(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体が表面に固定され、所定の方向に回転自在な略円筒形の主走査ドラムと、
前記主走査ドラムに対向して配設され、前記記録媒体に向けて光ビームを照射して前記記録媒体の表面を彫刻する露光ヘッドと、
前記主走査ドラムと前記露光ヘッドとの間に形成された空間に空気を吹き付ける第１の吹付ノズルであって、前記露光ヘッドの光軸と前記主走査ドラムとの交点における前記主走査ドラムの接線方向に沿った空気の流れを生成する第１の吹付ノズルと、
前記第１の吹付ノズルにより吹き付けられた空気を吸い込む吸込手段であって、前記第１の吹付ノズルにより生成された空気の流れの延長上に開口部が配設された吸込手段と、を備え、
前記露光ヘッドは、前記光ビームを出射する出射部であって、所定の方向に並んで配置された複数の出射部を有し、
前記第１の吹付ノズルには、前記所定の方向に並んで配設された複数の吹き出し口を有し、
前記複数の吹き出し口から空気が吹き出されることにより、前記所定の方向に並んだ複数の出射部の幅より大きい幅を有する略四角錐台形の空気の流れが生成されることを特徴とする露光走査装置。
【請求項２】
前記第１の吹付ノズルにより生成された空気の流れを打ち消す方向の空気の流れを生成する第２の吹付ノズルを備え、
前記吸込手段は、前記第１の吹付ノズル及び前記第２の吹付ノズルにより吹き付けられた空気を吸い込むことを特徴とする請求項１に記載の露光走査装置。
【請求項３】
記録媒体が表面に固定され、所定の方向に回転自在な略円筒形の主走査ドラムと、
前記主走査ドラムに対向して配設され、前記記録媒体に向けて光ビームを照射して前記記録媒体の表面を彫刻する露光ヘッドと、
前記主走査ドラムと前記露光ヘッドとの間に形成された空間に空気を吹き付ける第１の吹付ノズルであって、前記露光ヘッドの光軸と前記主走査ドラムとの交点における前記主走査ドラムの接線方向に沿った空気の流れを生成する第１の吹付ノズルと、
前記第１の吹付ノズルにより吹き付けられた空気を吸い込む吸込手段であって、前記第１の吹付ノズルにより生成された空気の流れの延長上に開口部が配設された吸込手段と、
前記第１の吹付ノズルにより生成された空気の流れを打ち消す方向の空気の流れを生成する第２の吹付ノズルと、を備え、
前記吸込手段は、前記第１の吹付ノズル及び前記第２の吹付ノズルにより吹き付けられた空気を吸い込むことを特徴とする露光走査装置。
【請求項４】
前記第２の吹付ノズルは、前記主走査ドラムの接線方向とのなす角度が鋭角となる空気の流れを生成することを特徴とする請求項２または３に記載の露光走査装置。
【請求項５】
前記第２の吹付ノズルは、前記主走査ドラムと前記吸込手段との間に配設されたことを特徴とする請求項２から４のいずれか１項に記載の露光走査装置。
【請求項６】
前記吸込手段は、空気の流れを誘導する誘導板を有し、
前記誘導板は、前記第１の吹付ノズルにより生成された空気の流れが誘導される第１の開口部と、前記第２の吹付ノズルにより生成された空気の流れが誘導される第２の開口部とが形成されるように、前記開口部近傍に配設されたことを特徴とする請求項２から５のいずれか１項に記載の露光走査装置。
【請求項７】
前記吸込手段は、前記開口部の前記主走査ドラム側の壁の先端が前記第２の吹付ノズルに隣接するように配設されたことを特徴とする請求項２から６のいずれか１項に記載の露光走査装置。
【請求項８】
前記吸込手段の空気の吸い込み量が、前記第１の吹付ノズル及び前記第２の吹付ノズルの空気の吹き付け量より多くなるように制御する制御手段を備えたことを特徴とする請求項２から７のいずれか１項に記載の露光走査装置。
【請求項９】
前記第１の吹付ノズルは、前記主走査ドラムの回転方向に沿って空気を吹き付けることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の露光走査装置。
【請求項１０】
前記吸込手段は、前記開口部の前記露光ヘッド側の壁の先端が前記露光ヘッドの光軸に隣接するように配設されたことを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の露光走査装置。
【請求項１１】
前記吸込手段は、断面積が略一定となる管状の部材を有することを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の露光走査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は露光走査装置に係り、特にフレキソ版などの印刷版の製造に好適な露光走査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１〜３には、ドラムに感光材料を装着し、ドラムを回転させながらレーザを感光材料に照射することにより、感光材料に描画（彫刻）を行う描画装置が開示されている。この描画装置では、レーザ被照射位置の斜め上からレーザ被照射位置に向けて空気を噴出して、描画により発生するガス、ゴミを拡散させる。そして、レーザ被照射位置の斜め下から拡散させたガス、ゴミを吸引することにより、レーザ照射用の露光ヘッドや描画装置内にガス、ゴミ等が飛散し、付着することを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２９５９８５号公報
【特許文献２】特開２００４−２９４７４０号公報
【特許文献３】特開２００４−１６０１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１〜３に記載の方法では、レーザ被照射位置に向けて空気を噴出するため、描画により発生するガス、アブレーションカスは、様々な方向に拡散される。そのため、レーザ被照射位置の斜め下以外の方向に飛散したガス、ゴミは吸引されず、レーザ照射用の露光ヘッドに付着してしまい、画質が劣化するという問題がある。
【０００５】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、彫刻により発生するガス、アブレーションカスを吸込フードに誘導し、回収効率を上げる露光走査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明に係る露光走査装置は、記録媒体が表面に固定され、所定の方向に回転自在な略円筒形の主走査ドラムと、前記主走査ドラムに対向して配設され、前記記録媒体に向けて光ビームを照射して前記記録媒体の表面を彫刻する露光ヘッドと、前記主走査ドラムと前記露光ヘッドとの間に形成された空間に空気を吹き付ける第１の吹付ノズルであって、前記露光ヘッドの光軸と前記主走査ドラムとの交点における前記主走査ドラムの接線方向に沿った空気の流れを生成する第１の吹付ノズルと、前記第１の吹付ノズルにより吹き付けられた空気を吸い込む吸込手段であって、前記第１の吹付ノズルにより生成された空気の流れの延長上に開口部が配設された吸込手段と、を備え、前記露光ヘッドは、前記光ビームを出射する出射部であって、所定の方向に並んで配置された複数の出射部を有し、前記第１の吹付ノズルには、前記所定の方向に並んで配設された複数の吹き出し口を有し、前記複数の吹き出し口から空気が吹き出されることにより、前記所定の方向に並んだ複数の出射部の幅より大きい幅を有する略四角錐台形の空気の流れが生成されることを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る露光走査装置によれば、記録媒体が表面に固定され、所定の方向に回転自在な略円筒形の主走査ドラムと、主走査ドラムに対向して配設され、記録媒体に向けて光ビームを照射して記録媒体の表面を彫刻する露光ヘッドとの間に形成された空間に空気を吹きつける第１の吹付ノズルは、露光ヘッドの光軸と主走査ドラムとの交点における主走査ドラムの接線方向に沿った空気の流れを生成する。吸込手段は、開口部がこの空気の流れの延長上に位置し、第１の吹付ノズルにより吹き付けられた空気を吸い込む。これにより、彫刻により発生するガス、アブレーションカスを空気と共に開口部に導き、ガス、アブレーションカスを回収することができる。また、本発明に係る露光走査装置によれば、光ビームを出射する出射部の配設方向と同じ方向に複数の吹き出し口が並んで配設され、複数の吹き出し口から空気が吹き出されることにより、並んで配置された複数の出射部の幅より大きい幅を有する略四角錐台形の空気の流れが生成される。これにより、彫刻により発生するガス、アブレーションカスを空気の流れに乗せることができる。
【０００８】
本発明に係る露光走査装置は、前記第１の吹付ノズルは、前記主走査ドラムの回転方向に沿って空気を吹き付けることが望ましい。これにより、ガス、アブレーションカスの飛散方向に逆らわないような空気の流れを生成することができる。
【００１１】
本発明に係る露光走査装置は、前記吸込手段は、前記開口部の前記露光ヘッド側の壁の先端が前記露光ヘッドの光軸に隣接するように配設されたことが望ましい。これにより、空気が壁に案内され、空気の流れを開口部に誘導することができる。
【００１２】
本発明に係る露光走査装置は、前記第１の吹付ノズルにより生成された空気の流れを打ち消す方向の空気の流れを生成する第２の吹付ノズルを備え、前記吸込手段は、前記第１の吹付ノズル及び前記第２の吹付ノズルにより吹き付けられた空気を吸い込むことが望ましい。また、本発明に係る露光走査装置は、記録媒体が表面に固定され、所定の方向に回転自在な略円筒形の主走査ドラムと、前記主走査ドラムに対向して配設され、前記記録媒体に向けて光ビームを照射して前記記録媒体の表面を彫刻する露光ヘッドと、前記主走査ドラムと前記露光ヘッドとの間に形成された空間に空気を吹き付ける第１の吹付ノズルであって、前記露光ヘッドの光軸と前記主走査ドラムとの交点における前記主走査ドラムの接線方向に沿った空気の流れを生成する第１の吹付ノズルと、前記第１の吹付ノズルにより吹き付けられた空気を吸い込む吸込手段であって、前記第１の吹付ノズルにより生成された空気の流れの延長上に開口部が配設された吸込手段と、前記第１の吹付ノズルにより生成された空気の流れを打ち消す方向の空気の流れを生成する第２の吹付ノズルと、を備え、前記吸込手段は、前記第１の吹付ノズル及び前記第２の吹付ノズルにより吹き付けられた空気を吸い込むことを特徴とする。
【００１３】
本発明に係る露光走査装置によれば、第２の吹付ノズルにより、第１の吹付ノズルにより生成された空気の流れを打ち消す方向の空気の流れが生成され、この空気が吸い込まれる。これにより、摩擦抗力等によりガス、アブレーションカスが主走査ドラムの表面に絡みついたとしても、ガス、アブレーションカスを空気と共に開口部に導き、ガス、アブレーションカスを回収することができる。そのため、ガス、アブレーションカスの装置内への飛散が防止され、アブレーションカスの回収効率を上げることができる。
【００１４】
本発明に係る露光走査装置は、前記第２の吹付ノズルは、前記主走査ドラムの接線方向とのなす角度が鋭角となる空気の流れを生成することが望ましい。これにより、主走査ドラムの表面に絡みついたガス、アブレーションカスを主走査ドラムの表面から剥離することができる。
【００１５】
本発明に係る露光走査装置は、前記第２の吹付ノズルは、前記主走査ドラムと前記吸込手段との間に配設されたことが望ましい。これにより、第１の吹付ノズルと第２の吹付ノズルとが吸込手段を挟んで対向するように配設される。したがって、より効率的にガス、アブレーションカスを主走査ドラムの表面から剥離することができる。
【００１６】
本発明に係る露光走査装置は、前記吸込手段は、空気の流れを誘導する誘導板を有し、前記誘導板は、前記第１の吹付ノズルにより生成された空気の流れが誘導される第１の開口部と、前記第２の吹付ノズルにより生成された空気の流れが誘導される第２の開口部とが形成されるように、前記開口部近傍に配設されたことが望ましい。
【００１７】
本発明に係る露光走査装置によれば、開口部近傍には、第１の吹付ノズルにより生成された空気の流れが誘導される第１の開口部と、第２の吹付ノズルにより生成された空気の流れが誘導される第２の開口部とが形成されるように誘導板が配設される。これにより、第１の吹付ノズル、第２の吹付ノズルのそれぞれにより生成された空気の流れに含まれるガス、アブレーションカスを第１の開口部、第２の開口部から回収することができる。
【００１８】
本発明に係る露光走査装置は、前記吸込手段は、前記開口部の前記主走査ドラム側の壁の先端が前記第２の吹付ノズルに隣接するように配設されたことが望ましい。これにより、第２の吹付ノズルから吹きつけられた空気が壁に案内され、空気の流れを開口部に誘導することができる。
【００１９】
本発明に係る露光走査装置は、前記吸込手段の空気の吸い込み量が、前記第１の吹付ノズル及び前記第２の吹付ノズルの空気の吹き付け量より多くなるように制御する制御手段を備えたことが望ましい。これにより、ガス、アブレーションカスを含む空気を確実に吸い込むことができる。
【００２０】
本発明に係る露光走査装置は、前記吸込手段は、断面積が略一定となる管状の部材を有することが望ましい。これにより、流速が一定となり、ガス、アブレーションカスが管内に付着することを防止することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、彫刻により発生するガス、アブレーションカスを吸込フードに誘導し、回収効率を上げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るマルチビーム露光走査装置を適用した製版装置の構成図
【図２】露光ヘッド内に配置される光ファイバーアレイ部の構成図
【図３】光ファイバーアレイ部の光出射部の拡大図
【図４】光ファイバーアレイ部の結像光学系の概要図
【図５】光ファイバーアレイ部における光ファイバーの配置例と走査線の関係を示す説明図
【図６】製版装置における走査露光系の概要を示す平面図
【図７】製版装置における走査露光系と、吹付ノズル、吸込フードとの位置関係を示す側面図。
【図８】第１の実施形態の吹付ノズルの斜視図
【図９】第１の実施形態の吹付ノズルにより生成されるエアーフローを説明する図であり、（ａ）は吹付ノズル及びエアーフローの模式的に示した斜視図、（ｂ）はエアーフローの寸法を示す正面図
【図１０】製版装置における制御系の構成を示すブロック図
【図１１】第１の実施形態の吹付ノズル、吸込フードの変形例を示す図
【図１２】ガス、アブレーションカスの飛散を説明する図
【図１３】本発明の第２の実施形態に係る製版装置における走査露光系と、吹付ノズル、吸込フードとの位置関係を示す側面図
【図１４】第２の実施形態の吸込フードの斜視図
【図１５】第２の実施形態の吸込フードの変形例
【図１６】本発明の第３の実施形態に係る製版装置における走査露光系と、吹付ノズル、吸込フードとの位置関係を示す側面図
【図１７】第３の実施形態の吸込フードの斜視図
【図１８】第３の実施形態の吸込フードの変形例
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、添付図面に従って本発明の実施形態について詳細に説明する。
【００２４】
［第１の実施形態］
＜露光走査装置の構成＞
図１は、本発明の実施形態に係る露光走査装置を適用した製版装置１１Ａの構成図である。図示の製版装置１１Ａは、円筒形を有するドラム５０の外周面にシート状の版材（「記録媒体」に相当）を固定し、該ドラム５０を図１中の矢印Ｒ方向（主走査方向）に回転させると共に、版材Ｆに向けてレーザ記録装置１０Ａの露光ヘッド３０から、該版材Ｆに彫刻（記録）すべき画像の画像データに応じた複数のレーザビームを射出し、露光ヘッド３０を主走査方向と直交する副走査方向（図１矢印Ｓ方向）に所定ピッチで走査させることで、版材Ｆの表面に２次元画像を高速で彫刻（記録）するものである。ここでは、フレキソ印刷用のゴム版又は樹脂版を彫刻する場合を例に説明する。
【００２５】
本例の製版装置１１Ａに用いられるレーザ記録装置１０Ａは、複数のレーザビームを生成する光源ユニット２０と、光源ユニット２０で生成された複数のレーザビームを版材Ｆに照射する露光ヘッド３０と、レーザビームを版材Ｆに照射する時に空気を吹き付ける吹付ノズル８０（図１では図示せず）と、吹付ノズル８０からの空気吹き付け時に空気を吸い込む吸込フード８１（図１では図示せず）と、露光ヘッド３０、吹付ノズル８０及び吸込フード８１を副走査方向に沿って移動させる露光ヘッド移動部４０と、を含んで構成されている。
【００２６】
光源ユニット２０は、複数の半導体レーザ２１Ａ、２１Ｂ（ここでは合計６４個）を備えており、各半導体レーザ２１Ａ、２１Ｂの光は、それぞれ個別に光ファイバー２２Ａ、２２Ｂ、７０Ａ、７０Ｂを介して露光ヘッド３０の光ファイバーアレイ部３００へと伝送される。
【００２７】
本例では、半導体レーザ２１Ａ、２１Ｂとしてブロードエリア半導体レーザ（波長：９１５ｎｍ）が用いられ、これら半導体レーザ２１Ａ、２１Ｂは光源基板２４Ａ、２４Ｂ上に並んで配置されている。
【００２８】
各半導体レーザ２１Ａ、２１Ｂは、それぞれ個別に光ファイバー２２Ａ、２２Ｂの一端部にカップリングされ、光ファイバー２２Ａ、２２Ｂの他端はそれぞれＳＣ型光コネクタ２５Ａ、２５Ｂのアダプタに接続されている。
【００２９】
ＳＣ型光コネクタ２５Ａ、２５Ｂを支持するアダプタ基板２３Ａ、２３Ｂは、光源基板２４Ａ、２４Ｂの一方の端部に垂直に取り付けられている。また、光源基板２４Ａ、２４Ｂの他方の端部には、半導体レーザ２１Ａ、２１Ｂを駆動するＬＤドライバー回路（図１中不図示、図１０の符号２６）を搭載したＬＤドライバー基板２７Ａ、２７Ｂが取り付けられている。各半導体レーザ２１Ａ、２１Ｂは、それぞれ個別の配線部材２９Ａ、２９Ｂを介して、対応するＬＤドライバー回路に接続されており、各々の半導体レーザ２１Ａ、２１Ｂは個別に駆動制御される。
【００３０】
なお、本実施の形態では、レーザビームを高出力とするために、コア径の比較的大きな、多モード光ファイバーを光ファイバー７０Ａ、７０Ｂに適用している。具体的には、本実施形態においては、コア径が１０５μｍの光ファイバーが用いられている。また、半導体レーザ２１Ａ、２１Ｂには、最大出力が１０Ｗ程度のものを使用している。具体的には、例えば、ＪＤＳユニフェーズ社から販売されているコア径１０５μｍで出力10Ｗ(6398-L4)のものなどを採用することができる。
【００３１】
一方、露光ヘッド３０には、複数の半導体レーザ２１Ａ、２１Ｂから射出された各レーザビームを取り纏めて射出する光ファイバーアレイ部３００が備えられている。光ファイバーアレイ部３００の光出射部（図１中不図示、図２の符号２８０）は、各半導体レーザ２１Ａ、２１Ｂから導かれた６４本の光ファイバー７０Ａ、７０Ｂの出射端が３２個ずつ２列に並んで配置された構造となっている（図３参照）。
【００３２】
また、露光ヘッド３０内には、光ファイバーアレイ部３００の光出射部側より、コリメータレンズ３２、開口部材３３、及び結像レンズ３４が、順番に並んで配設されている。コリメータレンズ３２と結像レンズ３４の組合せによって結像光学系が構成されている。開口部材３３は、光ファイバーアレイ部３００側から見て、その開口がファーフィールド（Far Field）の位置となるように配置されている。これによって、光ファイバーアレイ部３００から射出された全てのレーザビームに対して同等の光量制限効果を与えることができる。
【００３３】
露光ヘッド移動部４０には、長手方向が副走査方向に沿うように配置されたボールネジ４１及び２本のレール４２が備えられており、ボールネジ４１を回転駆動する副走査モータ（図１中不図示、図の符号４３）を作動させることによってボールネジ４１上に配置された露光ヘッド３０をレール４２に案内された状態で副走査方向に移動させることができる。また、ドラム５０は主走査モータ（図１中不図示、図の符号５１）を作動させることによって、図１の矢印Ｒ方向に回転駆動させることができ、これによって主走査がなされる。
【００３４】
図２は光ファイバーアレイ部３００の構成図であり、図３はその光出射部２８０の拡大図（図２のＡ矢視図）である。図３に示すように、光ファイバーアレイ部３００の光出射部２８０は、上下２段に組み合わされた光ファイバーアレイユニット３００Ａ、３００Ｂで構成され、上段と下段とにそれぞれ同じコア径１０５μｍの光ファイバー７０Ａ、７０Ｂが３２本ずつ２列に並んで配置されている。
【００３５】
光ファイバーアレイ部３００は、２枚の基台（Ｖ溝基板）３０２Ａ、３０２Ｂを有している。基台３０２Ａ、３０２Ｂには各々片面に半導体レーザ２１Ａ、２１Ｂと同数、すなわち夫々３２個のＶ字溝２８２Ａ、２８２Ｂが所定の間隔で隣接するように形成されている。そして、基台３０２Ａ、３０２Ｂは、Ｖ字溝２８２Ａ、２８２Ｂが対向するように配置されている。
【００３６】
基台３０２Ａの各Ｖ字溝２８２Ａには、光ファイバー７０Ａの他端部の光ファイバー端部７１Ａが１本ずつ嵌め込まれている。同様に基台３０２Ｂの各Ｖ字溝２８２Ｂに各光ファイバー７０Ｂの他端部の光ファイバー端部７１Ｂが１本ずつ嵌め込まれている。すなわち、本実施の形態の光ファイバーアレイ部３００は、複数（本実施形態では３２本×２＝合計６４個）の光ファイバー端部７１Ａ、７１Ｂが所定方向に沿った直線状に配置されて構成された光ファイバー端部群３０１Ａ、３０１Ｂが、上記所定方向と直交する方向に平行に２列設けられて構成されている。
【００３７】
したがって、光ファイバーアレイ部３００の光出射部２８０からこれら複数本（３２本×２）のレーザビームが同時に射出される。
【００３８】
図４は、光ファイバーアレイ部３００の結像系の概要図である。図４に示すように、コリメータレンズ３２及び結像レンズ３４で構成される結像手段によって、光ファイバーアレイ部３００の光出射部２８０を所定の結像倍率で版材Ｆの露光面（表面）ＦＡの近傍に結像させる。これにより、光軸Ｌと露光面（表面）ＦＡとの交点Ｉが彫刻（画像記録）される。本実施形態では、結像倍率は１／３倍とされており、これにより、コア径１０５μｍの光ファイバー端部７１Ａ、７１Ｂから出射されたレーザビームＬＡのスポット径は、φ３５μｍとなる。
【００３９】
このような結像系を有する露光ヘッド３０において、図３で説明した光ファイバーアレイユニット３００Ａ、３００Ｂの上段と下段の間隔（図３中のＬ１）と列方向の相対的位置（図３中のＬ２）、列内の隣接ファイバー間隔（図３中のＬ３）及び光ファイバーアレイ部３００を固定するときの光ファイバー端部群３０１Ａ、３０１Ｂの配列方向（アレイ方向）の傾斜角度（図５中の角度θ）を適宜設計することにより、図５に示すように、アレイ上段（光ファイバー端部群３０１Ａ）及びアレイ下段（光ファイバー端部群３０１Ｂ）の各列内で隣り合う位置に配置される光ファイバー端部７１Ａ、７１Ｂから射出されるレーザビームで露光する走査線（記録ライン）Ｋの間隔Ｐ１と、アレイ上段の右端の光ファイバー端部７１ＡＴとアレイ下段の左端の光ファイバー端部７１ＢＴで露光する走査線Ｋの間隔Ｐ２をそれぞれ等しく１０．５８μｍ（副走査方向の解像度２４００ｄｐｉ相当）に設定することができる。なお、図５では、図示の便宜上、光ファイバーの数を減じて示した。つまり、光ファイバーアレイ部３００の設計により、６４チャンネルで副走査方向解像度２４００ｄｐｉの走査線間隔（Ｐ１＝Ｐ２≒１０．６μｍ）を実現できる。
【００４０】
上記構成の露光ヘッド３０を用いることにより、光ファイバーアレイ部３００の光ファイバー端部群３０１Ａ、３０１Ｂの２列で６４ラインの範囲（１スワス分）を同時に走査して露光することができる。
【００４１】
図６は、図１に示した製版装置１１Ａにおける走査露光系の概要を示す平面図である。露光ヘッド３０は、ピント位置変更機構６０と、副走査方向への間欠送り機構９０を備えている。
【００４２】
ピント位置変更機構６０は、露光ヘッド３０をドラム５０面に対して前後移動させるモータ６１とボールネジ６２を有し、モータ６１の制御により、ピント位置を約０．１秒で約３００μｍ移動させることができる。間欠送り機構９０は、図１で説明した露光ヘッド移動部４０を構成するものであり、図６に示すように、ボールネジ４１とこれを回転させる副走査モータ４３を有する。露光ヘッド３０は、ボールネジ４１上のステージ４４に固定されており、副走査モータ４３の制御により、露光ヘッド３０をドラム５０の軸線５２方向すなわち副走査方向に、約０．１秒で１スワス分（６４０μｍ）と隣り合うスワス分まで間欠送りできる。
【００４３】
なお、図６において、符号４６、４７は、ボールネジ４１を回動自在に支持するベアリングブロックである。符号５５はドラム５０上で版材Ｆをチャックするチャック部材である。このチャック部材５５の位置は、露光ヘッド３０による露光（記録）を行わない非記録領域である。
【００４４】
ドラム５０を回転させながら、この回転するドラム５０上の版材Ｆに対し、露光ヘッド３０から６４チャンネルのレーザビームを照射することで、６４チャンネル分（１スワス分）の露光範囲９２を隙間なく露光し、版材Ｆの表面に１スワス幅の彫刻（画像記録）を行う。そして、ドラム５０の回転により、露光ヘッド３０の前をチャック部材５５が通過するときに（版材Ｆの非記録領域のところで）、副走査方向に間欠送りを行い、次の１スワス分を露光する。このような副走査方向の間欠送りによる露光走査を繰り返すことにより、版材Ｆの全面に所望の画像を形成する。
【００４５】
本例では、シート状の版材Ｆ（記録媒体）を用いているが、円筒状記録媒体（スリーブタイプ）を用いることも可能である。
【００４６】
版材Ｆの表面に１スワス幅の彫刻（画像記録）を行う時に、吹付ノズル８０から空気を吹き付けると共に、吸込フード８１から空気を吸い込む。図７は、製版装置１１Ａにおける走査露光系と、吹付ノズル８０、吸込フード８１との位置関係を示す側面図である。
【００４７】
吹付ノズル８０及び吸込フード８１は、露光ヘッド３０とドラム５０との間に配設される。吹付ノズル８０は、露光ヘッド３０とドラム５０との間に形成された空間にエアーフローＡ１を生成する。吹付ノズル８０から吹き付けられた空気を吸込フード８１から吸い込めるように、吹付ノズル８０及び吸込フード８１は対向して配設される。
【００４８】
吹付ノズル８０は、図８に示すように吹き出し口８０ａが一列に並んで配設され、各吹き出し口８０ａから空気が噴出される。これにより、図９（ａ）に示すように、吹付ノズル８０全体からは、略四角錐台形のエアーフローＡ１が生成される。図９（ｂ）は、この略四角錐台形のエアーフローＡ１を吹付ノズル８０の正面側から見た図であり、エアーフローＡ１の大きさの具体例を示す。
【００４９】
エアーフローＡ１は、吹き出し口８０ａからの距離が３０ｍｍの位置では幅が５４ｍｍとなり、吹き出し口８０ａからの距離が１５０ｍｍの位置では幅が１００ｍｍとなり、吹き出し口８０ａからの距離が３００ｍｍの位置では幅が１６０ｍｍとなる。また、エアーフローＡ１の奥行きは、広がりを抑え、フラットな形状となるように調整される。エアーフローＡ１の速さは、レーザビームの出力やドラム５０の回転速度に応じて適切な値が実験的に定められる。
【００５０】
吹付ノズル８０は、図７に示すように、吹き出し口８０ａの配列方向がドラム５０の軸線５２と略平行となるように、すなわち吹き出し口８０ａの配列方向は、光ファイバー端部７１Ａ、７１Ｂの配置方向と同じとなるように配設される。また、吹付ノズル８０は、吹き出し口８０ａからの空気の吹き出し方向がドラム５０の回転方向Ｒと同じとなり、かつ吹き出し口８０ａを通り、吹き出し口の８０ａの配列方向と直交する面Ｍにおけるエアーフロー（以下、エアーフロー中心面という）ＡＭ１（図９（ａ）参照）が、光軸Ｌと露光面ＦＡとの交点Ｉにおけるドラム５０の接線と平行となるように配設される。これにより、光軸Ｌと露光面ＦＡとの交点Ｉの位置では、図９における略下向きの空気の流れが生成される。したがって、彫刻により発生するガス、アブレーションカスを下方向へ搬送し、それ以外の方向へのガス、アブレーションカスの飛散が防止される。
【００５１】
また、光ファイバーアレイ部３００の光出射部２８０よりエアーフローＡ１の幅が大きくなるように、吹き出し口８０ａからの距離が略５１ｍｍの位置に光出射部２８０が位置するように、吹付ノズル８０が配設される。これにより、彫刻により発生するガス、アブレーションカスをエアーフローＡ１に乗せることができる。なお、吹付ノズル８０と光出射部２８０との関係はこれに限定されるものではなく、光出射部２８０よりエアーフローＡ１の幅が大きくなるような様々な位置関係とすることができる。
【００５２】
吸込フード８１は、略長方形の開口部８１ａを有する断面略長方形の管状の部材であり、開口部８１ａ以外の開口部に接続されたポンプ（図示せず）等により、開口部８１ａからは空気が吸い込まれる（図７矢印参照）。吸込フード８１からの空気の吸い込み量は、吹付ノズル８０からの空気の吹き付け量よりも多くなるように設定される。
【００５３】
エアーフローＡ１の延長上に開口部８１ａが配設される。開口部８１ａは、その位置におけるエアーフローＡ１の大きさより大きくなるように形成される。本実施の形態では、吸込フード８１は、吹き出し口８０ａからの距離が略１５０ｍｍの位置に配設されるため、吸込フード８１の開口部８１ａの幅が１００ｍｍ以上となるように形成される。これにより、ガス、アブレーションカスを含むエアーフローＡ１を吸込フード８１から確実に吸い込むことができる。
【００５４】
吸込フード８１は、断面積が略一定となるように形成される。これにより、吸込フード８１内の流速を一定にし、吸い込んだガス、アブレーションカスが吸込フード８１内に付着することを防止し、付着量を低減させることができる。
【００５５】
＜制御系の構成＞
図１０は、製版装置１１Ａの制御系の構成を示すブロック図である。図１０に示すように、製版装置１１Ａは、彫刻すべき２次元の画像データに応じて各半導体レーザ２１Ａ、２１Ｂを駆動するＬＤドライバー回路２６と、ドラム５０を回転させる主走査モータ５１と、主走査モータ５１を駆動する主走査モータ駆動回路１０１と、副走査モータ４３を駆動する副走査モータ駆動回路１０２と、制御回路１００と、を備えている。制御回路１００は、ＬＤドライバー回路２６、及び各モータ駆動回路（１０１、１０２）を制御する。
【００５６】
制御回路１００には、版材Ｆに彫刻（記録）する画像を示す画像データが供給される。制御回路１００は、この画像データに基づき、主走査モータ５１及び副走査モータ４３の駆動を制御するとともに、各半導体レーザ２１Ａ、２１Ｂについて個別にその出力（レーザビームのパワー制御）を制御する。なお、レーザビームの出力を制御する手段としては、半導体レーザ２１Ａ、２１Ｂの発光量を制御する態様に限らず、これに代えて、又はこれと組み合わせて、音響光変調器（ＡＯＭ：Acoustic OpticalModulator）ユニットなどの光変調手段を用いてもよい。
【００５７】
次に、マルチビーム露光系によって印刷版を製造する際の露光走査工程について説明する。露光走査工程は、主として制御回路１００によって制御される。本実施の形態では、同一走査線を複数回走査露光するマルチビーム露光系において、記録媒体の露光表面に残すべき平面形状およびその傾斜部の大枠を第１ビーム群で形成し（粗彫刻工程）、この粗彫刻工程で上昇した版材Ｆの温度が所定温度まで下がった後に、第１ビーム群から記録媒体へ照射されるエネルギーよりも低いエネルギーの第２ビーム群で同一走査線上を露光走査し、最終形状（目的とする表面形状および傾斜部）を精密に微細彫刻する（微細彫刻工程）複数回露光走査方式を採用する。
【００５８】
制御回路１００に画像データが供給されると、制御回路１００は、彫刻を開始する前に、吹付ノズル８０から空気を吹き付けてエアーフローＡ１を発生させるとともに、吸込フード８１から空気の吸い込みを開始する。その後、以下のようにして彫刻を開始する。
【００５９】
ドラム５０を一定速度で回転させながら、露光ヘッド３０から出射する第１ビーム群（６４チャンネル）で版材Ｆ上を露光走査して、第１形状を彫刻する。この第１ビーム群による１回目の走査露光工程は、最終的に凸平面部として残す表面形状及びその傾斜部の形状まで到達しない粗彫刻を行う工程である。ドラム５０が１回転すると６４チャンネル幅で粗彫刻が行われる。その後、同じ副走査位置で（露光ヘッド３０を移動させずに）、ドラム５０の２回転目で同じ場所の同じライン上を、より低パワーの第２ビーム群（第１ビーム群と同チャンネル）で走査露光を行い、最終形状(第２形状)を形成する。
【００６０】
こうして、ドラム５０の２回転で１スワス分の彫刻を完成させた後、非記録領域たるチャック部材５５が露光ヘッド３０の前を横切るときに、露光ヘッド３０を副走査方向（図１において右方向）に間欠送りし、隣接する次の１スワス分の彫刻を行う位置に移動させる。そして、当該位置において、第１ビーム群による粗彫刻及び微細彫刻の露光走査を行う。
【００６１】
以後、上記の工程を繰り返し、版材Ｆ上の全面を露光する。なお、使用する版材（フレキソ感材）の感度（光への反応性）によって、パワー制御の具体的な制御態様は異なる。版材の種類等に応じて適切な出力条件が実験的に定められる。
【００６２】
彫刻が終了したら、吹付ノズル８０からの空気の吹き付けを停止させ、その後吸込フード８１から空気の吸い込みを停止する。
【００６３】
本実施の形態によれば、彫刻により発生するガス、アブレーションカスをエアーフローと共に吸込フードへ導くことができる。そのため、ガス、アブレーションカスの回収効率を上げることができる。これにより、ガス、アブレーションカスの製版装置内への飛散が防止される。
【００６４】
なお、本実施の形態では、略長方形の開口部８１ａを有する吸込フード８１を用いたが、吸込フード８１の形状はこれに限られない。例えば、図１１（ａ）に示すように、開口部８１ａの露光ヘッド３０側に壁８１ｂを配設してもよい。この壁８１ｂは、最も高い位置が光軸Ｌより下に位置するように形成されている。 また、壁８１ｂの上端部には、壁８１ｂがレーザ光と干渉しないようにするための孔８１ｄ’が形成される。これにより、エアーフローＡ１を下方向へ流れるように案内する位置が吹き出し口８０ａに近い位置となり、ガス、アブレーションカスの吸引効率を高くすることができる。なお、図１１（ａ）では孔８１ｄ’の形状を略半月形状としているが、形状はこれに限られない。
【００６５】
この効果を更に高めるため、図１１（ｂ）に示すように、開口部８１ａの露光ヘッド３０側の壁８１ｂに加え、側面に壁８１ｃを配設してもよい。また、図１１（ｃ）に示すように、吹付ノズル８０を覆う高さで形成された壁８１ｂ’及び側面の壁８１ｃ’を配設し、壁８１ｂ’にレーザ光が貫通する孔８１ｄを形成するようにしても良い。さらに、開口部８１ａのドラム５０側に壁８１ｅを配設してもよい。これにより、エアーフローＡ１を吸込フード内へ導かれやすくなる。
【００６６】
また、図１１（ｄ）に示すように、吹付ノズル８０の吹き出し口８０ａを覆うように壁８１ｂ’’、８１ｃ’’、８１ｅを配設し、壁８１ｂ’’にレーザ光が貫通する孔８１ｄを形成し、８１ｅにレーザ光が貫通する孔８１ｆを形成するようにしても良い。この場合には、エアーフローＡ１が全て吸込フードに覆われるため、ガス、アブレーションカスを略全て回収することができる。 
【００６７】
なお、壁８１ｃ、８１ｃ’、８１ｃｃ’’は、チャック部材５５と干渉しないように、ドラム５０の回転に伴うチャック部材５５の周回ラインｒから所定の距離だけオフセットされた位置で略長方形の一部が除かれた形状となるように形成される。また、壁８１ｅは、周回ラインｒの半径にオフセットの距離を加えた長さの半径を有する円弧状の面で形成される。
【００６８】
なお、図１１（ｃ）、（ｄ）では、レーザ光が貫通する孔８１ｄ、孔８１ｆ’が形成されているが、この孔は直径数ｍｍ程度の丸孔 であり大きさが小さいため、エアーフローＡ１により、孔８１ｄ、８１ｆ’からはエアーフローＡ１以上の流速で空気が吸込フード８１’’’、８１’’’’内へ吸い込まれる。したがって、これらの孔が吸込フードを吹付ノズル８０を覆う高さとしたことによる効果を失わせるものではなく、逆に結像レンズ３４等の汚れを低減することができる。
【００６９】
また、本実施の形態では、吹き出し口８０ａからの空気の吹き出し方向がドラム５０の回転方向Ｒと同じとなるように吹付ノズル８０を配設したが、吹き出し口８０ａからの空気の吹き出し方向がドラム５０の回転方向Ｒと逆向きとなるように吹付ノズル８０を配設するようにしてもよい。ただし、ガス、アブレーションカスは、図１２の矢印Ｘに示すように、露光により版材Ｆに形成された壁により、ドラム５０の回転方向Ｒに対し副走査方向Ｓと逆方向に所定の角度を持った方向に飛散する傾向がある。そのため、ガス、アブレーションカスの飛散方向に逆らわないように、吹き出し口８０ａからの空気の吹き出し方向がドラム５０の回転方向Ｒと同じ方向となるように吹付ノズル８０を配設することが望ましい。
【００７０】
［第２の実施形態］
本発明の第１の実施の形態は、吹付ノズル８０と吸込フード８１とを対向して配設し、吹付ノズル８０から空気を吹き付けると共に、吸込フード８１から空気を吸い込むことにより、彫刻により発生するガス、アブレーションカスを回収したが、吸込フードはチャック部材５５の周回ラインｒの外側にしか配設できないという物理的な制限より、全てのガス、アブレーションカスが吸込フード８１に回収されない虞がある。
【００７１】
特に、ドラム５０の回転速度等によっては、ドラム５０（版材Ｆ）からの摩擦抗力等により、ドラム５０の回転に伴ってガス、アブレーションカスがドラム５０（版材Ｆ）の表面に絡みつく（巻きつく）ように流れる場合がある。このような場合には、さらに回収効率が低下する。
【００７２】
本発明の第２の実施の形態は、ドラム５０（版材Ｆ）の表面に絡みついたガス、アブレーションカスをエアーフローにより吸込フードへ搬送する形態である。以下、第２の実施形態に係る製版装置１１Ｂについて説明する。なお、第１の実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【００７３】
製版装置１１Ｂは、円筒形を有するドラム５０の外周面にシート状の版材（「記録媒体」に相当）を固定し、該ドラム５０を矢印Ｒ方向（主走査方向）に回転させると共に、版材Ｆに向けてレーザ記録装置１０Ｂの露光ヘッド３０から、該版材Ｆに彫刻（記録）すべき画像の画像データに応じた複数のレーザビームを射出し、露光ヘッド３０を主走査方向と直交する副走査方向（矢印Ｓ方向）に所定ピッチで走査させることで、版材Ｆの表面に２次元画像を高速で彫刻（記録）するものである。
【００７４】
製版装置１１Ｂに用いられるレーザ記録装置１０Ｂは、複数のレーザビームを生成する光源ユニット２０と、光源ユニット２０で生成された複数のレーザビームを版材Ｆに照射する露光ヘッド３０と、レーザビームを版材Ｆに照射する時に空気を吹き付ける吹付ノズル８０、８２と、吹付ノズル８０からの空気吹き付け時に空気を吸い込む吸込フード８３と、露光ヘッド３０、吹付ノズル８０、８２及び吸込フード８３を副走査方向に沿って移動させる露光ヘッド移動部４０と、を含んで構成されている。
【００７５】
図１３は、製版装置１１Ｂにおける走査露光系と、吹付ノズル８０、８２、吸込フード８３との位置関係を示す側面図である。
【００７６】
吹付ノズル８０及び吸込フード８３は、露光ヘッド３０とドラム５０との間に配設される。吹付ノズル８０から吹き付けられた空気を吸込フード８１から吸い込めるように、吹付ノズル８０及び吸込フード８３は対向して配設される。
【００７７】
吹付ノズル８２は、ドラム５０と吸込フード８３との間に配設される。吹付ノズル８２は、吹付ノズル８０と同様に吹き出し口が一列に並んで配設され、各吹き出し口から空気が噴出されることで、略四角錐台形のエアーフローＡ２が生成される。エアーフローＡ２の幅は、エアーフローＡ１の幅以下であり、エアーフローＡ２の量は、エアーフローＡ１の量より小さくなるように制御される。本実施の形態では、エアーフローＡ１の量とエアーフローＡ２の量との比が約５対１となるように設定されるが、ドラム５０の回転速度により具体的な制御態様は異なる。適切な条件が実験的に定められる。
【００７８】
吹付ノズル８２は、図１３に示すように、吹き出し口からの空気の吹き出し方向がドラム５０の回転方向Ｒと反対となり、かつエアーフロー中心面ＡＭ２と、エアーフロー中心面ＡＭ２と版材Ｆとの交点における接線とがなす角度θが鋭角となるように配設される。これにより、ドラム５０（版材Ｆ）の表面に絡みついたガス、アブレーションカスをドラム５０（版材Ｆ）の表面から剥離することができる。
【００７９】
吹付ノズル８０と吹付ノズル８２とが吸込手段を挟んで対向するように配設される。そのため、吹付ノズル８０からより遠い位置でガス、アブレーションカスをドラム５０（版材Ｆ）から剥離できる。したがって、効率よくガス、アブレーションカスの剥離をすることができる。
【００８０】
吸込フード８３は、図１４に示すように、露光ヘッド３０側の壁８３ａの先端が光軸に隣接し、ドラム５０側の壁８３ｂの先端及び両側の壁８３ｃの先端がチャック部材５５の周回ラインｒに略沿って形成された管状の部材であり、その幅がエアーフローＡ１の幅以上となるように形成される。
【００８１】
壁８３ａ、８３ｂ、８３ｃにより略長方形の開口部が形成される。この開口部には、空気の流れを誘導する誘導板８３ｄが配設される。誘導板８３ｄは、吸込フード８３の幅と略同一の幅で形成され、吸込フード８３の両側の壁に一体形成さる。この誘導板８３ｄにより、図１３に示すように、エアーフローＡ１が誘導される第１の開口部８３Ａと、エアーフローＡ２が誘導される第２の開口部８３Ｂとが形成される（図１３参照）。
【００８２】
誘導板８３ｄは、ドラム５０の回転に伴うチャック部材５５の周回ラインｒと接し、第１の開口部８３Ａの面積ｄ１と第２の開口部８３Ｂの面積ｄ２とが吸込フード８３の他端近傍の面積ｄ３と略同一となる位置に配設される。これにより、吸込フード８３内の空気の流速が一定になり、吸込フード８３内にアブレーションカスが付着することが防止し、付着量を低減させることができる。
【００８３】
吸込フード８３の他端にはポンプ（図示せず）が接続され、第１の開口部８３Ａ及び第２の開口部８３Ｂからは空気が吸い込まれる（図１３矢印（４）参照）。第１の開口部８３Ａ及び第２の開口部８３Ｂの空気の吸い込み量は、吹付ノズル８０、８２からの空気の吹き付け量の総和よりも多くなるように設定される。
【００８４】
ガス、アブレーションカスを含んだエアーフローＡ１の大部分は、第１の開口部８３Ａから吸い込まれる（図１３の矢印（１）参照）。ただし、誘導板８３ｄの物理的な制限（誘導板８３ｄがチャック部材５５の周回ラインｒの外側となること）及びドラム５０（版材Ｆ）の表面にガス、アブレーションカスを含むエアーフローが絡みつくため、エアーフローＡ１の一部は、誘導板８３ｄとドラム５０（版材Ｆ）との間を下方向に流れる（図１３の矢印（２）参照）。
【００８５】
誘導板８３ｄとドラム５０（版材Ｆ）との間を下方向に流れたエアーフローは、エアーフローＡ２によりドラム５０（版材Ｆ）から引き剥がされ、上方向に巻き上げられる（図１３の矢印（３）参照）。エアーフローＡ２により巻き上げられた空気は、第２の開口部８３Ｂから吸い込まれる。これにより、エアーフローＡ１、Ａ２と共に送られてきたガス、アブレーションカスを吸込フード８３から確実に吸い込むことができる。
【００８６】
次に、マルチビーム露光系によって印刷版を製造する際の露光走査工程について説明する。露光走査工程は、主として制御回路１００によって制御される。本実施の形態では、粗彫刻工程、微細彫刻工程を連続して行う複数回露光走査方式を採用する。
【００８７】
制御回路１００に画像データが供給されると、制御回路１００は、彫刻を開始する前に、吹付ノズル８０、８２から空気を吹き付けてエアーフローＡ１、Ａ２を発生させるとともに、吸込フード８３から空気の吸い込みを開始する。その後、彫刻を開始する。彫刻については、第１の実施の形態と同様であるため、説明を省略する。
【００８８】
版材Ｆ上の全面を露光が終了したら、吹付ノズル８０、８２からの空気の吹き付けを停止させ、その後吸込フード８３から空気の吸い込みを停止する。
【００８９】
本実施の形態によれば、ドラム（版材）からの摩擦抗力等により、ドラム５０の回転に伴ってガス、アブレーションカスがドラム（版材）の表面に絡みついたとしても、ガス、アブレーションカスを吸込フードから確実に吸い込むことができる。そのため、ガス、アブレーションカスの装置内への飛散が防止され、アブレーションカスの回収効率を上げることができる。
【００９０】
なお、本実施の形態では、露光ヘッド３０側の壁８３ａの先端が光軸に隣接し、ドラム５０側の壁８３ｂの先端及び両側の壁８３ｃの先端がチャック部材５５の周回ラインｒに略沿って形成された管状の部材を有する吸込フード８３を用いたが、吸込フード８３の形状はこれに限られない。例えば、図１５に示すように、吹付ノズル８０を覆う高さで形成された壁８３ａ’及び側面の壁８３ｃ’（図１５では図示せず）を配設し、先端が吹付ノズル８２の吹き出し口に隣接する壁８３ｂ’を配設し、壁８３ａ’、８３ｂ’ 、８３ｃ’により形成される開口部がエアーフローＡ１、Ａ２全体を覆うようにしてもよい。これにより、エアーフローＡ１、Ａ２が吸込フード８３に導かれやすくなり、ガス、アブレーションカスの吸引効率を高くすることができる。
【００９１】
［第３の実施形態］
本発明の第２の実施の形態は、吹付ノズル８０と吸込フード８１とを対向して配設し、吹付ノズル８０から空気を吹き付けると共に、ドラム５０（版材Ｆ）の表面に絡みついたガス、アブレーションカスをエアーフローにより吸込フードへ搬送することにより、彫刻により発生するガス、アブレーションカスを回収したが、ドラム５０の回転速度が所定速度以上である場合にはガス、アブレーションカスの大部分がドラム５０（版材Ｆ）の表面に絡みつくように流れるため、吹付ノズル８０からの空気の吹き付けは必須ではない。
【００９２】
本発明の第３の実施の形態は、ドラム５０（版材Ｆ）の表面に絡みついたガス、アブレーションカスをエアーフローにより吸込フードへ搬送する形態である。以下、第３の実施形態に係る製版装置１１Ｃについて説明する。なお、第１の実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【００９３】
製版装置１１Ｃは、円筒形を有するドラム５０の外周面にシート状の版材（「記録媒体」に相当）を固定し、該ドラム５０を矢印Ｒ方向（主走査方向）に回転させると共に、版材Ｆに向けてレーザ記録装置１０Ｃの露光ヘッド３０から、該版材Ｆに彫刻（記録）すべき画像の画像データに応じた複数のレーザビームを射出し、露光ヘッド３０を主走査方向と直交する副走査方向（矢印Ｓ方向）に所定ピッチで走査させることで、版材Ｆの表面に２次元画像を高速で彫刻（記録）するものである。
【００９４】
製版装置１１Ｃに用いられるレーザ記録装置１０Ｃは、複数のレーザビームを生成する光源ユニット２０と、光源ユニット２０で生成された複数のレーザビームを版材Ｆに照射する露光ヘッド３０と、レーザビームを版材Ｆに照射する時に空気を吹き付ける吹付ノズル８４と、吹付ノズル８４からの空気吹き付け時に空気を吸い込む吸込フード８５と、露光ヘッド３０、吹付ノズル８４及び吸込フード８５を副走査方向に沿って移動させる露光ヘッド移動部４０と、を含んで構成されている。
【００９５】
図１６は、製版装置１１Ｃにおける走査露光系と、吹付ノズル８４、吸込フード８５との位置関係を示す側面図である。
【００９６】
吹付ノズル８４は、ドラム５０と吸込フード８５との間に配設される。吹付ノズル８２は、吹き出し口が一列に並んで配設され、各吹き出し口から空気が噴出されることで、略四角錐台形のエアーフローＡ３が生成される。
【００９７】
吹付ノズル８４は、光ファイバーアレイ部３００の幅より広い幅のエアーフローＡ３を生成する。エアーフローＡ３の風速はドラム５０の回転速度により異なるが、適切な条件が実験的に定められる。
【００９８】
吹付ノズル８４は、図１６に示すように、吹き出し口からの空気の吹き出し方向がドラム５０の回転方向Ｒと反対となり、かつエアーフロー中心面ＡＭ３と、エアーフロー中心面ＡＭ３と版材Ｆとの交点における接線とがなす角度が鋭角となるように配設される。これにより、ドラム５０（版材Ｆ）の表面に絡みついたガス、アブレーションカスをドラム５０（版材Ｆ）の表面から引き剥がし、上側へ巻き上げることができる（図１５の矢印（２）参照）。
【００９９】
吸込フード８５は、図１７に示すように、露光ヘッド３０側の壁８５ａの先端が光軸に隣接し、ドラム５０側の壁８５ｂの先端及び両側の壁８５ｃの先端がチャック部材５５の周回ラインｒに略沿って形成された管状の部材である。これにより、吸込フード８５は、各壁の先端８５ａ、８５ｂ、８５ｃにより形成される略長方形の開口部８５Ａが、ドラム５０（版材Ｆ）の表面を覆うように配設される。
【０１００】
ドラム５０側の壁８５ｂの先端がチャック部材５５の周回ラインｒに略沿って形成されることにより、壁８５ｂの先端は、光軸Ｌと露光面（表面）ＦＡとの交点Ｉ、すなわち彫刻点の真下よりもドラム５０側に位置することとなる。そのため、アブレーションカスが交点Ｉから真下に落下したとしても、アブレーションカスは吸込フード８５内へ誘導される。
【０１０１】
彫刻により発生したガス、アブレーションカスは、ドラム５０の回転に伴ってドラム５０（版材Ｆ）に沿って下方向へ流れる（図１３矢印（１）参照）。また、吸込フード８５の他端にはポンプ（図示せず）が接続され、開口部８５Ａからは空気が吸い込まれる（図１３矢印（４）参照）。
【０１０２】
下方向へ流れたガス、アブレーションカスはエアーフローＡ３により、ドラム５０（版材Ｆ）の表面から引き剥がされ、上側へ巻き上げられる（図１５の矢印（２）参照）。ドラム５０側の壁の先端８５ｂは、エアーフロー中心面ＡＭ３と版材Ｆとの交点Ｊより吹付ノズル８４側に位置している。このため、エアーフローＡ３により巻き上げられたガス、アブレーションカスが、確実に吸込フード８５内へ誘導される。
【０１０３】
また、下方向へ流れたガス、アブレーションカスの一部は、ドラム５０（版材Ｆ）から剥離する（図１５の矢印（４）参照）。しかしながら、ガス、アブレーションカスが剥離する領域は、各壁の先端８５ａ、８５ｂ、８５ｃにより覆われた空間内であるため、この剥離したガス、アブレーションカスも確実に吸込フード８５内へ誘導される。
【０１０４】
これにより、ガス、アブレーションカスを吸込フード８５から確実に吸い込むことができる。
【０１０５】
次に、マルチビーム露光系によって印刷版を製造する際の露光走査工程について説明する。露光走査工程は、主として制御回路１００によって制御される。本実施の形態では、粗彫刻工程、微細彫刻工程を連続して行う複数回露光走査方式を採用する。
【０１０６】
制御回路１００に画像データが供給されると、制御回路１００は、彫刻を開始する前に、吹付ノズル８４から空気を吹き付けてエアーフローＡ３を発生させるとともに、吸込フード８５から空気の吸い込みを開始する。その後、彫刻を開始する。彫刻については、第１の実施の形態と同様であるため、説明を省略する。
【０１０７】
版材Ｆ上の全面を露光が終了したら、吹付ノズル８４からの空気の吹き付けを停止させ、その後吸込フード８５から空気の吸い込みを停止する。
【０１０８】
本実施の形態によれば、ドラム（版材）からの摩擦抗力等により、ドラム５０の回転に伴ってガス、アブレーションカスがドラム（版材）の表面に絡みついたとしても、ガス、アブレーションカスを吸込フードから確実に吸い込むことができる。そのため、ガス、アブレーションカスの装置内への飛散が防止され、アブレーションカスの回収効率を上げることができる。
【０１０９】
なお、本実施の形態では、露光ヘッド３０側の壁８５ａの先端が光軸に隣接し、ドラム５０側の壁８５ｂの先端及び両側の壁８５ｃの先端がチャック部材５５の周回ラインｒに略沿って形成された管状の部材を有する吸込フード８５を用いたが、吸込フード８５の形状はこれに限られない。例えば、図１８に示すように、吹付ノズル８０を覆う高さで形成された壁８５ａ’及び側面の壁８５ｃ’（図１７では図示せず）を配設し、先端が吹付ノズル８４の吹き出し口に隣接する壁５ｂ’を配設し、壁８５ａ’、８５ｂ’、８５ｃ’により形成される開口部８５Ａ’がエアーフローＡ３全体を覆うようにしてもよい。これにより、ガス、アブレーションカスの吸引効率を高くすることができる。図１８に示す場合においても、壁８５ｂ’の先端が光軸Ｌと露光面（表面）ＦＡとの交点Ｉ、すなわち彫刻点の真下よりもドラム５０側に位置するように吸込フード８５’が形成される。そのため、アブレーションカスが交点Ｉから真下に落下したとしても、アブレーションカスは吸込フード８５’内へ誘導される。
【０１１０】
本発明の実施の形態では、吸込フードの開口部が略長方形に形成されているが、開口部の形状は略長方形には限定されない。光ファイバーアレイ部３００の光出射部２８０の大きさ、ドラム５０と露光ヘッド３０距離によっては、略正方形となる場合もある。また、吸込フードの開口部吸込フードの開口部は、略長方形、略正方形等の略矩形形状にも限定されない。対向する２つの面（露光ヘッド３０側、ドラム５０側）が平行であればよく、例えば他の２つの面が円弧形状で形成された略小判形状の開口部を採用してもよい。
【０１１１】
本発明の実施の形態では、副走査方向の間欠送りによる走査露光方式を用いた場合を例に説明したが、ドラム回転中に副走査方向に一定速度で露光ヘッド３０を移動させて版材Ｆの表面をスパイラル（らせん）状に走査するスパイラル露光方式を採用してもよい。
【符号の説明】
【０１１２】
１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ…レーザ記録装置、１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ…製版装置、２０…光源ユニット、２１Ａ，２１Ｂ…半導体レーザ、２２Ａ，２２Ｂ，７０Ａ，７０Ｂ…光ファイバー、３０…露光ヘッド、４０…露光ヘッド移動部、５０…ドラム、８０、８２、８４…吹付ノズル、８１、８３、８５…吸込フード、９０…制御回路、３００…光ファイバーアレイ部、５１２…インターレース領域、５１４…ノンインターレース領域、Ａ１、Ａ２、Ａ３…エアーフロー、Ｆ…版材、Ｋ…走査線、Ｌ…光軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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