(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージ本体の下面側に、外部より作用する移動荷重の荷重移動方向に沿って延びる流路形成溝を、荷重移動方向と直交する方向に複数配列して設けると共に、上記ステージ本体の上面と該各流路形成溝の天井面との間に上下方向に貫通する複数の真空吸着孔を穿設し、更に、上記ステージ本体の下面側に、上記各流路形成溝を連通させるための連絡流路形成溝を設け、上記各流路形成溝と連絡流路形成溝の下部を封止板により閉塞させて、上記各流路形成溝内を上記各真空吸着孔と連通する流路として形成させるようにすると共に、上記連絡流路形成溝内を上記各流路と連通する連絡流路として形成させるようにし、且つ上記ステージ本体に、上記流路又は連絡流路のいずれかを外部と連通させるための引き口を備えてなり、上記流路形成溝及び連絡流路形成溝の側壁面の上下方向の途中位置に段差部を設けて、該流路形成溝及び連絡流路形成溝を、その上部に比して上記ステージ本体の下面における開口形状が一回り大きくなるようにすると共に、上記封止板を、上記流路形成溝及び連絡流路形成溝の上記ステージ本体の下面における開口形状と対応する平面形状とする構成を有することを特徴とする真空吸着ステージ。
【請求項２】
連絡流路形成溝を、隣接する流路形成溝の間に配設すると共に、１つの流路形成溝を挟んで隣接する連絡流路形成溝同士を、荷重移動方向に位置をずらして設けるようにした請求項１記載の真空吸着ステージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板状の版や印刷対象、及び、その他各種の吸着保持対象物を真空吸着して保持する真空吸着ステージに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、金属蒸着膜のエッチング等による微細加工に代えて、導電性ペーストを印刷インクとして用いた印刷技術、たとえば、凹版オフセット印刷技術を用いて基板上に液晶ディスプレイ等の画像表示素子の電子回路を印刷して形成する手法が提案されてきている。
【０００３】
上記画像表示素子の電子回路を基板に形成する場合は、電極となる線幅として、たとえば、１０μｍ程度と微細なものが要求されることがある。そのため、上記基板上に電子回路を印刷により形成する場合は、紙等に文字や画像を印刷する通常のオフセット印刷に比して高い印刷精度が要求される。
【０００４】
一般に、オフセット印刷では、版と印刷対象は同じ形状としたほうが、オフセット印刷による転写（受理）と再転写（印刷）による印刷パターンの再現性が高いため、前述したような基板へ電子回路のような精密な印刷パターンの印刷を行う場合は、平板状の版を用いることが有利に働く。
【０００５】
そこで、本出願人は、上記基板へ電子回路を印刷する場合のような精密な印刷パターンの印刷を高精度で行うための版として平板状の版を用いるために、上記平板状の版と、平板状の基板の如き印刷対象を、架台上に設置したリニアガイドに沿って走行可能としたアライメント機構付きの個別の移動テーブル上に載置して保持させることができるようにし、且つ上記リニアガイドの長手方向所要個所の上方にリニアガイドの長手方向と直交する水平方向に延びるブランケットロールを備えてなるオフセット印刷装置を構成して、上記リニアガイドに沿う各移動テーブルの走行に伴って、該各移動テーブル上に保持した版と印刷対象が上記ブランケットロールの直下位置を順次通過するときに、上記版及び印刷対象に、転動させた上記ブランケットロールを上方より所要の印圧で順次接触させることで、版からブランケットロールへ転写（受理）処理と、該ブランケットロールから印刷対象への再転写（印刷）処理を順次行わせてオフセット印刷を実施することを計画している。
【０００６】
ところで、平板状のワーク等の保持対象物を保持してその位置を固定する手段の１つとしては、真空吸着ステージが広く一般的に用いられている。
【０００７】
この種の真空吸着ステージは、孔（穴）吸着形式ものと、多孔質吸着形式のものに大別され、このうち、孔吸着形式の真空吸着ステージは、図５にその一例の概略を示す如く、ステージ本体１の吸着面となる上面に、たとえば、直径３〜５ｍｍ程度の細い真空吸着孔２を複数開口させて設け、且つ上記複数の真空吸着孔２の下端側を引き口３に連通させるための流路４ａ，４ｂを備えてなる構成としてある。これにより、上記ステージ本体１の上面に平板状のワーク等の保持対象物（被吸着物）５を載置した状態で、上記引き口３に接続した図示しないポンプ等の真空源により上記流路４ａ，４ｂを介して上記複数の真空吸着孔２を真空引きすることにより、該各真空吸着孔２の内部を減圧して、外気との圧力差により上記保持対象物５を上記ステージ本体１の上面に吸着して保持、固定できるようにしてある。
【０００８】
なお、ドリル等の一般的な工具を用いて直径３〜５ｍｍ程度の細い孔（穴）の穴あけ加工を行う場合、穴の深さが深くなると加工が難しくなるため、合理的には、加工する細孔の深さは２０ｍｍ程度までに制限される。
【０００９】
そのため、従来の真空吸着ステージでは、通常、図５に示すように、上記ステージ本体１を、上部の薄板状の細穴形成用の部材（チャック平板）１ａと、下部の流路形成用の部材（ステージベース）１ｂとからなる２分割構造とするようにしてあり、上記薄板状としてある細穴形成用部材１ａに、予め上面から下面まで上下方向に貫通させる穴あけ加工を行うことで上記複数の細い真空吸着孔２を形成する一方、上記流路形成用部材１ｂには、その上面側に凹部６を設けると共に、下面側に上記引き口３と上記凹部６とを連通させる流路形成孔７を予め形成しておき、該流路形成用部材１ｂの上に、上記細穴形成用部材１ａを重ねて両者を固定することで、上記流路形成用部材１ｂに設けた凹部６の底面及び側面と、上記細穴形成用部材１ａの下面とで囲まれる空間内に、上記細穴形成用部材１ａに設けた多数の真空吸着孔２の下端側に連通する流路４ａを形成させると共に、該流路４ａを、上記流路形成用部材１ｂの流路形成孔７内に形成される流路４ｂにより上記引き口３に連通させた構成としてある（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００９−１１７５５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところが、上記図５に示した従来の真空吸着ステージは、本出願人が計画している前記した如き平板状の版と印刷対象を用いるオフセット印刷における移動テーブル上に装備して上記平板状の版や印刷対象を保持させ、この状態で、画像表示素子の電子回路を基板へ印刷する場合のような精密な印刷パターンのオフセット印刷処理を実施すると、印刷位置の精度の低下を招くというのが実状である。
【００１２】
すなわち、上記オフセット印刷を行う場合は、上記平板状の版及び印刷対象と、ブランケットロールとを、版及び印刷対象を保持した移動テーブルのガイドレールに沿う走行方向、すなわち、上記ブランケットロールのロール軸と直交する方向に相対的に移動させた状態で、上記平板状の版及び印刷対象に対し、ブランケットロールを上方から所要の印圧で接触させて転写（受理）処理と再転写（印刷）処理を行なうようにするため、上記平板状の版や印刷対象を保持した真空吸着ステージには、上記ブランケットロールより版や印刷対象に作用させる印圧が、移動荷重として作用するようになる。
【００１３】
しかも、印刷パターンが精密になると、オフセット印刷処理を実施する際に必要とされる印圧が大きくなる傾向がある。
【００１４】
したがって、上記オフセット印刷処理の実施時には、上記版や印刷対象を保持した真空吸着ステージに大きな移動荷重が作用することになるが、この際、図５に示した従来の真空吸着ステージでは、ステージ本体１を薄板状の細穴形成用部材１ａと流路形成用部材１ｂを上下に重ねた構造としてあることに起因して、該各部材１ａと１ｂ同士のずれを完全には防止することができない。しかも、上記細穴形成用部材１ａと流路形成用部材１ｂとの間の気密性を得るために間に液体パッキン等の樹脂が介装されている場合は、該樹脂が変形することによっても該各部材１ａと１ｂ同士にずれが生じてしまう。そのため、従来の真空吸着ステージでは、剛性を高めることが困難なため、上記のような大きな移動荷重が作用する際に剛性が不十分になって撓みが生じると、上記細穴形成用部材１ａの上面に保持した版や印刷対象に位置ずれが生じて、印刷の歪みやにじみとなって現れてしまう。
【００１５】
更に、上記真空吸着ステージにおける流路形成用部材１ｂに設けた凹部６が、上記ブランケットロールのロール軸方向に平行な方向、すなわち、該ブランケットロールより版や印刷対象を介して真空吸着ステージに作用する移動荷重の移動方向に直交する方向に延びた形状となっている場合は、上記ブランケットロールより版や印刷対象を介して真空吸着ステージに大きな移動荷重が作用するときに、上記細穴形成用部材１ａにおける上記流路形成用部材１ｂの凹部６の真上に位置する部分が撓む虞があり、この流路形成用部材１ｂの部分的な撓みによっても、該細穴形成用部材１ａの上面に保持されている版や印刷対処に位置ずれが生じてしまう。
【００１６】
そこで、本発明は、平板状の版や印刷対象、その他各種の保持対象物を真空吸着保持した状態で大きな移動荷重が作用する場合であっても、上記保持対象物の位置ずれを防止することができる真空吸着ステージを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は、上記課題を解決するために、請求項１に対応して、ステージ本体の下面側に、外部より作用する移動荷重の荷重移動方向に沿って延びる流路形成溝を、荷重移動方向と直交する方向に複数配列して設けると共に、上記ステージ本体の上面と該各流路形成溝の天井面との間に上下方向に貫通する複数の真空吸着孔を穿設し、更に、上記ステージ本体の下面側に、上記各流路形成溝を連通させるための連絡流路形成溝を設け、上記各流路形成溝と連絡流路形成溝の下部を封止板により閉塞させて、上記各流路形成溝内を上記各真空吸着孔と連通する流路として形成させるようにすると共に、上記連絡流路形成溝内を上記各流路と連通する連絡流路として形成させるようにし、且つ上記ステージ本体に、上記流路又は連絡流路のいずれかを外部と連通させるための引き口を備えてなり、上記流路形成溝及び連絡流路形成溝の側壁面の上下方向の途中位置に段差部を設けて、該流路形成溝及び連絡流路形成溝を、その上部に比してステージ本体の下面における開口形状が一回り大きくなるようにすると共に、上記封止板を、上記流路形成溝及び連絡流路形成溝のステージ本体の下面における開口形状と対応する平面形状とする構成とする。
【００１８】
又、上記構成において、連絡流路形成溝を、隣接する流路形成溝の間に配設すると共に、１つの流路形成溝を挟んで隣接する連絡流路形成溝同士を、荷重移動方向に位置をずらして設けるようにした構成とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の真空吸着ステージによれば、以下のような優れた効果を発揮する。
（１）ステージ本体の下面側に、外部より作用する移動荷重の荷重移動方向に沿って延びる流路形成溝を、荷重移動方向と直交する方向に複数配列して設けると共に、上記ステージ本体の上面と該各流路形成溝の天井面との間に上下方向に貫通する複数の真空吸着孔を穿設し、更に、上記ステージ本体の下面側に、上記各流路形成溝を連通させるための連絡流路形成溝を設け、上記各流路形成溝と連絡流路形成溝の下部を封止板により閉塞させて、上記各流路形成溝内を上記各真空吸着孔と連通する流路として形成させるようにすると共に、上記連絡流路形成溝内を上記各流路と連通する連絡流路として形成させるようにし、且つ上記ステージ本体に、上記流路又は連絡流路のいずれかを外部と連通させるための引き口を備えてなり、上記流路形成溝及び連絡流路形成溝の側壁面の上下方向の途中位置に段差部を設けて、該流路形成溝及び連絡流路形成溝を、その上部に比してステージ本体の下面における開口形状が一回り大きくなるようにすると共に、上記封止板を、上記流路形成溝及び連絡流路形成溝のステージ本体の下面における開口形状と対応する平面形状とする構成としてあるので、ステージ本体の上面に保持対象物を載置した状態で、引き口より流路及び連絡流路を介して各真空吸着孔を真空引きすることにより、該各真空吸着孔の内部を減圧して、外気との圧力差により上記保持対象物を上記ステージ本体の上面に吸着して保持、固定することができる。
（２）又、上記ステージ本体が一体物としてあると共に、該ステージ本体における隣接する流路形成溝の間には、ステージ本体の上面から下面まで中実となる部分を荷重移動方向に沿って形成してなる構造とすることができるため、上記外部より作用する移動荷重に対する剛性を高めて変形を防止することができ、よって、上記移動荷重が作用する際にも、ステージ本体の上面に吸着して保持した保持対象物の位置ずれを防止することができる。（３）したがって、本発明の真空吸着ステージを、オフセット印刷装置におけるオフセット印刷処理時にブランケットロールより移動荷重が作用する平板状の版や、基板等の平板状の印刷対象を保持する部分に適用することにより、オフセット印刷処理時にブランケットロールより版や印刷対象に大きな移動荷重が作用しても、該版や印刷対象の位置ずれを防止することができるようになるため、版よりブランケットロールを介して印刷対象へオフセット印刷する印刷パターンに歪みやにじみが生じる虞を抑制することが可能になることから、画像表示素子の電子回路を基板へ印刷する場合のような精密な印刷パターンのオフセット印刷処理を高精度に実施することが可能になる。
（４）又、上記ステージ本体の下面側に流路形成溝を設ける際に、該流路形成溝の天井面の位置が、ステージ本体の上面より２０ｍｍ程度下方となるようにすれば、該ステージ本体の上面に開口させる各真空吸着孔を直径３〜５ｍｍ程度として設けるための穴あけ加工を、ドリル等の一般的な工具を用いて加工する場合の合理的な深さで実施することが可能になる。
（５）更に、流路形成溝及び連絡流路形成溝の側壁面の上下方向の途中位置に段差部を設けて、該流路形成溝及び連絡流路形成溝を、その上部に比してステージ本体の下面における開口形状が一回り大きくなるようにすると共に、封止板を、流路形成溝及び連絡流路形成溝のステージ本体の下面における開口形状と対応する平面形状を有するものとした構成としてあるので、上記流路形成溝及び連絡流路形成溝のステージ本体の下面における開口より上記封止板を挿入して上記段差部の下側に係止させることができるため、上記流路形成溝と連絡流路形成溝の下部を封止板により閉塞させる作業を容易に且つ確実に実施することができる。しかも、上記封止板の取付位置のずれを防止できるため、上記各流路形成溝内に形成させる流路と、上記連絡流路形成溝内も形成させる連絡流路に、設計した流路断面積を確実に確保させることが可能になる。
（６）連絡流路形成溝を、隣接する流路形成溝の間に配設すると共に、１つの流路形成溝を挟んで隣接する連絡流路形成溝同士を、荷重移動方向に位置をずらして設けるようにした構成とすることにより、ステージ本体における上記連絡流路形成溝の上方に位置して厚み寸法の減少している部分が、荷重移動方向と直交する方向に一列に配置されることがなくなるため、外部より移動荷重が作用する際に、上記ステージ本体における上記連絡流路形成溝の上方に位置する部分が撓むように変形する虞を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の真空吸着ステージの実施の一形態を示すもので、概略切断正面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ方向矢視図である。
【図３】図１の真空吸着ステージの概略底面図である。
【図４】本発明の実施の他の形態を示す図２に対応する図である。
【図５】従来提案されている孔吸着形式の真空吸着ステージの一例の概略を示す切断側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明を実施するための形態を図面を参照して説明する。
【００２３】
図１乃至図３は本発明の真空吸着ステージの実施の一形態として、平板状の版及び印刷対象を用いるオフセット印刷装置における上記版や印刷対象の保持部分に適用する場合の例を示すもので、以下のような構成としてある。
【００２４】
ここで、先ず、上記オフセット印刷装置について概説すると、該オフセット印刷装置は、図１に示す如く、架台８上にリニアガイド９を設けると共に、該リニアガイド９に、版１０と印刷対象１１を個別に保持させるためのアライメント機構（図示せず）付きの移動テーブル１２ａ，１２ｂを、それぞれ走行可能に取り付ける。
【００２５】
上記各移動テーブル１２ａ，１２ｂ上には、本発明の真空吸着ステージ１３をそれぞれ設けて、その上に版１０及び印刷対象１１を載置した状態で真空吸着により保持、固定できるようにする。
【００２６】
更に、上記リニアガイド９に沿う上記移動テーブル１２ａ，１２ｂの走行位置の上方となる個所に、上記リニアガイド９の長手方向と直交する水平方向に延びるブランケットロール１４を備えた構成としてある。
【００２７】
これにより、平板状の版１０及び基板のような平板状の印刷対象１１をそれぞれ対応する移動テーブル１２ａ，１２ｂ上に本発明の真空吸着ステージ１３を介して保持、固定し、更に、上記版１０に設けてある印刷パターンに予め図示しないインキング装置によるインキングを施した状態で、上記各移動テーブル１２ａ，１２ｂのリニアガイド９に沿う走行に伴って、該各移動テーブル１２ａ，１２ｂ上に保持してある上記版１０と印刷対象１１を上記ブランケットロール１４の直下位置を順次通過させるときに、上記版１０及び印刷対象１１に、転動させた上記ブランケットロール１４を、上方より印刷パターンの精密さに応じて印刷処理に必要とされる所定の印圧で順次接触させることにより、上記版１０からブランケットロール１４の表面へのインクの転写（受理）処理と、該ブランケットロール１４の表面から印刷対象１１へのインクの再転写（印刷）処理を順次行わせて、上記版１０の印刷パターンの印刷対象１１へのオフセット印刷処理を実施できるようにしてある。
【００２８】
上記オフセット印刷装置の移動テーブル１２ａ，１２ｂ上に装着する本発明の真空吸着ステージ１３は、図１乃至図３に示す如き構成とする。
【００２９】
すなわち、一枚板状のステージ本体１５の下面側に、上記オフセット印刷処理時に上記ブランケットロール１４より版１０又は印刷対象１１を介して作用する移動荷重の移動方向、すなわち、上記ブランケットロール１４のロール軸１４ａの方向と直交する水平方向（図２及び図３に矢印ｘで示す、以下、荷重移動方向ｘと云う）に沿って延びる流路形成溝１６を、該荷重移動方向ｘと直交する方向に所要間隔で複数配列して設ける。
【００３０】
上記ステージ本体１５の上部における上記各流路形成溝１６の上方に位置する部分には、該ステージ本体１５の上面から上記各流路形成溝１６の天井面（上端面）まで上下方向に貫通する真空吸着孔１７を多数穿設する。
【００３１】
更に、上記ステージ本体１５の下面側における上記各流路形成溝１６のうちの荷重移動方向ｘと直交する方向に隣接する流路形成溝１６同士の間に、荷重移動方向ｘと直交する方向に延びて隣接する各流路形成溝１６同士を連通させる連絡流路形成溝１８を設ける。なお、１つの流路形成溝１６を挟んで荷重移動方向ｘと直交する方向に隣接する連絡流路形成溝１８同士は、互いに荷重移動方向ｘに位置をずらすことで、上記ステージ本体１５の下面側に設ける上記各連絡流路形成溝１８が、荷重移動方向ｘと直交する方向に一列に並ばないようにする。
【００３２】
上記各流路形成溝１６及び各連絡流路形成溝１８には、その側壁面における上下方向の途中位置に段差部１９及び２０をそれぞれ設けて、該各流路形成溝１６及び各連絡流路形成溝１８の上部の平面形状に比して、各流路形成溝１６及び各連絡流路形成溝１８のステージ本体１５の下面における開口形状が一回り大きくなるようにする。
【００３３】
上記各流路形成溝１６における上記段差部１９の下側には、該各流路形成溝１６のステージ本体１５の下面における開口形状に対応する細長い矩形板状の流路形成用封止板２１を、ステージ本体１５の下面側からそれぞれ挿入して、該各封止板２１の外周縁部の上面を、上記段差部１９の下側に接触させて配置とする共に、該各封止板２１の外周部と、その周りに位置する対応する流路形成溝１６の側壁面との間を、シーリング材やコーキング材のような封止材２２で密閉させる。これにより、上記各流路形成溝１６の天井面及び側壁面と、対応する流路形成用封止板２１の上面で囲まれる内側に、上記各流路形成溝１６ごとに対応させて設けた複数の真空吸着孔１７の下端部に連通する流路２３をそれぞれ形成できるようにする。
【００３４】
更に、上記連絡流路形成溝１８における上記段差部２０の下側には、該各連絡流路形成溝１８のステージ本体１５の下面における開口形状に対応する幅寸法で、且つ上記隣接する各流路形成溝１６に取り付けてある流路形成用封止板２１同士の隙間に対応する長さ寸法を備えた連絡流路形成用封止板２４を、ステージ本体１５の下面側からそれぞれ挿入して、該各封止板２１の幅方向両端縁部の上面を、上記段差部２０の下側に接触させて配置とする共に、該各封止板２１の外周部と、その周りに位置する対応する連絡流路形成溝１８の側壁面、及び、上記流路形成用封止板２１との間を、上記封止材２２と同様の封止材２２で密閉させる。これにより、上記各連絡流路形成溝１８の天井面及び側壁面と、対応する連絡流路形成用封止板２４の上面で囲まれる内側に、連絡流路２５をそれぞれ形成して、該各連絡流路２５により、上記各流路形成溝１６に対応して形成された上記各流路２３の荷重移動方向ｘと直交する方向に隣接するもの同士を連通させることができるようにする。
【００３５】
更に又、上記ステージ本体１５の所要個所、たとえば、側部に、上記各流路２３又は各連絡流路２５の所要個所を、外部に連通させるための引き口２６を設けた構成としてある。なお、図２及び図３では、荷重移動方向ｘと直交する方向に配列された流路２３のうちの４つの流路２３に連通する引き口２６を設けた場合が示してある。
【００３６】
なお、図２及び図３では、図示する便宜上、ブランケットロール１４の記載を省略して、ロール軸１４ａの方向のみが示してある。又、図３では、図示する便宜上、封止材２２の記載を省略してある。
【００３７】
以上の構成としてある本発明の真空吸着ステージ１３を使用する場合は、上記移動テーブル１２ａ，１２ｂ上に設けてある本発明の真空吸着ステージ１３の上側に、保持対象物となる上記オフセット印刷処理で用いる版１０又は印刷対象１１を載置した状態で、上記引き口２６に接続した図示しないポンプ等の真空源により上記各流路２３及び各連絡流路２５を介して上記各真空吸着孔１７を真空引きすることにより、該各真空吸着孔１７の内部を減圧して、外気との圧力差により上記版１０や印刷対象１１を上記ステージ本体１５の上面に吸着して保持、固定する。
【００３８】
その後、上記移動テーブル１２ａ，１２ｂをリニアガイド９に沿って走行させながら上記版１０及び印刷対象１１に、ブランケットロール１４を上方より所定の印圧で順次接触させてオフセット印刷処理を実施すると、本発明の真空吸着ステージ１３には、上記ブランケットロール１４より版１０や印刷対象１１に作用させる印刷が、荷重移動方向ｘに沿って荷重の作用個所が変位する移動荷重として作用するようになるが、本発明の真空吸着ステージ１３では、ステージ本体１５を一枚板状の一体物としてあると共に、該ステージ本体１５の下面側に設けた各流路形成溝１６の隣接するもの同士の間の個所では、ステージ本体１５の上面から下面まで中実となる部分が荷重移動方向ｘに沿って延びるように形成される構造としてあり、しかも、隣接する各流路形成溝１６同士を繋ぐための連絡流路形成溝１８は、荷重移動方向ｘと直交する方向に一列に並ばないように配置した構成とすることで、上記ステージ本体１５の上記荷重移動方向ｘに沿う方向の撓みに対する剛性が高めてあることから、上記移動荷重が作用する際の本発明の真空吸着ステージ１３の変形が十分に抑えられる。
【００３９】
たとえば、上記ステージ本体１５の厚み寸法を４０ｍｍ程度とすれば、８．３ｋｇ／ｍｍの印圧による移動荷重を作用させても、本発明の真空吸着ステージ１３の変形は印刷品質に影響が生じない範囲に十分抑えられる。
【００４０】
更に、ステージ本体１５の下面側における隣接する流路形成溝１６の間に設ける連絡流路形成溝１８は、１つの流路形成溝１６を挟んで隣接する連絡流路形成溝１８同士の位置を、荷重移動方向ｘに位置をずらしてあるため、ステージ本体１５における上記各連絡流路形成溝１８の上方に位置して厚み寸法の減少している部分が、荷重移動方向と直交する方向に一列に配置されることがないため、ブランケットロール１４より移動荷重が作用する際に、上記ステージ本体１５における上記各連絡流路形成溝１８の上方に位置する部分が撓むように変形する虞を防止することができる。
【００４１】
したがって、本発明の真空吸着ステージ１３の上側に保持した版１０や印刷対象１１の位置ずれを防止することができるため、版１０よりブランケットロール１４を介して印刷対象１１へオフセット印刷される印刷パターンに歪みやにじみが生じる虞が抑制される。
【００４２】
このように、本発明の真空吸着ステージによれば、ブランケットロールより版１０や印刷対象１１に作用させる印圧が大きな移動荷重として作用しても、変形が生じる虞を防止できて、吸着保持した保持対象物である上記版１０や印刷対象１１の位置ずれを抑えることができるため、画像表示素子の電子回路を基板へ印刷する場合のような精密な印刷パターンのオフセット印刷処理を高精度に実施することができる。
【００４３】
又、上記ステージ本体１５の下面側に各流路形成溝１６を形成する際に、該各流路形成溝１６の天井部と、ステージ本体１５の上面と厚みが２０ｍｍ程度となるようにすれば、該ステージ本体１５の上面に開口する各真空吸着孔１７を直径３〜５ｍｍ程度の細径として設けるための穴あけ加工を、ドリル等の一般的な工具を用いて加工する場合の合理的な深さで実施することが可能になる。
【００４４】
上記においては、ステージ本体１５の下面側に設けた各流路形成溝１６同士を繋ぐための連絡流路形成溝１８を、隣接する流路形成溝１６同士の間に設けるものとして示したが、ステージ本体１５の荷重移動方向ｘの寸法が、オフセット印刷の印刷領域、すなわち、版１０における印刷パターンの形成領域の上記荷重移動方向に沿う方向の寸法に対して余裕がある場合は、たとえば、図４に示すように、上記各流路形成溝１６同士を繋ぐための連絡流路形成溝１８を、ブランケットロール１４（図１参照）からの印圧が作用しなくなるステージ本体１５における上記印刷領域よりも外側となる個所に設けるようにしてもよい。この場合は、上記連絡流路形成溝１８を、荷重移動方向ｘと直交する方向に延びる形状としてもよい。
【００４５】
なお、図４に示した連絡流路形成溝１８についても、図１及び図３に示したものと同様に、その下部を、該連絡流路形成溝１８のステージ本体１５の下面における開口形状に対応する平面形状を備えた図示しない連絡流路形成用封止板と封止材で密閉させて、該連絡流路形成溝１８の天井面及び側壁面と、上記図示しない連絡流路形成用封止板の上面で囲まれる内側に、上記各流路形成溝１６に対応して形成される各流路２３を連通させるための連絡流路２５が形成できるようにしてあるものとする。又、図４では引き口２６を上記連絡流路２５の所要位置、たとえば、中間部に接続して設けた構成としてある。
【００４６】
又、本発明は上記実施の形態のみに限定されるものではなく、図示した流路形成溝１６の幅、荷重移動方向ｘと直交する方向に並べて設ける流路形成溝１６の配列間隔、真空吸着孔１７の径、真空吸着孔１７の数や配列間隔は、図示するための便宜上の寸法や数であり、ステージ本体１５の平面サイズに応じて適宜変更してよい。又、各流路形成溝１６に対応して形成される流路２３を連通させて、引き口２６より各真空吸着孔１７を真空引きすることができれば、連絡流路形成溝１８の配置や数は、適宜変更してもよい。
【００４７】
流路形成用封止板２１と連絡流路形成用封止板２４は、封止材２２と共に対応する流路形成溝１６や連絡流路形成溝１８の下部を閉塞させて、流路形成溝１６や連絡流路形成溝１８の内側に流路２３や連絡流路２５を形成させることができるようにしてあれば、各封止板２１，２４を一体構造としたり、流路形成溝１６に連絡流路形成溝１８が交わる部分で上下に重ねて配置できるようにする等、形状や配置は適宜変更してもよい。
【００４８】
引き口２６は、各流路２３又は連絡流路２５のいずれかに連通するようにしてあれば、数及び配置を適宜変更してもよい。
【００４９】
移動荷重が作用する保持対象物を真空吸着して保持、固定することが必要とされる真空吸着ステージであれば、印刷装置以外のいかなる機械、装置の真空吸着ステージとして適用してもよい。
【００５０】
その他本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得ることは勿論である。
【符号の説明】
【００５１】
１５  ステージ本体
１６  流路形成溝
１７  真空吸着孔
１８  連絡流路形成溝
１９  段差部
２０  段差部
２１  流路形成用封止板（封止板）
２３  流路
２４  連絡流路形成用封止板（封止板）
２５  連絡流路
２６  引き口
ｘ  荷重移動方向
【図１】
0005521563.tif 000002
【図２】
0005521563.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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