(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形の励振部と、前記励振部の外周に形成され前記励振部よりも厚さが薄い励振外周部とを有し、３８.４００ＭＨｚで振動するメサ型のＡＴカット水晶振動片において、
前記励振部と前記励振外周部との段差の高さｈ（μｍ）は、前記励振部の結晶軸のｘ軸方向の長さをＭｘ（μｍ）とするとき、式（１）
ｈ＝（０．２×Ｍｘ）−１４３  ・・・（１）
を満たすメサ型のＡＴカット水晶振動片。
【請求項２】
矩形の励振部と、前記励振部の外周に形成され前記励振部よりも厚さが薄い励振外周部とを有し、３２.７３６ＭＨｚで振動するメサ型のＡＴカット水晶振動片において、
前記励振部と前記励振外周部との段差の高さｈ（μｍ）は、前記励振部の結晶軸のｘ方向の長さをＭｘ（μｍ）とするとき、式（２）
ｈ＝（０．１×Ｍｘ）−８７  ・・・（２）
を満たすメサ型のＡＴカット水晶振動片。
【請求項３】
前記励振外周部の周囲を囲み且つ前記励振外周部を支持する外枠を有する請求項１又は請求項２に記載のメサ型のＡＴカット水晶振動片。
【請求項４】
請求項１又は請求項２に記載のメサ型のＡＴカット水晶振動片と、
凹部が形成され前記凹部に前記メサ型のＡＴカット水晶振動片を収容するベースと、
前記凹部を密閉するリッドと、
を備える水晶デバイス。
【請求項５】
一主面と他主面とを有する請求項３に記載のメサ型のＡＴカット水晶振動片と、
前記外枠の一主面に接合される第１面を有するリッドと、
前記外枠の他主面に接合される第２面を有するベースと、
を備える水晶デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メサ型のＡＴカット水晶振動片及びこのメサ型のＡＴカット水晶振動片を備える水晶デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
厚み滑り振動片の代表的なものの一つとしてＡＴカット水晶振動片が知られている。このＡＴカット水晶振動片をパッケージ内に収納した水晶デバイスは、各種の電子機器に周波数の基準源として広く採用されている。これらの水晶デバイスは小型化が進んでおり、より効率的に振動エネルギーの閉じ込め効果を得るためにＡＴカット水晶振動片の主面の外周に傾斜領域を設けるベベル加工やコンベックス加工等の曲面加工が施されている。
【０００３】
ベベル加工やコンベックス加工等の曲面加工は、特許文献１に開示されるように、一般にバレル研磨法と呼ばれる方法で水晶振動片の外周に傾斜領域を形成している。しかし、最近はウエハ工法によるＡＴカット水晶振動片の作製が進み、曲率加工を行うことが困難になった。そのため、メサ形状（段差形状）加工をＡＴカット水晶振動片に施し、曲率加工の代用としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１８６９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしメサ形状のＡＴカット水晶振動片は、振動部で発生する主振動の振動エネルギーと、振動部周囲に形成される振動外周部で発生する不要振動の振動エネルギー等とが混在した状態となり、ＡＴカット水晶振動片の特性を劣化させるという問題があった。
【０００６】
本発明は、振動部の大きさを適切な値にすることで不要振動の発生を抑え、特性の劣化が防がれたメサ型のＡＴカット水晶振動片を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１観点のメサ型のＡＴカット水晶振動片は、矩形の励振部と、励振部の外周に形成され励振部よりも厚さが薄い励振外周部とを有し、３８.４００ＭＨｚで振動するメサ型のＡＴカット水晶振動片において、励振部と励振外周部との段差の高さｈ（μｍ）は、励振部の結晶軸のｘ軸方向の長さをＭｘ（μｍ）とするとき、式（１）
ｈ＝（０．２×Ｍｘ）−１４３  ・・・（１）
を満たす。
【０００８】
第２観点のメサ型のＡＴカット水晶振動片は、矩形の励振部と、励振部の外周に形成され励振部よりも厚さが薄い励振外周部とを有し、３２.７３６ＭＨｚで振動するメサ型のＡＴカット水晶振動片において、励振部と励振外周部との段差の高さｈ（μｍ）は、励振部の結晶軸のｘ軸方向の長さをＭｘ（μｍ）とするとき、式（２）
ｈ＝（０．１×Ｍｘ）−８７  ・・・（２）
を満たす。
【０００９】
第３観点のメサ型のＡＴカット水晶振動片は、矩形の励振部と、励振部の外周に形成され励振部よりも厚さが薄い励振外周部とを有するメサ型のＡＴカット水晶振動片において、励振部と励振外周部との段差の高さｈ（μｍ）は、励振部の厚さをｔ（μｍ）、励振部の結晶軸のｘ軸方向の長さをＭｘ（μｍ）とするとき、式（３）
ｈ＝（１．８×Ｍｘ／ｔ０．７）−９２  ・・・（３）
を満たす。
【００１０】
第４観点のメサ型のＡＴカット水晶振動片は、励振外周部の周囲を囲み且つ励振外周部を支持する外枠を有する。
【００１１】
第５観点の水晶デバイスは、第１観点から第３観点に記載のメサ型のＡＴカット水晶振動片と、凹部が形成され凹部にメサ型のＡＴカット水晶振動片を収容するベースと、凹部を密閉するリッドと、を備える。
【００１２】
第６観点の水晶デバイスは、一主面と他主面とを有する第４観点に記載のメサ型のＡＴカット水晶振動片と、外枠の一主面に接合される第１面を有するリッドと、外枠の他主面に接合される第２面を有するベースと、を備える。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、振動部の大きさを適切な値にすることで不要振動の発生を抑え、特性の劣化が防がれたメサ型のＡＴカット水晶振動片を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】（ａ）は、水晶デバイス１００の斜視図である。  （ｂ）は、水晶デバイス１００の断面図である。  （ｃ）は、図１（ｂ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図２】（ａ）は、ＡＴカット水晶振動片３０の平面図である。  （ｂ）は、図２（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。
【図３】（ａ）は、特定の振動周波数における段差の高さｈと励振部３１のｘ軸方向の長さＭｘとの相関を示したグラフである。  （ｂ）は、段差の高さｈと励振部３１のｘ軸方向の長さＭｘと励振部３１の厚さｔとの相関を示したグラフである。
【図４】（ａ）は、水晶デバイス２００の斜視図である。  （ｂ）は、図４（ａ）のＥ−Ｅ断面図である。
【図５】（ａ）は、リッド２１０の平面図である。  （ｂ）は、ＡＴカット水晶振動片２３０の平面図である。  （ｃ）は、ベース２２０の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００１６】
（第１実施形態）
＜水晶デバイス１００の構成＞
図１（ａ）は、水晶デバイス１００の斜視図である。水晶デバイス１００は、リッド１０、ベース２０、及びベース２０内に載置されているＡＴカット水晶振動片３０（図１（ｂ）参照）により構成されている。ＡＴカットの水晶振動片は、主面が人工水晶の結晶軸（ＸＹＺ）のＹ軸に対して、Ｘ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に３５度１５分傾斜している。このため、水晶デバイス１００の長辺方向をｘ軸方向、水晶デバイス１００の短辺方向をｚ’軸方向、水晶デバイス１００の上下方向をｙ’軸方向として説明する。また本明細書の説明としてｙ’軸方向の高低を、＋方向を高く−方向を低いと表現する。
【００１７】
ベース２０は、内側にキャビティ２４（図１（ｂ）参照）が形成されており、キャビティ２４にはＡＴカット水晶振動片３０が載置されている。また、ベース２０の底面には外部電極２１が形成されている。リッド１０は、キャビティ２４を密封するようにベース２０の＋ｙ’軸側に配置されている。リッド１０は、セラミックス、ガラス、水晶又は金属等の材料により形成される。また、ベース２０は、セラミックス、ガラス又は水晶等により形成される。
【００１８】
図１（ｂ）は、水晶デバイス１００の断面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ又は後述する図１（ｃ）のＣ−Ｃの断面図になっている。ベース２０には凹部が形成されることによりキャビティ２４が形成される。キャビティ２４の下部には接続電極２２が形成されており、接続電極２２は、導通部（不図示）を通じて外部電極２１と電気的に接続されている。ＡＴカット水晶振動片３０には、励振部３１と励振部３１の外周に形成されている励振外周部３２とが形成されている。励振外周部３２は励振部３１よりも厚さが薄く形成されている。励振部３１の上下の主面には励振電極３３が形成されている。また励振外周部３２には引出電極３４が形成されており、この引出電極３４は励振電極３３と電気的に接続される。励振電極３３及び引出電極３４は、水晶の表面にクロム（Ｃｒ）層が形成され、クロム層の表面に金（Ａｕ）層を形成することにより作られている。また、引出電極３４は導電性接着剤４１を通して接続電極２２と電気的に接続される。そのため、励振電極３３は外部電極２１と電気的に接続されることになる。
【００１９】
図１（ｃ）は、図１（ｂ）のＢ−Ｂ断面図である。ベース２０にはキャビティ２４に２つの接続電極２２が形成されている。一方の接続電極２２はＡＴカット水晶振動片３０の励振部３１の上面に形成されている励振電極３３と電気的に接続されており、他方の接続電極２２は励振部３１の下面に形成されている励振電極３３と電気的に接続されている。
【００２０】
図２（ａ）はＡＴカット水晶振動片３０の平面図である。ＡＴカット水晶振動片３０のｘ軸方向は、水晶の結晶軸のＸ軸方向に一致している。また、ＡＴカット水晶振動片３０のｚ’軸方向は、水晶の結晶軸のＸ軸方向を中心としてＺ軸からＹ軸方向に３５度１５分傾斜した方向と一致している。ＡＴカット水晶振動片３０の外形のｘ軸方向の長さＧｘは例えば９９０μｍであり、ＡＴカット水晶振動片３０の外形のｚ’軸方向の長さＧｚは例えば７００μｍである。また、励振部３１のｘ軸方向の長さをＭｘ、ｚ’軸方向の長さをＭｚとする。
【００２１】
図２（ｂ）は、図２（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。ＡＴカット水晶振動片３０の励振外周部３２の厚さをＧｙ、励振部３１の厚さをｔ、励振部３１と励振外周部３２との段差の高さをｈとする。励振部３１と励振外周部３２との段差はＡＴカット水晶振動片３０の＋ｙ‘軸側の面と−ｙ‘軸側の面とに形成されており、どちらの段差の高さも同じ高さに形成されている。また、段差の高さｈは正であり、励振部３１の厚さｔは励振外周部３２の厚さＧｙよりも大きい。
【００２２】
＜段差の高さｈに関して＞
ＡＴカット水晶振動片３０の最適な寸法を求めるべく実験を行ったところ、段差の高さｈは、励振部３１のｘ軸方向の長さＭｘ及び振動周波数と相関があった。また段差の高さｈは、励振部３１のｘ軸方向の長さＭｘ及び励振部３１の厚さｔと相関があった。以下、これらの相関について説明する。
【００２３】
図３（ａ）は、特定の振動周波数における段差の高さｈと励振部３１のｘ軸方向の長さＭｘとの相関を示したグラフである。図３（ａ）の横軸は励振部３１のｘ軸方向の長さＭｘ（μｍ）を示し、縦軸は段差の高さｈ（μｍ）を示している。また、図３（ａ）の白丸は振動周波数が３８．４００ＭＨｚの値であり、黒丸は振動周波数が３２．７３６ＭＨｚの値である。発明者は段差の高さｈ＝１μｍの３８．４００ＭＨｚのＡＴカット水晶振動片３０を長さＭｘを変えて４０個作製した。他の段差の高さも同様に４０個のＡＴカット水晶振動片３０を長さＭｘを変えて作製した。発明者はそれらＡＴカット水晶振動片３０のＣＩ（クリスタルインピーダンス）値を測定した。４０個のＡＴカット水晶振動片３０は、そのＣＩ値にばらつきを生じ、長さＭｘに対してＣＩ値は下に凸の二次曲線（放物線）を有していた。図３（ａ）に示された白丸、黒丸の各点は、各振動周波数及び段差の高さｈにおいてＣＩ値が最も低くなる長さＭｘの値が記入されている。
【００２４】
図３（ａ）では、３２．７３６ＭＨｚ及び３８．４００ＭＨｚの両方の場合共、励振部３１のｘ軸方向の長さＭｘが長くするに従って段差の高さｈも高くなっている。また図３（ａ）のグラフの各振動周波数の値は直線状に並んでいる。図３（ａ）では、実線の直線５０は３８．４００ＭＨｚ、一点鎖線の直線５１は３２．７３６ＭＨｚの直線を示している。直線５０は下記の式（１）により表わされる。
ｈ＝（０．２×Ｍｘ）−１４３  ・・・（１）
また、直線５１は下記の式（２）により表わされる。
ｈ＝（０．１×Ｍｘ）−８７  ・・・（２）
【００２５】
図３（ｂ）は、段差の高さｈと励振部３１のｘ軸方向の長さＭｘと励振部３１の厚さｔとの相関を示したグラフである。図３（ｂ）の横軸はＭｘ／ｔ０．７が示され、縦軸は段差の高さｈ（μｍ）が示されている。図３（ｂ）には、振動周波数が３２．７３６ＭＨｚ又は３８．４００ＭＨｚの場合の段差の高さｈとＣＩ値が最も低くなるＭｘ／ｔ０．７との関係が黒点で記入されている。励振部３１の厚さｔは、振動周波数が３２．７３６ＭＨｚのときに５１．０μｍ、振動周波数が３８．４００ＭＨｚのときに４３．５μｍとして測定が行われた。図３（ｂ）に示された黒点は概ね直線５２上及びその近傍にあり、黒点の位置は直線５２で近似できる。直線５２は下記の式（３）により表わされる。
ｈ＝（１．８×Ｍｘ／ｔ０．７）−９２  ・・・（３）
【００２６】
式（１）又は式（２）は、振動周波数が３８．４００ＭＨｚ又は３２．７３６ＭＨｚのＡＴカット水晶振動片３０を作製する場合でありメサ部である励振部３１の大きさが決まっている場合、ＣＩ値が低くなる励振部３１の段差の高さｈを決めることができる。また、式（３）を用いることにより、振動周波数に関係なく、ＣＩ値が低くなる励振部３１の段差の高さｈを励振部３１の厚さｔと励振部３１の長さＭｘとを用いて求めることができる。
【００２７】
（第２実施形態）
ＡＴカット水晶振動片３０には外枠が形成されていても良い。以下に、外枠が形成されているＡＴカット水晶振動片を備える水晶デバイス２００について説明する。
【００２８】
＜水晶デバイス２００の構成＞
図４（ａ）は、水晶デバイス２００の斜視図である。水晶デバイス２００は、リッド２１０と、ＡＴカット水晶振動片２３０と、ベース２２０とにより構成されている。水晶デバイス２００は、上部にリッド２１０が配置され、下部にベース２２０が配置され、ＡＴカット水晶振動片２３０はリッド２１０とベース２２０とに挟まれた位置に配置されている。また、ベース２２０の下面には外部電極２２１が形成されている。リッド２１０及びベース２２０は、ガラス又は水晶等の材料で形成されている。
【００２９】
図４（ｂ）は、図４（ａ）のＥ−Ｅ断面図である。ＡＴカット水晶振動片２３０は、励振部２３１と励振部２３１の外周に形成されている励振外周部２３２とが形成されており、また励振外周部２３２の周囲を囲むように外枠２３５が形成されている。外枠２３５は励振外周部２３２を支持している。励振部２３１の一主面と他主面とにはそれぞれ励振電極２３３が形成され、引出電極２３４は励振電極２３３から励振外周部２３２を通り外枠２３５に形成されている。ＡＴカット振動片２３０は、一対の励振電極２３３により電圧が印加されることにより所定の振動数で振動する。リッド２１０は外枠２３５の一主面とリッド２１０の−ｙ’軸側の面に形成されている第１面２１１において接合され、ベース２２０は外枠２３５の他主面とベース２２０の＋ｙ’軸側の面に形成されている第２面２２３において接合される。また、ベース２２０の＋ｙ’軸側の面には接続電極２２２が形成されており、接続電極２２２はＡＴカット水晶振動片２３０と接合される時に引出電極２３４と接続される。また、接続電極２２２は導通部（不図示）を通して外部電極２２１と電気的に接続されている。
【００３０】
ＡＴカット水晶振動片２３０は、励振部２３１の厚さがｔ、励振外周部２３２の厚さがＧｙになるように形成されている。励振部２３１と励振外周部２３２との段差は＋ｙ‘軸側の面と−ｙ‘軸側の面とに形成されており、その高さはｈである。また、ＡＴカット水晶振動片３０と同じくＡＴカット水晶振動片２３０は人工水晶で形成されており、ＡＴカット水晶振動片２３０のｘ軸方向は、水晶の結晶軸のＸ軸方向に一致しており、また、ＡＴカット水晶振動片３０のｚ‘軸方向は、水晶の結晶軸のＸ軸方向を中心としてＺ軸からＹ軸方向に３５度１５分傾斜した方向と一致している。
【００３１】
図５（ａ）は、リッド２１０の平面図である。リッド２１０は、ｘ軸方向に長軸、ｚ’軸方向に短軸がある長方形の主面を有している。また、−ｙ’軸側の面の外周部にはＡＴカット水晶振動片２３０の外枠２３５に接続されている第１面２１１が形成されており、中央部には第１面２１１に囲まれるように凹部２１２が形成されている。
【００３２】
図５（ｂ）は、ＡＴカット水晶振動片２３０の平面図である。ＡＴカット振動片２３０と外枠２３５とは接続腕２３６により接続されている。励振部２３１に形成されている励振電極２３３から引き出されている引出電極２３４は、励振外周部２３２及び接続腕２３６を通り、外枠２３５の角まで形成されている。引出電極２３４は、外枠２３５の角の接続点２３７においてベース２２０に形成されている接続電極２２２と接続される。接続点２３７は、図５（ｂ）で点線の楕円で示している外枠２３５の角の−ｙ‘軸側の面に形成されている。ＡＴカット水晶振動片２３０の励振外周部２３２のｘ軸方向の長さＧｘは例えば９９０μｍであり、ＡＴカット水晶振動片２３０の励振外周部２３２のｚ‘軸方向の長さＧｚは例えば７００μｍである。また、励振部２３１のｘ軸方向の長さをＭｘ、ｚ‘軸方向の長さをＭｚとする。
【００３３】
図５（ｃ）はベース２２０の平面図である。ベース２２０の＋ｙ’軸側の面の外周部には、ＡＴカット水晶振動片２３０の外枠２３５と接合する面である第２面２２３が形成されており、第２面２２３の内側には凹部２２５が形成されている。ベース２２０の＋ｙ’軸側の面の第２面２２３の一部にはＡＴカット水晶振動片２３０の引出電極２３４の接続点２３７に電気的に接続する接続電極２２２が形成されている。
【００３４】
ＡＴカット水晶振動片に外枠が形成されていても、励振外周部と外枠とは接続腕で接続されているのみであり、励振外周部で発生する不要振動の振動エネルギーを大きく変化させない。そのため、式（１）、式（２）及び式（３）の関係はＡＴカット水晶振動片２３０にも適用することができる。
【００３５】
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
【符号の説明】
【００３６】
１０、２１０  …  リッド
２０、２２０  …  ベース
２１、２２１  …  外部電極
２２、２２２  …  接続電極
２４、２２４  …  キャビティ
３０、２３０  …  ＡＴカット水晶振動片
３１、２３１  …  励振部
３２、２３２  …  励振外周部
３３、２３３  …  励振電極
３４、２３４  …  引出電極
４０  …  封止材
４１  …  導電性接着剤
１００、２００  …  水晶デバイス
２１１  …  第１面
２１２、２２５  …  凹部
２２３  …  第２面
２３５  …  外枠
２３６  …  接続腕
２３７  …  接続点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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