(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光電変換部と、前記光電変換部の一主面上に配された集電電極とを有し、
前記集電電極は、一方向に沿って延在する接続電極と、前記一方向と交差する方向に沿って延在し、且つ、接続電極に電気的に接続されたフィンガー電極と、を備え、
前記光電変換部は半導体ウエハを含むと共に、
前記半導体ウエハは、前記半導体ウエハの第１方向に沿う断面における厚みの最大値と最小値の差が、前記第１方向に直交する第２方向に沿う断面における厚みの最大値と最小値の差より小さい厚み分布を有する太陽電池セルの製造方法であって、
前記半導体ウエハ又は前記光電変換部の断面の厚みを測定する工程と、
前記測定結果に基づき、前記接続電極を、前記光電変換部の一主面上に、前記第１方向に沿って延在するように形成する工程と、を備えることを特徴とする太陽電池セルの製造方法。
【請求項２】
前記半導体ウエハの前記第１方向に沿う断面における厚みは、該第１方向に沿う一端側で最大となり他端側で最小となることを特徴とする請求項１記載の太陽電池セルの製造方法。
【請求項３】
配列方向に沿って配列された複数の太陽電池セルと、
隣接する前記太陽電池セルを電気的に接続するための、前記配列方向に沿って延びる配線材と、を有する太陽電池モジュールであって、
前記太陽電池セルは、光電変換部と、前記光電変換部の一主面上に配された配線材が接続される接続電極と、を備え、
前記光電変換部は半導体ウエハを含むと共に、
前記半導体ウエハは、前記半導体ウエハの第１方向に沿う断面における厚みの最大値と最小値の差が、前記第１方向に直交する第２方向に沿う断面における厚みの最大値と最小値の差より小さい厚み分布を有する太陽電池モジュールの製造方法であって、
前記半導体ウエハ又は前記光電変換部の断面の厚みを測定する工程と、
前記測定結果に基づき、前記接続電極を、前記光電変換部の一主面上に、前記第１方向に沿って延在するように形成する工程と、
前記配線材を、前記接続電極上に、該接続電極の延在方向に沿って接続することを特徴
とする太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項４】
前記半導体ウエハの前記第１方向に沿う断面における厚みは、該第１方向に沿う一端側で最大となり他端側で最小となることを特徴とする請求項３記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池セル及び配線材により互いに電気的に接続された複数の太陽電池セルを有する太陽電池モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池モジュール１は、図５の概念的な断面図に示すように、配線材２によって互いに電気的に接続された複数の太陽電池セル３、３・・・を、表面保護部材１０３と裏面保護部材１０４との間に封止層１０５によって封止することにより構成されている。
【０００３】
太陽電池セル３は、図６の受光面側から見た平面図に示すように、光電変換機能を呈する光電変換部５と、該光電変換部５の光入射面に設けられた集電電極４とを有している。集電電極４は、光電変換部５の光入射面の略全域にわたって互いに平行に設けられた複数のライン状のフィンガー電極４Ａと、このフィンガー電極４Ａの長手方向と直交する方向に延在するように設けられた接続電極４Ｂとを有している。そして、配線材２は接続電極４Ｂ上に、接続電極４Ｂの延在方向（長手方向）に沿って、半田や導電性樹脂接着剤等の導電性接着剤７により接着されている。
【０００４】
また、従来の光電変換部５として単結晶シリコンや多結晶シリコン等の結晶系半導体材料の半導体ウエハから構成されるものが知られている。これら結晶系半導体材料の半導体ウエハは、まずＣＺ法やＦＺ法やリボン法やキャスティング法により柱状のインゴットを製造し、そしてワイヤーソーを用いて１枚毎に所定の厚みに切り出すことによって製造されている。（例えば特許文献１参照）
【特許文献１】特開平７-２０５１４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、本願の発明者が鋭意検討したところによると、従来の方法により製造された半導体ウエハは、半導体ウエハの一方向に沿う断面における厚みの最大値と最小値の差が、この方向に略直交する他の方向に沿う断面における厚みの最大値と最小値の差に比べて大きく、このため太陽電池モジュールを製造した際の歩留まりが低下するという課題があることが判明した。具体的には、従来の半導体ウエハは、上記一方向に沿う半導体ウエハ６断面の厚みが一端部から他端部に向かって厚みが漸次大きくなるようなバラツキを有していた。このようなバラツキが生じる理由は、以下のように推察される。
【０００６】
図７は、従来の半導体ウエハの製造方法を説明するための概念的な説明図である。図７（ａ）において、３０１はインゴット３１０切断用のワイヤーであり複数本のワイヤー３０１が所定の間隔を隔ててローラ３０２、３０２、３０２の周りに巻き掛けられている。ワイヤー３０１は、ローラ３０２、３０２、３０２を回転させることによって図中矢印Ｘで示す走行方向に高速で走行する。インゴット３１０は、スライスベース３１５に固定され、図示しない移動機構によって矢印Ｙで示す切断送り方向に移動する。また、３１６は砥粒供給ノズルであり、走行中にワイヤー３０１に砥粒を含む加工液を供給する。そして、ローラ３０２を回転させてワイヤー３０１を走行方向に高速走行させるとともに、インゴット３１０を切断送り方向に移動させることにより、所定厚みの半導体ウエハ６がインゴット３１０から切り出される。
【０００７】
図７（ｂ）は切断時のインゴット３１０を矢印Ｘで示す方向から見た概念的な説明図であり、図７（ｃ）は切断時のインゴット３１０を矢印Ｙで示す方向から見た概念的な説明図である。
【０００８】
図７（ａ）に示すように、高速走行するワイヤー３０１には砥粒供給ノズル３１６から砥粒を含む加工液３１８が供給される。この加工液３１８はワイヤー３０１の走行に伴って図中矢印Ｘで示す方向に移動し、インゴット３１０の切断に供される。このため、加工液３１８中に含まれる砥粒の濃度はインゴット３１０の切断が進行するに連れ次第に減少することとなり、これに伴い加工幅が減少してしまう。この結果、図７（ｂ）、図７（ｃ）に示すように、半導体ウエハ６においてワイヤー３０１の走行方向（矢印Ｘで示す方向）に沿う半導体ウエハ６断面の厚みは、ワイヤーの挿入側で小さく、切り出し側で大きくなる。これに対し、インゴット３１０の切断送り方向（矢印Ｙで示す方向）に沿う半導体ウエハ６断面の厚みは、加工液供給ノズル３１６までの距離が同程度であることから、比較的均一になる。この結果、図８の半導体ウエハ６を６方向夫々から見た図面で示すように、矢印Ｘ方向における半導体ウエハ６の厚みの最大値と最小値の差が、矢印Ｙ方向における半導体ウエハ６の厚みの最大値と最小値の差よりも大きい厚み分布を有する半導体ウエハ６が製造される。
【０００９】
そして、このような半導体ウエハ６を用いて作製された太陽電池セル３により太陽電池モジュール１を製造すると、以下のような課題が生じるものと推察される。図９は、太陽電池セル３に配線材２を接続する工程を説明するための説明図である。尚、同図（ａ）は配線材２の長手からみた説明図であり、同図（ｂ）は配線材２の短手方向からみた説明図である。同図に示すように、接着時に図中のブロック３２０により配線材２に圧力を印加して太陽電池セル３に接着する。この際、上記のような厚み分布を有する半導体ウエハ６を用いて太陽電池セル３を形成し、この太陽電池セル３に配線材２を接着して太陽電池モジュール１を製造すると、ブロック３２０により太陽電池セル３に印加される圧力が場所によって不均一になる場合がある。この結果、太陽電池セル３に割れや欠け或いはクラック等の欠陥、或いは接着不良が生じる虞がある。即ち、厚みのバラツキの大きい方向に沿って太陽電池セル３上に配線材２を接着すると、厚みが厚い領域上では過剰な圧力が加わるために、太陽電池セル３に割れや欠け或いはクラック等の欠陥が生じ易い。また、厚みが薄い領域上では圧力不足になりやすく、このため配線材１０２の接着不良が生じ易い。
【００１０】
このため従来は、太陽電池モジュールの製造歩留りが低下する、或いは信頼性が低下していたものと考えられる。
【００１１】
本願は斯かる従来の課題に鑑みなされたもので、製造歩留りが向上し或いは信頼性が向上した太陽電池セル及び太陽電池モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る太陽電池セルは、光電変換部と、光電変換部の一主面上に配された集電電極とを有し、集電電極は、一方向に沿って延在する接続電極と、一方向と交差する方向に沿って延在し、且つ、接続電極に電気的に接続されたフィンガー電極と、を備え、光電変換部は半導体ウエハを含むと共に、半導体ウエハは、半導体ウエハの第１方向に沿う断面における厚みの最大値と最小値の差が、第１方向に直交する第２方向に沿う断面における厚みの最大値と最小値の差より小さい厚み分布を有し、接続電極は、光電変換部の一主面上に、第１方向に沿って延在して設けられていることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明に係る太陽電池セルは、半導体ウエハの第１方向に沿う断面における厚みは、第１方向に沿う一端側で最大となり他端側で最小となることを特徴とする。
【００１４】
本発明の特徴によれば、半導体ウエハの厚みが均一な方向に太陽電池セル上に接続電極を配している。よって、接続電極と配線材を接続する際、均一に圧力を印加することができ、接続工程で接着不良や、割れや欠け或いはクラック等の欠陥の発生を抑制する太陽電池セルを供給することができる。ここで、半導体ウエハの厚みは、例えばレーザー変位計を用いて測定することができる。
【００１５】
また、本発明に係る太陽電池モジュールは、配列方向に沿って配列された複数の太陽電池セルと、隣接する太陽電池セルを電気的に接続するための、配列方向に沿って延びる配線材と、を有する太陽電池モジュールであって、太陽電池セルは、光電変換部と、光電変換部の一主面上に配された配線材が接続される接続電極と、を備え、光電変換部は半導体ウエハを含むと共に、半導体ウエハは、半導体ウエハの第１方向に沿う断面における厚みの最大値と最小値の差が、第１方向に直交する第２方向に沿う断面における厚みの最大値と最小値の差より小さい厚み分布を有し、複数の太陽電池セルは接続電極が前記第１方向に沿って延在するように配列され、配線材は、接続電極上に、接続電極の延在方向に沿って接続されることを特徴とする。
【００１６】
さらに、本発明に係る太陽電池モジュールは、半導体ウエハの第１方向に沿う断面における厚みは、第１方向に沿う一端側で最大となり他端側で最小となることを特徴とする。
【００１７】
本発明の特徴によれば、半導体ウエハの厚みが均一な方向に太陽電池セル上に接続電極を配している。よって、接続電極と配線材を接続する際、均一に圧力を印加することができ、接続工程で接着不良や、割れや欠け或いはクラック等の欠陥の発生を抑制する太陽電池セルを使用することが可能となる。ここで、半導体ウエハの厚みは、例えばレーザー変位計を用いて測定することができる。さらに、配線材は接続電極の延在方向に沿って接続される。よって、複数の太陽電池セルを接続する工程において、半導体ウエハに圧力を均一に印加することが可能となり、信頼が向上した太陽電池モジュールを提供することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、半導体ウエハの厚みの均等な方向に接続電極を配することで、配線材と接続電極又は接続電極を接続する際に圧力を均等に印加することが可能な太陽電池セルを提供することができる。さらに、配線材は接続又は接続電極の延在方向に沿って接続される。よって、複数の太陽電池セルを接続する工程において、半導体ウエハに圧力を均一に印加することが可能となり、信頼性が向上した太陽電池モジュールを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
次に、図面を用いて、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には、同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは異なることに留意すべきである。従って、具体的な寸法等は以下の説明を参酌して判断すべきものである。又、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００２０】
（太陽電池モジュールの構造）
本発明の一実施形態に係る太陽電池モジュール１について、図５に示す模式図を参照して説明する。
【００２１】
図５において、３は太陽電池セルであり、配線材２によって互いに電気的に接続されている。配線材２は銅箔等の金属材料からなり、表面は錫メッキ等の導電性の材料で覆われていてもよい。太陽電池セル３の受光面側には、透光性を有する表面保護部材１０３が、透光性を有する封止材１０５よって接着されている。表面保護部材１０３は、例えば、ガラス、透光性プラスチック等の透光性を有する材料を用いて構成されている。また、太陽電池セル３の裏面側には、裏面保護部材１０４が封止材１０５によって接着されている。裏面保護部材１０４は、例えば、ＰＥＴ等の樹脂フィルム或いはＡｌ泊を樹脂フィルムでサンドイッチした構造の積層フィルム等からなる。また、封止材１０５は例えば、ＥＶＡ、ＰＶＢ等の透光性を有する樹脂であり、太陽電池セル３を封止する機能も有している。さらに、裏面保護部材１０４の裏面には図示しない電力取り出し用の端子箱が配されている。さらに太陽電池モジュールの外周部には、必要に応じて枠体が取り付けられている。
（太陽電池セルの構造）
太陽電池セル３は、図１の平面図に示すように、光電変換部５と、この光電変換部５の受光面及び裏面の夫々に配された集電電極４、４とを有している。光電変換部５は一導電型の半導体ウエハ６と、逆導電型の半導体領域とを有しており、ｐｎ接合或いは、ｐｉｎ接合を有する。また、半導体ウエハ６を形成する半導体材料には、単結晶シリコン、多結晶シリコン、その他結晶系半導体材料、ＧａＡｓ等の化合物半導体材料、或いはその他ウエハ状に成型できる太陽電池用の半導体材料を使用することができる。
【００２２】
光電変換部５の受光面側に形成された集電電極４は、図１（ａ）の平面図に示すように、光入射によって光電変換部５で生成された電子・正孔のキャリアを集める複数本のフィンガー電極４Ａ、４Ａ…と、フィンガー電極４Ａ、４Ａ…により集められたキャリアを集電するバスバー電極とを有する。バスバー電極は、配線材２が接続される接続電極４Ｂ、４Ｂとしても機能する。図１（ｂ）は太陽電池セル３を裏面側から見た平面図である。裏面側に形成された集電電極１３は、電子・正孔のキャリアを集める複数本のフィンガー電極４１Ａ、４１Ａ…と、フィンガー電極４１Ａ、４１Ａ…により集められたキャリアを集電するバスバー電極とを有する。バスバー電極は、配線材２が接続される接続電極４１Ｂ、４１Ｂとしても機能する。尚、裏面側の集電電極４１は、これに限らず種々の構成をとることができる。例えば、裏面全面に導電剤を形成して集電電極としても良い。
【００２３】
集電電極４、４１は、例えば、エポキシ樹脂をバインダー、導電性粒子をフィラーとした熱硬化型の導電性ペーストより形成される。また、単結晶シリコン太陽電池、多結晶シリコン太陽電池などの場合には、これに限らず、銀、アルミニウムなどの金属粉末とガラスフリットと、有機質ビヒクルなどから構成される、焼成型ペーストを用いてもよい。また、銀、アルミニウムなどの一般的な金属材料を用いて形成しても良い。
【００２４】
以下に、本発明の特徴である、光電変換部５と集電電極４との配置関係について詳細に説明する。
【００２５】
（集電電極の配置）
本発明に係る太陽電池セル３は、半導体ウエハ６を有する光電変換部５と、この光電変換部５の受光面及び裏面の夫々に配された集電電極４、４１とからなる。半導体ウエハ６、例えば単結晶シリコンウエハと、このウエハに熱拡散法或いは製膜法を用いて形成された逆導電型の半導体領域とにより、光電変換部５が形成されている。熱拡散型或いは製膜法により形成された逆導電型の半導体領域は、半導体ウエハ６の主面に略平行な主面を有する。従って、光電変換部５の形状は半導体ウエハ６の形状と略等しくなり、光電変換部５の厚みのバラツキと半導体ウエハ６の厚みのバラツキは略等しくなる。
【００２６】
光電変換部５を構成する半導体ウエハ６は、図８に示すように半導体ウエハ６の矢印Ｘ方向に沿う断面における厚みの最大値と最小値の差が、半導体ウエハ６の矢印Ｙ方向に沿う断面における厚みの最大値と最小値の差よりも大きい厚み分布を有している。具体的には、同図に示すように、矢印Ｙで示す方向に沿う半導体ウエハ６の厚みは、一端と他端とで略等しく、矢印Ｘで示す方向に沿う半導体ウエハ６の厚みは一端から他端に向かって漸次大きくなっている。よって、半導体ウエハ６のＸ方向に沿う断面における厚みは、第２方向に沿う一端側で最大となり他端側で最小となる。ここで、半導体ウエハ６の厚みの最大値と最小値の差が小さい矢印Ｙ方向を第１方向、半導体ウエハ６の厚みの最大値と最小値の差が大きい矢印Ｘ方向を第２方向とする。そして、本実施形態では、図１に示すように、接続電極４Ｂは厚みの最大値と最小値の差が小さい第１方向に沿って延在するように形成されており、フィンガー電極４Ａは第１方向と交差する第２方向に延在するように形成されている。
【００２７】
従って、図１に示す平面図のＡ−Ａ間切断面図である図２に示すように、接続電極４Ｂが延在する方向に沿う半導体ウエハ断面の厚み分布は略均一となる。一方、図１に示す平面図のＢ−Ｂ間切断面図である図３に示すように、フィンガー電極４Ａが延在する方向に沿う光電変換部の厚みは、一端から他端に向かって漸次大きくなるバラツキを有している。
【００２８】
以上のように、本実施形態に係る太陽電池セル３によれば、接続電極４Ｂは半導体ウエハ厚みの最大値と最小値の差が小さい第１方向に延在して設けられている。従って、接続電極４Ｂ上に配線材２を接続する際に印加される圧力は、接続電極４Ｂの略全面にわたって均一に印加される。よって、本実施形態によれば、配線材２の接着時におけるセル割れ、或いはクラック等の欠陥の発生を抑制することができ、また、圧力不足による配線材２の接着不良を抑制することができる。
【００２９】
（配線材の配置）
次に、前述の太陽電池セル３同士の接続関係について詳細に説明する。
【００３０】
図４は配線材２による本実施形態に係る太陽電池セル３同士の接続の関係を示す上面図である。配線材２は、厚みの最大値と最小値の差が小さい第１方向に延在して設けられた接続電極４Ｂの上面上に配された導電性接着剤７により、接続電極４Ｂと接続される。
【００３１】
従って、接続電極４Ｂ上に配線材２を接続する際に印加される圧力は、接続電極４Ｂの略全面にわたって均一に印加される。よって、本実施形態に係る太陽電池モジュール１によれば、配線材２と接続電極４Ｂとの接着不良が抑制され、セル割れや欠け或いはクラック等の欠陥の発生を抑制できるので、歩留まりを向上し信頼性に優れたた太陽電池モジュール１を提供することができる。
（実施例）
以下、本発明に係る太陽電池セル及び太陽電池モジュールについて、実施例を挙げて具体的に説明する。
【００３２】
本発明の実施例として、実施形態に係る太陽電池セル及びモジュールを以下のように作製した。
【００３３】
＜工程１＞光電変換部形成
まず、洗浄することにより、不純物が除去された約１Ω・ｃｍの抵抗率を有する厚み１００μｍのｎ型単結晶シリコンウエハを準備した。次に、ＲＦプラズマＣＶＤ法を用いて、ｎ型単結晶シリコンウエハの上面上に、約５ｎｍの厚みを有するｉ型非晶質シリコン層と、約５ｎｍの厚みを有するｐ型非晶質シリコン層とをこの順番で半導体ウエハ６に略平行に形成した。
【００３４】
次に、ｎ型単結晶シリコンウエハの裏面上に、約５ｎｍの厚みを有するｉ型非晶質シリコン層と、約５ｎｍの厚みを有するｎ型非晶質シリコン層とをこの順番で半導体ウエハ６に略平行に形成した。なお、このｉ型非晶質シリコン層及びｎ型非晶質シリコン層は、それぞれ上記したｉ型非晶質シリコン層及びｐ型非晶質シリコン層と同様のプロセスにより形成した。
【００３５】
次に、マグネトロンスパッタ法を用いて、ｐ型非晶質シリコン層及びｎ型非晶質シリコン層の各々の上に、約１００ｎｍの厚みを有するＩＴＯ膜をそれぞれ半導体ウエハ６に略平行に形成した。
【００３６】
以上の工程により、実施例に係る太陽電池セルの光電変換部５を作製した。
【００３７】
＜工程２＞集電電極形成
次に、光電変換部の受光面側に配されたＩＴＯ膜の表面に、エポキシ系熱硬化型又は焼結型の銀ペーストをスクリーン印刷することによって受光面積側の集電電極４を形成した。この際、図１に示す破線円で囲む基板端から約６ｍｍの箇所で厚み測定を行った。尚、厚みの測定は２台のヘッドを持つレーザー変位計を用い、測定は非接触で行った。そして、半導体ウエハ６の厚み分布と接続電極４Ｂとの配置関係が、前述した所定の関係となるように集電極４を形成した。具体的には、接続電極４Ｂは、半導体ウエハの第１方向に沿って延在するように、幅１．８ｍｍ、高さ０．０４ｍｍ、本数２本で形成した。複数のフィンガー電極４Ａは、半導体ウエハの第２方向に沿って延在するように、幅０．１ｍｍ、高さ０．０４ｍｍ、ピッチ２ｍｍで、接続電極４Ｂに交わるように太陽電池セル３の全域に渡って形成した。また、裏面側の集電電極４１も受光面側の集電電極４と同様に形成した。
【００３８】
以上により、実施例に係る太陽電池セルのサンプルを作製した。
【００３９】
＜工程３＞配線材の接着
配線材２は、幅２ｍｍ、厚み０．１５ｍｍの銅箔であり、銅箔の表面には導電性接着剤としての半田が形成されている。そして、太陽電池セル３の表裏面の接続電極４Ｂ、４１Ｂ上に配線材２を配し、上下から挟み、所定の圧力をかけながら、加熱することにより接続電極４Ｂ、４１Ｂと配線材２、２を導電性接着剤７（半田）により接着した。尚、導電性接着剤として半田の代わりに樹脂型の導電性接着剤を用いても良い。この場合、配線材として表面が半田コートされた銅箔を用いても良い。
（比較例）
比較例として、集電電極形成時に半導体ウエハの厚みバラツキを考慮せずに集電電極を形成すること以外は実施例サンプルと同様に比較例となる太陽電池セルのサンプルを形成した。
（結果）
まず、比較例及び実施例に係る太陽電池セル１０サンプルにおいて、図１に示すように、夫々の基板端から６ｍｍであるａ〜ｄの箇所において光電変換部の厚み測定を行った。そして、ａとｄとの厚み差の平均値、ｂとｃとの厚み差の平均値、ａとｂとの厚み差の平均値及びｃとｄとの厚み差の平均値を求めた結果を表１に示す。尚、光電変換部の半導体ウエハ上に形成された逆導電型の半導体領域は半導体ウエハと比較して非常に薄く、且つ、半導体ウエハの主面に略平行な主面を有するため、光電変換部の厚みのバラツキは半導体ウエハの厚みバラツキと略等しくなる。また、サンプルに用いた単結晶シリコンウエハのサイズは約１２５ｍｍ×１２５ｍｍである。
【００４０】
【表１】
0005458485.tif 000002
表１に示すように、比較例と実施例とを比較した場合、太陽電池セルの接続電極４Ｂ，４１Ｂに沿う方向の光電変換部の厚みの差｜ａ−ｄ｜及び｜ｂ−ｃ｜は、比較例より実施例の方が小さい。また、実施例において太陽電池セルの接続電極４Ｂ，４１Ｂ沿う方向の光電変換部の厚みの差｜ａ−ｄ｜及び｜ｂ−ｃ｜は、フィンガー電極４Ａ，４１Ａに沿う方向の光電変換部の厚みの差｜ａ−ｂ｜及び｜ｃ−ｄ｜と比較し小さくなる。また、比較例のサンプルでは、光電変換部の厚み分布を考慮せず集電極を配しているため、接続電極に沿う方向の厚みの差｜ａ−ｄ｜及び｜ｂ−ｃ｜と、フィンガー電極４Ａ，４１Ａに沿う方向の厚みの差｜ａ−ｂ｜及び｜ｃ−ｄ｜とが略等しくなる。
【００４１】
次に、比較例及び実施例に係る太陽電池セル１０００サンプルにおいて、配線材との接続を行った。その際、セル割れが生じたものを目視で確認することによって歩留まりを求めた。その結果を表２に示す。
【００４２】
【表２】
0005458485.tif 000003
同表に示す通り、実施例に係る太陽電池セルを用いた配線材との接続工程の方が、歩留まりは高くなった。よって、太陽電池セルの接続電極４Ｂ，４１Ｂに沿う方向の光電変換部の厚みの差は比較例より実施例の方が小さいため、実施例の方が比較例よりも太陽電池セルと配線材の接続の際に圧力が均一に印加される。よって、実施例においてセル割れの発生確率が低くなるため、表２に示すように歩留まりが改善されたものと推定される。
【００４３】
さらに、半導体ウエハの厚みが９０μｍと先述のサンプルよりも薄い半導体ウエハを用いて、上述と同様の工程により、比較例及び実施例に係る太陽電池セルの作成を行った。そして、比較例及び実施例に係る太陽電池セルと配線材との接続を行い、その際、セル割れが生じたものを目視で確認することによって歩留まりを求めた。その結果、歩留まりは比較例が９０．５％であるのに対し、実施例が９６．６％となった。この結果から、本実施例に係る太陽電池セルは、半導体ウエハの厚みが薄くなる程、配線材の接続工程においてセル割れを抑制する効果を高めると推定される。
【００４４】
以上説明したように、本発明の実施の形態及びその実施例によれば、以下の作用効果が得られる。本発明の太陽電池セルは、半導体ウエハの厚み最大値と最小値の差が小さい第１方向に接続電極を形成し、半導体ウエハの厚みの最大値と最小値の差が大きい第２方向にフィンガー電極を作成されている。これにより、従来の半導体ウエハの厚みを考慮せずに太陽電池セルを作製する場合と比べて、配線材を接続する際に圧力を均等に印加することができる太陽電池セルを作製することが可能となる。
【００４５】
また、本発明の太陽電池セルを使用することで、複数の太陽電池セルを接続する工程において、半導体ウエハに圧力を均一に印加される為、セル割れやクラック等の欠陥の発生を抑制し、そして、信頼性が向上した太陽電池モジュールを提供することができる。
【００４６】
（その他の実施形態）
例えば、本実施形態にあっては第２方向に沿って半導体ウエハ６の厚みが漸次大きくなる厚み分布を有する半導体ウエハ６について説明したが、本発明では斯かる厚み分布を有する半導体ウエハ６に限定されるものではない。例えば、レーザー変位計を用いて１方向に沿う半導体ウエハ（光電変換部）断面の厚み測定を複数個所で測定し、厚みの最大値と最小値の差を求める。そして、方向を変えてこの測定を繰り返し行うことにより得られた結果に基づき、半導体ウエハ６の断面における厚みの最大値と最小値の差が小さい方向を第１方向、これに直交する方向を第２方向としても良い。この場合であっても、接続電極４Ｂは半導体ウエハ６の厚みバラツキが小さい方向に延在するので、同様の効果を奏する。
【００４７】
そして、これらの実施形態に係る太陽電池セルを用いた太陽電池モジュールは、接着不良が抑制され、セル割れや欠け或いはクラック等の欠陥の発生を抑制できるので、歩留まりを向上し信頼性に優れたた太陽電池モジュール１を提供することができる。
【００４８】
また、この半導体ウエハ６の厚みバラツキはインゴット３１０の切断によって発生する。従って、この課題は、半導体ウエハ６の形状に係らず発生することとなる。そして、本実施形態では矩形の半導体ウエハ６を用いたが、矩形の角部を面取り等の加工をした場合や、円形状の半導体ウエハ６及び円形状のウエハ６の形状を矩形等に加工したものを用いた場合、或いは他の多角形状、円弧状等の形状であっても、接続電極４Ｂを厚みの最大値と最小値の差の小さい第１方向に延在するよう設け、フィンガー電極４Ａを厚みの最大値と最小値の差が大きい第２方向に延在するよう設けることで、同様の効果を奏することができる。
【００４９】
尚、半導体ウエハ６の厚みバラツキが生じる切断方法として、ワイヤーソーを用いた方法を記載したが、例えばレーザーやプラズマを用いたその他の切断方法において切断された半導体ウエハ６においても、接続電極４Ｂを厚みの最大値と最小値の差の小さい第１方向に延在するよう設け、フィンガー電極４Ａを厚みの最大値と最小値の差が大きい第２方向に延在するように設けることで同様の効果を得られることは言うまでもない。
【００５０】
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態等を含むことは勿論である。従って、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の実施形態に係る太陽電池セルの平面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る太陽電池モジュールの集電電極と半導体ウエハの配置関係を説明するための断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る太陽電池モジュールの集電電極と半導体ウエハの配置関係を説明するための断面図である。
【図４】本発明に係る太陽電池モジュールの接続電極、導電性接着剤及び配線材の接続関係を示す平面図である。
【図５】太陽電池モジュールを説明するための模式図である。
【図６】従来の太陽電池セルを受光面側から見た平面図である。
【図７】従来の半導体ウエハの製造方法を説明するための概念的な説明図である。
【図８】ワイヤーソーにより切断された半導体ウエハを６方向夫々から見た図である。
【図９】太陽電池セルに配線材を接続する工程を説明する為の説明図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  太陽電池モジュール
２  配線材
３  太陽電池セル
４  集電電極
４Ａ  フィンガー電極
４Ｂ  接続電極
５  光電変換部
６  半導体ウエハ
７  導電性接着剤
１０３  表面保護部材
１０４  裏面保護部材
１０５  封止層
３０１  ワイヤー
３０２  ローラ
３１０  インゴット
３１５  スライスベース
３１６  砥粒供給ノズル
３１８  加工液
３２０  ブロック
【図１】
0005458485.tif 000004
【図２】
0005458485.tif 000005
【図３】
0005458485.tif 000006
【図４】
0005458485.tif 000007
【図５】
0005458485.tif 000008
【図６】
0005458485.tif 000009
【図７】
0005458485.tif 000010
【図８】
0005458485.tif 000011
【図９】
0005458485.tif 000012