(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送路の幅方向両側に平行配置され、上下面に磁極が存在するよう磁化した下部永久磁石と、前記搬送路の下部永久磁石と対向する幅方向両側位置に平行配置され、上下面に磁極が存在し且つ下部永久磁石に対して同極で対面するよう磁化された上部永久磁石を備え、ワークを積載可能な搬送板と、
搬送路の両側に配置された一対のガイドレールと一対のガイドレールに転動状態で接触するよう搬送板の両側に配置された複数のガイドローラとよりなるガイド手段と、
搬送板を搬送路に沿って搬送方向に移動させる駆動手段と、を備える搬送装置であり、
前記一対のガイドレールは、搬送路に向かって対面する縦壁と搬送路面に対面する横壁とを備え、
前記ガイドローラは、ガイドレールの横壁に搬送路面側から接触する複数の第１ガイドローラと、ガイドレールの縦壁に転動接触する複数の第２ガイドローラと、から構成され、
前記一対のガイドレールは上下方向に移動可能に配置されると共に予め設定した押圧力により搬送路面側に付勢されていることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記駆動手段は、搬送路の一端に配置された水圧ラムシリンダと、搬送路の他端に配置された水圧ラムシリンダと、により構成され、
各ラムシリンダのラム先端は搬送板の上下動を許容するように係合し、一方のラムシリンダの伸長時に他方のラムシリンダを収縮させて搬送板を搬送方向に移動させることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記水圧ラムシリンダは多段階に伸長する入れ子式のラムを備えることを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記水圧ラムシリンダのラム先端は、支持ローラによりラジアル方向荷重が支持されて伸縮方向に案内されることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置に関し、特に、塵埃を嫌うクリーンルーム内で用いるに好適な搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から例えば医薬品や食品製造工場等のクリーンルーム内での使用を目的としたベルトコンベアやローラコンベア等の搬送装置が提案されている(特許文献１〜３参照)。
【０００３】
特許文献１では、間隔を設けて一対の小径ローラを配置すると共に前記各小径ローラの下方にそれぞれ駆動ローラを設け、前記小径ローラ及び駆動ローラの外周面を利用してループ状のベルトを張設し、前記駆動ローラを同期回転させるようにしたものであって、コンベア自体から発生した微細な塵がベルトの搬送面側に付着しないようにして、被搬送物に塵が付着しにくいベルトコンベアとしている。
【０００４】
特許文献２、３では、搬送ローラを支持するコンベヤフレームの側面板の外側に溝形のフレームカバーを設置し、このフレームカバーと側面板により形成される筒状空間を、電気配線やセンサ等の周辺品の設置空間としたり、搬送ローラを駆動する駆動ギヤ類を収容する設置空間として、ローラコンベヤとして、発塵性を抑制し、防水性及び洗浄性を高めるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０９−１４２６２９号公報
【特許文献２】特開平１１−２６３４２１号公報
【特許文献３】特開２０００−１１８７１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来例では、クリーンルーム内においてモータによりコンベアを駆動するため、モータ等の駆動部から摩耗粉等の塵埃が発生すると共に、ワークとベルトまたはローラとがこすれることにより微粒子の塵埃が発生し、塵埃が発生しない環境の維持に対して、課題があった。
【０００７】
そこで本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、塵埃発生の抑制に好適な搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、搬送路としての架台の上面の幅方向両側に平行配置され、上下面に磁極が存在するよう磁化した下部永久磁石と、前記搬送路の下部永久磁石と対向する幅方向両側位置に平行配置され、上下面に磁極が存在し且つ下部永久磁石に対して同極で対面するよう磁化された上部永久磁石を備え、ワークを積載可能な搬送板と、搬送路の両側に配置された一対のガイドレールと一対のガイドレールに転動状態で接触するよう搬送板の両側に配置された複数のガイドローラとよりなるガイド手段と、搬送板を搬送路に沿って搬送方向に移動させる駆動手段と、を備える。
そして、一対のガイドレールは、搬送路に向かって対面する縦壁と搬送路面に対面する横壁とを備え、ガイドローラは、ガイドレールの横壁に搬送路面側から接触する複数の第１ガイドローラと、ガイドレールの縦壁に転動接触する複数の第２ガイドローラと、から構成され、一対のガイドレールは上下方向に移動可能に配置されると共に予め設定した押圧力により搬送路面側に付勢されている。
【発明の効果】
【０００９】
したがって、本発明では、上下永久磁石は互いに反発し、上部永久磁石を鉛直方向上方に磁気浮上させて、ワークを積載する搬送板を浮動支持する。また、搬送に伴う搬送板の移動時および移動位置においても、上部永久磁石を鉛直方向上方に磁気浮上させて、ワークを積載する搬送板を浮動支持する。即ち、ワークの搬送方向への移動は、磁気浮上手段により浮上された状態で行われるため、少ない動力で移動ができ、省エネルギとすることができる。
しかも、一対のガイドレールは、搬送路に向かって対面する縦壁と搬送路面に対面する横壁とを備え、ガイドローラは、ガイドレールの横壁に搬送路面側から接触する複数の第１ガイドローラと、ガイドレールの縦壁に転動接触する複数の第２ガイドローラと、から構成され、一対のガイドレールは上下方向に移動可能に配置されると共に予め設定した押圧力により搬送路面側に付勢されている。
このため、磁気浮上手段により磁気浮上した搬送板にワーク積載すると、搬送板はワークの重力により下方に押し下げる付勢力を受け、磁気浮上手段の上下永久磁石同士の反発力と釣り合う位置まで搬送板が僅かに下降する。ガイドレールも搬送板の下降に伴って付勢力により下降するため、ガイドレールと第１，２ガイドローラとの転動接触が維持され、搬送板は搬送方向に円滑に案内して移動させることができる。しかも、その際に、ワークおよび搬送板と架台およびガイドレール等との間での摺動移動がないため、搬送に伴う塵埃の発生がない。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態を示す搬送装置の概略正面図。
【図２】同じく搬送装置の概略平面図。
【図３】同じく搬送装置の概略側面図。
【図４】同じく搬送装置の要部の拡大図。
【図５】同じく搬送装置の要部の拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の搬送装置を実施形態に基づいて説明する。
【００１２】
図１〜図３に示す本発明を適用した実施形態の搬送装置は、ワークＷの搬送方向に沿って配置された枠体よりなる架台１の上部(搬送路を構成する)に配置されて、ワークＷを積載する搬送板２を搬送方向に移動可能に支持すると共に搬送方向に案内する支持案内部３と、支持案内部３の下方において架台１に配置されて、ワークＷを搬送方向に移動させる駆動手段４と、を備える。前記架台１は、各脚部に高さ調整が可能なアジャスタ５が取付けられ、床面に各脚部の先端が確実に着座するようにしている。これにより、架台１の上面を水平状態に調整することができる。
【００１３】
前記支持案内部３は、架台１上で搬送板２を磁気浮上させて支持する磁気浮上手段６と、前記磁気浮上手段６により浮上された搬送板２を搬送方向に案内するガイド手段７と、を備える。
【００１４】
前記磁気浮上手段６は、図４，５に詳細に示すように、前記搬送板２の搬送方向に対する両側領域の下方に配置された上部永久磁石６Ａと、上部永久磁石６Ａに対向させて架台１上面の搬送方向に対する両側領域に配置され且つ架台１の長手方向に全領域に渡って配置された下部永久磁石６Ｂと、を備える。前記上部永久磁石６Ａは上下方向(鉛直方向)に磁化されて上下面に磁極が存在するよう構成され、下部永久磁石６Ｂも上下方向(鉛直方向)に磁化されて上下面に磁極が存在するよう構成されている。前記上部永久磁石６Ａと下部永久磁石６Ｂとは対向する面同士が同極となるよう磁化されている。
【００１５】
このため、上下永久磁石６Ａ、６Ｂは互いに反発し、上部永久磁石６Ａを鉛直方向上方に磁気浮上させて、ワークＷを積載する搬送板２を浮動支持する。また、下部永久磁石６Ｂは架台１の長手方向に全領域に渡って配置されているため、搬送に伴う搬送板２の移動時および移動位置においても、上部永久磁石６Ａを鉛直方向上方に磁気浮上させて、ワークＷを積載する搬送板２を浮動支持する。ワークＷの搬送方向への移動は、磁気浮上手段６により浮上された状態で行われるため、少ない動力で移動ができ、省エネルギとなっている。
【００１６】
前記磁気浮上手段６により浮上された搬送板２を搬送方向に案内するガイド手段７は、前記搬送板２の搬送方向に対する両側面において、搬送方向と直交し且つ水平方向の軸回りに回転可能であり、搬送方向に等間隔に配列した複数(図示例では１０個)の第１ガイドローラ８Ａと、同じく搬送方向と直交し且つ鉛直方向の軸回りに回転可能であり、搬送方向に等間隔に配列した複数(図示例では５個)の第２ガイドローラ８Ｂと、を備える。
【００１７】
これらのガイドローラ８Ａ、８Ｂの各軸は、前記搬送板２の搬送方向に対する両側面に縦辺が固定され他方の横辺が縦辺の下方から横方向外側に向かって延びるＬ字状のアングル９を介して固定される。即ち、第１ガイドローラ８Ａの軸がＬ字状のアングル９の縦辺に固定され、第２ガイドローラ８Ｂの軸がＬ字状のアングル９の横方向外側に向かって延びる横辺に固定されている。なお、前記磁気浮上手段６における搬送板２に設置される上部永久磁石６Ａは、Ｌ字状のアングル９の横方向外側に向かって延びる横辺の下面に配置されている。
【００１８】
また、搬送板２の上面の両側部分には、樹脂製よりなる規制バー１０が取付けられている。この規制バー１０は、搬送板２上に積載するワークＷの搬送方向に対する横方向への位置ずれを規制し、ワークＷがガイドレール１１等と擦れることを防止するようにしている。
【００１９】
また、搬送板２を搬送方向に案内するガイド手段７は、図４，５に詳細に示すように、前記搬送板２の両側に設けた第１，２ガイドローラ８Ａ、８Ｂが転動状態で接触するＬ字状の一対のガイドレール１１を、前記枠体に支持させて前記搬送板２の長手方向両側に配置して備える。当該一対のガイドレール１１は、第２ガイドローラ８Ｂが転動接触する縦辺と、縦辺の上方から搬送板２に向かって横方向内側に向かって延び、第１ガイドローラ８Ａが下面から接触する横辺と、から構成されている。
【００２０】
前記一対のガイドレール１１は、上方に配置した複数(図示例では夫々のガイドレール１１に３個)のエアシリンダ１２のピストンロッドに固定され、エアシリンダ１２により予め設定した押し圧力でガイドレール１１を下方に押圧付勢している。各エアシリンダ１２は、架台１を構成する枠体の長手方向(搬送方向と平行な)の両側面から上方に起立させた取付ブラケット１３に夫々固定配置されている。
【００２１】
上記した支持案内部３の構成では、搬送板２は搬送方向のどの位置においても磁気浮上手段６により磁気浮上した状態で支持され、また、ガイドレール１１と第１，２ガイドローラ８Ａ,８Ｂとの転動接触により、搬送板２は搬送方向に円滑に案内して移動させることができる。しかも、その際に、ワークＷおよび搬送板２と架台１およびガイドレール１１等との間での摺動移動がないため、搬送に伴う塵埃の発生がない。また、ガイドレール１１に対するガイドローラ８Ａ,８Ｂの転動移動においても、エアシリンダ１２により予め設定した押し圧力で接触するのみであるため、この接触部位においても、搬送に伴う塵埃の発生が抑制されている。
【００２２】
また、磁気浮上手段６により磁気浮上した搬送板２にワークＷを積載すると、搬送板２はワークＷの重力により下方に押し下げる付勢力を受け、磁気浮上手段６の上下永久磁石６Ａ，６Ｂ同士の反発力と釣り合う位置まで搬送板２が僅かに下降する。この搬送板２の下降は、ガイド手段７の第１，２ガイドローラ８Ａ，８Ｂの下降を伴う。
【００２３】
エアシリンダ１２は、ガイドレール１１を予め設定した押し圧力で下方に付勢しているため、ガイドレール１１は第１，２ガイドローラ８Ａ，８Ｂの下降に追従して下降し、第１，２ガイドローラ８Ａ，８Ｂとの接触状態を維持する。このため、搬送板２に積載するワークＷの重量が変化しても、ガイドレール１１と第１，２ガイドローラ８Ａ，８Ｂとの転動接触状態が維持され、ガイド手段７は搬送板２の搬送方向へのガイド機能を損なうことはない。
【００２４】
ワークＷを搬送方向に移動させる駆動手段４は、図１，２に示すように、支持案内部３の下方において架台１に配置された一対の水圧ラムシリンダ１５Ａ，１５Ｂを備える。前記一対の水圧ラムシリンダ１５Ａ，１５Ｂは、固定のシリンダ本体内に２段の中空ラムが入れ子式に挿入され、中空ラム内に最伸長する小径ラムが挿入された構成となっている。このため、シリンダ本体に水圧が供給された際には、２段の中空ラムとその内部の小径ラムとが順次伸長され、最伸長時にはシリンダ本体の長さの４倍弱程度の長さに全長が伸長される。
【００２５】
各中空ラムの先端および小径ラムの先端には支持ローラ１６が配置され、架台１に長手方向に配置された案内レール１７上にこれら支持ローラ１６を転動させるよう構成している。これにより、各ラムの伸長時におけるラム先端を支持して、伸長時における水圧ラムシリンダ１５のラジアル方向の荷重を打ち消すようにしている。また、水圧ラムシリンダ１５であり、その摺動部は使用する水により湿潤されるため、塵埃の発生や付着を抑制することができる。
【００２６】
一対の水圧ラムシリンダ１５Ａ，１５Ｂは架台１の長手方向に平行となるよう配置されている。そして、一方の水圧ラムシリンダ１５Ａは、そのシリンダ本体が架台１の長手方向一方の端部において、長手方向他方の端部に向かって伸長するよう架台１に固定して配置している。また、他方の水圧ラムシリンダ１５Ｂは、そのシリンダ本体が架台１の長手方向他方の端部において、長手方向一方の端部に向かって伸長するよう架台１に固定して配置している。
【００２７】
そして、各水圧ラムシリンダ１５Ａ，１５Ｂの小径ラムの先端には、上方に延びるプレート１８が固定され、プレート１８の上端は、搬送板２の搬送方向前端または後端の枠体に内側から当接して係合するよう構成している。即ち、架台１の長手方向一方の端部に配置された水圧ラムシリンダ１５Ａの小径ラムの先端に設けたプレート１８は、搬送板２の前記一方の端部から離れた側の枠体に内側から当接して係合する。また、架台１の長手方向他方の端部に配置された水圧ラムシリンダ１５Ｂの小径ラムの先端に設けたプレート１８は、搬送板２の前記他方の端部から離れた側の枠体に内側から当接して係合する。
【００２８】
このため、一方の水圧ラムシリンダ１５Ａが最収縮状態から伸長される際には、搬送板２が架台１の一方から他方側に押出されるものであるが、一方の水圧ラムシリンダ１５Ａの伸長に応じて、他方の水圧ラムシリンダ１５Ｂが最伸長状態から収縮される。同様に、他方の水圧ラムシリンダ１５Ｂが最収縮状態から伸長される際には、搬送板２が架台１の他方から一方側に押出されるものであるが、他方の水圧ラムシリンダ１５Ｂの伸長に応じて、一方の水圧ラムシリンダ１５Ａが最伸長状態から収縮される。
【００２９】
各水圧ラムシリンダ１５Ａ，１５Ｂのシリンダ底部には夫々水圧ポンプ２０Ａ，２０Ｂが接続され、各水圧ポンプ２０Ａ，２０Ｂとシリンダ底部とを接続する配管は途中より分岐してタンク２３へ還流するドレーン配管が夫々配置されている。各ドレーン配管の途中には、開閉弁２１Ａ，２１Ｂと可変絞り２２とが直列に配置されている。従って、一方の水圧ラムシリンダ１５Ａが伸長される際には、当該シリンダに連結したポンプ２０Ａが駆動されると共にそのドレーン配管が開閉弁２１Ａにより遮断され、他方のシリンダ１５Ｂに連結したポンプ２０Ｂは停止状態とすると共にそのドレーン配管は開閉弁２１Ｂが開放される。
【００３０】
このため、一方の水圧ラムシリンダ１５Ａが伸長され、搬送板２が他方に移動し、それに連れて他方の水圧ラムシリンダ１５Ｂが収縮され、他方の水圧ラムシリンダ１５Ｂ内の液水はドレーン配管の可変絞り２２による制動を受けつつタンク２３に還流される。同様に、他方の水圧ラムシリンダ１５Ｂが伸長され、搬送板２が一方に移動し、それに連れて一方の水圧ラムシリンダ１５Ａが収縮され、一方の水圧ラムシリンダ１５Ａ内の液水はドレーン配管の可変絞り２２による制動を受けつつタンク２３に還流される。
【００３１】
なお、架台１の両端には、水圧ラムシリンダ１５Ａ，１５Ｂの最伸長時の小径ラム先端の位置を検出する近接スイッチ２５が配置されており、この近接スイッチ２５により搬送板２が搬送方向終端位置に到達したことを検出するようにしている。
【００３２】
以上の構成の搬送装置の動作について以下に説明する。
【００３３】
図１に示す状態においては、搬送板２が架台１の一方側に位置し、一方の水圧ラムシリンダ(第１水圧ラムシリンダ１５Ａとする)からは加圧水が排出されて最収縮状態であると共に他方の水圧ラムシリンダ(第２水圧ラムシリンダ１５Ｂとする)には加圧水が供給されて最伸長状態となっている。即ち、第１水圧ラムシリンダ１５Ａに連なる水圧ポンプ(第１水圧ポンプ２０Ａ)は停止され、それに連なる開閉弁(第１開閉弁２１Ａ)は開放状態となっている。また、第２水圧ラムシリンダ１５Ｂに連なる水圧ポンプ(第２水圧ポンプ２０Ｂ)は停止状態であり、それに連なる開閉弁(第２開閉弁２１Ｂ)は遮断状態となっている。
【００３４】
磁気浮上手段６により磁気浮上された搬送板２上にはワークＷが積載されており、搬送板２はワークＷの重力により下方に押し下げる付勢力を受け、磁気浮上手段６の上下永久磁石６Ａ，６Ｂ同士の反発力と釣り合う位置まで搬送板２が僅かに下降し、ガイド手段７の第１，２ガイドローラ８Ａ，８Ｂも僅かに下降している。しかし、ガイドレール１１は、エアシリンダ１２で下方付勢されているため、第１，２ガイドローラ８Ａ，８Ｂとの接触状態が維持され、ガイド手段７の機能が維持されている。
【００３５】
この状態において、第２水圧ポンプ２０Ｂに連なる第２開閉弁２１Ｂを開放し、次いで、第１水圧ポンプ２０Ａを駆動すると共に第１開閉弁２１Ａを遮断すると、第１水圧ポンプ２０Ａよりの加圧水が第１水圧ラムシリンダ１５Ａに供給され、第１水圧ラムシリンダ１５Ａが伸長を開始する。同時に第２水圧ラムシリンダ１５Ｂ内の液水が第２開閉弁２１Ｂおよび可変絞り２２を介して排出され、搬送板２が他方に向かって移動する。その移動速度は、第２開閉弁２１Ｂに直列に配置した可変絞り２２の絞り度合いにより調節することができる。
【００３６】
搬送板２の移動によっても、磁気浮上手段６による磁気浮上は継続され、ガイド手段７の第１，２ガイドローラ８Ａ，８Ｂとガイドレール１１との接触状態が維持され、ガイド手段７の機能が維持されている。
【００３７】
この移動が継続されて第１水圧ラムシリンダ１５Ａが最伸長状態(第２水圧ラムシリンダ１５Ｂは最収縮状態)となると、その先端側の小径ラム先端を近接スイッチ２５により検出して第１水圧ポンプ２０Ａが停止され、搬送板２は停止され、ワークＷが架台１の他方の端部に搬送される。
【００３８】
ワークＷが搬送板２から搬出されると、磁気浮上手段６により磁気浮上されている搬送板２はワークＷの重力が解かれるため、磁気浮上手段６の上下永久磁石同士の反発力とガイドレール１１に加わる押し下げ力とが釣り合う位置まで搬送板２が僅かに上昇する。しかし、ガイドレール１１は、エアシリンダ１２で下方付勢されているため、第１，２ガイドローラ８Ａ，８Ｂとの接触状態が維持され、ガイド手段７の機能が維持されている。
【００３９】
このため、第１水圧ポンプ２０Ａに連なる第１開閉弁２１Ａを開放し、次いで、第２水圧ポンプ２０Ｂを駆動すると共に第２開閉弁２１Ｂを遮断すると、第２水圧ポンプ２０Ｂよりの加圧水が第２水圧ラムシリンダ１５Ｂに供給され、第２水圧ラムシリンダ１５Ｂが伸長を開始する。同時に第１水圧ラムシリンダ１５Ａ内の液水が第１開閉弁２１Ａおよび可変絞り２２を介して排出され、搬送板２が他方から一方に向かって移動する。その移動速度は、第１開閉弁２１Ａに直列に配置した可変絞り２２の絞り度合いにより調節することができる。搬送板２の移動によっても、磁気浮上手段６による磁気浮上は継続され、ガイド手段７の第１，２ガイドローラ８Ａ，８Ｂとガイドレール１１との接触状態が維持され、ガイド手段７の機能が維持されている。
【００４０】
この移動が継続されて第２水圧ラムシリンダ１５Ｂが最伸長状態(第１水圧ラムシリンダ１５Ａは最収縮状態)となると、その先端側の小径ラム先端を近接スイッチ２５により検出して第２水圧ポンプ２０Ｂが停止され、搬送板２は停止され、架台１の一方の端部に搬送される。
【００４１】
なお、上記実施形態では、駆動手段として、水圧ラムシリンダを用いるものについて説明したが、例えば、搬送路に沿って複数の搬送用コイルを配列し、この搬送用コイルを順次励磁して搬送方向に搬送板を駆動するリニアアクチュエータを用いるものであってもよく、また、その他の駆動方法、例えば、チェーンやワイヤー駆動方式を用いるものであってもよい。
【００４２】
また、上記実施形態における駆動手段４の水圧源として、各水圧ラムシリンダ１５Ａ，１５Ｂ毎に専用のポンプ２０Ａ，２０Ｂおよび開閉弁２１Ａ，２１Ｂを使用するようにしているが、１個のポンプから、若しくは、外部から導入した加圧水を、ワークＷの搬送方向に応じて切換弁によりいずれか選択した水圧ラムシリンダ１５Ａ，１５Ｂへ加圧水を供給するようにしてもよい。
【００４３】
本実施形態においては、以下に記載する効果を奏することができる。
【００４４】
（ア）搬送路としての架台１の上面の幅方向両側に平行配置され、上下面に磁極が存在するよう磁化した下部永久磁石６Ｂと、前記搬送路の下部永久磁石６Ｂと対向する幅方向両側位置に平行配置され、上下面に磁極が存在し且つ下部永久磁石６Ｂに対して同極で対面するよう磁化された上部永久磁石６Ａを備え、ワークＷを積載可能な搬送板２と、搬送路の両側に配置された一対のガイドレール１１と一対のガイドレール１１に転動状態で接触するよう搬送板２の両側に配置された複数のガイドローラ８とよりなるガイド手段７と、搬送板２を搬送路に沿って搬送方向に移動させる駆動手段４と、を備える。
【００４５】
このため、上下永久磁石６Ａ，６Ｂは互いに反発し、上部永久磁石６Ａを鉛直方向上方に磁気浮上させて、ワークＷを積載する搬送板２を浮動支持する。また、搬送に伴う搬送板２の移動時および移動位置においても、上部永久磁石６Ａを鉛直方向上方に磁気浮上させて、ワークＷを積載する搬送板２を浮動支持する。即ち、ワークＷの搬送方向への移動は、磁気浮上手段６により浮上された状態で行われるため、少い動力で移動ができ、省エネルギとすることができる。
【００４６】
また、磁気浮上手段６により磁気浮上した搬送板２にワークＷを積載すると、搬送板２はワークＷの重力により下方に押し下げる付勢力を受け、磁気浮上手段６の上下永久磁石６Ａ，６Ｂ同士の反発力と釣り合う位置まで搬送板２が僅かに下降する。しかしながら、ガイドレール１１とガイドローラ８との転動接触により、搬送板２は搬送方向に円滑に案内して移動させることができる。しかも、その際に、ワークＷおよび搬送板２と架台１およびガイドレール１１等との間での摺動移動がないため、搬送に伴う塵埃の発生がない。
【００４７】
(イ)一対のガイドレール１１は、搬送路に向かって対面する縦壁と搬送路面に対面する横壁とを備え、前記ガイドローラ８は、ガイドレール１１の横壁に搬送路面側から接触する複数の第１ガイドローラ８Ａと、ガイドレール１１の縦壁に転動接触する複数の第２ガイドローラ８Ｂと、から構成され、前記一対のガイドレール１１は上下方向に移動可能に配置されると共に予め設定した押圧力により搬送路面側に付勢されている。
【００４８】
このため、磁気浮上手段６により磁気浮上した搬送板２にワークＷを積載すると、搬送板２はワークＷの重力により下方に押し下げる付勢力を受け、磁気浮上手段６の上下永久磁石６Ａ，６Ｂ同士の反発力と釣り合う位置まで搬送板２が僅かに下降する。ガイドレール１１も搬送板２の下降に伴って付勢力により下降するため、ガイドレール１１と第１，２ガイドローラ８Ａ，８Ｂとの転動接触が維持され、搬送板２は搬送方向に円滑に案内して移動させることができる。しかも、その際に、ワークＷおよび搬送板２と架台１およびガイドレール１１等との間での摺動移動がないため、搬送に伴う塵埃の発生がない。
【００４９】
(ウ)駆動手段４は、搬送路の一端に配置された水圧ラムシリンダ１５Ａと、搬送路の他端に配置された水圧ラムシリンダ１５Ｂと、により構成され、各ラムシリンダ１５Ａ，１５Ｂのラム先端は搬送板２の上下動を許容するように係合し、一方のラムシリンダ１５Ａの伸長時に他方のラムシリンダ１５Ｂを収縮させて搬送板２を搬送方向に移動させるため、水圧ラムシリンダ１５Ａ，１５Ｂの摺動部は使用する水により湿潤され、塵埃の発生や付着を抑制することができる。このため、防爆エリアでも使用することができる。
【００５０】
(エ)水圧ラムシリンダは多段階に伸長する入れ子式のラムを備えるため、長い搬送路においても、搬送板２を搬送方向に往復移動させることができる。
【００５１】
(オ)水圧ラムシリンダのラム先端は、支持ローラ１６によりラジアル方向荷重が支持されて伸縮方向に案内されるため、水圧ラムシリンダ１５Ａ，１５Ｂの伸縮に伴う摩擦力を低減でき、軽快に伸縮させることができる。
【符号の説明】
【００５２】
Ｗ  ワーク
１  架台
２  搬送板
３  支持案内部
４  駆動手段
５  アジャスタ
６  磁気浮上手段
６Ａ  上部永久磁石
６Ｂ  下部永久磁石
７  ガイド手段
８Ａ  第１ガイドローラ
８Ｂ  第２ガイドローラ
１１  ガイドレール
１２  エアシリンダ
１５Ａ，１５Ｂ  水圧ラムシリンダ
１６  支持ローラ
１７  案内レール
１８  プレート
【図１】
0005629084.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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