(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザビーム（１０）を増幅させる装置（２１）において、
該装置（２１）が、
内部にレーザ能動材料を含んだ少なくとも１つの増幅チャンバ（２２）と、
該少なくとも１つの増幅チャンバ（２２）を制限する閉鎖窓としての少なくとも１つの透過性の光学素子（２３）であって、前記レーザビーム（１０）の光軸（２６）に対して垂直に方向設定された平面に対して所定の傾角（α）を成して配置された少なくとも１つの透過性の光学素子（２３）と、
該透過性の光学素子（２３）で戻り反射されたレーザビーム（１０）である戻り反射されたレーザビーム（２７）を検知するように配置された検知ユニット（２４）とを有しており、
前記戻り反射されたレーザビーム（２７）を前記検知ユニット（２４）に変向させる少なくとも１つの変向ミラー（２９）が設けられており、
該変向ミラー（２９）が、前記戻り反射されたレーザビーム（２７）も前記レーザビーム（１０）も変向させるように配置されており、
該レーザビーム（１０）と、変向させられたレーザビーム（１０’）とが、変向平面を形成しており、該変向平面の範囲外で前記変向ミラー（２９）に、前記戻り反射されたレーザビーム（２７）が衝突するように、前記透過性の光学素子（２３）が配置されており、
前記変向させられたレーザビーム（１０’）と、前記戻り反射されたレーザビーム（２７）とによって形成される平面が、前記レーザビーム（１０）と、前記変向させられたレーザビーム（１０’）とによって形成される前記変向平面に対して垂直に位置していることを特徴とする、レーザビームを増幅させる装置。
【請求項２】
レーザ能動材料が、レーザ能動ガスである、請求項１記載の装置。
【請求項３】
レーザ能動材料が、ＣＯ２である、請求項２記載の装置。
【請求項４】
傾角（α）が、１゜〜２０゜に設定されている、請求項１から３までのいずれか１項記載の装置。
【請求項５】
検知ユニット（２４）が、少なくとも１つの増幅チャンバ（２２）の外部に配置されている、請求項１から４までのいずれか１項記載の装置。
【請求項６】
増幅チャンバ（２２）内のガス組成および／または圧力と異なるガス組成および／または圧力を有する少なくとも１つの別の増幅チャンバ（２２）または少なくとも１つの別のチャンバ（２８）が設けられている、請求項１から５までのいずれか１項記載の装置。
【請求項７】
少なくとも１つの透過性の光学素子（２３）が、少なくとも１つの増幅チャンバ（２２）を、直接的に隣り合った１つの増幅チャンバ（２２）または１つの別のチャンバ（２８）から仕切っている、請求項１から６までのいずれか１項記載の装置。
【請求項８】
複数の変向ミラー（２９）のうちの１つの変向ミラーが、複数の増幅チャンバ（２２）のうちの１つの増幅チャンバ内に配置されている、請求項１から７までのいずれか１項記載の装置。
【請求項９】
複数の変向ミラー（２９）のうちの１つの変向ミラーが、複数の別のチャンバ（２８）のうちの１つの別のチャンバ内に配置されている、請求項６または７記載の装置。
【請求項１０】
前記レーザビーム（１０）と逆方向に、該レーザビーム（１０）の反射に起因して生じた第２のレーザビーム（３１）が延びており、該第２のレーザビーム（３１）が、透過性の光学素子（２３）によって部分反射されて、別の検知ユニット（２４）によって検知されるようになっている、請求項１から９までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１１】
透過性の光学素子（２３）が、ダイヤモンド窓である、請求項１から１０までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１２】
複数の透過性の光学素子（２３）のうちの少なくとも１つの透過性の光学素子が、少なくとも１つの第１の表面（２３ａ）に第１の反射防止コーティングを有している、請求項１から１１までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１３】
透過性の光学素子（２３）が、第２の表面（２３ｂ）に第２の反射防止コーティングを有しており、第１の反射防止コーティングと第２の反射防止コーティングとが、互いに異なる反射率を有している、請求項１２記載の装置。
【請求項１４】
透過性の光学素子（２３）が、第２の表面（２３ｂ）に第２の反射防止コーティングを有しており、第１の反射防止コーティングと第２の反射防止コーティングとが、互いに等しい反射率を有している、請求項１２記載の装置。
【請求項１５】
第１の反射防止コーティングおよび／または第２の反射防止コーティングが、０．０１〜０．５％の残留反射率を有している、請求項１２から１４までのいずれか１項記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザビームを増幅させるための装置、特にレーザビームを個々の増幅段において分析する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特に多段式の増幅システムによって形成された、レーザビームを増幅させるための装置が公知である。レーザビームを各増幅段の間で分析するためには、公知の装置が、付加的な部分透過性の構成要素、たとえば部分透過性のミラーを使用している。
【０００３】
しかし、この部分透過性のミラーの使用は、付加的な構成部材が設けられなければならないことを意味している。この付加的な構成部材の使用によって、構造がより高価となる。なぜならば、付加的な構成部材が使用されなければならず、付加的なスペースが必要となるからである。
【０００４】
さらに、ミラーの部分透過性に基づき、ミラーを背後から冷却することが困難にしか可能とならない。
【０００５】
レーザビームの使用時には、このレーザビームに対して逆方向で後方に進行するビームが生じることも起こり得る。この後方に進行するビームは、前方に進行するレーザビームの「セルフレイジング」またはレーザシステムの構成部材での反射によって生じるかまたは、ターゲットの加工時には、このターゲットでの反射によって生じる。後方に進行するビームを分析するためには、たとえば別の部分透過性のミラーが必要となる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
したがって、本発明の課題は、上述した欠点を排除して、コンパクトな構成が可能であると共に構成部材の個数が減少させられた、特に簡単な構造を備えた、レーザビームを増幅させるための装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この課題を解決するために本発明に係る装置によれば、該装置が、内部にレーザ能動材料を含んだ少なくとも１つの増幅チャンバと、該少なくとも１つの増幅チャンバを制限する少なくとも１つの透過性の光学素子であって、前記レーザビームの光軸に対して垂直に方向設定された平面に対して所定の傾角を成して配置された少なくとも１つの透過性の光学素子と、該透過性の光学素子で戻り反射されたレーザビームを検知するように配置された検知ユニットとを有している。
【０００８】
本発明に係る装置の有利な態様によれば、レーザ能動材料が、レーザ能動ガス、特にＣＯ２である。
【０００９】
本発明に係る装置の有利な態様によれば、傾角が、１°〜２０°に設定されている。
【００１０】
本発明に係る装置の有利な態様によれば、検知ユニットが、少なくとも１つの増幅チャンバの外部に配置されている。
【００１１】
本発明に係る装置の有利な態様によれば、増幅チャンバ内のガス組成および／または圧力と異なるガス組成および／または圧力を有する少なくとも１つの別の増幅チャンバまたは少なくとも１つの別のチャンバが設けられている。
【００１２】
本発明に係る装置の有利な態様によれば、少なくとも１つの透過性の光学素子が、少なくとも１つの増幅チャンバを、直接的に隣り合った１つの増幅チャンバまたは１つの別のチャンバから仕切っている。
【００１３】
本発明に係る装置の有利な態様によれば、前記戻り反射されたレーザビームを検知ユニットに変向させる少なくとも１つの変向ミラーが設けられている。
【００１４】
本発明に係る装置の有利な態様によれば、複数の変向ミラーのうちの１つの変向ミラーが、複数の増幅チャンバのうちの１つの増幅チャンバ内に配置されている。
【００１５】
本発明に係る装置の有利な態様によれば、複数の変向ミラーのうちの１つの変向ミラーが、複数の別のチャンバのうちの１つの別のチャンバ内に配置されている。
【００１６】
本発明に係る装置の有利な態様によれば、変向ミラーが、前記戻り反射されたレーザビームも前記レーザビームも変向させるように配置されている。
【００１７】
本発明に係る装置の有利な態様によれば、前記レーザビームと、変向させられたレーザビームとが、変向平面を形成しており、該変向平面の範囲外で変向ミラーに、前記戻り反射されたレーザビームが衝突するように、透過性の光学素子が配置されている。
【００１８】
本発明に係る装置の有利な態様によれば、前記レーザビームと逆方向に第２のレーザビームが延びており、該第２のレーザビームが、透過性の光学素子によって部分反射されて、別の検知ユニットによって検知されるようになっている。
【００１９】
本発明に係る装置の有利な態様によれば、透過性の光学素子が、ダイヤモンド窓である。
【００２０】
本発明に係る装置の有利な態様によれば、複数の透過性の光学素子のうちの少なくとも１つの透過性の光学素子が、少なくとも１つの第１の表面に第１の反射防止コーティングを有している。
【００２１】
本発明に係る装置の有利な態様によれば、透過性の光学素子が、第２の表面に第２の反射防止コーティングを有しており、第１の反射防止コーティングと第２の反射防止コーティングとが、互いに異なる反射率を有している。
【００２２】
本発明に係る装置の有利な態様によれば、透過性の光学素子が、第２の表面に第２の反射防止コーティングを有しており、第１の反射防止コーティングと第２の反射防止コーティングとが、互いに等しい反射率を有している。
【００２３】
本発明に係る装置の有利な態様によれば、第１の反射防止コーティングおよび／または第２の反射防止コーティングが、０．０１〜０．５％の残留反射率を有している。
【発明の効果】
【００２４】
請求項１に記載の装置を設けることによって、レーザビームが、このレーザビームを出射させるために設けられた透過性の光学素子で部分的に戻り反射される。戻り反射されたビームは、増幅チャンバの内部で検知ユニットに向けられる。これによって、装置をコンパクトに形成することができ、減少させられた個数の構成部材を使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】正方形に組み合わされたレーザ共振器を備えた１つの実施の形態におけるＣＯ２ガスレーザを示す図である。
【図２】増幅チャンバの内部に設けられた検知ユニットを備えた第１の実施の形態に係る、レーザビームを増幅させるための装置の原理図である。
【図３】増幅チャンバの外部に設けられた検知ユニットを備えた第２の実施の形態に係る装置の原理図である。
【図４】互いに隣り合った２つの増幅チャンバを備えた第３の実施の形態に係る装置の原理図である。
【図５】互いに隣り合った３つの室を備えた第４の実施の形態に係る装置の原理図である。
【図６】増幅チャンバ内に設けられた変向ミラーを備えた装置の原理図である。
【図７】１つの変向ミラーがレーザビームだけでなく、反射されたビームに対しても使用される装置内のビーム路の原理図である。
【図８】２つの変向ミラーを備えた別の択一的な実施の形態に係る装置のビーム経過を示す図である。
【図９】前方に進行するレーザビームだけでなく、後方に進行するレーザビームも分析される別の実施の形態に係る装置の原理図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下に、本発明を実施するための形態を図面につき詳しく説明する。
【００２７】
図１に示したＣＯ２ガスレーザ１は、正方形に組み合わされたレーザ共振器２を有している。このレーザ共振器２は、互いに接続された４つのレーザ放電管３を備えている。これらのレーザ放電管３は、角隅ハウジング４，５を介して互いに接続されている。レーザ放電管３の軸線の方向に延びるレーザビーム６は一点鎖線で図示してある。角隅ハウジング４内に設けられた変向ミラー７は、レーザビーム６をそれぞれ９０°だけ変向させるために働く。角隅ハウジング５には、リアミラー８と、レーザ波長に対して部分透過性の出力ミラー９とが配置されている。リアミラー８は、レーザ波長に対して高反射性に形成されていて、レーザビーム６を１８０°だけ反射、つまり、再帰反射し、これによって、レーザ放電管３が逆方向に再度通走される。レーザビーム６の一部は、部分透過性の出力ミラー９でレーザ共振器２から出力され、反射された残りの部分はレーザ共振器２内にとどまり、レーザ放電管３を再度通走する。出力ミラー９を介してレーザ共振器２から出力されたレーザビームには、符号１０が付してある。組み合わされたレーザ共振器２の中心には、レーザガスに対する圧力源としてラジアルブロワ１１が配置されている。このラジアルブロワ１１は、レーザガスのための供給管路１２を介して角隅ハウジング４，５に接続されている。吸引管路１３は、吸引ハウジング１４とラジアルブロワ１１との間に延びている。レーザ放電管３ならびに供給管路１２および吸引管路１３の内部におけるレーザガスの流れ方向は、矢印によって図示してある。レーザガスの励起は、レーザ放電管３に隣り合って配置された電極１５を介して行われる。
【００２８】
図２には、レーザビーム１０を増幅させるための装置２１の第１の実施の形態の原理図が示してある。この装置２１は増幅チャンバ２２を有している。この増幅チャンバ２２内には、レーザ能動ガスが提供されている。本実施の形態では、レーザ能動ガスとしてＣＯ２が提供されている。択一的な実施の形態では、別種のガス、たとえばアルゴンまたはクリプトンが提供されていてもよいし、混合ガスが提供されていてもよく、また、固体レーザが設けられていてもよい。
【００２９】
増幅チャンバ２２は、原理的には、レーザ共振器２と同様に形成されている。しかし、本実施の形態では、レーザビーム１０が発生させられるのではなく、内部に導入されたレーザビーム１０が増幅させられる。このレーザビーム１０は光軸２６を有している。レーザビーム１０を増幅させるための装置２１は、通常、４つの増幅段を具備している。しかし、要求および技術的な可能性に応じて、４つよりも多くの増幅段が使用されてもよいし、４つよりも少ない増幅段が使用されてもよい。択一的には、増幅チャンバ２２内でレーザビーム１０が発生させられてもよい。
【００３０】
増幅チャンバ２２は、この増幅チャンバ２２からレーザビーム１０を出射させる透過性の光学素子２３として形成された、増幅チャンバ２２を制限する閉鎖窓を有している。増幅チャンバ２２内にレーザビーム１０を入射させる閉鎖窓（図示せず）も同じく設けられている。透過性の光学素子２３は、本実施の形態では、ダイヤモンド窓である。この透過性の光学素子２３は、第１の表面２３ａと第２の表面２３ｂとを有している。第１の表面２３ａはレーザビーム１０に面していて、本実施の形態では、増幅チャンバ２２の内部に向けられている。第２の表面２３ｂは第１の表面２３ａと反対の側に位置している。
【００３１】
透過性の光学素子２３は、レーザビーム１０に面した第１の表面２３ａが傾けられていて、レーザビーム１０の光軸２６に対して垂直である平面と傾角αを成しているように配置されている。この傾角αは０°と異なっている。傾角αだけ傾けられていることによって、レーザビーム１０は透過性の光学素子２３で部分的に反射され、戻り反射された、つまり、部分反射されたレーザビーム２７が形成される。さらに、傾けられていることによって、自励発振／セルフレイジングが阻止される。角度αは、本実施の形態では、３°±０．５°に設定されているものの、択一的には、１°〜２０°に設定することができる。角度αは、最大でも、円偏光させられたレーザビームの偏光が著しく変化させられない程度に大きくてよく、少なくとも、戻り反射されたレーザビーム２７がレーザビーム１０からある程度の距離を置いて分離される程度に大きくなければならない。
【００３２】
ダイヤモンド窓は、特に高いパルス出力および平均的な出力に対して適している。ダイヤモンド窓の代わりに、択一的には、別の適切な閉鎖窓が設けられていてもよい。たとえば、セレン化亜鉛から成る閉鎖窓が使用されてもよい。
【００３３】
第１の表面２３ａと第２の表面２３ｂとは、本実施の形態では、コーティングを備えていない。しかし、択一的な実施の形態では、第１の表面２３ａおよび／または第２の表面２３ｂが、レーザビーム１０のほんの数分の一だけを部分反射する部分反射コーティングで被覆されていてもよいし、反射防止コーティングで被覆されていてもよい。この反射防止コーティングは０．０１〜０．５％の残留反射率を有している。第１の表面２３ａと第２の表面２３ｂとは、択一的な実施の形態では、互いに等しい反射率を有しているかまたは互いに異なる反射率を有している。互いに異なる反射率によって、一方の側から他方の側へのコントラストもしくは鮮明度を高めることができる。別の方法では、窓基板がほぼ平面平行である場合に強い干渉縞が発生し、窓の楔角が強い場合には、２つの測定点が観察されなければならない。さらに、択一的には、互いに異なる波長が、互いに異なって反射されてよい。
【００３４】
第１の表面２３ａと第２の表面２３ｂとは、平らな形で形成されている。択一的な実施の形態では、両表面２３ａ，２３ｂが、戻り反射されるレーザビーム２７にしか影響を与えないように湾曲させられていてもよい。たとえば曲率が等しい場合には、戻り反射されるレーザビーム２７にしか影響が与えられない（たとえば焦点調節）。しかし、曲率が異なっている場合には、レーザビーム１０と、戻り反射されるレーザビーム２７とに、互いに異なった影響が与えられる。
【００３５】
図２に示した装置２１は、さらに、検知ユニット２４を有している。戻り反射されたレーザビーム２７は、レーザビーム１０の光軸２６に対する透過性の光学素子２３の傾きによって検知ユニット２４に向けられ、この検知ユニット２４によって分析される。
【００３６】
択一的な実施の形態では、検知ユニット２４が、戻り反射されたレーザビーム２７を種々異なる検知器によって部分的に同期して分析する。たとえば、平均的な出力が検知され、高速型の出力測定機器によって、パルス出力とパルスエネルギとが検知される。カメラによって、近視野におけるモード形態と遠視野におけるモード形態とが検知される。カメラと象限検知器とによって、ポインティング、つまり、衝突ビーム位置が求められる。シャックハルトマンセンサによって、波面形状が検知される。検知ユニット２４の検知器には、極めて少ない出力しか必要とならない。したがって、戻り反射されたレーザビーム２７を１つまたはそれ以上の検知ユニット２４の種々異なる検知器に分割するビームスプリッタによって、複数の分析を同時に行うことができる。
【００３７】
図２に示した実施の形態では、検知ユニット２４が増幅チャンバ２２の内部に配置されている。
【００３８】
図３には、第２の実施の形態の原理図が示してある。この第２の実施の形態では、検知ユニット２４が増幅チャンバ２２の外部に配置されている。第２の実施の形態でも、透過性の光学素子２３でのレーザビーム１０の部分反射によって形成された戻り反射されたレーザビーム２７が、別の窓３０を通って増幅チャンバ２２から出射し、検知ユニット２４によって分析される。
【００３９】
図４には、第３の実施の形態に係る装置２１が示してある。この装置２１は、戻り反射されたレーザビーム２７が、増幅チャンバ２２の内部に設けられた検知ユニット２４に向けられる第１の実施の形態の増幅チャンバ２２を有している。第３の実施の形態では、別の増幅チャンバ２２が隣り合って設けられている。両増幅チャンバ２２は、これら両増幅チャンバ２２に対する透過性の光学素子２３が設けられていて、この透過性の光学素子２３が両増幅チャンバ２２を互いに仕切っているように配置されている。レーザビーム１０は透過性の光学素子２３を通って一方の増幅チャンバ２２から出射し、別の増幅チャンバ２２に入射する。
【００４０】
第３の実施の形態でも、装置２１の別の増幅チャンバ２２がレーザ能動ガスで満たされていて、したがって、別の増幅段として働く。
【００４１】
図５に第４の実施の形態として原理的に示したように、装置２１は、２つの増幅チャンバ２２と、１つの別のチャンバ２８とを有している。左側に図示した増幅チャンバ２２内に透過性の光学素子２３によって部分反射されて、当該増幅チャンバ２２に対応配置された検知ユニット２４によって分析される戻り反射されたレーザビーム２７を形成するレーザビーム１０は、別のチャンバ２８と、右側に図示した増幅チャンバ２２との間に設けられた透過性の光学素子２３によって同じく部分反射される。こうして、同じく戻り反射されたレーザビーム２７が形成される。このレーザビーム２７は、同じく対応配置された検知ユニット（図示せず）によって分析することができ、これによって、レーザビーム１０における変化を検出することができる。
【００４２】
別のチャンバ２８は、増幅チャンバ２２のガス組成またはガス圧と異なる固有のガス組成および／または固有のガス圧を備えている。複数の別のチャンバ２８が設けられている場合には、そのうちの１つが、たとえば掃気ガスを備えて設けられていてよいかまたは真空を有していてよい。この場合には、別のチャンバ２８が、レーザビーム１０を引き続き案内するためにしか働かないかまたは能動的なまたは受動的な光学素子、たとえば焦点調節ミラー、空間フィルタまたは変向ミラーを有していてよい。別のチャンバ２８でも、基本的には、レーザビーム１０を分析することができる。択一的な実施の形態では、要求に応じて、増幅チャンバ２２と別のチャンバ２８との個数および配置形態が選択される。
【００４３】
図６には、装置２１の第５の実施の形態が示してある。この第５の実施の形態では、増幅チャンバ２２の内部に変向ミラー２９が設けられている。この変向ミラー２９によって、戻り反射されたレーザビーム２７が変向させられ、これによって、変向させられた戻り反射されたレーザビーム２７’が形成され、別の窓３０を通って増幅チャンバ２２から出射し、そこで、検知ユニット（図示せず）によって分析される。
【００４４】
択一的な実施の形態では、変向ミラー２９も検知ユニット２４も増幅チャンバ２２または１つの別のチャンバ２８の内部にまたは外部に配置されていてよい。この場合には、戻り反射されたレーザビーム２７が、別の窓を通ってチャンバ２２，２８から出射する。別の択一的な実施の形態では、変向ミラー２９が、一方のチャンバ２２，２８のうちの一方のチャンバの外部に配置されていて、検知ユニットが、チャンバ２２，２８のうちの一方のチャンバの内部に配置されていてよい。
【００４５】
図７には、装置２１内のビーム路の原理図が示してある。この実施の形態では、レーザビーム１０が変向ミラー２９によって変向させられ、これによって、変向させられたレーザビーム１０’が形成される。その後、この変向させられたレーザビーム１０’は、透過性の光学素子２３を通過する。この場合、同じく部分反射によって、戻り反射されたレーザビーム２７が形成される。この戻り反射されたレーザビーム２７は、レーザビーム１０も変向させる変向ミラー２９で変向させられ、変向させられた戻り反射されたレーザビーム２７’が検知ユニット２４に向けられる。これは、特に角度αが小さくて、これに伴い、レーザビーム１０と、戻り反射されたレーザビーム２７との分離が単に遅い場合に有利である。角度αが大きければ大きいほど、変向ミラー２９の面もますます大きくなければならない。したがって、小さな角度αは、変向ミラー２９の面が同じく小さくてよいという利点を有している。
【００４６】
図８には、装置の別の実施の形態におけるレーザビームの経過が示してある。図８には、変向ミラー２９と透過性の光学素子２３とを原理的にしか示していない。
【００４７】
この実施の形態でも、レーザビーム１０は変向ミラー２９によって透過性の光学素子２３に向かって変向させられて、変向させられたレーザビーム１０’を形成する。この実施の形態では、この変向させられたレーザビーム１０’と、戻り反射されたレーザビーム２７とによって形成される平面が、レーザビーム１０と、変向させられたレーザビーム１０’とによって形成される変向平面に対して垂直に位置しているように、透過性の光学素子２３が傾けられている。レーザビーム１０は、ほぼ楕円形の第１の面３３の範囲内で変向させられる。戻り反射されたレーザビーム２７は、ほぼ楕円形の第２の面３４で変向させられる。変向させられたレーザビーム１０’と、戻り反射されたレーザビーム２７とによって形成される平面は、レーザビーム１０と、変向させられたレーザビーム１０’とによって形成される変向平面に対して垂直に位置しているので、両楕円はその短軸に沿って互いに重なり合って位置している。したがって、戻り反射されたレーザビーム２７は変向平面の範囲外で変向ミラー２９に衝突する。短軸に沿った重なり合いによって、変向ミラー２９の寸法、この実施の形態では直径が、戻り反射されたレーザビーム２７がレーザビーム１０と同じ変向ミラー２９を介して変向させられない実施の形態ほど大きく設定されている必要はない。
【００４８】
択一的な実施の形態（図示せず）では、変向させられたレーザビーム１０’と、戻り反射されたレーザビーム２７とによって形成される平面が、レーザビーム１０と、変向させられたレーザビーム１０’とによって形成される変向平面に位置している場合、両楕円がその長軸に沿って相並んで位置している。この実施の形態では、ミラーの寸法が、上述した実施の形態よりも極めて大きく設定されていなければならない。
【００４９】
図８に示した実施の形態では、円形の基板で十分である。変向ミラー２９の直径が小さければ小さいほど、この変向ミラー２９をますます容易に製造しかつ取り扱うことができる。また、変向ミラー２９と透過性の光学素子２３とが、構造的にコンパクトなユニットを成していてもよい。
【００５０】
図９には、装置２１の別の実施の形態の原理図が示してある。レーザの使用時には、前方に進行する所望のレーザビーム１０に対して付加的に、反射に起因して、後方に進行する望ましくない第２のレーザビーム３１も生じることが起こり得る。この後方に進行するレーザビーム３１は、透過性の光学素子２３の傾きに起因して、同じく部分反射され、これによって、戻り反射された第２のビーム３２が形成される。この戻り反射された第２のビーム３２は透過性の光学素子２３によって、前方に進行するレーザビーム１０に対する検知ユニット２４から独立した別個の検知ユニット２４に向けられる。
【００５１】
戻り反射された第２のビーム３２の配置および方向設定は、択一的には、戻り反射されたビーム２７の案内および方向設定に対する択一的な実施の形態に類似して行われてよい。
【符号の説明】
【００５２】
１  ＣＯ２ガスレーザ
２  レーザ共振器
３  レーザ放電管
４  角隅ハウジング
５  角隅ハウジング
６  レーザビーム
７  変向ミラー
８  リアミラー
９  出力ミラー
１０  レーザビーム
１０’  変向させられたレーザビーム
１１  ラジアルブロワ
１２  供給管路
１３  吸引管路
１４  吸引ハウジング
１５  電極
２１  装置
２２  増幅チャンバ
２３  透過性の光学素子
２３ａ  第１の表面
２３ｂ  第２の表面
２４  検知ユニット
２６  光軸
２７  戻り反射されたレーザビーム
２７’  変向させられた戻り反射されたレーザビーム
２８  チャンバ
２９  変向ミラー
３０  窓
３１  後方に進行するレーザビーム
３２  戻り反射された第２のビーム
３３  第１の面
３４  第２の面
α  傾角
【図１】
0005611401.tif 000002
【図２】
0005611401.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0005611401.tif 000007
【図７】
0005611401.tif 000008
【図８】
0005611401.tif 000009
【図９】
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