(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板をそれぞれ保持することが可能な第１基板保持器及び第２基板保持器と、
前記第１基板保持器に一端が連結されている２つの第１従動アームと、
前記第２基板保持器に一端が連結されている２つの第２従動アームと、
２つの前記第１従動アームおよび２つの前記第２従動アームのうち、それぞれの一方が連結されている第１駆動アームと、
２つの前記第１従動アームおよび２つの前記第２従動アームのうち、それぞれの他方が連結されている第２駆動アームと、
前記第１駆動アームが回転駆動可能に連結されている第１駆動軸と、
前記第１駆動軸と同軸に設けられ、且つ前記第１駆動軸に対して独立に前記第２駆動アームが回転駆動可能に連結されている第２駆動軸と、を備え、
前記第１駆動アームは、当該第１駆動アームの一端において２つの前記第１従動アームのうち一方の前記第１従動アームの他端が連結される第１連結部と、当該第１駆動アームの他端において２つの前記第２従動アームのうち一方の前記第２従動アームの他端が連結される第２連結部と、を有し、
前記第２駆動アームは、当該第２駆動アームの一端において２つの前記第１従動アームのうち他方の前記第１従動アームの他端が連結される第３連結部と、当該第２駆動アームの他端において２つの前記第２従動アームのうち他方の前記第２従動アームの他端が連結される第４連結部と、を有し、
前記第１駆動アームと前記第２駆動アームとを逆方向に回転させると、前記第１基板保持器及び前記第２基板保持器のうち一方が前記第１駆動軸の回転軸から離間する方向に前進するとともに、他方が前記第１駆動軸の回転軸に近づく方向に後退し、
第１連結部と前記第２連結部とを結ぶ直線により構成される第１方向軸は、前記第１駆動軸の回転軸から第１の距離だけ離間し、前記第３連結部と前記第４連結部とを結ぶ直線により構成される第２方向軸は、前記第２駆動軸の回転軸から第２の距離だけ離間していることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記第１の距離と前記第２の距離とは等しいことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記第１基板保持器は、前記第１駆動軸の回転軸と直交する第１平面内に配置され、
前記第２基板保持器は、前記第１駆動軸の回転軸と直交する第２平面内に配置され、
前記第１平面に対して前記第２平面は平行であり、且つ、前記第１平面の重力方向の位置と前記第２平面とは異なることを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記第１基板保持器と前記第２基板保持器とは、前記第１駆動軸の回転軸方向で重ならないように配置されることを特徴とする請求項３に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記第１駆動軸を回転させる第１駆動手段と、
前記第２駆動軸を回転させる第２駆動手段と、
前記第１駆動手段の回転角度および回転速度を検出する第１検出手段と、
前記第２駆動手段の回転角度および回転速度を検出する第２検出手段と、
前記第１検出手段の検出結果と前記第２検出手段の検出結果とに基づき前記第１駆動手段および前記第２駆動手段を制御する制御手段と、
を更に備えることを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記第１基板保持器は、前記第１駆動アームおよび前記第２駆動アームの回転により動作する２つの前記第１従動アームの移動により、前記第１駆動軸の回転軸から離間する方向に前進し、または、前記第１駆動軸の回転軸に向けて戻る方向に後退する進退動作が可能であり、
前記第２基板保持器は、前記第１駆動アームおよび前記第２駆動アームの回転により動作する２つの前記第２従動アームの移動により、前記第１駆動軸の回転軸から離間する方向に前進し、または、前記第１駆動軸の回転軸に向けて戻る方向に後退する進退動作が可能であり、
前記第１基板保持器の前記進退動作の軌道と、前記第２基板保持器の前記進退動作の軌道とは、異なることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
【請求項７】
電子デバイスの製造システムであって、
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の基板搬送装置と、
前記基板搬送装置により搬送された基板に対してデバイス製造プロセスを実行する少なくとも一つのプロセス処理装置と、
を備えることを特徴とする電子デバイスの製造システム。
【請求項８】
電子デバイスの製造方法であって、
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の基板搬送装置を用いて基板を搬送する搬送工程と、
少なくとも一つのプロセス処理装置において、前記搬送工程で搬送された基板に対して、デバイス製造プロセスを実行するプロセス実行工程と、
を有することを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板搬送装置、電子デバイスの製造システムおよび電子デバイスの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図７Ａ、Ｂの参照により、従来の基板搬送装置の構成例を説明する。従来の基板搬送装置は、駆動源の回転運動を直動運動へ変換可能に構成されたアームユニットを有する。このアームユニットは、上下方向（ｚ軸方向）に２つの基板保持器を有し、２つの基板保持器をそれぞれ第１基板保持器７０１と第２基板保持器７０２とする。【０００３】
例えば、第２基板保持器７０２に未処理の基板が載っている状態で、特定のプロセスチャンバでプロセス処理が完了した時、処理済みの基板を回収するために、プロセスチャンバへ向かうように基板搬送装置は回転する。そして、基板が載置されていない第１基板保持器７０１をプロセスチャンバへ向けて移動させて（図７Ａ）、プロセスチャンバ内の処理済の基板を受け取り、第１基板保持器７０１を収縮位置まで戻す（図７Ｂ）。【０００４】
処理済の基板の搬送が確実に行われないまま、次のプロセス処理を続けた時に発生する不具合を未然に防止するため、従来の基板搬送装置は、センサを用いて基板入れ替え動作の前後で基板の有無を検出している。この検出結果によりプロセスチャンバへ基板搬送が確実に行われたか否かが判定される。処理済みの基板を回収する際も、まず基板回収用の基板保持器上に基板が無いことをセンサにより確認し、基板が無いことが確認された後に、基板搬送装置はプロセスチャンバへ向けて基板保持器を移動させている（特許文献１、２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特表平１１−５１４３０３号公報
【特許文献２】特開平１１−２０７６６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の基板搬送装置をｚ軸方向の上面側から見た場合、第１基板保持器７０１と第２基板保持器７０２とが重なった構造になっている。第１基板保持器７０１に基板が保持されている場合に、第１基板保持器７０１に対して下側に配置されている第２基板保持器７０２上の基板をｚ軸方向の鉛直上方側から見ることは不可能である。また、第２基板保持器７０２に基板が保持されている場合に、第２基板保持器７０２に対して上側に配置されている第１基板保持器７０１上の基板をｚ軸方向の鉛直下方側から見ることは不可能である。【０００７】
ｚ軸方向に重なった構造を有する基板保持器上の基板の有無の検知を可能にするための対応として、斜め方向から基板保持器を撮像し高解像度で高額なＣＣＤセンサと画像処理装置とを用いて基板の検出を行うことが挙げられる。この対応は、基板搬送装置のコストが高くなると共に、画像処理を行い、その画像処理の結果により基板の有無の判定を行うことが必要となるため、基板搬送装置のタクトタイムは遅くなる。【０００８】
基板の有無の検知を可能にするための他の対応として、鉛直上方側（または鉛直下方側）から検知可能な位置まで、いずれか一方の基板保持器を意図的に前後移動させる動作ステップを組み込むことが挙げられる。この対応でも、基板保持器を前後移動させる動作ステップが増えることから、基板搬送装置のタクトタイムは遅くなる。【０００９】
ロボットアームをセンサで監視することが可能な構成では（特許文献２）、専用の形状を有する部材（ボス部材）が必要とされる。ロボットアームの搬送動作時に、ボス部材に干渉しないようにするため、アーム形状を湾曲させることも必要となり、基板搬送装置のコストアップにつながるという課題も生じる。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は上記の課題を鑑みてなされたものであり、複数の基板保持器のそれぞれに基板が保持されているか否かを効率的に検出することが可能な基板搬送技術を提供することを目的とする。【００１１】
本発明の一つの側面にかかる基板搬送装置は、基板をそれぞれ保持することが可能な第１基板保持器及び第２基板保持器と、
前記第１基板保持器に一端が連結されている２つの第１従動アームと、
前記第２基板保持器に一端が連結されている２つの第２従動アームと、
２つの前記第１従動アームおよび２つの前記第２従動アームのうち、それぞれの一方が連結されている第１駆動アームと、
２つの前記第１従動アームおよび２つの前記第２従動アームのうち、それぞれの他方が連結されている第２駆動アームと、
前記第１駆動アームが回転駆動可能に連結されている第１駆動軸と、
前記第１駆動軸と同軸に設けられ、且つ前記第１駆動軸に対して独立に前記第２駆動アームが回転駆動可能に連結されている第２駆動軸と、を備え、
前記第１駆動アームは、当該第１駆動アームの一端において２つの前記第１従動アームのうち一方の前記第１従動アームの他端が連結される第１連結部と、当該第１駆動アームの他端において２つの前記第２従動アームのうち一方の前記第２従動アームの他端が連結される第２連結部と、を有し、
前記第２駆動アームは、当該第２駆動アームの一端において２つの前記第１従動アームのうち他方の前記第１従動アームの他端が連結される第３連結部と、当該第２駆動アームの他端において２つの前記第２従動アームのうち他方の前記第２従動アームの他端が連結される第４連結部と、を有し、
前記第１駆動アームと前記第２駆動アームとを逆方向に回転させると、前記第１基板保持器及び前記第２基板保持器のうち一方が前記第１駆動軸の回転軸から離間する方向に前進するとともに、他方が前記第１駆動軸の回転軸に近づく方向に後退し、
第１連結部と前記第２連結部とを結ぶ直線により構成される第１方向軸は、前記第１駆動軸の回転軸から第１の距離だけ離間し、前記第３連結部と前記第４連結部とを結ぶ直線により構成される第２方向軸は、前記第２駆動軸の回転軸から第２の距離だけ離間していることを特徴とする。【００１２】
あるいは、本発明の他の側面にかかる電子デバイスの製造システムは、上記の基板搬送装置と、
前記基板搬送装置により搬送された基板に対してデバイス製造プロセスを実行する少なくとも一つのプロセス処理装置と、を備えることを特徴とする。【００１３】
あるいは、本発明の他の側面にかかる電子デバイスの製造方法は、上記の基板搬送装置を用いて基板を搬送する搬送工程と、
少なくとも一つのプロセス処理装置において、前記搬送工程で搬送された基板に対して、デバイス製造プロセスを実行するプロセス実行工程と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、複数の基板保持器のそれぞれに基板が保持されているか否かを効率的に検出することが可能になる。本発明によれば、鉛直上方または鉛直下方から複数の基板保持器のそれぞれに基板が保持されているか否かを、センサ検出専用の部材を用いることなく、検出することができる。そのため、高額となるセンシング技術が不用となり、装置全体のコストダウンを図ることが可能になる。また、基板の検出のために基板保持器を前後移動させる必要がなくなるため、装置のタクトタイムの短縮化が可能になる。【００１５】
本発明のその他の特徴及び利点は、添付図面を参照とした以下の説明により明らかになるであろう。なお、添付図面においては、同じ若しくは同様の構成には、同じ参照番号を付す。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
添付図面は明細書に含まれ、その一部を構成し、本発明の実施の形態を示し、その記述と共に本発明の原理を説明するために用いられる。
【図１Ａ】第１実施形態にかかる第１及び第２基板搬送機構を説明する図。
【図１Ｂ】第１実施形態にかかる第１及び第２基板搬送機構を説明する図。
【図２Ａ】第１実施形態にかかる第１及び第２基板搬送機構の動作説明図。
【図２Ｂ】第１実施形態にかかる第１及び第２基板搬送機構の動作説明図。
【図２Ｃ】第１実施形態にかかる第１及び第２基板搬送機構の動作説明図。
【図３Ａ】第２実施形態にかかる第１及び第２基板搬送機構を説明する図。
【図３Ｂ】第２実施形態にかかる第１及び第２基板搬送機構を説明する図。
【図４Ａ】第２実施形態にかかる第１及び第２基板搬送機構の動作説明図。
【図４Ｂ】第２実施形態にかかる第１及び第２基板搬送機構の動作説明図。
【図４Ｃ】第２実施形態にかかる第１及び第２基板搬送機構の動作説明図。
【図５】本発明の実施形態にかかる基板搬送装置の機能構成を説明する図。
【図６Ａ】本発明の実施形態にかかる基板搬送装置の特徴を模式的に示す図。
【図６Ｂ】本発明の実施形態にかかる電子デバイスの製造システムの構成を説明する図。
【図７Ａ】従来の基板搬送装置の構成例を説明する図。
【図７Ｂ】従来の基板搬送装置の構成例を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して、本発明の好適な実施形態を例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成要素はあくまで例示であり、本発明の技術的範囲は、特許請求の範囲によって確定されるのであって、以下の個別の実施形態によって限定されるわけではない。
【００１８】
図６Ａは、本発明の実施形態にかかる基板搬送装置の特徴を模式的に示す図である。基板搬送装置は、基板をそれぞれ保持することが可能な基板保持器１０１と基板保持器１０２とを有する。第１駆動アーム６０１は駆動軸中心まわりに回転可能な第１駆動軸に連結されている。第２駆動アーム６０２は、第１駆動軸と同軸に設けられ、且つ、第１駆動軸に対して独立に回転駆動可能な第２駆動軸に連結されている（以下の各実施形態では、第１駆動アーム６０１を第１アームＡと表記し、第２駆動アーム６０２を第１アームＢと表記する）。
【００１９】
第１駆動アーム６０１は、アームを構成するリンク部材の一端に第１端部１１０（第１連結部）と、他端に第２端部１１１（第２連結部）と、を有する。第２駆動アーム６０２は、アームを構成するリンク部材の一端に第１端部１２０（第４連結部）と、他端に第２端部１２１（第３連結部）と、を有する。第１駆動アーム６０１の第１端部１１０（第１連結部）と、第２駆動アーム６０２の第１端部１２０（第４連結部）とは、基板保持器１０１、１０２が移動する平面内（ｘｙ平面内）のｙ軸方向において、所定距離（ＯＦＦ１）だけ離間した位置にある。この所定距離を第１オフセット距離という。また、第１駆動アーム６０１の第２端部１１１（第２連結部）と、第２駆動アーム６０２の第２端部１２１（第３連結部）とは、基板保持器１０１、１０２が移動する平面内（ｘｙ平面内）のｙ軸方向において所定距離（ＯＦＦ２）だけ離間した位置にある。この所定距離を第２オフセット距離という。
【００２０】
本発明の実施形態にかかる基板搬送装置において、第１駆動アーム６０１の形状と第２駆動アーム６０２の形状とは、必ずしも同一形状を有する必要はない。第１駆動アーム６０１の形状と、第２駆動アーム６０２の形状とが、例えば、ｘ軸（第１方向軸）およびｙ軸（第２方向軸）に対して線対称となる場合、第１オフセット距離（ＯＦＦ１）＝第２オフセット距離（ＯＦＦ２）の関係を満たす。また、駆動軸中心に関して第１駆動アーム６０１の第１端部１１０（第１連結部）と第２駆動アーム６０２の第２端部１２１（第３連結部）とは点対称となる。また、第２駆動アーム６０２の第１端部１２０（第４連結部）と第１駆動アーム６０１の第２端部１１１とは点対称となる。
【００２１】
基板保持器１０１（第１基板保持器）には、２つの第１従動アームとして、従動アーム６１０、６１１が連結されている。基板保持器１０２（第２基板保持器）には、２つの第２従動アームとして、従動アーム６２０、６２１が連結されている。以下の各実施形態では、２つの第１従動アームのうちの一方の従動アーム６１０を第２アームＡ１と表記し、２つの第１従動アームのうちの他方の従動アーム６１１を第２アームＢ１と表記する。また、２つの第２従動アームのうちの一方の従動アーム６２０を第２アームＢ２と表記し、２つの第２従動アームのうちの他方の従動アーム６２１を第２アームＡ１と表記する。
【００２２】
基板保持器１０１に連結されている一の従動アーム６１０は、第１駆動アーム６０１の第１端部１１０（第１連結部）で第１駆動アーム６０１と連結されている。基板保持器１０１に連結されている他方の従動アーム６１１は、第２駆動アーム６０２の第２端部１２１（第３連結部）で第２駆動アーム６０２に連結されている。
【００２３】
基板保持器１０２に連結されている一の従動アーム６２０は、第２駆動アーム６０２の第１端部１２０（第４連結部）で第２駆動アーム６０２と連結されている。基板保持器１０２に連結されている他方の従動アーム６２１は、第１駆動アーム６０１の第２端部１１１（第２連結部）で第１駆動アーム６０１に連結されている。第１駆動アーム６０１の第１端部１１０（第１連結部）と、第２駆動アーム６０２の第１端部１２０（第４連結部）とが第１オフセット距離（ＯＦＦ１）だけ離間している。また、第１駆動アーム６０１の第２端部１１１（第２連結部）と、第２駆動アーム６０２の第２端部１２１（第３連結部）とが第２オフセット距離（ＯＦＦ２）だけ離間している。
【００２４】
ここで、第１駆動アーム６０１の第１端部１１０（第１連結部）と第２駆動アーム６０２の第２端部１２１（第３連結部）とを結ぶ直線６７１とｘ軸とのなす角度をθ１とする。また、第２駆動アーム６０２の第１端部１２０（第４連結部）と第１駆動アーム６０１の第２端部１１１（第２連結部）とを結ぶ直線６７２とｘ軸とのなす角度をθ２とする。基板保持器１０１、１０２は、第１駆動アーム６０１および第２駆動アーム６０２の回転により動作する従動アーム（６１０、６１１、６２０、６２１）の移動により、第１駆動軸の回転軸から離間する方向に前進することが可能である。また、基板保持器１０１、１０２は、第１駆動アーム６０１および第２駆動アーム６０２の逆方向の回転による従動アーム（６１０、６１１、６２０、６２１）の移動により、第１駆動軸の回転軸に向けて戻る方向に後退することが可能である。前進動作、後退動作を以下、進退動作という。第１駆動アーム６０１の第１端部１１０（第１連結部）と第２駆動アーム６０２の第１端部１２０（第４連結部）とが離間して配置され、かつ、第１駆動アーム６０１の第２端部１１１（第２連結部）と第２駆動アーム６０２の第２端部１２１（第３連結部）とが離間して配置されることにより、基板保持器１０１の進退動作の軌道１５０は、基板保持器１０２の進退動作の軌道１５１に対して異なった軌道になる。第１駆動軸の回転軸を基準（中心）とした軌道１５０に対して、軌道１５１は角度づれ（θ１＋θ２）が生じた状態になる。基板保持器１０１は、第１駆動軸の回転軸と直交する第１平面内に配置され、基板保持器１０２は、第１駆動軸の回転軸と直交する第２平面内に配置される。第１平面に対して第２平面は平行であり、且つ、第１平面の重力方向の位置と第２平面とは異なる。
【００２５】
（第１実施形態）
（基板搬送装置の機能構成）
図５の参照により、本発明の実施形態にかかる基板搬送装置の機能構成を説明する。基板搬送装置は、基板Ｗの載置が可能な二つの基板保持器（基板保持器１０１、基板保持器１０２）を有する。基板保持器１０１は、複数のリンク（以下、「アーム」）の連結により構成される第１基板搬送機構５０４と接続し、第１基板搬送機構５０４の動作により所定の軌道上を移動することが可能である。真空室外に配備された第１モータ５０１の回転駆動力は、第１駆動力伝達機構５０２および第１駆動軸５０３を介して、第１基板搬送機構５０４に伝達される。
【００２６】
基板保持器１０２についても同様に、複数のアームの連結により構成される第２基板搬送機構５１４と接続し、第２基板搬送機構５１４の動作により所定の軌道上を移動することが可能である。真空室外に配備された第２モータ５１１の回転駆動力は、第２駆動力伝達機構５１２および第２駆動軸５１３を介して、第２基板搬送機構５１４に伝達される。
【００２７】
第１駆動軸５０３は円柱形状を有し、第２駆動軸５１３は、中空の円筒形状を有する。第２駆動軸５１３の内部に第１駆動軸５０３が配置されることにより、第１駆動軸５０３と第２駆動軸５１３とは同軸となる。
【００２８】
検出機構５２０は、基板保持器１０１および基板保持器１０２に対して鉛直上方または鉛直下方に配置され、基板保持器１０１および基板保持器１０２を検出する。検出機構５２０は、基板保持器１０１、基板保持器１０２の双方、または少なくともいずれか一方に基板が保持されているか否かを検出することが可能である。検出機構５２０の検出結果は、コントローラ５３０に送信される。コントローラ５３０は、第１モータ５０１のエンコーダから得られる検出情報、第２モータ５１１のエンコーダから得られる検出情報、および検出機構５２０の検出結果に基づいて、基板搬送装置の全体的な動作を司る。第１モータ５０１のエンコーダから得られる検出情報には、第１モータ５０１の回転角度および回転速度の情報が含まれる。また、第２モータ５１１のエンコーダから得られる検出情報には、第２モータ５１１の回転角度および回転速度の情報が含まれる。コントローラ５３０は、第１モータ５０１の回転角度および回転速度の情報により、第１駆動軸５０３の回転角度および回転速度を算出することが可能である。また、コントローラ５３０は、第２モータ５１１の回転角度および回転速度の情報により、第２駆動軸５１３の回転角度および回転速度を算出することが可能である。これらの情報は、基板搬送装置の制御にフィードバックされる。
【００２９】
コントローラ５３０は、第１駆動軸５０３と第２駆動軸５１３とが同一回転方向に同期動作するように第１モータ５０１及び第２モータ５１１を同期制御することで、ロボットアームの全体機構５９０を回転させることができる。コントローラ５３０は、基板の供給または回収の対象となるプロセス処理装置の基板保持位置に対して、ロボットアームの全体機構５９０を回転させて所定の位置に位置決めする。ロボットアームの全体機構５９０には、例えば、基板保持器１０１、１０２と、第１および第２基板搬送機構５０４、５１４とが含まれる。真空室外に配備された第３モータ５４１の回転駆動力は、第３駆動力伝達機構５４２に伝達され、ロボットアームの全体機構５９０をｚ軸方向に上昇または降下させる。コントローラ５３０は、第３モータ５４１を制御して、基板の供給または回収の対象となるプロセス処理装置の基板保持位置に対する、基板保持器１０１および基板保持器１０２のｚ軸方向における位置決めを制御する。
【００３０】
ロボットアームの全体機構５９０の回転動作を公転動作という。公転動作と、第１および第２基板搬送機構（５０４、５１４）の伸張動作及び収縮動作とにより、基板搬送装置はプロセス処理装置に対して基板を供給し、または、プロセス処理装置から処理済みの基板を回収できる（図６Ｂ）。
【００３１】
（基板搬送機構）
次に、図１Ａ、Ｂの参照により、第１実施形態にかかる第１基板搬送機構５０４、第２基板搬送機構５１４の構成を説明する。図１Ａは、ｘｙ平面において、ロボットアームの全体機構５９０の公転時における第１基板搬送機構５０４、第２基板搬送機構５１４の構成を示している。第１駆動軸５０３および第２駆動軸５１３の軸方向は、紙面に対して垂直なｚ軸方向に対応し、駆動軸中心（回転中心）まわりに第１駆動軸５０３および第２駆動軸５１３が回転する。
【００３２】
本実施形態の第１基板搬送機構５０４は、第１アームＡ、第２アームＡ１、および第２アームＢ２により構成される。また、第２基板搬送機構５１４は、第１アームＢ、第２アームＢ２、および第２アームＡ２により構成される。第１アームＡは部材Ｄ１を介して第１駆動軸５０３に回転駆動可能に連結されている。第１駆動軸５０３の回転は、部材Ｄ１により第１アームＡに伝達される。第１駆動軸５０３の回転駆動により、第１アームＡはｘｙ平面内を旋回可能である。第１アームＢは部材Ｄ２を介して第２駆動軸５１３に回転駆動可能に連結されている。第２駆動軸５１３の回転は、部材Ｄ２により第１アームＢに伝達される。第２駆動軸５１３の回転駆動により、第１アームＢもｘｙ平面内を旋回可能である。
【００３３】
第１アームＡの第１端部１１０（第１連結部）と第１アームＢの第１端部１２０（第４連結部）とは、基板保持器１０１、１０２が移動する平面内（ｘｙ平面内）のｙ軸方向に所定距離（ＯＦＦ１）だけ離間した位置にある。また、第１アームＡの第２端部１１１（第２連結部）と第１アームＢの第２端部１２１（第３連結部）とは、基板保持器１０１、１０２が移動する平面内（ｘｙ平面内）のｙ軸方向に所定距離（ＯＦＦ２）だけ離間した位置にある。
【００３４】
第１アームＡの形状と、第１アームＢの形状とが、例えば、ｘ軸（第１方向軸）およびｙ軸（第２方向軸）に対して線対称となる場合、第１オフセット距離（ＯＦＦ１）＝第２オフセット距離（ＯＦＦ２）の関係を満たす。また、駆動軸中心に関して第１アームＡの第１端部１１０（第１連結部）と第１アームＢの第２端部１２１（第３連結部）とは点対称となる。また、第１アームＢの第１端部１２０（第４連結部）と第１アームＡの第２端部１１１（第２連結部）とは点対称となる。
【００３５】
第１アームＡの第１端部１１０（第１連結部）と第２端部１１１（第２連結部）とを結ぶ直線により構成される第１方向軸は、第１アームＡが回転駆動可能に連結されている第１駆動軸の回転軸（駆動軸中心）から第１の距離（ｒ１）だけ離間している。また、第１アームＢの第２端部１２１（第３連結部）と第１端部１２０（第４連結部）とを結ぶ直線により構成される第２方向軸は、第２駆動軸の回転軸（駆動軸中心）から第２の距離（ｒ２）だけ離間している。ここで、第２駆動軸は、第１駆動軸と同軸に設けられ、且つ、第１駆動軸に対して独立に第１アームＢが回転駆動可能に連結されている軸である。
【００３６】
図１Ａに示す状態は、第１アームＡ、Ｂが同一の形状の部材により構成されている場合を例示しており、この場合、第１オフセット距離（ＯＦＦ１）と第２オフセット距離（ＯＦＦ２）とは同一になる。また、駆動軸中心を基準とした距離の関係は、第１の距離（ｒ１）＝第２の距離（ｒ２）となる。尚、第１アームＡ、Ｂの部材形状は、同一である場合に限らず、異なる部材形状の場合であっても本発明は適用可能である。また、駆動軸中心を基準とした距離の関係は第１の距離（ｒ１）＞第２の距離（ｒ２）、または、第１の距離（ｒ１）＜第２の距離（ｒ２）なる関係を満たす距離であってもよい。
【００３７】
基板保持器１０１は、第２アームＡ１の一端と、第２アームＢ１の一端とに連結されている。また、基板保持器１０２は、第２アームＢ２の一端と、第２アームＡ２の一端とに連結されている。第２アームＡ１の他端は、リンク部材である第１アームＡの一端（第１端部）１１０に回転可能に連結されており、第２アームＡ２の他端は、第１アームＡの他端（第２端部）１１１に回転可能に連結されている。第２アームＢ２の他端は、リンク部材である第１アームＢの一端（第１端部）１２０に回転可能に連結されており、第２アームＢ１の他端は、第１アームＢの他端（第２端部）１２１に回転可能に連結されている。
【００３８】
図１Ａ、Ｂにおいて、第１アームＡ、第２アームＡ１、および第２アームＢ２が収縮状態にあるとき、基板保持器１０１は後退した位置にある。第１アームＢ、第２アームＢ２、および第２アームＡ２が収縮状態にあるとき、基板保持器１０２は後退した位置にある。後退した位置にある基板保持器１０１と基板保持器１０２とは、ｘｙ平面に垂直な第１駆動軸の回転軸方向で重ならずに、角度づれ（θ＝θ１＋θ２）が生じた状態で配置される。すなわち、基板保持器１０１がｘｙ平面内（第１平面内）を移動する際の軌道１５０と、基板保持器１０２がｘｙ平面内（第２平面内）を移動する際の軌道１５１と、は角度（θ＝θ１＋θ２）だけずれる。検出機構５２０がｚ軸方向（鉛直上方または下方）から基板保持器１０１、１０２を撮像した場合に、基板保持器１０１と基板保持器１０２とは重ならず、検出機構５２０は基板保持器１０１、１０２をそれぞれ検出可能である。基板保持器１０１、１０２のうち少なくともいずれか一方の基板保持器に基板Ｗが保持されているか否かを、コントローラ５３０は検出機構５２０の検出結果に基づき判定可能である。
【００３９】
図１Ｂは、第２基板搬送機構５１４を構成する第１アームＢ、第２アームＢ２、および第２アームＡ２の伸張状態を示す。この伸張状態において、基板保持器１０２から所定のプロセス処理装置に基板Ｗを供給することができる。あるいは、所定のプロセス処理装置で処理された基板Ｗをプロセス処理装置から基板保持器１０２に回収することができる。
【００４０】
図２Ａは、収縮状態にあるロボットアームの全体機構５９０の鳥瞰図である。第１基板搬送機構５０４を構成する第１アームＡと第２アームＡ１とは、連結部材２００を介して回転可能に連結される。連結部材２００を介することにより、第１アームＡと第２アームＡ１との間にｚ方向のスペースを作ることができ、第１アームＡと第２アームＡ１との間に第２アームＢ２を配置することができる。これにより、第１基板搬送機構５０４（第１アームＡ、第２アームＡ１、および第２アームＢ２）および第２基板搬送機構５１４（第１アームＢ、第２アームＢ２、および第２アームＡ２）を３次元空間内にコンパクトに構成することができる。
【００４１】
図２Ｂは、第２基板搬送機構５１４を構成する第１アームＢ、第２アームＢ２、および第２アームＡ２の伸張状態を示す鳥瞰図である。図２Ｂに示すような伸張状態にする場合、コントローラ５３０は、第１駆動軸５０３が反時計周り（カウンタークロックワイズ（ＣＣＷ））方向に回転するように第１モータ５０１を制御する。その動作と同期動作により、コントローラ５３０は、第２駆動軸５１３が時計回り（クロックワイズ（ＣＷ））方向に回転するように第２モータ５１１を制御する。この同期動作により、第１アームＡはＣＣＷ方向に回転し、第１アームＢはＣＷ方向に回転する。
【００４２】
第１アームＡに連結された第２アームＡ２と、第１アームＢに連結された第２アームＢ２と、基板保持器１０２とは、リンク機構を構成している。このため、第１アームＡ、Ｂの動作に連動して基板保持器１０２がｘｙ平面内を前進し、第２基板搬送機構５１４を構成する第１アームＢ、第２アームＢ２、および第２アームＡ２は伸張状態になる。基板保持器１０２を元の位置に戻す場合、コントローラ５３０は、伸張状態にする回転に対して逆回転となるように、第１モータ５０１と第２モータ５１１とを同期制御する。
【００４３】
図２Ｃは、第１基板搬送機構５０４を構成する第１アームＡ、第２アームＡ１、および第２アームＢ１の伸張状態の鳥瞰図である。例えば、図２Ｂで説明した基板保持器１０２によってプロセス処理装置に供給した基板を、図２Ｃに示す第１基板搬送機構５０４の動作により、プロセス処理装置から処理済みの基板を回収することができる。図２Ｃに示すような伸張状態にする場合、コントローラ５３０は、第１駆動軸５０３が時計周り（ＣＷ）方向に回転するように第１モータ５０１を制御する。その動作と同期動作により、コントローラ５３０は、第２駆動軸５１３が反時計回り（ＣＣＷ）方向に回転するように第２モータ５１１を制御する。この同期動作により、第１アームＡはＣＷ方向に回転し、第１アームＢはＣＣＷ方向に回転する。
【００４４】
第１アームＡに連結された第２アームＡ１と、第１アームＢに連結されたと第２アームＢ１と、基板保持器１０１とは、リンク機構を構成している。このため、第１アームＡ、Ｂの動作に連動し、基板保持器１０１がｘｙ平面内を前進し、第１基板搬送機構５０４を構成する第１アームＡ、第２アームＡ１、および第２アームＢ１は伸張状態になる。基板保持器１０１を元の位置に戻す場合、コントローラ５３０は、伸張状態にする回転に対して逆回転となるように、第１モータ５０１と第２モータ５１１とを同期制御する。
【００４５】
コントローラ５３０は第１駆動軸５０３と第２駆動軸５１３とが同一回転方向に同期して動作するように第１モータ５０１及び第２モータ５１１を制御して、ロボットアームの全体機構５９０を回転（公転動作）させることも可能である。
【００４６】
（基板搬送装置の動作）
コントローラ５３０は、基板搬送装置の動作として、先に説明した伸張状態にする伸張動作、収縮状態にする収縮動作、および公転動作を制御する。具体例として、基板保持器１０１に未処理の基板が載置されていて、基板保持器１０２に基板が載置されていない状態を仮定し、プロセス処理装置への基板の入れ替え（供給、回収）の動作と公転動作とを以下に説明する。プロセス処理装置において、既に供給された基板に所定のプロセス処理が実行されているものとする。
【００４７】
（１）プロセス処理の完了後に、コントローラ５３０は、基板保持器１０２の進行方向（軌道１５１）がプロセス処理装置のプロセスチャンバの基板中心と合う位置にロボットアームの全体機構５９０を公転動作させる。この際、基板保持器１０２の高さ方向（ｚ方向）の位置も、プロセス処理装置のプロセスチャンバの基板高さより下がった位置に移動する動作が同時平行で行われる。
【００４８】
（２）その後、コントローラ５３０は、第２基板搬送機構５１４（第１アームＢ、第２アームＢ２、および第２アームＡ２）を伸張状態にして、基板保持器１０２を前進させる。基板保持器１０２の前進動作が完了した状態で、基板保持器１０２の基板保持面は、基板の裏面に対して下方に位置する。
【００４９】
（３）コントローラ５３０は基板保持器１０２の高さ方向（ｚ方向）の位置がプロセスチャンバの基板保持位置よりも高くなるように基板保持器１０２を上昇させて基板保持器１０２の基板保持面に処理済みの基板を載せかえる。
【００５０】
（４）その後、コントローラ５３０は、第２基板搬送機構５１４（第１アームＢ、第２アームＢ２、および第２アームＡ２）を収縮状態にして、基板保持器１０２を後退させる。この動作により、処理済みの基板がプロセス処理装置のプロセスチャンバから処理済みの基板の回収が完了する。
【００５１】
（５）次に、コントローラ５３０は、基板保持器１０１の進行方向（軌道１５０）がプロセス処理装置のプロセスチャンバの基板中心と合う位置にロボットアームの全体機構５９０を公転動作させる。この際、基板保持器１０１の高さ方向（ｚ方向）の位置は、プロセス処理装置のプロセスチャンバの基板保持位置の高さより高い位置に移動する動作が同時平行で行われる。
【００５２】
（６）その後、コントローラ５３０は、第１基板搬送機構５０４（第１アームＡ、第２アームＡ１、および第２アームＢ２）を伸張状態にして、基板保持器１０１を前進させる。基板保持器１０１の前進動作が完了した状態で、基板保持器１０１は、プロセスチャンバの基板保持位置に対して上方に位置する。
【００５３】
（７）コントローラ５３０は基板保持器１０１の高さ方向（ｚ方向）の位置がプロセスチャンバの基板保持位置よりも低くなるように基板保持器１０１を降下させて基板保持器１０１に保持されている基板をプロセスチャンバの基板保持位置に載せかえる。この状態で、基板保持器１０１上にあった未処理基板はプロセスチャンバの基板保持位置に載置される。
【００５４】
（８）その後、コントローラ５３０は、第１基板搬送機構５０４（第１アームＡ、第２アームＡ１、および第２アームＢ２）を収縮状態にして、基板保持器１０１を後退させる。この動作により、プロセス処理装置のプロセスチャンバの基板保持位置に未処理の基板を載置する基板の供給が完了する。
【００５５】
以上（１）から（８）の動作をプロセス処理装置のそれぞれに対して実行することにより、基板搬送装置は、放射状に複数配置されているプロセス処理装置（図６Ｂ）のそれぞれに対して基板を供給することができる。または、基板搬送装置は、各プロセス処理装置から処理済みの基板を回収することができる。
【００５６】
本実施形態によれば、複数の基板保持器のそれぞれに基板が保持されているか否かを効率的に検出することが可能になる。本発明によれば、鉛直上方または鉛直下方から複数の基板保持器のそれぞれに基板が保持されているか否かを、センサ検出専用の部材を用いることなく、検出することができる。そのため、高額となるセンシング技術が不用となり、装置全体のコストダウンを図ることが可能になる。また、基板の検出のために基板保持器を前後移動させる必要がなくなるため、装置のタクトタイムの短縮化が可能になる。
【００５７】
（第２実施形態）
次に、図３Ａ、Ｂの参照により、第２実施形態にかかる第１基板搬送機構５０４、第２基板搬送機構５１４の構成を説明する。図３Ａは、ｘｙ平面において、ロボットアームの全体機構５９０の公転時における第１基板搬送機構５０４、第２基板搬送機構５１４の構成を示している。第１駆動軸５０３および第２駆動軸５１３の軸方向は、第１実施形態と同様に、紙面に対して垂直なｚ軸方向に対応し、駆動軸中心（回転中心）まわりに第１駆動軸５０３および第２駆動軸５１３が回転する。
【００５８】
第２実施形態において、第１基板搬送機構５０４は、第１アームＡ、第２アームＡ１、および第２アームＢ２により構成される。また、第２基板搬送機構５１４は、第１アームＢ、第２アームＢ２、および第２アームＡ２により構成される。本実施形態の第１アームＡおよび第１アームＢがＶ字形状の部材により構成されているのに対して、第１実施形態で説明した第１アームＡおよび第１アームＢは、直線状の部材形状により構成されている点で、両者の部材形状は相違する。
【００５９】
図３Ａ、Ｂに示す構成例では、簡単化のため、第１アームＡ、Ｂはアーム長が同一であり、かつ、駆動軸中心（回転中心）を通るｘ軸（第１方向軸）の方向およびｙ軸（第２方向軸）の方向の中心線に関して第１アームＡ、Ｂが線対称となるように構成されている。
【００６０】
第１駆動アームとして機能する第１アームＡは第１駆動軸５０３に連結されており、第１駆動軸５０３の回転駆動により、第１アームＡはｘｙ平面内を旋回可能である。第２駆動アームとして機能する第１アームＢは第２駆動軸５１３に連結されており、第２駆動軸５１３の回転駆動により、第１アームＢはｘｙ平面内を旋回可能である。
【００６１】
第１アームＡの第１端部３１０（第１連結部）と第１アームＢの第１端部３２０（第４連結部）とは、基板保持器１０１、１０２が移動する平面内（ｘｙ平面内）のｙ軸方向に第１オフセット距離（ＯＦＦ３）だけ離間した位置にある。また、第１アームＡの第２端部３１１（第２連結部）と第１アームＢの第２端部３２１（第３連結部）とは、基板保持器１０１、１０２が移動する平面内（ｘｙ平面内）のｙ軸方向に第２オフセット距離（ＯＦＦ４）だけ離間した位置にある。
【００６２】
第１アームＡの形状と、第１アームＢの形状とが、例えば、ｘ軸（第１方向軸）およびｙ軸（第２方向軸）に対して線対称となる場合、第１オフセット距離（ＯＦＦ３）＝第２オフセット距離（ＯＦＦ４）の関係を満たす。また、駆動軸中心に関して第１アームＡの第１端部３１０（第１連結部）と第１アームＢの第２端部３２１（第３連結部）とは点対称となる。また、第１アームＢの第１端部３２０（第４連結部）と第１アームＡの第２端部３１１（第２連結部）とは点対称となる。
【００６３】
第１アームＡの第１端部３１０（第１連結部）と第２端部３１１（第２連結部）とを結ぶ直線により構成される第１方向軸は、第１アームＡが回転駆動可能に連結されている第１駆動軸の回転軸（駆動軸中心）から第１の距離（ｒ３）だけ離間している。また、第１アームＢの第２端部３２１（第３連結部）と第１端部３２０（第４連結部）とを結ぶ直線により構成される第２方向軸は、第２駆動軸の回転軸（駆動軸中心）から第２の距離（ｒ４）だけ離間している。ここで、第２駆動軸は、第１駆動軸と同軸に設けられ、且つ、第１駆動軸に対して独立に第１アームＢが回転駆動可能に連結されている軸である。
【００６４】
図３Ａは、第１アームＡ、Ｂが同一のＶ字形状の部材により構成されている場合を例示しており、この場合、第１オフセット距離（ＯＦＦ３）と第２オフセット距離（ＯＦＦ４）とは同一になる。また、駆動軸中心を基準とした距離の関係は、第１の距離（ｒ３）＝第２の距離（ｒ４）となる。尚、第１アームＡ、Ｂの部材形状は、同一である場合に限らず、異なる部材形状の場合であっても本発明は適用可能である。また、駆動軸中心を基準とした距離の関係は第１の距離（ｒ３）＞第２の距離（ｒ４）、または、第１の距離（ｒ３）＜第２の距離（ｒ４）なる関係を満たす距離であってもよい。
【００６５】
基板保持器１０１は、２つの第１従動アームとして機能する、第２アームＡ１の一端と、第２アームＢ１の一端とに連結されている。また、基板保持器１０２は、２つの第２従動アームとして機能する、第２アームＢ２の一端と、第２アームＡ２の一端とに連結されている。第２アームＡ１の他端は、第１アームＡの一端（第１端部）３１０に回転可能に連結されており、第２アームＡ２の他端は、第１アームＡの他端（第２端部）３１１に回転可能に連結されている。第２アームＢ２の他端は、第１アームＢの一端（第１端部）３２０に回転可能に連結されており、第２アームＢ１の他端は、第１アームＢの他端（第２端部）３２１に回転可能に連結されている。
【００６６】
第１アームＡの第１端部３１０と第１アームＢの第２端部３２１とを結ぶ直線とｘ軸とのなす角度をθ３とする。また、第１アームＢの第１端部３２０と第１アームＡの第２端部３１１とを結ぶ直線とｘ軸とのなす角度をθ４とする。
【００６７】
第１アームＡの第１端部３１０と第１アームＢの第１端部３２０とが離間して配置され、かつ、第１アームＡの第２端部３１１と第１アームＢの第２端部３２１とが離間して配置されることにより、基板保持器１０１の進退動作の軌道は、基板保持器１０２の進退動作の軌道に対して異なった軌道になる。すなわち、基板保持器１０１の進退動作の軌道に対して、基板保持器１０２の進退動作の軌道は、角度づれ（θ３＋θ４）が生じた状態になる。ｘｙ平面内に垂直な第１駆動軸の回転軸方向で、基板保持器１０１と基板保持器１０２とは重ならない。このため、検出機構５２０がｚ軸方向（鉛直上方または鉛直下方）から基板保持器１０１、１０２のそれぞれの状態を検出した場合に、基板保持器１０１、１０２のそれぞれに基板Ｗが保持されているか否かを、コントローラ５３０は検出結果に基づき判定可能である。
【００６８】
図３Ｂは、第２基板搬送機構５１４を構成する第１アームＢ、第２アームＢ２、および第２アームＡ２の伸張状態を示す。この伸張状態において、基板保持器１０２から所定のプロセス処理装置に基板Ｗを供給することができる。あるいは、所定のプロセス処理装置で処理された基板Ｗをプロセス処理装置から基板保持器１０２に回収することができる。
【００６９】
図４Ａは、収縮状態にあるロボットアームの全体機構５９０の鳥瞰図である。第２基板搬送機構５１４を構成する第１アームＡと第２アームＡ２とは、連結部材４００を介して回転可能に連結される。連結部材４００を介することにより、第１アームＡと第２アームＡ２との間にｚ方向のスペースを作ることができ、第１アームＡと第２アームＡ２との間に第２アームＢ１を配置することができる。
【００７０】
図４Ｂは、第２基板搬送機構５１４を構成する第１アームＢ、第２アームＢ２、および第２アームＡ２の伸張状態を示す鳥瞰図である。図４Ｂに示すような伸張状態にする場合、コントローラ５３０は、第１駆動軸５０３が反時計周り（ＣＣＷ）方向に回転するように第１モータ５０１を制御する。その動作と同期動作により、コントローラ５３０は、第２駆動軸５１３が時計回り（ＣＷ）方向に回転するように第２モータ５１１を制御する。この同期動作により、第１アームＡはＣＣＷ方向に回転し、第１アームＢはＣＷ方向に回転する。
【００７１】
第１アームＡに連結された第２アームＡ２と、第１アームＢに連結された第２アームＢ２と、基板保持器１０２とは、リンク機構を構成している。このため、第１アームＡ、Ｂの動作に連動して基板保持器１０２がｘｙ平面内を前進し、第２基板搬送機構５１４を構成する第１アームＢ、第２アームＢ２、および第２アームＡ２は伸張状態になる。基板保持器１０２を元の位置に戻す場合、コントローラ５３０は、伸張状態にする回転に対して逆回転となるように、第１モータ５０１と第２モータ５１１とを同期制御する。
【００７２】
図４Ｃは、第１基板搬送機構５０４を構成する第１アームＡ、第２アームＡ１、および第２アームＢ１の伸張状態の鳥瞰図である。例えば、図４Ｂで説明した基板保持器１０２によってプロセス処理装置に供給した基板を、図４Ｃに示す第１基板搬送機構５０４の動作により、プロセス処理装置から処理済みの基板を回収することができる。
【００７３】
図４Ｃに示すような伸張状態にする場合、コントローラ５３０は、第１駆動軸５０３が時計周り（ＣＷ）方向に回転するように第１モータ５０１を制御する。その動作と同期動作により、コントローラ５３０は、第２駆動軸５１３が反時計回り（ＣＣＷ）方向に回転するように第２モータ５１１を制御する。この同期動作により、第１アームＡはＣＷ方向に回転し、第１アームＢはＣＣＷ方向に回転する。
【００７４】
第１アームＡに連結された第２アームＡ１と、第１アームＢに連結されたと第２アームＢ１と、基板保持器１０１とは、リンク機構を構成している。このため、第１アームＡ、Ｂの動作に連動し、基板保持器１０１がｘｙ平面内を前進し、第１基板搬送機構５０４を構成する第１アームＡ、第２アームＡ１、および第２アームＢ１は伸張状態になる。基板保持器１０１を元の位置に戻す場合、コントローラ５３０は、伸張状態にする回転に対して逆回転となるように、第１モータ５０１と第２モータ５１１とを同期制御する。
【００７５】
コントローラ５３０は第１駆動軸５０３と第２駆動軸５１３とが同一回転方向に同期して動作するように第１モータ５０１及び第２モータ５１１を制御して、ロボットアームの全体機構５９０を回転（公転動作）させることも可能である。
【００７６】
第１実施形態で説明した基板搬送装置の動作（１）〜（８）を本実施形態で説明した構成で実行することにより、基板搬送装置は放射状に複数配置されているプロセス処理装置（図６Ｂ）のそれぞれに対して基板を供給することができる。または、基板搬送装置は、各プロセス処理装置から処理済みの基板を回収することができる。
【００７７】
本実施形態によれば、複数の基板保持器のそれぞれに基板が保持されているか否かを効率的に検出することが可能になる。本発明によれば、鉛直上方または鉛直下方から複数の基板保持器のそれぞれに基板が保持されているか否かを、センサ検出専用の部材を用いることなく、検出することができる。そのため、高額となるセンシング技術が不用となり、装置全体のコストダウンを図ることが可能になる。また、基板の検出のために基板保持器を前後移動させる必要がなくなるため、装置のタクトタイムの短縮化が可能になる。
【００７８】
（電子デバイスの製造システム、デバイスの製造方法）
図６Ｂの参照により電子デバイスの製造システムの実施形態を説明する。電子デバイスの製造システムで処理するための基板を搬入、搬出するためのロードロック室（ＬＬ１、ＬＬ２）、基板に対して種々のプロセス処理を行うプロセス処理装置（６５０〜６５５）は、基板搬送装置６６０を中心に配備されている。プロセス処理装置（６５０〜６５５）を基板搬送装置６６０に対して放射状に配備することにより、一つの基板搬送装置６６０で、複数のプロセス処理装置（６５０〜６５５）に対して基板の搬送を行うことが可能な構成となっている。本実施形態にかかる電子デバイスの製造システムは、上記の実施形態で説明した基板搬送装置と、基板搬送装置により搬送された基板に対してデバイス製造プロセスを実行する少なくとも一つのプロセス処理装置と、を備える。
【００７９】
また、電子デバイスの製造方法は、基板搬送装置を用いて基板を搬送する搬送工程と、少なくとも一つのプロセス処理装置において、搬送工程で搬送された基板に対して、デバイス製造プロセスを実行するプロセス実行工程とを有する。電子デバイスの製造システムおよび電子デバイスの製造方法により製造される電子デバイスとしては、例えば、半導体、ＬＣＤ、太陽電池、あるいは光通信機器用デバイスのうち、少なくとも１つが含まれる。
【００８０】
本実施形態によれば、電子デバイスの製造システム全体のコストダウンを図ることが可能になる。また、基板の検出のために基板搬送装置における基板保持器を前後移動させる必要がなくなるため、電子デバイスの製造システムのタクトタイムの短縮化が可能になる。
【００８１】
本発明は上記実施の形態に制限されるものではなく、本発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、本発明の範囲を公にするために、以下の請求項を添付する。
【図１Ａ】
0005395271.tif 000002
【図１Ｂ】
0005395271.tif 000003
【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
0005395271.tif 000005
【図２Ｃ】
0005395271.tif 000006
【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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