(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査品を撮像する撮像部と、前記被検査品を目視で検査する検査者の目を撮像し前記撮像した前記目の向きに基づいて前記検査者の視線を検出する視線検出部と、を含み、前記視線検出部が検出した前記視線に基づいて前記視線の変化に応じて変化する、前記検査者が前記被検査品を観視している像を認識する観視像認識部と、
前記被検査品を前記撮像部で撮像した像を画像解析して前記被検査品を画像検査する画像処理部と、
前記画像処理部による画像検査結果を、前記検査者の視界に重ねて、前記検査者が前記被検査品を観視している前記像に対応させた位置に、前記検査者が頭部を動かさずに前記視線を変化させたときにも表示可能とした表示部と、
を備えたことを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
前記画像解析される前記被検査品を撮像した前記像は、前記撮像部とは別の撮像装置によって撮像した像を含むことを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記表示部は、前記検査者の頭部に装着可能とされたことを特徴とする請求項１または２に記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記撮像部は、前記検査者の頭部に装着可能とされたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記視線検出部は、前記検査者の頭部に装着可能とされたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の外観検査装置。
【請求項６】
前記画像解析により検出された欠陥の位置を、前記検査者の視界に重ねて表示することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の外観検査装置。
【請求項７】
前記検査者が前記被検査品の特定の部分を観視する時間に応じて、前記画像検査結果の表示を可変としたことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の外観検査装置。
【請求項８】
前記検査者の前記視線の変化に対応した位置に、前記画像検査結果を表示可能としたことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載の外観検査装置。
【請求項９】
前記検査者による前記被検査品の外観検査の結果を入力可能とした外観検査入力部をさらに備えたことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１つに記載の外観検査装置。
【請求項１０】
前記検査者による前記被検査品の外観検査の結果を格納する検査データ格納部をさらに備えたことを特徴とする請求項１〜９のいずれか１つに記載の外観検査装置。
【請求項１１】
前記検査データ格納部は、前記被検査品を特定する情報に関連付けて、前記結果を格納することを特徴とする請求項１０記載の外観検査装置。
【請求項１２】
前記検査データ格納部は、前記結果を自動的に収集し、格納することを特徴とする請求項１０または１１に記載の外観検査装置。
【請求項１３】
前記検査者による前記被検査品の外観検査の結果を解析するデータ解析部をさらに備えたことを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１つに記載の外観検査装置。
【請求項１４】
前記データ解析部は、前記被検査品の工程履歴分析を行うことを特徴とする請求項１３記載の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種の電気機器や表示装置等の種々の製品や、それに用いられる各種部品の外観検査として、検査者が目視で行う目視検査と、被検査品を撮像しそのデータを画像解析する画像検査とが行われている。目視検査の場合、不良の見逃しが起き得る。一方、画像検査では、ヒトの視感との整合性に不十分さがあり、例えば良品を不良品と判定する誤検出が起き得る。従って、目視検査と画像検査とは併用されることが多い。  
従来、両検査は独立して行われ、両検査の結果を互いに参考にして検査することができなかったため、両検査の結果の照合に手間がかかり、また、その結果、検査の精度も低かった。
【０００３】
特許文献１には、目視検査の時の検査者の目の位置の近傍に撮像装置を配置し、目視検査時の被検査品の像を撮像し、データを保存可能とした外観検査装置についての技術が開示されている。
【特許文献１】特開２００６−１７０６２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上記の課題に基づいたものであり、その目的は、画像検査と目視検査の結果を容易に参照可能とし、高効率で高精度の外観検査を可能とする外観検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
また、本発明の一態様によれば、被検査品を撮像する撮像部と、前記被検査品を目視で検査する検査者の目を撮像し前記撮像した前記目の向きに基づいて前記視線を検出する視線検出部と、を含み、前記視線検出部が検出した前記視線に基づいて前記視線の変化に応じて変化する、前記検査者が前記被検査品を観視している像を認識する観視像認識部と、前記被検査品を前記撮像部で撮像した像を画像解析して前記被検査品を画像検査する画像処理部と、前記画像処理部による画像検査結果を、前記検査者の視界に重ねて、前記検査者が前記被検査品を観視している像に対応させた位置に、前記検査者が頭部を動かさずに前記視線を変化させたときにも表示可能とした表示部と、を備えたことを特徴とする外観検査装置が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、画像検査と目視検査の結果を容易に参照可能とし、高効率で高精度の外観検査を可能とする外観検査装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。  
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る外観検査装置の構成を例示する模式図である。  図１に表したように、本発明の第１の実施形態に係る外観検査装置１０は、目視検査を行う検査者１０１が被検査品１７１を観視している像１８１を認識する観視像認識部１３０と、被検査品１７１の画像検査結果１５０を表示する表示部１４０と、を備えている。
【００１１】
観視像認識部１３０は、検査者１０１が被検査品１７１を観視している像１８１に対応した像１９１を撮像する撮像部１１０と、検査者１０１の視線を検出する視線検出部１２０と、画像処理を行う画像処理部１６０を含むことができる。
【００１２】
撮像部１１０は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像素子で構成でき、検査者１０１の頭部の動きに連動して被検査品１７１を撮像することができる。これは、例えば、撮像部１１０を検査者１０１の頭部に搭載して配置することによって実現できる。そして、必要に応じて、自動焦点調整機構やズーム機構を設けることができる。これにより、検査者１０１が被検査品１７１を観視している像１８１に対応した像１９１を撮像できる。すなわち、例えば、被検査品１７１を観視する時の角度や被検査品１７１と検査者１０１の目１０２との距離の変化に追従して、検査者１０１が被検査品１７１を見ている像１８１に対応する像１９１を撮像できる。
【００１３】
視線検出部１２０には、検査者１０１の目１０２を撮像するカメラを用いることができる。また、例えば、検査者１０１の目１０２を照明する光源をさらに設けることもできるが、この光源は省略することもできる。そして、視線検出部１２０は、検査者１０１の顔面の前面に配置されるが、検査者１０１の頭部の動きに連動して配置位置が変動できるように、検査者１０１の頭部に搭載される配置とすると好適である。  
そして視線検出部１２０によって、検査者１０１の目１０２（眼球）の像を取り込み、目１０２（眼球）の向きを求めることができる。この画像処理は、画像処理部１６０で行うことができる。
【００１４】
これにより、検査者１０１が被検査品１７１を観視している像１８１の詳細を把握することができる。例えば、検査者１０１が頭部を動かさず視線を動かして被検査品１７１を観視する際に、その視線の動きに対応して、検査者１０１が被検査品１７１を観視する像１８１が認知できる。
【００１５】
これら、撮像部１１０で撮像された像１９１と、視線検出部１２０により検出された視線に基づき、画像処理部１６０によって、検査者１０１が被検査品１７１を観視している像１８１を把握することができる。このようにして、観視像認識部１３０は、検査者１０１が被検査品１７１を観視している像１８１を認識することができる。例えば、被検査品１７１を観視する時の角度の変化を含めて、像１８１を認識できる。また、例えば、検査者１０１の目１０２と被検査品１７１との距離が変化した時の視界の広さや被検査品１７１の観視の拡大率の変化を含めて、像１８１を認識できる。
【００１６】
表示部１４０は、被検査品１７１を撮像し検査した結果に基づく画像検査結果１５０を表示する。例えば、上記の撮像部１１０で被検査品１７１の外観を撮像し、画像処理部１６０において、その撮像データを画像解析または画像認識することにより画像検査が行われる。例えば、撮像部１１０で撮像された像１９１を画像処理部１６０で画像解析することによって、異常部として欠陥の像１９２が検出さる。これに基づき、画像検査による、被検査品１７１の外観上の欠陥１７２（傷、ヨゴレ等）が検出される。そして、検出された欠陥１７２（欠陥の像１９２）について、その種類、程度、発生の箇所等を含む情報を画像検査結果１５０とすることができる。
一方、被検査品１７１の撮像と検査を別の装置により実行してもよい。例えば、図示しない画像認識システムを用いて被検査品１７１を撮像しその撮像データを画像解析または画像認識することにより被検査品１７１の外観上の欠陥１７２を検出してもよい。この場合、検査の結果のデータを、記録媒体、有線通信あるいは無線通信により画像処理部１６０に入力すればよい。
【００１７】
そして、画像検査結果１５０は、例えば、欠陥の発生箇所を示す枠１９３（四角形や円形の枠状の図形）等とすることができる。  
なお、画像検査は、上記の撮像部１１０で撮像された像以外に、別の撮像装置によって撮像された画像データに基づいて行っても良いし、両者を併用した画像検査としても良い。
【００１８】
そして、表示部１４０は、画像検査結果１５０（枠１９３）を、検査者１０１の視界１０３に重ねて表示できる。これは、表示部１４０を、検査者１０１の例えば片目の前に配置したヘッドマウント型ディスプレイ（ＨＭＤ： Head Mounted Display）の構成とすることで実現できる。また、表示部１４０がシースルー型である場合は、検査者１０１の両目の前に表示部１４０が配置されたＨＭＤとすることもできる。また、表示部１４０を検査者１０１の頭部に搭載するのではなく、検査者１０１の前面に設けられた例えば半透過型のスクリーンとしても良く、検査者１０１の視界１０３と重ねて表示することができればその構造は任意とすることができる。
【００１９】
さらに、表示部１４０は、観視像認識部１３０により認識された検査者１０１の観視の像１８１に対応した位置に、画像検査結果１５０（枠１９３）を表示することができる。すなわち、検査者１０１が観視している欠陥の像１８２の位置（検出された欠陥の像１９２の位置）に、その欠陥に対応した枠１９３を表示する。そして、画像検査結果１５０（枠１９３）は、検査者１０１の頭部の位置や視線の変化に対応して変化する観視の像１８１（欠陥の像１８２）の変化に合わせてその表示位置を変化することができる。
【００２０】
これにより、検査者１０１は、被検査品１７１を見ている視界１０３に重ねて、画像検査結果１５０（枠１９３）を、同時に見ることができる。検査者１０１が頭部を動かした場合でも、あるいは、視線を動かした場合でも、その動きに追従して画像検査結果の表示位置が変わり、観視像に現れる欠陥の位置に、常に欠陥の位置を示す枠１９３を表示することができる。
【００２１】
これにより、検査者１０１は、目視検査を行いながら、画像検査結果１５０を容易に参照することができ、高効率で高精度の外観検査が可能となる。  
なお、撮像部１１０で撮像された像１９１と検出された視線に基づいて認識された観視の像１８１により、画像検査結果１５０の表示位置を制御することを画像処理部１６０で行うことができる。  
また、画像処理部１６０は、撮像部１１０または別の撮像装置によって撮像された撮像データに基づいて画像処理を行い、画像検査を行う機能を持つことができる。
【００２２】
なお、上記において、画像検査結果１５０が、枠１９３で表示される例を示したが、これに限らない。欠陥の種類や、程度、発生の箇所に応じた各種の線、三角形、四角形、多角形、円、楕円、矢印、クロスバー、井桁（double cross）などの各種の図形や文字によって表示することができる。また、それらの線種やハッチング、色、点滅等を変えることができる。また、例えば、重欠点が発生した場合には音を発生するなど、視覚に作用するものだけでなく聴覚に作用するものを用いてもよい。
【００２３】
（第１の実施例）  
以下、第１の実施例により詳細に説明する。  
図２は、本発明の第１の実施例に係る外観検査装置の構成を例示する模式図である。  
図２（ａ）は、第１の実施例に係る外観検査装置２０の構成を示す斜視図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ線断面模式図である。なお、図２以降の各図については、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【００２４】
図２（ａ）、（ｂ）に表したように、第１の実施例の外観検査装置２０は、撮像部１１０、視線検出部１２０、表示部１４０を備えている。そして、これらは、検査者１０１の頭部に搭載するＨＭＤ型の構成として一体化されている。なお、本図では、画像処理部１６０は省略されている。  
撮像部１１０は、眼鏡２１の下部の位置に設けられたＣＣＤからなる撮像素子で構成され、検査者１０１の頭部の動きに連動して、被検査品１７１の像を撮像する。  
視線検出部１２０は、眼鏡２１の下部に設けられたカメラで構成されている。これにより、目１０２の瞳孔の向きを把握し、検査者１０１の視線を検出する。  
表示部１４０は、眼鏡２１の下部に設けられた小型の液晶パネル１４２と、液晶パネルからの投射光を反射させて像を形成するハーフミラー１４４とからなっている。これにより、検査者１０１は、画像検査結果１５０と被検査品１７１の像を同時に視界に重ねて観視することが可能となっている。
【００２５】
これにより、検査者１０１は、目視検査を行いながら、画像検査結果を容易に参照することができ、高効率で高精度の外観検査が可能となる。
【００２６】
以下、第１の実施例の外観検査装置２０を用いた外観検査の状態を説明する。本例では、被検査品１７１として携帯電話を検査する例であり、携帯電話の表面の傷、へこみ、ヨゴレ等を欠陥として検出する。  
図３は、本発明の第１の実施例に係る外観検査装置の表示を例示する模式図である。  
図３は、検査者１０１の視界１０３の状態を示している。本図中の携帯電話２１０の絵（２１０ａ〜２１０ｆ）は、検査者１０１が観視した像１８１である。また、本図中の四角の枠２１１〜２１３は、第１の実施例の外観検査装置２０によって、視界１０３に重ねて表示された画像検査結果１５０を例示している。検査者１０１はこれらの像を同時に重ねて見ている。  
図３（ａ）に表したように、検査者１０１は被検査品である携帯電話２１０を検査するために、例えば、携帯電話２１０を斜め方向から観視する。その時、携帯電話２１０の斜め方向からの像２１０ａが観視されている。そして、携帯電話２１０の外観を撮像部１１０で撮像して、画像処理し、画像検査の結果として、携帯電話の表面の傷２１９が結果として検出されたとする。その画像検査結果１５０として、欠陥の発生位置を示す枠２１１、２１２が、観視された像２１０ａに対応して表示されている。
【００２７】
さらに、検査者１０１が携帯電話２１０を手に取って、あるいは、携帯電話２１０に対して頭部の位置を動かして、携帯電話２１０を種々の方向から見て検査した場合、図３（ｂ）〜（ｅ）に表したように、携帯電話２１０を見た時の像２１０ｂ〜２１０ｅは変化する。そして、本実施例の外観検査装置２０は、この像２１０ｂ〜２１０ｅの変化に合わせて、表示の位置を変えて画像検査結果１５０である枠２１１〜２１３の表示を変えることができる。
【００２８】
図３（ｆ）は、図３（ａ）の観視状態から、携帯電話２１０と検査者１０１の目１０２の距離を縮め、携帯電話２１０を近くで見た場合の観視像を例示している。図３（ｆ）に表したように、検査者１０１が携帯電話（被検査品）２１０を近くで見ることによって携帯電話（被検査品）２１０の像が拡大されている。そして、これに合わせて、画像検査結果１５０（枠２１１）の表示位置が変化している。
【００２９】
このように、本実施例の外観検査装置２０は、検査者１０１の被検査品１７１を観視する時の像の、角度や拡大・縮小率に合わせて、像に対応した位置に画像検査結果１５０を表示することができる。
【００３０】
これにより、検査者１０１は、目視検査を行いながら、画像検査結果１５０を容易に参照することができる。そして、検査者１０１は、携帯電話２１０の外観の全体を網羅的に検査するだけでなく、画像検査結果１５０として表示された枠２１１〜２１３の部分を重点的に検査することができる。これにより、欠陥の見落としが防止でき、また重点的な目視検査を行うことができる。これにより、高効率で高精度の検査が可能となる。
【００３１】
なお、画像検査の欠陥検出の判定レベルを厳しく設定し、画像検査によって不良とされた被検査品を目視検査によって実用的観点で最終判定する検査方法において、本実施例の外観検査装置２０は、非常に有効に活用できる。
【００３２】
なお、本実施例の外観検査装置２０において、検査者１０１が観視している像１８１（像１９１）を、別に設けた表示装置上に表示しても良い。これにより、検査者１０１以外の者が、検査者１０１が観視している像１８１（像１９１）を見ることができ、例えば、検査員のトレーニングや技術伝承の際に活用できる。
【００３３】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。本実施形態の外観検査装置では、検査者１０１の目視検査の結果を入力する目視検査結果入力部がさらに設けられている。
【００３４】
図４は、本発明の第２の実施形態に係る外観検査装置の構成を例示する模式図である。  図４に表したように、本実施形態の外観検査装置２０は、図１に例示した外観検査装置１０に対して、更に、検査者１０１の目視検査の結果を入力する目視検査結果入力部３００を備えている。
【００３５】
目視検査結果入力部３００には、例えば、釦、キーボード、タッチパネル、フットスイッチ、音声入力装置、視線入力装置等、各種の構成の入力装置を用いることができる。そして、例えば、図３に例示した外観検査において、画像検査結果を示す枠２１１〜２１３に対して、それぞれの目視検査結果（合格か不合格か等）を検査者１０１は容易に入力することができる。これにより、外観検査の効率と精度を向上させることができる。
【００３６】
（第３の実施の形態）
次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。  
図５は、本発明の第３の実施形態に係る外観検査装置の構成を例示する模式図である。  図５に表したように、本実施形態の外観検査装置３０は、図１に例示した外観検査装置１０に対して、更に、画像検査処理部３１０を備えている。すなわち、図１に例示した外観検査装置１０においては、画像処理部１６０は、被検査品１７１を検査者１０１が観視する像１８１の認識のための画像処理、及び、被検査品１７１の画像検査のための画像処理の両方を行うように設計されていたが、第３の実施形態の外観検査装置３０では、この機能を分離したものである。
【００３７】
すなわち、画像処理部１６０は、被検査品１７１を検査者１０１が観視する像１８１の認識のための画像処理を行う。そして、画像検査処理部３１０は、撮像部１１０で得られた像に基づいて、画像検査のための画像処理を実施する。このように、観視する像１８１の認識のための画像処理と画像検査のための画像処理とを、それぞれ、画像処理部１６０と画像検査処理部３１０で別に実施することにより、高速で処理を行うことができ、結果として、高効率で高精度の外観検査が可能となる。  
なお、図５に例示した外観検査装置３０において、図４で例示した目視検査結果入力部３００をさらに設けても良い。
【００３８】
（第４の実施の形態）
上記において、画像検査の基となる画像データは、撮像部１１０で撮像された場合を示したが、これに限らず、被検査品を別の撮像装置で撮像し、そのデータから画像検査結果１５０を求め、その画像検査結果１５０を検査者１０１の観視の像１８１に対応させて表示することもできる。
【００３９】
図６は、本発明の第４の実施形態に係る外観検査装置の構成を例示する模式図である。  図６に表したように、本実施形態の外観検査装置４０は、図５に例示した外観検査装置３０に対して、被検査品１７１の外観を撮像する撮像装置１１５をさらに備えている。撮像装置１１５で撮像された被検査品１７１の画像データは、画像検査処理部３１０によって画像処理され、欠陥が検出される。
【００４０】
これにより、目視検査を行うこととは別に画像検査を実施することができる。例えば、撮像装置１１５を生産ラインの所定の箇所に（複数）設け、例えば、被検査品の正面、背面、側面等の外観をオンラインで画像検査する方法と、目視検査とを組み合わせることができる。これにより、画像検査（の一部）を目視検査とは別に実施することが可能となり、高効率で高精度の外観検査が可能となる。
【００４１】
なお、図６に例示したように、図４で例示した目視検査結果入力部３００をさらに設けても良い。  
また、図６に例示したように、撮像装置１１５による画像検査結果のデータや、目視検査結果のデータを格納し、出力する検査データ格納部３２０をさらに備えても良い。
【００４２】
（第２の実施例）
図７は、本発明の第２の実施例に係る外観検査装置の表示を例示する模式図である。  
図７は、図６に例示した外観検査装置４０を用いて外観検査を行った場合の検査者１０１の観視する表示を例示している。この場合、検査者１０１が目視検査を行う前に、別に設けられた撮像装置１１５で、被検査品１７１である携帯電話２１０の外観が検査されている。
【００４３】
図７（ａ）に表したように、検査者１０１の視界１０３には、携帯電話２１０の観視の像（この場合斜め方向から観視）２１０ａに対応して、画像検査結果１５０が、実線の枠２１１ｓ、２１２ｓ、と点線の枠２１６ｔで表示されている。すなわち、検査者１０１が見える領域に欠陥がある場合は、実線の枠２１１ｓ、２１２ｓでそのことを示し、また、検査者１０１が見えない部分に欠陥がある場合は、点線の枠２１６ｔとしてそのことを表示した例である。
【００４４】
そして、検査者１０１が携帯電話２１０を種々の方向から見て検査した場合、図７（ｂ）〜（ｅ）に表したように、携帯電話２１０を見た時の観視の像２１０ｂ〜２１０ｅに合わせて、画像検査で検出された欠陥を示す枠の表示の位置を変え、また、欠陥が観視できるかどうかによって枠の線種を変えて表示することができる。例えば、図７（ｂ）では、見えない領域にある欠陥が、点線の枠２１６ｔで表されている。また、図７（ｃ）では、３種の欠陥の全てが見えるので、欠陥を表示する枠は全て実線の枠２１１ｓ、２１２ｓ、２１６ｓとして表示されている。また、図７（ｄ）では、見えない部分の欠陥が、点線の枠２１１ｔ、２１２ｔとして表示されている。また、図７（ｅ）では、この観視方向からでは全ての欠陥が見えないので、欠陥の位置は、点線の枠２１１ｔ、２１２ｔ、２１６ｔとして表示されている。
【００４５】
このように、本実施例の外観検査装置では、検査者１０１の視界から欠陥が見えるかどうかによっての画像検査結果の表示の種類を変えて表示することができ、目視検査を行いながら、画像検査結果を容易に参照することができ、高効率で高精度の外観検査が可能となる。  
なお、上記において、画像検査結果の表示は実線と点線の他、表示の色を変える、点滅するなど、各種の方法によって表示することが可能である。  
また、上記の例では、画像検査が別の撮像装置１１５によって得られた画像に基づいて検査される例として説明したが、これに限らず、撮像部１１０によって得られた撮像データに基づいて画像検査を行う場合にも、検査者１０１の視界に欠陥が入るかどうかで画像検査結果１５０の表示内容（枠の線種・色等）を変えることができる。なお、この場合、撮像部１１０で得られた撮像データに基づく検査結果のデータを保存する検査データ格納部３２０を設け、これを活用することができる。これにより、常に変化する検査者１０１の視界とは別に画像検査結果のデータを保存しておき、表示に用いることができる。
【００４６】
（第３の実施例）
図８は、本発明の第３の実施例に係る外観検査装置の表示を例示する模式図である。  
第３の実施例では、検査者１０１の目視検査の実行状態に合わせて、画像検査結果の表示を変化させる例である。  
また、本実施例では、被検査品がパーソナルコンピュータ（ＰＣ）である場合を例示する。そして、ＰＣの外観検査として、表面の傷、へこみ、ヨゴレ等を欠陥として検査する例である。  
図８は、検査者１０１の視界１０３の状態を示しており、検査者１０１が観視するＰＣ２２０の像２２０ａ〜２２０ｆと、本発明の実施例の外観検査装置によって、視界１０３に重ねて表示される画像検査結果１５０を例示している。また、画像検査は、撮像部１１０によって撮像された画像に基づいて行われた例であるが、別の撮像装置１１５によって撮像された画像に基づいて行っても良い。そして、検査者１０１の検査が、図８（ａ）から図８（ｆ）の順で実施された例である。
【００４７】
図８（ａ）に表したように、検査者１０１がＰＣ２２０を観視している像２２０ａに対応して、画像検査結果１５０が枠２２１〜２２５で表示されている。検査者１０１は、これにより、この方向から検出されるべき５個の欠陥の全ての位置を把握することができる。
【００４８】
そして、検査者１０１は、画像検査により欠陥と判定された枠２２１〜２２５の枠内の外観検査を順次行う。  
例えば枠２２１から外観検査を行うとする。この時、検査者１０１は、被検査品１７１であるＰＣ２２０の枠２１１の分部に顔を近づけて枠２２１内のＰＣ２２０の外観を検査する。この時、図８（ｂ）に表したように、ＰＣ２２０の像２２０ｂは、枠２１１の部分が拡大される。そして、枠２１１の表示位置も、像２２０ｂに合わせて変化する。そして、この枠２２１で表示された欠陥が良品であるか不良であるかを判定する。この時、検査者１０１は、この枠２１１の内部を一定の時間、例えば、数秒の間、注視する。この注視の時間は、視線検出部１２０で検査者１０１の視線を検出することによって検出できる。そして、この画像検査結果１５０の表示（枠）内を一定時間以上観視していることを、目視検査の実行と見なすことができる。これにより、検査者１０１の目視検査の実施、未実施または実施終了を判断できる。
【００４９】
すなわち、本実施例の外観検査装置は、画像検査結果１５０で欠陥と判定された箇所を目視検査したかどうかを把握でき、もし、必要な目視検査を実施しなかった場合は、アラーム音などでそれを知らせることができる。これにより、検査者１０１の検査漏れを無くすことができる。なお、画像検査結果の内容（結果の種類、程度等）によって、上記の画像検査結果の表示（枠）を検査者１０１が目視検査（注視）したかどうかの検出・監視を行うかどうかを変えることもできる。また、画像検査結果の内容（結果の種類、程度等）によって、注視時間の判定基準を適切に設定できる。
【００５０】
さらに、目視検査によって、所定の枠内の検査が終了したら（枠内を一定時間注視し終わったら）、この枠を例えば、消すことができる。図８（ｃ）は、検査が終了した（注視が終了した）欠陥の表示の枠が消された状態を表している（図８（ｂ）中の枠２２１が消えている）。すなわち、検査者１０１の目１０２の向きや動きを検出し、これをトリガーとして、表示内容を変更することができる。  
これにより、検査者１０１は、同じ欠陥の場所を繰り返して検査することもなく、また、検査箇所の欠落もなく、目視検査を行うことができる。
【００５１】
なお、上記では、目視検査が終了した時に、枠を消す例を示したが、これに限らず、種々の方法によって目視検査の終了を示すことができる。例えば、欠陥の位置を示す表示である枠の、形、色、枠の線種（点線、実線等）、枠の点滅等を変える等、各種の方法を適用することができる。また、例えば、欠陥の位置を示す枠とは別に、画像検査で検出された欠陥の数、及び、検査終了の数や残りの数を表示する数字や図形を用いても良い。
【００５２】
これに引き続いて、同様に別の観視角度から目視検査を行い、図８（ｄ）に表したように枠２２２、２２４、２２５の目視検査を行う。そして、それが終了すると、図８（ｅ）のように、欠陥を表示するこれら枠２２２、２２４、２２５が消える（表示が変更される）。そして、この後、同様に、枠２２３についての目視検査を行い、そして終了する（図示しない）。
【００５３】
そして、図８（ｆ）に表したように、図８（ａ）で表した全ての欠陥の表示（枠２２１〜２２５）が消えた（変更された）状態となり、このＰＣ２２０の、この状態（ＰＣの画面とキーボードとを開いた状態）の検査が終了される。また、これに引き続いて、ＰＣの画面とキーボードを閉じた状態の外観検査等が同様に行われる。  
なお、図８（ｆ）に例示した、全ての欠陥の目視検査が終了した画面で、目視検査が終了したことを知らせるメッセージの表示やランプの点灯、音等の発生を行っても良い。
【００５４】
このように、本実施例の外観検査装置では、検査者１０１が被検査品１７１の検査部分を注視する時間に基づいて、画像検査結果１５０の表示を変えているので、検査者１０１は、同じ欠陥の場所を繰り返して検査することもなく、また、検査箇所の欠落もなく、目視検査を行いながら、画像検査結果を容易に効率良く参照することができ、高効率で高精度の外観検査が可能となる。
【００５５】
なお、上記において、目視検査結果入力部３００を設け、検査者１０１の目視検査の結果を入力しても良い。例えば、画像検査結果を示す枠２２１の目視検査が終了したことを、上記の注視時間により検出し、その時、枠２２１の表示が消えた（表示が変わった）時に、検査者１０１は、目視検査の結果（合格か不合格か）を入力できるようにしておくことができる。これにより、目視検査の効率を高めることができる。この目視検査結果入力部３００には、釦、キーボード、タッチパネル、フットスイッチ、音声入力装置、視線入力装置等、各種の構成を用いることができる。
【００５６】
また、画像検査で検出されなかった欠陥を目視により検出した場合は、それに該当する箇所に、画像検査結果１５０を表示する枠１９３とは別の枠等の表示を行っても良い。これにより、画像検査と目視検査の差異を表示し、検査精度の向上に活用することができる。また、この差異のデータを保存することもできる。  
さらに、画像検査結果１５０を示す例えば各枠１９３に対して、目視検査の結果が合格であったか不合格であったかのデータを蓄積し、画像検査の判定基準を自動的に調整するように構成することで、画像検査に学習機能を持たせることができ、外観検査の効率と精度を向上させることができる。すなわち、本実施例の外観検査装置においては、画像検査結果１５０と目視検査結果とを相互に照合することが容易にでき、画像検査に上記の学習機能を設けることが容易となり、これが大きな利点となる。
【００５７】
なお、本発明の実施形態の外観検査装置において、検査者１０１の観視する像１８１に対して、撮像部１１０により撮像された像１９１が一致するように調整するために、撮像部１１０で撮像された像１９１、または、撮像された像１９１に基づいて作成された形状の輪郭等を表示部１４０に表示する機能を設けてもよい。
【００５８】
（第５の実施の形態）  
本発明の第５の実施形態に係る外観検査装置の構成は、第４の実施形態に係る外観検査装置４０と同様である。ただし、検査データ格納部３２０における検査データは、被検査品１７１を特定する情報に関連付けて格納されていることに特徴がある。被検査品１７１を特定する情報としては、例えば、被検査品１７１の製品番号や型式等に関するデータや、ロット番号などのデータを用いることができる。例えば、被検査品１７１によっては、製造日時などのデータとしても良い。以下では、被検査品１７１を特定する情報として、ロット番号を用いる例として説明する。
【００５９】
図９は、本発明の第５の実施形態に係る外観検査装置の動作を例示する模式図である。  すなわち、同図は、外観検査装置の検査データ格納部３２０における検査データの格納状態を例示している。
【００６０】
図９に表したように、検査データ格納部３２０においては、ロット番号ＬＮのそれぞれに関連づけて、不良項目（不良カテゴリ）ＥＩである「不良１」ＥＩ１、「不良２」ＥＩ２、及び「不良３］ＥＩ３の外観検査結果のデータが格納されている。この場合は、表形式のデータフォーマットにおいて、各ロット番号に該当する表の枡目の箇所に各不良の有無が、「ＮＧ」または「ＯＫ］の表示によって示されたように、データとして格納されている。
【００６１】
例えば、「不良１」ＥＩ１は、「引っ掻き傷」であり、「不良２」ＥＩ２は、「凹み」であり、「不良３］ＥＩ３は「汚れ」である。そして、各不良項目が発生している部品に関するデータも一緒に登録されている。例えば、本具体例では、部品が、「Ｐ０１」、「Ｐ０２」、「Ｐ０３」などであり、各不良項目に該当して、その不良が発生した部品に関するデータが、ロット番号ＬＮに対応させつつ、「不良１パーツ」ＥＩ１ｐ、「不良２パーツ」ＥＩ２ｐ及び「不良３パーツ」ＥＩ１ｐの欄に格納されている。
【００６２】
さらに、検査者１０１による外観検査だけでなく、例えば、撮像装置１１５で得られた画像や撮像部１１０で得られた画像に基づく画像検査結果のデータも、ロット番号に関連付けて格納しても良い。
【００６３】
さらに、本具体例では、各ロット番号に対応させて、工程１の作業者ＯＰ１、工程２の作業者ＯＰ２、工程３の作業者ＯＰ３、及び、検査者ＩＰに関する情報が格納されている。検査者ＩＰは、外観検査に関する検査者１０１であっても良い。なお、さらに、被検査品１７１の生産に係わる、材料、部品、加工装置の種類、生産の時刻などの各種のデータをロット番号に関連付けて格納しても良い。
【００６４】
このように、本実施形態に係る外観検査装置においては、検査データ格納部３２０には、外観検査の結果が被検査品１７１のロットに関連づけて格納されている。さらに、被検査品１７１の製造工程における各種のデータをロットに関連づけて格納しても良い。これにより、外観検査結果の照合の手間が省け、また、外観検査結果の解析を効率的に行うことができる。そして、不良要因分析の効率を向上することができる。
【００６５】
このように、検査データ格納部３２０は、撮像装置１１５で得られた画像や撮像部１１０で得られた画像に基づく画像検査結果のデータや、目視検査結果のデータを格納し、出力する。
【００６６】
この時、検査データ格納部３２０へのデータの格納は、画像検査処理部３１０や画像処理部１６０の出力から、検査データ格納部３２０に自動的にデータが格納させるように構成することができる。また、検査者１０１の外観検査の結果に関しても、例えば、視線入力の場合には画像処理部１６０から検査データ格納部３２０に自動的に入力し、また、例えば、目視検査結果入力部３００を用いた入力の場合には、目視検査結果入力部３００から検査データ格納部３２０に自動的に入力することができる。
【００６７】
すなわち、検査データ格納部３２０は、外観検査の結果を自動的に収集し格納する。  
これにより、今まで主に人が入力していた画像検査結果や外観検査の結果を、自動的に検査データ格納部３２０に入力することができ、外観検査に関係する作業が効率化できる。
【００６８】
（第６の実施形態）
図１０は、本発明の第６の実施形態に係る外観検査装置の構成を例示する模式図である。  
図１０に表したように、本実施形態の外観検査装置６０は、図６に例示した外観検査装置４０に対して、外観検査結果を解析するデータ解析部３３０をさらに備えている。
【００６９】
また、データ解析部３３０によって解析された結果を表示する表示装置３３１をさらに設けても良い。表示装置３３１は必ずしも検査者１０１の頭部に装着されるヘッドマウント型のディスプレイである必要はなく、据え置き型（スタンドアローン）のＣＲＴや液晶表示装置、有機ＥＬディスプレイ等を用いることができる。
【００７０】
データ解析部３３０は、例えば、撮像装置１１５で撮像された像や、撮像部１１０で撮像された像に基づいた画像検査結果、及び、検査者１０１の目視検査の結果、の少なくともいずれかを解析する。この時、検査データ格納部３２０に格納された検査データを用いることができる。
【００７１】
また、データ解析部３３０は、上記の外観検査結果だけではなく、被検査品１７１に関係する全てのデータを解析するようにしても良い。例えば、被検査品１７１に用いられる材料や部品のロット番号などのデータ、例えば製造ラインが複数あった場合のどの製造ラインで製造されたか、そして、作業者や製造日時など、各種のデータを解析する。すなわち、データ解析部３３０は、以下に例示するように、被検査品１７１の工程履歴分析を行うができる。なお、解析されるデータは検査データ格納部３２０に格納することができる。
【００７２】
例えば、ある材料を用いた複数の種類の製品があり、その時に、特定の種類の製品において、特定の不良が発生し易いことがある。例えば、携帯電話のケースには樹脂材料が用いられるが、樹脂材料のロットによって、ケースの傷がつきやすい現象があったとする。この時、携帯電話のある機種によってはその傷が目立たないが、別の機種によっては、その傷が目立ち易いということがあり得る。その際に、その材料ロットを用い、かつ、その傷が目立ちやすい機種の組み合わせの外観検査の際に、その情報を検査者１０１に知らせることができる。例えば、検査者１０１が外観検査を行う際に、表示部１４０に、各種ある検査項目の内で、「傷」に関する検査を重点的に検査することを促す表示を行うことができる。
【００７３】
また、例えば、被検査品１７１の製造工程において、複数ある工程のそれぞれが複数の加工装置を有している場合などにおいて、前工程の特定の加工装置と、後工程の特定の装置との組み合わせで製造された製品の不良の発生率が特に高いことがある。そして、このような場合には、例えば、検査者１０１がその組み合わせの製品ロットを検査する特に、検査者１０１にその組み合わせのロットで特に不良発生率が高いことを知らせることができる。そして、その際に、発生率の高い不良項目を合わせて知らせることができる。
【００７４】
逆に、解析結果から、特定の加工装置の組み合わせにおいては不良率が非常に低いことが分かっている場合は、その情報を検査者１０１に知らせることで、検査者１０１の検査が効率的に行うことができる。
【００７５】
このように、データ解析部３３０は、被検査品１７１に係わる履歴分析を行うことができ、それを、検査者１０１に知らせることができ、検査者１０１の外観検査の効率を向上できる。さらに、被検査品１７１の製造に係わる各工程の作業者や監督者、部材の購買担当者などの全ての関係者に知らせることができ、被検査品１７１の製造に係わる効率がさらに向上する。
【００７６】
なお、上記に関しては、データ解析部３３０によるデータの解析結果を検査者１０１に知らせ、フィードバックする方法による外観検査の効率化について説明したが、データの解析結果を、撮像装置１１５で撮像された像や撮像部１１０で撮像された像に基づいた画像検査にフィードバックしても良い。例えば、不良発生率が高い被検査品１７１と不良発生率が低い被検査品１７１とで、画像検査の際の判定基準（スライスレベル）を変えることで、画像検査の時間短縮など、画像検査の効率が向上できる。
【００７７】
（第４の実施例）
図１１は、本発明の第４の実施例に係る外観検査装置の動作を例示する模式図である。  すなわち、同図は、外観検査装置６０におけるデータ解析部３３０の動作の一例を示しており、同図（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、不良項目Ａ及び不良項目Ｂに関する不良率Ｅａ及び不良率Ｅｂを表している。そして、同図（ａ）、（ｂ）の横軸は時刻ｔであり、この例では日付である。そして、同図（ａ）、（ｂ）の縦軸は、それぞれ、不良率Ｅａ及び不良率Ｅｂである。すなわち、工程履歴分析の結果の一例である。
【００７８】
図１１（ａ）に表したように、不良項目Ａの不良率Ｅａは、７日おきの日にちＤａの時に特異的に高い値を示している。例えば、このように、被検査品１７１の生産形態が７日の周期で変化しており、その周期に連動して不良率Ｅａが７日の周期で変化することがある。
【００７９】
一方、図１１（ｂ）に表したように、不良項目Ｂの不良率Ｅｂは、７日の周期の変化を示しているが、特定の日において高い値となるのではなく、不良率Ｅｂは日ごとに次第に上昇し、８日目に低くなるという変化を、７日の周期で繰り返している。そして、日にちＤｂの時に不良率は比較的高い。
【００８０】
不良率Ｅａと不良率Ｅｂとがこのような変化を示す場合、例えば日にちＤａに該当する日の外観検査においては、不良項目Ａの検査を重点的に検査することを検査者１０１に知らせることができる。また、例えば日にちＤｂに該当する日の外観検査においては、不良項目Ｂの検査を重点的に検査することを検査者１０１に知らせることができる。このようにして、外観検査の効率を向上させることができる。
【００８１】
この時、上記の結果を知らせる方法としては、例えば、後述するように、検査者１０１が被検査品１７１を検査しているその時に、表示部１４０に表示する方法を採用することができる。また、表示装置３３１に表示して、検査者１０１が、被検査品１７１を検査する前に、または検査しつつ、その情報を見ることができるように構成しても良い。また、必ずしも視覚に作用する表示だけでなく、音や振動などを用いた手法によって、上記の解析結果に基づく情報を知らせることができる。
【００８２】
なお、データ解析部３３０においては、不良率のそれぞれの値から、上記のような傾向を示すことを解析できる。例えば、不良率のそれぞれの値の極大値が出現する日にち同士の間隔を算出したり、不良率がある一定以上の値となる日にちが出現する間隔を算出したり、連続して上昇または下降する日にちの範囲を算出したり、各種の方法を採用することができる。
【００８３】
また、不良項目が複数ある場合において、不良項目が有する傾向どうしが一致する程度も算出することができる。これにより、特定の不良が発生する場合に他の不良が連動して発生することを解析できる。また、逆に特定の不良が発生する場合に、他の不良が発生し難いこと、すなわち、これらの不良項目がトレードオフになっていることを解析できる。これにより、検査の効率を向上させるだけでなく、被検査品１７１の製造工程の改善の効率的を向上できる。
【００８４】
（第５の実施例）
図１２は、本発明の第５の実施例に係る外観検査装置の動作を例示する模式図である。  すなわち、同図は、外観検査装置６０におけるデータ解析部３３０の動作の別の一例を示している。すなわち、工程履歴分析の結果の一例である。本具体例では、被検査品１７１の製造工程において、製造装置として、製造装置＃Ａ００１〜＃Ａ００１２の１２台の装置を使用する例であり、同図の横軸は製造装置を特定する番号に対応し、縦軸は、外観結果の合格（ＯＫ）と不良（ＮＧ）とに対応している。各製造装置の番号に対応する線と、ＯＫ及びＮＧの線と、の交点にある円の大きさは、その製造装置で生産された被検査品１７１の個数に対応している。そしてその円の上に記された数字は、ＯＫまたはＮＧの個数を示す数である。この時の不良項目は、図９に例示した「不良１」ＥＩ１である。
【００８５】
図１２に表したように、製造装置＃Ａ００１では、１個の被検査品１７１を製造し、その１個は良品である。また、製造装置＃Ａ００３では、３９個の被検査品１７１を製造し、その内、良品が３０個であり不良品が９個であった。また、製造装置＃Ａ０１０では、５３個の被検査品を製造し、全て良品であった。
【００８６】
データ解析部３３０では、例えばこのように外観検査の結果を解析する。そして、この解析結果を表示装置３３１に表示することができる。
【００８７】
さらに、例えばこのような検査結果であった場合において、製造装置＃Ａ００３及び製造装置＃Ａ００４で製造された被検査品１７１は、比較的不良が発生し易く、製造装置＃Ａ００７、製造装置＃Ａ００８及び製造装置＃Ａ０１０で製造された被検査品１７１は比較的不良が発生し難いと解析される。そして、この情報を検査者１０１に知らせることができる。すなわち、製造装置＃Ａ００３及び製造装置＃Ａ００４で製造された被検査品１７１を検査するときに、外観検査を重点的に実施することを促すことができる。これにより外観検査の効率が向上する。
【００８８】
この時も、例えば、外観検査中に表示部１４０に表示する方法、表示装置３３１に表示する方法、音や振動などによる方法など、各種の方法を用いることができる。
【００８９】
（第６の実施例）
図１３は、本発明の第６の実施例に係る外観検査装置の動作を例示する模式図である。  すなわち、同図は、外観検査装置６０におけるデータ解析部３３０の動作のさらに別の一例を示している。すなわち、工程履歴分析の結果の一例である。本具体例では、被検査品１７１の製造工程が工程１と工程２とを有しており、工程１では製造装置＃Ａ００１〜＃Ａ０１０の１０台を使用し、工程２では、製造装置＃Ｂ００１〜＃Ｂ００４の４台の製造装置を使用する例である。同図の横軸は工程１の製造装置を特定する番号に対応し、縦軸は、工程２の製造装置を特定する番号に対応する。
【００９０】
そして、各製造装置の番号に対応する線どうしの交点にある円の大きさ及びその上に記された数字は、その製造装置の組み合わせで生産された被検査品１７１の個数に対応している。そして、各円において斜線が付された部分は、その製造装置の組み合わせで製造された個数の内の外観不良の個数の割合、すなわち、不良率を示す。すなわち、各円において斜線が付されていない部分は、良品率に相当する。
【００９１】
図１３に表したように、工程１の製造装置＃Ａ００３及び製造装置＃Ａ００４を用いて製造された被検査品１７１において不良率が高い、と解析される。さらに、製造装置＃Ａ００３及び製造装置＃Ａ００４を用い、かつ、製造装置＃Ｂ００１、製造装置＃Ｂ００３及び製造装置＃Ｂ００４を用いた場合において、特に不良率が高いと、解析される。このような解析は、データ解析部３３０で行われる。
【００９２】
そして、上記の解析結果を検査者１０１に知らせることができる。すなわち、製造装置＃Ａ００３及び製造装置＃Ａ００４を用い、かつ、製造装置＃Ｂ００１、製造装置＃Ｂ００３及び製造装置＃Ｂ００４を用いて製造された被検査品１７１を検査するときに、外観検査を重点的に実施することを促すことができる。これにより外観検査の効率が向上する。
【００９３】
この時も、例えば、外観検査中に表示部１４０に表示する方法、表示装置３３１に表示する方法、音や振動などによる方法など、各種の方法を用いることができる。
【００９４】
なお、上記の第４〜第６の実施例で説明した解析結果は、検査者１０１に知らせるだけでなく、既に説明したように、被検査品１７１の製造に係わる各工程の作業者や監督者、部材の購買担当者などの全ての関係者に知らせることができ、被検査品１７１の製造に係わる効率をさらに向上させることができる。
【００９５】
（第７の実施例）
図１４は、本発明の第７の実施例に係る外観検査装置の動作を例示する模式図である。  すなわち、同図は、外観検査装置６０において、データ解析部３３０による解析結果を検査者１０１に知らせる手法の一例を示している。ここでは、一例として、表示部１４０として、検査者１０１の頭部に装着されるヘッドマウント型のディスプレイを採用した場合を説明する。そして、同図は、図３に例示した検査者１０１の視界１０３に、上記のデータ解析部３３０の解析結果に基づく情報を表示する例である。同図（ａ）は、その一例であり、同図（ｂ）は別の一例である。
【００９６】
図１４（ａ）に表したように、検査者１０１の視界１０３には、検査者１０１が観視した像１８１である、被検査品１７１の携帯電話２１０（絵２１０ａ）が写っている。そして、既に説明したように、画像検査結果１５０として、欠陥の発生位置を示す四角の枠２１１及び枠２１２が表示されている。そして、これにより、傷２１９が表示される。なお、既に説明したように、上記の画像検査結果１５０は、撮像部１１０及び撮像装置１１５の少なくともいずれかによって撮像された像に基づいた検査結果とすることができる。
【００９７】
そして、さらに、本実施例では、表示部１４０には、データ解析部３３０の解析結果に基づいた情報３５０が表示される。本具体例では、不良項目（不良カテゴリ）ＥＩの、「不良１」ＥＩ１として、「引っ掻き傷」が表示され、「不良２」ＥＩ２として、「凹み」が表示されている。また、「不良１パーツ」ＥＩ１ｐとして「液晶パネル」が表示され、「不良２パーツ」ＥＩ２ｐとして「ヒンジ部」が表示されている。
【００９８】
この時、「不良１」ＥＩ１である「引っ掻き傷」の表示には網掛けや色付けが施され、「不良１パーツ」ＥＩ１ｐである「液晶パネル」の表示も網掛けや色付けが施されて表示されている。
【００９９】
すなわち、本具体例では、データ解析部３３０により、今検査している被検査品１７１において、「液晶パネル」の部分に「引っ掻き傷」が発生し易いと解析された例であり、その結果が、表示部１４０により、検査者１０１の視界１０３に表示されている例である。
【０１００】
これにより、検査者１０１は、その被検査品１７１の「液晶パネル」の部分の「引っ掻き傷」に関する外観検査を重点的に行うことができる。これにより、外観検査の効率が向上し、不良の見逃しや誤検出の発生を抑制することができる。
【０１０１】
図１４（ａ）に例示した具体例では、データ解析部３３０の解析結果に基づいた情報３５０は、表示画面の上部の下部に位置の固定された位置に表示されていたが、以下の別の具体例では、情報３５０が表示される位置が、その内容に応じて変化される例である。
すなわち、図１４（ｂ）に表したように、例えば、部品の１つの「液晶パネル」の部分に「引っ掻き傷」が発生し易いと解析された場合、「液晶パネル」に相当する位置から引き出された引き出し線によって、「液晶パネル」であることを表示する。そして、「引っ掻き傷」が発生している部分から引き出された引き出し線によって、不良の内容が「引っ掻き傷」であることを表示する。これにより、検査者１０１は、どの部分にどのような欠陥が発生し易いかを、より認知し易くなる。これにより、外観検査の効率がより向上する。
【０１０２】
なお、同図（ａ）、（ｂ）において、不良項目（不良カテゴリ）ＥＩの各項目が、「引っ掻き傷」、「凹み」などと例えば３つの枠内に表示され、そのうち該当する項目が、網掛けや色付けによってさらに表示されるように構成されていが、該当する項目だけを表示しても良い。また、同様に、「不良１パーツ」ＥＩ１ｐの各項目が、「液晶パネル」、「ヒンジ部」などと例えば３つの枠内に表示され、そのうち該当する項目が、網掛けや色付けによってさらに表示されるように構成されていが、該当する項目だけを表示しても良い。これにより見やすくなる。
【０１０３】
（第７の実施形態）
図１５は、本発明の第７の実施形態に係る外観検査システムの構成を例示する模式図である。  
図１５に表したように、本実施形態に係る外観検査システム７０においては、図６に例示した外観検査装置４０に対して、外観検査結果を解析するデータ解析部３３０がさらに設けられている。そして、このデータ解析部３３０は、検査者１０１が外観検査を行う場所とは離れた場所に設置されている例である。
【０１０４】
すなわち、外観検査システム７０は、外観検査装置４０から通信システムを経由して、検査者１０１による被検査品１７１の外観検査の結果を受け取り、その結果を解析するデータ解析部３３０をさらに備える。
【０１０５】
本実施形態におけるデータ解析部３３０、既に説明したように、被検査品１７１の工程履歴分析を行うことができる。この他、本実施形態におけるデータ解析部３３０の動作は、第６の実施形態におけるデータ解析部３３０の動作と同様とすることができるので説明を省略する。
【０１０６】
本実施形態に係る外観検査システム７０のように、データ解析部３３０が、外観検査が行われる場所とは離れて設置されている場合、目視検査結果入力部３００、画像検査処理部３１０、検査データ格納部３２０及び画像処理部１６０と、データ解析部３３０と、のデータの送信及び受信は、例えば、ローカルエリアネットワークやインターネットなどの電気通信経路や光通信経路などの通信システムを用いて実施することができる。
【０１０７】
外観検査装置６０においては、データ解析部３３０が外観検査装置６０の一部として設けられ、例えばデータ解析部３３０は外観検査が行われる場所の近くに設置されるが、本実施形態に係る外観検査システム７０においては、データ解析部３３０は、任意の場所に設置でき、より便利で、より汎用性の高い外観検査システムが提供できる。
【０１０８】
外観検査システム７０において、例えば、データ解析部３３０の解析結果に基づいた情報３５０は、検査者１０１が用いる表示部１４０に表示させることもでき、また、検査者１０１が使用する表示装置３３２に表示することができる。この時、例えば電子メールなどの電気通信技術を応用した方法を用いることで、効率が向上する。そして、データ解析部３３０の解析結果に基づいた情報３５０は、検査者１０１が見る表示装置３３２だけではなく、検査者１０１の管理者や、被検査品１７１の製造に係わる各工程の作業者や監督者、部材の購買担当者などの全ての関係者に効率的に知らせることができ、被検査品１７１の製造に係わる効率をさらに向上させることができる。
【０１０９】
本具体例では、データ解析部３３０とそれに付属する表示装置３３１とが、外観検査装置４０とは別に設けられる例であるが、本発明はこれには限らない。例えば、外観検査装置４０に付属する検査データ格納部３２０を外観検査装置４０から分離して、データ解析部３３０と共に、電気通信経路や光通信経路などを用いて、外観検査装置との相互のデータの送受信を行うようにしても良い。
【０１１０】
すなわち、本実施形態に係る外観検査システム７０は、外観検査装置から通信システムを介して、検査者１０１による被検査品１７１の外観検査の結果を受け取り、その結果を格納する検査データ格納部３２０をさらに備えることができる。そして、検査データ格納部３２０は、被検査品１７１を特定する情報（例えばロット番号など）に関連付けて、その結果を格納する。そして、検査データ格納部３２０は、その結果を自動的に収集し、格納することができる。これにより、データの収集の効率が向上する。
【０１１１】
なお、同様に、外観検査装置に付属させることが可能な別の一部を、外観検査装置から取り除き、通信システムを介して外観検査装置とデータの送受信を行うように構成することもできる。例えば、撮像装置１１５や、観視像認識部１３０の内の画像処理部１６０の一部をそのように構成しても良い。
【０１１２】
本実施形態に係る外観検査システム７０により、画像検査と目視検査の結果を容易に参照可能とし、高効率で高精度の外観検査を可能とする外観検査システムが提供できる。
【０１１３】
（第８の実施の形態）  
次に、本発明の第８の実施の形態の外観検査方法について説明する。  
図１６は、本発明の第８の実施形態に係る外観検査方法を例示するフローチャート図である。  
図１６に表したように、第８の実施形態に係る外観検査方法では、まず、被検査品１７１を撮像した結果に基づいて被検査品１７１を画像検査する（ステップＳ１１０）。これには、例えば、図１に例示した撮像部１１０やそれ以外の撮像装置１１５を用いることができる。撮像部１１０を用いた場合には、撮像された画像を画像処理部１６０で画像処理することができる。  
次に、画像検査結果１５０を、被検査品１７１を目視する検査者１０１の視界に重ねて、検査者１０１が観視する被検査品１７１の像１８１に対応させた位置に表示する（ステップＳ１２０）。この表示は、例えば図１に例示した表示部１４０によって行うことができる。また、これには、撮像部１１０で撮像された被検査品１７１の像１９１を用い、そして、図１に例示した、視線検出部１２０で検査者１０１の視線を検出し、その視線の方向から、検査者１０１が観視している像１８１を求め、これに基づき画像処理部１６０で画像処理した結果を用いることができる。その表示には、上記の枠１９３等を用いることができる。  
そして、検査者１０１が被検査品１７１を目視検査する（ステップＳ１３０）。  
これにより、検査者１０１は、目視検査を行いながら、画像検査結果１５０を容易に参照することができ、高効率で高精度の外観検査が可能となる。  
なお、上記において、ステップＳ１１０〜ステップＳ１３０の順序は任意であり、また同時に実施することもでき、また、これらステップの全部または一部を繰り返して実施することもできる。
【０１１４】
（第９の実施の形態）  
次に、本発明の第９の実施の形態の外観検査方法について説明する。  
図１７は、本発明の第９の実施形態に係る外観検査方法を例示するフローチャート図である。  
図１７に表したように、第９の実施形態に係る外観検査方法では、図１６で例示した第８の実施形態の外観検査方法に対して、さらに、目視検査結果の入力を行う（ステップＳ１４０）。これにより、外観検査を効率良く行い、また、外観検査の結果を保存し、活用することで、高効率で高精度の外観検査が可能となる。
【０１１５】
（第１０の実施の形態）  
次に、本発明の第１０の実施の形態の外観検査方法について説明する。本実施形態の外観検査方法では、検査者１０１が被検査品１７１の所定の部分を観視する時間に基づいて、画像検査結果１５０の表示状態を変えて表示を行う。また、撮像部１１０によって得られた像に基づいて、被検査品１７１の画像検査が行われる例である。  
図１８は、本発明の第１０の実施形態に係る外観検査方法を例示するフローチャート図である。  
図１８に表したように、本発明の第１０の実施形態に係る外観検査方法では、まず、検査者１０１が被検査品１７１を観視する（ステップＳ２１０）。この観視は、まだ、詳しい目視検査を行う前の状態であり、例えば、被検査品１７１の大まかな状態を観視し、全体的な外観の目視検査を行っている状態である。  
次に、被検査品１７１を撮像部１１０によって撮像する（ステップＳ２２０）。  
そして、撮像された像を画像処理し、画像検査を行う（ステップＳ２３０）。  
そして、得られた画像検査結果１５０の一覧を、被検査品１７１を目視する検査者１０１の視界に重ねて、検査者１０１が観視する被検査品１７１の像１８１に対応させた位置に表示する（ステップＳ２４０）。この時、画像検査によって、被検査品１７１に欠陥が複数見つかった場合は、その全ての欠陥の位置を枠１９３等によって表示することができる。これにより、検査者１０１は、被検査品１７１の画像検査結果１５０を一覧して認識できる。なお、この時、全ての欠陥の位置を示すのではなく、例えば、目視検査に適した順番で枠を順次表示し、それぞれの枠の欠陥の目視検査が終了するごとに次の枠を表示するようにしても良い。  
そして、検査者１０１は、複数の欠陥のいずれか（いずれかの枠内の所定部）の目視検査を開始する（ステップＳ２５０）。  
この時、検査者１０１の視線は、視線検出部１２０により常時検出されており、検査者１０１の所定部内を注視する時間が計測され、注視時間が検知されている（ステップＳ２６０）。  
そして、例えば、所定部を注視する時間が予め定められた時間を超える、あいは、所定部を注視する累積時間や回数などが予め定められた条件を満たした時、目視検査が開始された、または、実行されている、あるいは、終了したと判定する（ステップＳ２７０）。
【０１１６】
そして、目視検査が開始された、または、実行されている、あるいは終了したと判定されたら、所定の画像検査結果１５０の表示（枠１９３）を変更する。例えば、枠１９３を消したり、枠１９３の色を変更したりする（ステップＳ２８０）。  
そして、これにより、所定部の目視検査が終了したら、ステップＳ２５０に戻り、別の欠陥の部分の目視検査を行う。
【０１１７】
これにより、検査者１０１は、同じ欠陥の場所を繰り返して検査することもなく、また、検査箇所の欠落もなく、目視検査を行いながら、画像検査結果を容易に効率よく参照することができ、高効率で高精度の外観検査が可能となる。
【０１１８】
なお、上記において、欠陥が１つであった場合は、ステップＳ２５０〜ステップＳ２８０の繰り返しは行われず、これらのステップの実施は１回のみとなる。  
また、上記は、画像検査が撮像部１１０によって行われる例であるが、画像検査が別の撮像装置で行われる場合は、ステップＳ２２０〜Ｓ２３０は、省略、または、独立して行っても良い。  
なお、上記において、ステップＳ２１０〜ステップＳ２８０の順序は、技術的に可能な範囲で入れ替えても良く、また、同時に実施しても良い。さらに、その一部を省略、変形しても良い。また、これらステップの全部または一部を繰り返して実施することもできる。特にステップＳ２１０〜Ｓ２４０は同時に行うことができる。また、ステップＳ２５０〜Ｓ２６０は同時に行うことができる。
【０１１９】
（第１１の実施の形態）  
次に、本発明の第１１の実施の形態の外観検査方法について説明する。  
図１９は、本発明の第１１の実施形態に係る外観検査方法を例示するフローチャート図である。  
図１９に表したように、第１１の実施形態に係る外観検査方法では、図１８で例示した第１０の実施形態の外観検査方法に対して、さらに、目視検査結果の入力を行う（ステップＳ２６５）。これにより、外観検査を効率良く行い、また、外観検査の結果を保存し、活用することで、高効率で高精度の外観検査が可能となる。  
なお、ステップＳ２６５の目視検査結果の入力と、他のステップＳ２６０〜Ｓ２８０との順序は任意である。  
また、画像検査結果１５０を示す、例えば枠の表示が、目視検査結果の入力が未実施か既実施かで、変更されるようにしても良い。これにより、目視検査の効率が高まる。
【０１２０】
なお、本発明の実施形態の外観検査装置及び外観検査方法は、例えば、各種製品の外観や部品の外観の検査に使用できる。また、例えば、ディスプレイのムラや傷の検査、塗装ムラの検査、各種フィルムの例えば押し出し成形時のムラや異物の検査等、各種の検査に応用できる。
【０１２１】
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、外観検査装置、外観検査システム及び外観検査方法を構成する各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。  
また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
【０１２２】
その他、本発明の実施の形態として上述した外観検査装置、外観検査システム及び外観検査方法を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての外観検査装置、外観検査システム及び外観検査方法も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
【０１２３】
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
【図面の簡単な説明】
【０１２４】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る外観検査装置の構成を例示する模式図である。
【図２】本発明の第１の実施例に係る外観検査装置の構成を例示する模式図である。
【図３】本発明の第１の実施例に係る外観検査装置の表示を例示する模式図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る外観検査装置の構成を例示する模式図である。
【図５】本発明の第３の実施形態に係る外観検査装置の構成を例示する模式図である。
【図６】本発明の第４の実施形態に係る外観検査装置の構成を例示する模式図である。
【図７】本発明の第２の実施例に係る外観検査装置の表示を例示する模式図である。
【図８】本発明の第３の実施例に係る外観検査装置の表示を例示する模式図である。
【図９】本発明の第５の実施形態に係る外観検査装置の動作を例示する模式図である。
【図１０】本発明の第６の実施形態に係る外観検査装置の構成を例示する模式図である。
【図１１】本発明の第４の実施例に係る外観検査装置の動作を例示する模式図である。
【図１２】本発明の第５の実施例に係る外観検査装置の動作を例示する模式図である。
【図１３】本発明の第６の実施例に係る外観検査装置の動作を例示する模式図である。
【図１４】本発明の第７の実施例に係る外観検査装置の動作を例示する模式図である。
【図１５】本発明の第７の実施形態に係る外観検査システムの構成を例示する模式図である。
【図１６】本発明の第８の実施形態に係る外観検査方法を例示するフローチャート図である。
【図１７】本発明の第９の実施形態に係る外観検査方法を例示するフローチャート図である。
【図１８】本発明の第１０の実施形態に係る外観検査方法を例示するフローチャート図である。
【図１９】本発明の第１１の実施形態に係る外観検査方法を例示するフローチャート図である。
【符号の説明】
【０１２５】
１０、２０、３０、４０、６０  外観検査装置
２１  眼鏡
７０  外観検査システム
１０１  検査者
１０２  目
１０３  視界
１１０  撮像部
１１５  撮像装置
１２０  視線検出部
１３０  観視像認識部
１４０  表示部
１４２  液晶パネル
１４４  ハーフミラー
１５０  画像検査結果
１６０  画像処理部
１７１  被検査品
１７２  欠陥
１８１、１９１  像（被検査品の像）
１８２、１９２  欠陥の像
１９３、２１１、２１１ｓ、２１１ｔ、２１２、２１２ｓ、２１２ｔ、２１３、２１６ｓ、２１６ｔ、２２１、２２２、２２３、２２４、２２５  枠
２１０  携帯電話
２１０ａ〜２１０ｆ、２２０ａ〜２２０ｆ  像（絵）
２１９  傷
２２０  パーソナルコンピュータ（ＰＣ）
３００  目視検査結果入力部
３１０  画像検査処理部
３２０  検査データ格納部
３３０  データ解析部
３３１、３３２  表示装置
３５０  情報
ＩＰ  検査者
ＬＮ  ロット番号
ＯＰ１、ＯＰ２、ＯＰ３  作業者
【図１】
0005537008.tif 000002
【図２】
0005537008.tif 000003
【図３】
0005537008.tif 000004
【図４】
0005537008.tif 000005
【図５】
0005537008.tif 000006
【図６】
0005537008.tif 000007
【図７】
0005537008.tif 000008
【図８】
0005537008.tif 000009
【図９】
0005537008.tif 000010
【図１０】
0005537008.tif 000011
【図１１】
0005537008.tif 000012
【図１２】
0005537008.tif 000013
【図１３】
0005537008.tif 000014
【図１４】
0005537008.tif 000015
【図１５】
0005537008.tif 000016
【図１６】
0005537008.tif 000017
【図１７】
0005537008.tif 000018
【図１８】
0005537008.tif 000019
【図１９】
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