(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
脆性材料基板を水平状態で保持する基板保持手段と、
該基板保持手段にて保持された前記脆性材料基板をスクライブするスクライブ手段をそれぞれ有する複数のスクライブヘッドと、
該複数のスクライブヘッドのそれぞれを、長手方向であるＸ方向に沿ってスライド可能に保持するガイドレールとを備え、
前記基板保持手段にて保持された前記脆性材料基板と、前記ガイドレールとが、前記Ｘ方向に対して直交するＹ方向に沿って相対的に移動可能になっており、
前記各スクライブヘッドは、前記Ｙ方向に沿ってスライド可能に設けられたスライド部材を有し、前記スクライブ手段を前記スライド部材に取り付けることにより、前記スクライブ手段の前記Ｙ方向での移動を、該ガイドレールに保持されている前記複数のスクライブヘッドの各々にて独自に制御可能に構成したものであることを特徴とするスクライブ装置。
【請求項２】
前記基板保持手段は、保持した前記脆性材料基板を前記Ｙ方向に搬送可能である請求項１に記載のスクライブ装置。
【請求項３】
前記ガイドレールが、前記基板保持手段にて保持された前記脆性材料基板の上方に設けられている、請求項１に記載のスクライブ装置。
【請求項４】
前記脆性材料基板は、１枚のパネル基板である請求項３に記載のスクライブ装置。
【請求項５】
前記ガイドレールが、前記基板保持手段にて保持された前記脆性材料基板の上方および下方にそれぞれ設けられており、該ガイドレールのそれぞれに、前記複数のスクライブヘッドがそれぞれ設けられている、請求項１に記載のスクライブ装置。
【請求項６】
前記脆性材料基板は、一対のパネル基板が貼り合わされた貼り合わせパネル基板である請求項５に記載のスクライブ装置。
【請求項７】
前記脆性材料基板の上方の前記ガイドレールに設けられた前記スクライブヘッドのいずれかに、前記貼り合わせパネル基板の上面に圧接するローラが設けられている、請求項６に記載のスクライブ装置。
【請求項８】
前記スクライブ手段は、スクライビングホイールを含む請求項１に記載のスクライブ装置。
【請求項９】
前記各スクライブヘッドは、前記スクライビングホイールを前記脆性材料基板に圧接させる手段をさらに有する、請求項８に記載のスクライブ装置。
【請求項１０】
請求項１に記載のスクライブ装置によって前記脆性材料基板をスクライブする方法であって、
前記基板保持手段にて保持された前記脆性材料基板に対して前記ガイドレールを位置決めする工程と、
次いで、前記各スクライブヘッドを前記ガイドレールに沿って前記Ｘ方向に移動させるとともに、前記各スクライブヘッドの前記スクライブ手段を前記Ｙ方向に移動させて、該スクライブ手段のそれぞれを、前記脆性材料基板におけるスクライブ開始位置にそれぞれ対向させる工程と、
を包含するスクライブ方法。
【請求項１１】
前記各スクライブ開始位置にそれぞれ対向した前記各スクライブヘッドを、前記各スクライブ開始位置にそれぞれ圧接して、前記基板保持手段にて保持された前記脆性材料基板と、前記ガイドレールとを、前記Ｙ方向に沿って相対的に移動させる工程をさらに包含する、請求項１０に記載のスクライブ方法。
【請求項１２】
前記各スクライブ開始位置にそれぞれ対向した前記各スクライブヘッドを、前記各スクライブ開始位置にそれぞれ圧接して、前記各スクライブヘッドのそれぞれを前記ガイドレールに沿って前記Ｘ方向に沿って移動させる工程をさらに包含する、請求項１０に記載のスクライブ方法。
【請求項１３】
前記各スクライブヘッドのそれぞれを、前記ガイドレールに沿って前記Ｘ方向に移動させる間に、前記スクライブ手段を前記Ｙ方向に移動させることによって直線補間する、請求項１２に記載のスクライブ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイに代表されるＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）に使用されるパネル基板等の脆性材料のパネル基板をスクライブするために使用されるスクライブ装置、および、そのスクライブ装置を用いたスクライブ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ等のＦＰＤに使用されるパネル基板は、通常、大判のマザー基板をスクライブして分断することによって、個別の単個のディスプレイ基板の複数枚を同時に形成するようになっている。パネル基板をスクライブするために使用されるスクライブ装置は、例えば、特許文献１（特開２００２−２０１３３号公報）に開示されている。【０００３】
この公報に開示されたスクライブ装置を図７に示す。図７に示すスクライブ装置は、スクライブラインが形成されるパネル基板７０を水平状態で載置後保持するテーブル８１と、このテーブル８１上に保持されたパネル基板７０をスクライブするスクライビングホイールが夫々取り付けられた複数のスクライブヘッド８２と、各スクライブヘッド８２が夫々独立してスライド可能に取り付けられたガイドレール８３ａが設けられたブリッジ８３とを有している。【０００４】
パネル基板７０を水平状態で保持するテーブル８１は、パネル基板７０を水平状態に保持した状態で垂直軸周り、すなわち、図７に示すθ方向に正逆に回転可能になっている。ブリッジ８３は、テーブル８１を跨ぐように架設されており、ガイドレール８３ａは、テーブル８１の上方において水平状態で配置されている。ガイドレール８３ａに取り付けられた各スクライブヘッド８２は、リニアモータ機構によって、ガイドレール８３ａの長手方向に沿ったＸ方向にそれぞれスライド可能になっている。また、テーブル８１は、ガイドレール８３ａに対して直交方向であるＹ方向にスライド可能になっている。【０００５】
各スクライブヘッド８２の下部には、昇降可能になったスクライビングホイール（カッターホイールチップ）８２ａがそれぞれ設けられている。各スクライビングホイール８２ａは、テーブル８１上に保持されたパネル基板７０に圧接されて、パネル基板７０に対して相対的に移動することによって、パネル基板７０の所定箇所をスクライブする。これにより、パネル基板７０にはスクライブラインが形成される。【０００６】
なお、図７に示すスクライブ装置には、パネル基板７０に設けられたアライメントマークを撮像する一対のカメラ８４、各カメラ８４によって撮像された画像を表示する画像表示装置８５等が設けられている。【０００７】
このような構成のスクライブ装置では、テーブル８１上にパネル基板７０が保持されると、一対のカメラ８４にて撮像されたアライメントマークに基づいて、テーブル８１がθ方向に回転されて、テーブル８１上に保持されたパネル基板７０とブリッジ８３のガイドレール８３ａとの相対的な位置決めが行われる。その後、各スクライブヘッド８２のスクライビングホイール８２ａがパネル基板７０における所定のＹ方向スクライブ開始位置に対向するように、各スクライブヘッド８２がそれぞれＸ方向にスライドされる。そして、各スクライブヘッド８２のスクライビングホイール８２ａがパネル基板７０におけるＹ方向スクライブ開始位置に対向されると、各スクライビングホイール８２ａがそれぞれ下降されて、パネル基板７０におけるＹ方向スクライブ開始位置に圧接される。【０００８】
このような状態になると、ブリッジ８３全体がＹ方向に移動されることによって、各スクライブヘッド８２のスクライビングホイール８２ａは、Ｙ方向に沿ったスクライブラインを複数本同時に形成する。【０００９】
以上のように、複数のスクライブヘッド８２が設けられていることによって、例えば、Ｙ方向に沿って複数の平行なスクライブラインを同時に形成することができる。従って、マザーパネル基板から複数のパネル基板を分断するためのスクライブを効率よく実施することができる。【００１０】
一方、ＦＰＤの製造工場ではより大きな寸法のパネル基板がマザー基板として採用される傾向があり、それに対応するべくスクライブ装置の載置テーブルの寸法も大きくする事が要求されてきている。しかしながら、載置テーブルの寸法を大きくすると、テーブルを回転させることによってマザー基板両端でのスクライブ位置精度を維持するのが一段と困難となる。すなわち、テーブルを回転軸の周りにモータにて回転させる機構を採用している関係上、回転角の分解能を上げて行くにはある程度の機構上の限界がある。また、載置テーブルの寸法が大きくなるとテーブル自体も重たくなる結果、回転機構も大掛かりな物が必要となってくる。こうしたことから、大寸法のマザー基板用のスクライブ装置の載置テーブルについては回転機構を組み込む機器設計が採用されていない。【００１１】
スクライブ装置の載置テーブルが回転しない場合には、マザー基板がわずかでも傾いて載置テーブル上に載置されてスクライブされるとなると、図７のスクライブ装置が単に単一のスクライブヘッドを搭載しているだけの場合でも、下記の問題が発生する。すなわち、スクライブヘッドをＸ方向に動かした後に、所定のＸ位置からＹ方向にスクライブラインを形成する際に、形成されるマザー基板が傾いた分だけスクライブラインも傾いて形成されることになる。【００１２】
そうした不具合を解消するために、特許文献２（特公平６−２５９７号公報）等に開示されている直線補間による手法が用いられる。【００１３】
単一のスクライブヘッドが搭載された図７のスクライブ装置の場合、テーブル８１上に保持されたパネル基板７０とブリッジ８３のガイドレール８３ａとの相対的な位置関係が、一対のカメラ８４にて撮像されたアライメントマークに基づいて予め画像処理にて演算されていることから、その演算結果に基づいて、スクライブヘッド８２の直下に取付けられたスクライビングホイール８２ａがパネル基板７０におけるＹ方向に沿った各スクライブ予定ラインに沿って移動するように直線補間される。この直線補間は、ブリッジ８３全体がＹ方向へ所定の微小距離だけ移動する毎に、各スクライビングホイール８２ａをＸ方向に所定の微小距離だけ移動させることによって行なわれる。【００１４】
また、ＦＰＤ用のマザーパネル基板の上下面を同時にスクライブさせて分離させる上下分断装置が開発されているが、そうした装置においては基板が搬送されてきた状態のままマザー基板がスクライブされるので、上記の直線補間手法が採用されている。
【特許文献１】特開２００２−２０１３３号公報
【特許文献２】特公平６−２５９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
図７に示すスクライブ装置では、複数のスクライブヘッド８２が搭載されている。従って、スクライブ開始時には各ヘッドに取り付けられたスクライビングホイール８２ａのスクライブ開始位置を、同一直線状に正確に位置決めされた状態で配置する必要がある。しかしながら全てのスクライブヘッド８２はブリッジ８３に取り付けられている為に、一旦パネル基板７０がブリッジ８３の直線方向と一致せずにその方向とある角度を持って傾いて載置されると、もはやスクライブ開始位置を揃えることが不可能となる。【００１６】
本発明は、このような問題を解決するものであり、その目的は、複数のスクライブヘッドの各スクライブ手段を、パネル基板等の脆性材料基板における所定のスクライブ開始位置に正確に位置決めすることができるスクライブ装置およびスクライブ方法を提供することにある。本発明の他の目的は、複数のスクライブヘッドの各スクライブ手段を、それぞれ迅速かつ高精度で直線補間することができるスクライブ装置およびスクライブ方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明のスクライブ装置は、脆性材料基板を水平状態で保持する基板保持手段と、該基板保持手段にて保持された前記脆性材料基板をスクライブするスクライブ手段をそれぞれ有する複数のスクライブヘッドと、該複数のスクライブヘッドのそれぞれを、長手方向であるＸ方向に沿ってスライド可能に保持するガイドレールとを備え、前記基板保持手段にて保持された前記脆性材料基板と、前記ガイドレールとが、前記Ｘ方向に対して直交するＹ方向に沿って相対的に移動可能になっており、前記各スクライブヘッドは、それぞれに設けられた前記スクライブ手段を前記Ｙ方向に沿ってスライドさせるスライド手段を有することを特徴とする。【００１８】
好ましくは、前記基板保持手段は、保持した前記脆性材料基板を前記Ｙ方向に搬送可能である。【００１９】
好ましくは、前記ガイドレールが、前記基板保持手段にて保持された前記脆性材料基板の上方に設けられている。【００２０】
好ましくは、前記脆性材料基板は、１枚のパネル基板である。【００２１】
好ましくは、前記ガイドレールが、前記基板保持手段にて保持された前記脆性材料基板の上方および下方にそれぞれ設けられており、該ガイドレールのそれぞれに、前記複数のスクライブヘッドがそれぞれ設けられている。【００２２】
好ましくは、前記脆性材料基板は、一対のパネル基板が貼り合わされた貼り合わせパネル基板である。【００２３】
好ましくは、前記脆性材料基板の上方の前記ガイドレールに設けられた前記スクライブヘッドのいずれかに、前記貼り合わせパネル基板の上面に圧接するローラが設けられている。【００２４】
好ましくは、前記スクライブ手段は、スクライビングホイールである。【００２５】
好ましくは、前記各スクライブヘッドは、前記スクライビングホイールを前記脆性材料基板に圧接させる手段をさらに有する。【００２６】
また、本発明は、前記スクライブ装置によって前記脆性材料基板をスクライブする方法であって、前記基板保持手段にて保持された前記脆性材料基板に対して前記ガイドレールを位置決めする工程と、次いで、前記各スクライブヘッドを前記ガイドレールに沿って前記Ｘ方向に移動させるとともに、前記各スクライブヘッドの前記スクライブ手段を前記Ｙ方向に移動させて、該スクライブ手段のそれぞれを、前記脆性材料基板におけるスクライブ開始位置にそれぞれ対向させる工程と、を包含する。【００２７】
好ましくは、前記各スクライブ開始位置にそれぞれ対向した前記各スクライブヘッドを、前記各スクライブ開始位置にそれぞれ圧接して、前記基板保持手段にて保持された前記脆性材料基板と、前記ガイドレールとを、前記Ｙ方向に沿って相対的に移動させる工程をさらに包含する。【００２８】
好ましくは、前記各スクライブ開始位置にそれぞれ対向した前記各スクライブヘッドを、前記各スクライブ開始位置にそれぞれ圧接して、前記各スクライブヘッドのそれぞれを前記ガイドレールに沿って前記Ｘ方向に沿って移動させる工程をさらに包含する。【００２９】
好ましくは、前記各スクライブヘッドのそれぞれを、前記ガイドレールに沿って前記Ｘ方向に移動させる間に、前記スクライブ手段を前記Ｙ方向に移動させることによって直線補間する。
【発明の効果】
【００３０】
本発明のスクライブ装置およびスクライブ方法では、長手方向に配置された複数のスクライブヘッドを長手方向にスライド可能に保持するガイドレールの長手方向に対して、脆性材料基板のスクライブ予定ラインが、傾いた方向（平行又は垂直方向以外の方向）に配置された場合でも、複数のスクライブヘッドのそれぞれに、スクライブ手段をＹ方向に独立して移動させるスライド手段が設けられていることにより、各スクライブヘッドのスクライブ手段を、脆性材料基板におけるそれぞれのスクライブ開始位置に正確に位置合わせすることができる。すなわち、脆性材料基板に対してＹ方向に沿った複数のスクライブラインを複数のスクライブ手段で同時に形成する際に、各スクライブ手段によるスクライブ開始位置をＸ方向（スクライブ予定ラインに対して直行する方向）に整列させることができる。また、脆性材料基板に対してＸ方向に沿った１本のスクライブラインを分割して（又はＸ方向の１ライン上に配列された複数のスクライブラインを）複数のスクライブ手段で同時に形成する際に、各スクライブ手段によるスクライブ開始位置をＸ方向（スクライブ予定ライン上）に整列させることができる。そのため、脆性材料基板（マザー基板）から長方形状の分断基板を切り出すための所要時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明のスクライブ装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明のスクライブ装置の要部の概略構成を拡大して示す斜視図である。
【図３】本発明のスクライブ装置に使用されるスライドヘッド部の斜視図である。
【図４】本発明のスクライブ装置に使用されるスライドヘッド部の正面図である。
【図５】本発明のスクライブ装置に使用されるカッターヘッド部の斜視図である。
【図６】（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、本発明のスクライブ装置の動作説明のための貼り合わせパネル基板の平面図である。
【図７】従来のスクライブ装置の概略構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００３２】
１０  搬送支持機構（基板支持機構）
３０  スクライブユニット
３１  上部ガイドレール
３２  下部ガイドレール
３３  上部スクライブヘッド
３４  上部スライドヘッド部
３４ｍ  サーボモータ
３４ｎ  タイミングプーリ
３４ｐ  タイミングプーリ
３４ｑ  タイミングベルト
３５  上部カッターヘッド部
３５ａ  サーボモータ
３５ｍ  カッター部材
３５ｎ  ホルダー部材
３５ｐ  スクライビングホイール
３６  ローラヘッド部
３７  カメラヘッド部
３８  下部スライドヘッド部
３９  下部カッターヘッド部
４０  下部スクライブヘッド
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。【００３４】
図１は、本発明のスクライブ装置の概略構成を示す斜視図、図２は、その要部を拡大して示す斜視図である。このスクライブ装置は、例えば、液晶表示パネルに使用される貼り合わせパネル基板９０を所定の大きさに分断するために使用される。貼り合わせパネル基板９０は、一対のパネル基板同士が、所定の間隔をあけた状態で相互に貼り合わせられ、液晶を充填されている。本発明のスクライブ装置は、図１に示すように、分断される貼り合わせパネル基板９０が水平状態で載置される一対の基板支持機構１０と、両基板支持機構の間に配置されたスクライブユニット３０とを備えている。【００３５】
各基板支持機構１０は、水平状態で載置されるパネル基板９０を、水平状態で搬送するように構成されており、また、スクライブユニット３０は、両基板支持機構にて水平状態で保持される貼り合わせパネル基板９０を分断する。【００３６】
一対の基板支持機構１０は、水平状態で載置された貼り合わせパネル基板９０を、水平状態を保持して所定方向（スクライブユニット３０の長手方向に対して直交する方向）に搬送する複数のベルトコンベア１１によってそれぞれ構成されている。【００３７】
以下、図１に示すように、基板支持機構１０によってパネル基板９０が搬送される方向をＹ方向、Ｙ方向と直交する水平方向（スクライブユニット３０の長手方向）をＸ方向、Ｙ方向およびＸ方向と直交する上下方向をＺ方向とする。【００３８】
一対の基板支持機構１０の間に配置されたスクライブユニット３０は、図２に示すように、基板支持機構１０による貼り合わせパネル基板９０の搬送方向とは直交する方向（Ｘ方向）に沿って水平状態でそれぞれが配置された上部ガイドレール３１および下部ガイドレール３２を有している。上部ガイドレール３１および下部ガイドレール３２は、上下方向に適当な間隔をあけた状態で一体化されている。上部ガイドレール３１と下部ガイドレール３２との間隙には、基板支持機構１０によって＋Ｙ方向に搬送される貼り合わせパネル基板９０が通過する。【００３９】
上部ガイドレール３１には、それぞれが上部ガイドレール３１に沿ってスライド可能に取り付けられた一対の上部スクライブヘッド３３が設けられている。各上部スクライブヘッド３３は、それぞれ、上部ガイドレール３１の長手方向に沿ったＸ方向にスライドする上部スライドヘッド部３４をそれぞれ有している。各上部スライドヘッド部３４は、リニアモータ機構によってＸ方向にスライドするように構成されており、上部ガイドレール３１上には、上部ガイドレール３１に沿ってスライド可能になったリニアモータ機構のスライダ３１ａがそれぞれ設けられている。各スライダ３１ａには、連結板３１ｂが垂直状態で取り付けられており、この連結板３１ｂに上部スライドヘッド部３４がそれぞれ取り付けられている。一対の上部スクライブヘッド３３によれば、貼り合わせパネル基板９０の上面に、Ｘ方向に所定間隔を隔てられたＹ方向の１対の平行なスクライブラインを同時に形成することができる。また、Ｘ方向の１本のライン上の複数のスクライブラインを（又は１本のスクライブラインを２分割して）同時に形成することができる。【００４０】
また、各連結板３１ｂには、各上部スライドヘッド部３４と一体となって上部ガイドレール３１に沿ってスライドするカメラヘッド部３７がそれぞれ取り付けられている。各カメラヘッド部３７には、貼り合わせパネル基板９０に設けられたアライメントマークを撮像するカメラが設けられており、上部ガイドレール３１および下部ガイドレール３２の間に貼り合わせパネル基板９０が搬送されると、各カメラによって、貼り合わせパネル基板９０に設けられたアライメントマークがそれぞれ撮像される。【００４１】
また、各上部スライドヘッド部３４には、上部カッターヘッド部３５およびローラヘッド部３６がそれぞれ取り付けられている。ローラヘッド部３６は、カッターヘッド部におけるスクライビングホイールに代えて、基板に押圧されてもスクライブラインを形成することのない形状のローラが取り付けられている他はカッターヘッド部と同等の構造を有する。【００４２】
下部ガイドレール３２には、それぞれが下部ガイドレール３２に沿ってＸ方向にスライド可能になった一対の下部スクライブヘッド４０が設けられており、各下部スクライブヘッド４０に、下部スライドヘッド部３８がそれぞれ設けられている。各下部スライドーヘッド部３８は、下部ガイドレール３２の長手方向に沿ってスライド可能になったリニアモータ機構のスライダ（図示せず）に取り付けられている。各下部スライドヘッド部３８には、下部カッターヘッド部３９がそれぞれ取り付けられている。【００４３】
一対の下部スクライブヘッド４０によれば、貼り合わせパネル基板９０の下面に、Ｘ方向に所定間隔を隔てられたＹ方向の１対の平行なスクライブラインを同時に形成することができる。また、Ｘ方向の１本のライン上の複数のスクライブラインを（又は１本のスクライブラインを２分割して）同時に形成することができる。【００４４】
また、上部スクライブヘッド３３と下部スクライブヘッド４０とによれば、貼り合せパネル基板９０の上面と下面とに同時にスクライブラインを形成することができる。この場合、上部スクライブヘッド３３に取り付けられた上部カッターヘッド部３５と下部スクライブヘッド４０に取り付けられた下部カッターヘッド部３９とが貼り合わせパネル基板９０を介して対向することになる。【００４５】
上部スクライブヘッド３３に取り付けられたローラヘッド部３６は、貼り合せパネル基板９０の下面のみにスクライブラインを形成する場合に、必要に応じて、貼り合わせパネル基板９０を介して下部カッターヘッド部３９と対向するように貼り合わせパネル基板の上面を押圧する状態で使用される。例えば、貼り合わせパネル基板９０の下面のみにスクライブラインを形成する際に、上部スクライブヘッド３３に取り付けられたローラーヘッド部３６を使用しないと、下部カッターヘッド３９からの押圧力により、貼り合わせパネル基板９０の大きさ、厚さ、剛性等の特性等によっては基板９０にたわみが生じ、適正なスクライブラインの形成が阻害される場合がある。ローラヘッド部３６を使用することにより、上部カッターヘッド部３５と下部カッターヘッド３９とを貼り合わせパネル基板９０を介して対向させて貼り合わせパネル基板９０の上面と下面とに同時にスクライブラインを形成する場合と同様な状況下で下面のみにスクライブラインを形成することができる。【００４６】
図３は、上部ガイドレール３１に設けられた一方の上部スクライブヘッド３３における上部スライドヘッド部３４（図１に示された＋Ｘ方向とは反対方向である−Ｘ方向側に配置されている）の斜視図、図４は、その上部スライドヘッド部３４の正面図である。この上部スライドヘッド部３４は、上下方向に適当な間隔をあけて配置された上側ブロック部３４ａおよび下側ブロック部３４ｂを有しており、これら上側ブロック部３４ａおよび下側ブロック部３４ｂが、リニアモータ機構のスライダ３１ａに取り付けられた連結板３１ｂに取り付けられている。上側ブロック部３４ａにおけるスライド方向であるＸ方向の両側には、Ｙ方向に沿って水平状態で延びるスライドガイド３４ｃがそれぞれ設けられており、各スライドガイド３４ｃに上側ガイドブロック３４ｄがそれぞれスライド可能に設けられている。下側ブロック部３４ｂにおけるスライド方向であるＸ方向の両側にも、Ｙ方向に沿って水平状態で延びるスライドガイド３４ｅがそれぞれ設けられており、各スライドガイド３４ｅに下側ガイドブロック３４ｆがそれぞれスライド可能に設けられている。【００４７】
上部スライドヘッド部３４の両側に設けられた上側ガイドブロック３４ｄおよび下側ガイドブロック３４ｆには、取付板３４ｇがそれぞれ垂直状態で取り付けられている。また、この上部スライドヘッド部３４における他方のスライドヘッド部３４に対向する側（図２の＋Ｘ方向側）に配置された取付板３４ｇには、上部カッターヘッド部３５（図２参照）が取り付けられ、他方のスライドヘッド部３４の遠方側（図２の＋Ｘ方向側とは反対側である−Ｘ方向側）に配置された取付板３４ｇには、ローラヘッド部３６（図２参照）が取り付けられている。【００４８】
上側ブロック部３４ａおよび下側ブロック部３４ｂの間には、ボールネジ３４ｈがＹ方向に沿った水平状態で配置されており、このボールネジ３４ｈに、各取付板３４ｇと一体となったスライドブロック３４ｉがネジ結合している。各取付板３４ｇに一体的に取り付けられたスライドブロック３４ｉは、ボールネジ３４ｈの正転および逆転によって、Ｙ方向に沿ってスライドし、スライドブロック３４ｉのＹ方向に沿ったスライドに追従して各取付板３４ｇがスライドする。これにより、各取付板３４ｇに取り付けられた上部カッターヘッド部３５およびローラヘッド部３６が一体となってＹ方向に沿ってスライドする。【００４９】
上側ブロック部３４ａの上方にはサーボモータ３４ｍが設けられている。サーボモータ３４ｍの回転軸は、図２に示す＋Ｙ方向とは反対方向（−Ｙ方向）に水平状態で延出しており、その先端部にタイミングプーリ３４ｎが一体的に取り付けられている。タイミングプーリ３４ｎの下方には、ボールネジ３４ｈの先端部に取り付けられた従動側のタイミングプーリ３４ｐが配置されている。そして、両タイミングプーリ３４ｎおよび３４ｐにタイミングベルト３４ｑが周回移動可能に巻き掛けられている。【００５０】
サーボモータ３４ｍは正転および逆転可能になっており、サーボモータ３４ｍの回転は、タイミングベルト３４ｑによって、上側のタイミングプーリ３４ｎから下側のタイミングプーリ３４ｐに伝達されて、下側のタイミングプーリ３４ｐに一体的に取り付けられたボールネジ３４ｈが回転する。そして、ボールネジ３４ｈが回転されることによって、スライドブロック３４ｉがＹ方向に沿ってスライドし、スライドブロック３４ｉに取り付けられた各取付板３４ｇがそれぞれＹ方向に沿ってスライドする。これにより、各取付板３４ｇに設けられた上部カッターヘッド部３５およびローラヘッド部３６がＹ方向に沿ってスライドする。【００５１】
図５は、上部カッターヘッド部３５の斜視図である。上部カッターヘッド部３５には、スライドヘッド部３４に設けられた一方の取付板３４ｇの上部にサーボモータ３５ａが取り付けられている。サーボモータ３５ａは、回転軸を下側に垂直状態で延出した倒立状態で取付板３４ｇに取り付けられている。サーボモータ３５ａの回転軸には、円筒カム３５ｂが回転軸と一体的に回転するように取り付けられている。円筒カム３５ｂの下面は、水平状態に対して傾斜状態になったカム面３５ｃになっている。【００５２】
また、上部カッターヘッド部３５は、取付板３４ｇの下部に設けられたリニアベアリング３５ｋを有しており、このリニアベアリング３５ｋに、ホルダー部材３５ｎが、上下方向へのスライド可能に保持されている。ホルダー部材３５ｎの下端部には、貼り合わせパネル基板９０にスクライブラインを形成するためのカッター部材３５ｍが保持されている。カッター部材３５ｍの下端部にはスクライビングホイール３５ｐが設けられている。ホルダー部材３５ｎは、スクライビングホイール３５ｐが下端部に設けられたカッター部材３５ｍを垂直軸周りに回転可能に保持している。ホルダー部材３５ｎと取付板３４ｇとの間には、ホルダー部材３５ｎを取付板３４ｇに対して上方に向かって付勢する弾性体としてのコイルスプリング３５ｓが設けられている。【００５３】
なお、スクライビングホイール３５ｐが下端部に設けられたカッター部材３５ｍは、ホルダー部材（以下、カッター保持部材ともいう。）３５ｎに対して取り外し可能に構成されており、例えば、ＷＯ２００７／０６３９７９号公報に開示されているように、カッター部材３５ｍは、カッター保持部材３５ｎに対して磁石によって容易に着脱できるように構成されていてもよい。また、スクライビングホイール３５ｐとしては、特許３０７４１４３号公報に開示されたカッターホイール、ＷＯ２００７／０６３９７９号公報に開示されたスクライビングホイール等を使用してもよい。【００５４】
カッター保持部材３５ｎの上部には、円筒カム３５ｂのカム面３５ｃに当接するカムフォロア３５ｄが、カッター保持部材３５ｎと一体的に設けられている。カムフォロア３５ｄは、回転可能になったローラ形状になっており、カッター保持部材３５ｎがコイルスプリング３５ｓによって上方に付勢されることによって、円筒カム３５ｂのカム面３５ｃに圧接されている。【００５５】
上部スライドヘッド部３４の他方の取付板３４ｇには、図２に示すように、ローラヘッド部３６が設けられているが、このローラヘッド部３６は、ホルダー部材３５ｎがカッター部材３５ｍを保持する上部カッターヘッド部３５の構成とは、ホルダー部材がローラ部材を保持する構成になっていることだけが相違しており、その他の構成は、上部カッターヘッド部３５の構成と同様になっている。ローラ部材は、例えば、パネル基板の下面のみにスクライブラインを形成する際に、パネル基板を介して下部カッターヘッド部３９に対向するように、パネル基板の上面に圧力を付加するものである。【００５６】
図２に示すように、下部ガイドレール３２に沿ってスライド可能になった各下部スクライブヘッド４０には、下部スライドヘッド部３８がそれぞれ設けられている。各下部スライドヘッド部３８のそれぞれは、上部スライドヘッド部３４とは上下方向が反対に構成されていること以外は上部スライドヘッド部３４と同様の構成になっている。【００５７】
また、各下部スライドヘッド部３８には、それぞれの外側（他方の下部スライドヘッド部３８に対して遠方側）に下部カッターヘッド部３９のみがそれぞれ取り付けられている。各下部カッターヘッド部３９は、上部カッターヘッド部３５とは、上下方向が反対となっていること以外は上部カッターヘッド部３５と同様の構成になっている。【００５８】
リニアモータ機構による各上部スライドヘッド３４および各下部スライドヘッド４０のスライド、各上部スライドヘッド３４におけるサーボモータ３４ｍおよび各下部スライドヘッド３８におけるサーボモータの駆動、各上部カッタードヘッド３５におけるサーボモータ３５ａ、各ローラヘッド部３６および各下部スライドヘッド３９におけるサーボモータの駆動、基板保持機構の駆動等の制御は図示しない演算制御部によって行なわれる。【００５９】
このような構成の本発明のスクライブ装置によって貼り合わせパネル基板９０をスクライブする動作について説明する。以下、図６（ａ）および（ｂ）に示すように、本発明のスクライブ装置によって、１枚の貼り合わせパネル基板９０から、８枚の分断貼り合わせパネル基板９１を分断する場合のスクライブ方法について説明する。図６（ａ）に示すように、大判の貼り合わせパネル基板９０からは、その貼り合わせパネル基板９０の長手方向（Ｙ方向）に沿って４枚、幅方向（Ｘ方向）に沿って２枚の分断貼り合わせパネル基板９１が分断される。この場合、貼り合わせパネル基板９０における上側パネル基板と下側パネル基板とは、図６（ａ）に示すように、長手方向に沿った４本のＹ方向スクライブ予定ライン９０ａ、９０ｂ、９０ｃ、９０ｄに沿って分断される。なお、４本のスクライブラインは、−Ｘ方向側から順番に、第１スクライブ予定ライン９０ａ、第２スクライブ予定ライン９０ｂ、第３スクライブ予定ライン９０ｃ、第４スクライブ予定ライン９０ｄになっている。【００６０】
なお、貼り合わせパネル基板９０における上側パネル基板の第１スクライブ予定ライン９０ａおよび第３スクライブ予定ライン９０ｃの位置と、下側パネル基板の第１スクライブ予定ライン９０ａおよび第３スクライブ予定ライン９０ｃの位置とは、若干異なっている。下側パネル基板における第１スクライブ予定ライン９０ａの位置は、上側パネル基板における第１スクライブ予定ライン９０ａよりも内側（＋Ｘ方向側）になっており、また、下側パネル基板における第３スクライブ予定ライン９０ｃの位置は、上側パネル基板における第３スクライブ予定ライン９０ｃよりも内側（＋Ｘ方向側）になっている。これは、分断貼り合わせパネル基板９１における上側パネル基板の一方の側縁部に、上側パネル基板に設けられる電極線の端子等を設ける必要があるために、上側パネル基板の面積を大きくするためである。なお、図６（ａ）および（ｂ）においては、便宜上、上側パネル基板および下側パネル基板におけるそれぞれのスクライブ予定ラインが一致するように示している。【００６１】
なお、貼り合わせパネル基板９０における幅方向（Ｘ方向）に沿った各スクライブ予定ラインは、最も＋Ｙ方向側に位置するスクライブ予定ラインを、−Ｘ方向側から第５スクライブ予定ライン９０ｅおよび第６スクライブ予定ライン９０ｆとし、それら第５および第６の各スクライブ予定ライン９０ｅおよび９０ｆに対して−Ｙ方向側にそれぞれ隣接するスクライブ予定ラインをそれぞれ第７スクライブ予定ライン９０ｇおよび第８スクライブ予定ライン９０ｈとする。【００６２】
本発明のスクライブ装置では、一対の上部スクライブヘッド３４における各上部カッターヘッド部３５の各スクライビングホイール（カッターホイールチップ）３５ｐによって上側パネル基板における第１スクライブ予定ライン９０ａおよび第３スクライブ予定ライン９０ｃに沿って同時にスクライブラインを形成するとともに、一対の下部スクライブヘッド４０における各下部カッターヘッド部３９の各スクライビングホイールによって上側パネル基板における第１スクライブ予定ライン９０ａおよび第３スクライブ予定ライン９０ｃに対向する下側パネル基板下面上の図示されていない２本のラインに沿って同時にスクライブラインを形成する。このとき、下側パネル基板下面上に形成されるスクライブラインの位置は、下側パネル基板における第１スクライブ予定ライン９０ａおよび第３スクライブ予定ライン９０ｃより外側（−Ｘ方向側）にずれた位置となる。これは、上述したように、上側パネル基板の一方の側縁部には電極線の端子等が設けられており、上側パネル基板における第１スクライブライン予定ライン９０ａの位置および第３スクライブ予定ライン９０ｃの位置がそれぞれ、下側パネル基板における第１スクライブ予定ライン９０ａの位置および第３スクライブ予定ライン９０ｃの位置より外側（−Ｘ方向側）にずれているためである。【００６３】
次に、一対の下部スクライブヘッド４０における各下部カッターヘッド部３９の各スクライビングホイール３５ｐによって下側パネル基板における第１スクライブ予定ライン９０ａおよび第３スクライブ予定ライン９０ｃに沿って同時にスクライブラインを形成する。このとき、貼り合わせパネル基板を介して各下部カッターヘッド部３９の各スクライビングホイール３５ｐと対向するように各ローラヘッド部３６の各ローラを上側パネル基板の上面側から押圧するように転動させる。【００６４】
その後、一対の上部カッターヘッド部３５の各スクライビングホイール３５ｐによって上側パネル基板における第２スクライブ予定ライン９０ｂおよび第４スクライブ予定ライン９０ｄに沿って同時にスクライブラインを形成するとともに、一対の下部カッターヘッド部３９の各スクライビングホイールによって下側パネル基板における第２スクライブ予定ライン９０ｂおよび第４スクライブ予定ライン９０ｄに沿って同時にスクライブラインを形成する。さらにその後に、一対の上部カッターヘッド部３５の各スクライビングホイール３５ｐによって上側パネル基板における第５スクライブ予定ライン９０ｅおよび第６スクライブ予定ライン９０ｆに沿ってスクライブラインを同時に形成するとともに、一対の下部カッターヘッド部３９の各スクライビングホイールによって下側パネル基板における第５スクライブ予定ライン９０ｅおよび第６スクライブ予定ライン９０ｆに沿ってスクライブラインを同時に形成する。その後、第５スクライブ予定ライン９０ｅおよび第６スクライブ予定ライン９０ｆに対して−Ｙ方向に隣接するＸ方向に沿った第７スクライブ予定ライン９０ｇおよび第７スクライブ予定ライン９０ｈに沿ってスクライブラインが形成され、以下、形成されたスクライブラインに対して−Ｙ方向に隣接するＸ方向に沿った各スクライブ予定ラインに沿って順番にスクライブラインを形成する。【００６５】
このようなスクライブ方法について、さらに詳細に説明する。まず、−Ｙ方向に位置する一方の基板支持機構１０に貼り合わせパネル基板９０が載置されると、その基板支持機構１０は、貼り合わせパネル基板９０を水平状態に保持する。この場合、基板支持機構１０は、貼り合わせパネル基板９０をＸ方向およびＹ方向に対して正確に位置決めされることなく、貼り合わせパネル基板９０の長手方向がＹ方向にほぼ沿った状態になるように保持する。その後、基板支持機構１０は、保持された貼り合わせパネル基板９０を＋Ｙ方向に搬送して、上部ガイドレール３１と下部ガイドレール３２との間に＋Ｙ方向側の端部を挿入する。【００６６】
このような状態になると、貼り合わせパネル基板９０における所定の位置に設けられたアライメントマークを、各カメラヘッド部３７に設けられたカメラによって撮像するために、上部ガイドレール３１に設けられた各スクライブヘッド３３が上部ガイドレール３１の長手方向に沿ってそれぞれスライドされる。この場合、貼り合わせパネル基板９０に設けられたアライメントマークが撮像されるように、必要に応じて、基板支持機構１０によって貼り合わせパネル基板９０がＹ方向に移動される。【００６７】
その後、各スクライブヘッド３３の各カメラヘッド部３７に設けられたカメラによって、貼り合わせパネル基板９０に設けられたアライメントマークがそれぞれ撮像されると、撮像されたアライメントマークに基づいて、スクライブユニット３０に対して貼り合わせパネル基板９０が所定の位置になるように、基板支持機構１０によって貼り合わせパネル基板９０が移動される。そして、スクライブユニット３０に対して貼り合わせパネル基板９０が所定の位置になると、貼り合わせパネル基板９０の移動が停止される。【００６８】
このような状態になると、演算制御部によって、貼り合わせパネル基板９０における幅方向と、上部ガイドレール３１および下部ガイドレール３２の長手方向であるＸ方向との傾斜角度が演算されるとともに、貼り合わせパネル基板９０の上側パネル基板および下側パネル基板におけるそれぞれのスクライブ開始位置Ｓ１およびＳ２（第１スクライブ予定ライン９０ａおよび第１スクライブ予定ライン９０ｃにおける＋Ｙ方向の端部の位置、図６（ａ）参照）が演算される。そして、その演算結果に基づいて、各上部カッターヘッド部３５のスクライビングホイール３５ｐを上側パネル基板のスクライブ開始位置Ｓ１およびＳ２の上方にそれぞれ位置させるために必要な各上部スクライブヘッド３３のＸ方向およびＹ方向に沿った移動距離がそれぞれ演算されるとともに、各下部カッターヘッド部３９のスクライビングホイールを下側パネル基板のスクライブ開始位置Ｓ１およびＳ２の下方にそれぞれ位置させるために必要な各下部スクライブヘッド４０のＸ方向およびＹ方向に沿った移動距離がそれぞれ演算される。【００６９】
その後に、それぞれの演算結果に基づいて、各上部スクライブヘッド３３が、リニアモータ機構によって、上部ガイドレール３１に沿って、演算された移動距離だけＸ方向に移動されるとともに、各上部スライドヘッド部３４に取り付けられたそれぞれの上部カッターヘッド部３５がＹ方向に沿って演算された移動距離だけ移動されるように、各上部スライドヘッド部３４に設けられたサーボモータ３４ｍがそれぞれ回転駆動される。サーボモータ３４ｍの回転は、一対のタイミングプーリ３４ｎおよび３４ｐによってボールネジ３４ｈに伝達され、それによってボールネジ３４ｈが回転される。これにより、各上部スライドヘッド部３４に取り付けられたそれぞれの上部カッターヘッド部３５がＹ方向に移動する。【００７０】
このようにして、各上部スクライブヘッド３３が、リニアモータ機構によってＸ方向に移動されるとともに、各上部スクライブヘッド３３の上部カッターヘッド部３５がＹ方向に移動されることによって、その上部カッターヘッド部３５のスクライビングホイール３５ｐが、上側パネル基板におけるスクライブ開始位置Ｓ１およびＳ２の上方にそれぞれ正確に対向される。【００７１】
同様に、各下部スクライブヘッド４０が、リニアモータ機構によって、下部ガイドレール３２に沿って移動されるとともに、各下部スクライブヘッド４０の下部カッターヘッド部３９がＹ方向に沿って移動されることによって、下部カッターヘッド部３９のスクライビングホイールが下側パネル基板におけるスクライブ開始位置Ｓ１およびＳ２の下方にそれぞれ正確に対向される。【００７２】
このような状態になると、各上部カッターヘッド部３５のサーボモータ３５ａが回転されることによって、円筒カム３５ｂが回転され、円筒カム３５ｂのカム面３５ｃに圧接されたカムフォロア３５ｄが下降される。これにより、ホルダー部材３５ｎが、コイルスプリング３５ｓの付勢力に抗して下方に移動される。そして、ホルダー部材３５ｎが所定量だけ下降されることによって、各スクライビングホイール３５ｐが、貼り合わせパネル基板９０における上側パネル基板のスクライブ開始位置Ｓ１およびＳ２にそれぞれ所定の圧力で圧接される。【００７３】
各下部カッターヘッド部３８においても、同様に、サーボモータが回転されることによって、ホルダー部材が、上方に移動されて、それぞれのスクライビングホイールが、貼り合わせパネル基板９０における下側パネル基板のスクライブ開始位置Ｓ１およびＳ２にそれぞれ所定の圧力で圧接される。【００７４】
このような状態になると、基板支持機構によって貼り合わせパネル基板９０が＋Ｙ方向に移動され、各上部カッターヘッド部３５のスクライビングホイール３５ｐによって、貼り合わせパネル基板９０の上側パネル基板における第１スクライブ予定ライン９０ａおよび第３スクライブ予定ライン９０ｃに沿ってスクライブラインが形成される。同様に、各下部カッターヘッド部３９のスクライビングホイールによっても、貼り合わせパネル基板９０の上側パネル基板における第１スクライブ予定ライン９０ａおよび第３スクライブ予定ライン９０ｃに対向する下側パネル基板下面上の図示されない２本のラインに沿ってスクライブラインが形成される。このとき、下側パネル基板下面上に形成されるスクライブラインの位置は、下側パネル基板における第１スクライブ予定ライン９０ａおよび第３スクライブ予定ライン９０ｃより外側（−Ｘ方向側）にずれた位置となる。これは、上述したように、上側パネル基板の一方の側縁部には電極線の端子等が設けられていることから、上側パネル基板における第１スクライブライン予定ライン９０ａの位置および第３スクライブ予定ライン９０ｃの位置がそれぞれ、下側パネル基板における第１スクライブ予定ライン９０ａの位置および第３スクライブ予定ライン９０ｃの位置より外側（−Ｘ方向側）にずれているためである。【００７５】
この場合、演算制御部は、貼り合わせパネル基板９０における幅方向と、上部ガイドレール３１および下部ガイドレール３２の長手方向であるＸ方向との傾斜角度を予め演算していることから、その演算された傾斜角度に基づいて、第１スクライブ予定ライン９０ａおよび第３スクライブ予定ライン９０ｃのＹ方向に対する傾斜角度を演算して、第１スクライブ予定ライン９０ａおよび第３スクライブ予定ライン９０ｃに沿って各上部カッターヘッド部３５のスクライビングホイール３５ｐがそれぞれ移動するように、貼り合わせパネル基板９０が＋Ｙ方向に対して所定距離だけ搬送される毎に、各上部スクライブヘッド３３がＸ方向に所定距離だけ移動される。これにより、基板支持機構１０によって貼り合わせパネル基板９０がＹ方向に搬送される間に、各上部カッターヘッド部３５のスクライビングホイール３５ｐは、第１スクライブ予定ライン９０ａおよび第３スクライブ予定ライン９０ｃに沿ってそれぞれ移動するように直線補間される。その結果、各上部カッターヘッド部３５のスクライビングホイール３５ｐは、上側パネル基板の第１スクライブ予定ライン９０ａおよび第３スクライブ予定ライン９０ｃに沿って正確にスクライブラインを形成することができる。【００７６】
同様に、各下部カッターヘッド部３９のスクライビングホイールも、基板支持機構１０によって貼り合わせパネル基板９０がＹ方向に搬送される間、リニアモータ機構によってＸ方向に移動されることにより、上側パネル基板における第１スクライブ予定ライン９０ａおよび第３スクライブ予定ライン９０ｃに対向する下側パネル基板下面上の図示されない２本のラインに沿ってそれぞれ移動するように直線補間される。これにより、各下部カッターヘッド部３９のスクライビングホイールも、下側パネル基板の前記２本のラインに沿って正確にスクライブラインを形成することができる。【００７７】
次に、各下部カッターヘッド部３９のスクライビングホイールが、下側パネル基板の第１スクライブ予定ライン９０ａに沿ってスクライブしている間は、その第１スクライブ予定ライン９０ａに対向した上側パネル基板の上面位置にローラヘッド部３６のローラが圧接される。この場合、各上部スクライブヘッド３３がＸ方向およびＹ方向に沿って所定の距離だけそれぞれ移動されることにより、各上部スクライブヘッド３３のローラヘッド部３６もＸ方向およびＹ方向に沿って所定の距離だけそれぞれ移動される。これにより、各ローラヘッド部３６のローラは、上側パネル基板および下側パネル基板を介して、各下部カッターヘッド部３９のスクライビングホイールに対向した状態になる。このようにして、下側パネル基板下面上の第１スクライブ予定ライン９０ａの＋Ｙ方向側端部に下部カッターヘッド部３５のスクライビングホイール３５ｐが圧接されるとき、ローラヘッド部３６も、サーボモータが回転されることによって、ホルダー部材が下方に移動され、ホルダー部材によって保持されたローラが、貼り合わせパネル基板９０の上面に圧接される。この場合、ローラは、下側のパネル基板のスクライブ開始位置に対向した上側パネル基板の上面にそれぞれ所定の圧力で圧接されることになる。【００７８】
このようにして、上側パネル基板および下側パネル基板において、長手方向に沿った第１スクライブ予定ライン９０ａおよび第３スクライブ予定ライン９０ｃに沿ってスクライブラインが形成されると、各上部カッターヘッド部３５のスクライビングホイール３５ｐが、それぞれ、上方に移動されて、上側パネル基板の上面から離れた状態とされる。同様に、各下部カッターヘッド部３９のスクライビングホイールも、それぞれ、下方に移動されて、下側パネル基板の下面から離れた状態とされる。その後、各上部カッターヘッド部３５のスクライビングホイール３５ｐおよび各下部カッターヘッド部３９のスクライビングホイールが、それぞれ貼り合わせパネル基板９０における第２スクライブ予定ライン９０ｂおよび第４スクライブ予定ライン９０ｄのスクライブ開始位置Ｓ３およびＳ４にそれぞれ対向するように、基板支持機構１０によって、貼り合わせパネル基板９０がＹ方向に搬送されるとともに、各上部スクライブヘッド３３および各下部スクライブヘッド４０がＸ方向に移動される。【００７９】
そして、各上部カッターヘッド部３５のスクライビングホイール３５ｐおよび各下部カッターヘッド部３９のスクライビングホイールが、それぞれ貼り合わせパネル基板９０における第２スクライブ予定ライン９０ｂおよび第４スクライブ予定ライン９０ｄのスクライブ開始位置Ｓ３およびＳ４にそれぞれ対向されると、前述のスクライブ動作と同様にして、各上部カッターヘッド部３５のスクライビングホイール３５ｐおよび各下部カッターヘッド部３９のスクライビングホイールが、上側パネル基板および下側パネル基板の第２スクライブ予定ライン９０ｂおよび第４スクライブ予定ライン９０ｄに沿って圧接状態で移動（転動）されることによって、第２スクライブ予定ライン９０ｂおよび第４スクライブ予定ライン９０ｄに沿った各スクライブラインが同時に形成される。【００８０】
このようにして、貼り合わせパネル基板９０における長手方向に沿った全てのスクライブラインの形成が終了すると、各上部カッターヘッド部３５のスクライビングホイール３５ｐが、貼り合わせパネル基板９０の第５スクライブ予定ライン９０ｅのスクライブ開始位置であるＳ１および第６スクライブ予定ライン９０ｆのスクライブ開始位置であるＳ２にそれぞれ対向するように、また、各下部カッターヘッド部３９のスクライビングホイールも同様にスクライブ開始位置Ｓ１およびＳ２にそれぞれ対向するように、貼り合わせパネル基板９０が搬送されるとともに、各上部スクライブヘッド３３および各下部スクライブヘッド４０がＸ方向へ移動され、さらには、各上部カッターヘッド部３５および下部カッターヘッド部３９がＹ方向へ移動される。【００８１】
その後に、各上部カッターヘッド部３５のスクライビングホイール３５ｐおよび各下部カッターヘッド部３９のスクライビングホイールが、それぞれ、スクライブ開始位置Ｓ１およびＳ２にそれぞれ圧接されて、第５スクライブ予定ライン９０ｅおよび第６スクライブ予定ライン９０ｆに沿ってそれぞれ移動される。この場合、基板支持機構１０による貼り合わせパネル基板９０の搬送、各上部カッターヘッド部３５のスクライビングホイール３５ｐおよび各下部カッターヘッド部３９のスクライビングホイールのＸ方向の直線補間は、各上部スクライブヘッド３３および各下部スクライブヘッド４０がＸ方向へ所定距離だけ移動する毎に、基板支持機構１０により貼り合わせパネル基板９０がＹ方向に所定の距離だけ搬送されること、または、各上部スクライブヘッド３３および各下部スクライブヘッド４０に設けられた各上部カッターヘッド部３５および下部カッターヘッド部３９がＹ方向に所定の距離だけ移動させられることにより行なわれる。これにより、各上部カッターヘッド部３５のスクライビングホイール３５ｐおよび各下部カッターヘッド部３９のスクライビングホイールが直線補間されて、第５スクライブ予定ライン９０ｅおよび第６スクライブ予定ライン９０ｆに沿ったスクライブラインを正確に形成することができる。【００８２】
上側パネル基板および下側パネル基板の各スクライブ予定ライン９０ｅおよび９０ｆに沿ってスクライブラインが形成されると、各上部カッターヘッド部３５のスクライビングホイール３５ｐおよび各下部カッターヘッド部３９のスクライビングホイールが、貼り合わせパネル基板９０における幅方向に沿った第７スクライブ予定ライン９０ｇおよび第８スクライブ予定ライン９０ｈのスクライブ開始位置Ｓ５およびＳ６にそれぞれ対向するように、貼り合わせパネル基板９０の搬送、各上部スクライブヘッド３３および各下部スクライブヘッド４０のＸ方向への移動、各上部カッターヘッド部３５および下部カッターヘッド部３９のＹ方向への移動が制御される。【００８３】
その後に、各上部カッターヘッド部３５のスクライビングホイール３５ｐおよび各下部カッターヘッド部３９のスクライビングホイールが、それぞれ、スクライブ開始位置Ｓ５およびＳ６にそれぞれ圧接されて、第７スクライブ予定ライン９０ｇおよび第８スクライブ予定ライン９０ｈに沿ってそれぞれ移動される。この場合のスクライブ動作は、第５スクライブ予定ライン９０ｅおよび第６スクライブ予定ライン９０ｆに沿ったスクライブ動作と同様である。【００８４】
以後、同様の動作が繰り返されることによって、貼り合わせパネル基板９０における幅方向に延びる各スクライブ予定ラインに沿ったスクライブ動作が実施される。そして、貼り合わせパネル基板９０における幅方向に延びる全てのスクライブ予定ラインに沿ってスクライブラインが形成されることによって、スクライブ工程が完了する。【００８５】
このようにして、貼り合わせパネル基板９０における全てのスクライブ予定ラインに沿ってスクライブラインが形成されると、貼り合わせパネル基板９０は、所定の分断工程に搬送されて、各分断貼り合わせパネル基板９１毎に分断される。【００８６】
この場合、下側パネル基板における第１スクライブ予定ライン９０ａおよび第３スクライブ予定ライン９０ｃに沿って形成されるスクライブラインが、上側パネル基板における第１スクライブ予定ライン９０ａおよび第３スクライブ予定ライン９０ｄに沿って形成されるスクライブラインよりも、内側（＋Ｘ方向）に形成されているため、例えば、各分断パネル基板の上側パネル基板上面側から吸着手段により保持して上方に持ち上げることによって、不要部分を基板保持手段１０上に残存させることができ、容易に取り除くことができる。【００８７】
以上のように、本発明のスクライブ装置では、一対の上部スクライブヘッド３３および一対の下部スクライブヘッド４０が設けられていることによって、貼り合わせパネル基板９０における上側パネル基板と、下側パネル基板においてそれぞれ一対のスクライブラインを同時に形成することができるために、スクライブにおける作業効率を著しく向上させることができる。【００８８】
また、一対の上部スクライブヘッド３３および下部スクライブヘッド４０毎に、各上部カッターヘッド部３５および各下部カッターヘッド部３９をＹ方向に移動させる手段がそれぞれ設けられていることによって、長手方向（Ｘ方向）に配置された一対の上部スクライブヘッド３３をＸ方向にスライド可能に保持するガイドレールの長手方向（Ｘ方向）および長手方向（Ｘ方向）に配置された一対の下部スクライブヘッド４０をＸ方向にスライド可能に保持するガイドレールの長手方向（Ｘ方向）に対して、貼り合わせパネル基板が傾斜して配置された場合でも、カッターヘッドを、各上部カッターヘッド部３５および各下部カッターヘッド部３９を貼り合わせパネル基板９０におけるスクライブ開始位置に正確に対向させることができる。従って、各スクライブ予定ラインに沿ったスクライブラインを正確に形成することができる。さらには、各上部カッターヘッド部３５および各下部カッターヘッド部３９をＸ方向に移動させてスクライブラインを形成する際の直線補間に際して、各上部カッターヘッド部３５および各下部カッターヘッド部３９のみをＹ方向に移動させることによって、上部ガイドレール３１および下部ガイドレール３２全体をＹ方向に移動させたり、貼り合わせパネル基板を移動させたりしなくとも、Ｘ方向に沿った直線補間を迅速かつ高精度で行なうことができ、状況に応じて適切な直線補間の手段を選択することができる。【００８９】
なお、上記実施形態では、上部ガイドレール３１および下部ガイドレール３２にそれぞれ一対の上部スクライブヘッド３３および下部スクライブヘッド４０を設ける構成であったが、上部ガイドレール３１および下部ガイドレール３２のそれぞれに３つ以上のスクライブヘッドを設けるようにしてもよい。また、上部ガイドレール３１にのみ、２つ以上のスクライブヘッドを設けて、１枚の大判のマザーパネル基板から複数の分断パネル基板を分断するためのスクライブラインを形成するようにしてもよい。【００９０】
また、上部ガイドレール３１のみまたは下部ガイドレール３２のみを設けて、その上部ガイドレール３１または下部ガイドレール３２に複数の上部スクライブヘッド３３を設ける構成にしてもよい。【００９１】
また、スクライブラインを形成する脆性材料基板としては、貼り合わせパネル基板に限らず、１枚のパネル基板であってもよく、また、パネル基板でなくてもよい。【００９２】
以上のように、本発明の好ましい実施形態を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。
【産業上の利用可能性】
【００９３】
本発明は、液晶パネル等に使用されるパネル基板等の脆性材料基板をスクライブするために使用されるスクライブ装置およびスクライブ方法において、複数のスクライブヘッドのスクライブ手段を、所定のスクライブ開始位置にそれぞれ容易に位置合わせさせることができる。
【図１】
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【図２】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図３】
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【図４】
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