(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体を近接場光によって加熱するとともに前記記録媒体に対して記録磁界を与えることにより、磁化反転を生じさせ情報を記録させる近接場光アシスト磁気記録ヘッドであって、
前記記録媒体の表面に対向する底面を備え、光源が側面に固定されるスライダと、
前記底面の一部を構成するものであり前記近接場光を発生する近接場光発生部と、
前記底面の一部を構成するものであり前記記録媒体表面からの空気浮上力を受ける凸構造を有する空気浮上面と、
前記空気浮上面の凸構造に形成されており、前記側面にあって前記光源からの入射光が照射される一端部と前記近接場光発生部に接する他端部とを有し、前記入射光が前記一端部に照射されることによって、前記近接場光の発生に用いられる表面プラズモンを励起し、前記他端部まで前記表面プラズモンを伝搬させるプラズモン伝搬膜と
を備えることを特徴とする近接場光アシスト磁気記録ヘッド。
【請求項２】
前記空気浮上面の最も前記記録媒体寄りの面と、前記プラズモン伝搬膜の最も前記記録媒体寄りの面とが同一平面上にあることを特徴とする請求項１に記載の近接場光アシスト磁気記録ヘッド。
【請求項３】
前記近接場光発生部が、誘電体から成る薄膜の内部あるいは表面に、前記表面プラズモンを散乱させる金属微粒子が分散保持されたものであることを特徴とする請求項１に記載の近接場光アシスト磁気記録ヘッド。
【請求項４】
前記近接場光発生部が、前記スライダの一端部に備えられており、
前記空気浮上面が、前記スライダの前記一端部とは反対側の他端部から前記近接場光発生部に亘って略直線形状であることを特徴とする請求項１に記載の近接場光アシスト磁気記録ヘッド。
【請求項５】
前記近接場光発生部が、前記スライダの一端部に備えられており、
レーザが前記スライダの前記一端部とは反対側の他端部に固定されていることを特徴とする請求項１に記載の近接場光アシスト磁気記録ヘッド。
【請求項６】
前記プラズモン伝搬膜は、前記入射光が照射される部分に回折格子を備えることを特徴とする請求項１に記載の近接場光アシスト磁気記録ヘッド。
【請求項７】
請求項１に記載の近接場光アシスト磁気記録ヘッドを含むヘッドジンバルアセンブリであって、
前記近接場光アシスト磁気記録ヘッドの前記記録媒体とは反対側から荷重を与えるサスペンションを備え、
前記サスペンションはフレクシャを含み、前記フレクシャは基部と、前記基部より先端側に備えられ前記近接場光アシスト磁気記録ヘッドが固定されたばね板とを含み、
レーザが前記基部に固定されていることを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項８】
前記レーザは前記基部に固定されたレーザマウント上に固定されていることを特徴とする請求項７に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項９】
前記レーザは前記レーザマウントから前記近接場光アシスト磁気記録ヘッドの方向に突出したものであり、前記レーザの光出射部は前記基部と前記プラズモン伝搬部の間に配置されていることを特徴とする請求項８に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１０】
請求項７に記載のヘッドジンバルアセンブリと、
前記記録媒体と、
前記記録媒体を所定の速度で一定方向に回転させる回転駆動部と、
前記サスペンションアームを前記記録媒体表面に平行な方向に移動可能に構成させるピボットと、
前記サスペンションアームを前記記録媒体表面上で所定の位置に移動させるアクチュエータと、
前記近接場光アシスト磁気記録ヘッドの記録再生駆動および前記回転駆動部と前記アクチュエータの動作を制御する制御部と
を備えることを特徴とする情報記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、近接場光による熱アシストを利用して磁気記録媒体に各種の情報を高密度で記録する近接場光アシスト磁気記録ヘッド、それを備えたヘッドジンバルアセンブリ、及びそれを備えた情報記録再生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータ機器におけるハードディスクなどの容量増加に伴い、記録媒体の単位面積内における記録情報量が増加している。例えば、磁気ディスクの単位面積当たりの記録容量を大きくするにつれて、記録媒体上で１ビット当たりの占める記録面積が小さくなっている。このビットサイズが小さくなると、１ビットの情報を保持する領域が持つエネルギーが、室温の熱エネルギーに近くなり、記録した情報が熱揺らぎなどのために反転したり、消えてしまったりするなどの熱減磁の問題が生じてしまう。
【０００３】
一般的に用いられてきた面内記録方式では、磁化の方向が記録媒体の面内方向に向くように磁気的記録を行う方式であるが、この方式では上述した熱減磁による記録情報の消失が起こり易い。そこで、このような不具合を解消するために、記録媒体に対して垂直な方向に磁化信号を記録する垂直記録方式に移行しつつある。この方式は、記録媒体に対して、単磁極を近づける原理で磁気情報を記録する方式である。この方式によれば、記録磁界が記録膜に対してほぼ垂直な方向を向く。垂直な磁界で記録された情報は、記録膜面内においてＮ極とＳ極とがループを作り難いため、エネルギー的に安定を保ち易い。そのため、この垂直記録方式は、面内記録方式に対して熱減磁に強くなっている。
【０００４】
しかしながら、近年の記録媒体は、より大量且つ高密度情報の記録再生を行いたいなど
のニーズを受けて、さらなる高密度化が求められている。そのため、隣り合う磁区同士の
影響や、熱揺らぎを最小限に抑えるために、保磁力の強いものが記録媒体として採用され
始めている。そのため、上述した垂直記録方式であっても、記録媒体に情報を記録するこ
とが困難になっていた。
【０００５】
そのような不具合を解消するために、近接場光により磁区を局所的に加熱して一時的に
保磁力を低下させ、その間に書き込みを行うハイブリッド磁気記録方式（近接場光アシス
ト磁気記録方式）が提案されている。このハイブリッド磁気記録方式は、微小領域と、近
接場光ヘッドに形成された光の波長以下のサイズに形成された光学的開口との相互作用に
より発生する近接場光を利用する方式である。このように、光の回折限界を超えた微小な
光学的開口、すなわち、近接場光発生素子を有する近接場光ヘッドを利用することで、光の波長よりもはるかに微小なサイズの熱源を得ることができる。
【０００６】
なお、近接場光発生素子は、上述した光学的微小開口によるものだけでなく、例えば、
ナノメートルサイズに形成された突起部により構成しても構わない。この突起部によって
も、光学的微小開口と同様に近接場光を発生させることができる。また、光と金属表面の電子振動を結合させた表面プラズモンポーラリトンを介して光エネルギーを金属表面に局在させた形で伝搬させることで、光の波長よりもはるかに微小な領域にエネルギーを集中させることができる。このメカニズムによっても微小なサイズの熱源を得ることができ、その熱源が記録媒体表面の微小領域を加熱することで保磁力を低下させる近接場光アシスト磁気記録が可能となる。
【０００７】
近接場光アシスト磁気記録ヘッドに関してはこれまで各種の構造が提案されている。特許文献１では、空気浮上するスライダの先端面に磁極、近接場光発生素子が積層された構造が開示されている。近接場光発生素子への光供給は、レーザ光をレンズで集光した光を近接場光発生素子に空中伝搬を介して照射している。レーザはスライダの先端面よりも更に先端側に配置されている。
【０００８】
また、特許文献２では、スライダの上面にレーザが搭載され、レーザからの光はスライダ先端面の導波路に入射した後スライダ底面まで伝搬し、スライダ底面の近接場光発生素子によって近接場光となって記録媒体表面を加熱する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００５−４９０１号公報（図３）
【特許文献２】特開２００８−４７２６８号公報（図４）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述のヘッド構造には次のような課題が残されていた。特許文献１の構造では、レーザがスライダの先端面よりも更に先端側に配置されているが、それを実現するためにはサスペンションの先端から更に先にレーザを保持する構造体が延設されているか、あるいはサスペンションとは別にレーザを保持する部品が必要である。サスペンションの先にレーザ保持構造体があると、レーザとその構造体の質量によってサスペンション全体の慣性が増加し、高速に高精度での位置決めすることが困難になってしまう。また、サスペンションを小型化することが難しくなるために、サスペンション製造工程において１枚の基板からの取り個数を多くできず、製造コストの増加を招いてしまう。さらに、サスペンションにレーザ保持構造体を固定する工程が必要となり、ヘッドジンバルアセンブリの製造コストの増加を招いてしまう。
【００１１】
また、特許文献２の構造では、スライダ上面にレーザが搭載されているため、スライダとサスペンションのフレクシャ部の間にレーザが挟まれる形となる。スライダはその底面から空気浮上力あるいは吸引力を受け、上面からはサスペンションのロードビーム部からの荷重力を受けてそれらの力の均衡によって記録媒体表面から微小距離を維持して浮上するが、安定した姿勢を維持して浮上するためには、底面と荷重点の距離をできるだけ短くする必要がある。レーザがスライダとフレクシャの間に配置されることで、この距離を短くすることが難しくなり、ナノメートルレベルでの安定浮上が困難となる。また、スライダ先端面の導波路は誘電体から成るコアとクラッドの屈折率差によって光を内部に閉じ込めて伝搬させるものであるが、実用的な光効率を得るためには導波路はおおむね直線形状である必要があり、スライダ先端面の形状や磁気回路も含めた構造を設計する際の設計自由度に大きな制約ができてしまう。
【００１２】
そこで本発明は以上の点に鑑みてなされたものであり、記録媒体上で安定浮上することができるとともに、簡素な構造で強度の高い近接場光を発生することができる近接場光アシスト磁気記録ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ及び情報記録再生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、前記課題を解決するために以下の手段を提供する。
本発明に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッドは、記録媒体を近接場光によって加熱するとともに記録媒体に対して記録磁界を与えることにより、磁化反転を生じさせ情報を記録させる近接場光アシスト磁気記録ヘッドであって、記録媒体の表面に底面を対向させるスライダと、記録媒体の表面に対向する底面を備えるスライダと、底面の一部を構成するものであり近接場光を発生する近接場光発生部と、底面の一部を構成するものであり記録媒体表面からの空気浮上力を受ける空気浮上面と、空気浮上面に形成され、光源からの入射光が照射される一端部と近接場光発生部に接する他端部とを有しており、入射光が一端部に照射されることによって、近接場光の発生に用いられる表面プラズモンを励起し、前記他端部まで前記表面プラズモンを伝搬させるプラズモン伝搬膜とを備えていることを特徴とする。
【００１４】
本発明に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッドは、空気浮上面の最も記録媒体寄りの表面と、プラズモン伝搬膜の最も記録媒体寄りの表面とが同一平面上にあることを特徴とする。
【００１５】
本発明に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッドは、近接場光発生部が、誘電体から成る薄膜の内部あるいは表面に、表面プラズモンを散乱させる金属微粒子が分散保持されたものであることを特徴とする。
【００１６】
本発明に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッドは、近接場光発生部がスライダの一端部に備えられており、空気浮上面が、スライダの一端部とは反対側の他端部から近接場光発生部に亘って略直線形状であることを特徴とする。
【００１７】
本発明に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッドは、空気浮上面が、スライダの底面とスライダの側面とが成す辺に沿った直線部と、直線部から湾曲して近接場光発生部に接する湾曲部とを備えることを特徴とする。
【００１８】
本発明に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッドは、レーザがスライダの先端面の反対側の面に固定されていることを特徴とする。
【００１９】
本発明に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッドは、プラズモン伝搬膜は、入射光が照射される部分に形成された回折格子を備えることを特徴とする。
【００２０】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、近接場光アシスト磁気記録ヘッドの記録媒体とは反対側から荷重を与えるサスペンションを備え、サスペンションはフレクシャを含み、フレクシャは基部と、基部より先端側に備えられ近接場光アシスト磁気記録ヘッドが固定されたばね板とを含み、レーザが基部に固定されていることを特徴とする。
【００２１】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、レーザは基部に固定されたレーザマウント上に固定されていることを特徴とする。
【００２２】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、レーザはレーザマウントから近接場光アシスト磁気記録ヘッドの方向に突出したものであり、レーザの光出射部は基部とプラズモン伝搬部の間に配置されていることを特徴とする。
【００２３】
本発明に係る情報記録再生装置は、ヘッドジンバルアセンブリと、記録媒体と、記録媒体を所定の速度で一定方向に回転させる回転駆動部と、サスペンションアームを記録媒体表面に平行な方向に移動可能に構成させるピボットと、サスペンションアームを記録媒体表面上で所定の位置に移動させるアクチュエータと、近接場光アシスト磁気記録ヘッドの記録再生駆動および回転駆動部とアクチュエータの動作を制御する制御部とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッド、そのヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリ、及びそのヘッドジンバルアセンブリを備えた情報記録再生装置においては、簡素な構造で高い浮上安定性能と、高い強度の近接場光を発生させる近接場光発生素子とを持ち、低コストで量産に適した構造で高密度記録を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】実施形態１に係る情報記録再生装置の斜視図である。
【図２】実施形態１に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッド２の、ディスクＤに対向する底面を示す。
【図３】実施形態１に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッド２を含むヘッドジンバルアセンブリ１０の先端部とディスクＤの断面図である。
【図４】実施形態２に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッド３１の、ディスクＤに対向する底面を示す。
【図５】実施形態３に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッド３３の、ディスクＤに対向する底面を示す。
【図６】実施形態３に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッド３３と、サスペンション３先端部とディスクＤの断面図である。
【図７】実施形態４に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッド４１の、ディスクＤに対向する底面を示す。
【図８】実施形態５に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッド５１の、ディスクＤに対向する底面を示す。
【図９】実施形態６に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッド３３と、サスペンション３先端部とディスクＤの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
（第１実施形態）
以下、本発明に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッドおよび情報記録再生装置の第１実施形態を、図１〜図３を参照して説明する。なお、本実施形態の情報記録再生装置１は、垂直記録層を有するディスク（磁気記録媒体）Ｄに対して、垂直記録方式で書き込みを行う装置である。また、本実施形態では、ディスクＤが回転する空気の流れを利用して近接場光アシスト磁気記録ヘッド２を浮かせた空気浮上タイプを例に挙げて説明する。
【００２７】
本実施形態の情報記録再生装置１は、図１に示すように、近接場光アシスト磁気記録ヘッド２と、ディスクＤ表面（磁気記録媒体の表面）に平行な方向（ＸＹ方向とする）に移動可能とされ、ディスクＤ表面に平行で且つ互いに直交する２軸（Ｘ軸、Ｙ軸）回りに回動自在な状態で近接場光アシスト磁気記録ヘッド２を先端側で支持するサスペンション３と、サスペンション３の基端側を支持すると共に、該サスペンション３をディスクＤに平行なＸＹ方向に向けてスキャン移動させるアクチュエータ４と、ディスクＤを一定方向に回転させるスピンドルモータ（回転駆動部）５と、情報に応じて変調した電流を後述するコイルに対して供給すると共に、やはり後述するレーザ１４の作動を制御する制御部６と、これら各構成品を内部に収容するハウジング７とを備えている。
【００２８】
ハウジング７は、アルミニウムなどの金属材料により、上面視四角形状に形成されていると共に、内側に各構成品を収容する凹部７ａが形成されている。また、このハウジング７には、凹部７ａの開口を塞ぐように図示しない蓋が着脱可能に固定されるようになっている。凹部７ａの略中心には、スピンドルモータ５が取り付けられており、該スピンドルモータ５に中心孔を嵌め込むことでディスクＤが着脱自在に固定される。凹部７ａの隅角部には、上記アクチュエータ４が取り付けられている。このアクチュエータ４には、軸受８を介してキャリッジ９が取り付けられており、該キャリッジ９の先端にサスペンション３が取り付けられている。
【００２９】
なお、キャリッジ９およびサスペンション３は、ディスクＤの回転停止時にアクチュエータ４の駆動によって、ディスクＤ上から退避するようになっている。また、近接場光アシスト磁気記録ヘッド２とサスペンション３とで、ヘッドジンバルアセンブリ１０を構成している。
【００３０】
図２は近接場光アシスト磁気記録ヘッド２の、ディスクＤに対向する底面を示す。近接場光アシスト磁気記録ヘッド２は、アルチック基板１１の底面（図では上面）に微細な凹凸構造からなる空気浮上面１２が形成された構造である。空気浮上面１２の形状は種々の複雑なものが設計され得るが、ここでは単純化して示している。近接場光アシスト磁気記録ヘッド２の先端面（図では右奥）には磁気記録層１３が形成されている。磁気記録層１３は主磁極、コイル、副磁極を含み、主磁極から磁場を発生させるが図示は略した。近接場光アシスト磁気記録ヘッド２の基部側端面（図では左手前）にはレーザ１４が固定されている。レーザ１４の底面（図では上面）には光曲げ部１５が固定されている。空気浮上面１２の一部は断面が略長方形の溝が形成されその中にＡｕ薄膜１６が形成されている。Ａｕ薄膜１６は厚さが２０ｎｍ、幅１００μｍで、長さは近接場光アシスト磁気記録ヘッド２の底面の長さ全体に亘っていて、１．２５ｍｍである。本実施形態では材質としてＡｕを用いたが、使用入射光によって表面プラズモンが励起される材質であればＡｕに限定されない。近接場光アシスト磁気記録ヘッド２の先端面の磁気記録層１３の内側（図では左）には近接場光発生層１７が形成されている。近接場光発生層１７はＳｉＯ２から成る厚さ３０ｎｍの薄膜であるが、中央にＡｕの微粒子を分散させた近接場光発生部１８を持つ。近接場光発生部１８は一辺が約２０ｎｍの直方体の部分の中に、１０ｎｍ程度のサイズのＡｕ粒子が一つ以上分散されている。
【００３１】
図３は近接場光アシスト磁気記録ヘッド２を含むヘッドジンバルアセンブリ１０の先端部とディスクＤの、ヘッドジンバルアセンブリ１０の長手方向とディスクＤに垂直な方向が成す平面における断面図である。近接場光アシスト磁気記録ヘッド２はサスペンション３の先端部のフレクシャ１９に固定されている。フレクシャ１９はロードビーム２０から荷重をかけられる。サスペンション３はフレクシャ１９、ロードビーム２０、図示を略したヒンジと、ベースプレートから成る。
【００３２】
このように構成されたヘッドジンバルアセンブリ１０は次のように動作する。ディスクＤを所定の方向（図３の矢印方向）に回転させて、ヘッドジンバルアセンブリ１０を上方から近接させると、ディスクＤからの空気浮上力とロードビーム２０からの荷重力によって近接場光アシスト磁気記録ヘッド２が図３に示すようにわずかに傾いて浮上する。レーザ１４からの出射光は光曲げ部１５で曲げられてＡｕ薄膜１６に照射される。これによりＡｕ薄膜１６の表面に表面プラズモンが励起される。表面プラズモンは自由電子が外部場によって表面方向に振動した状態を量子として認識したものである。表面プラズモンはＡｕ薄膜１６の表面に束縛されて伝搬するため、入射光の波長に比べはるかに小さな空間に局在する。誘電体から成る導波路を伝搬させる場合に比べると伝搬損失が大きいが、本実施形態のように１ｍｍ程度存在することが望ましい。
【００３３】
エネルギーはＡｕ薄膜１６の表面を表面プラズモンの形で伝搬した後、近接場光エネルギーは近接場光発生部１８によって散乱され近接場光２１になる。近接場光発生部１８は微粒子によって表面プラズモンを散乱させるが、回折格子などのようにより制御された構造によると、高い効率で近接場光を発生させることができる。近接場光発生層１７に隣接して磁気記録層１３が形成されている。簡単のため絶縁層は示していない。近接場光２１がディスクＤ表面のごく微小な領域のみを瞬時に加熱することでその場所だけ保磁力が弱い状態を作り出す。それに続けて磁気記録層１３先端から発生する磁場２２によって磁気記録を行う。
【００３４】
本実施形態においては、レーザ１４が近接場光アシスト磁気記録ヘッド２に搭載されているため、レーザ１４を保持するための特別な構造体は不要であり、ヘッドジンバルアセンブリ１０を軽量化できる。これによりヘッドジンバルアセンブリ１０を高速に高精度でディスクＤ上の所定位置に位置決めすることができる。また、サスペンション３が従来のハードディスク用サスペンションと同様の構造でよいため、サスペンション３の製造工程において１枚の基板からの取り個数を最大にすることができる。また、サスペンション３の構造も簡便で安価なものとなる。また、レーザ１４が近接場光アシスト磁気記録ヘッド２の側面に搭載されていることにより、近接場光アシスト磁気記録ヘッド２の厚みを増加させることがないため、近接場光アシスト磁気記録ヘッド２がディスクＤの表面からナノメートルレベルで浮上する際の安定性が大きく改善される。さらに、レーザ１４から近接場光発生部１８までの光伝搬を、Ａｕ薄膜１６の表面プラズモンを利用することで、Ａｕ薄膜１６を自在な形状にすることが可能となり、空気浮上面１２の設計自由度が向上する。
【００３５】
（第２実施形態）
図４は第２実施形態に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッド３１の、ディスクＤに対向する底面を示す。第１実施形態と同一部分には同一符号を与え説明を省略する。本実施形態の特徴は、Ａｕ薄膜３２が先細り形状になっており、その先端が近接場光発生部１８の幅と略同じになっている点である。Ａｕ薄膜３２の表面を伝搬する表面プラズモンはＡｕ薄膜３２の幅全体に広がりながら伝搬するが、本実施形態のように先細りにすることによって徐々に幅方向の広がりを減少させながら伝搬させることができる。このようにすることで、表面プラズモンのエネルギーの大半を近接場光発生部１８と相互作用させることができる。実施形態１の効果に加えて、表面プラズモンのエネルギーを高効率で近接場光に変換することができる、という効果を奏する。
【００３６】
（第３実施形態）
図５は第３実施形態に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッド３３の、ディスクＤに対向する底面を示す。第２実施形態と同一部分には同一符号を与え説明を省略する。本実施形態の特徴は、近接場光アシスト磁気記録ヘッド３３にはレーザが搭載されていない点である。図６は近接場光アシスト磁気記録ヘッド３３と、サスペンション３先端部とディスクＤの、サスペンション３の長手方向とディスクＤに垂直な方向が成す平面における断面図である。レーザ３４はフレクシャ基部３５の下面にレーザマウント３６とともに固定される。フレクシャ基部３５とフレクシャ１９は図では貫通穴を隔てているが、同一基板の一部である。レーザ３４からの出射光Ｌは近接場光アシスト磁気記録ヘッド３３底面に形成されたＡｕ薄膜３２の端部に照射され、Ａｕ薄膜３２の表面に表面プラズモンを発生させる。それ以降のメカニズムは上述の実施形態と同一である。
【００３７】
本実施形態では上述の実施形態の効果に加えて、レーザ３４が近接場光アシスト磁気記録ヘッド３３に載っていないため、レーザ３４からの発熱がヘッドの浮上特性に影響を与える危険が全く無い。また、レーザ３４による重量の増加も問題とならないため、レーザマウント３６に固定した形で駆動させることができる。これにより、レーザ３４に外部から圧力がかかることがなくなり、安定した性能を長期間に亘って維持することができる。
【００３８】
（第４実施形態）
図７は第４実施形態に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッド４１の、ディスクＤに対向する底面を示す。第２実施形態と同一部分には同一符号を与え説明を省略する。本実施形態の特徴は、空気浮上面４２がヘッド長手方向に２本の長方形パターンを持つ略コの字形状をしており、Ａｕ薄膜４３がその長方形パターンのうちの１本の上に形成されている点である。Ａｕ薄膜４３の表面は空気浮上面４２の表面と同じ平面を成す。空気浮上面４２の形状はヘッドジンバルアセンブリ全体の設計を行う上で最適化されるものであるが、光エネルギー伝搬に誘電体導波路ではなくＡｕ薄膜を利用することで、自在に曲がった光路を設計することができ、ヘッドジンバルアセンブリ全体の設計自由度が向上する。
【００３９】
（第５実施形態）
図８は第５実施形態に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッド５１の、ディスクＤに対向する底面を示す。第２実施形態と同一部分には同一符号を与え説明を省略する。本実施形態の特徴は、Ａｕ薄膜５２の基部側（図では左手前）の表面に凹凸形状による回折格子５３が形成されている点である。図示を略したレーザからの照射光の波数よりも表面プラズモンの波数は常に大きいため、平滑な表面を持つ金属膜に光を照射した場合には表面プラズモンの励起効率は低い。本実施形態では回折格子５３を光が照射される部分に形成したことで、回折格子５３の形状波数だけ入射光の波数を増加させることができ、表面プラズモンの波数と一致させることができる。これにより、高効率で表面プラズモンを励起することができる、という効果を奏する。
【００４０】
（第６実施形態）
図９は第６実施形態に係る近接場光アシスト磁気記録ヘッド３３と、サスペンション３と、ディスクＤの断面を示す。第３実施形態の図６と同一部分については同一符号を与え説明を省略する。本実施形態の特徴は、レーザ５４がレーザマウント３６から突出してＡｕ薄膜３２の光入射部に近接した位置で光Ｌを出射している点である。これにより、レーザ５４を出射した光Ｌが空中伝搬する距離が短くなり、近接場光アシスト磁気記録ヘッド３３が動作中に姿勢を変動したとしても、Ａｕ薄膜３２に安定した強度の光Ｌを入射させることができ、安定した強度の近接場光２１を発生させることができる、という効果を奏する。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明はコンピュータや家庭用電気製品に内蔵される情報記録再生装置、特に大容量記録が必要なハードディスク用の部品の一つとして利用される。
【符号の説明】
【００４２】
１    情報記録再生装置
２    近接場光アシスト磁気記録ヘッド
３    サスペンション
４    アクチュエータ
５    スピンドルモータ
６    制御部
７    ハウジング
７ａ  ハウジング凹部
８    軸受
９    キャリッジ
１０  ヘッドジンバルアセンブリ
１１  アルチック基板
１２  空気浮上面
１３  磁気記録層
１４  レーザ
１５  光曲げ部
１６  Ａｕ薄膜
１７  近接場光発生層
１８  近接場光発生部
１９  フレクシャ
２０  ロードビーム
２１  近接場光
２２  磁場
３１  近接場光アシスト磁気記録ヘッド
３２  Ａｕ薄膜
３３  近接場光アシスト磁気記録ヘッド
３４  レーザ
３５  フレクシャ基部
３６  レーザマウント
４１  近接場光アシスト磁気記録ヘッド
４２  空気浮上面
４３  Ａｕ薄膜
５１  近接場光アシスト磁気記録ヘッド
５２  Ａｕ薄膜
５３  回折格子
５４  レーザ
Ｄ    ディスク
Ｌ    出射光
【図１】
0005597001.tif 000002
【図２】
0005597001.tif 000003
【図３】
0005597001.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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