(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持され該スピンドルハウジングの一端から突出して配設された回転スピンドルと、該回転スピンドルの一端に取付けられ回転工具が装着されるマウンターと、該スピンドルハウジングの内周面と該回転スピンドルの外周面との間にエアー層を形成してエアー支持するラジアル軸受部および該回転スピンドルの外周面に設けられたスラストプレートの側面との間にエアー層を形成してエアー支持するスラスト軸受部と、該スピンドルハウジングの他端部に形成され該エアー層に連通するモータ収容室と、該モータ収容室に配設され該回転スピンドルを回転駆動する電動モータとを具備するスピンドルユニットと、
該スピンドルユニットの該ラジアル軸受部および該スラスト軸受部に高圧エアーを供給する高圧エアー供給手段と、を具備する回転工具を装着するスピンドルユニット機構であって、
該回転スピンドルには軸心方向に形成され他端に開口する連通路が設けられ、
該マウンターには径方向に形成され一端が該連通路に連通し他端が外周面に開口する排気通路が設けられており、
該回転スピンドルの他端に開口する連通路が該スピンドルハウジングの他端に設けられた密閉室を介して該モータ収容室に連通されている、
ことを特徴とする回転工具を装着するスピンドルユニット機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置の切削ブレードや研削装置の研削ホイール等の回転工具を装着するスピンドルユニット機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々の半導体チップを製造している。また、サファイヤ基板の表面に窒化ガリウム系化合物半導体等が積層された光デバイスウエーハもストリートに沿って切断することにより個々の発光ダイオード、レーザーダイオード、CCD等の光デバイスに分割され、電気機器に広く利用されている。
【０００３】
上述したウエーハのストリートに沿った切断は、通常、ダイサーと呼ばれている切削装置によって行われている。この切削装置は、ウエーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削手段と、チャックテーブルと切削手段とを相対的に移動せしめる切削送り手段とを具備している。切削手段は、スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持された回転スピンドルと、該回転スピンドルに取付けられたマウンターと、該マウンターに装着される切削ブレードと、回転スピンドルを回転駆動する電動モータを備えたスピンドルユニットを具備している。
【０００４】
また、上述したようにして分割されるウエーハは、ストリートに沿って切断する前に研削装置によって裏面が研削され、所定の厚さに加工される。ウエーハの裏面を研削する研削装置は、ウエーハを保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持されたウエーハを研削する研削手段と、該研削手段を研削送りする研削送り手段とを具備している。研削手段は、スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持された回転スピンドルと、該回転スピンドルに取付けられたマウンターと、該マウンターに装着される研削ホイールと、回転スピンドルを回転駆動する電動モータを備えたスピンドルユニットを具備している。
【０００５】
上述した切削装置の切削手段を構成するスピンドルユニットや研削装置の研削手段を構成するスピンドルユニットは、回転スピンドルがスピンドルハウジングにエアー軸受機構によって回転自在に支持されている。（例えば、特許文献１参照。）
【０００６】
エアー軸受機構を備えたスピンドルユニットは、スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持された回転スピンドルと、該スピンドルハウジングに配設され回転スピンドルの外周面との間にエアー層を形成してエアー支持するラジアル軸受および回転スピンドルの外周面に設けられたスラストプレートの側面をエアー支持するスラスト軸受と、回転スピンドルに取付けられ回転工具が装着されるマウンターと、回転スピンドルを回転駆動する電動モータとを具備し、ラジアル軸受部およびスラスト軸受部に高圧エアーを供給するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−２４８２６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ラジアル軸受部およびスラスト軸受部に供給する高圧エアーは、工場に設置された共通の高圧エアー設備によって供給される。この共通の高圧エアー設備によって供給される高圧エアーの圧力は例えばゲージ圧０．５Mpa程度に設定されているため、より高い圧力のエアーを必要とするエアー軸受機構に容易に対応することが困難である。
【０００９】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、エアー軸受機構に供給される高圧エアーの圧力より高い軸受け機能を備えた回転工具を装着するスピンドルユニット機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持され該スピンドルハウジングの一端から突出して配設された回転スピンドルと、該回転スピンドルの一端に取付けられ回転工具が装着されるマウンターと、該スピンドルハウジングの内周面と該回転スピンドルの外周面との間にエアー層を形成してエアー支持するラジアル軸受部および該回転スピンドルの外周面に設けられたスラストプレートの側面との間にエアー層を形成してエアー支持するスラスト軸受部と、該スピンドルハウジングの他端部に形成され該エアー層に連通するモータ収容室と、該モータ収容室に配設され該回転スピンドルを回転駆動する電動モータとを具備するスピンドルユニットと、
該スピンドルユニットの該ラジアル軸受部および該スラスト軸受部に高圧エアーを供給する高圧エアー供給手段と、を具備する回転工具を装着するスピンドルユニット機構であって、
該回転スピンドルには軸心方向に形成され他端に開口する連通路が設けられ、
該マウンターには径方向に形成され一端が該連通路に連通し他端が外周面に開口する排気通路が設けられており、
該回転スピンドルの他端に開口する連通路が該スピンドルハウジングの他端に設けられた密閉室を介して該モータ収容室に連通されている、
ことを特徴とする回転工具を装着するスピンドルユニット機構が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によるスピンドルユニット機構は上述したように構成され、高圧エアー供給手段が作動し回転スピンドルがエアー層によってエアー支持された状態で、電動モータを作動することにより回転スピンドルの一端に設けられたマウンターが回転せしめられると、マウンターの外周面に開口している複数の排気通路の開口部が負圧となり、複数の排気通路内のエアーが排出され、連通路および密閉室を介してモータ収容室内のエアーが吸引される。この結果、モータ収容室に連通している上記ラジアル軸受部およびスラスト軸受部に形成されるエアー層の排気が減圧されるため、上記エアー軸受け部に供給される高圧エアーの圧力とエアー層との圧力差が大きくなり、例えば高圧エアーのゲージ圧が０．５Mpaから０．５５Mpaに上昇したのと同様の機能が生ずる。従って、工場に設置された共通の高圧エアー源のエアー圧力よりも実質的に高いエアー圧力機能によって回転スピンドルをエアー支持することになり、支持剛性が高められる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に従って構成されたスピンドルユニット機構を装備した研削装置の斜視図。
【図２】本発明に従って構成されたスピンドルユニット機構の断面図。
【図３】図２に示すスピンドルユニット機構を構成するマウンターの底面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明に従って構成された回転工具を装着するスピンドルユニット機構の好適な実施形態について、添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
【００１４】
図１には、回転工具としての研削ホイールを装着したスピンドルユニット機構が装備されている研削装置の斜視が示されている。
図１に示す研削装置は、全体を番号２で示す装置ハウジングを具備している。この装置ハウジング２は、細長く延在する直方体形状の主部２１と、該主部２１の後端部（図１において右上端）に設けられ実質上鉛直に上方に延びる直立壁２２とを有している。直立壁２２の前面には、上下方向に延びる一対の案内レール２２１、２２１が設けられている。この一対の案内レール２２１、２２１に研削手段としての研削ユニット３が上下方向に移動可能に装着されている。
【００１５】
研削ユニット３は、移動基台３１と該移動基台３１に装着されたスピンドルユニット４を具備している。移動基台３１は、後面両側に上下方向に延びる一対の脚部３１１、３１１が設けられており、この一対の脚部３１１、３１１に上記一対の案内レール２２１、２２１と摺動可能に係合する被案内溝３１２、３１２が形成されている。このように直立壁２２に設けられた一対の案内レール２２１、２２１に摺動可能に装着された移動基台３１の前面には前方に突出した支持部３１３が設けられている。この支持部３１３にスピンドルユニット４が取り付けられる。
【００１６】
スピンドルユニット４は、支持部３１３に装着された円筒状のスピンドルハウジング４１と、該スピンドルハウジング４１に回転自在に配設された回転スピンドル４２とを具備している。このスピンドルユニット４について、図２を参照して説明する。図２に示す回転スピンドル４２は、外周面に径方向に突出するスラストプレート４２１が設けられており、一端部（下端部）がスピンドルハウジング４１の一端（下端）より下方に突出して配設されている。この回転スピンドル４２の一端（下端）にはマウンター４３が設けられており、該マウンター４３の下面に回転工具としての研削ホイール４４が取付けられる。研削ホイール４４は、円環状のホイール基台４４１と該ホイール基台４４１の下面に装着される複数の研削砥石４４２とからなっており、ホイール基台４４１がマウンター４３の下面に締結ボルト４５によって取付けられる。
【００１７】
上記回転スピンドル４２を回転自在に支持する円筒状のスピンドルハウジング４１は、軸方向に貫通する軸穴４１１を備えている。このスピンドルハウジング４１に形成された軸穴４１１を挿通して上記回転スピンドル４２が配設される。スピンドルハウジング４１に形成された軸穴４１１の中央部内周面には、軸方向に所定の間隔を置いて複数の環状のエアー供給溝４１２a、４１２b、４１２c、４１２d、４１２eが形成されている。また、スピンドルハウジング４１には、複数の環状のエアー供給溝４１２a、４１２b、４１２c、４１２d、４１２eにそれぞれ開口する複数のエアー供給孔４１３a、４１３b、４１３c、４１３d、４１３eと、該エアー供給孔４１３a、４１３b、４１３c、４１３d、４１３eと連通する連通路４１４が形成されている。この連通路４１４が後述するエアー供給手段に接続されている。従って、後述するエアー供給手段によって高圧エアーを供給することにより、連通路４１４および複数のエアー供給孔４１３a、４１３b、４１３c、４１３d、４１３eを介して複数の環状のエアー供給溝４１２a、４１２b、４１２c、４１２d、４１２eに高圧エアーが供給される。この結果、スピンドルハウジング４１の軸穴４１１の内周面と回転スピンドル４２の外周面との間には高圧エアーによってエアー層が形成され、回転スピンドル４２はエアー層によって回転自在にエアー支持される。従って、スピンドルハウジング４１の軸穴４１１の内周面と複数の環状のエアー供給溝４１２a、４１２b、４１２c、４１２d、４１２eおよび複数のエアー供給孔４１３a、４１３b、４１３c、４１３d、４１３eは、回転スピンドル４２を回転自在にエアー支持するラジアル軸受部として機能する。
【００１８】
上記スピンドルハウジング４１の下部には回転スピンドル４２に設けられたスラストプレート４２１を収容するプレート収容室４１５が形成されている。このプレート収容室４１５を形成する上壁４１５aには、軸穴４１１を中心として径が異なる複数の環状のエアー供給溝４１６a、４１６b、４１６cが径方向に所定の間隔を置いて形成されている。また、プレート収容室４１５を形成する下壁４１５bには、軸穴４１１を中心として径が異なる複数の環状のエアー供給溝４１７a、４１７b、４１７cが径方向に所定の間隔を置いて形成されている。この複数のエアー供給溝４１６a、４１６b、４１６cおよび複数のエアー供給溝４１７a、４１７b、４１７cは、それぞれ複数のエアー供給孔４１８a、４１８b、４１８cおよび複数のエアー供給孔４１９a、４１９b、４１９cを介して上記連通路４１４に連通している。従って、後述するエアー供給手段によって高圧エアーを供給することにより、連通路４１４、複数のエアー供給孔４１８a、４１８b、４１８cおよび複数のエアー供給孔４１９a、４１９b、４１９c、複数の環状のエアー供給溝４１６a、４１６b、４１６cおよび複数の環状のエアー供給溝４１７a、４１７b、４１７cを介して高圧エアーがプレート収容室４１５に供給される。この結果、プレート収容室４１５の上壁４１５aおよび下壁４１５bとスラストプレート４２１との間に高圧エアーによってエアー層が形成され、スラストプレート４２１はエアー層によってエアー支持される。従って、プレート収容室４１５と複数の環状のエアー供給溝４１６a、４１６b、４１６cおよびエアー供給溝４１７a、４１７b、４１７cと複数のエアー供給孔４１８a、４１８b、４１８cおよび複数のエアー供給孔４１９a、４１９b、４１９cは、スラストプレート４２１を軸方向に対してエアー支持するスラスト軸受部として機能する。
【００１９】
図示の実施形態におけるスピンドルユニット４は、スピンドルハウジング４１の他端部（上端部）に上記ラジアル軸受部に形成されるエアー層および上記スラスト軸受部に形成されるエアー層に連通するモータ収容室４１０が設けられている。このモータ収容室４１０に上記回転スピンドル４２を回転駆動するための電動モータ４６が配設されている。図示の実施形態における電動モータ４６は、永久磁石式モータによって構成されている。永久磁石式の電動モータ４６は、回転スピンドル４２の上端部に形成されたモータ装着部４２２に装着された永久磁石からなるロータ４６１と、該ロータ４６１の外周側においてモータ収容室４１０に配設されたステータコイル４６２とからなっている。このように構成された電動モータ４６は、ステータコイル４６２に交流電力を印加することによりロータ４６１が回転し、該ロータ４６１を装着した回転スピンドル４２を回転せしめる。また、上記スピンドルハウジング４１の他端部（上端部）には、回転スピンドル４２の他端部（上端部）を覆い上記モータ収容室４１０に連通する密閉室４７０を形成するキャップ４７が配設されている。
【００２０】
図２を参照して説明を続けると、回転スピンドル４２には、軸心方向に形成された連通路４２３が設けられている。この連通路４２３は、回転スピンドル４２の他端面（上端面）に開口し、上記密閉室４７０と連通している。また、マウンター４３には、図３に示すように径方向に放射状に形成された複数（図示の実施形態においては８本）の排気通路４３１が設けられている。この複数の排気通路４３１は、上記締結ボルト４５が挿通する４個のボルト挿通穴４３０の間にそれぞれ２本形成され、一端が上記連通路４２３と連通し、他端がマウンター４３の外周面に開口して設けられている。
【００２１】
図２を参照して説明を続けると、図示の実施形態における研削手段としての研削ユニット３は、上記ラジアル軸受部およびスラスト軸受部に高圧エアーを供給するエアー供給手段４８を具備している。エアー供給手段４８は、高圧エアー源４８１と、該高圧エアー源４８１と上記スピンドルハウジング４１に形成された連通路４１４とを接続する配管４８２と、該配管４８２に配設された電磁開閉弁４８３とからなっており、電磁開閉弁４８３は図示しない制御手段によって制御される。上記電磁開閉弁４８３は、図示の実施形態においては除勢(OFF)されている状態においては閉路しており、附勢(ON)されると開路するように構成されている。なお、高圧エアー源４８１は、工場に設置された共通の高圧エアー源で、例えばゲージ圧で０．５Mpaの高圧エアーを供給する。
【００２２】
図示の実施形態におけるエアー供給手段４８は以上のように構成されており、電磁開閉弁４８３が附勢(ON)されると、高圧エアー源４８１の高圧エアーが配管４８２と上記連通路４１４および複数のエアー供給孔４１３a、４１３b、４１３c、４１３d、４１３eを介して複数の環状のエアー供給溝４１２a、４１２b、４１２c、４１２d、４１２eからスピンドルハウジング４１の軸穴４１１の内周面と回転スピンドル４２との間に供給される。この結果、スピンドルハウジング４１の軸穴４１１の内周面と回転スピンドル４２の外周面との間にエアー層が形成され、このエアー層によって回転スピンドル４２は回転自在にエアー支持される。一方、上記高圧エアー源４８１から配管４８２を介して上記連通路４１４に流入した高圧エアーは、複数の流体供給孔４１８a、４１８b、４１８cおよび複数のエアー供給孔４１９a、４１９b、４１９c、複数の環状の流体供給溝４１６a、４１６b、４１６cおよび複数の環状のエアー供給溝４１７a、４１７b、４１７cを介してプレート収容室４１５に供給される。この結果、プレート収容室４１５の上壁４１５aおよび下壁４１５bとスラストプレート４２１との間に高圧エアーによってエアー層が形成され、スラストプレート４２１はエアー層によってエアー支持される。このようにして、回転スピンドル４２がエアー層によってエアー支持された状態で、電動モータ４６を作動することにより回転スピンドル４２を回転すると、該回転スピンドル４２の一端（下端）に設けられたマウンター４３が回転せしめられる。マウンター４３が回転すると、マウンター４３の外周面に開口している複数の排気通路４３１の開口部が負圧となり、複数の排気通路４３１内のエアーが排出される。このように複数の排気通路４３１内のエアーが排出されると、連通路４２３および密閉室４７０を介してモータ収容室４１０内のエアーが吸引される。この結果、モータ収容室４１０に連通している上記ラジアル軸受部に形成されるエアー層およびスラスト軸受部に形成されるエアー層の排気が減圧されるため、上記エアー軸受け部に供給される高圧エアーの圧力とエアー層との圧力差が大きくなり、例えば高圧エアーのゲージ圧が０．５Mpaから０．５５Mpaに上昇したのと同様の機能が生ずる。
【００２３】
図１に戻って説明を続けると、図示の実施形態における研削装置は、上記研削ユニット３を上記一対の案内レール２２１、２２１に沿って上下方向（後述するチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向）に移動せしめる研削送り手段５を備えている。この研削送り手段５は、直立壁２２の前側に配設され上下方向に延びる雄ねじロッド５１を具備している。この雄ねじロッド５１は、その上端部および下端部が直立壁２２に取り付けられた軸受部材５２および５３によって回転自在に支持されている。上側の軸受部材５２には雄ねじロッド５１を回転駆動するための駆動源としてのパルスモータ５４が配設されており、このパルスモータ５４の出力軸が雄ねじロッド５１に伝動連結されている。移動基台３１の後面にはその幅方向中央部から後方に突出する連結部（図示していない）も形成されており、この連結部には上下方向に延びる貫通雌ねじ穴（図示していない）が形成されており、この雌ねじ穴に上記雄ねじロッド５１が螺合せしめられている。従って、パルスモータ５４が正転すると移動基台３１即ち研削ユニット３が下降即ち前進せしめられ、パルスモータ５４が逆転すると移動基台３１即ち研削ユニット３が上昇即ち後退せしめられる。
【００２４】
図１を参照して説明を続けると、ハウジング２の主部２１にはチャックテーブル機構６が配設されている。チャックテーブル機構６は、被加工物保持手段としてのチャックテーブル６１と、該チャックテーブル６１の周囲を覆うカバー部材６２と、該カバー部材６２の前後に配設された蛇腹手段６３および６４を具備している。チャックテーブル６１は、図示しない回転駆動機構によって回転せしめられるようになっており、その上面に被加工物であるウエーハを図示しない吸引手段を作動することにより吸引保持するように構成されている。また、チャックテーブル６１は、図示しないチャックテーブル移動手段によって図１に示す被加工物載置域２４と上記研削ユニット３のスピンドルユニット４を構成する研削ホイール４４と対向する研削域２５との間で移動せしめられる。蛇腹手段６３および６４はキャンパス布の如き適宜の材料から形成することができる。蛇腹手段６３の前端は主部２１の前面壁に固定され、後端はカバー部材６２の前端面に固定されている。また、蛇腹手段６４の前端はカバー部材６２の後端面に固定され、後端は装置ハウジング２の直立壁２２の前面に固定されている。チャックテーブル６１が矢印２３ａで示す方向に移動せしめられる際には蛇腹手段６３が伸張されて蛇腹手段６４が収縮され、チャックテーブル６１が矢印２３ｂで示す方向に移動せしめられる際には蛇腹手段６３が収縮されて蛇腹手段６４が伸張せしめられる。
【００２５】
図示の実施形態における研削装置は以上のように構成されており、以下その作用について説明する。
図１に示すように研削装置の被加工物載置域２４に位置付けられているチャックテーブル６１の上面である保持面上に被加工物としてのウエーハWを載置する。なお、ウエーハWにはデバイスが形成された表面にデバイスを保護するための保護テープTが貼着されており、この保護テープT側をチャックテーブル６１の上面に載置する。このようにしてチャックテーブル６１上に被加工物としてのウエーハWを載置したならば、図示しない吸引手段を作動することにより、チャックテーブル６１上に保護テープTを介して載置されたウエーハWが吸引保持される。このようにして、チャックテーブル６１上にウエーハWを吸引保持したならば、図示しないチャックテーブル移動手段を作動してチャックテーブル６１を矢印２３ａで示す方向に移動し研削域２５に位置付ける。
【００２６】
このようにチャックテーブル６１が研削域２５に位置付けられたならば、チャックテーブル６１を所定の方向に例えば３００rpmの回転速度で回転するとともに、研削ユニット３のスピンドルユニット４を構成する電動モータ４６を駆動して回転スピンドル４２を回転し研削ホイール４４を所定の方向に例えば６０００rpmの回転速度で回転する。このとき、図２に示すエアー供給手段４８の電磁開閉弁４８３は既に開路されている。従って、高圧エアー源４８１の高圧エアーが配管４８２と上記連通路４１４および複数のエアー供給孔４１３a、４１３b、４１３c、４１３d、４１３eを介して複数の環状のエアー供給溝４１２a、４１２b、４１２c、４１２d、４１２eからスピンドルハウジング４１の軸穴４１１の内周面と回転スピンドル４２との間に供給されている。この結果、上述したようにスピンドルハウジング４１の軸穴４１１の内周面と回転スピンドル４２の外周面との間にエアー層が形成され、このエアー層によって回転スピンドル４２は回転自在にエアー支持される。一方、上記高圧エアー源４８１から配管４８２を介して上記連通路４１４に流入した高圧エアーは、複複数の流体供給孔４１８a、４１８b、４１８cおよび複数のエアー供給孔４１９a、４１９b、４１９c、複数の環状の流体供給溝４１６a、４１６b、４１６cおよび複数の環状のエアー供給溝４１７a、４１７b、４１７cを介してプレート収容室４１５に供給される。この結果、上述したようにプレート収容室４１５の上壁４１５aおよび下壁４１５bとスラストプレート４２１との間に高圧エアーによってエアー層が形成され、スラストプレート４２１はエアー層によってエアー支持される。このようにして、回転スピンドル４２がエアー層によってエアー支持された状態で、電動モータ４６を作動することにより回転スピンドル４２の一端（下端）に設けられたマウンター４３が回転せしめられると、上述したようにマウンター４３の外周面に開口している複数の排気通路４３１の開口部が負圧となり、複数の排気通路４３１内のエアーが排出され、連通路４２３および密閉室４７０を介してモータ収容室４１０内のエアーが吸引される。この結果、上述したようにモータ収容室４１０に連通している上記ラジアル軸受部に形成されるエアー層およびスラスト軸受部に形成されるエアー層の排気が減圧されるため、上記エアー軸受け部に供給される高圧エアーの圧力とエアー層との圧力差が大きくなり、例えば高圧エアーのゲージ圧が０．５Mpaから０．５５Mpaに上昇したと同様に機能が生ずる。従って、高圧エアー源４８１のエアー圧力よりも実質的に高いエアー圧力機能によって回転スピンドル４２をエアー支持することになり、支持剛性が高められる。
【００２７】
研削送り手段５のパルスモータ５４を正転駆動して研削ユニット３を下降し、研削ホイール４４の複数の研削砥石４４２の研削面をチャックテーブル６１に保持されたウエーハWの上面（裏面）に接触させ所定量研削送りする。この結果、チャックテーブル６１に保持されたウエーハWは、所定の厚さに研削される。このとき、上述したように回転スピンドル４２は高い支持剛性をもってエアー支持されているので、チャックテーブル６１に保持されたウエーハWは良好に研削される。
【００２８】
以上、本発明を図示の実施形態に基いて説明したが、本発明は実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲で種々の変形は可能である。例えば、図示の実施形態においては、研削ユニット３のスピンドルユニット４を構成する回転スピンドル４２のエアー軸受機構に本発明を適用した例を示したが、本発明は切削装置の切削ブレードを装着する回転スピンドルのエアー軸受するスピンドルユニットに適用しても同様の作用効果が得られる。
【符号の説明】
【００２９】
２：装置ハウジング
３：研削ユニット
３１：移動基台
４：研削ユニットのスピンドルユニット
４１：スピンドルハウジング
４１０：モータ収容室
４１５：プレート収容室
４２：回転スピンドル
４２１：スラストプレート
４２３：連通路
４３：ホイールマウター
４３１：排気通路
４４：研削ホイール
４６：電動モータ
４７０：密閉室
４８：エアー供給手段
４８３：電磁開閉弁
５：研削送り手段
６：チャックテーブル機構
６１：チャックテーブル
【図１】
0005437046.tif 000002
【図２】
0005437046.tif 000003
【図３】
0005437046.tif 000004