(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
常温で固体の有機金属化合物をキャリアガスに随伴させて供給する供給装置であって、
キャリアガスの導入口が上部に設けられたカラム型の第１の容器と、
前記キャリアガスの導出口が上部に設けられたカラム型の第２の容器と、
前記第１の容器の内部および第２の容器の内部をその下端で連絡する連絡部材と、
を有し、
前記第１の容器の内部は、それぞれ前記有機金属化合物が充填され、前記ガス導入口が設けられた側から前記連絡部材が連絡された側まで、前記キャリアガスの流れ方向が上下方向となるように順番に連通する複数の空間に区画されており、
前記複数の空間のうちキャリアガスが上から下へ向かって流れる空間の下端に、キャリアガスの流通は可能とするが前記有機金属化合物を支持できるように構成された金網が設けられ、かつ、キャリアガスの流れが上向きから下向きに反転する部分には前記有機金属化合物が充填されていないことを特徴とする、有機金属化合物の供給装置。
【請求項２】
前記第１の容器は、軸方向を上下方向に向けて配置された複数の筒状体を有し、これら複数の筒状体によって前記複数の空間が形成されている請求項１に記載の供給装置。
【請求項３】
前記複数の筒状体は同心状に配置されており、最も内側の筒状体に前記ガス導入口が設けられるとともに、最も外側の筒状体に前記連絡部材が連絡されている請求項２に記載の供給装置。
【請求項４】
前記複数の空間のうち前記ガス導入口が設けられた空間および前記連絡部材が連絡された空間ではキャリアガスが上から下に向かって流れ、前記第２の容器内ではキャリアガスが下から上に向かって流れるように構成されている請求項１から３のいずれか一項に記載の供給装置。
【請求項５】
前記第１の容器内で区画される前記空間の数は３以上の奇数である請求項１から４のいずれか一項に記載の供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、常温で固体の有機金属化合物が充填された容器内にキャリアガスを流通させることによって、キャリアガスとともに有機金属化合物を供給する供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
化合物半導体デバイスの製造において、ＭＯＣＶＤ法（有機金属化学気相成長法）が一般に用いられる。ＭＯＣＶＤ法では、ガス化した有機金属化合物を長時間にわたって一定の濃度で安定して供給することが重要であり、そのために供給装置が用いられる。
【０００３】
この種の供給装置の一例が特許文献１に開示されている。特許文献１に開示された供給装置は、キャリアガスの導入口が上部に設けられた第１の容器と、キャリアガスの導出口が上部に設けられた第２の容器と、第１の容器と第２の容器をその下端で連絡する連通管とを有している。
【０００４】
特許文献１に開示された供給装置によれば、キャリアガスが有機金属化合物と効率よく接触し、気化した有機金属化合物をキャリアガスで良好に運ぶことができるので、有機金属化合物を長時間にわたって安定して供給することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第０７／１３９１５９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、化合物半導体デバイスをより長時間にわたって連続して製造できるようにするため、供給装置においては、有機金属化合物をさらに長時間連続して供給できるようにすることが求められている。そのために最も簡単な方法は、容器の容量を増やすことである。
【０００７】
容器の容量を増やす方法として、より高さの高い容器を用いること、またはより直径の大きい容器を用いることが考えられる。ただし、有機金属化合物を一定濃度で供給するためには容器を一定の温度に保つ必要があり、通常、容器は恒温槽内に設置され、これによって容器の高さは制限される。また、容器の高さが高いと、有機金属化合物を充填しにくくなり、有機金属化合物の充填時の作業性が低下する。よって、高さの高い容器を用いることは現実的ではなく、直径の大きい容器を使用することが、現実的な方法である。
【０００８】
しかしながら、直径の大きい容器を用いると、容器の横断面積が大きくなることからキャリアガスを容器の横断面の全体にわたって有機金属化合物に均一に接触させるのが困難になり、有機金属化合物の層の中に特定の流路が形成される、いわゆるチャネリングが起こりやすくなってしまう。チャネリングが生じると、キャリアガスと接触する有機金属化合物の割合が低下するので、キャリアガスによって運ばれずに容器内に残ってしまう有機金属化合物が多くなる。結果的に、有機金属化合物の利用効率が低下し、容器の容量を増やしたことによる効果が得られなくなるおそれがある。
【０００９】
一般に、容器にキャリアガスを導入することによって有機金属化合物の層の中に特定の流路が形成されるチャネリングは、容器の横断面積Ｓに対する軸方向の長さＬの比、すなわちＬ／Ｓの値が小さいほど起こりやすい。ここで、横断面積Ｓおよび長さＬは、容器の内寸である。
【００１０】
本発明の目的は、容器の容量を増やした場合であっても、チャネリングが発生しにくく、有機金属化合物をより長時間安定して供給できる有機金属化合物の供給装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の有機金属化合物の供給装置は、常温で固体の有機金属化合物をキャリアガスに随伴させて供給する供給装置であって、
キャリアガスの導入口が上部に設けられたカラム型の第１の容器と、
前記キャリアガスの導出口が上部に設けられたカラム型の第２の容器と、
前記第１の容器の内部および第２の容器の内部をその下端で連絡する連絡部材と、
を有し、
前記第１の容器の内部は、それぞれ前記有機金属化合物が充填され、前記ガス導入口が設けられた側から前記連絡部材が連絡された側まで、前記キャリアガスの流れ方向が上下方向となるように順番に連通する複数の空間に区画されており、
前記複数の空間のうちキャリアガスが上から下へ向かって流れる空間の下端に、キャリアガスの流通は可能とするが前記有機金属化合物を支持できるように構成された金網が設けられ、かつ、キャリアガスの流れが上向きから下向きに反転する部分には前記有機金属化合物が充填されていないことを特徴とする。
【００１２】
上記本発明の供給装置において、第１の容器は、軸方向を上下方向に向けて配置された複数の筒状体を有し、これら複数の筒状体によって複数の空間が形成されていてもよい。この場合、複数の筒状体は同心状に配置されており、最も内側の筒状体に前記ガス導入口が設けられるとともに、最も外側の筒状体に前記連絡部材が連絡されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、常温で固体の有機金属化合物を、より大容量の容器から、より長時間にわたって安定して供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態による有機金属化合物の供給装置の模式的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１を参照すると、本発明の一実施形態による有機金属化合物の供給装置が示されている。この供給装置は、互いに間隔をあけて並列に配置されたカラム型の２つの容器１０Ａ、１０Ｂと、容器１０Ａ、１０Ｂの下端で２つの容器１０Ａ、１０Ｂの内部を連絡する連通管５とを有している。
【００１６】
一方の容器１０Ａの上端部には、容器１０Ａ内にキャリアガスを導入するためのガス導入口を構成するガス導入管２が取り付けられている。他方の容器１０Ｂの上端部には、容器１０Ｂ内のガスを外部へ導出するためのガス導出口を構成するガス導出管３が取り付けられている。各容器１０Ａ、１０Ｂの内部には、常温で固体の有機金属化合物６が充填されている。ガス導入管２が取り付けられた容器１０Ａの容量は、ガス導出管３が取り付けられた容器１０Ｂの容量よりも大きい。
【００１７】
容器１０Ａ、１０Ｂの形状は、カラム型であれば、例えば、円筒形、三角筒形、四角筒形、六角筒形等、任意の形状とすることができ、これらの中でも、円筒形の容器１０Ａ、１０Ｂが好ましく使用される。２つの容器１０Ａ、１０Ｂの形状は同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。
【００１８】
２つの容器１０Ａ、１０Ｂの総容量は、特に制限されないが、実用性を考慮すると、１０〜５０００ｍｌの範囲内であることが好ましく、より好ましくは１０〜３０００ｍｌの範囲内、特に好ましくは２５〜１６００ｍｌである。
【００１９】
連通管５は、２つの容器１０Ａ、１０Ｂの内部を、両者間でガスが流通できるように連絡するものであれば、その形状や構造は特に制限されない。例えば、１本の直管を折り曲げることによって、２つの容器１０Ａ、１０Ｂを下端で連絡できる所定の形状に形成したもの、複数本の直管を所定の形状となるように繋ぎ合せたもの、およびＵ字形の管材などを連通管５として用いることができる。連通管５の設計上の観点からは、連通管５を直管で構成することが望ましい。
【００２０】
連通管５の長さは特に制限されず、２つの容器１０Ａ、１０Ｂのサイズや配置等に応じて適宜設計することができる。また、連通管５の直径についても、容器１０Ａ、１０Ｂとの接続部において容器１０Ａ、１０Ｂの断面積に比べて連通管５の断面積が小さければ特に制限されない。
【００２１】
ガス導入管２およびガス導出管３は、それぞれ容器１０Ａ、１０Ｂの上端部に位置していれば、形状、サイズ、および容器１０Ａ、１０Ｂに対する取り付け角度等は特に制限されない。
【００２２】
本発明において使用する常温で固体の有機金属化合物としては、例えば、tert-ブチルリチウム等のリチウム化合物；トリメチルインジウム、ジメチルクロロインジウム、シクロペンタジエニルインジウム、トリメチルインジウム・トリメチルアルシンアダクト、トリメチルインジウム・トリメチルホスフィンアダクト等の有機インジウム化合物；エチルヨウ化亜鉛、エチルシクロペンタジエニル亜鉛、シクロペンタジエニル亜鉛等の有機亜鉛化合物；メチルジクロロアルミニウム、トリフェニルアルミニウム等の有機アルミニウム化合物；メチルジクロロガリウム、ジメチルクロロガリウム、ジメチルブロモガリウム等の有機ガリウム化合物；ビス(シクロペンタジエニル)マグネシウム等のマグネシウム化合物；トリフェニルビスマス等のビスマス化合物；ビス(シクロペンタジエニル)マンガン等のマンガン化合物；フェロセン等の鉄化合物；ビス(アセチルアセトナト)バリウム、ジピバロイルメタナトバリウム・1,10-フェナントロリンアダクト等のバリウム化合物；ビス(アセチルアセトナト)ストロンチウム、ジピバロイルメタナトストロンチウム等のストロンチウム化合物；ビス(アセチルアセトナト)銅、ジピバロイルメタナト銅等の銅化合物；ビス(アセチルアセトナト)カルシウム、ジピバロイルメタナトカルシウム等のカルシウム化合物；ジピバロイルメタナトイットリビウム等のイットリビウム化合物が挙げられる。なお、本発明の供給装置は、有機金属化合物以外にも、金属を含まない有機化合物、金属を含む又は含まない無機化合物にも適用できる場合がある。
【００２３】
有機金属化合物は、当該有機金属化合物に対して不活性な担体に担持されていてもよい。その場合に使用される担体の材料としては、例えば、アルミナ、シリカ、ムライト、グラッシーカーボン、グラファイト、チタン酸カリ、スポンジチタン、石英、窒化ケイ素、窒化ホウ素、炭化ケイ素、ステンレス、アルミニウム、ニッケル、チタン、タングステン、フッ素樹脂、ガラス等が使用される。なお、これらの担体は、単独または二種以上を混合して使用してもよい。また、担体の形状は特に限定されず、例えば、不定形状、丸状、角状、球状、繊維状、網状、スプリング状、コイル状、円筒状等のものを使用することができる。
【００２４】
担体に担持されている有機金属化合物をキャリアガスと効率よく接触させるため、担体の比表面積はできるだけ大きいことが望ましい。そのために、表面に１００〜２０００μｍ程度の微細な凹凸が設けられている担体や、多数の気孔（空隙）が設けられた担体を用いることが望ましい。このような担体の具体例としては、例えば、アルミナホールパッキン、ラシヒリング（ガラス製、テフロン（登録商標）製）、ヘリパック（ガラス製、ステンレス製）、ディクソンパッキン（ステンレス製）、フェンスケ（ガラス製）、スポンジチタン、ステンレス焼結エレメント、グラスウール等が挙げられる。
【００２５】
容器１０Ａ、１０Ｂに充填される有機金属化合物６は、好ましくは、常温で固体の有機金属化合物を上記のような担体に担持させた後に破砕することによって得られた、担体担持有機金属化合物の破砕物である。よって、破砕物は、担体に担持されたままの有機金属化合物、および破砕によって担体から脱落した有機金属化合物の両方を含む。破砕物は、破砕によって様々なサイズとされ、その粒径は特に制限されない。ただし、キャリアガスとの良好な接触を確保するためには、粒径は、６．０ｍｍ以下であることが好ましく、より好ましくは４．７６ｍｍ以下である。
【００２６】
ガス導入管２から容器１０Ａ内に導入されるキャリアガスは、容器１０Ａ内に充填された有機金属化合物６に対して不活性なものであれば特に限定されず、例えば、アルゴンガス、窒素ガス、ヘリウムガス、水素ガスを使用することができる。なお、これらのキャリアガスは、単独で使用してもよいし、二種以上を混合して使用してもよい。
【００２７】
ここで、キャリアガス導入管２が取り付けられた容器１０Ａの内部構造について詳細に説明する。この容器１０Ａは、大容量化のために、以下に述べるように構成されている。
【００２８】
容器１０Ａは、軸方向を上下方向として同心状に配置された３つの筒状体１１、１２、１３を有している。最も内側の筒状体１１は、上端がガス導入管２と接続され、その接続部を除いて閉止され、下端は他の筒状体１２、１３の下端よりも上方に位置し、金網１４が取り付けられていることによって、ガスの流通が可能となっている。筒状体１１の下端に金網１４を取り付けることで、筒状体１１に充填された有機金属化合物６の大部分を金網１４で支持することができる。
【００２９】
中間の筒状体１２は、上端は開放されているが、下端は閉止されている。外側の筒状体１３は、容器１０Ａの外郭の一部を構成し、上端は閉止されているが、下端には金網１５が取り付けられている。金網１５は、中間の筒状体１２の下端と接するように取り付けられている。
【００３０】
金網１４、１５は、ガスの流通は可能とするが大部分の有機金属化合物６を支持できるように孔径および孔密度などが設定されている。また、同様の金網１６が、もう一方の容器１０Ｂの底部にも設置されている。これら金網１４〜１６としては、好ましくは４０メッシュ（孔径０．４ｍｍ、線径０．３ｍｍ、孔密度約２００個／ｃｍ2）のステンレス製金網を使用することができる。
【００３１】
以上のような容器１０Ａの構成により、容器１０Ａの内部は、内側の筒状体１１の内側に形成され、上部でガス導入管２と連通する第１の空間Ｓ１、内側の筒状体１１と中間の筒状体１２との間に形成され、底部で第１の空間Ｓ１と連通する第２の空間Ｓ２、および中間の筒状体１２と外側の筒状体１３との間に形成され、上部で第２の空間Ｓ２と連通する第３の空間Ｓ３の３つの空間に区画される。その結果、容器１０Ａの内部には、ガス導入管２が接続された側から連通管５が接続された側まで、キャリアガスの流れ方向が上下方向となるように容器の上部および下部で空間Ｓ１〜Ｓ３が順番に連通したガス経路が形成される。各空間Ｓ１〜Ｓ３には有機金属化合物６が充填されている。
【００３２】
すべての空間Ｓ１〜Ｓ３内に有機金属化合物６を良好に充填できるようにするために、本実施形態では、開閉可能に構成された３つの充填口４Ａが、それぞれ各空間Ｓ１〜Ｓ３の上方に位置して容器１０Ａの上部に設けられている。特に、空間Ｓ１内に有機金属化合物６を充填するための充填口４Ａは、ガス導入管２の中間部に設けられている。このような構成によって、各空間Ｓ１〜Ｓ３に有機金属化合物６を各充填口４Ａから個別に充填することができる。このような充填口４Ａの配置においては、内側の筒状体１１および外側の筒状体１３の下端にそれぞれ金網１４、１５が取り付けられていることによって、空間Ｓ１、Ｓ３内に充填される有機金属化合物６の量を一定にすることができる。
【００３３】
同様に、もう一方の容器１０Ｂについても、ガス導出管３の中間部に充填口４Ｂが設けられ、ここから容器１０Ｂ内に有機金属化合物６を充填することができる。
【００３４】
容器１０Ａ、１０Ｂへの有機金属化合物６の充填には、この種の供給装置で一般的に行なわれている公知の方法を利用することができる。例えば、不活性ガスの雰囲気にて、各充填口４から固体の有機金属化合物６を容器１０Ａ、１０Ｂ内に投入することによって、有機金属化合物６を容器１０Ａ、１０Ｂ内に充填することができる。
【００３５】
本形態の供給装置は、容器１０Ａ、１０Ｂ内に有機金属化合物６を充填した状態で、ガス導入管２をキャリアガス源（不図示）に接続するとともに、ガス導出管３を例えば気相成長装置（不図示）に接続して使用される。
【００３６】
キャリアガスは、供給装置が一定の温度に保持された状態でキャリアガス源から供給装置に導入される。導入されたキャリアガスは、ガス導入管２→容器１０Ａ→連通管５→容器１０Ｂ→ガス導出管３という経路を通って有機金属化合物６と接触しながら気相成長装置へ供給される。キャリアガスとの接触により各容器１０Ａ、１０Ｂ内で気化した有機金属化合物６は、このキャリアガスの流れに随伴し、これによって、気化した有機金属化合物６はキャリアガスとともに気相成長装置へ供給される。
【００３７】
このようなガスの流れの経路において、連通管５が容器１０Ａ、１０Ｂの下端同士を連絡することにより、有機金属化合物６を伴って容器１０Ａの下端に達したキャリアガスは、連通管５を通って容器１０Ｂの下端から容器１０Ｂの内部に導入され、ここでさらに、容器１０Ｂに充填されている有機金属化合物６と接触した後、容器１０Ｂの内部を上昇してガス導出管３から導出される。キャリガガスがこのような経路を通って流れるように供給装置を構成することで、キャリアガスを有機金属化合物６と効率よく接触させることができ、有機金属化合物６を安定して供給することができる。
【００３８】
さらに本形態では、容器１０Ａが上記のような内部構造となっていることから、容器１０Ａの内部でキャリアガスは以下の経路を通って流れる。
【００３９】
ガス導入管２から導入されたキャリアガスは、まず、第１の空間Ｓ１の上部から下部へ向かって流れる。第１の空間Ｓ１の下部に達したキャリアガスは、金網１４を通過して外側に広がって第２の空間Ｓ２に流入する。第２の空間Ｓ２に入ったキャリアガスは、筒状体１２の下端が閉止されているため、第２の空間Ｓ２内で下部から上部に向かって流れる。キャリアガスは、第２の空間Ｓ２の上端に達すると、容器１０Ａの上壁とぶつかって外側に広がり、第３の空間Ｓ３に流入する。そして、第３の空間Ｓ３に入ったキャリアガスは、第３の空間Ｓ３内で上部から下部に向かって流れ、金網１５を通過して連通管５へと向かう。
【００４０】
以上のように、軸方向を上下方向に向けて配置された筒状体１１〜１３によって容器１０Ａの内部を３つの空間Ｓ１〜Ｓ３に区画し、キャリアガスがこれらの空間Ｓ１〜Ｓ３を順番に流れるようにすることで、容器１０Ａの容量を増やすために容器１０Ａの横断面積を大きくした場合であっても、容器１０Ａに導入されたキャリアガスは、必ず有機金属化合物６の層を通過する。しかも、実際にキャリアガスが流れる空間の横断面積は、容器１０Ａの内部を複数に区画しない場合と比べて小さい。
【００４１】
よって、容器１０Ａ内を複数の空間Ｓ１〜Ｓ３に区画しない場合と比べて容器１０Ａ内でのキャリアガスの流速が大きくなり、チャネリングの発生を抑制することができる。
【００４２】
本実施形態では、キャリアガスは、第１の空間Ｓ１から第２の空間Ｓ２に流入する際、および第２の空間Ｓ２から第３の空間Ｓ３に流入する際に流れの向きが変化して容器１０Ａを上下に往復するように流れる。キャリアガスの流れの向きの変化は、キャリアガスが容器１０Ａの内壁等に衝突することによって生じる。この衝突はキャリアガスを分散させる効果をもたらし、チャネリングの発生をより抑制させる効果がある。
【００４３】
さらに、本実施形態では、３つの筒状体１１〜１３を同心状に配置することによって、容器１０Ａの中心部に導入されたキャリアガスが、第１の空間Ｓ１から第２の空間Ｓ２を経て第３の空間Ｓ３へと流入する過程で容器１０Ａの外側へ広がっていくように構成されている。このことも、キャリアガスが第１の空間Ｓ１から第２の空間Ｓ２へ流入する際、および第２の空間Ｓ２から第３の空間Ｓ３へ流入する際に、キャリアガスを分散させる効果をもたらし、チャネリングの抑制に効果的である。
【００４４】
また本実施形態では、金網１５は中間の筒状体１２の下端と接触するように取り付けられており、筒状体１２の下端と金網１５との間には実質的に有機金属化合物６が充填されない構造とされている。仮に、筒状体１２の下端と金網１５との間に隙間があり、その隙間に有機金属化合物６が充填できたとしても、その隙間に存在する有機金属化合物６は殆どキャリアガスと接触できないため、上記のように金網１５を筒状体１２の下端と接触するように取り付けることで、有機金属化合物６をより有効に利用することができる。
【００４５】
筒状体１１〜１３の寸法は特に限定されない。以下に、筒状体１１〜１３の好ましい寸法を例示する。内側の筒状体１１は、内径が１８〜４６ｍｍ、外径が２１〜４９ｍｍ、長さ（高さ）が１３３〜１４３ｍｍ、断面積が２．５〜１６．６ｃｍ2であることが好ましい。中間の筒状体１２は、内径が５７〜８５ｍｍ、外径が６０〜９０ｍｍ、長さ（高さ）が１３３〜１４３ｍｍ、断面積が７．０〜５３．０ｃｍ2であることが好ましい。外側の筒状体１３は、内径が９７〜１３５ｍｍ、外径が１０１〜１４０ｍｍ、長さ（高さ）が１３９〜１４９ｍｍ、断面積が１１．５〜１１４．３ｃｍ2であることが好ましい。
【００４６】
一方、ガス導出管３が設けられた容器１０Ｂについては、キャリアガスは、容器１０Ｂの内部を主として容器１０Ｂの軸方向に流通する。そのため、容器１０Ｂ内を流通するキャリアガスが容器１０Ｂ内で有機金属化合物６と効率よく接触できるように、容器１０Ｂの内寸は、直径に対する高さの割合が、０．８〜１０．０であることが好ましく、より好ましくは１．２〜１０．０である。この値は、容器１０Ｂが円筒形である場合を想定しているが、円筒形でない場合は、横断面積から、その横断面積と等しい面積となる円形の直径で考えてもよい。
【００４７】
容器１０Ｂの縦横比を上記の範囲とすることにより、容器１０Ｂ内でのチャネリングを抑制することができ、より安定した有機金属化合物６の供給量を維持することができる。
【００４８】
以上、本発明について好ましい実施形態を例に説明したが、本発明は、本発明の技術的思想の範囲内で種々の変更が可能である。
【００４９】
例えば、図１に示した実施形態では、容器１０Ａの内部を３つの円筒体１１〜１３によって３つの空間Ｓ１〜Ｓ３に区画しているが、区画される空間の配置は、各空間でのキャリアガスの流れ方向が上下方向となり、かつ、ガス導入管２と接続部された側から連通管５と接続された側まで順番に連通するような配置であれば任意とすることができ、また空間の数についても４以上とすることができる。ただし、通常は、ガス導入管２は容器１０Ａの上部に接続され、連通管５は容器１０Ａの下部に接続されることから、例えばガスの流れ方向において上流側の空間の下部と下流側の空間の上部とをパイプ等（不図示）を用いて連通するのではなく本形態のように容器１０Ａ内を仕切り壁（筒状体１１、１２）で複数の空間に区画する場合は、容器１０Ａ内の空間の数は３以上の奇数となる。
【００５０】
また、上述した形態では、容器１０Ａの空間Ｓ１に有機金属化合物６を充填するための充填口４Ａおよび容器１０Ｂに有機金属化合物６を充填するための充填口４Ｂがそれぞれガス導入管２およびガス導出管３の中間部に設けられている例を示したが、これら充填口４Ａ、４Ｂは、ガス導入管２および／またはガス導出管３と別に設けることもできる。
【００５１】
さらに、上述した実施形態では、２つの容器１０Ａ、１０Ｂが互いに離れて配置されている例を示したが、互いに接して配置されていてもよい。容器１０Ａ、１０Ｂの互いの位置関係についても、上述した実施形態では２つの容器１０Ａ、１０Ｂが並列に配置されている例を示したが、２つの容器１０Ａ、１０Ｂの下端同士が連結されていれば互いの位置関係は特に限定されない。
【符号の説明】
【００５２】
２    ガス導入管
３    ガス導出管
４    充填口
５    連通管
６    有機金属化合物
１０Ａ、１０Ｂ    容器
１１、１２、１３    筒状体
１４、１５、１６    金網
【図１】
0005521681.tif 000002