(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、フタロニトリルと、下記一般式（Ｉ）で表される化合物と、下記一般式（ＩＩ）で表される化合物と、金属または金属化合物と、を含んで形成されることを特徴とする金属フタロシアニン染料混合物。
【化１】
0005473239.tif 000025
（一般式（Ｉ）および一般式（ＩＩ）中、Ｒ１は置換基を、ｎは０〜３の整数を、Ｘは−Ｓ−、−ＳＯ２−または−ＳＯ２Ｎ（Ｒ４）−を、Ｒ４は水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基またはヘテロ環基を、Ｒ２はアルキル基、アルケニル基、アリール基またはヘテロ環基を、Ｒ３は置換基を、ｍは０〜３の整数を、Ｚは、−（Ｘ１−Ａ）基を表す。Ｘ１は前記Ｘと同義である。Ａは−ＣＯＯＭ、−ＳＯ３Ｍ、−ＳＯ２ＮＨ−Ｒ５、−ＳＯ２ＮＨＣＯＲ６、−ＣＯＮＨＳＯ２−Ｒ７、−ＳＯ２ＮＨＳＯ２−Ｒ８から選ばれる少なくとも１種を有する、アルキル基、アルケニル基、アリール基またはヘテロ環基を、Ｍは水素原子、電荷を中和する為に必要なアルカリ金属または有機塩基を、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７およびＲ８は、各々独立にアルキル基、アルケニル基、アリール基またはヘテロ環基を表す。）
【請求項２】
下記一般式（Ａ）で表される化合物および一般式（Ｂ）で表される化合物から選ばれる少なくとも１種を含有することを特徴とする請求項１に記載の金属フタロシアニン染料混合物。
【化２】
0005473239.tif 000026
（一般式（Ａ）および一般式（Ｂ）中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｘ、Ｚ、ｎおよびｍは、前記一般式（Ｉ）および一般式（ＩＩ）におけるＲ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｘ、Ｚ、ｎおよびｍと同義である。また、Ｙは金属原子または金属化合物を表す。）
【請求項３】
前記一般式（Ａ）で表される化合物または一般式（Ｂ）で表される化合物におけるＹがＣｕであることを特徴とする請求項２に記載の金属フタロシアニン染料混合物。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の金属フタロシアニン染料混合物を含有することを特徴とする硬化性組成物。
【請求項５】
請求項４に記載の硬化性組成物を用いて形成されたことを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項６】
請求項４に記載の硬化性組成物を、支持体上に塗布後、マスクを通して露光、現像してパターンを形成する工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルタを形成するのに好適な金属フタロシアニン染料混合物、該金属フタロシアニン染料混合物を含有する硬化性組成物、並びに、これを用いたカラーフィルタおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示素子や固体撮像素子等に用いられるカラーフィルタを作成する方法の一つに顔料分散法が用いられている。顔料分散法としては、顔料を種々の感光性組成物に分散させた着色感放射線性組成物を用いてフォトリソ法によってカラーフィルタを作製する方法がある。この方法は顔料を使用しているために光や熱に対して安定であるとともに、フォトリソ法によってパターニングするため位置精度も充分に確保でき、大画面、高精細カラーディスプレー用カラーフィルタの作製に好適な方法として広く利用されてきた。
【０００３】
顔料分散法によってカラーフィルタを作製するには、基板上に感放射線性組成物をスピンコーターやロールコーター等により塗布し、乾燥させて塗布膜を形成し、該塗布膜をパターン露光し現像することによって、着色された画素を得る。この操作を色相分だけ繰り返すことでカラーフィルタを作製することができる。
【０００４】
しかしながら、近年、固体撮像素子用のカラーフィルタにおいては、更なる高精細化が望まれており、従来の顔料分散系では、解像度をさらに向上させることは困難であり、顔料の粗大粒子による色ムラが発生する等の問題のために、固体撮像素子のような微細パターンが要求される用途には適さない。
【０００５】
上記の高解像度を達成するために、従来から着色材として染料を用いることが検討されている（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、染料含有の硬化性組成物には、さらに新たな問題点を有することがわかった。即ち、
（１）染料は、一般に顔料に比べて耐光性、耐熱性に劣る。
（２）通常の色素は、アルカリ水溶液中または有機溶剤（以下単に溶剤ともいう）への溶解度が低いため、所望のスペクトルを有する液状の硬化性組成物を得るのが困難である。
（３）染料は、硬化性組成物中の他の成分との相互作用を示すことが多く、硬化部、非硬化部の溶解性（現像性）の調節が難しい。
（４）染料のモル吸光係数（ε）が低い場合には多量の染料を添加しなければならず、そのために硬化性組成物中の重合性化合物（モノマー）やバインダー、光重合開始剤等の他の成分を減らさざるを得ず、組成物の硬化性、硬化後の耐熱性、（非）硬化部の現像性等が低下する等の問題を生じる。
【０００６】
これらの問題のために、これまで高精細カラーフィルタ用の微細かつ薄膜に構成された着色パターンを形成することは困難であった。また、半導体作製用途などとは異なり、固体撮像素子用のカラーフィルタ作製用途の場合においては、例えば１μｍ以下等の薄膜にすることが要求される。したがって、所望の吸収を得るためには硬化性組成物中に、多量の色素を添加する必要があり、前述の問題を生じる結果となる。
【０００７】
従来、フタロシアニン色素は顔料として緑色または青色カラーフィルタに広く用いられている。また、染料として用いる場合にもその有用性が知られている（例えば、特許文献２、特許文献３および特許文献４参照）。ただし、フタロシアニン染料を用いる場合には有機溶剤への溶解性を満足するために種々の置換基の導入を行わなければならない。その結果分子量が増大することとなり、所望の吸収を得るためには硬化性組成物中に多量の色素を添加する必要があり、前述の問題を生じる結果となる。従って、分子量の増大を伴わず、有機溶剤溶解性を満足する染料が望まれる。
【０００８】
また、従来から染料に関しては高堅牢性が求められている。具体的には、一般に様々な用途で使用されている着色剤には、共通して次のような性質を具備していることが求められる。即ち、色再現性上好ましい吸収特性を有すること、使用される環境条件下における堅牢性、例えば、耐熱性、耐光性、耐湿性等が良好であること、モル吸光係数が大きく薄膜化が可能なこと等が必要とされている。
【特許文献１】特開平６−７５３７５号公報
【特許文献２】特開２００２−１４２２１公報
【特許文献３】特開２００２−１４２２２号公報
【特許文献４】特開２００６−４７４９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、青色、緑色、赤色に配置された原色カラーフィルタ、およびイエロー、マゼンタ、シアンに配置された補色カラーフィルタに有用であって、有機溶剤溶解性に優れ、薄膜化が可能な金属フタロシアニン染料混合物を提供すること、および該金属フタロシアニン染料混合物を含有し保存安定性に優れた硬化性組成物を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。
更に、該硬化性組成物を用い、堅牢性に優れると共に薄層化が可能であるカラーフィルタおよびその製造方法を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、種々のフタロシアニン染料を詳細に検討した結果、少なくとも３種のフタロニトリル化合物を用いて形成される金属フタロシアニン染料混合物を用いることでパターン形成用の染料として好適であることを見出したものである。また、当該構成により、良好な色相を有し、且つ熱および光に対して良好な堅牢性を有していると共に、染料の混合物を形成させることにより有機溶剤溶解性に優れ、分子量の低減に伴った添加量の削減による薄膜化が可能になるとの知見を得、本発明はかかる知見に基づいて達成されたものである。
前記の課題を解決するための具体的手段は以下の通りである。
【００１１】
＜１＞  少なくとも、フタロニトリルと、下記一般式（Ｉ）で表される化合物と、下記一般式（ＩＩ）で表される化合物と、金属または金属化合物と、を含んで形成されることを特徴とする金属フタロシアニン染料混合物である。
【００１２】
【化１】
0005473239.tif 000002
【００１３】
（一般式（Ｉ）および一般式（ＩＩ）中、Ｒ１は置換基を、ｎは０〜３の整数を、Ｘは−Ｓ−、−ＳＯ２−または−ＳＯ２Ｎ（Ｒ４）−を、Ｒ４は水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基またはヘテロ環基を、Ｒ２はアルキル基、アルケニル基、アリール基またはヘテロ環基を、Ｒ３は置換基を、ｍは０〜３の整数を、Ｚは、−（Ｘ１−Ａ）基を表す。Ｘ１は前記Ｘと同義である。Ａは−ＣＯＯＭ、−ＳＯ３Ｍ、−ＳＯ２ＮＨ−Ｒ５、−ＳＯ２ＮＨＣＯＲ６、−ＣＯＮＨＳＯ２−Ｒ７、−ＳＯ２ＮＨＳＯ２−Ｒ８から選ばれる少なくとも１種を有する、アルキル基、アルケニル基、アリール基またはヘテロ環基を、Ｍは水素原子、電荷を中和する為に必要なアルカリ金属または有機塩基を、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７およびＲ８は、各々独立にアルキル基、アルケニル基、アリール基またはヘテロ環基を表す。）
【００１４】
＜２＞  下記一般式（Ａ）で表される化合物および一般式（Ｂ）で表される化合物から選ばれる少なくとも１種を含有することを特徴とする前記＜１＞に記載の金属フタロシアニン染料混合物である。
【００１５】
【化２】
0005473239.tif 000003
【００１６】
（一般式（Ａ）および一般式（Ｂ）中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｘ、Ｚ、ｎおよびｍは、前記一般式（Ｉ）および一般式（ＩＩ）におけるＲ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｘ、Ｚ、ｎおよびｍと同義である。また、Ｙは金属原子または金属化合物を表す。）
＜３＞  前記一般式（Ａ）で表される化合物または一般式（Ｂ）で表される化合物におけるＹがＣｕであることを特徴とする前記＜２＞に記載の金属フタロシアニン染料混合物である。
＜４＞  前記＜１＞〜＜３＞の何れか１項に記載の金属フタロシアニン染料混合物を含有することを特徴とする硬化性組成物である。
＜５＞  前記＜４＞に記載の硬化性組成物を用いて形成されたことを特徴とするカラーフィルタである。
＜６＞  前記＜４＞に記載の硬化性組成物を、支持体上に塗布後、マスクを通して露光、現像してパターンを形成する工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、カラーフィルタに有用であって、色純度に優れ、堅牢性に優れるとともに、有機溶剤に対する溶解性に優れ、薄膜化が可能な金属フタロシアニン染料混合物を提供し、該金属フタロシアニン染料混合物を用い保存安定性に優れた硬化性組成物を提供することができる。
更に、該硬化性組成物を用い、色純度に優れ、堅牢性に優れると共に薄膜化が可能であるカラーフィルタおよびその製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、本発明の金属フタロシアニン染料混合物、硬化性組成物、カラーフィルタ、およびカラーフィルタの製造方法について詳述する。
【００１９】
≪金属フタロシアニン染料混合物≫
本発明の金属フタロシアニン染料混合物は、着色剤として、フタロニトリルと、下記一般式（Ｉ）で表される化合物と、下記一般式（ＩＩ）で表される化合物と、金属または金属化合物と、を含んで形成されることを特徴とする。本発明の金属フタロシアニン染料混合物は、上記組成を有することにより、色純度に優れ、堅牢性に優れるとともに、有機溶剤に対する溶解性に優れ、薄膜化が可能なものである。
【００２０】
【化３】
0005473239.tif 000004
【００２１】
（一般式（Ｉ）および一般式（ＩＩ）中、Ｒ１は置換基を、ｎは０〜３の整数を、Ｘは−Ｓ−、−ＳＯ２−または−ＳＯ２Ｎ（Ｒ４）−を、Ｒ４は水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基またはヘテロ環基を、Ｒ２はアルキル基、アルケニル基、アリール基またはヘテロ環基を、Ｒ３は置換基を、ｍは０〜３の整数を、Ｚは、−（Ｘ１−Ａ）基を表す。Ｘ１は前記Ｘと同義である。Ａは−ＣＯＯＭ、−ＳＯ３Ｍ、−ＳＯ２ＮＨ−Ｒ５、−ＳＯ２ＮＨＣＯＲ６、−ＣＯＮＨＳＯ２−Ｒ７、−ＳＯ２ＮＨＳＯ２−Ｒ８から選ばれる少なくとも１種を有する、アルキル基、アルケニル基、アリール基またはヘテロ環基を、Ｍは水素原子、電荷を中和する為に必要なアルカリ金属または有機塩基を、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７およびＲ８は、各々独立にアルキル基、アルケニル基、アリール基またはヘテロ環基を表す。）
【００２２】
−一般式（Ｉ）で表される化合物および一般式（ＩＩ）で表される化合物−
以下に、上記一般式（Ｉ）で表される化合物および一般式（ＩＩ）で表される化合物について、各基の説明を中心に述べる。
【００２３】
一般式（Ｉ）および一般式（ＩＩ）におけるＲ１およびＲ３は、各々独立に置換基を表し、該Ｒ１またはＲ３で表される置換基としては、ハロゲン原子（例えば、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素）、アルキル基（好ましくは炭素数１〜３６、より好ましくは１〜１２の直鎖、分岐鎖、または環状のアルキル基で、例えば、メチル、エチル、プロピル、ブチル、オクチル、ドデシル、イソプロピル、ｓｅｃ−ブチル、ｔ−ブチル、２−エチルヘキシル、シクロペンチル、シクロヘキシル、１−ノルボルニル、１−アダマンチル）、アルケニル基（好ましくは炭素数２〜３６、より好ましくは２〜１２のアルケニル基で、例えば、ビニル、アリル、３−ブテン−１−イル）、アリール基（好ましくは炭素数６〜３６、より好ましくは炭素数６〜１２のアリール基で、例えば、フェニル、ナフチル）、ヘテロ環基（好ましくは炭素数１〜２４、より好ましくは炭素数１〜１２のヘテロ環基で、例えば、２−チエニル、４−ピリジル、２−フリル、２−ピリミジニル、１−ピリジル、２−ベンゾチアゾリル、１−イミダゾリル、１−ピラゾリル、ベンゾトリアゾール−１−イル）、シリル基（好ましくは炭素数３〜２４、より好ましくは炭素数３〜１２のシリル基で、例えば、トリメチルシリル、トリエチルシリル、トリブチルシリル、ｔ−ブチルジメチルシリル、ｔ−ヘキシルジメチルシリル）、ヒドロキシル基、シアノ基、
【００２４】
ニトロ基、アルコキシ基（好ましくは炭素数１〜３６、より好ましくは炭素数１〜１２のアルコキシ基で、例えば、メトキシ、エトキシ、１−ブトキシ、２−ブトキシ、イソプロポキシ、ｔ−ブトキシ、ドデシルオキシ、シクロアルキルオキシ基（例えば、シクロペンチルオキシ、シクロヘキシルオキシ））、アリールオキシ基（好ましくは炭素数６〜３６、より好ましくは炭素数６〜１２のアリールオキシ基で、例えば、フェノキシ、１−ナフトキシ）、ヘテロ環オキシ基（好ましくは炭素数１〜３６、より好ましくは炭素数１〜１２のヘテロ環オキシ基で、例えば、１−フェニルテトラゾール−５−オキシ、２−テトラヒドロピラニルオキシ）、シリルオキシ基（好ましくは炭素数１〜３２、より好ましくは炭素数１〜１２のシリルオキシ基で、例えば、トリメチルシリルオキシ、ｔ−ブチルジメチルシリルオキシ、ジフェニルメチルシリルオキシ）、アシルオキシ基（好ましくは炭素数２〜３６、より好ましくは炭素数２〜１２のアシルオキシ基で、例えば、アセトキシ、ピバロイルオキシ、ベンゾイルオキシ、ドデカノイルオキシ）、アルコキシカルボニルオキシ基（好ましくは炭素数２〜３６、より好ましくは炭素数２〜１２のアルコキシカルボニルオキシ基で、例えば、エトキシカルボニルオキシ、ｔ−ブトキシカルボニルオキシ、シクロアルキルオキシカルボニルオキシ基（例えば、シクロヘキシルオキシカルボニルオキシ））、アリールオキシカルボニルオキシ基（好ましくは炭素数７〜３２、より好ましくは炭素数７〜１２のアリールオキシカルボニルオキシ基で、例えば、フェノキシカルボニルオキシ）、カルバモイルオキシ基（好ましくは炭素数１〜３６、よりこの好ましくは炭素数１〜１２のカルバモイルオキシ基で、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルカルバモイルオキシ、Ｎ−ブチルカルバモイルオキシ、Ｎ−フェニルカルバモイルオキシ、Ｎ−エチル−Ｎ−フェニルカルバモイルオキシ）、スルファモイルオキシ基（好ましくは炭素数１〜３２、より好ましくは炭素数１〜１２のスルファモイルオキシ基で、例えば、Ｎ，Ｎ−ジエチルスルファモイルオキシ、Ｎ−プロピルスルファモイルオキシ）、アルキルスルホニルオキシ基（好ましくは炭素数１〜３８、より好ましくは炭素数１〜１２のアルキルスルホニルオキシ基で、例えば、メチルスルホニルオキシ、ヘキサデシルスルホニルオキシ、シクロヘキシルスルホニルオキシ）、アリールスルホニルオキシ基（好ましくは炭素数６〜３２、より好ましくは炭素数６〜１２のアリールスルホニルオキシ基で、例えば、フェニルスルホニルオキシ）、アシル基（好ましくは炭素数１〜３６、より好ましくは炭素数１〜１２のアシル基で、例えば、ホルミル、アセチル、ピバロイル、ベンゾイル、テトラデカノイル、シクロヘキサノイル）、アルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２〜３６、より好ましくは炭素数２〜１２のアルコキシカルボニル基で、例えば、メトキシカルボニル、エトキシカルボニル、オクタデシルオキシカルボニル、シクロヘキシルオキシカルボニル、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル）、アリールオキシカルボニル基（好ましくは炭素数７〜３２、より好ましくは炭素数７〜１８のアリールオキシカルボニル基で、例えば、フェノキシカルボニル）、カルバモイル基（好ましくは炭素数１〜３６、より好ましくは炭素数１〜１２のカルバモイル基で、例えば、カルバモイル、Ｎ，Ｎ−ジエチルカルバモイル、Ｎ−エチル−Ｎ−オクチルカルバモイル、Ｎ，Ｎ−ジブチルカルバモイル、Ｎ−プロピルカルバモイル、Ｎ−フェニルカルバモイル、Ｎ−メチル−Ｎ−フェニルカルバモイル、Ｎ，Ｎ−ジシクロへキシルカルバモイル）、アミノ基（好ましくは炭素数３２以下、より好ましくは炭素数１２以下のアミノ基で、例えば、アミノ、メチルアミノ、Ｎ，Ｎ−ジブチルアミノ、テトラデシルアミノ、２−エチルへキシルアミノ、シクロヘキシルアミノ）、アニリノ基（好ましくは炭素数６〜３２、より好ましくは６〜１２のアニリノ基で、例えば、アニリノ、Ｎ−メチルアニリノ）、ヘテロ環アミノ基（好ましくは炭素数１〜３２、より好ましくは１〜１２のヘテロ環アミノ基で、例えば、４−ピリジルアミノ）、
【００２５】
カルボンアミド基（好ましくは炭素数２〜３６、より好ましくは２〜１２のカルボンアミド基で、例えば、アセトアミド、ベンズアミド、テトラデカンアミド、ピバロイルアミド、シクロヘキサンアミド）、ウレイド基（好ましくは炭素数１〜３２、より好ましくは炭素数１〜１２のウレイド基で、例えば、ウレイド、Ｎ，Ｎ−ジメチルウレイド、Ｎ−フェニルウレイド）、イミド基（好ましくは炭素数３６以下、より好ましくは炭素数１２以下のイミド基で、例えば、Ｎ−スクシンイミド、Ｎ−フタルイミド）、アルコキシカルボニルアミノ基（好ましくは炭素数２〜３６、より好ましくは炭素数２〜１２のアルコキシカルボニルアミノ基で、例えば、メトキシカルボニルアミノ、エトキシカルボニルアミノ、ｔ−ブトキシカルボニルアミノ、オクタデシルオキシカルボニルアミノ、シクロヘキシルオキシカルボニルアミノ）、アリールオキシカルボニルアミノ基（好ましくは炭素数７〜３２、より好ましくは炭素数７〜１８のアリールオキシカルボニルアミノ基で、例えば、フェノキシカルボニルアミノ）、スルホンアミド基（好ましくは炭素数１〜３６、より好ましくは炭素数１〜１２のスルホンアミド基で、例えば、メタンスルホンアミド、ブタンスルホンアミド、ベンゼンスルホンアミド、ヘキサデカンスルホンアミド、シクロヘキサンスルホンアミド）、スルファモイルアミノ基（好ましくは炭素数１〜３６、より好ましくは炭素数１〜１２のスルファモイルアミノ基で、例えば、Ｎ、Ｎ−ジプロピルスルファモイルアミノ、Ｎ−エチル−Ｎ−ドデシルスルファモイルアミノ）、アゾ基（好ましくは炭素数１〜３２、より好ましくは炭素数１〜１８のアゾ基で、例えば、フェニルアゾ、３−ピラゾリルアゾ）、アルキルチオ基（好ましくは炭素数１〜３６、より好ましくは炭素数１〜１２のアルキルチオ基で、例えば、メチルチオ、エチルチオ、オクチルチオ、シクロヘキシルチオ）、アリールチオ基（好ましくは炭素数６〜３６、より好ましくは炭素数６〜１８のアリールチオ基で、例えば、フェニルチオ）、ヘテロ環チオ基（好ましくは炭素数１〜３２、より好ましくは炭素数１〜１２のヘテロ環チオ基で、例えば、２−ベンゾチアゾリルチオ、２−ピリジルチオ、１−フェニルテトラゾリルチオ）、アルキルスルフィニル基（好ましくは炭素数１〜３２、より好ましくは炭素数１〜１２のアルキルスルフィニル基で、例えば、ドデカンスルフィニル）、アリールスルフィニル基（好ましくは炭素数６〜３２、より好ましくは炭素数６〜１２のアリールスルフィニル基で、例えば、フェニルスルフィニル）、アルキルスルホニル基（好ましくは炭素数１〜３６、より好ましくは炭素数１〜１２のアルキルスルホニル基で、例えば、メチルスルホニル、エチルスルホニル、プロピルスルホニル、ブチルスルホニル、イソプロピルスルホニル、２−エチルヘキシルスルホニル、ヘキサデシルスルホニル、オクチルスルホニル、シクロヘキシルスルホニル）、アリールスルホニル基（好ましくは炭素数６〜３６、より好ましくは炭素数６〜１２のアリールスルホニル基で、例えば、フェニルスルホニル、１−ナフチルスルホニル）、スルファモイル基（好ましくは炭素数３２以下、より好ましくは炭素数１２以下のスルファモイル基で、例えば、スルファモイル、Ｎ，Ｎ−ジプロピルスルファモイル、Ｎ−エチル−Ｎ−ドデシルスルファモイル、Ｎ−エチル−Ｎ−フェニルスルファモイル、Ｎ−シクロヘキシルスルファモイル）、スルホ基、ホスホニル基（好ましくは炭素数１〜３２、より好ましくは炭素数１〜１２のホスホニル基で、例えば、フェノキシホスホニル、オクチルオキシホスホニル、フェニルホスホニル）、ホスフィノイルアミノ基（好ましくは炭素数１〜３２、より好ましくは炭素数１〜１２のホスフィノイルアミノ基で、例えば、ジエトキシホスフィノイルアミノ、ジオクチルオキシホスフィノイルアミノ）、カルボキシル基が挙げられる。
【００２６】
Ｒ１またはＲ３で表される上記置換基が、更に他の置換基によって置換可能な基である場合には、上記Ｒ１またはＲ３で表される置換基の具体例として列挙された基によって置換されていてもよく、２個以上の置換基を有している場合にはそれらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
【００２７】
Ｒ１およびＲ３として好ましくは、ハロゲン原子、アルキル基、ヘテロ環基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、カルボキシル基、またはスルホ基が挙げられる。
【００２８】
一般式（Ｉ）におけるｎは、０〜３の整数を表し、一般式（ＩＩ）におけるｍは、０〜３の整数を表す。一般式（Ｉ）および一般式（ＩＩ）におけるｎおよびｍは、０または１が好ましく、０が最も好ましい。
【００２９】
一般式（Ｉ）におけるＸは、−Ｓ−、−ＳＯ２−、または−ＳＯ２Ｎ（Ｒ４）−を表す。Ｒ４は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、またはヘテロ環基を表す。
Ｒ４で表されるアルキル基、アルケニル基、アリール基、およびヘテロ環基におけるそれぞれの好ましい範囲は、前記Ｒ１またはＲ３で表される置換基の具体例として列挙されたアルキル基、アルケニル基、アリール基、およびヘテロ環基と同様である。Ｒ４で表されるアルキル基、アルケニル基、アリール基、およびヘテロ環基が更に他の置換基によって置換可能な基である場合には、前記Ｒ１またはＲ３で表される置換基の具体例として列挙された基によって置換されていても良く、２個以上の置換基で置換されている場合にはそれらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
【００３０】
一般式（Ｉ）におけるＸは、青色フィルタ用には−ＳＯ２−、または−ＳＯ２Ｎ（Ｒ４）−が分光特性上好ましく、−ＳＯ２−が最も好ましい。また、緑色フィルタ用には−Ｓ−が分光特性上好適である。
【００３１】
一般式（Ｉ）におけるＲ２は、アルキル基、アルケニル基、アリール基、またはヘテロ環基を表し、それらの好ましい範囲は、前記Ｒ１またはＲ３で表される置換基の具体例として列挙されたアルキル基、アルケニル基、アリール基、およびヘテロ環基と同様である。
Ｒ２で表されるアルキル基、アルケニル基、アリール基、およびヘテロ環基は、更に、前記Ｒ１またはＲ３で表される置換基の具体例として列挙された基によって置換されていても良く、２個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
【００３２】
Ｒ２は、好ましくはアルキル基、アリール基、またはヘテロ環基である。
更に、一般式（Ｉ）においてＸが−Ｓ−である場合には、Ｒ２は、アルキル基またはアリール基が好ましく、アリール基が最も好ましい。
Ｘが−ＳＯ２−である場合には、Ｒ２は、アルキル基またはアリール基が好ましく、アルキル基が最も好ましい。
【００３３】
一般式（ＩＩ）におけるＺは、−（Ｘ１−Ａ）基を表し、Ｍは、水素原子、電荷を中和する為に必要なアルカリ金属または有機塩基を表す。
Ｍで表されるアルカリ金属としては、リチウム、ナトリウム、カリウム、カルシウム、バリウム、ストロンチウムが挙げられる。
Ｍで表される有機塩基としては、アンモニウム、トリアルキルアンモニウム（例えば、トリメチルアンモニウム、トリエチルアンモニウム、トリブチルアンモニウム、トリエタノールアンモニウム）、テトラアンモニウム（例えば、テトラエチルアンモニウム、テトラブチルアンモニウム）等が挙げられる。
Ｍとしては、水素原子、カリウム、ナトリウム、トリアルキルアンモニウムが好ましく、水素原子、トリアルキルアンモニウムが更に好ましい。
【００３４】
一般式（ＩＩ）中、Ｚで表される−（Ｘ１−Ａ）基の、Ｘ１は、前記一般式（Ｉ）におけるＸと同義であり、好ましい範囲も同様である。
一般式（ＩＩ）におけるＺとしては、−（Ｘ１−Ａ）基が好ましい。
ＺにおけるＡは、−ＣＯＯＭ、−ＳＯ３Ｍ、−ＳＯ２ＮＨ−Ｒ５、−ＳＯ２ＮＨＣＯＲ６、−ＣＯＮＨＳＯ２−Ｒ７、−ＳＯ２ＮＨＳＯ２−Ｒ８から選ばれる基を少なくとも１個有する、アルキル基、アルケニル基、アリール基、またはヘテロ環基を表す。尚、「置換可能な基」とは、更に他の置換基によって置換された態様を含むことを意味する。該他の態様としては、アルキル基またはアリール基が好ましい。
【００３５】
Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８は各々独立にアルキル基、アルケニル基、アリール基、またはヘテロ環基を表す。
Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８で表されるアルキル基、アルケニル基、アリール基、およびヘテロ環基の好ましい範囲は、前記Ｒ１またはＲ３で表される置換基の具体例として列挙されたアルキル基、アルケニル基、アリール基、およびヘテロ環と同様である。
Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８で表されるアルキル基、アルケニル基、アリール基、およびヘテロ環基は、更に、前記Ｒ１またはＲ３で表される置換基の具体例として列挙された基によって置換されていても良く、２個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８は、アルキル基、アリール基が好ましい。
【００３６】
本発明の金属フタロシアニン染料混合物は、一般式（Ｉ）で表される化合物の少なくとも１種と、一般式（ＩＩ）で表される化合物の少なくとも１種と、フタロニトリルと、の任意のモル比の組み合わせで形成させた染料混合物であれば、いずれであってもよい。合成された結果、フタロニトリルのみから形成される染料、一般式（Ｉ）のみから形成される染料、一般式（ＩＩ）のみから形成される染料、フタロニトリルと一般式（Ｉ）とから形成される染料、フタロニトリルと一般式（ＩＩ）とから形成される染料、一般式（Ｉ）と一般式（ＩＩ）とから形成される染料、フタロニトリルと一般式（Ｉ）と一般式（ＩＩ）とから形成される染料のいずれかとなる。
【００３７】
本発明の金属フタロシアニン染料混合物は、好ましくは、一般式（Ａ）および一般式（Ｂ）で表される金属フタロシアニン染料から選ばれる少なくとも１種を含有する混合物であることが好ましい。
【００３８】
次に、一般式（Ａ）および一般式（Ｂ）について説明する。
【００３９】
【化４】
0005473239.tif 000005
【００４０】
（一般式（Ａ）および一般式（Ｂ）中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｘ、Ｚ、ｎおよびｍは、前記一般式（Ｉ）および一般式（ＩＩ）におけるＲ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｘ、Ｚ、ｎおよびｍと同義である。また、Ｙは金属原子または金属化合物を表す。）
【００４１】
一般式（Ａ）および一般式（Ｂ）中、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｘ，Ｚ，ｎおよびｍの好ましい範囲も、一般式（Ｉ）及び一般式（ＩＩ）のそれらと同様である。
一般式（Ａ）および一般式（Ｂ）中の、Ｙは金属原子または金属化合物を表す。Ｙで表される金属原子としては、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｓｎ、ＰｂおよびＰｔが挙げられ、金属化合物としては、Ｖ＝Ｏ、Ｔｉ＝Ｏ、ＡｌＣｌ等が挙げられる。
Ｙとしては、Ｃｏ、Ｃｕ、Ｚｎが好ましく、Ｃｕが最も好ましい。
【００４２】
尚、本発明の金属フタロシアニン染料混合物における一般式（Ａ）および一般式（Ｂ）で表される金属フタロシアニン染料の含有量は、合計が５質量％以上が好ましく、更に１０質量％以上がより好ましく、２５質量％以上が特に好ましい。
【００４３】
次に、一般式（Ｉ）および一般式（ＩＩ）で表される化合物の具体例を示すが、本発明はこれらによって限定されるわけではない。尚、以下に示すＩＩａ−５、６、７、１９、２０、３１、３２、および３３の化合物は、本発明に対する参考例として示すものである。
【００４４】
【化５】
0005473239.tif 000006
【００４５】
【化６】
0005473239.tif 000007
【００４６】
【化７】
0005473239.tif 000008
【００４７】
【化８】
0005473239.tif 000009
【００４８】
【化９】
0005473239.tif 000010
【００４９】
【化１０】
0005473239.tif 000011
【００５０】
【化１１】
0005473239.tif 000012
【００５１】
【化１２】
0005473239.tif 000013
【００５２】
【化１３】
0005473239.tif 000014
【００５３】
【化１４】
0005473239.tif 000015
【００５４】
【化１５】
0005473239.tif 000016
【００５５】
次に、フタロニトリルと、一般式（Ｉ）で表される化合物と、一般式（ＩＩ）で表される化合物と、金属または金属化合物と、から形成される金属フタロシアニン染料混合物の具体例を以下に示す。但し、本発明の金属フタロシアニン染料は複雑な混合物（組成比、置換位置異性体比等の）であることから、フタロニトリルと、一般式（Ｉ）で表される化合物と、一般式（ＩＩ）で表される化合物の平均化した組成比を表す。尚、以下に示すＣａ−８、９、１７、２１、３４、Ｃｂ−１４、１５、２４、およびＣｃ−３の具体例は、本発明に対する参考例として示すものである。
本発明の染料混合物は複雑な混合物である為に、有機溶剤に対する溶解性に優れ、且つ、低分子量化が可能となり、カラーフィルタの薄膜化が可能となった。
【００５６】
【化１６】
0005473239.tif 000017
【００５７】
【化１７】
0005473239.tif 000018
【００５８】
【化１８】
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【００５９】
【化１９】
0005473239.tif 000020
【００６０】
本発明の染料混合物の製造方法について説明する。
〔合成例１〕
（例示染料混合物Ｃａ−１の合成）
以下に示す反応スキームに従って合成した。
【００６１】
【化２０】
0005473239.tif 000021
【００６２】
（中間体Ｂの合成）
特開２００６−１２４３７９号に記載の方法に従って合成した。
【００６３】
（中間体Ｃの合成）
特開２００６−１２４３７９号に記載の方法に従って合成した中間体Ｂ１５０ｇ（０．４４６モル）にアセトニトリル４５０ｍｌを加えて７０〜７５℃に加熱して攪拌した。この分散液にオキシ塩化リン８２ｍｌを滴下した。滴下終了後７０〜７５℃で３時間攪拌した。反応終了後、室温（２５℃）に冷却してから、水３５００ｍｌ中に攪拌しながら注いだ。析出した結晶をろ過して、水洗した。この結晶を２−プロパノール６００ｍｌ中に室温（２５℃）で分散させた。この結晶をろ過して乾燥し、中間体Ｃを１４０ｇ（収率：９４．３質量％）得た。
【００６４】
（中間体Ｄの合成）
前記の方法で得た中間体Ｃ６０ｇ（０．１８モル）にアセトニトリル３００ｍｌを加えて５℃〜１０℃に冷却して攪拌した。この分散液に１−メトキシ−２−プロピルアミン３２．１ｇ（０．３６モル）を滴下した。滴下終了後、室温（２５℃）で２時間攪拌した。この反応液を水１５００ｍｌ中に攪拌しながら注いだ後、３５質量％塩酸水を加えてｐＨ＝６に調整した。次いで酢酸エチル５０ｍｌを加えて抽出した。この酢酸エチル溶液を飽和食塩水で洗浄した後、無水硫酸マグネシウムで乾燥した。次いで減圧下で酢酸エチルを留去した。残留物にメタノール２００ｍｌを加えて結晶を析出させた。この結晶をろ過して乾燥し、中間体Ｄを５４ｇ（収率：７７．９質量％）得た。
【００６５】
（例示染料混合物Ｃａ−１の合成）
フタロニトリル２．５６ｇ（０．０２モル）、中間体Ｂ６．７３ｇ（０．０２モル）、中間体Ｄ１５．４ｇ（０．０４モル）にジエチレングリコール６０ｍｌと２−メチルプロパーノール１２０ｍｌとを加えて９０℃〜１００℃に加熱して攪拌した。この溶液に、安息香酸アンモニウム１１．１ｇを加えた。次いで、酢酸銅３．６３ｇ（０．０２モル）を添加した。添加終了後、１００℃〜１１０℃で６時間攪拌して反応を行った。反応終了後、この反応液を６０℃に冷却してメタノール３０ｍｌとＮ−メチルピロリドン３０ｍｌを添加して攪拌した。この溶液を塩酸水（３５質量％塩酸１００ｍｌと水１２００ｍｌ）中に攪拌しながら注いだ。析出した結晶をろ過して、中性になるまで水洗した後、乾燥した。この結晶をメタノール５００ｍｌに溶解させてろ過して、不溶物をろ過した。このろ液を減圧下で濃縮して乾固して例示の染料混合物Ｃａ−１を１１．５ｇ（収率：８８．５質量％）得た。
クロロホルム溶液中の最大吸収波長（λｍａｘ）は６６２．３ｎｍであり、モル吸光係数（ε）は、平均分子量換算で１１８０００であった。
【００６６】
〔合成例２〕
（例示染料混合物Ｃｂ−１８の合成）
以下に示す反応スキームに従って合成した。
【００６７】
【化２１】
0005473239.tif 000022
【００６８】
（中間体Ｈの合成）
中間体Ｈの合成は、特開２００６−４７４９７号公報に記載の方法に従って合成した。
【００６９】
（中間体Ｊの合成）
３−ニトロフタロニトリル２５ｇ（０．１４４モル）と、４−メルカプト安息香酸２２．４ｇ（０．１４５モル）をＮ−メチルピロリドン１２５ｍｌに溶解させて、室温（２０〜２８℃）で攪拌した。この溶液に炭酸ナトリウム３０．７ｇを少しずつ添加した。添加終了後、反応液を４０℃〜４５℃に加熱して２時間攪拌して反応を完結させた。この反応液を水１０００ｍｌ中に攪拌しながら注ぎ、次いで、３５質量％塩酸水を添加してｐＨ＝３に調整した。析出した結晶をろ過して、水洗し乾燥した。この結晶をメタノール３００ｍｌに分散させて攪拌した。この結晶をろ過して乾燥して、中間体Ｊを３５．５ｇ（収率：８８．０質量％）得た。
【００７０】
（例示染料混合物Ｃｂ−１８の合成）
フタロニトリル１．２８ｇ（０．０１モル）と、前記の方法で得た中間体Ｈ８．４７ｇ（０．０２モル）と、前記の方法で得た中間体Ｊ２．８０ｇ（０．０１モル）にジエチレングリコール３０ｍｌと、２−メチルプロパノール１００ｍｌを加えて９５℃〜１００℃に加熱して攪拌した。この溶液に安息香酸アンモニウム５．５７ｇを添加し、次いで、酢酸銅１．８２ｇ（０．０１モル）を添加した。この反応液を１００℃〜１１０℃に加熱して６時間反応を行った。反応終了後、６０℃に冷却した後、この反応液にＮ−メチルピロリドン６０ｍｌと、メタノール６０ｍｌとを加えて攪拌した。次いで、この反応液を、塩酸水（３５質量％塩酸水６０ｍｌを水７００ｍｌで希釈）中に攪拌しながら注いだ。析出した結晶をろ過して、水洗し、乾燥した。この結晶を、メタノール２００ｍｌとアセトン２００ｍｌの溶液で溶解させてから、不溶解物をろ過して除いた。ろ液を減圧下で濃縮して乾固して、例示染料混合物Ｃｂ−１８を１２．７ｇ（収率：９６．３質量％）得た。酢酸エチル溶液中のλｍａｘ＝６５２．０ｎｍであり、ε＝５２６００であった。
【００７１】
≪硬化性組成物≫
本発明の硬化性組成物は、上記本発明の金属フタロシアニン染料混合物を含んでなり、好ましくは感放射線性化合物、重合性モノマーを含んでなる。また、一般には更に溶剤を用いて構成することができる、必要に応じて更に架橋剤などの他の成分を用いて構成することができる。本発明の硬化性組成物は、本発明の化合物を用いることで、高感度で、高解像度、高透過率特性をも達成し得るものである。
【００７２】
本発明の硬化性組成物は、前記本発明の金属フタロシアニン染料混合物を含有する場合の含有量は、それぞれのモル吸光係数や、求められる分光特性、膜厚等により異なるが、本発明における硬化性組成物の全固形分に対して、１質量％〜８０質量％であることが好ましく、１０質量％〜７０質量％であることがより好ましい。
本発明の金属フタロシアニン染料混合物は、本発明における硬化性組成物中に、それぞれ単独で含有されていてもよく、２種以上を併用して用いてもよい。
【００７３】
本発明の硬化性組成物、および該硬化性組成物を用いたカラーフィルタには、本発明における前記金属フタロシアニン染料混合物以外にも、４００ｎｍ〜６００ｎｍにλｍａｘを有する他の色素を併用してもよく、公知のアゾ色素、メチン色素、アゾメチン色素、キノフタロン系色素、キサンテン系色素、ジオキサジン系色素、ジピロメテン錯体系色素等を用いることが出来る。
【００７４】
＜バインダー＞
本発明の硬化性組成物は、バインダーの少なくとも一種を含有することが好ましい。本発明に係るバインダーとしては、アルカリ可溶性であれば特には限定されないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
アルカリ可溶性のバインダーとしては、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶性で弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば、特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９−７１０４８号等の明細書に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等があり、特に、側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等やポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ（２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート）、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール等も有用である。
【００７５】
また、親水性基を有するモノマーを共重合してもよく、この例としては、アルコキシアルキル（メタ）アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド、２級および３級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル(メタ）アクリレート、モルホリノ(メタ）アクリレート、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル(メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、分岐または直鎖のプロピル（メタ）アクリレート、分岐または直鎖のブチル（メタ）アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
【００７６】
その他親水性基を有するモノマーとしては、テトラヒドロフルフリル基、燐酸部位、燐酸エステル部位、４級アンモニウム塩部位、エチレンオキシ鎖、プロピレンオキシ鎖、スルホン酸およびその塩の部位、モルホリノエチル基等を含んだモノマー等も有用である。
【００７７】
また、架橋効率を向上させるために、重合性基を側鎖に有してもよく、アリル基、(メタ）アクリル基、アリルオキシアルキル基等を側鎖に含有したポリマー等も有用である。
これらの重合性基を有するポリマーの例としては、ＫＳレジスト−１０６（大阪有機化学工業（株）製）、サイクロマーＰシリーズ（ダイセル化学工業(株）製）等が挙げられる。
また、硬化被膜の強度を上げるためにアルコール可溶性ナイロンや、２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）−プロパンとエピクロルヒドリンとのポリエーテル等も有用である。
【００７８】
前記各種バインダーの中で、本発明に係るバインダーとしては、耐熱性の観点で、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。また、現像性制御の観点では、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。上記アクリル系樹脂としては、ベンジル(メタ）アクリレート、(メタ）アクリル、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド等から選ばれるモノマーからなる共重合体、およびＫＳ−レジスト−１０６（大阪有機化学工業（株）製）、サイクロマーＰシリーズ等が好ましい。
【００７９】
また、本発明に用いるバインダーとしては、アルカリ可溶性フェノール樹脂を用いることができる。該アルカリ可溶性フェノール樹脂は、本発明の硬化性組成物をポジ型の組成物とする場合に好適に用いることができる。アルカリ可溶性フェノール樹脂としては、例えば、ノボラック樹脂、またはビニル重合体等が挙げられる。
上記ノボラック樹脂としては、例えば、フェノール類とアルデヒド類とを酸触媒の存在下に縮合させて得られるものが挙げられる。上記フェノール類としては、例えば、フェノール、クレゾール、エチルフェノール、ブチルフェノール、キシレノール、フェニルフェノール、カテコール、レゾルシノール、ピロガロール、ナフトール、またはビスフェノールＡ等が挙げられる。
上記アルデヒド類としては、例えば、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、またはベンズアルデヒド等が挙げられる。
上記フェノール類およびアルデヒド類は、単独若しくは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００８０】
上記ノボラック樹脂の具体例としては、例えば、メタクレゾール、パラクレゾールまたはこれらの混合物とホルマリンとの縮合生成物が挙げられる。
【００８１】
上記ノボラック樹脂は分別等の手段を用いて分子量分布を調節してもよい。また、ビスフェノールＣやビスフェノールＡ等のフェノール系水酸基を有する低分子量成分を上記ノボラック樹脂に混合してもよい。
【００８２】
上記バインダーは、質量平均分子量（ＧＰＣ法で測定されたポリスチレン換算値）が１０００〜２×１０５の重合体が好ましく、２０００〜１×１０５の重合体が更に好ましく、５０００〜５×１０４の重合体が特に好ましい。
本発明の硬化性組成物中の上記バインダーの使用量は、本発明の硬化性組成物の全固形分に対して、１０質量％〜９０質量％が好ましく、２０質量％〜８０質量％が更に好ましく、３０質量％〜７０質量％が特に好ましい。
【００８３】
＜架橋剤＞
本発明の硬化性組成物は、従来との比較において、薄層化可能な高い吸光係数を有し、且つ堅牢性に優れる発明の主旨であるが、これに更に補足的に架橋剤を用いることによって、より高度に硬化させた膜が得られるように構成することも可能である。
【００８４】
架橋剤としては、架橋反応によって膜硬化を行なえるものであれば特に限定はなく、例えば、（ａ）エポキシ樹脂、（ｂ）メチロール基、アルコキシメチル基、およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基で置換されたメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物、またはウレア化合物、（ｃ）メチロール基、アルコキシメチル基、およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基で置換されたフェノール化合物、ナフトール化合物、またはヒドロキシアントラセン化合物、が挙げられる。中でも特に、多官能エポキシ樹脂が好ましい。
【００８５】
前記（ａ）エポキシ樹脂としては、エポキシ基を有し、かつ架橋性を有するものであればいずれでもよく、例えば、ビスフェノールＡグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ブタンジオールジグリシジルエーテル、へキサンジオールジグリシジルエーテル、ジヒドロキシビフェニルジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアニリン等の２価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリメチロールフェノールトリグリシジルエーテル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡトリグリシジルエーテル等に代表される３価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、テトラメチロールビスフェノールＡテトラグリシジルエーテル等に代表される４価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、ジペンタエリスリトールペンタグリシジルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサグリシジルエーテル等の多価グリシジル基含有低分子化合物、ポリグリシジル（メタ）アクリレート、２，２−ビス（ヒドロキシメチル）−１−ブタノールの１，２−エポキシ−４−（２−オキシラニル）シクロヘキサン付加物等に代表されるグリシジル基含有高分子化合物、等が挙げられる。
【００８６】
前記架橋剤（ｂ）、即ち、メチロール基、アルコキシメチル基、およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基で置換されたメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物、またはウレア化合物は、熱架橋により上塗りフォトレジストとのインターミキシングを抑制すると共に、膜強度を更に高めるものである。
以下、前記（ｂ）のメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物およびウレア化合物を総じて、（ｂ）に係る化合物（メチロール基含有化合物、アルコキシメチル基含有化合物、またはアシロキシメチル基含有化合物）ということがある。
【００８７】
前記架橋剤（ｂ）に含まれるメチロール基、アルコキシメチル基、アシロキシメチル基が置換している数としては、メラミン化合物の場合は２〜６、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物の場合は２〜４であるが、好ましくはメラミン化合物の場合は５〜６、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物の場合は３〜４である。
【００８８】
前記（ｂ）に係るメチロール基含有化合物は、（ｂ）に係るアルコキシメチル基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒存在下、加熱することにより得られる。前記（ｂ）に係るアシロキシメチル基含有化合物は、（ｂ）に係るメチロール基含有化合物を塩基性触媒存在下、アシルクロリドと混合攪拌することにより得られる。
【００８９】
以下、前記置換基を有する（ｂ）に係る化合物の具体例を挙げる。
前記メラミン化合物として、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の１〜５個がメトキシメチル化した化合物またはその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の１〜５個がアシロキシメチル化した化合物またはその混合物、などが挙げられる。
【００９０】
前記グアナミン化合物として、例えば、テトラメチロールグアナミン、テトラメトキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの１〜３個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメトキシエチルグアナミン、テトラアシロキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの１〜３個のメチロール基をアシロキシメチル化した化合物またはその混合物などが挙げられる。
【００９１】
前記グリコールウリル化合物としては、例えば、テトラメチロールグリコールウリル、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の１〜３個をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の１〜３個をアシロキシメチル化した化合物またはその混合物、などが挙げられる。
【００９２】
前記ウレア化合物として、例えば、テトラメチロールウレア、テトラメトキシメチルウレア、テトラメチロールウレアの１〜３個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメトキシエチルウレア、などが挙げられる。
（ｂ）に係る化合物は、単独で使用してもよく、組合わせて使用してもよい。
【００９３】
前記架橋剤（ｃ）、即ち、メチロール基、アルコキシメチル基、およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物、またはヒドロキシアントラセン化合物は、前記架橋剤（ｂ）の場合と同様、熱架橋により上塗りフォトレジストとのインターミキシングを抑制すると共に、膜強度を更に高めるものである。
以下、これら化合物を総じて、（ｃ）に係る化合物（メチロール基含有化合物、アルコキシメチル基含有化合物、またはアシロキシメチル基含有化合物）ということがある。
【００９４】
前記架橋剤（ｃ）に含まれるメチロール基、アシロキシメチル基、アルコキシメチル基が置換している数としては、一分子当り最低２個必要であり、熱架橋性および保存安定性の観点から、骨格となるフェノール化合物の２位，４位が全て置換されている化合物が好ましい。また、骨格となるナフトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物も、ＯＨ基のオルト位、パラ位が全て置換されている化合物が好ましい。骨格となるフェノール化合物の３位または５位は、未置換であっても置換基を有していてもよい。また、骨格となるナフトール化合物においても、ＯＨ基のオルト位以外は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
【００９５】
前記（ｃ）に係るメチロール基含有化合物は、フェノール性ＯＨ基のオルト位またはパラ位（２位または４位）が水素原子である化合物を原料に用い、これを水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド等の、塩基性触媒の存在下でホルマリンと反応させることにより得られる。
前記（ｃ）に係るアルコキシメチル基含有化合物は、（ｃ）に係るメチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱することにより得られる。
前記（ｃ）に係るアシロキシメチル基含有化合物は、（ｃ）に係るメチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得られる。
【００９６】
架橋剤（ｃ）における骨格化合物としては、フェノール性ＯＨ基のオルト位またはパラ位が未置換の、フェノール化合物、ナフトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物等が挙げられ、例えば、フェノール、クレゾールの各異性体、２，３−キシレノ−ル、２，５−キシレノ−ル、３，４−キシレノール、３，５−キシレノール、ビスフェノールＡなどのビスフェノール類、４，４’−ビスヒドロキシビフェニル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡ（本州化学工業（株）製）、ナフトール、ジヒドロキシナフタレン、２，７−ジヒドロキシアントラセン、等が使用される。
【００９７】
前記（ｃ）に係る化合物の具体例としては、トリメチロールフェノール、トリ（メトキシメチル）フェノール、トリメチロールフェノールの１〜２個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、トリメチロール−３−クレゾール、トリ（メトキシメチル）−３−クレゾール、トリメチロール−３−クレゾールの１〜２個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、２，６−ジメチロール−４−クレゾール等のジメチロールクレゾール、テトラメチロールビスフェノールＡ、テトラメトキシメチルビスフェノールＡ、テトラメチロールビスフェノールＡの１〜３個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、テトラメチロール−４，４’−ビスヒドロキシビフェニル、テトラメトキシメチル−４，４’−ビスヒドロキシビフェニル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメチロール体、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメトキシメチル体、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメチロール体の１〜５個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、ビスヒドロキシメチルナフタレンジオール、等が挙げられる。
【００９８】
また、ヒドロキシアントラセン化合物として、例えば、１，６−ジヒドロキシメチル−２，７−ジヒドロキシアントラセン等が挙げられる。
また、アシロキシメチル基含有化合物として、例えば、上記メチロール基含有化合物のメチロール基を、一部または全部アシロキシメチル化した化合物等が挙げられる。
【００９９】
これらの化合物の中で好ましいものとしては、トリメチロールフェノール、ビスヒドロキシメチル−ｐ−クレゾール、テトラメチロールビスフェノールＡ、ＴｒｉｓＰ−ＰＡ（本州化学工業（株）製）のヘキサメチロール体またはそれらのメチロール基がアルコキシメチル基およびメチロール基とアルコキシメチル基の両方で置換されたフェノール化合物が挙げられる。
これら（ｃ）に係る化合物は、単独で使用してもよく、組合わせて使用してもよい。
【０１００】
架橋剤を含有する場合、前記架橋剤（ａ）〜（ｃ）の、本発明の硬化性組成物中における含有量は、素材により異なるが、該組成物の全固形分（質量）に対して、１〜７０質量％が好ましく、５〜５０質量％がより好ましく、７〜３０質量％が特に好ましい。該含有量が前記範囲内であると、充分な硬化度と未露光部の溶出性とを保持でき、露光部の硬化度が不足したり、未露光部の溶出性が著しく低下することもない。
【０１０１】
＜重合性モノマー＞
本発明の硬化性組成物は、重合性モノマーの少なくとも一種を含有することによって好適に構成することができる。重合性モノマーは、硬化性組成物をネガ型に構成する場合に主として含まれる。
尚、後述のナフトキノンジアジド化合物を含有するポジ型の系に、後述の光重合開始剤と共に含有でき、この場合には形成されるパターンの硬化度をより促進させることができる。以下、重合性モノマーについて説明する。
【０１０２】
上記重合性モノマーとしては、常圧下で１００℃以上の沸点を有し、少なくとも一つの付加重合可能なエチレン性不飽和基を持つ化合物が好ましい。その例としては、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリレート；ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオール（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエチル）イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレート化したもの、特公昭４８−４１７０８号、特公昭５０−６０３４号、特開昭５１−３７１９３号各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公昭５２−３０４９０号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートおよびこれらの混合物を挙げることができる。
【０１０３】
更に、日本接着協会誌Ｖｏｌ．２０、Ｎｏ．７、３００〜３０８頁に光硬化性モノマーおよびオリゴマーとして紹介されているものが挙げられる。
【０１０４】
上記重合性モノマーの硬化性組成物中における含有量は、該硬化性組成物中の固形分に対して０．１質量％〜９０質量％が好ましく、１．０質量％〜８０質量％がさらに好ましく、２．０質量％〜７０質量％が特に好ましい。
【０１０５】
＜感放射線性化合物＞
本発明の硬化性組成物は、感放射線性化合物の少なくとも一種を含有することにより好適に構成することができる。本発明に係る感放射線性化合物は、ラジカル発生、酸発生、塩基発生などの化学反応を起こし得る化合物であるが、上記のバインダーを架橋、重合、酸性基の分解などの反応により不溶化させたり、塗膜中に共存する重合性モノマーやオリゴマーの重合、架橋剤の架橋などを起こすことで塗膜をアルカリ現像液に対して不溶化させる目的で用いられる。
【０１０６】
硬化性組成物が、特に、ネガ型に構成される場合には光重合開始剤を含有するのが好適であり、ポジ型を構成する場合にはナフトキノンジアジド化合物を含有すことが好適である。
【０１０７】
＜光重合開始剤＞
次に、本発明の硬化性組成物が、ネガ型の組成物である場合に含まれる光重合開始剤について説明する。
光重合開始剤は前記重合性モノマーを重合させられるものであれば特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれることが好ましい。
尚、上記のナフトキノンジアジド化合物を含有するポジ型の系に更に含有してもよく、この場合には形成されるパターン硬化度をより促進させることができる。
上記光重合開始剤としては、ハロメチルオキサジアゾール化合物、ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物から選択される少なくとも一つの活性ハロゲン化合物、３−アリール置換クマリン化合物、ロフィン２量体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、オキシム系化合物等が挙げられる。
【０１０８】
ハロメチルオキサジアゾール等の活性ハロゲン化合物としては、特公昭５７−６０９６号公報に記載の２−ハロメチル−５−ビニル−１，３，４−オキサジアゾール化合物等や、２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−シアノスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−メトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール等が挙げられる。
【０１０９】
ハロメチル−ｓ−トリアジン系化合物としては、特公昭５９−１２８１号公報に記載のビニル−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、特開昭５３−１３３４２８号公報に記載の２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物および４−（ｐ−アミノフェニル）−２，６−ジ−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物が挙げられる。
【０１１０】
その他の例としては、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２，６−ビス（トリクロロメチル）−４−（３，４−メチレンジオキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，６−ビス（トリクロロメチル）−４−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（１−ｐ−ジメチルアミノフェニル−１，３−ブタジエニル）−ｓ−トリアジン、２−トリクロロメチル−４−アミノ−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−ブトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−メトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−エトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−ブトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（２−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−メトキシ−５−メチル−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−メトキシ−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（５−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４，７−ジメトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−エトキシ−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４，５−ジメトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（フェニル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルカルボニルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ−（ｐ−メトキシフェニル）カルボニルアミノフェニル〕２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
【０１１１】
４−〔ｍ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。
【０１１２】
その他、みどり化学社製ＴＡＺシリーズ、ＴＡＺ−１０７、ＴＡＺ−１１０、ＴＡＺ−１０４、ＴＡＺ−１０９、ＴＡＺ−１４０、ＴＡＺ−２０４、ＴＡＺ−１１３、ＴＡＺ−１２３、ＰＡＮＣＨＩＭ社製Ｔシリーズ、Ｔ−ＯＭＳ、Ｔ−ＢＭＰ、Ｔ−Ｒ、Ｔ−Ｂ、チバガイギー社製イルガキュアシリーズ、イルガキュア３６９、イルガキュア７８４、イルガキュア６５１、イルガキュア１８４、イルガキュア５００、イルガキュア１０００、イルガキュア１４９、イルガキュア８１９、イルガキュア２６１、ダロキュアシリーズ、ダロキュア１１７３４，４’−ビス（ジエチルアミノ）−ベンゾフェノン、２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）−１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−１，２−オクタンジオン、１−（Ｏ−アセチルオキシム）−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−４−モルホリノブチロフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２−（ｏ−クロルフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、ベンゾインイソプロピルエーテル等も有用に用いられる。
特に好ましくは、２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）−１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−１，２−オクタンジオン、１−（Ｏ−アセチルオキシム）−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノン等のオキシム−Ｏ−アシル系の化合物が挙げられる。
【０１１３】
本発明の硬化性組成物には、前記光重合開始剤以外にも他の公知の光重合開始剤を併用することができる。
具体的には、米国特許第２，３６７，６６０号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第２，３６７，６６１号および第２，３６７，６７０号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第２，４４８，８２８号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第２，７２２，５１２号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第３，０４６，１２７号および第２，９５１，７５８号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第３，５４９，３６７号明細書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー／ｐ−アミノフェニルケトンの組み合わせ、特公昭５１−４８５１６号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物／トリハロメチール−ｓ−トリアジン系化合物等を挙げることができる。
【０１１４】
上記光重合開始剤の硬化性組成物中における含有量は、前記重合性モノマー固形分に対して０．０１〜５０質量％が好ましく、１〜３０質量％がより好ましく、１〜２０質量％が特に好ましい。該含有量が前記範囲内であると重合が良好に進み、また、良好な膜強度が得られる。
【０１１５】
前記光重合開始剤には、増感剤や光安定剤を併用することができる。
その具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、９−フルオレノン、２−クロロ−９−フルオレノン、２−メチル−９−フルオレノン、９−アントロン、２−ブロモ−９−アントロン、２−エチル−９−アントロン、９，１０−アントラキノン、２−エチル−９，１０−アントラキノン、２−ｔ−ブチル−９，１０−アントラキノン、２，６−ジクロロ−９，１０−アントラキノン、キサントン、２−メチルキサントン、２−メトキシキサントン、２−エトキシキサントン、チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、アクリドン、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンザルアセトン、ｐ−（ジメチルアミノ）フェニルスチリルケトン、ｐ−（ジメチルアミノ）フェニル−ｐ−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、ｐ−（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（またはミヒラーケトン）、ｐ−（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭５１−４８５１６号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン１１３０、同４００等が挙げられる。
【０１１６】
また、以上の他、更に熱重合防止剤を加えることが好ましく、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
【０１１７】
−ナフトキノンジアジド化合物−
次に、本発明の硬化性組成物がポジ型の場合に含まれるナフトキノンジアジド化合物について説明する。
該ナフトキノンジアジド化合物は、少なくとも１つのｏ−キノンジアジド基を有する化合物であり、例えば、ｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸エステル、ｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸アミド、ｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸エステル、ｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸アミド等が挙げられる。これらのエステルやアミド化合物は、例えば特開平２−８４６５０号公報、特開平３−４９４３７号公報において一般式（Ｉ）で記載されているフェノール化合物等を用いて公知の方法により製造することができる。
【０１１８】
本発明の硬化性組成物をポジ型に構成する場合には、上記バインダーおよび上記架橋剤は、通常、有機溶剤中にそれぞれ２〜５０質量％程度および２〜３０質量％程度の割合で溶解させるのが好ましい。上記ナフトキノンジアジド化合物および上記本発明の金属フタロシアニン混合物を含む全色素の各含有量は、通常、上記バインダーおよび架橋剤を溶解した溶液に対して、各々２質量％〜３０質量％および２質量％〜５０質量％程度の割合で添加するのが好ましい。
【０１１９】
＜溶剤＞
本発明の硬化性組成物の調製の際には、一般に溶剤を含有することができる。使用される溶剤は、該組成物の各成分の溶解性や硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的にとくには限定されないが、特にバインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
前記溶剤の具体例としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル等の３−オキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル）、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル等の２−オキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル）、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル等；エーテル類、例えばジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート等；ケトン類、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等；芳香族炭化水素類、例えばトルエン、キシレン等が好ましい。
【０１２０】
前記の中でも、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等がより好ましい。
【０１２１】
＜各種添加物＞
本発明の硬化性組成物には、必要に応じて各種添加物、例えば充填剤、上記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかできる。
【０１２２】
前記各種添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤；ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物；ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤；ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤；２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール等の酸化防止剤：２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤；およびポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。
【０１２３】
また、現像除去をしようとする領域（例えばネガ型の場合は未硬化部）のアルカリ溶解性を促進し、本発明の硬化性組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、該組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量１０００以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行うことができる。具体的には、例えばギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸；シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸；トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸；安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸；フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
【０１２４】
本発明の硬化性組成物は、液晶表示素子（ＬＣＤ）や固体撮像素子（例えば、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等）に用いられるカラーフィルタなどの着色画素形成用として、また、印刷インキ、インクジェットインキ、および塗料などの作製用途として好適に用いることができる。特に、ＣＣＤ、およびＣＭＯＳ等の固体撮像素子用の着色画素形成用として好適に用いることが出来る。
【０１２５】
−カラーフィルタおよびその製造方法−
本発明のカラーフィルタについて、その製造方法を通じて詳述する。
本発明のカラーフィルタの製造方法においては、既述の本発明の硬化性組成物が用いられる。本発明のカラーフィルタは、本発明の硬化性組成物を支持体上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して感放射線性組成物層を形成し、所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像することによって、ネガ型もしくはポジ型の着色されたパターン（レジストパターン）を形成することができる。
【０１２６】
本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物に適用し得る露光光源は、４００ｎｍ以下の波長を有する光源であって、特に限定されるものではないが、例えば、キセノンランプ、ハロゲンランプ、タングステンランプ、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、中圧水銀灯、低圧水銀灯、カーボンアーク、蛍光ランプ等のランプ光源や、Ａｒイオンレーザ（３６４ｎｍ、３５１ｎｍ、１０ｍＷ〜１Ｗ）、Ｋｒイオンレーザ（３５６ｎｍ、３５１ｎｍ、１０ｍＷ〜１Ｗ）、固体レーザとして、Ｎｄ：ＹＡＧ（ＹＶＯ４）とＳＨＧ結晶×２回の組み合わせ（３５５ｎｍ、５ｍＷ〜１Ｗ）、導波型波長変換素子とＡｌＧａＡｓ、導波型波長変換素子とＡｌＧａＩｎＰ、ＡｌＧａＡｓ半導体の組み合わせ（３００ｎｍ〜３５０ｎｍ、５ｍＷ〜１００ｍＷ）、その他パルスレーザとしてＮ２レーザ（３３７ｎｍ、パルス０．１〜１０ｍＪ）、ＸｅＦ（３５１ｎｍ、パルス１０〜２５０ｍＪ）などが利用でき、特定の波長のみを使用する場合には光学フィルターを利用することもできる。
【０１２７】
さらにはＡｒＦエキシマレーザ（波長１９３ｎｍ）、ＫｒＦエキシマレーザ（波長２４８ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）などの紫外線が利用できる。コストと露光エネルギーの観点で特に好ましい露光光源は、紫外線であり、ｉ線が挙げられる。
更に、形成されたパターンは、必要に応じて加熱および／または露光により、より硬化させる硬化工程を設けることができる。この際に使用される光もしくは放射線としては、特にｉ線等の放射線が好ましく用いられる。
【０１２８】
本発明のカラーフィルタの作製においては、ネガ型の場合には、前記画像形成工程（および必要に応じて硬化工程）を所望の色数に合わせて繰り返すことにより、ポジ型の場合には前記画像形成工程およびポストベーク工程を所望の色数に合わせて繰り返すことにより、所望数の色相に構成されたカラーフィルタを作成することができる。
【０１２９】
上記支持体として、例えば液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラスおよびこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）等が挙げられる。これらの支持体は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
【０１３０】
また、これらの支持体上には、必要により上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは支持体表面の平坦化の為に、下塗り層を設けてもよい。
【０１３１】
本発明のカラーフィルタの製造方法に用いる現像液としては、本発明の硬化性組成物の現像除去しようとする領域（ネガ型の場合は未硬化部）を溶解する一方、それ以外の領域（ネガ型の場合は硬化部）を溶解しない組成よりなるものであればいかなるものも用いることができる。具体的には種々の有機溶剤の組み合わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。該有機溶剤としては、本発明の組成物を調製する際に使用される前述の溶剤が挙げられる。
【０１３２】
前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−〔５．４．０〕−７−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜１質量％となるように溶解したアルカリ性水溶液が使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に、現像後、水で洗浄する。
【０１３３】
本発明のカラーフィルタは、液晶表示素子やＣＣＤ等の固体撮像素子に用いることができ、例えば、ＣＣＤを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。特に１００万画素を超えるような高解像度のＣＣＤ素子やＣＭＯＳ素子等には、本発明の化合物を用いることによりカラーフィルタの膜厚をより薄くすることが可能であり、より好適に用いることができる。
【実施例】
【０１３４】
以下に、本発明を、実施例を用いて具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。尚、以下に示す実施例８、９、１４、２８、２９は、本発明に対する参考例として示すものである。
【０１３５】
次に、本発明の金属フタロシアニン染料混合物を含有する硬化性組成物、該組成物を用いるカラーフィルタ、およびその製造方法について説明する。
【０１３６】
［実施例１］
１）レジスト溶液の調製
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）    １９．２０部
・乳酸エチル                                                        ３６．６７部
・バインダー：（メタクリル酸ベンジル／メタクリル酸／メタクリル酸
−２−ヒドロキシエチル）共重合体（モル比＝６０：２２：１８）
４０％ＰＧＭＥＡ溶液    ３０．５１部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート                          １２．２０部
・重合禁止剤（ｐ−メトキシフェノール）                            ０．００６１部
・フッ素系界面活性剤（Ｆ−４７５大日本インキ化学工業（株）製）        ０．８３部
・光重合開始剤ＴＡＺ−１０７（みどり化学社製）                      ０．５８６部
を混合して溶解し、レジスト溶液を調製した。
【０１３７】
２）下塗り層付ガラス基板の作製
ガラス基板（コーニング１７３７）を０．５質量％ＮａＯＨ水で超音波洗浄した後、水洗、脱水ベーク（２００℃／２０分）を行った。
ついで、上記１）のレジスト溶液を洗浄したガラス基板上に膜厚０．６μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、２２０℃で１時間加熱乾燥し、硬化膜（下塗り層）を得た。
【０１３８】
３）着色レジスト溶液（着色硬化性組成物）Ａ−１［ネガ型］の調製
（組成）
・シクロヘキサノン                                                        ８０部
・着色剤（例示染料混合物Ｃａ−１）                                    ８．１６部
・ＫＡＲＡＹＡＤ  ＤＰＨＡ（日本化薬製）                              ４．９１部
・光重合開始剤（ＣＧＩ−２４２：チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）１．５０部
・シクロヘキシルメチルアミン                                          ０．６０部
・界面活性剤Ｆ−７８１（大日本インキ（株）社製）                      ０．０３部
【０１３９】
４）レジスト膜の形成、露光、現像
上記３）で得られた着色レジスト溶液Ａ−１を、２）で得られた下塗り層付ガラス基板の下塗り層の上に膜厚が０．６μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、光硬化製の塗布膜を形成した。次いで１００℃で１２０秒間プリベークし、カラーフィルタを得た。
【０１４０】
−評価−
上記で調製された着色硬化性組成物Ａ−１の保存安定性、およびガラス基板上に塗布された塗布膜の耐熱性、耐光性を下記のように評価した。結果を表１および表２に示す。
【０１４１】
＜保存安定性＞
着色硬化性組成物Ａ−１を室温（２０〜２５℃）で一ヶ月保存した後の異物の析出度合いを目視により下記判定基準に従って評価した。
〜判定基準〜
○：析出は認められなかった。
△：僅かに析出が認められた。
×：析出が認められた。
【０１４２】
＜耐熱性＞
前記着色硬化性組成物Ａ−１を塗布したガラス基板を、ホットプレートにより２００℃で１時間加熱した後、色度計ＭＣＰＤ−１０００（大塚電子製）にて、耐熱テスト前後の色差のΔＥａｂ値を測定して、下記基準に従って評価した。ΔＥａｂ値の小さい方が耐熱性が良好であることを示す。
〜判定基準〜
○：ΔＥａｂ値＜３以下
△：３≦ΔＥａｂ値≦１０
×：１０＜ΔＥａｂ値
【０１４３】
＜耐光性＞
着色硬化性組成物Ａ−１を塗布したガラス基板に対し、キセノンランプを１０万ｌｕｘで２０時間照射（１００万ｌｕｘ・ｈ相当）したのち、耐光テスト前後の色差のΔＥａｂ値を測定した。ΔＥａｂ値の小さいほうが耐光性が良好である。
〜判定基準〜
○：ΔＥａｂ値＜３
△：３≦ΔＥａｂ値≦１０
×：１０＜ΔＥａｂ値
【０１４４】
（実施例２〜３５）
表１および表２に示す実施例２〜実施例３５は、実施例１の例示化合物Ｃａ−１を、表１および表２の化合物に等モル置き換えた以外は、実施例１と同様な方法に従って、着色硬化性組成物を作成し、作製した着色硬化性組成物を下塗り層付きガラス基板に塗布してカラーフィルタを得た。
評価は、実施例１と同様に着色硬化性組成物の保存安定性、耐熱性、耐光性を評価した。表１および表２に結果を示した。
【０１４５】
（比較例１〜３）
実施例１の前記３）で調製した着色硬化性組成物Ａ−１の着色剤の等モルを、表１および表２の比較例１〜３の染料に置き換えた以外は、実施例１と同様に行った。結果を表１および表２に示した。
【０１４６】
【表１】
0005473239.tif 000023
【０１４７】
【表２】
0005473239.tif 000024
【０１４８】
［実施例３６〜７０実施例］
−露光・現像（画像形成）−
前記実施例１〜３５で用いたガラス基板塗布物を、露光装置を用いて塗布膜に３６５ｎｍ波長で線幅２０μｍのマスクを通して５００ｍｊ／ｃｍ２の露光量で照射した。露光後、現像液（商品名：ＣＤ−２０００、富士フイルムエレクトロマテリアルズ（株）製）を使用して２５℃、６０秒間の条件で現像した。その後、流水で２０秒間リンスした後、スプレー乾燥した。カラーフィルタに好適な着色パターンが得られた。
【０１４９】
−評価−
＜パターン形成性＞
露光部の残色率は色度計（商品名：ＭＣＰＤ−１０００、大塚電子（株）製）で測定した。現像前後の吸光度の変化率を求めた。
【０１５０】
本発明の実施例３６〜７０においては、現像後のパターン部分の残色率は、いずれも９８％以上の残色率を示した。
【０１５１】
本発明の染料混合物を含有する硬化性組成物は保存安定性に優れ、該着色硬化性組成物を用いたカラーフィルタは、耐熱性、耐光性に優れ、且つ現像処理後にパターン部分の濃度変化が少ないことが判った。
【０１５２】
［実施例７１〜１０５］
１）下塗り層付シリコンウエハー基板の作製
６ｉｎｃｈシリコンウエハーをオーブン中で２００℃のもと３０分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハー上に、前記の実施例１においてガラス基板の下塗り層に用いたレジスト溶液を、乾燥膜厚０．６μｍになるように塗布し、更に２２０℃のオーブン中で１時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハー基板を得た。
【０１５３】
前記１）で得られた下塗り層付きシリコンウエハー基板の下塗り層上に、実施例１〜実施例３５で用いた着色硬化性組成物を、各々、塗布膜の乾燥膜厚が０．６μｍになるように塗布し、着色硬化性の塗布膜を形成した。そして、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行った。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して３６５ｎｍの波長でパターンが１．２μｍ四方のアイランドパターンマスクを通して１００〜２５００ｍＪ／ｃｍ２の範囲で露光量を１００ｍＪ／ｃｍ２ずつ変化させて照射した。その後、照射された塗布膜が形成されているシリコンウエハー基板をスピン・シャワー現像機（ＤＷ−３０型；（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、ＣＤ−２０００（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の５０質量％水溶液を用いて２３℃で６０秒間パドル現像を行ない、シリコンウエハー基板に着色パターンを形成した。
【０１５４】
形成された青色（実施例１〜２２、３４および３５の組成物）乃至、緑色（実施例２３〜３３の組成物）の着色パターン画像は、撮像素子用に好適な、正方系の断面が矩形状の良好なプロファイルを示した。
【０１５５】
［実施例１０６］
１）着色硬化性組成物［ポジ型］の調製
・乳酸エチル（ＥＬ）                                                      ３０部
・下記樹脂Ｐ−１                                                        ３．０部
・下記ナフトキノンジアジド化合物Ｎ−１                                  １．８部
・架橋剤：ヘキサメトキシメチロール化メラミン                            ０．６部
・光酸発生剤：ＴＡＺ−１０７（みどり化学製）                            １．２部
・フッ素系界面活性剤（Ｆ−４７５大日本インキ化学工業製）          ０．０００５部
・例示染料混合物Ｃａ−１                                                ０．４部
以上を混合し、溶解し着色硬化性組成物［ポジ型］を得た。
【０１５６】
上記樹脂Ｐ−１、およびナフトキノンジアジド化合物（Ｎ−１）は、以下のようにして合成した。
【０１５７】
２）樹脂Ｐ−１の合成
ベンジルメタクリレート７０．０ｇ、メタクリル酸１３．０ｇ、メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル１７．０ｇ、および２−メトキシプロパノール６００ｇを三口フラスコに仕込み、攪拌装置と還流冷却管、温度計を取り付け窒素気流下６５℃にて重合開始剤Ｖ−６５（和光純薬工業製）を触媒量添加して１０時間攪拌した。得られた樹脂溶液を２０Ｌのイオン交換水に激しく攪拌しながら滴下し、白色粉体を得た。この白色粉体を４０℃で２４時間真空乾燥し１４５ｇの樹脂Ｐ−１を得た。分子量をＧＰＣにて測定したところ、重量平均分子量Ｍｗ＝２８，０００  数平均分子量Ｍｎ＝１１，０００であった。
【０１５８】
３）ナフトキノンジアジド化合物（Ｎ−１）の合成
ＴｒｉｓＰ−ＰＡ（本州化学製）４２．４５ｇ、ｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホニルクロリド６１．８０ｇ、アセトン３００ｍｌを三口フラスコに仕込み、室温（２５℃）下トリエチルアミン２４．４４ｇを１時間かけて滴下した。滴下終了後、更に２時間攪拌した後、反応液を大量の水に攪拌しながら注いだ。沈殿したナフトキノンジアジドスルホン酸エステルを、吸引ろ過により集め、４０℃で２４時間真空乾燥し感光性のナフトキノンジアジド化合物Ｎ−１を得た。
【０１５９】
４）着色硬化性組成物の露光、現像（画像形成）
実施例３６と同様にして、下塗り層つきのガラス基板に上記のようにして調製した着色硬化性組成物［ポジ型］を塗布し、プリベーク、照射、現像およびリンス、乾燥を行って青色画像パターンを得、その後このパターン画像を１８０℃で５分間加熱し（ポストベーク）、カラーフィルタを得た。形成された青色パターン画像は矩形状の良好なプロファイルを示した。
【０１６０】
本発明における化合物を用いた着色硬化性組成物の保存安定性、カラーフィルタの耐熱性、耐光性を実施例１と同様の方法で評価したところ、保存安定性に優れ、耐熱性、耐光性が良好であることがわかった。