(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転するターレットの外周に設けられた部品保持ユニットで保持した搭載物を、前記ターレットを回転して搭載領域に搬送し、前記搭載領域で待機する被搭載物に載置する載置装置であって、
前記搭載領域に向けて搬送されている前記搭載物を撮像する搭載物用の姿勢カメラと、
前記姿勢カメラの撮像結果に基づいて、前記搭載領域に向けて搬送されている前記搭載物について、該搭載領域への搬入が完了するまでに水平面内で回転させて該水平面内の姿勢を調整する姿勢調整ユニットと、
前記搭載物用の姿勢カメラとは別に設けられ、前記搭載領域で待機する前記被搭載物を撮像する被搭載物用の位置カメラと、
前記搭載物用の姿勢カメラとは別に設けられ、前記搭載領域に搬送されて前記水平面内の回転方向の位置決めが完了した前記搭載物を撮像する搭載物用の位置カメラと、
前記被搭載物用の位置カメラ及び前記搭載物用の位置カメラの撮像結果に基づいて、前記被搭載物及び前記搭載物の前記水平面内のＸ−Ｙ方向の相対位置ずれ量及び前記水平面内の回転方向の相対位置ずれ量を導出する解析ユニットと、
前記解析ユニットの導出結果に基づいて、前記被搭載物の前記水平面内のＸ−Ｙ方向の位置及び前記水平面内の回転方向の位置を調整する位置調整ユニットと、を備えることを特徴とする、
載置装置。
【請求項２】
下側採光部から前記被搭載物用の位置カメラまでを導光する被搭載物側光路、及び、前記下側採光部と同じ鉛直軸上の上側採光部から前記搭載物用の位置カメラまでを導光する搭載物側光路を有する導光ユニットと、
前記導光ユニットの前記下側採光部及び前記上側採光部を前記搭載領域に進退させる進退ユニットと、を備えることを特徴とする、
請求項１に記載の載置装置。
【請求項３】
前記搭載物が前記搭載領域に搬送されてくることに先立って、前記搭載領域で待機する前記被搭載物の真上に前記下側採光部を進入させるように前記進退ユニットを制御する制御手段、を備えることを特徴とする、
請求項２に記載の載置装置。
【請求項４】
回転するターレットの外周に設けられた部品保持ユニットで保持した搭載物を、前記ターレットを回転して搭載領域に搬送し、前記搭載領域で待機する被搭載物に載置する載置方法であって、
搭載物用の姿勢カメラで、前記搭載領域に向けて搬送されている前記搭載物を撮像するステップと、
姿勢調整ユニットにおいて、前記姿勢カメラの撮像結果に基づいて、前記搭載領域に搬送されている前記搭載物について、該搭載領域への搬入が完了するまでに水平面内で回転させて該水平面内の姿勢を調整するステップと、
前記搭載物用の姿勢カメラとは別に設けられた被搭載物用の位置カメラで、前記搭載領域で待機する前記被搭載物を撮像するステップと、
前記搭載物用の姿勢カメラとは別に設けられた搭載物用の位置カメラで、前記搭載領域に搬送されて前記水平面内の回転方向の位置決めが完了した前記搭載物を撮像するステップと、
解析ユニットにおいて、前記被搭載物用の位置カメラ及び前記搭載物用の位置カメラの撮像結果に基づいて、前記被搭載物及び前記搭載物の前記水平面内のＸ−Ｙ方向の相対位置ずれ量及び前記水平面内の回転方向の相対位置ずれ量を導出するステップと、
位置調整ユニットにおいて、前記解析ユニットの導出結果に基づいて、前記被搭載物の前記水平面内のＸ−Ｙ方向の位置及び前記水平面内の回転方向の位置を調整するステップと、
位置が調整された前記被搭載物に前記搭載物を載置するステップと、を備えることを特徴とする、
載置方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搭載物を搬送して相手側となる被搭載物に載置する載置方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品片（例えば、加速度センサーのエレメント（ウエハチップ）、Ｓｉ基板を利用したＩＣチップ、水晶振動子、水晶・リチウムタンタレート・ニオブ酸リチウムなどの素材を利用したＳＡＷフィルターやＳＡＷ振動子など）などの搭載物を搬送して、相手側となる電子部品（例えば、基板）などの被搭載物に載置する搬送装置として、鉛直軸回りに回転するターレットで搭載物を搬送する態様のものがある（例えば、特許文献１及び２参照）。
【０００３】
この態様の搬送装置では、供給領域に供給されている搭載物を、ターレットの外周に設けられた部品保持ユニットで保持した上で、ターレットを回転して搭載領域に搬送し、搭載領域に事前に供給されている被搭載物に載置する。供給領域に供給された搭載物は、カメラで撮像されて位置情報が取得され、当該位置情報に基づいて位置が調整されてから、部品保持ユニットによって保持される。また、搭載領域に供給された被搭載物は、カメラで撮像されて位置情報が取得され、当該位置情報に基づいて位置が調整された上で、搭載物の載置に向けて待機する。これにより、搭載物の被搭載物に対する位置決め精度を向上させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−０１４７５６号公報
【特許文献２】特開２０１２−０１５２５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
被搭載物や搭載物の小型化により、位置決め精度の更なる向上が望まれている。特に、加速度センサーのエレメントの場合、サイズが５ｍｍ×５ｍｍ程度まで小型化されていることから、センシング精度を向上するために、±５μｍ以下の搭載精度にすることが要求されている。しかしながら、駆動時に発生する熱などに起因して搬送装置の各部が撓むので、上記態様では、位置決め精度を高めることに限界がある。特にターレット構造の搬送装置では、搭載物の保持動作（搬入動作）と、搭載動作（搬出動作）を、複数の部品保持ユニットによって同時に行う。例えば、搭載物の搭載位置（搬出位置）を微調整するために、ターレットの回転角度を変更すると、保持位置（吸着位置）まで変更されてしまい、保持不良が生じてしまう。即ち、単一の部品保持ユニットを直線的に往復移動させる直動式の搬送装置と異なり、ターレット構造の部品搬送装置は、複数の部品保持ユニットで同時並行的に作業を進めるため、ターレット全体の位置決め精度の悪化が、搭載物の保持精度や搭載精度の双方に悪影響を及ぼす。また、動力源にＤＤ（ダイレクトドライブ）モータを採用しているので、モータの割出し精度の悪さが位置決め精度の悪化に直結している。従って、現時点では、±５μｍ以下の搭載精度を実現することが困難となってきている。
【０００６】
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、搭載物の被搭載物に対する位置決め精度を向上させることができる載置方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者の鋭意研究により、上記目的は以下の手段によって達成される。
【０００８】
（１）本発明は、回転するターレットの外周に設けられた部品保持ユニットで保持した搭載物を、前記ターレットを回転して搭載領域に搬送し、前記搭載領域で待機する被搭載物に載置する載置装置であって、前記搭載領域に向けて搬送されている前記搭載物を撮像する搭載物用の姿勢カメラと、前記姿勢カメラの撮像結果に基づいて、前記搭載領域に向けて搬送されている前記搭載物について、該搭載領域への搬入が完了するまでに水平面内で回転させて該水平面内の姿勢を調整する姿勢調整ユニットと、前記搭載物用の姿勢カメラとは別に設けられ、前記搭載領域で待機する前記被搭載物を撮像する被搭載物用の位置カメラと、前記搭載物用の姿勢カメラとは別に設けられ、前記搭載領域に搬送されて前記水平面内の回転方向の位置決めが完了した前記搭載物を撮像する搭載物用の位置カメラと、前記被搭載物用の位置カメラ及び前記搭載物用の位置カメラの撮像結果に基づいて、前記被搭載物及び前記搭載物の前記水平面内のＸ−Ｙ方向の相対位置ずれ量及び前記水平面内の回転方向の相対位置ずれ量を導出する解析ユニットと、前記解析ユニットの導出結果に基づいて、前記被搭載物の前記水平面内のＸ−Ｙ方向の位置及び前記水平面内の回転方向の位置を調整する位置調整ユニットと、を備えることを特徴とする、載置装置である。
【０００９】
（２）本発明はまた、下側採光部から前記被搭載物用の位置カメラまでを導光する被搭載物側光路、及び、前記下側採光部と同じ鉛直軸上の上側採光部から前記搭載物用の位置カメラまでを導光する搭載物側光路を有する導光ユニットと、前記導光ユニットの前記下側採光部及び前記上側採光部を前記搭載領域に進退させる進退ユニットと、を備えることを特徴とする、上記（１）に記載の載置装置である。
【００１０】
（３）本発明はまた、前記搭載物が前記搭載領域に搬送されてくることに先立って、前記搭載領域で待機する前記被搭載物の真上に前記下側採光部を進入させるように前記進退ユニットを制御する制御手段、を備えることを特徴とする、上記（２）に記載の載置装置である。
【００１１】
（４）本発明はまた、回転するターレットの外周に設けられた部品保持ユニットで保持した搭載物を、前記ターレットを回転して搭載領域に搬送し、前記搭載領域で待機する被搭載物に載置する載置方法であって、搭載物用の姿勢カメラで、前記搭載領域に向けて搬送されている前記搭載物を撮像するステップと、姿勢調整ユニットにおいて、前記姿勢カメラの撮像結果に基づいて、前記搭載領域に搬送されている前記搭載物について、該搭載領域への搬入が完了するまでに水平面内で回転させて該水平面内の姿勢を調整するステップと、前記搭載物用の姿勢カメラとは別に設けられた被搭載物用の位置カメラで、前記搭載領域で待機する前記被搭載物を撮像するステップと、前記搭載物用の姿勢カメラとは別に設けられた搭載物用の位置カメラで、前記搭載領域に搬送されて前記水平面内の回転方向の位置決めが完了した前記搭載物を撮像するステップと、解析ユニットにおいて、前記被搭載物用の位置カメラ及び前記搭載物用の位置カメラの撮像結果に基づいて、前記被搭載物及び前記搭載物の前記水平面内のＸ−Ｙ方向の相対位置ずれ量及び前記水平面内の回転方向の相対位置ずれ量を導出するステップと、位置調整ユニットにおいて、前記解析ユニットの導出結果に基づいて、前記被搭載物の前記水平面内のＸ−Ｙ方向の位置及び前記水平面内の回転方向の位置を調整するステップと、位置が調整された前記被搭載物に前記搭載物を載置するステップと、を備えることを特徴とする、載置方法である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の上記（１）〜（３）に記載の載置装置、及び上記（４）に記載の載置方法によれば、搭載物の被搭載物に対する位置決め精度を向上させることができるという優れた効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】搬送装置の正面図である。
【図２】搬送装置の左側面図である。
【図３】搬送装置の平面図である。
【図４】位置情報取得手段を示す図であり、（Ａ）は正面図を、（Ｂ）は上面図を、（Ｃ）は変形例の正面図を、それぞれ示す。
【図５】搬送装置における画像信号等の流れを説明する概略図である。
【図６】（Ａ）は搭載領域に搬送された搭載物を撮像した画像を示し、（Ｂ）は搭載領域で待機する被搭載物を撮像した画像を示す。
【図７】（Ａ）〜（Ｆ）は搬送装置の作動を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係る搬送装置（載置装置）について詳細に説明する。なお、本発明は、「回転するターレットの外周に設けられた部品保持ユニットで保持した搭載物を、ターレットを回転して搭載領域に搬送し、搭載領域で待機する被搭載物に載置する」ことができればよく、例えば、リッドを搭載物として搬送し、当該リッドを、被搭載物となるセラミック容器に載置して溶接する溶接装置であってもよい。
【００１５】
まず、図１〜図６を用いて、搬送装置１の構成について説明する。図１は、搬送装置１の正面図である。図２は、搬送装置１の左側面図である。図３は、搬送装置１の平面図である。図４は、位置情報取得手段８０を示す図である。同図（Ａ）は、正面図を示す。同図（Ｂ）は、上面図を示す。同図（Ｃ）は、変形例の正面図を示す。図５は、搬送装置１における画像信号等の流れを説明する概略図である。図６（Ａ）は、搭載領域４に搬送された搭載物を撮像した画像を示す。同図（Ｂ）は、搭載領域４で待機する被搭載物を撮像した画像を示す。なお、各図において、一部の構成を適宜省略して、図面を簡略化する。
【００１６】
図１〜図３に示される搬送装置１は、鉛直軸回りに回転する回転テーブル（ターレット）３０の外周に設けられた部品保持ユニット４０で保持したウエハチップ（搭載物）３００を、回転テーブル３０を回転して搭載領域４に搬送し、搭載領域４で待機するパッケージ本体（被搭載物）４００に載置してから組み立てるものである。なお、組立検査装置１１０によって組立状態が良くないと判定された不合格品は、廃棄領域６の廃棄トレイ３５０に収容されるようになっている。
【００１７】
具体的に、搬送装置１は、基台２と、基台２上面の左側に配設されたウエハチップ供給装置１０と、基台２に揺動自在に配設されたアーム２０と、アーム２０に回転自在に配設された回転テーブル３０と、回転テーブル３０の外周面に周方向に沿って配設された複数（本実施形態では４つ）の部品保持ユニット４０と、アーム２０に配設された２つの外部付勢装置５０と、回転テーブル３０を回転させる回転テーブル駆動手段６０と、基台２上面の中央手前側に配設された姿勢情報取得手段７０と、基台２上面の右側に配設された位置情報取得手段８０と、搬送装置１全体を制御する中央制御装置（制御手段）９０と、基台２上面の右側に配設されたパッケージ本体供給装置１００及び組立検査装置１１０と、を備えている。
【００１８】
基台２は、略直方体状の部材である。基台２の内部には、中央制御装置９０や、特に図示しない電源装置等が配設されている。基台２上面の奥側端部には柱部材２ａが配設されており、この柱部材２ａの上端にはアーム２０を動作可能（揺動自在）に支持するアームブラケット２ｂが配設されている。
【００１９】
本実施形態では、基台２上面の左側部分にウエハチップ供給装置１０から部品保持ユニット４０にウエハチップ３００を供給するウエハチップ供給領域３を設定している。そして、基台２上面の右側部分に、部品保持ユニット４０が保持するウエハチップ３００を、パッケージ本体供給装置１００に載置されているパッケージ本体４００に載置してから組み立てる搭載領域４を設定している。また、姿勢情報取得手段７０が配設された基台２上面の中央手前側部分に姿勢情報取得領域５を設定している。さらに、基台２上面の中央奥側部分（揺動手段８０側）に、不合格品を廃棄トレイ３５０に廃棄する廃棄領域６を設定している。
【００２０】
ウエハチップ供給装置１０は、複数のウエハチップ３００が配列されたウエハ（符号省略）を、姿勢と方向を整えた状態で配置する。ウエハチップ供給装置１０は、複数のウエハチップ３００が配列されたウエハを配置しておくことで、部品保持ユニット４０によるウエハチップ３００の保持を可能にする。具体的に、ウエハチップ供給装置１０は、ウエハを載置する載置トレイ１５と、Ｘ−Ｙテーブルから構成された載置トレイ移動手段１６と、ウエハチップ３００を位置決めするために用いるカメラ（ＣＭＯＳカメラやＣＣＤカメラなど）１７を備えて構成されている。載置トレイ１５には、複数のウエハチップ３００が配列されたウエハが載置されている。載置トレイ移動手段１６は、図示は省略するが、モータによって駆動される直動装置を互いに直角に組み合わせて構成されている。本実施形態における載置トレイ移動手段１６は、図３における上下方向及び左右方向に載置トレイ１５を移動可能となっている。載置トレイ移動手段１６は、カメラ１７によるウエハチップ３００の撮影結果に基づいて、ウエハチップ供給領域３にある部品保持ユニット４０の吸着ノズル４２の真下に対応するように、ウエハチップ３００を１つずつ順番に配置する。
【００２１】
アーム２０は、アームブラケット２ｂからウエハチップ供給装置１０の上方を手前に向けて伸びる腕状の部材である。アーム２０には回転テーブル３０が回転自在に保持されると共に、外部付勢装置５０及び回転テーブル駆動手段６０が配設されている。外部付勢装置５０は、ウエハチップ供給領域３及び搭載領域４側に対応して、それぞれの上方に設けられている。
【００２２】
回転テーブル３０は、略円盤状の部材であり、外周面に４つの部品保持ユニット４０が等間隔（本実施形態では略９０°間隔）で配設されている。回転テーブル３０は、図示する運転位置において、回転軸が上下方向（鉛直方向）となるようにアーム２０に保持されている。そして、回転テーブル３０は、時計回り又は反時計回りの１方向に回転し、回転テーブル３０の周囲に配設されている全ての部品保持ユニット４０は、ウエハチップ供給領域３、姿勢情報取得領域５、搭載領域４及び廃棄領域６の上方を順番に通過するように構成されている。また、いずれかの部品保持ユニット４０がウエハチップ供給領域３に対向する位置にある場合に、他の３つの部品保持ユニット４０が、姿勢情報取得領域５、搭載領域４及び廃棄領域６に対向する位置にあるように構成されている。
【００２３】
２つの外部付勢装置５０における一方は、ウエハチップ供給領域３の上方に配置されている。また、他方の外部付勢装置５０は、搭載領域４の上方に配置されている。一方の外部付勢装置５０は、ウエハチップ供給領域３上に位置する部品保持ユニット４０に外力を付加して、部品保持ユニット４０の吸着ノズル４２を、ウエハチップ供給領域３に近接する方向（下方）に移動させる。他方の外部付勢装置５０は、搭載領域４上に位置する部品保持ユニット４０に外力を付加して、部品保持ユニット４０の吸着ノズル４２を搭載領域４に近接する方向（下方）に移動させる。
【００２４】
回転テーブル駆動手段６０は、アーム２０の図の下面に固定され、アーム２０と回転テーブル３０の間に位置している。本実施形態では、回転テーブル駆動手段６０は、アーム２０に固定されるステータ、及びステータの外周を回転する筒状のロータから構成される中空ＤＤ（ダイレクトドライブ）モータである。ステータの中心部には軸方向に貫通孔が形成されている。回転テーブル３０は、この貫通孔内に中空軸（図示省略）を挿通した状態でロータに固定されている。
【００２５】
姿勢情報取得手段７０は、本実施形態では図示を省略するカメラ（搭載物用の姿勢カメラ）（ＣＭＯＳカメラやＣＣＤカメラなど）で構成され、姿勢情報取得領域５に配置される。カメラは、姿勢情報取得領域５に位置する部品保持ユニット４０の吸着ノズル４２に保持されたウエハチップ３００を、真下から撮像する。すなわち、カメラは、搭載領域４に向けて搬送されているウエハチップ３００を待ち受けると共に、そのウエハチップ３００を下から撮像して、当該ウエハチップ３００の水平面内に関する傾斜情報を、画像情報として取得する。また、カメラは、中央制御装置９０と電気的に接続されており、撮像して得られた画像情報を中央制御装置９０に送信する。そして、カメラで取得した姿勢の画像情報に基づいて、ウエハチップ３００の姿勢を修正する。具体的に、中央制御装置９０は、図示を省略するノズル回転ユニット（姿勢調整ユニット）を動作させることで吸着ノズル４２を回動させて、ウエハチップ３００が所定の角度になるように、当該ウエハチップ３００の水平面内の姿勢を調整する。具体的にウエハチップ３００の角度は、吸着ノズル４２の移動奇跡となる円弧の接線に対して、ウエハチップ３００の一方の対辺が直角となるように制御する（図６（Ａ）参照）。なお、これに先立って、吸着ノズル４２に吸着されたウエハチップ３００の姿勢を機械的に修正するようにしても好ましい。例えば、回転テーブル３０の回転途中で、吸着ノズル４２で吸着後のウエハチップ３００を、ウエハチップ３００の外形を型取ったセンタリング治具に通すことによって、ウエハチップ３００の姿勢を適正な姿勢に修正するようにしても好ましい。この場合、その上で、カメラで撮像し、ノズル回転ユニットを動作させて、ウエハチップ３００の姿勢を更に調整する。このように、機械的な修正の後、画像情報による修正を段階的に行うことによって、姿勢不良を減少させることができる。
【００２６】
図４（Ａ）、図４（Ｂ）及び図５に示されるように、位置情報取得手段８０は、本実施形態では２台のカメラ（被搭載物用の位置カメラ、搭載物用の位置カメラ）（ＣＭＯＳカメラやＣＣＤカメラなど）８１，８２と、導光ユニット８３で構成され、搭載領域４に配置される。
【００２７】
カメラ８１は、搭載領域４に供給されたパッケージ本体４００を、ウエハチップ３００が搬送されてくることに先立って、導光ユニット８３を介して真上から撮像する。すなわち、カメラ８１は、搭載領域４に供給されたパッケージ本体４００を撮像して、当該パッケージ本体４００の水平方向に関する位置情報を、画像情報として取得する。また、カメラ８１は、中央制御装置９０と電気的に接続されており、撮像して得られた画像情報を中央制御装置９０に送信する。
【００２８】
カメラ８２は、姿勢情報取得領域５においてノズル回転ユニットで姿勢を調整されてから搭載領域４に搬送されたウエハチップ３００を、導光ユニット８３を介して真下から撮像する。すなわち、カメラ８２は、搭載領域４に搬送されたウエハチップ３００を撮像して、当該ウエハチップ３００の水平方向に関する位置情報を、画像情報として取得する。また、カメラ８２は、中央制御装置９０と電気的に接続されており、撮像して得られた画像情報を中央制御装置９０に送信する。中央制御装置９０は、カメラ８１，８２の撮像結果に基づいて、パッケージ本体４００及びウエハチップ３００の相対位置ずれ量Ｇを導出する。具体的に、図６（Ａ）に示されるように、カメラ８２によって、ウエハチップ３００が、例えば左上の領域に位置する撮像結果が得られると共に、図６（Ｂ）に示されるように、カメラ８１によって、パッケージ本体４００が、例えば右下の領域に位置する撮像結果が得られる場合を想定する。この場合、相対位置ずれ量を、右下の領域から左上の領域を結ぶ矢印Ｇで示される量と導出する。中央制御装置９０は、相対位置ずれ量Ｇに基づいて、後述する整列トレイ移動手段（位置調整ユニット）１０２を動作させて、パッケージ本体４００の水平面内の位置がウエハチップ３００の水平面内の位置と同じになるように、当該パッケージ本体４００の水平方向の位置を調整する。
【００２９】
なお、ここでは、Ｘ−Ｙ平面方向の位置ずれ量Ｇのみを導出する場合を示したが、回転のずれ量を導出することも可能である。この場合は、Ｘ−Ｙ平面方向の位置ずれ量Ｇを導出する前に、一度、上下のカメラ８１、８２によって撮像して回転のずれ量を中央制御装置９０によって解析し、回転のずれ量が零に近づくように、吸着ノズル４２を回動させてウエハチップ３００の角度を調整する。その後、再度、ウエハチップ３００の保持姿勢を撮像して、Ｘ−Ｙ平面方向の位置ずれ量Ｇを導出し、それが零に近づくように、パッケージ本体４００の水平方向の位置を調整する。吸着ノズル４２に対してウエハチップ３００が偏心状態で保持されていると、回転方向の位置決めを行う際に、ウエハチップ３００がＸ−Ｙ平面方向に変位するからである。
【００３０】
導光ユニット８３は、下側採光部８３ａからカメラ８１に導光する被搭載物側光路（図示省略）を備え当該カメラ８１にパッケージ本体４００を撮像させると共に、上側採光部８３ｂからカメラ８２に導光する搭載物側光路（図示省略）を備え当該カメラ８２にウエハチップ３００を撮像させる。この導光ユニット８３は、ミラー、レンズ、プリズム等の複数の光学系（光路）を内蔵するボックス型のユニットであり、１０ｍｍ角程度の大きさを有する。導光ユニット８３は進退ユニット（図示省略）によって駆動され、下側採光部８３ａ及び上側採光部８３ｂが必要に応じて搭載領域４に進退させられる。進退ユニットは、カメラ８１がパッケージ本体４００を撮像するに先立って、搭載領域４で待機するパッケージ本体４００の真上に下側採光部８３ａを進入させている（図５参照）。また、進退ユニットは、カメラ８２がウエハチップ３００を撮像するに先立って、搭載領域４で待機するパッケージ本体４００とウエハチップ３００との間に上側採光部８３ｂを進入させている（図５参照）。なお、搭載領域４に到達する順序は、パッケージ本体４００が搭載領域４で待機させられた後、またはその待機動作と同時に、進退ユニットによって導光ユニット８３が搭載領域４に進入させられ、その後、ウエハチップ３００が搭載領域４に搬送されてくる。
【００３１】
これにより、導光ユニット８３は、カメラ８１がパッケージ本体４００を撮像する際に、下側採光部８３ａが、搭載領域４で待機するパッケージ本体４００の真上に配置され、パッケージ本体４００の真上からの撮像を可能にする。また、導光ユニット８３は、カメラ８２がウエハチップ３００を撮像する際に、上側採光部８３ｂが、搭載領域４で待機するパッケージ本体４００と搭載領域４に搬送されたウエハチップ３００との間に配置され、ウエハチップ３００の真下からの撮像を可能にする。なお、導光ユニット８３は、ウエハチップ３００とパッケージ本体４００との間に配置される部分の厚みｔを小さくし、組立時のストロークを小さくすることが好ましい。このため、導光ユニット８３の該当部分の厚みｔは、１０ｍｍ以下であることが好ましく、８ｍｍ以下であることがより好ましい。この厚みｔは、光学系を内蔵することから薄くすることに限界があり、現時点では８ｍｍまで薄くすることができる。
【００３２】
なお、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示される位置情報取得手段８０は、２台のカメラ８１，８２が横向きに配置されているが、搬送装置１の態様に応じて、図４（Ｃ）に示されるように、２台のカメラ８１，８２が縦向きに配置されるようにしてもよい。
【００３３】
中央制御装置９０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等を備えた制御装置であり、ウエハチップ供給装置１０、外部付勢装置５０、回転テーブル駆動手段６０、姿勢情報取得手段７０、位置情報取得手段８０、及びパッケージ本体供給装置１００等を直接制御する。この中央制御装置９０は、上述のように、カメラ８１，８２の撮像結果を比較して、パッケージ本体４００及びウエハチップ３００の相対位置ずれ量Ｇを導出する解析ユニットとして機能する。
【００３４】
パッケージ本体供給装置１００は、マトリクス状に配置された複数の凹部１０１Ａが上面に形成された整列トレイ１０１と、Ｘ−Ｙテーブルから構成された整列トレイ移動手段１０２を備えて構成されている。整列トレイ１０１の凹部１０１Ａには、組立前のパッケージ本体４００が載置されている。整列トレイ移動手段１０２は、図示は省略するが、モータによって駆動される直動装置を互いに直角に組み合わせて構成されている。本実施形態における整列トレイ移動手段１０２は、図３における上下方向及び左右方向に整列トレイ１０１を移動可能となっている。
【００３５】
整列トレイ移動手段１０２は、搭載領域４にある部品保持ユニット４０の吸着ノズル４２の真下に対応するように、ウエハチップ３００が搬送されてくることに先立って、複数のパッケージ本体４００を１つずつ順番に供給する。この整列トレイ移動手段１０２は、中央制御装置９０が導出した相対位置ずれ量Ｇに基づいて、パッケージ本体４００の位置を調整する位置調整ユニットとして機能する。搭載領域４では、ウエハチップ３００を、このパッケージ本体４００に組み付けていく。この動作を繰り返すことで、整列トレイ１０１の凹部１０１Ａに載置されている全てのパッケージ本体４００に対してウエハチップ３００を組み付ける。全てのパッケージ本体４００の組付けが完了したら、整列トレイ１０１は、次の工程に運ばれる。
【００３６】
次に、搬送装置１の作動について説明する。図７（Ａ）〜図７（Ｆ）は、搬送装置１の作動を示す平面図である。なお、説明を容易にするため、４つの部品保持ユニット４０に部品保持ユニット４０Ａ〜４０Ｄの番号を付することにし、主として、部品保持ユニット４０Ａの動作について説明する。なお、他の部品保持ユニット４０Ｂ〜４０Ｄは、部品保持ユニット４０Ａと同じ動作となるので、説明を省略する。
【００３７】
まず、図７（Ａ）に示されるように、ウエハチップ供給装置１０は、複数のウエハチップ３００が配列されたウエハ（符号省略）を、方向や姿勢を整えた状態で配置する。
【００３８】
ウエハチップ供給装置１０によって、複数のウエハ３００が配列されたウエハがウエハチップ供給領域３に配置された後（又は略同時）に、回転テーブル３０を反時計回りに略９０°回転し、部品保持ユニット４０Ａの吸着ノズル４２をウエハチップ供給領域３に配置されたウエハチップ３００に対向する位置まで移動させる（図７（Ｃ）参照）。なお、図７（Ｂ）に示されるように、回転テーブル３０が回転している途中では、搭載領域４の上方が開放されていることから、この間に、カメラ８１によって搭載領域４で待機するパッケージ本体４００の状態を画像認識する。なお、カメラ８１による画像認識は、ウエハチップ３００が搭載領域４に到着する前に完了していればよく、このタイミングに限定されるものではない。また、導光ユニット８３の搭載領域４への進入は、カメラ８１による画像認識の前に完了している。
【００３９】
回転テーブル３０は、略９０°回転した後に、図７（Ｃ）に示されるように、所定の時間静止する。回転テーブル３０が静止している間に、外部付勢装置５０が部品保持ユニット４０Ａを押圧することにより、吸着ノズル４２をウエハチップ供給領域３に配置されたウエハチップ３００に近接させる。そして、吸着ノズル４２がウエハチップ３００を吸着して保持する。その後、外部付勢装置５０による押圧を解除する（又は押圧力を緩める）ことで、吸着ノズル４２が上昇する。
【００４０】
次に、回転テーブル３０は、再び反時計回りに略９０°回転して、再び所定の時間静止する（図７（Ｄ）参照）。これにより、部品保持ユニット４０Ａに保持されたウエハチップ３００は、姿勢情報取得領域５に対向する位置に搬送される。回転テーブル３０が静止している間に、姿勢情報取得手段７０は、部品保持ユニット４０Ａの吸着ノズル４２に保持されているウエハチップ３００を撮像する。回転テーブル３０が回転している間には、上記同様に、ウエハチップ供給装置１０は、次のウエハチップ３００をウエハチップ供給領域３の適切な箇所（部品保持ユニット４０Ｂの吸着ノズル４２の真下）に配置する。そして、回転テーブル３０が静止している間には、上記同様に、ウエハチップ供給領域３に対向する位置にある部品保持ユニット４０Ｂの吸着ノズル４２が、ウエハチップ供給領域３に配置されたウエハチップ３００を吸着して保持する。
【００４１】
次に、回転テーブル３０は、再び反時計回りに略９０°回転する（図７（Ｅ）参照）。回転テーブル３０が回転している間に、部品保持ユニット４０Ａのノズル回転ユニット（図示省略）が、姿勢情報取得手段７０によって撮像された画像情報に基づいて部品保持ユニット４０Ａの吸着ノズル４２を適切な角度だけ自転させ、吸着ノズル４２に保持されたウエハチップ３００の姿勢を整える。これにより、搭載領域４のパッケージ本体４００にウエハチップ３００を正確な姿勢で載置できるように整える。
【００４２】
次に、回転テーブル３０が、反時計回りに略９０°回転した後、再び所定の時間静止する（図７（Ｅ）参照）。これにより、部品保持ユニット４０Ａに保持されているウエハチップ３００は、搭載領域４に到着する。回転テーブル３０が静止している間に、カメラ８２によって搭載領域４に搬送されたウエハチップ３００の状態を画像認識する。導光ユニット８３は、カメラ８２による撮像後に速やかに退避する。カメラ８２による画像認識の結果は、中央制御装置９０において、カメラ８１による画像認識の結果と比較されて、パッケージ本体４００及びウエハチップ３００の相対位置ずれ量Ｇが導出される。パッケージ本体供給装置１００の整列トレイ移動手段１０２は、相対位置ずれ量Ｇに基づいて、パッケージ本体４００をＸ−Ｙ方向に移動して位置補正を行う。そして、回転テーブル３０が静止している間に、外部付勢装置５０が部品保持ユニット４０Ａを押圧する。これにより、部品保持ユニット４０Ａの吸着ノズル４２が下降する。まず初めに、吸着ノズル４２で保持したウエハチップ３００を搭載領域４で待機するパッケージ本体４００に載置する。
【００４３】
その後、パッケージ本体４００とウエハチップ３００を組み立てる。なお、上記でウエハチップ３００をパッケージ本体４００に組み付けた後、組立検査装置１１０によりウエハチップ３００とパッケージ本体の組立状態を撮影し、組立状態の良否を判定するようにしても好ましい。つまり、組立検査装置１１０で撮影したウエハチップ３００とパッケージ本体４００の画像情報に基づいて、位置ずれなどにより組立状態を不良と判断した場合、搭載領域４に待機している部品保持ユニット４０Ａは、吸着ノズル４２により、不良と判断されたウエハチップ３００とパッケージ本体４００を吸着する。そして、回転テーブル３０が、さらに略９０°反時計回りに回転し、不良と判断されたウエハチップ３００とパッケージ本体４００を廃棄トレイ３５０に放出する（図７（Ｆ）参照）。
【００４４】
なお、姿勢情報取得手段７０又はカメラ８２によって撮像された画像情報に基づいて、姿勢や位置の制御が不可能と判断されるウエハチップ３００については、搭載領域４において組付けを行わず、この段階でウエハチップ３００を廃棄トレイ３５０側に放出する（図７（Ｆ）参照）。
【００４５】
以上、搬送装置１は、上記動作を繰り返すことによって、ウエハチップ供給装置１０に配置されたウエハチップ３００をウエハチップ供給領域３で１つずつ取り出して、時計回り又は反時計回りの１方向に回転搬送し、搭載領域４において、パッケージ本体４００にウエハチップ３００を高精度に組み付ける。
【００４６】
具体的に、本搬送装置１は、位置情報取得手段８０及び解析ユニット（中央制御装置９０）を備えている。具体的には、搭載時において、搭載直前において対向するウエハチップ３００とパッケージ本体４００の相対位置ずれを解析し、直接、高精度に相対位置ずれを零に近づける。このように、ウエハチップ３００とパッケージ本体４００の相対位置ずれ量を解析する構造であることから、回転テーブル３０や部品保持ユニット４０の動作精度を高精度化しなくても、最終的な搭載精度を高めることが出来る。また、位置情報取得手段８０自身の位置決め精度も、その画像認識範囲内にウエハチップ３００とパッケージ本体４００が収まれば十分な程度に低くすることができる。即ち、回転テーブル３０等の位置決め精度に依存することなく、位置情報取得手段８０及び解析ユニット（中央制御装置９０）によって、整列トレイ移動手段（位置調整ユニット）１０２を高精度に制御することで、最終的な搭載精度を大幅に高めるようにしている。
【００４７】
また、この搬送装置１では、導光ユニット８３を利用して搭載領域４で待機するパッケージ本体４００の大よその位置調整を、ウエハチップ３００が搬送されてくる前に行うため、無駄な待ち時間が発生しないようになっている。また、搬送装置１では、吸着ノズル４２に保持されたウエハチップ３００の姿勢の調整を回転テーブル３０の回転移動中（移動軌跡の途中）に行うため、無駄な待ち時間が発生しないようになっている。さらに、搬送装置１では、吸着ノズル４２に保持されたウエハチップ３００のパッケージ本体４００との相対位置の最終調整を搭載領域４に搬送されてから行うため、搬送装置の機械的精度の影響を受けずに、正確で確実な調整を行うことができる。また、パッケージ本体供給装置１００の整列トレイ移動手段１０２を駆動するだけで、ウエハチップ３００とパッケージ本体４００との相対位置ずれをなくすことができるので、装置を複雑にする必要がない。
【００４８】
さらに、搬送装置１は、吸着ノズル４２を有する部品保持ユニット４０が回転テーブル３０の周方向に複数設けられている。したがって、いずれかの部品保持ユニット４０がウエハチップ３００を吸着保持する工程と、他の部品保持ユニット４０がウエハチップ３００とパッケージ本体４００を組み立てる工程等を同じ静止時間中に同時に行うことができる。
【００４９】
そして、搬送装置１は、部品保持ユニット４０が保持するウエハチップ３００の姿勢情報を取得する姿勢情報取得手段７０を備えている。姿勢情報取得手段７０は、姿勢情報取得領域５において、吸着ノズル４２に吸着されたウエハチップ３００の方向や角度等の姿勢情報を取得する。この姿勢情報に基づいて、姿勢修正不可能と判断した場合には、廃棄領域６においてこのウエハチップ３００を廃棄する。以上のことから、部品保持ユニット４０は、回転テーブル３０の周方向に９０°間隔で４箇所に配設されていることで、いずれかの部品保持ユニット４０が、ウエハチップ供給領域３、姿勢情報取得領域５、搭載領域４及び廃棄領域６にそれぞれ位置するように構成されている。したがって、ウエハチップ３００を保持する工程と、ウエハチップ３００の姿勢情報を判断して姿勢調整を行う工程と、姿勢調整後のウエハチップ３００をパッケージ本体４００に組み立てる工程と、姿勢不具合と判断したウエハチップ３００の廃棄を行う工程を、同じ静止時間に同時に行うことができる。したがって、搬送装置１は、回転テーブル３０を回転することで、ウエハチップ３００の供給から組立までの動作を極めて高速に実行できる。
【００５０】
また、ウエハチップ供給領域３、姿勢情報取得領域５、搭載領域４、廃棄領域６は、この順番で、部品保持ユニット４０の１方向に回転する回転経路上に設けられている。したがって、搬送装置１は、回転テーブル３０を回転することで、部品保持ユニット４０をウエハチップ供給領域３から廃棄領域６まで順番に搬送することができ、これらの工程を確実に行うことができる。
【００５１】
さらに、ターレットによる複数ヘッド式の搬送装置１は、ウエハチップ供給領域３に次のウエハチップ３００を配置するウエハチップ供給装置１０と、搭載領域４に組立前のパッケージ本体４００を搬送するパッケージ本体供給装置１００と、をさらに備えている。したがって、回転テーブル３０が回転して、任意の部品保持ユニット４０がウエハチップ供給領域３に停止する前に、次のウエハチップ３００をウエハチップ保持位置１１に配置するようになっている。また、ターレットによる複数ヘッド式の搬送装置１は、回転テーブル３０が回転して、部品保持ユニット４０が搭載領域４に停止する前に、パッケージ本体供給装置１００が次のパッケージ本体４００を搭載領域４に移動させるようになっている。したがって、無駄な時間を排除し、動作を高速にすることができる。
【００５２】
なお、本実施形態に係る搬送装置１は、４つの部品保持ユニット４０を備えているが、本発明はこれに限定されるものではなく、その他の個数（例えば６個、８個、１２個）の部品保持ユニット４０を備えるようにしてもよい。なお、出願時点において、主な実機には、８個の部品保持ユニットが備えられている。
【００５３】
そして、搬送装置１は、吸着ノズル４２を下方に向けているが、これに限定されるものではなく、吸着ノズル４２を側方や上方に向けるものであってもよい。さらに、搬送装置１は、吸着ノズル４２を備えるものに限定されるものではなく、例えば部品をチャックによって把持する構造のものであってもよい。
【００５４】
また、搬送装置１は、回転テーブル３０を、運転位置において回転の中心軸が上下方向（鉛直方向）となるように配設されているが、これに限定されるものではなく、運転位置における回転の中心軸が水平方向や斜め方向となるように配設されるものであってもよい。また、回転テーブル３０は、本実施形態に示される形状以外の形状であってもよい。
【００５５】
さらに、搬送装置１は、各部が中央制御装置９０によって統括的に制御される構成であるが、これに限定されるものではなく、個別に専用の制御装置を設けるようにしてもよい。
【００５６】
そして、搬送装置１は、アーム２０は、基台２に配設されるものに限定されるものではなく、他の部材に配設されるものや、独立して配設されるものであってもよい。また、アーム２０は、揺動以外の動作を可能に構成されるものであってもよい。例えば、上下方向のみの移動であってもよく、さらに、上下方向に直線移動した後に揺動するようにしてもよい。または、複数の異なる回転軸を中心に揺動もしくは回動するようにアーム２０を構成してもよい。
【００５７】
また、ウエハチップ供給領域３、姿勢情報取得領域５、搭載領域４及び廃棄領域６の位置は、本実施形態において示した位置に限定されるものではなく、他の位置に配置するようにしてもよい。さらに、部品の加工組立や検査等を行う領域を搬送途中に設けるようにしてもよい。
【００５８】
そして、回転テーブル３０の回転は、９０°回転するごとに静止する間欠回転に限定されるものではなく、部品保持ユニット４０が、ウエハチップ供給領域３、姿勢情報取得領域５、搭載領域４及び廃棄領域６のそれぞれに対向する位置にある場合にも、回転テーブル３０を低速で回転させ続けるようにしてもよい。この場合、ウエハチップ供給装置１０とパッケージ本体供給装置１００は、ウエハチップ供給領域３や搭載領域４において、回転テーブル３０と同方向且つ同速度で移動するように回転する回転テーブルとすることが好ましい。つまり、ウエハチップ供給領域３では、回転テーブル３０に配置される吸着ノズル４２は、自身と同方向且つ同速度で移動するウエハチップ供給装置１０に供給されるウエハチップ３００を、回転中に吸着することができる。また、搭載領域４では、部品保持ユニット４０は、吸着ノズル４２に吸着しているウエハチップ３００を、ウエハチップ３００と同方向且つ同速度で移動するパッケージ本体供給装置１００に供給されるパッケージ本体４００に、回転中に組み立てることができる。
【００５９】
なお、本発明の載置装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
本発明は、電子部品の組立の分野等において幅広く利用することができる。
【符号の説明】
【００６１】
１  搬送装置（載置装置）
４  搭載領域
３０  回転テーブル（ターレット）
４０  部品保持ユニット
７０  姿勢情報取得手段（搭載物用の姿勢カメラ）
８１  カメラ（被搭載物用の位置カメラ）
８２  カメラ（搭載物用の位置カメラ）
８３  導光ユニット
８３ａ  下側採光部
８３ｂ  上側採光部
９０  中央制御装置（制御手段、解析ユニット）
１０２  整列トレイ移動手段（位置調整ユニット）
３００  ウエハチップ（搭載物）
４００  パッケージ本体（被搭載物）
Ｇ  相対位置ずれ量
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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