(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
剥離紙の被貼着面にワークを支持する開口部を有する環状フレームの外径より小さく内径より大きい径を有する複数の粘着テープの貼着面が貼着された形態のテープ体がロール状に巻きつけられたテープ体ロールをセットするテープ体セット部と、
前記テープ体の前記剥離紙を巻き取って回収する剥離紙回収部と、
前記テープ体セット部と前記剥離紙回収部との間に配設され、前記テープ体の剥離紙側を押圧して前記テープ体を前記剥離紙側に屈曲させることによって前記粘着テープを前記剥離紙から剥離させて送り出すテープ剥離部と、
前記テープ剥離部によって送り出された前記粘着テープの前記貼着面を前記環状フレーム及び前記環状フレームの開口部中に設置されたワークに対向させて前記粘着テープを前記環状フレーム及びワークに向けて押圧することによって前記粘着テープを前記環状フレーム及びワークに貼着する貼着部と、
前記テープ剥離部と前記剥離紙回収部の間に配設され、前記被貼着面に当接する第一のローラー及び前記剥離紙の前記被貼着面の反対側の面に当接する第二のローラーで前記粘着テープが剥離された前記剥離紙を挟み込んで回転することによって前記剥離紙を前記剥離紙回収部に向けて送る送りローラー部と、
前記テープ体セット部と前記テープ剥離部との間に配設され、前記粘着テープの前記貼着面の反対側の面に当接する第三のローラー及び前記剥離紙の前記被貼着面の反対側の面に当接する第四のローラーで前記テープ体を挟み込むことによって前記テープ剥離部において前記テープ体に張力を発生させる張力発生部と、を含む粘着テープ貼着装置であって、
前記テープ剥離部を前記テープ体に張力を発生させる第一の作用位置と前記テープ体に接触しない第一の待機位置とに選択的に位置付けるテープ剥離部移動機構と、
前記第二のローラーを前記第一のローラーと前記第二のローラーによって前記剥離紙を挟み込む第二の作用位置と前記テープ体に接触しない第二の待機位置とに選択的に位置付ける第二のローラー移動機構と、
前記第四のローラーを前記第三のローラーと前記第四のローラーによって前記テープ体を挟み込む第三の作用位置と前記テープ体に接触しない第三の待機位置とに選択的に位置付ける第四のローラー移動機構と、を含み、
前記第一の待機位置と前記第二の待機位置と前記第三の待機位置とは前記テープ体ロールを前記テープ体セット部にセットして前記テープ体の一端を前記剥離紙回収部に取り付ける妨げとならない位置であり、
前記テープ体ロールを保持したカートリッジを取り付けることによって前記テープ体ロールが前記テープ体セット部にセットされ、
前記カートリッジを取り付けた後、前記テープ剥離部が前記第一の待機位置から前記第一の作用位置に、前記第二のローラーが前記第二の待機位置から前記第二の作用位置に、前記第四のローラーが前記第三の待機位置から前記第三の作用位置にそれぞれ位置付けられることによって、前記テープ体が搬送経路に沿ってセッティングされることを特徴とする粘着テープ貼着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着テープ貼着装置に関し、特に、ダイシング加工前に半導体ウェーハ等のワークに粘着テープを貼着する粘着テープ貼着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程においては、半導体ウェーハ等のワークの表面に格子状にストリート（分割予定ライン）が形成され、ストリートにより区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等の回路が形成される。そして、半導体ウェーハは、加工装置によりストリートに沿って切削され、個々の半導体チップに分割される。このようにして分割された半導体チップは、パッケージングされて携帯電話やパソコン等の電気機器に広く利用される。
【０００３】
また、近年では、電子機器の小型化や軽量化等を図るため、半導体ウェーハの薄化が望まれている。このため、半導体チップの製造工程においては、分割に先だち、半導体ウェーハの一面が研削されて、例えば、５０μｍから１００μｍ以下となるように極めて薄く加工される。薄く加工された半導体ウェーハは、ダイシング装置等の分割装置において分割される前に粘着テープ貼着装置に搬送され、粘着テープを介して環状フレームに支持される。このように、半導体ウェーハに粘着テープが貼着されることにより、分割装置において個々に分割された半導体チップがバラバラになることが防止される。
【０００４】
従来、半導体ウェーハに粘着テープを貼着する粘着テープ貼着装置として、テープ状の剥離紙に複数の粘着テープを等間隔に配置したテープ体が装着され、剥離紙から粘着テープを剥がして半導体ウェーハに貼着するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載の粘着テープ貼着装置においては、繰り出しローラーにテープ体ロールが装着され、テープ体ロールから繰り出されたテープ体が複数のローラー等の部材に掛け渡された後、巻き取りローラーに巻き付けることによりセットされる。
【０００５】
そして、複数のローラーや巻き取りローラーが回転駆動されることで、テープ体ロールから繰り出されたテープ体が一方向に搬送される。また、テープ体の搬送経路の途中には、テープ体を鋭角に折り返す剥離プレートが設けられており、この剥離プレートによるテープ体の折り返しにより剥離紙から粘着テープが剥がされる。剥離紙から剥された粘着テープは、半導体ウェーハに対向する押し当てローラーによって半導体ウェーハに貼着され、剥離紙は、巻き取りローラーに巻き取られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−１５８０３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載の粘着テープ貼着装置は、テープ体のセッティング時に、手動によりテープ体を複数のローラーや剥離プレートに掛け渡さなければならず、作業が煩雑となりセッティングに多大な作業時間を要していた。特に、テープ体の搬送経路を挟むように一対のローラーが配置される場合には、セッティング時に一対のローラーによって形成される隙間にテープ体を通さなければならず、さらに煩雑な作業となっていた。
【０００８】
本発明はこのような実情に鑑みてなされたものであり、テープ体のセッティングを簡潔に行うことができる粘着テープ貼着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の粘着テープ貼着装置は、剥離紙の被貼着面にワークを支持する開口部を有する環状フレームの外径より小さく内径より大きい径を有する複数の粘着テープの貼着面が貼着された形態のテープ体がロール状に巻きつけられたテープ体ロールをセットするテープ体セット部と、前記テープ体の前記剥離紙を巻き取って回収する剥離紙回収部と、前記テープ体セット部と前記剥離紙回収部との間に配設され、前記テープ体の剥離紙側を押圧して前記テープ体を前記剥離紙側に屈曲させることによって前記粘着テープを前記剥離紙から剥離させて送り出すテープ剥離部と、前記テープ剥離部によって送り出された前記粘着テープの前記貼着面を前記環状フレーム及び前記環状フレームの開口部中に設置されたワークに対向させて前記粘着テープを前記環状フレーム及びワークに向けて押圧することによって前記粘着テープを前記環状フレーム及びワークに貼着する貼着部と、前記テープ剥離部と前記剥離紙回収部の間に配設され、前記被貼着面に当接する第一のローラー及び前記剥離紙の前記被貼着面の反対側の面に当接する第二のローラーで前記粘着テープが剥離された前記剥離紙を挟み込んで回転することによって前記剥離紙を前記剥離紙回収部に向けて送る送りローラー部と、前記テープ体セット部と前記テープ剥離部との間に配設され、前記粘着テープの前記貼着面の反対側の面に当接する第三のローラー及び前記剥離紙の前記被貼着面の反対側の面に当接する第四のローラーで前記テープ体を挟み込むことによって前記テープ剥離部において前記テープ体に張力を発生させる張力発生部と、を含む粘着テープ貼着装置であって、前記テープ剥離部を前記テープ体に張力を発生させる第一の作用位置と前記テープ体に接触しない第一の待機位置とに選択的に位置付けるテープ剥離部移動機構と、前記第二のローラーを前記第一のローラーと前記第二のローラーによって前記剥離紙を挟み込む第二の作用位置と前記テープ体に接触しない第二の待機位置とに選択的に位置付ける第二のローラー移動機構と、前記第四のローラーを前記第三のローラーと前記第四のローラーによって前記テープ体を挟み込む第三の作用位置と前記テープ体に接触しない第三の待機位置とに選択的に位置付ける第四のローラー移動機構と、を含み、前記第一の待機位置と前記第二の待機位置と前記第三の待機位置とは前記テープ体ロールを前記テープ体セット部にセットして前記テープ体の一端を前記剥離紙回収部に取り付ける妨げとならない位置であり、前記テープ体ロールを保持したカートリッジを取り付けることによって前記テープ体ロールが前記テープ体セット部にセットされ、前記カートリッジを取り付けた後、前記テープ剥離部が前記第一の待機位置から前記第一の作用位置に、前記第二のローラーが前記第二の待機位置から前記第二の作用位置に、前記第四のローラーが前記第三の待機位置から前記第三の作用位置にそれぞれ位置付けられることによって、前記テープ体が搬送経路に沿ってセッティングされることを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、テープ体ロールをテープ体セット部にセットしてテープ体の一端を剥離紙回収部に取り付けた後に、テープ剥離部、第二のローラー、第四のローラーが第一、第二、第三の待機位置からそれぞれ第一、第二、第三の作用位置に位置付けられることで、テープ体がセッティングされる。したがって、手動によりテープ体を第一、第二のローラー間の隙間、第三、第四のローラー間の隙間に通す構成と比較して、テープ体のセッティングを簡潔に行うことができる。また、テープ体ロールから引き出されたテープ体の一端を剥離紙回収部に取り付ける際には、テープ剥離部、第二のローラー、第四のローラーが第一、第二、第三の待機位置にそれぞれ位置付けられることで、取付作業が妨げられることがない。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、粘着テープ貼着装置に対するテープ体のセッティングを簡潔に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る粘着テープ貼着装置の実施の形態を示す図であり、粘着テープ貼着装置の平面模式図である。
【図２】本発明に係る粘着テープ貼着装置の実施の形態を示す図であり、粘着テープ貼着装置の貼着動作の説明図である。
【図３】本発明に係る粘着テープ貼着装置の実施の形態を示す図であり、粘着テープ貼着装置に対するテープ体のセッティングの一例の説明図である。
【図４】本発明に係る粘着テープ貼着装置の変形例を示す図であり、カートリッジの斜視図である。
【図５】本発明に係る粘着テープ貼着装置の実施の形態を示す図であり、カートリッジを粘着テープ貼着装置に装着した状態を示す図である。
【図６】本発明に係る粘着テープ貼着装置の実施の形態を示す図であり、半導体ウェーハの斜視図である。
【図７】本発明に係る粘着テープ貼着装置の実施の形態を示す図であり、テープ体の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明においては、本発明を研削加工により薄化されたワークとしての半導体ウェーハに対し、分割加工前に粘着テープを貼着して、粘着テープを介して半導体ウェーハを環状フレームに支持させる粘着テープ貼着装置に適用した例について説明するが、この構成に限定されるものではない。本発明は、半導体ウェーハに対し、テープ状の貼着物を貼り付ける装置であれば、どのような装置にも適用可能である。
【００１４】
最初に、本発明の実施の形態に係る粘着テープ貼着装置について説明する前に、図６を参照して、貼着対象となる半導体ウェーハについて簡単に説明する。図６は、半導体ウェーハの斜視図であり、（ａ）が環状フレームに支持される前の半導体ウェーハ、（ｂ）が環状フレームに支持された後の半導体ウェーハをそれぞれ示している。
【００１５】
図６（ａ）に示すように、半導体ウェーハＷは、略円板状に形成されており、表面に格子状に配列されたストリート６１によって複数の領域に区画されている。ストリート６１によって区画された各領域には、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイス６２が形成されている。半導体ウェーハＷの表面には保護テープ６３が貼着されており、この保護テープ６３により半導体ウェーハＷの裏面加工時にデバイス６２が保護される。このように構成された半導体ウェーハＷは、研削装置において裏面が研削加工されて薄化された後、粘着テープ貼着装置１に搬入される。
【００１６】
図６（ｂ）に示すように、粘着テープ貼着装置１に搬入された半導体ウェーハＷは、裏面に粘着テープ６８が貼着されて環状フレーム６４の内側に支持される。粘着テープ６８は、円形状に形成されており、その粘着面の中央部分に半導体ウェーハＷが貼着され、粘着面の外周側に環状フレーム６４が貼着される。このように、半導体ウェーハＷは、粘着テープ６８を介して環状フレーム６４に支持されるため、後段の分割工程に安定して搬送されると共に、分割時にバラバラになることが防止される。
【００１７】
なお、本実施の形態においては、ワークとしてシリコンウェーハ等の半導体ウェーハを例に挙げて説明するが、この構成に限定されるものではなく、チップ実装用として半導体ウェーハの裏面に貼着されるＤＡＦ（Die Attach Film）等の粘着部材、半導体製品のパッケージ、セラミック、ガラス、サファイヤ（Al2O3）系の無機材料基板、ＬＣＤドライバー等の各種電気部品やミクロンオーダーの加工位置精度が要求される各種加工材料をワークとしてもよい。
【００１８】
次に、図７を参照して、貼着物としての複数の粘着テープを有するテープ体について簡単に説明する。図７は、本発明の実施の形態に係るテープ体の斜視図である。
【００１９】
図７に示すように、テープ体６５は、繰り出しリール７にロール状に巻き付けられ、テープ体ロール６６として粘着テープ貼着装置１に供給される。テープ体６５は、粘着テープ原反６７の粘着面にテープ状の剥離紙６９を貼り合わせて形成されている。粘着テープ原反６７には、繰り出し方向に等間隔で円形のプリカットが施されており、このプリカットにより複数の粘着テープ６８と粘着テープ６８の周囲の余白部分７１とが形成される。この場合、粘着テープ６８の外径は、環状フレーム６４の外径よりも小さく、環状フレーム６４の内径よりも大きく形成されている。
【００２０】
なお、粘着テープ６８の外径は、上記構成に限定されるものではなく、少なくとも環状フレーム６４の内径よりも大きい径を有していればよい。したがって、粘着テープ６８の外径は、粘着テープ６８の貼着処理の後段の工程において邪魔にならない程度に環状フレーム６４の外径よりも大きく形成されていてもよい。
【００２１】
繰り出しリール７は、外周面にテープ体ロール６６を保持した状態で、テープ体ロール６６を後述するテープ体セット部３に取り付けるように構成されている。繰り出しリール７には、回転中心部分を軸方向に貫通する係合孔７ａが形成されている。係合孔７ａは、テープ体セット部３に挿入可能に形成され、円形孔の一部にテープ体セット部３のキーに係合されるキー溝が形成されている。
【００２２】
図１を参照して、本発明の実施の形態に係る粘着テープ貼着装置について説明する。図１は、本発明の実施の形態に係る粘着テープ貼着装置の平面模式図である。
【００２３】
図１に示すように、粘着テープ貼着装置１は、テープ体ロール６６がセットされるテープ体セット部３と、テープ体６５の剥離紙６９を巻き取って回収する剥離紙回収部４とを備えている。テープ体セット部３と剥離紙回収部４との間には、第一、第二の従動ローラー１１、１２（第三、第四のローラー）、剥離プレート１３（テープ剥離部）、第一、第二の送りローラー１５、１６（第一、第二のローラー）によってテープ体６５の搬送経路が形成されている。
【００２４】
テープ体セット部３は、繰り出しリール７の係合孔７ａに挿通される略円筒状に形成され、粘着テープ貼着装置１の壁部２に回転可能に支持されている。また、テープ体セット部３には、外周面から突出するキーが形成されている。テープ体セット部３は、このキーに繰り出しリール７のキー溝が係合されることにより、テープ体ロール６６と一体的に回転される。
【００２５】
また、テープ体セット部３には、図示しない制動機構により制動力が付与されている。制動機構は、テープ体セット部３に制動力を付与することにより、テープ体ロール６６から繰り出されるテープ体６５にバックテンションを作用させている。このバックテンションは、テープ体６５の搬送中においては、テープ体ロール６６からのテープ体６５の繰り出しを許容する程度に弱められ、テープ体６５の搬送停止中においては、テープ体ロール６６からのテープ体６５の繰り出しを禁止する程度に強められる。
【００２６】
第一、第二の従動ローラー１１、１２は、搬送経路においてテープ体セット部３の下流に位置し、粘着テープ貼着装置１の壁部２に回転可能に支持されている。また、第一、第二の従動ローラー１１、１２は、テープ体６５の搬送経路を挟んで対向して配置され、テープ体ロール６６から繰り出されたテープ体６５を両面から挟持する。第一の従動ローラー１１は、粘着テープ原反６７の粘着面の反対側の外面に転接され、第二の従動ローラー１２は、剥離紙６９の被貼着面の反対側の外面に転接される。
【００２７】
また、第一、第二の従動ローラー１１、１２には、図示しない制動機構により制動力が付与されている。制動機構は、第一、第二の従動ローラー１１、１２に制動力を付与することにより、テープ体ロール６６から繰り出されるテープ体６５にバックテンションを作用させている。このバックテンションは、テープ体６５の搬送中においては、テープ体６５の送り出しを許容する程度に弱められ、テープ体６５の搬送停止中においては、テープ体６５の送り出しを禁止する程度に強められる。
【００２８】
また、第二の従動ローラー１２は、粘着テープ貼着装置１の壁部２の裏側に設けられた従動ローラー移動機構２１にガイド溝２２を介して支持されている。従動ローラー移動機構２１は、第二の従動ローラー１２をガイド溝２２に沿って移動させ、第二の従動ローラー１２を第一、第二の従動ローラー１１、１２によりテープ体６５を挟み込む挟持位置２３（第三の作用位置）と挟持位置２３から離間した待機位置２４（第三の待機位置）とに選択的に位置付けている。
【００２９】
剥離プレート１３は、搬送経路において第一、第二の従動ローラー１１、１２の下流に位置し、テープ体６５に当接する先端部１３ａを有している。剥離プレート１３の先端部１３ａは、鋭角に形成され、テープ体６５の剥離紙６９に当接してテープ体６５を剥離紙６９側に折り返している。この剥離プレート１３によるテープ体６５の折り返しにより、剥離紙６９から粘着テープ６８が剥がされる。また、剥離プレート１３によるテープ体６５の折り返しにより、テープ体６５に強いテンションが付与される。
【００３０】
また、剥離プレート１３は、粘着テープ貼着装置１の壁部２の裏側に設けられた剥離プレート移動機構２６にガイド溝２７を介して支持されている。剥離プレート移動機構２６は、剥離プレート１３をガイド溝２７に沿って移動させ、剥離プレート１３をテープ体６５に当接して折り返させる折り返し位置２８（第一の作用位置）と折り返し位置２８から離間した待機位置２９（第一の待機位置）とに選択的に位置付けている。折り返し位置２８に位置づけられた剥離プレート１３の近傍には、テープ体６５の搬送経路を挟んで貼着ローラー１４が設けられている。
【００３１】
貼着ローラー１４は、搬送経路において第一、第二の従動ローラー１１、１２の下流に位置し、粘着テープ貼着装置１の壁部２に回転可能に支持されている。また、貼着ローラー１４は、後述する支持テーブル４１の上方に位置し、剥離プレート１３によって剥離紙６９から剥された粘着テープ６８を支持テーブル４１上の半導体ウェーハＷおよび環状フレーム６４に押し当てて貼着させる。
【００３２】
第一、第二の送りローラー１５、１６は、搬送経路において剥離プレート１３の下流に位置し、粘着テープ貼着装置１の壁部２に回転可能に支持されている。また、第一、第二の送りローラー１５、１６は、テープ体６５の搬送経路を挟んで対向して配置され、粘着テープ６８が剥がされたテープ体６５を両面から挟持する。第一の送りローラー１５は、粘着テープ６８が剥がされた粘着テープ原反６７の余白部分７１における粘着面の反対側の外面に転接され、第二の送りローラー１６は、剥離紙６９の被貼着面の反対側の外面に転接される。
【００３３】
第一、第二の送りローラー１５、１６には、粘着テープ貼着装置１の壁部２の裏側に設けられた回転駆動機構３１が接続されている。回転駆動機構３１は、第一の送りローラー１５を図示時計周りに回転させると共に、第二の送りローラー１６を図示反時計周りに回転させる。この第一、第二の送りローラー１５、１６の回転駆動により、テープ体６５が剥離紙回収部４に向けて送り出される。
【００３４】
また、第二の送りローラー１６は、粘着テープ貼着装置１の壁部２の裏側に設けられた送りローラー移動機構３２にガイド溝３３を介して支持されている。送りローラー移動機構３２は、第二の送りローラー１６をガイド溝３３に沿って移動させ、第二の送りローラー１６を第一、第二の送りローラー１５、１６によりテープ体６５を送り出す送り位置３４（第二の作用位置）と送り位置３４から離間した待機位置３５（第二の待機位置）とに選択的に位置付けている。
【００３５】
剥離紙回収部４は、略円筒状に形成され、粘着テープ貼着装置１の壁部２に回転可能に支持されている。また、剥離紙回収部４には、テープ体６５の繰り出し方向の前端が取り付けられた巻き取りリール８が装着されている。巻き取りリール８は、回転中心部分を軸方向に貫通する係合孔８ａが形成され、係合孔８ａには剥離紙回収部４に設けられたキーに係合するキー溝が形成されている。この構成により、巻き取りリール８は、剥離紙回収部４と一体的に回転される。
【００３６】
また、剥離紙回収部４には、粘着テープ貼着装置１の壁部２の裏側に設けられた回転駆動機構３８が接続されている。剥離紙回収部４は、回転駆動機構３８によって回転駆動されることにより、巻き取りリール８を介して、粘着テープ６８が剥がされたテープ体６５を巻き取って回収する。
【００３７】
支持テーブル４１は、テープ体６５の搬送経路の下方に配置され、貼着ローラー１４を挟んで矢印Ｄ１方向に往復動される。この場合、支持テーブル４１は、貼着ローラー１４に対向する貼着位置と、貼着ローラー１４から剥離紙回収部４側に外れる移載位置との間で移動される。貼着位置は、貼着ローラー１４により環状フレーム６４および半導体ウェーハＷに粘着テープ６８が貼着される位置であり、移載位置は、アーム等の搬送機構により環状フレーム６４および半導体ウェーハＷがそれぞれ移載される位置である。なお、支持テーブル４１上の環状フレーム６４および半導体ウェーハＷは、図示しない位置決め機構により位置決め状態で支持されている。
【００３８】
また、支持テーブル４１の上面には、環状フレーム６４が支持されるフレーム支持面４２と、フレーム支持面４２の内側において半導体ウェーハＷが支持されるワーク支持面４３とが形成されている。フレーム支持面４２およびワーク支持面４３には、環状フレーム６４および半導体ウェーハＷを吸着支持する図示しない複数の吸引パッドが設けられている。各吸引パッドは、支持テーブル４１内の配管を介して吸引源に接続されている。
【００３９】
そして、支持テーブル４１が環状フレーム６４および半導体ウェーハＷを吸着支持した状態で、移載位置から貼着位置に移動されることで、貼着ローラー１４によって環状フレーム６４および半導体ウェーハＷに粘着テープ６８が貼着される。
【００４０】
このように構成された粘着テープ貼着装置１においては、搬送経路をテープ体６５が一方向に搬送されることで、剥離紙６９から剥された粘着テープ６８が環状フレーム６４および半導体ウェーハＷに貼着される。
【００４１】
以下、図１および図２を参照して、粘着テープ貼着装置による貼着動作について説明する。図２は、本発明の実施の形態に係る粘着テープ貼着装置の貼着動作の説明図である。
【００４２】
図１に示すように、剥離紙回収部４が回転駆動機構３８により回転駆動されると同時に、第一、第二の送りローラー１５、１６が回転駆動機構３１により回転駆動される。剥離紙回収部４および第一、第二の送りローラー１５、１６の回転により、テープ体セット部３に支持されたテープ体ロール６６からテープ体６５が繰り出され、テープ体６５の搬送が開始される。このとき、テープ体セット部３および第一、第二の従動ローラー１１、１２には、軽い制動力が付与されており、テープ体６５に弱いバックテンションが作用することでテープ体６５の搬送中の弛みが抑制される。テープ体ロール６６から繰り出されたテープ体６５は、第一、第二の従動ローラー１１、１２の間を通り、剥離プレート１３に向けて搬送される。
【００４３】
第一、第二の従動ローラー１１、１２の間を通過したテープ体６５は、剥離プレート１３において鋭角に折り返され、第一、第二の送りローラー１５、１６に向けて搬送される。このとき、剥離プレート１３による折り返しにより、剥離紙６９から粘着テープ６８が剥がされる。粘着テープ６８が剥がされたテープ体６５は、第一、第二の送りローラー１５、１６の間を通り、剥離紙回収部４に向けて搬送される。剥離紙回収部４に搬送されたテープ体６５は、巻き取りリール８に巻き取られて回収される。
【００４４】
一方、剥離紙６９から剥された粘着テープ６８は、貼着ローラー１４によって環状フレーム６４および半導体ウェーハＷに押し当てられて貼着される。この場合、図２（ａ）に示すように、粘着テープ６８の貼着開始時には、粘着テープ６８の外縁部が環状フレーム６４の外縁部と内縁部との間に貼着されるように支持テーブル４１の移動位置が調整されている。この状態から支持テーブル４１が矢印Ｄ２に示すように貼着位置に向かって移動されることで、貼着ローラー１４により環状フレーム６４に対する粘着テープ６８の貼着が開始される。
【００４５】
図２（ａ）に示す状態からさらに支持テーブル４１が移動されると、図２（ｂ）に示すように、半導体ウェーハＷに対して粘着テープ６８が貼着され始める。このように、貼着ローラー１４に対して支持テーブル４１が相対的に移動されることで、環状フレーム６４および半導体ウェーハＷに粘着テープ６８が貼着される。環状フレーム６４および半導体ウェーハＷに対する粘着テープ６８の貼着が完了すると、剥離紙回収部４および第一、第二の送りローラー１５、１６の回転が停止される。
【００４６】
このとき、テープ体セット部３および第一、第二の従動ローラー１１、１２には、強い制動力が付与され、テープ体６５に強いバックテンションが作用する。このテープ体６５に作用するバックテンションにより、テープ体６５の搬送停止時にテープ体ロール６６からテープ体６５が勢いよく繰り出されるのが防止され、搬送経路内でのジャミングの発生が抑制される。
【００４７】
その後、支持テーブル４１が貼着位置から移載位置に移動され、搬送機構により支持テーブル４１上から粘着テープ６８を介して環状フレーム６４に支持された半導体ウェーハＷが取り出される。そして、移載位置において、搬送機構により新たに環状フレーム６４および半導体ウェーハＷが支持テーブル４１上に載置され、支持テーブル４１が貼着位置に移動されて同様な貼着動作が繰り返される。
【００４８】
次に、本発明の実施の形態に係る粘着テープ貼着装置のテープ体のセッティングの一例について説明する。図３は、本発明の実施の形態に係る粘着テープ貼着装置に対するテープ体のセッティングの一例の説明図である。
【００４９】
図３（ａ）に示すように、初期状態においては、第二の従動ローラー１２が待機位置２４、剥離プレート１３が待機位置２９、第二の送りローラー１６が待機位置３５にそれぞれ位置されている。この初期状態において、繰り出しリール７をテープ体セット部３に挿通させて、テープ体ロール６６を粘着テープ貼着装置１に取り付ける。
【００５０】
次に、図３（ｂ）に示すように、巻き取りリール８を剥離紙回収部４に挿通させて、巻き取りリール８を粘着テープ貼着装置１に取り付ける。次に、テープ体ロール６６からテープ体６５を引き出し、テープ体６５の搬送方向の前端を巻き取りリール８の外周面に取り付ける。このとき、第二の従動ローラー１２、剥離プレート１３、第二の送りローラー１６は、テープ体６５の剥離紙６９側であるテープ体６５の上方に離間して位置されている。
【００５１】
このように、待機位置２４、２９、３５に位置付けられた第二の従動ローラー１２、剥離プレート１３、第二の送りローラー１６が、テープ体６５からそれぞれ離間されるため、巻き取りリール８に対するテープ体６５の取り付け時に妨げとなることがない。
【００５２】
次に、図３（ｃ）に示すように、剥離プレート移動機構２６が駆動され、剥離プレート１３が待機位置２９から折り返し位置２８に移動される。これにより、テープ体６５が剥離プレート１３によって折り返されると共に、第一の従動ローラー１１に掛け渡され、テープ体６５にテンションが付与される。また、剥離プレート１３によって折り返されたテープ体６５の粘着テープ原反６７側は、貼着ローラー１４に当接される。
【００５３】
次に、図３（ｄ）に示すように、従動ローラー移動機構２１および送りローラー移動機構３２が駆動され、第二の従動ローラー１２が待機位置２４から挟持位置２３、第二の送りローラー１６が待機位置３５から送り位置３４にそれぞれ移動される。これにより、テープ体６５が第一、第二の従動ローラー１１、１２によって挟持されると共に、第一、第二の送りローラー１５、１６に挟持される。このようにして、テープ体６５が搬送経路に沿って動的にセッティングされる。
【００５４】
なお、本実施の形態においては、剥離プレート１３を待機位置２４から折り返し位置２８に移動させた後に、第二の従動ローラー１２を待機位置２４から挟持位置２３に移動すると共に、第二の送りローラー１６を待機位置３５から送り位置３４に移動する構成としたが、この構成に限定されるものではない。最終的に、テープ体６５が搬送経路に沿ってセッティングされればよく、例えば、剥離プレート１３、第二の従動ローラー１２、第二の送りローラー１６を同時に移動させる構成としてもよい。
【００５５】
以上のように、本実施の形態に係る粘着テープ貼着装置１によれば、テープ体ロール６６をテープ体セット部３にセットしてテープ体６５の一端を剥離紙回収部４に取り付けた後に、第二の従動ローラー１２、剥離プレート１３、第二の送りローラー１６が待機位置２４、２９、３５からそれぞれ挟持位置２３、折り返し位置２８、送り位置３４に位置付けられることで、テープ体６５が搬送経路に沿ってセッティングされる。したがって、手動によりテープ体６５を第一、第二の従動ローラー１１、１２間の隙間、第一、第二の送りローラー１５、１６間の隙間に通す構成と比較して、テープ体６５のセッティングを簡潔に行うことができる。また、テープ体ロール６６から引き出されたテープ体６５の搬送方向の前端を巻き取りリール８に取り付ける際には、第二の従動ローラー１２、剥離プレート１３、第二の送りローラー１６が待機位置２４、２９、３５にそれぞれ位置付けられることで、取付作業が妨げられることがない。
【００５６】
なお、上記した実施の形態においては、テープ体ロールを保持した繰り出しリールと巻き取りリールとを粘着テープ貼着装置に個別に取り付ける構成としたが、この構成に限定されるものではない。図４に示すように、繰り出しリールと巻き取りリールとを組み込んだカートリッジを粘着テープ貼着装置に取り付ける構成としてもよい。
【００５７】
図４に示すように、カートリッジ５１は、繰り出しリール５２（図５参照）および巻き取りリール５３の両端を、第一、第二のアーム部５４、５５により両側から回転可能に支持することで構成されている。繰り出しリール５２は、外周面にテープ体ロール６６を保持した状態で、テープ体セット部３に取り付けられる。繰り出しリール５２は、回転中心部分を軸方向に貫通する係合孔５２ａが形成され、係合孔５２ａにはテープ体セット部３のキーに係合されるキー溝が形成されている。これにより、繰り出しリール５２は、テープ体セット部３と一体的に回転される。
【００５８】
巻き取りリール５３は、テープ体６５の繰り出し方向の前端が取り付けられた状態で、剥離紙回収部４に取り付けられる。巻き取りリール５３は、回転中心部分を軸方向に貫通する係合孔５３ａが形成され、係合孔５３ａには剥離紙回収部４に設けられたキーに係合するキー溝が形成されている。この構成により、巻き取りリール５３は、剥離紙回収部４と一体的に回転される。
【００５９】
第一のアーム部５４は、延在方向の両端部において繰り出しリール５２および巻き取りリール５３を回転可能に支持している。また、第一のアーム部５４の延在方向の中間部には、取手５６が設けられている。この取手５６を掴むことにより、カートリッジ５１の持ち運びや粘着テープ貼着装置１への取り付け作業および取り外し作業を容易に行うことが可能となる。
【００６０】
第二のアーム部５５は、開放側を下向きとしたＵ字状に形成されており、両端部において繰り出しリール５２および巻き取りリール５３を回転可能に支持している。この場合、図５に示すように、第二のアーム部５５は、カートリッジ５１が粘着テープ貼着装置１に取り付けられた状態で、待機位置２４、２９、３５を避けるように延在している。これにより、待機位置２４、２９、３５に位置付けられた第二の従動ローラー１２、剥離プレート１３、第二の送りローラー１６により、カートリッジ５１の装着が妨げられることがない。
【００６１】
このように、繰り出しリール５２と巻き取りリール５３とを組み込んだカートリッジ５１を形成することにより、テープ体ロール６６からテープ体６５を引き出して巻き取りリール５３に取り付ける作業が不要となる。したがって、粘着テープ貼着装置１に対するテープ体６５の装着をワンタッチで行うことができ、さらにテープ体６５のセッティングを簡略化することが可能となる。
【００６２】
また、上記した実施の形態においては、テープ体セット部と繰り出しリールとがキーにより係合される構成としたが、この構成に限定されるものではない。テープ体セット部と繰り出しリールとが一体回転可能に係合すれば、テープ体セット部と繰り出しリールとがどのように係合してもよい。また、繰り出しリールは、スムーズに回転してテープ体を繰り出し可能であれば、テープ体セット部に係合していなくてもよい。
【００６３】
また、剥離紙回収部と巻き取りリールとについても、剥離紙回収部と巻き取りリールとが一体回転可能に係合すれば、剥離紙回収部と巻き取りリールとがどのように係合してもよい。
【００６４】
また、上記した実施の形態においては、テープ体セット部は、繰り出しリールを介してテープ体ロールをセットする構成としたが、この構成に限定されるものではない。テープ体セット部は、テープ体ロールを繰り出し可能に支持する構成であればよく、テープ体ロールを直に支持する構成としてもよい。
【００６５】
また、上記した実施の形態においては、剥離紙回収部は、巻き取りリールを介してテープ体を巻き取る構成としたが、この構成に限定されるものではない。剥離紙回収部は、テープ体を巻き取り可能な構成であればよく、テープ体が直に巻き付けられる構成としてもよい。
【００６６】
また、上記した実施の形態においては、テープ剥離部を鋭角な先端部を有する剥離プレートで構成したが、この構成に限定されるものではない。テープ剥離部は、剥離紙から粘着テープが剥がれる程度に、テープ体を曲げる構成であれば、どのような形状であってもよい。
【００６７】
また、上記した実施の形態においては、貼着部を回転によって粘着テープを半導体ウェーハ等に押し当てることにより貼着する貼着ローラーで構成したが、この構成に限定されるものではない。貼着部は、半導体ウェーハ等に粘着テープを貼着可能な構成であれば、どのような構成であってもよい。
【００６８】
また、上記した実施の形態においては、送りローラー部を第一、第二の送りローラーで構成したが、この構成に限定されるものではない。送りローラー部は、テープ体を搬送経路の下流に送り出す構成であればよく、例えば、単一のローラーと単一のガイド壁により構成してもよい。このような構成であっても、ローラーとガイド壁との間でテープ体を挟持させ、ローラーを回転させることでテープ体の搬送が可能となる。
【００６９】
また、上記した実施の形態においては、第一、第二の送りローラーの両方が回転駆動することによりテープ体を送り出す構成としたが、いずれか一方のローラーのみが回転駆動する構成としてもよい。
【００７０】
また、上記した実施の形態においては、張力発生部を第一、第二の従動ローラーで構成したが、この構成に限定されるものではない。張力発生部は、テープ体にテンションを付与する構成であればよく、例えば、単一のローラーと単一のガイド壁により構成してもよい。このような構成であっても、ローラーとガイド壁との間でテープ体を挟持させ、ローラーに制動力を付与させることでテープ体にテンションを付与させることが可能となる。
【００７１】
また、上記した実施の形態においては、第一、第二の従動ローラーの両方に制動力が付与される構成としたが、いずれか一方のローラーにのみ制動力を付与する構成としてもよい。
【００７２】
また、本発明は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、粘着テープ貼着装置において、テープ体の繰り出し側と巻き取り側の間で、テープ体を搬送経路に沿ってセッティング可能に各部品を適宜移動させる構成であれば、どのような構成であってもよい。
【００７３】
また、今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であってこの実施の形態に制限されるものではない。本発明の範囲は、上記した実施の形態のみの説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
以上説明したように、本発明は、テープ体のセッティングを簡潔に行うことができるという効果を有し、特に、ダイシング加工前に半導体ウェーハ等のワークに粘着テープを貼着する粘着テープ貼着装置に有用である。
【符号の説明】
【００７５】
１  粘着テープ貼着装置
３  テープ体セット部
４  剥離紙回収部
１１  第一の従動ローラー（第三のローラー、張力発生部）
１２  第二の従動ローラー（第四のローラー、張力発生部）
１３  剥離プレート（テープ剥離部）
１４  貼着ローラー（貼着部）
１５  第一の送りローラー（第一のローラー、送りローラー部）
１６  第二の送りローラー（第二のローラー、送りローラー部）
２１  従動ローラー移動機構（第四のローラー移動機構）
２３  挟持位置（第三の作用位置）
２４  待機位置（第三の待機位置）
２６  剥離プレート移動機構（テープ剥離部移動機構）
２８  折り返し位置（第一の作用位置）
２９  待機位置（第一の待機位置）
３２  送りローラー移動機構（第二のローラー移動機構）
３４  送り位置（第二の作用位置）
３５  待機位置（第二の待機位置）
６４  環状フレーム
６５  テープ体
６６  テープ体ロール
６７  粘着テープ原反
６８  粘着テープ
６９  剥離紙
Ｗ  半導体ウェーハ（ワーク）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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