(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品が実装された実装基板の検査対象領域に複数の検査エリアを設定し、前記複数の検査エリアを１つずつ順番にカメラで撮像して当該検査エリア内の部品実装状態を検査する実装基板検査装置において、
前記実装基板に実装する各部品の検査の重要度を設定する検査重要度設定手段と、
目標タクトを設定する目標タクト設定手段と、
前記検査エリアの位置とエリア数と撮像順序を決める検査エリアシーケンスを作成する際に前記目標タクトに応じて検査の重要度の低い方の部品を検査対象から除外して前記検査エリアシーケンスをより少ないエリア数で前記実装基板上の全ての検査対象部品がいずれかの検査エリア内に収まるように作成する検査エリアシーケンス作成手段とを備え、
前記検査エリアシーケンス作成手段は、前記実装基板のいずれか１つの角部周辺に最初の検査エリアを検査対象部品がより多く含まれるように配置し、以後、先に配置した検査エリアから移動した位置に次の検査エリアを検査対象部品がより多く含まれるように配置するという処理を繰り返すことで、前記実装基板上の全ての検査対象部品がいずれかの検査エリア内に収まるように検査エリアシーケンスを作成することを特徴とする実装基板検査装置。
【請求項２】
前記各部品の検査の重要度は、少なくとも前記実装基板上の部品間の間隔、部品サイズ及び部品のリードピッチを考慮して設定されることを特徴とする請求項１に記載の実装基板検査装置。
【請求項３】
前記検査エリアシーケンス作成手段は、前記実装基板の４つの角部について、それぞれの角部周辺に配置した最初の検査エリアから時計回り方向に検査エリアを順番に配置する時計回り方向の検査エリアシーケンス作成処理と反時計回り方向に検査エリアを順番に配置する反時計回り方向の検査エリアシーケンス作成処理を行って、合計８通りの検査エリアシーケンスを作成し、これらの検査エリアシーケンスの中からエリア数とカメラ移動距離がより少ない検査エリアシーケンスを１つだけ採用することを特徴とする請求項１又は２に記載の実装基板検査装置。
【請求項４】
部品が実装された実装基板の検査対象領域に複数の検査エリアを設定し、前記複数の検査エリアを１つずつ順番にカメラで撮像して当該検査エリア内の部品実装状態を検査する実装基板検査方法において、
前記実装基板に実装する各部品の検査の重要度と目標タクトを設定し、
前記目標タクトに応じて検査の重要度の低い方の部品を検査対象から除外して、前記検査エリアの位置とエリア数と撮像順序を決める検査エリアシーケンスを、より少ないエリア数で前記実装基板上の全ての検査対象部品がいずれかの検査エリア内に収まるように作成する実装基板検査方法であって、
前記実装基板のいずれか１つの角部周辺に最初の検査エリアを検査対象部品がより多く含まれるように配置し、以後、先に配置した検査エリアから移動した位置に次の検査エリアを検査対象部品がより多く含まれるように配置するという処理を繰り返すことで、前記実装基板上の全ての検査対象部品がいずれかの検査エリア内に収まるように検査エリアシーケンスを作成することを特徴とする実装基板検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品が実装された実装基板の検査対象領域に複数の検査エリアを設定し、前記複数の検査エリアを１つずつ順番にカメラで撮像して当該検査エリア内の部品実装状態を検査する実装基板検査装置及び実装基板検査方法に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
検査用のカメラの視野サイズと比較して実装基板の検査対象領域のサイズが大きい場合は、実装基板の検査対象領域を複数の検査エリア（１回の撮像で検査可能な撮像エリア）に分割して複数回の撮像を行う必要がある。
【０００３】
そこで、特許文献１（特開平８−６２２７５号公報）では、実装基板の検査対象領域をカメラの視野サイズの幅で格子状に分割して複数の検査エリア（撮像エリア）を区画するようにしている。更に、この特許文献１には、実装基板の検査時間を短縮するために、各部品毎に不良率を求めて、部品の不良率で検査の優先順位を付け、優先順位が低い部品が含まれる検査エリアの検査を省略する実施例が記載されている。
【０００４】
また、特許文献２（特開２００６−７８２０６号公報）では、実装基板のうちの部品が実装されていない領域（検査不要領域）の撮像をスキップして、各検査エリア（撮像エリア）内になるべく多くの部品を含み、最も少ない撮像回数となるように、各検査エリアの位置、エリア数（撮像回数）、撮像順序を算出するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−６２２７５号公報（段落［００１３］、［００１４］、図５、図７参照）
【特許文献２】特開２００６−７８２０６号公報（段落［００５６］、図１６参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１では、部品の不良率で検査の優先順位を付け、優先順位が低い部品が含まれる検査エリア（撮像エリア）の検査を省略するようにしているが、一般に、１つの検査エリア内には、複数の部品が含まれるため、検査エリア内に含まれる１つの部品の検査の優先順位が低くても、他の部品の優先順位が高ければ、当該検査エリアの検査を行う必要がある。このため、検査を省略できる非検査エリアの数が非常に少なくなってしまい、実装基板の検査時間を短縮する効果は少ないと思われる。
【０００７】
一般に、実装基板検査装置は、部品実装ラインの途中又は下流側に設置され、検査工程とその前後工程との間で実装基板１枚当たりの処理時間のバランスが取れていれば、ライン全体のタクトには影響がないが、実装基板１枚当たりの検査時間が前後工程の処理時間よりも長くなると、ライン全体のタクトが延びて生産能率が低下する。
【０００８】
上記特許文献２では、部品が実装されていない領域の撮像をスキップするだけであるため、実装基板上の全ての部品を撮像して検査しなければならず、検査時間の短縮に限界がある。このため、検査時間が前後工程の処理時間よりも長くなる場合があり、その場合は、ライン全体のタクトが延びてしまう。
【０００９】
検査時間を短縮するには、実際に検査する検査エリアの数を減らすことが効果的であるが、上記特許文献１のように、検査エリアの位置が固定されていると、検査しない部品を優先順位等により指定しても、検査エリア内の複数の部品の中に１つでも検査が必要な部品が存在すれば、当該検査エリアを検査しなければならないため、検査を省略できる非検査エリアの数が非常に少なくなってしまい、検査時間を十分に短縮できない。
【００１０】
従って、従来技術では、検査時間を短縮するには、作業者が非検査エリアを指定する必要があるが、この作業は、かなりの熟練度と経験が要求される。このため、熟練度や経験が不足する作業者が非検査エリアを指定すると、実際には検査が必要な部品を含む検査エリアを誤って非検査エリアに指定してしまう可能性があり、検査品質が低下してしまうという問題があった。
【００１１】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、実装基板の検査対象領域に設定した複数の検査エリアを１つずつ順番にカメラで撮像して部品実装状態を検査するシステムにおいて、検査品質を確保しながら、目標タクトに応じて実装基板１枚当たりの検査時間を短縮できる実装基板検査装置及び実装基板検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、部品が実装された実装基板の検査対象領域に複数の検査エリアを設定し、前記複数の検査エリアを１つずつ順番にカメラで撮像して当該検査エリア内の部品実装状態を検査する実装基板検査装置において、前記実装基板に実装する各部品の検査の重要度を設定する検査重要度設定手段と、目標タクトを設定する目標タクト設定手段と、前記検査エリアの位置とエリア数と撮像順序を決める検査エリアシーケンスを作成する際に前記目標タクトに応じて検査の重要度の低い方の部品を検査対象から除外して前記検査エリアシーケンスをより少ないエリア数で前記実装基板上の全ての検査対象部品がいずれかの検査エリア内に収まるように作成する検査エリアシーケンス作成手段とを備え、前記検査エリアシーケンス作成手段は、前記実装基板のいずれか１つの角部周辺に最初の検査エリアを検査対象部品がより多く含まれるように配置し、以後、先に配置した検査エリアから移動した位置に次の検査エリアを検査対象部品がより多く含まれるように配置するという処理を繰り返すことで、前記実装基板上の全ての検査対象部品がいずれかの検査エリア内に収まるように検査エリアシーケンスを作成することを特徴とするものである。
【００１３】
本発明のように、各部品の検査の重要度を設定し、目標タクトに応じて検査の重要度の低い方の部品を検査対象から除外して、検査エリアの位置とエリア数と撮像順序を決める検査エリアシーケンスを、より少ないエリア数で実装基板上の全ての検査対象部品がいずれかの検査エリア内に収まるように作成すれば、目標タクトに応じて検査するエリア数を減らして検査時間を短縮することが可能となり、目標タクトを実現できる。しかも、検査の重要度の低い方の部品のみを検査対象から除外して、検査の重要度の高い方の部品を全て検査できるため、検査品質も確保することができる。
【００１４】
要するに、本発明では、部品単位で検査対象から除外するため、検査エリア単位で検査対象から除外する従来技術と比較して、同じ検査時間（同じエリア数）でも、検査対象部品の数を多くすることができて、検査対象から除外する部品数を少なくすることができ、検査時間の短縮と検査品質の確保とを両立させることができる。
【００１５】
この場合、各部品の検査の重要度や目標タクトは、部品実装ラインの各工程で用いられる各種データや生産ジョブに基づいて自動的に設定しても良い。
或は、予め専門のエンジニアが各部品の検査の重要度を設定したデータを検査対象部品ライブラリに格納しておけば、検査エリアシーケンスの作成時に作業者が各部品の検査の重要度を設定する必要がなく、作業者の設定ミスによる検査品質の低下を確実に防止できる。
【００１６】
但し、本発明は、検査エリアシーケンスの作成時に作業者が各部品の検査の重要度を設定するようにしても良く、この場合でも、検査エリア単位で検査対象から除外する従来の作業と比較すれば、部品単位で検査の重要度を設定する作業は簡単であるため、熟練度や経験が少ない作業者でも十分に作業可能であり、作業者の設定ミスを大幅に低減することができる。
更に、本発明では、検査エリアシーケンスを作成する際に、実装基板のいずれか１つの角部周辺に最初の検査エリアを検査対象部品がより多く含まれるように配置し、以後、先に配置した検査エリアから移動した位置に次の検査エリアを検査対象部品がより多く含まれるように配置するという処理を繰り返すことで、実装基板上の全ての検査対象部品がいずれかの検査エリア内に収まるように検査エリアシーケンスを作成するようにしているため、最初の検査エリアを実装基板のいずれか１つの角部周辺に配置すれば、検査エリアの撮像順序を時計回り方向又は反時計回り方向のみとするように検査エリアシーケンスを作成することができ、カメラの移動距離を短くできる。
【００１７】
また、請求項２のように、各部品の検査の重要度は、少なくとも実装基板上の部品間の間隔、部品サイズ及び部品のリードピッチを考慮して設定すれば良い。ここで、部品間の間隔、部品サイズ、部品のリードピッチは、部品実装機で用いる部品実装用データを用いれば良く、例えば、部品間の間隔が狭くなるほど、重要度を高くし、部品サイズが小さくなるほど、重要度を高くすれば良い。また、部品のリードピッチが狭いものほど、重要度を高くすれば良い。これにより、部品間の間隔、部品サイズ及び部品のリードピッチに基づいて各部品の検査の重要度を簡単且つ正確に設定できると共に、各部品の検査の重要度の設定を自動化することも可能である。
【００１９】
更に、請求項３のように、検査エリアシーケンスを作成する際に、実装基板の４つの角部について、それぞれの角部周辺に配置した最初の検査エリアから時計回り方向に検査エリアを順番に配置する時計回り方向の検査エリアシーケンス作成処理と反時計回り方向に検査エリアを順番に配置する反時計回り方向の検査エリアシーケンス作成処理を行って、合計８通りの検査エリアシーケンスを作成し、これらの検査エリアシーケンスの中からエリア数とカメラ移動距離がより少ない検査エリアシーケンスを１つだけ採用するようにしても良い。このようにすれば、エリア数とカメラ移動距離が最小となる検査エリアシーケンスを採用することができる。
【００２０】
尚、請求項４に係る発明は、請求項１に係る実装基板検査装置の発明と実質的に同一の技術思想をカテゴリーの異なる実装基板検査方法の発明として記載したものである。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は本発明の一実施例における実装基板検査装置の構成を概略的に示すブロック図である。
【図２】図２は実装基板上の全ての部品Ａ〜Ｊを検査対象とする場合の検査エリアＫ１〜Ｋ３の配置例を示す図である。
【図３】図３は検査の重要度が最低の部品Ｊを除く部品Ａ〜Ｉを検査対象とする場合の検査エリアＫ１，Ｋ２の配置例を示す図である。
【図４】図４は検査エリアシーケンスの作成方法を説明する図である。
【図５】図５は反時計回り方向の検査エリアシーケンスを作成する具体例を説明する図である。
【図６】図６は検査エリアシーケンス作成プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明を実施するための形態を具体化した一実施例を説明する。
図１に示すように、実装基板検査装置は、実装基板の検査エリアを撮像するカメラ１１と、このカメラ１１をＸＹ方向に移動させるＸＹ移動装置１２と、部品が実装された実装基板を搬送する基板搬送装置１３と、これらの動作を制御する制御装置１４等を備えた構成となっている。
【００２３】
この実装基板検査装置の制御装置１４は、パーソナルコンピュータ等のコンピュータを主体として構成され、キーボード、マウス等の入力装置１５と、液晶ディスプレイ、ＣＲＴ等の表示装置１６と、後述する図６の検査エリアシーケンス作成プログラム、作成した検査エリアシーケンス、予め専門のエンジニアが各部品の検査の重要度を設定したデータを格納した検査対象部品ライブラリ等を記憶する記憶装置１７等が接続されている。
【００２４】
制御装置１４は、実装基板の検査対象領域に複数の検査エリアを設定し、これら複数の検査エリアを１つずつ順番にカメラ１１で撮像して、その撮像画像を処理して当該検査エリア内の部品実装状態を検査する。
【００２５】
ところで、実装基板検査装置は、部品実装ラインの途中又は下流側に設置され、検査工程とその前後工程との間で実装基板１枚当たりの処理時間のバランスが取れていれば、ライン全体のタクトには影響がないが、実装基板１枚当たりの検査時間が前後工程の処理時間よりも長くなると、ライン全体のタクトが延びて生産能率が低下してしまう。
【００２６】
この対策として、検査するエリア数を削減して検査時間を短縮する必要があるが、検査するエリア数を削減する作業は、かなりの熟練度と経験が要求されるため、熟練度や経験が不足する作業者が行うと、間違いが発生しやすく、検査品質が低下してしまう。
【００２７】
そこで、本実施例では、制御装置１４によって図６の検査エリアシーケンス作成プログラムを実行することで、実装基板に実装する各部品の検査の重要度と目標タクトを設定し、設定した目標タクトに応じて検査の重要度の低い方の部品を検査対象から除外して、検査エリアの位置とエリア数と撮像順序を決める検査エリアシーケンスを、より少ないエリア数で実装基板上の全ての検査対象部品がいずれかの検査エリア内に収まるように作成する。
【００２８】
この場合、検査エリアの位置は固定されておらず、実装基板上の部品の位置に応じて検査エリアの位置を移動させる。例えば、図２には、実装基板上の全ての部品Ａ〜Ｊを検査対象とする場合の検査エリアＫ１〜Ｋ３の配置例を示しており、この例では、各検査エリアＫ１〜Ｋ３内の部品数を可能な限り平均化するように、実装基板上に３つの検査エリアＫ１〜Ｋ３が配置される。
【００２９】
一方、図３には、検査の重要度が最低の部品Ｊを除く部品Ａ〜Ｉを検査対象とする場合の検査エリアＫ１，Ｋ２の配置例を示しており、この例では、２つの検査エリアＫ１，Ｋ２が配置される。図３の例では、検査の重要度が最低の部品Ｊを１つだけ検査対象から除外するだけで、検査エリアを１つ削減する効果が得られる。
【００３０】
次に、検査エリアの位置とエリア数と撮像順序を決める検査エリアシーケンスの作成方法を図４を用いて説明する。
検査エリアシーケンスを作成する際に、まず、実装基板のいずれか１つの角部に最初の検査エリアを検査対象部品がより多く含まれるように配置し、最初の検査エリアから時計回り方向に検査エリアを順番に配置する時計回り方向の検査エリアシーケンス作成処理と反時計回り方向に検査エリアを順番に配置する反時計回り方向の検査エリアシーケンス作成処理を行う。各検査エリアシーケンス作成処理では、先に配置した検査エリアから移動した位置に次の検査エリアを検査対象部品がより多く含まれるように配置するという処理を繰り返すことで、実装基板上の全ての検査対象部品がいずれかの検査エリア内に収まるように検査エリアシーケンスを作成する。
【００３１】
実装基板の４つの角部について、それぞれ時計回り方向の検査エリアシーケンス作成処理と反時計回り方向の検査エリアシーケンス作成処理を行って、合計８通りの検査エリアシーケンスを作成し、これらの検査エリアシーケンスの中からエリア数とカメラ移動距離がより少ない検査エリアシーケンスを１つだけ採用する。
【００３２】
ここで、図５を用いて、実装基板の左上の角部に最初の検査エリアを配置して、反時計回り方向の検査エリアシーケンスを作成する具体例を説明する。
図５の例では、実装基板の左上の角部に配置した最初の検査エリアから下方に移動した位置に２番目の検査エリアを配置する。この際、２番目の検査エリア内に収める候補となる部品のうち、Ｙ座標が一番大きく、Ｘ座標が一番小さい部品Ｃを２番目の検査エリアの左側上端に収める。一般に、先の検査エリアから下方に移動した位置に次の検査エリアを配置する場合は、次の検査エリア内に収める候補となる部品のうち、Ｙ座標が一番大きく、Ｘ座標が一番小さい部品を次の検査エリアの左側上端に収めるように配置する。
【００３３】
２番目の検査エリアから右方向に移動した位置に３番目の検査エリアを配置する場合は、３番目の検査エリア内に収める候補となる部品のうち、Ｙ座標が一番小さく、Ｘ座標が一番小さい部品Ｇを３番目の検査エリアの左側下端に収める。一般に、先の検査エリアから右方向に移動した位置に次の検査エリアを配置する場合は、次の検査エリアに収める候補となる部品のうち、Ｙ座標が一番小さく、Ｘ座標が一番小さい部品を次の検査エリアの左側下端に収めるように配置する。
【００３４】
３番目の検査エリアから上方に移動した位置に４番目の検査エリアを配置する場合は、３番目の検査エリア内に収める候補となる部品のうち、Ｙ座標が一番小さく、Ｘ座標が一番大きい部品Ｉを４番目の検査エリアの右側下端に収める。一般に、先の検査エリアから上方に移動した位置に次の検査エリアを配置する場合は、次の検査エリア内に収める候補となる部品のうち、Ｙ座標が一番小さく、Ｘ座標が一番大きい部品を次の検査エリアの右側下端に収めるように配置する。
【００３５】
図５に図示されていないが、４番目の検査エリアから左方向に移動した位置に５番目の検査エリアを配置する場合は、Ｙ座標が一番大きく、Ｘ座標が一番大きい部品を５番目の検査エリアの右側上端に収める。一般に、先の検査エリアから左方向に移動した位置に次の検査エリアを配置する場合は、次の検査エリア内に収める候補となる部品のうち、Ｙ座標が一番大きく、Ｘ座標が一番大きい部品を次の検査エリアの右側上端に収めるように配置する。
【００３６】
いずれの検査エリアも、実装基板のエリアからはみ出さないように配置する。
尚、実装基板の右上の角部に最初の検査エリアを配置して、時計回り方向の検査エリアシーケンスを作成する場合は、上述した反時計回り方向の検査エリアシーケンスを作成する方法の説明において、「Ｘ座標が一番大きい」を「Ｘ座標が一番小さい」、「Ｘ座標が一番小さい」を「Ｘ座標が一番大きい」とそれぞれ読み替え、「右」を「左」、「左」を「右」とそれぞれ読み替えれば良い。
【００３７】
以上説明した本実施例の検査エリアシーケンス作成処理は、制御装置１４によって図６の検査エリアシーケンス作成プログラムに従って実行される。本プログラムは、特許請求の範囲でいう検査エリアシーケンス作成手段としての役割を果たす。
【００３８】
本プログラムでは、予め、専門のエンジニアが各部品の検査の重要度を設定して、各部品の検査の重要度のデータを格納した部品ライブラリを記憶装置１７に保存しておく（ステップ１０１）。この際、少なくとも実装基板上の部品間の間隔、部品サイズ及び部品のリードピッチを考慮して各部品の検査の重要度を設定すれば良い。
【００３９】
ここで、部品間の間隔、部品サイズ、部品のリードピッチは、部品実装機で用いる部品実装用データを用いれば良く、例えば、部品間の間隔が狭くなるほど、重要度を高くし、部品サイズが小さくなるほど、重要度を高くすれば良い。また、部品のリードピッチが狭いものほど、重要度を高くすれば良い。これにより、部品間の間隔、部品サイズ及び部品のリードピッチ等に基づいて各部品の検査の重要度を自動設定することも可能となる。尚、ステップ１０１の処理が特許請求の範囲でいう検査重要度設定手段としての役割を果たす。
【００４０】
この後、ステップ１０２で、前述した方法で、実装基板の４つの角部について、それぞれ時計回り方向の検査エリアシーケンス作成処理と反時計回り方向の検査エリアシーケンス作成処理を行って、合計８通りの検査エリアシーケンスを作成し、これらの検査エリアシーケンスの中からエリア数とカメラ移動距離がより少ない検査エリアシーケンスを１つだけ採用する。
【００４１】
この後、ステップ１０３に進み、目標タクトが設定されているか否かを判定し、目標タクトが設定されていなければ、検査エリアシーケンスを変更する必要はないと判断して、本プログラムを終了する。ここで、目標タクトは、部品実装ラインの各工程で用いられる各種データや生産ジョブに基づいて自動的に設定しても良いし、作業者がライン全体のタクトを考慮して設定しても良い。この機能が特許請求の範囲でいう目標タクト設定手段に相当する。
【００４２】
一方、上記ステップ１０３で、目標タクトが設定されていると判定されれば、ステップ１０４に進み、上記ステップ１０２で最終的に採用された検査エリアシーケンスを用いて検査を行った場合のタクトが目標タクト内であるか否かを判定し、目標タクト内であれば、検査エリアシーケンスを変更する必要はないため、本プログラムを終了する。
【００４３】
これに対し、上記ステップ１０４で、目標タクト内ではないと判定されれば、ステップ１０５に進み、検査の重要度の低い方の所定数の部品を検査対象から除外して、ステップ１０２に戻り、再度、実装基板の４つの角部について、それぞれ時計回り方向の検査エリアシーケンス作成処理と反時計回り方向の検査エリアシーケンス作成処理を行って、合計８通りの検査エリアシーケンスを作成し、これらの検査エリアシーケンスの中からエリア数とカメラ移動距離がより少ない検査エリアシーケンスを１つだけ採用する。
【００４４】
その後、ステップ１０４で、目標タクト内であるか否かを判定し、目標タクト内でなければ、ステップ１０５で、再度、検査の重要度の低い方の所定数の部品を検査対象から除外して、ステップ１０２で、再度、実装基板の４つの角部について、それぞれ時計回り方向の検査エリアシーケンス作成処理と反時計回り方向の検査エリアシーケンス作成処理を行って、合計８通りの検査エリアシーケンスを作成し、これらの検査エリアシーケンスの中からエリア数とカメラ移動距離がより少ない検査エリアシーケンスを１つだけ採用する。
【００４５】
以上のようにして、目標タクト内となるまで、検査の重要度の低い方の所定数の部品を検査対象から除外して検査エリアシーケンスを作成する処理を繰り返すことで、目標タクトに応じて検査の重要度の低い方の部品を検査対象から除外した検査エリアシーケンスを作成する。
【００４６】
以上説明した本実施例によれば、各部品の検査の重要度を設定し、目標タクトに応じて検査の重要度の低い方の部品を検査対象から除外して、検査エリアの位置とエリア数と撮像順序を決める検査エリアシーケンスを、より少ないエリア数で実装基板上の全ての検査対象部品がいずれかの検査エリア内に収まるように作成するため、目標タクトに応じて検査するエリア数を減らして検査時間を短縮することが可能となり、目標タクトを実現できる。しかも、検査の重要度の低い方の部品のみを検査対象から除外して、検査の重要度の高い方の部品を全て検査できるため、検査品質も確保することができる。
【００４７】
要するに、本実施例では、部品単位で検査対象から除外するため、検査エリア単位で検査対象から除外する従来技術と比較して、同じ検査時間（同じエリア数）でも検査対象部品の数を多くすることができ、検査時間の短縮と検査品質の確保とを両立させることができる。
【００４８】
しかも、予め専門のエンジニアが各部品の検査の重要度を設定したデータを検査対象部品ライブラリに格納しておけば、検査エリアシーケンスの作成時に作業者が各部品の検査の重要度を設定する必要がなく、作業者の設定ミスによる検査品質の低下を確実に防止できる。
【００４９】
但し、本発明は、検査エリアシーケンスの作成時に作業者が各部品の検査の重要度を設定するようにしても良く、この場合でも、検査エリア単位で検査対象から除外する従来の作業と比較すれば、部品単位で検査の重要度を設定する作業は簡単であるため、熟練度や経験が少ない作業者でも十分に作業可能であり、作業者の設定ミスを大幅に低減することができる。
【符号の説明】
【００５０】
１１…カメラ、１２…ＸＹ移動装置、１３…基板搬送装置、１４…制御装置（検査エリアシーケンス作成手段，検査重要度設定手段，目標タクト設定手段）、１５…入力装置、１６…表示装置、１７…記憶装置
【図１】
0005574530.tif 000002
【図２】
0005574530.tif 000003
【図３】
0005574530.tif 000004
【図４】
0005574530.tif 000005
【図５】
0005574530.tif 000006
【図６】
0005574530.tif 000007