(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板表面を準備するステップと、
前記基板表面上に有機半導体材料の層を堆積させるステップと、
印刷にて前記有機半導体層上に溶媒滴のパターンを堆積させ、前記有機半導体層を実質的に局所的に溶解させてパターニングされた前記有機半導体層を形成し、前記溶媒を蒸発させ、前記蒸発後、溶解された前記有機半導体材料を溶解されてない前記有機半導体層へと移動させて、前記溶媒中に溶けていた前記有機半導体素材を再凝固させ、前記溶媒と前記有機半導体素材とが接していたラインに沿って再堆積させることにより鮮明なパターンを有する半導体構造を形成するステップと、
を有する半導体装置を製造するためのリバースインクジェットプリント方法。
【請求項２】
ａ）基板を準備するステップと、
ｂ）前記基板表面上にゲート電極、ソース電極及びドレイン電極を形成するステップと、
ｃ）ゲート誘電体層を形成するステップと、
ｄ）前記ゲート誘電体層、前記ソース電極及び前記ドレイン電極と接するよう有機半導体層を形成するステップと、
ｅ）前記有機半導体層上に１種類又は複数種類の溶媒のパターンを印刷し、前記有機半導体層を実質的に局所的に溶解させてパターニングされた前記有機半導体層を形成し、前記溶媒を蒸発させ、前記蒸発後、溶解された前記有機半導体材料を溶解されてない前記有機半導体層へと移動させて、前記溶媒中に溶けていた前記有機半導体素材を再凝固させ、前記溶媒と前記有機半導体素材とが接していたラインに沿って再堆積させることにより鮮明なパターンを有する半導体構造を形成するステップと、
を有する方法。
【請求項３】
基板表面と、
前記基板表面上にある有機半導体素材による層と、
を備え、
前記有機半導体素材による層が溶媒の印刷によって、前記有機半導体素材による層を実質的に局所的に溶解させてパターニングされた前記有機半導体層を形成し、前記溶媒を蒸発させ、前記蒸発後、溶解された前記有機半導体素材による層を溶解されてない前記有機半導体素材による層へと移動させて、前記溶媒中に溶けていた前記有機半導体素材を再凝固させ、前記溶媒と前記有機半導体素材とが接していたラインに沿って再堆積させることにより鮮明なパターンを有する半導体構造が形成された半導体デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイスにおける薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）形成プロセスに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＴＦＴ等の電子部品はこれまでシリコンベース素材上に形成されることが多かったが、シリコンベースデバイスに対する安価な代替物として、新たに有機活性層及び印刷電子部品を有する半導体デバイスが注目をあびている。有機ベースデバイスは、デバイス上の集積度や高温或いは低温といった極端な条件下での信頼性の面で、性能的にはシリコンベースデバイスに匹敵するに至っていないが、有機素材を用いればシリコンプロセスで用いられるような高くつく工程なしでデバイスを製造できるため、用途によっては性能面での短所を経済的利益とトレードオフさせることができる。有機ベースデバイスには、この他にも、機械的可撓性が高い、電子回路の調整又は改変が容易である、といった利点がある。
【０００３】
パターン化有機半導体層を形成する工程はＴＦＴ製造プロセスの重要な構成部分であり、有機半導体層を堆積させる小工程と、堆積させた有機半導体層をパターニングする小工程とを含んでいる。ここに、最終的に得られる半導体層の物理的特性例えば厚みや表面粗さや膜モルフォロジ、ひいてはＴＦＴの性能は、有機半導体層を堆積させる方法次第で大きく変わり得る。また、半導体層を適切にパターニングし半導体層の個別領域同士の間を好適にアイソレートすることができれば、デバイスにおける各種の漏れ成分又は漏れ要素がかなりの程度低減される。従って、有機半導体層を堆積させる小工程も有機半導体層をパターニングする小工程も、重要な小工程である。
【０００４】
パターン化有機半導体層を形成するには、真空堆積（真空成長、真空蒸着とも呼ぶ）、スピンコーティング、ディップコーティング、バーコーティング等の手法により半導体層を堆積させ、更に従来型フォトリソグラフィ技術を利用してパターニングを施せばよい。また、パターン化有機半導体層を形成する手法としては、この他に、遮蔽（ｓｈａｄｏｗ）による真空堆積やリフトオフ・パターニング、表面エネルギを調整した上でのスピンコーティング又はディップコーティング、といった手法も報告されている。なお、上記の堆積手法及びパターニング手法の組合せによるパターン化有機半導体層形成方法の例としては、特許文献１にてエイチ・イー・カッツ（Ｈ．Ｅ．Ｋａｔｚ）が開示しているものがある。特許文献１により開示されているプロセスにおいては、有機半導体溶液に対する親和力が大きな領域及び小さな領域が形成されるよう表面を処理し、有機半導体又はその溶液を処理済の表面上に堆積させて膜を形成している。このとき、有機半導体又はその溶液は親和力が小さな領域を濡らさず、また仮に濡れてもその親和力が小さな領域では膜の接着強度が低くて膜を部位選択的に且つ迅速に除去できるため、パターニングを実現できる。
【０００５】
非特許文献１により開示されている堆積及びパターニング手法においては、インクジェットプリンタを用いＴＦＴのチャネル内に半導体溶液を直刷りすることにより、パターン化有機半導体層が形成されている。
【０００６】
【特許文献１】米国特許第６４００３３９７号明細書（Ｂ１）
【特許文献２】米国特許出願公開第２００３／０１６０２３０号明細書（Ａ１）
【特許文献３】米国特許出願公開第第２００３／０１６０２３４号明細書（Ａ１）
【特許文献４】米国特許出願公開第第２００３／０１３６９５８号明細書（Ａ１）
【非特許文献１】K. E. Paul, Appl.Phys.Lett.2003, Vol.83, pp.2070-2072
【非特許文献２】“Organic Thin Film Transistors for Large Area Electronics", C. D. Dimitrakpoulos and P. R. L. Malenfant, Adv.Mater., Vol.12, No.2, pp.99-117
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記従来技術の手法は、一般に多数の工程を含むプロセスを必要としておりまた複雑なものであるため、面積の大きなデバイスを低コストで製造するには適切でないと言えよう。また、上記非特許文献１に記載の技術を実施するには、印刷に適した的確な粘度及び安定性（耐性）を有する特別な半導体インクが必要となる。
【０００８】
本発明は、上記従来技術の課題を鑑み、有機電子デバイス内に有機半導体層を堆積させパターニングする新規なプロセスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、基板表面と、基板表面上にある半導体素材による層と、を備え、半導体素材が溶媒の印刷によりパターニングされた半導体デバイスに関する。
【００１０】
また、本発明は、基板表面を準備するステップと、基板表面上に半導体層を堆積させるステップと、印刷にて半導体層上に溶媒滴のパターンを堆積させることにより基板表面上の半導体層をパターニングするステップと、を有する方法である。
【００１１】
ここで、前記基板は、プラスチック、ガラス又はシリコンウェハとすることができる。また、前記半導体層は、ポリチオフェン、オリゴチオフェン、ペンタセンプリカーサ（ペンタセン焼結体）又はチオフェンアリレンコポリマを含む有機層とすることが好適である。
【００１２】
また、前記溶媒は、リバースプリンティング手法に適しているものが好ましい。すなわち、前記溶媒は基板上に堆積済の有機半導体層を溶かす溶媒であり、当該溶媒をインクとして用いることによって、基板上に形成すべきＴＦＴ（又はより一般にトランジスタ。以下同様）構成要素に相応する所望のパターンを形成できる。具体的には、前記溶媒は、脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素、アルコール、塩素化溶媒、ケトン、エステル、エーテル、アミド、アミン、スルホン、スルホキシド、カルボン酸又はこれらの誘導体若しくは混合物を含む溶媒からなる液滴とすることが好適である。より具体的には、前記溶媒滴は、テトラヒドロフラン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、トルエン、キシレン、メシチレン、ジクロロメタン、ジクロロエタン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、ニトロベンゼン、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ジメチルスルホキシド、ジメチルホルムアミド、アルカンカルボン酸、アレーンカルボン酸又はこれらの混合物を含む溶媒からなる液滴とすることが好ましい。
【００１３】
また、半導体素材のスピンコーティングによって前記半導体層を堆積させることが好適である。また、インクジェット印刷を含む工程にて前記印刷を実行してもよい。
【００１４】
また、本発明は、基板を準備するステップと、基板上に半導体素材による層を形成するステップと、その上に溶媒を堆積させることによりこの半導体層をパターニングするステップと、を有する方法である。
【００１５】
ここで、前記基板は、プラスチック、ガラス又はシリコンウェハとすることができる。また、前記半導体素材は、ポリチオフェン、オリゴチオフェン、ペンタセンプリカーサ（ペンタセン焼結体）又はチオフェンアリレンコポリマを含むことが好適である。
【００１６】
また、前記溶媒は、前記溶媒は基板上に堆積済の有機半導体層を溶かすリバースプリンティング手法に適しているものが好ましい。すなわち、前記溶媒は、テトラヒドロフラン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、トルエン、キシレン、メシチレン、ジクロロメタン、ジクロロエタン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、ニトロベンゼン、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ジメチルスルホキシド、ジメチルホルムアミド、アルカンカルボン酸、アレーンカルボン酸又はこれらの混合物を含むことが好適である。
【００１７】
また、前記半導体素材のスピンコーティングによって前記半導体層を形成することが好適である。また、前記半導体層の厚みを約５ｎｍ〜約１μｍとすることが好ましい。
【００１８】
また、本発明は、ａ）基板を準備するステップと、ｂ）ゲート電極、ソース電極及びドレイン電極を形成するステップと、ｃ）ゲート誘電体層を形成するステップと、ｄ）ゲート誘電体層、ソース電極及びドレイン電極と接するよう半導体素材による層を形成するステップと、ｅ）この半導体層上に１種類又は複数種類の溶媒を印刷することにより当該半導体層をパターニングするステップと、を有する方法である。
【００１９】
ここで、前記基板は、プラスチック、ガラス又はシリコンウェハとすることができる。また、前記ゲート誘電体層を、酸化シリコン、ガラス、アルミナ又はプラスチックから形成し、ゲート電極、ソース電極及びドレイン電極を、金、アルミニウム、銀、銅又はＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ（ポリスチレンスルホン酸をドープしたポリエチレンジオキシチオフェン）から形成することが好適である。
【００２０】
また、前記半導体素材は、ポリチオフェン、オリゴチオフェン、ペンタセンプリカーサ（ペンタセン焼結体）又はチオフェンアリレンコポリマを含むことが好適である。また、前記溶媒は、前記溶媒は基板上に堆積済の有機半導体層を溶かすリバースプリンティング手法に適しているものが好ましい。すなわち、前記溶媒は、テトラヒドロフラン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、トルエン、キシレン、メシチレン、ジクロロメタン、ジクロロエタン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、ニトロベンゼン、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ジメチルスルホキシド、ジメチルホルムアミド、アルカンカルボン酸、アレーンカルボン酸又はこれらの混合物を含むことが好適である。
【００２１】
また、前記有機半導体溶液のスピンコーティングによって前記半導体層を形成することが好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態に関し図面を参照しつつ説明する。図示する実施形態においては、直刷りプロセスではなくリバースプリンティング（残し刷り）プロセスを用い、有機半導体（又はより一般に半導体。以下同様）層の堆積及びパターニングが実行されている。
【００２３】
本発明の実施形態においては、堆積させた有機半導体層をリバースプリンティングによりパターニングしているため、有機半導体デバイス上に形成される膜を均質なものにすることができ、従ってその性能又は特性がより良好な電子部品を形成することができる。また、リバースプリンティングによって、インクジェット印刷にて生じることがあるプリントヘッドブロッキングといった問題をなくすことができる。更に、リバースプリンティングにおいては、有機半導体膜上に部位選択的に溶媒を印刷することにより所望の有機半導体パターンを形成できるため、これまではややもすると非常に厳しく設定されていたトレランスを緩和することができ、従来手法に比べ低コストで有機半導体デバイスを製造できる。
【００２４】
本発明の一実施形態に係るリバースプリンティング手法は、溶媒をインクとして用いて印刷を行い有機半導体層をパターニングする工程を含んでいる。この溶媒は基板上に堆積済の有機半導体層を溶かす溶媒であり、この溶媒をインクとして用いることによって、基板上に形成すべきＴＦＴ（又はより一般にトランジスタ。以下同様）構成要素に相応する所望のパターンを形成できる。リバースプリンティング手法によれば、ＴＦＴ構成要素をよりシャープなものにして信頼性を向上させることができ、ラインをより微細なものにして有機半導体デバイス上における電子部品形成密度を向上させることができる。同時に、通常はＴＦＴ間隔がＴＦＴにおけるチャネル長より大きく、チャネル長程度の長さはリバースプリンティングにて容易に吸収できるため、リバースプリンティング手法を用いるに当たって印刷解像度や位置合わせ精度は低くてもよい。従って、リバースプリンティング手法によれば、電子ペーパ等のディスプレイ用のアクティブマトリクス回路を含め、各種の有機半導体デバイスを低コストで製造できる手段が得られる。
【００２５】
本発明の一実施形態においては、有機半導体素材を適切な溶媒内に溶かした溶液又は適切な分散媒内に分散させた分散系（分散物）を、スピンコーティングにより基板上に堆積させる。本発明における有機半導体層の形成には、ディップコーティング、溶液キャスティング、バーコーティング等といった他の堆積手法も用い得る。有機半導体層の厚みは、通常は約５ｎｍ〜約１μｍの範囲内とし、より好ましくは約１０ｎｍ〜約１００ｎｍの範囲内とする。
【００２６】
スピンコーティング等の手法により有機半導体層を形成する際には、まず基板表面のうち一部又は全体、即ち有機半導体層を個別領域群にパターニングすることが必要な箇所に、有機半導体素材を堆積させる。有機半導体層堆積後溶媒印刷によるパターニング前に、この有機半導体層を乾燥させてもよい。溶媒（又は溶液、分散媒若しくは分散系。本願において同様）又はその液滴を印刷により堆積させる処理は、室温（約２０℃）から高温（約１５０℃）に至る温度範囲内、好ましくは室温において、あらゆる好適な印刷技術により実行できる。用い得る印刷技術としては、スクリーン印刷、ステンシル印刷、マイクロコンタクトプリンティング、インクジェット印刷等がある。
【００２７】
有機半導体層を形成するための有機半導体素材としては、多くの素材を使用できる。本発明の好適な実施形態においては、可溶有機半導体素材を使用する。使用できる有機半導体素材の例としては、レジオレギュラー(regioregular)なポリチオフェン(polythiophene)、オリゴチオフェン(oligothiophene)、ペンタセンプリカーサ（ペンタセン焼結体）(pentacene precursors)が挙げられる。また、ベン・オンら（Ｂｅｎｇ  Ｏｎｇ  ｅｔ  ａｌ．）が特許文献２、３又は４にて開示している半導体ポリマ、非特許文献２にて開示されている半導体ポリマ等を、掲げることができる。
【００２８】
本発明の好適な実施形態に係る方法においては、裸基板を用いてもよいし、導体層、絶縁層等の層が既に形成されている基板を用いてもよい。例えば裸基板が用いられているのであれば基板表面はその表面粗さがおよそ数オングストローム〜約５ｎｍといった非常に滑らかな面になろうし、ＴＦＴ構成要素のうち幾つかを形成済の基板が用いられているのであればその表面粗さはより大きくなろう。基板としては、本発明の好適な実施形態に係る方法においてはプラスチック、ガラス又はシリコンウェハによる基板を用いることができる。有機半導体層は、ポリチオフェン、オリゴチオフェン、ペンタセンプリカーサ（ペンタセン焼結体）、チオフェンアリレンコポリマ(thiophene arylene copolymer)等の素材から形成できる。溶媒滴即ち溶媒の液滴は、脂肪族炭化水素(aliphatic hydrocarbon)、芳香族炭化水素(aromatic hydrocarbon)、アルコール(alcohol)、塩素化溶媒(chlorinated solvent)、ケトン(ketone)、エステル(ester)、エーテル(ether)、アミド(amide)、アミン(amine)、スルホン(sulfone)、スルホキシド(sulfoxide)、カルボン酸(carboxylic acid)、これらの誘導体、これらの混合物等を含む液滴である。溶媒滴は、或いは、テトラヒドロフラン(tetrahydrofuran)、ヘプタン(heptane)、オクタン(octane)、シクロヘキサン(cyclohexane)、トルエン(toluene)、キシレン(xylene)、メシチレン(mesitylene)、ジクロロメタン(dichloromethane)、ジクロロエタン(dichloroethane)、クロロベンゼン(chlorobenzene)、ジクロロベンゼン(dichlorobenzene)、ニトロベンゼン(nitrobenzene)、プロパノール(propanols)、ブタノール(butanols)、ペンタノール(pentanols)、ジメチルスルホキシド(dimethylsulfoxide)、ジメチルホルムアミド(dimethylformamide)、アルカンカルボン酸(alkanecarboxylic acids)、アレーンカルボン酸(arenecarboxylic acids)、これらの混合物等を含む液滴である。ゲート誘電体層等を形成する誘電体素材としては、酸化シリコン、ガラス、アルミナ、プラスチック等を用いることができ、ゲート電極、ソース電極及びドレイン電極を形成する素材としては、金、アルミニウム、銀、銅、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ（ポリスチレンスルホン酸をドープしたポリエチレンジオキシチオフェン(polystyrenesulfonate doped polyethylene-dioxy-thiophene)）等を用いることができる。
【００２９】
本発明の好適な実施形態に係る方法において用い得る溶媒には、大別して、例えば、脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素、アルコール、塩素化溶媒、ケトン、エステル、エーテル、アミド、アミン、スルホン、スルホキシド、カルボン酸又はこれらの誘導体若しくは混合物がある。本発明の好適な実施形態に係る方法において用い得る溶媒には、より細分して、例えば、テトラヒドロフラン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、トルエン、キシレン、メシチレン、ジクロロメタン、ジクロロエタン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、ニトロベンゼン、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ジメチルスルホキシド、ジメチルホルムアミド、アルカンカルボン酸、アレーンカルボン酸又はこれらの混合物がある。複数種類の溶媒を用いる際には、それらの溶媒を個々別々に印刷してもよいし、それらの溶媒の混合物を印刷してもよい。有機半導体層上に部位選択的に溶媒を印刷すると、この溶媒によって有機半導体層が局所的に溶ける。溶けた有機半導体素材は溶けていない有機半導体領域へと移動して凝固し、その結果として、溶媒が印刷された箇所がボイドとなる。
【００３０】
ＴＦＴを製造する際には、例えば漏れ電流やクロストークを抑えるため、回路又は個別デバイスのうちの所要領域のみに有機半導体膜を形成するのが望ましいと言えよう。また、このような部位選択的形成又はパターニングによって、デバイス上の相異なる領域や回路内の相異なるデバイスにて、相異なる半導体を用いることが可能になる。しかしながら、スピンコーティングやディップコーティングといった従来からの堆積技術を用いてこれを実行した場合、有機半導体膜が通常は多くの領域或いは多くのデバイスを一括して覆う一つながりの膜として形成されてしまうため、領域と領域或いはデバイスとデバイスを分けるには、領域毎又はデバイス毎の半導体層が得られるよう引き続いてパターニング工程を実施する必要がある。堆積済の有機膜をパターニングするには既に技術的に確立されているフォトレジスト技術を用いればよいが、リアクティブエッチング等の既存手法では不要な残留部分が残ってしまい、また有機半導体膜が劣化してしまう潜在的危険性もある。これに代わる手法としては、ある種の素材の有機半導体の溶液を基板上に直接的且つ部位選択的に印刷し、溶媒を蒸発させることにより有機半導体膜を形成する、という手法もある。リバースプリンティングはこの直刷りと対照的な手法であり、先だって形成した有機半導体層上に溶媒を印刷することによって当該有機半導体層上の所望領域にボイドを形成し、その有機半導体層をパターニングする、という工程を含んでいる。
【００３１】
図１Ａ、図１Ｂ及び図１Ｃに、本発明の一実施形態に係りリバースプリンティング手法を用いる新規なＴＦＴ形成手法を示す。リバースプリンティングは、スループットが高い製造プロセスであるロール・トゥ・ロール製造ラインにて、好適に実施できる。
【００３２】
本発明を実施するに当たっては、有機半導体素材による層を基板表面上に形成する工程を、ＴＦＴ構成要素のうち幾つか（例えば電極）が既に形成されている基板に対して行ってもよいし、何も形成されていない裸基板に対して行ってもよい。図示した実施形態においては、例えば図１Ａに示すように、裸基板にゲート電極６０を形成する処理、ゲート誘電体層５０を形成する処理並びにソース電極２０及びドレイン電極３０を形成する処理によって２個のＴＦＴ１０及び１０’を部分的に形成し、この部分的に形成された２個のＴＦＴ１０及び１０’を有する基板４０を、有機半導体層形成工程の対象としている。なお、図１Ａ中、ゲート電極６０上にあるゲート誘電体層５０は絶縁性の誘電体素材により形成された層であり、ソース電極２０及びドレイン電極３０とゲート電極６０とを互いに分離している。基板４０をシリコン等導電性を有する素材から形成する場合、基板４０それ自体をゲート電極６０として機能させることができる。逆に、基板４０を絶縁性の素材から形成する場合は、基板４０内にゲート電極６０を形成する。基板４０を形成するのに適した絶縁性素材としては、酸化シリコンの他、ガラスやアルミナといった酸化物や、ポリイミド(polyimide)といったポリマ樹脂（プラスチック）等を掲げることができる。ソース電極２０、ドレイン電極３０及びゲート電極６０を形成できる典型的な素材としては、金、銀、銅、クロム、アルミニウム、導電性ポリマ例えばＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ等がある。ゲート電極６０上にある誘電体層５０は、酸化シリコン、スピンオンガラス、アルミナ、プラスチック例えばポリイミド等の素材から形成できる。ロール・トゥ・ロールプロセスにて取り扱うことができ利用できる素材であれば、本実施形態においても使用し得る。
【００３３】
有機半導体層形成工程は、図１Ａに示したＴＦＴ１０及び１０’を、図１Ｂに示すように均一コーティング層たる有機半導体層６５によって覆う工程である。この工程においては、まず、有機半導体素材又は溶液のスピンコーティング１５によって基板５０の表面上に有機半導体層６５が堆積形成される。但し、ディップコーティング、バーコーティング等、他の公知手法又はその任意の組合せによって、有機半導体層６５を形成することも可能である。コーティングの次は、これは付加的な処理であるが、有機半導体層６５を乾燥させることによって、図１Ｂに示すようにゲート誘電体層５０、ソース電極２０及びドレイン電極３０と接しこれらを被覆するよう、この有機半導体層６５を均質な薄い層にする。本実施形態においては、有機半導体層６５を、レジオレギュラーなポリ（３−ヘキシチオフェン）(poly(3-hexythiophene))等の半導体ポリマの１％重量比トルエン溶液によって、形成している。
【００３４】
本実施形態においては、有機半導体層６５上、図１Ｂに示したＴＦＴ１０及び１０’それぞれの周囲に、適切な１種類又は複数種類の溶媒を印刷することにより、有機半導体層６５をパターニングする。この溶媒印刷工程は、図１Ｃ中、インク滴又は溶媒滴７０として模式的に示されている。本実施形態においては、上述の通りポリ（３−ヘキシチオフェン）により形成されている有機半導体層６５をパターニングするための溶媒として、クロロベンゼンが用いられている。より一般には、ＴＦＴ１０及び１０’を取り巻く半導体素材を溶かす溶媒からなるインク滴７０を用いる。以上のリバースプリンティングプロセスを終え更に溶媒を蒸発させると、蒸発乾燥後に、溶液中に溶けていた有機半導体素材が再凝固しそれまで溶媒と有機半導体素材とが接していたラインに沿い再堆積する。即ち、溶媒印刷を行うことによって、図１Ｃに示すように、半導体デバイスの機能要素例えばチャネル半導体８０を清浄に且つシャープに形成することができる。
【００３５】
図２に、本実施形態にて使用する２段階プロセスにより有機半導体層を堆積させてパターニングするプロセスの流れを概括的に示す。このプロセスにおいては、ＴＦＴ構成要素のうち幾つかが予め形成されている基板を準備した後（１００）、基板表面上に有機半導体素材を堆積させる工程等を実行し（１１０）、基板上に形成すべき構成要素群に相応したパターンをリバースプリンティングする（１２０）。この後溶媒を蒸発させることにより（１３０）パターニングが終了する。
【００３６】
このように、ＴＦＴ構成要素がよりシャープなものになるためＴＦＴの性能及び特性はより優れたものになる。また、通常はＴＦＴ間隔がＴＦＴにおけるチャネル長より大きく、チャネル長程度の長さはリバースプリンティングにて容易に吸収できるため、好ましいことに、本発明に係る方法を用いるに当たって印刷解像度や位置合わせ精度は低くてもよい。従って、本発明によれば、電子ペーパ等のディスプレイ用のアクティブマトリクス回路を含め、各種の有機半導体デバイスを低コストで製造可能な手段が得られる。また、本発明によれば、半導体製造時に使用され得る構造及び形状であれば、直線的な縁辺を有するものに限らず、曲線等を含む様々な構造及び形状の有機半導体パターンを形成できる。更に、本発明に係る方法を用い得るプロセス工程は、ここで掲げ尽くせないほど多岐に亘っている。例えば、スピンコーティング、ディップコーティング、真空堆積、リフトオフパターニング等の手法にリバースプリンティングを組み合わせれば、パターン化有機半導体デバイスを低コストで製造できひいては低価格な電子デバイスを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１Ａ】本発明の一実施形態に係りリバースプリンティングを含む２段階プロセスを適用可能な基板の例、特にチャネル半導体を除き各種のＴＦＴ構成要素が形成されている基板を示す図である。
【図１Ｂ】ＴＦＴ構成要素を覆うよう図１Ａに示した基板上に有機半導体素材を堆積させた後の状態を示す図である。
【図１Ｃ】所望の半導体パターンに相応するパターンが形成されるよう溶媒を印刷用インクエージェントとして用いて、図１Ｂに示した基板上の半導体層をパターニングした後の状態を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態に係りリバースプリンティングを含む２段階プロセスを用いて有機半導体デバイスをパターニングする方法のプロセスフローチャートである。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２】
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