(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽と、
前記真空槽内に配置され、成膜対象物が載置面上に配置される処理台と、
材料ガスを前記真空槽内に放出させて前記載置面上の前記成膜対象物に到達させ、薄膜を形成する材料ガス放出装置と、
前記材料ガス放出装置と前記処理台を、前記載置面と平行な一の薄膜形成方向に沿って相対移動させる移動装置とを有する薄膜形成装置であって、
前記材料ガス放出装置は、
内部に前記材料ガスが配置される中空の蒸気タンクと、
前記載置面と対面する位置に配置され、前記蒸気タンクにそれぞれ接続された複数の放出装置本体と、
各前記放出装置本体を、前記載置面に平行で前記薄膜形成方向と直角な成分を有する方向にそれぞれ個別に移動する位置調整装置と、
前記放出装置本体を加熱する加熱装置と、
を有し、
前記材料ガス放出装置には、各前記放出装置本体よりも前記載置面に近い位置に配置され、加熱された前記放出装置本体からの輻射熱を遮蔽する防熱板が設けられ、
各前記放出装置本体には、先端が前記載置面に向けられた細管がそれぞれ接続され、前記細管は、各前記防熱板に形成された孔に、前記孔の内周面と離間して挿通され、
前記防熱板は、冷却管によって冷却される冷却容器に接触され、
前記蒸気タンク内の前記材料ガスが、各前記放出装置本体に供給され、各前記細管の先端から放出され、前記処理台に配置された成膜対象物の表面に到達して薄膜が形成される薄膜形成装置。
【請求項２】
前記成膜対象物の表面のアライメントマークを撮像する撮像装置と、
前記撮像装置の撮像画像から、前記アライメントマークと各前記放出装置本体との相対位置を認識し、前記位置調整装置に制御信号を送って、各前記放出装置本体を、前記成膜対象物の表面の各前記放出装置本体とそれぞれ対応する所定位置に移動させる制御装置と、
を有する請求項１記載の薄膜形成装置。
【請求項３】
前記蒸気タンクと前記放出装置本体とを接続する供給管の一端と他端の間の少なくとも一部は曲がることができる柔軟な材質で形成され、前記放出装置本体を前記蒸気タンクに対し、前記載置面と平行で、前記薄膜形成方向とは直角な方向に相対移動させると、相対移動に伴って前記供給管は屈曲する請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の薄膜形成装置。
【請求項４】
前記蒸気タンクとは離間した位置に、内部に薄膜材料が配置されたガス発生装置が配置され、
前記ガス発生装置は前記蒸気タンクに接続され、前記ガス発生装置内で前記薄膜材料が加熱されて蒸発して前記材料ガスが生成され、前記蒸気タンクに供給されるように構成された請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の薄膜形成装置。
【請求項５】
前記細管の先端は前記防熱板よりも前記載置面に近い位置に配置された請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の薄膜形成装置。
【請求項６】
前記細管と前記孔の内周との間には断熱材が配置された請求項５記載の薄膜形成装置。
【請求項７】
真空槽内を真空排気し、材料ガスを、前記真空槽内に配置された放出装置本体に供給し、前記放出装置本体に接続された細管の先端から放出させ、前記細管の先端と対面する成膜対象物の表面に到達させながら、前記放出装置本体と前記成膜対象物を、前記成膜対象物表面と平行な一の薄膜形成方向と平行に相対移動させて、前記成膜対象物の表面に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
複数台の前記放出装置本体が互いに同じ蒸気タンクに接続された材料ガス放出装置を用いて、
前記成膜対象物表面に、成膜すべき領域である成膜直線を前記薄膜形成方向と平行に複数本あらかじめ定めておき、
各前記放出装置本体を、前記成膜対象物表面と平行で前記薄膜形成方向と直角な成分を有する方向にそれぞれ個別に移動させて、各前記細管の先端をそれぞれ異なる前記成膜直線と対面させ、
各前記放出装置本体よりも、前記成膜対象物が載置される載置面に近い位置に防熱板を配置し、
前記防熱板に設けられた孔に、前記孔の内周面と離間して前記細管を挿通させ、
前記放出装置本体を加熱し、前記放出装置本体からの輻射熱を前記防熱板で遮蔽し、前記防熱板を冷却容器に接触させ、前記防熱板を前記冷却容器によって冷却し、材料ガスを、前記蒸気タンク内に供給して各前記放出装置本体に分配し、各前記細管の先端からそれぞれ放出させ、前記成膜対象物の表面に到達させながら、前記材料ガス放出装置と前記成膜対象物を、前記薄膜形成方向と平行に相対移動させて、前記成膜対象物の表面の複数の前記成膜直線上に同時に薄膜を形成する薄膜形成方法。
【請求項８】
各前記放出装置本体を前記成膜対象物表面と平行で前記薄膜形成方向と直角な成分を有する方向にそれぞれ個別に移動させる前に、前記成膜対象物の表面のアライメントマークを撮像し、撮像結果から、前記アライメントマークと各前記放出装置本体との相対位置を認識する請求項７記載の薄膜形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜形成装置及び薄膜形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板に所定の形状の有機又は無機分子の薄膜を形成する場合に真空蒸着法が行われていた。図５は真空蒸着法で用いられる従来の薄膜形成装置１００の一例の内部構成図を示している。
【０００３】
真空蒸着法では、真空排気装置１１２により真空排気された真空槽１１１内で、基板１２２に所定の形状の開口を有するマスク１２１を貼り合わせ、基板１２２から離れた位置に配置された蒸発源１４１から薄膜材料１４５を加熱して材料ガスを放出させ、放出された材料ガスをマスク１２１の開口から露出する基板１２２の表面に到達させ、基板１２２の表面に開口と同じ形状の薄膜を形成する。符号１４２は薄膜材料１４５を加熱する加熱装置を示している。
【０００４】
しかしながら、この真空蒸着法では、マスク１２１が蒸発源１４１からの熱を受けて膨張すると、マスク１２１の開口の形状が変形し、基板１２２に形成される薄膜の形状が変形するという問題があった。そこで、成膜中にマスク１２１を冷却しておく必要があるのだが、近年の基板の大型化に伴ってマスクも大型化し、冷却装置１２４によりマスク１２１の周辺部を冷却しても、マスク１２１の中央部を効果的に冷却できないという問題が生じていた。すなわち、大面積の基板に微細な形状の薄膜を形成することが困難であった。
【０００５】
また、マスク１２１と基板１２２とを貼り合わせるために、マスク１２１と基板１２２とのアライメントに時間がかかり、生産効率が悪かった。
さらに、蒸発源１４１から放出された材料ガスは真空槽１１１内に拡散し、マスク１２１の開口が微細な場合には、開口を通過して基板１２２に付着する材料ガスの充填率が悪かった。
【０００６】
また、基板１２２に成膜すると同時に材料ガスはマスク１２１の開口の外側の遮蔽部にも付着する。マスク１２１の遮蔽部に堆積する薄膜が厚くなると、この薄膜が開口の縁を覆って、基板１２２に形成される薄膜の形状が歪むという問題があった。また、マスク１２１の遮蔽部に付着した薄膜材料は無駄になったり、パーティクルになったりして、コストと品質面で問題があった。
【０００７】
さらに、基板１２２とマスク１２１以外にも、真空槽１１１の槽壁や防着板（不図示）にも材料ガスは付着し、薄膜材料が無駄になったり、パーティクルになったりして、コストと品質面で問題があった。
【０００８】
一方、特許文献１又は特許文献２では、インクジェット吐出装置から薄膜材料を含有する吐出液を吐出させ、基板の所定位置に着弾させて、基板に所定の形状の薄膜を形成するインクジェット法が開示されている。インクジェット法では、真空蒸着法における上記問題が生じないという利点がある。
【０００９】
しかしながら、インクジェット法では、吐出液には薄膜材料に加えて溶剤が含まれる。基板に形成される薄膜中に溶剤が残留すると、薄膜の膜質に影響するという問題があった。また、基板表面に予め別の薄膜（下地膜）が形成されている場合には、基板表面に吐出液が着弾すると、吐出液中の溶剤がこの下地膜を損傷するおそれがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０００−１０６２７８号公報
【特許文献２】特開２００５−５６６１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、薄膜材料の使用効率が高く、大型基板に所定の形状の薄膜を形成できる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために本発明は、真空槽と、前記真空槽内に配置され、成膜対象物が載置面上に配置される処理台と、材料ガスを前記真空槽内に放出させて前記載置面上の前記成膜対象物に到達させ、薄膜を形成する材料ガス放出装置と、前記材料ガス放出装置と前記処理台を、前記載置面と平行な一の薄膜形成方向に沿って相対移動させる移動装置とを有する薄膜形成装置であって、前記材料ガス放出装置は、内部に前記材料ガスが配置される中空の蒸気タンクと、前記載置面と対面する位置に配置され、前記蒸気タンクにそれぞれ接続された複数の放出装置本体と、各前記放出装置本体を、前記載置面に平行で前記薄膜形成方向と直角な成分を有する方向にそれぞれ個別に移動する位置調整装置と、前記放出装置本体を加熱する加熱装置と、を有し、前記材料ガス放出装置には、各前記放出装置本体よりも前記載置面に近い位置に配置され、加熱された前記放出装置本体からの輻射熱を遮蔽する防熱板が設けられ、各前記放出装置本体には、先端が前記載置面に向けられた細管がそれぞれ接続され、前記細管は、各前記防熱板に形成された孔に、前記孔の内周面と離間して挿通され、前記防熱板は、冷却管によって冷却される冷却容器に接触され、前記蒸気タンク内の前記材料ガスが、各前記放出装置本体に供給され、各前記細管の先端から放出され、前記処理台に配置された成膜対象物の表面に到達して薄膜が形成される薄膜形成装置である。
本発明は薄膜形成装置であって、前記成膜対象物の表面のアライメントマークを撮像する撮像装置と、前記撮像装置の撮像画像から、前記アライメントマークと各前記放出装置本体との相対位置を認識し、前記位置調整装置に制御信号を送って、各前記放出装置本体を、前記成膜対象物の表面の各前記放出装置本体とそれぞれ対応する所定位置に移動させる制御装置と、を有する薄膜形成装置である。
本発明は薄膜形成装置であって、前記蒸気タンクと前記放出装置本体とを接続する供給管の一端と他端の間の少なくとも一部は曲がることができる柔軟な材質で形成され、前記放出装置本体を前記蒸気タンクに対し、前記載置面と平行で、前記薄膜形成方向とは直角な方向に相対移動させると、相対移動に伴って前記供給管は屈曲する薄膜形成装置である。
本発明は薄膜形成装置であって、前記蒸気タンクとは離間した位置に、内部に薄膜材料が配置されたガス発生装置が配置され、前記ガス発生装置は前記蒸気タンクに接続され、前記ガス発生装置内で前記薄膜材料が加熱されて蒸発して前記材料ガスが生成され、前記蒸気タンクに供給されるように構成された薄膜形成装置である。
本発明は薄膜形成装置であって、前記細管の先端は前記防熱板よりも前記載置面に近い位置に配置された薄膜形成装置である。
本発明は薄膜形成装置であって、前記細管と前記孔の内周との間には断熱材が配置された薄膜形成装置である。
本発明は、真空槽内を真空排気し、材料ガスを、前記真空槽内に配置された放出装置本体に供給し、前記放出装置本体に接続された細管の先端から放出させ、前記細管の先端と対面する成膜対象物の表面に到達させながら、前記放出装置本体と前記成膜対象物を、前記成膜対象物表面と平行な一の薄膜形成方向と平行に相対移動させて、前記成膜対象物の表面に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、複数台の前記放出装置本体が互いに同じ蒸気タンクに接続された材料ガス放出装置を用いて、前記成膜対象物表面に、成膜すべき領域である成膜直線を前記薄膜形成方向と平行に複数本あらかじめ定めておき、各前記放出装置本体を、前記成膜対象物表面と平行で前記薄膜形成方向と直角な成分を有する方向にそれぞれ個別に移動させて、各前記細管の先端をそれぞれ異なる前記成膜直線と対面させ、各前記放出装置本体よりも、前記成膜対象物が載置される載置面に近い位置に防熱板を配置し、前記防熱板に設けられた孔に、前記孔の内周面と離間して前記細管を挿通させ、前記放出装置本体を加熱し、前記放出装置本体からの輻射熱を前記防熱板で遮蔽し、前記防熱板を冷却容器に接触させ、前記防熱板を前記冷却容器によって冷却し、材料ガスを、前記蒸気タンク内に供給して各前記放出装置本体に分配し、各前記細管の先端からそれぞれ放出させ、前記成膜対象物の表面に到達させながら、前記材料ガス放出装置と前記成膜対象物を、前記薄膜形成方向と平行に相対移動させて、前記成膜対象物の表面の複数の前記成膜直線上に同時に薄膜を形成する薄膜形成方法である。
本発明は薄膜形成方法であって、各前記放出装置本体を前記成膜対象物表面と平行で前記薄膜形成方向と直角な成分を有する方向にそれぞれ個別に移動させる前に、前記成膜対象物の表面のアライメントマークを撮像し、撮像結果から、前記アライメントマークと各前記放出装置本体との相対位置を認識する薄膜形成方法である。
【発明の効果】
【００１３】
マスクを用いなくても所定の形状の薄膜を形成することができるので、大面積基板にパターン膜を形成することが容易になる。
直線状の薄膜を複数本同時に形成することができるので、成膜速度が上がる。
細管の先端から放出された材料ガスが広がる前に成膜対象物の表面に到達させ、付着させるので、薄膜材料を節約できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の薄膜形成装置の平面図
【図２】本発明の薄膜形成装置のＡ−Ａ線切断断面図
【図３】放出装置本体の内部構成図
【図４】（ａ）〜（ｃ）：細管の先端の中空部分の形状を説明するための図
【図５】従来の薄膜形成装置の一例の内部構成図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
＜薄膜形成装置の構造＞
本発明の薄膜形成装置の構造を説明する。
図１は薄膜形成装置１０の一例の平面図、図２は同Ａ−Ａ線切断断面図を示している。
【００１６】
この薄膜形成装置１０は、真空槽１１と、真空槽１１内に配置され、成膜対象物２０が載置面１３上に配置される処理台１２と、材料ガスを真空槽１１内に放出させて載置面１３上の成膜対象物２０に到達させ、薄膜を形成する材料ガス放出装置３０と、材料ガス放出装置３０と処理台１２を、載置面１３と平行な一の薄膜形成方向５に沿って相対移動する移動装置とを有している。図１では真空槽１１を省略している。
【００１７】
処理台１２は、板状の成膜対象物２０を配置する載置面１３を有しており、ここでは処理台１２は、載置面１３を鉛直上方に向け、真空槽１１の内部に配置されている。
真空槽１１には真空ポンプ１４が接続されており、内部を真空排気できるようにされている。
【００１８】
材料ガス放出装置３０は、内部に材料ガスが配置される１乃至複数個の中空の蒸気タンク３２ｈ、３２ｄと、載置面１３と対面する位置に配置され、蒸気タンク３２ｈ、３２ｄにそれぞれ接続された複数の放出装置本体３１1、３１2、３１3と、各放出装置本体３１1、３１2、３１3を、載置面１３に平行で薄膜形成方向５と直角な成分を有する方向にそれぞれ個別に移動する位置調整装置５３1、５３2、５３3とを有している。
【００１９】
本例の薄膜形成装置１０は、第一の蒸気タンク３２ｈと第二の蒸気タンク３２ｄの二台を有している。ここでは第一、第二の蒸気タンク３２ｈ、３２ｄは真空槽１１の内部に配置されているが、真空槽１１の外側に配置されていてもよい。
【００２０】
第一、第二の蒸気タンク３２ｈ、３２ｄとは離間した位置には、内部に薄膜材料が配置された一乃至複数台のガス発生装置３３ｈR、３３ｈG、３３ｈB、３３ｄR、３３ｄG、３３ｄBが配置されている。
【００２１】
本例の薄膜形成装置１０は、Ｒ、Ｇ、Ｂの第一のガス発生装置３３ｈR、３３ｈG、３３ｈBと、Ｒ、Ｇ、Ｂの第二のガス発生装置３３ｄR、３３ｄG、３３ｄBを有している。Ｒ、Ｇ、Ｂの第一のガス発生装置３３ｈR、３３ｈG、３３ｈB内にはＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色のホストとなる有機薄膜材料がそれぞれ別々に配置され、Ｒ、Ｇ、Ｂの第二のガス発生装置３３ｄR、３３ｄG、３３ｄB内にはＲ、Ｇ、Ｂの各色のドーパントとなる有機材料がそれぞれ別々に配置されている。
【００２２】
第一、第二の蒸気タンク３２ｈ、３２ｄには、内部と連通する第一、第二の配管３８ｈ、３８ｄがそれぞれ接続されている。Ｒ、Ｇ、Ｂの第一のガス発生装置３３ｈR、３３ｈG、３３ｈBはそれぞれＲ、Ｇ、Ｂの第一のバルブ３９ｈR、３９ｈG、３９ｈBを介して第一の配管３８ｈに接続され、Ｒ、Ｇ、Ｂの第二のガス発生装置３３ｄR、３３ｄG、３３ｄBは、それぞれＲ、Ｇ、Ｂの第二のバルブ３９ｄR、３９ｄG、３９ｄBを介して第二の配管３８ｄに接続されている。
【００２３】
各ガス発生装置３３ｈR、３３ｈG、３３ｈB、３３ｄR、３３ｄG、３３ｄBには、ここでは不図示の線状のヒータがそれぞれ巻き回されている。ヒータが発熱すると、各ガス発生装置３３ｈR、３３ｈG、３３ｈB、３３ｄR、３３ｄG、３３ｄB内の薄膜材料がそれぞれ個別に加熱され、蒸発温度以上の温度に昇温して、薄膜材料の蒸気から成る材料ガスが生成されるようになっている。
【００２４】
また、各ガス発生装置３３ｈR、３３ｈG、３３ｈB、３３ｄR、３３ｄG、３３ｄBには、キャリアガスを放出するキャリアガス導入装置３７ｈR、３７ｈG、３７ｈB、３７ｄR、３７ｄG、３７ｄBがそれぞれ接続されている。
【００２５】
Ｒ、Ｇ又はＢの第一のバルブ３９ｈR、３９ｈG又は３９ｈBを開いた状態で、キャリアガス導入装置３７ｈR、３７ｈG又は３７ｈBからＲ、Ｇ又はＢの第一のガス発生装置３３ｈR、３３ｈG又は３３ｈBにキャリアガスを導入すると、生成されたＲ、Ｇ又はＢのホストの材料ガスはキャリアガスと一緒に第一の配管３８ｈを通って第一の蒸気タンク３２ｈに供給されるようになっている。
【００２６】
また、Ｒ、Ｇ又はＢの第二のバルブ３９ｄR、３９ｄG又は３９ｄBを開いた状態で、キャリアガス導入装置３７ｄR、３７ｄG又は３７ｄBからＲ、Ｇ又はＢの第二のガス発生装置３３ｄR、３３ｄG又は３３ｄBにキャリアガスを導入すると、生成されたＲ、Ｇ又はＢのホストの材料ガスはキャリアガスと一緒に第二の配管３８ｄを通って第二の蒸気タンク３２ｄに供給されるようになっている。
【００２７】
放出装置本体３１1、３１2、３１3の構造は同じであり、図３に、一台の放出装置本体３１1を例にして説明する。
放出装置本体３１1は、載置面１３と対面する位置に配置されており、ここでは載置面１３の上方に配置されている。
【００２８】
放出装置本体３１1の載置面１３と対面する部分には、細管３５1が鉛直に設けられており、細管３５1の先端は、載置面１３に向けられている。細管３５1の中空部分は、放出装置本体３１1の内部の空間に接続されている。
【００２９】
蒸気タンク３２ｈ、３２ｄと放出装置本体３１1は、少なくとも一部が曲がることができる柔軟な材質で形成された供給管３４ｈ1、３４ｄ1で接続されている。柔軟な材質には、例えば耐熱性のゴムやベローズを用いることができる。
【００３０】
ここでは供給管３４ｈ1、３４ｄ1の一部は伸び縮みできるように構成されているが、曲がることができるならばこの構成に限定されず、弛んでいたものが伸びたり、弛むことで縮むように構成されていてもよい。
【００３１】
ここでは放出装置本体３１1には供給管３４ｈ1、３４ｄ1の一端がそれぞれ固定され、供給管３４ｈ1、３４ｄ1の他端は蒸気タンク３２ｈ、３２ｄにそれぞれ固定されている。供給管３４ｈ1、３４ｄ1の一端と他端の間の少なくとも一部は柔軟な材質で形成され、放出装置本体３１1を蒸気タンク３２ｈ、３２ｄに対して幅方向６成分を有する方向に相対移動させると、相対移動に伴って供給管３４ｈ1、３４ｄ1は屈曲できるようになっている。
【００３２】
蒸気タンク内３２ｈ、３２ｄに供給された材料ガスは、キャリアガスと一緒に供給管３４ｈ1、３４ｄ1を通り、放出装置本体３１1に供給される。
ここでは蒸気タンク３２ｈ、３２ｄの外周と供給管３４ｈ1、３４ｄ1の外周には線状ヒータ６１が巻き回されており、線状ヒータ６１を発熱させると、蒸気タンク３２ｈ、３２ｄと供給管３４ｈ1、３４ｄ1とが加熱されて薄膜材料の蒸発温度以上の温度に昇温するようにされている。従って、蒸気タンク３２ｈ、３２ｄの内部に供給された材料ガスが、蒸気タンク３２ｈ、３２ｄの内壁面や供給管３４ｈ1、３４ｄ1の内壁面に析出しないようになっている。
【００３３】
ここでは二本の供給管３４ｈ1、３４ｄ1によって、第一、第二の蒸気タンク３２ｈ、３２ｄが放出装置本体３１1とそれぞれ別々に接続され、ホスト用の有機材料ガスとドーパント用の有機材料ガスは別々に、キャリアガスと一緒に放出装置本体３１1に供給され、放出装置本体３１1内で混合され、細管３５1を通って細管３５1の先端から真空槽１１の内部に放出される。
【００３４】
図４（ａ）は放出装置本体３１1の載置面１３と対面する部分の模式図を示している。細管３５1の先端の中空部分の形状は、四辺が薄膜形成方向５又は載置面１３と平行で薄膜形成方向５と直角な幅方向６と平行な四角形であり、ここでは正方形である。従って、材料ガスは細管３５1の先端から幅方向６に対して均一な放出量で放出される。
【００３５】
位置調整装置５３1はここでは不図示の動力発生部とガイドを有している。動力発生部は例えば真空対応のモーターやピエゾ素子である。ガイドは載置面１３に平行で薄膜形成方向５と直角な成分を有する方向に沿って延設されている。
【００３６】
位置調整装置５３1はモーターやピエゾ素子の動力を冷却容器４１1に伝達して、冷却容器４１1を放出装置本体３１1と一緒に、ガイドに沿って移動させるように構成されている。供給管３４ｈ1、３４ｄ1の少なくとも一部は柔軟な材質で形成されており、位置調整装置５３1を動作させると、供給管３４ｈ1、３４ｄ1を屈曲させながら、静止した蒸気タンク３２ｈ、３２ｄに対して放出装置本体３１1を、載置面１３に平行で薄膜形成方向５と直角な成分を有する方向に移動できるようになっている。
【００３７】
図２を参照し、各放出装置本体３１1、３１2、３１3の細管３５1、３５2、３５3は、載置面１３に平行で薄膜形成方向５と直角な幅方向６に離間して配置されている。各位置調整装置５３1、５３2、５３3をそれぞれ個別に動作させると、隣り合う二つの細管３５1、３５2、３５3の幅方向６の間隔をそれぞれ調整できる。
【００３８】
また、材料ガス放出装置３０は、成膜対象物２０の表面のアライメントマークを撮像する撮像装置５１1、５１2、５１3と、撮像装置５１1、５１2、５１3の撮像画像から、アライメントマークと各放出装置本体３１1、３１2、３１3との相対位置を認識し、位置調整装置５３1、５３2、５３3に制御信号を送って、各放出装置本体３１1、３１2、３１3を、成膜対象物２０の表面の、各放出装置本体３１1、３１2、３１3とそれぞれ対応する所定位置に移動させる制御装置５２とを有している。
【００３９】
撮像装置５１1、５１2、５１3はここではＣＣＤカメラであり、撮像面を載置面１３と対面させて配置され、成膜対象物２０の表面に設けられたアライメントマークを撮像し、撮像画像を制御装置５２に電送するように構成されている。
【００４０】
本例では撮像装置５１1、５１2、５１3は、各冷却容器４１1、４１2、４１3の壁面にそれぞれ取り付けられている。各撮像装置５１1、５１2、５１3の構造は同じであり、符号５１1の撮像装置で代表して説明すると、撮像装置５１1で撮像された撮像画像内の位置と、この冷却容器４１1内に配置された放出装置本体３１1の細管３５1との幅方向６の相対位置関係を予め求めておくと、撮像装置５１1の撮像画像から、アライメントマークと放出装置本体３１1の細管３５1との幅方向６の相対位置が分かるようになっている。
【００４１】
放出装置本体３１1、３１2、３１3にはそれぞれ異なる撮像装置５１1、５１2、５１3が冷却容器４１1、４１2、４１3を介して取り付けられており、例えば成膜対象物２０の表面が熱の影響で部分的に伸縮するなど、成膜対象物２０と材料ガス放出装置３０のいずれか一方又は両方に長さの不確定要素があっても、アライメントマークと放出装置本体３１1、３１2、３１3の細管３５1、３５2、３５3との幅方向６の相対位置がそれぞれ正確に分かるようになっている。
【００４２】
制御装置５２は、撮像装置５１1、５１2、５１3から電送された撮像画像中からアライメントマークを認識し、アライメントマークと放出装置本体３１1、３１2、３１3の細管３５1、３５2、３５3との幅方向６の相対位置を認識する。
【００４３】
成膜対象物２０表面に各放出装置本体３１1、３１2、３１3とそれぞれ対応する所定位置が予め定められている場合には、制御装置５２は、放出装置本体３１1、３１2、３１3の細管３５1、３５2、３５3と、成膜対象物２０表面の対応する所定位置との間の幅方向６の誤差量をそれぞれ求め、位置調整装置５３1、５３2、５３3に制御信号を送って、放出装置本体３１1、３１2、３１3をそれぞれ個別に移動させて前記誤差量の絶対値をそれぞれ減少させ、各放出装置本体３１1、３１2、３１3の細管３５1、３５2、３５3の先端を、成膜対象物２０表面の対応する所定位置と対面させるように構成されている。
【００４４】
移動装置はここでは直線状のレール１８と、不図示のモーターとを有している。レール１８は、載置面１３と平行な一の薄膜形成方向５と平行に向けられて、処理台１２と真空槽１１の壁面との間に配置され、ここでは処理台１２の下方を向いた面と真空槽１１の底面との間に配置されている。処理台１２のレール１８と対面する部分にはレール１８に沿って直線状の溝が設けられ、レール１８は溝に嵌め合わされ、処理台１２はレール１８に沿って滑動可能にされている。モーターは動力を処理台１２に伝達して、処理台１２をレール１８に沿って一定の速度で直線移動できるように構成されている。
【００４５】
移動装置によって処理台１２を移動すると、処理台１２上の成膜対象物２０は、静止した放出装置本体３１1、３１2、３１3の下方を、一の薄膜形成方向５に沿って直線移動するようになっており、蒸気タンク３２ｈ、３２ｄから各放出装置本体３１1、３１2、３１3に分配され、各細管３５1、３５2、３５3の先端から放出された材料ガスによって、成膜対象物２０表面には、マスクを設けなくても、直線状の薄膜が薄膜形成方向５と平行に複数本同時に形成される。
【００４６】
本発明の移動装置は、処理台１２と放出装置本体３１1、３１2、３１3を、薄膜形成方向５に沿って相対的に直線移動できるならば上記構成に限定されず、静止した処理台１２に対して放出装置本体３１1、３１2、３１3を薄膜形成方向５に沿って直線移動するように構成してもよいし、処理台１２と放出装置本体３１1、３１2、３１3を、薄膜形成方向５に沿ってそれぞれ個別に直線移動するように構成してもよい。
【００４７】
図２を参照し、各放出装置本体３１1、３１2、３１3は、加熱装置を有しており、加熱装置から供給される熱で、放出装置本体３１1、３１2、３１3内部に供給された材料ガスが、放出装置本体３１1、３１2、３１3の内壁面に析出しないようにされている。
【００４８】
ここでは、加熱装置は線状ヒータ３６1、３６2、３６3で構成され、線状ヒータ３６1、３６2、３６3が放出装置本体３１1、３１2、３１3の外周に巻き回されている。線状ヒータ３６1、３６2、３６3を発熱させると、放出装置本体３１1、３１2、３１3と、細管３５1、３５2、３５3とが加熱されて、供給された薄膜材料の蒸発温度以上の温度に昇温するようにされている。
【００４９】
放出装置本体３１1、３１2、３１3と載置面１３との間には、防熱板４２1、４２2、４２3がそれぞれ配置されている。
ここでは、各放出装置本体３１1、３１2、３１3は、それぞれ別々の冷却容器４１1、４１2、４１3内に配置されている。
【００５０】
各冷却容器４１1、４１2、４１3は、底面部分が放出装置本体３１1、３１2、３１3と載置面１３の間に配置されており、各冷却容器４１1、４１2、４１3の底面部分が、加熱された放出装置本体３１1、３１2、３１3や、放出装置本体３１1、３１2、３１3に巻き回された線状ヒータ３６1、３６2、３６3から放出される輻射熱を遮蔽して、輻射熱が載置面１３上に配置された成膜対象物２０に到達しないようにする防熱板４２1、４２2、４２3にされている。
【００５１】
各防熱板４２1、４２2、４２3は、載置面１３と対面し、載置面１３とは離間して配置されている。各防熱板４２1、４２2、４２3には、それぞれ孔４３1、４３2、４３3が設けられ、各冷却容器４１1、４１2、４１3内に配置された放出装置本体３１1、３１2、３１3に接続された細管３５1、３５2、３５3は、防熱板４２1、４２2、４２3の孔４３1、４３2、４３3に挿通され、各細管３５1、３５2、３５3の先端は、防熱板４２1、４２2、４２3よりも載置面１３に近い位置まで伸ばされ、細管３５1、３５2、３５3から放出される材料ガスが防熱板４２1、４２2、４２3に接触しないようにされている。
【００５２】
ここでは、冷却容器４１1、４１2、４１3の側壁の外周には、液状の冷却媒体が流れる冷却管４４1、４４2、４４3が巻き回されており、輻射熱は冷却容器４１1、４１2、４１3で遮蔽され、真空槽１１の槽壁が加熱されないようになっている。
【００５３】
防熱板４２1、４２2、４２3の載置面１３に向く面とは反対の面には輻射熱が到達するが、防熱板４２1、４２2、４２3は冷却容器４１1、４１2、４１3と接触しており、冷却管４４1、４４2、４４3によって冷却容器４１1、４１2、４１3が冷却されると、防熱板４２1、４２2、４２3は間接的に冷却され、高温にはならないようになっている。
【００５４】
防熱板４２1、４２2、４２3の孔４３1、４３2、４３3の内周面の直径は、細管３５1、３５2、３５3の外径よりも大きく、放出装置本体３１1、３１2、３１3の幅よりも小さくされており、細管３５1、３５2、３５3の外周面と孔４３1、４３2、４３3の内周面が離間しているか、又は、細管３５1、３５2、３５3の外周面と内周面の間の部分に断熱材が充填されている。
【００５５】
どちらの場合でも、昇温された細管３５1、３５2、３５3の熱は防熱板４２1、４２2、４２3には伝導されず、細管３５1、３５2、３５3先端が薄膜材料の蒸発温度未満の温度に冷却されないようになっている。
【００５６】
このように、細管３５1、３５2、３５3の先端は蒸発温度以上にされており、細管３５1、３５2、３５3の先端で材料ガスが凝縮して閉塞されないようになっている。また、載置面１３上に配置された成膜対象物２０が、輻射熱によって加熱されないようになっている。
【００５７】
処理台１２の内部には冷却装置１６が配置されており、成膜対象物２０は冷却装置１６によって冷却され、成膜対象物２０の表面に到達した材料ガスは効率的に凝集され、材料ガスが成膜対象物２０表面で反射されて真空槽１１内に拡散しにくいようにされている。
【００５８】
図４（ａ）を参照し、例えば、細管３５1、３５2、３５3の先端の中空部分の幅は２０μｍ程度であり、成膜する線（成膜直線）の幅によって載置面１３上に配置した成膜対象物２０表面と細管３５1、３５2、３５3の先端との間の距離は０．０１ｍｍ以上５ｃｍ以下の範囲で成膜することができる。このとき、細管３５1、３５2、３５3から放出された材料ガスは広がる前に成膜対象物２０に到達して付着し、真空槽１１内に拡散することが抑制され、薄膜材料が無駄にならない。
【００５９】
薄膜からなる線の幅は細管３５1、３５2、３５3の先端の中空部分の幅および成膜対象物２０表面と細管３５1、３５2、３５3の先端との間の距離で調整できる。細管３５1、３５2、３５3の先端の中空部分の幅が小さいと成膜対象物２０表面と細管３５1、３５2、３５3の先端との間の距離が短いほど薄膜からなる線の幅は小さい。
【００６０】
本発明の細管３５1、３５2、３５3の先端の中空部分の形状は、四辺が薄膜形成方向５又は幅方向６に平行な四角形であるならば、図４（ａ）に示すような正方形に限定されず、図４（ｂ）に示すように薄膜形成方向５の長さが幅方向６の長さより長い幅細長方形でもよいし、図４（ｃ）に示すように薄膜形成方向５の長さが幅方向６の長さより短い幅広長方形でもよい。
【００６１】
幅細長方形の場合には、正方形の場合と同じ移動速度で処理台１２と放出装置本体３１1、３１2、３１3とを薄膜形成方向５に沿って相対移動させ、同じ放出量で材料ガスを放出させると、正方形の場合よりも薄膜を厚く形成することができる。
また、幅広長方形の場合には、正方形の場合よりも幅方向６の幅が広い薄膜を形成することができる。
【００６２】
なお、図１に示すように、真空槽１１内には膜厚センサ６２ｈ、６２ｄが配置され、第一、第二の配管３８ｈ、３８ｄにサンプル管がそれぞれ設けられ、Ｒ、Ｇ又はＢの第一、第二のガス発生装置３３ｈR、３３ｈG、３３ｈB、３３ｄR、３３ｄG、３３ｄBで発生され、第一、第二の配管３８ｈ、３８ｄに供給された材料ガスが膜厚センサ６２ｈ、６２ｄの検出面にそれぞれ到達して薄膜が形成されるようになっている。
【００６３】
膜厚センサ６２ｈ、６２ｄが検出する薄膜の膜厚と、成膜対象物２０表面に形成される薄膜の膜厚との関係を予め求めておくと、膜厚センサ６２ｈ、６２ｄが検出した膜厚の値によって、成膜対象物２０表面の薄膜の膜厚値が分かる。
【００６４】
膜圧センサ６２ｈ、６２ｄの検出結果を第一、第二のガス発生装置３３ｈR、３３ｈG、３３ｈB、３３ｄR、３３ｄG、３３ｄBのヒータにフィードバックし、放出装置本体３１1、３１2、３１3の細管３５1、３５2、３５3から放出される蒸気量を制御するように構成してもよい。
【００６５】
＜薄膜形成方法＞
本発明の薄膜形成装置１０を用いた薄膜形成方法を説明する。
成膜対象物２０表面に、成膜すべき領域である直線状の成膜直線を互いに平行に複数本予め定めておき、また、一乃至複数のアライメントマークを予め定めておく。
また、一本の成膜直線に対して一台の放出装置本体を対応づけておく。すなわち、各放出装置本体はそれぞれ異なる成膜直線と対応づけられる。
【００６６】
図１を参照し、本例では成膜対象物２０表面には、三本一組のＲ、Ｇ、Ｂの成膜直線２２R、２２G、２２Bが複数組、互いに平行に配置されている。
各成膜直線２２R、２２G、２２Bに、対応する複数の放出装置本体ここでは３１1、３１2、３１3を３台予め定めておく。
また、撮像装置５１1、５１2、５１3で撮像された撮像画像内の位置と、放出装置本体３１1、３１2、３１3の細管３５1、３５2、３５3との幅方向６の相対位置関係を予め求めておく。
【００６７】
Ｒ、Ｇ、Ｂの第一のガス発生装置３３ｈR、３３ｈG、３３ｈB内にＲ、Ｇ、Ｂのホストの有機材料をそれぞれ配置し、Ｒ、Ｇ、Ｂの第二のガス発生装置３３ｄR、３３ｄG、３３ｄB内にＲ、Ｇ、Ｂのドーパントの薄膜材料をそれぞれ配置する。
真空排気装置２０により真空槽１１内を真空排気し、以後真空排気を継続して真空雰囲気を維持する。
【００６８】
真空槽１１内の真空雰囲気を維持しながら、成膜対象物２０を真空槽１１内に搬入し、成膜対象物２０表面の成膜直線２２R、２２G、２２Bを薄膜形成方向５と平行に向けて、処理台１２の載置面１３に配置する。
撮像装置５１1、５１2、５１3により、成膜対象物２０表面のアライメントマークを撮像する。
【００６９】
制御装置５２は、撮像装置５１1、５１2、５１3の撮像結果からアライメントマークを認識し、アライメントマークと各放出装置本体３１1、３１2、３１3の細管３５1、３５2、３５3との幅方向６の相対位置を認識し、ここでは各放出装置本体３１1、３１2、３１3の細管３５1、３５2、３５3と、それぞれ対応するＲの成膜直線２２Rとの間の幅方向６の誤差量をそれぞれ求める。
【００７０】
次いで、制御装置５２は、放出装置本体３１1、３１2又は３１3の前記誤差量が予め決めた許容値以下でない場合には、位置調整装置５３1、５３2又は５３3に制御信号を送って、当該放出装置本体３１1、３１2又は３１3を移動させて前記誤差量の絶対値を減少させ、各放出装置本体３１1、３１2、３１3の細管３５1、３５2、３５3の先端を、それぞれ異なるＲの成膜直線２２Rと対面させる。
【００７１】
Ｒ、Ｇ、Ｂの第一、第二のバルブ３９ｈR、３９ｈG、３９ｈB、３９ｄR、３９ｄG、３９ｄBをそれぞれ閉じておく。
処理台１２の冷却装置１６により成膜対象物２０を冷却しておく。
また、冷却管４４1、４４2、４４3に、薄膜材料の蒸発温度未満に温度管理された冷却媒体を流して、冷却容器４１1、４１2、４１3を冷却しておく。
【００７２】
線状ヒータ６１、３６1、３６2、３６3により、第一、第二の蒸気タンク３２ｈ、３２ｄと各供給管３４ｈ1、３４ｄ1、３４ｈ2、３４ｄ2、３４ｈ3、３４ｄ3と各放出装置本体３１1、３１2、３１3を、薄膜材料の蒸発温度以上の温度に加熱しておく。
ここでは、Ｒの第一、第二のガス発生装置３３ｈR、３３ｄR内のＲ色のホストとドーパントの有機薄膜材料をそれぞれ加熱して、蒸気を発生させる。
【００７３】
Ｒの第一、第二のキャリアガス導入装置３７ｈR、３７ｄRからＲの第一、第二のガス発生装置３３ｈR、３３ｄR内にキャリアガスを導入し、Ｒの第一、第二のバルブ３９ｈR、３９ｄRを開けて、Ｒ色のホストとドーパントの材料ガスをキャリアガスと一緒に第一、第二の蒸気タンク３２ｈ、３２ｄにそれぞれ別々に導入する。
【００７４】
第一、第二の蒸気タンク３２ｈ、３２ｄ内の材料ガスは、キャリアガスと一緒に各放出装置本体３１1、３１2、３１3に分配され、各放出装置本体３１1、３１2、３１3内で混合し、混合ガスが細管３５1、３５2、３５3の先端から放出され、成膜対象物２０表面のそれぞれ異なるＲの成膜直線２２Rに到達して凝集し、付着する。
【００７５】
キャリアガスは成膜対象物２０表面で反射して真空ポンプ１４により真空排気される。従って、キャリアガスは形成される薄膜に残留せず、薄膜の膜質に影響しない。また成膜対象物２０表面に予め別の薄膜である下地膜が形成されている場合でも、キャリアガスはこの下地膜を損傷しない。
【００７６】
移動装置により処理台１２を成膜対象物２０と一緒に、薄膜形成方向５に沿って一定の速度で、各放出装置本体３１1、３１2、３１3に対して相対的に直線移動させると、マスクを設けなくても、互いに平行な複数本の成膜直線２２R上にＲ色の直線状の有機薄膜が同時に形成される。
【００７７】
次いでＲの第一、第二のバルブ３９ｈR、３９ｄRを閉じて、材料ガスが成膜対象物２０に到達しない状態にする。
薄膜形成装置１０は、各放出装置本体３１1、３１2、３１3を一緒に、処理台１２に対して、幅方向６に沿って相対移動する不図示の補助移動装置を有している。
【００７８】
補助移動装置により、各放出装置本体３１1、３１2、３１3を一緒に、処理台１２に対して、幅方向６に相対移動させて、放出装置本体３１1、３１2、３１3の細管３５1、３５2、３５3の先端を、それぞれ異なる未成膜のＲの成膜直線２２Rと対面させる。
【００７９】
補助移動装置による移動の精度が粗い場合には、移動後に、撮像装置５１1、５１2、５１3により成膜対象物２０の表面のアライメントマークとなるパターンを認識し、制御装置５２により放出装置本体３１1、３１2、３１3と対応する未成膜のＲの成膜直線２２Rとの誤差量をそれぞれ求め、放出装置本体３１1、３１2又は３１3の誤差量が予め決めた許容値以下でない場合には、位置調整装置５３1、５３2又は５３3により当該放出装置本体３１1、３１2又は３１3を個別に移動させて、放出装置本体３１1、３１2、３１3の細管３５1、３５2、３５3の先端を、対応するＲの成膜直線２２Rとそれぞれ正確に対面させてもよい。
【００８０】
次いで、Ｒの第一、第二のバルブ３９ｈR、３９ｄRを開いて、細管３５1、３５2、３５3の先端からＲ色の材料ガスを放出させ、成膜対象物２０表面の互いに異なる未成膜のＲの成膜直線２２Rにそれぞれ付着させる。
【００８１】
移動装置により処理台１２を成膜対象物２０と一緒に、薄膜形成方向５に沿って一定の速度で、各放出装置本体３１1、３１2、３１3に対して相対的に直線移動させると、互いに平行な複数本の未成膜のＲの成膜直線２２R上にＲ色の直線状の有機薄膜がそれぞれ同時に形成される。
【００８２】
上述の成膜工程を繰り返して、成膜対象物２０表面の他のＲの成膜直線２２RにもそれぞれＲ色の有機薄膜を形成する。
一本の成膜すべき成膜直線２２Rの幅よりも、一本の細管３５1、３５2又は３５3が一回の相対移動で形成する薄膜の幅が狭い場合には、複数回相対移動させて、一回の相対移動で形成する薄膜を複数本側面を接触させて成膜する。
一回の相対移動で複数本の薄膜が同時に形成されるので、一本の細管だけから材料ガスを放出させる場合よりも成膜速度が上がる。
【００８３】
Ｒの成膜直線２２Rに薄膜を形成し終えた後、ここでは移動装置により放出装置本体３１1、３１2、３１3を成膜対象物２０の外周の外側に移動させ、材料ガスが成膜対象物２０に到達しない状態で、Ｒの第一、第二のガス発生装置３３ｈR、３３ｄR内にキャリアガスを導入しながら、薄膜材料の加熱を停止する。第一、第二の蒸気タンク３２ｈ、３２ｄと各放出装置本体３１1、３１2、３１3内に残留していたＲ色の材料ガスはキャリアガスと一緒に真空槽１１内に排出され、真空ポンプ１４により真空排気される。Ｒ色の材料ガスを排出し終えた後、Ｒの第一、第二のバルブ３９ｈR、３９ｄRを閉じる。
【００８４】
補助移動装置により各放出装置本体３１1、３１2、３１3を一緒に、処理台１２に対して、幅方向６に相対移動させて、放出装置本体３１1、３１2、３１3の細管３５1、３５2、３５3の先端を、それぞれ異なるＧの成膜直線２２Gと対面させ、Ｒの成膜直線２２Rの成膜工程と同様にして、Ｇの成膜直線２２GにＧ色の有機薄膜をそれぞれ形成する。
【００８５】
Ｇの成膜直線２２Gに薄膜を形成し終えた後、Ｇの成膜直線２２Gの成膜工程と同様にして、Ｂの成膜直線２２BにＢ色の有機薄膜をそれぞれ形成する。
このようにして、成膜対象物２０の表面に、Ｒ色と、Ｇ色と、Ｂ色の三本一組の直線状の有機薄膜が複数組、互いに平行に形成される。
【００８６】
有機ＥＬディスプレイを作製する際、ＨＩＬ／ＨＴＬをフレームマスクで成膜した後、本発明でＲ、Ｇ、Ｂ発光ドットを作製し、次いでフレームマスクでＥＴＬ／ＥＩＬ／電極層を作ることが可能である。
【００８７】
本発明で形成する薄膜は、一層に限定されず、例えば、成膜対象物２０側から、Ｒ色、Ｇ色又はＢ色の場合、ＴＣＯ基板／ＨＩＬ／ＨＴＬ／ＥＬ(Ｒ)／ＥＴＬ／ＥＩＬの多層の薄膜、ＴＣＯ基板／ＨＩＬ／ＨＴＬ／ＥＬ(Ｇ)／ＥＴＬ／ＥＩＬの多層の薄膜、又はＴＣＯ基板／ＨＩＬ／ＨＴＬ／ＥＬ(Ｂ)／ＥＴＬ／ＥＩＬの多層の薄膜を形成し、これらＲＧＢの薄膜を、成膜対象物２０上に、繰り返しこの順序で配置することができる。
【符号の説明】
【００８８】
５……薄膜形成方向
１０……薄膜形成装置
１１……真空槽
１２……処理台
１３……載置面
２０……成膜対象物
３０……材料ガス放出装置
３１1、３１2、３１3……放出装置本体
３２ｈ、３２ｄ……蒸気タンク
３５1、３５2、３５3……細管
３３ｈR、３３ｄG、３３ｈB、３３ｄR、３３ｈG、３３ｄB……ガス発生装置
３４ｈ1、３４ｄ1、３４ｈ2、３４ｄ2、３４ｈ3、３４ｄ3……供給管
４２1、４２2、４２3……防熱板
４３1、４３2、４３3……孔
５１1、５１2、５１3……撮像装置
５２……制御装置
５３1、５３2、５３3……位置調整装置
【図１】
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【図２】
0005570939.tif 000003
【図３】
0005570939.tif 000004
【図４】
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【図５】
0005570939.tif 000006