(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極基板を有するタッチパネルであって、
前記電極基板は、
基板と、
前記基板上に設けられた導電層
とを有し、
前記導電層は、
絡み合った単層カーボンナノチューブ、及び水酸化フラーレンを有し、
バインダ樹脂を有さない
ことを特徴とするタッチパネル。
【請求項２】
前記フラーレン量は、前記単層カーボンナノチューブ１００質量部に対して１０〜１０００質量部である
ことを特徴とする請求項１のタッチパネル。
【請求項３】
前記単層カーボンナノチューブがアーク放電法によって得られた単層カーボンナノチューブである
ことを特徴とする請求項１又は請求項２のタッチパネル。
【請求項４】
前記単層カーボンナノチューブは酸処理された単層カーボンナノチューブである
ことを特徴とする請求項１〜請求項３いずれかのタッチパネル。
【請求項５】
前記基板は光透過性を有するフレキシブル基板である
ことを特徴とする請求項１〜請求項４いずれかのタッチパネル。
【請求項６】
前記電極基板は前記導電層上に設けられた保護層を有する
ことを特徴とする請求項１〜請求項５いずれかのタッチパネル。
【請求項７】
前記電極基板はアンチニュートン層を有する
ことを特徴とする請求項１〜請求項６いずれかのタッチパネル。
【請求項８】
静電容量式のタッチパネルである
ことを特徴とする請求項１〜請求項７いずれかのタッチパネル。
【請求項９】
抵抗膜式のタッチパネルである
ことを特徴とする請求項１〜請求項７いずれかのタッチパネル。
【請求項１０】
前記抵抗膜式のタッチパネルは、電極基板の導電層が互いに向い合うように対向配置されたものであり、
少なくとも一方の電極基板が前記請求項１〜請求項７いずれかのタッチパネルの電極基板である
ことを特徴とするタッチパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、絡み合った単層カーボンナノチューブを用いて（但し、バインダ樹脂を用いない）構成された導電層を有する電極基板が用いられたタッチパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
タッチパネルがディスプレイに採用されている。すなわち、透明（光透過性を有する）なタッチパネル（入力装置）が液晶画面などのディスプレイ上に配置されている。そして、ディスプレイ前面に設けられたタッチパネルに触れると、情報の入力が行なわれる。この種のタッチパネルとしては、例えば２枚の透明電極基板の透明電極層が向かい合うように配置された構造のタッチパネル（所謂、抵抗膜式タッチパネル）が知られている。【０００３】
この抵抗膜式タッチパネルは携帯機器（例えば、携帯電話機や携帯ゲーム機など）に利用されることが多い。これらの携帯機器は画面が小さい。そして、画面が小さいが故に、画面端部まで有効利用できるように設計されている。この為、ユーザが画面端部を押圧することも多い。【０００４】
現在利用されている透明電極の材料は、インジウムと錫との酸化物（ＩＴＯ）に代表される通り、セラミックが多い。この為、屈曲性が悪い。【０００５】
ところで、上記の如く、画面の端部が押されると、押圧された電極基板は局所的に折れ曲がった状態となる。この為、電極基板が破損する問題が有る。【０００６】
上記抵抗膜式タッチパネルの他に、タッチパネルとして、所謂、静電容量式タッチパネルが知られている。この種のタッチパネルも、透明基板上に導電層が設けられたものである。この場合にも、インジウムと錫の酸化物（ＩＴＯ）が使用されている。【０００７】
静電容量式のタッチパネルにあっては、基板にガラスが用いられた場合は問題が少ない。しかしながら、基板に樹脂製基板が用いられた場合、基板の表面硬度が低いので、耐久性が低下する。この為、電極基板が破損する問題が有る。【０００８】
タッチパネルの電極基板の技術として、例えば特開２００４−２０２９４８号が知られている。すなわち、透明樹脂からなる基材層と、基材層に積層される導電層とを備え、前記導電層が基板側導電層と対面して配置されて基板側導電層と接触して通電状態になるタッチパネル用シート状樹脂積層体であって、前記導電層が透明なマトリックス樹脂にカーボンナノ線条体（例えば、単層カーボンナノチューブ（例えば、ハイペリオン社製ＳＷＣＮＴ）、多層カーボンナノチューブ（例えば、ハイペリオン社製ＭＷＣＮＴ）、気相成長カーボンナノファイバー（例えば、昭和電工社製ＶＧＣＦ）等。好ましくは、多層カーボンナノチューブ、又は気相成長カーボンナノファイバー）が分散された樹脂組成物からなることを特徴とするタッチパネル用シート状樹脂積層体が提案されている。又、透明樹脂からなる基材層と、基材層に積層される導電層とを備えるタッチパネル用シート状樹脂積層体が、前記導電層を基板側導電層に対面させた状態でスペーサを介して基板の上側に所定間隔で配設されているタッチパネルであって、前記タッチパネル用シート状樹脂積層体の導電層が透明なマトリックス樹脂にカーボンナノ線条体が分散された樹脂組成物からなることを特徴とするタッチパネルが提案されている。【０００９】
この提案の技術によれば、透明性、導電性および柔軟性に富んだ電極基板（タッチパネル用シート状樹脂積層体）が得られる。そして、タッチパネル用に好適であると謳われている。
【特許文献１】特開２００４−２０２９４８号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、本発明者の研究によれば、前記提案の技術、即ち、マトリックス樹脂にカーボンナノ線条体を分散させた電極基板を用いたタッチパネルは、性能が劣っていることが判って来た。この性能不良の原因が、鋭意、検討された結果、前記提案の技術は、マトリックス樹脂が導電層中に含まれている為、カーボンナノ線条体間の接触抵抗が高い（表面抵抗が高い）ことに気付くに至った。そして、抵抗が高いことから、タッチパネルには動作不良が起きていることに気付くに至った。【００１１】
ところで、透明導電性フィルムは公知である。この種のフィルムは、ＰＶＤやＣＶＤ等の乾式の方法や塗布などの湿式の方法によって、透明導電層が絶縁性基板上に形成されたものである。湿式法では、導電性粉末とバインダとを含む導電性コーティング組成物が調製される。この湿式法は、乾式法に比べて、使用装置が簡便であり、生産性も高い。更には、連続的または大型の基板への適用が容易である。このようなことから、透明導電性フィルムの技術が提案（例えば、特開２００５−２５５９８５号公報）されている。すなわち、特開２００５−２５５９８５号公報には、カーボンナノチューブが存在することで、カーボンナノチューブを含有しない従来の材料の製造コストは軽減され、製造されたカーボンナノチューブ含有コーティングフィルムの透明性・導電性を向上させることを目的として、カーボンナノチューブが三次元網目構造を有していて、かつ、このカーボンナノチューブに樹脂を含む分散体を浸透させて、カーボンナノチューブ含有コーティングフィルムの表面上に露出させたカーボンナノチューブ含有コーティングフィルムが提案されている。例えば、基材上に塗布されたカーボンナノチューブ含有コーティングフィルムにおいて、前記カーボンナノチューブ含有コーティングフィルムは、カーボンナノチューブが三次元網目構造を有していて、かつ、カーボンナノチューブ含有コーティングフィルムの表面上に露出していることを特徴とするカーボンナノチューブ含有コーティングフィルムが提案されている。【００１２】
但し、この特開２００５−２５５９８５号公報においては、本願発明が提供しようとするタッチパネルについては一言も触れられていない。タッチパネルの文言、及びタッチパネルを想起させるような文言すら、特開２００５−２５５９８５号公報には記載が認められない。【００１３】
ところで、特開２００５−２５５９８５号公報が透明導電膜を提案していることから、前記公報の実施例に記載の技術を基にしてタッチパネルを試作した。【００１４】
しかしながら、この試作タッチパネルは、タッチパネルとしての性能が奏せないものであった。すなわち、商品化できるようなものでは無かった。【００１５】
従って、本発明が解決しようとする第１の課題は、曲率半径が小さなように曲げられても破損し難く、機械的耐久性が高いタッチパネルを提供することである。【００１６】
本発明が解決しようとする第２の課題は、表面抵抗が小さく、動作性に優れたタッチパネルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
前記の課題は、
電極基板を有するタッチパネルであって、
前記電極基板は、
基板と、
前記基板上に設けられた導電層
とを有し、
前記導電層は、
絡み合った単層カーボンナノチューブを有し、
バインダ樹脂を有さない
ことを特徴とするタッチパネルによって解決される。【００１８】
尚、前記タッチパネルの単層カーボンナノチューブがアーク放電法によって得られた単層カーボンナノチューブであるタッチパネルは好ましい。【００１９】
又、前記導電層が更にフラーレンを有するタッチパネルは特に好ましい。【００２０】
又、前記フラーレンが水酸化フラーレンであるタッチパネルは特に好ましい。【００２１】
又、前記導電層上に保護層が設けられた電極基板が用いられたタッチパネルは特に好ましい。【００２２】
又、アンチニュートン層を有する電極基板が用いられたタッチパネルは特に好ましい。【００２３】
本発明のタッチパネルは、例えば静電容量式タッチパネルである。或いは、抵抗膜式タッチパネルである。この抵抗膜式タッチパネルには２枚の電極基板が用いられている。この２枚の電極基板が前記電極基板であっても良い。或いは、２枚の中の１枚の電極基板が前記電極基板であっても良い。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の導電層は、絡み合った単層カーボンナノチューブを有する。しかしながら、バインダ樹脂を有さない。この為、本発明のタッチパネルが大きく曲げられても破損し難く、タッチパネルの耐久性が高い。しかも、導電層にはバインダ樹脂が含まれて無いことから、タッチパネルの表面抵抗は小さい。従って、タッチパネルの動作性が優れている。【００２５】
尚、導電層にフラーレン、特に、水酸化フラーレンを含ませておくと、タッチパネルは耐熱性に優れたものであった。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】電極基板の概略側面図
【図２】抵抗膜式タッチパネルの電極図(上面図)
【図３】抵抗膜式タッチパネルの電極図(側面図)
【図４】抵抗膜式タッチパネルの構成図(上面図)
【図５】抵抗膜式タッチパネルの構成図(側面図)
【図６】静電容量式タッチパネルの構成図
【符号の説明】
【００２７】
１      電極基板
２      対向電極
３      上部対向電極
４      上部電極基板
５      下部対向電極
６      粘着テープ
７      下部電極基板
１１    基板
１２    導電層
１３    保護層
【発明を実施するための形態】
【００２８】
本発明は、タッチパネルである。例えば、静電容量式のタッチパネルである。或いは、抵抗膜式のタッチパネルである。この抵抗膜式のタッチパネルは、電極基板における導電層が互いに向い合うように対向配置された構造である。すなわち、２枚の電極基板が、間に空隙が有るように、対向配置されたものである。そして、２枚の電極基板の中、１枚の電極基板が本発明の構造の電極基板であっても良い。勿論、２枚の電極基板が本発明の構造の電極基板であっても良い。本発明における最大の特徴はタッチパネルを構成する電極基板にある。この電極基板は、図１に示される如く、基板（透明基板）１１上に設けられた導電層（透明導電層）１２を有する。この導電層１２は、バインダ樹脂を用いないで構成されたものである。バインダ樹脂を不要なものとする為、導電層を構成する単層カーボンナノチューブとして、互いの単層カーボンナノチューブが絡み合った構造のものが用いられた。これによって、単層カーボンナノチューブ同士が、直接、接触した構造となる。従って、間に絶縁物が介在してないことから、導電性が良い。しかも、単層カーボンナノチューブ同士が絡み合っていることから、導電層にバインダ樹脂が不要なものとなった。尚、走査型電子顕微鏡で導電層表面を観察したならば、単層カーボンナノチューブが絡み合った構造であるか否かを確認・判定できる。
【００２９】
導電層１２は、絡み合った単層カーボンナノチューブのみで構成された導電層であっても良い。しかしながら、特に好ましいのは、導電層１２がフラーレン（本明細書にあっては、「フラーレン」には「フラーレン類縁体」も含まれる。以下、同様。）を有する場合である。中でも、導電層１２が水酸化フラーレンを有する場合である。すなわち、フラーレン、特に、水酸化フラーレンを含ませておくことにより、耐熱性が向上した。又、導電性も優れていた。
【００３０】
前記フラーレンは如何なるフラーレンでも良い。例えば、Ｃ６０，Ｃ７０，Ｃ７６，Ｃ７８，Ｃ８２，Ｃ８４，Ｃ９０，Ｃ９６等が挙げられる。勿論、複数種のフラーレンの混合物でも良い。分散性能の観点からはＣ６０が特に好ましい。更に、Ｃ６０は入手し易い。又、Ｃ６０のみでは無く、Ｃ６０と他の種類のフラーレン（例えば、Ｃ７０）との混合物でも良い。又、フラーレン内部に金属原子が内包されたものでも良い。フラーレン類縁体としては、官能基（例えば、ＯＨ基、エポキシ基、エステル基、アミド基、スルホニル基、エーテル基などの官能基）を含むものが挙げられる。又、フェニル−Ｃ６１−プロピル酸アルキルエステル、フェニル−Ｃ６１−ブチル酸アルキルエステルを持つものも挙げられる。又、水素化フラーレンなども挙げられる。中でも、ＯＨ基（水酸基）を持つフラーレン（水酸化フラーレン）が好ましい。それは、単層カーボンナノチューブを分散液として塗工する際の分散性が高かったからである。尚、水酸基の量が少ないと、単層カーボンナノチューブの分散性向上度が低下する。逆に、多すぎると、合成が困難である。従って、ＯＨ基の量はフラーレン１分子当り５〜３０個が好ましい。特に、８〜１５個が好ましい。
【００３１】
フラーレンの添加量（含有量）は、多すぎると、導電性が低下する。逆に、少なすぎると、効果が乏しい。従って、フラーレン量は、好ましくは、単層カーボンナノチューブ１００質量部に対して１０〜１０００質量部（特に、２０質量部以上。１００質量部以下。）である。
【００３２】
本発明で用いられる単層カーボンナノチューブは、公知の製法によって得られた単層カーボンナノチューブでも良い。例えば、アーク放電法、化学気相法、レーザー蒸発法などの製法で得られたものを用いることが出来る。但し、結晶性の観点から、アーク放電による製造法で得られた単層カーボンナノチューブが好ましい。そして、このものは入手も容易である。
【００３３】
前記単層カーボンナノチューブは、酸処理が施された単層カーボンナノチューブが好ましい。ここで、酸処理とは、酸性液体中に単層カーボンナノチューブが浸漬されることによって実施される。浸漬の代わりに噴霧と言った手法が採用されても良い。酸性液体は各種のものが用いられる。例えば、無機酸や有機酸が用いられる。但し、無機酸が好ましい。例えば、硝酸、塩酸、硫酸、リン酸、或いはこれらの混合物が挙げられる。中でも、硝酸、或いは硝酸と硫酸との混酸を用いた酸処理が好ましい。好ましい酸処理条件は、８０℃〜１００℃の温度下で、１日〜７日間掛けて反応させる条件である。この酸処理によって、単層カーボンナノチューブと炭素微粒子とがアモルファスカーボンを介して物理的に結合している場合に、アモルファスカーボンを分解して両者が分離されたり、単層カーボンナノチューブ作製時に使用した金属触媒の微粒子を分解することになる。従って、本発明にあっては、単層カーボンナノチューブの酸処理はかなり大事な要件である。例えば、酸処理が施され無い場合に比べ、導電性が向上した。
【００３４】
前記単層カーボンナノチューブは、濾過によって不純物が除去され、純度が向上した単層カーボンナノチューブが好ましい。その理由は、不純物による導電性の低下や光透過率の低下が防止されるからである。濾過には各種の手法が採用される。例えば、吸引濾過、加圧濾過、クロスフロー濾過などが用いられる。中でも、スケールアップの観点から、中空糸膜を用いたクロスフロー濾過の採用が好ましい。
【００３５】
本発明のタッチパネルの電極基板は、単層カーボンナノチューブからなる導電層１２上に保護層１３を有することが好ましい。この保護層１３に用いられる材料には格別な制限は無い。例えば、ポリエステル樹脂、セルロース樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ビニル樹脂、シクロオレフィン系樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、ＡＢＳ樹脂などの熱可塑性樹脂が用いられる。又、光硬化性樹脂や熱硬化性樹脂などの公知のコーティング材料を用いることも出来る。但し、保護層の材料は、密着性の観点から、基板と同じ（同系統）材料が好ましい。例えば、基板１１がポリエステル樹脂の場合は、保護層１３もポリエステル樹脂が好ましい。尚、保護層１３の膜厚が厚すぎると、透明導電層の接触抵抗が大きくなる。逆に、保護層１３の膜厚が薄すぎると、保護層としての効果が得られない。従って、保護層１３の厚さは１ｎｍ〜１μｍが好ましい。特に、１０ｎｍ以上が好ましい。又、１００ｎｍ以下が好ましい。
【００３６】
本発明の抵抗膜式タッチパネルにあっては、２枚の電極基板が必要である。一つは、上部電極と呼ばれるタッチ面側の電極基板である。もう一つは、液晶ディスプレイ側に配置される電極基板（下部基板と称される）である。静電容量式タッチパネルにあっては、電極基板は１枚でも良い。電極基板の透明基板１１は、一般的には、ガラス板が用いられる。しかしながら、透明基板１１は、樹脂板や樹脂シート或いは樹脂フィルムであっても良い。そして、導電層１２とは反対側の面にノイズ除去の為のシールド層が施されていても良い。尚、電極基板は、全光線透過率が８０％以上１００％以下のシート状ないしはフィルム状のものが好ましい。すなわち、フレキシブルな透明基板は好ましい。透明基板の材質に格別な制限は無い。例えば、ガラス等のセラミックの他にも、例えばポリエステル樹脂、セルロース樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、塩化ビニル樹脂、シクロオレフィン系樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、ＡＢＳ樹脂などの熱可塑性樹脂、或いは光硬化性樹脂、又は熱硬化性樹脂などが用いられる。透明基板１１の厚さは、用途によって決まる。シート状が要求される場合には、５００μｍ〜１０ｍｍ程度である。フィルム状が要求される場合には、１０μｍ〜５００μｍ程度である。
【００３７】
抵抗膜式タッチパネルにおいては、上部基板と下部基板との何れもがシート状あるいはフィルム状であっても良い。一方がシート状で、他方がフィルム状であっても良い。そして、双方の電極基板の導電層が単層カーボンナノチューブからなる導電層であっても良い。一方の電極基板の導電層のみが単層カーボンナノチューブからなる導電層でも良い。単層カーボンナノチューブからなる電極基板は、インジウム錫酸化物などのセラミック性導電層とも接触抵抗が低いからである。従って、一方の電極基板の導電層がセラミック性導電層であっても、タッチパネルとして良好な動作性が確保できる。
【００３８】
電極基板は、微細な凹凸を付け、所謂、アンチニュートン処理が施された基板が好ましい。抵抗膜式タッチパネルに用いられる電極基板にあっては、上部基板と下部基板との一方または双方に微細な凹凸を付けたアンチニュートン処理が施された基板が好ましい。上部基板は、基板の片面あるいは両面に基板保護の為のハードコート処理、視認性向上の為の反射防止処理、及び／又は耐指紋処理を施した基板であっても良い。下部基板は、液晶ディスプレイの最表面の基板に導電層を積層したものであっても良い。
【００３９】
電極基板は、その全光線透過率が６０％以上で１００％以下であることが好ましい。表面抵抗値は１００Ω／□以上で５００００Ω／□以下であることが好ましい。それは、全光線透過率が低すぎると、視認性が低下するからである。ところで、単層カーボンナノチューブで構成された導電層は、全光線透過率と表面抵抗値とはトレードオフの関係が有る。従って、表面抵抗率はタッチパネルが動作する限り高いほうが好ましい。ここで、全光線透過率は単層カーボンナノチューブを含む導電膜のみならず透明基板を含めた全光線透過率である。尚、抵抗膜式タッチパネルでは、全光線透過率が７０％以上で、かつ、表面抵抗値が１００Ω／□〜５０００Ω／□の透明導電膜が好ましい。静電容量式タッチパネルでは、全光線透過率が６０％以上で、かつ、表面抵抗値が１００Ω／□〜１０００Ω／□の透明導電膜が好ましい。
【００４０】
本発明の抵抗膜式タッチパネルは、上部電極と下部電極との何れかの導電層上にドット印刷が施されていることが好ましい。これによって、導電層同士の誤接触が防止される。
【００４１】
本発明の抵抗膜式タッチパネルは以下の工程（好ましくは、工程１〜工程７の順）にて作製できる。
工程１：粗カーボンナノチューブを得る工程
工程２：粗カーボンナノチューブが酸処理される工程
工程３：工程２で得られた単層カーボンナノチューブが濾過される工程
工程４：単層カーボンナノチューブとフラーレンと溶媒とが混合され、超音波照射が行われる工程（混合・分散工程）
工程５：工程４で得られた単層カーボンナノチューブ分散液が基板上に塗布される工程
工程６：工程５で得られた電極基板上に配線が形成される工程
工程７：得られた電極基板が導電層同士が接するように張り合わされる工程
【００４２】
以下、各々の工程について更に詳しく説明する。
［工程１］
工程１には公知の方法が採用できる。例えば、アーク放電法、化学気相法、レーザー蒸発法などいずれの製法を用いても良い。但し、カーボンナノチューブの結晶性の観点や入手容易性の観点から、アーク放電法による製造法が最も好ましい。
【００４３】
［工程２］
工程２は、酸性液体中で単層カーボンナノチューブが加熱される工程である。酸性液体には格別な制限は無い。但し、硝酸、塩酸、硫酸、リン酸、及びこれらの混合物などの無機酸を用いるのが好ましい。特に、アルカリ処理前の酸処理には、硝酸、或いは硝酸と硫酸との混酸を用いるのが好ましい。このような酸にて、８０℃〜１００℃の温度で、１日〜７日間掛けて反応させることが好ましい。
【００４４】
［工程３］
工程３は、炭素粒子などの不純物が除去される工程である。酸処理が行なわれたカーボンナノチューブの溶液は、直径２０ｎｍ程度の不純物の粒子とカーボンナノチューブのバンドルとが、分離された状態で、溶液中に分散（あるいは沈殿）している。この為、不純物よりも大きく、かつ、カーボンナノチューブのバンドルよりも小さい孔径のフィルターを用いた濾過により、不純物は取り除かれる。濾過方法としては各種の濾過方法が採用できる。例えば、吸引濾過、加圧濾過、クロスフロー濾過などを用いることが出来る。中でも、スケールアップの観点から、中空糸膜を用いたクロスフロー濾過の採用は好ましい。
【００４５】
［工程４］
工程４は、単層カーボンナノチューブの分散液を作製する工程である。単層カーボンナノチューブとフラーレンとの割合は、単層カーボンナノチューブ１００質量部に対して、フラーレンが１０〜１０００質量部であることが好ましい。かつ、フラーレン濃度は１〜１０００００ｐｐｍであることが好ましい。尚、フラーレンは、特に、ＯＨ基を有するフラーレンが好ましい。超音波の照射には各種の手法が採用できる。例えば、バス型超音波照射機や、チップ型超音波照射機を用いることが出来る。短時間で処理する観点から、チップ型超音波照射機を用いることが好ましい。
溶媒には、一般の塗料で用いられる溶媒が用いられる。但し、沸点が２００℃以下（好ましい下限値は２５℃、更には３０℃）の溶媒が好ましい。低沸点溶剤が好ましいのは、塗工後の乾燥が容易であるからによる。具体的には、水、アルコール（例えば、メタノール、エタノール、ノルマルプロパノール、イソプロパノール等のアルコール（特に、炭素数が７以下のアルコール、特に脂肪族アルコール））、或いはこれ等の混合物が好ましいものとして挙げられる。その理由は、水酸基含有フラーレンの溶解性が高いので、より高濃度の単層カーボンナノチューブ分散液が得られるからである。他にも、ケトン系化合物（例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等）、エステル系化合物（例えば、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、酢酸メトキシエチル等）、エーテル系化合物（例えば、ジエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、フェニルセロソルブ、ジオキサン等）、芳香族化合物（例えば、トルエン、キシレン等）、脂肪族化合物（例えば、ペンタン、ヘキサン等）、ハロゲン化炭化水素（例えば、塩化メチレン、クロロベンゼン、クロロホルム等）、及びこれらの混合物を用いることも出来る。
【００４６】
［工程５］
工程５は、基板上に導電層が形成される工程である。具体的には、分散液が、透明基板上に、所望の塗布方法（例えば、スプレーコート、バーコート、ロールコート、インクジェット法、スクリーンコート等）により塗布される工程である。尚、必要に応じて、上記塗布工程後、塗膜中に含まれる溶媒を除去する為、乾燥が行なわれる。乾燥には乾燥装置（例えば、加熱炉、遠赤外炉、超遠赤外炉など）が用いられる。又、必要に応じて、基板の洗浄が行われる。
【００４７】
［工程６］
工程６には、通常、導電性材料を基板上に印刷する方法が用いられる。工程６の前あるいは後にドットスペーサを設ける工程があっても良い。
【００４８】
［工程７］
得られた電極基板の導電層同士が接するように張り合わされる工程７によってタッチパネルが作製される。尚、上述した通り、一方の電極基板だけが単層カーボンナノチューブからなる導電層を有する電極基板であっても良い。
【００４９】
本発明の静電容量式タッチパネルは以下の工程（好ましくは、工程８〜工程１３の順）にて作製できる。
工程８：粗カーボンナノチューブを得る工程
工程９：粗カーボンナノチューブが酸処理される工程
工程１０：工程９で得られた単層カーボンナノチューブが濾過される工程
工程１１：単層カーボンナノチューブとフラーレンと溶媒とが混合され、超音波照射が行われる工程
工程１２：工程１１で得られた単層カーボンナノチューブ分散液が基板上に塗布される工程
工程１３：工程１２で得られた電極基板上に配線が形成される工程
尚、工程８〜工程１１は、上記工程１〜工程４に準じて行うことが出来る。
又、工程１２において用いる電極基板は導電層を形成する面とは反対面にノイズ除去の為のシールド層が施されていても良い。
【００５０】
以下、更に、具体的に説明する。
【００５１】
［実施例１］
アーク放電法によって作製された単層カーボンナノチューブが、酸処理（６３％硝酸にて８５℃で２日間に亘る処理（反応））された。この後、濾過が行われ、単層カーボンナノチューブが精製・回収された。
【００５２】
この単層カーボンナノチューブ１０ｍｇと、水酸基含有フラーレン（商品名  ナノムスペクトラ  Ｄ−１００  フロンティアカーボン社製）１０ｍｇと、水酸化ナトリウム（和光純薬工業社製）１ｍｇと、水５ｍｌと、２−プロパノール５ｍｌとが混合された。この混合液に対して、1分間の超音波照射（装置名ＵＬＴＲＡＳＯＮＩＣ  ＨＯＭＯＧＥＮＩＺＥＲ  ＭＯＤＥＬ  ＵＨ−６００ＳＲ、エスエムテー社製）が行なわれた。このようにして、単層カーボンナノチューブ分散液が得られた。
【００５３】
この単層カーボンナノチューブ分散液が、ＰＥＴフィルム（商品名：コスモシャイン  Ａ４１００  東洋紡社製）上に、ウェット膜厚２０μｍで、バーコートされた。この後、８０℃で３分間の乾燥が行われ、透明導電層が形成された。
【００５４】
尚、走査型電子顕微鏡による観察によれば、この透明導電層における単層カーボンナノチューブは互いに絡み合ったものであった。そして、この絡み合った箇所においては、単層カーボンナノチューブ同士が直接に接触しているものであった。勿論、絡み合ってない箇所でも、単層カーボンナノチューブ同士が直接に接触していた。又、導電層は水酸基含有フラーレンを有するものであった。但し、バインダ樹脂は含まれない。
【００５５】
この後、塗工面がメタノールで洗浄された。このようにして電極基板が得られた。
【００５６】
［実施例２］
実施例１で得られた単層カーボンナノチューブ分散液を表面抵抗が４００Ω／□になるように複数回塗工した以外は実施例１に準じて行なわれ、電極基板が得られた。
【００５７】
［実施例３］
実施例１において、単層カーボンナノチューブ添加量を減らし、表面抵抗が５０００Ω／□になるように塗工した以外は実施例１に準じて行なわれ、電極基板が得られた。
【００５８】
［実施例４］
アクリル樹脂（商品名  ウォーターゾール  Ｓ−７０７−ＩＭ）を固形分濃度が１質量％になるように２−プロパノールで希釈した溶液中に、実施例１で得た電極基板が浸漬され、透明導電層上にアクリル樹脂系の保護層（ウェット膜厚１０ｎｍ）が設けられた。
【００５９】
［比較例１］
気相成長カーボンナノファイバー（商品名ＶＧＣＦ  昭和電工株式会社製）１０ｍｇと、アクリル樹脂（商品名  ウォーターゾール  Ｓ−７０７−ＩＭ）１０ｍｇ（固形分として）と、２−プロパノール１０ｍｌとが混合された。この混合液に1分間に亘っての超音波照射（装置名ＵＬＴＲＡＳＯＮＩＣ  ＨＯＭＯＧＥＮＩＺＥＲ  ＭＯＤＥＬ  ＵＨ−６００ＳＲ、エスエムテー社製）が行なわれ、カーボンナノファイバー分散液が得られた。
このカーボンナノファイバー分散液が、ＰＥＴフィルム（商品名：コスモシャイン  Ａ４１００  東洋紡社製）上に、ウェット膜厚５０μｍで、バーコートされた。この後、８０℃で３分間の乾燥が行われ、透明導電層が形成された。これにより、電極基板が得られた。
【００６０】
［特性］
上記各例で得られた電極基板について「全光線透過率」「表面抵抗値」「打鍵試験」「摺動筆記試験」「限界曲率半径」「タッチパネル動作性」が調べられた。この結果が表−１，−２に示される。
全光線透過率：  直読ヘーズコンピュータ（スガ試験機社製）を用いて電極基板の全光線透過率が測定された。
表面抵抗値：  ロレスタ−ＥＰ（ダイアインスツルメンツ社製）を用いて４探針法にて電極基板の表面抵抗値が測定された。
打鍵試験：  条件（３Ｒシリコンゴム、荷重２５０ｇ、周波数１０Ｈｚ(１秒間に１０回)、電圧３Ｖ）にて電極基板が打鍵試験に供された。
摺動筆記試験：  条件（ポリアセタールペン、荷重２５０ｇ、筆記カタカナ文字(２０×２０ｍｍ)）にて電極基板が摺動筆記試験に供された。
限界曲率半径：  一定の半径を持つ棒に電極基板が巻き付けられ。そして、一定荷重で引っ張りながら表面抵抗が２端子法にて測定された。表面抵抗値が急激に上昇した半径が限界曲率半径とされた。
タッチパネル動作性：  得られた電極基板を上部電極、ＩＴＯ付ガラスを下部基板とした。そして、各々、銅箔シートを対向する２辺に張り、対向電極とした(図２，３参照)。この上部電極基板と下部電極基板との対向電極が直行するように張り合わされ、抵抗膜式タッチパネルが作製された（図４，５参照）。そして、下部電極基板の電極間抵抗が測定され、上部電極基板が押された時に、下部電極基板の抵抗値が変わった場合をタッチパネルとして動作する場合とした。動作性の良い場合が○で、動作性の悪い場合が×で表示された。
【００６１】
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＊比較例２のものはＩＴＯ付ＰＥＴフィルム（東洋紡社製）
＊「表面抵抗値＊」は電極基板を８０℃のオーブンで１０日間放置後の測定値
【００６２】
［実施例５］
実施例１で得られた単層カーボンナノチューブ分散液が、アンチニュートン処理付ポリカーボネート基板上に、ウェット膜厚２０μｍで、バーコートされた。この後、８０℃で３分間の乾燥が行われ、透明導電層が形成された。この後、塗工面がメタノールで洗浄され、電極基板が得られた。
このようにして得られた電極基板が下部基板とされ、ＩＴＯ付ＰＥＴフィルムが上部基板とされ、上記と同様にして抵抗膜式タッチパネルが作製された。そして、上部基板が押された時に、下部基板の電極間抵抗値が変わり、タッチパネルとしての動作性の良いことが確認された。
【００６３】
［実施例６］
実施例１及び実施例２で得られた電極基板を、各々、上部基板、下部基板とし、上記と同様にして抵抗膜式タッチパネルが作製された。そして、上部基板が押された時に、下部基板の電極間抵抗値が変わり、タッチパネルとしての動作性の良いことが確認された。
【００６４】
［実施例７］
実施例１で得られた単層カーボンナノチューブ分散液が、ポリカーボネート基板上に、ウェット膜厚５０μｍでバーコートされた。この後、８０℃で３分間の乾燥が行われ、透明導電層が形成された。そして、塗工面がメタノールで洗浄され、電極基板が得られた。このようにして得られた電極基板の全光線透過率は８５％、表面抵抗値は５１０Ω／□であった。
この電極基板を用いて静電容量式タッチパネル（図６参照）が作製された。電極基板に５００Ｈｚ，１ｖの交流電流を流し、静電容量式タッチパネルの基板が押された時に電流値が変わり、タッチパネルとしての動作性の良いことが確認された。
【００６５】
この出願は、２００８年５月２４日に出願された日本出願特願２００８−１３６１１８を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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