(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
コーターロールに機能性コーティング剤を供給し、その機能性コーティング剤をコーターロールの回転により、移動中の基材表面にコーティングする方法において、
コーターロールとドクターロールが対向し、
ドクターロールは少なくともその表面に親水性ＤＬＣが成膜されたものであり、
コーターロールに供給される機能性コーティング剤を前記ドクターロールによりコーターロール全面に薄く均し、
機能性コーティング剤は粘性が小さく液状であり水溶性であり常温で乾燥する性質であり、
コーターロール全面に薄く均された前記機能性コーティング剤を、常温、大気圧下において、前記コーターロールにより基材にコーティングする、
ことを特徴とする基材への機能性コーティング剤コーティング方法。
【請求項２】
請求項１記載の基材への機能性コーティング剤コーティング方法において、
ドクターロールは少なくとも表面にμｍ単位の超極細溝を備えた彫刻ロールであり、その表面に親水性ＤＬＣが成膜されたものである、
ことを特徴とする基材への機能性コーティング剤コーティング方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載の基材への機能性コーティング剤コーティング方法において、
コーターロールの回転方向と基材の移動方向を逆方向にする、
ことを特徴とする基材への機能性コーティング剤コーティング方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の基材への機能性コーティング剤コーティング方法において、
機能性コーティング剤を直に冷却するか又はドクターロールとコーターロールの双方又はいずれか一方を冷却することにより間接的に冷却する、
ことを特徴とする基材への機能性コーティング剤コーティング方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の基材への機能性コーティング剤コーティング方法において、
移送される基材の板厚を計測し、その計測結果に応じてドクターロールとコーターロールの間隔を調節することにより、又はコーターロールの高さを調節することにより、コーターロールと基材との間隔を調節して、機能性コーティング剤のコーティング膜厚を調節する、
ことを特徴とする基材への機能性コーティング剤コーティング方法。
【請求項６】
常温、大気圧の環境下で使用されるコーティング装置であり、ドクターロールと、コーターロールと、バックアップロールと、ガイドロールを備え、ガイドロールにより移送されバックアップロ―ルでバックアップされる基材に、ドクターロールとコーターロール間に供給される機能性コーティング剤をコーターロールにより塗布可能な機能性コーティング剤コーティング装置において、
前記ドクターロールは、少なくとも、表面に親水性ＤＬＣが成膜されたものである、
ことを特徴とする機能性コーティング剤コーティング装置。
【請求項７】
請求項６記載の機能性コーティング剤コーティング装置において、
ドクターロールは、少なくとも、表面にμｍ単位の超極細溝が設けられた彫刻ロールであり、その表面に親水性ＤＬＣが成膜されたものである、
ことを特徴とする機能性コーティング剤コーティング装置。
【請求項８】
請求項６又は請求項７記載の機能性コーティング剤コーティング装置において、
コーターロールが基材の移送方向と逆方向に回転する、
ことを特徴とする機能性コーティング剤コーティング装置。
【請求項９】
請求項６から請求項８のいずれか１項に記載の機能性コーティング剤コーティング装置において、
前記コーティング装置は、コーティング剤供給装置を備え、そのコーティング剤供給装置に冷却機能を設けて機能性コーティング剤を冷却可能とした、
ことを特徴とする機能性コーティング剤コーティング装置。
【請求項１０】
請求項６から請求項９のいずれか１項に記載の機能性コーティング剤コーティング装置において、
ドクターロールとコーターロールの双方又はいずれか一方に冷媒通路を設け、冷媒通路を流れる冷媒によりそれらロールを冷却してコーティング剤を冷却できるようにした、
ことを特徴とする機能性コーティング剤コーティング装置。
【請求項１１】
請求項６から請求項１０のいずれか１項に記載の機能性コーティング剤コーティング装置において、
コーティング剤温度を計測する温度計を設け、その計測結果に基づいてコーティング剤を冷却できるようにした、
ことを特徴とする機能性コーティング剤コーティング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、単葉のガラス板、プリント基板、或いは連続の基板、フィルムといった平面状の各種基材、特に、太陽光発電機のフロントパネルへの機能性コーティング剤コーティング方法と、それに使用されるコーティング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、太陽光発電機が広く普及している。太陽光発電機は、東日本大震災の発生後は原子力発電機の代替品として注目されている。しかし、現状の太陽光発電機では発電効率や生産性に限界がある。その原因の一つに光／電気変換素子の変換効率の低さがあるが、屋外に設置されている太陽光発電機は常に風雨や砂塵に曝されていることから、太陽光発電機のフロントガラス表面に水垢や砂塵等が堆積して太陽光が遮断されるとか、屈折率が大きくなって光透過性が劣化することも大きな要因となっている。
【０００３】
フロントガラスの汚れを防止し、光屈折率を小さくして、太陽光を効率良く取り入れるために、従来はフロントガラスの表面に厚さ数１００ｎｍの薄膜で、膜厚が均一である機能性レジスト膜が形成されている。従来の機能性レジスト膜の成膜方法の大部分にはＰＶＤ法（物理的蒸着法）が採用されている。ＰＶＤ法は真空環境内での成膜であるため生産性が著しく劣るという難点があった。
【０００４】
基材に薄膜、特に、ＤＬＣ膜をコーティングする技術が各種開発されている。その一つとして本件出願人の先の特許出願（特許文献１）がある。特許文献１では、ロールへのＤＬＣ膜の成膜方法やＤＬＣ膜を備えたＤＬＣ成膜ロールを開示してある。この他にも、ＤＬＣ膜の成膜方法やＤＬＣ膜を成膜した部材として特許文献２〜８がある。特許文献１〜８のＤＬＣ膜を設けた基材は、耐摩耗性は向上するが、親水性が乏しい（撥水性がある）ため、塗りムラができ易い（塗り厚が不均一になり易い）ため、太陽光発電機のフロントガラス表面へのレジスト膜の成膜に応用しても、フロントガラスの汚れ防止及び屈折率の改善は必ずしも十分ではなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１８９６９４号公報
【特許文献２】特開２００４−３２３９７３号公報
【特許文献３】特開平１１−１８１５７２号公報
【特許文献４】特開２００３−１４７５２７号公報
【特許文献５】特開平１０−２１９４５０号公報
【特許文献６】特開平１０−２９７６２号公報
【特許文献７】特開２０１０−１３７５４０号公報
【特許文献８】特開２０１０−１３７５４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、基材（パネル）表面の汚れ防止や光透過性の向上等の機能を兼ね備えた機能性コーティング剤をｎｍ単位の薄さで、均一にコーティングできるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
［コーティング方法］
本発明の基材への機能性コーティング剤コーティング方法は、コーターロールに機能性コーティング剤を供給し、その機能性コーティング剤をコーターロールの回転により、移動中の基材表面にコーティングする方法において、コーターロールとドクターロールが対向し、ドクターロールは少なくともその表面に親水性ＤＬＣ（Diamond Like Carbon）が成膜されたものであり、コーターロールに供給される機能性コーティング剤を前記ドクターロールによりコーターロール全面に薄く均し、機能性コーティング剤は粘性が小さく液状であり水溶性であり常温で乾燥する性質であり、コーターロール全面に薄く均された前記機能性コーティング剤を、常温、大気圧下において、前記コーターロールにより基材にコーティングする方法である。
【０００８】
前記コーティング方法において、ドクターロールは少なくとも表面にμｍ単位の超極細溝を備えた彫刻ロールであり、その表面に親水性ＤＬＣが成膜されたものとすることもできる。
【０００９】
前記コーティング方法において、コーターロールの回転方向と基材の移動方向を逆方向にすることもできる。
【００１０】
前記コーティング方法において、機能性コーティング剤を直に冷却するか又はドクターロールとコーターロールの双方又はいずれか一方を冷却することにより間接的に冷却することもできる。
【００１１】
前記コーティング方法において、移送される基材の板厚を計測し、その計測結果に応じてドクターロールとコーターロールの間隔を調節することにより、又はコーターロールの高さを調節することにより、コーターロールと基材との間隔を調節して、機能性コーティング剤のコーティング膜厚を調節することもできる。
【００１２】
［コーティング装置］
本発明の機能性コーティング剤コーティング装置は、常温、大気圧の環境下で使用されるコーティング装置であり、ドクターロールと、コーターロールと、バックアップロールと、ガイドロールを備え、ガイドロールにより移送されバックアップロ―ルでバックアップされる基材に、ドクターロールとコーターロール間に供給される機能性コーティング剤をコーターロールにより塗布可能な機能性コーティング剤コーティング装置において、前記ドクターロールは、少なくとも、表面に親水性ＤＬＣが成膜されたものである。
【００１３】
前記コーティング装置において、ドクターロールは、少なくとも、表面にμｍ単位の超極細溝が設けられた彫刻ロールであり、その表面に親水性ＤＬＣが成膜されたものである。
【００１４】
前記コーティング装置のコーターロールは、基材の移送方向と逆方向に回転させることができる。
【００１５】
前記コーティング装置は、コーティング剤供給装置（タンク）を備え、そのコーティング剤供給装置に冷却機能を設けて機能性コーティング剤を冷却可能とすることもできる。
【００１６】
前記コーティング装置は、ドクターロールとコーターロールの双方又はいずれか一方に冷媒通路を設け、冷媒通路を流れる冷媒によりそれらロールを冷却してコーティング剤を冷却することもできる。
【００１７】
前記コーティング装置は、コーティング剤温度を計測する温度計を設け、その計測結果に基づいてコーティング剤を冷却することができる。温度計は非接触式のものが望ましい。
【発明の効果】
【００１８】
［コーティング方法の効果］
本発明の基材への機能性コーティング剤コーティング方法は次のような効果がある。
１．常温、大気圧下でコーティングするのでコーティング作業が容易である。
２．機能性コーティング剤が、粘性が小さく液状であり、水溶性であり、常温で乾燥する性質であるため、基材に形成された機能性コーティング膜が迅速（数十秒程度）に乾燥し、高速で連続してコーティング作業ができ、生産性が向上する。乾燥機も不要となる。
３．表面に親水性ＤＬＣが成膜されているドクターロールを使用するので、水溶性の機能性コーティング剤がドクターロールに馴染み易く、広がり易くなり、コーターロールがドクターロールと接触することにより、コーターロールに塗布される機能性コーティング剤が薄く、均一になり、コーターロールにより基材に数１０ｎｍ〜数１００ｎｍと薄く、均一にコーティングできる。
４．コーターロールの回転方向を基材の移動方向と逆方向にすれば、機能性コーティング剤を薄くコーティングできる。
５．コーターロールの回転速度が、基材がコーターロールを通過する間に１回転以下となるようにすれば、コーティング膜に縞ができず（厚さムラができず）、均一厚に成膜できる。
６．機能性コーティング剤を冷却すれば、昇温による膜厚のバラつきを防止でき、均一厚の膜ができる。
７．ロールコーターは基材に対して線接触であり、基材表面に追従しながらコーティング剤がコーティングされるため、薄膜、均一厚の良好なモロホルジー（表面形状）が得られる。
８．表面に厚さ数１０ｎｍ〜数１００ｎｍ、ビッカース硬度９Ｈ前後の機能性コーティング剤がコーティングされ、水の接触角３°前後以下、光透過度８０〜９６％程度のパネルが得られる。
９．基材の表面に機能性コーティング剤を成膜できるので、表面が汚れ難く、耐候性が良く、屈折率が小さく、光透過性が劣化しにくいパネルが得られる。
１０．コーティング膜厚が数１０ｎｍ〜数１００ｎｍと薄いため、光透過性がよく、太陽光発電機のフロントパネルに使用すれば太陽光の無駄が減少し、屈折率が小さく、太陽光を有効活用できるパネルが得られる。
１１．ビッカース硬度９Ｈ以上と硬いため傷付きにくい（耐候性のある）パネルが得られる。
１２．水の接触角３°以下のであるため水が流れ易く、水垢などが付きにくい（耐候性のある）パネルが得られる。
【００１９】
［コーティング装置の効果］
本発明の機能性コーティング剤コーティング装置は次のような効果がある。
１．常温、大気圧の環境下に配置するので、コーティング装置の設置が容易である。また、ＰＶＤ法に比してコーティング設備が簡潔になる。
２．少なくともドクターロールの表面に親水性ＤＬＣが成膜されているので、基材に数１０ｎｍ〜数１００ｎｍのコーティング膜を均一に成膜できる。また、ＤＬＣ膜があるためドクターロールの耐摩耗性が向上し、ドクターロールの交換スパンが長くなり経済的である。また、交換頻度が少なくなるためメンテナンスも容易になる。
３．冷却機能を備えているので、ドクターロールとコーターロールの双方又は一方を冷却しながらコーティングすれば、長時間のコーティング作業に機能性コーティング剤の昇温を防止でき、昇温による成膜の膜厚のバラつきを防止でき均一厚の成膜ができる。
４．コーターロールの回転方向が基材の移動方向と逆方向の場合は、数１０ｎｍ〜数１００ｎｍの薄膜を容易に成膜できる。
５．コーターロールの回転速度が、基材がコーターロールを通過する間に１回転以下となるようにすれば、コーターロールが基材に１回転以上接触することがないため成膜に縞ができず（厚さムラができず）、均一厚に成膜できる。
６．コーティング剤温度を測定可能な温度計を設けたので、機能性コーティング剤を温度管理でき、肉厚にバラつきのないコーティングが可能となる。
７．ドクターロールが表面にマイクロ単位の超極細な溝が格子状、ハニカム状、曲線状、斜行線状に形成された彫刻ロールであるため、機能性コーティング剤が溝の内部に入り易って表面全般に拡散し易くなり、コーターロールへ塗布される機能性コーティング剤が薄く均一化され、数１０ｎｍ〜数１００ｎｍの薄さの機能性コーティング膜が基材全面に均一に形成できる。また、溝内に空気だまりが生じにくく、気泡が溜まりにくいので、基材にコーティングされる機能性コーティング膜にピンホールなどができにくい。
８．ドクターロールには一般的にゴム又はニッケル／クロムメッキが用いられており、これら材質は表面エネルギーが大きい（表面張力が大きい）他、ドクターロールとコーターロール間における摩擦で発生する摩擦熱や外気温によりコーティング剤温度の上昇が懸念されるが、本発明では、機能性ＤＬＣ膜を備えたドクターロールを使用するので、ドクターロールの表面エネルギーが低下して親水性が向上し、ドクターロールとコーターロ−ル間における摩擦が低減し、コーティング剤の昇温も少ない。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の機能性コーティング剤コーティング装置の一例を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
［コーティング装置及びコーティング方法の実施形態］
本発明の基材への機能性コーティング剤コーティング方法及びコーティング装置は、太陽光パネル（フロントガラス）への成膜に限らず、各種分野で使用されるパネルにコーティング可能なコーティング方法及びコーティング装置である。これら方法及び装置の一例を、太陽光発電機のフロントパネルの場合を一例として以下に説明する。以下の説明は基材が単葉のパネルの場合であるが、本発明での基材は連続するシート、フィルム等であってもよい。
【００２２】
本発明のコーティング装置は、図１に示すように、ガイドロール１と、ドクターロール２と、コーターロール３と、バックアップロール４を備えている。このコーティング装置では基材５がガイドロール１により矢印方向に移送され、バックアップロール４の上まで移送されてくると、その基材５の上面にコーターロール３で機能性コーティング剤６が塗布されるようにしてある。
【００２３】
本発明のコーティング方法では、前記コーティング装置を使用することができるが、他のコーティング装置でも使用可能である。前記コーティング装置を使用する場合は、そのコーティング装置を常温、大気圧の環境に設置して使用する。機能性コーティング剤は水溶性で、粘性が小さいもの、例えば１．３Ｐａ・ｓ以下の粘性のものが特に適する。また、パネル表面の汚れを防止でき、傷付きにくく（耐候性に優れ）、透明で、光が透過しにくくならない（光透過性に優れた）特性のコーティング剤が好ましい。また、成膜された基材への密着性を高めるためにバインダーを含むものが適する。例えば、１ｎｍ〜１０ｎｍの粒子径のシリカ（ＳｉＯ２）の含有率が５％以下の透明無機バインダーが適する。ガラス、ポリカーボネート、ステンレス、樹脂等のあらゆる基材の表面は、目に見えない微細な凹凸になっている。１ｎｍ〜１０ｎｍの粒子径のシリカを含む透明無機バインダーを使用することにより、それら凹凸表面への密着性が向上する。また、基材の表面に出ていないと効果のない光触媒酸化チタンや帯電防止酸化スズ等の機能性材料が表面に出易くなり、機能性コーティング剤の特性が発揮され易くなる。本発明の機能性コーティング剤には株式会社ジャパンナノコートのＡＳ−ＬＲコート（液状）が適する。ＡＳ−ＬＲコートは無機バインダーとしてシリカを含むものであり、シリカを中心とした無機酸化物の持っている凝集力（分子間力）を利用し、溶媒の発揮と同時に進む凝集力を抑制することにより、常温において、透明で密着性の高い薄膜を成膜することができるものである。この機能性コーティング剤は帯電防止、水汚れ防止、赤外線、紫外線カット、反射防止、低屈折、遮音といった各種特性を備えたものである。本発明のコーティング方法では、基材の材質、例えば、樹脂等の場合は、プライマーを塗布してから機能性コーティング剤を成膜することもできる。
【００２４】
機能性コーティング剤６はドクターロール２とコーターロール３の間に供給される。コーターロール３の表面に付着した機能性コーティング剤６のうち余分なコーティング剤は、コーターロール２と逆方向に回転するドクターロール２で掻き取られて薄く均され、基材５に均一厚に塗布されるようにしてある。
【００２５】
機能性コーティング剤６を基材５に塗布する場合は、コーターロール３を基材５の移送方向と同方向に回転（ノーマル回転）させるのが通常であるが、コーターロール３を基材５の移送方向と逆方向に回転（リバース回転）させることもできる。基材５への成膜を薄くするためにはリバース回転が適する。リバース回転させる場合は、コーターロール３の回転力を基材５の移送力よりも弱くして基材５がスムースに移動できるようにする必要がある。
【００２６】
コーターロール３の回転速度は、基材５がコーターロール３の下を通過する間に一回転以下となるようにして、基材５に塗布されるコーティング剤に肉厚ムラが生じないようにするのが望ましい。基材５がコーターロール３の下を通過する間に、コーターロール３が１回転以上回転すると接触ムラが生じ易くなる。
【００２７】
ドクターロール２には、表面に親水性のＤＬＣが成膜されているロールを使用することができる。そのロールを使用することにより、親水性のコーティング剤がＤＬＣ膜に馴染み易くなり、コーターロール３の表面のコーティング剤がその表面全体に均一厚に広がり易くなり、基材５の表面にコーティング膜が均一厚に成膜され易くなる。表面にマイクロ単位の超極細溝を格子状、螺旋状、斜行線状、ハニカム状等の形状で設けた彫刻ロールや、その表面に親水性のＤＬＣ膜（アモルファス系炭素膜）を設けたロールを使用することもできる。このようなロールを使用することにより親水性のコーティング剤がロール表面に馴染み易くなり、コーターロール３の表面のコーティング剤が表面全体に均一厚に薄く広がり易くなり、基材５の表面にコーティング剤を均一厚に成膜し易くなる。一般的にドクターロールの表面材にはゴム又はニッケル・クロムめっきが施されているが、これらの材質は撥水性が高く、機能性コーティング剤が水溶性の場合は、はじかれてしまい、ロール表面の溝模様がコーターロールを介して基材に転写されることがあるが、本発明ではそのようなことがない。
【００２８】
本発明におけるコーティング剤の粘度（流動性）は外気温に左右され易い。コーターロールには通常ゴム製のものが使用される。ゴム製のコーターロールは長時間の連続稼働により熱を帯びる。熱を帯びるとコーティング剤が加温されて粘度が高くなって流動性が低下し、薄く均一に成膜し難くなる。これら問題を解消するため、本発明では図１に示すように、コーティング剤供給装置（タンク）７に温調機能を設け、ドクターロール２とコーターロール３の間に供給される機能性コーティング剤６の近くに非接触の温度センサ８を設けて、温度センサ８での検知温度が高くなると前記温調機能が作動して、コーティング剤供給装置７内の機能性コーティング剤６を冷却し、そのコーティング剤６がドクターロール２とコーターロール３の間に供給されるようにするのが望ましい。また、コーティング剤供給装置７に温調機能を設けるのではなく、ドクターロール２とコーターロール３の双方又はいずれか一方に温調機能を設けることもできる。具体的には、それらロール内に冷媒通路を設け、その冷媒通路に冷媒、例えば水や気体を供給して冷却することもできる。この場合は、非接触の温度センサをドクターロール２とコーターロール３の双方又はいずれか一方の近くに設け、そのセンサでそれらロールの温度を検知して、コーティング剤供給装置７に設けた温調機能の作動をコントロールできるようにすることもできる。
【００２９】
基材５は一定厚であるとは限らず不均一なものもあり、歪んだり、反り返ったりしているものもある。例えば太陽光発電機用のフロントパネルは同一規格品であっても、その板厚には０．０１〜０．１ｍｍのバラつきがある。このようにバラつきのある基材では基材全面に均一厚に成膜することが困難であるため、図１のようにガイドロール１で移送される基材５の上方に板厚センサ（例えば、レーザー変位計）を設け、そのセンサで検知された板厚を基準となる基材寸法と比較し、基材寸法と著しく異なる場合は警告を発生して基材５の移送を停止するとか、ドクターロール２とコーターロール３の双方又はコーターロール３の高さが自動的に調節されるようにするとか、ドクターロール２とコーターロール３の間隔を調整する等して基材５に均一厚に成膜できるようにするのが望ましい。
【００３０】
前記ドクターロール２に親水性ＤＬＣを成膜するには各種方法が考えられるが、一つの方法としては、本発明者が先に開発して特許出願した親水性ＤＬＣの成膜方法によることができる。その方法は、真空チャンバー内にロールを設置し、そのチャンバー内を常温（１５℃以上１００℃以下であるが、より望ましくは２０℃以上５０℃以下）且つ真空状態にし、ＲＦ高周波電源からチャンバー内のＲＦ電極に高周波を供給してロールの周辺にプラズマを発生させ、チャンバー内の高電圧パルス電源からロールに負の高電圧パルスを印加して基材表面をイオンエッチングによりクリーニングする。ロールが溝付きロール（彫刻ロール）の場合は、前記クリーニング時にその溝内をもクリーニングする。この洗浄後にＤＬＣの原料ガスとＯ２を前記真空チャンバー内に供給し、その原料ガスとＯ２を真空チャンバー内で反応させて生成される酸素を含むＤＬＣ（親水性ＤＬＣ）を前記ロールの表層に注入しながらその表面に親水性ＤＬＣを堆積させることで親水性ＤＬＣ膜を形成する方法である。この成膜方法において、親水性ＤＬＣ膜の形成前に少なくともＯ２を含むＳｉ系ガスを真空チャンバー内に供給して、当該Ｓｉ系ガスを真空チャンバー内で分解反応させて前記基材の表面にＯ２含有層を形成し、当該Ｏ２含有層に親水性ＤＬＣ膜を注入・堆積することもできる。この場合、Ｓｉ系ガスとしてヘキサメチルジシロキサン（ＨＭＤＳＯ）を用いることができる。また、親水性ＤＬＣ膜の形成前に、真空チャンバー内にＤＬＣの原料ガスを供給してその原料ガスを真空チャンバー内で反応させて生成されるＤＬＣを基材の表面に注入しながら酸素を含まないＤＬＣ膜を堆積させ、そのＤＬＣ膜の表面に親水性ＤＬＣ膜を形成することもできる。この場合、ＤＬＣ膜の形成前に基材とＤＬＣ膜の付着性を高めるためのミキシング層を形成することもできる。前記成膜方法により形成されたロールは、クリーニングされた基材の表面に、ＤＬＣの原料ガスとＯ２が反応して生成された親水性ＤＬＣ膜を備えたものである。前記親水性ＤＬＣ成膜基材は、基材と親水性ＤＬＣ膜との間に、少なくともＯ２を含むＳｉ系ガスを分解反応させて生成されたＯ２含有層を備えたものであってもよい。Ｏ２含有層がヘキサメチルジシロキサン（ＨＭＤＳＯ）を分解反応させて形成されたものであってもよい。基材と親水性ＤＬＣ膜との間に、ＤＬＣの原料ガスを反応させて生成された酸素を含まないＤＬＣ膜を設けることもできる。基材とＤＬＣ膜との間に、基材とＤＬＣ膜の付着性を高めるためのミキシング層を設けることもできる。このロールは、ゴム、ＳＵＳ、アルミニウム製のロール、又は表面にＣｒメッキやＮｉメッキされた金属製のロールとすることもできる。前記親水性ＤＬＣ膜の膜厚は０．２〜５μｍ程度のものが適する。前記親水性ＤＬＣ膜の硬度は８００〜２５００ＨＶのものが適する。
【００３１】
コーターロールにはアルミロール、カーボンロール、樹脂ロール、ゴムロール、ＣＦＲＰロール（カーボン繊維強化プラスチックロール）、金属ロール、非鉄金属ロールといった各種材質製のロールを使用することができる。金属ロールの表面にはＣｒ（クローム）メッキやＮｉ（ニッケル）メッキを施したロールもある。印刷用コーティングではコーティング膜厚の制御のため、ドクターロールやドクターバーが用いられている。
【００３２】
前記説明では、ドクターロールを使用する場合であるが、ドクターロールに代えてドクターブレードを使用することもできる。この場合は、コーターロールを、ＤＬＣ膜を備えたものとするのが望ましく、コーターロールに冷媒による冷却機能を設けることもできる。ドクターロールとドクターブレードを併用することもできる。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明の基材へのコーティング剤コーティング方法とコーティング装置は、プリント基板や他の基板に機能性レジストを塗布してレジスト膜を作るのに利用することができる。その場合は、コーティング剤を機能性レジストに代えることにより利用することができる。
【符号の説明】
【００３４】
１  ガイドロール
２  ドクターロール
３  コーターロール
４  バックアップロール
５  基材
６  機能性コーティング剤
７  コーティング剤供給装置
８  温度センサ
【図１】
0005570538.tif 000002