(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハから切り出されたローバー状態の磁気ヘッドの記録部表面の形状を原子間力顕微鏡を用いてスキャン測定し、その測定結果に基づいて、磁気力顕微鏡のカンチレバー手段の磁性探針を前記磁気ヘッドの記録部表面から磁気ディスクに対する磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置に保持した状態で、前記磁気ヘッドの記録ヘッド部の表面に沿ってスキャン移動させて、前記カンチレバー手段の励振状態を示す信号を検出し、それに基づいて前記磁気ヘッドの実効トラック幅を測定する磁気ヘッド検査方法において、
前記磁気力顕微鏡の前記カンチレバー手段の磁性探針によるスキャン測定領域の半分よりも小さな領域を前記原子間力顕微鏡を用いた前記磁気ヘッドの記録部表面のスキャン測定領域とし、
前記磁気力顕微鏡の前記カンチレバー手段の磁性探針によるスキャン測定領域が矩形状の場合に、前記原子間力顕微鏡を用いた前記磁気ヘッドの記録部表面のスキャン測定領域を前記矩形領域の互いに隣接する２辺に沿った領域とすることを特徴とする磁気ヘッド検査方法。
【請求項２】
ウエハから切り出されたローバー状態の磁気ヘッドの記録部表面の形状を原子間力顕微鏡を用いてスキャン測定し、その測定結果に基づいて、前記原子間力顕微鏡のカンチレバー手段に設けられたホール素子又はＭＲ素子を前記磁気ヘッドの記録部表面から磁気ディスクに対する磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置に保持した状態で、前記磁気ヘッドの記録ヘッド部の表面に沿ってスキャン移動させて、前記ホール素子又はＭＲ素子からの信号を検出し、それに基づいて前記磁気ヘッドの実効トラック幅を測定する磁気ヘッド検査方法において、
前記ホール素子又はＭＲ素子によるスキャン測定領域の半分よりも小さな領域を前記原子間力顕微鏡を用いた前記磁気ヘッドの記録部表面のスキャン測定領域とし、
前記ホール素子又はＭＲ素子によるスキャン測定領域が矩形状の場合に、前記原子間力顕微鏡を用いた前記磁気ヘッドの記録部表面のスキャン測定領域を前記矩形領域の互いに隣接する２辺に沿った領域とすることを特徴とする磁気ヘッド検査方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の磁気ヘッド検査方法において、前記原子問力顕微鏡を用いた前記磁気ヘッドの記録部表面のスキャン測定領域から得られた情報から、前記磁気ヘッドの記録部表面から磁気ディスクに対する磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置を補正することを特徴とする磁気ヘッド検査方法。
【請求項４】
請求項１、２又は３に記載の磁気ヘッド検査方法を用いて磁気ヘッドを製造することを特徴とする磁気ヘッド製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜磁気ヘッドを検査する磁気ヘッド検査方法及び磁気ヘッド製造方法に係り、特に光学顕微鏡で検査不可能な薄膜磁気ヘッドのトラック幅を検査することのできる磁気ヘッド検査方法及び磁気ヘッド製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年は、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の面記録密度の急激な増加に伴い、薄膜磁気ヘッドの書き込みトラック幅も微細化され、薄膜磁気ヘッドに含まれる記録ヘッド（素子）によって磁気ディスク上に書き込まれる書き込みトラック幅を正確に検査する技術の重要性が増している。
従来は、光学顕微鏡にて、薄膜磁気ヘッドに含まれる記録ヘッド（素子）の形状測定を実施していたが、トラック幅の微細化に伴って書き込みトラック幅が光学系解像度以下となったことによって、光学顕微鏡では記録ヘッド（素子）の形状測定は困難となってきた。そこで、最近は、光学顕微鏡に代えて走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて記録ヘッド（素子）の形状測定を実施している。しかしながら、ＳＥＭによる測定は、破壊検査であり、また、光学顕微鏡と同様に記録ヘッド（素子）の物理的な形状を単に測定するに過ぎず、磁気ディスク上に実際に書き込まれる磁気的な実効トラック幅（書き込みトラック幅）との相関関係を測定することが困難であるという問題を有していた。また、原子間力顕微鏡（Ａｔｏｍｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＡＦＭ）を用いて記録ヘッド（素子）の形状を測定するという技術も存在するがこの場合も上述と同様の問題が存在していた。最近では、磁気力顕微鏡（Ｍａｇｎｅｔｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＭＦＭ）を用いて記録ヘッドの磁界特性である磁界飽和現象を視覚的に観察できるように構成された磁気ヘッド測定装置が特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２４８９１１号公報
【特許文献２】特開２００９−２３０８４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のように走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）又は原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を用いて磁気ヘッド（記録ヘッド）の形状を測定する場合、記録ヘッド（素子）の物理的な形状を測定することは可能であるが、磁気ディスク上に実際に書き込まれる磁気的な実効トラック幅（書き込みトラック幅）を測定することはできなかった。そこで、従来は、磁気ヘッドとサスペンションが一体化された後の状態（ＨＧＡ状態）又は擬似ＨＧＡ状態でスピンスタンドと呼ばれるヘッド・ディスク専用の測定装置を用いて書き込みトラック幅を検査していた。
【０００５】
しかしながら、スピンスタンドを用いた検査は、ＨＧＡ状態又は擬似ＨＧＡ状態という磁気ヘッド製造の最終工程でなければ、その書き込みトラック幅の検査を実施できないため、生産性を向上したり、製造時の早期にフィードバックするという要望に応えるといった観点からはあまり好ましくなかった。
【０００６】
そこで、本願の出願人は、製造工程途中の早い段階での磁気ヘッドの書き込みトラック幅の検査を行うことのできる磁気ヘッド検査方法及び装置として、特許文献２に記載のものを提案している。この磁気ヘッド検査方法及び装置では、ローバー状態の薄膜磁気ヘッドにボンディングパッドより記録信号（励磁用信号）を入力し、薄膜磁気ヘッドに含まれる記録ヘッド（素子）より発生される磁界の様子を、磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置でスキャン移動させて磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）にて直接観察することで、記録ヘッド（素子）の物理的な形状ではなく発生磁界形状を測定して、磁気的な実効トラック幅の検査を非破壊で実施している。
【０００７】
図１は、特許文献２に記載の磁気ヘッド検査方法及び装置を用いて磁気ヘッドの実効トラック幅の検査を行なう場合のスキャン方式の一例を示す図である。磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）で検査エリアを走査する場合、検査エリアを１００ライン×１００ポイントに分割して、これらの各ポイントに対して原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を走査させて、その表面形状（凸凹像）を測定（スキャニング）していた。これは、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）で得られた検査エリアの３Ｄの表面形状に対して画像フィルタ処理を施し、パティクルなどを取り除き、ローバー状態の薄膜磁気ヘッドから磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した一定の高さとなる位置に、カンチレバー（検査用探針）先端の高さをコントロールしながら磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）の走査を行なって観察していたからである。
【０００８】
ところが、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を用いた検査エリアの走査に時間を要し、全体的なタクトタイムを短縮化することが困難となっていた。また、温度変動による熱ドリフトによる距離変動の影響や、ピエゾ素子などのアクチュエータのクリープ現象による距離変動の影響を受け、磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）による走査時にはカンチレバー先端の高さが変化してしまうという問題があった。
【０００９】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであり、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）による検査時間（タクトタイム）を大幅に短縮化し、検査用探針の高さを一定に保持して磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）、走査型ホールプローブ顕微鏡（ＳＨＰＭ）又は走査型磁気抵抗効果顕微鏡（ＳＭＲＭ）による検査を正確かつ高速に行なうことのできる磁気ヘッド検査方法及び磁気ヘッド製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る磁気ヘッド検査走査方法の第１の特徴は、ウエハから切り出されたローバー状態の磁気ヘッドの記録部表面の形状を原子間力顕微鏡を用いてスキャン測定し、その測定結果に基づいて、磁気力顕微鏡のカンチレバー手段の磁性探針を前記磁気ヘッドの記録部表面から磁気ディスクに対する磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置に保持した状態で、前記磁気ヘッドの記録ヘッド部の表面に沿ってスキャン移動させて、前記カンチレバー手段の励振状態を示す信号を検出し、それに基づいて前記磁気ヘッドの実効トラック幅を測定する磁気ヘッド検査方法において、前記磁気力顕微鏡の前記カンチレバー手段の磁性探針によるスキャン測定領域の半分以下の小さな領域を前記原子間力顕微鏡を用いた前記磁気ヘッドの記録部表面のスキャン測定領域としたことにある。
磁気力顕微鏡による実効トラック幅の測定時にカンチレバー手段と磁気ヘッドの記録部表面との間の距離を常に一定にするために、事前に原子間力顕微鏡を用いて磁気ヘッドの記録部表面の形状（凸凹像）を測定し、その表面形状（凸凹像）に基づいて、磁気力顕微鏡による実効トラック幅測定スキャン位置となる磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置を算出している。例えば、磁気力顕微鏡による実効トラック幅の測定時のスキャンエリアが例えば１００×１００ポイントの場合、従来は全てのポイント（１００００ポイント）に対して原子間力顕微鏡によるスキャン測定を行い磁気ヘッドの記録部の表面形状を取得していた。本願発明者等による実験の結果、磁気ヘッドの浮上高さを算出するためには、全てのポイントにおける表面形状を必ずしも測定する必要はないということが判明した。書込みを行うメディア面はフラットであり、磁気力顕微鏡によるスキャン面もフラットなので、磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置を算出するために、Ｘ軸，Ｙ軸それぞれ１ライン分に相当する領域の表面形状を原子間力顕微鏡を用いてスキャンすることによって、その傾き等を算出することができる。そこで、この算出結果に基づいて、磁気力顕微鏡による実効トラック幅の測定時における磁気ヘッドの浮上高さを決定するようにした。このように、磁気力顕微鏡のカンチレバー手段の磁性探針によるスキャン測定領域の半分以下の小さな領域を原子間力顕微鏡を用いた磁気ヘッドの記録部表面のスキャン測定領域とすることによって、原子間力顕微鏡による検査時間（タクトタイム）を大幅に短縮化することができ、検査用探針の高さを一定に保持して磁気力顕微鏡による検査を正確かつ高速に行なうことができるようになった。
【００１１】
本発明に係る磁気ヘッド検査走査方法の第２の特徴は、前記第１の特徴に記載の磁気ヘッド検査方法において、前記磁気力顕微鏡の前記カンチレバー手段の磁性探針によるスキャン測定領域が矩形状の場合に、前記原子間力顕微鏡を用いた前記磁気ヘッドの記録部表面のスキャン測定領域を前記矩形領域の互いに隣接する２辺に沿った領域とすることにある。
これは、矩形状のスキャン測定領域の互いに隣接する２辺、すなわち図４に示すようにＹ軸方向の１ライン目（矩形領域の１辺）に沿った領域の表面形状（高さ）を測定し、次の２ライン目以降の各ラインでは、その先頭箇所だけの表面形状（高さ）を測定するようにしたものである。このようにＹ軸方向の１ラインとこれに隣接するＸ軸方向の１ラインに沿った領域における表面形状（高さ）を測定後に、磁気力顕微鏡による検査を行なうことにより、温度変動による熱ドリフトによる距離変動の影響やピエゾ素子などのアクチュエータのクリープ現象による距離変動の影響を低減した、より正確な検査を行なうことができるようになる。
【００１２】
本発明に係る磁気ヘッド検査走査方法の第３の特徴は、ウエハから切り出されたローバー状態の磁気ヘッドの記録部表面の形状を原子間力顕微鏡を用いてスキャン測定し、その測定結果に基づいて、前記原子間力顕微鏡のカンチレバー手段に設けられたホール素子又はＭＲ素子を前記磁気ヘッドの記録部表面から磁気ディスクに対する磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置に保持した状態で、前記磁気ヘッドの記録ヘッド部の表面に沿ってスキャン移動させて、前記ホール素子又はＭＲ素子からの信号を検出し、それに基づいて前記磁気ヘッドの実効トラック幅を測定する磁気ヘッド検査方法において、前記ホール素子又はＭＲ素子によるスキャン測定領域の半分以下の小さな領域を前記原子間力顕微鏡を用いた前記磁気ヘッドの記録部表面のスキャン測定領域としたことにある。これは、薄膜磁気ヘッドに含まれる記録ヘッド（素子）より発生される磁界の様子を、磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置でスキャン移動させた原子間力顕微鏡のカンチレバー手段に設けられたホール素子又はＭＲ素子を用いて直接観察するようにしたものである。
【００１３】
本発明に係る磁気ヘッド検査走査方法の第４の特徴は、前記第１の特徴に記載の磁気ヘッド検査方法において、前記ホール素子又はＭＲ素子によるスキャン測定領域が矩形状の場合に、前記原子間力顕微鏡を用いた前記磁気ヘッドの記録部表面のスキャン測定領域を前記矩形領域の互いに隣接する２辺に沿った領域とすることにある。これは、前記第２の特徴に記載の磁気ヘッド検査方法と同様に、Ｙ軸方向の１ラインとこれに隣接するＸ軸方向の１ラインに沿った領域における表面形状（高さ）を測定後に、ホール素子又はＭＲ素子による検査を行なうようにしたものである。
【００１４】
本発明に係る磁気ヘッド製造方法の特徴は、前記第１から第４の特徴に記載の磁気ヘッド検査方法を用いて磁気ヘッドを製造することにある。これは、前記磁気ヘッド検査方法のいずれかを用いて、磁気ヘッドを製造するものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）による検査時間（タクトタイム）を大幅に短縮化し、検査用探針の高さを一定に保持して磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）、走査型ホールプローブ顕微鏡（ＳＨＰＭ）又は走査型磁気抵抗効果顕微鏡（ＳＭＲＭ）による検査を正確かつ高速で行なうことができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】表面形状（凸凹像）を全スキャンエリア測定する概念図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置の概略構成を示す図である。
【図３】図２の磁気ヘッド検査装置の検査の概要を示す図であり、図３（Ａ）は、磁気ヘッド部の構成を示す概念図であり、図３（Ｂ）は、カンチレバー部の変位信号の一例を示す図である。
【図４】表面形状（傾き像）をＸ軸，Ｙ軸それぞれ1ラインで測定する概念図である。
【図５】本発明に係る原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）及び磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）を用いた記録ヘッドの検査工程を含んだ磁気ヘッド製造工程の一例を示す図である。
【図６】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置の別の実施例の概略構成を示す図である。
【図７】図６の磁気ヘッド検査装置の検査方式の概要を示す図であり、磁気ヘッド部の構成を拡大して示す概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図２は、本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置の概略構成を示す図である。図２の磁気ヘッド検査装置は、スライダ単体（チップ）を切り出す前工程のローバー（ヘッドスライダが配列されたブロック）の状態でＭＲヘッド、ＧＭＲヘッド、ＴＭＲヘッドなど（以下ＭＲヘッドと呼ぶ。）の実効トラック幅を測定することが可能なものである。
【００１８】
通常、３ｃｍ〜５ｃｍ程度の細長いブロック体としてウエハから切り出されたローバーは、４０個〜６０個程度のヘッドスライダが配列された構成となっている。この実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置は、このローバー１をワークとして所定の検査を行うように構成されている。ローバー１は、通常、図示していないトレイ内に２０〜３０本程度、短軸方向に所定間隔で配列収納されている。図示していないハンドリングロボットは、ローバー１を図示していないトレイからで一本ずつ取り出して検査ステージ１０に搬送する。検査ステージ１０に搬送設置されたローバー１は後述のように検査される。
【００１９】
検査ステージ１０は、ローバー１をＸ，Ｙ方向に移動可能なＸステージ１１、Ｙステージ１２から構成されている。ローバー１は、その長軸方向の片側面がＹステージ１２の基準面に一旦突き当てられることによって位置決めされる。Ｙステージ１２の上面には、ローバー１の位置決め用の載置部１２１が設けられている。この載置部１２１の上面側縁部には、ローバー１の形状にほぼ合致した段差部が設けられている。ローバー１は、この段差部の底面と側面にそれぞれ当接されることによって所定位置に設置されるようになっている。段差部の後面には、ローバー１の後側面（磁気ヘッドの各接続端子のある面の反対面）が当接される。各当接面は、Ｘステージ１１の移動方向（Ｘ軸）及びＺステージ１３の移動方向（Ｚ軸）にそれぞれ平行で、かつ、直交した位置関係となる基準面を備えているので、ローバー１がＹステージ１２の段差部の底面と側面に当接設置されることによってＸ方向とＺ方向の位置決めが実行されるようになっている。
【００２０】
図示していないが、Ｙステージ１２の上方には位置ずれ量測定用のカメラが設けられている。Ｚステージ１３は、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）及び磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）のカンチレバー部７をＺ方向に移動させるものである。検査ステージ１０のＸステージ１１，Ｙステージ１２、Ｚステージ１３は、それぞれピエゾステージで構成されている。所定の位置決めが終了すると、ローバー１は、載置部１２１に吸着保持され、図示していないプローブカードのプローブ先端がローバー１の前側面の端子にコンタクトされる。これによってローバー１の磁気ヘッドの記録ヘッド用コイルは励磁可能な状態となる。
【００２１】
ピエゾドライバ２０は、この検査ステージ１０の各Ｘステージ１１，Ｙステージ１２、Ｚステージ１３（ピエゾステージ）を駆動制御するものである。制御部３０は、モニタを含むパーソナルコンピュータ（ＰＣ）を基本構成とする制御用コンピュータで構成されている。図に示すように、検査ステージ１０のＹステージ１２上に載置されたローバー１の上方の対向する位置には、先端の尖った磁性探針を自由端とするカンチレバー部７が配置されている。カンチレバー部７は、Ｚステージ１３の下側に設けられた励振部材に取り付けられている。励振部材はピエゾ素子で構成され、ピエゾドライバ２０からの励振電圧によって機械的共振周波数近傍の周波数の交流電圧が印加され、磁性探針は上下方向に振動される。
【００２２】
変位検出部は、半導体レーザ素子４１と、反射ミラー４２，４３と、２分割光ディテクタ素子からなる変位センサ４４とから構成される。半導体レーザ素子４１から出射した光は反射ミラー４２によって反射され、カンチレバー部７上に照射され、そこで反射ミラー４３に向かって反射される。カンチレバー部７で反射された反射光は反射ミラー４３によってさらに反射されて変位センサ４４に導かれる。差動アンプ５０は、変位センサ４４から出力される２つの信号の差分信号に所定の演算処理を施してＤＣコンバータ６０に出力する。すなわち、差動アンプ５０は、変位センサ４４から出力される２つの信号の差分に対応した変位信号をＤＣコンバータ６０に出力する。ＤＣコンバータ６０は、差動アンプ５０から出力される変位信号を実効値の直流信号に変換するＲＭＳ−ＤＣコンバータ（Ｒｏｏｔ  Ｍｅａｎ  Ｓｑｕａｒｅｄ  ｖａｌｕｅ  ｔｏ  Ｄｉｒｅｃｔ  Ｃｕｒｒｅｎｔ  ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）で構成される。
【００２３】
差動アンプ５０から出力される変位信号は、カンチレバー部７の変位に応じた信号であり、カンチレバー部７は振動しているので交流信号となる。ＤＣコンバータ６０から出力される信号は、フィードバックコントローラ７０に出力される。フィードバックコントローラ７０は、カンチレバー部７の現在の振動の大きさをモニターするための信号として制御部３０にＤＣコンバータ６０から出力される信号を出力すると共に、カンチレバー部７の励振の大きさを調整するためのＺステージ１３の制御用信号としてピエゾドライバ２０にＤＣコンバータ６０から出力される信号を出力する。この信号を制御部３０でモニタし、その値に応じて、ピエゾドライバ２０のＺステージ１３を制御することによって、測定開始前に、カンチレバー部７の初期位置を調整するようしている。この実施の形態では、ハードディスクドライブのヘッド浮上高さをカンチレバー部７の初期位置として設定する。発信機８０は、カンチレバー部７を励振するための発振信号をピエゾドライバ２０に供給するものである。ピエゾドライバ２０は、この発信機８０からの発振信号に基づいてカンチレバー部７を所定の周波数で振動させる。
【００２４】
図３は、図２の磁気ヘッド検査装置の検査方式の概要を示す図であり、図３（Ａ）は、磁気ヘッド部の構成を拡大して示す図であり、図３（Ｂ）は、カンチレバー部の変位信号の一例を示す図である。図３に示すように、カンチレバー部７は、ローバー１に形成された磁気ヘッドの表面からヘッド浮上高さＨｆに相当する高さにカンチレバー部７の磁性探針の先端部が位置するように、Ｚステージ１３によって位置決めされる。カンチレバー部７は、ローバー１（磁気ヘッド）に対して相対的にスキャン方向７１にスキャンされる。この実施の形態では、Ｘステージ１１及びＹステージ１２によってローバー１が移動される。
【００２５】
このとき、磁気ヘッドの記録ヘッドはＡＣ励磁されているので、カンチレバー部７はＡＣ励磁に同期して変位する。カンチレバー部７の変位状態は、図３（Ｂ）に示す変位信号のようになるので、この変位信号を検出することによって、磁気ヘッドの実効トラック幅を検出することができる。また、記録ヘッドをＡＣ励磁することなく、通常のＭＦＭとして検査することによって、磁気ヘッドのポール幅を実測することが可能となる。
【００２６】
このように、従来のＭＦＭでは、磁気ヘッドの実際のポール幅を検出することは可能であったが、この実施の形態ように、磁気ヘッドの記録ヘッドをＡＣ励磁しながら、カンチレバー部７を磁気ヘッドのヘッド浮上高さでスキャン移動させることによって、磁気ヘッドの記録ヘッドの実効トラック幅を検査することが可能となり、製造工程途中のできるだけ早い段階で磁気ヘッドの書き込みトラック幅の検査を行うことができるという効果がある。
【００２７】
図４は、本発明に係る表面形状（傾き像）をＸ軸，Ｙ軸それぞれ１ラインで測定する概念図である。従来は、図１に示すようにスキャンエリアである１００×１００ポイントの全てのポイント（１００００ポイント）に対しＡＦＭ測定を行い試料の表面形状を測定していたが、磁気ヘッドの浮上高さを算出するにはこれらの全てのポイントの高さ情報は必ずしも必要ではないことが判明した。何故なら、実際に書込みの行なわれるメディアの表面はフラットであり、ＭＦＭスキャンの対象となる磁気ヘッド面もフラットである。
【００２８】
そこで、この実施の形態では、図４に示すように、ＡＦＭ測定によるＹ軸の本走査として、１ライン目については、１００ポイントについて実行し、この１ライン目の情報をＭＦＭ測定時のヘッド浮上高さ情報の基準として、１ライン目の全領域についてＭＦＭ走査を実行する。２ライン目についてはＡＦＭ測定によるＹ軸の本走査として、２ライン目の１ポイントについてのみ実行し、この２ライン目の１ポイントの情報をＭＦＭ測定時のヘッド浮上高さ情報の基準として、２ライン目の全領域についてＭＦＭ走査を実行する。３ライン目以降は、この２ライン目の場合と同様に、１ポイントのＡＦＭ測定を行い、その結果に応じてヘッド浮上高さ情報を設定してＭＦＭ測定を行なう。すなわち、ＡＦＭ測定については、Ｙ軸の１ライン（１００ポイント）及びＸ軸の左端１ライン（１００ポイント）分だけのスキャン走査を行い、それぞれの傾き像を算出し、それをＭＦＭ走査時のヘッド浮上高さ情報として傾き補正や足し込むようにして最適化利用している。
【００２９】
これによって、従来測定していた１００００ポイント分のＡＦＭ測定は、約２００ポイント分の測定でよくなり、従来のＡＦＭ測定時間の約５分の１でＡＦＭ測定を行なうことができ、測定時間の大幅な短縮化が可能となる。また、Ｘ軸の左端１ライン分の表面形状（高さ測定）のＡＦＭ測定を行なうことによって、ＭＦＭ測定時における温度変動による熱ドリフトによる距離変動の影響や、ピエゾ素子などのアクチュエータのクリープ現象による距離変動の影響を極力低減することができる。なお、図４の実施の形態では、Ｘ軸について１ライン（１００ポイント）分のスキャン走査を行なう場合について説明したが、奇数ライン毎やｎ本毎（ｎは整数）にスキャン走査を行なうようにしてもよい。また、図４に示すようなスキャンエリアの対角線（斜め）方向１００ポイント分のスキャン走査を行い、その測定結果を用いるようにしてもよい。
【００３０】
図５は、本発明のＭＦＭを用いた記録ヘッドの検査工程を含んだ磁気ヘッド製造工程の一例を示す図である。図において、ウエハ工程（Ｗａｆｅｒ  Ｐｒｏｃｅｓｓ）では、成膜、ミリング、洗浄などの工程を行う。ローバー工程（ＲｏｗＢａｒ  Ｐｒｏｃｅｓｓ）では、ウエハから短冊状のローバーを切断して切り出し、それにラッピング、ＡＢＳ面加工、洗浄、カーボン保護膜成膜などの工程を行う。記録ヘッドテスト工程（Ｗｒｉｔｅ  Ｐｏｌｅ  ｔｅｓｔ  Ｐｒｏｃｅｓｓ）では、ウエハから切り出された短冊状のローバーに対して図１のＡＦＭ及びＭＦＭを用いて記録ヘッドの実効トラック幅を測定する。読み出しヘッドテスト工程（Ｒｅａｄ  Ｅｌｅｍｅｎｔ  ｔｅｓｔ  Ｐｒｏｃｅｓｓ）では、同じく短冊状のローバーに対して読み出しヘッドの電磁変換特性を測定する。スライダ工程（Ｓｌｉｄｅｒ  Ｐｒｏｃｅｓｓ）では、ローバーをチップ状に切断加工して、洗浄、検査を行う。ヘッド・ジンバル・アセンブル工程（ＨＧＡ  Ｐｒｏｃｅｓｓ）では、チップ状に加工された磁気ヘッドとサスペンションとを接合して、洗浄、検査を行う。この後、図示していない、ＨＤＤ工程（ＨＳＡ工程、ＨＤＡ工程）が行われる。この実施の形態によれば、記録ヘッドの実効トラック幅をローバー状態で良否判定をできるため、生産性の向上、及び前工程への早期フィードバックを行うことができる。
【００３１】
図６は、本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置の別の実施例の概略構成を示す図である。図６において、図２と同じ構成のものには同一の符号が付してあるので、その説明は省略する。図７は、図５の磁気ヘッド検査装置の検査方式の概要を示す図であり、磁気ヘッド部の構成を拡大して示す概念図である。図６及び図７の磁気ヘッド検査装置が図２及び図３のものと異なる点は、カンチレバー部７にホール素子９０を設け、磁気ヘッドから発生される磁界形状（磁界の絶対値）を直接測定することによって磁気的な実効トラック幅を測定できるようにした点である。すなわち、図６の磁気ヘッド検査装置は、ホール素子９０を観察する磁性材料に極限まで近づけ、磁界を検出して可視化する走査型ホールプローブ顕微鏡（Ｓｃａｎｎｉｎｔｇ  Ｈａｌｌ  Ｐｒｏｂｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＳＨＰＭ）を用いた点に特徴がある。ホール素子９０は、ＧａＡｓ／ＡｌＧａＡｓエピウエハ上にフォトリソグラフィーを用いてパターン形成されたものである。ホール素子コントローラ９１は、ホール素子９０の端子間に電流を供給する。ホール素子コントローラ９１は、このときにホール素子９０の別の端子間に生じるホール電圧をナノボトルメータ等の計測器で計測し、計測されたホール電圧を制御部３０に出力する。制御部３０のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）は、それに基づいて表面自発磁場の２次元分布を作成し、それに基づいて磁気ヘッドの実効トラック幅を計測する。
【００３２】
図６及び図７の磁気ヘッド検査装置のカンチレバー部７に取付けたホール素子９０に代えて、カンチレバー部７の先端部に磁気抵抗センサ（Ｍａｇｎｅｔｏ−Ｒｅｓｅｉｓｔｉｖｅ  ｓｅｎｓｏｒ：ＭＲ）素子を形成することによって走査型磁気抵抗効果顕微鏡（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｍａｇｎｅｔｏ−Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＳＭＲＭ）を上述のような磁気測定に使用することができる。この場合、ホール素子コントローラに代えて、磁気抵抗センサコントローラを設けることによって対応可能である。このように走査型ホールプローブ顕微鏡（ＳＨＰＭ）又は走査型磁気抵抗効果顕微鏡（ＳＭＲＭ）は、磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）のカンチレバー部７にホール素子又はＭＲ素子が取り付けてあるので、記録ヘッドの形状測定と共に磁気測定（実効トラック幅の測定）を同時に実施することが可能となる。
【符号の説明】
【００３３】
１…ローバー
７…カンチレバー部
１０…検査ステージ
１１…Ｘステージ
１２…Ｙステージ
１２１…載置部
１３…Ｚステージ
２０…ピエゾドライバ
３０…制御部
４１…半導体レーザ素子
４２，４３…反射ミラー
４４…変位センサ
５０…差動アンプ
６０…ＡＤコンバータ
７０…フィードバックコントローラ
８０…発信機
【図１】
0005460386.tif 000002
【図２】
0005460386.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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