(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長辺及び短辺を有する矩形基板と、
撥インク剤としてシリコーン系またはフッソ系のオリゴマー化合物を含有した感光性樹脂組成物を前記基板上に塗布し、この感光性樹脂組成物からなる層をフォトリソグラフィー法によりパターニングすることによって形成された隔壁と、
前記基板の最外周に形成された、前記隔壁に連結する額縁部と、
前記隔壁により仕切られた領域に形成された画素と
を具備する画素パターンにおいて、
前記基板の短辺方向をＹ方向とし、長辺方向をＸ方向とするとき、
前記画素は、長手方向が前記Ｙ方向と平行であり、短手方向が前記Ｘ方向と平行であり、
前記画素のＹ方向における中心での画素列の任意の画素のＸ方向の断面線をｌｘとし、
前記基板と断面線ｌｘの両端の１５％を除いた部分の近似直線のなす角度をθｘとするとき、
少なくとも額縁部に接する端部の画素から３画素以内の画素を除く画素の前記短手方向についてのθｘが
θｘ＜１５°
であるか、または
前記画素のＸ方向の画素径を１としたとき、
少なくとも額縁部に接する端部の画素から３画素以内の画素を除く画素の前記短手方向についての断面線ｌｘの頂点が、０．４０〜０．６０の範囲内の位置にあり、
前記隔壁は前記オリゴマー化合物を含有し、前記隔壁の上部の撥液性が下部の撥液性より高く、
前記画素の平均膜厚が前記隔壁の高さに対し、９０〜１１０％の範囲内であることを特徴とする画素パターン。
【請求項２】
請求項１に記載の画素パターンからなることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項３】
請求項２に記載のカラーフィルタを備えることを特徴とする液晶表示素子。
【請求項４】
請求項１に記載の画素パターンを備えることを特徴とするエレクトロルミネッセンス素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置に用いるカラーフィルタやＥＬ表示装置に用いる発光層等の画素パターンに係り、特に、インクジェット法により形成された画素パターンに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイは、カラー表示を行うために、透明基板上に、通常、赤、緑、青の３原色の微細なパターンからなる画素を規則的に設けたカラーフィルタを備えている。このようなカラーフィルタの製造方法としては、フォトリソグラフィー法、エッチング法等が知られている。フォトリソグラフィー法によるカラーフィルタの製造方法は、基板全体に各色の感光性樹脂層の塗布膜を形成し、パターン状に露光した後に塗布膜の不要な部分を取り除き、残ったパターンを各画素とする。
【０００３】
この方法では塗布膜の多くが現像除去されるため、大量の材料が無駄になる。さらに、画素ごとに露光、現像工程を行うため、工程数が多くなるという問題がある。
【０００４】
また、カラーフィルタの基板サイズは年々大型化が進んでおり、カラーフィルタのコストダウン化を図るためには、従来のフォトリソグラフィー工程を繰り返す方法では無駄が多く、近年、インクジェット印刷装置を用いたインクジェット法による製造方法が検討されている。
【０００５】
インクジェット印刷装置は、複数のノズルが整列配置されたインクジェットヘッドを備え、ノズルと基板置台とを、基板置台面上に沿って相対的に移動させ描画を行っている。基板の大型化に伴い歩留まりを考慮し、インクジェット印刷装置は、インクジェットヘッドは複数個整列で配置して備え、吐出液量が均一になるような吐出パターン情報を作成している（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
カラーフィルタは、基板上の隔壁による区分された領域に多数の画素を形成することにより形成されるが、表面に隔壁や個々の画素に起因する凹凸が生ずる。カラーフィルタ上には液晶層が配置されるので、液晶分子の配向を考慮すると、カラーフィルタの表面は平坦であることが好ましい。また、平坦性を向上させるためにカラーフィルタ上にオーバーコート層を設ける場合も、オーバーコート層がカラーフィルタ表面の凹凸に追従するため、凹凸を完全になくすことは出来ない。
【０００７】
また、実際のカラーフィルタの表面は、製造上の問題から、個々の画素の表面が傾斜している。画素の表面が傾斜しているということは、着色層に厚みの差があるということであり、このように画素を構成する着色層に厚みの差があると、液晶表示装置の視認性が悪くなるという問題が生ずる。
【０００８】
特に、画素をインクジェット法により形成した場合には、インクの粘度、インクと隔壁の濡れ性、乾燥条件等により、個々の画素の表面が大きく傾斜する場合がある。
【特許文献１】特開平８−２９２３１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するためになされ、画像表示装置の視認性を良好にすることを可能とする画素パターンを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の第１の態様は、長辺及び短辺を有する矩形基板と、撥インク剤としてシリコーン系またはフッソ系のオリゴマー化合物を含有した感光性樹脂組成物を前記基板上に塗布し、この感光性樹脂組成物からなる層をフォトリソグラフィー法によりパターニングすることによって形成された隔壁と、前記基板の最外周に形成された、前記隔壁に連結する額縁部と、前記隔壁により仕切られた領域に形成された画素とを具備する画素パターンにおいて、前記基板の短辺方向をＹ方向とし、長辺方向をＸ方向とするとき、前記画素は、長手方向が前記Ｙ方向と平行であり、短手方向が前記Ｘ方向と平行であり、前記画素のＹ方向における中心での画素列の任意の画素のＸ方向の断面線をｌｘとし、前記基板と断面線ｌｘの両端の１５％を除いた部分の近似直線のなす角度をθｘとするとき、少なくとも額縁部に接する端部の画素から３画素以内の画素を除く画素の前記短手方向についてのθｘがθｘ＜１５°であるか、または前記画素のＸ方向の画素径を１としたとき、少なくとも額縁部に接する端部の画素から３画素以内の画素を除く画素の前記短手方向についての断面線ｌｘの頂点が、０．４０〜０．６０の範囲内の位置にあり、前記隔壁は前記オリゴマー化合物を含有し、前記隔壁の上部の撥液性が下部の撥液性より高く、前記画素の平均膜厚が前記隔壁の高さに対し、９０〜１１０％の範囲内であることを特徴とする画素パターンを提供する。
【００２３】
本発明の第２の態様は、上述した画素パターンからなることを特徴とするカラーフィルタを提供する。
【００２４】
本発明の第３の態様は、このカラーフィルタを備えることを特徴とする液晶表示素子を提供する。
【００２５】
本発明の第４の態様は、上述の画素パターンを備えることを特徴とするエレクトロルミネッセンス素子を提供する。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の画素パターンによると、周辺部の画素を除く画素の上面が平坦であるため、視認性の優れた画像表示装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態に係る画素パターンについて説明する。
【００２８】
本発明の画素パターンは、液晶表示装置のカラーフィルタ、白色ＥＬ素子のカラーフィルタ、及びＥＬ素子の画素に適用することができる。以下、晶表示装置のカラーフィルタを例に挙げて説明する。
【００２９】
図１は、本発明の一実施形態に係るカラーフィルタを示す断面図である。図１において、透明基板、例えばガラス基板１上の非画素部に相当する位置に、遮光性素材からなる隔壁２が設けられている。画素部に相当する、隔壁２の各々の開口部内に、いずれも光透過性である赤色画素Ｒ、緑色画素Ｇ、および青色画素Ｂの各着色画素パターンが配列して構成された着色層３が積層されている。
【００３０】
次に、図２を参照して、図１に示すカラーフィルタの製造方法について説明する。
【００３１】
まず、図２（ａ）に示すように、透明基板１上にコントラスト向上のための隔壁２を設ける。
【００３２】
透明基板１には、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板等、公知の透明基板材料を使用できる。中でもガラス基板は、透明性、強度、耐熱性、耐候性において優れている。
【００３３】
隔壁２は、公知の方法を用いて形成することができる。例えば、金属あるいは金属酸化物の薄膜をスパッタ等の方法により基板上に形成し、それをエッチングなどの手法によりパターニングを施し、形成する方法、感光性樹脂組成物中に顔料あるいは染料などの着色剤を混在させ、これを基板上に感光性樹脂組成物層として形成し、フォトリソグラフィー法により形成する方法、黒色顔料、熱硬化性樹脂を溶媒に溶かし、印刷法により形成する方法などが挙げられる。また、隔壁２は、混色を防止するため、撥水性であること、例えば、撥インク剤を含むことが望ましい。混色は、カラーインクが隣接画素のカラーインクに侵入することで発生する。
【００３４】
撥インク剤としては、シリコーン系、フッ素系材料を一例として挙げることができる。具体的には、主鎖または側鎖に有機シリコーンやアルキルフルオロ基を有し、シロキサン成分を含むシリコーン樹脂やシリコーンゴム、この他にはフッ化ビニリデン、フッ化ビニル、三フッ化エチレン等や、これらの共重合体等のフッ素樹脂などを用いることができる。また、撥インク剤は、加熱工程中にブリードアウトし、透明基板上に撥インク剤が付着し、カラーインクの充填時に色抜け等が発生する場合があるが、これを防止するため、撥インク剤としてはフッ素含有化合物を用いることが好ましい。また、ブリードアウトを防止するため、低分子化合物よりオリゴマー化合物を用いることが好ましい。
【００３５】
隔壁２の撥水性は、臨界表面張力３０〜４０ｍＮ／ｍの溶液に対し、隔壁上部のインクとの接触角が、隔壁下部のインクとの接触角より大きければよい。
【００３６】
また、隔壁上部のインクとの接触角が４０〜５０°の範囲内、隔壁下部のインクとの接触角が１５°未満であることが好ましい。隔壁上部のインクとの接触角が４０°未満では、隣接する画素との混色が発生し易くなり、５０°より大きいと、画素内に色抜けが生じ易くなる。隔壁下部のインクとの接触角が１５°以上では、画素内に色抜けが生じ易くなる。
【００３７】
隔壁上部のインクとの接触角は、隔壁の上部表面の接触角を測定すればよい。また、隔壁表面の撥水性を低減した場合は、隔壁を１０％削り、その表面を上部としてもよい。
【００３８】
隔壁下部のインクとの接触角は、隔壁の１／３まで削り、その表面の接触角を測定すればよい。
【００３９】
次いで、図２（ｂ）に示すように、隔壁２の開口部内に、赤、緑、青の着色画素パターン３（Ｒ、Ｇ、Ｂ）を形成する。
【００４０】
本実施形態では、インクジェット装置によりカラーインクをパターン状に形成し、その後、後述する加熱工程を経て着色画素パターン３（Ｒ、Ｇ、Ｂ）を形成する。
【００４１】
インクジェットに用いる装置としては、インク吐出方法の相違によりピエゾ変換方式と熱変換方式があるが、ピエゾ変換方式の装置を用いることが望ましい。また、インクジェット装置におけるインクの粒子化周波数は、５〜１００ＫＨｚ程度が望ましい。また、インクジェット装置におけるノズル径は５〜８０μｍ程度が望ましい。また、インクジェット装置はヘッドを複数個配置し、１ヘッドにノズルを６０〜５００個程度組み込んだものを用いるのが好ましい。
【００４２】
カラーインクの着色剤としては、顔料、染料等を使用することができる。本発明では、耐候性に優れた顔料を用いることが好ましい。着色剤として、具体的には、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ９、１９、３８、４３、９７、１２２、１２３、１４４、１４９、１６６、１６８、１７７、１７９、１８０、１９２、２１５、２１６、２０８、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２８、２４０、２５４、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５、１５：６、１６、２２、２９、６０、６４、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ７、３６、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  ２０、２４、８６、８１、８３、９３、１０８、１０９、１１０、１１７、１２５、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５３、１５４、１６６、１６８、１８５、  Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ３６、  Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ２３、等を使用することができる。さらに所望の色相を得るために２種類以上の材料を混合して用いることができる。
【００４３】
カラーインクに用いられる熱硬化性樹脂は、色素との関係で公知のカラーフィルタ基板の製造に用いる材料から適宜選択される。具体的には、カゼイン、ゼラチン、ポリビニルアルコール、カルボキシメチルアセタール、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、メラニン樹脂などを用いることができる。特に、耐熱性や耐光性を要求されるカラーフィルタを製造する場合には、アクリル樹脂を用いることが好ましい。
【００４４】
カラーインクに用いられる溶媒は、インクジェット装置の印刷適性により選択され、特に表面張力範囲が３５ｍＮ／ｍ未満で、且つ、沸点が１３０℃以上の材料を用いることが好ましい。表面張力が３５ｍＮ／ｍ以上であると、インクジェット吐出時のドット形状の安定性に悪影響を及ぼす。また、沸点が１３０℃未満であると、ノズル近傍での乾燥性が高くなる。その結果、ノズル詰まり等の不良発生を招く恐れがあるので好ましくない。
【００４５】
また、溶媒は、カラーインクの熱硬化性樹脂の熱硬化温度により適宜選択される。熱硬化性樹脂の熱硬化温度と比べ、著しく低い沸点を有する溶媒を用いると、前述したように、着色層が凹形状となる懸念が生ずる。これらの条件を満たす溶媒として、具体的には、ジエチレングリコール−ｎ−ブチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、ペンタエチレングリコールジメチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、ジプロピレングリコール−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコール−ｎ−ブチルエーテル、トリプロピレングリコール−ｎ−ブチルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル等を挙げることができる。
【００４６】
また、この他にも、溶媒の沸点をより高めるために、２−メトキシエタノール、２−エトキシエタノール、２−ブトキシエタノール、２−エトキシエチルアセテート、２−ブトキシエチルアセテート、２−メトキシエチルアセテート、２−エトキシエチルエーテル、２−（２−エトキシエトキシ）エタノール、２−（２−ブトキシエトキシ）エタノール、２−（２−エトキシエトキシ）エチルアセテート、２−（２−ブトキシエトキシ）エチルアセテート、２−フェノキシエタノール、ジエチレングリコールジメチルエーテル等を用いることが可能である。また、必要に応じて２種類以上の溶媒を前記条件に合うように混合し、調製したものを用いることができる。
【００４７】
カラーインクの分散剤は、樹脂への色素の分散を向上させるために用いる。分散剤として、イオン性または非イオン性界面活性剤などを用いることができる。具体的には、アルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ポリ脂肪酸塩、脂肪酸塩アルキルリン酸塩、テトラアルキルアンモニウム塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテル等、その他に、有機顔料誘導体、ポリエステルなどが挙げられる。分散剤は一種類を単独で使用してもよく、また、二種類以上を混合して用いることも可能である。
【００４８】
以上のようにして、インクジェット装置により吐出された着色層３は、その表面張力のため、図２（ｂ）に示すように、上部に盛り上がった形状をしている。
【００４９】
次いで、基板全体を加熱処理し、溶媒を蒸発させると、図２（ｃ）に示すように、画素を構成する着色インク画素３の中央部の凸形状が緩和され、平坦な上面の着色層３を得ることができる。
【００５０】
なお、着色層３の上面は、基板前面にわたって傾斜がなく、平坦であることが望ましいが、額縁付近は視認性に影響を与えないため、額縁部に接する画素から少なくとも３画素以内の画素以外の画素の上面が平坦であることが好ましい。特に好ましくは、額縁部に接する画素以外の画素の上面が平坦であることがよい。
【００５１】
着色層３を形成した後、ブラクマトリクス表面の撥水性を低減し、後工程で形成する層との親和性を高めてもよい。ブラクマトリクス表面の撥水性を低減する方法としては、ＵＶ照射処理、プラズマ処理、コロナ処理などを挙げることができる。
【００５２】
また、着色層３の平均膜厚は、隔壁の高さに対し、９０〜１１０％の範囲内であることが好ましい。着色層３の平均膜厚が９０％より薄いと、斜め方向からの視認性が低下する。一方、１１０％より厚いと、高い平坦性を実現するのが困難である。
【００５３】
図３は、以上のようにして各画素が基板上の長辺方向及び短辺方向に多数、配列された状態を示す平面図である。図３において、基板１の長辺方向（Ｘ方向）には、左側から右側に１番目からｎ番目までのｎ個の画素列が配列されている。また、基板１の短辺方向（Ｙ方向）には、上から下に１番目からｍ番目までのｍ個の画素列が配列されている。各画素は、長手方向及び短手方向を有し、長手方向が基板の短辺と平行になるように配置されている。
【００５４】
本実施形態に係るカラーフィルタでは、画素の上面が、従来の画素とは異なり、ほぼ水平となっている。特に、基板１の短辺方向（Ｙ方向）中央部の画素列（長辺方向に配列）に着目した場合、その上面の平坦性は、額縁から１０画素程度をみればよい。一般的に、端部近傍の方が上面が傾斜し易いため、端部付近で傾きがなければ、中心部でも傾きがないと言えるからである。
【００５５】
また、基板１の短辺方向（Ｙ方向）のｍ行の画素列のうち、少なくとも額縁近傍の画素以外の画素（４〜ｍ−３番目）の画素列の上面が平坦であればよい。なお、本発明では、Ｙ方向における中心での画素列で平坦性をみている。Ｙ方向における中心の画素列は、ｍ／２（小数点以下切り上げ）に位置する画素列とする。
【００５６】
なお、画素の上面の水平に対する傾斜角θは、次のようにして定義される。
【００５７】
１つの画素の短手方向における断面を図４に示すが、傾斜角θは、画素上面の断面輪郭ａの近似曲線ｂの基板表面とのなす角である。図４（ａ）では、近似直線ｂは基板１の面にほぼ水平（θ≒０）であり、図４（ｂ）では、近似直線ｂは基板１の面と角度θをなす。
【００５８】
本実施形態では、基板の長辺方向中央部の画素のうち、額縁から３画素以内の画素以外の画素、特に額縁に接する画素以外の画素の上面の傾斜角θは１５°以下である。θが１５°を超えると、画素の上面の傾斜が大きく、このような画素パターンを用いた表示装置の視認性が悪くなってしまう。また、平坦性の点から前記傾斜角θは、１０°以下であると更に好ましい。
【００５９】
画素の上面の傾斜角の求め方は、例えば、次のようにして行うことが出来る。即ち、画素は、撥液剤を含む等により、一般に凸状となっていて、その両端において傾斜角が急激に変化する。すなわち、両端膜厚は薄くなっている。もちろん両端においても膜厚の差がない方が好ましいが、隔壁の際であるため、多少膜厚にばらつきがあっても中心部に比べたら視認性に与える影響は少ない。そこで、本発明では、両端の１５％を除いた部分の断面輪郭の近似直線を求める。このように両端１５％を除いた部分の断面輪郭から、最小二乗法による従来公知の手法により、近似直線を求めることができる。
【００６０】
画素の断面は、接触式の膜厚測定器で測定した断面プロファイルを用いることができる。また、断面形状が逆テーパ形状など、接触式で測定することが困難である場合は、断面の電子顕微鏡写真（ＳＥＭ）を撮影したものを用いてもよい。基本的には接触式の膜厚測定器を用いても電子顕微鏡写真（ＳＥＭ）を用いても同じ効果が得られる。
【００６１】
このように、基板短辺の中央部の長辺方向の画素列に着目し、この画素列の端部近傍の画素上面の傾斜を小さくして、全体の画素上面の平坦性を確保するものである。
【００６２】
また、画素のＸ方向の画素径を１としたとき、額縁から３画素以内の画素、特に額縁に接する画素以外の画素の断面線ｌｘの頂点が、０．４０〜０．６０の範囲内に位置するものである。この範囲から外れると画素の上面の傾斜が大きくなり、このような画素パターンを用いた表示装置の視認性が悪くなる。また、前記頂点が０．４５〜０．５５の範囲内に位置すると、より平坦性の高い画素パターンが得られる。
【００６３】
また、このような画素の傾きは、画素が長手方向と短手方向を有する場合、短手方向の断面の方が全体に占める端部付近の割合が大きく、隔壁との相互作用の影響を受けるため、平坦性を実現することが困難である。そのため、前述の角度θや頂点の位置は少なくとも画素の短手方向が本発明の範囲内に入ることが好ましい。
【００６４】
以上説明した上面が平坦な画素を形成するための方法として、充填後のインクの乾燥条件を最適化する方法がある。例えば、乾燥速度を穏やかにしたり、希薄溶媒雰囲気下で乾燥を行い、その後さらに通常の乾燥を行う方法である。他の方法として、インクと隔壁との親和性を最適化する方法、インクのレベリング性を最適化する方法がある。
【００６５】
その他、インクジェット法で画素を形成する場合、最初に充填する予定の画素の外側、即ち額縁上又は額縁に予め設けた凹部に最初に充填を行い、次に、最初に充填する予定であった画素に充填する方法もある。こうすることにより、端部の画素においても中央部の画素と同様の条件で乾燥を行うことができ、上面が平坦な画素を形成することができる。
【００６６】
実施例
以下、本発明の一実施例に係る画素パターンの製造方法について、カラーフィルタを例に、図面を参照して説明する。
【００６７】
図１は、本実施例により製造されたカラーフィルタの一部を拡大したものである。カラーフィルタは、液晶表示装置、白色光源型ＥＬ表示装置等の前面に装着されているものである。カラーフィルタは、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に着色された着色インク層がストライプ状又は格子状に配列されて構成されている。
【００６８】
図２に、カラーフィルタの製造工程の断面図を示す。まず、カラーフィルタのパターニングの精度を向上させるために、ガラス基板１の洗浄を行った後、基板１上に隔壁２を設ける（図２（ａ））。隔壁２は、フォトリソグラフィー法により形成する。
【００６９】
具体的には、隔壁２は、黒色顔料（カーボンブラツク）、撥インク剤（フッ素系化合物）を含む樹脂組成物を用いて、基板１上にこれを約２．１μｍの厚さで塗布する。この際に使用する樹脂組成物の臨界表面張力は、３０〜４０ｍＮ／ｍであることが望ましい。これに、フォトマスクを通じて、ストライプ状又は格子状のパターンに樹脂組成物を露光する。さらに、この基板に現像液を適用して、現像を行う。なお、後にインクジェット印刷装置による吐出において、インクの混色を防止するため、隔壁２は一定の領域を区切るように形成する。得られた隔壁２の膜厚は２．１μｍであった。次に、この基板１に対し、２００℃のオーブンで１０分で加熱処理を行い、隔壁２を硬化させる。この際に、隔壁２に含まれる撥インク剤が、隔壁上部表面に集中し、隔壁２の混色防止作用が強化される。
【００７０】
続いて、図２（ｂ）に示すとおり、インクジェットヘッドを用いて、赤色（Ｒｅｄ）、青色（Ｂｌｕｅ）、緑色（Ｇｒｅｅｎ）の着色インクを隔壁２の開口部に吐出し、着色層３を形成する。
【００７１】
吐出直後の着色層３は、その表面張力のため、図２（ｂ）に示すとおり、上部に盛り上がった形状をしている。
【００７２】
続いて、基板全体を１９０℃で３０分加熱し、溶媒を蒸発させた。その結果、図２（ｃ）に示すように、着色層３は、溶媒が蒸発し、中央部の凸形状が緩和された。このようにして、画素を構成する着色層３の上面が平坦なカラーフィルタを得た。
【００７３】
得られたカラーフィルタは、矩形基板のＸ方向にＲＧＢの順に３０画素づつ計９０画素、Ｙ方向に２０画素有するものである。すなわち、図３においてｎが９０、ｍが２０のカラーフィルタである。
【００７４】
ここで、基板のＹ方向の中央部（図３のｍ／２）の長辺方向における端部から１０画素目までの膜厚分布を接触式の膜厚測定器で測定した。得られた断面プロファイルにより、画素上面の傾きθ、画素頂点の位置、平均膜厚を算出した。その結果を下記表１〜３に示す。
【００７５】
また、基板のＹ方向の中央部付近の３画素（図３のｎ／２）の基板短辺方向における端部から１０画素目までの膜厚分布を接触式の膜厚測定器で測定した。得られた断面プロファイルより、画素上面の傾きθ、画素頂点の位置、平均膜厚を算出した。その結果を下記表１〜３に示す。
【表１】
0005493249.tif 000002
【００７６】
【表２】
0005493249.tif 000003
【００７７】
【表３】
0005493249.tif 000004
【００７８】
このように、得られたカラーフィルタは、端部近傍以外は平坦であったため、良好な視認性を有するものであった。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明の一実施形態に係るカラーフィルタを示す断面図である。
【図２】図１に示すカラーフィルタの製造方法を工程順に示す断面図である。
【図３】図１に示すカラーフィルタの画素の配列を示す平面図である。
【図４】１つの画素の短手方向における断面を示す図である。
【符号の説明】
【００８０】
１…ガラス基板、２…隔壁、３…着色層
【図１】
0005493249.tif 000005
【図２】
0005493249.tif 000006
【図３】
0005493249.tif 000007
【図４】
0005493249.tif 000008