(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ａｇ、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｗ、Ｈｆ、Ｔａ、及びＺｒから選択され
る少なくとも一つの金属を含む第１の電極と、
前記第１の電極に対向する第２の電極と、
前記第１の電極と前記第２の電極との間に設けられた酸化物層と、
を備え、
前記酸化物層がアモルファスであり、ＳｉとＯからなり、前記Ｏの濃度が前記第１の電
極から前記第２の電極に向かって増加し、かつ前記酸化物層の積層方向に対して前記Ｏの
濃度勾配が極大値を有する領域が少なくとも１つ存在することを特徴とする抵抗変化素子
。
【請求項２】
前記第１の電極と前記第２の電極との間に複数の閾値電圧をかけることで多値記録をす
ることを特徴とする請求項１に記載の抵抗変化素子。
【請求項３】
前記第２の電極は、不純物がドープされたＳｉであることを特徴とする請求項１に記載
の抵抗変化素子。
【請求項４】
列方向に複数設けられた第１の配線と、
行方向に複数設けられた第２の配線と、
前記第１の配線と前記第２の配線が交わる位置であって前記第１の配線と前記第２の配
線との間に設けられた、請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載の抵抗変化素子と、
前記抵抗変化素子と前記第２の配線と
の間に設けられた整流素子と、
を備えることを特徴とするメモリセルアレイ。
【請求項５】
基板と、
金属を含む第１の電極と第１の絶縁膜とが交互に前記基板上に積層された第１の積層体
と、
第２の電極と第２の絶縁膜とが交互に前記基板上に前記第１の積層体と離間して積層さ
れ、前記第２の電極は前記第１の電極と対向し、前記第２の絶縁膜は前記第１の絶縁膜と
対向する第２の積層体と、
前記基板上であって前記第１の積層体と前記第２の積層体との間に設けられた酸化物層
と、
を備え、
前記金属が、Ａｇ、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｗ、Ｈｆ、Ｔａ、及び、Ｚ
ｒから選択される少なくとも一つの金属であり、前記第２の電極が不純物がドープされた
Ｓｉであり、前記酸化物層がアモルファスであり、ＳｉとＯからなり、前記Ｏ濃度が前記
第１の電極から前記第２の電極に向かって増加し、かつ前記酸化物層の積層方向に対して
前記Ｏの濃度勾配が極大値を有する領域が少なくとも１つ存在することを特徴とする抵抗
変化装置。
【請求項６】
前記第１の電極と前記第２の電極との間に複数の閾値電圧をかけることで多値記録をす
ることを特徴とする請求項５に記載の抵抗変化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、抵抗変化素子、メモリセルアレイ、及び抵抗変化装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特開２００９−１６４５８０号公報には、上部電極と下部電極とに挟まれた抵抗スイッチング金属酸化物層を有するメモリ素子が開示されている。この抵抗スイッチング金属酸化物層はニッケル（Ｎｉ）と酸素（Ｏ）を含み、Ｏの濃度が下部電極から上部電極に向かって増加している。
【０００３】
この場合、非特許文献１に記載のように、上部電極から下部電極に電流を流すことで抵抗スイッチング金属酸化物層中のＯがジュール熱によって拡散して局所的にＮｉの濃度が高い部分が形成される。このような場合、抵抗スイッチング金属酸化物中のＯの濃度が不均一になるので抵抗の変化を制御することが困難であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１６４５８０号公報
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】Applied Physics Letters 93 042106(2008)
【非特許文献２】Applied Physics Letters 93 (2008) 033506
【非特許文献３】Physical Review Letters 81 p1243
【非特許文献４】J. Electrochem. Soc. Vol. 133 p1242
【非特許文献５】Nano Letters 9 (2009) 1636
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで本発明は、２値又は多値化が可能で抵抗の変化を精度よく制御できる抵抗変化素子、メモリセルアレイ、及び抵抗変化装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係る抵抗変化素子は、Ａｇ、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｗ
、Ｈｆ、Ｔａ、及びＺｒから選択される少なくとも一つの金属を含む第１の電極と、前記
第１の電極と対向する第２の電極と、前記第１の電極と前記第２の電極との間に設けられ
た酸化物層と、を備え、前記酸化物層がアモルファスであり、ＳｉとＯからなり、前記Ｏ
の濃度が前記第１の電極から前記第２の電極に向かって増加し、かつ前記酸化物層の積層
方向に対して前記Ｏの濃度勾配が極大値を有する領域が少なくとも１つ有することを特徴
とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、２値又は多値化が可能で抵抗の変化を制度よく制御できる抵抗変化素子、メモリセルアレイ、及び抵抗変化装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る抵抗変化素子１０を示す図。
【図２】酸化物層１の組成を説明する図。
【図３】抵抗変化素子１０の動作原理を説明する図。
【図４】抵抗変化素子１０の多値動作を説明する図。
【図５】抵抗変化素子１０を説明する図。
【図６】元素のイオン半径を示す図。
【図７】抵抗変化素子１０をメモリアレイに用いた図。
【図８】抵抗変化素子１０を三次元積層構造に用いた図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
（第１の実施形態）
【００１１】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る抵抗変化素子１０を示す図である。
【００１２】
抵抗変化素子１０は、酸化物層１が２つの電極２と電極３との間に挟まれている。
【００１３】
電極２は、例えばＡｇ、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｗ、Ｈｆ、Ｔａ、及びＺｒから選択される金属を用いることができる。他にも電極２には、上記した金属との窒化物、又は炭化物を用いることもできる。さらに、上記した金属を少なくとも一つ含む合金として用いることもできる。
【００１４】
電極３は、例えば高濃度にＢがドープされたＳｉを用いることができる。高濃度にＢをドープすることでＳｉの抵抗変化率を０．００５Ωｃｍ以下とすることができるからである。電極３は、高濃度にＢがドープされたＳｉに限らず、不純物をドープしたＳｉを用いることもできる。
【００１５】
酸化物層１は、アモルファスであり、ＯとＳｉを含む。酸化物層１はＯの濃度が電極２から電極３に向かって増加し、かつＯの濃度勾配が極大値を有する領域が少なくとも一つ存在している。すなわち、酸化物層１の積層方向に対してＯの濃度勾配が極大値を有する領域が少なくとも一つ存在している。なお、この状態を別の表現で示すと酸化物層１は、Ｏ濃度の低い層と高い層から構成され、Ｏ濃度の高い層と低い層との境界で濃度勾配が増加していると言える。電極２と電極３との間に電圧を印加してもＯの組成変化が生じにくい。これは、酸化物層１がアモルファスであるために結晶構造を有しないため、又ＳｉがＯと共有結合により強く結合しているためである。酸化物層１の膜厚は、例えば１ｎｍ以上３００ｎｍである。抵抗変化素子１０を微細化すると酸化物層１の膜厚は薄い方が好ましい。この点を考慮すると、酸化物層１の膜厚は２ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることが好ましい。
【００１６】
図２（Ａ）及び図２（Ｂ）は、酸化物層１に含まれるＯの濃度勾配を説明する図である。横軸（紙面右方向）が濃度勾配の大きさを示し、縦軸（紙面下方向）が電極２から電極３までの距離ｘを示す。
【００１７】
図２（Ａ）に示すように、例えば酸化物層１が、ＳｉＯ０．１の組成を有する層（第１の層４）とＳｉＯ０．５の組成を有する層（第２の層５）からなる場合、第１の層４と第２の層５との境界でＯの組成が０．４上昇することになる。このとき、第１の層４と第２の層５との境界で濃度勾配が極大値を有することになる。この場合、第１の層４及び第２の層５の膜厚は例えば５０ｎｍである。
【００１８】
また、酸化物層１が濃度勾配の極大値を２つ有する場合には、図２（Ｂ）に示すように第２の層５よりも濃度の高い第３の層６が存在することになる。なお、第３の層６のＯの組成は０．８としている。
【００１９】
次に、本実施形態に係る抵抗変化素子１０の動作原理について説明する。図３（Ａ）及び図３（Ｂ）は、本実施形態に係る抵抗変化素子１０の動作原理を説明する図である。ここでは、酸化物層１のＯの濃度勾配が極大値を１つ有する場合を例に説明する。また、酸化物層１は第１の層４及び第２の層５からなるものとして説明する。
【００２０】
抵抗変化素子１０の電極３に対して電極２に正となる電圧を印加すると、図３（Ａ）に示すように電極２に含まれる金属がイオンとなる。金属イオンは酸化物層１内で電極３に向かって拡散する。このようにして、フィラメント７が形成される。フィラメント７は金属からなるために導電性が高い。よって第１の層４の抵抗は低くなる。なお、フィラメント７の形成は第１の層４と第２の層５との境界で停止する。これは、第２の層５の方が第１の層４よりもＯの濃度が高いために、金属イオンの拡散速度が第２の層５では低下するためである。なお、抵抗の高低は、微弱な電流を電極２から電極３に流すことで読取ることができる。また、フィラメント７が第１の層４までしか形成されていない場合は、第２の層５にはトンネル電流が流れる。
【００２１】
この状態で電極３に対して電極２が負となる電圧を印加すると、図３（Ｂ）に示すように第１の層４内に存在するフィラメント７を構成する金属イオンが電極３から電極２に向かって拡散しフィラメント７が消滅する。この結果、第１の層４の抵抗は高くなる。
【００２２】
さらに抵抗変化素子１０の電極３に対して電極２に正となる電圧を印加すると、再び図３（Ａ）に示すように電極２に含まれる金属がイオンとなって酸化物層１内で電極３に向かって拡散しフィラメント７が形成される。すなわち、電極３に対して電極２に正又は負の電圧を印加することで、酸化物層１内にフィラメント７を形成したり消滅させたりすることができる。
【００２３】
したがって、例えば酸化物層１内にフィラメント７が形成されている状態を‘１’とし、フィラメント７が形成されていない状態を‘０’とすることで、２値の抵抗変化素子１０を提供することができる。このようにすることで抵抗変化素子１０に情報を記録する。なお、この場合にはフィラメント７が電極３まで貫通して形成されていないために、電極２から電極３に流す電流量を低減することができる。
【００２４】
また、３値にする場合（多値）にする場合には、フィラメント７を電極３にまで形成することで、フィラメント７が電極３まで形成された状態を‘２’とすることで３値にできる。また、多値とは、３値以上の状態を示す。
【００２５】
上記したように酸化物層１は、Ｏの濃度が電極２から電極３に向かって増加し、かつ濃度勾配が極大値を有する領域が少なくとも一つ存在する。このため、例えば図２で説明した抵抗変化素子１０の第１の層４と第２の層５とのＯの組成比が異なる。よって、電極２から拡散する金属イオンの拡散速度が第１の層４と第２の層５とでは異なる。その金属イオンの拡散速度の違いを利用して抵抗変化素子１０の多値化を実現することができる。
【００２６】
次に、本実施形態に係る抵抗変化素子１０を２値よりも多くする場合（多値化）について説明する。
【００２７】
図４（Ａ）乃至図４（Ｄ）は、電極３に対して電極２が正となる電圧を印加した場合の電流―電圧特性と、そのときの抵抗変化素子１０の構造の模式図を示す。なお、酸化物層１は第１の層４、第２の層５、及び第３の層６からなるものとして説明する。
【００２８】
酸化物層１はＯの組成比が異なるために電極２から電極３に向かって拡散する金属イオンの速度は各層で異なる。
【００２９】
図４（Ａ）は、電極２の金属が酸化物層１で拡散していない状態を示す図である。この状態の抵抗変化素子１０に電極３に対して電極２が正となる電圧を印加し、ある電圧（Ｖ１）になると図４（Ｂ）に示すように電極２の金属がイオンとなって酸化物層１の第１の層４中にフィラメント７が形成される。このとき、図４（Ｂ）の下図の黒丸で示すように電流値が急激に上昇する。これは、第１の層４に導電性のフィラメント７が形成されることにより、抵抗変化素子１０の抵抗値が大きく低下するためである。なお、フィラメント７の形成は、第１の層４と第２の層５との境界で停止する。これは、第２の層５の方が第１の層４よりもＯの濃度が高いために、金属イオンの拡散速度が第２の層５中では低下するためである。
【００３０】
次に、電圧Ｖ１よりも大きな電圧（Ｖ２）を電極３に対して電極２が正となるように印加する。すると、図４（Ｃ）に示すように第１の層４中に形成されたフィラメント７を構成する金属イオンが第２の層５中に拡散してフィラメント７が伸びる。このとき、電流値がさらに上昇する（図４（Ｃ）の下図の黒丸）。これは、導電性フィラメント７の長さがさらに長くなるためである。なお、フィラメント７の形成は、第２の層５と第３の層６との境界で停止する。これは、第３の層６の方が第２の層５よりもＯの濃度が高いために、金属イオンの拡散速度が第３層６中では低下するためである。
【００３１】
次に、さらに電圧Ｖ２よりも大きな電圧（Ｖ３）を電極３に対して電極２が正となるように印加する。すると、図４（Ｄ）に示すように第２の電極５中に形成されたフィラメント７を構成する金属イオンが第３の層６中に拡散してフィラメント７が伸びる。このとき、電流値がさらに上昇する（図４（Ｄ）の下図の黒丸）。これは、導電性フィラメント７の長さがさらに長くなるためである。これで、フィラメント７は電極２から電極３まで形成されることになる。
【００３２】
以上、説明したように、図４（Ａ）乃至図４（Ｄ）の状態はある閾値を持った電圧Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３に対して段階的に遷移する。このため、多値の抵抗変化素子１０を実現できる。なお、電圧Ｖ１、電圧Ｖ２、及び電圧Ｖ３の値は、例えば０．１Ｖ以上１５Ｖ以下の範囲で規定される。抵抗変化素子１０が微細化され、例えば５０ｎｍ程度のサイズになることを考慮すると、電圧Ｖ１、電圧Ｖ２、及び電圧Ｖ３の値は、０．１Ｖ以上６Ｖ以下の範囲で規定されることが好ましい。
【００３３】
また、図４（Ｂ）乃至図４（Ｄ）の状態、すなわちフィラメント７が酸化物層１内に形成されている状態で、電極３に対して電極２に負となるような電圧を印加すると、印加電界によりフィラメント７を構成する金属イオンは電極３から電極２に向かって拡散し、フィラメント７を消滅させることができる。つまり、電極３に対して電極２に正又は負の電圧を印加することで、酸化物層１内にフィラメント７を形成したり消滅させたりすることができる。この電極３に対して電極２に負となるような電圧の値も、例えば−０．１Ｖ以上−１５Ｖ以下の範囲で規定される。抵抗変化素子１０が微細化され、例えば５０ｎｍ程度のサイズになることを考慮すると、電圧の値は、−０．１Ｖ以上−６Ｖ以下の範囲で規定されることが好ましい。
【００３４】
したがって、例えば酸化物層１内にフィラメント７が酸化物層１に形成されていない状態を‘０’とし、フィラメント７が第１の層４まで形成されている状態を‘１’とし、フィラメント７が第２の層５まで形成されている状態を‘２’とし、フィラメント７が第３の層６まで形成されている状態を‘３’とすることで、多値の抵抗変化素子１０を提供することができる。
【００３５】
また、酸化物層１中に濃度勾配が極大値を有する領域が複数存在するようにして閾値電圧を制御すれば、より多値な抵抗変化素子を提供することができる。
【００３６】
ここで、抵抗変化素子１０を多値にするために必要な酸化物層１に含まれるＯの好ましい量について説明する。ここでは、説明を簡単にするために、図５に示すように、電極２と電極３の間に酸素濃度の異なる層が２層（第１層、第２層と称する）形成されているとして説明する。すなわち、酸化物層１内に濃度勾配の極大値が１つ存在する場合である。
【００３７】
上記したように、本実施形態に係る抵抗変化素子１０の動作原理として電極２と電極３との間に電圧を印加することで酸化物層１内に電極２の金属をイオンとして拡散させ、フィラメント７を酸化物層１内に形成する。このため、フィラメント７を構成する金属はイオン性を有している。我々の研究成果によると、フィラメント７の形成は、１００ｎｓ以下の早い電圧パルスでも実現できている。すなわちこれは、フィラメントを形成する金属イオンが抵抗変化層内を、空孔交換型や格子置換型の比較的遅い拡散形態ではなく、格子間挿入型の拡散形態によって拡散していることを示す。すなわち、フィラメント７を構成する金属イオンは、帯電した状態で酸化物層１中の格子間をホッピングして拡散する。このとき、酸化物層１内での金属イオンの拡散のしやすさは、一般的に金属イオンのホッピングのしやすさで決まる。すなわち、以下の式１で金属イオンのホッピングレートν(ｓ-1)は表される。
【数１】
0005543819.tif 000002
【００３８】
ここで、ν０(ｓ-1)はホッピング試行回数でありデバイ振動数程度の値である。そしてＥＡはホッピングに必要な活性化エネルギーである。フィラメント７を構成する金属は、電界によって酸化物層１内に押し込まれる。すなわち酸化物層１を、電界によって押し込まれるように移動するため、その移動のしやすさは、金属のイオン半径と密接に関係する。つまり、イオン半径が大きいほうが、格子間ホッピングに必要な活性化エネルギーが大きい。
【００３９】
図６は、金属についてのイオン半径を示す図である。以下これらの代表として、ＡｇとＣｕを用いて説明をする。
【００４０】
以下では、多値動作ができる酸化物層１のＯの含有量の条件について説明する。まず、酸化物層１内にフィラメント７が形成されていない状態（初期状態）を考える。この状態から、電極２と電極３との間に電圧を印加すると、以下の式２及び式３に示される拡散流束Ｊｔｏｐ(A)、Ｊｍｉｄ(A)によって電極２に含まれる金属が酸化物層１内に拡散する。
【数２】
0005543819.tif 000003
【数３】
0005543819.tif 000004
【００４１】
ここで、ｋはボルツマン定数、Ｔは温度（Ｋ）、ＥＡ、Ｅ’Ａは第１層及び第２層での金属イオンのホッピングの活性化エネルギー(eV)、Ｅ、Ｅ’は第１層及び第２層に掛かる電界(V/cm)である。
【００４２】
次に、第１層にフィラメント７が形成されたときを考える。第１層にフィラメント７が形成されると、その部分は導電性となり、第１層での電圧降下は起こらない。このため、第２層にかかる電界は、電圧のかかる膜厚が薄くなった効果により上昇する。よって、フィラメント７が第１層に形成された後の拡散流速Ｊｍｉｄ’は、以下の式４で表せる。
【数４】
0005543819.tif 000005
【００４３】
ここで、Ｅ’＜Ｅ”であるため、この電界の上昇により荷電イオンの拡散流束は増大する。このときの第２層の拡散流束が、セット直前の第１層の拡散流束と同等もしくはそれよりも大きい、すなわち以下の式５の場合は多値が実現できない。
【数５】
0005543819.tif 000006
【００４４】
これは、第２層はフィラメント７の形成前の第１層よりも金属イオンが拡散しやすい状態となってしまうために、フィラメント７の形成が第２層で停止することは無く、第２層にも荷電イオンが拡散してフィラメント７が形成されてしまうからである。
【００４５】
このようになると、本実施形態で意図した多値動作が実現しない。従って、第１層でフィラメント７が形成されても第２層には金属イオンが拡散していかない条件が多値化を実現するための条件となる。これは以下の式６で示す。
【数６】
0005543819.tif 000007
【００４６】
精度よくフィラメント７を酸化物層１中に形成するには、拡散流束が一桁以上変化する方が好ましく、その場合以下の式７、式８、式９のようになる。
【数７】
0005543819.tif 000008
【数８】
0005543819.tif 000009
【数９】
0005543819.tif 000010
【００４７】
動作温度は室温（３００Ｋ）であるから、これを計算すると活性化エネルギーの差（Ｅ’Ａ−ＥＡ）が０．０６ｅＶ以上であることが必要である。すなわち、第１層と第２層との間で金属イオンの格子間ホッピングの活性化エネルギーの差が０．０６ｅＶ以上あれば、本実施形態の意図する多値動作が信頼性よく実現できる。本実施形態では、第１層と第２層とに含まれるＯの濃度を変化させることによりその活性化エネルギーを調節する。
【００４８】
例えば電極がＣｕの場合の、多値動作に必要なＳｉとＯの含有量について説明する。ＣｕイオンのＳｉ（Ｏ含有量０％）中の拡散の活性化エネルギーは０．１８ｅＶである（例えば、非特許文献３を参照）。それに対してＳｉＯ２中（Ｏ含有量６７％）での活性化エネルギーは１．２ｅＶである（例えば、非特許文献４を参照）。ここから活性化エネルギーを０．０６ｅＶ変化させるために必要なＯの含有量の変化を内挿すると４％となる。すなわち、第２層に含まれるＯの含有量が第１層よりも４％以上多ければ多値動作が実現可能である。
【００４９】
Ａｇイオンの場合は、ＳｉＯ２中（Ｏ含有量６７％）での活性化エネルギーは１．３ｅＶ（例えば、非特許文献４を参照）であり、Ｓｉ中での活性化エネルギーは０．８７ｅＶ（例えば、非特許文献５を参照）である。この場合、９．３％以上のＯの含有量の差があれば多値動作が可能となる。
【００５０】
従来、抵抗変化素子に流す電流の大きさを制御する（以下、電流コンプライアンス法と称する）ことでフィラメントを形成していた。しかしながら、電流コンプライアンス法では、抵抗変化素子に接続された配線による寄生容量からの流入電流等が抵抗変化素子の信頼性に大きく影響するためにフィラメントを形成することが困難であった。
【００５１】
また、特にフィラメントを形成する際には配線の寄生容量の影響が大きく、電流コンプライアンス法によって精度よくフィラメントを形成するには、抵抗変化素子に隣接してトランジスタを配置させなければならなかった（例えば、非特許文献２を参照）。よって電流コンプライアンス法は、抵抗変化素子の微細化に適していない。さらに、電流コンプライアンス法は、ジュール熱が酸化物層内で生じる。このため、抵抗変化素子を複数隣接して設置すると抵抗変化素子によって生じる発熱が隣接する抵抗変化素子の酸化物層の組成を変えてしまう恐れがあった。
【００５２】
一方で本実施形態に係る抵抗変化素子１０は、酸化物層１の濃度差から起因する金属イオンの拡散速度の違いと電圧制御を利用している。このため、電圧制御による多値化が実現できて、必ずしもトランジスタを併設する必要もない。よって、従来の電流コンプライアンス法よりも精度よくフィラメントを形成することができる。
【００５３】
次に、本実施形態に係る抵抗変化素子１０の製造方法について説明する。
【００５４】
まず、例えば加速電圧３０ｋｅＶ、ｄｏｓｅ量２×１０１５ｃｍ−２でＢイオンをＳｉ単結晶基板からなる電極３に注入し、活性化アニールを施してｐ型Ｓｉ領域を形成する
【００５５】
次に、たとえば化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：ＣＶＤ）によりＳｉからなる酸化物層１を堆積する。このとき、ソースガスであるＳｉＨ４と酸素の流量比を調節することによって、酸化物層１のＯの比率を制御する。本実施形態の場合、酸化物層１の積層膜の最下層から順にＯの含有量が高い構造となっている。例えば最下層から順にＯの含有量は、２０％、１０％、０．５％である。このＯの含有量は、ＸＰＳ（Ｘ−ｒａｙ  Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）、ＳＩＭＳ（Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ  ｉｏｎ  ｍａｓｓ  ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）、又はＴＥＭ−ＥＤＳ（ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ  ｅｌｅｃｔｒｏｎ  ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ  ‐  Ｅｎｅｒｇｙ  Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）等で分析可能である。
【００５６】
その後、Ａｇからなる電極２を堆積することで本実施形態に係る抵抗変化素子１０となる。
【００５７】
以上、本発明の実施形態について説明した。なお、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいて、あらゆる変形や変更が可能である。
【００５８】
また、本発明は抵抗変化素子単体の技術に係り、その抵抗変化素子の接続方法には依存せず、どのような回路であっても本発明は適用可能である。
【００５９】
例えば、図７に示すように、上部配線と下部配線の交差部分に本発明の抵抗変化素子１０と整流素子とを構成するいわゆるクロスポイント型のメモリアレイとなる(整流素子とは、具体的には、たとえばP-I-Nダイオードのようなダイオード素子である。)。この場合、上部配線が列方向に複数形成され、下部配線が行方向に複数形成されている。このメモリセルアレイの動作原理は、複数ある上部配線と下部配線を選択することで記録をしたい抵抗変化素子１０に電圧を印加する。なお、この場合には制御部で上部配線と下部配線に任意の電圧を印加する。
【００６０】
他にも、図８に示すように、基板（図示せず）上に電極２と絶縁膜８が交互に積層された構造（第１の積層体）と電極３と絶縁膜８が交互に積層された構造（第２の積層体）で酸化物層１を挟んだ三次元積層構造（抵抗変化装置）であってもよい。この場合、電極２に対向して電極３が設けられており、それぞれの電極２と電極３の対でフィラメント７を形成することになる。このとき、絶縁膜８はＡｌ２Ｏ３又はＳｉＯ２等である。
【符号の説明】
【００６１】
１  …  酸化物層、２  …  電極、３  …電極、４  …  第１の層、５  …  第２の層、６  …  第３の層、７  …  フィラメント、１０  …  抵抗変化素子
【図１】
0005543819.tif 000011
【図２】
0005543819.tif 000012
【図３】
0005543819.tif 000013
【図４】
0005543819.tif 000014
【図５】
0005543819.tif 000015
【図６】
0005543819.tif 000016
【図７】
0005543819.tif 000017
【図８】
0005543819.tif 000018