(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々全体として方形状をなす一対の免震ユニットと、これら免震ユニット同士を着脱自在に連結する連結部とを備えた分割型免震装置であって、
上記免震ユニットは、下盤と、この下盤上に配置された移動盤と、上記移動盤上に配置された上盤とを有し、上記上盤は、方形の天板および底板が一対の上記免震ユニットの上記上盤同士が互いに対向する当該上盤の対向辺に配置された連結補強板および当該連結補強板と直交する方向に配置された複数枚の鉛直補強板を介して接合一体化された２重板構造に形成され、上記下盤に水平方向のＸ方向に延在する第１のレールが設けられ、上記移動盤に当該第１のレール上を転動する第１のローラが設けられるとともに、上記上盤の上記底板に水平方向のＹ方向に延在する第２のレールが設けられ、上記移動盤に当該第２のレール上を転動する第２のローラが設けられてなり、
上記連結部は、一対の上記免震ユニットの上記移動盤同士が互いに対向する上記移動盤の対向辺の間に配設されて両端部が各々の上記移動盤の上記対向辺に着脱自在に連結される移動盤連結部材と、一対の上記免震ユニットの上記上盤同士が互いに対向する上記上盤の上記対向辺の間に配設されて両端部が各々の上記上盤の上記対向辺に着脱自在に連結される上盤連結部材とを有し、かつ上記上盤連結部材は、上記上盤の底板間に沿う平板部と、この平板部の周縁に立設された側壁とを有する有底角筒状に形成され、上記平板部の下面が上記移動盤連結部材の上面よりも上方に位置するように配置されているとともに、上記側壁を上記上盤の上記連結補強板に当接させて当該側壁から上記連結補強板に締め込んだボルトによって着脱自在に連結されていることを特徴とする分割型免震装置。
【請求項２】
上記連結補強板に当接する上記側壁の上端部には、上記上盤の天板上に屈曲された鍔部が形成され、上記鍔板がボルトによって上記上盤の天板に着脱自在に連結されていることを特徴とする請求項１に記載の分割型免震装置。
【請求項３】
上記下盤と移動盤との間には、上記Ｘ方向の相対変位を吸収するダンパが上記第１のレールと平行に設けられ、かつ上記移動盤と上盤との間には、上記Ｙ方向の相対変位を吸収するダンパが上記第２のレールと平行に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の分割型免震装置。
【請求項４】
床面と既設機器類との間に、請求項１〜３のいずれかに記載の分割型免震装置を介装するための既設機器類の免震化工法であって、
上記既設機器類を設置位置において上記免震ユニットを挿入可能な高さにジャッキアップし、次いで上記床面と上記既設機器類との間に一方の上記免震ユニットを挿入した後に、当該免震ユニットの上盤の上記対向辺に上記上盤連結部材の一端部を連結し、かつ上記移動盤の上記対向辺に上記移動盤連結部材の一端部を連結し、次いで上記一方の免震ユニット、上記上盤連結部材および移動盤連結部材を上記床面と上記既設機器類との間に送り込んだ後に、上記上盤連結部材の他端部を他方の上記免震ユニットの上盤の上記対向辺に連結し、かつ上記移動盤連結部材の他端部を他方の上記免震ユニットの上記移動盤の上記対向辺に連結することにより分割型免震装置を一体化し、次いで当該分割型免震装置の全体を上記床面と上記既設機器類との間に送り込んだ後に、上記下盤を上記床面に固定するとともに、上記ジャッキアップを解除して上記既設機器類を上記上盤に取り付けることを特徴とする分割型免震装置を用いた既設機器類の免震化工法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、既設の機器類を免震化する際に用いて好適な分割型免震装置および当該免震装置を用いた既設機器類の免震化工法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、床面上に設置された既設の機器類を免震化させる場合には、上記床面と機器類の下面との間に、新たに免震装置を介装させることによって行われている。この際に、上記機器類の周囲に十分な作業スペースが確保できる場合には、当該機器類を設置位置においてジャッキアップし、これによって形成された隙間に上記免震装置を送り込んで、床面と上記機器類とに取り付ければよい。
【０００３】
ところが、例えば半導体製造設備においては、図８（ａ）に示すように、複数のＣＶＤや拡散装置等の既設の機器類が、通路（作業スペース）に沿って並列的かつ連続的に配置されている。そして、通常上記作業スペースの幅寸法は、上記機器類の奥行き寸法よりも狭いために、当該作業スペース側から新たな免震装置を介装することが困難である。
【０００４】
このため、上記半導体製造設備において、既設の機器類の免震化を図る場合には、図８（ｂ）に示すように、一旦既設の機器類を移動させ、これによって空いたスペースに跨るようにして作業スペースに免震装置を仮置きした後に、上記免震装置を所定位置に設置して、再び上記機器類を免震装置上に取り付ける工法が採られている。
【０００５】
しかしながら、上記従来の既設機器類の免震化工法においては、既設の機器類を移動させる必要があるために、特に半導体製造設備のような機器類の設置台数が多い施設においては、当該作業に大掛かりな準備作業が必要になるとともに、各々の機器類に接続されている配管や配線を取り外したり、再度接続したりする必要もあり、多大の手間を要するという問題点があった。
【０００６】
そこで、下記特許文献１においては、上記用途に好適な分割型の免震装置が提案されている。
この分割型免震装置は、免震装置を２つの免震ユニットに分割し、これら免震ユニットを離間させて配置することにより、上記免震ユニット間に空間部を形成するとともに、この空間を間に挟んで一直線状に位置する上記免震ユニットの側面同士を、連結材によって着脱自在に連結したものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−８４９１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記構成からなる分割型免震装置によれば、一方の免震ユニットを先行して床面と既設の機器類との間に送り込み、次いでこの免震ユニットの側面に連結板の一端部を連結して、当該連結板と共に上記免震ユニットを更に奥まで送り込んだ後に、機器類から作業スペース側に延出している上記連結板の他端部を、他方の免震ユニットの側面に連結して一体化させ、最終的に他方の免震ユニットも機器類の下面に送り込むことにより、上記機器類を移動させることなく、当該分割型免震装置を挿入可能な高さまでジャッキアップすることのみによって免震化を図ることができるという利点がある。
【０００９】
しかしながら、上記分割型免震装置およびこれを用いた既設機器類の免震化工法にあっては、免震ユニット同士が、互いの側面間に架け渡された連結材によって連結されて一体化されており、互いの対向辺間に広い空間が形成されているために、分割型免震装置全体としての強度に劣るという問題点がある。
【００１０】
また、図８に示した半導体製造設備のように、多数の機器類がほぼ連続的に設置されている場合には、免震ユニットの側面同士を連結する連結材が、当該免震ユニットの側方に突出するために、隣接する機器類の下部に増設された分割型免震装置の免震ユニットと干渉し易くなるという問題点もある。
【００１１】
さらに、連結材は、両免震ユニットの側面間に跨る長さ寸法が必要となるために、上述した免震化工法を実施する場合には、作業スペースの幅寸法としても、上記連結材の長さ寸法を超える幅寸法が必要となるという制約がある。
【００１２】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、全体として高い強度が得られるとともに、狭い作業スペースであっても、既設の機器類を移動させることなく、ジャッキアップするのみで免震化工事を施工することが可能になる分割型免震装置およびこれを用いた既設機器類の免震化工法を提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、各々全体として方形状をなす一対の免震ユニットと、これら免震ユニット同士を着脱自在に連結する連結部とを備えた分割型免震装置であって、上記免震ユニットは、下盤と、この下盤上に配置された移動盤と、上記移動盤上に配置された上盤とを有し、上記上盤は、方形の天板および底板が一対の上記免震ユニットの上記上盤同士が互いに対向する当該上盤の対向辺に配置された連結補強板および当該連結補強板と直交する方向に配置された複数枚の鉛直補強板を介して接合一体化された２重板構造に形成され、上記下盤に水平方向のＸ方向に延在する第１のレールが設けられ、上記移動盤に当該第１のレール上を転動する第１のローラが設けられるとともに、上記上盤の上記底板に水平方向のＹ方向に延在する第２のレールが設けられ、上記移動盤に当該第２のレール上を転動する第２のローラが設けられてなり、上記連結部は、一対の上記免震ユニットの上記移動盤同士が互いに対向する上記移動盤の対向辺の間に配設されて両端部が各々の上記移動盤の上記対向辺に着脱自在に連結される移動盤連結部材と、一対の上記免震ユニットの上記上盤同士が互いに対向する上記上盤の上記対向辺の間に配設されて両端部が各々の上記上盤の上記対向辺に着脱自在に連結される上盤連結部材とを有し、かつ上記上盤連結部材は、上記上盤の底板間に沿う平板部と、この平板部の周縁に立設された側壁とを有する有底角筒状に形成され、上記平板部の下面が上記移動盤連結部材の上面よりも上方に位置するように配置されているとともに、上記側壁を上記上盤の上記連結補強板に当接させて当該側壁から上記連結補強板に締め込んだボルトによって着脱自在に連結されていることを特徴とするものである。
【００１４】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、上記連結補強板に当接する上記側壁の上端部には、上記上盤の天板上に屈曲された鍔部が形成され、上記鍔板がボルトによって上記上盤の天板に着脱自在に連結されていることを特徴とするものである。
【００１６】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の発明において、上記下盤と移動盤との間には、上記Ｘ方向の相対変位を吸収するダンパが上記第１のレールと平行に設けられ、かつ上記移動盤と上盤との間には、上記Ｙ方向の相対変位を吸収するダンパが上記第２のレールと平行に設けられていることを特徴とするものである。
【００１７】
次いで、請求項４に記載の発明は、床面と既設機器類との間に、請求項１〜３のいずれかに記載の分割型免震装置を介装するための既設機器類の免震化工法であって、上記既設機器類を設置位置において上記免震ユニットを挿入可能な高さにジャッキアップし、次いで上記床面と上記既設機器類との間に一方の上記免震ユニットを挿入した後に、当該免震ユニットの上盤の上記対向辺に上記上盤連結部材の一端部を連結し、かつ上記移動盤の上記対向辺に上記移動盤連結部材の一端部を連結し、次いで上記一方の免震ユニット、上記上盤連結部材および移動盤連結部材を上記床面と上記既設機器類との間に送り込んだ後に、上記上盤連結部材の他端部を他方の上記免震ユニットの上盤の上記対向辺に連結し、かつ上記移動盤連結部材の他端部を他方の上記免震ユニットの上記移動盤の上記対向辺に連結することにより分割型免震装置を一体化し、次いで当該分割型免震装置の全体を上記床面と上記既設機器類との間に送り込んだ後に、上記下盤を上記床面に固定するとともに、上記ジャッキアップを解除して上記既設機器類を上記上盤に取り付けることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１〜３に記載の分割型免震装置およびこれを用いた請求項４に記載の既設機器類の免震化工法においては、一対の免震ユニットの移動盤同士を、互いの対向辺間に配設した移動盤連結部材によって着脱自在に連結するとともに、上盤同士も、互いの対向辺間に配設した上盤連結部材によって着脱自在に連結している。
【００１９】
したがって、移動盤連結部材および上盤連結部材の長さ寸法が、両免震ユニットの離間寸法になるために、従来のものより短くなる。加えて、免震ユニットの上記対向辺のみを既設の機器類の下面から作業スペース側に突出させることにより、移動盤連結部材および上盤連結部材の連結作業を行うことができる。この結果、狭い作業スペースであっても、既設の機器類を移動させることなく、当該機器類をジャッキアップするのみで免震化を行うことができる。
【００２０】
しかも、免震ユニットの対向辺同士を、移動盤連結部材および上盤連結部材によって連結して一体化しているために、これら移動盤連結部材および上盤連結部材の寸法や形状を適宜のものに設計することができ、よって分割型免震装置全体としての強度も高めることが可能になる。加えて、半導体製造設備のように多数の機器類がほぼ連続的に設置されている場合にも、隣接する機器類の下部に増設された分割型免震装置同士が干渉することがなく、密に設置することもできる。この際に、隣接する分割型免震装置の上盤同士を連結すれば、上記隣接する分割型免震装置が干渉することを確実に防止して、より一層密接に設置することが可能になる。
【００２１】
そして、免震化後においては、地震発生時に床面がＸ−Ｙ方向に変位した際に、当該床面に固定された下盤に対して、移動盤連結部材によって連結された両免震ユニットの移動盤が一体的にＸ方向に変位するとともに、この移動盤に対して、上盤連結部材によって一体化された上盤がＹ方向に変位することにより、上記変位を吸収して、上盤上に設置された機器類に過度の揺れが生じることを防止することができる。
【００２２】
この際に、移動盤連結部材同士を連結しているために、対向する移動盤に免震対象物の偏荷重等に起因して異なる重量が作用する場合や、ダンパが偏配置されることにより大きなねじれ力の発生が予想される場合においても、両者間にねじれを生じることなく、安定した性能を発揮させることができる。
また、両免震ユニットの移動盤および移動盤連結部材と上盤および上盤連結部材とは、各々Ｙ方向に相対移動するものの、上盤連結部材と移動盤連結部材とを、それぞれ上盤連結部材の下面が移動盤連結部材の上面よりも上方に位置するように配置しているために、これら上盤連結部材と移動盤連結部材とが干渉することを防止することができる。
【００２３】
また、特に上記上盤を、方形の天板および底板が鉛直補強板を介して接合一体化された外観厚板状に形成するとともに、上盤連結部材を、上記底板間に沿う平板部と、側壁とを有する有底角筒状に形成しているために、全体として高い強度を得ることができる。この結果、上部に載置される機器類の重量が嵩んでも、安定的に支承することができる。
【００２４】
ところで、上盤が、下盤に対してＸ−Ｙ方向に相対変位自在な上記分割型免震装置においては、免震効果を高めるために、上記変位量を大きくとることが望ましいが、実際には、上記機器類に隣接して、免震化されていない機器類や床貫通配管等の床上固定物が配置されていることが多い。
【００２５】
このような場合には、請求項３に記載の発明のように、上記下盤と移動盤との間にＸ方向の相対変位を吸収するダンパを第１のレールと平行に設け、上記移動盤と上盤との間にＹ方向の相対変位を吸収するダンパを第２のレールと平行に設ければ、下盤に対する上盤の相対変位量を抑制することができる。この際に、特にダンパを、第１のレールあるいは第２のレールと平行に配置しているために、コンパクトなダンパによって、効率的にＸ−Ｙ方向の相対変位を抑制することができる。加えて、上記ダンパによって、地震に起因する振動を速やかに収束させることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係る分割型免震装置の一実施形態を示す平面図である。
【図２】図１の右側面図である。
【図３】図１の正面図である。
【図４】図２の連結部を拡大して示す組立図である。
【図５】図１の要部の分解斜視図である。
【図６】本発明に係る既設機器類の免震化工法を説明するための工程図である。
【図７】図６（ａ）において既設機器類をジャッキアップする状態を示すもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【図８】従来の既設機器類の免震化工法を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
図１〜図５は、本発明に係る分割型免震装置の一実施形態を示すものである。
これらの図に示すように、分割型免震装置は、各々全体として方形状をなす一対の免震ユニット１、２と、これら免震ユニット１、２の対向辺１ａ、２ａ同士を着脱自在に連結する連結部によって概略構成されたものである。
【００２８】
ここで、免震ユニット１、２は、各々床面上に設置される下盤３と、この下盤３上に配置された移動盤４と、この移動盤４に配置されて免震化する機器類（免震対象物）の下面に固定される上盤５と、Ｘ方向の水平ダンパ６およびＹ方向の水平ダンパ７とから構成されている。
まず、下盤３は、方形板状の部材であり、その上面の４角隅部に、各々２本ずつ（合計８本）の第１のレール８が水平方向におけるＸ方向（図１において左右方向）に固定されている。
【００２９】
また、移動盤４は、下盤３と外形寸法がほぼ等しい方形に形成されるとともに、中央部に開口部が形成され、かつ外周部に辺方向に沿って帯状開口部４ａ、４ｂが２列ずつ形成された骨組み状の部材で、下盤３に固定された第１のレール８の上方に臨む帯状開口部４ａの両端部には、当該移動盤４の下面から下方に突出して第１のレール８上を転動する第１のローラ９が回転自在に設けられている。
【００３０】
さらに、この移動盤４の上記帯状開口部４ａと直交する方向に延在する帯状開口部４ｂの両端部には、当該移動盤４の上面よりも上方に突出する第２のローラ１０が回転自在に設けられている。これにより、移動盤４は、下盤３の第１のレール８上をＸ方向に移動自在に設けられている。
【００３１】
また、上盤５は、方形の天板５ａと底板５ｂとが、上記対向辺１ａ、２ａと直交する方向に配置された複数枚の鉛直補強板５ｃを介して接合一体化されることにより、剛性が高められた２重板構造によって形成されるとともに、上記対向辺１ａ、２ａ側には、連結補強板５ｄが接合されている。そして、免震ユニット１においては、上盤５の下面であって、対向辺１ａと直交する２辺に沿って、各々２本ずつ（合計４本）の第２のレール１１が水平方向のＹ方向（図１において上下方向）に固定されている。また、免震ユニット２においては、上盤５の下面の４角隅部に、各々２本ずつ（合計８本）の第２のレール１１が上記Ｙ方向に固定されている。
【００３２】
そして、上盤５は、移動盤４の第２のローラ１０が第２のレール１１に沿って転動するように移動盤４上に載置されることにより、移動盤４に対してＹ方向に相対移動自在に設けられている。
【００３３】
加えて、この分割型免震装置においては、下盤３と移動盤４との外周部間に、一端部が下盤３に固定されるとともに他端部が移動盤４に固定されて上記Ｘ方向の相対変位を吸収する水平ダンパ６が、第１のレール８と平行に設けられている。また、移動盤４と上盤５との外周部間には、一端部が移動盤４に固定されるとともに他端部が上盤５に固定されて上記Ｙ方向の相対変位を吸収する水平ダンパ７が、第２のレール１１と平行に設けられている。
【００３４】
そして、これら免震ユニット１、２は、互いの対向辺１ａ、２ａ間に配置された移動盤連結部材１４および上盤連結部材１５からなる上記連結部によって、着脱自在に連結されている。ここで、移動盤連結部材１４は、図１および図４に示すように、角筒状の部材で、それぞれ免震ユニット１、２の対向辺１ａ、２ａの両端部分に配設されるとともに、互いの移動盤４の対向辺に、ボルト１６によって連結されている。
【００３５】
他方、上盤連結部材１５は、上盤５の底板間に沿う方形板状の平板部１５ａと、この平板部１５ａの外周縁に立設された側壁１５ｂとを有する有底角筒状に形成されたもので、上盤５の対向辺に設けられた連結補強板５ｄに当接する側壁１５ｂの上端部には、上盤５の天板５ａ上に屈曲された鍔部１５ｃが形成されている。
【００３６】
そして、この上盤連結部材１５は、免震ユニット１、２の対向辺１ａ、２ａ間であって、かつ移動盤連結部材１４の間に配設され、側壁１５ｂがボルト１７によって上盤５の連結補強板５ｄに着脱自在に連結されるとともに、鍔板１５ｃがボルト１８によって上盤５の天板５ａに着脱自在に連結されるようになっている。なお、図２および図４に示すように、上盤連結部材１５は、その平板部１５ａの下面が移動盤連結部材１４の上面よりも上方に位置するように形成されている。
【００３７】
次に、図１〜図７に基づいて、以上の構成からなる分割型免震装置を用いた本発明に係る既設機器類の免震化工法の一実施形態について説明する。
先ず、図７に示すように、既設の機器類Ｍの作業スペースＳ側から見て前後面の下部に、ジャッキアップ用の治具２０を取り付けるとともに、機器類Ｍの両側方に配置した爪ジャッキ２１によって治具２０の両端部を支持する。そして、これら４基の爪ジャッキ２１を作動させることにより、治具２０を介して機器類Ｍを免震ユニット１、２の厚さ寸法よりも若干高い位置までジャッキアップすることにより、床面Ｆと機器類Ｍの下面との間に隙間２２を形成する。
【００３８】
次いで、図６（ａ）に示すように、作業スペースＳの上記隙間２２を臨む位置に、一方の免震ユニット１を配置し、図６（ｂ）に示すように、当該免震ユニット１を機器類Ｍの下方の隙間２２に挿入する。この際に、免震ユニット１における下盤３、移動盤４および上盤５が相対移動しないように、これら下盤３、移動盤４および上盤５を相互に固定するか、あるいは第１および第２のローラ９、１０をロックさせておく。また、免震ユニット１を隙間２２内に送り込むに際しては、免震ユニット１の一部を、作業スペースＳ側に露出させておく。
【００３９】
そして、図６（ｃ）に示すように、免震ユニット１の移動盤４および上盤５に、各々移動盤連結部材１４および上盤連結部材１５（図６では図示を略す。）の一端部を、上記ボルト１６、１７、１８によって連結した後に、図６（ｄ）に示すように、一体化された免震ユニット１および移動盤連結部材１４、上盤連結部材１５を、さらに機器類Ｍの隙間２２内へと送り込む。この際にも、移動盤連結部材１４および上盤連結部材１５の他端部が、作業スペースＳ側に露出させておく。
【００４０】
次いで、図６（ｅ）に示すように、移動盤連結部材１４および上盤連結部材１５の他端部を、各々他方の免震ユニット２の移動盤４および上盤５に上記ボルト１６、１７、１８によって連結した後に、図６（ｆ）に示すように、免震ユニット２を隙間２２内に送り込んで行くことにより、一体化された分割型免震装置を機器類Ｍの下方の所定位置に配設する。
【００４１】
そして、最終的に、下盤３を床面Ｆの所定位置に固定した後に、爪ジャッキ２１によって機器類Ｍを上盤５上に降ろし、当該上盤５上に取り付けるとともに、上盤５、移動盤４および下盤３間のロックを解除して相対移動自在にすることにより、機器類Ｍの免震化が完了する。なお、本実施形態のように、分割型免震装置が隣接して配置される場合には、図１および図３に示すように、これら隣接する分割型免震装置の上盤５同士を、連結板３０によって連結することが好ましい。
【００４２】
以上のように、上記構成からなる分割型免震装置およびこれを用いた既設機器類の免震化工法によれば、一対の免震ユニット１、２の移動盤同士を着脱自在に連結する移動盤連結部材１４および上盤連結部材１５を、互いの対向辺１ａ、２ａ間に配設しているために、移動盤連結部材１４および上盤連結部材１５の長さ寸法を短くすることができる。加えて、免震ユニット１の対向辺１ａのみを既設の機器類Ｍの下面から作業スペースＳ側に突出させることにより、移動盤連結部材１４および上盤連結部材１５の連結作業を行うことができる。このため、作業スペースＳの幅が狭い施設においても、既設の機器類Ｍを移動させることなく、当該機器類Ｍをジャッキアップするのみで免震化を行うことができる。
【００４３】
しかも、免震ユニット１、２の対向辺１ａ、２ａ同士を、移動盤連結部材１４および上盤連結部材１５によって連結して一体化しているために、これら移動盤連結部材１４および上盤連結部材１５の寸法や形状を適宜形状に設計することができ、本実施形態においては、上盤連結部材１５を、平板部１５ａと側壁１５ｂとを有する有底角筒状に形成するとともに、上盤連結部材１５を、その側壁１５ｂおよび鍔板１５ｃの２方向からそれぞれ上盤５の鉛直補強板５ｂおよび天板５ａにボルト１７、１８を介して連結している。
【００４４】
このため、分割型免震装置全体としての強度も高めることができるとともに、免震ユニット１、２の側面から突出するものが無いために、半導体製造設備のように多数の機器類Ｍがほぼ連続的に設置されている場合にも、隣接する機器類Ｍの下部に増設された分割型免震装置同士が干渉することがなく、密に設置することもできる。
【００４５】
また、上記免震化が完了した後に、地震が発生した際には、両免震ユニット１、２の移動盤４および移動盤連結部材１４と上盤５および上盤連結部材１５とが、各々Ｙ方向に相対移動することになるが、上盤連結部材１５と移動盤連結部材１４とを、それぞれ上盤連結部材１５の下面が移動盤連結部材１４の上面よりも上方に位置するように配置しているために、これらが互いに干渉することを防止することができる。
【００４６】
しかも、下盤３と移動盤４との間にＸ方向の相対変位を吸収する水平ダンパ６を第１のレール８と平行に設け、かつ移動盤４と上盤５との間にＹ方向の相対変位を吸収する水平ダンパ７を第２のレール１１と平行に設けているために、下盤３に対する上盤５の相対変位量を効率的に抑制することができる。この結果、機器類Ｍに隣接して、免震化されていない機器類や床貫通配管等の床上固定物が配置されている場合にも、機器類Ｍの相対変位によってこれら床上固定物との干渉が生じることを防ぐことができる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
既設の機器類を免震化する際に、好適に利用可能である。
【符号の説明】
【００４８】
１、２  免震ユニット
１ａ、２ａ  対向辺
３  下盤
４  移動盤
４ａ、４ｂ  帯状開口部
５  上盤
５ａ  天板
５ｂ  底板
５ｃ  鉛直補強板
５ｄ  連結補強板
６  Ｘ方向の水平ダンパ
７  Ｙ方向の水平ダンパ
８  第１のレール
９  第１のローラ
１０  第２のローラ
１１  第２のレール
１４  移動盤連結部材
１５  上盤連結部材
１５ａ  平板部
１５ｂ  側壁
１５ｃ  鍔部
１６、１７、１８  ボルト
２０  ジャッキアップ用の治具
２１  爪ジャッキ
２２  隙間
３０  連結板
Ｆ  床面
Ｍ  既設の機器類
Ｓ  作業スペース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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