(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の稼動部品を有する生産装置の保守管理を行う情報処理装置であって、
ジョブの実行による前記複数の稼動部品の夫々の消耗量を算出する算出手段と、
前記消耗量に基づいて前記稼動部品のメンテナンスの必要の有無と当該メンテナンスの所要時間とを決定する決定手段と、
前記決定手段において、第１稼働部品に対する第１メンテナンスと、当該第１メンテナンスの所要時間以下の所要時間で処理できる第２稼動部品に対する第２メンテナンスと、に対してメンテナンスが必要と決定された場合、前記第１メンテナンスの処理中に前記第２メンテナンスの処理を行うように前記生産装置を制御する制御手段と
を有することを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記ジョブの実行前に前記稼動部品のメンテナンス処理を実施することを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記生産装置にメンテナンス処理を実施させる保守計画情報を生成し、当該保守計画情報を前記生産装置に実行させることを特徴とする請求項１又は２に記載の情報処理装置。
【請求項４】
同一のジョブにおいて、異なる稼働部品についてメンテナンス処理が必要な場合に、前記制御手段は、前記ジョブの実行前にメンテナンス処理が必要な稼働部品のすべてにメンテナンス処理を行うように前記生産装置を制御することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項５】
異なる生産ジョブにおいて、異なる稼働部品についてメンテナンス処理が必要な場合に、前記制御手段は、最初に稼働部品のメンテナンスを行うタイミングで、メンテナンス処理が必要な稼働部品のすべてにメンテナンスを行うように前記生産装置を制御することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項６】
メンテナンスのタイミングを定めた保守計画情報に従ってメンテナンスの実行が可能な生産装置の保守管理を行う情報処理装置であって、
前記生産装置に投入される予定の生産ジョブを受け付ける入力手段と、
前記生産ジョブに設定されている識別情報に対応する稼働条件であって、前記生産ジョブを前記生産装置で処理するために使用する少なくとも１つの稼働部品に設定するための稼働条件を、予め定められたデータベースから取得する取得手段と、
前記稼働条件に従って前記稼働部品を稼働した場合に、前記稼働部品の使用により消耗する消耗量を示す情報を、前記稼働条件に基づき算出する第１算出手段と、
前記生産ジョブの実行前における前記稼働部品の消耗量の累積を示す情報に、前記第１算出手段により算出された前記消耗量を示す情報を加えることにより、前記生産ジョブの実行後における前記稼働部品の消耗量の累積を示す情報を算出する第２算出手段と、
前記第２算出手段により算出された前記稼働部品の消耗量を示す情報が、前記稼働部品のメンテナンスが必要となる消耗量を示す第１閾値情報以上であるか否かを判定する第１判定手段と、
前記第１判定手段の判定により前記稼働部品の消耗量が前記第１閾値情報以上であると判定された場合に、前記稼働部品の消耗量を示す情報が、稼動可能な限界の消耗量を示す第２閾値情報以上であるか否かを判定する第２判定手段と、
前記第２判定手段の判定により、前記稼働部品の消耗量を示す情報が第２閾値情報を超えていないと判定された場合に、前記稼働部品のメンテナンスが必要となることを示す第１予測寿命情報を、前記生産ジョブと前記稼働部品とに対応付けるためのリスト情報に登録し、前記稼働部品の消耗量を示す情報が第２閾値情報以上と判定された場合に、前記稼働部品が稼働できなくなる限界の消耗量に到達することを示す第２予測寿命情報を前記リスト情報に登録する登録手段と、
前記リスト情報に前記第２予測寿命情報が登録されている場合に、前記リスト情報において前記第２予測寿命情報と対応付けられている前記生産ジョブの実行前に、前記第２予測寿命情報が登録されている前記稼働部品のメンテナンスを行うように前記保守計画情報を生成する生成手段と、
前記生成手段により生成された前記保守計画情報を前記生産装置に出力する出力手段と、を備え
第１稼働部品について前記第１予測寿命情報が前記リスト情報に登録されており、第２稼働部品について前記第２予測寿命情報が前記リスト情報に登録されている場合に、
前記生成手段は、設計情報として登録されている前記第１稼働部品のメンテナンスに要する時間と、前記第２稼働部品のメンテナンスに要する時間とを比較して、前記第１稼働部品のメンテナンスに要する時間が前記第２稼働部品のメンテナンスに要する時間より短い場合に、前記第２稼働部品のメンテナンスが行われるタイミングで前記第１稼働部品のメンテナンスも行うように前記保守計画情報を生成することを特徴とする情報処理装置。
【請求項７】
複数の稼動部品を有する生産装置の保守管理を行う情報処理方法であって、
情報処理装置の算出手段が、ジョブの実行による前記複数の稼動部品の夫々の消耗量を算出する算出工程と、
前記情報処理装置の決定手段が、前記消耗量に基づいて前記稼動部品のメンテナンスの必要の有無と当該メンテナンスの所要時間とを決定する決定工程と、
前記情報処理装置の制御手段が、前記決定工程において、第１稼働部品に対する第１メンテナンスと、当該第１メンテナンスの所要時間以下の所要時間で処理できる第２稼動部品に対する第２メンテナンスと、に対してメンテナンスが必要と決定された場合、前記第１メンテナンスの処理中に前記第２メンテナンスの処理を行うように前記生産装置を制御する制御工程と
を有することを特徴とする情報処理方法。
【請求項８】
コンピュータを
生産装置に入力される予定のジョブの実行による複数の稼動部品の夫々の消耗量を算出する算出手段、
前記消耗量に基づいて前記稼動部品のメンテナンスの必要の有無と当該メンテナンスの所要時間とを決定する決定手段、
前記決定手段において、第１稼働部品に対する第１メンテナンスと、当該第１メンテナンスの所要時間以下の所要時間で処理できる第２稼動部品に対する第２メンテナンスと、に対してメンテナンスが必要と決定された場合、前記第１メンテナンスの処理中に前記第２メンテナンスの処理を行うように前記生産装置を制御する制御手段として機能させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報処理装置、情報処理方法、およびプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
情報処理装置や製品の生産を行う生産装置（以下、「生産装置等」という。）は、連続稼動により部品が消耗・劣化してメンテナンスが必要となる。メンテナンスの際には生産装置等の稼動を一旦停止し、装置部品の交換や、回復作業を行なうことが必要となる。「装置部品」としては、例えば、メカ部品や電気部品などのハードウェア部品、ＯＳリソースなどのソフトウェア資源、インクやオイルなどの消耗材等が含まれる。「回復作業」としては、例えば、ハードウェア部品の交換、ソフトウェア資源の回復、消耗材の交換や充填など、装置部品を再び正常に使用するための回復処理全般が含まれる。
【０００３】
製品の生産を行う生産装置においては、メンテナンスのために装置の稼動を停止すると、その間、生産が止まってしまい、生産性を下げる要因となる。一般に生産装置は、ロットやジョブと呼ばれる単位（この単位を、「生産管理単位」ともいう。）で生産管理が行なわれる。しかしながら、生産管理単位より細かい単位で生産装置の動作を停止すると、生産計画が遅れる要因や、生産物の破損を招く要因となることがある。従って、必要とされるメンテナンスを適切なタイミングで行い、かつメンテナンスのために生産装置の稼動停止時間を可能な限り減らすための有効な技術が求められている。
【０００４】
特許文献１で提案されている方法は、メンテナンス対象の装置をネットワークを介して監視装置によって監視し、装置納入者である専門家が補充交換の必要時期の予測を行なうものである。また、特許文献２で提案されている方法は、実際の動作環境下における生産装置の部品の劣化状態を予測し、補充交換の必要時期を算出するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−０５０６１７号公報
【特許文献２】特許第０３１３８６９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし特許文献１、２に記載の方法は、寿命を予測する際に生産管理単位を考慮していないため、生産装置の生産計画を考慮した適切なメンテナンスを行うことが出来ないという問題がある。
【０００７】
本発明は、保守管理の対象となる生産装置が実行すべき生産ジョブの内容を考慮してメンテナンスを実行する計画を生成し、生産装置の保守管理を行う情報処理技術の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成する本発明に係る情報処理装置は、複数の稼動部品を有する生産装置の保守管理を行う情報処理装置であって、ジョブの実行による前記複数の稼動部品の夫々の消耗量を算出する算出手段と、
前記消耗量に基づいて前記稼動部品のメンテナンスの必要の有無と当該メンテナンスの所要時間とを決定する決定手段と、
前記決定手段において、第１稼働部品に対する第１メンテナンスと、当該第１メンテナンスの所要時間以下の所要時間で処理できる第２稼動部品に対する第２メンテナンスと、に対してメンテナンスが必要と決定された場合、前記第１メンテナンスの処理中に前記第２メンテナンスの処理を行うように前記生産装置を制御する制御手段とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、保守管理の対象となる生産装置が実行すべき生産ジョブの内容を考慮してメンテナンスを実行する計画を生成し、生産装置の保守管理を行う情報処理技術の提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】（ａ）は第１実施形態に係る支援装置の構成ブロック図であり、（ｂ）は支援装置のソフトウェア構成図である。
【図２】（ａ）の２Ａは、装置実行計画情報の一例を説明する図。（ａ）の２Ｂは、レシピＩＤにより特定される生産条件の一例を示す図。（ａ）の２Ｃは露光照明モードの設定例を示す図。（ａ）の２Ｄは、レクチルデータの設定例を示す図。（ｂ）は、出力データである部品使用量情報を例示する図。（ｃ）部品の予測使用量のデータを格納したデータテーブルの一例を示す図。
【図３】算出部の動作を説明する図。
【図４】（ａ）は部品消耗度の一例を説明する図、（ｂ）は部品消耗閾値情報の一例を説明する図、（ｃ）は部品消耗率情報を説明する図、（ｄ）は予測寿命情報について説明する図。
【図５】部品寿命予測部の動作を説明する図。
【図６】（ａ）は部品回復情報の一例を説明する図、（ｂ）はメンテナンス計画情報を説明する図、（ｃ）はメンテナンス実行指示情報の一例を示す図。
【図７】メンテナンス計画部の動作を説明する図。
【図８】メンテナンス実行部の動作を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（第１実施形態）
情報処理装置１００の構成を図１（ａ）の参照により説明する。情報処理装置１００は、メンテナンスのタイミングを定めた保守計画情報に従ってメンテナンスの実行が可能な生産装置の保守管理を行うことが可能である。
【００１２】
ＣＰＵ１０１は、バス１０２を介して情報処理装置１００の各構成要素を制御する。ＲＯＭ１０３は、バス１０２を介してＣＰＵ１０１からアクセス可能な読み出し専用メモリであり、後述する各種プログラム等を格納する。ＲＡＭ１０４は、読み書き可能なメモリであり、各種データ等を格納する。ＲＯＭ１０３に格納される各種プログラムは実行時にＲＡＭ１０４に読み出され実行され実行されるが、ＲＯＭ１０３上で各種プログラムを実行することも可能である。
【００１３】
入力装置１０９は、例えば、ユーザからの入力を受け付けるキーボード、マウス、タブレット等を含み、入力インターフェイス１０５を介してバス１０２に接続されている。出力装置１１０は、例えば、ＣＲＴ、ＬＣＤ等のディスプレイ、更にはプリンタ、プロッタ等を含み、出力インターフェイス１０６を介してバス１０２に接続されている。外部記憶装置１１１は、例えば、ＨＤＤ、ＦＤＤ、ＣＤ−ＲＯＭドライブ、ＭＤドライブ等を含み、外部記憶装置インターフェイス１０７を介してバス１０２に接続されている。外部記憶装置１１１に格納されている各種プログラムはＲＡＭ１０４に読み出され、ＲＡＭ１０４上で実行可能である。情報処理装置１００は、通信インターフェイス１０８を介して、露光装置１１２およびメッセージ送信装置１１４と通信を行うことが可能である。露光装置１１２は、種々の半導体デバイスを製造する生産装置であり、情報処理装置１００による管理対象となる。
【００１４】
露光装置１１２は、複数の露光装置部品１１３の動作を制御する。情報処理装置１００は、露光装置１１２の動作状態を、通信インターフェイス１０８を介して受信することが可能である。これにより、情報処理装置１００のＣＰＵ１０１は、露光装置１１２による動作状態を示す情報を取得することができる。ＣＰＵ１０１は、通信インターフェイス１０８を介して受信された露光装置１１２の動作状態に基づき、各種プログラムの実行を制御することが可能である。
【００１５】
尚、図１（ａ）において、情報処理装置１００は露光装置１１２と独立した装置として表現されているが、露光装置１１２が情報処理装置１００を含む構成でもよい。メッセージ送信装置１１４は、通信インターフェイス１０８を介して情報処理装置１００から受け付けたメッセージ情報を電子メール等によってネットワークに接続されている他の情報処理装置に送信する機能を持つ。
【００１６】
図１（ｂ）を参照して、情報処理装置１００のソフトウェアの機能構成を説明する。コンピュータ等の情報処理装置１００のＣＰＵ１０１は各種プログラムを実行することにより、図１（ｂ）の機能構成を実現することが可能である。
【００１７】
各種プログラムの実行による機能構成として、情報処理装置１００は、部品寿命予測部２０２、メンテナンス計画部２０７、メンテナンス実行部２０９、および算出部２１２を備える。さらに、情報処理装置１００は、データとして、部品消耗度情報２０１、部品消耗率情報２０３、装置実行計画情報２０４、予測寿命情報２０５を参照することが可能である。また、情報処理装置１００は、部品回復情報２０６、メンテナンス計画情報２０８、部品使用量情報２１０、部品消耗閾値情報２１１、およびメンテナンス実行指示情報２１３を参照することが可能である。
【００１８】
本実施形態では各種プログラムと各種情報とがすべて単一の情報処理装置１００に配置されるものとして説明を行う。しかしながら、本発明の趣旨はこの例に限定されるものではなく、これらの一部を露光装置１１２に配置し、通信インターフェイス１０８を通じてアクセスすることにより、一連の処理を行うことも可能である。
【００１９】
算出部２１２は、ユーザが露光装置１１２で実行を予定している生産ジョブ（以下、単に「ジョブ」ともいう。）に基づいて、ジョブの実行時において露光装置部品１１３の各々の消耗量を予測する。具体的には、装置実行計画情報２０４を入力情報として、算出部２１２は、部品使用量情報２１０を、露光装置１１２の稼働部品の使用量の予測結果を示す情報として出力する。
【００２０】
装置実行計画情報２０４は、露光装置１１２に投入される予定のジョブについて情報であり、露光装置１１２のユーザによって作成される。例えば、露光条件Ａのジョブでは、レチクルＢを使用して、Ｃサイズの基板をＤ枚露光するなどの条件をユーザは装置実行計画情報２０４として作成する。算出部２１２は、装置実行計画情報２０４から、露光装置１１２を構成し、露光装置１１２で使用される露光装置部品１１３を特定する。特定の際、算出部２１２は、装置実行計画情報２０４の内容と使用される部品とを対応付けた不図示のルックアップテーブルを参照し、露光装置部品１１３を特定することが可能である。複数のジョブが露光装置１１２に投入される場合、それぞれのジョブごとに、露光装置１１２で使用される露光装置部品１１３を特定することが可能である。
【００２１】
上記の露光条件Ａを例とすると、算出部２１２は、レチクルＢ、レチクルＢを保持するレチクルステージ、Ｃサイズの基板を保持する基板ステージ等を使用される露光装置部品１１３として特定することが可能である。
【００２２】
図２（ａ）の２Ａは、装置実行計画情報２０４を示す。装置実行計画情報２０４には、投入される予定のジョブごとにデータが登録される。装置実行計画情報２０４は、例えば、生産の単位を示すロットやジョブの具体的な内容を特定することにより、ユーザが作成する。あるいは、ロットやジョブの入力に基づいて露光装置１１２内のアプリケーションが生成してもよい。装置実行計画情報２０４は情報処理装置１００に直接入力されてもよいし、露光装置１１２に入力された装置実行計画情報２０４を情報処理装置１００が露光装置１１２を介して読み出し、取得してもよい。
【００２３】
装置実行計画情報２０４には、投入順番３０３、ジョブ種３０４、およびレシピＩＤ３０５が含まれる（図２（ａ）の２Ａ）。投入順番３０３は、露光装置１１２に投入される予定のジョブの順番（実行順）を示す情報である。ジョブ種３０４は、露光装置１１２に投入される予定のジョブの種類（ジョブの名称に相当する）を示す情報である。レシピＩＤ３０５は、投入されるジョブを実行するために、露光装置１１２に設定される生産条件（レシピ）を特定するための識別情報である。生産条件（レシピ）には、例えば、露光時の照明の条件、使用するレチクル、レチクルのアライメント（レイアウト）に関する情報、露光すべき基板（ウエハ）の枚数などの情報が含まれる。
【００２４】
図２（ａ）の２Ｂは、レシピＩＤ３０５により特定される生産条件（レシピ）の一例を示す図である。レシピＩＤ３０８は、それぞれのレシピを特定するための識別子である。識別子によりレシピが特定されると、露光時の照明の条件として「露光照明モード」、使用するレチクルとして「レクチルデータ」、レチクルのアライメント（レイアウト）に関する情報として「レイアウト」が定められる。また、露光すべき基板（ウエハ）の枚数「ウエハ（Ｗａｆｅｒ）枚数」が定められる。
【００２５】
図２（ａ）の２Ｃは露光照明モード３０９の設定例を示す図である。露光照明モード３１５は露光装置１１２に設定する「露光照明モード」を特定するための識別子である。パラメータ設定３１６、３１７はそれぞれの「露光照明モード」で使用されるパラメータである。異なるパラメータが露光時の照明の条件に従って設定される。
【００２６】
図２（ａ）の２Ｄは、レクチルデータ３２０の設定例を示す図である。レクチルデータ３２０は、使用するレチクルの種類を特定するための識別子である。データ３２１、３２２は使用するレチクルに関して設定されるパラメータである。
【００２７】
情報処理装置１００は露光装置１１２に投入される予定のジョブとして、図２（ａ）の２Ａに示すジョブ３０２（投入順番０００１０」を受け付けると、レシピＩＤ「Ｒ００１０」を特定する。更に情報処理装置１００は、レシピＩＤに対応した露光照明モード（ＩＬ００１０）、レチクルデータ（ＲＣＬ００１０）、レイアウトの情報（ＬＯ０１０）、ウエハ枚数（２５枚）というデータを特定し、レシピとして設定する。一方で、情報処理装置１００は露光照明モード（ＩＬ００１０）から、露光照明モードの具体的な設定を示すパラメータ（Ａ１、Ｂ１）を求める（図２（ａ）の２Ｃ）。また、情報処理装置１００はレチクルデータ（Ｄａｔａ）（ＲＣＬ００１０）から、レチクルデータとして具体的なパラメータ（Ｘ１、Ｙ１）を求める（図２（ａ）の２Ｄ）。
【００２８】
図２（ｂ）は算出部２１２がジョブ毎に出力するデータである部品使用量情報２１０を示す。部品使用量情報２１０は、装置実行計画情報２０４の示すジョブの実行中に使用される部品の稼動量（稼動時間、可動回数）を示す。部品使用量情報２１０には露光装置１１２の稼動モードや、露光装置１１２が稼働する環境の条件、例えば、温度・湿度などの情報も含まれる。
【００２９】
実行順番４０１は、露光装置１１２に投入されるジョブの順番を示す。ジョブ種４０２は、投入されるジョブの種類を示す。ジョブ所用時間４０６は、ジョブの実行に要する所要時間を示す。部品使用量４０３〜４０５は、それぞれのジョブにおける各部品の使用量の予測値を示す。部品稼動量は部品の性質（属性）に応じて個別に定義される。図２（ｂ）の例ではレーザ４０３、データベーステーブルＡ、ディレクトリＢの各々の消耗量の単位はＳｈｏｔ数、更新レコード数、生成ファイル数である。１つの部品に対して複数の部品使用量を用いる場合もある。
【００３０】
図３は算出部２１２の動作を示す。算出部２１２は、露光装置１１２に投入される予定のジョブを受け付けで、ジョブに設定されている識別情報に対応する稼働条件をデータベースから取得する。そして、算出部２１２は、稼働条件に従って部品を稼働した場合の消耗量を示す情報を算出する（第１算出処理）。
【００３１】
ステップＳ５０１で、算出部２１２は装置実行計画情報２０４の示すジョブを投入順番の示す順に受け付ける。図２（ｃ）に、算出部２１２が稼働部品の予測使用量の情報を算出するために作成する部品の予測使用量のデータを格納したデータテーブルの一例を示す。
【００３２】
ステップＳ５０２において、生産ジョブに設定されているレシピＩＤに基づき、この生産ジョブに使用する露光装置１１２の稼働部品を示す情報と、稼働部品の使用順、生産装置の稼働時間を示す情報とを取得する。更に、算出部２１２は、レシピ情報（図２（ａ）の２Ｂ）、露光照明モードの設定（同２Ｃ）、レチクルデータ（同２Ｄ）、装置実行計画情報２０４を用いてジョブ種６０２の実行で使用する露光装置１１２の機能とその機能を使用する順番とを決定する（図２（ｃ）の６０３）。
【００３３】
ステップＳ５０３〜ステップＳ５０６では、ステップＳ５０２で決定した各機能について使用量と所要時間を計算する。ステップＳ５０４では、使用予定の部品ごとに消耗量の予測値６０４を算出し、ステップＳ５０５において機能の所用時間６０５を算出する。ステップＳ５０７において、部品ごとに各機能における消耗量の予測値６０４を合計して部品使用量４０３〜４０５を求める。ステップＳ５０８において、各機能の所用時間６０５を合計してジョブ所用時間４０６を求める。
【００３４】
ステップＳ５０１からＳ５０９をジョブ毎に繰り返し、ジョブ毎に部品使用量４０３〜４０５とジョブ所用時間４０６（図２（ｂ））とを算出する。
【００３５】
なお、装置実行計画情報２０４に、生産実行用として記載されていないジョブであっても、露光プロセス上の調整やメンテナンスのために必要な「キャリブレーション」のようなジョブが自動的に挿入される場合もある。算出部２１２は、図２（ａ）の２Ａ〜２Ｄで説明した入力されたジョブに設定されている生産条件を示す情報から、ジョブの実行時において生産装置で使用される生産装置の稼働部品を特定し、稼働部品の予測使用量の情報を算出する。
【００３６】
部品寿命予測部２０２は、部品消耗度情報２０１、部品消耗率情報２０３、部品使用量情報２１０、部品消耗閾値情報２１１、及び実行の予定ジョブと、に基づいて露光装置部品１１３の寿命（予測寿命情報２０５）を算出する。
【００３７】
部品消耗度情報２０１は、露光装置１１２の使用により露光装置部品１１３の消耗量、劣化の度合の累積を表す情報であり、露光装置１１２が露光装置部品１１３の各々について収集し管理される情報である。図４（ａ）の参照により部品消耗度情報２０１の一例を説明する。部品消耗度情報２０１は、露光装置部品１１３の各々に対応する部品名７０１と、露光装置部品１１３の各々の部品消耗度７０２とから成る。部品消耗度７０２の単位は部品の性質（属性）に応じて定義される。図４（ａ）の例では、投影光学系を構成するレンズ、レーザ装置（以下、単に「レーザ」ともいう。）、データベーステーブルＡ、ディレクトリＢの部品消耗度が例示されている。これらの部品消耗度を示す指標としては、例えば、前回のメンテナンスからの経過時間、レーザ装置に充填されているガスの濃度、データベーステーブルＡのタプル長と無効タプル長、ディレクトリＢ直下に存在するファイル数などがある。データベーステーブルＡのように、１つの部品に対して複数の変数を用いて部品消耗度を表現する場合もある。部品消耗度は、所定の定数を加減するなどの補正を行うことも可能である。また部品消耗度は図４（ａ）に示す他、稼動量や稼動時間若しくは経過時間の単位当りの消耗量を表す部品消耗率情報２０３にそれぞれの部品の稼働時間を乗じたデータを部品消耗度情報とすることも可能である。
【００３８】
部品消耗率情報２０３は、露光装置部品１１３に関する設計情報であり、稼動量や稼動時間若しくは単位稼動時間当りの消耗量を表す情報である。部品消耗率情報２０３に稼働時間を乗じると、それぞれの部品の部品消耗度を求めることができる。
【００３９】
装置実行計画情報２０４に従って使用予定の部品に関する設計情報を、設計情報を管理するマスターのデータベースから読み出し、部品消耗率情報２０３として予め準備しておくことが可能である。部品消耗率情報２０３は、稼動モードや温度・湿度などの稼動条件に依存する場合もある。例えば、稼動モードや温度・湿度などの稼動条件に従って、異なる条件ごとに、露光装置部品１１３に関する設計情報を準備しておくことが可能である。
【００４０】
図４（ｃ）の参照により部品消耗率情報２０３の一例を説明する。部品消耗率情報２０３は、露光装置部品１１３の各々に対応する部品名９０１と、露光装置部品１１３の各々に対応する部品消耗度９０３を有する。部品消耗度９０３は、部品の稼動モード等の設定条件や湿度などの稼動条件に依存するものであっても良い。
【００４１】
部品消耗閾値情報２１１は、メンテナンスのタイミングを示す情報と、部品を使用することが出来る部品消耗度の限界値を示す情報とを含み、露光装置部品１１３の各部品について設計時に決定される。図４（ｂ）の参照により部品消耗閾値情報２１１の一例を説明する。部品消耗閾値情報２１１は、露光装置部品１１３の各々に対応する部品名８０１、露光装置部品１１３の各々に対応する第１部品消耗閾値８０２および第２部品消耗閾値８０３から成る。第１部品消耗閾値８０２は部品のメンテナンスが必要となる消耗度の限界値を示し、第２部品消耗閾値８０３は稼動可能な限界を示す部品の消耗度の限界値であり、それぞれの単位は部品の性質（属性）に応じて定義される。図４（ｂ）の例ではレンズ、レーザ、データベーステーブルＡ、ディレクトリＢの部品消耗度の単位は、前回メンテナンスからの経過時間、レーザ装置のガスの濃度、データベーステーブルＡの無効タプルの割合、ディレクトリＢ直下に存在するファイル数である。部品消耗度情報２０１と同様に、１つの部品に対して複数の変数を用いて第１部品消耗閾値あるいは第２部品消耗閾値を表現することも可能である。閾値の設定には、所定の安全率を乗じた補正を行うことも可能である。部品消耗度情報２０１と部品消耗閾値情報２１１とには、装置実行計画情報２０４に依らず発生する経時的な消耗が含まれるため、部品使用量情報２１０と、部品消耗度情報２０１と、部品消耗閾値情報２１１とに含まれる部品の集合は必ずしも一致しない。
【００４２】
予測寿命情報２０５はジョブが実行された場合に使用予定の各部品の部品消耗度が第１部品消耗閾値を超えメンテナンスが必要となる、あるいは、第２部品消耗閾値を超え使用できなくなると予想されるタイミングを示す情報である。図４（ｄ）の参照により出力データである予測寿命情報２０５について説明する。図４（ｄ）の実行順番１００１は、露光装置１１２で実行されるジョブの順番を示す。ジョブ種１００２は、露光装置１１２で実行されるジョブの実行の種類を示す。ジョブ所用時間１００３はジョブの実行に要する所用時間である。部品寿命１００４は、ジョブ実行後の部品消耗度の予測値と、部品のメンテナンスが必要になる時期と、寿命時期とを示している。部品寿命１００４において、「○」が部品のメンテナンスが必要な時期に到達していることを、「×」が部品の寿命時期に到達していることを、それぞれ示している。図４（ｄ）の例では、実行順番「０００１１」の露光2ndシーケンスでは、ジョブの所要時間が１０分で、レンズはメンテナンスが必要な時期に到達する（「○」印）。実行順番「０００１２」の露光2ndシーケンスでは、レンズは寿命時期に到達する（「×」印）。図４（ｄ）に示す予測寿命情報２０５は、稼働部品のメンテナンスが必要となることを示す第１閾値情報（第１部品消耗閾値８０２）を、ジョブと稼働部品とに対応付けるリスト情報として機能する。また、稼働部品が稼働できなくなる限界の消耗量に到達することを示す第２予測寿命情報（第２部品消耗閾値８０３）を、ジョブと稼働部品とに対応付けるリスト情報として機能する。
【００４３】
図５は部品寿命予測部２０２の動作を示す。部品寿命予測部２０２はジョブの実行前における稼働部品の消耗量の累積を示す情報に、算出部２１２により実行された第１算出処理により算出された消耗量を示す情報を加える。第１算出処理により算出された消耗量は、予測使用量に単位時間当たりの消耗率を乗じたものである。この演算処理（第２算出処理）により、ジョブの実行後における稼働部品の消耗量の累積を示す情報を算出する。部品寿命予測部２０２は、第２算出処理により算出された稼働部品の消耗量を示す情報が、稼働部品のメンテナンスが必要となる消耗量を示す第１閾値情報以上（第１部品消耗閾値８０２以上）であるか否かを判定する（第１判定処理）。部品寿命予測部２０２は稼働部品の消耗量が第１閾値情報以上（第１部品消耗閾値８０２以上）であると判定された場合に、稼動可能な限界の消耗量を示す第２閾値情報（第２部品消耗閾値８０３）以上であるか否かを判定する（第２判定処理）。稼働部品の消耗量を示す情報が第２閾値情報を超えていない場合、部品寿命予測部２０２は稼働部品のメンテナンスが必要となることを示す第１予測寿命情報を、ジョブと稼働部品とに対応付けるためのリスト情報に登録する。稼働部品の消耗量を示す情報が第２閾値情報以上と判定された場合、部品寿命予測部２０２は稼働部品が稼働できなくなる限界の消耗量に到達することを示す第２予測寿命情報をリスト情報に登録する。
【００４４】
以下、具体的に各ステップの内容を説明する。部品寿命予測部２０２（決定手段）は、図２（ｂ）に示す部品使用量情報２１０の各レコードについて、部品毎にメンテナンス処理の有無を決定する。
【００４５】
ステップＳ１１０３において寿命時期を算出済みであるかチェックする。寿命時期が算出済みの場合は（Ｓ１１０３−Ｙｅｓ）、処理をステップＳ１１１０に進め、次の部品について同様の処理を行う（Ｓ１１１０、Ｓ１１０２）。一方、寿命時期が未算出の場合は（Ｓ１１０３−Ｎｏ）、処理をステップＳ１１０４に進める。Ｓ１１０４において、現ジョブにおける部品使用量４０３〜４０５と、ジョブ所用時間４０６と、前ジョブの終了時点の部品使用量から、図４（ｃ）に示す部品消耗率情報２０３を用いて、現ジョブの終了時点の部品使用量の予測値を算出する。
【００４６】
ステップＳ１１０５において、ステップＳ１１０４で算出された部品使用量の予測値と、第１部品消耗閾値８０２と、の比較を行う。部品使用量の予測値が第１部品消耗閾値８０２を超えない場合には、ステップＳ１１０９においてジョブ実行後の部品使用量の予測値を部品寿命１００４に記録する（図４（ｄ））。一方、ステップＳ１１０５において、部品使用量の予測値が第１部品消耗閾値８０２以上となる場合には、ステップＳ１１０６において、部品使用量の予測値と第２部品消耗閾値８０３との比較を行う。ステップＳ１１０６において、部品使用量の予測値が第２部品消耗閾値以上となる場合には、ステップＳ１１０８において、寿命時期に到達していることを部品寿命１００４に記録する（図４（ｄ））。ステップＳ１１０６において、部品使用量の予測値が第２部品消耗閾値を超えない場合には、ステップＳ１１０７において、メンテナンスが必要なことを部品寿命１００４に記録する（図４（ｄ））。ステップＳ１１０９において、評価の対象となっている現ジョブ実行後の部品使用量の予測値を部品寿命１００４に記録する（図４（ｄ））。
【００４７】
ステップＳ１１０２からＳ１１１０まで、部品使用量情報２１０に含まれる各部品毎の処理が完了すると、次のジョブの部品使用量情報２１０に含まれる各部品毎の処理について同様の処理を行い、全てのジョブについての処理の完了により本処理は終了する。
【００４８】
メンテナンス計画部２０７は、部品消耗度情報２０１、予測寿命情報２０５、装置実行計画情報２０４及び部品回復情報２０６を入力情報として、メンテナンス計画情報２０８をメンテナンスの計画を示す情報を生成し、出力する。
【００４９】
図６（ａ）の参照により部品回復情報２０６の一例を説明する。部品回復情報２０６は、露光装置部品１１３の各々について設計時に決定される。部品回復情報２０６は、露光装置部品１１３の各々に対応する部品名１３０１、露光装置部品１１３の各々に対応する部品回復所用時間１３０３および部品回復手段１３０４から成る。消耗した稼働部品のメンテナンスあるいは稼働部品の交換により回復するための要する部品回復所用時間１３０３は、各部品の部品消耗度である変数１３０２の関数で表される。
【００５０】
メンテナンス計画情報２０８は、露光装置部品１１３のメンテナンスを行うためのスケジュールを示す情報である。露光装置部品１１３の消耗量が第２閾値情報を超えていないと判定された場合に、露光装置部品１１３のメンテナンスが必要となることを示す第１予測寿命情報（「○」印）は、メンテナンス計画情報２０８に登録される。メンテナンス計画情報２０８は、生産ジョブとメンテナンスの対象となる露光装置部品１１３と、第１予測寿命情報と、を対応付けるためのリスト情報となる。
【００５１】
露光装置部品１１３の消耗量が第２閾値情報以上と判定された場合に、露光装置部品１１３が稼働できなくなる限界の消耗量に到達することを示す第２予測寿命情報（「×」印）がメンテナンス計画情報２０８に登録される。メンテナンス計画情報２０８は、生産ジョブとメンテナンスの対象となる露光装置部品１１３と、第２予測寿命情報と、を対応付けるためのリスト情報となる。
【００５２】
図６（ｂ）の参照により、出力データであるメンテナンス計画情報２０８を説明する。実行順番１４０１は、露光装置１１２で実行されるジョブの順番を示す情報である。ジョブ種１４０２は、実行されるジョブの種類を示す情報である。ジョブ所用時間１４０３は、ジョブの実行に要する所用時間である。メンテナンススケジュール１４０４は、露光装置部品１１３のそれぞれのメンテナンス実施予定と、メンテナンスの所用時間とを示している。図６（ｂ）の例では、実行順番「０００１１」の露光２ｎｄシーケンスのジョブの後に、レンズとレーザのメンテナンスを同時並行に実施するスケジュール計画であり、メンテナンスのそれぞれの所用時間は１５分、１０分である。
【００５３】
図７の参照によりメンテナンス計画部２０７の動作を説明する。ＣＰＵ１０１の全体的な制御の下に、メンテナンス計画部２０７は図７に示す処理を実行する。メンテナンス計画部２０７はリスト情報（図４（ｄ））に第２部品消耗閾値８０３が登録されている場合に、ジョブの実行前に、第２部品消耗閾値８０３が登録されている稼働部品のメンテナンスを行うように保守計画情報を生成する。以下、具体的に各ステップの処理を説明する。メンテナンス計画部２０７は図４（ｄ）に示す予測寿命情報２０５の各レコードについて、実行順番１００１の順番に、ステップＳ１５０１からステップＳ１５１７までの処理を行う。
【００５４】
ステップＳ１５０２においてメンテナンス部品リストを初期化する。ステップＳ１５０３において寿命部品リストを初期化する。メンテナンス部品リストと寿命部品リストは、メンテナンス計画部２０７の実行時に一時的に使用されるテーブルである。図５のステップＳ１１０６の判定により（Ｓ１１０６−Ｎｏ、Ｓ１１０７）、メンテナンスが必要とされる部品はメンテナンス部品リストに保持される。また、図５のステップＳ１１０６の判定により（Ｓ１１０６−Ｙｅｓ、Ｓ１１０８）、寿命時期が到来する部品は寿命部品リストに保持される。
【００５５】
ステップＳ１５０４からＳ１５０９までは、図４（ｄ）に示される部品寿命１００４の各部品毎に実行される処理である。ステップＳ１５０５において、部品寿命１００４に「○」が記録されている場合（部品のメンテナンスが必要な時期に到達している場合）に、メンテナンスが必要と判断し、ステップＳ１５０６においてメンテナンス部品リストに部品を追加する。ステップＳ１５０７において、予測寿命１０００の次のレコードで、該当部品の部品寿命１００４に「×」が記録されている場合（部品の寿命時期に到達している場合）に、次ジョブの実行中に寿命期限が来ると判断する。そして、ステップＳ１５０８において寿命部品リストに、「×」が記録されている該当部品を追加する。
【００５６】
ステップＳ１５１０において寿命部品リストが空でないかチェックし、空の場合は、予測寿命１０００の次の順番のジョブについて処理を行う。空でない場合は（Ｓ１５１０−Ｙｅｓ）、ステップＳ１５１１からステップＳ１５１５まで、メンテナンス部品リストに含まれる各部品について処理を行う。
【００５７】
ステップＳ１５１２において、メンテナンス部品リストに含まれる部品が寿命部品リストに含まれない場合（Ｓ１５１２−Ｎｏ）、処理はステップＳ１５１３に進められる。そして、ステップＳ１５１３において、当該部品のメンテナンス時間が、寿命部品リストに含まれる他の部品よりもメンテナンス時間が長い場合（Ｓ１５１３−Ｙｅｓ）、処理はステップＳ１５１４に進められる。ステップＳ１５１４において、当該部品をメンテナンス部品リストから削除する。
【００５８】
ステップＳ１５１２において、メンテナンス部品リストに含まれる部品が寿命部品リストに含まれている場合は（Ｓ１５１２−Ｙｅｓ）、ステップＳ１５１５に処理が進められる。メンテナンス部品リストに登録されている次の部品について同様の処理を繰り返す。また、ステップＳ１５１３において、当該部品のメンテナンス時間が、寿命部品リストに含まれる他の部品よりもメンテナンス時間が短い場合（Ｓ１５１３−Ｎｏ）、処理はステップＳ１５１５に進められる。そして、メンテナンス部品リストに登録されている次の部品について同様の処理を繰り返す。
【００５９】
ステップＳ１５１６の段階で、１つ以上の部品がメンテナンス部品リストに含まれている。メンテナンス部品リストに含まれる部品について、メンテナンス実施とメンテナンスの所要時間をメンテナンススケジュール１４０４に登録し（図６（ｂ））、処理を終了する。
【００６０】
ある部品が（Ｎ＋１番目：Ｎ自然数）のジョブ実行中に第２部品消耗閾値８０３に達すると予測されている場合に、メンテナンス計画部２０７は直前の（Ｎ番目）のジョブ終了後に当該部品のメンテナンスを実行する計画を立てる。同一のジョブにおいて、異なる稼働部品について第２予測寿命情報（第２部品消耗閾値８０３）がリスト情報に登録されている場合を想定する。この場合、メンテナンス計画部２０７は、（Ｎ＋１番目）のジョブの実行前（（Ｎ番目）のジョブ終了後）に、異なる稼働部品のすべてのメンテナンスを行うように保守計画情報を生成する。
【００６１】
また、異なるジョブにおいて、異なる稼働部品について第２予測寿命情報（第２部品消耗閾値８０３）がリスト情報に登録されている場合を想定する。メンテナンス計画部２０７は、最初に稼働部品のメンテナンスを行うタイミングで、異なる稼働部品のすべてのメンテナンスを行うように保守計画情報を生成する。
【００６２】
また、第２部品消耗閾値に達しておらず第１部品消耗閾値に達している稼動部品が２つ以上ある場合において、その１つを第１稼動部品として第１稼動部品の第１メンテナンス処理中に、第１メンテナンスの所要時間以下の所要時間で処理できるメンテナンス（第２稼動部品に対する第２メンテナンス）を実施する。
【００６３】
ここで、第１稼働部品について第１予測寿命情報（第１部品消耗閾値８０２）がリスト情報に登録されており、第２稼働部品について第２予測寿命情報（第２部品消耗閾値８０３）がリスト情報に登録されている場合を想定する。
【００６４】
メンテナンス計画部２０７は、設計情報として登録されている第１稼働部品のメンテナンスに要する時間と、第２稼働部品のメンテナンスに要する時間とを比較する。そして、第１稼働部品のメンテナンスに要する時間が短い場合に、メンテナンス計画部２０７は第２稼働部品のメンテナンスが行われるタイミングで第１稼働部品のメンテナンスも行うように保守計画情報を生成する。
【００６５】
メンテナンス実行部２０９は、メンテナンス計画情報２０８に基づいて、必要なタイミングで露光装置１１２にメンテナンス実行指示情報２１３を出し、また出力装置１１０にメンテナンス手順の表示を行なう。
【００６６】
図６（ｃ）の１６０１は、メンテナンス実行指示情報２１３の一例を示す図である。ＩＤ１６０２には、装置実行計画情報２０４のジョブの投入順番３０３（図２（ａ）の２Ａ）に対応するジョブの識別ＩＤと、メンテナンスの識別情報と、が表示される。ジョブＩＤ「０００１１」の実行後に、メンテナンスＩＤ「Ｍ０００１」（所要時間「１５分」）を実行するということが示されている。ジョブ種１６０３は露光装置に投入される予定のジョブの種類が示されており、「露光2ndシーケンス」の後に、「メンテナンス」が実行される。ジョブ種が「メンテナンス」に対応する所用時間１６０４には、メンテナンスに要する時間の予想値のデータが格納される。
【００６７】
メンテナンスの詳細な内容を、図６（ｃ）のメンテナンス詳細リスト１６０５の参照により説明する。ＩＤ１６１２は、ＩＤ１６０２におけるメンテナンスのＩＤに対応するものである。メンテナンスＩＤ１６０６は、メンテナンス処理の識別ＩＤであり、ＩＤ「Ｍ０００１０」に対応するメンテナンスには、メンテナンスＩＤ（Ｍ０００１＿０１〜０３）で示されるものが含まれる。メンテナンス部品１６０７はメンテナンス対象の部品名を示す。メンテナンス手段１６０８は、メンテナンスを行うためのやり方を示すものである。例えば、「レンズ」のメンテナンスでは、レンズの光軸調整を行うことを示し、「レーザ」のメンテナンスでは、レーザガスの再充填を行うことが示されている。自動／手動１６０９は、メンテナンスを自動で実行するか、または手動で実行するかを区別するための情報である。手順詳細１６１０はメンテナンス処理の詳細手順であり、所要時間１６１１はメンテナンス処理に要する時間の予想値である。
【００６８】
図８の参照により、メンテナンス実行部２０９の動作を説明する。ＣＰＵ１０１の全体的な制御の下に、メンテナンス実行部２０９は図８に示す処理を実行する。メンテナンス実行部２０９は、図６（ｂ）のメンテナンス計画１４００の各レコードについて、実行順番１４０１の順に、ステップＳ１７０１からステップＳ１７１１までの処理を行う。
【００６９】
ステップＳ１７０２において、メンテナンス計画情報に記録されている各行のデータについて、露光装置１１２により実行される生産ジョブのデータであるか、メンテナンスのジョブのデータであるかを判定する。メンテナンスに関する情報でない場合（投入された生産ジョブに関する情報である場合）には、処理をステップＳ１７１０に進める。
【００７０】
ステップＳ１７１０において、メンテナンス予定１６０１（図６（ｃ））に、生産ジョブを示すＩＤ１６０２、生産ジョブのジョブ種１６０３、生産ジョブの所用時間１６０４をメンテナンス実行指示情報２１３に記録する（図６（ｃ）の１６０１）。例えば、図６（ｃ）の１６０１において、ＩＤ「０００１０」、「０００１１」に対応する内容のデータが記録される。そして、処理はステップＳ１７１１に進められ、メンテナンス計画情報に記録されている各行のデータについて、同様の処理が繰り返され、各行のデータについて同様の処理が終了した場合に、処理はステップＳ１７１２に進められる。
【００７１】
一方、ステップＳ１７０２において、メンテナンスに関する情報と判定された場合に（Ｓ１７０２−Ｙｅｓ）、処理はステップＳ１７０３に進められる。ステップＳ１７０３において、メンテナンス実行用のＩＤ（例えば、図６（ｃ）の「Ｍ０００１」に対応する）を発行し、ＩＤ１６０２、ジョブ種１６０３、所用時間１６０４の情報をメンテナンス実行指示情報２１３に記録する（図６（ｃ）の１６０１）。このときメンテナンス計画１４００（図６（ｂ））に記録されているメンテナンススケジュール１４０４の中の最長となるジョブ所要時間（図６（ｂ）の場合「１５分」）が所要時間として選択される。
【００７２】
ステップＳ１７０４からステップＳ１７０９までは、メンテナンス計画１４００に記録されているメンテナンススケジュール１４０４の各部品について処理を行う。
【００７３】
ステップＳ１７０５において、メンテナンスを実施する場合（Ｓ１７０５−Ｙｅｓ）、処理をステップＳ１７０６に進め、ステップＳ１７０６においてメンテナンスＩＤを発行する。そして、ステップＳ１７０７において、部品回復情報（図６（ａ））から該当する部品の部品回復手段１３０４に記録されている情報を取得する。
【００７４】
ステップＳ１７０８において、メンテナンス詳細リスト１６０５に、先のステップＳ１７０７で取得した部品回復手段１３０４に記録されている情報を記録する。メンテナンス計画１４００に記録されているメンテナンススケジュール１４０４の各部品についての処理が終了すると、処理はステップＳ１７１２に進められる。
【００７５】
ステップＳ１７１２において、露光装置１１２にメンテナンス実行指示情報２１３を送信し、ステップＳ１７１３において、メッセージ送信装置１１４にメンテナンス実行指示情報２１３を送信する。そして、ステップＳ１７１４において、出力装置１１０にメンテナンス実行指示情報２１３を出力する。
【００７６】
以上に示した構成により、必要な装置部品のメンテナンスを行い、かつ露光装置の稼動停止時間を最小にすることが出来る。
【００７７】
なお、本実施形態では、部品回復手段１３０４により個々の部品を独立にメンテナンスを行なうことが出来るものとしたが、メンテナンス手順について部品間に制約が存在する場合を考慮しても良い。例えば、部品Ａと部品Ｂのメンテナンスは必ず同時に行なう、或いは部品Ｂのメンテナンスは部品Ａのメンテナンス終了後に連続して行なう等の制約が考えられる。その場合にはメンテナンス計画部２０７の動作フローにおいて制約を考慮し、また、メンテナンス詳細リスト１６０５にメンテナンス手順の情報を含めることによって、制約を満たすメンテナンス計画の作成と実施が可能である。
【００７８】
本実施形態では、メンテナンスを生産ジョブと他の生産ジョブとの間に行なうものとして説明したが、ある生産ジョブを実行中に並行してメンテナンスを行うことが可能な部品については、生産ジョブの実行中に並行してメンテナンスを行うことも可能である。その場合には、メンテナンス計画部２０７は、ジョブ実行中に部品のメンテナンスを行うメンテナンス計画１４００を作成すればよい。
【００７９】
本実施形態に拠れば、保守管理の対象となる生産装置が実行すべき生産ジョブの内容を考慮してメンテナンスを実行する計画を生成し、生産装置の保守管理を行う情報処理技術の提供が可能になる。
【００８０】
（その他の実施例）
また、本発明は、以下の処理を実行することによっても実現される。即ち、上述した実施形態の機能を実現するソフトウェア（プログラム）を、ネットワーク又は各種記憶媒体を介してシステム或いは装置に供給し、そのシステム或いは装置のコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ等）がプログラムを読み出して実行する処理である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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