(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
機器の載置される定盤を基礎に対して支持用ばね要素により支持してなる除振装置であって、
前記定盤に設けられ、所定の制御対象を制御する制御用基盤と、
前記定盤側及び基礎側と接触して、該定盤及び基礎の間を導通するアース用ばね要素とを備えており、
前記アース用ばね要素は、前記支持用ばね要素よりもばね定数が小さいことを特徴とする除振装置。
【請求項２】
請求項１記載の除振装置において、
前記アース用ばね要素は、ばね軸方向が鉛直方向に一致するように設けられたアース用コイルばねであることを特徴とする除振装置。
【請求項３】
請求項２記載の除振装置において、
前記定盤の高さ位置が所定の高さ位置よりも鉛直上方になることを規制するための少なくとも１つの規制部材をさらに備えており、
前記アース用コイルばねは、前記規制部材のうち少なくとも１つに設けられていることを特徴とする除振装置。
【請求項４】
請求項３記載の除振装置において、
前記基礎には、前記規制部材に対応するように挿通孔が形成されており、
前記規制部材は、前記挿通孔に挿通された状態で前記定盤に鉛直下方に延びるように設けられた棒状部材と、該棒状部材の下端部に水平方向に延びるように設けられたストッパとを有していて、該ストッパの上面が前記挿通孔の周縁部の下面に当接することにより、前記定盤の高さ位置が前記所定の高さ位置よりも鉛直上方になることを規制するように構成されており、
前記規制部材のうち前記アース用コイルばねが設けられるもののストッパの外周面には、鍔部が形成されており、
前記アース用コイルばねは、前記挿通孔の周縁部と前記ストッパの鍔部との間に該ストッパを取り囲むように設けられていることを特徴とする除振装置。
【請求項５】
請求項４記載の除振装置において、
前記ストッパにおける前記鍔部よりも鉛直上方の部分は、鉛直上方に行くに従って外径が次第に減少するように形成されていることを特徴とする除振装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１つに記載の除振装置において、
前記所定の制御対象は、前記機器乃至定盤に制御力を付加するアクチュエータであり、
前記制御用基盤は、前記機器乃至定盤の振動を低減するように、前記アクチュエータを制御するものであることを特徴とする除振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機器の載置される定盤を基礎に対して支持用ばね要素により支持してなる除振装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば電子顕微鏡や原子間力顕微鏡、半導体関連の試験機器、検査機器等の精密計測機器のように、振動の影響を受けやすい機器の載置される定盤を、基礎に対してばね要素により支持してなる除振装置が従来技術として知られている。以下、特許文献１により、従来の除振装置について説明する。
【０００３】
特許文献１に示す除振装置は、基礎部材と、その基礎部材の上面の４隅にそれぞれ配設されたばね要素としてのコイルばねと、これらのコイルばねにより４隅をそれぞれ支持されて、上面に機器が載置される定盤と、を備えている。
【０００４】
また、４つのコイルばねのそれぞれに隣接して、定盤及び基礎部材の間には、両者を鉛直及び水平方向にそれぞれ数ミリ程度、相対変位させるように鉛直用及び水平用リニアモータユニットが配設されている。このリニアモータユニットは、それぞれ、基礎部材から定盤に対して鉛直及び水平方向の力を付与するように、配置されている。
【０００５】
鉛直用及び水平用リニアモータユニットは、それぞれ加速度センサを内蔵しており、これにより定盤の基礎部材に対する鉛直及び水平方向の相対加速度をそれぞれ検出して、制御用基盤に出力するようになっている。
【０００６】
そして、各コイルばね毎に鉛直用リニアモータユニットの加速度センサから出力された信号が制御用基盤に入力される一方、この信号に基づいて生成された駆動制御信号が制御用基盤からリニアモータユニットに出力されて、定盤及び機器にその鉛直方向の振動を低減するような制御力が付加される。尚、水平方向についても、水平用リニアモータユニットの加速度センサからの信号に基づいて、鉛直方向と同様の振動制御が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−７８１２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、鉛直用及び水平用リニアモータユニットを制御する制御用基盤など、所定の制御対象を制御する制御用基盤を定盤に設けた場合、この制御用基盤への電磁波の入射を防止するため、制御用基盤のアースを確実に取る必要がある。
【０００９】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、機器の載置される定盤を基礎に対して支持用ばね要素により支持してなる除振装置において、定盤に設けた制御用基盤のアースを確実に取ることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
第１の発明は、機器の載置される定盤を基礎に対して支持用ばね要素により支持してなる除振装置であって、前記定盤に設けられ、所定の制御対象を制御する制御用基盤と、前記定盤側及び基礎側と接触して、該定盤及び基礎の間を導通するアース用ばね要素とを備えており、前記アース用ばね要素は、前記支持用ばね要素よりもばね定数が小さいことを特徴とするものである。
【００１１】
これによれば、定盤側及び基礎側と接触して、定盤及び基礎の間を導通するアース用ばね要素を設けているので、定盤に設けた制御用基盤のアースを確実に取ることができる。
【００１２】
ところで、定盤の制御用基盤のアースを確実に取るため、定盤及び基礎の間を導通する、アース線やガスケット、フィンガーを設けることが一般に考えられるが、これらのばね定数にはばらつきがあり、よって、除振装置の固有振動数が高くなり、除振性能が悪化する虞がある。
【００１３】
ここで、本発明によれば、アース用ばね要素を、支持用ばね要素よりもばね定数を小さくしているので、アース用ばね要素によって除振装置の固有振動数が高くなることを抑制することができ、除振性能が悪化することを抑制することができる。
【００１４】
第２の発明は、前記第１の発明において、前記アース用ばね要素は、ばね軸方向が鉛直方向に一致するように設けられたアース用コイルばねであることを特徴とするものである。
【００１５】
これによれば、アース用ばね要素を、ばね軸方向を鉛直方向に一致するように設けられたアース用コイルばねで構成しているので、スペースを取らないで、定盤の制御用基盤のアースを確実に取ることができる。
【００１６】
第３の発明は、前記第２の発明において、前記定盤の高さ位置が所定の高さ位置よりも鉛直上方になることを規制するための少なくとも１つの規制部材をさらに備えており、前記アース用コイルばねは、前記規制部材のうち少なくとも１つに設けられていることを特徴とするものである。
【００１７】
これによれば、定盤の高さ位置が所定の高さ位置よりも鉛直上方になることを規制するための規制部材を少なくとも１つ設け、アース用コイルばねを規制部材のうち少なくとも１つに設けているので、規制部材を利用して、定盤の制御用基盤のアースを確実に取ることができる。
【００１８】
第４の発明は、前記第３の発明において、前記基礎には、前記規制部材に対応するように挿通孔が形成されており、前記規制部材は、前記挿通孔に挿通された状態で前記定盤に鉛直下方に延びるように設けられた棒状部材と、該棒状部材の下端部に水平方向に延びるように設けられたストッパとを有していて、該ストッパの上面が前記挿通孔の周縁部の下面に当接することにより、前記定盤の高さ位置が前記所定の高さ位置よりも鉛直上方になることを規制するように構成されており、前記規制部材のうち前記アース用コイルばねが設けられるもののストッパの外周面には、鍔部が形成されており、前記アース用コイルばねは、前記挿通孔の周縁部と前記ストッパの鍔部との間に該ストッパを取り囲むように設けられていることを特徴とするものである。
【００１９】
これによれば、前記第３の発明を実現することができる。
【００２０】
第５の発明は、前記第４の発明において、前記ストッパにおける前記鍔部よりも鉛直上方の部分は、鉛直上方に行くに従って外径が次第に減少するように形成されていることを特徴とするものである。  
【００２１】
これによれば、ストッパにおける鍔部よりも鉛直上方の部分を、鉛直上方に行くに従って外径が次第に減少するように形成しているので、ストッパにおける鍔部よりも鉛直上方の部分とアース用コイルばねとの間には隙間ができ、アース用コイルばねの水平方向のばね定数をさらに小さくすることができる。よって、アース用コイルばねによって除振装置の固有振動数が高くなることをさらに抑制することができ、除振性能が悪化することをさらに抑制することができる。
【００２２】
第６の発明は、前記第１〜第５のいずれか１つの発明において、前記所定の制御対象は、前記機器乃至定盤に制御力を付加するアクチュエータであり、前記制御用基盤は、前記機器乃至定盤の振動を低減するように、前記アクチュエータを制御するものであることを特徴とするものである。
【００２３】
これによれば、機器乃至定盤の振動を低減するように、機器乃至定盤に制御力を付加するアクチュエータを制御する制御用基盤の、アースを確実に取ることができ、この制御用基盤への電磁波の入射によって除振性能が悪化することを抑制することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、定盤側及び基礎側と接触して、定盤及び基礎の間を導通するアース用ばね要素を備えているので、定盤に設けた制御用基盤のアースを確実に取ることができる。また、アース用ばね要素を、支持用ばね要素よりもばね定数を小さくしているので、アース用ばね要素によって除振装置の固有振動数が高くなることを抑制することができ、除振性能が悪化することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施形態に係る除振台の概略構成を示す平面図である。
【図２】基礎部材の構成を示す平面図である。
【図３】支持用コイルばね部分の構成を示す側面図である。
【図４】定盤の構成を示す分解断面図である。
【図５】クランプ部分の構成を示す側面図である。
【図６】クランプ部分の構成を示す分解側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２７】
図１は、本発明に係る除振装置の一実施形態である精密除振台Ａの概略構成を示す平面図である。この除振台Ａは、例えば電子顕微鏡や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）、半導体関連の試験機器、検査機器等の精密計測機器のように、振動の影響を受けやすい機器１（仮想線で示す）を載置するためのもので、主に比較的小型の機器１が使用者の都合に応じて載置されることが想定される。
【００２８】
図示のように、除振台Ａは、図示しない専用のテーブルや台等の上面に設置される基礎部材（ケース）２と、その基礎部材２の４隅にそれぞれ高さ調整機構３，３，…を介して配設された支持用コイルばね４，４，…（支持用ばね要素）と、これらの支持用コイルばね４，４，…により４隅をそれぞれ支持されて基礎部材２から浮上する一方、上面に機器１が載置される矩形状の定盤（天板）５と、を備えている。
【００２９】
前記基礎部材２は、この例ではアルミ合金の鋳物で、矩形状の床板２１とその外周縁を巡る周壁２２とが一体に成形されており、例えば鉄板のプレス成形品に比べて高剛性であるとともに、アルミ合金製としては比較的大きな減衰が得られる。さらに、床板２１の中央部には矩形状の開口２１ａが形成されるとともに、床板２１には要所にリブ２１ｂ，…が形成されていて、全体の剛性が高められている。  
【００３０】
図１、図３に示すように、前記高さ調整機構３は、基礎部材２の床板２１から鉛直上方（以下、単に上方という）に延びるよう回転自在に配設されたねじ軸３１と、このねじ軸３１に螺合されるとともに、コイルばね４の下端を保持するばね座３２と、このばね座３２の鉛直下方（以下、単に下方という）にてねじ軸３１に回転一体に固定された被動ギヤ３３と、を有している。そして、この被動ギヤ３３と歯合する中間ギヤ３４が、電動モータ３５の回転軸に固定されたピニオンにより回転されることによって、ねじ軸３１が回転してばね座３２が上下動するようになっている。
【００３１】
前記４つの支持用コイルばね４，４，…は、それぞれ、下方に行くに従って細くなるように、円錐形状に同一横断面の金属製の線材を巻いたものである。さらに、図３、図４に示すように、前記支持用コイルばね４，４，…は、それぞれ、その上端部がシート状のゴム材４６を介して、定盤５の下面の４隅にそれぞれ形成された円形状の凹部５４ａに収容されている。上述のように、支持用コイルばね４，４，…は下方に行くに従って細くなるように線材を巻いたものであるため、凹部５４ａの内周面と支持用コイルばね４の上端部との間には、それぞれ、ガタ（隙間）がある。前記ゴム材４６は、凹部５４ａの底面上に配設され、定盤５及び基礎部材２の相対変位に対し減衰を付与するとともに、支持用コイルばね４のサージングを防止するようになっている。上述したように、支持用コイルばね４，４，…の上端部はゴム材４６を介して凹部５４ａに収容されるとともに、この凹部５４ａとコイルばね４の上端部との間にはガタがあるため、支持用コイルばね４，４，…によって基礎部材２及び定盤５の間を確実に導通することができず、定盤５に設けた、後述する制御用基盤８のアースを確実に取ることができない。
【００３２】
前記定盤５は、この実施形態では、アルマイト処理された第１アルミ層５３とアルマイト処理されていない第２アルミ層５４とがこの順に上方から積層されて構成されている。第１及び第２アルミ層５３，５４は、非導電性の両面テープ５５を介して接着されている。前記凹部５４ａは、第２アルミ層５４に形成された円形状の貫通孔の上方開口端を第１アルミ層５３で覆うことにより形成されている。尚、図３では、図を見やすくするため、両面テープ５５の図示を省略している。
【００３３】
また、４つのコイルばね４，４，…によって弾性支持した定盤５を基礎部材２に対して鉛直及び水平方向にそれぞれ数ミリ程度、相対変位させるように、鉛直用及び水平用の各々４個ずつのリニアモータユニット６，…，７，…（所定の制御対象、アクチュエータ）が配設されている。鉛直用の４個のリニアモータユニット６，…は、それぞれ、基礎部材２のリブ２１ｂ，…同士が交わる部位に近接して直立配置され、該基礎部材２の床板２１から定盤５に対し鉛直方向の制御力を付加する。
【００３４】
それらの鉛直用及び水平用の各リニアモータユニット６，７は同じものであり、加速度センサ（図示せず）が一体的に設けられている。この加速度センサから定盤５の相対加速度（定盤５の振動状態）を示す信号が出力され、この信号を受けた制御用基盤８からリニアモータユニット６に制御信号が出力されて、定盤５及び機器１にその振動を減殺するような制御力が付加される。つまり、一例として加速度フィードバックのアクティブ除振制御が行われる。図１及び図２に示すように、前記制御用基盤８は、基礎部材２の床板２１の開口２１ａに対応するように定盤５の下面の中央部に取り付けられていて、基礎部材２と接触しないように配置されている。
【００３５】
さらに、除振台Ａの使用時には、制御用基盤８には、定盤５の高さを検出するセンサ（図示せず）からの信号も入力され、この信号を受けた制御用基盤８が高さ調整機構３の電動モータ３５を制御することにより、コイルばね４の弾性変形に応じてその下端位置が調整されて、定盤５の基礎部材２に対する高さ位置（基礎部材２の床板２１の上面と定盤５の下面との間隔）が略一定に保たれるようになっている。また、例えば除振台Ａの搬送時のように、該除振台Ａの非使用時には、制御用基盤８が高さ調整機構３の電動モータ３５を制御することにより、定盤５の高さ位置が所定の最大高さ位置にされるようになっている。
【００３６】
ここで、上述したように、支持用コイルばね４，４，…によって定盤５の制御用基盤８のアースを確実に取ることができないため、何ら対策を講じなければ、電磁波が制御用基盤８へ入射して、除振性能が悪化する虞がある。具体的には、ＣＥマーキングのイミニティ試験をすると、特定周波数域において除振性能が悪化した。そこで、この実施形態では、図１、図２、図５、図６に示すように、定盤５に設けられた、該定盤５の基礎部材２に対する高さ位置を所定の最大高さ位置よりも上方になることを規制するためのクランプ９（規制部材）を利用して、制御用基盤８のアースを確実に取るようになっている。これについて以下、詳細に説明する。
【００３７】
４つの支持用コイルばね４，４，…（４つの鉛直用リニアモータユニット６，…）のそれぞれに隣接して、定盤５の下面（この実施形態では第２アルミ層５４部分）には、クランプボルト孔５４ｂ，５４ｂ，…が形成されている。このクランプボルト孔５４ｂ，５４ｂ，…には、それぞれ、下方に向かって延びるように金属製（この実施形態ではステンレス鋼製）のクランプボルト９１，９１，…（棒状部材）が螺合されている。このクランプボルト９１，９１，…は、それぞれ、丸棒の一端（図５では上端）にねじを切り、他端（図５では下端）に直径よりも大きな頭部９１ａを付けたものであり、制御用基盤８を取り囲むように配置されている。尚、図５、図６では、図を見やすくするため、両面テープ５５の図示を省略している。
【００３８】
また、４つの支持用コイルばね４，４，…（４つの鉛直用リニアモータユニット６，…）のそれぞれに隣接して、基礎部材２の床板２１には、上方に向かって突出する有蓋無底の円筒形状の突出部２１ｄ，２１ｄ，…が一体に形成されている。この突出部２１ｄの蓋部２１ｅの中央部には、それぞれ、円形状の挿通孔２１ｆがクランプボルト９１に対応するように貫通形成されており、この挿通孔２１ｆには、それぞれ、クランプボルト９１が挿通されている。
【００３９】
クランプボルト９１の下端部には、それぞれ、水平方向に延びるように金属製（この実施形態ではステンレス鋼製）の円環形状のストッパ９２が、該クランプボルト９１の頭部９１ａに支持された状態で外嵌めされている。このように、クランプ９は、クランプボルト９１及びストッパ９２で構成されている。
【００４０】
そして、除振台Ａの非使用時に、高さ調整機構３によって定盤５の基礎部材２に対する高さ位置を所定の最大高さ位置にすると、ストッパ９２の上面が、それぞれ、突出部２１ｄの蓋部２１ｅにおける挿通孔２１ｆの周縁部の下面に当接することにより（図５の二点鎖線を参照）、定盤５の高さ位置が所定の最大高さ位置よりも上方になることが規制されて、その位置に保たれるようになっている。これにより、除振台Ａの非使用時における基礎部材２や定盤５の揺れを防止することができる。
【００４１】
ストッパ９２の下端部の外周面には、それぞれ、水平方向に延びるように円環形状の鍔部９２ａが形成されている。ストッパ９２における鍔部９２ａよりも上方の部分（以下、「鍔部９２ａの上方部分」という）は、それぞれ、上方に行くに従って外径が次第に減少するようにテーパ形状に形成されている。ストッパ９２における鍔部９２ａの上方部分の下端の外径は、それぞれ、後述するアース用コイルばね１０のばね径とほぼ同じ大きさになっている。
【００４２】
突出部２１ｄの蓋部２１ｅにおける挿通孔２１ｆの周縁部の下面とストッパ９２の鍔部９２ａの上面との間には、それぞれ、ストッパ９２を取り囲むように、導電性を有するアース用コイルばね１０，１０，…（アース用ばね要素）が介設されている。このアース用コイルばね１０，１０，…は、それぞれ、円筒形状に同一横断面の金属製（この実施形態ではステンレス鋼製）の線材を巻いたものであり、ばね軸方向が鉛直方向に一致するように配設されている。
【００４３】
また、アース用コイルばね１０，１０，…は、それぞれ、その上端が突出部２１ｄの蓋部２１ｅにおける挿通孔２１ｆの周縁部の下面と接触する一方、その下端がストッパ９２の鍔部９２ａの上面と接触している。つまり、ストッパ９２の上面及び鍔部９２ａの上面の間隔を、最大限圧縮したアース用コイルばね１０のばね長さよりも大きくしたりすることにより、定盤５の基礎部材２に対する高さ位置が変化してアース用コイルばね１０の撓み量が変化しても、アース用コイルばね１０と基礎部材２側（即ち突出部２１ｄ）及び定盤５側（即ちストッパ９２）との接触を保つことができるようになっている。これにより、アース用コイルばね１０，１０，…によって基礎部材２及び定盤５の間を導通して、該定盤５の制御用基盤８のアースを確実に取ることができる。
【００４４】
さらに、アース用コイルばね１０，１０，…は、それぞれ、支持用コイルばね４，４，…よりもばね定数が遙かに小さくなっている。また、上述したように、ストッパ９２における鍔部９２ａの上方部分はテーパ形状に形成されているため、ストッパ９２における鍔部９２ａの上方部分の外周面とアース用コイルばね１０との間には、それぞれ、隙間（逃げ）がある。これにより、各アース用コイルばね１０の水平方向のばね定数をさらに小さくすることができる。つまり、水平方向について、各アース用コイルばね１０をさらに軟らかくすることができる。
【００４５】
−効果−
以上により、本実施形態によれば、定盤５側及び基礎部材２側と接触して、定盤５及び基礎部材２の間を導通するアース用コイルばね１０を設けているので、定盤５に設けた制御用基盤８のアースを確実に取ることができる。
【００４６】
ところで、定盤５の制御用基盤８のアースを確実に取るため、定盤５及び基礎部材２の間を導通する、アース線やガスケット、フィンガーを設けることが一般に考えられるが、これらのばね定数にはばらつきがあり、よって、除振台Ａの固有振動数が高くなり、除振性能が悪化する虞がある。
【００４７】
ここで、本実施形態によれば、アース用コイルばね１０を、支持用コイルばね４よりもばね定数を小さくしているので、アース用コイルばね１０によって除振台Ａの固有振動数が高くなることを抑制することができ、除振性能が悪化することを抑制することができる。
【００４８】
さらに、アース用ばね要素を、ばね軸方向を鉛直方向に一致するように設けられたアース用コイルばね１０で構成しているので、スペースを取らないで、定盤５の制御用基盤８のアースを確実に取ることができる。
【００４９】
また、定盤５の基礎部材２に対する高さ位置が所定の最大高さ位置よりも上方になることを規制するためのクランプ９を４つ設け、アース用コイルばね１０をクランプ９の４つすべてに設けているので、クランプ９を利用して、定盤５の制御用基盤８のアースを確実に取ることができる。
【００５０】
さらにまた、ストッパ９２における鍔部９２ａの上方部分を、上方に行くに従って外径が次第に減少するように形成しているので、ストッパ９２における鍔部９２ａの上方部分とアース用コイルばね１０との間には隙間ができ、アース用コイルばね１０の水平方向のばね定数をさらに小さくすることができる。よって、アース用コイルばね１０によって除振台Ａの固有振動数が高くなることをさらに抑制することができ、除振性能が悪化することをさらに抑制することができる。
【００５１】
また、機器１乃至定盤５の振動を低減するように、機器１乃至定盤５に制御力を付加する鉛直用及び水平用リニアモータユニット６，７を制御する制御用基盤８の、アースを確実に取ることができ、この制御用基盤８への電磁波の入射によって除振性能が悪化することを抑制することができる。
【００５２】
（その他の実施形態）
尚、前記実施形態では、定盤５を支持するコイルばね４を４つ用いているが、これは３つ以上であればよい。
【００５３】
さらに、前記コイルばね４に代えて、例えばゴム弾性体や気体ばねを用いることも可能である。但し、気体ばねの場合は圧力源が必要になるし、ゴム弾性体では比較的特性ばらつきが大きく、その経年変化も少なくないことを考慮すれば、前記実施形態のように金属製のコイルばね４を用いることが最も好ましい。
【００５４】
また、前記アース用コイルばね１０に代えて、導電性を有するコイルばね以外のアース用ばね要素を用いることも可能である。
【００５５】
さらにまた、前記実施形態では、鉛直用及び水平用リニアモータユニット６，７を制御する制御用基盤８を定盤５に配置する例を示したが、これに限らず、この制御用基盤８に代えて、例えば鉛直用及び水平用リニアモータユニット６，７以外の制御対象を制御する制御用基盤を定盤５に配置することも可能である。
【００５６】
さらに、前記実施形態では、クランプ９を４つ用いているが、これは１つ以上であればよい。
【００５７】
また、前記実施形態では、アース用コイルばね１０を４つすべてのクランプ９に設けているが、これは１つ以上のクランプ９に設ければよい。
【００５８】
さらにまた、前記実施形態では、アース用ばね要素をクランプ９に設けているが、これに限らず、例えばクランプ９を介さずに、基礎部材２及び定盤５の間に直接設けることも可能である。
【００５９】
さらに、前記実施形態では、棒状部材及びストッパを別体にしているが、これは一体であってもよい。
【００６０】
また、前記実施形態では、ストッパ９２における鍔部９２ａの上方部分をテーパ形状に形成しているが、これに限らず、例えば上方に行くに従って外径が次第に減少するように段形状に形成することも可能である。
【００６１】
さらにまた、前記実施形態では、支持用コイルばね４，４，…によって制御用基盤８のアースを確実に取ることができないが、そのアースを確実に取ることができるようにしてもよい。この場合、支持用コイルばね４，４，…及びアース用コイルばね１０，１０，…によって制御用基盤８のアースをより一層確実に取ることができる。
【００６２】
本発明は、実施形態に限定されず、その精神又は主要な特徴から逸脱することなく他の色々な形で実施することができる。
【００６３】
このように、上述の実施形態はあらゆる点で単なる例示に過ぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書には何ら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
以上説明したように、本発明にかかる除振装置は、定盤に設けた制御用基盤のアースを確実に取ることが必要な用途等に適用できる。
【符号の説明】
【００６５】
Ａ      精密除振台（除振装置）
１      機器
２      基礎部材
２１ｆ  挿通孔
４      支持用コイルばね（支持用ばね要素）
５      定盤
６      鉛直用リニアモータユニット（制御対象、アクチュエータ）
７      水平用リニアモータユニット（制御対象、アクチュエータ）
８      制御用基盤
９      クランプ（規制部材）
９１    クランプボルト（棒状部材）
９２    ストッパ
１０    アース用コイルばね（アース用ばね要素）
【図１】
0005462594.tif 000002
【図２】
0005462594.tif 000003
【図３】
0005462594.tif 000004
【図４】
0005462594.tif 000005
【図５】
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【図６】
0005462594.tif 000007