(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して剥離するシート剥離装置であって、
前記被着体を支持する支持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、前記接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、未剥離の接着シートに対向するように剥離された接着シートの接着面に接触し、剥離された接着シート領域を面で支持する剥離補助手段と、支持手段と剥離用テープとを相対移動させる移動手段と、前記各手段の動作を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記剥離用テープ、前記被着体から剥離された接着シート、前記繰出手段、前記貼付手段、前記剥離補助手段及び前記移動手段の内、前記接着シートが剥離された被着体上に位置するものを当該接着シートが剥離された被着体上から相対移動によって退避させ、当該被着体から接着シートを剥離するように制御可能に設けられていることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記制御手段は、被着体から接着シートを剥離するときに、平面視で前記剥離補助手段と接着シートが剥離された被着体との間に表出する折返しシート部を形成するように制御することを特徴とする請求項１記載のシート剥離装置。
【請求項３】
前記剥離補助手段は、ベルト部材と、これに掛け回される複数のローラとを含み、
前記ベルト部材の近傍には、ベルト部材に付着した塵を除去する除塵手段が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のシート剥離装置。
【請求項４】
前記剥離補助手段と剥離された接着シートの接着面との接触面積を変更可能な接触面積変更手段を有することを特徴とする請求項１、２又は３記載のシート剥離装置。
【請求項５】
被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して剥離するシート剥離方法であって、
前記被着体を支持手段により支持する工程と、
前記剥離用テープを繰出手段により繰り出す工程と、
前記接着シートに剥離用テープを貼付手段により貼付する工程と、
未剥離の接着シートに対向するように剥離された接着シートの接着面に接触し、剥離された接着シート領域を剥離補助手段により面で支持する工程と、
前記支持手段と剥離用テープとを移動手段により相対移動させる工程と、
前記剥離用テープ、前記被着体から剥離された接着シート、前記繰出手段、前記貼付手段、前記剥離補助手段及び前記移動手段の内、前記接着シートが剥離された被着体上に位置するものを当該接着シートが剥離された被着体上から相対移動によって退避させる工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート剥離装置及び剥離方法に係り、更に詳しくは、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを接着し、当該剥離用テープを介して接着シートを剥離することができるシート剥離装置及び剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）の処理工程では、ウエハはその回路面に保護用の接着シートが貼付され、裏面研削等、種々の処理が行われ、ダイシングシートを介してリングフレームにマウントされた後、ダイシング前にこの接着シートは剥離される。このような接着シートの剥離装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。同文献において、ウエハから接着シートを剥離する工程は、押圧ヘッドによって剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する。その後、剥離用テープを掛け回すローラをウエハに対して移動し、剥離用テープをウエハの上方に移動させることにより行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３６１１１号公報
【特許文献２】特開２００４−３１５３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の剥離装置にあっては、ウエハの大径化等により接着シートの剥離に大きな力が必要になると、接着シートから剥離用テープが剥がれてしまい、接着シートの剥離不良が発生する、という不都合がある。また、同装置にあっては、接着シートが剥離されたウエハの上方をローラや剥離された接着シートが通過する構成となっているため、ローラや剥離された接着シートを介して塵がウエハの回路面上に落下してしまう。これにより、当該回路を損傷させ半導体チップの歩留まりを大幅に低下させてしまう、という不都合がある。これは、近年の半導体製造工程において、１の塵が検出されると、統計的にその塵を中心とした半径数十ミリメートル（例えば２５ｍｍ）の円内に位置するチップは、全て不良チップとして扱われ、これらチップを再検査したり、破棄したりする検査基準が設けられており、チップサイズによっては、数百個もの不良として扱われるチップを出してしまうからである。特に、先ダイシング法によってウエハが個片化されている場合、ウエハの外周に形成された三角形状等の細かい不定形チップが接着シートやローラ等に付着し、これが回路面上へ落下することがあるため、前記不都合が発生し易くなる。
【０００５】
特許文献２の剥離装置にあっては、板状体からなる折返手段によって、折り返した接着シートを被着体となる半導体チップ側に押圧して剥離しているが、板状体が接着シートの剥離動作中に接着シートが剥離された半導体チップの回路面上に位置することとなる。このため、同装置においても、板状体に付着した塵が半導体チップ上に落下することとなり、これによっても半導体チップの歩留まり低下を招来する、という不都合がある。
【０００６】
［発明の目的］
本発明の目的は、接着シートに貼付した剥離用テープが剥がれることで、接着シートの剥離不良を発生することを防止することができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
また、本発明の目的は、被着体上に塵が落下して当該被着体の製造における歩留まりが低下することを抑制することができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して剥離するシート剥離装置であって、
前記被着体を支持する支持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、前記接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、未剥離の接着シートに対向するように剥離された接着シートの接着面に接触し、剥離された接着シート領域を面で支持する剥離補助手段と、支持手段と剥離用テープとを相対移動させる移動手段と、前記各手段の動作を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記剥離用テープ、前記被着体から剥離された接着シート、前記繰出手段、前記貼付手段、前記剥離補助手段及び前記移動手段の内、前記接着シートが剥離された被着体上に位置するものを当該接着シートが剥離された被着体上から相対移動によって退避させ、当該被着体から接着シートを剥離するように制御可能に設けられる、という構成を採っている。
【０００８】
本発明において、前記制御手段は、被着体から接着シートを剥離するときに、平面視で前記剥離補助手段と接着シートが剥離された被着体との間に表出する折返しシート部を形成する、という構成を採ることが好ましい。
【０００９】
また、前記剥離補助手段は、ベルト部材と、これに掛け回される複数のローラとを含み、
前記ベルト部材の近傍には、ベルト部材に付着した塵を除去する除塵手段が設けられる、という構成が好ましくは採用される。
【００１０】
更に、前記剥離補助手段と剥離された接着シートの接着面との接触面積を変更可能な接触面積変更手段を有するとよい。
【００１１】
また、本発明の剥離方法は、被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して剥離するシート剥離方法であって、
前記被着体を支持手段により支持する工程と、
前記剥離用テープを繰出手段により繰り出す工程と、
前記接着シートに剥離用テープを貼付手段により貼付する工程と、
未剥離の接着シートに対向するように剥離された接着シートの接着面に接触し、剥離された接着シート領域を剥離補助手段により面で支持する工程と、
前記支持手段と剥離用テープとを移動手段により相対移動させる工程と、
前記剥離用テープ、前記被着体から剥離された接着シート、前記繰出手段、前記貼付手段、前記剥離補助手段及び前記移動手段の内、前記接着シートが剥離された被着体上に位置するものを当該接着シートが剥離された被着体上から相対移動によって退避させる工程とを備える、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、剥離補助手段によって、剥離された接着シート領域を面で支持して接着シートの剥離補助を行うことができるので、ウエハの大径化等により接着シートの剥離に大きな力が必要となっても、接着シートから剥離用テープが剥がれてしまうことを防止することができ、接着シートの剥離不良を回避することが可能となる。しかも、剥離用テープと被着体から剥離された接着シートと繰出手段や貼付手段や剥離補助手段といった各手段とを、接着シートが剥離された被着体上に位置させることなく当該被着体から接着シートを剥離するように制御可能としたことで、被着体上に位置する部材から塵が落下して被着体を攻撃することはなくなり、被着体が例えばウエハや半導体チップの場合であっても、それらの製造における歩留まりを低下させるといった不都合を解消することができる。また、剥離補助手段が剥離された接着シート領域を面で支持可能に設けられているため、完全に剥離が完了した接着シートが他の部位に接触することを防止することができる。これにより、例えば、リングフレームにダイシングテープを介して一体化され、表面に接着シートが貼付されたウエハから、当該接着シートを剥離した場合、剥離された接着シートがダイシングテープに接触して接着してしまうことで剥離不良が発生することを確実に防止することが可能となる。
【００１３】
また、剥離補助手段と被着体との間に位置する接着シートに折返しシート部を形成するので、接着シートの剥離によって発生した塵が剥離補助手段に付着しても、その塵を折返しシート部上に落下させることができる。これにより、被着体上に塵が落下することを防止でき、被着体がウエハである場合、半導体チップの歩留まり低下を防止することが可能となる。
【００１４】
更に、ベルト部材に付着した塵を除去する除塵手段を設けた場合、塵が被着体上へ落下することをより確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図。
【図２】接着シートの剥離途中を示す部分正面図。
【図３】（Ａ）〜（Ｄ）は、剥離用テープの貼付動作説明図。
【図４】（Ａ）及び（Ｂ）は、変形例に係るシート剥離装置の部分正面図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１７】
図１〜図３において、シート剥離装置１０は、回路面（図１中上面）に接着シートＳが貼付された被着体としてのウエハＷを保持する支持手段１１と、帯状の剥離用テープＰＴを繰り出す繰出手段１２と、剥離用テープＰＴを接着シートＳの外縁側に貼付する貼付手段１３と、剥離用テープＰＴを介してウエハＷに貼付された接着シートＳの剥離時に剥離された接着シート領域を面で支持する剥離補助手段１４と、接着シートＳに貼付された剥離用テープＰＴと支持手段１１とを反対方向に相対移動させる移動手段１５と、前記各手段１１〜１５の動作を制御する制御手段１７とを備えて構成されている。なお、剥離用テープＰＴは感熱接着性の接着テープを採用している。また、本実施形態における接着シートＳは、基材シートの一方の面に接着剤層を有し、この接着剤層を介してウエハＷに貼付されている。
【００１８】
前記支持手段１１は、リングフレームＲＦの開口内部に配置され回路面の反対面（図１中下面）側からダイシングシートＤＳを介して当該リングフレームＲＦと一体化されるとともに、回路面に接着シートＳが貼付されたウエハＷを図１中上面で吸着して保持するテーブルからなる。
【００１９】
前記繰出手段１２は、図示しないフレームに支持されて巻回された剥離用テープＰＴを繰出可能に支持する支持軸１８と、駆動機器としてのモータＭ１を介して回転可能な駆動ローラ２０と、当該駆動ローラ２０との間に剥離用テープＰＴを挟み込むピンチローラ２１と、剥離用テープＰＴを図１中下方から支持する板状のガイド部材２３と、このガイド部材２３とで剥離用テープＰＴを挟み込む回転自在なプレスローラ２５と、このプレスローラ２５を昇降させる駆動機器としての昇降用シリンダ２６とを備えて構成されている。ガイド部材２３は、駆動機器としてのシリンダ２７を介して図１中左右方向に移動可能に設けられ、図３（Ａ）に示されるように、プレスローラ２５で挟み込んだ剥離用テープＰＴのリード端領域を後述するチャック４７により把持できる位置に導くことが可能となっている。
【００２０】
前記貼付手段１３は、駆動機器としての直動モータ４９と、当該直動モータ４９によって上下方向に進退可能に設けられたヒータ５０Ａを有する押圧ヘッド５０とを備えている。この貼付手段１３は、後述するチャック４７により接着シートＳの上面側に繰り出された剥離用テープＰＴを押圧ヘッド５０で押圧して加熱することで、剥離用テープＰＴを接着シートＳに接着するようになっている。貼付手段１３の図１中左側には、カッター刃５３と、このカッター刃５３の下方に設けられた凹部を有するテープ受け板５４と、カッター刃５３を図１中紙面直交方向及び上下方向に移動させる駆動機器としてのシリンダ５５及び駆動機器としてのシリンダ５６とにより構成されたテープ切断手段５２が設けられている。
【００２１】
前記剥離補助手段１４は、ベルト回行手段５９と、このベルト回行手段５９の図２中上方に併設された除塵手段６０と、これらベルト回行手段５９及び除塵手段６０を同図中上下方向に変位可能な駆動機器としての直動モータ６１と、この直動モータ６１に連結され、支持手段１１の上方で当該直動モータ６１を同図中左右方向に移動可能な図示しない駆動機器と備えている。
【００２２】
前記ベルト回行手段５９は、駆動機器としてのモータＭ２により回転可能なドライブローラ６３と、このドライブローラ６３の下方で支持手段１１に支持されたウエハＷの面方向に平行に配置された一対のローラ６４と、これらローラ６４及びドライブローラ６３に掛け回される閉ループ状のベルト部材６６と、各ローラ６４に当接するサポート手段としてのサポートローラ６７とを備えている。各ローラ６４及びサポートローラ６７は、ベルト部材６６を介してドライブローラ６３の回転によって追従回転可能に設けられている。このような構成により、図２に示されるように、ベルト部材６６は、未剥離の接着シートＳに対向するように、剥離された接着シートＳの接着面（図２中剥離された接着シートの上側の面）に当接し、剥離された接着シートＳ領域を面で支持することができるようになっている。なお、ベルト部材６６や各ローラ６３、６４、６７の幅（図２中紙面直交方向の長さ）は、ウエハＷの最大幅よりも長くてもよいし、短くてもよい。
【００２３】
前記除塵手段６０は、ベルト部材６６側すなわち図中下側を開放する開口部６９Ａを備えたチャンバ６９と、図示しない吸引手段に接続され、チャンバ６９の内部に連通するホース７０とを備えている。
【００２４】
前記移動手段１５は、支持手段１１を図１中左右方向に移動させるための駆動機器としての直動モータ４４及びそのスライダ４５と、貼付手段１３の下方に設けられ、剥離用テープＰＴを把持部材４７Ａで把持可能な駆動機器としてのチャック４７とを備えている。チャック４７は、図示しない駆動機器を介して図１中左右方向に移動可能に構成されている。
【００２５】
前記制御手段１７は、シーケンサやパーソナルコンピュータ等で構成することができる。制御手段１７には、操作パネル等からなる図示しない入力手段が接続され、この入力手段により前記各駆動機器の作動条件やデータ等を入力可能となっている。また、制御手段１７は、前記各駆動機器の動作方向、動作量、動作速度等の条件を決定し、これらを制御する機能を備えている。
【００２６】
次に、前記シート剥離装置１０による接着シートＳの剥離方法について説明する。
【００２７】
初めに、支持軸１８から剥離用テープＰＴを引き出し、駆動ローラ２０及びピンチローラ２１の間を通過させた後、剥離用テープＰＴのリード端側がガイド部材２３の先端からはみ出た状態としつつ、プレスローラ２５とガイド部材２３とで剥離用テープＰＴを挟み込んだ状態とする。
【００２８】
そして、図示しない搬送手段を介して、支持手段１１の上面にリングフレームＲＦと一体化されるとともに、回路面に接着シートＳが貼付されたウエハＷを支持させると、接着シートＳの図１中右側外縁位置が押圧ヘッド５０の直下で停止するように、直動モータ４４が支持手段１１を移動させる。
【００２９】
次いで、図３（Ａ）に示されるように、シリンダ２７を介してガイド部材２３を同図中右方向に進行させると同時に、モータＭ１を作動して駆動ローラ２０を回転させて剥離用テープＰＴを繰り出す。これにより、チャック４７の把持部材４７Ａ間にガイド部材２３及び剥離用テープＰＴのリード端側が位置する。そして、プレスローラ２５が上方へ退避し、ガイド部材２３を後退させると、把持部材４７Ａ間に剥離用テープＰＴが残されてチャック４７の動作によって把持される。その後、図示しない駆動装置によってチャック４７を図３（Ａ）の二点鎖線で示される位置に移動させて剥離用テープＰＴを引き出し、押圧ヘッド５０の下方で接着シートＳに対向するように剥離用テープＰＴを位置させる。
【００３０】
次に、図３（Ｂ）に示されるように、押圧ヘッド５０を直動モータ４９によって下方へ移動させると、剥離用テープＰＴが押し下げられて接着シートＳに当接し、剥離用テープＰＴがヒータ５０Ａによって加熱されて接着シートＳに接着する。その後、プレスローラ２５とガイド部材２３とで剥離用テープＰＴを挟み込み、シリンダ５５、５６を作動させてテープ受け板５４上でカッター刃５３により剥離用テープＰＴを切断する（図３（Ｃ）参照）。
【００３１】
剥離用テープＰＴ切断後、図３（Ｄ）に示されるように、図示しない駆動機器によってチャック４７を左方向に移動させ、ウエハＷ上の接着シートＳに剥離用テープＰＴが対向するように折り返す。次いで、図示しない駆動機器を介してその折り返し位置の上方にベルト部材６６が位置するように剥離補助手段１４を移動させる。次に、直動モータ６１を介してベルト回行手段５９を上下方向に変位させ、ベルト部材６６の下面とウエハＷとの間隔Ｈ（図２参照）が調整される。
【００３２】
その後、接着シートＳに貼付された剥離用テープＰＴと支持手段１１とが反対方向に相対移動するように、制御手段１７が直動モータ４４等を介して、チャック４７を図中左方向へ、支持手段１１を図中右方向へ同速で移動させる。これにより、剥離された接着シートＳと、未剥離の接着シートＳとが対向するように折り返され、接着シートＳの折り返し位置Ｓｐが形成されて当該接着シートＳがウエハＷから剥離される。このとき、平面視でベルト部材６６と接着シートＳが剥離されたウエハＷとの間に折返しシート部ＳＡを形成する。
【００３３】
図２に示されるように、接着シートＳの剥離の最中において、剥離補助手段１４は、ベルト部材６６を剥離された接着シートＳの接着面側に当接し、且つ、モータＭ２を作動してドライブローラ６３を回転することで、折返しシート部ＳＡを形成した状態で所定の位置に停止し続ける。また、折り返された接着シートＳの弾性力により上向きの力がベルト部材６６を介してローラ６４に作用し、その抗力として下向きの力がローラ６４及びサポートローラ６７によって発揮される。これにより、ウエハＷが支持手段１１側すなわち下側に押圧されつつ、接着シートＳの折り返し位置Ｓｐ周りでの剥離姿勢が形成される。この際、サポートローラ６７によりローラ６４が上方から押さえ付けられ、折り返された接着シートＳの弾性力によってローラ６４が撓み変形することが抑制される。
【００３４】
ここで、剥離された接着シートＳを介してベルト部材６６に付着した塵は、除塵手段６０で除去される。しかし、除塵手段６０で除去されずにベルト部材６６に残った塵が落下しても、折返しシート部ＳＡが存在することで、ウエハＷの回路面上にその塵が落下してウエハＷの回路面に損傷を与えることを防止可能となる。また、接着シートＳの剥離中、剥離用テープＰＴ、ウエハＷから剥離された接着シートＳ、繰出手段１２、貼付手段１３、剥離補助手段１４及び移動手段１５の内、接着シートＳが剥離されたウエハＷ上に位置するものを当該接着シートＳが剥離されたウエハＷ上から相対移動によって退避させるために、制御手段１７は、直動モータ４４や図示しない駆動機器を駆動して支持手段１１、剥離補助手段１４及びチャック４７を全体的に図１中右方向へ移動させる。
【００３５】
接着シートＳの剥離を終えると、図示しない搬送手段によりウエハＷが次工程に搬送され、接着シートＳとそれに貼付された剥離用テープＰＴは図示しない回収手段によって回収させる。そして、保持手段１１、ベルト回行手段５９、除塵手段６０及びチャック４７が初期位置に復帰した後、上記同様の動作が繰り返されることとなる。
【００３６】
従って、このような実施形態によれば、剥離された接着シートＳをウエハＷと相対移動させる力が、チャック４７の移動だけでなく、ベルト部材６６の回行によっても付与することが可能となる。これにより、剥離用テープＰＴに生じる引っ張り力を軽減でき、ウエハＷの大径化等により支持手段１１と剥離用テープＰＴとを相対移動する力が大きくなっても、剥離用テープＰＴが接着シートＳから剥離して剥離不良が発生することを防止することができる。また、各ローラ６４間でベルト部材６６を接着シートＳの剥離方向に回行するので、ベルト部材６６と接着シートＳとの接触面積を広くすることができる。この結果、接着シートＳを下方に押さえ付ける力と、接着シートＳを剥離方向に移動させて当該接着シートＳを剥離する力との両方を増大化でき、剥離用テープＰＴが接着シートＳから剥離して剥離不良が発生することをより確実に防止することが可能となる。
【００３７】
更に、サポートローラ６７が各ローラ６４の上側に接するので、ローラ６４を細くして剛性が低下しても、接着シートＳの弾性力によりローラ６４が撓み変形することを防止することができる。これにより、ローラ６４とサポートローラ６７とにより接着シートＳを介してウエハＷに押圧力を付与でき、ウエハＷが持ち上がって変形したりストレスが生じたりすることを回避することが可能となる。
【００３８】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３９】
例えば、前記実施形態において、剥離補助手段１４におけるサポートローラ６７を省略した構成としてもよいが、サポートローラ６７を設けた方が、ローラ６４の前記撓み変形を抑制してウエハＷへの押圧力をより良く発揮できる点で有利となる。
【００４０】
また、本発明における被着体としては、半導体ウエハに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
更に、剥離用テープＰＴは、感熱接着性の接着テープ以外に感圧接着性の接着テープを採用してもよい。
【００４１】
また、接着シートＳの剥離動作は、前述のように剥離を行える限りにおいて、チャック４７の図中左右方向の動作を停止させ、剥離補助手段１４及び支持手段１１を移動させてもよいし、支持手段１１の図中左右方向の動作を停止させ、剥離補助手段１４及びチャック４７を移動させるように制御手段１７で制御してもよい。
更に、接着シートＳにエネルギー線硬化型の接着シートが採用され、当該接着シートＳが剥離される前にエネルギー線が照射され、その接着力が低下されているものである場合、ベルト部材６６は、剥離された接着シートＳの濡れ性によって、当該接着シートＳが接着して、ウエハＷから接着シートＳを剥す剥離力が付与できるような樹脂ベルトやゴムベルトを採用することができる。
また、ベルト部材６６に複数の孔や通気性を有するサクションベルトを採用するとともに、ベルト回行手段５９に吸引手段を設け、サクションベルトを介してウエハＷから剥離された接着シートＳを吸着支持し、ウエハＷから接着シートＳを剥す剥離力が付与できるように構成してもよい。
【００４２】
更に、剥離補助手段１４は、図４（Ａ）及び（Ｂ）に示されるように、接触面積変更手段８０を備えた構成としてもよい。この接触面積変更手段８０は、各ローラ６４を離間接近する方向に移動可能な駆動機器としての直動モータからなる。接触面積変更手段８０は、各ローラ６４を離間させることで、ベルト部材６６と接着シートＳとの接触面積が拡大する一方、各ローラ６４を接近させることで、ベルト部材６６と接着シートＳとの接触面積を縮小可能となる。ここで、円形の接着シートＳを剥離する場合、剥離が進行して剥離補助手段１４が接着シートＳの中心に近付くに従って剥離力が大きくなり、接着シートＳの中心から離れるに従って剥離力が小さくなる。従って、剥離力の増減に応じて接触面積変更手段８０を作動させ、ベルト部材６６と接着シートＳとの接触面積を拡縮可能となり、接着シートＳを下方に押さえ付ける力や接着シートＳを剥離方向に移動させる力を安定して付与することが可能となる。なお、同図において、チャンバ６９を同図中上下動させる駆動機器を設けることが好ましい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
更に、剥離用テープＰＴ、ウエハＷから剥離された接着シートＳ、繰出手段１２、貼付手段１３、剥離補助手段１４及び移動手段１５の内、接着シートＳが剥離されたウエハＷ上に位置するものを全体的に移動させる駆動機器を設け、接着シートＳが剥離されたウエハＷ上から相対移動によって退避させるように構成してもよいし、上記実施形態と組み合わせてそれら両方が移動して、接着シートＳが剥離されたウエハＷ上から相対移動によって退避させるように構成してもよい。要は、接着シートＳが剥離されたウエハＷ上にシート剥離装置１０を構成する部材が何もない状態で、ウエハＷから接着シートＳを剥離できる構成であれば足りる。
【符号の説明】
【００４３】
１０  シート剥離装置
１１  支持手段
１２  繰出手段
１３  貼付手段
１４  剥離補助手段
１５  移動手段
１７  制御手段
５９  ベルト回行手段
６０  除塵手段
６４  ローラ
６６  ベルト部材
ＰＴ  剥離用テープ
Ｓ  接着シート
ＳＡ  折返しシート部
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
0005534923.tif 000002
【図２】
0005534923.tif 000003
【図３】
0005534923.tif 000004
【図４】
0005534923.tif 000005