(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性体でなる長尺円筒状のヨーク、及びそれぞれ短尺円筒状をなし前記ヨークの内径側に軸方向に複数個並べられたＵ相、Ｖ相、Ｗ相の複数のコイルを有する固定子と、
前記固定子の内側に磁気的間隙を介して対向し軸方向に移動可能に配置され、永久磁石が軸方向に複数個挿設された可動子と、を備え、
前記可動子の外周面に軸方向に沿って溝が形成され、
前記固定子の前記各相のコイルの渡り線を前記コイルの内周側の、前記可動子の溝が形成する空間内に配設したことを特徴とする円筒型リニアモータ。
【請求項２】
前記コイルは、平角電線が巻回されて形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の円筒型リニアモータ。
【請求項３】
同相の複数の前記コイル、及びそれらを渡る渡り線は、電線の繋ぎ目がなく連続して巻線されている
ことを特徴とする請求項１または２に記載の円筒型リニアモータ。
【請求項４】
前記渡り線は、断面偏平形状をなしている
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の円筒型リニアモータ。
【請求項５】
前記渡り線は、前記コイルの内周面に、ワニス、接着剤、粘着テープ、及び樹脂のいずれかにより固着されている
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の円筒型リニアモータ。
【請求項６】
前記コイルは、前記平角電線がエッジワイズ巻きされて成形されている
ことを特徴とする請求項２に記載の円筒型リニアモータ。
【請求項７】
前記コイルは、軸に平行な１層のみ巻回されて成形されている
ことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の円筒型リニアモータ。
【請求項８】
前記コイルは、前記ヨークに圧入されている
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の円筒型リニアモータ。
【請求項９】
前記固定子は、前記コイルが巻装されるボビンをさらに備え、
前記渡り線は、前記ボビンに凹設された溝内に這わせられている
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の円筒型リニアモータ。
【請求項１０】
磁性体でなる長尺円筒状のヨーク、及びそれぞれ短尺円筒状をなし前記ヨークの内径側に軸方向に複数個並べられた第１、第２、第３の複数のコイルを有する円筒型リニアモータの固定子コイルの巻装方法において、
第１、第２、第３の３本のノズルを用いて、
まず、第１コイルを巻回したのち、前記第１コイルの内径端より渡り線を軸方向に引き出し、
次に、前記第１コイルに隣接する第２コイルを前記第１コイルの渡り線の外側に巻回し、前記第２コイルの内径端より渡り線を軸方向に引き出し、
次に、前記第２コイルに隣接する第３コイルを前記第１コイル及び前記第２コイルの渡り線の外側に巻回し、前記第３コイルの内径端より渡り線を軸方向に引き出し、
次に、前記第３コイルに隣接する第１コイルを前記第２コイル及び前記第３コイルの渡り線の外側に巻回し、前記第１コイルの内径端より渡り線を軸方向に引き出すようにして、以上を繰り返すことにより、前記固定子の前記各相のコイルの渡り線を前記コイルの内周面に配設した
ことを特徴とする円筒型リニアモータの固定子コイルの巻装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
円筒状のヨークの内径側で軸方向に複数個並べられた複数のコイルを有する固定子と、この固定子の内側に対向配置され永久磁石が軸方向に複数個挿設された可動子と、を備えた円筒型リニアモータ、及び円筒型リニアモータの固定子コイルの巻装方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１１は、例えば特許文献１に課題として記載された従来の円筒型リニアモータの側断面図である。図１２は、図１１のＣ−Ｃ線に沿う矢視断面図である。図１１において、１０は固定子、２０は可動子、３は支持機構、４はＵ相、Ｖ相、Ｗ相のコイル、１５はＵ相、Ｖ相、Ｗ相の渡り線、６は永久磁石、７はキャン、８はヨークである。
【０００３】
固定子１０は、長尺円筒状の磁性体よりなるヨーク８の内側に、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相を構成する短尺円筒状（リング状）のコイル４を軸方向に複数個並べ、接着によりヨーク８に固定されて構成されている。コイル４は、軸方向に複数個配置され、それぞれ、各相の渡り線１５により接合されている。各相のコイル４の渡り線１５は、図１２に示すように周方向の一箇所に集められ、コイル４の表面に密着するように成形されている。
【０００４】
可動子２０は、軸方向に伸びる円筒状のキャン７の内側に、円筒状の永久磁石６を軸方向に複数挿設して構成される。可動子２０は、固定子１０と微少な間隙を介して支持機構３により軸方向に移動可能に支持されている。このような構成の円筒型リニアモータによれば、固定子１０と可動子２０との間で軸方向の推力が発生して外部に出力される。
【０００５】
このような従来の円筒形リニアモータにおいて、コイルの渡り線が一箇所に集められ、コイル表面に密着しているので、各相コイルを構成する銅線が互いの渡り線または渡り線とコイルで接触することになる。そのため、相間の絶縁が銅線の絶縁皮膜のみで構成されることになり、銅線に加わる機械的ストレスや銅線皮膜に存在するピンホールの影響により、絶縁耐圧が低下すると言う問題があった。
【０００６】
これに対して、特許文献１の円筒型リニアモータにおいては、渡り線の収納のスペースを確保するために、ヨークに凸部（内径側から見ると凹部）を設けてスペースを確保しており、渡り線、結線作業性を向上させ、また製作の容易性を向上させている。
【０００７】
また、特許文献２の円筒型リニアモータによれば、リング状のコイルの巻線パターンを工夫して、内外側で渡り線の処理を実施することにより連続巻線を可能としている。また、渡り線のスペースを確保のために、短尺円筒状外周のヨークに切り欠き部分を設けて、隙間を作りスペースの確保を実施している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−７９３５８号公報
【特許文献２】特開２００６−２２３０９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記従来の技術によれば、コイル外周側にて結線処理、渡り線処理しているため、コイル外周側にて結線、渡り線を収納するスペースを確保する必要がある。そのため、ヨークに切り欠きや凸部を設けたり、コイルとヨーク間に隙間を設けたりする必要があった。
【００１０】
ヨークに切り欠きや凸部を設ける場合、ヨークの鉄心部分がなくなったり、遠くなったりするため、磁気特性が低下するという問題があった。また、製作精度によるが、切り欠き部分をバランスよく製作しないと、磁気アンバランスが発生し、コギングトルクやトルクリップル、磁気吸引力のアンバランスによるシャフトの変形など、シャフトの走行精度の劣化を招くことがあり、課題とされていた。更にヨークに切り欠きや凸部を設けることは、ヨークに機械加工等を実施して特殊形状に加工する必要があるため、ヨークが真円形状の場合に比べて、コストが増えるので課題とされていた。
【００１１】
一方、コイルとヨーク間に隙間を設ける場合は、発熱元である短尺円筒状のコイルの外周面と、外部筐体に熱を伝えるヨーク部分に断熱性を持つ空気層が存在することとなり、コイルの放熱性の悪化を招くこととなる。
【００１２】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、コイルとヨークの接触面積が増え放熱性が向上し、磁気バランスが良く磁気特性が向上し、加工が容易な固定子を備えた円筒型リニアモータ及び円筒型リニアモータの固定子コイルの巻装方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の円筒型リニアモータは、磁性体でなる長尺円筒状のヨーク、及びそれぞれ短尺円筒状をなし前記ヨークの内径側に軸方向に複数個並べられたＵ相、Ｖ相、Ｗ相の複数のコイルを有する固定子と、前記固定子の内側に磁気的間隙を介して対向し軸方向に移動可能に配置され、永久磁石が軸方向に複数個挿設された可動子と、を備え、前記可動子の外周面に軸方向に沿って溝が形成され、前記固定子の前記各相のコイルの渡り線を前記コイルの内周側の、前記可動子の溝が形成する空間内に配設したことを特徴とする。
【００１５】
さらに、本発明の円筒型リニアモータの固定子コイルの巻装方法は、磁性体でなる長尺円筒状のヨーク、及びそれぞれ短尺円筒状をなしヨークの内径側に軸方向に複数個並べられた第１、第２、第３の複数のコイルを有する円筒型リニアモータの固定子コイルの巻装方法において、第１、第２、第３の３本のノズルを用いて、まず、第１コイルを巻回したのち、第１コイルの内径端より渡り線を軸方向に引き出し、次に、第１コイルに隣接する第２コイルを第１コイルの渡り線の外側に巻回し、第２コイルの内径端より渡り線を軸方向に引き出し、次に、第２コイルに隣接する第３コイルを第１コイル及び第２コイルの渡り線の外側に巻回し、第３コイルの内径端より渡り線を軸方向に引き出し、次に、第３コイルに隣接する第１コイルを第２コイル及び第３コイルの渡り線の外側に巻回し、第１コイルの内径端より渡り線を軸方向に引き出すようにして、以上を繰り返すことにより、固定子の各相のコイルの渡り線をコイルの内周面に配設したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
短尺円筒状の内径ですべて結線処理、渡り線処理を実施することにより、短尺円筒状の外周部は、円筒状とすることができ、ヨークに切り欠きや凸部を設ける必要がないため、コイルとヨークの接触面積が増え、放熱性が向上する。また、ヨークが円筒状のため、磁気アンバランスが発生することなく、磁気特性の低下を招くこともない。更にヨークが円筒状のため、加工も容易である。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、この発明の実施の形態１の円筒型リニアモータの側断面図である。
【図２】図２は、図１のＡ−Ａ線に沿う矢視断面図である。
【図３】図３は、実施の形態１の円筒型リニアモータのコイルの渡り線の配設位置を示す図であり、図１のＢ部分の拡大図である。
【図４】図４は、実施の形態１の円筒型リニアモータのコイルの巻装する手順を示す工程図である。
【図５】図５は、実施の形態１の円筒型リニアモータのコイルの部分的な拡大断面図である。
【図６】図６は、実施の形態２の円筒型リニアモータのコイルの外観を示す部分的な拡大図である。
【図７】図７は、実施の形態２の円筒型リニアモータの横断面図である。
【図８】図８は、実施の形態３の円筒型リニアモータの横断面図である。
【図９】図９は、実施の形態４の円筒型リニアモータの横断面図である。
【図１０】図１０は、実施の形態５の円筒型リニアモータのコイルの巻装される様子を示す部分的な拡大図である。
【図１１】図１１は、従来の円筒型リニアモータの側断面図である。
【図１２】図１２は、図１１のＣ−Ｃ線に沿う矢視断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に、本発明にかかる円筒型リニアモータの固定子、円筒型リニアモータ及び円筒型リニアモータの固定子コイルの巻装方法の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１９】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１の円筒型リニアモータの側断面図である。図２は、図１のＡ−Ａ線に沿う矢視断面図である。図１において、１０は固定子、２０は可動子、３は支持機構、４ＡはＵ相、Ｖ相、Ｗ相のコイル、５ＡはＵ相、Ｖ相、Ｗ相の渡り線、６は永久磁石、７はキャン、８はヨークである。
【００２０】
固定子１０は、長尺円筒状の磁性体よりなるヨーク８の内側に、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相を構成する短尺円筒状（リング状）のコイル４Ａを軸方向に複数個並べ、接着によりヨーク８に固定されて構成されている。コイル４Ａは、軸方向に複数個配置され、それぞれ、各相の渡り線５Ａにより接合されている。本実施の形態の渡り線５Ａは、図２に示すように、コイル４Ａの径方向内径側において、周方向の一箇所に集められ、前記コイル４Ａの内周表面に密着するように配設されている。
【００２１】
可動子２０は、軸方向に伸びる円筒状のキャン７の内側に、円筒状の永久磁石６を軸方向に複数挿設して構成される。可動子２０は、固定子１０と微少な磁気的間隙（磁気ギャップ）を介して対向して支持機構３により軸方向に移動可能に支持されている。ここで、軸方向とは、可動子２０の移動可能方向である。このような構成の円筒型リニアモータによれば、従来のものと同様に固定子１０と可動子２０との間で軸方向の推力が発生し、この推力は可動子２０が移動することで外部に出力される。
【００２２】
図３は、実施の形態１の円筒型リニアモータのコイル４Ａの渡り線５Ａの配設位置を示す図であり、図１のＢ部分の拡大図である。図４は、実施の形態１の円筒型リニアモータのコイル４Ａの巻装する手順を示す工程図である。なお、図３，４においては、コイル４Ａとその渡り線５Ａのみを示し、可動子２０や巻き付け治具は記載していない。図５は、実施の形態１の円筒型リニアモータのコイル４Ａの部分的な拡大断面図である。
【００２３】
図３において、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の各相の渡り処理を内径側（内周面）に配置し、各コイル４Ａ間の結線を可能としている。また、コイル４Ａの内径側で渡り線処理及び結線処理をすることにより、コイル４Ａの外径側を凹凸の無い円筒形状設計でき、ヨーク８との接触面積が向上する。また、コイル４Ａの外周面が凹凸の無い真円の円筒形状であることにより、コイル４Ａをヨーク８に軽圧入や軽焼バメにて挿入することが可能となる。これにより、熱伝導性が向上するとともに、コイル４Ａの固定の信頼性が向上する。
【００２４】
図４に基づいて、本実施の形態のコイル４Ａの巻装方法、及び渡り線５Ａの配線方法について説明する。なお、図４において、図３に示すコイル４Ａのうち、Ｕ相（第１相）のコイルを４ｕ、Ｖ相（第２相）のコイルを４ｖ、Ｗ相（第３相）のコイルを４ｗとする。また図３に示す渡り線５Ａのうち、Ｕ相（第１相）の渡り線を５ｕ、Ｖ相（第１相）の渡り線を５ｖ、Ｗ相（第３相）の渡り線を５ｗとする。
【００２５】
Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相のコイル４ｕ、４ｖ、４ｗは、円筒棒状の図示しない巻き付け治具に巻き付けられることにより成形され、その後巻き付け治具から引き抜かれて、ヨーク８（図２）内に挿入される。図４は、巻き付け治具に巻き付ける様子を模式的に示すものである。コイル４Ａの巻装は、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の各相それぞれ１本の３本のノズル９ｕ、９ｖ、９ｗを用いて行われる。まず、Ｕ相コイル４ｕが巻回される。Ｕ相コイル４ｕが巻回されたのち、Ｕ相コイル４ｕの内径側端より渡り線５ｕが軸方向に引き出される。この渡り線５ｕは、軸方向に２つの相のコイル幅分だけ引き回される（図４の（ａ））。
【００２６】
次に、Ｕ相コイル４ｕに隣接するＶ相コイル４ｖが、Ｕ相コイル４ｕの渡り線５ｕの上（外側）に巻回される。Ｖ相コイル４ｖが巻き終わると、Ｕ相コイル４ｕと同様にＶ相コイル４ｖの内径側端より渡り線５ｖが引き出され、軸方向に２相のコイル幅分だけ引き回される（図４の（ｂ））。
【００２７】
次いで、Ｖ相コイル４ｖに隣接するＷ相コイル４ｗが、渡り線５ｕ及び渡り線５ｖの上（外側）に巻回される（図５の（ｃ））。以後、同様にして、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の各コイル４ｕ、４ｖ、４ｗは、それぞれ他の２つ（２相）のコイルの渡り線の上（外側）に巻回される。
【００２８】
このように、本実施の形態の円筒型リニアモータの固定子コイルの巻装方法によれば、３本のノズル９ｕ、９ｖ、９ｗを使って、各相それぞれ順番に巻線と軸方向に延びる２相分の渡り処理を行うとともに第１のコイルの巻線は、第２、第３の巻線の上（外側）に巻回され、これを繰り返すことにより連続渡り線処理が可能となり、結線作業がなくなるため、作業性向上につながる。また、コイル４ｕ、４ｖ、４ｗの内周面に渡り線処理をすることで、他の２相の渡り線の上（外側）に容易に巻回され、他の２相の渡り線を避けることなく巻線可能なため、巻線パターンや巻線機に特殊な工夫をしなくても容易に連続巻が可能となる。
【００２９】
渡り線５ｕ、５ｖ、５ｗの固定は、ワニスを用いて各コイル４ｕ、４ｖ、４ｗの内周面に固着される。これにより、各コイル４ｕ、４ｖ、４ｗに形状安定性が付与され、また渡り線５ｕ、５ｖ、５ｗが内径側に脱落することがなく、更に渡り線５ｕ、５ｖ、５ｗを固着することにより形状安定性を付与し、内径側にこぼれることがなく、更に渡り線５ｕ、５ｖ、５ｗに絶縁性を付加することが可能となる。
【００３０】
上記のような巻装方法とすることにより、軸方向に並ぶ各コイル４ｕ、４ｖ、４ｗを形成することにより、各コイルの渡り線５ｕ、５ｖ、５ｗが内径側に配置される。また、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の各コイル４ｕ、４ｖ、４ｗを構成する電線は、繋ぎ目のない連続したものとなる（連続巻線）。このように連続巻線を実現することで、各コイル間の結線が不要となるため生産性を悪化することがない。更に渡り線５ｕ、５ｖ、５ｗをコイルの内周面に配置することによって、他の２相の渡り線の上に巻線を実施することができ、所定のコイルの巻線が終わった後に直接次の巻線を実施することが可能となる。
【００３１】
なお、本実施の形態のコイル４Ａは、巻き付け治具に巻き付けられることにより成形されるが、巻き付け治具に装着された図示しないボビン（巻枠）に巻き付けられることにより成形され、ボビンごと巻き付け治具から引き抜かれて、ヨーク８（図２）内に挿入されてもよい。この場合渡り線５Ａは、図示しないボビン（巻枠）のコイルが巻装される面に凹設された溝内に這わせられる。
【００３２】
以上のように、本実施の形態の円筒型リニアモータによれば、磁性体でなる長尺円筒状のヨーク８、及びそれぞれ短尺円筒状をなしヨーク８の内径側に軸方向に複数個並べられたＵ相、Ｖ相、Ｗ相の複数のコイル４Ａを有する固定子１０と、固定子１０の内側に磁気的間隙を介して対向し軸方向に移動可能に配置され、永久磁石６が軸方向に複数個挿設された可動子２０とを備えている。そして、固定子１０の各相のコイル４Ａの渡り線５Ａは、コイル４Ａの内周面に配設されている。コイル４Ａの内径側ですべて結線処理、渡り線処理を実施することにより、コイル４Ａの外周部は、円筒状とすることができ、ヨーク８に切り欠きや凸部を設ける必要がないため、コイル４Ａとヨーク８の接触面積が増え、放熱性が向上する。また、ヨーク８が円筒状のため、磁気アンバランスが発生することなく、磁気特性の低下を招くこともない。更にヨーク８が円筒状のため、加工も容易である。
【００３３】
なお、本実施の形態の渡り線５Ａは、ワニスにより各コイル４Ａの内周面に固着されるが、ワニスに限らず、接着剤、粘着テープ、樹脂等により固定されてもよい。
【００３４】
実施の形態２．
図６は、実施の形態２の円筒型リニアモータのコイルの外観を示す部分的な拡大図である。図７は、実施の形態２の円筒型リニアモータの横断面図である。本実施の形態のコイル４Ｂは、断面偏平形状の平角電線が互いの幅広面を重ね合わせ多数本が隙間無く巻回される所謂エッジワイズ巻きにて巻回されて形成されている。断面偏平形状の平角電線を用いた本実施の形態のコイル４Ｂは、図６に示されるように、断面円形形状の電線を用いた実施の形態１（図５）のコイル４Ａと比較して、隙間無く巻回され占積率が高い。図７に示されるように、渡り線５Ｂは断面偏平形状を成しており、詳細には、コイル４Ｂの内周面に沿って、幅方向にわん曲している。なお、図７のコイル４Ｂは、理解が容易なように特徴を誇張して記載している。
【００３５】
本実施の形態のコイル４Ｂによれば、平角電線を使用することで渡り線５Ｂのスペースを小さくすることができ、更に占積率も増加するため、損失を低減することができるとともに小型化を図ることができる。更に平角電線を使用しエッジワイズ巻とすることで、完全にコイル４Ａ外形を真円形状とすることが可能となり、ヨーク８への接触面積がさらに増えるため、熱伝導を向上することができる。
【００３６】
なお、実施の形態１のコイル４Ａ（図５）のように、断面円形形状の電線を用いた場合であっても、渡り線の部分のみをつぶして断面偏平形状とすることで、渡り線の省スペース化や小型化を図ることができる。
【００３７】
実施の形態３．
図８は、実施の形態３の円筒型リニアモータの横断面図である。本実施の形態においては、可動子２０の外周部を覆うキャン７として、磁石保持用の金属管（ＳＵＳ管）が用いられている。キャン７の外周面に軸方向に沿って溝２０ａが形成されている。そして、渡り線５Ａは、この溝２０ａ内に配設されている。その他の構成は実施の形態１と同様である。
【００３８】
渡り線スペースを無駄にすることなく、磁気ギャップ（可動子２０と固定子１０間の微少な磁気的間隙）を短縮することができる。特にキャン７として、磁石保持用のＳＵＳ管を可動子側に使用している場合、磁気特性に影響を与えることなく渡り線スペースを設けることができる。
【００３９】
なお、本実施の形態の可動子２０は、外周部を覆うキャン７を有しており、このキャン７に渡り線５Ａから逃げる溝２０ａが形成されているが、キャンを有してない可動子であっても、外周面に渡り線を逃がす溝を形成することにより、概略同様の効果を得ることができる。
【００４０】
実施の形態４．
図９は、実施の形態４の円筒型リニアモータの横断面図である。本実施の形態においては、可動子２０の外周面に渡り線５Ｄを逃がす目的で、円周方向に１２０度ピッチで３本の溝２０ｂが軸方向に延びて形成されている。３本の溝２０ｂの位置には、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の各コイル４Ａの渡り線５Ｄがそれぞれ配設されている。その他の構成は実施の形態３と同様である。本実施の形態の円筒型リニアモータによれば、磁気吸引力のアンバランスが生じることがなく、安定した推力を出力することができる。
【００４１】
実施の形態５．
図１０は、実施の形態５の円筒型リニアモータのコイルの巻装される様子を示す部分的な拡大図である。本実施の形態のＵ相、Ｖ相、Ｗ相の各コイル４Ｃは、各相毎に設けられた３本のノズル９により、軸に平行な１層のみが巻回されて成形されている。すなわち、本実施の形態においては、実施の形態１のコイル４Ａが多段に巻回されているのに対して、コイル４Ｃは径方向に段数が１段（１層）となる回数だけ巻回されている。その他の構成は実施の形態１と同様である。本実施の形態の円筒型リニアモータによれば、コイル外周形状を容易に断面真円の円筒形状とすることが可能となり、ヨーク８への接触面積が増加し、熱伝導性を更に向上することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
以上のように、本発明にかかる円筒型リニアモータは、円筒状のヨークの内径側に軸方向に複数個並べられた複数のコイルを有する円筒型リニアモータに適用されて最適なものである。
【符号の説明】
【００４３】
３  支持機構
４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃ，４ｕ，４ｖ，４ｗ  コイル
１５，５Ａ，５Ｂ，５Ｄ，５ｕ，５ｖ，５ｗ  渡り線
６  永久磁石
７  キャン
８  ヨーク
９，９ｕ，９ｖ，９ｗ  巻線機ノズル
１０  固定子
２０  可動子
２０ａ，２０ｂ  溝
【図１】
0005496159.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0005496159.tif 000009
【図９】
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【図１１】
0005496159.tif 000011
【図１２】
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【図１０】
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