(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空環境内で使用される搬送ロボットであって、
第１プラットホーム及び第２プラットホームを含むリフトアセンブリと、
前記第１プラットホームを前記第２プラットホームに結合する複数の支持部材を含み、
前記複数の支持部材は、
第１端が前記第1プラットホームに回転可能に、第２端が第1直線アセンブリによって前記第２プラットホームに夫々結合される支持部材の第１組と、
第１端が前記第２プラットホームに回転可能に、第２端が第２直線アセンブリによって前記第１プラットホームに夫々結合される支持部材の第２組を含み、前記支持部材の第１組及び第２組は中央で共に結合し、
前記搬送ロボットは、前記支持部材の第２組に結合された第１駆動アセンブリを更に含み、前記第１駆動アセンブリは、前記複数の支持部材に動力を提供し、これによって前記支持部材の第１組に対する前記支持部材の第２組の角度を変え、これによって前記第１プラットホームに対して前記第２プラットホームを第１直線方向に動かし、
前記搬送ロボットは、前記第２プラットホーム上に配置され、第２駆動アセンブリによって第２直線方向に可動なエンドエフェクタアセンブリを更に含み、前記第２直線方向は、前記第１直線方向に対して直角であり、
前記搬送ロボットは、前記第１プラットホームと前記第２プラットホームの間に可動に結合される複数の流体コンジットを更に含み、前記複数の流体コンジットの少なくとも一部は、前記支持部材の第１組及び第２組の夫々の部分に対して固定され、可回転真空シールと結合される搬送ロボット。
【請求項２】
回転駆動アセンブリによって前記第１プラットホームに結合される固定ベースを更に含む請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記第２プラットホーム内に配置される溶接密閉エンクロージャーを更に含み、前記エンクロージャーは、前記第２駆動アセンブリの少なくとも一部が内部に配置される請求項１記載の装置。
【請求項４】
前記第２駆動アセンブリは、前記溶接密閉エンクロージャー内に収納される少なくとも１つのモーターを含む請求項３記載の装置。
【請求項５】
前記少なくとも１つのモーターは、前記溶接密閉エンクロージャー内のハウジング内に配置され、前記ハウジングは、内部に配置される複数の冷却流体チャネルを含む請求項４記載の装置。
【請求項６】
前記第１直線アセンブリ及び前記第２直線アセンブリは、リニアベアリングを含む請求項１記載の装置。
【請求項７】
前記エンドエフェクタアセンブリは、リスト及び前記リストから延びる複数のフィンガーを含む請求項１記載の装置。
【請求項８】
前記エンドエフェクタアセンブリは、少なくとも２つの積載され独立に可動なエンドエフェクタモジュールを含み、各エンドエフェクタモジュールは、リスト及び前記リストから延びる複数のフィンガーを含む請求項７記載の装置。
【請求項９】
前記第２駆動アセンブリは、複数の第１直線駆動レール及び前記第１直線駆動レールに可動に結合された複数の第２直線駆動レールを含む請求項８記載の装置。
【請求項１０】
前記複数の第１駆動レールの少なくとも一部と連通する流体チャネルを更に含む請求項９記載の装置。
【請求項１１】
前記流体チャネルは、前記第１プラットホームと前記第２プラットホームの間で可動に結合された複数の流体コンジットに結合され、前記複数の流体コンジットの少なくとも一部は、前記複数の支持部材の夫々の部分に対して固定され、可回転真空シールに結合される請求項１０記載の装置。
【請求項１２】
真空環境内で使用される搬送ロボットであって、
第２ベースに第１モーターによって結合される固定された第１ベースを含む第１アセンブリであって、前記第１モーターは、前記第１ベースに対して前記第２ベースを回転させる第１アセンブリと、
プラットホームと、
前記第２ベースを前記プラットホームに結合する複数の支持部材であって、前記複数の支持部材は、中央で共にピボット結合される支持部材と、
前記複数の支持部材のうちの少なくとも１つに結合される第２モーターであって、前記第２モーターは、前記少なくとも１つの支持部材の一端に動力を提供し、これによって前記少なくとも１つの支持部材を他の支持部材に対して旋回させ、これによって前記第２ベースに対して前記プラットホームを第１直線方向に動かす第２モーターと、
溶接密閉エンクロージャー内に少なくとも部分的に配置された第１直線駆動装置によって第２直線方向に可動な前記プラットホーム上に配置された少なくとも１つの第１エンドエフェクタアセンブリであって、前記第２直線方向は、前記第１直線方向に対して直角であり、前記溶接密閉エンクロージャーは、前記第２ベースと前記プラットホームの間に可動に結合された複数の流体コンジットに結合されたポートを含み、前記複数の流体コンジットの少なくとも一部が、前記複数の支持部材の夫々の部分に対して固定され、可回転真空シールに結合される第１エンドエフェクタアセンブリを含む搬送ロボット。
【請求項１３】
真空環境内で使用される搬送ロボットであって、
第２ベースに第１モーターによって結合される固定された第１ベースを含む第１アセンブリであって、前記第１モーターは、前記第１ベースに対して前記第２ベースを回転させる第１アセンブリと、
プラットホームと、
前記第２ベースを前記プラットホームに結合する複数の支持部材であって、前記複数の支持部材は、中央で共にピボット結合される支持部材と、
前記複数の支持部材のうちの少なくとも１つに結合される第２モーターであって、前記第２モーターは、前記少なくとも１つの支持部材の一端に動力を提供し、これによって前記少なくとも１つの支持部材を他の支持部材に対して旋回させ、これによって前記第２ベースに対して前記プラットホームを第１直線方向に動かす第２モーターと、
溶接密閉エンクロージャー内に少なくとも部分的に配置された第１直線駆動装置によって第２直線方向に可動な前記プラットホーム上に配置された少なくとも１つの第１エンドエフェクタアセンブリであって、前記第２直線方向は、前記第１直線方向に対して直角である第１エンドエフェクタアセンブリと、
前記溶接密閉エンクロージャー内に少なくとも部分的に配置された第２直線駆動装置によって前記第２直線方向に独立に可動な第２エンドエフェクタアセンブリを含み、前記第１及び第２直線駆動装置が、
複数の第１直線駆動レール及び前記第１直線駆動レールに移動可能に結合された複数の第２直線駆動レールと、
モーターと夫々のエンドエフェクタアセンブリの間に結合されたベルトと、
前記複数の第１駆動レールの少なくとも一部と連通する流体チャネルを含む搬送ロボット。
【発明の詳細な説明】
【発明の背景】
【０００１】
（発明の分野）
本発明の実施形態は、概して、大面積基板等の大面積フラットメディア（平面媒体）の搬送及び支持の際に使用される搬送ロボットに関する。
【０００２】
（関連技術の説明）
フラットメディア（例えば、ガラス、プラスチック、又は他の材料でできた矩形で可撓性のあるシート）は、通常、他のアプリケーションの中でも特にフラットパネルディスプレイ、ソーラーデバイスの製造に利用される。フラットメディア上に電子デバイス、薄膜、及び他の構造を形成するための材料は、多様なプロセスによってフラットメディア上に堆積される。プロセスは、通常、真空チャンバの内外へフラットメディアを移動するために、何度もフラットメディアのハンドリングを必要とする真空チャンバ内で実行される。
【０００３】
フラットメディアのサイズは、堆積及び電子デバイス製造のための使用可能なより大きな表面積をもつために、世代毎により大きくなっている。現在、フラットメディアは、４ｍ２超の処理表面積を含む。しかしながら、フラットメディアのサイズの増加は、メディアのフレキシブルな性質のため、従来のロボット機器に対して独特なハンドリングの課題を提示する。更に、ロボットが耐えなければならない減圧及び温度限界は、駆動装置及び構造部品等の選択を制限するかもしれない課題を作る。従って、広い表面積を有するフラットメディアをハンドリングするために、低圧及び温度限界に耐えるように装備される搬送ロボットに対する技術的必要性がある。
【発明の概要】
【０００４】
本明細書内で説明される実施形態は、概して、搬送ロボットのための方法及び装置を提供する。一実施形態では、真空環境の中で使用される搬送ロボットが説明される。搬送ロボットは、第１プラットホーム及び第２プラットホームと、第１プラットホームを第２プラットホームに結合する複数の支持部材を含むリフトアセンブリを含む。複数の支持部材は、第１端が第1プラットホームに回転可能に結合され、第２端が第1直線アセンブリによって第２プラットホームに結合される支持部材の第１組と、第２プラットホーム、及び第２直線アセンブリによって第１プラットホームに結合される第２端に回転可能に結合される支持部材の第２組を含み、支持部材の第１組及び第２組は中心で共に結合される。搬送ロボットは、支持部材の第２組に結合された第１ドライブアセンブリを更に含み、第１ドライブアセンブリは、複数の支持部材に動力を提供し、これによって支持部材の第１組に対する支持部材の第２組の角度を変え、これによって第１プラットホームに対して第２プラットホームを第１直線方向に動かし、搬送ロボットは、第２プラットホーム上に配置され、第２ドライブアセンブリによって第２直線方向に可動なエンドエフェクタアセンブリを更に含み、第２直線方向は第１直線方向に対して直角である。
【０００５】
別の一実施形態では、真空環境の中で使用される搬送ロボットが説明される。搬送ロボットは、第２ベース及びプラットホームに回転可能に結合される第１ベースと、第２ベースをプラットホームに結合する複数の支持部材を含み、複数の支持部材は、第１端が第２ベースに回転可能に結合され、第２端が第1直線アセンブリによってプラットホームに結合される支持部材の第１組と、プラットホーム、及び第２直線アセンブリによって第２ベースに結合される第２端に回転可能に結合される支持部材の第２組を含み、支持部材の第１組及び第２組は中心で共に結合され、搬送ロボットは、支持部材の第２組に結合された第１ドライブアセンブリを更に含み、第１ドライブアセンブリは、複数の支持部材に動力を提供し、これによって支持部材の第１組に対する支持部材の第２組の角度を変え、これによって第２ベースに対してプラットホームを第１直線方向に動かし、搬送ロボットは、プラットホーム上に配置され、溶接密閉エンクロージャー内に配置される第２ドライブアセンブリによって第２直線方向に可動なエンドエフェクタアセンブリを更に含み、第２直線方向は、第１直線方向に対して直角である。
【０００６】
別の一実施形態では、真空環境の中で使用される搬送ロボットが説明される。搬送ロボットは、第２ベースに第１モーターによって結合される固定された第１ベースを含む第１アセンブリを含み、第１モーターは、第１ベースに対して第２ベースを回転させ、搬送ロボットは、プラットホームと、第２ベースをプラットホームに結合する複数の支持部材を更に含み、複数の支持部材は、中央で共にピボット結合され、搬送ロボットは、複数の支持部材のうちの少なくとも１つに結合される第２モーターを更に含み、第２モーターは、少なくとも１つの支持部材の一端に動力を提供し、これによって少なくとも１つの支持部材は他の支持部材に対して旋回し、これによって第２ベースに対してプラットホームを第１直線方向に動かし、搬送ロボットは、溶接密閉エンクロージャー内に少なくとも部分的に配置される第１リニアドライブによって第２直線方向に可動なプラットホーム上に配置される第１エンドエフェクタアセンブリを少なくとも更に含み、第２直線方向は、第１直線方向に対して直角である。
【０００７】
別の一実施形態では、第１ベース、第２ベース、及びエンドエフェクタアセンブリを含む搬送ロボットを用いて真空環境内で大面積基板を支持及び搬送するための方法が説明される。方法は、第２ベースに第１動力を提供し、これによって第１ベースに対して第２ベースを回転させるステップと、第２ベースとエンドエフェクタアセンブリの間で結合される少なくとも１つの支持部材に第２動力を提供するステップを含み、第２動力は、少なくとも１つの支持部材をその中心で旋回させ、これによってエンドエフェクタを第２ベースに対して第１直線方向に動かし、方法は、第３動力をエンドエフェクタアセンブリに提供し、これによってエンドエフェクタアセンブリを第１直線方向に対して第２直線方向に動かすステップを更に含み、第２直線方向は、第１直線方向に対して直角である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の上述した構成を詳細に理解することができるように、上記に簡単に要約した本発明のより具体的な説明を実施形態を参照して行う。実施形態のいくつかは添付図面に示されている。しかしながら、添付図面は本発明の典型的な実施形態を示しているに過ぎず、従ってこの範囲を制限されていると解釈されるべきではなく、本発明は他の等しく有効な実施形態を含み得ることに留意すべきである。
【０００９】
【図１】マルチチャンバ基板処理システムの上面図である。
【図２Ａ】図１の処理システム内で使用されるかもしれない搬送ロボットの一実施形態の等角図である。
【図２Ｂ】コンジットの一実施形態の断面図である。
【図３Ａ】搬送ロボットの別の一実施形態の側面図である。
【図３Ｂ】図３Ａの搬送ロボットの端面図である。
【図４】図３Ａのエンドエフェクタモジュールの断面図である。
【図５】エンドエフェクタアセンブリの一実施形態の上面図である。
【図６】図５に示されるエンドエフェクタアセンブリの上面図である。
【図７Ａ】エンドエフェクタアセンブリの別の一実施形態の概略上面図である。
【図７Ｂ】第１レールと図７Ａの第１コンジットの一部の断面図である。
【図８Ａ】モーターハウジングの一実施形態の等角上面図である。
【図８Ｂ】図８Ａに示されるモーターハウジングの等角底面図である。
【詳細な説明】
【００１０】
本明細書内で説明される実施形態は、大面積フラットメディア（ガラス、プラスチック、又は電子デバイス形成に適した他の材料で作られた大面積基板等）を支持するための搬送ロボットのための方法及び装置を提供する。本明細書内で説明されるような大面積基板は、約１０，０００ｃｍ２以上の面積を含むかもしれない。本明細書内で説明されるような搬送ロボットは、より小さな基板の搬送においても有益に利用されるかもしれないことが理解される。
【００１１】
図１は、フラットメディア上に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）、及び太陽電池製造の製造用に適したマルチチャンバ基板処理システム１００の上面図である。システム１００は、中央の搬送チャンバ１１５の周りに位置する複数の処理チャンバ１０５及び１以上のロードロックチャンバ１１０を含む。処理チャンバ１０５は、多くの異なる処理ステップを完成させるために構成され、これによってフラットメディア（大面積基板１２０等）の所望の処理を達成してもよい。
【００１２】
エンドエフェクタ１３０を有する搬送ロボット１２５は、中央の搬送チャンバ１１５内に配置される。エンドエフェクタ１３０は、基板１２０を搬送する搬送ロボット１２５と独立して支持され及び動くように構成される。エンドエフェクタ１３０は、基板１２０を支持するために適合されたリスト１３５及び複数のフィンガー１４０を含む。一実施形態では、搬送ロボット１２５は、回転し及び／又は垂直方向に直線的に駆動するように構成され、一方、エンドエフェクタ１３０は、搬送ロボット１２５とは独立に及び搬送ロボット１２５に対して水平方向に直線運動するように構成される。例えば、搬送ロボット１２５は、中央の搬送チャンバ１１５内で様々な高さにエンドエフェクタ１３０を上下動させ（Ｚ方向）、これによってエンドエフェクタ１３０を処理チャンバ１０５及びロードロックチャンバ１１０内の開口と位置合わせする。搬送ロボット１２５が適当な高さにある時に、エンドエフェクタ１３０は、水平（Ｘ又はＹ方向）に拡張され、これによって処理チャンバ１０５及びロードロックチャンバ１１０のいずれか１つの内外へ基板１２０を搬送し及び／又は配置する。更に、搬送ロボット１２５は回転され、これによってエンドエフェクタ１３０を他の処理チャンバ１０５及びロードロックチャンバ１１０と位置合わせしてもよい。
【００１３】
中央の搬送チャンバ１１５は、基板を処理する間、減圧を維持する。一実施形態では、中央の搬送チャンバ１１５内の圧力は、周囲の圧力（すなわち、システム１００の外の圧力）よりも低い圧力に維持される。例えば、中央の搬送チャンバ内の圧力は、約７Ｔｏｒｒから約１０Ｔｏｒｒであるかもしれない。一実施形態では、中央の搬送チャンバ１１５内で維持された圧力は、処理チャンバ１０５及び／又はロードロックチャンバ１１０内の圧力と実質的に等しいかもしれない。
【００１４】
図２Ａは、図１の搬送チャンバ１１５内で使用されるかもしれない搬送ロボット１２５の一実施形態の等角図である。搬送ロボット１２５は、回転し及び垂直（Ｚ方向）に動くように適合された第１アセンブリ２０１を含む。図２Ａでは、エンドエフェクタを含む第２アセンブリは、第１アセンブリ２０１の記載を明確にするために図示されていない。第１アセンブリ２０１は、第１プラットホーム２０５と第２プラットホーム２０８の間で結合された複数のサポートアーム２２０Ａ、２２０Ｂ、及び２２５Ａ、２２５Ｂを含む。一実施形態では、第１プラットホーム２０５は、回転可能なベースを含む。プラットホーム２０８は、第２アセンブリを受け取り支持する上面を提供し、これはプラットホーム２０８に対して直線的に動くように適合される。複数のサポートアーム２２０Ａ、２２０Ｂ、２２５Ａ、２２５Ｂは、複数のピボットポイント（旋回点）２２７Ａ〜２２７Ｄ（２２７Ｄはこの図では示されていない）及び複数の可動カップリングポイント (結合点)２２９Ａ〜２２９Ｄを含む。複数のサポートアーム２２０Ａ、２２０Ｂ、及び２２５Ａ、２２５Ｂは、中央のピボットポイント２２８Ａ及び２２８Ｂの組で互いに回転可能に結合される。
【００１５】
リニアアクチュエータ２４５は、ベース２０５とサポートアーム２２５Ａ、２２５Ｂの間において可動カップリングポイント２２９Ａ、２２９Ｄで結合される。リニアアクチュエータ２４５は、ベース２０５に結合されたモーターハウジング２４７と、サポートアーム２２５Ａ、２２５Ｂの端の、ハウジング２４７に対するＸ方向の動作を制御する少なくとも１つの駆動シャフト２４８（２つが図示される）を含む。モーターハウジング２４７は、駆動システム（少なくとも１つの駆動シャフト２４８に結合されたモーター及び減速ギアユニット等）を含んでもよい。一実施形態では、駆動シャフト２４８はリードスクリュー又はアクメねじである。
【００１６】
各サポートアーム２２５Ａ、２２５Ｂの一端は、交差部材２０９によってシャフト２４８に結合され、一方、各サポートアーム２２５Ａ、２２５Ｂの反対端は、ピボットポイント２２７Ｂ及び２２７Ｃでプラットホーム２０８に結合される。一実施形態では、交差部材２０９は、シャフト２４８の回転動作を交差部材２０９に伝達するために適合されたナット又は他の装置を含む。各サポートアーム２２０Ａ、２２０Ｂの一端は、ピボットポイント２２７Ａ、２２７Ｄでベース２０５に回転可能に結合され、一方、各サポートアーム２２０Ａ、２２０Ｂの反対端は、可動カップリングポイント２２９Ｂ、２２９Ｃでプラットホーム２０８に可動に結合される。リニアアクチュエータ２４５は、サポートアーム２２５Ａ、２２５Ｂに動力を提供するために適合され、これによってサポートアーム２２０Ａ、２２０Ｂと２２５Ａ、２２５Ｂの間で相対運動を引き起こし、第１プラットホーム２０５に対してプラットホーム２０８の高さを変える。一実施形態では、リニアアクチュエータ２４５は、空圧又は油圧シリンダ、ソーヤー式モーター、又は他の適当なリニアアクチュエータであってもよい。一部が取り外されているカバー２７３は、駆動シャフト２４８及び可動カップリングポイント２２９Ａ、２２９Ｄの上方に配置される。
【００１７】
第１アセンブリ２０１は、また、ベース２０５を通ってエンドエフェクタ（図示せず）に電気的及び流体的連通を提供するように構成された複数のコンジット２７５Ａ〜２７５Ｆ（この図において２７５Ｄ及び２７５Ｃ、２７５Ｆの一部は点線で図示される）を含む。コンジット２７５Ａ〜２７５Ｆは、供給源（図示せず）からプラットホーム２０８内のポート２１１まで電気及び／又は流体経路を提供する。コンジット２７５Ａ〜２７５Ｆの少なくとも一部は、サポートアーム２２０Ａ、２２０Ｂ、２２５Ａ、２２５Ｂと共に動くように適合される。この動きを提供するために、コンジット２７５Ａ〜２７５Ｆの少なくとも一部は、コンジット２７５Ａ〜２７５Ｆの夫々の端の間に結合されたロータリーシール２８０によって互いに接続される。ロータリーシール２８０はまた、駆動シャフト２４８に結合される。一実施形態では、コンジット２７５Ａ〜２７５Ｆに結合されたロータリーシール２８０は、電気信号、配線、及び／又は流体（冷却液等）用の回転可能なフィードスルーとして構成される。各ロータリーシール２８０は、密閉及び回転を促進すると同時に、陰圧に耐えるように構成される磁気真空シールであってもよい。一態様では、各コンジット２７５Ａ〜２７５Ｆは、内部に収容されるかもしれない流体及び何らかの成分のための溶接密閉コンジットとして集合的に構成される。
【００１８】
図２Ｂは、図２Ａのコンジット２７５Ａの一実施形態の断面図である。図示されていないが、他のコンジット２７５Ｂ〜２７５Ｆは同様に構成される。コンジット２７５Ａは、内部に形成される少なくとも３つの内部通路２７７Ａ〜２７７Ｃを有する管状体２７６を含む。内部通路２７７Ａは、配線又は信号ケーブルを含むように適合され、一方、内部通路２７７Ｂ及び２７７Ｃは、流体流路として構成される。一実施形態では、内部通路２７７Ｂは、冷却液のための回収経路として構成され、内部通路２７７Ｃは、冷却液のための供給経路として構成される。各コンジット２７５Ａ〜２７５Ｆは、アルミニウム、ステンレス鋼、ニッケルめっきされた炭素鋼、又は他の適当な材料等の材料で作られてもよい。
【００１９】
図３Ａは、図１の搬送ロボット１２５の側面図である。搬送ロボット１２５は、図１に図示されるように、搬送チャンバ１１５の真空エンクロージャー２００内に配置される。搬送ロボット１２５は、回転及び垂直（Ｚ方向）に動くように適合された第１アセンブリ２０１と、横方向又は水平（Ｘ方向）に動くように適合された第２アセンブリ２０２を含む。真空エンクロージャー２００は、搬送ロボット１２５が移動し内部に基板を搬送できる大きさに作られる。真空エンクロージャー２００内を低圧に維持するために適合された真空ポンプによって、陰圧が真空エンクロージャー２００に提供される。一実施形態では、搬送ロボット１２５は、サポートステム２１０によって結合された搬送チャンバ１１５及び第１プラットホーム２０５に対して固定された第１又は固定ベース２０３を含む。一実施形態では、第１プラットホームは、第１ベース２０３に対して回転可能な第２ベースを含む。第１ベース２０３は、クリーンルームの床又は搬送ロボット１２５のための基礎（土台）を提供するために適合された他の構造に固定されてもよい。
【００２０】
回転駆動システム３００（点線で図示される）は、サポートステム２１０及び第１プラットホーム２０５の片方又は両方に配置され、これによって固定ベース２０３と第１プラットホーム２０５の間で回転運動を提供する。一実施形態では、回転駆動システム３００は、ピニオンギアに結合されたモーター及び減速ギアユニットを含む。ピニオンギアは、第１プラットホーム２０５に結合されるリングギア３０２と連結する。シール２１５は、真空エンクロージャー２００内を真空環境に維持するために搬送チャンバ１１５の底とサポートステム２１０の間の接触面において提供される。シール２１５は、ポリマー又はエラストマー部材、又は陰圧、振動、又は搬送ロボット１２５とサポートステム２１０の間の運動に耐えるように適合された他の材料であってもよい。
【００２１】
リニアアクチュエータ２４５は、ベース２０５とサポートアーム２２５Ａ、２２５Ｂ（２２５Ｂはこの図に示されない）の間において可動カップリングポイント２２９Ａ、２２９Ｄ（２２９Ａだけがこの図に示される）で結合される。リニアアクチュエータ２４５は、ベース２０５及び可動シャフト２４８に結合されたハウジング２４７を含む。可動シャフト２４８は、ハウジング２４７に対してＸ方向に動き、これによって可動カップリングポイント２２９Ａ、２２９Ｄに横運動を提供する。可動カップリングポイント２２９Ａ、２２９Ｄの横運動は、サポートアーム２２５Ａと２２０Ａ（及びこの図には示されない２２０B）の間の角度αに変化を起こし、これはプラットホーム２０８の垂直（Ｚ方向）運動を促進する。説明を容易にするために、図３Ａで図示されない又は隠れているサポートアームと、ピボット及びカップリングポイントの一部は、そうでないことが示されない限り、説明されないだろう。この図の中に示されるサポートアームと、ピボット及びカップリングポイントの説明は、そうでないことが示されない限り、図示されず、同様に操作される同一の要素を有する。
【００２２】
上述のように、サポートアーム２２５Ａの一端は、シャフト２４８に結合され、一方、サポートアーム２２５Ａの反対端は、ピボットポイント２２７Ｂでプラットホーム２０８に結合される。プラットホーム２０８は、第２アセンブリ２０２用の取り付け面を提供し、これはエンドエフェクタ１３０のベース又はフレーム部２５０を含む。サポートアーム２２０Ａの一端は、ピボットポイント２２７Ａでベース２０５に回転可能に結合され、一方、サポートアーム２２０Ａの反対端は、可動カップリングポイント２２９Ｂでフレーム部２５０に可動に結合される。一実施形態では、可動カップリングポイント２２９Ｂは、ガイドレール２６０に対して可動なガイドブロック２５５を含む。ガイドブロック２５５は、サポートアーム２２０Ａの端に結合され、一方、ガイドレール２６０は、プラットホーム２０８に結合される。一実施形態では、ガイドブロック２５５及びガイドレール２６０は、リニアベアリングアセンブリを含む。カバー（図示せず）は、ガイドブロック２５５及びガイドレール２６０の上方に配置され、これによって可動カップリングポイント２２９Ｂの相対運動によって発生するかもしれない粒子が真空エンクロージャー２００内へ入ることを防止するかもしれない。リニアアクチュエータ２４５は、サポートアーム２２５Ａに動力を提供するために適合され、これによってサポートアーム２２０Ａ、２２５Ａの間で、ベース２０５に対してエンドエフェクタ１３０の高さを変える相対移動を引き起こす。
【００２３】
第２アセンブリ２０２は、基板（図示せず）を支持し搬送するために使用されるエンドエフェクタアセンブリ２４０を含む。エンドエフェクタアセンブリ２４０は、１以上のエンドエフェクタモジュール（上部エンドエフェクタモジュール２６５及び下部エンドエフェクタモジュール２７０等）を含む。各エンドエフェクタモジュール２６５、２７０は、各エンドエフェクタモジュール２６５、２７０が、独立に動作可能なように、フレーム部２５０に可動に結合される。第１アセンブリ２０１及び第２アセンブリ２０２の構造部品は、他の適当な材料の中でも特に、アルミニウム、ステンレス鋼、めっき（例えば、ニッケルめっき）された炭素鋼、及びそれらの組み合わせの材料で作られてもよい。
【００２４】
上部及び下部エンドエフェクタモジュール２６５、２７０は、真空エンクロージャー２００内で基板（図示せず）を搬送するために使用される。基板は、対応するリスト２８６、２９１から延びるフィンガー２８５及び２９０として構成される複数の支持面上に支持される。各エンドエフェクタモジュール２６５、２７０は、互いの及びフレーム部２５０に対するＸ方向の運動によって、上に基板を支持し搬送するために適合される。
【００２５】
基板は、エンドエフェクタモジュール２６５、２７０によって搬送されるか、さもなければ支持されるので、基板は、搬送ロボット１２５及びエンドエフェクタアセンブリ２４０の様々な部品の動作温度より高い温度にあるかもしれない。基板からの過剰な熱は、搬送ロボット１２５に伝達するかもしれず、搬送ロボット１２５の部品を損傷するかもしれない。搬送ロボット１２５の温度制御は、図７Ａ〜図８Ｂにおいてより詳しく説明されるように、エンドエフェクタアセンブリ２４０及び搬送ロボット１２５の他の部分に流体を供給するために適合された複数のコンジット２７５Ａ〜２７５Ｆ（この図には２７５Ａ及び２７５Ｅだけが示される）によって提供される。コンジット２７５Ａ〜２７５Ｆは、エンドエフェクタアセンブリ２４０に電気信号を供給する配線用に、図２Ｂに示されるような開口を更に含んでもよい。コンジット２７５Ａ〜２７５Ｆの少なくとも一部は、サポートアーム２２０Ａ、２２５Ａと共に動くために適合され、コンジット２７５Ａ〜２７５Ｆの少なくとも一部は、コンジット２７５Ａ〜２７５Ｆの夫々の端の間で結合されたロータリーシール２８０によって互いに接続される。
【００２６】
図３Ｂは、図３Ａの搬送ロボット１２５の端面図である。この図では、ベース２０５からエンドエフェクタフレーム部２５０までの流体及び／又は信号経路がより明確に見られる。流体及び／又は信号経路は、クーラント供給源、電源、及びコントローラに結合されたフィードコンジット２２４によって提供される。フィードコンジット２２４は、ベース２０５を通って延び、ロータリーシール２８０を使用することによってベース２０５と共に回転するために適合される。フィードコンジット２２４は、コンジット２７５Ａに結合し、流体及び／又は信号が、コンジット２７５Ｆによってエンドエフェクタフレーム部２５０に提供される。図７Ａ〜図８Ｂにおいてより詳細に説明される一実施形態では、フレーム部２５０及びエンドエフェクタアセンブリ２４０用駆動システムは、クーラント供給源から冷却液を供給される。クーラント供給源によって供給される流体は、水、純水（ＤＩＷ）、エチレングリコール、窒素（Ｎ２）、ヘリウム（Ｈｅ）、又は熱交換媒体として使用される他の流体であってもよい。
【００２７】
上部及び下部エンドエフェクタモジュール２６５、２７０の夫々は、複数の拡張部材又はフィンガー３０５Ａ〜３０５Ｄ及び３１０Ａ〜３１０Ｄを夫々含む。この図で、上部エンドエフェクタモジュール２６５は、第１リスト２８６に結合した４つのフィンガー３０５Ａ〜３０５Ｄを含み、下部エンドエフェクタモジュール２７０は、第２リスト２９１に結合した４つのフィンガー３１０Ａ〜３１０Ｄを含む。フィンガー３０５Ａ〜３０５Ｄ及び３１０Ａ〜３１０Ｄの夫々は、実質的に平面であり、及び上で基板を支持するために適合された集合的な上面を含む。４つのフィンガーが各リスト２８６、２９１に示されているが、いかなる数のフィンガーが使用されてもよい。
【００２８】
上部及び下部エンドエフェクタモジュール２６５、２７０は、搬送ロボット１２５に対して及び互いに独立して可動である。エンドエフェクタモジュール２６５、２７０は、以下でより詳細に説明されるエンドエフェクタフレーム部２５０内に配置された独立した駆動アセンブリ３０２Ａ、３０２Ｂに結合される。上部及び下部エンドエフェクタモジュール２６５、２７０の独立及び相対運動は、下部エンドエフェクタモジュール２７０に結合された第１駆動アセンブリ３０２Ａ及び上部エンドエフェクタモジュール２６５に結合された第２駆動アセンブリ３０２Ｂによって提供される。
【００２９】
図４は、図３Ａのエンドエフェクタモジュール２６５、２７０の断面図である。上部エンドエフェクタモジュール２６５は、第１駆動アセンブリ３０２Ａに結合され、下部エンドエフェクタモジュール２７０は、第２駆動アセンブリ３０２Ｂに結合される。第１駆動アセンブリ３０２Ａは、上部エンドエフェクタモジュール２６５及び第１ベルト４０５Ａに固定して結合される第１コネクタ４００Ａを含む。第１ベルト４０５Ａは、第１ベルト４０５Ａを動かすために回転する第１駆動プーリー４１０Ａに結合される。第１駆動プーリー４１０Ａは、第１駆動プーリー４１０Ａに回転運動を提供するモーター４０４Ａに結合される。エンドエフェクタフレーム部２５０の上面と上部エンドエフェクタモジュール２６５の間の相対運動は、エンドエフェクタフレーム部２５０と上部エンドエフェクタモジュール２６５の間で結合した複数のリニアベアリングアセンブリ４１５Ａ’、４１５Ａ’’によって提供される。
【００３０】
各リニアベアリングアセンブリ４１５Ａ’、４１５Ａ’’は、エンドエフェクタフレーム部２５０の上面に固定して結合された複数の第１レール４２０を含んでもよい。各第１レール４２０は、第１コネクタ４００Ａに結合される夫々の第２レール４２５Ａと、スプリットリストサポート４３０に結合される夫々の第２レール４２５Ｂに可動に取り付けられる。スプリットリストサポート４３０は、上部エンドエフェクタモジュール２６５に対して動くために下部エンドエフェクタモジュール２７０の第２リスト２９１用に十分な空間を提供しながら、スペーサー４０１によって第１リスト２８６の各端で第１リスト２８６を支持するために適合される。各第２レール４２５Ａ、４２５Ｂは、第１レール４２０に対して受け取り移動するための内部に配置されたチャネルを有してもよい。ベアリング（図示せず）が、第１レール４２０と第２レール４２５Ａ、４２５Ｂの間の接触面に提供されてもよい。第２レール４２５Ａは、第１コネクタ４００Ａによってスプリットリストサポート４３０に結合され、第２レール４２５Ｂは、シム４３５によってスプリットリストサポート４３０に結合される。
【００３１】
運転中、第１駆動アセンブリ３０２Ａに連結するモーター４０４Ａが作動し、これによって第１ベルト４０５Ａを動かす第１駆動プーリー４１０Ａが回転する。第１ベルト４０５Ａの運動は、スプリットリストサポート４３０に伝達される。第１駆動プーリー４１０Ａ及び第２レール４２５Ａ、４２５Ｂに結合されるスプリットリストサポート４３０は、エンドエフェクタフレーム部２５０及び下部エンドエフェクタモジュール２７０に対して動く。従って、上部エンドエフェクタモジュール２６５は、下部エンドエフェクタモジュール２７０及び／又はエンドエフェクタフレーム部２５０に対してＸ方向に動いてもよい。
【００３２】
下部エンドエフェクタモジュール２７０は、第２駆動アセンブリ３０２Ａに結合される。  第２駆動アセンブリ３０２Ｂは、下部エンドエフェクタモジュール２７０及び第２ベルト４０５Ｂに固定して結合される第２コネクタ４００Ｂを含む。第２ベルト４０５Ｂは、第２ベルト４０５Ｂを動かすために回転する第２駆動プーリー４１０Ｂに結合される。第２駆動プーリー４１０Ｂは、モーター４０４Ｂに結合され、これによって第２駆動プーリー４１０Ｂに回転運動を提供する。エンドエフェクタフレーム部２５０の上面と下部エンドエフェクタモジュール２７０の間の相対運動は、エンドエフェクタフレーム部２５０と下部エンドエフェクタモジュール２７０の間で結合した複数のリニアベアリングアセンブリ４１５Ｂ’、４１５Ｂ’’によって提供される。
【００３３】
各リニアベアリングアセンブリ４１５Ｂ’、４１５Ｂ’’は、エンドエフェクタフレーム部２５０の上面に固定して結合された複数の第１レール４２０を含んでもよい。各第１レール４２０は、第２コネクタ４００Ｂに結合される夫々の第２レール４２５Ｄと、リストサポート４３８に結合される夫々の第２レール４２５Ｃに可動に取り付けられる。リストサポート４３８は、下部エンドエフェクタモジュール２７０に対して動くために上部エンドエフェクタモジュール２６５の第１リスト２８６用に十分な空間を提供しながら、第２リスト２９１を支持するために適合される。各第２レール４２５Ｃ、４２５Ｄは、第１レール４２０に対して受け取り移動するための内部に配置されたチャネルを有してもよい。ベアリング（図示せず）が、第１レール４２０と第２レール４２５Ｃ、４２５Ｄの間の接触面に提供されてもよい。第２レール４２５Ｄは、第２コネクタ４００Ｂによってリストサポート４３８に結合され、第２レール４２５Ｃは、シム４３５によってリストサポート４３８に結合される。
【００３４】
運転中、第２駆動アセンブリ３０２Ｂに連結するモーター４０４Ｂが作動し、これによって第２ベルト４０５Ｂを動かす第２駆動プーリー４１０Ｂが回転する。第２ベルト４０５Ｂの運動は、リストサポート４３８に伝達される。第２駆動プーリー４１０Ｂ及び第２レール４２５Ｃ、４２５Ｄに結合されるリストサポート４３８は、エンドエフェクタフレーム部２５０及び上部エンドエフェクタモジュール２６５に対して動く。従って、下部エンドエフェクタモジュール２７０は、上部エンドエフェクタモジュール２６５及び／又はエンドエフェクタフレーム部２５０に対してＸ方向に動いてもよい。
【００３５】
各駆動アセンブリ３０２Ａ、３０２Ｂに連結するモーター４０４Ａ、４０４Ｂは、電気モーター、空圧モーター、油圧モーター、又は所望の動作を提供するのに適した他の種類のモーター又はアクチュエータであってもよい。第１及び第２駆動プーリー４１０Ａ、４１０Ｂの夫々は、ベルト４０５Ａ、４０５Ｂの内面とかみ合うように適合された粗面又はギア歯（図示せず）を含んでもよい。同様に、ベルトの内面は、駆動プーリー４１０Ａ、４１０Ｂと接触する粗面又は歯を含んでもよい。各駆動アセンブリ３０２Ａ、３０２Ｂは、モーター及びベルトで説明されるが、他の種類の駆動装置が使用され、これによって上部及び下部エンドエフェクタモジュール２６５、２７０に相対運動を提供してもよい。他の直線駆動装置（磁気的に作動される直線駆動装置等）が、駆動アセンブリ３０２Ａ、３０２Ｂ用に使用されてもよい。
【００３６】
図５は、エンドエフェクタアセンブリ２４０の一実施形態の上面図である。図５では、エンドエフェクタフレーム部２５０に配置された第１駆動アセンブリ３０２Ａ及び第２駆動アセンブリ３０２Ｂの一部を明確に示すために、リスト２８６及び２９１は示されていない。この実施形態では、第１駆動アセンブリ３０２Ａは、第１駆動プーリー４１０Ａ、及び駆動ベルト４０５Ａに結合された複数のアイドラプーリー５１０Ａ’及び５１０Ａ’’を含む。第１駆動プーリー４１０Ａは、モーター（図示せず）に結合される。第１駆動アセンブリ３０２Ａはまた、交差部材５０５Ａ、５０５Ｂによって反対端で互いに結合される第２レール４２５Ａ、４２５Ｂを含む。各交差部材５０５Ａ、５０５Ｂは、エンドエフェクタアセンブリ２４０から離れて熱を反射するために適合された反射面５０６を含む。反射面５０６は、交差部材５０５Ａ、５０５Ｂ、反射材料のシート、又は反射コーティングを含む材料の研磨面であってもよい。第２駆動アセンブリ３０２Ｂは、第２駆動プーリー４１０Ｂ、及び駆動ベルト４０５Ｂに結合される複数のアイドラプーリー５１５Ａ’及び５１５Ａ’’を含む。第２駆動プーリー４１０Ｂは、モーター（図示せず）に結合される。第２駆動アセンブリ３０２Ｂはまた、交差部材５０５Ａ、５０５Ｂによって反対端で互いに結合される第２レール４２５Ｃ、４２５Ｄを含む。追加の交差部材５２０が、各第２レール４２５Ａ〜４２５に結合される又は各第２レール４２５Ａ〜４２５間に配置され、これによってエンドエフェクタフレーム部２５０に機械的完全性を提供してもよい。
【００３７】
エンドエフェクタアセンブリ２４０は、また、第１駆動アセンブリ３０２Ａ及び第２駆動アセンブリ３０２Ｂの夫々を駆動するモーター、配線、コントローラ、及びクーラント装置用バルブ及び連結した配管のうちの少なくとも一部を含むように適合されたハウジング５２５を含む。ハウジング５２５は、真空エンクロージャー２００（図３Ａ）内の低圧から密閉される内部容積５３０を含む。一態様では、ハウジング５２５は、内部に配置される部品を真空エンクロージャー２００内の陰圧から密閉し保護するために適合された溶接密閉エンクロージャーとして構成される。ハウジング５２５は、搬送ロボット１２５上に配置された複数のコンジット２７５Ａ〜２７５Ｆ（図２Ａ）に結合されたポート２１１によって提供された流体及び信号経路と連通する。ハウジング５２５は、取り外し可能な蓋５２７を含み、その一部は内部容積５３０を示すために取り除かれている。電気信号及び／又は流体は、ポート２１１を通してコンジット２７５Ｆ（図２Ａ）によってハウジング５２５に又はハウジング５２５から伝送される。
【００３８】
一実施形態では、蓋５２７は、その上面に配置される第２レール４２５Ｃ、４２５Ｄの少なくとも一部を含む。蓋５２７は、内部容積５３０にアクセスするために取り外されてもよく、それに結合される第２レール４２５Ｃ、４２５Ｄの一部も取り外される。この実施形態では、第２レール４２５Ｃ、４２５Ｄは、蓋５２７に結合され、蓋５２７と共に取り外される第２レール４２５Ｃ、４２５Ｄの分離した部分を画定する終端５３５を含む。
【００３９】
図６は、ハウジング５２５の内部容積５３０の一部をより明確に示すために蓋が取り外された、図５に示されるエンドエフェクタアセンブリ２４０の上面図である。ハウジング５２５は、複数の側壁６０５と、側壁６０５の上面に配置された密閉装置６１０を含む。密閉装置６１０は、ポリマー又はエラストマー材料で作られたＯリング又はガスケット、又は真空エンクロージャー２００（図３Ａ）内に存在するかもしれないより低い圧力から内部容積５３０を密閉するために適合された他の圧縮性材料であってもよい。蓋（図示せず）は、ハウジング５２５の上面に配置された複数の穴６１２によって収容されるように適合された複数の固定具（ねじ又はボルト等、図示せず）によってハウジングに密閉可能に結合される。
【００４０】
ハウジング５２５は、真空エンクロージャー２００内の圧力とは異なる圧力に内部容積５３０内の圧力を維持するために適合され、これによって内部に配置された部品を保護し、及び／又は真空エンクロージャー２００に対して粒子汚染を防止する。例えば、内部容積５３０は、周囲の圧力に又は近くに維持されてもよく、一方、真空エンクロージャー２００は、周囲の圧力よりも実質的に低い圧力である。密閉されたハウジング５２５は、ハウジング５２５内に含まれる部品又は要素からガス放出を防止する又は最小化する。更に、密閉されたハウジング５２５は、ハウジング５２５内に配置された可動部品によって生成される何らかの粒子を含む。このようにして、真空エンクロージャー２００のガス放出及び粒子汚染は避けられるかもしれない。
【００４１】
一実施形態では、モーター４０４Ａ、４０４Ｂの片方又は両方は、モーターハウジング６１５内に閉じ込められる。更に、モーターハウジング６１５は、真空エンクロージャー２００内の陰圧から追加の密閉を提供するかもしれない。各モーター４０４Ａ、４０４Ｂは、モーターと駆動プーリー４１０Ａ、４１０Ｂの間に結合された減速ギアドライブを含んでもよい。回転可能な真空ベアリング又はシール６２０が、各モーター４０４Ａ、４０４Ｂと側壁６０５の間の接触面に提供され、これによって圧力シールを維持しながら各モーター４０４Ａ、４０４Ｂの夫々のシャフトの回転を促進してもよい。ギア又は歯６２５もまた、夫々のベルト４０５Ａ、４０５Ｂとポジティブドライブインタフェースを提供するために、駆動プーリー４１０Ａ、４１０Ｂ上に示される。
【００４２】
図７Ａは、複数のクーラントライン７００Ａ及び７００Ｂを示すエンドエフェクタアセンブリ２４０の別の一実施形態の概略上面図である。クーラントライン７００Ａ、７００Ｂは、ポート２１１に結合され、モーターハウジング６１５及びエンドエフェクタフレーム部２５０と熱的に連通している。一実施形態では、第１クーラントライン７００Ａは、モーター４０４Ａを囲むモーターハウジング６１５とポート２１１の間に結合される第１入口７０５Ａを含む。冷却液は、ポート２１１から、第１出口７１０Ａに結合された、モーターハウジング６１５内のコンジット（図示せず）を通って流れる。冷却液は、第１出口７１０Ａから、第１レール４２０と隣接した及び／又は熱的に連通した第１コンジット７２０Ａによって画定される経路に沿って流れる。冷却液は、第１コンジット７２０Ａを通ってポート２１１の第１回収入口７１５Ａへ流れる。一実施形態では、第１コンジット７２０Ａは、第１レール４２０の側壁に結合され、第１コンジット７２０Ａの一部は、複数のフィードスルー７２５において第１レール４２０内に少なくとも部分的に配置される。
【００４３】
第２クーラントライン７００Ｂは、モーター４０４Ｂを囲むモーターハウジング６１５とポート２１１の間で結合される第２入口７０５Ｂを含む。冷却液は、ポート２１１から、第２出口７１０Ｂに結合された、モーターハウジング６１５内のコンジット（図示せず）を通って流れる。冷却液は、第２出口７１０Ｂから、第１レール４２０と隣接した及び／又は熱的に連通した第２コンジット７２０Ｂによって画定される経路に沿って流れる。冷却液は、第２コンジット７２０Ｂを通ってポート２１１の第２回収入口７１５Ｂへ流れる。第２コンジット７２０Ｂは、第１レール４２０の側壁に結合され、第２コンジット７２０Ｂの一部は、複数のフィードスルー７２５において第１レール４２０内に少なくとも部分的に配置される。
【００４４】
図７Ｂは、図７Ａの第１レール４２０及び第１コンジット７２０Ａの一部の断面図である。一実施形態では、第１レール４２０は、環状部材であり、第１コンジット７２０Ａは、第１レール４２０の側壁７３０Ａ、７３０Ｂに結合される。第１コンジット７２０Ａは、内側側壁７３０Ａに結合され、フィードスルー７２５において第１レール４２０を通して配置される。第１コンジット７２０Ａは、内部に配置される流体プレナム７５０を画定するために環状断面を含んでもよい。第１レール４２０と第１コンジット７２０Ａの片方又は両方は、熱伝導性材料（アルミニウム、ステンレス鋼、又はニッケルめっきされた炭素鋼等）で作られてもよい。第１コンジット７２０Ａは、クランプ、固定具、溶接、又は他の接着によって第１レール４２０に結合されてもよい。冷却液は、エンドエフェクタ（図示せず）上に支持される基板（図示せず）から第１レール４２０へ伝達されるかもしれない熱を、第１レール４２０から取り除く。
【００４５】
図８Ａは、モーターハウジング６１５の一実施形態の等角上面図である。モーターハウジング６１５は、複数の側壁８００及び蓋８０２を含む。蓋８０２はまた、内部に閉じ込められたモーターまで敷設された電線又は信号ケーブル用の密閉可能な開口８０４を含んでもよい。蓋８０２は、ハウジング６１５の内部容積へのアクセスのために取り外し可能であってもよい。蓋８０２は、図７Ａの第１入口７０５Ａ又は第２入口７０５Ｂのいずれかであるかもしれない何らかの入口８０５に結合される。入口８０５は、蓋８０２内に形成された又は蓋８０２上に配置された冷却チャネル８２５Ａに結合される入口ポート８１５Ａに結合される。冷却液は、入口８０５から入口ポート８１５Ａまで、及び冷却チャネル８２５Ａを通って出口ポート８２０Ａまで流れる。出口ポート８２０Ａは、図７Ａの第１出口７１０Ａ又は第２出口７１０Ｂのいずれかであるかもしれない出口８１０に結合される。冷却液は、出口８１０から第１コンジット７２０Ａ又は第２コンジット７２０Ｂ（図７Ａ）のうちのどちらか１つまで流れる。
【００４６】
図８Ｂは、図８Ａに示されるモーターハウジング６１５の等角底面図である。ハウジング６１５は、内部に閉じ込められたモーターまで敷設された電線又は信号ケーブル用の密閉可能な開口８０７を含むかもしれない底面８０６を含む。開口８０９は、シャフト（図示せず）、及び／又は真空ベアリング又はシール（図示せず）を受け取るための側壁８００のうちの１つの中に形成される。底面８０６は、図７Ａの第１入口７０５Ａ又は第２入口７０５Ｂのいずれかであるかもしれない入口８０５に結合される。入口８０５は、底面８０６内に形成された又は底面８０６上に配置された冷却チャネル８２５Ｂに結合される入口ポート８１５Ｂに結合される。冷却液は、入口８０５から入口ポート８１５Ｂまで、及び冷却チャネル８２５Ｂを通って出口ポート８２０Ｂまで流れる。出口ポート８２０Ｂは、図７Ａの第１出口７１０Ａ又は第２出口７１０Ｂのいずれかであるかもしれない出口８１０に結合される。冷却液は、出口８１０から第１コンジット７２０Ａ又は第２コンジット７２０Ｂ（図７Ａ）のうちのどちらか１つまで流れる。
【００４７】
蓋８０２及び底面８０６に配置された冷却チャネル８２５Ａ、８２５Ｂは、内部に配置されたモーターからの熱伝達、及び／又はエンドエフェクタ（図示せず）上に配置された基板（図示せず）からの熱伝達のために提供される。従って、モーターハウジング６１５内部の熱はかなり削減され、これによってモーターの過熱を防止し、モーターの耐用年数を増加させる。
【００４８】
本明細書内に説明された実施形態は、低い気圧を有する真空エンクロージャー内で少なくとも２つの大面積基板を支持し搬送することが可能な搬送ロボット１２５を提供する。搬送ロボット１２５は、真空エンクロージャーから分離される複数の駆動システムを含み、これによって、粒子及び／又はガス放出が真空エンクロージャーに入ることを防止する又は最小化する。上面に垂直方向に結合されたエンドエフェクタを移動するために適合された伸縮支持シャフト及び／又はベローズ装置を有する従来のロボットに比べて、搬送ロボット１２５は強化されたサービス性も促進する。例えば、点検のために従来のロボットを分解するために、真空エンクロージャーは、少なくとも部分的に分解される必要があるかもしれない。例えば、サポートシャフト内に配置されたシール及び／又は部品を点検する必要があるならば、従来のロボットの上部は、取り外す必要があるかもしれない。真空エンクロージャーの屋根又は蓋は、蓋の分解なしに上部を持ち上げることを防止するかもしれない。搬送ロボット１２５は、本明細書に説明されるように、蓋の分解なしに真空エンクロージャー内で上下動され、これによってその上に配置された部品の点検又はメンテナンスをしてもよい。これは、スループットを高めると同時に、休止時間及びメンテナンスコストを削減する。
【００４９】
上記は本発明の実施形態を対象としているが、本発明の他の及び更なる実施形態は本発明の基本的範囲を逸脱することなく創作することができ、その範囲は以下の特許請求の範囲に基づいて定められる。
【図１】
0005537552.tif 000002
【図２Ａ】
0005537552.tif 000003
【図２Ｂ】
0005537552.tif 000004
【図３Ａ】
0005537552.tif 000005
【図３Ｂ】
0005537552.tif 000006
【図４】
0005537552.tif 000007
【図５】
0005537552.tif 000008
【図６】
0005537552.tif 000009
【図７Ａ】
0005537552.tif 000010
【図７Ｂ】
0005537552.tif 000011
【図８Ａ】
0005537552.tif 000012
【図８Ｂ】
0005537552.tif 000013