(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に、
第１レンズ群と、
負の屈折力を有する第２レンズ群と、
正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズ群からなり、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含み、
前記第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されており、
前記第２レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に配置された接合負レンズからなり、
無限遠合焦時の前記第２レンズ群の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離をΣｄｖｒとし、無限遠合焦時の全系の焦点距離をｆとしたとき、次式
３．０７≦  Σｄｖｒ／ｆ  ＜  ５．００
の条件を満足することを特徴とする光学系。
【請求項２】
物体側から順に、
第１レンズ群と、
負の屈折力を有する第２レンズ群と、
正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズ群からなり、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含み、
前記第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されており、
前記第２レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に配置された接合負レンズからなり、
無限遠合焦時の前記第２レンズ群の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離をΣｄｖｒとし、無限遠合焦時の全系の焦点距離をｆとし、無限遠合焦時の前記第２レンズ群の横倍率をβｖｒとし、無限遠合焦時の前記第３レンズ群の横倍率をβ３としたとき、次式
２．００  ＜  Σｄｖｒ／ｆ  ＜  ５．００
０．１５  ＜  ｜（１−βｖｒ）×β３｜  ＜  ０．５０
の条件を満足することを特徴とする光学系。
【請求項３】
物体側から順に、
第１レンズ群と、
負の屈折力を有する第２レンズ群と、
正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズ群からなり、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含み、
前記第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されており、
前記第２レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に配置された接合負レンズからなり、
無限遠合焦時の前記第２レンズ群の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離をΣｄｖｒとし、無限遠合焦時の全系の焦点距離をｆとし、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２と、
したとき、次式
２．００  ＜  Σｄｖｒ／ｆ  ＜  ５．００
−０．３５  ＜  ｆ／ｆ２  ＜  −０．０７
の条件を満足することを特徴とする光学系。
【請求項４】
物体側から順に、
第１レンズ群と、
負の屈折力を有する第２レンズ群と、
正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズ群からなり、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含み、
前記第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されており、
前記第２レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に配置された物体側から順に、接合負レンズと、負レンズと、正レンズとからなり、
無限遠合焦時の前記第２レンズ群の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離をΣｄｖｒとし、無限遠合焦時の全系の焦点距離をｆとしたとき、次式
２．００  ＜  Σｄｖｒ／ｆ  ＜  ５．００
の条件を満足することを特徴とする光学系。
【請求項５】
無限遠合焦時の前記第２レンズ群の横倍率をβｖｒとし、無限遠合焦時の前記第３レンズ群の横倍率をβ３としたとき、次式
０．１５  ＜  ｜（１−βｖｒ）×β３｜  ＜  ０．５０
の条件を満足することを特徴とする請求項１または４に記載の光学系。
【請求項６】
無限遠合焦時の全系の焦点距離をｆとし、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２としたとき、次式
−０．３５  ＜  ｆ／ｆ２  ＜  −０．０７
の条件を満足することを特徴とする請求項１または４に記載の光学系。
【請求項７】
無限遠合焦時の全系の焦点距離をｆとし、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２としたとき、次式
−０．３５  ＜  ｆ／ｆ２  ＜  −０．０７
の条件を満足することを特徴とする請求項２または５に記載の光学系。
【請求項８】
前記反射防止膜は多層膜であり、
前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項９】
前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄは１．３０以下であることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項１０】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項１１】
前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項１０に記載の光学系。
【請求項１２】
前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項１０に記載の光学系。
【請求項１３】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項１４】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項１３に記載の光学系。
【請求項１５】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項１３に記載の光学系。
【請求項１６】
開口絞りは、前記第２レンズ群よりも像面側に配置されることを特徴とする請求項１から１５のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項１７】
前記開口絞りは、前記第３レンズ群内に配置されることを特徴とする請求項１５に記載の光学系。
【請求項１８】
前記第３レンズ群は、近距離物体への合焦に際し、物体側に移動するように配置されることを特徴とする請求項１から１７のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項１９】
請求項１から１８のいずれか１項に記載の光学系を有することを特徴とする光学機器。
【請求項２０】
物体側から順に、第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズからなる光学系の製造方法であって、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んで形成され、
前記第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されるよう配置し、
前記第２レンズ群は、接合負レンズからなり、前記第２レンズ群を光軸と略垂直方向の成分を持つように移動するように配置し、
無限遠合焦時の前記第２レンズ群の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離をΣｄｖｒとし、無限遠合焦時の全系の焦点距離をｆとしたとき、次式
３．０７≦  Σｄｖｒ／ｆ  ＜  ５．００
の条件を満足するよう配置されることを特徴とする光学系の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学系、この光学系を有する光学機器、及び、光学系の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、短い焦点距離でも一眼レフレックスカメラやデジタルカメラ等に用いられるほどバックフォーカスを確保できる広い画角の光学系として、負の屈折力を持つレンズ群が先行するレトロフォーカスレンズが知られている。このレンズタイプでＦ１．４ほどの大口径化を行ったものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。また近年、このような光学系に対しては、収差性能だけではなく、光学性能を損なう要因の一つであるゴーストやフレアに関する要求も厳しさを増しており、そのためレンズ面に施される反射防止膜にもより高い性能が要求され、要求に応えるべく多層膜設計技術や多層膜成膜技術も進歩を続けている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−３０７４３号公報
【特許文献２】特開２０００−３５６７０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の広い画角の光学系は、防振機構を採用した際に、防振時の収差補正が十分ではないという課題があった。それと同時に、このような光学系における光学面からは、ゴーストやフレアとなる反射光が発生しやすいという課題もあった。
【０００５】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、ゴーストやフレアをより低減させ、より高性能で防振性能に優れた光学系、この光学系を有する光学機器、及び、光学系の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するため、本発明に係る光学系は、
物体側から順に、
第１レンズ群と、
負の屈折力を有する第２レンズ群と、
正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズ群からなり、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含み、
前記第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されており、
前記第２レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に配置された接合負レンズからなり、
無限遠合焦時の前記第２レンズ群の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離をΣｄｖｒとし、無限遠合焦時の全系の焦点距離をｆとしたとき、次式
３．０７≦  Σｄｖｒ／ｆ  ＜  ５．００
の条件を満足することを特徴とする光学系を提供する。
また、本発明は、
物体側から順に、
第１レンズ群と、
負の屈折力を有する第２レンズ群と、
正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズ群からなり、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含み、
前記第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されており、
前記第２レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に配置された接合負レンズからなり、
無限遠合焦時の前記第２レンズ群の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離をΣｄｖｒとし、無限遠合焦時の全系の焦点距離をｆとし、無限遠合焦時の前記第２レンズ群の横倍率をβｖｒとし、無限遠合焦時の前記第３レンズ群の横倍率をβ３としたとき、次式
２．００  ＜  Σｄｖｒ／ｆ  ＜  ５．００
０．１５  ＜  ｜（１−βｖｒ）×β３｜  ＜  ０．５０
の条件を満足することを特徴とする光学系を提供する。
また、本発明に係る光学系は、
物体側から順に、
第１レンズ群と、
負の屈折力を有する第２レンズ群と、
正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズ群からなり、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含み、
前記第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されており、
前記第２レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に配置された接合負レンズからなり、
無限遠合焦時の前記第２レンズ群の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離をΣｄｖｒとし、無限遠合焦時の全系の焦点距離をｆとし、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２と、
したとき、次式
２．００  ＜  Σｄｖｒ／ｆ  ＜  ５．００
−０．３５  ＜  ｆ／ｆ２  ＜  −０．０７
の条件を満足することを特徴とする光学系を提供する。
また、本発明に係る光学系は、
物体側から順に、
第１レンズ群と、
負の屈折力を有する第２レンズ群と、
正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズ群からなり、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含み、
前記第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されており、
前記第２レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に配置された物体側から順に、接合負レンズと、負レンズと、正レンズとからなり、
無限遠合焦時の前記第２レンズ群の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離をΣｄｖｒとし、無限遠合焦時の全系の焦点距離をｆとしたとき、次式
２．００  ＜  Σｄｖｒ／ｆ  ＜  ５．００
の条件を満足することを特徴とする光学系を提供する。
【０００７】
また、本発明に係る光学機器は、物体の像を所定の像面上に結像させる上述の光学系のいずれかを有して構成される。
【０００８】
また、本発明に係る光学系の製造方法は、
物体側から順に、第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズからなる光学系の製造方法であって、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んで形成され、
前記第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されるよう配置し、
前記第２レンズ群は、接合負レンズからなり、前記第２レンズ群を光軸と略垂直方向の成分を持つように移動するように配置し、
無限遠合焦時の前記第２レンズ群の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離をΣｄｖｒとし、無限遠合焦時の全系の焦点距離をｆとしたとき、次式
３．０７≦  Σｄｖｒ／ｆ  ＜  ５．００
の条件を満足するよう配置されることを特徴とする光学系の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ゴーストやフレアをより低減させ、防振性能に優れた光学系、この光学系を備えた光学機器、及び、光学系の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図２】第１実施例に係る諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限遠合焦状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図３】第１実施例に係る諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図４】第１実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図であって、入射した光線が第１番目の反射光発生面と第２番目の反射光発生面で反射する様子の一例を説明する図である。
【図５】第２実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図６】第２実施例に係る諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限遠撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図７】第２実施例に係る諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図８】第３実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図９】第３実施例に係る諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限遠撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図１０】第３実施例に係る諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図１１】第４実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図１２】第４実施例に係る諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限遠撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図１３】第４実施例に係る諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図１４】第５実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図１５】第５実施例に係る諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限遠撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図１６】第５実施例に係る諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図１７】第６実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図１８】第６実施例に係る諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限遠撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図１９】第６実施例に係る諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図２０】第７実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図２１】第７実施例に係る諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限遠撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図２２】第７実施例に係る諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図２３】第８実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図２４】第８実施例に係る諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限遠撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図２５】第８実施例に係る諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図２６】本実施形態に係る光学系を搭載するデジタル一眼レフカメラの断面図を示す。
【図２７】本実施形態に係る光学系の製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図２８】反射防止膜の層構造の一例を示す説明図である。
【図２９】反射防止膜の分光特性を示すグラフである。
【図３０】変形例に係る反射防止膜の分光特性を示すグラフである。
【図３１】変形例に係る反射防止膜の分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。
【図３２】従来技術で作成した反射防止膜の、分光特性を示すグラフである。
【図３３】従来技術で作成した反射防止膜の、分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本願の好ましい実施形態について説明する。本実施形態に係る光学系は、物体側から順に、第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群と、を有し、第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されている。また、第２レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動させて像を変位させることを特徴とする防振レンズ群である。
【００１２】
また、本実施形態に係る光学系は、無限遠合焦時の第２レンズ群の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離をΣｄｖｒとし、無限遠合焦時の全系の焦点距離をｆとしたとき、以下の条件式（１）を満足する。
【００１３】
２．００  ＜  Σｄｖｒ／ｆ  ＜  ５．００                    （１）
【００１４】
短い焦点距離のレンズを一眼レフレックスカメラやデジタルカメラ等に用いられるほどのバックフォーカスを確保するためには、マージナル光線の光軸からの高さをレンズへの入射時より射出時に高くすることで瞳倍率を１より大きくすることができる、いわゆるワイドコンバータ特性を持った構成にすると有効であることが知られている。また、バックフォーカスの制約が無い場合でも、画角が広くなるにつれて顕著になる周辺光量不足を補う上でも、前述のようなワイドコンバータ特性を持った構成を用いることが有効である。
【００１５】
このいわゆるレトロフォーカスレンズタイプでＦ１．４ほどの大口径化を行ったものが提案されている。ここで、このような広い画角の光学系に対して防振機構を導入する際には、どの箇所に防振レンズを入れるかが問題となる。なお、「マージナル光線」とは、像高０に達する光線のうちで最も光軸から離れた光線をいう。
【００１６】
レトロフォーカスレンズでは、物体側のレンズ群が負の屈折力が強く、像面側のレンズ群は正の屈折力が強い非対称な屈折力配置になっているため、レンズ群同士で互いに収差を打ち消しあうことができず、負の歪曲収差やコマ収差の補正が特に難しくなっている。そのため、レンズ群単独でできる限り収差を補正しておく必要がある。そのような各レンズ群単独での収差補正が十分でない場合は、それ以降のレンズ群で防振した際や近距離物体に対して合焦を行った際に球面収差、コマ収差や偏芯コマ収差、像面湾曲が大きく発生する。
【００１７】
そこで、本実施形態に係る光学系では、物体側から順に正または負の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群という配置を採用した。これにより、第１レンズ群を、上述のワイドコンバータ部と考え、それに最適な収差補正を行う。また、防振レンズ群（以下、「第２レンズ群」とも記す）は負の屈折力を有することから第３レンズ群とあわせてもレトロフォーカスレンズの屈折力配置を取り、バックフォーカスや撮像素子への光線の入射角度を最適化することが容易となる。このような構成とした結果として、球面収差及びコマ収差を良好に補正することが可能となった。また、周辺光束に対しても、第２レンズ群が負の屈折力をもつことでコマ収差、特にサジタルコマ収差を効果的に補正できる。その結果、レンズ径を大きくすることなく良好な収差補正を実現できる。また、最も物体側のレンズ面が、物体側に凹面を向けた形状をしていることで前述の効果をより発揮できる。
【００１８】
また、本実施形態に係る光学系では、収差補正とのバランスを取りながら、防振時にも良好な結像性能を発揮できる有効な範囲を規定している前述の条件式（１）を満足する構成とした。この条件式（１）は、防振レンズ群である第２レンズ群が像面に対してどの程度離れているかを、全系の焦点距離との比で規定している。この条件式（１）が意味するところは、防振レンズ群（第２レンズ群）が焦点距離に対してあまりにも像面から近い位置や、遠い位置にあると十分な光学性能を、特に防振時に発揮できないからである。
【００１９】
従来、本実施形態に係る光学系のような広角レンズで防振機構を導入した際の大きな問題として、防振レンズ群である第２レンズ群の偏芯時の非点収差の変動補正が困難であった。また、大口径レンズでは防振レンズ群（第２レンズ群）の偏芯時の偏芯コマ収差の補正も困難であった。その理由として、防振レンズ群である第２レンズ群の各屈折面に対して、周辺像高の光線が入射する角度が偏芯時に大きく変動し、結果として非点収差、コマ収差などのバランスが大きく崩れて補正しきれないことに由来している。そのため、防振レンズ群（第２レンズ群）の屈折力と同じ屈折力を有するレンズ群が比較的多く集まっている箇所であって、それらのうちのいずれかのレンズ群の近傍に防振レンズ群である第２レンズ群を配置すると、防振レンズ群（第２レンズ群）とその前後のレンズ群で高次収差の出し引きを行う必要が少なくなるため、この防振レンズ群（第２レンズ群）の偏芯時の収差補正に有利である。以上より、本実施形態に係る光学系は、防振レンズ群である第２レンズ群の負の屈折力と同じ負の屈折力を有するレンズ群が比較的多く集まっている第１レンズ群の近傍にこの防振レンズ群である第２レンズ群を配置する構成としている。その結果、この防振レンズ群である第２レンズ群は全系の焦点距離に比して、この防振レンズ群（第２レンズ群）が像面に対して前述の条件式（１）を満たす程度離れていることで、良好な収差補正を実現した。
【００２０】
また、レトロフォーカスレンズにおいて像面に近い位置に防振レンズ群（第２レンズ群）を配置すると合焦（フォーカシング）を行う機構を配置することが困難になり易い。なぜならばオートフォーカス機構が可能なフォーカシング部の負荷を考えると、このフォーカシング部は比較的レンズの像面側よりの位置で行うことが有利である。そのため、防振レンズ群である第２レンズ群を像面に近い位置に配置しようとするとフォーカシング部と近接した配置を強いられることになる。その結果、合焦レンズ群により近距離物体への合焦を行う際に、移動ストロークを小さくする必要があり、そのためには、第３レンズ群の屈折力を強くしなくてはならない。結果として球面収差およびコマ収差の補正が困難となり、好ましくない。同様に防振レンズ群（第２レンズ群）も少ない偏芯量で十分な防振効果を得ようとすると、この防振レンズ群（第２レンズ群）も強い屈折力が必要となり、結果として偏芯時のコマ収差、非点収差の変動ともに補正が困難になり好ましくない。
【００２１】
条件式（１）の上限値を上回ると、防振レンズ群である第２レンズ群がレンズ全体に対して物体側に寄り過ぎるため、レンズの全長が長くなりがちである。その結果、周辺光量が不足するのを防ぐためには第１レンズ群の屈折力を収差補正上の最適値よりも強くする必要が生じ、それにより歪曲収差、像面湾曲などが悪化するため好ましくない。なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（１）の上限値を４．５０にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（１）の上限値を４．００とすることがより好ましい。
【００２２】
また、条件式（１）の下限値を下回ると、防振レンズ群である第２レンズ群がレンズ全体に対して像面側により過ぎるため、前述のようにこの防振レンズ群（第２レンズ群）及び第３レンズ群ともに強い屈折力を必要とされるため、結果として防振レンズ群（第２レンズ群）の偏芯時のコマ収差、非点収差の変動ともに補正が困難になり好ましくない。なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（１）の下限値を２．２０にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（１）の下限値を２．４０とすることがより好ましい。
【００２３】
また、本実施形態に係る光学系は、第１レンズ群および第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでいる。このように構成することで、本実施形態に係る光学系では、物体からの光が光学面で反射されて生じるゴーストやフレアを低減することができ、高い結像性能を達成することができる。
【００２４】
また、本実施形態に係る光学系では、前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、多層膜を構成する層のうち最も表面の層であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより少なくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減することができる。
【００２５】
また、本実施形態に係る光学系では、前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をｎｄとしたとき、屈折率ｎｄが１．３０以下であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより少なくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減することができる。
【００２６】
また、本実施形態に係る光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群において開口絞りから見て凹形状のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減することができる。
【００２７】
また、本実施形態に係る光学系では、反射防止膜が設けられた前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることが好ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群において開口絞りから見て凹形状の像面側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２８】
また、本実施形態に係る光学系では、反射防止膜が設けられた前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることが好ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群において開口絞りから見て凹形状の物体側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２９】
また、本実施形態に係る光学系では、反射防止膜が設けられた光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群において物体側から見て凹形状のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００３０】
また、本実施形態に係る光学系では、反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることが好ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群において物体側から見て凹形状の像面側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００３１】
また、本実施形態に係る光学系では、反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることが好ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群において物体側から見て凹形状の物体側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００３２】
なお、本実施形態に係る光学系では、反射防止膜は、ウェットプロセスに限らず、ドライプロセス等により形成しても良い。この際、反射防止膜は屈折率が１．３０以下となる層を少なくとも１層含むようにすることが好ましい。反射防止膜が、屈折率が１．３０以下となる層を少なくとも１層含むようにすることで、反射防止膜をドライプロセス等で形成しても、ウェットプロセスを用いた場合と同様の効果を得ることができる。なおこの時、屈折率が１．３０以下になる層は、多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることが好ましい。
【００３３】
また、本実施形態に係る光学系は、無限遠合焦時の第２レンズ群の横倍率をβｖｒとし、無限遠合焦時の第３レンズ群の横倍率をβ３としたとき、以下の条件式（２）を満足することが望ましい。
【００３４】
０．１５  ＜  ｜（１−βｖｒ）×β３｜  ＜  ０．５０      （２）
【００３５】
条件式（２）は、防振レンズ群である第２レンズ群の光軸と直交する方向の成分を持つような移動量に対する、像面上で像が光軸と略直交する方向の成分を持つような移動量の割合を規定する条件である。
【００３６】
この条件式（２）の上限値を上回ると、防振レンズ群である第２レンズ群の屈折力が強くなりすぎ、結果として、偏芯時のコマ収差及び非点収差の変動ともに収差補正が困難になり好ましくない。
【００３７】
また、条件式（２）の上限値を上回ると、前述のように防振レンズ群（第２レンズ群）の屈折力が強くなりすぎることに加えて第３レンズ群の横倍率が大きくなりすぎ、これは第３レンズ群の屈折力が適正値よりも強すぎることを意味し、結果として、球面収差、コマ収差なども悪化してしまうため好ましくない。また、第３レンズ群の横倍率が適正値よりも高すぎるため防振レンズ群（第２レンズ群）の偏芯にともなう偏芯時のコマ収差、非点収差の変動を拡大しすぎることになり、その結果として、防振レンズ群（第２レンズ群）の偏芯時のコマ収差、非点収差の変動補正が困難になり好ましくない。
【００３８】
なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（２）の上限値を０．４５にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（２）の上限値を０．４２とすることがより好ましい。
【００３９】
また、条件式（２）の下限を下回ると、防振制御のために必要な防振レンズ群（第２レンズ群）の移動量が適正値より大きくなってしまい、結果として、この防振レンズ群（第２レンズ群）の偏芯時のコマ収差、非点収差の変動ともに補正が困難になり好ましくない。また、防振レンズ群（第２レンズ群）を駆動するためのアクチュエーターなどの駆動手段も大きくなってしまう。その結果、各レンズ群の間隔が適正値より圧迫されるために各レンズ群の屈折力が強くなりすぎ、球面収差、コマ収差なども悪化してしまうため好ましくない。
【００４０】
なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（２）の下限値を０．１８にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（２）の下限値を０．２１とすることがより好ましい。
【００４１】
また、本実施形態に係る光学系は、無限遠合焦時の全系の焦点距離をｆとし、第２レンズ群の焦点距離をｆ２としたとき、以下の条件式（３）を満足することが望ましい。
【００４２】
−０．３５  ＜  ｆ／ｆ２  ＜  −０．０７                    （３）
【００４３】
条件式（３）は、防振レンズ群である第２レンズ群の焦点距離ｆ２を規定するための条件式である。
【００４４】
この条件式（３）の上限値を上回ると、防振レンズ群（第２レンズ群）の屈折力が弱くなりすぎるため、防振制御のために必要なこの防振レンズ群（第２レンズ群）の移動量が適正値より大きくなってしまい、結果として、この防振レンズ群（第２レンズ群）の偏芯時のコマ収差、非点収差の変動ともに収差補正が困難になり好ましくない。また、この防振レンズ群（第２レンズ群）を駆動するためのアクチュエーターなどの駆動手段も大きくなってしまう。その結果、各レンズ群間隔が適正値より圧迫されるために各レンズ群の屈折力が強くなりすぎるため球面収差、コマ収差なども悪化してしまうため好ましくない。
【００４５】
なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（３）の上限値を−０．１０にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（３）の上限値を−０．１２とすることがより好ましい。
【００４６】
また、条件式（３）の下限値を下回ると、防振レンズ群（第２レンズ群）の屈折力が強くなりすぎてしまい、結果としてこの防振レンズ群（第２レンズ群）の偏芯時のコマ収差、非点収差の変動ともに収差補正が困難になり好ましくない。
【００４７】
なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（３）の下限値を−０．３１にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（３）の下限値を−０．２８とすることがより好ましい。
【００４８】
一般的に、開口絞りに対してコンセントリックな光学面は非点収差を発生させにくいことが知られている。広い画角の光学系で防振機構を導入した際の大きな問題として、偏芯時の非点収差、及びこの非点収差の変動が挙げられる。その理由として、防振レンズ群の各屈折面に対して、周辺像高の光線が入射する角度が偏芯時に大きく変動し、結果として非点収差、コマ収差などのバランスが大きく崩れて補正しきれないことに由来している。そのため、本実施形態に係る光学系では、開口絞りＳに対してコンセントリックな光学面とし、偏芯時も防振レンズ群（第２レンズ群）の各屈折面に対して、周辺像高の光線が入射する角度が偏芯時に大きく変動しないようにした。その結果、偏芯時の非点収差、コマ収差変動が良好に補正された。
【００４９】
このように、本実施形態に係る光学系において、開口絞りＳは、第２レンズ群よりも像面側に配置されることが望ましく、また、開口絞りＳは、第３レンズ群内に配置されることがより望ましい。この場合、開口絞りＳの前後にレンズ成分を配置することが望ましい。
【００５０】
本実施形態に係る光学系において、防振レンズ群である第２レンズ群を射出した光線は発散光となる。ここで、第２レンズ群と開口絞りＳとの間にレンズ群が存在しない場合は開口絞りＳを通過した光線は開口絞りＳより像面側のレンズ群に対して高い入射高さをもつことになる。その結果球面収差やコマ収差が悪化するため、第２レンズ群と開口絞りＳとの間にレンズ成分を有することが望ましい。なお、上記の観点では第２レンズ群と開口絞りＳとの間のレンズ成分は正の屈折力を有することがより望ましい。また、開口絞りＳより像面側にもレンズ成分を有することで開口絞りＳ前後で収差を補正することが可能になるため、第３レンズ群は開口絞りＳの前後にレンズ成分を有することが好ましい。この構成により、球面収差、コマ収差を良好に補正できる。上記の観点では開口絞りＳより像面側のレンズ成分は正の屈折力を有することがより望ましい。また、開口絞りとしての部材を設けずに、レンズの枠でその役割を代用しても良い。
【００５１】
また、本実施形態に係る光学系は、無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、第３レンズ群が物体側に移動することが望ましい。広い画角の光学系の合焦方法として、開口絞りＳより像面側だけを移動させるいわゆるリアフォーカスタイプが知られている。しかし、大口径な広い画角の光学系においては球面収差、コマ収差、像面湾曲の収差変動が大きく望ましくない。そのため、本実施形態に係る光学系では、第３レンズ群は開口絞りＳの前後にレンズ成分を有することで、無限遠物体から近距離物体に対しての合焦でも球面収差とコマ収差及び像面湾曲の収差変動を少なく抑えることが可能となった。また、このように開口絞りＳの前後にレンズ成分があることにより、上述のように、球面収差、コマ収差を良好に収差補正することができる。
【００５２】
次に、本実施形態に係る光学系を搭載した光学機器について説明する。図２６は、後述する第１実施例で示す防振機能を有する本実施形態に係る光学系を搭載した一眼レフカメラ１（以後、単にカメラと記す）の概略構成図を示す。このカメラ１において、不図示の被写体からの光は、後述する防振機能を有する撮影レンズ（ＳＬ）２で集光され、クイックリターンミラー３で反射されて焦点板４に結像される。焦点板４に結像された被写体像は、ペンタプリズム５で複数回反射されて接眼レンズ６を介して撮影者に正立像として観察可能に構成されている。
【００５３】
撮影者は、不図示のレリーズ釦を半押ししながら接眼レンズ６を介して被写体像を観察して、被写体への合焦および撮影構図を決めた後、レリーズ釦を全押しする。レリーズ釦を全押しした時、クイックリターンミラー３が上方に跳ね上げられ被写体からの光は撮像素子７で受光され撮影画像が取得され、不図示のメモリに記録される。レリーズ釦を全押しした時、撮影レンズ２（光学系ＳＬ）に内蔵されているセンサー８（例えば、角度センサーなど）で撮影レンズ２（カメラ１）の傾きが検出されてＣＰＵ９に伝達され、ＣＰＵ９で回転ぶれ量が検出され手ぶれ補正用レンズ群を光軸に直交する方向の成分を持つように駆動するレンズ駆動手段１０が駆動され、手ぶれ発生時の撮像素子７上における像ぶれが補正される。このようにして、後述する防振機能を有する撮影レンズ２（光学系ＳＬ）を具備する光学機器１が構成されている。なお、図２６に記載のカメラ１は、光学系ＳＬを着脱可能に保持するものでも良く、光学系ＳＬと一体に成形されるものでも良い。また、クイックリターンミラー等を有しないミラーレスカメラでも良く、上記カメラと同様の効果を奏することができる。また、カメラ１には、上述の第１実施例に限らず他の実施例の撮影レンズを装着することができる。
【００５４】
以下、本実施形態の光学系の製造方法の概略を、図２７を参照して説明する。図２７において、各レンズを配置してレンズ群をそれぞれ準備する（ステップＳ１００）。そして、本実施形態に係る光学系は、第１レンズ群および第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでいる。
【００５５】
具体的に、本実施形態では、例えば、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ１４と両凹形状の負レンズＬ１５との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズＬ１６を配置して第１レンズ群Ｇ１とし、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズを配置して第２レンズ群Ｇ２とし、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、像面側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３７を配置して第３レンズ群Ｇ３とする。
【００５６】
この際、第１レンズ群Ｇ１は、像面に対して光軸方向に固定されるよう配置する（ステップＳ２００）。また、第２レンズ群Ｇ２は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動するように配置する（ステップＳ３００）。
【００５７】
そして、これらのレンズ群を、無限遠合焦時の第２レンズ群Ｇ２の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離をΣｄｖｒとし、無限遠合焦時の全系の焦点距離をｆとしたとき、前述の条件式（１）を満足するよう配置する（ステップＳ４００）。
【実施例】
【００５８】
以下、本実施形態に係る光学系の各実施例を、図面に基づいて説明する。なお、図１、図５、図８、図１１、図１４、図１７、図２０及び図２３は、各実施例に係る光学系ＳＬ（ＳＬ１〜ＳＬ８）のレンズ構成を示す断面図である。
【００５９】
図１及び図５に示すように、第１及び第２実施例に係る光学系ＳＬ１及びＳＬ２は、物体側から順に、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。
【００６０】
一方、図８、図１１、図１４、図１７、図２０及び図２３に示すように、第３〜第８実施例に係る光学系ＳＬ３〜ＳＬ８は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。
【００６１】
また、各実施例において、第１レンズ群Ｇ１は像面に対して光軸方向に固定されており、第２レンズ群Ｇ２は光軸と略垂直方向の成分を持つように移動し像面上の像を変位させる防振レンズ群である。開口絞りＳは、第３レンズ群Ｇ３内に配置し、開口絞りＳの前後に正の屈折力を持つレンズ成分を有し（第８実施例を除く）、近距離物体への合焦に際し、第３レンズ群Ｇ３が物体側に移動する。
【００６２】
各実施例において、非球面は、光軸に垂直な方向の高さをｙとし、高さｙにおける各非球面の頂点の接平面から各非球面までの光軸に沿った距離（サグ量）をＳ（ｙ）とし、基準球面の曲率半径（近軸曲率半径）をｒとし、円錐定数をκとし、ｎ次の非球面係数をＡnとしたとき、以下の式（ａ）で表される。なお、以降の実施例において、「Ｅ−ｎ」は「×１０-n」を示す。
【００６３】
Ｓ（ｙ）＝（ｙ2／ｒ）／｛１＋（１−κ×ｙ2／ｒ2）1/2｝
＋Ａ4×ｙ4＋Ａ6×ｙ6＋Ａ8×ｙ8                    （ａ）
【００６４】
なお、各実施例において、２次の非球面係数Ａ2は０である。また、各実施例の表中において、非球面には面番号の左側に＊印を付している。
【００６５】
〔第１実施例〕
図１は、本願の第１実施例に係る光学系ＳＬ１のレンズ構成を示す図である。この図１の光学系ＳＬ１において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ１４と両凹形状の負レンズＬ１５との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズＬ１６から構成されている。
【００６６】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズから構成されている。
【００６７】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、像面Ｉ側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３７から構成されている。
【００６８】
本第１実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面Ｉ側のレンズ面（面番号２）と、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号１１）に後述する反射防止膜が形成されている。
【００６９】
なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第１実施例においては、防振係数は０．３０６であり、焦点距離は２８．５０（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．１４（ｍｍ）である。
【００７０】
以下の表１に、第１実施例の諸元の値を掲げる。この表１において、ｆは焦点距離、ＦＮＯはＦナンバー、２ωは画角（単位：°）、Ｂｆはバックフォーカスをそれぞれ表している。また、面番号は光線の進行する方向に沿った物体側からのレンズ面の順序を、面間隔は各光学面から次の光学面までの光軸上の間隔を、屈折率及びアッベ数はそれぞれｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）に対する値を示している。全長は、無限遠合焦時のレンズ面の第１面から像面Ｉまでの光軸上の距離を表している。
【００７１】
ここで、以下の全ての諸元値において掲載されている焦点距離、曲率半径、面間隔、その他長さの単位は一般に「ｍｍ」が使われるが、光学系は、比例拡大または比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、これに限られるものではない。なお、物面、像面の曲率半径「∞」、および開口絞りの曲率半径0.000はそれぞれ平面を示す。また、空気の屈折率1.00000は省略してある。また、これらの符号の説明及び諸元表の説明は以降の実施例においても同様である。
【００７２】
（表１）第１実施例
f = 28.50
FNO =  1.45
２ω = 75.6
像高 = 21.6
全長 =133.3
面番号  曲率半径 面間隔   屈折率 アッベ数
物面      ∞      ∞
1      84.252   2.40    1.74100  52.67
2      30.284   6.24
3      57.477   2.10    1.77250  49.60
4      36.791   0.20    1.55389  38.09
*5      32.506  12.47
6     498.367   6.33    1.74400  44.79
7     -54.700   1.30    1.52699  53.00
8     320.562   0.20
9      84.738   5.36    1.74806  50.00
10    -139.358   5.00
11     -75.418   1.30    1.48749  70.40
12      53.719   2.98    1.83400  37.16
13     118.654   (d13)
14      45.171   3.76    1.69680  55.52
15     121.944   0.20
16      39.937   6.09    1.69680  55.52
17    -136.788   0.20
18     138.447   1.30    1.62004  36.30
19      27.404   5.00
20       0.000   6.67                  開口絞りＳ
21     -22.640   1.30    1.78472  25.68
22      65.850   5.67    1.77250  49.60
*23    -59.294   1.14
24     256.664   6.00    1.74100  52.67
25     -37.599   0.20
26     -56.322   4.25    1.77250  49.61
27     -31.870   (Bf)
像面      ∞
［レンズ群焦点距離］
レンズ群   始面   焦点距離
第１レンズ群    1     733.43
第２レンズ群   11    -141.94
第３レンズ群   14      42.52
【００７３】
この第１実施例において、第５面、及び、第２３面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表２に、非球面のデータ、すなわち円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。
【００７４】
（表２）
κ          Ａ4          Ａ6          Ａ8
第5面      0.042900 -6.54648E-08 -1.07103E-09 -2.03329E-12
第23面   -19.496500  2.12065E-06  3.80233E-08 -5.28645E-11
【００７５】
この第１実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１３、及び、バックフォーカスＢｆは、合焦に際して変化する。次の表３に、無限遠合焦状態及び撮影倍率−０．０３３３倍状態での各焦点距離における可変間隔を示す。なお、ｄ０は、物体から最も物体側のレンズ面までの距離、βは撮影倍率をそれぞれ示し、他の実施例も同様であり以降の説明を省略する。
【００７６】
（表３）
無限遠合焦状態    中間撮影距離状態
d0またはβ      ∞            -0.0333
ｄ13         7.55            6.52
Bf          38.11           39.14
【００７７】
次の表４に、この第１実施例における各条件式対応値を示す。なおこの表４において、Σｄｖｒは無限遠合焦時の第２レンズ群Ｇ２の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離を、βｖｒは無限遠合焦時の第２レンズ群Ｇ２の横倍率をβｖｒを、β３は無限遠合焦時の前記第３レンズ群の横倍率を、ｆは全系の焦点距離を、ｆ２は第２レンズ群Ｇ２の焦点距離を、それぞれ表している。以上の符号の説明は以降の実施例においても同様である。
【００７８】
（表４）
（１）Σｄｖｒ／ｆ＝3.07
（２）｜（１−βｖｒ）×β３｜＝0.31
（３）ｆ／ｆ２＝-0.20
【００７９】
この第１実施例の無限遠合焦状態の収差図を図２（ａ）に示し、中間撮影距離状態の収差図を図３（ａ）に示す。また、第１実施例の無限遠合焦状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図２（ｂ）に示し、中間撮影距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図３（ｂ）に示す。各収差図において、ＦＮＯはＦナンバーを、ＮＡは開口数を、Ｙは像高を、Ａは主光線の入射角を、Ｄはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）を、Ｇはｇ線（λ＝４３５．８ｎｍ）を、それぞれ示している。また、非点収差を示す収差図において実線はサジタル像面を示し、破線はメリディオナル像面を示している。また、コマ収差において破線はサジタルの横収差図を示している。なお、これらの収差図の説明は以降の実施例においても同様である。
【００８０】
各収差図から明らかなように、第１実施例に係る光学系ＳＬ１では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。
【００８１】
図４は、第１実施例に係る光学系ＳＬ１において、物体側から入射した光線ＢＭによりゴーストが発生する状態を示している。図４において、物体側からの光線ＢＭが図示のように光学系ＳＬ１に入射すると、両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（第１番目の反射光発生面でありその面番号は１１）で反射し、その反射光は第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（第２番目の反射光発生面でありその面番号は２）で再度反射して像面Ｉに到達し、ゴーストおよびフレアを発生させてしまう。なお、第１番目の反射光発生面（面番号１１）は物体から見て凹形状のレンズ面であり、第２番目の反射光発生面（面番号２）は開口絞りから見て凹形状のレンズ面である。このような面に、より広い波長範囲で広入射角に対応した反射防止膜を形成することで、ゴーストおよびフレアを効果的に低減することができる。
【００８２】
〔第２実施例〕
図５は、本願の第２実施例に係る光学系ＳＬ２のレンズ構成を示す図である。この図５の光学系ＳＬ２において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、像面Ｉ側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１４と像面Ｉ側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１５との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズＬ１６から構成されている。
【００８３】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズから構成されている。
【００８４】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、像面Ｉ側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３７から構成されている。
【００８５】
本第２実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面Ｉ側のレンズ面（面番号２）と、第１レンズ群Ｇ１の両凸形状の正レンズＬ１６における像面Ｉ側のレンズ面（面番号１０）に後述する反射防止膜が形成されている。
【００８６】
なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第２実施例においては、防振係数は０．３０６であり、焦点距離は２７．９９（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．１２（ｍｍ）である。
【００８７】
以下の表５に、この第２実施例の諸元の値を掲げる。
【００８８】
（表５）第２実施例
f = 27.99
FNO =  1.45
２ω = 76.7
像高 = 21.6
全長 =133.3
面番号  曲率半径 面間隔   屈折率 アッベ数
物面      ∞      ∞
1      67.583   2.40    1.74100  52.67
2      30.054   6.93
3      68.341   2.10    1.77250  49.60
4      36.441   0.20    1.55389  38.09
*5      33.585  12.50
6    -176.482   3.98    1.74400  44.79
7     -61.111   1.30    1.52599  53.31
8    -288.957   0.20
9     150.265   5.50    1.74806  50.00
10     -78.414   5.00
11     -63.966   1.30    1.48749  70.40
12      68.577   2.82    1.83400  37.16
13     186.927   (d13)
14      39.297   4.23    1.69680  55.52
15     103.599   0.20
16      39.021   6.42    1.69680  55.52
17    -148.831   0.20
18     113.771   1.30    1.61266  44.46
19      26.212   5.00  
20       0.000   7.01                  開口絞りＳ
21     -22.122   1.30    1.78472  25.68
22      49.850   5.35    1.77250  49.60
*23    -53.784   1.79
24     407.632   6.00    1.75500  52.31
25     -36.823   0.20
26     -51.964   4.18    1.77250  49.61
27     -31.344   (Bf)
像面      ∞
［レンズ群焦点距離］
レンズ群   始面   焦点距離
第１レンズ群    1    -858.75
第２レンズ群   11    -141.98
第３レンズ群   14      43.51
【００８９】
この第２実施例において、第５面、及び、第２３面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表６に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。
【００９０】
（表６）
κ          Ａ4          Ａ6          Ａ8
第5面      0.016000  8.67227E-07 -2.62240E-10 -1.58840E-12
第23面   -19.875800 -9.08714E-07  5.51987E-08 -7.97050E-11
【００９１】
この第２実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１３、及び、バックフォーカスＢｆは、合焦に際して変化する。次の表７に、無限遠合焦状態及び撮影倍率−０．０３３３倍状態での各焦点距離における可変間隔を示す。
【００９２】
（表７）
無限遠合焦状態    中間撮影距離状態
d0またはβ      ∞            -0.0333
ｄ13         7.81            6.74
Bf          38.12           39.18
【００９３】
次の表８に、この第２実施例における各条件式対応値を示す。
【００９４】
（表８）
（１）Σｄｖｒ／ｆ＝3.18
（２）｜（１−βｖｒ）×β３｜＝0.31
（３）ｆ／ｆ２＝-0.20
【００９５】
この第２実施例の無限遠合焦状態の収差図を図６（ａ）に示し、中間撮影距離状態の収差図を図７（ａ）に示す。また、第２実施例の無限遠合焦状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図６（ｂ）に示し、中間撮影距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図７（ｂ）に示す。
【００９６】
各収差図から明らかなように、第２実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。
【００９７】
〔第３実施例〕
図８は、本願の第３実施例に係る光学系ＳＬ３のレンズ構成を示す図である。この図８の光学系ＳＬ３において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、像面Ｉ側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１４、及び、両凸形状の正レンズＬ１５から構成されている。
【００９８】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズから構成されている。
【００９９】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、像面Ｉ側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３７から構成されている。
【０１００】
本第３実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面Ｉ側のレンズ面（面番号２）と、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号１０）に後述する反射防止膜が形成されている。
【０１０１】
なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第３実施例においては、防振係数は０．３０６であり、焦点距離は２８．４４（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．１３（ｍｍ）である。
【０１０２】
以下の表９に、この第３実施例の諸元の値を掲げる。
【０１０３】
（表９）第３実施例
f = 28.44
FNO =  1.45
２ω = 75.8
像高 = 21.6
全長 =133.3
面番号  曲率半径 面間隔   屈折率 アッベ数
物面      ∞      ∞
1     100.000   2.40    1.74100  52.67
2      30.472   6.11
3      61.820   2.10    1.77250  49.60
4      40.528   0.20    1.55389  38.09
*5      34.996  11.06
6    -230.000   8.00    1.74397  44.85
7     -85.027   0.20
8      84.290   4.89    1.74397  44.85
9    -199.472   5.00
10     -74.412   1.30    1.48749  70.41
11      55.716   2.99    1.80100  34.96
12     131.420   (d12)
13      44.605   3.61    1.69680  55.52
14     108.329   0.20
15      38.431   6.09    1.69680  55.52
16    -159.242   0.20
17     116.847   1.30    1.62004  36.30
18      26.190   5.00
19       0.000   6.56                  開口絞りＳ
20     -23.170   2.29    1.76182  26.56
21      48.664   6.00    1.77250  49.60
*22    -61.350   1.40  
23     298.511   6.00    1.72916  54.66
24     -39.601   0.20
25     -63.162   4.44    1.77250  49.61
26     -33.521   (Bf)
［レンズ群焦点距離］
レンズ群   始面   焦点距離
第１レンズ群    1     553.08
第２レンズ群   10    -142.23
第３レンズ群   13      43.02
【０１０４】
この第３実施例において、第５面、及び、第２２面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表１０に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。
【０１０５】
（表１０）
κ          Ａ4          Ａ6          Ａ8
第5面     -0.116100 -8.06560E-07 -1.69170E-09 -1.57780E-12
第22面   -17.884100  2.86500E-06  2.91840E-08 -3.77560E-11
【０１０６】
この第３実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１２、及び、バックフォーカスＢｆは、合焦に際して変化する。次の表１１に、無限遠合焦状態及び撮影倍率−０．０３３３倍状態での各焦点距離における可変間隔を示す。
【０１０７】
（表１１）
無限遠合焦状態    中間撮影距離状態
d0またはβ      ∞            -0.0333
ｄ12           7.47            6.45
Bf          38.32           39.34
【０１０８】
次の表１２に、この第３実施例における各条件式対応値を示す。
【０１０９】
（表１２）
（１）Σｄｖｒ／ｆ＝3.13
（２）｜（１−βｖｒ）×β３｜＝0.31
（３）ｆ／ｆ２＝-0.20
【０１１０】
この第３実施例の無限遠合焦状態の収差図を図９（ａ）に示し、中間撮影距離状態の収差図を図１０（ａ）に示す。また、第３実施例の無限遠合焦状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図９（ｂ）に示し、中間撮影距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１０（ｂ）に示す。
【０１１１】
各収差図から明らかなように、第３実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。
【０１１２】
〔第４実施例〕
図１１は、本願の第４実施例に係る光学系ＳＬ４のレンズ構成を示す図である。この図１１の光学系ＳＬ４において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１４と両凸形状の正レンズＬ１５との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズＬ１６から構成されている。
【０１１３】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズから構成されている。
【０１１４】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、像面Ｉ側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３７から構成されている。
【０１１５】
本第４実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面Ｉ側のレンズ面（面番号２）と、第１レンズ群Ｇ１の両凸形状の正レンズＬ１６における像面Ｉ側のレンズ面（面番号１０）に後述する反射防止膜が形成されている。
【０１１６】
なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第４実施例においては、防振係数は０．２９０であり、焦点距離は２４．７０（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．０４（ｍｍ）である。
【０１１７】
以下の表１３に、この第４実施例の諸元の値を掲げる。
【０１１８】
（表１３）第４実施例
f = 24.70
FNO =  1.44
２ω = 83.7
像高 = 21.6
全長 =133.3
面番号  曲率半径 面間隔   屈折率 アッベ数
物面      ∞      ∞
1      70.260   2.40    1.74100  52.67
2      28.526  11.93
3    8844.268   2.10    1.77250  49.60
4      50.722   0.20    1.55389  38.09
*5      41.921  12.50
6     298.509   2.27    1.75520  27.58
7      88.204   7.50    1.74397  44.85
8     -82.134   0.20
9      62.241   5.50    1.77250  49.61
10    -737.077   5.00
11     -96.957   1.30    1.58313  59.38
12      44.004   3.72    1.83400  37.16
13     128.781   (d13)
14      47.455   3.03    1.69680  55.52
15      90.837   0.20
16      33.070   5.62    1.68692  55.00
17    -440.765   0.20
18      66.442   1.30    1.63980  34.56
19      23.078   5.00
20       0.000   8.45                  開口絞りＳ
21     -20.977   1.30    1.78472  25.68
22      51.753   4.09    1.77250  49.60
*23    -48.262   1.07
24     362.304   5.96    1.74100  52.67
25     -34.691   0.20
26     -49.773   4.51    1.77250  49.61
27     -28.781   (Bf)
像面      ∞
［レンズ群焦点距離］
レンズ群   始面   焦点距離
第１レンズ群    1     111.53
第２レンズ群   11    -147.13
第３レンズ群   14      42.48
【０１１９】
この第４実施例において、第５面、及び、第２３面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表１４に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。
【０１２０】
（表１４）
κ          Ａ4          Ａ6          Ａ8
第5面      0.041600 -3.01610E-06 -1.30950E-10 -1.50790E-12
第23面   -23.208700 -6.21040E-06  1.01630E-07 -1.81570E-10
【０１２１】
この第４実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１３、及び、バックフォーカスＢｆは、合焦に際して変化する。次の表１５に、無限遠合焦状態及び撮影倍率−０．０３３３倍状態での各焦点距離における可変間隔を示す。
【０１２２】
（表１５）
無限遠合焦状態    中間撮影距離状態
d0またはβ      ∞            -0.0333
ｄ13           6.30            5.47
Bf          31.47           32.29
【０１２３】
次の表１６に、この第４実施例における各条件式対応値を示す。
【０１２４】
（表１６）
（１）Σｄｖｒ／ｆ＝3.19
（２）｜（１−βｖｒ）×β３｜＝0.29
（３）ｆ／ｆ２＝-0.17
【０１２５】
この第４実施例の無限遠合焦状態の収差図を図１２（ａ）に示し、中間撮影距離状態の収差図を図１３（ａ）に示す。また、第４実施例の無限遠合焦状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１２（ｂ）に示し、中間撮影距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１３（ｂ）に示す。
【０１２６】
各収差図から明らかなように、第４実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。
【０１２７】
〔第５実施例〕
図１４は、本願の第５実施例に係る光学系ＳＬ５のレンズ構成を示す図である。この図１４の光学系ＳＬ５において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズＬ１４から構成されている。
【０１２８】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズから構成されている。
【０１２９】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３１と像面Ｉ側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３２、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３３と両凸形状の非球面正レンズＬ３４との接合レンズ、像面Ｉ側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３５、及び、像面Ｉ側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３６から構成されている。
【０１３０】
本第５実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面Ｉ側のレンズ面（面番号２）と、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号８）に後述する反射防止膜が形成されている。
【０１３１】
なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第５実施例においては、防振係数は０．２７２であり、焦点距離は２８．０８（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．２６（ｍｍ）である。
【０１３２】
以下の表１７に、この第５実施例の諸元の値を掲げる。
【０１３３】
（表１７）第５実施例
f = 28.08
FNO =  1.84
２ω = 76.4
像高 = 21.6
全長 =124.5
面番号  曲率半径 面間隔   屈折率 アッベ数
物面      ∞      ∞
1      69.946   2.40    1.74100  52.67
2      25.426   5.00
3      45.000   2.10    1.77250  49.60
4      26.915   0.20    1.55389  38.09
*5      23.566  13.79
6      57.582   4.75    1.90366  31.31
7    -391.763   4.00
8     -65.539   1.30    1.55857  45.21
9      56.097   3.60    1.74397  44.85
10     836.329   (d10)
11      49.880   6.47    1.74100  52.67
12     -37.637   1.30    2.00069  25.46
13     -61.930  11.01
14       0.000   5.00                  開口絞りＳ
15     -26.632   2.50    1.76182  26.56
16      69.109   5.84    1.77250  49.60
*17   -110.000   1.44
18    -148.037   3.02    1.72916  54.66
19     -44.972   0.20
20     -87.642   3.82    1.77250  49.60
21     -31.772   (Bf)
像面      ∞
［レンズ群焦点距離］
レンズ群   始面   焦点距離
第１レンズ群    1    -169.53
第２レンズ群    8    -163.95
第３レンズ群   11      42.15
【０１３４】
この第５実施例において、第５面、及び、第１７面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表１８に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。
【０１３５】
（表１８）
κ          Ａ4          Ａ6          Ａ8
第5面      0.043300  8.68000E-07 -3.24000E-09 -2.56000E-12
第17面     3.855700  1.23000E-05  2.12000E-09 -1.65000E-11
【０１３６】
この第５実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１０、及び、バックフォーカスＢｆは、合焦に際して変化する。次の表１９に、無限遠合焦状態及び撮影倍率−０．０３３３倍状態での各焦点距離における可変間隔を示す。
【０１３７】
（表１９）
無限遠合焦状態    中間撮影距離状態
d0またはβ      ∞            -0.0333
ｄ10           8.65            7.48
Bf          38.10           39.27
【０１３８】
次の表２０に、この第５実施例における各条件式対応値を示す。
【０１３９】
（表２０）
（１）Σｄｖｒ／ｆ＝3.11
（２）｜（１−βｖｒ）×β３｜＝0.27
（３）ｆ／ｆ２＝-0.17
【０１４０】
この第５実施例の無限遠合焦状態の収差図を図１５（ａ）に示し、中間撮影距離状態の収差図を図１６（ａ）に示す。また、第５実施例の無限遠合焦状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１５（ｂ）に示し、中間撮影距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１６（ｂ）に示す。
【０１４１】
各収差図から明らかなように、第５実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。
【０１４２】
〔第６実施例〕
図１７は、本願の第６実施例に係る光学系ＳＬ６の構成を示す図である。この図１７の光学系ＳＬ６において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１４、及び、両凸形状の正レンズＬ１５から構成されている。
【０１４３】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２１と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２２との接合レンズ、両凹形状の負レンズＬ２３、及び、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２４から構成されている。
【０１４４】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３７から構成されている。
【０１４５】
本第６実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面Ｉ側のレンズ面（面番号２）と、第１レンズ群Ｇ１の正メニスカスレンズＬ１４における物体側のレンズ面（面番号６）に後述する反射防止膜が形成されている。
【０１４６】
なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第６実施例においては、防振係数は０．２９０であり、焦点距離は２９．０（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．２２（ｍｍ）である。
【０１４７】
以下の表２１に、この第６実施例の諸元の値を掲げる。
【０１４８】
（表２１）第６実施例
f = 29.00
FNO =  1.45
２ω = 74.7
像高 = 21.6
全長 =134.1
面番号  曲率半径 面間隔   屈折率 アッベ数
物面      ∞      ∞
1      58.989   2.40    1.74100  52.67
2      29.526   6.92
3      72.211   2.10    1.77250  49.60
4      38.041   0.20    1.55389  38.09
*5      35.056  12.50
6     -43.678   3.98    1.74400  44.78
7     -43.282   0.20
8      91.966   5.50    1.74806  50.00
9    -104.422   3.59
10     -55.000   2.51    1.48749  70.40
11     -41.353   1.50    1.51742  52.31
12     -63.431   0.20
13    -125.764   1.30    1.48749  70.40
14      41.948   0.33
15      43.787   3.35    1.83400  37.16
16      93.370   (d16)
17      40.425   4.23    1.69680  55.52
18     145.955   0.20
19      38.368   6.26    1.69680  55.52
20    -160.073   0.20
21     263.236   1.30    1.61266  44.46
22      26.332   5.00
23       0.000   5.00                  開口絞りＳ
24     -25.587   1.30    1.78472  25.68
25      43.936   5.35    1.77250  49.60
*26    -83.081   2.23
27     344.521   4.42    1.75500  52.31
28     -50.243   0.20
29    -102.612   4.73    1.77250  49.61 
30     -33.734   (Bf)
像面      ∞
［レンズ群焦点距離］
レンズ群   始面   焦点距離
第１レンズ群    1     874.69
第２レンズ群   10    -150.04
第３レンズ群   17      43.27
【０１４９】
この第６実施例において、第５面、及び、第２６面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表２２に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。
【０１５０】
（表２２）
κ          Ａ4          Ａ6          Ａ8
第5面      0.155400  2.09390E-07 -8.01120E-10 -1.97890E-12
第26面   -39.109400  5.05950E-06  2.86350E-08 -4.43890E-11
【０１５１】
この第６実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１６、及び、バックフォーカスＢｆは、合焦に際して変化する。次の表２３に、無限遠合焦状態及び撮影倍率−０．０３３３倍状態での各焦点距離における可変間隔を示す。
【０１５２】
（表２３）
無限遠合焦状態    中間撮影距離状態
d0またはβ      ∞            -0.0333
ｄ16           9.74            8.70
Bf          37.32           38.36
【０１５３】
次の表２４に、この第６実施例における各条件式対応値を示す。
【０１５４】
（表２４）
（１）Σｄｖｒ／ｆ＝3.02
（２）｜（１−βｖｒ）×β３｜＝0.29
（３）ｆ／ｆ２＝-0.19
【０１５５】
この第６実施例の無限遠合焦状態の収差図を図１８（ａ）に示し、中間撮影距離状態の収差図を図１９（ａ）に示す。また、第６実施例の無限遠合焦状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１８（ｂ）に示し、中間撮影距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１９（ｂ）に示す。
【０１５６】
各収差図から明らかなように、第６実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。
【０１５７】
〔第７実施例〕
図２０は、本願の第７実施例に係る光学系ＳＬ７のレンズ構成を示す図である。この図２０の光学系ＳＬ７において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１４と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１５との接合レンズ、及び、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１６から構成されている。
【０１５８】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズで構成されている。
【０１５９】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３７から構成されている。
【０１６０】
本第７実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面Ｉ側のレンズ面（面番号２）と、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号１１）に後述する反射防止膜が形成されている。
【０１６１】
なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第７実施例においては、防振係数は０．３０であり、焦点距離は３０．８７（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．２６（ｍｍ）である。
【０１６２】
以下の表２５に、この第７実施例の諸元の値を掲げる。
【０１６３】
（表２５）第７実施例
f = 30.87
FNO =  1.45
２ω = 71.3
像高 = 21.6
全長 =135.0
面番号  曲率半径 面間隔   屈折率 アッベ数
物面      ∞      ∞
1      54.000   2.40    1.74100  52.67
2      30.057  11.01
3     296.733   2.10    1.77250  49.60
4      47.966   0.20    1.55389  38.09
*5      42.169   7.57
6  -26631.000   6.84    1.74400  44.78
7     -46.891   1.30    1.52599  53.31
8    -139.643   0.20
9      63.943   5.50    1.74806  50.00 
10    5875.968   5.10
11     -80.793   1.30    1.48749  70.40
12      51.576   3.05    1.83400  37.16
13     111.029   (d13)
14      39.561   4.26    1.69680  55.52
15     122.864   0.20
16      38.831   6.04    1.69680  55.52
17    -152.489   0.20
18     214.322   1.45    1.61266  44.46
19      24.780   5.00
20       0.000   5.07                  開口絞りＳ
21     -23.877   1.30    1.78472  25.68
22      40.125   6.00    1.77250  49.60
*23    -68.316   2.73
24     270.446   6.00    1.75500  52.31
25     -43.519   0.20
26     -92.358   5.31    1.77250  49.61
27     -35.520   (Bf)
像面      ∞
［レンズ群焦点距離］
レンズ群   始面   焦点距離
第１レンズ群    1     688.01
第２レンズ群   11    -146.58
第３レンズ群   14      43.20
【０１６４】
この第７実施例において、第５面、及び、第２３面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表２６に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。
【０１６５】
（表２６）
κ          Ａ4          Ａ6          Ａ8
第5面     -0.678900 -4.81790E-07 -9.78310E-10  1.73750E-13
第23面   -30.523200  1.70060E-06  4.19410E-08 -5.89620E-11
【０１６６】
この第７実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１３、及び、バックフォーカスＢｆは、合焦に際して変化する。次の表２７に、無限遠合焦状態及び撮影倍率−０．０３３３倍状態での各焦点距離における可変間隔を示す。
【０１６７】
（表２７）
無限遠合焦状態    中間撮影距離状態
d0またはβ      ∞            -0.0333
ｄ13           6.39            5.28
Bf          38.32           39.43
【０１６８】
次の表２８に、この第７実施例における各条件式対応値を示す。
【０１６９】
（表２８）
（１）Σｄｖｒ／ｆ＝2.87
（２）｜（１−βｖｒ）×β３｜＝0.30
（３）ｆ／ｆ２＝-0.21
【０１７０】
この第７実施例の無限遠合焦状態の収差図を図２１（ａ）に示し、中間撮影距離状態の収差図を図２２（ａ）に示す。また、第７実施例の無限遠合焦状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図２１（ｂ）に示し、中間撮影距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図２２（ｂ）に示す。
【０１７１】
各収差図から明らかなように、第７実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。
【０１７２】
〔第８実施例〕
図２３は、本願の第８実施例に係る光学系ＳＬ８のレンズ構成を示す図である。この図２３の光学系ＳＬ８において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１４、及び、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１５から構成されている。
【０１７３】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズで構成されている。
【０１７４】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、開口絞りＳ、両凸形状の正レンズＬ３１と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３２との接合レンズ、両凹形状の負レンズＬ３３と両凸形状の非球面正レンズＬ３４との接合レンズ、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３５、及び、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３６から構成されている。
【０１７５】
本第８実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカス形状の非球面負レンズＬ１３における像面Ｉ側のレンズ面（面番号５）と、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２における像面Ｉ側のレンズ面（面番号１２）に後述する反射防止膜が形成されている。
【０１７６】
なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第７実施例においては、防振係数は０．２７であり、焦点距離は２８．００（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．２６（ｍｍ）である。
【０１７７】
以下の表２９に、この第８実施例の諸元の値を掲げる。
【０１７８】
（表２９）第８実施例
f = 28.00
FNO =  1.84
２ω = 76.5
像高 = 21.6
全長 =124.5
面番号  曲率半径 面間隔   屈折率 アッベ数
物面      ∞      ∞
1     100.000   2.40    1.74100  52.67
2      25.947   5.00
3      46.077   2.10    1.77250  49.60
4      28.597   0.20    1.55389  38.09
*5      23.872   9.01
6      87.112   3.61    1.90366  31.31
7   18648.952   0.20
8      58.326   3.81    1.90366  31.31
9     250.749   4.00
10     -70.091   1.30    1.60614  37.90
11      48.211   4.02    1.74397  44.85
12     986.837   (d12)
13       0.000   0.10                  開口絞りＳ
14      59.349   5.59    1.74100  52.67
15     -45.974   1.30    2.00069  25.46
16     -61.044  16.05
17     -25.065   2.50    1.84666  23.78
18     118.919   8.00    1.77250  49.60
*19    -71.765   1.23
20    -109.608   2.93    1.72916  54.66
21     -45.839   0.20
22    -156.670   4.67    1.80400  46.57
23     -32.339   (Bf)
像面      ∞
［レンズ群焦点距離］
レンズ群   始面   焦点距離
第１レンズ群    1    -240.33
第２レンズ群   10    -152.94
第３レンズ群   13      41.75
【０１７９】
この第８実施例において、第５面、及び、第１９面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表３０に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。
【０１８０】
（表３０）
κ          Ａ4          Ａ6          Ａ8
第5面     -0.105300 -1.44211E-06 -3.86598E-09 -6.08176E-13
第19面     3.354500  1.14404E-05  2.95647E-09 -8.75837E-12
【０１８１】
この第８実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１２、及び、バックフォーカスＢｆは、合焦に際して変化する。次の表３１に、無限遠合焦状態及び撮影倍率−０．０３３３倍状態での各焦点距離における可変間隔を示す。
【０１８２】
（表３１）
無限遠合焦状態    中間撮影距離状態
d0またはβ      ∞            -0.0333
ｄ12           8.08            7.28
Bf          38.20           39.26
【０１８３】
次の表３２に、この第８実施例における各条件式対応値を示す。
【０１８４】
（表３２）
（１）Σｄｖｒ／ｆ＝3.17
（２）｜（１−βｖｒ）×β３｜＝0.27
（３）ｆ／ｆ２＝-0.18
【０１８５】
この第８実施例の無限遠合焦状態の収差図を図２４（ａ）に示し、中間撮影距離状態の収差図を図２５（ａ）に示す。また、第８実施例の無限遠合焦状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図２４（ｂ）に示し、中間焦点距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図２５（ｂ）に示す。各収差図から明らかなように、第８実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。
【０１８６】
次に、本実施形態の各実施例に係る光学系ＳＬ１〜ＳＬ８（以後、まとめてＳＬという）に用いられる反射防止膜（多層広帯域反射防止膜とも言う）について説明する。
【０１８７】
図２８は、反射防止膜の膜構成の一例を示す図である。この反射防止膜１０１は７層からなり、レンズ等の光学部材１０２の光学面に形成される。第１層１０１ａは真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムで形成されている。また、この第１層１０１ａの上に更に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第２層１０１ｂが形成される。さらに、この第２層１０１ｂの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第３層１０１ｃが形成され、この第３層１０１ｃの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第４層１０１ｄが形成される。またさらに、この第４層１０１ｄの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第５層１０１ｅが形成され、この第５層１０１ｅの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第６層１０１ｆが形成される。
【０１８８】
そして、このようにして形成された第６層１０１ｆの上に、ウェットプロセスによりフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる第７層１０１ｇが形成されて本実施形態の反射防止膜１０１が形成される。第７層１０１ｇの形成には、ウェットプロセスの一種であるゾル−ゲル法を用いている。ゾル−ゲル法とは、原料を混合することにより得られたゾルを、加水分解・重縮合反応などにより流動性のないゲルとし、このゲルを加熱・分解して生成物を得る方法であり、光学薄膜の作製においては、光学部材の光学面上に光学薄膜材料ゾルを塗布し、乾燥固化によりゲル膜とすることで膜を生成することができる。なお、ウェットプロセスとして、ゾル−ゲル法に限らず、ゲル状態を経ないで固体膜を得る方法を用いるようにしてもよい。
【０１８９】
このように、この反射防止膜１０１の第１層１０１ａ〜第６層１０１ｆまではドライプロセスである電子ビーム蒸着により形成され、最上層である第７層１０１ｇは、フッ酸／酢酸マグネシウム法で調製したゾル液を用いるウェットプロセスにより以下の手順で形成されている。まず、予めレンズ成膜面（上述の光学部材１０２の光学面）に真空蒸着装置を用いて第１層１０１ａとなる酸化アルミニウム層、第２層１０１ｂとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第３層１０１ｃとなる酸化アルミニウム層、第４層１０１ｄとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第５層１０１ｅとなる酸化アルミニウム層、第６層１０１ｆとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層を順に形成する。そして、蒸着装置より光学部材１０２を取り出した後、フッ酸／酢酸マグネシウム法により調製したゾル液にシリコンアルコキシドを加えたものをスピンコート法により塗布することにより、第７層１０１ｇとなるフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる層を形成する。フッ酸／酢酸マグネシウム法によって調製される際の反応式を以下の式（ｂ）に示す。
【０１９０】
２ＨＦ＋Ｍｇ（ＣＨ3ＣＯＯ）2→ＭｇＦ2＋２ＣＨ3ＣＯＯＨ  …（ｂ）
【０１９１】
この成膜に用いたゾル液は、原料混合後、オートクレーブで１４０℃、２４時間高温加圧熟成処理を施した後、成膜に用いられる。この光学部材１０２は、第７層１０１ｇの成膜終了後、大気中で１６０℃、１時間加熱処理して完成される。このようなゾル−ゲル法を用いることにより、大きさが数ｎｍから数十ｎｍの粒子が空隙を残して堆積することにより第７層１０１ｇが形成される。
【０１９２】
このようにして形成された反射防止膜１０１を有する光学部材の光学的性能について図２９に示す分光特性を用いて説明する。
【０１９３】
本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材（レンズ）は、以下の表３３に示す条件で形成されている。ここで表３３は、基準波長をλとし、基板の屈折率（光学部材）が１．６２、１．７４及び１．８５について反射防止膜１０１の各層１０１ａ（第１層）〜１０１ｇ（第７層）の光学膜厚をそれぞれ求めたものである。なお、表３３では、酸化アルミニウムをAl2O3、酸化チタンと酸化ジルコニウム混合物をZrO2＋TiO2、フッ化マグネシウムとシリカの混合物をMgF2＋SiO2とそれぞれ表している。
【０１９４】
（表３３）
物質      屈折率  光学膜厚  光学膜厚  光学膜厚  
媒質    空気        1
第７層  MgF2＋SiO2  1.26  0.268λ    0.271λ    0.269λ
第６層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.057λ    0.054λ    0.059λ
第５層  Al2O3       1.65  0.171λ    0.178λ    0.162λ
第４層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.127λ    0.13λ     0.158λ
第３層  Al2O3       1.65  0.122λ    0.107λ    0.08λ
第２層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.059λ    0.075λ    0.105λ
第１層  Al2O3       1.65  0.257λ    0.03λ     0.03λ
基板の屈折率                  1.62       1.74       1.85
【０１９５】
図２９は、表３３において基準波長λを５５０ｎｍとして反射防止膜１０１の各層の光学膜厚を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を表している。
【０１９６】
図２９から、基準波長λを５５０ｎｍで設計した反射防止膜１０１を有する光学部材は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率を０．２％以下に抑えられることが判る。また、表３３において基準波長λをｄ線（波長５８７．６ｎｍ）として各光学膜厚を設計した反射防止膜１０１を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図２９に示す基準波長λが５５０ｎｍの場合とほぼ同等の分光特性を有することがわかっている。
【０１９７】
次に、本反射防止膜の変形例について説明する。この反射防止膜は５層からなり、表３３と同様、以下の表３４で示される条件で基準波長λに対する各層の光学膜厚が設計される。本変形例では、第５層の形成に前述のゾル−ゲル法を用いている。
【０１９８】
（表３４）
物質      屈折率  光学膜厚  光学膜厚
媒質    空気        1
第５層  MgF2＋SiO2  1.26  0.275λ  0.269λ    
第４層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.045λ  0.043λ    
第３層  Al2O3       1.65  0.212λ  0.217λ    
第２層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.077λ  0.066λ    
第１層  Al2O3       1.65  0.288λ  0.290λ    
基板の屈折率                  1.46     1.52       
【０１９９】
図３０は、表３４において、基板の屈折率が１．５２及び基準波長λを５５０ｎｍとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示している。図３０から本変形例の反射防止膜は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率が０．２％以下に抑えられることがわかる。なお、表３４において基準波長λをｄ線（波長５８７．６ｎｍ）として各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図３０に示す分光特性とほぼ同等の特性を有することがわかっている。
【０２００】
図３１は、図３０に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。なお、図３０、図３１には表３４に示す基板の屈折率が１．４６の反射防止膜を有する光学部材の分光特性が図示されていないが、基板の屈折率が１．５２とほぼ同等の分光特性を有していることは言うまでもない。
【０２０１】
また比較のため、図３２に、従来の真空蒸着法などのドライプロセスのみで成膜した反射防止膜の一例を示す。図３２は、表３４と同じ基板の屈折率１．５２に以下の表３５で示される条件で構成される反射防止膜を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示す。また、図３３は、図３２に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。
【０２０２】
（表３５）
物質      屈折率  光学膜厚
媒質    空気        1
第７層  MgF2        1.39  0.243λ    
第６層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.119λ    
第５層  Al2O3       1.65  0.057λ    
第４層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.220λ    
第３層  Al2O3       1.65  0.064λ    
第２層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.057λ    
第１層  Al2O3       1.65  0.193λ    
基板の屈折率                  1.52       
【０２０３】
図２９〜図３１で示される本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材の分光特性を、図３２および図３３で示される従来例の分光特性と比較すると、本反射防止膜はいずれの入射角においてもより低い反射率を有し、しかもより広い帯域で低い反射率を有することが良くわかる。
【０２０４】
次に、前述の第１実施例から第８実施例に、上記表３３、表３４に示す反射防止膜を適用した例について説明する。
【０２０５】
本第１実施例の光学系ＳＬ１において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表１に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１の屈折率は、ｎｄ＝１．４８７４９であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号１１）に、基板の屈折率が１．４６に対応する反射防止膜（表３４参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０２０６】
本第２実施例の光学系ＳＬ２において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表５に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第１レンズ群Ｇ１の両凸形状の正レンズＬ１６の屈折率は、ｎｄ＝１．７４８０６であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、両凸形状の正レンズＬ１６における像面側（面番号１０）のレンズ面に、基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜（表３３参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０２０７】
本第３実施例の光学系ＳＬ３において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表９に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１の屈折率は、ｎｄ＝１．４８７４９であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号１０）に、基板の屈折率が１．４６に対応する反射防止膜（表３４参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０２０８】
本第４実施例の光学系ＳＬ４において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表１３に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第１レンズ群Ｇ１の両凸形状の正レンズＬ１６の屈折率は、ｎｄ＝１．７７２５０であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、両凸形状の正レンズＬ１６における像面側のレンズ面（面番号１０）に、基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜（表３３参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０２０９】
本第５実施例の光学系ＳＬ５において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表１７に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１の屈折率は、ｎｄ＝１．５５８５７であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号８）に、基板の屈折率が１．５２に対応する反射防止膜（表３４参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０２１０】
本第６実施例の光学系ＳＬ６において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表２１に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第１レンズ群Ｇ１の正メニスカスレンズＬ１４の屈折率は、ｎｄ＝１．７４４００であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、正メニスカスレンズＬ１４における物体側のレンズ面（面番号６）に、基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜（表３３参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０２１１】
本第７実施例の光学系ＳＬ７において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表２５に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１の屈折率は、ｎｄ＝１．４８７４９であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号１１）に、基板の屈折率が１．４６に対応する反射防止膜（表３４参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０２１２】
本第８実施例の光学系ＳＬ８において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１３の屈折率は、表２９に示すように、ｎｄ＝１．５５３８９であり、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の屈折率は、ｎｄ＝１．７４３９７であるため、負メニスカスレンズＬ１３における像面側のレンズ面（面番号５）に基板の屈折率が１．５２に対応する反射防止膜１０１（表３４参照）を用い、正メニスカスレンズＬ２２における像面側のレンズ面（面番号１２）に、基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜（表３３参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０２１３】
なお、上述の実施形態において、以下に記載の内容は、光学性能を損なわない範囲で適宜採用可能である。
【０２１４】
本実施形態では、３群構成の光学系を示したが、以上の構成条件等は、４群構成等の他の群構成にも適用可能である。また、最も物体側にレンズまたはレンズ群を追加した構成や、最も像面側にレンズまたはレンズ群を追加した構成でも構わない。また、レンズ群とは、合焦時に変化する空気間隔で分離された、若しくは光軸と略直交成分を持つように移動するか否かで分離された少なくとも１枚のレンズを有する部分を示す。
【０２１５】
また、単独または複数のレンズ群、または部分レンズ群を光軸方向に移動させて、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う合焦レンズ群としても良い。この場合、合焦レンズ群はオートフォーカスにも適用でき、オートフォーカス用の（超音波モーター等の）モーター駆動にも適している。特に、前述したように第３レンズ群を合焦レンズ群とするのが好ましい。
【０２１６】
また、レンズ群または部分レンズ群を光軸に垂直な方向の成分を持つように移動させ、または、光軸を含む面内方向に回転移動（揺動）させて、手ブレによって生じる像ブレを補正する防振レンズ群としてもよい。特に、第２レンズ群の少なくとも一部を防振レンズ群とするのが好ましい。
【０２１７】
また、レンズ面は、球面または平面で形成されても、非球面で形成されても構わない。レンズ面が球面または平面の場合、レンズ加工及び組立調整が容易になり、加工及び組立調整の誤差による光学性能の劣化を妨げるので好ましい。また、像面がずれた場合でも描写性能の劣化が少ないので好ましい。レンズ面が非球面の場合、非球面は、研削加工による非球面、ガラスを型で非球面形状に形成したガラスモールド非球面、ガラスの表面に樹脂を非球面形状に形成した複合型非球面のいずれの非球面でも構わない。また、レンズ面は回折面としても良く、レンズを屈折率分布型レンズ（ＧＲＩＮレンズ）或いはプラスチックレンズとしても良い。
【０２１８】
また、各レンズ面には、フレアやゴーストを軽減し高コントラストの高い光学性能を達成するために、広い波長域で高い透過率を有する反射防止膜を施しても良い。
【０２１９】
なお、本願を分かり易く説明するために実施形態の構成要件を付して説明したが、本願がこれに限定されるものではないことは言うまでもない。
【０２２０】
以上のように、本発明によれば、ゴーストやフレアをより低減させ、防振性能に優れた光学系、この光学系を備えた光学機器、及び、光学系の製造方法を提供することができる。
【符号の説明】
【０２２１】
ＳＬ（ＳＬ１〜ＳＬ８）  光学系
Ｇ１                    第１レンズ群    
Ｇ２                    第２レンズ群
Ｇ３                    第３レンズ群    
Ｓ                      開口絞り
Ｉ                      像面
１                      デジタル一眼レフカメラ（光学機器）
１０１                  反射防止膜
１０１ａ                第１層
１０１ｂ                第２層
１０１ｃ                第３層
１０１ｄ                第４層
１０１ｅ                第５層
１０１ｆ                第６層
１０１ｇ                第７層
１０２                  光学部材
【図１】
0005561256.tif 000002
【図２】
0005561256.tif 000003
【図３】
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【図４】
0005561256.tif 000005
【図５】
0005561256.tif 000006
【図６】
0005561256.tif 000007
【図７】
0005561256.tif 000008
【図８】
0005561256.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0005561256.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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