(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
殺菌作用を有する２００〜３５０ｎｍの波長の深紫外線に対する透過性を有する材料で周囲が構成された、流体からなる被殺菌体が流通するための流路と、該流路の外部に配置され、殺菌作用を有する前記深紫外線を出射する光源と、を有し、前記流路内を流通する被殺菌体に該光源から出射する前記深紫外線を照射することにより殺菌を行う紫外線殺菌装置であって、
前記光源は、円筒状若しくは多角柱状の基体の側面上に複数の“深紫外線を発光する紫外線発光素子”を、各紫外線発光素子の光軸が前記円筒状若しくは多角柱状の基体の中心軸を通るように配置して、前記深紫外線が前記中心軸に対して放射状に出射されるようにした紫外線発光素子配置基体と、深紫外線透過性材料から形成されるカバーと、を有し、当該カバーは、前記紫外線発光素子配置基体を覆うと共に内部に不活性ガス又は乾燥空気を封入するようにして前記紫外線発光素子配置基体に気密に装着されており、前記円筒状若しくは多角柱状の基体の内部に冷却用媒体用流路を形成して当該冷却用媒体用流路に冷却用媒体を流通させるようにした深紫外線発光モジュールからなり、
前記紫外線殺菌装置は、長楕円反射ミラー又は方物面反射ミラーの焦点軸上に前記光源を配置して、前記光源から放射状に出射される前記深紫外線を集光して出射する集光深紫外線出射ユニットを有し、
該集光深紫外線出射ユニットから出射される集光された前記深紫外線を前記被殺菌体に照射するようにしたことを特徴とする紫外線殺菌装置。
【請求項２】
前記流路の内部に乱流を発生させる機構を有する請求項１に記載の紫外線殺菌装置。
【請求項３】
前記集光深紫外線出射ユニットを複数有し、これら集光深紫外線出射ユニットを前記流路の周囲に配設し、多方向から前記被殺菌体に集光された前記深紫外線を照射するようにしたことを特徴とする請求項１又は２に記載の紫外線殺菌装置。
【請求項４】
厚さ１ｃｍの被照射体に殺菌作用を有する２００〜３５０ｎｍの波長の深紫外線を照射したときにおける透過深紫外線強度の照射深紫外線強度に対する比の百分率｛（透過深紫外線強度／照射深紫外線強度）×１００（％）｝で定義される紫外線透過率が５０％以下である被殺菌体の殺菌を行なうための殺菌装置である請求項１乃至３のいずれか一に記載の紫外線殺菌装置。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれか一に記載の紫外線殺菌装置を用いて、厚さ１ｃｍの被照射体に殺菌作用を有する２００〜３５０ｎｍの波長の深紫外線を照射したときにおける透過深紫外線強度の照射深紫外線強度に対する比の百分率｛（透過深紫外線強度／照射深紫外線強度）×１００（％）｝で定義される紫外線透過率が５０％以下である被殺菌体の殺菌を行なうことを特徴とする殺菌方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、新規な紫外線殺菌装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
２００〜３５０ｎｍの波長を有する深紫外線には殺菌効果があることが知られており、このような深紫外線を照射することにより、殺菌を行なう紫外線殺菌装置が実用化されている。紫外線殺菌装置に用いられる光源としては、低圧（約０．１Ｐａ）の水銀蒸気の放電によって発生する２５３．７ｎｍの波長の光（水銀の共鳴線）を放射する低圧水銀ランプ（所謂、殺菌ランプ）が一般的であり、該殺菌ランプは、調理室、病院、薬品工場などで、水や粉体、容器などの殺菌用として、広く使用されている。
【０００３】
また、近年は、水銀ランプに比べて寿命が長く、消費電力も低い深紫外線発光ダイオード（以下、深紫外線ＬＥＤともいう。）をモジュール化し、それを光源として使用した紫外線殺菌装置が開発されている。
【０００４】
このような深紫外線ＬＥＤを用いた紫外線殺菌装置を用いて水などの流体を殺菌する場合には、効率の観点から被処理体となる流体を流通させながら深紫外線照射を行なうことが一般に行なわれており、そのような方式の殺菌装置としては次のような装置が知られている。
【０００５】
すなわち、被殺菌体となる流体中に光源を配置して深深紫外線の照射を行なうタイプの装置として、被処理体の流入部及び流出部を備えた処置槽の内部に、表面に複数の深紫外線ＬＥＤを配置するとともに該深紫外線ＬＥＤを水密状態で覆う保護カバーをそれぞれ備えた第１伝熱板及び第２伝熱板の裏面同士を、第１伝熱板の深紫外線ＬＥＤと第２伝熱板の深紫外線ＬＥＤとが背中合わせに重なり合わない状態で組み合わせたＬＥＤモジュールを配置した装置が知られている（特許文献１参照）。また、被殺菌体が流れる流路の外側に光源を配置して深紫外線照射を行なうタイプの装置として、屈曲する石英ガラスからなる流路に挟まれる位置に光源が設置され、流路を流れる被殺菌体によって光源が冷却されるようにした装置が知られている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−１１５７１５号公報
【特許文献２】特開２０１０−１９４４１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、深紫外線ＬＥＤから放射される深紫外線の強度は殺菌ランプから放射される深紫外線の強度と比べて著しく低いため、十分な殺菌を行なうためには、多数の深紫外線ＬＥＤを並べて配置し、被殺菌体の単位量あたりの照射時間が長くなるような工夫が必要であり、比較的多量の被殺菌体の殺菌を効率的に行うには限界があった。たとえば、前記特許文献１及び２に記載されている装置では、光源となるモジュールにおいて深紫外線ＬＥＤは平面状に並べて配置されるため、必要な照射量を確保するためにモジュール自体が大面積化するばかりでなく、被殺菌体の単位量あたりの照射時間を長くするために、特許文献１に示される装置では処理槽内に設置するモジュールの数を多くする必要があり、特許文献２に示される装置では流路長を長くする必要があった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、光源となるモジュールにおいて、その内部空間をより有効に利用できるように深紫外線ＬＥＤを配置すると共に、該光源から放射される深紫外線を有効に集光する集光装置と組み合わせることにより上記課題を解決したものである。
【０００９】
即ち、本発明は、殺菌作用を有する２００〜３５０ｎｍの波長の深紫外線に対する透過性を有する材料で周囲が構成された、流体からなる被殺菌体が流通するための流路と、該流路の外部に配置され、殺菌作用を有する前記深紫外線を出射する光源と、を有し、前記流路内を流通する被殺菌体に該光源から出射する前記深紫外線を照射することにより殺菌を行う紫外線殺菌装置であって、前記光源は、円筒状若しくは多角柱状の基体の側面上に複数の“深紫外線を発光する紫外線発光素子”を、各紫外線発光素子の光軸が前記円筒状若しくは多角柱状の基体の中心軸を通るように配置して、前記深紫外線が前記中心軸に対して放射状に出射されるようにした紫外線発光素子配置基体と、深紫外線透過性材料から形成されるカバーと、を有し、当該カバーは、前記紫外線発光素子配置基体を覆うと共に内部に不活性ガス又は乾燥空気を封入するようにして前記紫外線発光素子配置基体に気密に装着されており、前記円筒状若しくは多角柱状の基体の内部に冷却用媒体用流路を形成して当該冷却用媒体用流路に冷却用媒体を流通させるようにした深紫外線発光モジュールからなり、前記紫外線殺菌装置は、長楕円反射ミラー又は方物面反射ミラーの焦点軸上に前記光源を配置して、前記光源から放射状に出射される前記深紫外線を集光して出射する集光深紫外線出射ユニットを有し、該集光深紫外線出射ユニットから出射される集光された前記深紫外線を前記被殺菌体に照射するようにしたことを特徴とする紫外線殺菌装置である。
【００１０】
上記本発明の装置においては、前記流路の内部に乱流を発生させる機構を有することが好ましい。
【００１２】
上記態様の本発明の装置においては、前記集光紫外線出射ユニットを複数有し、これら集光紫外線出射ユニットを前記流路の周囲に配設し、多方向から前記被殺菌体に集光された前記紫外線を照射することが特に好ましい。
【００１３】
本発明の装置は、厚さ１ｃｍの被照射体に殺菌作用を有する紫外線を照射したときにおける透過紫外線強度の照射紫外線強度に対する比の百分率｛（透過紫外線強度／照射紫外線強度）×１００（％）｝で定義される紫外線透過率が５０％以下である被殺菌体の殺菌を行なうための殺菌装置であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の紫外線殺菌装置では、複数の“殺菌作用を有する紫外線（深紫外線）を発光する紫外線発光素子（深紫外線発光素子）”からなる光源と、各紫外線発光素子から出射される前記紫外線を集光する集光装置と、を組み合わせて使用することにより、集光により高強度化された深紫外線を被殺菌体に照射することができるので、効率よく殺菌を行なうことができる。また、本発明の紫外線殺菌装置では、被殺菌体は流路内を流通し、光源や集光装置は該流路の外部に配置されるので装置のメンテナンスが容易である。
【００１５】
本発明の紫外線殺菌装置に依れば、例えば前記定義に従う紫外線透過率が５０％以下と低い被殺菌体の殺菌を行い、流路の外側から照射した紫外線が流路中心部を流れる被殺菌体に届き難い場合でも、前記流路の内部に乱流を発生させる機構を設けることにより、該中心部を流れる被殺菌体は、乱流により流路壁面の近傍を流れるようになるため、紫外線照射領域の長さを適切にすれば、被殺菌体に均一に紫外線を照射することができ、確実に殺菌を行なうことができる。
【００１６】
本発明の紫外線殺菌装置において、光源と集光装置の組み合わせを前記したような「集光紫外線出射ユニット」とした場合には、長片が長い長方形状を有する照射領域であって、該照射領域おける紫外線強度は高くかつ均一である紫外線照射領域を形成して、紫外線照射をすることができるので、装置のコンパクト化を図ることができる。さらに、前記集光紫外線出射ユニットの配置の仕方によって該照射領域の配置を自由に設定することができるので、例えば、該集光紫外線出射ユニットを前記流路の周囲に複数配設し、多方向から前記被殺菌体に集光された前記紫外線を照射することにより、より効率的に殺菌を行なうことができる。また、該集光紫外線出射ユニットを直列に並べることにより紫外線殺菌領域を長くすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本図は、本発明の紫外線殺菌装置で光源として好適に使用できる紫外線発光モジュールの横断面及び縦断面を示す図である。
【図２】本図は、代表的な本発明の紫外線発殺菌置の横断面図である。
【図３】本図は、代表的な本発明の紫外線発殺菌置の側面図である。
【図４】本図は、別の本発明の紫外線発殺菌置の横断面図である。
【図５】本図は、更に別の本発明の紫外線発殺菌置の横断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の紫外線殺菌装置は、殺菌作用を有する紫外線（深紫外線）に対する透過性を有する材料で周囲が構成された、流体からなる被殺菌体が流通するための流路と、該流路の外部に配置され、殺菌作用を有する紫外線を出射する光源と、を有し、前記流路内を流通する被殺菌体に該光源から出射する前記紫外線を照射することにより殺菌を行なうものであり、前記光源は、円筒状若しくは多角柱状の基体の側面上に複数の“深紫外線を発光する紫外線発光素子”を、各紫外線発光素子の光軸が前記円筒状若しくは多角柱状の基体の中心軸を通るように配置して、前記深紫外線が前記中心軸に対して放射状に出射されるようにした紫外線発光素子配置基体と、深紫外線透過性材料から形成されるカバーと、を有し、当該カバーは、前記紫外線発光素子配置基体を覆うと共に内部に不活性ガス又は乾燥空気を封入するようにして前記紫外線発光素子配置基体に気密に装着されており、前記円筒状若しくは多角柱状の基体の内部に冷却用媒体用流路を形成して当該冷却用媒体用流路に冷却用媒体を流通させるようにした深紫外線発光モジュールからなり、前記紫外線殺菌装置は、長楕円反射ミラー又は方物面反射ミラーの焦点軸上に前記光源を配置して、前記光源から放射状に出射される前記深紫外線を集光して出射する集光深紫外線出射ユニットを有し、該集光深紫外線出射ユニットから出射される集光された前記深紫外線を前記被殺菌体に照射するようにしたことを特徴とする。
【００１９】
以下、本発明の紫外線殺菌装置について図面を参照して説明する。
【００２０】
図１には、集光紫外線出射ユニット１３０において使用する、紫外線発光モジュール１１０の（Ｘ−Ｘ´面で切断したときの）横断面図および縦断面図を示した。これら図に示されるように、紫外線発光モジュール１１０は円筒状基体１１１の表面上に複数の“殺菌作用を有する紫外線を出射する紫外線発光素子”（深紫外線発光素子とも言う。）１１２が整列配置されており、該円筒状基体の内部には冷却媒体用流路１１３が形成されている。また、紫外線発光素子１１２が搭載された円筒状基体１１１は、石英やサファイアなどの紫外線透過性材料から形成されるカバー１１６で覆われている。該カバー１１６は封止剤やパッキン、ｏ−リング等のシール部材１１７を用いて気密又は水密に円筒状基体に装着され、その内部には窒素などの不活性ガス、乾燥空気などのガスが封入されている。また、カバー内部には、カバー内部の水分量（湿度）を低く保つために乾燥剤（図示せず）を入れておいてもよい。こうすることにより紫外線発光素子の耐久性を高くすることができる。図には、石英管をカバーとして用いその内部に紫外線発光素子が搭載された円筒状基体を挿入した態様を示した。
【００２１】
深紫外線発光素子１１２としては、２００〜３５０ｎｍの波長を有する深紫外線、好ましくは２４０〜２９０ｎｍ波長を有する深紫外線を出射するＬＥＤ（深紫外線ＬＥＤ）等の素子を使用する。深紫外線ＬＥＤは、素子がサブマウントに搭載された状態またはパッケージに収容された状態で配置され、更に一定方向に向かって紫外線が出射されるようにされていることが好ましい。なお、図示しないが、サブマウント又はパッケージには、外部から前記深紫外線発光素子に電力を供給するための配線や深紫外線発光素子を正常に作動させるための回路等が形成されており、該配線や回路への電力の供給は円筒状基体１１１の表面上又は内部に形成された配線を介して行なわれるようになっている。
【００２２】
円筒状基体１１１は、深紫外線発光素子１１２を固定・保持するための支持体として機能するほか、ヒートシンクとしての機能も有し、内部の冷却媒体用流路１１３に冷却水や冷却用エアーなどの冷却媒体１１８を流通することにより紫外線発光素子からの放熱による温度上昇を防止して、素子の安定作動を可能にしたり、素子寿命を長くしたりすることが可能となる。
【００２３】
本発明では、後述するように円筒状基体１１１の表面上に多数の深紫外線発光素子が密に搭載されるため、深紫外線発光素子で発生した熱を効率よく除去することが特に重要である。そのため、円筒状基体１１１は、主として銅、アルミニウムなどの熱導電性の高い金属やセラミックスなどで構成されていることが好ましく、また、冷却媒体の接触面積を増大させるために冷却媒体用流路の内壁面には溝加工を施すことが好ましい。さらに、円筒状基体１１１を金属材料で構成する場合には、外部電源から紫外線発光素子に電力を供給するための銅線または回路との絶縁を図るための絶縁層が形成されていることが好ましい。
【００２４】
円筒状基体１１１の側面には、該基体の周方向に沿って、複数の深紫外線発光素子１１２が、各深紫外線発光素子１１２の光軸１１５が該基体１１１の中心軸１１４を通るように配置されている。その結果、深紫外線発光素子から出射される深紫外線は、該中心軸１１４に対して放射状に出射されることになる。なお、深紫外線発光素子１１２の光軸１１５とは、深紫外線発光素子から出射される光芒の中心軸を意味し、該光芒の進行方向とほぼ同義である。また、ここで、“光軸１１５が該基体１１１の中心軸１１４を通るように配置する”とは、なるべくこのような状態を実現するように配置するという意味であり、その状態から僅かに傾いていても問題はない。
【００２５】
図１には、基体の周方向に４個の深紫外線発光素子を配置した例を示したが、これに限定されるものではなく、円筒状基体１１１の外径に応じて適宜変更できる。周方向に配置する深紫外線発光素子の数は、通常３〜２０個、好ましくは４〜１２個の範囲であるが、周方向に配置する紫外線発光素子の数が多いほど出射される深紫外線の強度（光量子束密度）は高くなるので、より高強度の紫外光が必要な場合には、円筒状基体１１１の径を大きくし、上記範囲を超えて周方向に配置する深紫外線発光素子の数を多くすればよい。
【００２６】
深紫外線発光素子１１２は、図１の縦断面図に示すように円筒状基体１１１の長さ方向に列を形成するように配置することが好ましい。該長さ方向の配列長が長いほど深紫外線照射領域の長さを長くすることができる。このとき、深紫外線発光素子の配列の仕方は、紫外線照射領域における強度が均一になるように密に規則正しく配列することが好ましい。
【００２７】
図２及び図３には、前記紫外線発光モジュール１１０を用いた本発明の紫外線殺菌置１００の横断面図及び側面図を示した。該紫外線殺菌装置１００は、内面が長楕円反射ミラーからなる出射側反射ミラー１２０となっている出射側筐体１２５と、内面が長楕円反射ミラーらなる集光側反射ミラー１２３となっている集光側筐体１２６とからなる本体１５０を有し、該本体１５０の内部に前記紫外線発光モジュール１１０及び被殺菌体が流通するための流路１４０が配置されている。図に示す態様では、出射側反射ミラー１２０と集光側反射ミラー１２３とは実質的に同形状の長楕円反射ミラーであるので、本体１５０において、出射側反射ミラー１２０の集光軸１２２は集光側反射ミラー１２３の焦点軸１２４と一致し、出射側筐体１２５と集光側筐体１２６とが結合されて形成される内部空間の形状は、出射側反射ミラーの焦点軸１２１及び出射側反射ミラーの集光軸１２２（集光側反射ミラーの焦点軸１２４）の２軸をそれぞれ焦点軸とする楕円形の断面を有する柱状体となる。
【００２８】
本体１５０において出射側筐体１２５と集光側筐体筐体１２６とは互いに着脱可能に又はヒンジ等を用いて開閉可能とされていることが好ましい。また、本体１５０の図３における上下両端開口部には、紫外線が外部に漏れ出るのを防止するためのカバー（図示せず）が設けられている。
【００２９】
出射側反射ミラー１２０および集光側反射ミラー１２３の表面は、紫外線に対す反射率が大きい材質、たとえばＲｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔ等の白金族金属、Ａｌ、Ａｇ、Ｔｉ、これらの金属の少なくも一種を含む合金、又は酸化マグネシウムで構成されることが好ましく、反射率が特に高いという理由から、Ａｌ、白金族金属又は白金族金属を含む合金、又は酸化マグネシウムで形成されていることが特に好ましい。
【００３０】
紫外線殺菌装置１００において、紫外線発光モジュール１１０は、その中心軸１１４が出射側反射ミラーの焦点軸１２１と一致するように配置され、出射側反射ミラー１２０を含んでなる集光装置でもある出射側筐体１２５と紫外線発光モジュール１１０とからなる集光紫外線出射ユニット１３０を構成している。また、流路１４０は、その中心軸が出射側反射ミラーの集光軸１２２（集光側反射ミラーの焦点軸１２４）と一致するように配置される。このような位置に紫外線発光モジュール１１０および流路１４０が配置されるので、該紫外線発光モジュール１１０から放射状に出射される深紫外線は出射側反射ミラーおよび集光側反射ミラーで反射されて集光側反射ミラーの焦点軸上に収斂するように集光され、集光された深紫外線は効率的に流路１４０に照射される。このように、紫外線殺菌装置１００では、原理的には、紫外線発光モジュール１１０から放射状に出射される深紫外線の全てを集光側反射ミラーの焦点軸上に集光でき、流路１４０の方向に向かわない方向（たとえば反対方向や横方法）に出射された紫外線をも有効利用することができる。
【００３１】
流路１４０は、石英管やサファイア管のような、殺菌作用を有する紫外線に対する透過性を有する材料で周囲が構成された流路であり、その内部に流体からなる被殺菌体１６０が流通する。したがって、被殺菌体１６０には石英管壁、サファイア管壁のような周囲の隔壁を透過した深紫外線が照射され、殺菌が行なわれる。被殺菌体１６０は流体であれば特に限定されず、例えば空気などの気体、水などの液体のほか、微小な固体が少量懸濁したスラリーなどを挙げることができる。なお、被殺菌体１６０を流路１４０内に流通させるに当たっては、必要に応じて、予めフィルターや吸着層を通過させるなどの前処理を行うことが好ましい。
【００３２】
該流路１４０には、より確実な殺菌を行なうために該流路内に乱流を発生させる機構（図示せず）を設けることが好ましい。乱流発生機構としては、乱流を発生できるものであれば特に限定されず、例えば流路内または流路の入り口に設置する乱流格子、内壁面に形成する凹凸、流路内に充填する乱流発生チップ、撹拌翼をランダム回転させる乱流発生装置等を挙げることができる。被殺菌体の流れが所謂“層流”を形成する場合には、被殺菌体の種類、照射する深紫外線の強度、流路の太さなどの条件によっては、流路内の中心部を流れる被殺菌体に十分な深紫外線照射を行なうことができない可能性があるが、乱流を発生させることにより、流路の中心部を流れる被殺菌体は、流路壁面の近傍を流れるようになるため、紫外線照射領域の長さを適切にすれば、被殺菌体に均一に紫外線を照射することができ、確実に殺菌を行なうことができるようになる。このような理由から、乱流発生機構の付設は、深紫外線透過率が低い被殺菌体、例えば、厚さ１ｃｍの被照射体に殺菌作用を有する紫外線を照射したときにおける透過紫外線強度の照射紫外線強度に対する比の百分率｛（透過紫外線強度／照射紫外線強度）×１００（％）｝で定義される紫外線透過率が５０％以下、特に４０％以下であるような被殺菌体の殺菌を行う場合に有効である。また、乱流発生機構を付設することにより、流路の太さを太くしても確実な殺菌が行えるようになるので、被殺菌体の流量を増やすことができ、殺菌の効率を更に高めることもできる。なお、紫外線透過率と液相の厚さの関係については、「原田常雄、ほか：殺菌灯、東芝レビュー第６巻、第５号、ｐ２８９（１９５１）」などに記載されており、それによれば、牛乳、清酒、ビール、加糖注射液（２０％）、合成酒などの前記透過率は４０％以下となっている。
【００３３】
以上、図に示した紫外線殺菌装置１００を例に説明したが、本発明の紫外線殺菌装置は、これに限定されるものではない。たとえば、集光側反射ミラーとしては、紫外線を外部に漏らすことなく出射側反射ミラー側に反射できるものであれば、出射側反射ミラーとして用いた長楕円反射ミラーと異なる形状のものを使用することもできる。また、出射側反射ミラーとして、長楕円反射ミラーに替えて方物面反射ミラー１２０´を使用し、該方物面反射ミラー１２０´を含む集光装置と紫外線発光モジュール１１０とを組み合わせ、集光紫外線出射ユニット１３０´とすることもできる。さらに、前記集光紫外線出射ユニット１３０、或いは集光紫外線出射ユニット１３０´を複数用い、これら集光紫外線出射ユニットを前記流路１４０の周囲に配設し、多方向から前記被殺菌体に集光された前記紫外線を照射することもできる。図４および５には、流路１４０の周囲に夫々４つの集光紫外線出射ユニット１３０および集光紫外線出射ユニット１３０´を配置した紫外線殺菌装置を示した。このような配置とすることにより、被殺菌体の単位量当たり、単位時間当たりに照射できる深紫外線量を多くすることができる。
【符号の説明】
【００３４】
１００・・・紫外線殺菌装置
１１０・・・紫外線発光モジュール
１１１・・・円筒状基体
１１２・・・深紫外線発光素子
１１３・・・冷却媒体用流路
１１４・・・円筒状基体の中心軸
１１５・・・深紫外線発光素子の光軸
１１６・・・カバー
１１７・・・シール部材
１１８・・・冷却媒体
１２０・・・長楕円反射ミラーからなる出射側反射ミラー
１２０´・・方物面反射ミラーからなる出射側反射ミラー
１２１・・・出射側反射ミラーの焦点軸
１２２・・・出射側反射ミラーの集光軸
１２３・・・長楕円反射ミラーらなる集光側反射ミラー
１２４・・・集光側反射ミラーの焦点軸
１２５・・・出射側筐体
１２６・・・集光側筐体
１３０・・・集光紫外線出射ユニット（１１０及び１２０の組み合わせ）
１３０´・・集光紫外線出射ユニット（１１０及び１２０´の組み合わせ）
１４０・・・被殺菌体が流通するための流路
１５０・・・本体
１６０・・・被殺菌体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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