(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端部に保持凹部を有するホルダと、前記保持凹部に保持され、一部が前記保持凹部から突出したブレード突出部を有する弾性体製のブレードとを備え、前記ブレードの進行方向側にペーストを供給した状態で被印刷面に沿って移動することにより前記ペーストを印刷するペースト印刷用スキージであって、
前記ブレード突出部の進行方向側の平面または凹曲面である第１傾斜面と、前記ホルダ先端部の進行方向側の平面または凹曲面である第２傾斜面とが連続して配置されるとともに、
前記第２傾斜面の先端をなす第２先端部と、前記第２傾斜面の後端をなす第２後端部とを結ぶ第２仮想平面の前記被印刷面に対する傾斜角度が、前記第１傾斜面の先端をなす第１先端部と、前記第１傾斜面の後端をなす第１後端部とを結ぶ第１仮想平面の前記被印刷面に対する傾斜角度よりも小さくなるように設定されており、
前記ホルダにおいて前記第２傾斜面は、ペースト付着防止層で被覆され、
前記ペースト付着防止層は、前記保持凹部の表面にまで及んでいる
ことを特徴とするペースト印刷用スキージ。
【請求項２】
先端部に保持凹部を有するホルダと、前記保持凹部に保持され、一部が前記保持凹部から突出したブレード突出部を有する弾性体製のブレードとを備え、前記ブレードの進行方向側にペーストを供給した状態で被印刷面に沿って移動することにより前記ペーストを印刷するペースト印刷用スキージであって、
前記ブレード突出部の進行方向側の面である第１傾斜面と、前記ホルダ先端部の進行方向側の面である第２傾斜面とが連続して配置されるとともに、前記被印刷面に対する前記第２傾斜面の傾斜角度が、前記被印刷面に対する前記第１傾斜面の傾斜角度よりも小さくなるように設定されており、
前記ホルダにおいて前記第２傾斜面は、ペースト付着防止層で被覆され、
前記ペースト付着防止層は、前記保持凹部の表面にまで及んでいる
ことを特徴とするペースト印刷用スキージ。
【請求項３】
前記ホルダにおいて前記第２傾斜面よりも基端側には、スキージ幅方向に沿って延びる逃がし凹部が形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のペースト印刷用スキージ。
【請求項４】
前記ペースト付着防止層は、前記逃がし凹部の表面にまで及んでいることを特徴とする請求項３に記載のペースト印刷用スキージ。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のスキージを備えたペースト印刷装置。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のスキージを用いてペーストを印刷することにより、基板上に導体部を形成することを特徴とする配線基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ホルダとブレードとを備えるペースト印刷用スキージ、及びそれを用いたペースト印刷装置、配線基板の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品等を配線基板上の接続端子に接合する方法として、はんだバンプによる方法がよく知られている。通常、このようなはんだバンプは、配線基板の被印刷面に形成された複数の接続端子上にはんだペースト印刷装置を用いてはんだペーストを印刷した後、リフローを行ってはんだペースト印刷層を溶融することにより形成される。
【０００３】
図１０には、ホルダ１０２とブレード１０３とを有するペースト印刷用スキージ１０４を備えたはんだペースト印刷装置１０１の従来例が示されている。はんだペースト印刷装置１０１により接続端子１０６上にはんだペーストＰ１を印刷する手順は、次のとおりである。
【０００４】
図示しないテーブル上に配線基板１０７を水平に保持させた状態で、配線基板１０７の被印刷面上にマスク１０５を重ねて配置する。次に、マスク１０５の上面にスキージ１０４のブレード１０３を接触させ、その進行方向側にはんだペーストＰ１を供給する。この状態でスキージ１０４をマスク１０５の上面に沿って水平に移動させる。すると、ブレード１０３によってマスク貫通孔内にはんだペーストＰ１が充填され、接続端子１０６上にはんだペースト印刷層が形成される。さらに、マスク１０５を版離れさせた後にリフローを行えば、はんだペースト印刷層が溶融してはんだバンプとなる。
【０００５】
ところで、この種の印刷装置１０１において、印刷時にはんだペーストＰ１を所定方向に移動させると、はんだペーストＰ１がスキージ幅方向に長い棒状となって転がされるように回転（ローリング）する。この場合には、ペースト印刷性が向上する結果、形状の揃った良好な印刷層が形成されやすくなる。また、ローリングのスタートが早ければ、スキージのストロークを大きく取らなくてもよくなるため、装置の大型化を防止でき、大型配線基板に印刷を行ううえで有利になる。
【０００６】
しかしながら、図１０に示す従来例の印刷装置１０１の場合、スキージ１０４の進行方向側の広面積にペーストＰ１が付着しやすいことから、ローリング性が必ずしも良好であるとはいえず、条件によってはペーストＰ１がマスクプレート上を回転せずにそのまま移動することがある。それゆえ、ペースト印刷性の悪化によって、はんだペーストの充填量がばらついてしまい、結果として形状の揃った良好な印刷層の形成が困難となる。また、ペーストＰ１が回転するにしても、ローリングスタートが遅くなることがある。
【０００７】
このような事情のもと、ホルダの保持凹部にブレードを保持させた構造のスキージにおいて、そのブレード先端部の進行方向側面に逃がし凹部を設けることで、当該側面へのペーストの付着を防止せんとしたはんだペースト印刷装置が従来提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−２０１２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来の一般的な印刷装置で使用しているスキージは前面及び後面の区別のない単純かつ対象な断面形状を有する部材であるのに対し、特許文献１記載の印刷装置で使用しているスキージは片側面のみに逃がし凹部を有しており、相対的に複雑かつ非対象な断面形状を有する部材となっている。そのため、特許文献１記載の印刷装置では、専用の異形スキージを特別に作製あるいは購入しなければならず、この点においてコスト性や汎用性に劣っている。また、使用により摩耗や劣化が起こった場合、従来の一般的なスキージであれば前面及び後面を反転して使用することも可能であるが、特許文献１記載のスキージについては前後反転して使用することができない。これもコスト性を低下させる一原因となっている。
【００１０】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ブレードのコスト性や汎用性を損なわずにペーストのローリング性を向上させることができ、良好な印刷層を形成することができるペースト印刷用スキージ、ペースト印刷装置を提供することにある。また、本発明の別の目的は、形状が揃った良好な導体部を有する配線基板を高歩留まりで製造する方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
そして上記課題を解決するための手段（手段１）としては、先端部に保持凹部を有するホルダと、前記保持凹部に保持され、一部が前記保持凹部から突出したブレード突出部を有する弾性体製のブレードとを備え、前記ブレードの進行方向側にペーストを供給した状態で被印刷面に沿って移動することにより前記ペーストを印刷するペースト印刷用スキージであって、前記ブレード突出部の進行方向側の平面または凹曲面である第１傾斜面と、前記ホルダ先端部の進行方向側の平面または凹曲面である第２傾斜面とが連続して配置されるとともに、前記第２傾斜面の先端をなす第２先端部と、前記第２傾斜面の後端をなす第２後端部とを結ぶ第２仮想平面の前記被印刷面に対する傾斜角度が、前記第１傾斜面の先端をなす第１先端部と、前記第１傾斜面の後端をなす第１後端部とを結ぶ第１仮想平面の前記被印刷面に対する傾斜角度よりも小さくなるように設定されており、前記ホルダにおいて前記第２傾斜面は、ペースト付着防止層で被覆され、前記ペースト付着防止層は、前記保持凹部の表面にまで及んでいることを特徴とするペースト印刷用スキージがある。また、上記課題を解決するための別の手段（手段２）としては、先端部に保持凹部を有するホルダと、前記保持凹部に保持され、一部が前記保持凹部から突出したブレード突出部を有する弾性体製のブレードとを備え、前記ブレードの進行方向側にペーストを供給した状態で被印刷面に沿って移動することにより前記ペーストを印刷するペースト印刷用スキージであって、前記ブレード突出部の進行方向側の面である第１傾斜面と、前記ホルダ先端部の進行方向側の面である第２傾斜面とが連続して配置されるとともに、前記被印刷面に対する前記第２傾斜面の傾斜角度が、前記被印刷面に対する前記第１傾斜面の傾斜角度よりも小さくなるように設定されており、前記ホルダにおいて前記第２傾斜面は、ペースト付着防止層で被覆され、前記ペースト付着防止層は、前記保持凹部の表面にまで及んでいることを特徴とするペースト印刷用スキージがある。
【００１２】
従って、手段１、２に記載の発明では、印刷時においてスキージを移動させると、ペーストは、まず第１傾斜面に沿って摺動案内されることで、第１傾斜面に連続して配置された第２傾斜面側にスムーズに受け渡され、さらに第２傾斜面に沿って摺動案内される。被印刷面に対する第２傾斜面（あるいは第２仮想平面）の傾斜角度は、被印刷面に対する第１傾斜面（あるいは第１仮想平面）の傾斜角度よりも小さいことから、このときペーストの流れる方向がローリングしやすい方向に変えられる。換言すると、スキージの駆動力がペーストの回転力に変換されやすくなる。その結果、ブレードに逃がし凹部をわざわざ設けなくてもローリングが起こりやすくなるとともに、ローリングスタートも早くなる。従って、ブレードのコスト性や汎用性を損なわずにペーストのローリング性を向上させることができ、良好な印刷層を形成することができる。
【００１３】
ホルダにおいて第２傾斜面よりも基端側には、スキージ幅方向に沿って延びる逃がし凹部が形成されていてもよい。この構成であると、第２傾斜面に摺動案内されたペーストが第２傾斜面のさらに上方に行こうとしても、逃がし凹部があることによってその移動が阻止される結果、ペーストが広い面積に付着することが防止される。従って、ローリング性を低下させる原因であるペーストの摺動抵抗増大を回避することができる。
【００１４】
ここで、ホルダを形成する材料は特に限定されず任意に選択可能であるが、硬質ゴム等の弾性体からなるブレードに比べて剛性の高いもの（金属、セラミック、樹脂などの材料）を使用することが好適である。その理由は、印刷時においてスキージには押圧力が加わるが、その際にブレードを位置ずれさせることなく確実に保持する必要があるからである。
【００１５】
上記手段１，２に記載の発明において、ホルダにおける第２傾斜面は、ペースト付着防止層で被覆されていることから、第２傾斜面にペーストが付着しにくくなり、第２傾斜面に対するペーストの摺動抵抗が低減される。ゆえに、ペーストがよりスムーズに摺動案内されることとなり、ローリング性がよりいっそう向上する。また、印刷終了時に第２傾斜面に付着したペーストを容易に除去することができる。
【００１６】
ペースト付着防止層としては特に限定されないが、例えば、第２傾斜面本来の表面状態よりも離形性を改善しうるような処理を施して被覆層を形成すること等が挙げられる。具体的には、第２傾斜面にフッ素樹脂等のコーティングを施すこと等が好適である。あるいは、第２傾斜面本来の表面粗さを小さくして滑面化するような処理を施してもよい。
【００１７】
なお、ブレードにおける第１傾斜面は、ペースト付着防止層で被覆されていないほうが好ましい。その理由は、硬質ゴム等からなるブレードの表面は元来滑面であってそもそも密着性の高いコーティングを施すことが困難であることに加え、ブレードのエッジ部分は印刷性維持の観点から露出させておく必要があるからである。また、ゴムは溶剤を含んで変形するので、コーティングが剥がれやすく、耐久性の観点から好ましくないからである。さらに、コーティング処理したブレードを頻繁に交換するとなると、コスト高につながるからである。
【００１８】
ペースト付着防止層は、逃がし凹部の表面にまで及んでいることが好ましく、より具体的には、第２傾斜面から連続して逃がし凹部の表面にまで及ぶ態様で形成されていることが好ましい。この構成によると、仮に逃がし凹部の表面にペーストが付着したとしても、ペースト付着防止層があることからペーストを容易に除去することができる。
【００１９】
上記手段１，２に記載の発明において、ペースト付着防止層は、保持凹部の表面にまで及んでいる。より具体的には、第２傾斜面から連続して保持凹部の表面にまで及ぶ態様で形成されていることが好ましい。この構成であると、スキージに対する印圧の付加によってブレードが撓んだときに、ブレードと保持凹部との間に隙間が生じにくくなる。また、隙間が生じてペーストが入り込んだとしても、保持凹部の表面に付着したペーストを後で容易に除去することができる。
【００２０】
そして上記課題を解決するための別の手段（手段３）としては、手段１または２に記載のスキージを備えたペースト印刷装置がある。従って、手段３に記載の装置によると、ブレードのコスト性や汎用性を損なわずにペーストのローリング性を向上させることができ、良好な印刷層を形成することができるペースト印刷装置とすることができる。
【００２１】
また、さらに別の（手段４）としては、手段１または２に記載のスキージを用いてペーストを印刷することにより、基板上に導体部を形成することを特徴とする配線基板の製造方法がある。従って、手段４に記載の製造方法によると、上記の優れたスキージを備えていることから、ペースト印刷性が確実に向上し、その結果として形状が揃った良好な導体部を有する配線基板を高歩留まりで製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明を具体化した一実施形態のペースト印刷用スキージを備えたペースト印刷装置を示す概略図。
【図２】実施形態のペースト印刷用スキージを示す概略図。
【図３】実施形態においてペースト印刷後の基板を示す断面図。
【図４】実施形態においてリフローを経て導体部が形成された基板（配線基板）を示す断面図。
【図５】別の実施形態のペースト印刷用スキージを備えたペースト印刷装置を示す要部拡大断面図。
【図６】別の実施形態のペースト印刷用スキージを備えたペースト印刷装置を示す要部拡大断面図。
【図７】別の実施形態のペースト印刷用スキージを備えたペースト印刷装置を示す要部拡大断面図。
【図８】別の実施形態のペースト印刷用スキージを備えたペースト印刷装置を示す要部拡大断面図。
【図９】別の実施形態のペースト印刷用スキージを備えたペースト印刷装置を示す要部拡大断面図。
【図１０】従来のペースト印刷用スキージを備えたペースト印刷装置を示す要部拡大断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明を具体化した一実施形態のスキージを備えるはんだペースト印刷装置及びそれを使用した配線基板１１の製造方法を図１〜図４に基づき詳細に説明する。
【００２４】
図１は、本実施形態において使用されるはんだペースト印刷装置２１を示す全体概略図である。このはんだペースト印刷装置２１は、配線基板１１を位置決めした状態で水平に保持するためのテーブル２３を備えている。このテーブル２３の上面には、矩形状をした配線基板１１（例えば一辺の長さが３００ｍｍ以上の大型の配線基板１１）が収容可能な寸法の保持凹部２３ａが設けられている。テーブル２３の下方位置には、テーブル駆動手段の一部をなす電動シリンダ２４が配設されている。テーブル２３の下面中央部は、上方に向かって延びる電動シリンダ２４のロッド部によって支持されている。この電動シリンダ２４は、テーブル駆動手段の一部をなすモータドライバ回路２５ａを介して、制御コンピュータ２５に電気的に接続されている。従って、制御コンピュータ２５から所定の制御信号が出力されると、モータドライバ回路２５ａを介して電動シリンダ２４内の図示しないモータが駆動される。その結果、電動シリンダ２４のロッド部が伸縮し、これに伴ってテーブル２３が図１の上下方向（Ｘ軸方向）に移動する。その結果、テーブル２３に保持された配線基板１１が昇降するようになっている。
【００２５】
このはんだペースト印刷装置２１は、テーブル２３の上方位置にマスク２６を備えている。マスク２６は、マスクプレート２６ａと、そのマスクプレート２２を支持するプレート支持枠２６ｂとを含んで構成されている。
【００２６】
マスクプレート２６ａは、ステンレス等の金属板（厚さ４０μｍ）からなり、平面視で矩形状を呈している。マスクプレート２６ａにおける中央部には、直径１４０μｍ程度の略円形状の貫通孔２６ｃが複数個かつ規則的に形成されている。これらの貫通孔２６ｃは、配線基板１１上の被印刷面１４の側にある印刷部位であるフリップチップパッド１６（接続端子）に対応して形成されている。なお、配線基板１１におけるフリップチップパッド１６は、直径約１２０μｍの略円形状であり、ソルダーレジスト１８の開口部１９にて露出した状態となっている（図２参照）。印刷時においてマスクプレート２６ａは、配線基板１１の被印刷面１４上に重ねて配置可能となっている。より具体的にいうと、マスクプレート２６ａの下面（マスク２２の内面）は、印刷時においてソルダーレジスト１８の表面にほぼ密着した状態で配置可能となっている。
【００２７】
プレート支持枠２６ｂはマスクプレート２６ａよりも剛性のある矩形枠状の金属部材であって、マスクプレート２６ａの外周部を支持している。プレート支持枠２６ｂは、テーブル２３の上面から水平方向に張り出した位置に配置されている。
【００２８】
このはんだペースト印刷装置２１は、テーブル２３の上方位置に、さらにスキージ２２とスキージ駆動手段２７とを備えている。スキージ２２は、スキージ駆動手段２７の下端面に支持されるとともに、全体的に前傾した状態で配置されている。本実施形態のスキージ駆動手段２７は、スキージ２２を図１の上下方向（Ｘ軸方向）及び図１の左右方向（Ｙ軸方向）に移動させるための手段であって、モータを利用した一対のボールねじ（図示略）を含んで構成されている。かかるＸ軸方向駆動用モータ及びＹ軸方向駆動用モータは、それぞれモータドライバ回路２５ｃを介して、制御コンピュータ２５に電気的に接続されている。従って、制御コンピュータ２５から所定の制御信号が出力されると、モータドライバ回路２５ｃを介して各モータが駆動される。その結果、スキージ２２がＸ軸方向及びＹ軸方向に動作するようになっている。なお、スキージ２２は、Ｘ軸方向への動作によりマスクプレート２６ａの上面に対して所定の圧力で押し付けられる。また、スキージ２２は、Ｙ軸方向への動作によりはんだペーストＰ１の充填印刷を行うようになっている。なお、本実施形態においては図１に示すマスクプレート２６ａの左端側がスキージ２２の移動始端側であり、右端側がスキージ２２の移動終端側である。
【００２９】
このはんだペースト印刷装置２１は、上端面にピン２８ａを有するマスクリフタ２８を備えている。版離れ手段であるマスクリフタ２８は、モータを利用した電動シリンダのロッド部の先端にピン２８ａを取り付けた構成となっている。このマスクリフタ２８はマスク２６におけるスキージ２２の移動始端側の下方に配置されており、ピン２８ａの先端はプレート支持枠２６ｂの下面に常時当接されている。かかるマスクリフタ２８は、押圧手段駆動手段であるモータドライバ回路２５ｄを介して、制御コンピュータ２５に電気的に接続されている。従って、制御コンピュータ２５から所定の制御信号が出力されると、前記モータドライバ回路２５ｄを介して電動シリンダ内の図示しないモータが駆動される。その結果、ピン２８ａが垂直方向に突出し、これに伴ってスキージ２２の移動始端側となるプレート支持枠２６ｂ（マスク２６の片側）が図１の上方向（Ｘ軸方向）に所定速度で持ち上げられる。その結果、配線基板１１の被印刷面１４上に重ねて配置されたマスク２６の片側が、数ｍｍほど被印刷面１４に対して離間するようになっている。
【００３０】
図２に示されるように、本実施形態のスキージ２２は、いわゆる平スキージと呼ばれるタイプのものであり、ホルダ３１とブレード４１とを備えている。このホルダ３１は２つの金属部材３３，３４を重ね合わせることで構成されており、その先端部（図１，２では下端部）にて開口する保持凹部３２を有している。保持凹部３２はスキージ幅方向に長く延びている。金属部材３３，３４は、例えばアルミニウムやステンレス等といった硬質ゴムよりも剛性の高い材料で構成されている。
【００３１】
本実施形態のブレード４１は硬質ゴムからなる平板状の弾性体である。ブレード４１は保持凹部３２に保持されていて、その下側の一部が保持凹部３２から突出したブレード突出部４２となっている。なお、ブレード突出部４２の突出量は、印刷条件の設定に応じて適宜調整可能となっている。
【００３２】
ブレード突出部４２の進行方向４３側の面を第１傾斜面４５と定義し、ホルダ４１先端部の進行方向４３側の面を第２傾斜面３５と定義する。このホルダ４１では、第１傾斜面４５と第２傾斜面３５とが連続して配置されている。スキージ２２を設置した状態では、第１傾斜面４５及び第２傾斜面３５が、被印刷面１４に対してともに４５度〜８５度ほど傾斜している。なお、マスクプレート２６ａを重ね合わせた状態では、被印刷面１４はマスクプレート２６ａと平行な位置関係になる。そして、本実施形態では、被印刷面１４に対する第２傾斜面３５の傾斜角度θ２が、被印刷面１４に対する第１傾斜面４５の傾斜角度θ１よりも小さくなるように設定されている。より具体的には、第２傾斜面３５の傾斜角度θ２が、被印刷面１４に対する第１傾斜面４５の傾斜角度θ１よりも小さくなるように（即ちθ２＜θ１に）設定されている。傾斜角度θ１，θ２の大きさの差は５度〜１５度程度であることが好ましい。傾斜角度差が小さすぎると期待する効果が十分に得られず、傾斜角度差が大きすぎるとかえってローリング性が悪化するおそれがあるからである。
【００３３】
図２に示されるように、スキージ２２を幅方向から見たときの第１傾斜面４５の長さ及び第２傾斜面３５の長さを比べると、第２傾斜面３５のほうがいくぶん長くなるように形成されている。なお、第１傾斜面４５の長さ及び第２傾斜面３５の長さは同程度であってもよい。
【００３４】
ホルダ３１を構成する金属部材３４において第２傾斜面３５よりも基端側（図２では上側）の部位には、スキージ２２の幅方向に沿って延びる逃がし凹部３６が形成されている。また、ホルダ３１を構成する金属部材３４にフッ素樹脂のコーティングを施すことによりペースト付着防止層３７が形成されている。ペースト付着防止層３７は、第２傾斜面３５を全体的に被覆するのみならず、逃がし凹部３６の表面や保持凹部３２の表面３２ａの一部にまで及んでそれらを被覆している。
【００３５】
次に、このはんだペースト印刷装置２１を用いて配線基板１１にフリップチップ用はんだバンプ１３（導体部）を形成する手順を説明する。
【００３６】
図２に示されるように、印刷を行うにあたり、まず、被印刷物である大型の配線基板１１を保持凹部２３ａに保持させる。この後、テーブル２３を上昇させて配線基板１１の被印刷面１４をマスクプレート２６ａに密着させる。このとき、マスク２６の内面と配線基板１１の被印刷面１４とは、ほぼ平行な位置関係となる。また、マスク２６の各貫通孔２６ｃは、ソルダーレジスト１８の各開口部１９に対応した位置関係となる。なお、マスクリフタ２８のピン２８ａはこの時点ではまだ没入している。
【００３７】
次に、スキージ駆動手段２７を駆動してスキージ２２を下動させ、スキージ２２のブレード４１の下端縁をマスクプレート２６ａの移動始端側に接触させる。マスクプレート２６ａの上面かつスキージ２２の進行方向側（即ち図２では右側）の位置には、図示しないペースト供給手段によって、適量のはんだペーストＰ１（Ｐｂ−Ｓｎ系はんだ、Ｓｎ−Ａｇ系はんだ、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ系はんだ、Ｓｎ−Ｚｎ系はんだ等の公知の材料）を供給しておく。
【００３８】
そして、移動速度及び印圧を適宜設定したうえで、スキージ２２をマスク面方向及び被印刷面１４の面方向に沿って（具体的には図２の左側から右側へ向けて）移動させる。これにより、はんだペーストＰ１が貫通孔２６ｃ及び開口部１９内に充填され、マスク２６の厚さに相当する高さのはんだペースト印刷層が形成される（図３参照）。このはんだペースト印刷層は、後にフリップチップ用はんだバンプ１３となるべきものである。
【００３９】
次に、マスクリフタ２４を所定のタイミングで駆動し、ピン２８ａを上方に突出させることにより、マスク２６を版離れさせる。すると、はんだペースト印刷層がマスク２６の貫通孔２６ｃから抜け出す。
【００４０】
以上のようなはんだペースト印刷を経た配線基板１１については、次いで所定条件下でリフローを行い、はんだペースト印刷層を溶融させる。その結果、高さ及び形状の揃ったフリップチップ用はんだバンプ１３を有する配線基板１１が完成する（図４参照）。
【００４１】
従って、本実施形態によれば以下の効果を得ることができる。
（１）本実施形態のはんだペースト印刷装置１１の場合、印刷時においてスキージ２２を移動させると、はんだペーストＰ１は、まず第１傾斜面４５に沿って摺動案内されることで、第１傾斜面４５に連続して配置された第２傾斜面３５側にスムーズに受け渡され、さらに第２傾斜面３５に沿って摺動案内される。被印刷面１４に対する第２傾斜面３５の傾斜角度θ２は、被印刷面１４に対する第１傾斜面４５の傾斜角度θ１よりも小さいことから、このときはんだペーストＰ１の流れる方向がローリングしやすい方向（図２中の矢印参照）に変えられる。換言すると、スキージ２２の進行方向４３への駆動力がはんだペーストＰ１の回転力に変換されやすくなる。その結果、従来技術のようにブレード４１に逃がし凹部をわざわざ設けなくてもローリングが起こりやすくなるとともに、ローリングスタートも早くなる。従って、市販されている単純かつ対象な断面形状を有するブレード４１の使用が可能となり、ブレード４１のコスト性や汎用性を損なわずにはんだペーストＰ１のローリング性を向上させることができ、良好なはんだペースト印刷層を形成することができる。また、このような優れた構造のスキージ２２を備えたはんだペースト印刷装置１１を用いてはんだペースト印刷層を形成することにより、形状が揃った良好な導体部を有する配線基板１１を高歩留まりで製造することができる。
【００４２】
（２）本実施形態では、ホルダ３２において第２傾斜面３５よりも基端側に延びる逃がし凹部３６を形成しているため、第２傾斜面３５に摺動案内されたはんだペーストＰ１が第２傾斜面３５のさらに上方に行こうとしても、逃がし凹部３６があることによってその移動が阻止される。その結果、はんだペーストＰ１が広い面積に付着することが防止される。従って、ローリング性を低下させる原因であるはんだペーストＰ１の摺動抵抗増大を回避することができる。
【００４３】
（３）本実施形態では、ホルダ３１における第２傾斜面３５がペースト付着防止層３６で被覆されているので、第２傾斜面３５にはんだペーストＰ１が付着しにくくなり、第２傾斜面３５に対するはんだペーストＰ１の摺動抵抗が低減される。ゆえに、はんだペーストＰ１がよりスムーズに摺動案内されることとなり、ローリング性がよりいっそう向上する。また、印刷終了時に第２傾斜面３５に付着したはんだペーストＰ１を容易に除去することができ、メンテナンス性が向上する。
【００４４】
なお、本発明の実施の形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、スキージ２２により印刷されるペーストをはんだペーストＰ１としたが、これに限定されることはない。例えば、はんだ以外の導電性金属を含む金属ペーストのほか、導電性の如何を問わず何らかの粒子を含むペーストなどを、本発明のスキージ２２で印刷してもよい。また、ペーストは配線基板１１の製造時に使用するものに限定されず、配線基板１１以外の製品の製造時に使用するものであってもよい。
【００４５】
・上記実施形態では、本発明をいわゆる平スキージを備えるペースト印刷装置２１に具体化したが、平スキージ以外のタイプのスキージを備えるものに具体化することもできる。例えば、図５に示す別の実施形態のペースト印刷装置２１Ａは、いわゆる剣スキージを備えている。この実施形態におけるスキージ２２Ａはホルダ３１Ａとブレード４１Ａとを含んで構成されている。特にブレード４１Ａに関しては、その先端がテーパ状に形成され、それゆえ剣のような形状を有している。また、図６に示す別の実施形態のペースト印刷装置２１Ｂは、いわゆる角スキージを備えている。この実施形態におけるスキージ２２Ｂはホルダ３１Ｂとブレード４１Ｂとを含んで構成されている。特にブレード４１Ｂに関しては、断面が矩形状であることから、角棒のような形状を有している。そして、これらスキージ２２Ａ，２２Ｂにおいても、２つの傾斜角度が「θ２＜θ１」という関係となるように設定されている。ゆえに、単純かつ対称な断面形状のブレード４１Ａ，４１Ｂを使用でき、ブレード４１Ａ，４１Ｂのコスト性や汎用性を損なわずにはんだペーストＰ１のローリング性を向上させることができ、良好なはんだ印刷層を形成することができる。
【００４６】
・上記実施形態では、被印刷物である配線基板１１の被印刷面１４に導体部を形成するべくはんだペースト印刷層を形成したが、導体部ははんだバンプ１３に限定されない。例えば、配線パターンとなるべきはんだペースト印刷層を被印刷面１４上に印刷する際に本発明を適用してもよい。さらに、本発明のスキージ及びペースト印刷装置は、配線基板１１を被印刷物とするばかりでなく、配線基板１１以外のものを被印刷物としてもよい。
【００４７】
・上記実施形態では、ホルダ３２における第２傾斜面３５、逃がし凹部３６の表面及び保持凹部３２の表面３２ａの一部を被覆するペースト付着防止層３７を形成したが、これをホルダ３２の外表面全体にわたり形成してもよい。また、このようなペースト付着防止層３７を設ける代わりに、ホルダ自体をフッ素樹脂等のような材料で形成してもよい。
【００４８】
・上記実施形態では、ブレード突出部４２の進行方向４３側の第１傾斜面４５、ホルダ３１，３１Ａ，３１Ｂ先端部の進行方向４３側の第２傾斜面３５が、ともに平面であったが、これらは必ずしも平面でなくてもよい。例えば、図７に示す別の実施形態のペースト印刷装置２１Ｃの場合、スキージ２２Ｃを構成するブレード４１Ａにおけるブレード突出部４２の進行方向４３側の第２傾斜面３５が、進行方向４３と反対側に凹んだ凹曲面となっている。同じく、ホルダ３１先端部の進行方向４３側の第１傾斜面４５も、進行方向４３と反対側に凹んだ凹曲面となっている。凹曲面である第１傾斜面４５と凹曲面である第２傾斜面３５とは連続して配置されている。図７において、２つの凹曲面は曲率がほぼ等しくなるように形成されているが、一方の曲率が他方の曲率よりも大きくなるように形成されていてもよい。第２傾斜面３５の先端をなす第２先端部Ｓ２ｂと、第２傾斜面３５の後端をなす第２後端部Ｓ２ａとを結ぶ面を、第２仮想平面Ｓ２と定義する。また、第１傾斜面４５の先端をなす第１先端部Ｓ１ｂと、第１傾斜面４５の後端をなす第１後端部Ｓ１ａとを結ぶ面を、第１仮想平面Ｓ１と定義する。この場合、第２仮想平面Ｓ２の被印刷面１４に対する傾斜角度θ２が、第１仮想平面Ｓ１の被印刷面１４に対する傾斜角度θ１よりも小さくなるように設定されている。従って、このような構造によると、はんだペーストＰ１は２つの凹曲面に沿ってスムーズに流れることができる。そのため、はんだペーストＰ１のローリング性をいっそう向上させることができ、良好な印刷層を形成することができる。
【００４９】
なお、図８に示す別の実施形態のペースト印刷装置２１Ｄでは、スキージ２２Ｄを構成するブレード４１Ａにおけるブレード突出部４２の進行方向４３側の第１傾斜面４５は、進行方向４３と反対側に凹んだ凹曲面となっている。一方、ホルダ３１先端部の進行方向４３側の第２傾斜面３５は、凹みのない平面となっている。平面である第２傾斜面３５と凹曲面である第１傾斜面４５とは連続して配置されるとともに、上記傾斜角度θ２が上記傾斜角度θ１よりも小さくなるように設定されている。
【００５０】
また、図９に示す別の実施形態のペースト印刷装置２１Ｅでは、スキージ２２Ｅを構成するブレード４１Ａにおけるブレード突出部４２の進行方向４３側の第１傾斜面４５は、凹みのない平面となっている。一方、ホルダ３１先端部の進行方向４３側の第２傾斜面３５は、進行方向４３と反対側に凹んだ凹曲面となっている。凹曲面である第２傾斜面３５と平面である第１傾斜面４５とは連続して配置されるとともに、上記傾斜角度θ２が上記傾斜角度θ１よりも小さくなるように設定されている。
【００５１】
次に、前述した実施の形態によって把握される技術的思想を以下に列挙する。
（１）手段４において、前記ペーストははんだペーストであり、前記導体部は前記はんだペーストをリフローして得られるはんだバンプであること。
（２）手段１乃至４のいずれか１つにおいて、前記被印刷面に対する前記第１傾斜面または第１仮想平面の傾斜角度、及び前記被印刷面に対する前記第２傾斜面または第２仮想平面の傾斜角度は、４５度以上８５度以下であり、それらの角度の差が５度以上１５度以下であること。
【符号の説明】
【００５２】
１１…配線基板
１２…基板
１３…導体部
１４…被印刷面
２１，２１Ａ〜２１Ｅ…（はんだ）ペースト印刷装置
２２，２２Ａ〜２２Ｅ…ペースト印刷用スキージ
３１…ホルダ
３２…保持凹部
３５…第１傾斜面
３６…逃がし凹部
３７…ペースト付着防止層
４１…ブレード
４２…ブレード突出部
４３…ブレードの進行方向
４５…第２傾斜面
Ｐ１…（はんだ）ペースト
Ｓ１…第１仮想平面
Ｓ１ｂ…第１先端部
Ｓ１ａ…第１後端部
Ｓ２…第２仮想平面
Ｓ２ｂ…第２先端部
Ｓ２ａ…第２後端部
θ１…（第１傾斜面または第１仮想平面の）傾斜角度
θ２…（第２傾斜面または第２仮想平面の）傾斜角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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