸着槽にコンプレッサからの圧縮空気を導入して吸着剤に酸素分子を吸着させる吸着工程と、(2)吸着剤により分離生成された窒素を取出す取出工程と、(3)該吸着槽内を大気解放しまたは真空ポンプで減圧して吸着剤を再生する再生工程とを繰返す。即ち、取出工程では、吸着槽内の窒素を外部に取出し、一方再生工程では吸着された酸素を脱着し、次の吸着工程に備えるようになっている。
【０００４】
また、一対の吸着槽を有する装置では、一方の吸着槽で取出工程が完了し、他方の吸着槽で再生工程が完了した後、均圧工程を行う。この(4)均圧工程では、両吸着槽間を連通させて取出工程の後の吸着槽に残留するガスを再生工程の吸着槽へ供給して均圧化を図り、より高純度の製品ガスを生成するようにしている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記気体分離装置では、上記各工程(1)〜(4)を繰り返して窒素を分離生成しているが、コンプレッサの回転数を一定にして空気タンクに所定圧力の圧縮空気を貯溜しており、吸着工程時に空気タンク内の圧縮空気が吸着槽へ供給される。尚、コンプレッサは空気タンクの圧力が上限圧力に達するとアンロード運転に切り換わるが、コンプレッサの駆動用モータの回転数は変化せず一定である。
【０００６】
そのため、従来の気体分離装置では、例えば圧縮空気の使用状態や空気タンクの圧力に関係無く一定の回転数で駆動されているため、圧縮空気の使用量が減少しているときでも無駄に排気しなければならず、あるいは、空気タンクの圧力が充分にあるのに圧縮空気を無駄に排気しなければならかった。
【０００７】
よって、従来の気体分離装置においては、例えば圧縮空気の使用量が時間によって変動するような環境で使用される場合、圧縮空気を排気し続けることになり、コンプレッサの運転効率を高めることができなかった。
【０００８】
そこで、本発明は上記課題を解決した気体分離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は上記課題を解決するため、以下のような特徴を有する。
【００１０】
本発明は、吸着剤が充填された吸着槽にコンプレッサからの圧縮空気を供給して該吸着槽内を昇圧させ、該吸着槽内の吸着剤により生成された製品ガスを該吸着槽から取り出すよう構成された気体分離装置において、  前記コンプレッサからの圧縮空気を充填するタンクと、前記タンクに充填された圧縮空気の圧力を検出する圧力検出器と、前記コンプレッサを駆動するモータと、前記吸着槽に前記コンプレッサからの圧縮空気を供給して前記吸着槽内を昇圧させる吸着工程開始後に前記モータの回転数を前記吸着工程開始前よりも増加させ、前記吸着槽内の圧力が所定圧力に達した後、前記モータの回転数を前記吸着槽内の圧力が所定圧力に達する前よりも減少させ、前記圧力検出器により検出された圧縮空気の圧力が所定値以上のとき前記モータの回転数をさらに減少させるインバータ制御手段と、備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
上述の如く、本発明によれば、コンプレッサで圧縮された空気を無駄に排気することを防止してコンプレッサの運転効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明になる気体分離装置の一実施例の概略構成図である。
【図２】コンプレッサの構成を拡大して示す構成図である。
【図３】各工程のバルブ動作及び各吸着槽の圧力変化を示す工程図である。
【図４】インバータ回路５７が実行する処理のフローチャートである。
【図５】コンプレッサの吐出空気量、吐出圧力、回転数の関係を示すグラフである。
【図６】変形例１の構成を示す構成図である。
【図７】インバータ回路５７が実行する変形例１の処理を示すフローチャートである。
【図８】変形例２の構成を示す構成図である。
【図９】インバータ回路５７が実行する変形例２の処理を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面と共に本発明の一実施例について説明する。
【００２０】
図１は本発明になる気体分離装置の一実施例を示す構成図である。
【００２１】
図１に示されるように、気体分離装置１１は圧縮空気から窒素を製品ガスとして生成するＰＳＡ式の窒素発生装置であり、スタート信号の入来により作動開始する。制御装置１２は冷凍式ドライヤ１３，コンプレッサ１５を有する空気供給ユニット１６，吸着ユニット１７及び貯蔵ユニット１８の各バルブＶ１〜Ｖ１１を制御する。また、制御装置１２のメモリには、後述するようにコンプレッサ１５の吐出圧力と回転数との関係を示すデータ（図５参照）が記憶されている。
【００２２】
コンプレッサ１５で生成された圧縮空気は、冷凍式ドライヤ１３で除湿され、乾燥した清浄な圧縮空気として吸着ユニット１７に供給される。空気供給ユニット１６と吸着ユニット１７との間は、管路１９を介して接続されている。従って、ドライヤ１３で乾燥された圧縮空気は、管路１９を通って吸着ユニット１７で分岐した給気側の管路２０，２１を介して分子ふるいカーボンよりなる吸着剤が充填された第１，第２の吸着槽１７Ａ，１７Ｂに供給される。また、管路２０，２１には、排気用の管路２２，２３が分岐接続されている。
【００２３】
図２はコンプレッサの構成を拡大して示す図である。
【００２４】
図２に示すように、コンプレッサ１５は、パッケージ形圧縮機と呼ばれる空気圧縮機で、スチール製の筐体３７内にスクロール式の圧縮機３８、モータ３９、空気タンク４０を立体的、且つコンパクトに収納してなる。また、モータ３９には、回転数を検出するためのレゾルバあるいはロータリエンコーダなどからなる回転検出器４６が設けられている。また、空気タンク４０には、圧縮空気が充填されたときの圧力を検出する圧力検出器４７が設けられている。
【００２５】
筐体３７のベース４１上には、防振ゴム４２を介して架台４３が固定されている。モータ３９はブラケット４４を介して架台４３上に固定され、空気タンク４０はブラケット４５を介して架台４３上に固定されている。
【００２６】
圧縮機３８は、固定スクロールとモータ３９に回転駆動される旋回スクロールとを組み合わせてなる。固定スクロール及び旋回スクロールは、インボリュート曲線又はインボリュート曲線に近いうず巻き状に形成された複数の隔壁を有する。そして、固定スクロールと旋回スクロール隔壁間には、三日月状の圧縮室が形成されており、中央部付近の圧縮室ほどその容積が小さい。そのため、外周側から圧縮室に流入した空気は、旋回スクロールの回転とともに中央部に移動しながら圧縮される。
【００２７】
筐体３７の前面に設けられた操作パネル５１には、スタートスイッチ釦５２、停止スイッチ釦５３、運転時間計５４、吐出圧力表示部５５等が配設されている。
【００２８】
５７はインバータ回路（モータ回転制御手段）で、上記コンプレッサ５を駆動するモータ３９の回転数を制御しており、空気タンク４０に貯留された圧縮空気の使用状態に応じてモータ３９の回転数を減速する。このインバータ回路５７は、例えばコンバータ（図示せず）により正弦波の交流をいったん直流に順変換し、これをトランジスタ（図示せず）のオン、オフにより可変周波数の交流に逆変換するので、モータ３９の定格周波数を任意に変更させることができる。
【００２９】
従って、モータ３９の出力軸はインバータ回路５７から出力された交流の可変周波数に応じた回転数で回転駆動される。そのため、インバータ回路５７は後述するように吸着工程時にのみコンプレッサ１５を駆動するモータ３９を増速させてコンプレッサ１５の圧縮空気生成量を増大させるように制御するとともに、空気タンク４０の圧力が所定以上（例えば、６．５kgf/m2以上）に昇圧している状態で圧縮空気の使用量が少ないときは、モータ３９の回転数を減速して圧縮空気が無駄に排気されることを防止する。
【００３０】
吸着槽２７Ａ，２７Ｂの上部には取出側の管路２４，２５が接続されており、両管路２４，２５間には両吸着槽１７Ａ，１７Ｂを接続する均圧用の管路２６が横架されている。又、上記管路２４，２５は吸着ユニット１７と貯蔵ユニット１８とを接続する管路２７に接続されている。さらに、給気用の管路２０，２１との間を接続する排気用の管路２２，２３にはサイレンサ３２が設けられている。
【００３１】
貯蔵ユニット１８は製品ガスとしてのＮ２ガスが蓄圧される窒素槽３３と、窒素槽３３内の酸素濃度を計測する酸素センサ３４とよりなる。窒素槽３３の下部には上記管路２７が接続されており、吸着槽１７Ａ，１７Ｂで分離された高純度のＮ２ガスは管路２７を介して窒素槽３３に供給される。又、窒素槽３３の上部にはＮ２ガスを取り出す取出管路３５が接続されている。この取出管路３５は下流側のＮ２ガスを使用する装置（図示せず）へ延在している。
【００３２】
又、酸素センサ３４は管路３６を介して窒素槽３３と接続されている。
【００３３】
上記各管路２０〜２６，３５，３６には常閉形の電磁弁Ｖ１〜Ｖ１１が配設されており、各電磁弁Ｖ１〜Ｖ８は後述するように制御装置１２からの信号により還流、吸着、再生、取出し、均圧の各工程に応じて選択的に開弁する。
【００３４】
上記気体分離装置１１においては、スタートスイッチ釦５２の操作によりコンプレッサ１５のモータ３９が起動して圧縮機３８が駆動される。圧縮機３８により生成された圧縮空気は、空気タンク４０に蓄圧される。空気タンク４０の圧縮空気は空気ドライヤ１３に供給されて除湿された後、吸着ユニット１７に供給される。
【００３５】
図３は各工程のバルブ動作及び各吸着槽の圧力変化を示す工程図である。
【００３６】
図３に示すように、吸着ユニット１７では、第１，第２の吸着槽１７Ａ，１７Ｂ内に上記空気ドライヤ１３により乾燥された圧縮空気が供給されて、昇圧、減圧を繰り返しながら原料空気から窒素と酸素とを分離する。尚、吸着ユニット１７では製品ガスとしての窒素を安定供給するため、第１の吸着槽１７Ａが昇圧されて吸着工程のとき第２の吸着槽１７Ｂでは減圧されて再生工程が行なわれ、これとは逆に、第１の吸着槽１７Ａが再生工程のとき第２の吸着槽１７Ｂは吸着工程となる。
【００３７】
従って、制御装置１２は予め入力されたプログラムに基づいて吸着槽１７Ａ，１７Ｂが交互に窒素ガスを生成するように吸着ユニット７の各バルブＶ１〜Ｖ１１を開閉制御する。
【００３８】
ここで、上記構成になる気体分離装置１１において、各工程ごとに開閉する吸着ユニット１７の各バルブＶ１〜Ｖ９の動作について説明する。
【００３９】
図３に示されるように、各バルブＶ１〜Ｖ９は「白抜き」が開弁状態であり、「黒塗り」が閉弁状態であることを示す。(1)  第１工程（吸着槽Ａ＝環流・吸着、吸着槽Ｂ＝再生）
図３において、バルブＶ１，Ｖ３，Ｖ６が開弁する。そのため、吸着槽１７Ａにはドライヤ１３からの圧縮空気が下方から供給されるとともに、窒素槽３３からの窒素ガスが上方から還流される。同時に上記の如くインバータ回路５７によりコンプレッサ１５からの圧縮空気供給量が増大し、吸着槽１７Ａは短時間で昇圧し、内部に充填された吸着剤が酸素分子を吸着する。
【００４０】
多孔質の分子ふるいカーボンよりなる吸着剤は、圧力と吸着量との関係により吸着槽１７Ａ内の圧力変化に応じて酸素分子を吸着し、減圧されるとその圧力差により酸素分子を脱着する。
【００４１】
尚、図３中、圧縮機供給圧力の線図で分かるように、吸着工程時上記コンプレッサ１５の空気タンク４０から吸着槽１７Ａに圧縮空気が供給されてもモータ３９の増速運転により吸着槽１７Ａに供給される圧力は急激に低下せず、圧縮空気が安定供給される。又、吸着槽１７Ａにおける吸着性能は所定圧力（例えば５Kg／ｃｍ２）以上になると大幅に向上しないので、実際には吸着槽１７Ａ内の圧力がほぼ５Kg／ｃｍ２程度の圧力を一定に保つようにコンプレッサ１５の運転状態、換言すればモータ３９の回転数を増速又は減速制御する。
【００４２】
他の吸着槽１７ＢではバルブＶ６の開弁により残存ガスが大気中に排気されて減圧される。そのため、吸着槽１７Ｂ内に充填された充填剤は前回の吸着工程で吸着した酸素分子が脱着されて再生される。
【００４３】
そして、均圧用管路２６に設けられた吸着槽２８は排気用の管路２９のバルブＶ９が開弁しているので、内部が大気圧に減圧されて吸着剤が再生される。(2)  第２工程（吸着槽Ａ＝取出し、吸着槽Ｂ＝再生）
図３において、前記第１工程と同様バルブＶ１，Ｖ３，Ｖ６が開弁している。
【００４４】
吸着槽１７ＡではバルブＶ１の開弁により圧縮空気が供給され続けられているため、短時間でコンプレッサ１５の供給圧力近くまで昇圧する。そして、吸着剤により分離生成された窒素ガスがバルブＶ３を介して窒素槽３３へ取出される。
【００４５】
尚、他方の吸着槽１７ＢはバルブＶ６の開弁により再生工程である。又、前述したように、コンプレッサ１５では吸着槽１７Ａの吸着工程終了とともに定常速度の運転に戻る。(3)  第３工程（吸着槽Ａ，吸着槽Ｂ＝均圧）
図３において、上記バルブＶ１，Ｖ３，Ｖ６が閉弁した後、均圧用管路２６のバルブＶ４，Ｖ８が開弁する。
【００４６】
一方の吸着槽１７Ａでは取出工程が完了したため、略コンプレッサ１５からの供給圧力まで昇圧しているのに対し、他方の吸着槽１７Ｂでは再生工程が完了しているので略大気圧まで減圧されている。又、均圧用管路２６に設けられた吸着槽２８も再生工程が完了して減圧されている。
【００４７】
そのため、吸着槽１７Ａ内には窒素濃度の高いＮ２ガスが加圧された状態で残存している。
【００４８】
均圧用の吸着槽２８の両側に配設された上記バルブＶ４，Ｖ８が開弁すると、吸着槽１７Ａ内のＮ２ガスが均圧用ガスとしてバルブＶ４を介して吸着槽２８に供給される。そして、吸着槽２８内が昇圧すると均圧用ガス中に含まれている酸素分子が吸着剤に吸着される。
【００４９】
さらに、吸着槽２８により分離生成された均圧用ガスは吸着槽１７Ａから取出したときよりも高純度のＮ２ガスとなって吸着槽１７Ｂへ送出される。従って、吸着槽１７Ｂは吸着槽２８を介して供給された高純度のＮ２ガスにより加圧状態となり、次の吸着工程に備える。
【００５０】
このように、均圧工程においてはバルブＶ４，Ｖ８の開弁により昇圧された一方の吸着槽１７Ａが急速に減圧されるため、前回の吸着工程で吸着剤に吸着された酸素分子が脱着されてしまう。そのため、均圧用ガスの窒素濃度が低下するが、均圧用管路２６に設けられた吸着槽２８に充填された吸着剤により均圧用ガス中の酸素分子が吸着されるので、均圧工程による高純度のＮ２ガス生成効率が高められる。よって、高純度のＮ２ガス発生量が増加し、再起動時間をより短縮することができる。
【００５１】
均圧工程においては、定期的にコンプレッサ１５を休ませるため、コンプレッサ１５はアンロード運転又は停止状態となる。しかし、Ｎ２ガス使用量が多いときで均圧時間が短い場合には、アンロード運転又は停止状態とせず、通常運転を行う。
【００５２】
上記第１〜第３工程が完了すると、吸着槽１７Ａと１７Ｂとが入れ換わるように上記第１〜第３工程が実行される。
【００５３】
ここで、インバータ回路５７が実行する制御処理について説明する。
【００５４】
図４はインバータ回路５７が実行する処理のフローチャートである。
【００５５】
図４に示されるように、インバータ回路５７は、ステップＳ１１（以下、ステップを省略する）において、吸着ユニット１７の第１の吸着槽１７Ａ又は第２の吸着槽１７Ｂが吸着工程となったとき、Ｓ１２に移り上記コンプレッサ１５のモータ３９を増速する。
【００５６】
モータ３９の増速によりコンプレッサ１５の圧縮空気供給量が増大し、第１の吸着槽１７Ａ又は第２の吸着槽１７Ｂへの圧縮空気供給量が増える。そのため、吸着槽１７Ａ又は吸着槽１７Ｂにおける所定圧力（例えば５ｋgｆ／ｃｍ２）に達するまでの昇圧時間が短縮され、吸着工程時間が短くて済む。
【００５７】
スクロール式の圧縮機３８は、回転数が一定の場合、圧縮空気の空気量も一定となってしまい、吸着槽１７Ａ，１７Ｂへの圧縮空気供給量が不足するおそれがある。しかしながら、本実施例では、Ｓ１２において、コンプレッサ１５のモータ３９を増速するため、往復動圧縮機と同様に、吸着工程開始時の圧力不足を解消することができる。
【００５８】
次のＳ１３では、吸着工程になってからの経過時間が予め設定された設定時間に達したとき、吸着工程が終了し同時にモータ３９の回転を定常速度に減速する。これは、コンプレッサ１５がモータ３９の増速により能力以上の運転となるため、吸着工程以外の工程では回転数を落としてコンプレッサ１５の負担を軽減させ、コンプレッサ１５の寿命を延ばしている。
【００５９】
尚、上記設定時間は吸着工程の全時間と同一にしても良いが、吸着槽１７Ａ，１７Ｂ内の圧力が所定圧力に達するまでの所定時間としてもよい。
【００６０】
Ｓ１４では、圧力検出器４７により検出された空気タンク４０の圧力値を読み込む。
【００６１】
次のＳ１５では、予めメモリに記憶されたコンプレッサ１５の吐出圧力と回転数との関係を示すデータ（図５参照）から上記Ｓ１４で検出された空気タンク４０の圧力値に対応する制御目標となるモータ３９の回転数（目標値）を読み込む。
【００６２】
そして、Ｓ１６では、モータ３９の回転数を上記Ｓ１５で読み込んだモータ３９の回転数（目標値）となるように制御する。すなわち、空気タンク４０の圧力値に基づいて図５に示すようにモータ３９の回転制御を行う。例えば、図５中、グラフＩに示すように通常のスクロール圧縮機の場合、モータ３９の回転数を一定値に保つように制御している。この場合、グラフIIに示すように圧縮機３８からの吐出流量も吐出圧力に関係なくほぼ一定値になる。
【００６３】
本実施例では、グラフIIIに示すように、空気タンク４０の圧力が例えば２ｋgｆ／ｃｍ２であるときは、吸着工程を行うには圧力が低いので、モータ３９の回転数を増速して圧縮機３８からの吐出流量を増大させる。これにより、グラフIVに示すように、圧縮機３８からの吐出流量は、増大して吸着工程時の原料空気不足を解消できる。
【００６４】
また、空気タンク４０の圧力が昇圧するにつれてモータ３９の回転数を徐々に減速して、圧縮機３８からの吐出流量を減少させる。さらに、グラフIIIに示すように吐出圧力が６ｋgｆ／ｃｍ２以上になると、空気タンク４０の圧力が吸着工程を行うのに十分であるので、破線で示すようにモータ３９の回転数を急激に減速する。
【００６５】
これにより、グラフIVに示すように圧縮機３８が圧縮空気を大気中に排気する空気量を大幅に減少することができ、圧縮空気の使用状態に対して圧縮空気の生成量を減らして圧縮機３８の運転効率を高めることができる。
【００６６】
上記のようにＳ１６でモータ３９の回転制御を行った後、Ｓ１７に進み、吸着ユニット１７が均圧工程になると、Ｓ１１に戻り次の吸着工程に備える。従って、モータ２９の増速によりコンプレッサ１５の圧縮空気供給量が増大して吸着工程時間が短くなるため、一連の吸着、再生、取出し、均圧工程による１サイクル時間が短縮され、コンプレッサ５を大型化することなく窒素生成効率が向上する。
【００６７】
次に、本発明の変形例１について説明する。
【００６８】
図６は変形例１の構成を示す構成図である。
【００６９】
図６に示されるように、窒素槽３３の上部からＮ２ガス（製品ガス）を取り出す取出管路３５には、Ｎ２ガスの吐出流量を測定する流量計６１が配設されている。すなわち、この流量計６１は、気体分離装置１１の下流へ供給されるＮ２ガスの使用量を計測し、その流量計測値を制御装置１２に出力する。
【００７０】
図７はインバータ回路５７が実行する変形例１の処理を示すフローチャートである。
【００７１】
図７において、Ｓ２１〜Ｓ２３の処理は、前述した図４のＳ１１〜Ｓ１３と同じ処理なので、その説明は省略する。
【００７２】
Ｓ２４において、流量計６１により計測されたＮ２ガスの吐出流量を読み込む。
【００７３】
次のＳ２５では、予めメモリに記憶されたＮ２ガスの吐出流量とコンプレッサ１５の回転数との関係を示すデータ（図５参照）から上記Ｓ２４で検出されたＮ２ガスの吐出流量に対応する制御目標となるモータ３９の回転数（目標値）を読み込む。
【００７４】
そして、Ｓ２６では、モータ３９の回転数を上記Ｓ２５で読み込んだＮ２ガスの吐出流量に対応するモータ３９の回転数（目標値）となるように制御する。すなわち、Ｎ２ガスの吐出流量に基づいて図５に示すようにモータ３９の回転制御を行っており、前述したＳ１６の場合と同様にＮ２ガスの吐出流量が多いときはモータ３９の回転数を増速して圧縮機３８からの吐出流量を増大させる。これにより、圧縮機３８からの吐出流量は、増大して吸着工程時の原料空気不足を解消できる。
【００７５】
また、空気タンク４０の圧力が昇圧するにつれてモータ３９の回転数を徐々に減速して、圧縮機３８からの吐出流量を減少させる。さらに、Ｎ２ガスの吐出流量が所定値以下になると、窒素槽３３の圧力が十分であるので、モータ３９の回転数を急激に減速する。
【００７６】
これにより、グラフIVに示すように圧縮機３８が圧縮空気を大気中に排気する空気量を大幅に減少することができ、圧縮空気の使用状態に対して圧縮空気の生成量を減らして圧縮機３８の運転効率を高めることができる。
【００７７】
次に、本発明の変形例２について説明する。
【００７８】
図８は変形例２の構成を示す構成図である。
【００７９】
図８に示されるように、吸着槽１７Ａ，１７Ｂには、吸着槽１７Ａ，１７Ｂ内の圧力を検出する圧力検出器６２，６３が取り付けられている。すなわち、この圧力検出器６２，６３は、吸着工程、取出し工程、再生工程の圧力変化を検出しており、その圧力検出値を制御装置１２に出力する。
【００８０】
図９はインバータ回路５７が実行する変形例２の処理を示すフローチャートである。
【００８１】
図９において、Ｓ３１〜Ｓ３３の処理は、前述した図４のＳ１１〜Ｓ１３と同じ処理なので、その説明は省略する。
【００８２】
Ｓ３４において、圧力検出器６２，６３により検出された吸着槽１７Ａ，１７Ｂの圧力値ＰＡ，ＰＢを読み込む。
【００８３】
次のＳ３５では、予めメモリに記憶された吸着槽１７Ａ，１７Ｂの圧力ＰＡ，ＰＢとコンプレッサ１５の回転数との関係を示すデータ（図５参照）から上記Ｓ３４で検出された吸着槽１７Ａ，１７Ｂの圧力値に対応するモータ３９の回転数（目標値）を読み込む。
【００８４】
そして、Ｓ３６では、モータ３９の回転数を上記Ｓ３５で読み込んだ吸着槽１７Ａ，１７Ｂの圧力ＰＡ，ＰＢに対応するモータ３９の回転数（目標値）となるように制御する。すなわち、吸着槽１７Ａ，１７Ｂの圧力ＰＡ，ＰＢに基づいて図５に示すようにモータ３９の回転制御を行っており、前述したＳ１６の場合と同様に吸着槽１７Ａ，１７Ｂの圧力値ＰＡ，ＰＢが所定値以上に低下した場合、モータ３９の回転数を増速して圧縮機３８からの吐出流量を増大させる。これにより、圧縮機３８からの吐出流量は、増大して吸着工程時の原料空気不足を解消できる。
【００８５】
また、吸着槽１７Ａ，１７Ｂの圧力ＰＡ，ＰＢが昇圧するにつれてモータ３９の回転数を徐々に減速して、圧縮機３８からの吐出流量を減少させる。さらに、吸着槽１７Ａ，１７Ｂの圧力ＰＡ，ＰＢが６ｋgｆ／ｃｍ２以上になると、空気タンク４０の圧力が吸着工程を行うのに十分であるので、モータ３９の回転数を急激に減速する。
【００８６】
これにより、圧縮機３８が圧縮空気を大気中に排気する空気量を大幅に減少することができ、圧縮空気の使用状態に対して圧縮空気の生成量を減らして圧縮機３８の運転効率を高めることができる。
【００８７】
尚、上記実施例では、インバータ回路４７を一例として挙げたが、これに限らず、例えばモータ２９への供給電圧を可変して回転数を制御するようにしても良い。
【００８８】
又、上記実施例では、一対の吸着槽７Ａ，７Ｂが設けられているが、２個以上の吸着槽を有する装置にも適用できるのは勿論である。
【００８９】
又、上記実施例では、各吸着槽が酸素分子を吸着する構成であるが、各吸着槽が他の気体分子を吸着する構成（例えば酸素発生装置等）にも適用できるのは勿論である。
【符号の説明】
【００９０】
１１  気体分離装置
１２  制御装置
１３  冷凍式ドライヤ
１５  コンプレッサ
１６  空気供給ユニット
１７  吸着ユニット
１７Ａ，１７Ｂ  吸着槽
１８  貯蔵ユニット
３８  圧縮機本体
３９  モータ
４０  空気タンク
４６  回転検出器
４７  圧力検出器
５７  インバータ回路
６１  流量計
６２，６３  圧力検出器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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