(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともひとつの辺長が１０００ｍｍを超えるペリクルを収納する大型のペリクル収納容器であって、ペリクル収納容器本体は金属製であるとともに、載置・固定する蓋体が接触する該ペリクル収納容器本体の周縁部表面に、少なくとも２層からなっており、その蓋体と接する層は樹脂であり、ペリクル収納容器本体と接する層はシリコーン粘着剤である保護部材が断続的に設けられ、ペリクル収納容器本体と蓋体とは該保護部材を介して載置・固定することを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項２】
前記保護部材は、少なくとも３層からなっており、その蓋体と接する層は樹脂、ペリクル収納容器本体と接する層はシリコーン粘着剤であるとともに、その中間層は弾性体である請求項１に記載のペリクル収納容器。
【請求項３】
前記保護部材中の弾性体は、シリコーン樹脂である請求項２に記載のペリクル収納容器。
【請求項４】
前記保護部材の蓋体と接する層は、ＰＥＴである請求項１ないし３の何れかに記載のペリクル収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイス、プリント基板あるいは液晶ディスプレイ等を製造する際のゴミよけとして使用される、リソグラフィー用ペリクルに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩなどの半導体デバイス或いは液晶ディスプレイなどの製造においては、半導体ウエハー或いは液晶用ガラス原板に光を照射してパターンを作製するが、この時に用いるフォトマスクあるいはレチクル（以下、単にフォトマスクと記述する）にゴミが付着していると、このゴミが光を遮ったり、曲げたりしてしまうために、転写したパターンが損なわれるという問題があった。
【０００３】
このため、これらの作業は、通常、クリーンルーム内で行われているが、それでもフォトマスクを常に清浄に保つ事が難しい。そこで、フォトマスク表面にゴミよけとして、ペリクルを貼付する方法が取られている。
この場合、異物はフォトマスクの表面上には直接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィー時に焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル上の異物は転写に無関係となる。
【０００４】
このペリクルは、通常、光を良く透過させるニトロセルロース、酢酸セルロースあるいはフッ素系樹脂などからなる透明なペリクル膜をアルミニウム、ステンレス、ポリエチレンなどからなるペリクルフレームの上端面にペリクル膜の良溶媒を塗布し、風乾して接着するか、アクリル樹脂やエポキシ樹脂等の接着剤で接着し、更に、ペリクルフレームの下端には、フォトマスクに装着するためのポリブデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂等からなる粘着層、及び粘着層の保護を目的とした離型層(セパレータ)が設けられる。
【０００５】
また、ペリクルをフォトマスクに貼り付けた状態において、ペリクル内部に囲まれた空間と外部との気圧差をなくすことを目的として、ペリクルフレームの一部に気圧調整用の小孔を開け、小孔を通じて移動する空気からの異物侵入を防ぐためのフィルターが設置されることもある。
【０００６】
近年、液晶ディスプレイの大型化に伴うフォトマスクの大型化により、ペリクルも著しく大型化してきており、当然、それに伴いペリクルの収納容器も大型になる。
従来、ペリクル収納容器は、コストが低いこと、軽量であること、一体成形が可能なこと、形状の自由度が高いこと、などの理由から、真空成形あるいは接着接合による樹脂製のものが用いられてきた。
しかしながら、大型化した場合、収納物の重量が増大することに加え、外力に対する変形量が大きくなるため、収納容器内での収納物あるいは収納容器自体に移動や擦れが生じる。
【０００７】
そのため、容器内での発塵を防ぐためには、収納容器の剛性を高くする必要がある。剛性を高める方法としては、従来の樹脂製のペリクル収納容器の外側に補強体を取り付ける方法などが知られている（特許文献１参照）。
しかし、この方法は補強体の組み付けに多くの工数が必要となるため、この他に、アルミニウム合金、マグネシウム合金、あるいは鉄鋼などをプレス成型あるいは鋳造した金属製のペリクル収納容器ないし補強体も提案されてきている。
【０００８】
これらの金属製のペリクル収納容器は、重量が重くなるという問題はあるものの、必要な剛性が確保でき、補強体を取り付ける工数まで考慮すると樹脂製と同等のコストとなるため、特にペリクルの辺長が１０００ｍｍを超えるような、特に大型の品種については、採用される例が出てきている。
しかしながら、ペリクル収納容器本体に金属製のものを採用した場合にも、樹脂製の場合と同様、輸送中の発塵が問題となっている。発塵原因を調査したところ、発塵は主としてペリクル収納容器本体と蓋体の接触部で生じていることがわかった。
【０００９】
金属製のペリクル収納容器本体は、洗浄性向上のための表面の平滑化、腐食防止、異物視認性向上のための黒色化といった理由から、酸化皮膜、めっき、塗装などの表面処理を施して使用される。
一方、ペリクル収納容器本体と組み合わされる蓋体は、アルミニウム合金あるいはマグネシウム合金などの薄板をプレス成型した金属製か、あるいは、ＰＣ、ＰＭＭＡ、ＡＢＳなどの樹脂を真空成型したものが用いられる。樹脂製のものは表面が平滑なためそのまま用いられるが、金属製のものについては、これら蓋体もペリクル収納容器本体と同様の表面処理を施して用いられる。
【００１０】
輸送中の発塵は、蓋体が樹脂製であっても、金属製であっても、同様に見られる。ペリクル収納容器の撓み、変形による擦れを防止するために剛性を高めているにもかかわらず、ペリクル収納容器本体と蓋体の間ではいくらかの擦れが生じているということであり、また、相互の表面を平滑に処理しているにもかかわらず、発塵を完全には防止できていないということである。
【００１１】
これは、ペリクル収納容器の剛性をさらに高めれば解決できる可能性がある。しかしながら、剛性向上のためにさらに重量が増加する可能性があり、取り扱い可能な重量を考慮すると、際限なく剛性を高めるわけにはいかないため、完全に撓み、変形を防止することは不可能である。
以上のことから、金属製のペリクル収納容器本体を用いたペリクル収納容器において、発塵の少ないペリクル収納容器は得られていなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００９−０３７２６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたもので、少なくともひとつの辺長が１０００ｍｍを超えるような大型のペリクルを収納するペリクル収納容器において、輸送中の発塵が極めて少なく、収納したペリクルが清浄に保たれるペリクル収納容器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明のペリクル収納容器は、少なくともひとつの辺長が１０００ｍｍを超えるペリクルを収納する大型のペリクル収納容器であって、ペリクル収納容器本体は金属製であるとともに、周縁で載置・固定する蓋体が接触する該ペリクル収納容器の表面に、保護部材が設けられ、ペリクル収納容器本体と蓋体とは該保護部材を介して載置・固定することを特徴とする。前記保護部材は、少なくとも２層からなっており、その蓋体と接する層は樹脂であり、ペリクル収納容器本体と接する層はシリコーン粘着剤であることが好ましく、また、前記保護部材は、少なくとも３層からなっており、その蓋体と接する層は樹脂、ペリクル収納容器本体と接する層はシリコーン粘着剤であるとともに、その中間層は弾性体であることが好ましい。そして、前記保護部材中の弾性体は、シリコーン樹脂であることが好ましい。
さらに、前記保護部材の蓋体と接する層は、ＰＥＴであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、辺長が１０００ｍｍを超えるような大型のペリクルを収納するペリクル収納容器においても、収納容器本体と蓋体との直接接触を回避することができ、輸送中の発塵が極めて少なく、収納したペリクルが清浄に保たれるペリクル収納容器を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態を示す平面図である。
【図２】本発明の実施の形態を示す正面図である。
【図３】本発明の実施の形態を示す右側面図である。
【図４】本発明の実施の形態を示す図１中のＡＡ線断面図である。
【図５】本発明で用いる保護部材の一実施の形態を示す断面概略図である。
【図６】本発明で用いる保護部材の他の実施の形態を示す断面概略図である。
【図７】本発明で用いる保護部材の更に他の実施の形態を示す断面概略図である。
【図８】本発明の保護部材の配置の一実施の形態である全体に配置した例を示す概略図である。
【図９】本発明の保護部材の配置の他の実施の形態である角の接続部に間隙を設けた例を示す概略図である。
【図１０】本発明の保護部材の配置の更に他の実施の形態である間欠配置とした例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
請求項１に規定する本発明は、少なくともひとつの辺長が１０００ｍｍを超えるペリクルを収納する大型のペリクル収納容器であって、ペリクル収納容器本体は金属製であるとともに、該ペリクル収納容器と周縁で載置・固定する蓋体が接触する表面に、保護部材が設けられ、ペリクル収納容器本体と蓋体は保護部材を介して載置・固定することを特徴とするペリクル収納容器である。金属製のペリクル収納容器本体と蓋体の直接接触がなくなり、発塵量を大きく低減することができる。
【００１８】
ここで、上記保護部材は少なくとも２層からなっており、その蓋体と接する層は樹脂であり、ペリクル収納容器本体と接する層、すなわちペリクル収納容器に取り付けられる層はシリコーン粘着剤であることが好ましい。蓋体と接する層を樹脂とすることで、蓋体との擦れによる発塵量を低減することができる。
また、ペリクル収納容器本体と接する層にシリコーン粘着剤を用いると、接着強度が高いうえに、経時変化や温度等の環境変化による接着力の劣化がきわめて少なく安定しており、接着強度に対する信頼性が高く好適である。また、化学的に分解して内部のペリクルを汚染する恐れが小さいという利点もある。さらに、この保護部材を交換する際には、残渣が残ることなく剥離することができ、洗浄、再取付けが容易となる。
【００１９】
また、さらに好ましくは、上記保護部材は少なくとも３層からなっており、その蓋体と接する層は樹脂、ペリクル収納容器本体と接する層はシリコーン粘着剤であるとともに、その中間層は弾性体であることが好ましい。弾性体の緩衝効果により、さらに発塵防止を図ることができる。
この弾性体としては、特にシリコーン樹脂を用いることが良い。ここで言うシリコーン樹脂とは、シリコーンゴムあるいはシリコーンゲル等の弾性体を指す。薄い場合でも緩衝性能が高く、特に効果が高い。
また、蓋体と接する樹脂は、ＰＥＴであることが好ましい。表面硬度が高く発塵しにくいうえ、様々な材質に対して摩擦係数が低く化学的にも安定しており、特に好適である。
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
図１、図２、図３に本発明の実施の形態であるペリクル収納容器１０の外観を示す。図１は平面図、図２は正面図、図３は右側面図である。
１０で、ペリクル収納容器の全体を表すこととし、ペリクル収納容器本体１１は、アルミニウム合金、マグネシウム合金などの軽合金を鋳造するか、あるいは、アルミニウム合金、マグネシウム合金、ステンレス鋼あるいは炭素鋼などの薄板をプレス成型して製作される。このとき、この材質は必ずしも単一の材質だけで形成されていなくても良く、補強などの目的から、２種類以上の金属・合金を組み合わせて使用しても良い。
【００２１】
このペリクル収納容器本体１１と載置・固定して用いられる蓋体１２は、金属の薄板をプレス成型したものか、樹脂板を真空成型あるいは圧空成型して用いる。好ましくは、内部の視認性を確保するために、透明あるいは半透明のＰＭＭＡ、ＰＣ、ＡＢＳなどの樹脂板を真空成型して用いることが良く、特に好ましくは、帯電防止性能を有することが良い。
ペリクル収納容器本体１１と蓋体１２の間には、平板状の保護部材１７が設けられる。なお、１３は脚部、１６はペリクル収納容器本体と蓋体とを締結するバックルである。
【００２２】
図４に、図１のＡ−Ａ線での断面概略図を示す。
保護部材１７は、ペリクル収納容器本体１１の外周部で、蓋体１２が載置・固定し、接触する面に取り付けられる。また、１８は内部に収納されたペリクルである。
図５〜７に、本発明の保護部材１７の断面構造の例を示す。
図５に示す一実施の形態の保護部材１７は２層構造になっており、上層２１（保護層）、すなわち蓋体と接触する層は、樹脂で構成されることが好ましい。
上層２１で使用される樹脂としては、例えば、ＰＥ、ＰＥＴ、ＰＶＣ、ＰＴＦＥなどのフィルム状に形成可能な樹脂を挙げることができるが、なかでも、ＰＥＴが特に好ましい。表面硬度があり、摩擦係数が小さいため発塵しにくく、化学的にも安定しているという利点がある。また、安価であること、接着剤層２２に使用可能な様々な接着剤、粘着剤に対して接着性が良いことも好ましい点である。
【００２３】
下層（接着層）２２、すなわちペリクル収納容器本体への接着剤層は、アクリル粘着剤、シリコーン粘着剤などの粘着剤、あるいはホットメルト接着剤、エポキシ接着剤、ゴム系接着剤などの接着剤で構成されることが好ましい。なかでも、特に好ましくは、シリコーン粘着剤である。
シリコーン粘着剤の場合には、接着力が強いだけでなく、経時変化や温度、湿度などの環境変化による粘着力の変化が少ないため、接着力に対する信頼性が高いという利点がある。
【００２４】
また、化学的に安定で、分解などにより化学物質をペリクル収納容器内部に放出する恐れが少ない。さらには、保護部材１７は、表面の汚れ、損傷が生じた場合には交換する必要があるが、その取り外しの際には、粘着剤が引きちぎれにくいため、ペリクル収納容器本体１１上に残渣が残りにくく、洗浄が極めて容易であるという利点がある。その結果、保護部材１７を容易に交換することができる。
【００２５】
図６には、保護部材１７の別の実施形態で、３層構造とした例を示す。この場合、上層（保護層）２１は、上記２層構造の場合と同じく、樹脂、特にはＰＥＴなどで構成されることが好ましい。そして、下層（接着層）２２も、同様にして、アクリル粘着剤、シリコーン粘着剤などの粘着剤、あるいはホットメルト接着剤、エポキシ接着剤、ゴム系接着剤などの接着剤で構成されることが好ましく、特には、シリコーン粘着剤を用いることが好ましい。そして、中間層（緩衝層）２３は、樹脂発泡体、ゴムなどの弾性体を用いることが好ましい。
【００２６】
図６に示す中間層２３は、前述した２層構造のものよりもさらに緩衝性を向上させ、より発塵を低減する効果を得るためのものである。
発泡体としては、アクリル系、ウレタン系など様々なものを用いることができるが、このとき、独立気泡の発泡体となっていることが、洗浄時の洗浄水浸潤を防止することができ、好ましい。
また、ゴム系材料としては、ニトリルゴム、ＥＰゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムなどを利用することができるが、特には、シリコーンゴム、シリコーンゲルなどのシリコーン樹脂が好適である。発泡体でないため表面の清浄性に優れるほか、薄くても緩衝性能が高いこと、復元力が高くヘタリにくいこと、化学的に安定していること、という利点がある。
【００２７】
中間層２３（緩衝層）は、上層（保護層）２１上にキャスティングするなどして直接形成できる場合はそれで良いが、材質によっては、別々に形成した上層（緩衝層）２１と中間層（緩衝層）２３を接合し、さらにそこに下層（接着層）を形成することもある。そのような場合は、上層２１あるいは中間層２３に接着剤または粘着剤を薄く塗布して接合することが必要となる。
【００２８】
この接合後の断面は図７に示すようになり、上層２１と中間層２３の間に中間接着層２４が挟まる構造となる。このとき、下層２２は、少なくとも３０μｍ、好ましくは５０μｍ以上の厚みがあった方がペリクル収納容器本体との接着性向上の観点から良いが、中間接着層２４は横方向に荷重が掛かった際の上層２１の横ズレ防止の観点から、接着力を維持した上でできるだけ薄く、好ましくは３０μｍ以下とするのが良い。
【００２９】
また、別の方法としては、両面テープ状のものをラミネートして貼り合せることも可能である（図示しない）。その場合、全体の層数は５層あるいは６層以上にもなるが、両面テープ部分の材料厚さを出来るだけ薄くなるように考慮すれば、横荷重時の横ズレ等を防止することができ、実用に供することができる。
【００３０】
図８、９および１０は、ペリクル収納容器本体１１上の保護部材１７の配置形態を示した平面図で、図８は全周に配置した実施の形態、図９は全周で連続させず角部に間隙を作った実施の形態、図１０は全周に間欠配置としたものである。
図１に示すように、蓋体１２は、周縁部全体でペリクル収納容器本体１１に載置・固定するようになっているため、ほぼ全域に保護部材が介在することで、何れの実施の形態の場合にも、発塵防止という所望の効果が得られる。間隙を設ける場合には、蓋体を開ける際にペリクル収納容器内へ外気が流入しやすくなるため、ペリクル収納容器内が負圧になって異物が巻き込まれる程度を緩和する効果が期待できる。
【００３１】
保護部材１７の接着力の安定性ならびに製作時の作業性等も考慮する必要があるため、ペリクル収納容器の大きさ、作業に掛かる工数を勘案して適宜配置を選択することが好ましい。間隙を設ける場合には、少なくともペリクル収納容器本体１１に蓋体１２を固定するバックル１６で締結する部分には保護部材が設けられるよう配慮すべきである。
【実施例１】
【００３２】
以下、本発明の実施例を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
［実施例１］
図１、図２、図３に示すようなペリクル収納容器１０を製作した。このペリクル収納容器の大きさは、外寸１９５０×１７５０×高さ１９０ｍｍ（脚部１３を含まず）、重量はおよそ８０ｋｇである。
ペリクル収納容器本体１1は、アルミニウム合金ＡＣ４Ｃを砂型鋳造した後、表面を研磨布で仕上げ、外周部ならびにペリクルが搭載される面についてフライス盤による切削加工を行った。機械加工が終了した後、表面の巣などの鋳造欠陥をパテで仕上げ、パテを自然乾燥して硬化し、導電性塗料を塗布し、オーブンで焼き付け乾燥を施した。
脚部１３は、ＳＵＳ３０４冷間圧延板を曲げ加工して製作したもので、ペリクル収納容器本体１１の底面にボルト（図示しない）により取り付けられている。さらに、外面には取り扱いのためにアルミニウム合金製のハンドル１４および蓋体１２を固定するためのバックル１６がボルト（図示しない）にて取り付けられている。
【００３３】
このように完成したペリクル収納容器本体１１の外縁部に保護部材１７を取り付けた。保護部材１７の製作工程は次の通りである。
幅５００ｍｍ、厚さ１８０μｍのＰＥＴ製フィルム（商品名；ルミラー、東レ（株）製）に乾燥後の厚さが５０μｍとなるようにシリコーン粘着剤（商品名；ＫＲ３７００、信越化学工業（株）製）をバーコーターにて塗布し、加熱してキュアさせた。
【００３４】
このＰＥＴフィルムを離型紙と合わせながら直径７５ｍｍのＰＥ製巻き芯に巻き取った後、幅２０ｍｍのテープ状になるよう裁断した。完成した保護部材１７の断面構造は図５に示すとおりで、上層２１はＰＥＴ、下層２２はシリコーン粘着剤である。
そして、ペリクル収納容器本体１１の外周部をクリーニングし、気泡、異物が入らぬよう配慮しながらこの保護部材１７をゴムローラーで圧着し、図９に示すような配置で貼り付けた。なお、角部における各保護部材間の継ぎ目は約２０ｍｍの間隙になるようにした。
【００３５】
次に、厚さ３ｍｍのＰＭＭＡ板にエポキシ系の帯電防止塗装を施した後、真空成型し、蓋体１２を製作した。その外周は、ペリクル収納容器本体の外周と同寸になるよう、ＮＣルーターにて切削加工した。そして、外面に取り扱いのためにナイロン製のハンドル１５をボルト（図示しない）にて取り付けた。
こうして完成したペリクル収納容器本体１１と蓋体１２をクラス１０のクリーンルーム内に搬入し、界面活性剤と純水で良く洗浄した後、完全に乾燥させた。
この完成したペリクル収納容器１０について、クリーンルーム内の照明を消灯し、集光ランプ（光量４０万ルクス）を照射しながらペリクル収納容器本体および蓋体の内面側の異物検査を行い、付着異物がないことを確認した。
【００３６】
次に、蓋体１２を静かにペリクル収納容器本体１１に嵌め合わせて被覆し、周縁部を粘着テープでシールするとともに、各辺に配置されたバックル１６にて蓋体１２とペリクル収納容器本体１１を固定した。さらに、帯電防止ＰＥ製シート（図示しない）で全体を包装し、開口部はヒートシールにて密封した。その後、再びクリーンルームから搬出し、底部にクッション材を配置した梱包箱（図示しない）に収納した。そして、この梱包箱をトラック便で発送し、約１０００ｋｍの距離を走行させた。
【００３７】
輸送が終了したペリクル収納容器１０について、再び上記クリーンルーム内に搬入し、外面を純水にて拭き洗浄したのち、蓋体を開け、内部の発塵状況を確認した。クリーンルームの照明を消灯した状態で、蓋体とペリクル収納容器本体のそれぞれの内側面を集光ランプ（光量４０万ルクス）にて照射しながら異物の付着状況を観察した。
【００３８】
その結果、ペリクル収納容器本体１１では、保護部材１７の表面およびそのごく近傍に大きさ１０〜５０μｍ程度の異物４個の付着が見られた。一方、蓋体１２では保護部材との接触部に大きさ１０〜５０μｍ程度の異物３個が発見された。これらの付着場所は保護部材１７の周辺に限られており、ペリクルが搭載される内側の方には全く発見されなかった。また、保護部材の表面ならびに粘着層に損傷は全く見られなかった。
【００３９】
［実施例２］
上記実施例１と全く同様にしてペリクル収納容器を製作した。ただし、ここで用いた保護部材の構造は図７に示すとおりで、上層２１はＰＥＴ（商品名：ルミラー  東レ（株）製）、中間接着層２４はシリコーン粘着剤（厚さ２０μｍ、商品名ＫＲ−３７００、信越化学工業（株）製）、中間層２３はシリコーンゴム（硬さデュロメータＡ３１、商品名：ＫＥ−９３１−Ｕ  信越化学工業（株）製）、下層２２はシリコーン粘着剤（厚さ５０μｍ、商品名ＫＲ−３７００、信越化学工業（株）製）である。
【００４０】
このペリクル収納容器について、実施例１と同様にして輸送試験を行い、内部の発塵状況を確認した。その結果、ペリクル収納容器本体１１については、５０μｍ程度の異物３個の付着が見られた。また、蓋体については、１０μｍ程度の異物１個の付着が見られた。実施例１と同様に、これらの付着場所は保護部材１７の周辺に限られており、ペリクルが搭載される内側の方には全く発見されず、保護部材１７にも特に損傷は見られなかった。
【００４１】
［比較例］
上記実施例１、２と同様にしてペリクル収納容器本体１１ならびに蓋体１２を製作した。ただし、このペリクル収納容器本体１１上には、保護部材１７を取り付けていない。この保護部材１７のないペリクル収納容器について、上記実施例と全く同様にして輸送試験を行い、内部の発塵状況を確認した。
すると、ペリクル収納容器本体上で大きさ１０〜１００μｍの異物が数百個、蓋体上でも数十個の異物が見られた。これらの付着場所は、外周部だけでなく、内面全体に広がっていた。また、ペリクル収納容器本体１１上には、蓋体１２との接触により擦れた跡が所々に見られた。
【符号の説明】
【００４２】
１０  ペリクル収納容器（全体）
１１  ペリクル収納容器本体
１２  蓋体
１３  脚部
１４  ハンドル
１５  ハンドル
１６  バックル
１７  保護部材
１８  ペリクル
２１  上層（保護層）
２２  下層（接着層）
２３  中間層（緩衝層）
２４  中間接着層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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