(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井から床に向けてエアを供給するエア供給装置を備えるとともに、発生した粉塵を除去するフィルタ部材を前記天井に配設したクリーンルームであって、
低清浄度エリアと、前記低清浄度エリアよりも高い清浄度が要求される高清浄度エリアと、を備え、前記低清浄度エリアに高発熱機器が配置されており、
前記高清浄度エリアには、通常の吹出速度のエアが前記エア供給装置から供給され、
前記高発熱機器の上方には、前記天井の開口が形成されており、前記開口を囲むようにして前記高発熱機器用のファン・フィルタ・ユニットが設けられており、
前記ファン・フィルタ・ユニットは、高出力稼動および低出力稼動に切り換え可能とされており、
前記高出力稼動の際には、前記ファン・フィルタ・ユニットから供給されるエアの吹出速度は、前記高発熱機器から発生する熱に伴う上昇気流を促進する吹出速度とされ、
前記低出力稼動の際には、前記ファン・フィルタ・ユニットから供給されるエアの吹出速度は、前記通常の吹出速度よりも遅く、供給されたエアが前記床まで到達しない程度の吹出速度とされることを特徴とするクリーンルーム。
【請求項２】
前記高清浄度エリアと前記低清浄度エリアとの間にアイリッドが設けられ、前記アイリッドは、パスラインよりも上方位置まで延在しており、
前記高清浄度エリアと前記低清浄度エリアとの間にエアカーテンを形成するエアカーテン形成手段が設けられている請求項１に記載のクリーンルーム。
【請求項３】
前記エア供給装置から、前記低清浄度エリアにおける高発熱機器が配置されている位置に供給されるエアの吹出速度を制御する吹出速度制御手段と、
前記高発熱機器における高発熱状態を検知する高発熱状態検知手段と、を備え、
前記吹出速度制御手段は、前記高発熱状態検知手段が検知した前記高発熱機器の高発熱状態に応じて前記エア供給装置から供給されるエアの吹出速度を制御する請求項１または請求項２に記載のクリーンルーム。
【請求項４】
前記高発熱状態検知手段は、前記高発熱機器のＯＮ−ＯＦＦ状態を検知するＯＮ−ＯＦＦ状態検知手段であり、
前記高発熱機器がＯＮであるときに、前記高発熱機器が高発熱状態であることを検知する請求項３に記載のクリーンルーム。
【請求項５】
前記吹出速度制御手段は、前記高発熱機器が高発熱状態のときに、前記エア供給装置から供給されるエアの吹出速度を、前記高発熱機器から発生する熱に伴う上昇気流を促進する吹出速度に制御し、
前記高発熱機器が非高熱状態のときに、前記エア供給装置から供給されるエアの吹出速度を通常の吹出速度よりも遅い吹出速度に制御する請求項３または請求項４に記載のクリーンルーム。
【請求項６】
前記高清浄度エリアおよび前記低清浄度エリアにおける床部には、開口部が形成されていない請求項１〜請求項５のうちのいずれか１項に記載のクリーンルーム。
【請求項７】
天井から床部に向けてエアを供給するエア供給装置を備えるとともに、発生した粉塵を除去するフィルタ部材を前記天井に配設したクリーンルームにおける前記エア供給装置を制御するクリーンルームにおけるエア供給装置の制御方法であって、
前記クリーンルームは、低清浄度エリアと、前記低清浄度エリアよりも高い清浄度が要求される高清浄度エリアと、を備え、前記低清浄度エリアに高発熱機器が配置されており、
前記高清浄度エリアには、通常の吹出速度のエアを前記エア供給装置から供給し、
前記高発熱機器の上方には、前記天井の開口が形成されており、前記開口を囲むようにして前記高発熱機器用のファン・フィルタ・ユニットが設けられており、
前記ファン・フィルタ・ユニットは、高出力稼動および低出力稼動に切り換え可能とされており、
前記高出力稼動の際には、前記ファン・フィルタ・ユニットから供給されるエアの吹出速度を、前記高発熱機器から発生する熱に伴う上昇気流を促進する吹出速度とし、
前記低出力稼動の際には、前記ファン・フィルタ・ユニットから供給されるエアの吹出速度を、前記通常の吹出速度よりも遅く、供給されたエアが前記床まで到達しない程度の吹出速度とすることを特徴とするクリーンルームにおけるエア供給装置の制御方法。
【請求項８】
前記高発熱機器の高発熱状態に応じて前記エア供給装置から供給されるエアの吹出速度を制御する請求項７に記載のクリーンルームにおけるエア供給装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームおよびクリーンルームにおけるエア供給装置の制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム内においては、清浄度を高めるために粉塵を排出するようにしている。このようなクリーンルーム内における粉塵の排出を行うものとして、従来、ファンとフィルタとを一体化したファン・フィルタユニットを天井に設けるとともに、発熱性機器の上方の天井部材に開口部を設けたクリーンルームが知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
このクリーンルームでは、温度の低い清浄空気は、発熱性機器に近い側から順に機器上部の開口に向かって吸引される。また、発熱性機器の付近では空気温度が上昇して上昇気流が発生し、天井に設けられた開口に向けて流れる。この空気の流れによって、空気が発熱性機器の上部に設けられた開口に向けて流れ、粉塵の拡散を防止しながら、天井に設けられたファン・フィルタユニットにおけるフィルタ部材に捕捉させるようにしている。このため、発熱性機器が設けられた位置の粉塵をクリーンルームから効率的に排出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３２４９３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年におけるクリーンルームにおいては、非常に高い清浄度で行う必要がある作業を行うエリアとして高清浄度エリアを設定し、高清浄度エリア以外の場所は、さほど高い清浄度が要求されない低清浄度エリアとすることがある。このようなクリーンルームでは、上記特許文献１に開示される発熱性機器については、低清浄度エリアに設置されることが多くなる。
【０００６】
ここで、上記特許文献１に開示されたクリーンルームでは、発熱性機器の上部に設けられた開口に向けて空気を流すことにより、粉塵を上昇気流によって効率よく天井から排出することができる。ところが、床部などに滞留している粉塵を舞い上げることにもなる。
【０００７】
このとき、低清浄度エリアについては、舞い上げた粉塵を上昇気流に乗せることで、要求される清浄度を保つことができる。ところが、高清浄度が要求される高清浄度エリアや高清浄度エリアに隣接する低清浄度エリアにおいて、上記特許文献１における発熱性機器の近傍における上昇気流を発生させると、上昇気流を発生させるための空気によって床部に滞留している滞留粉塵をも巻き上げてしまい、逆に高い清浄度を維持するための妨げとなることがあるという問題があった。
【０００８】
そこで、本発明の課題は、低清浄度エリアにおける高発熱性機器が設けられている位置の粉塵を効率的に排出することができるとともに、高清浄度エリアを高い清浄度に維持することができるクリーンルームおよびクリーンルームにおけるエア供給装置の制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決した本発明に係るクリーンルームは、天井から床に向けてエアを供給するエア供給装置を備えるとともに、発生した粉塵を除去するフィルタ部材を天井に配設したクリーンルームであって、低清浄度エリアと、低清浄度エリアよりも高い清浄度が要求される高清浄度エリアと、を備え、低清浄度エリアに高発熱機器が配置されており、高清浄度エリアには、通常の吹出速度のエアがエア供給装置から供給され、高発熱機器の上方には、天井の開口が形成されており、開口を囲むようにして高発熱機器用のファン・フィルタ・ユニットが設けられており、ファン・フィルタ・ユニットは、高出力稼動および低出力稼動に切り換え可能とされており、高出力稼動の際には、ファン・フィルタ・ユニットから供給されるエアの吹出速度は、高発熱機器から発生する熱に伴う上昇気流を促進する吹出速度とされ、低出力稼動の際には、ファン・フィルタ・ユニットから供給されるエアの吹出速度は、通常の吹出速度よりも遅く、供給されたエアが床まで到達しない程度の吹出速度とされることを特徴とする。
【００１０】
本発明に係るクリーンルームにおいては、低清浄度エリアにおける高発熱機器が配置されている位置には、高発熱機器から発生する熱に伴う上昇気流を促進する吹出速度のエアがエア供給装置から供給される。このため、高発熱機器が設けられている位置では、上昇気流を促進する吹出速度のエアが供給されるので、低清浄度エリアにおける高発熱性機器が設けられている位置の粉塵を効率的に排出することができる。その一方、高清浄度エリアには、通常の吹出速度のエアがエア供給装置から供給される。このため、床部に滞留する滞留粉塵を巻き上げないようにすることができるので、高い清浄度を維持することができる。したがって、低清浄度エリアにおける高発熱性機器が設けられている位置の粉塵を効率的に排出することができるとともに、高清浄度エリアを高い清浄度に維持することができる。
【００１１】
ここで、高清浄度エリアと低清浄度エリアとの間にアイリッドが設けられ、アイリッドは、パスラインよりも上方位置まで延在しており、高清浄度エリアと低清浄度エリアとの間にエアカーテンを形成するエアカーテン形成手段が設けられている態様とすることができる。
【００１２】
本発明に係るクリーンルームにおいては、高清浄度エリアと低清浄度エリアとの間にアイリッドが設けられているが、アイリッドは、パスラインよりも上方位置までしか延在していない。このため、クリーンルームで作業を行う際に、アイリッドが作業の邪魔となることを防止することができる。その一方で、アイリッドがパスラインよりも上方までしか延在していないと、高清浄度エリアと低清浄度エリアとの間の清浄度の仕切りが難しくなる。この点、高清浄度エリアと低清浄度エリアとの間にエアカーテンを形成するエアカーテン形成手段が設けられている。このため、高清浄度エリアと低清浄度エリアとの間の清浄度の仕切りを確実に行うことができる。
【００１３】
また、エア供給装置から、低清浄度エリアにおける高発熱機器が配置されている位置に供給されるエアの吹出速度を制御する吹出速度制御手段と、高発熱機器における高発熱状態を検知する高発熱状態検知手段と、を備え、吹出速度制御手段は、高発熱状態検知手段が検知した高発熱機器の高発熱状態に応じてエア供給装置から供給されるエアの吹出速度を制御する態様とすることができる。
【００１４】
このように、吹出速度制御手段は、高発熱状態検知手段が高発熱機器の高発熱状態に応じてエア供給装置から供給されるエアの吹出速度を制御することにより、高発熱機器の稼動に合わせて適切な風速のエアを低清浄度エリアに供給することができる。
【００１５】
さらに、高発熱状態検知手段は、高発熱機器のＯＮ−ＯＦＦ状態を検知するＯＮ−ＯＦＦ状態検知手段であり、高発熱機器がＯＮであるときに、高発熱機器が高発熱状態であることを検知する態様とすることができる。
【００１６】
このように、高発熱機器のＯＮ−ＯＦＦ状態で高発熱機器の高発熱状態を検知することにより、高発熱機器の高発熱状態を簡易に判断することができる。
【００１７】
また、吹出速度制御手段は、高発熱機器が高発熱状態のときに、エア供給装置から供給されるエアの吹出速度を、高発熱機器から発生する熱に伴う上昇気流を促進する吹出速度に制御し、高発熱機器が非高熱状態のときに、エア供給装置から供給されるエアの吹出速度を通常の吹出速度よりも遅い吹出速度に制御する態様とすることができる。
【００１８】
このように、エア供給装置のエアの吹出速度として、高発熱機器が高発熱状態のときに、上昇気流を促進する吹出速度に制御することにより、高発熱機器が稼動しているときに滞留粉塵を、上昇気流を利用して舞い上げて、フィルタ部材によって効率的に除去することができる。また、高発熱機器が非高熱状態のときに、通常の吹出速度よりも遅い吹出速度に制御することにより、床部における滞留粉塵を巻き上げないようにし、低清浄度エリアの清浄度の低下を防止することができる。
【００１９】
さらに、高清浄度エリアおよび低清浄度エリアにおける床部には、開口部が形成されていない態様とすることができる。
【００２０】
このように、床部には、開口部が形成されていないことにより、床下にエアの流通領域を形成する必要がなくなる。したがって、床下スペースの削減により、建物高さを縮減することができる。
【００２１】
また、上記課題を解決した本発明に係るクリーンルームにおけるエア供給装置の制御方法は、天井から床部に向けてエアを供給するエア供給装置を備えるとともに、発生した粉塵を除去するフィルタ部材を天井に配設したクリーンルームにおけるエア供給装置を制御するクリーンルームにおけるエア供給装置の制御方法であって、クリーンルームは、低清浄度エリアと、低清浄度エリアよりも高い清浄度が要求される高清浄度エリアと、を備え、低清浄度エリアに高発熱機器が配置されており、高清浄度エリアには、通常の吹出速度のエアをエア供給装置から供給し、高発熱機器の上方には、天井の開口が形成されており、開口を囲むようにして高発熱機器用のファン・フィルタ・ユニットが設けられており、ファン・フィルタ・ユニットは、高出力稼動および低出力稼動に切り換え可能とされており、高出力稼動の際には、ファン・フィルタ・ユニットから供給されるエアの吹出速度を、高発熱機器から発生する熱に伴う上昇気流を促進する吹出速度とし、低出力稼動の際には、ファン・フィルタ・ユニットから供給されるエアの吹出速度を、通常の吹出速度よりも遅く、供給されたエアが床まで到達しない程度の吹出速度とすることを特徴とする。
【００２２】
また、高発熱機器の高発熱状態に応じてエア供給装置から供給されるエアの吹出速度を制御する態様とすることができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係るクリーンルームおよびクリーンルームにおけるエア供給装置の制御方法によれば、低清浄度エリアにおける高発熱性機器が設けられている位置の粉塵を効率的に排出することができるとともに、高清浄度エリアを高い清浄度に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施形態に係るクリーンルームの平面図である。
【図２】ＦＦＵを含むクリーンルームの平面図である。
【図３】図２のIII-III線断面図である。
【図４】クリーンルームにおける要部装置のブロック構成図である。
【図５】制御装置のＯＮ−ＯＦＦによる高発熱機器用ＦＦＵの制御手順を示すフローチャートである。
【図６】クリーンルーム内におけるエアの流れを説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明する。なお、各実施形態において、同一の機能を有する部分については同一の符号を付し、重複する説明は省略することがある。
【００２６】
図１〜図３に示すように、本実施形態に係るクリーンルームＲには、高発熱機器１、高清浄度エリア設置機器２、および低発熱機器３が設けられている。高発熱機器１は、たとえば加熱装置、オーブンなどの発熱量が大きい機器であり、高清浄度エリア設置機器２は、たとえばウェハにレジストを塗布するコーターやラミネーターなどの高い清浄度下における作業が要求される装置である。低発熱機器３は、搬送装置、組立ロボットなどの発熱量が小さい機器である。また、高清浄度エリア設置機器２は、低発熱機器３と同様、高発熱機器１よりも発熱量が小さい機器である。
【００２７】
本実施形態では、４台の低発熱機器３がクリーンルームＲ内に配設されている。そのうちの高清浄度エリア設置機器２と２台の低発熱機器３との間に、それぞれコンベア４が設けられている。クリーンルームＲ内における高清浄度エリア設置機器２が設けられている周囲が高清浄度エリアＨＰとなり、クリーンルームＲ内におけるその他のエリアが低清浄度エリアＬＰとなる。ここで、高清浄度エリア設置機器２の周囲上方位置には、アイリッド５が設けられており、高清浄度エリアＨＰと低清浄度エリアＬＰは、アイリッド５によって実質的に仕切られている。高清浄度エリア設置機器２が設定された高清浄度エリアＨＰは、低清浄度エリアＬＰにおける高発熱機器１が設置されている位置に隣接して配置されている。
アイリッド５は、天井から吊るされて配設されており、コンベア４が設けられた高さ位置であるパスラインＰＬよりも上方まで延在しており、パスラインＰＬよりも下方までは延在していない長さとされている。パスラインＰＬは、床下から１．５ｍ程度の高さとされているが、おおむね１〜３ｍ程度の高さとすることができる。
【００２８】
また、クリーンルームＲには、床部６が設けられており、高発熱機器１、高清浄度エリア設置機器２、および低発熱機器３は、いずれも床部６上に設置されている。この床部６は、開口部が形成されていない全面閉塞板によって形成されている。さらに、クリーンルームＲにおける床部６は、構造体のスラブによって構成されており、床部６の下方には、床下空間が形成されていない構造とされている。
【００２９】
さらに、図２に示すように、高発熱機器１の上方には、天井部に開口が形成されており、この開口を囲むようにして高発熱機器用ファン・フィルタユニット（以下「ＦＦＵ」という）１１が設けられている。また、高清浄度エリアＨＰの上方には、高清浄度エリア用ＦＦＵ１２が設けられている。さらに、低発熱機器３の上方には、低発熱機器用ＦＦＵ１３が設けられている。
【００３０】
他方、高清浄度エリアＨＰの周囲におけるコンベア４が通過する位置の上方には、エアカーテン気流生成用ＦＦＵ１４が設けられている。エアカーテン気流生成用ＦＦＵ１４では、床部に向けてエアを吹き出すことにより、高清浄度エリアＨＰに対するコンベア４の進入領域および退出領域にエアカーテンを形成する。高清浄度エリアＨＰに対するコンベア４の進入領域および退出領域においては、エアカーテン気流生成用ＦＦＵ１４から吹き出されるエアによって形成されるエアカーテンおよびアイリッド５によって、高清浄度エリアＨＰと低清浄度エリアＬＰとが仕切られている。
【００３１】
ＦＦＵ１１〜１４としては、いずれも送風機とＨＥＰＡフィルタが一体化されたＦＦＵであり、同性能のものが用いられており、運転時における吹出速度が異なる制御がなされることとなる。また、ＦＦＵ１１〜１４は、いずれもクリーンルームＲの天井７に設けられ、天井７から床部６に向けてエアを供給するとともに、クリーンルームＲ内を循環して戻ってきた循環エアに含まれる粉塵を捕捉する。ＦＦＵ１１〜１４は、本発明のエア供給装置およびフィルタ部材を構成する。
【００３２】
このように、クリーンルームＲ内においては、高清浄度エリアＨＰに高清浄度エリア用ＦＦＵ１２およびエアカーテン気流生成用ＦＦＵ１４が設けられており、低清浄度エリアＬＰには、高発熱機器用ＦＦＵ１１および低発熱機器用ＦＦＵ１３が設けられている。ここで、高清浄度エリア用ＦＦＵ１２としては、９９個のＦＦＵが用いられており、高清浄度エリアＨＰ内において密に配置されている。
【００３３】
また、低清浄度エリアＬＰに配置おける高発熱機器用ＦＦＵ１１としては、２６個のＦＦＵが用いられており、高発熱機器１の上方に形成された開口部を囲むようにして配置されている。また、高発熱機器用ＦＦＵ１１は、高清浄度エリア用ＦＦＵ１２よりも疎に配置されている。さらに、低発熱機器用ＦＦＵ１３は、低清浄度エリアＬＰにおいて、４４個のＦＦＵが用いられており、高発熱機器用ＦＦＵ１１よりもさらに疎に配置されている。また、図３に示すように、天井裏におけるＦＦＵ１１〜１４が設けられている位置のさらに上方には、ドライコイル１５が設けられている。
【００３４】
ここで、高清浄度エリア用ＦＦＵ１２から供給されるエアの吹出速度は、通常の吹出速度でとされており、床部からの吹き返しエアが天井７に到達する程度の吹出速度に制御されている。ここでいう通常の吹出速度とは、たとえば０．３〜０．３５ｍ／ｓ程度とされている。
【００３５】
また、高発熱機器用ＦＦＵ１１は、高出力稼動および低出力稼動に切り換え可能とされている。高出力稼動の際には、高発熱機器用ＦＦＵ１１から供給されるエアの吹出速度は、高発熱機器１から発生する熱に伴う上昇気流を促進する吹出速度とされており、たとえば通常の吹出速度よりも早い吹出速度とされている。
【００３６】
一方、低出力稼動の際には、高発熱機器用ＦＦＵ１１から供給されるエアの吹出速度は、通常の吹出速度よりも遅く、供給されたエアが床部まで到達しない程度の吹出速度に制御される。あるいは、通常の吹出速度に制御される。また、低発熱機器用ＦＦＵ１３から供給されるエアの吹出速度は、通常の吹出速度よりも遅く、供給されたエアが床部まで到達しない程度の吹出速度に制御される。
【００３７】
さらに、クリーンルームＲにおける図示しない制御室には、図４に示す制御装置２０が設けられている。制御装置２０には、高発熱機器１に設けられた高発熱機器スイッチセンサ３０が接続されている。高発熱機器１は、高発熱機器スイッチがＯＮのときに稼動しており、高発熱機器スイッチがＯＦＦのときに高発熱機器１が停止している。高発熱機器スイッチセンサ３０は、高発熱機器スイッチがＯＮとなっているかＯＦＦとなっているかを検知している。また、高発熱機器スイッチセンサ３０は、検知した高発熱機器スイッチのＯＮ−ＯＦＦ状態に基づくＯＮ−ＯＦＦ信号を制御装置２０に送信する。
【００３８】
また、制御装置２０には、高発熱機器用ＦＦＵ１１、高清浄度エリア用ＦＦＵ１２、低発熱機器用ＦＦＵ１３、およびエアカーテン気流生成用ＦＦＵ１４が接続されている。制御装置２０は、高発熱機器用ＦＦＵ１１、高清浄度エリア用ＦＦＵ１２、低発熱機器用ＦＦＵ１３、およびエアカーテン気流生成用ＦＦＵ１４の運転を制御し、それぞれのＦＦＵ１１〜１４から供給されるエアの吹出速度を調整している。特に、制御装置２０は、高発熱機器スイッチセンサ３０から送信されるＯＮ−ＯＦＦ信号に基づいて、高発熱機器用ＦＦＵ１１の吹出速度を調整する。
【００３９】
ここで、図６に示すように、高発熱機器１が稼動している際、高発熱機器用ＦＦＵ１１からはクリーンルームＲにおける床部６に到達し、高発熱機器１から発生する熱に伴う上昇気流を促進して上昇気流が天井７に容易に到達する吹出速度のエアＡが供給されている。このため、天井７から高発熱機器１およびその下方の床部６の範囲においては、高発熱機器用ＦＦＵ１１から供給されるエアＡが循環している。
【００４０】
また、高清浄度エリア用ＦＦＵ１２からは、通常の吹出速度のエアＡが供給されている。このため、高清浄度エリアＨＰでは、エアＡの循環は小さく、エアは主に上方から下方に流れている。さらに、低発熱機器用ＦＦＵ１３からは、通常の吹出速度よりも遅い吹出速度のエアＡが供給されている。このため、低発熱機器３やコンベア４よりも上方において、低発熱機器用ＦＦＵ１３から供給されるエアＡが循環し、いわばショートサーキットを形成している。
【００４１】
以上の構成を有する本実施形態に係るクリーンルームＲにおいて、低清浄度エリアＬＰにおける高発熱機器１が設けられた位置では、上昇気流によって粉塵が天井まで舞い上げられるので、多くの粉塵を排出することができる。ところが、この上昇気流によって、床部６に滞留する滞留粉塵をも舞い上げられてしまうため、滞留粉塵を空気中に舞い上げることとなり、清浄度の低下が懸念される。ここで、本実施形態に係るクリーンルームＲでは、高発熱機器１の上方に配置された高発熱機器用ＦＦＵ１１から供給されるエアは、通常より早い吹出速度で供給されており、高発熱機器１による上昇気流を促進している。このため、床部６から滞留粉塵を舞い上げたとしても、上昇気流によって効率よく天井における高発熱機器用ＦＦＵ１１まで粉塵を舞い上げることができる。したがって、空気中に舞い上げられた粉塵までも高発熱機器用ＦＦＵ１１によって効率よく捕捉し、クリーンルームＲから排出することができる。
【００４２】
また、高清浄度エリアＨＰにおいては、低清浄度エリアＬＰよりも要求される清浄度が高くなる。このため、高清浄度エリアＨＰに高発熱機器用ＦＦＵ１１から供給されるエアＡの吹出速度と同等の吹出速度のエアＡを供給した場合、床部６に滞留する滞留粉塵を舞い上げてしまい、清浄度を低下させる原因となることが懸念される。この場合、低清浄度エリアＬＰに要求される程度の清浄度に維持することはできるが、高清浄度エリアＨＰに要求される程度の清浄度に維持することは困難となる。
【００４３】
この点、本実施形態に係るクリーンルームＲでは、高清浄度エリアＨＰに設けられた高清浄度エリア用ＦＦＵ１２からは、通常の吹出速度のエアＡが供給されている。通常の吹出速度のエアＡが供給される場合には、床部６に滞留する滞留粉塵については、床部６から舞い上げることなく、そのまま床部６に滞留した状態となる。この結果、高清浄度エリアＨＰに要求される高い清浄度を維持することができる。
【００４４】
さらに、高清浄度エリアＨＰに供給されるエアは、高清浄度エリアＨＰ内において舞い上がることなく、そのまま床部６伝って低清浄度エリアＬＰに流出することが多くなる。このため、高清浄度エリアＨＰの床部６に滞留する滞留粉塵を低清浄度エリアＬＰに移動させる効果を期待することもできる。
【００４５】
また、本実施形態に係るクリーンルームＲにおいては、低清浄度エリアＬＰにおいて、低発熱機器用ＦＦＵ１３からは、通常の吹出速度よりも遅い吹出速度のエアＡが供給されており、低発熱機器３やコンベア４よりも上方において低発熱機器用ＦＦＵ１３から供給されたエアＡが循環している。このため、上昇気流を利用しにくい低発熱機器３近傍については、床部から舞い上がないようにすることができる。しかも、空中に浮遊する粉塵については、低発熱機器用ＦＦＵ１３から供給されたエアＡの流れによって好適にクリーンルームから排出することができる。この結果、低発熱機器３やコンベア４よりも上方の粉塵の量を増加させることなく、効率よく排出することができる。
【００４６】
さらに、本実施形態に係るクリーンルームＲにおいては、床部６に開口部が形成されていない閉塞板によって形成されている。このため、クリーンルームＲ内に供給されたエアＡは、クリーンルームＲの天井に形成された開口から排出されるので、床下にエアＡの流通領域を形成する必要がない。したがって、床下スペースを削減することができ、クリーンルームＲの建物高さを縮減することができる。
【００４７】
また、本実施形態に係るクリーンルームＲにおいては、高清浄度エリアＨＰがアイリッド５で囲まれている。アイリッド５がパスラインＰＬよりも低い位置まで延在していると、コンベア４に搭載された加工品等とアイリッド５とが干渉してしまい、粉塵を生じさせたり、加工品等に悪影響を与えたりすることとなる。この点、アイリッド５は、その長さが短く、パスラインＰＬの高さまでだけ延在している。このため、コンベア４に搭載された加工品等とアイリッド５とが干渉を防止することができる。
【００４８】
また、アイリッド５を短くすると、高清浄度エリアＨＰに対する粉塵の侵入などが懸念される。特に、粉塵の侵入は、コンベア４などを介して行われることが多い。この点、高清浄度エリアＨＰにおけるコンベア４の進入・退出領域にエアカーテンを形成するエアカーテン気流生成用ＦＦＵ１４が設けられている。エアカーテン気流生成用ＦＦＵ１４によってエアカーテンを形成することにより、高清浄度エリアＨＰへの粉塵の侵入を防止することができる。
【００４９】
次に、本実施形態に係るクリーンルームにおける高発熱機器用ＦＦＵの制御手順について説明する。図５は、制御装置における高発熱機器用ＦＦＵの制御手順を示すフローチャートである。
【００５０】
図５に示すように、本実施形態に係るクリーンルームＲにおける制御装置２０では、まず、高発熱機器スイッチセンサ３０から送信されるＯＮ−ＯＦＦ信号を確認し、高発熱機器が稼動中であるか否かを判断する（Ｓ１）。その結果、高発熱機器１が稼動中であると判断した場合には、続いて高発熱機器用ＦＦＵ１１が低出力稼動となっているか否かを判断する（Ｓ２）。
【００５１】
ここで、高発熱機器用ＦＦＵ１１が低出力稼動となっていないと判断した場合には、そのままステップＳ１に戻る。一方、高発熱機器用ＦＦＵ１１が低出力稼動となっていると判断した場合には高発熱機器用ＦＦＵ１１を高出力稼動にして（Ｓ３）、ステップＳ１に戻る。
【００５２】
また、ステップＳ１において、高発熱機器１が稼動中でないと判断した場合には、高発熱機器用ＦＦＵ１１が高出力稼動となっているか否かを判断する（Ｓ４）。その結果、高発熱機器用ＦＦＵ１１が高出力稼動となっている場合には、高発熱機器用ＦＦＵ１１を低出力稼動にして（Ｓ５）、ステップＳ１に戻る。一方、高発熱機器用ＦＦＵ１１が高出力稼動となっていない場合には、そのままステップＳ１に戻る。このようにして、制御装置２０における制御が行われる。
【００５３】
高発熱機器１であっても、高発熱状態となっていないことがあり、高発熱状態となっていないときには、上昇気流はあまり発生しない。このため、高発熱機器１が高発熱状態でないときに、高発熱機器用ＦＦＵ１１を高出力稼動とすると、高発熱機器１から生じる粉塵を舞い上げて、粉塵を空中に浮遊させてしまい、清浄度を低下させる原因となることが考えられる。
【００５４】
この点、本実施形態に係る制御装置２０においては、高発熱機器１が稼動中であるときに、高発熱状態であると判断し、高発熱機器用ＦＦＵ１１を高出力稼動とする。このため、高発熱機器１が稼動中であり、上昇気流が生じ易い状態であるときには、床部６からの吹き返しエアＡが天井７に到達する吹出速度に制御されるので、床部から滞留粉塵を舞い上げたとしても、上昇気流によって効率よく天井における高発熱機器用ＦＦＵ１１まで粉塵を舞い上げることができる。したがって、空気中に舞い上げられた粉塵までも高発熱機器用ＦＦＵ１１によって効率よく捕捉し、クリーンルームＲから排出することができる。
【００５５】
一方、高発熱機器１が稼動中でないときには、高発熱機器１は低発熱状態であると判断し、高発熱機器用ＦＦＵ１１を低出力稼動とする。このため、高発熱機器１から生じる粉塵を舞い上げてしまい、粉塵を空中に浮遊させてしまうことを防止することができる。よって、清浄度の低下を防止することができる。また、高発熱機器１の発熱状態を高発熱機器１のＯＮ−ＯＦＦで判断するので、発熱状態を簡易に判断することができる。
【００５６】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。たとえば、上記実施形態では、高清浄度エリアＨＰに隣接する形で低清浄度エリアにおける高発熱機器１が配設されているが、高清浄度エリアＨＰを挟む形で低清浄度エリアにおける高発熱機器が配設されている態様とすることもできる。あるいは、高清浄度エリアから離れて高発熱機器が配設されている態様とすることもできる。
【００５７】
また、上記実施形態では、高発熱機器１のＯＮ−ＯＦＦに基づいて高発熱状態を検知しているが、高発熱機器１における所定の位置の温度を検出したり、高発熱機器１の周辺における空気の温度を計測したりして高発熱機器１の高発熱状態を検知することもできる。さらに、上記実施形態では、ＦＦＵ１１〜１４として、同性能のＦＦＵが用いられているが、取り付け位置に応じた性能のＦＦＵを設ける態様とすることができる。
【００５８】
また、上記実施形態では、低発熱機器用ＦＦＵ１３からは、通常の吹出速度よりも遅く、供給されたエアが床部６まで到達しない程度の吹出速度されているが、その他の吹出速度とすることもでき、たとえば、通常の吹出速度とすることもできる。あるいは、低清浄度エリアＬＰにおける高発熱機器１が設けられていないエリアをさらに機器が配置された機器配置エリアと機器が配置されていない床面エリアとに分けて、機器配置エリアには通常の吹出速度よりも遅く、供給されたエアが床部６まで到達しない程度の吹出速度のエアを供給し、床面エリアには通常の吹出速度のエアを供給する態様とすることもできる。
【符号の説明】
【００５９】
１…高発熱機器
２…高清浄度エリア設置機器
３…低発熱機器
４…コンベア
５…アイリッド
６…床部
７…天井
１１…高発熱機器用ＦＦＵ
１２…高清浄度エリア用ＦＦＵ
１３…低発熱機器用ＦＦＵ
１４…エアカーテン気流生成用ＦＦＵ
１５…ドライコイル
２０…制御装置
３０…高発熱機器スイッチセンサ
ＨＰ…高清浄度エリア
ＬＰ…低清浄度エリア
Ｒ…クリーンルーム
ＰＬ…パスライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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