(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体と、前記基体の第一の面に複数形成された針状体とを具備する針状体アレイであって、
前記複数の針状体が前記基体の第一の面に一体的に形成され、
当該第一の面の部位によって針状体の密集度が異なり、
前記複数の針状体の高さが同一であり、
前記基体および前記複数の針状体を備える針状体アレイがマルトース、デキストランおよびポリ乳酸から選択される生体適合性を有する生分解性材料から形成され、かつ
当該第一の面の端部における針状体の密集度を、当該第一の面の中央部における当該針状体の密集度に対し、前記端部の外周に亘るいずれの箇所においても大きくすることを特徴とする針状体アレイ。
【請求項２】
基体と、前記基体の第一の面に複数形成された針状体とを具備する針状体アレイの製造方法であって、
基板の第一の面に密集度に分布を持つエッチングマスクを形成する工程と、
前記基板の第一の面に異方性エッチングを行って、高さが同一で、密集度が異なる複数の針状体を前記第一の面に一体的に形成する工程と、
を備え、
当該第一の面の端部における針状体の密集度を、当該第一の面の中央部における当該針状体の密集度に対し、前記端部の外周に亘るいずれの箇所においても大きくすることを特徴とする針状体アレイの製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の針状体アレイの製造方法であって、
更に、製造した針状体アレイを母型とし、当該母型から当該母型に対し前記針状体アレイが反転形成された複製版を作製する工程と、
前記複製版を用いて転写加工成形を行う工程と、
を備えたことを特徴とする針状体アレイの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細構造体として複数の針状体を有する針状体アレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
皮膚上から薬剤を浸透させ体内に薬剤を投与する方法である経皮吸収法は、人体に痛みを与えることなく簡便に薬剤を投与することが出来る方法として用いられている。しかしながら、薬剤の種類によっては経皮吸収法で投与が困難な薬剤が存在する。これらの薬剤を効率よく体内に吸収させる方法として、ミクロンオーダーの針状体を含む針状体アレイを用いて皮膚を穿孔し、皮膚内に直接薬剤を投与する方法が注目されている。この方法によれば、投薬用の特別な機器を用いることなく、簡便に薬剤を皮下投薬することが可能となる（特許文献１）。
【０００３】
この際に用いる微細な針状体の形状は、皮膚を穿孔するための十分な細さと先端角、および皮下に薬液を浸透させるための十分な長さを有していることが必要とされ、針状体の直径は数μｍから数百μｍ、針状体の長さは皮膚の最外層である角質層を貫通し、かつ神経層へ到達しない長さ、具体的には数十μｍから数百μｍ程度のものであることが望ましいとされている。
【０００４】
より具体的には、最外皮層である角質層を貫通することが求められる。角質層の厚さは人体の部位によっても若干異なるが、平均して２０μｍ程度である。また、角質層の下にはおよそ２００μｍから３５０μｍ程度の厚さの表皮が存在し、さらにその下層には毛細血管が張りめぐる真皮層が存在する。このため、角質層を貫通させ薬液を浸透させるためには少なくとも２０μｍ以上長さが必要となる。また、採血を目的とする針状体アレイを製造する場合には、上記の皮膚の構成から少なくとも３５０μｍ以上の高さの針状体が必要となる。
【０００５】
また、針状体アレイを構成する材料としては、仮に破損した針状体が体内に残留した場合であっても、人体に悪影響を及ぼさない材料であることが必要であり、このような材料としては医療用シリコーン樹脂や、マルトース、ポリ乳酸、デキストランなどの生体適合樹脂が有望視されている（特許文献２）。
【０００６】
このような針状体アレイを低コストかつ大量に製造するためには、射出成形法、インプリント法、キャスティング法などに代表される転写成形法が有効であるが、いずれの方法においても成形を行うためには所望の形状を凹凸反転させた原型が必要であり、針状体のようなアスペクト比（即ち、構造体の幅に対する高さ、もしくは深さの比率）が高く、先端部の先鋭化が必要である構造体を形成するためには、その製造工程が非常に複雑となる。
【０００７】
例えば、針状体アレイを製造する方法として、Ｘ線リソグラフィにより針状体アレイの原版を作製し、原版から複製版を作り、転写加工成形を行う製造方法が提案されている（特許文献３）。
【０００８】
また、機械加工により針状体の原版を作製し、原版から複製版を作り、転写加工成形を行う製造方法が提案されている（特許文献４）。
【特許文献１】米国特許第６，１８３，４３４号明細書
【特許文献２】特開２００５−２１６７７号公報
【特許文献３】特開２００５−２４６５９５号公報
【特許文献４】特表２００６−５１３８１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、効率良く穿刺可能で、針の破損を低減できる針状体アレイを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するための手段は、
（１）基体と、前記基体の第一の面に複数形成された針状体とを具備する針状体アレイであって、
前記複数の針状体が前記基体の第一の面に一体的に形成され、
当該第一の面の部位によって針状体の密集度が異なり、
前記複数の針状体の高さが同一であり、
前記基体および前記複数の針状体を備える針状体アレイがマルトース、デキストランおよびポリ乳酸から選択される生体適合性を有する生分解性材料から形成され、かつ
当該第一の面の端部における針状体の密集度を、当該第一の面の中央部における当該針状体の密集度に対し、前記端部の外周に亘るいずれの箇所においても大きくすることを特徴とする針状体アレイ：
（２）基体と、前記基体の第一の面に複数形成された針状体とを具備する針状体アレイの製造方法であって、
基板の第一の面に密集度に分布を持つエッチングマスクを形成する工程と、
前記基板の第一の面に異方性エッチングを行って、高さが同一で、密集度が異なる複数の針状体を前記第一の面に一体的に形成する工程と、
を備え、
当該第一の面の端部における針状体の密集度を、当該第一の面の中央部における当該針状体の密集度に対し、前記端部の外周に亘るいずれの箇所においても大きくすることを特徴とする針状体アレイの製造方法：
（３）（２）に記載の針状体アレイの製造方法であって、
更に、製造した針状体アレイを母型とし、当該母型から当該母型に対し前記針状体アレイが反転形成された複製版を作製する工程と、
前記複製版を用いて転写加工成形を行う工程と、
を備えたことを特徴とする針状体アレイの製造方法：
である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、効率良く穿刺可能で、針の破損を低減できる針状体アレイを提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
１．針状体アレイ
以下、本発明の針状体について説明を行う。
【００１３】
図１（ａ）および（ｂ）は、本発明に従う針状体アレイを模式的に示した図である。図図１（ａ）は、本発明に従う針状体アレイの平面図であり、１（ｂ）は図１（ａ）を線Ｉ−Ｉに沿って切った断面である。図１（ａ）および（ｂ）に示すように、本発明に従う針状体アレイ１は、基体２と、前記基体２の第一の面に形成された複数の針状体３を具備し、当該第一の面の部位により当該針状体３の密集度が異なる。特に、当該針状体アレイ１は、当該第一の面の中央部の針状体３の密集度に対して、第一の面の端部における針状体３の密集度が大きいことが好ましく、図１（ａ）および（ｂ）に示す針状体アレイ１はそのように密集度に分布を有する針状体アレイの例である。
【００１４】
本発明は、本発明者らが針状体アレイにおける針状体の破損の原因を仮定し、それを基に当該原因を解決するための手段を考案したことにより提供されるものである。即ち、基体に針状体をアレイ状に配置して、当該針状体を針部として利用することによって対象を穿刺しようとする場合、針状体を具備する針状体アレイの第一の面の中央部と端部における穿刺状態が異なることが考えられる。特に、伸縮性のあるもの、例えば、生体皮膚などに対して穿刺する場合には、対象の伸縮性により、針状体アレイの端部では表面方向に引っ張り応力が大きく働くのに対して、中央部では応力が働きにくい。また、同一ピッチで針状体をアレイ状に並べた場合、当該第一の面の端部では近接する針の本数が少ないのに対し、中央部では針の近接する針の本数が多く針状体が対象物を穿刺することが困難になることも考えられる。
【００１５】
そのような穿刺状態を針状体アレイの第一の面に亘り均一にするために、針状体の高さを部位によって変化させることも考えられる。しかしながら、高さを調整するためには多くの場合、針状体の作製条件を部位毎に変化させる必要がある。また、針状体アレイの第一の面の端部においては、当該第一の面と平行に働く応力が中央部に比べ大きく、針状体が破損しやすいと考えられる。
【００１６】
また、単純に針間のピッチを広くとると、単位面積当たりの針状体本数が減少し、穿刺総本数が減少してしまう。また、一本当たりにかかる力が大きくなることから、例えば横方向の力に耐えることが困難になり、その結果、針状体の折れや、欠けなどが発生し破損しやすくなる。また、単純に針間のピッチを狭く取ると、単位面積あたりの針状体本数が増加し、穿刺しづらくなるという問題がある。
【００１７】
本発明者らは、針状体アレイの第一の面の部位によって針状体の密集度を変化させることで、針状体アレイに具備される全ての針状体にかかる応力を調整することができることを見出し本発明に至った。これにより、針状体アレイにおける各針状体の穿刺状況を調整することが可能となる。例えば、当該第一の面の中央部における針状体の密集度を小さくし、端部の密集度を大きくすることによって、針状体の穿刺能力を端部に集中させず、針状体アレイの第一の面の全体に亘り全ての針状体を効率的に使用することが可能となる。
【００１８】
また、応力が集中する第一の面の端部の密集度を大きくすることにより、一本当たりに働く応力を軽減し、横方向に大きな力が働く端部の針状体の破損を防止することが可能となる。
【００１９】
ここで使用する「密集度」とは、当該針状体アレイの第一の面において任意に選択した1領域当たりの針状体の本数を意味する。ここで使用する「密集度が異なる」および「密集度に分布を持つ」とは、第一の面の任意に選択した少なくとも２つの領域間において針状体の本数が異なることを意味する。
【００２０】
当該針状体アレイの材料は、針状体を保持するのに充分な機械特性を備えていればよく、特に制限されるものではない。例えば、ステンレス、シリコン、Ｍｇ系化合物およびＴｉ系化合物などの金属、例えば、石英およびセラミックスなどの無機材料、例えば、医療用シリコーン樹脂などの生体適合性材料、例えば、ポリ乳酸、ポリグリコール酸、ポリ乳酸グリコール酸共重合体、ポリクエン酸、ポリリンゴ酸、ポリアミノ酸、マルトース、デキストランなどの生体適合性を有する生分解性材料、並びに、その他の生体適合性と生分解性とを有するポリマーなどの有機材料などであればよい。
【００２１】
当該針状体アレイを生体皮膚に対して適用する場合、針状体アレイの材料は生体適合性を有していることが好ましく、更に、生体適合性と生分解性を有していることがより好ましい。また、少なくとも針状体が、生分解性を備えた材料により形成されることも好ましく、生分解性を備えた材料を用いることにより、生体皮膚への適用時に針状体が破損し、その一部が生体内に取り残されても生体への影響を低減することが可能である。
【００２２】
当該針状体アレイに具備される針状体は、基体と同種の材料を用いて成形されてもよく、基体と別種の材料を用いて成型されてもよい。別種の材料を用いる場合、基体のために使用される材料は、例えば、シリコン、ステンレスおよびポリカーボネートなどであればよく、針状体のために使用される材料は、例えば、ポリ乳酸、ポリグリコール酸およびマルトースなどであればよい。例えば、シリコンを基体として用いて、ポリ乳酸を針状体として使用する場合には、例えば、シリコン基板上に、ポリ乳酸針状体のみを選択的に熱プレス成形して製造すればよい。
【００２３】
当該針状体アレイは、用途によってその形状を自由に設計されてよく、また本発明の針状体も、形状、寸法、構成する材料なども特に限定されるものではなく、用途および／または仕様に応じて適宜設計を行ってよい。例えば、生理活性物質の経皮吸収を促進する目的や、経皮的に生体内の物質を生体外へ取り出す目的で使用される場合、皮膚穿刺性能の観点から、針状体アレイに具備される針状体の先端が先鋭な錐形状であって、根元幅は数μｍから数百μｍ、長さは数十μｍから数百μｍ程度であり、針状体側壁には括れや段差が無いことが望ましい。
【００２４】
また、本発明の針状体アレイは、針状体内部、または、針状体の近傍に、貫通孔を有してもよい。貫通孔を設けることにより、体液および／または薬液を貫通孔を通して採取および／または供給する構成のデバイスとして好適に用いることが出来る。
【００２５】
当該針状体アレイは、それ自身公知の方法、例えば、精密機械加工などにより直接製造されてもよく、それ自身公知の方法により金型または複製版を使用して転写成形することにより製造されてもよい。そのような製造方法は何れも本発明の範囲に含まれる。以下、当該針状体アレイの製造方法について説明する。
【００２６】
２．針状体アレイの製造方法
本発明に従う針状体アレイは、基板の第一の面に密集度に分布を持つエッチングマスクを形成する工程と、前記基板の第一の面に異方性エッチングを行う工程により製造されればよい。
【００２７】
以下、当該針状体アレイの製造に適した針状体製造方法の一例について、針状体アレイの製造工程を基板の一部分を模式的に示した図２を用いながら説明を行う。
【００２８】
＜基板にエッチングマスクを形成する工程＞
まず、図２（Ａ）および（ａ）に示すように、形成される針状体の位置に対応するように基板１０１の第一の面にアレイ状にエッチングマスク１０２を形成する。図２（Ａ）は基板１０１の第一の面の上方からの平面図であり、図２（ａ）〜（ｄ）は図２（Ａ）を線ＩＩ−ＩＩに沿って切った断面図である。
【００２９】
当該エッチングマスク１０２は、基板１０１の第一の面の部位により密集度が異なるように配置されればよい。好ましくは第一の面の中央部の密集度に対して、第一の面の端部における針状体の密集度が大きくなるように形成される。即ち、図３（ａ）に示すように基板２０１の第一の面に等間隔にエッチングマスク２０２を配置するのではなく、図３（ｂ）に示すように基板２０１の第一の面の部位によって密集度を変化させてエッチングマスク２０２を配置することが好ましい。
【００３０】
また、図２（ｂ）に示すように、エッチングマスク１０３の厚みを厚み方向に変化させ、エッチングマスク１０３の縁周辺の厚みがエッチングマスク１０３の中央の厚みに比べて薄くなるように、当該中央から縁に向けてエッチングマスク１０３の厚みを連続的に変化させることも好ましい。これにより、後述するエッチングを行う工程が進むにつれて、エッチングマスク１０３は外側から徐々に除去されるので、基板１０１とエッチングマスク１０３とのエッチング選択比（エッチングマスク１０３のエッチングレートに対する基板１０１のエッチングレートの比）に応じたテーパー角度を持つ針状体アレイを製造することが可能である。
【００３１】
上述したようにエッチングマスク１０２または１０３の密集度を当該第一の面の部位によって異なるように配置することにより、製造される針状体の密集度を制御することが可能となる。特に、エッチングマスク１０２または１０３の密集度を第一の面の中央部は小さく、端部を大きくすることで、マスクパターンを反映したピッチを持つ針状体アレイを製造することが可能となる。また、形成するエッチングマスクのパターン径を変更することにより、製造される針状体の径を制御することが出来る。
【００３２】
基板１０１は、後述するエッチングを行う工程に適した加工特性を備える材料であればよい。例えば、シリコン基板、例えば、単結晶シリコン基板を使用してよい。
【００３３】
エッチングマスク１０２および１０３のマスク材料としては、上述した基板１０１と密着し、後述するエッチングを行う工程において、エッチングマスク１０２または１０３のエッチングレートが、基板１０１のエッチングレートより小さいものであればよい。
【００３４】
基板１０１にエッチングマスク１０２を形成する方法としては、適宜公知のパターニング方法を用いてよい。例えば、パターニング方法としては、露光現像による方法（即ち、用いるフォトマスクによりパターン部を制御可能する方法）、液滴吐出法（即ち、パターン部のみに液滴吐出する方法）などを用いてもよい。
【００３５】
エッチングマスク１０２に厚み分布を持たせる方法としては、例えば、マスク材料をリフローさせる方法、グレースケールマスクを用いてマスク材料の露光量を制御する方法、インクジェット装置を用いてマスク材料の液滴投下量で調整する用法などの方法を用いてよい。
【００３６】
＜エッチングマスクを形成した側から前記基板に対して異方性エッチングを行う工程＞
基板１０１にエッチングマスク１０２または１０３を形成した後に、エッチングを行う工程に進む。図２（ｃ）および（ｄ）に示すように、エッチングを行う工程では、エッチングマスク１０２または１０３を形成した基板１０１の第一の面側から、第一の面の全体に亘りエッチングを進めて（図１（ｃ））、針状体１０４を製造する（図１（ｄ））。
【００３７】
本発明において使用されるエッチング方法は、基板１０１のエッチングレートとエッチングマスク１０２または１０３とのエッチングレートが異なる異方性のエッチング方法であればよく、適宜公知の方法を用いることが出来る。そのような方法は、例えば、ＲＩＥ、マグネトロンＲＩＥ、ＥＣＲ、ＩＣＰ、ＮＬＤ、マイクロ波およびヘリコン波などの放電方式を用いたドライエッチング装置を用いたドライエッチングを含む。
【００３８】
このとき、エッチングマスク１０２または１０３に対する基板１０１のエッチング選択比によって、針状体１０４の先端角度の制御が可能である。上記エッチング選択比が高い場合、針状体１０４の先端角度は鋭くなり、高さは高くなる傾向がある。また、エッチング選択比が低い場合、先端角度は広くなり、高さは低くなる傾向がある。エッチング選択比は、基板１０１およびエッチングマスク１０２または１０３の材料の選択の他、エッチング時の種々の条件、例えば、圧力およびプロセスガス流量などにより制御することが出来る。
【００３９】
また、徐々にエッチングマスク１０２または１０３が除去されていき、最終的にエッチングマスク１０２または１０３が微小な範囲に収束してから完全に除去することにより、針状体１０４を形成すれば、エッチングマスク１０２または１０３の脱落による汚染などが発生することなく、また先端形状が鋭利な針状体１０４を製造することが可能である。
【００４０】
また、エッチングマスク１０２または１０３が残存した状態（図１（ｃ））でエッチングを停止し、エッチングマスク１０２または１０３を剥離してもよい。これにより、先端部分に平坦な部分を有する針状体が形成される。このような形態の針状体は、刺突の際に先端部の欠けを低減することが可能である。
【００４１】
以上より、本発明に従う針状体アレイを製造することが出来る。ここではエッチングマスク１０２または１０３を用いた方法を示したが、本発明の針状体アレイの製造はこれに限定されるものではなく、他の微細加工技術を用いて製造してもよい。微細加工技術の例は、エンドミルを用いた微細切削加工技術およびレーザー光を用いた加工技術などを含む。
【００４２】
また、本発明に従う針状体アレイの製造方法は、更に、製造した針状体アレイを母型とし、当該母型から複製版を作製する工程と、前記複製版を用いて転写加工成形を行う工程とを備えることが好ましい。一体成形された機械的強度の高い複製版を作製することにより、同一の複製版で多量の針状体アレイを製造することが出来るため、生産コストを低く抑え、生産性を高めることが可能である。また、転写材料は微細加工に対する加工特性を考慮することなく選択することが出来るため、特に、生体適合性材料により形成された針状体アレイを好適に製造することが出来る。
【００４３】
以下、一例として具体的に、図４を用いて、上述したエッチングなどの製造方法により製造した針状体アレイ４０１を母型とし、鋳型層４０２を形成し、得られた鋳型層４０２を複製版４０３として使用することを具備する針状体アレイの転写加工成形について説明する。
【００４４】
＜針状体の転写加工成形＞
まず、針状体４００が形成された針状体アレイ４０１の第一の面に、鋳型層４０２を形成する（図４（ａ））。
【００４５】
次に、針状体アレイ４０１と鋳型層４０２を分離し、複製版４０３を得る（図４（ｂ））。針状体４０１と鋳型層４０２を分離する方法としては、物理的な剥離力による分離または選択性エッチング法を用いればよい。
【００４６】
次に、複製版４０３に針状体アレイ材料を充填する（図４（ｃ））。当該針状体アレイ材料には特に制限はなく、一般的に転写加工成形することが可能な何れの材料であってもよく、上述した「１．針状体アレイ」の項で列挙した針状体アレイの材料であってもよい。特に生体に対して使用するための針状体アレイを形成する場合には、生体に対して低刺激性の材質であることが好ましい。また、曲面に対しても接触面の全体に対して均一な押圧が出来るように、最終的に得られる針状体アレイが柔軟性を有することも好ましい。
【００４７】
次に、硬化した針状体アレイ材料を複製版４０３から離型して、針状体アレイ４０４を得る（図４（ｄ））。
【００４８】
鋳型層材料（即ち、複製版材料）は、所望の複製版４０３を得るために適切なそれ自身公知の何れの材料であってもよく、例えば、針状体アレイ４０１を転写し得る形状追従性、転写加工成形における転写性、耐久性および離型性を考慮した材質を選択すればよい。例えば、高分子化合物、例えば、ウレタン樹脂やシリコーン樹脂などのエラストマーを用いてもよい。また、例えば、金属材料、例えば、ニッケル、アルミ合金、銅合金、鉄合金などを用いてもよい。これに限定するものではないが、例えば、シリコーン樹脂は、安価かつ危険性の低い材料として好適である。また、複製版材料中の不純物を除去するために、転写成形工程に使用する前に複製版材料を精製してもよい。
【００４９】
また、複製版作製時には硬化速度を制御するために加熱および／または冷却を行ってもよく、加熱温度および加熱時間、並びに冷却温度および冷却時間は、使用する複製版材料の性質などに応じて選択すればよい。
【００５０】
複製版作製工程においては、微細領域での再現性を高めるために複製版材料を針状体４０１に充填する前に脱泡工程をおこなってもよい。脱泡工程は公知の脱泡法を用いればよい。例えば、真空脱泡、遠心脱および攪拌脱泡等の脱泡方法を用いてよい。
【００５１】
当該針状体アレイ材料の複製版４０３への充填方法は、これに限定するものではないが、生産性の観点から、インプリント法、ホットエンボス法、射出成形法、押し出し成形法およびキャスティング法を用いることが好ましい。
【００５２】
当該複製版４０３の剥離性を向上するために、針状体アレイ材料の充填前に、複製版４０３の表面に離型効果を増すための離型層を形成してもよい。離型層としては、例えば広く知られているフッ素系の樹脂を用いることができる。また、離型層の形成方法としては、ＰＶＤ法、ＣＶＤ法、スピンコート法およびディップコート法などの薄膜形成手法を好適に用いることができる。離型層を適用することにより、微細な突起部を有する針状体および更に当該突起部をより安定して提供することが可能である。
【実施例】
【００５３】
＜実施例１＞
本発明の針状体製造方法について、エッチングマスクのピッチが基板の第一の面の中央部で広く、端部で狭い場合における一例について、具体的に挙げながら説明する。
【００５４】
まず、基板としてシリコンウェハ（厚み：５２５μｍ、直径１００ｍｍ）を用意した。
【００５５】
次に、シリコンウェハ上に、エッチングマスクとして汎用厚膜フォトレジスト（クラリアント社製、商品名：ＡＺ  ＰＬＰ）を、スプレーコート法を用いて、膜厚１３μｍでコートし、フォトリソグラフィー法により直径が１００μｍの円形ドットパターンを形成した。
【００５６】
この時、エッチングマスクをアレイ状に配列した。即ち、図３（ｂ）に示すように、基板の第一の面の端部、特に第一の面に具備される４つの角に集中的に針状体が形成されるようにエッチングマスクを配置した。
【００５７】
次に、エッチングマスクをクリーンオーブンにおいて１５０℃で３０分間加熱し、熱収縮を行った。熱収縮後のレジスト形状は半球状であり、中央部のレジスト厚は２０μｍであった。
【００５８】
次に、当該基板の第一の面を、フッ素系ガスを用いたＩＣＰ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｐｌａｓｍａ：誘導結合プラズマ）エッチングにより当該基板上のエッチングマスクが完全に除去されるまでエッチングを行った。このとき、エッチングマスクおよびシリコン基板のエッチングレートを測定した結果、シリコンとエッチングマスクのエッチング選択比は約１１であった。
【００５９】
次に、当該基板について全面エッチングを行い得られた針状体アレイを走査型電子顕微鏡で観察した。その結果、基底部の直径が約１００μｍ、高さ約２２０μｍ、先端角度が約２５°の円錐型の針状体が、前記エッチングマスクの配置を反映して形成されていることが確認された。
【００６０】
＜実施例２＞
以下、転写加工成形による針状体アレイの製造法について説明する。
【００６１】
実施例１で製造された針状体アレイを原版として使用し、当該原版に蒸着法により膜厚３００ｎｍのニッケル層を形成し、このニッケル層をシード層としてメッキ法によりニッケルを１ｍｍ形成した。
【００６２】
次に、濃度２５ｗｔ％、液温９０℃の水酸化カリウム水溶液を用いて原版を溶解し、ニッケルからなる複製版を作製した。
【００６３】
この複製版を用いてマルトース、デキストラン、ポリ乳酸をそれぞれ材料として用いてインプリント法により転写成型した。走査型電子顕微鏡により観察すると、得られた針状体アレイは、それぞれの原版と同形状の針状体を有することが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明の針状体は、医療のみならず、微細な針状構造体を必要とする様々な分野に適用可能であり、例えばＭＥＭＳデバイス、創薬、化粧品などに用いる針状体としても有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明に従う針状体アレイの一例を示す図。
【図２】本発明に従う針状体アレイの製造方法の一例を示す図。
【図３】エッチングマスクの配置パターンの例を示す図。
【図４】本発明に従う針状体アレイの製造方法の一例を示す図。
【符号の説明】
【００６６】
１    針状体アレイ
２    基体
３    針状体
１０１、２０１    基板
１０２、２０２    エッチングマスク
１０３    エッチングマスク（変形後）
１０４    針状体
４０１、４０４    針状体アレイ
４０２    鋳型層
４０３    複製版
【図１】
0005412045.tif 000002
【図２】
0005412045.tif 000003
【図３】
0005412045.tif 000004
【図４】
0005412045.tif 000005