(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームに設けられて内部空間を有するクリーンブースであって、
前記内部空間に沿って設けられて前記内部空間を挟んで対向配置される一対のブース本体と、
前記内部空間と外部とを仕切る仕切り部と、を備え、
前記各ブース本体は、筐体と、当該筐体の上部から前記内部空間側に延びて不織布からなるソックダクトと、前記筐体の内部に設けられて外部から取り入れた空気の空気清浄度を高めてソックダクトに供給する空気浄化装置と、前記筐体の下端に設けられて鉛直方向に伸縮可能な支柱と、この支柱の下端に設けられたキャスターと、を備え、
前記仕切り部は、前記ブース本体の上端側同士を連結する伸縮自在の一対の骨組部材と、これら骨組部材同士の間に架け渡されて内部空間の上面を覆う布状の天井部材と、前記一対の骨組部材のそれぞれから下方に垂れ下がって内部空間の側面を覆う布状の一対の壁部材と、を備えることを特徴とするクリーンブース。
【請求項２】
前記ソックダクトの上半分は、空気を透過せず、下半分は、空気を透過する構造であることを特徴とする請求項１に記載のクリーンブース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンブースに関する。詳しくは、クリーンルーム内に設けられるクリーンブースに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、工業製品や医薬品に塵埃が混入するのを防ぐため、空気中の塵埃を大幅に低減したクリーンルームが用いられる。具体的には、クリーンルームの内部に製造装置を配置して、塵埃の少ない環境で製造装置を稼働させる。
【０００３】
近年、このクリーンルームに配置する製造装置が大型化している。そのため、クリーンルームの容積を増大させることが必要となるが、クリーンルーム全体に亘って高い空気の清浄度を維持するのはコストがかかる、という問題がある。
【０００４】
そこで、クリーンルーム全体の空気清浄度をある程度のレベルに抑えておき、製造装置が設置されるクリーンルームの一部についてのみ高い空気清浄度とする局所クリーン化方式が提案されている（特許文献１参照）。具体的には、局所クリーン方式では、クリーンルーム内に、箱状のクリーンブースを配置し、このクリーンブースの内部に製造装置を配置する。このクリーンブースの天井部分には、空気浄化装置が内蔵されており、この空気浄化装置を駆動して、クリーンブース内部の空気清浄度を高める。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平７−１２７８８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、近年、クリーンルームに配置する製造装置がさらに大型化してきている。そこで、上述のクリーンブースを用いて大空間を構築しようとすると、クリーンブースの天井部分に設ける空気浄化装置の荷重が過大となるため、クリーンブースを上階の床スラブから吊り下げる構造とする必要がある。その結果、クリーンブースを任意の位置に移動することが困難となり、生産ラインを柔軟に変更できなくなる、という問題があった。
【０００７】
本発明は、大空間を構築可能で、かつ、任意の位置に配置可能なクリーンブースを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載のクリーンブースは、クリーンルームに設けられて内部空間を有するクリーンブースであって、前記内部空間に沿って設けられて前記内部空間を挟んで対向配置される一対のブース本体と、前記内部空間と外部とを仕切る仕切り部と、を備え、前記各ブース本体は、筐体と、当該筐体の上部から前記内部空間側に延びて不織布からなるソックダクトと、前記筐体の内部に設けられて外部から取り入れた空気の空気清浄度を高めてソックダクトに供給する空気浄化装置と、前記筐体の下端に設けられて鉛直方向に伸縮可能な支柱と、この支柱の下端に設けられたキャスターと、を備え、前記仕切り部は、前記ブース本体の上端側同士を連結する伸縮自在の一対の骨組部材と、これら骨組部材同士の間に架け渡されて内部空間の上面を覆う布状の天井部材と、前記一対の骨組部材のそれぞれから下方に垂れ下がって内部空間の側面を覆う布状の一対の壁部材と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、ブース本体に空気浄化装置を内蔵したので、従来のようにクリーンブースの天井部分に空気浄化装置を設けていないため、クリーンブースを上階の床スラブから吊り下げる構造とする必要がない。したがって、クリーンブースを任意の位置に容易に配置できる。
また、ソックダクトをブース本体から取り外したり、折り畳んだりすることにより、クリーンブースをコンパクトに収納できる。
また、複数のクリーンブースを幅方向に連結することで、クリーンブースの内部空間同士を連結して、大空間を構築できる。
【００１１】
この発明によれば、鉛直方向に伸縮可能な支柱を設けたので、この支柱を伸縮させることにより、内部空間の高さを容易に調整できる。
また、支柱の下端にキャスターを設けたので、ブース本体を人手で押すだけで、クリーンブースを容易に移動できる。
【００１３】
ところで、ブース本体を単一とした場合、ソックダクトをブース本体の反対側まで延長することになる。すると、ソックダクトの基端側から吹き出す空気の風速が先端側から吹き出す空気の風速よりも高くなって、内部空間を流れる空気の風速にばらつきが生じるおそれがある。
しかしながら、この発明によれば、対向配置した一対のブース本体を含んでクリーンブースを構成したので、ブース本体を単一とした場合に比べて、ソックダクトの長さを短くできるから、内部空間を流れる空気の風速を均一にできる。
【００１５】
この発明によれば、天井部材および壁部材を布状としたので、これら天井部材および壁部材を容易に取り外すことができる。よって、例えば、壁部材を取り外して複数のクリーンブースを連結することで、上述の大空間をより容易に構築できる。
また、例えば、天井部材や壁部材を取り外して、クリーンブースを密閉空間内に配置すれば、この密閉空間全体の空気清浄度を高めることができる。
【００１７】
この発明によれば、一対の骨組部材をそれぞれ伸縮自在としたので、これら骨組部材を伸縮させることにより、内部空間の長さを容易に調整できる。
【００１８】
請求項２に記載のクリーンブースは、前記ソックダクトの上半分は、空気を透過せず、下半分は、空気を透過する構造であることを特徴とする。
【００１９】
この発明によれば、ソックダクトの上半分を、空気を透過しない構造とした。よって、清浄度の高い空気がソックダクトの上側から内部空間に抜けないため、効率よく空気を供給できる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、ブース本体に空気浄化装置を内蔵したので、従来のようにクリーンブースの天井部分に空気浄化装置を設けていないため、クリーンブースを上階の床スラブから吊り下げる構造とする必要がない。したがって、クリーンブースを任意の位置に容易に配置できる。また、複数のクリーンブースを幅方向に連結することで、クリーンブースの内部空間同士を連結して、大空間を構築できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態に係るクリーンブースの斜視図である。
【図２】前記実施形態に係るクリーンブースのブース本体の部分断面図である。
【図３】前記実施形態に係るクリーンブースのソックダクトの断面図である。
【図４】本発明の第１の変形例に係るクリーンブースの斜視図である。
【図５】本発明の第２の変形例に係るクリーンブースの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
図１は、本発明の一実施形態に係るクリーンブース１の斜視図である。
クリーンブース１は、天井レス方式のクリーンルームに設けられ、直方体状の内部空間Ｓを有する。このクリーンブース１は、内部空間Ｓの空気清浄度を高めるものである。
【００２３】
クリーンブース１は、内部空間Ｓに沿って設けられた一対のブース本体１０と、内部空間Ｓと外部とを仕切る仕切り部２０と、備える。一対のブース本体１０は、内部空間Ｓを挟んで対向配置されている。
【００２４】
図２は、クリーンブース１のブース本体１０の部分断面図である。
ブース本体１０は、壁状の筐体１１と、この筐体１１の上部から内部空間Ｓ側に水平に延びる３本のソックダクト１２と、筐体１１の内部に設けられて外部から空気を取り入れて空気清浄度を高めてソックダクト１２に供給する空気浄化装置１３と、筐体１１の下端縁両側に設けられた一対の移動装置１４と、を備える。
【００２５】
移動装置１４は、筐体１１の下端縁に設けられて鉛直方向に伸縮可能な支柱１４１と、この支柱１４１の下端に設けられたキャスター１４２と、を備える。
【００２６】
筐体１１には、内部空間Ｓの反対側つまりクリーンブース１の外部に向かって開口された吸引口１１２が形成されている。
【００２７】
空気浄化装置１３は、この筐体１１１の内部に設けられて吸引口１１２に接続されたファン１３１と、このファン１３１に接続されたチャンバー１３２と、を備える。
チャンバー１３２の内部には、整流板１３３、フィルター１３４が設けられている。
なお、本実施形態では、フィルター１３４を設けたが、このフィルター１３４は、クリーンブース１に要求される空気清浄度に応じて適宜選定される。
【００２８】
図３は、ソックダクト１２の断面図である。
ソックダクト１２は、不織布からなる円筒形状である。このソックダクト１２の上半分は、空気を透過しないが、下半分は、空気を透過する構造である。このソックダクト１２の一端側は、チャンバー１３２の上端側に接続されている。
なお、ソックダクト１２としてフィルター機能を有する素材を用いてもよい。この場合、ソックダクトのフィルター機能を考慮して、チャンバー内のフィルターを選定し、場合によっては、チャンバー内にフィルターを設けないことも考えられる。
【００２９】
図１に戻って、仕切り部２０は、ブース本体１０同士を連結する一対の骨組部材２１と、これら骨組部材２１同士の間に架け渡されて内部空間Ｓの上面を覆う布状の天井部材２２と、一対の骨組部材２１のそれぞれから下方に垂れ下がって内部空間Ｓの側面を覆うる布状の一対の壁部材２３と、を備える。
【００３０】
骨組部材２１は、ブース本体１０の上端縁両側同士を連結する金属製の棒状部材であり、軸方向に伸縮自在な構造である。
天井部材２２および壁部材２３は、透明性の高いカーテンであり、空気を通さない構造である。壁部材２３の下端と床面との間には、隙間が形成されている。
【００３１】
以上のクリーンブース１は、以下のように動作する。
すなわち、ファン１３１を駆動すると、クリーンルーム内のある程度清浄度の高い空気が吸引口１１２から吸引されて、チャンバー１３２に至る。そして、この空気は、整流板１３３を通って整流され、フィルター１３４により塵埃が除去されて、ソックダクト１２に供給される。ソックダクト１２に供給された空気は、内部空間Ｓの上部から吹き出して、下方に流れる。この下方に流れた空気は、壁部材２３の下端の隙間から内部空間Ｓの外部に排出される。
このようにして、クリーンブース１の内部空間Ｓの空気清浄度を、クリーンブース１の外部に比べて局所的に向上させる。
【００３２】
本実施形態によれば、以下のような効果がある。
（１）ブース本体１０に空気浄化装置１３を内蔵したので、従来のようにクリーンブースの天井部分に空気浄化装置を設けていないため、クリーンブース１を上階の床スラブから吊り下げる構造とする必要がない。したがって、クリーンブース１を任意の位置に容易に配置できる。
また、図４に示すように、複数のクリーンブース１を幅方向に連結することで、クリーンブース１の内部空間Ｓ同士を連結して、大空間を構築できる。
また、ソックダクト１２をブース本体１０から取り外したり、折り畳んだりすることにより、クリーンブース１をコンパクトに収納できる。
【００３３】
（２）鉛直方向に伸縮可能な支柱１４１を設けたので、この支柱１４１を伸縮させることにより、内部空間Ｓの高さを容易に調整できる。
また、支柱１４１の下端にキャスター１４２を設けたので、ブース本体１０を人手で押すだけで、クリーンブース１を容易に移動できる。
【００３４】
（３）対向配置した一対のブース本体１０を含んでクリーンブース１を構成したので、ブース本体を単一とした場合に比べて、ソックダクト１２の長さを短くできるから、内部空間Ｓを流れる空気の風速を均一にできる。
【００３５】
（４）天井部材２２および壁部材２３を布状としたので、これら天井部材２２および壁部材２３を容易に取り外すことができる。よって、例えば、壁部材２３を取り外して複数のクリーンブース１を連結することで、上述の大空間をより容易に構築できる。
また、例えば、天井部材２２や壁部材２３を取り外して、クリーンブース１を密閉空間内に配置すれば、この密閉空間全体の空気清浄度を高めることができる。
【００３６】
（５）一対の骨組部材２１をそれぞれ伸縮自在としたので、これら骨組部材２１を伸縮させることにより、内部空間Ｓの長さを容易に調整できる。なお、内部空間Ｓを長くすると、ソックダクト１２も長くする必要があるが、この場合、骨組部材２１に金具を取付けて、この金具を介してソックダクト１２を吊り下げればよい。
【００３７】
（６）ソックダクト１２の上半分を、空気を透過しない構造とした。よって、清浄度の高い空気がソックダクト１２の上側から内部空間Ｓに抜けないため、効率よく空気を供給できる。
【００３８】
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、本実施形態では、仕切り部２０を、骨組部材２１、布状の天井部材２２、および布状の壁部材２３で構成したが、これに限らない。すなわち、仕切り部を、噴射されたエアにより内部空間と外部とを仕切るエアカーテンとしてもよい。
【００３９】
また、ソックダクト１２の長さや幅は、適宜設定されてよい。
また、本実施形態では、ブース本体１０を一対設けたが、これに限らず、図５に示すように、ブース本体１０を単一としてもよい。この場合、例えば、骨組部材２１Ａを、キャスター２５を有し鉛直方向に伸縮可能な一対の支柱２４と、これら支柱２４の上端同士を連結する第１連結部材２６と、各支柱２４の上端とブース本体１０とを連結する一対の第２連結部材２７と、を含んで構成する。また、ソックダクト１２をブース本体１０の反対側つまり第１連結部材２６の近傍まで延長しておく。
【符号の説明】
【００４０】
Ｓ…内部空間
１…クリーンブース
１０…ブース本体
１１…筐体
１２…ソックダクト
１３…空気浄化装置
１４…移動装置
２０…仕切り部
２１、２１Ａ…骨組部材
２２…天井部材
２３…壁部材
２４…支柱
２５…キャスター
２６…第１連結部材
２７…第２連結部材
１１１…筐体
１１２…吸引口
１３１…ファン
１３２…チャンバー
１３３…整流板
１３４…フィルター
１４１…支柱
１４２…キャスター
【図１】
0005578726.tif 000002
【図２】
0005578726.tif 000003
【図３】
0005578726.tif 000004
【図４】
0005578726.tif 000005
【図５】
0005578726.tif 000006