(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内側可撓性絶縁基板と、
前記内側可撓性絶縁基板の面に沿って互いに間隔をおいて配置された複数の内側電極と、
前記内側可撓性絶縁基板の面に沿って前記内側電極の外側に配置された外側可撓性絶縁基板と、
前記外側可撓性絶縁基板の面に沿って互いに間隔をおいて前記内側電極の外側に配置された複数の外側電極と、
前記外側可撓性絶縁基板の外側を覆う弾性袋状体と、
を有し、
前記複数の内側電極と複数の外側電極との間のそれぞれの距離が前記弾性袋状体の各部に外から加えられた圧力に応じて変化し、
前記内側電極と前記外側電極の間隔が、前記内側電極同士の間または前記外側電極同士の間に配置された複数の弾性柱状物によって支持されていて、
前記外側可撓性絶縁基板または前記内側可撓性絶縁基板の一方に複数の貫通穴が形成され、前記弾性柱状物がこれらの貫通穴を貫通するように構成されていること、
を特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記外側可撓性絶縁基板および前記内側可撓性絶縁基板の少なくとも一方が互いに重なり合う重なり部を有し、前記複数の貫通穴の少なくとも一部が前記重なり部に形成され、この重なり部が互いに接着剤で接着されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記内側可撓性絶縁基板と前記外側可撓性絶縁基板と前記弾性袋状体のそれぞれが、直方体の６面のうちの所定の５面を覆い、他の１面は開口するように構成されていること、を特徴とする請求項１または請求項２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記内側電極および外側電極が互いに平行な二つの平面に沿ってそれぞれ広がっており、かつ、前記内側電極および外側電極それぞれが、複数の互いに平行な細長い部分から構成されており、しかも、これらの細長い部分を前記平面に投影したときに内側電極の細長い部分と外側電極の細長い部分とが互いに直交していること、を特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項５】
ロボットハンドと、
このロボットハンドの先端部外周を覆うように配置された内側可撓性絶縁基板と、
前記内側可撓性絶縁基板の面に沿って互いに間隔をおいて配置された複数の内側電極と、
前記内側可撓性絶縁基板の面に沿って前記内側電極の外側に配置された外側可撓性絶縁基板と、
前記外側可撓性絶縁基板の面に沿って互いに間隔をおいて前記内側電極の外側に配置された複数の外側電極と、
前記外側可撓性絶縁基板の外側を覆う弾性袋状体と、
を有し、
前記複数の内側電極と複数の外側電極との間のそれぞれの距離が前記弾性袋状体の各部に外から加えられた圧力に応じて変化し、
前記内側電極と前記外側電極の間隔が、前記内側電極同士の間または前記外側電極同士の間に配置された複数の弾性柱状物によって支持されていて、
前記外側可撓性絶縁基板または前記内側可撓性絶縁基板の一方に複数の貫通穴が形成され、前記弾性柱状物がこれらの貫通穴を貫通するように構成されていること、
を特徴とするロボットハンドシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力センサおよびその圧力センサを装着したロボットハンドシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の産業用ロボットのハンドには、ほとんど圧力センサはついておらず、せいぜいあったとしても、１点の圧力を測定できる感圧シートが貼られている程度で、複数の触点をもつ圧力分布センサが使われているケースは稀である。これは、扱うものの大きさが決まっていれば、それに適した大きさでハンドを開閉することにより一通りの仕事がこなせるためである。
【０００３】
しかし、今後重要となってくる自律（知能）ロボットでは、複数の物体を臨機応変に器用に扱う能力が求められ、ハンドにも物体の大きさや抗力を計測するための圧力センサや圧力分布センサが必要になってくる。
【０００４】
ロボットハンドに圧力分布センサ（触覚センサとしている場合もある）を取り付けている例として特許文献１ないし特許文献４などがある。
【特許文献１】特開２００６−３０５６５８号公報
【特許文献２】特開２００６−１３６９８３号公報
【特許文献３】特開２００４−３３３３４０号公報
【特許文献４】特開２００４−３３３３３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ロボットハンド用圧力分布センサにおいて、センサの耐久性やハンドとの密着性を考慮する必要がある。ロボットハンドには、物を把持するため、数十ｋｇ重（数百Ｎ）の荷重がかかることがあるためである。
【０００６】
圧力分布センサには、二枚の電極間の静電容量や抵抗値の圧力変化を計測するものがあり、これらは、度重なる使用により、二枚の電極が剥がれるという場合がある。そして、耐久性向上のために厚いカバーをかぶせると感度が低下してしまう。また、随所に使われる接着剤の長期信頼性については、十分に検討しなければならない。異種物の接着箇所においては、熱膨張率の違いから、夏冬の温度変化を数年繰り返すことにより、接着力が弱まっていくことが一般的にある。これらのことの対策が必要である。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、ロボットハンドなどの表面での複数個所の圧力をより堅牢な構造で高い感度にて検出できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係る圧力センサは、内側可撓性絶縁基板と、前記内側可撓性絶縁基板の面に沿って互いに間隔をおいて配置された複数の内側電極と、前記内側可撓性絶縁基板の面に沿って前記内側電極の外側に配置された外側可撓性絶縁基板と、前記外側可撓性絶縁基板の面に沿って互いに間隔をおいて前記内側電極の外側に配置された複数の外側電極と、前記外側可撓性絶縁基板の外側を覆う弾性袋状体と、を有し、前記複数の内側電極と複数の外側電極との間のそれぞれの距離が前記弾性袋状体の各部に外から加えられた圧力に応じて変化し、それによって、前記複数の内側電極それぞれと複数の外側電極それぞれとの間の静電容量が変化し、前記内側電極と前記外側電極の間隔が、前記内側電極同士の間または前記外側電極同士の間に配置された複数の弾性柱状物によって支持されていて、前記外側可撓性絶縁基板または前記内側可撓性絶縁基板の一方に複数の貫通穴が形成され、前記弾性柱状物がこれらの貫通穴を貫通するように構成されていること、を特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係るロボットハンドシステムは、ロボットハンドと、このロボットハンドの先端部外周を覆うように配置された内側可撓性絶縁基板と、前記内側可撓性絶縁基板の面に沿って互いに間隔をおいて配置された複数の内側電極と、前記内側可撓性絶縁基板の面に沿って前記内側電極の外側に配置された外側可撓性絶縁基板と、前記外側可撓性絶縁基板の面に沿って互いに間隔をおいて前記内側電極の外側に配置された複数の外側電極と、前記外側可撓性絶縁基板の外側を覆う弾性袋状体と、を有し、前記複数の内側電極と複数の外側電極との間のそれぞれの距離が前記弾性袋状体の各部に外から加えられた圧力に応じて変化し、それによって、前記複数の内側電極それぞれと複数の外側電極それぞれとの間の静電容量が変化し、前記内側電極と前記外側電極の間隔が、前記内側電極同士の間または前記外側電極同士の間に配置された複数の弾性柱状物によって支持されていて、前記外側可撓性絶縁基板または前記内側可撓性絶縁基板の一方に複数の貫通穴が形成され、前記弾性柱状物がこれらの貫通穴を貫通するように構成されていること、を特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ロボットハンドなどの表面での複数個所の圧力を、より堅牢な構造で高い感度にて検出できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照しながら本発明に係る圧力センサの実施形態について説明する。ここで互いに同一または類似の部分には共通の符号を付して、重複説明は省略する。
【００１３】
［第１の実施形態］
図１は本発明の第１の実施形態に係る圧力センサを構成する可撓性絶縁基板とその圧力センサが装着されるロボットハンドを展開して示す斜視図であり、図２は図１の圧力センサを構成する可撓性絶縁基板の展開図である。
【００１４】
この実施形態の圧力センサ１は、たとえばロボットハンドの指２の末節３の先にある末節部４に指サックのように嵌めて装着するものである。図示の例では末節部４は細長い直方体の板状であって、その先端から圧力センサ１をサックのように嵌めることができる。圧力センサ１は、図２に示すセンサシート５の山折線６に沿って直角に山折りにして、四角筒状にする。センサシート５は、たとえば感圧ゴム方式、感圧インク方式、静電容量方式などであって、シートの各部にシート厚さ方向に加えられる外圧を、その位置情報とともに検出するシートである。折り曲げた後の圧力センサ１は、直方体の６面のうちの１面が開口した形状であり、この開口からロボットハンドの指２の先端に被せることができる。
【００１５】
センサシート５には複数の貫通穴７が形成され、センサシート５が折り曲げられたときにこれらの貫通穴７の位置が重なるようにしてそれらの貫通穴７の中にネジ（図示せず）などを通すことによって貫通穴７同士の相互位置を強固に固定することができる。具体的には、図２に示す多数の貫通穴７のうちで、ＡとＡ’、ＢとＢ’、ＣとＣ’、ＤとＤ’、ＥとＥ’、ＦとＦ’、ＧとＧ’、ＨとＨ’をそれぞれ重ね合わせることにより、図１のような形状になる。これらの重ね合わされた貫通穴７の位置に対応するロボット指２の末節部４にネジ穴を形成しておき、貫通穴７を通過したネジを末節部４のネジ穴にねじ込むことにより、圧力センサ１の堅牢性が確保されるとともに、この圧力センサ１をしっかりと末節部４に固定することができる。
【００１６】
また、この実施形態では、センサシート５が重なり合う糊しろ部８が積極的に広く確保されており、これによって、センサシート５自体の剛性が増し、圧力センサ１の堅牢性が増す構造になっている。さらに、センサシート５同士が重なり合う部分を接着剤で接着することによって圧力センサ１の堅牢性を増すことができる。
【００１７】
なお、糊しろ部８をロボットハンドの指２の背側１０とし、指２の腹側１１が糊しろ部８にならないようにすることにより、指２の腹側１１の圧力検出感度を高めに保つことができる。
【００１８】
［第２の実施形態］
図３および図４は本発明の第２の実施形態に係る圧力センサ１を示すものであって、図３は圧力センサ１を背側から見た斜視図であり、図４は図３の圧力センサ１の組み立て前の状態を背側から見た展開斜視図である。第２の実施形態は第１の実施形態の一部を変形したものであって、センサシート５の貫通穴７を通すものとしてネジに替えて、長方形の平板１４の片面に取り付けられた複数の突起１５を用いる。センサシート５の糊しろ部（重なり部）８の内側に平板１４を配置し、突起１５が外側を向くように配置する。突起１５は貫通穴７に対応する位置に配置されており、貫通穴７を重ねてそれに突起１５を通すことにより、センサシート５の糊しろ部８同士が重なった状態で互いに固定される。これにより、圧力センサ１の形状が頑丈に保持される。
【００１９】
［第３の実施形態］
つぎに、図５ないし図８を参照して、本発明の第３の実施形態に係る圧力センサについて説明する。この実施形態は、第２の実施形態の構成を静電容量型圧力分布センサとして具体化したものである。図５は本発明の第３の実施形態に係る静電容量型圧力センサの原理を説明するための模式図であり、図６は図５の圧力センサの容量検出回路の構成を示すブロック回路図である。図７は図５の圧力センサの模式的縦断面である。図８は本発明の第３の実施形態に係る圧力センサを背側から見た斜視図である。
【００２０】
はじめに図５を参照して静電容量型圧力センサの原理を説明する。短冊状の検出電極２１が一つの平面の上に複数平行に並べてあり、この検出電極２１が並んだ面に平行な他の平面の上に短冊状の信号電極２２が複数平行に並べてある。図５に示すように、検出電極２１と信号電極２２とをこれらの面に投影すると検出電極２１と信号電極２２が互いに直交している。図５で検出電極２１と信号電極２２が交差した各位置では検出電極２１と信号電極２２が隙間を挟んで対向しており、キャパシタを形成している。これら検出電極２１と信号電極２２との交差部の静電容量の変化を読み取るのが、静電容量型圧力分布センサである。
【００２１】
信号電極２２には、信号源２６から発せられたたとえば約１００ｋＨｚの正弦波が、スイッチ２５を介して印加されている。正弦波は、交差部の静電容量Ｃを通過して検出電極に伝わり、容量検出回路２３に入る。容量検出回路２３は複数並列にあり、静電容量Ｃの変化を電圧変化に切り替える所謂ＣＶ変換回路である。
【００２２】
容量検出回路２３は図６に示すように、オペアンプ３１にフィードバックコンデンサ３２からなる積分回路がＣＶ変換回路となっている。そして、もともと正弦波であった信号電圧は、整流回路３３を通って直流化され、ＡＤ変換回路３４でデジタル信号になる。このデジタル信号は、図５に示すように、パソコンなどデータ集積部２４に集められ、圧力分布を表示したり、ロボットハンドの制御のトリガ信号に用いたりされる。
【００２３】
図７で、検出電極２１は図面の面方向に延びて図面奥行き方向に複数あり、信号電極２２は図面奥行き方向に延びて横方向に複数並列配置してある。これら検出電極２１と信号電極２２の交差部の間に存在するエアーギャップ４３が静電容量を形成する。信号電極２２の下に可撓性絶縁基板であるシリコンゴム基板４４があり、それに形成されたシリコンゴムの柱（柱状物）４５が検出電極２１を支え、エアーギャップ４３を保持している。シリコンゴム基板４４の表面に、接着層５０によってフレキシブル基板（可撓性絶縁基板）４９が接着され、フレキシブル基板４９の上に信号電極２２が配置されている。検出電極２１の表面には、絶縁膜４６があり、検出電極２１と信号電極２２の電気的短絡を防いでいる。また、これら電極は、弾性体カバー４７、４８で覆われている。そして外から外力が加わり、エアーギャップ４３がつぶれることにより、静電容量変化が生じる。
【００２４】
さて、シリコンゴムの柱４５を第１および第２の実施形態で説明した圧力センサシート５に開けた貫通穴７に通すことにより、一石二鳥の効果が生まれる。それを示した図が図８である。シリコンゴムの柱４５がありセンサシート５に開けた貫通穴７を貫通させている。図８に示すセンサシート５は、図７に示す信号電極２２が複数形成されたフレキシブル基板４９などに相当する。そして図８には示していないが、この柱４５の上に、検出電極２１を形成したフレキシブル基板が被さる形となることにより、静電容量型圧力分布センサとなる。この構造により、静電容量型圧力分布センサにもともと必要であった柱を有効に使い、指サック型センサを丈夫にすることができる。柱は、一石二鳥の役割を果たしている。
【００２５】
［第４の実施形態］
つぎに、図９ないし図１５を参照しながら本発明に係る圧力センサの第４の実施形態について説明する。図９は第４の実施形態に係る圧力センサをロボットハンドに取り付けた状態を示す横断面図であり、図１０は図９の圧力センサの展開斜視図である。図１１は、図９の圧力センサの内側電極構造体を構成する内側電極付き基板の展開図であって、その電極と配線については省略して示す図である。図１２は図１０の圧力センサの内側電極構造体を構成するシリコンゴムシートの展開図である。図１３は、図１１の内側電極構造体を構成する内側電極付き基板の展開図であって、その電極と配線についても示す図である。図１４は、図１０の圧力センサの外側電極構造体を構成する外側電極付き基板の展開図であって、その電極と配線については省略して示す図である。図１５は、図１４の外側電極付き基板の展開図であって、その電極と配線についても示す図である。
【００２６】
この実施形態は第３の実施形態の変形であって、圧力センサ１は、図１０に示すように、内側電極構造体６０と、その外側を覆う外側電極構造体６１とからできている。外側電極構造体６１は、フレキシブルなプリント基板である外側電極付き基板（外側可撓性絶縁基板）６２を折り曲げたものに、一端が閉じた四角筒状のカバー（弾性袋状体）６３をかぶせて構成されている。圧力センサ１は、図９に示すようにロボットハンドの指の末節部４にかぶせて使用される。この実施形態では、指の末節部４の全周および先端部の圧力を検出することができる。カバー６３は、たとえば厚さ０．５ｍｍのシリコンゴム製である。
【００２７】
内側電極構造体６０は、図１１に示すフレキシブルなプリント基板である内側電極付き基板（内側可撓性絶縁基板）６５と、図１２に示す複数のフレキシブルなシリコンゴムシート６６を組み合わせて構成される。
【００２８】
内側電極付き基板６５は、第１の実施形態のセンサシート５（図２）と同様のものであって、複数の山折線６に沿って山折りすることにより一端が閉じた四角筒状に形成される。内側電極付き基板６５には、ロボットハンドの指２が延びる方向に対して垂直な方向に、ほぼ等間隔に互いに平行に配置された多数の信号電極（内側電極）２２が配置され、内側電極付き基板６５には多数の貫通穴７が形成されている。また、第１の実施形態のセンサシート５（図２）と同様に、糊しろ部８が形成されている。
【００２９】
この内側電極付き基板６５を折り曲げた状態に保持するために、折り曲げた状態の内側電極付き基板６５の各面の内側に沿って長方形のシリコンゴムシート６６が挿入される。シリコンゴムシート６６の各外面には多数のシリコンゴムの柱４５が形成され、これらの柱４５を内側電極付き基板６５の貫通穴７に一つずつ挿入することにより、折り曲げた状態の内側電極付き基板６５が、一端が閉じた四角筒状に形成されて安定する。
【００３０】
なお、第４の実施形態の内側電極付き基板６５、外側電極付き基板６２、シリコンゴムシート６６はそれぞれ、第３の実施形態のフレキシブル基板４９、絶縁膜４６、シリコンゴム基板４４に相当する。
【００３１】
図１３に示すように、内側電極付き基板６５上の各信号電極２２それぞれは、内側電極付き基板６５の裏面に配置された引き出し線６８を介してランド６９に電気的に接続されている。ランド６９にコネクタ端子を取り付けることにより、信号源２６に接続することができる（図示せず）。
【００３２】
外側電極付き基板６２は、図１４および図１５に示すように、内側電極付き基板６５と類似の形状であって、大きさは内側電極付き基板６５よりも若干大きい。外側電極付き基板６２の山折線６に沿って山折りすることにより、四角筒状に形成される。この実施形態では、外側電極付き基板６２に糊しろ部がなく、貫通穴もなく、柱状物もない。外側電極付き基板６２の表面には、ロボットハンドの指２が延びる方向に、ほぼ等間隔に互いに平行に配置された多数の検出電極（外側電極）２１が配置されている。各検出電極２１それぞれは、外側電極付き基板６２の表面に配置された引き出し線７０を介してランド７１に電気的に接続されている。
【００３３】
［第５の実施形態］
上記の第４の実施形態では、内側電極付き基板６５に糊しろ部８があるものとしたが、この内側電極付き基板６５に糊しろ部８がないものが、図１６ないし図１８に示す第５の実施形態である。
【００３４】
ここで、図１６は第５の実施形態に係る圧力センサをロボットハンドに取り付けた状態を示す横断面図である。図１７は第５の実施形態に係る圧力センサをロボットハンドに取り付けた状態を示す部分縦断面図である。図１８は第５の実施形態に係る圧力センサの内側電極構造体を構成する内側電極付き基板の展開図であって、その電極と配線についても示す図である。
【００３５】
この実施形態による圧力センサでは、糊しろ部がないので、第５の実施形態に比べて、全体がコンパクトになる、などの利点がある。
【００３６】
［第６の実施形態］
本発明の第６の実施形態について、図１９ないし図２１を参照しながら説明する。ここで、図１９は第６の実施形態に係る圧力センサの縦断面図、図２０は図１９のXX−XX線矢視平断面図、図２１は図１９のXXI−XXI線矢視側断面図である。
【００３７】
長方形の弾性板７１の一端の近くの両面から柱状物（突起）７２が上下に突き出ている。この弾性板７１の長さ方向の一部を覆うように、可撓性基板（フレキシブルプリント基板）７３が巻きつけてあり、可撓性基板７３の外側両面に、電気抵抗体７４が取り付けてある。すなわち、可撓性基板７３と電気抵抗体７４は歪ゲージを形成していて、電気抵抗体７４は、図２０に示すように計測回路７９に接続されている。可撓性基板７３には、貫通穴７５があり、これらを柱状物７２が貫いている。可撓性基板７３には、糊しろ部７６があり、この部分にも貫通穴７５があるので、柱状物７２は、複数の貫通穴７５を貫いていることになる。糊しろ部７６によって可撓性基板７３同士の接着となるので同種物接着なので強固な接着ができる。
【００３８】
そして、全体を覆うカバー７７があり、このカバー７７が柱状物７２を押し込む。このようにすることにより、弾性板７１が１点荷重の片持ち梁となるので、可撓性基板７３、電気抵抗体７４によって形成された歪ゲージによってこのセンサに加わった荷重を測定することができる。第１の実施形態との違いは、シート状センサのみで圧力を計測しているのではなく、骨格となる弾性板７１を片持ち梁として使っているところである。
【００３９】
［他の実施形態］
以上説明した各実施形態は単なる例示であって、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００４０】
たとえば、第４および第５の実施形態（図９ないし図１８）で、内側電極付き基板６５に信号電極２２を配置し、外側電極付き基板６２に検出電極２１を配置するものとしたが、逆に、内側電極付き基板６５に検出電極２１を配置し、外側電極付き基板６２に信号電極２２を配置してもよい。また、第４または第５の実施形態で、信号電極２２はロボットハンドの指２が延びる方向に対して垂直な方向に配置し、検出電極２１はロボットハンドの指２が延びる方向に配置するものとしたが、逆に、信号電極２２はロボットハンドの指２が延びる方向に配置し、検出電極２１はロボットハンドの指２が延びる方向に対して垂直な方向に配置してもよい。
【００４１】
また、第４または第５の実施形態では外側電極付き基板６２には糊しろ部がないものとしたが、外側電極付き基板６２に糊しろ部を設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る圧力センサを構成する可撓性絶縁基板とその圧力センサが装着されるロボットハンドを展開して示す斜視図である。
【図２】図１の圧力センサを構成する可撓性絶縁基板の展開図である。
【図３】第２の実施形態に係る圧力センサを背側から見た斜視図である。
【図４】図３の圧力センサの組み立て前の状態を背側から見た展開斜視図である。
【図５】本発明の第３の実施形態に係る圧力センサの原理を説明するための模式図である。
【図６】図５の圧力センサの容量検出回路の構成を示すブロック回路図である。
【図７】図５の圧力センサの模式的縦断面である。
【図８】本発明の第３の実施形態に係る圧力センサを背側から見た斜視図である。
【図９】本発明の第４の実施形態に係る圧力センサをロボットハンドに取り付けた状態を示す横断面図である。
【図１０】図９の圧力センサの展開斜視図である。
【図１１】図９の圧力センサの内側電極構造体を構成する内側電極付き基板の展開図であって、その電極と配線については省略して示す図である。
【図１２】図１０の圧力センサの内側電極構造体を構成するシリコンゴムシートの展開図である。
【図１３】図１１の内側電極構造体を構成する内側電極付き基板の展開図であって、その電極と配線についても示す図である。
【図１４】図１０の圧力センサの外側電極構造体を構成する外側電極付き基板の展開図であって、その電極と配線については省略して示す図である。
【図１５】図１４の外側電極付き基板の展開図であって、その電極と配線についても示す図である。
【図１６】本発明の第５の実施形態に係る圧力センサをロボットハンドに取り付けた状態を示す横断面図である。
【図１７】本発明の第５の実施形態に係る圧力センサをロボットハンドに取り付けた状態を示す部分縦断面図である。
【図１８】本発明の第５の実施形態に係る圧力センサの内側電極構造体を構成する内側電極付き基板の展開図であって、その電極と配線についても示す図である。
【図１９】本発明の第６の実施形態に係る圧力センサの縦断面図である。
【図２０】図１９のXX−XX線矢視平断面図である。
【図２１】図１９のXXI−XXI線矢視側断面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１：圧力センサ、２：指、３：末節、４：末節部、５：センサシート、６：山折線、７：貫通穴、８：糊しろ部、１０：背側、１１：腹側、１４：平板、１５：突起、２１：検出電極（外側電極）、２２：信号電極（内側電極）、２３：容量検出回路、２４：データ集積部、２５：スイッチ、２６：信号源、３１：オペアンプ、３２：フィードバックコンデンサ、３３：整流回路、３４：ＡＤ変換回路、４３：エアーギャップ、４４：シリコンゴム基板、４５：柱（柱状物）、４６：絶縁膜、４７、４８：弾性体カバー、４９：フレキシブル基板（可撓性絶縁基板）、５０：接着層、６０：内側電極構造体、６１：外側電極構造体、６２：外側電極付き基板（外側可撓性絶縁基板）、６３：カバー（弾性袋状体）、６５：内側電極付き基板（内側可撓性絶縁基板）、６６：シリコンゴムシート、７１：弾性板、７２：柱状物（突起）、７３：可撓性基板（フレキシブルプリント基板）、７４：電気抵抗体、７５：貫通穴、７６：糊しろ部、７９：計測回路
【図１】
0005416904.tif 000002
【図２】
0005416904.tif 000003
【図３】
0005416904.tif 000004
【図４】
0005416904.tif 000005
【図５】
0005416904.tif 000006
【図６】
0005416904.tif 000007
【図７】
0005416904.tif 000008
【図８】
0005416904.tif 000009
【図９】
0005416904.tif 000010
【図１０】
0005416904.tif 000011
【図１１】
0005416904.tif 000012
【図１２】
0005416904.tif 000013
【図１３】
0005416904.tif 000014
【図１４】
0005416904.tif 000015
【図１５】
0005416904.tif 000016
【図１６】
0005416904.tif 000017
【図１７】
0005416904.tif 000018
【図１８】
0005416904.tif 000019
【図１９】
0005416904.tif 000020
【図２０】
0005416904.tif 000021
【図２１】
0005416904.tif 000022