(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体処理装置に配置されているセンサの状況が変化したか否かを判別するセンサ状況変化判別工程と、
前記センサ状況変化判別工程によりセンサの状況が変化したと判別されると、当該センサが異常パターンに該当するか否かを判別する異常パターン判別工程と、
前記異常パターン判別工程によりセンサが異常パターンに該当すると判別されると、当該センサの変化に関する情報を作成する作成工程と、
前記作成工程で作成されたセンサの変化に関する情報を前記半導体処理装置の表示部に表示する表示工程と、
前記作成工程で作成されたセンサの変化に関する情報を記憶する記憶工程と、
を備え、
前記異常パターン判別工程では、軸が動作していないにもかかわらず当該軸に配置されたセンサのＯＮ／ＯＦＦが変化するパターン、センサ反応時にセンサがＯＮ／ＯＦＦを繰り返すパターン、シリンダリトライした場合にシリンダリトライ前にセンサがＯＮにならないパターンの少なくとも１つのパターンに該当すると、当該センサが異常パターンに該当すると判別する、ことを特徴とするセンサ故障検知方法。
【請求項２】
前記センサには、異常パターンの繰り返し頻度の許容範囲が定められており、
前記記憶工程により記憶されたセンサの異常パターンに関する情報に基づいて、当該センサによる異常パターンの繰り返し頻度を特定する繰り返し頻度特定工程と、
前記繰り返し頻度特定工程により特定された当該センサによる異常パターンの繰り返し頻度が前記許容範囲であるか否かを判別する許容範囲判別工程と、
をさらに備え、
前記表示工程では、前記許容範囲判別工程により当該センサによる異常パターンの繰り返し頻度が前記許容範囲であると判別されると、前記作成工程で作成されたセンサの変化に関する情報を前記半導体処理装置の表示部に表示しない、ことを特徴とする請求項１に記載のセンサ故障検知方法。
【請求項３】
半導体処理装置に配置されているセンサの状況が変化したか否かを判別するセンサ状況変化判別手段と、
前記センサ状況変化判別手段によりセンサの状況が変化したと判別されると、当該センサが異常パターンに該当するか否かを判別する異常パターン判別手段と、
前記異常パターン判別手段によりセンサが異常パターンに該当すると判別されると、当該センサの変化に関する情報を作成する作成手段と、
前記作成手段で作成されたセンサの変化に関する情報を前記半導体処理装置の表示部に表示する表示手段と、
前記作成手段により作成されたセンサの変化に関する情報を記憶する記憶手段と、
を備え、
前記異常パターン判別手段は、軸が動作していないにもかかわらず当該軸に配置されたセンサのＯＮ／ＯＦＦが変化するパターン、センサ反応時にセンサがＯＮ／ＯＦＦを繰り返すパターン、シリンダリトライした場合にシリンダリトライ前にセンサがＯＮにならないパターンの少なくとも１つのパターンに該当すると、当該センサが異常パターンに該当すると判別する、ことを特徴とするセンサ故障検知装置。
【請求項４】
前記記憶手段には、センサの異常パターンの繰り返し頻度の許容範囲が記憶されており、
前記記憶手段により記憶されたセンサの異常パターンに関する情報に基づいて、当該センサによる異常パターンの繰り返し頻度を特定する繰り返し頻度特定手段と、
前記繰り返し頻度特定手段により特定された当該センサによる異常パターンの繰り返し頻度が前記許容範囲であるか否かを判別する許容範囲判別手段と、
をさらに備え、
前記表示手段は、前記許容範囲判別手段により当該センサによる異常パターンの繰り返し頻度が前記許容範囲であると判別されると、前記作成手段により作成されたセンサの変化に関する情報を前記半導体処理装置の表示部に表示しない、ことを特徴とする請求項３に記載のセンサ故障検知装置。
【請求項５】
コンピュータを、
半導体処理装置に配置されているセンサの状況が変化したか否かを判別するセンサ状況変化判別手段、
前記センサ状況変化判別手段によりセンサの状況が変化したと判別されると、当該センサが異常パターンに該当するか否かを判別する異常パターン判別手段、
前記異常パターン判別手段によりセンサが異常パターンに該当すると判別されると、当該センサの変化に関する情報を作成する作成手段、
前記作成手段で作成されたセンサの変化に関する情報を前記半導体処理装置の表示部に表示する表示手段、
前記作成手段により作成されたセンサの変化に関する情報を記憶する記憶手段、
として機能させ、
前記異常パターン判別手段は、軸が動作していないにもかかわらず当該軸に配置されたセンサのＯＮ／ＯＦＦが変化するパターン、センサ反応時にセンサがＯＮ／ＯＦＦを繰り返すパターン、シリンダリトライした場合にシリンダリトライ前にセンサがＯＮにならないパターンの少なくとも１つのパターンに該当すると、当該センサが異常パターンに該当すると判別する、ことを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサ故障検知方法、センサ故障検知装置、及び、プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程では、被処理体、例えば、半導体ウエハの成膜処理などを行う処理装置が用いられている。このような処理装置には、その内部に各種のセンサが取り付けられており、例えば、装置内部の所定位置に半導体ウエハが収容されているかを検知している。また、このセンサにより入手したデータを用い、より高度な装置管理を行う種々な方法が提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、センサを備えた半導体製造装置を、管理コンピュータ、ホストコンピュータ、及び、故障診断エキスパートシステムを備えるワークステーションと接続することにより、異常発生を早期かつ適切に検出し、オペレータに指示することができる半導体製造装置管理方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−２８２１４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、このような装置では、取り付けられたセンサが故障したり、センサの取り付けに問題が生じていたりしても、センサ自体の故障や取り付け不良を検知する方法がなく、実際にトラブルが発生した後に、故障したセンサを突き止めて交換している。このため、トラブルが発生すると、多くの不良品が発生したり、生産中の装置を完全に停止したりしなければならず、製品の歩留まりや装置の稼働率が悪くなるという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記実状に鑑みてなされたものであり、センサの故障等を検知することができるセンサ故障検知方法、センサ故障検知装置、及び、プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点にかかるセンサ故障検知方法は、
半導体処理装置に配置されているセンサの状況が変化したか否かを判別するセンサ状況変化判別工程と、
前記センサ状況変化判別工程によりセンサの状況が変化したと判別されると、当該センサが異常パターンに該当するか否かを判別する異常パターン判別工程と、
前記異常パターン判別工程によりセンサが異常パターンに該当すると判別されると、当該センサの変化に関する情報を作成する作成工程と、
前記作成工程で作成されたセンサの変化に関する情報を前記半導体処理装置の表示部に表示する表示工程と、
前記作成工程で作成されたセンサの変化に関する情報を記憶する記憶工程と、
を備え、
前記異常パターン判別工程では、軸が動作していないにもかかわらず当該軸に配置されたセンサのＯＮ／ＯＦＦが変化するパターン、センサ反応時にセンサがＯＮ／ＯＦＦを繰り返すパターン、シリンダリトライした場合にシリンダリトライ前にセンサがＯＮにならないパターンの少なくとも１つのパターンに該当すると、当該センサが異常パターンに該当すると判別する、ことを特徴とする。
【０００９】
前記センサには、異常パターンの繰り返し頻度の許容範囲が定められており、
前記記憶工程により記憶されたセンサの異常パターンに関する情報に基づいて、当該センサによる異常パターンの繰り返し頻度を特定する繰り返し頻度特定工程と、
前記繰り返し頻度特定工程により特定された当該センサによる異常パターンの繰り返し頻度が前記許容範囲であるか否かを判別する許容範囲判別工程と、
をさらに備えてもよい。
この場合、前記表示工程では、例えば、前記許容範囲判別工程により当該センサによる異常パターンの繰り返し頻度が前記許容範囲であると判別されると、前記作成工程で作成されたセンサの変化に関する情報を前記半導体処理装置の表示部に表示しない。
【００１０】
本発明の第２の観点にかかるセンサ故障検知装置は、
半導体処理装置に配置されているセンサの状況が変化したか否かを判別するセンサ状況変化判別手段と、
前記センサ状況変化判別手段によりセンサの状況が変化したと判別されると、当該センサが異常パターンに該当するか否かを判別する異常パターン判別手段と、
前記異常パターン判別手段によりセンサが異常パターンに該当すると判別されると、当該センサの変化に関する情報を作成する作成手段と、
前記作成手段で作成されたセンサの変化に関する情報を前記半導体処理装置の表示部に表示する表示手段と、
前記作成手段により作成されたセンサの変化に関する情報を記憶する記憶手段と、
を備え、
前記異常パターン判別手段は、軸が動作していないにもかかわらず当該軸に配置されたセンサのＯＮ／ＯＦＦが変化するパターン、センサ反応時にセンサがＯＮ／ＯＦＦを繰り返すパターン、シリンダリトライした場合にシリンダリトライ前にセンサがＯＮにならないパターンの少なくとも１つのパターンに該当すると、当該センサが異常パターンに該当すると判別する、ことを特徴とする。
【００１２】
前記記憶手段には、センサの異常パターンの繰り返し頻度の許容範囲が記憶されており、
前記記憶手段により記憶されたセンサの異常パターンに関する情報に基づいて、当該センサによる異常パターンの繰り返し頻度を特定する繰り返し頻度特定手段と、
前記繰り返し頻度特定手段により特定された当該センサによる異常パターンの繰り返し頻度が前記許容範囲であるか否かを判別する許容範囲判別手段と、
をさらに備えてもよい。
この場合、前記表示手段は、例えば、前記許容範囲判別手段により当該センサによる異常パターンの繰り返し頻度が前記許容範囲であると判別されると、前記作成手段により作成されたセンサの変化に関する情報を前記半導体処理装置の表示部に表示しない。
【００１３】
本発明の第３の観点にかかるプログラムは、
コンピュータを、
半導体処理装置に配置されているセンサの状況が変化したか否かを判別するセンサ状況変化判別手段、
前記センサ状況変化判別手段によりセンサの状況が変化したと判別されると、当該センサが異常パターンに該当するか否かを判別する異常パターン判別手段、
前記異常パターン判別手段によりセンサが異常パターンに該当すると判別されると、当該センサの変化に関する情報を作成する作成手段、
前記作成手段で作成されたセンサの変化に関する情報を前記半導体処理装置の表示部に表示する表示手段、
前記作成手段により作成されたセンサの変化に関する情報を記憶する記憶手段、
として機能させ、
前記異常パターン判別手段は、軸が動作していないにもかかわらず当該軸に配置されたセンサのＯＮ／ＯＦＦが変化するパターン、センサ反応時にセンサがＯＮ／ＯＦＦを繰り返すパターン、シリンダリトライした場合にシリンダリトライ前にセンサがＯＮにならないパターンの少なくとも１つのパターンに該当すると、当該センサが異常パターンに該当すると判別する、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、センサの故障等を検知することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態に係る処理装置の構造を示す図である。
【図２】図１の制御部の構成例を示す図である。
【図３】センサ情報記憶部に記憶されるセンサ変化情報の一例を示す図である。
【図４】本実施の形態のセンサ故障検知処理を説明するためのフローチャートである。
【図５】センサに定められた許容範囲の一例を示す図である。
【図６】他の実施の形態のセンサ故障検知処理を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明のセンサ故障検知方法、センサ故障検知装置、及び、プログラムを、図１に示す処理装置に適用した場合を例に本実施の形態を説明する。
【００１７】
図１に示すように、本実施の形態の処理装置１の処理室１０は、隔壁１１によって、作業エリアＳ１と、ローディングエリアＳ２とに区画されている。作業エリアＳ１は、半導体ウエハＷが多数枚、例えば、２５枚収納された密閉型の搬送容器であるキャリアＣの搬送と、キャリアＣの保管とを行うための領域であり、大気雰囲気に保たれている。一方、ローディングエリアＳ２は、半導体ウエハＷに対して熱処理、例えば、成膜処理や酸化処理を行うための領域であり、不活性ガス、例えば、窒素ガス雰囲気に保たれている。
【００１８】
作業エリアＳ１には、ロードポート２１と、キャリア搬送機２２と、トランスファーステージ２３と、保管部２４と、が設けられている。
【００１９】
ロードポート２１は、処理室１０の側方位置に設けられた搬送口２０から、外部の図示しない搬送機構により搬入されたキャリアＣを載置する。この搬送口２０に対応する位置の処理室１０の外側には、例えば、ドアＤが設けられており、ドアＤにより搬送口２０が開閉自在に構成されている。
【００２０】
キャリア搬送機２２は、ロードポート２１とトランスファーステージ２３との間に設けられ、作業エリアＳ１においてキャリアＣを搬送する。キャリア搬送機２２は、支柱２５と、支柱２５の側面に設けられた水平アーム２６と、を備えている。支柱２５は、処理室１０内において鉛直方向に亘って長く設けられている。水平アーム２６は、支柱２５の下方側に設けられたモータＭにより昇降可能に構成されている。また、水平アーム２６には、例えば、関節アームからなる搬送アーム２７が設けられ、水平アーム２６を昇降させることにより搬送アーム２７が昇降する。搬送アーム２７は、図示しないモータにより水平方向に移動可能に構成されている。このように、水平アーム２６は、搬送アーム２７を昇降及び水平移動させることによって、キャリアＣの受け渡しが行われるように構成されている。
【００２１】
トランスファーステージ２３は、隔壁１１の作業エリアＳ１側に設けられ、キャリア搬送機２２により搬送されたキャリアＣを載置する。トランスファーステージ２３は、例えば、上下２カ所に取り付けられている。トランスファーステージ２３では、後述する移載機構４２により、載置されたキャリアＣ内から半導体ウエハＷがローディングエリアＳ２に取り出される。また、トランスファーステージ２３の側方位置の隔壁１１は開口している。この開口を塞ぐように、隔壁１１のローディングエリアＳ２側にはシャッター３０が設けられている。
【００２２】
保管部２４は、作業エリアＳ１内の上方側に設けられ、キャリアＣを保管する。保管部２４は、例えば、縦に４列、横に２列並ぶように組となって設けられており、この保管部２４の組が支柱２５（キャリアＣの搬送領域）を挟むように設置されている。
【００２３】
ローディングエリアＳ２には、下端が炉口として開口した縦型の処理部である熱処理炉４０が配置されている。熱処理炉４０の下方側には、多数枚の半導体ウエハＷを保持するための保持具であるウエハボート４１が図示しない昇降機構により昇降自在に設置されている。
【００２４】
ウエハボート４１と隔壁１１との間には、移載機構４２が設けられている。移載機構４２は、トランスファーステージ２３に載置されたキャリアＣとウエハボート４１との間で半導体ウエハＷの受け渡しを行う。また、移載機構４２は、例えば、複数枚の半導体ウエハＷを一括して移載可能なアーム４３が進退自在に設けられている。移載機構４２は、図示しないモータにより鉛直軸回りに回転自在であり、昇降軸４４に沿って昇降自在に構成されている。
【００２５】
また、処理装置１の処理室１０には、各種のセンサが配置されている。例えば、モータＭには、エンコーダが組み合わされており、このエンコーダにおけるエンコーダ値によって水平アーム２６の高さ位置が検知される。また、各種のモータやシリンダには、モータ位置やシリンダ位置を検知するエンドリミットセンサ、ベースポジションセンサ等の位置センサが配置されている。さらに、ウエハボート４１には、収容される半導体ウエハＷの収容の有無や収納位置を検知するウエハ位置センサが配置されている。また、熱処理炉４０には、熱処理炉４０内の温度を測定する温度センサ、及び、熱処理炉４０内の圧力を測定する圧力センサが複数本配置されている。
【００２６】
これら各種のセンサは、処理装置１を制御するための制御部１００に接続されている。図２に制御部１００の構成を示す。図２に示すように、制御部１００は、操作パネル１２１、位置センサ１２２等の各種のセンサ、モータＭなどが接続されている。制御部１００は、位置センサ１２２等の各種のセンサからのデータに基づいて、例えば、モータＭ、水平アーム２６、移載機構４２等に制御信号を出力する。
【００２７】
操作パネル１２１は、表示部（表示画面）と操作ボタンとを備え、オペレータの操作指示を制御部１００に伝え、また、制御部１００からの様々な情報を表示画面に表示する。また、操作パネル１２１は、センサの故障が検知されると、センサが故障していることを表示する。
位置センサ１２２等の各種のセンサは、モータ位置やシリンダ位置などを検知し、検知した情報（位置等）を制御部１００に通知する。
【００２８】
図２に示すように、制御部１００は、センサ情報記憶部１０１と、レシピ記憶部１０２と、ＲＯＭ１０３と、ＲＡＭ１０４と、Ｉ／Ｏポート１０５と、ＣＰＵ１０６と、これらを相互に接続するバス１０７と、から構成されている。
【００２９】
センサ情報記憶部１０１には、センサの異常検出（変化）に関する情報（センサの変化情報）が記憶されている。センサ変化情報としては、図３に示すように、例えば、異常を検出した日時、異常となったセンサの名称、異常の判定理由などがあり、これらの情報がセンサ情報記憶部１０１に記憶されている。異常の判定理由としては、センサ故障検知処理において後述するが、例えば、軸が動作せずにＯＮ／ＯＦＦする、センサ反応時にＯＮ／ＯＦＦを繰り返す、シリンダリトライを繰り返す等がある。
【００３０】
レシピ記憶部１０２には、この処理装置１で実行される処理の種類に応じて、制御手順を定めるプロセス用レシピが記憶されている。プロセス用レシピは、ユーザが実際に行う処理（プロセス）毎に用意されるレシピである。このレシピには、装置各部の所定の動作プログラムが含まれている。
【００３１】
ＲＯＭ１０３は、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュメモリ、ハードディスクなどから構成され、ＣＰＵ１０６の動作プログラムなどを記憶する記録媒体である。
ＲＡＭ１０４は、ＣＰＵ１０６のワークエリアなどとして機能する。
Ｉ／Ｏポート１０５は、例えば、センサからの情報をＣＰＵ１０６に供給するとともに、ＣＰＵ１０６が出力する制御信号を装置の各部へ出力する。
【００３２】
ＣＰＵ（Central Processing Unit)１０６は、制御部１００の中枢を構成し、ＲＯＭ１０３に記憶された動作プログラムを実行する。また、ＣＰＵ１０６は、操作パネル１２１からの指示に従って、レシピ記憶部１０２に記憶されているプロセス用レシピに沿って、処理装置１の動作を制御する。
バス１０７は、各部の間で情報を伝達する。
【００３３】
次に、センサの異常を検知するセンサ故障検知方法（センサ故障検知処理）について説明する。本発明のセンサ故障検知方法は、例えば、１０分間に一度、０．１秒程度、ＯＮ／ＯＦＦを繰り返した後、このＯＮ／ＯＦＦの繰り返し頻度が増し（繰り返す間隔が短くなり）、センサが故障に至るように、センサ自体が故障し始めている場合、センサが検知する軸の調整不良の場合、センサの取り付け不良の場合、ティーチングが悪い場合など、今後、センサとしての機能を奏しなくなるものか（異常パターンに該当するか）を検知し、警告（ワーニング）するものである。すなわち、本発明のセンサ故障検知方法は、センサの故障を事前に検知し、警告するものである。図４は、センサ故障検知処理を説明するためのフローチャートである。
【００３４】
まず、制御部１００（ＣＰＵ１０６）は、処理装置１に配置されているセンサの状況が変化（センサがＯＮ／ＯＦＦ）したか否かを判別する（ステップＳ１）。ＣＰＵ１０６は、センサがＯＮ／ＯＦＦしていないと判別すると（ステップＳ１：Ｎｏ）、この処理を終了する。ＣＰＵ１０６は、センサがＯＮ／ＯＦＦしたと判別すると（ステップＳ１：Ｙｅｓ）、センサが異常パターンに該当するか否かを判別する（ステップＳ２）。
【００３５】
センサが異常パターンに該当する場合としては、例えば、以下の場合がある。
（１）軸が動作していないにもかかわらず、ＯＮ／ＯＦＦするセンサ
シリンダ軸の動作位置センサやモータ軸のエンドリミットセンサなどの軸が移動しなければＯＮ／ＯＦＦしないはずのセンサが勝手に変化した場合、そのセンサを異常と検知する。この異常パターンは、例えば、０．１秒程度、センサが変化するような場合に発生することが多く、センサ単体が故障し始めている場合に発生することが多い。
【００３６】
（２）センサ反応時にＯＮ／ＯＦＦを繰り返すセンサ
センサが反応するとき、センサのＯＮ／ＯＦＦを繰り返した後、目的の状態（ＯＮかＯＦＦ）に落ち着く。このように、目的の状態になるまでＯＮ／ＯＦＦを繰り返すセンサを異常と検知する。この異常パターンは、センサ位置の取り付けやティーチングが悪い場合、センサ単体が故障し始めている場合に発生することが多い。
【００３７】
（３）シリンダリトライを繰り返すセンサ
シリンダリトライとは、シリンダ動作でタイムアウトを起こした場合に、一旦動作方向の出力をＯＦＦにした後、再度ＯＮにして、シリンダ動作を完了させようとする機能をいう。この機能が作動してシリンダリトライした場合に、シリンダリトライ前にＯＮにならないセンサを異常と検知する。この異常パターンは、センサの故障というよりも、むしろシリンダ軸の調整不良の場合に発生することが多い。
【００３８】
ＣＰＵ１０６は、センサが異常パターンに該当しないと判別すると（ステップＳ２：Ｎｏ）、この処理を終了する。ＣＰＵ１０６は、センサが異常パターンに該当すると判別すると（ステップＳ２：Ｙｅｓ）、センサの変化情報（センサの異常検出に関する情報）を作成し、作成したセンサの変化情報を操作パネル１２１に表示する（ステップＳ３）。
【００３９】
このように、軸が動作していないにもかかわらず、ＯＮ／ＯＦＦしたり、センサ反応時にＯＮ／ＯＦＦを繰り返す場合に、処理装置１のオペレータにセンサの故障を知らせる警告（ワーニング）が行われるので、処理装置１のオペレータに故障し始めているセンサを知らせることができる。また、センサ位置の取り付けやティーチングが悪い場合、シリンダ軸の調整不良の場合にもワーニングが行われるので、処理装置１のオペレータにセンサの取り付け等の不良を知らせることができる。
【００４０】
最後に、ＣＰＵ１０６は、センサの変化情報をセンサ情報記憶部１０１に記憶し（ステップＳ４）、この処理を終了する。
【００４１】
以上説明したように、本実施の形態によれば、センサの故障を事前に検知し、ワーニング（警告）しているので、処理装置１のオペレータは、故障し始めているセンサを確認することができる。このため、調子が悪いセンサを早期に修理することで処理装置１の安全性を向上させることができる。また、トラブル発生時にセンサの故障箇所をすぐに確認でき、迅速な対処が可能になる。この結果、処理装置１の破損を防くことができ、処理装置１の稼働率を向上させることができる。
【００４２】
また、本実施の形態によれば、センサの取り付け不良などの場合に、これを事前に警告することで、確実にスタートアップが行え、処理装置１の故障を未然に防ぐことができる。また、装置出荷時に取り付け不良なセンサなどを確認すれば、確実に動作する処理装置１を出荷することができる。
【００４３】
さらに、本実施の形態によれば、センサの変化情報をセンサ情報記憶部１０１に記憶されているので、異常パターンとなったセンサの一覧を確認することができる。
【００４４】
なお、本発明は、上記の実施の形態に限られず、種々の変形、応用が可能である。以下、本発明に適用可能な他の実施の形態について説明する。
【００４５】
上記実施の形態では、センサが異常パターンに該当すると判別すると、そのセンサの変化情報を操作パネル１２１に表示し、警告する場合を例に本発明を説明したが、例えば、センサが異常パターンに該当したもの中から、所定の場合のみ、そのセンサの変化情報を操作パネル１２１に表示し、警告してもよい。
【００４６】
例えば、まだセンサが故障する可能性が低いときには、処理装置１のオペレータにセンサの故障を警告しないようにしてもよい。具体的には、センサが異常パターンに該当すると判別したもののうち、センサによる異常パターンの繰り返し頻度が所定範囲を超える（異常パターンを繰り返す間隔が所定範囲より短くなる）場合のみ、そのセンサの変化情報を操作パネル１２１に表示し、警告する。このような方法としては、例えば、センサ情報記憶部１０１に、図５に示すような、センサに応じて異常パターンを繰り返す間隔の所定範囲（許容範囲）を記憶し、この許容範囲に基づいてセンサの故障の警告の有無を決定する方法がある。図６に、このセンサ故障検知処理を説明するためのフローチャートを示す。
【００４７】
図６に示すように、ＣＰＵ１０６は、処理装置１に配置されているセンサがＯＮ／ＯＦＦしたか否かを判別し（ステップＳ１）、センサがＯＮ／ＯＦＦしていないと判別すると（ステップＳ１：Ｎｏ）、この処理を終了する。ＣＰＵ１０６は、センサがＯＮ／ＯＦＦしたと判別すると（ステップＳ１：Ｙｅｓ）、センサが異常パターンに該当するか否かを判別し（ステップＳ２）、センサが異常パターンに該当しないと判別すると（ステップＳ２：Ｎｏ）、この処理を終了する。
【００４８】
ＣＰＵ１０６は、センサが異常パターンに該当すると判別すると（ステップＳ２：Ｙｅｓ）、センサ情報記憶部１０１に記憶されたセンサの変化情報に基づいて、該当するセンサによる異常パターンの繰り返し頻度（異常パターンを繰り返す間隔）を特定する（ステップＳ１１）。次に、ＣＰＵ１０６は、特定した繰り返し頻度が許容範囲であるか否かを判別する（ステップＳ１２）。具体的には、ＣＰＵ１０６は、該当するセンサについてセンサ情報記憶部１０１に記憶されている許容範囲と、特定した繰り返し頻度（間隔）とを対比し、繰り返し頻度が許容範囲であるか否かを判別する。ＣＰＵ１０６は、許容範囲であると判別すると（ステップＳ１２：Ｙｅｓ）、ステップＳ４に進む。
【００４９】
ＣＰＵ１０６は、許容範囲でないと判別すると（ステップＳ１２：Ｎｏ）、センサの変化情報（センサの異常検出に関する情報）を作成し、作成したセンサの変化情報を操作パネル１２１に表示する（ステップＳ３）。最後に、ＣＰＵ１０６は、センサの変化情報をセンサ情報記憶部１０１に記憶し（ステップＳ４）、この処理を終了する。
【００５０】
このように、本例のセンサ故障検知処理では、異常パターンの繰り返し頻度が許容範囲でないときにのみ、そのセンサの変化情報を操作パネル１２１に表示し、警告するので、まだセンサが故障する可能性が低い状況では、処理装置１のオペレータにセンサの故障を警告しないようにすることができる。なお、許容範囲であると判別すると、ステップＳ４に進んでいることから、センサが故障する可能性が低い場合にもセンサの変化情報をセンサ情報記憶部１０１に記憶される。
【００５１】
なお、許容範囲は、センサ情報記憶部１０１に記憶したものに限定されるものではなく、例えば、処理装置１が処理を終了して停止するまでの時間、センサの推定寿命等から、ＣＰＵ１０６が自動的に特定してもよい。ＣＰＵ１０６は、操作パネル１２１からの指示に従ってレシピ記憶部１０２に記憶されているプロセス用レシピに沿って処理装置１の動作を制御しており、例えば、操作パネル１２１からの指示とプロセス用レシピとに基づいて、処理装置１が処理を終了して停止するまでの時間を特定する。また、ＣＰＵ１０６は、例えば、センサ情報記憶部１０１に記憶されている、そのセンサの変化情報に基づいてセンサの推定寿命を算出する。
【００５２】
上記実施の形態では、センサの異常パターンにシリンダ軸の調整不良により発生するシリンダリトライを繰り返す場合を含めているが、本発明はセンサの故障を事前に検知し、警告するものであればよく、センサの異常パターンにシリンダリトライを繰り返す場合を含めなくてもよい。
【００５３】
上記実施の形態では、本発明を図１に示す処理装置に適用した場合を例に本発明を説明したが、例えば、枚葉式の処理装置やバッチ式の処理装置に本発明を適用することも可能である。また、本発明は、半導体ウエハの処理に限定されるものではなく、例えば、ＦＰＤ基板、ガラス基板、ＰＤＰ基板などの処理にも適用可能である。
【００５４】
本発明の実施の形態にかかる制御部１００は、専用のシステムによらず、通常のコンピュータシステムを用いて実現可能である。例えば、汎用コンピュータに、上述の処理を実行するためのプログラムを格納した記録媒体（フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）から当該プログラムをインストールすることにより、上述の処理を実行する制御部１００を構成することができる。
【００５５】
そして、これらのプログラムを供給するための手段は任意である。上述のように所定の記録媒体を介して供給できる他、例えば、通信回線、通信ネットワーク、通信システムなどを介して供給してもよい。この場合、例えば、通信ネットワークの掲示板（ＢＢＳ）に当該プログラムを掲示し、これをネットワークを介して搬送波に重畳して提供してもよい。そして、このように提供されたプログラムを起動し、ＯＳの制御下で、他のアプリケーションプログラムと同様に実行することにより、上述の処理を実行することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明は、センサの故障等の検知に有用である。
【符号の説明】
【００５７】
１  処理装置
２１  ロードポート
２２  キャリア搬送機
２３  トランスファーステージ
２５  支柱
２６  水平アーム
２７  搬送アーム
４０  熱処理炉
４１  ウエハボート
４２  移載機構
４３  アーム
４４  昇降軸
１００  制御部
１０１  モデル記憶部
１０２  レシピ記憶部
１０３  ＲＯＭ
１０４  ＲＡＭ
１０５  Ｉ／Ｏポート
１０６  ＣＰＵ
１０７  バス
１２１  操作パネル
１２２  位置センサ
Ｃ  キャリア
Ｍ  モータ
Ｗ  半導体ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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