(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素部が配列されてなる表示装置であって、
各画素部は、第１電極および第２電極と、前記第１電極と前記第２電極との間に介挿された有機発光層とを有し構成されており、
前記第１電極の上方には、前記有機発光層を前記画素部ごとに区画する複数のバンクが立設されており、
前記複数の画素部には、前記配列の中央部側に位置する第１画素部と、当該第１画素部に対して、前記配列の端部側に位置する第２画素部とが含まれており、
前記複数のバンクには、前記第１画素部における前記有機発光層を前記配列の端部側で区画する第１バンクと、前記第１画素部における前記有機発光層を前記配列の中央部側で区画する第２バンクと、前記第２画素部における前記有機発光層を前記配列の端部側で区画する第３バンクと、前記第２画素部における前記有機発光層を前記配列の中央部側で区画する第４バンクとが含まれており、
前記第３バンクにおける前記第２画素部に対応する側面部は、前記第１バンクにおける前記第１画素部に対応する側面部に対し、その傾斜角度が大きい
ことを特徴とする表示装置。
【請求項２】
前記第２バンクにおける前記第１画素部に対応する側面部は、前記第４バンクにおける前記第２画素部に対応する側面部に対し、その傾斜角度が等しくなるよう形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記第１バンクにおける前記側面部は、前記第２バンクにおける前記第１画素部に対応する側面部、および前記第４バンクにおける前記第２画素部に対応する側面部に対し、その傾斜角度が等しくなるように形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項４】
前記第３バンクにおける前記側面部は、前記傾斜角度が３５°以上４０°以下の範囲内であり、
前記第１バンクにおける前記側面部は、前記傾斜角度が２５°以上３０°以下の範囲内である
ことを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項５】
前記第２バンクにおける前記第１画素部に対応する側面部、および前記第１バンクにおける前記側面部は、前記傾斜角度が２５°以上３０°以下の範囲内である
ことを特徴とする請求項４に記載の表示装置。
【請求項６】
前記傾斜角度は、前記バンクにおける各側面部と、前記バンクが設けられている下地層の上面とがなす角度である
ことを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項７】
複数の画素部が配列されてなる表示装置の製造方法であって、
基板上に、第１電極を含む機能層を形成する第１工程と、
前記機能層の上に、感光性レジスト材料を積層する第２工程と、
前記積層された感光性レジスト材料をマスク露光してパターニングすることにより、複数の画素部に対応する複数の開口部を形成するとともに、隣接する前記開口部間を区画する複数のバンクを形成する第３工程と、
前記複数の開口部のそれぞれに対して、有機発光材料を含むインクを滴下して乾燥させ、有機発光層を形成する第４工程と、
前記有機発光層の上方に、第２電極を形成する第５工程と、
を有し、
前記複数の開口部には、前記配列の中央部側に位置する第１開口部と、当該第１開口部に対して、前記配列の端部側に位置する第２開口部とが含まれており、
前記複数のバンクには、前記第１開口部に対し、前記配列の端部側で区画する第１バンクと、前記第１開口部に対し、前記配列の中央部側で区画する第２バンクと、前記第２開口部に対し、前記配列の端部側で区画する第３バンクと、前記第２開口部に対し、前記配列の中央部側で区画する第４バンクとが含まれており、
前記第３工程では、第３バンクにおける前記第２開口部に対応する側面部の傾斜角度が、前記第１バンクにおける前記第１開口部に対応する側面部の傾斜角度よりも大きくなるように、前記第１バンクおよび前記第３バンクの形成を行う
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記第３工程では、前記第２バンクにおける前記第１開口部に対応する側面部の傾斜角度と、前記第４バンクにおける前記第２開口部に対応する側面部の傾斜角度とが等しくなるように、前記第２バンクおよび前記第４バンクの形成を行う
ことを特徴とする請求項７に記載の表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記第３工程では、前記第１バンクにおける前記側面部の傾斜角度と、前記第２バンクにおける前記第１開口部に対応する側面部の傾斜角度、および前記第４バンクにおける前記第２開口部に対応する側面部の傾斜角度とが等しくなるように、前記第１バンクおよび前記第２バンクおよび前記第４バンクの形成を行う
ことを特徴とする請求項８に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記第４工程では、
前記第３工程の実行により、前記第３バンクにおける前記側面部の傾斜角度が、前記第１バンクにおける前記側面部の傾斜角度よりも大きくなるように、前記第１バンクおよび前記第３バンクを形成することにより、前記第１開口部および前記第２開口部に滴下された前記インクのピンニング位置を合わせ、以って、乾燥後の前記有機発光層の形状を揃える
ことを特徴とする請求項９に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記第３工程では、前記感光性レジスト材料の露光に関し、前記第３バンクの前記側面部に相当する部分への露光量と、前記第１バンクの前記側面部に相当する部分への露光量とを、互いに異ならせることにより、前記傾斜角度を互いに異ならせる
ことを特徴とする請求項７に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記第３工程では、前記第３バンクの前記側面部に相当する部分への露光量を、前記第１バンクの前記側面部に相当する部分への露光量よりも大きくする
ことを特徴とする請求項１１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１３】
前記第３工程では、前記感光性レジスト材料の露光に関し、前記第３バンクの前記側面部に相当する部分への光の透過率と、前記第１バンクの前記側面部に相当する部分への光の透過率とが、互いに異なるマスクを用いることにより、前記傾斜角度を互いに異ならせる
ことを特徴とする請求項７に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１４】
前記第３工程では、前記第３バンクの前記側面部に相当する部分への光の透過率が、前記第１バンクの前記側面部に相当する部分への光の透過率よりも大きいマスクを用いて露光する
ことを特徴とする請求項１３に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１５】
前記第３工程では、前記第３バンクの前記側面部に相当する部分と、前記第１バンクの前記側面部に相当する部分とに関し、前記感光性レジスト材料を露光して現像した後、前記第３バンクの前記側面部に相当する部分または前記第１バンクの前記側面部に相当する部分の一方に対して、露光処理を追加して行うことにより、前記傾斜角度を互いに異ならせる
ことを特徴とする請求項７に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１６】
前記第３工程において、前記第３バンクの前記側面部に相当する部分に対して、前記露光処理を追加して行う
ことを特徴とする請求項１５に記載の表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置とその製造方法に関し、特に、有機発光層を備える表示装置とその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、有機材料の電界発光現象を利用した表示装置の研究・開発が進められている。この表示装置では、各画素部が、アノード電極およびカソード電極と、その間に介挿された有機発光層とを有し構成されている。そして、表示装置の駆動においては、アノード電極からホール注入し、カソード電極から電子注入し、有機発光層内でホールと電子とが再結合することにより発光する。
【０００３】
隣接する画素部の有機発光層同士の間は、絶縁材料から構成されたバンクにより区画されている。有機発光層の形成は、例えば、バンクで区画された領域ごとに、有機発光材料を含むインクを滴下し、これを乾燥させることによりなされる。
【０００４】
ところで、上記のとおり形成された有機発光層の膜厚は、均一にすることが困難であるという問題がある。
ここで、有機発光層の膜厚を均一にするため、例えば、特許文献１では、バンク内面に凸状部を設け、これによりインクのピンニング位置を制御するという技術が記載されている。即ち、特許文献１で提案されている技術を採用することにより、一の画素部におけるインクを滴下した際のピンニング位置を形成した凸状部にピンニングすることができ、これにより、ある程度の膜厚均一性を確保することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−３１１２３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、表示装置のパネルの領域全体（中央部、外周部）に関し、上記特許文献１により提案された技術を採用し、パネルの領域に応じて微細な凸状部を高い精度でバンク内面に形成することは、困難と考えられる。このため、表示装置のパネルの領域全体（中央部、外周部）において、有機発光層の膜厚を均一にすることは容易ではない。
【０００７】
本発明は、上記課題の解決を図ろうとなされたものであって、パネル全面での有機発光層の膜厚の均一化を図り、面内における輝度ムラの少ない表示装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
そこで、本発明の一態様に係る表示装置は、次の構成を採用することを特徴とする。
本発明の一態様に係る表示装置は、複数の画素部が配列されてなる装置である。本発明の一態様に係る表示装置の各画素部は、第１電極および第２電極と、第１電極と第２電極との間に介挿された有機発光層とを有し構成されており、第１電極の上方において、有機発光層を画素部ごとに区画する複数のバンクが設けられている。
【０００９】
また、本発明の一態様に係る表示装置では、複数の画素部の中に、画素配列の中央部側に位置する第１画素部と、当該第１画素部に対して、画素配列の端部側に位置する第２画素部とが含まれており、複数のバンクには、第１画素部における有機発光層を画素配列の端部側で区画する第１バンクと、第１画素部における有機発光層を画素配列の中央部側で区画する第２バンクと、第２画素部における有機発光層を画素配列の端部側で区画する第３バンクと、第２画素部における有機発光層を画素配列の中央部側で区画する第４バンクとが含まれている。
【００１０】
そして、本発明の一態様に係る表示装置では、第３バンクにおける第２画素部に対応する側面部が、第１バンクにおける第１画素部に対応する側面部に対し、その傾斜角度が異なることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の一態様に係る表示装置では、第３バンクにおける第２画素部に対応する側面部（以下では、簡易のため、「第３側面部」と記載する。）が、第１バンクにおける第１画素部に対応する側面部（以下では、簡易のため、「第１側面部」と記載する。）に対し、その傾斜角度が異なるので、その製造時におけるインクを滴下した際のピンニング位置が、第３側面部と第１側面部とで異なることになる。具体的には、側面部の傾斜角度を大きくすると、ピンニング高さが高くなり、側面部の傾斜角度を小さくすると、ピンニング高さが低くなる。
【００１２】
そして、乾燥後における有機発光層の膜厚は、バンクにおける側面部の傾斜角度の大小とは逆の関係を有する。具体的には、第３側面部と第１側面部との比較において、相対的に上記傾斜角度の大きい方に対応する有機発光層の膜厚が薄くなろうとし、上記傾斜角度の小さい方に対応する有機発光層の膜厚が厚くなろうとする。
【００１３】
従って、本発明の一態様に係る表示装置では、バンクの側面部の傾斜角度を異ならせることによって、有機発光層の膜厚の均一化が図られ、輝度ムラの低減が実現される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施の形態に係る表示装置１の概略構成を示すブロック図である。
【図２】表示パネル１０における画素部１００を示す模式断面図である。
【図３】表示パネル１０におけるバンク１０５を示す模式平面図である。
【図４】表示パネル１０における画素部１００ａ〜１００ｃ毎のバンク１０５ａ〜１０５ｆの構造を示す模式断面図である。
【図５】（ａ）は、バンク側面部のテーパ角が小さい場合のピンニング位置を示す模式断面図であり、（ｂ）は、バンク側面部のテーパ角が大きい場合のピンニング位置を示す模式断面図であり、（ｃ）は、バンク側面部のテーパ角が小さい場合における乾燥後の有機発光層の状態を示す模式断面図であり、（ｄ）は、バンク側面部のテーパ角が大きい場合における乾燥後の有機発光層の状態を示す模式断面図である。
【図６】バンクの傾斜角度（テーパ角）θと、ピンニング高さＨおよび有機発光層の膜厚Ｔとの関係を纏めて示す図である。
【図７】サンプル１〜３における有機発光層の膜厚分布を示す図である。
【図８】サンプル４，５における有機発光層の膜厚分布を示す図である。
【図９】（ａ）〜（ｃ）は、表示パネル１０の製造方法における要部工程を順に示す模式断面図である。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は、表示パネル１０の製造方法における要部工程を順に示す模式断面図である。
【図１１】変形例１に係る製造方法における要部工程を示す模式断面図である。
【図１２】（ａ）〜（ｂ）は、変形例２に係る製造方法における要部工程を順に示す模式断面図である。
【図１３】（ａ）〜（ｂ）は、変形例２に係る製造方法における要部工程を順に示す模式断面図である。
【図１４】（ａ）は、露光・現像処理とバンクのテーパ角との関係を示す図であり、（ｂ）は、形成されたバンクの形状を示すＡＦＭである。
【図１５】表示装置１を含むセットの外観の一例を示す外観斜視図である。
【図１６】変形例３に係る表示パネル３０が備えるバンク３０５の構造を示す模式平面図である。
【図１７】（ａ）は、従来技術に係る表示パネルでの有機発光層を示す模式断面図であり、（ｂ）は、表示パネルの領域ごとでの有機発光層の膜厚均一性分布を示す図である。
【図１８】有機発光層の形成時における乾燥工程での蒸気濃度分布を示す模式断面図である。
【図１９】乾燥工程での膜形状の偏りのメカニズムを説明するための模式断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
[本発明の一態様の概要]
本発明の一態様に係る表示装置は、複数の画素部が配列されてなる装置である。本発明の一態様に係る表示装置の各画素部は、第１電極および第２電極と、第１電極と第２電極との間に介挿された有機発光層とを有し構成されており、第１電極の上方において、有機発光層を画素部ごとに区画する複数のバンクが設けられている。
【００１６】
また、本発明の一態様に係る表示装置では、複数の画素部の中に、画素配列の中央部側に位置する第１画素部と、当該第１画素部に対して、画素配列の端部側に位置する第２画素部とが含まれており、複数のバンクには、第１画素部における有機発光層を画素配列の端部側で区画する第１バンクと、第１画素部における有機発光層を画素配列の中央部側で区画する第２バンクと、第２画素部における有機発光層を画素配列の端部側で区画する第３バンクと、第２画素部における有機発光層を画素配列の中央部側で区画する第４バンクとが含まれている。
【００１７】
そして、本発明の一態様に係る表示装置では、第３側面部が、第１側面部に対し、その傾斜角度が異なることを特徴とする。
本発明の一態様に係る表示装置では、第３側面部が、第１側面部に対しその傾斜角度が異なるので、その製造時におけるインクを滴下した際のピンニング位置が、第３側面部と第１側面部とで異なることになる。具体的には、側面部の傾斜角度を大きくすると、ピンニング高さが高くなり、側面部の傾斜角度を小さくすると、ピンニング高さが低くなる。
【００１８】
そして、乾燥後における有機発光層の膜厚は、バンクにおける側面部の傾斜角度の大小とは逆の関係を有する。具体的には、第３側面部と第１側面部との比較において、相対的に上記傾斜角度の大きい方に対応する有機発光層の膜厚が薄くなろうとし、上記傾斜角度の小さい方に対応する有機発光層の膜厚が厚くなろうとする。
【００１９】
従って、本発明の一態様に係る表示装置では、バンクの側面部の傾斜角度を異ならせることによって、有機発光層の膜厚の均一化が図られ、輝度ムラの低減が実現される。
また、本発明の一態様に係る表示装置では、上記構成において、具体的に、第３側面部が、第１側面部に対しその傾斜角度が大きいという構成を採用することができる。
【００２０】
このような構成を採用する本発明の一態様に係る表示装置では、図１７（ａ）に示すようなパネル外周部におけるバンクの外周側側面部に対応する部分での有機発光層の膜厚が厚くなる、という現象を緩和することができる。よって、本発明の一態様に係る表示装置では、パネルの全面において、複数の画素部における有機発光層の膜厚を均一化することが可能であって、輝度ムラの低減を実現することが可能である。
【００２１】
また、本発明の一態様に係る表示装置では、上記構成において、第２バンクにおける第１画素部に対応する側面部（以下では、簡易のため、「第２側面部」と記載する。）が、第４バンクにおける第２画素部に対応する側面部（以下では、簡易のため、「第４側面部」と記載する。）に対し、その傾斜角度が等しくなるよう形成されているという構成を採用することができる。
【００２２】
図１７（ａ）に示すように、パネル外周部に位置する画素部においても、有機発光層におけるパネル中央部寄りの膜厚（有機発光層９０６ｃにおけるＸ軸方向左端部分の膜厚）は、パネル中央部における画素部の対応する膜厚と大きな差異はない。このため、第２側面部と第４側面部との、双方の傾斜角度を等しくすることで、対応する部分での有機発光層の膜厚を均一に維持することが可能となる。
【００２３】
なお、上記における「等しく」とは、数値面で完全に等しくするということを意味するのではなく、表示装置の製造における寸法誤差などを考慮したものである。具体的には、パネルの中央部と外周部とにおいて、それぞれに属する画素部の発光効率の差異（輝度ムラ）が実用上許容できる範囲で、傾斜角度を等しくするということを意味する。
【００２４】
また、本発明の一態様に係る表示装置では、上記構成において、第１側面部が、第２側面部および第４側面部に対し、その傾斜角度が等しくなるように形成されているという構成を採用することができる。
【００２５】
このような構成を採用する場合には、第１画素部における有機発光層の膜厚が均一化できると共に、当該第１画素部での有機発光層の膜厚に対し、第２画素部の有機発光層における第４側面部の近傍部分膜厚についても均一化することができる。
【００２６】
また、本発明の一態様に係る表示装置では、上記構成において、第３側面部の傾斜角度を３５[°]以上４０[°]以下の範囲内になるようにし、第１側面部の傾斜角度を２５[°]以上３０[°]以下の範囲内になるようにすることが一例としてできる。このような範囲の傾斜角度を以って、第３側面部および第１側面部を形成すれば、第２画素部と第１画素部とにおいて、各有機発光層の膜厚を確実に均一化することができる。
【００２７】
また、本発明の一態様に係る表示装置では、上記構成において、第２側面部および第１側面部の傾斜角度を２５[°]以上３０[°]以下の範囲内になるようにすることが一例としてできる。このような範囲の傾斜角度を以って、第２側面部および第１側面部を形成すれば、第１画素部における有機発光層の膜厚を全体として均一化することができる。
【００２８】
なお、上記において、「傾斜角度」とは、バンクにおける各側面部と、バンクが設けられている下地層（第１電極あるいはホール注入層やホール輸送層、さらにはホール注入輸送層がこれに該当する。）の上面と、がなす角度である。
【００２９】
本発明の一態様に係る表示装置の製造方法は、複数の画素部が配列されてなる表示装置を製造する方法であって、次の工程を備える。
（第１工程）  基板上に、第１電極を含む機能層を形成する。
【００３０】
（第２工程）  機能層の上に、感光性レジスト材料を積層する。
（第３工程）  第２工程の実行で積層された感光性レジスト材料をマスク露光してパターニングすることにより、複数の画素部に対応する複数の開口部を形成するとともに、隣接する開口部間を区画する複数のバンクを形成する。
【００３１】
（第４工程）  複数の開口部のそれぞれに対して、有機発光材料を滴下して乾燥させ、有機発光層を形成する。
（第５工程）  有機発光層の上方に、第２電極を形成する。
【００３２】
そして、本発明の一態様に係る表示装置の製造方法では、複数の開口部には、画素配列の中央部側に相当する位置の第１開口部と、当該第１開口部に対して、画素配列の端部側に相当する位置の第２開口部とが含まれており、複数のバンクには、第１開口部に対し、画素配列の端部側で区画する第１バンクと、第１開口部に対し、画素配列の中央部側で区画する第２バンクと、第２開口部に対し、画素配列の端部側で区画する第３バンクと、前記第２開口部に対し、画素配列の中央部側で区画する第４バンクとが含まれている。
【００３３】
そして、上記第３工程において、第３バンクにおける第２開口部に対応する側面部（以下では、簡易のため、「第３側面部」と記載する。）の傾斜角度と、第１バンクにおける第１開口部に対応する側面部（以下では、簡易のため、「第１側面部」と記載する。）の傾斜角度と、が異なるように、第１バンクおよび第３バンクの形成を行うことを特徴とする。
【００３４】
このような製造方法を採用すれば、第３側面部が、第１側面部に対しその傾斜角度が異なる構成の表示装置を製造することができる。このような方法を用い製造された表示装置においては、上記のように、その製造時におけるインクを滴下した際のピンニング位置が、第３側面部と第１側面部とで異なることになり、有機発光層の膜厚の均一化が図られ、輝度ムラの低減が実現される。
【００３５】
従って、本発明の一態様に係る表示装置の製造方法では、パネル全面での有機発光層の膜厚の均一化を図り、面内における輝度ムラの少ない表示装置を製造することができる。
また、本発明の一態様に係る表示装置の製造方法では、上記構成において、第３工程を実行するに際し、第３側面部の傾斜角度を、第１側面部の傾斜角度よりも大きくなるように、第１バンクおよび第３バンクの形成を行うという構成を採用することができる。
【００３６】
このような構成を採用する本発明の一態様に係る表示装置の製造方法では、図１７（ａ）に示すようなパネル外周部におけるバンクの外周側側面部に対応する部分での有機発光層の膜厚が厚くなる、という現象を緩和することができ、パネルの全面において、複数の画素部における有機発光層の膜厚を均一化することが可能であって、輝度ムラの少ない表示装置を製造することが可能である。
【００３７】
また、本発明の一態様に係る表示装置の製造方法では、上記構成において、第３工程を実行するに際し、第２バンクにおける第１開口部に対応する側面部（以下では、簡易のため、「第２側面部」と記載する。）の傾斜角度と、第４バンクにおける第２開口部に対応する側面部（以下では、簡易のため、「第４側面部」と記載する。）の傾斜角度と、が等しくなるように、第２バンクおよび第４バンクの形成を行うという構成を採用することができる。
【００３８】
このような構成を採用すれば、第２側面部と第４側面部の双方に対応する部分での画素部における有機発光層の膜厚を均一に維持することが可能となる。
なお、「等しく」の解釈については、上記同様である。
【００３９】
また、本発明の一態様に係る表示装置の製造方法では、上記構成において、第３工程を実行するに際し、第１側面部の傾斜角度と、第２側面部の傾斜角度、および第４側面部の傾斜角度と、が等しくなるように、第１バンクおよび第２バンクおよび第４バンクの形成を行うという構成を採用することができる。
【００４０】
このような構成を採用する場合には、第１画素部における有機発光層の膜厚が均一化され、当該第１画素部での有機発光層の膜厚に対し、第２画素部の有機発光層における第４側面部の近傍部分膜厚についても均一化することができる。
【００４１】
また、本発明の一態様に係る表示装置の製造方法では、上記構成において、第４工程を実行するに際し、第３工程の実行により、第３側面部の傾斜角度が第１側面部の傾斜角度よりも大きくなるように、第１バンクおよび第３バンクを形成することにより、第１開口部および第２開口部に滴下された有機発光材料を含むインクのピンニング位置を合わせ、以って、乾燥後の前記有機発光層の形状を揃えることができる。よって、本発明の一態様に係る製造方法を用いることにより、画素間での有機発光層の形状のバラツキを抑えることが可能であり、輝度ムラの少ない表示装置を製造することができる。
【００４２】
また、本発明の一態様に係る表示装置の製造方法では、上記構成において、第３工程を実行するに際し、第３側面部に相当する部分と、第１側面部に相当する部分とに関し、感光性レジスト材料を露光する露光量を互いに異ならせることにより、傾斜角度を互いに異ならせるという構成を一例として採用することができる。これにより、互いに傾斜角度の異なる第１側面部と第３側面部を有する第１バンクおよび第３バンクを形成することができる。
【００４３】
また、本発明の一態様に係る表示装置の製造方法では、上記構成において、第３工程を実行するに際し、第３側面部に相当する部分への露光量を、第１側面部に相当する部分への露光量よりも大きくするという構成を採用することができる。これにより、第３側面部の傾斜角度が第１側面部の傾斜角度に対して大きい関係の、第３バンクと第１バンクとを形成することができる。
【００４４】
また、本発明の一態様に係る表示装置の製造方法では、上記構成において、第３工程を実行するに際し、第３側面部に相当する部分と、第１側面部に相当する部分とに関し、光の透過率が異なるマスクを用いて露光することにより、前記傾斜角度を互いに異ならせるという構成を採用することができる。これにより、第３側面部の傾斜角度が第１側面部の傾斜角度と異なる関係の、第３バンクと第１バンクとを形成することができる。
【００４５】
また、本発明の一態様に係る表示装置の製造方法では、上記構成において、第３工程を実行するに際し、第３側面部に相当する部分への光の透過率が、第１側面部に相当する部分への光の透過率よりも大きいマスクを用いて露光するという構成を採用することができる。これにより、第３側面部の傾斜角度が第１側面部の傾斜角度に対して大きい関係の、第３バンクと第１バンクとを形成することができる。
【００４６】
また、本発明の一態様に係る表示装置の製造方法では、第３工程を実行するに際し、第３側面部に相当する部分と、第１側面部に相当する部分とに関し、感光性レジスト材料を露光して現像した後、一方の相当部分に対して、露光処理を追加して行うことにより、傾斜角度を互いに異ならせるという構成を採用することができる。これにより、第３側面部の傾斜角度が第１側面部の傾斜角度と異なる関係の、第３バンクと第１バンクとを形成することができる。
【００４７】
また、本発明の一態様に係る表示装置の製造方法では、上記構成において、第３工程を実行するに際し、上記追加して行う露光処理の対象が、第３側面部に相当する部分であるという構成を採用することができる。これにより、第３側面部の傾斜角度を第１側面部の傾斜角度に対して大きくすることができる。
【００４８】
[実施の形態]
以下では、本発明を実施するための形態の一例について、図面を参酌しながら説明する。
【００４９】
なお、以下の説明で用いる形態は、本発明の構成および作用・効果を分かりやすく説明するために用いる例であって、本発明は、その本質的な特徴部分以外に何ら以下の形態に限定を受けるものではない。
【００５０】
（本発明に係る実施の形態を得るに至った経緯）
本発明者は、（背景技術）において記載した有機発光表示装置に関し、鋭意研究の結果、次のような知見を得た。
【００５１】
通常、図１７（ａ）に示すように、有機発光層９０６ａ，９０６ｃは、基板９０１上に立設されたバンク９０５間に形成される。
この場合、図１７（ｂ）に示すように、パネル外周部の画素部における有機発光層９０６ｃは、パネル中央部の画素部における有機発光層９０６ａに比べて、膜厚の均一性が低下する傾向にあり（図１７（ｂ）の二点鎖線Ｄ1，Ｄ2で指し示す部分）、具体的には、パネル外周部に位置する画素部では、有機発光層の表面がパネル外周部に行くほど高くなっていることを本発明者は確認した。なお、図１７（ｂ）において、横軸は、外周端からの距離を示し、縦軸は、膜厚ズレの程度を示す。
【００５２】
上記現象に関し、本発明者は検討を重ねた末、有機発光層における膜厚の均一性の低下は、以下に説明するように、インク乾燥時における蒸気濃度分布の不均一に起因するものと推定した。具体的には、図１８に示すように、パネル外周部に位置する画素部９００ｂ，９００ｃの近傍の蒸気濃度は、パネル中央部に位置する画素部９００ａの近傍の蒸気濃度に比べて低いものとなっている。そして、この蒸気濃度分布の偏りに起因して、パネル外周部の画素部９００ｂ，９００ｃにおける滴下されたインクからの溶剤の蒸発速度が不均一なものとなる（図１８の二点鎖線で囲んだ部分を参照）。
【００５３】
一方、パネル中央部の画素部９００ａにおける滴下されたインクからの蒸発速度は、略均一となる。
ここで、図１９（ａ）に示すように、インク９０６０ｃの滴下直後において、インク９０６０ｃの表面プロファイルＬ0は、画素中央部分が盛り上がった形状となっている。これを乾燥させる場合には、上記のようにパネル外周部ほど蒸発速度が速いので、外周部側ほど低い表面プロファイルＬ1へと変化すると形式的には考えられる。
【００５４】
しかし、図１９（ｂ）に示すように、乾燥途中のインク９０６１ｃの内部では、実線矢印で示すような溶剤の移動を生じる。これは、蒸発した分を補うように溶剤が移動する（表面自由エネルギを最小にするように移動する）ものであり、溶剤の移動に伴い溶質（有機発光材料）も移動する。このため、図１９（ｃ）に示すように、パネル外周部の画素部においては、表面プロファイルＬ2が外側ほど盛り上がった有機発光層９０６ｃが形成されることになる。
【００５５】
以上のようにして、本発明者は、有機発光表示装置に関し、パネルの外周部側と中央部側において、インク乾燥時の蒸気濃度分布の不均一に起因し、有機発光層の膜厚の均一性が低下するという推論を得た。
【００５６】
そして、本発明者は、パネル面内において、バンク側面部の傾斜角度を異ならせることにより、インクのバンク側面部におけるピンニング位置を異ならせ、この結果、有機発光層の膜厚の均一化を図るという技術的特徴を見出した。
【００５７】
１．表示装置１の概略構成
本実施の形態に係る表示装置１の全体構成について、図１を用い説明する。
図１に示すように、表示装置１は、表示パネル部１０と、これに接続された駆動制御部２０とを有し構成されている。表示パネル部１０は、有機材料の電界発光現象を利用した有機ＥＬパネルであり、複数の有機ＥＬ素子が配列され構成されている。
【００５８】
また、駆動制御部２０は、４つの駆動回路２１〜２４と制御回路２５とから構成されている。
なお、実際の表示装置１では、表示パネル部１０に対する駆動制御部２０の配置については、これに限られない。
【００５９】
２．表示パネル１０の構成
表示パネル１０の構成について、図２を用い説明する。なお、本実施の形態に係る表示パネル１０は、一例として、トップエミッション型の有機ＥＬパネルを採用し、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れか発光色を有する有機発光層を備える複数の画素部１００がマトリクス状に配置され構成されているが、図２では、一つの画素部１００を抜き出して描いている。
【００６０】
図２に示すように、表示パネル１０は、ＴＦＴ基板（以下では、単に「基板」と記載する。）１０１上には、アノード電極１０２が形成されており、アノード電極１０２上に、電極被覆層１０３およびホール注入輸送層１０４が順に積層形成されている。なお、アノード電極１０２および電極被覆層１０３は、画素部１００毎に分離された状態で形成されている。
【００６１】
電極被覆層１０３の上には、ホール注入輸送層１０４が被覆形成されており、さらにその上には、絶縁材料からなり、画素部１００毎を区画するバンク１０５が立設されている。各画素部１００におけるバンク１０５で区画された領域には、有機発光層１０６が形成され、その上には、電子注入層１０７、カソード電極１０８、および封止層１０９が、順に積層形成されている。
【００６２】
ａ）基板１０１
基板１０１は、例えば、無アルカリガラス、ソーダガラス、無蛍光ガラス、燐酸系ガラス、硼酸系ガラス、石英、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、シリコーン系樹脂、又はアルミナ等の絶縁性材料をベースとして形成されている。
【００６３】
ｂ）アノード電極１０２
アノード電極１０２は、導電性材料からなる単層、あるいは複数の層が積層されてなる積層体から構成されており、例えば、Ａｇ（銀）、ＡＰＣ（銀、パラジウム、銅の合金）、ＡＲＡ（銀、ルビジウム、金の合金）、ＭｏＣｒ（モリブデンとクロムの合金）、ＮｉＣｒ（ニッケルとクロムの合金）などを用い形成されている。なお、本実施の形態のように、トップエミッション型の場合には、高反射性の材料で形成されていることが好ましい。
【００６４】
ｃ）電極被覆層１０３
電極被覆層１０３は、例えば、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）を用い形成されており、アノード電極１０２のＺ軸方向上部の表面を被覆する。
【００６５】
ｄ）ホール注入輸送層１０４
ホール注入輸送層１０４は、例えば、銀（Ａｇ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）、バナジウム（Ｖ）、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、イリジウム（Ｉｒ）などの酸化物からなる層である。このような酸化金属からなるホール注入輸送層１０４は、ホールを安定的に、またはホールの生成を補助して、有機発光層１０６に対しホールを注入および輸送する機能を有し、大きな仕事関数を有する。
【００６６】
ここで、ホール注入輸送層１０４を遷移金属の酸化物から構成する場合には、複数の酸化数をとるためこれにより複数の準位をとることができ、その結果、ホール注入が容易になり駆動電圧を低減することができる。
【００６７】
なお、ホール注入輸送層１０４については、上記のような金属酸化物を以って形成する他に、ＰＥＤＯＴ（ポリチオフェンとポリスチレンスルホン酸との混合物）などを用い形成することもできる。
【００６８】
ｅ）バンク１０５
バンク１０５は、樹脂等の有機材料で形成されており絶縁性を有する。バンク１０５の形成に用いる有機材料の例としては、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂等があげられる。そして、バンク１０５は、有機溶剤耐性を有することが好ましい。
【００６９】
さらに、バンク１０５の形成においては、エッチング処理およびベーク処理などが施されるので、それらの処理に対して過度に変形、変質などをしないような耐性の高い材料で形成されることが好ましい。また、撥水性をもたせるために、側面部をフッ素処理することもできる。
【００７０】
なお、バンク１０５の形成に用いる絶縁材料については、上記の各材料をはじめ、特に抵抗率が１０5［Ω・ｃｍ］以上であって、撥水性を有する材料を用いることができる。これは、抵抗率が１０5［Ω・ｃｍ］以下の材料を用いた場合には、アノード電極１０２とカソード電極１０８との間でのリーク電流、あるいは隣接画素部１００間でのリーク電流の発生の原因となり、消費電力の増加などの種々の問題を生じることになるためである。
【００７１】
また、バンク１０５を親水性の材料を用い形成した場合には、バンク１０５の側面部とホール注入輸送層１０４の表面との親和性／撥水性の差異が小さくなり、有機発光層１０６を形成するために有機物質を含んだインクを、バンク１０５の開口部に選択的に保持させることが困難となってしまうためである。
【００７２】
さらに、バンク１０５の構造については、図２に示すような一層構造だけでなく、二層以上の多層構造を採用することもできる。この場合には、層毎に上記材料を組み合わせることもできるし、層毎に無機材料と有機材料とを用いることもできる。
【００７３】
ｆ）有機発光層１０６
有機発光層１０６は、アノード電極１０２から注入されたホールと、カソード電極１０８から注入された電子とが再結合されることにより励起状態が生成され発光する機能を有する。有機発光層１０６の形成に用いる材料は、湿式印刷法を用い製膜できる発光性の有機材料を用いることが必要である。
【００７４】
具体的には、例えば、特許公開公報（特開平５−１６３４８８号公報）に記載のオキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物及びアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、アンスラセン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、８−ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、２−ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とＩＩＩ族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体などの蛍光物質で形成されることが好ましい。
【００７５】
ｇ）電子注入層１０７
電子注入層１０７は、カソード電極１０８から注入された電子を有機発光層１０６へ輸送する機能を有し、例えば、バリウム、フタロシアニン、フッ化リチウム、あるいはこれらの組み合わせで形成されることが好ましい。
【００７６】
ｈ）カソード電極１０８
カソード電極１０８は、例えば、ＩＴＯ、ＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）などで形成される。トップエミッション型の表示パネル１０の場合においては、光透過性の材料で形成されることが好ましい。光透過性については、透過率が８０［％］以上とすることが好ましい。
【００７７】
カソード電極１０８の形成に用いる材料としては、上記の他に、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属、またはそれらのハロゲン化物を含む層と銀を含む層とをこの順で積層した構造を用いることもできる。上記において、銀を含む層は、銀単独で形成されていてもよいし、銀合金で形成されていてもよい。また、光取出し効率の向上を図るためには、当該銀を含む層の上から透明度の高い屈折率調整層を設けることもできる。
【００７８】
ｉ）封止層１０９
封止層１０９は、有機発光層１０６などが水分に晒されたり、空気に晒されたりすることを抑制する機能を有し、例えば、ＳｉＮ（窒化シリコン）、ＳｉＯＮ（酸窒化シリコン）などの材料を用い形成される。トップエミッション型の表示パネル１０の場合においては、光透過性の材料で形成されることが好ましい。
【００７９】
３．バンク１０５の構成
図３に示すように、本実施の形態に係る表示パネル１０では、一例としてライン状のバンク１０５を採用している。具体的には、バンク１０５は、各々がＹ軸方向に延伸形成され、Ｘ軸方向において隣接する画素部１００間を区画している。そして、画素部１００は、バンク１０５により区画された領域ごとに、発光色が異なるように形成されている。
【００８０】
４．領域ごとのバンク１０５の構成
領域ごとのバンク１０５の構成について、図４を用い説明する。なお、図４は、図１における表示パネル１０をＡ−Ａ'断面で切断し、模式化した断面図である。
【００８１】
図４に示すように、表示パネル１０から、中央部に位置する画素部１００ａと、外周部に位置する画素部（配列された複数の画素部の内、配列端部に位置する画素部）１００ｂ，１００ｃとを抜き出し、各画素部１００ａ，１００ｂ，１００ｃのそれぞれの両脇にバンク１０５ａ〜１０５ｆが配されているとする。
【００８２】
画素部１００ａに対応するバンク１０５ａ，１０５ｂでは、その側面部１０５ａａ，１０５ｂａと下地層であるホール注入輸送層１０４の表面１０４ａとが、それぞれ角度θａ，θｂをなす。
【００８３】
一方、画素部１００ｂ，１００ｃのそれぞれに対応するバンク１０５ｃ〜１０５ｆでは、各側面部１０５ｃａ〜１０５ｆａとホール注入輸送層１０４の表面１０４ａとが、それぞれ角度θｃ〜θｆをなす。このとき、角度θａ〜θｆは、次の各式で示す関係を満足する。
【００８４】
[数１] θｆ＞θｂ
[数２] θｃ＞θａ
［数３］  θａ＝θｂ＝θｄ＝θｅ
なお、本実施の形態では、角度θａ，θｂ，θｄ，θｅを２５［°］以上３０［°］以下の範囲内の角度とし、角度θｃ，θｆを３５［°］以上４０［°］以下の範囲内の角度とする。
【００８５】
５．バンク１０５における側面部の傾斜角度θと有機発光層１０６の膜厚との関係
バンク１０５における側面部の傾斜角度θと有機発光層１０６の膜厚との関係について、図５および図６を用い説明する。なお、図５では、画素部の構造を模式的に描いている。
【００８６】
図５（ａ）に示すように、バンク１０５ｘの側面部の傾斜角度（側面部とホール注入輸送層１０４の表面とがなす角度）が角度θｘであり、図５（ｂ）に示すように、バンク１０５ｙの側面部の傾斜角度（側面部とホール注入輸送層１０４の表面とがなす角度）が角度θｙである。角度θｘと角度θｙとは、次の関係を満たす。
【００８７】
［数４］  θｙ＞θｘ
各バンク１０５ｘ，１０５ｙで区画された開口部に有機発光材料を含むインク１０６０ｘ，１０６０ｙを滴下すると、各ピンニング位置Ｐｘ，Ｐｙの高さＨｘ，Ｈｙが次のような関係となる。
【００８８】
［数５］  Ｈｙ＞Ｈｘ
図５（ｃ）に示すように、インク１０６０ｘを乾燥させると、ピンニング位置Ｐｘの高さＨｘが相対的に低いことに起因して、形成される有機発光層１０６ｘでは、画素部の中央部分が盛り上がり、その膜厚が厚みＴｘとなる。
【００８９】
一方、図５（ｄ）に示すように、インク１０６０ｙを乾燥させると、ピンニング位置Ｐｙの高さＨｙが相対的に高いことに起因して、形成される有機発光層１０６ｙでは、画素部の中央部分が凹み、その膜厚が厚みＴｙとなる。
【００９０】
厚みＴｘと厚みＴｙとは、次の関係を満たす。
［数６］  Ｔｘ＞Ｔｙ
上記の関係を図６に纏めて示す。図６に示すように、バンク１０５の傾斜角度（テーパ角）θを小さくすれば、ピンニング高さＨが低くなり、結果的に得られる有機発光層１０６の膜厚Ｔが厚くなる。逆に、バンク１０５の傾斜角度（テーパ角）θを大きくすれば、ピンニング高さＨが高くなり、結果的に得られる有機発光層１０６の膜厚Ｔが薄くなる。
【００９１】
以上の事項について、５つのサンプルを作成して評価した。結果を図７および図８に示す。
図７および図８に示すように、サンプル２の膜厚分布に対し、テーパ角を大きくしたサンプル３およびサンプル４では、ピンニング位置が高くなっている。なお、図７および図８では、横軸が横方向を示し、縦軸が高さ方向を示す。
【００９２】
ただし、バンクのテーパ角（傾斜角度）を５０［°］まで大きくしたサンプル５では、サンプル２よりも膜厚の均一性が低下した。
６．表示パネル１０の製造方法
本実施の形態に係る表示パネル１０の製造方法について、図９および図１０を用い、特徴となる部分を説明する。なお、以下で説明を省略する製造工程については、従来技術として提案されている種々の工程を採用することが可能である。
【００９３】
先ず、図９（ａ）に示すように、基板１０１におけるＺ軸方向上面に、各画素部１００ａ，１００ｃ，・・を形成する予定領域に対応して、アノード電極１０２と電極被覆層１０３とを順に積層形成する。そして、その上から、表面全体を覆うように、ホール注入輸送層１０４を積層形成する。アノード電極１０２の形成は、例えば、スパッタリング法や真空蒸着法を用いＡｇ薄膜を製膜した後、当該Ａｇ薄膜をフォトリソグラフィ法を用いパターニングすることによりなされる。
【００９４】
また、電極被覆層１０３の形成は、例えば、アノード電極１０２の表面に対し、スパッタリング法などを用いＩＴＯ薄膜を製膜し、当該ＩＴＯ薄膜をフォトリソグラフィ法などを用いパターニングすることでなされる。そして、ホール注入輸送層１０４の形成では、先ず、電極被覆層１０３の表面を含む基板１０１の表面に対し、スパッタリング法などを用い金属膜を製膜する。その後、形成された金属膜を酸化し、ホール注入輸送層１０４が形成される。
【００９５】
次に、図９（ｂ）に示すように、例えば、スピンコート法などを用い、ホール注入輸送層１０４の上を覆うように、バンク材料層１０５０を形成する。バンク材料層１０５０の形成には、感光性レジスト材料を用い、具体的には、上述のように、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂などの絶縁性を有する有機材料を用いることができる。
【００９６】
次に、図９（ｃ）に示すように、バンク材料層１０５０の上方に、バンクを形成しようとする箇所に開口５０１ａ，５０１ｃが設けられたマスク５０１を配する。この状態でマスク５０１の開口５０１ａ，５０１ｃを通して、露光を実行する。
【００９７】
なお、図９（ｃ）に示すように、中央部に位置する画素部１００ａに相当する領域では、マスク５０１の開口５０１ａの幅Ｗａが、形成しようとするバンク１０５ａ，１０５ｂ（図４を参照。）の側面部の下端のポイントＰａ１，Ｐａ２により規定されている。一方、外周部に位置する画素部１００ｃに相当する領域では、マスクの開口５０１ａの幅Ｗｃ１が、形成しようとするバンク１０５ｅ，１０５ｆ（図４を参照。）の側面部の上端のポイントＰｃ１と裾部分のポイントＰｃ２とにより規定されている。
【００９８】
次に、図１０（ａ）に示すように、バンク材料層１０５０の上方に、バンク１０５ｆの側面部１０５ｆａ（図４を参照。）などに対応する箇所にそれぞれ開口５０２ｃが設けられたマスク５０２を配する。そして、この状態でマスク５０２の開口５０２ｃを通して、２回目の露光を実行する。
【００９９】
なお、マスク５０２における開口５０２ｃの幅Ｗｃ２は、形成しようとするバンク１０５ｅ，１０５ｆの側面部の下端のポイントＰｃ３と上端のポイントＰｃ１とにより規定されている。
【０１００】
次に、図１０（ｂ）に示すように、現像およびベークを施すことによって、バンク１０５ａ，１０５ｃ，１０５ｅ，１０５ｆが形成される。バンク１０５ｆにおける側面部１０５ｆａは、上述のように、バンク１０５ａ，１０５ｂの各側面部１０５ａａ，１０５ｂａよりも傾斜角度が大きくなり、バンク１０５ｅの側面部１０５ｅａは、バンク１０５ａ，１０５ｂの各側面部１０５ａａ，１０５ｂａの傾斜角度と等しくなる。
【０１０１】
その後、図１０（ｃ）に示すように、インクジェット法などを用い、バンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｅ，１０５ｆ，・・などで区画された開口部に対し、有機発光材料を含むインクを滴下する。インクを乾燥させることにより、有機発光層１０６ａ，１０６ｃが形成される。
【０１０２】
なお、図示を省略しているが、この後に、電子注入層１０７，カソード電極１０８および封止層１０９などを順に積層形成することで表示パネル１０が形成される。
７．効果
図４に示すように、本実施の形態に係る表示装置１の表示パネル１０では、画素部１００ｂ，１００ｃにおけるバンク１０５ｃ，１０５ｆにおいて、その各側面部１０５ｃａ，１０５ｆａの傾斜角度θｃ，θｆが、画素部１００ａのバンク１０５ａ，１０５ｂの各側面部１０５ａａ，１０５ｂａの傾斜角度θａ，θｂよりも大きく設定されている。このため、画素部１００ａと画素部１００ｂ，１００ｃとでは、その製造時におけるインクを滴下した際のピンニング位置が、互いに異なることになる。具体的には、傾斜角度θｃ，θｆが大きいバンク１０５ｃ，１０５ｆに対応するインクのピンニング位置の高さは、傾斜角度θａ，θｂが小さいバンク１０５ａ，１０５ｂに対応するインクのピンニング位置の高さよりも高くなる。
【０１０３】
また、バンク１０５ｄ，１０５ｅにおける側面部１０５ｄａ，１０５ｅａの傾斜角度θｄ，θｅについては、バンク１０５ａ，１０５ｂにおける側面部１０５ａａ，１０５ｂａの各傾斜角度θａ，θｂと等しくなっている。このため、当該各部分に対応する有機発光層１０６の膜厚は、パネル内で等しくなる。
【０１０４】
従って、表示パネル１０では、乾燥後における有機発光層１０６の膜厚が、画素部１００ａ，１００ｂ，１００ｃで均一となり、輝度ムラが小さいという効果を有する。
なお、図９および図１０を用い説明した本実施の形態に係る表示装置１の製造方法を用いれば、上記効果を有する表示装置１の製造が可能である。
【０１０５】
また、上記のように、「等しく」とは、数値面で完全に等しくするということを意味するのではなく、表示装置の製造における寸法誤差などを考慮したものである。具体的には、パネルの中央部と外周部とにおいて、それぞれに属する画素部１００ａ，１００ｂ，１００ｃ，・・の発光効率の差異（輝度ムラ）が実用上許容できる範囲で、傾斜角度を等しくするということを意味する。
【０１０６】
［変形例１］
次に、図１１を用い、表示装置１の製造方法の変形例１について説明する。図１１は、図９（ｃ）から図１０（ａ）に示す工程に対応する工程を示す。
【０１０７】
図１１に示すように、ホール注入輸送層１０４の上にバンク材料層１０５０を積層形成した後、その上方にマスク５０３を配する。マスク５０３には、光透過部５０３ａ，５０３ｃ１，５０３ｃ２，・・が設けられている。各光透過部５０３ａ，５０３ｃ１，５０３ｃ２，・・は、バンク１０５ａ〜１０５ｆ，・・を形成しようとする箇所に対応して設けられている。
【０１０８】
本変形例１に係る表示装置１の製造方法では、画素部１００ａに対応した領域の光透過部５０３ａの幅Ｗａが、形成しようとするバンク１０５ａ，１０５ｂ（図４を参照。）の下端のポイントＰａ１，Ｐａ２により規定されている。
【０１０９】
一方、画素部１００ｃに対応した領域の光透過部５０３ｃ１の幅Ｗｃ２は、形成しようとするバンク１０５ｅ，１０５ｆ（図４を参照。）の下端のポイントＰｃ２および上端のポイントＰｃ１により規定されている。また、光透過部５０３ｃ２は、形成しようとするバンク１０５ｅ，１０５ｆ（図４を参照。）の下端のポイントＰｃ３，Ｐｃ１により規定されている。
【０１１０】
ここで、マスク５０３は、ハーフトーンなどのマスクを用い構成されており、光透過部５０３ａ，５０３ｃ１と光透過部５０３ｃ２との光の透過率が異なっている。具体的には、光透過部５０３ｃ２の光の透過率は、光透過部５０３ａ，５０３ｃ１の光の透過率よりも大きい。
【０１１１】
以上のような構成を有するマスク５０３を配した状態で、露光・現像を実行した後、ベークすることにより、図１０（ｂ）に示すような、バンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｅ，１０５ｆを形成することができる。即ち、光の透過率が大きく設定された光透過部５０３ｃ２を通して露光された箇所では、他の光透過部５０３ａ，５０３ｃ１を通して露光された箇所よりも、上記［数１］、［数２］で示す関係のように、側壁面の傾斜角度が大きくなる。
【０１１２】
なお、この後の工程は、上記実施の形態などと同様である。
以上のような製造方法によっても、表示装置１を製造することができる。
［変形例２］
次に、図１２および図１３を用い、表示装置１の製造方法の変形例２について説明する。図１２および図１３は、図９（ｃ）から図１０（ｂ）に示す工程に対応する工程を示す。
【０１１３】
図１２（ａ）に示すように、ホール注入輸送層１０４の上にバンク材料層１０５０を積層形成した後、その上方にマスク５０４を配する。マスク５０４には、バンク１０５を形成しようとする各箇所に対応して、開口５０４ａ，５０４ｃ，・・が設けられている。
【０１１４】
画素部１００ａに対応してバンク１０５ａ，１０５ｂ（図４を参照。）を形成しようとする箇所に設けられた開口５０４ａは、上記実施の形態の製造方法で用いたマスク５０１の開口５０１ａと同じ幅を以って形成されている。一方、画素部１００ｃに対応してバンク１０５ｅ，１０５ｆ（図４を参照。）を形成しようとする箇所に設けられた開口５０４ｃの幅Ｗｃ３は、図１２（ａ）の二点鎖線で囲んだ部分に示すように、バンク１０５ｅ，１０５ｆの下端のポイントＰｃ２，Ｐｃ３で規定される幅よりも大きくなるように設定されている。具体的には、傾斜角度を大きくしようとする箇所で、幅を大きくしている。
【０１１５】
図１２（ａ）に示す形態のマスク５０４を配した状態で、１回目の露光・現像を実行する。これにより、図１２（ｂ）に示すように、開口５０４ａ，５０４ｃに対応する箇所にバンク材料層１０５１ａ，１０５１ｂ，１０５１ｅ，１０５１ｆが残る。
【０１１６】
なお、図１２（ｂ）に示すように、１回目の露光・現像を実行した状態では、バンク材料層１０５１ａ，１０５１ｂ，１０５１ｅ，１０５１ｆの各側面部の傾斜角度は、均一である。また、本変形例２においては、この時点でのベークを行わない。
【０１１７】
図１３（ａ）に示すように、バンク材料層１０５１ａ，１０５１ｂ，１０５１ｅ，１０５１ｆが形成された状態で、その上方に、マスク５０５を配する。マスク５０５には、形成しようとするバンク１０５ａ〜１０５ｆ，・・の側面部に対応する箇所の内、傾斜角度を大きくしようとする箇所にだけ開口５０５ｃが設けられている。
【０１１８】
マスク５０５を配した状態で、２回目の露光・現像を行った後、ベークをすることにより、図１３（ｂ）に示すようなバンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｅ，１０５ｆ，・・が形成できる。
【０１１９】
この後、上記実施の形態などと同様の工程を実行することにより、表示装置１を製造することができる。
［製造方法の検証］
上記実施の形態および変形例１，２に係る各製造方法について、具体例を以って形成後のバンク形状について検証を行った。その結果について、図１４を用い説明する。
【０１２０】
図１４（ａ）に示すように、露光量を増やすほど、形成されるバンク側面部の傾斜角度が大きくなる。具体的には、露光量を２００［ｍＪ］として露光・現像した場合に形成されるバンク側面部の傾斜角度は、２３［°］であるのに対して、露光量を３００［ｍＪ］として露光・現像した場合に形成されるバンク側面部の傾斜角度は、３８［°］である。この結果については、図１４（ｂ）に示すＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）にも示されている。
【０１２１】
さらに、図１４（ａ）および図１４（ｂ）に示すように、露光量を２００［ｍＪ］として１回目の露光・現像を行った後、露光量を１００［ｍＪ］として２回目の露光・現像を行った場合には、形成されるバンク側面部の傾斜角度が５０［°］となる。これは、上記変形例２に係る製造方法に対応するものであり、バンク側面部の傾斜角度を大きくするのに有効であると考えられる。
【０１２２】
なお、図１４（ｂ）において、横軸は横方向を示し、縦軸は高さ方向を示す。
［その他の事項］
上記実施の形態および変形例１，２では、本発明の構成および作用・効果を分かりやすく説明するために一例としての各構成を採用するものであり、本発明は、本質的な部分を除き、上記形態に限定されるものではない。例えば、上記実施の形態では、図２に示すように、有機発光層１０６に対し、そのＺ軸方向下側にアノード電極１０２が配されている構成を一例として採用したが、本発明は、これに限らず有機発光層１０６に対し、そのＺ軸方向下側にカソード電極１０８が配されているような構成を採用することもできる。
【０１２３】
有機発光層１０６に対し、そのＺ軸方向下側にカソード電極１０８を配する構成とする場合には、トップエミッション構造となるので、カソード電極１０８を反射電極層とし、その上に電極被覆層１０３を形成する構成を採用することになる。
【０１２４】
また、上記実施の形態などでは、表示装置１の具体的な外観形状を示さなかったが、例えば、図１５に示すようなシステム一部とすることができる。なお、有機ＥＬ表示装置は、液晶表示装置のようなバックライトを必要としないので、薄型化に適しており、システムデザインという観点から優れた特性を発揮する。
【０１２５】
また、上記実施の形態および変形例１，２では、バンク１０５の形態として、図３に示すような、所謂、ラインバンク構造を採用したが、図１６に示すような、Ｙ軸方向に延伸するバンク要素３０５ａとＸ軸方向に延伸するバンク要素３０５ｂとからなるピクセルバンク３０５を採用して表示パネル３０を構成することもできる。
【０１２６】
図１６に示すように、ピクセルバンク３０５を採用する場合には、パネル外周部の画素部３００に対し、そのＸ軸方向およびＹ軸方向の各外側となる側壁部の傾斜角度を大きくすることで、上記同様の効果を得ることができる。具体的には、矢印Ｂ1，Ｂ2，Ｂ3，Ｂ4で指し示す側壁部を有する画素部がパネル外周部の角部に該当する構成において、矢印Ｂ1，Ｂ3で指し示す側壁部の傾斜角度を、矢印Ｂ2，Ｂ4で指し示す側壁部の傾斜角度よりも大きくなるようにすればよい。
【０１２７】
また、上記実施の形態および変形例１，２では、パネル外周部に形成するバンクの外側の側壁部の傾斜角度を、パネル中央部の対応するバンク側面部の傾斜角度よりも大きくすることとしたが、この関係については、製造時の有機発光層の形成に係る乾燥工程での蒸気の流れ（蒸気濃度）に応じて適宜変更することができる。例えば、乾燥装置の構造などで、インクの乾燥時における蒸気の流れが、パネル外周部からパネル中央部に向けた方向であるような場合には、有機発光層の膜厚が厚くなる箇所に対応して、バンク側面部の傾斜角度を大きくすればよい。これにより、有機発光層の膜厚を均一化することができ、パネル全体における輝度ムラを低減することができる。
【０１２８】
また、上記実施の形態および変形例１，２では、画素部における発光色（赤色、緑色、青色）を区別していないが、発光色に応じて有機発光材料を含むインクの特性が変化する。この場合、各発光色のインク特性に応じて、対応するバンク側面部の傾斜角度を規定することができる。
【０１２９】
また、バンク側面部の傾斜角度を大きくする対象となる領域については、製造工程やパネルサイズなどに応じて適宜規定することができるが、例えば、パネルにおける外周部の０．５［％］〜数［％］程度（例えば、１［％］）の画素部を対象とすることが望ましいと考えられる。これは、図１７（ｃ）に示す従来技術に係る表示装置での有機発光層の膜厚バラツキを考慮することによるものである。
【産業上の利用可能性】
【０１３０】
本発明は、輝度ムラが少なく、高い画質性能を有する表示装置を実現するに有用である。
【符号の説明】
【０１３１】
１．表示装置
１０，３０．表示パネル
２０．駆動制御部
２１〜２４．駆動回路
２５．制御回路
１００，１００ａ〜１００ｃ，３００．画素部
１０１．基板
１０２．アノード電極
１０３．電極被覆層
１０４．ホール注入層
１０５，１０５ａ〜１０５ｆ，１０５ｘ，１０５ｙ，３０５．バンク
１０６，１０６ａ，１０６ｃ，１０６ｘ，１０６ｙ．有機発光層
１０７．電子注入層
１０８．カソード電極
１０９．封止層
５０１〜５０５．露光マスク
１０５０，１０５１ａ，１０５１ｂ，１０５１ｅ，１０５１ｆ．バンク材料層
１０６０ｘ，１０６０ｙ．インク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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