(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基礎床面により上床面が支持された二重床の作業室内に設置された機器に対して、上床面に設けられた貫通孔を通じて床下スペースから延び、前記機器への接続のための結合部材が取り付けられた柔軟性を有する配管若しくは配線を上床面に保留する保留方法において、
前記配管若しくは配線の径よりも大きくしかも前記結合部材の直径よりも小さい幅のスリットが、中心から外縁に達する長さ途中において曲げられた前記貫通孔よりも大きな外形を有する板状の保持具に、前記結合部材を外縁側から前記スリットを挿入して、
前記スリットに前記結合部材を引掛けた状態で、前記保持具を前記貫通孔上に置くことを特徴とする柔軟性を有する配管若しくは配線の保留方法。
【請求項２】
基礎床面により上床面が支持された二重床の作業室内に設置された機器に対して、上床面に設けられた貫通孔を通じて床下スペースから延び、前記機器への接続のための結合部材が取り付けられた柔軟性を有する配管若しくは配線を取り外した場合に上床面に保留する保持具において、
前記貫通孔よりも大きな外形を有し、中心から外縁に達するスリットが設けられ、且つ当該スリットは、前記配管若しくは配線の径よりも大きくしかも前記結合部材の直径よりも小さい幅であり、さらに中心から外縁に達する長さ途中において曲げられていることを特徴とする保持具。
【請求項３】
前記保持具が円板であることを特徴とする請求項２記載の保持具。
【請求項４】
前記保持具の下面に少なくとも２個の突起が付設されており、これら突起は前記貫通孔の開口の直径に関連して配置され、使用状態では前記開口内に同時に挿入されることを特徴とする請求項２記載の保持具。
【請求項５】
前記円板の直径が前記貫通孔の直径の２倍より大きいことを特徴とする請求項３記載の保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、床パネルの貫通孔を通じて床パネル上に導かれた柔軟性を有する配管若しくは配線を機器から取り外した場合に、貫通孔を介して落下することを防止する柔軟性を有する配管若しくは配線の保留方法と、それに用いる保持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体工場等のクリーンルームでは、フィルタを備えた複数個の空気吹出口を天井面に設けて清浄な空気を送り出す一方、製造装置等が配置され、人が作業する作業室（クリーンルーム）において製造装置や人から発生する塵埃等で汚染された空気を床面から吸込むために、作業室の床面を複数の吸込孔を有する床パネルを敷き詰めた上床面を形成するとともに、前記床パネルはコンクリート等の基礎床面上に設けられた支持部材によって支持されている２重床構造を形成している（例えば、特許文献１又は２）。基礎床面と床パネル下面の間の床下スペースは、前記作業室内で汚染された空気を回収する通路となるほかに、製造装置の稼動のために冷却水、洗浄水、薬液、ガス、高圧空気、電気、電気信号等を作業室の外部の供給源から装置に供給するための配管、配線を設ける場所として利用される。また、製造装置から排出された気体又は液体を処理設備へ供給するための配管を設ける場所として利用される。
【０００３】
図１は従来のクリーンルーム施設の一部を側方から見たときの断面図である。上床面１の上方は作業室１００であり、上床面１の上には製造装置３が配置されて人が作業をする。一方、上床面１の下は床下スペース４であり気体又は液体を供給し或いは排出するための主配管５ａや、電気、電気信号のための配線７ｂが設置されている。２は壁面である。
【０００４】
床下スペース４の主配管５ａには分岐管２０が設けられ、この分岐管２０には液体やガスの流路を開閉するバルブ２１が付いている。このバルブ２１には、柔軟性を有した配管７ａが繋がれており、この配管７ａにはバルブ２１と繋がれていない他方の端部に結合具８ｂを備えている。配管７ａが柔軟性を持つ配管が利用されるのは、上床面１の上には製造装置３との接続をする際の取り回しを容易にするためである。また、配線７ｂも同様に柔軟性を有するものとなっている。
上床面１を形成する床パネルには、床パネルが有する複数の吸込孔のほかに、床下スペース４と作業室１００内とを連通させた吸込孔より直径の大きな貫通孔６が設けられており、貫通孔６を経て床下スペース４内の主配管５ａから分岐した配管７ａ、配線７ｂが作業室１００内に導入され、製造装置３に結合具８を介して接続されている。
【０００５】
結合具８は、雌雄一対の結合部材からなる継手が使用される。このような継手として種々の形式のものが市販されており、例えば、配管の場合には、ネジの螺合により結合させる形式のもの、或いは、一対の結合部材をロック機構付の挿入穴に突部を差し込むことにより結合させる形式の流体継手（「カプラ（登録商標第４１４５１００号）」又は「クイックジョイント」と呼ばれている。）等が結合部材として使用される。また、配線は場合には、ＤＶＩコネクタ、ＬＡＮコネクタ、ＢＮＣコネクタ等の種々の信号用コネクタ或いは種々の電力用コネクタが結合部材として使用される。これらのいずれの場合も、結合具８は配管・配線７よりも外形が大きいのが通常である。
【０００６】
図示例の結合具８は、一対の結合部材８ａ、８ｂからなり、一方の結合部材８ａは製造装置３に固定されていて他方の結合部材８ｂを結合するための雄ネジを具備しており、他方の結合部材８ｂは配管７ａ若しくは配線７ｂの先端に延長状に接続されており、結合部材８ａの雄ネジに螺合される。
【０００７】
配管７ａ若しくは配線７ｂを床下スペース４から引き出す都合や、多数種々の配管７ａや配線７ｂを配置可能とする汎用性を持たせるため、貫通孔６の開口直径は結合部材８ｂの最大直径よりも大幅に大きい。
【０００８】
このような配管７ａや配線７ｂの配管状態或いは配線状態において、作業室１００内の製造装置３を新規に据え付ける場合や、既に設置されている製造装置３を修理又は交換する場合には、図１中に点線で示すように、結合部材８ｂを他方の結合部材８ａの雄ネジから外すことにより結合部材８ｂを製造装置３から分離させる。
【０００９】
この場合において、何らの対策もしなければ、配管７ａ或いは配線７ｂ及び結合部材８ｂは貫通孔６を経て全体が床下スペース４内に落下してしまうことがある。落下してしまうと、落下した配管７ａ或いは配線７ｂを結合部材８ｂと共に再び貫通孔６を経て上床面１上に引き上げることが必要であり、また引き上げた配管７ａ或いは配線７ｂの外周面や結合部材８ｂに、床下スペース４内の蓄積した塵埃が付着してしまう。これでは、作業室１００の清浄性が保てない。さらに、作業者が床下スペース４へ侵入できる開口部が貫通孔６から離れていることが多く、貫通孔６から配管７ａ、配線７ｂと結合部材８ｂを引き上げることが不可能であると、貫通孔６の直下まで作業者が床下スペース４を這って行き、引き上げる必要がある。
【００１０】
このため、配管７ａ或いは配線７ｂが貫通孔６を通じて床下スペース４内に落下しないように、例えば図２に示すように、上床面１上に残した配管７ａ或いは配線７ｂや結合部材８ｂを粘着テープ９で上床面１の上面に止着させるようにする処置が必要である。
【００１１】
特許文献３乃至７は管やその継手を壁面部や床面部に位置保持させる場合の従来技術を開示している。しかし、これらの従来技術は板状体及びネジ部材を介して管又はその継手を壁面部や床面部に常設的に固定させるものであり、本発明の課題を解決できるものではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】実開平1−１６８７４３号
【特許文献２】実開平1−１６８７４５号
【特許文献３】特開２００１−２６３５４１号公報
【特許文献４】実開平１−７８７８３号
【特許文献５】実開平１−１３５２８３号
【特許文献６】特開平９−２４７８２５号公報
【特許文献７】特開２００７−１４６６０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
配管７ａ、配線７ｂが床下スペース４内に落下するのを粘着テープ９で阻止する場合、次のような欠点がある。
配管７ａ、配線７ｂを粘着テープ９で位置保持させる都度、新たな粘着テープ９が必要となって不経済であると共に、上床面１１の上面に接着された粘着テープ９は作業室１００内の整然性を損ねる等、視覚的印象を悪くする。また、使用済みの粘着テープ９は、新たなゴミとなる。
【００１４】
本発明は、上記した欠点を解消し、チューブ接続作業中に貫通孔を介して落下することを防止する柔軟性のある配管若しくは配線の一時保留方法と、それに用いる保持具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を達成するため、本発明は、基礎床面により上床面が支持された二重床の作業室内に設置された機器に対して、上床面に設けられた貫通孔を通じて床下スペースから延び、前記機器への接続のための結合部材が取り付けられた柔軟性を有する配管若しくは配線を上床面に保留する保留方法において、前記配管若しくは配線の径よりも大きくしかも前記結合部材の直径よりも小さい幅のスリットが、中心から外縁に達する長さ途中において曲げられた前記貫通孔よりも大きな外形を有する板状の保持具に、前記結合部材を外縁側から前記スリットを挿入して、前記スリットに前記結合部材を引掛けた状態で、前記保持具を前記貫通孔上に置くことを特徴とする。
【００１６】
上記課題を達成するため、本発明は、基礎床面により上床面が支持された二重床の作業室内に設置された機器に対して、上床面に設けられた貫通孔を通じて床下スペースから延び、前記機器への接続のための結合部材が取り付けられた柔軟性を有する配管若しくは配線を取り外した場合に上床面に保留する保持具において、前記貫通孔よりも大きな外形を有し、中心から外縁に達するスリットが設けられ、且つ当該スリットは、前記配管若しくは配線の径よりも大きくしかも前記結合部材の外形よりも小さい幅であり、さらに中心から外縁に達する長さ途中において曲げられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、柔軟性のある配管若しくは配線の結合部材をスリットに係止させて該板状体を上床面に支持させるため、配管若しくは配線を安定的に保留することができる。
【００１８】
さらには板状体が繰り返し使用できるので、ゴミの発生を低減できると共に、配管若しくは配線の先端に接続された結合部材を保持具で係止したとき上床面には水平姿勢の板状体と起立状体の結合部材が見えるのみとなって作業室内の視覚的印象が改善される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】クリーンルームの一部を側方から見た断面図である。
【図２】粘着テープによる従来の対策を示す説明図である。
【図３】配管若しくは配線の保持具である。
【図４】配管若しくは配線を位置保持した状態を示す説明図である。
【図５】図４使用状態を断面で示した側面視説明図である。
【図６】他の実施例に係る保持具を示す図である。
【図７】他の実施例に係る保持具を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、実施例について図面を参照して詳細に説明する。
【実施例１】
【００２１】
図３に示すように、本実施例による保持具１０１は、塩ビ板（ポリ塩化ビニール）等の樹脂材であり、面ｃ１及び下面ｃ２の何れもが平面の円形の板状である。また保持具１０１は、貫通孔６よりも大きな外形を持つものとする。その直径は、貫通孔６の２倍以上とするが望ましい。また保持具１０１にはこれを厚さ方向へ貫通したスリット１１ａが形成されている。
【００２２】
スリット１１ａは、保持具１０１の中心ｄ４から周縁端ｄ１までの間を幅ｅ１で開放している。幅ｅ１は配管７ａや配線７ｂの径よりも大きくしかも結合部材８ｂの外形よりも小さいため、配管７ａや配線７ｂはスリット１１ａは通り抜けられるものの、結合部材８ｂは通り抜けられない。また、スリット１１ａは長さ途中を角度θ１に曲げられた構成としている。角度θ１の大きさは、配管７ａ又は配線７ｂがスリット１１ａから抜け出るさいに曲がり箇所ｄ２による適当大きさの引っ掛かり力が得られる程度の角度である。図示例では、この所定角度θ１は略９０度としてある。
【００２３】
本実施例では、保持具１０１の中心ｄ４からスリット１１ａの開始端としているが、必ずしも合致させる必要はない（合致する方が好ましい）。また保持具１０１は塩ビを使用したが、貫通孔６を覆うように位置させた状態で、作業者が保持具１０１を足で踏んでも屈曲しない程度の厚さｅ２又は材質を利用とするのが好ましい。屈曲すると幅ｅ１が広がってしまうからである。そのようなものであれば塩ビに限る必要は無い。
【００２４】
製造装置３の修理・交換或いは新設等で配管７ａ若しくは配線７ｂを結合部材８ａから分離させる作業が発生したとき、図４に示すように配管７ａ（若しくは配線７ｂ、図は配管７ａの場合を例示、以下図５、図６において同じ）の結合部材８ｂ側を面ｃ１側にし、他の部位が面ｃ２側に位置するように保持具１０１のスリット１１ａ内に一端ｄ１から押し入れ、スリット１１ａの開始端まで移動させた状態とする。この状態においては、スリット１１ａに対して結合部材８ｂを引掛けた状態である。この状態を保持しながら保持具１０１を図１中の貫通孔６の真上に移動させ、貫通孔６を覆った状態として上床面１上に位置させる。この結果、結合部材８ｂが起立状に上床面１上に残り、他は床下スペース４内に落ちた状態になる。
【００２５】
このとき、配管７ａ若しくは配線７ｂは床下スペース４内において基礎床面や上床面に対して略水平に延長されているため、基礎床面に対して作業室内へ垂直に貫通した貫通孔６に配管７ａ若しくは配線７ｂを通すと、これが強制的に曲げられた形となる。このため自身の保有する歪による弾性力との関連で配管７ａ若しくは配線７ｂが真っ直ぐになろうとする力が生じ、図４に示すように貫通孔６の内周面６ａの何れかの位置に接した状態となる。
【００２６】
図５はこの時点での配管７ａの一時保留状態を示しており、この状態では、保持具１０１は貫通孔６の２倍以上の直径とされているため、貫通孔６の開口の全面を覆うものとなって上床面１に安定的に支持される。なお、この実施例における保持具１０１は上下の何れの面ｃ１、ｃ２にも凹凸が存在しないため配管７ａ若しくは配線７ｂの位置保持において、上面ｃ１及び下面ｃ２の任意な何れか一方が下側になるように使用すればよい。
【００２７】
上記したように本実施例の配管７ａ若しくは配線７ｂの一時保留状態においては、スリット１１ａ内に配管７ａ若しくは配線７ｂを入れた後、保持具１０１を貫通孔６上に位置させるだけで済むため、その手間が大幅に軽減される。
【００２８】
図４に示す配管７ａ若しくは配線７ｂの一時保留状態では上床面１上に配管７ａ若しくは配線７ｂが位置する範囲が小さくなり、上床面１上を広く使用することができ、また上床面１上には保持具１０１と、起立姿勢の結合部材８ｂが見えるだけであるため視覚で認識される整然性が従来よりも向上する。
【００２９】
また上床面１を歩行する作業者が保持具１０１を足で蹴り、配管７ａ若しくは配線７ｂを中心に保持具１０１が回転することが生じ、スリット１１ａの方向と配管７ａや配線７ｂが弾性力で真っ直ぐになろうとする方向とが一致したとしても、スリット１１ａが角度θ１で曲げられているため、配管７ａ若しくは配線７ｂがスリット１１ａの曲がり箇所ｄ５に引っ掛かる現象が生じ、配管７ａ若しくは配線７ｂがスリット１１ａから無抵抗に抜け出るのを阻止される。したがって通常作業状態において、保持具１０１が配管７ａ若しくは配線７ｂから外れて床下スペース４内に落下することは効果的に防止される。
【００３０】
また保持具１０１は円板であるため、その外周囲を蹴られても縦線回りのトルクが発生し難くその回転は抑制されるのであり、またその直径が貫通孔６のそれの２倍以上であるため、図５Ａの状態下において足で蹴られて配管７ａ若しくは配線７ｂと一緒に矢印方向ｆ１へ移動し図５Ｂの状態となっても貫通孔６の開口が上床面１上に大きく現れることはない。従って、修理・交換或いは新設の工事中において使用する工具等が床下スペース４に落下することも防げる。
【００３１】
そして作業室１００内の製造装置３が修理・交換或いは新設が終了した後には、配管７ａや配線７ｂから保持具１０１を抜き出した後、結合部材８ｂを製造装置３の結合部材８ａに結合させる。
【実施例２】
【００３２】
上記実施例１ではスリット１１ａを曲がり箇所ｄ５において角度θ１折り曲げた。この場合、曲がり箇所ｄ５において、スリット１１ａの幅が大きくなる（対角線の長さ）。本実施例では、序々に折り曲げ、図６に示すように曲線を描くように折り曲げる。このようにすれば、スリット１１ｂの幅ｅ１を均一にすることが出来る。このため、結合部材８ｂと配管７ａ若しくは配線７ｂの直径差が少ない場合に、曲がり箇所ｄ５において結合部材８ｂが落下する虞が低減する。
【実施例３】
【００３３】
上記実施例においては、上床面１側の面ｃ２を平坦な面としたが、本実施例においては突起を持たせたものである。図７に示すように、保持具１０１の上面ｃ１又は下面ｃ２の少なくとも一方が貫通孔６の開口を覆った状態となるように上床面１上に位置させたとき、下側となっている面ｃ２に、貫通孔６の内方に同時に挿入される２つ以上の突起１２を形成し、これら突起１２が貫通孔６の内周面６ａに当接することにより保持具１０１の水平移動が一定限度以内に規制されるようにする。
【００３４】
このようにすれば、突起１２が貫通孔６の端に当たって、貫通孔６の開口が上床面１上に現れるのを阻止できるため、保持具１０１の外形は貫通孔６より大きなものであれば足りる。
【符号の説明】
【００３５】
１００  作業室（クリーンルーム）
１０１  保持具
１  床面部
３  製造装置
４  床下スペース
６  貫通孔
７ａ  配管
７ｂ  配線
８ｂ  結合部材
１１ａ、１１ｂ  スリット
１２  突起
【図１】
0005623320.tif 000002
【図２】
0005623320.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0005623320.tif 000008