(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板、特に数平方メートルの大きさを有するガラス板を非接触で把持するための装置であって、 少なくとも１つの振動発生装置（８）と、前記振動発生装置により振動される矩形の少なくとも１つの板状の振動板（１）を有し、前記振動板（１）の四隅にはそれぞれ正方形の補助面（９）が形成され、これら補助面（９）は、それぞれその四隅に舌状の突起を有し、前記補助面（９）はそれぞれ横木（１０）により結合されており、 前記各補助面（９）の上側に、吸い込んだ空気を排出するための吸引パイプ（２）が取り付けられ、前記各補助面（９）は前記吸引パイプ（２）を受け入れるための中央開口を有しており、 前記振動板（１）は、それぞれ保持リング（４）を介して前記補助面（９）の吸引パイプ（２）に取り付けられ、前記振動板（１）の中央に集められた４つの結合梁（７）を介して、全ての側に旋回可能な中央減衰継手（５）に結合され、 前記中央減衰継手（５）は、残存する自然振動を分断するために、中央金具（６）に結合されており、 前記振動板（１）をガラス板（１７）の方向に移動させるためにサーボ駆動装置（１６）を制御するための距離センサ（１１）が、少なくとも１つの吸引パイプ（２）に収容されていることを特徴とする。
【請求項２】
ガラス板、特に数平方メートルの大きさを有するガラス板を非接触で把持するための装置であって、 少なくとも１つの振動発生装置（８）と、前記振動発生装置により振動される正方形の少なくとも１つの板状の振動板（１）を有し、前記振動板（１）はその四隅に舌状の突起を有し、 前記振動板（１）の上側に、吸い込んだ空気を排出するための吸引パイプ（２）が取り付けられ、前記振動板（１）は前記吸引パイプ（２）を受け入れるための開口を有しており、 前記振動板（１）は、保持リング（４）を介して前記吸引パイプ（２）の部分で結合梁（７）に結合され、さらに、全ての側に旋回可能な中央減衰継手（５）に結合され、 前記中央減衰継手（５）は、残存する自然振動を分断するために、中央金具（６）に結合されており、 前記振動板（１）をガラス板（１７）の方向に移動させるためにサーボ駆動装置（１６）を制御するための距離センサ（１１）が、少なくとも１つの吸引パイプ（２）に収容されていることを特徴とする。
【請求項３】
ガラス板、特に数平方メートルの大きさを有するガラス板を非接触で把持するための装置であって、  少なくとも１つの振動発生装置（８）と、前記振動発生装置により振動される長方形の少なくとも１つの板状の振動板（１）を有し、前記振動板（１）はその四隅に舌状の突起を有し、  前記振動板（１）の上側に、吸い込んだ空気を排出するための吸引パイプ（２）が取り付けられ、前記振動板（１）は前記吸引パイプ（２）を受け入れるための少なくとも２つの開口を有しており、 前記振動板（１）は、保持リング（４）を介して前記振動板（１）の中央部分でそれぞれ結合梁（７）に結合され、さらに、全ての側に旋回可能な中央減衰継手（５）に結合され、 前記中央減衰継手（５）は、残存する自然振動を分断するために、中央金具（６）に結合されており、 前記振動板（１）をガラス板（１７）の方向に移動させるためにサーボ駆動装置（１６）を制御するための距離センサ（１１）が、少なくとも１つの吸引パイプ（２）に収容されていることを特徴とする。
【請求項４】
ガラス板、特に数平方メートルの大きさを有するガラス板を非接触で把持するための装置であって、 少なくとも１つの振動発生装置（８）と、前記振動発生装置により振動される長方形の板状の振動板（１）を少なくとも２組有し、前記振動板（１）はそれぞれその四隅に舌状の突起を有し、  前記振動板（１）の上側に、吸い込んだ空気を排出するための吸引パイプ（２）が取り付けられ、前記振動板（１）は前記吸引パイプ（２）を受け入れるための少なくとも２つの開口を有しており、 前記振動板（１）は、保持リング（４）を介して前記振動板（１）の中央部分でそれぞれ結合梁（７）を介して互いに一体的に結合され、前記結合梁は、全ての側に旋回可能な中央減衰継手（５）を介して他の中央減衰継手（５）に結合され、 前記中央減衰継手（５）は、残存する自然振動を分断するために、中央金具（６）に結合されており、 前記振動板（１）をガラス板（１７）の方向に移動させるためにサーボ駆動装置（１６）を制御するための距離センサ（１１）が、少なくとも１つの吸引パイプ（２）に収容されていることを特徴とする。
【請求項５】
前記振動板（１）の中央には、同様に形成された他の補助面（９）が、少なくとも２つの追加の横方向横木を介して前記結合横木（１０）に結合されていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項６】
持ち上げられるべきガラス板（１７）のガラスの破損を検出するための少なくとも１つの光学センサ（１３）が、少なくとも１つの吸引パイプ（２）及び／又はガラス板（１７）の外側の領域に取り付けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項７】
前記各補助面（９）の前記ガラス板（１７）に対向する面に、前記吸引パイプ（２）に結合された環状の切り欠きが設けられていることを特徴とする請求項１又は５に記載の装置。
【請求項８】
ガラス板、特に数平方メートルの大きさを有するガラス板を非接触で把持するための方法であって、 少なくとも１つの振動発生装置を用いて、矩形の少なくとも１つの板状の振動板（１）を把持されるべきガラス板（１７）に対して振動させ、前記振動板（１）の四隅にはそれぞれ正方形の補助面（９）が形成され、これら補助面（９）は、それぞれその四隅に舌状の突起を有し、前記補助面（９）はそれぞれ横木（１０）により結合されており、 前記各補助面（９）の上側から前記各補助面（９）に形成された中央開口に吸引パイプ（２）を取り付け、前記補助面（９）の前記ガラス板（１７）に対向する側に周囲の空気に対する負圧を発生させ、 前記振動板（１）と前記ガラス板（１７）の間で圧力嵌め結合が達成されるまで、距離センサ（１１）により前記振動板（１）を前記ガラス板（１７）の近くまで下降させ、 前記振動板（１）を前記ガラス板（１７）と共に持ち上げ、 前記振動板（１）を前記ガラス板（１７）と共に目的位置に降ろし、 前記少なくとも１つの振動発生装置（８）及び前記振動板（１）上の前記負圧のスイッチを切り、新たな使用場所に移動させることを特徴とする。
【請求項９】
ガラス板、特に数平方メートルの大きさを有するガラス板を非接触で把持するための方法であって、 少なくとも１つの振動発生装置を用いて、正方形の少なくとも１つの板状の振動板（１）を把持されるべきガラス板（１７）に対して振動させ、前記振動板（１）はその四隅に舌状の突起を有し、 前記振動板（１）の上側から前記振動板（１）に形成された開口に吸引パイプ（２）を取り付け、前記振動板（１）の前記ガラス板（１７）に対向する側に周囲の空気に対する負圧を発生させ、 前記振動板（１）と前記ガラス板（１７）の間で圧力嵌め結合が達成されるまで、距離センサ（１１）により前記振動板（１）を前記ガラス板（１７）の近くまで下降させ、 前記振動板（１）を前記ガラス板（１７）と共に持ち上げ、 前記振動板（１）を前記ガラス板（１７）と共に目的位置に降ろし、 前記少なくとも１つの振動発生装置（８）及び前記振動板（１）上の前記負圧のスイッチを切り、新たな使用場所に移動させることを特徴とする。
【請求項１０】
ガラス板、特に数平方メートルの大きさを有するガラス板を非接触で把持するための方法であって、 少なくとも１つの振動発生装置を用いて、長方形の少なくとも１つの板状の振動板（１）を把持されるべきガラス板（１７）に対して振動させ、前記振動板（１）はその四隅に舌状の突起を有し、 前記振動板（１）の上側から前記振動板（１）に形成された少なくとも２つの開口に吸引パイプ（２）を取り付け、前記振動板（１）の前記ガラス板（１７）に対向する側に周囲の空気に対する負圧を発生させ、 前記振動板（１）と前記ガラス板（１７）の間で圧力嵌め結合が達成されるまで、距離センサ（１１）により前記振動板（１）を前記ガラス板（１７）の近くまで下降させ、 前記振動板（１）を前記ガラス板（１７）と共に持ち上げ、 前記振動板（１）を前記ガラス板（１７）と共に目的位置に降ろし、 前記少なくとも１つの振動発生装置（８）及び前記振動板（１）上の前記負圧のスイッチを切り、新たな使用場所に移動させることを特徴とする。
【請求項１１】
ガラス板、特に数平方メートルの大きさを有するガラス板を非接触で把持するための方法であって、 少なくとも２つの振動発生装置（８）を用いて少なくとも２つの長方形の板状の振動板（１）を把持されるべきガラス板（１７）に対して振動させ、前記振動板（１）はそれぞれその四隅に舌状の突起を有し、 それぞれの前記振動板（１）の上側から前記振動板（１）に形成された少なくとも２つの開口に吸引パイプ（２）を取り付け、前記振動板（１）の前記ガラス板（１７）に対向する側に周囲の空気に対する負圧を発生させ、 前記振動板（１）と前記ガラス板（１７）の間で圧力嵌め結合が達成されるまで、距離センサ（１１）により前記振動板（１）を前記ガラス板（１７）の近くまで下降させ、 前記振動板（１）を前記ガラス板（１７）と共に持ち上げ、 前記振動板（１）を前記ガラス板（１７）と共に目的位置に降ろし、 前記少なくとも１つの振動発生装置（８）及び前記振動板（１）上の前記負圧のスイッチを切り、新たな使用場所に移動させることを特徴とする。
【請求項１２】
前記振動板（１）を少なくとも１つの距離センサ（１１）を介してガラス板（１７）の上に下降させ、この距離センサは吸引パイプ（２）の開口にはめ込まれており、複数の振動板（１）を有する比較的大きな装置を制御するための重要なパラメータが、ガラス板（１７）の方向への移動中に、この距離センサ（１１）からの出力信号における変化の速度から、中央コンピュータによって得られることを特徴とする請求項８乃至１１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１３】
ガラス板（１７）における不均一さに適用するために、振動板（１）が、全ての側に旋回可能なように、中央金具（６）上の中央減衰継手（５）に取り付けられ、それによって前記振動板（１）がガラス板の不均一さに適応可能であることを特徴とする請求項８乃至１１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１４】
大規模生産設備において作業可能なように、様々な大きさの振動板（１）を収納したマガジンを使用することを特徴とする請求項８乃至１３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
プログラムがコンピュータで実行されたときに、請求項８乃至１４のいずれか一項の方法を実行するためのプログラムコードを有するコンピュータプログラム。
【請求項１６】
プログラムがコンピュータで実行されたときに、請求項８乃至１４のいずれか一項の方法を実行するためのコンピュータプログラムのプログラムコードを有する機械で読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板、特に、数平方メートルの大きさを有するガラス板を非接触で把持するための装置及び方法に関するものである。そのようなガラス板は、例えば光電池から公知であり、多くの場合接触感知コーティングが施されている。
【背景技術】
【０００２】
先行技術の中から以下の文献が関連する。
【０００３】
DE 100 39 482 A1は、半導体工場において、２つのステーションの間で、平坦な基板、特にウエハを輸送するための取り扱い装置を開示している。この取り扱い装置に内在する目的は、主に、輸送中に支持面に接触することを避けることにある。この目的を達成するため、基本的に、縦方向の超音波振動を発生させる振動発生装置が搬送アームに相互作用し、少なくとも１つの振動の腹を有する静止振幅がこの搬送アームに確立され、この静止振幅が、搬送アーム上に載置された基板の空中浮遊を可能にすることが提案されている。この文献は、横方向の位置決めするための基板の位置を規制する手段が、基板の端部領域に相互作用することによってのみ形成されることも開示している。この取り扱い装置は、明らかに非接触で大きなガラス板を把持するには適していない。
【０００４】
DE 103 52 944 A1は、非接触で部品や材料を輸送し、取り扱い及び支持するための装置を開示しており、音波放射面の上に目的物を音響的に空中浮遊させることによりホバーリング状態を発生させるために、基本的に堅い支持構造と、その支持構造と平行に配置された、薄く、振動する板状部品と、振動発生手段が提案されている。この装置に内在する目的は、第１にエアノズルを用いた支持を回避することであり、第２に音響的な空中浮遊方法と輸送経路及び指示装置に課せられる要件の間の不一致を解消することである。DE 103 52 944 A1は、金属板を保持し、固定し、ある面の上にホバーリングさせて輸送する方法を開示しているけれども、この装置では、重力に逆らって非接触で大きなガラス板を把持し持ち上げるという課題を解決することはできない。
【０００５】
DE 10 2007 016 840 A1は、接触感知可能な平板状物体及び材料を輸送し保持するための装置を開示しており、この装置は、基本的に振動発生装置及び少なくとも２つの支持部品を有する板状保持装置を有している。追加の記述は、基本的に一つの目的についてだけ述べられているけれども、振動発生装置と支持部品の位置及び振動発生装置の周波数に関してなされている。この装置に内在する目的は、例えばウエハのような表面積が小さく軽い部品だけでなく、先に述べたような大きくて重い部品を輸送し保持するのに適した技術を提供することである。ここでは、例えば１平方メートルのガラス板に言及している。
【０００６】
この背景として、DE 10 2007 016 840 A1は、もしも、搬送されるべき部品の表面に応じて振動子の数を増加させ、その振動子を全体的に分散させたならば、ウエハを輸送するために発展してきた従来の技術は、基本的に大きなサイズの部品を搬送するのにも適することを指摘している。しかしながら、この局面において、多数の独立した振動システムが必要であり、それら全ては互いに正確に調整されていなければならないであろう。これらの手段は、相当なコストアップの原因となるであろう。それはさておき、ここでは水平方向の輸送のみが可能である。この装置では、重力に逆らって部品を持ち上げることは不可能である。
【０００７】
それゆえ、数平方メートルの寸法を有するガラス板は、製造条件に起因する広範囲な不均一さを有しており、また中央部で持ち上げたとき、その重量のせいで全ての方向に撓むので、この装置は数平方メートルの表面を有するガラス板を把持して持ち上げる用には設計されておらず、それに適さない。これら、周辺部における垂れ下がりの発生と併せて、予測不可能な不均一さは、DE 10 2007 016 840 A1に開示された装置の使用を不可能にしている。
【０００８】
DE 10 2006 017 763 A1は、それぞれ板状の半加工品に作用する少なくとも１つの吸引昇降機を有する複数の把持アームを備え、板状の半加工品を保持し移動させるためのガラス薄板把持装置を開示しており、把持アームは、共通の結合フランジを介して取り扱い及び搬送装置に結合可能であり、吸引昇降機は真空配管に結合可能である。この装置の目的は、様々な形式のガラスを穏やかに取り扱うことを可能にするガラス薄板把持装置を提供することである。この目的は、ガラス薄板把持装置の把持アームを結合フランジに対して放射状に配置し、それらの軸方向に伸縮させることによって達成される。このガラス薄板把持装置は、ガラス板を非接触で把持することは不可能である。
【０００９】
"iwb newsletter"誌、２００７年９月号、第１５巻、第３号、ＩＳＳＮ１４３４−３２４Ｘ、第３−４頁は、超音波真空把持装置を備えた感知部品の非接触取り扱いを開示している。この場合、把持されるべき主な物体は、例えば電気的表面波フィルタなどの小型で軽量な電子部品である。ここでは、大面積のガラス板を非接触で取り扱われていない。
【００１０】
EP 1 676 794 A1は、正又は負に圧縮された空気で駆動され、被搬送物を素早く安全に据え置くことができる搬送ユニットを開示している。ここでは、大面積のガラス板を非接触で把持することは開示されていない。
【発明の開示】
【００１１】
それゆえ、本発明に係る装置及び本発明に係る方法は、経済的で、且つ、信頼性が高く、コストパーフォーマンスに優れた方法で、数平方メートルの大きさの表面積を有する接触感知ガラス板を非接触で把持し、持ち上げるという目的に基づいている。
【００１２】  この目的は、請求項１乃至請求項７のいずれかに係る装置によって及び請求項８乃至請求項１６のいずれかに係る方法によって達成される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は発明に係る振動板を示す平面図である。
【図２】図２は図１の振動板の側面図である。
【図３】図３は本発明に係る装置の構成を示す縮小図である。
【図４】図４は図３ｂに係る構成の他の構造を示す図である。
【図５】図５は本発明をベルヌーイ流体に適応した例を示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明に係る装置について、以下詳細に説明する。本発明に係る装置の基本的機能原理は、二次元物体、特にガラス板を非接触で把持することにおいて、超音波と周囲空気に対する負圧の相互作用に基づいている。このようにして、そのような物体を重力に逆らって非接触で持ち上げることが可能である。この局面に対して、堅い板を振動させるために１つの振動発生装置が用いられ、周囲の空気に対する負圧がこの板の裏面の複数の所定の位置に発生され、それによって、この板は持ち上げられるべく物体に非接触で結合される。大きな表面積を有する重たいガラス板を把持し、持ち上げる場合に、様々な特有の課題が生じるので、本発明に基づいて、この特別な装置が創作された。
【００１５】
図１は、振動板１の平面図を示す。この場合、振動板１は、矩形の基本形状を有しており、四隅領域にそれぞれほぼ正方形を成す補助面９を有している。４つの正方形の補助面９は、２つの短い横木及び２つの長い横木１０と共に、一体的な振動板１を形成している。４つの正方形の補助面９は、それらの四隅において、振動特性を調和させる機能をする舌状の突起を有している。各補助面９は、その中央に、それぞれ補助面９の裏面に環状の切り欠きとして開口している吸引パイプ２を有している保持リング４で囲まれ、振動板ｂ１の振動を吸収する弾性材料３が、吸引パイプ２の周りに同心円状に追加されている。各補助面９上において、保持リング４はそれぞれ結合梁７に結合されている。４つの結合梁７の全ては、さらに振動板１の中央の上部において、中央減衰継手５に結合され、中央減衰継手５には中央金具６が結合されている。中央減衰継手５は、残存振動を減衰させる材料３をさらに有しており、全ての側に旋回可能なように中央金具６に取り付けられている。
【００１６】
このことは本発明に係る装置の本質的な機能に関しており、このような措置によって、振動板１が全体としてガラス板の不均一さに順応できることが可能になる。製造条件によっては、数平方メートルの大きさを有するガラス板は、本来広範囲の不均一さを有し、力学により、そのようなガラス板は、中央部を持ち上げたときに、その自重により全方向にたわむ。
【００１７】
特定の要件によっては、図１に示す振動板１の中央に、吸引パイプ２を有する別の補助面９を追加する必要があることは言うまでもなく、その補助面は横断する追加の横木１０を介して振動板１に結合される。図示していないけれども、その構造は容易に理解できることは明らかである。
【００１８】
図２に示す側面には、２つの吸引パイプ２が描かれており、それぞれ吸引チューブ１２を有し、この図からは見えないけれども他の２つの吸引パイプ２とそれらの吸引チューブ１２と共に、図示しない共通する中央の吸引排気装置に連通されている。
【００１９】
振動板１を降下させ、続いて、受け取ったガラス板１７と共に振動板１を上昇させる手段の一例として、図２では、昇降支柱１８がこの装置を運ぶ移送アーム１４と共に描かれている。サーボ駆動装置１６は、移送アーム１４を正確に移動させるように機能をする。サーボ駆動装置１６を制御するために、特に、振動板１をガラス板１７の方向に移動させるときに、少なくとも１つの距離センサ１１が必要である。この距離センサ１１は、制御のために必要なフィードバック信号を送信する。
【００２０】
図２において、保持リング４の周囲に描かれた円の中に詳細に拡大されて示されているように、そのような距離センサ１１は、吸引パイプ２の開口にはめ込まれていることが好ましい。また、そのような距離センサ１１は、各吸引パイプ２にそれぞれ設けられていることが好ましい。その結果、これらのセンサ１１からの微妙に異なった出力信号によって、期待された追加の情報が得られる。例えば、出力信号の違いからガラス板１７の不均一さに関する推定が導き出され、その推定は、制御装置１５において用いられ、中央コンピュータによって評価されることができる。複数の振動板を有する比較的大きな装置を制御するための重要なパラメータは、ガラス板方向における動作中、前記距離センサ１１からの出力信号における変化の速度から、順に中央コンピュータによって得ることができる。予備試験において決定された基準値を、制御のプログラム構造のために、パラメータとして用いることができる。
【００２１】
さらに、持ち上げられるべきガラス板１７のガラスの破損を検出するために、１又は複数の吸引パイプ２に光学センサ１３を取り付けることも可能である。そのようなセンサは、通常レーザ光を照射し、破損したガラスによって散乱された光を検出する。ガラス板の外側に取り付けられた他のセンサの一例として、図２においてセンサ１３が右側に付加的に取り付けられている。そのようなセンサの選択、配置及び起動は、各装置の構造によって決まる。この課題は、この分野における当業者にとっておなじみである。
【００２２】
図３は、本発明に係る装置の小型化した構成を描いている。それゆえ、図３ａにおける振動板は、図１に示す４つの補助面９の結合のうちの１つの補助面９に対応している。大きなガラス板を非接触で把持する際に、様々な異なったフォーマットが生じるので、例えば、長くて幅の狭いガラス板を把持するために、複数の装置を連続して使用する必要がある。この目的のために、図３ａに係る複数の振動板をこの課題を遂行するために用いることができる。そのようなガラス板の長さによっては、図３ｂに係る１つの振動板を用いても十分であるかもしれない。舌状の突起は、現存する構造全体における各隅部に設けられるべきである。しかしながら、複雑な構造を有するガラス板を非接触で把持するために、図３ａ及び図３ｂに示す振動板を組み合わせて用いることも可能である。その場合、問題となる振動板は、それぞれ独立した振動発生装置８及び独立した吸引パイプ２を有している。
【００２３】
図４は、図３ｂに係る構成の代替を示す。ここで、特に幅の広いガラス板用に、図３ｂの構成の２つの振動板が結合梁７で結合されている。この構造の中央部には、昇降装置の一部として、中央減衰継手５が描かれている。
【００２４】
図５は、本発明をベルヌーイ流体に適応した例を示す。ベルヌーイの法則によれば、パイプに中を流れる非圧縮流体の流速は、パイプの断面の変化に反比例するように振る舞うことが知られている。図５において円で囲んだ部分に詳細に示すように、このことから、頂上部分において、頂上に流れ込んだ圧縮空気に対して裏面に負圧が発生することがわかる。この原理によれば、図２と同様に図５において断面で示すように、重力に反してガラス板１７を持ち上げることが可能である。この場合、本願に内在する目的を達成するためには、図示されたセンサ１１を備えた回転継手５が必要である。
【００２５】
さらに、空中浮遊原理は、供給する空気と排出する空気を搬送するための装置の目標とされた排気口の配置に依存する。それによって両方の空気流を均衡させることができ、この均衡は空中浮遊の目的のために用いることができる。この効果は、上記ベルヌーイ把持装置の場合と同様に、吸引パイプの代わりに、くぼんだ流体管路によって結合されうる空気供給パイプと吸引パイプの組合せを有する板と共に、本発明に係る装置においても用いることができる。出願人は、そのような装置又はそのような方法を請求項として記載する権利を留保する。
【００２６】
本発明に係る装置は、一般的に感知面コーティングを有する様々なフォーマットのガラス板を、素早く連続的に非接触で把持しなければならない大規模な生産設備の一部として用いることができるので、様々な大きさの振動板を収納したマガジンを利用することが好ましい。製造ラインに設けられるべき振動板の装置及びそれに接続された持ち上げ搬送装置は、これらはこの目的のために必要であるが、さらに多数のセンサ及び制御装置を必要とする。
【００２７】
その場合に用いられる移動装置及びセンサの双方向制御には、特別な制御プログラムが必要である。
【符号の説明】
【００２８】
１  振動板
２  吸引パイプ
３  弾性材料
４  保持リング
５  中央減衰継手
６  中央金具
７  結合梁
８  振動発生装置
９  補助面
１０  結合横木
１１  距離センサ
１２  吸引チューブ
１３  光学センサ（ガラス破損センサ）
１４  移送アーム
１５  制御装置
１６  昇降装置のサーボ駆動装置
１７  ガラス板
１８  昇降支柱
１９  ベルヌーイ把持装置
２０  圧縮空気配管
【図１】
0005390635.tif 000002
【図２】
0005390635.tif 000003
【図３】
0005390635.tif 000004
【図４】
0005390635.tif 000005
【図５】
0005390635.tif 000006