(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内管を覆う外管を有して前記内管と前記外管との間を真空にする真空二重配管に用いられ、前記内管を流通する流体を制御するバルブユニットであって、
前記流体としての低温側流体が流通する前記内管である低温側内管に接続されることで、前記低温側内管から流入する前記低温側流体を流通させるように設けられた流体通路部である、低温側第１流体通路部と、
前記低温側流体よりも高温の前記流体である高温側流体が流通する前記内管である高温側内管に接続されることで、前記高温側内管から流入する前記高温側流体を流通させるように、前記低温側第１流体通路部と並列に配置された流体通路部である、高温側第１流体通路部と、
前記低温側第１流体通路部及び前記高温側第１流体通路部とねじれの位置にある流体通路部である、第２流体通路部と、
バルブ本体及び弁体を有するバルブであって、前記低温側第１流体通路部と前記第２流体通路部との間の連通と遮断とを前記弁体により切り替えるように、前記低温側第１流体通路部と前記第２流体通路部とを接続する、低温側バルブと、
前記バルブであって、前記高温側第１流体通路部と前記第２流体通路部との間の連通と遮断とを前記弁体により切り替えるように、前記高温側第１流体通路部と前記第２流体通路部とを接続する、高温側バルブと、
前記高温側第１流体通路部、前記低温側第１流体通路部及び前記第２流体通路部、並びに前記低温側バルブ及び前記高温側バルブにおける前記各バルブ本体を覆うとともに、前記外管に接続されるバルブケースとを備え、
前記低温側バルブにおける前記バルブ本体と、前記高温側バルブにおける前記バルブ本体とは、別体に設けられ、
前記高温側第１流体通路部、前記低温側第１流体通路部及び前記第２流体通路部、並びに前記低温側バルブ及び前記高温側バルブと、前記バルブケースと、の間の空間によって排気通路が形成され、
前記排気通路は、各真空二重配管の前記内管と前記外管との間の空間を互いに連通させるとともに、前記各真空二重配管の間の途中部分が密閉されていることを特徴とする真空二重配管用バルブユニット。
【請求項２】
前記低温側バルブにおける前記バルブ本体と、前記高温側バルブにおける前記バルブ本体とは、前記第２流体通路部と同一直線上に配置された接続流路部を介して互いに接続されていることを特徴とする請求項１に記載の真空二重配管用バルブユニット。
【請求項３】
前記接続流路部にはベローズが設けられていることを特徴とする請求項２に記載の真空二重配管用バルブユニット。
【請求項４】
前記低温側バルブにおける前記バルブ本体、及び前記高温側バルブにおける前記バルブ本体は、互いに線接触するように支持されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の真空二重配管用バルブユニット。
【請求項５】
前記低温側バルブ及び前記高温側バルブにおける前記バルブ本体と前記バルブケースとが、点接触又は線接触の状態で互いに支持されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の真空二重配管用バルブユニット。
【請求項６】
前記低温側バルブにおける前記バルブ本体と、前記高温側バルブにおける前記バルブ本体とは、別体に設けられているとともに、前記第２流体通路部と同一直線上に配置された接続流路部を介して互いに接続され、
前記接続流路部にはベローズが設けられ、
前記低温側バルブにおける前記バルブ本体、及び前記高温側バルブにおける前記バルブ本体は、互いに線接触するとともに、前記バルブケースに対して点接触又は線接触の状態となるように支持されていることを特徴とする請求項１に記載の真空二重配管用バルブユニット。
【請求項７】
前記低温側バルブ及び前記高温側バルブにおける前記バルブ本体の外周には、当該バルブ本体を前記バルブケース内にて支持するための支持部材が組み付けられており、
前記支持部材は複数の角部を有することを特徴とする請求項５又は６に記載の真空二重配管用バルブユニット。
【請求項８】
前記弁体に対して駆動力を作用させる駆動部材を備え、
前記弁体と前記駆動部材とが断熱部材を介して接続されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の真空二重配管用バルブユニット。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の真空二重配管用バルブユニットと、
前記真空二重配管と、
前記内管と前記流体通路部との間を前記内管の径方向でシールする内管シール部材と、
前記外管と前記バルブケースとの間をシールする外管シール部材と、
前記外管と前記バルブケースとを取り外し可能な状態で接続する接続部材と、
を備えることを特徴とするバルブユニットと真空二重配管との接続構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内管と外管との間を真空にする真空二重配管に用いられるバルブユニット、及びバルブユニットと真空二重配管との接続構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、真空二重配管を接続する構造として、真空二重配管の内管と外管との間隙を、両端においてフランジで封鎖して密閉空間としたものがある（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載のものでは、フランジ同士を対向させてフェルールクランプで接続し、内管を互いに連通させるとともに、フランジの対向面において内管の周囲をパッキンでシールしている。そして、外管に真空引き口を設け、この真空引き口を通じて内管と外管との間の密閉空間を真空に排気して、内管と外管との間を断熱している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−２１３６７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のものでは、フランジを介して内管と外管との間で熱伝導が行われるため、このフランジを含む継手の部分で内管と外管との断熱性が低下することとなる。
【０００５】
また、特許文献１に記載の真空二重配管では、内管と外管とに挟まれた空間を各二重配管で独立させているため、それぞれの二重配管について真空排気を行う必要がある。このため、複数の真空二重配管を真空に排気するために多くの手間が掛かる。
【０００６】
同様にして、真空二重配管にバルブユニットを取り付ける場合も、断熱性の低下や真空二重配管を真空に排気する手間等の問題を考慮する必要がある。
【０００７】
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、断熱性の低下を抑制するとともに、真空二重配管を真空に排気する手間を減らすことのできる真空二重配管用バルブユニット、及びバルブユニットと真空二重配管との接続構造を提供することを主たる目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するために、以下の手段を採用した。
【０００９】
第１の発明は、内管を覆う外管を有して前記内管と前記外管との間を真空にする真空二重配管に用いられ、前記内管を流通する流体を制御するバルブユニットであって、前記内管に接続されて前記内管から流入する流体を流通させる流体通路部と、バルブ本体及び弁体を有して前記流体通路部を流通する流体を制御するバルブと、前記流体通路部及び前記バルブ本体を覆うとともに、前記外管に接続されるバルブケースとを備え、前記流体通路部及び前記バルブと、前記バルブケースとの間の空間によって排気通路が形成され、前記排気通路は、各真空二重配管の前記内管と前記外管との間の空間を互いに連通させるとともに、前記各真空二重配管の間の途中部分が密閉されていることを特徴とする。
【００１０】
上記構成によれば、真空二重配管の内管が外管によって覆われており、内管と外管との間が真空にされる。このため、内管と外管との間が真空により断熱された状態となる。そして、真空二重配管の内管に流体通路部が接続されており、流体通路部を流通する流体がバルブによって制御される。
【００１１】
ここで、バルブケースは、流体通路部及びバルブ本体を覆うとともに、真空二重配管の外管に接続されている。そして、流体通路部及びバルブと、バルブケースとの間の空間によって排気通路が形成されている。この排気通路は、各真空二重配管の内管と外管と間の空間を互いに連通させるとともに、各真空二重配管の間の途中部分が密閉されている。
【００１２】
このため、真空二重配管の内管と外管との間の空間を真空に排気することにより、この空間に連通する上記排気通路、すなわち流体通路部及びバルブと、バルブケースとの間の空間を真空に排気することができる。したがって、流体通路部及びバルブと、バルブケースとの断熱性を向上させることができ、バルブユニットの部分で真空二重配管の断熱性が低下することを抑制することができる。
【００１３】
さらに、上記排気通路は、各真空二重配管の内管と外管との間の空間を互いに連通させているため、１つの真空二重配管を真空に排気することにより、この排気通路を通じて複数の真空二重配管をまとめて真空に排気することができる。その結果、真空二重配管を真空に排気する手間を減らすことができる。
【００１４】
なお、バルブケースは、流体通路部及びバルブ本体を覆うものであればよく、弁体の一部や弁体の駆動機構等がバルブケースの外部に出ていてもよい。また、真空二重配管は、内管を覆う外管を有して内管と外管との間を真空にするものであればよく、二重配管を互いに接続する継手の二重配管部（例えば、各内管の流路を互いに連通させる内管継ぎ部と、それを覆うとともに各外管を互いに接続する外管継ぎ部）であってもよい。ちなみに、真空は、大気圧よりも圧力の低い状態を含むものとする。
【００１５】
第２の発明では、第１の発明において、前記バルブ本体と前記バルブケースとが、点接触又は線接触の状態で互いに支持されている。このため、バルブ本体とバルブケースとの間の熱伝導を抑制しつつ、これらを互いに支持することができる。
【００１６】
なお、バルブ本体とバルブケースとは、それらの一部によって点接触又は線接触の状態とされていてもよく、また、それらに取り付けられた他の部材によって点接触又は線接触の状態とされていてもよい。
【００１７】
具体的には、第３の発明のように、第２の発明において、前記バルブ本体の外周には支持部材が組み付けられており、前記支持部材は複数の角部を有し、前記バルブケースが、前記複数の角部により点接触又は線接触の状態で支持されているといった構成を採用することができる。
【００１８】
上記構成によれば、複数の角部を有する支持部材をバルブ本体の外周に組み付けることにより、バルブケースを点接触又は線接触の状態で支持する構成を容易に実現することができる。
【００１９】
第４の発明では、第１乃至第３のいずれかの発明において、前記流体通路部は、ねじれの位置にある第１流体通路部と第２流体通路部とを含み、前記第１流体通路部と前記第２流体通路部とが前記バルブを介して接続されていることを特徴とする。
【００２０】
上記構成によれば、第１流体通路部と第２流体通路部とがバルブを介して接続されているため、第１流体通路部と第２流体通路部との間で流通する流体を制御することができる。ここで、第１流体通路部と第２流体通路部とは、ねじれの位置にあるため、これらの通路部は交わることなくバルブを介して接続されている。
【００２１】
したがって、第１流体通路部を流通する流体と第２流体通路部を流通する流体とで温度差がある場合であっても、第１流体通路部と第２流体通路部との間の熱伝導を抑制することができる。その結果、流体の有する熱エネルギの損失を抑制することができる。
【００２２】
第５の発明では、第１乃至第４のいずれかの発明において、前記流体通路部と前記バルブとの組を複数備え、前記バルブケースは、複数の組の前記流体通路部及び前記バルブ本体を覆っていることを特徴とする。
【００２３】
上記構成によれば、流体通路部とバルブとの組を複数備えているため、それぞれの組に異なる温度の流体を流通させることができる。ここで、複数の組の流体通路部及びバルブ本体がバルブケースによって覆われており、複数の組の流体通路部及びバルブと、バルブケースとの間の空間によって形成される排気通路が真空に排気される。このため、複数の組の間の断熱性が低下することを抑制しつつ、１つのバルブケース内に複数の組の流体通路部及びバルブを収容することができる。その結果、複数の組の流体通路部及びバルブを含むバルブユニット全体を小型化することができる。
【００２４】
さらに、１つの真空二重配管を真空に排気することにより、排気通路を通じて複数の組に対応する真空二重配管を、まとめて真空に排気することができる。したがって、流体通路部とバルブとの組を個別にバルブケース内に収容する場合と比較して、真空二重配管を真空に排気する手間を減らすことができる。
【００２５】
第６の発明では、第１乃至第３のいずれかの発明において、前記流体通路部は、ねじれの位置にある第１流体通路部と第２流体通路部とを含み、前記第１流体通路部と前記第２流体通路部とが前記バルブを介して接続され、前記第１及び第２流体通路部と前記バルブとの組を複数備え、ベローズを含む接続通路部を介して各組の前記第２流体通路部が互いに接続され、前記バルブケースは、複数の組の前記第１及び第２流体通路部並びに前記バルブ本体と、前記接続通路部とを覆っていることを特徴とする。
【００２６】
上記構成によれば、第４の発明及び第５の発明と同様の構成を備えているため、それらと同様の作用効果を奏することができる。
【００２７】
さらに、接続通路部を介して各組の第２流体通路部が互いに接続されているため、複数の組の第２流体通路部を共通化して、各組の第１流体通路部から共通の第２流体通路部に流体を流入させることができる。その結果、各組の第１流体通路部に流通させる流体の温度を互いに異ならせることにより、第２流体通路部に流通させる流体の温度を変更することができる。
【００２８】
ここで、接続通路部はベローズを含んでいるため、第２流体通路部を流通する流体の温度が変更されたとしても、温度変化による第２流体通路部の伸縮をベローズによって吸収することができる。したがって、第２流体通路部及びバルブに生じる熱応力を緩和することができる。
【００２９】
第７の発明では、第１乃至第６のいずれかの発明において、前記弁体に対して駆動力を作用させる駆動部材を備え、前記弁体と前記駆動部材とが断熱部材を介して接続されていることを特徴とする。
【００３０】
上記構成によれば、駆動部材から弁体に対して駆動力が作用させられるため、弁体の駆動を通じて、流体通路部を流通する流体を制御することができる。ここで、弁体と駆動部材とが断熱部材を介して接続されているため、弁体と駆動部材と間の熱伝導を抑制することができる。その結果、バルブユニットの断熱性を向上させることができる。
【００３１】
第８の発明は、第１乃至第７のいずれかの発明における真空二重配管用バルブユニットと、前記真空二重配管と、前記内管と前記流体通路部との間を前記内管の径方向でシールする内管シール部材と、前記外管と前記バルブケースとの間をシールする外管シール部材と、前記外管と前記バルブケースとを取り外し可能な状態で接続する接続部材と、を備えることを特徴とする。
【００３２】
上記構成によれば、内管と流体通路部との間が内管シール部材によってシールされ、外管とバルブケースとの間が外管シール部材によってシールされる。
【００３３】
ここで、内管シール部材は、内管と流体通路部との間を内管の径方向でシールするため、内管と流体通路部とが内管の延びる方向（内管の軸線方向）に相対移動することを許容することができる。このため、内管及び流体通路部の温度変化による伸縮を吸収して、真空二重配管及びバルブユニットに生じる熱応力を緩和することができる。
【００３４】
また、接続部材は、外管とバルブケースとを取り外し可能な状態で接続しているため、メンテナンス等を行う際には外管とバルブケースとを取り外すことができる。この際、内管と流体通路部とは、内管の延びる方向に相対移動することが許容されているため、外管とバルブケースとの取り外しと同時にこれらも取り外すことができる。
【００３５】
第９の発明では、第８の発明において、前記外管シール部材は、前記外管とバルブケースとの間を前記外管の延びる方向でシールするものであり、前記接続部材は、前記外管シール部材が所定量変形された状態で、前記外管と前記バルブケースとの接続状態を保持することを特徴とする。
【００３６】
上記構成によれば、外管シール部材は、外管とバルブケースとの間を外管の延びる方向（真空二重配管の軸線方向）でシールするため、真空二重配管とバルブユニットとを外管の延びる方向に相対移動させることにより、外管とバルブケースとの間をシールすることができる。すなわち、真空二重配管とバルブユニットとを外管の延びる方向で互いに差し込むことにより、外管とバルブケースとの間をシールすることができる。
【００３７】
このとき、上述したように、内管シール部材は、内管と流体通路部との間を内管の径方向でシールするため、真空二重配管とバルブユニットとを外管の延びる方向で互いに差し込むことにより、内管と流体通路部との間も同時にシールすることができる。
【００３８】
さらに、外管シール部材が所定量変形された状態で、外管とバルブケースとの接続状態が接続部材によって保持されるため、外管シール部材の変形量、すなわち外管シール部材によるシール状態を安定させることができる。
【００３９】
第１０の発明では、第８又は第９の発明において、前記バルブケースには、前記外管と前記バルブケースとの接続状態を解除するように、前記接続部材に対して操作することを可能とする操作部が設けられていることを特徴とする。
【００４０】
上記構成によれば、操作部を介して接続部材を操作することにより、外管とバルブケースとの接続状態を解除することができる。このとき、内管と流体通路部とに対しては外部から操作することができないが、内管と流体通路部との間は内管シール部材によって内管の径方向でシールされているのみである。
【００４１】
したがって、真空二重配管とバルブユニットとを配管の延びる方向に引き離すことにより、内管と流体通路部との接続状態を解除することができる。その結果、真空二重配管とバルブユニットとの接続状態を容易に解除することができる。
【００４２】
なお、操作部として、バルブケースに設けられた切欠き部等を採用することができる。
【００４３】
さらに、第１１の発明では、第１０の発明において、前記操作部は、前記外管と前記バルブケースとが前記接続部材により接続されていることを視認可能とする視認部を含むといった構成を採用している。このため、接続部材に対して操作することを可能とする操作部に、外管とバルブケースとの接続を視認可能とする視認部としての機能を持たせることができる。したがって、視認部を設けるための加工工数が増加することを抑制しつつ、外管とバルブケースとをより確実に接続することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】温度制御システムの外観を示す斜視図。
【図２】温度制御システムの回路図。
【図３】真空二重配管の断面図。
【図４】支持リングの斜視図。
【図５】Ｌ型継手の断面図。
【図６】Ｕ型継手の断面図。
【図７】操作部の正面図。
【図８】バルブユニット及びその周辺の斜視図。
【図９】バルブユニットを正面方向から見た断面図。
【図１０】図９の１０−１０線断面図。
【図１１】真空二重配管の接続状態を示す断面図。
【図１２】係止リング及びその係止状態を示す斜視図。
【図１３】真空ポンプの吸引通路とバルブユニットとの接続状態を示す断面図。
【図１４】真空二重配管の接続状態の変形例を示す断面図。
【図１５】操作部の変形例を示す断面図。
【図１６】継手の変形例を示す断面図。
【図１７】バルブユニットの変形例を示す斜視図。
【図１８】バルブユニットの他の変形例を示す斜視図。
【図１９】バルブユニットの他の変形例を示す部分断面図。
【図２０】バルブユニットの他の変形例を示す断面図。
【図２１】継手の他の変形例を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００４５】
以下、一実施形態について図面を参照しつつ説明する。本実施形態では、半導体製造装置のプロセスチャンバ内においてワークを保持及び加熱するワークホルダに対して、異なる温度の熱媒体を切り替えつつ循環させる温度制御システムとして具体化している。
【００４６】
図１は、温度制御システムの外観を示す斜視図である。なお、図１では、半導体製造装置のうち、温度制御システムに係る部分を示している。
【００４７】
この温度制御システムは、ガルデン（熱媒体）の流通方向に沿って、供給ユニット１０、供給通路２１Ｈ，２１Ｃ、供給側のバルブユニット７０Ａ、導入通路２３Ｗ、ワークホルダ１５、導出通路２４Ｗ、回収側のバルブユニット７０Ｂ、回収通路２２Ｈ，２２Ｃを備えている。また、バルブユニット７０Ａとバルブユニット７０Ｂとは、バイパス通路２５Ｈ，２５Ｃによってそれぞれ接続されている。バルブユニット７０Ｂには、真空ポンプの吸引通路１９が接続されている。
【００４８】
供給通路２１Ｈ，２１Ｃ、導入通路２３Ｗ、導出通路２４Ｗ、及び回収通路２２Ｈ，２２Ｃの一部を構成する直線状の各配管は、Ｌ型継手５０及びバルブユニット７０Ａ，７０Ｂによってそれぞれ接続されている。バイパス通路２５Ｈ，２５Ｃの一部を構成する直線状の各配管は、Ｕ型継手５０Ｕによってそれぞれ接続されている。
【００４９】
高温側の供給通路２１Ｈと低温側の供給通路２１Ｃとは、並列に設置されており、具体的には互いに平行に設置されている。同様にして、高温側の回収通路２２Ｈと低温側の回収通路２２Ｃとは、並列に設置されており、具体的には互いに平行に設置されている。さらに、高温側のバイパス通路２５Ｈと低温側のバイパス通路２５Ｃとは、並列に設置されており、具体的には互いに平行に設置されている。なお、これらの通路、継手５０，５０Ｕ、バルブユニット７０Ａ，７０Ｂ、及びワークホルダ１５は、アングル等で組み立てられたフレーム１８によって支持されている。
【００５０】
図２は、上記温度制御システムにおいてガルデンの流通する経路を示す回路図である。
【００５１】
供給ユニット１０は、高温のガルデンを供給及び回収する高温側供給機と、低温のガルデンを供給及び回収する低温側供給機とを備えている。高温側供給機は、高温側の開閉弁１１Ｈを介して１５０℃のガルデンを供給する。低温側供給機は、低温側の開閉弁１１Ｃを介して１５℃のガルデンを供給する。なお、高温のガルデン及び低温のガルデンの各温度は、適用される装置に応じて適宜変更することができる。
【００５２】
高温側の開閉弁１１Ｈには、高温側の供給通路２１Ｈが接続されている。開閉弁１１Ｈは供給通路２１Ｈを開閉する。供給通路２１Ｈは、供給側のバルブユニット７０Ａを介して、高温側のバイパス通路２５Ｈ及び導入通路２３Ｗに接続されている。供給通路２１Ｈとバイパス通路２５Ｈとは、常に連通された状態になっている。バルブユニット７０Ａは、供給通路２１Ｈと導入通路２３Ｗとを、連通状態と遮断状態とで切り替える。
【００５３】
同様にして、低温側の開閉弁１１Ｃには、低温側の供給通路２１Ｃが接続されている。開閉弁１１Ｃは供給通路２１Ｃを開閉する。供給通路２１Ｃは、供給側のバルブユニット７０Ａを介して、低温側のバイパス通路２５Ｃ及び導入通路２３Ｗに接続されている。供給通路２１Ｃとバイパス通路２５Ｃとは、常に連通された状態になっている。バルブユニット７０Ａは、供給通路２１Ｃと導入通路２３Ｗとを、連通状態と遮断状態とで切り替える。
【００５４】
導入通路２３Ｗは、ワークホルダ１５内に設けられたホルダ内通路の入口に接続されている。このホルダ内通路は、ガルデンがワークホルダ１５の内部を偏りなく流通するように、二重渦巻状に形成されている。ホルダ内通路の出口は、導出通路２４Ｗに接続されている。
【００５５】
導出通路２４Ｗは、回収側のバルブユニット７０Ｂを介して、高温側の回収通路２２Ｈ及び低温側の回収通路２２Ｃにそれぞれ接続されている。バルブユニット７０Ｂは、導出通路２４Ｗと高温側の回収通路２２Ｈとを、連通状態と遮断状態とで切り替える。また、バルブユニット７０Ｂは、導出通路２４Ｗと低温側の回収通路２２Ｃとを、連通状態と遮断状態とで切り替える。
【００５６】
高温側のバイパス通路２５Ｈは、回収側のバルブユニット７０Ｂを介して、高温側の回収通路２２Ｈに接続されている。バイパス通路２５Ｈと回収通路２２Ｈとは、常に連通された状態になっている。なお、バイパス通路２５Ｈは、バルブユニット７０Ｂを介して、導出通路２４Ｗに接続されている。
【００５７】
同様にして、低温側のバイパス通路２５Ｃは、回収側のバルブユニット７０Ｂを介して、低温側の回収通路２２Ｃに接続されている。バイパス通路２５Ｃと回収通路２２Ｃとは、常に連通された状態になっている。なお、バイパス通路２５Ｃは、バルブユニット７０Ｂを介して、導出通路２４Ｗに接続されている。
【００５８】
高温側のバイパス通路２５Ｈには、高温側の圧力計１６Ｈと、高温側の絞り弁１７Ｈとが設けられている。圧力計１６Ｈは、バイパス通路２５Ｈ内を流通するガルデンの圧力を検出する。絞り弁１７Ｈは、バイパス通路２５Ｈの流路面積を変更することにより、バイパス通路２５Ｈ内を流通するガルデンの量を調節する。同様にして、低温側のバイパス通路２５Ｃには、低温側の圧力計１６Ｃと、低温側の絞り弁１７Ｃとが設けられている。
【００５９】
高温側の回収通路２２Ｈは、高温側の開閉弁１２Ｈに接続されている。開閉弁１２Ｈは回収通路２２Ｈを開閉する。そして、開閉弁１２Ｈを介して、高温のガルデンが高温側供給機に回収される。
【００６０】
同様にして、低温側の回収通路２２Ｃは、低温側の開閉弁１２Ｃに接続されている。開閉弁１２Ｃは回収通路２２Ｃを開閉する。そして、開閉弁１２Ｃを介して、低温のガルデンが低温側供給機に回収される。
【００６１】
ここで、供給通路２１Ｈ，２１Ｃ、バルブユニット７０Ａ，７０Ｂ、導入通路２３Ｗ、導出通路２４Ｗ、バイパス通路２５Ｈ，２５Ｃ、及び回収通路２２Ｈ，２２Ｃは、それぞれ二重構造に形成されている。そして、二重構造の隙間部分を真空に排気することが可能となっている。
【００６２】
具体的には、これらの通路やバルブユニット７０Ａ，７０Ｂの各隙間部分が互いに連通しており、一連の空間を形成している。そして、一連の空間の端部が封鎖されており、真空に排気するための吸引部分を除いて、この一連の空間は密閉されている。例えば、導入通路２３Ｗとワークホルダ１５との接続部、及び導出通路２４Ｗとワークホルダ１５との接続部において、一連の空間がそれぞれ封鎖されている。
【００６３】
この一連の空間に真空ポートが設けられており、この真空ポートを通じて一連の空間が真空に排気される。具体的には、回収側のバルブユニット７０Ｂに真空ポートが設けられており、この真空ポートに真空ポンプの吸引通路１９が接続されている。そして、真空ポンプを駆動することにより、この吸引通路１９を通じて一連の空間を真空に排気する。
【００６４】
なお、回収側のバルブユニット７０Ｂに代えて供給側のバルブユニット７０Ａに真空ポートを設けてもよいし、バルブユニット７０Ａ，７０Ｂの双方に真空ポートを設けてもよい。
【００６５】
これらの通路やバルブユニット７０Ａ，７０Ｂの隙間部分が真空に排気された状態、すなわちこれらが断熱された状態において、高温のガルデンと低温のガルデンとが切り替えられてワークホルダ１５に流通させられる。これにより、ワークホルダ１５の温度が適宜変更され、ワークホルダ１５により保持されるワークの温度が制御される。
【００６６】
次に、供給通路２１Ｈ，２１Ｃ、導入通路２３Ｗ、導出通路２４Ｗ、バイパス通路２５Ｈ，２５Ｃ、及び回収通路２２Ｈ，２２Ｃの一部を構成する真空二重配管を説明する。
【００６７】
図３は、真空二重配管３０の断面図である。
【００６８】
真空二重配管３０は、ガルデンを内部に流通させる内管３１と、内管３１を覆う外管４１とを備えている。内管３１及び外管４１は、それぞれ直線状に延びる管状に形成されており、互いに略等しい長さとなっている。そして、内管３１の外面と外管４１の内面との間に空間によって排気通路３７が形成されている。
【００６９】
内管３１及び外管４１の延びる方向（長手方向）において、排気通路３７の両端部分は開放されている。このため、継手５０，５０Ｕの内部に形成された排気通路を介して、２つの真空二重配管３０の各排気通路３７を互いに連通させることができる。
【００７０】
詳しくは、内管３１及び外管４１は、それぞれ円筒状に形成されており、内管３１が外管４１よりも若干長くなっている。そして、内管３１の外径よりも、外管４１の内径が大きくなっている。
【００７１】
内管３１及び外管４１は、それらの延びる方向（軸線方向）において、両端部の間の部分がそれぞれ密閉されている。このため、内管３１の内部にガルデンを流通させた場合に、ガルデンが内管３１の外部に漏れることを防ぐことができる。また、上記排気通路３７を真空に排気した場合に、内管３１の内部から排気通路３７にガルデンが漏れることや、外管４１の外部から排気通路３７に空気が侵入することを防ぐことができる。
【００７２】
内管３１は、内管本体３２とその両端に設けられた端部３３とを備えている。これらの内管本体３２と端部３３とは、溶接により接続されている。
【００７３】
各端部３３は、二重構造に形成された継手５０，５０Ｕの内側部分や、二重構造に形成されたバルブユニット７０Ａ，７０Ｂの内側部分に接続される部分である。端部３３の内面には、Ｏリング（内管シール部材）を嵌合可能な環状の溝３４が設けられている。
【００７４】
内管本体３２の管壁は、端部３３の管壁よりも薄く形成されている。詳しくは、内管本体３２の管壁の厚みは０．１５ｍｍであり、従来の真空二重配管における管壁の厚みが１．０〜１．５ｍｍ程度であるのに対して、非常に薄くされている。なお、内管本体３２の外径は略２０ｍｍである。
【００７５】
外管４１は、外管本体４２とその両端に設けられた端部４３とを備えている。これらの外管本体４２と端部４３とは、溶接により接続されている。
【００７６】
各端部４３は、二重構造に形成された上記継手５０，５０Ｕの外側部分や、二重構造に形成されたバルブユニット７０Ａ，７０Ｂの外側部分に接続される部分である。端部４３の外面には、段部４４が環状に設けられている。段部４４は、端部４３の外周に取り付けられるＯリング（外管シール部材）を、外管４１の延びる方向に押圧することのできる寸法に形成されている。このため、端部４３の外周にＯリングを取り付けた場合に、Ｏリングの外径と環状に設けられた段部４４の外径とが略一致する。
【００７７】
また、外管４１の各端部４３の外面には、係止リングを嵌合可能な環状の溝４６が設けられている。係止リングは、継手５０，５０Ｕの外側部分やバルブユニット７０Ａ，７０Ｂの外側部分と、外管４１の端部４３とを接続する部材である。
【００７８】
詳しくは、外管４１の各端部４３には、上記段部４４と間隔をおいて平行に段部４５が環状に設けられている。Ｏリングを押圧する段部４４は、段部４５よりも外管４１の端側に設けられている。環状に設けられた段部４４，４５は、互いに略等しい外径を有している。そして、段部４４，４５で挟まれた凹部が、係止リングを嵌合させる溝４６となっている。
【００７９】
外管本体４２の管壁は、端部４３の管壁よりも薄く形成されている。詳しくは、上記内管本体３２と同様に、外管本体４２の管壁の厚みは０．１５ｍｍとされている。なお、外管本体４２の外径は略２８ｍｍである。
【００８０】
ここで、内管本体３２には、その管壁を屈曲させて径方向の外側へ環状に突出させた節部３８が間隔をおいて複数形成されている。同様にして、外管本体４２には、その管壁を屈曲させて径方向の外側へ環状に突出させた節部４８が間隔をおいて複数形成されている。内管本体３２の節部３８の外径は、外管本体４２の内径よりも小さくなっている。このため、節部３８の尾根（径方向の端部）と外管本体４２の内面との間には、隙間が形成されている。
【００８１】
内管本体３２及び外管本体４２は、これらの節部３８，４８によってそれぞれ強度が向上させられている。具体的には、内管本体３２及び外管本体４２の径方向に作用する力に対する強度を向上させることができる。このため、内管本体３２及び外管本体４２は、従来よりも非常に薄い管壁を採用しつつ、真空二重配管３０として必要な強度を確保することができる。したがって、内管本体３２及び外管本体４２を軽量化することができるとともに、これらの熱容量を小さくすることができる。
【００８２】
特に、真空二重配管３０では、外管４１が内管３１を覆っているため、内管３１及び外管４１の管壁の厚みが同じであれば、内管３１の管壁を構成する部材の体積よりも外管４１の管壁を構成する部材の体積が大きくなる。したがって、外管４１の管壁を薄くすることにより、二重配管３０を効果的に軽量化することができる。
【００８３】
詳しくは、このような節部３８，４８の互いの間隔を小さくするほど、内管本体３２及び外管本体４２の強度がそれぞれ向上する。ここで、内管３１の内部を流通する流体の温度変化に伴って内管３１は伸縮するが、内管本体３２の節部３８により内管３１の伸縮を吸収することができる。このため、流体の温度及び内管３１の材質に基づいてこの伸縮量を算出し、この伸縮量に応じて節部３８同士の間隔や個数を設定するとよい。
【００８４】
また、節部３８，４８の高さを高くするほど、内管本体３２及び外管本体４２の径方向に作用する力に対する強度が向上する。なお、内管本体３２及び外管本体４２の延びる方向（長手方向）に作用する力に対しては、節部３８，４８の高さを高くするほど、内管本体３２及び外管本体４２はそれぞれ変形し易くなる。
【００８５】
本実施形態では、内管本体３２の節部３８同士の間隔と、外管本体４２の節部４８同士の間隔とは、略等しくされている。節部３８の高さは、節部４８の高さよりも低くされている。詳しくは、節部３８の高さは、節部４８の高さの略半分にされている。このため、節部４８によって、外管本体４２の強度をより向上させることができる。
【００８６】
内管３１及び外管４１は、ステンレス鋼、詳しくはオーステナイト系のステンレス鋼、より詳しくはＳＵＳ３１６Ｌにより形成されている。内管本体３２及び外管本体４２の製造方法は以下の通りである。
【００８７】
まず、ＳＵＳ３１６Ｌの薄板を筒状に丸めて、互いに重なる端部同士を溶接する。こうして形成された筒状部材において、その長手方向（軸線方向）の一部に対して、長手方向に縮める力を作用させる。これにより、その力の作用させられた部分の管壁が屈曲して、径方向の外側（外径方向）へ環状に突出する。
【００８８】
この突出した部分が、内管本体３２及び外管本体４２のそれぞれの節部３８，４８となる。筒状部材の長手方向に作用させる力の大きさを適宜調節することにより、節部３８，４８の高さを調節することができる。
【００８９】
こうした製造方法によれば、節部３８同士の間隔，節部４８同士の間隔、及び節部３８，４８の高さを任意に設定することができる。なお、これらの寸法は、内管本体３２及び外管本体４２の径や、内管３１の内部に流通させるガルデンの圧力、内管３１と外管４１との間に形成される空間（排気通路３７）の真空度等に応じて、適宜変更することができる。
【００９０】
内管３１の外周には、内管３１と外管４１とを互いに支持する支持リング３５Ａ（支持部材）が組み付けられている。支持リング３５Ａは、ガルデンの使用温度域において耐熱性を有する断熱性の樹脂により形成されている。
【００９１】
詳しくは、図４（ａ）に示すように、支持リング３５Ａは、「Ｃ」字状に形成された支持リング本体３６ａを備えている。支持リング本体３６ａの外面には、所定間隔おきに角部３６ｃ（突出部）が設けられている。そして、支持リング３５Ａの外形は、六角形状となっている。
【００９２】
角部３６ｃでは、支持リング本体３６ａの中心軸線方向に稜線が延びている。また、支持リング本体３６ａの内面には、上記内管本体３２の節部３８に嵌合可能な溝３６ｄが環状に設けられている。
【００９３】
そして、「Ｃ」字状の支持リング３５Ａを拡げた後、図３に示すように、内管本体３２の所定の節部３８に支持リング３５Ａの溝３６ｄを嵌合させることにより、内管本体３２の外周に支持リング３５Ａが組み付けられている。このとき、支持リング３５Ａの角部３６ｃと外管本体４２の内面とが線接触の状態となっている。これにより、内管３１と外管４１とが、線接触の状態で互いに支持されている。
【００９４】
この支持リング３５Ａを、図４（ｂ）に示す支持リング３５Ｂに変更することもできる。なお、支持リング３５Ａと同一の部分については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
【００９５】
支持リング３５Ｂは、半環状の支持リング本体３６ｅを２つ備えている。支持リング本体３６ｅには、互いに係合可能な係合部３６ｆがそれぞれ設けられている。そして、係合部３６ｆを互いに係合させることにより、２つの支持リング本体３６ｅによって環状の支持リング３５Ｂが構成されている。こうした支持リング３５Ｂによれば、２つ支持リング本体３６ｅによって内管本体３２を両側から挟むようにして組み付けることができる。
【００９６】
また、内管３１の端部３３から支持リング３５Ａを通すことができる場合には、図４（ｃ）に示す支持リング３５Ｃに変更することもできる。なお、支持リング３５Ａと同一の部分については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
【００９７】
支持リング３５Ｃは、環状の支持リング本体３６ｇを備えている。こうした支持リング３５Ｃは、内管３１の端部３３の外径が内管本体３２の外径と同等、あるいはそれよりも小さい場合に採用することができる。そして、内管３１の端部３３から支持リング３５Ｃを通した後、内管本体３２の外面に支持リング３５Ｃの内面を接着することにより、支持リング３５Ｃを組み付けることができる。このとき、内管本体３２の節部３８によって支持リング３５Ｃを通すことが妨げられるおそれがあるが、真空二重配管３０の長さが比較的短い場合にはその両端付近にのみ支持リング３５Ｃを設けてもよい。
【００９８】
また、支持リング３５Ａを、図４（ｄ）に示す支持リング３５Ｄに変更することもできる。この支持リング３５Ｄによれば、内管３１と外管４１とを、点接触の状態で互いに支持することができる。
【００９９】
支持リング３５Ｄは、「Ｃ」字状に形成された支持リング本体３６ｈを備えている。支持リング本体３６ｈの外面には、所定間隔おきに突起３６ｊ（突出部）が設けられている。突起３６ｊは、支持リング本体３６ｈの外面から、支持リング本体３６ｈの外径方向に延びており、その先端が尖っている。このため、内管本体３２の外周に支持リング３５Ｄを組み付けた場合に、支持リング３５Ｄの突起３６ｊと外管本体４２の内面とが点接触の状態となる。こうした構成によれば、支持リング３５Ｄと外管本体４２との熱伝導、ひいては内管本体３２と外管本体４２との熱伝導を、更に抑制することができる。
【０１００】
次に、供給通路２１Ｈ，２１Ｃ、導入通路２３Ｗ、導出通路２４Ｗ、及び回収通路２２Ｈ，２２Ｃの一部を構成するＬ型継手５０を説明する。
【０１０１】
図５は、Ｌ型継手５０の断面図である。
【０１０２】
Ｌ型継手５０は、上記真空二重配管３０の内管３１を互いに接続する内管継ぎ部５１と、内管継ぎ部５１を覆う外管継ぎ部６１とを備えている。内管継ぎ部５１は、内管３１の内部、すなわち内管３１のガルデンの流路を互いに連通させるものであり、内管継ぎ部５１の内部をガルデンが流通する。内管継ぎ部５１及び外管継ぎ部６１は、それぞれ「Ｌ」字状に延びる管状に形成されており、互いに略等しい長さとなっている。なお、Ｌ型継手５０を真空二重配管と考えることもでき、その場合には内管継ぎ部５１が内管に相当し、外管継ぎ部６１が外管に相当する。
【０１０３】
詳しくは、内管継ぎ部５１及び外管継ぎ部６１は、それぞれ円筒状に形成されており、内管継ぎ部５１が外管継ぎ部６１よりも若干短くなっている。そして、内管継ぎ部５１の外径よりも、外管継ぎ部６１の内径が大きくなっている。このため、内管継ぎ部５１の外面と外管継ぎ部６１の内面との間に空間が形成されており、この空間が上記真空二重配管３０や継手５０を真空に排気する際の排気通路５５（継手排気通路）となっている。
【０１０４】
内管継ぎ部５１及び外管継ぎ部６１は、それらの延びる方向（長手方向）において、両端部の間の部分がそれぞれ密閉されている。このため、内管継ぎ部５１の内部にガルデンを流通させた場合に、ガルデンが内管継ぎ部５１の外部に漏れることを防ぐことができる。また、継手５０の排気通路５５を真空に排気した場合に、内管継ぎ部５１の内部からこの排気通路５５にガルデンが漏れることや、外管継ぎ部６１の外部からこの排気通路５５に空気が侵入することを防ぐことができる。
【０１０５】
内管継ぎ部５１及び外管継ぎ部６１の延びる方向において、排気通路５５の両端部は開放されている。このため、継手５０を介して２つの真空二重配管３０を接続した場合に、真空二重配管３０の内管３１と外管４１との間の各空間（排気通路３７）を、排気通路５５を通じて互いに連通させることができる。
【０１０６】
内管継ぎ部５１は、直線状に延びる円筒状の配管を曲げて形成されている。このため、内管継ぎ部５１の管壁は、この曲げ加工が可能なように上記内管３１の内管本体３２よりも厚くされている。具体的には、内管継ぎ部５１の管壁の厚みは略０．５ｍｍであり、従来の真空二重配管における管壁の厚みよりは薄くされている。内管継ぎ部５１は、内管３１と同様に、ＳＵＳ３１６Ｌにより形成されている。
【０１０７】
内管継ぎ部５１は、「Ｌ」字状に形成されているため、直線状に延びる構成と比較して、径方向の力に対する強度を高くすることができる。また、内管継ぎ部５１の内部にガルデンが流通させられるとともに、内管継ぎ部５１の外部は真空に排気される。このため、内管継ぎ部５１には、内面から外面への向きの力が作用する。管状の部材では、こうした内側からの力に対しては、外側からの力と比較して強度を確保することが容易である。
【０１０８】
したがって、内管継ぎ部５１には、内管３１の内管本体３２に設けられた節部３８に相当する構成が設けられていないが、内管本体３２よりも管壁が厚くされていることと併せて、Ｌ型継手５０として必要な強度を確保することができる。
【０１０９】
内管継ぎ部５１の両端部はそれぞれ、上記真空二重配管３０の内管３１に接続される内管接続部５３となっている。内管接続部５３の外径は、内管３１の端部３３の内径よりも若干小さくされている。
【０１１０】
外管継ぎ部６１は、外管継ぎ部本体６２とその両端に設けられた外管接続部６３とを備えている。外管継ぎ部本体６２は、内管継ぎ部５１と同様にして、直線状に延びる円筒状の配管を曲げて形成されている。外管継ぎ部本体６２は、外管４１と同様に、ＳＵＳ３１６Ｌにより形成されており、その管壁の厚みは略０．５ｍｍである。このため、外管継ぎ部本体６２も、Ｌ型継手５０として必要な強度を確保することができる。
【０１１１】
外管接続部６３には、上記真空二重配管３０の外管４１が接続される。外管接続部６３の内径は、外管４１の端部４３の外径よりも若干大きくされている。
【０１１２】
外管接続部６３の内面には、段部６４が環状に設けられている。そして、外管接続部６３において、段部６４よりも端側の部分（拡径部分６３ａ）の内径が、その反対側の部分の内径よりも大きくなっている。
【０１１３】
段部４４は、上記外管４１の端部４３の外周に取り付けられるＯリング、すなわち外管接続部６３の拡径部分６３ａの内周に配置されるＯリングを、外管接続部６３の延びる方向に押圧することのできる寸法に形成されている。このため、外管４１の端部４３の外周にＯリングを取り付けた場合に、Ｏリングの外径と拡径部分６３ａの内径とが略一致する。
【０１１４】
また、外管接続部６３の拡径部分６３ａの内面には、上記係止リングを嵌合可能な環状の溝６５が設けられている。溝６５において、周方向に垂直な断面の形状は、矩形状となっている。
【０１１５】
内管継ぎ部５１の外周には、内管継ぎ部５１と外管継ぎ部６１とを互いに支持する支持リング３５Ｃ（支持部材）が組み付けられている。上述したように、支持リング３５Ｃは、図４（ｃ）に示す構成を有しており、ガルデンの使用温度域において耐熱性を有する断熱性の樹脂により形成されている。
【０１１６】
支持リング３５Ｃの内径は、内管継ぎ部５１の外径と略等しくされている。支持リング３５Ｃは、内管継ぎ部５１の内管接続部５３から、内管継ぎ部５１の中央側へ通されている。そして、内管継ぎ部５１の外面に支持リング３５Ｃの内面が接着されている。
【０１１７】
支持リング３５Ｃの角部３６ｃと外管継ぎ部本体６２の内面とが線接触の状態となっている。これにより、内管継ぎ部５１と外管継ぎ部６１とが、線接触の状態で互いに支持されている。
【０１１８】
次に、バイパス通路２５Ｈ，２５Ｃの一部を構成するＵ型継手５０Ｕを説明する。
【０１１９】
図６は、Ｕ字状に形成されたＵ型継手５０Ｕの断面図である。Ｕ型継手５０Ｕは、上記Ｌ型継手５０の中間部分に、ベローズ部５６，６６を挿入した構成となっている。このため、Ｌ型継手５０と同一の部材については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
【０１２０】
Ｕ型継手５０Ｕは、内管接続部５３及びそれを覆う外管接続部６３を、両端にそれぞれ備えている。そして、各内管接続部５３を端部として、各内管継ぎ部５１がＬ字状に延びている。各外管接続部６３には、各外管継ぎ部本体６２が接続されており、各外管継ぎ部本体６２が各内管継ぎ部５１を覆うようにＬ字状に延びている。そして、２組の内管接続部５３、外管接続部６３、内管継ぎ部５１、及び外管継ぎ部本体６２は、互いに対称に配置されている。
【０１２１】
２つの内管継ぎ部５１が内管ベローズ部５６によって接続され、２つの外管継ぎ部本体が外管ベローズ部６６によって接続されている。ベローズ部５６，６６の全体形状は、それぞれ直線状に延びている。外管ベローズ部６６は、内管ベローズ部５６を覆っている。内管ベローズ部５６の外面と外管ベローズ部６６の内面との間には、空間が形成されている。なお、Ｕ型継手５０Ｕを真空二重配管と考えることもでき、その場合には内管継ぎ部５１及び内管ベローズ部５６が内管に相当し、外管継ぎ部本体６２及び外管ベローズ部６６が外管に相当する。
【０１２２】
ベローズ部５６，６６は、上記真空二重配管３０の内管本体３２，外管本体４２と同様に、ＳＵＳ３１６Ｌにより形成されている。ベローズ部５６，６６の管壁の厚みは０．１５ｍｍである。
【０１２３】
ベローズ部５６は、連続して複数形成された節部５６ａを有している。ベローズ部６６は、連続して複数形成された節部６６ａを有している。これらの節部５６ａ，６６ａは、上記内管３１の節部３８、外管４１の節部４８と同様の方法で形成されている。このため、ベローズ部５６，６６は、従来よりも非常に薄い管壁を採用しつつ、Ｕ型継手５０Ｕとして必要な強度を確保することができる。
【０１２４】
外管ベローズ部６６の両端部の内周には、上記支持リング３５Ｃが配置されている。支持リング３５Ｃは、内管継ぎ部５１の内管接続部５３の外周に設けられている。そして、支持リング３５Ｃの角部３６ｃと外管ベローズ部６６の端部の内面とが線接触の状態となっている。これにより、内管継ぎ部５１と外管ベローズ部６６とが、線接触の状態で互いに支持されている。
【０１２５】
内管ベローズ部５６、外管ベローズ部６６、及び支持リング３５Ｃの組み付け手順は、以下の通りである。
【０１２６】
まず、対向して配置された２つの内管接続部５３の外周にそれぞれ支持リング３５Ｃを組み付けた後、一方の内管接続部５３に内管ベローズ部５６を溶接により接続する。そして、その接続された内管ベローズ部５６を覆うようにして、一方の外管継ぎ部本体６２の端部に外管ベローズ部６６を溶接により接続する。
【０１２７】
内管ベローズ部５６を伸ばすとともに、外管ベローズ部６６を縮めることにより、内管ベローズ部５６の接続されていない側の端部を、外管ベローズ部６６の内部から露出させる。そして、その露出した内管ベローズ部５６の端部を、他方の内管接続部５３に溶接により接続する。その後、その接続された内管ベローズ部５６を覆うようにして、他方の外管継ぎ部本体６２の端部に外管ベローズ部６６を溶接により接続する。
【０１２８】
Ｌ型継手５０及びＵ型継手５０Ｕの各外管接続部６３には、上記係止リングに対して操作することを可能とする操作部が設けられている。
【０１２９】
図７は、操作部の正面図である。操作部６９は、外管接続部６３の拡径部分６３ａに設けられている。操作部６９は、挿入部６７と覗き部６８（視認部）とを備えている。
【０１３０】
挿入部６７は、係止リングの摘み部を挿入可能とするものであり、拡径部分６３ａの端部に切り欠き状に形成されている。詳しくは、外管接続部６３の延びる方向において、外管接続部６３の端側から拡径部分６３ａの一部を矩形状に切り欠くことにより、挿入部６７が形成されている。拡径部分６３ａの周方向における挿入部６７の幅は、係止リングの摘み部が占める幅よりも若干広くされている。
【０１３１】
覗き部６８は、挿入部６７の一部を拡径部分６３ａの周方向へ拡大するように形成されている。詳しくは、外管接続部６３の延びる方向における挿入部６７の一部が、拡径部分６３ａの周方向へそれぞれ矩形状に拡大されている。この拡大された部分が、覗き部６８となっている。外管接続部６３の延びる方向における覗き部６８の幅は、拡径部分６３ａに設けられた上記溝６５の幅よりも若干広くなっている。このため、この溝６５に嵌合される係止リングの状態を、覗き部６８を通じて確認することができる。
【０１３２】
図８は、バルブユニット７０Ａ及びその周辺の斜視図である。
【０１３３】
高温側の供給通路２１Ｈと高温側のバイパス通路２５Ｈとが、供給側のバルブユニット７０Ａを介して接続されている。供給通路２１Ｈとバイパス通路２５Ｈとは、同一直線上に配置されている。同様にして、低温側の供給通路２１Ｃと低温側のバイパス通路２５Ｃとが、バルブユニット７０Ａを介して接続されている。供給通路２１Ｃとバイパス通路２５Ｃとは、同一直線上に配置されている。
【０１３４】
また、導入通路２３Ｗと予備通路８７とが、バルブユニット７０Ａを介して接続されている。導入通路２３Ｗと予備通路８７とは、同一直線上に配置されている。
【０１３５】
そして、高温側の供給通路２１Ｈ及び高温側のバイパス通路２５Ｈと、導入通路２３Ｗ及び予備通路８７とは、ねじれの位置にある。同様にして、低温側の供給通路２１Ｃ及び低温側のバイパス通路２５Ｃと、導入通路２３Ｗ及び予備通路８７とは、ねじれの位置にある。
【０１３６】
なお、回収側のバルブユニット７０Ｂにおいても、回収通路２２Ｈ及びバイパス通路２５Ｈと、導出通路２４Ｗとは、ねじれの位置にある。同様にして、回収通路２２Ｃ及びバイパス通路２５Ｃと、導出通路２４Ｗとは、ねじれの位置にある。
【０１３７】
予備通路８７は、上記真空二重配管３０と同様の構成を備えている。予備通路８７の内管及び外管の各端部は、封止フランジ８７ａによって封鎖されている。封止フランジ８７ａは、取付金具８８によって予備通路８７の端部に取り付けられている。なお、この封止フランジ８７ａに代えて、真空計を設けることもできる。その場合には、予備通路８７の内管を封鎖するとともに、その内管と外管との間の空間（排気通路）に真空計の検出部を配置させるとよい。
【０１３８】
バルブユニット７０Ａは、バルブ７６Ｈ，７６Ｃを備えている。バルブ７６Ｈ，７６Ｃの上部には、各弁体を駆動する駆動部７６ａがそれぞれ設けられている。駆動部７６ａは、シリンダ及びピストン（駆動部材）を備えており、外部からシリンダに導入出される圧縮空気により、ピストンが往復動させられる。これにより、ピストンに連結された弁体が往復駆動される。
【０１３９】
図９は、バルブユニットを正面方向から見た断面図である。図１０は、図９の１０−１０線断面図である。
【０１４０】
バルブユニット７０Ａ（７０Ｂ）は、高温側のバルブ７６Ｈと低温側のバルブ７６Ｃとを備えている。バルブ７６Ｈとバルブ７６Ｃとは、向きを揃えて並べて配置されている。バルブ７６Ｈ，７６Ｃはそれぞれ、バルブ本体７７及び弁体７８を備えている。
【０１４１】
バルブ本体７７は内部に、ガルデンの流通する第１本体通路７７ａ及び第２本体通路７７ｂを備えている。第１本体通路７７ａは、直線状に形成されており、その両端が開口している。第１本体通路７７ａの中間部分は、第２本体通路７７ｂに連通している。第２本体通路７７ｂは、直線状に形成されており、その一方の端部が第１本体通路７７ａに直交している。第２本体通路７７ｂの他方の端部には、ガイド部７７ｃが設けられている。第２本体通路７７ｂの中間部分は、互いに対向する２箇所で開口している。
【０１４２】
弁体７８は、上記ピストンから作用させられる駆動力により往復駆動され、第１本体通路７７ａと第２本体通路７７ｂとの連通部を、連通状態と遮断状態とに切り替える。弁体７８は、上記ガイド部７７ｃにより、摺動可能に支持されている。
【０１４３】
高温側のバルブ７６Ｈにおける第１本体通路７７ａの各端部には、高温側の第１流体通路部７１Ｈが接続されている。すなわち、２つの第１流体通路部７１Ｈが、第１本体通路７７ａを介して接続されている。第１流体通路部７１Ｈは、直線状に延びるとともに、円筒状に形成されている。これらの第１本体通路７７ａ及び第１流体通路部７１Ｈは、同一直線上に配置されている。
【０１４４】
同様にして、低温側のバルブ７６Ｃにおける第１本体通路７７ａの各端部には、低温側の第１流体通路部７１Ｃが接続されている。すなわち、２つの第１流体通路部７１Ｃが、第１本体通路７７ａを介して接続されている。第１流体通路部７１Ｃは、直線状に延びるとともに、円筒状に形成されている。これらの第１本体通路７７ａ及び第１流体通路部７１Ｃは、同一直線上に配置されている。
【０１４５】
高温側のバルブ７６Ｈにおける第２本体通路７７ｂの一方の開口部には、第２流体通路部７２が接続され、他方の開口部には、接続通路部７３が接続されている。すなわち、第２流体通路部７２と接続通路部７３とが、第２本体通路７７ｂを介して接続されている。同様にして、低温側のバルブ７６Ｃにおける第２本体通路７７ｂの一方の開口部には、第２流体通路部７２が接続され、他方の開口部には、接続通路部７３が接続されている。すなわち、第２流体通路部７２と接続通路部７３とが、第２本体通路７７ｂを介して接続されている。
【０１４６】
ここで、バルブ本体７７において、第２本体通路７７ｂの通路壁は、第１本体通路７７ａの通路壁よりも薄く形成されている。このため、第１本体通路７７ａと接続通路部７３との間の熱伝導を抑制することができ、ひいては高温側のバルブ７６Ｈと低温側のバルブ７６Ｃとの間の熱伝導を抑制することができる。また、第２本体通路７７ｂの熱容量を小さくすることができるため、第２本体通路７７ｂの内部を流通する流体の温度が変更される際に、流体の熱損失を抑制することができる。
【０１４７】
接続通路部７３は、バルブ７６Ｈ，７６Ｃで共通となっており、それぞれのバルブ本体７７を互いに接続している。接続通路部７３は、直線状に延びるとともに、円筒状に形成されている。高温側のバルブ７６Ｈの第２流体通路部７２、低温側のバルブ７６Ｃの第２流体通路部７２、及び接続通路部７３は、同一直線上に配置されている。
【０１４８】
接続通路部７３の中間部分には、ベローズ部７３ａが設けられている。このため、第２流体通路部７２及び接続通路部７３の温度変化により、これらが伸縮したとしても、その伸縮をベローズ部７３ａによって吸収することができる。
【０１４９】
接続通路部７３において、ベローズ部７３ａの管壁は他の部分の管壁よりも薄く形成されているが、ベローズ部７３ａの節部により強度が確保されている。このため、高温側のバルブ７６Ｈと低温側のバルブ７６Ｃとの間の熱伝導を抑制することができる。また、接続通路部７３の熱容量を小さくすることができるため、接続通路部７３の内部を流通する流体の温度が変更される際に、流体の熱損失を抑制することができる。
【０１５０】
高温側のバルブ７６Ｈに関して、上記第１本体通路７７ａ及び第１流体通路部７１Ｈと、第２流体通路部７２及び接続通路部７３とは、ねじれの位置にある。そして、ねじれの位置にあるこれらが、第２本体通路７７ｂによって接続されている。同様にして、低温側のバルブ７６Ｃに関して、上記第１本体通路７７ａ及び第１流体通路部７１Ｃと、第２流体通路部７２及び接続通路部７３とは、ねじれの位置にある。そして、ねじれの位置にあるこれらが、第２本体通路７７ｂによって接続されている。
【０１５１】
高温側のバルブ７６Ｈの第１本体通路７７ａ及び第１流体通路部７１Ｈと、低温側のバルブ７６Ｃの第１本体通路７７ａ及び第１流体通路部７１Ｃとは、並列に配置されており、詳しくは互いに平行に配置されている。
【０１５２】
また、バルブユニット７０Ａは、バルブケース８１を備えている。バルブケース８１は、高温側のバルブ７６Ｈに関して、バルブ本体７７、第１流体通路部７１Ｈ、第２流体通路部７２、及び接続通路部７３を覆っている。同様にして、バルブケース８１は、低温側のバルブ７６Ｃに関して、バルブ本体７７、第１流体通路部７１Ｃ、第２流体通路部７２、及び接続通路部７３を覆っている。なお、バルブユニット７０Ａ（７０Ｂ）を真空二重配管と考えることもでき、その場合にはバルブ本体７７、第１流体通路部７１Ｈ、第２流体通路部７２、及び接続通路部７３が内管に相当し、バルブケース８１が外管に相当する。
【０１５３】
バルブケース８１は、バルブケース本体８２と４つの外管接続部８３とを備えている。
【０１５４】
バルブケース本体８２は、直方体状に形成されており、主にバルブ７６Ｈ，７６Ｃの各バルブ本体７７及び接続通路部７３を覆っている。高温側の第１流体通路部７１Ｈ、低温側の第１流体通路部７１Ｃ、及び第２流体通路部７２は、それぞれ外管接続部８３によって覆われている。
【０１５５】
図７に示すように、外管接続部８３は、外管接続部６３と同様の構成を備えている。すなわち、外管接続部８３は、拡径部分６３ａ、段部６４、溝６５、挿入部６７、覗き部６８、操作部６９にそれぞれ対応して、拡径部分８３ａ、段部８４、溝８５、挿入部６７、覗き部６８、操作部６９を備えている。
【０１５６】
図９，１０に戻り、バルブケース８１では、外管接続部８３の拡径部分８３ａ同士の間の途中部分が密閉されている。すなわち、バルブケース８１は、外管接続部８３の各端部でのみ開口している。
【０１５７】
バルブ７６Ｈ，７６Ｃ及び接続通路部７３の外面と、バルブケース８１の内面、詳しくはバルブケース本体８２の内面との間に空間が形成されている。また、第１流体通路部７１Ｈ，７１Ｃ及び第２流体通路部７２の外面と、バルブケース８１の内面との間に空間が形成されている。そして、これらの空間によって、排気通路７５が形成されている。
【０１５８】
排気通路７５は、バルブケース８１の内部全体にわたって連通している。排気通路７５は、各外管接続部８３の内部において第１流体通路部７１Ｈ，７１Ｃの端部でそれぞれ開口している。また、排気通路７５は、各外管接続部８３の内部において第２流体通路部７２の端部でそれぞれ開口している。
【０１５９】
このため、バルブユニット７０Ａ，７０Ｂを介して２つの真空二重配管３０を接続した場合に、真空二重配管３０の内管３１と外管４１との間の各空間（排気通路３７）を、排気通路７５を通じて互いに連通させることができる。
【０１６０】
排気通路７５では、これらの開口部の間の途中部分が密閉されている。このため、排気通路７５を真空に排気した場合に、各通路部及びバルブ７６Ｈ，７６Ｃから排気通路７５にガルデンが漏れることや、バルブケース８１の外部からこの排気通路７５に空気が侵入することを防ぐことができる。
【０１６１】
バルブユニット７０Ａは、高温側の第１流体通路部７１Ｈ及びそれを覆う外管接続部８３を２組備えている。そして、その１組には高温側の供給通路２１Ｈを構成する真空二重配管３０が接続され、他の１組には高温側のバイパス通路２５Ｈを構成する真空二重配管３０が接続される。
【０１６２】
同様にして、バルブユニット７０Ａは、低温側の第１流体通路部７１Ｃ及びそれを覆う外管接続部８３を２組備えている。そして、その１組には低温側の供給通路２１Ｃを構成する真空二重配管３０が接続され、他の１組には低温側のバイパス通路２５Ｃを構成する真空二重配管３０が接続される。
【０１６３】
なお、上記高温側の供給通路２１Ｈに接続される組と低温側の供給通路２１Ｃに接続される組とが並列になり、高温側のバイパス通路２５Ｈに接続される組と低温側のバイパス通路２５Ｃに接続される組とが並列になる。
【０１６４】
また、バルブユニット７０Ａは、第２流体通路部７２及びそれを覆う外管接続部８３を２組備えている。そして、その１組には導入通路２３Ｗを構成する真空二重配管３０が接続され、他の１組には予備通路８７を構成する真空二重配管３０が接続される。
【０１６５】
一方、回収側のバルブユニット７０Ｂでは、高温側の供給通路２１Ｈに代えて高温側の回収通路２２Ｈが接続され、低温側の供給通路２１Ｃに代えて低温側の回収通路２２Ｃが接続される。また、導入通路２３Ｗに代えて導出通路２４Ｗが接続され、予備通路８７に代えて吸引通路１９が接続される。バイパス通路２５Ｈ，２５Ｃの接続については、供給側のバルブユニット７０Ａと同様である。
【０１６６】
バルブ７６Ｈ，７６Ｃの各バルブ本体７７の外周には、バルブ本体７７とバルブケース本体８２とを互いに支持する支持片８６Ｈ，８６Ｃ（支持部材）がそれぞれ組み付けられている。支持片８６Ｈ，８６Ｃは、ガルデンの使用温度域において耐熱性を有する断熱性の樹脂により形成されている。
【０１６７】
詳しくは、支持片８６Ｈ，８６Ｃには、バルブ本体７７の外周に嵌合される貫通孔がそれぞれ形成されている。支持片８６Ｈ，８６Ｃには、互いに直交する方向へ突出する角部８６ａと８６ｅとが設けられている。角部８６ａの稜線と角部８６ｅの稜線とは、互いに直交している。
【０１６８】
そして、バルブ本体７７の外周に支持片８６Ｈ，８６Ｃの貫通孔を嵌合させることにより、バルブ本体７７に支持片８６Ｈ，８６Ｃが組み付けられている。バルブ本体７７の外面に支持片８６Ｈ，８６Ｃの内面がそれぞれ接着されている。
【０１６９】
このとき、角部８６ａ及び８６ｅは、バルブケース８１（詳しくはバルブケース本体８２）において互いに直交する平面部と、それぞれ線接触の状態となっている。すなわち、バルブケース８１が、支持片８６Ｈ，８６Ｃの角部８６ａ及び８６ｅにより線接触の状態で支持されている。これにより、バルブ本体７７とバルブケース８１とが、線接触の状態で互いに支持されている。
【０１７０】
また、支持片８６Ｈ，８６Ｃがバルブ本体７７に取り付けられた状態において、低温側の支持片８６Ｃは、高温側の支持片８６Ｈの方向へ突出する角部８６ｄを有している。これに対応して、高温側の支持片８６Ｈは、低温側の支持片８６Ｃの角部８６ｄを受ける受け部８６ｂを有している。そして、低温側の支持片８６Ｃの角部８６ｄと、高温側の支持片８６Ｈの受け部８６ｂとが、線接触の状態になっている。
【０１７１】
これにより、高温側のバルブ７６Ｈのバルブ本体７７と、低温側のバルブ７６Ｃのバルブ本体７７とが、互いに線接触の状態で支持されている。したがって、１つのバルブケース８１内に、高温側のバルブ７６Ｈと低温側のバルブ７６Ｃとを収容したとしても、それらの間で熱伝導が行われることを抑制しつつ、それらを互いに支持することができる。
【０１７２】
図１１は、真空二重配管３０と、継手５０，５０Ｕ（バルブユニット７０Ａ，７０Ｂ）との接続状態を示す断面図である。詳しくは、真空二重配管３０における内管３１の端部３３と、継手５０，５０Ｕ（バルブユニット７０Ａ，７０Ｂ）の内管接続部５３（第２流体通路部７２の接続部）との接続状態を示している。また、真空二重配管３０における外管４１の端部４３と、継手５０，５０Ｕ（バルブユニット７０Ａ，７０Ｂ）の外管接続部６３（８３）との接続状態を示している。
【０１７３】
真空二重配管３０と継手５０，５０Ｕ（バルブユニット７０Ａ，７０Ｂ）とが接続されることにより、真空二重配管３０における内管３１と外管４１との間の空間（排気通路３７）が、継手５０，５０Ｕ（バルブユニット７０Ａ，７０Ｂ）の排気通路５５（７５）に連通している。これにより、継手５０，５０Ｕ（バルブユニット７０Ａ，７０Ｂ）によって互いに接続される真空二重配管３０では、各真空二重配管３０の排気通路３７が互いに連通することとなる。
【０１７４】
排気通路３７，５５（７５）は、以下のシール構造によりシールされている。ここでは、Ｌ型継手５０の場合を例にして説明する。
【０１７５】
内管シール構造は、内管３１の端部４３とＬ型継手５０の内管接続部５３との間をシールするＯリング３９Ａ（内管シール部材）を備えている。
【０１７６】
具体的には、Ｏリング３９Ａは、内管３１の端部３３に設けられた溝３４に嵌合されている。内管３１の端部４３の内部には、内管３１の軸線方向（長手方向）に沿ってＬ型継手５０の内管接続部５３が挿入されている。そして、内管シール構造では、内管３１の端部３３の内面、詳しくは溝３４の底面と、Ｌ型継手５０の内管接続部５３の外面との間を、Ｏリング３９Ａにより内管３１の径方向でシールしている。
【０１７７】
また、外管シール構造は、外管４１の端部４３とＬ型継手５０の外管接続部６３との間をシールするＯリング３９Ｂ（外管シール部材）を備えている。
【０１７８】
具体的には、Ｏリング３９Ｂは、外管４１の端部４３の外周、すなわち外管接続部６３の拡径部分６３ａの内周に設けられている。外管４１の延びる方向（長手方向）に関して、Ｏリング３９Ｂは、外管４１の端部４３に設けられた段部４４と、外管接続部６３の段部６４との間に設けられおり、これらの段部４４，６４によって押圧されている。これにより、外管シール構造では、外管４１の端部４３の外面、詳しくは段部４４の表面と、外管接続部６３の内面、詳しくは段部６４の表面との間を、Ｏリング３９Ｂにより外管４１の延びる方向でシールしている。
【０１７９】
真空二重配管３０の外管４１と外管接続部６３（８３）とは、以下の外管接続構造により接続されている。ここでは、上記と同様に、Ｌ型継手５０の場合を例にして説明する。
【０１８０】
外管接続構造は、外管４１の端部４３と、Ｌ型継手５０の外管接続部６３、詳しくは拡径部分６３ａとを取り外し可能な状態で接続する係止リング５７（接続部材）を備えている。係止リング５７は、外管４１の端部４３に設けられた溝４６と、外管接続部６３の拡径部分６３ａに設けられた溝６５との双方に嵌合している。
【０１８１】
これにより、外管接続構造では、外管４１の端部４３と、外管接続部６３の拡径部分６３ａとの接続状態が、係止リング５７により保持されている。この状態では、上記段部４４，６４によってＯリング３９Ｂが押圧され、Ｏリング３９Ｂは所定量変形された状態となっている。
【０１８２】
図１２（ａ）は係止リング５７を示す斜視図であり、図１２（ｂ）はその係止状態を示す斜視図である。
【０１８３】
係止リング５７は、「Ｃ」字状に形成された係止リング本体５７ａと、係止リング本体５７ａの各端部に設けられた摘み部５７ｂとを備えている。
【０１８４】
係止リング本体５７ａは、外管４１の端部４３に設けられた溝４６と、外管接続部６３の拡径部分６３ａに設けられた溝６５との双方に嵌合する。このため、係止リング本体５７ａの径方向の厚みは、係止リング本体５７ａの全周にわたって一定であり、溝４６の深さと溝６５の深さとの合計よりも若干小さくなっている。さらに、係止リング本体５７ａの径方向の厚みは、係止リング本体５７ａの幅方向（係止リング本体５７ａの中心軸線方向）で一定である。
【０１８５】
摘み部５７ｂは、係止リング本体５７ａの各端部において、係止リング本体５７ａの外径方向に突出している。摘み部５７ｂの幅は、係止リング本体５７ａの幅と等しくされている。
【０１８６】
そして、係止リング本体５７ａ及び摘み部５７ｂの幅は、外管４１の端部４３に設けられた溝４６の幅、及び外管接続部６３の拡径部分６３ａに設けられた溝６５の幅よりも若干狭くされている。
【０１８７】
ここで、外管接続部６３の延びる方向における上記覗き部６８の幅は、拡径部分６３ａに設けられた溝６５の幅よりも若干広くなっている。このため、この溝６５に嵌合された係止リング５７の状態を、覗き部６８を通じて確認することができる。
【０１８８】
係止リング５７は、弾性材料により形成されており、例えば、ばね鋼により形成されている。係止リング５７では、自然状態（非装着時）において摘み部５７ｂ同士が離間した状態となっている。そして、摘み部５７ｂ同士を近付けるように係止リング本体５７ａを縮めた状態では、係止リング本体５７ａの外径が外管接続部６３の溝６５の内径よりも若干小さくなる。
【０１８９】
このとき、係止リング本体５７ａの周方向において、摘み部５７ｂの占める幅、すなわち２つの摘み部５７ｂの両端間の間隔は、外管接続部６３の拡径部分６３ａに設けられた上記挿入部６７の幅よりも狭くなる。一方、係止リング本体５７ａを開放した状態では、係止リング本体５７ａの外径が外管接続部６３の溝６５の内径よりも大きくなる。
【０１９０】
各摘み部５７ｂには、係止リング５７の幅方向に延びる貫通孔５７ｄが設けられている。これらの貫通孔５７ｄは、係止リング本体５７ａを縮める際に使用する工具を挿入可能な寸法に形成されている。
【０１９１】
こうした構成において、外管４１の端部４３と、外管接続部６３の拡径部分６３ａとの接続を、以下の手順で行う。
【０１９２】
係止リング本体５７ａを拡げて外管４１の端部４３から通し、端部４３の溝４６に合わせて係止リング５７を配置する。続いて、摘み部５７ｂの貫通孔５７ｄに工具を挿入して、係止リング本体５７ａを縮めた状態とする。これにより、係止リング本体５７ａが端部４３の溝４６に嵌合した状態となる。
【０１９３】
このとき、２つの摘み部５７ｂの両端間の間隔は、外管接続部６３の挿入部６７の幅よりも狭くなる。このため、この状態を維持しつつ、外管４１の軸線方向に沿って外管接続部６３の内部に外管４１の端部４３を挿入することができる。
【０１９４】
そして、外管接続部６３の溝６５と係止リング５７とが一致した状態で、係止リング５７を開放する。これにより、係止リング５７が弾性により拡がって、係止リング本体５７ａの外面が、外管接続部６３の溝６５の内面に当接した状態となる。
【０１９５】
したがって、係止リング５７が、外管４１の端部４３の溝４６と、外管接続部６３の拡径部分６３ａの溝６５との双方に嵌合した状態となる。その結果、外管４１の端部４３と外管接続部６３の拡径部分６３ａとが接続された状態となる。
【０１９６】
一方、外管４１の端部４３と、外管接続部６３の拡径部分６３ａとの接続状態を解除する場合には、以下の手順で行う。
【０１９７】
摘み部５７ｂの貫通孔５７ｄに工具を挿入して、係止リング本体５７ａを縮めた状態とする。これにより、係止リング５７が、外管４１の端部４３の溝４６に嵌合する一方、外管接続部６３の溝６５から外れた状態となる。すなわち、係止リング本体５７ａが、外管４１の端部４３の溝４６内に収容された状態となる。
【０１９８】
このとき、２つの摘み部５７ｂの両端間の間隔は、外管接続部６３の挿入部６７の幅よりも狭くなる。このため、この状態を維持しつつ、外管４１の軸線方向に沿って、外管接続部６３の内部から外管４１の端部４３を引き出すことができる。
【０１９９】
図１３は、真空ポンプの吸引通路１９と回収側のバルブユニット７０Ｂとの接続状態を示す断面図である。吸引通路１９は、真空二重配管３０から内管３１を除いた構成を有するとともに、ベローズ部４８ａを更に有している。
【０２００】
吸引通路１９とバルブユニット７０Ｂの外管接続部８３との接続構造は、真空二重配管３０の外管４１と外管接続部８３との接続構造と同様である。このため、同一の部材については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
【０２０１】
吸引通路１９が接続された外管接続部８３の内部では、バルブユニット７０Ｂの第２流体通路部７２の端部に密封栓８９が設けられている。密封栓８９は、第２流体通路部７２の端部を封鎖している。このため、第２流体通路部７２の内部を流通するガルデンが、この第２流体通路部７２の端部から漏れることが防がれている。
【０２０２】
バルブユニット７０Ｂの排気通路７５は、吸引通路１９に連通している。このため、吸引通路１９を通じて真空ポンプにより、排気通路７５を真空に排気することができる。
【０２０３】
外管本体４２には、ベローズ部４８ａが設けられている。ベローズ部４８ａは、外管４１の上記節部４８を連続して複数形成することにより形成されている。このため、外管本体４２とベローズ部４８ａとを一体で形成することができる。
【０２０４】
詳しくは、外管本体４２に節部４８及びベローズ部４８ａを形成する際には、外管本体４２は直線状に形成されている。その後、バルブユニット７０Ｂと真空ポンプとの位置関係に応じて、直線状の外管本体４２がベローズ部４８ａで曲げられる。このため、ベローズ部４８ａに曲げ継手の機能を持たせることができる。
【０２０５】
以上の構成を備える温度制御システムは、以下のように制御される。なお、以下の制御は、作業者が行ってもよいし、温度制御システムの制御部が行ってもよい。
【０２０６】
図２に示すように、真空ポンプが駆動され、吸引通路１９を通じて、回収側のバルブユニット７０Ｂの排気通路７５が真空に排気される。
【０２０７】
ここで、排気通路７５は、バルブケース８１の内部全体にわたって連通している。このため、バルブケース８１の各外管接続部８３において、排気通路７５は各真空二重配管３０における内管３１と外管４１との間の空間（排気通路３７）に連通している。したがって、バルブユニット７０Ｂに接続された各通路の真空二重配管３０が真空に排気される。詳しくは、高温側の回収通路２２Ｈ、低温側の回収通路２２Ｃ、導出通路２４Ｗ、高温側のバイパス通路２５Ｈ、及び低温側のバイパス通路２５Ｃを構成する各真空二重配管３０が真空に排気される。
【０２０８】
さらに、バイパス通路２５Ｈ，２５Ｃを通じて、供給側のバルブユニット７０Ａの排気通路７５が真空に排気される。このため、バルブユニット７０Ａに接続されたその他の通路の真空二重配管３０が真空に排気される。詳しくは、高温側の供給通路２１Ｈ、低温側の供給通路２１Ｃ、及び導入通路２３Ｗを構成する各真空二重配管３０が真空に排気される。なお、予備通路８７の内管及び外管の各端部は、封止フランジ８７ａによって封鎖されている。
【０２０９】
ここで、各真空二重配管３０は、継手５０，５０Ｕによって接続されている。そして、真空二重配管３０の排気通路３７は、継手５０，５０Ｕの排気通路５５に連通している。このため、真空二重配管３０を真空に排気することにより、継手５０，５０Ｕの排気通路５５を真空に排気することができる。
【０２１０】
さらに、継手５０，５０Ｕの排気通路５５は、それに共に接続されている真空二重配管３０の各排気通路３７を互いに連通させている。このため、１つの真空二重配管３０が真空に排気されることにより、継手５０，５０Ｕの排気通路５５を通じて複数の真空二重配管３０をまとめて真空に排気することができる。
【０２１１】
このようにして、吸引通路１９を通じて、回収側のバルブユニット７０Ｂの排気通路７５を真空に排気することにより、温度制御システムを構成する通路全体をまとめて真空に排気することができる。
【０２１２】
続いて、供給ユニット１０の開閉弁１１Ｈ，１２Ｈ，１１Ｃ，１２Ｃがそれぞれ開いた状態とされる。そして、圧力計１６Ｈ，１６Ｃの検出値に基づいて絞り弁１７Ｈ，１７Ｃの開度が調節される。すなわち、バイパス通路２５Ｈ，２５Ｃには、高温のガルデン及び低温のガルデンが、常に少量ずつ流通させられる。
【０２１３】
このため、高温のガルデン及び低温のガルデンのいずれがワークホルダ１５に流通させられる場合であっても、高温側の供給通路２１Ｈ及び高温側の回収通路２２Ｈに常に高温のガルデンが流通し、低温側の供給通路２１Ｃ及び低温側の回収通路２２Ｃに常に低温のガルデンが流通させられる。したがって、高温側の供給通路２１Ｈ及び高温側の回収通路２２Ｈの温度低下や、低温側の供給通路２１Ｃ及び低温側の回収通路２２Ｃの温度上昇を抑制することができる。
【０２１４】
その後、所定のタイミングでバルブ７０Ａ，７０Ｂの状態が切り替えられることにより、高温のガルデンと低温のガルデンとが切り替えられて、ワークホルダ１５に流通させられる。
【０２１５】
例えば、ワークホルダ１５に高温のガルデンを流通させる場合には、供給側のバルブユニット７０Ａによって、高温側の供給通路２１Ｈと導入通路２３Ｗとが連通させられるとともに、低温側の供給通路２１Ｃと導入通路２３Ｗとが遮断される。また、回収側のバルブユニット７０Ｂによって、高温側の回収通路２２Ｈと導出通路２４Ｗとが連通させられるとともに、低温側の回収通路２２Ｃと導出通路２４Ｗとが遮断される。
【０２１６】
ここで、導入通路２３Ｗ及び導出通路２４Ｗを構成する真空二重配管３０では、内管本体３２及び外管本体４２の熱容量が従来の真空二重配管と比較して小さくなっている。このため、導入通路２３Ｗ及び導出通路２４Ｗに流通させられるガルデンの温度が変更されたとしても、これらの通路２３Ｗ，２４Ｗの温度変化として吸収される熱エネルギを小さくすることができる。
【０２１７】
こうして、各真空二重配管３０の内管３１の流路にガルデンが流通させられる。さらに、複数の真空二重配管３０が継手５０，５０Ｕで互いに接続され、継手５０，５０Ｕを介して各内管３１の流路にガルデンが流通させられる。
【０２１８】
このとき、内管３１の内部を流通するガルデンの圧力と排気通路３７の圧力との差圧が内管３１に作用し、排気通路３７の圧力と大気圧との差圧が外管４１に作用する。この点、真空二重配管３０の内管３１及び外管４１には、上記節部３８，４８が形成されているため、これらの内管３１及び外管４１の強度を向上させることができる。
【０２１９】
また、真空二重配管３０の内管３１の内部にガルデンが流通することにより、内管３１及び外管４１の温度が変化して内管３１及び外管４１が伸縮することとなる。この点、内管シール構造では、内管３１の端部３３と、内管接続部５３（第２流体通路部７２の接続部）との間を、Ｏリング３９Ａにより内管３１の径方向でシールしている。このため、内管３１と内管接続部５３とが、内管３１の延びる方向（内管３１の軸線方向）に相対移動することを許容することができる。
【０２２０】
特に、導入通路２３Ｗ及び導出通路２４Ｗでは、高温のガルデンと低温のガルデンとが切り替えられて流通させられる。このため、導入通路２３Ｗ及び導出通路２４Ｗを構成する真空二重配管３０及びＬ型継手５０では、他よりも温度変化による伸縮が大きくなる。その場合であっても、内管３１に間隔をおいて複数形成された節部３８によって、内管３１の温度変化による伸縮を吸収することができる。さらに、節部３８によって、ガルデンの流通と遮断とに伴うウォータハンマ現象を抑制することもできる。
【０２２１】
同様に、バルブユニット７０Ａ，７０Ｂの第２流体通路部７２及び接続通路部７３においても、高温のガルデンと低温のガルデンとが切り替えられて流通させられる。この点、接続通路部７３はベローズ部７３ａを含んでいるため、第２流体通路部７２を流通するガルデンの温度が変更されたとしても、温度変化による第２流体通路部７２の伸縮をベローズ部７３ａによって吸収することができる。
【０２２２】
また、Ｕ型継手５０Ｕでは、内管ベローズ部５６及び外管ベローズ部６６によって、内管継ぎ部５１及び外管継ぎ部本体６２の伸縮をそれぞれ吸収することができる。
【０２２３】
なお、温度制御システムが停止されている状態において、真空二重配管３０、継手５０，５０Ｕ、及びバルブユニット７０Ａ，７０Ｂの接続状態を解除して、メンテナンス等を行うことができる。
【０２２４】
すなわち、外管接続構造では、外管４１と外管接続部６３（８３）とが、係止リング５７により取り外し可能な状態で接続されているため、外管４１と外管接続部６３とを取り外すことができる。この際、内管３１と内管接続部５３（第２流体通路部７２の接続部）とは、内管３１の延びる方向に相対移動することが許容されている。このため、外管４１と外管接続部６３との取り外しと同時にこれらも取り外すことができる。
【０２２５】
ここで、操作部６９を介して係止リング５７を操作することにより、外管４１と外管接続部６３，８３との接続状態を解除することができる。このとき、内管３１と内管接続部５３とに対しては外部から操作することができないが、内管３１と内管接続部５３との間は、Ｏリング３９Ａによって内管３１の径方向でシールされているのみである。したがって、真空二重配管３０と継手５０，５０Ｕ（バルブユニット７０Ａ，７０Ｂ）とを、二重配管３０の延びる方向に引き離すことにより、内管３１と内管接続部５３（第２流体通路部７２の接続部）との接続状態を解除することができる。
【０２２６】
以上詳述した本実施形態は以下の利点を有する。
【０２２７】
・真空二重配管３０の内管３１が外管４１によって覆われており、内管３１の外面と外管４１の内面との間の空間によって排気通路３７が形成されている。この排気通路３７は、内管３１の延びる方向（長手方向）において、両端部分が開放されるとともに途中部分が密閉されている。
【０２２８】
このため、１つの真空二重配管３０の排気通路３７を真空に排気することにより、この真空二重配管３０に接続される継手５０，５０Ｕやバルブユニット７０Ａ，７０Ｂ、ひいてはこれらを介して接続される他の真空二重配管３０を真空に排気することができる。その結果、真空二重配管３０を真空に排気する手間（工数や作業時間）を減らすことができる。
【０２２９】
・内管３１の内管本体３２及び外管４１の外管本体４２にはそれぞれ、その管壁を屈曲させて径方向の外側へ環状に突出させた節部３８，４８が間隔をおいて複数形成されている。このため、節部３８，４８によって、内管本体３２に作用する内圧や、外管本体４２に作用する外圧に対する強度を向上させることができる。したがって、内管本体３２及び外管本体４２の管壁を薄くして軽量化したとしても、それらの強度を確保することができる。
【０２３０】
さらに、間隔をおいて複数形成された節部３８，４８によって、内管３１及び外管４１の温度変化による伸縮をそれぞれ吸収することができる。したがって、伸縮ベローズを真空二重配管３０に設けない場合であっても、二重配管３０に生じる熱応力を緩和することができる。
【０２３１】
また、節部３８，４８は、内管本体３２や外管本体４２の管壁を屈曲させて径方向の外側へ環状に突出させることにより形成されているため、内管本体３２や外管本体４２に対してその長手方向（軸線方向）に縮める加工を行うことにより容易に形成することができる。
【０２３２】
・外管本体４２には、節部４８が間隔をおいて複数形成されているため、外管本体４２の管壁を薄くすることができる。その結果、より体積が大きい外管本体４２の管壁部材を軽量化することができるため、二重配管３０を効果的に軽量化することができる。
【０２３３】
・内管３１の内部を流通するガルデンの温度が変更され、内管３１の温度変化が大きくなる場合であっても、内管本体３２に設けられた複数の節部３８によって内管３１の伸縮を吸収することができる。したがって、二重配管３０に生じる熱応力を緩和することができる。
【０２３４】
・内管本体３２と外管本体４２とが、線接触の状態で互いに支持されている。このため、内管３１と外管４１との間の熱伝導を抑制しつつ、これらを互いに支持することができる。
【０２３５】
同様にして、バルブ本体７７とバルブケース本体８２とが、線接触の状態で互いに支持されている。このため、バルブ本体７７とバルブケース本体８２との間の熱伝導を抑制しつつ、これらを互いに支持することができる。
【０２３６】
具体的には、外面に複数の角部を有する支持リング３５Ａ，３５Ｃ、支持片８６Ｃを内管本体３２、内管継ぎ部５１、バルブ本体７７の外周にそれぞれ組み付けている。このため、外管本体４２、外管継ぎ部本体６２、バルブケース本体８２を線接触の状態でそれぞれ支持する構成を、容易に実現することができる。
【０２３７】
・内管本体３２に形成された節部３８に嵌合させて支持リング３５Ａが組み付けられているため、支持リング３５Ａ同士の間隔を調整することが容易となる。さらに、節部３８は内管本体３２の径方向の外側へ環状に突出しているため、内管本体３２の延びる方向へ支持リング３５Ａが移動することを節部３８によって抑制し易くなる。
【０２３８】
・真空二重配管３０の内管３１と外管４１との間の空間（排気通路３７）を真空に排気することにより、排気通路３７に連通する継手５０，５０Ｕの排気通路５５、及びバルブユニット７０Ａ，７０Ｂの排気通路７５を真空に排気することができる。このため、継手５０，５０Ｕの内管継ぎ部５１と外管継ぎ部本体６２との断熱性、及びバルブユニット７０Ａ，７０Ｂの流体通路部７１Ｈ，７１Ｃ，７２とバルブケース８１との断熱性を向上させることができる。したがって、継手５０，５０Ｕの部分、及びバルブユニット７０Ａ，７０Ｂの部分で真空二重配管３０の断熱性が低下することを抑制することができる。
【０２３９】
さらに、上記排気通路５５，７５は、各真空二重配管３０の排気通路３７を互いに連通させているため、１つの真空二重配管３０を真空に排気することにより、これらの排気通路を５５，７５通じて複数の真空二重配管３０をまとめて一回の作業で真空に排気することができる。その結果、真空二重配管３０を真空に排気する手間を減らすことができる。
【０２４０】
・内管シール構造では、内管３１の端部３３と内管接続部５３（第２流体通路部７２の接続部）との間が、Ｏリング３９Ａにより内管３１の径方向でシールされている。このため、内管３１と内管接続部５３とが、内管３１の延びる方向（内管３１の軸線方向）に相対移動することを許容することができる。したがって、内管３１の温度変化による伸縮を吸収して、真空二重配管３０及び継手５０，５０Ｕ（バルブユニット７０Ａ，７０Ｂ）に生じる熱応力を緩和することができる。
【０２４１】
また、外管接続構造では、外管４１の端部４３と外管接続部６３，８３とが、係止リング５７により取り外し可能な状態で接続されている。このため、メンテナンス等を行う際には、外管４１と外管接続部６３，８３とを取り外すことができる。この際、内管３１と内管接続部５３とは、内管３１の延びる方向に相対移動することが許容されているため、外管４１と外管接続部６３，８３との取り外しと同時にこれらも取り外すことができる。
【０２４２】
・外管シール構造では、外管４１の端部４３と外管接続部６３，８３の拡径部分６３ａ，８３ａとの間が、Ｏリング３９Ｂにより外管４１の延びる方向（真空二重配管３０の軸線方向）でシールされている。このため、真空二重配管３０と継手５０，５０Ｕ（バルブユニット７０Ａ，７０Ｂ）とを外管４１の延びる方向に相対移動させることにより、外管４１と外管接続部６３，８３との間をシールすることができる。すなわち、真空二重配管３０と継手５０，５０Ｕとを外管４１の延びる方向で互いに差し込むことにより、外管４１の端部４３と外管接続部６３，８３の拡径部分６３ａ，８３ａとの間をシールすることができる。
【０２４３】
このとき、上述したように、内管シール構造では、内管３１の端部３３と内管接続部５３との間が、Ｏリング３９Ａにより内管３１の径方向でシールされている。このため、真空二重配管３０と継手５０，５０Ｕとを外管４１の延びる方向で互いに差し込むことにより、内管３１と内管接続部５３との間も同時にシールすることができる。
【０２４４】
さらに、Ｏリング３９Ｂが所定量変形された状態で、外管４１の端部４３と外管接続部６３，８３との接続状態が外管接続構造によって保持される。このため、Ｏリング３９Ｂの変形量、すなわち外管接続構造によるシール状態を安定させることができる。そして、この状態が外管接続構造により保持されるため、内管３１と外管接続部６３，８３とが内管３１の延びる方向に相対移動することを規制することができる。
【０２４５】
・第１流体通路部７１Ｃ，７１Ｈと第２流体通路部７２とは、それぞれねじれの位置にあるため、第１流体通路部７１Ｃ，７１Ｈと第２流体通路部７２とは交わることなく、バルブ７６Ｈ，７６Ｃを介してそれぞれ接続されている。したがって、第１流体通路部７１Ｃ，７１Ｈを流通するガルデンと第２流体通路部７２を流通するガルデンとでそれぞれ温度差がある場合であっても、第１流体通路部７１Ｃ，７１Ｈと第２流体通路部７２との間の熱伝導をそれぞれ抑制することができる。その結果、ガルデンの有する熱エネルギの損失を抑制することができる。
【０２４６】
・流体通路部７１Ｈ，７２、及び高温側のバルブ７６Ｈのバルブ本体７７の組と、流体通路部７１Ｃ，７２、及び低温側のバルブ７６Ｃのバルブ本体７７の組とが、バルブケース８１によって覆われている。そして、流体通路部７１Ｈ，７１Ｃ，７２、接続通路部７３、及びバルブ７６Ｈ，７６Ｃと、バルブケース８１との間の空間によって形成される排気通路７５が真空に排気される。このため、２つの組の間の断熱性が低下することを抑制しつつ、１つのバルブケース８１内に２つの組の流体通路部及びバルブを収容することができる。その結果、２つの組の流体通路部及びバルブを含むバルブユニット７０Ａ，７０Ｂ全体を小型化することができる。
【０２４７】
さらに、１つの真空二重配管３０を真空に排気することにより、バルブユニット７０Ａ，７０Ｂの排気通路７５を通じて複数の組に対応する真空二重配管３０を、まとめて真空に排気することができる。したがって、高温側の第１流体通路部７１Ｈ及びバルブ７６Ｈの組と、低温側の第１流体通路部７１Ｃ及びバルブ７６Ｃの組とを、個別にバルブケース８１内に収容する場合と比較して、真空二重配管３０を真空に排気する手間を減らすことができる。
【０２４８】
・接続通路部７３を介して各組の第２流体通路部７２が互いに接続されているため、複数の組の第２流体通路部７２を共通化して、第１流体通路部７１Ｈ，７１Ｃから共通の第２流体通路部７２にガルデンを流入させることができる。その結果、第１流体通路部７１Ｈと第１流体通路部７１Ｃとで流通させるガルデンの温度を互いに異ならせることにより、第２流体通路部７２に流通させる流体の温度を変更することができる。
【０２４９】
ここで、接続通路部７３はベローズ部７３ａを含んでいるため、第２流体通路部７２を流通するガルデンの温度が変更されたとしても、温度変化による第２流体通路部７２の伸縮をベローズ部７３ａによって吸収することができる。したがって、第２流体通路部７２及びバルブ７６Ｈ，７６Ｃに生じる熱応力を緩和することができる。
【０２５０】
・操作部６９を介して係止リング５７を操作することにより、外管４１と外管接続部６３（８３）との接続状態を解除することができる。このとき、内管３１と内管接続部５３（第２流体通路部７２の接続部）との間は、Ｏリング３９Ａによって内管３１の径方向でシールされているのみである。したがって、真空二重配管３０と継手５０，５０Ｕ（バルブユニット７０Ａ，７０Ｂ）とを二重配管３０の延びる方向に引き離すことにより、内管３１と内管接続部５３との接続状態を解除することができる。その結果、真空二重配管３０と継手５０，５０Ｕとの接続状態を容易に解除することができる。
【０２５１】
・前記操作部６９は、外管４１と外管接続部６３，８３とが係止リング５７により接続されていることを視認可能とする覗き部６８を含むといった構成を採用している。このため、係止リング５７に対して操作することを可能とする操作部６９に、外管４１と外管接続部６３，８３との接続を視認可能とする覗き部６８としての機能を持たせることができる。したがって、覗き部６８を設けるための加工工数が増加することを抑制しつつ、外管４１と外管接続部６３，８３とをより確実に接続することができる。
【０２５２】
・吸引通路１９では、節部４８を連続して複数形成することにより、ベローズ部４８ａが形成されている。このため、ベローズ部４８ａにおいて管を曲げることが可能となり、ベローズ部４８ａに曲げ継手の機能を持たせることができる。したがって、曲がった状態で設置される吸引通路１９の場合でも、一体で長く形成することができる。その結果、吸引通路１９の接続部を減らすことができるため、吸引通路１９の密閉性を向上させることができる。
【０２５３】
上記実施形態に限定されず、例えば次のように実施することもできる。
【０２５４】
・バルブユニット７０Ａ，７０Ｂにおいて、ベローズ部７３ａを含まない接続通路部７３を採用することもできる。
【０２５５】
・図１４に示すように、外管１４１の端部１４３の外面に環状の溝１４４を設けて、この溝１４４にＯリング３９Ｂを嵌合させてもよい。すなわち、外管シール構造として、外管１４１の端部１４３と外管接続部１６３（１８３）との間を、Ｏリング３９Ｂによって外管１４１の径方向でシールするようにしてもよい。
【０２５６】
こうした構成によれば、外管１４１の軸線方向において外管１４１と外管接続部１６３（１８３）とを位置合わせすることが容易となる。ただし、シール性に関しては、一般に、Ｏリング３９Ｂによって外管１４１の延びる方向（軸線方向）でシールする構成の方が優れている。
【０２５７】
また、内管接続部５３（第２流体通路部７２の接続部）の外面に環状の溝を設けてＯリング３９Ａを嵌合させる構成や、外管接続部１６３（１８３）の外面に環状の溝を設けてＯリング３９Ｂを嵌合させる構成を採用することもできる。
【０２５８】
・同図に示すように、外管接続構造として、外管接続部１６３（１８３）の内面に断面形状が三角形である環状の溝１６５（１８５）を設けるとともに、この溝１６５に嵌合する環状の返し１５７ａを有する係止リング１５７を採用することもできる。
【０２５９】
こうした構成において、外管１４１の端部１４３の溝４６に係止リング１５７を合わせて縮めた状態とし、外管１４１の軸線方向に沿って外管接続部１６３の内部に外管１４１の端部１４３を挿入する。そして、係止リング１５７の返し１５７ａが、外管接続部１６３の溝１６５に到達すると、係止リング１５７が弾性により拡がってこれらが嵌合した状態となる。これにより、外管１４１の端部１４３と外管接続部１６３とを接続することができる。
【０２６０】
・図１４に示す係止リング１５７及び外管接続部１６３（１８３）において、図１５に示す操作部１６９を採用することが有効である。操作部１６９は、外管接続部１６３の軸線方向に沿って、外管接続部１６３の端部から溝１６５（１８５）まで延びる切り欠きとなっている。操作部１６９は、外管接続部１６３の周方向において、所定間隔おきに複数設けられている。
【０２６１】
こうした構成において、複数の操作部１６９を介して係止リング１５７を内径方向に押圧することにより、係止リング１５７を縮めた状態とする。そして、係止リング１５７が縮められて返し１５７ａが溝１６５から外れた状態において、外管１４１と外管接続部１６３とを外管１４１の延びる方向に引き離す。これにより、外管１４１と外管接続部１６３との接続状態を解除することができる。
【０２６２】
また、外管接続部１６３の周方向における操作部１６９の幅を拡大することにより、操作部１６９を通じて係止リング１５７の返しと外管接続部１６３の溝１６５との嵌合状態を視認することができる。すなわち、外管１４１の端部１４３と外管接続部１６３とが係止リング１５７により接続されていることを視認可能とする視認部としての機能を、操作部１６９に持たせることができる。
【０２６３】
なお、上述した外管接続部６３，８３の操作部６９や、外管接続部１６３，１８３の操作部１６９を備えていない外管接続部を採用することもできる。すなわち、外管と外管接続部とが、必ずしも取り外し可能でなくてもよい。
【０２６４】
・図４（ｄ）に示す支持リング３５Ｄや、図４（ａ）に示す支持リング３５Ａにおいて溝３６ｄが設けられていない構成を採用するとともに、内管３１の延びる方向（軸線方向）において支持リングの両側近傍に内管３１の節部３８を設けた構成を採用することもできる。こうした構成によれば、内管３１の延びる方向へ支持リングが移動することを、節部３８によって抑制することができる。なお、支持リングを挟む節部３８同士の間隔が広い場合であっても、支持リングが節部３８に当接するまで移動した段階で、支持リングがそれ以上移動することを抑制することができる。
【０２６５】
また、内管３１や外管４１の一部を突出させて突出部や角部を形成し、その突出部や角部によって、内管３１と外管４１とを点接触又は線接触の状態で互いに支持することもできる。同様にして、継手５０，５０Ｕにおいて、内管継ぎ部５１や外管継ぎ部６１の一部を突出させて突出部や角部を形成し、その突出部や角部によって、内管継ぎ部５１と外管継ぎ部６１とを点接触又は線接触の状態で互いに支持することもできる。バルブユニット７０Ａ，７０Ｂにおいて、バルブ本体７７やバルブケース８１の一部を突出させて突出部や角部を形成し、その突出部や角部によって、バルブ本体７７とバルブケース８１とを点接触又は線接触の状態で互いに支持することもできる。
【０２６６】
・図５に示すＬ型継手５０について、内管継ぎ部５１及び外管継ぎ部本体６２を直線状に変更して、Ｉ型継手とすることもできる。この場合には、内管継ぎ部５１や外管継ぎ部本体６２を、真空二重配管３０の内管本体３２や外管本体４２に準じた構成とすることが有効である。すなわち、内管継ぎ部５１や外管継ぎ部本体６２の管壁を、従来の真空二重配管における管壁よりも薄く形成するとともに、節部３８，４８と同様の節部を単数あるいは複数設けるとよい。
【０２６７】
また、図６に示すＵ型継手５０Ｕについて、内管継ぎ部５１及び外管継ぎ部本体６２を直線状に変更して、Ｉ型継手とすることもできる。そのＩ型継手において更に、ベローズ部５６，６６の部分を三叉の通路部に変更して、Ｔ型継手とすることもできる。なお、Ｕ型継手５０Ｕにおいて、ベローズ部５６，６６の部分を三叉の通路部に変更して、Ｙ型継手とすることもできる。
【０２６８】
また、図６に示すＵ型継手５０Ｕについて、内管継ぎ部５１及び外管継ぎ部本体６２を直線状に変更するとともに、ベローズ部５６，６６をＬ型に曲げることにより、Ｌ型継手とすることもできる。
【０２６９】
その場合には、図１３に示す吸引通路１９と同様にして、内管継ぎ部５１及びベローズ部５６と、外管継ぎ部本体６２及びベローズ部６６とを、それぞれ一体で形成することが有効である。さらに、内管継ぎ部５１及び外管継ぎ部本体６２に、それぞれ節部３８，４８と同様の節部を設けることが有効である。
【０２７０】
また、図１３に示す吸引通路１９に対して、吸引通路１９よりも径が小さく吸引通路１９と同様の構成を有する内管を設けることにより、Ｌ型の真空二重配管とすることもできる。こうした構成によれば、ベローズ部において二重配管を曲げることが可能となり、ベローズ部に曲げ継手の機能を持たせることができる。したがって、曲がった状態で設置される二重配管の場合でも、一体で長く形成することができる。その結果、二重配管の接続部を減らすことができるため、二重配管管の密閉性を向上させることができる。
【０２７１】
・図１６に示すように、真空二重配管３０に接続される継手１５０において、内管接続部２５３と外管接続部２６３とがベローズ部２６６を介して接続されており、内管接続部２５３と外管接続部２６３との間がベローズ部２６６によってシールされているといった構成を採用することもできる。
【０２７２】
ここでは、外管接続部２６３にフランジ２６７が設けられており、フランジ２６７にはボルト孔２６７ａが設けられている。また、内管接続部２５３にはフランジ２５７が設けられている。そして、例えば、供給ユニット１０の筺体に対して、外管接続部２６３が外側に配置され、内管接続部２５３が内側に配置されるように継手１５０をボルトで固定する。
【０２７３】
こうした構成によれば、筺体の内側において内管接続部２５３のフランジ２５７をガルデンの供給機の配管に接続するとともに、筺体の外側において外管接続部２６３及び内管接続部２５３に真空二重配管３０を接続することができる。したがって、筺体に収容されたガルデンの供給機の配管と、真空二重配管３０とを容易に接続することができる。
【０２７４】
・上記実施形態では、ねじれの位置にある第１流体通路部７１Ｈ（７１Ｃ）と第２流体通路部７２とが、バルブ７６Ｈ（７６Ｃ）を介して接続された構成を採用した。しかしながら、図１７に示すように、同一直線上に配置された第１流体通路部１７１Ｈ（１７１Ｃ）と第２流体通路部１７２Ｈ（１７２Ｃ）とが、バルブ１７６Ｈ（１７６Ｃ）を介してそれぞれ接続された構成を採用することもできる。この場合には、高温のガルデンと低温のガルデンとが、高温側のバルブ１７６Ｈと低温側のバルブ１７６Ｃとによって、それぞれ独立して流通状態及び遮断状態に切り替えられる。
【０２７５】
また、同図に示すように、上記構成において、高温側の第１流体通路部１７１Ｈ、第２流体通路部、及びバルブ１７６Ｈの本体の組と、低温側の第１流体通路部１７１Ｃ、第２流体通路部、及びバルブ１７６Ｃの本体の組とが、バルブケース１８１によって覆われた構成を採用することが有効である。こうした構成によっても、複数の組の間の断熱性が低下することを抑制しつつ、複数の組の流体通路部及びバルブを含むバルブユニット１７０Ａ（１７０Ｂ）全体を小型化することができる。
【０２７６】
さらに、そうした構成において、第１流体通路部１７１Ｈ，１７１Ｃ、第２流体通路部、及びバルブ１７６Ｈ，１７６Ｃと、バルブケース１８１との間の空間によって排気通路が形成され、この排気通路は、各真空二重配管３０の内管３１と外管４１との間の空間（排気通路３７）を互いに連通させるとともに、各真空二重配管３０の間の途中部分が密閉されているといった構成を採用することが有効である。これにより、真空二重配管３０の排気通路３７を真空に排気することにより、排気通路３７に連通する上記排気通路を真空に排気することができる。
【０２７７】
・図１８に示すように、バルブユニット２７０Ａ（２７０Ｂ）が、ねじれの位置にある第１流体通路部２７１と第２流体通路部２７２とを含み、第１流体通路部２７１と第２流体通路部２７２とがバルブ２７６を介して接続されていてもよい。そして、１組の流体通路部２７１，２７２及びバルブ２７６の本体が、１つのバルブケース２８１により覆われている構成を採用してもよい。こうした構成においても、第１流体通路部２７１、第２流体通路部２７２、及びバルブ２７６と、バルブケース２８１との間の空間によって形成される排気通路を真空に排気することができる。
【０２７８】
・図１９に、バルブユニット７０Ａ（７０Ｂ）のバルブ７６Ｈ（７６Ｃ）の一部を示すように、弁体１７８に、断熱性材料（例えばＰＥＥＫ材等）により形成された軸部材１７９（断熱部材）を接続し、この軸部材１７９を上述した駆動部７６ａのピストン（駆動部材）に接続してもよい。すなわち、弁体１７８とピストンとが軸部材１７９を介して接続されているといった構成を採用してもよい。軸部材１７９は、直線状に形成されており、その端部が弁体１７８とピストンとにそれぞれねじ締結されている。そして、軸部材１７９は、ガイド部７７ｃにより、摺動可能に支持されている。なお、ＰＥＥＫ材は、耐熱性及び耐薬品性が優れているため、バルブ７６Ｈ（７６Ｃ）の軸部材として有効である。
【０２７９】
上記構成によれば、ピストンから弁体１７８に対して駆動力が作用させられるため、弁体１７８の駆動を通じて、上述した第１本体通路７７ａと第２本体通路７７ｂとの連通部を、連通状態と遮断状態とに切り替えることができる。ここで、弁体１７８とピストンとが断熱性材料により形成された軸部材１７９を介して接続されているため、弁体１７８とピストンと間の熱伝導を抑制することができる。その結果、バルブユニット７０Ａ（７０Ｂ）の断熱性を向上させることができる。
【０２８０】
・図２０に示すように、バルブ本体７７、上述した第１流体通路部７１Ｈ（７１Ｃ）、第２流体通路部７２、及び接続通路部７３に加えて、シリンダ及びピストンを備える駆動部７６ａを、バルブケース３８１によって覆うようにしてもよい。この場合には、シリンダに圧縮空気を導入する空気配管３０１が、バルブケース３８１の外部から内部に導入され、駆動部７６ａに接続されている。そして、バルブケース３８１と空気配管３０１との間が、シール部材等によりシールされている。
【０２８１】
また、バルブケース３８１に、図１６に示した継手１５０に準じた継手３５０が接続されている。そして、この継手３５０のフランジ２５７と、第２流体通路部７２の端部に設けられたフランジ７２ａとが接続され、それらの間がシール部材３３９によってシールされている。ここで、継手３５０のフランジ２６７には、複数の貫通孔２６７ｂとシール部材３４０を収容する溝２６７ｃとが、継手１５０の構成に加えて設けられている。貫通孔２６７ｂは、フランジ２６７の周方向に等間隔で複数（詳しくは８個）設けられており、内管接続部２５３と外管接続部２６３との間の部分を貫通している。溝２６７ｃは、貫通孔２６７ｂの周囲に環状に形成されており、シール部材３４０を収容している。そして、フランジ２６７において溝２６７ｃよりも外側の部分が、バルブケース３８１にボルト及びナットにより締結され、フランジ２６７とバルブケース３８１との間がシール部材３４０によりシールされている。このとき、バルブケース３８１の開口部３８１ａは、複数の貫通孔２６７ｂと重なるように配置されている。こうした構成において、継手３５０に、上述した真空二重配管３０が接続される。
【０２８２】
すなわち、バルブユニット３７０と上述した真空二重配管３０とが継手３５０を介して接続され、バルブユニット３７０の排気通路７５と、真空二重配管３０の内管３１及び外管４１の間の空間とが、継手３５０の貫通孔２６７ｂを含む排気通路３７５によって互いに連通させられる。この場合であっても、これらのバルブユニット３７０、継手３５０、及び真空二重配管３０を、まとめて真空に排気することができる。さらに、第２流体通路部７２の端部のフランジ７２ａと、継手３５０のフランジ２５７とが接続される構成であるため、バルブ３７６Ｈ（３７６Ｃ）の接続部の構成を汎用化することができる。したがって、真空二重配管３０用のバルブユニット３７０において、第２流体通路部７２（流体通路部）と継手３５０との接続を容易化することができ、ひいては第２流体通路部７２と真空二重配管３０との接続を容易化することができる。
【０２８３】
・図２１に示すように、複数の継手３５０の内管接続部２５３が継手接続通路部４５３によって互いに接続されるとともに、複数の継手３５０の外管接続部２６３が、継手接続通路部４５３を覆う継手ケース４８１によって互いに接続されるようにしてもよい。ここでは、継手接続通路部４５３は、「Ｔ」字状（三叉状）に形成されており、内部にガルデンの流路が形成されている。そして、継手接続通路部４５３と継手ケース４８１との間の空間によって排気通路４７５が形成され、この排気通路４７５は、複数の継手３５０の排気通路３７５を互いに連通させるとともに、継手３５０間の途中部分が密閉されているといった構成を採用してもよい。各継手３５０には、上述した真空二重配管３０が接続される。なお、図２０に示したバルブケース３８１と同様にして継手ケース４８１に各継手３５０が接続されており、継手接続通路部４５３において内管接続部２５３との接続部には、継手３５０と同様にフランジ４５７が設けられている。このため、継手接続通路部４５３の接続部の構成を汎用化することができる。
【０２８４】
こうした構成によっても、これらの継手ケース４８１、継手３５０、及び真空二重配管３０を、まとめて真空に排気することができる。すなわち、複数の継手３５０、継手接続通路部４５３、及び継手ケース４８１の全体を１つの継手と考えた場合には、継手３５０の内管接続部２５３及び継手接続通路部４５３が内管継ぎ部に相当し、継手３５０の外管接続部２６３及び継手ケース４８１が外管継ぎ部に相当する。このとき、継手３５０の数を変更するとともに、それに対応して継手ケース４８１を形成することにより、真空二重配管３０を互いに接続する継手を自由に設計することができる。
【０２８５】
・真空二重配管３０、継手５０，５０Ｕ、バルブユニット７０Ａ，７０Ｂのバルブケース８１，通路部７１Ｈ，７１Ｃ，７２，７３を、チタンやアルミニウム合金等の材料で形成することもできる。
【０２８６】
・上記実施形態では、空圧式のバルブ７６Ｈ，７６Ｃを採用したが、電磁式のバルブ等を採用することもできる。
【０２８７】
・上記実施形態では、内管３１及び外管４１の双方に節部３８，４８がそれぞれ設けられている構成を採用したが、内管３１のみに節部３８が設けられている構成や、外管４１のみに節部４８が設けられている構成を採用することもできる。
【０２８８】
・熱媒体はガルデンに限られず、水や油等の液体を用いることもできる。また、熱媒体として気体を用いることもできる。
【０２８９】
さらに、真空二重配管３０、継手５０，５０Ｕ、バルブユニット７０Ａ，７０Ｂ、及びそれらの変形例を、温度制御システムに限らず、流体を供給するシステムや、流体を排気するシステムに適用することもできる。
【０２９０】
・真空は大気圧よりも圧力の低い状態であればよく、温度制御システムの使用される環境に応じて真空度を変更してもよい。
【符号の説明】
【０２９１】
１０…供給ユニット、１５…ワークホルダ、３０…真空二重配管、３１…内管、３２…内管本体、４１…外管、４２…外管本体、３７，５５，７５…排気通路、３８，４８…節部、５０…Ｌ型継手、５０Ｕ…Ｕ型継手、５１…内管継ぎ部、５３…内管接続部、６１…外管継ぎ部、６２…外管継ぎ部本体、６３，８３…外管接続部、７０Ａ，７０Ｂ…バルブユニット、７６Ｈ，７６Ｃ…バルブ、７７…バルブ本体、７８…弁体、８１…バルブケース。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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