(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空ポンプに接続されたテストチャンバと、
試験体にヘリウムガスを封入する封入手段と、
テストチャンバに試験体を移送し得る検知準備位置と、封入手段によるヘリウムガスの封入操作が行われる封入操作位置との間で試験体を搬送する搬送手段と、
検知準備位置からテストチャンバ内の検知位置に試験体を移送する移送手段と、
ヘリウムガス封入済みの試験体が検知位置に存する状態でテストチャンバを密閉する密閉手段と、
密閉手段によりテストチャンバを密閉した後、真空ポンプによりテストチャンバを所定圧力まで真空引きしたときに、この試験体から漏洩するヘリウムを検知する漏洩検知手段と、を備え、
前記漏洩検知手段は、試験体が配置されるテストチャンバから真空ポンプに通じる排気管内に挿設され、この排気管内の流線方向に対して開口する開口部を備えたガイド管と、このガイド管に開閉弁を介して接続され、ヘリウムを検知する質量分析管とを備えたことを特徴とする漏洩検知システム。
【請求項２】
前記テストチャンバの下面が開口しているものとし、前記搬送手段は回転駆動自在な回転テーブルであり、
前記移送手段は、回転テーブルの上面にその周方向に所定間隔で配置された、試験体を支持する少なくとも２つの支持板と、前記回転テーブルを貫通して支持板を持ち上げ、支持板のうち試験体の周囲に位置する部分をテストチャンバの下面に当接させる駆動手段とを有し、
前記支持板がテストチャンバを密閉する密閉手段を兼ねるように構成したことを特徴とする請求項１記載の漏洩検知システム。
【請求項３】
前記封入手段は、閉止機能付きカップリングと、カップリングに配管を介して接続されたマニホールドとを備え、このマニホールドに、ヘリウムの供給管、粗漏洩検査用の気体の供給管及び試験体内の排気用の排気管の少なくとも１つが開閉弁を介して接続されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の漏洩検知システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気密容器、配管やバルブ等の試験体のリーク（漏洩）の有無を連続して検知することができる漏洩検知システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
気密容器、配管やバルブ等の試験体からの微小なリークの有無を検知（検査）するリークテスト（漏洩検知）にリークディテクタを用いることが従来から知られている（例えば、特許文献１参照）。リークディテクタは、真空中のガス分子をイオン化し、ヘリウムイオンのみを選別してイオンコレクタに入射させ、イオン電流として真空中に漏れるヘリウムガスを定量的に検知できるように構成した質量分析管を備える。質量分析管は、真空雰囲気の形成が可能な真空チャンバから真空ポンプに通じる排気管から分岐した分岐管に、開閉弁を介して取り付けられる。
【０００３】
ここで、上記従来例のリークディテクタを用い、タンク等の気密容器を真空雰囲気の形成が可能なテストチャンバ（真空チャンバ）内に配置してリークテストする場合を例に説明すると、先ず、試験体たる気密容器をテストチャンバ内に収容した後、この試験体内にヘリウムガスを封止し、併せてテストチャンバを真空排気して真空雰囲気とする。そして、試験体からのリークがあった場合には、真空雰囲気に混入するヘリウムガスの有無がリークディテクタで検出される。
【０００４】
一般に、試験体内ヘのヘリウムガスの封入は、試験体内に窒素やエア等の気体を導入して試験体内を加圧して所謂粗リークテストを行い、引き続き、試験体内からこの気体を真空排気した後に行われる。このような試験体へのヘリウムの封入操作は、通常、真空チャンバの真空排気と並行して行われる。
【０００５】
ところで、試験体には、容積の異なる種々のものがあり、しかも、排気用や気体供給用の接続口の径が小さいものもある。このため、気体の供給や気体の排気に大幅な時間を要する場合がある。このような場合には、粗リークテストからヘリウムガスの封入までのヘリウム封入操作によって律速され、漏洩検知のサイクルタイムが長くなるという不具合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−３８７４６公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、以上の点に鑑み、サイクルタイムが長くなることを抑制でき、複数の試験体に対して連続して漏洩検知を行う場合に効率良くリークテストを行い得る漏洩検知システムを提供することをその課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の漏洩検知システムは、真空ポンプに接続されたテストチャンバと、試験体にヘリウムガスを封入する封入手段と、テストチャンバに試験体を移送し得る検知準備位置と、封入手段によるヘリウムガスの封入操作が行われる封入操作位置との間で試験体を搬送する搬送手段と、検知準備位置からテストチャンバ内の検知位置に試験体を移送する移送手段と、ヘリウムガス封入済みの試験体が検知位置に存する状態でテストチャンバを密閉する密閉手段と、密閉手段によりテストチャンバを密閉した後、真空ポンプによりテストチャンバを所定圧力まで真空引きしたときに、この試験体から漏洩するヘリウムを検知する漏洩検知手段と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、封入操作位置にて試験体にヘリウムガスを封入した後、搬送手段及び移送手段によってテストチャンバ内の検知位置まで試験体が移送され、このテストチャンバを真空排気して所定圧力に達すると、リークテストが行われる。他方、封入操作位置では、他の試験体に対してヘリウムガスの封入が行われる。
【００１０】
ここで、封入操作位置では、通常、ヘリウムガスの封入に先立って粗リークテストが行われ、試験体の種類によっては、粗リークテストたる試験体への気体の供給及び排気と、気体排気後の試験体へのヘリウムガスの封入までの一連の操作（これらを「封入操作」という）に時間を要する場合がある。本発明では、試験体に対するヘリウムガスの封入操作と試験体のリークテストとが、封入操作位置及び検知位置とに別個に分けて行い得る構成を採用したため、一の試験体への封入操作に時間を要する場合であっても、他の試験体へのリークテストが完了するまでの時間内で封入操作が完了すれば、律速されることはない。従って、複数の試験体に対して連続してリークテストする場合に、サイクルタイムが長くなることを抑制でき、しかも、搬送手段と移送手段とを備えたことで効率良く試験体を移送してリークテストを行うことができる。
【００１１】
本発明においては、前記テストチャンバの下面が開口しているものとし、前記搬送手段は回転駆動自在な回転テーブルであり、前記移送手段は、回転テーブルの上面にその周方向に所定間隔で配置された、試験体を支持する少なくとも２つの支持板と、前記回転テーブルを貫通して支持板を持ち上げ、支持板のうち試験体の周囲に位置する部分をテストチャンバの下面に当接させる駆動手段とを有し、前記支持板がテストチャンバを密閉する密閉手段を兼ねるように構成を採用すれば、サイクルタイムが長くなることを抑制できて効率が良く、しかも、部品点数も削減された漏洩検知システムを実現できる。
【００１２】
また、本発明においては、前記封入手段は、閉止機能付きカップリングと、カップリングに配管を介して接続されたマニホールドとを備え、このマニホールドに、ヘリウムの供給管、粗漏洩検査用の気体の供給管及び試験体内の排気用の排気管の少なくとも１つが開閉弁を介して接続されている構成を採用すれば、開閉弁を操作するだけで、封入操作を簡単に行うことができ、しかも、カップリングを離脱するだけで、ヘリウムガスが封入された試験体の検知位置への移送準備ができるため、リークテストの更なる効率化を図ることができる。
【００１３】
さらに、本発明においては、前記漏洩検知手段は、試験体が配置されるテストチャンバから真空ポンプに通じる排気管内に挿設され、この排気管内の流線方向に対して開口する開口部を備えたガイド管と、このガイド管に開閉弁を介して接続され、ヘリウムを検知する質量分析管とを備えたものであることが好ましい。
【００１４】
これによれば、ヘリウムガスを封入された試験体を真空チャンバ内に配置した後、真空チャンバ内を真空排気して真空雰囲気を形成する。その際、試験体にリークがあると、この試験体から漏洩したヘリウムが真空チャンバを経て排気管へと導かれる。その際、排気管にガイド管が挿設されているため、真空排気を開始した直後から排気管に導かれたヘリウムの一部がガイド管内へと導かれる。この状態で、真空チャンバ内の圧力が所定値まで減圧された後に開閉弁を開弁すると、ガイド管内のヘリウムは質量分析管へと導かれるようになる。このため、試験体から漏洩したヘリウムの自由拡散を待つことなしに、所定感度でのリークテストが行い得る量のヘリウムが質量分析管へと到達することになる。その結果、ヘリウムの自由拡散を待つ従来技術のものと比較して、リークテスト開始までの時間を短縮でき、ひいては、試験体のリークテストに要する時間を大幅に短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の漏洩検知システムの構成を模式的に説明する図。
【図２】リークディテクタの質量分析管の構成を説明する拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、タンク等の気密容器を試験体ＴＰとし、この試験体ＴＰを真空雰囲気の形成が可能なテストチャンバ（真空チャンバ）内に設置してリークテストを行う場合を例として、本発明の実施形態の漏洩検知システムを説明する。
【００１７】
図１を参照して、Ｓは、漏洩検知システムであり、漏洩検知システムＳは、開口を有するテストチャンバ１と、試験体ＴＰにヘリウムガスを封入する封入手段２と、テストチャンバ１に試験体ＴＰを移送し得るようにテストチャンバ１の開口と対向した検知準備位置と、封入手段２により試験体ＴＰに対して封入操作が行われる封入操作位置との間で試験体ＴＰを搬送する搬送手段３と、試験体ＴＰの検知準備位置から試験体ＴＰをテストチャンバ１内の検知位置に移送する移送手段４と、テストチャンバ１の開口を閉塞して密閉する密閉手段４２ａ、４２ｂと、ヘリウム封入済みの試験体ＴＰが検知位置に存する状態でテストチャンバ１を真空排気し、テストチャンバ１内の圧力が所定値に達したときに、この試験体ＴＰから漏洩するヘリウムを検知する漏洩検知手段５と、上記各手段を統括制御する制御手段６とを備えている。
【００１８】
テストチャンバ１は、下面が開口されたベルジャー式のものである。テストチャンバ１には排気口１ａが形成され、また、ベントバルブ１ｂが設けられている。排気口１ａには、開閉弁Ｖ１が介設された排気管１１が接続され、この排気管１１が真空ポンプＰ１に連通している。真空ポンプＰ１としては、テストチャンバ１の容積やリークテスト時のテストチャンバ１内の圧力範囲に応じてロータリーポンプやターボ分子ポンプ等から適宜選択される。また、テストチャンバ１には、ピラニ真空計やイオンゲージ等のテストチャンバ用の真空計Ｇ１が設けられている。
【００１９】
封入手段２は、閉止機能付きカップリング２１とマニホールド２２とを備える。カップリング２１は、特に図示しないが、内部にガス通路とこの通路を開閉する開閉弁とを有するカップリング本体２１ａと、カップリング本体２１ａのガス通路に着脱自在に挿設されるソケット２１ｂとから構成されている。ソケット２１ｂは、上下動自在なエアーシリンダ等の駆動手段２３の駆動軸２３ａ先端に連結されている。このソケット２１ｂ内にもまた、特に図示しないが、ガス通路が開設され、ガス通路の一端にはマニホールド２２に通じる第１の配管２４ａが接続されている。他方、カップリング本体２１ａのガス通路には、後述の支持板に固定された第２の配管２４ｂが接続され、その他端が支持板で支持された試験体ＴＰの接続口に接続されるようになっている。なお、駆動手段２３の駆動軸２３ａが、後述する回転テーブルに形成した開口の一方に対向する位置を封入操作位置という。
【００２０】
第２の配管２４ｂが接続された試験体ＴＰが存する状態で駆動手段２３を上動させると、カップリング本体２１ａとソケット２１ｂとが連結され、カップリング２１を介して第１及び第２の両配管２４ａ、２４ｂが連通する。これにより、試験体ＴＰへのヘリウムガスの供給等が可能となる。次に、この状態から駆動手段２３を下動させると、カップリング本体２１ａからソケット２１ｂが離脱し、カップリング本体２１ａ内の開閉弁が閉弁して、試験体ＴＰ及び第２の配管２４ｂが封止される。
【００２１】
マニホールド２２には、粗リークテストを行うべく、エアや希ガス等の気体を試験体ＴＰ内に供給する気体供給用の配管２５が開閉弁２５ａを介して接続され、その他端から粗リークテスト用の気体が供給されるようになっている。また、マニホールド２２には、粗リークテスト終了後の気体を試験体ＴＰから排気する排気用の配管２６が開閉弁２６ａを介して接続され、その他端が、ロータリーポンプ等の真空ポンプＰ２に接続され、試験体ＴＰ内を真空引きできるようになっている。さらに、マニホールド２２には、ヘリウムガス供給用の供給管２７が開閉弁２７ａを介して接続され、ヘリウムガスを試験体ＴＰに導入（供給）できるようになっている。
【００２２】
搬送手段３は、モータ等の駆動手段３１と、この駆動手段３１の回転軸３１ａの先端に連結された回転テーブル３２とを備える。回転テーブル３２は、所定面積の円板から構成され、同一円周上でかつ１８０度の間隔をおいて２個の開口３２ａ、３２ｂが形成されている。そして、この開口３２ａ、３２ｂの一方がテストチャンバ１の下面開口と対向し、後述の支持板（ひいては、試験体ＴＰ）が回転テーブル３２上に存する検知準備位置と封入操作位置との間でスワップ動作するように、回転テーブル３２が駆動手段３１により回転駆動される。
【００２３】
移送手段４は、検知準備位置にて回転テーブル３２の下方に設置された上下動自在なエアーシリンダ等の駆動手段４１と、開口３２ａ、３２ｂ及びテストチャンバ１の下面開口の径より大きな径を有する円板状の２枚の支持板４２ａ、４２ｂとを備える。この支持板４２ａ、４２ｂの上面略中央に試験体ＴＰが載置されて支持される。
【００２４】
そして、回転テーブル３２の開口３２ａ、３２ｂをそれぞれ塞ぐように両支持板４２ａ、４２ｂが位置決め配置された状態で、駆動手段４１の上動により回転テーブル３２の開口３２ａ（３２ｂ）を貫通して上動する駆動軸４１ａにより検知準備位置に存する支持板４２ａ（４２ｂ）を持ち上げると、支持板４２ａ（４２ｂ）の外周縁部（試験体ＴＰの周囲に位置する部分）が、テストチャンバ１の下面開口に形成したフランジ部１ｃに当接し、テストチャンバ１を隔絶（密閉）する。このとき、支持板４２ａ（４２ｂ）上の試験体ＴＰがテストチャンバ１内の検知位置に達する。このように本実施形態では、試験体ＴＰを支持する移送手段４の支持板４２ａ、４２ｂ自体が密閉手段を兼ねる。なお、フランジ部１ｃとの当接する箇所にはＯリング等のシール手段（図示せず）が設けられている。また、密閉手段は、上記支持板４２ａ、４２ｂとは別部材で構成することもできる。
【００２５】
漏洩検知手段（リークディテクタ）５は、筐体５ａを有し、この筐体５ａ内には、質量分析管５１と、この質量分析管５１に排気管５２を介して接続されたターボ分子ポンプ（真空ポンプ）Ｐ３とが内蔵され、これらの部品を含むリークディテクタ５の作動は、マイクロコンピュータ等を備えた制御手段５３により統括制御されるようになっている。なお、ターボ分子ポンプたる真空ポンプＰ３には、ロータリーポンプ等のバックポンプＰ４が接続されている。
【００２６】
質量分析管５１は、テストチャンバ１からの排気管１１に設けられている。質量分析管５１は、図２に示すように、略Ｌ字状に屈曲させた本体５１ａを備える。本体５１ａ内には、後述の導入管に連通するガス導入口５１ｂを介して導入された真空中のガス分子をイオン化するイオンソース５１ｃと、このイオンソース５１ｃから一定の加速電圧下で放出されたイオンを質量数に応じて偏向させる磁場を形成するためのマグネット５１ｄと、ヘリウムイオンのイオン電流を検出するイオンコレクタ５１ｅとを備える。そして、マグネット５１ｄで偏向させたガスイオンのうちヘリウムイオンのみがスリット板５１ｆを経てイオンコレクタ５１ｅに達するように構成され、イオンコレクタ５１ｅにて検出したイオン電流が制御手段５３に出力される。このときのイオン電流値からヘリウムの漏洩量が検知される。この場合、ディスプレイ５４を設け、ヘリウムの漏洩量を表示できるようにしてもよい（図１参照）。なお、図１中、一点鎖線は、制御手段５３と各部品との制御信号線である。
【００２７】
また、質量分析管５１のガス導入口５１ｂには、開閉弁Ｖ２が介設された配管５５が接続され、この配管５５には、排気管１１内に挿設され、この排気管１１内の流線方向（図１中、矢印で示す方向）に対して開口する開口部５６ａを備えたガイド管５６が接続されている。配管５５には、ピラニ真空計やイオンゲージ等の真空計Ｇ２が設けられ、質量分析管５１に通じる配管５５内の圧力を測定できるようになっている。ガイド管５６は、排気管１１に同心に配置された所定長さの筒部５６ｂを有し、この筒部５６ｂの一側は屈曲され、排気管１１を貫通してこの排気管１１外側まで延びている。また、筒部５６ｂの他側たる開口部５６ａは、その先端方向に向かって、つまり、排気口１ａ方向に向かって拡径されている。これにより、テストチャンバ１を真空排気したときに排気管１１へと導かれたヘリウムガスが質量分析管５３へと積極的に導かれるようになっている。この場合、ガイド管５６の筒部５６ｂの外径は、排気管１１の内径の１／５〜１／４倍程度の範囲（例えば、１／４倍）が好ましく、また、開口部５６ａ先端の外径は、排気管１１の内径の１／４〜１／３倍程度が好ましい。
【００２８】
制御ユニット６は、コンピュータ、シーケンサー、メモリ、やドライバー等を備えたものである。また、制御ユニット６は、リークディテクタ５の制御手段５３と通信自在に接続され、その作動を制御すると共に、上記各手段だけでなく、真空ポンプＰ１、Ｐ２の作動や開閉弁Ｖ１、２５ａ、２６ａ、２７ａの作動も統括制御できるようになっている。
【００２９】
以下に、本発明の漏洩検知システムＳによる試験体ＴＰのリークテスト（漏洩検査）について説明する。
【００３０】
回転テーブル３２の所定位置に２枚の支持板４２ａ、４２ｂを位置決め配置した状態で、封入操作位置に存する支持板４２ｂの上面中央に試験体ＴＰを位置決めして支持させる。この試験体ＴＰに第２の配管２４ｂの一端を、シール手段（図示せず）を介して接続する。この接続作業は、例えば手作業で行なわれる。そして、駆動手段２３の駆動軸２３ａを上動させてカップリング本体２１ａとソケット２１ｂとを連結する。この状態で、開閉弁２５ａを開弁して第１の配管２４ａを介して試験体ＴＰ内に気体を供給し、所謂粗リークテストを行う。この粗リークテストは、試験体ＴＰ内を加圧し、その際、導入する気体の圧力変動を利用して行われる。
【００３１】
次に、粗リークテストが終了すると、開閉弁２５ａが閉弁されると共に、試験体ＴＰ排気用の真空ポンプＰ２が作動されて開閉弁２６ａが開弁され、試験体ＴＰ内が所定圧力まで真空排気される。試験体ＴＰ内の圧力が所定値に達すると、開閉弁２６ａが閉弁される。そして、開閉弁２７ａが開弁され、ヘリウムガスが試験体ＴＰ内に導入（供給）される。所定量のヘリウムガスが試験体ＴＰ内に導入される。開閉弁２７ａの閉弁後、駆動手段２３の駆動軸２３ａを下動させてカップリング本体２１ａとソケット２１ｂとが離脱され、ヘリウムガスが試験体ＴＰ内に封入される。このとき、リークディテクタ５は、開閉弁Ｖ２の閉弁状態で真空ポンプＰ３、Ｐ４を作動させて質量分析管５１内を排気した後、制御手段５３により公知の方法で質量分析管５１の校正が行われ、スタンバイ状態に維持される。
【００３２】
次に、搬送手段３の駆動手段３１により回転テーブル３２が回転駆動され、試験体ＴＰを支持する支持板４２ｂが検知準備位置に搬送される。検知準備位置に達すると、駆動手段４１の駆動軸４１ａの上動により支持板４２ｂが持ち上げられて、支持板４２ｂ上面のうち試験体ＴＰの周囲に位置する部分が、テストチャンバ１の下面開口に形成したフランジ部１ｃに当接し、テストチャンバ１が隔絶される。これにより、試験体ＴＰがテストチャンバ１内の検知位置に達する。
【００３３】
試験体ＴＰが検知位置に達すると、開閉弁Ｖ１の閉弁状態で真空ポンプＰ１によりテストチャンバ１内が真空排気される。そして、テストチャンバ１が所定圧力に達すると、開閉弁Ｖ２を開弁してリークテストが開始される。なお、リークテスト開始時（つまり、開閉弁Ｖ３を開弁するとき）のテストチャンバ１の圧力は、１００〜１０Ｐａの範囲、好ましくは１００Ｐａ程度とする。これらの圧力範囲外では、真空ポンプＰ３たるターボ分子ポンプに過負荷が生じる。そして、試験体ＴＰからヘリウムが漏洩していると、テストチャンバ１の真空排気開始直後から、排気管１１へと導かれたヘリウムが質量分析管５１へと積極的に導かれ、質量分析管５１のイオンコレクタ５１ｅにて検出したイオン電流が制御手段５３に出力され、このときのイオン電流値からヘリウムの漏洩量が検知される。
【００３４】
他方、上記手順で試験体ＴＰのリークテストが行われている間、回転テーブル３２の回転駆動により封入操作位置に達した支持板４２ａには、別の試験体ＴＰが位置決め支持され、上記と同じ手順で封入操作が行われ、別の試験体ＴＰへのリークテストの準備が行われる。
【００３５】
次に、試験体ＴＰのリークテストが終了すると、開閉弁Ｖ２を閉弁し、リークディテクタ５はスタンバイ状態に戻る。他方で、テストチャンバ１では、配管１１の開閉弁Ｖ１が閉弁された後、ベントバルブ１ｂが作動して大気状態に戻され、リークテストが終了する。
【００３６】
リークテストが終了すると、駆動手段４１の駆動軸４１ａの下動により支持板４２ｂが回転テーブル３２上の所定位置に戻り、試験準備位置に達する。そして、別の試験体ＴＰへのリークテストの準備が終了していることが確認された後、回転テーブル３２が回転駆動され、リークテスト済みの試験体ＴＰとリークテスト行う試験体ＴＰとのスワップ動作が行われる。そして、リークテスト済みの試験体ＴＰが封入操作位置に戻ると、駆動手段２３の駆動軸２３ａを上動させてカップリング本体２１ａとソケット２１ｂとを連結する。
【００３７】
この状態で、開閉弁２６ａが開弁され、真空ポンプＰ２によりリークテスト済みの試験体ＴＰからヘリウムガスが排気される。そして、駆動手段２３の駆動軸２３ａを下動させてカップリング本体２１ａとソケット２１ｂとが離脱されて終了する。上記操作を繰り返し、複数個の試験体に対して連続してリークテストが行われる。
【００３８】
以上、説明したように、本発明の実施形態の漏洩検知システムＳによれば、試験体ＴＰに対する封入操作と試験体ＴＰのリークテストとが、封入操作位置及び検知位置とに別個に分けて行い得る構成を採用したため、一の試験体ＴＰに対する封入操作に時間を要する場合であっても、他の試験体ＴＰへのリークテストが完了するまでの時間内でこの封入操作が完了すれば、律速されることはない。従って、複数の試験体ＴＰに対して連続してリークテストを行う場合に、サイクルタイムが長くなることを抑制でき、しかも、搬送手段３と、密閉手段４２ａ、４２ｂを兼用する移送手段４とを備えたことで効率良く試験体を移送してリークテストを行うことができる。
【００３９】
また、本発明の実施形態によれば、搬送手段３が回転駆動自在な回転テーブル３２を備え、移送手段４が、２枚の支持板４２ａ、４２ｂと駆動手段４１とを備える構成としたため、封入操作位置に存するヘリウムガス封入済みの試験体ＴＰをテストチャンバ１へと移送すれば、テストチャンバ１での試験体ＴＰのリークテストの準備が完了している。その結果、サイクルタイムが長くなることを抑制できて効率が良く、しかも、部品点数も削減された漏洩検知システムＳが実現できる。
【００４０】
また、本発明の実施形態によれば、封入手段２として、閉止機能付きカップリング２１とマニホールド２２とを備えたものを用いたため、開閉弁を操作するだけで、粗リークテスト及びヘリウムガス封入操作が簡単にでき、しかも、カップリング２１を離脱するだけで、ヘリウムガスが封入された試験体ＴＰを検知位置へと移送できるため、リークテストの更なる効率化を図ることができる。
【００４１】
さらに、本発明の実施形態によれば、リークディテクタ５として、排気管１１内に挿設され、この排気管１１内の流線方向に対して開口する開口部５６ａを備えたガイド管５６に質量分析管５１を接続したものを用いるため、ヘリウムガス封入済みの試験体ＴＰをテストチャンバ１内に配置して真空排気したとき、試験体ＴＰにリークがあると、真空排気を開始直後から排気管１１に導かれたヘリウムの一部がガイド管５６内へと導かれる。その結果、試験体から漏洩したヘリウムの自由拡散を待つことなしに、所定感度でのリークテストが行い得る量のヘリウムが質量分析管へと到達することになる。その結果、ヘリウムの自由拡散を待つ従来技術のものと比較して、リークテスト開始までの時間を短縮でき、ひいては、試験体のリークテストに要する時間を大幅に短縮できる。
【００４２】
以上、本発明の実施形態の漏洩検知システムＳについて説明したが、本発明は上記に限定されるものではない。上記実施形態では、搬送手段として回転テーブルを用いるものを例に説明したが、ヘリウムガス封入済みの試験体ＴＰとリークテスト済みの試験体ＴＰとのスワップ動作ができるものであれば、その形態は問わない。また、上記実施形態では、テストチャンバ１を１個とすると共に、１個の試験体ＴＰに対してヘリウム封入操作を行うように構成したものを例に説明したが、複数を設けることもできる。
【符号の説明】
【００４３】
Ｓ…漏洩検知システム、１…テストチャンバ、２…封入手段、２１…カップリング（封入手段）、２２…マニホールド（封入手段）、３…搬送手段、３１…駆動手段（搬送手段）、３２…回転テーブル（搬送手段）、４…移送手段、４１…駆動手段（移送手段）、４２…回転テーブル（移送手段）、５…リークディテクタ（漏洩検知移送手段）、５３…質量分析管、５６…ガイド管、５６ａ…分析管
【図１】
0005386319.tif 000002
【図２】
0005386319.tif 000003