(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱可塑性樹脂材からなる複数のシートを積層、熱圧着してなる多層基板に設けたキャビティにＩＣチップを内蔵した高周波モジュールであって、
前記ＩＣチップの側面と前記キャビティの内壁部との間に間隙が設けられており、
前記多層基板には前記キャビティの内壁部に隣接して、前記樹脂シートを熱圧着する際に該樹脂シートが軟化して前記キャビティに流れることを防止するビアホール導体を設けたこと、
を特徴とする高周波モジュール。
【請求項２】
前記多層基板の上面には、表面実装ＩＣチップが設けられていること、を特徴とする請求項１に記載の高周波モジュール。
【請求項３】
前記多層基板には受動素子が内蔵されていること、を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の高周波モジュール。
【請求項４】
前記ビアホール導体は前記樹脂シートが軟化・流動化するよりも低い温度で固化する材料からなること、を特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の高周波モジュール。
【請求項５】
前記ビアホール導体は銀若しくは銅を主成分とする金属合金材料又ははんだからなること、を特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の高周波モジュール。
【請求項６】
前記ビアホール導体の少なくとも一つは電気的には絶縁状態であること、を特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の高周波モジュール。
【請求項７】
前記ビアホール導体の少なくとも一つは他の受動素子と電気的に接続されていること、を特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の高周波モジュール。
【請求項８】
前記ビアホール導体は、前記樹脂シート上に形成した導体パターン又はランドに接続されていること、を特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の高周波モジュール。
【請求項９】
前記ビアホール導体は前記キャビティの全周にわたって一列に配置されていること、を特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の高周波モジュール。
【請求項１０】
前記ビアホール導体は平面視で千鳥状に配置されていること、を特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の高周波モジュール。
【請求項１１】
前記キャビティは平面視で矩形形状をなし、前記ビアホール導体は前記矩形形状の少なくとも角部に配置されていること、を特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の高周波モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高周波モジュール、特に、移動体通信端末などの電子機器に通信用機器として搭載される高周波モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、移動体通信端末などの電子機器においては、その高機能化・小型化が求められており、搭載される電子部品にも高性能化・小型化が求められている。そこで、この種の電子部品として、各種高周波機能部品を一つの基板に一体化した高周波モジュールが用いられている。【０００３】
さらなる高機能化・小型化を目的として、熱可塑性樹脂製の多層基板にＩＣチップを内蔵したモジュールが用いられることがある。樹脂製多層基板にＩＣチップを内蔵するには、特許文献１，２に記載されているように、パンチングなどで開口部を形成した樹脂シートを積層してキャビティを形成し、該キャビティにＩＣチップを埋め込んでいる。【０００４】
しかしながら、従来のＩＣチップ内蔵のモジュールでは、樹脂シートの積層体を熱圧着する際に、樹脂が軟化・流動して前記キャビティの側壁部がＩＣチップの側面に圧接して硬化してしまう。つまり、完成されたモジュールにおいて、ＩＣチップはキャビティ内で側面が硬化した樹脂に接触ないし押圧されている。それゆえ、落下や衝突などで多層基板に機械的な衝撃が作用したり、キャビティの側壁部が熱応力で変形すると、シリコン製のＩＣチップにクラックなどの傷が発生したり、位置ずれを生じ、ひいては動作不良となるおそれを有していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２７０７１２号公報
【特許文献２】特開２００５−３１７５８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、熱可塑性樹脂材からなるシートを積層・熱圧着してなる多層基板内のキャビティに内蔵されたＩＣチップの損傷などを招来することのない高周波モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一形態である高周波モジュールは、
複数の熱可塑性樹脂材からなるシートを積層、熱圧着してなる多層基板に設けたキャビティにＩＣチップを内蔵した高周波モジュールであって、
前記ＩＣチップの側面と前記キャビティの内壁部との間に間隙が設けられており、
前記多層基板には前記キャビティの内壁部に隣接して、前記樹脂シートを熱圧着する際に該樹脂シートが軟化して前記キャビティに流れることを防止するビアホール導体を設けたこと、
を特徴とする。【０００８】
前記高周波モジュールにおいては、樹脂シートを積層、熱圧着して多層基板とする際に、樹脂シートが軟化してキャビティに流れることをビアホール導体によって防止される。それゆえ、樹脂シートが硬化した場合にＩＣチップの側面とキャビティとの間に間隙が保持され、多層基板に機械的な衝撃が作用したり、キャビティの側壁部が熱応力で変形した場合などにあっても、該間隙が緩衝作用を発揮し、ＩＣチップに損傷などを生じるおそれが排除される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、熱可塑性樹脂材からなるシートを積層・熱圧着してなる多層基板内のキャビティに内蔵されたＩＣチップに損傷などが生じるおそれを排除できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施例である高周波モジュールを示し、（Ａ）は垂直断面図であって（Ｂ）のＸ−Ｘ線に相当する断面を示し、（Ｂ）は平面図であって（Ａ）のＹ−Ｙ線に相当する平面を示している。
【図２】前記高周波モジュールにおけるＩＣチップとキャビティとの間に設けられた間隙の種々の形態を示す断面図である。
【図３】第２実施例である高周波モジュールを示す平面図であって図１（Ａ）のＹ−Ｙ線に相当する平面を示している。
【図４】第３実施例である高周波モジュールを示す平面図であって図１（Ａ）のＹ−Ｙ線に相当する平面を示している。
【図５】第４実施例である高周波モジュールを示す平面図であって図１（Ａ）のＹ−Ｙ線に相当する平面を示している。
【図６】第４実施例である高周波モジュールを示す垂直断面図であって図５のＺ−Ｚ線に相当する断面を示している。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明に係る高周波モジュールの実施例について添付図面を参照して説明する。なお、各図において、共通する部品、部分は同じ符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１２】
（第１実施例、図１参照）
第１実施例である高周波モジュール１Ａは、図１に示すように、多層基板１０の内部に形成したキャビティ２０にメモリＩＣチップ２５を内蔵したものである。多層基板１０の下面には、ソルダーレジスト３２で部分的に被覆された導体パターン３１が形成され、この導体パターン３１によって図示しない移動体通信端末などの電子機器のマザー基板上に実装される。多層基板１０の上面には無線通信用ＩＣ４０やコンデンサ４５、インダクタ４６などのチップ型電子部品が導体パターン３３に実装されており、かつ、導体パターン３３はソルダーレジスト３４によって被覆されている。
【００１３】
無線通信用ＩＣ４０は、高周波信号を取り扱うための、例えばＲＦＩＣチップであり、コンデンサ４５は無線通信用ＩＣ４０のインピーダンスマッチング回路を構成するためのもの、インダクタ４６はフィルタ回路を構成するためのものである。多層基板１０に内蔵されているメモリＩＣチップ２５は、セキュアエレメントＩＣとして機能する暗号化機能を有するメモリであり、半導体基板に設けられた集積回路から再配線層２６によって、さらに、ビアホール導体１５を介して導体パターン１６と接続されている。
【００１４】
また、多層基板１０の内部には、種々の導体パターンやビアホール導体によって必要な回路が構成されている。メモリＩＣチップ２５はこれらの内蔵回路を介して前記無線通信用ＩＣ４０と電気的な接続を図られている。また、再配線層２６にはランド２６ａが設けられており、該ランド２６ａがビアホール導体１５の端面と直接に接続されている。
【００１５】
多層基板１０は、熱可塑性樹脂材からなる複数のシート１１ａ〜１１ｇを積層、熱圧着したもので、シート１１ｂ，１１ｃにパンチングによって開口部を形成し、該シート１１ｂ，１１ｃを他のシート１１ａ，１１ｄ〜１１ｇとともに積層することで内部にキャビティ２０が形成される。また、それぞれのシート１１ａ〜１１ｇにはビアホール導体や必要な導体パターンが形成され、シート１１ａ〜１１ｇが積層されることで線路やコンデンサなどの受動素子が形成される。樹脂材としては、ポリイミド樹脂や液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂材を好適に用いることができる。液晶ポリマーは高周波特性に優れており、吸水性が低いことから特に好ましい材料である。導体パターンやビアホール導体は、銀や銅などを主成分とする比抵抗の小さな金属材料にて形成することが好ましい。また、前記ソルダーレジスト３２，３４としてはエポキシ樹脂やシリコン樹脂などを用いることができる。
【００１６】
キャビティ２０はメモリＩＣチップ２５の平面視形状と同じ四角形形状であって、メモリＩＣチップ２５を収容した際には該チップ２５の四つの側面とはそれぞれ１０〜３００μｍ程度（好ましくは１００μｍ程度）の間隙Ｇが形成される容積を備えている。また、キャビティ２０の内壁部に隣接して樹脂シートを熱圧着する際に樹脂シート（特に、シート１１ｂ，１１ｃ）が軟化してキャビティ２０に流れることを防止するビアホール導体１７（以下、この導体を流動防止用ビアホール導体と称する）が、キャビティ２０の全周にわたって、つまり、四つの側面ごとに一列に例えば１ｍｍ間隔で配置されている。ビアホール導体１７の径は例えば５０〜３００μｍである。
【００１７】
樹脂シート１１ａ〜１１ｇは、２５０〜３００℃程度で軟化する材料で形成されており、熱圧着時にはこの温度まで加熱される。一方、流動防止用ビアホール導体１７はその温度よりも低い温度で固化する材料で形成されている。例えば、銀若しくは銅を主成分とする金属合金材料又ははんだが使用され、他のビアホール導体と同じ材料を使用することが製造工程の簡略化のうえでは好ましい。
【００１８】
通常、流動防止用ビアホール導体１７が存在しないと、樹脂シートを積層して熱圧着する際に、軟化した樹脂シート１１ｂ，１１ｃの内壁部がキャビティ２０内に流動し、メモリＩＣチップ２５の側面のほぼ全面に接触ないし圧接した状態で硬化する。しかし、本第１実施例においては、キャビティ２０の内壁部に隣接して複数のビアホール導体１７が配置されているため、樹脂シートを熱圧着した後でも間隙Ｇがほぼそのままで保持される。それゆえ、高周波モジュールとして完成された後に、落下や衝突などで多層基板１０に機械的な衝撃が作用したり、熱応力が生じてもキャビティ２０の内壁部がそれほど変形することはなく、メモリＩＣチップ２５にクラックなどの傷が発生したり、位置ずれを生じることがなく、動作不良を未然に防止することができる。
【００１９】
また、熱圧着時のプレスでメモリＩＣチップ２５が位置ずれを生じることもない。さらに、間隙Ｇの存在によって、メモリＩＣチップ２５と多層基板１０との間の電気的、熱的なアイソレーション性が高まり、高周波モジュールとしての電気的特性や信頼性が向上する。
【００２０】
なお、メモリＩＣチップ２５の上下面は樹脂シート１１ａ，１１ｄで圧着されていてもよく、圧着されていなくてもメモリＩＣチップ２５はランド２６ａとビアホール導体１５との接続によってキャビティ２０の内部で位置固定される。
【００２１】
流動防止用ビアホール導体１７は、電気的な線路を形成していてもよく、つまり任意の樹脂シート上に形成された導体パターンを介してグランド導体やコンデンサなどの受動素子と電気的に接続されていてもよい。また、流動防止用ビアホール導体１７は必ずしも電気的な線路を形成する必要はなく、全ての流動防止用ビアホール導体１７あるいは少なくとも一つの流動防止用ビアホール導体１７が電気的に絶縁状態であってもよい。
【００２２】
あるいは、流動防止用ビアホール導体１７は、必ずしもキャビティ２０の全周にわたって配置されている必要はない。四つの内壁部のうち部分的に樹脂シートに流動が生じても、結果的にメモリＩＣチップ２５の側面を強く押圧しない程度であれば、そのような流動を許容する部分のビアホール導体１７を省略してもよい。メモリＩＣチップ２５の側面を強く押圧する可能性があるのは、平面視で対角線上に位置する隅部であり、流動防止用ビアホール導体１７は少なくとも４隅部に配置されていることが好ましい。従って、流動防止用ビアホール導体１７は四つの内壁部に隣接してそれぞれ等間隔に配置されている必要もない。
【００２３】
前記間隙Ｇは、図２（Ａ）に示すように、メモリＩＣチップ２５の側面とキャビティ２０の側面との間にそれぞれの側面が接触しない完全な間隙として設けられているが、必ずしもそうでなくてもよい。図２（Ｂ）に示すように、キャビティ２０の側面がランダムな凹凸部を有し、凸部がメモリＩＣチップ２５の側面に部分的に接触していてもよい。また、メモリＩＣチップ２５の側面に凹凸部が形成されている場合、該凹凸部に対応する凹凸部をキャビティ２０の側面に形成し、凹凸部どうしを係合させる状態で間隙Ｇを設けるようにしてもよい。
【００２４】
（第２実施例、図３参照）
第２実施例である高周波モジュール１Ｂは、図３に示すように、流動防止用ビアホール導体１７ａ，１７ｂをキャビティ２０の四つの内壁部に隣接して平面視で千鳥状に配置したものである。内側の流動防止用ビアホール導体１７ａは樹脂シート１１ｂ（図１（Ａ）参照）に形成され、外側の流動防止用ビアホール導体１７ｂは樹脂シート１１ｃに形成されている。本第２実施例における他の構成は前記第１実施例と同様であり、その作用効果も第１実施例と同様である。
【００２５】
ところで、流動防止用ビアホール導体１７が多層基板１０の積層方向に重ねて配置されると、熱圧着時にビアホール導体は樹脂シートに比べてほとんど収縮しないので、多層基板１０のその部分（ビアホール導体が形成された部分）の厚みが大きくなり多層基板１０の平坦性が損なわれるおそれがある。特に、第２実施例においては、流動防止用ビアホール導体１７ａ，１７ｂが千鳥状に配置されているため、多層基板１０の部分的な厚みの不均一性が解消される。
【００２６】
（第３実施例、図４参照）
第３実施例である高周波モジュール１Ｃは、図４に示すように、流動防止用ビアホール導体１７ｃ，１７ｄ，１７ｅ〜１７ｇのそれぞれを樹脂シート上に形成したランド３５ａ，３５ｂで接続したものである。本第３実施例における他の構成は前記第１実施例と同様であり、その作用効果も第１実施例と同様である。流動防止用ビアホール導体１７ｃ〜１７ｇを二つあるいは三つずつ共通のランド３５ａ，３５ｂに接続することにより、各ビアホール導体１７ｃ〜１７ｇが強度的に補強され、内蔵されているメモリＩＣチップ２５をより効果的に保護することができる。ランド３５ａ，３５ｂは厚さが５〜３５μｍで流動防止用ビアホール導体１７を覆うように形成されており、ビアホール導体１７の補強と、樹脂シートの樹脂のキャビティ２０への流れ込みを防止する効果を奏する。
【００２７】
（第４実施例、図５及び図６参照）
第４実施例である高周波モジュール１Ｄは、図５に示すように、それぞれの流動防止用ビアホール導体１７を樹脂シート上に形成した環状の単一のランド３５で接続したものである。本第４実施例における他の構成は前記第１実施例と同様であり、その作用効果も第１実施例と同様である。特に、第４実施例では、全ての流動防止用ビアホール導体１７が共通のランド３５で接続されているため、内蔵されているメモリＩＣチップ２５をより効果的に保護することができる。また、環状のランド３５は、図６に示すように、流動防止用ビアホール導体１７が設けられている断面部分に加えて、流動防止用ビアホール導体１７が設けられていない断面部分においても、樹脂シートが軟化してランド３５の形成領域、及び、その外側から樹脂シートの樹脂がキャビティ２０に流れ込むことを防止する。
【００２８】
（他の実施例）
なお、本発明に係る高周波モジュールは前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。
【００２９】
特に、多層基板に表面実装される電子部品、内蔵される電子部品の種類は任意であり、多層基板に内蔵される導体パターンの形状、回路構成も任意である。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
以上のように、本発明は、高周波モジュールに有用であり、特に、多層基板に内蔵されたＩＣチップに損傷などが生じるおそれを排除できる点で優れている。
【符号の説明】
【００３１】
１Ａ〜１Ｄ…高周波モジュール
１０…多層基板
１１ａ〜１１ｇ…樹脂シート
１７，１７ａ〜１７ｇ…流動防止用ビアホール導体
２０…キャビティ
２５…メモリＩＣチップ
３５，３５ａ，３５ｂ…ランド
Ｇ…間隙
【図１】
0005574073.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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