(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にペースト（４）が流通する内孔（１２）を有し、前記内孔（１２）の先端の開口部（１１）から前記ペースト（４）を導出するようにしたノズル（１０）を用い、前記ノズル（１０）の開口部（１１）から被供給物（３）の一面上に前記ペースト（４）を供給してなるペースト構造体の製造方法において、
前記ペースト（４）の供給工程では、前記ノズル（１０）の前記開口部（１１）を前記被供給物（３）の一面に対向させた状態で当該開口部（１１）から前記ペースト（４）を導出しながら、前記ノズル（１０）を前記被供給物（３）の一面と平行な所定方向（Ｘ）に移動させることにより、前記ノズル（１０）の前記開口部（１１）における前記所定方向（Ｘ）とは直交する方向の開口長さ（Ｌ）を前記ペースト（４）の幅として、前記ペースト（４）を前記被供給物（３）の一面上に形成するようにし、
前記ノズル（１０）として、前記開口部（１１）が前記内孔（１２）の先端部と、前記開口長さ（Ｌ）方向における当該内孔（１２）の先端部の中央部から前記ノズル（１０）の移動方向である前記所定方向（Ｘ）の後方側に延びる切り欠き（１３）とより構成されたものを用い、
前記被供給物（３）上に供給された前記ペースト（４）における前記ペースト（４）の幅方向の中央部を、当該ペースト（４）の周辺部よりも盛り上がり且つ前記切り欠き（１３）の形状に対応した形状をなす凸部（４ａ）とするペースト構造体の製造方法であって、
前記ノズル（１０）の開口部（１１）における前記内孔（１２）の先端部を、細長の開口形状をなすものとし、
前記所定方向（Ｘ）は、前記内孔（１２）の先端部の長手方向とは直交する方向であることを特徴とするペースト構造体の製造方法。
【請求項２】
前記ペースト（４）の供給工程では、
前記被供給物（３）と前記ノズル（１０）との間に、前記被供給物（３）上に供給される前記ペースト（４）の形状と同一の開口形状を有する開口部（２０ａ）を有するマスク（２０）を介在させた状態で、前記マスク（２０）の開口部（２０ａ）を介して前記ノズル（１０）から前記被供給物（３）上に前記ペースト（４）を供給するものであり、
前記ノズル（１０）を前記内孔（１２）の先端部の長手方向と直交方向に沿って移動させることによって、膜状の前記ペースト（４）を、前記ノズル（１０）の開口部（１１）から前記マスク（２０）の開口部（２０ａ）の全体を含んで前記マスク（２０）上に供給するようにし、
前記ペースト（４）の供給の後、前記マスク（２０）の開口部（２０ａ）に位置する前記ペースト（４）を前記被供給物（３）上に残しつつ、前記マスク（２０）を前記被供給物（３）上から取り除くことにより、前記被供給物（３）上に残された前記ペースト（４）を前記マスク（２０）の開口部（２０ａ）の開口形状とすることを特徴とする請求項１に記載のペースト構造体の製造方法。
【請求項３】
前記ノズル（１０）の開口部（１１）における前記内孔（１２）の先端部を、細長の長方形の開口形状をなすものとすることを特徴とする請求項２に記載のペースト構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、はんだや接着剤等のペーストをディスペンス法により被供給物上に供給してなるペースト構造体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、この種の製造方法としては、内部にペーストが流通する内孔を有し、この内孔の先端の開口部からペーストを導出するようにしたノズルを具備したディスペンサを用い、当該ノズルの開口部から被供給物上にペーストを供給するものが提案されている（特許文献１参照）。たとえば、特許文献１に記載の方法では、開口部の開口形状が長方形であるノズルを用いることにより、ペーストを膜状に塗布するようにしている。
【０００３】
しかし、この特許文献１のようなディスペンス法では、ペーストの平面パターンとして、ノズルの開口部のおおよその開口形状（たとえば長方形）のパターンしか形成することができない。
【０００４】
また、ペースト端部は形状が不安定となるため、精密な形状とすることができず、たとえば、セラミック基板、ＩＣチップなどの被着体を組付けた際に、必要十分な接着膜を形成できない場合があり、このような場合は、接着力の不十分、ショート、汚染ガスの余分な発生などといった不具合を引き起こす原因となる。
【０００５】
また、ペーストとしては、はんだや接着剤などが用いられるが、被供給物上に供給されたペーストに対して、その上に被着体を搭載し、被供給物と被着体とを接合する場合、次のような問題が生じる。
【０００６】
すなわち、従来では、被供給物上に供給されたペーストにおいて、その中央付近が凹んだ形状となりやすく、そのようなペーストの上に被着体を組み付けると、エアが巻き込まれ、ペースト中に気泡が形成されてしまう。
【０００７】
このような気泡が形成されると、たとえば被着体の熱を、ペーストを介して被供給物に放熱する場合、その放熱性が低下し、ひいては製品特性の悪化を招くなどの不具合が発生する。
【０００８】
一方で、たとえば特許文献２に記載のもののように、スクリーン印刷ではんだペーストを塗布する方法において、スキージの中央に凹部を設けることで、塗布されたペーストの中央を凸状にするものが提案されている。このものによれば、ＩＣチップなどの被着体の接合時に気泡を抱き込んで接着不良、放熱性不良などを引き起こすことがなくなるとされている。
【０００９】
しかし、スクリーン印刷を用いる場合、大量のペーストをマスク上に常に充填しておく必要があり、ペーストの供給量が多くなるとともに、ペーストが乾きやすくなるなどの不具合が懸念される。
【００１０】
また、スクリーン印刷の設備が高価なため、設備コストがかかったり、スキージやマスクの磨耗による形状の変化が懸念されたり、また、ランニングコストもかかったりするなど、生産性の面で大きな不安定性を抱える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００８−３０２３１２号公報
【特許文献１】特開平９−１７４８０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
そこで、上記したように高価なスクリーン印刷法ではなく、ディスペンス法によって、上記した被着体の接合時におけるエアの巻き込みを防止したり、高精度なペーストのパターンを実現したりすることが望まれる。
【００１３】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、被供給物の上に供給されたペーストの上に被着体を搭載したときに、ペースト中にエアが巻き込まれるのを極力抑制することのできるペースト構造体を、ディスペンス法によって製造することを第１の目的とし、この第１の目的を達成しつつ、ディスペンス法によって、所望のペーストパターンを精度よく実現することを、第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明においては、まず、ペースト（４）の供給工程では、ノズル（１０）の開口部（１１）を被供給物（３）の一面に対向させた状態で当該開口部（１１）からペースト（４）を導出しながら、ノズル（１０）を被供給物（３）の一面と平行な所定方向（Ｘ）に移動させることにより、ノズル（１０）の開口部（１１）における所定方向（Ｘ）とは直交する方向の開口長さ（Ｌ）をペースト（４）の幅として、ペースト（４）を被供給物（３）の一面上に形成するようにする。
【００１５】
そして、ノズル（１０）として、開口部（１１）が内孔（１２）の先端部と、開口長さ（Ｌ）方向における当該内孔（１２）の先端部の中央部からノズル（１０）の移動方向である所定方向（Ｘ）の後方側に延びる切り欠き（１３）とより構成されたものを用い、被供給物（３）上に供給されたペースト（４）におけるペースト（４）の幅方向の中央部を、当該ペースト（４）の周辺部よりも盛り上がり且つ切り欠き（１３）の形状に対応した形状をなす凸部（４ａ）とすることを特徴とする。
【００１６】
それによれば、被供給物（３）上に供給されたペースト（４）の中央部が凸部（４ａ）となるので、ペースト（４）の上に被着体（２）を搭載したときに、ペースト（４）の中央部から周辺部に向かってペースト（４）が押し出されながら濡れ拡がるため、エアの巻き込みが抑制される。
【００１７】
よって、本発明の製造方法によれば、被供給物（３）の上に供給されたペースト（４）の上に被着体（２）を搭載したときに、ペースト（４）中にエアが巻き込まれるのを極力抑制することのできるペースト構造体を、ディスペンス法によって製造することができる。
【００１８】
ここで、上記したペースト構造体の製造方法において、ノズル（１０）の開口部（１１）における内孔（１２）の先端部を、細長の開口形状をなすものとし、上記所定方向（Ｘ）は、内孔（１２）の先端部の長手方向とは直交する方向であるものにできる。
【００１９】
それによれば、ペースト（４）を膜状のものとして被供給物（３）上に適切に供給することができる。
【００２０】
さらに、請求項２に記載の発明では、請求項１に記載のペースト構造体の製造方法において、ペースト（４）の供給工程では、被供給物（３）とノズル（１０）との間に、被供給物（３）上に供給されるペースト（４）の形状と同一の開口形状を有する開口部（２０ａ）を有するマスク（２０）を介在させた状態で、マスク（２０）の開口部（２０ａ）を介してノズル（１０）から被供給物（３）上にペースト（４）を供給するものであり、
ノズル（１０）を内孔（１２）の先端部の長手方向と直交方向に沿って移動させることによって、膜状のペースト（４）を、ノズル（１０）の開口部（１１）からマスク（２０）の開口部（２０ａ）の全体を含んでマスク（２０）上に供給するようにし、
ペースト（４）の供給の後、マスク（２０）の開口部（２０ａ）に位置するペースト（４）を被供給物（３）上に残しつつ、マスク（２０）を被供給物（３）上から取り除くことにより、被供給物（３）上に残されたペースト（４）をマスク（２０）の開口部（２０ａ）の開口形状とすることを特徴とする。
【００２１】
それによれば、ディスペンス法によって、被供給物（３）上に残されたペースト（４）は、マスク（２０）の開口部（２０ａ）の開口形状をなす膜状のものとなるから、所望のペーストパターンを精度よく実現することができる。
【００２２】
つまり、本製造方法によれば、被供給物（３）の上に供給されたペースト（４）の上に被着体（２）を搭載したときに、ペースト（４）中にエアが巻き込まれるのを極力抑制することのできるペースト構造体を、ディスペンス法によって製造しつつ、ディスペンス法によって、所望のペーストパターンを精度よく実現する、という上記した本発明の第２の目的を達成することができる。
【００２３】
また、請求項３に記載の発明のように、請求項２に記載のペースト構造体の製造方法において、ノズル（１０）の開口部（１１）における内孔（１２）の先端部を、細長の長方形の開口形状をなすものとすることが好ましい。
【００２４】
ノズル（１０）の開口部（１１）における細長の開口形状をなす内孔（１２）の先端部によれば、その長手方向の開口長さ（Ｌ）を幅とし、その短手方向の開口長さを厚さとする膜状のペースト（４）が当該開口部（１１）から導出されるが、これを細長の長方形の開口形状とすれば、当該幅および厚さが一定となった膜状のペースト（４）が当該開口部（１１）から導出されるため、安定した膜形状を実現しやすい。
【００２５】
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の第１実施形態にかかるペースト構造体の概略断面図である。
【図２】第１実施形態に係るペースト構造体の製造方法に用いるノズルの構成を示す図であり、（ａ）は外観斜視図、（ｂ）は概略正面図、（ｃ）は概略縦断面図、（ｄ）はノズル先端部の概略平面図である。
【図３】第１実施形態におけるペースト構造体に被着体を搭載する工程を示す工程図である。
【図４】第１実施形態の他の例としてのノズル先端部の概略平面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係るペースト構造体の製造方法の要部を示す工程図であり、（ａ）は概略断面図、（ｂ）は（ａ）の概略上面図である。
【図６】図５に続くペースト構造体の製造方法の要部を示す工程図であり、（ａ）は概略断面図、（ｂ）は（ａ）の概略上面図である。
【図７】第２実施形態の他の例としてのペーストの供給工程を示す工程図であり、（ａ）は概略断面図、（ｂ）は（ａ）の概略上面図である。
【図８】参考例としてのペーストの供給工程を示す工程図であり、（ａ）は概略断面図、（ｂ）は（ａ）の概略上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【００２８】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態にかかるペースト構造体１の概略断面構成を示す図である。このペースト構造体１は、被供給物１と、その一面上に供給されたペースト４とよりなるものである。ここでは、このペースト構造体１に被着体２が搭載された状態を示している。
【００２９】
このペースト構造体１は、ディスペンス法を用いて被供給物３の一面、すなわちペースト４が供給されるペースト供給面上にペースト４を供給してなるものであり、被着体２は、ペースト４を介して被供給物３の一面に搭載され、接合されている。
【００３０】
被供給物３は、ペースト４が塗布される対象物であり、たとえばヒートシンクや、プリント基板またはセラミック基板などの配線基板である。ペースト４は、たとえばエポキシ樹脂やシリコーン樹脂などの接着剤や、はんだなどである。また、被着体２としては、たとえばセラミック基板やプリント基板あるいはリードフレームなどの基板、またはＩＣチップやコンデンサなどの電子部品などが挙げられる。
【００３１】
次に、このペースト構造体１の製造方法について、図２を参照して述べる。図２は、本製造方法に用いるディスペンサに具備されているノズル１０の構成を、ノズル１０から導出されるペースト４とともに示す図であり、（ａ）はノズル１０の外観斜視図、（ｂ）はノズル１０の概略正面図、（ｃ）はノズル１０の概略縦断面図、（ｄ）は（ｂ）の下方からみたノズル先端部の概略平面図である。なお、図２（ａ）、（ｂ）、（ｄ）においては、識別の容易化を図るため、ペースト４の表面に便宜上、点ハッチングを施してある。
【００３２】
本製造方法は、ディスペンス法によるペースト供給を行うものであり、基本的には、一般のディスペンス法と同様に、ペースト４を導出する開口部１１を有するノズル１０を用い、ノズル１０の開口部１１から被供給物３の一面上にペースト４を供給することにより、ペースト構造体１を製造するものである。
【００３３】
まず、本製造方法に用いるノズル１０について説明する。図２に示されるように、ノズル１０においては、その内部にペースト４が流通する内孔１２が設けられている。そして、その内孔１２の先端部はノズル１０の先端部に位置しており、外部に開口した開口部１１とされている。つまり、ペースト４は、ノズル１０の内孔１２を通って開口部１１から導出されるようになっている。
【００３４】
このようなノズル１０の材質は、特に限定しないが、ステンレスなどの金属や樹脂、セラミックなどよりなる。そして、このノズル１０へのペースト４の供給は、一般のディスペンサと同様に、図示しない制御コントローラなどにより、ペースト４の容量や流量を調整することにより行われる。
【００３５】
ここで、ペースト４の供給時におけるノズル１０の動作を述べておく。図２に示されるように、ノズル１０は、その先端部を被供給物３の一面に対向させた状態で、被供給物３の一面上に配置される。そして、この状態で、ノズル１０の開口部１１からペースト４が導出されるため、被供給物３の一面上にペースト４が供給される。
【００３６】
このとき、ノズル１０の開口部１１を被供給物３の一面に対向させた状態で、当該開口部１１からペースト４を導出しながら、ノズル１０を被供給物３の一面と平行な所定方向Ｘに移動させる。図２には、この所定方向Ｘ、すなわち、ノズル１０が移動する方向であるノズル移動方向Ｘを白抜き矢印にて示してある。
【００３７】
このように、ノズル移動方向Ｘにノズル１０を移動させながらペースト４を供給することにより、ノズル１０の開口部１１におけるノズル移動方向Ｘとは直交する方向の開口長さＬをペースト４の幅として、ペースト４は、被供給物３の一面上に形成される。
【００３８】
ここで、ノズル１０の先端部に位置する内孔１２の先端部が開口部１１として構成されているが、本実施形態では、開口部１１は、この内孔１２の先端部と、内孔１２の先端部から延びるようにノズル１０の先端部を切り欠いて形成された切り欠き１３とにより構成されている。
【００３９】
ここでは、ノズル１０の開口部１１のうち内孔１２の先端部の開口形状は、内孔１２の孔形状であり、細長の長方形をなす開口形状とされている。そして、ノズル１０の開口部１１におけるノズル移動方向Ｘとは直交する方向の開口長さＬは、この内孔１２の先端部の長辺の長さに相当する。なお、ここでは、図２に示されるように、内孔１２の先端部の開口形状は、当該長方形の１つの長辺の中央部に凹部１４を有する形状とされているが、この凹部１４については後述する。
【００４０】
このように、ノズル１０の開口部１１における内孔１２の先端部を、細長の長方形の開口形状をなすものとすれば、被供給物３上に導出されるペースト４は、上記開口長さＬに相当する開口部１１の長辺の長さＬを幅とし、開口部１１の短辺の長さを厚さとする膜状のものとなる。
【００４１】
そのため、導出された膜状のペースト４は、ノズル１０の先端部と被供給物１の一面との間で、当該ペースト４の幅方向の全体に渡ってノズル１０の先端部と被供給物１とに接触した状態で押し出されるので、結果的に、幅寸法、厚さ寸法ともに一定である膜状のペースト４が形成されやすい。
【００４２】
また、ノズル１０の開口部１１のうち切り欠き１３は、内孔１２の先端部のうち開口長さＬ方向における中央部からノズル移動方向Ｘの後方側に延びるように設けられている。ここで、図２（ｄ）には、開口部１１のうち内孔１２の先端部における開口長さＬの方向の中心線Ｃを一点鎖線Ｃで示しているが、切り欠き１３は、この中心線Ｃ上に位置している。
【００４３】
この切り欠き１３は、ノズル移動方向Ｘと平行な上記中心線Ｃに沿って内孔１２の先端部からノズル１０の先端部の外郭まで貫通する溝として、ノズル１０の先端部を切り欠くように構成されたものである。ここでは、切り欠き１３は断面半円状の溝であるが、この切り欠き１３の溝形状としては、断面矩形でもよいし、断面三角形あるいは断面Ｕ字形状などであってもよい。
【００４４】
また、上述したが、この切り欠き１３は、ノズル１０の先端部のうちノズル移動方向Ｘに沿ってノズル１０を移動させるときに開口部１１における内孔１２の先端部の後方に位置する部位に、設けられている。
【００４５】
そして、本実施形態では、このようなノズル１０を用いてペースト４の供給工程を行う。この工程では、ノズル１０の開口部１１を被供給物３の一面に対向させた状態で開口部１１からペースト４を導出しながら、ノズル１０をノズル移動方向Ｘに移動させることにより、上記開口長さＬを幅とするペースト４を被供給物３の一面上に形成する。
【００４６】
このとき、本実施形態では、ノズル１０を移動させつつペースト４を開口部１１から導出するとき、導出されたペースト１１のうち切り欠き１３を通過する部分は、この切り欠き１３の形状に拡がり、当該切り欠き１３の形に応じた凸形状を有するものとなる。
【００４７】
一方、開口部１１から導出されたペースト４のうち切り欠き１３以外を通る部分は、当該切り欠き１３以外のノズル１０の先端部によって平坦化されて、切り欠き１３部分の凸形状よりも引っ込んだ状態となる。
【００４８】
こうして、図２に示されるように、本実施形態のペースト４の供給工程においては、ノズル１０が移動していくにつれて、切り欠き１３が通過した軌跡として、ペースト４の上面に凸部４ａが形成される。
【００４９】
つまり、被供給物３の一面上に供給されたペースト４において、そのペースト４の幅方向の中央部は、ペースト４の周辺部よりも盛り上がり且つ切り欠き１３の形状に対応した形状をなす凸部４ａとなる。こうして、ペースト４の供給が終了すると、本実施形態のペースト構造体１ができあがる。
【００５０】
なお、本実施形態では、図２に示されるように、この切り欠き１３に対応するノズル１０の内孔１２の部分に、上記凹部１４が設けられている。この凹部１４は、当該内孔１２の延びる方向に沿って当該内孔１２の内壁に設けられた溝である。この内孔１２の凹部１４は無くてもよいが、当該凹部１４がある方が、ペースト４の凸部４ａの厚さを確保しやすくなる。
【００５１】
次に、図３に示されるように、このペースト構造体１に被着体２を組み付ける。図３はペースト構造体１に被着体２を搭載する工程を示す工程図であり、ここでは、各ワークを断面的に示している。
【００５２】
まず、被着体２を、ペースト４を介して被供給物３上に配置し、加圧しながら組み付ける。このとき、図３（ｂ）に示されるように、被着体２は、ペースト４の中央部の凸部４ａから接触させていき、その周囲に向かってペースト４を押し出しながら濡れ広げるようにする。
【００５３】
こうして被着体２を搭載した後、加熱・乾燥などによりペースト４を硬化させれば、被着体２と被供給物３とが接合される。こうして、図３（ｃ）に示されるように、本実施形態のペースト構造体１に被着体２が組み付けられたものができあがる。
【００５４】
ところで、本実施形態によれば、上記製造方法により製造されたペースト構造体１では、被供給物３の一面上に供給されたペースト４において、その幅方向の中央部が凸部４ａとなる。
【００５５】
そのため、ペースト４の上に被着体２を搭載したときに、ペースト４の中央部から周辺部に向かってペースト４が押し出されながら、被供給物３の一面上を濡れ拡がる。それにより、ペースト４内へのエアの巻き込みが軽微になるとともに、多少巻き込まれたエアも被着体２の加圧時に周囲に押し出され、ペースト４内に残存することはない。
【００５６】
よって、本実施形態の上記製造方法によれば、被供給物３の一面上に供給されたペースト４の上に被着体２を搭載したときに、ペースト４中にエアが巻き込まれるのを極力抑制することのできるペースト構造体１を、ディスペンス法によって適切に製造することができる。
【００５７】
また、上述したが、本実施形態では、ペースト構造体１の製造方法に用いられるノズル１０の開口部１１における内孔１２の先端部を、細長の開口形状をなすものとしつつ、そのノズル移動方向Ｘは、内孔１２の先端部の長手方向である長辺方向と直交する方向、すなわち当該内孔１２の先端部の短辺方向としている。
【００５８】
それによれば、上述したように、ノズル１０の開口部１１から導出されるペースト４は、当該内孔１２の先端部の長辺の長さである開口長さＬを幅とし、短辺の長さを厚さとする膜状のものとされるため、ペースト４を膜状のものとして被供給物３の一面上に適切に供給することができる。また、膜状のペースト４とすることで、凸部４ａの突出度合が顕著となることから、上記したエア巻き込み防止の効果を発揮しやすくなることが期待される。
【００５９】
また、図４は、本実施形態の他の例としてのノズル１０の先端部の概略平面構成を示す図である。上記図２に示される例では、切り欠き１３に対応するノズル１０の内孔１２の部分に、凹部１４を設け、ペースト４の凸部４ａの厚さを確保しやすくしたが、ペースト４における凸部４ａの厚さが確保されるならば、図４に示されるように、この凹部１４は省略された構成であってもよい。
【００６０】
（第２実施形態）
図５は、本発明の第２実施形態に係る構造体の製造方法の要部、すなわちペースト４の供給工程を示す工程図であり、（ａ）は概略断面図、（ｂ）は（ａ）の概略上面図である。また、図６は、図５に続くペースト４の供給工程を示す工程図であり、（ａ）は概略断面図、（ｂ）は（ａ）の概略上面図である。なお、図５（ｂ）、図６（ｂ）においては、識別の容易化を図るため、ペースト４の表面に便宜上、点ハッチングを施してある。
【００６１】
また、図５、図６では、ノズル１０における上記切り欠き１３、上記凹部１４、および、この切り欠き１３により形成されるペースト４の凸部４ａは省略してあるが、本実施形態においてもノズル１０は、上記第１実施形態と同様の切り欠き１３および凹部１４を有するものであり、この切り欠き１３および凹部１４により形成される凸部４ａによる上記エア巻き込み防止の作用効果についても同様である。
【００６２】
本実施形態の製造方法では、上記第１実施形態の製造方法と同様のペースト４の供給工程を行うが、さらに、この工程においてマスク２０を用いることを追加したものである。以下、本実施形態では、この本実施形態の特有の部分であるマスク２０の使用について、主として述べることとする。
【００６３】
本実施形態のペースト４の供給工程は、前提として、ペースト４を膜状のものとして被供給物３の一面上に供給するものであり、そのために、上記第１実施形態の図２の例と同様に、ノズル１０の開口部１１における内孔１２の先端部を、細長の長方形の開口形状をなすものとし、ノズル移動方向Ｘは、被供給物３の一面と平行且つノズル１０の開口部１１における内孔１２の先端部の短辺方向としている。
【００６４】
そして、本実施形態のペースト４の供給工程では、被供給物３の一面とノズル１０との間に、マスク２０を介在させた状態でペースト４の供給を行う。このマスク２０は、被供給物３の一面上に供給されるべきペースト４の形状と同一の開口形状を有する開口部２０ａを有するもので、その材質は一般の印刷用のマスク等と同様であり、たとえばステンレスなどよりなる。
【００６５】
ここでは、図５に示されるように、支持台２１に被供給物３を搭載・固定し、被供給物３の一面上にマスク２０の開口部２０ａを位置合わせした状態で、支持台２１および被供給物３の一面上にマスク２０を搭載し、固定する。ここで、マスク２０と被供給物３の一面とを密着させる。
【００６６】
このマスク２０の密着については、たとえば図５（ａ）に示されるように、支持台２１にマスク２０を吸着するための吸引用の孔２１ａを設け、この孔２１ａを介して減圧ポンプなどにより吸引を行い、マスク２０を支持台２１および被供給物３の一面に吸着させればよい。
【００６７】
こうして、被供給物３の一面とノズル１０との間に、マスク２０を介在させた状態で、マスク２０の開口部２０ａを介してノズル１０から被供給物３の一面上にペースト４を供給する。このとき、ノズル１０を、ノズル移動方向Ｘすなわちノズル１０の開口部１１における内孔１２の先端部の長辺方向と直交する方向Ｘに沿って移動させながら、ペースト４を導出する。
【００６８】
ここで、図５（ｂ）に示されるように、ノズル１０の開口部１１における内孔１２の先端部は、長方形の開口形状をなすが、その長手方向の開口長さＬすなわち長辺の長さは、マスク２０の開口部２０ａの最大開口幅よりも大きい。
【００６９】
それによって、ノズル１０の開口部１１における内孔１２の先端部の長手方向である長辺方向の開口長さＬを幅とし、当該内孔１２の先端部の短手方向である短辺方向の開口長さを厚さとする膜状のペースト４を、ノズル１０の開口部１１からマスク２０の開口部２０ａの全体を含んでマスク２０上に供給する。
【００７０】
つまり、ペースト４は、マスク２０の開口部２０ａの全周の外側にはみ出した状態でマスク２０の開口部２０ａの全体に供給される。このペースト１の供給完了後の状態が図５に示される。
【００７１】
このペースト４の供給の後、図６に示されるマスク２０の取り除き工程を行う。この工程では、マスク２０の開口部２０ａに位置するペースト４を被供給物３上に残しつつ、マスク２０を被供給物３上から取り除く。たとえば、上記吸引用の孔２１ａからの吸引を停止し、マスク２０を被供給物３の一面に対して垂直方向に上昇させるようにして、マスク２０を除去する。
【００７２】
それにより、マスク２０の開口部２０ａからはみ出してマスク２０上に位置するペースト４は、マスク２０とともに被供給物３の一面上から除去され、被供給物３の一面上に残されたペースト４はマスク２０の開口部２０ａの開口形状となる。この当該開口形状とされたペースト４が図６（ｂ）に示される。
【００７３】
このように、本実施形態の製造方法によれば、被供給物３の一面上に残されたペースト４は、マスク２０の開口部２０ａの開口形状と同一の平面形状をなす膜状のものとなる。そのため、本製造方法によれば、ディスペンス法によって所望のペーストパターンを精度よく実現することができる。
【００７４】
また、本実施形態の製造方法は、ペースト４を膜状のものとして被供給物３の一面上に供給するために、ノズル１０の開口部１１における内孔１２の先端部を、細長の長方形の開口形状をなすものとしている。
【００７５】
上述したように、当該内孔１２の先端部を細長の長方形の開口形状とすれば、当該幅および厚さが一定となった膜状のペースト４を実現しやすくなるため、本実施形態の製造方法のように、精密なペーストパターンを形成する場合には、好ましい。
【００７６】
なお、上記図５、図６では、支持台２１にマスク２０を吸着するための吸引用の孔２１ａを設け、マスク２０と支持台２１および被供給物３の一面との吸着を確実に行うようにしていたが、当該マスク２０の密着性を確保できるならば、この吸引用の孔２１ａは省略されたものであってもよい。
【００７７】
また、図７は、本第２実施形態の他の例としてのペースト４の供給工程を示す工程図であり、（ａ）は概略断面図、（ｂ）は（ａ）の概略上面図である。このように、被供給物３の一面上にて、ペースト４を複数個所に供給する場合には、マスク２０として複数の開口部２０ａを有するものを用いればよい。
【００７８】
この場合、たとえば印刷法によるペースト４の供給では、複数の開口部２０ａを覆うようにマスク２０上にて連続的にペースト４を拡げる必要があったが、本実施形態によれば、ディスペンス法により、個々の開口部２０ａに対してペースト４を不連続的に供給すればよい。そのため、ペースト４の無駄を極力排除することができる。なお、図７では、ペースト４の供給箇所を２箇所としているが、３箇所以上であってもよいことはもちろんである。
【００７９】
（参考例）
図８は、参考例としてのペースト４の供給工程を示す工程図であり、（ａ）は概略断面図、（ｂ）は（ａ）の概略上面図である。
【００８０】
上記第１実施形態では、ノズル１０に切り欠き１３を設けることで、ペースト４に凸部４ａを形成し、上記したエア巻き込み防止の効果を発揮させていた。これに対して、図８に示されるように、ノズル１０の形状ではなく、ノズル１０をプログラム制御で動かすことによって、ペースト４の中央部に凸部４ａを形成するようにしてもよい。
【００８１】
具体的には、図８中の矢印Ｙに示されるように、凸部４ａを形成するべき箇所にてノズル１０の上昇・下降を行えばよい。また、本例は、上記第２実施形態のようにマスクを用いる方法に対しても適用が可能である。
【００８２】
この参考例によっても、ペースト４の中央部に凸部４ａを形成できるが、上記第１実施形態に示した切り欠き１３によって凸部４ａを形成する方が、ノズル形状で凸形状を規定するため、より安定して凸部４ａの形状を形成することができる。
【００８３】
（他の実施形態）
なお、上記各実施形態に示した図では、ノズル１０の開口部１１における内孔１２の先端部の開口形状を長方形とした例を示した。これは、上述したように、当該開口形状を、長方形とすれば、当該幅および厚さが一定となった膜状のペースト４が実現しやすくなり、たとえば、ペースト４において安定した膜形状を形成するという点で好ましいからである。
【００８４】
ここで、ノズル１０の開口部１１における内孔１２の先端部の開口形状としては、上記長方形以外にも、細長であるならば、たとえば楕円形、偏円形などであってもよい。この場合、ノズル移動方向Ｘを、ノズル１０の開口部１１における内孔１２の先端部の長手方向とは直交する方向、すなわち開口部１１における内孔１２の先端部の短手方向とすることで、被供給物３上に供給されるペースト４は膜状のものとなる。
【００８５】
つまり、ノズル１０の開口部１１から導出されるペースト４は、開口部１１における内孔１２の先端部の長手方向の開口長さＬを幅とし、開口部１１における内孔１２の先端部の短手方向の開口長さを厚さとする膜状のものとなるため、被供給物３上のペースト４も膜状のものに形成しやすい。
【００８６】
また、この場合、切り欠き１３は、ノズル１０の開口部１１における内孔１２の先端部の長手方向の中央部からノズル移動方向Ｘの後方側に延びるように形成されたものとなるが、この切り欠き１３によるエア巻き込みの防止効果は上記同様に期待できる。
【００８７】
また、ノズル１０の開口部１１における内孔１２の先端部の開口形状が細長である場合、ノズル移動方向Ｘは、その内孔１２の先端部の長手方向と直交する短手方向であったが、これに限定されることなく、たとえばノズル移動方向Ｘは、当該内孔１２の先端部の長手方向であってもよい。
【００８８】
この場合、切り欠き１３は、ノズル１０の開口部１１における内孔１２の先端部のうち当該内孔１２の先端部の短手方向における中央部からノズル移動方向Ｘの後方側に延びるものとなる。そして、開口部１１から導出されるペースト４については、この内孔１２の先端部の短手方向の開口長さが当該ペースト４の幅となり、その幅方向の中央部に凸部４ａが設けられることになる。
【００８９】
さらに、ノズル１０の開口部１１における内孔１２の先端部の開口形状は、細長でなくてもよく、たとえば真円形、正方形でもよい。その場合でも、当該内孔１２の先端部のうちノズル移動方向とは直交する方向における中央部からノズル移動方向Ｘの後方側に延びる切り欠きを形成することにより、上記凸部４ａを形成するようにすればよい。
【００９０】
また、ノズル１０においては、ノズル１０の開口部１１の周囲部分をモータなどによる可動部として構成し、当該開口部１１の開口形状を可変とする機構を設けてもよい。そうすれば、マスクなしでも精密なペーストパターンを形成することが期待できる。
【符号の説明】
【００９１】
３      被供給物
４      ペースト
４ａ    ペーストの凸部
１０    ノズル
１１    ノズルの開口部
１３    切り欠き
２０    マスク
２０ａ  マスクの開口部
Ｘ      ノズル移動方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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