(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半管体及び当該半管体の両端部に形成された縁部を含む一対の構造体が組み合わされて構成される中空導波管部と、
前記中空導波管部の長手方向両端部において前記組み合わされた一対の構造体の縁部に当接し、前記中空導波管部に通じる開口が形成された一対の導電性板と、
前記中空導波管部の長手方向両端部において前記導電性板を介在させて前記一対の構造体を締着する一対のアダプタと、を備え、
前記一対の構造体のそれぞれの半管体には、前記一対の構造体が組み合わされて構成された中空導波管部にスリットが形成されるように、当該半管体の長手方向に沿った端面に一対の段部が形成され、
前記一対の構造体の少なくとも一方は、前記一対のアダプタと着脱自在に締着される、
異物検出装置。
【請求項２】
前記一対の構造体は、互いに離間するように位置決めされ、前記一対のアダプタに締着される、
請求項１記載の異物検出装置。
【請求項３】
前記一対のアダプタは、位置決め部材が設けられ、
前記一対の構造体は、前記位置決め部材に当接することにより、互いに離間するように位置決めされる、
請求項２記載の異物検出装置。
【請求項４】
前記一対のアダプタは、前記一対の構造体のいずれか一方と接続部材により回動自在に接続されている、
請求項３記載の異物検出装置。
【請求項５】
前記一対の構造体の少なくとも一方は、前記位置決め部材が設けられ、
前記一対の構造体は、前記位置決め部材に当接することにより、互いに離間するように位置決めされる、
請求項２記載の異物検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異物検出装置に関し、特に、高周波乃至はマイクロ波領域の電磁波を利用して測定対象物に含まれる異物を検出するための空洞共振器を用いた異物検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
シートやフィルム等の可撓性薄膜材料の製造ラインにおいて、設備や周囲環境、製造プロセス等に起因して製品に金属片等の異物が付着したり混入したりする場合がある。そこで、製造ラインにおいてクリーンルームを設けたり、検査装置を用いて異物の有無を検査したりして、不良品の流出防止や品質管理の向上を図ることが試みられている。
【０００３】
試料（測定対象物）中の導電性物質を検出する方法としては、例えば、空洞共振器法が知られている（「空洞共振器摂動法」と呼ばれることもある。）。空洞共振器法は、空洞共振器内に試料を挿入し、印加したマイクロ波領域の電磁波の共振周波数やＱ値（クオリティファクタ）を測定することで、非破壊かつ高精度に試料中の異物を検出することができる。
【０００４】
下記特許文献１は、マイクロ波を利用して、共振器底部と共振器との間隙に紙等の平面状材料を非接触で挿入し、その特性を測定する空洞共振器を開示する。
【０００５】
また、下記特許文献２は、ガラス織布を通すスリットを設けた２本の導波管を、ガラス織布の移送方向に対して傾斜するように並設し、これらの導波管にマイクロ波発信器から進行方向に逆で且つ相互に位相をずらしたマイクロ波を供給し、その反射波を検波器で検波する導電性物質の検知装置を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭６２−１２４４４９号公報
【特許文献２】特開平１０−１８５８３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
空洞共振器法によるフィルム状の測定対象物に対する測定は、一般に、空洞共振器の前後両面に設けられた一対のスリットに測定対象物を挿通することにより行われる。従って、実際の製造ラインにおいて製品を効率的に製造するためには、実験室レベルとは異なり、限られた時間的制約の中で測定対象物としての製品を空洞共振器にセットし、検査工程を行う必要がある。
【０００８】
しかしながら、測定対象物が可撓性で非常に薄いフィルム状の材質の場合、空洞共振器のスリットに挿通する作業は非常に困難であり、挿通に時間がかかるおそれがあった。このため、スリットにフィルム状の測定対象物を挿通しなければならない従来の空洞共振器を製造ラインに用いることは、効率的な製造の観点からは実用的でなく、フィルム状の測定対象物を容易にセットできる空洞共振器が望まれる。
【０００９】
そこで、本発明の目的の一つは、空洞共振器法により測定対象物に含まれる導電性の異物を検出する異物検出装置であって、フィルム状の測定対象物を容易にセットすることができる構造の異物検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、本発明は、空洞共振器を構成する中空導波管部を分離可能な一対の構造体により構成した異物検出装置である。
【００１１】
即ち、ある観点に従う本発明は、半管体及び当該半管体の両端部に形成された縁部を含む一対の構造体が組み合わされて構成される中空導波管部と、前記中空導波管部の長手方向両端部において前記組み合わされた一対の構造体の縁部に当接し、前記中空導波管部に通じる開口が形成された一対の導電性板と、前記中空導波管部の長手方向両端部において前記導電性板を介在させて前記一対の構造体を締着する一対のアダプタと、を備えた移出物検出装置である。ここで、前記一対の構造体のそれぞれの半管体には、前記一対の構造体が組み合わされて構成された中空導波管部にスリットが形成されるように、当該半管体の長手方向に沿った端面に一対の段部が形成され、前記一対の構造体の少なくとも一方は、前記一対のアダプタと着脱自在に締着される。
【００１２】
これにより、中空導波管部は分離可能に構成されるため、異物検出装置に測定対象物を容易にセットすることができるようになるとともに、中空導波管により構成される空洞共振器の性能を著しく劣化させることはない。
【００１３】
また、前記一対の構造体は、互いに離間するように位置決めされ、前記一対のアダプタに締着されることが好ましい。この場合、前記一対のアダプタは、位置決め部材が設けられ、前記一対の構造体は、前記位置決め部材に当接することにより、互いに離間するように位置決めされても良い。或いは、前記一対の構造体の少なくとも一方は、前記位置決め部材が設けられ、前記一対の構造体は、前記位置決め部材に当接することにより、互いに離間するように位置決めされても良い。
【００１４】
また、前記一対のアダプタは、前記一対の構造体のいずれか一方と接続部材により回動自在に接続されても良い。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、異物検出装置のスリットにフィルム状の測定対象物を直接的に挿通する必要がなくなり、異物検出装置にフィルム状の測定対象物を容易にセットすることができるようになる。
【００１６】
本発明の他の技術的特徴及び作用効果乃至は利点は、添付した図面を参照して説明される以下の実施形態により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態に係る異物検出装置の斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る異物検出装置の側面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る異物検出装置の分解斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る異物検出装置における空洞共振器の一部を構成する構造体の斜視図である。
【図５】図２に示す異物検出装置１のＶ−Ｖ断面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る異物検出装置を用いた異物検出システムの構成例を示す図である。
【図７Ａ】本発明の一実施形態に係る異物検出装置の使用方法を説明するための図である。
【図７Ｂ】本発明の一実施形態に係る異物検出装置の使用方法を説明するための図である。
【図８】異物検出装置における試料中の異物サイズに対する共振周波数の変化を示すグラフである。
【図９】本発明の他の実施形態に係る異物検出装置を説明するための図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る異物検出装置の変形例を説明するための図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係る異物検出装置の変形例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
次に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。ただし、以下に説明する実施形態は、あくまでも例示であり、以下に明示しない種々の変形や技術の適用を排除する意図はない。即ち、本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々に変形して実施することができる。例えば、各実施形態を組み合わせたサブコンビネーションの実施形態も本発明の要旨に含まれる。また、以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付して表している。本発明の理解を目的として、図面は模式的なものであり、必ずしも実際の寸法や比率等とは一致しない。図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることがある。
【００１９】
（異物検出装置の構成）
図１は、本発明の一実施形態に係る異物検出装置の斜視図である。また、図２は、本発明の一実施形態に係る異物検出装置の側面図である。さらに、本発明の一実施形態に係る異物検出装置の分解斜視図である。本実施形態の異物検出装置１は、その分解斜視図である図３に示されるように、いくつかのコンポーネントから組み立てられるが、組み立てられた状態においては、空洞共振器２とその両端に設けられた一対のアダプタ３とを備えたデバイスとしてみることができる。
【００２０】
即ち、空洞共振器２は、一対の上側構造体２１１Ａ及び下側構造体２１１Ｂが組み合わされて形成される中空導波管部２１と、中空導波管部２１の長手方向両端部に設けられる導電性板２２とから構成される。これら上側構造体２１１Ａ及び下側構造体２１１Ｂは、その長手方向両端部で、導電性板２２を介在させて、例えばボルト４１によりアダプタ３と締着される。
【００２１】
導電性板２２には、電磁波（高周波信号）を中空導波管部３に入射し又は／中空導波管部３から出射するための開口２２１が形成されている。空洞共振器２の共振条件は、主として、中空導波管部２１と導電性板２２とで形成される空間の長手軸方向の長さによって規定される。空洞共振器２の共振条件を満たす特定の周波数を有する信号は、一方のアダプタ３から導電性板２２の開口２２１を通じて中空導波管部２１に入力され、中空導波管部２１内を伝搬して、他方のアダプタ３へ出力されることになる。
【００２２】
上側構造体２１１Ａと下側構造体２１１Ｂとによって形成された中空導波管部２１の両側部には、後述するように、フィルム状の測定対象物Ｆ（図６参照）が通過するためのスリット２３が形成される。また、本例では、上側構造体２１１Ａと下側構造体２１１Ｂとは完全には接触しておらず、僅かな間隙ｄが形成されるように互いに位置決めされ（図５参照）、アダプタ３に固定されている。
【００２３】
上側構造体２１１Ａ及び下側構造体２１１Ｂは、好ましくは、対称形状(同一形状）の半管体を含む構造体である。以下では、これらを単に構造体２１１と総称することがある。各構造体２１１は、図４に示されるように、半四角管体２１２とその両端に設けられた縁部２１３とからなる。半四角管体２１２と縁部２１３とは、例えば、溶接により、一体化されている。一方の構造体２１１の半四角管体２１２は、他方の構造体２１１の半四角管体２１２と対向するように組み合わされて、断面形状が方形の導波管を形成する。ただし、ここでいう導波管は、上下の構造体２１が離間して形成されているため、厳密な意味において断面が方形であるとはいえないが、方形導波管としてマイクロ波を伝送する機能を有するという意味において、方形導波管と同義に扱っている。なお、導波管の断面形状は、方形に限定されるものでなく、円形であってもよく、この場合は、半円形状のものが用いられる。
【００２４】
構造体２１１を下側構造体２１１Ｂとみなした場合、半四角管体２１２の両側壁の上端部には、その長手方向両端部に対して僅かに低く形成された段部２１２ａが形成されている。段部２１２ａは、他方の半四角管体２１２に形成された段部２１２ａと相まって、中空導波管部２１のスリット２３を形成するものである。
【００２５】
スリット２３の長さ及び幅は、好ましくは、そこを通過する測定対象物Ｆの大きさに依存して決定される。例えば、フィルム状の測定対象物Ｆの幅が５０〜６０ｍｍ、厚さが数十〜数百μｍであれば、スリット２３の長さは７０ｍｍ、幅は１ｍｍ程度であることが好ましい。従って、測定対象物Ｆを考慮して、構造体２１１の半四角管体２１１は加工され、段部２１１ａが形成されることになる。この場合、段部２１２ａには、接触摩擦を軽減するための保護膜が形成されても良い。これにより、スリット２３を通過するフィルム状の測定対象物Ｆとの接触摩擦を軽減し、測定対象物Ｆが傷みにくくすることができるようになる。
【００２６】
半四角管体２１２の長手方向両端部に設けられた縁部２１３の下部コーナーの近傍には、締結部材としてのボルト４１を挿通するスルーホール２１４が形成されている。また、縁部２１３の上面部には、位置決めピン３４を受けるための凹部２１５が形成されている。
【００２７】
アダプタ３は、中空導波管部２１との間で伝送路の変換を行う接続コンポーネントである。本例では、アダプタ３として同軸導波管変換器が用いられる。アダプタ３は、同軸ケーブルを接続可能なコネクタ３１を備えている。図示はされていないが、コネクタ３１に設けられた中心導体は、アダプタ３内の空間に挿通されている。アダプタ３は、コネクタ３１に接続された同軸ケーブルを介して、ネットワークアナライザ１００に接続される（図６参照）。
【００２８】
アダプタ３は、上側構造体２１１Ａ及び下側構造体２１１Ｂを締着するためのフランジ３２を有する。フランジ３２の各コーナー近傍には、スルーホール３３が形成され、締結部材としてのボルト４１が挿通される。また、アダプタ３のフランジ３２の接続端面には、上側構造体２１１Ａと下側構造体２１１Ｂとの間の位置関係を規定する位置決め部材としての位置決めピン３４が設けられている（図３参照）。
【００２９】
図５は、図２に示す異物検出装置１のＶ−Ｖ断面図である。同図に示すように、上側構造体２１１Ａ及び下側構造体２１１Ｂは、アダプタ３のフランジ３２から延出する位置決めピン３４を挟み込む形で、組み合わされる。即ち、構造体２１１は、縁部２１３に形成された凹部２１４が位置決めピン３４に当接することにより、僅かに離間した状態で組み合わされる。これにより、中空導波管部２１の電気的特性を安定させることができるようになる。即ち、導波管を形成する半四角管体２１２同士を接触させる構造を採用した場合、加工の精度等により接触する箇所と非接触の箇所が生じうるおそれがあり、電気的特性が不安定になり易い。そこで、導波管としての性能を損なわない範囲で、半四角管体２１２同士を一律に非接触にすることで、電気的特性を安定させるようにしている。
【００３０】
以上のように、本実施形態によれば、一対の構造体２１１を含んで構成される空洞共振器２とアダプタ３とから構成される異物検出装置１が得られることになる。従って、かかる異物検出装置１を用いた測定に際して、空洞共振器２内を通過するフィルム状の測定対象物Ｆをセットする場合には、いずれか一方の構造体２１１を異物検出装置１から取り外し、測定対象物Ｆをセットした後、取り外した構造体２１１を取り付けることにより、容易に行うことができるようになる。
【００３１】
（異物検出システムの構成例）
図６は、本発明の一実施形態に係る異物検出装置を用いた異物検出システムの一例を示す図である。同図に示すように、異物検出システム１０は、異物検出装置１と、ネットワークアナライザ１００と、コンピュータ２００とを備える。異物検出装置１とネットワークアナライザ１００とは、同軸ケーブル１１０Ａ及び１１０Ｂにより接続されている。異物検出システム１０はまた、搬送機構３００及び位置決め機構４００を含む。
【００３２】
ネットワークアナライザ１００は、高周波回路網の電気的特性を測定・解析する装置である。ネットワークアナライザ１００は、測定対象としての回路や素子に高周波（マイクロ波）信号を入力し、回路や素子を通過・反射した状態を測定することで、回路や素子の電気的特性を解析することができる。本例では、ネットワークアナライザ１００を用いて、異物検出装置１の空洞共振器２に高周波信号を入力し、そこを通過・反射した信号を測定・解析する。即ち、ネットワークアナライザ１００は、例えば、入力側同軸ケーブル１１０Ａを介して一方のアダプタ３（入力側変換器３Ａ）へ高周波信号を入力する。入力側変換器３Ａに入力された高周波信号は、中空導波管部２１を通って、他方のアダプタ３（出力側変換器３Ｂ）に出力される。ネットワークアナライザ１００は、出力側変換器３Ｂから出力される信号を出力側同軸ケーブル１１０Ｂを介して受信する。
【００３３】
なお、本実施形態では、空洞共振器２における通過・反射信号の測定にネットワークアナライザ１００を用いているが、特にこれに限定されるものではない。他の測定機器、例えば、スペクトラムアナライザやパワーメータ等を用いることもできる。また、空洞共振器には複数種類の高周波信号の混合が入力されてもよい。
【００３４】
ネットワークアナライザ１００は、空洞共振器２への入力信号に対する空洞共振器２からの出力信号を受信し、これを時間領域及び／又は周波数領域にて解析し、その解析結果である解析データをコンピュータ２００に提供する。
【００３５】
コンピュータ２００は、本例のシステムの動作（測定）を統括的に制御できるコンピュータであり、例えば、ディスプレイと、コンピュータ本体と、キーボードやマウス等の入力デバイスとを備える。コンピュータ本体は、図示はしないが、例えば、ＣＰＵ及びメモリを含むマザーボード、補助記憶装置、インターフェース回路を備える。
【００３６】
搬送機構３００は、測定対象物Ｆが異物検出装置１の空洞共振器２内を通過するように、測定対象物Ｆを連続的に搬送する。搬送機構３００は、巻き取りモータ３１０により巻き取りローラ３２０を回転駆動して、送り出しローラ３３０に捲回されている測定対象物Ｆを引き出しながら、これを巻き取りローラ３２０に捲回していく。
【００３７】
測定対象物Ｆが空洞共振器２内を通過する速度、換言すれば、測定対象物Ｆの搬送速度は、例えば、モータコントローラ３４０の制御の下、調整される。モータコントローラ３４０は、外部から入力された速度設定値に基づいて、巻き取りモータ３１０の駆動（回転数）を制御する。速度設定値は、作業者がモータコントローラ３４０に設けられたパネルを操作することで、直接的に入力されてもよいし、通信可能に接続されたコンピュータ２００から入力されるようにしてもよい。
【００３８】
位置決め機構４００は、測定対象物Ｆと異物検出装置１のスリット２３との相対的な位置関係を調整する。本例では、位置決め機構４００は、ＸＹＺの３軸方向の少なくともいずれかへ移動可能な可動ステージ４１０を備える。異物検出装置１は、測定時において、可動ステージ４１０上に載置され、固定される。位置決め機構４００の可動ステージ４１０は、例えば、コンピュータ２００の制御の下、制御される。
【００３９】
（異物検出装置の使用方法例）
図７Ａ及び図７Ｂは、本発明の一実施形態に係る異物検出装置の使用方法を説明するための図であり、具体的には、異物検出装置１にフィルム状の測定対象物Ｆをセットする様子を模式的に説明している。
【００４０】
即ち、同図Ａに示すように、まず、異物検出装置１を構成するコンポーネントのうち、上側構造体２１１Ａを除くコンポーネント同士を接合し、半完成状態の異物検出装置１を組み立てる。この場合、ボルト４１は仮締めの状態であってもよい。この半完成状態の異物検出装置１は、製造ラインにおける異物検出システム１０の位置決め機構４００上に載置される。
【００４１】
続いて、搬送機構３００の送り出しローラ３３０にセットされた測定対象物Ｆの先端部を引き出して、同図Ｂに示すように、位置決め機構４００上に載置された半完成状態の異物検出装置１の段部２１２ａ，２１２ａに掛け渡しながら、巻き取りローラに捲回する。あるいは、予め送り出しローラ及び巻き取りローラに捲回された測定対象物Ｆを、半完成状態の異物検出装置１の段部２１２ａ，２１２ａに掛け渡すようにセットしても良い。
【００４２】
半完成状態の異物検出装置１の段部２１２ａ，２１２ａに測定対象物Ｆをセットした後、上側構造体２１１Ａを取り付ける。つまり、異物検出装置１を構成するコンポーネント同士をボルト４１で締着し、異物検出装置１を完成させる。これにより、測定対象物Ｆは、異物検出装置１のスリット２３に挿通されることになり、測定を開始することができる。
（比較実験例）
【００４３】
次に、本実施形態の異物検出装置１の空洞共振器２の電気的特性に関して、従来の中空導波管を用いたものとの比較する。具体的には、略同一の共振条件を有する本実施形態の異物検出装置１及び従来の異物検出装置について、フィルム状の試料に異なるサイズの導電性微粒子を異物として付着させて、共振周波数の変化をそれぞれ測定した。導電性微粒子には、直径１２０μｍで長さ２８０μｍ（１４７μｍの立方体相当）及び直径３００μｍで長さ４００μｍ（３０５μｍの立方体相当）の大小２種類の銅線を用いた。
【００４４】
図８は、各異物検出装置における試料中の異物サイズに対する共振周波数の変化を示すグラフである。同図中、太線が、本実施形態の異物検出装置１についての共振周波数の変化を示し、細線が、従来の中空導波管を用いた異物検出装置についての共振周波数の変化を示す。
【００４５】
同図から分かるように、異物サイズが１８４μｍのとき、両者の共振周波数の変化に差がほとんど見られない。また、異物サイズが３０６μｍのとき、従来の異物検出装置における共振周波数の変化は０．２２０ＭＨｚであり、本実施形態の異物検出装置１における共振周波数の変化は０．１４７ＭＨｚであり、共振周波数の変化量に若干の差が見られた。これは、本実施形態の異物検出装置１を構成する中空導波管部２１が一対の構造体２１１により構成されたもので、完全な導波管でないことから、Ｑ値が低下したことが考えられる。しかしながら、本実施形態の異物検出装置１において、Ｑ値の低下の範囲は、異物を検出するのに支障がない程度であり、本実施形態の異物検出装置１を実用的に使用することができる。
【００４６】
（変形例１）
図９は、本発明の他の実施形態に係る異物検出装置１’を説明するための図である。上述した異物検出装置１は、それぞれ完全に分離したコンポーネントによって組み立てられる構成を採用しているが、本実施形態の異物検出装置１’は、同図に示すように、下側構造体２１１Ｂとアダプタ３とがヒンジ機構４３により回転自在に接続された構成を採用している。また、本例では、導電性板２３は、アダプタ３に固着されている。従って、上側構造体２１１Ａのみが、取り外し可能になっている。
【００４７】
異物検出装置１を組み立てる際には、両側のアダプタ３を回動させて下側構造体２１１Ｂと組み合わせ、締結部材（ボルト４１及びナット４２）で軽く締結し、半固定状態とする。その後、下側構造体２１１Ｂの段部２１３ａにフィルム状の測定対象物Ｆを載せ、上側構造体２１１Ａを組み合わせて、同様に、締結部材で軽く締結して半固定状態とした後に、先に半固定状態とした２１１Ｂの締結部材とともに本締めをして固定する。これにより、異物検出装置１’の取り扱い及び組み立てが容易になり、従って、フィルム状の測定対象物Ｆのセットも容易になる。
【００４８】
（変形例２）
上述した実施形態では、一対の構造体２１１間の位置関係を規定するために、位置決めピン３４が用いられるが、本例では、位置決めピン３４の代わりに、位置決め部材としてのスペーサ２１６が用いられる。即ち、図１０に示すように、本例の一対の構造体２１１の少なくともいずれか一方（例えば下側構造体２１１Ｂ’）は、半四角管体２１１の両側壁上端部の長手方向両端部にスペーサ２１６を備えている。スペーサ２１６は例えばアルミナ焼結体で構成される。これにより、上側構造体２１１Ａ’と下側構造体２１１Ｂ’とは、スペーサ２１６によって所定の間隙を保持した状態で、組み合わせられることになる。また、スペーサ２１６が配置されることにより、段部２１２ａ’が形成されるため、上側構造体２１１Ａ’と下側構造体２１１Ｂ’とが組み合わされるときにスリット２３’が形成されることになる。
【００４９】
また、図１１に示すように、スペーサ２１６は、縁部２１３の上面部に設けられても良い。この場合には、半四角管体２１１の側壁上端部が段部２１２ａに対応することになるため、縁部２１３間の長さのスリット２３が形成されることになる。
【００５０】
なお、本例では、いずれか一方の構造体２１１にスペーサ２１６が設けられることとしたが、特にこれに限定されるものではなく、上側構造体２１１Ａ及び下側構造体２１１Ｂの双方にスペーサ２１６が設けられても良い。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は、空洞共振器法により測定対象物Ｆ中の導電性物質を検出する異物検出装置に広く適用することができる。
【符号の説明】
【００５２】
１…異物検出装置
２…空洞共振器
２１…中空導波管部
２１１Ａ…上側構造体
２１１Ｂ…下側構造体
２１２…半管体
２１３…縁部
２１４…スルーホール
２１５…凹部
２２…導電性板
２２１…開口
２３…スリット
３…アダプタ
３１…コネクタ
３２…フランジ
３３…スルーホール
３４…位置決めピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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