(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に溶液を噴射塗布するノズルが形成された塗布ヘッドと、
前記塗布ヘッドのノズル面に摺接し、このノズル面に付着した溶液を拭き取る拭取手段とを有してなる塗布装置において、
前記拭取手段は、吸液性を備え横断面形状が円形の円柱形をなす弾性変形可能な拭取部材と、前記拭取部材の横断面形状の外周部を支持する取付ブラケットと、を有し、
前記取付ブラケットは、
前記拭取部材の横断面形状の外周部を下方から支持する下支持部と、
この下支持部から前記拭取部材の半径よりも高い位置における２箇所で、前記拭取部材の横断面形状の外周部に上方から接する一対の上支持部と、
を備えてなることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記取付ブラケットは、前記拭取部材を周方向において回り止めする回り止め部を備えてなる請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記拭取部材は、弾性材料からなる芯材と、この芯材の周囲に設けられた繊維材料とで構成されてなる請求項１又は２に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記芯材は、中空状に形成されてなる請求項３に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記塗布ヘッドは、複数設けられてなり、
前記拭取部材は、前記塗布ヘッド毎に設けられてなる請求項１〜４のいずれかに記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の表面に溶液を噴射塗布する塗布装置に係り、特に塗布ヘッドのノズル面に付着した溶液を拭き取る拭取手段を有してなる塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶表示装置の製造工程では、ガラス基板の表面に配向膜等の機能性薄膜が成膜される。従来、基板の表面に機能性薄膜を成膜する場合、その材料となる溶液（機能性薄膜を形成する溶液）を基板の表面に噴射して塗布するインクジェット方式の塗布装置を用いている。
【０００３】
この塗布装置は、基板を搬送するテーブルを有しており、テーブルの上側には、複数の塗布ヘッドが基板の搬送方向に対して交差するように並設されている。各塗布ヘッドの下面であるノズル面には、多数のノズルが並設されており、これらのノズルから塗布ヘッドの下側を搬送される基板に向けて溶液が噴射される。
【０００４】
ところで、配向膜の材料として使用されるポリイミド溶液は、有機溶剤によって希釈されている。通常、この有機溶剤は揮発性を有しているため、溶液の塗布を行わない時間が一定時間続くと、塗布ヘッドのノズル面に付着残留する溶液中のポリイミドの濃度が高まり、ノズル面又はノズルの孔内で固形化し、ノズルからの溶液の正常な吐出を困難にする。
【０００５】
そこで、従来技術では、特許文献１に記載の如く、塗布ヘッドによる溶液の塗布が終了したとき、ゴム等のブレード状拭取部材によりノズル面に付着残留している溶液を拭き取ることとしている。
【０００６】
また、特許文献２に記載の如く、吸液性の拭取部材により、ノズル面に付着残留している溶液を吸収して拭き取るものもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開2005-103453
【特許文献２】特開2005-305845
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１、２に記載の如くの拭取部材は、基板を搬送するテーブルに設けられる取付ブラケットに、ねじ止め等の締結手段により固定されている。
【０００９】
吸液性を備えた拭取部材は、吸液量が限界に達したら交換されるが、ねじ止め等の締結手段の着脱に煩わしい作業を強いられていた。塗布ヘッドに装備されている個数分の拭取部材を交換するのに、相当の時間を必要とし、塗布装置の休止時間も長くなり、生産性を低下させていた。
【００１０】
本発明の課題は、塗布ヘッドのノズル面に付着した溶液を吸液性の拭取部材により拭き取る塗布装置において、取付ブラケットに対する拭取部材の着脱作業性を簡易化し、塗布装置の生産性を向上することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、基板の表面に溶液を噴射塗布するノズルが形成された塗布ヘッドと、
前記塗布ヘッドのノズル面に摺接し、このノズル面に付着した溶液を拭き取る拭取手段とを有してなる塗布装置において、
前記拭取手段は、吸液性を備え横断面形状が円形の円柱形をなす弾性変形可能な拭取部材と、前記拭取部材の横断面形状の外周部を支持する取付ブラケットと、を有し、
前記取付ブラケットは、
前記拭取部材の横断面形状の外周部を下方から支持する下支持部と、
この下支持部から前記拭取部材の半径よりも高い位置における２箇所で、前記拭取部材の横断面形状の外周部に上方から接する一対の上支持部と、
を備えてなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、塗布ヘッドのノズル面に付着した溶液を吸液性の拭取部材により拭き取る塗布装置において、取付ブラケットに対する拭取部材の着脱作業性を簡易化し、塗布装置の生産性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は塗布装置を示す正面図である。
【図２】図２は塗布装置を示す側面図である。
【図３】図３は拭取手段による拭取動作を示す模式図である。
【図４】図４は拭取手段を示す正面図である。
【図５】図５は拭取手段を示し、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は平面図である。
【図６】図６は拭取手段の押込量と荷重の関係を示す線図である。
【図７】図７は拭取手段の変形例を示す正面図である。
【図８】図８は拭取手段を示し、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１と図２に示す如く、本発明の塗布装置はベース１を有する。ベース１の上面には所定間隔で離間した一対のレール２がベース１の長手方向に沿って設けられている。レール２にはテーブル３が移動可能に設けられ、駆動源（不図示）により走行駆動されるようになっている。テーブル３の上面には多数の支持ピン４が設けられ、これら支持ピン４には液晶表示装置等に用いられるガラス製の基板Ｗが供給支持される。
【００１９】
上記テーブル３によって搬送される基板Ｗの上側には、カラーレジストや配向膜等の機能性薄膜を形成するための溶液を基板Ｗに噴射塗布する複数、この実施の形態では３個のインクジェット方式の塗布ヘッド７が基板Ｗの搬送方向とほぼ直交する方向に沿って千鳥状に配設されている。
【００２０】
以下、塗布装置が有する拭取手段２０について説明する。拭取手段２０は、テーブル３に支持され、塗布ヘッド７においてノズル１４が開口している下面からなるノズル面１１Ａに摺接し、このノズル面１１Ａに付着した溶液を拭き取る。拭取手段２０は、吸液性を備えた拭取部材２１を、テーブル３に設けられる取付ブラケット３０に着脱自在に固定可能にする。本実施例では、３個の塗布ヘッド７のそれぞれに対し、１対１で拭取手段２０を配置している。
【００２１】
即ち、図１、図２に示す如く、テーブル３の一端面にはＬ字状の支持部材４０が垂直な一辺をテーブル３の端面に固定して設けられ、支持部材４０の水平な他辺の中央には、昇降手段４１を構成する空圧シリンダ（ボールねじ装置、リニアモータでも可）が軸線を垂直にして設けられている。
【００２２】
昇降手段４１のロッドには載置板４３が取付けられ、載置板４３の３位置のそれぞれには中間部材４４を介して取付ブラケット３０が固定されている。３個の各取付ブラケット３０には、拭取部材２１がそれぞれ後述する如くに着脱自在に固定される。各取付ブラケット３０に固定された拭取部材２１は、塗布ヘッド７のノズル面１１Ａと概ね同一幅をなし、それらのノズル面１１Ａに摺接できる。
【００２３】
本実施例では、単一の昇降手段４１が３個の拭取手段２０の各取付ブラケット３０に固定された拭取部材２１を一括して同時に同一ストローク上昇させる。そして、各塗布ヘッド７により基板Ｗに溶液を塗布するときに、各拭取部材２１を各塗布ヘッド７のノズル面１１Ａに摺接し得る高さに設定しておく。
【００２４】
各拭取部材２１により拭き取られたノズル面１１Ａの溶液は、それらの拭取部材２１により吸収されるが、それらの拭取部材２１から落下する溶液は、載置板４３に設けられている回収槽４５に滴下し、回収タンク４５Ａに回収される（図２）。即ち、載置板４３に回収槽４５の内底部が設けられ、この回収槽４５の一側にはガイド板４６が設けられ、このガイド板４６にはガイド部材４７が設けられている。このガイド部材４７はテーブル３の端面の上下に延在されているガイドレール４８にガイドされて上下動する。昇降手段４１が駆動されるとき、載置板４３が駆動されるとともに、ガイド板４６がガイドレール４８に沿って上下動し、拭取部材２１及び取付ブラケット３０とともに回収槽４５が上下動する。
【００２５】
従って、塗布装置にあっては、テーブル３の上面に載置された基板Ｗが、テーブル３とともにレール２に沿う方向に搬送される。そして、搬送される基板Ｗ上の塗布対象領域が塗布ヘッド７の下側に到達タイミングに合わせて塗布対象領域に対向するノズル１４から基板Ｗに向けて溶液が噴射される。更に、テーブル３が駆動され、基板Ｗが各塗布ヘッド７の下側を通過した後、昇降手段４１によって予め所定の高さに設定されている各拭取手段２０の拭取部材２１が各塗布ヘッド７のノズル面１１Ａに摺接し、そのノズル面１１Ａに付着残留する溶液を拭き取ることができる。尚、テーブル３が上述と逆方向に移動するときには、昇降手段４１によって各拭取手段２０を下降させておき、拭取部材２１がノズル面１１Ａに接触しないようにする。
【００２６】
以下、拭取手段２０の詳細構造について説明する。
拭取手段２０の拭取部材２１は、例えば不織布等の吸液性の繊維材料で構成される。本実施例では、シリコンチューブ等の弾性材料からなる筒状芯材２２の周囲に上述の如くの繊維材料からなる吸液体２３を配設して構成される。尚、筒状芯材２２は、金属、プラスチック等の硬い材料から構成されても良い。芯材２２は、中空状に限らず、中実状でも良いが、両端面に工具係入孔となる孔部を備えることができる。この芯材２２を備えた拭取部材２１が取付ブラケット３０に着脱されるとき、着脱用工具の係止突部をこの孔部に係入できる。
【００２７】
ここで、拭取部材２１は、吸液体２３が芯材２２を中心軸とする円柱形をなすものにし、横断面形状たる円形の両側部を外方に向けて凸状（円弧状）に張り出すとともに、弾性変形できる膨らみ部２３Ｆ、２３Ｆとする。尚、拭取部材２１は、横断面形状の両側部を外方に向けて凸状に張り出すとともに、弾性変形できる膨らみ部とするものであれば、円柱形に限らず、五角柱、六角柱等の多角柱をなすものでも良い。
【００２８】
拭取手段２０の取付ブラケット３０は、前述の昇降手段４１に支持されている中間部材４４の上端部に取付板３１を固定し、取付板３１の水平方向の前端部に下板３２を接続し、下板３２の水平方向の前後両端部に背の低い前板３３及び後板３４を該下板３２の幅方向の全長に渡って立設し、下板３２の幅方向の左右両端部に左右の側板３５、３５を立設している。両側板３５は概ねＴ字状をなし、その脚部３５Ａを下板３２に固定している。そして、両側板３５の頭部３５Ｂの前端部間に棒３６を固定的に架け渡すとともに、それらの頭部３５Ｂの後端部間に棒３７を固定的に架け渡している。棒３６、３７は、それぞれ六角柱形状をなし、下板３２の上面から、拭取部材２１における吸液体２３がなす円柱形の半径Ｒより高い高さＨの位置に設けられ、互いに平行配置される。両側板３５は頭部３５Ｂの前後の中央部にＵ字状切欠部３５Ｃを設けている。
【００２９】
取付ブラケット３０は、拭取部材２１を固定した状態で、図３に示す如く、拭取部材２１の芯材２２の両端面を両側板３５のＵ字状切欠部３５Ｃから外界に臨ませる。そして、取付ブラケット３０は、拭取部材２１における吸液体２３の横断面形状の下側外周部２３Ｌを支持する下支持部３２Ａを下板３２の上面により形成し、拭取部材２１における吸液体２３の横断面形状の両側の膨らみ部２３Ｆ、２３Ｆのそれぞれに隣接する上側外周部２３Ｕ、２３Ｕのそれぞれを上方から押さえる両側の上支持部３６Ａ、３７Ａを棒３６、３７の外周面により形成する。取付ブラケット３０における両側の上支持部３６Ａ、３７Ａは、拭取部材２１の両側の膨らみ部２３Ｆ、２３Ｆがなす幅寸法Ｆ（Ｆ＝2Ｒ）より小さい間隔Ａをなし、互いに平行配置されている。
【００３０】
尚、取付ブラケット３０は、下板３２の下支持部３２Ａを挟む前板３３と後板３４の各上端部を、拭取部材２１における下側外周部２３Ｌの両側外周部に当接してこれを支持する下支持部３３Ａ、３４Ａとしている。
【００３１】
従って、本実施例によれば、以下の作用効果を奏する。
(a)拭取部材２１が横断面形状の両側部を外方に向けて凸状に張り出すとともに、弾性変形できる膨らみ部２３Ｆ、２３Ｆとしている。そして、取付ブラケット３０が、拭取部材２１の横断面形状の下側外周部２３Ｌを支持する下支持部３２Ａと、拭取部材２１の横断面形状の両側の膨らみ部２３Ｆ、２３Ｆのそれぞれに隣接する上側外周部２３Ｕ、２３Ｕのそれぞれを上方から押さえる両側の上支持部３６Ａ、３７Ａとを備える。
【００３２】
従って、拭取部材２１を取付ブラケット３０に取付けるときには、拭取部材２１を図４に示す如く、取付ブラケット３０の両側の上支持部３６Ａ、３７Ａの間隔内に対し上方から押込む。拭取部材２１は、両側の膨らみ部２３Ｆ、２３Ｆが弾性変形して圧縮されながら取付ブラケット３０の両側の上支持部３６Ａ、３７Ａの間隔内を上から下へと通過し、下側外周部２３Ｌが取付ブラケット３０の下支持部３２Ａに押し当てられる取付位置に位置付けられる。この取付位置では、拭取部材２１の両側の膨らみ部２３Ｆ、２３Ｆは復元し、拭取部材２１は両側の膨らみ部２３Ｆ、２３Ｆのそれぞれに隣接する上側外周部２３Ｕ、２３Ｕを取付ブラケット３０の両側の上支持部３６Ａ、３７Ａに押さえられて抜け止めされ、かつ下側外周部２３Ｌを取付ブラケット３０の下支持部３２Ａに押付けられて支持され、結果として拭取部材２１は外周部の少なくとも上２点、及び下１点を圧迫されて全３点支持される。拭取部材２１はこの安定な３点支持状態で確実に固定され、塗布ヘッド７のノズル面１１Ａに摺接し、このノズル面１１Ａに付着した溶液を拭き取り可能にする。
【００３３】
尚、本実施例では、拭取部材２１は、下側外周部２３Ｌの両側外周部の２点も取付ブラケット３０の下支持部３３Ａ、３４Ａに圧迫されて支持され、結果として一層安定確実に全５点支持される。
【００３４】
他方、拭取部材２１の吸液量が設定された使用限界に達した交換時には、取付ブラケット３０内の上述した取付位置にある拭取部材２１を、取付ブラケット３０の両側の上支持部３６Ａ、３７Ａの間隔内から上方に向けて引き上げる。拭取部材２１は、両側の膨らみ部２３Ｆ、２３Ｆが弾性変形して圧縮されながら取付ブラケット３０の両側の上支持部３６Ａ、３７Ａの間隔内を下から上へと通過し、取付ブラケット３０から取外される。この後、新規の拭取部材２１が新たに取付ブラケット３０に取付けられて使用に供される。
【００３５】
拭取部材２１は、取付ブラケット３０の両側の上支持部３６Ａ、３７Ａの間隔内に押込み、又は両側の上支持部３６Ａ、３７Ａの間隔内から引上げることにより、取付ブラケット３０内の取付位置に簡易に着脱できる。
【００３６】
尚、拭取部材２１の取付ブラケット３０からの取外し時には、側板３５のＵ字状切欠部３５Ｃから外界に臨んでいる拭取部材２１の芯材２２の工具係入孔に着脱用工具の係止突部を係入し、拭取部材２１を取付ブラケット３０から引上げる引上げ力をこの工具により拭取部材２１に及ぼす。尚、着脱用工具としては、芯材２２の工具係入孔に挿入可能な突起部を備えた工具であれば良い。
【００３７】
(b)取付ブラケット３０内の上述した取付位置に位置付けられた拭取部材２１は、取付ブラケット３０の下支持部３２Ａと両側の上支持部３６Ａ、３７Ａにより、外周部の少なくとも３点を弾発的に押さえられ、取付ブラケット３０に対し回転不能に固定される。従って、拭取部材２１は塗布ヘッド７のノズル面１１Ａに対する溶液の拭き取り作業を何回も繰り返すとき、前回までの拭き取った溶液により濡れている拭取作業面でノズル面１１Ａを拭くものになり、拭取後のノズル面１１Ａが過度に乾燥することなく湿潤状態に保たれ、安定した吐出性能を維持できる。拭取部材２１が取付ブラケット３０に対し回転し、拭取部材２１の新規拭取作業面が新たなノズル面１１Ａに接することになる場合には、未だ濡れていない新規拭取作業面が当該ノズル面１１Ａの溶液を残すところなく除去し尽くし、その後の当該ノズル面１１Ａを乾燥させ易くして当該ノズル面１１Ａに固形異物を生じさせるおそれがある。
【００３８】
(c)取付ブラケット３０の下支持部３２Ａ、３３Ａ、３４Ａと両側の上支持部３６Ａ、３７Ａとの間の空間は拭取部材２１を支持しない不支持領域になる。従って、取付ブラケット３０内の取付位置に取付けられた拭取部材２１が塗布ヘッド７のノズル面１１Ａに摺接して拭取作業するために、拭取部材２１をノズル面１１Ａに対して一定の押込量だけ押込んだとき、ノズル面１１Ａが拭取部材２１に作用する荷重の一部が取付ブラケット３０の上記不支持領域から逃げる。ノズル面１１Ａに対する拭取部材２１の押込量を大きくしても、ノズル面１１Ａが拭取部材２１に適正な荷重（一定の拭取り性能を確保するに必要な最小許容荷重Ｆ1〜急速な摩耗を生じさせない最大許容荷重Ｆ2の範囲内にあって良好な拭取作業性を維持するに足る荷重）よりも過大な荷重が生ずることを回避し、拭取部材２１の急速な摩耗を防止する。
【００３９】
ここで、拭取部材２１に作用する荷重とは、拭取部材２１がノズル面１１Ａに押込まれるとき、ノズル面１１Ａが拭取部材２１に及ぼす押込反力をいう。
【００４０】
(d)拭取部材２１が弾性材料からなる芯材２２の周囲に吸液体２３を配設して構成される。従って、取付ブラケット３０内の取付位置に取付けられた拭取部材２１が塗布ヘッド７のノズル面１１Ａに摺接して拭取作業するために、拭取部材２１をノズル面１１Ａに対して一定の押込量だけ押込んだとき、ノズル面１１Ａが拭取部材２１に及ぼす荷重の一部が、芯材２２の弾性圧縮変形及び弾性曲げ変形を生じさせて逃げる。このとき、拭取部材２１に実際に生ずる荷重と拭取部材２１の押込量との関係は図６に示したＡの如くになり、芯材２２が弾性材料により構成されていない拭取部材２１に生ずる荷重Ｂに比して緩やかに変化する。そのため、拭取部材２１に生ずる荷重が適正の範囲内となる拭取部材２１の押込量の幅が大きくなり、調整が容易化される。これにより、ノズル面１１Ａが拭取部材２１に適正な荷重よりも過大な荷重が生ずることを回避し、拭取部材２１の急速な摩耗を防止できる。
【００４１】
(e)複数の各塗布ヘッド７のそれぞれに対し、１対１で拭取部材２１を配置し、それらの複数の拭取部材２１を昇降手段４１により同一ストローク上昇させるとき、各塗布ヘッド７のノズル面１１Ａの高さ位置にバラツキがあると、各拭取部材２１が対応するノズル面１１Ａに当接後に押込まれる押込量にバラツキを生ずる。押込量が適正値よりも小さければ、拭取部材２１には適正な荷重よりも小さな荷重しか作用しないし、押込量が適正値よりも大きければ、拭取部材２１には適正な荷重よりも大きな荷重が作用してしまう。拭取部材２１に作用する荷重が前述の最小許容荷重Ｆ1より過小であったり、前述の最大許容荷重Ｆ2より過大であれば、前述の良好な拭取作業性を損なう。
【００４２】
ところが、本発明では、弾性材料からなる芯材２２を用いたことにより、拭取部材２１に生ずる荷重Ａが、図６に示した如く、芯材２２に弾性材料を用いていない拭取部材２１に生ずる荷重Ｂに比し、拭取部材２１がノズル面１１Ａに押込まれる押込量の増減（バラツキ）によって拭取部材２１に生ずる荷重の変化が小さい。従って、複数の塗布ヘッド７の間でそれらのノズル面１１Ａの高さ位置に上述の如くのバラツキがある場合でも、拭取部材２１に作用する荷重が適正な荷重の範囲（Ｆ1〜Ｆ2）を超えることを生じ難くすることができる。一部の拭取部材２１が対応する塗布ヘッド７のノズル面１１Ａとの間で過大な荷重を生じ、この荷重が当該塗布ヘッド７を突き上げる如くに衝突し、これが塗布ヘッド７の内部の液室１２の溶液を振動させ、ひいては液室１２に通ずるノズル１４に外気を取込み、当該塗布ヘッド７の吐出動作を損なう如くを回避できる。これにより、拭取部材２１の拭取性能や寿命を安定させることができる。
【００４３】
図７、図８に示した拭取手段２０は、図３〜図５に示した取付ブラケット３０を取付ブラケット３０Ａに代えたものである。取付ブラケット３０Ａは、拭取部材２１を下板３２の下支持部３２Ａ、前板３３の下支持部３３Ａ、後板３４の下支持部３４Ａ、及び両側の棒３６、３７の上支持部３６Ａ、３７Ａに対して回り止めする回り止め部５１Ａ、５２Ａ、５３Ａを設けた。
【００４４】
回り止め部５１Ａは、下板３２において、拭取部材２１における吸液体２３の下側外周部２３Ｌが当接する下面の一部を切欠いた角孔５１により形成される。拭取部材２１の吸液体２３が取付ブラケット３０に圧迫されて少なくとも３点支持（本実施例では５点支持）されるとき、下板３２の下面に臨む角孔５１のエッジが拭取部材２１における吸液体２３の下側外周部２３Ｌに食い込み、回り止めする。
【００４５】
回り止め部５２Ａは、下板３２の前端部に設けられる前板３３を間欠配置することにより形成される。拭取部材２１の吸液体２３が取付ブラケット３０に圧迫されて５点支持されるとき、各前板３３の上端角エッジが拭取部材２１における吸液体２３の外周部に食い込み、回り止めする。
【００４６】
回り止め部５３Ａは、下板３２の後端部に設けられる後板３４の上端面の複数位置に設けた剣山状突起５３により形成される。拭取部材２１の吸液体２３が取付ブラケット３０に圧迫されて５点支持されるとき、各突起５３が拭取部材２１における吸液体２３の外周部に食い込み、回り止めする。
【００４７】
取付ブラケット３０Ａが回り止め部５１Ａ、５２Ａ、５３Ａを設けたことにより、拭取部材２１を取付ブラケット３０に対し一層確実に回転不能に固定するものになり、前述(b)の拭取部材２１がノズル面１１Ａに対する拭取作業性を一層向上する。
【００４８】
以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、取付ブラケット３０において、拭取部材２１の横断面形状の下側外周部２３Ｌを支持する下支持部３２Ａは下板３２の如くの板によらず、２本の平行配置される棒によって構成されても良い。但し、この下支持部３２Ａを構成する２本の棒は、拭取部材２１が弾性変形したとしても、その膨らみ部２３Ｆが通過できない間隔で配置されていれば良い。
【００４９】
また、本発明が適用される塗布装置にあっては、複数の拭取手段２０のそれぞれに個別に昇降手段４１を設け、各拭取手段２０の取付ブラケット３０に固定された取付部材２１を個別に昇降させるものでも良い。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明によれば、塗布ヘッドのノズル面に付着した溶液を吸液性の拭取部材により拭き取る塗布装置において、取付ブラケットに対する拭取部材の着脱作業性を簡易化し、塗布装置の生産性を向上することができる。
【符号の説明】
【００５１】
Ｗ  基板
３  テーブル
７  塗布ヘッド
１１  ノズルプレート
１１Ａ  ノズル面
１４  ノズル
２０  拭取手段
２１  拭取部材
２２  芯材
２３  吸液体
２３Ｆ  膨らみ部
２３Ｌ  下側外周部
２３Ｕ  上側外周部
３０  取付ブラケット
３２Ａ、３３Ａ、３４Ａ  下支持部
３６Ａ、３７Ａ  上支持部
５１Ａ、５２Ａ、５３Ａ  回り止め部
【図１】
0005627365.tif 000002
【図２】
0005627365.tif 000003
【図３】
0005627365.tif 000004
【図４】
0005627365.tif 000005
【図５】
0005627365.tif 000006
【図６】
0005627365.tif 000007
【図７】
0005627365.tif 000008
【図８】
0005627365.tif 000009