(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送手段が搬送してきた電子部品がコンタクトに載置されることにより、当該電子部品に対して電気テストを行う電気テストユニットであって、
前記コンタクトの近傍に配置され、当該コンタクトの上方に電子部品が搬送された時の電子部品の姿勢を撮像手段により認識する姿勢認識手段と、
前記姿勢認識手段の検出結果に基づき、前記コンタクトと前記電子部品の姿勢のずれを補正する制御手段と、
を有し、
前記制御手段は、前記コンタクトの下方に設けられ、前記姿勢認識手段の検出結果に基づいて前記コンタクトを移動させる移動機構を備え、
前記移動機構は、前記コンタクトを載置する台座を備え、
前記台座及びこれに載置された前記コンタクトには、前記撮像手段が前記電子部品の姿勢を撮像するための開口部が設けられ、
前記姿勢認識手段は、前記撮像手段に至る光学系の光軸の少なくとも一部が、前記台座及び前記コンタクトの有する開口部を下方から通過するように前記コンタクト下部に設けられていることを特徴とする電気テストユニット。
【請求項２】
前記姿勢認識手段は、前記撮像手段が同一視野内で前記コンタクトと前記電子部品を含んで撮像し、
前記撮像手段により撮像された撮像結果より、前記コンタクトと前記電子部品の姿勢のずれを認識する画像認識手段を含むものであることを特徴とする請求項１に記載の電気テストユニット。
【請求項３】
前記姿勢認識手段の光学系は、前記コンタクト上に位置した電子部品を照らす照明と、光軸を屈折させるプリズムとを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気テストユニット。
【請求項４】
電子部品を搬送しながら各種の工程処理を行う電気部品検査装置であって、
前記電子部品に対して電気テストを行うコンタクトに電子部品を搬送する搬送手段と、
前記コンタクトの近傍に配置され、当該コンタクトの上方に電子部品が搬送された時の電子部品の姿勢を撮像手段により認識する姿勢認識手段と、
前記姿勢認識手段の検出結果に基づき、前記コンタクトと前記電子部品の姿勢のずれを補正する制御手段と、
を有し、
前記制御手段は、前記コンタクトの下方に設けられ、前記姿勢認識手段の検出結果に基づいて前記コンタクトを移動させる移動機構を備え、
前記移動機構は、前記コンタクトを載置する台座を備え、
前記台座及びこれに載置された前記コンタクトには、前記撮像手段が前記電子部品の姿勢を撮像するための開口部が設けられ、
前記姿勢認識手段は、前記撮像手段に至る光学系の光軸の少なくとも一部が、前記台座及び前記コンタクトの有する開口部を下方から通過するように前記コンタクト下部に設けられていることを特徴とする電気部品検査装置。
【請求項５】
前記姿勢認識手段は、前記撮像手段が同一視野内で前記コンタクトと前記電子部品を含んで撮像し、
前記撮像手段により撮像された撮像結果より、前記コンタクトと前記電子部品の姿勢のずれを認識する画像認識手段を含むものであることを特徴とする請求項４に記載の電気部品検査装置。
【請求項６】
前記姿勢認識手段の光学系は、前記コンタクト上に位置した電子部品を照らす照明と、光軸を屈折させるプリズムとを備えることを特徴とする請求項４又は５に記載の電気部品検査装置。
【請求項７】
前記姿勢認識手段の光学系は、前記コンタクト上に位置した電子部品を照らす照明と、光軸を屈折させるプリズムとを備えることを特徴とする請求項４〜６のいずれか１項に記載の電気部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型半導体製品等の電子部品の各種電気特性のテストを行う電気テストユニット及びそれを備えた電気部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の製造工程においては、製品を検査しながら搬送するための装置が不可欠である。例えば、ダイオードなどのディスクリート半導体や、小ピンのＩＣなどの小型半導体製品の製造工程においては、製品を検査しながら搬送するための装置として、電気部品検査装置が用いられる。最も一般的な電気検査装置は、製品の電気特性のテストを行うテスト装置、製品表面へのマーキングを行うマーキング装置、製品をキャリアテープなどへ収容してパッキングを行うテーピング装置を備え、メインテーブル等の搬送部により、各装置に対して電子部品を搬送しながら、各工程の処理を実行するものである。
【０００３】
電子部品の組立工程から電気部品検査装置への供給方法には、ウェーハリング上の粘着シート（ＵＶシートなど）に貼り付けられダイシングで個片化された電子部品を供給する方法や、個片の電子部品をリードフレームに搭載しリードフレーム供給ユニットによって供給する方法又は振動式パーツフィーダによって一定の方向及び姿勢に整列して供給する方法等がある。
【０００４】
これらの供給方法では、例えば、ウェーハリングから突き上げピンによりピックアップする場合には、電子部品を電気部品検査装置のコレットや吸着ノズルに吸着保持する際に位置ずれが発生する。また、リードフレーム供給でも金型で個片化した後は姿勢が変化するおそれがあり、パーツフィーダの供給においてもパーツフィーダの振動等によって電子部品が必ずしも正確な姿勢で供給されるとは限らない。
【０００５】
電子部品がコレットや吸着ノズルにおいて正確な姿勢で保持されていない場合には、その状態のまま各処理工程を経ることとなり、各処理工程において電子部品に正確な処理が施されず、結果として半導体製造装置の処理精度の低下や稼動率の低下を招くこととなっていた。
【０００６】
また、電気部品検査装置のコレットや吸着ノズルに保持され各工程処理間を搬送される電子部品において姿勢のずれが起きる要因は、上記のテストハンドラへの供給時に限られない。例えば、搬送中の電子部品の各工程処理機構への受渡し時や電子部品への接触（電気テスト）時、さらには搬送自体が姿勢のずれの要因となる。
【０００７】
そこで、従来の電気部品検査装置は、各処理工程において電子部品に正確な処理を施すために、各処理工程の前段階に電子部品の姿勢を補正する姿勢補正装置を備え、この姿勢補正装置で正確な姿勢に補正した電子部品を各処理工程に供給する、位置補正装置が知られている。（例えば、特許文献１参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平０６-０３７１３４公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１のように、位置補正装置は各処理工程の前に配置した場合には、あくまで各処理工程の前段階での電子部品に対する姿勢の補正に過ぎず、位置補正装置から次の処理機構に移動する際に電子部品の姿勢がずれた場合には、各工程処理機構において正確な姿勢で電子部品を処理することができなかった。
【００１０】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、電気テストを行うコンタクトに対して高い精度で電子部品を載置する電気テストユニット及びそれを備えた電気部品検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するため本発明は、搬送手段が搬送してきた電子部品がコンタクトに載置されることにより、当該電子部品に対して電気テストを行う電気テストユニットであって、前記コンタクトの近傍に配置され、当該コンタクトの上方に電子部品が搬送された時の電子部品の姿勢を撮像手段により認識する姿勢認識手段と、前記姿勢認識手段の検出結果に基づき、前記コンタクトと前記電子部品の姿勢のずれを補正する制御手段と、を有し、前記制御手段は、前記コンタクトの下方に設けられ、前記姿勢認識手段の検出結果に基づいて前記コンタクトを移動させる移動機構を備え、前記移動機構は、前記コンタクトを載置する台座を備え、前記台座及びこれに載置された前記コンタクトには、前記撮像手段が前記電子部品の姿勢を撮像するための開口部が設けられ、前記姿勢認識手段は、前記撮像手段に至る光学系の光軸の少なくとも一部が、前記台座及び前記コンタクトの有する開口部を下方から通過するように前記コンタクト下部に設けられていることを特徴とする。
【００１２】
前記姿勢認識手段は、前記撮像手段が同一視野内で前記コンタクトと前記電子部品を含んで撮像し、前記撮像手段により撮像された撮像結果より、前記コンタクトと前記電子部品の姿勢のずれを認識する画像認識手段を含むものであることを特徴としても良い。
【００１４】
さらに、前記姿勢認識手段の光学系は、前記コンタクト上に位置した電子部品を照らす照明と、光軸を屈折させるプリズムとを備えることを特徴としても良い。
【００１５】
さらに、前記のような電子部品に対して電気テストを行うコンタクトを備える電気部品検査装置も本発明の一態様である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、保持手段により搬送されてくる電子部品の姿勢をコンタクト近傍で認識することができる。これにより、電子部品を正しい姿勢で処理を行うことができる電気テストユニット及びそれを備えた電気部品検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態における電気部品検査装置の概略構成を示す図である。
【図２】本発明の実施形態における電気テストユニットの構成を示す概略図である。
【図３】本発明の実施形態における電気テストユニットの制御部の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の実施形態の撮像手段の撮像イメージにおける、電子部品の中点と撮像手段の原点のずれを示す概略図である。
【図５】本発明の実施形態の変形例の撮像手段の撮像イメージにおける、電子部品の端子とコンタクトの端子とずれを示す概略図である。
【図６】本発明の実施形態における電気テストユニットの作用を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
発明に係る電気テストユニット及びそれを備える電気部品検査装置の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。まず、図１及び２を参照して、電気テストユニット及びそれを備えた電気部品検査装置の構成について説明する。図１は、電気部品検査装置の概略構成を示す図である。
【００１９】
［１．構成］
［１−１．電気テストユニットを備えた電気部品検査装置の構成］
本実施形態の電気テストユニットが、電気部品検査装置に組み込まれた際の役割を、一例として図１に示す。図１に示す電気部品検査装置１は、間欠的に回転しながら停止するポジションＰとして、８個のポジションＰ１〜Ｐ８を備えたターンテーブルＴと、このターンテーブルＴの８分割した各ポジションに取り付けられた電子部品Ｗを吸着保持する吸着保持機構Ｖと、ターンテーブルＴを８分割して間欠的に回転させるモータとを備える。
【００２０】
吸着保持機構Ｖは、電子部品Ｗを吸着及び離脱させる吸着ノズルＶ１である。吸着ノズルＶ１は、ターンテーブルＴの外周端に取り付けられた支持部（図示せず）によってターンテーブルＴに対して上下動可能となっている。吸着ノズルＶ１の直上には、操作ロッドを備える駆動部が配置されており、操作ロッドが吸着ノズルＶ１の上端に当接して下方へ押し下げることにより、吸着ノズルＶ１は下降する。吸着ノズルＶ１のパイプ内部は、図示しない真空発生装置の空気圧回路と連通しており、吸着ノズルＶ１は、負圧の発生によって電子部品Ｗを吸着し、真空破壊によって電子部品Ｗを離脱させる。
【００２１】
電気部品検査装置１は、さらに、この８個の停止ポジションＰ１〜８の直下に、以下に示すような電子部品Ｗに対して各種の処理を施す工程処理装置を備える。各種の工程処理は、主に、ダイシング、マウンティング、ボンディング、及びシーリング等の各組み立て工程を経た後の検査工程であり、外観検査、テストコンタクト、マーキング、分類ソート、及び梱包の工程処理が含まれる。
【００２２】
これらの各種の工程処理機構は、ターンテーブルＴを取り囲んで外周方向に等間隔離間して配置されている。配置間隔は、ターンテーブルＴの１ピッチの回転角度と同一若しくは整数倍に等しい。各種の工程処理機構としては、ターンテーブルＴの回転方向に順に、例えば、パーツフィーダ１１、方向判別ユニット１２、方向反転ユニット１３、電気テストユニットＥ、マーキングユニット１４、外観検査ユニット１５、分類ソートユニット１６、テーピングユニット１７、が配置されている。
【００２３】
ここで、ポジションＰ４における電気テストユニットＥは、電子部品Ｗの電極をコンタクトＣに接触させ、ＤＣ測定、ＡＣ測定、伝達特性、Ｃ測定（静電容量）、ＬＣＲ測定、インピーダンス測定などの電子部品Ｗの電気特性のテストを行なうものである。
【００２４】
この電気部品検査装置１は、図示しない制御部を備え、ターンテーブルＴを回転させるダイレクトドライブモータ、吸着ノズルＶ１を上下動させる駆動部、真空発生装置、及び各種の工程処理機構に電気信号を送出することで、これらの動作タイミングを制御している。
【００２５】
すなわち、制御部は、制御プログラムを格納するＲＯＭ、ＣＰＵ、及びドライバを備え、制御プログラムに従い、インターフェースを介して各駆動機構に各タイミングで動作信号を出力している。
【００２６】
［１−２．電気テストユニットＥの構成］
本発明の実施形態の電気テストユニットＥは、吸着保持機構Ｖの停止位置での電子部品の供給をうける。すなわち、吸着保持機構Ｖの吸着ノズルＶ１で搬送された電子部品Ｗは、電気テストユニットＥのコンタクトＣの上または上方へ供給される。供給された電子部品Ｗの姿勢を認識することにより、電気部品ＷとコンタクトＣとののずれを検出し、そのずれに基づいてコンタクトＣを移動させるよう構成される。図２は、電気テストユニットＥの構成を示す概略図である。
【００２７】
図２のターンテーブルＴは搬送機構であり、ターンテーブルＴの先端には電子部品Ｗの保持手段である吸着ノズルＶ１が配置される。電気テストユニットＥの吸着ノズルＶ１の停止位置には、電子部品Ｗの電気特性を検出するコンタクトＣを配置する。
【００２８】
このコンタクトＣは、コンタクト台座Ｅ２の上部に設けられる。このコンタクトＣは、電子部品Ｗの電極をコンタクトＣに接触させ、ＤＣ測定、ＡＣ測定、伝達特性、Ｃ測定（静電容量）、ＬＣＲ測定、インピーダンス測定などの電子部品Ｗの電気特性のテストを行なうものであり、ターンテーブルＴの経路上に複数の電気テストユニットＥを配置した場合には、電気特性テストを分担して行うようにしても良い。
【００２９】
［１−３．姿勢認識手段の構成］
図２に示すように、コンタクトＣの下部には、コンタクトＣにおける電子部品Ｗの姿勢を認識する姿勢認識手段２が配置される。この姿勢認識手段２は、コンタクトＣの上方に供給された電子部品Ｗを下方から、コンタクトＣ及びコンタクト台座Ｅ３の開口部を通して電子部品Ｗの撮像を行い、その姿勢ずれを認識するように構成される。
【００３０】
具体的には、電子部品Ｗ下方のコンタクトＣ及びコンタクト台座Ｅ３の開口部に近接した位置であって、この開口部の下方に撮像を容易にするための照明２１が配置される。さらにこの照明２１からコンタクトＣの開口部と反対方向に離れた位置であって、図中下方にコンタクトＣの開口部からの光軸を直角方向に変換するプリズム２２が配置される。本実施形態においては、このプリズム２２により、コンタクトＣの開口部側から垂直方向に侵入した光軸を、水平方向に変換するように構成している。そして、コンタクトＣの開口部から垂直に下ろした位置から水平方向に変換した先であって、ターンテーブルＴの外周方向に向かった位置に、レンズ２３を備えた撮像手段である撮像手段２４が設けられている。
【００３１】
ここで、本実施形態の撮像手段２４において、プリズム２２により光軸を変換し、撮像手段２４を水平方向に配置する構成としているのは、テストハンドラＨへの配置スペースを考慮しての構成である。すなわち、テストハンドラＨは、図１に示したように、上部にターンテーブルＴを備え、その下部に、このターンテーブルＴを回転駆動するモータＭや、テストハンドラＨ全体を駆動制御する制御装置、吸着保持機構Ｖのためのバキューム機構等を備えるため、吸着ノズルＶ１の下方領域におけるスペースが限られているのが一般的である。そこで、本実施形態では、ターンテーブルＴの外周方向に姿勢認識手段２の構成を配置することで、このような配置スペースの問題に対応している。
【００３２】
［１−４．ＸＹθ移動機構］
また、図２に示すように、電気テストユニットは、ターンテーブルＴの搬送路の接線方向（図中奥行き方向）であるＸ軸方向の移動機構Ｅ１と、ターンテーブルＴの搬送路の半径方向（図中左右方向）であるＹ軸方向の移動機構Ｅ２とを備える。また、コンタクト台座Ｅ３を移動させることにより、コンタクトＣを吸着ノズルＶ１に保持された電子部品Ｗの水平面に対してθ度回転させるθ方向移動機構Ｅ４とを備える。
【００３３】
より具体的には、コンタクトＣを備える台座Ｅ３は、Ｙ軸方向に伸びたアームＥ５に搭載される。このアームＥ５は上台座Ｅ６上に配置され、同じく上台座Ｅ６に配置されたＹ軸駆動モータＭ１の動力を介するＹ軸ボールネジＥ７によりＹ軸方向に移動できるよう構成されている。
【００３４】
また、上台座Ｅ６は、その下方に設けられた下台座Ｅ８に搭載されたものであり、この下台座Ｅ８は、Ｘ軸方向である図中奥行方向に回転軸を向けたＸ軸駆動モータＭ２の回転力を、プーリーＥ９とベルトＥ１０により伝達し、下台座Ｅ８直下に設けたＸ軸ボールネジＥ１１を駆動することにより、Ｘ軸方向に移動するように構成される。
【００３５】
さらに、アームＥ５のコンタクト台座Ｅ３が配置される端部の下側には、コンタクト台座Ｅ３をθ角度回転させるθ軸駆動モータＭ３が配置される。このθ軸駆動モータＭ３は、θ軸減衰機を介してコンタクト台座Ｅ３を回動させるように構成される。
【００３６】
［１−５．制御部の構成］
姿勢認識手段２の撮像手段２４で撮像した撮像イメージは、図２に図示しない制御部に出力される。この制御部では、入力された撮像イメージに基づいて電子部品Ｗのずれ量を検出し、Ｘ軸モータＭ２、Ｙ軸モータＭ１及びθ軸モータＭ３に信号を出力するように構成される。以下では、電子部品Ｗのずれ量の検出の方法として、２値化による画像処理方法について記載する。制御部は、前記ＸＹθ移動機構と組み合わせことにより前記姿勢認識手段の検出結果に基づき、電子位置部品Ｗの位置ずれを補正する制御手段となるように構成できる。
【００３７】
図３は、制御部の構成を示す図である。制御部３は入力した撮像データからずれ量を検出する検出部３１と検出部３１で検出した結果に基づき制御信号を出力する信号生成部３５とで構成される。
【００３８】
制御部３では、入力された撮像イメージを２値化する２値化変換部３２と、２値化されたデータに基づき輪郭を検出する輪郭抽出手段３３と、検出した輪郭を基に電子部品Ｗのずれを検出するずれ量算出部３４とを備える。
【００３９】
ずれ量算出部３４では、図４（ａ）の撮像イメージよりθ方向のずれを算出し、図４（ｂ）の撮像イメージよりＸＹ軸方向のずれを算出する。図４（ａ）に示すように撮像手段２４は撮像手段２４におけるＸ軸及びＹ軸とを備え、このＸ軸及びＹ軸との交点を撮像手段２４における原点とする。また、電子部品Ｗの任意の一辺と平行な辺であり、前記撮像手段２４の原点を通る直線を電子部品Ｗのθ軸とする。
【００４０】
θ方向のずれを算出する際には、電子部品Ｗのθ軸と撮像手段２４のＸ軸またはＹ軸の角度の差をθ度を算出する。ここで算出したθ度が電子部品Ｗのθ方向のずれとなる。一方、ＸＹ軸方向のずれを算出する場合には、図４（ｂ）に示すように電子部品Ｗの中点と撮像手段２４における原点との差を算出する。ここで検出したＸ軸方向及びＹ軸方向の差が電子部品ＷのＸ軸方向及びＹ軸方向のずれとなる。
【００４１】
信号生成部３５では、算出したずれ量に応じた電子部品Ｗの端子とコンタクトＣの端子が接触するのに必要なコンタクトＣの移動距離を算出し、Ｘ軸駆動モータＭ１、Ｙ軸駆動モータＭ２及びθ軸駆動モータＭ３をその距離だけ駆動させる駆動信号を生成し出力するように構成される。
【００４２】
以上のように本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図していない。この新規な実施形態は、そのほかの様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【００４３】
例えば、次の（１）〜（７）のような変更をすることも可能である。
（１）本実施形態では、電子部品Ｗのずれ量の算出の方法のための画像処理方法として２値化による画像処理方法を挙げたが、それ以外の処理方法を使用することもできる。例えば、撮像イメージを２５６階調の濃淡画像として扱い、対象物のパターン形状を認識するグレー画像の正規化相関法や、他の画像処理方法によりずれ量を算出するようにしても良い。
（２）本実施形態では、制御部３のずれ量算出部３４では、撮像手段２４の原点と電子部品Ｗの中心とのずれを算出する場合を例に挙げたが、図５（ａ）に示すような撮像結果より、電子部品Ｗの端子とコンタクトＣの端子のずれを算出してもよい。ずれが算出された場合には、図５（ｂ）に示すように、電子部品Ｗの端子とコンタクトＣの端子が接触するように、コンタクトＣの姿勢を移動させるようにしても良い。
（３）制御部３のずれ量算出部３４では、１回の撮像による撮像結果によりＸＹ軸方向のずれとθ方向のずれのすべてを計算する例を挙げたが、θ方向のずれとＸＹ軸方向のずれとを２回に分けて撮像し、それぞれ別々にずれ量を計算するようにしても良い。１回の撮像によりＸＹθ方向のずれ量を算出する方法では時間を短縮することができ、２回の撮像を行う方法では、計算量や処理量の面でメリットがある。
（４）本実施形態では、姿勢認識手段の検出結果に基づき、電子位置部品Ｗの位置ずれを補正ための制御部３において電子部品Ｗのずれ量の算出し、そのずれ量に応じてＸＹθ移動機構により、コンタクトＣと電子部品Ｗとを接触させる例を挙げた。それだけでなく、姿勢認識手段２の検出結果を、ディスプレイなどの表示手段に表示させてもよい。これにより、姿勢認識手段２の検出結果を確認しながら、コンタクトＣと電子部品Ｗを接触するように、ユーザがＸＹθ移動機構を操作してコンタクトＣと電子部品Ｗとを接触させる構成とすることもできる。
（５）姿勢認識手段２の光学系は、コンタクトＣの開口部下部から撮像手段２４に至れば良く、上記以外の構成でもよい。
（６）吸着保持機構Ｖとして、真空の発生及び破壊により電子部品Ｗを吸着及び離脱させる吸着ノズルＶ１に代えて、電子部品Ｗを機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。
（７）各種の工程処理機構は、上記した種類に限られず、各種の工程処理機構と置き換えることが可能であり、また配置順序も適宜変更可能である。
【００４４】
［２．実施形態の作用］
以上のような構成を有する本実施形態の作用について、図４の姿勢認識手段２の撮像手段２４による撮像画像及び図５のフローチャートを参照して説明する。
【００４５】
本実施形態では、撮像手段２４により図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、一つの撮像手段２４により、ＸＹ軸方向のずれとθ方向のずれとを撮像し、それぞれのずれ量を算出する。そして、θ方向のずれ量は、コンタクトＣをθ方向に回動させるθ軸駆動モータＭ３に入力し、ＸＹ軸方向のずれ量は、コンタクトＣをＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させるＸ軸駆動モータＭ２及びＹ軸駆動モータＭ１に入力することにより、姿勢の補正を実行する。以下、本実施例の電気テストユニットＥにおけるテストコンタクトＣの動作を図６のフローチャートにより説明する。
【００４６】
ターンテーブルＴが１ピッチ正転することにより、電気テストユニットＥの前工程を終えた電子部品Ｗが、電気テストユニットＥを構成するコンタクトＣの垂直軸上に位置し停止し、吸着ノズルＶ１に保持された電子部品ＷがコンタクトＣの直上に位置する（Ｓ６０１）。
【００４７】
この状態において、図２に示す撮像手段２４が、吸着ノズルＶ１に保持される電子部品Ｗを撮像する（Ｓ６０２）。この際、撮像手段２４は、プリズム２２により光軸を垂直方向から水平方向に変換して像を捉える。また、コンタクトＣの開口部下部からコンタクトＣの開口部方向へ照射する照明２１の明かりにより、撮像手段２４による撮像が容易となる。
【００４８】
このような撮像手段２４における吸着ノズルＶ１に保持された電子部品Ｗの撮像結果は、制御部３に出力される。制御部３においては、電子部品Ｗの撮像結果よりＸＹ軸方向及びθ軸方向の姿勢のずれ情報を算出する（Ｓ６０３）。
【００４９】
具体的には、制御部３に入力した撮像結果は、制御部３の２値化変換部３２において２値化させる。２値化されることにより、電子部品Ｗと背景との区別がつきやすくなる。そして、輪郭抽出部３３において、２値化した撮像結果から電子部品Ｗの輪郭を抽出する。次に、ずれ量算出部３４では、輪郭を抽出した撮像結果より、電子部品ＷとコンタクトＣのＸＹ軸方向及びθ軸方向のずれ量を算出する。
【００５０】
ＸＹ軸方向及びθ軸方向のずれ量が算出された場合は、ずれ量算出部３４の結果に基づいて信号生成部より、ずれを解消する方向にコンタクトＣを移動させるための信号をＸ軸駆動モータＭ２、Ｙ軸駆動モータＭ１及びθ駆動軸モータＭ３に出力する。各軸モータＭ１〜Ｍ３では、制御部からの信号に基づいて駆動する（Ｓ６０４）。
【００５１】
これにより、Ｙ軸駆動モータＭ１は、制御部３からの信号に基づいて、コンタクトＣを電子部品ＷとコンタクトＣのＹ軸方向ずれの量だけＹ軸駆動ボールネジＥ７を回転させ、アームＥ５に搭載されたコンタクト台座Ｅ３及びコンタクトＣがＹ軸方向に移動する。また、Ｘ軸駆動モータＭ２では、制御部３からの信号に基づいて、Ｘ軸駆動ボールネジＥ７を回転させる。Ｘ軸駆動ボールネジＥ７を回転させることにより、プーリーＥ９及びベルトＥ１０を介して、コンタクトＣを間接的にＸ軸方向に移動させる。このようにしてＸＹ軸方向の姿勢のずれを補正を行い正しい姿勢により電気テストをおこなう。また、θ駆動軸モータＭ３では、制御部からの信号に基づいて、回転駆動を行う。この回転は、θ軸減速機を介してコンタクト台座に伝達され、コンタクトＣが角度θ分回転する。
【００５２】
このようにしてＸＹθ方向の姿勢のずれを補正し、この状態において、吸着保持機構Ｖを下降させ、コンタクトＣに電子部品Ｗの電極を接触させて、電子部品Ｗの電気特性検査を実行する（Ｓ６０５）。電気特性検査が終了すると、吸着保持機構Ｖは、再度上昇する。そして、Ｓ６０１に戻り、ターンテーブルＴを１ピッチ正転させることにより、電気テストユニットＥが終了した電子部品ＷをコンタクトＣの垂直軸上から移動させると共に、電気テストユニットＥの前工程を終えた電子部品Ｗを、電気テストユニットＥを構成するコンタクトＣの垂直軸上に位置させる。
【００５３】
［３．効果］
以上のような本実施形態の電気テストユニットＥでは、コンタクトＣの下部にコンタクトＣにおける電子部品Ｗの位置を認識する姿勢認識手段２を配置しているので、電気テスト中においてもコンタクトＣと電子部品Ｗの位置を確認することができるため、次に挙げる（１）〜（４）の効果を奏することが可能である。
【００５４】
（１）保持手段により搬送されてくる電子部品Ｗの保持位置がずれている場合には、その電子部品Ｗのずれに合わせて電気テストユニットの位置を移動させることができる。これにより、電子部品Ｗの端子と電気テストユニットのコンタクトＣとを確実に接触させることができるので、正確な電気テストを行うことが可能である。
【００５５】
（２）電気テスト中の電子部品Ｗの端子が、正確にコンタクトＣに接触しているかの確認をすることができる。特に、姿勢認識手段２の内容をディスプレイなどの表示手段に出力することにより、実際の電子部品Ｗの端子とコンタクトＣとの様子を確認することもできる。
【００５６】
（３）電気部品の姿勢を電気テストユニットのコンタクトＣと直接比較できるため、従来のように、電気テストユニットに搬送する前に電子部品Ｗの姿勢を認識し、その姿勢情報に基づいてコンタクトＣの位置を移動させる必要がなくなる。
【００５７】
（４）また、コンタクトＣを電子部品Ｗに合わせて移動させるので、コンタクトＣを交換した場合でも、コンタクト位置調整が容易になる。すなわち、コンタクトＣを交換時は、おおよその位置にコンタクトＣを位置させ、その後搬送される電子部品Ｗに合わせてコンタクトＣを移動させればよい。このため、コンタクトＣの位置及び電子部品Ｗの搬送位置が固定されている場合に比べて、コンタクト位置調整が容易になる。それに加えて、コンタクトの種類ごとに姿勢認識手段２の原点の座標とコンタクトＣの中心の座標を記憶しておくことにより、コンタクトの種類を変更時のコンタクトＣの位置調整を容易に行うこと方法などを組み合わせることにより、コンタクトＣの交換時の位置調整が容易となる。
【００５８】
［４．他の実施形態］
本発明は、上記の実施形態に例示した態様のみならず、以下の態様も含むものである。
【００５９】
（１）姿勢認識手段２の撮像手段２４の撮像画面をユーザが観察することにより手動でコンタクトＣの位置を変更するようにしても良い。ユーザが手動で位置を変更することにより、制御部３での動作が不要になる。
【００６０】
（２）全ての電子部品Ｗの姿勢を検出する必要は無く、最初の数個のみだけでも良い。すなわち、搬送される電子部品Ｗの姿勢のずれが少ない場合には、数個の電子部品Ｗの位置に対して、コンタクトＣの位置を決めても、正確な電気テストを行うことが可能である。
【００６１】
（３）搬送手段の経路の電気テストユニットの前段階に外観検査装置を配置することも可能であり、前段検査装置と電気テストユニットの姿勢認識手段２の撮像手段２４による外観検査の結果を併用しても良い。例えば、前記外観装置においてＸＹθ軸のずれを検出し、これらの結果に基づいてコンタクトＣを移動するようにしたり、前記外観装置においてθ軸のずれのみを検出し、電気テストユニットにおいてＸＹ軸方向のずれを検出し、これらの結果に基づいてコンタクトＣを移動するようにしても良い。このように、外観検査装置での結果を利用することにより、電気テストユニットのみで姿勢認識を行う場合に比べて、より高速に電子部品Ｗの姿勢認識をすることができる。
【符号の説明】
【００６２】
１  …  電気部品検査装置
１１  …  パーツフィーダ
１２  …  方向判別ユニット
１３  …  方向反転ユニット
１４  …  マーキングユニット
１５  …  外観検査ユニット
１６  …  分類ソートユニット
１７  …  テーピングユニット
２  …  姿勢認識手段
２１  …  照明
２２  …  プリズム
２３  …  レンズ
２４  …  撮像手段
３  …  制御部
３１  …  検出部
３２  …  ２値化変換部
３３  …  輪郭抽出部
３４  …  ずれ量算出部
３５  …  信号生成部
Ｃ  …  コンタクト
Ｅ  …  電気テストユニット
Ｅ１  …  Ｘ軸方向の移動機構
Ｅ２  …  コンタクト台座
Ｅ２  …  Ｘ軸方向の移動機構
Ｅ３  …  コンタクト台座
Ｅ４  …  θ方向移動機構
Ｅ５  …  アーム
Ｅ６  …  上台座
Ｅ７  …  軸駆動ボールネジ
Ｅ８  …  下台座
Ｅ９  …  プーリー
Ｅ１０  …  ベルト
Ｐ１〜Ｐ８  …  停止ポジション
Ｔ  …  ターンテーブル
Ｖ  …  吸着保持機構
Ｖ１  …  吸着ノズル
Ｗ  …  電子部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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