(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘度が３ｍＰａ・秒の塗工液を基材に塗工するダイヘッドを備える塗布装置であって、
前記ダイヘッドは、
ダイヘッド本体と、
前記ダイヘッド本体の内部に水平方向に延びるように形成され、前記塗工液を収容するマニホールドと、
前記マニホールドが延びる延在方向の中間部に設けられ、前記塗工液が供給される供給口と、
前記マニホールドの下方に形成されて上端側が前記マニホールドに連通し、下端側が前記ダイヘッドの底面に形成された吐出口に連通するスリットと、
第一の端部が前記マニホールドの前記延在方向の一方の端部に連通し、第二の端部が開放された第一の空気抜き管と、
第一の端部が前記マニホールドの前記延在方向の他方の端部に連通し、第二の端部が開放された第二の空気抜き管と、
を有し、
前記第一の空気抜き管と前記第二の空気抜き管の内径が、それぞれ０．４ｍｍ以上８．０ｍｍ以下であり、
前記第一の空気抜き管の前記第二の端部は、前記第一の空気抜き管の前記第一の端部より鉛直方向下方に０．２ｍ以上２．０ｍ以下の位置に配置され、
前記第二の空気抜き管の前記第二の端部は、前記第二の空気抜き管の前記第一の端部より鉛直方向下方に０．２ｍ以上２．０ｍ以下の位置に配置されていることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記マニホールドの内面の上部は、前記供給口を中心として前記延在方向のそれぞれの端部に向かうほど上方に位置するように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記マニホールドは、前記延在方向の一方側および他方側において、前記スリットより前記延在方向にそれぞれ長く延びるように形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材等の表面に塗工液を塗工する塗布装置に係わり、特に、低粘度の塗工液を用いて基材の表面に均一に薄膜を塗工する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ダイヘッドの先端に形成されたスリットから塗工液を基材面に直接塗工（塗布）するダイ型塗布装置（塗布装置）が実用化されている。このダイ型塗布装置は、たとえば、エレクトロニクス分野において１０μｍ以下の薄い膜を高精度（均一）に塗工するのに用いられる。
一般的に、ダイヘッドの内部には、マニホールドと呼ばれる塗工液の液溜めが形成されていて、マニホールドに連通するように形成されたスリットを通って塗工液が基材等の塗工対象物に吐出される。
【０００３】
ダイヘッドに求められる要望の中でも最も重要なことの一つは、微小な気泡等を生じさせずに均一に塗付するために、マニホールド内の塗工液中の空気を速やかに抜くことである。これは、塗工液の滞留による変性を防ぐ点でも重要である。
【０００４】
マニホールド内の塗工液の空気抜きのために従来提案されているダイヘッドには、特許文献１に示すように、コートハンガー形状に形成されたマニホールドを備えるものがある。しかし、この構造では、塗工液の供給口と空気を抜くための口が接近しやすいため、短時間での空気抜きが不可能であるという問題がある。
【０００５】
この特許文献１における問題を解決するために、特許文献２に示す塗布装置では溜まり部（マニホールド）の上部を、スリットの中央部から両端部に向けて除々に高くなるように傾斜した形状に形成している。溜まり部の両端部には通気口（空気抜き管）が設けられ、塗工液内の空気は溜まり部の両端部に導かれ、これらの通気口から排出されるという。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明の塗布装置は、粘度が３ｍＰａ・秒の塗工液を基材に塗工するダイヘッドを備える塗布装置であって、前記ダイヘッドは、ダイヘッド本体と、前記ダイヘッド本体の内部に水平方向に延びるように形成され、前記塗工液を収容するマニホールドと、前記マニホールドが延びる延在方向の中間部に設けられ、前記塗工液が供給される供給口と、前記マニホールドの下方に形成されて上端側が前記マニホールドに連通し、下端側が前記ダイヘッドの底面に形成された吐出口に連通するスリットと、第一の端部が前記マニホールドの前記延在方向の一方の端部に連通し、第二の端部が開放された第一の空気抜き管と、第一の端部が前記マニホールドの前記延在方向の他方の端部に連通し、第二の端部が開放された第二の空気抜き管と、を有し、前記第一の空気抜き管と前記第二の空気抜き管の内径が、それぞれ０．４ｍｍ以上８．０ｍｍ以下であり、前記第一の空気抜き管の前記第二の端部は、前記第一の空気抜き管の前記第一の端部より鉛直方向下方に０．２ｍ以上２．０ｍ以下の位置に配置され、前記第二の空気抜き管の前記第二の端部は、前記第二の空気抜き管の前記第一の端部より鉛直方向下方に０．２ｍ以上２．０ｍ以下の位置に配置されていることを特徴としている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献２に示す塗布装置では、溜まり部の端部からの空気抜きが充分でない場合があり、これにより塗布欠陥が生じやすくなっていた。
【０００８】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであって、マニホールドの長さ方向全体にわたり塗工液中に空気が残るのを防止して、より高精度の均一塗工が可能な塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明の塗布装置は、塗工液を基材に塗工するダイヘッドを備える塗布装置であって、前記ダイヘッドは、ダイヘッド本体と、前記ダイヘッド本体の内部に水平方向に延びるように形成され、前記塗工液を収容するマニホールドと、前記マニホールドが延びる延在方向の中間部に設けられ、前記塗工液が供給される供給口と、前記マニホールドの下方に形成されて上端側が前記マニホールドに連通し、下端側が前記ダイヘッドの底面に形成された吐出口に連通するスリットと、第一の端部が前記マニホールドの前記延在方向の一方の端部に連通し、第二の端部が開放された第一の空気抜き管と、第一の端部が前記マニホールドの前記延在方向の他方の端部に連通し、第二の端部が開放された第二の空気抜き管と、を有し、前記第一の空気抜き管と前記第二の空気抜き管の内径が、それぞれ０．４ｍｍ以上８．０ｍｍ以下であり、前記第一の空気抜き管の前記第二の端部は、前記第一の空気抜き管の前記第一の端部より鉛直方向下方に０．２ｍ以上２．０ｍ以下の位置に配置され、前記第二の空気抜き管の前記第二の端部は、前記第二の空気抜き管の前記第一の端部より鉛直方向下方に０．２ｍ以上２．０ｍ以下の位置に配置されていることを特徴としている。
【００１０】
この発明によれば、供給口によりマニホールドの延在方向の中間部に供給された塗工液は、マニホールドの両端部に向けて延在方向に沿って移動しつつ、スリットを通してダイヘッドの底面に形成された吐出口から吐出される。そして、吐出口から吐出された塗工液は、基材に塗工される。
塗工液が基材に塗工されない所定の期間には、塗工液は供給口によりマニホールドの延在方向の中間部から供給されるとともに、マニホールドの延在方向の両端部において各空気抜き管から排出される。
【００１１】
このとき、第一の空気抜き管と第二の空気抜き管の内径がそれぞれ０．４ｍｍ以上８．０ｍｍ以下であり、第一の空気抜き管の第二の端部は第一の空気抜き管の第一の端部より鉛直方向下方に０．２ｍ以上２．０ｍ以下の位置に配置され、第二の空気抜き管の第二の端部は第二の空気抜き管の第一の端部より鉛直方向下方に０．２ｍ以上２．０ｍ以下の位置に配置されている。
したがって、マニホールド内を流れる塗工液の流速を上げて塗工液が滞留することを抑え、マニホールドの延在方向において端部を含む全体にわたり塗工液内から空気を確実に抜いて、より高精度に均一塗工することができる。
【００１２】
また、上記の塗布装置において、前記マニホールドの内面の上部は、前記供給口を中心として前記延在方向のそれぞれの端部に向かうほど上方に位置するように形成されていることがより好ましい。
この発明によれば、各空気抜き管の第一の端部が連通しているマニホールドの端部に塗工液内の空気が集まりやすくすることができる。
【００１３】
また、上記の塗布装置において、前記マニホールドは、前記延在方向の一方側および他方側において、前記スリットより前記延在方向にそれぞれ長く延びるように形成されていることがより好ましい。
この発明によれば、マニホールドの延在方向の両端部に集められた空気がスリットに流れるのを防止して、より高精度の均一塗工を行うことができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の塗布装置によれば、マニホールドの長さ方向全体にわたり塗工液中に空気が残るのを防止して、より高精度に均一工塗することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施形態の塗布装置のダイヘッドで基材に塗工する状態を説明する斜視図である。
【図２】図１におけるＡ方向矢視図である。
【図３】図２中の切断線Ｂ１−Ｂ１の断面図である。
【図４】同塗布装置のマニホールドから空気が抜けていく様子を空気抜き管の内径が８．０ｍｍの場合でシミュレーションした結果を示す図である。
【図５】同塗布装置のマニホールドから空気が抜けていく様子を空気抜き管の内径が６．０ｍｍの場合でシミュレーションした結果を示す図である。
【図６】同塗布装置のマニホールドから空気が抜けていく様子を空気抜き管の高低差が０．２ｍの場合でシミュレーションした結果を示す図である。
【図７】同塗布装置のマニホールドから空気が抜けていく様子を空気抜き管の高低差が１．０ｍの場合でシミュレーションした結果を示す図である。
【図８】同塗布装置のマニホールドから空気が抜けていく様子をマニホールドの長さが異なる場合でシミュレーションした結果を示す図である。
【図９】本発明の第２実施形態の塗布装置の正面図である。
【図１０】図９中の切断線Ｂ２−Ｂ２の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
（第１実施形態）
以下、本発明に係る塗布装置の第１実施形態を、図１から図８を参照しながら説明する。図１に示すように、本実施形態の塗布装置１が備えるダイヘッド２はエクストルージョン型のものであり、塗工液Ｅを基材Ｗに塗工（塗布）するために用いられる。なお、以下の図では、ダイヘッド２の各構成よりも塗工液Ｅの流路を中心に示して説明する。
【００１７】
図１から図３に示すように、ダイヘッド２は、ダイヘッド本体５と、ダイヘッド本体５の内部に形成されたマニホールド６と、マニホールド６が延びる延在方向Ｃの中間部に設けられた供給口７と、マニホールド６の下方に形成されたスリット８と、第一の端部９ａがマニホールド６の延在方向Ｃの一方の端部６ａに連通した第一の空気抜き管９と、第一の端部１０aがマニホールド６の延在方向Ｃの他方の端部６ｂに連通した第二の空気抜き管１０とを有している。
なお、基材Ｗは水平面に平行な平面上に配置され、水平面に沿う方向のうち基材Ｗが延びる方向をＸ方向、鉛直方向をＹ方向とする。このとき、マニホールド６の延在方向Ｃは、Ｘ方向およびＹ方向とそれぞれ直交するＺ方向に平行な方向、すなわち水平面に平行となっている。そして、ダイヘッド２および基材ＷがＸ方向に相対的に移動しながら、基材Ｗに塗工液Ｅが塗工される。
また、図１から図３中の矢印は、塗工液Ｅが流れる向きを示している。
【００１８】
ダイヘッド本体５は、たとえばアルミニウム等で延在方向Ｃに延びるように形成されている。
マニホールド６のＺ方向に直交する平面による断面は、Ｙ方向に沿った直線状部分を備えたＤ字形の半円形状に形成されていて、断面の外径Ｌ１はＺ方向の位置によらず一定となっている。マニホールド６は、不図示の供給管が接続された供給口７から供給された塗工液Ｅを収容する。
スリット８は、上端側がマニホールド６に連通し、下端側がダイヘッド本体５の底面に形成された吐出口１３に連通している。スリット８のＸ方向の幅、およびＹ方向の長さ（ランド長）Ｌ２は、Ｚ方向の位置によらず一定になるように設定されている。本実施形態では、スリット８とマニホールド６とのＺ方向の長さＬ３が互いに等しくなるように設定されている。
【００１９】
第一の空気抜き管９の第一の端部９ａと第二の空気抜き管１０の第一の端部１０aとは、マニホールド６の延在方向Ｃのそれぞれの端部６ａ、６ｂにおいて内面の上部（Ｙ方向のうちの上方の部分）に接続されている。図１に示すように、第一の空気抜き管９の第二の端部９ｂと第二の空気抜き管１０の第二の端部１０ｂとは、それぞれ大気中に開放されている（第二の端部１０ｂは不図示）。第一の空気抜き管９の内径Ｄ１と第二の空気抜き管１０の内径Ｄ２は、それぞれ０．４ｍｍ以上８．０ｍｍ以下になるように設定されている。
本実施形態では、第一の空気抜き管９、第二の空気抜き管１０の中間部には、それぞれの流路を開閉するための第一のバルブ１４、第二のバルブ１５がそれぞれ取り付けられている。そして、第一の空気抜き管９の第二の端部９ｂ、第二の空気抜き管１０の第二の端部１０ｂの下方には、それぞれの第二の端部９ｂ、１０ｂ側から排出された塗工液Ｅを受けるための第一の廃液タンク１６、第二の廃液タンク１７が配設されている（第二の廃液タンク１７は不図示）。
【００２０】
第一の空気抜き管９において第二の端部９ｂは第一の端部９ａより鉛直方向下方に配置され、その高低差Ｈ１は０．２ｍ以上２．０ｍ以下に設定されている。
同様に、第二の空気抜き管１０において第二の端部１０ｂは第一の端部１０ａより鉛直方向下方に配置され、その高低差Ｈ２（不図示）は０．２ｍ以上２．０ｍ以下に設定されている。
【００２１】
次に、以上のように構成された塗布装置１を用いて塗工液Ｅを基材Ｗに塗工する工程について説明する。
第一のバルブ１４と第二のバルブ１５がそれぞれ閉じた状態で、使用者が、不図示の供給管から塗工液Ｅを供給すると、塗工液Ｅは供給口７によりマニホールド６の延在方向Ｃの中間部に供給される。塗工液Ｅは、マニホールド６中を両端部６ａ、６ｂに向けて延在方向Ｃに沿って移動しつつ、スリット８内をＹ方向のうちのマイナス方向に流れてダイヘッド本体５の底面に形成された吐出口１３から吐出される。そして、吐出された塗工液Ｅは、基材Ｗに塗工される。
【００２２】
塗工液Ｅが基材Ｗに塗工されない所定の時間（たとえば、１枚の基材Ｗに塗工を完了した後等）に、使用者は、第一のバルブ１４と第二のバルブ１５をそれぞれ開けた状態にする。そして、塗工液Ｅを供給口７によりマニホールド６の延在方向Ｃの中間部から供給すると、第一の空気抜き管９の内径Ｄ１と高低差Ｈ１、第二の空気抜き管１０の内径Ｄ２と高低差Ｈ２に応じたサイフォンの原理による力と管内壁の摩擦力、および塗工液Ｅを供給する圧力により、空気を含んだ塗工液Ｅがマニホールド６を通して空気抜き管９、１０から廃液タンク１６、第二の廃液タンク１７にそれぞれ排出される。
なお、バルブ１４、１５のうち一方を開けた状態にして他方を閉じた状態にすることを交互に切り替え、空気抜き管９、１０から空気を含んだ塗工液Ｅを交互に排出するようにしてもよい。このようにすることで、空気を含んだ塗工液Ｅをマニホールド６から効率良く排出することができる。
【００２３】
前述の所定の時間が終了すると、使用者は、第一のバルブ１４と第二のバルブ１５をそれぞれ閉じた状態にし、供給管から塗工液Ｅを供給して塗工液Ｅを基材Ｗに塗工する手順を繰り返す。
【００２４】
次に、以上のように構成された塗布装置１のマニホールド６内の塗工液Ｅから空気が抜けていく様子をコンピュータを用いてシミュレーションした結果について説明する。
スリット８およびマニホールド６のＺ方向の長さＬ３を３．１ｍ、スリット８のＸ方向の幅を８０μｍ、Ｙ方向の長さを８０ｍｍと仮定する。塗工液Ｅを、粘度が３ｍＰａ・秒（ｓ）、密度が９９０ｋｇ／ｍ3のニュートン流体とし、塗工液Ｅ中の空気は塗工液Ｅと同一の物性（粘度や密度等）を有する粒子であると仮定する。
この条件において、塗工液Ｅ中に一定の数混合させた空気の粒子が第一の空気抜き管９または第二の空気抜き管１０から排出されるのに要する時間分布である廃液時間分布を求めた。そして、空気の粒子の排出されやすさを表す廃液効率を検討した。
【００２５】
図４および図５に各空気抜き管９、１０の内径Ｄ１、Ｄ２を変化させたときのシミュレーション結果を、図６および図７に各空気抜き管９、１０の高低差Ｈ１、Ｈ２を変化させたときのシミュレーション結果を示す。図４から図７の各図において、横軸に空気の粒子が排出されるのに要する時間を時間帯ごとに示し、縦軸に空気の粒子の全数に対するそれぞれの時間帯で排出される空気の粒子の数の割合を示す。たとえば、図４を例に説明すると、１８ｓ程度で空気の粒子の全数の９０％近くが排出され、空気の全粒子が排出されるまでに５５ｓ程度かかることが分かる（５５ｓを超えて排出される空気の粒子はない）。
【００２６】
各空気抜き管９、１０において、高低差Ｈ１、Ｈ２を０．２ｍとしたときのシミュレーション結果で、内径Ｄ１、Ｄ２が８．０ｍｍの場合を図４に、内径Ｄ１、Ｄ２が６．０ｍｍの場合を図５に示す。
内径Ｄ１、Ｄ２が６．０ｍｍの場合には、空気の粒子の大部分（９８％程度）が３５ｓ以内に排出されている。一方で、内径Ｄ１、Ｄ２が８．０ｍｍの場合には、３５ｓ以上経過してから排出される空気の粒子が５％程度ある。つまり、内径Ｄ１、Ｄ２が小さいほど、空気の全粒子が排出されるまでに必要な時間が短く、廃液効率が高いことが分かった。
ただし、実用上は、３５ｓ以内に９５％程度の空気の粒子が排出されていれば高精度の均一塗工を行うことが可能なので、内径Ｄ１、Ｄ２は、８．０ｍｍ以下であればよいことが分かった。
【００２７】
また、各空気抜き管９、１０において、内径Ｄ１、Ｄ２を８．０ｍｍとしたときのシミュレーション結果で、高低差Ｈ１、Ｈ２が０．２ｍの場合を図６に、高低差Ｈ１、Ｈ２が１．０ｍの場合を図７に示す。
高低差Ｈ１、Ｈ２が大きいほど、空気の全粒子が排出されるまでに必要な時間が短く、廃液効率が高いことが分かった。ただし、実用上は、３５ｓ以内に９５％程度の空気の粒子が排出されれば高精度の均一塗工を行うことが可能なので、高低差Ｈ１、Ｈ２は、０．２ｍｍ以上であればよいことが分かった。
なお、本実施形態において、マニホールド６の外径Ｌ１は８．０ｍｍなので、マニホールド６の内容積は、３１１４８８ｍｍ3となる。そして、各空気抜き管９、１０から排出される塗工液Ｅの流量の合計は、６００００ｍｍ3／ｓ程度である（供給口７から供給される塗工液Ｅの流量もこの値に等しくなる。）。このため、たとえば、３５ｓ間で空気抜き管９、１０から排出される塗工液Ｅの体積の合計は、マニホールド６の内容積の約６．７倍となる。
【００２８】
なお、前述のシミュレーションを行った塗布装置１において、スリット８とマニホールド６との長さＬ３のみを３．１ｍから２．５ｍに変更した塗布装置１（各空気抜き管９、１０において、内径Ｄ１、Ｄ２が８．０ｍｍ、高低差Ｈ１、Ｈ２が１．０ｍ）でシミュレーションした結果を図８に示す。図７および図８から、長さＬ３が３．１ｍの場合の方が、長さＬ３が２．５ｍの場合よりも空気の全粒子が排出されるまでに必要な時間が短く、廃液効率が高いことが分かった。
長さＬ３が２．５ｍの塗布装置１は、実際に塗工液Ｅ中の空気を排出したときでもマニホールド６全体の塗工液Ｅ中から空気が排出され、高精度の均一塗工が可能なことが確認されている。したがって、廃液効率がより高い長さＬ３が３．１ｍの塗布装置１においても、長さＬ３が２．５ｍの場合と同等以上に塗工液Ｅ中の空気を効率よく排出でき、実際の使用においても問題無いものと推測された。
【００２９】
以上説明したように、本実施形態の塗布装置１によれば、塗工液Ｅは供給口７によりマニホールド６の延在方向Ｃの中間部から供給されるとともに、マニホールド６の延在方向Ｃの両端部６ａ、６ｂにおいて各空気抜き管９、１０から排出される。
このとき、空気抜き管９、１０の内径Ｄ１、Ｄ２がそれぞれ０．４ｍｍ以上８．０ｍｍ以下に設定され、第一の空気抜き管９において第二の端部９ｂは第一の端部９ａより鉛直方向下方配置されるとともにその高低差Ｈ１は０．２ｍ以上２．０ｍ以下に設定され、第二の空気抜き管１０において第二の端部１０ｂは第一の端部１０ａより鉛直方向下方配置されるとともにその高低差Ｈ２は０．２ｍ以上２．０ｍ以下に設定されている。
【００３０】
第一の空気抜き管９の内径Ｄ１または第二の空気抜き管１０の内径Ｄ２が０．４ｍｍ未満になると、各空気抜き管９、１０内に塗工液Ｅが詰まる問題が生じ、８．０ｍｍを超えると塗工液Ｅ内から空気を効果的に抜くことができなくなる。
一方で、空気抜き管９、１０において、いずれかの高低差Ｈ１、Ｈ２が０．２ｍ未満になると塗工液Ｅ内から空気を効果的に抜くことができなくなり、いずれかの高低差Ｈ１、Ｈ２が２．０ｍを超えると標準的な塗布装置に配置し難くなる。さらに、高低差Ｈ１、Ｈ２を一定以上とることで、各空気抜き管９、１０を通してマニホールド６の両端部６ａ、６ｂから空気が混入し、塗工液Ｅ内に空気が混入した状態で塗布が行われるのを防ぐことができる。
【００３１】
したがって、マニホールド６内を流れる塗工液Ｅの流速を上げて塗工液Ｅが滞留することを抑え、マニホールド６の延在方向Ｃにおいて端部６ａ、６ｂを含む全体にわたり塗工液Ｅ内から空気を確実に抜いて、より高精度に均一塗工することができる。
【００３２】
また、各空気抜き管９、１０の第一の端部９ａ、１０ａは、マニホールド６のそれぞれの端部６ａ、６ｂにおいて内面の上部に接続されているので、各空気抜き管９、１０から塗工液Ｅ内の空気を抜けやすくすることができる。
【００３３】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について図９および図１０を参照しながら説明するが、前記実施形態と同一の部位には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
図９および図１０に示すように、本実施形態の塗布装置２１が備えるダイヘッド２２は、前記実施形態のダイヘッド２のマニホールド６に代えてマニホールド２６を備えている。
【００３４】
マニホールド２６は、延在方向Ｃの一方側および他方側において、スリット８より延在方向Ｃにそれぞれ長く延びるように形成されている。すなわち、本実施形態では、スリット８はＺ方向に長さＬ３となるように形成されていて、マニホールド２６のＺ方向の長さは、スリット８の長さＬ３より長い長さＬ６となっている。そして、マニホールド２６の一方の端部２６ａおよび他方の端部２６ｂは、スリット８よりＺ方向にそれぞれ長さＬ７ずつ長く延びるように形成されている。
【００３５】
また、マニホールド２６の内面２６ｃの上部は、供給口７を中心として延在方向Ｃのそれぞれの端部２６ａ、２６ｂに向かうほど上方（鉛直方向の上方）に位置するように形成されている。
すなわち、マニホールド２６のＺ方向に直交する平面による断面は、Ｙ方向に沿った直線状部分を備えたＤ字形の半円形状に形成されている。この断面の外径は、Ｚ方向において、供給口７が設けられた部分で外径Ｌ８となっていて、端部２６ａ、２６ｂでは外径Ｌ８より大きな外径Ｌ９となっている。
【００３６】
以上説明したように、本実施形態の塗布装置２１によれば、前記実施形態と同様に、マニホールド２６の長さ方向全体にわたり空気が残るのを防止して、高精度に均一塗工することができる。
そして、マニホールド２６は、延在方向Ｃの一方側および他方側において、スリット８より長く延びるように形成されているので、マニホールド２６の延在方向Ｃの両端部２６ａ、２６ｂに集められた空気がスリット８に流れるのを防止して、より高精度の均一塗工を行うことができる。
【００３７】
また、マニホールド２６の内面２６ｃの上部は、延在方向Ｃのそれぞれの端部２６ａ、２６ｂに向かうほど上方に位置するように形成されているので、各空気抜き管９、１０の第一の端部９ａ、１０ａが連通しているマニホールド２６の端部２６ａ、２６ｂに塗工液Ｅ内の空気が集まりやすくすることができる。
【００３８】
なお、本実施形態の塗布装置２１のマニホールド２６は、スリット８より延在方向Ｃにそれぞれ長く延びるという特徴と、内面２６ｃの上部が端部２６ａ、２６ｂに向かうほど上方に位置するという特徴の２つを備えていた。しかし、マニホールドが、いずれか１つの特徴のみを備えるように構成してもよい。
【００３９】
以上、本発明の第１実施形態および第２実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の構成の変更等も含まれる。
たとえば、上記第１実施形態及び第２実施形態では、マニホールドの両端部にそれぞれ第一の空気抜き管９と第二の空気抜き管１０の２つ空気抜き管を連通させた。しかし、このマニホールドに３つ目以降の空気抜き管をさらに連通させてもよい。
【符号の説明】
【００４０】
１、２１  塗布装置
２、２２    ダイヘッド
５    ダイヘッド本体
６    マニホールド
６ａ  一方の端部
６ｂ  他方の端部
７    供給口
８    スリット
９    第一の空気抜き管
９ａ  第一の端部
９ｂ  第二の端部
１０  第二の空気抜き管
１０ａ  第一の端部
１０ｂ  第二の端部
１３  吐出口
２６ｃ  内面
Ｄ１、Ｄ２  内径
Ｅ    塗工液
Ｗ    基材
【図１】
0005625299.tif 000002
【図２】
0005625299.tif 000003
【図３】
0005625299.tif 000004
【図４】
0005625299.tif 000005
【図５】
0005625299.tif 000006
【図６】
0005625299.tif 000007
【図７】
0005625299.tif 000008
【図８】
0005625299.tif 000009
【図９】
0005625299.tif 000010
【図１０】
0005625299.tif 000011