(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する側面Ａ、Ｂ及び対向する側面Ｃ、Ｄを備えた平面視して矩形あるいは正方形の電子部品を、外観検査する外観検査装置において、
前記電子部品をそれぞれ保持する複数の支持部が間隔を空けて円状に取り付けられ、間欠的に回転して、該各支持部が前記側面Ａ、Ｂを回転方向に沿わせ前記側面Ｃ、Ｄの一方を他方に対し回転方向の上流側に配置した状態で保持した前記電子部品を、順次、第１、第２の検査位置の一方及び他方に一時停止させる回転体と、
前記第１の検査位置で一時停止した前記電子部品の側面Ａを撮像する第１の撮像手段と、
光の進行方向を変えて、前記第１の検査位置で一時停止した前記電子部品の側面Ｂの外観を、該電子部品の側面Ａを撮像している前記第１の撮像手段の画像に収める光路調整手段ｂと、
前記第２の検査位置で一時停止した前記電子部品の側面Ｃを撮像する第２の撮像手段と、
光の進行方向を変えて、前記第２の検査位置で一時停止した前記電子部品の側面Ｄの外観を、該電子部品の側面Ｃを撮像している前記第２の撮像手段の画像に収める光路調整手段ｄとを備え、
前記第１、第２の検査位置それぞれに、前記各支持部を個別に進退させる駆動源が設けられて、前記電子部品の側面Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを外観検査し、
前記支持部によって保持されている前記電子部品は、後退位置に配置されて前記第１の検査位置に送られた前記支持部が前進した状態で、前記側面Ａ、Ｂが撮像され、後退位置に配置されて前記第２の検査位置に送られた前記支持部が前進した状態で、前記側面Ｃ、Ｄが撮像されることを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の外観検査装置において、前記第１の検査位置で一時停止した前記電子部品の側面Ａから前記第１の撮像手段までの光学経路を、前記第１の検査位置で一時停止した前記電子部品の側面Ｂから前記第１の撮像手段までの光学経路と同じ長さにする光路調整手段ａと、
前記第２の検査位置で一時停止した前記電子部品の側面Ｃから前記第２の撮像手段までの光学経路を、前記第２の検査位置で一時停止した前記電子部品の側面Ｄから前記第２の撮像手段までの光学経路と同じ長さにする光路調整手段ｃとを、更に、備えることを特徴とする外観検査装置。
【請求項３】
請求項２記載の外観検査装置において、前記光路調整手段ａ、ｂ、ｃ、ｄはそれぞれプリズムを有することを特徴とする外観検査装置。
【請求項４】
請求項２又は３記載の外観検査装置において、前記複数の駆動源はそれぞれ前記各支持部を進退させて該各支持部を昇降し、前記光路調整手段ａ、ｂはそれぞれ、前記第１の検査位置で降下した前記支持部に保持されている前記電子部品の高さにある部分を備え、前記光路調整手段ｃ、ｄはそれぞれ、前記第２の検査位置で降下した前記支持部に保持されている前記電子部品の高さにある部分を備えることを特徴とする外観検査装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１に記載の外観検査装置において、前記電子部品の側面Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄはそれぞれ横に長く、前記第１の撮像手段は、前記電子部品の側面Ａ、Ｂを並列に並べた画像を得、前記第２の撮像手段は、前記電子部品の側面Ｃ、Ｄを並列に並べた画像を得ることを特徴とする外観検査装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１に記載の外観検査装置において、複数の前記電子部品が並べられたウエハから、該電子部品を取り出して、前記支持部に供給する部品供給手段を備えることを特徴とする外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を撮像して外観検査を行う外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ベアチップやＣＳＰ（Ｃｈｉｐ  ｓｉｚｅ  ｐａｃｋａｇｅ）を含む各種電子部品は、所定の検査が行われた上で出荷される。電子部品の欠け等の検出には、外観検査装置が用いられ、その具体例が、例えば、特許文献１、２に記載されている。
特許文献１に記載の外観検査装置は、エンボステープの収容部内に収容された平面視して矩形もしくは正方形の電子部品（半導体素子）の外観をカメラで撮像して、外観上の問題の有無を検出する。エンボステープの近傍には、複数の反射鏡が設けられ、電子部品の１組の対向配置された側面と表面（上面）の合計３面が１つのカメラで撮像できるようにしている。
そして、特許文献２に記載の外観検査装置は、ベルトコンベア機構によって電子部品を搬送しながら、その電子部品の１組の対向配置された側面と表面（上面）をカメラで撮像して外観検査を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２５４７２６号公報
【特許文献２】特開２０００−３３７８４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１、２に記載の外観検査装置は、反射鏡やカメラの配置の制限により、残り１組の対向配置された側面の外観検査を撮像することができず、４つの側面全ての外観検査を行うことができなかった。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされるもので、電子部品の４つの側面全てを外観検査する外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的に沿う本発明に係る外観検査装置は、対向する側面Ａ、Ｂ及び対向する側面Ｃ、Ｄを備えた平面視して矩形あるいは正方形の電子部品を、外観検査する外観検査装置において、前記電子部品をそれぞれ保持する複数の支持部が間隔を空けて円状に取り付けられ、間欠的に回転して、該各支持部が前記側面Ａ、Ｂを回転方向に沿わせ前記側面Ｃ、Ｄの一方を他方に対し回転方向の上流側に配置した状態で保持した前記電子部品を、順次、第１、第２の検査位置の一方及び他方に一時停止させる回転体と、前記第１の検査位置で一時停止した前記電子部品の側面Ａを撮像する第１の撮像手段と、光の進行方向を変えて、前記第１の検査位置で一時停止した前記電子部品の側面Ｂの外観を、該電子部品の側面Ａを撮像している前記第１の撮像手段の画像に収める光路調整手段ｂと、前記第２の検査位置で一時停止した前記電子部品の側面Ｃを撮像する第２の撮像手段と、光の進行方向を変えて、前記第２の検査位置で一時停止した前記電子部品の側面Ｄの外観を、該電子部品の側面Ｃを撮像している前記第２の撮像手段の画像に収める光路調整手段ｄとを備え、前記第１、第２の検査位置それぞれに、前記各支持部を個別に進退させる駆動源が設けられて、前記電子部品の側面Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを外観検査し、前記支持部によって保持されている前記電子部品は、後退位置に配置されて前記第１の検査位置に送られた前記支持部が前進した状態で、前記側面Ａ、Ｂが撮像され、後退位置に配置されて前記第２の検査位置に送られた前記支持部が前進した状態で、前記側面Ｃ、Ｄが撮像される。
【０００６】
本発明に係る外観検査装置において、前記第１の検査位置で一時停止した前記電子部品の側面Ａから前記第１の撮像手段までの光学経路を、前記第１の検査位置で一時停止した前記電子部品の側面Ｂから前記第１の撮像手段までの光学経路と同じ長さにする光路調整手段ａと、前記第２の検査位置で一時停止した前記電子部品の側面Ｃから前記第２の撮像手段までの光学経路を、前記第２の検査位置で一時停止した前記電子部品の側面Ｄから前記第２の撮像手段までの光学経路と同じ長さにする光路調整手段ｃとを、更に、備えるのが好ましい。
【０００７】
本発明に係る外観検査装置において、前記光路調整手段ａ、ｂ、ｃ、ｄはそれぞれプリズムを有するのが好ましい。
【０００８】
【０００９】
本発明に係る外観検査装置において、前記電子部品の側面Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄはそれぞれ横に長く、前記第１の撮像手段は、前記電子部品の側面Ａ、Ｂを並列に並べた画像を得、前記第２の撮像手段は、前記電子部品の側面Ｃ、Ｄを並列に並べた画像を得るのが好ましい。
【００１０】
本発明に係る外観検査装置において、複数の前記電子部品が並べられたウエハから、該電子部品を取り出して、前記支持部に供給する部品供給手段を備えるのが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る外観検査装置は、電子部品をそれぞれ保持する複数の支持部が間隔を空けて円状に取り付けられ、間欠的に回転して、各支持部が側面Ａ、Ｂを回転方向に沿わせ側面Ｃ、Ｄの一方を他方に対し回転方向の上流側に配置した状態で保持した電子部品を、順次、第１、第２の検査位置の一方及び他方に一時停止させる回転体と、第１の検査位置で一時停止した電子部品の側面Ａを撮像する第１の撮像手段と、光の進行方向を変えて、第１の検査位置で一時停止した電子部品の側面Ｂの外観を、電子部品の側面Ａを撮像している第１の撮像手段の画像に収める光路調整手段ｂと、第２の検査位置で一時停止した電子部品の側面Ｃを撮像する第２の撮像手段と、光の進行方向を変えて、第２の検査位置で一時停止した電子部品の側面Ｄの外観を、電子部品の側面Ｃを撮像している第２の撮像手段の画像に収める光路調整手段ｄとを備えて、電子部品の側面Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを外観検査するので、電子部品の４つの側面全てを確実に外観検査することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の平面図である。
【図２】部品供給手段が支持部に電子部品を受け渡す様子を示す説明図である。
【図３】第１の検査位置における電子部品の撮像の様子を示す説明図である。
【図４】第２の検査位置における電子部品の撮像の様子を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図１に示すように、本発明の一実施の形態に係る外観検査装置１０は、対向する側面１１、１１ａ（側面Ａ、Ｂ）及び対向する側面１２、１２ａ（側面Ｃ、Ｄ）を備え、平面視して矩形あるいは正方形の電子部品１３を外観検査する装置である。以下、外観検査装置１０について詳細に説明する。
【００１４】
外観検査装置１０は、図１、図２に示すように、回転体の一例である円板１４と、その円板１４に取り付けられた複数の支持部１５とを備えている。
円板１４は、水平配置され、円板１４の中央に連結された回転軸１４ａを介して図示しないサーボモータから駆動力を与えられ、回転軸１４ａを中心に一方向に回転する。回転軸１４ａは鉛直に配置されている。
【００１５】
複数の支持部１５は、円板１４の周方向に沿って所定の間隔を空けて円状に配置され、円板１４に取り付けられている。サーボモータは、円板１４を間欠的に所定角度（本実施の形態では４５°）回転し、複数の支持部１５を同時に移動させる。各支持部１５は、サーボモータの１回の駆動により、円板１４の回転方向に支持部１５の配置ピッチと同じ距離を移動し一時停止する。
【００１６】
各支持部１５は、図２に示すように、ガイド機構１７により昇降可能な状態で保持された状態で円板１４に取り付けられている。支持部１５が一時停止する各位置には、図１、図２に示すように、支持部１５の上方に、駆動源の一例であるサーボモータ１８が図示しない支持部材によって固定されている。各サーボモータ１８は、サーボモータ１８の下方にある支持部１５に駆動力を与えて支持部１５を個別に昇降（進退の一例）させる。なお、支持部１５は、昇降する代わりに、例えば、鉛直方向に対して傾斜した方向で進退してもよい。
本実施の形態では、支持部１５に、真空圧によって電子部品１３の表面１６を吸着して電子部品１３を保持し、真空破壊により電子部品１３の保持を解除する縦長のノズルが採用されている。
【００１７】
また、円板１４の近傍には、複数の電子部品１３が並べられたウエハ１９がウエハリング２０によって固定されている。ウエハ１９は、ウエハリング２０を保持する支持機構２１の作動によって、ウエハリング２０と共に移動する。
鉛直に配置されたウエハ１９の後側には、水平方向に進退可能なピン２２が設けられ、支持機構２１は、ウエハリング２０と共にウエハ１９を位置調整し、ウエハ１９から取り外そうとする電子部品１３を、ピン２２の前方に配置する。ピン２２の前方に配置された電子部品１３を、以下、取り出し対象の電子部品１３とも言う。
【００１８】
ウエハリング２０に固定されたウエハ１９の近傍には、複数のノズル２３を備えたロータリー機構２４が設けられている。ロータリー機構２４は、サーボモータ２５に連結された水平軸２６に固定され、水平軸２６を介してサーボモータ２５から駆動力を与えられ間欠的に所定角度の回転を行い、各ノズル２３を、順次、取り出し対象の電子部品１３に対向して配置させる。
各ノズル２３は、真空圧によって電子部品１３の裏面２７を吸着して電子部品１３を保持し、真空破壊により電子部品１３の保持状態を解除することができる。
【００１９】
ピン２２は、ウエハ１９に向かって前進して、ウエハ１９に接触し、取り出し対象の電子部品１３を、取り出し対象の電子部品１３に対向して配置されているノズル２３に向かって押し進める。
ピン２２によって押し進められた電子部品１３は、裏面２７が、ノズル２３に接触して吸着され、ウエハ１９から取り外される。
【００２０】
電子部品１３を保持したノズル２３は、ロータリー機構２４の回転により移動して、保持している電子部品１３を、支持部１５に受け渡す位置（以下、「受け渡し位置」とも言う）に配置する。
受け渡し位置に配置された電子部品１３の上方には、一時停止した支持部１５があって、その支持部１５は、サーボモータ１８（図１では、このサーボモータ１８の記載が省略されている）の作動によって降下し、図２に示すように、ノズル２３に保持された電子部品１３の表面１６に接触して、真空圧により電子部品１３の表面１６を吸着する。
【００２１】
ノズル２３は、支持部１５が電子部品１３を吸着した際に、真空破壊により、電子部品１３を保持していた状態を解除する。支持部１５は、ノズル２３が電子部品１３の保持を解除した後、サーボモータ１８の作動により上昇し、次に、円板１４の所定角度の回転により移動する。円板１４は、全ての支持部１５が上昇位置に配置された状態で、所定角度の回転を行う。
本実施の形態では、主として、ウエハリング２０、支持機構２１、ピン２２、ロータリー機構２４、サーボモータ２５、水平軸２６によって、ウエハ１９から電子部品１３を取り出して支持部１５に供給する部品供給手段２８が構成されている。
【００２２】
支持部１５は、図１に示すように、横に長い側面１１、１１ａを円板１４の回転方向に沿わせ、同じく横に長い側面１２、１２ａの一方を他方に対し円板１４の回転方向の上流側に配置した状態で電子部品１３を保持する。本実施の形態では、複数の支持部１５が配置された仮想円の半径方向外側に側面１１が、半径方向内側に側面１１ａが配置され、円板１４の回転方向の下流側に側面１２が、上流側に側面１２ａが配置されているが、側面１１、１１ａの位置及び側面１２、１２ａの位置がそれぞれ逆であってもよい。
【００２３】
支持部１５が一時停止する位置には、受け渡し位置から離れた場所に、電子部品１３の側面１１、１１ａの外観検査を行う第１の検査位置、及び、電子部品１３の側面１２、１２ａの外観検査を行う第２の検査位置がある。第１の検査位置は、第２の検査位置に対して円板１４の回転方向の上流側に位置している。
円板１４は、複数回、所定角度の回転を行うことによって、受け渡し位置で支持部１５に保持された電子部品１３を、第１の検査位置で一時停止させ、更に、１回、所定角度の回転を行うことによって、第１の検査位置で停止していた電子部品１３を、第２の検査位置に移動させる。従って、円板１４は、間欠的に回転して、支持部１５で保持した電子部品１３を、順次、第１、第２の検査位置に一時停止させることになる。
【００２４】
ここで、第１の検査位置が第２の検査位置に対して円板１４の回転方向の下流側に位置していてもよい。第１の検査位置が第２の検査位置に対して円板１４の回転方向の下流側に位置する場合、支持部１５で保持した電子部品１３は、第２の検査位置で一時停止した後に、第１の検査位置で停止する。
よって、電子部品１３を、順次、第１、第２の検査位置の一方及び他方に一時停止させるとは、一の電子部品１３が第１の検査位置に一時停止した後、第２の検査位置に一時停止すること、及び、一の電子部品１３が第２の検査位置に一時停止した後、第１の検査位置に一時停止することを意味する。
【００２５】
第１の検査位置には、図１、図３に示すように、プリズム２９、３０が配置され、プリズム２９、３０の下方には、カメラ３１（第１の撮像手段の一例）が設けられている。
電子部品１３を保持している支持部１５は、上昇位置に配置された状態で、第１の検査位置に送られて一時停止した後、第１の検査位置に設けられているサーボモータ１８の駆動により降下する。
プリズム２９、３０は、第１の検査位置で降下した支持部１５に保持されている電子部品１３の高さにある部分が、それぞれ、円板１４の径方向一側及び他側の電子部品１３（即ち、側面１１、１１ａ）から所定の距離を有して配置されている。
【００２６】
カメラ３１は、撮像方向が、第１の検査位置にある電子部品１３に向かって上方に向けられた配置で固定されている。
プリズム２９は、光の進行方向を複数回（本実施の形態では、３回）屈折させて（即ち、変えて）、第１の検査位置で一時停止している電子部品１３の側面１１をカメラ３１の画像に収めさせる。そして、カメラ３１は、第１の検査位置で一時停止した電子部品１３の側面１１を撮像する。
【００２７】
プリズム３０も、プリズム２９と同様に、光の進行方向を複数回（本実施の形態では、３回）屈折させて（即ち、変えて）、第１の検査位置で一時停止している電子部品１３の側面１１ａをカメラ３１の画像に収めさせる。従って、プリズム３０は、光の進行方向を変えて、第１の検査位置で一時停止した電子部品１３の側面１１ａの外観を、電子部品１３の側面１１を撮像しているカメラ３１の画像に収めていることになり、１つのカメラ３１で側面１１、１１ａを撮像可能にしている。
本実施の形態では、光の進行方向を変える光路調整手段ａがプリズム２９とプリズム２９を固定する図示しない保持機構を有して構成され、同じく光の進行方向を曲げる光路調整手段ｂがプリズム３０とプリズム３０を固定する図示しない保持機構を有して構成されている。
【００２８】
また、プリズム２９は、第１の検査位置で一時停止した電子部品１３の側面１１からカメラ３１までの光学経路を、第１の検査位置で一時停止した電子部品１３の側面１１ａからカメラ３１までのプリズム３０を経由する光学経路と同じ長さ（実質的に同じ長さであることを意味する）にしている。このように、第１の検査位置で一時停止した電子部品１３の側面１１、１１ａからカメラ３１までの各光学経路の長さを等しくすることにより、カメラ３１は、側面１１、１１ａの両方に焦点を合わせた状態で側面１１、１１ａの各外観を１つの画像に収めることができる。
【００２９】
カメラ３１は、図示しない演算機に接続され、その演算機は、カメラ３１が撮像した電子部品１３の側面１１、１１ａの画像を基に、側面１１、１１ａに欠け等があるか否かを検出する。
そして、カメラ３１は、電子部品１３の側面１１、１１ａを並列に並べた画像を得るので、側面１１、１１ａが他の配列（例えば、側面１１、１１ａが直列）に配置された画像を得るのに比べ、撮像範囲内で、側面１１、１１ａの外観を大きくとらえることができ、結果として、演算機は、側面１１、１１ａの外観検査を高精度に行うことが可能である。
【００３０】
ここで、電子部品１３の側面１１、１１ａの外観検査に求められる精度によっては、第１の検査位置で一時停止した電子部品１３の側面１１、１１ａからカメラ３１までの各光学経路の長さを等しくする必要はなく、カメラ３１は電子部品１３の側面１１、１１ａを並列に並べた画像を得る必要もない。
例えば、光路調整手段ａを設けず、カメラ３１が、電子部品１３と同じ高さで側面１１に撮像方向を向けて配置され、側面１１を直接、撮像できる方向に向けられ、光路調整手段ｂが、側面１１を撮像しているカメラ３１の画像に、側面１１ａの外観を収めるように設計されていてもよい。
そして、カメラ３１は、側面１１、１１ａを並列に並べた状態で画像に収めなくてもよい。
【００３１】
また、第２の検査位置には、図１、図４に示すように、プリズム３３、３４が配置され、プリズム３３、３４の下方には、カメラ３５（第２の撮像手段の一例）が設けられている。
電子部品１３を保持している支持部１５は、上昇位置に配置された状態で、第２の検査位置に送られて一時停止し、第２の検査位置に設けられているサーボモータ１８の駆動により降下する。なお、図２〜図４においては、サーボモータ１８の駆動力を支持部１５に伝える機構の記載が省略されている。
プリズム３３、３４は、第２の検査位置で降下した支持部１５に保持されている電子部品１３の高さにある部分が、それぞれ、円板１４の回転方向の下流側及び上流側の電子部品１３（即ち、側面１２、１２ａ）から所定の距離を有して配置されている。
【００３２】
カメラ３５は、撮像方向が、第２の検査位置にある電子部品１３に向かって上方に向けられた配置で固定されている。
プリズム３３は、光の進行方向を複数回（本実施の形態では、３回）屈折させて（即ち、変えて）、第２の検査位置で一時停止している電子部品１３の側面１２をカメラ３５の画像に収めさせる。そして、カメラ３５は、第２の検査位置で一時停止した電子部品１３の側面１２を撮像する。
【００３３】
プリズム３４も、プリズム３３と同様に、光の進行方向を複数回（本実施の形態では、３回）屈折させて（即ち、変えて）、第２の検査位置で一時停止している電子部品１３の側面１２ａをカメラ３５の画像に収めさせる。従って、プリズム３４は、光の進行方向を変えて、第２の検査位置で一時停止した電子部品１３の側面１２ａの外観を、電子部品１３の側面１２を撮像しているカメラ３５の画像に収めていることになり、１つのカメラ３５で側面１２、１２ａを撮像可能にしている。
本実施の形態では、光の進行方向を変える光路調整手段ｃがプリズム３３とプリズム３３を固定する図示しない保持機構を有して構成され、同じく光の進行方向を変える光路調整手段ｄがプリズム３４とプリズム３４を固定する図示しない保持機構を有して構成されている。
【００３４】
また、プリズム３３は、第２の検査位置で一時停止した電子部品１３の側面１２からカメラ３５までの光学経路を、第２の検査位置で一時停止した電子部品１３の側面１２ａからカメラ３５までのプリズム３４を経由する光学経路と同じ長さ（実質的に同じ長さであることを意味する）にしている。このように、第２の検査位置で一時停止した電子部品１３の側面１２、１２ａからカメラ３５までの各光学経路の長さを等しくすることにより、カメラ３５は、側面１２、１２ａの両方に焦点を合わせた状態で側面１２、１２ａの各外観を１つの画像に収めることができる。
【００３５】
カメラ３５も、カメラ３１に接続されている演算機に接続され、その演算機は、カメラ３５が撮像した電子部品１３の側面１２、１２ａの画像を基に、側面１２、１２ａに欠け等があるか否かを検出する。本実施の形態では、演算機は、欠け等がない良品の電子部品１３の側面１１、１１ａ、１２、１２ａそれぞれを撮像した画像から、外観上の異常の有無を検査するのに無視すべき外観パターンを予め得て、その外観パターンを用いて、側面１１、１１ａ、１２、１２ａに欠け等があるか否かを検出する。
【００３６】
そして、カメラ３５は、電子部品１３の側面１２、１２ａを並列に並べた画像を得るので、側面１２、１２ａが他の配列に配置された画像を得るのに比べ、撮像範囲内で、側面１２、１２ａの外観を大きくとらえることができ、結果として、演算機は、側面１２、１２ａの外観検査を高精度に行うことが可能である。
なお、側面１２、１２ａの外観検査に求められる精度によっては、第２の検査位置で一時停止した電子部品１３の側面１２、１２ａからカメラ３１までの各光学経路の長さを等しくする必要はなく、カメラ３５は電子部品１３の側面１２、１２ａを並列に並べた画像を得る必要もない。
【００３７】
また、第２の検査位置に対して円板１４の回転方向の下流側には、図１に示すように、側面１１、１１ａ、１２、１２ａに欠け等が検出された電子部品１３を不良品として排出するソーター３６が設けられている。
そして、ソーター３６に対して円板１４の回転方向の下流側には、電子部品１３をテーピングに収容するテーピングユニット３７が配置されている。なお、図１においては、テーピングユニット３７の上方にあるサーボモータ１８の記載が省略されている。
第１の検査位置に対して円板１４の回転方向の上流側に、電子部品１３の表面１６や裏面２７の外観検査を行うユニットや、電子部品１３の位置補正を行うユニットを設けてもよいことは言うまでもない。
【００３８】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
例えば、回転体は円板である必要でなく、円形以外の形状の板材であってもよいし、板状でなくてもよい。
また、回転体の回転軸は垂直である必要はなく、例えば、回転軸は水平であってもよいし、傾斜していてもよい。
【００３９】
そして、支持部は、真空圧によって電子部品を保持するノズルでなくてもよく、例えば、電子部品を挟んで保持するものであってもよい。
更に、部品供給手段は、トレイやテーピングから電子部品を支持部に供給する機構であってもよいし、あるいは、パーツフィーダであってもよい。
また、光路調整手段ａ、ｂ、ｃ、ｄはそれぞれ、プリズムと反射鏡を有するものであってもよく、プリズムを備えず反射鏡を有するものであってもよい。
【符号の説明】
【００４０】
１０：外観検査装置、１１、１１ａ、１２、１２ａ：側面、１３：電子部品、１４：円板、１４ａ：回転軸、１５：支持部、１６：表面、１７：ガイド機構、１８：サーボモータ、１９：ウエハ、２０：ウエハリング、２１：支持機構、２２：ピン、２３：ノズル、２４：ロータリー機構、２５：サーボモータ、２６：水平軸、２７：裏面、２８：部品供給手段、２９、３０：プリズム、３１：カメラ、３３、３４：プリズム、３５：カメラ、３６：ソーター、３７：テーピングユニット
【要約】
【課題】電子部品の４つの側面全てを外観検査する外観検査装置を提供する。
【解決手段】対向する側面１１、１１ａ及び対向する側面１２、１２ａを備えた電子部品１３を、外観検査する外観検査装置１０において、電子部品１３をそれぞれ保持する複数の支持部１５が間隔を空けて取り付けられ、間欠的に回転して、各支持部１５が側面１１、１１ａを回転方向に沿わせ側面１２、１２ａの一方を他方に対し回転方向の上流側に配置した状態で保持した電子部品１３を、順次、第１、第２の検査位置に一時停止させる回転体１４と、第１の検査位置で一時停止した電子部品１３の側面１１ａを、電子部品１３の側面１１を撮像している第１の撮像手段３１の画像に収める光路調整手段ｂと、第２の検査位置で一時停止した電子部品１３の側面１２ａを、電子部品１３の側面１２を撮像している第２の撮像手段３５の画像に収める光路調整手段ｄとを備える。
【選択図】図１【図１】
0005555839.tif 000002
【図２】
0005555839.tif 000003
【図３】
0005555839.tif 000004
【図４】
0005555839.tif 000005