(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する吐出口が配列方向に沿って複数設けられた吐出口部材を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
光硬化性樹脂を含有する樹脂層が設けられた基板を用意する工程と、
前記樹脂層を露光する露光処理である、第１の露光処理及び第２の露光処理を行う露光工程と、
前記第１の露光処理及び第２の露光処理を行った樹脂層から前記複数の吐出口を形成する工程と、を有し、
前記第１の露光処理によって形成される吐出口の側壁の前記基板に対する傾斜角と、前記第２の露光処理によって形成される吐出口の側壁の前記基板に対する傾斜角とが異なり、
前記吐出口は前記配列方向に直交する直交方向に沿った側壁を有し、
前記第１の露光処理は、前記吐出口の表面側開口の前記配列方向の幅をａ、前記吐出口の裏面側開口の前記配列方向の幅をｂとした場合、比（ｂ／ａ）が１以上となるように、前記直交方向に沿った側壁に対応する前記樹脂層の部分を露光する処理であり、
前記第２の露光処理は、前記吐出口の表面側開口の前記直交方向の幅をｃ、前記吐出口の裏面側開口の前記直交方向の幅をｄとした場合、比（ｄ／ｃ）が１より大きくなるように、前記直交方向に沿った側壁以外の側壁に対応する前記樹脂層の部分を露光する処理であり、
前記比（ｄ／ｃ）は前記比（ｂ／ａ）より大きく、
前記第１の露光処理によって形成される前記直交方向に沿った側壁と、前記第２の露光処理によって形成される前記直交方向に沿った側壁以外の側壁とで、前記複数の吐出口を構成する１つの吐出口が形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記配列方向に垂直な面による前記吐出口の断面形状がテーパ状である請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記直交方向に垂直な面による前記吐出口の断面形状がテーパ状又は四角形状である請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記幅ａ及び前記幅ｂは、それぞれ、前記配列方向に垂直であって前記吐出口の中心を通る面による前記吐出口の断面形状における上辺の幅及び下辺の幅であり、
前記幅ｃ及び前記幅ｄは、それぞれ、前記直交方向に垂直であって前記吐出口の中心を通る面による前記吐出口の断面形状における上辺の幅及び下辺の幅である請求項１乃至３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記樹脂層はネガ型感光性樹脂で形成されたものである請求項１乃至４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記第１の露光処理では、前記直交方向に沿った側壁に対応した直線を含むパターンを有するマスクを用いて前記樹脂層の露光を行い、前記第２の露光処理では、前記直交方向に沿った側壁以外の側壁に対応した曲線を含むパターンを有するマスクを用いて前記樹脂層の露光を行う請求項１乃至５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体を吐出する液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する液体吐出ヘッドの代表例としては、インクを被記録媒体に吐出して記録を行うインクジェット記録方式に適用されるインクジェット記録ヘッドを挙げることができる。このインクジェット記録ヘッドは、一般に、インク流路と、その流路の一部に設けられた吐出エネルギー発生部と、そこで発生するエネルギーによってインクを吐出するためのインク吐出口と、を備えている。
【０００３】
インクジェット記録ヘッドに適用可能な液体吐出ヘッドの一例として特許文献１に、吐出される液体の出口に対して液体の流入口が広い形状の吐出口を有する吐出口部材を備えた液体吐出ヘッドが開示されている。
【０００４】
特許文献２には、吐出される液体の出口に対して液体の流入口が広い形状の吐出口を有する吐出口部材の製造方法として、複数の吐出エネルギー発生部を有する基板上で、結像位置を調整して光硬化性樹脂に露光を行う方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−２３４８７１号公報
【特許文献２】米国特許公開２００５／０１３００７５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
液体の出口を微細化した場合であっても、吐出口を液体の出口に対して液体の流入口が広い形状とすることで、流抵抗の低減を図り、リフィル特性の低下を抑制できるなど、吐出特性の問題に対応することができる。
【０００７】
記録装置の大型化を抑えながら高画質な画像を高速に記録するため、液体吐出ヘッドにおいて、微細な液体の出口を有する吐出口とそれに連通する流路とを高密度に配置することが求められてきている。
【０００８】
しかしながら、特許文献２の方法で、液体の出口に対して液体の流入口が広い形状の吐出口を高密度に配置した吐出口部材を形成する場合には、吐出口の液体の流入口側で、隣接する吐出口同士を隔てる壁が薄くなり吐出口部材の強度が低下することが懸念される。 
【０００９】
本発明は上述した課題を鑑みなされたものであって、流抵抗が緩和された吐出口が設けられ、かつ十分な強度を有する吐出口部材を備えた液体吐出ヘッドを歩留まりよく製造することができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
そのため、本発明は、
液体を吐出する吐出口が配列方向に沿って複数設けられた吐出口部材を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
光硬化性樹脂を含有する樹脂層が設けられた基板を用意する工程と、
前記樹脂層を露光する露光処理である、第１の露光処理及び第２の露光処理を行う露光工程と、
前記第１の露光処理及び第２の露光処理を行った樹脂層から前記複数の吐出口を形成する工程と、を有し、
前記第１の露光処理によって形成される吐出口の側壁の前記基板に対する傾斜角と、前記第２の露光処理によって形成される吐出口の側壁の前記基板に対する傾斜角とが異なり、
前記吐出口は前記配列方向に直交する直交方向に沿った側壁を有し、
前記第１の露光処理は、前記吐出口の表面側開口の前記配列方向の幅をａ、前記吐出口の裏面側開口の前記配列方向の幅をｂとした場合、比（ｂ／ａ）が１以上となるように、前記直交方向に沿った側壁に対応する前記樹脂層の部分を露光する処理であり、
前記第２の露光処理は、前記吐出口の表面側開口の前記直交方向の幅をｃ、前記吐出口の裏面側開口の前記直交方向の幅をｄとした場合、比（ｄ／ｃ）が１より大きくなるように、前記直交方向に沿った側壁以外の側壁に対応する前記樹脂層の部分を露光する処理であり、
前記比（ｄ／ｃ）は前記比（ｂ／ａ）より大きく、
前記第１の露光処理によって形成される前記直交方向に沿った側壁と、前記第２の露光処理によって形成される前記直交方向に沿った側壁以外の側壁とで、前記複数の吐出口を構成する１つの吐出口が形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、流抵抗が緩和された吐出口が設けられ、かつ十分な強度を有する吐出口部材を備えた液体吐出ヘッドを歩留りよく製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施形態の製造方法により得られる液体吐出ヘッドの構成例を示す図である。
【図２】本実施形態の製造方法により得られる液体吐出ヘッドの構成例を示す模式斜視図である。
【図３】本実施形態の製造方法を説明するための工程段面図である。
【図４】本実施形態の製造方法を説明するための工程段面図である。
【図５】第２の露光処理を実施した後の状態を示す概略図である。
【図６】第２の露光処理の露光の概念図である。
【図７】第２の露光処理を実施した後に第１の露光処理を実施した状態を示す概略図である。
【図８】第１の露光処理の露光の概念図である。
【図９】本実施形態１の現像処理を実施した後の状態を示す概略図である。
【図１０】本実施形態２の露光条件で得られる吐出口付近の形態を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００１４】
図２は、本実施形態において製造するインクジェット記録ヘッドの構成例を示す模式的斜視図である。このインクジェット記録ヘッド（液体吐出ヘッド）は、吐出エネルギー発生素子４が所定のピッチで配列方向に２列並んで形成されたシリコン基板５を有している。シリコン基板５には、インク供給口（液体供給口）７が、吐出エネルギー発生素子４の２つの列の間に開口されている。シリコン基板１上には、流路形成部材２によって、インクを吐出するインク吐出口（液体吐出口）１と、インク供給口７から各インク吐出口１に連通するインク流路（液体流路）５が形成されている。インク吐出口１は各吐出エネルギー発生素子４の上方に開口し、配列方向に２列並んで複数設けられている。
【００１５】
このインクジェット記録ヘッドは、インク吐出口１が形成された面が被記録媒体の記録面に対面するように配置される。そして、共通インク供給口７からインク流路５内に充填されたインク（液体）に、吐出エネルギー発生素子４によって発生する圧力を加えることによって、インク吐出口１からインク液滴を吐出させ、被記録媒体に付着させることによって記録を行う。
【００１６】
（実施形態１）
以下に、本実施形態の製造方法により作製されるインクジェット記録ヘッドの構成例についてより具体的に説明する。図１（Ａ）は図２の吐出口の上面図であり、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＡ−Ａ線における断面図、図１（Ｃ）は図１（Ａ）のＢ−Ｂ線における断面図である。また、Ａ−Ａ線は配列方向を表すこととなり、Ｂ−Ｂ線は配列方向に直交する直交方向を表すことになる。したがって、図１（Ｂ）は直交方向に垂直な面による吐出口の断面形状であり、図１（Ｃ）は配列方向に垂直な面による吐出口の断面形状である。
【００１７】
本実施形態により形成される吐出口は、図１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、前記直交方向に沿った側壁を有する。また、図１（Ｂ）に示すように、前記直交方向に垂直な面による吐出口の断面形状がテーパ状又は四角形状である。また、配列方向に垂直な面による吐出口の断面形状がテーパ状である。吐出口がテーパ形状を有するように形成することにより、流抵抗が小さく、優れた吐出性能を有する液体吐出ヘッドを得ることができる。
【００１８】
ここで、本実施形態の製造方法は、以下の工程を含む。
【００１９】
（１）光硬化性樹脂を含有する樹脂層が設けられた基板を用意する工程。
【００２０】
（２）前記樹脂層を露光する露光処理である、第１の露光処理及び第２の露光処理を行う露光工程。 
【００２１】
（３）前記第１の露光処理及び第２の露光処理を行った樹脂層から前記吐出口を形成する工程。
【００２２】
本発明では、前記第１の露光処理によって形成される吐出口の側壁の前記基板に対する傾斜角と、前記第２の露光処理によって形成される吐出口の側壁の前記基板に対する傾斜角とが異なることを特徴とする。第１の露光処理は、吐出口の表面側開口の配列方向の幅をａ、吐出口の裏面側開口の配列方向の幅をｂとした場合、比（ｂ／ａ）が１以上となるように、前記直交方向に沿った側壁に対応する樹脂層部分を露光する処理であることが好ましい。
【００２３】
また、第２の露光処理は、吐出口の表面側開口の直交方向の幅をｃ、吐出口の裏面側開口の直交方向の幅をｄとした場合、比（ｄ／ｃ）が１より大きくなるように、前記直交方向に沿った側壁以外の側壁に対応する樹脂層部分を露光する処理であることが好ましい。
【００２４】
さらに、第１の露光処理及び第２の露光処理は、前記比（ｄ／ｃ）が前記比（ｂ／ａ）より大きくなるように実施することが好ましい。
【００２５】
吐出口の前記直交方向に垂直な面による断面形状はテーパ状又は四角形状となることが好ましい。また、吐出口の前記配列方向に垂直な面による断面形状はテーパ状となることが好ましい。尚、これら断面形状は、ともにテーパ状であっても、基板に対する傾斜角は異なる。
【００２６】
また、幅ａ、幅ｂは、それぞれ、前記配列方向に垂直であって吐出口の中心を通る面による吐出口の断面形状における上辺の幅及び下辺の幅であることが好ましい。また、幅ｃ、幅ｄは、それぞれ、前記直交方向に垂直であって吐出口の中心を通る面による吐出口の断面形状における上辺の幅及び下辺の幅であることが好ましい。本発明によれば、基板と、前記基板上に液体を吐出する吐出口が配列方向に沿って複数設けられた吐出口部材を備える液体吐出ヘッドであって、前記吐出口の前記配列方向に直交する直交方向に沿った側壁は前記基板に対して垂直であり、前記吐出口の前記配列方向に沿った側壁は前記基板に対して鋭角を形成していることを特徴とする液体吐出ヘッドを製造することができる。
【００２７】
以下、本実施形態の製造方法について説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。
【００２８】
なお、以下の説明では、本発明の適用例として、インクジェット記録ヘッドを例に挙げて説明を行うが、本発明の適用範囲はこれに限定されるものではない。また、インクジェット記録ヘッドの他、バイオッチップ作製や電子回路印刷用途の液体吐出ヘッドの製造方法にも適用できる。液体吐出ヘッドとしては、インクジェット記録ヘッドの他にも、例えばカラーフィルター製造用ヘッド等も挙げられる。
【００２９】
また、本実施形態におけるノズル密度とは図１Ａ−Ａ方向の単位あたりのノズルの個数を言い、本実施形態では、例えば、１２００ＤＰＩ（ドット／インチ）を想定できる。
【００３０】
図３（Ａ）〜（Ｆ）は本実施形態の製造方法の工程を示す例である。図３（Ａ）〜（Ｆ）は配列方向に垂直な面による断面における工程図である。
【００３１】
まず、図３（Ａ）に示すように、吐出エネルギー発生素子４が配置されたシリコン基板５を用意する。
【００３２】
シリコン基板５は、例えば、結晶方位が（１００）面である。なお、本実施形態では、（１００）面を使った場合について説明するが、この図によって面方位を制限するものではない。
【００３３】
このシリコン基板５の上には、熱酸化膜３０１及び犠牲層３０２が形成されている。熱酸化膜３０１の上には絶縁層であるシリコン酸化膜３０３が形成されている。シリコン酸化膜３０３の上には、発熱抵抗体等の吐出エネルギー発生素子４が複数個配置されている。シリコン酸化膜３０１及び吐出エネルギー発生素子４の上には保護膜としてシリコン窒化膜３０４が形成されている。
【００３４】
犠牲層３０２を形成しておくことによりインク供給口（液体供給口）の表面開口を精度よく形成することができる。犠牲層はアルミニウムを含み、シリコン基板のエッチング液（アルカリ溶液）でエッチングが可能である。犠牲層の材料としては、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウムシリコン（ＡｌＳｉ）、アルミニウム銅（ＡｌＣｕ）、アルミニウムシリコン銅（ＡｌＳｉＣｕ）などが挙げられる。これらのうち、アルミニウム又はアルミニウム銅が好ましい。ＡｌＳｉは、ＡｌとＳｉとからなる化合物であり、ＡｌＣｕは、ＡｌとＣｕとからなる化合物であり、ＡｌＳｉＣｕは、ＡｌとＳｉとＣｕとからなる化合物である。
【００３５】
また、シリコン窒化膜３０４の上に密着向上層３が形成されている。密着向上層３は、例えば、ポリエーテルアミド樹脂を用いることができる。また、密着向上層３は、スピンコート等により塗布・配置することが可能である。ポリエーテルアミド樹脂としては、例えば、具体的には、日立化成（株）の製品名：ＨＩＭＡＬ−１２００という材料を用いることができる。密着向上層３の膜厚は、例えば２μｍである。
【００３６】
次に、図３（Ｂ）に示すように、吐出エネルギー発生素子４を含むシリコン基板５上に、溶解可能な樹脂を用いてインク流路の型となる流路型材３０７を形成する。
【００３７】
流路型材３０７は、例えば、ポジ型レジストをスピンコート等により塗布し、紫外線やＤｅｅｐ  ＵＶ光等により露光、現像を行って形成することができる。ポジ型レジストとしては、例えば、ＯＤＵＲ（商品名、東京応化製）等を挙げることができる。
【００３８】
次に、図３（Ｃ）に示すように、密着向上層３及び流路型材３０７の上に、ネガ型感光性樹脂３０８をスピンコート等により配置する。
【００３９】
本実施形態において、流路形成部材としては、ネガ型感光性樹脂を用いる。ネガ型感光性樹脂は、露光にて硬化する性質をもつ。ネガ型感光性樹脂としては、ｉ線感度を有するものが好ましい。また、ネガ型感光性樹脂の厚さは、例えば、３０μｍである。
【００４０】
露光には、特に限定されるものではないが、ｉ線ステッパーを用いることができる。ｉ線ステッパーとしては、例えば、キヤノン株式会社製のステッパーＦＰＡ−３０００Ｉ５＋を使用することができる。
【００４１】
ネガ型感光性樹脂３０８を露光、現像することによってパターンニングし、インク吐出口１を有する流路形成部材２を形成する。本実施形態では、第１の露光処理と第二の露光処理によって少なくとも２回露光を行う。なお、流路形成部材は、吐出口を形成する部材でもあり、吐出口部材とも称すことができる。
【００４２】
ここで、第１の露光処理と第２の露光処理について図５から９を用いて詳細に説明する。なお、以下の説明では、第２の露光処理から説明するが、第１の露光処理と第２の露光処理はどちらを先に実施してもよく、その順番は制限されない。
【００４３】
図５（Ａ）は、第２の露光処理後の吐出口付近の状態を説明するための模式的上面図である。図５（Ｂ）は図５（Ａ）のＡ−Ａ断面図である。図５（Ｃ）は図５（Ａ）のＢ−Ｂ断面図である。図５(Ｄ)は第２の露光処理に使用する第２のマスクの模式図である。図５において、５０１は未露光部を示し、５０２は露光部（硬化部）を示す。５０７は流路型材である。５１１は第２のマスクのうち光不透過部を示し、５１２は光透過部を示す。
【００４４】
第２の露光処理は、上述のように、吐出口の表面側開口の直交方向の幅をｃ、吐出口の裏面側開口の直交方向の幅をｄとした場合、比（ｄ／ｃ）が１より大きくなるように、前記直交方向に沿った側壁以外の側壁に対応する樹脂層部分を露光する処理である。
【００４５】
第２の露光は、例えば、キヤノン株式会社製ステッパーＦＰＡ−３０００Ｉ５＋を使用して、以下の露光条件で実施することができる。露光条件は、開口率（ＮＡ）；０．４５、絞り（σ）；０．５、露光量；４０００Ｊ、フォーカスオフセット（フォーカス）；−５０μｍ、である。露光量は、膜厚３０μｍである場合を想定して選択される。
【００４６】
図６は、第２の露光処理における上記露光条件の概念を示す図である。ステッパーは、露光対象物の最上面を基準面としているので、露光時のフォーカス位置は−５０μｍで基板表面下にある。なお、図６において、点線Ｅはフォーカス基準面を示し、点線Ｆはフォーカス位置を示す。
【００４７】
露光において、焦点深度の浅い条件で、かつ、基準面より大きなオフセットのフォーカス設定で露光するとテーパ形状が得られる。一方で、焦点深度の深めの条件で、基準面より膜の半分のあたりにフォーカスをオフセットするとストレートに近い形状が示すことが確認されている。これらは、材料の感光特性と露光機の組み合わせで実現することができるため、本実施形態では、主に露光機の露光条件とフォーカスオフセット量により形状の選択を実現している。
【００４８】
露光機としてキヤノン株式会社製ステッパーＦＰＡ−３０００Ｉ５＋を用い、膜厚が３０μｍである場合では、以下のような関係が確認されている。出来上がり直径１８μｍ系相当の吐出口面積において、膜厚３０μｍでは、露光条件ＮＡ；０．４５、σ；０．３の場合、フォーカス−１５μｍでストレート形状となる。照明条件ＮＡ；０．４５、σ；０．５の場合、フォ−カス−５０μｍで、テーパ角が７度となる。なお、テーパ角は、図１（Ｃ）に示すように、吐出口の表面側開口の端部から垂直に降ろした仮想線と吐出口壁とのなす角度θのことをいう。
【００４９】
図７（Ａ）は、第１の露光処理後の吐出口付近の状態を説明するための模式的上面図である。図７（Ｂ）は図７（Ａ）のＡ−Ａ断面図である。図７（Ｃ）は図７（Ａ）のＢ−Ｂ断面図である。図７（Ｄ）は第１の露光処理に使用する第１のマスクの模式図である。図７において、７０１は未露光部を示し、７０２は露光部（硬化部）を示す。７０７は流路型材である。７１１は第２のマスクのうち光不透過部を示し、７１２は光透過部を示す。 
【００５０】
第１の露光処理は、垂直性を確保することが好ましく、第１の露光処理の露光条件は、例えば、ＮＡ；０．４５、σ；０．３０、露光量；４０００Ｊ、フォーカス；−１５μｍである。
【００５１】
図８は、第１の露光処理における上記露光条件の概念を示す図である。ステッパーは露光対象物の最上面を基準面としているので、露光時のフォーカス位置は−１５μｍであり、この−１５μｍの位置は構造物中心となっている。
【００５２】
図９（Ａ）は、第２の露光処理及び第１の露光処理を行った後、ＰＥＢ、現像を終了した後の吐出口付近を示す模式的上面図である。図９（Ｂ）は、図９（Ａ）のＡ−Ａ断面図である。図９（Ｃ）は、図９（Ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【００５３】
第１の露光処理及び第２の露光処理の後、ＰＥＢ、現像を実施して、吐出口１を有する流路形成部材が得られる。第１の露光処理と第２の露光処理の順番を変えても、ノズル形成には問題とならない。
【００５４】
また、図に示すマスクは、一例であり、本形状を作成する唯一の組み合わせでなく他のデザインでも本形状の作成は可能である。
【００５５】
次に、図３に戻り、残りの製造工程について説明する。
【００５６】
図３（Ｄ）は、前述のように吐出口１が形成された状態を示す概略断面図である。
【００５７】
次に、図３（Ｅ）に示すように、シリコン基板５の裏面にある熱酸化膜３０４をパターニングし、異方性エッチングの開始面となるシリコン面を露出させる。その後、シリコン異方性エッチングを行い、インク供給口７を形成する。インク供給口７は、例えば、ＴＭＡＨやＫＯＨ等の強アルカリ溶液による異方性エッチングにより形成することができる。 
【００５８】
次に、図３（Ｆ）に示すように、シリコン酸化膜３０３をフッ酸液で、ウエットエッチングによって除去する。その後、ドライエッチング等によってシリコン窒化膜３０４を除去する。また、溶解可能な樹脂から構成される流路型材７を、インク吐出口１およびインク供給口７から溶出させることにより、インク流路５が形成される。流路型材７を除去する際、必要に応じて、超音波浸漬を併用すれば容易に除去することができる。
【００５９】
以上の工程により、ノズル部を構成する流路形成部材が形成されたシリコン基板５をダイシングソー等により分離切断し、チップ化する。その後、吐出エネルギー発生素子４を駆動させるための電気的接合を行った後、インク供給のためのチップタンク部材を接続して、インクジェット記録ヘッドが得られる。
【００６０】
上記の実施形態１は、図３に示される製造工程を参照して説明した。なお、本発明は、他の製造工程でも適用可能である。他の製造工程の例を以下に図４を参照して簡単に説明する。
【００６１】
図４（Ａ）〜（Ｆ）は、本実施形態の製造方法の例を示す概略工程図である。また、図４（Ａ）〜（Ｆ）は図２のＣ−Ｃ線における断面図である。
【００６２】
図４（Ａ）は、図３（Ａ）に示す図と同様である。
【００６３】
次に、図４（Ｂ）に示すように、この後ノズル材で、インク流路の側壁を構成する流路壁４０１を、感光性樹脂材料を塗布、露光、ＰＥＢ、現像することにより、形成する。
【００６４】
次に、図４（Ｃ）に示すように、流路壁４０１の上に感光性を有するドライフィルム４０２を配置する。
【００６５】
次に、上述の第１の露光処理及び第２の露光処理を実施する。
【００６６】
次に、図４（Ｄ）に示すように、現像して、吐出口１を有する吐出口部材４０３を形成する。
【００６７】
次に、上述の図３の実施工程と同様に、図４（Ｅ）に示すようにインク供給口７を形成する。また、図４（Ｆ）に示すように、インク流路を形成する。
【００６８】
（実施形態２）
以下に、本実施形態の露光条件について具体的に説明する。
【００６９】
図１０（Ａ）は、第１の露光処理及び第２の露光処理を実施した後の吐出口付近の概略上面図を示す。図１０（Ｂ）は図１０（Ａ）のＡ−Ａ断面図である。図１０（Ｃ）は図１０（Ａ）のＢ−Ｂ断面図である。図１０（Ｄ）は、本露光に使用するマスクの模式図であり、図１０（Ｄ−１）は第２の露光処理に用いるマスクであり、図１０（Ｄ−２）は第１の露光処理に用いるマスクである。
【００７０】
該露光条件においては、ネガ型樹脂材料の膜厚が８０μｍの場合を想定している。また、上述の実施形態と同様にステッパーを使用した露光である。第２の露光処理の露光条件は、照明条件ＮＡ；０．６３、σ；０．３０、露光量；５５００Ｊ、フォーカス；−７５μｍである。第１の露光の露光条件は、照明条件ＮＡ；０．４５、σ；０．３０、露光量；５５００Ｊ、フォーカス−４０μｍである。
【００７１】
膜厚８０μｍの場合においては、膜厚を鑑みて露光量は５０００Ｊとした。
【００７２】
本実施例の膜厚では、吐出口経２４μｍに対して、照射条件ＮＡ；０．６３、σ；０．３、フォーカス；−７５μｍでテーパ角７度となった。また、露光条件ＮＡ；０．４５、σ；０．３０、フォーカス；−４０μｍストレート形状となった。上述の露光条件と該露光条件で同様なテーパ角となっているのに、露光条件を変えているのは、膜厚によって吐出口端の形状が違ってくるためである。
【００７３】
いずれの実施例でも、吐出口が垂直であるものと比較して、吐出特性の向上が観測された。
【符号の説明】
【００７４】
１    インク吐出口（吐出口）
２    流路形成部材
３    密着向上層
４    吐出エネルギー発生素子
５    シリコン基板
７    インク供給口（液体供給口）
３０１    熱酸化膜（表面側）
３０２    犠牲層
３０３    シリコン酸化膜
３０４    シリコン窒化膜
３０５    熱酸化膜（裏面側）
３０７    流路型材
３０８    ネガ型感光性樹脂
４０１    流路壁
４０２    ドライフィルム
４０３    吐出口部材
【図１】
0005460760.tif 000002
【図２】
0005460760.tif 000003
【図３】
0005460760.tif 000004
【図４】
0005460760.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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