(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定信号源および電圧検出手段を含む測定部と、上記測定信号源と被測定試料との間の測定電流径路に含まれる第１，第２の電流プローブおよび上記電圧検出手段と上記被測定試料との間の電圧検出径路に含まれる第１，第２の電圧プローブと、所定の上記プローブが取り付けられ、移動機構によりＸ，ＹおよびＺ方向に駆動される第１，第２の可動アームと、上記測定部からの測定信号に基づいて上記被測定試料のパラメータを算出し、かつ、上記移動機構を介して上記各可動アームの動きを制御する制御部とを備えている回路基板検査装置において、
４端子対法による計測を行うため、上記各電流プローブおよび上記各電圧プローブの上記測定部に至る電気配線に同軸ケーブルが用いられ、
上記第１の可動アームのプローブ支持部に、上記第１の電流プローブと上記第１の電圧プローブとが支持されているとともに、上記第２の可動アームのプローブ支持部に、上記第２の電流プローブと上記第２の電圧プローブとが支持されており、
いずれか一方の上記可動アームは、上記プローブ支持部の上方に配置され、上記各同軸ケーブルの一端側が固定されるケーブル支持基板を有し、
上記各同軸ケーブルの一端側は、それらの外部導体が所定の導通手段を介して相互に接続された状態で上記ケーブル支持基板に固定され、上記各同軸ケーブルの内部導体が、それぞれ、上記第１および第２の各可動アームのＸ−Ｙ方向への移動に追随して変形可能な電気的中継手段を介して対応する上記プローブに接続されており、
上記電気的中継手段は、上記ケーブル支持基板と上記プローブ支持部との間隔よりも長い長さを有し、上記電気的中継手段の変形可能な範囲内で、上記第１の可動アームと上記第２の可動アームとの離間距離が広げられることを特徴とする回路基板検査装置。
【請求項２】
上記第１の可動アーム側に支持される上記第１の電流プローブおよび上記第１の電圧プローブがともに高電位側で、上記第２の可動アーム側に支持される上記第２の電流プローブおよび上記第２の電圧プローブがともに低電位側であることを特徴とする請求項１に記載の回路基板検査装置。
【請求項３】
上記導通手段として、リード線が用いられることを特徴とする請求項１または２に記載の回路基板検査装置。
【請求項４】
上記ケーブル支持基板には、上記導通手段としての接続パターンが形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の回路基板検査装置。
【請求項５】
上記電気的中継手段として、上記ケーブル支持基板と上記プローブ支持部との間隔よりも長い長さを有する湾曲部を含む板バネが用いられることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の回路基板検査装置。
【請求項６】
上記電気的中継手段として、上記ケーブル支持基板と上記プローブ支持部との間隔よりも長い長さを有する金属のリボン箔が用いられることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の回路基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板の検査に用いられるプローブ（導電接触ピン）を所定方向に移動可能な可動アームに支持してなるＸ−Ｙ型（もしくはフライング型等）と呼ばれる回路基板検査装置で４端子対法による測定を行うにあたって、可動アームの動きの自由度を高める技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
回路基板に存在する導体パターン，実装部品や素子等（以下、これらを「被測定試料」という。）のインピーダンスを測定する方法の一つとして４端子法がある。
【０００３】
４端子法においては、図５の模式図に示すように、基本的な構成として、測定信号を発生する測定信号源１と、電圧検出手段としての電圧計２と、電流検出手段としての電流計３とを備える。
【０００４】
プローブとしては、測定信号源１から被測定試料ＤＵＴに流れる測定電流径路に内に含まれる２つの電流プローブＰ１，Ｐ２（Ｐ１が高電位Ｈｃ側で、Ｐ２が低電位Ｌｃ側）と、被測定試料ＤＵＴの電圧検出径路内に含まれる２つの電圧プローブＰ３，Ｐ４（Ｐ３が高電位Ｈｐ側で、Ｐ２が低電位Ｌｐ側）の４つのプローブが用いられる。
【０００５】
なお、これらの各プローブは構造的には変わらないが、本明細書では、説明の便宜上、電流系統側のものを電流プローブと言い、電圧系統側のものを電圧プローブと言う。
【０００６】
測定にあたっては、測定信号源１から電流プローブＰ１，Ｐ２を介して被測定試料ＤＵＴに例えば定電流を流し、これによって被測定試料ＤＵＴの両端に発生する電圧を電圧プローブＰ３，Ｐ４を介して電圧計２で測定し、電流計３による電流値と電圧計２による電圧値とに基づいて、被測定試料ＤＵＴのインピーダンスＺを測定する。
【０００７】
この４端子法によれば、測定系の電気配線（リード線）の配線抵抗や被測定試料との接触抵抗の影響をほとんど排除することができるが、測定電流径路に流れる電流によって発生する磁束が電圧検出径路をよぎると、検出電圧に誤差が生じ、この誤差がインピーダンス測定値に含まれることになる。
【０００８】
この現象は、特に高い周波数の測定電流で測定を行う高周波測定時に問題となる。なお、測定系の電気配線に、同軸ケーブル（シールド被覆線）を使用しても、静電シールドの効果はあるが、上記のような電磁誘導に対しては有効ではない。
【０００９】
この電磁誘導による問題は、４端子対法によって解決することができる。４端子対法に関する文献としては例えば特許文献１があるが、図６に４端子対法による測定状態を模式的に示し、これについて説明する。
【００１０】
図６を参照して、４端子対法の場合、電流プローブＰ１，Ｐ２の電気配線として同軸ケーブルＣ１，Ｃ２を用い、同様に、電圧プローブＰ３，Ｐ４の電気配線にも同軸ケーブルＣ３，Ｃ４を用いる。そして、各同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の各外部導体（シールド被覆線）Ｓのすべてを各プローブの基端付近でリード線５にて接続し短絡する。
【００１１】
動作について、測定信号源１よりＨｃラインを介して被測定試料ＤＵＴに測定電圧Ｖを印加すると（この印加電圧はＨｐラインと同じ）、被測定試料ＤＵＴにはＶ／Ｚなる測定電流が流れる。この測定電流は電流計３を通り、そのまま逆向きに外部導体を流れて測定信号源１に戻る（図６の電流の流れ方向を示す矢印参照）。
【００１２】
このとき、被測定試料ＤＵＴの反対側では、ＬｐがＬｃ（＝ＧＮＤ）となるように帰還制御回路ＦＣが動作する。したがって、被測定試料ＤＵＴには、電圧計２の両端と同じ電圧がかかるため、電圧計２の示す値は、被測定試料ＤＵＴの両端電圧と同じとなる。
【００１３】
このように、４端子対法によれば、測定電流径路内において、測定電流の往路と復路とが重ね合わされるため、上記４端子法の利点を維持しながら、測定電流により生ずる磁束の影響（電磁誘導）を軽減することができる。
【００１４】
なお、各同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の各外部導体Ｓのすべてをリード線５にて接続しているのは、上記電圧を測定する際に、それに関与するＨｐ，Ｌｐの各外部導体Ｓの電位が確定していない状態は好ましくない、等の理由による。
【００１５】
ところで、Ｘ−Ｙ型回路基板装置では、例えば特許文献２に記載されているように、回路基板上を所定方向（Ｘ，ＹおよびＺ方向）に移動し得る少なくとも２つの可動アームを備え、その各可動アームにプローブを支持させ、あらかじめ設定されている検査プログラムにしたがって、各可動アームを移動させて回路基板上の被測定試料の検査を行うようにしている。
【００１６】
Ｘ−Ｙ型回路基板装置で４端子対法による測定を行う場合、例えば、一方の可動アームに高電位側の電流プローブＰ１と電圧プローブＰ３とが設けられ、他方の可動アームに低電位側の電流プローブＰ２と電圧プローブＰ４とが設けられ、これらの各可動アーム間に外部導体接続用のリード線５が掛け渡されることになる。
【００１７】
このため、各可動アームの動き得る範囲がリード線５の配線長に制限され、例えばパターンのピッチが変化し、プロービング箇所間の距離がリード線５の配線長よりも長い場合には対応ができない、等の問題がある。
【００１８】
なお、各可動アーム間に掛け渡される外部導体接続用リード線の配線長を長くすることは、高い周波数を扱ううえで好ましくないし、また、極端な例ではあるが、可動アームの間隔が狭められた際に、被検査回路基板上にリード線が垂れ下がって引きずられるおそれもあり、総じて好ましい対策とは言えない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１９】
【特許文献１】特開平２−１２２２７４号公報
【特許文献２】特開２００２−１４１３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
したがって、本発明の課題は、Ｘ−Ｙ型（もしくはフライング型等）と呼ばれる回路基板検査装置で４端子対法による測定を行うにあたって、各可動アームの離間距離をより広げられるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記課題を解決するため、本発明は、測定信号源および電圧検出手段を含む測定部と、上記測定信号源と被測定試料との間の測定電流径路に含まれる第１，第２の電流プローブおよび上記電圧検出手段と上記被測定試料との間の電圧検出径路に含まれる第１，第２の電圧プローブと、所定の上記プローブが取り付けられ、移動機構によりＸ，ＹおよびＺ方向に駆動される第１，第２の可動アームと、上記測定部からの測定信号に基づいて上記被測定試料のパラメータを算出し、かつ、上記移動機構を介して上記各可動アームの動きを制御する制御部とを備えている回路基板検査装置において、
４端子対法による計測を行うため、上記各電流プローブおよび上記各電圧プローブの上記測定部に至る電気配線に同軸ケーブルが用いられ、上記第１の可動アームのプローブ支持部に、上記第１の電流プローブと上記第１の電圧プローブとが支持されているとともに、上記第２の可動アームのプローブ支持部に、上記第２の電流プローブと上記第２の電圧プローブとが支持されており、いずれか一方の上記可動アームは、上記プローブ支持部の上方に配置され、上記各同軸ケーブルの一端側が固定されるケーブル支持基板を有し、上記各同軸ケーブルの一端側は、それらの外部導体が所定の導通手段を介して相互に接続された状態で上記ケーブル支持基板に固定され、上記各同軸ケーブルの内部導体が、それぞれ、上記第１および第２の各可動アームのＸ−Ｙ方向への移動に追随して変形可能な電気的中継手段を介して対応する上記プローブに接続されており、上記電気的中継手段は、上記ケーブル支持基板と上記プローブ支持部との間隔よりも長い長さを有し、上記電気的中継手段の変形可能な範囲内で、上記第１の可動アームと上記第２の可動アームとの離間距離が広げられることを特徴としている。
【００２２】
本発明において、４端子対法による計測を行ううえで、上記第１の可動アーム側に支持される上記第１の電流プローブおよび上記第１の電圧プローブがともに高電位側で、上記第２の可動アーム側に支持される上記第２の電流プローブおよび上記第２の電圧プローブがともに低電位側であることが好ましい。
【００２３】
上記各同軸ケーブルの外部導体同士を導通させる導通手段として、リード線が用いられてもよいし、上記ケーブル支持基板に形成されている接続パターンのいずれかが用いられてよい。
【００２４】
また、本発明では、上記電気的中継手段として、上記ケーブル支持基板と上記プローブ支持部との間隔よりも長い長さを有する湾曲部を含む板バネが好ましく採用される。
【００２５】
これとは別に、上記電気的中継手段として、上記ケーブル支持基板と上記プローブ支持部との間隔よりも長い長さを有する金属のリボン箔が用いられてもよい。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、いずれか一方の可動アームに、プローブ支持部の上方に配置され各同軸ケーブルの一端側が固定されるケーブル支持基板が設けられ、ケーブル支持基板と可動アームのプローブ支持部との間で、各同軸ケーブルの内部導体と、これと対応するプローブとを変形可能な電気的中継手段を介して接続するようにしたことにより、電気的中継手段が許容し得る変形可能な範囲内で、可動アームの動きの自由度が高められる。
【００２７】
また、各同軸ケーブルの一端側が、それらの外部導体が所定の導通手段を介して相互に接続された状態でケーブル支持基板に固定され、外部導体間の導通手段の長さをより短くできることから、高い周波数まで正確な測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】（ａ）Ｘ−Ｙ型回路基板検査装置の基本的な構成を示す模式図、（ｂ）本発明に適用される４端子対法によるプローブの構成例を示す模式図。
【図２】本発明の実施形態を示す模式図。
【図３】本発明におけるケーブル支持基板上での同軸ケーブルの配置例を示す平面図。
【図４】本発明における電気的中継手段の好ましい例を示す側面図。
【図５】４端子法による測定状態を示す模式図。
【図６】４端子対法による測定状態を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
次に、図１ないし図４により、本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００３０】
まず、図１（ａ）を参照して、本発明の回路基板検査装置の構成を概略的に説明すると、この回路基板検査装置は、Ｘ−Ｙ型もしくはフライング型と呼ばれる検査装置で、基本的な構成として、制御部１０と、測定部２０と、一対の可動アーム３１，３２と、可動アームの移動機構４１，４２とを備える。
【００３１】
制御部１０には、例えばマイクロコンピュータが用いられ、その記憶部には、被検査回路基板Ａ上に存在する被測定試料ＤＵＴについての検査プログラムや、良否判定用の基準データ等が設定される。また、制御部１０は、測定部２０からの測定信号に基づいて、被測定試料ＤＵＴのパラメータ（例えば、インピーダンス）を算出し、好ましくは、その良否判定等を行う。
【００３２】
測定部２０は、先の図６で説明したように、４端子対法による測定を行うための測定信号源１、電圧検出手段としての電圧計２、電流検出手段としての電流計３および帰還制御回路ＦＣ等を備える。
【００３３】
可動アーム３１，３２は、それらの移動機構４１，４２によりＸ，ＹおよびＺ方向に駆動される。可動アーム３１，３２の移動制御信号は、制御部１０から移動機構４１，４２に与えられる。図示しないが、可動アーム３１，３２のほかに、別の可動アーム（例えば、ガードプローブ用の可動アーム等）が設けられてもよい。
【００３４】
検査プローブには、図１（ｂ）に示す４端子対法による４本のプローブＰ１〜Ｐ４が用いられる。このうち、先の図６で説明したのと同じく、Ｐ１，Ｐ２が被測定試料ＤＵＴに対する測定電流径路に含まれる電流プローブで、Ｐ３，Ｐ４が被測定試料ＤＵＴの電圧検出径路に含まれる電圧プローブである。
【００３５】
電流プローブＰ１，Ｐ２，電圧プローブＰ３，Ｐ４には、同じ構造のプローブが用いられてよい。なお、説明するうえで、これらの各プローブの区別を必要としない場合には、単にプローブということがある。
【００３６】
プローブＰ１，Ｐ２，Ｐ３およびＰ４は、それぞれ同軸ケーブルＣ１，Ｃ２，Ｃ３およびＣ４の各内部導体ＩＬを介して測定部２０に接続される。
【００３７】
先の図６を参照して、電流プローブＰ１，Ｐ２のうち、電流プローブＰ１が高電位（Ｈｉ）側で測定信号源１のＨｃ端子に接続され、電流プローブＰ２は低電位（Ｌｏｗ）側として電流計３のＬｃ端子側に接続される。
【００３８】
同様に、電圧プローブＰ３，Ｐ４のうち、電圧プローブＰ３が高電位側で電圧計２のＨｐ端子に接続され、電圧プローブＰ４は低電位側として電圧検出系のＬｐ端子側に接続される。
【００３９】
同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の各内部導体ＩＬは、その各一端がプローブＰ１〜Ｐ４の基端ｂ側に接続され、各他端が測定部２０に接続されるが、各同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の外部導体（シールド被覆線）Ｓ同士は、プローブＰ１〜Ｐ４の基端ｂ側付近において例えばリード線５により相互に接続される。
【００４０】
同様に、低電位側の同軸ケーブルＣ２，Ｃ４の各外部導体Ｓ同士も、プローブＰ２，Ｐ４の基端ｂ側付近においてリード線５により相互に接続されている。
【００４１】
本発明では、この４端子対法による測定用のプローブＰ１〜Ｐ４を所定方向に移動可能な可動アーム３１，３２に支持させて、Ｘ−Ｙ型の回路基板検査装置で被測定試料ＤＵＴのインピーダンス測定を行う。
【００４２】
そのため、この実施形態では、図２に示すように、高電位側の電流プローブＰ１および高電位側の電圧プローブＰ３を一方の可動アーム３２側のプローブ保持部３２ａに取り付け、低電位側の電流プローブＰ２および低電位側の電圧プローブＰ４を他方の可動アーム３１側のプローブ保持部３１ａに取り付ける。
【００４３】
なお、この実施形態において、プローブ保持部３１ａ，３２ａとは、図１に示すように、被検査回路基板Ａの基板面とほぼ平行に配向された各可動アーム３１，３２に含まれるアーム部分である。
【００４４】
本発明では、可動アーム３１，３２のいずれか一方に同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の各一端が固定されるケーブル支持基板３３を備える。この実施形態では、可動アーム３２側にケーブル支持基板３３が設けられている。ケーブル支持基板３３には、硬質の回路基板が好ましく採用される。
【００４５】
ケーブル支持基板３３は、図２に示すように、プローブ保持部３２ａの上方の位置に配置され、その一端が可動アーム３２の主アーム３２ｂに固定され、他端がプローブ保持部３１ａの上方にまで延びる長さを有している。
【００４６】
ケーブル支持基板３３には、各同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の各一端が差し込まれる孔が穿設されており、各同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の各一端は、それらの外部導体Ｓを剥き出しとした状態で、かつ、それらの内部導体ＩＬが孔の底部から突き出るようにして、ケーブル支持基板３３の孔内に固定される。
【００４７】
図２の実施形態によると、図３（ａ）の平面図に示すように、ケーブル支持基板３３に対して各同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４が右から左にかけてＣ１，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ２の順に一列状態で固定されるが、図３（ｂ）の平面図に示すように、高電位側の同軸ケーブルＣ１，Ｃ３を例えば右側に縦並びとし、低電位側の同軸ケーブルＣ２，Ｃ４をその左側に縦並びとして、同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４を四角形の各頂点部分に配置することもできる。
【００４８】
いずれの場合にも、ケーブル支持基板３３の固定部分で、同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の各外部導体Ｓ同士が相互に電気的に接続される。
【００４９】
その接続手法としては、リード線５によってもよいが、ケーブル支持基板３３が銅張り積層基板からなる場合には、ケーブル支持基板３３に各外部導体Ｓを電気的に接続する接続パターン３３ａを形成し、この接続パターン３３ａを介して各外部導体Ｓを電気的に接続することが好ましく、これによれば、リード線５が不要であることから、容易に各外部導体Ｓを最短距離で電気的に接続することが可能となる。
【００５０】
次に、ケーブル支持基板３３に固定されている同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の各内部導体ＩＬと、可動アーム３１，３２のプローブ保持部３１ａ，３２ａに取り付けられている各プローブＰ１〜Ｐ４との電気的接続手法について説明する。
【００５１】
本発明では、同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の各内部導体ＩＬとプローブＰ１〜Ｐ４は、可動アーム３１，３２のＸ−Ｙ方向への移動に追随して変形可能な電気的中継手段５０を用いる。ここで、変形可能とは、柔軟性を有していることはもとより、弾性復元力（いわゆるバネ弾性）を有していることの双方が含まれる。
【００５２】
この実施形態では、上記電気的中継手段５０として、例えばリン青銅からなる板バネ５１を用いる。板バネ５１は、図４（ａ），（ｂ）に示すように、少なくとも一部に湾曲部５１ａを含み、ケーブル支持基板３３とプローブ支持部３１ａ，３２ａとの間隔よりも長い長さを有する。
【００５３】
これによって、板バネ５１の変形可能な範囲内で、可動アーム３１，３２の離間距離が広げられ、被測定試料ＤＵＴの両端子間ピッチの変化に対応することができる。なお、板バネ５１の同軸ケーブルＣの内部導体ＩＬおよびプローブＰへの接続には、ハンダ付け，溶接，かしめ等が適用されてよい。
【００５４】
板バネ５１に代えて、例えばアルミニウム等の金属材からなるリボン箔が用いられてもよい。また、電気配線として一般に用いられている通常のリード線も使用可能である。
【００５５】
なお、電気的中継手段５０の断線や接続部のはずれ等を防止するうえで、可動アーム３１，３２との間に、図示しないが、それらの離間距離を所定範囲内に制限する強靱なワイヤ等を掛け渡すことが好ましい。
【００５６】
また、一方の可動アームと他方の可動アームとに、それぞれ電流プローブと電圧プローブとを支持させることを前提として、場合によっては、それらの高電位側と低電位側とを入れ替えてもよく、このような態様も本発明に含まれる。
【符号の説明】
【００５７】
１  測定信号源
２  電圧検出手段（電圧計）
３  電流検出手段（電流計）
５  リード線（導通手段）
１０  制御部
２０  測定部
３１，３２  可動アーム
３１ａ，３２ａ  プローブ保持部
３３  ケーブル支持基板
３３ａ  接続パターン
４１，４２  移動機構
５０  電気的中継手段
５１  板バネ
５１ａ  湾曲部
Ａ  被検査回路基板
Ｐ１，Ｐ２  電流プローブ
Ｐ３，Ｐ４  電圧プローブ
Ｃ１〜Ｃ４  同軸ケーブル
ＩＬ  内部導体
Ｓ  外部導体（シールド被覆線）
ＦＣ  帰還制御回路
ＤＵＴ  被測定試料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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