(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット塗布装置のノズル面を拭き取るためのクリーニング装置であって、
ノズル面に付着したインクを吸収する吸収体を備え、
前記吸収体は、中央部と、前記中央部の両側に設けられ、前記中央部よりも低い吸液性を有する両側部とを有して形成され、
前記吸収体は、インクを吸収可能な帯状部材が多層に巻き回されて形成され、
前記中央部は、前記帯状部材の巻回軸方向における前記吸収体の中央に設けられ、前記両側部は、前記帯状部材の巻回軸方向における前記吸収体の両端に設けられる、クリーニング装置。
【請求項２】
前記帯状部材は、編み物からなる、請求項１に記載のクリーニング装置。
【請求項３】
前記両側部における編み物の編み目は、前記中央部における編み物の編み目よりも細かい、請求項２に記載のクリーニング装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載のクリーニング装置を備えるインクジェット塗布装置であって、
ノズル面を有し、前記ノズル面に開口し、インクを吐出する複数のノズル孔と、前記複数のノズル孔に向けてインクを供給する供給孔とが形成されるインクジェットヘッドと、
前記吸収体と前記ノズル面とを対向させた状態で、前記吸収体および前記インクジェットヘッドを相対移動させる移動機構部とを備え、
前記ノズル面を正面から見た場合に、前記ノズル面には、前記複数のノズル孔が開口する第１領域と、前記第１領域の両側に配置され、前記供給孔が形成される第２領域とが規定され、
前記ノズル面の拭き取り時、前記中央部と前記第１領域とが対向し、前記両側部と前記第２領域とが対向した状態で、前記吸収体および前記インクジェットヘッドが相対移動する、インクジェット塗布装置。
【請求項５】
前記ノズル孔を通じてポリイミドの溶液が基板に向けて吐出され、
前記クリーニング装置によって、前記ノズル面に付着したポリイミドの溶液が拭き取られる、請求項４に記載のインクジェット塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一般的には、クリーニング装置およびインクジェット塗布装置に関し、より特定的には、インクジェット塗布装置のノズル面を拭き取るためのクリーニング装置およびそのクリーニング装置を備えるインクジェット塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のインクジェットヘッドのクリーニング装置に関して、たとえば、特開２００６−２４８１０２号公報には、インクジェットヘッドのノズル面の余剰吐出液の拭き取り状態を向上させ、溶液の吐出を安定させることを目的としたインクジェット塗布装置が開示されている（特許文献１）。【０００３】
特許文献１に開示されたインクジェット塗布装置は、ワイピングクロスと、そのワイピングクロスをインクジェットヘッドのノズル面の前面に繰り出す繰り出し機構と、ワイピングクロスをノズル面に押し付けるローラとを有する。ワイピングクロスは、低発塵性の吸水性を有する帯状の部材、たとえばポリエステル繊維から形成されている。ローラがワイピングクロスをノズル面に対して押圧しつつ、ノズル面に沿って移動することによって、ノズル面が拭き取られる。【０００４】
また、特開２００５−３０５８４５号公報には、液体吐出ヘッドのノズル面のクリーニング効果を向上させることを目的とした、液体吐出ヘッドのクリーニング装置が開示されている（特許文献２）。特許文献２に開示されたクリーニング装置は、ノズル面に接触する面が繊維質の吸収体によって形成され、ノズル面をワイプするクリーニングローラを備える。【０００５】
また、特開２００６−７５７７号公報には、吐出信頼性を向上させることを目的とした印字清掃機構が開示されている（特許文献３）。特許文献３に開示された印字清掃機構は、弾性のある多孔質材からなるクリーニングローラと、不織布からなり、インクの拭き取り時にインクを供給するヘッド部とクリーニングローラとの間に配置されるクリーニングペーパとを備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−２４８１０２号公報
【特許文献２】特開２００５−３０５８４５号公報
【特許文献３】特開２００６−７５７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
基板の表面にレジストや配向膜などの機能性膜を形成する製造工程に、インクジェット塗布装置が利用されている。インクジェット塗布装置の利用に際しては、ノズル面に付着したインクの液膜によって安定したインクの吐出が妨げられるおそれがあるため、ノズル面に付着したインクを拭き取るためのクリーニング装置が用いられる。具体的には、ノズル面がある程度湿った状態を維持するようにインクを拭き取ることにより、吐出の安定性が実現される。【０００８】
しかしながら、ノズル面に付着するインクの量は、ノズル孔との位置関係に起因して場所によって異なる。この場合に、付着するインク量が少ないにもかかわらず、他の場所と同じようにインクを拭き取ると、その場所でノズル面が乾燥し、インクの残渣が固形化する現象が生じる。さらに、固形化したインクによってノズル面の状態が悪化し、その状態が進行すると、インクを安定して吐出できないという懸念が生じる。【０００９】
そこでこの発明の目的は、上記の課題を解決することであり、インクジェット塗布装置からのインクの吐出を安定化させるクリーニング装置およびインクジェット塗布装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明に従ったクリーニング装置は、インクジェット塗布装置のノズル面を拭き取るためのクリーニング装置である。クリーニング装置は、ノズル面に付着したインクを吸収する吸収体を備える。吸収体は、中央部と、中央部の両側に設けられ、中央部よりも低い吸液性を有する両側部とを有して形成される。吸収体は、インクを吸収可能な帯状部材が多層に巻き回されて形成されている。中央部は、帯状部材の巻回軸方向における吸収体の中央に設けられ、両側部は、帯状部材の巻回軸方向における吸収体の両端に設けられる。
【００１１】
このように構成されたクリーニング装置によれば、インクジェット塗布装置のノズル面に、付着したインク量が多い場所と少ない場所とが生じていると想定した場合に、吸収体の中央部によって付着したインク量が多い場所を拭き取り、吸収体の両側部によって付着したインク量が少ない場所を拭き取る。これにより、インク量が多い場所から適度にインクを取り去るとともに、インク量が少ない場所が乾燥することを防止できる。これにより、ノズル面にインクの固形物が生じることを防止し、インクジェット塗布装置からのインクの吐出を安定化させることができる。【００１２】
また、吸収体は、インクを吸収可能な帯状部材が多層に巻き回されて形成されている。中央部は、帯状部材の巻回軸方向における吸収体の中央に設けられ、両側部は、帯状部材の巻回軸方向における吸収体の両端に設けられる。このような構成により、帯状部材の巻回軸方向において吸収体の吸液性に差を設けることによって、上記効果を奏することができる。
【００１３】
また好ましくは、帯状部材は、編み物からなる。このように構成されたクリーニング装置によれば、インクが編み物の編み目に浸入するため、ノズル面に付着したインクを吸収体に吸収することができる。【００１４】
また好ましくは、両側部における編み物の編み目は、中央部における編み物の編み目よりも細かい。このように構成されたクリーニング装置によれば、編み目が細かいほど吸液性が低くなり、編み目が粗いほど吸液性が高くなるため、両側部の吸液性を低く、中央部の吸液性を高く設定することができる。【００１８】
この発明に従ったインクジェット塗布装置は、上述のいずれかに記載のクリーニング装置を備えるインクジェット塗布装置である。インクジェット塗布装置は、ノズル面を有するインクジェットヘッドと、移動機構部とを備える。インクジェットヘッドには、ノズル面に開口し、インクを吐出する複数のノズル孔と、複数のノズル孔に向けてインクを供給する供給孔とが形成される。移動機構部は、吸収体とノズル面とを対向させた状態で、吸収体およびインクジェットヘッドを相対移動させる。ノズル面を正面から見た場合に、ノズル面には、複数のノズル孔が開口する第１領域と、第１領域の両側に配置され、供給孔が形成される第２領域とが規定される。ノズル面の拭き取り時、中央部と第１領域とが対向し、両側部と第２領域とが対向した状態で、吸収体およびインクジェットヘッドが相対移動する。【００１９】
このように構成されたインクジェット塗布装置によれば、ノズル面に付着するインク量が多い第１領域から適度にインクを取り去るとともに、ノズル面に付着するインク量が少ない第２領域が乾燥することを防止できる。これにより、ノズル面にインクの固形物が生じることを防止し、ノズル面に開口するノズル孔を通じてインクを安定して吐出させることができる。【００２０】
また好ましくは、ノズル孔を通じてポリイミドの溶液が基板に向けて吐出される。クリーニング装置によって、ノズル面に付着したポリイミドの溶液が拭き取られる。このように構成されたインクジェット塗布装置によれば、ポリイミドの溶液を安定して基板に向けて吐出することができる。
【発明の効果】
【００２１】
以上に説明したように、この発明に従えば、インクジェット塗布装置からのインクの吐出を安定化させるクリーニング装置およびインクジェット塗布装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】この発明の実施の形態１におけるクリーニング装置を備えたインクジェット塗布装置を示す側面図である。
【図２】図１中の矢印ＩＩに示す方向から見たインクジェットヘッドを示す底面図である。
【図３】図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ線上に沿ったインクジェットヘッドを示す断面図である。
【図４】図３中のＩＶ−ＩＶ線上に沿ったインクジェットヘッドを示す断面図である。
【図５】クリーニングローラを示す斜視図である。
【図６】クリーニングローラによるノズル面の拭き取り工程を示す底面図である。
【図７】拭き取り前のノズル面の様子を示す断面図である。
【図８】比較のためのクリーニング装置を用いた場合のノズル面の拭き取り工程を示す断面図である。
【図９】図８中の拭き取り工程が実施された後のノズル面の様子を示す断面図である。
【図１０】図１中のクリーニング装置を用いた場合のノズル面の拭き取り工程を示す断面図である。
【図１１】図１中のクリーニング装置を用いた場合のノズル面の拭き取り工程を示す別の断面図である。
【図１２】図１０および図１１中の拭き取り工程が実施された後のノズル面の様子を示す断面図である。
【図１３】図１中のクリーニング装置の第１変形例を示す断面図である。
【図１４】図１中のクリーニング装置の第２変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
この発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、以下で参照する図面では、同一またはそれに相当する部材には、同じ番号が付されている。
【００２４】
（実施の形態１）
図１は、この発明の実施の形態１におけるクリーニング装置を備えたインクジェット塗布装置を示す側面図である。図１を参照して、本実施の形態におけるクリーニング装置５０を備えたインクジェット塗布装置１０は、液晶ディスプレイの製造工程において、液晶基板１６の表面に配向膜を形成する工程に用いられる。
【００２５】
まず、インクジェット塗布装置１０の基本的な構造について説明すると、インクジェット塗布装置１０は、載置台１２と、搬送アーム１４と、インクジェットヘッド２１とを有する。
【００２６】
載置台１２には、インクを吐出する対象物である液晶基板１６が載置される。液晶基板１６は、配向膜が形成される主表面１６ａを有する。液晶基板１６は、主表面１６ａが水平方向に延在するように載置台１２に載置される。液晶基板１６は、主表面１６ａを正面から見た場合に矩形形状を有する。液晶基板１６は、一例として、２１６０×２４６０ｍｍ、もしくは２８５０×３０５０ｍｍのサイズを有する大型基板である。
【００２７】
本実施の形態では、液晶基板１６に配向膜を形成するため、主表面１６ａにポリイミドの溶液が塗布される。なお、液晶基板１６の主表面１６ａに塗布される材料は、ポリイミドに限られず、配向膜の原料となりうる材料が適宜選択される。
【００２８】
インクジェットヘッド２１は、液晶基板１６に向けてインクを吐出する機能を有する。インクジェットヘッド２１は、載置台１２の上方に設けられている。インクジェットヘッド２１は、ノズル面２２を有する。ノズル面２２は、水平方向に延在する。
【００２９】
搬送アーム１４は、載置台１２に載置された液晶基板１６とインクジェットヘッド２１とを相対移動させるための基板用の移動機構部として設けられている。より具体的には、搬送アーム１４は、載置台１２に接続されおり、載置台１２を矢印１０１に示す水平方向に搬送することが可能なように設けられている。搬送アーム１４の駆動に伴って、載置台１２に載置された液晶基板１６がインクジェットヘッド２１の下を通過する。この間、ノズル面２２から液晶基板１６に向けてポリイミドの溶液が吐出されることにより、主表面１６ａにポリイミド膜が塗布される。
【００３０】
図２は、図１中の矢印ＩＩに示す方向から見たインクジェットヘッドを示す底面図である。図３は、図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ線上に沿ったインクジェットヘッドを示す断面図である。
【００３１】
図２および図３を参照して、本実施の形態では、複数のインクジェットヘッド２１ｐが組み合わさってインクジェットヘッド２１が構成されている。複数のインクジェットヘッド２１ｐは、液晶基板１６の搬送方向（図２中の矢印１０１に示す方向）に直交する方向（図２中の矢印１０３に示す方向）に並んで設けられている。複数のインクジェットヘッド２１ｐは、各インクジェットヘッド２１ｐのノズル面２２が同一平面上に延在するように組み合わされている。液晶基板１６の搬送方向に直交する方向におけるインクジェットヘッド２１の全長は、同方向における液晶基板１６の幅よりも大きくなるように設定されている。複数のインクジェットヘッド２１ｐは、互いに同一構造を有する。
【００３２】
なお、組み合わされるインクジェットヘッド２１ｐの数は、液晶基板１６の大きさを考慮して適宜決定される。また、インクジェットヘッド２１ｐの組み合わせ方は、上記形態に限られず、たとえば、図２中に示す複数のインクジェットヘッド２１ｐが液晶基板１６の搬送方向に複数列並んで設けられてもよい。
【００３３】
インクジェットヘッド２１ｐは、ブロック部材としてのヘッド本体３１およびノズル板３２と、可撓板３８と、ピエゾ（圧電）素子３６と、駆動部３４とを有する。
【００３４】
ヘッド本体３１には、その上面から下面に貫通する開口部３５が形成されている。開口部３５の内側には、駆動部３４および複数のピエゾ素子３６が配置されている。ヘッド本体３１の下面には、開口部３５を塞ぐように可撓板３８が設けられている。ノズル板３２は、可撓板３８を覆うようにヘッド本体３１の下面に取り付けられている。ノズル板３２は、ノズル面２２を有する。ノズル面２２は、液晶基板１６の搬送方向に短辺を有し、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に長辺を有する、矩形形状を有する。
【００３５】
インクジェットヘッド２１ｐには、複数のノズル孔２４が形成されている。ノズル孔２４は、液晶基板１６に向けてインクを吐出するための孔である。ノズル孔２４は、ノズル板３２に形成されている。ノズル孔２４は、ノズル面２２に開口するように形成されている。複数のノズル孔２４は、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に互いに間隔を隔てて並んでいる。
【００３６】
本実施の形態では、複数のノズル孔２４が、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に沿って千鳥状に並んでいる。液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に配列されるノズル孔２４の数は、液晶基板１６の搬送方向に配列されるノズル孔２４の数よりも多い。
【００３７】
インクジェットヘッド２１ｐには、複数のインク室２６がさらに形成されている。複数のインク室２６は、ノズル板３２に形成されている。複数のインク室２６は、それぞれ、複数のノズル孔２４に対応して形成されている。各ノズル孔２４は、インク室２６に連通している。インク室２６は、ノズル孔２４に対してノズル面２２の反対側に形成されている。インク室２６は、ノズル孔２４が連通する位置とは反対側で開口するように形成されている。ノズル板３２がヘッド本体３１に取り付けられた状態で、インク室２６の上記開口が可撓板３８によって閉塞されている。インク室２６には、後述するインク供給機構によって、インクが常時貯留される。
【００３８】
可撓板３８には、複数のピエゾ素子３６が固着されている。複数のピエゾ素子３６は、それぞれ、可撓板３８を隔てて複数のインク室２６と向かい合う位置に設けられている。開口部３５の内部において、ピエゾ素子３６は駆動部３４に電気的に接続されている。駆動部３４からピエゾ素子３６に駆動電力が供給されると、可撓板３８がインク室２６内に向けて撓む。この可撓板３８の変形に伴ってインク室２６内の容積が減少するため、インク室２６に貯留されたインクがノズル孔２４を通じて吐出される。
【００３９】
図４は、図３中のＩＶ−ＩＶ線上に沿ったインクジェットヘッドを示す断面図である。図２から図４を参照して、インク室２６にインクを供給するためのインク供給機構について説明する。インクジェットヘッド２１ｐには、供給孔としてのインク供給管２９およびインク供給室２８と、枝管２７とがさらに形成されている。
【００４０】
インク供給室２８は、ノズル板３２に形成されている。インク供給室２８は、図３および図４中に示す断面において、複数のノズル孔２４の両側の位置にそれぞれ形成されている。枝管２７は、ノズル板３２に形成されている。枝管２７は、インク供給室２８と、複数のインク室２６との間をそれぞれ連通させるように形成されている。図４中に示す断面において、枝管２７は、液晶基板１６の搬送方向に距離を隔てたインク室２６間を通って、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に沿って直線状に延び、２つのインク供給室２８間を連通させている。さらに枝管２７は、その直線状に延びる部分から各インク室２６に向けて枝分かれして延びている。
【００４１】
インク供給管２９は、ヘッド本体３１に形成されている。インク供給管２９は、インク供給室２８に連通して形成されている。インク供給管２９は、ノズル面２２を正面から見た場合に、インク供給室２８に重なる位置に形成されている。インク供給管２９には、外部からインクジェットヘッド２１ｐにインクを供給する配管が接続されている。
【００４２】
インク供給管２９およびインク供給室２８は、ノズル面２２に開口することなく、インクジェットヘッド２１ｐの内部に形成されている。
【００４３】
このような構成により、インク供給室２８には、インク供給管２９を通じてインクが供給される。一方、ノズル孔２４を通じてインクが吐出されるのに伴って、インク室２６の内部は負圧となる。このため、インク供給室２８に供給されたインクが、枝管２７を通って随時、インク室２６に補給される。
【００４４】
図２および図３を参照して、ノズル面２２には、ノズル孔２４が開口するノズル孔領域４１と、インク供給管２９およびインク供給室２８が形成され、閉塞された表面が延在する閉塞領域４２（４２ｍ，４２ｎ）とが規定されている。閉塞領域４２ｍと、ノズル孔領域４１と、閉塞領域４２ｎとは、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に並んでいる。すなわち、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向において、ノズル孔領域４１は、ノズル面２２の中央に配置され、閉塞領域４２は、ノズル面２２の両端に配置されている。
【００４５】
続いて、インクジェット塗布装置１０が備えるクリーニング装置５０について説明を行なう。
【００４６】
図１を参照して、本実施の形態におけるクリーニング装置５０は、ノズル面２２に付着したインクを拭き取るための装置である。クリーニング装置５０は、クリーニングローラ５１と、ベース部材５４と、搬送アーム５６とを有する。
【００４７】
クリーニングローラ５１は、ベース部材５４に対して着脱可能に設けられている。搬送アーム５６は、クリーニングローラ５１とインクジェットヘッド２１とを相対移動させるための移動機構部として設けられている。搬送アーム５６は、ベース部材５４に接続されており、ベース部材５４に装着されたクリーニングローラ５１を矢印１０２に示す水平方向に搬送することが可能なように設けられている。本実施の形態では、クリーニングローラ５１の搬送方向が、液晶基板１６の搬送方向と同一方向である。
【００４８】
複数のクリーニングローラ５１が、それぞれ図２中に示す複数のインクジェットヘッド２１ｐに対応して設けられている。搬送アーム５６の駆動に伴ってクリーニングローラ５１がインクジェットヘッド２１ｐの下方を通過する。この間、クリーニングローラ５１がノズル面２２に当接しながら移動することにより、ノズル面２２に付着したインクが拭き取られる。
【００４９】
図５は、クリーニングローラを示す斜視図である。図５を参照して、クリーニングローラ５１は、円柱状の外観を有する。クリーニングローラ５１は、芯筒６３と、吸収体としての帯状編み物６４とを有する。
【００５０】
芯筒６３は、仮想線である中心軸１１０の軸線に沿って延在する筒形状を有する。帯状編み物６４は、一方向に長辺を有し、その一方向に直交する方向に短辺を有する帯形状を有する。帯状編み物６４は、芯筒６３に対して多層に巻き回されている。帯状編み物６４は、中心軸１１０を中心に巻き回されている。帯状編み物６４は、中心軸１１０の軸方向において一定の直径を有する。
【００５１】
帯状編み物６４は、インクとして用いられるポリイミドの溶液に対して不溶性の材質、たとえば、ポリエステルから形成されている。なお、編み物に替わって、たとえば、織り物や不織布などが用いられてもよい。
【００５２】
帯状編み物６４は、中央部６１および両側部６２（６２ｍ，６２ｎ）を有して形成されている。両側部６２は、中央部６１の両側に連なって設けられている。両側部６２ｍ、中央部６１および両側部６２ｎが、挙げた順に、帯状編み物６４の巻回軸である中心軸１１０の軸方向に並んでいる。中央部６１は、中心軸１１０の軸方向における帯状編み物６４の中央に設けられ、両側部６２は、中心軸１１０の軸方向における帯状編み物６４の両端に設けられている。
【００５３】
両側部６２は、中央部６１よりも低い吸液性を有する。吸液性とは、吸収体である帯状編み物６４が液体としてのインクを吸い取る性質を意味する。吸液性を判断する方法としては、中央部６１および両側部６２を一定時間、インクに浸して、中央部６１および両側部６２にインクが吸い上げられる高さを比較する方法が挙げられる。この場合に、両側部６２においてインクが吸い上げられる高さが、中央部６１において液体が吸い上げられる高さよりも低くなる。
【００５４】
本実施の形態では、両側部６２における帯状編み物６４の編み目を中央部６１における帯状編み物６４の編み目よりも細かく設定することによって、両側部６２の吸液性を中央部６１の吸液性よりも低くする。インクは、帯状編み物６４の編み目に浸入しながら帯状編み物６４に吸収されていき、この場合、帯状編み物６４の編み目が細かいほどインクが吸収され難くなり、帯状編み物６４の編み目が粗いほどインクが吸収され易くなる。すなわち、中央部６１および両側部６２をそれぞれ形成する帯状編み物６４の下端をインクに一定時間、浸した場合、両側部６２においてインクが吸い上げられる高さが、中央部６１において液体が吸い上げられる高さよりも低くなる。
【００５５】
図６は、クリーニングローラによるノズル面の拭き取り工程を示す底面図である。図６を参照して、両側部６２ｍ、中央部６１および両側部６２ｎは、閉塞領域４２ｍ、ノズル孔領域４１および閉塞領域４２ｎが並ぶ方向と平行方向に、かつ、クリーニングローラ５１の搬送方向に直交する方向に並ぶ。クリーニングローラ５１（帯状編み物６４）は、中心軸１１０の軸方向、すなわち両側部６２ｍ、中央部６１および両側部６２ｎが並ぶ方向において、ノズル面２２の全幅よりも若干大きい寸法に設定されている。
【００５６】
図１中に示す搬送アーム５６によってクリーニングローラ５１が搬送されると、帯状編み物６４の外周面がノズル面２２に接触しながら、ノズル面２２の表面に対して平行移動する。このとき、中央部６１がノズル面２２のノズル孔領域４１上を通過し、両側部６２ｍおよび両側部６２ｎが、それぞれ、ノズル面２２の閉塞領域４２ｍおよび閉塞領域４２ｎ上を通過することによって、インクが付着したノズル面２２を拭き取る。
【００５７】
なお、拭き取り時における帯状編み物６４の移動方向は、ノズル面２２に平行方向に限られず、たとえば、中心軸１１０の軸方向から見た場合に、帯状編み物６４をノズル面２２に対して円弧状に移動させてもよい。また、静止するクリーニングローラ５１に対してインクジェットヘッド２１を移動させることによって、ノズル面２２の拭き取りを行なってもよい。
【００５８】
次に、図１中のインクジェット塗布装置１０にクリーニング装置５０を適用した場合に奏される作用、効果について説明する。
【００５９】
図７は、拭き取り前のノズル面の様子を示す断面図である。図７および後に説明する図中には、代表的に、閉塞領域４２ｍおよびノズル孔領域４１の境界部分が拡大して示されている。
【００６０】
図７を参照して、ノズル孔２４からインクが吐出されるのに伴って、ノズル面２２にインクが付着する。この際、ノズル孔２４に近いノズル孔領域４１では、付着するインク量が多くなり、ノズル孔２４から遠い閉塞領域４２では、付着するインク量が少なくなる。ノズル面２２に厚膜のインク膜が形成されたままインクの吐出工程が実行されると、可撓板３８（図３を参照のこと）の変形に伴う駆動力がノズル面２２の表層のインクにまで十分に伝わらず、インク滴が適切に吐出されないという問題が生じる。このため、本実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０においては、クリーニング装置５０を用いてノズル面２２の拭き取り工程を実施する。
【００６１】
図８は、比較のためのクリーニング装置を用いた場合のノズル面の拭き取り工程を示す断面図である。図９は、図８中の拭き取り工程が実施された後のノズル面の様子を示す断面図である。
【００６２】
図８および図９を参照して、図中では、比較のためのクリーニングローラ１５１を用いた場合のノズル面２２の拭き取り工程が示されている。クリーニングローラ１５１においては、帯状編み物６４がいずれの場所においても均一な吸液性を有する。
【００６３】
クリーニングローラ１５１を用いると、ノズル孔領域４１および閉塞領域４２にかかわらず、ノズル面２２に付着したインクが均一に帯状編み物６４に吸収される。この場合、付着するインク量が相対的に少ない閉塞領域４２では、インクが乾いた状態となり、時間の経過とともに、インクの残渣が固形化する。その結果、ノズル面２２に固形物７３が生じる。このような固形物７３が生じた状態で、クリーニングローラ１５１による拭き取り工程を続行すると、固形物７３に起因して、帯状編み物６４の外周面とノズル面２２との間に微小な隙間が生じ、ノズル面２２の拭き取り性が低下するおそれが生じる。また、帯状編み物６４の外周面と固形物７３とが擦れることによって、帯状編み物６４の発塵性が低下するおそれが生じる。
【００６４】
図１０は、図１中のクリーニング装置を用いた場合のノズル面の拭き取り工程を示す断面図である。
【００６５】
図１０を参照して、これに対して、本実施の形態におけるクリーニング装置５０においては、ノズル面２２の拭き取り時、相対的に高い吸液性を有する中央部６１がノズル孔領域４１上を通過し、相対的に低い吸液性を有する両側部６２が閉塞領域４２上を通過する。このため、閉塞領域４２においてノズル面２２から帯状編み物６４に吸収されるインク量が少なくなり、閉塞領域４２の表面を適度に湿った状態に維持することができる。
【００６６】
図１１は、図１中のクリーニング装置を用いた場合のノズル面の拭き取り工程を示す別の断面図である。
【００６７】
図１１を参照して、拭き取り工程を重ねるに従って、帯状編み物６４にはインクが徐々に浸透していく。また、クリーニングローラ５１を最初に使用する際に、ノズル面２２上のインクが過剰に拭き取られないように、帯状編み物６４に予めインクを吸収させておく場合がある。これらの場合において、図中の線１１５に示すように、相対的に高い吸液性を有する中央部６１では、インクが帯状編み物６４の深い位置まで浸透し、相対的に低い吸液性を有する両側部６２では、インクが帯状編み物６４の浅い位置まで浸透する傾向がある。すなわち、インクの吸液性は、インクの浸透力と関連性を有し、インクの吸液性が高いほど浸透力が大きくなり、インクの吸液性が低いほど浸透力が小さくなる。
【００６８】
この場合、両側部６２では、中央部６１と比較して、帯状編み物６４の表層に近い位置により多くのインクが含まれることになる。つまり、両側部６２では、帯状編み物６４の表層にインクの液溜まりが生じる。したがって、このような帯状編み物６４によってノズル面２２を拭き取った場合、見方を変えれば、閉塞領域４２において帯状編み物６４からノズル面２２に移るインク量が多くなるといえる。このため、閉塞領域４２の表面を適度に湿った状態に維持することができる。
【００６９】
図１２は、図１０および図１１中の拭き取り工程が実施された後のノズル面の様子を示す断面図である。図１２を参照して、図１中のクリーニング装置５０を用いた場合、ノズル孔領域４１の表面から適度な量のインクを取り去るとともに、閉塞領域４２の表面が乾燥することを防止できる。これにより、ノズル面２２にインクの固形物が生じることを防止できる。
【００７０】
以上に説明した、この発明の実施の形態１におけるクリーニング装置およびインクジェット塗布装置の構造についてまとめて説明すると、本実施の形態におけるクリーニング装置５０は、インクジェット塗布装置１０のノズル面２２を拭き取るための装置である。クリーニング装置５０は、ノズル面２２に付着したインクを吸収する吸収体としての帯状編み物６４を備える。帯状編み物６４は、中央部６１と、中央部６１の両側に設けられ、中央部６１よりも低い吸液性を有する両側部６２とを有して形成される。
【００７１】
また、本実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０は、上述のクリーニング装置５０を備える。インクジェット塗布装置１０は、ノズル面２２を有するインクジェットヘッド２１（２１ｐ）と、移動機構部としての搬送アーム５６とを備える。インクジェットヘッド２１には、ノズル面２２に開口し、インクを吐出する複数のノズル孔２４と、複数のノズル孔２４に向けてインクを供給する供給孔としてのインク供給管２９およびインク供給室２８とが形成される。搬送アーム５６は、帯状編み物６４とノズル面２２とを対向させた状態で、帯状編み物６４およびインクジェットヘッド２１を相対移動させる。ノズル面２２を正面から見た場合に、ノズル面２２には、複数のノズル孔２４が開口する第１領域としてのノズル孔領域４１と、ノズル孔領域４１の両側に配置され、インク供給管２９およびインク供給室２８が形成される第２領域としての閉塞領域４２とが規定される。ノズル面２２の拭き取り時、中央部６１とノズル孔領域４１とが対向し、両側部６２と閉塞領域４２とが対向した状態で、帯状編み物６４およびインクジェットヘッド２１が相対移動する。
【００７２】
このように構成された、この発明の実施の形態１におけるクリーニング装置５０およびインクジェット塗布装置１０によれば、帯状編み物６４に吸液性に差を設けた２種類の材料を用いることによって、ノズル孔領域４１および閉塞領域４２におけるインクの吸収量をコントロールし、ノズル面２２が局所的に乾燥することを防ぐ。これにより、ノズル面２２にインクの固形物が生じることを防止し、ノズル孔２４から安定してインクが吐出されるインクジェット塗布装置１０を実現することができる。
【００７３】
なお、本実施の形態では、インクジェット塗布装置１０が、液晶ディスプレイ用の基板表面に配向膜を形成する工程に用いられる場合を説明したが、本発明は、これに限られず、たとえば、基板表面にレジストを形成する工程に利用されてもよい。
【００７４】
（実施の形態２）
本実施の形態では、実施の形態１におけるクリーニング装置５０の各種変形例について説明する。
【００７５】
図１３は、図１中のクリーニング装置の第１変形例を示す断面図である。図１３を参照して、本変形例におけるクリーニング装置は、図５中のクリーニングローラ５１に替えてクリーニングローラ８１を有する。クリーニングローラ８１は、多孔質材としてのスポンジ８６から形成されている。
【００７６】
スポンジ８６は、個々の孔同士が繋がった連続気泡構造を有する。スポンジ８６は、図５中のクリーニングローラ５１と同様に、円柱形状の外観を有し、その軸方向に並ぶ中央部６１および両側部６２（６２ｍ，６２ｍ）を有して形成されている。本変形例においては、両側部６２におけるスポンジ８６の気泡８２が、中央部６１におけるスポンジ８６の気泡８３よりも小さい。このような構成によって、両側部６２の吸液性が中央部６１の吸液性よりも低く設定されている。
【００７７】
図１４は、図１中のクリーニング装置の第２変形例を示す断面図である。図１４を参照して、本変形例におけるクリーニング装置は、図５中のクリーニングローラ５１に替えてクリーニングローラ９１を有する。クリーニングローラ９１は、吸収体としてのスポンジ９２と、カバー体９６とを有して形成されている。
【００７８】
スポンジ９２は、連続気泡構造を有し、本変形例では、均一な大きさの気泡が全体的に形成されている。スポンジ９２は、中央部６１と、その両側に配置される両側部６２（６２ｍ，６２ｎ）とを有して形成されている。なお、スポンジ９２に替えて、吸収体として編み物や織り物、不織布などが配置されてもよい。
【００７９】
カバー体９６は、スポンジ９２を覆うように設けられている。カバー体９６は、ノズル面２２の拭き取り時にスポンジ９２とノズル面２２との間に介在するように設けられている。カバー体９６は、ノズル面２２と対向する表面９８を有する。カバー体９６には、複数の孔９７が形成されている。複数の孔９７は、表面９８に開口する貫通孔により形成されている。複数の孔９７は、ノズル面２２に付着したインクをスポンジ９２に導くことが可能なように形成されている。
【００８０】
複数の孔９７は、両側部６２において間隔Ｂ１を設けて形成され、中央部６１において間隔Ｂ２を設けて形成されている。間隔Ｂ１は、間隔Ｂ２よりも大きい。このような構成により、両側部６２の吸液性が中央部６１の吸液性よりも低く設定されている。
【００８１】
以上に説明した、この発明の実施の形態２におけるクリーニング装置によれば、実施の形態１に記載の効果を同様に得ることができる。
【００８２】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００８３】
この発明は、主に、液晶ディスプレイの配向膜や、レジストなどの機能膜を基板上に形成する装置として利用される。
【符号の説明】
【００８４】
１０  インクジェット塗布装置、１２  載置台、１４，５６  搬送アーム、１６  液晶基板、１６ａ  主表面、２１，２１ｐ  インクジェットヘッド、２２  ノズル面、２４  ノズル孔、２６  インク室、２７  枝管、２８  インク供給室、２９  インク供給管、３１  ヘッド本体、３２  ノズル板、３４  駆動部、３５  開口部、３６  ピエゾ素子、３８  可撓板、４１  ノズル孔領域、４２，４２ｍ，４２ｎ  閉塞領域、５０，８１，９１  クリーニング装置、５１，１５１  クリーニングローラ、５４  ベース部材、６１  中央部、６２，６２ｍ，６２ｎ  両側部、６３  芯筒、６４  帯状編み物、７３  固形物、８６  スポンジ、９２  スポンジ、９６  カバー体、９７  孔、９８  表面、１１０  中心軸、１１５  線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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