(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体を支持する支持手段と、
接着シートを前記被着体の上に配置するシート配置手段と、
赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する加熱線照射手段と、
閉空間を形成する上蓋及びチャンバ本体を有し、前記被着体および前記接着シートを当該閉空間内で真空を含む減圧雰囲気下に置く密閉手段と、
前記減圧雰囲気下で気圧差によって前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記電磁波を透過可能に設けられるとともに、前記接着シートを前記被着体の外周部のみに押圧する外周押圧手段とを備え、
前記加熱線照射手段は、前記閉空間の外部であって、前記上蓋の上面部と、当該上蓋の側面部とに設けられており、
前記外周押圧手段は、前記被着体の外周縁に沿った領域を押圧可能な弾性部材からなる円環状の当接部材と、前記当接部材を支持する保持部材とを備え、前記当接部材及び保持部材は、前記加熱照射手段が照射する加熱線を透過可能な素材で構成され、前記上蓋の上面部と当該上蓋の側面部には前記加熱線照射手段に対応して加熱線透過部が設けられる
ことを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
被着体を支持する支持手段と、
接着シートを前記被着体の上に配置するシート配置手段と、
赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する加熱線照射手段と、
閉空間を形成する上蓋及びチャンバ本体を有し、前記被着体および前記接着シートを当該閉空間内で真空を含む減圧雰囲気下に置く密閉手段と、
前記減圧雰囲気下で気圧差によって前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記電磁波を透過可能に設けられるとともに、前記接着シートを前記被着体の外周部のみに押圧する外周押圧手段とを備え、
前記加熱線照射手段は、前記閉空間の外部であって、前記上蓋の上面部と、前記チャンバ本体の側面部とに設けられており、
前記外周押圧手段は、前記被着体の外周縁に沿った領域を押圧可能な弾性部材からなる円環状の当接部材と、前記当接部材を支持する保持部材とを備え、前記当接部材及び保持部材は、前記加熱照射手段が照射する加熱線を透過可能な素材で構成され、前記上蓋の上面部と前記チャンバ本体の側面部には前記加熱線照射手段に対応して加熱線透過部が設けられる
ことを特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
被着体を支持する支持手段と、
接着シートを前記被着体の上に配置するシート配置手段と、
赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する加熱線照射手段と、
閉空間を形成する上蓋及びチャンバ本体を有し、前記被着体および前記接着シートを当該閉空間内で真空を含む減圧雰囲気下に置く密閉手段と、
前記減圧雰囲気下で気圧差によって前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記電磁波を透過可能に設けられるとともに、前記接着シートを前記被着体の外周部のみに押圧する外周押圧手段とを備え、
前記加熱線照射手段は、前記閉空間の外部であって、前記上蓋の上面部と、当該上蓋の側面部と、前記チャンバ本体の側面部とに設けられており、
前記外周押圧手段は、前記被着体の外周縁に沿った領域を押圧可能な弾性部材からなる円環状の当接部材と、前記当接部材を支持する保持部材とを備え、前記当接部材及び保持部材は、前記加熱照射手段が照射する加熱線を透過可能な素材で構成され、前記上蓋の上面部と当該上蓋の側面部と前記チャンバ本体の側面部には前記加熱線照射手段に対応して加熱線透過部が設けられる
ことを特徴とするシート貼付装置。
【請求項４】
被着体を支持する工程と、
接着シートを前記被着体の上に配置する工程と、
赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する工程と、
上蓋及びチャンバ本体で閉空間を形成し、前記被着体および前記接着シートを当該閉空間内で真空を含む減圧雰囲気下に置く工程と、
前記減圧雰囲気下で気圧差によって前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する工程と、
前記電磁波を透過可能に設けられた外周押圧手段で前記接着シートを前記被着体の外周部のみに押圧する工程とを備え、
前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する工程において、前記閉空間の外部であって、前記上蓋の上面部と、当該上蓋の側面部とに設けられた加熱線照射手段で加熱を行い、
前記外周押圧手段は、前記被着体の外周縁に沿った領域を押圧可能な弾性部材からなる円環状の当接部材と、前記当接部材を支持する保持部材とを備え、前記当接部材及び保持部材は、前記加熱照射手段が照射する加熱線を透過可能な素材で構成され、前記上蓋の上面部と当該上蓋の側面部には前記加熱線照射手段に対応して加熱線透過部が設けられる
ことを特徴とするシート貼付方法。
【請求項５】
被着体を支持する工程と、
接着シートを前記被着体の上に配置する工程と、
赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する工程と、
上蓋及びチャンバ本体で閉空間を形成し、前記被着体および前記接着シートを当該閉空間内で真空を含む減圧雰囲気下に置く工程と、
前記減圧雰囲気下で気圧差によって前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する工程と、
前記電磁波を透過可能に設けられた外周押圧手段で前記接着シートを前記被着体の外周部のみに押圧する工程とを備え、
前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する工程において、前記閉空間の外部であって、前記上蓋の上面部と、前記チャンバ本体の側面部とに設けられた加熱線照射手段で加熱を行い、
前記外周押圧手段は、前記被着体の外周縁に沿った領域を押圧可能な弾性部材からなる円環状の当接部材と、前記当接部材を支持する保持部材とを備え、前記当接部材及び保持部材は、前記加熱照射手段が照射する加熱線を透過可能な素材で構成され、前記上蓋の上面部と前記チャンバ本体の側面部には前記加熱線照射手段に対応して加熱線透過部が設けられる
ことを特徴とするシート貼付方法。
【請求項６】
被着体を支持する工程と、
接着シートを前記被着体の上に配置する工程と、
赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する工程と、
上蓋及びチャンバ本体で閉空間を形成し、前記被着体および前記接着シートを当該閉空間内で真空を含む減圧雰囲気下に置く工程と、
前記減圧雰囲気下で気圧差によって前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する工程と、
前記電磁波を透過可能に設けられた外周押圧手段で前記接着シートを前記被着体の外周部のみに押圧する工程とを備え、
前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する工程において、前記閉空間の外部であって、前記上蓋の上面部と、当該上蓋の側面部と、前記チャンバ本体の側面部とに設けられた加熱線照射手段で加熱を行い、
前記外周押圧手段は、前記被着体の外周縁に沿った領域を押圧可能な弾性部材からなる円環状の当接部材と、前記当接部材を支持する保持部材とを備え、前記当接部材及び保持部材は、前記加熱照射手段が照射する加熱線を透過可能な素材で構成され、前記上蓋の上面部と当該上蓋の側面部と前記チャンバ本体の側面部には前記加熱線照射手段に対応して加熱線透過部が設けられる
ことを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体基板などの被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置として、粘着テープを半導体基板に貼付して不要なレジスト除去を行う装置が提案されている（特許文献１）。この装置では、チャンバ内に半導体基板を載せるヒータ内蔵型のテーブルが設けられ、半導体基板は、内蔵されたヒータにより加熱される。半導体基板には粘着テープが覆い被せられ、粘着テープは加熱した半導体基板にローラにより圧接される。このとき粘着テープの粘着剤が、加熱された半導体基板の熱により軟化され、粘着テープは半導体基板に貼付され易くなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−０６８３９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、ヒータによってテーブルが加熱される構成では、ヒータの配置（分布）によって、半導体基板が一様に加熱されずに温度斑ができ、この温度斑によって、粘着テープが強く接着した部分や、そうでない部分ができてしまい、粘着テープの貼付不良が発生する。また、接着シートを半導体基板に貼付している最中に、ヒータのメンテナンス（例えば交換）を行うことができない。これにより、接着シートを貼付中にヒータに何らかの不具合が発生した場合、半導体基板をテーブルから一旦取り除く必要があり、半導体製造工程における単位時間当たりの生産数を低下させたり、接着シートの貼付動作中にテーブルから取り除かれた半導体基板は、接着シートの貼付不良品として取り扱われるため不良品発生率が上昇したりする。
【０００５】
本発明は、被着体や接着シートを一様に加熱して当該被着体に接着シートを貼付することができるシート貼付装置及びシート貼付方法を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１のシート貼付装置は、被着体を支持する支持手段と、接着シートを前記被着体の上に配置するシート配置手段と、赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する加熱線照射手段と、閉空間を形成する上蓋及びチャンバ本体を有し、前記被着体および前記接着シートを当該閉空間内で真空を含む減圧雰囲気下に置く密閉手段と、前記減圧雰囲気下で気圧差によって前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段と、前記電磁波を透過可能に設けられるとともに、前記接着シートを前記被着体の外周部のみに押圧する外周押圧手段とを備え、前記加熱線照射手段は、前記閉空間の外部であって、前記上蓋の上面部と、当該上蓋の側面部とに設けられており、前記外周押圧手段は、前記被着体の外周縁に沿った領域を押圧可能な弾性部材からなる円環状の当接部材と、前記当接部材を支持する保持部材とを備え、前記当接部材及び保持部材は、前記加熱照射手段が照射する加熱線を透過可能な素材で構成され、前記上蓋の上面部と当該上蓋の側面部には前記加熱線照射手段に対応して加熱線透過部が設けられることを特徴としている。
【０００７】
本発明の第２のシート貼付装置は、被着体を支持する支持手段と、接着シートを前記被着体の上に配置するシート配置手段と、赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する加熱線照射手段と、閉空間を形成する上蓋及びチャンバ本体を有し、前記被着体および前記接着シートを当該閉空間内で真空を含む減圧雰囲気下に置く密閉手段と、前記減圧雰囲気下で気圧差によって前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段と、前記電磁波を透過可能に設けられるとともに、前記接着シートを前記被着体の外周部のみに押圧する外周押圧手段とを備え、前記加熱線照射手段は、前記閉空間の外部であって、前記上蓋の上面部と、前記チャンバ本体の側面部とに設けられており、前記外周押圧手段は、前記被着体の外周縁に沿った領域を押圧可能な弾性部材からなる円環状の当接部材と、前記当接部材を支持する保持部材とを備え、前記当接部材及び保持部材は、前記加熱照射手段が照射する加熱線を透過可能な素材で構成され、前記上蓋の上面部と前記チャンバ本体の側面部には前記加熱線照射手段に対応して加熱線透過部が設けられることを特徴としている。
【０００８】
本発明の第３のシート貼付装置は、被着体を支持する支持手段と、接着シートを前記被着体の上に配置するシート配置手段と、赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する加熱線照射手段と、閉空間を形成する上蓋及びチャンバ本体を有し、前記被着体および前記接着シートを当該閉空間内で真空を含む減圧雰囲気下に置く密閉手段と、前記減圧雰囲気下で気圧差によって前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段と、前記電磁波を透過可能に設けられるとともに、前記接着シートを前記被着体の外周部のみに押圧する外周押圧手段とを備え、前記加熱線照射手段は、前記閉空間の外部であって、前記上蓋の上面部と、当該上蓋の側面部と、前記チャンバ本体の側面部とに設けられており、前記外周押圧手段は、前記被着体の外周縁に沿った領域を押圧可能な弾性部材からなる円環状の当接部材と、前記当接部材を支持する保持部材とを備え、前記当接部材及び保持部材は、前記加熱照射手段が照射する加熱線を透過可能な素材で構成され、前記上蓋の上面部と当該上蓋の側面部と前記チャンバ本体の側面部には前記加熱線照射手段に対応して加熱線透過部が設けられることを特徴としている。
【０００９】
本発明の第１のシート貼付方法は、被着体を支持する工程と、接着シートを前記被着体の上に配置する工程と、赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する工程と、上蓋及びチャンバ本体で閉空間を形成し、前記被着体および前記接着シートを当該閉空間内で真空を含む減圧雰囲気下に置く工程と、前記減圧雰囲気下で気圧差によって前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する工程と、前記電磁波を透過可能に設けられた外周押圧手段で前記接着シートを前記被着体の外周部のみに押圧する工程とを備え、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する工程において、前記閉空間の外部であって、前記上蓋の上面部と、当該上蓋の側面部とに設けられた加熱線照射手段で加熱を行い、前記外周押圧手段は、前記被着体の外周縁に沿った領域を押圧可能な弾性部材からなる円環状の当接部材と、前記当接部材を支持する保持部材とを備え、前記当接部材及び保持部材は、前記加熱照射手段が照射する加熱線を透過可能な素材で構成され、前記上蓋の上面部と当該上蓋の側面部には前記加熱線照射手段に対応して加熱線透過部が設けられることを特徴としている。
【００１０】
本発明の第２のシート貼付方法は、被着体を支持する工程と、接着シートを前記被着体の上に配置する工程と、赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する工程と、上蓋及びチャンバ本体で閉空間を形成し、前記被着体および前記接着シートを当該閉空間内で真空を含む減圧雰囲気下に置く工程と、前記減圧雰囲気下で気圧差によって前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する工程と、前記電磁波を透過可能に設けられた外周押圧手段で前記接着シートを前記被着体の外周部のみに押圧する工程とを備え、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する工程において、前記閉空間の外部であって、前記上蓋の上面部と、前記チャンバ本体の側面部とに設けられた加熱線照射手段で加熱を行い、前記外周押圧手段は、前記被着体の外周縁に沿った領域を押圧可能な弾性部材からなる円環状の当接部材と、前記当接部材を支持する保持部材とを備え、前記当接部材及び保持部材は、前記加熱照射手段が照射する加熱線を透過可能な素材で構成され、前記上蓋の上面部と前記チャンバ本体の側面部には前記加熱線照射手段に対応して加熱線透過部が設けられることを特徴としている。
【００１１】
本発明の第３のシート貼付方法は、被着体を支持する工程と、接着シートを前記被着体の上に配置する工程と、赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する工程と、上蓋及びチャンバ本体で閉空間を形成し、前記被着体および前記接着シートを当該閉空間内で真空を含む減圧雰囲気下に置く工程と、前記減圧雰囲気下で気圧差によって前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する工程と、前記電磁波を透過可能に設けられた外周押圧手段で前記接着シートを前記被着体の外周部のみに押圧する工程とを備え、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する工程において、前記閉空間の外部であって、前記上蓋の上面部と、当該上蓋の側面部と、前記チャンバ本体の側面部とに設けられた加熱線照射手段で加熱を行い、前記外周押圧手段は、前記被着体の外周縁に沿った領域を押圧可能な弾性部材からなる円環状の当接部材と、前記当接部材を支持する保持部材とを備え、前記当接部材及び保持部材は、前記加熱照射手段が照射する加熱線を透過可能な素材で構成され、前記上蓋の上面部と当該上蓋の側面部と前記チャンバ本体の側面部には前記加熱線照射手段に対応して加熱線透過部が設けられることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、赤外線領域からマイクロ波領域に掛けた所定の波長域の電磁波を照射する加熱線照射手段を設けたことで、ヒータ等の加熱手段の配置による温度斑ができることを抑制し、被着体や接着シートを一様に加熱して当該被着体に接着シートを貼付することができる。
また、被着体と接着シートとを真空を含む減圧雰囲気下に置くことで、気泡が介在した状態で被着体に接着シートが貼付されることを防止することができる。
更に、加熱線照射手段を被着体および接着シートに接触することのない位置に設けることで、加熱線照射手段を配置する位置に制約を受けることなく、装置設計の自由度が生まれる。
また、密閉手段により減圧雰囲気下に置かれる閉空間の外部に加熱線照射手段が配置されれば、例えば、接着シートを貼付中に加熱線照射手段に何らかの不具合が発生した場合、被着体を支持手段から一旦取り除くことなく、メンテナンスを行うことができる。
更に、電磁波を透過可能な外周押圧手段を備えた構成により、外周押圧手段によって電磁波の照射が阻害されることなく、被着体や接着シートに温度斑ができることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態であるシート貼付装置の構成を示す模式的な断面図。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）は、シート貼付装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
【００１５】
図１において、本発明のシート貼付装置１０は、被着体としての半導体ウエハ（以下「ウエハ」と称す場合がある）Ｗを支持する支持手段１と、接着シートＳをウエハＷの上に配置するシート配置手段２と、接着シートＳをウエハＷの外周部に押圧する外周押圧手段３と、接着シートＳをウエハＷに押圧して貼付する押圧手段４と、赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波（以下「加熱線」と称す場合がある）をウエハＷ及び接着シートＳの少なくとも一方に向けて照射することで、ウエハＷ及び接着シートＳの少なくとも一方を加熱する加熱線照射手段５と、上蓋１２とチャンバ本体１３とで閉空間Ｃ（図２参照）を形成するとともに、ウエハＷおよび接着シートＳを真空を含む減圧雰囲気下に置く密閉手段６と、ウエハＷに貼付された接着シートＳをウエハＷの外周縁に沿って切断するための切断手段７とを備えている。
【００１６】
支持手段１は、図１中上面に図示しない複数の吸引孔が設けられたテーブル１４と、チャンバ本体１３内に配置されテーブル１４を昇降可能に支持する直動モータ１５とを備えている。テーブル１４には、ウエハＷのサイズに合わせて当該ウエハＷの外周縁に沿って位置する溝２８が形成されている。
【００１７】
シート配置手段２は、長尺状の接着シートＳを繰り出し可能に巻回して支持する支持ローラ３１Ａと、接着シートＳを掛け回す複数のガイドローラ３１Ｂと、図示しない駆動手段を介して回転力が付与されて接着シートＳを巻き取る巻取ローラ３１Ｃと、モータ３１Ｄによって回転力が付与されて駆動する駆動ローラ３１Ｅと、駆動ローラ３１Ｅとで接着シートＳを挟み込むピンチローラ３１Ｆと、モータ３１Ｄと駆動ローラ３１Ｅとピンチローラ３１Ｆとを支持するとともに、図示しない駆動手段を介して図１中左右方向に移動可能に構成された移動プレート３１Ｇとにより構成されている。
【００１８】
外周押圧手段３は、複数の貫通孔２０が設けられた保持部材１８と、ウエハＷの外縁形状に合わせて形成されるとともに、ウエハＷの外周縁に沿った領域を押圧可能に設けられた円環状の当接部材１７と、上蓋１２の図１下方に設けられ、その出力軸によって保持部材１８を昇降可能に支持する直動モータ１９とを備えている。なお、当接部材１７は、ゴムや樹脂等の弾性部材によって構成されている。また、保持部材１８と当接部材１７とは、加熱線照射手段５が照射する加熱線を透過できる素材で形成されている。
【００１９】
押圧手段４は、上蓋１２に取り付けられるとともに、図示しない減圧ポンプや加圧ポンプ等の空圧制御手段に接続された配管２３を備え、閉空間Ｃを減圧したり加圧したりすることで、接着シートＳをウエハＷに押圧して貼付することが可能になっている。
【００２０】
加熱線照射手段５は、上蓋１２の図１中上面外側に立設されたスタンド２１Ａの下方に設けられた加熱線照射器２１を備え、閉空間Ｃ内に加熱線を照射可能に設けられている。なお、加熱線照射器２１は、赤外線領域として０．７μｍ〜１ｍｍの波長から、マイクロ波領域として１００μｍ〜１ｍの波長の加熱線を照射可能に設けられ、接着シートＳやウエハＷの材質や性質等によって、照射する波長を適宜選択して使用することができる。これにより、例えば、接着シートＳだけを加熱可能な波長の加熱線を照射したり、ウエハＷだけを加熱可能な波長の加熱線を照射したり、接着シートＳとウエハＷとの両方を加熱可能な波長の加熱線を照射したりすることができる。
【００２１】
密閉手段６を構成する、チャンバ本体１３の上端面には、シール部材１６が設けられ、閉空間Ｃが形成されたときに当該閉空間Ｃを外部と気密的に隔離する。また、上蓋１２の図１中上面外側であって、加熱線照射器２１の下方には、加熱線が透過できる素材で形成された加熱線透過部２２が設けられている。これにより、閉空間Ｃ内に配置されたウエハＷや接着シートＳに加熱線を照射可能となっている。また、上蓋１２は、図示しない移動機構によりチャンバ本体１３に対して図１中上下方向、および左右方向に移動可能に設けられている。
ここで、例えば加熱線として赤外線が選択されるときには、例えば、加熱線透過部２２と保持部材１８を耐熱ガラスで形成し、当接部材１７をシリコン樹脂で形成することができる。なお、加熱線透過部２２、保持部材１８及び当接部材１７それぞれを構成する材料は、加熱線照射手段５が発する加熱線の波長に応じ、当該加熱線を透過できる材料を適宜選択して使用できる。
【００２２】
切断手段７は、チャンバ本体１３の上方に配置されたモータ２７と、このモータ２７の出力軸２７Ａに取り付けられたアーム２５と、アーム２５の先端部に取り付けられた刃２６とを備え、図示しない移動機構により図１中上下方向に昇降可能とされている。アーム２５、刃２６は回転モータ２７の回転によりウエハＷの中心を回転中心として回転する。
【００２３】
以下、本発明のシート貼付装置のシート貼付動作について説明する。
ウエハＷがテーブル１４上の所定位置、つまり、溝２８に沿ってウエハＷの外周縁が位置するように載置されると、図示しない吸引孔を介して当該ウエハＷが吸着保持される。次いで、図１中二点鎖線で示された位置に停止していた移動プレート３１Ｇが同図実線で示された位置に移動する。このとき、モータ３１Ｄはロックされ、巻取ローラ３１Ｃに回転力を付与する図示しない駆動手段が駆動することで、新しい接着シートＳがウエハＷ上に配置される。その後、図２（Ａ）に示されるように、上蓋１２がチャンバ本体１３に向けて下降され、上蓋１２の枠端面が接着シートＳを挟んで、外部と気密的に隔絶された単一の閉空間Ｃを形成する。なお、接着シートＳによって閉空間Ｃが図２中上下別空間に分断されることはない。このときウエハＷおよび当接部材１７は、接着シートＳから僅かに隙間を隔てた上下に位置している。
【００２４】
上蓋１２が閉じられると、配管２３を介して閉空間Ｃ内の減圧が行われ、加熱線照射器２１から加熱線が照射される。所定時間の加熱線照射が行われるとともに、図示しないセンサを介して閉空間Ｃ内が所定の減圧状態になったことが確認されると、図２（Ｂ）に示されるように、テーブル１４が直動モータ１５により上昇され、当接部材１７が直動モータ１９により下降される。これにより、ウエハＷの上面が接着シートＳの高さまで上昇され、当接部材１７が接着シートＳを挟んでウエハＷの外周部に押圧される。その後、配管２３を介して閉空間Ｃ内の減圧が解かれる（大気圧が導入される）と、当接部材１７の内側であって、接着シートＳとウエハＷとで囲まれた領域は、当接部材１７の押圧によって減圧が解かれることがないので、大気圧との圧力差によって接着シートＳがウエハＷの表面に押圧されて貼付されることとなる。このとき、ウエハＷ及び接着シートＳの少なくとも一方は、加熱線照射器２１からの加熱線照射によって加熱されているので、接着シートＳの接着剤は軟化してウエハＷの表面に貼付され易くなっている。更に、従来のようにヒータの配置によって、ウエハＷや接着シートＳが一様に加熱されなくなることに起因した接着シートＳの貼付斑ができることを解消することができる。なお、圧力差によって接着シートＳをウエハＷの表面に貼付するときに、配管２３を通して閉空間Ｃ内に大気圧以上の加圧空気を導入してもよい。
【００２５】
その後、加熱線照射器２１からの加熱線の照射が停止され、当接部材１７が直動モータ１９により上昇されるとともに、上蓋１２がチャンバ本体１３の上方から移動される。次いで、図１の二点鎖線で示すように、切断手段２４が下降して刃２６が接着シートＳを貫通し、その刃先がテーブル１４の溝２８内に位置する。この状態で回転モータ２７を駆動することにより、刃２６でウエハＷの表面に貼付された接着シートＳをウエハＷの外周縁に沿って切断する。次いで、接着シートＳが貼付されたウエハＷは、図示しない搬送手段によりテーブル１４上から他の装置等に搬送される。そして、図１中実線位置で停止していた移動プレート３１Ｇが同図二点鎖線で示された位置に移動する。このとき、モータ３１Ｄが移動プレート３１Ｇの移動に同期して回転することで、切断手段２４によって切断されるとともに、テーブル１４上に位置している接着シートＳが、当該テーブル１４の上方に移動される。その後、上記同様の動作が繰り返されることとなる。
【００２６】
ここで、接着シートＳの貼付動作途中、特に差圧によって接着シートＳをウエハＷに貼付しているときに、加熱線照射器２１に故障等の何らかの不具合が発生した場合でも、ウエハＷをテーブル１４から一旦取り除くことなく、メンテナンスを行うことができ、ウエハＷを無駄にしてしまうようなことはなくなる。
【００２７】
以上のように、本実施形態によれば、ウエハＷや接着シートＳを一様に加熱してウエハＷに接着シートＳを貼付することができる。
【００２８】
なお、本実施形態では加熱線照射器２１を上蓋１２の頂部に配置したが、例えば、図１中二点鎖線で示すように上蓋１２の側面部や、チャンバ本体１３の側面部（図示省略）に配置してもよく、それらを適宜組み合わせることもできる。なお、加熱線照射器２１を上蓋１２の側面部やチャンバ本体１３の側面部に配置するときも、配置する加熱線照射器２１に対応して上蓋１２の側面部やチャンバ本体１３の側面部に加熱線が透過できる加熱線透過部２２が設けられる。
【００２９】
本実施形態のシート貼付装置は、減圧した状態において接着シートＳの貼付を行ったが、減圧することなく、ローラ等により接着シートＳをウエハＷの表面に圧接して貼着する構成であっても本発明を適用することができる。
【００３０】
また、被着体はウエハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。
【符号の説明】
【００３１】
１０  シート貼付装置
１  支持手段
２  シート配置手段
３  外周押圧手段
４  押圧手段
５  加熱線照射手段
６  密閉手段
Ｃ  閉空間
Ｓ  接着シート
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
0005511441.tif 000002
【図２】
0005511441.tif 000003