(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電層と内部電極とが交互に積層され、電圧の印加により伸縮する矩形の圧電素子であって、
積層面に平行に層面が形成され、伸縮による応力を緩和する応力緩和層と、
側面に設けられた外部電極と、
前記外部電極に接着され、前記外部電極を補強する補強部、および前記外部電極に拘束されずに前記応力緩和層で区切られる前記補強部を連結する連結部を有し、前記応力緩和層付近で、前記補強部が選択的に疲労破壊しうる程度に薄く形成された金属製の補強板と、を備え、
前記補強板は、前記連結部のそれぞれがアーチ状に形成されて前記補強部と一体に形成され、リン青銅製または銅製であって、厚さ０．２ｍｍ以下であることを特徴とする圧電素子。
【請求項２】
圧電層と内部電極とが交互に積層され、電圧の印加により伸縮する矩形の圧電素子であって、
積層面に平行に層面が形成され、伸縮による応力を緩和する応力緩和層と、
側面に設けられた外部電極と、
前記外部電極に接着され、前記外部電極を補強する補強部、および前記外部電極に拘束されずに前記応力緩和層で区切られる前記補強部を連結する連結部を有し、前記応力緩和層付近で、前記補強部が選択的に疲労破壊しうる程度に薄く形成された金属製の補強板と、を備え、
前記補強板は、前記連結部のそれぞれがアーチ状に形成されて前記補強部と一体に形成され、ＳＵＳ製であって、厚さ０．１ｍｍ以下であることを特徴とする圧電素子。
【請求項３】
前記連結部は、前記積層方向に沿って前記補強部の左右交互に配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の圧電素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電層と内部電極とが交互に積層され、電圧の印加により伸縮する矩形の圧電素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層型の圧電素子は、圧電層と交互に積層された内部電極に電圧を印加することで伸縮させることができ、たとえばシリコンウエハを保持したステージの位置決めに応用されている。伸縮の際には、内部電極が重なりあい電界がかかる活性部の変形に対し、電界が掛からない非活性部には大きな引っ張り応力が発生し易く、破壊が生じるおそれがある。このため非活性部に応力緩和層を設け、応力を緩和する構造が提案されている。
【０００３】
しかし、応力緩和層部分には大きな変形が生じるため、内部電極を接続する外部電極が疲労破壊を起こしうる。この対策として、外部電極にリード線を埋めたり、伸縮性のある導電性接着剤を用いて波線状のリード線を付けたり、リード線を複数付けたりする技術が提案されている。
【０００４】
たとえば、特許文献１記載の積層型圧電素子は、あらかじめ溝を切った板で外部電極を補強しつつ、外部電極付近に掛かる応力を緩和している。また、特許文献２記載の積層型圧電素子は、予定亀裂位置で疲労破壊が起きても電圧が供給されるように複数の電線をつないでいる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−７４０３３号公報
【特許文献２】特開２０１０−１０９０５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のように、従来の積層型圧電素子には、応力緩和層部分の外部電極が疲労破壊を起こしうるという問題がある。図８は、従来の圧電素子６００を示す正面図である。外部電極６１５にリード線６２０を接着して補強しているが、応力緩和層６１７の位置で外部電極６１５およびリード線６２０が破壊されている。
【０００７】
しかし、これに対し厚いリード線を用いて対処すると、リード線の拘束によって外部電極付近にクラックが生じうる。図９は、従来の圧電素子７００を示す正面図である。外部電極７１５に厚いリード線７２０を接着しているが、リード線７２０の拘束によって外部電極７１５付近にクラック７４１が生じている。
【０００８】
上記の特許文献１記載の圧電素子のように、あらかじめ外部電極を補強する板に溝を切っておき、外部電極付近に掛かる応力を緩和することも考えられるが、必ずしも応力緩和層付近に切れ目が存在しないため、そこを基点に疲労破壊を起こし破断しうる。また、特許文献２記載のように電圧が供給されるようにリード線をつなぐことも考えられるが、作製作業が煩雑になる。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、外部電極における選択されていない箇所の疲労破壊を防止するとともに、補強板が圧電素子を拘束してクラックが生じるのを防止し、補強板および外部電極に選択的な疲労破壊が生じても電気的接続を維持できる圧電素子を提供すること目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）上記の目的を達成するため、本発明の圧電素子は、圧電層と内部電極とが交互に積層され、電圧の印加により伸縮する矩形の圧電素子であって、積層面に平行に層面が形成され、伸縮による応力を緩和する応力緩和層と、側面に設けられた外部電極と、前記外部電極に接着され、前記外部電極を補強する補強部、および前記外部電極に拘束されずに前記応力緩和層で区切られる前記補強部を連結する連結部を有し、前記応力緩和層付近で、前記補強部が選択的に疲労破壊しうる程度に薄く形成された金属製の補強板と、を備えることを特徴としている。
【００１１】
このように、補強板が外部電極に接着されていることで、外部電極における選択されていない箇所の疲労破壊を防止できる。その一方で、補強部が選択的に疲労破壊しうることで補強板の拘束により生じる素子本体のクラックの発生を防止できる。そして、連結部が外部電極に拘束されずに補強部を連結するため、補強板および外部電極に選択的な疲労破壊が生じても電気的接続を維持でき、圧電素子を駆動できる。
【００１２】
（２）また、本発明の圧電素子は、前記連結部のそれぞれがアーチ状に形成され、前記補強部と一体に形成されていることを特徴としている。このように連結部のそれぞれがアーチ状に形成され、外部電極には接着されていないため、連結部には疲労破壊は及ばない。
【００１３】
（３）また、本発明の圧電素子は、前記連結部が、前記積層方向に沿って前記補強部の左右交互に配置されていることを特徴としている。これにより、伸縮の際にかかる応力のバランスをとることができる。
【００１４】
（４）また、本発明の圧電素子は、前記補強板が、リン青銅製または銅製であって、厚さ０．２ｍｍ以下であることを特徴としている。これにより、補強板は選択的な疲労破壊を起こすことができ、素子本体の破壊を防止できる。
【００１５】
（５）また、本発明の圧電素子は、前記補強板が、ＳＵＳ製であって、厚さ０．１ｍｍ以下であることを特徴としている。これにより、補強板は選択的な疲労破壊を起こすことができ、素子本体の破壊を防止できる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、外部電極における選択されていない箇所の疲労破壊を防止するとともに、補強板が圧電素子を拘束してクラックが生じるのを防止し、補強板および外部電極に選択的な疲労破壊が生じても電気的接続を維持できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係る圧電素子を示す斜視図である。
【図２】素子本体を示す正面図である。
【図３】本発明に係る圧電素子を示す断面図である。
【図４】本発明に係る圧電素子の作製方法を示す概略図である。
【図５】（ａ）本発明に係る圧電素子の使用時の態様を示す正面図である。（ｂ）圧電体の使用時の態様を示す正面図である。
【図６】（ａ）比較例の圧電素子を示す正面図である。（ｂ）比較例の圧電体を示す正面図である。
【図７】補強板の材質と厚みについての実験結果を示す表である。
【図８】従来の圧電素子を示す正面図である。
【図９】従来の圧電素子を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
次に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
【００１９】
（圧電素子の構造）
図１は、圧電素子１００を示す斜視図、図２は、素子本体１１０を示す正面図、図３は、圧電素子１００を示す断面図である。図１および図３において、矢印Ｆは正面に向かう方向を示している。また、図３は、図１に示す面Ｓによる断面を示している。なお、図面では、長手方向の両端側を省略して圧電素子１００を示している。
【００２０】
図１〜図３に示すように、圧電素子１００は、圧電層１１１と内部電極１１２とが交互に積層されて矩形に形成されている。そして、内部電極１１２に電圧を印加することで伸縮する。圧電素子１００は、圧電層１１１、内部電極１１２、外部電極１１５、応力緩和層１１７、補強板１２０を備えている。
【００２１】
圧電素子１００は、圧電層１１１と内部電極１１２が一体焼成される単位素子１０５が連結された素子本体１１０に補強板１２０を接着して形成されている。単位素子１０５の連結は接着剤で行うが、必ずしも限定されない。また、連結せず単一の単位素子１０５のみで圧電素子１００を形成してもよい。
【００２２】
圧電層１１１は、たとえばＰＺＴのような圧電体により形成されている。一連の内部電極１１２に挟まれている圧電体は、分極処理により分極されている。圧電層１１１の一層は、実際には３０μｍ〜１００μｍ程度であり、非常に薄いが、図では簡略化して模式的に示している。
【００２３】
内部電極１１２は、圧電層１１１と交互に積層され、圧電体に埋設されている。内部電極１１２に電圧を印加し、圧電体に電界をかけることで、圧電素子１００を駆動することができる。
【００２４】
外部電極１１５は、圧電素子１００の側面で内部電極１１２の取り出し部分に接続されている。外部電極１１５は、ＡｇやＡｇ／Ｐｄ等のペーストを印刷し、焼き付けることで形成できる。外部電極１１５を介して内部電極１１２に電圧が印加される。
【００２５】
応力緩和層１１７は、活性領域の周囲の領域に、積層面に平行、すなわち伸縮方向に垂直に層面が形成されている。その結果、圧電素子１００の伸縮による応力を緩和する。なお、単位素子１０５の結合部分１１７ａも応力緩和の作用を有するため、機能的には応力緩和層１１７とみなすことができる。
【００２６】
なお、圧電素子１００は、加工代として積層方向の両端部に設けられた保護層と電圧の印加により駆動する活性層とに区分できる。さらに、活性層は、内部電極の積層方向への投影が重なり合う中央の活性領域と内部電極が外部とショートしないように設けられた周囲の領域とに区分できる。活性領域は、圧電素子１００において実際に駆動する領域である。活性領域は電圧により駆動するが、その周囲の領域は、電圧の印加により変形せず応力が生じるため、応力緩和層１１７が必要となる。
【００２７】
補強板１２０は、金属製であり、補強部１２１および連結部１２２を備えている。補強部１２１は、帯状に形成され、外部電極１１５に接着され、外部電極１１５を補強している。このように、補強部１２１が外部電極１１５に接着されていることで、外部電極１１５のクラックを防止できる。補強部１２１は、応力緩和層１１７付近で、選択的に疲労破壊しうる程度に薄く形成されている。その一方で、補強部１２１が選択的に疲労破壊することで、補強板１２０が素子本体１１０を拘束せず、素子破壊が生じるのを防止できる。なお、選択的に生じさせる疲労破壊は、上記のクラックとは異なる。
【００２８】
連結部１２２は、外部電極１１５に拘束されずに応力緩和層１１７で区切られる補強部１２１を連結している。これにより、補強板１２０および外部電極１１５に選択的な疲労破壊が生じても電気的接続を維持でき、圧電素子１００を駆動できる。連結部１２２のそれぞれはアーチ状に形成され、補強部１２１と一体に形成されている。このような構造で外部電極１１５に接着されていないため、連結部１２２には疲労破壊は及ばない。
【００２９】
連結部１２２は、積層方向に沿って補強部１２１の左右交互に配置されていることが好ましい。これにより、伸縮の際に偏りなく応力がかかる。なお、連結部１２２の形状は必ずしもアーチ状でなくてもよく、外側に膨らんでおり、補強部１２１との間に空隙１２３があればよい。空隙により、疲労破壊が外側の端部まで及ばない。
【００３０】
補強板１２０は、リン青銅製または銅製であることが好ましい。その場合、厚さを０．２ｍｍ以下とすることにより、補強板は選択的な疲労破壊を起こすことができる。補強板１２０は、ＳＵＳ製であってもよい。この場合には、厚さは０．１ｍｍ以下であることが疲労破壊を生じさせるには好適である。
【００３１】
（作製方法）
次に、上記のような構成を有する圧電素子１００の作製方法を説明する。図４は、圧電素子１００の作製方法を示す概略図である。
【００３２】
単位素子１０５は、圧電層１１１と内部電極１１２とを積層して焼成することで形成される。一方、補強板１２０の材料となる金属板は好適な厚さのものを選び、外部電極１１５より幅広で、かつ単位素子１０５を連結した素子本体１１０の長さを有するように加工する。また、素子本体１１０に貼付したときに応力緩和層１１７の位置で外側（側面側）に膨らむように連結部１２２を設ける。また、補強板１２０はエッチングで作製するのが望ましい。
【００３３】
そして、単位素子１０５を連結し、外部電極１１５に重なる領域１３０に、補強部１２１を半田付けで接着する。このようにして、単位素子１０５を連結して得られた素子本体１１０の所定の位置に補強板１２０を接着することで圧電素子１００を形成することができる。なお、半田に変えて導電性接着剤を用いて接着してもよい。
【００３４】
（使用態様）
次に、圧電素子１００を実際に使用する際の態様を説明する。図５（ａ）は、圧電素子１００の使用時の態様を示す正面図である。図５（ｂ）は、使用時の素子本体１１０を示す正面図である。
【００３５】
図５（ａ）に示すように、圧電素子１００を伸縮させることで、応力緩和層１１７部分の変位が大きくなり、その部分の補強部１２２に疲労破壊１４１が生じる。疲労破壊１４１は予め生じさせておいてもよい。また、その際には、図５（ｂ）に示すように、外部電極１１５の応力緩和層１１７と重なる部分にも疲労破壊１４２が生じている。
【００３６】
選択的に疲労破壊１４１を生じさせることで、補強部１２１は、外部電極１１５を補強しつつ、応力緩和層１１７の位置では応力を緩和している。一方では、外部電極１１５の疲労破壊で分断された電気的接続を、連結部１２２が維持している。すなわち、連結部１２２が繋がっていることで通電している。
【００３７】
［実施例］
圧電素子の補強板の材料および厚さについて実験を行った。補強板の材料は、リン青銅、銅、ＳＵＳ３０４を用いた。厚さは、０．０５ｍｍ、０．１ｍｍ、０．１５ｍｍ、０．２ｍｍ、０．３ｍｍのものを用意した。また、補強部の幅が０．２ｍｍのものと０．４ｍｍのものをそれぞれ用意した。このような補強板を用いて圧電素子を作製した。なお、リン青銅、銅の補強板は半田付けで外部電極に接着し、ＳＵＳの補強板は導電性接着剤で接着した。
【００３８】
このようにして作製した圧電素子を伸縮させたところ、薄い補強板を用いた実施例の圧電素子１００では、補強板１２０に疲労破壊１４１が生じ、応力が緩和されるとともに、素子本体１１０内には破壊が生じなかった。一方、以下に説明するように厚い補強板を用いた比較例の圧電素子５００は素子本体１１０内部に破壊が生じた。
【００３９】
図６（ａ）は、比較例の圧電素子５００を示す正面図である。図６（ｂ）は、比較例の素子本体１１０を示す正面図である。図６に示すように、厚い補強板５２０を用いた場合には、補強板５２０の応力緩和層１１７付近には疲労破壊が生じなかった。また、外部電極１１５の端部付近から、外部電極１１５をむしり取ろうとしたときにできるようなクラック５４１が生じた。たとえば、リン青銅製の０．３ｍｍの補強板の場合には素子破壊が生じたため、補強部を単位素子１０５ごとに分割した形状の補強板も試したが、素子破壊を防止できなかった。また、補強部なしで、全体形状をサインカーブ状とした補強板も試したが、同様に素子破壊が生じた。
【００４０】
図７は、補強板の材質と厚みについての実験結果を示す表である。図７に示すように、
リン青銅製または銅製の補強板１２０を用いる場合、厚さを０．２ｍｍ以下とすることにより、補強板は選択的な疲労破壊を起こすことができ、単位素子１０５内の破壊を防止できることが実証された。また、ＳＵＳ製の補強板１２０を用いる場合には、厚さを０．１ｍｍ以下とすることにより、補強板は選択的な疲労破壊を起こすことができ、単位素子１０５内の破壊を防止できることが実証された。なお、補強部の幅は実験結果に影響しなかった。
【符号の説明】
【００４１】
１００  圧電素子
１０５  単位素子
１１０  素子本体
１１１  圧電層
１１２  内部電極
１１５  外部電極
１１７  応力緩和層
１１７ａ  結合部分
１２０  補強板
１２１  補強部
１２２  連結部
１３０  半田付けの領域
１４１、１４２  疲労破壊
【図１】
0005604251.tif 000002
【図２】
0005604251.tif 000003
【図３】
0005604251.tif 000004
【図４】
0005604251.tif 000005
【図５】
0005604251.tif 000006
【図６】
0005604251.tif 000007
【図７】
0005604251.tif 000008
【図８】
0005604251.tif 000009
【図９】
0005604251.tif 000010