(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）行及び列において配置される複数の画素と、
（ｂ）画素の行に沿って２又はそれ以上の画素の加算ノードどうしを接続する第１の加算トランジスタと
を有し、
前記複数の画素の夫々は、
（ｉ）少なくとも１つのフォトセンサと、
（ｉｉ）前記フォトセンサをフローティング・ディフュージョンに接続する少なくとも１つのトランスファゲートと、
（ｉｉｉ）前記フローティング・ディフュージョンに接続される出力トランジスタと、
（ｉｖ）直列に接続される第1のリセットトランジスタ及び第２のリセットトランジスタと
を有し、
前記第１のリセットトランジスタは、前記フローティング・ディフュージョンと加算ノードとの間に接続され、前記第２のリセットトランジスタは、前記加算ノードに接続される、イメージセンサ。
【請求項２】
画素の列に沿って２又はそれ以上の画素の加算ノードどうしを接続する第２の加算トランジスタを更に有する、請求項１に記載のイメージセンサ。
【請求項３】
各画素において前記出力トランジスタに接続される行選択トランジスタを更に有する、請求項１に記載のイメージセンサ。
【請求項４】
行及び列において配置される２又はそれ以上の画素からの電荷を足し合わせる方法であって、
（ａ）各画素において少なくとも１つのフォトセンサを設ける段階と、
（ｂ）各画素において前記フォトセンサをフローティング・ディフュージョンに接続する少なくとも１つのトランスファゲートを設ける段階と、
（ｃ）各画素において前記フローティング・ディフュージョンに接続される出力トランジスタを設ける段階と、
（ｄ）各画素において直列に接続される第１のリセットトランジスタ及び第２のリセットトランジスタを設ける段階と、
（ｅ）画素の行に沿って２又はそれ以上の画素の加算ノードどうしを接続する１又はそれ以上の加算トランジスタを設ける段階と、
（ｆ）２又はそれ以上の画素の間で電荷を足し合わせるよう、各画素において前記加算トランジスタの１又はそれ以上と前記第１のリセットトランジスタとをアクティブにする段階と
を有し、
前記第１のリセットトランジスタは、前記フローティング・ディフュージョンと加算ノードとの間に接続され、前記第２のリセットトランジスタは、前記加算ノードに接続される、方法。
【請求項５】
カメラに含まれる請求項１に記載のイメージセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、概して、デジタルカメラ及び他のタイプのイメージングデバイスで使用される電子イメージセンサに関し、より具体的には、光生成電荷の電荷領域加算（charge  domain  summing）に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１は、先行技術に従う画素２１０の配列の概略図を示す。各画素２１０は１つのフォトダイオード２０５を有する。フォトダイオード２０５によって集められた電荷は、トランジスタ２０３によってフローティング・ディフュージョン（floating  diffusion）２０４に運ばれる。トランジスタ２０３は、トランスファゲート（ＴＧ）の制御ゲート信号がアクティブにされる場合に、電荷をフローティング・ディフュージョン２０４に運ぶ。トランジスタ２０３の全てのトランスファゲート制御ゲートは、画素２０３の各行内で互いに接続されている。トランジスタ２０２は、フローティング・ディフュージョン２０４と出力列信号線との間の電圧をバッファリングする。画素２１０の何らかの変形により、トランジスタ２０２と列出力線との間には行選択トランジスタ（図示せず。）が設けられる。行選択トランジスタは、また、トランジスタ２０２と電源（又は他の何らかの電圧源）線との間に置かれてもよい。リセットトランジスタ２００は、フローティング・ディフュージョン２０４を電源電圧にリセットするために使用される。全てのリセットトランジスタ２００のゲートは、画素２１０の各行内で互いに接続されている。
【０００３】
画素間で光生成電荷を足し合わせることで、画素配列の分解能を変えることができる。ある行にわたって隣接するフローティング・ディフュージョン２０４どうしを接続するトランジスタ２０６をアクティブにすることで、それらのフローティング・ディフュージョン２０４に蓄えられた電荷を足し合わせることができる。垂直加算トランジスタ２０７をアクティブにすることで、列に沿って電荷を足し合わせることができる。
【０００４】
電荷の加算は、画素配列がビデオアプリケーションのためにより高いフレームレートで読み出される必要がある場合に望ましい。それは、また、より良い光感受性のために、より大きい画素を有効に作り出す。米国特許第７０７１９８０号明細書（特許文献１）及び米国特許出願公開第２００６／０２７４１７６号明細書（特許文献２）は、図１と同様の回路を用いる画素加算の例である。このような電荷加算方法は、加算トランジスタ２０６及び２０７がフローティング・ディフュージョン２０４に直接に接続されているために、最適ではない。これら余分のトランジスタは、キャパシタンスをフローティング・ディフュージョン２０４に付加する。フローティング・ディフュージョン２０４での電圧変化Ｖは、式Ｖ＝Ｑ／Ｃによって与えられる。ここで、Ｑは電荷量であり、Ｃはフローティング・ディフュージョン２０４のキャパシタンスである。加算トランジスタ２０６及び２０７によって引き起こされるフローティング・ディフュージョン２０４のキャパシタンスＣの増大は、電圧変化Ｖをより小さくする。電圧変化がより小さくなると、加算トランジスタが存在しない場合と比べて、少量の光生成電荷を検出するのはより難しくなる。
【０００５】
米国特許第６４５２１５３号明細書（特許文献３）及び第６８７８９１８号明細書（特許文献４）は、フローティング・ディフュージョンのキャパシタンスを増大させる加算トランジスタの問題を回避する。図２は、先行技術を示す概略図を示す。
【０００６】
各画素３１０は１つのフォトダイオード３０５を有する。フォトダイオード２０５によって集められた電荷は、トランジスタ３０３によってフローティング・ディフュージョン３０４に運ばれる。トランジスタ３０３は、トランスファゲートの制御ゲート信号がアクティブにされる場合に、電荷をフローティング・ディフュージョン３０４に運ぶ。トランジスタ３０３の全てのトランスファゲート制御ゲートは、画素３１０の各行内で互いに接続されている。トランジスタ３０２は、フローティング・ディフュージョン３０４と出力列信号線との間の電圧をバッファリングする。画素３１０の何らかの変形により、トランジスタ３０２と列出力線との間には行選択トランジスタ（図示せず。）が設けられる。行選択トランジスタは、また、トランジスタ３０２と電源（又は他の何らかの電圧源）線との間に置かれてもよい。リセットトランジスタ３００は、フローティング・ディフュージョン３０４を電源電圧にリセットするために使用される。全てのリセットトランジスタ３００のゲートは、画素３１０の各行内で互いに接続されている。
【０００７】
水平加算トランジスタ３０６及び垂直加算トランジスタ３０７が設けられている。これらは、アクティブにされる場合に、電荷をフォトダイオード３０５の間で共有させる。加算トランジスタ３０６及び３０７はフォトダイオード３０５に接続され、フローティング・ディフュージョン３０４には接続されないので、フローティング・ディフュージョン３０４のキャパシタンスは増大しない。
【０００８】
この電荷加算アプローチの欠点は、加算トランジスタがオンされる場合にフォトダイオードの全ての電荷出力を移動させることが非常に難しいことである。不完全な電荷移動は、信号線形性応答の悪さと、イメージ欠陥とをもたらす。
【０００９】
米国特許第６９１４２２７号明細書（特許文献５）は、加算トランジスタをフローティング・ディフュージョンから隔絶するよう第２の増幅器を各画素に挿入することによって、上記の問題を解決する。しかし、余分の増幅器は、余分のノイズを信号に付加する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】米国特許第７０７１９８０号明細書
【特許文献２】米国特許出願公開第２００６／０２７４１７６号明細書
【特許文献３】米国特許第６４５２１５３号明細書
【特許文献４】米国特許第６８７８９１８号明細書
【特許文献５】米国特許第６９１４２２７号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、最小限のフローティング・ディフュージョン・キャパシタンスと最小限の増幅器信号ノイズとを有して画素において光生成電荷を足し合わせることが望ましいと気付いた。本願で記載される発明は、また、先行技術の欠陥に対処する。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の一態様に従って、本発明は、（ａ）複数の画素と、（ｂ）２又はそれ以上の画素の加算ノードどうしを接続する第１の加算トランジスタとを有し、前記複数の画素の夫々は、（ｉ）少なくとも１つのフォトセンサと、（ｉｉ）前記フォトセンサをフローティング・ディフュージョンに接続する少なくとも１つのトランスファゲートと、（ｉｉｉ）前記フローティング・ディフュージョンに接続される出力トランジスタと、（ｉｖ）前記フローティング・ディフュージョンと加算ノードとの間に接続される第１のリセットトランジスタと、（ｖ）前記加算ノードに接続される第２のリセットトランジスタとを有する、イメージセンサに属する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】フローティング・ディフュージョンの間に加算トランジスタを置くことによる電荷加算を示す先行技術に従うイメージセンサである。
【図２】フォトダイオードの間に加算トランジスタを置くことによる電荷加算を示す先行技術に従うイメージセンサである。
【図３】フローティング・ディフュージョンから隔絶された加算ノードの間の加算トランジスタを示す本発明の好ましい実施形態である。
【図４ａ】本発明の代替の実施形態である。
【図４ｂ】本発明の代替の実施形態である。
【図５】本発明のイメージセンサ配列の上面図である。
【図６】図５のイメージセンサ配列を有する本発明のイメージングシステムである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の上記及び他の目的、特徴及び利点は、以下の記載及び図面に関連して、より明らかになるであろう。図中、図に共通する同じ特徴を示すために、場合により、同じ参照符号が用いられる。
【００１５】
図３は、本発明の好ましい実施形態の概略図を示す。各画素１１０は１つのフォトダイオード１０５を有する。フォトダイオード１０５によって集められた電荷は、トランジスタ１０３によってフローティング・ディフュージョン１０４に運ばれる。フォトダイオード１０５及びトランジスタ１０３は１つずつしか示されていないが、本発明の動作の原理は、共通するフローティング・ディフュージョン１０４を共有する更なるトランスファトランジスタ及びフォトダイオードを画素に加えたとしても、変更されない。トランジスタ１０３は、トランスファゲート（ＴＧ）の制御ゲート信号がアクティブにされる場合に、電荷をフローティング・ディフュージョン１０４に運ぶ。全てのトランジスタ１０３のトランスファゲート制御ゲートは、画素１１０の各行内で互いに接続されている。トランジスタ１０２は、フローティング・ディフュージョン１０４と出力列信号線との間の電圧をバッファリングする。画素１１０の何らかの変形により、トランジスタ１０２と列出力線との間には行選択トランジスタ（図４ａを参照して後述される。）が設けられる。行選択トランジスタ（図４ｂを参照して後述される。）は、また、トランジスタ１０２と電源線との間に置かれてもよい。フローティング・ディフュージョン１０４を電源電圧にリセットするために２つのリセットトランジスタ１００及び１０１が存在する。フローティング・ディフュージョン１０４は、ＲＧ１及びＲＧ２の両信号が同時にアクティブにされる場合に、リセットされる。全てのリセットトランジスタ１００のゲートは、画素１１０の各行内で互いに接続されている。全てのリセットトランジスタ１０１のゲートは、画素１１０の各行内で互いに接続されている。
【００１６】
行に沿って各画素の加算ノード１０８を接続する水平加算トランジスタ１０６が存在する。また、列に沿って各画素の加算ノード１０８を接続する垂直加算トランジスタ１０７が存在する。加算ノード１０８はトランジスタ１０１によってフローティング・ディフュージョン１０４から隔絶されることが分かる。加算トランジスタ１０６及び１０７は、フローティング・ディフュージョン１０４のキャパシタンスを増大させない。従って、本発明は、先行技術に比べて、より良い低信号応答を有する。
【００１７】
２つの画素を足し合わせるよう、トランジスタ１０６での信号ＨＢ１は、トランジスタ１０１での信号ＲＧ２と同時にアクティブにされる。それらのトランジスタが同時にアクティブにされる場合、フローティング・ディフュージョン１０４は電荷を合計（共有）する。最大分解能読み出しのために、加算トランジスタとリセットトランジスタ１０１とはアクティブにされない。この回路によれば、フローティング・ディフュージョン１０４は２つのトランジスタ・ドレインと、最小限のキャパシタンスである１つのトランジスタ・ゲートキャパシタンスとを有する。この最小キャパシタンスは、所定量の電荷のためにフローティング・ディフュージョン１０４で最大限の電圧変化を提供する。先行技術は、フローティング・ディフュージョンに接続されるドレインを２よりも多く有し、結果として、より大きいキャパシタンスを有する。
【００１８】
フォトダイオード１０５が、フローティング・ディフュージョン１０４に適するものよりも多い光生成電荷を有する場合、第１のリセットトランジスタ１０１は、加算トランジスタ１０６及び１０７がアクティブにされない間、アクティブにされてよい。それによりフローティング・ディフュージョン１０４のキャパシタンスは増大するので、より多くの電荷が保持可能である。
【００１９】
加算トランジスタ１０６及び１０７は、隣接するトランジスタに接続される必要はない。カラー・イメージセンサの場合、加算トランジスタ１０６及び１０７は、同じ色の画素どうしを接続するために、画素間をスキップしてよい。加算トランジスタ１０６及び１０７は、任意の分解能のイメージセンサを形成するよう任意数の画素どうしを足し合わせるためのパターンでアクティブにされてよい。全ての加算トランジスタ１０６及び１０７は、カメラにおける高速な露出計測のために撮像装置内の全ての画素を同時にサンプリングするよう同時にアクティブにされてよい。加算トランジスタ１０６及び１０７は、また、電荷を加算することなくフローティング・ディフュージョン１０４のキャパシタンスを更に増大させるよう、トランジスタ１０１とともにアクティブにされてもよい。これは、画素が非常に大きく、フォトダイオード１０５が大量の電荷を保持する場合に、行われる。
【００２０】
図４ａ及び図４ｂは、行選択トランジスタ１１２を加えられた本発明の代替の実施形態を示す。これらの実施形態は、行選択トランジスタが付加された点を除いて、図３と同じである。図４ｂで、行選択トランジスタ１１２は、出力トランジスタ１０２と電源線との間に配置されている。図４ａで、行選択トランジスタ１１２は、出力トランジスタ１０２と出力線との間に配置されている。画素加算動作は、図３に関して記載されたものと同じである。
【００２１】
図５を参照すると、複数の画素１１０を有する画素配列４０５を備えた本発明のイメージセンサ配列４００が示されている。各画素１１０は、図３に記載されるように、又は代替的に図４ａ及び４ｂに記載されるように、構成要素を有する。イメージセンサ配列４００は、画素１１０が配置されている基板４１０を有する。
【００２２】
図６を参照すると、本発明のイメージセンサ１２１２とともに使用されるイメージングシステムのブロック図が示されている。イメージングシステム１２００は、デジタルカメラ付き携帯電話機１２０２と、コンピューティングデバイス１２０４とを有する。デジタルカメラ付き携帯電話機１２０２は、本発明を組み込むイメージセンサを使用することができるイメージキャプチャデバイスの一例である。他のタイプのイメージキャプチャデバイス（例えば、デジタルスチルカメラ及びデジタルビデオカムコーダ等）も本発明とともに使用されてよい。
【００２３】
デジタルカメラ付き携帯電話機１２０２は、本発明に従う実施形態において、持ち運び可能な携帯型のバッテリ駆動デバイスである。デジタルカメラ付き携帯電話機１２０２は、メモリ１２０６に記憶されるデジタルイメージを生成する。メモリ１２０６は、例えば、内部フラッシュＥＰＲＯＭ又はリムーバブルメモリカードであってよい。他のタイプのデジタルイメージ記憶媒体（例えば、磁気ハードドライブ、磁気テープ、又は光ディスク等）が、メモリ１２０６を実施するために代替的に使用されてよい。
【００２４】
デジタルカメラ付き携帯電話機１２０２は、イメージセンサ１２１２のイメージセンサ配列４００に場面からの光を集束させるためにレンズ１２０８を用いる。イメージセンサ配列４００は、本発明に従う実施形態において、バイヤー（Bayer）カラーフィルタパターンを用いてカラーイメージ情報を提供する。イメージセンサ配列４００はタイミング発生器１２１４によって制御される。タイミング発生器１２１４は、また、周辺照明が低い場合に場面を照らすためにフラッシュ１２１６を制御する。
【００２５】
イメージセンサ配列４００から出力されるアナログ出力信号は、アナログ−デジタル（Ａ／Ｄ）コンバータ回路１２１８によって増幅されてデジタルデータに変換される。デジタルデータはバッファメモリ１２２０に記憶され、その後、デジタルプロセッサ１２２２によって処理される。デジタルプロセッサ１２２２は、ファームウェアメモリ１２２４に記憶されているファームウェアによって制御される。ファームウェアメモリ１２２４はフラッシュＥＰＲＯＭメモリであってよい。デジタルプロセッサ１２２２は実時間クロック１２２６を有する。実時間クロック１２２６は、デジタルカメラ付き携帯電話機１２０２及びデジタルプロセッサ１２２２が低電力状態にある場合でさえ、データ及び時間を保つ。処理されたデジタルイメージファイルはメモリ１２０６に記憶される。メモリ１２０６は、また、例えば、音楽ファイル（例えば、ＭＰ３ファイル）、着信音、電話番号、カレンダ、やることリスト等の他のタイプのデータを記憶することもできる。
【００２６】
本発明に従う一実施形態において、デジタルカメラ付き携帯電話機１２０２は静止画を捕捉する。デジタルプロセッサ１２２２は、描画ｓＲＧＢイメージデータを生成するために、色補間と、その後の色及び階調補正とを行う。次いで、描画ｓＲＧＢイメージデータは、圧縮されて、メモリ１２０６にイメージファイルとして記憶される。単なる一例として、イメージデータはＪＰＥＧフォーマットに準じて圧縮されてよい。ＪＰＥＧフォーマットは既知の“Ｅｘｉｆ”イメージフォーマットを使用する。このフォーマットは、様々なＴＩＦＦタグを用いる特定のイメージメタデータを記憶するＥｘｉｆアプリケーションセグメントを有する。別のＴＩＦＦタグが、例えば、データと、ピクチャが捕捉された時間と、レンズｆ／番号と、他のカメラ設定とを記憶し、かつ、イメージキャプションを記憶するために、使用されてよい。
【００２７】
デジタルプロセッサ１２２２は、本発明に従う一実施形態において、ユーザによって選択される種々のイメージサイズを生成する。１つのこのようなサイズは、低分解能の“サムネイル”サイズイメージである。サムネイルイメージの生成は、同一出願人による米国特許第５１６４８３１号明細書（「Electronic  Still  Camera  Providing  Multi-Format  Storage  of  Full  and  Reduced  Resolution Images」、Kuchta等）に記載されている。サムネイルイメージは、ＲＡＭメモリ１２２８に記憶され、ディスプレイ１２３０に供給される。ディスプレイ１２３０は、例えば、アクティブマトリクスＬＣＤ又は有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）であってよい。サムネイルサイズイメージの生成は、捕捉されたイメージがカラーディスプレイ１２３０で直ちに閲覧されることを可能にする。
【００２８】
本発明に従う他の実施形態において、デジタルカメラ付き携帯電話機１２０２は、また、ビデオクリップを生成し記憶する。ビデオクリップは、イメージセンサ配列４００の複数の画素を加算して（例えば、イメージセンサ配列４００の４行×４列の各領域内の同じ色の画素を加算して）、より低い分解能のビデオイメージフレームを生成することによって、生成される。ビデオイメージフレームは、例えば、毎秒１５フレームの読出レートにより、一定間隔ごとに、イメージセンサ配列４００から読み出される。
【００２９】
オーディオコーデック１２３２はデジタルプロセッサ１２２２に接続され、マイクロフォン（マイク）１２３４からオーディオ信号を受け取る。オーディオコーデック１２３２は、また、オーディオ信号をスピーカ１２３６に供給する。これらの構成要素は、ビデオシーケンス又は静止画とともに、オーディオトランクを記録し再生するために、かつ、通話のために、使用される。
【００３０】
スピーカ１２３６は、また、本発明の一実施形態において、入来する電話の呼び出しをユーザに知らせるためにも使用される。これは、ファームウェアメモリ１２２４に記憶されている標準の呼出音を用いて、又は、携帯電話ネットワーク１２３８からダウンロードされてメモリ１２０６に記憶されているカスタムの呼出音を使用することによって、行われてよい。更に、振動デバイス（図示せず。）が、入来する電話の呼び出しの無音の（例えば、可聴式でない）通知を提供するために使用されてよい。
【００３１】
デジタルプロセッサ１２２２は無線モデム１２４０に接続されている。無線モデム１２４０は、デジタルカメラ付き携帯電話機１２０２が、無線周波数（ＲＦ）チャネル１２４２を介して情報を送受信することを可能にする。無線モデム１２４０は、例えば３ＧＳＭネットワーク等の他のＲＦリンク（図示せず。）を用いて携帯電話ネットワーク１２３８と通信する。携帯電話ネットワーク１２３８はフォトサービスプロバイダ１２４４と通信する。フォトサービスプロバイダ１２４４は、デジタルカメラ付き携帯電話機１２０２からアップロードされたデジタルイメージを記憶する。コンピューティングデバイス１２０４を含む他のデバイスは、インターネット１２４６を介してこれらのイメージにアクセスする。携帯電話ネットワーク１２３８は、また、本発明に従う一実施形態において、通常の電話サービスを提供するために、標準の電話ネットワーク（図示せず。）にも接続する。
【００３２】
グラフィカル・ユーザ・インターフェース（図示せず。）は、ディスプレイ１２３０に表示され、ユーザ制御１２４８によって制御される。ユーザ制御１２４８は、本発明に従う一実施形態において、電話番号をダイヤルするための専用の押しボタン（例えば、電話キーパッド）、モード（例えば、電話モード、カレンダモード、カメラモード等）を選択するためのコントロール、４方向コントロール（左右上下）及び中央の押しボタン“ＯＫ”又は“選択（セレクト）”スイッチを有するジョイスティックコントローラ等を含む。
【００３３】
ドック１２５０は、デジタルカメラ付き携帯電話機１２０２のバッテリ（図示せず。）を再充電する。ドック１２５０は、デジタルカメラ付き携帯電話機１２０２をドックインターフェース１２５２を介してコンピューティングデバイス１２０４に接続する。ドックインターフェース１２５２は、本発明に従う実施形態において、例えばＵＳＢインターフェース等の有線インターフェースとして実施される。代替的に、本発明に従う他の実施形態において、ドックインターフェース１２５２は、例えばブルートゥース又はＩＥＥＥ８０２．１１ｂ無線インターフェース等の無線インターフェースとして実施される。ドックインターフェース１２５２は、メモリ１２０６からコンピューティングデバイス１２０４にイメージをダウンロードするために使用される。ドックインターフェース１２５２は、また、コンピューティングデバイス１２０４からデジタルカメラ付き携帯電話機１２０２内のメモリ１２０６にカレンダ情報を転送するためにも使用される。
【符号の説明】
【００３４】
１００，１０１，２００，３００  リセットトランジスタ
１０２，１０３，２０２，２０３，３０２，３０３  トランジスタ
１０４，２０４，３０４  フローティング・ディフュージョン
１０５，２０５，３０５  フォトダイオード
１０６，１０７，２０６，２０７，３０６，３０７  加算トランジスタ
１０８  加算ノード
１１０，２１０，３１０  画素
１１２  行選択トランジスタ
４００  イメージセンサ配列
４０５  画素配列
４１０  基板
１２００  イメージングシステム
１２０２  デジタルカメラ付き携帯電話機
１２０４  コンピューティングデバイス
１２０６  メモリ
１２０８  レンズ
１２１２  イメージセンサ
１２１４  タイミング発生器
１２１６  フラッシュ
１２１８  Ａ／Ｄコンバータ回路
１２２０  バッファメモリ
１２２２  デジタルプロセッサ
１２２４  ファームウェアメモリ
１２２６  クロック
１２２８  ＲＡＭメモリ
１２３０  カラーディスプレイ
１２３２  オーディオコーデック
１２３４  マイクロフォン
１２３６  スピーカ
１２３８  携帯電話ネットワーク
１２４０  無線モデム
１２４２  ＲＦチャネル
１２４４  フォトサービスプロバイダ
１２４６  インターネット
１２４８  ユーザ制御
１２５０  ドック
１２５２  ドックインターフェース
【図１】
0005562959.tif 000002
【図２】
0005562959.tif 000003
【図３】
0005562959.tif 000004
【図４ａ】
0005562959.tif 000005
【図４ｂ】
0005562959.tif 000006
【図５】
0005562959.tif 000007
【図６】
0005562959.tif 000008