(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空装置の内部を視認するための覗き窓に取り付けられ、前記真空装置の内部を照らす真空装置用照明器具において、
前記照明器具が、前記覗き窓に連結手段を介して着脱可能に連結される連結アダプタと、前記連結アダプタの中央部に形成されて前記覗き窓をとおして前記真空装置の内部を視認可能な開口と、前記連結アダプタに設置されて前記覗き窓に対向する複数個のＬＥＤ（発光ダイオード）とを有することを特徴とする真空装置用照明器具。
【請求項２】
前記連結アダプタが、前記覗き窓の側に位置する前端部と前記前端部の反対側に位置する後端部と前記前後端部の間に位置する中間部とを有して軸方向へ延びる周壁と、前記周壁の中間部における内周面に固定されて前記開口を取り囲むように該周壁の径方向内方へ延びる環状のＬＥＤ設置板とから形成され、前記複数個のＬＥＤが、前記ＬＥＤ設置板の前記覗き窓に対向する対向面に設置されている請求項１記載の真空装置用照明器具。
【請求項３】
前記複数個のＬＥＤが、前記ＬＥＤ設置板の対向面の周り方向へ等間隔で並んでいる請求項２記載の真空装置用照明器具。
【請求項４】
前記ＬＥＤから放射された光を拡散する光拡散板が、前記連結アダプタの周壁の前端部および中間部における内周面と前記ＬＥＤ設置板の対向面とのうちの少なくとも一方に取り付けられている請求項２または請求項３に記載の真空装置用照明器具。
【請求項５】
前記ＬＥＤから放射された光を反射する光反射板が、前記連結アダプタの周壁の前端部および中間部における内周面と前記ＬＥＤ設置板の対向面とのうちの少なくとも一方に取り付けられている請求項２または請求項３に記載の真空装置用照明器具。
【請求項６】
前記照明器具が、前記連結アダプタの周壁の後端部に着脱可能に設置されて前記真空装置の内部を撮影する撮像装置と、前記撮像装置が撮影した映像を表示する表示装置とを含む請求項１ないし請求項５いずれかに記載の真空装置用照明器具。
【請求項７】
前記撮像装置が、ＣＣＤイメージセンサを有するＣＣＤカメラである請求項６記載の真空装置用照明器具。
【請求項８】
前記真空装置が、真空チャンバーと、前記真空チャンバーに連接されて該真空チャンバーの内部に真空処理対象物を搬送する搬送手段を有する搬送ユニットとを備え、前記覗き窓が、前記真空チャンバーと前記搬送ユニットとのうちの少なくとも該真空チャンバーに形成され、前記照明器具が、前記真空チャンバーと前記搬送ユニットとのうちの少なくとも該真空チャンバーに形成された覗き窓に設置される請求項１ないし請求項７いずれかに記載の真空装置用照明器具。
【請求項９】
前記表示装置が、前記搬送ユニットの搬送手段の近傍に設置されている請求項８記載の真空装置用照明器具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空装置の内部を視認するための覗き窓に取り付けられて真空装置の内部を照らす真空装置用照明器具に関する。
【背景技術】
【０００２】
測定対象物を格納する真空チャンバーと、真空チャンバーの端部に連接されて測定対象物をチャンバー内部に搬送する搬送ユニットと、真空チャンバーを低温から高温に向かって次第に昇温させる加熱器と、真空チャンバー内部に搬送された測定対象物の温度上昇にともなってその測定対象物から放出される水素ガスの水素ガス分圧を分析する分圧分析計と、分圧分析計から出力された水素ガス分圧に基づいて測定対象物に含まれる水素量を求めるコントローラとを備えた水素量測定装置（真空装置）がある（特許文献１参照）。
【０００３】
搬送ユニットは、所定容積のケーシングと、ケーシングの内部に挿脱可能な搬送棒と、搬送棒の端部に取り付けられて測定対象物を着脱可能に支持する支持部材と、ケーシングの外周面に配置された誘導マグネットとから形成されている。この水素量測定装置では、搬送棒の端部に取り付けられた支持部材に測定対象物を着脱可能に支持させ、搬送棒と誘導マグネットとを利用して測定対象物をチャンバーの端部からチャンバーの中央部に移動させ、測定対象物をチャンバーの中央部に設置されたステージの上に置いた後、その測定対象物の水素量を測定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−００６８７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記公報に開示の水素量測定装置（真空装置）には、図示はされていないが、真空チャンバーの内部を視認する複数個の覗き窓が設置されている。水素量測定装置では、それら覗き窓を覗き込みつつ、測定対象物を目視しながら対象物をチャンバーの中央部に移動させるとともに、対象物をステージの上に置く。水素量測定装置では、真空チャンバーの内部やケーシングの内部に照明器具を設置することはできず、外部の照明を頼りに覗き窓から測定対象物を目視しなければならない。しかし、外部の照明が少ないと、覗き窓から真空チャンバーの内部やケーシングの内部に進入する光が少なく、チャンバーの内部やケーシングの内部を十分に照らすことができず、チャンバーの内部やケーシングの内部を視認することができない。真空チャンバーの内部を視認することができないと、測定対象物を目視することができず、対象物をチャンバーの中央部に設置されたステージに搬送することができない場合があるとともに、対象物をステージの上に置くことができない場合がある。また、ケーシングの内部を視認することができないと、ケーシングの内部に複数個の測定対象物をストックする場合、それら測定対象物から所期する対象物を取り出すことができない場合がある。
【０００６】
本発明の目的は、覗き窓から真空装置の内部に光を進入させることができ、真空装置の内部を照らすことで覗き窓から真空装置の内部を視認することができる真空装置用照明器具を提供することにある。本発明の他の目的は、覗き窓から真空装置の内部に光を進入させ、真空装置の内部を視認しつつ、真空処理対象物を真空装置の所定の箇所に確実に搬送することができる真空装置用照明器具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するための本発明の前提は、真空装置の内部を視認するための覗き窓に取り付けられ、真空装置の内部を照らす真空装置用照明器具である。
【０００８】
前記前提における本発明の特徴は、照明器具が、覗き窓に連結手段を介して着脱可能に連結される連結アダプタと、連結アダプタの中央部に形成されて覗き窓をとおして真空装置の内部を視認可能な開口と、連結アダプタに設置されて覗き窓に対向する複数個のＬＥＤ（発光ダイオード）とを有することにある。
【０００９】
本発明の一例としては、連結アダプタが、覗き窓の側に位置する前端部と前端部の反対側に位置する後端部と前後端部の間に位置する中間部とを有して軸方向へ延びる周壁と、周壁の中間部における内周面に固定されて開口を取り囲むように周壁の径方向内方へ延びる環状のＬＥＤ設置板とから形成され、複数個のＬＥＤがＬＥＤ設置板の覗き窓に対向する対向面に設置されている。
【００１０】
本発明の他の一例としては、複数個のＬＥＤがＬＥＤ設置板の対向面の周り方向へ等間隔で並んでいる。
【００１１】
本発明の他の一例としては、ＬＥＤから放射された光を拡散する光拡散板が連結アダプタの周壁の前端部および中間部における内周面とＬＥＤ設置板の対向面とのうちの少なくとも一方に取り付けられている。
【００１２】
本発明の他の一例としては、ＬＥＤから放射された光を反射する光反射板が連結アダプタの周壁の前端部および中間部における内周面とＬＥＤ設置板の対向面とのうちの少なくとも一方に取り付けられている。
【００１３】
本発明の他の一例としては、照明器具が、連結アダプタの周壁の後端部に着脱可能に設置されて真空装置の内部を撮影する撮像装置と、撮像装置が撮影した映像を表示する表示装置とを含む。
【００１４】
本発明の他の一例としては、撮像装置がＣＣＤイメージセンサを有するＣＣＤカメラである。
【００１５】
本発明の他の一例としては、真空装置が、真空チャンバーと真空チャンバーに連接されて真空チャンバーの内部に真空処理対象物を搬送する搬送手段を有する搬送ユニットとを備え、覗き窓が真空チャンバーと搬送ユニットとのうちの少なくとも真空チャンバーに形成され、照明器具が真空チャンバーと搬送ユニットとのうちの少なくとも真空チャンバーに形成された覗き窓に設置される。
【００１６】
本発明の他の一例としては、表示装置が搬送ユニットの搬送手段の近傍に設置されている。
【発明の効果】
【００１７】
本発明にかかる真空装置用照明器具によれば、覗き窓に連結手段を介して着脱可能に連結される連結アダプタと、連結アダプタの中央部に形成されて覗き窓をとおして真空装置の内部を視認可能な開口と、連結アダプタに設置されて覗き窓に対向する複数個のＬＥＤ（発光ダイオード）とを有し、照明器具が覗き窓に設置されると、ＬＥＤから放射された光が覗き窓から真空装置の内部に進入し、その光によって真空装置の内部全体が照らされ、覗き窓から真空装置の内部を十分に視認することができ、真空装置の内部に設置される真空処理対象物を覗き窓から確実に目視することができる。
【００１８】
連結アダプタが前後端部と中間部とを有して軸方向へ延びる周壁と周壁の中間部における内周面に固定されたＬＥＤ設置板とを有し、複数個のＬＥＤがＬＥＤ設置板の覗き窓に対向する対向面に設置されている真空装置用照明器具は、複数個のＬＥＤがＬＥＤ設置板の対向面に設置され、それらＬＥＤからの光がＬＥＤ設置板の対向面から覗き窓に向かって放射されるから、ＬＥＤから放射された光が覗き窓から真空装置の内部に確実に進入し、その光によって真空装置の内部全体が照らされ、覗き窓から真空装置の内部を十分に視認することができ、真空装置の内部に設置される真空処理対象物を覗き窓から確実に目視することができる。
【００１９】
複数個のＬＥＤがＬＥＤ設置板の対向面の周り方向へ等間隔で並んでいる真空装置用照明器具は、それらＬＥＤからの光がＬＥＤ設置板の対向面から覗き窓全体に満遍なく放射されるから、ＬＥＤから放射された光が覗き窓から真空装置の内部に確実に進入し、その光によって真空装置の内部全体が照らされ、覗き窓から真空装置の内部を十分に視認することができ、真空装置の内部に設置される真空処理対象物を覗き窓から確実に目視することができる。
【００２０】
ＬＥＤから放射された光を拡散する光拡散板が連結アダプタの周壁の前端部および中間部における内周面とＬＥＤ設置板の対向面とのうちの少なくとも一方に取り付けられている真空装置用照明器具は、ＬＥＤから放射された光が拡散板によって拡散され、ＬＥＤからの光が覗き窓全体に満遍なく放射されるから、ＬＥＤから放射された光が拡散しつつ覗き窓から真空装置の内部に確実に進入し、その光によって真空装置の内部全体が照らされ、覗き窓から真空装置の内部を十分に視認することができ、真空装置の内部に設置される真空処理対象物を覗き窓から確実に目視することができる。
【００２１】
ＬＥＤから放射された光を反射する光反射板が連結アダプタの周壁の前端部および中間部における内周面とＬＥＤ設置板の対向面とのうちの少なくとも一方に取り付けられている真空装置用照明器具は、ＬＥＤから放射された光が覗き窓によって反射されたとしても、その光が反射板によって反射して再び覗き窓に入射するから、ＬＥＤから放射された光の大部分が覗き窓から真空装置の内部に進入し、その光によって真空装置の内部全体が照らされ、覗き窓から真空装置の内部を十分に視認することができ、真空装置の内部に設置される真空処理対象物を覗き窓から確実に目視することができる。
【００２２】
連結アダプタの周壁の後端部に着脱可能に設置されて真空装置の内部を撮影する撮像装置と撮像装置が撮影した映像を表示する表示装置とを含む真空装置用照明器具は、覗き窓を覗き込んで真空装置の内部の視認する必要はなく、撮像装置が撮影した映像を表示する表示装置から真空装置の内部を視認することができるから、覗き窓から離れた箇所において真空装置の操作を行わなければならない場合であっても、撮像装置と表示装置とを利用して真空装置の内部の様子を知ることができ、撮像装置と表示装置とを利用して真空装置の内部に設置される真空処理対象物を目視することができる。真空装置用照明器具は、撮像装置が連結アダプタの周壁の後端部に着脱可能であるから、撮像装置を利用せずに直接覗き窓から真空装置の内部を視認する場合、撮像装置を連結アダプタから取り外せばよく、撮像装置のみならず、覗き窓を利用して真空装置の内部を視認することができる。
【００２３】
撮像装置がＣＣＤイメージセンサを有するＣＣＤカメラである真空装置用照明器具は、ＣＣＤカメラを利用しつつ、それが撮影した映像を表示する表示装置から真空装置の内部を視認することができるから、覗き窓から離れた箇所において真空装置の操作を行わなければならない場合であっても、ＣＣＤカメラと表示装置とを利用して真空装置の内部の様子を知ることができ、ＣＣＤカメラと表示装置とを利用して真空装置の内部に設置される真空処理対象物を目視することができる。真空装置用照明器具は、ＣＣＤカメラが連結アダプタの周壁の後端部における内周面に着脱可能であるから、ＣＣＤカメラを利用せずに直接覗き窓から真空装置の内部を視認する場合、ＣＣＤカメラをアダプタから取り外せばよく、ＣＣＤカメラのみならず、覗き窓を利用して真空装置の内部を視認することができる。
【００２４】
真空装置が真空チャンバーと真空チャンバーの内部に真空処理対象物を搬送する搬送手段を有する搬送ユニットとを備え、覗き窓が真空チャンバーと搬送ユニットとのうちの少なくとも真空チャンバーに形成され、真空チャンバーと搬送ユニットとのうちの少なくとも真空チャンバーに形成された覗き窓に設置される真空装置用照明器具は、ＬＥＤから放射された光が覗き窓から真空チャンバーや搬送ユニットの内部に進入し、その光によって真空チャンバーや搬送ユニットの内部が照らされ、覗き窓や表示装置を利用して真空チャンバーや搬送ユニットの内部全体を十分に視認することができ、覗き窓や表示装置を利用して搬送ユニットから真空チャンバーに設置される真空処理対象物を確実に目視することができる。真空装置用照明器具は、搬送ユニットから真空チャンバーに真空処理対象物を搬送する場合に、真空チャンバーや搬送ユニットの内部がＬＥＤから放射された光によって照らされるから、覗き窓や表示装置を利用して真空処理対象物を搬送ユニットから真空チャンバーの所定の箇所に確実に搬送することができる。
【００２５】
表示装置が搬送ユニットの搬送手段の近傍に設置されている真空装置用照明器具は、撮像装置が撮影した映像を表示する表示装置が搬送ユニットの搬送手段の近傍に設置され、その表示装置から真空装置の内部を視認することができるから、覗き窓から離れた箇所に搬送ユニットが設置され、覗き窓から離れた箇所において真空処理対象物の搬送操作を行わなければならない場合であっても、撮像装置と表示装置とを利用して真空装置の内部の様子を知ることができ、撮像装置と表示装置とを利用して真空装置の内部に設置される真空処理対象物を目視することができる。真空装置用照明器具は、表示装置を確認しつつ搬送ユニットから真空チャンバーに真空処理対象物を搬送することができるから、表示装置を利用して真空処理対象物を搬送ユニットから真空チャンバーの所定の箇所に確実に搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】一例として示す真空装置用照明器具の斜視図。
【図２】図１の２−２線断面図。
【図３】真空装置用照明器具の正面図。
【図４】図１の照明器具を覗き窓に設置した状態で示す真空装置の概念図。
【図５】図４の５−５線矢視断面図。
【図６】他の一例として示す真空装置用照明装置の斜視図。
【図７】図６の７−７線矢視断面図。
【図８】真空装置用照明器具の正面図。
【図９】図６の照明器具を覗き窓に設置した状態で示す真空装置の概念図。
【図１０】図９の１０−１０線矢視断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
一例として示す真空装置用照明器具の斜視図である図１等の添付の図面を参照し、本発明にかかる照明器具の詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図２は、図１の２−２線断面図であり、図３は、真空装置用照明器具１０Ａの正面図である。図１では、軸方向を矢印Ｌで示す。図３では、径方向を矢印Ｍで示し、周り方向を矢印Ｎで示す。真空装置用照明器具１０Ａは、後記する真空装置５０の真空チャンバー５１やケーシング６３の内部を視認するための覗き窓６０に着脱可能に取り付けられ、光をチャンバー５１やケーシング６３の内部に放射してチャンバー５１やケーシング６３の内部を照らす。
【００２８】
なお、この照明器具１０Ａを利用可能な真空装置５０としては、真空蒸着装置やスパッタリング装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、ＣＶＤ装置、イオン注入装置等の真空薄膜形成・加工装置、真空反応装置や真空蒸留装置、真空乾燥装置、真空冷却装置、真空蒸発・濃縮・晶析装置、真空含浸装置、真空注入装置、真空脱泡装置、真空発泡装置、真空乳化装置等の真空化学装置、電子検出形表面分析装置やイオン検出形表面分析装置、光検出形表面分析装置等の表面分析装置、ヘリウムリークディテクタや真空疲労試験機、真空曲げ試験機、真空引張り・圧縮試験機等の試験装置がある。
【００２９】
真空装置用照明器具１０Ａは、真空装置５０のチャンバー５１やケーシング６３の覗き窓６０に着脱可能に連結される連結アダプタ１１と、アダプタ１１の中央部に形成された円形の開口１２と、複数個のＬＥＤ１３（発光ダイオード）とを有する。連結アダプタ１１は、周壁１４とＬＥＤ設置板１５とから形成されている。周壁１４は、ＡＢＳ樹脂から作られ、円筒状に成型されて軸方向へ延びている。周壁１４は、前端部１６と前端部１６の反対側に位置する後端部１８と前後端部１６，１８の間に位置する中間部１７とを有する。前端部１６は、照明器具１０Ａを真空装置の覗き窓６０に設置したときに、その覗き窓６０の側に位置する部分である。
【００３０】
周壁１４の前端部１６には、周壁１４の周り方向へ１８０°離間対向して径方向へ貫通する２つの連結ビス螺着孔１９が形成されている。連結ビス螺着孔１９には、雌螺子（図示せず）が作られている。それら連結ビス螺着孔１９には、雄螺子が作られた連結ビス２０（連結手段）の軸が螺着されている。周壁１４の中間部１７には、軸方向へ延びる２つの固定ビス螺着孔２１が形成されている。周壁１４の前端部１６と中間部１７とにおける内周面には、光拡散板２２が取り付けられている。光拡散板２２は、アクリル樹脂やポリカーボネートにシリカや炭酸バリウム、チタン酸バリウム等の白色の微粉末を練り込んだ乳白色のプラスチック板である。光拡散板２２は、そこに入射した光をその全域に拡散する。
【００３１】
周壁１４の後端部１８における外面には、ＡＣアダプタ２２（図４参照）から延びる電線２３のコネクタが着脱可能に嵌合するコネクタ嵌合端子２４が作られている。ＡＣアダプタ２２は、それらＬＥＤ１３に直流電力を供給する。なお、図示はしていないが、周壁１４の後端部１８における外面には、ＡＣアダプタ２２から供給される直流電力をＯＮ／ＯＦＦするスイッチが取り付けられている。
【００３２】
ＬＥＤ設置板１５は、ＡＢＳ樹脂から作られ、円環状に成型されている。ＬＥＤ設置板１５は、開口１２を取り囲むように周壁１４の径方向内方へ延びている。ＬＥＤ設置板１５は、固定ビス孔２１に螺着された複数個の固定ビス２５を介して周壁１４の中間部１７の内周面に取り付けられている。ＬＥＤ設置板１５の対向面には、ＬＥＤ１３から放射された光を反射する光反射板２６が取り付けられている。ここで、ＬＥＤ設置板１５の対向面とは、照明器具１０Ａを真空装置の覗き窓６０に設置したときに、その覗き窓６０に対向する面である。光反射板２６には、ＰＥＴ樹脂から作られた超微細発泡光反射板が使用されている。光反射板２６は、そこに入射した光を９６％拡散反射する。光反射板２６には、アルミニウム箔を蒸着した蒸着板や鏡面加工を施した金属板を使用することもできる。
【００３３】
開口１２は、連結アダプタ１１の中央部においてアダプタ１１を軸方向へ貫通している。それらＬＥＤ１３は、ＬＥＤ設置板１５の対向面に設置され、設置板１５の対向面において周り方向へ等間隔で並んでいる。図３では、１２個のＬＥＤ１３がＬＥＤ設置板１５の対向面に設置されているが、ＬＥＤ１３の個数を図示のそれに限定するものではなく、ＬＥＤ１３の出力やサイズ、照度等の各種条件に応じて任意の数のＬＥＤ１３を設置板１５に設置することができる。
【００３４】
図４は、真空装置用照明器具１０Ａを覗き窓６０に設置した状態で示す真空装置５０の概念図であり、図５は、図４の５−５線矢視断面図である。図４では、真空装置５０を構成する各種センサや分析計、電気炉、コントローラ等の各構成機器の図示を省略している。なお、図４の真空装置５０は一例であり、真空装置を図示例のそれに限定するものではなく、上述したように、各種の真空薄膜形成・加工装置や各種の真空化学装置、各種の表面分析装置、各種の試験装置の覗き窓６０に照明装置１０Ａを設置することができる。
【００３５】
この真空装置５０は、真空チャンバー５１、搬送ユニット５２、真空バルブ５３，５４、真空ポンプ５５，５６を有する。真空チャンバー５１は、四角柱状に成型された金属製の箱であり、略矩形の６つの壁が直角に交差する六面体である。真空チャンバー５１は、その内部に所定形状の真空処理対象物５７を格納可能である。真空チャンバー５１では、その中央部に設置されたステージ５８（設置箇所）に真空処理対象物５７が載置される。
【００３６】
真空チャンバー５１の壁には、真空バルブ５３と真空ポンプ５５とが連結されている。真空バルブ５３と真空ポンプ５５とは、真空管路５９を介してつながっている。真空管路５９には、図示なしていないが、真空計が設置されている。真空チャンバー５１の２つの壁には、チャンバー５１の内部を覗くことが可能な覗き窓６０が設置されている。それら覗き窓６０は、図５に示すように、真空チャンバー５１の壁から延出する円筒状の周壁６１と、周壁６１に固定された円形のガラス６２とから作られている。周壁６１は、チャンバー５１と同様の金属から作られている。ガラス６２には、強化ガラスや耐熱ガラスが使用されている。
【００３７】
搬送ユニット５２は、ケーシング６３と、一方向へ長い搬送棒６４と、搬送棒６４を着脱可能な搬送管路６５と、搬送管路６５の外周面に配置された誘導マグネット６６とから形成されている。ケーシング６３は、四角柱状に成型された金属製の箱であり、略矩形の６つの壁が直角に交差する六面体である。ケーシング６３の２つの壁には、ケーシング６３の内部を覗くことが可能な覗き窓６０が設置されている。それら覗き窓６０は、ケーシング６３の壁から延出する円筒状の周壁６１と、周壁６１に固定された円形のガラス６２とから作られている（図５参照）。
【００３８】
ケーシング６３は、連結管路６７を介して真空チャンバー５１に連結されている。連結管路６７の中央部には、開閉可能なゲートバルブ６８が設置されている。ケーシング６３の壁の１つには、真空バルブ５４と真空ポンプ５６とが連結されている。真空バルブ５４と真空ポンプ５６とは、真空管路６９を介してつながっている。真空管路６９には、図示なしていないが、真空計が設置されている。ケーシング６３の壁の１つには、搬送管路６５が連結されている。
【００３９】
搬送棒６４は、図４に矢印Ｐで示すように、搬送管路６５の内部を一方向へ移動可能である。搬送棒６４の一方の端部には、真空処理対象物５７を着脱可能に支持する支持部材７１が取り付けられている。搬送棒６４の他方の端部には、誘導マグネット６６と引き合うマグネット７０が取り付けられている。搬送管路６５の後端部には、図示はしていないが、開閉可能なハッチが取り付けられている。搬送棒６４は、搬送管路６５を通り、ケーシング６３の内部から真空チャンバー５１の内部に達する。マグネット６６は、搬送管路６５の外周面を摺動しつつ、搬送管路６５の外周面を一方向へ移動可能かつ搬送管路６５の外周面を周り方向へ移動可能である。搬送ユニット５２は、搬送棒６４を利用して真空処理対象物５７をケーシング６３の内部から真空チャンバー５１の中央部に搬送し、真空処理対象物５７をチャンバー５１のステージ５８に搬送する。
【００４０】
照明器具１０Ａを真空装置５０のチャンバー５１やケーシング６３の覗き窓６０に設置する手順は、以下のとおりである。照明器具１０Ａの連結アダプタ１１の前端部１６に螺着された連結ビス２０を反時計回りに回転させ、ビス２０の軸の先端を連結ビス螺着孔１９にまで引っ込める。次に、連結アダプタ１１の前端部１６を覗き窓６０の周壁６１の外側に嵌め込み、アダプタ１１を覗き窓６０の周壁６１にセットする。なお、連結アダプタ１１の前端部１６の内周縁はその半径が覗き窓６０の周壁６１の外周縁のそれよりもわずかに大きく、アダプタ１１の前端部１６を覗き窓６０の周壁６１に嵌め込むと、アダプタ１１の前端部１６の内周面が覗き窓６０の周壁６１の外周面を取り囲む。連結アダプタ１１を覗き窓６０の周壁６１にセットした後、連結ビス２０を時計回りに回転させ、ビス２０の軸の先端で覗き窓６０の周壁６１の外周面を押圧させ、アダプタ１１を覗き窓６０の周壁６１に固定する。
【００４１】
連結ビス２０を介して連結アダプタ１１（照明装置１０Ａ）を覗き窓６０の周壁６１に固定した後、スイッチをＯＮにする。スイッチをＯＮにすると、ＡＣアダプタ２２から直流電力がそれらＬＥＤ１３に供給され、ＬＥＤ１３から光が放射される。ＬＥＤ１３から放射された光のうち、覗き窓６０のガラス６２に直接入射された光は、ガラス６２を透過して覗き窓から真空チャンバー５１の内部に進入する。ＬＥＤ１３から放射された光のうち、光拡散板２２に入射した光は、拡散板２２によって拡散しつつ、覗き窓６０のガラス６２に進入し、ガラス６２を透過して覗き窓から真空チャンバー５１の内部に進入する。なお、ガラス６２において反射した光は、光反射板２６によって反射して再びガラス６２に進入し、ガラス６２を透過して覗き窓６０から真空チャンバー５１の内部に進入する。
【００４２】
真空チャンバー５１の内部は、ＬＥＤ１３から放射された光によって照らされて明るくなる。同様の手順で照明器具１０Ａをケーシング６３の覗き窓６０に設置した場合、ケーシング６３の内部がＬＥＤ１３から放射された光によって照らされて明るくなる。なお、照明装置１０Ａをチャンバー５１の覗き窓６０やケーシング６３の覗き窓６０に設置しない場合は、外部の光が覗き窓６０から真空チャンバー５１の内部やケーシング６３の内部に入り難く、チャンバー５１やケーシング６３の内部が薄暗いため、チャンバー５１やケーシング６３の内部の様子をはっきりと目視することができない。
【００４３】
照明器具１０Ａを利用しつつ、搬送ユニット５２によって真空処理対象物５７を真空チャンバー５１の中央部へ搬送する手順の一例を説明すると、以下のとおりである。最初に、管路６９の真空バルブ５４が閉じ、ケーシング６３や搬送管路６５に窒素ガスが注入され、ケーシング６３や搬送管路６５の内部が大気圧にされる。このとき、ゲートバルブ６８は閉状態にあり、真空チャンバー５１に連結された真空ポンプ５５は稼動状態にある。真空チャンバー５１の内部や真空管路５９における真空度は、ポンプによって１×１０−７〜１×１０−１０ｐａの範囲に保持されている。
【００４４】
ケーシング６３や搬送管路６５の内部が大気圧に戻った後、搬送棒６４の支持部材７１に真空処理対象物５７を支持させ、搬送管路６５のハッチを開けて搬送棒６４を搬送管路６５の内部に設置する。このとき、支持部材７１はゲートバルブ６８に対向する。真空処理対象物５７を取り付けた搬送棒６４を搬送管路６５の内部に設置した後、ハッチを閉めて搬送管路６５を密閉する。搬送管路６５を密閉した後、真空管路６９の真空バルブ５４が開かれ、真空ポンプ５６を介して窒素ガスがケーシング６３や搬送管路６５から外部に排出される。ケーシング６３や搬送管路６５の内部が所定の真空度に達した後、ゲートバルブ６８が開かれる。ゲートバルブ６８が開かれると、ＬＥＤ１３から放射された光が真空チャンバー５１を通ってケーシング６３に達し、ケーシング６３の内部がＬＥＤ１３から放射された光によって照らされて明るくなる。
【００４５】
ケーシング６３に設置された覗き窓６０を覗き込むことによって、搬送棒６４の支持部材７１に支持された真空処理対象物５７の状態を確認することができる。なお、ケーシング６３の内部に複数個の真空処理対象物５７がストックされている場合、ケーシング６３に設置された覗き窓６０を覗き込むことによって、それら測定対象物５７から所望の対象物５７を確認することができ、所望の対象物５７を搬送棒６４の支持部材７１に支持させることができる。
【００４６】
次に、誘導マグネット６６を真空チャンバー５１に向かって搬送管路６５の外周面を一方向へ移動させる。搬送棒６４のマグネット７０の磁力と誘導マグネット６６の磁力とが作用し、マグネット６６，７０どうしが引き合うことで搬送棒６４がゲートバルブ６８に向かって一方向へ移動する。誘導マグネット６６を真空チャンバー５１に向かってさらに一方向へ移動させると、搬送棒６４の支持部材７１に支持された真空処理対象物５７がゲートバルブ６８を通過してチャンバー５１の中央部に向かって移動し、真空処理対象物５７がチャンバー５１のステージ５８に達する。真空処理対象物５７の真空チャンバー５１の内部における移動の様子や真空処理対象物５７がチャンバー５１のステージ５８に達した状態は、覗く窓６０を覗き込むことによって確認することができる。
【００４７】
真空処理対象物５７が真空チャンバー５１のステージ５８に達した後、誘導マグネット６６を搬送管路６５の周り方向へ移動させ、搬送棒６４を回転させる。搬送棒６４を回転させると、支持部材７１が回転し、真空処理対象物５７がチャンバー５１の下方に向く。この状態で支持部材７１の支持が解除され、真空処理対象物５７がチャンバー５１のステージ５８の上に載置される。真空処理対象物５７を真空チャンバー５１のステージ５８に載置した後、誘導マグネット６６をチャンバー５１から離間する方向へ移動させ、搬送棒６４をチャンバー５１から抜き取る。搬送棒６４をチャンバー５１から抜き取ると、ゲートバルブ６８が閉じられる。
【００４８】
真空装置用照明器具１０Ａは、それを覗き窓６０に設置することで、それらＬＥＤ１３からの光がＬＥＤ設置板１５の対向面から覗き窓６０に向かって放射されるから、ＬＥＤ１３から放射された光が覗き窓６０から真空チャンバー５１やケーシング６３の内部に進入し、その光によってチャンバー５１やケーシング６３の内部全体が照らされ、覗き窓６０からチャンバー５１やケーシング６３の内部を視認することができ、チャンバー５１の内部に設置される真空処理対象物５７を覗き窓６０から目視することができる。
【００４９】
真空装置用照明器具１０Ａは、複数個のＬＥＤ１３がＬＥＤ設置板１５の対向面の周り方向へ等間隔で並んでいるから、それらＬＥＤ１３からの光がＬＥＤ設置板１５の対向面から覗き窓６０全体に満遍なく放射される。また、ＬＥＤ１３から放射された光を拡散する光拡散板２２が連結アダプタ１１の周壁１４の前端部１６と中間部１７とにおける内周面に取り付けられているから、ＬＥＤ１３から放射された光が拡散板２２によって拡散され、ＬＥＤ１３からの光が覗き窓６０全体に満遍なく放射される。さらに、ＬＥＤ１３から放射された光を反射する光反射板２６がＬＥＤ設置板１５の対向面に取り付けられているから、ＬＥＤ１３から放射された光が覗き窓６０のガラス６２によって反射されたとしても、その光が反射板２６によって反射して再び覗き窓６０に入射する。したがって、照明器具１０Ａは、ＬＥＤ１３からの光が効率よく覗き窓からチャンバー５１やケーシング６３の内部に進入し、ＬＥＤ１３からの光によって覗き窓６０からチャンバー５１やケーシング６３の内部を十分に視認することができ、チャンバー５１やケーシング６３の内部に設置される真空処理対象物５７を覗き窓６０から確実に目視することができる。
【００５０】
図６は、他の一例として示す真空装置用照明装置１０Ｂの斜視図であり、図７は、図６の７−７線矢視断面図である。図８は、真空装置用照明器具１０Ｂの正面図であり、図９は、真空装置用照明器具１０Ｂを覗き窓６０に設置した状態で示す真空装置５０の概念図である。図１０は、図９の１０−１０線矢視断面図である。図６では、軸方向を矢印Ｌで示す。図８では、径方向を矢印Ｍで示し、周り方向を矢印Ｎで示す。
【００５１】
この照明装置１０Ｂが図１のそれと異なるところは、アダプタ１１に着脱可能に設置されるＣＣＤカメラ２７（撮像装置）とカラー液晶ディスプレイ２８（表示装置）とを有する点にあり、その他の構成は図１の照明器具１０Ａと同一であるから、図１と同一の符号を付すことで、この照明器具１０Ｂのその他の構成の詳細な説明は省略する。
【００５２】
真空装置用照明器具１０Ｂは、真空装置５０のチャンバー５１やケーシング６３の内部を視認するための覗き窓６０に取り付けられ、真空装置５０のチャンバー５１やケーシング６３の内部を照らすとともに、ＣＣＤカメラ２７を利用して真空装置５０のチャンバー５１やケーシング６３の内部を撮影する。照明器具１０Ｂは、連結アダプタ１１１と、アダプタ１１の中央部に形成された円形の開口１２と、複数個のＬＥＤ１３と、ＣＣＤカメラ２７およびディスプレイ２８とを有する。
【００５３】
連結アダプタ１１は、周壁１４とカメラ固定リング２９とＬＥＤ設置板１５とから形成されている。周壁１４は、ＡＢＳ樹脂から作られ、円筒状に成型されて軸方向へ延びている。周壁１４は、前後端部１６，１８と中間部１７とを有する。周壁１４では、その前端部１６に２つの連結ビス螺着孔１９が形成され、それら連結ビス螺着孔１９に連結ビス２０（連結手段）の軸が螺着されている。周壁１４の前端部１６と中間部１７とにおける内周面には、光拡散板２２が取り付けられている。
【００５４】
周壁１４の後端部１８における外面には、コネクタ嵌合端子２４が作られ、ＯＮ／ＯＦＦするスイッチ（図示せず）が取り付けられている。カメラ固定リング２９は、ＡＢＳ樹脂から作られ、円筒状に成型されている。カメラ固定リング２９には、それをアダプタ１１に固定するための軸方向へ貫通する固定螺子螺着孔３０と、ＣＣＤカメラ２８を固定するための径方向へ貫通する固定螺子螺着孔３１とが形成されている。それら固定螺子螺着孔３０，３１には、雌螺子（図示せず）が作られている。カメラ固定リング２９は、螺子螺着孔３０に螺着された固定螺子３２を介して周壁１４の後端部１８に固定されている。
【００５５】
ＬＥＤ設置板１５は、ＡＢＳ樹脂から作られ、円環状に成型されている。ＬＥＤ設置板１５は、開口１２を取り囲むように周壁１４の径方向内方へ延びており、周壁１４の中間部１７の内周面に取り付けられている。ＬＥＤ設置板１５の対向面には、光反射板２６が取り付けられている。開口１２は、連結アダプタ１１の中央部においてアダプタ１１を軸方向へ貫通している。
【００５６】
ＣＣＤカメラ２７は、そのレンズ（図示せず）がアダプタ１１の前端部１６に向かうように、アダプタ１１の後端部１８に設置され、螺子螺着孔３１に螺着された固定螺子３３を介してカメラ固定リング２９に固定されている。ディスプレイ２８は、ＣＣＤカメラ２７にインターフェイス３４を介して接続され、図８に示すように、搬送ユニット５２の搬送管路６５（搬送手段）の近傍に設置されている。ディスプレイ２８は、ＣＣＤカメラ２７が撮影した真空装置５０のチャンバー５１やケーシング６３の内部の映像を表示する。
【００５７】
連結アダプタ１１にＣＣＤカメラ２７を設置する手順は、以下のとおりである。カメラ固定リング２９の固定螺子螺着孔３１に螺着された固定螺子３３を反時計回りに回転させ、螺子３３の軸の先端を固定リング２９内に引っ込める。次に、ＣＣＤカメラ２７のレンズ側の先端部を固定リング２９内に挿入し、カメラ２７を連結アダプタ１１にセットする。なお、カメラ固定リング２９の内周縁やアダプタ１１の前端部１６の内周縁はその半径がＣＣＤカメラ２７の外周縁のそれよりもわずかに大きく、カメラ２７の前端部をリング２９とアダプタ１１とに嵌め込むと、リング２９の内周面とアダプタ１１の後端部１８の内周面とがカメラ２７の外周面を取り囲む。ＣＣＤカメラ２７を連結アダプタ１１にセットした後、固定螺子３３を時計回りに回転させ、螺子３３の軸の先端でカメラ２７の外周面を押圧させ、カメラ２７をアダプタ１１に固定する。
【００５８】
真空装置５０の構成は、図５のそれと同一である。また、照明器具１０Ｂを真空装置５０のチャンバー５１やケーシング６３の覗き窓６０に設置する手順は、図５のそれと同一であるから、図５の説明を援用することで、その説明は省略する。照明装置１０Ｂを覗き窓６０の周壁６１に固定した後、照明装置１０ＢのスイッチをＯＮにするとともに、ＣＣＤカメラ２７やディスプレイ２８のスイッチをＯＮにする。スイッチをＯＮにすると、ＡＣアダプタ２２から直流電力がそれらＬＥＤ１３に供給され、ＬＥＤ１３から光が放射される。
【００５９】
ＬＥＤ１３から放射された光のうち、覗き窓６０のガラス６２に直接入射された光は、ガラス６２を透過して覗き窓６０から真空チャンバー５１に進入する。ＬＥＤ１３から放射された光のうち、光拡散板２２に入射した光は、拡散板２２によって拡散しつつ、覗き窓６０のガラス６２に進入し、ガラス６２を透過して覗き窓６０から真空チャンバー５１に進入する。なお、ガラス６２において反射した光は、光反射板２６によって反射して再びガラス６２に進入し、ガラス６２を透過して覗き窓６０から真空チャンバー５１に進入する。
【００６０】
真空チャンバー５１の内部は、ＬＥＤ１３から放射された光によって照らされて明るくなる。真空チャンバー５１の内部の様子は、ＣＣＤカメラ２７によって撮影され、ディスプレイ２８に表示される。照明器具１０Ｂをケーシング６３の覗き窓６０に設置した場合、ケーシング６３の内部がＬＥＤ１３から放射された光によって照らされて明るくなる。ケーシング６３の内部の様子は、ＣＣＤカメラ２７によって撮影され、ディスプレイ２８に表示される。なお、照明装置１０Ｂをチャンバー５１の覗き窓６０やケーシング６３の覗き窓６０に設置しない場合は、外部の光が覗き窓６０から真空チャンバー５１の内部やケーシング６３の内部に入り難く、チャンバー５１やケーシング６３の内部が薄暗いため、チャンバー５１やケーシング６３の内部の様子をはっきりと撮影することができない。
【００６１】
この真空装置５０では、ＬＥＤ１３やＣＣＤカメラ２７、ディスプレイ２８を利用しつつ、搬送ユニット５２によって真空処理対象物５７を真空チャンバー５１のステージ５８に搬送する。ＣＣＤカメラ２７が撮影した映像をディスプレイ２８を介して確認しつつ、搬送作業を行う。真空処理対象物５７を真空チャンバー５１のステージ５８に搬送する手順は、図５のそれと同一であるから、図５の説明を援用することで、その説明は省略する。
【００６２】
この真空装置用照明器具１０Ｂは、図１のそれが有する効果に加え、以下の効果を有する。照明装置１０Ｂは、覗き窓６０を覗き込んで真空装置５０の真空チャンバー５１やケーシング６３の内部の視認する必要はなく、ＣＣＤカメラ２７を利用しつつ、それが撮影した映像を表示するディスプレイ２８から真空装置５０の真空チャンバー５１やケーシング６３の内部を視認することができるから、覗き窓６０から離れた箇所において真空装置５０の操作を行わなければならない場合であっても、ＣＣＤカメラ２７と表示装置２８とを利用して真空チャンバー５１やケーシング６３の内部の様子を知ることができ、ＣＣＤカメラ２７と表示装置２８とを利用して真空チャンバー５１の内部に設置される真空処理対象物５７を目視することができる。
【００６３】
真空装置用照明器具１０Ｂは、ＣＣＤカメラ２７がカメラ固定リング２９を介して連結アダプタ１１の周壁１４の後端部１８に着脱可能であるから、ＣＣＤカメラ２７を利用せずに直接覗き窓６０から真空装置５０の真空チャンバー５１やケーシング６３の内部を視認する場合、ＣＣＤカメラ２７をアダプタ１１から取り外せばよく、ＣＣＤカメラ２７のみならず、覗き窓６０を利用して真空チャンバー５１やケーシング６３の内部を視認することができる。真空装置用照明器具１０Ｂは、搬送ユニット５２から真空チャンバー５１に真空処理対象物５７を搬送する場合に、真空チャンバー５１や搬送ユニット５２の内部がＬＥＤ１３から放射された光によって照らされるから、覗き窓６０やディスプレイ２８を利用して真空処理対象物５７を搬送ユニット５２から真空チャンバー５１のステージ５８に確実に搬送することができる。
【００６４】
それら図示の照明器具１０Ａ，１０Ｂでは、周壁１４の前端部１６と中間部１７とにおける内周面に光拡散板２２が取り付けられ、ＬＥＤ設置板１５の対向面に光反射板２６が取り付けられているが、それら面に光拡散板２２や光反射板２６が取り付けられていなくてもよい。また、周壁１４の前端部１６と中間部１７とにおける内周面に光反射板２６が取り付けられ、ＬＥＤ設置板１５の対向面に光拡散板２２が取り付けられていてもよい。照明器具１０Ａ，１０Ｂでは、周壁１４の前端部１６と中間部１７とにおける内周面に光拡散板２２が取り付けられ、ＬＥＤ設置板１５の対向面に光拡散板２２が取り付けられていてもよい。また、周壁１４の前端部１６と中間部１７とにおける内周面に光反射板２６が取り付けられ、ＬＥＤ設置板１５の対向面に光反射板２６が取り付けられていてもよい。
【符号の説明】
【００６５】
１０Ａ  真空装置用照明器具
１０Ｂ  真空装置用照明器具
１１    連結アダプタ
１２    開口
１３    ＬＥＤ（発光ダイオード）
１４    周壁
１５    ＬＥＤ設置板
１６    前端部
１７    中間部
１８    後端部
２２    光拡散板
２６    光反射板
２７    ＣＣＤカメラ（撮像装置）
２８    ディスプレイ（表示装置）
５０    真空装置
５１    真空チャンバー
５２    搬送ユニット
６０    覗き窓
【図１】
0005555104.tif 000002
【図２】
0005555104.tif 000003
【図３】
0005555104.tif 000004
【図４】
0005555104.tif 000005
【図５】
0005555104.tif 000006
【図６】
0005555104.tif 000007
【図７】
0005555104.tif 000008
【図８】
0005555104.tif 000009
【図９】
0005555104.tif 000010
【図１０】
0005555104.tif 000011