(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小機械構成部品（３１，４１，５１）の製造方法において、
（ａ）複数のプレート（１１，１３）を形成するステップと、
前記プレート（１１，１３）は、それぞれフレーム（１５，１７）を有し、
前記各フレーム（１５，１７）は、ブリッジ（１２，１４）で、前記微小機械構成部品となるパーツ（１９，２１）に接続され、
前記パーツ（１９，２１）は、貫通孔（１６，１８）を有し、
（ｂ）前記複数のプレート（１１，１３）を、支持部材（２３）上に重ねるステップと、
（ｃ）ピン（２９）を、前記積層された複数のプレート（１１，１３）の貫通孔（１６，１８）内に、把持手段として前記ピン（２９）を用いて固定し、微小機械構成部品（３１，４１，５１）を形成するステップと、
（ｄ）前記複数のプレート（１１，１３）から、前記形成された微小機械構成部品（３１，４１，５１）を切り離すステップと、
を有する
ことを特徴とする微小機械構成部品の製造方法。
【請求項２】
前記ステップ（ｂ）は、前記各プレート（１１，１３）に対し、以下のステップを実行する
（ｂ１）整合手段（２５）を用いて、前記各プレートをガイドし、前記プレートを前記支持部材（２３）に対し正確に方向付けるステップと、
（ｂ２）前記各プレートを、前記支持部材（２３）に固定された見当軸（２２）に当てながら、前記プレートが前記見当軸（２２）の肩部（２４）に当たるまで、スライドさせ、前記プレートを前記支持部材（２３）に対し正確に配置するステップと
ことを特徴とする請求項１記載の製造方法。
【請求項３】
前記整合手段は、面取されたリングを有し、
前記リングは、前記支持部材（２３）の見当軸の延長部に搭載され、
前記リングは、前記ステップ（ａ）で形成された前記複数のプレートに形成された見当孔（２０，２６）と共働する
ことを特徴とする請求項２記載の製造方法。
【請求項４】
前記ステップ（ｂ１）は、複数の整合手段（２５）を用いて行われる
ことを特徴とする請求項２又は３記載の製造方法。
【請求項５】
見当孔（２０，２６）が、前記フレーム（１５，１７）に形成される
ことを特徴とする請求項３又は４記載の製造方法。
【請求項６】
前記見当孔（２０，２６）は、前記フレーム（１５，１７）と前記パーツ（１９，２１）との間に形成される
ことを特徴とする請求項３又は４記載の製造方法。
【請求項７】
前記ブリッジ（１２，１４）は、前記パーツ（１９，２１）側に、狭小断面部を有し、
前記狭小断面部は、、前記ステップ（ｄ）の実行を容易にする弱領域を形成する
ことを特徴とする請求項１−６のいずれかに記載の製造方法。
【請求項８】
複数の前記パーツ（１９，２１）が、各プレート（１１，１３）に形成され、これによりステップ（ｃ）で複数の微小機械構成部品（３１，４１，５１）を形成する
ことを特徴とする請求項１−７のいずれかに記載の製造方法。
【請求項９】
前記ピン（２９）、がその各端部でピボット・シャンクにより伸び、
前記ピボット・シャンクは、回転する軸真を形成するピボットを含む
ことを特徴とする請求項１−８のいずれかに記載の製造方法。
【請求項１０】
前記ピン（２９）は、同軸リング（３０）を有し、
前記同軸リング（３０）は、前記貫通孔内でのピンの貫通を制限する停止部材として機能する
ことを特徴とする請求項１−９のいずれかに記載の製造方法。
【請求項１１】
前記同軸リング（３０）は、ピニオンを形成する歯列を有する
ことを特徴とする請求項１０記載の製造方法。
【請求項１２】
前記複数のプレートの少なくとも一方は、電気メッキ・プロセスを用いて、前記ステップ（ａ）で形成される
ことを特徴とする請求項１−１１のいずれかに記載の製造方法。
【請求項１３】
前記複数のプレートの少なくとも一方は、微小機械加工プロセスを用いて、前記ステップ（ａ）で形成される
ことを特徴とする請求項１−１１のいずれかに記載の製造方法。
【請求項１４】
サブパーツが、前記ステップ（ｂ）の前中後を通して、前記プレートに対し前記パーツ上に側面方向から搭載される
ことを特徴とする請求項１−１３のいずれかに記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小機械構成部品の製造方法に関し、特に、微小機械加工された（micro-machined ）構成要素あるいは電子成形された（electrofromed ）構成要素の組立方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
時計業界においては、微小機械加工プロセスを用いて、構成要素あるいはその部品を形成している。微小機械加工プロセスは、例えば光リソグラフ技術で加工し、その後深反応性イオンエッチングあるいは電気メッキ、光リソグラフ技術を用いて、静電成長法（galvanic growth）を利用する。これらのプロセスにより、従来技術に比較して、精度を上げることができる。
【０００３】
複数の部品から構成要素を形成することは困難である。電子成形された構成要素の場合においては、２つのパーツの間をレーザー溶接する、例えば、軸真をレーザー溶接することによりパーツと軸真を変形させ連結している。レーザ溶接の結果、電気メッキ・プロセスから得られた高いレベルの精度が失われる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、上記の欠点を解決することである。本発明は、少なくとも３個の部品を含む微小機械構成部品を製造する技術である。本発明のプロセスにおける精度は、部品の組立精度に影響されない。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の微小機械構成部品の製造方法は、
（ａ）プレートを形成するステップと、
前記プレートは、フレームを有し、
前記フレームは、ブリッジで、前記微小機械構成部品のパーツに接続され、
前記パーツは、貫通孔を有し、
（ｂ）前記プレートを、支持部材上に重ねるステップと、
（ｃ）ピンを、前記積層されたプレートの貫通孔内に把持手段を用いて固定し、微小機械構成部品を形成するステップと、
（ｄ）前記プレートから、前記微小機械構成部品を切り離すステップと、
を有する。
【０００６】
本発明によれば、あらゆるプロセス（例、微小機械加工プロセス、電子成形プロセス、電子腐食（電蝕）プロセス、打ち抜きプロセス）からパーツを製造できるが、これは、パーツの最終組立の前に、パーツそのものあるいはそのフレームやピンを取り扱うことなく行うことができる。
【０００７】
本発明の微小機械構成部品の製造方法は、
（ａ）複数枚のプレートを形成するステップと、
前記複数枚のプレートは、フレームを有し、
前記複数枚のフレームは、ブリッジで、前記微小機械構成部品のパーツに接続され、
前記各パーツは、貫通孔を有し、
（ｂ）前記複数枚のプレートを、支持部材上に重ねるステップと、
これにより、複数のパーツを重ね、
（ｃ）ピンを、前記積層された複数枚のプレートの貫通孔内に固定し、微小機械構成部品を形成するステップと、
（ｄ）前記各プレートから、前記微小機械構成部品を切り離すステップと、
を有する。
【０００８】
本発明の支持部材は、最終製品を正確に製造するガイドとして用いられるが、同時に、前記ステップ（ａ）で各パーツを製造する為に使用される各プロセス（微小機械加工プロセス、電子成形プロセス、電蝕プロセス、打ち抜きプロセス）の正確さを維持する。
【０００９】
本発明は、以下の変形例を有する。
＊前記ステップ（ａ）−（ｄ）は、複数枚のプレートを使用し、複数の階層で構成部品を形成する。
＊各プレートに対し、前記ステップ（ｂ）は、前記各プレートに対し、（ｂ１）整合手段を用いて、前記プレートをガイドし、前記プレートを前記支持部材に対し信頼性高く方向付けるステップと、（ｂ２）前記プレートを、前記支持部材に固定された見当孔軸に当てながら、前記プレートが前記見当孔軸の肩部に当たるまで、スライドさせ、前記プレートを前記支持部材に対し正確に配置するステップとを有する。
＊前記整合手段は、面取されたリングを有し、前記リングは、前記支持部材の見当軸の延長部に搭載され、前記リングは、前記ステップ（ａ）で形成された前記プレートに形成された見当孔に嵌る。
＊前記ステップ（ｂ１）は、複数の整合手段を用いて行われ、これにより、前記ステップ（ｂ１）のガイドの精度を上げる。
＊見当孔が、前記プレートのフレームに形成される。或いは、前記見当孔は、前記フレームとパーツの間に形成される。
＊前記ブリッジは、前記構成要素の前記部分に連結される端部に、狭小断面部を有し、前記狭小断面部は、、前記ステップ（ｄ）を実行容易にする弱領域を形成する。
＊複数の前記パーツが各プレートに形成され、これによりステップ（ｃ）で複数の微小機械構成部品を形成する。
＊前記ピン、がその各端部でピボット・シャンクにより伸び、前記ピボット・シャンクは、回転する軸真を形成するピボットを含む。
＊前記ピンは、同軸リングを有し、前記同軸リングは、前記ホール内のピンの貫通を制限する停止部材として機能する。
＊前記同軸リングは、ピニオンを形成する歯列を有する。
＊前記複数のプレートの少なくとも一方は、電気メッキ・プロセス、微小機械加工プロセスを用いて、前記ステップ（ａ）で形成される。
＊サブパーツが、前記ステップ（ｂ）の前中後を通して、前記プレートに対し前記複数のパーツの一つのパーツ上に側面方向から搭載される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明による２枚のプレートの斜視図。
【図２】本発明の方法の第１ステップを表す断面図。
【図３】本発明の方法の第２ステップを表す断面図。
【図４】本発明の方法の第３ステップを表す断面図。
【図５】本発明の方法で形成された微小機械構成部品の斜視図。
【図６】本発明の方法で形成された微小機械構成部品の斜視図。
【図７】本発明の方法で形成された微小機械構成部品の斜視図。
【図８】本発明の方法のフローチャート図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図５−７に示すように、本発明は、微小機械構成部品３１，４１，５１を製造する。図１に示すように、本発明の方法１は、パーツ１９，２１をピン２９を用いて重ねることにより、それらを組み立てる。図８に示すように、本発明の方法１の第１ステップ３は、微小機械構成部品３１，４１，５１のパーツ１９，２１を形成する。第２ステップ５は、前記パーツ１９，２１を含む第１プレート１３，１１を積み重ねる。第３ステップ７で、前記パーツ１９，２１を固定する。その後ステップ９で、微小機械構成部品３１，４１，５１を切り離す。これにより、微小機械構成部品３１，４１，５１をプレート１１，１３から形成する。
【００１２】
本発明によれば、第１ステップ３は、微小機械加工プロセスあるいは電気メッキプロセスを用いて行われる。微小加工プロセス（即ち１ミクロン以下の機械精度を持つプロセス）の一例は、光リソグラフ・プロセスである。この光リソグラフ・プロセスは、微小機械加工可能な材料製のプレート上に保護マスクを形成する、その後前記プレートの未保護領域を深反応性イオンエッチングでエッチングをする。微小機械加工可能材料の一例は、シリコン、結晶シリカ、結晶アルミ  をベースにした材料である。しかし他の材料も使用可能である。
【００１３】
電気メッキ・プロセスは、例えば光リソグラフ技術を含み、モールドを形成し、そこに静電成長法が行われる。静電気成長材料の一例は、純粋なニッケル、ニッケル−リンの金属材料である。しかし他の材料も使用可能である。
【００１４】
図８に示すように、第１ステップ３は成形フェーズ２，４を含む。各成形フェーズ２，４は、微小機械加工プロセスあるいは電気メッキ・プロセスを用いて、プレート１１，１３を形成する（図１）。各プレート１１，１３は、それぞれフレーム１５，１７を含み、フレーム１５，１７は、ブリッジ１２，１４によりパーツ１９，２１に接続される。パーツ１９，２１は、最終製品である微小機械構成部品３１，４１，５１を形成する。図１から分かるように、パーツ１９，２１は貫通孔１６，１８を有する。
【００１５】
最終製品である微小機械構成部品３１，４１，５１は、同一プロセスあるいは異なるプロセスで形成可能である。微小機械加工あるいは電気メッキ技術以外の他のプロセスも、プレート１１，１３の形成に用いることができる。他の技術の一例は、電気腐食（電蝕）あるいは打ち抜き加工である。
【００１６】
図２−４に示す実施例において、本発明によれば、本発明の方法１の第２ステップ５は、プレート１１，１３を支持部材２３の上に積層する。支持部材２３は、見当軸２２を含み、見当孔２０，２６に嵌める。見当孔２０，２６は、プレート１３，１１内に形成される。見当軸２２−見当孔２０，２６の組立により、プレート１３，１１は支持部材２３に対し正確に配置することができる。
【００１７】
本発明によれば、各見当軸２２は肩部２４を有する。これにより、プレート１１，１３と支持部材２３との間の（垂直方向）距離をより正確に維持する。支持部材２３は、整合手段２５を有する。これにより、第１プレート１３，１１を支持部材２３に対し正しく方向付ける。図２−４の実施例に示す実施例においては、整合手段２５は、面取されたリングを有し、このリングを見当軸２２の延長部に搭載して、第１プレート１３，１１に形成された見当孔２０，２６と共働させる。
【００１８】
図２に示す第２ステップ５の第１フェーズ６において、第１プレート１３は支持部材２３に搭載される。具体的には、最初に第１プレート１３を支持部材２３に方向Ａに沿って近づける。次に第１プレート１３を、点線で示したように整合手段２５に合わせる。整合手段２５は、第１プレート１３を方向Ｂに沿ってガイドする。整合手段２５と見当孔２０は、第１プレート１３を正確に方向付ける。その結果、見当孔２０は、支持部材２３の見当軸２２と垂直方向にきちんと合うようになる。更に、第１プレート１３を方向Ａに沿って、見当軸２２を見当孔２０に挿入しながら、スライドさせ、最終的に、第１プレート１３を見当軸２２の肩部２４に接触させる（配置する）。かくして、第１プレート１３は支持部材２３に対し正確に配置できる。
【００１９】
図３に示す第２ステップ５の第２フェーズ８において、第２プレート１１は支持部材２３に即ち第１プレート１３の上に搭載される。具体的には、最初に第２プレート１１を支持部材２３に方向Ａ’に沿って近づける。次に第２プレート１１を、点線で示したように整合手段２５に合わせる。整合手段２５は、第２プレート１１を方向Ｂ’に沿ってガイドする。整合手段２５と見当孔２６は、第２プレート１１を正確に方向付ける。その結果、見当孔２６は、支持部材２３の見当軸２２と垂直方向にきちんと合うようになる。更に、第２プレート１１を方向Ａ’に沿って、見当軸２２を見当孔２６に挿入しながら、スライドさせ、最終的に、第２プレート１１を第１プレート１１の上部に配置する。
【００２０】
かくして、プレート１１，１３を、支持部材２３に対し正確に配置できる、最終的に互いに極めて正確に配置できる。第１プレート１３のパーツ２１は、第２プレート１１のパーツ１９の下にそれに接触して配置される。図３に示す実施例において、貫通孔１６，１８は、互いに垂直方向に整合している。
【００２１】
第１ステップ３と第２ステップ５は、２枚のプレート１１，１３を形成しそれらを積層することに限定されない。本発明の方法１は、複数枚あるいは１枚のプレートを第１ステップ３で形成してもよい。これにより、第２ステップ５で支持部材２３上に複数個或いは単品の微小機械構成部品３１，４１，５１を形成してもよい。第１ステップ３のフェーズの数、第２ステップ５のフェーズの数は、実施例より多くても少なくてもよい。
【００２２】
図４に示すように、本発明によれば、本発明の方法１は第３ステップ７を有し、積層されたパーツ１９，２１を固定して、微小機械構成部品３１，４１，５１を形成する。第３ステップ７は、ピン２９をパーツ１９，２１の貫通孔１６，１８内に搭載（挿入）することにより、行う。かくして支持部材２３は、上部部分２８を具備するポスト２７を有する。これにより、パーツ１９，２１と、プレート１１，１３の間の相対的移動を阻止する。これは、ピン２９を貫通孔１６，１８内に挿入することにより行われる。この様な相対移動は、ブリッジ１２，１４が破損するリスクを引き起こすことがある。これは本発明の方法１の第３ステップ７では好ましくない。
【００２３】
プレート１１，１３で使用される材料により、第３ステップ７の幾つかの実施例が考えられる。好ましい実施例は、溶接とボンディングである。プレート１１，１３の一方が、塑性変形領域が無いか限定された材料の場合には、次に述べるピンの挿入動作が困難となる。
【００２４】
図４に示す実施例においては、ピンの挿入動作に関連するものであるが、第３ステップ７において、ピン２９を方向Ｃから貫通孔１６，１８に近づける。次に、ピン２９を貫通孔１６内に更に貫通孔１８内に強制的に入れる。この強制的挿入は、自動化技術を用いて調整できる。かくして、パーツ１９，２１はピン２９で固定され、微小機械構成部品３１，４１，５１を形成する。
【００２５】
図４の実施例において、第２の溶接に関連する実施例であるが、第３ステップ７において、ピン２９をハンダでコーティングする。次にピン２９を方向Ｃに沿って積層された貫通孔１６，１８に近づける。次にピン２９を貫通孔１６内に挿入し、更に貫通孔１８内に挿入する。Ｃの方向の精度は、自動化手段で改善できる。その後、ハンダが、例えば熱処理により固まる。パーツ１９，２１は、かくしてピン２９に固定され、最終製品である微小機械構成部品３１，４１，５１を生成する。
【００２６】
図４の実施例において、第３のボンディングに関連する実施例であるが、第３ステップ７において、ピン２９を接着材（例、ポリマ接着材）でコーティングする。次にピン２９を方向Ｃに沿って積層された貫通孔１６，１８に近づける。次にピン２９を貫通孔１６内に挿入し、更に貫通孔１８内に挿入する。Ｃの方向の精度は、自動化手段で改善できる。その後、接着材が、例えば熱処理により活性化され、固まる。パーツ１９，２１は、かくしてピン２９に固定され、最終製品である微小機械構成部品３１，４１，５１を生成する。
【００２７】
本発明によれば、本発明の方法１のピン２９は、第５ステップで積層されたパーツ１９，２１から形成された微小機械構成部品３１，４１，５１を解放する、切り離す。ステップ９は、ブリッジ１２，１４を破壊することにより行われる。
【００２８】
第３ステップ７の実施例の全てに対し、ピン２９は、ピン２９が積層されたプレートの少なくとも１つから突出し、把持手段として用いることができるよう、固定する。その結果、プレート１１，１３のパーツ１９，２１を持つ必要が無くなる。本発明の方法１は、各パーツに対し高い表面品質を可能とする。ポスト２７の貫通パーツ２８は、支持部材２３に搭載されるが、ピン２９を第１プレート１３の底部を越えて伸ばすことができる、あるいはピンが貫通孔１６，１８内に入る量を制限することができる。
【００２９】
本発明の第１変形例によれば、ピン２９はリング３０を有する。このリング３０は、前記突起部分の停止部材を構成し、ピン２９がパーツ内の貫通孔へ入る量を制限する。かくして、リング３０は、製造品質を向上させる。更にピン２９と一体に形成されたリング３０は、ピニオンを構成する歯列を有することもできる。
【００３０】
本発明の第２変形例によれば、リング３０に加えて、ピン２９がピボット−シャンクによりその端部で伸びる。このピボット−シャンクは、回転軸真を構成するピボットを有する。本発明によれば、第３ステップ７において、積層したパーツの貫通孔内に複数の要素を固定することは、１本のピン２９からピニオンを具備した回転軸真まで、その構成が変わる。
【００３１】
本発明の方法１を理解することにより、同一又は異なる複数のパーツ１９，２１をプレート１１，１３上に形成して、同一又は異なる微小機械構成部品３１，４１，５１を大量生産することもできる。第３ステップ７の後ステップ９の前に、プレート１１，１３を時計のムーブメントの製造ラインに、そのまま分配することもできる。これの利点は、同時に取り扱うのは、複数の最終製品のプレート１１，１３のフレーム１５，１７のみである点、しかも積層したパーツ１９，２１が損傷するリスクなしに、行うことができる点である。
【００３２】
本発明の方法１により、製品の製造精度を改善でき、高品質の構成要素をフレキシブルな方法で製造することができる、即ち高品質の様々な材料の構成要素を、最終製品の部品を操作することなく、簡単な方法で大量に生産することができる。本発明の方法１は、マルチステーション製造ラインを用いて完全自動化が可能である。
【００３３】
図５−７を参照して、本発明の方法１による微小機械構成部品の製造例を説明する。図５の実施例において、時計の歯車セット３１は、軸真３３とピニオン３５と歯車３７とを有する。本発明の方法１により、ピニオン３５は電気メッキプロセスで得られたプレートの一部となり、歯車３７は微小機械加工プロセスで得られたプレートの一部となる。
【００３４】
図６の実施例において、時計の歯車セット４１は、軸真４３とピニオン４５と歯車４７，４９とを有する。本発明の方法１により、ピニオン４５は電気メッキプロセスで得られたプレートの一部となり、歯車４７，４９は微小機械加工プロセスで得られたプレートの一部となる。
【００３５】
上記の第１変形例によれば、ピニオン３５，４５は、それぞれ軸真３３，４３と一体に形成される。かくして本発明の方法１の第３ステップ７で、最終製品３１，４１を固定する組立体を構成する。
【００３６】
複数の微小機械構成部品を、使用される材料と上記の実施例に応じて、製造することができる。一例として、図７に示すように、本発明により、回転軸真５３と、上部アーム５５と、本体５７と、ガード・ピン５５’と、ピン５３’とを有する時計のアンクル組立体５１を製造できる。。
【００３７】
本発明の方法１により、アンクル組立体５１は、シリコンベースの部品のみで形成できる。アンクル組立体５１は、第１ステップ３で、微小機械加工プロセスにより製造された２枚のプレートを、第３ステップ７で、支持部材２３の上に積層し、上部アーム５５とガード・ピン５５’を本体５７に回転軸真５３とピン５３’で固定し、第３ステップ７で結合して、その後アンクル組立体５１を、前記プレートから回転軸真５３に、ステップ９で、力を加えることにより切り離す。
【００３８】
本発明の変形例として、第２ステップ５においては、図８の２重線で示すように、中間ステップ１０により、プレート１１，１３とリング３０との間の接着剤を塗る。この接着剤により、必要によっては、最終製品の２つの要素の間の局部的結合を改善できる。接着剤は、スクリーン印刷プロセスで堆積し、これにより正確な厚さと正確な表面領域の堆積が可能となる。
【００３９】
更にステップ９で破損が起こるような場所を提供するために、図１に示すように、ブリッジ１２，１４は、パーツ１９，２１に接続された端部で狭い領域を有する。
【００４０】
見当軸２２−見当孔２０，２６の組立体の数は、実施例のそれと異なってもよい。更に見当孔２０，２６は、フレーム１５，１７とパーツ１９，２１との間に既に存在する見当孔で置換してもよい。
【００４１】
上記の説明において、全ての構成要素は、各ステップで垂直方向に搭載したが、これは発明の理解を容易にするためである。実際に、構成要素の組立方向は、方向Ａ，Ａ’，Ｃに限定されない。時計のアンクル組立体５１の製造の場合には、第２ステップの前中後において、アンクル石を、フレーム１５，１７の穴あき側を介して用いて、本体５７と上部アーム５５を形成することもできる。アンクル石の配置は非常に重要であるので、第２ステップ５のフェース６，８で、支持部材２３に対する組立を用いてアンクル石を、方向Ａ，Ａ’，Ｃに直交する方向に搭載できる。より一般的には、サブパーツを、前記パーツの一部の上に、前記プレートに対して側面方向に、ステップ第２ステップ５の前中後で、搭載できる。
【００４２】
以上の説明は、本発明の一実施例に関するもので、この技術分野の当業者であれば、本発明の種々の変形例を考え得るが、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。特許請求の範囲の構成要素の後に記載した括弧内の番号は、図面の部品番号に対応し、発明の容易なる理解の為に付したものであり、発明を限定的に解釈するために用いてはならない。また、同一番号でも明細書と特許請求の範囲の部品名は必ずしも同一ではない。これは上記した理由による。用語「又は」に関して、例えば「Ａ又はＢ」は、「Ａのみ」、「Ｂのみ」ならず、「ＡとＢの両方」を選択することも含む。特に記載のない限り、装置又は手段の数は、単数か複数かを問わない。
【符号の説明】
【００４３】
１  本発明の方法
２，４  成形フェーズ
３  第１ステップ
５  第２ステップ
６  第１フェーズ
７  第３ステップ
８  第２フェーズ
９  ステップ
１０  フェーズ
１３  第１プレート
３１，４１，５１  微小機械構成部品
１９，２１  パーツ
１１，１３  プレート
１５，１７  フレーム
１２，１４  ブリッジ
１６，１８  貫通孔
２０，２６  見当孔
２２  見当軸
２３  支持部材
２４  肩部
２５  整合手段
２７  ポスト
２８  パーツ
２９  ピン
３０  リング
３１  時計の歯車セット
３３  軸真
３５  ピニオン
３７  歯車
３３，４３  軸真
３５，４５  ピニオン
４７，４９  歯車
５１  時計のアンクル組立体
５３  回転軸真
５３’
５５  上部アーム
５７  本体
５５’  
【図１】
0005548692.tif 000002
【図２】
0005548692.tif 000003
【図３】
0005548692.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
0005548692.tif 000007
【図７】
0005548692.tif 000008
【図８】
0005548692.tif 000009