(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被塗布物に対し機能性液体を塗布する塗布動作部を備えた液体塗布装置であって、
異なる塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを記憶するマップ記憶手段と、
複数の塗布マップから１つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布の実行を、上記塗布動作部へ指令する塗布実行手段とを備え、
上記塗布マップは、ｎ個×ｍ個（ｎ及びｍは２以上の整数）の格子領域から構成されており、
上記塗布パターンは、上記格子領域それぞれについて、塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンから構成され、塗布実行が選択された単位塗布パターンについて、塗布順序が設定されており、
上記塗布実行手段は、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを入力する入力部を備え、上記入力部は、上記被塗布物の種類に応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて入力することを特徴とする液体塗布装置。
【請求項２】
上記被塗布物は、複数のセルによって仕切られた基板であり、
上記入力部は、上記被塗布物のセルサイズに応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて入力することを特徴とする請求項１に記載の液体塗布装置。
【請求項３】
被塗布物に対し機能性液体を塗布する塗布動作部を備えた液体塗布装置であって、
異なる塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを記憶するマップ記憶手段と、
複数の塗布マップから１つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布の実行を、上記塗布動作部へ指令する塗布実行手段とを備え、
上記塗布マップは、ｎ個×ｍ個（ｎ及びｍは２以上の整数）の格子領域から構成されており、
上記塗布パターンは、上記格子領域それぞれについて、塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンから構成され、塗布実行が選択された単位塗布パターンについて、塗布順序が設定されており、
上記被塗布物は、複数のセルによって仕切られた基板であり、
上記塗布実行手段は、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを入力する入力部を備え、上記入力部は、上記被塗布物のセルサイズに応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて入力することを特徴とする液体塗布装置。
【請求項４】
上記塗布動作部は、上記被塗布物に対し機能性液体からなる液滴を吐出する液体吐出部を備えており、
上記入力部は、上記被塗布物に対する上記液滴の着弾サイズに応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて入力することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の液体塗布装置。
【請求項５】
被塗布物に対し機能性液体を塗布する塗布動作部を備えた液体塗布装置であって、
異なる塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを記憶するマップ記憶手段と、
複数の塗布マップから１つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布の実行を、上記塗布動作部へ指令する塗布実行手段とを備え、
上記塗布マップは、ｎ個×ｍ個（ｎ及びｍは２以上の整数）の格子領域から構成されており、
上記塗布パターンは、上記格子領域それぞれについて、塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンから構成され、塗布実行が選択された単位塗布パターンについて、塗布順序が設定されており、
上記塗布実行手段は、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを入力する入力部を備え、
上記塗布動作部は、上記被塗布物に対し機能性液体からなる液滴を吐出する液体吐出部を備えており、
上記入力部は、上記被塗布物に対する上記液滴の着弾サイズに応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて入力することを特徴とする液体塗布装置。
【請求項６】
異なる塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを作成し、
複数の塗布マップから１つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布を実行することによって、被塗布物に対し機能性液体を塗布する液体塗布方法であって、
上記塗布マップは、ｎ個×ｍ個（ｎ及びｍは２以上の整数）の格子領域から構成されており、上記塗布パターンは、上記格子領域それぞれについて、塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンから構成され、塗布実行が選択された単位塗布パターンについて、塗布順序が設定されており、
上記塗布順序で塗布することによって、塗布パターンに従った塗布を実行し、
上記被塗布物の種類に応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて上記塗布マップの縮尺を変えることを特徴とする液体塗布方法。
【請求項７】
異なる塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを作成し、
複数の塗布マップから１つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布を実行することによって、複数のセルによって仕切られた基板である被塗布物に対し機能性液体を塗布する液体塗布方法であって、
上記塗布マップは、ｎ個×ｍ個（ｎ及びｍは２以上の整数）の格子領域から構成されており、上記塗布パターンは、上記格子領域それぞれについて、塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンから構成され、塗布実行が選択された単位塗布パターンについて、塗布順序が設定されており、
上記塗布順序で塗布することによって、塗布パターンに従った塗布を実行し、
上記被塗布物のセルサイズに応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて上記塗布マップの縮尺を変えることを特徴とする液体塗布方法。
【請求項８】
異なる塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを作成し、
複数の塗布マップから１つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布を実行することによって、被塗布物に対し機能性液体を塗布する液体塗布方法であって、
上記塗布マップは、ｎ個×ｍ個（ｎ及びｍは２以上の整数）の格子領域から構成されており、上記塗布パターンは、上記格子領域それぞれについて、塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンから構成され、塗布実行が選択された単位塗布パターンについて、塗布順序が設定されており、
上記塗布順序で、被塗布物に対し機能性液体からなる液滴を吐出することによって、塗布パターンに従った塗布を実行しており、
上記被塗布物に対する上記液滴の着弾サイズに応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて上記塗布マップの縮尺を変えることを特徴とする液体塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体塗布装置及び液体塗布方法に関するものであり、より詳細には、被塗布物に対し機能性液体を塗布する塗布動作部を備えた液体塗布装置、及びこれを用いた液体塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットヘッドを用いてワークにインク液滴を塗布し所定の塗布形状を実現する液体塗布技術の一例としては、液晶テレビジョンなどに用いられるカラーフィルタを製造する技術が挙げられる。このようなカラーフィルタを製造する技術においては、赤、緑、青の各画素を該当色のインクで塗布する。また、この種の技術では、ブラックマトリクスによって物理的に仕切られた領域に赤、緑、青の各色インクを塗布することで着色し、カラーフィルタを形成する。
【０００３】
インクジェットヘッドを用いてカラーフィルタを製造する従来技術としては、例えば特許文献１に開示されている。特許文献１に記載の技術では、各画素（被着色部）にインクを吐出するに際し、最初と最後のインク滴の吐出量を減らすことにより、各画素内でインクを均一な高さで埋め、画素内で均一な色のカラーフィルタを実現している。また、特許文献１に記載の技術では、画素内においてインク滴の塗布位置を詳細に設定した塗布パターンを作成し、作成した塗布パターンに従って、インク滴の塗布動作を行っている。さらに、特許文献１に記載の技術では、インク滴の着弾位置がずれた場合にも、隣接する画素への影響を低減して（インク塗布対象エリアから外れることなく）、インク滴の塗布が可能になる。
【０００４】
また、特許文献１と異なり、特別な塗布パターンを用いずに液体を塗布する従来技術では、液体塗布装置により一義的に決められた塗布位置へ液体塗布を実行する技術や、観察用カメラ等を利用して直接塗布位置を指定し、指定された塗布位置への塗布を実行する技術が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−１５４００８号公報（２００１年６月８日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述のような従来技術には、以下の問題がある。
【０００７】
まず、特許文献１に開示されているような塗布パターンは、被塗布物であるワークの種類によって決定されるパターンである。特許文献１に開示された技術では、ワークの種類によって塗布すべき画素のサイズが異なってしまうため、各種類のワークに対応させて、専用の塗布パターンを形成する必要がある。あるいは、該当種類のワーク分だけ塗布パターンを用意しておく必要がある。それゆえ、ワークの種類が変われば、新たに塗布パターンを作成する必要がある。
【０００８】
また、直接塗布位置を指定し、指定された塗布位置への塗布を実行する技術では、丸形形状以外の塗布形状の塗布膜を形成する場合等、複数箇所への塗布が必要な場合、以下の問題が生じる。すなわち、この場合、１箇所ずつ塗布位置を直接指定し、その度に塗布位置を選択する必要性が生じる。それゆえ、液体塗布処理までの時間がかかってしまう。また、塗布位置を選択する作業で、位置ずれ等の選択ミスが発生する確率が増えるため、塗布形状の信頼性が欠如する。
【０００９】
このように従来の液体塗布技術では、ワーク毎に専用の塗布パターンを作成して、液体をワークに塗布する必要がある。また、塗布すべき塗布位置が複数である場合、個々の塗布位置を指定して塗布する必要があるため、塗布を行うまでに必要な事前の工程数が多くなる。そして、この工程数の増加に伴う作業ミスの発生が懸念される。また、塗布前の事前工程全てを実行する時間が、実際の塗布処理時間よりも長くなってしまうといった不具合が生じる。
【００１０】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、塗布を行うまでに必要な事前の処理時間を短縮し、かつ作業ミスをなくして、ワークの様々な種類または様々な塗布形状に対し信頼性が高い塗布を実行することができる液体塗布装置、及びこれを用いた液体塗布方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の液体塗布装置は、上記の課題を解決するために、被塗布物に対し機能性液体を塗布する塗布動作部を備えた液体塗布装置であって、異なる塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを記憶するマップ記憶手段と、複数の塗布マップから１つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布の実行を、上記塗布動作部へ指令する塗布実行手段とを備えたことを特徴としている。
【００１２】
上記の構成によれば、マップ記憶手段に、予め種々の異なる塗布パターンが塗布マップとして登録されており、塗布実行手段が、これら塗布パターンの中から所望の塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布の実行を、上記塗布動作部へ指令するようになっている。また、被塗布物における塗布位置として１箇所だけ設定すれば、その箇所にしたがって塗布マップに設定された塗布が実行される。それゆえ、上記の構成によれば、複数箇所の塗布位置を要する塗布に対しても、一度の塗布位置設定を行えば事足りる。なお、「塗布位置設定」とは、被塗布物おける液体塗布領域にあるセンター位置が、塗布マップにあるセンター位置に合致するような設定のことをいう。
【００１３】
したがって、上記の構成によれば、被塗布物の所定の塗布位置に所望の塗布形状の塗布膜を塗布したい場合、被塗布物上の一点の塗布位置と塗布マップとを選択するだけで所望の塗布膜を塗布することができる。また、種々の塗布形状の塗布膜を形成したい場合であっても、被塗布物に塗布すべき塗布形状に対応する塗布パターンが設定された塗布マップを選択するだけで、所望の塗布膜を塗布することができる。
【００１４】
以上のように、上記の構成によれば、塗布を行うまでに必要な事前の処理時間を短縮し、かつ作業ミスをなくして、ワークの様々な種類または様々な塗布形状に対し信頼性が高い塗布を実行することができる液体塗布装置を実現することができる。
【００１５】
また、本発明の液体塗布装置では、上記塗布マップは、ｎ個×ｍ個（ｎ及びｍは２以上の整数）の格子領域から構成されており、上記塗布パターンは、上記格子領域それぞれについて、塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンから構成され、塗布実行が選択された単位塗布パターンについて、塗布順序が設定されていることが好ましい。
【００１６】
上記の構成によれば、上記塗布マップは、ｎ個×ｍ個（ｎ及びｍは２以上の整数）の格子領域から構成されている。そして、上記塗布パターンは、上記格子領域それぞれについて、塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンから構成され、塗布実行が選択された単位塗布パターンについて、塗布順序が設定されている。このように、塗布マップに設定された塗布パターンを、格子領域毎の塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンで表現し、該単位塗布パターンの塗布順序を設定することにより、被塗布物に対する塗布形状のバリエーションを多くすることができる。それゆえ、上記の構成によれば、被塗布物上の一点の塗布位置を設定するだけで、様々な塗布形状の塗布膜形成を、新たな塗布パターンを作成することなく実現することができる。
【００１７】
本発明の液体塗布装置では、上記塗布実行手段は、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを入力する入力部を備えたことが好ましい。
【００１８】
上記の構成によれば、上記塗布実行手段は、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを入力する入力部を備えているので、上記マップ記憶手段に記憶された塗布マップの縮尺を変え、設定された塗布パターンのサイズを変えることができる。それゆえ、上記の構成によれば、様々な塗布形状の塗布膜を、様々なサイズで作成することができる。
【００１９】
本発明の液体塗布装置では、上記入力部は、上記被塗布物の種類に応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて入力することが好ましい。
【００２０】
これにより、被塗布物の種類が変わっても、塗布マップの縮尺を変えることで、塗布マップにより塗布可能なエリアのサイズを変えることができる。それゆえ、上記の構成によれば、被塗布物の種類が変わっても、常に塗布形状に関する信頼性を維持することができる。また、従来のように、塗布パターンを新たに作成する、あるいは被塗布物の種類分だけ塗布パターンを用意し該当被塗布物の種類に合致した塗布パターンを呼び出すといった作業が必要なくなる。したがって、上記の構成によれば、塗布を行うまでに必要な事前の処理時間を短縮し、かつ作業ミスをなくすことができる。
【００２１】
本発明の液体塗布装置では、上記被塗布物は、複数のセルによって仕切られた基板であり、上記入力部は、上記被塗布物のセルサイズに応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて入力することが好ましい。
【００２２】
上記被塗布物が複数のセルによって仕切られた基板（例えば、液晶パネルの画素）であり、基板の種類によってセルサイズが変わる場合にも、塗布マップの縮尺を変えることができるので、塗布マップにより塗布可能なエリアのサイズを変えることができる。それゆえ、上記の構成によれば、例えば常にセル全体（画素全体）を埋めるような塗布を、新たな塗布パターンを形成することなく実行することができる。
【００２３】
本発明の液体塗布装置では、上記塗布動作部は、上記被塗布物に対し機能性液体からなる液滴を吐出する液体吐出部を備えており、上記入力部は、上記被塗布物に対する上記液滴の着弾サイズに応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて入力することが好ましい。
【００２４】
これにより、被塗布物への液滴の濡れ広がり性により塗布形状のサイズが変わってしまう場合でも、上記被塗布物に対する上記液滴の着弾サイズに応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて入力することで、塗布形状のサイズを変えることができる。例えば画素に対して塗布を行う場合でも、上記の構成によれば、画素のサイズに応じた塗布形状での塗布を実現することができる。
【００２５】
本発明の液体塗布方法は、上記の課題を解決するために、被塗布物に対し機能性液体を塗布する液体塗布方法であって、異なる塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを作成し、複数の塗布マップから１つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布を実行することを特徴としている。
【００２６】
これにより、被塗布物の所定の塗布位置に所望の塗布形状の塗布膜を塗布したい場合、被塗布物上の一点の塗布位置と塗布マップとを選択するだけで所望の塗布膜を塗布することができる。また、種々の塗布形状の塗布膜を形成したい場合であっても、被塗布物に塗布すべき塗布形状に対応する塗布パターンが設定された塗布マップを選択するだけで、所望の塗布膜を塗布することができる。
【００２７】
それゆえ、上記の構成によれば、塗布を行うまでに必要な事前の処理時間を短縮し、かつ作業ミスをなくして、ワークの様々な種類または様々な塗布形状に対し信頼性が高い塗布を実行することができる液体塗布方法を実現することができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明の液体塗布装置は、以上のように、被塗布物に対する塗布形状ごとに塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを記憶するマップ記憶手段と、複数の塗布マップから１つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布の実行を、上記塗布動作部へ指令する塗布実行手段とを備えた構成である。
【００２９】
また、本発明の液体塗布方法は、以上のように、塗布形状ごとに塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを作成し、複数の塗布マップから１つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布を実行する構成である。
【００３０】
それゆえ、塗布を行うまでに必要な事前の処理時間を短縮し、かつ作業ミスをなくして、ワークの様々な種類または様々な塗布形状に対し信頼性が高い塗布を実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施の一形態の液体塗布装置の概略構成を示した模式図である。
【図２】マップ記憶手段に格納する塗布パターンを設定するための、塗布マップの構成を示す模式図である。
【図３】塗布マップに対し設定した塗布パターンの一例を示した模式図である。
【図４】塗布マップに対し設定した塗布パターンの他の例を示した模式図である。
【図５】ワークに対して図３に示された塗布パターンで液体塗布を実行したときの、液体塗布状態を示し、（ａ）は、図３に示された塗布パターンを説明するための模式図であり、（ｂ）は、ワークにおける液体塗布状態を示す模式図である。
【図６】図５（ｂ）に示されたセルサイズＣｐ１と異なるセルサイズであるワークに対して図３に示された塗布パターンで液体塗布を実行したときの、液体塗布状態を示し、（ａ）は、図３に示された塗布パターンを説明するための模式図であり、（ｂ）は、ワークにおける液体塗布状態を示す模式図である。
【図７】ワークに対して図４に示された塗布パターンで液体塗布を実行したときの、液体塗布状態を示し、（ａ）は、図４に示された塗布パターンを説明するための模式図であり、（ｂ）は、ワークにおける液体塗布状態を示す模式図である。
【図８】本発明の実施の一形態の液体塗布方法における、塗布準備作業から塗布実行作業までの工程を示し、図８（ａ）は塗布準備作業の工程を示すフローチャートであり、図８（ｂ）は塗布実行作業の工程を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
本発明は、ワークの所定位置に対して所望する形状で機能性材料を含む液体（以下、機能性液体と記す）を塗布する液体塗布装置及びこれを用いる方法に関する。本発明の実施の一形態について、以下に説明する。
【００３３】
図１は、本実施形態の液体塗布装置の概略構成を示した模式図である。同図に示されるように、本実施形態の液体塗布装置（以下、単に本液体塗布装置と記す）は、インクジェットヘッド１内に充填されているインク（機能性液体）を、被塗布物であるワーク１０に滴下することで、ワーク１０に機能性材料からなる塗布膜を形成する装置である。
【００３４】
本液体塗布装置は、ワーク１０に塗布されるインクの塗布パターンをインクジェットヘッド１によるインク吐出動作を行うインク塗布動作部（塗布動作部）１００と、インク塗布動作部１００によるインク塗布全般を制御する塗布制御部２００とを備えている。
【００３５】
インク塗布動作部１００は、インクジェットヘッド（液体吐出部）１と、ワーク１０を観察するための観察カメラ２と、塗布したインク（液体）を高温乾燥するヒーター３と、ワーク１０を載置する載置台４と、ワークステージ５と、メンテナンスユニット６と、基台７と、架台８と、ヘッドステージ９とを備えている。
【００３６】
基台７は、インク塗布動作部１００本体の基盤となる。基台７には、ワークステージ５、メンテナンスユニット６、及び架台８が設けられている。ワークステージ５には、載置台４が取り付けられている。また、ワークステージ５は、図１における手前から奥へ向かう方向、すなわちＹ方向に移動し位置決めされる。メンテナンスユニット６は、インクジェットヘッド１のクリーニング等を施すユニットである。
【００３７】
また、インクジェットヘッド１、観察カメラ２、及びヒーター３は、ワーク１０におけるインク塗布面と対向するように配置されており、ヘッドステージ９に取り付けられている。ヘッドステージ９は、架台８によって保持され、図１におけるＸ方向に移動し位置決めされる。
【００３８】
インク塗布動作部１００では、ワークステージ５のＹ方向移動及びヘッドステージ９のＸ方向移動により、インクジェットヘッド１とワーク１０との相対位置が決定される。そして、インクジェットヘッド１によるインク吐出により、ワーク１０にインクが塗布される。そして、塗布されたインクは、ヒーター３により乾燥されることで、ワーク１０に機能性材料からなる塗布膜が形成される。
【００３９】
次に、インク塗布動作部１００によるインク塗布全般を制御する塗布制御部２００について、説明する。塗布制御部２００は、インターフェース部１１と、塗布動作制御部１２と、モニタ１６と、外部データ入力手段（入力部）１７とを備えている。
【００４０】
インターフェース部１１は、塗布動作制御部１２とインク塗布動作部１００の各種部材との間の情報のやりとりを仲介するものであり、インクジェットヘッド１、ヘッドステージ９等のドライバを含んでいる。また、外部データ入力手段１７は、塗布動作制御部１２と通信可能になっており、ワーク１０に関する塗布情報等を入力する。この外部データ入力手段１７は、操作ボタンやキーボード、もしくはワーク１０の塗布情報が格納されている外部機器との通信機能等を備えている。モニタ１６は、外部データ入力手段１７により入力された情報や観察カメラ２により撮像されたワーク１０の画像を表示する。
【００４１】
塗布動作制御部１２は、塗布実行手段１３と、塗布動作設定手段１４と、マップ記憶手段１５とを備えている。マップ記憶手段１５は、複数の塗布マップを記憶し格納する。マップ記憶手段１５に格納された各塗布マップには、ワーク１０に対する塗布形状ごとに塗布パターンが設定されている。塗布動作設定手段１４は、外部データ入力手段１７から塗布情報を入力するとともに、該塗布情報に基づいて、複数の塗布マップから、ワーク１０に塗布すべき塗布形状に対応する塗布パターンが設定された塗布マップを選択し、インク塗布動作の設定を行う。塗布実行手段１３は、インク塗布動作部１００に対し、塗布動作設定手段１４にて設定されたインク塗布動作を指令する。
【００４２】
このように、本液体塗布装置においては、マップ記憶手段１５に、予めワーク１０に対する種々の塗布形状に相当する塗布パターンが塗布マップとして登録されており、これら塗布パターンの中から所望の塗布マップを選択し、インク塗布を実行するようになっている。また、ワーク１０における塗布すべき塗布位置として１箇所だけ設定すれば、その箇所にしたがって塗布マップに設定されたインク塗布が実行される。それゆえ、複数箇所の塗布位置を要する塗布に対しても、一度の塗布位置設定を行えば事足りる。
【００４３】
したがって、本液体塗布装置によれば、ワーク１０の所定の塗布位置に所望の塗布形状の塗布膜を塗布したい場合、ワーク１０上の一点の塗布位置と塗布マップとを選択するだけで所望の塗布膜を塗布することができる。、種々のまた塗布形状の塗布膜を形成したい場合であっても、ワーク１０に塗布すべき塗布形状に対応する塗布パターンが設定された塗布マップを選択するだけで、所望の塗布膜を塗布することができる。
【００４４】
なお、図１に示される液体塗布装置では、インクジェットヘッド１が１個搭載されているが、複数の液体を塗布するため、複数のインクジェットヘッド１が搭載される場合もある。また、図１では図示していないが、載置台４には、ワーク１０を吸着保持する吸着機構が搭載されている。また、本液体塗布装置には、インクジェットヘッド１へインクを供給するインク供給部が備えられている（不図示）。さらに、ワーク１０は、載置台４に載置後、ワークステージ５に対して直角平行に保持されている方が塗布位置への移動に関して作業性が高い。このため、本液体塗布装置では、ワーク１０の姿勢補正機構であるワークアライメント機構が設けられていることが望ましい。図１では、ワークアライメント機構を省略している。
【００４５】
次に、本液体塗布装置を用いたワーク１０への液体塗布方法（以下、本液体塗布方法と記す）について、説明する。
【００４６】
まず、載置台４にワーク１０を載置する。そして、載置されたワーク１０について、該ワーク１０への塗布情報を外部データ入力手段１７により読み込む。
【００４７】
外部データ入力手段により読み込まれた塗布情報にしたがって、塗布動作設定手段１４は、マップ記憶手段３からワーク１０への塗布に使用する塗布マップを選択する。そして、塗布実行手段１３が、選択された塗布マップにしたがった液体塗布動作をインク塗布動作部１００へ指令する。なお、「塗布情報」とは、使用する塗布マップ番号、塗布を行う位置情報、及び塗布マップの格子ピッチを含む情報のことをいう。「塗布情報」の詳細については、後述する。また、ワーク１０への塗布情報については、本液体塗布装置の載置台４にワークを載置した後、観察カメラ２でワーク１０のカメラ観察を行いながら決定してもよい。
【００４８】
このように、本液体塗布方法では、ワーク１０に対する塗布形状ごとに塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを作成し、複数の塗布マップから１つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布を実行する。それゆえ、本液体塗布方法によれば、ワーク１０の所定の塗布位置に所望の塗布形状の塗布膜を塗布したい場合、ワーク１０上の一点の塗布位置と塗布マップとを選択するだけで所望の塗布膜を塗布することができる。また、種々の塗布形状の塗布膜を形成したい場合であっても、ワーク１０に塗布すべき塗布形状に対応する塗布パターンが設定された塗布マップを選択するだけで、所望の塗布膜を塗布することができる。
【００４９】
次に、塗布マップについて、説明する。この塗布マップは、ｎ個×ｍ個（ｎ及びｍは２以上の整数）の格子領域から構成されている。そして、塗布マップに設定されている塗布パターンは、上記格子領域それぞれについて、塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンから構成されている。
【００５０】
図２は、マップ記憶手段１５に格納する塗布パターンを設定するための、塗布マップの構成を示す模式図である。同図に示されるように、塗布マップ２０は、５×５の格子領域２１から構成されるマトリックスになっている。また、各格子領域２１の場所は、Ａ１〜Ｅ５で示されている。そして、Ａ１〜Ｅ５で示される格子領域２１の各場所に対し、塗布を実行する／実行しないといった設定を行うことで、単位塗布パターンを形成する。それゆえ、塗布マップに設定されている塗布パターンは、「塗布を実行する」と設定された単位塗布パターンから構成されている。したがって、本液体塗布方法によれば、所望の塗布パターンが形成された塗布マップ２０を設定することができる。なお、図２に示された塗布マップ２０においては、場所Ｃ３に配された格子領域２１のセンター位置２２が、ワーク１０への塗布位置情報と一致するように設定される。
【００５１】
図３は、塗布マップ２０に対し設定した塗布パターンの一例を示した模式図である。図３に示される塗布パターンは、場所Ａ２，Ｃ２，Ｅ２，Ａ４，Ｃ４及びＥ４の格子領域（単位塗布パターン）２１に対して塗布がなされるパターンである。なお、図３に示された番号(1) 〜(6) は、塗布する順序を示している。図３に示される塗布パターンでは、(1) から(6) へ順に塗布が実行される。図３に示された塗布パターンは、ワーク１０に対して長方形の塗布形状が得られる例である。図３に示された塗布パターンに設定することで得られるワーク１０に対する塗布形状については、後述の図５及び図６を参照して、さらに詳述する。
【００５２】
上記のような塗布パターンの設定、すなわち塗布マップ２０の作成は、本液体塗布装置による塗布処理の実行前に行っておくことが望ましい。塗布マップ２０は、ワーク１０に対して必要となる塗布形状を、塗布パターンとして設定し、該塗布パターンに基づいて、Ａ１〜Ｅ５で示される格子領域２１の各場所に対し、塗布を実行する／実行しないといった設定を行うことで得られる。ワーク１０に対し塗布される塗布パターンの縮尺は、後述する格子領域２１のピッチを設定することで調整可能である。
【００５３】
図４は、塗布マップ２０に対し設定した塗布パターンの他の例を示した模式図である。図４に示された塗布パターンは、場所Ｂ３、Ｃ３、及びＤ３の格子領域２１に対して塗布がなされるパターンである。なお、図４に示された番号(1) 〜(3) は、塗布する順序を示している。図４に示される塗布パターンでは、(1) から(3) へ順に塗布が実行される。図４に示された塗布パターンは、ワーク１０に対して細長い長方形の塗布形状が得られる例である。
【００５４】
以下に、図３に示された塗布パターンに基づいてワーク１０にインク塗布を行う液体塗布方法について、説明する。図５は、ワーク１０に対して図３に示された塗布パターンで液体塗布を実行したときの、液体塗布状態を示し、図５（ａ）は、図３に示された塗布パターンを説明するための模式図であり、図５（ｂ）は、ワーク１０における液体塗布状態を示す模式図である。なお、図５に示されたワーク１０は、視覚的あるいは物理的に複数のセル３０によって仕切られた基板である。このような基板としては、例えば液晶テレビに用いられるカラーフィルタ基板が挙げられる。以下では、ワーク１０における複数のセル３０のうち１つのセル３１（以下、塗布実行セル３１とする）を視覚的に隠す、あるいは着色する目的でインクを塗布する例について説明する。
【００５５】
まず、ワーク１０の塗布位置として、塗布実行セル３１のセンター位置３２を液体塗布装置に登録する。本液体塗布方法では、この塗布実行セル３１のセンター位置３２と塗布マップ２０のセンター位置２２とが一致するように調整され、インク塗布が実行される。また、ワーク１０におけるセル３０のサイズ（スケール）は、ワーク１０の種類によって決定される。本液体塗布方法においては、塗布すべきワーク１０における塗布実行セル３１のサイズに対し遮蔽または着色できるように、塗布マップ２０のサイズ、すなわち格子領域２１のピッチを決定する。具体的には、ワーク１０固有のセルサイズＣｐ１の情報を読み込む、あるいは外部入力手段１７により入力する。そして、このセルサイズＣｐ１に応じて、塗布マップ２０における格子領域２１のピッチＭｐ１を設定する。
【００５６】
ピッチＭｐ１の設定においては、図５（ｂ）に示されるように、１つのインク液滴の着弾部分３３の濡れ広がり、すなわち着弾部分３３の直径（着弾径）を考慮する必要がある。それゆえ、本液体塗布方法においては、ワーク１０に対するインク液滴の着弾部分３３のサイズを、事前に計測しておくことが望ましい。このような着弾部分３３のサイズの事前計測は、適切な格子領域２１のピッチＭｐ１設定のために有効である。
【００５７】
なお、図５（ａ）に示された塗布マップ２０は、縦横同ピッチの正方形の格子領域２１から構成されている。しかしながら、格子領域２１の形状は、正方形に限定されず、ワーク１０におけるセル３０の形状に応じて適宜設定可能である。この場合、セル３０の形状によっては、格子領域２１のピッチＭｐ１の縦横比を変更する必要が生じるので、縦方向のピッチＭｐ１、及び横方向のピッチＭｐ１を独立して設定できるようにすればよい。
【００５８】
次に、格子領域２１のピッチＭｐ１を１００μｍに設定した場合の、ワーク１０に対するインク塗布の様子を説明する。なお、ワーク１０におけるセル３０のピッチＣｐ１は、６００μｍである。
【００５９】
この場合、最初に塗布実行セル３１のセンター位置３２に対して、左方向に２００μｍ、上方向に１００μｍ離れた位置にインクを塗布する（インク塗布位置は、塗布マップ２０における場所Ａ２にある格子領域２１に相当する）。次に、塗布実行セル３１において、最初にインク液滴を塗布した位置に対して、右方向に４００μｍ、下方向に２００μｍ離れた位置にインクを塗布する（インク塗布位置は、塗布マップ２０における場所Ｅ４にある格子領域２１に相当する）。このように、塗布マップ２１で設定した(1)〜(6)の順番で、塗布実行セル３１の６箇所において、塗布が行われる。
【００６０】
なお、塗布マップ２０における格子領域２１のピッチＭｐ１は、セルサイズＣｐ１に所定の係数を乗じた値に設定してもよいし、セルサイズＣｐ１に関係なくワーク１０毎に設定してもよい。
【００６１】
図６は、図５（ｂ）に示されたセルサイズＣｐ１と異なるセルサイズであるワーク１０に対して図３に示された塗布パターンで液体塗布を実行したときの、液体塗布状態を示し、図６（ａ）は、図３に示された塗布パターンを説明するための模式図であり、図６（ｂ）は、ワーク１０における液体塗布状態を示す模式図である。
【００６２】
図６（ｂ）に示されたセル３０のセルサイズＣｐ２は、図５（ｂ）に示されたセル３０のセルサイズＣｐ１よりも小さくなっている。このような場合、塗布すべきワーク１０における塗布実行セル３１のセルサイズＣｐ２に応じて、塗布マップ２０のサイズを縮小して格子領域２１のピッチＭｐ２を決定する。これにより、セルサイズがＣｐ１からＣｐ２に変更されても、１つの塗布実行セル３１を遮蔽または着色できる塗布形状が得られる。
【００６３】
ここで、格子領域２１のピッチＭｐ２を８０μｍに設定した場合の、ワーク１０に対するインク塗布の様子を説明する。なお、ワーク１０におけるセル３０のピッチＣｐ２は、４８０μｍである。
【００６４】
この場合、最初に塗布実行セル３１のセンター位置３２に対して、左方向に１６０μｍ、上方向に８０μｍ離れた位置にインクを塗布する（インク塗布位置は、塗布マップ２０における場所Ａ２にある格子領域２１に相当する）。次に、塗布実行セル３１において、最初にインク液滴を塗布した位置に対して、右方向に１６０μｍ、下方向に８０μｍ離れた位置にインクを塗布する（インク塗布位置は、塗布マップ２０における場所Ｅ４にある格子領域２１に相当する）。このように、塗布マップ２１で設定した(1) 〜(6) の順番で、塗布実行セル３１の６箇所において、塗布が行われる。
【００６５】
このように、本液体塗布方法では、１つの塗布マップ２０を用いて、様々なサイズの塗布形状を得ることができる。
【００６６】
図７は、ワーク１０に対して図４に示された塗布パターンで液体塗布を実行したときの、液体塗布状態を示し、図７（ａ）は、図４に示された塗布パターンを説明するための模式図であり、図７（ｂ）は、ワーク１０における液体塗布状態を示す模式図である。
【００６７】
図７（ａ）及び（ｂ）に示されるように、１つの塗布実行セル３１に液体を塗布できるように、塗布マップ２０における格子領域２１のピッチＭｐ３は、塗布パターンがセルサイズＣｐ３に納まるように設定されている。具体的には、図７（ａ）に示された塗布パターン（場所Ｂ３、Ｃ３、及びＤ３にある３つの格子領域２１）が、セルサイズＣｐ３の塗布実行セル３１に収まるように、塗布マップ２０における格子領域２１のピッチＭｐ３を設定する。これにより、塗布実行セル３１のセルサイズが変わっても、セル全体に塗布処理を行うことが可能になる。
【００６８】
なお、図５（ａ）及び（ｂ）〜図７（ａ）及び（ｂ）においては、便宜上、１つの塗布実行セル３１全体にインクを塗布する例を示した。しかしながら、本液体塗布方法は、このような塗布に限定されず、塗布領域を仕切るセル３０という概念がないワーク１０に対しても適用することができる。このような場合、塗布マップ２０における格子領域２１のピッチは、セルサイズによらずワーク１０の種類ごとに設定すればよい。また、中心位置の格子領域２１（場所Ｃ３）だけを塗布するような塗布パターンに設定した塗布マップ２０を作成した場合には、本液体塗布方法を、ワーク１０における１つの塗布位置だけにインク塗布を行うという通常の塗布方法にも適用することができる。また、塗布マップ２０における４隅（場所Ａ１，Ｅ１，Ａ５，Ｅ５）を塗布箇所として選択すると、ワーク１０にドット形状の塗布形状を作成することができる。本液体塗布方法では、塗布マップ２０における格子領域２１で表現できる塗布パターンであれば、ワーク１０に様々な塗布形状の塗布膜を生成することができる。
【００６９】
次に、本液体塗布方法における工程フローについて、説明する。図８は、本液体塗布方法における、塗布準備作業から塗布実行作業までの工程を示し、図８（ａ）は塗布準備作業の工程を示すフローチャートであり、図８（ｂ）は塗布実行作業の工程を示すフローチャートである。まず、図８（ａ）に示されるように、事前の塗布準備作業として、上述した塗布マップ２０の作成を行う。そして、実際の塗布実行作業として、図８（ｂ）に示されるように、工程Ｓ１にて、ワーク１０を載置台４に載置し吸着保持して、アライメント（位置調整）を実行する。
【００７０】
次に、工程Ｓ２にて、載置台４に載置されたワーク１０に基づいて塗布情報を読み込む。ここで、塗布情報とは、液体塗布に使用する塗布マップ番号、塗布領域のセンター位置、及び格子ピッチ情報のことをいう。格子ピッチ情報は、塗布マップ２０における格子領域２１のピッチ設定に必要なワーク１０の情報を意味し、例えば、ワーク１０のセルサイズ、またはワーク１０の種類に応じて決定された格子領域２１のピッチそのものが挙げられる。なお、このような塗布情報について、外部から読み込む代わりに、外部データ入力手段７により、ワーク１０ごとに手動で打ち込んで、装置内に登録してもよい。また、塗布領域のセンター位置については、液体塗布装置に設けられた観察カメラ２による観察によって設定してもよい。
【００７１】
次に、工程Ｓ３にて、インクジェット１によるインクの予備吐出といった、塗布実行開始前の準備動作を行う。そして、工程Ｓ４にて、塗布マップ２０にしたがったワーク１０への塗布動作を実行する。塗布動作が終了すると、工程Ｓ５にて、ワーク１０の吸着保持を解除しワーク１０を取り出して、塗布実行作業が終了する。
【００７２】
このように、本発明によれば、一箇所の塗布位置の設定だけで、塗布マップに登録した塗布形状での塗布が可能になる。これはワークへの塗布形状のサイズが異なっても塗布マップは一個だけの登録でまかなえるということであり、登録の手間を軽減することができる。塗布実行にあたっての塗布位置設定を一回の塗布ごとに行う必要が無く、塗布形状設定もその都度行う必要が無くなる。したがって塗布実行に関わる時間を短縮できるとともに、複数回の塗布形状設定に起因する設定ミスの発生頻度を抑えることができる。
【００７３】
（別の表現）
本発明は、以下の（１）〜（６）のように表現することができる。
【００７４】
（１）ワークの所定位置に所定形状の機能性液体を塗布する液体塗布装置において、
所定エリアにおける塗布パターンを設定した塗布マップを記憶したマップ記憶手段と、塗布マップに設定された塗布パターンで塗布を実行する塗布実行手段とを備えたことを特徴とする液体塗布装置。
【００７５】
（２）塗布マップはｎ個×ｍ個（ｎおよびｍは２以上の整数）のマトリクス状であり、各格子を選択して塗布位置、塗布順序からなる塗布パターンを設定することを特徴とする（１）記載の液体塗布装置。
【００７６】
（３）塗布マップの格子ピッチは、ワークに応じて可変することを特徴とする（２）記載の液体塗布装置。
【００７７】
（４）塗布マップの格子ピッチは、ワークのセルサイズに応じて可変することを特徴とする（２）記載の液体塗布装置。
【００７８】
（５）塗布マップの格子ピッチは、ワークへの液滴の着弾サイズに応じて可変することを特徴とする（２）記載の液体塗布装置。
【００７９】
（６）所定エリアにおける塗布パターンを設定した塗布マップを生成し、ワークへの塗布位置と塗布マップを選択して塗布を行う液体塗布方法。
【００８０】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００８１】
本発明によれば、ワークへの塗布形状の種類や塗布形状の大きさが容易に設定できるため、様々なワークに対する、もしくは様々な塗布形状に対する塗布を信頼性高く短時間で実施することができる。このため、本発明は、液体塗布装置を使用した製造技術などに好適に利用できる。
【符号の説明】
【００８２】
１    インクジェットヘッド
２    観察カメラ
３    ヒーター
４    載置台
５    ワークステージ
６    メンテナンスユニット
７    基台
８    架台
９    ヘッドステージ
１０    ワーク
１１    インターフェース部
１２    塗布動作制御部
１３    塗布実行手段
１４    塗布動作設定手段
１５    マップ記憶手段
１６    モニタ
１７    外部データ入力手段
２０    塗布マップ
２１    格子領域
２２    センター位置
３０    セル
３１    塗布実行セル
３２    センター位置（ワーク）
３３    着弾部分
１００  インク塗布動作部
２００  塗布制御部
【図１】
0005507219.tif 000002
【図２】
0005507219.tif 000003
【図３】
0005507219.tif 000004
【図４】
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【図５】
0005507219.tif 000006
【図６】
0005507219.tif 000007
【図７】
0005507219.tif 000008
【図８】
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