(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
結合砥粒を含むとともに、平坦なワークピースの同時両面処理のための研削装置の上側および下側加工板の相互に面する側上に適用される２つの加工層を、外歯部を有する少なくとも１つの担体によってトリミングするための方法であって、前記少なくとも１つの担体はローリング装置によって回転する加工板同士の間を動かされるとともに、前記外歯部は加工層に対するサイクロイド経路上で圧力を受け、前記加工層同士の間に形成される加工ギャップに遊離砥粒が加えられ、前記加工ギャップでは、ワークピースのための開口を有するが前記開口には前記ワークピースが挿入されていない前記担体が移動し、これにより前記加工層から材料除去が行われ、前記加工層に接触することとなる、前記少なくとも１つの担体の表面の少なくとも一部は、弾性材料からなり、５０ショアＡ〜９０ショアＤの硬度を有する方法。
【請求項２】
トリミングの開始の前に、遊離ラッピング粒子が前記加工ギャップに一度加えられる、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記加工ギャップに付加的に液体が供給される、請求項１または２のいずれかに記載の方法。
【請求項４】
前記少なくとも１つの担体はコーティングを有し、前記コーティングの厚さは、前記コーティングからの材料除去による前記加工層の目立ての間に低減される、請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
【請求項５】
結合砥粒を含むとともに、平坦なワークピースの同時両面処理のための研削装置の上側および下側加工板の相互に面する側上に適用される２つの加工層を、少なくとも１つのトリミング装置によってトリミングするための方法であって、前記少なくとも１つのトリミング装置は、トリミング板と、複数のトリミング体と、外歯部とを含み、前記少なくとも１つのトリミング装置は、ローリング装置によって回転する加工板の間を動かされるとともに、前記外歯部は、前記加工層に対するサイクロイド経路上で研磨作用を奏する物質を含まない冷却潤滑剤が付加されて圧力を受け、前記トリミング体は、加工層との接触の際に砥粒物質を解放し、これにより遊離粒子により前記加工層からの材料除去を行い、研削装置のすべての駆動部の回転方向はトリミングの間に少なくとも２回変更され、回転方向の２回の変更の間に得られる前記加工層からの材料除去は、前記回転方向の各変更ごとに減少する、方法。
【請求項６】
回転方向の最後の変更とトリミングの終了との間の２つの加工層の各々からの材料除去が前記加工層に結合された砥粒の平均粒径の１０％〜１００％の間である、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
結合砥粒を含むとともに、平坦なワークピースの同時両面処理のための研削装置の上側および下側加工板の相互に面する側上に適用される２つの加工層をトリミングするためのトリミング装置であって、トリミング板と、複数のトリミング体と、外歯部とを含み、前記トリミング体は、前記加工層との接触の際に砥粒物質を解放し、これにより遊離粒子によって前記加工層から材料除去を行い得、前記加工層に接触するトリミング体の面積の少なくとも８０％はトリミング板上の輪形の領域内に配され、前記輪形の領域の幅は前記トリミング板の直径の１％〜２５％の間であり、前記加工層に接触するトリミング体の面積は前記輪形の領域の全面積の２０％〜９０％を占める、トリミング装置。
【請求項８】
結合砥粒を含むとともに、平坦なワークピースの同時両面処理のための研削装置の上側および下側加工板の相互に面する側上に適用される２つの加工層を、少なくとも１つのトリミング装置によってトリミングするための方法であって、前記少なくとも１つのトリミング装置は、トリミング板と、複数のトリミング体と、外歯部とを含み、前記少なくとも１つのトリミング装置はローリング装置により回転する加工板の間を動かされるとともに、前記外歯部は、前記加工層に対するサイクロイド経路上で研磨作用を奏する物質を含まない冷却潤滑剤が付加されて圧力を受け、前記トリミング体は、前記加工層との接触の際に砥粒物質を解放し、これにより遊離粒子によって前記加工層からの材料除去を行い、前記加工層に接触するトリミング体の面積の少なくとも８０％は前記トリミング板上の輪形の領域内に配され、前記輪形の領域の幅は前記トリミング板の直径の１％〜２５％の間であり、前記加工層に接触するトリミング体の面積は前記輪形の領域の全面積の２０％〜９０％を占める、方法。
【請求項９】
少なくとも１つのトリミング体は一時的に、そのエリアの少なくとも一部が、前記研削装置において処理される前記ワークピースが上に来る前記加工層の輪形の領域の内縁を越えて進み、少なくとも１つのトリミング体は一時的に、そのエリアの少なくとも一部が前記輪形の領域の外縁を超えて進む、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記輪形の領域の外縁は、前記研削装置において処理されるワークピースが上に来る前記加工層の輪形の領域の内縁および外縁を越えて進む、請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
結合砥粒を含むとともに、平坦なワークピースの同時両面処理のための研削装置の上側および下側加工板の相互に面する側上に適用される２つの加工層を、少なくとも１つのトリミング装置によってトリミングするための方法であって、前記少なくとも１つのトリミング装置は、トリミング板と、複数のトリミング体と、外歯部とを含み、前記少なくとも１つのトリミング装置はローリング装置により回転する加工板の間を動かされるとともに、前記外歯部は、前記加工層に対するサイクロイド経路上で研磨作用を奏する物質を含まない冷却潤滑剤が付加されて圧力を受け、前記トリミング体は、前記加工層との接触の際に砥粒物質を解放し、これにより遊離粒子によって前記加工層からの材料除去を行い、まず前記２つの加工層の半径方向の形状プロファイルが測定され、平坦な面を回復するために必要とされる最小の材料除去が前記２つの加工層の各々について前記形状プロファイルから決定され、次いでトリミング処理が行われ、上側および下側加工層からの除去速度は冷却潤滑剤の流量と、さらに前記上側加工板がトリミングの間に前記下側加工板に押し付けられる圧力との好適な選択により、それらの比が最小の材料除去の比に対応するようにセットされる、方法。
【請求項１２】
冷却潤滑剤の流量の増加によって、前記上側加工板に関連して前記下側加工板からの除去速度が低減され、その逆も同様である、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記上側加工板がトリミングの間に前記下側加工板に押し付けられる圧力の低減により、前記下側加工板に関連して前記上側加工板からの除去速度が低減され、その逆も同様である、請求項１１または１２のいずれかに記載の方法。
【請求項１４】
結合砥粒を含むとともに、平坦なワークピースの同時両面処理のための研削装置の上側および下側加工板の相互に面する側上に適用される２つの加工層をトリミングするためのトリミング装置であって、トリミング板と、複数のトリミング体と、外歯部とを含み、前記トリミング体は、前記加工層との接触の際に砥粒物質を解放し、これにより遊離粒子によって前記加工層から材料除去を行い得、前記外歯部は前記トリミング板に対して高さ調節可能である、トリミング装置。
【請求項１５】
結合砥粒を含むとともに、平坦なワークピースの同時両面処理のための研削装置の上側および下側加工板の相互に面する側上に適用される２つの加工層を、少なくとも１つのトリミング装置によってトリミングするための方法であって、前記少なくとも１つのトリミング装置は、トリミング板と、複数のトリミング体と、外歯部とを含み、前記少なくとも１つのトリミング装置はローリング装置により回転する加工板の間を動かされるとともに、前記外歯部は、前記加工層に対するサイクロイド経路上で研磨作用を奏する物質を含まない冷却潤滑剤が付加されて圧力を受け、前記トリミング体は、前記加工層との接触の際に砥粒物質を解放し、これにより遊離粒子によって前記加工層からの材料除去を行い、前記外歯部は前記トリミング板に対して高さ調節可能である、方法。
【請求項１６】
前記トリミング板には、前記トリミング体がトリミング板または外歯部の一部が前記加工層と係合することなく完全に磨耗し得るように前記外歯部を受け入れる切欠きが設けられる、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記加工層の各々は弾性であり、剥離動作によりそれぞれの加工板から取り外され得、少なくとも有効層、中心連続支持層、および取付層の３つの層を含み、
前記有効層は、前記加工板から離れる方向を向き、結合砥粒を含み、１つより多い砥粒層の有効な厚さを有し、
前記中心連続支持層は、前記有効層を支持するとともに、前記有効層のすべての要素を接続して連続的なユニットを形成し、
前記取付層は、前記加工板に面し、前記有効層の使用可能寿命の期間に亘って前記加工板とともに力でロックするまたはポジティブロックする複合アセンブリを形成する、請求項１〜６、８〜１３、１５または１６のいずれかに記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、結合砥粒を含み、かつ平坦なワークピースの同時両面処理のための研削装置の上側および下側加工板の相互に向き合う側上に適用される２つの加工層をトリミングするための方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
先行技術
電子技術、超小形電子技術、および電気機械技術は、全体的および局所的な平坦性、片面基準平坦性（ナノトポロジ）、粗さ、および清浄度からなる厳しい要求がある半導体ウェハを出発材料として必要とする。半導体ウェハは、単体半導体（シリコン、ゲルマニウム）、化合物半導体（たとえばアルミニウム、ガリウム、もしくはインジウムといった周期表の第３の主族元素と、窒素、リン、もしくはヒ素といった周期表の第５の主族元素とからなる）、またはその化合物（たとえばＳｉ１−ｘＧｅｘ、０＜ｘ＜１）といった半導体材料からなるウェハである。
【０００３】
先行技術に従うと、半導体ウェハは、以下の群に概略的に分類され得る多数の連続する処理ステップにより作られる。
（ａ）通常単結晶の半導体ロッドの製造
（ｂ）当該ロッドを個々のウェハにスライス
（ｃ）機械的加工
（ｄ）化学処理
（ｅ）化学機械的処理
（ｆ）適切ならば、層構造の付加的な製造。
【０００４】
上記機械的加工ステップの群のうち特に有利な方法として、「遊星パッド研削（planetary pad grinding（ＰＰＧ））」と呼ばれる方法が公知である。この方法は、たとえばＤＥ１０２００７０１３０５８Ａ１に記載される。この方法に好適な装置がたとえば、ＤＥ１９９３７７８４Ａ１に記載される。ＰＰＧは、複数の半導体ウェハの同時両面研削のための方法である。当該方法において、各半導体ウェハは、ローリング装置によって回転される複数の担体（案内ケージ、「挿入担体」）のうちの１つの切欠きにおいて自由に移動可能であるとともにこれにより円形の軌道上を移動するように、存在する。半導体ウェハは、２つの回転する加工板の間で材料を除去する態様で処理される。各加工板は、結合砥粒を含む加工層を含む。
【０００５】
加工層は、粘着的に、磁気的に、ポジティブロックする態様（たとえばフックおよびループファスナ）で、または真空によって、加工層上に固定される構造化された砥粒パッドの形態で存在する。たとえばＵＳ５９５８７９４には、後側上にて自己接着するよう設計される容易に交換可能な砥粒パッドの形態にある好適な加工層が記載される。砥粒パッドにおいて用いられる砥粒は好ましくはダイヤモンドである。
【０００６】
同様の方法は、いわゆる「平面ホーニング（flat honing)」または「ファイングラインディング」である。この場合、ＰＰＧについて上述した構成の複数の半導体ウェハは、回転する２つの大きな加工板の間の特徴的な円形路上にガイドされる。砥粒は、材料除去が研削によって行われるように加工板に固定的に結合される。平面ホーニングの場合、砥粒は、加工板の表面に直接的に結合され得るか、または加工板に搭載された多数の個々の砥粒体、いわゆる「ペレット」による加工板の領域被覆部の形態で存在する（Ｐ．Ｂｅｙｅｒら、Industrie Diamanten Rundschau IDR 39 (2005) III、２０２頁）。
【０００７】
上述した研削法の場合、時間の経過とともに、一定の摩耗により加工層の形が変化し、結合マトリックスから残っている粒子が抜け出し、新たな粒子が露出する。上記摩耗は、加工板に亘って半径方向に不均一に進むことが知られている。時間の経過とともに、この方法の加工層は、谷型形状の半径方向のプロファイルを形成する。そのため、処理された半導体ウェハの結果得られる形状は、摩耗の間、程度が悪化する。
【０００８】
さらに、研削工具および処理されるワークピースの材料に依って、研削工具の切削能力は時間とともに減少し得る。さらに通常、新しい研削工具は最初の使用の前に、結合マトリックスを表面的に除去し、その中に埋め込まれる砥粒を露出させることにより、目立てされる必要がある。
【０００９】
したがって、当該先行技術は、新しいまたは用いられた研削工具をトリミングすることを含む。トリミングの間、好適なトリミング工具が圧力の元で、トリミングされる工具に対して動かされる。これにより、加工板または層から材料が除去される。「トリミング」とは、研削工具の目標形状の回復（「形直し」）と、その目立て、すなわちその切削能力の回復との両方を意味すると理解される。
【００１０】
Ｐ．Ｂｅｙｅｒら、Industrie Diamanten Rundschau IDR 39(2005) III、２０２頁およびＤＥ１０２００６０３２４５５Ａ１は、トリミング輪と、外歯部とを含むトリミング装置を開示する。外歯部は、担体のような研削装置に挿入され得るとともに、上記研削装置の駆動部により加工板に対して動かされ得る。
【００１１】
Ｐ．Ｂｅｙｅｒら、Industrie Diamanten Rundschau IDR 39 (2005) III、２０２頁に記載されるトリミング輪は、材料除去作用を有する加工層を支持する。当該加工層は、セラミック結合されたダイヤモンドを砥粒として含む。上記トリミング輪はＰ．Ｂｅｙｅｒらが記載した加工層を目立てするためにのみ好適である。当該加工層は、多数の焼結した（ガラス状の）、金属的に結合した、または合成樹脂結合した砥粒体、いわゆるペレットからなる。しかしながら、砥粒パッドをトリミングするためにＰ．Ｂｅｙｅｒらに開示されるトリミング装置およびＰ．Ｂｅｙｅｒらにおいて特定される方法を使用すると、上記特定されたトリミング輪によって砥粒パッドが磨耗に晒されるが、大きな目立て効果が得られない。さらに、Ｐ．Ｂｅｙｅｒらにおいて特定される目立て装置は、加工層の規定された目標形状を作り出すには不適当であることが判明した。
【００１２】
「3MTM TrizactTM Diamond Tile 677XA Pad Conditioning Procedure Rev. A」、3M Technical Application Bulletin、２００３年９月は、結合砥粒を含む加工層の初期目立て（「調整」）のための方法を特定する。当該方法においては、薄く円形の砥粒膜がスチール板に貼り付けられる。スチール板には歯が設けられ、スチール板は研削装置の内側および外側ピンホイール上で回転する。圧力下で水を加えた状態でスチール板と加工板との間で相対的運動を行うことによって、加工層から材料除去が行われる。この方法は、鈍くなった加工層を目立てするか、または砥粒がまだ表面に露出されていないので切削効果をまだ発揮していない新しく適用された加工層に初期切削効果を与えるための初期目立てを提供するために実際に好適である。しかしながら、この方法は全く実行不可能である。なぜならば接着結合によって適用された薄い砥粒膜は通常、一回の使用で磨耗するからである。この結果、目立て結果が変動する非常に不安定な目立て処理となる。さらに、特定された当該砥粒膜は、規定される目標形状、好ましくは２つの加工層の平らな平行面を形成するための加工層のトリミングを達成するのに適さないことが判明した。
【００１３】
ＤＥ１０２００６０３２４５５Ａ１は、主に遊離粒子を用いてトリミングを有利に実行することを教示する。ＤＥ１０２００６０３２４５５Ａ１に開示されるトリミング輪は、一定の摩耗の結果、絶えず砥粒を解放する。当該砥粒は、その結果、加工層からの必要な材料除去を達成する。しかしながら、目標とする目立て、特に加工層の規定される目標形状を得ることは、このタイプのトリミング輪を用いても可能ではないことが分かった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】ＤＥ１０２００７０１３０５８Ａ１
【特許文献２】ＤＥ１９９３７７８４Ａ１
【特許文献３】ＤＥ１０２００６０３２４５５Ａ１
【非特許文献】
【００１５】
【非特許文献１】Ｐ．Ｂｅｙｅｒら、Industrie Diamanten Rundschau IDR 39 (2005) III、２０２頁
【非特許文献２】「3MTM TrizactTM Diamond Tile 677XA Pad Conditioning Procedure Rev. A」、3M Technical Application Bulletin、２００３年９月
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
引用した先行技術の上記の特定の欠点に加えて、先行技術に従うトリミングの間には以下の問題が通常発生する。
【００１７】
トリミングは、目立てされる加工層の研削行為の方向依存につながる。たとえば、加工層として用いられるいくつかの砥粒パッドはすでに製造によって決定される態様で優先方向を有しているのが観察された。優先方向は、使用およびトリミングの結果でも作られる。ここで、優先方向とは、圧力、駆動部の回転速度および回転速度比（「運動学」）を同一にし、加工板同士の加工ギャップの形状を同一にし、かつ冷却潤滑を同一にした状態で、砥粒パッドを、回転速度比、圧力、ギャップの形状および冷却潤滑は同一であるが回転速度の符号を正反対にして動作させた場合に、一方向において材料除去速度がより高くなることを意味すると理解されるべきである。研削行為の方向依存には、非常に限られた回転速度の組合せしか研削装置の駆動のために用いられ得ないという影響がある。
【００１８】
さらに、一方向のみでの動作の間、半導体ウェハのための薄い担体は、一方向にのみ回転し、非均一に磨耗するので、方向が変化する動作の間のより均一な負荷の場合と比較してより急速に磨耗する。これにより、高価な担体の使用可能寿命が低減され、この方法は非経済的となる。
【００１９】
加工層も、一方向のみの研削動作の間、その特性を常に変化させる。パスごとにまたは少なくともパスブロックごとに研削装置の駆動部の回転方向が交互に変化する動作は、それを打ち消し、これにより、より均一の運転状態を可能にする。
【００２０】
しかしながら、加工層が優先方向を有していれば、駆動方向を交互に変える動作は可能ではない。なぜならば、ワークピースの厚さ、形、除去速度、および表面粗さが常に交互に変わり、常に変化する熱入力によって望ましくは均一な処理工程の調節の要件が非常に厳格になり、さらに当該加工層が異なって磨耗し頻繁にトリミングまたは目立てされる必要が出てくるからである。これには、工程の付加的な中断が必要となり、この方法の経済的存立可能性に悪影響を与える。
【００２１】
これらの制限によって、これらの制限がなければ有利であったＰＰＧ法、および加工層の形状と切断行為とを一定に保つための先行技術における公知の方策は、特に要求の厳しい用途の場合には、高い平坦性の半導体ウェハを製造するのに適さなくなる。
【００２２】
半導体ウェハのようなワークピースを研削するために加工層が用いられる場合、たとえば、上側および下側加工層は、異なる大きさの磨耗に晒され得る。公知のトリミング法はこの異なる磨耗を考慮できない。その理由は、トリミングの間、通常必要よりも多い材料が、加工層の１つから取除かれるからである。この不必要な材料除去には、加工層を必要よりも頻繁に交換する必要があるという影響がある。
【００２３】
研削機のローリング装置の歯が設けられた輪またはピンホイールは、通常処理されるワークピースの厚さと同等の小さな高さを有し、小さな範囲までしか高さ調整可能でない。その結果、トリミング装置について、対応する大きさの高さになる任意の所望厚さのトリミング体を用いることが可能でなくなる。これには、トリミング装置または少なくともトリミング体を頻繁に取り替える必要があるという影響がある。
【００２４】
その結果、本発明は以下の目的に基づいた。
第１の目的は、トリミングの間、加工層の優先方向の発生を回避し、かつすでに存在する如何なる優先方向も確実に除去することであった。
【００２５】
第２の目的は、トリミングによって達成され得る加工層の平坦性、したがって加工ギャップの平坦性を向上させることであった。
【００２６】
第３の目的は、トリミングの間に両方の加工層から必要とされる分だけの材料が取除かれるように、トリミングの間の上側および下側加工層の非均一の磨耗を考慮することであった。
【００２７】
第４の目的は、トリミング工具がより長く使用できるようにすることであった。
【課題を解決するための手段】
【００２８】
発明の説明
第１の目的は以下の方法により達成される。この方法は、結合砥粒を含むとともに、平坦なワークピースの同時両面処理のための研削装置の上側および下側加工板の相互に面する側上に適用される２つの加工層を、外歯部を有する少なくとも１つの担体によってトリミングするための方法であって、上記少なくとも１つの担体はローリング装置によって回転する加工板同士の間を動かされるとともに、上記外歯部は圧力を受けて円形路上にて加工層に対して動かされ、上記加工層同士の間に形成される加工ギャップに遊離砥粒が加えられ、上記加工ギャップでは、ワークピースが挿入されていない担体が移動し、これにより上記加工層から材料除去が行われる。
【００２９】
第１の目的は同様に以下の第２の方法によって達成される。この第２の方法は、結合砥粒を含むとともに、平坦なワークピースの同時両面処理のための研削装置の上側および下側加工板の相互に面する側上に適用される２つの加工層を、少なくとも１つのトリミング装置によってトリミングするための方法であって、上記少なくとも１つのトリミング装置は、トリミング板と、複数のトリミング体と、外歯部とを含み、上記少なくとも１つのトリミング装置は、ローリング装置によって回転する加工板の間を動かされるとともに、上記外歯部は、研磨作用を有する物質を含まない冷却潤滑剤の付加を圧力下で受けて円形路上にて上記加工層に対して動かされ、上記トリミング体は、加工層との接触の際に砥粒物質を解放し、これにより遊離粒子により上記加工層からの材料除去を行い、研削装置のすべての駆動部の回転方向はトリミングの間に少なくとも２回変更される。
【００３０】
第２の目的は以下の第３の方法によって達成される。この第３の方法は、結合砥粒を含むとともに、平坦なワークピースの同時両面処理のための研削装置の上側および下側加工板の相互に面する側上に適用される２つの加工層を、少なくとも１つのトリミング装置によってトリミングするための方法であって、上記少なくとも１つのトリミング装置は、トリミング板と、複数のトリミング体と、外歯部とを含み、上記少なくとも１つのトリミング装置はローリング装置により回転する加工板の間を動かされるとともに、上記外歯部は、研磨作用を有する物質を含まない冷却潤滑剤が圧力下で付加されて、円形路上にて上記加工層に対して動かされ、上記トリミング体は、上記加工層との接触の際に砥粒物質を解放し、これにより遊離粒子によって上記加工層からの材料除去を行い、上記加工層に接触するトリミング体の面積の少なくとも８０％は上記トリミング板上の輪形の領域内に配され、上記輪形の領域の幅は上記トリミング板の直径の１％〜２５％の間であり、上記加工層に接触するトリミング体の面積は上記輪形の領域の全面積の２０％〜９０％を占める。
【００３１】
第２の目的は同様に以下のトリミング装置によって達成される。このトリミング装置は、結合砥粒を含むとともに、平坦なワークピースの同時両面処理のための研削装置の上側および下側加工板の相互に面する側上に適用される２つの加工層をトリミングするためのトリミング装置であって、トリミング板と、複数のトリミング体と、外歯部とを含み、上記トリミング体は、上記加工層との接触の際に砥粒物質を解放し、これにより遊離粒子によって上記加工層から材料除去を行い得、上記加工層に接触するトリミング体の面積の少なくとも８０％はトリミング板上の輪形の領域内に配され、上記輪形の領域の幅は上記トリミング板の直径の１％〜２５％の間であり、上記加工層に接触するトリミング体の面積は上記輪形の領域の全面積の２０％〜９０％を占める。
【００３２】
第３の目的は以下の第４の方法により達成される。この第４の方法は、結合砥粒を含むとともに、平坦なワークピースの同時両面処理のための研削装置の上側および下側加工板の相互に面する側上に適用される２つの加工層を、少なくとも１つのトリミング装置によってトリミングするための方法であって、上記少なくとも１つのトリミング装置は、トリミング板と、複数のトリミング体と、外歯部とを含み、上記少なくとも１つのトリミング装置はローリング装置により回転する加工板の間を動かされるとともに、上記外歯部は、研磨作用を有する物質を含まない冷却潤滑剤が圧力下で付加されて、円形路上にて上記加工層に対して動かされ、上記トリミング体は、上記加工層との接触の際に砥粒物質を解放し、これにより遊離粒子によって上記加工層からの材料除去を行い、まず上記２つの加工層の半径方向の形状プロファイルが測定され、平坦な面を回復するために必要とされる最小の材料除去が上記２つの加工層の各々について上記形状プロファイルから決定され、次いでトリミング処理が行われ、上側および下側加工層からの除去速度は冷却潤滑剤の流量と、さらに上記上側加工板がトリミングの間に上記下側加工板に押し付けられる圧力との好適な選択により、それらの比が最小の材料除去の比に対応するようにセットされる。
【００３３】
第４の目的は以下の第５の方法によって達成される。第５の方法は、結合砥粒を含むとともに、平坦なワークピースの同時両面処理のための研削装置の上側および下側加工板の相互に面する側上に適用される２つの加工層を、少なくとも１つのトリミング装置によってトリミングするための方法であって、上記少なくとも１つのトリミング装置は、トリミング板と、複数のトリミング体と、外歯部とを含み、上記少なくとも１つのトリミング装置はローリング装置により回転する加工板の間を動かされるとともに、上記外歯部は、研磨作用を有する物質を含まない冷却潤滑剤が圧力下で付加されて、円形路上にて上記加工層に対して動かされ、上記トリミング体は、上記加工層との接触の際に砥粒物質を解放し、これにより遊離粒子によって上記加工層からの材料除去を行い、上記外歯部は上記トリミング板に対して高さ調節可能である。
【００３４】
第４の目的は同様に以下のトリミング装置によって達成される。このトリミング装置は、結合砥粒を含むとともに、平坦なワークピースの同時両面処理のための研削装置の上側および下側加工板の相互に面する側上に適用される２つの加工層をトリミングするためのトリミング装置であって、トリミング板と、複数のトリミング体と、外歯部とを含み、上記トリミング体は、上記加工層との接触の際に砥粒物質を解放し、これにより遊離粒子によって上記加工層から材料除去を行い得、上記外歯部は上記トリミング板に対して高さ調節可能である。
【００３５】
この発明に係る方法は特に砥粒パッドをトリミングするのに好適である。「砥粒パッド」という表現は、装置の説明の文脈において以下でさらに規定される。
【００３６】
添付の図面を参照して、この発明を以下に詳細に記載する。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１Ａ】すべての駆動部においてパスごとに交互に回転方向が変更される研削処理パスでの、この発明に従っていないトリミングの後で得られる半導体ウェハからの材料除去速度を比較例として示す図である。
【図１Ｂ】すべての駆動部においてパスごとに交互に回転方向が変更される研削処理パスでの、この発明に係る第２の方法に従ったトリミングの後で得られる半導体ウェハからの材料除去速度を示す図である。
【図２Ａ】この発明に係る第３の方法による加工層のトリミングの後の加工ギャップの幅の半径方向のプロファイルを示す図である。
【図２Ｂ】この発明に従っていない方法による加工層のトリミングの後の加工ギャップの幅の半径方向のプロファイルを比較例として示す図である。
【図３Ａ】この発明に係る第５の方法を実施するために好適なトリミング装置の要素を示す図である。
【図３Ｂ】この発明に係る第５の方法を実施するために好適な完全なトリミング装置を示す図である。
【図３Ｃ】この発明に係る第５の方法を実施するために好適な、太いトリミング体を含むさらなるトリミング装置を示す図である。
【図３Ｄ】トリミング体が薄く磨耗した、図３Ｃに示されるトリミング装置を示す図である。
【図４Ａ】トリミング体が１つのピッチ円上に配される、この発明に係る第３の方法を実施するために好適なトリミング装置のある実施例を示す図である。
【図４Ｂ】トリミング体が複数のピッチ円上に配される、この発明に係る第３の方法を実施するために好適なトリミング装置のある実施例を示す図である。
【図４Ｃ】トリミング体が細長い態様で形状決めされた、この発明に係る第３の方法を実施するために好適なトリミング装置のある実施例を示す図である。
【図４Ｄ】トリミング体が異なる形状を有し、複数のピッチ円上に配されるこの発明に係る第３の方法を実施するために好適なトリミング装置のある実施例を示す図である。
【図５】加工層がこの発明に係る方法によってトリミングされ得る研削装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
用いられる装置の説明
図５は、加工層がこの発明に係る方法によってトリミングされ得る先行技術に係る装置の必須の要素を示す。この図は半導体ウェハのような、たとえばＤＥ１９９３７７８４Ａ１に開示されるように板状のワークピースを処理するための２板機械を斜視図にて示す基本的な概略図である。このタイプの装置は、上側加工板５１と下側加工板５２とを有する。上側加工板５１と下側加工板５２とは、同一直線上の回転軸５３を有し、互いに対して加工板の加工面同士が実質的に平らで平行な配置になっている。先行技術によると、加工板５１および５２は、ねずみ鋳鉄、鋳造ステンレス鋼、セラミック、または複合材料などから作製される。加工面は、コーティングされないか、またはたとえば、ステンレス鋼またはセラミックなどからなるコーティングが設けられる。上側加工板は、多数の穴５４を含む。当該穴５４を介して、冷却潤滑剤（たとえば水）が加工ギャップ５５に供給され得る。この装置には、担体５６のためのローリング装置が設けられる。このローリング装置は、内側駆動輪５７と外側駆動輪５８とからなる。担体５６は各々、処理されるワークピース５９、たとえば半導体ウェハを受け入れ得る少なくとも１つの切欠きを有する。ローリング装置は、たとえばピン歯車装置、インボリュート歯車装置、または何らかのほかの従来のタイプの歯車装置として実施され得る。上側加工板５１および下側加工板５２ならびに内側駆動輪５７および外側駆動輪５８は、実質的に同一の軸５３の周りを、回転速度ｎｏ、ｎｕ、ｎｉおよびｎａにて駆動される。この場合、「実質的に」とは、すべての駆動部の中心軸に対する個々の駆動部の回転軸のオフセットが加工板の直径の１／１０００未満になり、互いに対する軸の傾斜が２°未満になることを意味する。上側加工板５１のカルダンサスペンションは、軸の任意の残りの傾斜を補償し、これにより加工板同士の相互に面する加工面は、アジマス方向に同一に分布される力で、互いに対して震えるように動くことなしに動かされ得る。
【００３９】
各加工板５１、５２は自身の加工面上にて加工層６０、６１を支持する。当該加工層は好ましくは砥粒パッドである。
【００４０】
「砥粒パッド」とは、以下の少なくとも３つの層、すなわち、閉じた連続的または断続的な有効層と、閉じたまたは少なくとも連続的な中心の支持層と、閉じた、連続的、または断続的な取付層とからなる加工層を意味すると理解される。
【００４１】
閉じた、連続的、または断続的な有効層は、加工板から離れる方向を向き、平滑もしくは構造化された膜、織物、フェルト、編布、または個別の要素の形態にあり、結合砥粒を含み、１つより多い砥粒層の有効な厚さを有する。砥粒層の少なくとも一部は、処理されるワークピースと直接接触し、これにより材料除去をもたらす。
【００４２】
中心の閉じた、または少なくとも連続的な支持層は、平滑もしくは構造化された膜、織物、編布、またはフェルトの形態にあり、上記有効層を支持するとともに有効層のすべての要素を接続して連続的なユニットを形成する。
【００４３】
閉じた連続的または断続的な取付層は、加工板に面し、有効層の使用可能寿命の期間またはユーザが決めるそれよりも短い期間に亘って、研削装置の加工板とともに、力でロックするまたはポジティブロックする複合アセンブリを形成する。当該複合アセンブリは、たとえば真空（封止された取付層）によって、磁気によって（取付層が強磁性層を含む）、フックおよびループファスナ（取付層および加工板が「フック」および「ループ」を含む）によって、接着結合（自己接着性または活性化可能な接着層が取付層に設けられる）などによって形成される。砥粒パッドは弾性があり、剥離動作によって加工板から取り外され得る。砥粒パッドは、特に大きな加工板をカバーする際、８つのセグメントまで細分され得る。当該セグメントは、カバーされる加工板エリアのギャップのない床部を形成するよう個々に除去または取付けられ得る。
【００４４】
好適な砥粒パッドはたとえばＵＳ５９５８７９４に記載される。砥粒パッドは、好ましくは小さな規則的なユニットの形態で構成される。好ましくは、これらのユニットは、規則的に配される「島部」（均一な凸部領域）と「溝部」（凹部領域）とからなる。この場合、島部はワークピースと係合し、これにより材料除去を引き起こす。溝部は冷却潤滑剤を送り込み、結果として生じる研削スラリーを運び出す。島部および溝部の実寸ならびにそれらの面積比（加工層の支持面積の割合）は、加工層の材料除去機能について非常に重要な特徴を構成する。用いられるのが好ましい１つの砥粒パッド（３Ｍ  ＣｏｍｐａｎｙのTrizactTM Diamond Tile 677XAまたは677XAEL）の島部は、たとえば縁の長さが数ミリメートルである正方形状を有し、幅が約１ミリメートルの溝部によって分離され、これにより支持面積の割合が５０％〜６０％の間になる。
【００４５】
砥粒パッドにおいて用いられる砥粒は好ましくはダイヤモンドである。しかしながら、他の硬い物質も同様に好適である（たとえば、立方晶窒化ホウ素（ＣＢＮ）、炭化ホウ素（Ｂ４Ｃ）、炭化ケイ素（ＳｉＣ、「カーボランダム」）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３、「コランダム」）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２、「クォーツ」）、および酸化セリウム（ＣｅＯ２）など）。
【００４６】
しかしながら、砥粒はさらに、加工板の表面に直接的に結合され得るか、または加工板に取付けられる多数の個々の研削体、いわゆる「ペレット」により加工板のエリア被覆部の形態で存在し得る。
【００４７】
上側加工板５１および下側加工板５２上に固定される加工層６０および６１の間に形成される加工ギャップ内において、半導体ウェハが処理される。このギャップは図１において５５で指定される。
【００４８】
この発明に係る第１の方法の説明
この発明に係る第１の方法では、遊離砥粒（「ラッピング粒子」とも言う）が、加工層同士の間に形成される加工ギャップに加えられる。加工ギャップ内では、担体が動き、これにより加工層から材料が除去される。好ましくは、たとえば水のような液体がさらに加えられる。この場合、ワークピースは担体に挿入されない。
【００４９】
具体的には、加工層は、切削能力が失われると、以下の処置により単純な態様で再び目立てされ得るということが分かった。この処置は、研削処理の間に半導体ウェハを担持する担体を研削装置内に残し、何らかの遊離ラッピング粒子と、適切な場合は、何らかの液体とを加え、次いでローリング装置を用いて担体を加工層に対して圧力下でサイクロイド経路上にて動かす処置である。これは、担体が加工層に接触する表面の少なくとも一部が弾性材料からなる場合に特に非常に良好に機能する。
【００５０】
ＰＰＧ法において用いられるのが好ましい担体は、ＤＥ１０２００７０１３０５８Ａ１に記載される。当該担体は、たとえば負荷の下での回転運動の間に必要な安定を与えるスチールコアと、それよりも柔らかいが非常に頑丈で摩耗抵抗の材料、たとえばポリウレタンから形成されるコーティングとからなる。このコーティングは、砥粒パッドに結合される砥粒の摩擦力、切断力、剪断力、および剥離力によって引き起こされる磨耗に対する摩耗防止部を形成する。上記力は、処理の間に影響を有する。ここで、担体と加工層との間のギャップの中に導入された遊離ラッピング粒子は、担体の上述した弾性のあるコーティングに部分的かつ一時的に留まることが分かっている。その結果、担体は、加工層上にラッピング粒子を運び、このように半固体の態様で運ばれたラッピング粒子を有する担体と加工層との間の相対的運動によって、加工層から材料除去が行われるようにラッピング粒子を均一に再び解放する。
【００５１】
ラッピングまたは両面研磨から既知である硬く非弾性の表面を有する担体に対して調査をすると、遊離ラッピング粒子は、（上述したように）用いられる砥粒パッドの島部の大きな縁の長さおよび小さな範囲により、平滑な表面からすぐにはがされ、影響なく溝部を介して運び出されるということが示されている。砥粒パッドと係合する表面の少なくとも一部が柔らかく規定に準拠した材料からなる担体を用いるだけで、ラッピング粒子に対して十分な「駆動効果」があり、これによりワークピースと係合する砥粒パッドの島部の表面の上に後者をガイドする。これによりそこから材料除去が行われる。
【００５２】
この目立ての開始の前に一度ラッピング粒子を加えれば十分であることが観察された。担体の柔らかい摩擦抵抗層により、ラッピング粒子は、加工層同士の間に形成される加工ギャップにおいて加工層の目立てのために十分に長く残存し、絶えず補充される必要はないということが分かった。その結果、研削装置の上側加工板に入れられた冷却潤滑剤にはラッピング粒子がない状態のままであり、加工層がこの態様で目立てされた後、望まれない引掻傷を作り出すことなしに研削装置は容易に清浄化され得るとともに、次のパスの半導体ウェハの処理のためにすぐに再び用いられ得る。上記望まれない引掻傷は、研削装置に残存するラッピング粒子または冷却潤滑剤からの制御されない態様での清浄化によって解放されるラッピング粒子残留物が半導体ウェハ上に供給されることによって作り出される。
【００５３】
担体の表面の上述した部分の硬さは、好ましくは５０ショアＡと９０ショアＤとの間である。特に好ましくは、この硬さは、６０ショアＡと９５ショアＡとの間である。用いられるのが好ましいラッピング粒子は、半導体ウェハから材料を除去する加工層の砥粒の１桁分の平均粒径を有する。３Ｍ  Ｃｏｍｐａｎｙの砥粒パッドであるTrizactTM Diamond Tile 677XAまたは677XAELは、仕様に依存して、１μｍ〜１２μｍの間の粒径を有する。この発明に係る第１の方法を実施するために用いられるのが好ましいラッピング粒子は、２μｍ〜１５μｍの間の粒径を有する。好適なラッピング粒子は、酸化アルミニウム（コランダム）、炭化ケイ素、窒化ホウ素、立方晶窒化ホウ素、炭化ホウ素、酸化ジルコニウム、およびそれらの混合物からなる。
【００５４】
この目立てでは、加工層から非常に少しの材料しか除去されないことが分かった。これは以下の理由により、加工層を純粋に目立てするために有利である。すなわち、まず第１に、加工層の形状がその結果変わることがない。これに加えて第２に、好ましくはダイヤモンドを含む高価な加工層から不必要に大量の材料が除去されることがない。材料除去が少ないにもかかわらず、目立て効果は良好であると判明した。特に、このように目立てされた砥粒パッドは、優先方向を有さないか、または有していても非常に小さな優先方向が残るだけである。すなわち、後で行われる半導体ウェハの研削処理における半導体材料除去速度が、両方の回転の方向において同一または実質的に同一になる。この方法は、目立てに非常に好適であると判明した。形の変更（「形直し」）はこの手段ではなされ得ない。形の変更には、加工層が頑丈すぎる。
【００５５】
最後に、担体および遊離ラッピング粒子を用いた目立ての間、担体のコーティングは、半導体ウェハの研削処理の間に案内ケージとして使用される場合よりも高い磨耗に晒されたことが分かった。その結果、最初は厚すぎるかまたは均一でなかった担体のコーティングは、たとえば、薄くまたは平らにする目的のために寸法的に正確ではない不良品として拒絶されるはずであった半導体ウェハに対して多数のパスを行う必要なしに薄くまたは平らにされることが可能である。（ラッピング粒子を加えることなしに圧力下において加工層同士の間を移動することによって均一でないコーティングをされた担体を研削するまたは平らにすることで直接的に薄くしようとしてもうまくいかない。なぜならば、これによって上記加工層が非常に急速に鈍くなり、材料除去がもはや行われなくなるからである）。
【００５６】
この発明に係る第２の方法の説明
この発明に係る第２の方法では、加工層は、トリミング装置を用いてトリミングされる。このトリミング装置は、トリミングの間に砥粒を解放する、結合砥粒を有するトリミング体を有する。トリミングは、研削装置のすべての駆動部（上側および下側加工板ならびに外側および内側駆動輪）の方向の反転を繰り返して、すなわち少なくとも２回反転を行うことで行われる。
【００５７】
この発明は、多くの加工層の除去行為が当該加工層の以前の使用に影響されるという観察に基づく。加工層は、研削行為に関し、正確に言うと、以前のトリミングの方向と、以前の研削工程の方向との両方に関し、多かれ少なかれその前処理の非常に顕著な「記憶」を有することが観察された。いくつかの加工層は、製造によって決定される態様で優先方向を有する。
【００５８】
本発明につながるこの調査の文脈において、特に、前回のトリミング処理の方向が加工層の研削行為の優先方向に決定的な影響を与えていることが分かった。さらに、優先方向における動作の間の材料除去速度と、優先方向とは正反対の方向における動作の間の材料除去速度との差は、トリミングが行われる材料除去が長くかつ多くなるにつれて、ますます大きくなることが分かった。同様に、この方法で定量化される優先方向は、加工層が以前に一方向に使われていたのが長ければ長いほど、かつこのような使用に伴う関連するパッドの磨耗の量が大きければ大きいほど、ますます顕著になるのが分かった。
【００５９】
少なくとも２回すべての駆動部を方向反転することによって、一方向に行われる部分的なステップごとに材料除去が行われ、したがって優先方向が顕著になるのが低減される。
【００６０】
トリミング処理のその後の部分的なステップの各々の間、すなわち方向反転ごとに、その前の部分的なステップにおいて加工層から除去される材料よりも、除去される材料が次第に少なくなるのが好ましい。これは、このような部分的なステップの継続時間を低減させること、トリミングの間に圧力を低下させること、または経路速度を低減すること（部分的なトリミング処理の間の軌道の長さを短くする）によって、達成され得る。
【００６１】
特に好ましくは、部分的なステップは、前回の部分的なステップの間に、加工層に結合される砥粒の平均直径より小さい分だけ加工層の厚さが減少するように、次第に短くされる。
【００６２】
前回の部分的なステップの間の加工層の各々からの材料除去が、加工層に結合された砥粒の平均粒径の１０％と１００％の間であるのが特に好ましい。このような平均１００％は、加工層における１つの「粒子層」に完全に対応する。前回の除去から１０％の平均粒径を下回るさらなる縮小をしてもさらなる利点がないか、または何らかの利点があったとしても、時間の消費の増加という欠点を正当化できないということが分かった。同様に、材料除去を粒子層１つ分より多くすると、しばしば優先方向が残ることも分かった。
【００６３】
加工層の粒子の分布および混合が正確に分からない場合は、平均粒径は単純な態様で決定され得る。この目的のために粒子は、結合マトリックスから機械的に（粉砕によって）、化学的に（結合マトリックスおよびフィラーの溶解または分離）、もしくは熱によって（溶融による分離）、またはこれらの方法の組合せによって抽出され、標本スライドに薄い層で適用され、顕微鏡写真図が作り出される。次いで、顕微鏡写真図上で識別され得る粒径を、形状ステンシルの集合を用いて数える。平均粒径および正規化された標準粒径分布の如何なる偏差も、結果得られる粒径分布のヒストグラムからすぐに読み取られ得る。粒径が特定された上記の単純な態様で単純な実験室手段を用いて求められ得る精度は、この発明に係るトリミング法を実施する場合には十分である。
【００６４】
この発明に係る第２の方法の効果を、例および比較例に基づき以下に説明する（図１）。この場合、同じ砥粒パッド同士が、この発明に従って一度トリミングされ（例）、この発明に従っていない態様で一度トリミングされる（比較例）。
【００６５】
この例では、トリミングの間、すべての駆動部の方向が７回反転された。すなわち、合計８回のトリミングパスが実行された。この場合、材料除去は、２回目のトリミングパスごとにさらに低減された。例では、この段階的な除去の縮小は、最初は１分から最後には５秒へと個々のトリミングパスの継続時間を繰り返し短くすることで行われた。圧力および回転速度は、すべての個々のトリミングパスについて同じであるとした。この場合、パッドの厚さ測定によって決定されたように、加工層は最初は１０μｍまで除去されるが、最後のパスでは、除去は測定限度（１μｍ）を下回った。
【００６６】
比較例では、例について記載したのと同じように砥粒パッドをトリミングしたが、駆動部の方向の反転を行わなかった。
【００６７】
この発明に従ってトリミングされた砥粒パッドとこの発明に従わずにトリミングされた砥粒パッドとは次いで、各々の場合、１５の連続する研削パスに用いられた。ワイヤで切られた、方位が（１００）であり直径が３００ｍｍの１５の単結晶のシリコンウェハを各研削パスの間に処理した。５つの担体には各々３つのシリコンウェハが備えられた。図１は、ｙ軸上には、この場合に得られた材料除去速度ＭＲＲをμｍ／分で示す。ｘ軸には、行われる連続するＰＰＧ研削パスの単位時間Ｔが示される。したがって、各データポイントはＰＰＧパスに対応する。１つの研削パスから次の研削パスまで、各々の場合、研削装置のすべての駆動部（上側および下側加工板、担体のためのローリング装置の内側および外側駆動輪）の回転方向が正反対に反転される（すべての回転速度について符号の変更）。したがって、塗りつぶされていない記号１および３ａは、すべて駆動部の同一の回転速度構成に対応する。塗りつぶされた記号２および３ｂは、各々の場合、正反対に反転された回転方向を有するこのような構成に対応する。回転方向の反転を別にすると、例および比較例における研削パスはすべて同一の態様で行われた。例および比較例は、後者が用いられる前に砥粒パッドをトリミングをする上述した態様においてのみ異なる。
【００６８】
図１Ｂは、この発明に従ってトリミングされた砥粒パッドを有する例の結果を示す。得られた除去速度は両方の回転方向について実質的に同一であるのは明らかである。トリミングによって決定されるか、または砥粒パッドの製造によって決定されるかのいずれかである、一回転方向または他回転方向の「優先方向」を識別することはできない。
【００６９】
図１Ａは、この発明に従わずにトリミングされた砥粒パッドを有する比較例の結果を示す。砥粒パッドの顕著な優先方向が明確に識別可能である。一方向におけるすべての除去速度２が、すべての駆動部の対応する反対の方向における除去速度１よりも著しく高い。一方向と他方向との間の除去速度の差は、（下側除去速度１に対して）ほぼ１００％まである。
【００７０】
このタイプのＰＰＧ処理は非常に不安定である。ＰＰＧ装置は通常、処理の間の半導体ウェハの瞬間的な厚さを計測するための装置を有する。当該装置は、目標厚さが達成されると、処理を終了する（エンドポイントスイッチオフ）。このエンドポイントスイッチオフは、たとえば１つの加工板の表面に組込まれる渦電流センサによって実現される。当該センサは、上記表面と、他方の加工板の表面との間の距離を判定する。好適なセンサ、配置、および測定処理の例はＤＥ３２１３２５２Ａ１に記載される。
【００７１】
駆動部の本質的な続走（加工板の制動）により、目標厚さが達成された後で、急速に加工圧力を低減しても、半導体ウェハが「その後に研削」されるのが必然的に不可避となる。したがって、処理の実際の終了の後、半導体ウェハの厚さは幾分、測定器が判定した最終の厚さよりも小さくなる。他方向における動作と比較して一方向における研削装置の動作（図１Ａにおいてそれぞれ記号１および２）の間の異なる除去速度により、上記その後の研削は、この発明に従わない比較例では２つの方向で大きく異なる。したがって、異なる処理パスからの半導体ウェハは、実際の最終的な厚さが異なる。さらに、半導体ウェハの形状（平坦平行度）は、パスごとに大きく変動する。なぜならば、熱入力（研削加工、機械加工）が異なる除去速度により変動するからである。これにより、処理が不安定になり、結果得られる半導体ウェハは要求が高い用途に適さなくなる。
【００７２】
図１Ｂから明らかなように、この発明に従って、すべての駆動部の方向の反転を繰り返してトリミング処理を行うとこれらの問題は起こらない。
【００７３】
この発明に係る第３の方法およびそのために用いられる装置の説明
この発明に係る第３の方法では、トリミング体を含むトリミング装置が用いられる。トリミング体は、少なくとも主にトリミング板上の輪形の領域内に配される。上記輪形の領域の幅は、トリミング板のピッチ円径の１％と２５％との間、好ましくは３．５％と１４％との間である。加工層と接触するトリミング体の面積の少なくとも８０％、好ましくは少なくとも９０％は、上記輪形の領域内に位置する。加工層に接触するトリミング体の面積は、輪形の領域の全面積の２０％から９０％、好ましくは４０％から８０％に対応する。
【００７４】
この発明に係る好適なトリミング装置の寸法決めに関する実験の最中になされた以下の考慮および観察から、特定される寸法数値が選択される。
【００７５】
まず、トリミング板上に嵌られる１つまたは複数のトリミング体は、研削装置のピンホイール同士の間のトリミング装置の回転運動の最中、研削の間にワークピースと接触する加工層の完全な輪形の領域の上に来る。これにより材料除去、したがって加工層の全使用領域のトリミングが行われる。これは、トリミング体を有する輪形の被覆部の好ましい外径を規定する。
【００７６】
第２に、トリミング体を有する輪形の領域が上記で特定した幅を最大で有する場合にのみ、加工層のトリミングによって、規定される目標形状が得られ得るということが調査により示された。当該規定される目標形状は、ここでは好ましくはワークピースと係合する加工層の表面の可能なもっとも高い程度の互いに対する平坦平行度である。この発明に従って設けられるよりもトリミング板の中心にさらに研削体を配置する場合、特にトリミング板の利用可能領域を実質的に均一に分散してトリミング体で完全に覆う場合、良好な平坦平行度の加工層を得ることができなかった。
【００７７】
この場合、トリミング体が特定される輪の幅内に実質的に配されれば、すなわち個々のトリミング体が内部に向かってさらに適合され得れば、十分であることが分かった。これは、特定された寸法内に複数のトリミング体が適合される場合である。しかしながら、特定された輪の幅の外側に個々のトリミング体を配すると利点が得られない。それどころか、内部に向かって配されるトリミング体の数を増やすと、得られるトリミング効果が乏しくなるということが発見された。この方法は、それでもまだ機能するが、結果は乏しくなる。そのため、特定された輪の領域内にのみ配することが好ましい。
【００７８】
特に、記載される輪の領域の外側で加工板と接触するトリミング装置のすべてのトリミング体の全面積の２０％までとなるように、１つまたは複数のトリミング体がその領域の一部または全体的に配されると、規定される目標形状を形成する加工層のトリミングにおいて如何なる欠点も観察されなくなり得るということが分かった。輪の領域の外側のトリミング体領域が１０％までの配置のトリミング結果は、この発明に従った輪の領域内に完全にトリミング体がある配置とは判別不能である。輪の領域の外側に存在するトリミング体領域が１０％と２０％との間の場合、トリミング結果は、輪の領域内に完全に配されるトリミング体でのトリミングのトリミング結果とは識別可能であるが、この発明に従って良好に規定される加工層の目標形状がそれでも達成され得る。そのため、このタイプの配置もこの発明に従っている。しかしながら、２０％より多いトリミング体領域が、クレームされた輪の領域の外側に存在する場合は、この発明に従って良好に規定される目標形状は達成され得ない。この理由により、このタイプの配置はもはやこの発明に従っていない。
【００７９】
「輪形の領域のなかに存在する」という表現は、対応するトリミング体が輪形の領域のエリア上に存在するということを意味するということが明確にされるべきである。トリミング板の中心にさらに向かうトリミング体の位置を「輪形の領域の外側」とここでは呼ぶ。
【００８０】
図４は、この発明に係る第３の方法を実施するために用いられる装置を示す。図４Ａは、トリミング板９上にトリミング体８を含む、この発明に係るトリミング装置を示す。トリミング板９は、トリミング板の周囲に嵌合するとともにＰＰＧ研削装置のローリング装置に対応する歯部（「外歯部」）１０を有する。ここで示される例は、研削体８は、トリミング板９周りにピッチ円１７上にて均一に同心状に配される。トリミング体の輪形の配置の幅は、内側包絡線１８ｂと外側包絡線１８ａとの間の輪の幅によって記載される。示される例では、輪の幅はトリミング体８の直径と完全に同一である。なぜならば、すべてのトリミング体がピッチ円１７上に配されるからである。図４Ｂは、同様のトリミング体８が２つのピッチ円１７および１９上に配される、この発明に係る別の例示的な実施例を示す。トリミング体８の輪形の配置の幅、すなわち内側包絡線１８ｂと外側包絡線１８ａとの間の輪の幅が、個々のトリミング体８の直径よりも大きい。この発明に係る第２の方法を実施するためのトリミング体８の形状は限定されない。図４Ｃは、例示目的により、（ピッチ円上の例示的な配置にある）矩形断面を有するトリミング体８を示す。図４Ｄは、（２つのピッチ円上の例示的な配置にある）三角形、四角形、六角形、および八角形の研削体８を示す。
【００８１】
（図４Ａおよび図４Ｂに示されるような）円形または輪形状の断面を有するトリミング体８、すなわち、円筒または中空の円筒形状のトリミング体を有するトリミング体８が好ましい。これらは、焼結処理の間に容易に予測可能に収縮し、特に再生可能に製造され得、したがって寸法的に正確であることが分かった。トリミング体の磨耗の後、その残留物がトリミング板から取除かれ、新しいトリミング体と交換される場合に特に望ましい。当該新しいトリミング体は、好ましくはトリミング処理全体がトリミング工具が取り替えられた後でも変わらないままであるように同様の寸法および特性を有する。さらにトリミング体に結合される砥粒の効果的な利用のために、（粒子がトリミング体と加工層との間の接触ゾーンに残り、したがって効果がなくなる）トリミング体の縁の長さに対する（材料除去粒子が解放される）エリア容量の最大比が好ましいということが分かった。これにより、トリミング体は円筒形状であるのが好ましい。中空の円筒形状（同心の穴を有する円筒）も同様にほぼこの要件を満たす。中心における穴２０（図３）は、トリミング体８がトリミング板９上に固定される場合に正常に有利に用いられ得る。上記固定は、接着結合、たとえば、穴２０およびトリミング板９における対応する穴を通る調心ピンによって行われる。これにより、トリミング体８が固定処理の間に滑ることが防止される。
【００８２】
さらに、円筒または中空円筒のトリミング体は、湾曲した縁部を有し、尖った角部は有していない。具体的には、角部を有するトリミング体、すなわち多角形断面、特に三角形を有するトリミング体は、いくつかの場合、当該角部にて、相対的に大きなトリミング体材料の片の破砕を起こす傾向が増加することが分かった。これは望ましくない。なぜならば、加工層がこれによって破損し、ＵＳ５９５８７９４において「タイルが設けられた」砥粒パッドとして記載されたもののような構造化された加工層を用いる場合、たとえば、全「タイル」までもが引き剥がされ得るからである。しかしながら、特に６つ以上の角部を有する多角形のベース領域を有するトリミング体も、多角形のベース領域が常に９０°より大きい角度を有する場合、すなわち好ましくは正多角形の場合、同様に効率的に用いられる。
【００８３】
たとえばＰ．Ｂｅｙｅｒら、Industrie Diamanten Rundschau IDR 39 (2005) III、２０２頁に記載されるような閉じた環状部をほぼ作り出す環状のセグメントを有するトリミング板の輪形のゾーンの被覆は有利ではない。トリミング体にトリミング処理の間に適用される力は、非常に広い面積に亘って分散され、そのため解放される砥粒は少なすぎ、低い耐力により所望のトリミング効果が達成されないということが分かった。耐力はさらに、広いエリアにわたる分散を打ち消すよう任意に増加され得ない。具体的には、（たとえば合成樹脂結合または柔らかいフィラーにより）ある弾性を通常、常に有する加工層は、非常に大きな程度まで弾性的に変形し、良好な平坦性が得られ得ない。さらに、ほんの少し水を付加したトリミングが望ましい。これにより、粒子をトリミング体から解放するのに望ましい摩擦が起こる。上記摩擦が非常に高い圧力により非常に高くなる場合、機械の駆動部は過負荷になり得るか、またはトリミング装置上での加工層の「固着および滑り」によってひどいガタつきが発生する。いくつかの場合では、当該力はとても大きく不規則なので、トリミング体がトリミング板から引きはがされた。所望の平坦性は、この方法では作り出せ得ない。接触面積のサイズが大きすぎるため、接続された不利に大きいトリミング体のこの影響はドライランニングによって強まる。
【００８４】
同様に、少なすぎる、特に小さいトリミング体を選択することも不利であることが分かった。その場合、カルダン式に取付けられた固体の上側加工板の揺れない運動を確実にするのに少なくとも必要な低い耐力でも、多すぎる粒子が解放されるような高い圧力が当該少ない数のトリミング体に割り当てられる。明らかな経済的な欠点に加えて、非常に厚い遊離粒子の膜がトリミング体と加工層との間に発生する場合には、これは不利であると判明した。その結果、絶え間ない摩耗により常に改質し、回転システム（遊星歯車装置）の運動学的特性により自己平坦化（self-leveling)しているトリミング体の非常に平らな面は、もはや加工層上に直接的にマッピングされ得ない。非常に厚い粒子膜によって、加工層は、望ましいように互いに対して高い平行度を達成しない。
【００８５】
したがって、２０％〜９０％の間の充填度が好ましい。充填度とは、トリミング体が中に配される環状部の面積に対する、トリミング処理の間に加工層と接触するトリミング板上に適用されるトリミング体の全面積の比を意味するということが理解されるべきである。４０％〜８０％の間の充填度が特に好ましい。
【００８６】
トリミング体がトリミング処理の間に上側加工層と係合するトリミング板の側の充填度は、トリミング体がトリミング処理の間に下側加工層と係合するトリミング板の側の充填度と正確に等しいのが好ましい。特に好ましいのは、上側および下側加工層についての形および面積の点でそれぞれ同一であるトリミング体がそれぞれ互いの上に直接的に配される場合である。中空の円筒状のトリミング体の使用の好ましい場合、トリミング体は各々の場合、搭載される間に、トリミング板における対応する穴を介して同じ調心ピンで同時に固定される。
【００８７】
トリミング体をトリミング板の上に上述したように配するのはさらに、この発明に係る第２、第４、および第５の方法の文脈における用途に特に好適である。
【００８８】
好ましくは、トリミング体を有する輪形の領域がトリミング板上にて同心状に配される。特に、トリミング体のうちの少なくとも１つが各々の場合一時的に、そのエリアの一部が、研削装置において処理されるワークピースが上に来る加工層の領域の内縁および外縁を超えて進むことを確実にする構成が好ましい。
【００８９】
ワークピースの研削処理の間の加工層の磨耗の結果、半導体ウェハが上に来る領域内において加工層に谷型形状の凹み（「移動跡」）が発生するのが分かった。加工層がもはや平坦でないので、加工層の磨耗が増加し、半導体ウェハは凸状の形状をとる。この凸状の形状は望ましくなく、加工層のトリミングの必要がある。さらに、トリミングの間、歯部１０を有するトリミング板９上のトリミング体８（図３、図４）が、半導体ウェハが以前上に来た領域を超えて延びる領域の上に来る場合にのみ、平坦な半導体ウェハを得るための前提条件としての加工層の十分な平らさが達成され得る。その場合に限り、トリミングの結果、磨耗による加工層の谷型の凹みが取除かれ、平らな領域が作り出される。当該平らな領域は、次の処理の間に半導体ウェハが上に来る領域を超えて突出し、その結果、半導体ウェハは再び特に平坦な半導体ウェハを得るための前提条件としての平坦な加工層に「出会う」ことになる。
【００９０】
ＤＥ１０２００７０１３０５８Ａ１は、時々半導体ウェハが自身の一部がある量だけ加工層の縁部を超えて延びるように加工層が有利に既に寸法決めされることを開示している。谷型の凹みは加工層の磨耗の際に形成され得ない。しかしながら、半導体ウェハのこのような「逸脱」の場合でも、加工層は、半径方向に非均一の磨耗（ＤＥ１０２００６０３２４５５Ａ１）に晒されるので、要求の高い用途に好適な平坦さを有する半導体ウェハを得るために規則的にトリミングされる必要がある。この場合も、トリミングの間、トリミング装置のトリミング体は好ましくは一時的に、そのエリアの一部が処理の間に半導体ウェハが上に来る領域の縁部を超えて、したがって加工層の縁部を超えて、通過するべきである。
【００９１】
この発明に係る方法を実施するために、２つのさらなる方策が、互いに対する加工層同士の所望の平行度と、上記加工層の実質的に平面形状とを得るのに有利であると判明した。
【００９２】
まず、トリミング体が配されるトリミング板は、十分な剛さおよび寸法安定性を有するべきである。トリミング処理の間、特に加工層の非平坦形状が最初に存在する場合に、荷重力の下で変形するトリミング板、したがって存在する如何なる凸凹に常に部分的に適合するトリミング板は、加工層を所望の規定される目標形状にトリミングするのに有利ではない。厚さが６〜１０ｍｍであるシートメタルからなる加工板は、十分に硬く、寸法的に安定していると証明されている。重量についての理由により、トリミング板はこの場合好ましくは、輪形の態様で実施される。すなわち、トリミング体が適用される部分だけが設けられ、軽量の金属（たとえばアルミニウム）または複合プラスチック（たとえば炭素繊維強化エポキシ）が材料として選ばれる。トリミング板の外周部に固定される歯部は、耐久性の理由（摩耗）により、好ましくは高級鋼から製造される。当該歯部を用いて、加工層を有する２つの加工板の間の研削装置の内側および外側ピンホイールの間をトリミング装置が回転する。
【００９３】
第２に、所望の規定される目標形状への加工層のトリミングは、トリミング装置の表面自身が非常に高い程度の平坦平行度を既に有する場合、特に成功することが分かった。これはトリミング板へのトリミング体の搭載の直後の場合ではない。なぜならば、トリミング板がそれから形成されるのが好ましいシートメタルにおいては、厚さが変動し、起伏があるとともに、さらに、トリミング体を製造するための焼結工程の結果、トリミング体が個々の形および厚さの変動を有する。幸いに、遊星（トリミング装置）および加工板の相対運動の際、摩擦されるもの同士の組の両方が磨耗に晒されるならば、すなわち粒子の解放の結果トリミング装置が磨耗に晒され、かつ摩滅の結果加工層が磨耗に晒されるならば、当該摩擦されるもの同士の組の場合、まさに平坦で平行な形が確立される。これは、遊星ギア装置の運動学の性質である。しかしながらこれは、このような「トリミング装置のトリミング」の間にローリング装置における個々のトリミング装置の配置の順序が多重的に変更される場合に特に当てはまるということが分かった。なぜならば、そうでなければ、カルダン式に吊り下げられる上側加工板は常に、揺れる動作によって個々の平均厚みにおけるトリミング装置の起こり得る最初の差に追随し、すべてのトリミング装置の望ましい同一の厚さが作り出され得ない。
【００９４】
実際に、この場合における処置は、製造によって同一の厚さを有さないトリミング体を新しく備えるトリミング装置の集合が数分間、圧力の下、水を加えて、使用される加工層を支える加工板の間を交換のために互いに対して動かされるような処置であるのが好ましい。研削装置の内側および外側ピンホイールによって形成されるローリング装置におけるトリミング装置の配置の順序が次いで変更される。各々の場合、互いに対して９０°の角度で配置される４つのトリミング装置の使用が実用的であると判明している。相互に対向するとともにそれぞれ隣接するトリミング装置の対で交互に取替えるのがこの場合、特に好都合である。さらに好ましくは、各々の場合、対で取り替えられる２つのトリミング装置のうちの１つは、その構造によって可能な場合、回転され得る。（回転後も同様に、トリミング装置の外歯部はもちろんローリング装置内に係合しなければならず、かつ意図するように動くことが可能でなければならない。）この処置の結果、個々の装置の平坦平行形状と同時に、すべてのトリミング装置の同一の厚さが、記載される処理を数回繰り返した後で確立される。
【００９５】
この発明に係る第３の方法の文脈において実現される手法は、加工ギャップが、半導体ウェハと係合する加工層の表面に対して平坦で平行な態様で正確にトリミングされるという効果を有する。
【００９６】
先行技術は、加工板同士の間に形成されるとともに処理の間に半導体ウェハが中を移動する加工ギャップのプロファイルを計測でき、かつ加工ギャップの所望の半径方向の目標形状がセットされるように加工板の形が調節できる方法および装置を記載する。例を挙げると、ＵＳ２００６／００４０５８９Ａ１は、２つの輪形の加工板を含む装置を記載する。これらの加工板の相互に対向する面では、異なる半径方向の位置において、非接触距離測定センサが組込まれる。これにより２つの加工板同士の間に形成されるギャップの幅の半径方向のプロファイルを判定するのが可能になる。
【００９７】
加工板は一般的に鋳鋼からなる。上記センサは、「鋼から鋼」までの距離を測定する。好適な非接触測定センサは、渦電流の測定原理に基づき、たとえば誘導的に具現化され得る。ＵＳ２００６／００４０５８９Ａ１に記載される装置はさらに、目的の態様で加工板の１つの形を変更し得る。これは、たとえば加工板において２つの重なった、異なって温度調整される冷却路を用いて可能になる（「バイメタル効果」）。ＤＥ１０２００７０１３０５８Ａ１は、処理の間に影響がある変形力があるにもかかわらず、加工ギャップを実質的に一定に保ち得る方法を開示する。しかしながら当該先行技術は、上記の測定および調節能力の文脈では、均一であるので全体的に平らで平行な半導体ウェハが製造され得るギャッププロファイルを作り出すことが可能となるように加工ギャップの均一な基本的な形状がどのように得られ得るのかを開示していない。
【００９８】
具体的には、先行技術において公知のこれらの方法は、非常に限られた長い変動の調節機能しか可能にせず、結果得られる形状は少ない数の支持ポイント（測定ポイント）でのみ検出されるということが分かっている。そのため、平均ギャップの開口（最適な場合はギャップ曲率も）しかセットされ得ない。その結果、実ギャップ厚さｄ＝ｄ（ｒ）の第１のオーダおよび最大でも第２のオーダの変更のみが、後者がたとえば以下の多項式で記載される場合、可能である。ｄ＝ｄ０＋ｄ１・ｒ＋ｄ２・ｒ２＋ｄ３・ｒ３＋…（ｒ＝半径、ｄ０＝平均ギャップ距離、ｄ１＝ギャップ勾配［ギャップ開口、くさび形］、ｄ２＝ギャップ曲率）。この方法では、短い変動の半径方向の長さの範囲におけるギャッププロファイルの細かい設定は可能ではない。しかしながら、さらに短い変動の範囲（ギャップ多項式のより高いオーダ）における形状トリミングも同様に必要であることが分かった。
【００９９】
この発明は、この場合、加工板の形状は、あまり正確に平坦な態様にトリミングされる必要はなく、加工板に適用される加工層が、互いに平らで平行な態様でトリミングされるのに十分であるという観察に基づく。平坦な表面を形成するための加工層のトリミングはこの発明に係る第３の方法によって、トリミングの後の加工層の厚さプロファイルが、下に存在する加工板の表面の理想の面からの偏差を正確に相補するような態様で、加工層からの材料除去によって実行される。したがって、この発明に従ってトリミングされる如何なる加工層も、下に存在する加工板の残る凸凹を補償する。先行技術に記載される測定方法は、加工板同士（「鋼から鋼」）の間のギャッププロファイルしか求めず、加工層（「パッドからパッド」）の間の実際のギャッププロファイルを求めない。そのため、「鋼から鋼」のギャッププロファイル測定を「パッドからパッド」の実際のギャッププロファイルを示すために用いられ得るように、トリミングによってもたらされる加工層の相補的な厚さプロファイルが、半導体ウェハのその後の研削の間に、対応する修正とともに、求められなければならない。
【０１００】
これは、まず互いに対する加工板の表面同士の正確な半径方向のプロファイルと、絶対基準線に対する少なくとも１つの加工板の半径方向のプロファイルとを測定することによってなされる。この目的のために、加工層が取付られていない２つの加工板が互いに向かって動かされ、かつ、たとえば、輪形の上側加工板の仮想の均一な１２０°のセグメントのエリア中心に位置決めされる３つのゲージブロックによって特定の距離にて保たれる。上側加工板がゲージブロックの上に載る。そのため、下側加工板は圧力を受けるがこの圧力は低いので、加圧による圧迫変形はそれでもまだ可能な限り小さい。しかしながらこの圧力は、上側加工板のカルダンサスペンションの摩擦が克服されるとともに上側加工板が実質的に同一の力でゲージブロックのすべてに載るには少なくとも十分高い。ゲージブロックによって大まかに規定されるギャップ距離の半径方向ギャッププロファイルが次いでダイヤルゲージを用いて正確に求められる。その後、下側加工板の直径上に対照的にセットアップされる２つのゲージブロックの上に精密ルーラがそのベッセル点にて配置され、下側加工板と精密ルーラとの間の距離の半径方向のプロファイルがダイヤルゲージを用いて測定される。後者の測定により、下側加工板の絶対的な形状プロファイルが直接的に与えられる。前者の測定値と後者の測定値との差により上側加工板の絶対的な形状プロファイルが与えられる。
【０１０１】
次いで、加工層（砥粒パッド）が取付けられ、この発明に係る第３の方法により最良の可能な平坦平行度にまでトリミングされる。これは、トリミングされた加工層を有する加工板が互いに向かってゲージブロック上に動かされることによってチェックされる。次いで、ゲージブロックによりパッドからパッドへの測定距離が求められ、半径方向ギャッププロファイルがダイヤルゲージによって求められる。その後、精密ルーラが下側加工層上にゲージブロックにより配置され、上記ルーラに対する下側加工層の半径方向の形状プロファイルが測定される。前者の測定により加工層同士の間のギャップ幅の半径方向のプロファイルが与えられ、後者の測定により下側加工層の絶対的な平坦さが与えられ、差を求めるとさらに上側加工層の絶対的な平坦さが与えられる。
【０１０２】
次いで、特に平らで平行な半導体ウェハを得るために、加工層同士の間の距離は、外側加工板の直径が２０００ｍｍであるとともに輪の幅が少なくとも６５０ｍｍ（加工層同士の間に形成される加工ギャップの平行度）である場合、輪形の加工層の全体の輪の幅に亘って±３μｍ以下だけ逸脱することが許されることが分かった。しかしながら、基準直線に対する２つの加工層のうちの１つのくさび形状および曲率（精密ルーラに対する測定）は、ともに７００ｍｍの全体の輪の幅に亘って１００μｍまで許されるが、形状偏差のより高いオーダはともに同様に±３μｍより小さくなければならないということが分かった。したがって加工層は、互いに対する加工層の平行度が良好であり、かつより高いオーダの形状偏差が存在しない限り、くさび形状であり、かつある程度まで湾曲することが許される。
【０１０３】
図２Ａは、この発明に係る第３の方法による加工層のトリミングの後の、輪形の加工板上の輪形の加工層の外径ＯＤから内径ＩＤまでの輪の幅の半径Ｒに亘って加工層同士の間に形成される加工ギャップの相対的な厚さプロファイルを示す。用いられる研削装置の加工層の輪の幅は６５４ｍｍである。（加工ギャップの最初および最後の５ｍｍは、ベアリングのサイズおよびギャップダイヤルゲージの測定領域により測定され得ない。）この発明に係る例では、ギャップの相対的な厚さプロファイルΔＧＡＰは、−０．８μｍ（参照記号４の測定ポイント）から＋０．８μｍ（測定ポイント５）までしか変動しない。図２Ｂは比較例として、この発明に従わない方法によりトリミングされた、先行技術に係るギャッププロファイルを示す。ギャッププロファイルは、−１０μｍ（測定ポイント６）から＋７μｍ（測定ポイント７）だけ所望の平らで平行なプロファイル（ΔＧＡＰ＝０）から逸脱する。
【０１０４】
図３Ｂに示されるような実施例のトリミング装置が４つ、示される例（図２Ａ）において用いられた。各トリミング装置は、その前側および後側の上に設けられた２４個の中空の円筒状のトリミング体と、外歯部１０とが設けられたトリミング板９からなった。当該中空の円筒状のトリミング体は、各々の場合、７０ｍｍの直径と、直径が１０ｍｍの穴と、２５ｍｍの初期高さとを有し、直径が６０４ｍｍであるピッチ円上に粘着的に結合された。外歯部１０は、研削装置の内側および外側ピンホイールからなるローリング装置の中に係合した。したがって、トリミング体で覆われるトリミング体構成の幅７０ｍｍの輪の面積割合の支持面積割合は約６８％であり、回転運動の間のトリミング体はすべて、輪形の加工層の外側および内側縁部を対照的に１０ｍｍ超えて通過した。加工板は１０ｍｍの厚さのアルミニウムからなり、非常に硬かった。接着結合の後、最初は高さが非均一であるトリミング体はまず、トリミング装置を変更されることになっている古く、ほとんど完全に磨耗した加工層の上を、圧力下で水を加えて相対的に長く進ませることによって均一の厚さにされた。その結果、厚さが非常に正確に同一であり平らで平行なトリミング装置が得られた。この場合、トリミング装置はまず、各々の場合数分後に対で（３に対して１、４に対して２；さらに２に対して１、４に対して３）交換され、付加的に回転された。（後者の場合、図３Ｂの外歯部９は、トリミング装置の回転の後で再び研削装置のピンホイールに係合できるようトリミング板の前側から後側に取付けられなければならない。これは複雑であり、実際に新しいトリミング体の取付の後のトリミング装置の基本的なトリミングの間に一度必要となるのみである）。
【０１０５】
加工層は、上側および下側加工板と研削装置の内側および外側ピンホイールとの駆動方向を交互にして、複数のトリミングサイクルによりトリミングされた。上側駆動部、下側駆動部、内側駆動部、外側駆動部の回転速度はこの場合、＋９．７、−６．３、＋６．４、＋０．９ＲＰＭ（毎分回転数）であり、反転時には対応して、−９．７、＋６．３、−６．４、−０．９ＲＰＭである（すべての駆動部は研削装置の上から見たものであり、「＋」＝時計回り方向、「−」＝反時計回り方向である）。この場合、上側加工板には、トリミング体と加工層との間の約２．７ｋＰａの圧力に対応する１ｋＮの力がかかる。トリミング時間は４×１分であり、トリミングの間、加工ギャップに水が０．５〜１ｌ／分で連続的に加えられた。４つのトリミング装置は一度に対で取り替えられた。これらのトリミング装置は、９０°ごとに均一にローリング装置に挿入される。
【０１０６】
この発明に従わずにトリミングする比較例では、加工ギャップ厚さの半径方向のプロファイルが図２Ｂのようになる。当該比較例では、各側上にて６１個のトリミング体がトリミング板の全領域に亘って実質的に均一に配されたトリミング装置が用いられた。トリミング体は、各々の場合、７０ｍｍの直径を有し、かつ直径が１０ｍｍの穴を有する。したがって、個々のトリミング体は、この発明に係る例における寸法と同じ寸法を有した。この発明に係る例と同じ方法で、２４個のトリミング体が６０４ｍｍのピッチ円径上に取付けられるが、それに加えて１８個が４５５ｍｍのピッチ円径上に、１２個が３０５ｍｍのピッチ円径上に、６個が１５５ｍｍのピッチ円径上に、そして１つのトリミング体が中心に取付けられる。すべてのトリミング体は、それぞれのピッチ円上に均一に配され、これにより、実質的に均一に全円形エリアを全体的に被覆する。すなわち各トリミング体とその隣にあるものとの間の距離の変動は小さくなる（７〜１１ｍｍ）。耐力が２．５ｋＮを若干上回るよう増加され、これによりこの発明にしたがって行われたトリミング（図２Ａ）の場合と同じように圧力が１ｋＰａになる。この発明に係るトリミング例の場合には、回転速度および対での交換ならびに１回の回転がなされ、同一のトリミング継続時間が選ばれた。
【０１０７】
この発明に係る第４の方法の説明
この発明に係る第４の方法では、まず２つの加工層の半径方向の形状プロファイルが測定され、当該形状プロファイルから上記２つの加工層の各々について平坦な表面を回復させるのに必要とされる最小の材料除去が決定される。その後、トリミング処理が少なくとも１つのトリミング装置により（たとえばこの発明に係る第３または第５の方法について記載されるように）行われる。この場合、上側および下側加工層からの除去速度は、冷却潤滑剤の流量と、上側加工板がトリミングの間に下側加工板に押し付けられる圧力との好適な選択により、それらの比が最小の材料除去の比に対応するようにセットされる。
【０１０８】
好ましくは、この場合、各加工層は、特に加工層が内側から外側に「くさび形」にならないように材料が平均して半径方向に均一に取除かれるような態様でトリミングされる。このような均一の摩耗の結果、加工層の全耐用年数をもっとも長くすることが可能になり、加工層の表面同士の間の加工ギャップは、複数のこのようなトリミングサイクルの後でも、常に加工板同士の間のギャップに実質的に平行に延在し、これにより一定の位置状態、したがって一定の動作状態が得られる。
【０１０９】
鋳鋼から通常製造される加工板は元々、製造業者による研削装置の組立の後に各々の場合自身（固定目立て装置）によって互いに対して一度トリミングされ（両面ラッピング）、各々の場合、ラッピングおよび目立てに典型的な半径方向の凸凹を有する。後者は、この発明に係る第３の方法の文脈において記載されるように、選択された温度にて、相対的な態様（ゲージブロック）かつ絶対的な態様（ルーラ）で、事前の上側加工板の流体板形調節の異なる圧力について決定され、装置に固有の特徴として実質的に変更されないままである。加工層が取付けられ、それらの半径方向の厚さプロファイルが測定される。この目的のために、加工層には少なくとも１つの半径上に、下に存在する加工板が厚さプローブにより感知可能になる複数の穴が設けられる。したがって、加工層の結果生ずる半径方向の厚さプロファイルと、加工層の既知の形状プロファイルとから、絶対的な態様で各々の加工層の形状プロファイルおよび互いに対する２つの加工層の形状プロファイルを決定することが可能になる。この加工層の測定に従うと、両方の加工板の温度と、上側加工板の流体形状調節圧力とが、加工層同士の間に形成される加工ギャップの経路が可能な限り平らで平行になる態様でセットされる。この場合、平行度のほうが平坦さに対して優先される。結局後者は、加工層のトリミングによって達成されることが意図されるのみである。
【０１１０】
新たな加工層は、搭載された後、最初は基本的なトリミングに晒されなければならない。なぜならば、生産により、平坦でなく、まだ自身の表面に露出する砥粒が存在しないからである。この場合、一番上のプラスチック層が取除かれる。３Ｍ  ＣｏｍｐａｎｙのＰＰＧ砥粒パッドであるTrizactTM diamond tile 677XAの場合、砥粒を露出させる（切断特性の生成）のに約５０μｍの材料が取除かれなければならず、さらに最初は加工板の形状の凸凹を補償するよう５０〜１００μｍ取除かれなければならない。最後に言及した加工板の凸凹を補償するための最小の除去の厳密な値は、加工板が最初に基礎的なトリミングに晒された精度に依存し、したがって研削装置の試料ごとに個々に異なる。このようにトリミングされる加工層は次いで、温度および流体圧力による加工ギャップの形状追跡の方策に従った従来の測定にかかわらず、得られる半導体ウェハの平坦度があらかじめ定められた限界値を超えるまで研削のために用いられる。当該限界値は、たとえば互いに対する加工層の最良の可能な平坦平行度の良好な設定にかかわらず、３つの連続するパスについてＴＴＶ＞３μｍである。磨耗によって誘発された加工層の厚さの減少および形状の変化は、上述したような厚さ測定によって求められる。２つの加工層の各々についてこのように測定された厚さプロファイルと事前に平らで平行な態様でトリミングされる基準プロファイルとの差によって、各加工層について、平均厚み減少（平均磨耗）および形状偏差（半径方向の摩耗プロファイル）が得られる。次いで、２つの加工層の各々から取除かれる材料の量が磨耗の後の形状が平らで平行なトリミングの後の形状から逸脱する量と全く同じであるように、この発明に係る第４の方法に従ったトリミングが行われる。
【０１１１】
トリミング処理の間、一般的に少ない体積流量の冷却潤滑剤（たとえば水）が加工ギャップに加えられる。正確には、冷却潤滑剤は、一方では十分な冷却を提供し、かつ加工層上でのトリミング体の均一な摺動または摩擦（「粘着および滑り」なし、きしり音なし）を支援するが、他方ではトリミング体が除去効果をもたらすのに十分な研摩材を解放するようにトリミング体と加工層との間に高い摩擦作り出すよう可能な限り少なくするのが必要になる。外径が約２０００ｍｍであり、輪の幅が少なくとも６５０ｍｍである輪形の加工板を有する半導体ウェハのＰＰＧ処理のための装置の例では、トリミング処理の間の加工ギャップに供給される体積流量が０．３〜３ｌ／分の水が最適であると証明された。水の流量の体系的変化と、トリミング処理の前に多孔性のトリミング体が「水をかけられる」（水で一杯にされる）強度により、トリミング処理の間に水の付加を増加させると、下側加工層上でのトリミング体の摩擦が低減され得るが、上側加工層に対して下側加工層の材料除去が対応して減少するということが示された。加えられた水は重力により下側加工板上に溜まるので、部分的な「浮動」（アクアプレーニング効果）がここで明らかに達成できた。
【０１１２】
トリミング効果は、トリミング体が加工層の上でガイドされる経路速度と、トリミング体と加工層との間の圧力とによって決定されることが知られる。トリミング体がより速くより大きい圧力下で動かされると、トリミングの間の加工層からの材料除去がより多くなる。したがって、所望の材料除去は、高い圧力（およびより高い経路速度）での短いトリミング処理か、またはより低い圧力（および適切ならば低い経路速度）での対応して長いトリミング処理によって達成され得る。トリミング装置の固有の重量が低いトリミング圧力ではますます重要になることが分かった。したがって、トリミング圧力を低下させると、上側加工層に加わる力は、下側加工層にかかる力よりも大きな程度にまで減少する。この状況は材料除去にも対応して当てはまり得る。したがって、トリミング圧力を低減することにより、上側加工層からの材料除去を下側加工層からの材料除去よりも大きな程度にまで低減することが可能である。
【０１１３】
冷却潤滑剤をさらに付加またはトリミング圧力を低減した状態でのトリミングにより、広い制限内で非対称的である、両方の加工層からの材料除去が得られ得る。正確には、上記材料除去は、目標の態様で上側加工層に対して下側加工層から取除かれる材料がより少なくなるか（冷却潤滑剤の付加）、または目標の態様で、上側加工層に対して下側加工層から取除かれる材料がより多くなる（圧力の減少）ように得られえることが分かった。磨耗した加工層の形状プロファイルの測定の結果に依って、冷却潤滑剤の付加およびトリミング圧力はさらに、両方の加工層からの材料除去が全く同一になるように正確に選択され得る。
【０１１４】
冷却潤滑剤（たとえば水）のさらなる付加によって得られ得る除去の非対称性は、下側トリミング体と下側加工層との間に確立され得る水膜の厚さによって決定される。この水膜がますます太くなり、したがって下側加工層からの材料除去がますます小さくなると、トリミング体の加工エリアがより大きくなる。同様に、下側加工層からの材料除去がますます小さくなると、上記の島部および下側加工層の支持面積割合（砥粒パッドの全面積に対する島部の面積の比）が大きくなる。実際、３：１までの下側加工層の除去速度に対する上側加工層の除去速度の比は冷却潤滑剤の付加によって達成された。
【０１１５】
トリミング装置の重量力を用いることによって得ることが可能な下側加工層に対する上側加工層の非対称の材料除去速度の実用限界は、上側加工板がカルダン式の搭載における摩擦力を克服するよう押付けられ、したがって常にトリミング装置上に確実に影響する最小の耐力によってのみ与えられる。この力が目標まで届かない場合、上側加工板が揺れるか、または「踊り」（部分的に離れ）、平坦な加工層が得られ得ない。１：３までの下側加工層の除去速度に対する上側加工層の除去速度の比が実際に達成され得る。
【０１１６】
例示目的で述べた研削装置の場合、１〜２０ｋＰａの間の圧力が、上側および下側加工層の除去速度が実質的に同一であるトリミングの好都合な圧力領域であると判明した。２〜１２ｋＰａの圧力が特に好ましい。例示目的で述べた研削装置の場合、上側および下側加工層からの実質的に同一の材料除去の場合、加工ギャップに供給される冷却潤滑剤の好ましい体積流量は、０．２と５ｌ／分との間であり、０．５と２ｌ／分との間の体積流量が特に好ましい。体積流量および圧力の上述の範囲において、対称的な材料除去を得るのにすべての組合せが好適というわけではない。したがって、特定の範囲の上端での冷却潤滑剤の体積流量は、既に起こっている重力効果（トリミング装置の固有の重量）と、摺動効果（冷却潤滑剤の量が多い場合の浮動）とが互いに補償し、その逆も同様になるように、特定の好ましい範囲の下端でのトリミング圧力のために選択されなければならず、その逆も同様である。
【０１１７】
上述した研削装置におけるトリミングの間に上側加工層と比較して下側加工層の材料除去速度を低減するために、少なくとも４ｋＰａの圧力での２〜１０ｌ／分の間の冷却潤滑剤体積流量が好適であると判明した。これにより、浮動効果がトリミング装置の固有の重量効果によって再び無効化されない。逆に、上側加工層と比較して、例示目的で上述した処理装置におけるトリミングの間の圧力が４ｌ／分を下回る冷却潤滑剤体積流量にて４ｋＰａを下回る場合、下側加工層の材料除去速度が増加し得る。
【０１１８】
たとえばＤＥ１９９３７７８４Ａ１に記載されたような、この発明に係る方法を実施するのに好適な研削装置はすべての目安として用いられた。加工板の外径は１９３５ｍｍであり、輪の幅は６８６ｍｍであった。加工層は、加工板よりも幾分小さくなるように選択され、外径が１９０３ｍｍであるとともに輪の幅が約６５４ｍｍである。トリミング圧力は、上側加工板の適用荷重により確立される。この発明に係る第３の方法について例示的な実施例として記載されたものような４つのトリミング装置がトリミング処理の間に用いられ、これによりこの場合も、輪形の加工層の外側および内側縁部を１０ｍｍまで超えるようトリミング体が一時的に逸脱した。
【０１１９】
トリミングの間の圧力および体積流量についての上記の範囲を選択することにより、下側加工層の材料除去速度に対する上側加工層の材料除去速度の比が約０．３と３との間で変動させることが可能になった。この場合、加工層では、加工層に結合した砥粒（ダイヤモンド）の平均粒径が２〜６μｍであり、トリミング体の材料は粒径が約５〜１５μｍの多孔性のハイグレードのコランダムピンクであった。
【０１２０】
この発明に係る第５の方法およびそのために用いられる装置の説明
この発明に係る第５の方法では、外歯部がトリミング板に対して高さ調節可能なトリミング装置が用いられる。
【０１２１】
先行技術によると、ローリング装置、すなわちＰＰＧ法を実施するための好適な装置の内側および外側駆動輪は、構造的な理由により、高さ調節可能ではないか、または高さ調節可能であっても小さな範囲でのみ可能である。これは、ローリング装置を形成する歯が設けられた輪またはピンホイールの硬く、遊びがなく、正確な案内が必要であることによる。外歯部を有するトリミング工具がローリング装置内に確実に係合することを可能にするために、先行技術によると、上記トリミング工具は非常に薄くされなければならないか、または片側に向かって非対称的に突出する歯部を支持しなければならないかのいずれかである（「トリミングポット」）。これにより、この方法でトリミングされる加工層の平坦さが不十分になる。なぜならばトリミング工具が変形し得るからである。
【０１２２】
さらに、少なくとも下側加工板と係合するものについては、高さが低いトリミング体しか用いることができない。これらは、磨耗にさらされるので、磨耗の後、頻繁に取替えられるか、または全トリミング装置が破棄されなければならなくなる。これにより、消費コストが高くなり、頻繁に長い設定時間でトリミング条件が変更され、したがって再生可能でない処理条件となる。トリミング体を支えるトリミング板と、歯部とは、研削装置の内側および外側ピンホイールのピンの少なくとも一部がトリミング装置の歯部の少なくとも一部に係合するのが保証されるかぎり、十分に太く、したがって有利なことに硬くされ得る。しかしながら、ここで同様に、下側加工層と係合するトリミング体は非常に薄くしなければならないという欠点が存在したままである。これは、研削法の経済的存立可能性およびプロセス安定性についての上で論じた欠点である。トリミング工具が非対称的な「トリミングポット」として実施される場合、同様に、厚さが小さいトリミング体しか用いることができないか、または歯部を超えて突出するより太いトリミング体の小さな部分、すなわちローリング装置の高さ（ピンまたは歯高さ）と、ローリング装置へのトリミング工具の歯部の係合の深さとの差の残存部分しか用いることができない。
【０１２３】
図３は、この発明に係る第５の方法のために用いられるトリミング装置のさまざまな実施例を示す。必須要素のすべてを見ることができるようにするために、図３に示されるトリミング装置は上下逆に、すなわち、図３の上部にあるトリミング体が下側加工層をトリミングし、部分的に隠れた底部にあるトリミング体が上側加工層をトリミングするよう示される。（この発明に係る方法を実施するために好適な研削装置の内側および外側ピンホイールは、下側加工板のレベルで一般的に内周および外周上に配されるが、追加費用があり利点のない構成となるが上側加工板上にも原理上可能である）。
【０１２４】
図３Ａは、トリミング体８が配される環状のトリミング板９を示す。（トリミング板９は円形の態様でも実施可能であるが、これは重量上の理由により好ましくない。）トリミング体８は、接着結合、ねじ留め、または他の従来の方法によりトリミング板９上に固定され得る。図３Ａは、ねじ止めのため、または接着結合の場合は調心のための好適な穴２０を有するトリミング体を示す。図３Ｂは、トリミング板９と、トリミング体８と、外歯部１０とを含むこの発明に係る完全なトリミング装置を示す。外歯部１０はトリミング板９とは別個である。両者は好ましくは、歯部における対応する穴１１ａとトリミング板における穴１１ｂとによって互いにねじ留めされる。明瞭さのために、接続ねじは示されない。ねじおよびスペーサ（スリーブ）の異なる長さにより、歯部とトリミング板との間の距離を所望のように適合することが可能である。トリミング体８がトリミング使用の間に磨耗して高さを失う場合、上記のねじの接続は、したがってトリミング体８が各々の場合、ただ歯部を超えて突出するように常に再調整され得る。その結果、このタイプのトリミング装置はさらに、高さ調節可能でないか、もしくはわずかに高さ調節可能であるローリング装置か、または短いピンもしくは歯を有するローリング装置を有する研削装置の場合に用いられ得る。この発明によると、トリミング体の磨耗の間に外歯部が加工層に接触しないことが確実になる。外歯部は好ましくは金属材料からなり、特に好ましくは鋼または高級鋼からなり、したがって当該鋼と加工層において好ましくは砥粒として用いられるダイヤモンドとの間の接触が避けられる。これは、鉄金属との接触および摩耗によってダイヤモンドが鈍くなり、その結果、研削法が実施できなくなるか、または実施されても相当な追加費用（加工層の頻繁な再目立て）と、芳しくない結果（再目立てのために頻繁に中断することによる処理の不安定性）とを伴うということが既知（ＤＥ１０２００７０４９８１１Ａ１）であるからである。
【０１２５】
図３Ｃは、トリミング体８がトリミング板９と一体化する肩部１２に接着結合またはねじ込まれる１つの好ましい実施例を示す。結果として、外歯部１０は上側端が領域において面一の態様で存在するように加工板９内に入るよう下がり得る。その結果、トリミング体８は、トリミング板との接着結合部またはねじ接続部まで完全に用いられ得る。図３Ｃは、未だ大きな有効な高さ１５を有するトリミング体８を示す。図３Ｄは、ほぼ完全な磨耗（小さな残存する有効な高さ１６）の後のトリミング体８を示し、歯が設けられた輪１０が加工板９内に入るよう下がった状態を示す。
【０１２６】
したがって、この発明は比較的太いトリミング体の使用を可能にすると同時に、それらの厚さが完全に使用されることを可能にする。したがって、この発明に係るトリミング装置は、先行技術に従った場合よりも、新しいトリミング体を取替えるまたは装備する必要がはるかに低くなる。
【０１２７】
この発明に係る第２から第５の方法についての好ましい実施例
この発明に係る第２から第５の方法を実施するのに好適なトリミング体は、研削材料については、さまざまな製造業者から入手可能である。研削目的のための先行技術において公知の硬い物質が利用され得る。当該硬い物質としては、たとえば、（立方晶）窒化ホウ素（ＣＢＮ）、炭化ホウ素（Ｂ４Ｃ）、炭化ケイ素（ＳｉＣ、「カーボランダム」）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３、「コランダム」）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２、「クォーツ」）、酸化セリウム（ＣｅＯ２）、およびこれらの混合物がある。砥粒体を形成するこれらの材料は一般的に、プレスされ、焼結され、金属結合、ガラス結合、またはプラスチック結合され、この発明に係る方法を実施するためにトリミング体として用いられ得る。これらの砥粒体は、粒子タイプおよび粒子混合物、粒径、ならび粒径分布とともに、結合タイプおよび結合硬さ、多孔性、フィラー、などによって特徴付けられる。第２から第５の方法についてのこの発明に必須であるのは、加工層上への冷却潤滑剤（たとえば水）を付加して、圧力下での移動時にトリミング体に結合される材料の目標とする解放である。トリミング体として用いられる砥粒体の上述の特性は、砥粒製造業者によって詳細には通常知らされない。知らされたとしても、これらのパラメータが決定された正確な測定条件は知らされないことにより、異なる砥粒体の間、特に異なる製造業者の間の互換性は可能ではない。特に、この発明に必須である粒子の解放を決定的に決める結合硬さは、製造業者ごとに異なり、製造業者自身の組織内のパラメータによって指定される。
【０１２８】
したがって、実際に採用される最良の処置は、まず１つ以上の製造業者から商業的に入手可能なさまざまな従来の砥粒体をトリミング体としての適合性についてテストするような処置であり、その場合、製造業者が述べる粒径および結合硬さは最初は単に指針値としてみなされる。砥粒体が柔らかすぎると判明した場合、製造業者の内部の呼称においてより硬いと指定される砥粒体が用いられる。砥粒体が硬すぎると判明した場合、より柔らかい砥粒体が対応して用いられる。加工層からの材料除去の速度が高すぎるとともに加工層の表面がトリミングの直後に、研削使用のいくつかのパスの後よりも著しく荒くなるならば、自己目立て平衡状態が確立されたときに、製造業者からの情報に従ったより細かい粒子が選ばれる。材料除去が不十分で、かつ加工層に対する目立て効果が欠如している場合、それに対応して粗い粒子が選ばれる。広い範囲の硬度、粒度などの良好な入手可能性より、少ない数の実験によってこれは常に容易に可能である。例示すると、１つの製造業者の異なる砥粒での４回の実験の後、例示的な実施例のトリミング体が発見され、その結果、示される経験的選択法によって実用可能であると証明された。
【０１２９】
最初に、望まれるか否かにかかわらず、自身の性質として他の材料に対する除去効果を有する如何なるトリミング工具も材料を解放する。しかしながら、この発明によると、ここで記載される方法の場合、これは正確に、トリミング処理の間、解放された粒子の層がトリミング体と加工層との間に存在するような範囲に発生する。この解放された粒子の層の厚さは、平均で、解放された粒の平均サイズの半分の直径と１０倍の直径との間である。具体的には、粒子が解放される速度が低すぎる場合は、不適切なトリミング効果（遅すぎる、非経済的）が発生するだけになる。１０倍の平均粒径よりも厚い層が平均として形成されるといったように当該速度が高すぎる場合、上述したように非常に平らで平行な態様で事前にトリミングされたトリミング装置はもはや加工層に対して十分な成形効果（基準の平らさの「複製」）を有さず、それどころか遊離トリミング粒子の太くて規定されていない膜によって「形状がはっきりしなくなり」、加工層から明らかに高い量の材料が除去されることによってこの発明に従った平らで平行な加工層形状が得ることができなくなる。
【０１３０】
この発明に係る方法の２つ以上を組み合わせることが特に有利であることは言うまでもない。特に、この発明に係る第３および第５の方法に用いられるトリミング装置の特徴は、いかなる問題もなく、互いに組み合わされ得る。有利なことに、第３または第５の方法において用いられるトリミング装置の特徴を有するトリミング装置も同様にこの発明に係る第２および第４の方法に用いられる。特に好ましくは、この発明に係る第３および第５の方法に用いられるトリミング装置の特徴を有するトリミング装置は、この発明に係る第２および第４の方法に用いられる。この発明に係る第２および第４の方法も有利に組み合わされ得る。
【符号の説明】
【０１３１】
１  この発明に従っていないトリミングの後の低い材料除去速度
２  この発明に従っていないトリミングの後の高い材料除去速度
３ａ  この発明に従ったトリミングの後の一回転方向における処理の間に達成される材料除去速度
３ｂ  この発明に従ったトリミングの後の反対の回転方向における処理の間に達成される材料除去速度
４  この発明に従ったトリミングの後の小さい局所的な加工ギャップ幅
５  この発明に従ったトリミングの後の大きい局所的な加工ギャップ幅
６  この発明に従っていないトリミングの後の小さい局所的な加工ギャップ幅
７  この発明に従っていないトリミングの後の大きい局所的な加工ギャップ幅
８  トリミング体
９  トリミング板
１０  外歯部
１１ａ  歯部における穴
１１ｂ  トリミング板における穴
１２  歯部を下げるためのトリミング板における肩部
１５  残存する有効高さが大きいトリミング体
１６  残存する残留有効高さが小さいトリミング体
１７  トリミング板上のトリミング体の配置のピッチ円
１８ａ  トリミング体が中でトリミング板上に配される輪形の領域の外径
１８ｂ  トリミング体が中でトリミング板上に配される輪形の領域の内径
１９  トリミング板上のトリミング体の配置のさらなるピッチ円
２０  トリミング体の固定または調心穴
５１  上側加工板
５２  下側加工板
５３  回転軸
５４  冷却潤滑剤を供給するための穴
５５  加工ギャップ
５６  担体
５７  内側案内輪
５８  外側案内輪
５９  ワークピース
６０  上側加工層
６１  下側加工層
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図５】
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