(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザー光が通過するように入射口が形成される下板部；
前記下板部に固定設置され、空圧によって膨張されるシーリング部；及び
前記下板部に載置され、前記シーリング部に密着する上板部；を含み、
前記下板部は、
チャンバーの上側に配置され、前記入射口が形成される下部板；及び
前記下部板に形成され、前記入射口と連通して冷却用気体が出入りする冷却部；
をさらに含むことを特徴とするアニーリング装置。
【請求項２】
前記下板部は、
前記下部板の上側に形成され、前記入射口に近接配置されるシーリング溝部；を含むことを特徴とする、請求項１に記載のアニーリング装置。
【請求項３】
前記冷却部は、
前記下部板を貫通し、前記入射口と連通する冷却管；
前記冷却管に連結され、冷却用気体が貯蔵される冷却タンク；及び
前記冷却管に設置され、冷却用気体の出入量を調節する冷却バルブ；を含むことを特徴とする、請求項１に記載のアニーリング装置。
【請求項４】
前記冷却管は、上下方向にジグザグ状に形成されることを特徴とする、請求項３に記載のアニーリング装置。
【請求項５】
前記シーリング溝部は、
前記下部板に形成される挿入溝部；及び
前記挿入溝部の底面中央に形成される設置溝部；を含むことを特徴とする、請求項２に記載のアニーリング装置。
【請求項６】
前記シーリング部は、
前記挿入溝部に挿入され、空圧室が形成される空圧シーリング；
前記空圧シーリングの底面から延長され、下方に突出形成される連結シーリング；
前記連結シーリングから側方向に突出形成され、前記設置溝部に載置される載置シーリング；
前記載置シーリングと前記連結シーリングを貫通し、前記空圧室と連通して空圧用気体が出入りする出入管；
前記出入管に連結され、空圧用気体が貯蔵される空圧タンク；及び
前記出入管に設置され、空圧用気体の出入量を調節する空圧バルブ；を含むことを特徴とする、請求項５に記載のアニーリング装置。
【請求項７】
前記シーリング部は、
前記挿入溝部の底面に載置され、前記載置シーリングの上側に配置される固定板；及び
前記挿入溝部とねじ結合され、前記固定板を固定させる固定体；をさらに含むことを特徴とする、請求項６に記載のアニーリング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アニーリング装置に関し、より詳細には、シーリングが空圧によって膨張又は収縮され、上板部と下板部を密閉させるアニーリング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、有機発光ダイオードディスプレイ（Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ  Ｄｉｓｐｌａｙ）などの平板表示装置の基板としては、長辺及び短辺を有する矩形状のガラス基板が使用される。
【０００３】
このようなガラス基板は、洗浄工程、レーザーアニーリング工程、露光工程及びエッチング工程などの多様な工程を経ながら平板表示装置の基板に製造される。
【０００４】
アニーリング工程は、アニーリング装置によって行われる。このようなアニーリング装置は、チャンバーの上面から入射されるレーザー光によって基板を結晶化させる。
【０００５】
このとき、レーザー光の照射によって基板から突き出たパーティクルは、透明窓の底面に付着する。
【０００６】
一方、本発明の背景技術は、特許文献１（２００３．０３．２８公開、発明の名称：有機電界発光素子及びその製造方法）に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】大韓民国出願公開第２００３―００２４９９５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来のアニーリング装置は、密閉のために使用されるシーリングが上板部と下板部に密着して固着されることによって、上板部を下板部から分離しにくいという問題を有する。
【０００９】
したがって、これを改善する必要性が要請される。
【００１０】
本発明は、前記のような問題を改善するためになされたもので、空圧によってシーリングが膨張又は収縮されることによって、上板部と下板部との間でシーリングが固着されなく、密閉性を維持するアニーリング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記のような目的を達成するために、本発明は、レーザー光が通過するように入射口が形成される下板部；前記下板部に固定設置され、空圧によって膨張されるシーリング部；及び前記下板部に載置され、前記シーリング部に密着する上板部；を含むことを特徴とするアニーリング装置を提供する。
【００１２】
前記下板部は、チャンバーの上側に配置され、前記入射口が形成される下部板；及び前記下部板の上側に形成され、前記入射口に近接して配置されるシーリング溝部；を含むことを特徴とする。
【００１３】
前記下板部は、前記下部板に形成され、前記入射口と連通して冷却用気体が出入りする冷却部をさらに含むことを特徴とする。
【００１４】
前記冷却部は、前記下部板を貫通し、前記入射口と連通する冷却管；前記冷却管に連結され、冷却用気体が貯蔵される冷却タンク；及び前記冷却管に設置され、冷却用気体の出入量を調節する冷却バルブ；を含むことを特徴とする。
【００１５】
前記冷却管は、上下方向にジグザグ状に形成されることを特徴とする。
【００１６】
前記シーリング溝部は、前記下部板に形成される挿入溝部；及び前記挿入溝部の底面中央に形成される設置溝部；を含むことを特徴とする。
【００１７】
前記シーリング部は、前記挿入溝部に挿入され、空圧室が形成される空圧シーリング；前記空圧シーリングの底面から延長され、下方に突出形成される連結シーリング；前記連結シーリングから側方向に突出形成され、前記設置溝部に載置される載置シーリング；前記載置シーリングと前記連結シーリングを貫通し、前記空圧室と連通して空圧用気体が出入りする出入管；前記出入管に連結され、空圧用気体が貯蔵される空圧タンク；及び前記出入管に設置され、空圧用気体の出入量を調節する空圧バルブ；を含むことを特徴とする。
【００１８】
前記シーリング部は、前記挿入溝部の底面に載置され、前記載置シーリングの上側に配置される固定板；及び前記挿入溝部とねじ結合され、前記固定板を固定させる固定体；をさらに含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係るアニーリング装置は、下板部に設置されるシーリング部が空圧によって膨張又は収縮され、上板部と密着したり、上板部との密着状態が解除されることによって、シーリング部が上板部に固着されないので、下板部と上板部との間の分離が容易であるという効果を有する。
【００２０】
本発明に係るアニーリング装置は、シーリング部が膨張によって上板部に均一に密着するので、入射口の内部と外部を遮蔽できるという効果を有する。
【００２１】
本発明に係るアニーリング装置は、シーリング部がシーリング溝部にねじ結合されることによって、シーリング部の離脱を防止するという効果を有する。
【００２２】
本発明に係るアニーリング装置は、冷却部が入射口の加熱された部分を冷却させることによって、入射口の過熱を防止するという効果を有する。
【００２３】
本発明に係るアニーリング装置は、冷却管が上下にジグザグ状に形成されることによって、水分が入射口に吐出されることを防止するという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施例に係るアニーリング装置における上板部の透明窓が下板部の入射口をカバーした状態を概略的に示す図である。
【図２】図１におけるシーリング部の膨張状態を概略的に示す図である。
【図３】本発明の一実施例に係るアニーリング装置における上板部の透明窓が下板部の入射口をカバーしていない状態を概略的に示す図である。
【図４】図３におけるシーリング部の収縮状態を概略的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、添付の各図面を参照して本発明に係るアニーリング装置の実施例を説明する。このような過程で図面に示した各線の太さや構成要素の大きさなどは、説明の明瞭性と便宜上誇張して図示する場合がある。また、後述する用語は、本発明での機能を考慮して定義された用語であって、これは、使用者及び運用者の意図又は慣例によって変わり得る。したがって、このような用語は、本明細書全般にわたる内容に基づいて定義しなければならない。
【００２６】
図１は、本発明の一実施例に係るアニーリング装置における上板部の透明窓が下板部の入射口をカバーした状態を概略的に示す図で、図２は、図１におけるシーリング部の膨張状態を概略的に示す図で、図３は、本発明の一実施例に係るアニーリング装置における上板部の透明窓が下板部の入射口をカバーしていない状態を概略的に示す図で、図４は、図３におけるシーリング部の収縮状態を概略的に示す図である。
【００２７】
図１〜図４を参照すると、本発明の一実施例に係るアニーリング装置１には、下板部１０、シーリング部２０及び上板部３０が備えられる。
【００２８】
下板部１０には、レーザー光が通過するように入射口１９が形成され、上板部３０は下板部１０の上側に載置される。
【００２９】
シーリング部２０は、下板部１０に固定設置される。このようなシーリング部２０は、空圧によって膨張されて下板部１０と上板部３０との間の空間を密閉させる。
【００３０】
本発明の一実施例に係る下板部１０には、下部板１１及びシーリング溝部１２が備えられる。
【００３１】
下部板１１は、基板が載置されたチャンバーの上端部をカバーする。このような下部板１１には、レーザー光が通過するための入射口１９が形成される。このとき、入射口１９は、レーザー光が投射されるように長方形のホール状に形成される。
【００３２】
シーリング溝部１２は下部板１１の上側面に形成される。このようなシーリング溝部１２は、入射口１９に近接するように配置される。例えば、シーリング溝部１２は、入射口１９の外側方向に位置して循環される。
【００３３】
本発明の一実施例に係る下板部１０には冷却部１３がさらに備えられる。このような冷却部１３は、下部板１１に形成され、入射口１９と連通して冷却用気体を出入りさせる。
【００３４】
本発明の一実施例に係るシーリング溝部１２には、挿入溝部１２１及び設置溝部１２２が備えられる。
【００３５】
挿入溝部１２１は下部板１１の上側面に形成され、設置溝部１２２は挿入溝部１２１の底面中央に形成される。
【００３６】
したがって、下部板１１の上側面から挿入溝部１２１までの距離より、下部板１１の上側面から設置溝部１２２までの距離の方が長い。
【００３７】
本発明の一実施例に係るシーリング部２０には、空圧シーリング２１、連結シーリング２２、載置シーリング２３、出入管２４、空圧タンク２５及び空圧バルブ２６が備えられる。
【００３８】
空圧シーリング２１は挿入溝部１２１に挿入される。このような空圧シーリング２１の内部には空圧室２９が形成される。
【００３９】
連結シーリング２２は、空圧シーリング２１の底面から延長され、下方に突出形成され、載置シーリング２３は、連結シーリング２２から側方向に突出形成されて設置溝部１２２に載置される。
【００４０】
このとき、載置シーリング２３の底面と設置溝部１２２の底面は、接着物質によって接合された状態を維持することができる。
【００４１】
出入管２４は、載置シーリング２３と連結シーリング２２を貫通して空圧室２９と連通する。このような出入管２４は、下部板１１を貫通しながら空圧用気体が貯蔵された空圧タンク２５に連結される。
【００４２】
出入管２４には、空圧用気体の出入量を調節する空圧バルブ２６が設置される。
【００４３】
したがって、空圧タンク２５が空圧用気体を出入管２４に供給し、空圧バルブ２６によって出入管２４が開放されると、空圧用気体が出入管２４を介して空圧室２９に貯蔵され、空圧シーリング２１が膨張される（図２参照）。
【００４４】
空圧シーリング２１が膨張されると、この空圧シーリング２１は、下部板１１の挿入溝部１２１の内壁及び上板部３０の底面に密着して入射口１９を密閉させる。
【００４５】
一方、空圧タンク２５が空圧用気体を吸い込むと、空圧室２９に貯蔵された空圧用気体が出入管２４を介して排出され、空圧シーリング２１が収縮される（図４参照）。
【００４６】
空圧シーリング２１が収縮されると、空圧シーリング２１と上板部３０との間の密着状態が解除される。
【００４７】
空圧シーリング２１は、レーザー光を用いたアニーリング作業時に膨張され、アニーリング作業が完了すると収縮される過程を繰り返すので、空圧シーリング２１が上板部３０の底面に密着して固着されることを防止することができる。
【００４８】
本発明の一実施例に係るシーリング部２０には、固定板２７及び固定体２８がさらに備えられる。
【００４９】
固定板２７は、挿入溝部１２１の底面に載置される。このような固定板２７は、載置シーリング２３の上側面の一部をカバーする。
【００５０】
固定体２８は、挿入溝部１２１とねじ結合され、固定板２７を挿入溝部１２１に固定させる。
【００５１】
したがって、載置シーリング２３の上端部が固定板２７に係止されるので、載置シーリング２３は設置溝部１２２に設置された状態を維持する。
【００５２】
本発明の一実施例に係る冷却部１３には、冷却管１３１、冷却タンク１３２及び冷却バルブ１３３が備えられる。
【００５３】
冷却管１３１は、下部板１１を貫通して入射口１９と連通する。冷却タンク１３２は冷却管１３１に連結され、この冷却タンク１３２に冷却用気体が貯蔵される。例えば、冷却用気体としては窒素を使用する。
【００５４】
冷却バルブ１３３は冷却管１３１に設置され、冷却管１３１の開閉によって冷却用気体の出入量を調節する。
【００５５】
このとき、冷却管１３１は、上下方向にジグザグ状に形成される。このように冷却管１３１がジグザグ状に形成されると、温度差によって冷却管１３１に形成される水分が冷却管１３１を介して入射口１９に排出されることを抑制することができる。
【００５６】
一方、本発明の一実施例に係る上板部３０は、レーザー光を透過させるための透明窓３９を含み、下部板１１の上側面に形成されるレール３８に沿って移動する。
【００５７】
以下では、前記のような構造を有する本発明の一実施例に係るアニーリング装置の作用を説明する。
【００５８】
チャンバーにはアニーリング工程を実施するための基板が設置され、チャンバーの上部には下部板１１が配置される。このような下部板１１には、レーザー光を入射するための入射口１９が形成される。
【００５９】
下部板１１の上側面には、入射口１９を取り囲むシーリング溝部１２が形成される。このようなシーリング溝部１２には、挿入溝部１２１及び挿入溝部１２１の中央地点で陥没された設置溝部１２２が備えられる。
【００６０】
挿入溝部１２１には、空圧室２９が形成される空圧シーリング２１が挿入され、設置溝部１２２には、空圧シーリング２１から延長された載置シーリング２３が挿入される。
【００６１】
出入管２４は、載置シーリング２３及び載置シーリング２３と空圧シーリング２１とを連結する連結シーリング２２を貫通して空圧室２９と連通し、空圧タンク２５で空圧用気体がポンピング又は吸入されることによって空圧シーリング２１が膨張又は収縮される。
【００６２】
このとき、出入管２４に装着された空圧バルブ２６は、出入管２４を介して吐出又は吸入される空圧用気体の出入量を調節する。
【００６３】
冷却管１３１は、下部板１１に貫通して入射口１９と連通し、冷却管１３１と連結された冷却タンク１３２で冷却用気体がポンピング又は吸入されることによって、入射口１９に冷却用気体が注入されたり、入射口１９に分布された冷却用気体が排出される。
【００６４】
下部板１１の上側には、レール３８に沿って移動する上板部３０が載置される。このような上板部３０には、レーザー光を透過させるために透明窓３９が形成される。
【００６５】
前記のような状態で、アニーリング工程のために透明窓３９が入射口１９の垂直線上に配置されるように上板部３０が下部板１１に移動すると（図１参照）、空圧タンク２５から供給された空圧用気体が空圧シーリング２１の空圧室２９に注入され、空圧シーリング２１が膨張される（図２参照）。
【００６６】
このように空圧シーリング２１が膨張によって上板部３０の底面に密着すると、入射口１９部分が密閉され、アニーリング工程中の異物流入が遮断される。
【００６７】
このとき、アニーリング工程中にレーザー光によって入射口１９部分が加熱されると、冷却管１３１を介して冷却用流体が入射口１９に流入し、加熱された部分を冷却させる。
【００６８】
そして、入射口１９に対する冷却が完了すると、入射口１９に分布された冷却用気体が冷却管１３１を介して排出される。
【００６９】
一方、入射口１９を介して入射されたレーザー光によって基板から突き出た異物が透明窓３９に付着すると、透明窓３９の透過率が低下する。
【００７０】
したがって、アニーリング工程が中断されると、空圧室２９の空圧用気体が排出され、空圧シーリング２１が収縮されることによって、空圧シーリング２１と上板部３０との間の密着が解除される（図４参照）。
【００７１】
このように空圧シーリング２１と上板部３０との間の密着が解除されると、レール３８に沿って上板部３０を移動させ、透明窓３９及び入射口１９を洗浄する（図３参照）。
【００７２】
本発明は、図面に示した実施例を参考にして説明したが、これは例示的なものに過ぎなく、当該技術分野で通常の知識を有する者であれば、これから多様な変形及び均等な他の実施例が可能であることを理解するだろう。
【００７３】
したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、下記の特許請求の範囲によって定めなければならない。
【符号の説明】
【００７４】
１０：下板部、１１：下部板、１２：シーリング溝部、１３：冷却部、２０：シーリング部、２１：空圧シーリング、２２：連結シーリング、２３：載置シーリング、２４：出入管、２５：空圧タンク、２６：空圧バルブ、２７：固定板、２８：固定体、２９：空圧室、３０：上板部、３８：レール、３９：透明窓
【図１】
0005555306.tif 000002
【図２】
0005555306.tif 000003
【図３】
0005555306.tif 000004
【図４】
0005555306.tif 000005