(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷対象となる基板を保持するために設けられ、当該基板の搬送方向と直交する特定方向に沿って並置された一対の基板支持テーブルと、
前記一対の基板支持テーブルに担持された基板に対し交互に印刷工程を実施する印刷実行部と、
前記印刷実行部を前記特定方向に沿って駆動する印刷実行部駆動機構と、
前記印刷実行部駆動機構の駆動を制御することにより、一方の基板支持テーブルと他方の基板支持テーブルとが前記特定方向に対向する範囲内において前記印刷実行部の位置である印刷位置を設定する印刷位置設定手段と
を備えている
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
請求項１記載のスクリーン印刷装置において、
前記一対の基板支持テーブルを前記特定方向に沿って個別に駆動する基板支持テーブル駆動機構と、
前記基板支持テーブル駆動機構を制御するテーブル移動制御手段と
をさらに備えている
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項３】
請求項２記載のスクリーン印刷装置において、
前記特定方向において何れの基板支持テーブルも移動可能な共有エリアが設定されている
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項４】
請求項２または３記載のスクリーン印刷装置において、
前記印刷位置設定手段は、前記一対の基板支持テーブルの何れか一方が前記特定方向に沿って移動可能な範囲をテーブル可動ピッチとし、このテーブル可動ピッチを基準にして前記印刷位置を設定するものである
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項５】
請求項１から４の何れか１項に記載のスクリーン印刷装置において、
前記印刷位置設定手段は、印刷対象の基板種が変更となる場合の段取り替えにおいて、設定する前記印刷位置を変更するものである
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項６】
請求項１から５の何れか１項に記載のスクリーン印刷装置において、
何れの基板支持テーブルもそれぞれ、前記基板が搬入される基板搬入位置と、前記印刷位置と、印刷が終了した前記基板が搬出される基板搬出位置の間で相互に移動可能とされ、前記印刷位置設定手段は、前記基板搬入位置のそれぞれと対応する上流の各コンベアの位置と、前記基板搬出位置のそれぞれと対応する下流に配置される下流の各コンベアの位置の少なくともいずれかが変更される場合の段取り替えにおいて、設定する前記印刷位置を変更するものである
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項７】
請求項１から５の何れか１項に記載のスクリーン印刷装置において、
何れの基板支持テーブルもそれぞれ、前記基板が搬入される基板搬入位置と、前記印刷位置と、印刷が終了した前記基板が搬出される基板搬出位置の間で相互に移動可能とされ、前記印刷位置設定手段は、それぞれの前記基板支持テーブルが前記基板搬入位置から前記印刷位置への移動に際し、前記印刷位置を前記基板搬入位置側に変更するように前記印刷実行部を交互に移動するものである
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項８】
請求項７記載のスクリーン印刷装置において、
前記テーブル移動制御手段は、前記印刷位置から退出した基板支持テーブルが印刷済の基板を搬出した後、次の印刷工程に移行するまでの間、所定の位置まで印刷位置にある相手側の基板支持テーブルに近接するように前記基板支持テーブル駆動機構を制御するものである
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷装置に関し、特に、プリント配線板（Printed Wiring Board: PWB）等の基板に電子部品を実装するための前処理として、当該基板にクリーム半田や導電性ペースト等をスクリーン印刷するスクリーン印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷装置は、プリント回路板（Printed Circuit Board: PCB）の製造ラインに組み込まれ、上流側から搬送されてくる基板に導電性ペースト等のスクリーン印刷を施して下流側の部品実装装置に送り出すものである。生産効率を向上するため、例えば、特許文献１に開示されるように、装置内に基板の搬送方向と直交する水平方向に並置された一対の基板支持テーブルを設け、これら基板支持テーブル毎に印刷実行部を設けたものが開発されている。これは、２つの基板搬送ラインをもち、かつ各搬送ラインで部品実装を同時進行（並行）させる所謂デュアル搬送型の部品実装装置に対応して開発されたもので、これらのスクリーン印刷装置と部品実装装置とを連結することで、部品実装処理の速度向上に対応して印刷工程の効率化を図ることが狙いである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開2009-70867号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の構成では、各印刷実行部が徒に冗長な構成となり、無駄が多くなっていた。すなわち、同種の基板を連続して生産するような場合、同一の開口パターンを配したスクリーンマスクを二つ作成する必要があり、スクリーンマスクのコストが嵩んでいた。また、それぞれのスクリーンマスクに半田を段取りする必要があったので、段取りに必要な半田量が過剰となり、生産後の半田の処理（廃棄、保管など）においてもそれだけコストが必要となっていた。また、左右に同一の印刷実行部を組み合わせた冗長構成となるため、各印刷実行部を配置するためのスペースを確保する必要が生じる結果、装置自体やそれに付随する基板振り分け装置などのコンベア類も肥大化する傾向にあった。
【０００５】
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであり、デュアル搬送型の部品実装装置に適合可能な高い生産効率を保持しつつ、冗長性の少ない低廉で小型のスクリーン印刷装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、印刷対象となる基板を保持するために設けられ、当該基板の搬送方向と直交する特定方向に沿って並置された一対の基板支持テーブルと、前記一対の基板支持テーブルに担持された基板に対し交互に印刷工程を実施する印刷実行部と、前記印刷実行部を前記特定方向に沿って駆動する印刷実行部駆動機構と、前記印刷実行部駆動機構の駆動を制御することにより、一方の基板支持テーブルと他方の基板支持テーブルとが前記特定方向に対向する範囲内において前記印刷実行部の位置である印刷位置を設定する印刷位置設定手段とを備えていることを特徴とするスクリーン印刷装置である。この態様では、一つの印刷実行部を一対の基板支持テーブルで共有し、交互にスクリーン印刷を施すことができるので、印刷実行部の冗長性を避けることが可能になる。このため、両基板支持テーブルで同種の基板を連続して生産するような場合は、単一のスクリーンマスクを共用することができ、スクリーンマスクのコストを半減することが可能になる。また、単一のスクリーンマスクを共用できるので、段取りに必要な半田も必要充分な量に留まる。そのため、生産後の半田の処理（廃棄、保管など）においてもコスト低減を図ることが可能となる。また、印刷実行部の印刷位置を特定方向沿いに変更可能にして、各基板支持テーブルが同一の印刷実行部を共有しているので、印刷実行部の冗長性が排除され、しかも印刷実行部を配置するためのスペースをコンパクトにまとめることができ、装置自体やそれに付随するコンベア類も小型化することが可能となる。しかも印刷位置を設定する際は、印刷実行部を特定方向に移動して一方の基板支持テーブルと他方の基板支持テーブルとの間の任意の箇所に変更することができるので、各基板支持テーブルの稼働状況や、各基板支持テーブルに設定される基板搬入部、基板搬出部の態様に応じて、動的に好適な印刷位置を設定することができる。
【０００７】
好ましい態様において、前記一対の基板支持テーブルを前記特定方向に沿って個別に駆動する基板支持テーブル駆動機構と、前記基板支持テーブル駆動機構を制御するテーブル移動制御手段とをさらに備えている。この態様では、印刷実行部を移動することにより印刷位置を設定することができる他、基板支持テーブルを特定方向に移動させることによっても、印刷位置を変更することができるので、より一層、印刷処理の効率化を図ることができる。しかも、基板支持テーブルを特定方向に移動することができるので、基板支持テーブルに基板を搬入する搬入位置と基板を搬出する搬出位置も、製造ラインの態様に応じて変更することができ、スクリーン印刷装置自身の汎用性を高めることも可能になる。
【０００８】
好ましい態様において、前記特定方向において何れの基板支持テーブルも移動可能な共有エリアが設定されている。この態様では、共有エリアを設けることによって、特定方向におけるスクリーン印刷装置をコンパクトにすることができる。また、印刷位置を共有エリアに設定することも可能になるので、各基板支持テーブル並びに印刷実行部の移動範囲（移動時間）を短縮し、交互印刷の効率化を図ることが可能になる。
【０００９】
好ましい態様において、前記印刷位置設定手段は、前記一対の基板支持テーブルの何れか一方が前記特定方向に沿って移動可能な範囲をテーブル可動ピッチとし、このテーブル可動ピッチを基準にして前記印刷位置を設定するものである。この態様では、一対の基板支持テーブルの何れかが移動可能なテーブル可動ピッチにおいて印刷位置が設定されるので、共有エリアが設定されている場合に、この共有エリア内に印刷位置を設定し、各基板支持テーブル並びに印刷実行部の移動範囲（移動時間）を短縮し、交互印刷の効率化を図ることが可能になる一方、両基板支持テーブルが干渉しないよう、テーブル可動ピッチ内において共有エリア外を含む任意の位置で印刷位置を設定することができる。これによりコンパクトな構成で交互印刷を効率化することができるので、各基板支持テーブルの運転状況や設定条件に応じて好適な位置を印刷位置に設定し、効率化を図ることが可能になる。
【００１０】
好ましい態様において、前記印刷位置設定手段は、印刷対象の基板種が変更となる場合の段取り替えにおいて、設定する前記印刷位置を変更するものである。この態様では、基板種が変更されるたびに、当該基板種に係る基板に好適な印刷位置でスクリーン印刷を施すことができる。
【００１１】
好ましい態様において、何れの基板支持テーブルもそれぞれ、前記基板が搬入される基板搬入位置と、前記印刷位置と、印刷が終了した前記基板が搬出される基板搬出位置の間で相互に移動可能とされ、前記印刷位置設定手段は、前記基板搬入位置のそれぞれと対応する上流の各コンベアの位置と、前記基板搬出位置のそれぞれと対応する下流に配置される下流の各コンベアの位置の少なくともいずれかが変更される場合の段取り替えにおいて、設定する前記印刷位置を変更するものである。この態様では、前記基板搬入位置のそれぞれと対応する上流の各コンベアの位置と、前記基板搬出位置のそれぞれと対応する下流に配置される下流の各コンベアの位置の少なくともいずれかが変更される場合の段取り替えにおいて、印刷位置設定手段が設定する前記印刷位置を変更するので、当該変更に応じて好適な印刷位置でスクリーン印刷を施すことができる。
【００１２】
好ましい態様において、何れの基板支持テーブルもそれぞれ、前記基板が搬入される基板搬入位置と、前記印刷位置と、印刷が終了した前記基板が搬出される基板搬出位置の間で相互に移動可能とされ、前記印刷位置設定手段は、それぞれの前記基板支持テーブルが前記基板搬入位置から前記印刷位置への移動に際し、前記印刷位置を前記基板搬入位置側に変更するように前記印刷実行部を交互に移動するものである。この態様では、何れの基板支持テーブルもそれぞれ、前記基板が搬入される基板搬入位置と、前記印刷位置と、印刷が終了した前記基板が搬出される基板搬出位置の間で相互に移動可能とされている場合に、それぞれの前記基板支持テーブルが前記基板搬入位置から前記印刷位置への移動する度に、前記印刷位置設定手段が前記印刷実行部を交互に移動し、当該印刷位置を前記基板搬入位置側に変更するので、印刷実行部が進入する基板支持テーブルに近接し、出迎えるので、印刷実行部の移動によって進入に要する時間を短縮することができる。従って、進入する基板支持テーブルの動線が短くなる結果、交互印刷をより一層効率的に実現することができ、スループットの向上に寄与することができる。
【００１３】
好ましい態様において、前記テーブル移動制御手段は、前記印刷位置から退出した基板支持テーブルが印刷済の基板を搬出した後、次の印刷工程に移行するまでの間、所定の位置まで印刷位置にある相手側の基板支持テーブルに近接するように前記基板支持テーブル駆動機構を制御するものである。ここで「干渉リミット」とは、両基板支持テーブルが干渉しない範囲で近接できる最短距離をいう。この態様では、印刷位置から退出した基板支持テーブルが、その退出後に相手側の基板支持テーブルに近接しているので、次の印刷工程で再び印刷位置に進入する際、進入完了までの時間を可及的に短縮することができる。その結果、全体の処理時間を一層短くし、処理効率を高めることができる。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように、本発明によれば、一つの印刷実行部に対し、一つのスクリーンマスクを必要とするだけで不必要なスクリーンマスクを作成する必要がなくなり、なおかつ、生産に使用される半田のロスを減らすことができ、コストを抑えることができる。また、印刷位置を移動可能にしているので、装置の小型化が期待できる。しかも印刷位置を設定する際は、印刷実行部を特定方向に移動して一方の基板支持テーブルと他方の基板支持テーブルとの間の任意の箇所に変更することができるので、各基板支持テーブルの稼働状況等に応じて、動的に好適な印刷位置を設定することができる。従って、本発明によれば、デュアル搬送型の部品実装装置に適合可能な高い生産効率を保持しつつ、冗長性の少ない低廉で小型のスクリーン印刷装置を提供することができるという顕著な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の一形態に係るスクリーン印刷装置の平面略図である。
【図２】図１のスクリーン印刷装置の側面略図である。
【図３】図１のスクリーン印刷装置の印刷実行部を示す斜視図である。
【図４】図１のスクリーン印刷装置の印刷実行部を示す平面略図である。
【図５】図１のスクリーン印刷装置の印刷実行部を示す平面拡大略図である。
【図６】図１のスクリーン印刷装置の印刷実行部を示す斜視図である。
【図７】図１のスクリーン印刷装置のヘッドの具体的構成を示す側面図である。
【図８】図１のスクリーン印刷装置のヘッドの具体的構成を示す斜視図である。
【図９】図１のスクリーン印刷装置のマスク保持機構を示す平面略図である。
【図１０】図１のスクリーン印刷装置の制御構成を示すブロック図である。
【図１１】図１のスクリーン印刷装置に記憶されているデータの一部を示すエンティティリレーションシップ（ＥＲ）図である。
【図１２】図１のスクリーン印刷装置の寸法関係を示す平面略図である。
【図１３】本発明を適用可能なスクリーン印刷装置の別のレイアウト／寸法関係を示す平面略図である。
【図１４】本発明を適用可能なスクリーン印刷装置のさらに別のレイアウト／寸法関係を示す平面略図である。
【図１５】本発明を適用可能なスクリーン印刷装置のさらに別のレイアウト／寸法関係を示す平面略図である。
【図１６】本発明の第１実施形態に係るフローチャートである。
【図１７】図１６の第１実施形態に係るフローチャートにおける初期印刷位置設定サブルーチンを示すフローチャートである。
【図１８】図１６のフローチャートにおける印刷位置進入サブルーチンを示すフローチャートである。
【図１９】図１８の印刷位置進入サブルーチンの続きを示すフローチャートである。
【図２０】図１２に示す態様のスクリーン印刷装置において、第１実施形態を実行した場合の動作を示す平面略図である。
【図２１】図１２に示す態様のスクリーン印刷装置において、第１実施形態を実行した場合の動作を示すタイミングチャートである。
【図２２】図１３に示す態様のスクリーン印刷装置において、第１実施形態を実行した場合の動作を示す平面略図である。
【図２３】図１４に示す態様のスクリーン印刷装置において、第１実施形態を実行した場合の動作を示す平面略図である。
【図２４】図１５に示す態様のスクリーン印刷装置において、第１実施形態を実行した場合の動作を示す平面略図である。
【図２５】本発明の第２実施形態における初期印刷位置設定サブルーチンを示すフローチャートである。
【図２６】図２５のフローチャートにおける位置調整サブルーチンを示すフローチャートである。
【図２７】本発明の第３実施形態における印刷位置調整サブルーチンを示すフローチャートである。
【図２８】図２７のフローチャートを一部改変して実行した結果を示すタイミングチャートである。
【図２９】干渉チェックのための一態様を示す側面略図である。
【図３０】干渉チェックのための別の態様を示す側面略図である。
【図３１】本発明の別の実施形態を示す平面略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施すための最良の形態について説明する。
【００１７】
図１および図２を参照して、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１は、その下流側にデュアル搬送型の部品実装装置Ｍｔを連結した状態でプリント回路板（PCB）の製造ラインに組み込まれるものである。図示の例では、スクリーン印刷装置１は、並列に配置された２台のローダＬ１、Ｌ２（第１ローダＬ１、第２ローダＬ２という）と、１台の部品実装装置Ｍｔとの間に介設されており、上流側の各ローダＬ１、Ｌ２から繰り出されてくる基板Ｗにスクリーン印刷を施して、下流側の部品実装装置Ｍｔに送り出す構成になっている。
【００１８】
なお、以下の説明では、製造ラインにおける基板Ｗの搬送方向をＸ軸方向、水平面上でＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、これらＸ軸、Ｙ軸の両方向に直交する方向（鉛直方向）をＺ軸方向としてスクリーン印刷装置１の説明を行う。本実施形態において、Ｙ軸方向は、本発明の「特定方向」の一例である。
【００１９】
スクリーン印刷装置１は、Ｘ軸方向上流側の端部に２つの基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２（第１基板搬入部Ｅｎ１、第２基板搬入部Ｅｎ２という）を有する一方、これらに対応する２つの基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２（第１基板搬出部Ｅｘ１、第２基板搬出部Ｅｘ２という）を他方側の端部（基板搬送方向における下流側の端部）に有しており、第１ローダＬ１から繰り出される基板Ｗを第１基板搬入部Ｅｎ１から装置内に搬入してスクリーン印刷を施し、当該印刷工程後の基板Ｗを第１基板搬出部Ｅｘ１から部品実装装置Ｍｔの第１ベルトコンベア対ＣＭ１に搬出する一方で、第２ローダＬ２から繰り出される基板Ｗを第２基板搬入部Ｅｎ２から装置内に搬入してスクリーン印刷を施し、当該印刷工程後の基板Ｗを第２基板搬出部Ｅｘ２から部品実装装置Ｍｔの第２ベルトコンベア対ＣＭ２に搬出するように構成されている。
【００２０】
第１、第２ローダＬ１、Ｌ２には、それぞれ第１、第２ベルトコンベア対ＣＬ１、ＣＬ２が設けられている。他方、部品実装装置Ｍｔには、第１、第２ベルトコンベア対ＣＬ１、ＣＬ２に対応して基板搬送ラインを構成する２台のベルトコンベア対ＣＭ１、ＣＭ２（第１ベルトコンベア対ＣＭ１、第２ベルトコンベア対ＣＭ２という）が設けられている。基板Ｗは、これらベルトコンベア対ＣＬ１、ＣＬ２、ＣＭ１、ＣＭ２に沿って搬送される。
【００２１】
スクリーン印刷装置１は、その基台２上に、基板Ｗを支持するための２つの基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂと、これら基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに支持された基板Ｗに個別にスクリーン印刷を施す１台の印刷実行部２０とを備えている。
【００２２】
基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ（第１基板支持テーブル１０Ａ、第２基板支持テーブル１０Ｂという。）は、前記基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２から搬入される基板Ｗを受け取ってスクリーン印刷が可能となるように支持するとともに、印刷工程後の基板Ｗを対応する基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２から送り出すものである。これらのうち、第１基板支持テーブル１０Ａは、第１基板搬入部Ｅｎ１から搬入されてくる基板Ｗを受け取って、印刷実行部２０によりスクリーン印刷が可能となるように基板Ｗを支持した後、必要に応じて後述する印刷位置ＳＰに移動する。他方、第２基板支持テーブル１０Ｂは、第２基板搬入部Ｅｎ２から搬入されてくる基板Ｗを受け取って、印刷実行部２０によりスクリーン印刷が可能となるように基板Ｗを支持した後、必要に応じて、後述する印刷位置ＳＰに移動するように構成されている。
【００２３】
各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、Ｘ軸方向に細長の平面視略長方形の形状を有しており、ねじ軸４Ａ、４Ｂ、モータ５Ａ、５Ｂ等によって具体化される基板支持テーブル駆動機構により、個別にＹ軸方向に移動するように構成されている。すなわち、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、基台２上に設けられたＹ軸方向に延びる共通の固定レール３上に移動自在に支持されており、それぞれねじ軸４Ａ、４Ｂを介してモータ５Ａ、５Ｂにより駆動されるように構成されている。そして、後述する制御ユニット６０によるモータ制御に基づき、第１基板支持テーブル１０Ａは、第１ローダＬ１から繰り出される基板Ｗを第１基板搬入部Ｅｎ１で受け取り可能な受取位置（基板搬入位置ＥｎＰ１（第１基板搬入位置ＥｎＰ１ともいう））及び基板Ｗを第１基板搬出部Ｅｘ１から下流側の部品実装装置Ｍｔのベルトコンベア対ＣＭ１に送り出し可能な送出位置（基板搬出位置ＥｘＰ１（第１基板搬出位置ＥｘＰ１ともいう））と、印刷工程においてスクリーン印刷が施される印刷位置ＳＰとの間で移動する。第２基板支持テーブル１０Ｂは、第２ローダＬ２から繰り出される基板Ｗを第２基板搬入部Ｅｎ２で受け取り可能な受取位置（基板搬入位置ＥｎＰ２（第２基板搬入位置ＥｎＰ２ともいう））及び基板Ｗを第２基板搬出部Ｅｘ２から下流側の部品実装装置Ｍｔのベルトコンベア対ＣＭ２に送り出し可能な送出位置（基板搬出位置ＥｘＰ２（第２基板搬出位置ＥｘＰ２ともいう））と、印刷工程においてスクリーン印刷が施される印刷位置ＳＰとの間で移動するようになっている。加えて、第１基板支持テーブル１０Ａ及び第２基板支持テーブル１０Ｂは、予め設定された順序で交互に印刷工程に移行する。ねじ軸４Ａ、４Ｂには、ロータリエンコーダが取り付けられており、後述する制御ユニット６０は、ロータリエンコーダの検出値に基づいて、対応する基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの位置情報と速度情報を取得できるようになっている。本実施形態においては、Ｙ軸方向において、何れかの基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）が移動可能な範囲をテーブル可動ピッチＴｐｈと呼称する（図２、並びに図１２から図１５参照）。
【００２４】
各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、Ｘ軸方向に延びるベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂと、このベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂ上の基板Ｗを印刷可能に保持するクランプユニット１４と、このクランプユニット１４をベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂに沿ってＸ軸方向に移動させるためのクランプユニット駆動機構等とを備える。
【００２５】
上記ベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂは、ベルトコンベアからなり、基板支持テーブル１０ＡにおいてＸ軸方向上流側の端部が基板搬入部Ｅｎ１、Ｘ軸方向下流側の端部が基板搬出部Ｅｘ１となり、基板支持テーブル１０ＢにおいてＸ軸方向上流側の端部が基板搬入部Ｅｎ２、Ｘ軸方向下流側の端部が基板搬出部Ｅｘ２となる。ベルトコンベアは、第１ローダＬ１、第２ローダＬ２から繰り出される基板Ｗを基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２で受け取り、基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２から基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上に設定される所定の位置まで搬送する（以上を基板の搬入と言う）とともに、印刷工程後の基板Ｗを基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２まで搬送し、さらに基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２から部品実装装置Ｍｔの第１、第２ベルトコンベア対ＣＬ１、ＣＬ２へ搬送する（以上を基板の搬出と言う）ものである。
【００２６】
図２を参照して、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの各ベース部材１４０は固定レール３上にＹ軸方向に移動可能に支持され、各ベース部材１４０上にはベース部材１４０に対してＸ軸方向に移動可能にＸテーブル１４１が設けられている。Ｘテーブル１４１のＹ軸方向両端部には、それぞれベルトコンベア１２Ａ（１２Ｂ）を支持するアーム部材１６１，１６１が設けられている。
【００２７】
上記クランプユニット１４は、両アーム部材１６１の中間においてＸテーブル１４１上に設けられ、ベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂから基板Ｗを持ち上げて支持するバックアップ機構と、アーム部材１６１，１６１に設けられ、バックアップ機構によりリフトアップされた基板Ｗを固定するクランプ機構とを備える。
【００２８】
バックアップ機構は、所定配列の複数本のバックアップピン１５１を備え、かつボールネジ機構等を介して上記Ｘテーブル１４１上に昇降可能に支持されるバックアップテーブル１５０と、ボールネジ機構等の駆動用のモータ１５２等とを含み、このモータ１５２の駆動によりボールネジ機構等が作動し、バックアップテーブル１５０が所定の解放位置とこの位置から上昇した作動位置とに変位するように構成されている。ここで、解放位置は、バックアップピン１５１の先端位置がベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂに支持された基板Ｗの下面より低くなる位置（図２の右側の基板支持テーブル１０Ｂにおいて示す位置）であり、作動位置は、同基板Ｗの下面よりバックアップピン１５１の先端位置が高くなる位置（図２の左側の基板支持テーブル１０Ａにおいて示す位置）である。従って、このバックアップ機構は、図２の左側に示すように、バックアップテーブル１５０が作動位置に配置されたときに基板Ｗをベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂから持ち上げる。
【００２９】
クランプ機構は、ベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂの上方位置においてアーム部材１６１，１６１に配置されて、Ｘ軸方向に互いに平行に延びる一対のクランプ部材１６０と、クランプ部材駆動用のアクチュエータ、例えば二方向型のエアシリンダ１６２とを含む。両クランプ部材１６０のうち一方側のものは、アーム部材１６１に対してＹ軸方向に変位可能に組付けられており、前記エアシリンダ１６２の駆動により、Ｙ軸方向に沿って解放位置とクランプ位置とに変位する。つまり、クランプ機構は、一方側のクランプ部材１６０が解放位置からクランプ位置に変位することにより、前記バックアップ機構により持ち上げられた基板Ｗを他方側のクランプ部材１６０と共にＹ軸方向に挟み込んでクランプし、クランプ位置から解放位置に変位することにより、クランプした基板Ｗを解放するように構成されている。
【００３０】
なお、印刷工程では、このようにクランプユニット１４によりベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂから持ち上げられてクランプ部材１６０にクランプされた状態の基板Ｗに対して後記スクリーンマスク２０６を重装するようになっている。クランプユニット１４は、前記印刷実行部２０によるスクリーン印刷が可能となる状態に基板をベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂからリフトアップさせて保持する。
【００３１】
各アーム部材１６１は、ベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂを外側（Ｙ軸方向における外側）から抱え込むように形成された上で、一方のアーム部材１６１はＸテーブル１４１上一方端部に固定され、他方のアーム部材１６１はＸテーブル１４１上Ｙ軸方向に固定された固定レール１６４に沿ってスライド可能に設けられている。他方のアーム部材１６１のスライド量を調整することで、ベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂのコンベア幅を調整し、各種のＹ軸方向基板幅の基板Ｗに対応可能としている。さらに、Ｙ軸方向基板幅に対応させたベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂのコンベア幅によらず、ベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂと各クランプ部材１６０とのＹ軸方向の相対位置が一定に保持することで、基板ＷのＹ軸方向基板幅によらず基板Ｗを正確にクランプ可能としている。
【００３２】
図３、図４を参照して、基台２には、印刷実行部２０を担持する装置フレーム６が設置されている。装置フレーム６は、門型の構造体であり、基台２の四隅に立設されたピラー６ａを有している。Ｙ軸方向に沿って対向するピラー６ａの対には、梁部６ｂが一体的に設けられており、梁部６ｂの上面には、Ｙ軸方向に延びる２本一組のガイドレール７が取り付けられている。本実施形態において、印刷実行部２０は、このガイドレール７上に設置され、Ｙ軸方向に沿って往復移動可能に構成されている。印刷実行部２０の移動範囲は、図２に示したテーブル可動ピッチＴｐｈに対応している。
【００３３】
印刷実行部２０は、スクリーンマスク保持機構２００と、スクリーンマスク保持機構２００において後記するＸ’軸方向に配設されるスキージユニット保持機構４００とを備えている。
【００３４】
スクリーンマスク保持機構２００は、装置フレーム６のガイドレール７上に設置されるスライダ２０１と、このスライダ２０１に対し、位置調整機構３００を介して連結される本体２０２と、本体２０２に対し、上下に昇降可能に連結されたマスク昇降部２０３と、マスク昇降部２０３の下端に設けられたクランプ部２０４と、クランプ部２０４によって担持されたマスク固定部材２０５と、マスク固定部材２０５に固定されたスクリーンマスク２０６とを備えている。
【００３５】
図４を参照して、スライダ２０１は、Ｘ’軸方向の一端側においてＹ軸方向に３個並べて配置され、Ｘ’軸方向の他端側においてＹ軸方向に２個並べて配置されている。一端側の中央１個のスライダ２０１ａはボールナット２０７を備えており、このボールナット２０７にボールねじ機構３０３ａが嵌合連結されている。また、Ｘ’軸方向の他端側の１個のスライダ２０１ｂもボールナット２０７を備えており、このボールナット２０７にボールねじ機構３０３ａが嵌合連結されている。この２つのボールねじ機構３０３ａは、それぞれ装置フレーム６に固定支持されたＹ軸サーボモータ３０３（図１０参照）によって駆動されるようになっており、スライダ２０１ａ、２０１は、それぞれボールねじ機構３０３ａを介してＹ軸サーボモータ３０３に駆動されることにより、Ｙ軸方向に往復移動するようになっている。
【００３６】
本体２０２は、平面視矩形の枠状に形成された構造体であり、装置フレーム６のＸ軸方向上流側のスライダ２０１ｂ、２０１ｅに立設された上流側構造体２０２ａと、下流側のスライダ２０１ａ、２０１ｃ、２０１ｄに立設された下流側構造体２０２ｂと、両構造体２０２ａ、２０２ｂをＸ軸方向に沿って連結する桟２０２ｃとを一体に備えている。
【００３７】
マスク昇降部２０３は、昇降機構２１１を介して本体２０２の内側部に連結されている。昇降機構２１１は、各構造体２０２ａ、２０２ｂの前後２箇所に配設される４組のボールねじ機構２１１ａと、各ボールねじ機構２１１ａの頂部に設けられたプーリ２１１ｂと、各構造体２０２ａ、２０２ｂ、並びに前方の桟２０２ｃに配設された複数のアイドルプーリ２１１ｃと、これらプーリ２１１ｂ、２１１ｃ間に張設される動力伝達ベルト２１１ｄと、下流側構造体２０２ｂに取り付けられたマスクＺ軸サーボモータ２１１ｅとを備えており、マスクＺ軸サーボモータ２１１ｅの鉛直線回りのトルクが、当該マスクＺ軸サーボモータ２１１ｅの出力プーリ２１１ｆから動力伝達ベルト２１１ｇを介して下流側構造体２０２ｂのアイドルプーリ２１１ｃに伝達され、さらに動力伝達ベルト２１１ｄからプーリ２１１ｂを介して各ボールねじ機構２１１ａのねじ部に伝達されることにより、各ボールねじ機構２１１ａのねじ部が一斉に同一方向に回動し、ねじ部に螺合するナット部と連結されたマスク昇降部２０３が上下に昇降するように構成されている。これにより、マスク昇降部２０３は、直下に位置する基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）上でクランプされている基板Ｗに対し、スクリーンマスク２０６が重装される重装位置と、この重装位置よりも上方にスクリーンマスク２０６を上昇させる解放位置との間で、スクリーンマスク２０６を昇降させることができるようになっている。
【００３８】
クランプ部２０４は、マスク昇降部２０３の下端部分に設けられ、マスク固定部材２０５の四隅を着脱自在にクランプするものである。クランプ部２０４は、エアシリンダでＺ軸方向に駆動される可動部材と、この可動部材との間でマスク固定部材２０５を挟持する支持部材とを備えており、オペレータの操作で図略の位置決め部材によって位置決めされたマスク固定部材２０５を堅固に保持することができるようになっている。
【００３９】
マスク固定部材２０５は、中央にスクリーン印刷用の開口部２０５ａが形成された矩形の枠体で具体化されており、この開口部２０５ａを下側から塞ぐように予め組付けられたスクリーンマスク２０６が着脱自在に固定されている。
【００４０】
スクリーンマスク２０６は、基板Ｗに印刷される回路パターンに対応する孔が形成された印刷エリア２０７が形成されている。
【００４１】
図４を参照して、上記位置調整機構３００は，両端がヒンジ連結可能な４つのレバー部材３０５を含んでいる。Ｘ’軸方向の一端側の中央１個のスライダ２０１ａは、Ｚ軸方向に配置されヒンジを構成する連結軸を介して本体２０２と連結され、Ｘ’軸方向の他端側の１個のスライダ２０１ｂと他の３個のスライダ２０１ｃ、２０１ｄ、２０１ｅは、それぞれレバー部材３０５を介して本体２０２と連結される。各レバー部材３０５の一方の端部は、Ｚ軸方向に配置されヒンジを構成する連結軸を介して本体２０２と連結され、各レバー部材３０５の他方の端部は、Ｚ軸方向に配置されヒンジを構成する連結軸を介してそれぞれスライダ２０１ｂ、２０１ｃ、２０１ｄ、２０１ｅと連結される。これにより、一端側の中央１個のスライダ２０１ａに対し、本体２０２をＺ軸回りに揺動できるようになっている。
【００４２】
上記位置調整機構３００は、レバー部材３０５に加え、各スライダ２０１ａ、２０１ｂ、２０１ｃ、２０１ｄ、２０１ｅ，各連結軸、上記ボールねじ機構３０３ａ、そして上記Ｙ軸サーボモータ３０３を含んでおり、Ｘ’軸方向の一端側と他端側との間でＹ軸サーボモータ３０３の回転方向あるいは及び回転量に違いを与えることで、本体２０２をＺ軸周りのＲ軸方向に回転することができる。
【００４３】
これにより、撮像ユニットで認識されたスクリーンマスク２０６の実装位置と基板Ｗの位置とに基づいて２つのマスクＹ軸サーボモータ３０３をそれぞれ駆動することにより、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに支持されている基板Ｗに対するスクリーンマスク２０６の印刷エリア２０７のＲ軸方向位置を一致させるように微調整することが可能になる。
【００４４】
上記スキージユニット保持機構４００は、クリーム半田、導電ペースト等のペーストをスクリーンマスク２０６上でローリング（混練）しながら拡張するものである。図示の例では、マスク昇降部２０３の内側壁に、Ｙ’軸方向に延びる一対の固定レール２０３ａが設けられ、この固定レール２０３ａにスキージユニット保持機構４００が横架されて、Ｙ軸方向に往復移動可能に連結されている。ここで、Ｙ’軸方向とは、スクリーンマスク保持機構２００の本体２０２に設定された座標系におけるものであり、スクリーンマスク保持機構２００の本体２０２のＲ軸方向の回動量が０の場合、基台２上に設定された座標系のＹ軸方向と一致する。以下、このＹ’軸方向に直交する水平方向をＸ’軸方向という。
【００４５】
図５を参照して、スキージユニット保持機構４００は、マスク昇降部２０３の内側においてＸ’軸方向に延びて、マスク昇降部２０３に対しＹ’軸方向に配置される両固定レール２０３ａに摺動可能に支持される筐体４０１と、この筐体４０１の上部に配置されたスキージ往復駆動機構（Ｙ’軸駆動機構）４０２と、筐体４０１に対し上下に昇降可能に連結されるスキージユニット４０３と、スキージユニット４０３を上下に昇降駆動させるスキージヘッド昇降機構４０４とを備えている。
【００４６】
Ｙ’軸駆動機構４０２は、軸芯がＸ’軸に沿って配置されたサーボモータ４０２ａと、このサーボモータ４０２ａの出力プーリ４０２ｂに対し、平行に配置された動力伝達シャフト４０２ｃと、動力伝達シャフト４０２ｃの両端部に設けられ、当該動力伝達シャフト４０２ｃの回転力によって、固定レール２０３ａに対し、筐体４０１をＹ’軸方向沿いに相対的に移動させる平行運動力に変換する動力伝達部４０２ｄと、動力伝達シャフト４０２ｃに取り付けられたプーリ４０２ｅと、プーリ４０２ｅと出力プーリ４０２ｂとの間に巻回された動力伝達ベルト４０２ｆとを備えており、サーボモータ４０２ａの回転力によって、筐体４０１がマスク昇降部２０３に対し、相対的に予め設定されたストローク範囲内で往復移動可能に構成されている。
【００４７】
他方、図６に示すように、スキージヘッド昇降機構４０４は、筐体４０１の上端後部に立設される門型枠状のフレーム体４０４ａと、フレーム体４０４ａ内に配置され、軸芯がＺ軸方向に沿うサーボモータ４０４ｂと、フレーム体４０４ａのサーボモータ４０４ｂの側部に併設されたボールねじ機構４０４ｃとを備えている。サーボモータ４０４ｂの出力プーリ４０４ｄは、フレーム体４０４ａの上方に配置されており、その側部には、ボールねじ機構４０４ｃの入力プーリ４０４ｅがＸ’軸に沿って対向している。両プーリ４０４ｄ、４０４ｅ間には、動力伝達ベルト４０４ｆが巻回されておりボールねじ機構４０４ｃのねじ部が双方向に回転駆動されることによって、このねじ部に螺合する図略のナット部が上下に昇降するようになっている。上記ナット部は、スキージユニット４０３と一体化されており、このナット部の昇降によって、スキージユニット４０３は、当該スキージユニット４０３が担持するスキージ４１をスクリーンマスク２０６上に着地させる印刷位置と、この印刷位置よりも上方に退避させる退避位置との間で昇降する。
【００４８】
フレーム体４０４ａの前部には、上下に延びる一対のガイドレール４０５が固定されており、スキージユニット４０３は、このガイドレール４０５によって上下に往復移動可能に連結されている。
【００４９】
図７〜図９を参照して、スキージユニット４０３は、メインフレーム４１０と、メインフレーム４１０に連結されるサブフレーム４２０とを有している。
【００５０】
メインフレーム４１０の上部壁の下面には、ロードセル等の圧力センサ４１１を介装したＸ’視Ｔ字形の支持部４１２が垂設されており、支持部４１２の下部壁には、Ｙ’軸方向に延びる第１支持軸４１３が固定されている。サブフレーム４２０は、第１支持軸４１３に対し、軸受を介して連結されることにより、この支持部４１２に対し、第１支持軸４１３回りに揺動自在に支持されている。図示の例において、メインフレーム４１０の背面には、フレーム体４０４ａのガイドレール４０５と連結される凹部４１０ａが形成されている。
【００５１】
サブフレーム４２０には、スキージ組付部に相当するユニット組付部材４２１がＸ’軸方向に延びる第２支持軸４２２（スキージ支持用の横軸）を介して回動可能に支持されるとともに、このユニット組付部材４２１を駆動するスキージ回動機構が搭載されている。
【００５２】
ユニット組付部材４２１は、Ｘ’軸方向に細長い長方形の板状部材であり、このユニット組付部材４２１に、スキージ４１とこれを保持するスキージホルダ４２とが着脱自在に組付けられている。そして、スキージ４１の片面がペースト押圧のための作業面４１ａとされ、この作業面４１ａとは反対側の面の側方に第２支持軸４２２（スキージ支持用の横軸）が位置する状態で、この第２支持軸４２２にユニット組付部材４２１を介してスキージ４１が回動可能に支持されている。
【００５３】
ユニット組付部材４２１を支持する前記第２支持軸４２２は、サブフレーム４２０を貫通して反対側に突出しており、この突出部分にはプーリ４２３がキー結合により装着固定されている。そして、駆動源としてのサーボモータ４２４がサブフレーム４２０に固定され、このサーボモータ４２４の出力軸に装着されるプーリ４２５と前記プーリ４２３とに亘って駆動ベルト４２６が装着され、さらにこの駆動ベルト４２６に対してその外周側からテンションプーリ４２７が圧接することにより駆動ベルト４２６が張設されている。つまり、これらサーボモータ４２４、プーリ４２５，４２３，４２７および駆動ベルト４２６等により上記スキージ回動機構が構成されており、サーボモータ４２４の作動によりユニット組付部材４２１が第２支持軸４２２回りに正逆回転駆動される。なお、サブフレーム４２０に対するユニット組付部材４２１の原点位置が検知され、サーボモータ４２４の回転角制御に用いられる基準位置が求められる。そして、このユニット組付部材４２１の正逆回転により、前記作業面４１ａがスクリーンマスク２０６に対して平行に対面する状態より片側に傾斜した状態と反対側に傾斜した状態とにわたり、スキージ４１が第２支持軸４２２回りの回動により姿勢変更可能とされるようになっている。
【００５４】
スキージユニット保持機構４００のスキージホルダ４２は、アルミニウム合金等の軽合金からなるＸ’軸方向の細長い板状部材である。一方、スキージ４１は、例えば硬質ウレタン、あるいはステンレスからなるＸ’軸方向に細長い長方形の板状部材で、図８に示すように、スキージホルダ４２に重ね合わされた状態で当該ホルダ４２に保持されている。
【００５５】
スキージ４１の幅寸法は、スキージ４１の往動時に前記作業面４１ａがペーストに接触する範囲とスキージ４１の復動時に前記作業面４１ａがペーストに接触する範囲とがラップするように設定されている。
【００５６】
図２に示すように、印刷実行部２０には、撮像ユニット５０が併設されている。撮像ユニット５０は、スクリーンマスク２０６と基板Ｗとの相対的な位置関係を画像認識するためのものであり、スクリーンマスク２０６の下面に記されるマークや記号等の複数の標識を下側から撮像する２個のマスク認識カメラ５０Ａと、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに支持されている基板Ｗのマークや記号等の複数の標識を上側から撮像する２個の基板認識カメラ５０Ｂからなる。各マスク認識カメラ５０Ａは、スクリーンマスク保持機構２００の本体２０２にＸ’軸方向、Ｙ’軸方向に移動可能に配置され、各基板認識カメラ５０Ｂは、スクリーンマスク保持機構２０２の本体２０２に固定配置されている。各マスク認識カメラ５０Ａは、図外のＸ’−Ｙ’ロボットに連結されることにより水平方向に二次元的に移動可能に設けられており、後述する制御ユニット６０によるＸ’−Ｙ’ロボットの制御に基づき、スクリーンマスク２０６段取り時等にスクリーンマスク２０６の下側に進入してスクリーンマスク２０６下面の上記各標識を撮像する。一方、各基板認識カメラ５０Ｂは、基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）が印刷位置ＳＰに進入する時、基板Ｗ上記各標識を撮像する。両カメラ５０Ａ，５０Ｂにより認識されたスクリーンマスク２０６の２つの標識（フィデューシャルマーク）位置と基板上の２つの標識（フィデューシャルマーク）位置は、スクリーンマスク２０６の基板ＷとのＲ軸方向位置合わせを前提としたＲ軸方向角度に基づき、Ｘ’Ｙ’座標系から基台２上のＸ−Ｙ座標系に座標変換された後、スクリーンマスク２０６のＲ軸方向位置調整と、基板ＷのＸＹ位置調整が実施される。
【００５７】
図１０に示すように、制御ユニット６０（本発明の印刷位置設定手段、テーブル移動制御手段の一例である）は、マイクロプロセッサ等で構成される演算処理部６１と、印刷処理のためのトランザクションデータ等を記憶する印刷プログラム記憶部６２と、制御に要するマスタデータ等を記憶するデータ記憶部６３と、前記モータ５Ａ、５Ｂ等のアクチュエータ類を駆動するアクチュエータ制御部６４と、種々のインターフェース等で構成される外部入出力部６５と、キャプチャーボード等で構成される画像処理部６６とを有しており、各アクチュエータ類や、マスク認識カメラ１７等のカメラ類は、全てこの制御ユニット６０によって制御可能に電気的に接続されている。従って、前記基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂおよび印刷実行部２０による一連の印刷処理動作、つまり基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２での第１ローダＬ１、第２ローダＬ２から繰り出されてくる基板Ｗの受け取り、基板Ｗへのスクリーン印刷および基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２からの基板Ｗの搬出の一連の動作は、この制御ユニット６０により統括的に制御される。また制御ユニット６０には、処理状態をＧＵＩ等で表示可能な表示ユニット７０と、ポインティングディバイス等で構成される図略の入力装置とが接続されており、オペレータの操作によって、トランザクション用のデータ入力や、制御処理を実現するプログラムの設定や変更等ができるようになっている。なお、印刷プログラム記憶部６２とデータ記憶部６３とは、何れもＲＯＭ、ＲＡＭ、補助記憶装置等を組み合わせて実現される論理的な概念である。
【００５８】
図１１を参照して、制御ユニット６０のデータ記憶部６３には、スクリーンマスク２０６に関するデータを保存するスクリーンマスクデータテーブル６０１と、印刷実行部２０に関するデータを保存する印刷実行部データテーブル６０２と、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに関するデータを保存する基板支持テーブルデータテーブル６０３と、スクリーン印刷装置１に関するデータを保存する印刷装置データテーブル６０４と、動作項目データテーブル６０５と、マスク移動管理データテーブル６０６とを備えている。これらのデータテーブル６０１〜６０６は、何れもデータベースシステムにおいて、２次元マトリックス（行と列）でデータを保存するデータの集合のことをいう。
【００５９】
データテーブル６０１〜６０６の各項目はそれぞれ属性を表し、２次元マトリックスでは最上行に割り当てられるものである。データテーブル６０１〜６０６においては、２次元マトリックスの最上行の最も左に主キーとなる（ＰＫ）が付与された属性（ＰＫ属性）が割り当てられ、ＰＫ属性の列の２行目以降に実際に印刷における、ＰＫ属性の属性値（属性に割り当てられる実際の値）がデータとして保持され、２次元マトリックスの２行目以降の各行においては、ＰＫ属性の属性値に対応する各属性毎の属性値がデータとして保持される。データテーブル６０２、６０３、６０４、６０６においては、２次元マトリックスでは最上行に割り当てられる複数の属性には、ＰＫ属性以外に外部キーとなる（ＦＫ）が付与された属性（ＦＫ属性）も含まれている。このＦＫ属性は、別のデータテーブルではＰＫ属性とされるものであり、ＦＫ属性値がわかれば当該別のデータテーブルにおいてＦＫ属性値＝ＰＫ属性値として、ＰＫ属性値に対応する各属性毎の属性値が紐付けられることになる。さらに、図中の矢印は、データテーブル６０１〜６０６間の関係（リレーションシップ）を表わしており、矢印の終点側のデータテーブルにある外部キーが矢印の起点側のデータテーブルにある主キーを参照していることを示している。各データテーブル６０１〜６０６は、論理的な存在であり、実装時には、それぞれを単一のデータファイル（例えば、ＣＳＶファイル）で構成してもよく、或いは正規化を考慮して、複数のデータファイルで構成してもよい。
【００６０】
スクリーンマスクデータテーブル６０１は、マスク品番を主キーとし、縦寸法、横寸法、中心Ｘ座標、中心Ｙ座標を属性として有している。このスクリーンマスクデータテーブル６０１を参照することにより、制御ユニット６０は、スクリーン印刷装置１に装着されたスクリーンマスク２０６の種類や、その寸法関係を制御のパラメータとして参照することが可能になる。ここで、スクリーンマスクデータテーブル６０１の中心Ｙ座標は、スクリーンマスク２０６のＸ軸方向に沿う中心線ＭＣ（図１２〜図１５参照）を特定するＹ座標をいう。
【００６１】
印刷実行部データテーブル６０２は、印刷実行部品番を主キーとして、マスク品番、縦寸法、横寸法、中心Ｘ座標、中心Ｙ座標、マスクオフセット量Ｏｓ等の属性を有している。マスク品番は、当該印刷実行部２０に装着されるスクリーンマスク２０６を特定するための外部キーであり、このキーによって、スクリーンマスクデータテーブル６０１が、印刷実行部データテーブル６０２に関連づけられている。また、マスクオフセット量Ｏｓは、関連づけられたスクリーンマスク２０６と、印刷実行部２０の中心線ＹＣとの間に生じるＹ軸方向のオフセット量を示している（図１２〜図１５参照）。このオフセット量Ｏｓを事前に登録しておくことにより、制御ユニット６０は、後述するように効率的な交互印刷を実現することが可能になる。
【００６２】
基板支持テーブルデータテーブル６０３は、テーブル品番を主キーとして、基板支持テーブル１０Ａまたは１０Ｂを構成するユニットの属性を保存するものである。
【００６３】
印刷装置データテーブル６０４は、印刷装置品番を主キーとして、スクリーン印刷装置１を制御するために、必要な諸元を属性として備えている。印刷装置データテーブル６０４には、Ａサイド（図１の下側に示すＹ軸方向の一端側。以下同様。）の基板支持テーブル１０Ａに採用されたユニットを基板支持テーブルデータテーブル６０３と関連づけるＡサイド基板支持テーブル品番と、Ｂサイド（図１の上側に示すＹ軸方向の他端側。以下同様。）の基板支持テーブル１０Ｂに採用されたユニットを基板支持テーブルデータテーブル６０３と関連づけるＢサイド基板支持テーブル品番とを外部キーとして含んでおり、これらによって、スクリーン印刷装置１に採用された基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの移動範囲や、移動速度等の情報を参照することが可能になっている。また、印刷装置データテーブル６０４には、当該スクリーン印刷装置１に採用された印刷実行部２０と関連づける印刷実行部品番を外部キーとして有しており、このリレーションシップによって、当該スクリーン印刷装置１に採用された印刷実行部２０の諸元を参照することができるようになっている。図示の例において、印刷装置データテーブル６０４には、図２に示したテーブル可動ピッチＴｐｈ（第１基板搬入位置ＥｎＰ１と第１基板搬出位置ＥｘＰ１との内Ｙ軸方向において最もＡサイド側となるものに位置させた基板支持テーブル１０Ａの中心と、第２基板搬入位置ＥｎＰ２と第２基板搬出位置ＥｘＰ２との内Ｙ軸方向において最もＢサイド側となるものに位置させた基板支持テーブル１０Ｂの中心との間のＹ軸方向距離を言う）と、第１基板搬入位置ＥｎＰ１と第２基板搬入位置ＥｎＰ２とのＹ軸方向の対向間隔である搬入側Ｙ軸ピッチＰｉｎと、第１基板搬出位置ＥｘＰ１と第２基板搬出位置ＥｘＰ２とのＹ軸方向の対向間隔である搬出側Ｙ軸ピッチＰｏｕｔと、スクリーン印刷装置１に設定された共有エリアと、両基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが干渉しない範囲で近接できる最短距離である干渉リミットＬｉ等が記憶されるようになっている。
【００６４】
なお、基板のＹ軸方向幅（基板幅）に対応すべく、ベルトコンベア対ＣＬ１と基板支持テーブル１０Ａ上のベルトコンベア対１２Ａそれぞれにおいて、Ｙ軸方向一方側が固定コンベア、他方側が可動コンベアとされる。この場合、ベルトコンベア対ＣＬ１とベルトコンベア対１２Ａのそれぞれの固定コンベアがＹ軸方向同じ側にある場合、基板幅が変化しても基板支持テーブル１０ＡはＹ軸方向同じ位置で基板Ｗの受け取りができる。すなわち、第１基板搬入位置ＥｎＰ１は変化しない。ベルトコンベア対ＣＬ１とベルトコンベア対１２Ａのそれぞれの固定コンベアがＹ軸方向逆側にある場合、基板幅に対応して第１基板搬入位置ＥｎＰ１が変化する（ベルトコンベア対ＣＬ１の固定コンベアが図１のＡサイド側で、ベルトコンベア対１２Ａの固定コンベアが図１のＢサイド側にある場合、基板幅が大きくなるほど、第１基板搬入位置ＥｎＰ１はＢサイド側に位置ずれすることになる）。同様に、ベルトコンベア対ＣＬ２と基板支持テーブル１０Ｂ上のベルトコンベア対１２Ｂの間、ベルトコンベア対ＣＭ１と基板支持テーブル１０Ａ上のベルトコンベア対１２Ａの間、およびベルトコンベア対ＣＭ２と基板支持テーブル１０Ｂ上のベルトコンベア対１２Ｂの間で、それぞれ、各固定コンベアの配置の態様により、基板幅の変化に対応し、それぞれ第２基板搬入位置ＥｎＰ２、第１基板搬出位置ＥｘＰ１、および第２基板搬出位置ＥｘＰ２が同じであったり変化する。
【００６５】
次に、動作項目データテーブル６０５は、交互印刷を実現する上で、制御ユニット６０がチェックすべき基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの動作を記憶するためものであり、動作項目を主キーとして、動作タイミングを保存している。動作項目は、例えば、「基板搬入動作」「フィデューシャルマークに認識動作」「印刷後検査動作」「マスククリーニング動作」「基板搬出時動作」等であり、動作タイミングは、「印刷前」「印刷後」等である。
【００６６】
マスク移動管理データテーブル６０６は、印刷装置品番と動作項目とを主キーとする連関エンティティであり、スクリーン印刷装置１毎に、マスク移動管理が必要な動作項目とスループット（所定時間内に何枚の基板Wを、印刷を実行しスクリーン印刷装置１から下流機の部品実装装置Ｍｔに搬出できるかのスループット値を大きくすること）向上のためのスクリーンマスク２０６のＹ軸方向の移動量（必要シフト量）ＳＦとを設定したものである。必要シフト量ＳＦとは、印刷位置において印刷を終了した基板支持テーブルが印刷位置から基板搬出位置へ移動（相手側の基板支持テーブルから遠ざかる移動）を開始した後、相手側の基板支持テーブルを早く印刷位置に位置させるため、相手側の基板支持テーブルの移動に加えて実施される、スクリーンマスク２０６を相手側の基板支持テーブルに近づける移動における終了位置を、前記テーブル可動ピッチの中心位置からどれだけシフトさせるかの距離を言う。
【００６７】
次に、このマスク移動管理について図１２〜図１５を参照しながら説明する。
【００６８】
スクリーン印刷装置１が実装される製造ラインでは、上流側の装置や下流側の実装装置の仕様等に基づき、各ベルトコンベア対ＣＬ１，ＣＬ２，ＣＭ１，ＣＭ２の位置が種々の態様をとり、対応して第１基板搬入位置ＥｎＰ１、第２基板搬入位置ＥｎＰ２、第１基板搬出位置ＥｘＰ１、および第２基板搬出位置ＥｘＰ２の位置が種々の態様をとる。例えば、図１、図１２に示したように、各基板搬入位置ＥｎＰ１、ＥｎＰ２、並びに基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２が、印刷実行部２０のＸ軸中心線に対し、対称形の配置となる場合がある。その場合でも、並行動作される一方の基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）の基板Ｗの搬入動作から印刷工程を終えるまでの時間と、他方の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）の印刷位置から基板搬出位置ＥｘＰ２（＝基板搬入位置ＥｎＰ２）への移動および基板Ｗの搬出動作完了までの時間が等しいことが望ましい。印刷工程の時間は長くなるので、できるだけ時間を等しくするため、他方の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）が印刷を終えた後、スクリーンマスク２０６すなわち印刷位置を一方の基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）の基板搬入位置ＥｎＰ１（ＥｎＰ２）に近づけるのが好ましい。
【００６９】
次に、同じ対称形であっても、図１３に示したように、基板搬入位置ＥｎＰ１、ＥｎＰ２間のＹ軸方向の距離（搬入側Ｙ軸ピッチＰｉｎ）が、基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２間のＹ軸方向の距離（搬出側Ｙ軸ピッチＰｏｕｔ）よりも長い場合、或いは、図１４に示したように、搬入側Ｙ軸ピッチＰｉｎが、搬出側Ｙ軸ピッチＰｏｕｔよりも短い場合がある。そのような場合でも同様に、他方の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）が印刷を終えた後、スクリーンマスク２０６すなわち印刷位置を一方の基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）の基板搬入位置ＥｎＰ１に近づけるのが好ましい。
【００７０】
但し、他方の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）が基板搬出位置ＥｘＰ２で搬出動作のため停止するので、一方の基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）の他方の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）への干渉を避けるため、スクリーンマスク２０６の必要シフト量ＳＦを大きくするか、一方の基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）に待機時間を設けるか必要になる場合がある。
【００７１】
また、図１４に示したように、搬入側Ｙ軸ピッチＰｉｎが、搬出側Ｙ軸ピッチＰｏｕｔよりも短い場合もある。
【００７２】
この場合も他方の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）が印刷を終えた後、スクリーンマスク２０６すなわち印刷位置を一方の基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）の基板搬入位置ＥｎＰ１に近づけるのが好ましが、他方の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）が搬出動作後、基板搬入位置ＥｎＰ２に移動する際に、一方の基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）との干渉を避けるため、スクリーンマスク２０６の必要シフト量ＳＦを大きくするか、他方の基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）に待機時間を設けるか必要になる場合がある。
【００７３】
さらに、図１５に示したように、搬入位置ＥｎＰ１、同士の組み合わせ、および搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２同士の組み合わせのうち、何れか一方（図示の例では双方）がスクリーン印刷装置１のＸ軸中心線に対して非対称に配置されている場合もある。その場合にも、図１３と同様他方の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）が基板搬出位置ＥｘＰ２で搬出動作のため停止するので、一方の基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）の他方の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）への干渉を避けるため、スクリーンマスク２０６の基板搬入位置ＥｎＰ１への移動における必要シフト量ＳＦを大きくするか、一方の基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）に待機時間を設けるか必要になる場合があり、図１４と同様、一方の基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）が搬出動作後、基板搬入位置ＥｎＰ１に移動する際に、他方の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）との干渉を避けるため、スクリーンマスク２０６の基板搬入位置ＥｎＰ２への移動における必要シフト量ＳＦを大きくするか、一方の基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）に待機時間を設けるか必要になる場合がある。
【００７４】
本実施形態では、図１１に示したように、動作項目データテーブル６０５と、干渉管理データテーブル６０６とを設けたので、例えば、以下の表１に示すようなデータを記憶し、制御パラメータとすることが可能である。
【００７５】
【表１】
0005597595.tif 000002
【００７６】
表１は、各図１２〜図１５に対応する装置において、干渉回避が必要な動作項目毎に必要シフト量（印刷位置において印刷を終了した基板支持テーブルが印刷位置から基板搬出位置へ移動（相手側の基板支持テーブルから遠ざかる移動）を開始した後、相手側の基板支持テーブルを早く印刷位置に位置させるため、相手側の基板支持テーブルの移動に加えて実施される、スクリーンマスク２０６を相手側の基板支持テーブルに近づける移動における終了位置を、前記テーブル可動ピッチの中心位置からどれだけシフトさせるかの距離を言う）ＳＦを表したものである。必要シフト量ＳＦは、当該動作を実行するために、共有エリアに進入するＹ軸方向の長さの絶対値で設定されている。なお、マスククリーニング動作については、印刷位置ＳＰ内で実行される動作であることから、不図示のマスククリーニングユニットの待機位置にスクリーンマスク２０６を近づける印刷位置の移動すなわちシフトを行う制御を実施しても良い。但し、本実施形態においては、マスク制御対象からは外している。また、表１において、基板搬入位置ＥｎＰ１、ＥｎＰ２が非対称に配置される図１５については、Ａサイドで基板Ｗが搬入される場合とＢサイドで基板Ｗが搬入される場合とで干渉の態様が異なるので、それぞれ別個に設定されている。このような設定は、図１５のレイアウトに対応する品番に枝番号を付与することにより、実現可能である。
【００７７】
次に、この制御ユニット６０の制御に基づくスクリーン印刷装置１の印刷工程について説明する。
【００７８】
図１６を参照して、制御ユニット６０は、まず、初期印刷位置設定サブルーチンを実行し（ステップＳ１）、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの基板Ｗに対する交互印刷を開始する上で、好適な印刷位置ＳＰを設定する。次いで、制御ユニット６０は、第１基板支持テーブル１０Ａと第２基板支持テーブル１０Ｂとを並行動作させる。まず、第１基板支持テーブル１０Ａにおいて、基板の搬入（ステップＳ２Ａ）と、フィデューシャルマークを認識するマーク認識（ステップＳ３Ａ）と、印刷位置ＳＰへの基板支持テーブル１０Ａの進入サブルーチン（ステップＳ４Ａ）と、版合わせ（Ｘテーブル１４１のＸ方向位置調整による基板ＷのＸ方向位置調整、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂのモータ５Ａ、５Ｂによる基板ＷのＹ軸方向位置調整、スクリーンマスク保持機構の回転駆動機構によるスクリーンマスク保持機構の本体のＲ軸方向位置調整によるスクリーンマスク２０６のＲ軸方向位置調整）（ステップＳ５Ａ）と、クリーム半田を掻き取る掻取動作（ステップＳ６Ａ）と、版離れ（ステップＳ７Ａ）と、印刷位置ＳＰからの基板支持テーブル１０Ａの退出動作（ステップＳ８Ａ）と、退出後に印刷済の基板Ｗを搬出する搬出動作（ステップＳ９Ａ）とを生産枚数分だけ繰り返し実行する。一方、第２基板支持テーブル１０Ｂにおいては、第１基板支持テーブル１０Ａが退出動作（ステップＳ８Ａ）中、並行して印刷位置進入サブルーチン（ステップＳ４Ｂ）を実施できるよう、第１基板支持テーブル１０Ａの基板搬入（ステップＳ２Ａ）の開始から遅れる所定のタイミングで基板搬入（ステップＳ２Ｂ）を開始し、以下マーク認識（ステップＳ３Ｂ）、進入サブルーチン（ステップＳ４Ｂ）、掻取動作（ステップＳ６Ｂ）、版離れ（ステップＳ７）、退出動作（ステップＳ８Ａ）、そして搬出動作（ステップＳ９Ｂ）を順次実施するとともに、これらの各ステップを生産枚数分だけ繰り返し実行する。そして、第２基板支持テーブル１０Ｂの退出動作（ステップＳ８Ａ）中、第１基板支持テーブル１０Ａにおいては、並行して印刷位置進入サブルーチン（ステップＳ４Ａ）が実施される。各ステップのうち、進入サブルーチン（ステップＳ４Ａ、Ｓ４Ｂ）から退出動作（ステップＳ８Ａ、Ｓ８Ｂ）までが狭義の印刷工程となる。また、図１６には、図示していないが、この狭義の印刷工程の前後で、スクリーンマスク２０６の下面に付着した余剰のクリーム半田を除去するクリーニング動作が必要に応じて実行される。
【００７９】
次に図１６の初期印刷位置設定サブルーチンＳ１（図１７）について、図１７並びに図１２〜図１５を参照しながら説明する。
【００８０】
まず、制御ユニット６０は、印刷装置データテーブル６０４から当該テーブル可動ピッチＴｐｈを取得し（ステップＳ１０１）、次いでその中央を通るＸ軸線上の適所を印刷位置ＳＰの中心座標Ｙｄとして演算する（ステップＳ１０２）。
【００８１】
次いで、制御ユニット６０は、マスク移動処理に移行する。
【００８２】
例えば、スクリーン印刷装置１が、図１３に示した態様に該当する場合には、搬入側が広いため、印刷位置ＳＰの中心座標Ｙｄを共有エリアに設定しても、基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）は、共有エリアで印刷工程を実行している相手側の基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）と干渉することなく、基板搬入、マーク認識の並行動作を実行することが可能になる。一方、基板搬入、マーク認識の動作を終えた後の印刷位置への進入動作については、基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）が共有エリアでの印刷工程を終えても一部共通エリアとなる基板搬出位置ＥｘＰ１（ＥｘＰ２）で基板搬出をしている相手側の基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）との干渉を避けるため、待機動作が必要になる場合がある。他方、スクリーン印刷装置１が図１４、図１５Ａに示した態様に該当する場合には、共有エリアに相手側の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）が存在すると、干渉が生じるため、基板搬出を終えても基板搬入、マーク認識について待機動作が必要になる。そこで、本実施形態では、動作項目データテーブル６０５および干渉管理データテーブル６０６を利用して、マスク移動制御を実行することとしている。
【００８３】
具体的には、制御ユニット６０は、動作項目データテーブル６０５および干渉管理データテーブル６０６を参照し、基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）が印刷前に実行する動作項目毎に必要シフト量ＳＦの最大値ＳＦｍａｘを検索する（ステップＳ１０３）。
【００８４】
次いで、制御ユニット６０は、ステップＳ１０３で検出した必要シフト量ＳＦの最大値ＳＦｍａｘを確保するように、Ｘ軸方向両側のＹ軸サーボモータ３０３を同一方向に回転することで本体２０２を移動し、印刷位置ＳＰの中心座標ＹｄをＹ軸方向にシフトする（ステップＳ１０４）。この結果、表１で示した例の場合、スクリーン印刷装置１が図１３に示した態様に該当するときには、最初に設定されたＹｄが印刷位置ＳＰの中心となる。他方、スクリーン印刷装置１が図１４、図１５Ａに示した態様に該当するときは、印刷工程に移行する基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）に対し、最大値ＳＦｍａｘを確保する寸法分だけ印刷位置ＳＰの中心座標Ｙｄをシフトする。これにより、後述するように、極めて効率的な交互印刷を実現することが可能になる。
【００８５】
次に図１６の印刷進入時におけるサブルーチン（図１８）について、図１８並びに図１９〜図２０を参照しながら説明する。
【００８６】
まず、制御ユニット６０は、一方の基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）のマーク認識動作（ステップＳ３Ａ（Ｓ３Ｂ））を終了した時点で、他方の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）が印刷動作中であるか否かを判定する（ステップＳ４０１）。仮に印刷中である場合、制御ユニット６０は、相手方の基板支持テーブルが印刷後に実行する動作項目毎に必要シフト量ＳＦの最大値ＳＦｍａｘを検索する（ステップＳ４０２）。これは、印刷を待機している基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）の待機位置によっては、印刷を終了した基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）の印刷後の工程に支障を来すことを回避するための処理である。
【００８７】
制御ユニット６０は、ステップＳ４０２の検索結果に基づいて、近接距離を設定する（ステップＳ４０３）。このステップＳ４０３では、必要シフト量ＳＦの最大値ＳＦｍａｘが０の場合、進入側の基板支持テーブル１０Ａは、印刷中の基板支持テーブル１０Ｂに対し、干渉リミットＬｉまで近接することができる。他方、最大値ＳＦｍａｘが０以上である場合、近接可能な距離は、この必要シフト量ＳＦｍａｘの値だけ、印刷中の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）から隔たった値となる。
【００８８】
次いで制御ユニット６０は、設定された近接距離を隔てた位置まで、印刷位置にある基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）に近接する（ステップＳ４０５）。その状態で印刷処理が終了するのを待機する（ステップＳ４０６）。印刷処理が終了した場合、または、ステップＳ４０１で既に印刷処理が終了していた場合、制御ユニット６０は、現在の印刷位置を変更すべきかどうか判定する処理に移行する。具体的には、動作項目データテーブル６０５およびマスク移動管理データテーブル６０６を参照し、相手方が次の印刷を開始するまでの動作項目毎に必要シフト量ＳＦの最大値ＳＦｍａｘを検索する（ステップＳ４０７）。次いで、制御ユニット６０は、検索結果に基づいて、印刷位置を修正する（ステップＳ４０８）。この結果、印刷位置を退出する基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）が共有エリア内で作業する必要がある場合には、必要シフト量に応じて、印刷位置から退出する基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）から離反する方向に印刷位置が変更される。これにより、印刷工程に移行する基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）と、印刷工程を終えた基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）との干渉を避けつつ並行動作を実行させ、待ち時間を生じさせることなく、交互印刷を続けることが可能になる。
【００８９】
図１９を参照して、進入する基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）は、印刷位置に到達するまでの間、ステップＳ４１０からＳ４１８の動作を繰り返す。具体的には、制御ユニット６０は、まず、退出する基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）の現在位置を取得し（ステップＳ４１０）、当該基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）が干渉し得るエリア内にあるか否かを判定する（ステップＳ４１１）。ここで、「干渉し得るエリア」とは、印刷位置ＳＰを占める領域において、両基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの移動速度差と対向間隔に基づき動的に設定される領域であり、制御ユニット６０のデータ記憶部６３には、「干渉し得るエリア」を決定する計算式またはマップが事前に記憶されている。
【００９０】
仮に退出する基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）が干渉し得るエリア内にある場合、制御ユニット６０は、さらに、退出する基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）の退出速度Ｖｐと、進入する基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）の進入速度Ｖｓとを取得し（ステップＳ４１３、Ｓ４１４）、両者を比較する（ステップＳ４１５）。仮に進入速度Ｖｓが退出速度Ｖｐよりも速い場合、制御ユニット６０は、干渉回避が必要であると判定し（ステップＳ４１６）、進入速度Ｖｓが退出速度Ｖｐ以下の場合、制御ユニット６０は、干渉回避が不要であると判定する（ステップＳ４１７）。また、ステップＳ４１１の判定において、退出する基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）が干渉し得るエリア内にない場合にも、制御ユニット６０は、干渉回避が不要であると判定する（ステップＳ４１７）。その後、進入する基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）は、進入速度Ｖｓで軸移動を続け（ステップＳ４１８）、印刷位置に到達する。以上の処理を経て、制御ユニット６０は、図１６のメインフローに復帰する。
【００９１】
図２０を参照して、例えば、図１２の態様のスクリーン印刷装置１に対し、上述した制御を実行した場合、図２０（Ａ）に示すように、次の印刷動作を待機している基板支持テーブル１０Ｂは、印刷中の基板支持テーブル１０Ａに対し、干渉リミットＬｉまで近接しているので、図２１に示すように、基板支持テーブル１０Ａの印刷工程が終了した後、極めて短時間で印刷位置ＳＰに移行し、次の基板種の印刷工程を実行することができる。すなわち、図２１の基板支持テーブルＢのコンベア対１２Ｂのコンベア幅は最初の搬出終了後変更され、これに伴い基板搬入位置ＥｎＰ２が変化するとともに、印刷位置変更がされる。基板支持テーブルＡのコンベア対１２Ａのコンベア幅は、図上１回目における搬出後変更される。
【００９２】
さらに、図２２を参照して、例えば、スクリーン印刷装置１が図１３に示した態様の場合、図１７のフローにより、最初の印刷位置ＳＰは、スクリーン印刷装置１の中央に設定される。その状態で図１８のステップＳ４０１〜Ｓ４０５が実行されることにより、次の印刷工程を待機している基板支持テーブル１０Ｂは、干渉リミットＬｉまで印刷中の基板支持テーブル１０Ｂに近接する。従って、図２０、図２１に示した場合と同様に、図２２（Ａ）に示した状態から次の印刷工程への移行がスムーズになる。
【００９３】
次に、図２２（Ａ）の状態から次の印刷工程に移行する過程で図１８に示したステップＳ４０７〜Ｓ４０８が実行されるので、印刷位置ＳＰは、図２２（Ａ）の位置から必要シフト量ＳＦｍａｘだけＢサイドにシフトした位置に変更される。この結果、印刷が終了したＡサイドの基板支持テーブル１０Ａの搬出工程等とＢサイドの基板支持テーブル１０Ｂの印刷工程とを並行させても、両基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが干渉することはない。
【００９４】
さらに、図２２（Ｃ）を参照して、基板Ｗの搬出を終了したＡサイドの基板支持テーブル１０Ａは、基板搬入位置に戻り、次の基板Ｗの搬入動作を実行する。その後、再び、進入動作に移行するので、制御ユニット６０は、再度、図１８のフローチャートを実行する。
【００９５】
このときの制御で、ステップＳ４０２が実行されることにより、基板搬出時の必要シフト量ＳＦが最大値として検出される。この結果、ステップＳ４０３での演算で、近接距離は、検出された最大値を確保した距離に設定されるので、図２２（Ｃ）に示すように、進入動作に移行した基板支持テーブル１０Ａは、印刷中の基板支持テーブル１０Ｂに対し、所定間隔（Ｌｉ＋ＳＦｍａｘ）隔てた位置で待機する。これにより、Ｂサイドの基板支持テーブル１０Ｂが印刷工程を終了した後も、共有エリアで搬出動作を実行することができるので、何等待機時間を設けることなく、印刷後の基板Ｗを搬出することができる。他方、図１８のステップＳ４０７以降の処理によって、図２２（Ｄ）に示すように、印刷位置ＳＰは、再びＡサイドにシフトするので、Ａサイドの基板支持テーブル１０Ａもスムーズに印刷工程に移行することができるばかりでなく、印刷位置ＳＰに移動する時間を短縮することも可能になる。
【００９６】
さらに、図１４のように搬入側Ｙ軸ピッチＰｉｎが搬出側Ｙ軸ピッチＰｏｕｔよりも短い態様の場合、図１７のステップＳ１０１〜Ｓ１０４が実行されることにより、図２３（Ａ）に示すように、最初の印刷位置ＳＰは、テーブル可動ピッチＴｐｈの中心座標ＹｄよりもＳＦｍａｘだけ、印刷を開始する方の基板支持テーブル１０Ａにシフトしている。その結果、Ｂサイドの基板支持テーブル１０Ｂは、共有エリアに入って基板Ｗの搬入をＡサイドの基板支持テーブル１０Ａの印刷動作を並行して実行することが可能になるとともに、図２３（Ｂ）に示すように、印刷を終了したＡサイドの基板支持テーブル１０Ａも、何等待機動作を経ることなく、直ちに基板Ｗを搬出することが可能になる。
【００９７】
また、印刷工程が終了した後は、図１８のステップＳ４０７〜Ｓ４０８が実行されることにより、図２３（Ｃ）に示すように、印刷位置ＳＰは、Ｂサイドにシフトする。その結果、図２３（Ｄ）に示すように、Ａサイドの基板支持テーブル１０Ａが直ちに干渉エリアに入って基板Ｗの搬入動作に移行することができるばかりでなく、Ｂサイドの基板支持テーブル１０Ｂの進入動作も可及的に短縮されることになる。
【００９８】
さらに、図１５のように搬入側及び搬出側が非対称の態様の場合、図１７のステップＳ１０１〜Ｓ１０４が実行されることにより、図２４（Ａ）に示すように、最初の印刷位置ＳＰは、テーブル可動ピッチＴｐｈの中心座標ＹｄよりもＳＦｍａｘだけ、印刷を開始する方の基板支持テーブル１０Ａにシフトしている。その結果、Ｂサイドの基板支持テーブル１０Ｂは、共有エリアに入って基板Ｗの搬入をＡサイドの基板支持テーブル１０Ａの印刷動作を並行して実行することが可能になる。
【００９９】
次に、また、この態様では、図１８のステップＳ４０２〜Ｓ４０５が実行されることにより、Ｂサイドの基板支持テーブル１０Ｂは、干渉リミットＬｉに必要シフト量ＳＦを加えた間隔だけ対向した位置で待機することになる。この結果、図２４（Ｃ）に示すように、印刷を終了した基板支持テーブル１０Ａは、印刷終了後直ちに基板Ｗを搬出することができるばかりでなく、図２４（Ｄ）に示すように、共有エリアに直ちに進入して、次の基板Ｗの搬入動作に移行することが可能になる。
【０１００】
上述した一連の動作において、印刷実行部２０がＹ軸方向に移動されるときは、制御ユニット６０は、Ｙ軸サーボモータ２１０を制御し、ＡサイドとＢサイドに向けて、Ｙ軸方向に印刷実行部２０を往復移動する。その際、制御ユニット６０は、印刷実行部データテーブル６０２からマスクオフセット量Ｏｓを参照し、印刷実行部２０の停止位置を印刷位置ＳＰの中心座標Ｙｄからマスクオフセット量Ｏｓだけずらして、印刷実行部２０に採用されているスクリーンマスク２０６のＸ軸中心線ＭＣが中心座標Ｙｄと一致するように、移動量を制御する（図１２〜図１５参照）。この結果、所定の印刷位置ＳＰに基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂを交互に移動させる際に、その負荷が等分され、特に、図１、図１２に示したように、印刷位置ＳＰをテーブル可動ピッチＴｐｈの中心に据えて、殆ど移動させる必要がない場合には、特に負荷配分が均等になる。無論、印刷位置ＳＰの中心座標Ｙｄに、マスクオフセット量Ｏｓを考慮したスクリーンマスク２０６の中心座標を一致させることにより、基板Ｗとスクリーンマスク２０６との重装工程においても、演算が容易になり、しかも、精緻な制御を実現することが可能になる。
【０１０１】
以上説明したように本実施形態は、スクリーン印刷装置１において、印刷対象となる基板Ｗを保持するために設けられ、当該基板Ｗの搬送方向と直交するＹ軸方向に沿って並置された一対の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂと、一対の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに担持された基板Ｗに対し交互に印刷工程を実施する印刷実行部２０と、印刷実行部２０をＹ軸方向に沿って駆動する印刷実行部駆動機構（Ｙ軸サーボモータ２１０等）と、印刷実行部駆動機構の駆動を制御することにより、一方の基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）と他方の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）とがＹ軸方向に対向する範囲内において印刷位置ＳＰを設定する制御ユニット６０とを備えている。このため本実施形態では、一つの印刷実行部２０を一対の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂで共有し、交互にスクリーン印刷を施すことができるので、印刷実行部２０の冗長性を避けることが可能になる。このため、両基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂで同種の基板Ｗを連続して生産するような場合は、単一のスクリーンマスク２０６を共用することができ、スクリーンマスク２０６のコストを半減することが可能になる。また、単一のスクリーンマスク２０６を共用できるので、段取りに必要な半田も必要充分な量に留まる。そのため、生産後の半田の処理（廃棄、保管など）においてもコスト低減を図ることが可能となる。また、印刷実行部２０の印刷位置ＳＰをＹ軸方向沿いに変更可能にして、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが同一の印刷実行部２０を共有しているので、印刷実行部２０の冗長性が排除され、しかも印刷実行部２０を配置するためのスペースをコンパクトにまとめることができ、スクリーン印刷装置１自体やそれに付随するコンベア類も小型化することが可能となる。しかも印刷位置ＳＰを設定する際は、印刷実行部２０をＹ軸方向に移動して一方の基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）と他方の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）との間の任意の箇所に変更することができるので、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの稼働状況や、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに設定される基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２、基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２の態様に応じて、動的に好適な印刷位置ＳＰを設定することができる。
【０１０２】
また、本実施形態では、一対の基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢをＹ軸方向に沿って個別に駆動する基板支持テーブル駆動機構（モータ５Ａ、５Ｂ等）と、基板支持テーブル駆動機構を制御する制御ユニット６０とをさらに備えている。このため本実施形態では、印刷実行部２０を移動することにより印刷位置ＳＰを設定することができる他、基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢをＹ軸方向に移動させることによっても、印刷位置ＳＰを変更することができるので、より一層、印刷処理の効率化を図ることができる。しかも、基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢをＹ軸方向に移動することができるので、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに基板Ｗを搬入する搬入位置と基板Ｗを搬出する搬出位置も、製造ラインの態様に応じて変更することができ、スクリーン印刷装置１自身の汎用性を高めることも可能になる。
【０１０３】
また、本実施形態では、Ｙ軸方向において、何れの基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂも移動可能な共有エリアが設定されている。このため本実施形態では、共有エリアを設けることによって、Ｙ軸方向におけるスクリーン印刷装置１をコンパクトにすることができる。また、印刷位置ＳＰを共有エリアに設定することも可能になるので、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ並びに印刷実行部２０の移動範囲（移動時間）を短縮し、交互印刷の効率化を図ることが可能になる。
【０１０４】
また、本実施形態では、制御ユニット６０は、一対の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの何れか一方がＹ軸方向に沿って移動可能な範囲をテーブル可動ピッチＴｐｈとし、このテーブル可動ピッチＴｐｈを基準にして印刷位置ＳＰを設定するものである。このため本実施形態では、一対の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの何れかが移動可能なテーブル可動ピッチＴｐｈにおいて印刷位置ＳＰが設定されるので、共有エリアが設定されている場合に、この共有エリア内に印刷位置ＳＰを設定し、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ並びに印刷実行部２０の移動範囲（移動時間）を短縮し、交互印刷の効率化を図ることが可能になる一方、両基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが干渉しないよう、テーブル可動ピッチＴｐｈ内において共有エリア外を含む任意の位置で印刷位置ＳＰを設定することができる。これによりコンパクトな構成で交互印刷を効率化することができるので、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの運転状況や設定条件に応じて好適な位置を印刷位置ＳＰに設定し、効率化を図ることが可能になる。
【０１０５】
また、本実施形態では、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが、印刷対象となる基板Ｗの搬入から印刷後の搬出に至るまでに干渉回避のために管理すべき動作項目を記憶する動作項目記憶手段としての動作項目データテーブル６０５と、動作項目毎に相手側の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂとの干渉を回避するための必要シフト量ＳＦを保存する必要シフト量記憶手段としての干渉管理データテーブル６０６とをさらに備え、制御ユニット６０は、Ｙ軸方向において、テーブル可動ピッチＴｐｈの中心位置から必要シフト量ＳＦを確保した位置に印刷位置ＳＰを設定するものである。このため本実施形態では、スクリーン印刷装置１に基板Ｗが搬入されてから、印刷された基板Ｗが搬出されるまでに要する種々の動作毎に必要シフト量ＳＦが設定され、その必要シフト量ＳＦに基づいて、好適な印刷位置ＳＰが設定されるので、同一の印刷実行部２０で一対の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに支持された基板Ｗにスクリーン印刷を交互に施すに当たり、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの並行動作中に干渉が生じにくくなり、並行動作の効率が向上する。
【０１０６】
また、本実施形態では、制御ユニット６０は、印刷位置ＳＰから退出した基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが印刷済の基板Ｗを搬出した後、次の印刷工程に移行するまでの間、必要シフト量ＳＦを確保した所定の位置まで印刷位置ＳＰにある相手側の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに近接するように基板支持テーブル駆動機構を制御するものである。このため本実施形態では、印刷工程を交互に繰り返す過程において、一対の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂのうち、印刷位置ＳＰにある基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが印刷工程を終了して当該印刷位置ＳＰから退出を開始した時点で、待機中の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが印刷位置ＳＰへの進入を開始するので、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの切換動作も可及的に迅速になり、処理効率が向上する。しかも、待機中の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが印刷中の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに近接する際に、必要シフト量ＳＦが確保されているので、印刷工程を終了した基板Ｗ支持プレートが印刷済の基板Ｗを搬出する動作と、待機していた基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが印刷工程に移行する動作とを並行させても、両者が干渉することはない。従って、交互印刷をより効率よく実行することができる。
【０１０７】
また、本実施形態では、制御ユニット６０は、一対の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂのうち、印刷位置ＳＰにある基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが当該印刷位置ＳＰから退出を開始した時点で他方の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが印刷位置ＳＰへの進入を開始するように基板支持テーブル駆動機構を制御するものである。このため本実施形態では、印刷工程を交互に繰り返す過程において、一対の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂのうち、印刷位置ＳＰにある基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが印刷工程を終了して当該印刷位置ＳＰから退出を開始した時点で、待機中の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが印刷位置ＳＰへの進入を開始するので、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの切換動作も可及的に迅速になり、処理効率が向上する。
【０１０８】
また、本実施形態では、制御ユニット６０は、印刷位置ＳＰから退出した基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）が印刷済の基板Ｗを搬出した後、次の印刷工程に移行するまでの間、予め設定された干渉リミットＬｉまで印刷位置ＳＰにある相手側の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）に近接するように基板支持テーブル駆動機構を制御するものである。このため本実施形態では、印刷位置ＳＰから退出した基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが、その退出後に相手側の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに近接しているので、次の印刷工程で再び印刷位置ＳＰに進入する際、進入完了までの時間を可及的に短縮することができる。その結果、全体の処理時間を一層短くし、処理効率を高めることができる。
【０１０９】
また、本実施形態では、制御ユニット６０は、印刷実行部２０に設けられるスクリーンマスク２０６の中心線ＭＣを中心にして、一方の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの移動量と他方の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの移動量とが等分される位置に印刷位置ＳＰを設定するものである。このため本実施形態では、所定の印刷位置ＳＰに基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂを交互に移動させる際に、その負荷が等分されるので、同じ運転状況では同じタイミングで印刷位置ＳＰに対する進入と退出を繰り返すことができる。この結果、一方の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂにおける印刷工程と他方の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂにおける印刷工程との間にタイムラグが生じにくくなり、より効率的に交互印刷を繰り返すことができる。
【０１１０】
次に本発明の第２実施形態について説明する。
【０１１１】
図２５を参照して、第２実施形態では、版離れ７Ａ（７Ｂ）の工程を経た後、印刷位置調整サブルーチンＳ１０Ａ（Ｓ１０Ｂ）を設けている。
【０１１２】
図２６を参照して、スクリーン印刷装置１が設置される製造ラインの態様によっては、交互印刷の過程で、スクリーン印刷装置１の上流側の装置において、基板Ｗの送給遅れが生じた場合、或いはスクリーン印刷装置１の下流側の装置において実装時間がばらついた場合に、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに対する基板Ｗの搬入遅れ、搬出遅れが生じ、次の印刷工程において、一方の印刷工程に後続する他方の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）の搬入等が遅れ、待ち時間が生じる場合がある。そのような場合には、後工程で干渉が生じない限りにおいて、印刷実行部２０が遅れの生じた基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）に近接し、出迎えることが好ましい。そこで、第２実施形態では、版離れ７Ａ（７Ｂ）の工程を経た後、印刷位置調整サブルーチンＳ１０Ａ（Ｓ１０Ｂ）を設け、印刷位置を退出開始のタイミングで調整できるようにしている。
【０１１３】
制御ユニット６０は、退出動作と並行して、次工程の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）に移動する必要があるか否かを判定する（ステップＳ１０１）。この判定は、具体的には、図２２（Ｃ）、図２３（Ｃ）、図２４（Ｃ）に示したように、干渉回避のために移動することが必要な場合には、その移動を優先するための処理である。移動が必要であると判定した場合、制御ユニット６０は、移動量を設定し（ステップＳ１０２）、進入側に移動する（ステップＳ１０３）。移動量の設定は、具体的には、図１１の干渉管理データテーブル６０６に登録されている必要シフト量ＳＦの最大値ＳＦｍａｘに基づいて設定される。
【０１１４】
移動が終了した場合、印刷位置を変更せずにメインフローに復帰する（ステップＳ１０４）。
【０１１５】
他方、図１の態様のように、移動が不要な場合、制御ユニット６０は、次工程に移行する基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）のモータ５Ｂの動作（を検出するエンコーダの出力）に基づいて、遅れが生じているか否かを判定する（ステップＳ１０５）。
【０１１６】
ステップＳ１０５の判定で、遅れが生じていないと判定した場合には、ステップＳ１０４に移行し、その後、メインフローに復帰する。他方、遅れが生じているとステップＳ１０４で判定した場合、制御ユニット６０は、さらに共有エリア条件に基づいて、移動量を設定する（ステップＳ１０６）。ここで、共有エリア条件とは、干渉回避の要否、遅れが発生した回数、進入動作に移行する基板支持テーブルの現在位置、移動に要する時間等に基づいて、移動量を決定する条件である。
【０１１７】
仮に共有エリア条件を充足していると判定した場合、制御ユニット６０は、共有エリア内で進入動作に移行する基板支持テーブルに近接する（ステップＳ１０７）。また、共有エリア条件を充足していないと判定した場合、制御ユニット６０は、共有エリア外に至る範囲で進入動作に移行する基板支持テーブル１０Ｂに近接する（ステップＳ１０８）。この結果、例えば、ｎ＋１回目の処理でＢサイドの基板支持テーブル１０Ｂの進入が遅れた場合、印刷実行部２０は、（共有エリア条件を充足している場合に）共有エリア内で予め定めた移動量に基づき、Ｂサイドの基板支持テーブル１０Ｂに近接する。この結果、Ｂサイドでの基板支持テーブル１０Ｂの進入に要する時間が短縮され、処理の効率化を図ることができる。また、ｎ＋３回目の処理でＢサイドの基板支持テーブル１０Ｂの進入が再び遅れた場合、印刷実行部２０は、共有エリアの外側までＢサイドの基板支持テーブル１０Ｂに近接することも可能になる。この結果、Ｂサイドでの基板支持テーブル１０Ｂの進入に要する時間が短縮され、処理の効率化を図ることができる。
【０１１８】
このように、第２実施形態では、制御ユニット６０は、次の印刷工程に移行する基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが印刷位置ＳＰに進入するか否かを判定し、次の印刷工程に移行する基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの進入が遅れると判定した場合には、当該基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに近接する方向に印刷位置ＳＰを変更するように印刷実行部駆動機構の駆動を制御するものである。このため本実施形態では、上述のような遅れが生じた場合に、印刷実行部２０が当該基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに近接し、遅れてきた基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂを印刷実行部２０が出迎えるので、印刷実行部２０の移動によって遅れが短縮され、ロス時間を短縮することができる。
【０１１９】
次に、第３実施形態について説明する。
【０１２０】
図１のようなスクリーン印刷装置１において、例えば、遅れに対する出迎え動作を行う場合、徒に共有エリアを外れて進入側の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）に近接すると、次工程で印刷処理を実行する相手側の基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）の進入動作に時間がかかる恐れがある。そこで、第３実施形態では、図２７に示すように、遅れの判定（ステップＳ１０５）を実行した後、進入動作に移行する基板支持テーブル１０Ｂが現在の印刷位置へ進入するのに要する時間Ｔｒを演算し（ステップＳ１１０）、この基板支持テーブル１０Ｂに印刷実行部２０がＴｒ／２移動する位置Ｐｒを演算し（ステップＳ１１１）、基板支持テーブル１０Ｂと印刷実行部２０とをそれぞれ位置Ｐｒに移動するようにしている。
【０１２１】
図２７のような処理を実行すれば、遅れが生じていても、基板支持テーブル１０Ｂと印刷実行部２０とが、いわば互いに歩み寄って印刷位置に移動するので、遅れを解消することができる他、次の印刷工程での時間ロスを低減することも可能になる。
【０１２２】
なお、図２７のステップＳ１１０〜Ｓ１１２は、遅れが生じていない場合に実行してもよい。すなわち、図２７の遅れ判定（ステップＳ１０５）は、省略してもよい。その場合には、図２８に示したように、印刷工程が切り替わるたびに印刷位置が変更され、効率的な交互印刷を実現することが可能になる。
【０１２３】
このように第３実施形態においては、制御ユニット６０は、印刷位置ＳＰに進入する基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに対し、当該進入動作と同期して印刷位置ＳＰに進入する基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに近接して印刷位置ＳＰを変更するものである。このため本実施形態では、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂと印刷実行部２０とが互いに歩み寄って所定の印刷位置ＳＰで印刷工程が実行されるので、印刷位置ＳＰを両基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの共有エリア内に設定することができ、何れの基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂにとっても動作に無駄がなくなる。この結果、交互印刷をより一層効率的に実現することができる。
【０１２４】
上述したスクリーン印刷装置１は、本発明の好ましい実施形態の例示であって、その具体的な構成は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【０１２５】
例えば、上述した実施形態と併用して、または、上述した実施形態とは別に、干渉チェックをモニタする態様を採用してもよい。その場合、干渉チェックの方法としては、下記に例示する態様を採用することができる。
【０１２６】
図２９を参照して、第１の態様は、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの原点（Ａ原点、Ｂ原点という）間の間隔Ｌｏが既知の場合に、この間隔Ｌｏに基づいて、干渉をチェックする方法である。具体的には、Ｙ軸方向において、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが互いに最も離反しているときの中心位置をそれぞれＡ原点、Ｂ原点として設定する。Ａ原点とＢ原点のＹ軸方向の間隔Ｌｏが既知であり、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが干渉し得る間隔Ｌも既知であるので、これらのデータを事前にデータ記憶部６３に登録しておき、現時点での移動間隔Ｃａ、Ｃｂの和の絶対値｜Ｃａ＋Ｃｂ｜と、間隔Ｌｏと間隔Ｌの差とを比較する。仮に、絶対値｜Ｃａ＋Ｃｂ｜が間隔Ｌｏと間隔Ｌとの差以上である場合には、干渉すると判定し、絶対値｜Ｃａ＋Ｃｂ｜が間隔Ｌｏと間隔Ｌとの差未満である場合には、干渉しないと判定する。間隔Ｌは、図１９のフローチャートにおける「干渉し得るエリア」と同様に、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの機種や、移動速度によって動的に設定される値であってもよい。
【０１２７】
他方、Ａ原点とＢ原点のＹ軸方向の間隔Ｌｏ、或いは上記間隔Ｌが分からない場合もある。その場合には、次のような方法を採用する。
【０１２８】
図３０を参照して、Ａ原点とＢ原点のＹ軸方向の間隔Ｌｏが分からない場合は、同図（Ａ）に示すように、一旦、Ａ原点とＢ原点の座標を求めた上で、両基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂを干渉リミットまで近接させる。次いで、両基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが干渉リミットに近接しているときのＹ軸方向における第１の基板支持テーブル１０Ａの移動量Ｌａと、Ｙ軸方向における第２の基板支持テーブル１０Ｂの移動量Ｌｂとを取得する。さらに、両移動量Ｌａ、Ｌｂの差の絶対値｜Ｌｂ−Ｌａ｜を演算し、その演算結果をＬｃとする。そして、この演算結果Ｌｃを事前にデータ記憶部６３に登録しておき、現時点でのＹ軸方向における第１の基板支持テーブル１０Ａの移動間隔Ｃａと、第２の基板支持テーブル１０Ｂの移動間隔Ｃｂとを求めて、これら移動間隔Ｃａ、Ｃｂの和の絶対値｜Ｃａ＋Ｃｂ｜を事前に登録した演算結果Ｌｃと比較する。仮に、絶対値｜Ｃａ＋Ｃｂ｜が演算結果Ｌｃ以上である場合には、干渉すると判定し、絶対値｜Ｃａ＋Ｃｂ｜が演算結果Ｌｃ未満である場合には、干渉しないと判定する。
【０１２９】
図２９、図３０の方法を採用することにより、所望のタイミングで、干渉が生じるか否かをチェックすることが可能になる。
【０１３０】
また、基板Ｗをスクリーン印刷装置１に搬入または搬出する態様としては、図３１に示すように、第１基板搬入部Ｅｎ１、第２基板搬入部Ｅｎ２に受け渡しベルトコンベア対１７０Ａ、１７０Ｂを設けた構成を採用してもよい。その場合には、第１ローダＬ１、第２ローダＬ２の各ベルトコンベア対ＣＬ１、ＣＬ２と第１、第２基板支持テーブル１０Ａ、２０Ａの対応するベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂとの位置決めが機械的に決定されるので、制御が容易になるという利点がある。
【０１３１】
同様に、第１基板搬出部Ｅｘ１、第２基板搬出部Ｅｘ２に受け渡しベルトコンベア対１７１Ａ、１７１Ｂを設けた構成を採用してもよい。
【０１３２】
また、具体的には図示していないが、基板搬入部と基板搬出部の何れか一方にのみ受け渡しコンベアを設けてもよい。
【０１３３】
また、図１５の態様に係るスクリーン印刷装置１に本発明を適用するに当たり、印刷実行部２０のテーブル可動ピッチは、搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２間の搬入側Ｙ軸ピッチＰｉｎであってもよく、或いは、搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２間の搬出側Ｙ軸ピッチＰｏｕｔであってもよい。或いは、内側の搬入部Ｅｎ１と内側の搬出部Ｅｘ２の間のＹ軸方向ピッチＹｐ２を採用してもよい。
【０１３４】
また、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ等における基板Ｗの具体的な支持構造、印刷実行部２０等における具体的なスクリーンマスク２０６の保持構造、あるいはスキージユニット保持機構４００の具体的な構造等は、必ずしも上記実施形態のスクリーン印刷装置１のものに限定されるものではなく、適宜変更可能であることは、いうまでもない。
【符号の説明】
【０１３５】
１  スクリーン印刷装置
１０Ａ  基板支持テーブル
１０Ｂ  基板支持テーブル
２０  印刷実行部
４０  スキージユニット
６０  制御ユニット
２００  マスクユニット
２１０  Ｙ軸サーボモータ
４００  スキージユニット
６０５  動作項目データテーブル
６０６  干渉管理データテーブル
【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３】
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