(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
切断された剥離テープの一端を把持し、前記剥離テープの他端を被貼付部材に貼り付けられたシートに貼り付けて、前記剥離テープを引っ張ることで前記シートを折り返して前記被貼付部材から剥離する際に用いられるテープ把持機構であって、
第１の把持手段と、
第２の把持手段と、
前記剥離テープが接触する領域に設けられ、エアーによって前記剥離テープが接触する領域から前記剥離テープを剥離する剥離手段と、
前記剥離テープが接触する領域に形成された非粘着手段と、
を備え、
前記第１の把持手段の把持面は凸部を有し、前記第２の把持手段の把持面は前記凸部と対応する凹部を有し、
前記剥離テープの一端から他端に向かう方向と直交する方向を前記剥離テープの横断方向とすると、前記テープ把持機構は、前記剥離テープを前記横断方向に曲げて把持するテープ把持機構。
【請求項２】
切断された剥離テープの一端を把持し、前記剥離テープの他端を被貼付部材に貼り付けられたシートに貼り付けて、前記剥離テープを引っ張ることで前記シートを折り返して前記被貼付部材から剥離する際に、前記剥離テープの一端から他端に向かう方向と直交する方向を前記剥離テープの横断方向とすると、前記剥離テープを前記横断方向に曲げて把持するテープ把持機構であって、
第１の把持手段と第２の把持手段とを備えており、前記第１の把持手段の把持面は凸部を有し、前記第２の把持手段の把持面は前記凸部と対応する凹部を有し、
前記第１の把持手段の把持面及び前記第２の把持手段の把持面は、部分的に水平面が形成されているテープ把持機構。
【請求項３】
前記剥離テープが接触する領域には、前記領域から前記剥離テープを剥離する剥離手段を備える請求項２に記載のテープ把持機構。
【請求項４】
前記剥離手段は、エアーによって前記剥離テープを剥離する請求項３に記載のテープ把持機構。
【請求項５】
前記剥離テープが接触する領域には、非粘着手段を備える請求項２乃至４のいずれか１項に記載のテープ把持機構。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載のテープ把持機構を備えるシート剥離装置。
【請求項７】
前記剥離テープの他端を前記シートに押し付ける押圧手段を備える請求項６に記載のシート剥離装置。
【請求項８】
剥離テープが接触する領域に非粘着手段を有するテープ把持手段によって、前記剥離テープの一端を把持する工程と、
前記剥離テープの他端を被貼付部材に貼り付けられたシートに貼り付ける工程と、
前記剥離テープを引っ張ることで前記シートを折り返して前記被貼付部材から剥離する工程と、
前記シートを前記被貼付部材から剥離した後に、エアーによって前記剥離テープと前記テープ把持手段との接触状態を解除する工程と、
を備え、
前記剥離テープの一端から他端に向かう方向と直交する方向を前記剥離テープの横断方向とすると、前記剥離テープの一端を把持する工程では、前記剥離テープを前記横断方向に曲げて把持するシート剥離方法。
【請求項９】
剥離テープの一端を把持する工程と、
前記剥離テープの他端を被貼付部材に貼り付けられたシートに貼り付ける工程と、
前記剥離テープを引っ張ることで前記シートを折り返して前記被貼付部材から剥離する工程と、を備え、
前記剥離テープの一端から他端に向かう方向と直交する方向を前記剥離テープの横断方向とすると、前記剥離テープの一端を把持する工程では、前記剥離テープを前記横断方向に曲げると共に、部分的に水平部分を前記剥離テープに形成するシート剥離方法。
【請求項１０】
前記シートを前記被貼付部材から剥離した後に、エアーによって前記剥離テープと前記剥離テープの一端を把持するテープ把持手段との接触状態を解除する工程を備える請求項９に記載のシート剥離方法。
【請求項１１】
前記剥離テープを前記シートに貼り付ける工程では、前記剥離テープの他端を押圧手段によって前記シートに押し付ける請求項８乃至１０のいずれか１項に記載のシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープ把持機構、シート剥離装置及びシート剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
チップを製造する際に、半導体ウエハ（以下、単にウエハと省略する。）を研削したり、ウエハをダイシングしたり、する工程が含まれる。このように、ウエハを研削する際に、ウエハの表面が研削液で汚染されないように、ウエハの表面（回路面）を保護するためのバックグラインド（ＢＧ）テープ等の保護テープやウエハの裏面を保護するためのＬＣテープが貼り付けられる。また、ウエハを研削した後に当該ウエハをダイシングするにあたり、個片化されたチップが飛散しないように、ウエハの裏面にダイシングテープが貼り付けられる。なお、以降、保護テープ、ＬＣテープ、ダイシングテープ等を総称してシートと記述する。
【０００３】
ここで、ウエハの表面を保護するシートは当該ウエハの研削後に剥離する。例えば特許文献１の剥離装置は、剥離テープの一端を把持したテープ把持手段を移動させ、剥離テープの他端をウエハに貼り付けられたシートに貼り付けて、剥離テープを引っ張ることでシートを折り返してウエハから剥離している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１７３４９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の剥離装置は、剥離テープの一端を把持した際に、当該剥離テープの他端が垂れ下がってしまい、剥離テープの他端をシートに良好に貼り付けることが難しい。
【０００６】
本発明の目的は、上述した課題を解決するためになされたものであり、剥離テープを良好にシートに貼り付けることができる、テープ把持機構、シート剥離装置及びシート剥離方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一形態に係るテープ把持機構は、切断された剥離テープの一端を把持し、前記剥離テープの他端を被貼付部材に貼り付けられたシートに貼り付けて、前記剥離テープを引っ張ることで前記シートを折り返して前記被貼付部材から剥離する際に用いられるテープ把持機構であって、前記剥離テープの一端から他端に向かう方向と直交する方向を前記剥離テープの横断方向とすると、前記テープ把持機構は、前記剥離テープを前記横断方向に曲げて把持する。
【０００８】
本発明の一形態に係るシート剥離装置は、上述のテープ把持機構を備える。
【０００９】
本発明の一形態に係るシート剥離方法は、剥離テープの一端を把持する工程と、前記剥離テープの他端を被貼付部材に貼り付けられたシートに貼り付ける工程と、前記剥離テープを引っ張ることで前記シートを折り返して前記被貼付部材から剥離する工程と、を備え、前記剥離テープの一端から他端に向かう方向と直交する方向を前記剥離テープの横断方向とすると、前記剥離テープの一端を把持する工程では、前記剥離テープを前記横断方向に曲げて把持する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、剥離テープを良好にシートに貼り付けることができる、テープ把持機構、シート剥離装置及びシート剥離方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るシート剥離装置を示す構成ブロック図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るテープ把持機構を示す上方斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係るテープ把持機構における、第１の把持部を示す上方斜視図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係るテープ把持機構を示す正面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係るテープ把持機構における、第２の把持部を示す上方斜視図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係るシート剥離装置を用いて、ウエハに貼り付けられたシートを剥離する動作を示す図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態に係るテープ把持機構における、ウエハに貼り付けられたシートを剥離する際の正面図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係るテープ把持機構における、第２の把持部を示す上方斜視図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係るテープ把持機構における、第２の把持部を示す下方斜視図である。
【図１０】本発明の第３の実施の形態に係るテープ把持機構における、第２の把持部を示す上方斜視図である。
【図１１】本発明の第３の実施の形態に係るテープ把持機構における、第２の把持部を示す下方斜視図である。
【図１２】本発明の第４の実施の形態に係るシート剥離装置における、押圧部を示す図である。
【図１３】本発明の第４の実施の形態に係るシート剥離装置における、押圧部の動作を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の実施の形態に係るテープ把持機構、シート剥離装置及びシート剥離方法について説明する。但し、本発明が以下の実施の形態に限定される訳ではない。また、説明を明確にするため、以下の記載及び図面は、適宜、簡略化されている。さらに、以下の説明における、上下方向、左右方向及び前後方向はテープ把持機構の使用形態によって適宜変更される。
【００１３】
＜第１の実施の形態＞
本実施の形態のテープ把持機構、シート剥離装置及びシート剥離方法は、ウエハの裏面を研削する際に当該ウエハの表面を保護するために貼り付けられるシートを剥離する際に好適に用いられる。ちなみに、ウエハ６は一般的なウエハと同様に円盤形状であるが、形状は特に限定されない。
【００１４】
先ず、シート剥離装置の構成を説明する。図１に示すように、シート剥離装置１は、移動部２、テープ把持部（テープ把持機構）３、制御部４を備えている。
【００１５】
移動部２は、図６（ａ）〜（ｅ）に示すように、テープ把持部３が剥離テープ５の一端を把持した状態で、当該剥離テープ５の他端をウエハ６に貼り付けられたシート７に貼り付け、剥離テープ５を引っ張ることでシート７を折り返してウエハ６から剥離するように、テープ把持部３を移動させる。
【００１６】
ちなみに、剥離テープ５は、シート７に貼り付け可能な部材であれば特に限定されず、例えば接着剤や静電気吸引等の手法によってシート７に貼り付けられる。本実施の形態の剥離テープ５は、下面がシート７に貼り付けられる貼付面とされる。
【００１７】
この移動部２は、制御部４の制御に基づいて動作する。移動部２としては、ロボットアームを好適に用いることができるが、テープ把持部３を上下方向、左右方向及び前後方向に移動させることができ、且つ上下方向を規定する軸、左右方向を規定する軸及び前後方向を規定する軸を中心に回転させることができる構成であれば良い。
【００１８】
テープ把持部３は、剥離テープ５の他端をウエハ６に貼り付けられたシート７に貼り付けて、剥離テープ５を引っ張ることでシート７を折り返してウエハ６から剥離するために、図２に示すように、短冊状に切断された剥離テープ５の一端を把持する。
【００１９】
本実施の形態のテープ把持部３は、第１の把持部８、第２の把持部９、ベース部１０を備えている。第１の把持部８は、第２の把持部９とで剥離テープ５の一端を把持する。本実施の形態の第１の把持部８は、上下方向に移動可能にベース部１０に設けられている。詳細には、第１の把持部８は、ベース部１０の側部で上下方向に移動する。この第１の把持部８の下面に形成される把持面８ａは、図３に示すように、左右方向に湾曲しており、下方に向かって凸状に形成されている。例えば第１の把持部８の把持面８ａは、円弧形状とされている。
【００２０】
第２の把持部９は、ベース部１０に設けられている。詳細には、第２の把持部９は、図４に示すように、ベース部１０の下部から略水平方向に突出しており、この突出する部分が第１の把持部８と上下方向に重なる。この第２の把持部９の上面に形成される把持面９ａは、第１の把持部８の把持面８ａと対応する形状とされている。つまり、第２の把持部９の把持面９ａは、図５に示すように、左右方向に湾曲しており、下方に向かって凹状に形成されている。例えば第２の把持部９の把持面９ａは、円弧形状とされている。
【００２１】
これにより、第１の把持部８の把持面８ａを上方に移動させて第２の把持部９の把持面９ａとの間に剥離テープ５の一端を配置し、第１の把持部８の把持面８ａを下方に移動させて、第１の把持部８の把持面８ａと第２の把持部９の把持面９ａとで、剥離テープ５の一端を把持すると、図２に示すように、剥離テープ５は、横断方向（左右方向）の断面が下方に向かって凸状に湾曲した形状となる。そのため、剥離テープ５の上下方向への剛性が高くなり、剥離テープ５の他端が垂れ下がることを抑制することができる。よって、剥離テープ５の他端の位置を制御し易く、剥離テープ５の他端を良好にシート７に貼り付けることができる。
【００２２】
ちなみに、テープ把持部３は、剥離テープ５の一端を把持した際に、横断方向の中央部近傍を略水平面とすることが好ましい。例えば第１の把持部８の把持面８ａ及び第２の把持部９の把持面９ａに部分的に水平面が形成される。これにより、第１の把持部８の把持面８ａと第２の把持部９の把持面９ａとで剥離テープ５の一端を把持した際に水平部分が形成され、剥離テープ５の他端をシート７に確実に貼り付けることができる。
【００２３】
制御部４は、テープ把持部３が剥離テープ５の一端を把持した状態で、剥離テープ５の他端をウエハ６に貼り付けられたシート７に貼り付けて、剥離テープ５を引っ張ることでシート７を折り返してウエハ６から剥離するように、移動部２及びテープ把持部３を制御する。
【００２４】
次に、シート剥離装置１を用いてシート７をウエハ６から剥離する工程を説明する。図６（ａ）〜（ｅ）に示すように、先ず表面にシート７が貼り付けられたウエハ６を所定のステージ１１上に載置する（図６（ａ））。ステージ１１は図示を省略した吸引装置を備えており、当該吸引装置はウエハ６を下方から吸引して位置固定する。このとき、制御部４は、センサ等によってシート７が貼り付けられたウエハ６がステージ１１上に載置されたことを検出し、吸引装置を制御する。
【００２５】
次に、制御部４は、シート７が貼り付けられたウエハ６がステージ１１上に載置されたことを検出すると、剥離テープの送り出し装置１２を制御し、短冊状の剥離テープ５を送り出す（図６（ｂ））。送り出し装置１２は、ロール状に連続して巻き付けられた剥離テープを、制御部４の制御に基づいて所定長さ送り出して切断し、排出口から切断された剥離テープ５の一端を排出する。
【００２６】
次に、制御部４は、移動部２及びテープ把持部３を制御し、テープ把持部３の第１の把持部８と第２の把持部９とで剥離テープ５の一端を把持させる（図６（ｃ））。そして、制御部４は、移動部２を制御し、剥離テープ５の他端をウエハ６に貼り付けられたシート７に貼り付ける（図６（ｄ））。このとき、剥離テープ５の他端は、実質的にウエハ６における直径の端部に貼り付けられることが好ましい。
【００２７】
次に、制御部４は、移動部２を制御し、テープ把持部３で剥離テープ５を矢印Ａ方向に引っ張ることで、図７に示すように、シート７を折り返してウエハ６から剥離する（図６（ｅ））。このとき、移動部２は、上述したウエハ６の当該直径における一方の端部から他方の端部を超えた位置まで実質的に移動することが好ましい。但し、ウエハ６からシート７を良好に剥離することができれば、剥離テープ５の貼付位置やテープ把持部３の移動経路は特に限定されない。
【００２８】
その後、図示は省略するが、制御部４は、移動部２及びテープ把持部３を制御し、シート７が貼り付けられた剥離テープ５を所定の場所に廃棄する。ここで、剥離テープ５がテープ把持部３から廃棄されたことは、テープ把持部３に設けられた接触センサ１３（図２）等によって検出されることが好ましい。但し、剥離テープ５がテープ把持部３から廃棄されたことを検出することができれば手段は特に限定しない。
【００２９】
このようなテープ把持機構、シート剥離装置及びシート剥離方法は、第１の把持部８の把持面８ａと第２の把持部９の把持面９ａとで剥離テープ５の一端を把持すると、剥離テープ５の横断方向（左右方向）の断面を湾曲した形状とすることができる。そのため、剥離テープ５の上下方向への剛性が高くなり、剥離テープ５の他端が垂れ下がることを抑制することができる。よって、剥離テープ５の他端の位置を制御し易く、剥離テープ５の他端を良好にシート７に貼り付けることができる。
【００３０】
＜第２の実施の形態＞
本実施の形態のテープ把持部は、シートをウエハから剥離した後に剥離テープをテープ把持部から良好に剥離することができる構成とされている。なお、本実施の形態のテープ把持部の他の構成は、第１の実施の形態のテープ把持部と同様の構成とされているため、重複する説明は省略し、同一の構成要素は同一の符号を用いて説明する。
【００３１】
図７に示すように、テープ把持部３で剥離テープ５を把持した際、及びシート７を折り返した際に、テープ把持部３の第２の把持部９には、剥離テープ５の貼付面が接触する。そのため、シート７が貼り付けられた剥離テープ５を廃棄するべく、第１の把持部８と第２の把持部９との把持状態を解除、即ち第１の把持部８の把持面８ａと第２の把持部９の把持面９ａとを離間させても、第２の把持部９に剥離テープ５が貼り付いて当該剥離テープ５を良好に廃棄することができない。
【００３２】
そこで、図８及び図９に示すように、本実施の形態の第２の把持部２０は、剥離部２１を備えている。剥離部２１は、例えばエアーによって剥離テープ５を第２の把持部２０から剥離する。具体的に云うと、剥離部２１は、第２の把持部２０における剥離テープ５が接触する領域に形成されたエアー吹き出し口２１ａからエアーを吹き出す。この剥離部２１は制御部４によって制御され、シート７が貼り付けられた剥離テープ５を廃棄する際に動作する。
【００３３】
これにより、シート７が貼り付けられた剥離テープ５を廃棄する際に、剥離テープ５を第２の把持部２０から確実に剥離させることができ、作業性の向上に寄与できる。
【００３４】
＜第３の実施の形態＞
本実施の形態のテープ把持部も、シートをウエハから剥離した後に剥離テープをテープ把持部から良好に剥離することができる構成とされている。なお、本実施の形態のテープ把持部の他の構成は、第１の実施の形態のテープ把持部と同様の構成とされているため、重複する説明は省略し、同一の構成要素は同一の符号を用いて説明する。
【００３５】
図７に示すように、テープ把持部３で剥離テープ５を把持した際、及びシート７を折り返した際に、テープ把持部３の第２の把持部９には、剥離テープ５の貼付面が接触する。そのため、シート７が貼り付けられた剥離テープ５を廃棄するべく、第１の把持部８と第２の把持部９との把持状態を解除しても、第２の把持部９に剥離テープ５が貼り付いて当該剥離テープ５を良好に廃棄することができない。
【００３６】
そこで、図１０及び図１１に示すように、本実施の形態の第２の把持部３０は、非粘着部３１を備えている（図１０及び図１１の斜線部分）。例えば、非粘着部３１として、第２の把持部３０における剥離テープ５が接触する領域に表面加工を施し、剥離テープ５との接触面積を低減している。例えば、非粘着部３１として、第２の把持部３０における剥離テープ５が接触する領域を、エンボス加工のように多数の凹凸に形成することにより、剥離テープ５の接着面に接する面積をできる限り小さくしている。
【００３７】
これにより、シート７が貼り付けられた剥離テープ５を廃棄する際に、剥離テープ５を第２の把持部３０から確実に剥離させることができ、作業性の向上に寄与できる。
【００３８】
ちなみに、当該凹凸面にテフロン（登録商標）等の非粘着処理を施すと、剥離テープ５との粘着性をより低下させることができる。
【００３９】
＜第４の実施の形態＞
本実施の形態のシート剥離装置は、剥離テープの他端をシートに良好に貼り付けることができる構成とされている。なお、本実施の形態のシート剥離装置の他の構成は、第１の実施の形態のシート剥離装置と同様の構成とされているため、重複する説明は省略し、同一の構成要素は同一の符号を用いて説明する。
【００４０】
本実施の形態のシート剥離装置は、移動部２、テープ把持部３、制御部４に加えて、図１２に示すように、押圧部４０を備えている。例えば、押圧部４０は、ローラ４０ａを備えており、当該ローラ４０ａで剥離テープ５の他端をシート７に押圧する。
【００４１】
押圧部４０は、図１２及び図１３に示すように、ローラ４０ａが上下方向及び前後方向に移動可能であって、且つ前後方向を規定する軸と左右方向を規定する軸とを含む平面内で回転可能な構成とされているが好ましい。
【００４２】
この押圧部４０は、制御部４によって制御される。詳細には、押圧部４０は、図１３に示すように、剥離テープ５の他端を押圧しない場合は、ローラ４０ａが前後方向に配置され、テープ把持部３が剥離テープ５の他端をシート７に貼り付けるために所定の位置に配置されると、ローラ４０ａが水平方向に回転して左右方向に配置される。そして、ローラ４０ａが下方に移動させられ、剥離テープ５の他端に接触した状態で、前方に移動させられる。これにより、ローラ４０ａによって剥離テープ５の他端はシート７に押し付けられ、剥離テープ５の他端をシート７に確実に貼り付けることができる。
【００４３】
その後、ローラ４０ａは後方に移動させられて、剥離テープ５の他端に最初に接触した位置で上方に移動させられる。そして、ローラ４０ａは、水平方向に回転して前後方向に配置される。これにより、ローラ４０ａがシート７上から排除され、テープ把持部３を良好に移動させることができる。
【００４４】
本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
上記第１〜第４の実施の形態を組み合わせて実施することができる。
上記第１〜第４の実施の形態の剥離テープは、下方に向かって凸状に曲げているが、上方に向かって凸状に曲げても良い。要するに、剥離テープの他端の垂れ下がりを抑制することができれば、湾曲形状は波型状、鋭角、又は鈍角等でも良い。
上記第１〜第４の実施の形態では、ウエハに貼り付けたシートを剥離しているが、シートが貼り付けられる部材は特に限定されない。
上記第１〜第４の実施の形態では、被貼付部材の表面に貼り付けたシートを剥離しているが、被貼付部材の裏面に貼り付けたシートを剥離する場合も同様に実施することができる。
上記第１〜第４の実施の形態は、被貼付部材に貼り付けたシートからフィルム等を剥離する場合にも適用できる。
さらに、シートを剥離する際、図６（ｅ）のようにテープ把持部３を移動させるのではなく、テープ把持部３を固定し、ステージ１１を矢印Ａの反対方向に移動させることによって、シート７を剥離しても良い。
【符号の説明】
【００４５】
１  シート剥離装置
２  移動部
３  テープ把持部
４  制御部
５  剥離テープ
６  ウエハ
７  シート
８  第１の把持部、８ａ  把持面
９  第２の把持部、９ａ  把持面
１０  ベース部
１１  ステージ
１２  送り出し装置
１３  接触センサ
２０  第２の把持部
２１  剥離部、２１ａ  エアー吹き出し口
３０  第２の把持部
３１  非粘着部
４０  押圧部、４０ａ  ローラ
【図１】
0005429903.tif 000002
【図２】
0005429903.tif 000003
【図３】
0005429903.tif 000004
【図４】
0005429903.tif 000005
【図５】
0005429903.tif 000006
【図６】
0005429903.tif 000007
【図７】
0005429903.tif 000008
【図８】
0005429903.tif 000009
【図９】
0005429903.tif 000010
【図１０】
0005429903.tif 000011
【図１１】
0005429903.tif 000012
【図１２】
0005429903.tif 000013
【図１３】
0005429903.tif 000014