(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品またはディスプレイの製造領域から基板を搬送し、基板を処理装置へ供給するために設けられている搬送装置であって、基板搬送ボックスのためのオーバーヘッド型搬送システムに接続している第１の搬出入接続部と、処理装置に接続している第２の搬出入接続部とを有している閉鎖可能なケーシングを備え、第１の搬出入接続部が鉛直方向に関し第２の搬出入接続部の上方に配置されている前記搬送装置において、
基板を搬送ボックスおよび／または該搬送ボックスのマガジンから切り離して搬送装置内へ送入するための操作装置（１２）と、基板を、搬送装置（５）内に配置されて第１および第２の搬出入接続部（７，２６）の間に竪穴状の走行領域を有している前記操作装置（１２）により、搬送ボックスおよび／または該搬送ボックスのマガジンから切り離して、一方の搬出入接続部（７または２６）から他方の搬出入接続部（２６、７）へ鉛直方向に搬送可能にするための手段とが設けられていることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
搬送装置内に配置され、基板を中間保管するための蓄積スペースを備えた蓄積装置（２４）が設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
蓄積装置（２４）がケーシング（６）内部に配置され、該蓄積装置（２４）は、互いにスタック可能で且つ互いに相対運動可能な、それぞれ１つの基板を受容するための蓄積要素を有していることを特徴とする、請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
ケーシング（６）内部にウェーハースタックを形成させるための手段が設けられていることを特徴とする、請求項１から３までのいずれか一つに記載の搬送装置。
【請求項５】
基板の方位位置を検出するための手段と、方位位置を変化させるための手段とが設けられていることを特徴とする、請求項１から４までのいずれか一つに記載の搬送装置。
【請求項６】
搬送装置内に配置される操作装置（１２）を用いて、ウェーハーを処理装置へ受け渡し可能であることを特徴とする、請求項１から５までのいずれか一つに記載の搬送装置。
【請求項７】
操作装置（１２）が、基板のスタックを把持するためのスタックグリッパー（１５）と１つの基板を把持するための少なくとも１つのシングルグリッパー（１４）の双方を有していることを特徴とする、請求項１から６までのいずれか一つに記載の搬送装置。
【請求項８】
第２の搬出入接続部（２６）の構成要素として搬出入蓄積器（２７）が設けられ、該搬出入蓄積器（２７）内で、基板が処理装置との交換のために降下可能且つ取り出し可能であることを特徴とする、請求項１から７までのいずれか一つに記載の搬送装置。
【請求項９】
搬出入蓄積器（２７）の運動手段、特に回転運動を生じさせるための運動手段が設けられていることを特徴とする、請求項８に記載の搬送装置。
【請求項１０】
搬送装置のケーシング（６）の前方または該ケーシング（６）上に配置される搬送ボックスを、搬出入接続部（７）に固定させるための積載ポジション（１０）から、搬出のために該搬送ボックスを受容するバッファーポジション（１３）へおよびその逆へ移送可能にするための搬送ボックスチェンジャー（８）が設けられていることを特徴とする、請求項１から９までのいずれか一つに記載の搬送装置。
【請求項１１】
搬送装置のケーシング（６）内部に浄化空間条件を生じさせるための手段が設けられていることを特徴とする、請求項１から１０までのいずれか一つに記載の搬送装置。
【請求項１２】
少なくとも１つの基板を処理装置へ供給する方法であって、搬送ボックス内に配置される少なくとも１つの基板を、オーバーヘッド型搬送システム（１）から、処理装置（４）前方に配置される搬送装置（５）の閉鎖可能なケーシング（６）の第１の搬出入接続部（７）へ供給するようにした前記方法において、
少なくとも１つの基板を、搬送ボックスを搬送装置のケーシング内へ送入せずに第１の搬出入接続部（７）の領域において搬送ボックスから取り出し、次に搬送装置の第２の搬出入接続部へ移送してそこで処理装置に対する供給を行なうことを特徴とする方法。
【請求項１３】
基板を搬送装置のケーシング内部で開放状態で中間保管することを特徴とする、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
搬送装置内で基板を回転目標位置へ指向させることを特徴とする、請求項１２または１３に記載の方法。
【請求項１５】
搬送装置のケーシング内部で、基板を第２の搬出入接続部に配置することを特徴とする、請求項１２から１４までのいずれか一つに記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品またはディスプレイの製造領域から基板を搬送し、基板を処理装置へ供給するために設けられている搬送装置であって、基板搬送ボックスのためのオーバーヘッド型搬送システムに接続している第１の搬出入接続部と、処理装置に接続している第２の搬出入接続部とを有している閉鎖可能なケーシングを備え、第１の搬出入接続部が鉛直方向に関し第２の搬出入接続部の上方に配置されている前記搬送装置に関するものである。さらに本発明は、請求項１２の上位概念に記載の方法にも関わる。
【背景技術】
【０００２】
たとえばプロセッサ、メモリ装置、スクリーンパネル等の電子部品用に十分に自動化された製造設備においては、これら電子部品に必要な基板または電子部品の加工に必要な基板を搬送ボックスに収納して、搬送装置により、加工または中間保管するための個々の処理装置間で往復させて搬送させる。搬送装置は高さ方向に層状に配置された搬送装置として多重式に構成されており、いわゆるオーバーヘッドホイストトランスポート（Oberheadtransport Hoist Transport ＯＨＴ）として構成されている。このため、基板は搬送ボックスに収納されて、特許文献１または特許文献２に記載されているような装入装置によって搬送ボックスとともに受け取られ、第１の搬出入接続部に装入される。装入装置または搬送装置内部で搬送ボックスがほぼ鉛直方向に搬送運動することによって搬送ボックスを第２の搬出入接続部へ移送することができ、搬送ボックスは、第２の搬出入接続部において、搬送装置から基板に加工等を施す装置へ受け渡される。逆の態様で、空の搬送ボックスまたは基板で充填した搬送ボックスをそれぞれの装置から再び自動的に搬送装置へもたらすことができる。
【０００３】
この種の搬送装置においては、基板の加工順序を変更したときの応答性に関し順応性が悪いのが欠点と見なすことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２００５００６４８０Ａ１号パンフレット
【特許文献２】国際公開第２００４０２３５３０Ａ３号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
したがって本発明の課題は、搬送ボックス内で基板を搬送するようにリンクしている生産設備において、処理装置に供給される基板の供給順序で優れた順応性が可能であるように、基板の自動移送を可能にすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この課題は、冒頭で述べた種類の搬送装置において、基板を搬送ボックスおよび／または該搬送ボックスのマガジンから切り離して搬送装置内へ送入するための操作装置と、基板を、搬送装置内に配置されて第１および第２の搬出入接続部の間に竪穴状の走行領域を有している前記操作装置により、搬送ボックスおよび／または該搬送ボックスのマガジンから切り離して、一方の搬出入接続部から他方の搬出入接続部へ鉛直方向に搬送可能にするための手段とが設けられていることによって解決される。本発明の技術思想は、基板を遅くとも搬送装置の内部で搬送ボックスから取り出し、その結果基板を、搬送装置内部で単に接続部へ搬出入するという目的以外の目的でも開放状態で操作することができ、特に蓄積装置内に開放状態で保管することができるというものである。
【０００７】
それ故、本発明において「搬送ボックスから切り離してfrei von Transportboxen」という概念は、基板を搬送装置のケーシング内部で遅くともオーバーヘッド型搬送システムへのゲート状搬出入接続部のすぐ後方でそれぞれの搬送ボックスのマガジンから取り出し、この時点から搬送ボックスのいかなる構成要素もない搬送装置の内部で基板を操作すると理解すべきである。このことは、搬送ボックスの構成要素は上記搬出入接続部のすぐ後方で基板を取り出すために短時間でケーシング内へ送入され、次に同じ搬出入接続部を通じて再び搬出させるという意味をも含んでいる。しかしながら、本発明による搬送装置内では、搬送ボックスは蓄積または通過させるべきではない。
【０００８】
この処置により、基板を、搬送装置内部で操作装置を用いて適当なマニピュレーションによって、接続されている処理装置でのその後の加工に必要であるような、場合によってはこれによって初めて短時間での処理が可能であるような順番および／または方向にもたらすことが可能になる。したがって、本発明による搬送装置を用いると、変更した条件に対し非常に迅速に、とりわけ順応性をもって対処することができる。このためには、従来のように、離間して配置されている装置へ基板を時間をかけて搬出させて、該装置内で初めて新たなウェーハースタックを形成させる必要がない。本発明による搬送装置は、ウェーハー以外にも、電子部品または電子機器の製造分野で必要とされる他のすべての基板、特にレチクルおよびスクリーンパネルにも適している。
【０００９】
本発明による解決手段は、搬送装置をオーバーヘッド型搬送システムに取り付けるため、該搬送装置に、従来のように基板に上部搬出入接続部から下部搬出入接続部へおよびその逆へ単に運動させる以上の運動を可能にさせるような知能を初めて備えさせるための前提である。本発明による搬送装置は、オーバーヘッド型搬送システムに設けられた搬送ボックス用の受け渡し／受け取り位置と処理装置の搬出入接続部との間にある隙間を閉じてこの隙間に搬送装置を配置するものなので、本発明による搬送装置は、多大なコストを要することなく既存の生産設備に組み込むことができる。本発明は、従来ほとんど利用されていなかった、前記受け渡し／受け取り位置と処理装置の搬出入接続部との間の領域に、従来よりも著しく大きな機能性を付与させて、基板または該基板によって形成される基板のスタックを論理的に調製しようとするものであるが、これを極めて簡単に、しかし非常に効果的に行なうことができる。これにより基板の保管時間が非常に短くなり、よって基板の滞留時間が短くなる。
【００１０】
この場合、本発明による搬送装置が上部搬出入接続部を有し、該上部搬出入接続部が（鉛直方向において）可能な限りオーバーヘッド型搬送システムの近くにあれば有利である。これにより、一方では、搬送装置とオーバーヘッド型搬送システムとの間の搬送経路が可能な限り短くなり、よって受け渡しがわずかな技術コストで可能になる。他方、これにより搬送装置の位置調整面積が小さくなるにもかかわらず、搬送装置内部の容積は大きくなり、種々の機能ユニットの受容が可能であり、たとえば基板用に特に大きな受容キャパシティをもった蓄積装置の受容が可能である。
【００１１】
本発明による搬送装置によれば、すでにオーバーヘッド型搬送システムによって供給されたいかなる基板も必要に応じて即座にそれぞれの処理装置に提供することが可能であるので、基板および搬送ボックスの加工工程以外の、処理装置手前での滞留時間を著しく低減させることができる。その結果、特定の時間にわたってみて、同じ生産量の電子部品に対し、基板と搬送ボックスとが工場内を同時に循環する量が従来よりも少ないので、生産コストが低減する。個々の基板の加工は従来よりも迅速に行なわれる。さらに、本発明によって、特定の基板、特にウェーハーを処理装置に供給する要求に対しより迅速に応答することができるので、従来よりも少ないロス量で作業でき、それらもかかわらず比較しうる量の処理基板が得られる。
【００１２】
さらに、搬送ボックス用の高コストの蓄積装置を少なくとも十分に省略できるという利点が得られる。この点を、有利な実施形態で採用されているように、搬送装置の密閉可能なケーシング内部に基板を送入させ、そこで必要な場合には蓄積装置にも中間保管させるならば、生産設備において循環させる搬送ボックスの数量を著しく少なくさせて、少なくとも同量の基板を加工または活用することができる。
【００１３】
これらの利点を得るため、特に、有利な実施形態によれば、基板を中間保管するための蓄積スペースを備えた蓄積装置が設けられている。蓄積装置は、従来の堅牢なマガジンを有していてよいが、国際公開第２００５００６４０７号およびＰＣＴ／ＣＨ２００６／０００３５６に記載されているように、基板を高密度で保管するための蓄積装置を有していてもよい。なお、上記両文献の内容をこれをもって関連引用することにする。この蓄積装置は個々の蓄積要素を含んでおり、これらの蓄積要素は蓄積ステープルの形成のために互いにスタック可能である。このような蓄積要素は、スタック内部においてその蓄積スペースが互いに上下に積層されており、好ましくは内部にそれぞれ１つの基板を受容するためのスペースを有している。個々の蓄積要素の蓄積スペースと受容スペースとは、鉛直方向のスタック方向において互いにずれていてよい。このような蓄積要素を用いると、基板の高密度蓄積が得られるとともに、外部からスタックを操作せずにアクセス可能な、よって粒子による機械的損傷または汚染から保護された基板蓄積が得られる。
【００１４】
他の有利な構成では、搬送装置は上部搬出入接続部を有し、該上部搬出入接続部において、オーバーヘッド型搬送システム（Oberheadtransport Hoist Transport ＯＨＴ）に供給された搬送ボックスを搬送装置に受け渡し、搬送ボックスをさらに搬送装置のケーシングの外側で開放させるようになっている。その後、基板をそれぞれの搬送ボックスのマガジンから取り出し、搬送装置に送入させる。このような搬出入接続部は、本出願人により、他の技術的関連において、商品名SMIF-LoadportおよびFOUP-Loadport（それぞれＳＭＩＦ搬送ボックスまたはＦＯＵＰ搬送ボックス用のもの）のもとで提供されたものである。搬出入接続部は、好ましくは、それぞれのタイプの搬送ボックスを開閉させるための手段を有している。搬送装置は、この第１の搬出入接続部の領域において、基板を内部の操作装置、特にスタックグリッパーおよび／またはシングルグリッパーに受け渡すように構成されていてもよい。
【００１５】
搬送装置は、本来の搬出入接続部の手前であってそのケーシングの外側に、搬送ボックスを第１のポジション（搬送ボックス用のオープナーが設けられているポジション）から第２のポジション（バッファーポジション）へおよびその逆へ搬送させるための運動要素または搬送ボックスチェンジャーを有することができる。このため、運動要素は、たとえば直線運動または回転運動を実施することができる。このような搬送ボックス交換方式により、第１の搬出入接続部は強制的に必要な間だけ搬送ボックスによって占有されるにすぎないので、特定の時間内で可能な限り多数の搬送ボックスを発送させることができる。
【００１６】
他の合目的な構成では、搬送装置はそのケーシング内に配置される操作装置を有することができ、該操作装置は好ましくは両搬出入接続部の間を走行可能である。
【００１７】
本発明の他の構成は特許請求の範囲、以下の説明および図面から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１タイプの搬送ボックス用に構成された本発明による搬送装置の有利な実施形態の正面図である。
【図２】第２タイプの搬送ボックス用に構成された、図１に図示したものと同様の搬送装置の平面図である。
【図３】図１の線Ａ−Ａによる搬送装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図１ないし図３には、オーバーヘッド型搬送システム１の一部分が図示されている。この種の搬送システムは、電子チップを製造するために自動化された生産設備において頻繁に使用される。このようなオーバーヘッド型搬送システム１を用いると、たとえばいわゆるＦＯＵＰボックスまたはＳＭＩＦボックスのような規格化された搬送ボックス２内でウェーハー３が搬送され、ウェーハー３から種々の処理工程により電子部品が製造される。このため、ウェーハー３を、生産設備内に配分して配置された個々の処理装置４（図３）に供給する必要がある。
【００２０】
図示した実施形態では、ウェーハーを処理装置４へ供給するため、本発明による搬送装置５が設けられている。搬送装置５は、オーバーヘッド型搬送システム１の領域においてその開閉可能なケーシング６に第１の搬出入接続部７を有している。搬出入接続部７は、少なくともほぼ、搬送ボックスがオーバーヘッド型搬送システムによって搬送されて搬送装置５に供給されるような高さに配置されている。個々の搬送ボックス２をオーバーヘッド型搬送システム１から第１の搬出入接続部へ受け渡すため、或いは、第１の搬出入接続部からオーバーヘッド型搬送システム１へ戻すため、搬送ボックスチェンジャー８が設けられている。搬送ボックスチェンジャー８のプラットホーム９上では、オーバーヘッド型搬送システム１から搬送ボックスを第１のポジション１０へ降ろして、搬出入接続部７に固定させることができる。このため、オーバーヘッド型搬送システム１がそれぞれの搬送ボックスを解放するだけにとどめ、たとえば１回の解除工程だけで搬送ボックスを直接第１のポジション１０へ到達させるようにするのが有利である。これにより、リフト装置を用いずに搬送ボックスをオーバーヘッド型搬送システムから搬送装置５へ、およびその逆へ受け渡すことが可能である。搬送ボックス２を搬送システム１へ受け渡す方向によっては、搬送ボックスチェンジャー８がそれぞれの搬送ボックス２を回転運動により方向転換させることができるようにするための手段をも該搬送ボックスチェンジャー８が備えている必要がある場合がある。これにより、図２に図示したように、たとえばＦＯＵＰボックス２を、それぞれのボックス２の前面に配置されている閉鎖可能なそのＦＯＵＰドア２ａでもって搬出入接続部４のほうへ指向させるようにすることができる。
【００２１】
ＳＭＩＦボックス２の場合には、それ自体公知の装置を用いて、底部部分を、該ボックス２のマガジンおよびそのなかに水平に保管されているウェーハーとともに搬送装置のケーシング６内へ送入して、ケーシング壁のすぐ後方の送入位置７ａにもたらす。ＳＭＩＦボックスのフード２ｂは外側に留まる。搬送装置５の片側で該搬送装置５のケーシング６内に配置されている、複数の空間方向においてそれぞれ直線走行可能な操作装置１２を用いると、図面には詳細に図示していないマガジンを空にさせることができる。ウェーハーは、搬送装置１の内部で、以下に詳細に述べる態様で操作される。
【００２２】
ＳＭＩＦ搬送ボックス２の底部は、空になったマガジンとともに再び搬送装置１から搬出され、搬送ボックス２のフード２ｂと結合させることができる。これにより搬送ボックス２は再び搬送ボックスチェンジャー８の第１のポジション（積載ポジション）１０に配置される。搬送ボックスチェンジャー８を走行運動させることにより、搬送ボックス２を該チェンジャー８の第２のポジション（バッファーポジション）１３へ搬送させることができ、さしあたり該第２のポジション１３に留まらせるか、或いは、搬出のためにオーバーヘッド型搬送システム１によって受容させることができる。図１の図示では、破線で２つの搬送ボックス２が図示されているが、このうち一方の搬送ボックスは第１のポジション１０へ受け渡される直前の状態にあり、他方の搬送ボックスは第２のポジション１３からオーバヘッド型搬送システム１によって受容された直後の状態にある。搬送ボックスチェンジャー８の前記走行運動は、プラットホーム９の直線運動であるか、或いは、回転運動である。
【００２３】
すでに述べたようにウェーハーを操作するため、搬送装置５のケーシング６の内部には、図１において搬送装置５の右半分に、操作装置１２が設けられている。図示した実施形態では、操作装置１２は、上部のシングルグリッパー（シングルウェーハーグリッパー）１４と、その下に配置されているスタックグリッパー（バッチグリッパー）１５とを有している。シングルグリッパー１４とスタックグリッパー１５とは、従来のリニア軸１７を介してケーシング内部をＺ方向に走行可能な共通のスライダ担持体１６上に配置されている。
【００２４】
図１ないし図３に認められるように、シングルグリッパー１４はそれ自体公知の態様で構成されており、たとえば双腕のグリッパーとして構成されており、その上に個々のウェーハー３が３点支持部２０，２１，２２で支持されてに配置されている。シングルグリッパーは、特に、搬送装置内部に新たなウェーハースタックを形成するため、および／または、個々のウェーハーを搬送装置の機能ユニットに供給してそこから取り出すために利用することができる。
【００２５】
図示した実施形態のスタックグリッパー１５は５つの個々のグリッパー１５ａから構成され、これら個々のグリッパー１５ａはそれぞれ１つのウェーハーのみを受容するために設けられている。スタックグリッパー１５の個々のグリッパー１５ａはＸ方向に、すなわち図１の図示では水平方向に一緒にのみ走行可能である。スタックグリッパー１５のこれらグリッパーは鉛直方向に互いに間隔を持っており、この間隔は搬送ボックス内部またはマガジン内部のウェーハーと搬送ボックスとの間隔に相当している。スタックグリッパー１５のグリッパー１５ａも３点支持型グリッパーとして構成されていてよい。本実施形態では、スタックグリッパー１５は、一緒にのみ全体運動を実施し、よって同期して運動を実施する５つのグリッパー１５ａを有しているが、本発明の他の実施形態では、スタックグリッパー１５は他の数量のグリッパー１５ａを備えていてもよい。さらに、たとえばウェーハーを受容または降ろすために、グリッパー１５ａが互いに独立に操作可能であってもよい。
【００２６】
スタックグリッパー１５とシングルグリッパー１４とは、それぞれ互いに走行可能であるようにスライダ担持体１６に配置されている。この走行運動は、ウェーハーをそれぞれのグリッパー１４，１５で受容し、受容したウェーハーをマガジン内部で解放し、マガジンから取り出し、Ｚ方向に搬送運動させるために必要または有益な運動であり、且つ、ウェーハーの降下または受け渡しに必要または有益な運動である。したがってグリッパーは、その受容運動および降下運動が実質的にスライダ担持体１６の走行運動によって引き起こされるようなパッシブなグリップである。
【００２７】
図１の図示で操作装置１２の左側であって該操作装置１２の竪穴状の鉛直方向走行領域内には、搬送ボックスまたは該搬送ボックスのマガジンの外側でウェーハーを開放状態で中間保管するための蓄積装置２４が設けられている。蓄積装置２４は、ウェーハーバッチのための、たとえば１００個または２００個の基板のための通常の搬送ボックスの容量の複数倍に相当する蓄積容量を有することができる。この蓄積装置の第１実施形態では、該蓄積装置は、搬送装置５内に設置される従来の位置固定のマガジンのごとく構成された、実質的に堅牢な蓄積装置である。マガジンの個々の区画は、グリッパー１４，１５によるアクセスのためにアクセス可能であり、ウェーハーのための区画の保管部位のスタック方向における間隔は、実質的にスタックグリップ１５の個々のグリップの間隔に相当している。
【００２８】
他の実施形態では、蓄積装置２４は、互いに相対運動可能で、好ましくは互いに直接スタック可能な保管要素を有していてよく、これらの保管要素は単独のものであるか、或いは、上記第１実施形態のマガジンに加えて設けられていてよい。詳細に図示していないこれら保管要素はそれぞれ１つのウェーハーを受容するための保管領域を備えていてよい。この種の蓄積装置と、該蓄積装置の、前記保管要素から成る１つのスタックを該スタックの所定位置において開閉させるための手段とは、国際公開第２００５００６４０７号パンフレットおよびＰＣＴ／ＣＨ２００６／０００３５６に記載されている。これら文献の内容はすべて本特許出願の対象に関連するものとしてここに引用するものとする。
【００２９】
鉛直方向において蓄積装置の下方には、同様にケーシング６の内部に、ウェーハーを処理（または供給）するための装置２５が設けられている。この装置２５は特にマーク検知装置（ノッチファインダ）であり、ウェーハーの方位位置を特定するために該ウェーハーのエッジに設けたたとえばノッチのようなマークを検知するものである。この種のいわゆるノッチアライナは、たとえば米国特許出願公開第２００２０４８５０６Ａ１号明細書に記載されているように、通常は光学センサでもってノッチを検知し、および／または、ウェーハーを回転させたときにノッチまたはウェーハーフラットを機械的に特定の位置にロックさせる。後者の実施形態はたとえば米国特許出願公開第０００５６６２４５２Ａ１号明細書に記載されている。両方式は、基本的には、引き続いてウェーハーを所定の角度位置へ移動させるために適しており、搬送装置５の、機能ユニットとして構成されている装置２５で実施するためのものである。他の実施形態では、前記アライナはそれぞれのグリップに直接配置されていてよい。この点はたとえば国際公開第９９／５７７５２号パンフレット、フランス国３１８４０Ａｕｓｓｏｎｎｅ在、ＲＥＣＩＦ社の対応する製品に開示がある。
【００３０】
蓄積装置２４と供給装置２５との間には、下部の搬出入接続部２６に属する搬出入蓄積器２７が設けられている。搬出入蓄積器２７は固有のケーシング２８を有することができ、該ケーシング２８内にそれぞれ１つのウェーハーまたは基板のための複数個の蓄積スペースを固定することができる。本実施形態では、たとえば５つの蓄積スペースが設けられている。搬出入蓄積器２７は、ウェーハーを搬送装置１から処理装置４へ受け渡すため、或いは、処理装置４を搬送装置１へ受け渡すために第２の搬出入接続部２７の閉鎖可能な開口部２９（図３）が搬送装置５のケーシング６内に設けられている該ケーシング６の箇所に直接境を接している。
【００３１】
搬出入蓄積器２７のケーシング２８はただ１つの開口部３１を有している。さらに、搬出入蓄積器２７のケーシングは、或いは、搬出入蓄積器２７の全体は、特に鉛直方向の軸線のまわりに回転可能に構成されていてよい。これにより、第１の回転位置で操作装置１２から搬出入蓄積器２７へのアクセスが可能である。図３に図示した第２の回転位置では、開口部３１は、（搬出入蓄積器に関して）、搬送装置に直接境を接している処理装置４からのウェーハーの搬出入、或いは、該処理装置４へのウェーハーの搬出入を可能にする開口部３１が処理装置４に対し回転可能である。したがって、このような構成においては、搬出入蓄積器がケーシング２８を備えていれば、ケーシング２８にただ１つの開口部を設けるだけでよい。処理装置４または操作装置１２から搬出入蓄積器２７内へ挿入されるウェーハーは、挿入後それぞれほぼ９０゜回転転運動を行なった後でそれぞれ他の機能ユニット（処理装置または操作装置）から取り出すことができる。
【００３２】
搬出入蓄積器の他の実施形態では、該搬出入蓄積器のケーシングは、操作装置１２のほうへ指向している第２の開口部３２を備え、該開口部３２を通じて、回転運動を実施しなくとも、処理装置４からも操作装置１２からもウェーハーを搬出入蓄積器２７へ挿入し、或いは取り出すことができる。さらに、ケーシングを有していない搬出入蓄積器２７も可能である。
【００３３】
他の有利な実施形態では、搬出入蓄積器２７を２分割して構成し、互いに独立な２つの搬出入蓄積器部分を設けてもよい。この場合、これら２つの搬出入蓄積器部分の一方はウェーハーを処理装置４から受け取るために使用し、他方は処理装置への受け渡しのために使用する。
【００３４】
搬送装置の閉鎖可能なケーシング６に浄化空間条件を生じさせるため、ケーシング６の片側に、浄化空気または窒素を供給するための鉛直方向の管路３３を設けてよい。窒素は、場合によっては、流動誘導要素により所定の態様で搬送装置１を貫流する。
【００３５】
本発明による搬送装置を用いると、まず第１に、ウェーハーを搬送ボックスを有しないオーバーヘッド型搬送システムから直接搬送装置内へ挿入して受容させ、浄化空間条件のもとで開放状態で中間保管し、そして直接に、すなわち搬送ボックス内に配置しないで、処理装置へ受け渡すことが可能である。さらに、本発明による搬送装置を用いると、ウェーハーを１つの搬出入接続部７，２６から直接鉛直方向においてケーシング６の他の箇所にあるそれぞれ他の搬出入接続部７，２６へ該搬送装置を通じて搬送させることで、個々のウェーハーまたはウェーハーのスタックを、ケーシング６内に中間保管せずにオーバーヘッド型搬送システム１から処理装置４へ、およびその逆へ、供給することも可能である。
【００３６】
最後に、搬出入接続部６に配置されている開口した搬送ボックスを、操作装置１２によって（未処理の）ウェーハーを取り出した後、すぐに再び他の（処理済の）ウェーハーを送入することもでき、しかもその間に搬送ボックスを搬出入接続部６から離間させる、或いは、閉鎖させる必要がない。このため、操作装置１２は、送入されたウェーハーを所定の箇所（たとえば保管装置２４内）に降ろし、その後他のウェーハーを受容してこれを搬送ボックスに送入させることができる。次に搬送ボックスを閉鎖させるが、このときオーバーヘッド型搬送システムによる搬出の準備状態にある。このような工程により、搬送装置内部でのウェーハーの特に短い滞留時間を達成できるとともに、空で搬送されるべき搬送ボックスまたは空で中間保管されるべき搬送ボックスの数量を減らすことができる。このような利点は、２つのウェーハースタックを同時に受容することができ、このために特に２つのスタックグリッパーを有する操作装置１２を使用すると、さらに効果的になる。この場合、操作装置１２は、処理済のウェーハーのスタックとともに搬出入接続部７へ走行し、そこで（未処理の）ウェーハーのスタックを搬送ボックスから取り出し、続いて（処理済の）ウェーハーのスタックを搬送ボックス内に送入させる。その後はじめて、未処理のウェーハーが操作装置により搬送装置の適当な箇所に受け渡される。操作装置が２つのシングルグリップを備えていれば、ウェーハースタックの場合と同様の利点が、１つの蓄積スペースしか備えていない搬送ボックスの場合にも達成できる。
【００３７】
本発明の有利な実施形態には、上記の利点に加えて、このような搬送装置において、１つのグリッパーおよび／または２つのグリッパー１４，１５を利用して新たなウェーハースタックを形成させることもできるという利点がある。さらに、搬出のために設けられるウェーハーを供給装置２５を用いて所定の回転位置へもたらすことができる。詳細に図示していない実施形態では、搬送装置の供給装置２５は、基板の汚れを検知して、場合によってはこれを除去する粒子検知装置を有していてもよい。
【符号の説明】
【００３８】
１        オーバーヘッド型搬送システム
２        搬送ボックス
２ａ      カバー
３        ウェーハー
４        処理装置
５        搬送装置
６        ケーシング
７        第１の搬出入接続部
７ａ      送入位置
８        搬送ボックスチェンジャー
９        プラットホーム
１０      第１のポジション
１２      操作装置
１３      第２のポジション
１４      シングルグリッパー
１５      スタックグリッパー
１５ａ    スタックグリッパーのグリッパー
１６      スライダ担持体
２０      ３点支持部
２１      ３点支持部
２２      ３点支持部
２４      蓄積装置
２５      供給装置
２６      下部搬出入接続部
２７      搬出入蓄積器
２８      ケーシング
２９      閉鎖可能な開口部
３０      蓄積スペース
３１      開口部
３２      開口部
３３      管路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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