(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを搬送するワーク搬送方法であって、
前記ワークは、異なる形態の電子基板と保護シートであり、
圧空装置の負圧駆動と正圧駆動を切り換えることにより、保持部材の保持面への電子基板の吸着保持と、
前記電子基板を保持テーブルに載置保持する際に、当該電子基板の回路面と保持テーブルの間に介在させる保護シートに対して保持部材の保持面から圧縮空気を吹き付けて当該保持面と保護シートの表面との間に負圧を発生させて浮遊させる懸垂保持とに切り換えて電子基板と保護シートを異なる形態で搬送し、保護シートを下にして電子基板を保持テーブル上に重ね合わせる
ことを特徴とするワーク搬送方法。
【請求項２】
請求項１に記載のワーク搬送方法において、
前記保護シートを懸垂保持して搬送するとき、保持部材の内部に形成された流路の同じ位置から保持面に向けて先広がり放射状で、かつ同心円上に所定ピッチで形成した複数個の貫通孔群から保護シート表面に向けて放射状に気体を吹き付けて懸垂保持し、
前記電子基板を吸着保持するとき、複数個の前記貫通孔で電子基板を吸着保持する
ことを特徴とするワーク搬送方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のワーク搬送方法において、
前記電子基板は、半導体ウエハである
ことを特徴とするワーク搬送方法。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載のワーク搬送方法において、
前記保護シートは、通気性を有するシートである
ことを特徴とするワーク搬送方法。
【請求項５】
ワークを搬送するワーク搬送装置であって、
前記ワークは、異なる形態の電子基板と保護シートであり、
前記電子基板と保護シートを保持する保持部材と、
流路を介して前記保持部材と連通接続された圧空装置と、
前記圧空装置の負圧駆動と静圧駆動を切り換え制御し、保持部材の保持面から圧縮空気を保護シートに向けて吹き付け、保持面と保護シートとの間で負圧を発生させて保護シートを浮遊させながら懸垂保持して搬送、あるいは、保持部材で電子基板を吸着保持し、保護シートを下にして電子基板を保持テーブル上で重ね合わせて載置させる制御部と
を備えたことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項６】
請求項５に記載のワーク搬送装置において、
前記保持部材は、当該保持面から内部の流路と連通する貫通孔が形成されており、
前記貫通孔は、同心円周上に所定ピッチで形成された複数個の貫通孔群からなり、さらに当該貫通孔群を保持面に複数配備して構成した
ことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項７】
請求項６に記載のワーク搬送装置において、
前記貫通孔は、保持部材内部で連通する流路の同じ位置から保持面に向けて先広がりのテーパー状に形成されている
ことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項８】
請求項５ないし請求項７のいずれかに記載のワーク搬送装置において、
前記保持部材を上下反転する反転駆動機構を備えた
ことを特徴とするワーク搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）、プリント基板などの電子基板、あるいはシートなどを含むワークに応じて接触または非接触で各ワークを搬送するワーク搬送方法およびワーク搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板としてウエハを非接触で懸垂保持して搬送する保持装置が知られている。当該保持装置は、上ケースと下ケースから構成されるチャンバの下ケース側に複数個の貫通孔が形成されており、当該チャンバ内に気体を供給することにより、貫通孔からウエハの表面に向けて気体を吹き付けるように構成されている。すなわち、ウエハの表面に気体を吹き付けることにより、保持装置とウエハとの間に負圧領域を形成し、ベルヌーイ効果によりウエハを浮遊させて懸垂保持する（特許文献１を参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１６８４１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、バックグラインド処理後のウエハ裏面に、金を蒸着させるなどの高温処理を施している。有機材料である粘着テープは、高温処理により溶融するので、高温処理前にウエハ表面から粘着テープが剥離され、その後にウエハ表面に新たな粘着テープが貼り付けられている。したがって、粘着テープの貼付処理と剥離処理を繰り返す必要があるので処理が煩雑になり、ひいては装置の大型化および処理速度の低下を招くといった不都合が生じている。
【０００５】
バックグラインド処理後にウエハから表面保護用の粘着テープを剥離したままの状態であっても、ウエハが適度の剛性を有していれば、裏面を吸着して搬送することにより回路面に保持部材を接触させることなく搬送することができる。
【０００６】
しかしながら、ダイシング処理する前に粘着テープを介してリングフレームにウエハを接着保持する必要がある。このとき、回路面側を支持してウエハ裏面側に粘着テープを貼付ローラで押圧しながら転動させて貼り付ける必要がある。
【０００７】
この場合、金属製などの保持テーブルに露出した回路面が直接に押し付けられたり、あるいは貼付ローラの転動方向にウエハが引き摺られたりして回路を破損させる問題がある。
【０００８】
上記問題を解決するために、発明者等は、保持テーブルとウエハとの間に回路面を保護する部材を介在させることに至った。そこで、発明者等は、保護部材としてメンテナンス性の高い物が好ましいので、シートを利用することにした。
【０００９】
しかしながら、当該シートを介してウエハを保持テーブル上に吸着保持する必要がある場合、通気性を有するものが必要となる。当該シートは、吸着保持用の保持部材では吸着力が低下して確実に吸着搬送することができないといった新たな問題が発生している。
【００１０】
シートの搬送だけであれば従来のベルヌーイ効果を利用した保持装置で搬送可能であるが、大径或いは適度の厚みのある自重の重いウエハを当該保持装置で懸垂保持して搬送することができないといった問題がある。
【００１１】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、ワークの種類に関わらずワークを精度よく搬送可能なワーク搬送方法およびワーク搬送装置を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、ワークを搬送するワーク搬送方法であって、
前記ワークは、異なる形態の電子基板と保護シートであり、
圧空装置の負圧駆動と正圧駆動を切り換えることにより、保持部材の保持面への電子基板の吸着保持と、
前記電子基板を保持テーブルに載置保持する際に、当該電子基板の回路面と保持テーブルの間に介在させる保護シートに対して保持部材の保持面から圧縮空気を吹き付けて当該保持面と保護シートの表面との間に負圧を発生させて浮遊させる懸垂保持とに切り換えて電子基板と保護シートを異なる形態で搬送し、保護シートを下にして電子基板を保持テーブル上に重ね合わせる
ことを特徴とする。
【００１３】
（作用・効果）  上記方法によれば、ワークに応じて保持部材の保持形態を、吸着保持する接触式、または圧縮空気を吹き付けて懸垂保持する非接触式に切り換えてワークを搬送することができる。
【００１４】
例えば、非接触で保護シートを懸垂保持して搬送するとき、保持部材の内部に形成された流路の同じ位置から保持面に向けて先広がり放射状で、かつ同心円上に所定ピッチで形成した複数個の貫通孔群から保護シート表面に向けて放射状に気体を吹き付けて懸垂保持する。また、電子基板を吸着保持するとき、複数個の貫通孔でワークを吸着保持する（請求項２）。
【００１５】
したがって、ワークの搬送工程で異なる種類のワークを搬送することができる。例えば、バックグラインド処理後の薄型化されて表面に保護用の粘着テープが貼り付けられている半導体ウエハまたは保護用の粘着テープの貼り付けられていない半導体ウエハ（請求項３）、あるいは通気性を有して吸着しづらい保護シート（請求項４）などを搬送する。
【００１６】
すなわち、ワークが保護用の粘着テープを貼り付けて撓み変形しづらく補強した半導体ウエハ、および粘着テープの貼り付けがなくとも撓み変形しづらい程度の剛性および重量を有する半導体ウエハ単体の場合、保持部材を半導体ウエハに接触させて搬送することができる。また、ワークが粘着テープの有無の関係なしに撓み変形する半導体ウエハ、あるいは保護シートを保持部材により非接触で搬送することができる。なお、保護シートについては、通気性の有無を問わない。したがって、ワークの種類に関わらずワークを破損させることなく搬送することができる。
【００１７】
また、この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
【００１８】
すなわち、ワークを搬送するワーク搬送装置であって、
前記ワークは、異なる形態の電子基板と保護シートであり、
前記電子基板と保護シートを保持する保持部材と、
流路を介して前記保持部材と連通接続された圧空装置と、
前記圧空装置の負圧駆動と静圧駆動を切り換え制御し、保持部材の保持面から圧縮空気を保護シートに向けて吹き付け、保持面と保護シートとの間で負圧を発生させて保護シートを浮遊させながら懸垂保持して搬送、あるいは、保持部材で電子基板を吸着保持し、保護シートを下にして電子基板を保持テーブル上で重ね合わせて載置させる制御部と
を備えたことを特徴とする。
【００１９】
（作用・効果）  この構成によれば、流路を介して保持部材に連通接続された圧空装置を静圧駆動または負圧駆動に切り換えることにより、保持部材でワークを吸着保持あるいは非接触による懸垂保持のいずれかに切り換えて搬送することができる。
【００２０】
上記構成において、保持部材は、当該保持面から内部の流路と連通する貫通孔が形成されており、前記貫通孔は、同心円周上に所定ピッチで形成された複数個の貫通孔群からなり、さらに当該貫通孔群を保持面に複数配備して構成することが好ましい（請求項６）。
【００２１】
なお、貫通孔は、保持部材内部で連通する流路の同じ位置から保持面に向けて先広がりのテーパー状に形成されていることがより好ましい（請求項７）。
【００２２】
この構成によれば、保持部材からワーク表面に吹き付けた圧縮空気が、その表面を放射状に滑らかに流れる。したがって、保持部材の保持面とワーク表面との間にエゼクタ効果およびベルヌーイ効果による負圧発生と、ワーク裏面側にエアクッション効果による静圧を効率よく発生させ、ワークを確実に浮遊させた状態で懸垂保持して搬送することができる。
【００２３】
上記構成において、保持部材を上下反転する反転駆動機構を備えてもよい（請求項８）。この構成によれば、吸着保持して搬送するワークの表裏面を反転させてテーブルなどに載置することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明のワーク搬送方法およびワーク搬送装置によれば、保持部材によってワークを吸着保持する接触式と、ワークに向けて圧縮空気を吹き付けてワークと保持部材との間で負圧を発生させて懸垂保持する非接触式とに切り換えることにより、同一工程内で破損させることなく複数種類のワークを搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】粘着テープ貼付け装置の構成を示す平面図である。
【図２】粘着テープ貼付け装置の正面図である。
【図３】搬送機構の一部を示す正面図である。
【図４】搬送機構の一部を示す平面図である。
【図５】ワーク搬送装置の正面図である。
【図６】ワーク搬送装置の要部を示す平面図である。
【図７】保持アームの要部を示す平面図である。
【図８】保持アームのパッドを示す拡大平面図である。
【図９】図７に示す保持アームのパッド部分のＡ−Ａ矢視断図である。
【図１０】ワーク搬送装置およびフレーム搬送装置の移動構造を示す平面図である。
【図１１】ワーク搬送装置およびフレーム搬送装置における前後移動構造の一部を示す正面図である。
【図１２】ワーク搬送装置およびフレーム搬送装置における前後移動構造の一部を示す正面図である。
【図１３】粘着テープ貼付け装置の動作説明図である。
【図１４】粘着テープ貼付け装置の動作説明図である。
【図１５】粘着テープ貼付け装置の動作説明図である。
【図１６】粘着テープ貼付け装置の動作説明図である。
【図１７】粘着テープ貼付け装置の動作説明図である。
【図１８】粘着テープ貼付け装置の動作説明図である。
【図１９】粘着テープ貼付け装置の動作説明図である。
【図２０】粘着テープ貼付け装置の動作説明図である。
【図２１】粘着テープ貼付け装置の動作説明図である。
【図２２】粘着テープ貼付け装置の動作説明図である。
【図２３】マウントフレームの斜視図である。
【図２４】変形例装置の保持アームの平面図である。
【図２５】変形例装置の保持アームの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。なお、本実施例では、バックグラインド処理後の薄型化された半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）の裏面に粘着テープを介してリングフレームに接着保持してマウントフレームを作成する粘着テープ貼付け装置に本発明のワーク搬送装置を備えた場合を例に採って説明する。
【００２７】
図１に粘着テープ貼付け装置の平面図が、また、図２にその正面図がそれぞれ示されている。
【００２８】
この粘着テープ貼付け装置は、図１に示すように、横長の矩形部Ａとこの矩形部Ａの中央部で連接して奥側に突出する突出部Ｂとからなる凸形に構成されている。なお、以後の説明において、矩形部Ａの長手方向を左右方向、これと直交する水平方向を手前側および奥側（図１では下側および上側）と呼称する。
【００２９】
矩形部Ａには、ウエハＷ、リングフレームｆ、および、マウントフレームＭＦを搬送する搬送機構１が配備されるとともに、突出部Ｂには、リングフレームｆとウエハＷに粘着テープＤＴを貼り付けてマウントフレームＭＦを作成する粘着テープ貼付け部２が配備されている。
【００３０】
図１および図２に示すように、矩形部Ａの左右中心から右側寄りの手前にウエハＷをカセット３に積層収容して供給するウエハ供給部４、およびウエハＷの表面保護用の保護シートＰを容器７０に積層収納して供給するシート供給部７１が設けられている。本実施例の場合、カセット３および容器７０をそれぞれ2個ずつ並列に配備している。
【００３１】
なお、本実施例では、シート供給部７１に載置される容器７０の一方に、粘着テープＤＴの貼付時にウエハ保持テーブル７２とウエハＷとの間に介在させた使用済の保護シートＰの回収用として利用している。
【００３２】
矩形部Ａの左右中心から左側寄りの手前にリングフレームｆを容器５に積層収容して供給するフレーム供給部６が配備されている。さらに、矩形部Ａの左右中心近くの奥側（粘着テープ貼付け部２側）箇所には、ウエハＷとリングフレームｆを載置して粘着テープ貼付け部２に送り込む保持テーブル７が前後移動可能に配備されている。
【００３３】
なお、本実施例で利用する保護シートＰは、通気性を有する合紙を利用している。
【００３４】
保持テーブル７は、図１９に示すように、中央に保護シートＰおよびウエハＷを載置保持するウエハ保持テーブル７２と、このウエハ保持テーブル７２を囲うフレーム保持部７３とが備わっている。
【００３５】
ウエハ保持テーブル７２は、金属製のチャックテーブルであり、内部に形成された流路を介して外部の真空装置と連通接続されている。つまり、ウエハ保持テーブル７２上に載置した通気性を有する保護シートＰを介してウエハＷを吸着保持するように構成されている。また、ウエハ保持テーブル７２は、シリンダ８４によって昇降する。なお、ウエハ保持テーブル７２は、金属製に限定されず、セラミックの多孔質で形成されたものであってもよい。
【００３６】
フレーム保持部７３は、フレーム厚みに相当する段部が形成されている。つまり、当該段部にリングフレームｆを載置したときに、このフレーム保持部７３の頂部とリングフレームｆの上面とが平坦になるように構成されている。また、ウエハ保持テーブル７３に保護シートＰおよびウエハＷを載置したときのウエハＷの表面高さとリングフレームｆの表面高さとが平坦になるようなっている。
【００３７】
なお、図１に示すように、保持テーブル７は、図示しない駆動機構によってウエハＷなどのセット位置と粘着テープ貼付け部２との間に敷設されたレール８５に沿って往復移動可能に構成されている。
【００３８】
搬送機構１には、矩形部Ａの上部に左右水平に架設された案内レール８の右側に左右往復移動可能に支持されたワーク搬送装置９と、案内レール８の左側に左右移動可能に支持されたフレーム搬送装置１０とが備えられている。また、矩形部Ａの右奥側に、ノッチやオリエンテーションフラットを用いてウエハＷの位置決めを行うアライナ１１が設置される。さらに、フレーム供給部６の奥側にはリングフレームｆの位置決めを行うアライナ１２が設置されている。
【００３９】
ワーク搬送装置９は、容器７０から取り出した保護シートＰおよびカセット３から取り出したウエハＷを左右および前後に搬送するとともに、ウエハＷの姿勢を表裏反転することができるよう構成されている。その詳細な構造が図３〜図１２に示されている。
【００４０】
また、ワーク搬送装置９は、図３および図５に示すように、案内レール８に沿って左右移動可能な左右移動可動台１４が装備されている。この左右移動可動台１４に備えられた案内レール１５に沿って前後移動可能に前後移動可動台１６が装備されている。さらに、この前後移動可動台１６の下部にウエハＷおよび保護シートを保持する保持ユニット１７が上下移動可能に装備されている。
【００４１】
図３および図４に示すように、案内レール８の右端近くにはモータ１８で正逆転駆動される駆動プーリ１９が軸支されるとともに、案内レール８の中央側には遊転プーリ２０が軸支されている。これら駆動プーリ１９と遊転プーリ２０とに亘って巻き掛けられたベルト２１に、左右移動可動台１４のスライド係合部１４ａが連結され、ベルト２１の正逆回動によって左右移動可動台１４が左右に移動されるようになっている。
【００４２】
図１０〜図１２に示すように、左右移動可動台１４の奥端近くにはモータ２２で正逆転駆動される駆動プーリ２３、が軸支されるとともに、左右移動可動台１４の前端近くには遊転プーリ２４、５４が軸支されている。これら駆動プーリ２３と遊転プーリ２４とに亘って巻き掛けられたベルト２５に、前後移動可動台１６のスライド係合１６ａが連結され、ベルト２５の正逆回動によって前後移動可動台１６が前後に移動されるようになっている。
【００４３】
図５および図６に示すように、保持ユニット１７は、前後移動可動台１６の下部に連結された逆Ｌ字形の支持フレーム２６、この支持フレーム２６の縦枠部に沿ってモータ２７でネジ送り昇降される昇降台２８、昇降台２８に回動軸２９を介して縦向き支軸ｐ周りに旋回可能に軸支された回動台３０、回動軸２９にベルト３１を介して巻き掛け連動された旋回用モータ３２、回動台３０の下部に回動軸３３を介して水平向き支軸ｑ周りに反転回動可能に軸支された保持アーム３４、回動軸３３にベルト３５を介して巻き掛け連動された反転用モータ３６などで構成されている。なお、保持アーム３４は、本発明の保持部材に相当する。
【００４４】
図６および図７に示すように、保持アーム３４はＵ形をしている。保持アーム３４の保持面には、僅かに突出したパッド７７が設けられている。図８に示すように、このパッド７７の表面から内部に向けて小径（本実施例では約０．２ｍｍ）の貫通孔７８が同心円周上に所定ピッチで形成されている。これら複数個の貫通孔７８は、図６および図９に示すように、保持アーム３４の内部に形成された1本の流路７９の同じ位置に連通された貫通孔群を構成している。貫通孔群の個々の貫通孔７８は、保持アーム内の流路７９から保持面に向けて先広がりのテーパー状に形成されている。この貫通孔群を有するパッド７７は、保持面の所定位置に複数配備されている。さらに、保持アーム３４は、その内部に形成された流路７９と、この流路７９の基端側で連接された接続流路８０を介して圧空装置８１に連通接続されている。
【００４５】
圧空装置８１は、制御部８２によって駆動切換される。つまり、圧空装置８１を負圧駆動させることにより、ウエハＷの裏面を保持アーム３４のパッド７７で吸着保持させる。また、圧空装置８１を静圧駆動に切り換えることにより、保持アーム３４を上下反転させて下向きの貫通孔群から保護シートＰに圧縮空気を吹き付け、載置面と最上段の保護シートＰとの間で負圧を発生させ、最上段の保護シートＰのみを懸垂保持させる。
【００４６】
上記した可動構造を利用することで、吸着保持したウエハＷを保持アーム３４によって前後移動、左右移動、および、縦向き支軸ｐ周りに旋回移動するとともに、図５に示す水平向き支軸ｑ周りの反転回動によってウエハＷを表裏反転することができるようになっている。
【００４７】
また、保持アーム３４により保護シートＰを懸垂保持したまま、前後移動および左右移動するようになっている。
【００４８】
フレーム供給部６の左側には、図２に示すように、リングフレームｆに粘着テープＤＴを介してウエハＷを接着して作成したマウントフレームＭＦを積載して回収する収納部３９が配備されている。この収納部３９は、装置フレーム４０に連結固定された縦レール４１と、この縦レール４１に沿ってモータ４２でネジ送り昇降される昇降台４３が備えられている。したがって、フレーム供給部６は、マウントフレームＭＦを昇降台４３に載置してピッチ送り下降するよう構成されている。
【００４９】
フレーム搬送装置１０は、フレーム供給部６に積層して載置されたリングフレームｆを最上段から順に取り出して、左右および前後に搬送することができるよう構成されており、その左右移動構造および前後移動構造はワーク搬送装置９と同様である。
【００５０】
フレーム保持ユニット４７は、図１および図２に示すように、前後移動可動台４６の下部に連結された縦枠５６、この縦枠５６に沿ってスライド昇降可能に支持された昇降枠５７、昇降枠５７を上下動させる屈伸リンク機構５８、この屈伸リンク機構５８を正逆屈伸駆動するモータ５９、昇降枠５７における下端の前後左右箇所に装備された吸着パッド６０などで構成されている。したがって、昇降台４３に積載されたリングフレームｆを最上段のものから順に吸着パッド６０で吸着保持して上昇し、前後左右に搬送することができるようになっている。なお、吸着パッド６０はリングフレームｆのサイズに対応して水平方向にスライド調節可能となっている。
【００５１】
粘着テープ貼付け部２は、図２、図２０、および図２１に示すように、ロール巻きした幅広の粘着テープ（ダイシングテープ）ＤＴを装填するテープ供給部６１、貼付ローラ６２、剥離ローラ６３、テープ切断機構６４、およびテープ回収部６５などを備えている。
【００５２】
次に、上記実施例装置を用いてウエハＷの裏面側に粘着テープＤＴを貼付ける基本動作について説明する。
【００５３】
先ず、フレーム搬送装置１０のフレーム保持ユニット４７が、フレーム供給部６からリングフレームｆを吸着してアライナ１２に移載する。フレーム保持ユニット４７が吸着を解除して上昇すると、アライナ１２がリングフレームｆの位置を行う。その後、フレーム保持ユニット４７が再びリングフレームｆを吸着保持して保持テーブル７に搬入し、ウエハＷと同心状のフレーム保持部７３に載置する。
【００５４】
図１３に示すように、パッド７７を下向きにした状態で保持アーム３４をシート供給部７１の容器７０上に移動させる。図１４に示すように、保持アーム３４を所定高さまで下降させて最上段の保護シートＰに近接させ、その状態で圧空装置８１を静圧駆動させて保持アーム３４のパッド７７から保護シートＰに圧縮空気を吹き付ける。保護シートＰの表面で放射状に滑らかに流れる気流によって保持面と保護シートＰとの間に安定した負圧領域が形成され、保護シートＰが浮遊する。
【００５５】
図１５に示すように、浮遊した保護シートＰを保持アーム３４で懸垂保持したまま、保持テーブル７上に移動させる。図１６に示すように、保持テーブル７は、その表面がフレーム保持部７３の表面よりも高い位置になるように上昇している。保護シートＰが保持テーブル７上に接触する高さまで保持アーム３４を下降させ、圧空装置８１の駆動を停止して保護シートＰをウエハ保持テーブル７２に載置する。ウエハ保持テーブル７２に載置された保護シートＰは、位置合わせピンなどによって位置合わせされる。
【００５６】
保護シートＰを搬送したワーク搬送装置９は、ウエハ供給部４へと戻る。次に、ワーク搬送装置９は、保持アーム３４のパッド７７を上向きになるよう上下反転させる。この状態で、図１７に示すように、ウエハ供給部４のカセット５に回路面を上向きにして積層収納されているウエハＷ同士の間に保持アーム３４を前進移動させ、ウエハＷの裏面に当接させる。パッド７７がウエハＷの裏面と当接すると、圧空装置８１を負圧駆動させウエハ裏面を吸着保持して取り出す。保持アーム３４でウエハＷを吸着保持したままアライナ１１上に搬送する。
【００５７】
アライナ１１は、その中央から突出した吸着パッド８３によりウエハＷの裏面中央を吸着する。同時に、保持アーム３４は、ウエハＷの吸着を解除して後退する。アライナ１１は、吸着パッド８３をテーブル内に収納し、ウエハＷのノッチなどに基づいて位置合わせを行う。位置合わせが完了すると、ウエハＷを吸着した吸着パッド８３をアライナ１１の面から突出させる。その位置に保持アーム３４が移動し、ウエハＷを裏面から吸着保持する。吸着パッド８３は、吸着を解除して下降する。
【００５８】
保持アーム３４は、ウエハＷの裏面を吸着保持した状態で所定高さまで上昇し、図１８に示すように、ウエハＷの回路面が下向きとなるように、上下反転する。その後、図１９に示すように、保持アーム３４は、保持テーブル７上に移動してウエハ保持テーブル７２の保護シートＰ上にウエハＷの回路面を下向きにしたまま載置する。ウエハ保持テーブル７２は、保護シートＰを介してウエハＷを吸着保持する。    
【００５９】
保持テーブル７にウエハＷおよびリングフレームｆのセットが完了すると、ウエハ保持テーブル７２は下降し、ウエハＷとリングフレームｆの両方の上面が同じ高さにされた後にレール８５に沿って粘着テープ貼付け部２へと移動する。
【００６０】
保持テーブル７がテープ貼付部け部２の搬入位置に達すると、図２０に示すように、貼付ローラ６２を下降させて粘着テープＤＴ上で右から左に転動させる。これによってリングフレームｆとウエハＷの裏面側に粘着テープＤＴを貼り付ける。貼付ローラ６２が終端位置に到達すると、図２１に示すように、テープ切断機構６４が下降し、リングフレームｆに沿って丸刃のカッタを旋回させながら粘着テープＤＴを切断する。
【００６１】
切断が完了すると、テープ切断機構６４が上昇するとともに、図２２に示すように、剥離ローラ６３が右から左に移動し、切断後の不要テープを巻取り回収してゆく。
【００６２】
図２３に示すように、マウントフレームＭＦの作成が完了すると、保持テーブル７が図１中の矩形部Ａのセット位置まで移動して停止する。その位置でフレーム保持ユニット４７が、作成されたマウントフレームＭＦを吸着搬送して収納部３９に収納する。また、ワーク搬送機構９が保持テーブル７まで移動する。保持アーム３４は、使用済みの保護シートＰを懸垂保持し、そのままの状態で、シート供給部７１に配備された回収用の容器７０に搬送する。
【００６３】
以上で一巡の基本動作が終了し、以後同じ動作が繰り返される。
【００６４】
上記実施例装置によれば、吸着搬送することのできない保護シートＰと吸着搬送の必要なウエハＷを一台のワーク搬送装置９により搬送することができる。また、保持アーム３４の吸着パッドに形成された貫通孔７８は、貫通孔７８の流路が先広がりのテーパー状になっており、開口面が外向きに長い楕円形をしているので、保護シートＰに向けて吹き付けられる圧縮空気がその表面に沿って滑らかな気流を発生させる。したがって、保持アーム３４の保持面と保護シートＰとの間に安定した負圧領域が形成されるので、保護シートＰを安定した状態で懸垂保持できる。
【００６５】
さらに、貫通孔７８は、微小径であり、吸着保持するウエハＷの裏面との接触面積が小さいので、バックグラインド処理後の薄型化されたウエハＷのように、剛性が低下して撓み変形し易い場合であっても、吸着孔７８にウエハＷを吸い込んで凹入変形させることがない。すなわち、ウエハＷを破損させることがない。
【００６６】
なお、本発明は以下のような形態で実施することも可能である。
【００６７】
（１）上記実施例装置では、保護シートＰに通気性を有する合紙を利用したが、通気性を有さない保護シートを利用してもよい。例えば、弾性を有するシリコンシートや所定ピッチで凹凸段差を２次元アレー状に形成した保護シートなどが上げられる。
【００６８】
（２）上記実施例装置の保持アーム３４を、次のように構成してもよい。例えば、図２４に示すように、アームの先端を環状にし、所定ピッチで貫通孔群を有するパッド７７を設けてよい。また、図２５に示すように、ウエハＷと同じ直径の円形アームの複数箇所に貫通孔群を有するパッド７７を備えた構成であってもよい。
【００６９】
（３）上記実施例装置の保持アーム３４は、ウエハＷを吸着保持し、保護シートＰを非接触で搬送する形態であったが、ウエハＷを非接触で搬送するように構成してもよい。この形態の場合、ウエハＷの回路面を下向きにして保護シートＰを介在させて積層収納した容器７０から保護シートＰ、ウエハＷの順に保持アーム３４によって非接触で懸垂保持して搬送する。
【符号の説明】
【００７０】
１  …  搬送機構
２  …  粘着テープ貼付け部
４  …  ウエハ供給部
６  …  フレーム供給部
７  …  保持テーブル
９  …  ワーク搬送装置
１０  …  フレーム搬送装置
７３  …  フレーム保持部
７７  …  パット
８１  …  圧空装置
８２  …  制御部
ＤＴ  …  粘着テープ
Ｗ  …  半導体ウエハ
ｆ  …  リングフレーム
Ｐ  …  保護シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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