(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象体における任意の２つの測定部位にそれぞれ接触させられた２つの接触部の一方を介して測定用電圧を供給する電圧供給回路と当該測定用電圧の供給によって当該両測定部位の間に流れる電流を当該両接触部の他方を介して入力して検出する電流検出回路とを有する計測部、および前記一方の接触部を前記電圧供給回路に接続すると共に前記他方の接触部を前記電流検出回路に接続する第１接続態様と当該他方の接触部を当該電圧供給回路に接続すると共に当該一方の接触部を当該電流検出回路に接続する第２接続態様とのいずれかに切り替える接続態様切替え部を備え、前記測定用電圧の値および前記電流の値に基づいて前記両測定部位の間の抵抗を測定可能に構成された測定装置であって、
前記一方の接触部が第１シールドケーブルによって前記接続態様切替え部に接続されると共に前記他方の接触部が第２シールドケーブルによって当該接続態様切替え部に接続され、
前記両接触部が前記第１接続態様で前記計測部に接続されているときに前記第１シールドケーブルのシールド導体を当該第１シールドケーブルの接続用導体と同電位に接続する第１スイッチ、前記両接触部が前記第２接続態様で前記計測部に接続されているときに前記第２シールドケーブルのシールド導体を当該第２シールドケーブルの接続用導体と同電位に接続する第２スイッチ、前記両接触部が前記第１接続態様で前記計測部に接続されているときに前記第２シールドケーブルの前記シールド導体をグランド電位に接続する第３スイッチ、および前記両接触部が前記第２接続態様で前記計測部に接続されているときに前記第１シールドケーブルの前記シールド導体を前記グランド電位に接続する第４スイッチを備えて構成されている測定装置。
【請求項２】
前記接続態様切替え部による前記接続態様の切り替えを制御すると共に、前記第１スイッチ、前記第２スイッチ、前記第３スイッチおよび前記第４スイッチをオン／オフ制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記接続態様切替え部を制御して前記両接触部を前記第１接続態様で前記計測部に接続させたときに、前記第１スイッチおよび前記第３スイッチをオン制御すると共に前記第２スイッチおよび前記第４スイッチをオフ制御し、前記接続態様切替え部を制御して前記両接触部を前記第２接続態様で前記計測部に接続させたときに、前記第２スイッチおよび前記第４スイッチをオン制御すると共に前記第１スイッチおよび前記第３スイッチをオフ制御する請求項１記載の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象体における任意の２つの測定部位の間の抵抗を測定する測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の測定装置として、特開平６−３３１６９９号公報において出願人が開示した回路基板測定装置が知られている。この回路基板測定装置は、プローブピンが取り付けられたアーム、およびアームから引き出されている測定信号供給ラインおよび信号検出ラインと外部入出力端子との接続を行うスイッチ手段を備えて、回路基板所定に対する所定の電気的検査を実行可能に構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−３３１６９９号公報（第２−４頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記の回路基板測定装置には、以下の課題がある。すなわち、この回路基板測定装置を含むこの種の回路基板測定装置では、ノイズの影響を低減させるために、上記の測定信号供給ラインや信号検出ラインとして、シールドケーブル（例えば図２に示すシールドケーブル２００）が用いられている。この場合、同図に模式的に示すように、シールドケーブル２００の芯線（接続用導体）２０１とシールド電極（シールド導体）２０３との間には、容量および抵抗が存在する。このため、例えば、測定信号供給ラインを介して測定信号としての電圧を回路基板に供給したときには、上記の容量に起因してシールドケーブル２００に電荷がチャージされる。
【０００５】
ここで、この種の回路基板測定装置を用いて回路基板における任意の２つの測定ポイント間の絶縁抵抗を測定する際には、測定結果の信頼性を向上させる観点から、測定信号（測定用電圧）を供給する供給先を入れ替えて２回の測定を行うことがある。具体的には、２つの測定ポイントの一方（第１測定ポイント）に接触させたプローブを介して測定用電圧を供給し、各測定ポイント間に流れる電流を各測定ポイントの他方（第２測定ポイント）に接触させたプローブを介して入力して検出し、測定用電圧の値、および検出した電流の値に基づいて上記各測定ポイントの間の絶縁抵抗を測定する（１回目の測定）。次いで、第２測定ポイントに接触させたプローブを介して測定用電圧を供給し、上記各測定ポイント間に流れる電流を第１測定ポイントに接触させたプローブを介して入力して検出し、測定用電圧の値、および検出した電流の値に基づいて上記各測定ポイント間の絶縁抵抗を測定する（２回目の測定）。
【０００６】
この場合、１回目の測定と２回目の測定とでは、測定信号の供給先（測定ポイント）が入れ替えられているため、１回目の測定の際の電流の向きと２回目の際の電流の向きとが異なることとなる。一方、上記したように、シールドケーブル２００には、芯線２０１とシールド電極２０３との間の容量に起因する電荷がチャージされている。このため、図３に示すように、１回目の測定の際に芯線２０１とシールド電極２０３との間にチャージされた電荷が２回目の測定の際に流れることに起因して、測定される電流の値が本来の電流の値（電荷がチャージされてないとした場合の電流の値）よりも大きくなることがある。したがって、絶縁抵抗を正確に測定するためには、チャージされた電荷が十分に少なくなって、測定される電流への影響が十分に少なくなるまで（例えば、電流が同図に示す破線の値になるまで）測定を継続する必要がある。このため、上記の回路基板測定装置には、この種の測定の効率向上が比較的困難であり、この点の改善が望まれている。
【０００７】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、測定対象体における任意の２つの測定部位の間の抵抗を効率的に測定し得る測定装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成すべく請求項１記載の測定装置は、測定対象体における任意の２つの測定部位にそれぞれ接触させられた２つの接触部の一方を介して測定用電圧を供給する電圧供給回路と当該測定用電圧の供給によって当該両測定部位の間に流れる電流を当該両接触部の他方を介して入力して検出する電流検出回路とを有する計測部、および前記一方の接触部を前記電圧供給回路に接続すると共に前記他方の接触部を前記電流検出回路に接続する第１接続態様と当該他方の接触部を当該電圧供給回路に接続すると共に当該一方の接触部を当該電流検出回路に接続する第２接続態様とのいずれかに切り替える接続態様切替え部を備え、前記測定用電圧の値および前記電流の値に基づいて前記両測定部位の間の抵抗を測定可能に構成された測定装置であって、前記一方の接触部が第１シールドケーブルによって前記接続態様切替え部に接続されると共に前記他方の接触部が第２シールドケーブルによって当該接続態様切替え部に接続され、前記両接触部が前記第１接続態様で前記計測部に接続されているときに前記第１シールドケーブルのシールド導体を当該第１シールドケーブルの接続用導体と同電位に接続する第１スイッチ、前記両接触部が前記第２接続態様で前記計測部に接続されているときに前記第２シールドケーブルのシールド導体を当該第２シールドケーブルの接続用導体と同電位に接続する第２スイッチ、前記両接触部が前記第１接続態様で前記計測部に接続されているときに前記第２シールドケーブルの前記シールド導体をグランド電位に接続する第３スイッチ、および前記両接触部が前記第２接続態様で前記計測部に接続されているときに前記第１シールドケーブルの前記シールド導体を前記グランド電位に接続する第４スイッチを備えて構成されている。
【０００９】
また、請求項２記載の測定装置は、請求項１記載の測定装置において、前記接続態様切替え部による前記接続態様の切り替えを制御すると共に、前記第１スイッチ、前記第２スイッチ、前記第３スイッチおよび前記第４スイッチをオン／オフ制御する制御部を備え、前記制御部は、前記接続態様切替え部を制御して前記両接触部を前記第１接続態様で前記計測部に接続させたときに、前記第１スイッチおよび前記第３スイッチをオン制御すると共に前記第２スイッチおよび前記第４スイッチをオフ制御し、前記接続態様切替え部を制御して前記両接触部を前記第２接続態様で前記計測部に接続させたときに、前記第２スイッチおよび前記第４スイッチをオン制御すると共に前記第１スイッチおよび前記第３スイッチをオフ制御する。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１記載の測定装置によれば、第１シールドケーブルのシールド導体を第１シールドケーブルの接続用導体と同電位に接続する第１スイッチ、第２シールドケーブルのシールド導体を第２シールドケーブルの接続用導体と同電位に接続する第２スイッチ、第２シールドケーブルのシールド導体をグランド電位に接続する第３スイッチ、および第１シールドケーブルのシールド導体をグランド電位に接続する第４スイッチを備えたことにより、例えば、測定用電圧の供給先を入れ替えて２回の測定を行う際に、１回目の測定時に第１スイッチおよび第３スイッチをオン状態にすると共に第２スイッチおよび第４スイッチをオフ状態にした状態で第１シールドケーブルおよび一方の接触部を介して一方の測定部位に測定用電圧を供給し、他方の接触部および第２シールドケーブルを介して他方の測定部位から電流を入力することで、２回目の測定時に一方の接触部を電流検出回路に接続する第１シールドケーブルが、１回目の測定時における測定用電圧の供給時に電荷がチャージされないため、２回目目の測定時に測定を継続する時間を短縮することができる結果、絶縁抵抗の測定効率を十分に向上させることができる。
【００１１】
また、請求項２記載の測定装置によれば、接続態様切替え部を制御して両接触部を第１接続態様で計測部に接続させたときに、第１スイッチおよび第３スイッチをオン制御すると共に第２スイッチおよび第４スイッチをオフ制御し、接続態様切替え部を制御して両接触部を第２接続態様で計測部に接続させたときに、第２スイッチおよび第４スイッチをオン制御すると共に第１スイッチおよび第３スイッチをオフ制御する制御部を備えたことにより、各スイッチを手動で切り替える構成と比較して、これらの切替え操作に要する時間が不要となる分だけ、絶縁抵抗の測定効率を一層向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】ベアボードテスタの構成を示す構成図である。
【図２】シールドケーブル２００の構成を示す構成図である。
【図３】本来の電流および測定される電流Ｉと測定開始からの経過時間との関係を示す関係図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明に係る測定装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１４】
最初に、ベアボードテスタ１の構成について説明する。図１に示すベアボードテスタ１は、「測定装置」の一例であって、ベアボード１００（測定対象基板：「測定対象体」の一例）における測定ポイントＰ１〜Ｐ４（「測定部位」の一例：以下、区別しないときには「測定ポイントＰ」ともいう）のうちの任意の２つの間の絶縁抵抗Ｒを測定可能に構成されている。具体的には、ベアボードテスタ１は、本体部２、移動機構３ａ，３ｂ（以下、区別しないときには「移動機構３」ともいう）およびプローブユニット４ａ，４ｂ（以下、区別しないときには「プローブユニット４」ともいう）を備えて構成されている。
【００１５】
この場合、本例のベアボードテスタ１では、プローブユニット４が、後述する本体部２のスキャナユニット１４に対して信号ケーブル５ａ，５ｂを介して接続されている。この信号ケーブル５ａ，５ｂは、図２に示すように、芯線（接続用導体）２０１、絶縁体２０２、シールド電極（シールド導体）２０３および被覆体２０４がこの順序で巻層（積層）されて構成されている。なお、実際のベアボードテスタ１は、ベアボード１００を検査位置に保持する基板保持機構やベアボード１００を搬送する基板搬送機構を備えているが、「測定装置」の構成についての理解を容易とするために、基板保持機構や基板搬送機構についての図示および説明を省略する。また、測定対象のベアボード１００には、測定ポイントＰ１〜Ｐ４以外のさらに多数の測定ポイントＰが存在するが、ベアボードテスタ１による測定処理についての理解を容易とするために、測定ポイントＰ１〜Ｐ４以外の測定ポイントＰの図示および説明を省略する。
【００１６】
本体部２は、操作部１１、表示部１２、計測部１３、スキャナユニット１４、スイッチ１５Ａａ，１５Ａｂ，１５Ｂａ，１５Ｂｂ、制御部１６および記憶部１７を備えて構成されている。操作部１１は、電源スイッチや測定開始スイッチ等の各種のスイッチを備えて構成されて、各スイッチの操作に対応する操作信号を制御部１６に出力する。表示部１２は、制御部１６の制御に従って測定結果等を表示する。
【００１７】
計測部１３は、電圧供給回路２１および電流検出回路２２を備えて構成されている。電圧供給回路２１は、制御部１６の制御に従い、ベアボード１００における任意の２つの測定ポイントＰにそれぞれ接触しているプローブユニット４ａ，４ｂ（後述するプローブピン４１ａ，４１ｂ：「２つの接触部」の一例）の一方を介して測定用電圧Ｖを供給する。電流検出回路２２は、測定用電圧Ｖの供給によって上記各測定ポイントＰ間に流れる電流Ｉを２つのプローブユニット４ａ，４ｂの他方を介して入力して検出し、電流Ｉの値を示す電流データＤｉを出力する。
【００１８】
スキャナユニット１４は、「接続態様切替え部」の一例であって、複数のスイッチ（図示せず）を備えて構成されている。このスキャナユニット１４は、制御部１６の制御に従って各スイッチをオン状態またはオフ状態に移行させることにより、プローブユニット４ａを電圧供給回路２１に接続すると共にプローブユニット４ｂを電流検出回路２２に接続する接続態様（「第１接続態様」の一例）と、プローブユニット４ｂを電圧供給回路２１に接続すると共にプローブユニット４ａを電流検出回路２２に接続する接続態様（「第２接続態様」の一例）とのいずれかに切り替える。
【００１９】
スイッチ１５Ａａ，１５Ａｂ，１５Ｂａ，１５Ｂｂは、それぞれリレーなどで構成されて、制御部１６によってオン／オフ制御されることで信号ケーブル５ａ，５ｂの各シールド電極２０３を規定された電位に接続させる。具体的には、スイッチ１５Ａａは、「第１スイッチ」に相当し、制御部１６によってオン制御されることで信号ケーブル５ａ（「第１シールドケーブル」の一例）のシールド電極２０３を信号ケーブル５ａの芯線２０１に接続する。また、スイッチ１５Ａｂは、「第４スイッチ」に相当し、制御部１６によってオン制御されることで信号ケーブル５ａのシールド電極２０３をグランド電位に接続する。さらに、スイッチ１５Ｂａは、「第２スイッチ」に相当し、制御部１６によってオン制御されることで信号ケーブル５ｂ（「第２シールドケーブル」の一例）のシールド電極２０３を信号ケーブル５ｂの芯線２０１に接続する。また、スイッチ１５Ｂｂは、「第３スイッチ」に相当し、制御部１６によってオン制御されることで信号ケーブル５ｂのシールド電極２０３をグランド電位に接続する。
【００２０】
制御部１６は、ベアボードテスタ１を総括的に制御する。具体的には、制御部１６は、操作部１１から出力される操作信号に従い、本体部２を構成する各部、および移動機構３を制御する。また、制御部１６は、絶縁抵抗測定処理を実行することにより、計測部１３の電圧供給回路２１から供給した測定用電圧Ｖの値、および電流検出回路２２から出力される電流データＤｉによって特定される電流Ｉの値に基づき、プローブユニット４ａ，４ｂが接触しているベアボード１００における２つの測定ポイントＰ，Ｐの間の絶縁抵抗Ｒを測定する。また、制御部１６は、測定した絶縁抵抗Ｒを記憶部１７に記憶させると共に、絶縁抵抗Ｒを表示部１２に表示させる。記憶部１７は、制御部１６によって算出（測定）される絶縁抵抗Ｒを記憶する。
【００２１】
移動機構３ａ，３ｂは、制御部１６の制御に従ってプローブユニット４ａ，４ｂをそれぞれ移動させることにより、プローブユニット４ａのプローブピン４１ａ、およびプローブユニット４ｂのプローブピン４１ｂ（いずれも図１参照）をベアボード１００における予め指定された２つの測定ポイントＰにそれぞれ接触（プロービング）させる。この場合、本例のベアボードテスタ１では、主として、移動機構３ａが、ベアボード１００の半分の領域（例えば、図１における左側半分の領域）内においてプローブユニット４ａを移動させ、移動機構３ｂが、ベアボード１００の他の半分の領域（例えば、同図における右側半分の領域）内においてプローブユニット４ｂを移動させる。
【００２２】
プローブユニット４ａは、移動機構３ａに取り付けられた保持部４２ａによって保持されたプローブピン４１ａ（「一方の接触部」の一例）を備えて構成されている。また、プローブユニット４ｂは、移動機構３ｂに取り付けられた保持部４２ｂによって保持されたプローブピン４１ｂ（「他方の接触部」の一例）を備えて構成されている。この場合、このベアボードテスタ１では、プローブユニット４ａのプローブピン４１ａが信号ケーブル５ａの芯線２０１を介してスキャナユニット１４に接続されると共に、プローブユニット４ｂのプローブピン４１ｂが信号ケーブル５ｂの芯線２０１を介してスキャナユニット１４に接続されている。なお、以下の説明においてプローブピン４１ａ，４１ｂを区別しないときには「プローブピン４１」ともいい、保持部４２ａ，４２ｂを区別しないときには「保持部４２」ともいう。
【００２３】
次に、ベアボードテスタ１を用いてベアボード１００における２つの測定ポイントＰ，Ｐの間の絶縁抵抗Ｒを測定する方法の一例について、図面を参照して説明する。
【００２４】
まず、測定対象のベアボード１００を図示しない基板保持機構に保持させる。次いで、操作部１１の測定開始スイッチを操作して、測定を開始させる。この際には、制御部１６が、操作部１１からの操作信号に従って絶縁抵抗測定処理を実行する。この絶縁抵抗測定処理では、制御部１６は、本体部２の各部を制御することにより、まず、ベアボード１００上における２つの測定ポイントＰ１，Ｐ２の間の抵抗測定を２回実行する。具体的には、制御部１６は、移動機構３ａ，３ｂを制御してプローブユニット４ａ，４ｂを移動させることにより、図１に示すように、ベアボード１００における２つの測定ポイントＰ１，Ｐ２にプローブピン４１ａ，４１ｂの先端部をそれぞれ接触（プロービング）させる。
【００２５】
次いで、制御部１６は、スキャナユニット１４を制御して、「第１接続態様」でプローブピン４１ａ，４１ｂを計測部１３に接続させる。具体的には、制御部１６は、スキャナユニット１４を制御して、信号ケーブル５ａの芯線２０１を電圧供給回路２１に接続させると共に、信号ケーブル５ｂの芯線２０１を電流検出回路２２に接続させることにより、測定ポイントＰ１に接触させられているプローブピン４１ａを電圧供給回路２１に接続させると共に、測定ポイントＰ２に接触させられているプローブピン４１ｂを電流検出回路２２に接続させる。
【００２６】
続いて、制御部１６は、スイッチ１５Ａａ，１５Ｂｂをオン制御すると共に、スイッチ１５Ａｂ，１５Ｂａをオフ制御する。この際には、スイッチ１５Ａａによって信号ケーブル５ａのシールド電極２０３が信号ケーブル５ａの芯線２０１に接続されて信号ケーブル５ａのシールド電極２０３および芯線２０１が同電位になると共に、スイッチ１５Ｂｂによって信号ケーブル５ｂのシールド電極２０３がグランド電位に接続される。次いで、制御部１６は、計測部１３の電圧供給回路２１を制御して測定用電圧Ｖの出力を開始させると共に、電流検出回路２２を制御して電流Ｉの検出を開始させる。
【００２７】
この際には、電圧供給回路２１から出力された測定用電圧Ｖが、スキャナユニット１４、信号ケーブル５ａの芯線２０１、およびプローブユニット４ａのプローブピン４１ａを介してベアボード１００上の測定ポイントＰ１（測定ポイントＰ１，Ｐ２の一方）に供給される。また、電流検出回路２２が、測定用電圧Ｖの供給によって各測定ポイントＰ１，Ｐ２の間に流れる電流Ｉを、プローブユニット４ｂのプローブピン４１ｂ、信号ケーブル５ｂの芯線２０１、およびスキャナユニット１４を介して入力して検出し、その電流値を示す電流データＤｉを制御部１６に出力する。また、制御部１６は、電流検出回路２２から出力された電流データＤｉを記憶部１７に記憶させる。以上により、１回目の測定が終了する。
【００２８】
この場合、上記の１回目の測定時には、スイッチ１５Ｂｂによって信号ケーブル５ｂのシールド電極２０３がグランド電位に接続されている。したがって、信号ケーブル５ｂのシールド電極２０３がシールドとして機能して、芯線２０１を介して検出される電流Ｉにノイズ成分が混入する事態が回避される。これにより、プローブピン４１ａ，４１ｂ間を流れる（測定ポイントＰ１，Ｐ２間を流れる）電流Ｉが正確に検出される。また、上記の１回目の測定時には、スイッチ１５Ａａによって信号ケーブル５ａのシールド電極２０３が信号ケーブル５ａの芯線２０１に接続されて信号ケーブル５ａの芯線２０１およびシールド電極２０３が同電位となっている。したがって、信号ケーブル５ａの芯線２０１およびシールド電極２０３の間に容量や抵抗が存在しないため、測定用電圧Ｖの供給に際して信号ケーブル５ａに電荷がチャージされる事態が回避される。
【００２９】
次いで、制御部１６は、測定用電圧Ｖを供給する測定ポイントＰを測定ポイントＰ１から測定ポイントＰ２に変更して２回目の測定を実行する。この際に、制御部１６は、スキャナユニット１４を制御して、「第２接続態様」でプローブピン４１ａ，４１ｂを計測部１３に接続させる。具体的には、制御部１６は、スキャナユニット１４を制御して、信号ケーブル５ａの芯線２０１を電流検出回路２２に接続させると共に、信号ケーブル５ｂの芯線２０１を電圧供給回路２１に接続させることにより、測定ポイントＰ２に接触させられているプローブピン４１ｂを電圧供給回路２１に接続させると共に、測定ポイントＰ１に接触させられているプローブピン４１ａを電流検出回路２２に接続させる。
【００３０】
続いて、制御部１６は、スイッチ１５Ａａ，１５Ｂｂをオフ制御すると共に、スイッチ１５Ａｂ，１５Ｂａをオン制御する。この際には、スイッチ１５Ｂａによって信号ケーブル５ｂのシールド電極２０３が信号ケーブル５ｂの芯線２０１に接続されて信号ケーブル５ｂのシールド電極２０３および芯線２０１が同電位になると共に、スイッチ１５Ａｂによって信号ケーブル５ａのシールド電極２０３がグランド電位に接続される。次いで、制御部１６は、計測部１３の電圧供給回路２１を制御して測定用電圧Ｖの出力を開始させると共に、電流検出回路２２を制御して電流Ｉの検出を開始させる。
【００３１】
この際には、電圧供給回路２１から出力された測定用電圧Ｖが、スキャナユニット１４、信号ケーブル５ｂの芯線２０１、およびプローブユニット４ｂのプローブピン４１ｂを介してベアボード１００上の測定ポイントＰ２（測定ポイントＰ１，Ｐ２の他方）に供給される。また、電流検出回路２２が、測定用電圧Ｖの供給によって各測定ポイントＰ２，Ｐ１の間に流れる電流Ｉを、プローブユニット４ａのプローブピン４１ａ、信号ケーブル５ａの芯線２０１、およびスキャナユニット１４を介して入力して検出し、その電流値を示す電流データＤｉを制御部１６に出力する。また、制御部１６は、電流検出回路２２から出力された電流データＤｉを記憶部１７に記憶させる。以上により、２回目の測定が終了する。
【００３２】
この場合、上記の２回目の測定時には、前述した１回目の測定時に電荷がチャージされていない信号ケーブル５ｂを介してスキャナユニット１４および電流検出回路２２にプローブピン４１ｂを接続して電流Ｉを検出している。したがって、ベアボードテスタ１では、「接触部」と「電流検出回路」とを接続している「シールドケーブル」における「接続用導体」と「シールド導体」との間にチャージされた電荷の流れが減少するまで測定を継続する必要がある「測定装置」とは異なり、２回目の測定に際して電流Ｉの検出を継続する時間が短時間となる分だけ、２回目の測定を短時間で完了させることが可能となっている。
【００３３】
また、上記の２回目の測定時には、スイッチ１５Ａｂによって信号ケーブル５ａのシールド電極２０３がグランド電位に接続されてグランド電位となっている。したがって、信号ケーブル５ａのシールド電極２０３がシールドとして機能して、芯線２０１を介して検出される電流Ｉにノイズ成分が混入する事態が回避される。これにより、プローブピン４１ｂ，４１ａ間を流れる（測定ポイントＰ２，Ｐ１間を流れる）電流Ｉが正確に検出される。さらに、上記の２回目の測定時には、スイッチ１５Ｂａによって信号ケーブル５ｂのシールド電極２０３が信号ケーブル５ｂの芯線２０１に接続されて信号ケーブル５ｂの芯線２０１およびシールド電極２０３が同電位となっている。したがって、信号ケーブル５ｂの芯線２０１およびシールド電極２０３の間に容量や抵抗が存在しないため、測定用電圧Ｖの供給に際して信号ケーブル５ｂに電荷がチャージされる事態が回避される。
【００３４】
次いで、制御部１６は、記憶部１７に記憶させた電流データＤｉを読み出して、電流データＤｉによって特定される電流Ｉの値、および測定用電圧Ｖの値に基づき、上記２つの測定ポイントＰ１，Ｐ２の間の絶縁抵抗Ｒを測定（算出）する。続いて、制御部１６は、例えば、測定した２回の測定値に規定量を超える差が生じているときには、再測定を行い、差が生じていないとき、または、生じている差が規定量以下のときには、いずれか一方の絶縁抵抗Ｒ、または２つの絶縁抵抗Ｒの平均値を絶縁抵抗Ｒとして記憶部１７に記憶させると共に、その絶縁抵抗Ｒを表示部１２に表示させる。
【００３５】
次いで、制御部１６は、絶縁抵抗Ｒを測定すべき他の測定ポイントＰが存在するか否かを判別する。この際に、測定すべき他の測定ポイントＰが存在しないときには、ベアボード１００についての絶縁抵抗測定処理を終了する。一方、測定すべき他の測定ポイントＰが存在するときには、上記した測定ポイントＰ１，Ｐ２の間についての一連の測定処理と同様の処理を実行する。一例として、測定ポイントＰ３，Ｐ４についての測定処理を実行する際には、制御部１６は、プローブユニット４ａのプローブピン４１ａを測定ポイントＰ３に接触させ、かつ、プローブユニット４ｂのプローブピン４１ｂを測定ポイントＰ４に接触させると共に、スキャナユニット１４を制御して「第１接続態様」でプローブピン４１ａ，４１ｂを計測部１３に接続させる。
【００３６】
この場合、測定ポイントＰ３，Ｐ４についての１回目の測定時には、前述した測定ポイントＰ１，Ｐ２についての２回目の測定時に電荷がチャージされていない信号ケーブル５ｂを介してスキャナユニット１４および電流検出回路２２にプローブピン４１ｂが接続される。したがって、ベアボードテスタ１では、測定ポイントＰ３，Ｐ４についての１回目の測定に際して電流Ｉの検出を継続する時間が短時間となる分だけ、この１回目の測定を短時間で完了させることが可能となっている。
【００３７】
このように、このベアボードテスタ１によれば、信号ケーブル５ａのシールド電極２０３を信号ケーブル５ａの芯線２０１と同電位に接続するスイッチ１５Ａａ、信号ケーブル５ｂのシールド電極２０３を信号ケーブル５ｂの芯線２０１と同電位に接続するスイッチ１５Ｂａ、信号ケーブル５ｂのシールド電極２０３をグランド電位に接続するスイッチ１５Ｂｂ、および信号ケーブル５ａのシールド電極２０３をグランド電位に接続するスイッチ１５Ａｂを備えたことにより、例えば、測定用電圧Ｖの供給先を入れ替えて２回の測定を行う際に、１回目の測定時にスイッチ１５Ａａ，１５Ｂｂをオン制御すると共にスイッチ１５Ｂａ，１５Ａｂをオフ制御した状態で信号ケーブル５ａおよびプローブピン４１ａを介して測定ポイントＰ１に測定用電圧Ｖを供給し、プローブピン４１ｂおよび信号ケーブル５ｂを介して測定ポイントＰ２から電流Ｉを入力することで、２回目の測定時にプローブピン４１ａを電流検出回路２２に接続する信号ケーブル５ａが、１回目の測定時における測定用電圧Ｖの供給時に電荷がチャージされないため、２回目目の測定時に測定を継続する時間を短縮することができる結果、絶縁抵抗の測定効率を十分に向上させることができる。
【００３８】
また、このベアボードテスタ１によれば、スキャナユニット１４を制御して両プローブピン４１ａ，４１ｂを「第１接続態様」で計測部１３に接続させたときに、スイッチ１５Ａａ，１５Ｂｂをオン制御すると共にスイッチ１５Ｂａ，１５Ａｂをオフ制御し、スキャナユニット１４を制御して両プローブピン４１ａ，４１ｂを「第２接続態様」で計測部１３に接続させたときに、スイッチ１５Ｂａ，１５Ａｂをオン制御すると共にスイッチ１５Ａａ，１５Ｂｂをオフ制御する制御部１６を備えたことにより、スイッチ１５Ａａ，１５Ａｂ，１５Ｂａ，１５Ｂｂを手動で切り替える構成と比較して、これらの切替え操作に要する時間が不要となる分だけ、絶縁抵抗の測定効率を一層向上させることができる。
【００３９】
なお、「測定装置」の構成は、上記したベアボードテスタ１の構成に限定されない。例えば、各プローブユニット４に１本のプローブピン４１が配設された構成例について上記したが、プローブユニット４ａに２本のプローブピン４１ａ，４１ａを配設し、プローブユニット４ｂに２本のプローブピン４１ｂ，４１ｂを配設した構成を採用することもできる（図示せず）。このように、２本のプローブピン４１ａ，４１ａ（または、プローブピン４１ｂ，４１ｂ）を備えて各プローブユニット４ａ，４ｂを構成することにより、これらプローブピン４１ａ，４１ａ（または、プローブピン４１ｂ，４１ｂ）を用いて４端子法による測定を行うことができる。このような構成を採用した場合においても、上記のベアボードテスタ１と同様の効果を奏することができる。
【００４０】
また、「測定対象体」の一例であるベアボード１００（測定対象基板）を測定するベアボードテスタ１を例に挙げて説明したが、ベアボード１００（測定対象基板）以外の各種測定対象体についての絶縁抵抗値を測定する測定装置に本発明の構成を適用することができる。さらに、制御部１６がスイッチ１５Ａａ，１５Ａｂ，１５Ｂａ，１５Ｂｂをオン／オフ制御する構成を例に挙げて説明したが、「第１スイッチ」、「第２スイッチ」、「第３スイッチ」および「第４スイッチ」を手動でオン／オフする構成を採用することもできる。また、絶縁抵抗を測定する絶縁抵抗測定装置（本例ではベアボードテスタ１）を例に挙げて説明したが、この絶縁抵抗測定装置に限らず、各種抵抗値を測定する抵抗測定装置に適用することができる。
【００４１】
加えて、「第１スイッチ」、「第２スイッチ」、「第３スイッチ」および「第４スイッチ」をそれぞれ単極単投スイッチで構成した例について説明したが、「第１スイッチ」および「第４スイッチ」を１つの単極双投スイッチで構成すると共に、「第２スイッチ」および「第３スイッチ」を他の１つの単極双投スイッチで構成することもできる。具体的には、「第１シールドケーブルのシールド導体」を「第１シールドケーブルの接続用導体」および「グランド電位」のいずれかに選択的に接続する１つの単極双投スイッチと、「第２シールドケーブルのシールド導体」を「第２シールドケーブルの接続用導体」および「グランド電位」のいずれかに選択的に接続する他の１つの単極双投スイッチとを備えて構成することができる。
【符号の説明】
【００４２】
１  ベアボードテスタ
４ａ，４ｂ  プローブユニット
５ａ，５ｂ  信号ケーブル
１３  計測部
１４  スキャナユニット
１５Ａａ，１５Ａｂ，１５Ｂａ，１５Ｂｂ  スイッチ
１６  制御部
２１  電圧供給回路
２２  電流検出回路
４１ａ，４１ｂ  プローブピン
１００  ベアボード
２００  シールドケーブル
２０１  芯線
２０３  シールド電極
Ｄｉ  電流データ
Ｉ  電流
Ｐ１，Ｐ２  測定ポイント
Ｒ  絶縁抵抗
Ｖ  測定用電圧
【図１】
0005507428.tif 000002
【図２】
0005507428.tif 000003
【図３】
0005507428.tif 000004