(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アームベース上に基端部が回転可能に連結され、内部に所定の駆動系を配設した第１アームと、
前記第１アームの先端部上に基端部が回転可能に連結され、駆動系を具備せず前記第１アームに従動する第２アームと、
前記第２アームの先端部上にハンドベースを介して回転可能に連結され、所定の基板を載置可能としたハンドと、
前記第１アームと前記第２アームとの連結部と同軸上に支持される中間リンクと、
先端部が前記中間リンクの先端部と回転可能に連結され、前記アームベース上に基端部が回転可能に連結されて、前記アームベースと前記第１アームと前記中間リンクとの間で第１平行リンク機構を構成する第１リンクと、
前記中間リンクの先端部と基端部が回転可能に連結され、先端部が前記ハンドベースの基端部と回転可能に連結されて、前記第２アームと前記中間リンクと前記ハンドベースとの間で第２平行リンク機構を構成する第２リンクと、
を備え、前記第１アームの旋回に連動させて前記ハンドを直動可能に構成するとともに、
前記第１アームと前記第２アームとの間に、前記ハンド上に載置される基板からの熱を上方へ反射させる反射板を配設し、
前記第１アームは、
当該第１アームを構成するアーム筐体内に、前記所定の駆動系として、それぞれ中空軸を具備し、前記アーム筐体の一端側に配設された第１減速機および他端側に配設された第２減速機と、両減速機の間に配設されたモータとを備え、さらに、前記第２減速機と前記アーム筐体の長手側の側面との間に設けられて前記アーム筐体の他端側に向けて圧縮空気を噴出する噴気口と、前記第１減速機と前記モータとの間に設けられて前記アーム筐体の一端側に向けて圧縮空気を噴出する他の噴気口と、前記圧縮空気を排出する排気口とを備える
ことを特徴とする搬送ロボット。
【請求項２】
前記反射板は、
前記第１アームと前記第２アームとを連結する連結部の移動軌跡と干渉しない位置に配設されていることを特徴とする請求項１に記載の搬送ロボット。
【請求項３】
前記反射板は、
少なくとも前記第１アームを覆うことのできる形状に形成されていることを特徴とする請求項２に記載の搬送ロボット。
【請求項４】
前記反射板は、
前記アームベースを回転自在に設けたロボット本体の上面まで覆うことのできる形状に形成されていることを特徴とする請求項３に記載の搬送ロボット。
【請求項５】
前記反射板は、
前記第１アームの旋回領域外に位置するように前記アームベース上に立設された複数のピン体に支持されており、前記複数のピン体は、前記第１アームの厚みよりも丈が高く規定されている
ことを特徴とする請求項２に記載の搬送ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
開示の実施形態は、搬送ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、成膜処理などを行うために、真空チャンバ内において、処理前の基板や処理後の基板をアーム部によって搬送する搬送ロボットがある。
【０００３】
かかる搬送ロボットを用いて、例えば、成膜処理後の基板を搬送する場合、基板が高温になっていて搬送ロボットまで加熱されるおそれがあった。
【０００４】
そこで、アーム部の基端部側に、基板から熱伝導によってアーム部を介して伝達された熱を放射する輻射板を設けるとともに、この輻射板と対向するように、真空チャンバにおける所定位置に受熱板を設けた搬送ロボットが提案された（例えば、特許文献１を参照）。
【０００５】
かかる構成により、基板からの熱を真空チャンバ側に逃がし、搬送ロボット自体には熱エネルギが蓄積されないようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開番号ＷＯ０６／０６２１８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した技術は、あくまでも、基板からの熱をアーム部が一旦受けてしまった後、その熱を逃がしているに過ぎない。つまり、上述の従来技術では、基板からの熱を受けることを未然に防ぐことはできなかった。
【０００８】
基板から熱を受けてしまったアーム部は、アーム部自体が膨張したり、アーム部の内部に収納されている駆動系の機構までが加熱されて膨張したりするおそれがある。そして、それに起因して、ロボットの精密な制御に支障をきたすおそれがある。
【０００９】
実施形態の一態様は、基板からの輻射熱によるアーム部の加熱を抑制することができる搬送ロボットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
実施形態の一態様に係る搬送ロボットは、アームベース上に基端部が回転可能に連結され、内部に所定の駆動系を配設した第１アームと、前記第１アームの先端部上に基端部が回転可能に連結され、駆動系を具備せず前記第１アームに従動する第２アームと、前記第２アームの先端部上にハンドベースを介して回転可能に連結され、所定の基板を載置可能としたハンドと、前記第１アームと前記第２アームとの連結部と同軸上に支持される中間リンクと、先端部が前記中間リンクの先端部と回転可能に連結され、前記アームベース上に基端部が回転可能に連結されて、前記アームベースと前記第１アームと前記中間リンクとの間で第１平行リンク機構を構成する第１リンクと、前記中間リンクの先端部と基端部が回転可能に連結され、先端部が前記ハンドベースの基端部と回転可能に連結されて、前記第２アームと前記中間リンクと前記ハンドベースとの間で第２平行リンク機構を構成する第２リンクとを備え、前記第１アームの旋回に連動させて前記ハンドを直動可能に構成する。そして、前記第１アームと前記第２アームとの間に、前記ハンド上に載置される基板からの熱を上方へ反射させる反射板を配設する。また、前記第１アームは、当該第１アームを構成するアーム筐体内に、前記所定の駆動系として、それぞれ中空軸を具備し、前記アーム筐体の一端側に配設された第１減速機および他端側に配設された第２減速機と、両減速機の間に配設されたモータとを備え、さらに、前記第２減速機と前記アーム筐体の長手側の側面との間に設けられて前記アーム筐体の他端側に向けて圧縮空気を噴出する噴気口と、前記第１減速機と前記モータとの間に設けられて前記アーム筐体の一端側に向けて圧縮空気を噴出する他の噴気口と、前記圧縮空気を排出する排気口とを備える。
【発明の効果】
【００１１】
実施形態の一態様によれば基板からの輻射熱によるアームへの加熱を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本実施形態に係る搬送ロボットの側断面視による模式的説明図である。
【図２】図２は、同搬送ロボットの平面視による説明図である。
【図３】図３は、同搬送ロボットの第１アームの内部構造を示す平面視による模式的説明図である。
【図４】図４は、同搬送ロボットの第１アームの内部構造を示す縦断面視による模式的説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して、本願の開示する搬送ロボットの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１４】
まず、本実施形態に係る搬送ロボットの概略構成について、図１および図２を用いて説明する。図１は本実施形態に係る搬送ロボットの側断面視による模式的説明図、図２は同搬送ロボットの平面視による説明図である。
【００１５】
図１に示すように、本実施形態に係る搬送ロボット１は、水平方向に伸縮する２つの伸縮アームを具備するアームユニット２０と、アームユニット２０を支持する胴体部１０を備えた水平多関節ロボットである。そして、この搬送ロボット１は、真空チャンバ３０に設置されている。真空チャンバ３０は、真空ポンプ等によって減圧状態に保たれている。
【００１６】
胴体部１０は、アームユニット２０の下部に設けられるユニットであり、ロボット本体を構成する。胴体部１０は、筒状の筐体１１内に図示しない昇降装置を備えており、かかる昇降装置を用いてアームユニット２０を鉛直方向に沿って昇降させることができる。なお、胴体部１０の筐体１１は、真空チャンバ３０の下部から突出し、真空チャンバ３０を支持する支持部３５内の空間に位置している。
【００１７】
胴体部１０の筐体１１内に配設される昇降装置は、たとえばモータやボールねじ、ボールナット等を含んで構成され、モータの回転運動を直線運動へ変換することによってアームユニット２０を昇降させる。
【００１８】
また、筐体１１の上部には、フランジ部１２が形成されている。搬送ロボット１は、フランジ部１２が真空チャンバ３０に固定されることにより、真空チャンバ３０に設置された状態となる。なお、フランジ部１２は、真空チャンバ３０の底部に形成された開口部３１の縁部に対し、シール部材を介して固定されている。
【００１９】
アームユニット２０は、ロボット本体である胴体部１０と連結されるユニットであり、アームベース２１と、第１アーム２２と、第２アーム２３と、ハンドベース２４とを備えている。そして、このハンドベース２４には、ガラス基板や半導体ウェハなどの基板３（以下、「ワーク」という場合がある）を保持可能なフォーク状のハンド２４ａがエンドエフェクタとして取り付けられている。
【００２０】
なお、以下では、ハンド２４ａの進退方向をＸ軸方向とし、水平方向においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向とする。また、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に直交する方向、すなわち、鉛直方向をＺ軸方向とする。
【００２１】
また、搬送ロボット１の各構成要素の相対的な位置関係を説明する上で、上下、左右、及び前後で方向を示す場合があるが、各方向の基準は、搬送ロボット１を水平な設置面Ｓに設置した場合とする。具体的には、図１および図２中、Ｘ軸の正方向および負方向をそれぞれ搬送ロボット１の前方および後方、Ｙ軸の正方向および負方向をそれぞれ搬送ロボット１の右方および左方、Ｚ軸の正方向および負方向を搬送ロボット１の上方および下方とする。
【００２２】
アームベース２１は、図示しない昇降フランジ部に対して回転可能に支持されているもので、実質的には、この昇降フランジが胴体部１０内に設けられた昇降装置と連動連結している。また、アームベース２１は、モータや減速機等からなる旋回装置を備えており、かかる旋回装置を用いて回転、すなわち自転する。
【００２３】
具体的には、旋回装置は、出力軸が胴体部１０に固定された減速機に対してモータの回転を伝達ベルト経由で入力する。これにより、アームベース２１は、減速機の出力軸を旋回軸として水平方向に自転する。したがって、真空チャンバ３０の周壁に設けられた複数の処理室３２などに、ハンド２４ａを正対させることができる。
【００２４】
アームベース２１の上部には、第１アーム２２の基端部が回転可能に連結される。すなわち、アームベース２１上の連結軸Ｐ６と、第１アーム２２の基端部に設けられた第１減速機５１の入力軸５１０とが一体的に連結され（図４を参照）、第１アーム２２は、第１減速機５１を介してアームベース２１に回転可能に連結される。
【００２５】
また、第１アーム２２の先端上部には、第２アーム２３の基端部が回転可能に連結されている。すなわち、第２アーム２３の基端連結軸Ｐ５と、第１アーム２２の先端部に設けられた第２減速機５２の入力軸５２０とが連結板５２２を介して一体的に連結され（図４参照）、第２アーム２３は、第２減速機５２を介して第１アーム２２に回転可能に連結される。
【００２６】
搬送ロボット１は、第１アーム２２の基端部に設けられた第１減速機５１および第１アーム２２の先端部に設けられた第２減速機５２を１つのモータ５３を用いて同期的に動作させることで、駆動系を内蔵せず、リンクとして機能する第２アーム２３の先端を直線的に移動させることができる。
【００２７】
すなわち、搬送ロボット１は、アームベース２１上に基端部が回転可能に連結され、内部に所定の駆動系を配設した第１アーム２２と、第１アーム２２の先端部上に基端部が回転可能に連結され、第１アーム２２に従動する第２アーム２３とを備えている。つまり、第１アーム２２は、モータ５３、第１減速機５１および第２減速機５２などを駆動系として内部に備えているが、第２アーム２３自体は駆動系を備えていない。
【００２８】
そして、搬送ロボット１は、第１アーム２２に対する第２アーム２３の回転量がアームベース２１に対する第１アーム２２の回転量の２倍となるようにしている。たとえば、第１アーム２２がアームベース２１に対してα度回転した場合、第２アーム２３は第１アーム２２に対して２α度回転するように第１アーム２２および第２アーム２３は回転する。これにより、第２アーム２３の先端部は直線的に移動することになる。
【００２９】
なお、真空チャンバ３０内の汚染防止等の観点から、第１、第２減速機５１，５２やモータ５３といった駆動機構は、大気圧に保たれた第１アーム２２の内部に収納されている。これにより、搬送ロボット１を、例えば真空チャンバ３０などの減圧環境下に置く場合であっても、グリス等の潤滑油の乾燥を防止することができる他、発塵による真空チャンバ３０の内部汚染を防止することができる。
【００３０】
また、第２アーム２３の先端部の上部には、ハンドベース２４が回転可能に連結されている。このハンドベース２４は、第１アーム２２および第２アーム２３の回転動作に伴って移動する部材であり、基板３を保持するためのハンド２４ａを上部に備えている。
【００３１】
また、図１においては図示を省略したが、アームユニット２０は、図２に示すように、リンク機構を構成する補助アーム部２５を備えている。ここで、図２を参照しながらアームユニット２０について、より具体的に説明する。
【００３２】
リンク機構を構成する補助アーム部２５は、移動中のハンド２４ａが常に一定の方向を向くように、第１アーム２２および第２アーム２３の回転動作と連動してハンドベース２４の回転を規制している。
【００３３】
すなわち、図２に示すように、補助アーム部２５は、第１リンク２５ａと、中間リンク２５ｂと、第２リンク２５ｃとを備えている。
【００３４】
第１リンク２５ａは、基端部がアームベース２１に対し、支軸Ｐ１を介して回転可能に連結され、先端部において中間リンク２５ｂの先端部おおび第２リンク２５ｃの基端部と支軸Ｐ２を介して回転可能に連結される。また、中間リンク２５ｂは、基端部が第１アーム２２と第２アーム２３とを連結する基端連結軸Ｐ５と同軸上に軸支され、先端部が第１リンク２５ａの先端部および第２リンク２５ｃと支軸Ｐ２を介して回転可能に連結される。
【００３５】
第２リンク２５ｃは、基端部が中間リンク２５ｂの先端部と支軸Ｐ２を介して回転可能に連結され、先端部がハンドベース２４の基端部と支軸Ｐ３を介して回転可能に連結される。また、ハンドベース２４は、先端部が第２アーム２３の先端部と支軸Ｐ４を介して回転可能に連結され、基端部が第２リンク２５ｃの先端部と支軸Ｐ３を介して回転可能に連結されている。
【００３６】
こうして、第１リンク２５ａは、アームベース２１、第１アーム２２および中間リンク２５ｂとともに、第１平行リンク機構（Ｐ１−Ｐ６−Ｐ５−Ｐ２）を形成する。すなわち、第１アーム２２が連結軸Ｐ６を中心として回転すると、第１リンク２５ａおよび中間リンク２５ｂが、それぞれ第１アーム２２およびアームベース２１と平行な状態を保ちながら回転する。
【００３７】
また、第２リンク２５ｃは、中間リンク２５ｂ、第２アーム２３およびハンドベース２４とともに第２平行リンク機構（Ｐ２−Ｐ５−Ｐ４−Ｐ３）を形成する。すなわち、第２アーム２３が基端連結軸Ｐ５を中心として回転すると、第２リンク２５ｃおよびハンドベース２４が、それぞれ第２アーム２３および中間リンク２５ｂと平行な状態を保ちながら回転する。
【００３８】
中間リンク２５ｂは、第１平行リンク機構によってアームベース２１と平行な状態を保ちながら回転する。このため、第２平行リンク機構のハンドベース２４もアームベース２１と平行な状態を保ちながら回転する。この結果、ハンドベース２４の上部に取り付けられるハンド２４ａは、アームベース２１と平行な状態を保ちながら直線的に移動することとなる。
【００３９】
このように、搬送ロボット１は、第１平行リンク機構および第２平行リンク機構の２つの平行リンク機構を用いて、ハンド２４ａの向きを一定に保つことができる。したがって、たとえば第２アーム２３の内部にプーリや伝達ベルトなどを設け、これらによりハンド２４ａに相当するエンドエフェクタの向きを一定方向に維持する場合と比較して、プーリや伝達ベルトに起因する発塵を抑えることができる。また、補助アーム部２５によってアーム全体の剛性を高めることができるため、ハンド２４ａの動作時の振動を低減することができる。
【００４０】
図３は搬送ロボット１の第１アーム２２の内部構造を示す平面視による模式的説明図、図４は同第１アーム２２の縦断面視による模式的説明図である。図３おおび図４に示すように、第１アーム２２は、当該第１アーム２２を形作るアーム筐体２２ａの内部が、大気圧に保たれた箱型の収納部２２１を形成している。かかる収納部２２１内に、第１減速機５１、第２減速機５２、モータ５３、第１、第２中継プーリ５４ａ，５４ｂ、第１伝達ベルト５５および第２伝達ベルト５６等を駆動系として備えている。なお、図４に示すように、第１中継プーリ５４ａは、プーリ支持体５４１の上下にそれぞれ配置されている。
【００４１】
第１減速機５１は、第１アーム２２の基端部に配置され、アームベース２１と第１アーム２２とを連結軸Ｐ６を介して回転可能に連結する。また、第２減速機５２は、第１アーム２２の先端部に配置され、第１アーム２２と第２アーム２３とを基端連結軸Ｐ５を介して回転可能に連結する。
【００４２】
モータ５３は、駆動力を発生させる駆動部であり、第１アーム２２の略中央に配置される。中継プーリ５４ａ，５４ｂは、いずれもモータ５３の出力軸５３０と平行に配置された軸体に回転可能に取付けられており、モータ５３を挟むように並設されている。
【００４３】
第１伝達ベルト５５は、第１減速機５１の入力軸５１０に対してモータ５３の駆動力を伝達する。また、第２伝達ベルト５６は、第２減速機５２の入力軸５２０に対してモータ５３の駆動力を伝達する。
【００４４】
図示するように、第１伝達ベルト５５は、第１減速機５１の入力軸５１０に固定された第１プーリ５１１および第１中継プーリ５４ａに対して掛け渡される。また、第２伝達ベルト５６は、第２減速機５２の入力軸５２０に固定された第２プーリ５２１、モータ５３の出力軸５３０に固定された駆動プーリ５３ａ、下側の５４ａおよびプーリ支持体５４２の下側に配設された中継プーリ５４ｂに対して掛け渡されている。これにより、第１伝達ベルト５５は、第２伝達ベルト５６から第１中継プーリ５４ａを介して伝達されるモータ５３の駆動力を第１減速機５１の入力軸５１０へ伝達することとなる。
【００４５】
このように、搬送ロボット１は、１つのモータ５３の駆動力をそれぞれ第１伝達ベルト５５および第２伝達ベルト５６を用いて第１減速機５１および第２減速機５２へ伝達することにより、第１アーム２２および第２アーム２３を同期的に動作させることができる。
【００４６】
また、搬送ロボット１は、駆動機構を構成する上述の各部材を大気圧に保たれた第１アーム２２内の収納部２２１に収納している。したがって、駆動機構におけるグリス等の潤滑油の乾燥を防止することができる他、発塵による真空チャンバ３０内の汚染を防止することができる。
【００４７】
上述してきたように、本実施形態に係る搬送ロボット１は、たとえば、第１アーム２２および第２アーム２３を用いてハンド２４ａを直線的に移動させることで、真空チャンバ３０と接続される他の真空チャンバから基板３を取り出す。
【００４８】
つづいて、搬送ロボット１は、ハンド２４ａを引き戻したのち、アームベース２１を、旋回軸を中心に回転させることで、ワークの搬送先となる他の真空チャンバに対してアームユニット２０を正対させる。そして、搬送ロボット１は、第１アーム２２および第２アーム２３を用いてハンド２４ａを直線的に移動させることで、ワークの搬送先となる他の真空チャンバへワークを搬入する。このようにして、搬送ロボット１は、真空チャンバ３０内において基板３の搬送作業を行うことができる。
【００４９】
上述した搬送ロボット１において、本実施形態では、第１アーム２２と第２アーム２３との間に、ハンド２４ａ上に載置される基板３からの熱を上方へ反射させる反射板４を設けている。
【００５０】
以下、反射板４について具体的に説明する。本実施形態に係る搬送ロボット１は、上述したように、真空チャンバ３０内に設置されている。例えば、成膜処理後の基板３を搬送する場合、成膜処理後の基板３は高温になっている。そのため、図１および図２に示すように、搬送方向Ｆに対してハンド２４ａが最も後方（図２おける左側方向）に引かれた位置では、基板３の直下に第１アーム２２および胴体部１０が位置することになる。
【００５１】
なお、ハンド２４ａが最も後方に引かれた位置をとる搬送ロボット１の姿勢は最小旋回姿勢であり、旋回軸となるアームベース２１上の連結軸Ｐ６を中心とする回転半径が最小となる。
【００５２】
このように、搬送ロボット１が最小旋回姿勢をとる場合、基板３の直下に位置する第１アーム２２や胴体部１０は、基板３からの輻射熱によって加熱されるおそれがある。なお、基板３は、およそ１００℃〜１３０℃程度まで高温になることが想定される。
【００５３】
特に、第１アーム２２のアーム筐体２２ａ内には、上述したように、第１減速機５１、第２減速機５２、モータ５３、第１、第２中継プーリ５４ａ，５４ｂ、第１伝達ベルト５５および第２伝達ベルト５６等の駆動機構を収納している。これらの各構成要素は、加熱されることにより悪影響を受けるおそれがある。
【００５４】
そこで、本実施形態では、第１アーム２２の上方であって、かつ第２アーム２３よりは下方の位置に反射板４を配設し、基板３からの輻射熱を上方へ反射させ、第１アーム２２や胴体部１０が輻射熱によって加熱されることを可及的に抑制している。
【００５５】
反射板４は、図１および図２に示すように、第１アーム２２の旋回領域Ａの外方に位置するようにアームベース２１上に立設した複数（本実施形態では２本）のピン体２６，２６によって支持されている。
【００５６】
したがって、反射板４は、同じくアームベース２１に連結された第１アーム２２とともに旋回することになり、第１アーム２２との相対的な位置関係は一定となる。
【００５７】
ここで、第１アーム２２の旋回領域Ａについて説明する。搬送ロボット１が、ハンド２４ａを図２における姿勢から前方（Ｘ方向）に直進させる際に、第１アーム２２は連結軸Ｐ６を中心として時計回りに旋回し、図２における姿勢と線対称の位置（図２中、二点鎖線で示す）に移動する。第１アーム２２は、平面視で所定の幅を有するため、本実施形態における第１アーム２２の旋回領域Ａとしては、当該第１アーム２２の後方側外側縁の初期位置Ａ１から当該第１アーム２２の前方側外側縁の移動位置Ａ２の間の領域となる。
【００５８】
したがって、第１アーム２２の旋回領域Ａの内側にはピン体２６を配設することはできない。逆に、第１アーム２２の旋回領域Ａの外側であれば、ピン体２６の設置数は適宜設定することができる。
【００５９】
また、ピン体２６は、図１に示すように、第１アーム２２の厚みよりも丈が高く規定されており、反射板４を第１アーム２２と第２アーム２３との間で保持している。本実施形態では、ピン体２６を反射板４に形成した連結孔に嵌合させて反射板４を保持しているが、連結構造などは特に限定されるものではない。また、当然ではあるが、ピン体２６の上端は第２アーム２３と干渉することのない高さに規定される。
【００６０】
反射板４は、図２に示すように、少なくとも駆動機構が内蔵されている第１アーム２２を覆うことのできる形状に形成される。本実施形態では、反射板４を、第１アーム２２を回転可能に連結するアームベース２１を備える胴体部１０の上面まで覆うことのできる形状としている。
【００６１】
これは、胴体部１０の内部に第１アーム２２や第２アーム２３を含むアームユニット２０を昇降させるための昇降機構などが配設されているためである。また、仮に第１アーム２２などが加熱されても、胴体部１０へ熱を逃がすことができるように、胴体部１０についてもできるだけ温度上昇することがないようにしているためである。
【００６２】
反射板４の具体的な形状としては、単純な矩形形状、円形形状でも構わないが、反射板４の軽量化を図るために、適宜不要と考えられる箇所については適宜切除した形状とするとよい。例えば、本実施形態では、図示するように、矩形形状とした反射板４の右側（図２におけるＹ軸正方向）の前後の隅部を切除した形状としている。
【００６３】
また、反射板４は、第１アーム２２と第２アーム２３とを連結する連結部の移動軌跡、具体的には連結部内側の移動軌跡Ｌと干渉しないように配置されている。
【００６４】
すなわち、第１アーム２２と第２アーム２３とを連結する連結部をなす基端連結軸Ｐ５（図４を参照）は、搬送ロボット１の前方（図２におけるＸ軸の正方向）に、連結軸Ｐ６を中心に旋回しながら移動する。
【００６５】
したがって、反射板４における搬送ロボット１の右方に向いた縁（図２における上側縁４ａ）は、連結部内側、すなわち、基端連結軸Ｐ５の左側周面の移動軌跡Ｌと干渉しない位置となるように規定される。一方、反射板４における搬送ロボット１の左方に向いた縁（図２における下側縁４ｂ）は、胴体部１０の左側周面と略重なる位置となるように規定される。これにより、反射板４の横幅（図２におけるＹ方向の幅）が規定されることになる。
【００６６】
また、胴体部１０の上面を略全体的に覆うためには、反射板４の前後方向（図２におけるＸ方向）の長さは、胴体部１０の直径と略等しく規定される。胴体部１０の直径と略等しいというのは、胴体部１０の筐体１１の上部に形成されたフランジ部１２の直径と等しい場合も含む。
【００６７】
本実施形態に係る反射板４は、上述のようにしてその形状および配置が規定される。しかし、第１アーム２２と第２アーム２３とを連結する連結部の移動軌跡Ｌと干渉せず、かつ、少なくとも第１アーム２２を覆うことのできる形状であれば、適宜に設定しても構わない。
【００６８】
上述したように、反射板４を設けて、ハンド２４ａ上の基板３からの輻射熱を上方へ反射させて、第１アーム２２への輻射熱の影響を可及的に抑制している。しかし、どうしても第１アーム２２が加熱されて温度上昇することも考えられる。
【００６９】
そこで、本実施形態では、図３および図４に示すように、第１アーム２２を構成するアーム筐体２２ａの内部、すなわち大気圧に保たれた箱型の収納部２２１に、複数の噴気口６１ａ〜６１ｃと単一の排気口６２とを設けた構成としている。そして、複数の噴気口６１ａ〜６１ｃからそれぞれ噴出された圧縮空気が、アーム筐体２２ａの内壁面に沿った気流として排気口６２から排出されるようにしている。
【００７０】
本実施形態では、アーム筐体２２ａの一端側に配設された第１減速機５１の第１入力軸５１０を中空軸とし、この中空軸を排気口６２としている。
【００７１】
また、アーム筐体２２ａの他端側に配設された第２減速機５２の第２入力軸５２０を中空軸とし、複数の噴気口６１ａ〜６１ｃのうちの１つ、例えば、第１噴気口６１ａを中空軸である第２入力軸５２０の基端開口５２３に臨設している。
【００７２】
第１噴気口６１ａから第２入力軸５２０内に向かって噴気された圧縮空気は、上昇して連結板５２２に衝突して跳ね返り、基端開口５２３から収納部２２１内の四方に流出する。そして、中空軸からなる第１入力軸５１０に形成された排気口６２から系外へ流出するまでの間、第１噴気口６１ａから供給された圧縮空気はアーム筐体２２ａの内壁面に接しながら流れ、アーム筐体２２ａから熱を奪っていく。
【００７３】
一方、他の複数の噴気口６１ｂ，６１ｃは、圧縮空気をアーム筐体２２ａの側面に沿って水平方向に噴出できるように配設されている。
【００７４】
例えば、図３に示すように、第２噴気口６１ｂは、第２減速機５２と、アーム筐体２２ａの長手側の側面との間に配設されており、アーム筐体２２ａの他端側に向けて圧縮空気を噴出可能としている。この第２噴気口６１ｂから噴出された圧縮空気は、収納部２２１の内部を大きく迂回して排気口６２に向かう。その間に、アーム筐体２２ａの内壁面に接しながら流れ、アーム筐体２２ａから熱を奪っていく。
【００７５】
また、第３噴気口６１ｃは、第１減速機５１とモータ５３との間で、アーム筐体２２ａの長手側の側面に近接して配設され、アーム筐体２２ａの一端側に向けて圧縮空気を噴出可能としている。
【００７６】
このように、複数の噴気口６１ａ，６１ｂ，６１ｃから噴出された圧縮空気の気流は、収納部２２１内、すなわちアーム筐体２２ａの内部をランダムな方向に進み、排気口６２から系外に排出される間に、アーム筐体２２ａの略全体に亘る広い領域から熱を奪って冷却することができる。
【００７７】
このように、本実施形態に係る搬送ロボット１では、第１アーム２２のアーム筐体２２ａは、所定の駆動系を内部に備える一方、前記第２アームは、駆動系を備えず、前記第１アームに従動するリンクの一部として機能している。そして、第１アーム２２のアーム筐体２２ａ内に配設した複数の噴気口６１ａ，６１ｂ，６１ｃから圧縮空気を噴出させることにより、アーム筐体２２ａの内壁面を冷却することができる。
【００７８】
こうして、本実施形態に係る搬送ロボット１では、アーム筐体２２ａを広域に冷却することができる。そのため、仮にハンド２４ａに保持されている高温の基板３からの輻射熱などによって第１アーム２２が加熱されたとしても、第１アーム２２の内部から広域に冷却しているため、熱の蓄積を効率的に抑制することが可能となる。
【００７９】
また、アーム筐体２２ａの内部には、当該アーム筐体２２ａと連接されたフィン２２３を圧縮空気に曝されるように配設している。すなわち、アーム筐体２２ａの熱を、フィン２２３を介して効率的に奪っていけるようにしている。
【００８０】
本実施形態では、図３に示すように、フィン２２３を、モータ５３と対向して位置させるとともに、基端をアーム筐体２２ａの長手側の側面に連接させ、モータ５３側に向けて斜めに延在させている。かかる位置においては、フィン２２３は、圧縮空気の流路、すなわち、アーム筐体２２ａの長手側の側面に沿って流れる気流を斜めに横切るように配設される。
【００８１】
したがって、圧縮空気による気流の大きな抵抗とはならず、かつ、フィン２２３の全面に亘って圧縮空気に触れさせることができ、熱交換率を向上させることが可能となっている。
【００８２】
なお、複数の噴気口６１ａ〜６１ｃの配置は、適宜設定することができ、上述した実施形態に限定されるものではない。また、フィン２２３の形状や配置についても、熱交換率などを勘案して、適宜設計することが可能である。
【００８３】
ところで、上述してきた実施形態では、搬送ロボット１を１つのアームユニット２０を備えた片腕のロボットとして説明した。しかし、搬送ロボット１は、双腕であるなど、複数のアームユニット２０を備えたものでもよい。
【００８４】
要は、内部に所定の駆動系を具備する第１アーム２２と、駆動系を具備しておらず、第１アーム２２に回転可能に連結された第２アーム２３と、第１アーム２２と第２アーム２３との間に配設され、ハンド２４ａ上に載置される基板３からの熱を反射させる反射板４とを備える構成であればよい。
【００８５】
また、上述してきた実施形態では、搬送対象となるワークをガラス基板や半導体ウェハなどの基板３として説明したが、比較的高温になるワークであれば、搬送対象が基板３でなくても構わない。
【００８６】
また、上述してきた実施形態では、搬送ロボット１が、真空チャンバ３０内に設置される場合の例について説明してきたが、搬送ロボット１は、必ずしも真空チャンバ３０内に配設されるものに限るものでもない。
【００８７】
さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。
【符号の説明】
【００８８】
１    搬送ロボット
３    基板
４    反射板
１０    胴体部
２１    アームベース
２２    第１アーム
２３    第２アーム
２４    ハンドベース
２４ａ    ハンド
２５ａ    第１リンク
２５ｂ    中間リンク
２５ｃ    第２リンク
２６    ピン体
５１    第１減速機
５２    第２減速機
６１ａ    第１噴気口
６１ｂ    第２噴気口
６１ｃ    第３噴気口
６２    排気口
５１０    第１入力軸（中空軸）
５２０    第２入力軸（中空軸）
５２３    基端開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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