(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
集積回路（ＩＣ）パッケージにおいて熱を放散させるための方法であって、
ダイ配置位置において基板に開口を形成することと、
前記開口および前記基板の下面の少なくとも一部を接着テープ材料で覆うことと、
前記開口および前記基板の下面を前記接着テープ材料で覆った後、前記基板の前記下面の少なくとも一部に接着材料を残して前記テープ材料を除去することと、
前記接着材料が硬化するときに、ヒート・スプレッダ・デバイスの上面が前記基板の前記下面に結合するように、前記ヒート・スプレッダ・デバイスの前記上面を前記基板の前記下面の前記接着材料に接触して配置することと、
を含む方法。
【請求項２】
ダイ・アタッチ工程を実行することをさらに含み、前記ダイ・アタッチ工程中に、前記ＩＣダイの下面が、前記基板に形成された前記開口を通して前記ヒート・スプレッダ・デバイスの前記上面に結合される請求項１に記載の方法。
【請求項３】
ダイ・アタッチ工程を実行することをさらに含み、前記ダイ・アタッチ工程中に、ＩＣダイの下面の一部が、前記ヒート・スプレッダ・デバイスの前記上面の上方で前記開口に配置されるように、前記開口を覆って前記基板の上面に結合される請求項１に記載の方法。
【請求項４】
ボンディング工程を実行することをさらに含み、前記ボンディング工程中に、１つまたは複数の導体の第１の終端が、前記ダイの上面の１つまたは複数の導電パッドに接続され、前記１つまたは複数の導体の第２の終端が、リードフレームの１つまたは複数の導電リードに接続され、
モールディング工程を実行することをさらに含み、前記モールディング工程中に、少なくとも前記ダイの前記上面と、前記１つまたは複数の導体が、モールディング・コンパウンドに覆われ、１つまたは複数の型板が、前記コンパウンドを成形するために使用される請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記モールディング工程が実行された後に、前記テープ材料が、除去され、前記ヒート・スプレッダ・デバイスの前記上面が、前記基板の前記下面に結合される、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記モールディング工程が実行される前に、前記テープ材料が、除去され、前記ヒート・スプレッダ・デバイスの前記上面が、前記基板の前記下面に結合される、請求項４に記載の方法。
【請求項７】
前記ダイ・アタッチ工程が実行された後に、前記テープ材料が、除去され、前記ヒート・スプレッダ・デバイスの前記上面が、前記基板の前記下面に結合される、請求項４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集積回路（ＩＣ）に関する。より詳細には、本発明は、ＩＣパッケージにおいて熱を放散させるための方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面実装デバイスとして使用することが意図されたパッケージＩＣデバイスの場合、パッケージ内の熱を放散させるための現在の技法は、ＩＣデバイスの上部に結合されたヒート・スプレッダ・デバイス（ｈｅａｔ  ｓｐｒｅａｄｅｒ  ｄｅｖｉｃｅ）の使用を含む。図１は、上部および下部型板（ｍｏｌｄ  ｐｌａｔｅ）３、４それぞれの間に配置されたパッケージＩＣデバイス２の垂直断面図を示している。ＩＣパッケージ２は、ダイ・アタッチ材料（ｄｉｅ  ａｔｔａｃｈ  ｍａｔｅｒｉａｌ）６によってリードフレーム１１の基板８のダイ・アタッチ領域（ｄｉｅ  ａｔｔａｃｈ  ｒｅｇｉｏｎ）７に取り付けられたダイ５を有する。ダイ５上のパッド（図示せず）は、電気導体（例えば金線）９によってパッケージ２のリードフレーム１１に接続される。ヒート・スプレッダ・デバイス１２は、ダイ５の上方でパッケージ２の上部にわたって広がり、アタッチメント材料によってリードフレーム１１に取り付けられた基礎（ｆｏｏｔｉｎｇ）を有する。ヒート・スプレッダ・デバイス１２は、モールディング・コンパウンド（ｍｏｌｄｉｎｇ  ｃｏｍｐｏｕｎｄ）１３によってダイ５から隔てられる。モールディング・コンパウンド１３は、硬化された場合、固体化して、図１に示された位置にヒート・スプレッダ・デバイス１２を固定する。
【０００３】
ヒート・スプレッダ・デバイス１２は、パッケージを成形（すなわち封入）する前に、ＩＣデバイス２の上部に正確に位置付けされなければならない。モールディング工程（ｍｏｌｄｉｎｇ  ｐｒｏｃｅｓｓ）が実行されるときに、ヒート・スプレッダ・デバイス１２がデバイス２に正確に位置付けられていない場合、モールディング・コンパウンド１３が、滲み出るまたは流れ出る（すなわち、ヒート・スプレッダ・デバイス１２の上部に流れかかる）ことがある。過度なモールド・ブリード（ｍｏｌｄ  ｂｌｅｅｄ）は、ＩＣデバイス２の熱放散特性を妨げることがある。加えて、モールド・クランピング（ｍｏｌｄ  ｃｌａｍｐｉｎｇ）中、モールド・クランプ（ｍｏｌｄ  ｃｌａｍｐ）がヒート・スプレッダ・デバイス１２を圧迫し、それがヒート・スプレッダ・デバイス１２の基礎における剥離をもたらす可能性がある。その後、ヒート・スプレッダ・デバイス１２の基礎周辺の剥離した領域に湿気が溜まることがあり、それがひいては「水蒸気爆発（ｐｏｐ  ｃｏｒｎｉｎｇ）」を引き起こすことがある。「水蒸気爆発」は、ＩＣデバイスに機械的損傷をもたらして、ＩＣデバイスが適切に動作することを妨げることがある。
【０００４】
図２は、図１に示されたＩＣデバイスをパッケージし、ＳＭＴによるプリント回路基板（ＰＣＢ：ｐｒｉｎｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ  ｂｏａｒｄ）への実装のためにそれを準備するための、現在の組み立て工程を表すフローチャートを示している。多くのＩＣダイを有するウェーハは、ブロック２１によって示されるように、ウェーハを薄くするバック・グラインド工程（ｂａｃｋ  ｇｒｉｎｄｉｎｇ  ｐｒｏｃｅｓｓ）にかけられる。ウェーハを薄くすることで、最終的なＩＣパッケージ・サイズが小さくなり、最終的なＩＣパッケージの熱抵抗が低くなる。その後、ブロック２２によって示されるように、ウェーハは、個々のダイにダイシング（ｄｉｃｅ）される。その後、ブロック２３によって示されるように、ダイは、ダイ・アタッチ工程（ｄｉｅ  ａｔｔａｃｈ  ｐｒｏｃｅｓｓ）中に、ペーストを用いてリードフレーム基板に取り付けられる。その後、ブロック２４によって示されるように、ダイ・アタッチ・ペーストが、硬化される。その後、ブロック２５によって示されるように、ダイのパッドが、ワイヤ・ボンディング工程（ｗｉｒｅ  ｂｏｎｄｉｎｇ  ｐｒｏｃｅｓｓ）中に、リードフレームの導体に接合される。その後、ブロック２６によって示されるように、ヒート・スプレッダ・デバイスが、取り付けられる。ヒート・スプレッダ・デバイスの取付けは、リードフレーム上の特定の位置にアタッチメント材料を配置することと、ヒート・スプレッダ・デバイスの脚の足がアタッチメント材料と接触するように、ダイの上方にヒート・スプレッダ・デバイスを正確に位置付けることを含む。その後、ブロック２７によって示されるように、アタッチメント材料は、硬化され、それによって、ヒート・スプレッダ・デバイスの脚の足が、リードフレームに固定される。その後、ＩＣデバイスは、ブロック２８によって示されるように、モールディング工程にかけられる。
【０００５】
モールディング工程が実行された後、パッケージは一般に、ブロック２９によって示されるように、何らかの証印（例えば部品名および番号）をパッケージに刻むレーザ・マーキング工程（ｌａｓｅｒ  ｍａｒｋｉｎｇ  ｐｒｏｃｅｓｓ）にかけられる。その後、パッケージは、ブロック３１によって示されるように、ポストモールド・キュアリング工程（ｐｏｓｔ−ｍｏｌｄ  ｃｕｒｉｎｇ  ｐｒｏｃｅｓｓ）にかけられる。ＳＭＴにおいて使用される場合、次にパッケージ・リードフレームは一般に、ブロック３２によって示されるように、半田ボール・マウンティング工程（ｓｏｌｄｅｒ  ｂａｌｌ  ｍｏｕｎｔｉｎｇ  ｐｒｏｃｅｓｓ）にかけられ、それによって、リードフレームをＰＣＢに半田付けするために後で使用される半田ボールが、リードフレーム上に配置される。その後、ブロック３３によって示されるように、シングレーション工程（ｓｉｎｇｕｌａｔｉｏｎ  ｐｒｏｃｅｓｓ）が実行され、それによって、ＩＣパッケージのリードフレームが、他の同様のＩＣパッケージを形成するために他の同様のＩＣデバイスに接続される予定の他のリードフレームから切り離される。これでＩＣパッケージのリードフレームは、後続の実装工程（ｍｏｕｎｔｉｎｇ  ｐｒｏｃｅｓｓ）（図示せず）中に、半田付けによってＰＣＢに接続される準備が完了する。
【０００６】
上述したように、モールディング工程（ブロック８）が開始する前に、ヒート・スプレッダ・デバイスが正確に位置付けられていない場合、モールディング・コンパウンド（例えば樹脂）が、モールディング工程中に滲み出るまたは流れ出ることがあり、それがパッケージの熱放散性能を妨げることがある。ヒート・スプレッダ・デバイスに作用するクランプ力も、ヒート・スプレッダ・デバイスの基礎における剥離をもたらすことがあり、それが後で（例えば、半田ボール・マウント・リフロー（ｓｏｌｄｅｒ  ｂａｌｌ  ｍｏｕｎｔ  ｒｅｆｌｏｗ）中、またはＰＣＢに実装された後）「水蒸気爆発」をもたらすことがある。
【０００７】
この問題を防止するために提案された別の技法は、高い熱伝導性を有するモールディング・コンパウンドを使用することである。熱伝導性が高いモールディング・コンパウンドの使用は、デバイスの熱的性能を改善することができる。しかし、このコンパウンドの使用は通常、モールディング工程中に発生するかなりのワイヤ・スウェイ（ｗｉｒｅ  ｓｗａｙ）と、大きなパッケージ歪み（ｐａｃｋａｇｅ  ｗａｒｐ）をもたらす。かなりの歪みは、例えば、ＰＣＢにＩＣデバイスを実装する最中のボール・ショート（ｂａｌｌ  ｓｈｏｒｔ）など、処理上の困難をもたらす。この技法は、十分に成熟しておらず、ＩＣ製作業界で広く採用されてはいない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
したがって、モールド・ブリード、剥離、かなりのワイヤ流れ（ｗｉｒｅ  ｓｗｅｅｐ）、および最終ＩＣパッケージのかなりの歪みなどの問題を未然に回避する、ヒート・スプレッダ・デバイスをＩＣデバイスに組み込む方法が必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、ＩＣパッケージと、ＩＣパッケージにおいて熱を放散させるための方法を提供する。ＩＣパッケージは、基板と、ＩＣダイと、ヒート・スプレッダ・デバイスとを備える。基板は、上面および下面を有し、開口が形成されている。ＩＣダイは、上面および下面を有する。ダイの上面に、１つまたは複数の導電パッドが配置されている。ヒート・スプレッダ・デバイスの上面は、基板の下面に結合され、基板に形成された開口を実質的に覆い、ダイの下面に結合または隣接する。
【００１０】
一実施形態によれば、方法は、ダイ配置位置において基板に開口を形成することと、開口に隣接してヒート・スプレッダ・デバイスの上面を基板の下面に結合することとを含む。
【００１１】
別の実施形態によれば、方法は、ダイ配置位置において基板に開口を形成することと、開口および基板の下面の少なくとも一部を接着テープ材料で覆うことと、開口および基板の下面を接着テープ材料で覆った後、テープ材料を除去することと、ヒート・スプレッダ・デバイスの上面を基板の下面の接着材料に接触して配置することであって、接着材料が硬化した場合に、ヒート・スプレッダ・デバイスの上面が基板の下面に結合するようにする、配置することとを含む。
【００１２】
本発明の上記および他の特徴および利点は、以下の説明、図面、および特許請求の範囲から明らかになろう。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】ＩＣデバイスの上部にヒート・スプレッダ・デバイスが取り付けられた、組み立て工程中の、上部および下部型板の間に配置された、知られたＩＣデバイスの垂直断面図である。
【図２】図１に示されたＩＣパッケージを作成し、ＳＭＴによるＰＣＢへの実装のためにそれを準備するための、現在の組み立て工程を表すフローチャートである。
【図３】ＩＣデバイスの下部にヒート・スプレッダ・デバイスが結合された、本発明の説明的な一実施形態による、パッケージＩＣデバイスの垂直断面図である。
【図４】ＩＣをパッケージし、ＳＭＴによるＰＣＢへの実装のためにそれを準備するための、説明的な一実施形態による、本発明の組み立て工程を表すフローチャートである。
【図５】基板に開口を形成し、開口の下方でヒート・スプレッダ・デバイスを基板の下面に結合するための、説明的な一実施形態による、本発明の工程を表すフローチャートである。
【図６】本発明の説明的な一実施形態による、ＩＣデバイスをパッケージし、ＳＭＴによるＰＣＢへの実装のためにそれを準備するための組み立て工程を表すフローチャートである。
【図７】基板の下面をプリテーピング（ｐｒｅ−ｔａｐｅ）し、基板に開口を形成するための、説明的な一実施形態による、本発明の工程を表すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明によれば、表面実装構成（ｓｕｒｆａｃｅ  ｍｏｕｎｔｉｎｇ  ａｒｒａｎｇｅｍｅｎｔ）に適したＩＣパッケージは、ＩＣダイの下方でパッケージの下部に結合されたヒート・スプレッダ・デバイスを含む。ヒート・スプレッダ・デバイスをパッケージの下部に固定することで、ヒート・スプレッダ・デバイスの配置が、ヒート・スプレッダ・デバイスの上へのモールディング・コンパウンド・ブリーディング（ｍｏｌｄｉｎｇ  ｃｏｍｐｏｕｎｄ  ｂｌｅｅｄｉｎｇ）、またはパッケージが「水蒸気爆発」を起こす原因となり得るヒート・スプレッダ・デバイスの基礎における剥離をもたらす可能性が減少または排除される。本発明のいくつかの説明的な実施形態を参照しながら次に説明するように、ヒート・スプレッダ・デバイスは、モールディング工程が実行される前または後にパッケージに結合することができる。
【００１５】
図３は、モールディング工程にかけられた、説明的な一実施形態による、ＩＣパッケージ３０の横断面図である。パッケージ３０は、ダイ・アタッチ材料３２によってリードフレーム３６の基板３４に結合されたダイ３１と、電気導体（例えば金線）３５によってリードフレーム３６の導体（図示せず）に接続されたパッド（図示せず）とを含む点で、図１に示されたパッケージ２と同様である。リードフレーム３６の基板３４は、ダイ３１をリードフレーム３６の導体から絶縁するための絶縁層として機能する。本発明によれば、パッケージ３０は、パッケージ３０の下部に結合されたヒート・スプレッダ・デバイス４０を含む。
【００１６】
この実施形態によれば、ヒート・スプレッダ・デバイス４０は、モールディング工程が実行されるいくらか前に、ダイ３１に隣接して結合される。基板３４は、それに形成された開口をパッケージ３０の下部に有し、ダイ３１およびヒート・スプレッダ・デバイス４０がこの開口とつながる領域５０にわたって、ダイ３１は、ヒート・スプレッダ・デバイス４０と接触する。
【００１７】
ヒート・スプレッダ・デバイス４０の外側部分４１は、ダイ３１からリードフレーム３６への熱放散用の熱経路を提供するために、何らかのアタッチメント・デバイスまたは材料（図示せず）によってリードフレーム３６に結合される。上部型板４３の内側面は、モールディング・コンパウンド４５と接触し、モールディング・コンパウンド４５は、ダイ３１およびパッケージ３０の他の部分と接触する。下側型板４４の内側面は、モールディング・コンパウンド４５と接触しないが、ヒート・スプレッダ・デバイス４０およびパッケージ３０の他の部分と接触する。下側型板４４の内側面は、モールディング工程中に型板４４の内側面が接する、ヒート・スプレッダ・デバイス４０の下面およびパッケージ３０の他の部分の形状と一致するように形作られる。したがって、ヒート・スプレッダ・デバイス４０の配置は、モールディング・コンパウンド４５に影響をもたず、その結果、モールド・ブリードをもたらさない。
【００１８】
図４は、ＩＣをパッケージし、ＳＭＴによるＰＣＢへの実装のためにそれを準備するための、説明的な一実施形態による、本発明の組み立て工程を表すフローチャートを示している。図４に示されたフローチャートは、ヒート・スプレッダ・デバイスの結合およびアタッチメント材料の硬化に関連する図２のブロック２６および２７が除去された点を除いて、図２に示されたフローチャートと同じである。その理由は、本発明のこの実施形態によれば、ヒート・スプレッダ・デバイスは組み立て工程が実行される前に結合されるためである。図４のブロック５１〜５５はそれぞれ、図２のブロック２１〜２５に対応する。同様に、図４のブロック５８〜６３はそれぞれ、図２のブロック２８〜３３に対応する。
【００１９】
図５は、ＩＣデバイスの基板に開口を形成し、開口の下方でヒート・スプレッダ・デバイスを基板の下面に結合するための、説明的な一実施形態による、本発明の工程を表すフローチャートを示している。ブロック７０によって示されるように、ダイ配置位置において、開口が、ＩＣデバイスの下部のＩＣデバイスの基板に形成される。これはウェーハ・レベルまたはダイ・レベルで実行することができる。ブロック７０によって表される工程が、図４によって表される組み立て工程の一部として実行される場合、開口は、例えば、ブロック５１に対応するバック・グラインド工程が実行された後、ブロック５２によって表されるダイシング工程が実行される前に、形成することができる。代替として、開口は、例えば、ブロック５５によって表されるワイヤ・ボンディング工程が実行された後、ブロック５８によって表されるモールディング工程が実行される前に、実行することができる。本発明は、開口がいつ形成されるかに関して限定されない。
【００２０】
基板に開口が形成された後、ブロック８０によって示されるように、ヒート・スプレッダ・デバイスが、基板の下面に結合される。これは典型的には、接着フィルムなどのアタッチメント材料を基板の下面および／またはヒート・スプレッダ・デバイスの上面に配置することによって達成される。その後、ヒート・スプレッダ・デバイスの上面が、基板の下面に隣接して配置され、アタッチメント材料が、硬化され、それによって、ヒート・スプレッダ・デバイスの上面を基板の下面に接合する。
【００２１】
ブロック８０によって表される工程が、図４によって表される組み立て工程の一部として実行される場合、ヒート・スプレッダ・デバイスは、例えば、ブロック５５によって表されるワイヤ・ボンディング工程が実行された後、ブロック５８によって表されるモールディング工程が実行される前に、結合することができる。本発明は、ヒート・スプレッダ・デバイスがいつ結合されるかに関して限定されない。しかし、図４によって表される組み立て工程が実行される前、または組み立て工程の実行中のモールディング工程が実行される前に、ヒート・スプレッダ・デバイスが結合される場合、モールド・ブリードが発生する可能性は、大きく減少し、またはまったく排除される。ヒート・スプレッダ・デバイスは、モールディング工程が実行される前に、基板の下面に正確に位置付け、フィルム接着剤によって結合することができる。その後、ブロック５３および５４によって表されるダイ・アタッチ工程中に、ダイが、基板に形成された開口を通して、ヒート・スプレッダ・デバイスの上面に直接結合される。
【００２２】
ヒート・スプレッダ・デバイスがいつ結合されるかに関わりなく、本発明に従ってダイの下方にヒート・スプレッダ・デバイスを位置付けることで、図１に示されるようにヒート・スプレッダ・デバイスがダイの上方に配置された場合の、ダイからヒート・スプレッダ・デバイスまでの熱経路の長さと比較して、ダイからヒート・スプレッダ・デバイスまでの熱経路の長さが、大きく短縮される。ダイがヒート・スプレッダ・デバイスの上面に直接固定される必要はないが、これは、ダイからヒート・スプレッダ・デバイスまでの熱経路の長さを最小化する点で望ましい。反対に、ダイが基板の上面に位置し、開口が形成された基板の厚さに等しい距離だけヒート・スプレッダ・デバイスの上面から隔てられるように、開口のサイズは、ダイのサイズより僅かに小さくてもよい。後者の場合、熱伝導性が高い材料を、開口内にダイの下面およびヒート・スプレッダ・デバイスの上面と接触して配置することができる。これらの構成はともに、図１に示されるようにヒート・スプレッダ・デバイスがダイの上方に配置された場合の熱経路の長さと比較して、ダイからダイの下方に配置されたヒート・スプレッダ・デバイスまでの熱経路の長さを大きく短縮する。
【００２３】
ヒート・スプレッダ・デバイスが結合される前に、開口を形成する必要がないことにも留意されたい。開口が基板に形成される前に、ヒート・スプレッダ・デバイスを結合することができる。したがって、ブロック７０とブロック８０の順序は、図５に示される順序と逆であってもよい。
【００２４】
図６は、本発明の説明的な一実施形態による、ＩＣデバイスをパッケージし、ＳＭＴによるＰＣＢへの実装のためにそれを準備するための組み立て工程を表すフローチャートを示している。図６に示されたフローチャートは、テープ材料を除去する工程を表すブロック５９が追加された点、ならびにヒート・スプレッダ・デバイスを結合し、アタッチメント材料を硬化させる工程を表すブロック８２および８３が追加された点を除いて、図４に示されたフローチャートと同じである。その理由は、本発明のこの実施形態によれば、ヒート・スプレッダ・デバイスはモールディング工程が実行された後に、好ましくはシングレーション工程が実行された後に結合されるためである。この実施形態によれば、基板３４の下面は、基板３４の下面を接着テープ材料の薄層で覆うことによって、プリテーピングされる。接着テープ材料の使用は、モールディング工程（ブロック５８）前にダイをテープ材料に直接取り付けることを可能にするので有利である。このプリテーピング工程は、ウェーハ・レベルまたはダイ・レベルで実行することができる。本発明は、基板がいつプリテーピングされるかに関して限定されない。
【００２５】
ブロック５８によって表されるモールディング工程が実行された後、ブロック５９によって示されるように、基板およびダイの下面に接着材料を残して、テープ材料が除去される。ブロック６４によって表されるシングレーション工程が実行された後、ブロック８２によって示されるように、ヒート・スプレッダ・デバイスの上面が、基板およびダイの下面に配置された接着材料に接触して配置される。その後、ブロック８３によって示されるように、接着アタッチメント材料が、硬化され、それによって、ヒート・スプレッダ・デバイスを基板に結合する。本発明は、ブロック５９、８２、８３によって表されるステップがいつ実行されるかに関して限定されない。モールディング工程が実行された後にこれらのステップを実行することによって、モールド・ブリードが発生する可能性は、減少または排除される。
【００２６】
図７は、基板の下面をプリテーピングし、基板に開口を形成するための、説明的な一実施形態による、本発明の工程を表すフローチャートを示している。ブロック１１０によって示されるように、開口が、ＩＣデバイスの下部のＩＣデバイスの基板に形成される。この開口は、ダイ配置位置に形成される。開口は、組み立て工程前にウェーハ・レベルで、またはパッケージ組み立て工程中にダイ・レベルで実行することができる。ダイは、開口が基板に形成されるとき、すでに基板に取り付けられていてもよく、または取り付けられていなくてもよい。例えば、開口は、ブロック５１に対応するバック・グラインド工程が実行された後、ブロック５２によって表されるダイシング工程が実行される前に、形成することができる。代替として、開口は、例えば、ブロック５５によって表されるワイヤ・ボンディング工程が実行された後、ブロック５８によって表されるモールディング工程が実行される前に、実行することができる。本発明は、開口がいつ形成されるかに関して限定されない。
【００２７】
基板に開口が形成された後、ブロック１２０によって示されるように、接着テープ材料が、基板の下面に配置される。プリテーピング工程が実行される前に、開口を形成する必要がないことに留意されたい。プリテーピング工程が実行された後に、開口を形成するすることができる。したがって、ブロック１１０とブロック１２０の順序は、図７に示される順序に関して逆転することができる。
【００２８】
本発明の原理および概念を説明する目的で、いくつかの説明的な実施形態を参照しながら、本発明が説明されたことに留意されたい。本発明は、これらの実施形態に限定されない。本明細書で説明された実施形態に変更を施すことができ、そのようなすべての変更は、本発明の範囲内にある。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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