(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング内に形成された入力空気圧室，第１の供給空気圧室，第２の供給空気圧室，第１の出力空気圧室，第２の出力空気圧室および排気室と、
前記入力空気圧室に導かれる入力空気圧によって変位するダイアフラムと、
前記第１の出力空気圧室に位置する第１の開口と，前記第２の出力空気圧室に位置する第２の開口と，前記第１の開口および前記第２の開口を前記排気室に連通させる排気通路とを有し、前記ダイアフラムに支持されて前記ハウジング内を移動する移動体と、
前記第１の供給空気圧室と前記第１の出力空気圧室とを画成する第１の隔壁に形成された第１の連通孔を貫通して移動可能に設けられ、前記移動体の第１の開口を開閉する第１の排気弁および前記第１の連通孔を開閉する第１の給気弁とを一体的に有する第１のポペット弁と、
前記第２の供給空気圧室と前記第２の出力空気圧室とを画成する第２の隔壁に形成された第２の連通孔を貫通して移動可能に設けられ、前記移動体の第２の開口を開閉する第２の排気弁および前記第２の連通孔を開閉する第２の給気弁とを一体的に有する第２のポペット弁と、
前記第１のポペット弁を前記第１の給気弁が前記第１の連通孔を閉じる方向に付勢する第１のバネ部材と、
前記第２のポペット弁を前記第２の給気弁が前記第２の連通孔を閉じる方向に付勢する第２のバネ部材とを備えたパイロットリレーであって、
前記第１のバネ部材を収容する空間および前記第１の隔壁を有し、前記第１の隔壁に形成されている前記第１の連通孔から前記第１の排気弁を突出させた状態で前記第１のポペット弁および前記第１のバネ部材を保持する第１のポペット弁組立体と、
前記ハウジングの外側にその開口部が臨む通路を有し、この通路の開口部からその内壁面に沿って前記第１のポペット弁組立体が摺動可能に装着され、その通路の底部に残された空間が前記第１の出力空気圧室とされるポペット弁組立体装着部と、
前記第１のポペット弁組立体の前記ハウジングの外側に臨む面に面接触し、前記ポペット弁組立体装着部における前記第１のポペット弁組立体の摺動位置を前記ハウジングの外側から調整可能とする摺動位置調整手段とを備え、
前記摺動位置調整手段は、
前記第１のポペット弁組立体の前記ハウジングの外側に臨む面に面接触する平板部と，この平板部から前記第１のポペット弁組立体とは反対側の面に突出した突出部と，この突出部の外周面に形成された第１のネジ部とを有する第１のネジ体と、
前記第１のネジ体の第１のネジ部と螺合する内周面を有するとともに、外周面に第２のネジ部を有する第２のネジ体と、
前記第２のネジ体の第２のネジ部と螺合する内周面を有するとともに、前記ハウジングに取り付けられて前記第１のネジ体および前記第２のネジ体を覆うカバーとを備え、
前記第２のネジ部のネジピッチは前記第１のネジ部のネジピッチよりも大きい
ことを特徴とするパイロットリレー。
【請求項２】
請求項１に記載されたパイロットリレーにおいて、
前記平板部は、その外周面の一部に径方向に突出する大径部を有し、
前記カバーは、その内周面に前記平板部の大径部に係合し、前記平板部の周方向の回動を規制する一方、前記平板部の軸方向の移動を案内するガイド部を有する
ことを特徴とするパイロットリレー。
【請求項３】
請求項２に記載されたパイロットリレーにおいて、
前記ガイド部は、
前記カバーの内周面に一体的に形成された第１のガイドと、この第１のガイドの前面に別部材として嵌め込まれる第２のガイドとから構成される
ことを特徴とするパイロットリレー。
【請求項４】
請求項２に記載されたパイロットリレーにおいて、
前記ガイド部は、
前記カバーの内周面に別部材として嵌め込まれる第１のガイドと、この第１のガイドの前面に別部材として嵌め込まれる第２のガイドとから構成される
ことを特徴とするパイロットリレー。
【請求項５】
請求項１に記載されたパイロットリレーにおいて、
前記第１のポペット弁組立体は、
前記第１の連通孔が形成されたシート部と、このシート部が着脱可能に取り付けられたシート保持部との分割構造とされ、
前記シート部と前記シート保持部との間に前記第１のバネ部材および前記第１のポペット弁が保持されている
ことを特徴とするパイロットリレー。
【請求項６】
請求項１に記載されたパイロットリレーにおいて、
前記第１のネジ体と前記第１のポペット弁組立体とが一体化されている
ことを特徴とするパイロットリレー。
【請求項７】
請求項１に記載されたパイロットリレーにおいて、
前記第１の出力空気圧室に前記第１のポペット弁組立体の前面と前記第１の出力空気圧室の底面とによって挾圧された状態でがたつき防止用のバネが設けられている
ことを特徴とするパイロットリレー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、空気作動型の調節弁（バルブ）の開度制御を行うポジショナなどに用いられるパイロットリレーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、バルブ駆動制御、プロセスオートメーション、その他一般産業用機器の駆動制御に際してはポジショナが用いられており、このポジショナをバルブに取り付けることにより、バルブの開度制御を可能としている。
【０００３】
図２４にこのバルブの開度制御を可能とするポジショナの要部の構成を示す。同図において、１００はポジショナであり、このポジショナ１００は上位コントローラ２００から電気信号で送られてくるバルブ開度信号を空気圧信号Ｐｎに変換する電空変換部１０１と、この電空変換部１０１によって変換された空気圧信号（入力空気圧）Ｐｎを増幅してバルブ３００に出力空気圧信号（出力空気圧）Ｐｏとして出力するパイロットリレー（圧力信号増幅器）１０２とから構成されている。
【０００４】
このようなポジショナ１００に用いられるパイロットリレー１０２には、１つの入力空気圧Ｐｎに対して１つの出力空気圧Ｐｏを出力する単動型と、１つの入力空気圧Ｐｎに対して２つの出力空気圧Ｐｏ１，Ｐｏ２を出力する複動型とが存在する。複動型のパイロットリレー１０２は、２つの出力ポートを有し、バルブ３００を正動作させる場合には第１のポートの出力空気圧Ｐｏ１を第２のポートの出力空気圧Ｐｏ２よりも高くし、逆動作させる場合には第２のポートの出力空気圧Ｐｏ２を第１のポートの出力空気圧Ｐｏ１よりも高くする。
【０００５】
図２５に特許文献１に示された複動型のパイロットリレーの構造を示す。同図において、４０１はハウジングであり、ハウジング４０１内には入力空気圧室４０２，第１の供給空気圧室４０３，第２の供給空気圧室４０４，第１の出力空気圧室４０５，第２の出力空気圧室４０６，排気室４０７およびフィードバック室４０８が設けられている。
【０００６】
また、ハウジング４０１内には、入力空気圧室４０２に導かれる入力空気圧（ノズル背圧）Ｐｎによって変位するダイアフラム４０９が設けられており、このダイアフラム４０９にスプール（移動体）４１０が矢印Ａ方向およびＢ方向へ移動可能に支持されている。スプール４１０は、第１の出力空気圧室４０５に位置する第１の開口４１０ａと、第２の出力空気圧室４０６に位置する第２の開口４１０ｂと、第１の開口４１０ａおよび第２の開口４１０ｂを排気室４０７に連通させる排気通路４１０ｃとを有している。
【０００７】
第１の供給空気圧室４０３と第１の出力空気圧室４０５との間にはシートリング４１１が設けられている。このシートリング４１１は第１の供給空気圧室４０３と第１の出力空気圧室４０５とを画成する第１の隔壁の役割を果たす。第２の供給空気圧室４０４と第２の出力空気圧室４０６との間にはハウジング４０１の内壁にリング壁４１２が形成されている。このリング壁４１２は第２の供給空気圧室４０４と第２の出力空気圧室４０６とを画成する第２の隔壁の役割を果たす。
【０００８】
また、第１の供給空気圧室４０３と第１の出力空気圧室４０５との間には、シートリング４１１の中心孔４１１ａを貫通して、左右に移動可能に第１のポペット弁４１３が設けられている。第１のポペット弁４１３は、スプール４１０の第１の開口４１０ａを開閉する排気弁４１３ａと、シートリング４１１の中心孔（第１の連通孔）４１１ａを開閉する給気弁４１３ｂとを一体的に有している。
【０００９】
第２の供給空気圧室４０４と第２の出力空気圧室４０６との間には、リング壁４１２の中心孔４１２ａを貫通して、左右に移動可能に第２のポペット弁４１４が設けられている。第２のポペット弁４１４は、スプール４１０の第２の開口４１０ｂを開閉する排気弁４１４ａと、リング壁４１２の中心孔（第２の連通孔）４１２ａを開閉する給気弁４１４ｂとを一体的に有している。
【００１０】
また、第１の供給空気圧室４０３には、第１のポペット弁４１３を矢印Ｂ方向、すなわち給気弁４１３ｂが第１の連通孔４１１ａを閉じる方向に付勢する第１のバネ４１５が設けられている。第２の供給空気圧室４０４には、第２のポペット弁４１４を矢印Ａ方向、すなわち給気弁４１４ｂが第２の連通孔４１２ａを閉じる方向に付勢する第２のバネ４１６が設けられている。
【００１１】
この複動型のパイロットリレーでは、第１の供給空気圧室４０３および第２の供給空気圧室４０４にエアー供給管４１７を通して供給空気圧Ｐｓが供給され、入力空気圧室４０２にノズル背圧導入管４１８を通して入力空気圧Ｐｎが導かれる。また、第１の出力空気圧室４０５から第１のエアー出力管４１９を通して出力空気圧Ｐｏ１がバルブ３００に出力され、第２の出力空気圧室４０６から第２のエアー出力管４２０を通して出力空気圧Ｐｏ２がバルブ３００に出力される。また、フィードバック室４０８は第２の出力空気圧室４０５と連通し、スプール４１０に支持されたダイアフラム４２１によって画成されている。また、排気室４０７は大気と連通している。
【００１２】
この複動型のパイロットリレーにおいて、入力空気圧Ｐｎを減少させると、ダイアフラム４０９が矢印Ａ側に移動し、それに伴って、ダイアフラム４０９に支持されているスプール４１０も矢印Ａ側に移動する。すると、スプール４１０は、その移動に伴って第１のポペット弁４１３を第１のバネ４１５の付勢力に抗して押し下げ、それに伴って、第１のポペット弁４１３の給気弁４１３ｂが第１の連通孔４１１ａを開く。この時、スプール４１０の第１の開口４１０ａは、第１のポペット弁４１３の排気弁４１３ａによって閉じられる。一方、第２のポペット弁４１４は、第２のバネ４１６の付勢力によって押し上げられ、それに伴って、第２のポペット弁４１４の給気弁４１４ｂが第２の連通孔４１２ａを閉じる。この時、スプール４１０の第２の開口４１０ｂは、第２のポペット弁４１４の排気弁４１４ａによって開かれる。
【００１３】
これにより、エアー供給管４１７を通して第１の供給空気圧室４０３に供給されたエアーは、第１の連通路４１１ａを通って第１の出力空気圧室４０５内に導入された後に、第１のエアー出力管４１９を通ってバルブ３００に供給される。一方、バルブ３００からのエアーは、第２のエアー出力管４２０を通って第２の出力空気圧室４０６内に戻った後、スプール４１０の第２の開口４１０ｂより排気通路４１０ｃに入り、排気室４０７に排出される。
【００１４】
一方、入力空気圧Ｐｎを増加させると、ダイアフラム４０９が矢印Ｂ側に移動し、それに伴って、ダイアフラム４０９に支持されているスプール４１０も矢印Ｂ側に移動する。すると、スプール４１０は、その移動に伴って第２のポペット弁４１４を第２のバネ４１６の付勢力に抗して押し下げ、それに伴って、第２のポペット弁４１４の給気弁４１４ｂが第２の連通孔４１２ａを開く。この時、スプール４１０の第２の開口４１０ｂは、第２のポペット弁４１４の排気弁４１４ａによって閉じられる。一方、第１のポペット弁４１３は、第１のバネ４１５の付勢力によって押し上げられ、それに伴って、第１のポペット弁４１３の給気弁４１３ｂが第１の連通孔４１１ａを閉じる。この時、スプール４１０の第１の開口４１０ａは、第１のポペット弁４１３の排気弁４１３ａによって開かれる。
【００１５】
これにより、エアー供給管４１７を介して第２の供給空気圧室４０４に供給されたエアーは、第２の連通路４１２ａを通って第２の出力空気圧室４０６内に導入された後に、第２のエアー出力管４２０を通ってバルブ３００に供給される。一方、バルブ３００からのエアーは、第１のエアー出力管４１９を通って第１の出力空気圧室４０５内に戻った後、スプール４１０の第１の開口４１０ａより排気通路４１０ｃに入り、排気室４０７に排出される。
【００１６】
このようにして、入力空気圧室４０２に導かれる入力空気圧Ｐｎによって、スプール４１０および一対のポペット弁４１２，４１３が動作し、その動作によって、増幅された出力空気圧Ｐｏ１およびＰｏ２がエア出力管４１９および４２０を通してバルブ３００へ出力されるものとなる。この場合、入力空気圧Ｐｎの減少方向の圧力を調整することによって、バルブ３００を正動作させる場合の出力空気圧Ｐｏ１が調整されるものとなり、入力空気圧Ｐｎの増加方向の圧力を調整することによって、バルブ３００を逆動作させる場合の出力空気圧Ｐｏ２が調整されるものとなる。
【００１７】
この複動型のパイロットリレーでは、出力空気圧Ｐｏ１とＰｏ２とのバランス圧（入力空気圧Ｐｎに対して出力空気圧Ｐｏ１と出力空気圧Ｐｏ２とが交差する点の出力空気圧（図１８，図１９参照）を調整する機構が必要であり、このためにシートリング４１１に対してシートアジャスタ４２２が設けられている。シートリング４１１は、スプール４１０の移動方向と同方向へ移動自在に設けられており、バネ４２３によってスプール４１０側へ付勢されている。
【００１８】
シートアジャスタ４２２はその先端部がテーパ状とされており、このシートアジャスタ４２２を、その先端がシートリング４１１に当接する配置で、ハウジング４０１の壁部分を貫通しつつ外部より出力空気圧室４０５内にねじ込んでいる。この機構によれば、ハウジング４０１の壁部分に対するシートアジャスタ４２２の螺合の割合を調節することにより、ポペット弁４１３の給気弁４１３ｂに対するシートリング（弁座）４１１の位置を調節して、バランス圧の調整を行うことが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１９】
【特許文献１】特開２００７−４０５１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
しかしながら、上述した特許文献１に示されたバランス圧の調整機構によると、シートアジャスタ４２２の先端部がシートリング４１１に片当たりしているため、シートリング４１１が傾き、バルブシートの締切性能が悪化して、パイロットリレーの特性の悪化を引き起こす虞があった。
【００２１】
また、バランス圧の調整を何度も繰り返しているうちに当接面が摩耗し、これによってもシートリング４１１が傾き、バルブシートの締切性能が悪化して、パイロットリレーの特性の悪化を引き起こす虞があった。
【００２２】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、バルブシートの締切性能を悪化させることなく、且つきめ細かく、バランス圧の調整を行うことが可能なパイロットリレーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
このような目的を達成するために本発明は、ハウジング内に形成された入力空気圧室，第１の供給空気圧室，第２の供給空気圧室，第１の出力空気圧室，第２の出力空気圧室および排気室と、入力空気圧室に導かれる入力空気圧によって変位するダイアフラムと、第１の出力空気圧室に位置する第１の開口と，第２の出力空気圧室に位置する第２の開口と，第１の開口および第２の開口を排気室に連通させる排気通路とを有し、ダイアフラムに支持されてハウジング内を移動する移動体と、第１の供給空気圧室と第１の出力空気圧室とを画成する第１の隔壁に形成された第１の連通孔を貫通して移動可能に設けられ、移動体の第１の開口を開閉する第１の排気弁および第１の連通孔を開閉する第１の給気弁とを一体的に有する第１のポペット弁と、第２の供給空気圧室と第２の出力空気圧室とを画成する第２の隔壁に形成された第２の連通孔を貫通して移動可能に設けられ、移動体の第２の開口を開閉する第２の排気弁および第２の連通孔を開閉する第２の給気弁とを一体的に有する第２のポペット弁と、第１のポペット弁を第１の給気弁が第１の連通孔を閉じる方向に付勢する第１のバネ部材と、第２のポペット弁を第２の給気弁が第２の連通孔を閉じる方向に付勢する第２のバネ部材とを備えたパイロットリレーであって、第１のバネ部材を収容する空間および第１の隔壁を有し、第１の隔壁に形成されている第１の連通孔から第１の排気弁を突出させた状態で第１のポペット弁および第１のバネ部材を保持する第１のポペット弁組立体と、ハウジングの外側にその開口部が臨む通路を有し、この通路の開口部からその内壁面に沿って第１のポペット弁組立体が摺動可能に装着され、その通路の底部に残された空間が第１の出力空気圧室とされるポペット弁組立体装着部と、第１のポペット弁組立体のハウジングの外側に臨む面に面接触し、ポペット弁組立体装着部における第１のポペット弁組立体の摺動位置をハウジングの外側から調整可能とする摺動位置調整手段とを備え、摺動位置調整手段は、第１のポペット弁組立体のハウジングの外側に臨む面に面接触する平板部と，この平板部から第１のポペット弁組立体とは反対側の面に突出した突出部と，この突出部の外周面に形成された第１のネジ部とを有する第１のネジ体と、第１のネジ体の第１のネジ部と螺合する内周面を有するとともに、外周面に第２のネジ部を有する第２のネジ体と、第２のネジ体の第２のネジ部と螺合する内周面を有するとともに、ハウジングに取り付けられて第１のネジ体および第２のネジ体を覆うカバーとを備え、第２のネジ部のネジピッチは第１のネジ部のネジピッチよりも大きいことを特徴とする。
【００２４】
この発明によれば、ハウジングの外側にその開口部が臨む通路がポペット弁組立体装着部とされ、このポペット弁組立体装着部の開口部からその内壁面に沿って、第１のポペット弁組立体が摺動可能に装着され、その通路の底部に残された空間が第１の出力空気圧室とされる。第１のポペット弁組立体は、第１のバネ部材を収容する空間および第１の隔壁を有し、第１の隔壁に形成されている第１の連通孔から第１の排気弁を突出させた状態で第１のポペット弁および第１のバネ部材を保持する。第１のポペット弁組立体に対しては、この第１のポペット弁組立体のハウジングの外側に臨む面に面接触し、ポペット弁組立体装着部における第１のポペット弁組立体の摺動位置をハウジングの外側から調整可能とする摺動位置調整手段が設けられる。
【００２５】
摺動位置調整手段は、第１のポペット弁組立体のハウジングの外側に臨む面に面接触する平板部と，この平板部から第１のポペット弁組立体とは反対側の面に突出した突出部と，この突出部の外周面に形成された第１のネジ部とを有する第１のネジ体と、第１のネジ体の第１のネジ部と螺合する内周面を有するとともに、外周面に第２のネジ部を有する第２のネジ体と、第２のネジ体の第２のネジ部と螺合する内周面を有するとともに、ハウジングに取り付けられて第１のネジ体および第２のネジ体を覆うカバーとから構成され、第２のネジ部のネジピッチは第１のネジ部のネジピッチよりも大きいものとされている。
【００２６】
この発明において、第１のポペット弁組立体は、そのハウジングの外側に臨む面に面接触する第１のネジ体の平板部に押されて、ポペット弁組立体装着部の通路内をその内壁面に沿って摺動移動する。この際、第１のポペット弁組立体は安定した姿勢で摺動移動するので、第１のポペット弁組立体が傾くことはない。また、第１のポペット弁組立体において、第１のポペット弁が傾くこともない。これにより、安定した姿勢のまま、第１の給気弁と第１の連通孔との間の抵抗（隙間）を変え、バルブシートの締切性能を悪化させることなく、バランス圧の調整を行うことが可能となる。
【００２７】
また、摺動位置調整手段において、第１のネジ体と第２のネジ体とは差動ネジ構造を形成する。この差動ネジ構造では、第２のネジ体の外周面に形成された第２のネジ部のネジピッチ（Ｐ２）が第１のネジ体の外周面に形成された第１のネジ部のネジピッチ（Ｐ１）よりも大きくされているので、第１のネジ体の進退量をきめ細かく設定することが可能となる。これにより、第１のポペット弁組立体の進退量をきめ細かく設定して、バランス圧の微調整を行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、ハウジングの外側にその開口部が臨む通路をポペット弁組立体装着部とし、このポペット弁組立体装着部の開口部からその内壁面に沿って第１のポペット弁組立体を摺動可能に装着し、この第１のポペット弁組立体のハウジングの外側に臨む面に面接触し、ポペット弁組立体装着部における第１のポペット弁組立体の摺動位置をハウジングの外側から調整可能とする摺動位置調整手段を設けたので、第１のポペット弁組立体を安定した姿勢で摺動移動させるようにして、バルブシートの締切性能を悪化させることなく、バランス圧の調整を行うことが可能となる。
【００２９】
また、本発明によれば、摺動位置調整手段を、第１のポペット弁組立体のハウジングの外側に臨む面に面接触する平板部と，この平板部から第１のポペット弁組立体とは反対側に突出した突出部と，この突出部の外周面に形成された第１のネジ部とを有する第１のネジ体と、第１のネジ体の第１のネジ部と螺合する内周面を有するとともに、外周面に第２のネジ部を有する第２のネジ体と、第２のネジ体の第２のネジ部と螺合する内周面を有するとともに、ハウジングに取り付けられて第１のネジ体および第２のネジ体を覆うカバーとから構成し、第２のネジ部のネジピッチを第１のネジ部のネジピッチよりも大きいものとしたので、第１のネジ体と第２のネジ体とで形成される差動ネジ構造により、第１のポペット弁組立体の進退量をきめ細かく設定して、バランス圧の微調整を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係るパイロットリレー（複動型のパイロットリレー）の一実施の形態の構造を示す図である。
【図２】このパイロットリレーにおいてバランス圧の調整に用いる摺動位置調整機構に関連する部分を拡大して示す図である。
【図３】この摺動位置調整機構を側面から見た図（図２におけるＣ方向から見た図）である。
【図４】この摺動位置調整機構に用いる第１のネジ体の側面図および底面図である。
【図５】この摺動位置調整機構に用いる第２のネジ体の上面図，側面図および底面図である。
【図６】この摺動位置調整機構に用いるカバーの上面図，側断面図および底面図である。
【図７】この摺動位置調整機構に用いるガイドの側断面図および底面図である。
【図８】この摺動位置調整機構の第１のポペット弁組立体に対する取付手順（手順１）を説明する図である。
【図９】この摺動位置調整機構の第１のポペット弁組立体に対する取付手順（手順２）を説明する図である。
【図１０】この摺動位置調整機構の第１のポペット弁組立体に対する取付手順（手順３）を説明する図である。
【図１１】この摺動位置調整機構の第１のポペット弁組立体に対する取付手順（手順４）を説明する図である。
【図１２】この摺動位置調整機構の第１のポペット弁組立体に対する取付手順（手順５）を説明する図である。
【図１３】この摺動位置調整機構の第１のポペット弁組立体に対する取付手順（手順６）を説明する図である。
【図１４】この摺動位置調整機構において第２のネジ体を最も緩めた状態を示す図である。
【図１５】この摺動位置調整機構において第２のネジ体を最もねじ込んだ状態を示す図である。
【図１６】バランス圧を高くする場合の第１のポペット弁組立体の摺動位置の調整状況を示す図である。
【図１７】バランス圧を低くする場合の第１のポペット弁組立体の摺動位置の調整状況を示す図である。
【図１８】出力空気圧Ｐｏ１と出力空気圧Ｐｏ２とのバランス圧が高くなった状態を示す図である。
【図１９】出力空気圧Ｐｏ１と出力空気圧Ｐｏ２とのバランス圧が低くなった状態を示す図である。
【図２０】第１の出力空気圧室にがたつき防止用のバネを設けるようにした例を示す図である。
【図２１】カバーの内周面にガイドを分割して設けるようにした例を示す図である。
【図２２】ガイドを分割して設けるようにした場合に共通部品として形成されるそのガイドの側断面図および正面図である。
【図２３】ガイドを分割して設けるようにした場合のカバーの側断面図および底面図である。
【図２４】パイロットリレーを用いたポジショナの要部の構成図である。
【図２５】特許文献１に示された複動型のパイロットリレーの構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１はこの発明に係るパイロットリレー（複動型のパイロットリレー）の一実施の形態の構造を示す図である。
【００３２】
同図において、１はハウジングであり、ハウジング１内には入力空気圧室２，第１の供給空気圧室３，第２の供給空気圧室４，第１の出力空気圧室５，第２の出力空気圧室６，排気室７およびバイアス室８が形成されている。
【００３３】
また、ハウジング１内には、入力空気圧室２に導かれる入力空気圧（ノズル背圧）Ｐｎによって変位するダイアフラム９が設けられており、このダイアフラム９にスプール（移動体）１０が矢印Ａ方向およびＢ方向へ移動可能に支持されている。
【００３４】
スプール１０は、第１の出力空気圧室５に位置する第１の開口１０ａと、第２の出力空気圧室６に位置する第２の開口１０ｂと、第１の開口１０ａおよび第２の開口１０ｂを排気室７に連通させる排気通路１０ｃとを有している。排気通路１０ｃは、第１の開口１０ａと第２の開口１０ｂとを結ぶ貫通路１０ｃ１と、この貫通路１０ｃ１の内壁面より排気室７へ向け開口された排気孔１０ｃ２，１０ｃ３とから構成されている。
【００３５】
また、ハウジング１の一方側の端部には、ハウジング１の外側にその開口部１１ａが臨む通路１１が第１のポペット弁組立体装着部１２として設けられており、ハウジング１の他方側の端部には、ハウジング１の外側にその開口部１３ａが臨む通路１３が第２のポペット弁組立体装着部１４として設けられている。
【００３６】
第１のポペット弁組立体装着部１２には、ハウジング１の外側に臨む通路１１の開口部１１ａから、その通路１１の内壁面に沿って、第１のポペット弁組立体１５が摺動可能に装着され、その通路１１の底部に残された空間が第１の出力空気圧室５とされている。また、第２のポペット弁組立体装着部１４には、ハウジング１の外側に臨む通路１３の開口部１３ａから、その通路１３の内壁面に沿って、第２のポペット弁組立体１６が摺動可能に装着され、その通路１３の底部に残された空間が第２の出力空気圧室６とされている。
【００３７】
第１のポペット弁組立体１５は、円筒状のシート部１７と、このシート部１７がその前面に着脱可能に取り付けられた円柱状のシート保持部１８との分割構造とされており 、シート部１７とシート保持部１８との間に内部空間１９が形成されている。シート部１７の上面１７ａには内部空間１９と第１の出力空気圧室５とを連通させる第１の連通孔１７ｂが形成されている。このシート１７の上面１７ａが第１の供給空気圧室３と第１の出力空気圧室５とを画成する第１の隔壁の役割を果たす。
【００３８】
シート部１７とシート保持部１８との間の内部空間１９には第１のバネ２０が収容されており、この第１のバネ２０に付勢された状態で第１のポペット弁２１がシート部１７とシート保持部１８との間に保持されている。内部空間２０は第１の供給空気圧室３と連通している。第１のポペット弁２１は、その先端部に排気弁２１ａを有し、その後端部に給気弁２１ｂを有している。
【００３９】
この保持状態において、第１のポペット弁２１は、シート部１７に形成された第１の連通孔１７ｂを貫通して、左右に移動可能に第１のバネ２０によって付勢されている。また、給気弁２１ｂが第１の貫通孔１７ｂを閉じる方向に付勢され、排気弁２１ａが第１の貫通孔１７ｂから突出している。この第１のポペット弁組立体１５では、シート部１７とシート保持部１８との分割構造とされているので、第１のバネ２０および第１のポペット弁２１の組み込み作業が容易である。
【００４０】
第２のポペット弁組立体１６も第１のポペット弁組立体１５と同様の構成とされている。すなわち、第２のポペット弁組立体１６は、円筒状のシート部２２と、このシート部２２がその前面に着脱可能に取り付けられた円柱状のシート保持部２３との分割構造とされており、シート部２２とシート保持部２３との間に内部空間２４が形成されている。シート部２２の上面２２ａには内部空間２４と第２の出力空気圧室６とを連通させる第２の連通孔２２ｂが形成されている。このシート２２の上面２２ａが第２の供給空気圧室４と第２の出力空気圧室６とを画成する第２の隔壁の役割を果たす。
【００４１】
シート部２２とシート保持部２３との間の内部空間２４には第２のバネ２５が収容されており、この第２のバネ２５に付勢された状態で第２のポペット弁２６がシート部２２とシート保持部２３との間に保持されている。内部空間２４は第２の供給空気圧室４と連通している。第２のポペット弁２６は、その先端部に排気弁２６ａを有し、その後端部に給気弁２６ｂを有している。
【００４２】
この保持状態において、第２のポペット弁２６は、シート部２２に形成された第２の連通孔２２ｂを貫通して、左右に移動可能に第２のバネ２５によって付勢されている。また、給気弁２６ｂが第２の貫通孔２２ｂを閉じる方向に付勢され、排気弁２６ａが第２の貫通孔２２ｂから突出している。この第２のポペット弁組立体２６でも、シート部２２とシート保持部２３との分割構造とされているので、第２のバネ２５および第２のポペット弁２６の組み込み作業が容易である。
【００４３】
第１のポペット弁組立体１５に対しては、この第１のポペット弁組立体１５のハウジング１の外側に臨む面（シート保持部１８の底面１８ａ）に面接触し、第１のポペット弁組立体装着部１２における第１のポペット弁組立体１５の摺動位置をハウジング１の外側から調整可能とする摺動位置調整機構２７が設けられている。この摺動位置調整機構２７については後述する。
【００４４】
第２のポペット弁組立体１６に対しては、この第２のポペット弁組立体１６を第２のポペット弁組立体装着部１４に装着した後、すなわちハウジング１の外側に臨む開口部１３ａから第２のポペット弁組立体１６を通路１３内に押し込んだ後、その通路１３の開口部１３ａにリング状の止板２８を取り付けている。すなわち、止板２８のリング面を第２のポペット弁組立体１６のハウジング１の外側に臨む面（シート保持部２３の底面２３ａ）に面接触させ、第２のポペット弁組立体装着部１４における第２のポペット弁組立体１６の位置を規制している。
【００４５】
この複動型のパイロットリレーでは、第１の供給空気圧室３，第２の供給空気圧室４およびバイアス室８にエアー供給管２９を通して供給空気圧Ｐｓが供給され、入力空気圧室２にノズル背圧導入管３０を通して入力空気圧Ｐｎが導かれる。また、第１の出力空気圧室５から第１のエアー出力管３１を通して出力空気圧Ｐｏ１がバルブ３００に出力され、第２の出力空気圧室６から第２のエアー出力管３２を通して出力空気圧Ｐｏ２がバルブ３００に出力される。
【００４６】
なお、バイアス室８は入力空気圧室２と排気室７との間に設けられ、ダイアフラム９を介して入力空気圧室２に隣接し、ダイアフラム３３を介して排気室７に隣接している。ダイアフラム３３はダイアフラム９と同様、ハウジング１とスプール１０との間に設けられ、スプール１０を支持している。また、排気室７は大気と連通しており、スプール１０の両端にはハウジング１との間にＯリング３４，３５が装着されている。また、第１のポペット弁組立体１５のシート部１７およびシート保持部１８にもハウジング１との間にＯリング３６，３７が装着されている。また、第２のポペット弁組立体１６のシート部２２およびシート保持部２３にもハウジング１との間にＯリング３８，３９が装着されている。
【００４７】
この複動型のパイロットリレーにおいて、入力空気圧Ｐｎを減少させると、ダイアフラム９が矢印Ａ側に移動し、それに伴って、ダイアフラム９に支持されているスプール１０も矢印Ａ側に移動する。すると、スプール１０は、その移動に伴って第１のポペット弁２１を第１のバネ２０の付勢力に抗して押し下げ、それに伴って、第１のポペット弁２１の給気弁２１ｂが第１の連通孔１７ｂを開く。この時、スプール１０の第１の開口１０ａは、第１のポペット弁２１の排気弁２１ａによって閉じられる。一方、第２のポペット弁２６は、第２のバネ２５の付勢力によって押し上げられ、それに伴って、第２のポペット弁２６の給気弁２６ｂが第２の連通孔２２ｂを閉じる。この時、スプール１０の第２の開口１０ｂは、第２のポペット弁２６の排気弁２６ａによって開かれる。
【００４８】
これにより、エアー供給管２９を通して第１の供給空気圧室３に供給されたエアーは、第１のポペット弁組立体１５の内部空間１９に入り、第１の連通路１７ｂを通って第１の出力空気圧室５内に導入された後に、第１のエアー出力管３１を通ってバルブ３００に供給される。一方、バルブ３００からのエアーは、第２のエアー出力管３２を通って第２の出力空気圧室６内に戻った後、スプール１０の第２の開口１０ｂより排気通路１０ｃに入り、排気室７に排出される。
【００４９】
一方、入力空気圧Ｐｎを増加させると、ダイアフラム９が矢印Ｂ側に移動し、それに伴って、ダイアフラム９に支持されているスプール１０も矢印Ｂ側に移動する。すると、スプール１０は、その移動に伴って第２のポペット弁２６を第２のバネ２５の付勢力に抗して押し下げ、それに伴って、第２のポペット弁２６の給気弁２６ｂが第２の連通孔２２ｂを開く。この時、スプール１０の第２の開口１０ｂは、第２のポペット弁２６の排気弁２６ａによって閉じられる。一方、第１のポペット弁２１は、第１のバネ２０の付勢力によって押し上げられ、それに伴って、第１のポペット弁２１の給気弁２１ｂが第１の連通孔１７ｂを閉じる。この時、スプール１０の第１の開口１０ａは、第１のポペット弁２１の排気弁２１ａによって開かれる。
【００５０】
これにより、エアー供給管２９を介して第２の供給空気圧室４に供給されたエアーは、第２のポペット弁組立体１６の内部空間２４に入り、第２の連通路２２ｂを通って第２の出力空気圧室６内に導入された後に、第２のエアー出力管３２を通ってバルブ３００に供給される。一方、バルブ３００からのエアーは、第１のエアー出力管３１を通って第１の出力空気圧室５内に戻った後、スプール１０の第１の開口１０ａより排気通路１０ｃに入り、排気室７に排出される。
【００５１】
このようにして、入力空気圧室２に導かれる入力空気圧Ｐｎによって、スプール１０および一対のポペット弁２１，２６が動作し、その動作によって、増幅された出力空気圧Ｐｏ１およびＰｏ２がエア出力管３１および３２を通してバルブ３００へ出力されるものとなる。この場合、入力空気圧Ｐｎの減少方向の圧力を調整することによって、バルブ３００を正動作させる場合の出力空気圧Ｐｏ１が調整されるものとなり、入力空気圧Ｐｎの増加方向の圧力を調整することによって、バルブ３００を逆動作させる場合の出力空気圧Ｐｏ２が調整されるものとなる。
【００５２】
〔摺動位置調整機構〕
この複動型のパイロットリレーでは、出力空気圧Ｐｏ１とＰｏ２とのバランス圧を調整する機構が必要であり、このために第１のポペット弁組立体１５に対して、この第１のポペット弁組立体１５の摺動位置をハウジング１の外側から調整可能とする摺動位置調整機構２７が設けられている。
【００５３】
摺動位置調整機構２７は、図２にその関連する部分を拡大して示すように、第１のポペット弁組立体１５のハウジング１の外側に臨む面（シート保持部１８の底面１８ａ）に面接触する第１のネジ体４０と、第１のネジ体４０の外周面に形成されている第１のネジ部４０ａと螺合する内周面を有するとともに、外周面に第２のネジ部４１ａを有する第２のネジ体４１と、第２のネジ体４１の第２のネジ部４１ａと螺合する内周面を有するとともに、ハウジング１に取り付けられて第１のネジ体４０および第２のネジ体４１を覆うカバー４２とから構成されている。
【００５４】
なお、摺動位置調整機構２７において、第２のネジ体４１の先端部４１ｂはカバー４２の上面４２ａを貫いて外側に突き出ており、このカバー４２の上面４２ａに突き出た第２のネジ体４１の先端部４１ｂに、この第２のネジ体４１を回転しての第１のネジ体４０の位置の調整後（後述）、周り止めのナット４３が締結されている。第２のネジ体４１の先端部４１ｂには、図３に示すように、第２のネジ体４１を工具を用いて回転させることができるように、マイナス溝４１ｅが形成されている。また、カバー４２のハウジング１側の開口部４２ｂには、その内周面４２ｃに、別部材として、リング状のガイド４４が嵌め込まれている。また、カバー４２はネジ４５，４５を用いてハウジング１に取り付けられている。
【００５５】
図４（ａ）および（ｂ）に第１のネジ体４０の側面図および底面図を示す。第１のネジ体４０は、円板状の平板部４０−１と、この平板部４０−１の一方側の面に突出した突出部４０−２との一体構造とされており、突出部４０−２の外周面４０ｂに第１のネジ部４０ａが形成されている。また、平板部４０−１の外周面４０ｃには、径方向に突出する大径部として、ガイドピン４０ｄ１，４０ｄ２が形成されている。ガイドピン４０ｄ１，４０ｄ２は互いに相対する位置に設けられている。この第１のネジ体４０において、平板部４０−１の底面４０ｅが第１のポペット弁組立体１５のハウジング１の外側に臨む面（シート保持部１８の底面１８ａ）に面接触する。
【００５６】
図５（ａ），（ｂ）および（ｃ）に第２のネジ体４１の上面図，側断面図および底面図を示す。第２のネジ体４１は円柱状のネジ体とされており、その中心部に底面４１ｄから掘られたネジ孔４１ｅが形成されている。このネジ孔４１ｅに第１のネジ体４０の第１のネジ部４０ａが螺合される。また、前述したように、第２のネジ体４１の外周面には第２のネジ部４１ａが形成されており、第２のネジ体４１の先端部４１ｂにはマイナス溝４１ｃが形成されている。ここで、第２のネジ体４１の第２のネジ部４１ａのネジピッチをＰ２、第１のネジ体４０の第１のネジ部４０ａのネジピッチをＰ１とした場合、第２のネジ部４１ａのネジピッチＰ２は第１のネジ部４０ａのネジピッチＰ１よりも大きいものとされている。
【００５７】
図６（ａ），（ｂ）および（ｃ）にカバー４２の上面図，側断面図および底面図を示す。カバー４２は２つの段差孔４２−１，４２−２と貫通孔４２−３とを有している。第１の段差孔４２−１，第２の段差孔４２−２，貫通孔４２−３の順に径が小さくなっている。第１の段差孔４２−１はガイド４４が嵌め込まれる段差孔であり、第２の段差孔４２−２は第１の段差孔４２−１に嵌め込まれたガイド４４と合わせてガイド部を構成する段差孔である。この場合、第２の段差孔４２−２が本発明でいう第１のガイドに相当し、第１の段差孔４２−２に嵌め込まれるガイド４４が第２のガイドに相当する。
【００５８】
第１の段差孔４２−１の内周面にはガイド４４に形成された凸部４４ｃ１，４４ｃ２（図７参照）が係合される位置合わせ溝４２ｄ１，４ｄ２が形成されている。第２の段差孔４２−２には第１のネジ体４０のガイドピン４０ｄ１，４０ｄ２が係合されるガイド溝４２ｅ１，４２ｅ２が形成されている。段差孔４２−１，４２−２の深さは第１のネジ体４０の平板部４０−１の厚さとほゞ等しくされている。貫通孔４２−３はその終端部がネジ孔４２ｆとされている。このネジ孔４２ｆに第２のネジ体４１の第２のネジ部４１ａが螺合される。また、カバー４２には、ハウジング１に接する鍔部４２ｇ１，４２ｇ２が形成されており、この鍔部４２ｇ１，４２ｇ２にハウジング１への取付孔４２ｈ１，４２ｈ２が形成されている。
【００５９】
図７（ａ）および（ｂ）にガイド４４の側断面図および底面図を示す。ガイド４４には、その中央部に第１のネジ体４０の平板部４０−１とほゞ同径でそれよりも僅かに大きいのガイド孔４４ａが形成されており、ガイド孔４４ａにはガイドピン４０ｄ１，４０ｄ２に対応してガイド溝４４ｂ１，４４ｂ２が形成されている。また、ガイド４４の外周には凸部４４ｃ１，４４ｃ２が形成されており、ガイド４４の厚さは第１のネジ体４０の平板部４０−１の厚さとほゞ等しくされている。
【００６０】
〔摺動位置調整機構の取り付け〕
図８〜図１１を用いて第１のポペット弁組立体１５に対する摺動位置調整機構２７の取付手順について説明する。
〔手順１（図８）〕
先ず、第１のネジ体４０を第２のネジ体４１に最後までねじ込み、ネジユニットＵ１とする。すなわち、第１のネジ体４０の第１のネジ部４０ａを第２のネジ体４１のネジ孔４１ｅに最後まで螺合させ、第１のネジ体４０と第２のネジ体４１とを組み合わせたネジユニットＵ１とする。
〔手順２（図９）〕
次に、このネジユニットＵ１をカバー４２の第１の段差孔４２−１の底面にぶつかるまでねじ込む。すなわち、第２のネジ体４１の第２のネジ部４１ａをカバー４２のネジ孔４２ｆに螺合させ、第１のネジ体４０のガイドピン４０ｄ１，４０ｄ２が第１の段差孔４２−１の底面にぶつかるまで、ネジユニットＵ１全体をカバー４２に対してねじ込む。
【００６１】
〔手順３（図１０）〕
次に、第１のネジ体４０の回転を拘束した状態で、第２のネジ体４１を回し、第１のネジ体４０のガイドピン４０ｄ１，４０ｄ２をカバー４２の第２の段差孔４２−２に形成されているガイド溝４２ｄ１，４２ｄ２に落とし込む。
〔手順４（図１１）〕
次に、ガイド４４を第１の段差孔４２−１に嵌め込み、カバーユニットＵ２とする。この時、ガイド４４の凸部４４ｃ１，４４ｃ２を第１の段差孔４２−１の位置合わせ溝４２ｄ１，４２ｄ２（図６（ｃ））に嵌め込むことによって、ガイド４４のガイド溝４４ｂ１，４４ｂ２（図７（ｂ））と第２の段差孔４２−２のガイド溝４２ｅ１，４２ｅ２（図６（ｃ））との位置が合致する。
【００６２】
〔手順５（図１２）〕
次に、カバーユニットＵ２で第１のポペット弁組立体１５をハウジング１の第１のポペット弁組立体装着部１２に押し込む。すなわち、第１のネジ体４０の平板部４０−１の底面４０ｅを第１のポペット弁組立体１５のハウジング１の外側に臨む面（シート保持部１８の底面１８ａ）に面接触させ、この第１のネジ体４０の平板部４０−１の底面４０ｅを面接触させた状態で、第１のポペット弁組立体１５をハウジング１の第１のポペット弁組立体装着部１２に押し込む。
【００６３】
〔手順６（図１３）〕
次に、第２のネジ体４１を回し、第１のポペット弁組立体装着部１２における第１のポペット弁組立体１５の摺動位置を調整し、最後に周り止めのナット４３で固定する。図１４に第２のネジ体４１を最も緩めた状態を示す。図１５に第２のネジ体４１を最もねじ込んだ状態を示す。
【００６４】
第１のネジ体４０と第２のネジ体４１とは差動ネジ構造を形成し、第２のネジ体４１を回転させると、第２のネジ体４０が移動する。この場合、第１のネジ体４０は、その平板部４０−１に形成されているガイドピン４０ｄ１，４０ｄ２とカバー４２の内周面に形成されているガイド溝４２ｅ１，４２ｅ２およびガイド４４の内周面に形成されているガイド溝４４ｂ１，４４ｂ２との係合によって、その周方向の回動が規制される一方、その軸方向の移動が案内される。
【００６５】
第１のポペット弁組立体１５の摺動位置の調整に際し、第２のネジ体４１を回転させると、第１のネジ体４０が回転を伴うことなく、直線的に平行に移動し、これに伴って、第１のポペット弁組立体１５も、ポペット弁組立体装着部１２の通路１１内をその内壁面に沿って直線的に平行移動する。この摺動移動に際して、カバー４２の内周面に形成されているガイド溝４２ｅ１，４２ｅ２とガイド４４の内周面に形成されているガイド溝４４ｂ１，４４ｂ２とが１つのガイド部となって、第１のネジ体４０の平行移動を案内する。
【００６６】
〔摺動位置調整機構を用いてのバランス圧の調整〕
この複動型のパイロットリレーにおいて、出力空気圧Ｐｏ１と出力空気圧Ｐｏ２とのバランス圧の調整を行う場合、摺動位置調整機構２７を用いる。図１６にバランス圧を高くする場合の第１のポペット弁組立体１５の摺動位置の調整状況を示し、図１７にバランス圧を低くする場合の第１のポペット弁組立体１５の摺動位置の調整状況を示す。
【００６７】
〔バランス圧を高くする場合〕
バランス圧を高くする場合、カバー４２に対して第２のネジ体４１をねじ込む（図１６）。この場合、第２のネジ体４１をカバー４２に対してねじ込む方向に回転させると、第１のネジ体４０が回転を伴うことなく、スプール１０側に直線的に平行に移動する。これに伴って、第１のポペット弁組立体１５もスプール１０側に、直線的に平行移動する。
【００６８】
この際、第１のポペット弁組立体１５は、第１のネジ体４０の平板部４０−１の全体で押されながら、ポペット弁組立体装着部１２の通路１１内をその内壁面に沿って安定した状態で摺動移動する。このため、摺動位置の調整中、第１のポペット弁組立体１５が傾くことはなく、第１のポペット弁組立体１５において第１のポペット弁２１が傾くこともない。
【００６９】
第１のポペット弁組立体１５がスプール１０側に摺動移動すると、第１のポペット弁２１の排気弁２１ａがスプール１０の第１の開口１０ａの端面（弁座）で押されて、第１のポペット弁２１が第１のバネ２０の付勢力に抗して押し下げられ、第１のポペット弁２１の給気弁２１ｂと第１の連通孔１７ｂとの間の隙間が広がる。これにより、給気弁２１ｂと第１の連通孔１７ｂとの間の抵抗が小さくなって、図１８に示すように、出力空気圧Ｐｏ１と出力空気圧Ｐｏ２とのバランス圧が高くなる。
【００７０】
〔バランス圧を低くする場合〕
バランス圧を低くする場合、カバー４２に対して第２のネジ体４１を緩める（図１７）。この場合、第２のネジ体４１をカバー４２に対して緩める方向に回転させると、第１のネジ体４０が回転を伴うことなく、スプール１０とは反対側に直線的に平行に移動する。これに伴って、第１のポペット弁組立体１５もスプール１０とは反対側に、直線的に平行移動する。
【００７１】
この際、第１のポペット弁組立体１５は、第１のネジ体４０の平板部４０−１の全体で支えられながら、ポペット弁組立体装着部１２の通路１１内をその内壁面に沿って安定した状態で摺動移動する。このため、摺動位置の調整中、第１のポペット弁組立体１５が傾くことはなく、第１のポペット弁組立体１５において第１のポペット弁２１が傾くこともない。
【００７２】
第１のポペット弁組立体１５がスプール１０とは反対側に摺動移動すると、第１のポペット弁２１が第１のバネ２０の付勢力によって押し上げられ、第１のポペット弁２１の給気弁２１ｂと第１の連通孔１７ｂとの間の隙間が狭くなる。これにより、、給気弁２１ｂと第１の連通孔１７ｂとの間の抵抗が大きくなり、図１９に示すように、出力空気圧Ｐｏ１と出力空気圧Ｐｏ２とのバランス圧が低くなる。
【００７３】
このようにして、安定した姿勢のまま、給気弁２１ｂと第１の連通孔１７ｂとの間の抵抗（隙間）を変え、バルブシートの締切性能を悪化させることなく、バランス圧の調整を行うことができるようになる。なお、上述においては、第１のポペット弁組立体１５での調整状況について述べたが、第２のポペット弁組立体１６において、第２のポペット弁２６の給気弁２６ｂと第２の連通孔２２ｂとの間の抵抗（隙間）も同様にして変化する。
【００７４】
また、摺動位置調整機構２７において、第１のネジ体４０と第２のネジ体４１とは差動ネジ構造を形成する。この場合、第２のネジ体４１の第２のネジ部４１ａのネジピッチＰ２が第１のネジ体４０の第１のネジ部４０ａのネジピッチＰ１よりも大きくされているので、第２のネジ体４１の１回転あたり（Ｐ２−Ｐ１）だけ第１のネジ体４０が平行移動する。これにより、第１のネジ体４０の進退量をきめ細かく設定して、すなわち第１のポペット弁組立体１５の進退量をきめ細かく設定して、バランス圧の微調整を行うことが可能となる。
【００７５】
なお、上述した実施の形態において、図２０に示すように、第１の出力空気圧室５に、第１のポペット弁組立体１５の前面と第１の出力空気圧室５の底面との間に挾圧させた状態で、第１のポペット弁組立体１５の摺動移動に際するがたつきを防止するがたつき防止用のバネ４６を設けるようにしてもよい。このがたつき防止用のバネ４６を設けることによって、ポペット弁組立体装着部１２の通路１１内の内壁面に沿った摺動移動がさらに安定し、第１のポペット弁組立体１５における第１のポペット弁２１の傾きもさらに少なくなる。
【００７６】
また、上述した実施の形態では、カバー４２に第２の段差孔４２−２を形成し、この段差孔４２−２にガイド溝４２ｅ１，４２ｅ２を形成するようにしたが、 すなわちカバー４２の内周面に第１のガイドを一体的に形成し、この第１のガイドの前面に別部材として第２のガイド４４を嵌め込むようにしたが、図２１に示すように、カバー４２の内周面に別部材として第１のガイド４７−１と第２のガイド４７−２とを設けるようにしてもよい。
【００７７】
この場合、第１のガイド４７−１と第２のガイド４７−２とは共通部品とし、第１のネジ体４０のガイドピン４０ｄ１，４０ｄ２を含む平板部４０−１を挟むようにして、第１のガイド４７−１と第２のガイド４７−２とをその両側にセットする。
【００７８】
図２２（ａ）および（ｂ）に共通部品として形成されるガイド４７（４７−１，４７−２）の側断面図および正面図を示す。ガイド４７はリング状とされ、その中央部に第１のネジ体４０の平板部４０−１とほゞ同径でそれよりも僅かに大きいのガイド孔４７ａが形成されている。このガイド４７には、ガイド孔４７ａの前面に切欠溝として、第１のネジ体４０のガイドピン４０ｄ１，４０ｄ２が係合されるガイド溝４７ｂ１，４７ｂ２が形成されている。また、ガイド４７の外周に、カバー４２の内周面に嵌め込む際の位置合わせとされる凸部４７ｃ１，４７ｃ２が形成されている。
【００７９】
図２３（ａ），（ｂ）にガイド４７を用いる場合のカバー４２の側断面図および底面図を示す。このカバー４２では、段差孔４２−１のみを設けるものとし、この段差孔４２−１の深さを深くしている。この段差孔４２−１の内周面にガイド４７に形成された凸部４７ｂ１，４７ｂ２が係合される位置合わせ溝４２ｄ１，４ｄ２を形成し、この段差孔４２−１にガイド４７−１とガイド４７−２とを合わせて嵌め込むことによってガイド部とする。
【００８０】
カバー４２の内周面に第１のガイドを一体的に形成し、この第１のガイドの前面に別部材として第２のガイド４４を嵌め込む方式では、カバーユニットＵ２の組み立て作業の際に第１のネジ体４０のガイドピン４０ｄ１，４０ｄ２をカバー４２のガイド溝４２ｅ１，４２ｅ２に落とし込まなければならないが、ガイド部が２つのガイド４７に分割されていれば、分割されたガイド４７を第１のネジ体４０の側面部から囲むようにして取り付けることができるので、作業性が向上する。
【００８１】
また、上述した実施の形態では、第１のネジ体４０と第１のポペット弁組立体１５とを別体としたが、第１のネジ体４０と第１の第１のポペット弁組立体１５とを一体化させてもよい。すなわち、第１のポペット弁組立体１５のシート保持部１８の底面に第１のネジ体４０を一体的に設けてもよい。第１のネジ体４０と第１の第１のポペット弁組立体１５とを別体とすると、カバーユニットＵ２の組み立て作業の工程で、シート保持部１８を単体でポペット弁組立体装着部１２に取り付けられるとともに、第１のネジ体４０と第２のネジ体４１、カバー４２の螺合作業もシート保持部１８が介在しないので、作業性が向上する。
【００８２】
また、上述した実施の形態では、ポペット弁組立体１５を第１のポペット弁組立体とし、ポペット弁組立体１６を第２のポペット弁組立体とし、ポペット弁組立体１５に対して摺動位置調整機構２７を設けるようにしたが、ポペット弁組立体１６を第１のポペット弁組立体とし、ポペット弁組立体１５を第２のポペット弁組立体とし、ポペット弁組立体１６に対して摺動位置調整機構２７を設けるようにしてもよい。
【００８３】
また、上述した実施の形態では、カバー４２の内周面に第１のガイドを一体的に形成し、この第１のガイドの前面に別部材として第２のガイド４４を嵌め込むようにしたが、カバー４２の内周面に第１のガイドおよび第２のガイドを一体的に形成するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８４】
本発明のパイロットリレーは、入力空気圧信号を増幅する圧力信号増幅器として、空気作動型の調節弁の開度制御を行うポジショナなどに利用することが可能である。
【符号の説明】
【００８５】
１…ハウジング、２…入力空気圧室、３…第１の供給空気圧室、４…第２の供給空気圧室、５…第１の出力空気圧室、６…第２の出力空気圧室、７…排気室、８…バイアス室、９…ダイアフラム、１０…スプール（移動体）、１０ａ…第１の開口、１０ｂ…第２の開口、１０ｃ…排気通路、１０ｃ１…貫通路、１０ｃ１，１０ｃ２…排気孔、１１…通路、１１ａ…開口部、１２…第１のポペット弁組立体装着部、１３…通路、１３ａ…開口部、１４…第２のポペット弁組立体装着部、１５…第１のポペット弁組立体、１６…第２のポペット弁組立体、１７…シート部、１７ａ…上面、１７ｂ…第１の連通路、１８…シート保持部、１８ａ…底面、１９…内部空間、２０…第１のバネ、２１…第１のポペット弁、２１ａ…排気弁、２１ｂ…給気弁、２２…シート部、２２ａ…上面、２２ｂ…第２の連通路、２３…シート保持部、２３ａ…底面、２４…内部空間、２５…第２のバネ、２６…第２のポペット弁、２６ａ…排気弁、２６ｂ…給気弁、２７…摺動位置調整機構、２８…止板、２９…エア供給管、３０…ノズル背圧導入管、３１…第１のエア出力管、３２…第２のエア出力管、３３…ダイアフラム、３４〜３９…Ｏリング、４０…第１のネジ体、４０−１…平板部、４０−２…突出部、４０ａ…第１のネジ部、４０ｂ…外周面、４０ｃ…外周面、４０ｄ１，４０ｄ２…ガイドピン、４０ｅ…底面、４１…第２のネジ体、４１ａ…第２のネジ部、４１ｂ…先端部、４１ｃ…マイナス溝、４１ｄ…底面、４１ｅ…ネジ孔、４２…カバー、４２−１…第１の段差孔、４２−２…第２の段差孔、４２−３…貫通孔、４２ａ…上面、４３ｂ…開口部、４２ｃ…内周面、４２ｄ１，４２ｄ２…位置合わせ溝、４２ｅ１，４２ｅ２…ガイド溝、４２ｆ…ネジ孔、４２ｇ１，４２ｇ２…鍔部、４２ｈ１，４２ｈ２…取付孔、４３…ナット、４４…ガイド、４４ａ…ガイド孔、４４ｂ１，４４ｂ２…ガイド溝、４４ｃ１，４４ｃ２…凸部、４５…ネジ、４６…がたつき防止用のバネ、４７（４７−１，４７−２）…ガイド、４７ａ…ガイド孔、４７ｂ１，４７ｂ２…ガイド溝、４７ｃ１，４７ｃ２…凸部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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