(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
給電状態に応じて変形する圧電素子と、前記圧電素子が実装される開口部を有する基部と、前記基部に設けられるロードビームとを備え、前記圧電素子の変形に従って前記ロードビームの先端側をスウェイ方向に変位させるヘッドサスペンションを製造するための製造方法において、
前記開口部の内側面における先端側及び後端側には、前記圧電素子の下側電極面を幅方向に渡る面で受ける受け部がそれぞれ形成され、
前記圧電素子の下側電極面と前記受け部との間に形成した非導電性接着剤層により前記圧電素子を前記開口部に配置して前記開口部の内側面と前記圧電素子の外側面との間に間隙部を形成し、
前記開口部の内側面と前記圧電素子の外側面との間の間隙部に、熱硬化性または紫外線硬化性を有する非導電性接着剤がマイクロカプセル内に封入された接着剤マイクロカプセルを、前記間隙部を満たすように導入する導入工程と、
前記間隙部の前記接着剤マイクロカプセルに熱または光照射エネルギーを与えることによって該接着剤マイクロカプセルから前記非導電性接着剤を排出させる排出工程と、
前記排出した非導電性接着剤に熱または紫外線照射エネルギーを与えることによって硬化を促す硬化促進工程と、
を備え、
前記間隙部に前記非導電性接着剤を充填することによって前記開口部に前記圧電素子を接着固定した、
ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
【請求項２】
請求項１記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
前記接着剤カプセルは、前記間隙部の形状と同一形状に形成された、
ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
前記排出工程では、前記開口部から前記接着剤マイクロカプセルに直接的に熱または光照射エネルギーを与えることによって該接着剤マイクロカプセルから前記非導電性接着剤を排出させる、
ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のうちいずれか１項に記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
前記硬化促進工程では、前記開口部から前記接着剤マイクロカプセルに直接的に熱または紫外線照射エネルギーを与えることによって硬化を促す、
ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
【請求項５】
給電状態に応じて変形する圧電素子と、前記圧電素子が実装される開口部を有する基部と、前記基部に設けられるロードビームとを備え、前記圧電素子の変形に従って前記ロードビームの先端側をスウェイ方向に変位させるヘッドサスペンションを製造するための製造方法において、
前記開口部の内側面における先端側及び後端側には、前記圧電素子の下側電極面を幅方向に渡る面で受ける受け部がそれぞれ形成され、
前記圧電素子の下側電極面と前記受け部との間に形成した非導電性接着剤層により前記圧電素子を前記開口部に配置して前記開口部の内側面と前記圧電素子の外側面との間に間隙部を形成し、
常温常圧下では接着機能及び硬化機能が封印されて易取扱い性を有した接着剤を、前記間隙部を満たすように導入する導入工程と、
前記間隙部の前記接着剤の塊にエネルギーを与えることによって硬化を促す硬化促進工程と、
を備え、
前記間隙部に前記非導電性接着剤を充填することによって前記開口部に前記圧電素子を接着固定した、
ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５に記載のヘッドサスペンションの製造方法により製造され、給電状態に応じて変形する圧電素子と、前記圧電素子が実装される開口部を有する基部と、前記基部に設けられるロードビームとを備え、前記圧電素子の変形に従って前記ロードビームの先端側をスウェイ方向に変位させるヘッドサスペンションであって、
前記開口部の内側面における先端側及び後端側には、前記圧電素子の下側電極面を幅方向に渡る面で受ける受け部を有し、
前記圧電素子の下側電極面と前記受け部との間に形成した非導電性接着剤層により前記圧電素子を前記開口部に配置して前記開口部の内側面と前記圧電素子の外側面との間に形成した間隙部に満たすように導入された接着剤マイクロカプセルから排出させた非導電性接着剤を硬化させて前記開口部に前記圧電素子を接着固定した、
ことを特徴とするヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、間隙部に接着剤を充填するための接着剤充填方法を用いてヘッドサスペンションに圧電素子を接着固定するヘッドサスペンションの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、接着剤がカプセル内に封入された接着剤カプセルを用いて物体間を接着することは、例えば特許文献１等により公知である。
【０００３】
前記特許文献１に記載の接着剤カプセルは、熱硬化などにより接着剤として機能する粘性流体（シール材）と固形粉体（スペーサ）を内包する。このものによれば、均一な間隙を空けて基板間を強固に接着することができる。
【０００４】
しかしながら、前記特許文献１に記載の接着技術では、スペーサを内包した接着剤カプセルを基板間に介在させつつ圧着して前記基板間を接着硬化させるため、圧着を伴わない使用には不適であるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６３−２７５６８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
解決しようとする課題は、従来の接着技術では、圧着を伴わない使用には不適であった点である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、間隙部への接着剤充填を圧着を伴わない簡素な工程をもって遂行可能な接着剤充填方法を提供することを目的とする。
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係るヘッドサスペンションの製造方法は、給電状態に応じて変形する圧電素子と、前記圧電素子が実装される開口部を有する基部と、前記基部に設けられるロードビームとを備え、前記圧電素子の変形に従って前記ロードビームの先端側をスウェイ方向に変位させるヘッドサスペンションを製造するための製造方法において、前記開口部の内側面における先端側及び後端側には、前記圧電素子の下側電極面を幅方向に渡る面で受ける受け部がそれぞれ形成され、前記圧電素子の下側電極面と前記受け部との間に形成した非導電性接着剤層により前記圧電素子を前記開口部に配置して前記開口部の内側面と前記圧電素子の外側面との間に間隙部を形成し、前記開口部の内側面と前記圧電素子の外側面との間の間隙部に、熱硬化性または紫外線硬化性を有する非導電性接着剤がマイクロカプセル内に封入された接着剤マイクロカプセルを、前記間隙部を満たすように導入する導入工程と、前記間隙部の前記接着剤マイクロカプセルに熱または光照射エネルギーを与えることによって該接着剤マイクロカプセルから前記非導電性接着剤を排出させる排出工程と、前記排出した非導電性接着剤に熱または紫外線照射エネルギーを与えることによって硬化を促す硬化促進工程と、を備え、前記間隙部に前記非導電性接着剤を充填することによって前記開口部に前記圧電素子を接着固定したことを最も主な特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係るヘッドサスペンションの製造方法によれば、開口部の内側面における先端側及び後端側には、圧電素子の下側電極面を幅方向に渡る面で受ける受け部がそれぞれ形成され、前記圧電素子の下側電極面と前記受け部との間に形成した非導電性接着剤層により前記圧電素子を前記開口部に配置して前記開口部の内側面と前記圧電素子の外側面との間に間隙部を形成し、前記開口部の内側面と前記圧電素子の外側面との間の間隙部に、熱硬化性または紫外線硬化性を有する非導電性接着剤がマイクロカプセル内に封入された接着剤マイクロカプセルを、前記間隙部を満たすように導入する導入工程と、前記間隙部の前記接着剤マイクロカプセルに熱または光照射エネルギーを与えることによって該接着剤マイクロカプセルから前記非導電性接着剤を排出させる排出工程と、前記排出した非導電性接着剤に熱または紫外線照射エネルギーを与えることによって硬化を促す硬化促進工程と、を備え、前記間隙部に前記非導電性接着剤を充填することによって前記開口部に前記圧電素子を接着固定したので、間隙部への接着剤の充填を圧着を伴わない簡素な工程をもって遂行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施例１に係る接着剤充填方法の工程を示す説明図である。
【図２】実施例２に係るヘッドサスペンションの外観を表す斜視図である。
【図３】図３（Ａ）は、実施例２に係るヘッドサスペンションに設けられる圧電アクチュエータを拡大して示す平面図、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）のＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線に沿う矢視断面図である。
【図４】実施例２に係るヘッドサスペンション１１において、開口部への圧電素子の実装工程を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
間隙部への接着剤の充填を圧着を伴わない簡素な工程をもって遂行するといった目的を、接着機能及び硬化機能を有する接着剤がカプセル内に封入された接着剤カプセルを間隙部に導入する導入工程と、前記間隙部の前記接着剤カプセルにエネルギーを与えることによって該接着剤カプセルから前記接着剤を排出させる排出工程と、前記排出した接着剤にエネルギーを与えることによって硬化を促す硬化促進工程と、を備えた接着剤充填方法によって実現した。
【実施例１】
【００１２】
以下、本発明の実施例１に係る接着剤充填方法について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
［接着剤充填方法の概要］
図１は、実施例１に係る接着剤充填方法の工程を示す説明図である。
【００１３】
実施例１に係る接着剤充填方法は、ステップＳ１１の導入工程と、ステップＳ１２の排出工程と、ステップＳ１３の硬化促進工程と、を備える。
【００１４】
ステップＳ１１の導入工程では、図１に示すように、接着剤１がカプセル３内に封入された複数の接着剤カプセル５を、前記間隙部７を満たすように導入する。
【００１５】
前記接着剤１は、接着機能及び硬化機能を基本的に有する。具体的には、この接着剤１としては、例えば、熱硬化性、紫外線硬化性、若しくは嫌気硬化性のもの、又は導電性若しくは非導電性のもの等を好適に採用することができる。
【００１６】
前記カプセル３は、例えば球形状に形成され、球体直径が約１〜１０００μｍ程度のきわめて微小なマイクロカプセル（容器）であり、前記間隙部７よりも小径である。このカプセル３は、化学的または物理的な手法を用いて製造される。前記カプセル３は、湿気や酸素等の雰囲気から接着剤１を保護すると共に、取り扱い性を高める役割を果たす。
【００１７】
前記接着剤カプセル５の製法については、例えば、界面重合法、in situ 重合法、液中硬化被覆法（オリフィス法）、水溶液系からの相分離法（コアーセルベーション法）、有機溶液系からの相分離法、液中乾燥法、または融解分散冷却法などと呼ばれるもののうち、接着剤１との相性等を考慮して適宜の製法を採用すればよい。
【００１８】
前記間隙部７は、物体間の隙間を意味する。この物体としては、同一のもの（例えば、ある物体に存在する溝部など）であるか、相互に異なるもの（例えば、複数の物体の組み合わせによって生じた隙間など）であるかを問わない。
【００１９】
また、”前記間隙部７を満たすように導入する”とは、前記接着剤カプセル５によって、前記間隙部７の隙間を隈無く埋めるように満たすことを意味する。前記接着剤カプセル５が球形状である場合、前記間隙部７に球形状の接着剤カプセル５を複数投入すると、これらカプセル５同士の間に隙間ができる。
【００２０】
そこで、この隙間分の接着剤１を補填するために、図１に示すように、前記間隙部７に対して前記接着剤カプセル５を、前記隙間分を埋めるのにじゅうぶんな量だけ投入する。この投入量は、前記接着剤カプセル５に封入された接着剤１の量を一定量とすれば、同接着剤カプセル５の数によって管理することができる。
【００２１】
ステップＳ１２の排出工程では、前記間隙部７に導入された接着剤カプセル５にエネルギーを与えることによって該接着剤カプセル５から前記接着剤１を排出させる。これにより、前記接着剤カプセル５に封入されていた接着剤１がカプセル３の殻から排出し、本来の接着機能及び硬化機能を発揮する準備が整う。
【００２２】
前記接着剤カプセル５に与えるエネルギーとしては、当該接着剤カプセル５のうち膜材（殻）の素材や内包されている接着剤１の硬化タイプなどの諸要素を考慮して、適切なものを与えればよい。具体的には、例えば、前記接着剤１の硬化タイプが、熱硬化性であれば加熱による熱エネルギーを、また、紫外線硬化性であれば可視光照射による熱エネルギーを、当該接着剤１の排出促進のために与えればよい。
【００２３】
ステップＳ１３の硬化促進工程では、前記排出した接着剤１にエネルギーを与えることによって硬化を促す。これにより、前記接着剤カプセル５の殻から排出してきた接着剤１が、本来の接着機能及び硬化機能を発揮する。その結果、図１に示すように、前記間隙部７を隈無く埋める接着剤層９が出現する。
【００２４】
前記排出した接着剤１に与えるエネルギーとしては、当該接着剤１の硬化タイプが、熱硬化性であれば加熱による熱エネルギーを、また、紫外線硬化性であれば紫外線照射によるエネルギーを、当該接着剤１の硬化促進のために与えればよい。
【００２５】
なお、本実施例１では、ステップＳ１２の排出工程と、ステップＳ１３の硬化促進工程とを、相互に独立した工程として記載したが、これらを時系列的に一連の工程として取り扱うこともできる。
【００２６】
具体的には、仮に、前記接着剤１の硬化タイプが熱硬化性であるとする。この場合、ステップＳ１２の排出工程では、熱エネルギーを与えることによって接着剤カプセル５から接着剤１を排出させる。次いで、ステップＳ１３の硬化促進工程では、前記熱エネルギーの供与を継続することによって、前記接着剤カプセル５から排出した接着剤１の硬化を促す。
【００２７】
要するに、接着剤カプセル５または接着剤１に対する熱エネルギーの供与を継続して行うことによって、ステップＳ１２の排出工程と、ステップＳ１３の硬化促進工程とを、時系列的に一連の工程として実行することができる。
【００２８】
また、仮に、前記接着剤１の硬化タイプが紫外線硬化性であるとする。この場合、可視光線と紫外線とを切り替え照射可能なランプを用意する。ステップＳ１２の排出工程では、可視光照射による熱エネルギーを与えることによって接着剤カプセル５から接着剤１を排出させる。次いで、ステップＳ１３の硬化促進工程では、前記ランプを紫外線照射に切り替えることによって、前記接着剤カプセル５から排出した接着剤１の硬化を促す。
【００２９】
要するに、可視光線と紫外線とを適宜のタイミングで切り替え照射することによって、ステップＳ１２の排出工程と、ステップＳ１３の硬化促進工程とを、時系列的に一連の工程として実行することができる。
【００３０】
実施例１に係る接着剤充填方法によれば、接着機能及び硬化機能を有する接着剤１がカプセル３内に封入された接着剤カプセル５を、前記間隙部７を満たすように導入する導入工程（ステップＳ１１）と、前記間隙部７の前記接着剤カプセル５にエネルギーを与えることによって該接着剤カプセル５から前記接着剤１を排出させる排出工程（ステップＳ１２）と、前記排出した接着剤１にエネルギーを与えることによって硬化を促す硬化促進工程（ステップＳ１３）とを備えたので、間隙部への接着剤の充填を圧着を伴わない簡素な工程をもって遂行することができる。
【実施例２】
【００３１】
次に、前述した実施例１に係る接着剤充填方法を、ヘッドサスペンションに対する圧電素子の接着固定に応用した実施例２に係るヘッドサスペンションの製造方法について説明する。
【００３２】
初めに、前提となるヘッドサスペンションの概略構成について説明する。
［ヘッドサスペンションの概略構成］
図２は、実施例２に係るヘッドサスペンションの外観を表す斜視図である。
【００３３】
実施例２に係るヘッドサスペンション１１は、磁気ディスク装置（不図示）における情報の読み書きに用いられるもので、図２に示すように、ベースプレート１３と、ロードビーム１５と、アクチュエータベース１８となどを備える。
【００３４】
前記ベースプレート１３は、前記アクチュエータベース１８を介して、前記ロードビーム１５を弾性支持する役割を果たす。このベースプレート１３は、例えば、１５０〜２００μｍ程度の板厚の、ステンレス鋼などの金属製薄板からなる。
【００３５】
前記ベースプレート１３には、略円形のボス孔１９が開設されている。このボス孔１９を介して、ベースプレート１３は、ボイスコイルモータ（不図示）によって駆動されるアクチュエータアーム（不図示）の先端部分に固着され、前記ボイスコイルモータによって旋回駆動されるようになっている。
【００３６】
前記ロードビーム１５は、その先端側に設けられる磁気ヘッドスライダ（不図示）に負荷荷重を与える役割を果たす。このロードビーム１５は、例えば、５０〜１５０μｍ程度の板厚の、ばね性を有するステンレス鋼などの金属製薄板からなる。
【００３７】
前記アクチュエータベース１８は、前記ベースプレート１３と前記ロードビーム１５との間に介在させて設けられ、電圧の印加状態に応じて圧縮変形する圧電素子２３の取付部としての役割を果たす。このアクチュエータベース１８は、前記ベースプレート１３と一体に形成してもよい。
【００３８】
前記ベースプレート１３を、前記アクチュエータベース１８と一体に形成した場合は、このベースプレート１３が本発明の”基部”に相当する。一方、前記ベースプレート１３を、前記アクチュエータベース１８とは別体に形成した場合は、このアクチュエータベース１８が本発明の”基部”に相当する。
【００３９】
前記ロードビーム１５には、フレキシャ２５が設けられている。このフレキシャ２５における先端側には、磁気ヘッドスライダ（不図示）が設けられる。
【００４０】
前記ロードビーム１５には、その両側部に一対の曲げ縁２７ａ，２７ｂが形成されている。これら一対の曲げ縁２７ａ，２７ｂは、ロードビーム１５の剛性を高める役割を果たす。
【００４１】
前記ロードビーム１５における後端側には、連結プレート２９が一体に設けられている。
【００４２】
前記連結プレート２９は、例えば、板厚が３０μｍ程度の、ステンレス鋼などのばね性を有する金属薄板からなる。この連結プレート２９の一部には、厚み方向の曲げ剛性を下げ、軽量化を図る等の目的で、孔３１が開設されている。この孔３１の両側部に、厚み方向に撓むことのできる一対のヒンジ部３３ａ，３３ｂが、それぞれ形成されている。
【００４３】
前記連結プレート２９における後端側、つまり、ロードビーム１５の基部は、前記アクチュエータベース１８の前端側に、その裏面側から重ね合わされて、レーザ溶接等の適宜の固着手段によって相互に固着されている。
【００４４】
次に、実施例２に係るヘッドサスペンション１１に設けられる圧電アクチュエータの概略構成について説明する。
［圧電アクチュエータの概略構成］
図３（Ａ）は、実施例２に係るヘッドサスペンションに設けられる圧電アクチュエータを拡大して示す平面図、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）のＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線に沿う矢視断面図である。
【００４５】
圧電アクチュエータ１７を設計するにあたっては、電圧の印加状態に応じて圧縮変形する圧電素子２３の歪み（変位）を効果的に前記ロードビーム１５に伝達すること、圧電素子２３の電極とアクチュエータベース１８間における電気的な絶縁性を担保すること、圧電素子２３の外側面から塵埃が離脱するのを未然に防止すること、並びに、脆く壊れやすい圧電素子２３をその損傷から保護すること、の諸要素を考慮することが求められる。
【００４６】
かかる諸要素を考慮して、本発明の実施例２に係る圧電アクチュエータ１７は、図２及び図３に示すように、アクチュエータベース１８に設けた開口部２１の内部空間に、前記圧電素子２３を実装してなる。
【００４７】
前記アクチュエータベース１８には、図２及び図３に示すように、前記圧電素子２３を収容するための、略矩形形状の開口部２１が開設されている。この開口部２１には、圧電素子２３が埋め込み式に設けられている。前記ベースプレート１３の上側面と、前記圧電素子２３の上側電極面２３ａとは、面一の関係になっている。
【００４８】
前記アクチュエータベース１８のうち開口部２１の幅方向両側には、Ｕ字形状に突出した一対の可撓連結部３５が形成されている。これら一対の可撓連結部５０の存在が、圧電アクチュエータ１７の剛性向上に寄与すると共に、圧電アクチュエータ１７のスウェイ動作時において、変位ストローク動作を妨げない役割を果たす。
【００４９】
前記開口部２１の内側面における先端側及び後端側には、前記圧電素子２３の下側電極面２３ｂを、幅方向に渡る面で受ける受け部３７ａ１，３７ａ２がそれぞれ形成されている。この受け部３７ａ１，３７ａ２を開口部２１と一体に形成するにあたっては、共通の金属製薄板から所定の形状に切り出した前記アクチュエータベース１８のうち、前記受け部３７ａ１，３７ａ２に該当する部位に化学的な腐食処理を施すことによって、その周囲の部分に比べて板厚を薄くする、部分的なハーフエッチング処理を適用すればよい。
【００５０】
前記圧電素子１３の下側電極面２３ｂと、前記受け部３７ａ１，３７ａ２との間には、図３（Ｂ）に示すように、適宜の厚みを有する非導電性接着剤層３９が形成されている。
【００５１】
前記開口部２１に装着される前記圧電素子２３は、その外形寸法が前記開口部２１の内形寸法よりも僅かに小さい、略矩形形状に形成されている。
【００５２】
前記圧電素子２３を、前記開口部２１における所定の取付位置に置いた状態で、前記開口部２１の内側面２１ａと、前記圧電素子２３の外側面２３ｃとの間に、矩形形状の周回溝を生じる。この矩形形状の周回溝を、以下では間隙部４１と呼ぶ。
【００５３】
この間隙部４１を埋めて、前記圧電素子２３の歪み（変位）を前記ロードビーム１５に的確に伝達する等の効果を狙って、前記圧電素子２３は、図２及び図３に示すように、前記間隙部４１内に非導電性接着剤４３を隈無く充填することによって前記開口部２１に接着固定される。
［ヘッドサスペンションの製造方法］
次に、前記開口部２１に前記圧電素子２３を接着固定する際の実装工程について説明する。
【００５４】
図４は、実施例２に係るヘッドサスペンション１１において、開口部への圧電素子の実装工程を示す説明図である。
【００５５】
ステップＳ２１の導入工程では、図４に示すように、前記開口部２１の内側面２１ａと前記圧電素子２３の外側面２３ｃとの間の間隙部４１に、熱硬化性または紫外線硬化性を有する非導電性接着剤４３がマイクロカプセル３内に封入された球形状の接着剤マイクロカプセル４５を、前記間隙部４１を満たすように導入する。
【００５６】
ステップＳ２２の排出工程では、前記間隙部４１に導入された前記接着剤マイクロカプセル４５に熱または光照射エネルギーを与えることによって該接着剤マイクロカプセル４５から前記非導電性接着剤４３を排出させる。これにより、前記接着剤マイクロカプセル４５に封入されていた非導電性接着剤４３がマイクロカプセル３の殻から排出し、本来の接着機能及び硬化機能を発揮する準備が整う。
【００５７】
ステップＳ２３の硬化促進工程では、前記排出した非導電性接着剤４３に熱または紫外線照射エネルギーを与えることによって硬化を促す。これにより、前記接着剤マイクロカプセル４５の殻から排出してきた非導電性接着剤４３が、本来の非導電性接着剤４３としての接着機能、硬化機能、及び絶縁機能を発揮する。
【００５８】
その結果、図３（Ｂ）及び図４に示すように、前記間隙部４１を隈無く埋める非導電性接着剤層４３が出現する。要するに、前記間隙部４１に前記非導電性接着剤５３を充填することによって、前記開口部２１に前記圧電素子２３を接着固定した。
【００５９】
なお、本実施例２では、ステップＳ２２の排出工程と、ステップＳ２３の硬化促進工程とを、相互に独立した工程として記載したが、これらを時系列的に一連の工程として取り扱うこともできる。
【００６０】
具体的には、仮に、前記非導電性接着剤４３の硬化タイプが熱硬化性であるとする。この場合、ステップＳ２２の排出工程では、熱エネルギーを与えることによって接着剤マイクロカプセル４５から非導電性接着剤４３を排出させる。次いで、ステップＳ２３の硬化促進工程では、前記熱エネルギーの供与を継続することによって、前記接着剤マイクロカプセル４５から排出した非導電性接着剤４３の硬化を促す。
【００６１】
要するに、接着剤マイクロカプセル４５または非導電性接着剤４３に対する熱エネルギーの供与を継続して行うことによって、ステップＳ２２の排出工程と、ステップＳ２３の硬化促進工程とを、時系列的に一連の工程として実行することができる。
【００６２】
また、仮に、前記非導電性接着剤４３の硬化タイプが紫外線硬化性であるとする。この場合、可視光線と紫外線とを切り替え照射可能なランプを用意する。ステップＳ２２の排出工程では、可視光照射による熱エネルギーを与えることによって接着剤マイクロカプセル４５から非導電性接着剤４３を排出させる。次いで、ステップＳ２３の硬化促進工程では、前記ランプを紫外線照射に切り替えることによって、前記接着剤マイクロカプセル４５から排出した非導電性接着剤４３の硬化を促す。
【００６３】
要するに、可視光線と紫外線とを適宜のタイミングで切り替え照射することによって、ステップＳ２２の排出工程と、ステップＳ２３の硬化促進工程とを、時系列的に一連の工程として実行することができる。
【００６４】
実施例２に係るヘッドサスペンションの製造方法によれば、前記開口部２１の内側面２１ａと前記圧電素子２３の外側面２３ｃとの間の間隙部４１に、熱硬化性または紫外線硬化性を有する非導電性接着剤４３がマイクロカプセル３内に封入された接着剤マイクロカプセル４５を、前記間隙部４１を満たすように導入する導入工程（ステップＳ２１）と、前記間隙部４１に導入された前記接着剤マイクロカプセル４５に熱または光照射エネルギーを与えることによって該接着剤マイクロカプセル４５から前記非導電性接着剤４３を排出させる排出工程（ステップＳ２２）と、前記排出した非導電性接着剤４３に熱または紫外線照射エネルギーを与えることによって硬化を促す硬化促進工程（ステップＳ２３）とを備えたので、間隙部４１への接着剤の充填を圧着を伴わない簡素な工程をもって遂行することができる。
【００６５】
なお、実施例２に係る接着剤マイクロカプセル４５としては、前記間隙部４１が有する矩形形状と同一形状に形成したものを採用してもよい。このように構成すれば、前記間隙部４１への接着剤マイクロカプセル４５の導入を、同カプセル４５を前記間隙部４１へとはめ込むといったきわめて簡素な工程をもって遂行することができる。従って、前記導入工程の簡素化を実現することができる。
【００６６】
また、実施例２に係る排出工程では、前記開口部２１から前記接着剤マイクロカプセル４５に直接的に熱または光照射エネルギーを与えることによって該接着剤マイクロカプセル４５から前記非導電性接着剤４３を排出させる構成を採用してもよい。このように構成すれば、前記接着剤マイクロカプセル４５からの前記非導電性接着剤４３の排出を著しく促進することができる。従って、前記排出工程の効率化を実現することができる。
【００６７】
さらに、実施例２に係る硬化促進工程では、前記排出した非導電性接着剤４３に熱または紫外線照射エネルギーを与えることによって硬化を促す構成を採用してもよい。このように構成すれば、前記接着剤マイクロカプセル４５の硬化を著しく促進することができる。従って、前記硬化促進工程の効率化を実現することができる。
【００６８】
次に、上述の実装手順を経て製造された実施例２に係るヘッドサスペンション１１の作用について説明する。
【００６９】
前記開口部２１に実装された前記圧電素子２３は、所定の給電信号が与えられると、前記圧電素子２３の長手方向に沿う中心軸（図２中の２本の点線参照）を境界として一側が長手方向に伸びるとともに、他側が長手方向に縮む。つまり、前記圧電素子２３は、全体として略台形形状に歪む。
【００７０】
その結果、前記圧電アクチュエータ１７は、前記圧電素子２３によってもたらされる歪み方向及び変位ストローク量に応じて、前記ロードビーム１５の先端側をスウェイ方向に微少距離だけ変位させるように動作する。
【００７１】
この点、実施例２に係る製造方法を用いて製造されたヘッドサスペンション１１では、前記開口部２１の内側面２１ａと前記圧電素子２３の外側面２３ｃとの間に生じた間隙部４１内に、非導電性接着剤４３を隈無く充填することによって、前記開口部２１に前記圧電素子２３が接着固定されているので、前記圧電素子２３に生じた歪み（変位）を前記ロードビーム１５に的確に伝達することができる。
【００７２】
また、前記圧電素子２３と、前記アクチュエータベース１８との間には、前記非導電性接着剤３９，４３が介在しているので、前記両者間における電気的な絶縁性を確実に保証することができる。
【００７３】
さらに、前記圧電素子２３の外側面２３ｃは、前記非導電性接着剤４３によって隈無く覆われているので、圧電素子の外側面から塵埃が離脱するのを確実に防止することができる。
【００７４】
そして、前記圧電素子２３は、前記開口部２１内に、前記非導電性接着剤３９，４３を介在させて接着固定されているので、脆く壊れやすい圧電素子をその損傷から的確に保護することができる。
［その他］
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う接着剤充填方法、及びヘッドサスペンションの製造方法もまた、本発明における技術的範囲の射程に包含されるものである。
【００７５】
本発明の実施例中、導入工程、排出工程、及び硬化促進工程を備えた接着剤充填方法を例示して説明したが、本発明はこの例に限定されない。すなわち、本発明の実施に際し、常温常圧下では接着機能及び硬化機能が封印されて易取扱い性を有した接着剤の塊を採用すれば、かかる接着剤塊ではカプセル化を要しない。
【００７６】
前記接着剤の塊は、熱、圧力または紫外線照射などのエネルギーが与えられていない常温常圧下では接着機能及び硬化機能が封印されており、易取扱い性を有する。このような接着剤の一例として、”反応型構造用ホットメルト接着剤”を例示することができる。一般的なホットメルト接着剤は、例えば熱可塑性樹脂であるのに対し、前記反応型構造用ホットメルト接着剤は、熱溶解後、環境の水分と反応、硬化し、架橋構造をとるため、構造用接着剤として用いることができる。こうした構造用接着剤では、熱、圧力または紫外線照射などのエネルギーが与えられると、前記の封印が解かれて、接着機能及び硬化機能が顕在化する。この場合、カプセルから接着剤を排出させるための排出工程を省略することができる。
【００７７】
すなわち、間隙部に接着剤を充填するための接着剤充填方法であって、常温常圧下では接着機能及び硬化機能が封印されて易取扱い性を有した接着剤の塊を前記間隙部に導入する導入工程と、前記間隙部の前記接着剤の塊にエネルギーを与えることによって硬化を促す硬化促進工程と、を備えた変形例に係る接着剤充填方法も、本発明の技術的範囲の射程に包含される。
【００７８】
なお、実施例１に係る接着剤充填方法と、前記変形例に係る接着剤充填方法とは、接着剤の易取扱い性を担保するための手段が、実施例１ではカプセル化である一方、変形例では接着剤の有する性状である点で大きく相違する。このため、変形例では排出工程を省略することができるが、その他の構成（導入工程及び硬化促進工程）は共通である。そこで、実施例１に係る上記共通部分の説明を援用することで、変形例の説明に代えることとする。
【符号の説明】
【００７９】
１  接着剤
３  カプセル
５  接着剤カプセル
７  間隙部
１１  ヘッドサスペンション
１３  ベースプレート（基部）
１５  ロードビーム
１７  圧電アクチュエータ
１８  アクチュエータベース（基部）
２１  開口部
２１ａ  開口部の内側面
２３  圧電素子
２３ｃ  圧電素子の外側面
４１  間隙部
４３  非導電性接着剤
４５  接着剤マイクロカプセル
【図１】
0005528048.tif 000002
【図２】
0005528048.tif 000003
【図３】
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【図４】
0005528048.tif 000005