(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を把持する把持部を昇降部によって昇降させて前記被搬送物を移載し、軌道に沿って走行することで前記被搬送物を搬送する搬送車であって、
導電性の材料を含んでなるシャフトと、
前記昇降部において、前記シャフトを回転可能に支持する支持部と、
前記支持部から見て、前記シャフトの一端側に取り付けられた複数の第１のドラムと、
前記支持部から見て、前記シャフトの他端側に取り付けられた複数の第２のドラムと、
前記複数の第１のドラムの各々に一端側が固定されると共に他端側が前記把持部に固定され、前記複数の第１のドラムの各々によって巻き出し及び巻き取りされる複数の第１のベルトと、
前記複数の第２のドラムの各々に一端側が固定されると共に他端側が前記把持部に固定され、前記複数の第２のドラムの各々によって巻き出し及び巻き取りされる複数の第２のベルトと、
前記支持部から見て、前記シャフトの一端側に設けられており、信号を送信する昇降部側送信部と、
前記把持部に設けられており、信号を受信する把持部側受信部と、
前記複数の第１のベルトのいずれかに設けられており、一端側が前記シャフトと絶縁され、他端側が前記把持部側受信部と導通される第１の芯線と、
前記複数の第２のベルトのいずれかに設けられており、一端側が前記シャフトと導通され、他端側が前記把持部側受信部と導通される第２の芯線と
を備え、
前記第１の芯線及び前記第２の芯線のうち一方は、前記一端側が前記昇降部側送信部に導通されることで、前記昇降部側送信部から前記把持部側受信部へと信号を伝達する信号線として機能し、他方は、アース線として機能する
ことを特徴とする搬送車。
【請求項２】
前記昇降部の、前記支持部から見て前記シャフトの一端側に設けられており、信号を受信する昇降部側受信部と、
前記把持部に設けられており、信号を送信する把持部側送信部と、
前記複数の第１のベルトのいずれかに設けられており、一端側が前記シャフトと絶縁されると共に前記昇降部側受信部と導通され、他端側が前記把持部側送信部と導通されることで、前記把持部側送信部から前記昇降部側受信部へと信号を伝達する信号線として機能する第３の芯線と
を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の搬送車。
【請求項３】
前記昇降部に設けられた第１の制御部と、
前記把持部に設けられた第２の制御部と、
前記把持部に設けられた電気機器と
を更に備え、
前記第１の制御部は、前記昇降部側送信部に前記電気機器を制御する制御信号を送信すると共に、前記昇降部側受信部から検出信号を受信し、
前記第２の制御部は、前記把持部側受信部から前記制御信号を受信して該制御信号に基づいて前記電気機器を制御すると共に、前記電気機器から検出された前記検出信号受信して前記把持部側送信部に送信する
ことを特徴とする請求項２に記載の搬送車。
【請求項４】
前記昇降部に設けられた電源部と、
前記把持部に設けられた受電部と、
前記複数の第１のベルトのいずれかに設けられており、一端側が前記シャフトと絶縁されると共に前記電源部と導通され、他端側が前記受電部と導通されることで、前記電源部から前記受電部へと電源電位を伝達する給電線として機能する第４の芯線及び第５の芯線と
を更に備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の搬送車。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送車を具備してなることを特徴とする搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば天井に敷設された軌道に沿って走行することで被搬送物を搬送する搬送車、及び該搬送車を備える搬送システムの技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の搬送車として、例えば天井に敷設された軌道に沿って走行する懸垂型の搬送車（所謂ＯＨＴ：Overhead Hoist Transport）がある。ＯＨＴは、被搬送物であるＦＯＵＰ(Front Opening Unified Pod)を移載する際に、巻き出し及び巻き取り可能な昇降ベルトによって取り付けられた把持部を用いる。把持部を昇降させる昇降ベルトには、把持部に各種信号（例えば、把持部の開閉動作を制御する信号等）を伝達するための芯線が設けられている。この芯線への信号伝達には、回転動作による断線等を防止するためにスリップリングが用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１４３３４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
昇降ベルトの芯線を介して伝達すべき信号の種類は、把持部における制御の種類が増えると、それに伴って増加する。しかしながら、昇降ベルト１本で伝達できる信号の数は、例えば芯線の抵抗値に応じて決まるため、その数に限界がある。よって、多くの信号を伝達しようとする場合には、複数の昇降ベルトを用いて信号を伝達することが求められる。
【０００５】
ここで仮に、２本の昇降ベルト間に減速機等の介在物があるとする。この場合、両方の昇降ベルトに信号を伝達させるためには、介在物を避けるように信号線を配置することが求められる。具体的には、昇降ベルトが取り付けられるシャフトに穴を空け、そこに信号線を通す方法が考えられる。しかしながら、この方法では、シャフトの強度不足を招くおそれがある。また、シャフトの径が小さい場合には、シャフトの中に信号線を通すことができない。或いは、上述した特許文献１に記載されているようなスリップリングを複数設ける方法も考えられるが、スリップリングは比較的高価な部材であるため、装置のコストを大幅に増大させてしまうという問題点がある。
【０００６】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、被搬送物を把持する把持部に対して、好適に信号を伝達可能な搬送車及び搬送システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の搬送車は上記課題を解決するために、被搬送物を把持する把持部を昇降部によって昇降させて前記被搬送物を移載し、軌道に沿って走行することで前記被搬送物を搬送する搬送車であって、導電性の材料を含んでなるシャフトと、前記昇降部において、前記シャフトを回転可能に支持する支持部と、前記支持部から見て、前記シャフトの一端側に取り付けられた複数の第１のドラムと、前記支持部から見て、前記シャフトの他端側に取り付けられた複数の第２のドラムと、前記複数の第１のドラムの各々に一端側が固定されると共に他端側が前記把持部に固定され、前記複数の第１のドラムの各々によって巻き出し及び巻き取りされる複数の第１のベルトと、前記複数の第２のドラムの各々に一端側が固定されると共に他端側が前記把持部に固定され、前記複数の第２のドラムの各々によって巻き出し及び巻き取りされる複数の第２のベルトと、前記支持部から見て、前記シャフトの一端側に設けられており、信号を送信する昇降部側送信部と、前記把持部に設けられており、信号を受信する把持部側受信部と、前記複数の第１のベルトのいずれかに設けられており、一端側が前記シャフトと絶縁され、他端側が前記把持部側受信部と導通される第１の芯線と、前記複数の第２のベルトのいずれかに設けられており、一端側が前記シャフトと導通され、他端側が前記把持部側受信部と導通される第２の芯線とを備え、前記第１の芯線及び前記第２の芯線のうち一方は、前記一端側が前記昇降部側送信部に導通されることで、前記昇降部側送信部から前記把持部側受信部へと信号を伝達する信号線として機能し、他方は、アース線として機能する。
【０００８】
本発明の搬送車によれば、被搬送物を把持する把持部を昇降部が昇降させることで被搬送物が移載される。より具体的には、先ず被搬送物を把持する把持部が、昇降部によって被搬送物を把持可能な位置まで降下される。そして、把持部が被搬送物を把持すると、昇降部によって把持部が元の位置へと上昇される。被搬送物が移載されると、例えば天井に敷設された軌道に沿って搬送車が走行する。これにより、軌道に沿って配置された半導体製造装置や一時保管棚等の間で、被搬送物が搬送される。
【０００９】
本発明の搬送車は特に、導電性の材料を含んでなるシャフトを有している。このシャフトは、昇降部に設けられた支持部によって回転可能に支持されている。支持部から見てシャフトの一端側には、複数の第１のドラムが取り付けられている。また支持部から見てシャフトの他端側には、複数の第２のドラムが取り付けられている。即ち、シャフトには、支持部を介在させて対向するような位置に、第１のドラム及び第２のドラムが夫々設けられている。
【００１０】
複数の第１のドラムの各々には、第１のベルトがそれぞれ取り付けられている。即ち、第１のドラムの数だけ、第１のベルトが設けられている。第１のベルトは、一端が第１のドラムに固定されると共に他端が把持部に固定されており、第１のドラムによって巻き出し及び巻き取り可能に構成されている。また第２のドラムの各々には、第２のベルトがそれぞれ取り付けられている。即ち、第２のドラムの数だけ、第２のベルトが設けられている。第２のベルトは、一端が第２のドラムに固定されると共に他端が把持部に固定されており、第２のドラムによって巻き出し及び巻き取り可能に構成されている。よって、第１のベルト及び第２のベルトを巻き出せば、昇降部に対して把持部を降下させることができる。また、第１のベルト及び第２のベルトを巻き取れば、降下させた把持部を上昇させることができる。
【００１１】
支持部から見てシャフトの一端側には、昇降部側送信部が設けられている。即ち、昇降部側送信部は、支持部から見て第１のドラム側に設けられている。昇降部側送信部は、例えば把持部における各種制御（例えば、把持部の開閉動作、被搬送物の存在検出、被搬送物の移載位置の教示、把持部の揺れ検出等等）を行うための制御信号を送信する。一方で、把持部には把持部側受信部が設けられており、昇降部側送信部から送信される信号を受信する。把持部側受信部は、例えば受信した制御信号を用いて把持部側の動作を制御する。
【００１２】
第１のドラムに取り付けられた複数の第１のベルトのいずれかには、その長さ方向に延在するように、第１の芯線が設けられている。第１の芯線は導電性を有しており、一端側において昇降部に設けられたシャフトと絶縁され、他端側で把持部に設けられた把持部側受信部と導通されている。一方、第２のドラムに取り付けられた複数の第２のベルトのいずれかには、その長さ方向に延在するように、第２の芯線が設けられている。第２の芯線は導電性を有しており、一端側において昇降部に設けられたシャフトと導通され、他端側で把持部に設けられた把持部側受信部と導通されている。尚、第１の芯線及び第２の芯線は、それぞれ複数設けられていてもよい。この場合には、第１の芯線及び第２の芯線が、それぞれ複数の第１のベルト及び複数の第２のベルトに設けられてもよいし、一本の第１のベルト及び第２のベルトにまとめて設けられてもよい。
【００１３】
本発明では上述したように、第１の芯線がシャフトと絶縁されているのに対し、第２の芯線はシャフトと導通されている。このため、第２の芯線を介して伝達される信号を、シャフトを介して第２のドラム側から第１ドラム側へと伝達することが可能である。或いは、第１のドラム側から送信される信号を、シャフトを介して第２のドラム側の第２の芯線へと伝達することが可能である。このような効果は、シャフトを支持する支持部が、例えば減速機のように比較的大きな部材として構成される場合に顕著に発揮される。即ち、支持部が介在することによって、信号線を迂回させなければならないような場面において非常に有効である。
【００１４】
尚、例えばシャフトに穴を空けて、その中に信号線を通すような構成も考えられる。しかしながら、この方法では、シャフトに空けた穴によって強度不足を招くおそれがある。また、シャフトの径が小さい場合には、シャフトの中に信号線を通すことができない。また、複数のスリップリングを用いる方法も考えられるが、スリップリングは比較的高価な部材であるため、装置のコストを大幅に増大させてしまう。しかるに本発明は、シャフトを導電性の材料を含むように構成し、そのまま信号線として機能させているだけなので、極めて簡単な構成で、上述した不都合を確実に回避することが可能である。
【００１５】
本発明では、第１の芯線及び第２の芯線のうち一方は、一端側が昇降部側送信部に導通されることで、昇降部側送信部から把持部側受信部へと信号を伝達する信号線として機能し、他方は、アース線（即ち、接地線）として機能する。即ち、第１の芯線及び第２の芯線は、互いに異なる信号を伝達する。第１の芯線及び第２の芯線のうち一方が信号線として機能することで、昇降部から把持部への信号伝達を、比較的簡単な構成で実現できる。また、他方がアース線として機能することで装置の誤作動防止や安全性の向上を実現することができる。尚、第２の芯線はシャフトを介して信号を伝達するため、シャフトを介さない第１の芯線と比べると、信号の伝達効率が悪くなってしまうおそれがある。このため、第２の芯線は、正確性の求められないアース線として機能させることが好ましい。
【００１６】
以上説明したように、本発明の搬送車によれば、被搬送物を把持する把持部に対して、好適に信号を伝達することが可能である。
【００１７】
本発明の搬送車の一態様では、前記昇降部の、前記支持部から見て前記シャフトの一端側に設けられており、信号を受信する昇降部側受信部と、前記把持部に設けられており、信号を送信する把持部側送信部と、前記複数の第１のベルトのいずれかに設けられており、一端側が前記シャフトと絶縁されると共に前記昇降部側受信部と導通され、他端側が前記把持部側送信部と導通されることで、前記把持部側送信部から前記昇降部側受信部へと信号を伝達する信号線として機能する第３の芯線とを更に備える
【００１８】
この態様によれば、昇降部における支持部から見てシャフトの一端側に、信号を受信する昇降部側受信部が設けられている。即ち、昇降部側受信部は、昇降部側送信部と同様に、第１のドラム側に設けられている。また把持部には、信号を送信する把持部側送信部が設けられている。
【００１９】
昇降部側受信部及び把持部側送信部は、第１のベルトに設けられた第３の芯線によって夫々導通されている。このため、把持部側送信部から送信された信号は、第３の芯線を介して昇降部側受信部へと伝達される。ちなみに、第３の芯線は、一端側がシャフトと絶縁するように設けられているため、第１、第２及び第３の芯線は、互いに異なる信号を伝達することが可能である。尚、第３の芯線は、第１の芯線が設けられる第１のベルトと同じベルト上に設けられていてもよいし、他の第１のベルト上に設けられていてもよい。
【００２０】
第３の芯線が把持部側送信部から昇降部側受信部へと信号を伝達する信号線として機能することで、第１の芯線及び第２の芯線のうち、昇降部側送信部から把持部側へと信号を伝達する信号線と機能するものと併せて、昇降部及び把持部間での信号の送受信を実現できる。
【００２１】
本発明の搬送車の他の態様では、前記昇降部に設けられた第１の制御部と、前記把持部に設けられた第２の制御部と、前記把持部に設けられた電気機器とを更に備え、前記第１の制御部は、前記昇降部側送信部に前記電気機器を制御する制御信号を送信すると共に、前記昇降部側受信部から検出信号を受信し、前記第２の制御部は、前記把持部側受信部から前記制御信号を受信して該制御信号に基づいて前記電気機器を制御すると共に、前記電気機器から検出された前記検出信号受信して前記把持部側送信部に送信する。
【００２２】
この態様によれば、昇降部に第１の制御部が設けられ、把持部に第２の制御部が設けられる。また把持部には、各種制御を実行するための電気機器が設けられる。尚、電気機器は、複数種類設けられてもよい。
【００２３】
本態様に係る搬送車では、先ず第１の制御部から、電気機器を制御するための制御信号が、昇降部側送信部に送信される。そして昇降部送信部からは、第１の芯線及び第２の芯線のうち一方を介して、把持部側受信部へと制御信号が送信される。把持部側受信部は、第２の制御部に受信した制御信号を送信する。第２の制御部は、把持部側受信部から受信した制御信号に基づいて電気機器を制御する。
【００２４】
電気機器では、その制御の結果として検出信号が検出される。この検出信号は、第２の制御部へと送信される。第２の制御部は、受信した検出信号を把持部側送信部へと送信する。把持部側送信部からは、受信した検出信号が、第３の芯線を介して昇降部側受信部へと送信される。昇降部側受信部は、受信した検出信号を、第１の制御部へと送信する。
【００２５】
上述した制御が第１の制御部及び第２の制御部によって行われることで、把持部側の電気機器を昇降部側から総括的に制御することができる。また、把持部側の動作状況等を昇降部側が総括的に把握することができる。
【００２６】
本発明の搬送車の他の態様では、前記昇降部に設けられた電源部と、前記把持部に設けられた受電部と、前記複数の第１のベルトのいずれかに設けられており、一端側が前記シャフトと絶縁されると共に前記電源部と導通され、他端側が前記受電部と導通されることで、前記電源部から前記受電部へと電源電位を伝達する給電線として機能する第４の芯線及び第５の芯線とを更に備える。
【００２７】
この態様によれば、昇降部に電源電位を供給する電源部が設けられており、把持部に電源電位を受け取る受電部が設けられている。また第１のベルトのいずれかには、一端側がシャフトと絶縁されると共に電源部と導通され、他端側が受電部と導通される第４の芯線及び第５の芯線が設けられている。第４の芯線及び第５の芯線は、典型的には、互いに同じベルト上に設けられが、互いに異なるベルト上に別々に設けられてもよい。また、第４の芯線及び第５の芯線は、第１の芯線や第３の芯線が設けられるベルト上に設けられてもよいし、他のベルトに設けられてもよい。
【００２８】
本態様では、第４の芯線及び第５の芯線によって電源電位が供給されるため、把持部において消費される電力を昇降部から供給できる。よって、把持部自体に電源部を設けずに済む。これにより、把持部の構成を簡単なものとすることができ、小型化や軽量化を実現することができる。
【００２９】
本発明の搬送システムは上記課題を解決するために、上述した本発明の搬送車（但し、その各種態様も含む）を具備してなる。
【００３０】
本発明の搬送システムによれば、上述した搬送車を備えているため、各々の搬送車において、把持部への好適な信号伝達を実現できる。
【００３１】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する発明を実施するための形態から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】実施形態に係る搬送システムの全体構成を示す上面図である。
【図２】実施形態に係る搬送車の構成を示す側面図である。
【図３】実施形態に係る搬送車の移載動作を示す斜視図である。
【図４】実施形態に係る搬送車の横移載動作を示す斜視図である。
【図５】昇降部の全体構成を示す下面図である。
【図６】昇降ベルトの具体的な構成を示す平面図である。
【図７】図５のＡ−Ａ’線断面図である。
【図８】図５のＢ−Ｂ’線断面図である。
【図９】図５のＣ−Ｃ’線断面図である。
【図１０】図５における領域Ｄの内部構造を示す断面図である。
【図１１】各昇降ベルトの電気的接続を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００３４】
先ず、本実施形態に係る搬送システムの全体構成について、図１を参照して説明する。ここに図１は、本実施形態に係る搬送システムの全体構成を示す平面図である。
【００３５】
図１において、本実施形態に係る搬送システムは、軌道１００と、搬送車２００と、コントローラ３００とを備えて構成されている。
【００３６】
軌道１００は、例えば天井に敷設されており、アルミニウムやステンレス等の金属から構成される。
【００３７】
搬送車２００は、軌道１００上に複数配置されており、軌道１００に沿って走行することで、被搬送物であるＦＯＵＰやレチクル等を搬送することが可能である。
【００３８】
また搬送車２００は、車上コントローラ２０５を夫々有している。車上コントローラ２０５は、コントローラ３００から搬送指令を受け取り、搬送車２００の走行を制御する。尚、車上コントローラ２０５は、搬送車２００の走行を制御するだけでなく、搬送車２００に備えられた各機器を総括的に制御するという機能も有している。
【００３９】
コントローラ３００は、例えば演算回路やメモリ等を含んで構成されており、車上コントローラ２０５を介して、搬送車２００に搬送指令を与えることが可能に構成されている。
【００４０】
尚、ここでの図示は省略しているが、軌道１００に沿った位置には、ＦＯＵＰを一時的に保管する一時保管棚や半導体製造装置等が複数設けられている。
【００４１】
次に、搬送車のより具体的な構成について、図２を参照して説明する。ここに図２は、搬送車の構成を示す側面図である
【００４２】
図２において、搬送車２００は、走行部２１０、本体部２２０、移動部２３０、昇降部２３５、昇降ベルト２４０及び把持部２５０を備えて構成されている。
【００４３】
搬送車２００は、走行部２１０が例えばリニアモータ等によって推進力を与えることで、走行ローラ２１５が転動されつつ、軌道１００に沿って走行する。走行部２１０の下面には、本体部２２０が吊り下がる形で取り付けられている。
【００４４】
本体部２２０には、移動部２３０が取り付けられている。移動部２３０は、軌道１００の側方（即ち、図における左右方向）に移動することが可能である。移動部２３０の下面には、昇降部２３５が取り付けられている。
【００４５】
昇降部２３５の下面には、ＦＯＵＰを把持する把持部２５０が昇降ベルト２４０によって取り付けられている。把持部２５０は、昇降ベルト２４０を巻き出す或いは巻き取ることで、本体部２２０に対し昇降可能である。
【００４６】
次に、搬送車によるＦＯＵＰの移載方法について、図３及び図４を参照して説明する。ここに図３及び図４は夫々、実施形態に係る搬送車のＦＯＵＰの移載方法を示す斜視図である。
【００４７】
図３において、搬送車２００が、軌道１００の真下に位置する一時保管棚５１０上のＦＯＵＰ４００を移載する際には、先ず搬送車２００が軌道１００上を走行して、一時保管棚５１０上に設置されたＦＯＵＰ４００の上方に停止する。
【００４８】
続いて、図に示すように、昇降部２３５によって昇降ベルト２４０が巻き出されることで把持部２５０がＦＯＵＰ４００の位置まで降下する。そして、把持部２５０とＦＯＵＰ４００との位置の微調整が行われ、ＦＯＵＰ４００が把持される。
【００４９】
ＦＯＵＰ４００が把持されると、昇降ベルト２４０が巻き取られ、把持部２５０及び把持されたＦＯＵＰ４００が本体部２２０の位置まで上昇する。そして、再び搬送車２００が軌道１００上を走行して、ＦＯＵＰ４００が搬送される。
【００５０】
図４において、ＦＯＵＰ４００が、軌道１００の側方にそれた位置にある一時保管棚５２０に設置されている場合には、移動部２３０が軌道１００の側方に移動した後に、昇降部２３５によって昇降ベルト２４０が巻き出され、把持部２５０がＦＯＵＰ４００の位置まで降下する。このように動作することで、軌道部１００からＦＯＵＰ４００の横移載を行うことが可能となる。
【００５１】
次に、上述した移載動作を実現する昇降部２３５の具体的な構成について、図５及び図６を参照して説明する。ここに図５は、昇降部の全体構成を示す下面図である。また図６は、昇降ベルトの具体的な構成を示す平面図である。
【００５２】
図５において、本実施形態に係る昇降部２３５では、シャフト６１０が減速機６２０によって回転可能に支持されている。シャフト６１０は、導電性を有する金属等を含んで構成されている。尚、ここでの減速機６２０は、本発明の「支持部」の一例である。
【００５３】
シャフト６１０の左端には、第１のドラム７１０及び７３０が夫々取り付けられている。一方、シャフト６２０の右端には、第２のドラム７２０及び７４０が夫々取り付けられている。即ち、シャフト６１０には、その両端に夫々２つずつドラムが取り付けられている。但し、シャフト６２０の両端には、それぞれ３個以上の第１のドラム及び第２のドラムが設けられていてもよい。
【００５４】
第１のドラム７１０及び７３０には、昇降ベルト２４０の１つとして、第１のベルト２４１及び２４３が夫々取り付けられている。同様に、第２のドラム７２０及び７４０には、第２のベルト２４２及び２４４が夫々取り付けられている。第１のベルト２４１及び２４３、並びに第２のベルト２４２及び２４４は、各々が取り付けられたドラムの回転に応じて夫々巻き出し或いは巻き取られて、ドラムとは他端側に取り付けられた把持部２５０を昇降させる。
【００５５】
図６において、昇降ベルト２４０には、長さ方向に延在するように芯線８１１及び８１２が設けられている。芯線８１１及び８１２は、夫々接続端子８２１及び８２２に対して電気的に接続されており、接続端子８２１及び８２２から入力された信号を他端側へと伝達することができる。即ち、本実施形態に係る昇降ベルト２４０は、昇降部２３５と把持部２５０との間で信号を伝達する信号線として機能する。尚、本実施形態に係る昇降ベルト２４０は、ベルト１本あたり２種類の信号を伝達することが可能である。
【００５６】
次に、昇降ベルトの電気的接続機構について、図７から図１０を参照して説明する。ここに図７は、図５のＡ−Ａ’線断面図、図８は、図５のＢ−Ｂ’線断面図、図９は、図５のＣ−Ｃ’線断面図である。また図１０は、図５における領域Ｄの内部構造を示す断面図である。
【００５７】
図７において、第１のベルト２４１は、第１のドラム７１０中を通すように設けられたコネクタ７５１と電気的に接続されている。コネクタ７５１は、シャフト６１０の端部に設けられたスリップリング６３０（図５参照）を介して信号を供給している。尚、第１のベルト２４１は、シャフト６１０とは絶縁されている。
【００５８】
図８において、もう１つの第１のベルト２４３は、第３のドラム７３０中を通すように設けられたコネクタ７５２と電気的に接続されている。コネクタ７５２は、上述したコネクタ７５１と同様に、シャフト６１０の端部に設けられたスリップリング６３０を介して信号を供給している。尚、第１のベルト２４３も、第１のベルト２４１と同様に、シャフト６１０とは絶縁されている。
【００５９】
図９において、シャフト６１０は、スリップリング６３０が設けられている側の端部において、アース線と電気的に接続されている。具体的には、図に示すように、シャフト６１０にはアース接続ネジ７６１が設けられている。アース接続ネジ７６１は、スリップリング６３０と電気的に接続されている。即ち、シャフト６１０は、スリップリング６３０と電気的に接続されている
【００６０】
図１０において、シャフト６１０のスリップリング６３０が設けられていない側の端部にも、アース接続ネジ７６２が設けられている。アース接続ネジ７６２は、第２のベルト２４２（図５参照）と電気的に接続されている。これにより、第２のベルト２４２上に設けられた芯線を、アース線として機能させることが可能となる。
【００６１】
次に、昇降部２３５及び把持部２５０における電気的接続について、図１１を参照して説明する。ここに図１１は、各昇降ベルトの電気的接続を示すブロック図である。
【００６２】
図１１において、スリップリング６３０は、車上コントローラ２０５と電気的に接続されており、車上コントローラから出力される制御信号を、昇降ベルト２４１へと伝達している。第１のベルト２４１を介して伝達される制御信号は、把持部２５０における把持部側制御部９００に入力され、そこから開閉モータ９１０、在荷センサ９２０、教示部９３０及び揺れ検出センサ９４０へと夫々供給される。尚、開閉モータ９１０、在荷センサ９２０、教示部９３０及び揺れ検出センサ９４０は、本発明の「電気機器」の一例である。
【００６３】
開閉モータ９１０は、把持部２５０の開閉を制御するモータである。即ち、ＦＯＵＰ４００を把持するための動作を実現するための動力機構である。開閉モータ９１０は、動作状況を示す検出信号を把持部側制御部９００に出力する。
【００６４】
在荷センサ９２０は、ＦＯＵＰを移載する一時保管棚５１０（図３参照）や一時保管棚５２０等（図４参照）に、ＦＯＵＰが存在しているか否かを検出する。これにより、移載動作の異常等を検知することが可能となる。尚、在荷センサ９２０における検出結果は、検出信号として把持部側制御部９００に出力される。
【００６５】
教示部９３０は、把持部２５０がＦＯＵＰを把持する位置の自動ティーチングを行う。これにより、ＦＯＵＰ４００の把持動作の精度を高めることが可能である。教示データは、検出信号として把持部側制御部９００に出力される。
【００６６】
揺れ検出センサ９４０は、把持部２５０の揺れの大きさ（言い換えれば、把持したＦＯＵＰ４００が揺れ過ぎていないか）を検出することが可能である。尚、揺れ検出センサ９４０における検出結果は、検出信号として把持部側制御部９００に出力される。
【００６７】
開閉モータ９１０、在荷センサ９２０、教示部９３０及び揺れ検出センサ９４０の各部位から出力される検出信号は、把持部側制御部９００から、第１のベルト２４１及びスリップリング６３０を介して車上コントローラへ２０５と伝達される。これにより、把持部２５０側の動作状況を、昇降部２３５側で総括的に把握することが可能となる。尚、ここでの車上コントローラ２０５は、本発明の「第１の制御部」の一例であり、スリップリング６３０は、本発明の「昇降部側送信部」及び「昇降部側受信部」の一例である。また、把持部側制御部９００は、本発明の「第２の制御部」、「把持部側受信部」及び「把持部側送信部」の一例である。
【００６８】
車上コントローラ２０５からは、スリップリング６３０を介して電源電位も供給されている。具体的には、第１のベルト２４３を介して、正の電源電位及び負の電源電位が、それぞれ把持部側制御部９００に供給されている。即ち、車上コントローラ２０５は、本発明の「電源部」の一例としても機能し、把持部側制御部９００は、本発明の「受電部」の一例としても機能する。
【００６９】
ここで供給される電源電位は、開閉モータ９１０、在荷センサ９２０、教示部９３０及び揺れ検出センサ９４０の制御に用いられる。本実施形態のような構成によれば、把持部２５０において消費される電力を昇降部２３５側から供給できるため、把持部２５０自体に電源部を設けずに済む。これにより、把持部２５０の構成を簡単なものとすることができ、小型化や軽量化を実現することができる。
【００７０】
本実施形態では更に、図９及び図１０に示したように、スリップリング６３０とは逆側の端部に設けられた第２のベルト２４２が、アース線として機能するように構成されている。そして特に、第２のベルト２４２は、シャフト６１０を介して、スリップリング６３０に電気的に接続されている。スリップリング６３０は、搬送車２００のフレーム（即ち、本体部２２０）に電気的に接続されている。これにより、把持部２５０は基準電位に落とされ、装置の誤作動防止や安全性の向上を実現できる。
【００７１】
上述した構成では、シャフト６１０の一端側と他端側との電気的接続を、極めて簡単に実現できる。即ち、本来であればシャフト６１０の中央付近に介在する減速機６２０を迂回するように信号線を配置すべきところを、導電性を有するシャフト６１０を利用することで、極めて簡単な構成で実現できる。
【００７２】
本実施形態では、図を見ても分かるように、シャフト６１０両端に２本の昇降ベルト２４０が設けられており、これらの昇降ベルト２４０によって夫々２種類の信号を伝達できる。即ち、シャフト６１０の一端側で、最大４種類の信号を伝達可能に構成されている。しかしながら、このような構成では、５種類以上の信号を伝達しようとした場合に、シャフトの一端側の昇降ベルト２４０だけでは全てを伝達することができず、シャフト６１０の他端側に設けられた昇降ベルト２４０を用いることが求められてしまう。
【００７３】
シャフト６１０の他端側に設けられた昇降ベルト２４０に信号を伝達させるためには、例えば、シャフト６１０に穴を空け、そこに信号線を通す方法が考えられる。しかしながら、この方法では、シャフト６１０の強度不足を招くおそれがある。また、シャフト６１０の径が小さい場合には、シャフトの中に信号線を通すことができない。或いは、スリップリング６３０を他端側にも設ける方法も考えられるが、スリップリング６３０は比較的高価な部材であるため、装置のコストを大幅に増大させてしまうという問題点がある。本実施形態では、シャフト６１０を導電材料で構成し、自らを信号線として機能させることで、上述した不都合を回避している。
【００７４】
以上説明したように、本実施形態に係る搬送システムによれば、各々の搬送車２００において、把持部２５０への好適な信号伝達を実現できる。
【００７５】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う落下防止柵及び搬送システムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００７６】
１００…軌道、２００…搬送車、２０５…車上コントローラ、２１０…走行部、２１５…走行ローラ、２２０…本体部、２３０…移動部、２３５…昇降部、２４０…昇降ベルト、２４１，２４３…第１のベルト、２４２，２４４…第２のベルト、２５０…把持部、３００…コントローラ、４００…ＦＯＵＰ、５１０…一時保管棚、５２０…一時保管棚、６１０…シャフト、６２０…減速機、６３０…スリップリング、７１０，７３０…第１のドラム、７２０，２４０…第２のドラム、７５１，７５２…コネクタ、７６１，７６２…アース接続ネジ、８１１，８１２…芯線、８２１，８２２…接続端子、９００…把持部側制御部、９１０…開閉モータ、９２０…在荷センサ、９３０…教示部、９４０…揺れ検出センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図１１】
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【図５】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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