(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御対象である調節弁からフィードバックされてくる実開度値を第１のフィードバック値とし、この第１のフィードバック値と上位装置から送られてくる弁開度設定値との偏差を求め、この偏差に所定の演算を施して得られる電気信号を制御出力として出力する制御手段と、
この制御手段からの制御出力を空気圧に変換し前記調節弁の駆動部へ出力する電空変換手段とを備えたポジショナにおいて、
前記電空変換手段からの前記調節弁の駆動部への空気圧を検出する空気圧検出手段と、
前記空気圧検出手段によって検出された空気圧の微分値を圧力微分値として第２のフィードバック値を算出する第２のフィードバック値算出手段と、
前記調節弁からフィードバックされてくる実開度値の微分値を弁開度微分値として第３のフィードバック値を算出する第３のフィードバック値算出手段と、
前記算出された第２のフィードバック値と第３のフィードバック値との和をマイナー制御ループのフィードバック値として算出する加算手段と、
前記制御手段からの制御出力をメジャー制御ループの制御出力とし、このメジャー制御ループの制御出力から前記加算手段によって算出されたマイナー制御ループのフィードバック値を減算して補正制御出力を求め、この補正制御出力を前記電空変換手段への制御出力として出力する補正制御出力演算手段と
を備えることを特徴とするポジショナ。
【請求項２】
請求項１に記載されたポジショナにおいて、
前記第２のフィードバック値算出手段は、
前記圧力微分値に第１の定数を乗じた値を前記第２のフィードバック値とし、
前記第３のフィードバック値算出手段は、
前記弁開度微分値に第２の定数を乗じた値を前記第３のフィードバック値とする
ことを特徴とするポジショナ。
【請求項３】
請求項１に記載されたポジショナにおいて、
前記電空変換手段は、
前記調節弁の駆動部への空気圧の出力ポートとして第１のポートと第２のポートとを有し、前記調節弁を前記制御出力に対応した方向に駆動させる場合には前記第１のポートの空気圧を前記第２のポート空気圧よりも高くし、前記調節弁を前記制御出力に対して反対方向に駆動させる場合には前記第２のポートの空気圧を前記第１のポートの空気圧よりも高くし、
前記空気圧検出手段は、
前記電空変換手段の第１のポートの空気圧と第２のポートの空気圧との差圧を検出し、
前記第２のフィードバック値算出手段は、
前記空気圧検出手段によって検出された差圧の微分値を圧力微分値としこの圧力微分値に第１の定数を乗じた値を前記第２のフィードバック値として算出し、
前記第３のフィードバック値算出手段は、
前記調節弁からフィードバックされてくる実開度値の微分値を弁開度微分値としこの弁開度微分値に第２の定数を乗じた値を前記第３のフィードバック値として算出する
ことを特徴とするポジショナ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、調節弁の開度を制御するポジショナに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、調節弁に対してポジショナを設け、このポジショナによって調節弁の開度を制御するようにしている。このポジショナは、上位装置から送られてくる弁開度設定値と調節弁からフィードバックされてくる実開度値との偏差を求め、この偏差に所定の演算を施して得られる電気信号を制御出力として出力する制御部と、この制御部からの制御出力を空気圧信号に変換する電空変換器（ＥＰＭ）と、この電空変換器が変換した空気圧信号を増幅し調節弁の駆動部へ出力するパイロットリレーとを備えている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図３に従来のポジショナの要部の構成を示す。同図において、１Ａはポジショナ、２は調節弁であり、調節弁２にはその弁開度（バルブの開度）を検出する開度センサ３が設けられている。ポジショナ１Ａは、制御部１１と、電空変換器１２と、パイロットリレー１３とを備えており、開度センサ３が検出する調節弁２の弁開度が実開度値Ｘｐｖとして制御部１１へフィードバックされるようになっている。
【０００４】
ポジショナ１Ａにおいて、制御部１１は、上位装置（図示せず）からの弁開度設定値Ｘｓｐと開度センサ３からの実開度値Ｘｐｖとの偏差ｅを求め、この偏差ｅにＰＩＤ制御演算を施して得られる電気信号を制御出力ＭＶとして出力する。なお、偏差ｅの算出は偏差算出部１１ａにおいて行われ、偏差ｅに対するＰＩＤ制御演算はＰＩＤ制御演算部１１ｂで行われる。
【０００５】
電空変換器１２は、制御部１１からの制御出力ＭＶを空気圧信号（ノズル背圧）Ｐｎに変換する。パイロットリレー１３は、電空変換器１２からの空気圧信号Ｐｎを増幅し、空気圧Ｐｏとして調節弁２の駆動部２ａへ出力する。これにより、駆動部２ａ内のダイアフラム室に空気圧Ｐｏの空気が流入し、調節弁２のバルブ２ｂの開度が調整される。
【０００６】
なお、パイロットリレー１３は、その主要な構成要素として、シリンダ１３ａとポペット弁１３ｂとを備えている。また、パイロットリレー１３は空気圧の出力ポートを１つしか有しておらず、この１つの出力ポートから出力される空気圧Ｐｏによって調節弁２を正動作（制御出力ＭＶに対応した方向に駆動）あるいは逆動作（制御出力ＭＶに対して反対の方向に駆動）させる。このような動作形式のポジショナを単動型ポジショナと呼んでいる。
【０００７】
このポジショナ１Ａに採用された制御方式の場合、制御部１１の制御対象には、調節弁２だけではなく、調節弁２に空気流量および空気圧力を加える電空変換器１２およびパイロットリレー１３も含まれる。電空変換器１２とパイロットリレー１３の特性が線形であり、素直な特性であれば、このような制御方式でも充分である。しかし、実際は電空変換器１２およびパイロットリレー１３ともヒステリシスや不感帯等の非線形要素を持ち、制御を複雑にしている。そのため、この制御方式では、速応性や整定性（安定性）において限界がある。そこで、バルブ開度制御の速応性を改善した制御方式が特許文献２に示され、バルブ開度制御の整定性を改善した制御方式が特許文献３に示されている。
【０００８】
図４は特許文献２に示された制御方式の概略を示す図である。このポジショナ１Ｂでは、制御対象である調節弁２からフィードバックされてくる実開度値Ｘｐｖを第１のフィードバック値とする一方、パイロットリレー１３におけるシリンダ１３ａやポペット弁１３ｂの変位Ｘｐを位置センサ１４によって検出するようにし、この位置センサ１４によって検出された変位Ｘｐに定数Ｋｍを乗じた値Ｋｍ・Ｘｐを第２のフィードバック値としている。そして、制御部１１からの制御出力ＭＶをメジャー制御ループの制御出力とし、このメジャー制御ループの制御出力ＭＶから第２のフィードバック値Ｋｍ・Ｘｐをマイナー制御ループのフィードバック値として減算して補正制御出力ＭＶ’を求め、この補正制御出力ＭＶ’を電空変換器１２への制御出力としている。なお、変位Ｘｐに対する定数Ｋｍの乗算は乗算部（第２のフィードバック値算出部）１５で行い、メジャー制御ループの制御出力ＭＶからのマイナー制御ループのフィードバック値Ｋｍ・Ｘｐの減算は減算部（補正制御出力演算部）１６で行う。
【０００９】
図５は特許文献３に示された制御方式の概略を示す図である。このポジショナ１Ｃでは、制御対象である調節弁２からフィードバックされてくる実開度値Ｘｐｖを第１のフィードバック値とする一方、パイロットリレー１３からの調節弁２への空気圧Ｐｏを圧力センサ１７によって検出するようにし、この圧力センサ１７によって検出される空気圧Ｐｏの微分値ｄＰｏ／ｄｔを圧力微分値とし、この圧力微分値ｄＰｏ／ｄｔに定数Ｋｍを乗じた値Ｋｍ・ｄＰｏ／ｄｔを第２のフィードバック値としている。そして、制御部１１からの制御出力ＭＶをメジャー制御ループの制御出力とし、このメジャー制御ループの制御出力ＭＶから第２のフィードバック値Ｋｍ・ｄＰｏ／ｄｔをマイナー制御ループのフィードバック値として減算して補正制御出力ＭＶ’を求め、この補正制御出力ＭＶ’を電空変換器１２への制御出力としている。なお、圧力微分値ｄＰｏ／ｄｔの算出およびこの圧力微分値ｄＰｏ／ｄｔに対する定数Ｋｍの乗算は乗算部（第２のフィードバック値算出部）１８で行い、メジャー制御ループの制御出力ＭＶからのマイナー制御ループのフィードバック値Ｋｍ・ｄＰｏ／ｄｔの減算は減算部（補正制御出力演算部）１９で行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】実開昭６２−２８１１８号公報
【特許文献２】特表２００４−５２３０１６号公報
【特許文献３】特開２００１−２２１２０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、特許文献２に示された制御方式（図４）では、ムダ時間や時定数を縮めることによりバルブ開度制御の速応性の改善は望めるが、整定性の改善は難しい。また、特許文献３に示された制御方式（図５）では、圧力値そのものを見ているため、オーバシュートや整定時間など整定性の改善は望めるが、速応性の改善は難しい。
【００１２】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、バルブ開度制御の速応性と整定性の改善を両立することが可能なポジショナを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような目的を達成するために本発明は、制御対象である調節弁からフィードバックされてくる実開度値を第１のフィードバック値とし、この第１のフィードバック値と上位装置から送られてくる弁開度設定値との偏差を求め、この偏差に所定の演算を施して得られる電気信号を制御出力として出力する制御手段と、この制御手段からの制御出力を空気圧に変換し調節弁の駆動部へ出力する電空変換手段とを備えたポジショナにおいて、電空変換手段からの調節弁の駆動部への空気圧を検出する空気圧検出手段と、空気圧検出手段によって検出された空気圧の微分値を圧力微分値として第２のフィードバック値を算出する第２のフィードバック値算出手段と、調節弁からフィードバックされてくる実開度値の微分値を弁開度微分値として第３のフィードバック値を算出する第３のフィードバック値算出手段と、算出された第２のフィードバック値と第３のフィードバック値との和をマイナー制御ループのフィードバック値として算出する加算手段と、制御手段からの制御出力をメジャー制御ループの制御出力とし、このメジャー制御ループの制御出力から加算手段によって算出されたマイナー制御ループのフィードバック値を減算して補正制御出力を求め、この補正制御出力を電空変換手段への制御出力として出力する補正制御出力演算手段とを備えることを特徴とする。
【００１４】
この発明によれば、電空変換手段からの調節弁の駆動部への空気圧が検出され、この検出された空気圧の微分値を圧力微分値として第２のフィードバック値が算出される。例えば、圧力微分値に第１の定数を乗じた値が第２のフィードバック値として算出される。また、調節弁からフィードバックされてくる実開度値の微分値を弁開度微分値として第３のフィードバック値が算出される。例えば、弁開度微分値に第２の定数を乗じた値が第３のフィードバック値として算出される。そして、この第２のフィードバック値と第３のフィードバック値との和がマイナー制御ループのフィードバック値とされ、このマイナー制御ループのフィードバック値をメジャー制御ループの制御出力から減算して補正制御出力が求められ、この求められた補正制御出力が電空変換手段への制御出力とされる。
【００１５】
この発明において、第２のフィードバック値と第３のフィードバック値との和は、例えば上述した第１の定数や第２の定数として適正な値を与えることによって、電空変換手段から出力される空気の流量に相当する量とすることが可能である。この場合、電空変換手段から出力される空気の流量に相当する量がメジャー制御ループの制御出力から減算されるものとなり、バルブ開度制御の速応性と整定性の改善が両立されるものとなる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、調節弁の駆動部への空気圧の微分値を圧力微分値として第２のフィードバック値を算出し、調節弁からフィードバックされてくる実開度値の微分値を弁開度微分値として第３のフィードバック値を算出し、この算出された第２のフィードバック値と第２のフィードバック値との和をマイナー制御ループのフィードバック値とするようにしたので、電空変換手段から出力される空気の流量に相当する量をメジャー制御ループの制御出力から減算するようにして、バルブ開度制御の速応性と整定性の改善を両立することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係るポジショナの一実施の形態（実施の形態１（単動型））の要部の構成を示す図である。
【図２】本発明に係るポジショナの他の実施の形態（実施の形態２（複動型））の要部の構成を示す図である。
【図３】従来のポジショナの要部の構成を示す図である。
【図４】特許文献２に示された制御方式の概略を示す図である。
【図５】特許文献３に示された制御方式の概略を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１９】
〔実施の形態１：単動型ポジショナ〕
図１はこの発明に係るポジショナの一実施の形態（実施の形態１）の要部の構成を示す図である。同図において、図５と同一符号は図５を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。
【００２０】
このポジショナ１Ｄでは、調節弁２からフィードバックされてくる実開度値Ｘｐｖの微分値Ｘｐｖ／ｄｔを弁開度微分値とし、この弁開度微分値ｄＸｐｖ／ｄｔに定数Ｋｎを乗じた値Ｋｎ・ｄＸｐｖ／ｄｔを第３のフィードバック値とし、第２のフィードバック値Ｋｍ・ｄＰｏ／ｄｔと第３のフィードバック値Ｋｎ・ｄＸｐｖ／ｄｔとの和ＦＢを求め（ＦＢ＝Ｋｍ・ｄＰｏ／ｄｔ＋Ｋｎ・ｄＸｐｖ／ｄｔ）、この第２のフィードバック値と第３のフィードバック値との和ＦＢをマイナー制御ループのフィードバック値としている。そして、制御部１１からの制御出力ＭＶをメジャー制御ループの制御出力とし、このメジャー制御ループの制御出力ＭＶからマイナー制御ループのフィードバック値ＦＢを減算して補正制御出力ＭＶ’を求め、この補正制御出力ＭＶ’を電空変換器１２への制御出力としている。
【００２１】
なお、弁開度微分値ｄＸｐｖ／ｄｔの算出およびこの弁開度微分値ｄＸｐｖ／ｄｔに対する定数Ｋｎの乗算は乗算部（第３のフィードバック値算出部）２０で行い、第２のフィードバック値Ｋｍ・ｄＰｏ／ｄｔと第３のフィードバック値Ｋｎ・ｄＸｐｖ／ｄｔとの和ＦＢの算出は加算部２１で行う。また、メジャー制御ループの制御出力ＭＶからのマイナー制御ループのフィードバック値ＦＢの減算は減算部（補正制御出力演算部）２２で行う。
【００２２】
このポジショナ１Ｄにおいて、圧力センサ１７は、パイロットリレー１３からの調節弁２の駆動部２ａへの空気圧Ｐｏを検出する。乗算部（第２のフィードバック値算出部）１８は、圧力センサ１７によって検出された空気圧Ｐｏの微分値ｄＰｏ／ｄｔを圧力微分値として算出し、この圧力微分値ｄＰｏ／ｄｔに定数Ｋｍ（第１の定数）を乗じた値Ｋｍ・ｄＰｏ／ｄｔを第２のフィードバック値として出力する。
【００２３】
乗算部（第３のフィードバック値算出部）２０は、開度センサ３からの実開度値Ｘｐｖを分岐して入力し、この実開度値Ｘｐｖの微分値ｄＸｐｖ／ｄｔを弁開度微分値として算出し、この弁開度微分値ｄＸｐｖ／ｄｔに定数Ｋｎ（第２の定数）を乗じた値Ｋｎ・ｄＸｐｖ／ｄｔを第３のフィードバック値として出力する。
【００２４】
加算部２１は、乗算部１８からの第２のフィードバック値Ｋｍ・ｄＰｏ／ｄｔと乗算部２０からの第３のフィードバック値Ｋｎ・ｄＸｐｖ／ｄｔとを加算し、その加算値をマイナー制御ループのフィードバック値ＦＢとして減算部（補正制御出力演算部）２２へ送る。
【００２５】
減算部（補正制御出力演算部）２２は、制御部１１からの制御出力ＭＶをメジャー制御ループの制御出力として入力し、このメジャー制御ループの制御出力ＭＶからマイナー制御ループのフィードバック値ＦＢを減算して補正制御出力ＭＶ’を求め、この補正制御出力ＭＶ’を電空変換器１２への制御出力とする。
【００２６】
このポジショナ１Ｄにおいて、第２のフィードバック値Ｋｍ・ｄＰｏ／ｄｔと第３のフィードバック値Ｋｎ・ｄＸｐｖ／ｄｔとの和は、第１の定数Ｋｍおよび第２の定数Ｋｎを適正な値とすることによって、パイロットリレー１３から出力される空気の流量に相当する量としている。これにより、パイロットリレー１３から出力される空気の流量に相当する量をメジャー制御ループの制御出力ＭＶから減算するようにして、すなわちマイナー制御ループのフィードバック値ＦＢを流量等価物理量として、バルブ開度制御の速応性と整定性の改善を両立させている。
【００２７】
〔流量等価物理量の導出〕
以下、マイナー制御ループのフィードバック値ＦＢとして得られる「Ｋｍ・ｄＰｏ／ｄｔ＋Ｋｎ・ｄＸｐｖ／ｄｔ」がパイロットリレー１３から出力される空気の流量に相当する量（流量等価物理量）であることについて、その理論的な裏付けを説明する。
【００２８】
調節弁２の駆動部２ａのダイアフラム室へ流入（もしくは流出）する流量と弁開度および出力空気圧との関係式を求める。なお、ここでは、Ｐをダイアフラム室の圧力、Ｖをダイアフラム室の体積、θをダイアフラム室の温度、Ａをダイアフラム室の有効面積、Ｘを弁開度、Ｗをダイアフラム室の気体の物質量、Ｒを気体定数とする。
【００２９】
先ず、ダイアフラム室内について、気体の状態方程式を用いて考える。今、ダイアフラム室内の空気について、状態方程式は下記（１）式で表される。
Ｐ・Ｖ＝Ｗ・Ｒ・θ  ・・・・（１）
【００３０】
バルブ動作時は等温変化であると仮定し、上記（１）式を全微分すると、
Ｐ・ｄｖ／ｄｔ＋Ｖ・ｄＰ／ｄｔ＝Ｒ・θ・ｄＷ／ｄｔ  ・・・・（２）
質量流量Ｇは、Ｗの時間変化で表されるため、（２）式をｄＷ／ｄｔについて整理すると、
Ｇ＝ｄＷ／ｄｔ＝〔１／（Ｒ・θ）〕・（Ｐ・ｄｖ／ｄｔ＋Ｖ・ｄＰ／ｄｔ）  ・・・・（３）
【００３１】
ここで、ダイアフラム室の体積変化は、弁開度Ｘで下記（４）式のように表される。
ｄｖ／ｄｔ＝Ａ・ｄＸ／ｄｔ  ・・・・（４）
（４）式を（３）式に代入し、質量流量Ｇと圧力微分値および弁開度微分値の関係として次式を得る。
Ｇ＝ｄＷ／ｄｔ＝〔１／（Ｒ・θ）〕・（Ｖ・ｄＰ／ｄｔ＋Ｐ・Ａ・ｄＸ／ｄｔ〕＝Ｋｍ・ｄＰ／ｄｔ＋Ｋｎ・ｄＸ／ｄｔ・・・・（５）
【００３２】
以上より、圧力微分値ｄＰ／ｄｔおよび弁開度微分値ｄＸ／ｄｔをセンシングし、適当な定数ＫｍおよびＫｎを与えれれば、「Ｋｍ・ｄＰ／ｄｔ＋Ｋｎ・ｄＸ／ｄｔ」が調節弁２の駆動部２ａのダイアフラム室への流量に相当する量（流量等価物理量）として得られることが分かる。
【００３３】
〔実施の形態２：複動型ポジショナ〕
図２はこの発明に係るポジショナの他の実施の形態（実施の形態２）の要部の構成を示す図である。同図において、図１と同一符号は図１を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。
【００３４】
このポジショナ１Ｅにおいて、パイロットリレー１３は、空気圧の出力ポートを２つ有しており、第１のポートから空気圧Ｐｏ１を出力し、第２のポートから空気圧Ｐｏ２を出力する。このポジショナ１Ｅにおいて、調節弁２を正動作（制御出力ＭＶに対応した方向に駆動）させる場合には第１のポートの空気圧Ｐｏ１を第２のポートの空気圧Ｐｏ２よりも高くし、調節弁２を逆動作（制御出力ＭＶに対して反対の方向に駆動）させる場合には第２のポートの空気圧Ｐｏ２を第１のポートの空気圧Ｐｏ１よりも高くする。このような動作形式のポジショナを複動型ポジショナと呼んでいる。
【００３５】
このポジショナ１Ｅでは、図１に示した圧力センサ１７に代えて差圧センサ２３を設け、調節弁２の駆動部２ａへの第１のポートの空気圧Ｐｏ１と第２のポートの空気圧Ｐｏ２との差圧ΔＰｏ（ΔＰｏ＝Ｐｏ１−Ｐｏ２）を検出し、この検出した差圧ΔＰｏを乗算部（第２のフィードバック値算出部）１８へ送るようにしている。
【００３６】
そして、乗算部（第２のフィードバック値算出部）１８において、差圧センサ２３からの差圧ΔＰｏの微分値ｄΔＰｏ／ｄｔを圧力微分値として算出し、この圧力微分値ｄΔＰｏ／ｄｔに定数Ｋｍ（第１の定数）を乗じた値Ｋｍ・ｄΔＰｏ／ｄｔを第２のフィードバック値として加算部２１へ出力するようにしている。
【００３７】
加算部２１は、乗算部１８からの第２のフィードバック値Ｋｍ・ｄΔＰｏ／ｄｔと乗算部２０からの第３のフィードバック値Ｋｎ・ｄＸｐｖ／ｄｔとを加算し、その加算値をマイナー制御ループのフィードバック値ＦＢとして減算部（補正制御出力演算部）２２へ送る。
【００３８】
減算部（補正制御出力演算部）２２は、制御部１１からの制御出力ＭＶをメジャー制御ループの制御出力として入力し、このメジャー制御ループの制御出力ＭＶからマイナー制御ループのフィードバック値ＦＢを減算して補正制御出力ＭＶ’を求め、この補正制御出力ＭＶ’を電空変換器１２への制御出力とする。
【００３９】
このポジショナ１Ｅにおいて、第２のフィードバック値Ｋｍ・ｄΔＰｏ／ｄｔと第３のフィードバック値Ｋｎ・ｄＸｐｖ／ｄｔとの和は、第１の定数Ｋｍおよび第２の定数Ｋｎを適正な値とすることによって、パイロットリレー１３から出力される空気の流量に相当する量としている。これにより、パイロットリレー１３から出力される空気の流量に相当する量をメジャー制御ループの制御出力ＭＶから減算するようにして、すなわちマイナー制御ループのフィードバック値ＦＢを流量等価物理量として、バルブ開度制御の速応性と整定性の改善を両立させている。
【００４０】
なお、この実施の形態２では、差圧センサ２３によって調節弁２の駆動部２ａへの第１のポートの空気圧Ｐｏ１と第２のポートの空気圧Ｐｏ２との差圧ΔＰｏを検出するようにしたが、第１のポートの空気圧Ｐｏ１と第２のポートの空気圧Ｐｏ２を個別に検出し、その検出した空気圧Ｐｏ１とＰｏ２との差として差圧ΔＰｏを求めるようにしてもよい。
【００４１】
また、上述した実施の形態１，２では、制御部１１において、弁開度設定値Ｘｓｐと開度センサ３からの実開度値Ｘｐｖとの偏差ｅにＰＩＤ制御演算を施すようにしているが、偏差ｅに施す演算はＰＩＤ制御演算に限られるものではない。また、ＰＩＤ制御演算部１１ｂに実開度Ｘｐｖを分岐して与え、実開度Ｘｐｖに対して先に微分を行うようにする微分先行型のＰＩＤ制御演算を偏差ｅに対して施すようにしてもよい。
【００４２】
また、上述した実施の形態１，２では、電空変換器１２とパイロットリレー１３との組み合わせが本発明でいう電空変換手段に相当する。
また、上述した実施の形態１，２において、開度センサ３はポジショナ１Ｄの外側に設けられているものとしているが、ポジショナ１Ｄの内部に設けられていてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明のポジショナは、電気信号を空気圧信号に変換し、この変換された空気圧信号に基づき調節弁の弁開度を制御する機器として、プロセス制御など様々な分野で利用することが可能である。
【符号の説明】
【００４４】
１Ｄ，１Ｅ…ポジショナ、２…調節弁、２ａ…駆動部、２ｂ…バルブ、３…開度センサ、１１…制御部、１１ａ…、１１ｂ…ＰＩＤ制御演算部、１２…電空変換器、１３…パイロットリレー、１３ａ…シリンダ、１３ｂ，１３ｂ１，１３ｂ２…ポペット弁、１７…圧力センサ、１８…乗算部（第２のフィードバック値算出部）、２０…乗算部（第３のフィードバック値算出部）、２１…加算部、２２…減算部（補正制御出力演算部）、２３…差圧センサ。
【図１】
0005548158.tif 000002
【図２】
0005548158.tif 000003
【図３】
0005548158.tif 000004
【図４】
0005548158.tif 000005
【図５】
0005548158.tif 000006