(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面上に格子状の画素が設けられた塗布対象物上を予め個々の吐出量が測定されたノズルを有する塗布ヘッドを複数有するヘッドモジュールを通過させながら画素毎にインクを塗布する塗布方法であって、
前記画素を通過する前記ノズルを前記塗布ヘッド中の全ノズルからの吐出量の平均値に基づいてクラス分けする工程と、
前記クラスに基づいて、前記画素に塗布する吐出量の和が所定の値、もしくは所定範囲内の値になるように前記ノズルを選択する工程と、
前記選択されたノズルで前記画素にインクを塗布する工程を有する塗布方法。
【請求項２】
前記クラス分けする工程は、
前記吐出量の平均値からの差に基づき、前記平均値より大きい側と少ない側にそれぞれ正のクラスと負のクラスを設定する工程であり、
前記選択する工程は、
前記平均値に最も近い前記正のクラスおよび前記負のクラスに属する前記ノズルから、前記画素に塗布するためのノズルの全てを選択し、前記画素に塗布する吐出量の和が所定の値、若しくは所定範囲内の値にする工程である請求項１に記載された塗布方法。
【請求項３】
前記クラス分けする工程は、
前記吐出量の平均値からの差に基づき、前記平均値より大きい側と少ない側に、前記差が小さい順に、それぞれ３つ以上の正のクラスと負のクラスを設定する工程であり、
前記選択する工程は、
前記平均値に最も近い第１の正のクラスおよび第１の負のクラスに属する前記ノズルと、
前記平均値に次に近い第２の正のクラスおよび第２の負のクラスに属する前記ノズルと、から、
前記画素に塗布するためのノズルの全てを選択し、前記画素に塗布する吐出量の和が所定の値、若しくは所定範囲内の値にする工程であり、
前記第２の正のクラスに属する選択ノズル数と前記第２の負のクラスに属する選択ノズル数とは同数である請求項１に記載された塗布方法。
【請求項４】
前記クラス分けする工程は、
前記吐出量の平均値からの差に基づき、前記平均値より大きい側と少ない側に、前記差が小さい順に、それぞれ３つ以上の正のクラスと負のクラスを設定する工程であり、
前記選択する工程は、
さらに、前記平均値から最も離れた前記正のクラスおよび前記負のクラスに属する全ての前記ノズルを前記画素に塗布するためのノズルの選択から排除することを含む工程である請求項１乃至３の何れか１の請求項に記載された塗布方法。
【請求項５】
前記ノズルを選択する工程において、
前記ノズルは、前記ヘッドモジュールの塗布方向に隣接する画素同士では異なる組み合わせであり、かつ前記画素に塗布する吐出量の和が所定の値、もしくは所定範囲内の値になるように前記特定されたノズルから選択される請求項１乃至４の何れか１の請求項に記載された塗布方法。
【請求項６】
前記塗布対象物以外の領域で全ノズルによる試し塗布を行う工程と、
前記試し塗布によって、前記全ノズルからのインク吐出量を確認する工程をさらに有し、
前記ノズルを選択する工程は、
前記特定されたノズルの中でインクの吐出しない、もしくは所定位置に着弾していないノズル以外の前記ノズルから前記画素に塗布する吐出量の和が所定の値、もしくは所定範囲内の値になるように前記ノズルを選択する工程である請求項１乃至５の何れか１の請求項に記載された塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のノズルを有する複数の塗布ヘッドから構成されるヘッドモジュール、およびこのヘッドモジュールを用いて保持ステージに保持された塗布対象物にインクを塗布する塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近の情報端末の画像表示技術の進展は目覚ましく、大画面の画像表示機器（ディスプレイ）や、あるいは小型の画面であっても非常に高い精細度の画像表示機器が実用化され、製造されている。このような状況の中で、低コストで高品位な画像表示を可能とする画像表示機器に対する要求が強くなってきている。このような要求に応える画像表示機器のキーデバイスとしてカラーフィルタがあり、このカラーフィルタの製造装置および製造方法にも様々な工夫が取り入れられている。
【０００３】
このようなカラーフィルタの製造方法及び製造装置において開発された従来技術の一つに、遮光機能を果たす種々の材料によって基板等にマトリクス状の遮光部を形成し、この遮光部のマス目にコーティング技術を利用してインクを塗布する技術がある。しかし、このような製造方法及び製造装置では、ＲＧＢ３色の着色工程がそれぞれ独立しており、それぞれの着色工程で、遮光などのための非常に高い精度が要求される遮蔽部材（マスク）を必要とした。
【０００４】
また、製造工数的にも、使用する装置及び部材の点でも、製造コストが高くつくという問題を抱えていた。最近では、そのような工法に代わり塗布ヘッドを装備した塗布装置を用いて、マトリクス状に遮光部が形成された基板等上にインクを塗布ヘッドのノズルから供給・塗布してカラーフィルタを製造する方法が提案されている（特許文献１、特許文献２を参照）。
【０００５】
カラーフィルタは高精細を実現するために、微小な画素が高密度で配置される。インクジェットによる塗布は塗布ヘッドのノズルからインクを吐出させ塗布する方法であるので、画素の配列に合わせたノズル配置が必要となる。しかし、ノズルにはインクを吐出させる吐出駆動部が必要であり、スペース的な制限から画素に合わせてノズルを高密度に配置させるのは困難である。
【０００６】
特許文献１は、製造可能な程度の密度で複数個のノズルを配置したインクヘッドを塗布方向に傾斜し配置することで、画素の密度に合わせた塗布密度を実現する技術が開示されている。そして、傾斜したインクヘッドは、数多く配置することで、広範囲の塗布領域を一度の走査で塗布を行う。
【０００７】
しかし、塗布ヘッドのノズルは、完全に全く同じものを作製するのは困難であるため、ノズル毎に微妙にインクの吐出量が異なる。この吐出量の差は微妙な差であるが、広範囲の領域を塗布した場合は、この微妙な違いが塗布ムラとなって現れる。
【０００８】
特許文献２では、こうした塗布ムラを避ける一案として、ノズルが列状に配置された塗布ヘッドを、それぞれのヘッドのノズルが、他方のヘッドのノズルの間になるように配置し、１つの画素を複数のヘッドのノズルを使って塗布することで、個々のノズルからの吐出量にばらつきがあっても、カラーフィルタ全体の色ムラの発生が抑えられることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００２−２７３８６８
【特許文献２】特許第３９２５５２５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
インクジェットによるカラーフィルタの製造工数を少なくするには、多くのノズルを備えた塗布ヘッドを用いる必要がある。すでに特許文献２でも述べられているように、塗布ヘッドのノズルは全く同じ性能のノズルを作製するのは困難であり、吐出量のわずかな違いが、カラーフィルタ全体で見ると塗布ムラとなる。
【００１１】
特許文献２では、この塗布ムラを解消するために、吐出量にばらつきのあるノズル同士であっても、異なるヘッドのノズルと混ぜ合わせて使用することで、ノズル毎の吐出量の差を目立たなくするという方法を開示している。
【００１２】
ところで、現在のカラーフィルタで許容される色度の値は、画像表示装置の普及に従い、ますます厳しい要求がある。具体的には、カラーフィルタでは、色度を許容値である１０００分の３以内に収めることが要求される場合もある。この色度の許容値を満足させるには、画素間のインクの塗布量の誤差を３％以内に収めなければならない。
【００１３】
しかし、特許文献２のように異なる塗布ヘッドのノズルを混在させて１つの画素を塗布したとしても、同じノズルの組み合わせで塗布方向の画素が塗布される限り、塗布方向に直角な方向に隣接する画素間に対する吐出量は同じになることはない。そして、この塗布量の違いは塗布ムラとなって現れることになる。すなわち、塗布した方向にスジ状の塗布ムラが発生する。
【００１４】
本発明は、上記のような問題に鑑みて為されたものであり、ヘッドモジュールにおける塗布ヘッドの各ノズルからのインク吐出量に不可避的なバラツキが存在する塗布ヘッドを用いても、カラーフィルタに要求される色度の許容値である１０００分の３（塗布量の誤差を許容値として３％に相当）以内に収めることができ、高品質で色ムラのないカラーフィルタを製造することのできるヘッドモジュールと塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、上記目的に鑑み、１つの画素を塗布できるノズルを数多く用意しておき、それぞれのノズル個々の吐出量を予め調べておく。そして、１つの画素に塗布されるインク量が所定の範囲内になるように、ノズルを選択してインクを塗布する方法である。
【００１６】
すなわち、本発明は、
平面上に格子状の画素が設けられた塗布対象物上を予め個々の吐出量が測定されたノズルを有する塗布ヘッドを複数有するヘッドモジュールを通過させながら画素毎にインクを塗布する塗布方法であって、
前記画素を通過する前記ノズルを前記塗布ヘッド中の全ノズルからの吐出量の平均値に基づいてクラス分けする工程と、
前記クラスに基づいて、前記画素に塗布する吐出量の和が所定の値、もしくは所定範囲内の値になるように前記ノズルを選択する工程と、
前記選択されたノズルで前記画素にインクを塗布する工程を有する塗布方法を提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明は、１つの画素を塗布するノズルを数多く用意しておき、画素を塗布すべきインク総量にできるだけ近くなるようなノズルの組み合わせを選択することとしたので、ノズル毎の吐出量の多寡を、複数個のノズルを組み合わせることで相殺させることができる。その結果、各画素は予定塗布量に極めて近いインク量で塗布されるので、塗布ムラの発生が抑えられるという効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本願発明の一実施形態に係る塗布装置の外観を示す斜視図である。
【図２】本願発明に係る塗布装置の塗布ヘッドバーに組み込まれた複数のヘッドモジュールの配列状態を模式的に示す平面配置図である。
【図３】本願発明に係る塗布装置のヘッドモジュールにおける塗布ヘッドの配列状態を模式的に示す平面配置図である。
【図４】本願発明に係る塗布装置の塗布ヘッドバーの位置情報から吐出指示を出力する制御部１００の接続関係を示す図である。
【図５】塗布対象である画素要素と画素要素を塗布するノズルの関係を示す図である。
【図６】Ｍａｐ情報を例示する図である。
【図７】塗布ヘッド中のノズルの吐出速度特性を例示する図である。
【図８】画素要素を塗布する塗布可能ノズルと、実際に塗布を行う領域塗布ノズルの情報を示す図である。
【図９】本発明の塗布装置全体の処理を示すフローである。
【図１０】本発明のＭａｐ情報を更新する処理を示すフローである。
【図１１】塗布可能ノズルの選択処理を例示するフローである。
【図１２】領域塗布ノズルの選択処理を例示するフローである。
【図１３】カラーフィルタの画素とヘッドモジュールの一部を示す図である。
【図１４】ノズル吐出量データが４つのクラスに分けられた場合を示す図である。
【図１５】図１１で示す前処理の中でのセットアップ（ステップＳ２０２）で行う処理を示すフローである。
【図１６】偏差データ付きのノズル吐出量データの１例を示す図である。
【図１７】図８の塗布プログラムに図１６の偏差データを加えて修正した場合を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明に係る塗布装置の最良の実施形態について、図面を参照して、以下において詳細に説明する。なお、以下において、塗布装置の具体例として、インクを塗布対象物としてのガラス基板に塗布するカラーフィルタ製造装置を例に挙げて説明する。
【００２０】
（実施の形態１）
＜塗布装置の構成＞
図１は、本願発明の一実施形態に係る塗布装置としてのカラーフィルタ製造装置の外観を示す斜視図である。このカラーフィルタ製造装置は、機台３０上に吸着テーブル３（保持ステージ）、塗布ガントリー４、カメラガントリー６が配置されている。保持ステージである吸着テーブル３は、カラーフィルタ基板であるガラス基板２を吸着保持するものである。このガラス基板２を所定の位置に位置決めするため、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、ＸＹ平面上でＺ軸周りに回転駆動されるとともに、副走査方向（Ｙ方向）に駆動される。
【００２１】
また、塗布ガントリー４は、塗布ヘッドバー（本明細書中では「ヘッドバー」とも呼ぶ。）５を保持するものであり、ガラス基板２の所定位置にインクを塗布するため、図示しない駆動機構、ガイド機構によって主走査方向（Ｘ方向）に駆動される。また、ヘッドバー５はガラス基板２に対する相対位置を調整するため、図示しない駆動機構、ガイド機構によってＺ方向および副走査方向（Ｙ方向）にも駆動される。
【００２２】
カメラガントリー６は、ガラス基板２のアラインメントのためのアラインメントカメラ７、８を保持するとともに、ガラス基板２に供給されたインクを検出するための計測手段であるスキャンカメラ９を保持している。そして、ガラス基板２のアラインメントや、吐出したインクの検出のため、図示しない駆動機構、ガイド機構によってＸ方向に駆動される。また、アラインメントカメラ７、８及びスキャンカメラ９は、図示しない駆動機構、ガイド機構によってＹ方向にも駆動される。アラインメントカメラ７、８は、ガラス基板２のマーク（図示せず）を検出するものである。
【００２３】
アラインメントカメラ７、８によるガラス基板２のマーク検出結果に基づいて吸着テーブル３は、回転させられ、および／またはＹ方向に移動させられて、ガラス基板２のアラインメントを行うことができる。Ｘ軸方向のアラインメント誤差は、吐出タイミングを調整することで修正することができる。ここで、Ｘ軸、Ｙ軸は、吸着テーブル３により吸着保持されたガラス基板２の上面と平行な平面を規定すべく設定された互いに直交する軸であり、Ｚ軸は、Ｘ軸とＹ軸により規定された平面と直交する軸である。
【００２４】
なお、スキャンカメラ９に代えて二次元ＣＣＤカメラを採用すれば、着滴痕の高さを計測することもできる。また、使用するインクについて事前に得た着滴時の液滴の形状との比較により、その高さの計測値から液滴の体積を算出することが可能である。従って、より精度の高い各ノズルからのインクの吐出量を知ることができる。
【００２５】
図２を参照して、塗布ヘッドバー５は、少なくとも１以上の塗布ヘッドユニット（本明細書中では「ヘッドユニット」とも呼ぶ。）１０を保持する。ヘッドユニット１０は、異なる色調のインクを吐出する複数のインクジェットモジュール（本明細書中では「ヘッドモジュール」とも呼ぶ。）１１を有し、各ヘッドモジュール１１は、各色調のインクを吐出する複数のノズル（本明細書中では「ノズル」とも呼ぶ。）１３を有する塗布ヘッド（本明細書中では「塗布ヘッド」とも呼ぶ。）１２を整列配置して構成されるものである。ヘッドバー５は、塗布ガントリー４に保持された状態で、主走査方向（Ｘ方向）、副走査方向（Ｙ方向）およびＺ方向に駆動され、複数のヘッドモジュール１１に組み込まれたノズル１３から各色調のインクを吐出し、ガラス基板２の所定位置に塗布する。
【００２６】
＜ヘッドモジュールの構成＞
次に、本発明の塗布装置に用いられるヘッドモジュールの構成について説明する。図２は、本願発明に係る塗布装置のヘッドバーに組み込まれた複数のヘッドモジュール１１の配列状態を模式的に示す平面配置図であり、図３は、このヘッドモジュール１１における塗布ヘッド１２の配列状態を模式的に示す平面配置図である。
【００２７】
本実施の形態では、ヘッドモジュール１１は、図３に示されるように、塗布対象物にインクを吐出する複数のノズル１３を有する５基の塗布ヘッド１２が、ノズル配列方向を副走査方向（Ｙ方向）として主走査方向（Ｘ方向）に並列配置されている。５基の塗布ヘッド１２は、それぞれ所定のピッチＰずつ副走査方向にシフトして配置されている。つまり、ノズルがあるピッチを有している塗布ヘッドを僅かずつシフトして、Ｘ方向から見た時に所望の塗布ピッチを得る。なお、このピッチは非常に小さいので、図３では表わしていない。塗布ヘッドの両端のノズルは使用されないノズルもあり、ヘッドモジュール全体の塗布幅はＷｍである。なお、ヘッドモジュールを構成する塗布ヘッドの数は５つに限定されるものではないが、本明細書中を通じて５つとして説明を行う。
【００２８】
図２を再度参照して、本実施の形態では、ヘッドモジュール１１として、Ｒ（赤）１１ａ、Ｇ（緑）１１ｂ、Ｂ（青）１１ｃのそれぞれ色調の異なるインクを吐出する３種を用いる。これらのヘッドモジュール１１は、互いに副走査方向に所定の間隔Ｄ１ずつずらして配置され、１組のヘッドユニット１０を構成する。ヘッドユニット１０は、各ヘッドモジュール１１のノズル配列方向を副走査方向として互いに副走査方向に所定の間隔Ｄ２を隔てて副走査方向に並列配置されている。
【００２９】
このように構成された１組以上のヘッドユニット１０は、ヘッドバー５に副走査方向に配列されて一体化されて組み込まれている。このように異なる色調のＲ色、Ｇ色、Ｂ色のインクを塗布するヘッドモジュール１１によって１組のヘッドユニット１０が構成され、複数組のヘッドユニット１０が副走査方向に配列されてヘッドバー５に一体的に組み込まれる。
【００３０】
そして、ヘッドバー５をＸ方向（主走査方向）およびＹ方向（副走査方向）に駆動することにより、ガラス基板２に対してノズルを相対的に移動させ、ガラス基板２にインクが塗布される。そして、このヘッドバー５のＸ方向およびＹ方向への駆動、ならびにガラス基板２へのインク吐出は、制御部１００（図４参照）により制御される。
【００３１】
図４は塗布を行う際に関係する構成同士の関係を示す図である。また、図４は図１の塗布装置を上方から見た模式的な平面図として示した。機台３０上に配置された吸着テーブル３上で、塗布ガントリー４に搭載されたヘッドバー５が、Ｘ方向およびＹ方向に移動する。このヘッドバーの移動は、Ｙ方向駆動モータ１０２およびＸ方向駆動モータ１０３によるものである。
【００３２】
ヘッドバー５には、ヘッドモジュール１１が搭載されている。図４では、３つのヘッドモジュールで構成される１つのヘッドユニットが２つ搭載された状態を示しているが、いくつあってもよい。
【００３３】
ヘッドバー５には、インクタンク６０が接続されており、図示していない圧力調整手段によってインクが供給される。
【００３４】
またカメラガントリー６には、スキャンカメラ９と図示しないアラインメントカメラが搭載されている。カメラガントリー６はＸ方向駆動モータ１０５によってＸ方向に可動である。また、スキャンカメラはＹ方向駆動モータ１０４を介してカメラガントリー６に設置されているので、Ｙ方向に可動である。これらのＸ方向駆動モータ１０５とＹ方向駆動モータ１０４は、制御部１００と接続されている。また、スキャンカメラ９も制御部１００と接続されており、撮影した画像データＳｖを制御部１００に送信する。
【００３５】
塗布を制御する制御部１００は、少なくともＸ方向駆動モータ１０３，１０５と、Ｙ方向駆動モータ１０２、１０４と、ヘッドバー５とスキャンカメラ９に接続されている。制御部１００は、Ｘ方向駆動モータ１０３、１０５およびＹ方向駆動モータ１０２、１０４に駆動指示Ｃｘ、ＣｃｘおよびＣｙ、Ｃｃｙを出力し、ヘッドバーおよびスキャンカメラを稼動範囲の任意の位置に移動させる。
【００３６】
また、制御部１００は、Ｘ方向駆動モータ１０３およびＹ方向駆動モータ１０２からヘッドバー５の駆動範囲内での座標に関する情報ＤｘおよびＤｙを受信する。また、Ｘ方向駆動モータ１０５およびＹ方向駆動モータ１０４からスキャンカメラの位置座標に関する情報ＤｃｘおよびＤｃｙを受信する。なお、塗布ヘッドバーやスキャンカメラの座標は別途位置センサを設け、その位置センサから受け取ることとしてもよい。
【００３７】
また、制御部１００は、ヘッドバー内の全てのノズルに対して、それぞれ個々に塗布指示Ｃｔを送信する。この塗布指示Ｃｔによってそれぞれのノズルはピエゾ素子等で構成される吐出手段を作動させ、インクを吐出させる。また、制御部１００は、スキャンカメラに対して撮影指示Ｃｃｍを送信し、スキャンカメラに撮影させる。スキャンカメラが得たデータは画像データＳｖである。
【００３８】
＜ヘッドモジュールを使った塗布：本発明の塗布方法＞
図５は、ヘッドモジュール１１、塗布ヘッド１２とノズル１３および塗布される画素４０を模式的に示す図である。ヘッドモジュールは５つの塗布ヘッド１２から構成されている場合を示す。なお、図５で示したのはヘッドモジュールの一部である。図５では、塗布対象物である２画素分の範囲のノズルだけを示す。画素は赤Ｒ４１、緑Ｇ４２、青Ｂ４３の３つの領域で１つの画素を構成する。もちろん、より多くの領域で画素を構成してもよい。なお、画素を構成する色の異なる領域を「画素要素」と呼ぶ。なお、本明細書を通じて画素要素に塗布するとは、画素に塗布すると同義として扱う。
【００３９】
１つのヘッドモジュールは１つの色を塗布する。また、ノズルのピッチは塗布領域に対して十分に細かい。従って、１つの塗布ヘッドは、１つの画素要素に対して、複数のノズルを割り当てることができる。図５では、説明のため１つの塗布ヘッドは６つのノズルを画素要素に対して割り当てることができる場合を示す。従って、５つの塗布ヘッドでは、画素要素に対して３０個のノズルを割り当てることができる。例えば、画素要素４１を塗布する３０個のノズルはノズル群１６、画素要素４５を塗布する３０個のノズルはノズル群１７である。また、ヘッドの横に記載したＸ1乃至Ｘ5は、それぞれのヘッドが画素要素４１を塗布できる位置の座標を表わす。なお、このときのＹ座標はＹ1であるとする。
【００４０】
画素要素への塗布はこれら３０個のノズルを全て使用する必要はない。今、例えば５つのノズルからのインク吐出によって塗布が可能であるとする。なお、１つの画素要素を塗布するのに必要なノズル数を５としたのは、例示でありこの個数に制限されるものではない。ここで、３０個のノズルから画素の塗布に必要な塗布量になるように５つのノズルを選択すれば、画素毎の塗布量の違いを非常に少なくすることができる。つまり、１つの画素要素を塗布できるノズルを数多く用意しておき、１つの画素要素に塗布すべき塗布量を確保できるように、塗布するノズルを選択することで、画素毎の塗布量の差異を小さくすることができる。吐出量が異なるノズルが多くあれば、所定の塗布量に近いノズルの組み合わせを選ぶことが容易になるからである。
【００４１】
例えば、画素要素４１はノズル群１６のノズルで塗布し、画素要素４５はノズル群１７のノズルによって塗布される。これらの画素要素の塗布に使用するノズルはそれぞれ異なるノズルである。つまり、一定の吐出量があるものとして作製されているが、個々のノズルは実際にはわずかずつ吐出量が異なるノズルである。しかし、それぞれのノズルの中から塗布量が所定の値になるように塗布するノズルを選択すれば、隣接する画素要素４５と画素要素４１との塗布量の違いを十分に小さな違いにすることができる。これは塗布ムラの解消には非常に効果的である。
【００４２】
本発明は１つの画素要素の塗布に予め多くのノズルを用意しておき、塗布すべきインク量になるように、そのうちのいくつかのノズルを選択して塗布する。従って、図５のように各インクヘッドはノズル位置をずらさなくてもよい。
【００４３】
図６には、５つのインクヘッドでインクヘッドのノズルの位置を合わせた場合の各ノズルと画素の関係を示す。画素４６はノズル群１８で塗布し、画素４７はノズル群１９で塗布する。いずれの画素要素も各のノズル群の３０個のノズルから５つのノズルを選択して塗布を行う。また、図６の例では、それぞれのインクヘッドの各ノズルはすべて塗布方向（Ｘ方向）に関して重なるように配置したが、いくつかの塗布ヘッドのノズルだけが重なるように配置してもよい。
【００４４】
上記の通り画素要素への塗布に必要なノズルは、使用するノズルからの塗布量の合計が所定の値になるように、ノズルを選択する。従って、本発明においては、それぞれのノズルからのインク吐出量は予め測定しておく。測定の方法は特に限定されるものではなく、吐出するインクの速度を直接測定したり、吐出したインクの着滴痕を観察して測定量を推定してもよい。また、塗布ガントリーを塗布対象物のない部分に移動させ、そこで試し塗布を行い、カメラガントリーのカメラで着滴痕を撮影した画像から、吐出位置と吐出量を調べてもよい。この塗布量の測定方法は、ノズル位置と塗布位置の違いをも調べることができるため、特に有用である。
【００４５】
図７には、計測されたノズル毎の吐出量を表す表の一部を示す。個々のノズルを特定するためには、ヘッドユニットの番号（以下「ユニット番号」とも呼ぶ。）Ｎｕ、ヘッドモジュールの番号（以下「モジュール番号」とも呼ぶ。）Ｎｄ、塗布ヘッドの番号（以下「ヘッド番号」とも呼ぶ。）Ｎｈ、そしてノズルの番号（以下「ノズル番号」とも呼ぶ。）Ｎｚを指定する必要がある。なお、ここで示したノズルを特定するために必要なパラメータは、例示でありこれらのパラメータに限定されるものではない。
【００４６】
図７では、ユニット番号Ｎｕが１でモジュール番号Ｎｄが１のヘッドモジュールに搭載されている５つのヘッドについてのそれぞれのノズルからの吐出量が示されている。これをノズル吐出量データと呼ぶ。ノズル吐出量データは、全てのノズルについて計測されている。なお、１つのヘッドには２５６個のノズルがあるものとして説明を進める。
【００４７】
図７では、ヘッド番号Ｎｈが１のヘッドではノズル番号Ｎｚが１、２、・・・、２５６のノズルについて、その吐出量がＶ11、Ｖ12、・・・、Ｖ1256であることを示している。例えば、図５の画素要素４１を塗布する際には、このユニット番号Ｎｕ＝１、モジュール番号Ｎｄ＝１であって、ノズル番号Ｎｚが１から６のノズル３０個で塗布を行うとする。そして、画素要素の塗布にはこの３０個のノズルのうちから５つのノズルを選択して、所定の値ＶR±３％のインク総吐出量になるようにノズルを選択する。なお、ＶRは画素要素４１に塗布すべきインクの総量を表し、予めカラーフィルタの設計段階で決められる値である。
【００４８】
ノズルの選択方法は特に限定されるものではない。例えば、３０個のノズルから５つのノズルを順に選び出し、それぞれのノズルの吐出量の総和が初めて所定の値ＶR±３％に入る組み合わせにすることで所望の５つのノズルを選択することができる。また、目標値であるＶRの１／５であるＶR／５から±３％の吐出量を有するノズルを５つ選択してもよい。また、選択の組み合わせは複数通りあってもよく、そのうちの１つを任意に選択してかまわない。
【００４９】
次に本発明を実施するには、各ノズルの位置情報が必要である。どのノズルがどの画素要素上をいつ通過するかを知らなければ、インクを塗布できないからである。それぞれの塗布ヘッド上のノズルは塗布ヘッドの基準面に対して所定の公差で形成される。そして、塗布ヘッドはインクジェットモジュールの基準面に対して所定の公差で組み合わされている。さらに、ヘッドモジュールは、所定の公差で塗布ヘッドバーに組み込まれている。
【００５０】
従って、塗布ヘッドバーの基準面の位置情報を知ることができれば、個々のノズルの位置情報も得ることができる。図４では、Ｙ方向駆動モータ１０２およびＸ方向駆動モータ１０３からの座標情報ＤｙおよびＤｘが塗布ヘッドバーの位置情報にあたる。
【００５１】
また、全てのノズルについて試し塗布を行い、カメラガントリーのカメラで着滴痕の位置を調べ、着滴予定位置からの偏差を調べてもよい。この偏差は、ノズルの１つ１つの製造誤差によりインクの飛跡が曲がってしまったことに由来する。この偏差を考慮した上で、ノズルの位置情報を把握すればより正確な塗布が可能となる。
【００５２】
そして、塗布対象物を吸着ステージに正確にセットすることで、個々の画素要素上を通過するノズルをヘッドバーの位置に関連付けて知ることが出来る。すなわち、ヘッドバーの可動範囲内の座標に対して、いずれのノズルからインクを吐出させるかを予めプログラムしておくことで、ヘッドバーの連続的な動きの中で個々の画素要素にインクを塗布することができる。
【００５３】
図８には、そのようなプログラムの一例を示す。個々のノズルを特定するためには、ユニット番号Ｎｕ、モジュール番号Ｎｄ、ヘッド番号Ｎｈ、そしてノズル番号Ｎｚを指定する必要があるのはすでに説明した通りである。なお、ここでは図５の画素要素４１を塗布する場合を説明する。
【００５４】
この画素要素４１を塗布するのに割り当てられたノズルは、ユニット番号Ｎｕが１番のヘッドユニット内にあるモジュール番号Ｎｄが１番のヘッドモジュール内のノズル番号が１から６の３０個のノズルであった。この３０個のノズルの中で塗布ヘッド１のノズル２、塗布ヘッド２のノズル１とノズル６、塗布ヘッド４のノズル３、塗布ヘッド５のノズル５の５つのノズルの吐出量の総量が、ＶR±３％であったとする。
【００５５】
図８（ａ）は、ヘッドバーの座標が（Ｘ1、Ｙ1）であるときに、ヘッド番号１のノズル２に「１」が記載されている。これは、ヘッドバーがこの座標に来た際に、画素要素４１を塗布できる位置にあるヘッド番号１のノズル２からインクを吐出することを表している。そこで、このようにヘッドバーの座標で代用される各ノズルの位置とインクを吐出するか否かの関係を示した表を塗布プログラムと呼ぶ。塗布プログラムは、各ノズルの位置とインクを吐出するか否かの関係を示しさえすれば、表に限定される必要はない。また、インクを吐出することを意味する「１」も、「１」に限定される必要はなく、他の文字などを使用しても良い。また、塗布プログラムは、ヘッドバーに搭載される他のヘッドユニットや他のヘッドモジュールについても作成される。
【００５６】
同様に、図８（ｂ）は、ヘッドバーの座標が（Ｘ2、Ｙ1）になった時に、ノズル１とノズル６からインクを吐出することを示している。以下図８（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）は、それぞれヘッドバーの座標が（Ｘ3，Ｙ1）、（Ｘ4，Ｙ1）、（Ｘ5，Ｙ1）のときに、インクを吐出するノズルを表している。ヘッドバーの座標が（Ｘ3，Ｙ1）の時には、ヘッド番号３のヘッドはどのノズルも選択されなかったので、１から６のノズルの部分に記載されるインク吐出指示を表す「１」はない。また、この間、ヘッドバーはＸ方向に移動しながら塗布を行うので、Ｙ座標については変更されない。また、実際には、それぞれのヘッドバーの座標では、他の画素要素にも塗布するので、他のノズルも吐出すべき記載がされる。
【００５７】
具体的には、ヘッドバーの座標が（Ｘ1、Ｙ1）になった時に、図８(a)では、ヘッド番号１の塗布ヘッドのノズル２だけがインク吐出指示が記載されているが、ヘッド番号１の塗布ヘッドの７番以降の他のノズルは、他の画素要素を塗布するために、選択されている場合がある。また、ヘッドバーの座標が（Ｘ1、Ｙ1）の時には、ヘッド番号１以外の塗布ヘッドは、別の画素要素を塗布するためにノズル１乃至６のうちのいずれかのノズルにインク吐出指示が記載されている場合もある。
【００５８】
図９には、塗布プログラムの概要を示す。図９（ａ）は、ヘッドバーの座標が（Ｘ1、Ｙ1）の時のヘッドバーに搭載された全てのノズルについて、吐出するかしないかの状態を示す。ヘッドバーは３つのヘッドユニットからなり、ヘッドユニットは３つのヘッドモジュールからなり、ヘッドモジュールは５つのヘッドからなり、それぞれのヘッドは２５６個のノズルがあるとして表した。従って、ユニット毎では、ヘッドユニット１、ヘッドモジュール１（Ｎｕ＝１，Ｎｄ＝１）からヘッドユニット３、ヘッドモジュール３（Ｎｕ＝３，Ｎｄ＝３）までが表されている。なお、図９では、それぞれのノズルの吐出指示は省略している。
【００５９】
従って、図９（ａ）は、ヘッドバーが座標（Ｘ1、Ｙ1）に来たときの、全てのノズルの吐出指示が記載されていることになる。また、図９（ｂ）は、ヘッドバーの座標が（Ｘ2、Ｙ1）の時の状態を示す。以下、図９（ｃ）および図９（ｄ）は、ヘッドバーの座標が（Ｘ3、Ｙ1）の時、（Ｘ4、Ｙ1）の時の場合を示す。なお、カラーフィルタ基板上の塗布対象領域と各ノズルのインク吐出位置は、位置情報である座標値を介して関連付けられている。すなわち、例えば図５の画素要素４１は、ヘッドバーが（Ｘ1，Ｙ1）に来たときに、ユニット番号１のモジュール番号１に搭載されたヘッド番号１のノズル番号１から６までのノズルで塗布ができるといった関連情報である。この塗布対象領域と塗布可能なノズルの関係は、塗布対象物であるカラーフィルタの設計時に決めることができ、予め塗布プログラムに反映させる。
【００６０】
このように、塗布プログラムは、ヘッドバーの座標に対する個々のノズルの動作状態を決める表である。従って、この塗布プログラムをＭａｐ若しくはＭａｐ情報といい、このＭａｐ中の情報を記録又は変更することをマッピングするとも言う。
【００６１】
図４の制御部１００は、塗布対象物の全ての画素要素に対して、このようなＭａｐ情報を予め記録される。そして、ＤｘおよびＤｙといった塗布ヘッドバーの位置座標を得ると、塗布プログラムであるＭａｐ情報の該当する座標値からインクを吐出すべきノズルに、インク吐出指示Ｃｔを与える。
【００６２】
図１０は、制御部１００の処理のフローを示す。なお、ここでは、処理部１００の本発明に必要な処理だけを抜き出して説明する。塗布装置１自体は、処理が開始されると（Ｓ１００）、前処理（Ｓ１０２）を行い、塗布処理を行う（Ｓ１０４）。そして、塗布処理が終了したか否かを判断し（Ｓ１０６）、処理が終了した場合は停止する（Ｓ１０８）。塗布が終了していない場合（Ｓ１０６のＮ分岐）は前処理に戻る。塗布の終了は、塗布すべき基板の有無などで判断してよい。図８乃至図９で説明したＭａｐ情報へのマッピングは前処理（Ｓ１０２）で行う。
【００６３】
図１１は、前処理（Ｓ１０２）のフローを示す図である。前処理ステップＳ１０２がスタートすると（Ｓ２００)、セットアップを行う（Ｓ２０２）。セットアップは、主としてハード的な準備であり、特に基板の入れ替え作業を含む。次にノズル吐出量データを入力する（Ｓ２０４）。ノズル吐出量データは、それぞれのヘッドユニット中のヘッド番号とノズル番号に対する、個々のノズルの吐出量の値である。
【００６４】
ここでは、ヘッドバーに組み込まれるすべてのノズルについてのデータを入力する。ノズル吐出量データは予め測定しておき、メモリ中に格納されているものとする。また、ノズル吐出量データは、直接体積を指定してもよいが、他の単位で換算した値で代用してもよい。具体的には、各種ノズルの吐出速度や、吐出させたインクの広がり面積、駆動電圧などである。これらの代用した値同士で吐出体積を間接的に求めても良い。
【００６５】
次にヘッドバーが移動する座標を初期化する（Ｓ２０６）。そして、ヘッドバーの座標が（Ｘk、Ｙl）になった時に、塗布すべき画素に対して所定のインク総量になるようにノズルを選択する（Ｓ２０８）。上記の説明では、各画素要素に対してインク総量がＶR±３％になるようなノズルを選択する。
【００６６】
そして、その座標と選択したノズルをＭａｐに記録する（Ｓ２１０）。続いて、ヘッドバーが移動する座標の全てについてノズルが選択されたか否かを判断し（Ｓ２１２）、終了してなければ座標をインクリメントし（Ｓ２１４）、ノズルの選択であるステップＳ２０６に戻る。全ての座標に対してノズルの選択が終了したら（Ｓ２１２のＹ分岐）、メインルーチンに戻る（Ｓ２１６）。以上のように、実際に塗布動作を行う前に、塗布プログラムが作成される。
【００６７】
図１２は、図１０で示した塗布処理（Ｓ１０４）の処理のフローの詳細を示す。塗布処理がスタートすると（Ｓ３００）、初期化処理を行う（Ｓ３０２）。初期化処理は、ヘッドバーを所定の位置に移動させるといった処理が含まれる。初期処理が終了したら、ヘッドバーの走査を開始する（Ｓ３０４）。ヘッドバーの走査が始まったら、ヘッドバーの座標を取得する（Ｓ３０６）。なお、ヘッドバーの移動は制御部１００からの移動指示Ｃｘ、Ｃｙで行い、座標取得は駆動モータからの信号Ｄｘ、Ｄｙによる。
【００６８】
制御部１００は、ヘッドバーの座標を取得すると、塗布プログラムに従って、その座標の点で吐出するノズルからインクを吐出させる（Ｓ３０８）。インクを吐出させるのは制御部１００からの吐出指示Ｃｔによる。吐出指示Ｃｔは、全てのノズルの吐出指示が含まれる。
【００６９】
そして、ヘッドバーが移動すべき全ての座標が終了したか否かを判断する（Ｓ３１０）。まだヘッドバーの移動すべき座標が残っている場合は、座標の取得（Ｓ３０６）に戻る。全ての座標を走査し終わったら終了処理（Ｓ３１２）を行う。終了処理とは、ヘッドバーを所定の位置に戻す処理を含む。塗布作業終了処理を終えたらメインルーチンに戻る（Ｓ３１４）。
【００７０】
以上のように本発明の塗布方法では、１つの画素を塗布するために多くの塗布ノズルを準備しておき、その中から所定の量になるノズルを選択して塗布するので、それぞれの画素に対するインクの塗布量が所定の誤差の範囲に入る。従って、塗布ムラを回避することができる。
【００７１】
（実施の形態２）
本実施の形態では、画素要素毎に塗布するインク量は所定値でありながら、使用するノズルを画素要素毎に変更する塗布方法について説明を行う。カラーフィルタにおいて、塗布ムラが生じるのは、塗布ヘッドのノズル毎の微妙なインク吐出量の違いから、画素毎のインク塗布量が違うことが原因である。カラーフィルタ全体として塗布ムラをなくすには、全ての画素毎に塗布するインクの総量を所定の範囲内に抑えなければならない。
【００７２】
しかし、画素毎の塗布量を所定の範囲内に抑えたとしても、ヘッドバーの走査方向に並ぶ画素に対して、同じノズルで塗布すると、隣接する画素の列との塗布量の違いが塗布ムラとして目立つことになる。そこで、本実施の形態では、画素毎に使用するノズルを変えて塗布することで、塗布ムラを目立ちにくくする。
【００７３】
本実施の形態で用いる塗布装置は実施の形態１で説明した塗布装置とほぼ同じでよい。従って、実施の形態１と全く同じ部分については、説明を省略する。本実施の形態では、ヘッドバーが走査する方向に並ぶ画素同士では同じノズルの組み合わせは使用しない。
【００７４】
図１３は、カラーフィルタの画素とヘッドモジュールの一部を示す図である。ヘッドモジュールは、赤のインクを塗布するモジュールであるとする。従って、画素要素も赤が塗布される部分が対象である。そこで、画素要素４８と画素要素４９はノズル群２０の３０個のノズルから選択された５個のノズルで塗布される。その際に、画素要素４８で選択されるノズルと画素要素４９で選択されるノズルは、その吐出量の総量が所定の値であり、かつ異なる組み合わせのノズルが選択される。
【００７５】
図１３では、画素要素４８に対してノズル群２０の三角印のノズルを用い、画素要素４９に対してはノズル群２０の四角印のノズルを用いることを例示した。なお、これら選択されたノズルの吐出量の総量は、三角印のノズルも、四角印のノズルもいずれも所定の塗布量になっているように選択される。
【００７６】
ノズルの選択の方法は、特に限定されるものではない。例えば、画素要素に必要な塗布量を必要なノズルの個数で割った値に入るノズルから、画素要素毎に違う組み合わせのノズルを選択する。具体的には、選択できるノズルが３０個あり、画素要素に塗布すべきインク総量がＶRであるとき、ノズルの吐出量がＶR／５±３％のノズルが２０個あるとする。なお、ここで画素要素の塗布に必要なのは５つのノズルを選択するものとする。
【００７７】
すると、２０個のノズルから５つ選択する組み合わせは20Ｃ5だけ存在する。この組み合わせから、無作為に組み合わせを選択することで、画素要素毎にばらばらなノズルの組み合わせで塗布を行うことができる。無作為な選択の仕方には特に制限はなく、20Ｃ5（＝１５５０４通り）の組み合わせを順に並べておき、乱数表や擬似乱数によって選択してもよい。
【００７８】
また、５つの塗布ヘッドから１つずつノズルを選択する方法として、次のような方法もある。なお、引き続き、画素４８へ塗布する場合で説明する。まず、それぞれの塗布ヘッドに対して奇数番目若しくは偶数番目のノズルの組み合わせを割り当てる。具体的には、ヘッド番号１には奇数番目のノズル、ヘッド番号２には偶数番目のノズル、ヘッド番号３には偶数番目のノズル、ヘッド番号４には奇数番目のノズル、ヘッド番号５には奇数番目のノズルなどである。この奇数、偶数の並びを（１、０、０、１、１）と表わしたとする。ここで「１」は奇数を表わし、「０」は偶数を表わす。
【００７９】
この奇数、偶数の並び方は、２５（３２）通りである。そして、それぞれのヘッドにおいて、画素４８を塗布できる奇数番目及び偶数番目のノズルはそれぞれ３つあるので、１つのノズルの選び方は３通りずつある。（今１つの塗布ヘッドが画素４８を塗布するのに６つのノズルを割り当てている。）従って、つまり、奇数・偶数の１つの並び（例えば（１，０，０，１，１））に対しては、３５（２７３）通りのノズルの選び方がある。そこで、３２通りの奇数偶数の並びに対して、それぞれ１つの画素要素を塗布するのに必要な塗布量ＶＲ±３％となる組み合わせを２７３通りのノズルの組み合わせの中から少なくとも１つ決め、その組み合わせを使って塗布を行う。
【００８０】
例えば、画素４８へ塗布する場合を考えると、塗布ヘッド１から５に対して、奇数、偶数、偶数、奇数、奇数番目のノズルを選択し、それらのノズルの吐出量の総和がＶR±３％となるような組み合わせを選択する。この奇数・偶数の並びではノズルの選択の仕方は２７３通りあるが、その中でＶR±３％という条件を満たす組み合わせは、少し減るかもしれない。ここでは、塗布ヘッド１から５の、１番目、４番目、２番目、５番目、５番目のノズルの合計吐出量がＶRになったとする。このようなノズルの組み合わせを、他の奇数、偶数の並び（例えば、（０，１，０，１，１）といった並び）に対しても求める。
【００８１】
この結果、それぞれのヘッドから必ず１つのノズルが選択され、なおかつ５つのノズルからの総吐出量がＶＲとなる３２通りの組み合わせを作ることができる。そして、この３２通りの組み合わせを順に若しくは無作為に選んで塗布に用いる。
【００８２】
このようなノズルの選択は予め塗布プログラムに書き込んでおく。具体的には、図１１のステップＳ２０８で行う座標（Ｘk、Ｙl）の時のノズルの選択の処理で行う。塗布プログラムには、ヘッドバーの座標とそのときにインクを吐出するノズルが指定されているので、後は実施の形態１の場合と同じようにカラーフィルタに対して塗布が行われる。このように画素要素毎に異なる組み合わせのノズルを用いることで、ヘッドバーの走査方向の塗布も同じ塗布量の画素要素が並ぶことがなくなるので、塗布ムラは目立ちにくくなる。
【００８３】
（実施の形態３）
本実施の形態では、ノズルの他の選択の仕方について説明を行う。本実施の形態では、１つの塗布ヘッドのノズルの吐出量の平均値に基づいてノズルをクラス分けし、クラス毎にノズルを選択することで、画素要素への塗布の総量を所定の値にする。
【００８４】
その一例として、図１４では、ノズル吐出量データが、吐出量の平均値から±１．５％の範囲にあるものと、１．５％から３．０％にあるもの、−１．５％から−３．０％にあるもの、そしてそれ以外のものという４つのクラスに分けられた場合を示す。それぞれのクラスは±０クラス、＋１クラス、−１クラス、異常クラスと呼ぶ。ここで、ヘッドバーに搭載される全ての塗布ヘッドについて個々のノズルの吐出量の特性が測定されているものとする。
【００８５】
図１４において、塗布ヘッド１番、２番および５番の、ノズル１番と６番と４番は、「＋３」と示した。これはこのノズルが、異常クラスであることを意味する。
【００８６】
本実施の形態では、このクラス分けされた塗布ヘッドの情報に基づいて、各画素要素に対する吐出量を均一にするために、ノズルを選定する。
【００８７】
選定の一例としては、±０クラスのノズルをできるだけ多く用いるようにノズルを選定する。吐出量がそろっているので、画素要素に塗布するインクの総量を制御しやすいからである。
【００８８】
次に、±０クラスの塗布ヘッドと、＋１クラスと−１クラスの塗布ヘッドのペアを用いる。＋１クラスと−１クラスのインクジェットノズルは組み合わせることで、ほぼ±０クラスのノズル２つ分とみなせるからである。
【００８９】
また、異常クラスに分類されたノズルは使用しない。異常クラスのノズルは他のノズルとの間で吐出量が違いすぎ、色ムラを押さえ、色度を低く保つには制御できない要因があるためである。このように１つの画素要素に用いるノズルをクラス分けすることで、画素要素毎の塗布総量を一定にするノズルの組み合わせの数を増やすことが出来る。
【００９０】
これらのノズルの選択は実施の形態２同様、図１１の座標（Ｘｋ，Ｙｌ）のときのノズル選択のステップＳ２０８で行い、塗布プログラムとして記録する。なお、±１クラスから選択した一対のノズルを含んだノズルの組み合わせで、ヘッドバーの走査方向に並んだ画素を塗布してもよいし、実施の形態２のように画素毎にノズルの組み合わせを変える母集団にこの組み合わせを含めても良い。
【００９１】
このように吐出量によってノズルをクラス分けし、±０クラス若しくは±１クラスから一対の組み合わせを選ぶことで、塗布すべきインクの総量は画素間で１．５％程度に抑えることができ、より塗布ムラが少ないカラーフィルタを作製することができる。
【００９２】
なお、クラス分けは吐出量だけで行うのではなく、ノズルの着滴精度を考慮してもよい。インクの吐出量が平均値、若しくは設計値と同じであったとしても、着滴精度が悪く、ヘッドバーの動きの中で補正しきれない場合は、結果として使用することができない。従って、そのようなノズルは予め「異常クラス」として分類し、使用から外すのが好ましい。着滴精度については、すでに説明したように全てのノズルについて試し塗布を行い、カメラガントリーのカメラで着滴痕の位置を調べ、着滴予定位置からの偏差を調べることによって求めることができる。
【００９３】
（実施の形態４）
本実施の形態では、塗布処理毎にノズルの吐出量を修正して塗布プログラムを修正する塗布方法について説明する。カラーフィルタの塗布ムラの発生を防止するには、画素毎のインクの塗布量を所定値にしなければならない。本発明では、全ての画素に対するインクの塗布量が、所定値に対して許容される誤差内にはいるように、ノズルを選択した。そして、その元情報になるのは、図７若しくは図１４で示した個々のノズルのノズル吐出量データである。
【００９４】
しかし、ノズルからのインク吐出量は、塗布処理が進むにつれて、インクの乾燥や異物発生によって減少したり、ノズルが詰まったりすることも生じる可能性がある。すると、インクが吐出されるはずのノズルから所定量のインクが吐出されない事態となる。結果、各画素のインク塗布量は所定の値から外れてしまうことになる。
【００９５】
そこで、本実施の形態では、塗布装置１がカラーフィルタ基板を交換して、塗布処理を始める前に、画素が形成されていない部分にノズルからの試し打ちを行う。そして、その試し打ちの結果に基づいて、塗布プログラムを修正する。
【００９６】
図１５には、図１１で示す前処理の中でのセットアップ（ステップＳ２０２）で行う処理を示す。本実施の形態の処理が開始されると（Ｓ４００）、まずヘッドバーを所定の位置に移動させる（Ｓ４０２）。所定の位置は、塗布装置上でヘッドバーの可動範囲内であればどこでもよいが、基板上で画素が形成されていない部分に確保できれば好ましい。実際に塗布する基板上で吐出量と吐出位置を確認するのが好ましいからである。
【００９７】
次に、所定の位置で全ノズルから１滴吐出を行う（Ｓ４０４）。１滴吐出とは、ノズルから１滴のインクを吐出させることである。従って、ヘッドバーの下には、ノズルの数だけインクの吐出痕が残る。
【００９８】
次にヘッドバーを退避させ、吐出痕が残った部分にカメラガントリーを移動させる（Ｓ４０６）。カメラガントリーのカメラで吐出痕の位置と吐出量を測定するためである。そして、スキャンカメラで個々の吐出痕の画像データを取得し、取得した位置データも取得する（Ｓ４０８）。これらは、図４を参照して、カメラガントリー６に配設されたＸおよびＹ軸方向の駆動モータ（１０５、１０４）と、制御部１００の間の移動指示（Ｃｃｘ、Ｃｃｙ）や位置情報、（Ｄｃｘ、Ｄｃｙ）、画像情報（Ｓｖ）の通信によって行われる。
【００９９】
制御部１００は、吐出痕の画像データから吐出されたインクの広がりを求め、そこからノズルの吐出量を推定する。また、画像データを取得した位置情報からノズル位置と吐出位置の偏差を求める。ノズルは塗布ヘッドの基準面に対して所定の公差で作製されるが、正確にはインクはノズルの真下には吐出されず、わずかにずれる場合がある。また、ノズル周辺に付着したインクが乾燥し、吐出されるインクの軌道を変える場合もある。そこで、吐出痕の画像データからその偏差を求める。
【０１００】
次にノズル毎に吐出量と吐出位置の偏差を記録する（Ｓ４１０）。吐出位置の偏差はノズル吐出量データに記録してよいが、他に吐出位置の偏差分だけを記録するテーブルを作製してもよい。そして、すべての吐出痕を調査し終えたか否かを判断する（Ｓ４１２）。すべて終わってなければ次の吐出痕にカメラを移動し（Ｓ４１４）、また吐出痕の画像データと位置情報を取得する。全ての吐出痕を調べ終えたらステップＳ２０２のセットアップに戻る（Ｓ４１６）。
【０１０１】
図１６には、偏差データ付きのノズル吐出量データを示す。ここでは例示であるので、ユニット番号１、モジュール番号１に搭載された５つの塗布ヘッドについて示す。偏差はそれぞれのインク吐出量の下にカッコ書きで示した。（０，０）というのは、偏差は所定の範囲内にあり、ヘッドバーの位置座標からノズルの位置を直接求めてもよいことを示す。ヘッド番号１の第２ノズルは偏差が（１，０）となっている。これは、予め定めた偏差量１に相当する分だけノズル位置からＸ軸方向に吐出位置が違っていることを示す。
【０１０２】
なお、ここで偏差量とは、ノズルの座標と吐出点のずれを所定の尺度で測った場合の量を表わすものとする。具体的にはＸ軸方向の単位長「Ｘ」の０．５倍の長さであるものとする。Ｘ軸方向の単位長とは、説明のためにここで用いたものである。もちろん、実際は長さの絶対値で表わして構わない。また、単位長の倍数は０．５に限定されるものではなく、０．１、０．３といった他の倍率であってもよい。
【０１０３】
画素要素には幅があるので、ある程度の誤差は塗布に影響を与えない。しかし、画素要素の幅以上の偏差はヘッドバーの位置で補正をしなければならない。図１６は、ユニット番号１でモジュール番号１の１２８０（２５６×５）個のノズル中、１個だけが、Ｘ方向に偏差量１だけずれていることを示している。また、ヘッド番号４の第３ノズルは吐出量がゼロになっている。これは、使用によってこのノズルが詰まってしまった場合を想定している。
【０１０４】
図１７は、図８の塗布プログラムに図１６の偏差データを加えて修正した場合を示す。塗布対象領域は図５の画素要素４１である。塗布ヘッド１のノズル２は、Ｘ方向に偏差量１に相当する分だけずれているので、Ｘ1座標の０．５Ｘ分だけ手前でノズル２からインクを吐出しなければ、画素要素にインクが吐出されない。そこで、塗布プログラムには（Ｘ1−０．５Ｘ,Ｙ1）という座標での吐出指示が塗布プログラムに追加されることになる。これを図１７（ａ´）に示した。また、ヘッドバーの座標が（Ｘ1,Ｙ1）では、ノズル２からはインクは吐出されない（図１８（ａ））。この座標でインクを吐出しても塗布対象となる画素要素４１にはインクは着地しないからである。
【０１０５】
また、ヘッド番号４のノズル番号３のノズルは詰まりによりインクが吐出しないので、使用できない。そこで代わりにヘッド番号３のノズル番号６のノズルを用いる。図１７（ｃ）では、ヘッドバーの座標（Ｘ３，Ｙ１）でヘッド番号３ノズル番号６に吐出指示である「１」を記載することで示した。この「１」は四角で囲った。なお、図１７（ｄ）に示す座標（Ｘ4，Ｙ1）でヘッド番号４ノズル番号３にはバツ印をすることで使用しないことを示した。すなわち、図１７は、図５の画素要素４１を塗布するのに、ヘッド番号１ノズル番号２、ヘッド番号２ノズル番号１、ヘッド番号２ノズル番号６、ヘッド番号３ノズル番号６、ヘッド番号５ノズル番号５の５つのノズルから吐出されるインクで、塗布に必要なインク総量ＶR±３％を満足させることができるようにした事を示す。
【０１０６】
なお、ここでは、使用できなくなったノズル（ヘッド番号４ノズル番号３）の代わりに、ヘッド番号３ノズル番号６のノズルを用いたが、他のノズルを用いてもよい。また、５つのノズルの選択自体を使用できなくなったノズルを除く２９個の中から選択し直してもよい。また、本実施の形態は、塗布する基板を交換する毎に実施することができるので、他の実施の形態１、２、３と一緒に利用することができる。
【０１０７】
以上のように本実施の形態では、塗布処理直前の各ノズルからのインク吐出量と吐出点をカメラで確認し、ノズル吐出量データに反映させることで、使用できるノズルの選択と、吐出座標を変更するようにしたので、連続してカラーフィルタを塗布しても、常に塗布ムラのないカラーフィルタを製造することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１０８】
以上、本発明の塗布方法について、代表的な応用例として液晶表示装置などに用いられるカラーフィルタの製造に適用する事例を説明したが、この塗布方法は、他の平面的な部材にインクあるいいは被膜材料を塗布する方法にも適用することができる。
【符号の説明】
【０１０９】
１    塗布装置
２    ガラス基板（塗布対象物）
３    吸着テーブル（保持ステージ）
４    塗布ガントリー
５    塗布ヘッドバー
６    カメラガントリー
７，８    アラインメントカメラ
９    スキャンカメラ（計測手段）
１０    塗布ヘッドユニット
１１    ヘッドモジュール
１２    塗布ヘッド
１３    ノズル
１６、１７、１８、１９    ノズル群
３０    機台
４０    画素
４１、４６、４７    画素要素（赤）
４２    画素要素（緑）
４３    画素要素（青）
６０    インクタンク
１００    制御部
１０２、１０４    Ｙ方向駆動モータ
１０３、１０５    Ｘ方向駆動モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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