(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
無電極放電バルブを製造する方法であって、
(1)石英ガラス製の密封可能なバルブチューブのバルブ囲繞体を準備するステップと、
(2)バルブチューブの一端部を閉鎖してバルブの一端部を形成するステップと、
(3)バルブ囲繞体の横断内側寸法より小さな穴を有する近接ネック部を、バルブ囲繞体と一体的に形成するステップと、
(4)バルブ囲繞体と一体的に形成された近接ネック部から一体的に延びる延長チューブに、近接ネック部から離れて遠方ネック部を形成するステップと、
(5)少なくとも一つの励起性物質のペレットを、バルブ囲繞体内に近接ネック部を通して挿入するステップであって、その場合に、バルブチューブ内に近接ネック部を通して挿入されたペレットが、バルブチューブを水平にした状態で近接ネック部の穴を通るためには転がり昇らねばならないように、ステップ(3)で形成された近接ネック部がバルブチューブの中心軸に対して形成され且つ位置決めされるようにしたステップと、
(6)近接ネック部を通してバルブ囲繞体を減圧排気するステップと、
(7)バルブチューブを、減圧排気後に不活性ガスで満たすステップと、
(8)遠方ネック部においてバルブ囲繞体を予備的に密封するステップと、そして
(9)近接ネック部においてバルブ囲繞体を最終的に密封するステップと、
からなり、
前記ステップ(2)、(3)、(4)、（6）、(7)、(8)及び(9)が、バルブチューブを少なくとも一つのガラス旋盤内に取り付け、且つ旋盤の心押し台を前記ステップ（6）及び(7)のためにシールした状態で行われるようにした無電極放電バルブの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の無電極放電バルブの製造方法において、近接ネック部の中心軸がバルブチューブの中心軸と合致した無電極放電バルブの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の無電極放電バルブの製造方法において、バルブチューブの少なくとも一端部を閉鎖するステップが、バルブチューブをチューブそれ自体の材料により閉鎖することにより行われる無電極放電バルブの製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の無電極放電バルブの製造方法において、バルブチューブの一端部が平坦に研削されている無電極放電バルブの製造方法。
【請求項５】
請求項３に記載の無電極放電バルブの製造方法において、バルブチューブの一端部がレンズを形成するように研削されている無電極放電バルブの製造方法。
【請求項６】
請求項１又は２に記載の無電極放電バルブの製造方法において、バルブチューブの一端部が該端部への付加片の融着により密封されている無電極放電バルブの製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載の無電極放電バルブの製造方法において、付加片が平坦、レンズ形状又は半球状である無電極放電バルブの製造方法。
【請求項８】
請求項１〜７の何れかに記載の無電極放電バルブの製造方法において、バルブチューブの他端部がチューブそれ自体の材料による閉鎖により密封されている無電極放電バルブの製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載の無電極放電バルブの製造方法において、バルブチューブの他端部が平坦に研削されている無電極放電バルブの製造方法。
【請求項１０】
請求項８に記載の無電極放電バルブの製造方法において、バルブチューブの他端部がレンズを形成するように研削されている無電極放電バルブの製造方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の無電極放電バルブの製造方法において、付加片が平坦、レンズ形状又は半球状である無電極放電バルブの製造方法。
【請求項１２】
請求項１〜１１の何れかに記載の無電極放電バルブの製造方法において、不活性ガスが希ガスである無電極放電バルブの製造方法。
【請求項１３】
請求項１〜１２の何れかに記載の無電極放電バルブの製造方法において、バルブチューブを精密穴開けする準備ステップを包含する無電極放電バルブの製造方法。
【請求項１４】
請求項１〜１３の何れかに記載の無電極放電バルブの製造方法において、バルブチューブを心無し研削し、研磨する準備ステップを包含する無電極放電バルブの製造方法。
【請求項１５】
請求項１〜１４の何れかに記載の無電極放電バルブの製造方法において、励起性物質がメタルハライド物質である無電極放電バルブの製造方法。
【請求項１６】
請求項１〜１５の何れかに記載の無電極放電バルブの製造方法において、バルブ内に凸状体を形成するステップを包含する無電極放電バルブの製造方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載の無電極放電バルブの製造方法において、バルブを密封するステップの一部として冷却点が形成される無電極放電バルブの製造方法。
【請求項１８】
請求項１６又は１７に記載の無電極放電バルブの製造方法において、バルブに外部延長体を形成するステップを包含し、該外部延長体がそこに配備された内部凸状体と一直線上に整合している無電極放電バルブの製造方法。
【請求項１９】
請求項１８に記載の無電極放電バルブの製造方法において、外部延長体が、近接ネック部の密封後に残存する延長チューブの延長加工片である無電極放電バルブの製造方法。
【請求項２０】
請求項１８に記載の無電極放電バルブの製造方法において、外部延長体が石英ロッドの付加片である無電極放電バルブの製造方法。
【請求項２１】
請求項１〜２０の何れかに記載の無電極放電バルブの製造方法において、励起性物質のペレットが、バルブ内で物質の飽和蒸気圧を形成するために、蒸発時に過剰の物質を備えるような規模を呈する無電極放電バルブの製造方法。
【請求項２２】
請求項１〜２１の何れかに記載の無電極放電バルブの製造方法において、密封のステップがガラス旋盤内で実行され、該ガラス旋盤は、形成されている密封部から励起性物質を離して保持するためにその軸を傾斜させた無電極放電バルブの製造方法。
【請求項２３】
請求項１〜２２の何れかに記載の無電極放電バルブの製造方法において、バルブ囲繞体の内容物をその密封処理中、保持するために、バルブ囲繞体を冷却するステップを包含する無電極放電バルブの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無電極放電バルブの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電気ランプは、一般的に、白熱オーム抵抗フィラメントバルブと適当な付属品、又は放電を起こさせるための電極を通常備えた放電バルブから構成される。結果として生じる放射線は必ずしも見えるものではなく、その場合、バルブは可視光を生じるように燐光物質で内張りされている。また、電極のないバルブを配備すること、そして外部の放射線を特定のマイクロ波エネルギーの状態で加えることにより放電を起こさせることも知られている。
【０００３】
マイクロ波発生源を用いる無電極ランプは、ＦＭ  Ｅｓｐｉａｕ他の名義による米国特許Ｎｏ．６，７３７，８０９に記述され、その要約は以下の通りである。
【０００４】
即ち、それは誘電体導波管統合型のプラズマランプであって、本質的に少なくとも一つの誘電物質からなる本体を備え、該誘電物質は、約２以上の誘電率を有し、且つ適当な周波数のマイクロ波エネルギーが本体内に結合されるときに本体が少なくとも一つの共鳴モードで共鳴するような形状と寸法を有している。本体内側の空洞内に配置されたバルブは、共鳴している本体からエネルギーを受けるときに発光プラズマを発生するガス充填物を含んでいる。
【０００５】
なお、本明細書は、「バルブ」に関するものではあるが、ランプ本体から分離可能なディスクリート型バルブについては記述していない。
【０００６】
国際公開Ｎｏ．ＷＯ  ０２／４７１０２の下に公開された我々の初期の国際出願において、我々は以下のランプについて説明した。即ち、該ランプは、焼結されたアルミナセラミック材料製の本体と人造サファイヤ製の窓を有している。本体は初めに生地の状態で成形され、前方の凹部内に窓が圧入される。該結合物は１５００℃程度の温度で焼成され、それにより本体を窓と耐圧気密状態に融着させる。６００℃程度まで部分冷却された後に、励起性物質のペレットが後部の投入口を通して添加される。セラミック製の円盤が、フリットと共に投入口上に配置される。円盤はレーザーで照射され、それによりフリットと円盤を本体に融着させ、かくして励起性物質をランプ内に密封するものである。
【特許文献１】米国特許Ｎｏ．６，７３７，８０９
【特許文献２】国際公開Ｎｏ．ＷＯ  ０２／４７１０２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の課題は、無電極放電バルブの改良された製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、
(1)石英ガラス製の密封可能なバルブチューブのバルブ囲繞体を準備するステップと、
(2)バルブチューブの一端部を閉鎖してバルブの一端部を形成するステップと、
(3)バルブ囲繞体の横断内側寸法より小さな穴を有する近接ネック部を、バルブ囲繞体と一体的に形成するステップと、
(4)バルブ囲繞体と一体的に形成された近接ネック部から一体的に延びる延長チューブに、近接ネック部から離れて遠方ネック部を形成するステップと、
(5)少なくとも一つの励起性物質のペレットを、バルブ囲繞体内に近接ネック部を通して挿入するステップであって、その場合に、バルブチューブ内に近接ネック部を通して挿入されたペレットが、バルブチューブを水平にした状態で近接ネック部の穴を通るためには転がり昇らねばならないように、ステップ(3)で形成された近接ネック部がバルブチューブの中心軸に対して形成され且つ位置決めされるようにしたステップと、
(6)近接ネック部を通してバルブ囲繞体を減圧排気するステップと、
(7)バルブチューブを、減圧排気後に不活性ガスで満たすステップと、
(8)遠方ネック部においてバルブ囲繞体を予備的に密封するステップと、そして
(9)近接ネック部においてバルブ囲繞体を最終的に密封するステップと、
からなり、
前記ステップ(2)、(3)、(4)、（6）、(7)、(8)及び(9)が、バルブチューブを少なくとも一つのガラス旋盤内に取り付け、且つ旋盤の心押し台を前記ステップ（6）及び(7)のためにシールした状態で行われるようにした無電極放電バルブの製造方法が提供される。
【０００９】
我々は、励起性成分の混合物を使用することにより有益な効果が得られることを見出した。従って、前記ペレット挿入ステップは、一以上のペレットの挿入を包含してもよい。
【００１０】
球体のような他の形状が考えられるとしても、好ましくは、バルブ囲繞体がチューブであり、製造方法がバルブチューブの少なくとも一端部を閉鎖するステップを包含し、その場合に近接ネック部を形成するステップは、近接ネック部がバルブチューブに一体的に形成された状態で、閉鎖端部から離れてネック部を形成することを包含する。
【００１１】
好ましくは、近接ネック部は、バルブチューブ内に近接ネック部を通して挿入されたペレットが、バルブチューブを水平にした状態で近接ネック部の穴を通るためには転がり昇らねばならないように、バルブチューブの中心軸に対して形成され且つ位置決めされる。ペレットは、ネック部を通過し得るが、しかしチューブに沿った転動を該ネック部により抑制され、密封処理中はチューブの他端から離れて保持され得るように準備される。
【００１２】
通常、近接ネック部の中心軸は、近接ネック部がバルブチューブに一体的に形成された状態で、バルブチューブの中心軸と合致している。
【００１３】
配備された近接ネック部及び遠方ネック部の二つのネック部については、第一の密封が外側の遠方ネック部において行われ、続いて第二の密封が内側の近接ネック部において行われるものであり、両ネック部間のチューブ部分は折り取られ、廃棄される。
【００１４】
ある実施態様においては、バルブチューブの一端部がチューブそれ自体の材料による閉鎖により密封される。この端部は、平坦に研削され、或いはレンズを形成するように研削されてもよい。同様に、バルブチューブの他端部がチューブそれ自体の材料により密封され、平坦又はレンズ形状に研削されてもよい。
【００１５】
他の実施態様においては、バルブチューブの一端部が該端部への付加片の融着により密封される。該付加片は、平坦又は円形に湾曲した形状であり（好ましくは両面において）、或いはレンズ形状を呈していてもよい。
【００１６】
更なる他の実施態様においては、バルブがブロー成形により一体的に形成され、ネック部において一本のチューブに固着されていてもよい。
【００１７】
通常、製造方法は、
バルブチューブを、減圧排気後で密封前に、不活性ガス、好ましくは希ガスで満たす追加のステップを包含する。
【００１８】
近接ネック部と遠方ネック部の間におけるチューブの相当な長さが、バルブ内に密封されるガスの量の予測を可能にするとすれば、ガスがクリプトンのように十分高い沸点を有する場合に、それは、近接ネック部において達成される密封部から離れたバルブの端部において、バルブの該離隔端部への液体窒素の適用により凝縮させられてもよい。
【００１９】
さらに、製造方法は、
バルブチューブを精密穴開けする準備ステップと、
バルブチューブを心無し研削し、研磨する準備ステップと、
を包含してもよい。
【００２０】
しかしながら、ある実施態様においては、精密引抜きされた石英チューブが使用されてもよい。
【００２１】
好ましくは、
励起性物質がメタルハライド物質であり、
励起性物質の単数又は複数のペレットが、バルブ内で物質の飽和蒸気圧を形成するために、蒸発時に過剰の物質を備えるような規模を呈し、
製造方法が、過熱し易い差し口の形成、又は励起性物質の大部分を使用時に凝縮させるほどにプラズマから離れて冷却点を生じ易い凹部の形成を防止するために、近接ネック部における密封部内側に目立った凹面のない、僅かの凸面を形成することを包含する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明の理解に資するために、その実施態様を実施例により、添付図面に照らして説明する。
図１は本発明に係るバルブの斜視図であり、
図２は図１のバルブの製造のために準備された、一端部が密封された一本の石英チューブの図解側面図であり、
図３は密封の準備のために第一のネック部が形成された石英チューブの前記と同様の図であり、
図４は密封の準備のために二つのネック部が形成された石英チューブの前記と同様の図であり、
図５は開口端部に減圧排気装置が連結された石英チューブの更なる図であり、
図６は第一の密封後における石英チューブの図解側面図であり、
図７は第二の密封後における石英チューブの前記と同様の図であり、
図８は完成したバルブの前記と同様の図であり、
図９は図８のバルブの変形例の拡大図であり、
図１０は参考例に係る、側枝を供えた形成途中のバルブの図９と同スケールの図であり、
図１１は完全形成された図１０のバルブの前記と同様の図であり、
図１２は参考例に係る第三のバルブの前記と同様の図であり、
図１３は本発明に沿ってガラス旋盤内で密封されているバルブの図解側面図であり、
図１４は本発明に沿って形成された他のバルブの図である。
【００２３】
図面を参照すれば、図１に示されたバルブは、石英の壁体１並びに満杯のメタルハライド物質２（当初はペレット状態）及び希ガス３、典型的にはネオン、アルゴン又はクリプトンを有する。壁体は、その長さ４に沿って円筒形を呈し、横端部５を備える。これら横端部は、平坦な内面６と平坦な外面７で構成されている。前者の表面はガラス旋盤内で公知の方法で当該材料を加熱及び処理することにより形成され、後者の表面もまた公知の方法で研削、研磨することにより形成されている。バルブは、その長さにわたって精密内腔と心無し研削、研磨された材料で形成され、それによってバルブはその外部寸法により予め設定された体積を有している。これらは、典型的には直径６ｍｍ、長さ１２ｍｍである。
【００２４】
図２〜６に転じると、バルブは一本の石英チューブ１０から形成され、その石英チューブは仕上がり長さの約１０倍で始まる。典型的には、外径６ｍｍのチューブは４ｍｍの内径を有する。バルブの製造工程は以下の通りである。
１．  チューブの一端部１１が、図２に示されるように、閉鎖され、図示されないガラス旋盤内で平坦１２に加工される。
２．  第一のネック部１３が、図３に示されるように、チューブに閉鎖端部に近接して形成される。このネック部は、バルブを所定長さに仕上げ易いように位置決めされ、且つ形成される。
３．  第二のネック部１４が、図４に示されるように、チューブに現在未使用の開放端部に近接して形成され、一方、第一のネック部は既に閉鎖端部に近接して形成されている。チューブが旋盤から取り外される。
４．  既知の規模のメタルハライドペレット１５がチューブ内に落し入れられ、音を立てて転がされて二つのネック部１３、１４を通過する。チューブが旋盤に戻される。閉鎖端部１１で終結しているチューブ部分１６にペレットを収容した状態で、チューブが減圧排気される。これは、チューブの精密研磨された外面に嵌め込まれたＯリング１７により達成される。Ｏリングは弁１９を備えた取付け具１８内に係合され、チューブは前記弁１９を介して減圧排気されることができるが、一度減圧排気されると希ガスで再度満たされる（図５参照）。取付け具は、旋盤の心押し台内に支持されている。両ネック部が、ある一つの旋盤内で形成され、充填及び密封処理が別の旋盤で行われると、都合がよい。
５．  石英チューブが、取付け具１８が取り外される前に第二のネック部１４で密封される。チューブが一度密封されると、メタルハライドと希ガスがチューブ内に保留される。取付け具１８が取り外され、チューブの残部が除去されることができる。結果として、ペレット１５を第一のネック部１３の第一閉鎖端部側に配置した状態で、密封処理２０が、メタルハライドの蒸発の恐れなしに、そして希ガス充填物の大部分が加熱されないようにして、第二のネック部において達成されることができる（図６参照）。そのようにして、チューブの内容物が良好に画定される。
６．  第一のネック部１３が、メタルハライドペレットを依然としてチューブ部分１６に収容させた状態で、位置２１で密封される。チューブは、密封部を図７に示されるような形状に形成するように加工される。バルブの最終的なサイズ仕上げがこの作業工程中にメタルハライド物質を蒸発させることになるとしても、それは既知の大きさのチューブ内に含まれており、それによってチューブ部分１６内に保留されることになる量は知られている。それが最終的な密封処理条件の下に蒸発しても、蒸発しなくても（こちらが好ましいが）、元の量のメタルハライドはチューブ部分１６内に集結している。
７．  最終のステップは（分離して図示されないが）、密封され、折り取られた端部２１を円滑な端部２２に研磨することである（図８参照）。
【００２５】
図９に転じると、図示されたバルブの右側端部は基本的にはまさに記載されるように形成されるが、左側端部はそれとは違うように形成されている。右側端部は、良好な密封を確保するためにガラスの内側方向への操作の間に形成された小さな内部凸状体２３と、形成されたバルブからチューブの不要部分を引き離すことにより形成された外部スパイク２４を有する。外部スパイクは、平坦な端部２２になるように研磨除去される。内部凸状体は凹面のないことを確実にするために配備されるが、該凹面は、少量の励起性物質しか蒸発せずに乏しい光出力を生じてしまう程度にまで、励起性物質を使用時にプラズマから分離、凝縮させることになる。しかしながら、外部スパイク２４が放熱板として作用する場合、それは、熱がバルブ中心部のメタルハライド／希ガス内容物本体に合流されている状態でバルブの端部にあり、凸状体２３にその内側で、そのような凝縮のための冷却点として機能させることができる。実際に、メタルハライドペレットは、バルブ内に過剰の物質が存するように、即ち作業工程においてバルブ内に物質の飽和蒸気圧のために必要な量以上に十分な量の物質が存するような規模とされる。物質をバルブ内における他の場所のより熱い点から蒸発させて、残余は優先的凝縮点としての冷却点２３に集積する。
【００２６】
チューブの左端部は、チューブに融着された、石英ガラス製の平坦な円盤３１から形成されている。平坦な円盤は、バルブを離れる光が、稼動中にバルブの中心部に形成されるプラズマから一直線にそのようにバルブを離れることを可能にする。
【００２７】
図１０及び１１は第二のバルブを示し、それは、主バルブチューブ１０１とそれより幾分小径の分岐チューブ１５１とから形成されている。主バルブチューブは、一定長さに切断されると共に平坦な円盤端部１３１、１３２を融着させている。分岐チューブは、第一のネック部１１３と、図１０には図示されないが、分岐チューブ１５１に延設されたチューブ延長体に設けられた、既述の第一のバルブのネック部１４に類似の第二のネック部を有する。ネック部１１３は、主バルブチューブと分岐チューブの連結部に存する。開き口１５２が、メタルハライドペレットの導入、減圧排気及び希ガスの導入のために、主バルブチューブの壁に設けられている。第一のバルブにおける直列のバルブチューブ及び過剰の延長チューブと比較して、分岐チューブの軸１５３が主バルブチューブの軸１５４から正確に半径方向に配置されるようにしているので、一度ペレットが分岐チューブ及び開き口１５２を介して主バルブチューブ内に導入されると、該ペレットは主バルブチューブからその殆どの方向において転がり出ることはなく、それによってバルブの操作を、メタルハライドペレットの損失の恐れなしに、分岐チューブを水平にして実行することができる。
【００２８】
図１１に示されるように、ネック部１１３におけるバルブの密封は、内部凸状体１２３と外部スパイク１２４を結果的に生じるが、該外部スパイクは研磨除去されてもよい。
【００２９】
図１２に示される第３のバルブは、バルブチューブ２０１と、ネック部の密封後に残存する残存分岐チューブ、即ちアーム２５１を有する。バルブの端部２３１、２３２はレンズ形に形成され、それらはチューブ２０１の端部への融着前に形作られている。これは、バルブからの光線を焦点に集めることが有益である場合に図１０のバルブにおける平坦な端部を越える利点を有するが、一方、平坦な端部は平行な光線を必要とする場合に有益である。
【００３０】
バルブ２０１は、既述の凸状体１２３に類似した凸状体２２３を有する。残存分岐チューブアーム２５１は、分岐チューブを密封する工程で形成される。それは、凸状体と一直線上に整合し且つ該凸状体に隣接している。使用に際して、残存分岐チューブアームはセラミック製の導波管内に収容され、該導波管はバルブよりも冷たい状態にある。そのようにして、残存分岐チューブアームは、バルブからの熱伝導路を与えると共に凸状体２２３をバルブの残部よりも冷たく保持し、それによって凸状体は凝縮冷却点として作用することができる。
【００３１】
図１〜９に照らして説明されたバルブを形成するために、図１３に示されるように、ガラス旋盤又は少なくともバルブを密封するために使用される旋盤が、その主軸台／心押し台の軸Ａを心押し台が主軸台上方にあるように傾斜させて配置されてもよい。この配置は、図１３に示されるように、励起性物質ペレットをバルブの既に閉鎖された端部に寄り掛からせることを促進する。更なる可能性は、密封されるバルブが液体窒素で冷却され、それによって、バルブチューブ及び延長チューブに収容されている希ガス充填物を、バルブの密封中に形成されるバルブ内に凝縮させることである。このことは、バルブを保持するチャック３０１の背後にノズル３０２を配備し、該ノズルからバルブチューブの端部に向けて液体窒素の噴射を放出することにより達成されることができる。
【００３２】
図１４を参照すると、図示されたバルブ４０１は延長体４５１を有し、それは、ネック部の密封後に残存する延長チューブの残り部分を延長加工し、これを密封部４５３から所要距離４５２だけ離れた所で切断することにより形成されている。延長体４５１は、使用に際してバルブを把持するために都合のよい手段を形成することができる。残りのチューブを延長加工する代わりに、ロッド片が密封位置で融着されてもよい。このバルブは、光線がバルブ壁を正常に通過することを可能にするために半球状端部４１１を有する。このことは、放電光を生じるプラズマが前記端部と類似する形状の端部を有する点において有利である。このような端部は、ガラス旋盤作業により、最初に分離した部分に融着することにより、又は実際にブロー成形により形成されてもよい。
【００３３】
本発明は、前記実施態様の細部に限定されるものではない。例えば、使用可能な代替の放電光放出物質として、イオウ、水銀のハロゲン化物、ナトリウム及びカリウムがある。さらにまた、一個の凹部と一個のアームを備えたチューブ状バルブは、それらが配備されている限り、現状好ましいが、例えば三個のアームと過熱点を備えた球状バルブが考慮されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明に係るバルブの斜視図である。
【図２】図１のバルブの製造のために準備された、一端部が密封された一本の石英チューブの図解側面図である。
【図３】密封の準備のために第一のネック部が形成された石英チューブの前記と同様の図である。
【図４】密封の準備のために二つのネック部が形成された石英チューブの前記と同様の図である。
【図５】開口端部に減圧排気装置が連結された石英チューブの更なる図である。
【図６】第一の密封後における石英チューブの図解側面図である。
【図７】第二の密封後における石英チューブの前記と同様の図である。
【図８】完成したバルブの前記と同様の図である。
【図９】図８のバルブの変形例の拡大図である。
【図１０】参考例に係る、側枝を供えた形成途中のバルブの図９と同スケールの図である。
【図１１】完全形成された図１０のバルブの前記と同様の図である。
【図１２】参考例に係る第三のバルブの前記と同様の図である。
【図１３】本発明に沿ってガラス旋盤内で密封されているバルブの図解側面図である。
【図１４】本発明に沿って形成された他のバルブの図である。
【符号の説明】
【００３５】
２  メタルハライド物質
３  希ガス
１０  石英チューブ
１１  チューブの閉鎖端部
１３  ネック部（近接ネック部）
１４  ネック部（遠方ネック部）
１５  メタルハライドペレット
１６  チューブ部分
１８  取付け具
１５１  分岐チューブ
【図１】
0005421534.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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