(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に配設されている第１のＩＬＤにコンタクト開口を形成して、ソース／ドレインコンタクト領域を露出させる段階と、
前記ソース／ドレインコンタクト領域上にシリサイドを形成する段階と、
前記シリサイド上に第１のコンタクト金属を形成して前記コンタクト開口を充填する段階と、
前記第１のコンタクト金属を研磨して、前記第１のコンタクト金属の上面を平坦化して、前記基板上に配設されているゲートの上面と同一平面とし、前記コンタクト開口における位置合わせ誤差に対応して、前記ゲートに隣接して配設されているスペーサ材料に形成される凹部が除去される段階と、
前記ゲートの前記上面に第２のＩＬＤを成膜する段階と、
前記第２のＩＬＤに第２のコンタクト開口を形成する段階と、
前記第２のコンタクト開口に第２のコンタクト金属を形成する段階と
を備え、
前記第２のコンタクト金属は、前記第１のコンタクト金属と伝導的に結合され、
前記第１のＩＬＤにコンタクト開口を形成する段階は、前記基板のソースドレイン領域上に配設されている窒化物エッチストップ層のうち前記コンタクト開口において露出した部分を除去して前記ソース／ドレインコンタクト領域を露出させる段階をさらに有する方法。
【請求項２】
前記コンタクト開口は、ドライエッチングプロセスを用いて前記第１のＩＬＤの一部を除去することによって形成さ
れ、前記ＩＬＤは、前記スペーサ材料および前記スペーサ材料に隣接して配設されている窒化物エッチストップ層よりも高いエッチングレートでエッチングされる請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ＩＬＤの下方に配設されている窒化物エッチストップ層の一部を除去する段階と、
前記基板上に配設されているゲート、隣接するスペーサ材料、および隣接する窒化物エッチストップ層の上面に配設されている前記ＩＬＤの前記一部を除去する段階と
をさらに備える請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
前記第２のコンタクト金属は、テーパー状である請求項１から３のいずれか一ｓ項に記載の方法。
【請求項５】
前記第１のコンタクト金属および前記第２のコンタクト金属は、積層コンタクト構造を形成する請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
窒化物エッチストップ層の一部を除去し、基板上に配設されているゲート、ゲートに隣接するスペーサ材料、および前記スペーサ材料に隣接する窒化物エッチストップ層の上面に配設されている第１のＩＬＤの一部を除去して、コンタクト開口を形成する段階と、
前記窒化物エッチストップ層のうち前記コンタクト開口において露出した部分を除去して、前記基板内のソース／ドレインコンタクト領域を露出させる段階と、
前記ソース／ドレインコンタクト領域上にシリサイドを形成する段階と、
前記コンタクト開口内に第１のコンタクト金属を形成する段階と、
前記第１のコンタクト金属を研磨して、前記第１のコンタクト金属を平坦化することによって前記ゲートの上面と同一平面として、スペーサ材料の凹部を除去する段階と、
前記ゲートの前記上面と同一平面に第２のＩＬＤを成膜する段階と、
前記第２のＩＬＤに第２のコンタクト開口を形成する段階と、
前記第２のコンタクト開口内に第２のコンタクト金属を形成する段階と
を備える方法。
【請求項７】
前記スペーサ材料の凹部は、コンタクトエッチングのエッチング時間に対応する請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記第１のコンタクト金属は、非テーパー状のコンタクト金属を含む請求項６または７に記載の方法。
【請求項９】
前記第２のコンタクト金属は、下側部分および上側部分を含み、前記下側部分の直径は、前記上側部分の直径よりも小さい請求項６から８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
前記第１のコンタクト金属および前記第２のコンタクト金属は、互いに伝導的に結合され、積層コンタクト構造を含む請求項６から９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
前記ゲートは、金属ゲートを含む請求項６から１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
前記金属ゲートは、二重金属ゲートを含むトランジスタの一部を含む請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記シリサイドは、前記第１のＩＬＤにコンタクト開口が形成された後、且つ、前記第２のコンタクト開口が形成される前に形成される請求項１から１２のいずれか一項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
コンタクト−ゲート間の短絡は、集積回路の寸法が増減する中、益々大きな問題となっている。コンタクトホールにサリサイド（ｓａｌｉｃｉｄｅ）を形成する金属ゲートプロセスはこのような短絡を低減する上で有益であるが、コンタクト−ゲート間の短絡を製造可能な水準にまでさらに引き下げるべく、コンタクト−ゲート位置合わせマージンを大きくするコンタクトプロセスが必要となる。
【図面の簡単な説明】
【０００２】
本明細書に結論として付す請求項は本発明と見なすものを具体的に示唆していると共に明確に請求しているが、本発明の利点は、添付図面を参照しつつ以下に記載する本発明の説明を読むことによってより明らかとなり得る。添付図面は以下の通りである。
【図１Ａ】本発明の実施形態に係る構造を示す図である。
【図１Ｂ】本発明の実施形態に係る構造を示す図である。
【図１Ｃ】本発明の実施形態に係る構造を示す図である。
【図１Ｄ】本発明の実施形態に係る構造を示す図である。
【図１Ｅ】本発明の実施形態に係る構造を示す図である。
【図１Ｆ】本発明の実施形態に係る構造を示す図である。
【図１Ｇ】本発明の実施形態に係る構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００３】
以下に記載する詳細な説明では、本発明を実施可能である具体的な実施形態を例示する添付図面を参照する。これらの実施形態については、当業者が本発明を実施できる程度に十分に詳細に説明する。本発明のさまざまな実施形態は、互いに相違点を有するものの、必ずしも全く共通点を有さないわけではないと理解されたい。例えば、本明細書で説明される特定の特徴、構造、または特性は、一の実施形態と関連付けられるが、本発明の思想および範囲を逸脱することなく、他の実施形態でも実装されるとしてよい。また、開示された各実施形態で説明される各構成要素の位置または配置は、本発明の思想および範囲を逸脱することなく、変更され得るものと理解されたい。このため、以下に記載する詳細な説明は、本発明を限定するものと解釈されるべきではなく、本発明の範囲は特許請求の範囲によってのみ定義されるものであって、請求項のあらゆる均等物に基づき適切に解釈されるべきである。図中で同様の参照番号を用いる場合、複数の図面にわたっていても同一または同様の機能を指すものとする。
【０００４】
マイクロ電子構造を形成する方法および対応して形成される構造を説明する。当該方法は、基板上に配設されている第１のＩＬＤにコンタクト開口を形成して、ソース／ドレインコンタクト領域を露出させる段階と、ソース／ドレインコンタクト領域上にシリサイドを形成する段階と、コンタクト開口内に第１のコンタクト金属を形成してコンタクト開口を充填する段階と、第１のコンタクト金属を研磨して、第１のコンタクト金属の上面を平坦化して、基板上に配設されているゲートの上面と同一平面とする段階と、ゲートの上面に第２のＩＬＤを成膜する段階と、第２のＩＬＤに第２のコンタクト開口を形成する段階と、第２のコンタクト開口に第２のコンタクト金属を形成する段階とを備え、第１のコンタクト開口および第２のコンタクト開口は、互いに伝導的に結合される。本発明に係る方法によれば、コンタクト−ゲート位置合わせマージンが大きくなると同時に、コンタクト−ゲート短絡が低減する。
【０００５】
本発明に係る方法を図１Ａから図１Ｇに図示する。図１Ａは、基板１０２およびゲート１０４を備えるトランジスタ構造１００の一部分の断面を示す図である。ゲート１０４は、一部の実施形態において、金属ゲートを含むとしてよく、例えば、ハフニウム、ジルコニウム、チタン、タンタル、あるいはアルミニウム、または、これらの組み合わせ等の金属ゲート材料を含むとしてよい。ゲート１０４は、上面１０５を含むとしてよい。基板１０２は、これらに限定されないが、シリコン、シリコン・オン・インシュレータ、ゲルマニウム、アンチモン化インジウム、テルル化鉛、ヒ化インジウム、リン化インジウム、ヒ化ガリウム、アンチモン化ガリウム、または、これらの組み合わせ等の材料から形成されているとしてよい。
【０００６】
トランジスタ構造１００はさらに、スペーサ材料１０６を含むとしてよい。スペーサ材料１０６は、ゲート１０４に隣接して設けられて、ゲート１０４と直に接触しているとしてよい。スペーサ材料１０６は、場合によっては、これらに限定されないが、二酸化シリコンおよび／または窒化シリコン材料等の誘電材料を含むとしてよい。トランジスタ構造１００はさらに、窒化物エッチストップ層（ｎｅｓｌ）１０８を備えるとしてよい。ｎｅｓｌ１０８は、スペーサ材料１０６に隣接して設けられて、スペーサ材料１０６と直に接触しているとしてよい。ｎｅｓｌ１０８は、一部の実施形態において、エッチストップ層として機能するとしてよい。トランジスタ構造１００はさらに、第１の層間誘電体（ＩＬＤ）１１０を備えるとしてよい。ＩＬＤ１１０は、一部の実施形態において絶縁層として機能するとしてよく、場合によっては、ｎｅｓｌ１０８に隣接して設けられており、ｎｅｓｌ１０８に直に接触しているとしてよい。
【０００７】
ゲート１０４の上面１０５には犠牲ストップ層１１２が形成されるとしてよい。犠牲ストップ層１１２は、場合によっては、窒化物および／または炭化ケイ素材料を含むとしてよい（図１Ｂを参照のこと）。ストップ層１１２の上には、例えば、フォトリソグラフィープロセス等の任意の適切なパターニングプロセスを利用して、レジスト層１１４を形成するとしてよい。レジスト層１１４は、基板１００のソース／ドレイン領域１０３用の開口１１６、例えば、トレンチコンタクト開口１１５を画定することを目的として形成されるとしてよい。ストップ層１１２の一部分およびＩＬＤ１１０の一部分は、基板上に配設されているゲート１０４、隣接するスペーサ材料、および隣接するｎｅｓｌの上面には配設されているとしてよい。
【０００８】
ある実施形態によると、ドライエッチングプロセスを用いて開口１１６を形成するとしてよい。開口１１６では、ストップ層１１２の一部分および第１のＩＬＤ１１０の一部分が除去されているとしてよい。ある実施形態によると、エッチングプロセスは、窒化物エッチストップ層（ｎｅｓｌ）１０８およびスペーサ材料１０６に対して選択的な性質を持つ酸化物エッチングを含むとしてよく、略異方的に第１のＩＬＤ１１０を除去してｎｅｓｌ１０８およびスペーサ材料１０６は実質的にそのままとしてよい。つまり、酸化物であるＩＬＤは、エッチングプロセスにおいて、スペーサ材料１０６およびｎｅｓｌ１０８よりもはるかに高いエッチングレートでエッチングされるとしてよい。ある実施形態によると、ゲート１０４、隣接するスペーサ１０６、および隣接するｎｅｓｌ１０８の上面に配設されているストップ層１１２の一部分およびＩＬＤ１１０の一部分を除去して、コンタクト開口１１６を形成するとしてよい。
【０００９】
パターニングプロセスを実行すると、レジスト層１１４の位置合わせに失敗する場合がある。つまり、レジスト層１１４の位置がずれて、開口１１５を形成している間に、スペーサ材料１０６の一部分１１３が露出して、第１のＩＬＤ１１０の一部分１１１がレジスト層１１４で被覆されたままとなる場合がある。レジスト層１１４の位置ずれの量は、場合によって異なるが、開口１１６のアスペクト比が大きくなるにつれて増加し得る。例えば、小さい構成要素を含むマイクロ電子デバイスでは、レジスト層１１４の位置ずれに起因してコンタクトとゲートとの間で短絡が発生する可能性がより高くなる。
【００１０】
この後、基板１００のソース／ドレイン領域１０３の部分に配設されている窒化物エッチストップ層１０８を、窒化物エッチングプロセスを用いて、例えば、ソース／ドレインコンタクト領域１０７が露出するように（図１Ｃを参照のこと）除去するとしてよい。これに代えて、窒化物エッチストップ層１０８は基板１０２には設けられていないので、ｎｅｓｌ１０８を除去する必要はないとしてもよい。別の実施形態によると、ｎｅｓｌのエッチングは、選択的に実行されるＩＬＤ除去プロセスに応じて実行するか否かが決まる任意の工程であるとしてよく、ＩＬＤエッチングが基板に対して選択的な性質を持つ場合、ｎｅｓｌエッチングは実行する必要がない。
【００１１】
レジスト層１１４の位置がずれているために、ｎｅｓｌ１０８のエッチングおよび／またはＩＬＤのエッチングを実行すると、スペーサ材料１０６の露出部分１１３には凹部１１７が形成される場合がある。形成される凹部１１７の深さは、具体的な処理パラメータに応じて変わり得る。ある実施形態によると、凹部１１７の深さは、コンタクトエッチング（ｎｅｓｌおよび／またはＩＬＤのエッチング）のエッチング時間と相互に関連する／対応する。その後レジスト層１１４を除去して、関連技術分野で公知の任意の適切なサリサイドプロセス、例えば、これらに限定されないが、ニッケルサリサイドプロセスおよび／またはその他の同様のサリサイドプロセスを用いて、サリサイド１１８をソース／ドレインコンタクト領域１０７上／内に形成するとしてよい（図１Ｄを参照のこと）。
【００１２】
サリサイド１１８の上には第１のコンタクト金属１２０を形成して、開口１１６を充填するとしてよい（図１Ｅを参照のこと）。ある実施形態によると、第１のコンタクト金属１２０は、コンタクト開口１１６内に形成されるボイドをほとんどまたは完全に無くすように、間隙充填特性が良好なプロセスを用いて形成されるとしてよい。このようなプロセスとしては、例えば、化学気相成長（ＣＶＤ）プロセスが挙げられるとしてよい。この後例えば化学機械研磨（ＣＭＰ）プロセス等の研磨プロセス１２３を実行して、第１のコンタクト金属１２０（図１Ｆを参照のこと）およびストップ層１１２を除去するとしてよい。第１のコンタクト金属は、場合によってはタングステン、チタン、窒化チタン、およびチタンタングステンのうち少なくとも１つを含むとしてよいが、具体的な用途に応じて任意の適切なコンタクト材料を含むとしてよい。
【００１３】
ある実施形態によると、第１のコンタクト金属１２０は平坦化されて、ゲート１０４の平坦な上面１２１と同一平面になるとしてよい。つまり、研磨プロセス１２３で研磨されると、第１のコンタクト金属１２０の上面１２２はゲート１０４の平坦な上面１２１と同一平面となる。研磨プロセス１２３は、コンタクト金属１２０とゲート１０４とを接続している可能性のあるストリンガーを全て除去するべく、過剰研磨に十分な時間をかける必要がある。研磨プロセス１２３によればさらに、レジスト層１１４の位置ずれによってスペーサ材料１０６の露出部分１１３に形成された凹部１１７（戻って図１Ｃを参照のこと）が除去される。ある実施形態によると、第１のコンタクト金属１２０は、非テーパー状の第１のコンタクト金属１２０を含むとしてよい。
【００１４】
ゲート１０４の平坦な上面１２１およびコンタクト金属１２０の上面１２２に、別のゲートエッチストップ層１２４を形成するとしてよい（図１Ｇを参照のこと）。別のゲートエッチストップ層１２４の上に、第２のＩＬＤ１２６を形成するとしてよい。第２の開口を形成して（不図示）、第２のコンタクト金属１２８で充填するとしてよい。第２のコンタクト金属１２８は、第１のコンタクト金属１２０と伝導的に結合されているとしてよく、且つ、第１のコンタクト金属１２０とオーミック接合を形成しているとしてよい。第２のコンタクト金属１２８は、第１のコンタクト金属の上面１２２に配設されているとしてよい。第２の開口は、第２のコンタクト金属１２８がテーパー状になり、第２のコンタクト金属１２８の下側部分１２９が、第２のコンタクト金属１２８の上側部分１３０に比べて非常に小さくなるように、形成されるとしてよい。これは、この第２の開口にはサリサイドを形成する必要がないためである。
【００１５】
ある実施形態によると、第２のコンタクト金属１２８の上側部分１３０の直径１３１は、下側部分１２９の直径１３２よりも大きい。第２のコンタクト金属１２８のテーパー比を大きくすると、先行技術に係る単一コンタクトプロセスに比べて、コンタクト−ゲート位置合わせ許容範囲を大幅に大きくすることができる。このようにして、ゲート１０４よりも高さのある積層コンタクト構造１３３が形成されるとしてよい。第１のコンタクト構造１２０と第２のコンタクト構造１２８との間を金属−金属接合とすることによって、トランジスタ構造内の積層コンタクト構造１３３（垂直方向に積層された二重コンタクト構造を含む）の形状についてはるかに高い自由度が得られる。このため、ゲート１０４に接触する（短絡を発生させる）可能性を発生させることなく、位置合わせ誤差の許容範囲を大きくすることができる。
【００１６】
本発明の実施形態によれば、積層トレンチコンタクトと、例えば、二重金属ゲートプロセス等の金属ゲートプロセスとを組み合わせる簡単且つ特異な方法が得られる。当該方法によれば、コンタクト−ゲート位置合わせマージンを大きくすることができると共に、サリサイドプロセスで形成されるコンタクトのアスペクト比を小さくすることができる。ある実施形態によると、ソースドレイントレンチコンタクト構造は、垂直方向に積層された２つのコンタクトから形成される。金属ゲートは、第１のソース／ドレインコンタクトの前に形成されるとしてよく、サリサイドは、第１のソース／ドレインコンタクトが開口された後、且つ、第２のソース／ドレインコンタクト開口が形成される前に形成されるとしてよい。先行技術に係るコンタクトプロセスでは、一段階でトレンチコンタクトが形成されるプロセスを用いているが、当該コンタクトプロセスは非常に小さい技術ノードには応用できない。
【００１７】
本発明のその他の利点には、先行技術に係るプロセスに比べて比較的小規模のプロセス変更で、コンタクト−ゲート位置合わせマージンを大きくしつつ、形成するコンタクトを大きくできることが挙げられる。本発明の実施形態によれば、本発明に係る方法に従って製造されたトランジスタ等のマイクロ電子デバイスのオーバーラップ容量を変更することなく、コンタクト位置ずれの許容範囲を大きくすることができる。
【００１８】
上記の説明では本発明に係る方法で利用され得る工程および材料を具体的に挙げたが、当業者であれば、多くの変更例および代替例が実施可能であることに想到するであろう。したがって、特許請求の範囲で定義される本発明の思想および範囲には、このような変更例、変形例、代替例、および追加例が全て含まれるものと考えられたい。また、マイクロ電子構造のある側面については関連技術分野で公知と考えられる。このため、本明細書に添付した図面には、例となるマイクロ電子構造のうち、本発明の実施に関連する部分のみを図示していると考えられたい。このように、本発明は本明細書に記載した構造に限定されない。
【図１ａ】
0005467616.tif 000002
【図１ｂ】
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【図１ｃ】
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【図１ｄ】
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【図１ｅ】
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【図１ｆ】
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【図１ｇ】
0005467616.tif 000008