(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物を照明するストロボ照明装置と、前記被測定物を撮像する撮像装置と、前記撮像装置、及び前記被測定物を相対的に移動させる移動機構と、前記ストロボ照明装置、前記撮像装置、及び前記移動機構を制御する制御装置とを備え、前記撮像装置にて撮像される画像に基づいて前記被測定物を測定する画像測定機であって、
前記制御装置は、
前記移動機構を制御して前記撮像装置、及び前記被測定物の相対位置を所定の速度で前記撮像装置の光軸方向に沿って移動させるとともに、複数の前記相対位置で前記撮像装置にて前記被測定物を撮像することによって、前記撮像装置のフォーカス位置を検出するフォーカス位置検出手段を備え、
前記フォーカス位置検出手段は、
前記ストロボ照明装置の点灯時間を制御することで前記撮像装置にて前記被測定物を撮像する際の照明の明るさを制御する照明制御部と、
前記点灯時間の中央の時間における前記相対位置を取得する相対位置取得部と、
前記撮像装置にて撮像される画像のコントラストを検出するコントラスト検出部と、を備え、
前記照明制御部は、前記制御装置に送信される所定の信号を受信することで前記ストロボ照明装置の点灯を開始し、
前記相対位置取得部は、前記所定の信号を受信することで前記相対位置を取得した後、前記点灯時間、及び前記所定の速度に基づいて、前記相対位置を補正し、
前記相対位置取得部にて取得される前記各相対位置のうち、前記コントラスト検出部にて検出されるコントラストが最大となる画像に対応する相対位置を前記フォーカス位置として検出することを特徴とする画像測定機。
【請求項２】
被測定物を照明するストロボ照明装置と、前記被測定物を撮像する撮像装置と、前記撮像装置、及び前記被測定物を相対的に移動させる移動機構と、前記ストロボ照明装置、前記撮像装置、及び前記移動機構を制御する制御装置とを備え、前記撮像装置にて撮像される画像に基づいて前記被測定物を測定する画像測定機であって、
前記制御装置は、
前記移動機構を制御して前記撮像装置、及び前記被測定物の相対位置を所定の速度で前記撮像装置の光軸方向に沿って移動させるとともに、複数の前記相対位置で前記撮像装置にて前記被測定物を撮像することによって、前記撮像装置のフォーカス位置を検出するフォーカス位置検出手段を備え、
前記フォーカス位置検出手段は、
前記ストロボ照明装置の点灯時間を制御することで前記撮像装置にて前記被測定物を撮像する際の照明の明るさを制御する照明制御部と、
前記点灯時間の中央の時間における前記相対位置を取得する相対位置取得部と、
前記撮像装置にて撮像される画像のコントラストを検出するコントラスト検出部と、を備え、
前記照明制御部は、前記制御装置に送信される所定の信号、及び前記撮像装置の露光時間に基づいて、前記点灯時間の中央の時間と、前記露光時間の中央の時間とが一致するように前記点灯時間を制御し、
前記相対位置取得部は、前記所定の信号を受信することで前記相対位置を取得した後、前記露光時間、及び前記所定の速度に基づいて、前記相対位置を補正し、
前記相対位置取得部にて取得される前記各相対位置のうち、前記コントラスト検出部にて検出されるコントラストが最大となる画像に対応する相対位置を前記フォーカス位置として検出することを特徴とする画像測定機。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の画像測定機において、
前記所定の信号は、前記被測定物の撮像を開始するときに前記撮像装置から送信される露光信号であることを特徴とする画像測定機。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の画像測定機において、
前記所定の信号は、前記画像測定機に接続される信号源から送信される外部信号であることを特徴とする画像測定機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像測定機に関し、特にストロボ照明装置を備える画像測定機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被測定物を照明するストロボ照明装置と、被測定物を撮像する撮像装置と、撮像装置、及び被測定物を相対的に移動させる移動機構と、ストロボ照明装置、撮像装置、及び移動機構を制御する制御装置とを備え、撮像装置にて撮像される画像に基づいて被測定物を測定する画像測定機が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の画像測定機は、照明装置（ストロボ照明装置）と、ＣＣＤカメラ（撮像装置）と、ＸＹＺ軸駆動機構（移動機構）と、コンピュータシステム（制御装置）とを備え、ＣＣＤカメラにて撮像される画像に基づいて被測定物を測定している。
【０００３】
このようなストロボ照明装置を備える画像測定機では、ストロボ照明装置は、点灯時間を制御することで照明の明るさを制御することができるので、常時点灯の照明装置と比較して照明の明るさを容易に調整することができる。したがって、画像測定機間における照明の明るさのバラつきを抑制することができ、ひいては測定結果のバラつきを抑制することができる。
ところで、このような画像測定機では、撮像装置のフォーカス位置に被測定物を自動的に位置させるオートフォーカス処理を実行した後で被測定物の測定を行っている。
【０００４】
図９は、画像測定機１０にてオートフォーカス処理を実行している状態を示す図である。
画像測定機１０は、図９（Ａ）に示すように、被測定物Ｗを載置するテーブル１１と、被測定物Ｗを照明するストロボ照明装置１２と、被測定物Ｗを撮像する撮像装置１３と、撮像装置１３の光軸方向（図９中矢印方向）に沿って撮像装置１３を移動させる移動機構（不図示）と、画像測定機１０の全体を制御する制御装置（不図示）とを備える。
そして、画像測定機１０は、移動機構を制御して撮像装置１３の位置を所定の速度で撮像装置１３の光軸方向に沿って移動させるとともに、複数の位置で撮像装置１３にて被測定物Ｗを撮像することによって、撮像装置１３のフォーカス位置を検出する。具体的に、画像測定機１０は、図９（Ｂ）に示すように、撮像装置１３にて撮像される画像のコントラストを検出し、コントラストが最大となる画像に対応する位置Ｐをフォーカス位置として検出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−３３７２７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、常時点灯の照明装置を備える画像測定機とは異なり、ストロボ照明装置１２を備える画像測定機１０では、前述したオートフォーカス処理を実行しても適切なフォーカス位置を検出することができないという問題がある。
【０００７】
図１０は、常時点灯の照明装置を備える画像測定機によるオートフォーカス処理のタイミングチャートを示す図である。
なお、図１０では、１段目のチャートは、被測定物の撮像を開始するときに撮像装置から出力される露光信号を示し、２段目のチャートは、照明装置の点灯時間を示し、３段目のチャートは、制御装置にて撮像装置の位置を取得するためのトリガ信号を示し、４段目のチャートは、制御装置にて取得される撮像装置の位置を補正した場合における補正後の撮像装置の位置に対する仮想的なトリガ信号を示している。
【０００８】
撮像装置は、図１０に示すように、所定の間隔で被測定物の撮像を開始し、撮像を開始するときに露光信号を制御装置に送信する。制御装置は、露光信号を受信することで露光信号と同期するトリガ信号を生成し、このトリガ信号に基づいて撮像装置の位置を取得する。
ここで、照明装置は、常時点灯しているので、撮像を開始したときから終了したときまでの露光時間Ｔにおける照明の明るさは一定である。したがって、撮像装置にて撮像される画像は、露光時間Ｔにおける重ね合わせの画像となる。このため、制御装置は、露光時間Ｔの中央の時間における撮像装置の位置を取得することが望ましい。
【０００９】
しかしながら、撮像装置は、所定の速度で移動しているので、制御装置は、トリガ信号に基づいて撮像装置の位置を取得すると、露光時間Ｔの中央の時間における撮像装置の位置を取得することはできない。
そこで、制御装置は、トリガ信号に基づいて取得した撮像装置の位置を、撮像装置の移動する速度と、露光時間Ｔとに基づいて、露光時間Ｔの中央の時間における撮像装置の位置に補正する。したがって、補正後の撮像装置の位置に対する仮想的なトリガ信号は、トリガ信号をＴ／２だけ遅らせた信号となる。
【００１０】
図１１は、ストロボ照明装置１２を備える画像測定機１０によるオートフォーカス処理のタイミングチャートを示す図である。
なお、図１１では、１，３，４段目のチャートは、図１０と同じチャートであり、２段目のチャートは、ストロボ照明装置１２の点灯時間Ｌ１〜Ｌ３を示している。
ストロボ照明装置１２は、図１１に示すように、制御装置にて点灯時間Ｌ１〜Ｌ３が制御されるので、常時点灯の照明装置と異なり、露光時間Ｔにおける照明の明るさが一定とは限らない。したがって、撮像装置１３にて撮像される画像は、点灯時間Ｌ１〜Ｌ３における重ね合わせの画像となる。このため、制御装置は、点灯時間Ｌ１〜Ｌ３の中央の時間における撮像装置１３の位置を取得することが望ましい。
しかしながら、ストロボ照明装置１２を備える画像測定機１０では、常時点灯の照明装置を備える画像測定機と同様の補正をしても点灯時間Ｌ１〜Ｌ３の中央の時間における撮像装置１３の位置を取得することができないので、適切なフォーカス位置を検出することができないという問題がある。
【００１１】
本発明の目的は、オートフォーカス処理を実行することで適切なフォーカス位置を検出することができる画像測定機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の画像測定機は、被測定物を照明するストロボ照明装置と、前記被測定物を撮像する撮像装置と、前記撮像装置、及び前記被測定物を相対的に移動させる移動機構と、前記ストロボ照明装置、前記撮像装置、及び前記移動機構を制御する制御装置とを備え、前記撮像装置にて撮像される画像に基づいて前記被測定物を測定する画像測定機であって、前記制御装置は、前記移動機構を制御して前記撮像装置、及び前記被測定物の相対位置を所定の速度で前記撮像装置の光軸方向に沿って移動させるとともに、複数の前記相対位置で前記撮像装置にて前記被測定物を撮像することによって、前記撮像装置のフォーカス位置を検出するフォーカス位置検出手段を備え、前記フォーカス位置検出手段は、前記ストロボ照明装置の点灯時間を制御することで前記撮像装置にて前記被測定物を撮像する際の照明の明るさを制御する照明制御部と、前記点灯時間の中央の時間における前記相対位置を取得する相対位置取得部と、前記撮像装置にて撮像される画像のコントラストを検出するコントラスト検出部と、を備え、前記照明制御部は、前記制御装置に送信される所定の信号を受信することで前記ストロボ照明装置の点灯を開始し、前記相対位置取得部は、前記所定の信号を受信することで前記相対位置を取得した後、前記点灯時間、及び前記所定の速度に基づいて、前記相対位置を補正し、前記相対位置取得部にて取得される前記各相対位置のうち、前記コントラスト検出部にて検出されるコントラストが最大となる画像に対応する相対位置を前記フォーカス位置として検出することを特徴とする。
本発明の画像測定機は、被測定物を照明するストロボ照明装置と、前記被測定物を撮像する撮像装置と、前記撮像装置、及び前記被測定物を相対的に移動させる移動機構と、前記ストロボ照明装置、前記撮像装置、及び前記移動機構を制御する制御装置とを備え、前記撮像装置にて撮像される画像に基づいて前記被測定物を測定する画像測定機であって、前記制御装置は、前記移動機構を制御して前記撮像装置、及び前記被測定物の相対位置を所定の速度で前記撮像装置の光軸方向に沿って移動させるとともに、複数の前記相対位置で前記撮像装置にて前記被測定物を撮像することによって、前記撮像装置のフォーカス位置を検出するフォーカス位置検出手段を備え、前記フォーカス位置検出手段は、前記ストロボ照明装置の点灯時間を制御することで前記撮像装置にて前記被測定物を撮像する際の照明の明るさを制御する照明制御部と、前記点灯時間の中央の時間における前記相対位置を取得する相対位置取得部と、前記撮像装置にて撮像される画像のコントラストを検出するコントラスト検出部と、を備え、前記照明制御部は、前記制御装置に送信される所定の信号、及び前記撮像装置の露光時間に基づいて、前記点灯時間の中央の時間と、前記露光時間の中央の時間とが一致するように前記点灯時間を制御し、前記相対位置取得部は、前記所定の信号を受信することで前記相対位置を取得した後、前記露光時間、及び前記所定の速度に基づいて、前記相対位置を補正し、前記相対位置取得部にて取得される前記各相対位置のうち、前記コントラスト検出部にて検出されるコントラストが最大となる画像に対応する相対位置を前記フォーカス位置として検出することを特徴とする。
【００１３】
このような構成によれば、制御装置は、オートフォーカス処理を実行するフォーカス位置検出手段を備え、フォーカス位置検出手段は、ストロボ照明装置の点灯時間を制御する照明制御部と、撮像装置、及び被測定物の相対位置を取得する相対位置取得部と、撮像装置にて撮像される画像のコントラストを検出するコントラスト検出部とを備えている。そして、相対位置取得部は、点灯時間の中央の時間における撮像装置、及び被測定物の相対位置を取得するので、画像測定機は、オートフォーカス処理を実行することで適切なフォーカス位置を検出することができる。
【００１４】
本発明では、前記照明制御部は、前記制御装置に送信される所定の信号を受信することで前記ストロボ照明装置の点灯を開始し、前記相対位置取得部は、前記所定の信号を受信することで前記相対位置を取得した後、前記点灯時間、及び前記所定の速度に基づいて、前記相対位置を補正することを特徴とする。
【００１５】
このような構成によれば、相対位置取得部は、ストロボ照明装置の点灯時間と、撮像装置、及び被測定物の相対位置の移動する速度とに基づいて、制御装置に送信される所定の信号を受信することで取得される撮像装置、及び被測定物の相対位置を補正するので、点灯時間の中央の時間における撮像装置、及び被測定物の相対位置を取得することができる。したがって、画像測定機は、オートフォーカス処理を実行することで適切なフォーカス位置を検出することができる。
【００１６】
本発明では、前記照明制御部は、前記制御装置に送信される所定の信号、及び前記撮像装置の露光時間に基づいて、前記点灯時間の中央の時間と、前記露光時間の中央の時間とが一致するように前記点灯時間を制御し、前記相対位置取得部は、前記所定の信号を受信することで前記相対位置を取得した後、前記露光時間、及び前記所定の速度に基づいて、前記相対位置を補正することを特徴とする。
【００１７】
このような構成によれば、照明制御部は、制御装置に送信される所定の信号、及び撮像装置の露光時間に基づいて、点灯時間の中央の時間と、露光時間の中央の時間とが一致するように点灯時間を制御するので、常時点灯の照明装置を備える画像測定機と同様の補正をすることによって、相対位置取得部は、点灯時間の中央の時間における撮像装置、及び被測定物の相対位置を取得することができる。したがって、画像測定機は、オートフォーカス処理を実行することで適切なフォーカス位置を検出することができる。
【００１８】
参考形態としての前記照明制御部は、前記制御装置に送信される所定の信号、及び前記撮像装置の露光時間に基づいて、前記点灯時間の中央の時間と、前記露光時間の中央の時間とが一致するように前記点灯時間を制御し、前記相対位置取得部は、前記所定の信号、及び前記露光時間に基づいて、前記相対位置を取得してもよい。
【００１９】
このような構成によれば、相対位置取得部は、補正をすることなく点灯時間の中央の時間における撮像装置、及び被測定物の相対位置を取得することができる。したがって、画像測定機は、オートフォーカス処理を実行することで適切なフォーカス位置を検出することができる。
【００２０】
本発明では、前記所定の信号は、前記被測定物の撮像を開始するときに前記撮像装置から送信される露光信号であることが好ましい。
【００２１】
このような構成によれば、相対位置取得部は、露光信号を利用して点灯時間の中央の時間における撮像装置、及び被測定物の相対位置を取得することができる。したがって、画像測定機は、オートフォーカス処理を実行することで新たな装置を設けることなく適切なフォーカス位置を検出することができる。
【００２２】
本発明では、前記所定の信号は、前記画像測定機に接続される信号源から送信される外部信号であることが好ましい。
【００２３】
このような構成によれば、相対位置取得部は、信号源から送信される外部信号を利用して点灯時間の中央の時間における撮像装置、及び被測定物の相対位置を取得することができる。したがって、画像測定機は、オートフォーカス処理を実行することで適切なフォーカス位置を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る画像測定機の概略構成を示すブロック図。
【図２】前記実施形態における画像測定機によるオートフォーカス処理のタイミングチャートを示す図。
【図３】本発明の第２実施形態に係る画像測定機の概略構成を示すブロック図。
【図４】前記実施形態における画像測定機によるオートフォーカス処理のタイミングチャートを示す図。
【図５】本発明の第３実施形態に係る画像測定機の概略構成を示すブロック図。
【図６】前記実施形態における画像測定機によるオートフォーカス処理のタイミングチャートを示す図。
【図７】本発明の第４実施形態に係る画像測定機の概略構成を示すブロック図。
【図８】前記実施形態における画像測定機によるオートフォーカス処理のタイミングチャートを示す図。
【図９】画像測定機にてオートフォーカス処理を実行している状態を示す図。
【図１０】常時点灯の照明装置を備える画像測定機によるオートフォーカス処理のタイミングチャートを示す図。
【図１１】ストロボ照明装置を備える画像測定機によるオートフォーカス処理のタイミングチャートを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る画像測定機１の概略構成を示すブロック図である。
画像測定機１は、図１に示すように、画像測定機本体２と、画像測定機本体２を制御する制御装置３とを備える。
画像測定機本体２は、前述した画像測定機１０と同様の構成を有し（図９（Ａ）参照）、被測定物Ｗ（図示略）を照明するストロボ照明装置２１と、被測定物Ｗを撮像する撮像装置としてのカメラ２２と、カメラ２２の光軸方向に沿ってカメラ２２を移動させる移動機構２３とを備える。すなわち、本実施形態では、移動機構２３は、カメラ２２を移動させることによって、カメラ２２、及び被測定物Ｗを相対的に移動させる。
【００２６】
制御装置３は、画像測定機本体２を制御することでカメラ２２にて撮像される画像に基づいて被測定物Ｗを測定するものである。なお、本実施形態では、制御装置３の機能のうち、オートフォーカス処理を実行する機能について主に説明する。
この制御装置３は、移動機構２３を制御してカメラ２２の位置を所定の速度でカメラ２２の光軸方向に沿って移動させるとともに、複数の位置でカメラ２２にて被測定物Ｗを撮像することによって、カメラ２２のフォーカス位置を検出するフォーカス位置検出手段４を備える。
【００２７】
フォーカス位置検出手段４は、ストロボ照明装置２１の点灯時間を制御することでカメラ２２にて被測定物Ｗを撮像する際の照明の明るさを制御する照明制御部４１と、カメラ２２の位置を取得することでカメラ２２、及び被測定物Ｗの相対位置を取得する相対位置取得部４２と、カメラ２２にて撮像される画像のコントラストを検出するコントラスト検出部４３とを備える。このフォーカス位置検出手段４は、相対位置取得部４２にて取得されるカメラ２２の各位置のうち、コントラスト検出部４３にて検出されるコントラストが最大となる画像に対応する位置をフォーカス位置として検出する。
【００２８】
図２は、画像測定機１によるオートフォーカス処理のタイミングチャートを示す図である。
なお、図２では、１段目のチャートは、被測定物Ｗの撮像を開始するときにカメラ２２から出力される露光信号を示し、２段目のチャートは、ストロボ照明装置２１の点灯時間を示し、３段目のチャートは、相対位置取得部４２にてカメラ２２の位置を取得するためのトリガ信号を示し、４段目のチャートは、相対位置取得部４２にて取得されるカメラ２２の位置を補正した場合における補正後のカメラ２２の位置に対する仮想的なトリガ信号を示している。
【００２９】
カメラ２２は、図２に示すように、所定の間隔で被測定物Ｗの撮像を開始し、撮像を開始するときに露光信号を制御装置３に送信する。
照明制御部４１は、制御装置３に送信される露光信号を受信することでストロボ照明装置２１の点灯を開始し、点灯時間Ｌ１〜Ｌ３を制御する。
相対位置取得部４２は、制御装置３に送信される露光信号を受信することで露光信号と同期するトリガ信号を生成し、このトリガ信号に基づいてカメラ２２の位置を取得する。そして、相対位置取得部４２は、トリガ信号に基づいてカメラ２２の位置を取得した後、点灯時間Ｌ１〜Ｌ３、及びカメラ２２の位置の移動する速度に基づいて、カメラ２２の位置を補正することで点灯時間Ｌ１〜Ｌ３の中央の時間におけるカメラ２２の位置を取得する。したがって、補正後のカメラ２２の位置に対する仮想的なトリガ信号は、トリガ信号をＬ１〜Ｌ３／２だけ遅らせた信号となる。
【００３０】
本実施形態に係る画像測定機１によれば、次のような効果がある。
（１）制御装置３は、オートフォーカス処理を実行するフォーカス位置検出手段４を備え、フォーカス位置検出手段４は、ストロボ照明装置２１の点灯時間を制御する照明制御部４１と、カメラ２２の位置を取得する相対位置取得部４２と、カメラ２２にて撮像される画像のコントラストを検出するコントラスト検出部４３とを備えている。そして、相対位置取得部４２は、点灯時間の中央の時間におけるカメラ２２の位置を取得するので、画像測定機１は、オートフォーカス処理を実行することで適切なフォーカス位置を検出することができる。
【００３１】
（２）相対位置取得部４２は、ストロボ照明装置２１の点灯時間と、カメラ２２の位置の移動する速度とに基づいて、制御装置３に送信される露光信号を受信することで取得されるカメラ２２の位置を補正するので、点灯時間の中央の時間におけるカメラ２２の位置を取得することができる。
（３）相対位置取得部４２は、露光信号を利用して点灯時間の中央の時間におけるカメラ２２の位置を取得することができる。したがって、画像測定機１は、オートフォーカス処理を実行することで新たな装置を設けることなく適切なフォーカス位置を検出することができる。
【００３２】
〔第２実施形態〕
以下、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
図３は、本発明の第２実施形態に係る画像測定機１Ａの概略構成を示すブロック図である。図４は、画像測定機１Ａによるオートフォーカス処理のタイミングチャートを示す図である。
なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
【００３３】
前記第１実施形態では、画像測定機１は、照明制御部４１と、相対位置取得部４２とを備えていた。そして、照明制御部４１は、制御装置３に送信される露光信号を受信することでストロボ照明装置２１の点灯を開始し、相対位置取得部４２は、点灯時間Ｌ１〜Ｌ３、及びカメラ２２の位置の移動する速度に基づいて、カメラ２２の位置を補正していた。
これに対して、本実施形態では、画像測定機１Ａは、図３に示すように、照明制御部４１Ａと、相対位置取得部４２Ａとを備える。そして、照明制御部４１Ａは、図４に示すように、制御装置３に送信される露光信号、及びカメラ２２の露光時間Ｔに基づいて、点灯時間Ｌ１〜Ｌ３の中央の時間と、露光時間Ｔの中央の時間とが一致するように点灯時間Ｌ１〜Ｌ３を制御し、相対位置取得部４２Ａは、露光時間Ｔ、及びカメラ２２の位置の移動する速度に基づいて、カメラ２２の位置を補正する点で異なる。
【００３４】
このような本実施形態においても、前記第１実施形態における（１），（３）と同様の作用、効果を奏することができる他、以下の作用、効果を奏することができる。
（４）照明制御部４１Ａは、制御装置３に送信される露光信号、及びカメラ２２の露光時間Ｔに基づいて、点灯時間Ｌ１〜Ｌ３の中央の時間と、露光時間Ｔの中央の時間とが一致するように点灯時間Ｌ１〜Ｌ３を制御するので、常時点灯の照明装置を備える画像測定機と同様の補正をすることによって、相対位置取得部４２Ａは、点灯時間Ｌ１〜Ｌ３の中央の時間におけるカメラ２２の位置を取得することができる。したがって、画像測定機１Ａは、オートフォーカス処理を実行することで適切なフォーカス位置を検出することができる。
【００３５】
〔第３実施形態〕
以下、本発明の第３実施形態を図面に基づいて説明する。
図５は、本発明の第３実施形態に係る画像測定機１Ｂの概略構成を示すブロック図である。図６は、画像測定機１Ｂによるオートフォーカス処理のタイミングチャートを示す図である。
前記第２実施形態では、画像測定機１Ａは、相対位置取得部４２Ａを備えていた。そして、相対位置取得部４２Ａは、制御装置３に送信される露光信号を受信することでカメラ２２の位置を取得した後、露光時間Ｔ、及びカメラ２２の位置の移動する速度に基づいて、カメラ２２の位置を補正していた。
これに対して、本実施形態では、画像測定機１Ｂは、図５に示すように、相対位置取得部４２Ｂを備える。そして、相対位置取得部４２Ｂは、図６に示すように、制御装置３に送信される露光信号、及び露光時間Ｔに基づいて、カメラ２２の位置を取得する点で異なる。
【００３６】
このような本実施形態においても、前記第１実施形態における（１），（３）と同様の作用、効果を奏することができる他、以下の作用、効果を奏することができる。
（５）相対位置取得部４２Ｂは、補正をすることなく点灯時間Ｌ１〜Ｌ３の中央の時間におけるカメラ２２の位置を取得することができる。したがって、画像測定機１Ｂは、オートフォーカス処理を実行することで適切なフォーカス位置を検出することができる。
【００３７】
〔第４実施形態〕
以下、本発明の第４実施形態を図面に基づいて説明する。
図７は、本発明の第４実施形態に係る画像測定機１Ｃの概略構成を示すブロック図である。図８は、画像測定機１Ｃによるオートフォーカス処理のタイミングチャートを示す図である。
前記第３実施形態では、画像測定機１Ｂは、制御装置３に送信される露光信号に基づいて、オートフォーカス処理を実行していた。
これに対して、本実施形態では、画像測定機１Ｃは、図７に示すように、画像測定機１Ｃに接続される信号源５を備える。そして、画像測定機１Ｃは、図８に示すように、信号源５から送信される外部信号に基づいて、オートフォーカス処理を実行している点で異なる。
【００３８】
このような本実施形態においても、前記第１実施形態における（１）、及び前記第３実施形態における（５）と同様の作用、効果を奏することができる他、以下の作用、効果を奏することができる。
（６）相対位置取得部４２Ｂは、信号源５から送信される外部信号を利用して点灯時間Ｌ１〜Ｌ３の中央の時間におけるカメラ２２の位置を取得することができる。したがって、画像測定機１Ｃは、オートフォーカス処理を実行することで適切なフォーカス位置を検出することができる。
【００３９】
〔実施形態の変形〕
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記各実施形態では、移動機構２３は、カメラ２２を移動させることによって、カメラ２２、及び被測定物Ｗを相対的に移動させ、相対位置取得部４２，４２Ａ，４２Ｂは、カメラ２２の位置を取得することでカメラ２２、及び被測定物Ｗの相対位置を取得していた。これに対して、例えば、移動機構は、被測定物を移動させることによって、撮像装置、及び被測定物を相対的に移動させ、相対位置取得部は、被測定物の位置を取得することで撮像装置、及び被測定物の相対位置を取得してもよい。また、例えば、移動機構は、撮像装置、及び被測定物を移動させることによって、撮像装置、及び被測定物を相対的に移動させ、相対位置取得部は、撮像装置、及び被測定物の位置を取得することで撮像装置、及び被測定物の相対位置を取得してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、画像測定機に利用でき、特にストロボ照明装置を備える画像測定機に好適に利用することができる。
【符号の説明】
【００４１】
１，１Ａ，１Ｃ…画像測定機
３…制御装置
４…フォーカス位置検出手段
５…信号源
２１…ストロボ照明装置
２２…カメラ（撮像装置）
２３…移動機構
４１，４１Ａ…照明制御部
４２，４２Ａ，４２Ｂ…相対位置取得部
４３…コントラスト検出部
【図１】
0005390292.tif 000002
【図２】
0005390292.tif 000003
【図３】
0005390292.tif 000004
【図４】
0005390292.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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