(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象基板を相対的に移動して挟持する一対の挟持部を備えるとともに該検査対象基板の電気的特性を検査する検査装置と、該検査対象基板とを電気的に接続するとともに該検査対象基板の上方及び下方の空間に配置される検査用治具において、
前記検査対象基板上に予め設定される複数の検査点に一端が接触され、他端が前記検査装置と接続される電極部と接触する複数の検査用接触子と、
前記複数の検査用接触子を保持する保持部と、
前記一対の挟持部が前記検査対象基板を挟持した際の片方の挟持部の位置を検出する検出部を有し、
前記検出部は、
前記挟持部の位置を検出するために、前記片方の挟持部にコヒーレント光を照射する照射部と、
前記片方の挟持部に照射されて反射された前記コヒーレント光を受光する受光部を有し、
前記照射部が照射するコヒーレント光は、前記検査対象基板を挟持した際に付勢状態となる前記検査装置の前記片方の挟持部の非付勢状態の位置にあることを検出することができることを特徴とする検査用治具。
【請求項２】
検査対象基板の配線の電気的特性を検出して、該配線の検査を実施する検査装置であって、
請求項１の検査用治具と、
前記検査用治具の前記検出部からの信号に基づいて、該検査装置の動作を制御する制御手段を有していることを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の浮きを検出することが可能な検査用治具及び検査装置に関し、より詳しくは、基板がワークホルダに挟持される場合に、確実に安定して基板が挟持されているかを検出することのできる検査用治具及び検査装置に関する。
【０００２】
尚、本発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板や半導体ウェハなどに形成される電気的配線の検査に適用でき、本明細書では、それら種々の検査基板を総称して「基板」という。
【背景技術】
【０００３】
従来、基板を検査する場合には、基板に形成される配線上に設定される複数の検査点に夫々接触する多針状の複数の接触子を備えてなる検査用治具を用いて、検査点間の電気的特性を検出する。この検出結果に応じて、検査点間（配線）の良否を判定することによって、基板の良・不良を検査している。
【０００４】
配線の抵抗等を測定する際には、一対の導通検査装置をその基板の上方及び下方の両方の空間に配置して、その基板の上下面上の配線に接触子を接触させたりすることによって、その配線の抵抗値等を測定する。
【０００５】
そのような場合に、配線の検査点と接触子を正確に接触させるため、基板は適正な位置に保持されなければならない。例えば、特許文献１に記載のワークホルダによれば、基台部材上に互いに対向して配置され、出退可能に備えられた可動保持部材によって基板を略四方から挟み込んで適正な位置に基板を挟持している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−７８５９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載のワークホルダによると、基板を四方から挟み込むことにより基板を適正な位置に挟持することができる。しかし、基板が、ワークホルダに挟持される際に、基板保持部材の基板押圧部上方に浮いた状態となり、基板が適正な位置に挟持されない問題が生じることがあった。
【０００８】
このように基板が基板押圧部上方に浮いた状態で検査装置が検査を実施すると、基板押圧部上面と検査用治具が基板に圧接し、基板及び検査用治具を破損してしまうことがあった。例えば図７で示されるように、基板押圧部Ａ上面に基板２０が浮いた状態で検査が実施されると、基板の上方に配置される検査用治具Ｂを基板２０に当接させようと下方に移動させた場合に、基板２０と検査用治具Ｂが接触して、検査用治具Ｂや基板２０を破損する問題があった。
【０００９】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、基板がワークホルダに挟持される場合に基板の浮きを確実に検出できる検査用治具及び検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するために、本発明に係る基板検査用治具は、検査対象基板の配線の所定の部分に接触させて該検査基板の配線を検査するための先端部と、検査装置に接続される後端部とを有する検査用接触子を複数保持しており、前記検査装置が検査対象基板を保持するために相対的に移動する一対の挟持部を有し、コヒーレント光を該一対の挟持部の少なくとも一方の挟持部に照射し、該検査対象基板を挟持する際の該一方の挟持部の変位を検出する検出部を有することを特徴とする。
【００１１】
その検出部は、前記コヒーレント光を照射する照射部と、前記コヒーレント光を前記一方の挟持部に照射して得られる反射光を受光する受光部を備えているようにしてもよい。
【００１２】
その検出部は、前記挟持部が検査対象基板を挟持する挟持動作の前後の少なくとも２回、前記挟持部に前記コヒーレント光を照射するようにしてもよい。
【００１３】
その検出部は、前記受光部が挟持動作後に受光する前記反射光の有無によって、前記基板が適正な位置に保持されているか否かを検出するための信号を発信するようにしてもよい。
【００１４】
また、本発明に係る検査治具は、検査対象基板を相対的に移動して挟持する一対の挟持部を備えるとともに該検査対象基板の電気的特性を検査する検査装置と、該検査対象基板とを電気的に接続しており、前記検査対象基板上に予め設定される複数の検査点に一端が接触され、他端が前記検査装置と接続される電極部と接触する複数の検査用接触子と、前記複数の検査用接触子を保持する保持部と、前記一対の挟持部が前記検査対象基板を挟持した際の片方の挟持部の位置を検出する検出部を有し、前記検出部は、前記挟持部の位置を検出するために、前記片方の挟持部にコヒーレント光を照射する照射部と、前記片方の挟持部に照射されて反射された前記コヒーレント光を受光する受光部を有してなることを特徴とする。
【００１５】
前記検査装置の前記片方の挟持部は、前記検査対象基板を挟持した際に付勢状態となる付勢部を有してなり、前記照射部が照射するコヒーレント光は、前記挟持部が非付勢状態の位置にあることを検出することができるようにしてもよい。
【００１６】
また、本発明に係る検査装置は、検査対象基板の配線の電気的特性を検出して、該配線の検査を実施する検査装置であって、請求項１乃至６いずれかの検査用治具と、前記検査用治具の前記検出部からの信号に基づいて、該検査装置の動作を制御する制御手段を有していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１記載の発明によれば、検査対象基板を相対的に移動して挟持する一対の挟持部を備えるとともに検査対象基板の電気的特性を検査する検査装置と、検査対象基板とを電気的に接続する検査用治具において、検査対象基板上に予め設定される複数の検査点に一端が接触され、他端が検査装置と接続される電極部と接触する複数の検査用接触子と、複数の検査用接触子を保持する保持部と、一対の挟持部が検査対象基板を挟持した際の片方の挟持部の位置を検出する検出部を有し、検出部は、挟持部の位置を検出するために、前記片方の挟持部にコヒーレント光を照射する照射部と、片方の挟持部に照射されて反射されたコヒーレント光を受光する受光部を有することにより変位を検出することによって、検査対象基板が適正な位置に挟持されているか否かを検出することができる。
【００２２】
請求項１記載の発明によれば、検出部は、コヒーレント光を照射して挟持部が非付勢状態の位置にあることを検出することにより、検査対象基板が適切な位置に挟持されているか否かを確実に検出することができる。
【００２３】
請求項２記載の発明によれば、基板検査を実施する前に、検査用治具によって当接される検査対象基板が適切な位置に挟持されているか否かを確実に検出し、検査対象基板が適切な位置に保持されていなければ検査装置の動作を停止し、検査対象基板及び検査用治具の破損を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明に係る検査用治具の概略構成を示す。
【図２】本発明の一実施形態に係るワークホルダの平面図である。
【図３】ワークホルダにおける挟持部の動作を説明するための側面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る検出部５の検出動作について説明するための側面図である。尚、基板に対して上側に検査用治具が配置されている。
【図５】本発明に係る検査装置の概略構成を示す。尚、基板に対して上側に検査用治具が配置されている。
【図６】検出部による検出動作を説明するための図である。
【図７】従来のワークホルダにおいて発生する不適正な基板の挟持状態を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明を実施するための最良の形態を説明する。
【００２６】
図１は、本発明に係る検査用治具１の概略構成を示している。この図１で示される検査用治具１は、複数の接触子２１を備える接触子群２、これら複数の接触子２１を多針状に保持する保持体３、この保持体３を支持するとともに接触子群２と接触して導通となる複数の電極部（図示せず）を有する電極体４、検査対象基板の挟持位置を検出する検出部５、各電極部と検査装置側に設けられる検査信号処理部（図示せず）を接続する導線４１、電極体４、検出部５を載置する基台１０を示している。
【００２７】
尚、図１は概略を示す図であり、接触子２１の本数や導線４１の本数は特に限定されるものではない。また、図面中で示される複数の接触子２１や電極部は、説明の都合上、三本分の構造しか開示しておらず、実際の検査用治具１は、より多数の接触子２１を有しており、その接触子２１の本数に対応する複数の電極部を有してなる。
【００２８】
接触子群２は、被検査基板に夫々形成される配線の各検査点に接触する複数の端子であり、電極部と検査点を夫々電気的に接続する。
【００２９】
接触子群２は、複数の細長い棒形状の接触子２１からなり、この接触子２１は、中央にある棒状部２１１と、棒状部の両端に配置される一方端２１２と他方端を有する。この接触子２１は、一方端２１２が検査点と導通接触され、他方端が電極部と導通接触される。
【００３０】
接触子２１の棒状部２１１は、導電性の素材（例えばタングステンあるいはその合金）から形成される。棒状部２１１は、例えば円柱状の形状を有している。また、一方端２１２及び他方端は、例えば円錐状、半球状、又は平坦状の形状を有しており、棒状部の両端をこれらの形状に加工することで形成される。尚、一方端２１２及び他方端も、導電性の素材から形成される。
【００３１】
この接触子２１の棒状部２１１は、例えば、その径を０．０４〜０．４ｍｍに形成することができ、その長さは製造者により適宜に設定することができる。
【００３２】
接触子２１の棒状部２１１の周面には絶縁被膜を施すことが望ましい。絶縁被膜には、例えばエポキシ樹脂やエナメル樹脂を用いることができる。
【００３３】
保持体３は、複数の接触子２１を多針状に保持するとともに、接触子２１の一方端を検査点へ、他方端を電極部へ夫々案内する。
【００３４】
保持体３は、接触子２１の一方端２１２を検査点へ案内するとともに、接触子２１の他方端を電極部へ案内する。この保持体３は複数の板状部材を積層、又は空間を有して配置することにより形成される。この板状部材に所定の貫通孔を形成することにより、一方端２１２を検査点に案内するとともに、他方端を電極部へ案内して、この貫通孔に接触子２１を挿入して保持している。
【００３５】
図１の保持体３は、第一板状部材３１、第二板状部材３２の２枚の板状部材を空間を有して配置して形成されているが、複数の板状部材を用いて保持体３を形成することもできるし、第一板状部材３１と第二板状部材３２も夫々複数の板状部材を用いて形成することもできる。
【００３６】
第一板状部材３１は、接触子２１の一方端２１２を検査点に案内する。この第一板状部材３１には、複数の接触子２１の一方端２１２を検査点に夫々案内するための複数の案内孔が形成されており、夫々の接触子２１の一方端２１２を夫々の検査点に案内する。
【００３７】
第二板状部材３２は、接触子２１の他方端を電極部へ案内する。この第二板状部材３２には、複数の接触子２１の他方端を対応する夫々の電極部に案内するための複数の案内孔が形成されており、夫々の接触子２１の他方端を夫々の検査点に対応する夫々の電極部へ案内する。
【００３８】
電極体４は、接触子群２の夫々の接触子２１の他方端と対向して配置されるとともに、検査装置本体と電気的に接続される複数の電極部と、この電極部を保持する電極保持体（図示せず）を備える。
【００３９】
電極部は、銅線などの導電性ワイヤを利用して形成することができ、例えば導電性ワイヤを電極保持体を貫通するように保持し、電極保持体の表面と導電性ワイヤの端面が面一となるように切断して形成することもできる。尚、この電極部は、導線４１を介して検査用装置（図示せず）に夫々電気的に接続される。
【００４０】
導線４１は、電極部と図示しない検査装置側の電気的端子を接続する。この導線を介して基板検査を行うための電気的信号を供給又は検出することになる。
【００４１】
検出部５は、検査対象基板を挟持する挟持装置が備える挟持部の挟持動作位置を検出する。この検出部５の詳細な構成やその動作については、挟持装置（以下、ワークホルダと称する）を説明した後に説明する。
【００４２】
基台１０は、接触子群２、保持体３、電極体４、検出部５をその一方側表面に配置している（図１参照）。基台１０は、板状の部材から形成され、例えば、矩形形状に形成される。この基台１０の形状は特に限定されるものではなく、後述する検査装置に備えられる検査用治具保持部により検査用治具１が保持される形状に形成される。
【００４３】
次に図２を用いてワークホルダ６の説明をする。図２は本発明の一実施形態に係るワークホルダ６の平面図である。詳細は後述するが、このようなワークホルダ６は、同様の機構を備えた複数のワークホルダを無端状に配置し、例えば図６に示されるような検査装置９の基板を載置する載置台等に備えられる。このワークホルダ６に検査対象基板２０が載置され、所定の検査位置に搬送され、その検査位置において所定の検査が実施されることになる。尚、図２に示されるワークホルダにおいて、検査対象の基板は窓部６２内に示されている点線の円の位置で保持されることになる。また、図２には後述する各図との方向関係を明確にするため、ｘｙｚ直交座標軸を付与している。
【００４４】
本発明の一実施形態に係るワークホルダ６は、平面視において被検査基板が二組の対辺からなる形状（例えば矩形、特に、長方形や正方形）に対応した場合を説明する。
【００４５】
このワークホルダ６は、図２に示すように、基台部材６１と、第一及び第二の可動保持部材７１，８１と、第一及び第二の固定保持部材７２，８２と、第一及び第二の付勢手段としての第一及び第二の付勢機構７１３，８１３とを有し、又、図示しない第一及び第二の駆動機構とを備えている。
【００４６】
基台部材６１は、板状の部材から形成され、例えば、図２に示される如き八角形状に形成される。この基台部材６１の形状は特に限定されるものではなく、複数のワークホルダが無端状に配置され易い形状に形成される。
【００４７】
基台部材６１には、基板を保持した際に、この基板の上下に配置される検査用治具がこの基板の上下方向からのアクセスが可能なように、基台部材６１を貫通して形成される窓部６２が設けられている。
【００４８】
図２で示される基台部材６１の窓部６２の四方周縁の基台部材６１上表面には、夫々２本で一組となるレールの二組のレール部Ｒ１，Ｒ２が形成される。これらレール部Ｒ１，Ｒ２は、窓部６２の隣合う辺の周縁に配置される（対向しない辺の周縁部に配置される）。
【００４９】
なお、レール部Ｒ１は、図２のｙ方向と平行に配置され、レール部Ｒ２はｘ方向と平行に配置されている。
【００５０】
これらレール部Ｒ１，Ｒ２には、それぞれのレール部Ｒ１，Ｒ２にスライド可能に嵌合されたスライダ部（図示せず）が設けられている。これらレール部とスライダ部を設けることにより、レール部に沿って、スライダ部が平滑移動可能に形成されることになる。
【００５１】
第一及び第二の可動保持部材７１，８１は、スライダ部に固定される。この第一及び第二の可動保持部材７１，８１は、夫々スライダ部に固定されているため、レール部に沿って平滑移動する。
【００５２】
第一可動保持部材７１は、図２で示される基台部材６１上で窓部６２の下側に配置され、ｙ軸方向に移動可能に設けられている。
【００５３】
第二可動保持部材８１は、図２で示される基台部材６１上で窓部６２の右側に配置され、ｘ軸方向に移動可能に設けられている。
【００５４】
第一及び第二の固定保持部材７２，８２は、夫々窓部６２を間に介して、第一可動保持部材７１と第二可動保持部材８１と対向配置され、基台部材６１上表面に固定される。
【００５５】
第一固定保持部材７２は、第一可動保持部材７１と一組の挟持部（図２ではｙ軸方向の挟持部）を形成するように配置されており、第一可動保持部材７１が基板を第一固定保持部材７２に押し当てることにより、基板を挟持することになる。第二固定保持部材８２は、第二可動保持部材８１と一組の挟持部（図２ではｘ軸方向の挟持部）を形成するように配置されており、第二可動保持部材８１が基板を第二固定保持部材８２に押し当てることにより、基板を挟持することになる。
【００５６】
各可動保持部材７１，８１及び固定保持部材７２，８２は、図２に示される如く、窓部６２を構成する各辺の略中央部に配置されていることが好ましい。
【００５７】
これにより、各可動保持部材７１，８１及び固定保持部材７２，８２は、被検査基板の各辺の略中央部を保持することができ、安定性が高く且つ位置精度の高い保持が可能となる。また、図２に示される窓部６２の空間の略中央に示す点線で描かれた位置に基板を保持することができる。
【００５８】
第一可動保持部材７１と第一固定保持部材７２が第一挟持部７を形成しており、第一可動保持部材７１が固定して動かない第一固定保持部材７２に対して、ｙ軸方向で近接離反に変位可能となっており、基板を挟持する機構になっているが、図２で示される以外にも、第一可動保持部材７１と第一固定保持部材７２が相対的にｙ軸方向に移動可能に設定して基板を挟み込むように設定してもよい。
【００５９】
第二可動保持部材８１と第二固定保持部材８２が第二挟持部８を形成しており、第二可動保持部材８１が固定されて動かない第二固定保持部材８２に対して、ｘ軸方向で近接離反に変位可能となっており、基板を挟持する機構になっているが、第一挟持部７と同様に、第二可動保持部材８１と第二固定保持部材８２が相対的にｘ軸方向に移動可能に設定して基板を挟み込むように設定してもよい。
【００６０】
第一可動保持部材７１は、スライダ部に固定される第一台座７１２と、この第一台座７１２に取り付けられるとともに基板と当接する第一当接部７１１と、第一可動保持部材７１に取り付けられる第一付勢機構７１３と、第一可動保持部材７１を移動させる第一駆動機構（図２では第一駆動機構の第一レバー部７１５のみを図示している）を有している。
【００６１】
第一台座７１２は、第一可動保持部材７１をｙ軸方向に移動するための機構を有している。具体的には、第一台座７１２がスライダ部に取り付けられてレール部上を移動することができるとともに、第一駆動機構の駆動源（図示せず）を設けることにより、駆動源の稼動に応じてこのレール部上をｙ軸マイナス方向に向かって移動可能に形成されている。さらに、この第一台座７１２は、後述する第一付勢機構７１３と接続されている。この第一付勢機構７１３が第一台座７１２に接続され、第一可動保持部材７１が基板を挟持しない際には、第一台座７１２を所定の位置に戻すことができる。なお、第一台座７１２を所定の位置に戻す場合には、第一当接部７１１も元の所定の位置に戻ることになる。
【００６２】
この第一台座７１２は、例えば、図２で示される如きＴ字状に形成されることができる。図２で示される第一台座７１２は、Ｔ字状の左右腕部分に第一付勢機構７１３が配置されている。より具体的には、第一付勢機構７１３としてコイルばねを用いることができる。図２の実施形態では、コイルばねの一端７１３ａを第一台座７１２のＴ字状の片方腕部に取り付け、他端７１３ｂを基台部材６１に取り付けている。この図２の実施形態では、各腕部に２本ずつコイルばねを取り付けている。このコイルばね７１３は、第一台座７１２（第一当接部７１１）が、対向配置される第二台座７２２（第二当接部７２１）から離反する方向に移動すると付勢状態となるように配置されている。つまり、第一当接部７１１と第二当接部７２１が最も近接した状態が、コイルばねの初期長さの状態となる。
【００６３】
第一当接部７１１は、基板の側面に当接して基板を押圧する板状の部材である。第一当接部７１１は、第一台座７１２に取り付けられ、窓部６２の空間上で対向する第一固定保持部材７２に向かって延出して設けられている。第一当接部７１１が、第一台座７１２に取り付けられているので、第一台座７１２のｙ軸方向の移動量に応じて第一当接部７１１もｙ軸方向に移動することになる。
【００６４】
このため、第一当接部７１１は、後述する第二当接部７２１との間で基板を挟持することができるようになる。
【００６５】
第一当接部７１１が基板に当接する面は、湾曲を有するように形成されることが好ましい。第一当接部７１１が湾曲面を有することにより、基板を押圧する際に、基板を点接触で押圧することで適切な押圧力を得ることができる。
【００６６】
第一駆動機構は、第一可動保持部材７１を移動させることにより第一固定保持部材７２と第一可動保持部材７１間の距離を広げる。この第一駆動機構は、図示しない駆動源から与えられる第一駆動力により、第一付勢機構７１３の付勢力に抗して第一可動保持部材７１を第一固定保持部材７２から離反する方向（ｙ軸マイナス方向）へ駆動する。
【００６７】
第一駆動機構は、第一可動保持部材７１を駆動する第一レバー部７１５を備えている。第一レバー部７１５は基台部材６１に設けられた貫通孔６３を介して突出するように設けられている。その突出部が第一可動保持部材７１に図２のように、第一台座７１２の小窓部７１４で当接可能に配置されている。
【００６８】
この第一レバー部７１５の突出部は、基台部材６１から突出しており、第一台座７１２の小窓部７１４に達しており、この小窓部で第一台座７１２と接触している。
【００６９】
この第一レバー部７１５は、駆動源に接続されており、駆動源からの駆動力を得て、第一台座７１２を第一固定保持部材７２から離間する方向に移動させる。
【００７０】
この第一レバー部７１５は、駆動源の駆動力を得て、第一台座７１２を第一固定保持部材７２から離間する方向に移動させることができるように構成されていれば、その構成は特に限定されるものではない。図２で示される場合では、駆動源の駆動力を得て、第一レバー部７１５がｙ軸マイナス方向に移動するに伴い、第一レバー部７１５が直接第一台座７１２を押圧することによって第一台座７１２を移動させることができる。
【００７１】
尚、駆動源として、垂直方向に駆動するリニアモータを利用する場合には、第一レバー部７１５にＬ字状の回転部材を利用して、水平方向に第一台座７１２を移動するための駆動方向に変更することができる。
【００７２】
上記の如く第一駆動機構が形成される為、駆動源から供給される駆動力によって、第一レバー部７１５は第一台座７１２がｙ軸マイナス方向に移動するように押圧する。そうすると、第一台座７１２は、第一付勢機構７１３の付勢力に抗してｙ軸マイナス方向に駆動される。即ち第一可動保持部材がｙ軸マイナス方向に移動する。また、駆動力が解除されると、第一レバー部７１５はｙ軸マイナス方向へ移動する力を失い、第一付勢機構７１３の付勢力により、第一台座７１２（第一可動保持部材７１）がｙ軸プラス方向に駆動され、これに伴って第一レバー部７１５が駆動力による駆動方向と逆方向に駆動されるようになっている。そして、第一付勢機構７１３は付勢力がなくなるまで、第一台座７１２がｙ軸プラス方向に移動することになる。
【００７３】
次に、第一挟持部７の第一固定保持部材７２について説明する。
第一固定保持部材７２は、第二台座７２２と第二当接部７２１を有してなる。第二台座７２２は基台部材６１に固定されており、後述する第二当接部７２１と基台部材６１を接続する。この第二台座７２２は図２で示されているように、窓部６２の一辺に沿うとともに、第一台座７１２と対向するように配置される。この第二台座７２２は矩形の板状に形成されることができる。
【００７４】
第二当接部７２１は窓部６２へ延出するように第二台座７２２に取り付けられるとともに、基板の他方側に当接する。第二当接部７２１は、第二台座７２２に固定して取り付けられるため、この第二当接部７２１も固定していることになる。
【００７５】
第二当接部７２１は、第一当接部７１１と同様に板状に形成される。尚、この第二当接部７２１が基板に当接する面は、第一当接部７１１の湾曲部と異なり、平面となるように形成される。
【００７６】
第一挟持部７は、上記の如き第一可動保持部材７１と第一固定保持部材７２から形成されている。このため、窓部６２の空間内に基板が配置されると、まず、第一可動保持部材７１の第一当接部７１１が第一レバー部７１５を介して伝達される駆動源からの力を受けて基板を側面から押圧する。そうすると、基板は第二当接部７２１に当接するまでｙ軸プラス方向に移動する。基板が第二当接部７２１まで移動すると、基板は第一当接部７１１と第二当接部７２１で挟持される状態となる。このようにして、第一挟持部７は基板を挟持することになる。
【００７７】
次に、第二挟持部８について説明する。
第二挟持部８は、第二可動保持部材８１と第二固定保持部材８２を有している。この第二挟持部８は、第一挟持部７がｙ軸方向の移動により基板を挟持するのに対して、ｘ軸方向の移動により基板を挟持することになる。
【００７８】
尚、第二挟持部８の基本構成は第一挟持部７の構成と同一であり、取り付けられる位置や、移動方向が相違している。
【００７９】
第一及び第二挟持部７，８の各部材は、図２に示される如く、窓部６２を中心にして第一可動保持部材７１と第一固定保持部材７２が、また第二可動保持部材８１と第二固定保持部材８２が、夫々対向する位置に配置されている。また、第一と第二可動保持部材７１，８１が隣接する窓部６２周縁の位置に配置され、第一と第二の固定保持部材７２，８２が隣接する窓部６２周縁の位置に配置されている。
【００８０】
このため、基板は第一と第二固定保持部材７２，８２に押圧されることになる。つまり、基板は第一固定保持部材７２の第二当接部７２１が、第二固定保持部材８２の第四当接部８２１に押し当てられることで位置決めされることになる。
【００８１】
第二可動保持部材８１は、スライダ部に固定される第三台座８１２と、この第三台座８１２に取り付けられるとともに基板と当接する第三当接部８１１と、第二可動保持部材８１に取り付けられる第二付勢機構８１３と、第二可動保持部材８１を移動させる駆動機構を有している。尚、第三台座８１２は、第一可動保持部材７１の第一台座７１２と同じ構成を有し、配置向きが相違している。
【００８２】
第三台座８１２は、第二可動保持部材８１をｘ軸方向に移動するための機構を有している。具体的には、第三台座８１２がスライダ部に取り付けられてレール部上を移動することができるとともに、駆動源（図示せず）が取り付けられることにより、駆動源の稼動に応じてこのレール部上をｘ軸プラス方向に向かって移動可能に形成されている。さらに、この第三台座８１２は、後述する第二付勢機構８１３と接続されている。この第二付勢機構８１３が第三台座８１２に接続され、第二可動保持部材８１が基板を挟持しない際には、第三台座８１２を所定の位置に戻すことができる。なお、第三台座８１２を所定の位置に戻す場合には、第三当接部８１１も元の所定の位置に戻ることになる。
【００８３】
この第三台座８１２は、例えば、図２で示される如きＴ字状に形成されることができる。図２で示される第三台座８１２は、Ｔ字状の左右腕部分に第二付勢機構８１３が配置されている。より具体的には、第二付勢機構８１３としてコイルばねを用いることができる。図２の実施形態では、コイルばねの一端８１３ａを第三台座８１２のＴ字状の片方腕部に取り付け、他端８１３ｂを基台部材６１に取り付けている。このコイルばね８１３は、第三台座８１２（第三当接部８１１）が、対向配置される第四台座８２２（第四当接部８２１）から離反する方向に移動すると付勢状態となるように配置されている。つまり、第三当接部８１１と第四当接部８２１が最も近接した状態が、コイルばねの初期長さの状態となる。尚、第三当接部８１１は、第一当接部７１１と構成はほぼ同じであり、第四当接部８２１は、第二当接部７２１と構成はほぼ同じである。
【００８４】
第三当接部８１１は、基板の側面に当接して、基板を押圧する板状部材である。第三当接部８１１は、第三台座８１２に取り付けられ、窓部６２の空間上で対向する第二固定保持部材８２に向かって延出して設けられている。第三当接部８１１が、第三台座８１２に取り付けられているので、第三台座８１２のｘ軸方向の移動量に応じて第三当接部８１１もｘ軸方向に移動することになる。
【００８５】
このため、第三当接部８１１は、後述する第四当接部８２１との間に基板を挟持することができるようになる。
【００８６】
第三当接部８１１が基板に当接する面は、湾曲を有するように形成されることが好ましい。第三当接部８１１が湾曲面を有することにより、基板を押圧する際に、基板を点接触で押圧することになり適切な押圧力を得ることができる。
【００８７】
第二駆動機構は、第二可動保持部材８１を移動させることにより第二固定保持部材８２と第二可動保持部材８１間の距離を広げる。この第二駆動機構は、図示しない駆動源から与えられる第二駆動力により、第二付勢機構８１３の付勢力に抗して第二可動保持部材８１を第二固定保持部材８２から離反する方向（ｘ軸プラス方向）へ駆動する。
【００８８】
第二駆動機構は、第二可動保持部材８１を駆動する第二レバー部８１５を備えている。第二レバー部８１５は基台部材６１に設けられた貫通孔６４を介して突出するように設けられている。その突出部が、図２で示される如く、第二可動保持部材８１に、第三台座８１２の小窓部８１４で当接可能に配置されている。
【００８９】
この第二レバー部８１５の突出部は、基台部材６１から突出しており、第三台座８１２の小窓部８１４に達しており、この小窓部８１４で第三台座８１２と接触している。
【００９０】
この第二レバー部８１５は、駆動源に接続されており、駆動源からの駆動力を得て、第三台座８１２を第二固定保持部材８２から離間する方向に移動させる。
【００９１】
この第二レバー部８１５は、駆動源の駆動力を得て、第三台座８１２を第二固定保持部材８２から離間する方向に移動させることができるように構成されていれば、その構成は特に限定されるものではない。
【００９２】
尚、駆動源として、垂直方向に駆動するリニアモータを利用する場合には、第二レバー部８１５にＬ字状の回転部材を利用して、水平方向に第三台座８１２を移動するための駆動方向に変更することができる。
【００９３】
上記の如く第二駆動機構が形成されることによって、駆動源から供給される駆動力によって、第二レバー部８１５は第三台座８１２がｘ軸プラス方向に移動するように押圧する。そうすると、第三台座８１２は、第二付勢機構８１３の付勢力に抗してｘ軸プラス方向に駆動される。即ち第二可動保持部材８１がｘ軸プラス方向に移動する。また、駆動力が解除されると、第二レバー部８１５はｘ軸プラス方向へ移動する力を失い、第二付勢機構８１３の付勢力により、第三台座８１２（第二可動保持部材８１）がｘ軸マイナス方向に駆動され、これに伴って第二レバー部８１５が駆動力による駆動方向と逆方向に駆動されるようになっている。そして、第二付勢機構８１３の付勢力がなくなるまで、第三台座８１２がｘ軸マイナス方向に移動することになる。
【００９４】
次に、第二挟持部８の第二固定保持部材８２について説明する。
第二固定保持部材８２は、第四台座８２２と第四当接部８２１を有してなる。第四台座８２２は基台部材６１に固定されており、後述する第四当接部８２１と基台部材６１を接続する。この第四台座８２２は図２で示されているように、窓部６２の一辺に沿うとともに、第三台座８１２と対向するように配置される。この第四台座８２２は矩形の板状に形成されることができる。
【００９５】
第四当接部８２１は窓部６２へ延出するように第四台座８２２に取り付けられるとともに、基板の他方側に当接する。第四当接部８２１は、第四台座８２２に固定して取り付けられるため、この第四当接部８２１も固定していることになる。
【００９６】
第四当接部８２１は、第三当接部８１１と同様に板状に形成される。尚、この第四当接部８２１が基板に当接する面は、第三当接部８１１の湾曲部と異なり、平面となるように形成される。
【００９７】
第二挟持部８は、上記の如き第二可動保持部材８１と第二固定保持部材８２から形成されている。このため、窓部６２の空間内に基板が配置されると、まず、第二可動保持部材８１の第三当接部８１１が第二レバー部８１５を介して伝達される駆動源からの力を受けて基板を側面から押圧する。そうすると、基板は第四当接部８２１に当接するまでｘ軸マイナス方向に移動する。基板が第四当接部８２１まで移動すると、基板は第三当接部８１１と第四当接部８２１で挟持される状態となる。このようにして、第二挟持部８は基板を挟持することになる。
【００９８】
このワークホルダ６の動作について、特に第一可動保持部材７１と第一固定保持部材７２を一組とする第一挟持部７の動作を、側面図である図３を用いて説明する。尚、第一可動保持部材７１及び第一固定保持部材７２の一組の挟持部と第二可動保持部材８１及び第二固定保持部材８２の一組の挟持部は、構成が同じで基台部材６１上に配置される位置関係が夫々ｙ軸方向とｘ軸方向である点で相違する。
【００９９】
図３は、ワークホルダ６が基板を挟持する際の状態を示す概略側面図であり、（Ａ）はワークホルダ６が駆動する前の準備状態を示し、（Ｂ）は基板が載置位置に準備される前の状態を示し、（Ｃ）は基板が載置位置に設定された状態を示し、（Ｄ）は基板を適正に挟持する状態を示し、（Ｅ）は基板を適正に挟持していない状態を示す。尚、図３（Ａ）〜（Ｅ）では、理解容易のために、説明に必要な部材のみを示している。
【０１００】
まず、ワークホルダ６が基板２０を挟持していない場合には、駆動源の駆動力が働いておらず、第一付勢機構７１３の付勢力により第一可動保持部材７１は所定の位置に位置している。
【０１０１】
このとき、ワークホルダ６の第一可動保持部材７１の第一当接部７１１と第一固定保持部材７２の第二当接部７２１は、距離ｄ１を有して配置されている。尚、この距離ｄ１は、検査対象となる基板の幅よりも短く設定されている。このとき、第一付勢機構７１３は初期の位置（非付勢状態）に設定されている。
【０１０２】
次に、駆動源から与えられる駆動力により第一レバー部７１５がｙ軸マイナス方向に駆動し、これによって第一付勢機構７１３の付勢力に抗して第一台座７１２（第一可動保持部材７１）がｙ軸マイナス方向に駆動される。この動作により、第一可動保持部材７１と第一固定保持部材７２間の間隔が間隔ｄ３まで広げられる（図３（Ｂ）参照）。尚、間隔ｄ３は、基板の幅よりも充分に広くなるよう設定されている。
【０１０３】
続いて、図３（Ｃ）に示すように、搬送手段（図示せず）により基板２０が第一可動保持部材７１及び第一固定保持部材７２の間に搬送され、載置台２００に載置される。この載置台２００は、載置台２００の表面が第一及び第二当接部よりもわずかに低い位置で、各当接部がこの表面上を移動して、基板２０を挟持することのできる高さに設定されている。尚、この載置台２００は、各当接部に基板２０が挟持された際に降下するように設定されることができる。
【０１０４】
そして、駆動力が解除され、これに伴って第一付勢機構７１３の付勢力により、第一可動保持部材７１がｙ軸プラス方向に駆動され、第一可動保持部材及び第一固定保持部材７１，７２間の間隔が狭められ、図３（Ｄ）に示すように第一可動保持部材及び第一固定保持部材７１，７２によって基板２０が挟み込まれるように、第一当接部７１１と第二当接部７２１が間隔ｄ２を有して、基板を挟持することになる。
【０１０５】
基板２０を開放する際には、基板を挟持する前と同様に、第一駆動機構に駆動力が与えられ、第一付勢機構７１３の付勢力に抗して第一可動保持部材７１がｙ軸マイナス方向に駆動され、第一可動保持部材及び第一固定保持部材７１，７２の間隔が広げられる。
【０１０６】
駆動力が解除され、第一可動保持部材及び第一固定保持部材７１，７２間の間隔が狭められると、基板が保持されることになる。このとき、図３Ｅに示すように第一可動保持部材７１が備える第一当接部７１１が基板２０の側面に当接せず、第一可動保持部材７１の上面付近の空間に、基板２０の一部が浮いている状態となり、基板が適切に挟持されないことがある。
【０１０７】
このとき、第一可動保持部材７１は付勢機構７１３によって付勢されているので、基板に当接しなかった第一当接部７１１（第一可動保持部材７１）の一部は基板の下面側に存在していることになる。
【０１０８】
この状態で基板検査が行われると、検査装置に装着された検査用治具が破損する場合がある。
【０１０９】
また、駆動力が解除されて基板が保持されるとき、第一当接部７１１に基板２０の側面が当接され、第二当接部７２１に側面が当接されない場合もある。この場合は第二当接部７２１の上面付近の空間に基板の一部が浮いた状態となる。この場合も、基板検査用治具が破損する場合がある。
【０１１０】
第二可動保持部材８１及び第二固定保持部材８２を一組とする第二挟持部８の動作については、第一可動保持部材７１と第一固定保持部材７２の一組の挟持部の動作と同様であるので説明を省略する。
【０１１１】
第一挟持部７はｙ軸方向に第一当接部７１１を駆動して基板２０を挟持し、第二挟持部８はｘ軸方向に第二当接部８１１を駆動して基板２０の側面を挟持する。このとき、第一と第二の挟持部７，８は、同時に基板を挟持するようにすることが好ましい。このように同時に挟持動作を実施することにより、第二当接部７２１と第四当接部８２１へ基板２０を押し当てて位置決めすることができるからである。以上が、基板を挟持する挟持部の説明である。
【０１１２】
次に、検査用治具１の検出部５について説明する。
検出部５は、コヒーレント光を照射し、照射したコヒーレント光の反射光を受光することにより基板が適正に挟持されているか否かを検出する。
【０１１３】
検出部５は、コヒーレント光を設定された点に照射する照射部５１と、照射部５１から目標物に照射され、反射したコヒーレント光を受光する受光部５２と、検出部５と検査装置４０が有する検出信号処理部（図示せず）を接続する導線５３とを備え、基台１０上に載置される。尚、検出部５は、詳細は後述するが、目標物の位置及び個数に応じて適宜配置される。
【０１１４】
照射部５１は、検査装置に設けられる制御部（図示せず）からの動作指令に従って、目標物表面上に設定された点（目標点）に対し、コヒーレント光を照射する。照射するコヒーレント光としては、例えばレーザ光を用いることができる。尚、本明細書中で用いるコヒーレント光とは、所定の反射材に照射した際に、この反射材にて反射されて、後述する受光部５２にて受光することができる光のことである。
【０１１５】
受光部５２は、照射部５１から目標物へ照射されたコヒーレント光が目標物で反射される場合に、この反射コヒーレント光を受光する。この受光部５２は、反射したコヒーレント光を受光した際に受光信号を発信する。この受光部５２としては、例えば、光センサを用いることができ、より具体的には、フォトダイオードを用いることができる。
【０１１６】
照射部５１と受光部５２は、照射部５１が所定の目標物に光を反射した際に、目標物が光を反射することのできる素材で形成されている場合には、この反射光を受光することができるように夫々配置されている。このため、目標点が反射素材で形成される場合には、照射部５１が照射する光がこの目標点で反射され、この反射光を受光部５２が受光することになるので、目標点の位置検出ができるようになる。尚、照射部５１が光を照射した場合に、受光部５２が光を受光しなければ、照射部５１が所定の目標点に光を照射していないことになるので、目標点が所定の位置にないことを検出することができる。
【０１１７】
本発明では、これら照射部５１と受光部５２を用いて、ワークホルダ６の可動保持部材表面に目標点を定めることにより、可動保持部材の可動前／可動後（挟持前／挟持後）の可動保持部材の位置を検出することにより、基板の挟持状態の適正／不適正を検出できるようにしている。
尚、図１の実施形態では、照射部５１と受光部５２を隣接配置して設けているが、上記の如く、照射部５１から照射された光が可動保持部材上に設定された目標点で反射した反射光を、受光部５２で受光可能であればこの配置に限られない。
【０１１８】
上記の如く、本発明では、照射部５１が照射する光を可動保持部材の表面上に設定される目標点に照射するが、可動保持部材は照射部５１と受光部５２が載置される基台１０と略平行に配置されている。このため、照射部５１から目標点に対する入射角と目標点から受光部５２に対する反射角を容易に設定することができるので、照射部５１と受光部５２の設定を容易に行うことができる。
【０１１９】
導線５３は、検査装置に備えられた制御部（図示せず）からの動作指示に基づく照射部５１の動作信号を、照射部５１に伝達するための伝送路であり、受光部５２からの受光状態を検出するための受光信号を、検査装置９の制御部に伝達するための伝送路となる。導線５３には、例えば、周囲を被膜した銅線を用いることができる。
【０１２０】
この図１では、検出信号処理部は検査装置９に備えられており図示されていないが、検出信号処理部と表示手段（図示せず）を検査用治具１に取り付けるようにしてもよい。表示手段は、検出信号処理部により基板挟持位置が判定されたとき、特に基板挟持位置が不適正であると判定されたときは、警告音や光を発するようにすることができる。さらに、検出信号処理部は、基板挟持位置が不適正であったときは、検査装置９が備える動作制御部（図示せず）に停止信号を送信する送信手段を通して、動作制御部に停止信号を送信するようにすることもできる。
【０１２１】
ここで、本発明の照射部５１と受光部５２を用いて、可動保持部材の移動を検出する方法を説明する。まず、目標点が、光（コヒーレント光）を反射可能な表面を利用する場合について説明する。
照射部５１と受光部５２は、この目標点に対して、照射部５１が光を照射した際に、受光部５２がその反射光を受光する状態に設定されている。
【０１２２】
まず、第一当接部７１１が非反射材の表面にて形成され、第一当接部７１１の目標点のみが反射材にて形成される場合を説明する。この場合、この目標点は、第一当接部７１１上に形成されるが、第一挟持部７が基板２０を適正に挟持した場合の第一当接部７１１と第二当接部７２１の距離が距離ｄ２となる際にのみ、照射部５１からの光を照射して、受光部５２がこの反射光を受光するような位置に形成する。
【０１２３】
例えば、図４（Ｂ）に示されるように、第一当接部７１１と第二当接部７２１が基板２０を適正に挟持する距離ｄ２の状態で、照射部５１が照射する光を、目標点Ｔがこの光を反射し、受光部５２がこの反射光を受光することができる。つまり、第一挟持部７が基板２０を挟持した際に、照射部５１が光を照射すると、基板２０を適正な状態で挟持した場合にのみ受光部５２が受光状態となる。
【０１２４】
また、例えば、図４（Ｃ）に示される場合には、第一挟持部７が基板２０を挟持状態であるが、適正な状態で基板２０を挟持していないため、第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ１の状態となる。このため、挟持部の挟持動作後、照射部５１が光を照射しても、目標点Ｔ以外の場所（第一当接部７１１上の非反射表面）に光が照射されることになるので、受光部５２は光を受光しない状態となる。つまり、受光部５２が光を受光しないので、挟持状態に不適正（適正でない）があることを検出することができる。
【０１２５】
次に、目標点Ｔが非反射材で形成され、第一当接部７１１が反射材で形成される場合を説明する。この場合には、第一挟持部７が基板２０を適正に挟持した場合の第一当接部７１１と第二当接部７２１の距離が距離ｄ２となる際にのみ、照射部５１からの光を照射して、受光部５２がこの反射光を受光しないような位置に形成する。
【０１２６】
例えば、図４（Ｂ）に示されるように、第一当接部７１１と第二当接部７２１が基板２０を適正に挟持する距離ｄ２の状態で、照射部５１が照射する光を、目標点Ｔがこの光を反射せず、受光部５２がこの反射光を受光しないようにすることができる。つまり、第一挟持部７が基板２０を挟持した際に、照射部５１が光を照射すると、基板２０を適正な状態で挟持した場合にのみ受光部５２が非受光状態となる。
【０１２７】
また、例えば、図４（Ｃ）に示される場合には、第一挟持部７が基板２０を挟持している状態であるが、適正な状態で基板２０を挟持していないため、第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ１の状態となる。このため、挟持部の挟持動作後、照射部５１が光を照射しても、目標点Ｔ以外の場所（第一当接部７１１上の反射表面）に光が照射されることになるので、受光部５２は光を受光する状態となる。つまり、受光部５２が光を受光するので、挟持状態に不適正（適正でない）があることを検出できる。
以上が、挟持部の挟持動作後に、照射部５１が光を照射して受光部が受光する光の有無によって、基板２０を挟持する適正／不適正を検出する方法である。
【０１２８】
次に、挟持部の挟持動作前・挟持動作後に夫々少なくとも１回ずつ（少なくとも合計２回）の照射部５１からの照射が行われる場合の検出方法について説明する。この場合、挟持動作前と挟持動作後の２箇所を照射目標（前照射点と後照射点）として設定することにより検出が可能となる。
【０１２９】
第一当接部７１１が非反射表面にて形成され、第一当接部７１１に反射材で形成される前照射点が設定され、第一当接部７１１に反射材で形成される後照射点が設定される場合について説明する。
前照射点は、挟持部７が挟持動作前の第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ３を有している際に、照射部５１が光を照射した場合に受光部５２が反射光を受光する点に設定される。このため、挟持動作前に照射部５１が光を照射した場合に、受光部５２が光を受光する状態となれば、第一当接部７１１と第二当接部７２１は距離ｄ３を有して配置されていることになる。
【０１３０】
後照射点は、挟持部７が挟持動作後に第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ２を有している際に、照射部５１が光を照射した場合に受光部５２が反射光を受光する点に設定される。このため、挟持動作後に照射部５１が光を照射した場合に、受光部５２が光を受光する状態となれば、第一当接部７１１と第二当接部７２１は距離ｄ２を有して配置されていることになる。つまり、挟持動作後に照射部５１が光を照射して、受光部５２が光を受光すると、基板２０を第一当接部７１１と第二当接部７２１が適正に基板２０を挟持していることになる。また、挟持動作後に照射部５１が光を照射して、受光部５２が光を受光しないと、基板２０を第一当接部７１１と第二当接部７２１が不適正に基板２０を挟持していることになる。なお、この場合には、第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ１を有して配置されていることになる。
【０１３１】
次に、第一当接部７１１が非反射表面にて形成され、第一当接部７１１に非反射材で形成される前照射点が設定され、第一当接部７１１に反射材で形成される後照射点が設定される場合について説明する。
前照射点は、挟持部７が挟持動作前の第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ３を有している際に、照射部５１が光を照射した場合には受光部５２は反射光を受光しないように設定される。このため、挟持動作前に照射部５１が光を照射した場合に、受光部５２が光を受光しない状態となれば、第一当接部７１１と第二当接部７２１は距離ｄ３を有して配置されていると推測できる。
【０１３２】
後照射点は、挟持部７が挟持動作後に第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ２を有している際に、照射部５１が光を照射した場合に受光部５２が反射光を受光する点に設定される。このため、挟持動作後に照射部５１が光を照射した場合に、受光部５２が光を受光する状態となれば、第一当接部７１１と第二当接部７２１は距離ｄ２を有して配置されていることになる。つまり、挟持動作後に照射部５１が光を照射して、受光部５２が光を受光すると、基板２０を第一当接部７１１と第二当接部７２１が適正に基板２０を挟持していることになる。また、挟持動作後に照射部５１が光を照射して、受光部５２が光を受光しないと、基板２０を第一当接部７１１と第二当接部７２１が不適正に基板２０を挟持していることになる。なお、この場合には、第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ１を有して配置されていることになる。
【０１３３】
次に、第一当接部７１１が反射表面にて形成され、第一当接部７１１に非反射材で形成される前照射点が設定され、第一当接部７１１に非反射材で形成される後照射点が設定される場合について説明する。
前照射点は、挟持部７が挟持動作前の第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ３を有している際に、照射部５１が光を照射した場合に受光部５２が反射光を受光しない点に設定される。このため、挟持動作前に照射部５１が光を照射した場合に、受光部５２が光を受光しない状態となれば、第一当接部７１１と第二当接部７２１は距離ｄ３を有して配置されていることになる。
【０１３４】
後照射点は、挟持部７が挟持動作後に第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ２を有している際に、照射部５１が光を照射した場合に受光部５２が反射光を受光しない点に設定される。このため、挟持動作後に照射部５１が光を照射した場合に、受光部５２が光を受光しない状態となれば、第一当接部７１１と第二当接部７２１は距離ｄ２を有して配置されていることになる。つまり、挟持動作後に照射部５１が光を照射して、受光部５２が光を受光しない場合、基板２０を第一当接部７１１と第二当接部７２１が適正に基板２０を挟持していることになる。また、挟持動作後に照射部５１が光を照射して、受光部５２が光を受光すると、基板２０を第一当接部７１１と第二当接部７２１が不適正に基板２０を挟持していることになる。なお、この場合には、第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ１を有して配置されていることになる。
【０１３５】
次に、第一当接部７１１が反射表面にて形成され、第一当接部７１１に反射材で形成される前照射点が設定され、第一当接部７１１に非反射材で形成される後照射点が設定される場合について説明する。
前照射点は、挟持部７が挟持動作前の第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ３を有している際に、照射部５１が光を照射した場合に受光部５２が反射光を受光する点に設定される。このため、挟持動作前に照射部５１が光を照射した場合に、受光部５２が光を受光する状態となれば、第一当接部７１１と第二当接部７２１は距離ｄ３を有して配置されていると推測できる。
【０１３６】
後照射点は、挟持部７が挟持動作後に第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ２を有している際に、照射部５１が光を照射した場合に受光部５２が反射光を受光しない点に設定される。このため、挟持動作後に照射部５１が光を照射した場合に、受光部５２が光を受光しない状態となれば、第一当接部７１１と第二当接部７２１は距離ｄ２を有して配置されていることになる。つまり、挟持動作後に照射部５１が光を照射して、受光部５２が光を受光しない場合、基板２０を第一当接部７１１と第二当接部７２１が適正に基板２０を挟持していることになる。また、挟持動作後に照射部５１が光を照射して、受光部５２が光を受光すると、基板２０を第一当接部７１１と第二当接部７２１が不適正に基板２０を挟持していることになる。なお、この場合には、第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ１を有して配置されていることになる。
【０１３７】
以上の場合は、第一当接部７１１上にて光を照射する場合を説明しているが、第一当接部７１１と第一台座７１２の表面上に夫々目標点や前・後照射点を設定することもできる。尚、非反射材として第一当接部７１１や第一台座７１２に窓部を設け、光を反射しないようにすることもできる。
【０１３８】
次に、照射部５１による照射点を、第一挟持部７の部材の高さの相違を利用して検出する場合を説明する。これは、受光部５２が受光する反射光が、その反射面の高さに応じて受光状態が変化するにともない、その変化を利用して基板の挟持状態を検出する方法である。つまり、照射された光の光路に応じて、受光部５２が受光する光の感度の変化を利用する。
【０１３９】
この場合の照射点の設定について説明する。具体的な一例としては、第一可動保持部材７１の第一当接部７１１と第一台座７１２の高さの相違を利用する。尚、両部材はその表面が平坦かつ水平で、光を反射する反射材で形成されている。
【０１４０】
挟持後の第一当接部７１１と第二当接部７２１間が距離ｄ２であるとき（図４（Ｂ）参照）に、照射点は、第一可動保持部材７１の第一当接部７１１表面上に設定される。かつ、第一当接部７１１と第二当接部７２１間が距離ｄ１になったとき（図４（Ｃ）参照）、照射点は、第一台座７１２表面上に設定される。尚、挟持前の第一当接部７１１と第二当接部７２１の距離が距離ｄ３であるとき（図４（Ａ）参照）は、照射点は第一当接部７１１表面上に設定されている。
【０１４１】
照射点が上記２つの条件を満たすように設定されると、挟持動作後に第一当接部７１１と第二当接部７２１間が距離ｄ２である場合、照射部５１から照射された光は、第一当接部７１１表面上の照射点で反射し、その反射した光を受光部５２で受光することになる。つまり、受光部５２が光を受光した場合、第一当接部７１１と第二当接部７２１は距離ｄ２を有しているので、基板を適正に挟持していることになる。一方、第一当接部７１１と第二当接部７２１間が距離ｄ１であれば、照射部５１から照射された光は、高さの異なる第一台座７１２表面で反射し、反射した光は反射角度が異なるため受光部５２で受光されないことになる。つまり、受光部５２が光を受光しなかった場合、第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ１を有しているので、基板を不適正に挟持していることになる。
【０１４２】
さらに、別の高さを利用して検出する場合を説明する。第一台座７１２表面の高さで、第一台座７１２表面で照射部５２から照射された光が反射し、その反射光を受光部５２で受光するようにできる。この場合、挟持動作後の第一当接部７１１と第二当接部７２１間の距離が距離ｄ１であるとき、照射点は第一台座７１２表面に設定され、挟持動作後の第一当接部７１１と第二当接部７２１間の距離が距離ｄ２であるとき、照射点は第一台座７１２表面に設定されることになる。尚、挟持動作前に第一当接部７１１と第二当接部７２１間の距離が距離ｄ３であるとき、照射点は第一当接部７１１上に設定されることになる。
【０１４３】
照射点が上記２つの条件を満たすように設定されると、第一当接部７１１と第二当接部７２１間が距離ｄ１であれば、照射部５１から照射された光は、第一台座７１２表面で反射し、受光部５２で受光される。つまり、受光部５２が光を受光した場合、第一当接部７１１と第二当接部７２１はｄ１の距離を有しているので、基板が不適正に挟持されていることになる。一方、第一当接部７１１と第二当接部７２１間の距離が距離ｄ２であるとき照射部５１から照射された光は、高さの異なる第一当接部７１１表面で反射し、反射した光は反射角度が異なるため受光部５２で受光されないことになる。つまり、受光部５２が光を受光しなかった場合、第一当接部７１１と第二当接部７２１は距離ｄ２を有しているので、基板を適正に挟持していることになる。
【０１４４】
また、上記の部材の高さを利用する方法において、第一当接部７１１又は第一台座７１２に窓部を設け、距離第一当接部７１１と第二当接部７２１間の距離によって照射部５１から照射された光による受光部５２の受光状態が変化されるように設定し、基板の挟持状態を検出することもできる。
【０１４５】
また、別の検出方法として、先述の照射点を第一可動保持部７１表面上に設定する方法と組み合わせて基板の挟持状態の適正／不適正を検出することもできる。
【０１４６】
照射部５１による照射点への光の照射は、１回又は断続的に複数回の単パルスを照射するように設定しても良いし、複数パルスを１回又は断続的に複数回照射を行うように設定しても良い。また、挟持動作前から挟持動作後にかけて、連続的又は断続的に照射して、その変化を絶えず検出することもできる。
【０１４７】
先述の照射点を第一可動保持部材７１表面上に設定して検出する方法について、この検出部５の検出動作を説明する。なお、理解容易のために、一例として第一可動保持部材７１及び第一固定保持部材７２を一対とする第一挟持部７について、側面概略図の図５を用いて説明を行う。なお、この場合の説明は、第一当接部７１１が非反射表面にて形成され、第一当接部７１１に反射材で形成される前照射点が設定され、第一当接部７１１に反射材で形成される後照射点が設定される場合についての説明である。
前照射点Ｔ１は、挟持部７が挟持動作前の第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ３を有している際に、照射部５１が光を照射した場合に受光部５２が反射光を受光する点に設定され、後照射点Ｔ２は、挟持部７が挟持動作後に第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ２を有している際に、照射部５１が光を照射した場合に受光部５２が反射光を受光する点に設定される。
【０１４８】
まず、図５（Ａ）に示される如く、駆動源から与えられる駆動力により、第一可動保持部材７１と第一固定保持部材７２間の間隔が広げられ、第一当接部７１１と第二当接部７２１の距離はｄ３に広げられる。このとき、検査装置に備えられた制御部（図示せず）からの動作指令に従って、照射部５１は、光を照射する。この場合、照射部５１が照射する光は、第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ３を有して、挟持部７が挟持動作前の状態であるため、前照射点Ｔ１に照射されることになる。このため、照射された光は、前照射点Ｔ１で反射されることになり、受光部５２で反射光が受光されることになる。つまり、挟持部が挟持動作前の状態で受光部５２が受光状態であるため、第一及び第二当接部の間が基板２０を保持するための間隔を有していることを検出する。
【０１４９】
次に、駆動力が解除され、第一付勢機構７１３の付勢力により第一可動保持部材７１及び第一固定保持部材７２間の距離、すなわち、第一当接部７１１及び第二当接部７２１間の距離が狭められる挟持動作が実施される。その後（挟持動作後）、検査装置の制御部からの動作指令に従って、照射部５１は、第一可動保持部材７１表面に光を照射する。このとき、受光部５２が反射光を受光すれば、後照射点Ｔ２に光が照射されたことになるので、第一当接部７１１及び第二当接部７２１の間の距離が距離ｄ２であることを検出する。
【０１５０】
このとき、受光部５２は光を受光するので、受光信号（光を受光したことを伝達する信号）を検出信号処理部へ送信することになる。この受光信号を受信した検出信号処理部は、挟持動作後に受光信号を受光することになるので、基板２０が適正に挟持状態にある（図５（Ｂ）参照）と判定する。
尚、この判定後、検査装置は、基板２０に対して所定の設定される工程を経ることになる。
【０１５１】
また一方で、駆動力が解除され、第一付勢機構７１３の付勢力により第一可動保持部材７１及び第一固定保持部材７２間の距離、すなわち、第一当接部７１１及び第二当接部７２１間の距離が狭められる挟持動作が実施される。その後（挟持動作後）、検査装置の制御部からの動作指令に従って、照射部５１が、第一可動保持部材７１表面に光を照射する。このとき、受光部５２が反射光を受光しなければ、後照射点Ｔ２に光が照射されていないことになるので、第一当接部７１１及び第二当接部７２１の間の距離が距離ｄ２でないことが検出される。つまり、第一付勢機構７１３の付勢力により、基板２０が第一当接部７１１又は第二当接部７２１に不適正に挟持された状態（図５（Ｃ）参照）となり、第一当接部７１１と第二当接部７２１が距離ｄ１に設定されると推測される。
【０１５２】
このとき、受光部５２は光を受光しないので、受光信号を検出信号処理部へ送信しない。検出信号処理部は、挟持動作後にこの受光信号を受光しないので、基板２０が不適正な挟持状態であると判定する。
尚、この判定後、検査装置は、使用者などに基板挟持位置が不適正なことを通知することになる。
【０１５３】
また、照射部５１が照射する点がワークホルダ６の第二可動保持部材８１表面上に存在するように設定される場合（ｘ軸方向の基板の挟持状態を検出する）は、第一可動保持部材７１表面上に照射部５１が照射する点が設定された場合と構成及びその動作が同様であるため説明を省略する。以上が、検出部５の検出動作の説明である。
【０１５４】
図６は、本発明の一実施例に係る検査装置９を示す側面図である。この図では後述する第一及び第二の検査用治具移動部９１，９２とワークホルダ６との移動方向を明確にするために、図１、図２と同様にｘｙｚの直交座標を示す。
【０１５５】
検査装置９は、同様の機構を備えた複数のワークホルダ６を無端状に載置する載置台９３と、複数の検査用接触子２１が取り付けられた上下に配置される２つの検査用治具１，１’をｘｙｚ直交座標空間内で移動するための第一及び第二の検査用治具移動部９１，９２を備える。
【０１５６】
載置台９３は、円板状で、その上面に複数のワークホルダ６を無端状に載置しており、円板の中央には、円板を回転させるための回転手段９４を備えている。
【０１５７】
第一検査用治具移動部９１は、検査用治具保持部９１１を備えており、その検査用治具保持部９１１は、複数の接触子２１が取り付けられた検査用治具１を保持するとともに、その接触子２１を検査装置９の基板検査及び測定を行うための制御装置（図示せず）に電気的に接続する。
【０１５８】
第二検査用治具移動部９２は、検査用治具保持部９２１を備えており、その検査用治具保持部９２１は、複数の接触子２１が取り付けられた検査用治具１’を保持するとともに、その接触子２１を検査装置９の基板検査及び測定を行うための制御装置（図示せず）に電気的に接続する。
【０１５９】
第一及び第二の検査用治具移動部９１，９２と載置台の移動制御、及び回転手段９４の回転制御は、図示せぬ検査装置９の制御装置によって行われる。その制御装置は、基板２０の検査及び測定を行うための制御装置と同一であってもよく、また、それとは別個に設けられたものでもよい。
【０１６０】
第一及び第二の検査用治具移動部９１，９２の移動制御の制御内容は、夫々の移動部をどの座標位置からどの座標位置まで移動させるのか、移動の際の速度、移動経路、移動のタイミングなどであり、回転手段９４の回転制御の制御内容は、載置台をどの座標位置からどの座標位置まで回転させるのか、回転の際の速度、回転のタイミングなどである。
【０１６１】
基板検査を行う際には、まず図示せぬ基板搬送装置により、任意のワークホルダ６に基板が搬送され、第一及び第二の挟持部により挟持される。このとき、夫々の検査用治具１，１’には、検出部５，５’を有しているので、夫々の検出部５，５’が基板２０の挟持状態を検出する。なお、この検出方法は、上記の検出方法によるため省略する。
【０１６２】
これらの検出部が、基板２０の挟持状態を検出するが、基板２０の挟持状態が適正であれば、検査工程に基板２０が搬送され、基板２０の挟持状態が不適正であれば、検査が中止されることになる。
【０１６３】
尚、基板２０が適正な位置に挟持されていると判定すると、基板２０の検査動作が開始されることになる。具体的には、第一及び第二検査用治具移動部９１，９２は検査動作として夫々に取りつけられた検査用治具１，１’が夫々ｚ方向に上下から基板２０に対して接触する。検査用治具の接触子２１が所定の検査点に接触すると、検査装置９は検査を実施する。
以上が、本発明に係る検査用治具及び検査装置の説明である。
【符号の説明】
【０１６４】
１・・・検査用治具
５・・・検出部
５１・・照射部
５２・・受光部
６・・・ワークホルダ
７・・・第一挟持部
７１・・第一可動保持部
７２・・第一固定保持部
８・・・第二挟持部
８１・・第二可動保持部
８２・・第二固定保持部
９・・・検査装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
0005629997.tif 000005
【図５】
0005629997.tif 000006
【図６】
0005629997.tif 000007
【図７】
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