(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧縮機ロータを収容してなるケーシングと、圧縮機本体の吸込口に接続された吸込流路と、前記圧縮機本体の吐出口に接続された吐出流路とを備え、
前記圧縮機ロータのロータ軸に接続された駆動手段によって、該圧縮機ロータが回転され、前記吸込流路から前記吸込口を介して流体を吸い込み、前記吐出口を介して前記吐出流路に圧縮された流体を吐出する圧縮機において、
前記ケーシングと前記ロータ軸の間に配設され、前記ロ一タ軸に周設された回転環と、弾性部材により前記ロータ軸と略垂直な前記回転環の垂直端面に当接可能に配置された静止環とを有するドライガスシール部と、
前記静止環と当接可能な前記回転環の垂直端面を含む空間と、シールガスの供給源とを接続するシールガス供給流路と、
前記ドライガスシール部より駆動手段側であって、前記ロータ軸の周囲の空間に位置するフレアライン接続空間と、
前記フレアライン接続空間と外部空間と接続するフレアラインと、
前記ドライガスシール部からのシールガスの漏れを確認し、前記フレアライン、前記外部空間へ通じる配管の詰まりを未然に防止するための前記フレアラインに介設された流量計と、
前記フレアラインから前記流量計の上流側で分岐して、再び当該フレアラインに前記流量計の下流側で合流するフレアライン分岐流路と、
前記フレアライン分岐流路には、当該フレアライン分岐流路の上流側の圧力が所定圧以上となると開弁する安全弁と、
が設けられてなることを特徴とする圧縮機。
【請求項２】
前記流量計の前後には開閉弁、更に前記流量計と並列に開閉弁の介設されたバイパス流路が設けられ、
通常時には、前記流量計の前後の開閉弁が全開、前記流量計と並列に設けられた開閉弁が全閉し、
前記流量計の点検時には、前記流量計と並列に設けられた開閉弁を全開にしてから、前記流量計の前後の開閉弁を全閉にするように構成されたことを特徴とする請求項１に記載の圧縮機。
【請求項３】
前記ドライガスシール部の損傷、破損による前記フレアラインの圧力の上昇を検出するための前記フレアラインに介設された圧力計、をさらに備えることを特徴とする請求項１または２に記載の圧縮機。
【請求項４】
前記シールガス供給流路に介設された流量計、をさらに備え、
当該流量計で検出されたシールガスの流量が、所定の流量値以下となった場合に警報装置によって警報が発せられることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の圧縮機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧縮機に関し、より詳しくは、いわゆるドライガスシールを採用した圧縮機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
圧縮機には、種々の形式のものが知られているが、多くは、スクリュロータやインペラ等の回転体を回転し、この回転体の回転に伴って、流体を圧縮する形式のものである。このため、圧縮機には、回転体の主要部分を収容し、流体を圧縮するための圧縮空間が形成されるとともに、この回転体の軸を支持する軸受部が形成される。そして、それら圧縮空間と軸受部の間には、圧縮空間からの圧縮流体の漏出、また、軸受部から圧縮空間への潤滑材（油、グリース等）の流入を防止するために、種々のシール（軸封）が採用されている。
【０００３】
特に、ハイドロカーボン等の可燃性、爆発性ガスや有毒ガス、腐食性ガス等のガスを圧縮すべき流体として取り扱う圧縮機については、このガスに対してシールをどのように構成するかが重要となる。昨今では、油を全くシール用の材料として使用しないドライなシールとして、いわゆるドライガスシールが注目されている。
【０００４】
ドライガスシールは、おおまかに言えば、回転体の軸と一体的に回転する回転環と、この回転環の、軸と略垂直な垂直端面と対向する位置に配置され、ケーシング等と弾性部材を介して固定された静止環とによって構成されている。ドライガスシールは、回転体が静止している状態では、回転環に静止環が当接し、シール面を形成して、圧縮されるべきガスの流出等を防止する。また、ドライガスシールの回転環の垂直端面、すなわち、静止環と対向する面の多くには、スパイラル状・らせん状の溝が形成されている。そして、回転体が回転している状態では、スパイラル状・らせん状の溝にシールガスが流れ込み、動圧を形成して、回転環と静止環との間にわずかな隙間が形成され、そこにシールガスでのシール面が構成され、やはり圧縮されるべきガスの流出等が防止される。
【０００５】
尚、ドライガスシールと同様に、回転体が回転する際に、シール部材と回転体の軸とが非接触状態となるシール（軸封）としてラビリンスシールが知られている。但し、上述の通り、ドライガスシールの形成するシール面は回転体の軸と略垂直な面となるため、ドライガスシールはラビリンスシールより、回転体の軸の半径方向の振動の影響を受けにくい。また、ラビリンスシールで形成されるシール部材と軸の隙間より、ドライガスシールのシール面での隙間を小さくすることができるので、ラビリンスシールでの漏れ量よりドライガスシールでの漏れ量を格段に少なくすることができる等の利点がある。
【０００６】
上述のようにドライガスシールはシール（軸封）として非常に有用なものであるが、改善すべき課題も種々指摘されている。例えば、シール面への異物（液体等）の浸入等のため、回転環と静止環との間に発生する力（浮上力）にばらつきが生じると、回転体の回転中に、回転環と静止環とが接触する事態が生じ、シール面が損傷する可能性がある。ドライガスシールが損傷・破損すると、漏れ出したガスが更に他の不具合を誘引することとなり、望ましくない。そのため、ドライガスシールの損傷・破損等の不具合を、未然に、あるいは素早く検知して、その不具合に応じた対応を可能とする技術が求められている。
【０００７】
この様な従来技術につき概略説明するならば、例えば、従来例１では、非接触式ドライガスシールのベントラインのガスリーク量を検知する装置を備えた非接触式ドライガスシールの異常検知システムが開示されている（特許文献１参照）。また、従来例２には、軸封装置（ドライガスシール）内を通過したバッファガスをリークガスとして外部へ排出するリークガス流路に、そのリークガスの温度を測定するリークガス温度測定器を設け、そのリークガス温度測定器で測定されたリークガスの温度が予め設定された設定値を越えたときに、遠心圧縮機を停止させる制御装置を有した遠心圧縮機の軸封システムが提案されている（特許文献２参照）。
【０００８】
また、ドライガスシールの損傷・破損等の不具合の発生自体を回避するための従来技術も種々提案されている。例えば、従来例３に係る高圧流体処理装置は、装置本体を有し前記装置本体の内部に大気圧よりも高圧の流体が封入される高圧流体処理装置であって、その高圧流体処理装置は、前記高圧流体処理装置以外の他の高圧流体処理装置に不具合が生じたときのみ前記他の高圧流体処理装置の代わりとして運転され、前記装置本体に設けられ前記装置本体から前記封入された流体が漏れることを防ぐドライガスシールと、前記装置本体に封入された前記流体の圧力が設定値よりも下がらないように前記装置本体の内部に流体を供給する流体供給部とを備えている（特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平４−２９６７８号公報
【特許文献２】特開２００２−１５５８９２号公報
【特許文献３】特開２００１−３５５５９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記従来例１に係る非接触式ドライガスシールの異常検知システムによれば、非接触式ドライガスシールの異常とエアーシール用空気、窒素等のガス量の異常を区別することができるので、ベントラインの異常で安易に圧縮機、ブロア、送風機を停止することなく、真に、非接触式ドライガスシールの異常のみで圧縮機、ブロア、送風機を停止することができるとされている。また、上記従来例２に係る遠心圧縮機の軸封システムによれば、ドライガスシールが損傷・破損する前に異常を検出することができるので、シールの損傷を未然に防止することが可能になるとされている。
【００１１】
しかしながら、ドライガスシールが高圧のガスを扱う圧縮機の軸封に用いられる場合、一旦、ドライガスシールが損傷・破損すると、高圧のガスが急激に漏れ出すことになる。その場合、異常を検知して圧縮機を停止させても、高圧のガスの漏れは直ぐには止まらないため、上記従来例１に係る異常検知システムでは対応しきれない。また、従来例２に係る軸封システムは、ドライガスシールが損傷・破損することを前提としたものではないため、現実にドライガスシールの損傷・破損の不具合が発生した場合にはその不具合に対応できない。
【００１２】
更に、従来例３に係る高圧流体処理装置も、従来例２に係る軸封システムと同様、ドライガスシールが損傷・破損することを前提としたものではないため、現実にドライガスシールの損傷・破損の不具合が発生した場合にはその不具合に対応できない。また、この従来例３では、圧縮機内のガスより高圧のシールガスが必要になるため、シールガスラインの配管や付属機器に高圧に耐えられる物を用いなければならず、高圧ガス保安法の対象となる等、製作や手続きの点から煩雑になる。
【００１３】
従って、本発明の目的は、上記従来技術の課題を鑑み、軸封としてドライガスシール部を採用した圧縮機において、前記ドライガスシール部からのシールガスの漏れを確認し、フレアライン、外部空間へ通じる配管の詰まりを未然に防止することが可能であり、かつ、前記ドライガスシール部が損傷・破損して高圧のガスが漏れても、安全かつ自動的に処置可能な圧縮機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
即ち、上記目的を達成するために、本発明の請求項１に係る圧縮機が採用した手段は、圧縮機ロータを収容してなるケーシングと、圧縮機本体の吸込口に接続された吸込流路と、前記圧縮機本体の吐出口に接続された吐出流路とを備え、前記圧縮機ロータのロータ軸に接続された駆動手段によって、該圧縮機ロータが回転され、前記吸込流路から前記吸込口を介して流体を吸い込み、前記吐出口を介して前記吐出流路に圧縮された流体を吐出する圧縮機である。
【００１５】
そして、この圧縮機は、前記ケーシングと前記ロータ軸の間に配設され、前記ロ一タ軸に周設された回転環と、弾性部材により前記ロータ軸と略垂直な前記回転環の垂直端面に当接可能に配置された静止環とを有するドライガスシール部と、前記静止環と当接可能な前記回転環の垂直端面を含む空間と、シールガスの供給源とを接続するシールガス供給流路と、前記ドライガスシール部より駆動手段側であって、前記ロータ軸の周囲の空間に位置するフレアライン接続空間と、前記フレアライン接続空間と外部空間と接続するフレアラインと、前記ドライガスシール部からのシールガスの漏れを確認し、前記フレアライン、前記外部空間へ通じる配管の詰まりを未然に防止するための前記フレアラインに介設された流量計と、前記フレアラインから前記流量計の上流側で分岐して、再び当該フレアラインに前記流量計の下流側で合流するフレアライン分岐流路と、前記フレアライン分岐流路には、当該フレアライン分岐流路の上流側の圧力が所定圧以上となると開弁する安全弁と、
が設けられてなることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項２に係る圧縮機は、請求項１に係る圧縮機において、前記流量計の前後には開閉弁、更に前記流量計と並列に開閉弁の介設されたバイパス流路が設けられ、通常時には、前記流量計の前後の開閉弁が全開、前記流量計と並列に設けられた開閉弁が全閉し、前記流量計の点検時には、前記流量計と並列に設けられた開閉弁を全開にしてから、前記流量計の前後の開閉弁を全閉にするように構成されたことを特徴とする。
また、本発明の請求項３に係る圧縮機は、請求項１または２に記載の圧縮機において、前記ドライガスシール部の損傷、破損による前記フレアラインの圧力の上昇を検出するための前記フレアラインに介設された圧力計、をさらに備えることを特徴とする。
また、本発明の請求項４に係る圧縮機は、請求項１ないし３のいずれか１項に記載の圧縮機において、前記シールガス供給流路に介設された流量計、をさらに備え、当該流量計で検出されたシールガスの流量が、所定の流量値以下となった場合に警報装置によって警報が発せられることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の請求項１に係る圧縮機によれば、ケーシングとロータ軸の間に配設され、前記ロ一タ軸に周設された回転環と、弾性部材により前記ロータ軸と略垂直な前記回転環の垂直端面に当接可能に配置された静止環とを有するドライガスシール部と、前記静止環と当接可能な前記回転環の垂直端面を含む空間と、シールガスの供給源とを接続するシールガス供給流路と、前記ドライガスシール部より駆動手段側であって、前記ロータ軸の周囲の空間に位置するフレアライン接続空間と、前記フレアライン接続空間と外部空間と接続するフレアラインと、前記ドライガスシール部からのシールガスの漏れを確認し、前記フレアライン、前記外部空間へ通じる配管の詰まりを未然に防止するための前記フレアラインに介設された流量計と、前記フレアラインから前記流量計の上流側で分岐して、再び当該フレアラインに前記流量計の下流側で合流するフレアライン分岐流路と、前記フレアライン分岐流路には、当該フレアライン分岐流路の上流側の圧力が所定圧以上となると開弁する安全弁と、が設けられてなるので、前記ドライガスシール部からのシールガスの漏れを確認し、前記フレアライン、前記外部空間へ通じる配管の詰まりを未然に防止することが可能であり、かつ、前記ドライガスシール部の損傷・破損等によるフレアラインの圧力の上昇が非常に急で、圧力計で検出された圧力値に基づく圧縮機の停止に遅れが生じたとしても、前記安全弁を開弁させることによって、前記フレアラインでの圧力がその安全弁に設定された圧力を超えることはない。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態に係る圧縮機の構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の実施の形態に係る圧縮機を、以下添付図１を参照しながら説明する。図１は、本発明の実施の形態に係る圧縮機の構成図である。本発明に係る圧縮機１は、プロセスガスとして窒素を、即ち圧縮する対象の気体として窒素を利用する圧縮機である。尚、この圧縮機１の軸封には、後述するようにドライガスシールを採用している。また、この圧縮機１は、後述する様にその圧縮機ロータ（回転体）３にインペラ（羽根車）を採用した遠心圧縮機である。
【００１９】
本発明の実施の形態に係る圧縮機１は、その圧縮機１の主要部品として、ケーシング２、そのケーシング２に収容されてなる圧縮機ロータ（回転体）３、その圧縮機ロータ（回転体）３に回転力を伝達するための増速機４を備えている。尚、増速機４はピニオンギア（小歯車）４ａと、ブルギア（大歯車）（図示せず）が噛合って構成されている。そのブルギア（大歯車）の軸には、電動機（図示せず）の駆動軸がカップリング等を介して接続されている。ピニオンギア４ａの軸４ｂは、圧縮機ロータ３のロータ軸３ａに一体的に結合されている。
【００２０】
換言すれば、増速機４が圧縮機ロータ（回転体）３のロータ軸３ａに接続された駆動手段を構成している。その駆動手段によって圧縮機ロータ（回転体）３が回転され、後述する様に、圧縮機１は吸込流路７から吸込口５を介してプロセスガスを吸い込み、吐出口６を介して吐出流路８に圧縮されたプロセスガスを吐出する。
【００２１】
圧縮機ロータ３は、ロータ軸３ａにテンショボルト（図示せず）及びロックナット（図示せず）で固定された、いわゆるインペラ（略円錐状の羽根車）で構成されている。そして、圧縮機ロータ３の回転によって、圧縮機ロータ３を構成するインペラの先端部に位置するプロセスガスの吸込口５から、プロセスガスが吸い込まれるよう構成されている。圧縮機ロータ３の回転によって、吸込口５から吸い込まれたプロセスガスが加速される。
【００２２】
そして、加速されたプロセスガスはディフューザ（図示せず）を通過して減速されるとともに昇圧され、スクロール部（図示せず）を介して、吐出口６より吐出される。尚、プロセスガスの吸込口５とプロセスガスの供給源は吸込流路７によって接続され、また、プロセスガスの吐出口６とプロセスガスの供給先とは吐出流路８によって接続されている。
【００２３】
プロセスガスはその圧力の上昇とともに温度も上昇する。従って、吐出流路８には、その吐出流路８を通ずるプロセスガスの温度を低下させるための冷却器９が介設されている。更に、その冷却器９とプロセスガスの供給先との間の吐出流路８から分岐し、後述するシールガス供給流路１８と合流する、分岐流路１０が設けられている。分岐流路１０には、吐出流路８との分岐点から、シールガス供給流路１８との合流点に向かう流れのみを許容する逆止弁１１（ＣＶ５０１）が介設されている。
【００２４】
ピニオンギア４ａの周囲には、圧縮機ロータ３の回転によって昇圧されたプロセスガスが、その圧縮機ロータ３を構成するインペラの背面を通じて、増速機４側に漏出しない様に、ドライガスシール部１２が設けられている。ドライガスシール部１２は、ロータ軸３ａと一体的に回転する回転環１２ａと、この回転環１２ａの、軸４ｂと略垂直な垂直端面と対向する位置に配置され、ケーシング２とロータ軸３ａの間に配設され、ケーシング２と弾性部材１２ｂを介して固定された静止環１２ｃとによって構成されている。
【００２５】
ドライガスシール部１２は、圧縮機ロータ３が静止している状態では、回転環１２ａに静止環１２ｃが当接し、シール面を形成して、プロセスガスの流出を防止する。また、ドライガスシール部１２の回転環１２ａの垂直端面、即ち静止環１２ｃと対向する面には、通常螺旋状の溝（図示せず）が形成されている。そして、圧縮機ロータ３が回転している状態では、螺旋状の溝にシールガスが流れ込んで、回転環１２ａと静止環１２ｃとの間に僅かな隙間が形成され、その僅かな隙間にシールガスによるシール面が構成され、やはりプロセスガスの流出が防止される。
【００２６】
一方、ドライガスシール部１２より、増速機４側のロータ軸３ａの周囲の空間には、フレアライン接続空間１３及びオイルバッフル１４が設けられている。フレアライン接続空間１３は、ドライガスシール部１２から漏れたガスを排気するための流路、即ち後述のフレアライン１６と連通する空間である。
【００２７】
また、オイルバッフル１４は、ラビリンスシール１５ａ、１５ｂの中間位置に形成されている空間であり、後述の計装空気流路１７が連通している。計装空気流路１７から計装空気がオイルバッフル１４に注入されることにより、オイルバッフル１４の内部圧力が上昇され、増速機４の潤滑油がドライガスシール部１２側へ漏れ出るのを防いでいる。
【００２８】
そして、ドライガスシール部１２へシールガスを供給するためのシールガス供給流路１８が設けられている。シールガス供給流路１８の一端は、ドライガスシール部１２の回転環１２ａの垂直端面、すなわち、静止環１２ｃと対向する面にシールガスが供給され得る様、その垂直端面を含む空間に接続されている。また、シールガス供給流路１８の他の一端は、シールガスの供給源に接続されている。
【００２９】
そのシールガス供給流路１８には、その流路を通じるシールガスの圧力を検出するための圧力計１９（ＰＴ２７００）、シールガス供給源から圧縮機１側への流れのみを許容する逆止弁２０（ＣＶ５０７）、シールガスに混入する微小な不純物を捕捉するためのフィルタ２１ａ、２１ｂ、更に、シールガスの流量を検出し、絞り手段でもあるオリフィス２２（流量計ＦＥ２７００）が介設されている。
【００３０】
尚、前記フィルタには、フィルタ２１ａとフィルタ２１ｂとが並列に設けられている。そして、フィルタ２１ａの前後には開閉弁２３，２４、フィルタ２１ｂの前後には開閉弁２５，２６が設けられている。そして、フィルタ２１ａ，２１ｂの上流、下流の圧力の差圧を検出する差圧計２７（ＰｄＩＳ２７００）が、そのフィルタ２１ａ、２１ｂの近傍に設けられている。この差圧計２７（ＰｄＩＳ２７００）で検出される差圧の大小によって、フィルタ２１ａ，２１ｂの目詰まりの状況を確認することができる。
【００３１】
計装空気流路１７には、流量計２８（ＦＩ２２５）が介設されている。そして、その流量計２８の前後には開閉弁２９，３０、更に流量計２８と並列に開閉弁３１の介設されたバイパス流路３２が設けられている。計装空気流路１７に計装空気が流れていない場合、増速機４内の潤滑油がオイルバッフル１４の前後のラビリンスシール１５ａ，１５ｂを通過してドライガスシール部１２に達し、ドライガスシール部１２を破損する恐れが生じる。
【００３２】
この流量計２８（ＦＩ２２５）は、計装空気が確実にオイルバッフル１４へ流れていることを確認し、上述の「ドライガスシール部１２の破損」を未然に防止するために設けられている。通常時には開閉弁２９，３０が全開、開閉弁３１が全閉とされ、流量計２８（ＦＩ２２５）で計装空気の流れが確認される。流量計２８（ＦＩ２２５）の点検時には、開閉弁３１を全開してから、開閉弁２９，３０を全閉し、流量計２８（ＦＩ２２５）に計装空気が流れない状態にして、その流量計２８のメンテナンス等の作業が行われる。
【００３３】
また、フレアライン接続空間１３には、ドライガスシール部１２からの漏れたガスを排気するための流路、即ちフレアライン１６が連通している。フレアライン１６には、圧力計３３（ＰＴ２７１７）と流量計３４（ＦＩ２２４）が介設されている。そして、その流量計３４の前後には開閉弁３５，３６、更に流量計３４と並列に開閉弁３７の介設されたバイパス流路３８が設けられている。フレアライン１６・外部空間（屋外）へ通じる配管が詰まると、ドライガスシール部１２が破損した場合に、高圧ガスを安全に排気できなくなるため、危険である。
【００３４】
流量計３４（ＦＩ２２４）は、ドライガスシール部１２からのシールガスの漏れ（流れ）およびオイルバッフル１４からの計装空気の漏れ（流れ）を確認し、上述の「フレアライン１６・外部空間（屋外）へ通じる配管の詰まり」を未然に防止するために設けられている。通常時には、開閉弁３５，３６が全開、開閉弁３７が全閉とされ、流量計３４（ＦＩ２２４）でドライガスシール部１２からのシールガスの漏れ（流れ）およびオイルバッフル１４からの計装空気の漏れ（流れ）が確認される。流量計３４（ＦＩ２２４）の点検時には、開閉弁３７を全開にしてから、開閉弁３５，３６を全閉にして、流量計３４（ＦＩ２２４）にシールガスや計装空気が流れない状態にして、その流量計３４のメンテナンス等の作業が行われる。
【００３５】
そして、圧力計３３（ＰＴ２７１７）と流量計３４（ＦＩ２２４）との間のフレアライン１６から分岐し、再びそのフレアライン１６（より具体的には、バイパス流路３８とフレアライン１６との合流点より下流のフレアライン１６）に合流するフレアライン分岐流路３９が設けられている。そして、そのフレアライン分岐流路３９には、そのフレアライン分岐流路３９の上流側の圧力が所定圧以上となると開弁する安全弁４０が設けられている。尚、ここでいうフレアライン分岐流路３９の上流側の圧力とは、安全弁４０の設けられている箇所より上流側のフレアライン分岐流路３９の圧力のことである。
【００３６】
圧縮機１の運転前、即ち圧縮機ロータ３が回転される前には、分岐流路１０の逆止弁１１（ＣＶ５０１）が閉じた状態で、且つシールガス供給流路１８の逆止弁２０（ＣＶ５０７）が開いた状態で、シールガスの供給源からシールガス供給流路１８を介してドライガスシール部１２へシールガスが供給される。
【００３７】
そして、圧縮機１の運転が始まり、吐出流路８の圧力がシールガス供給流路１８の上流側の圧力、例えば圧力計１９（ＰＴ２７００）で検出される圧力よりも高くなると、分岐流路１０の逆止弁１１（ＣＶ５０１）が開いた状態で、且つシールガス供給流路１８の逆止弁２０（ＣＶ５０７）が閉じた状態で、プロセスガスの吐出流路８から、分岐流路１０を介して、プロセスガスの一部がシールガスとしてドライガスシール部１２へ供給される様になる。
【００３８】
尚、シールガス供給流路１８の上流側にシールガスを送出するためのポンプ等が設けられている場合にあっては、圧力計１９（ＰＴ２７００）で検出される圧力が所定の圧力値以上となった場合に、吐出流路８の圧力がシールガス供給流路１８の上流側の圧力（例えば、圧力計１９（ＰＴ２７００）で検出される圧力）よりも高くなったと判断し、ポンプ等を停止するよう構成することが望ましい。
【００３９】
この圧縮機１は、ドライガスシール部１２の損傷・破損等の不具合を発生させないためのインタロック機構及び、現にドライガスシール１２に不具合が発生した場合のインタロック機構を種々備えている。
【００４０】
例えば、圧縮機１の運転中に、オリフィス２２（流量計ＦＥ２７００）で検出されたシールガスの流量が、所定の流量値以下となった場合には、図示しない警報装置によって、その旨の警報が発せられる。シールガスの流量が不足している場合には、ドライガスシール部１２におけるシールガスでのシール面の形成が不十分となる。そのため、プロセスガスの漏出が発生したり、場合によっては、シール面が形成されずに回転環１２ａに静止環１２ｃが当接した状態のまま回転環１２ａが回転することになり、ドライガスシール部１２に損傷・破損等の不具合が生じる恐れがある。
【００４１】
従って、上記警報には、圧縮機１の起動時で、吐出流路８の圧力がシールガス供給流路１８の上流側の圧力以下の場合にはシールガスの供給源の状態を確認することを作業者に指示する旨、圧縮機１の通常の運転時で、吐出流路８の圧力がシールガス供給流路１８の上流側の圧力より高い場合には、分岐流路１０の逆止弁１１（ＣＶ５０１）の状態が正常かどうかを確認することを作業者に指示する旨など、作業者に対し、具体的な対応策の指示が含まれることが望ましい。
【００４２】
また、差圧計２７（ＰｄＩＳ２７００）で検出された差圧が、所定の圧力値以上となった場合には、図示しない警報装置によって、フィルタ２１ａ，２１ｂの何れかに目詰まりが発生している可能性がある旨の警報が発せられる。そして、その警報には、フィルタ２１ａ，２１ｂの目詰まりの状態を確認することを作業者に指示する旨の表示が含まれていることが望ましい。
【００４３】
そして、フレアライン１６に設けられた圧力計３３（ＰＴ２７１７）で検出された圧力が所定の圧力値以上となった場合には、ドライガスシール部１２に現に損傷・破損等の不具合が生じていると見做し、図示しない制御装置により圧縮機１を停止するよう構成されている。更に、上述の通り、圧縮機１は、圧力計３３（ＰＴ２７１７）と流量計３４（ＦＩ２２４）との間のフレアライン１６に、安全弁４０を備えている。
【００４４】
そのため、ドライガスシール部１２の損傷・破損等によるフレアライン１６の圧力の上昇が非常に急で、圧力計３３（ＰＴ２７１７）で検出された圧力値に基づく圧縮機１の停止に遅れが生じても、安全弁４０（ＰＣＶ２２４）によって、フレアライン１６での圧力がその安全弁４０（ＰＣＶ２２４）に設定された圧力を超えることはない。
【００４５】
尚、安全弁４０（ＰＣＶ２２４）の替わりに、圧力計３３（ＰＴ２７１７）で検出された圧力の信号を受けて、その圧力が所定値以上となった場合に急開する開閉弁を設けても良い。
【符号の説明】
【００４６】
１…圧縮機
２…ケーシング
３…圧縮機ロータ（回転体），        ３ａ…ロータ軸
４…増速機，                        ４ａ…ピニオンギア（小歯車），
４ｂ…軸
５…吸込口
６…吐出口
７…吸込流路
８…吐出流路
９…冷却器
１０…分岐流路
１１…逆止弁
１２…ドライガスシール部，          １２ａ…回転環，
１２ｂ…弾性部材，                  １２ｃ…静止環
１３…フレアライン接続空間
１４…オイルバッフル
１５ａ，１５ｂ…ラビリンスシール
１６…フレアライン
１７…計装空気流路
１８…シールガス供給流路
１９…圧力計
２０…逆止弁
２１ａ，２１ｂ…フィルタ
２２…オリフィス
２３，２４，２５，２６…開閉弁
２７…差圧計
２８…流量計
２９，３０，３１…開閉弁
３２…バイパス流路
３３…圧力計
３４…流量計
３５，３６，３７…開閉弁
３８…バイパス流路
３９…フレアライン分岐流路
４０…安全弁
【図１】
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