(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
底面に設けられた第１開口部を塞ぐように取り付けられた振動板を有し、液体を貯留するとともに、加圧または減圧される際には密閉される第１空間を有する第１貯留部と、
前記第１貯留部で霧化される前記液体を気化する気化部と、
超音波振動を伝播する伝播水を貯留する第２空間と、第２開口部とを有し、前記第２開口部が閉塞された場合に前記第１貯留部とともに前記第２空間を密閉する、底面に超音波振動子が取り付けられる第２貯留部と、
前記第１空間を加圧または減圧する圧力調整装置と、
前記第２開口部を介して前記第２空間の圧力を測定する圧力測定装置と、
を備えることを特徴とするガス発生装置。
【請求項２】
底面に設けられた第１開口部を塞ぐように取り付けられた振動板を有し、過酸化水素水を貯留する第１空間を有する第１貯留部と、前記第１貯留部で霧化される前記過酸化水素水を気化する気化部と、超音波振動を伝播する伝播水を貯留する第２空間及び第２開口部を有し、前記第２開口部が閉塞された場合に前記第１貯留部とともに前記第２空間を密閉する、底面に超音波振動子が取り付けられる第２貯留部と、を含む滅菌物質発生装置と、
前記第１空間を加圧または減圧するための流路と、
前記滅菌物質発生装置または前記流路の何れかに設けられ、閉塞された場合には前記第１空間を密閉する第３開口部と、
前記第３開口部を介して前記第１空間を加圧または減圧する圧力調整装置と、
前記第２開口部を介して前記第２空間の圧力を測定する圧力測定装置と、
を備えるアイソレータ。
【請求項３】
請求項２に記載のアイソレータであって、
前記圧力調整装置により前記第１空間の圧力が変化される前に測定された前記第２空間の圧力と、前記圧力調整装置により前記第１空間の圧力が変化された後に測定された前記第２空間の圧力との差が、所定の圧力より大きいか否かを判定する判定装置を更に備えること、
を特徴とするアイソレータ。
【請求項４】
請求項３に記載のアイソレータであって、
前記判定装置が前記所定の圧力より前記差が大きいと判定した場合、前記振動板に穴が有ることを示す情報を表示する表示部を更に備えること、
を特徴とするアイソレータ。
【請求項５】
請求項２〜４の何れか一項に記載のアイソレータであって、
前記圧力調整装置は、
前記過酸化水素水が霧化される前に前記第１空間を加圧または減圧すること、
を特徴とするアイソレータ。
【請求項６】
請求項２〜５の何れか一項に記載のアイソレータであって、
前記滅菌物質発生装置または前記流路の何れかに設けられ、前記第３開口部が閉塞されている場合に閉塞されると、前記第１空間を密閉する第４開口部を更に備え、
前記圧力測定装置は、
前記第４開口部を介して前記第１空間の圧力を測定すること、
を特徴とするアイソレータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス発生装置、アイソレータに関する。
【背景技術】
【０００２】
ダブルチャンバ式の霧化装置を備える滅菌ガス発生装置や薬剤吸入器等では、伝播水と、霧化対象となる液体を貯留するカップの底面の振動板とを介して、超音波振動のエネルギーが液体に伝わるため、カップの液体は霧化される（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１７２６９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一般的に振動板は薄いため、霧化装置を長期間使用していると、振動板に亀裂が発生して穴が開いてしまうことがある。このような場合、霧化対象となる液体が伝搬水を貯留する容器側へと漏れてしまう。したがって、例えば作業者は、定期的に振動板の表面を観測し、振動板に穴が開いていないかを確認する必要があった。
【０００５】
本発明は上記課題を鑑みてなされたものであり、振動板の表面を観測することなく、振動板に穴が開いているか否かを検出することができるガス発生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の一つの側面に係るガス発生装置は、底面に設けられた第１開口部を塞ぐように取り付けられた振動板を有し、液体を貯留するとともに、加圧または減圧される際には密閉される第１空間を有する第１貯留部と、前記第１貯留部で霧化される前記液体を気化する気化部と、超音波振動を伝播する伝播水を貯留する第２空間と、第２開口部とを有し、前記第２開口部が閉塞された場合に前記第１貯留部とともに前記第２空間を密閉する、底面に超音波振動子が取り付けられる第２貯留部と、前記第１空間を加圧または減圧する圧力調整装置と、前記第２開口部を介して前記第２空間の圧力を測定する圧力測定装置と、を備える。
【発明の効果】
【０００７】
振動板の表面を観測することなく、振動板に穴が開いているか否かを検出することができるガス発生装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態であるアイソレータ１０の構成を示す図である。
【図２】滅菌ガス発生装置３３の側面図である。
【図３】マイコン７３に実現される機能ブロックを示す図である。
【図４】マイコン７３が実施する処理の一例を示すフローチャートである。
【図５】振動板１１６に穴がない場合に測定された圧力Ｐ１，Ｐ２の一例を示す図である。
【図６】振動板１１６に穴がある場合に測定された圧力Ｐ１，Ｐ２の一例を示す図である。
【図７】滅菌ガス発生装置３３の空間Ａを直接加圧する場合の構成例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本明細書および添付図面の記載により、少なくとも以下の事項が明らかとなる。
【００１０】
図１は、本発明の一実施形態であるアイソレータ１０の構成を示す図である。アイソレータ１０は、作業者が滅菌された環境で細胞の作業等を行うための装置であり、滅菌ガス発生ユニット２０、供給装置２１、作業室２２、排出装置２３、及び制御装置２４を含んで構成される。なお、滅菌とは微生物を殺滅して限りなく無菌に近くすることであるが、本明細書ではいわゆる除染、除菌、殺菌なども含めるものとする。また、無菌環境とは限りなく無菌に近い環境であって、除染処理とはその無菌環境を実現するための処理をいい、除染処理に用いる物質を除染物質という。
【００１１】
滅菌ガス発生ユニット２０は、タンク３０、ポンプ３１、パイプ３２、滅菌ガス発生装置３３、及び圧力計３４を含んで構成される。  
タンク３０は、過酸化水素水（過酸化水素（H2O2）が溶解した水溶液）を貯蔵する。  
ポンプ３１は、タンク３０から過酸化水素水を汲み上げ、パイプ３２を介して滅菌ガス発生装置３３に供給する。
【００１２】
滅菌ガス発生装置３３は、供給される過酸化水素水から滅菌ガスである過酸化水素ガスを発生し、キャリアガスとともに供給装置２１へと供給する。なお、滅菌ガス発生装置３３の詳細については後述するが、滅菌ガス発生装置３３における空間Ａでは、過酸化水素水及びキャリアガスが供給されて、過酸化水素ガスが発生する。一方、空間Ｂは、過酸化水素水を霧化させるための伝搬水が貯留される密閉された空間である。また、圧力計３４（圧力測定装置）は、空間Ｂの圧力Ｐ１を測定する。
【００１３】
供給装置２１は、供給される過酸化水素ガス、またはアイソレータ１０の外部の空気を作業室２２へと供給する装置であり、電磁バルブ４０、及びファン４１を含んで構成される。
【００１４】
電磁バルブ４０は、制御装置２４の制御に基づいて、過酸化水素ガス、または外部の空気をファン４１に供給する。ファン４１は、電磁バルブ４０から供給される過酸化水素ガス、または空気を作業室２２へと供給する。
【００１５】
作業室２２は、例えば細胞等の生体由来材料を対象とする作業を行う空間であり、作業室２２には、エアフィルタ５０，５１、扉５２、作業用グローブ５３、コンプレッサ５４、及び圧力計５５が設けられている。
【００１６】
エアフィルタ５０は、ファン４１から供給される過酸化水素ガス、または空気に含まれる塵等を除去するためのフィルタである。エアフィルタ５１は、作業室２２から排出されるガス等に含まれる塵等を除去するためのフィルタである。なお、エアフィルタ５０，５１には、例えば、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air）フィルタが用いられる。
【００１７】
扉５２は、細胞等を作業室１０に搬入するために作業室１０の前面に開閉可能に設けられている。  
作業用グローブ５３は、扉５２が閉じられた状態で作業者が作業室２２内の細胞等を作業できるよう、扉５２に設けられた開口部（不図示）に取り付けられている。
【００１８】
コンプレッサ５４（圧力調整装置）は、作業室２２に設けられた開口部８０（第３開口部）を介して、アイソレータ１０の外部の空気を圧縮して作業室２２へと供給する。なお、開口部８０には、エアフィルタ５０と同様のエアフィルタ（不図示）が設けられている。  
圧力計５５は、作業室２２に設けられた開口部８１（第４開口部）を介して、作業室２２の内部の空間の圧力Ｐ２を測定する。
【００１９】
排出装置２３は、作業室２２から過酸化水素ガスや空気等のガスを排出するための装置であり、電磁バルブ６０、及び滅菌処理装置６１を含んで構成される。
【００２０】
電磁バルブ６０は、制御装置２４からの制御に基づいて、エアフィルタ５１から出力されるガスを、滅菌処理装置６１、または滅菌ガス発生装置３３の何れかに供給する。なお、電磁バルブ６０からの出力が滅菌ガス発生装置３３へと供給される場合、作業室２２のガスは循環されることになる。  
滅菌処理装置６１は触媒を備え、電磁バルブ６０から出力されるガスを無害化および滅菌処理をしてアイソレータ１０の外部へと出力する。
【００２１】
制御装置２４（判定装置）は、アイソレータ１０の各ブロックを制御する装置であり、操作部７０、表示部７１、記憶装置７２、及びマイコン７３を含んで構成される。
【００２２】
操作部７０は、利用者がアイソレータ１０の動作を設定するための操作パネル等である。なお、操作部７０の操作結果はマイコン７３へと送信される。  
表示部７１は、操作部７０の操作結果や、アイソレータ１０の各ブロックの状態等を表示する表示パネルである。  
記憶装置７２は、マイコン７３が実行するプログラムデータや、各種データを記憶する。
【００２３】
マイコン７３は、記憶装置７２に記憶されたプログラムデータを実行することにより、各種機能を実現する。例えば、操作部７０から、リークチェックを実行させるための指示や、滅菌ガスを発生させるため指示が出力されると、マイコン７３は、指示に応じた所定のプログラムを実行し、ポンプ３１等を制御する。なお、マイコン７３の詳細は後述する。
【００２４】
＝＝滅菌ガス発生装置３３の詳細＝＝
図２は、滅菌ガス発生装置３３の側面図である。なお、図２において、一部のブロックは断面図で描かれている。滅菌ガス発生装置３３は、過酸化水素水（液体）を霧化させる霧化装置１００を備えている。また、霧化装置１００は、過酸化水素水を貯留するカップ１１０、伝播水を貯留する貯留容器１１１、蓋部材１１２を備えている。
【００２５】
カップ１１０（第１貯留部）には、上側（＋Ｚ方向）と下側（−Ｚ方向）に開口部が設けられている。カップ１１０の下側の開口部２００（第１開口部）には、開口部２００をふさぐように振動板１１６が、パッキンを挟んでボルト等で水密的に固定されている。振動板１１６は、底面（−Ｚ方向の面）が水平になるよう、カップ１１０に取り付けられている。また、カップ１１０に振動板１１６が取り付けられることにより、カップ１１０には、過酸化水素水を貯留する空間Ａ（第１空間）が形成される。
【００２６】
貯留容器１１１の底面には、伝播水に超音波振動を与えるための超音波振動子１２０が、その放射方向が垂直上向きから所定の角度（例えば、７度）傾いた状態となるように設けられている。伝播水はカップ１１０内の過酸化水素水へ超音波振動を伝播する。
【００２７】
蓋部材１１２には、カップ１１０が挿入される開口部２１０、伝播水が注入される注入口２２０、及び圧力計３４が取り付けられる開口部２３０が設けられている。
【００２８】
カップ１１０は、開口部２１０を塞ぐように、上側から開口部２１０に挿入される。なお、カップ１１０は開口部２１０に挿入された後、ボルト（不図示）等で蓋部材に取り付けられる。注入口２２０には、注入口２２０を開放または閉塞する栓部材１１３が挿入されている。開口部２３０（第２開口部）には、伝播水が貯留される空間Ｂ（第２空間）の圧力Ｐ１を圧力計３４が測定できるよう、フランジ１１４及びパイプ１１５を介して、圧力計３４が取り付けられている。したがって、開口部２２０は閉塞され、空間Ｂは密閉される。ここで、貯留容器１１１及び蓋部材１１２は、第２貯留部に相当する。なお、貯留容器１１１及び蓋部材１１２は、一体形成されていても良い。
【００２９】
蓋部材１１２の上側には、過酸化水素ガスを外部へ供給するための供給管１４０と、供給管１４０を支持する支持部材１５０が設けられている。支持部材１５０は、蓋部材１１２の上面に設置された筒状部材１５１と、筒状部材１５１の上面に設けられたフランジ１５２を含む。
【００３０】
筒状部材１５１の径は、円筒状の供給管１４０の径よりも大きく、筒状部材１５１の−Ｘ側の側面には、キャリアガス（作業室２２を循環する空気）が供給されるポート１５３が設けられている。フランジ１５２は、筒状部材１５１の上面の開口部を閉じつつ、中心に供給管１４０が貫通されている。また、フランジ１５２の上面には、過酸化水素水が供給されるパイプ３２を通すためのポート１５４が設けられている。なお、パイプ３２は、ポート１５４と、供給管１４０の側面に設けられた開口部を介して、カップ１１０に過酸化水素水等が供給できるよう、供給管１４０の側面に固定されている。
【００３１】
また、カップ１１０の上側には、霧化された過酸化水素水を加熱し、気化するためのヒーター１３０が設けられている。ヒーター１３０で加熱され、ガス化した過酸化水素ガスは、供給されるキャリアガスとともに供給管１４０に設けられたポート１４１から出力される。ポート１４１は、前述の供給装置２１の電磁バルブ４０にパイプを介して接続される。このように、カップ１１０で霧化された過酸化水素水は、過酸化水素ガスとしてポート１４１から供給装置２１へと供給される。なお、ヒーター１３０、供給管１４０は気化部に相当する。また、過酸化水素水を貯留する空間Ａでは、気化された過酸化水素ガスが発生することになる。
【００３２】
＝＝流路について＝＝
ここで、例えば、アイソレータ１０の内部のガスが外部へとリークしていないことを確認するためのリークチェックの工程が実行される際に、過酸化水素ガス等が流れる流路について、図１を参照しつつ説明する。
【００３３】
リークチェックの工程では、電磁バルブ４０は、過酸化水素ガスをファン４１に供給し、電磁バルブ６０は、エアフィルタ５１から出力されるガスを、滅菌ガス発生装置３３へと供給する。このため、作業室２２のガスは、例えば、滅菌ガス発生装置３３の空間Ａ→電磁バルブ４０→ファン４１→作業室２２→電磁バルブ６０→空間Ａという流路Ａで循環することなる。また、流路Ａにリークがない場合、流路Ａの内部の空間、つまり空間Ａや作業室２２の内部の空間は密閉される。したがって、例えばリークチェックの工程で、作業室２２の内部の空間が加圧されると、空間Ａも加圧されることになる。このように、リークチェックの工程では、空間Ａを加圧するための流路Ａが形成されていることになる。
【００３４】
＝＝マイコン７３の詳細について＝＝
マイコン７３により実現される機能ブロックについて説明する。マイコン７３は、操作部７０から、リークチェックの工程の開始指示が入力されると、所定のプログラムを実行し、図３に示すような、制御部３００、測定部３０１、及び判定部３０２，３０３の機能を実現する。
【００３５】
制御部３００は、開始指示が入力されると、アイソレータ１０の内部でガス等が流れる流路が、流路Ａとなるよう電磁バルブ４０，６０を制御する。また、制御部３００は、流路Ａの内部の空間を加圧すべく、コンプレッサ５４を制御する。  
測定部３０１は、圧力計３４を制御して空間Ｂの圧力Ｐ１を測定する。また、測定部３０１は、圧力計５５を制御して空間Ａの圧力Ｐ２を測定する。  
判定部３０２は、コンプレッサ５４が、作業室２２の内部へ圧縮空気を供給してから、所定時間（例えば、時間ＴＡ）経過したか否かを判定する。  
判定部３０３は、圧力Ｐ１，Ｐ２の測定結果に基づいて、流路Ａにリークがあるか否かと、空間Ａと空間Ｂとの間に設けられた振動板１１６に穴があるか否かを判定する。
【００３６】
図４は、リークチェックの工程が実行された際において、マイコン７３が実施する処理の一例である。なお、リークチェックの工程が実行される際に、貯留容器１１１に貯留される伝播水の水位は、例えば図２に示すように、振動板１１６の底面より低い水位である。
【００３７】
まず、制御部３００は、過酸化水素ガスがファン４１に出力されるよう電磁バルブ４０を制御するとともに、作業室２２からのガスが滅菌ガス発生装置３３へと供給されるよう電磁バルブ６０を制御する（Ｓ１００）。この結果、アイソレータ１０には、流路Ａが形成されることになる。
【００３８】
そして、測定部３０１は、加圧前の圧力Ｐ１，Ｐ２を測定し（Ｓ１０１）、流路Ａの内部の空間を加圧すべく、コンプレッサ５４を制御する（Ｓ１０２）。判定部３０２は、コンプレッサ５４が圧縮空気を供給し始めてから、所定時間ＴＡが経過したか否かを判定する（Ｓ１０３）。所定時間ＴＡ経過すると（Ｓ１０３：ＹＥＳ）、測定部３０１は、加圧後の圧力Ｐ１，Ｐ２を測定する（Ｓ１０４）。
【００３９】
判定部３０３は、加圧前と加圧後の圧力Ｐ２の変化が所定値ＰＡ以上であるか否かを判定する（Ｓ１０５）。なお、所定値ＰＡは、流路Ａにリークが無い状態で測定される加圧前と加圧後の圧力Ｐ２の差の例えば６０％の値である。そして、判定部３０３は、圧力Ｐ２の変化、すなわち、加圧前後の圧力Ｐ２の差が所定値ＰＡより小さい場合、流路Ａにはリークが有ると判定して判定結果を表示部７１に表示する（Ｓ１０６）。一方、判定部３０３は、圧力Ｐ２の変化が所定値ＰＡより大きい場合、流路Ａにはリークが無いと判定し、判定結果を表示部７１に表示する（Ｓ１０７）。
【００４０】
また、加圧前後の圧力Ｐ１の差が所定値ＰＡより小さい場合、つまり、密閉された空間Ｂの圧力の変化が小さい場合、判定部３０３は、振動板１１６に異常が無いと判定して判定結果を表示部７１に表示する（Ｓ１０９）。一方、空間Ｂの圧力Ｐ１の変化が所定値ＰＡより大きい場合、つまり、密閉されているはずの空間Ｂの圧力の変化が大きい場合、判定部３０３は、振動板１１６に異常が有ると判定して判定結果を表示部７１に表示する（Ｓ１１０）。
【００４１】
図５は、リークチェックの工程が実施された際に、振動板１１６に穴がない状態、すなわち、空間Ｂが密閉されている状態で測定された圧力Ｐ１，Ｐ２の一例を示す図である。なお、ここでは、時刻ｔ０より前のタイミングで流路Ａは形成されている。
【００４２】
まず、時刻ｔ０において、圧力Ｐ１，Ｐ２は測定される（Ｓ１０１）。そして、時刻ｔ２から所定期間、コンプレッサ５４は圧縮空気を作業室２２の内部へと供給する（Ｓ１０２）。このため、圧力Ｐ２は上昇し、コンプレッサ５４の動作が停止された後は徐々に減少する。また、振動板１１６には穴がない状態であるため、空間Ｂは密閉された状態であり、圧力Ｐ１に変化はない。
【００４３】
時刻ｔ１から所定時間ＴＡだけ経過した時刻ｔ２において、圧力Ｐ２の加圧前後での差は、所定値ＰＡよりも大きい（Ｓ１０５：ＹＥＳ）。このため、流路Ａにはリークが無いことが判定され、リーク無しの表示が表示部７１に表示される（Ｓ１０７）。また、時刻ｔ２において、圧力Ｐ１の加圧前後での差は、所定値ＰＡよりも小さい（Ｓ１０８：ＮＯ）。したがって、振動板１１６には異常が無いことが判定され、その旨が表示部７１に表示される（Ｓ１０９）。なお、時刻ｔ３において、加圧された圧力を低下すべく、例えば作業室２２に設けられたバルブ（不図示）が開放される。
【００４４】
図６は、リークチェックの工程が実施された際に、振動板１１６に穴がある状態で測定された圧力Ｐ１，Ｐ２の一例を示す図である。なお、時刻ｔ０〜ｔ３のタイミングは、図５で説明したタイミングと同様である。
【００４５】
まず、時刻ｔ０において、圧力Ｐ１，Ｐ２は測定される（Ｓ１０１）。そして、時刻ｔ２から所定期間、コンプレッサ５４は圧縮空気を作業室２２の内部へと供給する（Ｓ１０２）。このため、圧力Ｐ２は上昇し、コンプレッサ５４の動作が停止された後は徐々に減少する。ここでは、振動板１１６には穴がある状態であるため、空間Ｂの密閉状態は維持されておらず、空間Ｂの圧力Ｐ１は圧力Ｐ２と同様に変化する。
【００４６】
そして、時刻ｔ１から所定時間ＴＡだけ経過した時刻ｔ２において、圧力Ｐ２の加圧前後での差は、所定値ＰＡよりも大きい（Ｓ１０５：ＹＥＳ）。このため、流路Ａにはリークが無いことが判定され、リーク無しの表示が表示部７１に表示される（Ｓ１０７）。また、時刻ｔ２において、圧力Ｐ１の加圧前後での差は、所定値ＰＡよりも大きい（Ｓ１０８：ＹＥＳ）。したがって、振動板１１６には異常が有ることが判定され、その旨が表示部７１に表示される（Ｓ１１０）。
【００４７】
以上、本実施形態のアイソレータ１０について説明した。なお、アイソレータ１０に含まれる滅菌ガス発生装置３３の空間Ａを直接加圧する場合であっても、本実施形態と同様の効果を得ることができる。具体的には、例えば図７に示すように、ポート１４１の開口をフランジ４００で閉塞し、ポート１５３に、空間Ａを加圧できるよう、フランジ４０１及びパイプ４０２を介してコンプレッサ５４を取り付ける。そして、コンプレッサ５４を動作させて空間Ａを加圧すると、振動板１１６に穴があるか否かにより空間Ｂの圧力Ｐ１は変化する。したがって、滅菌ガス発生装置３３においては、振動板１１６を直接観測することなく、振動板１１６に穴が開いているか否かを検出することができる。
【００４８】
また、アイソレータ１０では、作業室２２の開口部８０を介して流路Ａの内部の空間が加圧される。このような場合に、滅菌ガス発生装置３３の空間Ａも加圧されることになるため、空間Ｂの圧力Ｐ１を測定することにより、振動板１１６に穴が開いているか否かを検出することができる。
【００４９】
例えば、振動板１１６に穴がある場合、流路Ａが加圧されると圧力Ｐ１は上昇する。このため、例えば、時刻ｔ２において測定された圧力Ｐ１のみに基づいて、振動板１１６に穴があるか否かを判定しても良い。ただし、本実施形態の判定部３０３は、加圧前後の圧力Ｐ１の差に基づいて判定しているため、圧力計３４にオフセットがあるような場合であっても、穴の有無を精度良く判定できる。
【００５０】
また、加圧前後の圧力Ｐ１の差が所定値ＰＡよりも大きい場合、表示部７１には、振動板１１６に異常があることが表示される。このため、作業者は、振動板１１６に穴が開いていることを直ちに把握することができる。
【００５１】
また、一般に、過酸化水素水が霧化された後に気化される滅菌工程は、リークチェックの工程の後に実行される。本実施形態では、過酸化水素水が霧化される滅菌工程が実行される前に、振動板１１６の穴の有無が判定される。このため、より安全に滅菌工程を実行することができる。
【００５２】
また、アイソレータ１０では、圧力計３４，５５が設けられているが、例えば、作業室２２の開口部８１と、空間Ｂの開口部２３０とを切り替えることが可能な電磁バルブ等を用いて、圧力計３４のみで圧力Ｐ１，Ｐ２を測定させても良い。このような場合、アイソレータ１０で使用する圧力計の数を減らすことができる。
【００５３】
なお、上記実施例は本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物も含まれる。
【００５４】
例えば、貯留容器１１１には、伝播水が貯留されていない場合であっても、本実施形態と同様に振動板１１６の穴の有無の検出が可能である。
【００５５】
また、圧力計５５の代わりに、例えば、大気圧と空間Ｂの圧力との差を測定する差圧計を用いても本実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００５６】
また、コンプレッサ５４の代わりに流路Ａの内部の空間を減圧するポンプ（圧力調整装置）を用いる場合であっても、振動板１１６の穴の有無の検出が可能である。
【００５７】
また、本実施形態では圧力調整装置としてコンプレッサ５４を用いたが、コンプレッサ５４の代わりにファン４１を圧力調整装置として使用しても良い。この場合であって、流路Ａの内部の空間を加圧することができる。
【００５８】
また、圧力計３４の代わりに、例えば空間Ｂの湿度を測定する湿度計を設け、リークチェックの工程において、湿度計が測定する湿度が低下した場合、振動板１１６に穴があると判定しても良い。
【００５９】
また、コンプレッサ５４は、滅菌ガス発生装置３３に設けられた開口部（不図示）を介して、流路Ａを加圧しても良い。
【符号の説明】
【００６０】
１０  アイソレータ
２０  滅菌ガス発生ユニット
２１  供給装置
２２  作業室
２３  排出装置
２４  制御装置
３０  タンク
３１  ポンプ
３２，１１５，４０２  パイプ
３３  滅菌ガス発生装置
４０，６０  電磁バルブ
４１  ファン
５０，５１  エアフィルタ
５２  扉
５３  グローブ
６１  滅菌処理装置
７０  操作部
７１  表示部
７２  記憶装置
７３  マイコン
１００  霧化装置
１１０  カップ
１１１  貯留容器
１１２  蓋部材
１１３  栓部材
１１４，１５２，４００，４０１  フランジ
１１６  振動板
１２０  超音波振動子
１３０  ヒーター
１４０  供給管
１４１，１５３，１５４  ポート
１５０  支持部材
１５１  筒状部材
２００，２１０，２３０  開口部
２２０  注入口
３００  制御部
３０１  測定部
３０２，３０３  判定部
【図１】
0005555655.tif 000002
【図２】
0005555655.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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