(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電部に対する渦電流試験を行うための放出／受信機能を別々に備えた装置であって、
放出巻き線でそれぞれ構成されている複数の放出ロウ（ｉ）と、複数の受信カラムとを備え、
前記複数の受信カラムがそれぞれ、少なくとも一続きに直列に接続された受信巻き線で構成されていて、
放出巻き線に異なる周波数（ｆｉ）の電流で電力供給する手段を備え、各周波数（ｆｉ）が一つの放出ロウ（ｉ）に対応していて、一つのカラムの前記受信巻き線中の受信された信号が前記異なる周波数で加えられるように前記放出巻き線が前記受信巻き線に関連している、装置。
【請求項２】
前記放出巻き線と前記受信巻き線との重なりが存在する、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
単一のロウ上の前記放出巻き線が同じ周波数の電流を流す、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
各放出ロウ上の一つの前記放出巻き線によって隔てられている二つの前記放出巻き線が、逆の巻き方向を有する、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
各受信カラム上の一つの前記受信巻き線によって隔てられている二つの前記受信巻き線が、逆の巻き方向を有する、請求項３に記載の装置。
【請求項６】
各受信カラム上の全ての前記受信巻き線が同一の巻き方向を有する、請求項３に記載の装置。
【請求項７】
各放出ロウ（１〜４）の両端に追加の放出巻き線（６５）を備えた、請求項３に記載の装置。
【請求項８】
各放出ロウ（１、２）上の偶数番目の前記放出巻き線と奇数番目の前記放出巻き線とが異なる周波数の電流で電力供給され、
各受信カラム上の前記放出巻き線が、同一の放出ロウ（１〜２）の二つの近接する放出巻き線の間に配置されている、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
各放出ロウの端に直列に配置された受信巻き線の少なくとも一つの追加のカラム（７４）を備えた、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記放出ロウ及び前記受信カラムが支持体（５２）の各面上に配置されている、請求項１から９のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１１】
前記放出ロウ（１〜４）の一つへの入力部にそれぞれ配置されたアンプ（５７）を備えた、請求項１から１０のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１２】
前記受信カラム（ａ〜ｈ）の一つからの出力部にそれぞれ配置されたプリアンプ（５８）を備えた、請求項１から１１のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１３】
一つまたは複数のコネクタを備えた、請求項１から１２のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１４】
前記コネクタがゼロ挿入力を必要とする、請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
二つの連続するロウの前記放出巻き線が逆の巻き方向を有する、請求項１から１４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１６】
二つの連続するカラムの前記受信巻き線が逆の巻き方向を有する、請求項１から１５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１７】
前記受信巻き線のカラムが差動的に配線されている、請求項１から１６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１８】
励起周波数が複数の周波数の和である、請求項１から１７のいずれか一項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電部に対する渦電流試験（渦流探傷試験）を行うための放出／受信機能を別々に備えた装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明の分野は、別々の放出／受信機能を用いた導電部に対する渦電流試験であり、放出巻き線及び受信巻き線の非常に小型のセットを用いて、広範な動作範囲を有する。このような試験は、小さな欠陥の検出に特に有効であり、特に導電部の非破壊検査（ＮＤＴ，ｎｏｎ−ｄｅｓｔｒｕｃｔｉｖｅ  ｔｅｓｔｉｎｇ）に有効である。
【０００３】
導電部の欠陥を検出するために渦電流を用いる原理は、物質の導電性及び探索される欠陥の深さに適合した周波数で電磁場を放出する放出巻き線を、この部分の近くで用いることに在る。次の段階は、少なくとも一つの受信巻き線の端部において、導電部の存在下で放出巻き線と受信巻き線との間の磁力線の直接カップリングによって発生した起電力を測定することである。物質中に欠陥が存在する場合に重ね合わせられる、この起電力の小さな変化も測定される。従って、本発明の分野は、試験される部分に渦電流を発生させることのできる電磁信号の放出に向けられた少なくとも一つの巻き線と、渦電流によって誘起された信号の受信に向けられた少なくとも一つの巻き線とを用いた装置に限定される。このような構成のことを“別々の機能”を有すると言う。
【０００４】
各受信巻き線の端部に誘起された起電力ＶＲは、関連する放出巻き線内に送られる電流と同じ周波数であり、復調の後に有用な信号を得るために用いられる。欠陥の存在下においては、この誘起起電力ＶＲは、ＶＲ±δＶＲとなり、ＶＲと比較して非常に小さい変化分δＶＲのみが情報を運ぶ。実際には、δＶＲに対して相対的に電圧ＶＲが小さくなると、信号の増幅がより効果的になり、測定の信号対ノイズ比が改善される。
【０００５】
多数の素子を、同一の支持体上に一様の間隔で配置することが可能であり、部分的な表面の検査時間が範囲内に収まり、また、高精度が要求されることの多い一つ以上の軸を備えた一つ以上の機械的ベンチを購入するためのコストが最小化される。単一の軸に沿った単一の機械的移動のみが必要とされるモジュール（素子のサイズよりも小さな走査ピッチが必要とされる場合には複数のロウ（行）に互い違いに配置された素子を備えることができる）が得られる。更には、試験される領域の直接的な画像を得るために、素子のマトリクスを形成することも可能であり、これによって、遅くて高価で精密な機械的移動が排除される。欠陥が無い場合には、異なる受信チャネルの端部において可能限り同じ様な電圧を備えた構成を有することが有利であり、異なる素子からの応答を最大限有効に使うために、チャネルを復調する渦電流試験装置のバランスをとることを容易にする。
【０００６】
しかしながら、多数の素子を用いることは、接続の問題を生じさせる。特許文献１の終わりに開示されている従来技術による解法の一つは、マトリクスに配置された別々のエミッタ／レシーバ型素子を用いた方法を用いることであり、放出巻き線のロウ（行）が直列に配置され、受信巻き線のカラム（列）が直列に配置される。このような配置は、全ての素子の問い合わせ（クエリー）可能性を維持しながら、接続部及び接続ワイヤによって生じる角の数を減少させることができる。しかしながら、小さな寸法の欠陥を検出する場合には、検査される領域内の位置に関わらず、捕捉中に少なくとも一つの素子によって欠陥が検出されるように、素子を互いに非常に近接して配置しなければならない。更には、特定のロウの放出巻き線は直列であるので、所定の素子に近接する巻き線は、この素子を妨害する。下記のものが、対象となっているこの素子の受信巻き線の端部に追加される：
‐  関連するエミッタに由来する誘起ＥＭＦ（起電力，ｅｌｅｃｔｒｏｍｏｔｉｖｅ  ｆｏｒｃｅ）：  ＶＲ（素子共通）及びδＶＲ（有用な信号）
‐  近接する活性な放出巻き線によって発せられる全ての磁場によって誘起されるＥＭＦ値（つまり、これらを介して電流が同じ周波数で流れる）。実際には、電磁場は距離と共に減少し、一つまたは二つの近接する素子のみが、対称となっている受信巻き線に影響する。
【０００７】
そうすると、受信巻き線は直列であるので、放出巻き線の複数のロウの同時電力供給は、各素子によって検出される特定の情報を発見するのに十分で無い。従って、電流または電圧源を順次に放出巻き線のロウのそれぞれに接続するために、マルチプレクサを用いなければならない。
【０００８】
更に、単一のロウ上に素子を互いに十分に離して配置することが不可能な場合には、カップリング（または素子間の干渉）が、受信巻き線の端部において電圧を上昇させる傾向があり、これは有用な信号δＶＲの判読に不利である。更に、欠陥が存在しない場合に近接する異なる巻き線によって誘起されるこの電圧は、受信巻き線の二つの異なるロウにおいて異なるものであり得る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】米国特許第５０４７７１９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、多数の素子の応答を同時かつ互いに独立的に評価するため、導電部に対する渦電流試験（渦流探傷試験）を行うための放出／受信機能を別々に備えた装置を提案することによって、上述のような不利な点を修正することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、導電部に対する渦電流試験を行うための放出／受信機能を別々に備えた装置に関する。本装置は、放出巻き線で構成されている複数の放出ロウと、複数の受信カラムを備える。複数の受信カラムはそれぞれ、少なくとも一続きに直列に接続された受信巻き線で構成されている。そして、本装置は、一続きの受信巻き線に関連する放出巻き線が全て、異なる周波数の電流で電力供給されることを特徴とする。
【００１２】
第一構成において、単一のロウ上の放出巻き線は、同一の周波数で電流を流す。有利には、一つの放出巻き線によって隔てられた同一の放出ロウ上の二つの放出巻き線は、逆の巻き方向を有する。受信巻き線の巻き方向は全て同じであることができ、または、各受信カラム上の一つの受信巻き線によって隔てられた二つの受信巻き線が逆の巻き方向を有するようにできる。有利には、追加の放出巻き線が、各放出ロウの両端に配置可能である。
【００１３】
第二構成において、各放出ロウ上の偶数番目の放出巻き線と奇数番目の放出巻き線とは異なる周波数の電流で電力供給され、各受信カラム上の受信巻き線は、同一の放出ロウの二つの近接する放出巻き線の間に配置される。有利には、受信巻き線の少なくとも一つの追加のカラムが、各放出ロウの端に直列に配置される。
【００１４】
有利には、放出ロウ及び受信カラムは、これら二つの構成の両方において、支持体の各面上に配置される。
【００１５】
これら二つの構成に対して、有利には、本発明による装置が、
‐  放出ロウの一つへの入力部にそれぞれ配置されたアンプと、
‐  一つまたは複数のコネクタ（例えばゼロ挿入力を必要とする）と、
‐  受信カラムの一つからの出力部にそれぞれ配置されたプリアンプと、
‐  受信部用の多重化システムとを備える。
【００１６】
また、
‐  逆の巻き方向の二つの連続するロウの放出巻き線と、
‐  逆の巻き方向の二つの連続するカラムの受信巻き線と、
‐  差動的に配線された受信巻き線のカラムと、
‐  それぞれが複数の周波数の和である励起周波数とを有することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１Ａ】本発明による装置の第一の多重素子構成の上面図を示す。
【図１Ｂ】本発明による装置の第一の多重素子構成の上面図を示す。
【図１Ｃ】本発明による装置の第一の多重素子構成の上面図を示す。
【図１Ｄ】本発明による装置の第一の多重素子構成の上面図を示す。
【図１Ｅ】本発明による装置の第一の多重素子構成の上面図を示す。
【図２Ａ】本発明による装置の第二の多重素子構成の上面図を示す。
【図２Ｂ】本発明による装置の第二の多重素子構成の上面図を示す。
【図２Ｃ】本発明による装置の第二の多重素子構成の上面図を示す。
【図２Ｄ】本発明による装置の第二の多重素子構成の上面図を示す。
【図３】受信巻き線と放出巻き線との間の距離の関数として、受信巻き線の端部で得られる電圧の値が如何に変化するかを示す。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１Ａ及び２Ａに示されるように、本発明による装置は、導電部に対する渦電流試験を行うための放出／受信機能を別々に備えた装置であって、放出巻き線５５で構成された複数の放出ロウ（行）１〜４と、少なくとも一続きの直列である同一のカラムにおいて互いに直列に接続された受信巻き線５６で構成された複数のカラム（列）ａ〜ｈとを備え、同一のカラム上の同一の一続きの受信巻き線に関連する放出巻き線は全て、異なる周波数ｆ１、ｆ２、ｆ３、ｆ４の電流で電力供給される。
【００１９】
従って、本発明による装置は、各素子に対して同時であり近接する素子に独立的に、並列の渦電流法特有の変調段階を実施するために用いられる多重素子構成となっている。
【００２０】
図１Ａ及び２Ａに示されるように、本発明による装置は、“多重ロウモジュール”型の複製素子を備える。“素子”とは、放出巻き線５５及び受信巻き線５６で構成されたアセンブリを意味する。
【００２１】
機械的な移動を必要としない規則的なマトリクス構成に対しては、正方格子または三角格子で配置された素子による同一の配置型とすることが可能である。
【００２２】
本発明は、まず、区別できる動作周波数を用いて、それぞれのロウを独立的に問い合わせ（クエリー）するために用いられる。また、放出巻き線及び受信巻き線の明確に定義された巻き方向を用いることを介して、同一のロウの素子同士のカップリングを制限し、有利には、カラムに関わらず、同一のカップリング値を得ることができる。
【００２３】
〈第一構成〉
図１Ａに示される本発明による装置の第一構成は、八つの別々の素子の四つのロウを備え、放出巻き線５５と受信巻き線５６の重なりが示されている。矢印５０は、本発明による装置の移動方向を示す。全ての素子は、移動方向５０に垂直な方向に沿って、ピッチｐで等間隔である。支持体５２を方向５０に沿って移動させることによって、本装置は、このピッチｐの間隔で測定点を得る。垂直方向の線５１は、本装置の移動中の素子の応答を目に見える形として与えている。有利には、放出巻き線及び受信巻き線に対応する接続トラックが支持体５２の両側に配置され得る。
【００２４】
この第一構成において、放出巻き線５５は、１から４と番号付けされたロウのそれぞれに対して直列に配置されている。放出巻き線５６はａ〜ｈと番号付けされたカラムのそれぞれに対して直列に配置されている。支持体５２の反対側に配置可能である巻き線５６と巻き線５５は、（ｉ，ｊ）と番号付けされた素子を形成する。ここで、ｉは１から４までのロウ番号であり、ｊはａからｈのカラム番号である。
【００２５】
三角形５７及び５８は電子アンプを表し、具体的には、放出ライン１から４上の四つのアンプ５７と、受信カラムａからｈ上の八つの受信プリアンプ５８（有利には低ノイズ）である。片面または両面のコネクタ５４が支持体５２上に配置され得て、支持体上の接続トラックと処理電子機器（増幅、多重化、復調等）との間の接続を可能にする。アンプ及びマルチプレクサ又はデマルチプレクサが、支持体５２の一方の面及び／又は他方の面に配置され得る。
【００２６】
この第一構成において、別々の周波数の数は、一つのカラム上の直列の受信巻き線の数と等しくなるように選択される（例においてはｆ１からｆ４の四つの周波数）。四つの素子によって出力される信号は別々の周波数で追加される。従って、これら四つの周波数ｆ１からｆ４における四つの復調（同時または逐次）が、八つの受信チャネルのそれぞれに対して用いられて、カラム内の四つの素子の独立的な応答を導出する。周波数ｆ１からｆ４は一般的に極めて近く選択されて、素子の応答（ＶＲ及びδＶＲ）が、これらの周波数において同一となる。また、複数の同時周波数において動作することも可能である。
【００２７】
表面上に開口している小さな欠陥が存在する応用においては、例えば１０ＭＨｚの周波数で動作することができる。例えば、上述の構成の場合、ｆ１＝９．８ＭＨｚ、ｆ２＝９．９ＭＨｚ、ｆ３＝１０．０ＭＨｚ、ｆ４＝１０．１ＭＨｚを選択することができる。
【００２８】
この第一構成において、同一のロウの巻き線間の干渉も、明確に定義された巻き方向を選択することによって、修正される。同一のロウ上にあって、一つの受信巻き線の左右の直近に位置する二つの素子の放出巻き線（例えば、素子（２，ｃ）の受信巻き線の両側の素子（２，ｂ）及び（２，ｄ）の放出巻き線）の影響は、これら二つの放出巻き線に対して逆の巻き方向を選択することによって、キャンセルされる。この受信巻き線の直近の放出巻き線によって発生される磁場は、同じ大きさではあるが逆方向であり、結果として、受信巻き線においてキャンセルされる（例えば、全ての受信巻き線は同じ方向に巻かれ得る）。図１Ｂ（＋方向）及び図１Ｃ（−方向）は、６０及び６１に位置する放出巻き線の巻き方向を示し、ポイント６２は金属ホールを示す。従って、各ロウの全ての素子は、二つの素子（一方は＋方向に放出巻き線が巻かれ、他方は−方向に放出巻き線が巻かれる）の間に配置される。追加の放出巻き線６５を各ロウ１、２、３、４の両端に追加することが可能であり、同一のロウに位置する近接する放出巻き線とは逆方向に巻かれて、エッジ効果を防止し、対象となっている受信巻き線のカラムに関わらず、同一の電圧が得られる（これは、渦電流機器のバランスフェイズを容易にする）。
【００２９】
有利な実施形態の一つにおいては、厚さ５０μｍのカプトンフィルム上のエッチングされた受信巻き線５６と放出巻き線５５とから構成された素子が考えられる。二つの巻き線はそれぞれ、外径１ｍｍ、内径５００μｍ、６巻きである。放出巻き線は、１０ＭＨｚに非常に近い四つの周波数の２０ｍＡの電流で電力供給される。特定の一つの素子の二つの巻き線間の距離ｄは、７３０μｍとなるように選択され、共通ＶＲを最小化し、検出される典型的なサイズの欠陥による応答を最大化する。この例では、長さ４００μｍ、幅２００μｍ、深さ２００μｍに設定される。シミュレーションまたは実験によって得られるｄの選択された値は、巻き線の重なりをもたらす。
【００３０】
図３は、二つの別々の素子の放出巻き線と受信巻き線との間の距離の関数として、受信巻き線の端部で得られる共通ＶＲの変化を示す。最適化された距離ｄ＝７３０μｍに対しては、素子内の共通ＶＲは３．２６ｍＶである。３．２６ｍＶ未満（具体的には３２６μＶ）の２０ｄＢに等しい二つの素子間の共通ＶＲを得ることが必要とされる場合には、二つの近接する素子（同一のロウまたは同一のカラム上にある）は、一方の素子の受信巻き線が他方の素子の放出巻き線からｄＥＲ＝１．６５ｍｍの距離にあるように配置されなければならない。同一のロウ上の二つの近接する素子の間の距離は少なくとも
【数１】
0005390383.tif 000002
でなければならないと導出される。
【００３１】
近接する周波数ｆ１からｆ４に対しては、逆の巻き方向を備えた、二つの連続するロウの放出巻き線及び／又は受信巻き線を考えることができる。これは、各素子の間のＶＲカップリングが、加算されるというよりは、少なくとも部分的にキャンセル可能であるということを意味する。
【００３２】
〈・第一変形例〉
上述の例の素子のロウの数は４に設定されていて、ロウは
【数２】
0005390383.tif 000003
の間隔でなければならず、ピッチｐは３５０μｍに等しく、同一のカラムの素子間のカップリングが制限される。移動軸５０に沿った装置のサイズは、（２×ｒｅｘｔ＋４×ｄ＋３×１．６１）＝８．７５ｍｍである（ｒｅｘｔ：  巻き線の外側半径）。
【００３３】
図１Ｄに示される第一変形例は、各カラムにおいて直列に一つおきで受信巻き線を接続するものであって、二倍の数の受信チャネルが用いられていて、カップリングの問題が克服され、密な間隔のマトリクスにより小型のセンサが作製される。上述の数値に関して、この新しい構成の距離は、８．７５ｍｍの代わりに６．９ｍｍの値になる。この変形例は二つの周波数のみで用いられることができ、放出周波数の数が制限される。
【００３４】
〈・第二変形例〉
各素子は多様な幾何学的形状（同一または非同一の放出巻き線及び受信巻き線、重なったまたは重ならない構成、同軸性またはそうではない構成）を有することができ、また、放出巻き線または受信巻き線は、直列にまたは差動的に接続された二つの異なる巻き線に分解され得る。図１Ｅでは図１Ａに示されるものと同じ構成が用いられていて、各受信巻き線が、差動的にケーブル接続された二つの巻き線から構成されている。
【００３５】
〈第二構成〉
図２Ａに示される第二構成においては、放出巻き線及び受信巻き線の中心によって定められる一つの素子の軸がセンサの移動方向５０から９０°に向けられている。放出巻き線は複数のロウ（例えば二つのロウ）上に配置されている。受信巻き線は放出ロウ上に配置されていて、二つの放出巻き線の間に挿入されている。受信巻き線はカラムを形成し、上述の構成にように、少なくとも一続きのカラムによって、直列に配置されている。
【００３６】
従って、一つの受信巻き線は、同一のロウ上の二つの近接する放出巻き線（右側の巻き線と左側の巻き線）と関連している。従って、四つの放出巻き線が、二つの受信巻き線のカラムのそれぞれに関連している。放出巻き線のそれぞれに対して四つの別々の周波数を用いて、得られる信号を分離する。同一のロウの偶数番目の放出巻き線と奇数番目の放出巻き線は、別々の周波数ｆ１及びｆ２の電流で電力供給される。受信巻き線が直列に配置されているカラムは、上記の周波数とは異なる周波数ｆ３及びｆ４の電流で電極供給される。
【００３７】
追加の受信巻き線のカラム７４及びその接続部（リンク７６）を、ロウのどちらか一端または両端に追加することができる。
【００３８】
全ての受信巻き線は支持体５２の同一の面上に配置され得て、全ての放出巻き線は同一の支持体の他方の面上に配置され得る。
【００３９】
図２Ｂは、放出巻き線が７０において如何にして直列に配置されるかを示す。図２Ｃ及び２Ｄは、金属ホール７３を備えた放出巻き線７１及び受信巻き線２７の対応する巻き方向を示す。
【００４０】
放出巻き線及び／又は受信巻き線は、一巻きであり得る。この場合、金属ホール６２、７３は必要ではない。更に、一つの素子の放出巻き線及び受信巻き線のそれぞれが、直列に接続された複数の巻き線で構成され得る。例えば、一つの巻き線が、カプトンフィルムの面のそれぞれの上において互いに向き合うエッチングされた二つの同軸巻き線から構成され得て、金属ホールを介して直列に接続されて、その巻き方向は、端部における電圧が加算されるようにされる。また、例えば、放出巻き線または受信巻き線が、対応するエミッタから同じ様な距離で差動的に接続された二つ（以上）の非同軸巻き線で構成され得る。
【００４１】
この第二構成において、上述の例における値に関しては、一つの素子の放出巻き線は、同一の周波数で動作する次の素子の受信巻き線から２．１ｍｍ離されて、同一のロウにおける干渉が２０ｄＢよりもはるかに改善される。
【００４２】
また、この第二構成は、支持体上の巻き線の数を最小化するという利点を有する。その原理は、より多数のロウに拡張可能である。また、差動的な構成は、二つの連続する受信カラムを差動的に配線することによっても得られる。
【００４３】
本発明による装置において周波数ｆ１からｆ４が互いに近い場合には、二つの連続するロウの放出巻き線または受信巻き線は、逆の巻き方向で用いられ得る。これは、各素子のカップリングを、加算するのではなくむしろ少なくとも部分的にキャンセルすることができるということを意味する。
【００４４】
放出巻き線のロウは、それぞれが同一の電流を流すように直列に配置され得て、素子間の応答の差を最小化する。しかしながら、一部の場合、特に、放出巻き線のインピーダンスが高く、巻き線の端部において大きな電圧降下が生じる場合には、電源（電圧及び電流）が、放出巻き線のロウ全体に正しく電力供給を行わない可能性がある。この場合には、全ての放出巻き線が、同一のロウ上に並列に配置され得る。小さな一定の数の連続する放出巻き線を直列に配線し、そうして形成されたアセンブリを並列に配線するという折衷案が可能である。
【００４５】
また、複数のマトリクスを互いに積み重ねて、素子間のピッチｐを減少させることもでき、各マトリクス中の素子間にカップリングを発生させない周波数が選択される。
【００４６】
上述の構成と同一の構成を備えた複数のマトリクスの素子を用いて、大面積をカバーすることができ、直列の多数の放出素子を供給することが可能になる。これらのマトリクスは互いに独立的であり得る。また、これらのマトリクスを、一続きの放出巻き線が直列または並列にケーブル接続され、受信巻き線が直列にケーブル接続されるように、配線することもできる。
【００４７】
実際には、渦電流試験において、単一の素子センサに対して複数の周波数で動作が行われることが多い。このような周波数は、異なる周波数の少なくとも二つの電流または電圧を足し合わせることによって重ね合わせられる。従って、この多重周波数法を上述の構成において用いることができる。そうすると、放出巻き線のロウ１から４は、単一周波数の電流ｆ１からｆ４によってそれぞれ電力供給が行われるのではなくて、ロウ１に対してｆ１１からｆ１ｎ、ロウ２に対してｆ２１からｆ２ｎといった異なる周波数のｎ種の電流の和によって電力供給が行われる。復調は各周波数ｆ１１…ｆ１ｎ、ｆ２１…ｆ２ｎ…で行われる。例えば、表面上に開口している欠陥の深さを評価するためには、まず１０ＭＨｚ、次に１ＭＨｚで動作することが有利である。そうすると、ｆ１１＝９．８ＭＨｚ、ｆ１２＝０．９８ＭＨｚ、ｆ２１＝９．９ＭＨｚ、ｆ２２＝０．９９ＭＨｚ、ｆ３１＝１０ＭＨｚ、ｆ３２＝１ＭＨｚ、ｆ４１＝１０．１ＭＨｚ、ｆ４２＝１．１ＭＨｚと選択することができる。同一の周波数が復調周波数として選択される。
【符号の説明】
【００４８】
５２  支持体
５４  コネクタ
５５  放出巻き線
５６  受信巻き線
５７  アンプ
５８  プリアンプ
６２  金属ホール
【図１Ａ】
0005390383.tif 000004
【図１Ｂ】
0005390383.tif 000005
【図１Ｃ】
0005390383.tif 000006
【図１Ｄ】
0005390383.tif 000007
【図１Ｅ】
0005390383.tif 000008
【図２Ａ】
0005390383.tif 000009
【図２Ｂ】
0005390383.tif 000010
【図２Ｃ】
0005390383.tif 000011
【図２Ｄ】
0005390383.tif 000012
【図３】
0005390383.tif 000013