(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
密封された絶縁筒状真空容器内に、内端部に固定側電極を有し上記真空容器外に気密に貫通された固定側電極棒、及びこの固定側電極と接離可能な可動側電極を内端部に有し伸縮ベローズを介し上記真空容器外に気密に貫通されると共に伸縮ベローズの蛇腹部で進退自在になされた可動側電極棒を備えた真空バルブであって、上記伸縮ベローズに、上記蛇腹部を常に覆うと共にこの蛇腹部の山部に摺接する保持部材、及び上記蛇腹部の谷部に嵌め込み固定され、上記蛇腹部の伸縮動作時に上記保持部材の内周面を摺動する摺動部材を設け、上記保持部材は、上記伸縮ベローズの両端部に互いに対向して配置された第１円筒体部と第２円筒体部とで構成され、上記伸縮ベローズ内端側の第１円筒体部は、上記伸縮ベローズと共に上記真空容器側に固定され、上記伸縮ベローズ外端側の第２円筒体部は、上記伸縮ベローズと共に上記可動側電極棒に装着され進退可能にしたことを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】
上記保持部材の上記第１円筒体部と上記第２円筒体部とが対向する側の両開口部に、それぞれ上記蛇腹部の収縮時に互いに噛合し両円筒体部の筒長を伸縮する櫛状の凹凸部を互いにずらせて設けたことを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項３】
上記第１円筒体部及び上記第２円筒体部には、それぞれ互いに噛合する少なくとも３個の櫛状の凹凸部を設けたことを特徴とする請求項２に記載の真空バルブ。
【請求項４】
上記摺動部材は、複数の扇状部材で構成され、上記蛇腹部の谷部に嵌め込み固定したことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項５】
上記伸縮ベローズは、軸方向に分割された複数の蛇腹部で構成され、これら蛇腹部間を上記摺動部材で連結し一体化したことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項６】
上記第１円筒体部には、当該第１円筒体部を上記真空容器側に固定する第１支持部を設けると共に、上記第２円筒体部には、当該第２円筒体部を上記可動側電極棒側に固定する第２支持部を設けたことを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の真空バルブ。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、真空遮断器に組み込まれる真空バルブに関するもので、特に伸縮ベローズの開閉寿命に対する信頼性を高めた真空バルブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、真空バルブはより高い定格電圧へ適用が拡大されており、耐電圧性能確保のため開極距離が大きくなると共に、真空バルブの周囲のガス圧が高くなり、さらに短絡遮断や進み小電流遮断性能の確保のために開極スピードも大きくなるという傾向にある。このため、ベローズは全長が長くなり、さらに内と外との圧力差が大きくなり座屈しやすくなっている。
特許文献１では可動電極棒にフッ素樹脂からなる樹脂被覆部を設け、ベローズが横ずれして座屈が生じるのをこの樹脂被覆で抑えて防止している（特許文献１の第１図）。
【０００３】
特許文献２では、ベローズと可動ロッドの間に多孔質弾性材料で製作された自己振動抑制部材が設けられている（特許文献２の図２）。自己振動抑制部材とベローズの１つの襞との間に形成される空間が伸縮ベローズの自己振動により容積変化し、これに対応して空気の吸入・排出が発生するが、多孔質弾性材料である自己振動抑制部材が負荷として作用し空気の吸入・排出を制限する。その結果、ベローズの自己振動が減衰し座屈を抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実開昭６２−３７８４８号公報
【特許文献２】特開平７−１７６２４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の座屈防止部品は、真空バルブをロウ付けにて形成した後に組み込まれる。
この時、可動側電極棒はベローズによって真空バルブ本体に接続されているだけであり、また、大気圧によって可動電極を固定電極に押し付ける力が作用している。したがって、冶具による大きな力で可動電極棒を引き出した状態で、座屈防止冶具の位置決め、及び取り付け状況の確認を行う必要がある。また、可動電極棒とベローズ間の空間が狭いため作業性が悪い。
さらに、ベローズと可動側電極棒の間の隙間が座屈防止部品を組み込むのにちょうど良いとは限らず、隙間が大きすぎる場合は、座屈防止部品のために電極棒を無駄に太くする必要がある。一方、隙間が小さい場合は、スペース確保のためベローズを大きくする必要があり、その結果、真空バルブの径も大きくなってしまうということが生じる。
【０００６】
座屈対策としてベローズを外圧式（内側が真空で外側がガス）とすることが有効である。
しかし、真空バルブの定格電圧が高くなると、開極距離の増大のためにベローズが長くなり、さらに、開極スピードの増加によって、開極時の衝撃で伸縮ベローズ自身に発生する振動のエネルギーが増大すると、最大振幅部に局部的な応力が発生するためベローズの寿命が短くなるという問題がある。
また、真空バルブの周囲の絶縁ガスの圧力を上げて沿面耐圧を向上させ、遮断器の小型化を図ろうとすると、ベローズ内外の圧力差も大きくなって応力はいっそう増大し、ベローズの局所的な変形から座屈へと発展してしまう。
外圧式伸縮ベローズに対して、従来技術のようにベローズの内径側の可動電極棒に樹脂を設けようとすると、ロウ付け前に仕込んでおく必要があるが、樹脂はロウ付けの温度に耐えられないので適用できない。
【０００７】
ベローズは、非常に薄い金属でできているため磨耗に弱く、さらに、小さなゴミなどの粒子がベローズと座屈防止部品との間に入り込んでも傷の元となる。したがって、座屈防止部品とベローズが直接接触した状態で滑る構造は、伸縮ベローズの寿命を短くする危険がある。
【０００８】
この発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、開閉時の衝撃でベローズに発生する振動エネルギーを散逸させて伸縮ベローズの応力緩和を図ることで長寿命のベローズを得て、真空バルブの信頼性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明に係わる真空バルブは、密封された絶縁筒状真空容器内に、内端部に固定側電極を有し上記真空容器外に気密に貫通された固定側電極棒、及びこの固定側電極と接離可能な可動側電極を内端部に有し伸縮ベローズを介し上記真空容器外に気密に貫通されると共に伸縮ベローズの蛇腹部で進退自在になされた可動側電極棒を備えた真空バルブであって、上記伸縮ベローズに、上記蛇腹部を常に覆うと共にこの蛇腹部の山部に摺接する保持部材、及び上記蛇腹部の谷部に嵌め込み固定され、上記蛇腹部の伸縮動作時に上記保持部材の内周面を摺動する摺動部材を設け、上記保持部材は、上記伸縮ベローズの両端部に互いに対向して配置された第１円筒体部と第２円筒体部とで構成され、上記伸縮ベローズ内端側の第１円筒体部は、上記伸縮ベローズと共に上記真空容器側に固定され、上記伸縮ベローズ外端側の第２円筒体部は、上記伸縮ベローズと共に上記可動側電極棒に装着され進退可能にしたものである。
【発明の効果】
【００１０】
この発明の真空バルブによれば、開閉時の衝撃で伸縮ベローズに発生する振動エネルギーを、摺動部材と保持部材の摩擦で散逸させることにより伸縮ベローズの応力緩和を図ることができ、また、保持部材によって伸縮ベローズが横ずれして座屈が発生するのを防止できるので、伸縮ベローズの寿命が伸び真空バルブの信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】この発明の実施の形態１における真空バルブを示す断面図である。
【図２】この発明の実施の形態１における伸縮ベローズ８と保持部材９の部分を示す外面図である。
【図３】この発明の実施の形態１における摺動部材１１と保持部材９の一部を拡大して示す断面図である。
【図４】この発明の実施の形態２における真空バルブの摺動部材１１と保持部材９の一部を拡大して示す断面図である。
【図５】この発明の実施の形態３における真空バルブを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面にもとづいて、この発明の各実施の形態を説明する。
なお、各図間において、同一符号は同一あるいは相当部分を示す。
【００１３】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１による真空バルブを示す断面図で、図２は伸縮ベローズ８と保持部材９の外面図で、伸縮ベローズ８が伸びた状態を示し、図３は摺動部材１１と保持部材９の拡大断面図である。
【００１４】
まず、絶縁ガスを封入した収納タンク（図示せず）内に並設された真空バルブの全体構成を説明する。
図１に示す真空バルブは、内端部に固定側電極１８ａを有し真空容器外に気密に貫通され
た固定側電極棒３ａ、及びこの固定側電極と接離可能な可動側電極１８ｂを内端部に有し伸縮ベローズ８を介し真空容器外に気密に貫通されると共に伸縮ベローズの蛇腹部８ａで進退自在になされた可動側電極棒３ｂを備えたものである。
【００１５】
以下、図１〜図３にもとづいて詳述する。
円筒形状の絶縁筒２ａ、２ｂの上下両端には、薄い輪状の金属部材であるメタライズ層５が接合されている。絶縁筒２は、絶縁筒２ａ、２ｂの接合部６でアークシールド７を挟み固定する。
【００１６】
絶縁筒２ａには、固定側フランジ４を介して固定側端板１ａが固定され、固定側端板１ａの中央には、固定側電極棒３ａが貫通しその先端には固定側接点１８ａが取り付けられている。
メタライズ層５は、薄い金属で端部が尖っているため、セラミック端部は高電界となる。固定側端板１ａには、絶縁筒２ａの上端メタライズ層５の電界緩和のため固定側電界緩和シールド１９を取り付ける。
【００１７】
絶縁筒２ｂには、可動側フランジ１２が接合される。可動側フランジ１２は折れまがって段構造を持っており、電界緩和部１２ａは、アークシールド７と絶縁筒２ｂと対向する部分であるので曲率を持たせて電界緩和を図る。
伸縮ベローズカバー１２ｂは、先端が屈曲し屈曲部１２ｃを形成することで、遮断時に接点１８で発生する粒子が伸縮ベローズ８に入り込んで伸縮ベローズを損傷するのを防止する。電界緩和シールド１９は、絶縁筒２ｂの下側メタライズ層５の電界緩和を行う。
伸縮ベローズ８は、上端を後述する保持部材（第１円筒体部９１）を介して可動側フランジ１２に固定し、下端を後述する保持部材（第２円筒体部９２）を介して可動側電極棒３ｂに固定する。
【００１８】
真空バルブ内部の気密性（特に伸縮ベローズの周囲）は、以下の部材をロウ付けによって一体に封止することによって確保している。
すなわち、絶縁筒２ｂと、可動側フランジ１２のフランジ部１２ｄと、電界緩和部１２ａと、伸縮ベローズカバー１２ｂと、支持部９１ａと、伸縮ベローズ８の上端部などの部分がロウ付けによって封止される。さらに、伸縮ベローズ８の下端と、支持部９２ａと、可動側電極棒３ｂの部分も同様にロウ付けされる。
屈曲部１２ｃは、可動側電極棒３ｂとの間に若干の隙間が開いており、可動電極棒３ｂの動作時に接触しないようにする。
伸縮ベローズ８の内部と可動電極棒３ｂとのスペースは、真空に保たれており、屈曲部１２ｃと可動側電極棒３ｂとの間の隙間によって、図面上上部の真空部に通じている。
可動側電極棒３ｂの上端には、可動側接点１８ｂが取り付けられる。
以上の構造により絶縁筒２の内部、伸縮ベローズ８の内部は、高真空に維持される。
【００１９】
フランジ１７は、下端が可動側端板１ｂに固着され一体となっている。このフランジ１７は、可動側フランジ１２に溶接、あるいは可動側フランジに環状の板（図示されていない）をロウ付けしてねじ止めで固定する。
可動側端板１ｂの中央には、ガイド１４をボルト１５で固定する。これにより、可動側電極棒３ｂは、中心軸が固定され、伸縮ベローズ８の伸縮により上下にスライドするようになる。
フランジ１７と伸縮ベローズ８との間のスペースＳは絶縁ガスで満たされており、可動側端板１ｂには、穴１６が設けられている。
伸縮ベローズ８が縮んでスペースＳの体積が大きくなった時には、この穴１６を通して収納タンク側の絶縁ガスがスペースＳに入り込み、伸縮ベローズ８が伸びてスペースＳの体積が小さくなった時にはこの穴１６を通してスペースＳの絶縁ガスが放出される。
この結果、スペースＳ内の圧力変動が抑制され、伸縮ベローズ８の負担を軽減する。
【００２０】
通常の通電時は、固定側接点１８ａと可動側接点１８ｂは閉じているが、遮断時には可動側電極棒３ｂが図示されていない機構により高速で引き下げられ開極する。この時、接点間には、アークが発生し接点１８の表面から金属蒸気や粒子が発生する。そこで、金属蒸気を補足するために、接点１８の周囲を覆うように、ＳＵＳ製のアークシールド７が設けられている。
【００２１】
次に、実施の形態１における主要部の構成を説明する。
実施の形態１における主要部は、伸縮ベローズの蛇腹部８ａを常に覆うと共にこの蛇腹部の山部８ｂに摺接する保持部材９（９１、９２）、及び蛇腹部８ａの谷部８ｃに嵌め込み固定され、蛇腹部８ａの伸縮動作時に保持部材９（９１、９２）の内周面を摺動する摺動部材１１で構成されている。
【００２２】
伸縮ベローズ８は、外側が絶縁ガス、内側が真空で、このような外圧形態は真空バルブの周囲の絶縁ガスの圧力が高い場合に用いられる。（通常の真空バルブでは伸縮ベローズは外側が真空、内側が絶縁ガスという内圧形態で使用される。）
【００２３】
保持部材９は、図１に示すように伸縮ベローズ８の両端部に互いに対向して配置された一対の第１円筒体部９１、第２円筒体部９２で構成され、伸縮ベローズ８の内端側の第１円筒体部９１は、伸縮ベローズ８と共に真空容器側に固定され、伸縮ベローズ８の外端側の第２円筒体部９２は、伸縮ベローズ８と共に可動側電極棒３ｂに装着され進退自在になされている。
第１円筒体部９１は、伸縮ベローズ８の上端部に支持部９１ａを固着し、側面部９１ｂで伸縮ベローズ８の外径を覆い、支持部９１ａと側面部９１ｂとは一体化され円筒体を構成している。
第２円筒体部９２は、伸縮ベローズ８の下端部に支持部９２ａを固着し、側面部９２ｂで伸縮ベローズ８の外径を覆い、支持部９２ａと側面部９２ｂとは一体化され円筒体を構成している。なお、支持部９２ａは、可動側電極棒３ｂに密閉に固定されている。
【００２４】
また、図２に示すように、第1円筒体部９１と第２円筒体部９２とが対向する側の両開
口部には、それぞれ櫛歯状の凹凸部が互いにずらせて設けられ、櫛部９１ｃ、９２ｃが相互に並ぶことで、ぶつからないよう組み立てられている。したがって、両円筒体部９１、９２は、蛇腹部８ａが収縮する時、互いに干渉することなく噛合し両円筒体部の筒長を変える伸縮動作が行われる。
なお、図２の櫛部９１ｃ、９２ｃは、３つの凸部を持ち、３つ以上の凸部を持つようにしてもよい。
【００２５】
蛇腹部８ａの谷部８ｃに嵌め込み固定された摺動部材１１は、伸縮ベローズ８を自由長にした時の蛇腹断面形状に適合する断面形状を持つ。また、周方向に扇形形状とし、複数を組み合わせて蛇腹の全周を覆うようにする。
図３に示すように、摺動部材１１の外径Ｒ１は、伸縮ベローズ８の外径Ｒ２より大きくする。さらに、摺動部材１１の外径Ｒ１は、保持部材９（９１、９２）の内径Ｒ３と実質的に等しく、伸縮ベローズ８の伸縮に伴って摺動部材１１が移動した際に、保持部材９と接している状態のまま摺動部材１１が横滑りするようにする。
【００２６】
例えば、摺動部材１１の外径Ｒ１と保持部材９（９１、９２）の内径Ｒ３の隙間は、加工公差と伸縮ベローズの応力緩和効果を考えて0.5mm程度以下とする。
摺動部材１１の外径Ｒ１と伸縮ベローズ８の外径Ｒ２の差は、伸縮ベローズの横ずれによる座屈の防止のために1mm程度とする。
【００２７】
次に、この実施の形態１で使用する材料について説明する。
摺動部材１１と保持部材９の側面部９１ｂ、９２ｂは、焼付き防止のため異なる材料とするべきで、例えば摺動部材をSUS、保持部材９をCuとする。摺動部材１１もしくは保持
部材９の接触面にAgロウを付着させてもよい。
摺動部材１１又は円筒体部側面部９１ｂ、９２ｂをセラミック（アルミナ、窒化ケイ素）とし、ロウ付け面にメタライズ層を設けてロウ付けしてもよい。金属の母材にこれらの皮膜を設けてもよい。
【００２８】
摺動部材１１と円筒体部側面部９１ｂ、９２ｂの接触面を上記の金属材料、セラミック材料とし、それ以外の伸縮ベローズ８の横ずれを防止する部分には固体潤滑剤（例えばロウ付け温度でも安定である窒化ホウ素）の皮膜を設ける構造とすると、摺動部材１１と円筒体部側面部９１ｂ、９２ｂの摩擦による伸縮ベローズ８の振動エネルギー散逸の効果と、座屈防止のため伸縮ベローズ８が円筒体部側面部９１ｂ、９２ｂと接触しても固体潤滑剤であるため磨耗が少ないという効果が得られ、伸縮ベローズ８の寿命がさらに長くなる。  次に、この発明に至る従来構造の問題点について説明する。
【００２９】
（1）伸縮ベローズ８の端の方の蛇腹に応力が集中する点について、
開極、閉極の際の伸縮ベローズ８の動きを高速度カメラで観測すると、伸縮ベローズ８は数m/sという高速で動いた後に急に停止するため、蛇腹部８ａに粗密波が発生し往復運
動を行う。この時、伸縮ベローズ８の両端の蛇腹は、固定端となっているためにその付近で特に大きな応力が発生する。この結果、伸縮ベローズ８の端の方で亀裂が発生する。
【００３０】
従来技術は、伸縮ベローズの端から端まで同じように座屈防止冶具を設けているため、伸縮ベローズの端の応力が大きいという問題は解決されておらず、開極距離や開極スピードが増加すると振動のエネルギーは増加し、結局伸縮ベローズの端の方で亀裂が生じてしまう。
実施の形態１の構造では、図１や図３のように伸縮ベローズ８の端より少し中央寄りに摺動部材１１を設けたので、まず、粗密波が摺動部材１１を振動させ、この時、摺動部材１１と保持部材９の摩擦でエネルギーを散逸し、エネルギーを減少させた後で伸縮ベローズ８の端部に至る構造となっている。
摺動部材１１を保持部材９の櫛部９１ｃ、９２ｃよりも伸縮ベローズ８端部寄りに設けると、伸縮ベローズ８と保持部材９で囲まれた空間は密閉状態に近くなり、特に絶縁ガスの圧力が例えば0.6MPa（絶対値）と高い場合に、エアダンパーの効果が現れてくる。
本構造は以上の作用を持つため、開極距離や開極スピードが増加しても伸縮ベローズ８端部の応力は抑制され、伸縮ベローズの寿命が伸びるという効果がある。
【００３１】
（２）伸縮ベローズ８と座屈防止部品との擦れによって金属や絶縁物の粒子が発生する可能性について、
従来構造では、これらの粒子が真空バルブ外の絶縁ガス空間に移動する可能性がある。その後、粒子は開閉の振動の影響で移動し、さらに電界の作用により電界の高い沿面に付着する。この結果、耐電圧性能が低下するという問題がある。絶縁物粒子であっても部分放電を発生したり、金属粒子を巻上げるという悪影響がある。この問題は、定格電圧の高い真空遮断器で重要となる。
【００３２】
実施の形態１の構造では、伸縮ベローズ８の摺動部の周りを、フランジ１７と可動側端板１ｂで覆い、擦れによる金属や絶縁物の粒子を閉じ込める構造とした。穴１６の前に遮蔽板を設けたり、穴を下側の可動側端板１ｂではなくフランジ１７の側面に設けると、粒子の閉じ込め効果を高めることができる。
【００３３】
次に、実施の形態１の作用について説明する。
開閉時の衝撃で伸縮ベローズ８に発生する振動エネルギーを、摺動部材１１と保持部材９の摩擦で散逸させることにより、伸縮ベローズ８の応力緩和を図る。この結果、伸縮ベローズ８の寿命が伸び、真空バルブの信頼性が増すことができる。
特に、摺動部材１１を伸縮ベローズ８の端よりは中央寄りに設けることによって、段落番号００２９の（１）で述べたように、開閉の衝撃で発生する粗密波のエネルギーを減衰させ、伸縮ベローズ８の端部に発生する応力を抑制することにより、開極距離や開極スピードが増加しても伸縮ベローズ８の寿命を伸ばすことができる。
【００３４】
保持部材９の先端を櫛歯状としたので、伸縮ベローズ８の伸縮状態に関係なく全ての蛇腹の横ずれを防止する。このため伸縮ベローズ８の全長が長い場合でも座屈が防止される。
伸縮ベローズ８の摺動部の周りをフランジ１７と可動側端板１ｂで覆い、擦れによる金属や絶縁物の粒子を閉じ込める構造としたため、段落番号００３１の（２）で述べたように、粒子が真空バルブ外の絶縁ガス空間に移動することを防止し耐電圧性能を向上させる。
【００３５】
その他の構造について説明する。
伸縮ベローズ８は、可動側フランジ１２を絶縁筒２ｂの内側に折り曲げて一部が絶縁筒２ｂの中に入る構造としたので、真空バルブの全長を短くする効果がある。さらに、可動側フランジ１２にはメタライズ層５の電界緩和のための電界緩和シールド１９と、アークシールド７及び絶縁筒２ｂに対向する部位に電界緩和部１２ａを設けたので、全長を短くしても耐電圧性能は維持されるという効果がある。
【００３６】
次に、実施の形態１の製造工程について説明する。
多段ロウ付けとし、あらかじめ伸縮ベローズの蛇腹部８ａの谷部８ｃに摺動部材１１をロウ付けする。その後、冶具によって、可動側電極棒３ｂと伸縮ベローズ８、保持部材９（第１円筒体部９１、第２円筒体部９２）、可動側フランジ１２の軸心を出した状態でロウ付けする。その際、保持部材９の櫛部９１ｃ、９２ｃは、保持部材９で干渉しないよう方向に注意する。摺動部材１１と保持部材９の隙間は、このロウ付け時に決まるのでロウ付け後に確認する。
この段階で、接点１８は、大気圧の接圧が印加することによって閉極しているので、冶具を外しても軸心を出した状態を維持できる。続いて、フランジ１７と可動側端板１ｂをロウ付け一体化した部品を製造し、あらかじめロウ付けしておいた真空バルブの可動側フランジ１２に溶接またはねじ止めする（取り付け構造の詳細は図1では略されている）。
次に、ガイド１４をねじ止めする。
【００３７】
実施の形態１の真空バルブでは、以上のように開閉時の衝撃で伸縮ベローズ８に発生する振動エネルギーを、摺動部材１１と保持部材９の摩擦で散逸させることにより、伸縮ベローズ８の応力緩和を図る。さらに、保持部材９によって伸縮ベローズ８が横ずれして座屈が発生するのを防止する。この結果、伸縮ベローズ８の寿命が伸び、真空バルブの信頼性が向上するという効果がある。
【００３８】
実施の形態２．
図４は、実施の形態２による真空バルブの摺動部材１１と保持部材９の構造を示す拡大断面図である。
実施の形態１では、伸縮ベローズの蛇腹部８ａに摺動部材１１を設けたが、この実施例では伸縮ベローズ８は、軸方向に分割された複数の蛇腹部８ａ１、８ａ２で構成され、これらの蛇腹部８ａ１、８ａ２を連結し一体化する。接続部品２０は、摺動部材１１で兼用することとした。
図４では、伸縮ベローズ８の接続部の一実例として、伸縮ベローズ８の溶接部に接続部品２０を被せて強化した例を示す。接続部品２０と保持部材９の隙間や接続部品２０の外径と伸縮ベローズ８の外径の差は、実施の形態１と同じ設定とする。
他の部品構造、例えば保持部品の先端の櫛形などは実施の形態１と同じとする。
【００３９】
実施の形態２では、伸縮ベローズ８の製造段階で摺動部材１１が形成されているので、伸縮ベローズ８に摺動部材１１をロウ付けする工程を省略することができる。
伸縮ベローズ８の応力緩和と座屈防止による真空バルブの信頼性が向上するという効果は実施の形態１と同様である。
【００４０】
実施の形態３．
図５はこの実施の形態３による真空バルブを示す断面図である。
実施の形態１及び２では、保持部材９を他の部品と同時にロウ付けしたが、実施の形態３では、他の部品のロウ付け終了後に保持部材９を取り付ける形態とした。
伸縮ベローズ８に摺動部材１１を設ける点は、実施の形態１と同じである。
伸縮ベローズ８の内端側は、伸縮ベローズ固定板２２を介して可動側フランジ１２に固定する。伸縮ベローズ８の外端側は、伸縮ベローズ固定板２１によって可動側電極棒３ｂに固定する。
【００４１】
実施の形態１、２では、伸縮ベローズカバー１２ｂと伸縮ベローズ８の間に、支持部材９１ａと側面部９１ｂで構成される第１円筒体部９１を設けたが、この実施の形態３では、支持部材９１ａと側面部９１ｂを分離した。
すなわち、支持部材９１ａに相当するのが部材２１ａである。この部材２１ａは、伸縮ベローズカバー１２ｂの強度補強のために設けた補強部材である。
【００４２】
保持部材９の第１円筒体部９１は、側面部９１ｂに設けた支持部９１ａａを、可動側フランジ１２に設けたフランジ補強板２２にねじ止めすることにより固定される。
側面部９１ｂの開口側端部には、実施の形態１と同様に櫛部９１ｃを持つ。このため、支持部９１ａａは櫛部９１ｃに設けられた構造となり、支持部９１ａａとフランジ補強板２２とによって第１支持部を構成している。
【００４３】
図５は、断面図であるため中心線の右側には支持部９１ａａと櫛部９１ｃの断面が見えているが、中心線の左側には見えていない。
保持部材９の第２円筒体部９２は、支持部９２ａを可動側電極棒３ｂに固定された伸縮ベローズ固定板２１にねじ止めすることにより固定され、支持部９２ａと伸縮ベローズ固定板２１とによって第２支持部を構成している。
こちらは中心線の左側に櫛部９２ｃが見えているが、右側には見えていない。
図５は、開極状態の図であるので、第１円筒体部９１の櫛部９１ｃと第２円筒体部９２の側面部９２ｂの間、及び第２円筒体部９２の櫛部９２ｃと第１円筒体部９１の側面部９１ｂの間は、大きく開いている。
【００４４】
次に、この実施の形態３で使用する材料について説明する。
摺動部材１１と保持部材９の側面部９１ｂ、９２ｂは、焼付き防止のため異なる材料とするべきであるという点は実施の形態１と同じである。本構造では、保持部材９はロウ付け温度ほどの高温にならないので、エンジニアリングプラスチック（ＰＰＥ、ＰＣ、ＰＡ、ＰＯＭ、ＰＢＴ）で形成する。窒化ケイ素などの硬質皮膜を用いて磨耗の少ない摩擦状態としてもよい。
【００４５】
保持部材９の側面部９１ｂ、９２ｂの内、摺動部材１１と接触する面は、エンジニアリングプラスチックとし、それ以外の伸縮ベローズの横ずれを防止する部分は、固体潤滑材
料(ポリテトラフルオロエチレン、ポリエチレンなど)として一体化すれば、摺動部材１１と保持部材９の摩擦による伸縮ベローズ８の振動エネルギー散逸の効果と、伸縮ベローズ８が保持部材９と接触しても固体潤滑剤であるため磨耗が少ないという効果が得られ、伸縮ベローズ８の寿命がさらに長くなる。
【００４６】
次に、実施の形態３の製造工程について説明する。
他の部品のロウ付け後、下端から保持部材９の第１円筒体部９１を挿入し、支持部９１ａａをフランジ補強板２２に固定する。
続いて、第２円筒体部９２を下端から挿入し支持部９２ａを伸縮ベローズ固定板２１にねじ止めする。
その後、フランジ１７と可動側端板１ｂを一体化した部品をフランジ補強板２２にねじ止めする。最後にガイド１４をボルト１５で固定する。
【００４７】
実施の形態３では、保持部材９を後から取り付けるようにしたので、ロウ付け時に軸心出しをする部品の数が減り冶具が簡略化される。保持部材９としてプラスチックなど適用できる材料が増えるので、開極距離や開極スピードに合せて最適な材料を選ぶことができる。
【符号の説明】
【００４８】
１a  固定側端板
１ｂ  可動側端板
２  絶縁筒
３ａ  固定側電極棒
３ｂ  可動側電極棒
４  固定側フランジ
５  メタライズ層
６  絶縁筒接合部
７  アークシールド
８  伸縮ベローズ
８ａ  蛇腹部
８ａ１  蛇腹部
８ａ２  蛇腹部
８ｂ  山部
８ｃ  谷部
９  保持部材
９１  第１円筒体部
９１ａ  支持部
９１ａａ  支持部
９１ｂ  側面部
９１ｃ  櫛部
９２  第２円筒体部
９２ａ  支持部
９２ｂ  側面部
９２ｃ  櫛部
１１  摺動部材
１２  可動側フランジ
１２ａ  電界緩和部
１２ｂ  伸縮ベローズカバー
１２ｃ  屈曲部
１２ｄ  フランジ部
１４  ガイド
１５  ボルト
１６  穴
１７  フランジ
１８  接点
1８ａ  固定側接点
１８ｂ  可動側接点
１９  電界緩和シールド
２０  接続部品
２１  伸縮ベローズ固定板（第２支持部）
２２  フランジ補強板（第１支持部）
Ｓ  スペース。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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