(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と前記基板上に各々独立して設けられ互いに平行に配置された複数の線状電極とを有する固定子の前記線状電極上に配置される、移動子において、
前記移動子は、樹脂基板と、前記樹脂基板上に設けられた抵抗体膜と、を有し、
前記抵抗体膜は、鎖状のまたは多層プレート状のＡＴＯ（Ａｎｔｉｍｏｎｙ−Ｔｉｎ−Ｏｘｉｄｅ）と、前記鎖状または多層プレート状のＡＴＯを結合するバインダと、からなる材料を含む、
ことを特徴とする移動子。
【請求項２】
前記バインダとして、ポリエステルまたはポリプロピレンが用いられていることを特徴とする請求項１に記載の移動子。
【請求項３】
基板と、前記基板上に各々独立して設けられ、互いに平行に配置された複数の線状電極とを有する固定子と、
前記固定子の前記線状電極上に配置される移動子と、を備え、
前記移動子は、樹脂基板と、前記樹脂基板上に設けられた抵抗体膜と、を有し、
前記抵抗体膜は、鎖状または多層プレート状のＡＴＯ（Ａｎｔｉｍｏｎｙ−Ｔｉｎ−Ｏｘｉｄｅ）と、前記鎖状または多層プレート状のＡＴＯを結合するバインダと、からなる材料を含む、
ことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項４】
前記バインダとして、ポリエステルまたはポリプロピレンが用いられていることを特徴とする請求項３に記載の静電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電アクチュエータの移動子および静電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電極が設けられた固定子と、この固定子上に配置されるとともに、樹脂基板と、樹脂基板上に設けられた抵抗体膜とを有する移動子と、を備えた静電アクチュエータが知られている。
【０００３】
このような構成からなる静電アクチュエータにおいて、移動子の抵抗体膜は、例えば、湿度変化に対して安定と言われる酸化スズ等の酸化金属系の材料と、これらの材料を結合するバインダとを含んでいる。
【０００４】
このような移動子において、湿度変化により抵抗体膜の表面抵抗値が大きく変わると、移動子の抵抗体膜が固定子の電極から電界をかけられても、表面抵抗値が低い場合は帯電後すぐ放電し、高い場合は帯電されにくくなる。すなわち、移動子を安定して動作させることができなくなる問題がある。
【０００５】
また、従来の静電アクチュエータには、移動子の抵抗体膜の材料として、ＡＴＯ（Ａｎｔｉｍｏｎｙ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）とバインダとを用いたものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。しかし、この従来の静電アクチュエータにおいては、ＡＴＯは、導電性粒子、すなわち、粒状（粒子状）の状態で抵抗体膜に用いられるものであり、鎖状（ファイバー状、針状、網目状、または、ネットワーク状とも称される）のＡＴＯを抵抗体膜に用いるものではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−２３７６５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、このような点を考慮してなされるものであり、移動子の動作特性に対する湿度変化の影響を低減することが可能な移動子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様に係る移動子は、
基板と前記基板上に各々独立して設けられ互いに平行に配置された複数の線状電極とを有する固定子の前記線状電極上に配置される、移動子において、
前記移動子は、樹脂基板と、前記樹脂基板上に設けられた抵抗体膜と、を有し、
前記抵抗体膜は、鎖状または多層プレート状のＡＴＯおよびカーボンナノチューブのうち少なくとも一方と、前記鎖状または多層プレート状のＡＴＯまたは前記カーボンナノチューブを結合するバインダと、からなる材料を含む、
ことを特徴とする移動子である。
【０００９】
また、上記移動子において、
前記バインダとして、ポリエステルまたはポリプロピレンが用いられていてもよい。
【００１０】
本発明の一態様に係る静電アクチュエータは、
基板と、前記基板上に各々独立して設けられ、互いに平行に配置された複数の線状電極とを有する固定子と、
前記固定子の前記線状電極上に配置される移動子と、を備え、
前記移動子は、樹脂基板と、前記樹脂基板上に設けられた抵抗体膜と、を有し、
前記抵抗体膜は、鎖状のまたは多層プレート状のＡＴＯおよびカーボンナノチューブのうち少なくとも一方と、前記鎖状または多層プレート状のＡＴＯまたは前記カーボンナノチューブを結合するバインダと、からなる材料を含む、
ことを特徴とする静電アクチュエータである。
【００１１】
また、上記静電アクチュエータにおいて、
前記バインダとして、ポリエステルまたはポリプロピレンが用いられてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る静電アクチュエータの移動子は、固定子に対向する樹脂基板と、樹脂基板上に設けられた抵抗体膜と、を有し、この抵抗体膜は、鎖状（ファイバー状、針状、網目状、または、ネットワーク状とも称される）または多層プレート状のＡＴＯ、または、カーボンナノチューブの何れか１つと、バインダと、からなる材料を含む。
【００１３】
これにより、従来技術と比較して、湿度変化による移動子の抵抗体膜の抵抗値の変化が抑制される。したがって、固定子の電極により帯電させられる移動子の静電気は適切な時間保持される事になり、移動子は安定して動作する。
【００１４】
すなわち、移動子の動作特性に対する湿度変化の影響を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明による静電アクチュエータの構成の一例を示す斜視図である。
【図２】図１に示す静電アクチュエータを模式的に示す上面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿った静電アクチュエータの断面を示す断面図である。
【図４】鎖状のカーボンナノチューブの観察写真である。
【図５】多層プレート状のカーボンナノチューブ（CNT）の観察写真である。
【図６】多層プレート状のカーボンナノチューブ（CNT）のモデル図である。
【図７】線状電極に印加される信号の波形の一例を示す波形図である。
【図８】本発明に係る静電アクチュエータが置かれた雰囲気の湿度と、移動子の固定子に対する相対的な移動距離との関係を示す図である。
【図９】比較例の静電アクチュエータが置かれた雰囲気の湿度と、移動子の固定子に対する相対的な移動距離との関係を示す図である。
【図１０】鎖状のＡＴＯを含む移動子（本発明）の表面抵抗値の経時変化と、粒状のＡＴＯを含む移動子（比較例）の表面抵抗値の経時変化と、を示す図である。
【図１１】比較例の静電アクチュエータにおいて、酸化スズを含む抵抗体膜を有する移動子の表面抵抗値と、湿度と、の関係の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明による静電アクチュエータの実施の形態について図面に基づいて説明する。
【００１７】
図１は、本発明による静電アクチュエータ１００の構成の一例を示す斜視図である。また、図２は、図１に示す静電アクチュエータ１００を模式的に示す上面図である。また、図３は、図２のＡ−Ａ線に沿った静電アクチュエータ１００の断面を示す断面図である。なお、簡単のため、図２おいては、カバーフィルム１０３、摺動構造膜１０４を省略している。
【００１８】
図１および図２に示すように、静電アクチュエータ１００は、一面１０２ａと他面１０２ｂとを有する基板１０２と、基板１０２の一面１０２ａに各々独立して設けられ、互いに平行に等間隔で配置された複数の線状電極１ａ〜１ｄと、を有する固定子１と、固定子１の線状電極１ａ〜１ｄ上に移動自在に配置された移動子２と、を備える。
【００１９】
なお、移動子２を駆動するための信号ａ〜ｄは、図示しない駆動回路から４線式静電アクチュエータ１００に入力される。このとき、各信号ａ〜ｄは、バスライン１０１ａ〜１０１ｄ、スルーホール配線１ｂ２、１ｄ２、および、パッド電極１ｂ１、１ｄ１を介して、線状電極１ａ〜１ｄに、それぞれ印加される。
【００２０】
以下、固定子１について、さらに詳述する。上述のように、固定子１は、基板１０２と、この基板１０２の一面１０２ａに設けられた導電性を有する複数の線状電極１ａ〜１ｄとを備えている。
【００２１】
さらに、複数の線状電極１ａ〜１ｄの一側に（図２の左側）、複数の線状電極１ａ〜１ｄに直交する方向に延設するとともに、線状電極１ａと線状電極１ｂに各々接続される第１のバスライン１０１ａと第２のバスライン１０１ｂが互いに平行に設けられている。さらに、複数の線状電極１ａ〜１ｄの他側に（図２の右側）、複数の線状電極１ａ〜１ｄに直交する方向に延設するとともに線状電極１ｃと線状電極１ｄに各々接続される第３のバスライン１０１ｃと第４のバスライン１０１ｄとが互いに平行に設けられている。
【００２２】
また、基板１０２の一面１０２ａ上に設けられた複数の線状電極１ａ〜１ｄを覆ってカバーフィルム１０３が設けられ、さらにカバーフィルム１０３を覆って摺動構造膜１０４が設けられている。
【００２３】
ところで、基板１０２は、例えば、２５μｍの厚さを有する。この基板１０２に用いられる素材としては、例えば、ポリイミド、ガラスエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥＴ−Ｇ（テレフタル酸−シクロヘキサンジメタノール−エチレングリコール共重合体）、PEN（ポリエチレンナフレタート）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＡ（ポリアミド）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルフイド）、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、ポリスチレン系、ＡＢＳ、ポリアクリル酸エステル、ポリエチレン、ポリウレタン等が、選択される。特にPENは高耐熱性、高強度であり好ましい。
【００２４】
また、上述のように、複数の線状電極１ａ〜１ｄは、基板１０２の一面１０２ａ上に各々独立して設けられ、互いに平行に等間隔で櫛歯状に繰り返し配置されているが、この線状電極１ａ〜１ｄは、例えば、配線ピッチが０．３ｍｍ以下に設定され、また、この線状電極１ａ〜１ｄは、その厚さは、例えばＰＥＴ基板上に電極材としてＩＴＯ（酸化インジウムスズ）を形成する場合では１，５００Å程度を有する（図２および図３参照）。
【００２５】
また、２本の第１、第２のバスライン１０１ａ、１０１ｂは、各々帯状をなし、上述のように線状電極１ａ〜１ｄの一側（図２の左側）に、設けられている。
【００２６】
このうち第１のバスライン１０１ａは、基板１０２の一面（上面）１０２ａに設けられ、この第１のバスライン１０１ａは、線状電極１ａに電気的に接続されている。
【００２７】
また、第２のバスライン１０１ｂは、基板１０２の他面（下面）１０２ｂに設けられ、線状電極１ｂに電気的に接続されている。また、基板１０２には、基板１０２を貫通し、基板１０２の他面１０２ｂに設けられた第２のバスライン１０１ｂに接続されるスルーホール配線１ｂ２が設けられている。さらに、基板１０２の一面１０２ａに、線状電極１ｂの一側とスルーホール配線１ｂ２とを接続するパッド電極１ｂ１が設けられている。
【００２８】
これにより、第２のバスライン１０１ｂは、線状電極１ｂに電気的に接続される。
【００２９】
また、２本の第３、第４のバスライン１０１ｃ、１０１ｄは、各々帯状をなし、上述のように線状電極１ａ〜１ｄの他側（図２の右側）に、設けられている。
【００３０】
また、第３のバスライン１０１ｃは、基板１０２の一面（上面）１０２ａに設けられ、線状電極１ｃに電気的に接続されている。
【００３１】
また、第４のバスライン１０１ｄは、基板１０２の他面（下面）１０２ｂに設けられ、線状電極１ｄに電気的に接続されている。ここで、基板１０２には、基板１０２を貫通し、基板１０２の他面１０２ｂに設けられた第４のバスライン１０１ｄと接続されるスルーホール配線１ｄ２が設けられている。そして、基板１０２の一面（上面）１０２ａに、線状電極１ｄの一側とスルーホール配線１ｄ２とを接続するパッド電極１ｄ１が設けられている。
【００３２】
これにより、第４のバスライン１０１ｄは、線状電極１ｄに電気的に接続されている。
【００３３】
次に、図３により、固定子１のカバーフィルム１０３および摺動構造膜１０４について詳述する。図３に示すように、カバーフィルム１０３は、基板１０２上に複数の線状電極１ａ〜１ｄを覆うように設けられている。このカバーフィルム１０３は、例えば、１２．５μｍの厚さを有する。このカバーフィルム１０３に用いられる素材としては、例えば、ポリイミドが選択される。
【００３４】
また、摺動構造膜１０４は、カバーフィルム１０３上に設けられている。この摺動構造膜１０４は、移動子２の下面（後述の樹脂基板２ａの下面）に対して摺動性を有する。この摺動構造膜１０４は、例えば、数ｎｍの厚さを有する。この摺動構造膜１０４に用いられる素材としては、例えば、シリコンが選択される。
【００３５】
なお、線状電極（駆動電極）１ａ〜１ｄの上面から抵抗体膜２ｂの帯電面（下面）までの距離ｄは、例えば、３０μｍ以上、１５０μｍ以下に設定される。
【００３６】
次に、図１および図２により移動子２について詳述する。図１および図２に示すように、移動子２は、固定子１上に配置されている。この移動子２は、図３に示すように、固定子１に対向して設けられた樹脂基板２ａと、樹脂基板２ａ上に設けられた抵抗体膜２ｂとを有している。
【００３７】
このうち樹脂基板２ａは、固定子１に対向して接触するように配置される。この樹脂基板２ａは、例えば、５０μｍ程度の厚さを有する。
【００３８】
この樹脂基板２ａに用いられる素材としては、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥＴ−Ｇ（テレフタル酸−シクロヘキサンジメタノール−エチレングリコール共重合体）、PEN（ポリエチレンナフレタート）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＡ（ポリアミド）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルフイド）、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、ポリスチレン系、ＡＢＳ、ポリアクリル酸エステル、ポリエチレン、ポリウレタン等が、選択される。特に、PENは高耐熱性、高強度であり好ましい。
【００３９】
抵抗体膜２ｂは、上述のように、樹脂基板２ａ上に設けられ、この抵抗体膜２ｂは、例えば、１μｍ程度の厚さを有する。また、抵抗体膜２ｂは、例えば、１０１１〜１０１３Ω／□の範囲の表面抵抗値を有する。
【００４０】
ここで、図４は、鎖状のカーボンナノチューブの観察写真である。また、図５は、多層プレート状のカーボンナノチューブ（CNT）の観察写真である。また図６は、多層プレート状のカーボンナノチューブ（CNT）のモデル図である。
【００４１】
抵抗体膜２ｂは、例えば、図４に示すような鎖状（ファイバー状、針状、網目状、または、ネットワーク状とも称される）または図５、図６に示すような多層プレート状のＡＴＯおよびカーボンナノチューブのうち少なくとも一方と、これらＡＴＯまたはカーボンナノチューブを結合させるバインダと、からなる材料を含む。
【００４２】
バインダとしては、例えば、ポリエステルまたはポリプロピレン等の吸湿性が低い樹脂で構成を用いることができる。これにより、アクリル樹脂等と比べて、湿度変化による表面抵抗値の変化が小さくなり、移動子の安定した動作を図ることができる。
【００４３】
なお、抵抗体膜２ｂは、可能であれば、エマルジョン化剤、分散剤（界面活性剤）を含んでいないことが望ましい。
【００４４】
また、抵抗体膜２が鎖状または多層プレート状のＡＴＯおよびカーボンナノチューブのうち少なくとも一方を含むことの評価方法には、例えば、透過型電子顕微鏡（Transmission Electron Microscope; TEM）による評価が適用される。
【００４５】
次に、以上のような構成を有する本実施の形態の作用、すなわち、静電アクチュエータ１００の動作について説明する。
【００４６】
まず、図２に示すように、信号ａ〜ｄは、図示しない駆動回路から静電アクチュエータ１００に入力される。このとき、各信号ａ〜ｄは、バスライン１０１ａ〜１０１ｄ、スルーホール配線１ｂ２、１ｄ２、および、パッド電極１ｂ１、１ｄ１を介して、線状電極１ａ〜１ｄに、それぞれ印加される。
【００４７】
ここで、図７は、線状電極１ａ〜１ｄに印加される信号ａ〜ｄの波形の一例を示す波形図である。なお、図７では、信号ａ〜ｄが矩形波の場合について示しているが、信号ａ〜ｄが正弦波である場合も同様の位相関係になる。
【００４８】
図７に示すように、隣接する線状電極１ａ、１ｂに入力される２つの信号ａ、ｂは、４分の１周期だけずれている。同様に、隣接する線状電極１ｂ、１ｃに入力される２つの信号ｂ、ｃは、４分の１周期だけずれている。同様に、隣接する線状電極１ｃ、１ｄに入力される２つの信号ｃ、ｄは、４分の１周期だけずれている。
【００４９】
これにより、線状電極１ａと線状電極１ｃには、各々位相が半周期ずれた信号ａ、ｃが入力される。また、線状電極１ｂと線状電極１ｄには、各々位相が半周期ずれた信号ｂ、ｄが入力される。
【００５０】
この場合、移動子２の抵抗体膜２ｂが、線状電極１ａ〜１ｄに印加される信号ａ〜ｄに応じて帯電する。そして、信号ａ〜ｄの電圧が変化することにより、移動子２の帯電した部分が放電する前に、移動子２が固定子１上を線状電極１ａ〜１ｄに垂直な方向に、移動する（図２）。
【００５１】
なお抵抗体膜の表面抵抗値が低い場合は、信号a〜dの電圧変化で移動する前に放電し動かず、表面抵抗値が高い場合は帯電しにくいため動かない不具合が発生する。
【００５２】
次に、図８および図９を用いて、移動子の移動特性と湿度との関係について検討する。この移動子の移動特性と湿度との関係を調べることにより、移動子の動作の経時的な安定度を知ることができる。なお、図８および図９の例では、移動特性として、移動子の固定子に対する相対的な移動距離を測定している。
【００５３】
ここで、図８は、本発明に係る静電アクチュエータが置かれた雰囲気の湿度と、移動子の固定子に対する相対的な移動距離との関係を示す図である。また、図９は、比較例である従来の静電アクチュエータが置かれた雰囲気の湿度と、移動子の固定子に対する相対的な移動距離との関係を示す図である。
【００５４】
なお、図８および図９において、縦軸の移動距離は、移動子の固定子に対する相対的な規定の移動距離（４０ｍｍ）を１００として、正規化されている。また、評価サンプルとして、５０μｍ厚の基板（ＰＥＴ）上に０．７±０．３μｍの抵抗体膜が成膜されて構成され、１０ｃｍ×１０ｃｍの矩形の形状を有する移動子を用いている。また、図８の例では、移動子の抵抗体膜に、鎖状のＡＴＯを用いている。また、図９の比較例では、移動子の抵抗体膜に、粒状のＡＴＯを用いている。
【００５５】
図８および図９に示すように、湿度が２０％から５０％の範囲では、鎖状のＡＴＯを含む抵抗体膜を有する移動子（本発明）と、粒状のＡＴＯを含む抵抗体膜を有する移動子（比較例）とは、同様に規定の移動距離を移動することができる。
【００５６】
そして、湿度が５０％を超えた場合に、両者共に、移動特性が劣化する。しかし、鎖状のＡＴＯを含む抵抗体膜を有する移動子（本発明）の方が、粒状のＡＴＯを含む抵抗体膜を有する移動子（比較例）よりも、移動特性の劣化が小さい。
【００５７】
このように、鎖状のＡＴＯを含む抵抗体膜を有する移動子（本発明）は、粒状のＡＴＯを含む抵抗体膜を有する移動子（比較例）よりも、移動特性に対する湿度変化の影響が小さいと考えられる。
【００５８】
次に、図１０を用いて、移動子の表面抵抗値の経時変化について検討する。移動子の表面抵抗値の経時変化を調べることにより、移動子の動作の経時的な安定度を知ることができる。図１０は、鎖状のＡＴＯを含む移動子（本発明）の表面抵抗値の経時変化と、粒状のＡＴＯを含む移動子（比較例）の表面抵抗値の経時変化とを示す図である。なお、図１０において、評価サンプルとして、１００μｍ厚の基板（ＰＥＴ）上に０．７±０．３μｍの抵抗体膜が成膜されて構成され、１０ｃｍ×１０ｃｍの矩形の形状を有する移動子を用いている。保存方法は実際に即し倉庫内に放置（湿度約４０〜８０％、温度２０〜３５℃）とし、また測定時の湿度は、５０±５％であり、温度は、２２±１℃である。
【００５９】
図１０に示すように、鎖状、粒状ともパーコレーションの閾値が１０１２Ω／□付近にあるため変化は大きいが、特に粒状のＡＴＯを含む移動子（比較例）の表面抵抗値は、評価サンプルの形成から８週間程度で、２．８×１０１２Ω／□から２．６×１０１１Ω／□に大きく低下（約１０分の１に変化）する。すなわち、粒状のＡＴＯを含む抵抗体膜は、粒子がクラスターを形成するなど導通を得るには比較的多量に必要であり、抵抗体膜を形成する粒子間の隙間が狭く環境中の水分や異物が付着した影響を受け易いため、表面抵抗値が大きく低下する。
【００６０】
一方、鎖状のＡＴＯを含む移動子（本発明）の表面抵抗値は、評価サンプルの形成から８週間程度で、１．３×１０１２Ω／□から２．８×１０１２Ω／□に変化（約２倍に変化）する（図１０）。これは鎖状で長いため導通が取り易く、比較的少量で導通が得られる事により、抵抗体膜中の隙間が広く環境中の水分や異物などの影響を受け難いためと考えられる。  
このように、粒状のＡＴＯを含む移動子（比較例）は、時間経過により、表面抵抗値（抵抗体膜の抵抗値）が大きく変化する。そして、抵抗体膜の抵抗値が低下すると、移動子の抵抗体膜が線状電極に帯電されても放電し易くなり、移動子を安定して動作させることができなくなる。さらに、表面抵抗値（抵抗体膜の抵抗値）が大きく変化すると、抵抗体膜の表面抵抗値を目標値に設定するのが難しく、歩留りが低下する。
【００６１】
これに対し、鎖状のＡＴＯを含む移動子（本発明）は、時間経過による水分や異物による特性変化や変質が起こりにくいので、表面抵抗値の変化が小さく、移動子の安定した動作を図ることができる。
【００６２】
また、鎖状のＡＴＯを抵抗体膜の材料として採用することにより、少ないＡＴＯの量で抵抗体膜の所望の特性（例えば、１０１２Ω／□程度の表面抵抗値）を得ることができるので、静電アクチュエータの製造コストを下げることができる。さらに、透明度がより高くでき意匠性が良い。
【００６３】
一方、移動子の抵抗体膜がカーボンナノチューブを含む場合も、従来技術と比較して、湿度変化や経時変化に対して表面抵抗値の変化が小さくなる。したがって、この場合も、移動子の安定した動作を図ることができる。カーボンナノチューブも鎖状ＡＴＯと同様に長い構造を有し、抵抗体膜中の隙間が広いため環境中の水分や異物の影響が少ない。
【００６４】
なお、粒子状のＡＴＯやカーボンナノチューブは凝集し易く攪拌しても分散しない問題があり、表面抵抗値が低下したり、表面抵抗値の面内バラつきが大きくなったりする問題がある。凝集で表面抵抗値が低下した場合、バインダを少量づつ加え調整しようとしても急に表面抵抗値が上昇するなど調整は困難となる。
【００６５】
これに対し、鎖状の場合は凝集しにくいため、長期保存した場合でも攪拌すれば表面抵抗値を所定値に調整し易く面内バラつきも小さい。粒子状では約１ヶ月で凝集のため使用不可となったが、鎖状では３ヶ月を経過しても攪拌すれば使用できた。
【００６６】
次に本発明に係る静電アクチュエータの移動子の特性を、酸化スズを含む抵抗体膜を有する一般的な移動子との比較において説明する。
【００６７】
ここで、図１１は、比較例の静電アクチュエータにおいて、酸化スズを含む抵抗体膜を有する移動子の表面抵抗値と、湿度と、の関係を示す図である。なお、評価サンプルとして、１００μｍ厚の基板（ＰＥＴ）上に０．７±０．３μｍの抵抗体膜が成膜されて構成された移動子を用いている。
【００６８】
図１１に示すように、湿度が５０％から８０％に上昇することにより、抵抗体膜の表面抵抗値が、２０分の１倍〜３０分の１倍に変化する。このように、抵抗体膜の抵抗値が変化すると、移動子の抵抗体膜と線状電極に帯電されても放電し易くなり移動子を安定して動作させることができなくなる。さらに、表面抵抗値（抵抗体膜の抵抗値）が大きく変化すると、抵抗体膜の表面抵抗値を目標値に設定するのが難しく、歩留りが低下する。
【００６９】
図１１に示す比較例としての静電アクチュエータの移動子に対して、本発明に係る静電アクチュエータの移動子は、既述のように、固定子に対向して設けられた樹脂基板と、樹脂基板上に設けられた抵抗体膜と、を有し、この抵抗体膜は、鎖状（ファイバー状、針状、網目状、または、ネットワーク状とも称される）または多層プレート状のＡＴＯ、または、カーボンナノチューブの何れか１つと、バインダと、からなる材料を含む。
【００７０】
これにより、湿度変化による移動子の抵抗体膜の抵抗値の変化が抑制され、移動子を安定して動作させることができる。
【００７１】
さらに、カーボンナノチューブを抵抗体膜の材料として採用することにより、少ないカーボンの量で抵抗体膜の所望の特性（例えば、１０１２Ω／□程度の表面抵抗値）を得ることができるので、静電アクチュエータの製造コストを下げることができる。さらに、透明度がより高くでき意匠性が良い。なお、抵抗体膜におけるカーボンの含有量を少なくすることができるので、水分が抵抗体膜の隙間に入っても抵抗値に対する影響が小さいと考えられる。
【００７２】
また、既述のように、鎖状または多層プレート状のＡＴＯおよびカーボンナノチューブを採用する何れの場合にも、バインダには、ポリエステルやポリプロピレン等の吸湿性が少ない樹脂を用いるため、より湿度変化の影響を低減することができる。
【００７３】
以上のように、本実施例に係る静電アクチュエータの移動子によれば、移動子の動作特性に対する湿度変化の影響を低減することができる。
【符号の説明】
【００７４】
１  固定子
１ａ〜１ｄ  線状電極
１ｂ１、１ｄ１  パッド電極
１ｂ２、１ｄ２  スルーホール配線
２  移動子
２ａ  樹脂基板
２ｂ  抵抗体膜
１００  静電アクチュエータ
１０１ａ  第１のバスライン
１０１ｂ  第２のバスライン
１０１ｃ  第３のバスライン
１０１ｄ  第４のバスライン
１０２  基板
１０３  カバーフィルム
１０４  摺動構造膜
ａ〜ｄ  信号
【図１】
0005560838.tif 000002
【図２】
0005560838.tif 000003
【図３】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図４】
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【図５】
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