(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸に設けられ、所定ピッチで形成された複数の歯を有する被検出リングと、前記歯に対向するように配置され、該歯との距離に応じた出力を発生する角度検出センサとを有し、該角度検出センサからの前記出力に基づいて前記被検出リングの回転角度を求める回転角度検出装置と、
前記回転角度が、与えられた回転角度指令値となるように前記回転軸を回転させる回転軸駆動装置とを備えた回転角度位置決め装置において、
前記被検出リングにおける任意の１歯周期の補正分割点に対応する前記角度検出センサによる検出回転角度と実際の回転角度との、前記被検出リングの加工精度等に起因して発生する誤差からなる１歯周期誤差パターンを記憶する誤差パターン記憶部と、
前記回転角度指令値を前記１歯周期誤差パターンに基づいて補正することにより回転角度補正指令値を求める指令値補正部と
を備えたことを特徴とする回転角度位置決め装置。
【請求項２】
請求項１に記載の回転角度位置決め装置において、
前記誤差パターン記憶部は、前記１歯周期誤差パターン及び前記被検出リングを１回転させたときの前記角度検出センサによる検出回転角度と実際の回転角度との誤差からなる１回転周期誤差パターンを記憶し、
前記指令値補正部は、前記回転角度指令値を前記１回転周期誤差パターン及び前記１歯周期誤差パターンに基づいて補正することにより回転角度補正指令値を求める
ことを特徴とする回転角度位置決め装置。
【請求項３】
請求項２に記載の回転角度位置決め装置において、
前記指令値補正部は、前記回転角度指令値を前記１回転周期誤差パターンに基づいて補正することにより第１回転角度補正指令値を求め、該第１回転角度補正指令値を前記１歯周期誤差パターンに基づいて補正することにより第２回転角度補正指令値を求める
ことを特徴とする回転角度位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば工作機械の回転軸を所定の角度位置に位置決めする回転角度位置決め装置に関し、特に、回転角度検出センサの誤差の補正方法の改善に関する。
【背景技術】
【０００２】
工作機械の回転軸、例えば旋盤の、チャックが装着された主軸を、所定の角度位置に位置決めする回転角度位置決め装置として、前記主軸の回転角度を検出する回転角度検出装置と、該回転角度検出装置により検出された前記主軸の回転角度が、回転角度指令値となるように前記主軸を回転駆動する駆動装置とを備えたものがある。
【０００３】
前記主軸の回転角度検出装置として、主軸に取り付けられ、所定ピッチで形成された複数の歯を有する被検出リングと、該被検出リングの歯と対向する位置に固定配置され、前記被検出リングの歯との距離の遠近度合いに応じた電圧信号を出力する角度検出センサとを用いたものがある（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平０５−２８８５７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、前記従来の回転角度検出装置では、前記主軸が実際に回転した角度と前記角度検出センサによる検出値との間で、前記被検出リングの中心のずれ等に起因して被検出リングが１回転する間の１回転周期誤差が生じる上に、被検出リングの歯の加工精度等に起因する１歯周期毎の１歯周期誤差が生じるといった問題がある。
【０００６】
前記１回転周期誤差の補正については、被検出リングの１回転周期（３６０°）を複数に分割した補正分割点における前記角度検出センサの検出誤差を予め求めておき、この誤差により回転角度指令値を補正することで実現できる。
【０００７】
一方、前記１歯周期誤差の補正については、１歯周期における補正分割点の間隔（deg）の小数点以下の桁数が多すぎて、現行の回転角度位置決め装置では対応できないといった問題が生じる。具体的には、例えば歯数512，補正分割数16の場合は、補正分割点の間隔(deg)＝360°÷歯数÷補正分割数＝0.0439453125degとなる。
【０００８】
また前記１回転周期誤差の補正方法を、前記歯数512,補正分割点数16の１歯周期誤差の補正にそのまま採用した場合は、補正点数＝歯数×補正分割数＝8,192となり、補正点数が多すぎて処理出来ないという問題が生じる。
【０００９】
本発明は、前記従来の問題点に鑑みてなされたもので、１歯周期誤差の補正を、補正点数を最小限に抑えつつ実現できる回転角度位置決め装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１の発明は、回転軸に設けられ、所定ピッチで形成された複数の歯を有する被検出リングと、前記歯に対向するように配置され、該歯との距離に応じた出力を発生する角度検出センサとを有し、該角度検出センサからの前記出力に基づいて前記被検出リングの回転角度を求める回転角度検出装置と、
前記回転角度が、与えられた回転角度指令値となるように前記回転軸を回転させる回転軸駆動装置とを備えた回転角度位置決め装置において、
前記被検出リングにおける任意の１歯周期の補正分割点に対応する前記角度検出センサによる検出回転角度と実際の回転角度との、前記被検出リングの加工精度等に起因して発生する誤差からなる１歯周期誤差パターンを記憶する誤差パターン記憶部と、前記回転角度指令値を前記１歯周期誤差パターンに基づいて補正することにより回転角度補正指令値を求める指令値補正部とを備えたことを特徴としている。
【００１１】
請求項２の発明は、請求項１に記載の回転角度位置決め装置において、前記誤差パターン記憶部は、前記１歯周期誤差パターン及び前記被検出リングを１回転させたときの前記角度検出センサによる検出回転角度と実際の回転角度との誤差からなる１回転周期誤差パターンを記憶し、前記指令値補正部は、前記回転角度指令値を前記１回転周期誤差パターン及び前記１歯周期誤差パターンに基づいて補正することにより回転角度補正指令値を求めることを特徴としている。
【００１２】
請求項３の発明は、請求項２に記載の回転角度位置決め装置において、前記指令値補正部は、前記回転角度指令値を前記１回転周期誤差パターンに基づいて補正することにより第１回転角度補正指令値を求め、該第１回転角度補正指令値を前記１歯周期誤差パターンに基づいて補正することにより第２回転角度補正指令値を求めることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本願発明者は、被検出リングの任意の隣接する２つの歯の間における検出回転角度の実際の回転角度に対する誤差である１歯周期誤差パターンは、何れの１歯周期においても略同じ傾向を示す点を見出し、この点を基にして本発明を完成した。
【００１４】
即ち、本発明では、任意の１歯周期における１歯周期誤差パターンを何れの１歯周期においても使用して回転角度指令値を補正し、回転角度検出装置で検出した回転角度が前記補正した回転角度補正指令値となるように回転軸を回転駆動することにより、角度検出センサの誤差を吸収できる。
【００１５】
このように任意の隣接する２つの歯の間における補正分割点における角度検出センサの検出誤差からなる１歯周期誤差パターンのみを使用することで補正ができるので、誤差の補正点数を大幅に削減できるとともに、必要な記憶容量が小さくて済む。
【００１６】
請求項２の発明によれば、１歯周期誤差パターン及び1回転周期誤差パターンを用いて回転角度指令値を補正するので、被検出リングの中心のずれ等に起因する誤差及び被検出リングの歯の加工精度等に起因する誤差を補正できる。
【００１７】
また請求項３の発明によれば、回転角度指令値を前記1回転周期誤差パターンに基づいて補正することにより第１回転角度補正指令値を求め、該第１回転角度補正指令値を前記１歯周期誤差パターンに基づいて補正することにより第２回転角度補正指令値を求めるようにしたので、被検出リングの中心のずれ等に起因する誤差を補正した後に、被検出リングの歯の加工精度等に起因する誤差を補正することとなり、前記両方の誤差をより効率的にかつ確実に補正することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施例１に係る回転角度位置決め装置を備えた工作機械の模式平面図である。
【図２】本発明の実施例１に係る回転角度位置決め装置の回転角度検出装置部分の模式構成図である。
【図３】本発明の実施例１に係る回転角度位置決め装置の1回転周期誤差パターンの模式図である。
【図４】本発明の実施例１に係る回転角度位置決め装置の１歯周期誤差パターンの模式図である。
【図５】前記１歯周期誤差パターンの求め方を説明するための模式図である。
【図６】前記1回転周期誤差パターンの具体例の模式図である。
【図７】前記1歯周期誤差パターンの具体例の模式図である。
【図８】本発明の実施例１に係る回転角度位置決め装置の動作を説明するためのフローチャートである。
【図９】前記フローチャートに採用された１歯周期を説明するための模式図である。
【図１０】前記フローチャートに採用された１歯周期誤差補正テーブルを示す図である。
【図１１】本発明の実施例２に係る回転角度位置決め装置の１回転周期誤差補正テーブルを示す図である。
【図１２】本発明の実施例２に係る回転角度位置決め装置の１回転周期誤差を求める方法を説明するための図である。
【図１３】本発明の実施例２に係る回転角度位置決め装置の１歯周期誤差補正テーブルを示す図である。
【図１４】本発明の実施例２に係る回転角度位置決め装置の１歯周期誤差を求める方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００２０】
図１〜図１０は、本発明の実施例１に係る工作機械の回転角度位置決め装置を説明するための図である。
【００２１】
図において、１は工作機械の一例としてのタレット旋盤である。該タレット旋盤１は、ベッド２の左端部に配設された第１主軸台３と、該第１主軸台３と対向するように配設された第２主軸台４と、該第１，第２主軸台３，４の間でかつ奥側に配設された刃物台５とを備えている。
【００２２】
前記第２主軸台４は、これの第２主軸４ａの軸線と前記第１主軸台３の第１主軸３ａの軸線とが同軸をなすように、かつ軸線方向（Ｚ軸方向）に移動可能に配設されている。また前記刃物台５は、前記Ｚ軸と直交するＹ軸方向に移動可能に配設された刃物台ベース５ａと、該刃物台ベース５ａ上に、前記Ｚ軸と平行な回転軸回りに回転可能に配設されたタレット５ｂとを有し、該タレット５ｂには複数の工具Ｔが配設されている。
【００２３】
前記第１主軸台３は、前記ベッド２上に固定された第１主軸台ハウジング３ｂと、該第１主軸台ハウジング３ｂにより複数の軸受３ｃを介して回転可能に支持された前記第１主軸（回転軸）３ａとを有する。また前記第１主軸３ａの、前記第１主軸台ハウジング３ｂから前記第２主軸台４側へ突出する先端部３ｄには被加工物（ワーク）Ｗを把持するチャック３ｅが取り付けられている。
【００２４】
前記第２主軸台４は、前記ベッド２上に、Ｚ軸方向に移動可能に搭載された第２主軸台ハウジング４ｂと、該第２主軸台ハウジング４ｂにより複数の軸受４ｃを介して回転可能に支持された前記第２主軸（回転軸）４ａとを有する。また前記第２主軸４ａの、前記第２主軸台ハウジング４ｂから前記第１主軸台３側へ突出する先端部４ｄには被加工物（ワーク）を把持するチャック４ｅが取り付けられている。
【００２５】
前記第１主軸台３及び第２主軸台４は、それぞれ同じ構造の回転角度位置決め装置６を備えている。以下、第１主軸台３に設けられた回転角度位置決め装置６について説明する。
【００２６】
前記回転角度位置決め装置６は、前記第１主軸３ａの回転角度を検出する回転角度検出装置７と、該回転角度検出装置７で検出された回転角度が与えられた回転角度指令値αとなるように前記第１主軸３ａを回転させる駆動モータ１０と、該駆動モータ１０による駆動を制御するコントローラ１１とを備えている。
【００２７】
前記コントローラ１１は、後述する1回転周期誤差パターンＥ及び１歯周期誤差パターンＦを記憶する誤差パターン記憶部１１ａと、前記回転角度指令値αを前記1回転周期誤差パターンＥに基づいて補正することにより第１回転角度補正指令値α１を求め、さらに該第１回転角度補正指令値α１を前記１歯周期誤差パターンＦに基づいて補正することにより第２回転角度補正指令値α２を求める指令値補正部１１ｂとを有する。
【００２８】
前記駆動モータ１０は、前記第１主軸台ハウジング３ｂと前記第１主軸３ａとの間に配置されており、第１主軸３ａを高速で回転駆動する機能及び微小角度だけ回転駆動する機能を有する。
【００２９】
前記回転角度検出装置７は、前記第１主軸３ａの後端部３ｇに固定されて該第１主軸３ａと共に回転する被検出リング８と、該被検出リング８に対向し、かつ非接触となるように固定配置された角度検出センサ９とを備えている。
【００３０】
前記被検出リング８は、外周面に歯８ａが所定ピッチで複数（本実施例では５１２歯）形成された軟磁性体製の円環状のものである。
【００３１】
前記角度検出センサ９は、非磁性体からなるケース９ａ内に、前記歯８ａの歯先面８ｂに直角に対向するように配置固定された永久磁石９ｂと、前記ケース９ａ内に、前記永久磁石９ｂと歯先面８ｂとの間に位置するように配置固定され、複数のホール素子９ｄを有するホールＩＣ９ｃとを有する。前記永久磁石９ｂは、ＮＳ極軸が前記歯先面８ｂに対して直角をなすように配置され、前記ホールＩＣ９ｃはＮ極側に配置されている。
【００３２】
本実施例の回転角度検出装置７は、前記被検出リング８及び前記角度検出センサ９によって前記第１主軸３ａの回転角度を検出する。具体的には、図２に示すように、前記角度検出センサ９は、前記被検出リング８の対向面までの距離の大小に応じた電圧信号Ｓを出力する。この電圧信号Ｓは、前記角度検出センサ９が前記歯８ａの歯先面８ｂの回転方向中央部ａと対向する時点で最も高く、ここから歯８ａ，８ａ間の中央部ｂに向けて徐々に低くなり、さらに隣の歯面８ｂに向けて徐々に高くなる。従って、前記角度検出センサ９からの電圧信号Ｓの大きさによって前記第１主軸３ａの回転角度が検出される。
【００３３】
そして、前記回転角度検出装置７により検出される回転角度が、与えられた回転角度指令値αとなるように、前記駆動モータ１０により前記第１主軸３ａが回転駆動されて位置決めされる。
【００３４】
一方、前記回転角度検出装置７においては、前記被検出リング８の中心位置のずれ等に起因して、該被検出リング８が１回転する間に、図３に示す1回転周期誤差が生じ、さらに被検出リング８の歯８ａの加工精度等に起因して、図４に示す１歯周期毎の１歯周期誤差が生じる場合がある。
【００３５】
そこで本実施例では、以下詳述するように、まず、前記1回転周期誤差のパターンＥに基づいて前記回転角度指令値αを補正して第１回転角度補正指令値α１を求める。続いて前記１歯周期誤差のパターンＦに基づいて、前記第１回転角度補正指令値α１を補正して第２回転角度補正指令値α２を求める。
【００３６】
そして、前記回転角度検出装置７で検出された回転角度が前記回転角度指令値αと一致するように、第２回転角度補正指令値α２に基づいて前記駆動モータ１０が第１主軸３ａを回転駆動し、該第１主軸３ａの回転角度位置決めを行う。
【００３７】
前記1回転周期誤差パターンＥは、以下のようにして求められる。まず、図３に示すように、被検出リング８の1回転周期（３６０°）を例えば３０°毎に１２分割した補正分割点１〜１２が求められる。前記各補正分割点１〜１２に対応する回転角度を、前記実際に採用されている角度検出センサ９を用いて計測した検出回転角度と、十分に高い分解能を有する高精度センサを用いて計測した基準回転角度との差が求められる。そして前記各補正分割点１〜１２における前記差が1回転周期誤差Ｅ１，Ｅ２，・・・Ｅ１２とされ、該各１回転周期誤差Ｅ１・・・Ｅ１２を結んだ曲線が1回転周期誤差パターンＥとされる。
【００３８】
一方、前記１歯周期誤差パターンＦは以下のようにして求められる。まず、図５，図９に示すように、１歯周期における補正分割数を１２とする場合、任意の歯８ａ〜８ａ間を１２等分した補正分割点１〜１２が求められる。前記各補正分割点１〜１２に対応する回転角度を、前記実際に採用されている角度検出センサ９を用いて計測した検出回転角度と、十分に高い分解能を有する高精度センサを用いて計測した基準回転角度との差が求められる。そして前記各補正分割点１〜１２における前記差が１歯周期誤差Ｆ１，Ｆ２，・・・Ｆ１２とされ、該各１歯周期誤差Ｆ１・・・Ｆ１２を結んだ曲線が１歯周期誤差パターンＦとされる。
【００３９】
ここで前記１歯周期誤差パターンＦは、例えば図４あるいは図７に示すように、何れの１歯周期においても略同様の傾向を示すことが判明した。そこで、本実施例では、任意の１歯周期における１歯周期誤差パターンＦを求め、このパターンＦを何れの１歯周期においても適用することとした。これにより、計測すべき補正分割点の数は、被検出リング８の歯数が何枚であっても１２で済み、大幅に減少できる。なお、前記１周期誤差パターンＥと同様の方法で誤差を求めるようにした場合は、補正分割点数＝５１２×１２＝６１４４となる。
【００４０】
前記１回転周期誤差パタンーンＥ及び１歯周期誤差パターンＦは、前記コントローラ１１の誤差パターン記憶部１１ａに格納されている。前記指令値補正部１１ｂは、回転角度指令値αを前記1回転周期誤差パターンＥで補正して第１回転角度補正指令値α１を求め、さらに該第１回転角度補正指令値α１を前記１歯周期誤差パターンＦで補正して第２回転角度補正指令値α２を求める。
【００４１】
前記回転角度指令値がαである場合の、前記第１回転角度補正指令値α１を求める方法を図３に沿って説明する。
【００４２】
前記１回転周期誤差パターンＥ上における回転角度指令値αに対応する補正値をＥ２３とすると、
α１＝α＋Ｅ２３
Ｅ２３＝Ｅ２＋（Ｅ３−Ｅ２）×（α−６０°）／３０°
により求められる。
【００４３】
次に第２回転角度補正指令値α２を求める方法を図８のフローチャートに基づいて、より具体的に説明する。この場合、回転角度指令値：α、第１回転角度補正指令値：α１，第２回転角度補正指令値：α２，被検出リング８の歯数：β（＝５１２）、誤差補正テーブルの分割数（補正分割点数）：γ（＝１２）とする。
【００４４】
まず、回転角度指令値αを前述の方法で補正した第１回転角度補正指令値α１が読み込まれ（ステップＳ１）、（α１／３６０°）×β（式１）により、第１回転角度補正指令値α１が検出リング８の歯８ａの何枚分に相当するかが演算される。この場合、前記式１の商（整数部）をＸとし、小数点以下をＹとする（ステップ２）。
【００４５】
前記小数点以下（Ｙ）が０の場合（ステップＳ３）、つまり前記第１回転角度補正指令値α１が、被検出リング８の何れかの歯８ａの歯先面８ｂの中央部ａに一致する角度である場合は、図１０に示す誤差補正テーブルの分割数「０」に対応する補正値が読み込まれ（ステップＳ９）、この補正値が第１回転角度補正指令値α１に加えられ（ステップＳ１０）、これが最終回転角度指令値（第２回転角度補正指令値）α２とされる（ステップＳ１１）。
【００４６】
一方、ステップＳ３において、前記Ｙが０でない場合、つまり前記第１回転角度補正指令値α１が何れかの隣接する歯８ａ，８ａの間のある点に対応する角度である場合は、まず、前記第１回転角度補正指令値α１が隣接する何れの補正分割点間に位置しているかが求められ、この位置に基づいて誤差補正テーブルから補正値が演算される。なお、前記第１回転角度補正指令値α１が何れかの補正分割点に一致する場合は、この分割点に対応する補正値がそのまま第１回転角度補正指令値α１に加算される。
【００４７】
具体的には、前記小数点以下（Ｙ）×分割数（γ）（式２）が演算されてその積がＺとされ（ステップＳ４）、さらに前記積Ｚ以下でかつ最大の整数Ｇと前記積Ｚ以上でかつ最小の整数Ｈが求められる（ステップＳ５）。
【００４８】
前記誤差補正テーブル上で、前記整数Ｇ，Ｈに対応する補正値ｇ，ｈが読み込まれ（ステップＳ６）、続いて、（ｈ−ｇ）×（Ｚ−Ｇ）が計算され、その積がＤとされ（ステップＳ７）、さらに（ｇ＋Ｄ）の和が補正値とされる（ステップＳ８）。
【００４９】
そして前記補正値を前記第１回転角度補正指令値α１に加えたものが最終回転角度指令値（第２回転角度補正指令値α２）となる（ステップＳ１０，Ｓ１１）。
【００５０】
より具体的には、ステップＳ２において、前記第１回転角度補正指令値α１が、例えば被検出リング８の歯99.32枚分に相当する場合には、ステップＳ４で、Ｙ×γ＝0.32×12＝3.84となり、ステップＳ５で、Ｇ＝3.84以下でかつ最大の整数＝3，Ｈ＝3.84以上でかつ最小の整数＝4となり、ステップＳ６において、図１０の誤差補正テーブルからｇ＝分割数３の補正値＝−0.003（ｄｅｇ），ｈ＝分割数４の補正値＝0.005（ｄｅｇ）が読み込まれる。続いて、ステップＳ７で、（ｈ−ｇ）×（Ｚ−Ｇ）＝（0.005−（−0.003））×（3.84−3）＝0.00672＝Ｄとなり、ステップＳ８で、ｇ＋Ｄ＝−0.003＋0.00672＝0.00372（ｄｅｇ）が補正値となり、前記第１回転角度補正指令値α１＋0.00372（ｄｅｇ）が最終回転角度指令値（第２回転角度補正指令値）α２となる。
【００５１】
以上のように、本実施例では、回転角度指令値αを1回転周期誤差パターンＥに基づいて補正することにより第１回転角度補正指令値α１を求め、該第１回転角度補正指令値α１を１歯周期誤差パターンＦに基づいて補正することにより第２回転角度補正指令値α２を求めるようにしたので、被検出リング８の中心のずれ等に起因する誤差及び被検出リング８の歯８ａの加工精度等に起因する誤差を確実に補正することができる。
【００５２】
また、１歯周期誤差パターンＦは、被検出リング，角度検出センサの固体差によって変化するが、同じ被検出リング，同じ角度検出センサ，同じ取付け条件であれば、何れの１歯周期においても略同じ傾向を示す点を見出し、この点に着目して、任意の１歯周期における１歯周期誤差パターンＦから図１０に示す誤差補正テーブルを作成し、これを何れの１歯周期における補正においても使用するようにしたので、補正分割点数を大幅に削減できるとともに、必要な記憶容量が小さくて済む。
【００５３】
さらには、まず、回転角度指令値αを1回転周期誤差パターンＥに基づいて補正して第１回転角度補正指令値α１を求め、次に該第１回転角度補正指令値α１を１歯周期誤差パターンＦに基づいて補正して第２回転角度補正指令値α２を求めるようにしたので、被検出リングの中心のずれ等に起因する誤差を補正した後に、被検出リングの歯の加工精度等に起因する誤差を補正することとなり、前記両方の誤差をより効率的にかつ確実に補正することができる。
【実施例２】
【００５４】
図１１〜図１４は本発明の実施例２を説明するための図である。本実施例２では、以下の条件において、回転角度指令値αを補正して第１，第２回転角度補正指令値α１，α２を求める。
【００５５】
回転角度指令値α＝27deg，１回転周期における補正分割点間隔Ｂ＝5degであり、かつ図１１に示す１回転周期誤差補正テーブル（１回転周期誤差パターンＥ）を有する。また被検出リングの歯数＝512，１歯周期における補正分割点数γ＝16であり、かつ図１２に示す１歯周期誤差補正テーブル（１歯周期誤差パターンＦ）を有する。なお、前記回転角度指令値αは、バックラッシュ補正や熱偏位補正等必要な補正を加味したものとする。
【００５６】
（１）回転角度指令値α＝27degが読み込まれる。
【００５７】
（２）まず、１回転周期誤差が演算される。１回転周期誤差補正点Ｃ１＝α／Ｂ＝27／5＝5.4となり、目的とする補正点Ｃ１は、補正分割点５と補正分割点６との間に位置しており、また前記補正点Ｃ１の補正比率Ｄ＝0.4である。
【００５８】
（３）前記１回転誤差補正点Ｃ１における補正量Ｅc1は、前記１回転周期誤差補正テーブル上の補正分割点５，６における補正量Ｅ5，Ｅ6を用いて
Ｅc1＝Ｅ5＋（Ｅ6−Ｅ5）×Ｄ
により演算される（図１２参照）。
【００５９】
図１１に示す１回転周期誤差補正テーブルより、Ｅ5＝0.003deg、Ｅ6＝0.005degであるから、
Ｅc1＝0.003＋0.002×0.4＝0.0038  となる。
【００６０】
（４）従って、第１回転角度補正指令値α１＝α＋Ｅc1＝27.0038degとなる。
【００６１】
（５）続いて、１歯周期誤差が演算される。１歯周期誤差補正点Ｃ２＝α１／（360／歯数）＝27.0038／（360／512）＝38.4054044・・となり、前記1歯周期誤差補正点Ｃ2は、被検出リングの歯38枚目と39枚目との間に位置している。
【００６２】
（６）また前記補正点Ｃ２は、分割数16×0.405・・＝6.4864・・より、補正分割点6と補正分割点7との間に位置しており、また1歯補正分割比率Ｎ＝0.4864・・となっている。
【００６３】
（７）前記１歯周期補正点Ｃ２における補正量Ｆc2は、前記１歯周期誤差補正テーブル上の補正分割点６，７における補正量Ｆ6，Ｆ7を用いて
Ｆc2＝Ｆ6＋（Ｆ7−Ｆ6）×Ｎ
により演算される（図１４参照）。
【００６４】
図１３に示す１歯周期誤差補正テーブルより、Ｆ6＝−0.001deg、Ｆ7＝−0.004degであるから、
Ｆc2＝−0.001＋(−0.004＋0.001)×0.4864・・＝−0.0024594・・  となる。
【００６５】
（８）従って、第２回転角度補正指令値α２＝α１＋Ｆc2＝27.0038−0.0024594・・＝27.0013405・・degとなる。
【００６６】
本実施例２においても、前記実施例１と同様の効果が得られる。
【符号の説明】
【００６７】
３ａ  第１主軸（回転軸）
８  被検出リング
８ａ  歯
９  角度検出センサ
７  回転角度検出装置
６  回転角度位置決め装置
１０  駆動モータ（回転軸駆動装置）
Ｅ  １回転周期誤差パターン
Ｆ  １歯周期誤差パターン
１１  コントローラ（誤差パターン記憶部，指令値補正部）
【図１】
0005496690.tif 000002
【図２】
0005496690.tif 000003
【図３】
0005496690.tif 000004
【図４】
0005496690.tif 000005
【図５】
0005496690.tif 000006
【図６】
0005496690.tif 000007
【図７】
0005496690.tif 000008
【図８】
0005496690.tif 000009
【図９】
0005496690.tif 000010
【図１０】
0005496690.tif 000011
【図１１】
0005496690.tif 000012
【図１２】
0005496690.tif 000013
【図１３】
0005496690.tif 000014
【図１４】
0005496690.tif 000015