(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
３ループ以上のマルチループ制御系において操作量振幅が一定のリミットサイクルを発生させて各制御ループのコントローラの制御パラメータを設定するリミットサイクル方式のオートチューニング（ＡＴ）を実行するオートチューニング実行装置であって、
制御ループ毎に設けられ、リミットサイクル方式のＡＴを実行する複数のＡＴ実行手段と、
ＡＴ未実行の制御ループを記憶するＡＴ未実行ループ登録手段と、
制御ループ毎に設けられ、少なくとも１つの制御ループについてのＡＴの実行中にループ間干渉により各制御ループに発生する制御量の最大変動量を検出する複数の最大変動量検出手段と、
所定の特定処理開始時点において前記最大変動量検出手段の検出結果と前記ＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容とを参照して、前記最大変動量が規定条件以内でかつ最大になるＡＴ未実行ループを特定する特定手段と、
前記ＡＴ未実行ループが特定されたときにこの制御ループの前記ＡＴ実行手段に対してＡＴを起動するよう指示するＡＴ起動手段とを備えることを特徴とするオートチューニング実行装置。
【請求項２】
３ループ以上のマルチループ制御系において操作量振幅が一定のリミットサイクルを発生させて各制御ループのコントローラの制御パラメータを設定するリミットサイクル方式のオートチューニング（ＡＴ）を実行するオートチューニング実行装置であって、
制御ループ毎に設けられ、リミットサイクル方式のＡＴを実行する複数のＡＴ実行手段と、
ＡＴ未実行の制御ループを記憶するＡＴ未実行ループ登録手段と、
制御ループ毎に設けられ、少なくとも１つの制御ループについてのＡＴの実行中にループ間干渉により各制御ループに発生する制御量の最大変動量を検出する複数の最大変動量検出手段と、
所定の特定処理開始時点において前記最大変動量検出手段の検出結果と前記ＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容とを参照して、前記最大変動量が規定条件以内でかつ最大になるＡＴ未実行ループを特定する特定手段と、
ＡＴ実行中ループのＡＴが完了した後に前記特定手段が特定したＡＴ未実行ループの前記ＡＴ実行手段に対してＡＴを起動するよう指示するＡＴ起動手段とを備えることを特徴とするオートチューニング実行装置。
【請求項３】
３ループ以上のマルチループ制御系において操作量振幅が一定のリミットサイクルを発生させて各制御ループのコントローラの制御パラメータを設定するリミットサイクル方式のオートチューニング（ＡＴ）を実行するオートチューニング実行装置であって、
制御ループ毎に設けられ、リミットサイクル方式のＡＴを実行する複数のＡＴ実行手段と、
ＡＴ未実行の制御ループを記憶するＡＴ未実行ループ登録手段と、
制御ループ毎に設けられ、少なくとも１つの制御ループについてのＡＴの実行中にループ間干渉により各制御ループに発生する制御量の最大変動量を検出する複数の最大変動量検出手段と、
所定の特定処理開始時点において前記最大変動量検出手段の検出結果と前記ＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容とを参照して、前記最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループであって、かつＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンの隔たりが規定数以上のＡＴ未実行ループのうち、ＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンが最も近いＡＴ未実行ループを特定する特定手段と、
前記ＡＴ未実行ループが特定されたときにこの制御ループの前記ＡＴ実行手段に対してＡＴを起動するよう指示するＡＴ起動手段とを備えることを特徴とするオートチューニング実行装置。
【請求項４】
３ループ以上のマルチループ制御系において操作量振幅が一定のリミットサイクルを発生させて各制御ループのコントローラの制御パラメータを設定するリミットサイクル方式のオートチューニング（ＡＴ）を実行するオートチューニング実行装置であって、
制御ループ毎に設けられ、リミットサイクル方式のＡＴを実行する複数のＡＴ実行手段と、
ＡＴ未実行の制御ループを記憶するＡＴ未実行ループ登録手段と、
制御ループ毎に設けられ、少なくとも１つの制御ループについてのＡＴの実行中にループ間干渉により各制御ループに発生する制御量の最大変動量を検出する複数の最大変動量検出手段と、
所定の特定処理開始時点において前記最大変動量検出手段の検出結果と前記ＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容とを参照して、前記最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループであって、かつＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンの隔たりが規定数以上のＡＴ未実行ループのうち、ＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンが最も近いＡＴ未実行ループを特定する特定手段と、
ＡＴ実行中ループのＡＴが完了した後に前記特定手段が特定したＡＴ未実行ループの前記ＡＴ実行手段に対してＡＴを起動するよう指示するＡＴ起動手段とを備えることを特徴とするオートチューニング実行装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のオートチューニング実行装置において、
前記特定処理開始時点は、ＡＴが最近起動した制御ループ以外の制御ループに現れる極大値、極小値を検出可能な時点であることを特徴とするオートチューニング実行装置。
【請求項６】
３ループ以上のマルチループ制御系において操作量振幅が一定のリミットサイクルを発生させて各制御ループのコントローラの制御パラメータを設定するリミットサイクル方式のオートチューニング（ＡＴ）を実行するオートチューニング実行方法であって、
複数の制御ループのうちいずれか１つの制御ループのＡＴを起動する第１のＡＴ起動ステップと、
少なくとも１つの制御ループについてのＡＴの実行中にループ間干渉により各制御ループに発生する制御量の最大変動量を検出する最大変動量検出ステップと、
所定の特定処理開始時点において前記最大変動量検出ステップの検出結果とＡＴ未実行の制御ループを記憶しているＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容とを参照して、前記最大変動量が規定条件以内でかつ最大になるＡＴ未実行ループを特定する特定ステップと、
前記ＡＴ未実行ループが特定されたときにこの制御ループのＡＴを起動する第２のＡＴ起動ステップと、
ＡＴが完了した制御ループについてＡＴ未実行ループとしての登録を前記ＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容から消去する消去ステップとを備え、
前記最大変動量検出ステップと前記特定ステップと前記第２のＡＴ起動ステップと前記消去ステップとを繰り返し実行することを特徴とするオートチューニング実行方法。
【請求項７】
３ループ以上のマルチループ制御系において操作量振幅が一定のリミットサイクルを発生させて各制御ループのコントローラの制御パラメータを設定するリミットサイクル方式のオートチューニング（ＡＴ）を実行するオートチューニング実行方法であって、
複数の制御ループのうちいずれか１つの制御ループのＡＴを起動する第１のＡＴ起動ステップと、
少なくとも１つの制御ループについてのＡＴの実行中にループ間干渉により各制御ループに発生する制御量の最大変動量を検出する最大変動量検出ステップと、
所定の特定処理開始時点において前記最大変動量検出ステップの検出結果とＡＴ未実行の制御ループを記憶しているＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容とを参照して、前記最大変動量が規定条件以内でかつ最大になるＡＴ未実行ループを特定する特定ステップと、
ＡＴ実行中ループのＡＴが完了した後に前記特定ステップで特定したＡＴ未実行ループのＡＴを起動する第２のＡＴ起動ステップと、
ＡＴが完了した制御ループについてＡＴ未実行ループとしての登録を前記ＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容から消去する消去ステップとを備え、
前記最大変動量検出ステップと前記特定ステップと前記第２のＡＴ起動ステップと前記消去ステップとを繰り返し実行することを特徴とするオートチューニング実行方法。
【請求項８】
３ループ以上のマルチループ制御系において操作量振幅が一定のリミットサイクルを発生させて各制御ループのコントローラの制御パラメータを設定するリミットサイクル方式のオートチューニング（ＡＴ）を実行するオートチューニング実行方法であって、
複数の制御ループのうちいずれか１つの制御ループのＡＴを起動する第１のＡＴ起動ステップと、
少なくとも１つの制御ループについてのＡＴの実行中にループ間干渉により各制御ループに発生する制御量の最大変動量を検出する最大変動量検出ステップと、
所定の特定処理開始時点において前記最大変動量検出ステップの検出結果とＡＴ未実行の制御ループを記憶しているＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容とを参照して、前記最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループであって、かつＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンの隔たりが規定数以上のＡＴ未実行ループのうち、ＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンが最も近いＡＴ未実行ループを特定する特定ステップと、
前記ＡＴ未実行ループが特定されたときにこの制御ループのＡＴを起動する第２のＡＴ起動ステップと、
ＡＴが完了した制御ループについてＡＴ未実行ループとしての登録を前記ＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容から消去する消去ステップとを備え、
前記最大変動量検出ステップと前記特定ステップと前記第２のＡＴ起動ステップと前記消去ステップとを繰り返し実行することを特徴とするオートチューニング実行方法。
【請求項９】
３ループ以上のマルチループ制御系において操作量振幅が一定のリミットサイクルを発生させて各制御ループのコントローラの制御パラメータを設定するリミットサイクル方式のオートチューニング（ＡＴ）を実行するオートチューニング実行方法であって、
複数の制御ループのうちいずれか１つの制御ループのＡＴを起動する第１のＡＴ起動ステップと、
少なくとも１つの制御ループについてのＡＴの実行中にループ間干渉により各制御ループに発生する制御量の最大変動量を検出する最大変動量検出ステップと、
所定の特定処理開始時点において前記最大変動量検出ステップの検出結果とＡＴ未実行の制御ループを記憶しているＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容とを参照して、前記最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループであって、かつＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンの隔たりが規定数以上のＡＴ未実行ループのうち、ＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンが最も近いＡＴ未実行ループを特定する特定ステップと、
ＡＴ実行中ループのＡＴが完了した後に前記特定ステップで特定したＡＴ未実行ループのＡＴを起動する第２のＡＴ起動ステップと、
ＡＴが完了した制御ループについてＡＴ未実行ループとしての登録を前記ＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容から消去する消去ステップとを備え、
前記最大変動量検出ステップと前記特定ステップと前記第２のＡＴ起動ステップと前記消去ステップとを繰り返し実行することを特徴とするオートチューニング実行方法。
【請求項１０】
請求項６乃至９のいずれか１項に記載のオートチューニング実行方法において、
前記特定処理開始時点は、ＡＴが最近起動した制御ループ以外の制御ループに現れる極大値、極小値を検出可能な時点であることを特徴とするオートチューニング実行方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マルチループ制御系において、操作量振幅が一定のリミットサイクルを発生させて各制御ループのコントローラの制御パラメータを設定するリミットサイクル方式のオートチューニングを実行するオートチューニング実行装置および方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
温調計などの制御機器では、リミットサイクル方式のオートチューニング（以下、ＡＴとする）機能が広く採用されており、これによりＰＩＤ制御演算のためのＰＩＤパラメータ値が自動決定される。リミットサイクル方式のＡＴは、操作量ＭＶを例えば最大と最小に変化させて制御量ＰＶを上下動させることに特徴がある。ゆえにＡＴの実行は、制御対象となる加熱装置を非稼働状態にすることになるので、効率よく実行したり、実行結果が無駄になることを回避したりしなければならない。
【０００３】
そこで、制御量ＰＶの上下動が無駄になる確率を低減することができ、ＡＴに要した時間と手間が無駄になる確率を低減することができるＡＴ機能として、ＡＴ回数をチェックするパラメータ調整装置が提案されている（特許文献１参照）。特許文献１に開示されたパラメータ調整装置は、ＡＴを開始した後に制御量ＰＶの上下動回数が予め規定された上下動最小回数を経過したときから、ＰＩＤパラメータを算出して制御機器に設定するようにしたものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２３０５７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示されたパラメータ調整装置によれば、１個の制御ループに対してＡＴを効率よく完了することができる。
一方、複数の類似の制御対象ゾーンを備えた加熱装置においては、温調計が複数台利用される。すなわち、各温調計がそれぞれ対応する制御対象ゾーンの温度を制御する制御ループが、複数形成されることになる。このようなマルチループの温度制御系においては、基本的には、複数台の温調計は全て個々にＡＴを実行することが好ましい。マルチループのＡＴを効率よく実施していくためには、ループ間干渉に関するオペレータの判断と操作が必要である。ループ間干渉があると、ＡＴを実行した制御ループの温度が整定するまではＡＴ動作と制御動作とによるループ間干渉を受けるので、他の制御ループはＡＴの実行開始を待たなければならない。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、マルチループ制御系において、次にＡＴを実行すべき未実行ループを効率よく選択し、効率よくＡＴを起動していくことができるオートチューニング実行装置および方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、３ループ以上のマルチループ制御系において操作量振幅が一定のリミットサイクルを発生させて各制御ループのコントローラの制御パラメータを設定するリミットサイクル方式のオートチューニング（ＡＴ）を実行するオートチューニング実行装置であって、制御ループ毎に設けられ、リミットサイクル方式のＡＴを実行する複数のＡＴ実行手段と、ＡＴ未実行の制御ループを記憶するＡＴ未実行ループ登録手段と、制御ループ毎に設けられ、少なくとも１つの制御ループについてのＡＴの実行中にループ間干渉により各制御ループに発生する制御量の最大変動量を検出する複数の最大変動量検出手段と、所定の特定処理開始時点において前記最大変動量検出手段の検出結果と前記ＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容とを参照して、前記最大変動量が規定条件以内でかつ最大になるＡＴ未実行ループを特定する特定手段と、前記ＡＴ未実行ループが特定されたときにこの制御ループの前記ＡＴ実行手段に対してＡＴを起動するよう指示するＡＴ起動手段とを備えることを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明のオートチューニング実行装置は、制御ループ毎に設けられ、リミットサイクル方式のＡＴを実行する複数のＡＴ実行手段と、ＡＴ未実行の制御ループを記憶するＡＴ未実行ループ登録手段と、制御ループ毎に設けられ、少なくとも１つの制御ループについてのＡＴの実行中にループ間干渉により各制御ループに発生する制御量の最大変動量を検出する複数の最大変動量検出手段と、所定の特定処理開始時点において前記最大変動量検出手段の検出結果と前記ＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容とを参照して、前記最大変動量が規定条件以内でかつ最大になるＡＴ未実行ループを特定する特定手段と、ＡＴ実行中ループのＡＴが完了した後に前記特定手段が特定したＡＴ未実行ループの前記ＡＴ実行手段に対してＡＴを起動するよう指示するＡＴ起動手段とを備えることを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明のオートチューニング実行装置は、制御ループ毎に設けられ、リミットサイクル方式のＡＴを実行する複数のＡＴ実行手段と、ＡＴ未実行の制御ループを記憶するＡＴ未実行ループ登録手段と、制御ループ毎に設けられ、少なくとも１つの制御ループについてのＡＴの実行中にループ間干渉により各制御ループに発生する制御量の最大変動量を検出する複数の最大変動量検出手段と、所定の特定処理開始時点において前記最大変動量検出手段の検出結果と前記ＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容とを参照して、前記最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループであって、かつＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンの隔たりが規定数以上のＡＴ未実行ループのうち、ＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンが最も近いＡＴ未実行ループを特定する特定手段と、前記ＡＴ未実行ループが特定されたときにこの制御ループの前記ＡＴ実行手段に対してＡＴを起動するよう指示するＡＴ起動手段とを備えることを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明のオートチューニング実行装置は、制御ループ毎に設けられ、リミットサイクル方式のＡＴを実行する複数のＡＴ実行手段と、ＡＴ未実行の制御ループを記憶するＡＴ未実行ループ登録手段と、制御ループ毎に設けられ、少なくとも１つの制御ループについてのＡＴの実行中にループ間干渉により各制御ループに発生する制御量の最大変動量を検出する複数の最大変動量検出手段と、所定の特定処理開始時点において前記最大変動量検出手段の検出結果と前記ＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容とを参照して、前記最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループであって、かつＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンの隔たりが規定数以上のＡＴ未実行ループのうち、ＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンが最も近いＡＴ未実行ループを特定する特定手段と、ＡＴ実行中ループのＡＴが完了した後に前記特定手段が特定したＡＴ未実行ループの前記ＡＴ実行手段に対してＡＴを起動するよう指示するＡＴ起動手段とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明のオートチューニング実行装置の１構成例において、前記特定処理開始時点は、ＡＴが最近起動した制御ループ以外の制御ループに現れる極大値、極小値を検出可能な時点であることを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明は、３ループ以上のマルチループ制御系において操作量振幅が一定のリミットサイクルを発生させて各制御ループのコントローラの制御パラメータを設定するリミットサイクル方式のオートチューニング（ＡＴ）を実行するオートチューニング実行方法であって、複数の制御ループのうちいずれか１つの制御ループのＡＴを起動する第１のＡＴ起動ステップと、少なくとも１つの制御ループについてのＡＴの実行中にループ間干渉により各制御ループに発生する制御量の最大変動量を検出する最大変動量検出ステップと、所定の特定処理開始時点において前記最大変動量検出ステップの検出結果とＡＴ未実行の制御ループを記憶しているＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容とを参照して、前記最大変動量が規定条件以内でかつ最大になるＡＴ未実行ループを特定する特定ステップと、前記ＡＴ未実行ループが特定されたときにこの制御ループのＡＴを起動する第２のＡＴ起動ステップと、ＡＴが完了した制御ループについてＡＴ未実行ループとしての登録を前記ＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容から消去する消去ステップとを備え、前記最大変動量検出ステップと前記特定ステップと前記第２のＡＴ起動ステップと前記消去ステップとを繰り返し実行することを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明のオートチューニング実行方法は、複数の制御ループのうちいずれか１つの制御ループのＡＴを起動する第１のＡＴ起動ステップと、少なくとも１つの制御ループについてのＡＴの実行中にループ間干渉により各制御ループに発生する制御量の最大変動量を検出する最大変動量検出ステップと、所定の特定処理開始時点において前記最大変動量検出ステップの検出結果とＡＴ未実行の制御ループを記憶しているＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容とを参照して、前記最大変動量が規定条件以内でかつ最大になるＡＴ未実行ループを特定する特定ステップと、ＡＴ実行中ループのＡＴが完了した後に前記特定ステップで特定したＡＴ未実行ループのＡＴを起動する第２のＡＴ起動ステップと、ＡＴが完了した制御ループについてＡＴ未実行ループとしての登録を前記ＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容から消去する消去ステップとを備え、前記最大変動量検出ステップと前記特定ステップと前記第２のＡＴ起動ステップと前記消去ステップとを繰り返し実行することを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明のオートチューニング実行方法は、複数の制御ループのうちいずれか１つの制御ループのＡＴを起動する第１のＡＴ起動ステップと、少なくとも１つの制御ループについてのＡＴの実行中にループ間干渉により各制御ループに発生する制御量の最大変動量を検出する最大変動量検出ステップと、所定の特定処理開始時点において前記最大変動量検出ステップの検出結果とＡＴ未実行の制御ループを記憶しているＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容とを参照して、前記最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループであって、かつＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンの隔たりが規定数以上のＡＴ未実行ループのうち、ＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンが最も近いＡＴ未実行ループを特定する特定ステップと、前記ＡＴ未実行ループが特定されたときにこの制御ループのＡＴを起動する第２のＡＴ起動ステップと、ＡＴが完了した制御ループについてＡＴ未実行ループとしての登録を前記ＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容から消去する消去ステップとを備え、前記最大変動量検出ステップと前記特定ステップと前記第２のＡＴ起動ステップと前記消去ステップとを繰り返し実行することを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明のオートチューニング実行方法は、複数の制御ループのうちいずれか１つの制御ループのＡＴを起動する第１のＡＴ起動ステップと、少なくとも１つの制御ループについてのＡＴの実行中にループ間干渉により各制御ループに発生する制御量の最大変動量を検出する最大変動量検出ステップと、所定の特定処理開始時点において前記最大変動量検出ステップの検出結果とＡＴ未実行の制御ループを記憶しているＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容とを参照して、前記最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループであって、かつＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンの隔たりが規定数以上のＡＴ未実行ループのうち、ＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンが最も近いＡＴ未実行ループを特定する特定ステップと、ＡＴ実行中ループのＡＴが完了した後に前記特定ステップで特定したＡＴ未実行ループのＡＴを起動する第２のＡＴ起動ステップと、ＡＴが完了した制御ループについてＡＴ未実行ループとしての登録を前記ＡＴ未実行ループ登録手段の登録内容から消去する消去ステップとを備え、前記最大変動量検出ステップと前記特定ステップと前記第２のＡＴ起動ステップと前記消去ステップとを繰り返し実行することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、マルチループ制御系において、次にＡＴを実行すべき未実行ループを効率よく選択し、効率よくＡＴを起動していくことができる。その結果、本発明では、ＡＴを実行した制御ループの制御量が整定するまで待ってから次の制御ループのＡＴを起動する従来の方法に比べて、全制御ループの合計のＡＴ所要時間を削減することができる。また、本発明では、オペレータに制御の専門知識を要求することなく、ＡＴを効率よく実行していくことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】加熱装置の１例を示す図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るオートチューニング実行装置の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係るオートチューニング実行装置の動作を示すフローチャートである。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係るオートチューニング実行装置の特定部の動作を説明する図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係るオートチューニング実行装置の動作を示すフローチャートである。
【図６】本発明の第３の実施の形態に係るオートチューニング実行装置の動作を示すフローチャートである。
【図７】本発明の第３の実施の形態に係るオートチューニング実行装置によるオートチューニングの実行順序の１例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
［発明の原理］
発明者は、ループ間干渉の少ない状態を検出してＡＴをシーケンシャルに実行していくことにより、ＡＴの適切な自動起動が可能になることに着眼した。より具体的には、ループ間干渉の少ない制御ループを選んでいくことにより、ＡＴ実行可能な制御ループを前倒しで実行して、全制御ループの合計のＡＴ所要時間を削減できることに着眼した。
【００１８】
例えば図１に示すような８個の温度制御ゾーンを備える加熱装置を例に挙げて説明する。図１の例は、加熱チャンバー１００の内部の温度ＰＶを温調計（ＰＩＤコントローラ）１０３−１〜１０３−８によって制御するものである。温度センサ１０２−１〜１０２−８は、それぞれヒータ１０１−１〜１０１−８によって加熱される温度制御ゾーンＺ１〜Ｚ８の温度ＰＶを測定する。温調計１０３−１〜１０３−８は、それぞれ温度センサ１０２−１〜１０２−８によって測定された温度ＰＶが温度設定値ＳＰと一致するように操作量ＭＶを算出する。電力調整器１０４−１〜１０４−８は、それぞれ温調計１０３−１〜１０３−８から出力された操作量ＭＶに応じた電力をヒータ１０１−１〜１０１−８に供給する。この図１に示した温度制御系においては、各温調計１０３−１〜１０３−８がそれぞれ対応する温度制御ゾーンＺ１〜Ｚ８の温度ＰＶを制御する制御ループが８個形成されていることになる。以下、各温調計１０３−１〜１０３−８が形成する８個の制御ループをＲ１〜Ｒ８と呼ぶことにする。
【００１９】
８個の温度制御ゾーンＺ１〜Ｚ８に対して、独立に８個の制御ループＲ１〜Ｒ８がある場合に、制御ループＲ１からＲ２，Ｒ３・・・の順で単純にＡＴを実行することを考える。制御ループＲ１のＡＴが完了すると、温度（制御量ＰＶ１）が設定値ＳＰ１には整定していないので、制御動作により制御ループＲ１のヒータ出力（操作量ＭＶ１）が上下動する。この際、制御ループＲ１のＡＴ実行中は、温度制御ゾーンＺ１に隣接する温度制御ゾーンＺ２においては制御動作を実質的にオフにしており、一定の操作量ＭＶ２に維持される。したがって、温度制御ゾーンＺ２の温度（制御量ＰＶ２）も設定値ＳＰ２には整定していないが、制御ループＲ１のＡＴ完了後に制御ループＲ１の操作量ＭＶ１の上下動による干渉も受けるので、制御ループＲ２がＡＴを開始するのに適切な状態に整定するまでに相当の時間を要することになる。これが、マルチループのＡＴの効率を悪化させる大きな要因である。
【００２０】
一方で、制御ループＲ１のＡＴ実行中に、制御ループＲ５〜Ｒ８は、ループ間干渉を受けずに整定状態を維持しており、ＡＴを開始できる状態になる。ゆえに、ループ間干渉の少ない制御ループを選んでいくことにより、全制御ループの合計のＡＴ所要時間を削減できることになる。
【００２１】
ただし、１個のＡＴを実行した際の状況において、そのＡＴを実行した制御ループからのループ間干渉が最低レベルになる制御ループを逐次的に選んでいくと、最終的にループ間干渉の強い制御ループ同士が残る可能性がある。例えば制御ループＲ１〜Ｒ８でＲ１から実行すると、Ｒ１→Ｒ８→Ｒ２→Ｒ７→Ｒ３→Ｒ６→Ｒ４→Ｒ５の順でＡＴが実行されるので、温度制御ゾーンが隣接する制御ループＲ４，Ｒ５が残る。そこで、ループ間干渉が規定条件以内で最大の制御ループを選ぶようにする。これにより、Ｒ１→Ｒ３→Ｒ５→Ｒ７→Ｒ４→Ｒ２→Ｒ６→Ｒ８の順やＲ１→Ｒ４→Ｒ７→Ｒ３→Ｒ６→Ｒ２→Ｒ５→Ｒ８の順などに修正できるようになる。
【００２２】
［第１の実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。本実施の形態は、図１に示したようなマルチループの制御系を適用対象として想定しており、対象とする加熱装置の例としてリフロー炉のように各制御ループのヒータ容量の差が小さいものを想定し、片側干渉が発生する可能性のない場合を想定している。片側干渉は、例えば制御ループＲ１から制御ループＲ２への干渉がほとんどないにもかかわらず、制御ループＲ２から制御ループＲ１への干渉が発生するというようなものであり、制御ループＲ２のヒータ容量が制御ループＲ１のヒータ容量よりも格段に大きいというような場合に起こる。
【００２３】
図２は本実施の形態に係るオートチューニング実行装置の構成を示すブロック図である。オートチューニング実行装置は、制御ループ毎に設けられ、リミットサイクル方式のＡＴを実行するＡＴ実行部１と、ＡＴ未実行の制御ループを記憶するＡＴ未実行ループ登録部２と、制御ループ毎に設けられ、ループ間干渉により各制御ループに発生する制御量ＰＶの最大変動量を検出する最大変動量検出部３と、所定の特定処理開始時点において最大変動量検出部３の検出結果とＡＴ未実行ループ登録部２の登録内容とを参照して、最大変動量が規定条件以内でかつ最大になるＡＴ未実行ループを特定する特定部４と、ＡＴ未実行ループが特定されたときにこの制御ループのＡＴ実行部１に対してＡＴを起動するよう指示するＡＴ起動部５とを備えている。なお、ＡＴ実行部１と最大変動量検出部３とは制御ループ毎に設けられるが、図２では単数で記載している。
【００２４】
図３は本実施の形態のオートチューニング実行装置の動作を示すフローチャートである。まず、オートチューニング実行装置のオペレータは、ＡＴを実行すべき全ての制御ループをＡＴ未実行ループとしてＡＴ未実行ループ登録部２に登録する（図３ステップＳ１００）。
【００２５】
次に、制御ループＲ１〜Ｒ８のうちいずれか１つの特定の制御ループＸのＡＴ実行部１は、この制御ループＸについてＡＴを実行する（図３ステップＳ１０１）。最初にＡＴを実行する制御ループについては、オペレータが適宜指定すればよい。原理的にはどの制御ループでもかまわない。
【００２６】
ＡＴ実行部１は、制御ループＸの温度センサ１０２によって測定される制御量ＰＶ（温度）が設定値ＳＰより大きい場合、予め定められた操作量下限値ＯＬ＿ＡＴを操作量ＭＶとして出力し、制御ループＸの制御量ＰＶが設定値ＳＰ以下の場合、予め設定された操作量上限値ＯＨ＿ＡＴを操作量ＭＶとして出力することを、一定の動作周期毎に繰り返し行う。こうして、操作量ＭＶの振幅が一定のリミットサイクルが発生する。なお、図１の例の場合、操作量ＭＶは制御ループＸの電力調整器１０４に出力されることは言うまでもない。そして、ＡＴ実行部１は、操作量ＭＶの出力に応じた制御ループＸの制御量ＰＶの応答に基づいて制御パラメータ（例えばＰＩＤパラメータ）を算出し、この制御パラメータを制御ループＸの温調計１０３に設定する（ステップＳ１０１）。なお、リミットサイクル方式のＡＴについては、例えば特許第３８８１５９３号公報に開示されているので、ＡＴの詳細については説明を省略する。
【００２７】
続いて、各制御ループの最大変動量検出部３は、上記ＡＴの実行中にループ間干渉により、対応する制御ループに発生する干渉波形、すなわち制御量ＰＶの上下動を検出する（図３ステップＳ１０２）。
そして、各制御ループの最大変動量検出部３は、上記ＡＴの実行中に、対応する制御ループに発生する制御量ＰＶの上下動の極大値と極小値との差を最大変動量として検出する（図３ステップＳ１０３）。
【００２８】
以下、最大変動量の検出方法についてより詳細に説明する。ここでは、最大変動量の検出対象を制御ループＲとする。制御ループＲの最大変動量検出部３は、制御ループＸのＡＴが開始された時点の制御ループＲの制御量ＰＶ（以下、ＰＶ０とする）を最大変動量の検出に利用する。すなわち、最大変動量検出部３は、この制御量ＰＶ０と制御ループＲの現在の制御量ＰＶとの差ＰＶ０−ＰＶを、最大変動量検出に用いる偏差とする。偏差ＰＶ０−ＰＶが正から負に変化した後に負から正に変化するまでに検出される制御量ＰＶの極値が極大値であり、偏差ＰＶ０−ＰＶが負から正に変化した後に正から負に変化するまでに検出される制御量ＰＶの極値が極小値である。こうして、最大変動量検出部３は、制御量ＰＶの上下動の極大値と極小値との差である最大変動量を検出することができる。
【００２９】
極小値を検出できなかった場合には、極大値と制御量ＰＶ０との差を最大変動量とすればよく、極大値を検出できなかった場合には、制御量ＰＶ０と極小値との差を最大変動量とすればよい。また、極大値、極小値の両方を検出できなかった場合には、最大変動量を０とすればよい。各制御ループの最大変動量検出部３は、それぞれ対応する制御ループの最大変動量を以上のようにして検出する。
【００３０】
次に、特定部４は、ＡＴが最近起動した制御ループにおいてＡＴの起動後に制御量ＰＶの極値（極大値または極小値）が３回検出された時点において（図３ステップＳ１０４においてＹＥＳ）、各最大変動量検出部３の検出結果とＡＴ未実行ループ登録部２の登録内容とを参照して、最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループが存在するかどうかを確認する（図３ステップＳ１０５）。そして、特定部４は、最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループが有る場合には（ステップＳ１０５においてＹＥＳ）、このＡＴ未実行ループのうち最大変動量が最も大きいＡＴ未実行ループを、次にＡＴを起動すべき制御ループとして特定する（図３ステップＳ１０６）。
【００３１】
図４（Ａ）〜図４（Ｃ）は特定部４の動作を説明する図であり、制御ループＲ１〜Ｒ８のうち制御ループＸ，Ｙ，Ｚの制御量ＰＶを示す図である。図４（Ａ）は制御ループＸの制御量ＰＶを示す図、図４（Ｂ）は制御ループＹの制御量ＰＶを示す図、図４（Ｃ）は制御ループＺの制御量ＰＶを示す図である。本実施の形態では、全ての制御ループのうちＡＴが最近起動した制御ループの制御量ＰＶの上下動幅ΔＰＶ＿Ｘの５％を規定条件とする。したがって、最大変動量が上下動幅ΔＰＶ＿Ｘの５％以内であれば、規定条件以内ということになる。なお、上下動幅とは、ＡＴの実行によりリミットサイクルが発生した制御量ＰＶの極大値と極小値との差である。図４（Ｂ）、図４（Ｃ）の例では、最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループのうち制御ループＹの最大変動量ΔＰＶ＿Ｙが最も大きい。よって、特定部４は、制御ループＹを次にＡＴを起動すべき制御ループとして特定する。
【００３２】
ステップＳ１０５の処理を開始するのは、最近起動したＡＴが完了する前であってもよい。本実施の形態では、最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループが存在するかどうかを確認する特定処理開始時点、すなわちＡＴが最近起動した制御ループ以外の制御ループに極大値、極小値が現れるのに十分な時間が経過した時点を、ＡＴが最近起動した制御ループにおいてＡＴの起動後に制御量ＰＶの極値が３回検出された時点としている。図４（Ａ）からも明らかなように、特許第３８８１５９３号公報に開示されたリミットサイクル方式のＡＴでは制御量ＰＶの極値が４回検出された時点をＡＴの完了時点としているので、ＡＴが完了する前にステップＳ１０５の処理が開始されることになる。なお、本実施の形態の特定処理開始時点は一例であって、別の方法で特定処理開始時点を規定してもよいことは言うまでもない。
【００３３】
次に、ＡＴ起動部５は、特定部４が特定した制御ループＹのＡＴ実行部１に対してＡＴを起動するよう指示する（図３ステップＳ１０７）。ここでは、制御ループＸのＡＴが完了する前に制御ループＹのＡＴを起動することになるが、片側干渉がなければ、制御ループＹのＡＴが継続中の制御ループＸのＡＴに悪影響を及ぼすことはない。
【００３４】
ＡＴ未実行ループ登録部２は、ステップＳ１０１で起動したＡＴまたはステップＳ１０７で起動したＡＴが完了すると（図３ステップＳ１０８においてＹＥＳ）、ＡＴが完了した制御ループについてＡＴ未実行ループとしての登録を消去する（図３ステップＳ１０９）。
【００３５】
オートチューニング実行装置は、以上のようなステップＳ１０２〜Ｓ１０９の処理をＡＴを実行すべき全ての制御ループについてＡＴが完了するまで、すなわちＡＴ未実行ループ登録部２に登録されているＡＴ未実行ループがなくなるまで（図３ステップＳ１１０においてＹＥＳ）、一定時間毎に行う。
【００３６】
なお、ステップＳ１０７において制御ループＹのＡＴが起動すると、ＡＴが最近起動した制御ループはＹとなり、続いて制御ループＺのＡＴが起動すると、ＡＴが最近起動した制御ループはＺとなる。このように、特定部４がＡＴ未実行ループの特定に用いる、ＡＴが最近起動した制御ループは、順次推移していくことは言うまでもない。
【００３７】
また、特定部４は、ステップＳ１０５において最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループが存在しない場合、オートチューニング実行装置の動作を停止させ、ＡＴ未実行ループ登録部２に登録されているＡＴ未実行ループをオペレータに提示する（図３ステップＳ１１１）。オペレータは、実行中のＡＴが完了して各制御ループの制御量ＰＶが整定するのを待って、残ったＡＴ未実行ループについてステップＳ１００からの処理の再実行を指示すればよい。
【００３８】
こうして、本実施の形態では、マルチループ制御系において、次にＡＴを実行すべき未実行ループを効率よく選択し、効率よくＡＴを起動していくことができる。その結果、本実施の形態では、ＡＴを実行した制御ループの制御量が整定するまで待ってから次の制御ループのＡＴを起動する従来の方法に比べて、全制御ループの合計のＡＴ所要時間を削減することができる。また、本実施の形態では、オペレータに制御の専門知識を要求することなく、ＡＴを効率よく実行していくことができる。
【００３９】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。本実施の形態は、対象とする加熱装置の例として酸化拡散炉の均熱補助ゾーンのように各制御ループのヒータ容量の差が大きいものが含まれる場合を想定し、片側干渉が発生する可能性がある場合を想定している。本実施の形態においても、オートチューニング実行装置の構成は第１の実施の形態と同様であるので、図２の符号を用いて説明する。
【００４０】
図５は本実施の形態のオートチューニング実行装置の動作を示すフローチャートであり、第１の実施の形態と同一の処理には同一の符号を付してある。まず、オートチューニング実行装置のオペレータは、ＡＴを実行すべき全ての制御ループをＡＴ未実行ループとしてＡＴ未実行ループ登録部２に登録する（図５ステップＳ１００）。
次に、制御ループＲ１〜Ｒ８のうちいずれか１つの特定の制御ループＸのＡＴ実行部１は、この制御ループＸについてＡＴを実行する（図５ステップＳ１０１）。第１の実施の形態で説明したとおり、最初にＡＴを実行する制御ループについては、オペレータが適宜指定すればよい。
【００４１】
続いて、各制御ループの最大変動量検出部３は、ＡＴの実行中にループ間干渉により、対応する制御ループに発生する干渉波形、すなわち制御量ＰＶの上下動を検出する（図５ステップＳ１０２）。
そして、各制御ループの最大変動量検出部３は、ＡＴの実行中に、対応する制御ループに発生する制御量ＰＶの上下動の極大値と極小値との差を最大変動量として検出する（図５ステップＳ１０３）。最大変動量を検出する方法は第１の実施の形態で説明したとおりである。
【００４２】
次に、特定部４は、ステップＳ１０１で起動したＡＴまたは後述するステップＳ１０７で起動したＡＴが完了した時点において（図５ステップＳ１１２においてＹＥＳ）、各最大変動量検出部３の検出結果とＡＴ未実行ループ登録部２の登録内容とを参照して、最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループが存在するかどうかを確認する（図５ステップＳ１０５）。そして、特定部４は、最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループが有る場合には（ステップＳ１０５においてＹＥＳ）、このＡＴ未実行ループのうち最大変動量が最も大きいＡＴ未実行ループを、次にＡＴを起動すべき制御ループとして特定する（図５ステップＳ１０６）。
【００４３】
第１の実施の形態では、最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループが存在するかどうかを確認する特定処理開始時点、すなわちＡＴが最近起動した制御ループ以外の制御ループに極大値、極小値が現れるのに十分な時間が経過した時点を、ＡＴが最近起動した制御ループにおいてＡＴの起動後に制御量ＰＶの極値が３回検出された時点としていた。したがって、実行中のＡＴが完了する前に次のＡＴが起動される可能性があった。これに対して、本実施の形態では、実行中のＡＴが完了した時点を特定処理開始時点としている。したがって、実行中のＡＴが完了する度に次のＡＴを起動することになる。規定条件は第１の実施の形態と同じでよい。
【００４４】
次に、ＡＴ起動部５は、特定部４が特定した制御ループのＡＴ実行部１に対してＡＴを起動するよう指示する（図５ステップＳ１０７）。ここでは、制御ループＸのＡＴが完了した時点で例えば制御ループＹのＡＴを起動することになるので、片側干渉があっても、制御ループＹのＡＴが制御ループＸのＡＴに悪影響を及ぼすことはない。
【００４５】
ＡＴ未実行ループ登録部２は、ステップＳ１０１で起動したＡＴまたはステップＳ１０７で起動したＡＴが完了した時点において（図５ステップＳ１１２においてＹＥＳ）、ＡＴが完了した制御ループについてＡＴ未実行ループとしての登録を消去する（図５ステップＳ１０９）。
【００４６】
オートチューニング実行装置は、以上のようなステップＳ１０２，Ｓ１０３，Ｓ１１２，Ｓ１０５〜Ｓ１０７，Ｓ１０９の処理をＡＴを実行すべき全ての制御ループについてＡＴが完了するまで、すなわちＡＴ未実行ループ登録部２に登録されているＡＴ未実行ループがなくなるまで（図５ステップＳ１１０においてＹＥＳ）、一定時間毎に行う。
【００４７】
第１の実施の形態と同様に、特定部４は、ステップＳ１０５において最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループが存在しない場合、オートチューニング実行装置の動作を停止させ、ＡＴ未実行ループ登録部２に登録されているＡＴ未実行ループをオペレータに提示する（図５ステップＳ１１１）。オペレータは、実行中のＡＴが完了して各制御ループの制御量ＰＶが整定するのを待って、残ったＡＴ未実行ループについてステップＳ１００からの処理の再実行を指示すればよい。
こうして、本実施の形態では、片側干渉が発生する可能性がある場合においても、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００４８】
［第３の実施の形態］
次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。本実施の形態は、対象とする加熱装置の例としてリフロー炉のように各制御ループのヒータ容量の差が小さいものを想定し、片側干渉が発生する可能性のない場合を想定している。第１の実施の形態との違いは、規定条件にゾーンの離れ方を採り入れたことである。規定条件にゾーンの離れ方を採り入れたことにより、ＡＴの実行順序が全くランダムになる可能性が低くなり、ＡＴの整った実行順序を再現しやすくなる。本実施の形態においても、オートチューニング実行装置の構成は第１の実施の形態と同様であるので、図２の符号を用いて説明する。
【００４９】
図６は本実施の形態のオートチューニング実行装置の動作を示すフローチャートであり、第１の実施の形態と同一の処理には同一の符号を付してある。まず、オートチューニング実行装置のオペレータは、ＡＴを実行すべき全ての制御ループをＡＴ未実行ループとしてＡＴ未実行ループ登録部２に登録する（図６ステップＳ１００）。
【００５０】
次に、制御ループＲ１〜Ｒ８のうちいずれか１つの特定の制御ループＸのＡＴ実行部１は、この制御ループＸについてＡＴを実行する（図６ステップＳ１１３）。最初にＡＴを実行する制御ループについては、オペレータが適宜指定すればよい。原理的にはどの制御ループでもかまわないが、ＡＴの実行順序を再現しやすくするためには、予め規定しておくのが好ましい。例えば単純に１番目の制御ループＲ１を制御ループＸとすればよい。
【００５１】
続いて、各制御ループの最大変動量検出部３は、ＡＴの実行中にループ間干渉により、対応する制御ループに発生する干渉波形、すなわち制御量ＰＶの上下動を検出する（図６ステップＳ１０２）。
そして、各制御ループの最大変動量検出部３は、ＡＴの実行中に、対応する制御ループに発生する制御量ＰＶの上下動の極大値と極小値との差を最大変動量として検出する（図６ステップＳ１０３）。最大変動量を検出する方法は第１の実施の形態で説明したとおりである。
【００５２】
次に、特定部４は、ＡＴが最近起動した制御ループにおいてＡＴの起動後に制御量ＰＶの極値（極大値または極小値）が３回検出された時点において（図６ステップＳ１０４においてＹＥＳ）、各最大変動量検出部３の検出結果とＡＴ未実行ループ登録部２の登録内容とを参照して、最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループであって、かつＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンの隔たりが規定数以上のＡＴ未実行ループが存在するかどうかを確認する（図６ステップＳ１１４）。
【００５３】
そして、特定部４は、該当するＡＴ未実行ループが有る場合には（ステップＳ１１４においてＹＥＳ）、このＡＴ未実行ループのうちＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンが最も近いＡＴ未実行ループを、次にＡＴを起動すべき制御ループとして特定する（図６ステップＳ１１５）。なお、特定部４は、各温度制御ゾーンの隔たりの情報を予め記憶していることは言うまでもない。
【００５４】
次に、ＡＴ起動部５は、特定部４が特定した制御ループのＡＴ実行部１に対してＡＴを起動するよう指示する（図６ステップＳ１０７）。ここでは、制御ループＸのＡＴが完了する前に例えば制御ループＹのＡＴを起動することになるが、片側干渉がなければ、制御ループＹのＡＴが継続中の制御ループＸのＡＴに悪影響を及ぼすことはない。
【００５５】
ＡＴ未実行ループ登録部２は、ステップＳ１０１で起動したＡＴまたはステップＳ１０７で起動したＡＴが完了すると（図６ステップＳ１０８においてＹＥＳ）、ＡＴが完了した制御ループについてＡＴ未実行ループとしての登録を消去する（図６ステップＳ１０９）。
【００５６】
オートチューニング実行装置は、以上のようなステップＳ１０２〜Ｓ１０４，Ｓ１１４，Ｓ１１５，Ｓ１０７〜Ｓ１０９の処理をＡＴを実行すべき全ての制御ループについてＡＴが完了するまで、すなわちＡＴ未実行ループ登録部２に登録されているＡＴ未実行ループがなくなるまで（図６ステップＳ１１０においてＹＥＳ）、一定時間毎に行う。
【００５７】
第１の実施の形態と同様に、特定部４は、ステップＳ１１４において最大変動量が規定条件以内のＡＴ未実行ループで、かつＡＴが最近起動した制御ループの温度制御ゾーンに対して温度制御ゾーンの隔たりが規定数以上のＡＴ未実行ループが存在しない場合、オートチューニング実行装置の動作を停止させ、ＡＴ未実行ループ登録部２に登録されているＡＴ未実行ループをオペレータに提示する（図６ステップＳ１１１）。オペレータは、実行中のＡＴが完了して各制御ループの制御量ＰＶが整定するのを待って、残ったＡＴ未実行ループについてステップＳ１００からの処理の再実行を指示すればよい。
【００５８】
本実施の形態では、図１に示した加熱装置においてゾーン間干渉が全体的に少ない場合に、温度制御ゾーンの隔たりの規定数を２にすると、Ｒ１→Ｒ３→Ｒ５→Ｒ７→Ｒ４→Ｒ２→Ｒ６→Ｒ８の順でＡＴが実行される。
また、図１に示した加熱装置においてゾーン間干渉が全体的に少ない場合に、温度制御ゾーンの隔たりの規定数を３にすると、図７に示すように、Ｒ１→Ｒ４→Ｒ７→Ｒ３→Ｒ６→Ｒ２→Ｒ５→Ｒ８の順でＡＴが実行される。
【００５９】
本実施の形態では、片側干渉が発生する可能性のない場合を想定しているが、片側干渉が発生する可能性がある場合にも、本実施の形態を適用できることは言うまでもない。
なお、第１〜第３の実施の形態を適宜組み合わせてもよいことは言うまでもない。例えば第３の実施の形態において特定処理開始時点を、第２の実施の形態のように実行中のＡＴが完了した時点としてもよい。
【００６０】
第１〜第３の実施の形態で説明したオートチューニング実行装置は、ＣＰＵ、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。ＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って第１〜第３の実施の形態で説明した処理を実行する。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明は、マルチループ制御系において、操作量振幅が一定のリミットサイクルを発生させて各制御ループのコントローラの制御パラメータを設定するリミットサイクル方式のオートチューニングを実行する技術に適用することができる。
【符号の説明】
【００６２】
１…ＡＴ実行部、２…ＡＴ未実行ループ登録部、３…最大変動量検出部、４…特定部、５…ＡＴ起動部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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