(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面を有する基板を搬送方向に搬送するコンベアと、
前記コンベアで搬送される前記基板の前記表面に第１インクを印刷する第１印刷機と、
前記基板の前記表面に印刷された前記第１インクの位置を測定するインク測定部と、
前記インク測定部が測定を行った後に、前記コンベアで搬送される前記基板の前記表面に第２インクを印刷する第２印刷機と、
前記インク測定部において測定された前記第１インクの位置に基づいて、前記第２印刷機が印刷を行う前に、前記コンベアに対する前記第２印刷機の位置を前記搬送方向に対してほぼ直交する方向に移動させることによって前記第２印刷機が前記基板の前記表面に印刷すべき前記第２インクの位置を補正する第１補正部と
を備え、
前記第２印刷機は、回転可能に取り付けられた版と、前記版とともに回転可能に取り付けられた転写ロールとを有している、印刷装置。
【請求項２】
前記インク測定部は、前記基板の前記表面に印刷された前記第１インクの高さをさらに測定し、
前記第１補正部は、前記インク測定部において測定された前記第１インクの位置および高さの少なくとも一方に基づいて、前記版および前記転写ロールの両方の回転速度を制御する、請求項１に記載の印刷装置。
【請求項３】
前記インク測定部は、前記基板の前記表面に印刷された前記第１インクの高さをさらに測定し、
前記第１補正部は、前記インク測定部において測定された前記第１インクの位置および高さの少なくとも一方に基づいて前記版の回転速度を制御する、請求項１に記載の印刷装置。
【請求項４】
前記コンベアは、
モータと、
前記モータによって回転される複数のシャフトであって、前記複数のシャフトのそれぞれは回転方向変換部を介して連結している、複数のシャフトと、
前記複数のシャフトのいずれかに支持された歯車であって、前記第２印刷機と連結された歯車と
を有しており、
前記第１補正部は、前記インク測定部において測定された前記第１インクの位置に基づいて前記歯車を回転させる、請求項１から３のいずれかに記載の印刷装置。
【請求項５】
前記モータは、前記第１印刷機および前記第２印刷機の印刷および前記コンベアの搬送を駆動する、請求項４に記載の印刷装置。
【請求項６】
前記回転方向変換部はベベルギアを含む、請求項４または５に記載の印刷装置。
【請求項７】
前記第１印刷機が印刷を行う前に、前記コンベアに対する前記基板の位置および高さの少なくとも一方を測定する基板測定部と、
前記基板測定部において測定された前記基板および高さの少なくとも一方の位置に基づいて、前記第１印刷機が印刷を行う前に、前記第１印刷機が前記基板の表面に印刷すべき前記第１インクの位置を補正する第２補正部と
をさらに備える、請求項１から６のいずれかに記載の印刷装置。
【請求項８】
前記コンベアで搬送される前記基板の前記表面にはマークが形成されており、
前記基板測定部は前記基板のマークの位置を測定する、請求項７に記載の印刷装置。
【請求項９】
前記基板測定部は前記基板のエッジを測定する、請求項７に記載の印刷装置。
【請求項１０】
コンベアで搬送方向に搬送される基板の表面に第１インクを印刷するステップと、
前記基板の前記表面に印刷された前記第１インクの位置を測定するステップと、
前記測定された前記第１インクの位置に基づいて、回転可能に取り付けられた版と前記版とともに回転可能に取り付けられた転写ロールとを有する印刷機の前記コンベアに対する位置を前記搬送方向に対してほぼ直交する方向に移動させることによって前記印刷機が前記基板の表面に印刷すべき第２インクの位置を補正するステップと、
前記補正が行われた後に、前記印刷機によって、前記コンベアで搬送される前記基板の前記表面に前記第２インクを印刷するステップと
を包含する、印刷方法。
【請求項１１】
前記測定するステップにおいて、前記基板の前記表面に印刷された前記第１インクの高さを測定し、
前記補正するステップは、前記測定された前記第１インクの位置および高さの少なくとも一方に基づいて、前記版および前記転写ロールのうちの少なくとも前記版の回転速度を制御するステップを含む、請求項１０に記載の印刷方法。
【請求項１２】
前記第１インクを印刷する前に、前記コンベアに対する前記基板の位置および高さの少なくとも一方を測定するステップと、
前記測定された前記基板の位置および高さの少なくとも一方に基づいて、前記第１インクが印刷される前に、前記基板の表面に印刷すべき前記第１インクの位置を補正するステップと
をさらに包含する、請求項１０または１１に記載の印刷方法。
【請求項１３】
前記基板の位置および高さの少なくとも一方を測定するステップにおいて前記基板の前記表面に形成されたマークの位置を測定する、請求項１２に記載の印刷方法。
【請求項１４】
前記基板の位置および高さの少なくとも一方を測定するステップにおいて前記基板のエッジを測定する、請求項１２に記載の印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷装置および印刷方法に関し、より詳細には、多層印刷を行う印刷装置および印刷方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
微細パターンは、例えば、フォトリソグラフィー法を用いて形成される。例えば、微細な配線は、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法またはスパッタ法による膜形成、フォトレジスト膜形成、および、エッチングなどのステップで形成される。しかしながら、所定のフォトレジスト膜を形成するためには、レジスト塗布、露光および現像などの複雑なステップが必要となる。また、成膜装置およびエッチング装置などの装置のための巨額の設備投資が必要となる。このため、より簡便なプロセスが求められている。
【０００３】
簡便に配線を作成するための手法として、スクリーン印刷法およびオフセット印刷法が知られている。スクリーン印刷法は、厚さ数μｍ〜数十μｍの膜を形成することができ、太陽電池電極などの電子回路の形成に用いられている。しかし、スクリーン印刷法は、数十μｍレベルの解像度が限度であり、これ以上の微細な配線を形成するには適していない。これに対して、オフセット印刷法は、版上のインクをブランケットに転写した後、基板に転写することによって、基板上にインクを印刷する方法であり、スクリーン印刷法よりも微細な配線の形成に適している。
【０００４】
例えば、特許文献１には、オフセット印刷法で多層印刷を行う印刷装置が開示されている。このような印刷装置により、アスペクト比の高い配線を作製することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−１６８５７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本願発明者は、基板にインクを印刷する際、または、インクを積層する際に、インクが印刷すべき位置からずれることがあることを見出した。その理由は以下のように考えられる。
【０００７】
印刷装置に用いられる部品の公差があり、その公差の影響により、印刷位置がずれることがある。また、部品の摩耗により、印刷位置がずれることも考えられる。さらに、コンベアで搬送される基板にも公差がある。具体的には、幅、長さおよび高さの等しい基板を複数用意した場合でも、厳密には、基板の幅、長さおよび高さは各々の基板で一定ではない。このため、同様の印刷が異なる基板に対して行われる場合、基板ごとに印刷位置が若干変化することがある。
【０００８】
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、先に印刷されたインクに対する印刷ずれを抑制する印刷装置および印刷方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係る印刷装置の特徴的な構成は、表面を有する基板を搬送方向に搬送するコンベアと、前記コンベアで搬送される前記基板の前記表面に第１インクを印刷する第１印刷機と、前記基板の前記表面に印刷された前記第１インクの位置および高さの少なくとも一方を測定するインク測定部と、前記インク測定部が測定を行った後に、前記基板の前記表面に第２インクを印刷する第２印刷機と、前記インク測定部において測定された前記第１インクの位置および高さの少なくとも一方に基づいて、前記第２印刷機が印刷を行う前に、前記第２印刷機が前記基板の表面に印刷すべき前記第２インクの位置を補正する第１補正部とを備える。本発明に係る印刷装置によれば、第１インクの位置および高さの少なくとも一方に基づいて第２インクの印刷すべき位置を補正することにより、第１インクに対する第２インクの印刷ずれを抑制することができる。
【００１０】
本発明に係る印刷装置の好適な実施形態によれば、前記第２印刷機は、回転可能に取り付けられた版と、前記版とともに回転可能に取り付けられた転写ロールとを有しており、前記第１補正部は、前記インク測定部において測定された前記第１インクの位置および高さの少なくとも一方に基づいて、前記版および前記転写ロールの両方の回転速度を制御する。
【００１１】
本発明に係る印刷装置の好適な実施形態によれば、前記第２印刷機は、回転可能に取り付けられた版と、前記版とともに回転可能に取り付けられた転写ロールとを有しており、前記第１補正部は、前記インク測定部において測定された前記第１インクの位置および高さの少なくとも一方に基づいて前記版の回転速度を制御する。
【００１２】
本発明に係る印刷装置の好適な実施形態によれば、前記第１補正部は、前記インク測定部において測定された前記第１インクの位置に基づいて、前記コンベアに対する前記第２印刷機の位置を前記搬送方向に対してほぼ直交する方向に移動させる。
【００１３】
本発明に係る印刷装置の好適な実施形態によれば、前記コンベアは、モータと、前記モータによって回転される複数のシャフトであって、前記複数のシャフトのそれぞれは回転方向変換部を介して連結している、複数のシャフトと、前記複数のシャフトのいずれかに支持された歯車であって、前記第２印刷機と連結された歯車とを有しており、前記第１補正部は、前記インク測定部において測定された前記第１インクの位置に基づいて前記歯車を回転させる。
【００１４】
本発明に係る印刷装置の好適な実施形態によれば、前記モータは、前記第１印刷機および前記第２印刷機の印刷および前記コンベアの搬送を駆動する。
【００１５】
本発明に係る印刷装置の好適な実施形態によれば、前記回転方向変換部はベベルギアを含む。
【００１６】
本発明に係る印刷装置の好適な実施形態によれば、前記印刷装置は、前記第１印刷機が印刷を行う前に、前記コンベアに対する前記基板の位置および高さの少なくとも一方を測定する基板測定部と、前記基板測定部において測定された前記基板および高さの少なくとも一方の位置に基づいて、前記第１印刷機が印刷を行う前に、前記第１印刷機が前記基板の表面に印刷すべき前記第１インクの位置を補正する第２補正部をさらに備える。
【００１７】
本発明に係る印刷装置の好適な実施形態によれば、前記コンベアで搬送される前記基板の前記表面にはマークが形成されており、前記基板測定部は前記基板のマークの位置を測定する。
【００１８】
本発明に係る印刷装置の好適な実施形態によれば、前記基板測定部は前記基板のエッジを測定する。
【００１９】
上記課題を解決するために、本発明に係る印刷方法の特徴的な構成は、コンベアで搬送方向に搬送される基板の表面に第１インクを印刷するステップと、前記基板の前記表面に印刷された前記第１インクの位置および高さの少なくとも一方を測定するステップと、前記測定された前記第１インクの位置および高さの少なくとも一方に基づいて、前記基板の表面に印刷すべき第２インクの位置を補正するステップと、前記補正が行われた後に、前記基板の前記表面に前記第２インクを印刷するステップとを包含する。本発明に係る印刷方法によれば、第１インクの位置および高さの少なくとも一方に基づいて第２インクの印刷すべき位置を補正することにより、第１インクに対する第２インクの印刷ずれを抑制することができる。
【００２０】
本発明に係る印刷方法の好適な実施形態によれば、前記第２インクを印刷するステップは、印刷機の版および転写ロールをそれぞれ回転するステップを含み、前記補正するステップは、前記測定された前記第１インクの位置および高さの少なくとも一方に基づいて、前記版および前記転写ロールのうちの少なくとも前記版の回転速度を制御するステップを含む。
【００２１】
本発明に係る印刷方法の好適な実施形態によれば、前記補正するステップは、前記測定された前記第１インクの位置に基づいて、前記第２インクの印刷する位置を、前記搬送方向に対してほぼ直交する方向に移動させるステップを含む。
【００２２】
本発明に係る印刷方法の好適な実施形態によれば、前記印刷方法は、前記第１インクを印刷する前に、前記コンベアに対する前記基板の位置および高さの少なくとも一方を測定するステップと、前記測定された前記基板の位置および高さの少なくとも一方に基づいて、前記第１インクが印刷される前に、前記基板の表面に印刷すべき前記第１インクの位置を補正するステップとをさらに包含する。
【００２３】
本発明に係る印刷方法の好適な実施形態によれば、前記基板の位置および高さの少なくとも一方を測定するステップにおいて前記基板の前記表面に形成されたマークの位置を測定する。
【００２４】
本発明に係る印刷方法の好適な実施形態によれば、前記基板の位置および高さの少なくとも一方を測定するステップにおいて前記基板のエッジを測定する。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】（ａ）は本発明の実施形態１に係る印刷装置を示す模式図であり、（ｂ）は本実施形態の印刷装置の模式的な上面図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は本実施形態の印刷装置の製造方法を説明するための模式図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る印刷装置の変形例の模式図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る印刷装置における印刷機の模式図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る印刷装置によって印刷された印刷物の模式図である。
【図６】本発明の実施形態１に係る印刷装置によって印刷されたソーラーパネルの模式的な平面図である。
【図７】図６に示したソーラーパネルの７―７’線に沿った断面の模式図である。
【図８】図６に示したソーラーパネルを備える太陽電池モジュールの模式的な平面図である。
【図９】本発明の実施形態１に係る印刷装置の模式図である。
【図１０】本実施形態の印刷装置によって印刷された印刷物の模式図である。
【図１１】（ａ）は本発明の実施形態２に係る印刷装置の模式図であり、（ｂ）は本実施形態の印刷装置の模式的な上面図である。
【図１２】本発明の実施形態３に係る印刷装置の模式図である。
【図１３】（ａ）および（ｂ）は本実施形態の印刷装置によって印刷された印刷物の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図面を参照して、本発明の印刷装置および印刷方法に関する実施形態を説明する。ただし、本発明は、以下の実施形態に限定されることを意図せず、当該構成と均等な構成も含む。
【００２７】
（実施形態１）
図１〜図４を参照して、本発明の実施形態１に係る印刷装置を説明する。
図１（ａ）に本実施形態の印刷装置１００の模式図を示し、図１（ｂ）に本実施形態の印刷装置１００の模式的な上面図を示す。印刷装置１００は多層印刷を行うことができる。
印刷装置１００は、基板ｓを搬送するコンベア１０と、印刷部２０とを備える。コンベア１０は基板ｓを搬送方向ｘ方向に搬送する。ここでは、公差を除いてほぼ等しいサイズの基板ｓが搬送される。なお、図１においてｘ方向およびｚ方向を示しており、ｙ方向は紙面の法線方向である。コンベア１０の表面および基板ｓの下面はｘｙ平面に平行である。
【００２８】
印刷部２０は複数の印刷機２２を有している。印刷機２２の数は、印刷回数の数と対応している。ここでは、印刷部２０は、インクＫａを印刷する印刷機２２ａと、インクＫｂを印刷する印刷機２２ｂとを有している。例えば、インクＫａ、Ｋｂは、樹脂および溶剤を含むビヒクルを有している。インクＫａ、Ｋｂは同じであってもよいし、異なってもよい。なお、本明細書において、印刷機２２ａ、２２ｂをそれぞれ第１印刷機２２ａ、第２印刷機２２ｂと呼ぶことがあり、インクＫａ、Ｋｂをそれぞれ第１インクＫａ、第２インクＫｂと呼ぶことがある。
【００２９】
本実施形態の印刷装置１００は、インク測定部３０および補正部４０をさらに備える。インク測定部３０は、第１印刷機２２ａが印刷を行った後に、基板ｓに印刷されたインクＫａの位置および高さの少なくとも一方を測定する。例えば、インク測定部３０は、印刷機２２ａ、２２ｂの間に配置されている。
【００３０】
インク測定部３０は撮像部を含む。撮像部は、例えば、ＣＣＤカメラである。ＣＣＤカメラがコンベア１０の主面の法線方向と平行に撮影を行う場合、ＣＣＤカメラはインクＫａのエッジのｘｙ平面の位置を測定できる。あるいは、ＣＣＤカメラがコンベア１０の主面の法線方向に対して斜めに撮影を行う場合、ＣＣＤカメラはインクＫａのエッジのｘｙ平面の位置に加えてインクＫａの高さ（ｚ方向）を測定できる。あるいは、測定部３０は、ＣＣＤカメラを備えたレーザ変位計を用いてインクＫａの位置および高さを測定してもよい。なお、本明細書において、インク測定部３０を単に測定部３０と呼ぶことがある。
【００３１】
補正部４０は、測定部３０において測定されたインクＫａの位置および高さの少なくとも一方に基づいて印刷機２２ｂが基板ｓの表面に印刷すべきインクＫｂの位置を補正する。補正部４０は、例えば、コンピュータである。印刷機２２ｂは補正の行われた位置にインクＫｂを印刷する。ここでは、インクＫｂはインクＫａの上に積層される。
【００３２】
以下、図２を参照して、本実施形態の印刷装置１００による印刷を説明する。なお、図２ではコンベア１０に１つの基板ｓのみが搬送されるように示しているが、コンベア１０は同時刻に複数の基板ｓを搬送してもよい。図２（ａ）に示すように、コンベア１０の上に基板ｓが載置され、コンベア１０は基板ｓを搬送する。図２（ｂ）に示すように、コンベア１０によって搬送された基板ｓが印刷機２２ａの下に到達すると、印刷機２２ａは基板ｓにインクＫａを印刷する。図２（ｃ）に示すように、印刷機２２ａが印刷を行った後に、測定部３０は、基板ｓに印刷されたインクＫａの位置および高さの少なくとも一方を測定する。その後、補正部４０は、測定部３０において測定されたインクＫａの位置および高さの少なくとも一方に基づいて印刷機２２ｂを補正する。例えば、コンベア１０に対する印刷機２２ｂの位置が補正されてもよく、または、印刷機２２ｂの印刷するタイミングが補正されてもよい。あるいは、コンベア１０に対する印刷機２２ｂの位置が補正されるとともに印刷機２２ｂの印刷するタイミングが補正されてもよい。
【００３３】
図２（ｄ）に示すように、基板ｓが印刷機２２ｂの下に到達すると、印刷機２２ｂは基板ｓにインクＫｂを印刷する。以上のように、印刷装置１００では、印刷機２２ａによって印刷されたインクＫａの位置および高さの少なくとも一方を測定して次に印刷する印刷機２２ｂを補正することにより、インクＫａに対するインクＫｂの印刷ずれを抑制することができる。また、印刷装置１００によれば、印刷機２２ａの印刷が設定から若干ずれたとしても、印刷機２２ｂはインクＫａに対して設定どおりにインクＫｂを印刷することができる。
【００３４】
なお、一般に、インクＫａ、Ｋｂは、印刷後に加熱される。このため、印刷装置１００は、図３に示すように、加熱装置１１０を備えてもよい。加熱または自然乾燥によって溶剤を蒸発させることにより、インクＫａ、Ｋｂはそれぞれ印刷層Ｅａ、Ｅｂへと変化する。
【００３５】
以下、図４を参照して印刷機２２ｂの構成を説明する。図４に、印刷機２２ｂの模式図を示す。印刷機２２ｂは、インクトレー２２１と、インク供給ロール２２２と、凹版ロール２２３と、転写ロール２２４と、スクレーパー２２５と、クリーニングロール２２６とを備えている。凹版ロール２２３は版とも呼ばれ、転写ロール２２４はブランケットとも呼ばれる。インク供給ロール２２２、凹版ロール２２３および転写ロール２２４は、それぞれ回転可能に取り付けられている。
【００３６】
例えば、転写ロール２２４は凹版ロール２２３の回転に伴って回転する。凹版ロール２２３の表面は金属メッキで処理されている。転写ロール２２４はゴム系材料から形成されている。このため、両者の摩擦係数は比較的低い。ここでは、凹版ロール２２３および転写ロール２２４のそれぞれの直径は異なるように示しているが、凹版ロール２２３および転写ロール２２４のそれぞれの直径はほぼ等しくてもよい。
【００３７】
この印刷機２２ｂでは、インクトレー２２１内のインクＫｂは、インク供給ロール２２２から、凹版ロール２２３の周面に移動し、さらに、転写ロール２２４の周面に移動して、転写ロール２２４の下方を順次に通過する基板ｓの表面へ転写される。このような印刷はオフセット印刷とも呼ばれる。
【００３８】
以下、具体的に説明する。インクトレー２２１には基板ｓに印刷されるインクＫｂが入っている。インクトレー２２１内のインクＫｂが減少した場合、下方のポンプ（図示せず）により、インクトレー２２１内にインクＫｂが補充される。インクトレー２２１は印刷機２２ｂの下部寄り位置にしている。
【００３９】
インク供給ロール２２２の下部分はインクトレー２２１内のインクＫｂに浸漬しており、インク供給ロール２２２はインクトレー２２１内のインクＫｂに浸漬しながら回転する。インク供給ロール２２２に付着したインクＫｂは凹版ロール２２３に移転する。なお、凹版ロール２２３の近傍にはスクレーパー２２５が設けられている。凹版ロール２２３がインクトレー２２１内のインクＫｂから出て転写ロール２２４と接触する前に、スクレーパー２２５は凹版ロール２２３に付着した余分なインクＫｂを除去する。
【００４０】
凹版ロール２２３の表面には凹部が設けられており、凹部は、基板ｓに印刷される線・図形・模様その他に対応する。例えば、凹版ロール２２３の外径は１００ｍｍであり、幅は１４５ｍｍである。
【００４１】
凹版ロール２２３の凹部に付着したインクＫｂは転写ロール２２４に付着する。転写ロール２２４は、凹版ロール２２３の周面と接触しながら回転すると共に、下方を通過する基板ｓの表面を押圧してインクＫｂを基板ｓに転写する。転写ロール２２４は、インクＫｂが転写ロール２２４から基板ｓの表面にスムーズかつ確実に転写可能となるように剥離性の良い材質から形成される。例えば、転写ロール２２４はシリコンゴムの一種から形成される。転写ロール２２４は、外径２００ｍｍで、幅１３５ｍｍである。凹版ロール２２３の凹部に対応してインクＫｂが転写される。例えば、幅３０μｍの印刷層Ｅｂを形成する場合、対応する凹版ロール２２３の凹部の幅は幅３０μｍである。
【００４２】
なお、転写ロール２２４の近傍にはクリーニングロール２２６が設けられている。クリーニングロール２２６により、転写ロール２２４に付着した余分なインクＫｂが除去される。
【００４３】
ここでは図示していないが、印刷機２２ａは上述した印刷機２２ｂと同様の構成を有している。以上のように印刷装置１００はオフセット印刷によってインクＫａ、Ｋｂを印刷する。
【００４４】
本実施形態の印刷装置１００では、補正部４０がインクＫｂの印刷位置を搬送方向（ｘ方向）にずらす場合、例えば、印刷機２２ｂの凹版ロール２２３および転写ロール２２４の両方の回転速度を制御する。
【００４５】
あるいは、例えば、印刷機２２ｂの転写ロール２２４の回転速度を制御することなく凹版ロール２２３の回転速度を制御してもよい。また、次の印刷まで時間がある場合には、凹版ロール２２３および転写ロール２２４の互いの回転が影響しないように凹版ロール２２３および転写ロール２２４の少なくとも一方を切り離すように移動させた状態で凹版ロール２２３の回転速度の変更を行ってもよい。
【００４６】
あるいは、補正部４０は、インクＫａの高さに応じて印刷機２２ｂの凹版ロール２２３および転写ロール２２のうちの少なくとも凹版ロール２２３の回転速度を制御してもよい。もちろん、補正部４０は、位置ずれの距離およびインクＫａの高さの両方に応じて印刷機２２ｂの凹版ロール２２３および転写ロール２２４の回転速度を制御してもよい。
【００４７】
また、本実施形態の印刷装置１００では、補正部４０がインクＫｂの位置を搬送方向に直交する方向（ｙ方向）にずらす場合、印刷機２２ｂの位置を移動させる。
【００４８】
このように、印刷機２２ｂがインクＫｂの印刷すべき位置を補正することにより、印刷ずれを抑制することができ、これにより、異なる基板ｓに印刷された印刷層Ｅａ、Ｅｂのｚ方向（高さ方向）のサイズを制御することができる。
【００４９】
また、印刷層Ｅａ、Ｅｂを積層することにより、たとえ印刷層Ｅａ、Ｅｂのそれぞれの粘度が低い場合であっても、所望のサイズ（例えば、アスペクト比）の印刷物Ｅを形成することができる。例えば、印刷層Ｅａのアスペクト比が０．３となるインクＫａと同じインクをインクＫｂとして用いることにより、アスペクト比０．６の印刷物Ｅを形成することができる。
【００５０】
なお、上述した説明では、インクＫａ、Ｋｂは樹脂および溶剤を含むビヒクルを有していたが、インクＫａ、Ｋｂは導電性材料をさらに含んでもよい。例えば、インクＫａ、Ｋｂは同じ導電性材料を含んでもよいし、異なる導電性材料を含んでもよい。
【００５１】
導電性材料は銀、銅、金、炭素、コバルト、チタン、ニッケル、アルミニウム等の単体または混合物である。また、樹脂はバインダ樹脂とも呼ばれる。樹脂は、例えばポリエステルーメラミン樹脂のような熱硬化性樹脂、アクリル樹脂のような紫外線硬化性樹脂、ポリエステル樹脂のような熱可塑性の樹脂等である。また、例えば、溶剤は室温で揮発する低温揮発性溶剤である。具体的には、例えば、溶剤は、ケトン、トルエンまたはテレピノールである。インクＫａ、Ｋｂは適度なチクソ性を有している。インクＫａ、Ｋｂを焼成して導電層Ｅａ、Ｅｂを形成する場合、加熱温度は、例えば、５００℃以上８５０℃以下である。
【００５２】
なお、上述した印刷機２２ｂにおいて、転写ロール２２４を交換してこのようなインクＫｂの転写を行う場合、交換された転写ロール２２４上のインクＫｂの付着状態が安定化するまでしばらく時間がかかるため、一般に、しばらくの間、試し印刷を行う。上述したように、転写ロール２２４はゴム系材料から形成されており、転写ロール２２４を使い始めた時は、インクＫｂを比較的強くはじき、濡れ性が低いが、転写ロール２２４を長く使用すると、濡れ性が向上し、安定化する。
【００５３】
一般に、インクＫｂは、印刷機２２ｂの転写ロール２２４の同じ位置に付着するが、凹版ロール２２３のみの回転速度を制御すると、インクＫｂは転写ロール２２４の異なる位置に付着することになり、回転速度の制御前と比べてインクＫｂの付着状態が変化してしまう。このため、インクＫｂが導電性材料（例えば、銀）および溶剤などを含む場合、補正部４０がインクＫｂの印刷するタイミングを変化させるときに印刷機２２ｂの凹版ロール２２３および転写ロール２２４の両方の回転速度を制御することが好ましい。
【００５４】
図５に、導電層Ｅａ、Ｅｂの積層された積層構造Ｗを示す。ここでは、基板ｓは絶縁性基板である。
【００５５】
例えば、導電層Ｅａ、Ｅｂはそれぞれ銀を含む。あるいは、導電層Ｅａが銀を含み、導電層Ｅｂは銅を含んでもよい。インクＫａの導電性材料は基板ｓの表面ｓａを形成する材料に応じて選択される。例えば、表面ｓａがシリコンから形成される場合、インクＫａの導電性材料として銀を用いることにより、接触抵抗を抑制することができる。典型的には、インクＫａ、Ｋｂの導電性材料として抵抗率の低い金属材料が用いられる。
【００５６】
このような印刷物Ｅは電極として好適に用いられる。電極Ｅの幅が比較的小さくても断面積を増大させることができ低抵抗を実現できる。また、導電層Ｅｂが導電層Ｅａの導電性材料とは異なる場合、基板ｓの表面ｓａに実質的に影響されることなく導電層Ｅｂの導電性材料を選択することができ、電極Ｅの設計の自由度を向上させることができる。また、電極Ｅでは、銀を含む導電層Ｅａ、および、銅を含む導電層Ｅｂが積層しており、電極Ｅ自体の抵抗の低下を抑制しつつ高価な銀の使用量を減少させることができる。
【００５７】
電極Ｅはパネルに好適に用いられる。パネルは、例えば、ソーラーパネルである。
【００５８】
以下、図６および図７を参照してパネルｐを説明する。図６に、パネルｐの受光面の模式図を示す。電極Ｅは、バスバー電極Ｅ１と、フィンガー電極Ｅ２とを有しており、バスバー電極Ｅ１はフィンガー電極Ｅ２と電気的に接続している。電極Ｅは集電極とも呼ばれる。１つのバスバー電極Ｅ１からフィンガー電極Ｅ２が延びており、典型的には、フィンガー電極Ｅ２は一定のピッチで配列される。一般に、フィンガー電極Ｅ２の幅はバスバー電極Ｅ１の幅よりも小さい。なお、図７は、図６の７−７’線に沿った断面である。
【００５９】
例えば、パネルｐは、主面の長さおよび幅がそれぞれ１７０ｍｍの矩形状である。また、例えば、バスバー電極Ｅ１の幅は２ｍｍ以上３ｍｍ以下であり、フィンガー電極Ｅ２の幅は１５μｍ以上７０μｍである。フィンガー電極Ｅ２のピッチ（すなわち、あるフィンガー電極Ｅ２の中心と、それに隣接するフィンガー電極Ｅ２の中心との間の距離）は２ｍｍである。フィンガー電極Ｅ２のピッチが大きすぎると、基板ｓにおいて生成されたキャリアがフィンガー電極Ｅ２にまで充分に到達にしないため、電流を効率的に取り出すことができない。一方、フィンガー電極Ｅ２のピッチが小さすぎると、フィンガー電極Ｅ２の本数が多くなり、開口面積が減少する。
【００６０】
なお、上述した印刷機２２ａ、２２ｂにおける凹版ロール２２３はバスバー電極Ｅ１およびフィンガー電極Ｅ２の両方に対応しており、印刷部２０は、バスバー電極Ｅ１およびフィンガー電極Ｅ２を含む電極Ｅに対応する導電性インクを一度に印刷してもよい。あるいは、印刷部２０は、バスバー電極Ｅ１およびフィンガー電極Ｅ２の一方を先に形成し、他方を後に形成してよい。例えば、印刷機２２ａにおける凹版ロール２２３はフィンガー電極Ｅ２に対応しており、印刷部２２ａがフィンガー電極Ｅ２に対応する導電性インクを印刷した後に、印刷機２２ｂがバスバー電極Ｅ１に対応する導電性インクを印刷してもよい。
【００６１】
図７に、パネルｐの側面図を示す。パネルｐは、基板ｓの表面ｓａに設けられた電極Ｅだけでなく裏面ｓｂに設けられた電極Ｅｕをさらに備えている。典型的には、電極Ｅｕは基板ｓの裏面ｓｂ全体を覆うように設けられている。例えば、電極Ｅｕはアルミニウムから形成される。
【００６２】
なお、パネルｐがソーラーパネルとして用いられる場合、基板ｓは光電変換層を有している。例えば、基板ｓはシリコン基板であり、基板ｓは、ｐ型シリコン層およびｎ型シリコン層を有している。具体的には、光電変換層はアモルファスシリコンを含んでもよく、あるいは、光電変換層は結晶性シリコンを含んでもよい。例えば、光電変換層は単結晶シリコン、多結晶シリコンまたは微結晶シリコンを含んでもよい。あるいは、光電変換層は無機化合物材料を含んでもよく、または、ＩｎＧａＡｓ、ＧａＡｓ、カルコパイライト系、Ｃｕ２ＺｎＳｎＳ４、ＣｄＴｅ−ＣｄＳを含んでもよい。あるいは、光電変換層は有機化合物を含んでもよい。また、パネルｐをソーラーパネルとして用いる場合、パネルｐを複数個まとめて配列されてもよい。
【００６３】
図８に、パネルｐの配列された太陽電池モジュールＭを示す。太陽電池モジュールＭには、パネルｐが複数の行および複数の列のマトリクス状に配列されており、パネルｐは互いに直列または並列に接続されている。
【００６４】
なお、上述した説明において、パネルｐはソーラーパネルであったが、本発明はこれに限定されない。パネルｐはタッチパネルや電波防止パネルであってもよい。また、上述した説明では、印刷物Ｅは集電極であったが、本発明はこれに限定されない。印刷物Ｅは配線の一部であってもよく、印刷物Ｅは導電性積層構造として好適に用いられる。
【００６５】
以下、図９を参照して印刷装置１００の一例を説明する。コンベア１０は、歯付ベルト１０ａおよびスプロケット１０ｂを有している。歯付ベルト１０ａはコグドベルトとも呼ばれる。なお、ソーラーパネルを作製する場合、例えば、コンベア１０のｘ方向の長さは５ｍ、ｙ方向の長さは１ｍである。
【００６６】
ここでは、シャフトＨａはモータＭに連結されており、モータＭの回転はシャフトＨａに伝達される。シャフトＨａは回転方向変換部Ｂｇを介してシャフトＨｂと連結されており、シャフトＨｂは回転方向変換部Ｂｇを介してシャフトＨｘと連結されている。このため、シャフトＨａ、Ｈｂ、ＨｘはそれぞれモータＭの回転に伴って回転している。シャフトＨｂはアイドルシャフトとも呼ばれ、シャフトＨｘはコンベアシャフトとも呼ばれる。回転方向変換部Ｂｇは、例えば、べベルギアである。ここでは、モータＭによって、印刷機２２ａおよび印刷機２２ｂの印刷およびコンベア１０の搬送が駆動される。
【００６７】
ここでは図示していないが、印刷機２２ａ、２２ｂはＬＭガイドにぶら下がっている。また、印刷機２２ａ、２２ｂは図４を参照して上述した印刷機２２ｂと同様の構成を有しており、凹版ロール２２３および転写ロール２２４はシャフトＨｘからべベルギアＢｇを介して連結された軸とともに回転する。このため、補正を行わない状態で、印刷装置１００の印刷および搬送は同期している。また、コンベア１０のスプロケットはシャフトＨｂとともに回転する。
【００６８】
例えば、スプロケットの直径と凹版ロール２２３の直径の比を整数にすることにより、基板の搬送と印刷の同期を簡便に行うことができる。例えば、スプロケットの直径と凹版ロール２２３の直径の比は２：１である。あるいは、この比は１：１であってもよい。
このように、搬送および印刷の同期を機械的に行う場合、後述の印刷機２２ｂの補正を除いて、基本的に調整しなくてもよいため、搬送および印刷の同期を簡便に行うことができる。
【００６９】
印刷機２２ａがインクＫａを印刷した後、測定部３０がインクＫａを測定する。測定部３０において測定された画像の輝度は二値化され、これにより、インクＫａのエッジ（および、必要に応じて高さ）が確認される。測定部３０は、所定の間隔でコンベア１０に搬送される基板ｓを撮影する。
【００７０】
なお、基板ｓの搬送速度および印刷周期はモータＭの回転を変化させることによって調整可能である。例えば、基板ｓは１秒おきに測定部３０の下方を搬送される。
【００７１】
インクＫａのあるエッジを基準にとる場合、測定部３０により、このエッジが所定のポイント（例えば、測定部３０の直下点）を通過する時刻が得られる。補正部４０は、測定部３０の下方を搬送した基板ｓに対して印刷機２２ｂが現在設定されている状態で印刷して適切に印刷されるためには、このエッジが所定のポイントをいつ通過する必要があるかを記憶しており、実際の通過時刻と必要とされる時刻との差分から、位置ずれの距離を特定する。さらに、インクＫａの高さを考慮する場合、測定部３０は、この高さを測定する。補正部４０は、この高さのインクＫａの上に適切に印刷を行うに必要なタイミングを特定する。
【００７２】
補正部４０は、この位置ずれの距離に応じて印刷機２２ｂのインクＫｂの印刷すべき位置を補正する。具体的には、インクＫｂの位置をｘ方向に変化させる場合、印刷機２２ｂの凹版ロール２２３および転写ロール２２４の回転速度を制御する。この制御は市販の位相装置を用いて行われる。あるいは、補正部４０は、インクＫａの高さに応じて印刷機２２ｂの凹版ロール２２３および転写ロール２２４の回転速度を制御してもよい。もちろん、補正部４０は、位置ずれの距離およびインクＫａの高さの両方に応じて印刷機２２ｂの凹版ロール２２３および転写ロール２２４の回転速度を制御してもよい。
【００７３】
また、インクＫｂの位置をｙ方向に変化させる場合、印刷機２２ｂは、位相装置によって回転の制御される歯車（ねじ）ｓｃと連結されており、ねじを所定の方向に所定数回転させることにより、印刷機２２ｂをｙ方向に移動させる。
【００７４】
例えば、補正を行わない場合、ｘ方向の印刷精度は±２５０〜３５０ｎｍ、ｙ方向の印刷精度は±３０〜４０μｍであるのに対して、補正を行うことにより、ｘ方向の印刷精度を±５０〜６０ｎｍ、ｙ方向の印刷精度を±１０μｍに低減させることができる。
【００７５】
なお、コンベア１０の搬送方向に位相装置を設けることにより、コンベア１０全体の位置をずらしてもよい。
【００７６】
図９を参照した印刷装置１００では、印刷および搬送は機械的に同期されたが、本発明はこれに限定されない。印刷および搬送はサーボシステムを用いて同期してもよい。
【００７７】
なお、上述した説明では、少なくとも一部の領域において印刷層Ｅｂの幅は印刷層Ｅａの幅と等しく、印刷層Ｅｂは印刷層Ｅａと積層されたが、本発明はこれに限定されない。印刷層Ｅｂの幅は印刷層Ｅａの幅と異なってもよい。
【００７８】
図１０に、積層構造ｗ’の模式図を示す。積層構造ｗ’では、印刷層Ｅｂは印刷層Ｅａを覆うように設けられており、印刷層Ｅｂの幅は印刷層Ｅａの幅よりも大きい。例えば、印刷層Ｅａをソーラーパネルの電極フィンガー電極およびバスバー電極の少なくとも一方として用いてもよい。また、ソーラーパネルを作製する場合、印刷層Ｅｂは、導電層Ｅａの少なくとも一部の酸化を防止することが好ましい。例えば、導電層Ｅａが銀を主成分とする場合にも経年劣化が生じることがあるが、酸化防止層として印刷層Ｅｂを設けることにより、その劣化を抑制することができる。このように、積層構造ｗ’では、酸化防止層Ｅｂにより、導電層Ｅａの少なくとも一部の酸化を防止することにより、特性の劣化を抑制できる。
【００７９】
例えば、酸化防止層Ｅｂは透明導電性材料から形成されてもよい。具体的には、透明導電性材料は、酸化インジウムスズ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ：ＩＴＯ）である。または、透明導電性材料は、酸化亜鉛、酸化スズであってもよい。なお、酸化防止層Ｅｃは導電性ではない透明材料を含んでもよい。あるいは、酸化防止層Ｅｃは透明ではない導電性材料を含んでもよい。
【００８０】
なお、印刷層Ｅａをソーラーパネルの電極として用いる場合、酸化防止層Ｅｂは透明導電性材料を含むことが好ましく、これにより、導電層Ｅａのピッチを増大させることができる。積層構造ｗ’では、酸化防止層Ｅｂが導電層Ｅａを覆っている。この酸化防止層Ｅｂが導電性を有する場合、基板ｓ内で生成されたキャリアが導電層Ｅａだけでなく酸化防止層Ｅｂに到達すれば、生成したキャリアを電流として取り出すことができる。このため、導電層Ｅａの本数を減らすことができ、コストの低減を図るとともに開口面積を増大させることができる。このような積層構造ｗ’は印刷装置１００を用いて好適に作製される。
【００８１】
この場合、印刷機２２ｂは以下のように構成される。以下、図４を参照して印刷機２２ｂの構成を説明する。印刷機２２ｂにおいて、インクトレー２２１には、インクＫｂが入っている。ここでは、インクＫｂは、粒子状のＩＴＯおよびビヒクルを有しており、ビヒクルは樹脂および溶剤を含む。基板ｓには凹版ロール２２３の凹部に対応してインクＫｂが転写される。
【００８２】
なお、上述した説明では、印刷部２０は、インクＫｂがインクＫａと重なるように印刷を行ったが、本発明はこれに限定されない。印刷部２０は、インクＫｂがインクＫａと重ならないように印刷を行ってもよい。
【００８３】
また、上述した説明では、コンベアには、公差を除いてほぼ等しいサイズの基板ｓが搬送されたが、本発明はこれに限定されない。公差以外の基板のサイズも異なっていてもよい。印刷装置１００では、３次元形状構造体のサイズに影響されることなく、その上に印刷ずれの抑制された印刷物Ｅを印刷することができる。
【００８４】
（実施形態２）
上述した説明では、印刷機は前に印刷されたインクの位置および高さの少なくとも一方に基づいて補正されたが、本発明はこれに限定されない。
以下、図１１を参照して本発明の実施形態２に係る印刷装置を説明する。図１１（ａ）に、本実施形態の印刷装置１００Ａの模式図を示し、図１１（ｂ）に印刷装置１００Ａの模式的な上面図を示す。
【００８５】
印刷装置１００Ａは、印刷機２２ａが印刷を行う前の基板ｓの位置および高さの少なくとも一方を測定する基板測定部３０Ａ、および、基板ｓの位置および高さの少なくとも一方に基づいて印刷機２２ａが基板ｓの表面に印刷すべきインクＫａの位置を補正する補正部４０Ａを備える点を除いて上述した印刷装置１００と同様の構成を有しており、冗長を避けるために重複する説明を省略する。なお、本明細書において、補正部４０、４０Ａをそれぞれ第１補正部、第２補正部と呼ぶことがあり、基板測定部３０Ａを単に測定部３０Ａと呼ぶことがある。
【００８６】
基板測定部３０Ａは、印刷機２２ａが印刷を行う前に、基板ｓの位置および高さの少なくとも一方を測定する。例えば、測定部３０Ａは印刷機２２ａの前に配置されており、測定部３０Ａは、コンベア１０の上に基板ｓが載置されてコンベア１０を搬送する基板ｓの位置および高さの少なくとも一方を測定する。例えば、基板ｓの表面には予めマークが形成されており、測定部３０Ａは基板ｓの表面に形成されたマークの位置を測定してもよい。あるいは、測定部３０Ａは基板ｓのエッジを測定してもよい。
【００８７】
補正部４０Ａは、測定部３０Ａにおいて測定された基板ｓの位置および高さの少なくとも一方に基づいて印刷機２２ａを補正する。例えば、コンベア１０に対する印刷機２２ａの位置が補正されてもよく、または、印刷機２２ａの印刷するタイミングが補正されてもよい。あるいは、コンベア１０に対する印刷機２２ａの位置が補正されるとともに印刷機２２ａの印刷するタイミングが補正されてもよい。例えば、印刷機２２ａが図４に示したような構成を有する場合、印刷機２２ａは上述した印刷機２２ｂと同様に補正が行われてもよい。
【００８８】
このように、印刷機２２ａが基板ｓの表面に印刷すべきインクＫａの位置が補正され、印刷機２２ａは補正の行われた位置にインクＫａを印刷する。その後の印刷は、上述した印刷装置１００と同様に行われる。なお、補正部４０Ａ、４０は１つのコンピュータによって具現化されてもよい。
【００８９】
以上のように、印刷装置１００Ａでは、基板ｓの位置および高さの少なくとも一方を測定して印刷機２２ａを補正することにより、基板ｓに対して印刷機２２ａによって印刷されるインクＫａの印刷ずれを抑制することができる。
【００９０】
（実施形態３）
上述した説明では、印刷物Ｅは２層構造であり、印刷装置１００、１００Ａは２つの印刷機２２ａ、２２ｂを有していたが、本発明はこれに限定されない。印刷物Ｅは３層以上の積層構造であり、印刷装置は３以上の印刷機を有してもよい。以下、図１２を参照して、本発明の実施形態３に係る印刷装置を説明する。図１２に、本実施形態の印刷装置１００Ｂの模式図を示す。
【００９１】
印刷装置１００Ｂは、印刷部２０が印刷機２２ａ、２２ｂに加えて印刷機２２ｃを有しており、また、インク測定部３０ａ、３０ｂおよび補正部４０ａ、４０ｂを備える点を除いて上述した印刷装置１００と同様の構成を有しており、冗長を避けるために重複する説明を省略する。
【００９２】
印刷部２０は複数の印刷機２２を有している。印刷機２２の数は、印刷回数と対応している。ここでは、印刷部２０は、インクＫａを印刷する印刷機２２ａと、インクＫｂを印刷する印刷機２２ｂに加えて、インクＫｃを印刷する印刷機２２ｃを有している。インクＫａ、Ｋｂ、Ｋｃは同じであってもよいし、いずれかが異なってもよい。
【００９３】
本実施形態の印刷装置１００Ｂは、インク測定部３０ａ、３０ｂおよび補正部４０ａ、４０ｂを備えている。
【００９４】
インク測定部３０ａは、印刷機２２ａが印刷を行った後に、基板ｓに印刷されたインクＫａの位置および高さの少なくとも一方を測定する。例えば、インク測定部３０ａは、印刷機２２ａ、２２ｂの間に配置されている。補正部４０ａは、測定部３０ａにおいて測定されたインクＫａの位置および高さの少なくとも一方に基づいて印刷機２２ｂが基板ｓの表面に印刷すべきインクＫｂの位置を補正する。例えば、コンベア１０に対する印刷機２２ｂの位置が補正されてもよく、または、印刷機２２ｂの印刷するタイミングが補正されてもよい。あるいは、コンベア１０に対する印刷機２２ｂの位置が補正されるとともに印刷機２２ｂの印刷するタイミングが補正されてもよい。その後、印刷機２２ｂは補正の行われた位置にインクＫｂを印刷する。
【００９５】
インク測定部３０ｂは、印刷機２２ｂが印刷を行った後に、基板ｓに印刷されたインクＫｂの位置および高さの少なくとも一方を測定する。例えば、インク測定部３０ｂは、印刷機２２ｂ、２２ｃの間に配置されている。補正部４０ｂは、測定部３０ｂにおいて測定されたインクＫｂの位置および高さの少なくとも一方に基づいて印刷機２２ｃが基板ｓの表面に印刷すべきインクＫｃの位置を補正する。例えば、コンベア１０に対する印刷機２２ｃの位置が補正されてもよく、または、印刷機２２ｃの印刷するタイミングが補正されてもよい。あるいは、コンベア１０に対する印刷機２２ｃの位置が補正されるとともに印刷機２２ｃの印刷するタイミングが補正されてもよい。印刷機２２ｃは補正の行われた位置にインクＫｃを印刷する。
【００９６】
以上のように、印刷装置１００Ｂでは、印刷機２２ａによって印刷されたインクＫａの位置および高さの少なくとも一方を測定して次に印刷する印刷機２２ｂを補正し、さらに、印刷機２２ｂによって印刷されたインクＫｂの位置および高さの少なくとも一方を測定して次に印刷する印刷機２２ｃを補正することにより、インクＫａ、Ｋｂ、Ｋｃの印刷ずれを抑制することができる。
【００９７】
なお、ここでは、印刷装置１００Ｂの印刷部２０は３つの印刷機２２ａ、２２ｂ、２２ｃを有していたが、本発明はこれに限定されない。印刷部２０は４以上の印刷機２２を有してもよく、インク測定部３０および補正部４０も３以上あってもよい。あるいは、補正部４０ａ、４０ｂは１つのコンピュータによって具現化されてもよい。
【００９８】
また、印刷装置１００Ｂにおいても図１１を参照して上述した基板測定部３０Ａおよび補正部４０Ａをさらに備えていてもよい。
【００９９】
図１３（ａ）に、積層構造ｗａの模式図を示す。積層構造ｗａでは、印刷層Ｅａ、Ｅｂ、Ｅｃが積層されている。少なくとも一部の領域において、印刷層Ｅａ、Ｅｂ、Ｅｃの幅はほぼ等しい。例えば、積層構造ｗａを電子回路として用いる場合、印刷層Ｅａ、Ｅｂ、Ｅｃとして導電層を積層することにより、小さい幅で低抵抗の配線を実現することができる。
【０１００】
なお、図１３（ａ）では、印刷層Ｅａ、Ｅｂ、Ｅｃの幅がほほ等しかったが、本発明はこれに限定されない。印刷層Ｅａ、Ｅｂ、Ｅｃの幅は一定でなくてもよい。印刷層Ｅａ、Ｅｂ、Ｅｃの幅は、Ｅａ＞Ｅｂ＞Ｅｃであり得る。図１３（ｂ）に、積層構造ｗａ’の模式図を示す。積層構造ｗａ’では、印刷層Ｅｃは印刷層Ｅａ、Ｅｂを覆うように設けられており、印刷層Ｅｃの幅は印刷層Ｅａ、Ｅｂの幅よりも大きい。
【０１０１】
例えば、印刷層Ｅａ、Ｅｂをソーラーパネルの電極フィンガー電極およびバスバー電極の少なくとも一方として用いる場合、印刷層Ｅｃは、導電層Ｅａ、Ｅｂの少なくとも一部の酸化を防止することが好ましい。例えば、上述したように、導電層Ｅａが銀を含み、導電層Ｅｂが銅を含む場合、銅は酸化しやすく、また、酸化すると、比抵抗値が増大してしまうことがあるが、酸化防止層Ｅｃを設けることにより、酸化を抑制して比抵抗の増大を抑制することができる。また、銀は比較的酸化しにくいものの、厳密には銀を主成分とする導電層Ｅａでも経年劣化が生じることがあるが、酸化防止層Ｅｃにより、その劣化を抑制することができる。このように、積層構造ｗａ’では、酸化防止層Ｅｃにより、導電層Ｅａ、Ｅｂの少なくとも一部の酸化を防止することにより、特性の劣化を抑制できる。
【０１０２】
例えば、酸化防止層Ｅｃは透明導電性材料から好適に形成される。具体的には、透明導電性材料は、酸化インジウムスズ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ：ＩＴＯ）である。または、透明導電性材料は、酸化亜鉛、酸化スズであってもよい。なお、酸化防止層Ｅｃは導電性ではない透明材料を含んでもよい。あるいは、酸化防止層Ｅｃは透明ではない導電性材料を含んでもよい。
【０１０３】
なお、積層構造ｗａ’をソーラーパネルとして用いる場合、酸化防止層Ｅｃは透明導電性材料を含むことが好ましく、これにより、導電層Ｅａ、Ｅｂのピッチを増大させることができる。積層構造ｗａ’では、酸化防止層Ｅｃが導電層Ｅａ、Ｅｂを覆っている。この酸化防止層Ｅｃが導電性を有する場合、基板ｓ内で生成されたキャリアが電極Ｅｂだけでなく酸化防止層Ｅｃに到達すれば、生成したキャリアを電流として取り出すことができる。積層構造ｗａ’では導電層Ｅａ、Ｅｂの本数を減らすことができ、コストの低減を図るとともに開口面積を増大させることができる。このような積層構造ｗａ’は印刷装置１００Ｂを用いて好適に作製される。
【産業上の利用可能性】
【０１０４】
本発明によれば、先に印刷されたインクに対する印刷ずれを抑制することができる。
【符号の説明】
【０１０５】
１０    コンベア
２０    印刷部
２２    印刷機
３０    インク測定部
３０Ａ  基板測定部
４０    第１補正部
４０Ａ  第２補正部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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