(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁体が当接又は離間する弁座を備える筐体と、一端側が前記弁体と連結され、他端側が前記筐体外に突出するロッドと、前記ロッドの他端部側に配置され、前記弁体の開閉方向に前記ロッドを移動させるためのノブとを備え、前記ノブの回転により、前記ロッドを介して前記弁体を移動させる手動弁において、
前記弁体及び弁座の相互に当接する部分が平面状に形成され、
前記筐体内に配置され、前記ロッドの、前記弁体の閉方向の移動に伴って弾性変形して、前記ノブ部の回転操作力を増大させる、ゴムからなる弾性部材と、前記ロッドの移動に伴って前記弾性部材に当接する当接部材とを有し、
前記ロッドが前記弁体の閉方向に移動する途中において、前記当接部材が前記弾性部材に当接することを特徴とする手動弁。
【請求項２】
請求項１に記載の手動弁において、
前記筐体内には、前記ロッドが貫通してロッドの移動を案内する案内部材を備え、
前記弾性部材は、前記ロッドを囲む環状形状をなして前記案内部材上に支持されていると共に、前記ロッドには、前記当接部材が設けられていることを特徴とする手動弁。
【請求項３】
請求項２に記載の手動弁において、
前記筐体は、前記弁座を備える弁本体と、その弁本体の上方を覆うように弁本体に連結されたカバー部材とから構成され、前記案内部材は、弁本体と前記カバー部材との間に挟持されることにより前記筐体内に固定されていることを特徴とする手動弁。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載の手動弁において、
前記案内部材の、前記ロッドの他端部側面には、前記ロッドを囲うようにして環状の溝部が形成され、前記弾性部材は、Ｏリングで構成されると共にその溝部内に保持されており、
前記溝部の幅は、前記弁体の閉方向への移動途中において、前記弾性部材の弾性変形に伴って弾性部材が溝部を区画する壁面に接触するような幅に設定されていることを特徴とする手動弁。
【請求項５】
請求項２または請求項３に記載の手動弁において、
前記弾性部材は、前記ロッドを囲むリング状に形成されると共に、その断面形状において底面側が上面側に比べて長辺に形成されていることを特徴とする手動弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノブを手動で回転操作して流体を制御する手動弁に関するもので、例えば、半導体製造装置で使用される薬液等を制御する手動弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、手動弁は例えば、半導体製造装置において、薬液供給ユニットに供給する薬液の流量を制御する薬液弁や、薬液をサンプリングするときの薬液採取バルブ等として用いられている。このような手動弁の中には、ノブの回転により、ロッドを介して弁体が移動するものがある（特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１に開示された手動弁について、図９を用いて説明する。手動弁３０１Ａは、弁本体３０３、ダイアフラム押さえ３０４、シリンダ３０５、ダイアフラム弁体３０９、弁軸３１０及びつまみ３１２Ａ（ノブ）等から構成されている。ダイアフラム弁体３０９（弁体）は、その周縁部を弁本体３０３とダイアフラム押さえ３０４との間に挟持し、中央部で弁軸３１０（ロッド）と螺設されている。この弁軸３１０は、スプリング３１１により常に上向きに付勢されており、つまみ３１２Ａは、弁軸３１０の上端部と当接した状態で、シリンダ３０５と螺合接続されている。
この特許文献１の手動弁３０１Ａでは、つまみ３１２の回転操作により、つまみ３１２が、弁軸３１０と当接した状態でねじ送りにされると、弁軸３１０は、スプリング３１１の付勢力に抗して、開閉方向に移動し、弁開度が調整できるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３２４６６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された手動弁のように、ロッドが、ノブの回転によりノブと当接した状態でねじ送りにされて、弁体を移動させる手動弁では、ノブを回転させて閉弁操作を行うとき、弁体が弁座に当接した後も、過大なトルクをかけてノブを回転させてしまうことがある。そして、ピストンと一体に連結した弁体が過度に弁座を押圧して、弁座に変形、破損等の損傷が生じる恐れがあった。
【０００６】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、ロッドを介した弁体を移動させる手動弁において、構造が簡単で、且つノブの回転操作によって弁座を損傷させる恐れが少ない構造を有する手動弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
その解決手段である本発明の手動弁は、次のような構成を有している。
（１）弁体が当接又は離間する弁座を備える筐体と、一端側が前記弁体と連結され、他端側が前記筐体外に突出するロッドと、前記ロッドの他端部側に配置され、前記弁体の開閉方向に前記ロッドを移動させるためのノブとを備え、前記ノブの回転により、前記ロッドを介して前記弁体を移動させる手動弁において、前記弁体及び弁座の相互に当接する部分が平面状に形成され、前記筐体内に配置され、前記ロッドの、前記弁体の閉方向の移動に伴って弾性変形して、前記ノブ部の回転操作力を増大させる、ゴムからなる弾性部材と、前記ロッドの移動に伴って前記弾性部材に当接する当接部材とを有し、前記ロッドが前記弁体の閉方向に移動する途中において、前記当接部材が前記弾性部材に当接することを特徴とする。
【０００８】
（２）（１）に記載の手動弁において、前記筐体内には、前記ロッドが貫通してロッドの移動を案内する案内部材を備え、前記弾性部材は、前記ロッドを囲む環状形状をなして前記案内部材上に支持されていると共に、前記ロッドには、前記当接部材が設けられていることを特徴とする。
（３）（２）に記載の手動弁において、前記筐体は、前記弁座を備える弁本体と、その弁本体の上方を覆うように弁本体に連結されたカバー部材とから構成され、前記案内部材は、弁本体と前記カバー部材との間に挟持されることにより前記筐体内に固定されていることを特徴とする。
【０００９】
（４）（２）又は（３）に記載の手動弁において、前記案内部材の、前記ロッドの他端部側面には、前記ロッドを囲うようにして環状の溝部が形成され、前記弾性部材は、Ｏリングで構成されると共にその溝部内に保持されており、前記溝部の幅は、前記弁体の閉方向への移動途中において、前記弾性部材の弾性変形に伴って弾性部材が溝部を区画する壁面に接触するような幅に設定されていることを特徴とする。
（５）（２）または（３）に記載の手動弁において、前記弾性部材は、前記ロッドを囲むリング状に形成されると共に、その断面形状において底面側が上面側に比べて長辺に形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
（１）本発明は、弁体が当接又は離間する弁座を備える匡体と、一端側が前記弁体と連結され、他端側が前記筐体外に突出するロッドと、前記ロッドの他端部側に配置され、前記弁体の開閉方向に前記ロッドを移動させるためのノブとを備え、前記ノブの回転により、前記ロッドを介して前記弁体を移動させる手動弁において、前記弁体及び弁座の相互に当接する部分が平面状に形成され、前記匡体内に配置され、前記ロッドの、前記弁体の閉方向の移動に伴って弾性変形して、前記ノブ部の回転操作力を増大させる弾性部材を有するので、ノブを過度に回転させて弁体が弁座を過度に押圧することがなく、したがって弁体の押圧による弁座の損傷が防止できる。
【００１１】
（２）（１）に記載の手動弁において、前記匡体内には、前記ロッドが貫通してロッドの移動を案内する案内部材を備え、前記弾性部材は、前記ロッドを囲む環状形状をなして前記案内部材上に支持されていると共に、前記ロッドには、そのロッドの移動に伴って前記弾性部材に当接する当接部材が設けられているので、簡単な構造で、且つノブを過度に回転させて弁体が弁座を過度に押圧することがなく、したがって弁体の押圧による弁座の損傷が防止できる。
（３）（２）に記載の手動弁において、前記匡体は、前記弁座を備える弁本体と、その弁本体の上方を覆うように弁本体に連結されたカバー部材とから構成され、前記案内部材は、弁本体と前記カバー部材との間に挟持されることにより前記匡体内に固定されているので、簡単な構造で、且つノブを過度に回転させて弁体が弁座を過度に押圧することがなく、したがって弁体の押圧による弁座の損傷が防止できる。
【００１２】
（４）（２）又は（３）に記載の手動弁において、前記案内部材の、前記ロッドの他端部側面には、前記ロッドを囲うようにして環状の溝部が形成され、前記弾性部材は、Ｏリングで構成されると共にその溝部内に保持されており、前記溝部の幅は、前記弁体の閉方向への移動途中において、前記弾性部材の弾性変形に伴って弾性部材が溝部を区画する壁面に接触するような幅に設定されているので、簡単な構造で、且つノブを過度に回転させて弁体が弁座を過度に押圧することがなく、したがって弁体の押圧による弁座の損傷が防止できる。
（５）（２）または（３）に記載の手動弁において、前記弾性部材は、前記ロッドを囲むリング状に形成されると共に、その断面形状において底面側が上面側に比べて長辺に形成されているので、簡単な構造で、且つノブの回転操作により弁体が弁座を過度に押圧することがなく、したがって弁体の過度の押圧による弁座の損傷が防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態に係る手動弁の構成を示す断面図である。
【図２】手動弁の側面図である。
【図３】図１に示す手動弁のI−I線における中央付近の断面図である。
【図４】図１に示す手動弁のII−II線における中央付近の断面図である。
【図５】開弁状態の手動弁を示す断面図である。
【図６】接続呼び１／２ｉｎｃｈの手動弁におけるロッドの位置とロッドを移動させるに必要なロッド推力との関係を示す図である。
【図７】（ａ）および（ｂ）は、凹溝の変形例を示す図である。
【図８】（ａ）および（ｂ）は、弾性部材の変形例を示す図である。
【図９】従来の手動弁を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
（実施形態１）
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本実施形態に係る手動弁の構成を示す断面図である。図２は、手動弁の側面図である。図３は、図１に示す手動弁のI−I線における中央付近の断面図である。図４は、図１に示す手動弁のII−II線における中央付近の断面図である。
手動弁１は、例えば、半導体製造装置において、薬液供給ユニットに供給する薬液（流体）の流量を制御する薬液弁や、薬液をサンプリングするときの薬液採取バルブ等として用いられる。ここでは、接続呼び１／２ｉｎｃｈの手動弁１を例として、以下に説明する。
【００１５】
この手動弁１は、図１に示すように、操作部２、駆動伝達部３及び弁機構部４から構成されている。
操作部２はさらに、つまみ１０、スライドナット２０、止めネジ３０及びストッパーネジ４０等からなる。
つまみ１０は、例えば、フッ素系樹脂等のような耐酸性（または耐アルカリ性）を有する樹脂からなり、図１に示すように、その中央部に、図１において上下方向に貫通する貫通孔１０Ｈを有する略円筒状の形状をなしている。
【００１６】
ロッド送出部材であるところのスライドナット２０は、例えば、フッ素系樹脂等のような耐酸性（または耐アルカリ性）を有する樹脂からなる。このスライドナット２０は、その中央部に図１において上下方向に貫通する貫通孔２０Ｈを有する略円筒状で、この貫通孔２０Ｈ内に、雌ねじ部２２が形成されている。また、このスライドナット２０の上部は、前記つまみ１０の貫通孔１０Ｈ内に挿入され、止めネジ３０により前記つまみ１０と一体的に回転するように固定されている。さらに、スライドナット２０の下方部分は、膨径部２４が設けられている。
【００１７】
次に、駆動伝達部３について説明する。
前記駆動伝達部３は、この発明のカバー部材に相当するカバー８０、この発明の案内部材に相当するロッドガイド８１、ロッド５０などから構成されている。前記カバー８０は、略円筒状をなしており、その上方部分の内部には、前記スライドナット２０の膨径部２４が配置されている。また、前記カバー８０の下方部分の内部には、前記ロッドガイド８１が配置されており、したがって、前記スライドナット２０は、その膨径部２４が前記カバー８０の上部と前記ロッドガイド８１との間に挟まれた状態で、前記カバー８０内で回転可能に保持されている。さらに、前記カバー８０の上方部分には、ストッパーネジ４０が螺着されており、ストッパーネジ４０を前記スライドナット２０に向かってねじ込むことにより、前記スライドナット２０の回転を規制することができる。
【００１８】
本実施形態１では、図１に示すように、膨径部２４の上面および下面には、上下方向に突出した突起２４ａ、２４ｂが形成されている。このような突起２４ａ、２４ｂを有した形態の膨径部２４にすることにより、膨径部２４と、カバー８０及びロッドガイド８１との接触面積が小さくでき、スライドナット２０がカバー８０及びロッドガイド８１に対して回転し易くしている。
【００１９】
前記ロッド５０は、例えば、フッ素系樹脂等のような耐酸性（またはアルカリ性）を有する樹脂からなり、その上端部外周に雄ねじ部５２が、その下端部にはロッド５０自身の周方向の回転を規制する回転止め部５３がそれぞれ形成されている。前記雄ねじ部５２は、前記スライドナット２０の貫通孔２０Ｈに形成された雌ねじ部２２と螺合している。つまり、このロッド５０は、つまみ１０と直接に連結せず、前記スライドナット２０を介して連結されている。また、前記ロッド５０は、ロッドガイド８１、つまみ１０の貫通孔１０Ｈ及びスライドナット２０の貫通孔２０Ｈ内を、図１において上下方向に移動可能に配置されている。このロッド５０は、回転止め部５３を図４に示すようにロッドガイド８１の一部に周方向に係止させることにより、ロッドガイド８１内での回転を規制している。
【００２０】
したがって、作業者が前記つまみ１０を指でつまみながら回転操作すると、前記止めネジ３０を介して前記スライドナット２０も回転し、それに伴って、前記スライドナット２０の貫通孔２０Ｈに形成された雌ねじ部２２に螺合する前記雄ねじ部５２を有する前記ロッド５０が前記ロッドガイド８１に案内されながら、図１において上下方向に移動する。
【００２１】
前記ロッド５０の上端には、ロッド５０の位置が識別可能なインジケータ６１が設けられている。インジケータ６１は、つまみ１０の貫通孔１０Ｈ内を出入り可能に配置され、本実施形態１では、閉弁状態になると貫通孔１０Ｈ内に位置し（図１参照）、ロッド５０が図１に示す位置から上昇して開弁状態になると、つまみ１０の上面よりも上方に位置するようになる。
なお、図示しないが、インジケータ６１には弁開度を識別するための標識を付している。この標識は、例えば色テープや着色塗料などにより、弁開度に対応した色分けで識別されたものとなっている。
【００２２】
前記ロッド５０の上下方向の中間部分外周部には、図１及び図３に示すように、環状の溝５６が形成され、その溝５６には、ストッパーリング５８が取り付けられている。前記ストッパーリング５８は、例えば、フッ素系樹脂等のような耐酸性（または耐アルカリ性）を有する樹脂からなり、略Ｃ字型形状に成形されており、この発明の当接部材に相当する。
【００２３】
また、前記ロッドガイド８１の上面には、環状の凹溝８６が形成され、その凹溝８６内には、Ｏ（オー）リング８７が配置されている。したがって、Ｏリング８７が変形しきって前記ストッパーリング５８の下面が前記ロッドガイド８１の上面に当接すると、前記つまみ１０を回転操作したときの前記ロッド５０の下方向の移動が規制され、前記つまみ１０のその方向への回転操作ができなくなる。
【００２４】
なお、本実施形態では、Ｏリング８７の太さ（直径）は、３．５３ｍｍ、凹溝８６の溝幅が３．７ｍｍに設定されており、Ｏリング８７の太さに比べて凹溝８６の溝幅が若干広く設定されている。Ｏリング８７の太さや凹溝８６の溝幅は、任意の寸法に設定できるが、Ｏリング８７の太さに比べて凹溝８６の溝幅を若干広く設定した方が前記つまみ１０の回転操作性が向上する。なお、Ｏリング８７がこの発明の弾性部材に相当する。また、Ｏリング８７として、市販のＯリングを使用すれば、手動弁を安価に製作できる。
【００２５】
次に、弁機構部４について説明する。
弁機構部４は、弁体保持部材６２、弁体６３及び弁本体９０等から構成されている。弁体保持部材６２は、前記ロッド５０の下端に一体に固着されていて、ダイアフラムである弁体６３とも固着されている。弁本体９０には、第１ポート９１及び第２ポート９２と、弁座９３とを有している。
【００２６】
また、前記弁本体９０の上部は、略円筒状をなし、その円筒部分内には、前記カバー８０の下方部分が嵌入し、その状態で固定ネジ８２により一体的に固定されている。したがって、この状態では、前記ロッドガイド８１の下部外周より突出する鍔部８３が前記弁本体９０と前記カバー８０の間で挟持固定され、前記ロッドガイド８１の前記カバー８０および前記弁本体９０内での位置が定まる。前記ロッドガイド８１の回転方向の位置は、前記ロッドガイド８１に植設されたピン８４が前記弁本体９０の係合凹部に係合することにより定まる。なお、前記弁本体９０と前記カバー８０とにより、この発明の筐体が構成される。
【００２７】
手動弁１では、後述するように、つまみ１０を回転操作すると、ロッド５０が上下方向に移動し、このロッド５０を介して弁体６３も上下方向に移動するようになっている。ロッド５０、すなわち弁体６３が下方側（図１下方）に移動し弁座９３に当接すると、手動弁１は閉弁状態になる。その反対に、上方向（図１上方）に移動し弁座９３から離間すると、手動弁１は開弁状態となる。
【００２８】
本実施形態においては、前記弁座９３は、例えば、フッ素系樹脂等のような耐酸性（または耐アルカリ性）を有する樹脂、例えばＰＦＡからなり、また、前記弁体６３は、例えば、耐酸性（または耐アルカリ性）を有するゴム、例えばＰＴＦＥからなる。また、前記弁座９３の上面は、平板状に形成されており、したがって、前記弁体６３の下面も平板状に形成され、それにより弁座９３および弁体６３の耐久性を向上させている。さらに、本実施形態においては、弁体６３が弁座９３に当接してからの潰し代が０．数ｍｍ、例えば、０．２ｍｍ〜０．４ｍｍつまり、弁体６３が弁座９３に当接してからのロッド５０の下方向への移動量が０．２ｍｍ〜０．４ｍｍあると、経時変化に対してもシール性を保つことができる。つまり、本実施形態においては、例えば、０．５ＭＰａの狙いのシール力を確保できる。
【００２９】
次に、手動弁１の作用について説明する。
まず、手動弁１を開弁状態から閉弁状態にする場合について説明をする。図５には、手動弁１の開弁状態を示す説明図である。図５に示す手動弁１の開弁状態から、図１に示す閉弁状態にするには、まず、作業者がつまみ１０を指でつまんで一方向（例えば右回り）に回転させると、スライドナット２０とつまみ１０とが共に同方向に回転し、このスライドナット２０の回転によって、ロッド５０が図５の状態から弁体６３の閉方向である下方向へ移動する。
【００３０】
ロッド５０が下方に移動する途中において、ストッパーリング５８の下面がＯリング８７の上面に当接し、Ｏリング８７を変形し始める。これが図６において、沈み込み量−０．２ｍｍのポイントである。その後まもなく弁体６３が弁座９３に当接する。これが図６において、沈み込み量０．０ｍｍのポイントである。したがって、つまみ１０の操作に作業者は若干の負荷を感じるようになる。作業者がつまみ１０をさらに回転操作すると、Ｏリング８７が変形して凹溝８６の側壁に当接すると、図６において実線で示すように、つまみ１０の操作が急速に重くなり始める。
【００３１】
その後更に、つまみ１０を回転操作すると、弁体６３による弁座９３部分のシール力が十分に確保された状態となる。これが図６において、沈み込み量０．数ｍｍのポイントである。その後、さらにつまみ１０を回転させようとすると、弁体６３の変形に伴う抗力に加えて、Ｏリング８７が凹溝８６の側壁に当接したのちに凹溝８６内に充填されるように弾性変形するために、つまみ１０の操作が更に急速に重くなる。
【００３２】
このようになると、作業者は、弁を閉鎖状態まで完全に操作したものと感じ、つまみ１０の回転操作を完了する。したがって、弁体６３の変形に伴う抗力に応じて作業者がつまみ１０の回転操作を中止する場合に比べて、つまみ１０を回転操作し過ぎる、つまり過剰に回転操作される恐れがなく、弁体６３および弁座９３の劣化が防止できて使用可能な開閉回数（耐久性）が向上する。なお、図６において、一点鎖線で示す範囲が本実施形態における沈み込み量とロッド推力の狙い範囲である。
【００３３】
図６に、太さ３．５３ｍｍのＯリング８７を、溝幅４．５ｍｍの凹溝８６に支持した場合の、ロッド５０を下方に移動させるに必要なロッド推力の変化を点線で示したが、この場合には略直線的に推力が増加するが、それに比べて、本実施形態の場合、推力が急激に増加し、つまみ１０を回転操作し過ぎるのを防止できる。
【００３４】
また、過剰な作業者のつまみ１０の回転操作がないので、弁体６３が弁座９３に過剰な荷重により当接することがなく、したがって、弁体６３および弁座９３から擦れて遊離する破片もなく、制御する液体を汚すこともない。
【００３５】
なお、万が一、作業者が更につまみ１０を回転操作した場合には、ストッパーリング５８の下面がロッドガイド８１の上面に当接し、それ以上のロッド５０の下方方向への移動が規制され、弁体６３および弁座９３の破損が回避される。これが図６において、沈み込み量１．２ｍｍのポイントである。
【００３６】
次に、手動弁１を閉弁状態から開弁状態にする場合について説明をする。図１に示す手動弁１の閉弁状態から、図５に示す開弁状態にするには、まず、作業者がつまみ１０を指でつまんで他方向（例えば左回り）に回転させると、スライドナット２０とつまみ１０とが共に同方向に回転し、このスライドナット２０の回転によって、ロッド５０が図１の状態から弁体６３の開方向である上方向へ移動する。
【００３７】
ロッド５０の上方への移動に伴って、弁体６３が弁座９３から離れ、弁座９３が開放され、第１ポート９１と第２ポート９２と連通する。さらにつまみ１０を他方向（例えば左回り）に回転させると、ストッパーリング５８の下面がＯリング８７の上面から離れ、弁座９３が大きく開放されるようになる。
【００３８】
任意のつまみ１０の回転位置で、ストッパーネジ４０をスライドナット２０に向かってねじ込むことにより、前記スライドナット２０の回転を規制することができる。したがって、弁座９３の任意の開放状態が、保持可能となり、手動弁１が取り付けられた装置の振動などの影響を受けて手動弁１の開放状態が維持できる。
【００３９】
さらに、つまみ１０を回転させると、前記ロッド５０の回転止め部５３がロッドガイド８１の下面に当接し、それ以上のつまみ１０の回転操作は不可能となる。
【００４０】
なお、この発明は、本実施形態の手動弁に限定されるものではない。本実施形態では、凹溝８６の側壁は、平行な形状としたが、これに限定されるものではなく、例えば、図７（ａ）に示すように、側壁の間隔が上方に向かうに従って広くなるような環状の溝８６１としてもよく、また、図７（ｂ）に示すように、二段形状の環状の溝８６２としても差し支えない。
【００４１】
また、弾性部材としてＯリング８７を用いたが、例えば、図８（ａ）に示すように、断面形状台形形状の環状のクッションゴム８７１や、図８（ｂ）に示すように、断面形状段差形状のクッションゴム８７２、つまり、断面形状においてクッションゴムの底辺の長さが上面の長さよりも長いクッションゴムを用いることも可能である。このとき、クッションゴム８７１、８７２の上部の厚みＹは、弁体６３の潰し代と略同じの０．２ｍｍ〜０．４ｍｍに設定されている。また、図８（ｃ）に示すように、クッションゴム８７２の上部の幅は、上方からの投影面積において、上段上面の面積をＡ、中段の面積をＢとすると、Ａ対Ｂが２対３になるように上段上部の幅と中段の幅とが設定されている。この場合、上段上部の幅と中段の幅との和が底部の幅となる。
【００４２】
さらに、本実施形態では、前記弁本体９０の上部は、略円筒状をなし、その円筒部分内に、前記カバー８０の下方部分が嵌入して筐体を構成するようにしたが、前記カバー８０の下方部分を略円筒状に形成して、その下方部分内に前記弁本体９０の上部を嵌入して筐体を構成するようにしても差し支えない。
【符号の説明】
【００４３】
１・・・手動弁
９０・・・弁本体
８０・・・カバー
５０・・・ロッド
１０・・・つまみ
８１・・・ロッドガイド
６３・・・弁体
９３・・・弁座
８６・・・凹溝
８７・・・Ｏリング
５８・・・ストッパーリング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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