(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状のプラスチックフィルムを、支持部材を介して巻き取り、当該支持部材によって空隙層が介在されるように、プラスチックフィルムの巻取体を形成する工程と、
空隙層に所定の温湿度の気体を供給する工程と、を備えたことを特徴とするプラスチックフィルムの含水率調整方法。
【請求項２】
空隙層に所定の温湿度の気体を供給する工程において、当該気体は、プラスチックフィルムの巻取体の一方の端面から空隙層に送り込まれることを特徴とする請求項１に記載のプラスチックフィルムの含水率調整方法。
【請求項３】
空隙層に所定の温湿度の気体を供給する工程において、当該気体は、プラスチックフィルムの巻取体の両方の端面から、交互に、空隙層に送り込まれることを特徴とする請求項１に記載のプラスチックフィルムの含水率調整方法。
【請求項４】
所定の温湿度の気体は、異物を除去する異物除去フィルターを通って空隙層に送り込まれることを特徴とする請求項２または３に記載のプラスチックフィルムの含水率調整方法。
【請求項５】
所定の温湿度の気体は、その温湿度が調整されて空隙層に送り込まれることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載のプラスチックフィルムの含水率調整方法。
【請求項６】
空隙層に送り込まれる気体の温湿度は、この後にプラスチックフィルムに形成される金属または樹脂からなるパターンを形成する際の外気の温湿度と同一となるように調整されることを特徴とする請求項５に記載のプラスチックフィルムの含水率調整方法。
【請求項７】
空隙層に所定の温湿度の気体を供給する工程において、プラスチックフィルムの巻取体はチャンバに収容され、チャンバ内から気体が吸引されてその温湿度が調整され、調整された気体が空隙層に送り込まれることを特徴とする請求項５または６に記載のプラスチックフィルムの含水率調整方法。
【請求項８】
空隙層に所定の温湿度の気体を供給する工程において、空隙層内の気体は、プラスチックフィルムの巻取体の一方の端面から吸引されて、他方の端面から空隙層に所定の温湿度の気体が吸い込まれることを特徴とする請求項１に記載のプラスチックフィルムの含水率調整方法。
【請求項９】
空隙層に所定の温湿度の気体を供給する工程において、空隙層内の気体は、プラスチックフィルムの巻取体の両方の端面から、交互に吸引されて、吸引時に、吸引される側の端面とは反対側の端面から、空隙層に所定の温湿度の気体が吸い込まれることを特徴とする請求項１に記載のプラスチックフィルムの含水率調整方法。
【請求項１０】
空隙層に所定の温湿度の気体を供給する工程は、空隙層内の気体を、プラスチックフィルムの巻取体の一方の端面から吸引して、他方の端面から空隙層に所定の温湿度の気体を吸い込む工程と、所定の温湿度の気体を、プラスチックフィルムの巻取体の当該一方の端面から空隙層に送り込む工程とを有することを特徴とする請求項１に記載のプラスチックフィルムの含水率調整方法。
【請求項１１】
プラスチックフィルムの巻取体を形成する工程の後、空隙層に所定の温湿度の気体を供給する工程の前に、プラスチックフィルムの巻取体が吸水処理されることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかに記載のプラスチックフィルムの含水率調整方法。
【請求項１２】
プラスチックフィルムの巻取体を形成する工程の後、空隙層に所定の温湿度の気体を供給する工程の前に、プラスチックフィルムの巻取体が乾燥処理されることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかに記載のプラスチックフィルムの含水率調整方法。
【請求項１３】
請求項１乃至１２のいずれかに記載のプラスチックフィルムの含水率調整方法を実行することにより、プラスチックフィルムの含水率を調整する工程と、
プラスチックフィルムに、カラーフィルター用の機能性を有するパターンを形成する工程と、を備え、
カラーフィルターを得ることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【請求項１４】
帯状のプラスチックフィルムが支持部材を介して巻き取られ、当該支持部材によって空隙層が介在されるように形成されたプラスチックフィルムの巻取体を保持する保持部材と、
保持部材に保持されたプラスチックフィルムの巻取体の空隙層に所定の温湿度の気体を供給する気体供給ユニットと、を備えたことを特徴とするプラスチックフィルムの含水率調整装置。
【請求項１５】
気体供給ユニットは、プラスチックフィルムの巻取体の一方の端面から空隙層に所定の温湿度の気体を送り込む送風ユニットを有していることを特徴とする請求項１４に記載のプラスチックフィルムの含水率調整装置。
【請求項１６】
送風ユニットに、空隙層に送り込む気体から異物を除去する異物除去フィルターが設けられていることを特徴とする請求項１５に記載のプラスチックフィルムの含水率調整装置。
【請求項１７】
送風ユニットに、空隙層に送り込む気体の温湿度を調整する空調ユニットが設けられていることを特徴とする請求項１５または１６に記載のプラスチックフィルムの含水率調整装置。
【請求項１８】
プラスチックフィルムの巻取体を収容するチャンバを更に備え、
気体供給ユニットは、チャンバ内の気体を吸引して空調ユニットに送る吸引ユニットを更に有していることを特徴とする請求項１７に記載のプラスチックフィルムの含水率調整装置。
【請求項１９】
保持部材、気体供給ユニット、および空調ユニットは、チャンバに収容されることを特徴とする請求項１８に記載のプラスチックフィルムの含水率調整装置。
【請求項２０】
気体供給ユニットは、プラスチックフィルムの巻取体の一方の端面から空隙層内の気体を吸引して、他方の端面から空隙層内に所定の温湿度の気体を吸い込ませる吸引ユニットを有していることを特徴とする請求項１４に記載のプラスチックフィルムの含水率調整装置。
【請求項２１】
気体供給ユニットは、プラスチックフィルムの巻取体の一方の端面から空隙層に所定の温湿度の気体を送り込む送風機能と、当該一方の端面から空隙層内の気体を吸引して、他方の端面から空隙層内に所定の温湿度の気体を吸い込ませる吸引機能とを有していることを特徴とする請求項１４に記載のプラスチックフィルムの含水率調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状のプラスチックフィルムの含水率を調整するプラスチックフィルムの含水率調整方法、この方法を含むカラーフィルターの製造方法、およびプラスチックフィルムの含水率調整装置に係り、とりわけ、プラスチックフィルムの含水率を短時間で均一にすることができるプラスチックフィルムの含水率調整方法、カラーフィルターの製造方法、およびプラスチックフィルムの含水率調整装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、カラーフィルターやＴＦＴアレイを構成するディスプレイ部材において、金属または樹脂からなり所定の機能性を有するパターンを形成するための基材として、フレキシブル性を有するロール状のプラスチックフィルムを用いることが研究されている。このように、基材をプラスチック製とすることにより、カラーフィルターやＴＦＴアレイを薄型化、低コスト化するとともに、基材が割れることを防止することができる。
【０００３】
しかしながら、ディスプレイ部材の基材としてプラスチックフィルムを用いる場合、プラスチックフィルム上に所定の精度でブラックマトリクス、着色層、柱状構造部、ＴＦＴアレイを形成することが困難であるという問題があった。すなわち、プラスチックフィルム上に所定のパターンを形成するプロセスにおいて、フォトリソグラフィまたはインクジェット法等の微細加工手段が用いられるが、そのプロセスにおいては、プラスチックフィルムに加わる熱や、プラスチックフィルムが含有する水分量等によって、プラスチックフィルムの寸法が変化し、パターンの精度が損なわれる。
【０００４】
このことに対処するために、例えば、特許文献１および２に示すような方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−６６４２３号公報
【特許文献２】特開２００３−１７７５５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、ロール状のプラスチックフィルムは、通常、フィルムの位置（巻外、巻内、幅方向）によって、含水率が異なる。ここで含水率とは、雰囲気の温湿度におけるプラスチックフィルムの飽和吸水量に対して、プラスチックフィルム内に吸収されている水分量の割合（重量比）をいう。プラスチックフィルムは、その含水率が外気との平衡状態の含水率より低い場合には、外気中の水分を吸収するが、平衡状態の含水率より高い場合には、プラスチックフィルム内の水分を放出する。プラスチックフィルムをロール状に巻いた場合、巻外側の部分は、巻内側の部分に比べて水分の移動が速いが、巻内側の部分は、水分の移動が極めて遅いため、巻外側の部分と巻内側の部分とで、平衡状態に達するまでの時間が異なる。その結果、プラスチックフィルムは、巻外側の部分と巻内側の部分とにおいて含水率が異なる。プラスチックフィルムの幅方向についても同様であり、プラスチックフィルムの幅方向の中心部分は、幅方向の端部に比べて水分の移動が遅くなり、中心部分と端部とにおいて含水率が異なる。このようなことから、プラスチックフィルムの含水率を均一にするためには、数週間から長くて数ヶ月の期間が必要となる。
【０００７】
また、フィルム製造メーカにおいて製造された直後のプラスチックフィルムは、その製造方法の特性から、乾燥状態であることが多い。このため、ロール状のプラスチックフィルムの巻内側の部分は、極度に含水率が低下した状態になっており、巻外側の部分は、外気にふれて含水率が上昇した状態になっている。ここで、製造直後に外気と遮断して乾燥状態を維持した場合であっても、ディスプレイ部材を製造する工程において、各プロセスで外気と触れるため、プラスチックフィルムの含水率を均一に維持して加工することは困難である。
【０００８】
また、ディスプレイ部材の製造工程では、加熱工程や、水と接触する工程などがあり、プラスチックフィルムの含水率が変動する場合もある。このように、ロール状のプラスチックフィルムを用いたディスプレイ部材の製造工程においては、その含水率が不均一となる要因が多く存在する。一方で、プロセス毎に、数週間から数ヶ月に亘って含水率を調整するために保管（養生）することが必要となれば、ディスプレイ部材を製造するために多くの時間が費やされる。
【０００９】
次に、ディスプレイ部材におけるプラスチックフィルムの含水率とプラスチックフィルムに形成される複数のパターンの各々の寸法変化について説明する。ディスプレイ部材は、数ミクロから数百ミクロンの微細なパターンが長寸法にわたって正確な位置に配列されている必要がある。ここでいう長寸法とは、例えば、ディスプレイの表示サイズの大きさであり、画面の端から端まで規則正しく画素が配列され、その端から端までの長さも決められた寸法である必要がある。したがって、パターンが形成されたプラスチックフィルムの含水率が変化してプラスチックフィルムが伸縮すると、パターンの寸法が設計寸法からずれることになり、ディスプレイ部材として製品化することができない。
【００１０】
ディスプレイ部材を製造するにあたり、所定の機能性を有するパターンを形成する方法はいくつかあるが、一般的な、いわゆる印刷では版、フォトリソグラフィではフォトマスク、直描のインクジェット印刷では、その設計プログラムによる描画動作が、パターンの位置および寸法を決定する。これらは、パターンが形成された際のそのパターンの寸法が、最も設計寸法に近くなっている。
【００１１】
ここで、含水率が各部分において異なるプラスチックフィルムにパターンを形成し、その後に、外気環境下で含水率が平衡状態になった場合、プラスチックフィルムの伸縮挙動がその各部で均一でないことから、形成されたパターンの寸法が異なるという問題がある。このため、パターンを形成する際には、ロール状のプラスチックフィルムの全体に亘って、含水率が均一であり、さらには、所定の外気の状態に対して、含水率が平衡状態になっていることが必要である。
【００１２】
ところで、特許文献１においては、プラスチックフィルムの含水率および寸法を、所定の温湿度における平衡含水率の±１０％以内にするために、プラスチックフィルムを高温高湿環境下で保管する方法が提案されている。しかしながら、この場合、上述したように、ロール状のプラスチックフィルムの巻内側の部分と巻外側の部分とにおいて、所定の含水率に達するまでの時間が異なる。このため、プラスチックフィルムの含水率を均一にするためには、多くの時間が費やされる。
【００１３】
また、特許文献２においては、プラスチックフィルムを加熱脱水処理した後、露光するまでの時間を管理することにより、所定の寸法を精度良く再現している。しかしながら、この場合、精密な時間管理が必要であり、また、ロール状のプラスチックフィルムの巻内側の部分と巻外側の部分とにおいて、所定の含水率に達するまでの時間が異なるという問題があった。
【００１４】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、プラスチックフィルムの含水率を短時間で均一にすることができるプラスチックフィルムの含水率調整方法、この方法を含むカラーフィルターの製造方法、およびプラスチックフィルムの含水率調整装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、帯状のプラスチックフィルムを、支持部材を介して巻き取り、当該支持部材によって空隙層が介在されるように、プラスチックフィルムの巻取体を形成する工程と、空隙層に所定の温湿度の気体を供給する工程と、を備えたことを特徴とするプラスチックフィルムの含水率調整方法を提供する。
【００１６】
なお、上述したプラスチックフィルムの含水率調整方法において、空隙層に所定の温湿度の気体を供給する工程において、当該気体は、プラスチックフィルムの巻取体の一方の端面から空隙層に送り込まれるようにしてもよい。
【００１７】
また、上述したプラスチックフィルムの含水率調整方法において、空隙層に所定の温湿度の気体を供給する工程において、当該気体は、プラスチックフィルムの巻取体の両方の端面から、交互に、空隙層に送り込まれるようにしてもよい。
【００１８】
また、上述したプラスチックフィルムの含水率調整方法において、所定の温湿度の気体は、異物を除去する異物除去フィルターを通って空隙層に送り込まれるようにしてもよい。
【００１９】
また、上述したプラスチックフィルムの含水率調整方法において、所定の温湿度の気体は、その温湿度が調整されて空隙層に送り込まれるようにしてもよい。
【００２０】
また、上述したプラスチックフィルムの含水率調整方法において、空隙層に送り込まれる気体の温湿度は、この後にプラスチックフィルムに形成される金属または樹脂からなるパターンを形成する際の外気の温湿度と同一となるように調整されるようにしてもよい。
【００２１】
また、上述したプラスチックフィルムの含水率調整方法において、空隙層に所定の温湿度の気体を供給する工程において、プラスチックフィルムの巻取体はチャンバに収容され、チャンバ内から気体が吸引されてその温湿度が調整され、調整された気体が空隙層に送り込まれるようにしてもよい。
【００２２】
また、上述したプラスチックフィルムの含水率調整方法において、空隙層に所定の温湿度の気体を供給する工程において、空隙層内の気体は、プラスチックフィルムの巻取体の一方の端面から吸引されて、他方の端面から空隙層に所定の温湿度の気体が吸い込まれるようにしてもよい。
【００２３】
また、上述したプラスチックフィルムの含水率調整方法において、空隙層に所定の温湿度の気体を供給する工程において、空隙層内の気体は、プラスチックフィルムの巻取体の両方の端面から、交互に吸引されて、吸引時に、吸引される側の端面とは反対側の端面から、空隙層に所定の温湿度の気体が吸い込まれるようにしてもよい。
【００２４】
また、上述したプラスチックフィルムの含水率調整方法において、空隙層に所定の温湿度の気体を供給する工程は、空隙層内の気体を、プラスチックフィルムの巻取体の一方の端面から吸引して、他方の端面から空隙層に所定の温湿度の気体を吸い込む工程と、所定の温湿度の気体を、プラスチックフィルムの巻取体の当該一方の端面から空隙層に送り込む工程とを有するようにしてもよい。
【００２５】
また、上述したプラスチックフィルムの含水率調整方法において、プラスチックフィルムの巻取体を形成する工程の後、空隙層に所定の温湿度の気体を供給する工程の前に、プラスチックフィルムの巻取体が吸水処理されるようにしてもよい。
【００２６】
また、上述したプラスチックフィルムの含水率調整方法において、プラスチックフィルムの巻取体を形成する工程の後、空隙層に所定の温湿度の気体を供給する工程の前に、プラスチックフィルムの巻取体が乾燥処理されるようにしてもよい。
【００２７】
本発明は、上述のプラスチックフィルムの含水率調整方法を実行することにより、プラスチックフィルムの含水率を調整する工程と、プラスチックフィルムに、カラーフィルター用の機能性を有するパターンを形成する工程と、を備え、カラーフィルターを得ることを特徴とするカラーフィルターの製造方法を提供する。
【００２８】
本発明は、帯状のプラスチックフィルムが支持部材を介して巻き取られ、当該支持部材によって空隙層が介在されるように形成されたプラスチックフィルムの巻取体を保持する保持部材と、保持部材に保持されたプラスチックフィルムの巻取体の空隙層に所定の温湿度の気体を供給する気体供給ユニットと、を備えたことを特徴とするプラスチックフィルムの含水率調整装置を提供する。
【００２９】
なお、上述したプラスチックフィルムの含水率調整装置において、気体供給ユニットは、プラスチックフィルムの巻取体の一方の端面から空隙層に所定の温湿度の気体を送り込む送風ユニットを有しているようにしてもよい。
【００３０】
また、上述したプラスチックフィルムの含水率調整装置において、送風ユニットに、空隙層に送り込む気体から異物を除去する異物除去フィルターが設けられているようにしてもよい。
【００３１】
また、上述したプラスチックフィルムの含水率調整装置において、送風ユニットに、空隙層に送り込む気体の温湿度を調整する空調ユニットが設けられているようにしてもよい。
【００３２】
また、上述したプラスチックフィルムの含水率調整装置において、プラスチックフィルムの巻取体を収容するチャンバを更に備え、気体供給ユニットは、チャンバ内の気体を吸引して空調ユニットに送る吸引ユニットを更に有しているようにしてもよい。
【００３３】
また、上述したプラスチックフィルムの含水率調整装置において、保持部材、気体供給ユニット、および空調ユニットは、チャンバに収容されるようにしてもよい。
【００３４】
また、上述したプラスチックフィルムの含水率調整装置において、気体供給ユニットは、プラスチックフィルムの巻取体の一方の端面から空隙層内の気体を吸引して、他方の端面から空隙層内に所定の温湿度の気体を吸い込ませる吸引ユニットを有しているようにしてもよい。
【００３５】
また、上述したプラスチックフィルムの含水率調整装置において、気体供給ユニットは、プラスチックフィルムの巻取体の一方の端面から空隙層に所定の温湿度の気体を送り込む送風機能と、当該一方の端面から空隙層内の気体を吸引して、他方の端面から空隙層内に所定の温湿度の気体を吸い込ませる吸引機能とを有しているようにしてもよい。
【発明の効果】
【００３６】
本発明によれば、プラスチックフィルムが支持部材によって形成される空隙層を介在させて巻き取られてプラスチックフィルムの巻取体が形成され、その空隙層に、所定の温湿度の気体が供給される。このことにより、プラスチックフィルムの全体が、所定の温湿度の気体に接することができる。このため、プラスチックフィルムの含水率を短時間で均一にすることができる。
【００３７】
また、本発明によれば、含水率が均一になったプラスチックフィルムに、金属または樹脂からなり、カラーフィルター用の機能性を有するパターンを形成することができる。このため、パターンの寸法精度を向上させて、カラーフィルターの表示画像の精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態におけるプラスチックフィルムの含水率調整装置を示す斜視図。
【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態におけるプラスチックフィルムの含水率調整装置にプラスチックフィルムの巻取体を保持した状態を示す断面図。
【図３】図３は、本発明の第１の実施の形態におけるプラスチックフィルムの巻取体を示す斜視図。
【図４】図４（ａ）は、本発明の第１の実施の形態において、支持部材の配置の一例を示す平面図。図４（ｂ）は、図４（ａ）の側面図。図４（ｃ）は、支持部材の配置の他の例を示す平面図。図４（ｄ）は、図４（ｃ）の側面図。図４（ｅ）は、支持部材の配置の更なる他の例を示す平面図。図４（ｆ）は、図４（ｅ）の側面図。
【図５】図５は、本発明の第１の実施の形態におけるプラスチックフィルムの含水率調整方法のフローチャートを示す図。
【図６】図６は、本発明の第１の実施の形態におけるプラスチックフィルムの含水率調整方法において、気体の流れを示す図。
【図７】図７は、本発明の第２の実施の形態におけるプラスチックフィルムの含水率調整装置を示す斜視図。
【図８】図８は、本発明の第３の実施の形態におけるプラスチックフィルムの含水率調整装置を示す斜視図。
【図９】図９は、本発明の第４の実施の形態におけるプラスチックフィルムの含水率調整装置を示す斜視図。
【図１０】図１０は、本発明の第４の実施の形態におけるプラスチックフィルムの含水率調整装置の変形例を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
第１の実施の形態
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。ここで、図１乃至図６は、本発明の第１の実施の形態におけるプラスチックフィルムの含水率調整方法、この方法を含むカラーフィルターの製造方法、およびプラスチックフィルムの含水率調整装置を示す図である。
【００４０】
まず、図１および図２により、本実施の形態におけるプラスチックフィルム１の含水率調整装置１０について説明する。ここで、プラスチックフィルム１の含水率調整装置１０は、例えば、カラーフィルター（図示せず）などでディスプレイ部材（図示せず）の基材として使用されるプラスチックフィルム１の含水率を調整する（養生する）ためのものである。
【００４１】
図１および図２に示すように、プラスチックフィルム１の含水率調整装置１０は、帯状のプラスチックフィルム１が支持部材２を介して巻き取られ、当該支持部材２によって空隙層３が介在されるように形成されたプラスチックフィルム１の巻取体４を保持する保持部材１１と、保持部材１１に保持されたプラスチックフィルム１の巻取体４の空隙層３に所定の温湿度の気体を供給する気体供給ユニット２０とを備えている。
【００４２】
ここで、プラスチックフィルム１は、図２および図３に示すように、円筒状のコア５に巻き取られており、このコア５の中空部５ａに、閉塞部材１２が取り付けられて、コア５の中空部５ａが閉塞されるようになっている。なお、本実施の形態においては、閉塞部材１２は、円柱状の部材からなっており、コア５の中空部５ａに嵌入して、コア５に取り付けられるようになっているが、このことに限られることはなく、後述する送風ユニット２１から送られる気体が、コア５の中空部５ａに流れることを防止可能であれば、任意の構造とすることができる。
【００４３】
プラスチックフィルム１の巻取体４には、支持部材２によってプラスチックフィルム１間に空隙層３が形成されている。ここで、図４を用いて、支持部材２の配置例について説明する。図４（ａ）、（ｂ）に示す配置例においては、支持部材２は、コア５の軸線方向（プラスチックフィルム１の長手方向に直交する方向）に延びるように配置されている。この場合、各支持部材２は周方向に互いにずらして配置されることが好ましい。このことにより、プラスチックフィルム１の全体に、均一に、所定の温湿度の気体が接することができる。また、図４（ｃ）、（ｄ）に示す配置例においては、支持部材２は、コア５の軸線方向に直交する方向（プラスチックフィルム１の長手方向）に延びるように、プラスチックフィルム１の長手方向に沿う両縁部に配置されている。この場合、空隙層３に所定の温湿度の気体を供給するように、支持部材２は、後述するような多孔質シートからなっていることが好ましい。さらに、図４（ｅ）、（ｆ）では、図４（ｃ）、（ｄ）に示す配置例と同様に配置された支持部材２のプラスチックフィルム１との接触面に、凹凸が形成されている。この場合、支持部材２の凹部２ａを介して、空隙層３に所定の温湿度の気体を供給することができるようになっている。
【００４４】
また、支持部材２は、プラスチックフィルム１のうち、プラスチックフィルム１に既に形成された金属または樹脂からなるパターン（またはプラスチックフィルム１の含水率調整が終了した後の工程で形成されるパターン）以外の領域に配置されることが好ましい。このことにより、パターンが損傷することを防止することができる。なお、プラスチックフィルム１に形成されるパターンは、金属または樹脂からなり、カラーフィルター用の所望の機能性を有するものであり、プラスチックフィルム１の用途等に応じて、適宜選択されるものである。このようなパターンの具体例としては、例えば、カラーフィルター用のブラックマトリックス、および複数色（赤色、緑色、青色）の画素、ＴＦＴアレイの金属パターン、あるいは、回路基板における導電／絶縁パターン等を挙げることができる。
【００４５】
保持部材１１は、図２に示すように、プラスチックフィルム１の巻取体４の外周面に嵌合して、当該巻取体４を保持するようになっている。このように、巻取体４の外周面に保持部材１１を嵌合させると共に、コア５の中空部５ａに、閉塞部材１２を嵌入させることにより、後述の送風ユニット２１から送られる気体が、外方またはコア５の中空部５ａに漏れることを防止し、空隙層３に確実に送り込まれるようになっている。
【００４６】
本実施の形態における気体供給ユニット２０は、プラスチックフィルム１の巻取体４の一方の端面（第１端面４ａ）から空隙層３に所定の温湿度の気体を送り込む（供給する）送風ユニット２１からなっている。すなわち、送風ユニット２１は、送風口２２を有し、この送風口２２から空隙層３に上記気体を送り込み、送り込まれた気体は、空隙層３を通って、巻取体４の他方の端面（第２端面４ｂ）から排出されるようになっている。なお、本実施の形態においては、空隙層３に送り込まれる気体としては、所定の温湿度（例えば、２５度、４０％ＲＨ）を有する外気からなっている。
【００４７】
次に、プラスチックフィルム１の材料について説明する。本実施の形態において適用可能なプラスチックフィルム１は、ロール状に巻き取り可能な程度に可撓性を有していればよい。例えば、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、セルローストリアセテート（ＣＴＡ）、環状ポリオレフィン（ＣＯＰ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリサルフォン（ＰＳＦ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ノルボルネン系樹脂、アリルエステル樹脂等の合成樹脂を挙げることができ、とりわけ、ＰＥＮ、ＰＥＴが好ましい。
【００４８】
また、プラスチックフィルム１の厚さとしては、１μｍ〜１０００μｍの範囲内であることが好ましく、１０μｍ〜５００μｍの範囲内であることがより好ましく、５０μｍ〜２５０μｍの範囲内であることがさらに好ましい。プラスチックフィルム１の厚さが上記範囲よりも厚すぎると、フレキシブル性が損なわれ、折れやすくなり、ロール状のプラスチックフィルム１の巻取体４を形成することが困難になるからである。一方、上記範囲よりも薄すぎると、こしが無くなり、各工程における取り扱いが困難になるからである。
【００４９】
プラスチックフィルム１の幅としては、特に限定されるものではないが、例えば、１００ｍｍ〜１０００ｍｍの範囲内であることが好ましく、１５０ｍｍ〜６００ｍｍの範囲内であることがより好ましい。
【００５０】
なお、プラスチックフィルム１は、単一層からなる構成であっても良く、あるいは、複数の層が積層された構成を有するものであっても良い。
【００５１】
次に、支持部材２について説明する。本実施の形態に用いられる支持部材２は、コア５に巻き取られたプラスチックフィルム１の間に空隙層３を形成するための部材である。このような支持部材２としては、可撓性を有し、通気性および透湿性が高く、かつ、離型性が高いものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、入手性、通気性および透湿性を考慮し、多孔質シートなどの透湿フィルムを好適に用いることができる。多孔質シートとしては、具体的には、ポリエチレン多孔質シート（日東電工製サンマップ）、ミクロボイド二軸延伸ポリプロピレン（ユポ・コーポレーション製ユポ）、不織布等を挙げることができる。
【００５２】
支持部材２に、多孔質シートを用いる場合には、多孔質シートの表面粗さ（Ｒａ）は、１μｍ以上であることが好ましく、２μｍ以上であることがより好ましく、５μｍ以上であることがさらに好ましい。Ｒａが上記範囲より小さいと、支持部材２が有する空隙が少なくなり、通気性および透湿性が低下するからである。なお、多孔質シートのＲａは、通常、１０μｍ以下である。また、ここでの「表面粗さ（Ｒａ）」は、「算術平均表面粗さ」であり、ＪＩＳ−Ｂ０６０１に準拠して測定される。
【００５３】
支持部材の他の例としては、凹凸が形成されたエンボスフィルムなどを用いることができる。このようなエンボスフィルムは、例えば、プラスチックフィルム１との接触面積が０．０１ｍｍ２〜１００ｍｍ２程度となるような比較的大きな凹凸を有し、凹凸の間隔が、例えば、０．１ｍｍ〜１０ｍｍ程度と比較的大きな間隔となっているため、空隙層３に通気性を付与するためには好適である。また、エンボスフィルムは、例えば、汎用的に用いられるキャリアテープなどでも良いが、型押し加工などにより任意の凹凸形状が形成された部材を用いても良い。
【００５４】
支持部材２の厚さとしては、２０〜２０００μｍの範囲内であることが好ましく、５０〜１０００μｍの範囲内であることがより好ましく、１００〜７００μｍの範囲内であることがさらに好ましい。支持部材２の厚さが上記範囲よりも薄すぎると、プラスチックフィルム１を巻き取ったときに空隙層３がつぶれやすくなり、上記範囲よりも厚すぎると、プラスチックフィルム１を巻き取ることが困難になるからである。
【００５５】
また、支持部材２の幅としては、プラスチックフィルム１を巻き取ったときの巻内および巻外の含水率が均一となるように支持部材２をプラスチックフィルム１上に部分的に配置することが可能な幅であれば特に限定されるものではなく、プラスチックフィルム１の幅、パターンが形成される領域の大きさなどにより適宜選択されるものである。
【００５６】
なお、支持部材２が介在されることにより、プラスチックフィルム１の表面全体が、空隙層３に接する状態にすることは困難であるが、支持部材２とプラスチックフィルム１との接触面積を十分に小さくすることにより、プラスチックフィルム１の含水率を均一にすることが可能になる。
【００５７】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用、すなわち本実施の形態によるプラスチックフィルム１の含水率調整方法およびこの方法を含むカラーフィルターの製造方法について、図５および図６を用いて説明する。
【００５８】
まず、図５に示すように、帯状のプラスチックフィルム１、支持部材２、およびコア５を準備する（ステップＳ１）。
【００５９】
続いて、帯状のプラスチックフィルム１が、支持部材２を介してコア５に巻き取られ、当該支持部材２によって空隙層３が介在されるように、プラスチックフィルム１の巻取体４が形成される（ステップＳ２）。この場合、支持部材２は、プラスチックフィルム１のうち、プラスチックフィルム１に既に形成された金属または樹脂からなるパターン以外の領域（またはこの後形成されるパターン以外の領域）に配置されることが好ましい。なお、プラスチックフィルム１を巻き取る方法としては、支持部材２の空隙をつぶすことなく、低テンションで巻き取ることができる方法であれば、特に限定されることはなく、空隙層３を形成可能なように、一般的な巻取機（図示せず）を用いることができる。また、プラスチックフィルム１の巻回数は、用途等に応じて、適宜選択されることが好ましい。
【００６０】
次に、プラスチックフィルム１の巻取体４が形成されたコア５に、閉塞部材１２が取り付けられる（ステップＳ３）。本実施の形態においては、円柱状の閉塞部材１２が、コア５の中空部５ａに嵌入される。
【００６１】
次に、プラスチックフィルム１の巻取体４が、保持部材１１に保持される（ステップＳ４）。ここでは、巻取体４の外周面に、保持部材１１の内周面が嵌合されて、巻取体４が保持される。
【００６２】
巻取体４を保持した後、空隙層３に、所定の温湿度の気体が、所定時間、供給される（ステップＳ５）。本実施の形態においては、送風ユニット２１により、所定の温湿度の気体（外気）が取り込まれて、送風口２２から、保持部材１１の内部を通って、プラスチックフィルム１の巻取体４の第１端面４ａから空隙層３に、所定時間、連続的に、送り込まれる。この間、図６に示すように、気体は、プラスチックフィルム１の巻取体４の第１端面４ａから空隙層３を通って、第２端面４ｂから排出され、空隙層３において、気体とプラスチックフィルム１との間で水分の移動が行われるが、この水分の移動により湿度が増減した気体は、プラスチックフィルム１の巻取体４の第２端面４ｂから排出され、新たに気体が送り込まれる。このことにより、プラスチックフィルム１は、連続して所定の温湿度を有する気体に接することができる。
【００６３】
その後、送風ユニット２１を停止し、プラスチックフィルム１の巻取体４が、保持部材１１から取り外される（ステップＳ６）。
【００６４】
取り外されたプラスチックフィルム１の巻取体４は、図示しないカラーフィルターの製造装置にセットされて、プラスチックフィルム１が繰り出され、プラスチックフィルム１に、金属または樹脂からなり、カラーフィルター用の機能性を有するパターン（例えば、カラーフィルター用のブラックマトリックスおよび複数色の画素）が形成される。具体的なパターン形成方法としては、所望のパターンが精度良く形成することができれば、特に限定されることはなく、例えば、フォトリソグラフィ法、インクジェット法等、一般的に知られた方法を用いることができる。
【００６５】
このように本実施の形態によれば、プラスチックフィルム１が支持部材２によって形成される空隙層３を介在させて巻き取られてプラスチックフィルム１の巻取体４が形成され、その空隙層３に、気体が連続的に送り込まれる。このことにより、プラスチックフィルム１の全体が、所定の温湿度の気体に接することができる。このため、プラスチックフィルム１の含水率を短時間で均一にすることができる。
【００６６】
また、本実施の形態によれば、含水率が均一になったプラスチックフィルム１に、金属または樹脂からなり、カラーフィルター用の機能性を有するパターンを形成することができる。このため、パターンの寸法精度を向上させることができ、カラーフィルターの表示画像の精度を向上させることができる。
【００６７】
なお、本実施の形態においては、プラスチックフィルム１の巻取体４の第１端面４ａから空隙層３に気体が送り込まれる例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、気体が、プラスチックフィルム１の巻取体４の両方の端面４ａ、４ｂから、交互に、空隙層３に送り込まれるようにしても良い。この場合、例えば、巻取体４の第１端面４ａから空隙層３に気体を、所定時間、送り込んだ後、巻取体４の第２端面４ｂが送風ユニット２１側に配置されるように巻取体４の向きを入れ替えて、当該第２端面４ｂから空隙層３に、所定時間、気体を送り込むようにしても良い。このことにより、プラスチックフィルム１の全体に亘って、含水率をより一層均一にすることができる。
【００６８】
また、本実施の形態においては、気体供給ユニット２０が、空隙層３に気体を送り込む送風ユニット２１からなる例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、気体供給ユニット２０が、プラスチックフィルム１の巻取体４の第１端面４ａから空隙層３内の気体を吸引して、第２端面４ｂから空隙層内に気体を吸い込ませる吸引ユニット（図示せず）からなっていても良い。この場合、吸引ユニットによりプラスチックフィルム１の巻取体４の第１端面４ａから空隙層３内の気体が吸引されている間、第２端面４ｂから、所定の温湿度の気体（外気）が、空隙層３内に吸い込まれる（供給される）。このことにより、プラスチックフィルム１の全体が、所定の温湿度の気体に接することができ、プラスチックフィルム１の含水率を短時間で均一にすることができる。さらに、空隙層３内の気体が、プラスチックフィルム１の巻取体４の両方の端面から、交互に、吸引されて、吸引時に、巻取体４の吸引される側の端面とは反対側の端面から所定の温湿度の気体（外気）が吸い込まれるようにしても良い。この場合、例えば、巻取体４の第１端面４ａから空隙層３内の気体を、所定時間、吸引した後、巻取体４の第２端面４ｂが吸引ユニット側に配置されるように巻取体４の向きを入れ替えて、当該第２端面４ｂから空隙層３内の気体を、所定時間、吸引するようにしても良い。このことにより、プラスチックフィルム１の全体に亘って、含水率をより一層均一にすることができる。
【００６９】
また、本実施の形態においては、気体供給ユニット２０が、空隙層３に気体を送り込む送風ユニット２１からなる例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、気体供給ユニット２０が、プラスチックフィルム１の巻取体４の第１端面４ａから空隙層３に気体を送り込む送風ユニットとしての送風機能と、巻取体４の第１端面４ａから空隙層３内の気体を吸引して、第２端面４ｂから気体を吸い込ませる吸引ユニットとしての吸引機能を有するようにしても良い。この場合、まず、空隙層３内の気体が、プラスチックフィルム１の巻取体４の第１端面４ａから、所定時間、吸引されて、第２端面４ｂから空隙層３に所定の温湿度の気体（外気）が吸い込まれ、その後、プラスチックフィルム１の巻取体４の当該第１端面４ａから空隙層３に所定の温湿度の気体（外気）が送り込まれる。このことにより、プラスチックフィルム１の全体に亘って、含水率をより一層均一にすることができる。
【００７０】
また、本実施の形態において、プラスチックフィルム１の含水率が極度に低い場合には、ステップＳ２の後、ステップＳ３の前に、プラスチックフィルム１の巻取体４が吸水処理されるようにしても良い。このことにより、プラスチックフィルム１の含水率を、所定の温湿度の気体との平衡状態における含水率に、短時間で上昇させることができる。なお、吸水処理としては、プラスチックフィルム１の巻取体４に水を噴射させる、若しくは水に浸漬させるようにしても良く、または、高温高湿の雰囲気に曝す方法等が挙げられる。
【００７１】
さらに、本実施の形態において、プラスチックフィルム１の含水率が極度に高い場合には、ステップＳ２の後、ステップＳ３の前に、プラスチックフィルム１の巻取体４が乾燥処理されるようにしても良い。このことにより、プラスチックフィルム１の含水率を、所定の温湿度の気体との平衡状態における含水率に、短時間で下降させることができる。なお、乾燥処理としては、プラスチックフィルム１の巻取体４を加熱する方法等が挙げられる。
【００７２】
第２の実施の形態
次に、図７により、本発明の第２の実施の形態におけるプラスチックフィルムの含水率調整方法、カラーフィルターの製造方法、およびプラスチックフィルムの含水率調整装置について説明する。
【００７３】
図７に示す第２の実施の形態においては、送風ユニットに、空隙層に送り込む気体から異物を除去する異物除去フィルターが設けられている点が主に異なり、他の構成は、図１乃至図６に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図７において、図１乃至図６に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００７４】
図７に示すように、送風ユニット２１に、空隙層３に送り込む気体（外気）から塵埃等の異物を除去する異物除去フィルター３０が設けられている。
【００７５】
このように本実施の形態によれば、塵埃等の異物が除去された気体を空隙層３に送り込むことができる。このため、プラスチックフィルム１の表面に、塵埃等の異物が付着することを防止することができる。
【００７６】
第３の実施の形態
次に、図８により、本発明の第３の実施の形態におけるプラスチックフィルムの含水率調整方法、カラーフィルターの製造方法、およびプラスチックフィルムの含水率調整装置について説明する。
【００７７】
図８に示す第３の実施の形態においては、送風ユニットに、空隙層に送り込む気体の温湿度を調整する空調ユニットが設けられている点が主に異なり、他の構成は、図１乃至図６に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図８において、図１乃至図６に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００７８】
図８に示すように、送風ユニット２１に、空隙層３に送り込む気体の温湿度を調整する空調ユニット４０が設けられている。この空調ユニット４０は、外気を取り込み、取り込んだ外気の温湿度を、この後に、プラスチックフィルム１に形成される金属または樹脂からなり、カラーフィルター用の機能性を有するパターンを形成する際の外気の温湿度と同一となるように調整する。あるいは、空調ユニット４０は、プラスチックフィルム１がこの後曝される任意の工程における外気の温湿度と同一となるように、取り込んだ外気の温湿度を調整するようにしても良い。例えば、プラスチックフィルム１を用いたディスプレイ部材を含むディスプレイパネル（いずれも図示せず）が完成した状態において、温度２５度、相対湿度４０％ＲＨの状態におけるパターンの寸法が規定されている場合には、空調ユニット４０は、外気の温湿度を、２５度、４０％ＲＨに調整することが好ましい。このことにより、ディスプレイパネル完成時のパターンの寸法精度をより一層向上させることができる。
【００７９】
また、空調ユニット４０に、空隙層３に送り込む外気に含まれる塵埃等の異物を除去する異物除去フィルター３０が設けられている。すなわち、異物除去フィルター３０は、空調ユニット４０に取り込まれる外気から塵埃等の異物を除去するようになっている。
【００８０】
このように本実施の形態によれば、外気が、プラスチックフィルム１に形成される金属または樹脂からなり、カラーフィルター用の機能性を有するパターンを形成する際の外気の温湿度と同一となるように調整されて、空隙層３に送り込まれる。このことにより、プラスチックフィルム１の全体が、パターンを形成する際の温湿度を有する外気に接することができる。このため、プラスチックフィルム１の全体に亘って、含水率を、パターンを形成する際の外気と平衡状態における含水率に均一にすることができる。
【００８１】
また、本実施の形態によれば、空隙層３に供給する気体の温湿度を任意に調整することができる。このため、プラスチックフィルム１の含水率を、任意の温湿度の気体と平衡状態における含水率にすることができる。
【００８２】
さらに、本実施の形態によれば、塵埃等の異物が除去された外気を空隙層３に送り込むことができる。このため、プラスチックフィルム１の表面に、塵埃等の異物が付着することを防止することができる。
【００８３】
第４の実施の形態
次に、図９により、本発明の第４の実施の形態におけるプラスチックフィルムの含水率調整方法、カラーフィルターの製造方法、およびプラスチックフィルムの含水率調整装置について説明する。
【００８４】
図９に示す第４の実施の形態においては、プラスチックフィルムの巻取体がチャンバに収容されている点が主に異なり、他の構成は、図１乃至図６に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図９において、図１乃至図６に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００８５】
図９に示すように、プラスチックフィルム１の巻取体４は、チャンバ６０に収容されている。
【００８６】
また、気体供給ユニット２０に、空隙層３に供給される気体の温湿度を調整する空調ユニット４０が設けられている。なお、この空調ユニット４０は、第３の実施の形態と同様に、気体の温湿度を調整するようになっている。
【００８７】
気体供給ユニット２０は、空隙層３に気体を送り込む送風ユニット２１と、チャンバ６０内の気体を吸引する吸引ユニット５１とを有している。すなわち、気体供給ユニット２０は、チャンバ６０内の気体を吸引して空調ユニット４０に送ると共に、空調ユニット４０により温湿度が調整された気体を、プラスチックフィルム１の巻取体４の第１端面４ａから空隙層３に送り込むように構成されている。
【００８８】
このように本実施の形態によれば、チャンバ６０内の気体が吸引されて、空調ユニット４０により、その温湿度が調整され、プラスチックフィルム１の巻取体４の第１端面４ａから空隙層３に送り込まれる。空隙層３に送り込まれた気体は、空隙層３内を通って、巻取体４の第２端面４ｂからチャンバ６０内に排出される。このことにより、プラスチックフィルの全体が、所定の温湿度を有する気体に接することができる。このため、プラスチックフィルム１の全体に亘って、含水率を、所定の温湿度の気体と平衡状態における含水率にすることができる。
【００８９】
また、本実施の形態によれば、空隙層３に供給する気体の温湿度を任意に調整することができる。このため、プラスチックフィルム１の含水率を、任意の温湿度の気体と平衡状態における含水率にすることができる。
【００９０】
さらに、本実施の形態によれば、プラスチックフィルム１の巻取体４がチャンバ６０に収容されているため、空隙層３に送り込まれる所定の温湿度を有する気体を循環させることができる。このことにより、空隙層３に送り込まれる気体の温湿度を、効率良く調整することができる。
【００９１】
なお、本実施の形態においては、図１０に示すように、チャンバ６０を、保持部材１１、気体供給ユニット２０、および空調ユニット４０を収容するようにしてもよい。
【００９２】
以上、本発明による実施の形態について説明してきたが、当然のことながら、本発明の要旨の範囲内で、これらの実施の形態を、部分的に、適宜組み合わせることも可能である。また、これらの本実施の形態においては、本発明の要旨の範囲内で、種々の変形も可能である。
【実施例】
【００９３】
実施例１
本発明のプラスチックフィルム１の含水率調整方法により含水率が調整されたプラスチックフィルム１の各部の含水率を測定した。
【００９４】
まず、プラスチックフィルム１として、３００ｍｍ幅で３０ｍ長さのＰＥＴフィルム（東洋紡績株式会社製コスモシャインＡ４１００、１２５μｍ厚さ）を準備し、支持部材２として、３０ｍｍ幅の多孔質フィルム（日東電工製サンマップ、２００μｍ厚さ）を準備した。この多孔質フィルムをＰＥＴフィルムの両縁部（長手方向に沿った両縁部）に配置し、円筒状のコア（内径３インチ）５に巻き取り、厚さ２００μｍの空隙層３が介在されたＰＥＴフィルムの巻取体４を形成した。このとき、ＰＥＴフィルムの含水率は、全体に亘って、０．１１％〜０．１２％であった（表１参照）。なお、含水率の測定は、マイクロ波オンライン水分計（マルカム製）、電気抵抗式水分計（（株）山崎精機研究所製）などを用いて行うこともでき、あるいは、ＪＩＳ−Ｋ７２０９にしたがって行うこともできる。
【００９５】
次に、コア５の中空部５ａに、閉塞部材１２を嵌入させて、ＰＥＴフィルムの巻取体４の外周面に、保持部材１１を嵌合させた。
【００９６】
その後、気体供給ユニット２０により、空隙層３内の気体を、ＰＥＴフィルムの巻取体４の第１端面４ａから、０．１ｋＰａ、７００ｍ３／ｓの流量で、４８時間吸引して、第２端面４ｂから、空隙層３に所定の温湿度の気体を吸い込ませた。なお、本実施例においては、２５度、４０％ＲＨの外気を空隙層３に吸い込ませた。
【００９７】
比較例１として、上記と同等のＰＥＴフィルムを、支持部材２を用いることなく（空隙層３を介在させることなく）、コア５に巻き取り、２５度、４０％ＲＨの外気のもとで、４８時間、静置させた。
【００９８】
４８時間経過後に、それぞれのＰＥＴフィルムの含水率を測定した。その結果を、表１に示す。なお、表1に示す含水率の単位は％である。
【００９９】
【表１】
0005622089.tif 000002
【０１００】
比較例１のＰＥＴフィルムでは、巻外側以外の部分では、ほとんど吸水しておらず、養生が進んでいないことが確認できた。また、含水率の均一性も得られなかった。これに対して実施例１のＰＥＴフィルムでは、全ての測定ポイントで、養生環境の２５度４０％ＲＨの飽和吸水率である０．３３％とほぼ同等の含水率に達し、全体に亘って、含水率が均一になり、養生が完了したことが確認できた。なお、本実施例においては、巻取体４の一方の端面から空隙層３内の気体を吸引して、他方の端面から外気を吸い込ませた例について説明したが、巻取体４の一方の端面から空隙層３に気体を送風ユニット２１等により送り込むようにした場合についても、同様の効果が得られるものと考えられる。
【０１０１】
実施例２
上記実施例１によって養生されたＰＥＴフィルムを用いて、２００ｍｍ×２００ｍｍのパターンを１００パターン形成した。パターン形成時の外気の温湿度は、２５度、４０％ＲＨであった。パターン形成方法としては、一般的なフォトリソグラフィを用いた。
【０１０２】
比較例２として、上記比較例１によって得られたＰＥＴフィルムを用いて、上記と同様にパターンを形成した。
【０１０３】
それぞれのＰＥＴフィルムに形成されたパターンの寸法の均一性を評価した。すなわち、比較例２のパターンは、巻外側の部分から巻内側の部分までの１００パターンにおける寸法のばらつきは、設計寸法である１００ｍｍに対して４０μｍの差が見られたが、本実施例のパターンは、その差が１０μｍに収まっていた。このことにより、パターンの寸法の均一性を確認することができた。
【０１０４】
なお、寸法の均一性の評価については、具体的には、以下のように行うことができる。パターンの設計寸法がわかっている場合には、上述のように設計寸法を基準として、測定された各パターンの寸法が、どの程度ずれているかを評価する。また、設計寸法が不明である場合には、任意の複数のパターンにおいて測定された寸法から平均寸法を求め、この平均寸法を基準として、測定された各パターンの寸法が、どの程度ずれているかを評価する。また、寸法の測定には、一般に測長機を用いることが好ましい。とりわけ、マイクロメートル単位まで寸法を測定することができる精密な測長機がより好ましい。例えば、ＳＯＫＫＩＡ製の超精密自動２次元座標測定機や、ニコンインストルメンツカンパニー製のＣＮＣ画像測定システムなどを使用することができる。
【符号の説明】
【０１０５】
１      プラスチックフィルム
２      支持部材
２ａ    凹部
３      空隙層
４      巻取体
４ａ    第１端面
４ｂ    第２端面
５      コア
５ａ    中空部
１０    含水率調整装置
１１    保持部材
１２    閉塞部材
２０    気体供給ユニット
２１    送風ユニット
２２    送風口
３０    異物除去フィルター
４０    空調ユニット
５０    チャンバ
５１    吸引ユニット
【図１】
0005622089.tif 000003
【図２】
0005622089.tif 000004
【図３】
0005622089.tif 000005
【図４】
0005622089.tif 000006
【図５】
0005622089.tif 000007
【図６】
0005622089.tif 000008
【図７】
0005622089.tif 000009
【図８】
0005622089.tif 000010
【図９】
0005622089.tif 000011
【図１０】
0005622089.tif 000012