(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部が作業空間となるチャンバ本体と、前記チャンバ本体の壁面に設けられる開口部を開閉可能な扉と、前記チャンバ本体の外部に設けられ、前記チャンバ本体内部の空気を吸気する吸気部とを備えるドラフトチャンバと、
前記チャンバ本体内部に設置されて作業を行うロボットと、
前記開口部が設けられる前記壁面側に設けられ、前記ロボットの設置面よりも高い位置に天板がある作業台と
を備え、
前記天板は、
裏側の面の高さ位置が前記開口部における下側縁部よりも高い位置となるように配設されることを特徴とするロボットシステム。
【請求項２】
前記天板は、
前記開口部が設けられる前記壁面と前記ロボットとの間に配設される
ことを特徴とする請求項１に記載のロボットシステム。
【請求項３】
前記開口部は、
前記チャンバ本体の２以上の壁面に設けられる
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のロボットシステム。
【請求項４】
前記開口部は、
隣接される３つの壁面にそれぞれ設けられ、
前記天板は、
前記隣接される３つの壁面に沿って前記ロボットの周囲を上面視Ｃ字状に囲む形状に形成される
ことを特徴とする請求項３に記載のロボットシステム。
【請求項５】
前記天板は、
表裏を貫通する複数の貫通孔
を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載のロボットシステム。
【請求項６】
前記複数の貫通孔は、
前記天板における予め定められた位置に設けられ、
前記作業で使用される器具は、
前記天板に対する設置面に、前記貫通孔へ嵌合可能な嵌合部
を備える
ことを特徴とする請求項５に記載のロボットシステム。
【請求項７】
前記吸気部は、
前記天板における表側の面の高さ位置よりも高い位置から前記チャンバ本体内部の空気を吸気する
ことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載のロボットシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
開示の実施形態は、ロボットシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、作業中に有害物質から作業者を保護するドラフトチャンバがある。かかるドラフトチャンバは、内部が作業空間となるチャンバ本体と、チャンバ本体の側壁に設けられる開口部を開閉可能な扉と、チャンバ本体の外部に設けられ、チャンバ本体内部の空気を吸気する吸気部とを備える（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ドラフトチャンバによれば、作業者が手袋等を装着して開口部からチャンバ本体内部へ手を挿入して作業を行う場合に、チャンバ本体内部の有害物質が開口部から作業者側へ漏出することを防止することで、作業者を有害物質から保護することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２６９７６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ドラフトチャンバを用いて作業を行う場合であっても、チャンバ本体の内部で作業を行う作業者の手は有害物質にさらされる可能性がある。実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、有害物質から作業者をより確実に保護することが可能なロボットシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態の一態様に係るロボットシステムは、ドラフトチャンバと、ロボットと、作業台とを備える。ドラフトチャンバは、内部が作業空間となるチャンバ本体と、前記チャンバ本体の壁面に設けられる開口部を開閉可能な扉と、前記チャンバ本体の外部に設けられ、前記チャンバ本体内部の空気を吸気する吸気部とを備える。ロボットは、前記チャンバ本体内部に設置されて作業を行う。作業台は、前記開口部が設けられる前記壁面側に設けられ、前記ロボットの設置面よりも高い位置に天板がある。
【発明の効果】
【０００７】
実施形態の一態様によれば、有害物質から作業者をより確実に保護することが可能なロボットシステムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１Ａ】図１Ａは、第１の実施形態に係るロボットシステムを示す説明図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、第１の実施形態に係るロボットシステムを示す説明図である。
【図２】図２は、第１の実施形態に係るドラフトチャンバ内部の上面視による説明図である。
【図３】図３は、第１の実施形態に係る作業台の作用効果を示す説明図である。
【図４】図４は、第１の実施形態に係る複数の貫通孔を備える天板を示す上面視による説明図である。
【図５】図５は、第１の実施形態に係る複数の貫通孔を備える天板の作用効果を示す説明図である。
【図６】図６は、第１の実施形態に係る天板へ配置される器具を示す説明図である。
【図７】図７は、第１の実施形態に係る天板へ器具を配置した場合の説明図である。
【図８】図８は、第１の実施形態の変形例に係る作業台を示す斜視による説明図である。
【図９Ａ】図９Ａは、第２の実施形態に係るロボットシステムを示す説明図である。
【図９Ｂ】図９Ｂは、第３の実施形態に係るロボットシステムを示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して、本願の開示するロボットシステムの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１０】
（第１の実施形態）
図１Ａおよび図１Ｂは、第１の実施形態に係るロボットシステム１を示す説明図である。なお、図１Ａには、扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃによってドラフトチャンバ２の開口部２ａ、２ｂ、２ｃが閉塞された状態を示しており、図１Ｂには、扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃによってドラフトチャンバ２の開口部２ａ、２ｂ、２ｃが開放された状態を示している。
【００１１】
図１Ａおよび図１Ｂに示すように、ロボットシステム１は、ドラフトチャンバ２と、ロボット３と、ロボットコントローラ５１と、シミュレータ５２とを備える。ドラフトチャンバ２は、チャンバ本体２１と、扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃと、吸気部２２とを備える。
【００１２】
チャンバ本体２１は、内部が作業空間となる金属性の筐体である。かかるチャンバ本体２１は、前面および左右両側面の各壁面に、内部空間と外部空間とを連通する窓状の開口部２ａ、２ｂ、２ｃが設けられる。また、チャンバ本体２１は、これら３箇所に設けられる各開口部２ａ、２ｂ、２ｃを開閉可能な扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃを備える。
【００１３】
これら３枚の扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃは、例えば、矩形状をした金属性の枠体と、枠体の内周面に嵌め込まれ、扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃの外部から扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃの内部を視認可能な程度の透光性を有する強化ガラスとによって形成される。
【００１４】
かかる扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃは、それぞれ昇降可能に構成され、図１Ａに示すように下降されることで開口部２ａ、２ｂ、２ｃを閉塞してチャンバ本体２１の内部を外部から隔離された閉塞空間とする。また、各扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃは、図１Ｂに示すように、上昇されることで、開口部２ａ、２ｂ、２ｃを開放する。
【００１５】
吸気部２２は、例えば、チャンバ本体２１の屋根上に設けられ、チャンバ本体２１内部の空気を吸気するファンである。かかる吸気部２２は、チャンバ本体２１の内部から吸気した空気を浄化するＨＥＰＡフィルタ (High  Efficiency  Particulate  Air  Filter)を備え、ＨＥＰＡフィルタによって浄化された空気を、排気ダクト２３を介して屋外等へ排気する。
【００１６】
ロボット３は、チャンバ本体２１の床面に設けられる設置台２４上に設置され、作業者に代わって作業を行う。かかるロボット３は、基部３１と、基部３１上に設けられる胴部３２と、胴部３２の左右両側にそれぞれ設けられる腕部３３、３４とを備える。胴部３２は、基部３１に対して水平に回転自在に構成される。
【００１７】
また、腕部３３、３４は、例えば、図１Ａおよび図１Ｂの腕部３３に点線または黒点によって示す６つの軸の可動軸を備えるロボットアームである。かかる腕部３３の先端側には、ワークの把持動作が可能なロボットハンド３５が設けられる。かかるロボット３は、チャンバ本体２１の外部に設けられるロボットコントローラ５１に接続され、ロボットコントローラ５１による制御に従って所定の作業を行う。
【００１８】
ロボットコントローラ５１は、ロボット３へ所定の動作を行わせるシミュレーションを実行するシミュレータ５２に接続される。かかるロボットコントローラ５１は、シミュレータ５２から所定の動作をロボット３へ教示するための教示データを受付け、受付けた教示データに基づいてロボット３の動作を制御する。
【００１９】
シミュレータ５２は、表示画面５２Ａと入力装置５２Ｂとを有する演算装置（例えば、パーソナルコンピュータまたはプログラミングペンダントなど）で構成されており、ロボットコントローラ５１に接続されることでデータの送受信が可能に構成されている。表示画面５２Ａには、チャンバ本体２１内部の上面視による模式的な図が表示されるようになっている。
【００２０】
また、チャンバ本体２１の内部には、開口部２ａ、２ｂ、２ｃが設けられる壁面側に作業台４が設けられる。かかる作業台４は、脚部４０と、脚部４０によって支持される天板４１とを備える。なお、天板４１の形状については、図２を参照して後述する。
【００２１】
脚部４０は、天板４１の高さ位置がロボット３の設置面となる設置台２４上面の高さ位置よりも高い位置となるように天板４１を支持する。これにより、ドラフトチャンバ２では、扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃが上昇して開口部２ａ、２ｂ、２ｃが開放された場合に、天板４１上面近傍の空気をチャンバ本体２１の天井側へ効率的に導いて排気させることができる。なお、かかる点については、図３を参照して後述する。
【００２２】
ここで、ロボットシステム１によって行われる作業の流れについて簡単に説明する。なお、ここでは、ロボット３によって薬品の調合作業を行わせる場合について説明するが、ロボット３によって行わせる作業は、薬品の調合作業に限定するものではない。
【００２３】
まず、作業者は、調合作業に使用する薬品や器具を作業台４上に配置する前に、各薬品や器具の作業台４上における予定配置位置、および、ロボット３に実行させる作業手順をシミュレータ５２へ入力する。
【００２４】
シミュレータ５２は、作業者によって入力される情報に基づいて、薬品の調合作業動作をロボット３に行わせるシミュレーションを実行し、シミュレーションによって作成した調合動作の教示データをロボットコントローラ５１へ出力する。
【００２５】
続いて、作業者は、吸気部２２によってチャンバ本体２１内部の空気を吸気させた状態で、ドラフトチャンバ２の扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃを上昇させて開口部２ａ、２ｂ、２ｃを開放させる。
【００２６】
そして、作業者は、開口部２ａ、２ｂ、２ｃからチャンバ本体２１の内部へ調合作業で使用される薬品の入った瓶や調合作業で使用される各器具を搬入する。このとき、作業者は、シミュレータ５２へ入力した予定配置位置どおりに薬品の入った瓶や器具を配置する。
【００２７】
その後、作業者は、ドラフトチャンバ２の扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃを下降させて開口部２ａ、２ｂ、２ｃを閉塞させ、ロボットコントローラ５１によるロボット３の動作制御を開始させる。これにより、ロボット３がチャンバ本体２１の内部で薬品の調合作業を開始する。
【００２８】
このように、ロボットシステム１では、外部から隔離されたチャンバ本体２１の内部で、ロボット３が作業者に代わって薬品の調合作業を行うので、例えば、薬品の調合によって有害物質が発生しても、有害物質から作業者をより確実に保護することができる。
【００２９】
また、ロボット３による作業中にドラフトチャンバ２の扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃを上昇させて開口部２ａ、２ｂ、２ｃを開放させても、チャンバ本体２１内部の空気は吸気部２２によって吸気されているので、開口部２ａ、２ｂ、２ｃから外部へ漏出することがない。
【００３０】
したがって、ロボットシステム１によれば、薬品の調合によって有害物質が発生しても、有害物質が開口部２ａ、２ｂ、２ｃから外部へ漏出することを抑制することで、作業者をより確実に保護することができる。
【００３１】
次に、図２を参照して、作業台４の天板４１の形状について説明する。図２は、第１の実施形態に係るドラフトチャンバ２内部の上面視による説明図である。なお、図２には、チャンバ本体２１の天井を取り外した状態を示している。
【００３２】
ここでは、図２に示す構成要素のうち、図１Ａおよび図１Ｂに示す構成要素と同一の構成要素については、図１Ａおよび図１Ｂに示す符号と同一の符号を付することにより、その説明を省略する。
【００３３】
図２に示すように、作業台４の天板４１は、チャンバ本体２１の開口部２ａ、２ｂ、２ｃが設けられる壁面とロボット３との間に配設される。これにより、作業者は、作業で用いられる器具等を開口部２ａ、２ｂ、２ｃから天板４１上へ容易に配置することができる。
【００３４】
また、天板４１は、チャンバ本体２１の隣接される３つの壁面に沿ってロボット３の周囲を上面視Ｃ字状に囲む形状に形成される。ロボットシステム１では、背面側を除くロボット３の全周囲を作業領域としてロボット３に使用させることができるので、チャンバ本体２１の内部空間の中で作業領域として使用できないデッドスペースを極力なくすことができる。
【００３５】
また、ロボットシステム１では、前述のように、チャンバ本体２１の前面および左右両側面に開口部２ａ、２ｂ、２ｃが設けられる。これにより、作業者は、ロボット３の左右両側へ作業で用いられる器具等を配置する場合に、チャンバ本体２１の左右側面に設けられる開口部２ｂ、２ｃからチャンバ本体２１の内部へ器具等を搬入することができる。
【００３６】
したがって、作業者は、作業で使用される器具等の予定配置位置がロボット３の左右両側であっても、シミュレータ５２へ入力した予定配置位置へ正確に器具等を配置することができる。
【００３７】
次に、図３を参照し、ロボット３の設置面よりも高い位置に作業台４の天板４１を設けたことによる作用効果について説明する。図３は、第１の実施形態に係る作業台４の作用効果を示す説明図である。
【００３８】
なお、図３は、図２におけるＡ−Ａ´線による断面を模式的に示している。また、図３では、チャンバ本体２１内部の空気の流れを示すため、天板４１上に配置される器具については図示を省略し、ロボット３については点線によって示している。
【００３９】
また、ここでは、図３に示す構成要素のうち、図１Ａおよび図１Ｂに示す構成要素と同一の構成要素については、図１Ａおよび図１Ｂに示す符号と同一の符号を付することにより、その説明を省略する。
【００４０】
図３に示すように、吸気部２２によってチャンバ本体２１内部の空気を吸気している状態で、扉２Ａを上昇させて開口部２ａを開放した場合、チャンバ本体２１外部の空気ａ１がチャンバ本体２１の内部へ吸い込まれる。
【００４１】
ここで、仮に、チャンバ本体２１の内部空間が天板４１によって上下に仕切られていた場合、チャンバ本体２１外部からチャンバ本体２１内部へ吸い込まれた空気ａ１は、吸気部２２の設置位置へ向けて斜め上方向へ吸い上げられる。
【００４２】
つまり、チャンバ本体２１外部から内部へ吸い込まれた空気ａ１は、天板４１の上面近傍を通過せずに吸気部２２へ吸気される。このため、天板４１の上面近傍では、空気の滞留が起こる可能性がある。
【００４３】
このとき、天板４１の近傍で危険物質が発生していた場合、作業者が手袋をせずに天板４１近傍へ手を挿入したり、天板４１近傍へ挿入した手に装着された手袋が破損していたりすると、作業者の手が危険物質の危険にさらされることになる。
【００４４】
そこで、ロボットシステム１では、天板４１の高さ位置がロボット３の設置面よりも高い位置となる作業台４を設けることで、チャンバ本体２１の内部に天板４１よりも高さ位置が低い領域を形成した。
【００４５】
これにより、ロボットシステム１では、吸気部２２によってチャンバ本体２１内部の空気を吸気する場合に、天板４１よりも高さ位置の低い領域から天板４１よりも高さ位置の高い領域へ向かうチャンバ本体２１内部の空気ａ２の流れが形成される。
【００４６】
このように、チャンバ本体２１内部に、天板４１よりも高さ位置の低い領域から上方向へ向かう空気ａ２の流れが形成されることで、天板４１近傍に滞留する空気は、かかる上方向へ向かう空気ａ２の流れに引き寄せられ、吸気部２２によって吸気される。
【００４７】
したがって、ロボットシステム１によれば、天板４１近傍で有害物質が発生する場合であっても、かかる有害物質を含んだ空気が天板４１近傍に滞留することを抑制することができるので、作業者を有害物質からより確実に保護することができる。
【００４８】
なお、これまで、作業台４の天板４１が平坦な板体である場合について説明したが、天板４１としては、表裏を貫通する複数の貫通孔が形成されたものを用いることができる。次に、図４および図５を参照し、表裏を貫通する複数の貫通孔を備えた天板を設ける場合について説明する。
【００４９】
図４は、第１の実施形態に係る複数の貫通孔４２ａを備える天板４２を示す上面視による説明図であり、図５は、第１の実施形態に係る複数の貫通孔４２ａを備える天板４２の作用効果を示す説明図である。なお、図５には、図２に示す天板４１を複数の貫通孔４２ａが設けられた天板４２へ交換した場合の図２におけるＢ−Ｂ´線による断面を模式的に示している。
【００５０】
また、ここでは、図４および図５に示す構成要素のうち、図１Ａおよび図１Ｂに示す構成要素と同一の構成要素については、図１Ａおよび図１Ｂに示す符号と同一の符号を付することにより、その説明を省略する。
【００５１】
図４に示すように、天板４２は、表裏を貫通する複数の貫通孔４２ａが形成される。なお、かかる天板４２の外形は、図２に示す天板４１と同一であり、ロボット３の背面側を除く周囲を囲むように上面視Ｃ字形状に形成される。
【００５２】
かかる天板４２を設けることにより、ロボットシステム１では、図５に示すように、吸気部２２によってチャンバ本体２１内部の空気を吸気した場合、天板４２の貫通孔４２ａを通って天板４２の下面側から天板４２の上面側へ向かう空気ａ３の流れが形成される。
【００５３】
したがって、かかる天板４２によれば、天板４２の上面で行われる作業によって有害物質が発生した場合に、有害物質を含んだ空気を天板４２の上面近傍から吸気部２２によって効率的に吸気させることで、作業者をより確実に有害物質から保護することができる。
【００５４】
また、複数の貫通孔４２ａを備える天板４２を設ける場合、図５に示すように、天板４２は、裏面となる下面の高さ位置がチャンバ本体２１の開口部２ａにおける下側縁部よりも高い位置となるように配設される。
【００５５】
これにより、吸気部２２によってチャンバ本体２１内部の空気を吸気させた状態で、扉２Ａを上昇させて開口部２ａを開放した場合、チャンバ本体２１外部の空気ａ４を天板４２の裏面となる下面よりも下側からチャンバ本体２１の内部へ導入させることができる。
【００５６】
こうして、天板４２の下面よりも下側からチャンバ本体２１の内部へ導入される空気ａ４は、天板４２に設けられる複数の貫通孔４２ａを通って吸気部２２によって吸気される。このように、危険物質等が含まれていないチャンバ本体２１外部の空気ａ４を天板４２の下側から上側へ通過させることで、危険物質を含む可能性のある天板４２上面近傍の空気をより確実に吸気部２２によって吸気して排気させることができる。
【００５７】
また、天板４２に複数の貫通孔４２ａを設ける場合、各貫通孔４２ａは、天板４２における予め定められた位置に設けられる。これにより、ロボットシステム１では、作業で使用される器具の天板４２に対する予定配置位置の決定および予定配置位置のシミュレータ５２への入力を容易に行うことができる。次に、かかる点について、図６および図７を参照して説明する。
【００５８】
図６は、第１の実施形態に係る天板４２へ配置される器具を示す説明図であり、図７は、第１の実施形態に係る天板４２へ器具を配置した場合の説明図である。天板４２の予め定められた位置に複数の貫通孔４２ａが設けられる場合、図６に示すように、例えば、試験管６０を立てる冶具６１等、作業で使用される器具の底面に貫通孔４２ａへ嵌合可能な突起状の嵌合部６が貫通孔４２ａへ嵌合可能な間隔で設けられる。
【００５９】
そして、例えば、冶具６１を天板４２へ配置する場合、図７に示すように、冶具６１の底面に設けられる嵌合部６を天板４２の貫通孔４２ａへ嵌合して配置する。なお、例えば、フラスコ６３のように、冶具６１を用いずに天板４２上へ配置される器具については、器具（ここでは、フラスコ６３）の底面に嵌合部６が直付けされる。
【００６０】
これにより、作業者は、各器具の嵌合部６を嵌合する貫通孔４２ａを決定することで、天板４２における器具の予定配置位置を容易に決定することができる。しかも、天板４２に設けられる各貫通孔４２ａの天板４２における位置が既知のため、作業者は、各器具の嵌合部６を嵌合する貫通孔４２ａの天板４２における位置を予定配置位置として容易、且つ、正確にシミュレータ５２へ入力することができる。
【００６１】
また、作業で使用される各器具の底面に、貫通孔４２ａへ嵌合可能な嵌合部６が設けられることで、作業中に天板４２上で器具の位置ずれが生じることを防止することができる。したがって、器具の位置ずれによるロボット３の作業ミスを防止することができる。
【００６２】
次に、図８を参照し、作業台の変形例について説明する。図８は、第１の実施形態の変形例に係る作業台４ａを示す斜視による説明図である。図８に示すように、変形例に係る作業台４ａは、天板４３と、脚部４４とを備える。
【００６３】
天板４３は、図４に示す天板４２と同一の形状である。つまり、かかる天板４３は、ロボット３の背面側を除く周囲を囲む上面視Ｃ字形状の板体であり、予め定められた位置に複数の貫通孔４２ａが設けられる。
【００６４】
また、脚部４４は、チャンバ本体２１の内部に配設される場合に、ロボット３と対面する側の周縁部における中央部分から下方へ垂下する縦板部４５と、縦板部４５の下端に連設され、天板４３と平行な横板部４６とを備える。
【００６５】
かかる作業台４ａは、チャンバ本体２１内部でロボット３が設置される設置台２４の上面に、脚部４４における横板部４６の下面が当接された状態で設置される。そして、作業台４ａを用いる場合、ロボット３は、基部３１の前面が脚部４４の横板部４６におけるロボット３側端部と当接された状態で設置される。
【００６６】
このように、作業台４ａおよびロボット３を設置台２４の上面に設置することで、脚部４４の寸法および天板４３の厚さに基づいて、設置台２４の上面から天板４３の上面までの高さＨと、ロボット３から天板４３までの距離Ｌとを正確に算出することができる。
【００６７】
したがって、かかる高さＨと距離Ｌとを予めシミュレータ５２へ記憶させておくことにより、シミュレータ５２は、ロボット３に対する各貫通孔４２ａの３次元的な相対位置をより正確に算出可能となるので、さらに正確な教示データを生成することができる。
【００６８】
上述してきたように、第１の実施形態に係るロボットシステム１によれば、チャンバ本体２１の内部においてロボット３が作業者に代わって作業を行うので、作業中に発生する有害物質から作業者をより確実に保護することができる。
【００６９】
また、ロボットシステム１は、チャンバ本体２１の開口部２ａ、２ｂ、２ｃが設けられる壁面側に設けられ、ロボット３の設置面よりも高い位置に天板４１がある作業台４を備える。これにより、ロボットシステム１によれば、天板４１上面近傍の空気を効率的に吸気部２２によって吸気して排気させることができる。
【００７０】
（第２の実施形態）
次に、図９Ａを参照し、第２の実施形態に係るロボットシステム１ａについて説明する。図９Ａは、第２の実施形態に係るロボットシステム１ａを示す説明図である。ここで、図９Ａに示す構成要素のうち、図１Ａおよび図１Ｂに示す構成要素と同一の構成要素については、図１Ａおよび図１Ｂに示す符号と同一の符号を付することにより、その説明を省略する。なお、図９Ａには、チャンバ本体２１の天井を取り外した状態を示している。
【００７１】
図９Ａに示すように、第２の実施形態に係るロボットシステム１ａは、チャンバ本体２１が開口部２ｄおよび扉２Ｄを備える点、および、作業台４の天板４７の上面視による形状が図２に示すロボットシステム１とは異なる。
【００７２】
具体的には、ロボットシステム１ａは、チャンバ本体２１におけるロボット３の背面側の壁面にも開口部２ｄと、この開口部２ｄを開閉可能な扉２Ｄをさらに備える。なお、かかる扉２Ｄは、他の扉２Ａ、２Ｂ、２Ｃと同様に、扉２Ｄの外部から扉２Ｄの内部を視認可能に構成される。
【００７３】
したがって、ロボットシステム１ａによれば、例えば、チャンバ本体２１を室内の中央に設置することで、チャンバ本体２１の周囲全方向からロボット３による作業を確認することができる。
【００７４】
また、ロボットシステム１ａに設けられる天板４７は、上面視においてロボット３の全周囲をＯ字状に囲む形状に形成される。なお、かかる天板４７には、図４に示す天板４２と同様に、予め定められた位置に、複数の貫通孔４２ａが形成される。
【００７５】
かかるロボットシステム１ａによれば、チャンバ本体２１の内部で、ロボット３の全周囲をロボット３の作業領域として使用することができるため、作業効率を向上させることができる。
【００７６】
上述したように、第２の実施形態に係るロボットシステム１ａによれば、ロボット３の全周囲をロボット３の作業領域として使用することで作業効率を向上させることができ、チャンバ本体２１の周囲全方向からロボット３による作業を確認することができる。
【００７７】
（第３の実施形態）
次に、図９Ｂを参照し、第３の実施形態に係るロボットシステム１ｂについて説明する。図９Ｂは、第３の実施形態に係るロボットシステム１ｂを示す説明図である。ここで、図９Ｂに示す構成要素のうち、図１Ａおよび図１Ｂに示す構成要素と同一の構成要素については、図１Ａおよび図１Ｂに示す符号と同一の符号を付することにより、その説明を省略する。なお、図９Ｂには、チャンバ本体２１の天井を取り外した状態を示している。
【００７８】
図９Ｂに示すように、第３の実施形態に係るロボットシステム１ｂは、チャンバ本体２１に開口部２ｃおよび扉２Ｃが設けられない点、および、作業台４の天板４８の上面視による形状が図２に示すロボットシステム１とは異なる。
【００７９】
かかるロボットシステム１ｂに設けられる天板４８は、上面視において開口部２ａ、２ｂが設けられる壁面に沿ってロボット３の周囲をＬ字状に囲む形状に形成される。なお、かかる天板４８には、図４に示す天板４２と同様に、予め定められた位置に、複数の貫通孔４２ａが形成される。
【００８０】
かかるロボットシステム１ｂによれば、例えば、チャンバ本体２１における開口部２ａ、２ｂが設けられない壁面を室内の壁面Ｗに当接させて配設することにより、チャンバ本体２１を室内の角に寄せて配設することができる。
【００８１】
上述したように、第３の実施形態に係るロボットシステム１ｂによれば、チャンバ本体２１を室内の角へ寄せて配設することができるので、室内の角部を有効利用することができる。
【００８２】
さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。
【符号の説明】
【００８３】
１、１ａ、１ｂ  ロボットシステム
２  ドラフトチャンバ
２１  チャンバ本体
２２  吸気部
２３  排気ダクト
２４  設置台
２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ  開口部
２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ  扉
３  ロボット
３１  基部
３２  胴部
３３、３４  腕部
３５  ロボットハンド
４、４ａ  作業台
４１、４２、４３、４７、４８  天板
４２ａ  貫通孔
４０、４４  脚部
４５  縦板部
４６  横板部
５１  ロボットコントローラ
５２  シミュレータ
５２Ａ  表示画面
５２Ｂ  入力装置
６１  冶具
６  嵌合部
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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