(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子線を放出する荷電粒子源と、
前記荷電粒子線を試料に照射する荷電粒子光学系と、
前記荷電粒子線の照射によって試料から発生した信号電子を検出する検出器と、
前記試料を保持し、試料を移動させる試料ステージと、
前記試料ステージが配置された試料室と、
前記信号電子に基づいて形成される試料画像を表示する画像表示装置と、
前記荷電粒子源、前記荷電粒子光学系、前記検出器、前記試料ステージ、前記試料室、および前記画像表示装置を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記荷電粒子線を試料に照射して前記試料画像の表示を開始するボタンが配置される第１の操作領域と、
前記試料画像の観察倍率を設定するボタンが配置される第２の操作領域と、
前記試料画像の明るさを自動で調整するボタンと、前記試料画像の焦点を自動で調節するボタンと、前記試料画像の明るさと焦点を元に戻すボタンとが配置される第３の操作領域と、
前記荷電粒子線の走査速度を早くするボタンと、前記荷電粒子線の走査速度を遅くするボタンと、前記荷電粒子線の走査範囲を狭くするボタンと、前記荷電粒子線の走査を停止して前記試料画像の表示を維持するボタンとが配置される第４の操作領域と、
前記試料画像を記憶装置に保存するボタンが配置される第５の操作領域を、
前記第１の操作領域から、前記第２の操作領域、前記第３の操作領域、前記第４の操作領域、前記第５の操作領域の順番で、上から下に前記画像表示装置に表示させる
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項２】
荷電粒子線を放出する荷電粒子源と、
前記荷電粒子線を試料に照射する荷電粒子光学系と、
前記荷電粒子線の照射によって試料から発生した信号電子を検出する検出器と、
前記試料を保持し、試料を移動させる試料ステージと、
前記試料ステージが配置された試料室と、
前記信号電子に基づいて形成される試料画像を表示する画像表示装置と、
前記荷電粒子源、前記荷電粒子光学系、前記検出器、前記試料ステージ、前記試料室、および前記画像表示装置を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記荷電粒子線を試料に照射して前記試料画像の表示を開始する開始ボタンが配置される第１の操作領域と、
前記試料画像の観察倍率を設定するボタンが配置される第２の操作領域と、
前記試料画像の明るさを自動で調整するボタンと、前記試料画像の焦点を自動で調節するボタンと、前記試料画像の明るさと焦点を元に戻すボタンとが配置される第３の操作領域と、
前記試料画像を記憶装置に保存するボタンが配置される第５の操作領域を、
前記第１の操作領域から、前記第２の操作領域、前記第３の操作領域、前記第５の操作領域の順番で、上から下に前記画像表示装置に表示させ、
前記荷電粒子線の走査速度を早くするボタンと、前記荷電粒子線の走査速度を遅くするボタンと、前記荷電粒子線の走査範囲を狭くするボタンと、前記荷電粒子線の走査を停止して前記試料画像の表示を維持するボタンとが配置される第４の操作領域を、
前記画像表示装置の所望の位置に表示させる
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項３】
請求項１または２のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、前記試料室を制御できる操作領域を展開するボタンが配置される操作領域を、前記第１の操作領域の上に表示させることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項４】
請求項１または２のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、前記試料室を大気開放するボタンと、前記試料室を真空排気するボタンとが配置される操作領域を、前記第１の操作領域の上に表示させることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項５】
請求項１または２のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記第１の操作領域に、前記荷電粒子線を試料に照射することを停止する停止ボタンが配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項６】
請求項１または２のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記第１の操作領域に、前記荷電粒子線を試料に照射することを停止する停止ボタンが配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項７】
請求項６記載の荷電粒子線装置において、
前記開始ボタンと前記停止ボタンが強調表示されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項８】
請求項１または２のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記第２の操作領域に、前記試料ステージを移動させるボタンが配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項９】
請求項１または２のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記第２の操作領域に、前記試料ステージの位置を表示する画像が表示されることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１０】
請求項１または２のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記保存ボタンが強調表示されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、荷電粒子線装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、走査電子顕微鏡に代表される荷電粒子線装置の用途や使用頻度が拡大しているが、それに対応できるだけの専門的な知識を持ったユーザの数は多いとはいえない。そのため、荷電粒子線装置の機能を十分に使いこなせないユーザが増加している。
【０００３】
上述のような問題に対し、特許文献１、２には次のような技術が記載されている。つまり、本撮影の前に、複数の簡易観察条件による撮影を行う。そして、得られた複数の簡易観察画像が表示部に一覧表示される（ｅプレビュー）。
【０００４】
続いて、ユーザが、表示されている複数の簡易観察画像の中から、所望の簡易観察画像を選択すると、コンピュータが選択された簡易観察画像における観察条件を設定する。
【０００５】
その後、ユーザが選択した簡易観察画像に対して必要な手動調整を行って、撮影を行う。この撮影の結果、得られた画像が表示部に表示される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４０１４９１６号公報
【特許文献２】特許第４０１４９１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１、２に記載の技術においては、上述したように、ユーザが、表示されている複数の簡易観察画像の中から所望の簡易観察画像を選択する。
【０００８】
しかしながら、ユーザが初心者である場合は、表示されている複数の簡易観察画像のうち、どの画像がよいのかを認識できないことがあり、特許文献１、２に記載の技術は、このような点に考慮がなされていない。
【０００９】
また、ユーザが初心者である場合は、荷電粒子線の操作を行う際、どの機能を使用し、どの順番で操作をすればよいのか分からず、正しい観察像を得ることができないといった場合があるが、上記技術はこの点においても考慮がなされていない。
【００１０】
本発明の目的は、荷電粒子線装置の操作初心者でも観察操作の流れを掴むことができ、一連の観察操作を簡単に行うことができる荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の操作表示方法を実現することに関する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、例えば、荷電粒子線を試料に照射して試料画像の表示を開始するボタンが配置される第１の操作領域と、試料画像の観察倍率を設定するボタンが配置される第２の操作領域と、試料画像の明るさを自動で調整するボタンと、試料画像の焦点を自動で調節するボタンと、試料画像の明るさと焦点を元に戻すボタンとが配置される第３の操作領域と、荷電粒子線の走査速度を早くするボタンと、荷電粒子線の走査速度を遅くするボタンと、荷電粒子線の走査範囲を狭くするボタンと、荷電粒子線の走査を停止して試料画像の表示を維持するボタンとが配置される第４の操作領域と、試料画像を記憶装置に保存するボタンが配置される第５の操作領域を、第１の操作領域から、第２の操作領域、第３の操作領域、第４の操作領域、第５の操作領域の順番で、上から下に画像表示装置に表示させる荷電粒子線装置である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、荷電粒子線装置の操作初心者でも観察操作の流れを掴むことができ、一連の観察操作を簡単に行うことができる荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の操作表示方法を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施例１に係る荷電粒子線装置の一例を示す概略構成図である。
【図２】実施例１に係る電子顕微鏡の操作手順を示すフローチャートである。
【図３】実施例１に係る操作画面の画面例を示す図である。
【図４】実施例１に係る操作画面上の操作パネルの配置を示す図である。
【図５】実施例１に係る操作画面上の操作パネルの配置を示す図である。
【図６】実施例２に係る操作画面上の操作項目の一部を自由配置した例を示した概略図である。
【図７】実施例３に係る操作画面上の重要な項目のボタンを強調表示した例を示した概略図である。
【図８】実施例３に係る操作画面上の重要な項目のボタンを強調表示した他の例を示した概略図である。
【図９】実施例３に係る操作画面上の重要な項目のボタンを強調表示したさらに他の例を示した概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
実施例は、荷電粒子線を放出する荷電粒子源と、荷電粒子線を試料に照射する荷電粒子光学系と、荷電粒子線の照射によって試料から発生した信号電子を検出する検出器と、試料を保持し、試料を移動させる試料ステージと、試料ステージが配置された試料室と、信号電子に基づいて形成される試料画像を表示する画像表示装置と、荷電粒子源、荷電粒子光学系、検出器、試料ステージ、試料室、および画像表示装置を制御する制御部と、を備え、制御部が、荷電粒子線を試料に照射して試料画像の表示を開始するボタンが配置される第１の操作領域と、  試料画像の観察倍率を設定するボタンが配置される第２の操作領域と、試料画像の明るさを自動で調整するボタンと、試料画像の焦点を自動で調節するボタンと、試料画像の明るさと焦点を元に戻すボタンとが配置される第３の操作領域と、荷電粒子線の走査速度を早くするボタンと、荷電粒子線の走査速度を遅くするボタンと、荷電粒子線の走査範囲を狭くするボタンと、荷電粒子線の走査を停止して試料画像の表示を維持するボタンとが配置される第４の操作領域と、試料画像を記憶装置に保存するボタンが配置される第５の操作領域を、第１の操作領域から、第２の操作領域、第３の操作領域、第４の操作領域、第５の操作領域の順番で、上から下に画像表示装置に表示させる荷電粒子線装置を開示する。
【００１５】
また、実施例は、荷電粒子線を放出する荷電粒子源と、荷電粒子線を試料に照射する荷電粒子光学系と、荷電粒子線の照射によって試料から発生した信号電子を検出する検出器と、試料を保持し、試料を移動させる試料ステージと、試料ステージが配置された試料室と、信号電子に基づいて形成される試料画像を表示する画像表示装置と、荷電粒子源、荷電粒子光学系、検出器、試料ステージ、試料室、および画像表示装置を制御する制御部と、を備え、制御部は、荷電粒子線を試料に照射して試料画像の表示を開始する開始ボタンが配置される第１の操作領域と、試料画像の観察倍率を設定するボタンが配置される第２の操作領域と、試料画像の明るさを自動で調整するボタンと、試料画像の焦点を自動で調節するボタンと、試料画像の明るさと焦点を元に戻すボタンとが配置される第３の操作領域と、試料画像を記憶装置に保存するボタンが配置される第５の操作領域を、第１の操作領域から、第２の操作領域、第３の操作領域、第５の操作領域の順番で、上から下に画像表示装置に表示させ、荷電粒子線の走査速度を早くするボタンと、荷電粒子線の走査速度を遅くするボタンと、荷電粒子線の走査範囲を狭くするボタンと、荷電粒子線の走査を停止して試料画像の表示を維持するボタンとが配置される第４の操作領域を、画像表示装置の所望の位置に表示させる荷電粒子線装置を開示する。
【００１６】
また、実施例は、制御部が、試料室を制御できる操作領域を展開するボタンが配置される操作領域を、第１の操作領域の上に表示させることを開示する。
【００１７】
また、実施例は、制御部が、試料室を大気開放するボタンと、試料室を真空排気するボタンとが配置される操作領域を、第１の操作領域の上に表示させることを開示する。
【００１８】
また、実施例は、第１の操作領域に、荷電粒子線を試料に照射することを停止する停止ボタンが配置されることを開示する。
【００１９】
また、実施例は、第１の操作領域に、荷電粒子線を試料に照射することを停止する停止ボタンが配置されることを開示する。また、開始ボタンと停止ボタンが強調表示されていることを開示する。
【００２０】
また、実施例は、第２の操作領域に、試料ステージを移動させるボタンが配置されることを開示する。
【００２１】
また、実施例は、第２の操作領域に、試料ステージの位置を表示する画像が表示されることを開示する。
【００２２】
また、実施例は、保存ボタンが強調表示されていることを開示する。
【００２３】
また、実施例は、荷電粒子線を放出する荷電粒子源と、荷電粒子線を試料に照射する荷電粒子光学系と、荷電粒子線の照射によって試料表面から発生した信号電子を検出する検出器と、試料が配置され、試料を移動する試料ステージと、指令入力部と、画像表示部と、検出器により検出された信号電子に基づいて形成される試料画像を表示する画像表示領域と、荷電粒子光学系及び検出器により、試料を撮影するための、操作項目を、操作の順番に上から下に表示する操作パネル領域とを有する画面を表示部に表示させ、指令入力部からの指令に従って、荷電粒子源、荷電粒子光学系、検出器、試料ステージ、及び画像表示部の動作を制御する制御部と、を備える荷電粒子線装置を開示する。
【００２４】
また、実施例は、荷電粒子線装置の荷電粒子線の照射によって試料表面から発生した信号電子に基づいて形成される試料画像を画像表示部の画像表示領域に表示し、試料を撮影するための、操作項目を、操作の順番に上から下に表示する操作パネル領域を有する画面を画像表示部に表示する荷電粒子線装置の操作表示方法を開示する。
【００２５】
また、実施例は、制御部が、操作パネル領域に表示された操作項目のうち、特定の操作項目を操作入力部から入力された画面の指定位置に移動させることを開示する。また、特定の操作項目が、視野及び画像を確認するための操作項目であることを開示する。
【００２６】
また、実施例は、制御部が、操作パネル領域に表示された操作項目のうち、特定の操作項目を、他の操作項目と比較して強調して表示することを開示する。また、記特定の操作項目が、試料の観察及び観察目的を設定するための操作項目と、視野及び画像を確認するための操作項目と、画像を保存するための操作項目とであることを開示する。
【００２７】
また、実施例は、操作パネル領域には、試料の観察及び観察目的を設定するための第１の操作項目と、試料の表示場所を把握するための第２の操作項目と、画質を調整するための第３の操作項目と、視野及び画像を確認するための第４の操作項目と、画像を保存するための第５の操作項目とが表示され、第１の操作項目から、第２の操作項目、第３の操作項目、第４の操作項目、第５の操作項目の順番で、上から下に表示されていることを開示する。
【００２８】
以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。なお、荷電粒子線装置の一例として、電子顕微鏡を説明するが、本発明は電子顕微鏡以外にも、電子線を用いた外観検査装置、集束イオンビーム装置等の荷電粒子線装置一般に対して適用することができる。
【実施例】
【００２９】
（実施例１）
図１は、本実施例１に係る電子顕微鏡の概略構成図である。図１に示した電子顕微鏡（荷電粒子線装置、試料観察システム）１０１において、電子銃（荷電粒子線源）１から放射された一次電子ビーム２は、収束レンズ３および対物レンズ８によって収束され、上段偏向器６と下段偏向器７によって試料９上で走査される。
【００３０】
試料９は試料ステージ２４上に配置され、試料９から発生した信号電子は検出器１０で検出されて、後述する各回路１１〜１７を介して、コンピュータ（画像表示処理部、動作制御部）１９に供給される。そして、コンピュータ１９で処理された走査位置に対応して記録された信号が画像表示装置１８に表示される。なお、信号電子としては、二次電子の他、反射電子、透過電子などがある。また、試料９から発生した特性Ｘ線をX線検出器で検出して元素分析することも可能である。
【００３１】
試料ステージ２４は、図示されていない試料観察室内に配置されている。試料観察室を大気開放や真空排気するために、試料観察室は、図示されていない真空ポンプを含む真空排気系に接続されている。
【００３２】
試料９上に一次電子ビーム２を点状に集束するため、フォーカスＸ調整を行うＸ方向非点補正器４と、フォーカスＹ調整を行うＹ方向非点補正器５が配置され、これらの制御条件をコンピュータ１９が調整、制御することでフォーカスＸ調整、フォーカスＹ調整（非点収差補正）を行うことができる。また、収束レンズ３または対物レンズ８の励磁強度を、コンピュータ１９が調整、制御することで試料９上にフォーカス調整を行うことができる。
【００３３】
以上の荷電粒子光学系（電子銃１、収束レンズ３、Ｘ方向非点補正器４、Ｙ方向非点補正器５、上段偏向器６、下段偏向器７、対物レンズ８、検出器１０）は電子顕微鏡カラム（荷電粒子線装置）１００に収められている。
【００３４】
また、上記電子光学系は、高電圧制御回路１１、集束レンズ制御回路１２、Ｘ方向非点補正器制御回路１３、Ｙ方向非点補正器制御回路１４、偏向器制御回路１５、対物レンズ制御回路１６、検出信号制御回路１７を介して、上述したように、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）などのコンピュータ１９により制御されている。また、試料ステージ２４や真空排気系もコンピュータ１９により動作制御される。
【００３５】
各制御回路１１〜１７は、別々に独立して設けられていてもよいし、一つの基板に設けられていてもよい。また、各制御回路１１〜１７の動作をコンピュータ１９により行うことにより、各制御回路１１〜１７を機能としてコンピュータ１９に含まれていてもよい。
【００３６】
コンピュータ１９には画像表示装置１８、記憶装置２１、メモリ２２、入力装置２３が接続されている。後述するように、画像表示装置１８に表示される操作画面２００（図３に示す）を介して、ユーザは対物レンズ８のフォーカス条件、Ｘ方向非点補正器４およびＹ方向非点補正器５の非点補正条件を調整する。
【００３７】
また、本実施例１における操作画面２００は、後述するように、各操作段階などに対応して記憶装置（記憶部）２１に予め保存されている。
【００３８】
また、コンピュータ１９がネットワークに接続されていれば、当該ネットワークに接続された別の記憶装置に操作画面２００が記憶されていてもよい。
【００３９】
また、メモリ２２には操作プログラム３１が格納されており、コンピュータ１９によってこの操作プログラム３１が実行される。操作プログラム３１は、操作画面２００を画像表示装置１８に表示し、入力装置２３を介して入力された情報を基に、上述した各部１〜１７を制御する。
【００４０】
ここで、操作画面２００とは、詳細は後述するが、ユーザの操作段階に応じて表示される各画面である。
【００４１】
図２は、本実施例１に係る電子顕微鏡の操作手順を示すフローチャートである。図３は、本実施例１に係る操作画面の画面例を示す図である。
【００４２】
図３において、操作画面２００は、操作ナビ画面２０１と、アプリアシスト画面２０２と、画像表示画面２０３と、操作パネル画面２０４とを有する。
【００４３】
図３の操作ナビ画面２０１は、操作手順を示す画面である。操作ナビ画面２０１は、現在の操作手順を、メイン項目Ａ１と、メイン項目Ａ１のサブ項目Ａ２で表示する。このようにすることで、初心者でも操作手順の把握が行いやすくなる。
【００４４】
アプリアシスト画面２０２は、撮影条件の変更や、調整に対するアドバイスを表示する画面である。画像表示画面２０３は、電子顕微鏡による撮影画像が表示される画面である。操作パネル画面２０４は、撮影条件の変更や、調整を行うための画面である。
【００４５】
なお、各画面２０１〜２０４に表示される内容は、ユーザが行っている操作の段階によって変更される。
【００４６】
操作パネル画面２０４について、図４および図５を用いて詳細に説明する。図４および図５は、操作画面２００上の操作パネル画面２０４内の操作項目を操作する順に上から下へ配置した例を示す概略図である。
【００４７】
操作パネル画面２０４は、撮影条件の変更や、調整を行うための画面であり、「試料交換／真空設定する」領域２１１、「観察する／観察目的を設定する」領域２１２、「表示場所を把握する」領域２１３、「オート画像調整する」領域２１４、「表示モードを変更する」領域２１５、「保存する」領域２１６といった荷電粒子線装置の観察操作に必要な項目が配置されている。
【００４８】
図４の「試料交換／真空設定する」領域２１１は、図２のステップＳ１０４に対応し、以降の観察操作に必要な項目の中で最初に行う操作である。試料９のセットは、操作画面２００の起動後に行われてもよいし、操作画面２００の起動前に行われてもよい。「試料交換／真空設定する」領域２１１の項目には、大気開放／真空引きボタン３０１が配置されており、大気開放又は真空引きを選択してクリックすることで、試料９が入っている試料観察室内を大気開放又は真空排気することができる。
【００４９】
また、図４に示した操作画面２００には、高真空モード（＜１Ｐａ）と低真空モード（＞１Ｐａ）とを切り替えるラジオボタン２１７が配置されており、真空排気した際、試料観察室内を高真空状態または低真空状態にすることができる。低真空モードでは、観察する試料に応じて２種類のプリセットされた真空度を選択することができる。
【００５０】
図５の「観察する／観察目的を設定する」領域２１２は、図２のステップＳ１０５で使用する。この領域２１２の項目には、ビームオン／ストップボタン３０２が配置されており、観察の開始および停止を行うことができる。また、観察目的の変更ボタンをクリックすると、現在の観察条件の確認や、観察目的の変更を行うことができる。
【００５１】
図５の「表示場所を把握する」領域２１３は、図２のステップＳ１０６〜Ｓ１０９で使用する。この領域２１３の上方には、現在の倍率と視野幅が表示される。また、その下には、倍率を低倍率に設定するボタンと、高倍率に設定するボタンが配置されている。高倍率に設定するボタンの右隣には、現在の倍率を高倍率に設定するボタンにかかる倍率として設定するボタンも配置されている。また、この領域２１３の下方には、試料台を略円形で模擬した表示があり、縦線と横線の表示により現在の試料ステージ位置を表している。この表示の右隣にはステージ移動ボタンがあり、円形の試料台の所望位置をクリックした後に当該ボタンをクリックすることで、その位置に試料ステージが移動する。図２のステップＳ１０５でビームオンボタンをクリックして観察を開始後、視野探しを行うため、倍率を低倍率に設定する。その後、ステージ操作を行い、観察位置を変更し、観察したい倍率に設定する。この操作を繰り返し、観察を行いたい位置を探し、観察したい倍率に設定する。
【００５２】
図５の「オート画像調整する」領域２１４は、図２のステップＳ１０５〜Ｓ１１３で使用する。この領域２１４の項目には、ＡＵＴＯ明るさボタン、ＡＵＴＯフォーカスボタン、元に戻すボタンが配置されている。ＡＵＴＯ明るさボタンをクリックすると、画像の明るさを自動で調整する。ＡＵＴＯフォーカスボタンをクリックすると、画像の焦点を自動で調整する。また、元に戻すボタンをクリックすると、オート画像調整前の画像に戻すことができる。
【００５３】
図５の「表示モードを変更する」領域２１５は、図２のステップＳ１０６〜Ｓ１１３で使用する。この領域の項目には、視野探しボタン、画像確認ボタン、画像調整ボタン、一時停止ボタンの４種類の表示モード切替ボタンが配置されている。視野探しボタンは、一次電子ビーム２の走査速度を速くして、倍率やステージ位置を変更して目的とする観察視野を探すときに使用する。画像確認ボタンは、一次電子ビーム２の走査速度を遅くして、視野探しよりも詳細な画像確認や、画像の取得前の確認に使用する。画像調整ボタンは、一次電子ビーム２の走査範囲を狭くすることで、画像調整の際の画像の変化を確認しやすくするために使用する。一時停止ボタンは、一次電子ビーム２の走査を停止し、一時的に画像を確認する場合に使用する。
【００５４】
図５の「保存する」領域２１６は、図２のステップＳ１１４で使用する。画像の取り込みと保存ボタン３０３をクリックすると、現在観察中の画像を取り込み、記憶装置２１に記憶させる。画像を記憶装置２１に記憶させた後であっても、「オート画像調整する」領域２１４の「ＡＵＴＯ明るさ」（オート明るさ）ボタン等を再度押せば、画像の再度調整が可能である。
【００５５】
図３に示した操作パネル画面２０４に配置される上記操作項目は、図２のフローに従って、装置の使用段階によって操作する順に上から下へ配置されている。また、装置の使用段階によって自動的に折りたたみ、展開、またはユーザにより手動で折りたたみ、展開がされる。そのため、ユーザは操作に必要なボタンを認識しやすく、また、観察操作の一連の流れを掴むことができ、観察操作を簡単に行うことができる。
【００５６】
図２を参照して、電子顕微鏡の操作手順について詳細に説明する。
【００５７】
まず、ユーザ（操作者）が、図示しない操作プログラムを起動すると、図４に示す操作画面２００が画像表示装置１８に表示される（ステップＳ１０１）。そして、ユーザが大気開放／真空引きボタン３０１の「大気開放」を選択してクリックし、試料をセットする（ステップＳ１０２、１０３）。
【００５８】
次に、ユーザが大気開放／真空引きボタン３０１の「真空引き」を選択してクリックすると、試料観察室内は高真空状態または低真空状態となる（ステップＳ１０４）。操作画面２００は、図５に示す画面となり、ユーザがビームオン／ストップボタン３０２のビームオンを選択しクリックする（ステップＳ１０５）。次に、ユーザは、「表示場所を把握する」領域２１３の倍率設定表示部で倍率を下げる（（観察範囲を広くする）、ステップＳ１０６）。次に、「表示場所を把握する」領域２１３に表示された円形の試料台上の試料台移動希望位置をクリックした後、ステージ移動ボタンをクリックする（ステップＳ１０７）。
【００５９】
そして、ユーザは、「表示場所を把握する」領域２１３の倍率設定表示部で倍率を上げる（（観察したい倍率に設定する）、ステップＳ１０８）。ユーザは、表示画面２０３に表示された画像を確認し、視野がそれでよいか否かを判断する（ステップＳ１０９）。視野が不十分の場合は、ステップＳ１０６に戻り、ステップＳ１０６〜Ｓ１０９を再度実行する（再度視野探し）。
【００６０】
次に、ユーザは、図５の「オート画像調整する」領域２１４の「ＡＵＴＯ明るさ」（オート明るさ）ボタン、「ＡＵＴＯフォーカス」（オートフォーカス）ボタンをクリックする（ステップＳ１１０、Ｓ１１１）。
【００６１】
続いて、ユーザは、図５の「表示モードを変更する」領域２１５の「画像確認」ボタンをクリックする（ステップＳ１１２）。
【００６２】
ユーザは、表示画面２０３に表示された画像を確認し、画像がそれでよいか否かを判断する（ステップＳ１１３）。画像が不十分の場合は、ステップＳ１１０に戻り、ステップＳ１１０〜Ｓ１１３を再度実行する（再度調整、画像取得）。
【００６３】
次に、ユーザは、図５の「保存する」領域２１６のボタンをクリックする（ステップＳ１１４）。これにより、現在観察中の画像が取り込まれ、記憶装置２１に記憶される。ユーザは「保存する」領域２１６のボタンをクリックした後、保存した画像がそれでよいか否かを判断する（ステップＳ１１５）。画像が不十分の場合は、ステップＳ１１０に戻り、ステップＳ１１０〜Ｓ１１５を再度実行する（再度調整、画像取得）。
【００６４】
ステップＳ１１５において、画像が十分であると判断された場合は処理は終了する。
【００６５】
なお、視野・倍率も自動で設定している場合、ステップＳ１０６〜Ｓ１０９の処理は省略可能である。
【００６６】
また、コンピュータ１９は、ステップＳ１０６〜Ｓ１０９で設定された視野や倍率で随時、試料９を走査し、画像を取得し、画像表示装置１８に表示している。
【００６７】
以上のように、本発明の実施例１によれば、荷電粒子線装置の操作項目を有する操作画面上の操作項目が、ユーザが操作する順に上から下へ配置されており、その順番でボタンをクリックして操作することにより、一連の観察操作を行うことができる。
【００６８】
したがって、荷電粒子線装置の操作初心者でも観察操作の流れを掴むことができ、一連の観察操作を簡単に行うことができる荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の操作表示方法を実現することができる。
【００６９】
（実施例２）
次に、本発明の第２の実施例について説明する。
【００７０】
図６は、本実施例２に係る操作画面２００を示す図である。図６に示した例は、操作項目の一部を自由配置できる例である。
【００７１】
図６において、操作パネル画面２０４に配置されている「表示モードを変更する」領域２１５を操作パネル画面２０４から取り出して、画像表示画面領域２０３に表示することができる。実施例２のその他の構成は、画像表示装置１８内で領域２１５を操作パネル画面２０４から取り出して、その他の領域に自由に配置できる点以外は、実施例１で示した構成と同様である。
【００７２】
「表示モードを変更する」領域２１５は、視野探しボタン、画像確認ボタン、画像調整ボタン、一時停止ボタンの４種類の表示切り替えボタンにより構成される。図２のステップＳ１０２〜Ｓ１１５の各段階で最適な表示モードを自動または、「表示モードを変更する」領域２１５のボタンにより手動で選択する。
【００７３】
「表示モードを変更する」領域２１５の項目は、操作パネル画面２０４に配置されたその他の表示領域の項目に比べ、図２に示した各ステップにわたり使用するため、使用頻度が高い。
【００７４】
また、操作パネル画面２０４内の操作項目は、荷電粒子線装置の使用段階によって自動的に折りたたみと展開、またはユーザにより手動で折りたたみと展開がされる。そこで、本実施例２では、操作パネル画面２０４において、「表示モードを変更する」領域２１５の項目を、操作パネル画面２０４から取り出し、画像表示装置１８の表示画面内の任意の場所に配置することができる構成となっている。
【００７５】
本実施例２の構成を用いることで、「表示場所を把握する」領域２１３の項目を展開し（実行し）、試料台を有する試料ステージ２４の位置情報を確認しながら表示モードの変更を行うことや、「オート画像調整する」領域２１４の項目を展開して画像のオート調整をしながら表示モードの変更を行うことを、操作パネル画面２０４の操作項目の折りたたみと展開を行うことなく、表示モードの変更を行うことが可能となる。
【００７６】
本実施例２においても、実施例１と同様な効果を得ることができる。
【００７７】
（実施例３）
次に、本発明の実施例３について、図７〜図９を用いて説明する。図７〜図９は、図４〜図６に対応するが、本実施例３においては、表示画面のなかで、強調表示されている表示領域がある。
【００７８】
つまり、図７の、操作パネル画面２０４に配置されている「大気開放／真空引き」ボタン３０１、図８の「ビームオン／ストップ」ボタン３０２、「画像の取り込みと保存」ボタン３０３、図９の「表示モードを変更する」領域２１５といった重要な項目のボタンが強調表示されている。強調表示されているという点以外は実施例１、実施例２で示したものと同様である。
【００７９】
「大気開放／真空引き」ボタン３０１は、試料を交換する時に使用する。また、「ビームオン／ストップ」ボタン３０２は、観察の開始時および終了時に使用する。また、「画像の取り込みと保存」ボタン３０３は、観察中の像を保存する時に使用する。さらに、「表示モードを変更する」領域２１５は、上述したように、各ステップにわたり使用される。
【００８０】
上記操作は、荷電粒子線装置の観察操作時に頻繁に行う操作であり、観察操作の中でも特に重要な項目である。しかし、他のボタンと同様の表記とした場合、操作初心者に限らず、一般ユーザにおいても、ボタンを探し出すことが困難となる。
【００８１】
そこで、本実施例３では、操作パネル画面２０４において、「大気開放／真空引き」ボタン３０１、「ビームオン／ストップ」ボタン３０２、「画像の取り込みと保存」ボタン３０３、「表示モードを変更する」領域２１５は強調表示して目立たせることで、ユーザに重要なボタンであることを知らせる。
【００８２】
本実施例３によれば、ユーザは重要なボタンを簡単に判別でき、観察操作をスムーズに行うことが可能となる。
【００８３】
なお、本実施例３の構成において、重要なボタンは色彩による強調表示に限らず、フォントサイズを大きくすることや、太字とするなどして目立たせてもよい。
【００８４】
本実施例３においても、実施例１と同様な効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００８５】
１・・・電子銃、２・・・一次電子ビーム、３・・・集束レンズ、４・・・Ｘ方向非点補正器、５・・・Ｙ方向非点補正器、６・・・上段偏向器、７・・・下段偏向器、８・・・対物レンズ、９・・・試料、１０・・・検出器、１１・・・高電圧制御回路、１２・・・集束レンズ制御回路、１３・・・Ｘ方向非点補正器制御回路、１４・・・Ｙ方向非点補正器制御回路、１５・・・偏向器制御回路、１６・・・対物レンズ制御回路、１７・・・検出信号制御回路、１８・・・画像表示装置、１９・・・コンピュータ（画像表示部、処理部）、２１・・・記憶装置（記憶部）、２２・・・メモリ、２３・・・入力装置、２４・・・試料ステージ、３１・・・操作プログラム、４１・・・観察条件設定テーブル、１００・・・電子顕微鏡カラム（荷電粒子線装置）、１０１・・・電子顕微鏡（荷電粒子線装置、荷電粒子線装置システム）、２００・・・操作画面、２０１・・・操作ナビ画面、２０２・・・アプリアシスト画面、２０３・・・画像表示画面、２０４・・・操作パネル画面
【要約】
【課題】荷電粒子線装置の操作初心者でも観察操作の流れを掴むことができ一連の観察操作を簡単に行える荷電粒子線装置及びその操作表示方法の実現に関する。
【解決手段】本発明は、荷電粒子線を試料に照射し試料画像表示開始ボタンが配置される第１操作領域と、試料画像観察倍率設定ボタンが配置される第２操作領域と、試料画像の明るさ自動調整ボタンと試料画像焦点自動調節ボタンと試料画像の明るさと焦点を元に戻すボタンとが配置される第３操作領域と、荷電粒子線走査速度を早くするボタンと荷電粒子線走査速度を遅くするボタンと荷電粒子線走査範囲を狭くするボタンと荷電粒子線走査を停止し試料画像の表示維持ボタンとが配置される第４操作領域と、試料画像の記憶装置への保存ボタンが配置される第５操作領域を、第１操作領域から第２操作領域、第３操作領域、第４操作領域、第５操作領域の順に上から下に画像表示装置に表示させる。
【選択図】図１【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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