(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外から青色の励起レーザ光（波長３９０ｎｍ〜４６０ｎｍ）を発する半導体レーザ素子と、該半導体レーザ素子からの励起レーザ光を入射端面に入射させる光源側ファイバと、該光源側ファイバの出射端部に設けた光コネクタと、を有する共通半導体レーザ光源；及び
上記共通半導体レーザ光源の光コネクタに着脱可能に接続される光コネクタと、該光コネクタに入射された励起レーザ光を入射端面に入射させ、その出射端面から、上記入射励起レーザ光とは異なる波長のレーザ光を発する、波長変換ファイバレーザ素子と、を有する複数のレーザ出射アタッチメント；
を備え、
上記複数のレーザ出射アタッチメントは、
・青色入射-黄色出射波長変換ファイバレーザ素子を有する青色入射-黄色レーザ出射アタッチメント、
・青色入射-赤色出射波長変換ファイバレーザ素子を有する青色入射-赤色レーザ出射アタッチメント、
・青色入射-青緑色出射波長変換ファイバレーザ素子を有する青色入射-青緑色レーザ出射アタッチメント、
・青色入射-緑色出射波長変換ファイバレーザ素子を有する青色入射-緑色レーザ出射アタッチメント、及び
・青色入射-橙色出射波長変換ファイバレーザ素子を有する青色入射-橙色レーザ出射アタッチメント、
からなる群から選択された２つ以上が上記共通半導体レーザ光源に選択的に着脱可能であることを特徴とする波長選択レーザ光源装置。
【請求項２】
請求項１記載の波長選択レーザ光源装置において、
上記青色入射-黄色出射波長変換ファイバレーザ素子、青色入射-赤色出射波長変換ファイバレーザ素子、青色入射-青緑色出射波長変換ファイバレーザ素子、青色入射-緑色出射波長変換ファイバレーザ素子、及び青色入射-橙色出射波長変換ファイバレーザ素子は、それぞれ（株）住田光学ガラス製の商品名、「黄ファイバーレーザー素子」、「赤ファイバーレーザー素子」、「青緑ファイバーレーザー素子」、「緑ファイバーレーザー素子」及び「橙ファイバーレーザー素子」である波長選択レーザ光源装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の波長選択レーザ光源装置において、上記半導体レーザ光源に備えられた光源側ファイバは、該レーザ光源機枠から変形自由に突出されており、上記レーザ出射アタッチメント側の光コネクタは、該レーザ出射アタッチメント機枠に固定されている波長選択レーザ光源装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項記載の波長選択レーザ光源装置において、上記半導体レーザ光源に備えられた光源側ファイバの光コネクタは、該レーザ光源機枠に固定されている波長選択レーザ光源装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項記載の波長選択レーザ光源装置において、上記レーザ出射アタッチメントは、その光コネクタから入射する励起レーザ光を平行光束とするコリメータレンズと、該平行光束を波長変換ファイバレーザ素子の入射端面に入射させる集光レンズとを備え、上記レーザ出射アタッチメントの機枠には、上記波長変換ファイバレーザ素子の入射端面近傍に通気穴が穿設されている波長選択レーザ光源装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項記載の波長選択レーザ光源装置において、上記レーザ出射アタッチメントには、その波長変換ファイバレーザ素子の出射端部に、他の光学機器との接続用の光コネクタが設けられている波長選択レーザ光源装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項記載の波長選択レーザ光源装置において、さらに、各レーザ出射アタッチメントとは別に、各レーザ出射アタッチメントの波長変換ファイバレーザ素子の出射端部に着脱可能な、波長変換ファイバレーザ素子からの出射拡散光を平行光束とするコリメータアタッチメントが設けられている波長選択レーザ光源装置。
【請求項８】
請求項７記載の波長選択レーザ光源装置において、上記コリメータアタッチメントには、青色カットフィルタが備えられている波長選択レーザ光源装置。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか１項記載の波長選択レーザ光源装置において、上記半導体レーザ光源は、励起レーザ光を発する半導体レーザと、該半導体レーザからの励起レーザ光を平行光束とするコリメータレンズと、該平行光束を光源側ファイバの入射端面に入射させる集光レンズとを備えている波長選択レーザ光源装置。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか１項記載の波長選択レーザ光源装置において、上記半導体レーザ光源の半導体レーザ素子は、青色の励起レーザ光（波長４４０ｎｍ〜４６０ｎｍ）を発する青色半導体レーザ素子である波長選択レーザ光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光源装置に関し、特に紫外から青色の励起レーザ光（波長３９０ｎｍ〜４６０ｎｍ）を発する半導体レーザ光源を用いて、出力されるレーザ光の波長を選択できる波長選択レーザ光源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、青色半導体レーザ素子（波長４４２ｎｍ）からの励起レーザ光をその入射端面に入射させ、出射端面から異なる複数の波長のレーザ光（具体的には青色、橙色、赤色）を同時に出射させる蛍光ファイバを提案している。この蛍光ファイバは、別言すると、入射端面に入射される青色半導体レーザ素子からの励起レーザ光を励起エネルギとして別の異なる複数の波長のレーザ光を出射端面から発する波長変換部材をコアとして有するファイバである。波長変換部材は、具体的には、励起青色レーザ光で励起されることにより波長変換光を発する３価希土類イオンとして少なくともプラセオジムイオンをフッ化物ガラスに含有すると説明されている。このような蛍光ファイバ素子を以下「波長変換ファイバレーザ素子」と呼ぶ。
【０００３】
この特許文献１で提案されている波長変換ファイバレーザ素子は、その出射端面から、青色半導体レーザ素子からの青色、波長変換光の橙色、赤色の全てが出射する。しかし、特許文献１の出願人である（株）住田光学ガラスは、現在では、複数色を同時に出射する特許文献１の波長変換ファイバレーザ素子だけでなく、同じ青色励起レーザ光の入射を受けながら、黄色、赤色、青緑色、緑色、橙色の各単色を出射する波長変換ファイバレーザ素子（青色入射-黄色出射レーザ素子、青色入射-赤色出射レーザ素子、青色入射-青緑色出射レーザ素子、青色入射-緑色出射レーザ素子、青色入射-橙色出射レーザ素子）（商品名「ファイバーレーザー素子」）を販売している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７-１５７７６４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この波長変換ファイバレーザ素子と青色半導体レーザ光源を組み合わせると、異なる波長のレーザ光を発するレーザ光源装置を得ることができる。しかし従来、異なる出射波長のレーザ光源装置を得るには、光源装置毎に青色半導体レーザ光源と所望出射波長の波長変換ファイバレーザ素子を必要としていた。半導体レーザ光源としては、現在、発振励起レーザ波長が４４０〜４６０ｎｍの青色半導体レーザ光源に代えて、発振励起レーザ波長が３９０ｎｍの紫外半導体レーザ光源も使用可能であることが知られている。
【０００６】
本発明は、紫外から青色の励起レーザ光（波長３９０ｎｍ〜４６０ｎｍ）を発する単一の半導体レーザ光源を用いながら、出射波長を選択することができる波長選択レーザ光源装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、紫外または青色半導体レーザ光源に対して、出射波長が異なる波長変換ファイバレーザ素子の選択使用を可能とすれば、単一光源で異なる波長のレーザ光が出射可能であるという着眼に基づいてなされたものである。
【０００８】
本発明による波長選択レーザ光源装置は、紫外から青色の励起レーザ光（波長３９０ｎｍ〜４６０ｎｍ）を発する半導体レーザ素子と、該半導体レーザ素子からの励起レーザ光を入射端面に入射させる光源側ファイバと、該光源側ファイバの出射端部に設けた光コネクタと、を有する共通半導体レーザ光源；及び上記共通半導体レーザ光源の光コネクタに着脱可能に接続される光コネクタと、該光コネクタに入射された励起レーザ光を入射端面に入射させ、その出射端面から、上記入射励起レーザ光とは異なる波長のレーザ光を発する、波長変換ファイバレーザ素子と、を有する複数のレーザ出射アタッチメント；を備え、上記複数のレーザ出射アタッチメントは、
・青色入射-黄色出射波長変換ファイバレーザ素子を有する青色入射-黄色レーザ出射アタッチメント、
・青色入射-赤色出射波長変換ファイバレーザ素子を有する青色入射-赤色レーザ出射アタッチメント、
・青色入射-青緑色出射波長変換ファイバレーザ素子を有する青色入射-青緑色レーザ出射アタッチメント、
・青色入射-緑色出射波長変換ファイバレーザ素子を有する青色入射-緑色レーザ出射アタッチメント、及び
・青色入射-橙色出射波長変換ファイバレーザ素子を有する青色入射-橙色レーザ出射アタッチメント、
からなる群から選択された２つ以上が上記共通半導体レーザ光源に選択的に着脱可能であることを特徴としている。 
【０００９】
上記青色入射-黄色出射波長変換ファイバレーザ素子、青色入射-赤色出射波長変換ファイバレーザ素子、青色入射-青緑色出射波長変換ファイバレーザ素子、青色入射-緑色出射波長変換ファイバレーザ素子、及び青色入射-橙色出射波長変換ファイバレーザ素子は、それぞれ（株）住田光学ガラス製の商品名、「黄ファイバーレーザー素子」、「赤ファイバーレーザー素子」、「青緑ファイバーレーザー素子」、「緑ファイバーレーザー素子」及び「橙ファイバーレーザー素子」を用いることが可能である。
特許文献１で提案されている複数波長を出射する波長変換ファイバレーザ素子を有するレーザ出射アタッチメントも使用可能である。 
【００１０】
半導体レーザ光源に備えられた光源側ファイバは、該レーザ光源機枠から変形自由に突出させる態様（すなわち、光源側ファイバの光コネクタの位置をレーザ光源機枠に対して変更可能な態様）と、光源側ファイバの光コネクタを半導体レーザ光源の機枠に固定する態様が可能である。
【００１１】
各レーザ出射アタッチメントは、その光コネクタから入射する励起レーザ光を平行光束とするコリメータレンズと、該平行光束を波長変換ファイバレーザ素子の入射端面に入射させる集光レンズとを備えている。この入射端面に入射するレーザ光はエネルギレベルが高く、発熱の可能性が高いため、レーザ出射アタッチメント機枠には、該入射端面を外気に開放する通気穴を設けることが好ましい。
【００１２】
各レーザ出射アタッチメントには、その波長変換ファイバレーザ素子の出射端部に、他の光学機器との接続用の光コネクタを設けることができる。
【００１３】
あるいは、各レーザ出射アタッチメントとは別に、各レーザ出射アタッチメントの波長変換ファイバレーザ素子の出射端部に着脱可能な、波長変換ファイバレーザ素子からの出射拡散光を平行光束とするコリメータアタッチメントを設けてもよい。各レーザ出射アタッチメントからは紫外から青色の励起レーザ光も同時に出射されるが、この光が邪魔な場合は、このコリメータアタッチメントに青色カットフィルタを含ませることが好ましい。
【００１４】
また、半導体レーザ光源は、励起レーザ光を発する半導体レーザと、該半導体レーザからの励起レーザ光を平行光束とするコリメータレンズと、該平行光束を光源側ファイバの入射端面に入射させる集光レンズとを備えている。出力が高い半導体レーザは、その発光原理から出射光束の偏平度が高くなる。この偏平度を補正したい場合には、コリメータレンズと集光レンズの間にビーム成形（整形）プリズムあるいはシリンドリカルレンズが挿入される。
【００１５】
半導体レーザ光源の半導体レーザ素子は、入手のしやすさ、波長選択レーザファイバ素子による選択波長の多彩さから、現状では青色の励起レーザ光（波長４４０ｎｍ〜４６０ｎｍ）を発する半導体レーザ素子が好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、紫外または青色半導体レーザ光源に対して、光コネクタを介して異なるレーザ出射アタッチメントを接続することにより、異なる波長のレーザ光を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明による波長選択レーザ光源装置の第一の実施形態を示す接続概念図である。
【図２】図１の波長選択レーザ光源装置の青色半導体レーザ光源に着脱されるレーザ出射アタッチメントの一実施形態を示す断面図である。
【図３】同他のレーザ出射アタッチメントの他の実施形態を示す断面図である。
【図４】図３のレーザ出射アタッチメントと、該アタッチメントに装着されるコリメータアタッチメントとを示す概念図である。
【図５】図３のレーザ出射アタッチメントと、該アタッチメントに装着される光学機器とを示す概念図である。
【図６】図１の波長選択レーザ光源装置の青色半導体レーザ光源とレーザ出射アタッチメント、及び図４のコリメータアタッチメントとを接続した状態の光路図である。
【図７】図１の波長選択レーザ光源装置の青色半導体レーザ光源とレーザ出射アタッチメント、及び図４のコリメータアタッチメントとを接続した状態の別の光路図である。
【図８】本発明による波長選択レーザ光源装置の別の実施形態を示す接続概念図である。
【図９】さらに別の実施形態を示す接続概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１は、本発明の波長選択レーザ光源装置１００の一実施形態を示している。波長選択レーザ光源装置１００は、青色半導体レーザ光源１０と、レーザ出射アタッチメント群２０からなっている。青色半導体レーザ光源１０は、駆動電源１１によって駆動されるレーザユニット１２を備え、レーザユニット１２は、図６、図７に示すように、青色の励起レーザ光（波長４４０ｎｍ〜４６０ｎｍ）を発する半導体レーザ素子１３と、該青色発光半導体レーザ素子１３からの励起レーザ光を平行光束として光源側ファイバ１４の入射端面１４ａ（図６、図７）に入射させる入射光学系１５と、該光源側ファイバ１４の出射端面１４ｂ（図６、図７）側に設けられた雄光コネクタ１６とを備えている。入射光学系１５は、図６左方に示すように、青色発光半導体レーザ素子１３から出射する拡散光を平行光束とするコリメータレンズ１５ａと、楕円断面の青色発光半導体レーザ素子１３からの出射光を円形に成形するビーム成形（整形）プリズム１５ｂと、ビーム成形プリズム１５ｂを出た平行光束を光源側ファイバ１４の入射端面１４ａに入射させる（集光する）集光レンズ１５ｃとを備えている。図７は、プリズムを用いない他のビーム整形方法を示すもので、コリメータレンズ１５aと集光レンズ１５ｃとの間にシリンドリカルレンズ（凸）１５ｄと同（凹）１５ｅを挿入している。シリンドリカルレンズ１５ｄと１５ｅは合成してアフォーカルレンズ（平行光出射）を形成する。励起レーザ光の偏平度を問題としない場合は、シリンドリカルレンズ１５ｄと１５ｅは省略される。
【００１９】
光源側ファイバ１４は、青色発光半導体レーザ素子１３からの青色励起レーザ光束を全て取り込むことができる大開口角（高ＮＡ）ファイバである。光源側ファイバ１４は、レーザユニット１２の機枠から変形自由に突出しており、その先端の雄光コネクタ１６は、例えば市販のＦＣコネクタのプラグからなっている。
【００２０】
レーザ出射アタッチメント群２０は、図１では、図の上方から順に、青色入射-黄色出射アタッチメント２０Ｙ、青色入射-赤色出射アタッチメント２０Ｒ、青色入射-青緑色出射アタッチメント２０Ｂ、青色入射-緑色出射アタッチメント２０Ｇ及び青色入射-橙色出射アタッチメント２０Ｏを描いている。これらの複数のレーザ出射アタッチメント群２０は、波長変換ファイバレーザ素子２１の種類を除き同一構造である。
【００２１】
図２は、各レーザ出射アタッチメント２０の断面構造を示しており、青色半導体レーザ光源１０側の雄光コネクタ１６に接続される雌光コネクタ２２（例えば市販のＦＣコネクタレセプタクル）と、該雌光コネクタ２２に接続された雄光コネクタ１６内の光源側ファイバ１４からの出射拡散光束を平行光束とするコリメータレンズ２３と、該平行光束を波長変換ファイバレーザ素子２１の入射端面２１ａに入射させる集光レンズ２４とを有している。
【００２２】
青色入射-黄色出射アタッチメント２０Ｙ、青色入射-赤色出射アタッチメント２０Ｒ、青色入射-青緑色レーザ出射アタッチメント２０Ｂ、青色入射-緑色出射アタッチメント２０Ｇ及び青色入射-橙色出射アタッチメント２０Ｏ内の波長変換ファイバレーザ素子２１はそれぞれ、青色入射-黄色出射波長変換ファイバレーザ素子２１Ｙ（（株）住田光学ガラス商品名「黄ファイバーレーザー素子」）、青色入射-赤色出射波長変換ファイバレーザ素子２１Ｒ（同商品名「赤ファイバーレーザー素子」）、青色入射-青緑色出射波長変換ファイバレーザ素子２１Ｂ（同商品名「青緑ファイバレーザー素子」）、青色入射-緑色出射波長変換ファイバレーザ素子２１Ｇ（同商品名「緑ファイバーレーザー素子」）及び青色入射-橙色出射波長変換ファイバレーザ素子２１Ｏ（同商品名「橙ファイバーレーザー素子」）である。これらの素子は、外形は同一であるが、同一の青色発光半導体レーザ素子１３からの青色励起レーザ光（４４０〜４６０ｎｍ）の入射を受けたとき、それぞれ、黄色（波長５８０ｎｍ）、赤色（波長６３５ｎｍ）、青緑色（波長４９０ｎｍ）、緑色（波長５２３ｎｍ）及び橙色（波長６０５ｎｍ）のレーザ光を発する。
【００２３】
図１は、青色半導体レーザ光源１０の雄光コネクタ１６に、青色入射-橙色出射アタッチメント２０Ｏの雌光コネクタ２２を結合した状態を描いており、この青色入射-橙色出射アタッチメント２０Ｏの青色入射-橙色出射波長変換ファイバレーザ素子２１Ｏの出射端面２１ｂからは橙色レーザ光が出射される。一方、青色半導体レーザ光源１０の雄光コネクタ１６に青色入射-黄色出射アタッチメント２０Ｙ、青色入射-赤色出射アタッチメント２０Ｒ、青色入射-青緑色出射アタッチメント２０Ｂ、青色入射-緑色出射アタッチメント２０Ｇの雌光コネクタ２２を結合すれば、それぞれの出射端面２１ｂから黄色、赤色、青色及び緑色のレーザ光が出射される。
【００２４】
以上のレーザ出射アタッチメント群２０は、その用途によっては、図１、図２に示すように、波長変換ファイバレーザ素子２１の出射端面２１ｂからの拡散出射光束をそのまま用いることが可能である。つまり、波長変換ファイバレーザ素子２１の先端部を対象の光学機器に直接接続する態様である。
【００２５】
これに対し、図３は、波長変換ファイバレーザ素子２１の先端部に、他の光学機器との接続用の雄光コネクタ（例えば市販のＦＣコネクタのプラグコネクタ）２７を設けた実施形態である。図４、図５は、この雄光コネクタ２７に接続する光学機器（素子）の例を示すもので、図４は、コリメータアタッチメント３０を示している。このコリメータアタッチメント３０は、雄光コネクタ２７に着脱される雌光コネクタ（例えば市販のＦＣコネクタのレセプタクルコネクタ）３１を有し、雄光コネクタ２７に装着されたとき、波長変換ファイバレーザ素子２１の出射端面２１ｂからの拡散光束を平行光束とするコリメータレンズ３２と青色カットフィルタ３３を有している。
【００２６】
青色カットフィルタ３３は、レーザ出射アタッチメント２０用のコリメータアタッチメント３０に設けることが好ましい。各レーザ出射アタッチメントからは紫外から青色の励起レーザ光も同時に出射されるが、コリメータアタッチメント３０に、青色カットフィルタ３３を挿入することで、より波長選択性の優れた波長選択レーザ光源装置１００が得られる。
【００２７】
図５は、レーザ出射アタッチメント群２０の雄光コネクタ２７に接続される雌光コネクタ（例えば市販のＦＣコネクタのプラグコネクタ）４１を有する光学機器（例えば蛍光顕微鏡）４０を示している。この実施形態では、光学機器４０にレーザ出射アタッチメント群２０の出射端面２１ｂからの拡散光束が供給される。
【００２８】
図２ないし図５に示すように、各レーザ出射アタッチメント２０の機枠２５、２６には、波長変換ファイバレーザ素子２１の入射端面２１ａ近傍に位置させて径方向に貫通する４本の（９０゜間隔の）貫通穴２５ａ、２６ａが穿設されている。この貫通穴２５ａ、２５ｂは、入射端面２１ａに集光されるエネルギレベルの高いレーザ光により、入射端面２１ａの周囲が発熱するのを防止する。なお、図２ないし図５では、波長変換ファイバレーザ素子２１を模式的に中心部のコア２１ｃとその周縁のクラッド２１ｆとして描いている。図示しないが青色半導体レーザ光源１０側の光源側ファイバ１４のファイバ構造も波長変換ファイバレーザ素子２１と同様である。
【００２９】
半導体レーザ光源１０の半導体レーザ素子１３は、入手のしやすさ、波長選択レーザファイバ素子２１による選択波長の多彩さから、現状では青色の励起レーザ光（波長４４０ｎｍ〜４６０ｎｍ）を発する半導体レーザ素子が好ましい。
【００３０】
図８は、本発明による波長選択レーザ光源装置１００の別の実施形態を示している。この実施形態は、青色半導体レーザ光源１０の光源側ファイバ１４先端に設けた雄光コネクタ１６を、レーザユニット１２の機枠に固定している。この実施形態では、レーザ出射アタッチメント２０の雌光コネクタ２２は、レーザユニット１２の機枠に固定した雄光コネクタ１６に対して着脱可能である。
【００３１】
図９は、本発明による波長選択レーザ光源装置１００のさらに別の実施形態を示している。この実施形態は、レーザユニット１２の機枠に固定した雄光コネクタ１６と、レーザ出射アタッチメント２０の雌光コネクタ２２とを、別の接続光ファイバ５０によって接続可能としたもので、接続光ファイバ５０の両端部には、レーザユニット１２の雄光コネクタ１６に着脱される雌光コネクタ５１と、レーザ出射アタッチメント２０の雌光コネクタ２２に着脱される雄光コネクタ５２が設けられている。
【符号の説明】
【００３２】
１００  波長選択レーザ光源装置
１０  青色半導体レーザ光源
１１ 駆動電源
１２  レーザユニット
１３  青色発光半導体レーザ素子
１４  光源側ファイバ
１４ａ  入射端面
１４ｂ  出射端面  
１５  １５Ｓ  入射光学系
１５ａ  コリメータレンズ
１５ｂ  ビーム成形プリズム
１５ｃ  集光レンズ
１５ｄ  シリンドリカルレンズ（凸）
１５ｅ  シリンドリカルレンズ（凹）
１６  雄光コネクタ  
２０  レーザ出射アタッチメント（群）
２０Ｙ  青色入射-黄色出射アタッチメント
２０Ｒ  青色入射-赤色出射アタッチメント
２０Ｂ  青色入射-青緑色出射アタッチメント
２０Ｇ  青色入射-緑色出射アタッチメント
２０Ｏ  青色入射-橙色出射アタッチメント
２１  波長変換ファイバレーザ素子
２１Ｙ  青色入射-黄色出射波長変換ファイバレーザ素子
２１Ｒ  青色入射-赤色出射波長変換ファイバレーザ素子
２１Ｂ  青色入射-青緑色出射波長変換ファイバレーザ素子
２１Ｇ  青色入射-緑色出射波長変換ファイバレーザ素子
２１Ｏ  青色入射-橙色出射波長変換ファイバレーザ素子
２１ａ  入射端面
２１ｂ  出射端面
２１ｃ  コア
２１ｆ  クラッド
２２  雌光コネクタ
２３  コリメータレンズ
２４  集光レンズ
２５  ２６  機枠
２５ａ  ２６ａ  貫通穴
２７  雄光コネクタ
３０  コリメータアタッチメント
３１  雌光コネクタ
３２  コリメータレンズ
３３  青色カットフィルタ
４０  光学機器
４１  雌光コネクタ
【図１】
0005597270.tif 000002
【図２】
0005597270.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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