(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧エア供給源から供給される加圧エアに対し、高電圧を印加することによりイオン化してイオン化エアを噴射する除塵システムであって、
加圧エア供給源から供給される加圧エアを入力して電源から供給される電力を用いて高電圧を発生する高電圧駆動部と、この高電圧駆動部に接続されて加圧エアと高電圧とが出力される共通ラインと、この共通ラインに接続されて高電圧により発生したイオンを加圧エアに載せてイオン化エアとして出力するペン型イオナイザと、を有するイオナイザと、
加圧エア供給源から供給される加圧エアにより真空を発生する真空発生器と、真空発生器の吸引口に接続される吸引部と、を有する真空発生ユニットと、
を備え、
ペン型イオナイザと、真空発生ユニットの吸引部と、がそれぞれ独立して配置され、所定箇所に移動されたペン型イオナイザから噴射されたイオン化エアが除塵対象物に噴射されて飛散した塵埃を含む排気エアを、除塵対象物の周囲の他の箇所に配置された真空発生ユニットの吸引部を通じて吸引することを特徴とする除塵システム。
【請求項２】
請求項１に記載の除塵システムにおいて、
前記高電圧駆動部を第１ユニットとし、
前記真空発生器を収納する収納部を第２ユニットとし、
前記ペン型イオナイザは第１ユニットと前記共通ラインを介して接続され、また、前記吸引部は第２ユニットから突出して設けられ、
ほぼ同一形状の第１，第２ユニットを並置するシステムであることを特徴とする除塵システム。
【請求項３】
請求項２に記載の除塵システムにおいて、
前記吸引部は弾性を有する部材により形成されるとともに、前記吸引部の折り曲げにより前記吸引部の吸引口が最適位置に配置されて吸引・排気されることを特徴とする除塵システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除塵対象物から塵埃を除去する除塵システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
除塵システムは用途別に多数のシステムが開発されているが、その一つとしてペン型イオナイザを用いた除塵システムがある。このようなペン型イオナイザを用いる除塵システムの従来技術について図４を参照しつつ説明する。
【０００３】
図４に示す除塵システム２００はイオナイザ２１０を備える。さらに、このイオナイザ２１０は、高電圧駆動部２１１、共通ライン２１２、ペン型イオナイザ２１３を備えている。高電圧駆動部２１１はエア供給線２２０を介して加圧エア供給源２３０に接続されている。また、高電圧駆動部２１１は電力供給線２４０を介して電源２５０に接続されている。
【０００４】
加圧エア供給源２３０から供給される加圧エアは、高電圧駆動部２１１に送られる。  高電圧駆動部２１１では内部流路を経て共通ライン２１２内の図示しない流路を通じてそのまま加圧エアが送られる。最終的に加圧エアはペン型イオナイザ２１３に供給される。
【０００５】
一方、電源２５０から供給される電力は、高電圧駆動部２１１にて高電圧信号に変換される。そして高電圧信号は内部回路および共通ライン２１２内の図示しないケーブルを経て最終的にペン型イオナイザ２１３に供給される。
【０００６】
ペン型イオナイザ２１３では加圧エアが通過する箇所に図示しない電極が配置されており、この電極に高電圧信号が印加されて電極周囲にイオンを生成し、このイオンを含む加圧エアをイオン化エアとして噴射する。作業者がペン型イオナイザ２１３を除塵対象物２６０に向けてイオン化エアを噴射することで、静電気により付着した微細な塵埃が除去される。除塵システム２００はこのようなものである。
【０００７】
また、このようなペン型イオナイザの他の従来技術として、例えば、特許文献１（国際公開ＷＯ２００７／０１３１８２号公報、発明の名称「ハンディタイプイオナイザ」）により開示されたものも知られている。このハンディタイプイオナイザは、特に電極の配置に特徴を持たせたものである。
【０００８】
特許文献１のハンディタイプイオナイザは除塵ではなく除電を目的とするものであるため、塵埃が飛散する点を考慮した記載はない。一般にイオナイザでは除塵された塵埃が空中に飛散するおそれがあり、通常は塵埃を他の外部領域へ排気する。このようなイオナイザの一例として、例えば、特許文献２（特開平１１−３１９７４１号公報、発明の名称「除塵方法及び除塵装置」）により開示されたものが知られている。この従来技術では基板又はシートという除塵対象物に吐出ノズルからイオン化空気を吹き付けて塵埃を飛散させ、この塵埃を吸引ノズルを通じて排気するというものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】国際公開ＷＯ２００７／０１３１８２号公報（図１）
【特許文献２】特開平１１−３１９７４１号公報（図３）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
先に説明したように、特許文献２のように大型の除塵装置では塵埃の吸引除去が行われているが、特に図４の除塵システムや特許文献１に記載の「ハンディタイプイオナイザ」では扱い易さや持ち運び易さ等が優先されており、除塵後に飛散する塵埃の除去についてまでは考慮されていない。塵埃が飛散したままでは他の除塵対象物に塵埃が付着するおそれもあり、問題があるものであった。吸引除去機能を有する小型でハンディタイプの除塵システムは存在せず、開発が望まれていた。
また、このような吸引除去機能を有する小型でハンディタイプの除塵システムでは真空ポンプ等が使用できない環境にあることが多く、このような環境下でも使用できるようにしたいという要請もあった。
【００１１】
そこで、本発明は上記した問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、除塵機能と排気機能とをともに持たせたハンディタイプの除塵システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の請求項１に係る除塵システムは、
加圧エア供給源から供給される加圧エアに対し、高電圧を印加することによりイオン化してイオン化エアを噴射する除塵システムであって、
加圧エア供給源から供給される加圧エアを入力して電源から供給される電力を用いて高電圧を発生する高電圧駆動部と、この高電圧駆動部に接続されて加圧エアと高電圧とが出力される共通ラインと、この共通ラインに接続されて高電圧により発生したイオンを加圧エアに載せてイオン化エアとして出力するペン型イオナイザと、を有するイオナイザと、
加圧エア供給源から供給される加圧エアにより真空を発生する真空発生器と、真空発生器の吸引口に接続される吸引部と、を有する真空発生ユニットと、
を備え、
ペン型イオナイザと、真空発生ユニットの吸引部と、がそれぞれ独立して配置され、所定箇所に移動されたペン型イオナイザから噴射されたイオン化エアが除塵対象物に噴射されて飛散した塵埃を含む排気エアを、除塵対象物の周囲の他の箇所に配置された真空発生ユニットの吸引部を通じて吸引することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の請求項２に係る除塵システムは、
請求項１に記載の除塵システムにおいて、
前記高電圧駆動部を第１ユニットとし、
前記真空発生器を収納する収納部を第２ユニットとし、
前記ペン型イオナイザは第１ユニットと前記共通ラインを介して接続され、また、前記吸引部は第２ユニットから突出して設けられ、
ほぼ同一形状の第１，第２ユニットを並置するシステムであることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の請求項３に係る除塵システムは、
請求項２に記載の除塵システムにおいて、
前記吸引部は弾性を有する部材により形成されるとともに、前記吸引部の折り曲げにより前記吸引部の吸引口が最適位置に配置されて吸引・排気されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、除塵機能と排気機能とをともに持たせたハンディタイプの除塵システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明を実施するための形態の除塵システムの構成図である。
【図２】本発明を実施するための他の形態の除塵システムの構成図である。
【図３】本発明を実施するための形態の除塵システムの外観図であり、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は正面図である。
【図４】従来技術の除塵システムの構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
続いて、本発明を実施するための形態の除塵システムについて図１を参照しつつ以下に説明する。なお、従来技術と重複する説明もあるが、説明の明瞭化のため再掲する。
図１に示す除塵システム１はイオナイザ１０、真空発生ユニット２０を備える。
【００１８】
イオナイザ１０は、高電圧駆動部１１、共通ライン１２、ペン型イオナイザ１３を備えている。
真空発生ユニット２０は、エア分岐線２１，真空発生器２２、吸引部２３、排気部２４を備える。
高電圧駆動部１１はエア供給線３０を介して加圧エア供給源４０に接続されている。また、高電圧駆動部１１は電力供給線５０を介して電源６０に接続されている。
【００１９】
加圧エア供給源４０は、例えば送風ポンプに接続されてクリーンルーム内に引き込まれた加圧エア供給管の接続部等である。この加圧エア供給源４０から供給される加圧エアは、高電圧駆動部１１に送風される。高電圧駆動部１１での加圧エアは内部流路を経て外部のフィルタ１１ａを通過する。このフィルタ１１ａで異物が除去された加圧エアは、内部流路から共通ライン１２内の図示しない流路を通流し、ペン型イオナイザ１３に供給される。
【００２０】
なお、ペン型イオナイザ１３には図示しないスイッチが設けられ、このスイッチを押すと図示しない電磁弁が開成して加圧エアが流れ、スイッチを押さずに開放すると電磁弁が閉成して加圧エアが流れなくなる。この電磁弁は高圧駆動部１１内に配置されており、スイッチのオン・オフ信号は共通ライン１２内の制御線を介して駆動回路に出力され、この駆動回路により電磁弁が制御されることとなる。
【００２１】
一方、商用電源等である電源６０から供給される電力は、高電圧駆動部１１にて高電圧信号に変換される。そして高電圧信号は内部回路および共通ライン１２内の図示しないケーブルを経て最終的にペン型イオナイザ１３に供給される。ペン型イオナイザ１３では加圧エアが通過する箇所に図示しない電極が配置されている。
【００２２】
ペン型イオナイザ１３の図示しないスイッチが押下されると、上記電磁弁が開成して加圧エアが流れると同時にこの電極に高電圧が印加されて電極周囲にイオンを生成し、このイオンを含む加圧エアをイオン化エアとして噴射する。作業者がペン型イオナイザ１３を除塵対象物７０に向けてイオン化エアを噴射することで、塵埃が除去される。スイッチが開放されると上記電磁弁が閉成して加圧エアの噴射終了とともにイオン生成も終了する。
【００２３】
続いて真空発生ユニット２０について説明する。
真空発生器２２の吸引口には吸引部２３が、また、排気口には排気部２４がそれぞれ接続され、さらに中央ではエア分岐線２１が接続されている。吸引部２３や排気部２４は弾性を有する部材（例えばチューブや折り曲げ可能な金属管など）であり、適宜最適位置にて吸引・排気できるようになされている。エア供給線３０から分岐するエア分岐線２１を通じて真空発生器２２へも加圧エアが供給される。加圧エアは排気部２４へ流れるようになされており、加圧エアが高速に流れるときにベンチュリー効果により真空が発生し、塵埃が合流した排気エアが吸引部２３から真空へ流れ込み、集塵回収エアとして排気部２４を通じて外部領域へ排気される。例えば、クリーンルームなどではグレーティング床として下面に塵埃が流れ込むようになされており、このグレーティング床内まで引き込まれるチューブ状の排気部２４とすれば塵埃は確実に外部領域へ除去される。
【００２４】
なお、本形態では、イオン化エアの噴射・停止はスイッチにより制御されるが、真空発生ユニット２０は常に吸引状態であって排気エアや大気を常時吸引することを想定している。しかしながら、例えば、真空発生ユニット２０内のエア分岐線２１の途中にも電磁弁を配置し、共通ライン１２内の制御線が真空発生ユニット２０内まで配線されて電磁弁の駆動回路と接続されており、ペン型イオナイザ１３の図示しないスイッチが押下されると、イオン化エアの生成開始とともに、スイッチのオン・オフ信号がこの制御線を介して真空発生ユニット２０内の駆動回路を制御して電磁弁が開成されて排気エアの吸引が開始され、また、スイッチを開放すると、イオン化エアの生成終了とともに、電磁弁が閉成されて真空発生ユニット２０を動作停止させるようにしても良い。さらには駆動回路にタイマ回路を併せて設け、スイッチが開放されると同時にイオン化エアの噴射は停止するも真空発生ユニット２０はスイッチ開放から所定時間（例えば１０秒間）動作させて排気エアを確実に吸引するようにしても良い。除塵システム１はこのようなものである。
【００２５】
このような除塵システムによれば、特に真空ポンプのような大型装置を不要とし、加圧エアのみ用いて噴射と吸引との両方を行えるようにしており、ハンディタイプとして利用できる。
【００２６】
続いて、本発明を実施するための他の形態の除塵システム２について図２を参照しつつ以下に説明する。図１に示す除塵システム１と比較するとイオナイザ１０については同じであるが真空発生ユニット２０に代えて新たな真空発生ユニット８０とした点が相違する。この真空発生ユニット８０の説明に重点を置き、構成が同じイオナイザ１０については同じ番号を付すとともに重複する説明を省略する。また、エア供給線３０、加圧エア供給源４０、電力供給線５０、電源６０についても同様であり重複する説明を省略する。
【００２７】
真空発生ユニット８０は、エア分岐線８１，真空発生器８２、吸引部８３、排気部８４、収納部８５を備える。
真空発生器８２の吸引口には吸引部８３が、また、排気口には排気部８４がそれぞれ接続され、さらに中央ではエア分岐線８１が接続されている。吸引部８３や排気部８４は弾性を有しており、適宜最適位置にて吸引・排気できるようになされている。エア供給線３０から分岐するエア分岐線８１を通じて真空発生器８２へも加圧エアが供給される。加圧エアは排気部８４へ流れるようになされており、加圧エアが高速に流れるときにベンチュリー効果により真空が発生し、塵埃が合流した排気エアが吸引部８３から真空へ流れ込み、集塵回収エアとして排気部８４を通じてフィルタ９０へ排気される。この集塵回収エアがフィルタ９０を通過するとフィルタ９０からは塵埃が除去されたエアが流出する。そして、排気ダクト接続部１００を介して排気管へ流入する。例えば、クリーンルーム外へ排気される排気管が設置されており、この排気管を通じて塵埃は確実に外部領域へ除去される。
【００２８】
なお、本形態では真空発生ユニット８０は常に吸引状態であって排気エアや大気を常時吸引することを想定しているが、例えば、真空発生ユニット８０内のエア分岐線８１の途中に電磁弁を配置し、共通ライン１２内の制御線が真空発生ユニット８０内まで配線されて電磁弁の駆動回路と接続されており、ペン型イオナイザ１３の図示しないスイッチが押下されると、イオン化エアの生成開始とともに、スイッチのオン・オフ信号がこの制御線を介して真空発生ユニット８０内の駆動回路を制御して電磁弁が開成されて排気エアの吸引が開始され、スイッチを開放すると電磁弁が閉成されて真空発生ユニット８０を動作停止させるようにしても良い。さらには駆動回路にタイマ回路を併せて設け、スイッチが開放されると同時にイオン化エアの噴射は停止するも真空発生ユニット８０はスイッチ開放から所定時間（例えば１０秒間）動作させて排気エアを確実に吸引するようにしても良い。除塵システム２はこのようなものである。
【００２９】
このような除塵システムによれば、特に真空ポンプのような大型装置を不要とし、加圧エアのみが噴射と吸引との両方を行えるようにしており、ハンディタイプとして利用できる。
【００３０】
続いて、上記した除塵システム２の外観について図３を参照しつつ説明する。図３（ａ）の平面図，図３（ｂ）の正面図で示すように高電圧駆動部１１を箱状の第１ユニットとし、真空発生器８２を収納する収納部８５を箱状の第２ユニットとした。そして第１ユニットおよび第２ユニットを同一形状とし、第１ユニットおよび第２ユニットとを並置するようにした。このような除塵システム２とすると、設置性等が向上する。また、予め所有するイオナイザ（第１ユニット）に真空発生ユニット（第２ユニット）を追加するときに意匠性を高める。このような除塵システム２としても良い。なお、第１ユニットおよび第２ユニットのような共通の収納部を除塵システム１に適用しても良い。
【００３１】
以上、本発明の除塵システムについて説明した。なお本形態の説明ではエアという用語を用いており、大気を使用することを想定して説明した。しかしながら、大気に限定する趣旨ではなく、例えば、窒素ガス・アルゴンガス等の非反応性ガスを採用してもよい。本形態のエアは大気や非反応性ガスを含む概念である。
【００３２】
このような本発明によれば、加圧エアから真空を作り出して塵埃を吸引除去するため、加圧エアしか使用できない箇所でも塵埃を飛散させることなく除塵する除塵システムとすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明の除塵システムは、特に基板やシートのような除塵対象物に除電除塵を行う際の簡易システムとして特に好適に適用することができる。
【符号の説明】
【００３４】
１，２：除塵システム
１０：イオナイザ
１１：高電圧駆動部
１１ａ：フィルタ
１２：共通ライン
１３：ペン型イオナイザ
２０：真空発生ユニット
２１：エア分岐線
２２：真空発生器
２３：吸引部
２４：排気部
３０：エア供給線
４０：加圧エア供給源
５０：電力供給線
６０：電源
７０：除塵対象物
８０：真空発生ユニット
８１：エア分岐線
８２：真空発生器
８３：吸引部
８４：排気部
８５：収納部
９０：フィルタ
１００：排気ダクト接続部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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