(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転可能な少なくとも２つのローラ（１１、１２）と、
前記ローラ（１１、１２）に対して巻き付けられ、前記２つのローラ（１１、１２）の間に張設されたワイヤー（２）と、
砥粒が含まれたスラリ（３）の供給を行うスラリ供給部（６）と、
前記ワイヤー（２）に切断されるワーク（４）が保持されるワーク保持部（５）とを有し、
前記スラリ供給部（６）により前記ワイヤー（２）に対して前記スラリ（３）を供給しながら前記ローラ（１１、１２）を回転させることで前記ワイヤー（２）を該ワイヤー（２）の長手方向に移動させ、前記ワーク保持部（５）に保持された前記ワーク（４）を前記ワイヤー（２）にて切断するワイヤーソー装置であって、
前記スラリ供給部（６）は、前記ワイヤー（２）の下方に位置するスラリ供給面（６３ａ、６４ｂ）を有するスラリ供給用ステー（６２）を有し、
前記スラリ供給用ステー（６２）は、前記ワーク（４）が前記ワイヤー（２）に押し付けられる方向に該スラリ供給用ステー（６２）もしくは前記ワーク保持部（５）が昇降させられると、当該昇降に伴って前記スラリ供給面（６３ａ、６４ｂ）の少なくとも一部を構成している補助ステー（６４ａ）の先端位置が前記ワーク（４）を通り前記ワイヤー（２）の長手方向を法線とする平面から徐々に離れる構造とされていることを特徴とするワイヤーソー装置。
【請求項２】
前記スラリ供給部（６）は、前記ワイヤー（２）の下方に配置されるステー本体（６３）と、前記ステー本体（６３）に設置されると共に前記スラリ供給面（６３ａ、６４ｂ）の少なくとも一部（６４ｂ）を構成する補助ステー（６４ａ）とを備え、前記ステー本体（６３）に対して前記補助ステー（６４ａ）が収縮させられることで、前記補助ステー（６４ａ）の先端位置が前記昇降に伴って前記ワーク（４）を通り前記ワイヤー（２）の長手方向を法線とする平面から徐々に離れる構造とされていることを特徴とする請求項１に記載のワイヤーソー装置。
【請求項３】
前記ワーク保持部（５）には、上方に向かうほど幅が狭くなる先細り形状の案内面を有するガイド（５３）が備えられ、前記昇降に伴って、該ガイド（５３）の前記案内面により前記補助ステー（６４ａ）を前記ステー本体（６３）側に移動させる力を加えることで、前記補助ステー（６４ａ）の先端位置が前記ワーク（４）を通り前記ワイヤー（２）の長手方向を法線とする平面から徐々に離れることを特徴とする請求項２に記載のワイヤーソー装置。
【請求項４】
前記ステー本体（６３）の下方には、前記補助ステー（６４ａ）が収容される収容溝（６４ｇ）が備えられた補助ステー収容部（６４ｄ）を有すると共に、前記収容溝（６４ｇ）内に配置された前記補助ステー（６４ａ）を前記ワーク（４）側に付勢する付勢手段（６４ｆ）とを有し、
前記ガイド（５３）の案内面により前記補助ステー（６４ａ）を前記ステー本体（６３）側に移動させる力が加えられていないときには、前記補助ステー（６４ａ）が前記付勢手段（６４ｆ）によって付勢されることで該補助ステー（６４ａ）の先端が前記ステー本体（６３）の先端よりも前記ワーク（４）側に突き出した状態となっていることを特徴とする請求項３に記載のワイヤーソー装置。
【請求項５】
前記ステー本体（６３）および前記補助ステー（６４ａ）は中空形状とされ、前記ステー本体（６３）および前記補助ステー（６４ａ）における中空部は前記スラリ（３）が導入されるスラリ導入通路（６３ｃ、６４ｋ）とされていると共に前記ステー本体（６３）のスラリ導入通路（６３ｃ）内に前記補助ステー（６４ａ）が配置され、前記補助ステー（６４ａ）の先端側に前記スラリ（３）を排出するスラリ排出口（６４ｍ）が備えられていることを特徴とする請求項２または３に記載のワイヤーソー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、張設したワイヤーにスラリを供給しながら、ワイヤーを移動させることで炭化珪素（以下、ＳｉＣという）のインゴット等のワークの切断を行うワイヤーソー装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ＳｉＣ単結晶のインゴット等のワークを切断してＳｉＣ基板等を製造する場合、例えば特許文献１に示されるようなワイヤーソー装置が用いられている。このワイヤーソー装置では、複数のローラに対してワイヤーを複数回巻き付けることでワイヤーが複数列に張設されたワイヤー列を構成しており、ローラの回転によってワイヤー列を高速往復走行させると共に、ダイヤ砥粒を混ぜたスラリをワイヤーに掛けながらワークに押し付けることで切断する。そして、ワークを切断する際にスラリが切断部に供給されるようにワイヤーソーの下方にスラリが受け止められるステー（プレート）を配置している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１５３０３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、スラリが受け止められるステーのうちワーク側の先端位置がワークの切断箇所の端部から離れた位置にあるため、ワイヤーがワークの切断箇所に移動するまでにワイヤーに付着したスラリが落下してしまい、ワークの切断箇所においてスラリの供給が不十分となる。例えば、円柱形状のワークを中心軸に対して垂直な方向に切断するが、ワークの切断箇所の幅は切断の進行に伴って変化することから、ステーの先端をワークに近づけようとしてもワークの切断箇所の最大幅を見込んだ位置までしか近づけることができない。このため、ステーの先端からワークまでの距離が開いてしまい、それによってスラリが落下してしまうのである。このため、ワークの切断面が荒れるなどの問題が発生する。
【０００５】
本発明は上記点に鑑みて、ワークの切断箇所に十分にスラリを供給することができるワイヤーソー装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、スラリ供給部（６）によりワイヤー（２）に対してスラリ（３）を供給しながらローラ（１１、１２）を回転させることでワイヤー（２）を該ワイヤー（２）の長手方向に移動させ、ワーク保持部（５）に保持されたワーク（４）をワイヤー（２）にて切断するワイヤーソー装置において、スラリ供給部（６）は、ワイヤー（２）の下方に位置するスラリ供給面（６３ａ、６４ｂ）を有するスラリ供給用ステー（６２）を有し、スラリ供給用ステー（６２）は、ワーク（４）がワイヤー（２）に押し付けられる方向に該スラリ供給用ステー（６２）もしくはワーク保持部（５）が昇降させられると、当該昇降に伴ってスラリ供給面（６３ａ、６４ｂ）の少なくとも一部を構成している補助ステー（６４ａ）の先端位置が、ワーク（４）を通りワイヤー（２）の長手方向を法線とする平面から徐々に離れる構造とされていることを特徴としている。
【０００７】
このように、スラリ供給用ステー（６２）もしくはワーク保持部（５）の昇降に伴っててスラリ供給面（６３ａ、６４ｂ）の少なくとも一部を構成している補助ステー（６４ａ）の先端位置が、ワーク（４）を通りワイヤー（２）の長手方向を法線とする平面から徐々に離れるようにしている。このため、補助ステー（６４ａ）の先端からワーク（４）の外縁までの距離がある程度の範囲内となるように維持し、補助ステー（６４ａ）の先端からワーク（４）の外縁までの距離が離れすぎないようにすることができる。このため、スラリ供給部（６）にてワイヤー（２）に対してスラリ（３）を供給する際に、ワーク（４）の切断中常に、補助ステー（６４ａ）の先端位置がワーク（４）から近い位置となるように維持できる。したがって、スラリ（３）がワーク（４）の切断箇所まで辿り着く前に落下してしまうことを抑制できる。これにより、ワーク（４）の切断箇所に十分にスラリ（３）を供給することが可能なワイヤーソー装置とすることが可能となる。
【０００８】
例えば、請求項２に示すように、スラリ供給部（６）は、ワイヤー（２）の下方に配置されるステー本体（６３）と、ステー本体（６３）に設置されると共にスラリ供給面（６３ａ、６４ｂ）の少なくとも一部（６４ｂ）を構成する補助ステー（６４ａ）とを備え、ステー本体（６３）に対して補助ステー（６４ａ）が収縮させられることで、補助ステー（６４ａ）の先端位置が昇降に伴って、ワーク（４）を通りワイヤー（２）の長手方向を法線とする平面から徐々に離れる構造とすることができる。
【０００９】
請求項３に記載の発明では、ワーク保持部（５）には、上方に向かうほど幅が狭くなる先細り形状の案内面を有するガイド（５３）が備えられ、昇降に伴って、該ガイド（５３）の案内面により補助ステー（６４ａ）をステー本体（６３）側に移動させる力を加えることで、補助ステー（６４ａ）の先端位置が、ワーク（４）を通りワイヤー（２）の長手方向を法線とする平面から徐々に離れることを特徴としている。
【００１０】
このように、ガイド（５３）の案内面から受ける力により、補助ステー（６４ａ）をステー本体（６３）側に移動させる力を加えることができる。
【００１１】
この場合、例えば、請求項４に記載したように、ステー本体（６３）の下方に、補助ステー（６４ａ）が収容される収容溝（６４ｇ）が備えられた補助ステー収容部（６４ｄ）を設けると共に、収容溝（６４ｇ）内に配置された補助ステー（６４ａ）をワーク（４）側に付勢する付勢手段（６４ｆ）を備えた構造とし、ガイド（５３）の案内面により補助ステー（６４ａ）をステー本体（６３）側に移動させる力が加えられていないときには、補助ステー（６４ａ）が付勢手段（６４ｆ）によって付勢されることで該補助ステー（６４ａ）の先端がステー本体（６３）の先端よりもワーク（４）側に突き出した状態とすることができる。このような構成とすれば、昇降に伴って、該ガイド（５３）の案内面により補助ステー（６４ａ）をステー本体（６３）側に移動させる力を加えることで、補助ステー（６４ａ）の先端位置が、ワーク（４）を通りワイヤー（２）の長手方向を法線とする平面から徐々に離れるようにできる。
【００１２】
また、請求項５に記載したように、ステー本体（６３）および補助ステー（６４ａ）を中空形状とし、ステー本体（６３）および補助ステー（６４ａ）における中空部をスラリ（３）が導入されるスラリ導入通路（６３ｃ、６４ｋ）にすると共にステー本体（６３）のスラリ導入通路（６３ｃ）内に補助ステー（６４ａ）を配置し、補助ステー（６４ａ）の先端側にスラリ（３）を排出するスラリ排出口（６４ｍ）を備えた構造にできる。
【００１３】
このように、スラリ供給部（６）の内部にスラリ導入通路（６３ｃ、６４ｍ）を形成すれば、スラリ（３）をよりワーク（４）の近傍に供給することができる。このようにすれば、スラリ（３）の供給量をより少なくすることが可能となる。
【００１４】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施形態にかかるワイヤーソー装置１の模式的な断面図である。
【図２】図１に示すワイヤーソー装置１の一部を示した斜視図である。
【図３】図１に示すワイヤーソー装置１のうちのスラリ供給用ステー６２のみを取り出した拡大斜視図である。
【図４】補助ステー部６４のみをスラリ供給用ステー６２から分解したときの分解図である。
【図５】ワーク保持部５とスラリ供給部６の動作を示した部分断面図である。
【図６】補助ステー部６４を有りにした構造と補助ステー部６４を無しにした構造とでワーク４を切断したときの切断面を確認した様子を示した図である。
【図７】本発明の第２実施形態にかかるワイヤーソー装置１のスラリ供給部６の断面斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。
【００１７】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態にかかるワイヤーソー装置１の模式的な断面図である。また、図２は、図１に示すワイヤーソー装置１の一部を示した斜視図である。ワイヤーソー装置１は、図１の紙面上下方向が天地方向と対応するように配置されている。以下、図１、図２を参照して本実施形態のワイヤーソー装置１について説明する。
【００１８】
図１、図２に示すように、三角形状に配置した３つの溝付ローラ（以下、単にローラという）１１〜１３に、一本の磁性金属材料にて構成されたピアノ線等のワイヤー２を螺旋状に巻き付けてあり、３つのローラ１１〜１３のうちの２つのローラ１１、１２の間に、複数列に並べられたワイヤー列を形成している。このワイヤー列にダイヤ砥粒を混ぜたスラリ３を供給しながらワイヤー列を移動させることで例えば基板形成用のＳｉＣ単結晶のインゴット等のワーク４の切断を行う。ワーク４の切断中には、ワイヤー２の磨耗量を考慮して新線が常に供給され、ワーク４の切断中にワイヤー２の断線等の不具合が生じないようにされている。
【００１９】
また、３つのローラ１１〜１３のうちの残りの１つのローラ１３は図示しないモータによって回転させられるようになっており、このローラ１３が回転させられることにより、ワイヤー２がローラ１１、１２の間において往復走行させられる。すなわち、３つのローラ１１〜１３のうちのワイヤー列の両側に位置する２つのローラ１１、１２は、これら各ローラ１１、１２の支持軸の中心を回転軸として回転自在とされており、ローラ１３が図示しないモータによって回転させられると、ローラ１１、１２もワイヤー２の走行に応じて回転させられるようになっている。
【００２０】
また、ワイヤー列の下方には、ワーク４が配置されるワーク保持部５とスラリ３をワイヤー列に供給するためのスラリ供給部６が備えられている。
【００２１】
図１および図２に示すように、ワーク保持部５は、固定台５１とステージ５２およびガイド５３を有した構成とされている。
【００２２】
固定台５１は、接着剤７などを介してワーク４を固定するためのものである。固定台５１には、ワーク４と対応する溝が設けられており、溝内にワーク４の一部が入り込むことで、接着剤７などによってワーク４が確実に保持され、ワイヤー２による切断時にワーク４が位置ずれしないようになっている。
【００２３】
ステージ５２は、長方板状とされ、その中央部に固定台５１が固定される。例えば、固定台５１とステージ５２には共に固定用のネジ穴があけられており、お互いのネジ穴を位置合わせした状態でネジで締結することで固定台５１がステージ５２に固定されるようになっている。
【００２４】
ガイド５３は、ステージ５２の両端において固定台５１を挟むように配置されている。ガイド５３の上方側の端部は上方に向かうほど幅が狭くなる先細り形状、本実施形態の場合は半円形状とされており、この端部の端面を案内面として後述するスラリ供給部６に備えられる補助ステー部６４の伸縮の案内を行う。
【００２５】
これら固定台５１とステージ５２およびガイド５３を有するワーク保持部５は、図示しない昇降機構によって昇降、つまりワイヤー２に対してワーク４を押し付ける方向やその反対方向への上下移動が可能にされており、この上下移動によってワイヤー２に対してワーク４が押し付けられるようにし、ワイヤー２によるワーク４の切断が行われる。
【００２６】
図２に示すように、スラリ供給部６は、スラリ供給ノズル６１とスラリ供給用ステー６２とを有して構成されている。
【００２７】
スラリ供給ノズル６１は、ワーク４の両側に配置され、ワイヤー列の下方からスラリ３を噴出させることでワイヤー列へのスラリ３の供給が行える構成とされている。スラリ供給ノズル６１は、ワイヤー列の配列方向を長手方向として延設され、広範囲にスラリ３が供給できるようにしてある。
【００２８】
スラリ供給用ステー６２は、ステー本体６３と補助ステー部６４とを有した構成とされており、これらがワーク４の両側に１つずつ配置された構成とされている。図３は、ワイヤーソー装置１のうちのスラリ供給用ステー６２のみを取り出した拡大斜視図である。
【００２９】
ステー本体６３は、ワイヤー列と平行とされた平面（以下、スラリ供給面という）６３ｂを有し、このスラリ供給面６３ａにスラリ３が流されることで、スラリ供給面６３ａ上において移動させられるワイヤー列に対して広範囲にスラリ３を供給する。ステー本体６３におけるワーク４側の端部は、ワーク保持部５に備えられたガイド５３よりもワーク４から離れた位置において終端しており、ワーク４と共にワーク保持部５が昇降させられるときにガイド５３が接触しない構成とされている。
【００３０】
また、ステー本体６３には、ワイヤー列を挟むようにスラリ供給面６３ａに対して垂直方向に延設されたスラリ止め壁６３ｂが備えられている。このスラリ止め壁６３ｂにより、スラリ供給面６３ａの両側からスラリ３が垂れ落ちることが抑制されている。
【００３１】
補助ステー部６４は、板状部材にて構成された補助ステー６４ａを有し、ステー本体６３の裏面側に設置され、ステー本体６３からワーク４に近づく側およびワーク４から離れる側の両側への摺動移動による収縮が可能に構成されている。図４は、補助ステー部６４のみをスラリ供給用ステー６２から分解したときの分解図である。
【００３２】
図３および図４に示すように、補助ステー部６４は、ステー本体６３に設けられたスラリ供給面６３ａと同様のスラリ供給面６４ｂを有し、ワーク４側に伸ばされることでスラリ供給面６４ｂをよりワーク４側に近づける役割を果たす。補助ステー６４ａのスラリ供給面６４ｂには、その中央部、つまりワイヤー列が通過する場所においてワーク４側に向けて掘られた溝部６４ｃが形成されており、この溝部６４ｃ内にスラリ３が優先的に供給されることで、よりワイヤー列にスラリ３を集中させられるようにしている。
【００３３】
補助ステー部６４の伸縮機構は、本実施形態では補助ステー６４ａのワーク４とは反対側の端面において補助ステー６４ａを付勢するバネ機構等によって構成されている。具体的には、補助ステー部６４の伸縮機構は、補助ステー収容部６４ｄとピン６４ｅおよびバネ６４ｆを有した構成とされている。
【００３４】
補助ステー収容部６４ｄは補助ステー６４ａを収容する収容溝６４ｇを有し、この収容溝６４ｇ内に補助ステー６４ａが摺動可能に収容される。収容溝６４ｇの周囲は周壁６４ｈによって囲まれているが、そのうちワーク４側のみ周壁６４ｈが備えられておらず、その周壁６４ｈが備えられていない箇所から補助ステー６４ａが補助ステー収容部６４ｄの外側に向けて摺動させられることで、補助ステー６４ａがワーク４に近づけられるようになっている。
【００３５】
ピン６４ｅは、一方の端部が補助ステー６４ａにおけるワーク４と反対側の端面に固定され、他端が径大とされたストッパとして機能している。補助ステー収容部６４ｄの周壁６４ｈのうち補助ステー６４ａを挟んでワーク４と反対側の壁面には複数個の挿入部６４ｉが設けられており、この挿入部６４ｉにピン６４ｅが挿入されている。
【００３６】
バネ６４ｆは、補助ステー６４ａをワーク４側に付勢する付勢手段を構成するものであり、ピン６４ｅに対して巻回されている。このようにバネ６４ｆをピン６４ｅに対して巻回することで、バネ６４ｆがピン６４ｅに保持され、収縮による反力によって補助ステー６４ａをワーク４側に付勢する。
【００３７】
このような構成により、基本的には補助ステー６４ａはバネ６４ｆによってワーク４側に付勢されることでステー本体６３の先端よりもワーク４側に突き出した状態となっておいる。その突き出し量の最大値は、ピン６４ｅの長さ分、つまりピン６４ｅの他端がストッパとなって周壁６４ｈに接する位置までとなる。そして、補助ステー６４ａに対してバネ６４ｆの付勢力（弾性力）に抗する力が作用すると、補助ステー６４ａが収容溝６４ｇ内において摺動させられ、徐々に補助ステー６４ａの先端が縮められるようになっている。
【００３８】
本実施形態の場合、補助ステー６４ａのうちのワーク４側の端部の両側にローラ６４ｊを備えてある。このローラ６４ｊがガイド５３の案内面に接し、ローラ６４ｊが円滑にガイド５３の案内面上を移動させられるようにしつつ、ガイド５３の案内面から受ける力により、補助ステー６４ａに対してバネ６４ｆの付勢力に抗する力が作用させられる構造となっている。
【００３９】
図５は、ワーク保持部５とスラリ供給部６の動作を示した部分断面図である。この図に示すように、ワーク４を固定した状態でワーク保持部５が上昇させられると、これに伴ってガイド５３の案内面が補助ステー部６４のローラ６４ｊに接する。そして、この状態でさらにワーク保持部５が押し上げられると、ガイド５３の案内面から受ける力によってローラ６４ｊが案内面上を移動させられ、補助ステー６４ａに対してバネ６４ｆの付勢力に抗する力が作用させられる。したがって、ワーク保持部５の上昇に伴って、バネ６４ｆの付勢力に抗して補助ステー６４ａを収容溝６４ｇ内に入り込ませる側に摺動させることが可能となる。
【００４０】
このように、ワーク保持部５の上昇に伴って補助ステー６４ａを収容溝６４ｇ内に入り込ませる側に移動させると、ワーク４の外形に沿って、徐々に補助ステー６４ａの先端位置が変えられる。つまり、補助ステー６４ａの先端位置が、ワーク４を通りワイヤー２の長手方向を法線とする平面から徐々に離れるようにでき、補助ステー６４ａの先端からワーク４の外縁までの距離がある程度の範囲内となるように維持して、補助ステー６４ａの先端がワーク４の外縁から距離が離れすぎないようにすることができる。このため、スラリ供給部６にてワイヤー２に対してスラリ３を供給する際に、ステー本体６３の先端位置がワーク４から距離が離れていても、ワーク４の切断中常に、補助ステー部６４における補助ステー６４ａの先端位置がワーク４から近い位置となるように維持できる。
【００４１】
したがって、ステー本体６３のスラリ供給面６３ａおよび補助ステー部６４のスラリ供給面６４ｂ上においてスラリ３を供給したときに、スラリ３がワーク４の切断箇所まで辿り着く前に落下してしまうことを抑制できる。これにより、ワーク４の切断箇所に十分にスラリ３を供給することが可能なワイヤーソー装置１とすることが可能となる。
【００４２】
図６は、本実施形態のように補助ステー部６４を有りにしたときと補助ステー部６４を無くした構造とでワーク４を切断したときの切断面を確認した様子を示した図である。この図に示すように、補助ステー部６４を無しにした構造の場合には、ワーク４の切断面へのスラリ３の供給量が十分では無いために、ワイヤー２による切断痕（ソーマーク）が残った。これに対して、補助ステー部６４を備えた本実施形態のワイヤーソー装置１では、ワイヤー２による切断痕が残ることなく、表面荒れしていない綺麗な切断面であった。このことからも、本実施形態のワイヤーソー装置１によれば、ワーク４の切断箇所に十分にスラリ３を供給することが可能であることが分かる。
【００４３】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対してスラリ供給部６の構成を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
【００４４】
図７は、本実施形態にかかるワイヤーソー装置１のスラリ供給部６の断面斜視図である。なお、図７ではスラリ供給部６以外の構造については図示していないが、スラリ供給部６以外は第１実施形態と同様である。
【００４５】
図７に示すように、本実施形態では、スラリ３が補助ステー部の先端位置から排出させられる構造としている。具体的には、本実施形態のスラリ供給部６は、スラリ供給パイプ６５を中空状とされたステー本体６３に接続している。また、ステー本体６３内のスラリ導入通路６３ｃ内に補助ステー部６４を配置し、補助ステー部６４も中空形状にするとともにスラリ導入通路６４ｋを備え、補助ステー部６４における補助ステー６４ａのワーク４側の先端位置にスラリ排出口６４ｍを形成することで、スラリ供給面６４ｂにスラリ３が排出させられる。そして、スラリ導入通路６３ｃ内において補助ステー部６４が摺動できるようにすることで、補助ステー６４ａの先端がワーク４の外縁から距離が離れすぎないように調整できるようにしている。
【００４６】
なお、本実施形態のような構造の場合、第１実施形態と同様に、補助ステー６４ａにおけるワーク４とは反対側の端部、つまりステー本体６３のスラリ導入通路６３ｃ内にバネ６４ｆを配置するようにしても良いが、他の構造としても良い。例えば、ワーク４の両側に配置される補助ステー６４ａの先端同士を補助ステー６４ａの両側においてバネ等の付勢手段で連結したり、補助ステー６４ａの先端をワーク保持部５が設置されるワイヤーソー装置１の図示しない土台部分とバネ等の付勢手段によって連結するようにしても良い。このようにしても、補助ステー６４ａをワーク４側に付勢することができ、第１実施形態と同様の動作を行うことが可能となる。
【００４７】
このように、スラリ供給部６の内部にスラリ導入通路６３ｃ、６４ｍを形成し、スラリ３がよりワーク４の近傍に供給することができる。このようにすれば、スラリ３の供給量をより少なくすることが可能となる。
【００４８】
（他の実施形態）
上記第１実施形態では、補助ステー６４ａのうちのワーク４とは反対側の端部がバネ６４ｆによって付勢される形態とした。しかしながら、これは補助ステー部６４の一形態を示したものであり、他の構造とすることもできる。例えば、第２実施形態で説明したように、ワーク４の両側に配置される補助ステー６４ａの先端同士を補助ステー６４ａの両側においてバネ等の付勢手段で連結したり、補助ステー６４ａの先端をワーク保持部５が設置されるワイヤーソー装置１の図示しない土台部分とバネ等の付勢手段によって連結するようにしても良い。このようにしても、補助ステー６４ａをワーク４側に付勢することができ、第１実施形態と同様の動作を行うことが可能となる。
【００４９】
また、第１、第２実施形態では、ワーク保持部５を昇降させることによってワイヤー２に対するワーク４の相対位置が移動させられるようにしているが、ワイヤー２やスラリ供給部６側を昇降させるようにしても良い。
【符号の説明】
【００５０】
１        ワイヤーソー装置
２        ワイヤー
３        スラリ
４        ワーク
５        ワーク保持部
６        スラリ供給部
５１      固定台
５２      ステージ
５３      ガイド
６１      スラリ供給ノズル
６２      スラリ供給用ステー
６３      ステー本体
６３ａ    スラリ供給面
６３ｃ    スラリ導入通路
６４      補助ステー部
６４ａ    補助ステー
６４ｂ    スラリ供給面
６４ｃ    溝部
６４ｄ    補助ステー収容部
６４ｆ    バネ
６４ｊ    ローラ
６４ｋ    スラリ導入通路
６４ｍ    スラリ排出口
６５      スラリ供給パイプ
【図１】
0005561194.tif 000002
【図２】
0005561194.tif 000003
【図３】
0005561194.tif 000004
【図４】
0005561194.tif 000005
【図５】
0005561194.tif 000006
【図６】
0005561194.tif 000007
【図７】
0005561194.tif 000008