(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状のスリーブ本体、当該スリーブ本体の一端部に配設されたスプリング取付部、および外径が前記スリーブ本体の外径よりも大径に形成されて当該スリーブ本体の他端部に配設されたフランジ部を有するスリーブと、
前記スリーブに対して摺動自在に挿通されたプランジャ本体、前記スプリング取付部側から突出する前記プランジャ本体の一端側に形成されたスプリング係合部、および前記フランジ部側から突出する前記プランジャ本体の他端側の先端部に配設された基板受けヘッドを有するプランジャと、
前記プランジャ本体の前記一端側が挿入され、かつ一端側が前記スプリング係合部に係合されると共に他端側が前記スプリング取付部に取り付けられたコイルスプリングとを備えた基板受けピンであって、
前記スリーブは、外径が前記フランジ部の外径以下の筒状に形成されて前記プランジャ本体を挿通可能に当該フランジ部における当該スリーブ本体側とは反対側に配設された摺動量制限部を備え、
前記摺動量制限部は、前記基板受けヘッド上に検査基板が載置されていない常態において、当該基板受けヘッドにおける前記スリーブ側の端面と、当該摺動量制限部における前記フランジ部側とは反対側の端面とが、弾性限度まで伸ばした前記コイルスプリングの長さから当該常態における当該コイルスプリングの長さを差し引いた第１の長さよりも短い第２の長さだけ離間するように筒長が規定されている基板受けピン。
【請求項２】
前記プランジャは、内径が前記摺動量制限部の外径よりも大径に形成されると共に前記基板受けヘッドにおける前記スリーブ側の端面から当該スリーブ側に突出するように当該基板受けヘッドに配設された筒体を備え、
前記筒体は、前記常態において前記摺動量制限部における前記フランジ部側とは反対側の端部が当該筒体内に位置するように前記基板受けヘッドにおける前記スリーブ側の前記端面からの突出長が規定されて形成されている請求項１記載の基板受けピン。
【請求項３】
請求項１または２記載の複数の基板受けピンと、
前記検査基板の複数の支持位置に対応する各位置に第１取付孔がそれぞれ形成されると共に当該検査基板の複数のプロービング位置に対応する各位置に第２取付孔がそれぞれ形成された平板状のボード本体と、
前記ボード本体に取り付けられた複数のコンタクトピンとを備え、
前記基板受けピンは、前記ボード本体における前記検査基板の搭載面側に前記基板受けヘッドおよび前記フランジが位置するように前記スリーブが前記各第１取付孔に挿着されて当該ボード本体に取り付けられ、
前記コンタクトピンは、前記検査基板と接触する先端部が前記搭載面側に位置するように前記各第２取付孔に挿着されて当該ボード本体に取り付けられているピンボードユニット。
【請求項４】
請求項３記載のピンボードユニットと、
前記ピンボードユニットに対して接離動自在に前記ボード本体における前記搭載面側に配設されて、前記各基板受けピンの前記基板受けヘッド上に載置された前記検査基板を前記コイルスプリングの復元力に抗して前記ボード本体側へ押し動かして前記複数のコンタクトピンの前記先端部を前記プロービング位置に接触させるための押さえピンと、
前記押さえピンを前記ピンボードユニットに対して接離動させる駆動部と、
前記複数のコンタクトピンに対して検査用信号を出力すると共に、当該検査用信号の出力に起因して前記検査基板に発生する電気信号を当該複数のコンタクトピンを介して測定する測定部と、
前記検査用信号および前記測定された電気信号に基づいて前記検査基板に対する検査を実行する処理部とを備えている基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板検査装置におけるピンボードユニットに配設されて検査基板を支持するための基板受けピン、この基板受けピンを備えたピンボードユニット、およびこのピンボードユニットを備えた基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板受けピンボードユニットとして、下記特許文献１に開示されたピンボードユニットが知られている。このピンボードユニット５１は、図８に示すように、平板状に形成されたボード本体５２、複数のガイド棒５３、複数の基板受けピン５４および複数のコンタクトピン５５を備えている。
【０００３】
各基板受けピン５４は、図８，９に示すように、スリーブ６１、プランジャ６２およびコイルスプリング６３を備えている。スリーブ６１は、図９，１０に示すように、円筒状のスリーブ本体６１ａ、内径がスリーブ本体６１ａの内径と同一で、かつ外径がスリーブ本体６１ａの外径よりも小径な円筒状に形成されて、スリーブ本体６１ａの一端側（図９中の右端側、図１０中の下端側）の端面にスリーブ本体６１ａと同軸に配設されたスプリング取付部６１ｂ、および内径がスリーブ本体６１ａの内径と同一で、かつ外径がスリーブ本体６１ａの外径よりも大径な円環状に形成されて、スリーブ本体６１ａの他端側（図９中の左端側、図１０中の上端側）の端面にスリーブ本体６１ａと同軸に配設されたフランジ部６１ｃを備えている。
【０００４】
プランジャ６２は、スリーブ６１内（フランジ部６１ｃ内、スリーブ本体６１ａ内、およびスプリング取付部６１ｂ内）に軸線方向（図９中の左右方向、図１０中の上下方向）に沿って摺動自在に挿通された円柱状のプランジャ本体６２ａ、およびフランジ部６１ｃ側から突出するプランジャ本体６２ａの先端部（図９中の左端部、図１０中の上端部）に配設された基板受けヘッド６２ｂを備えている。また、プランジャ本体６２ａは、スプリング取付部６１ｂ側から突出する部位の先端部６２ｃのみが他の部位よりも小径に形成されている。また、スプリング取付部６１ｂの外周面には、コイルスプリング６３をねじ込んで嵌めるための（取り付けるための）雄ねじ部６１ｄ（図９参照）が形成されている。
【０００５】
コイルスプリング６３は、一端側（図９中の右端側、図１０中の下端側）の部位を除く他の部位がほぼ均一な内径（他端側をスプリング取付部６１ｂの外周面に形成された雄ねじ部６１ｄにねじ込んで取り付け可能な内径）に形成されている。また、コイルスプリング６３の一端側の部位は、各図９，１０に示すように、内径が徐々に縮径して（つまり、外径も縮径して）構成されて、その先端部（図９中の右端側、図１０中の下端側）の内径は、プランジャ本体６２ａの先端部６２ｃは挿通するものの、この先端部６２ｃよりも大径なプランジャ本体６２ａの他の部位は挿通不能な寸法に形成されている。
【０００６】
以上のような構成要素を備えた基板受けピン５４は、一例として以下の手順で組み立てられる。まず、プランジャ本体６２ａを、先端部６２ｃ側からスリーブ６１（フランジ部６１ｃ、スリーブ本体６１ａおよびスプリング取付部６１ｂ）に挿入し、この先端部６２ｃをスリーブ６１のスプリング取付部６１ｂ側から突出させる。次いで、スプリング取付部６１ｂ側から突出しているプランジャ本体６２ａにコイルスプリング６３を嵌める（コイルスプリング６３内にプランジャ本体６２ａを挿通させる）。
【０００７】
続いて、コイルスプリング６３の小径な一端側にプランジャ本体６２ａの先端部６２ｃを挿通し、かつコイルスプリング６３の他端側をスプリング取付部６１ｂの外周面に形成された雄ねじ部６１ｄにねじ込んで固定する。最後に、スリーブ６１のフランジ部６１ｃ側から突出するプランジャ本体６２ａの先端部にねじ込み（螺着）や圧入などの方法で基板受けヘッド６２ｂを取り付ける。これにより、図１０に示す基板受けピン５４が完成する。
【０００８】
この基板受けピン５４は、図１０に示すように、ボード本体５２にその厚み方向に沿って形成された貫通孔５２ａ内に、ボード本体５２における検査基板８の搭載面側（同図に示す上面側）から、コイルスプリング６３およびスリーブ６１の順で挿入することで、貫通孔５２ａに挿着される。具体的には、基板受けピン５４は、フランジ部６１ｃがボード本体５２の搭載面に当接するまで、スリーブ本体６１ａを貫通孔５２ａ内に圧入することによって挿着される。
【０００９】
このピンボードユニット５１は、図８に示すように、ボード本体５２における検査基板８の搭載面側が上側になるように、つまりボード本体５２に対して基板受けヘッド６２ｂが上側になるように配設される。この状態において、各基板受けピン５４では、コイルスプリング６３が、その一端側（同図中の下端側）がプランジャ本体６２ａにおける小径な先端部６２ｃと大径な他の部位との境界に形成される段差部に係合し、他端側（上端側）が上記したようにスプリング取付部６１ｂに嵌め込まれた状態となっていることから、プランジャ本体６２ａにはコイルスプリング６３から常時上方へ向かう付勢力が作用している。このため、プランジャ６２は、スリーブ６１に対して（つまり、ボード本体５２に対して）、自重とこの付勢力（コイルスプリング６３の復元力）とがバランスした状態で位置決めされている。また、このピンボードユニット５１では、コイルスプリング６３の付勢力（復元力）は、プランジャ６２の自重に対して十分に大きくなるように規定されていることから、検査基板８が載置されていない状態においては、コイルスプリング６３は殆ど伸長しない状態となっている。
【００１０】
したがって、このピンボードユニット５１では、各コイルスプリング６３をその全長が揃うように精度よく製作し、かつ各コイルスプリング６３の各スリーブ６１のスプリング取付部６１ｂへのねじ込み量を調整することにより、各基板受けピン５４におけるプランジャ本体６２ａのスリーブ６１からの上方への突出長Ｌａ（図１０参照）をほぼ一定（均一）に、ひいては、ボード本体５２の搭載面から基板受けヘッド６２ｂの上端面までの高さＬｂ（図１０参照）をほぼ一定（均一）に設定している。この構成により、ピンボードユニット５１は、図８に示すように、検査基板８に形成されたガイド孔８ａ内にガイド棒５３を挿通して、検査基板８を各基板受けピン５４の基板受けヘッド６２ｂ上に載置したときに、各基板受けピン５４により、ボード本体５２に対してほぼ平行な状態で検査基板８を支持可能となっている。
【００１１】
この場合、図１０に示すように、ボード本体５２に挿着された各基板受けピン５４は、検査基板８が載置されていない状態において、プランジャ６２の基板受けヘッド６２ｂにおけるスリーブ６１側の端面と、スリーブ６１のフランジ部６１ｃにおける基板受けヘッド６２ｂ側の端面とが、長さＬｃだけ離間している。したがって、このピンボードユニット５１では、検査基板８の電気的検査に際して、図示しない押さえユニットによって検査基板８がボード本体５２に向かって押さえ付けられたときに、プランジャ６２がスリーブ６１に対して長さＬｃの範囲内（基板受けヘッド６２ｂにおけるスリーブ６１側の端面と、フランジ部６１ｃにおける基板受けヘッド６２ｂ側の端面とが当接するまでの範囲内）で下向きに摺動して、各基板受けピン５４による検査基板８の支持が維持された状態で、検査基板８にコンタクトピン５５が接触させられる。これにより、コンタクトピン５５を介して検査基板８が電気的に検査される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】実公平６−２３９７６号公報（第２頁、第２図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところが、このピンボードユニット５１には、以下の改善すべき課題が存在している。すなわち、このピンボードユニット５１では、各基板受けピン５４上に検査基板８を載置した状態において押さえユニットによって検査基板８が下向きに押さえ付けられたときに、基板受けヘッド６２ｂにおけるスリーブ６１側の端面と、フランジ部６１ｃにおける基板受けヘッド６２ｂ側の端面とが当接するまでの長さＬｃの範囲内で、プランジャ６２がスリーブ６１に対して摺動することができるように構成されている。この場合、前述したように、検査基板８の載置等に伴って、プランジャ６２がスリーブ６１に対して下向きに摺動させられたときには、その摺動量に応じてコイルスプリング６３が伸長させられる。この際に、コイルスプリング６３が弾性限度（弾性限界）を超えて伸長させられたときには、コイルスプリング６３に塑性変形が生じる結果、押さえユニット３による検査基板８の押さえ付けを解除したときに、いわゆる塑性伸びの分だけコイルスプリング６３の全長が長くなる。
【００１４】
この場合、コイルスプリング６３の全長が塑性変形に起因して設計値よりも長くなった状態では、プランジャ６２がスリーブ６１に対して塑性伸びの分だけ下方に位置することとなる。したがって、仮に、ピンボードユニット５１のすべての基板受けピン５４において各コイルスプリング６３に互いに等しい塑性伸びが生じたきには、各基板受けヘッド６２ｂが設計値よりも下方寄り（ボード本体５２寄り）に位置することとなる。この結果、塑性伸びの量が大きいときには、押さえユニットによって検査基板８を押さえ付ける以前に、各コンタクトピン５５が検査基板８に接触するおそれがあり、検査基板８の載置作業時にコンタクトピン５５や検査基板８が傷付くおそれがある。
【００１５】
また、各基板受けピン５４毎のコイルスプリング６３の塑性伸びにばらつきが生じた状態においては、ボード本体５２の搭載面から基板受けヘッド６２ｂの上端面までの高さＬｂをほぼ一定（均一）に設定したにも拘わらず、検査基板８の未搭載時におけるボード本体５２の搭載面から基板受けヘッド６２ｂの上端面までの高さＬｂ（図１０参照）にばらつきが生じた状態となるおそれがある。この結果、検査基板８の搭載時におけるボード本体５２の搭載面から基板受けヘッド６２ｂの上端面までの高さＬｄ（図８参照）にばらつきが発生してピンボードユニット５１に対して検査基板８が傾いた状態で搭載されるおそれがある。
【００１６】
一方、コイルスプリング６３として、その全長が十分に長いコイルスプリングを使用して基板受けピン５４を構成することで、スリーブ６１に対するプランジャ６２の摺動に伴ってコイルスプリング６３が弾性限度（弾性限界）を超えて伸長させられる事態（コイルスプリング６３が塑性変形させられる事態）を回避できる可能性がある。しかしながら、そのような構成を採用した場合には、基板受けピン５４の全長が長くなり、これに起因して、ボード本体５２からの基板受けピン５４の下方への突出長が長くなる結果、ピンボードユニット５１が大形化するという問題が生じる。
【００１７】
本発明は、かかる課題を改善すべくなされたものであり、コンタクトピンや検査基板に傷付きを生じさせることなく、検査基板をボード本体に対して平行な状態で支持し得る基板受けピン、ピンボードユニットおよび基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的を達成すべく請求項１記載の基板受けピンは、筒状のスリーブ本体、当該スリーブ本体の一端部に配設されたスプリング取付部、および外径が前記スリーブ本体の外径よりも大径に形成されて当該スリーブ本体の他端部に配設されたフランジ部を有するスリーブと、前記スリーブに対して摺動自在に挿通されたプランジャ本体、前記スプリング取付部側から突出する前記プランジャ本体の一端側に形成されたスプリング係合部、および前記フランジ部側から突出する前記プランジャ本体の他端側の先端部に配設された基板受けヘッドを有するプランジャと、前記プランジャ本体の前記一端側が挿入され、かつ一端側が前記スプリング係合部に係合されると共に他端側が前記スプリング取付部に取り付けられたコイルスプリングとを備えた基板受けピンであって、前記スリーブは、外径が前記フランジ部の外径以下の筒状に形成されて前記プランジャ本体を挿通可能に当該フランジ部における当該スリーブ本体側とは反対側に配設された摺動量制限部を備え、前記摺動量制限部は、前記基板受けヘッド上に検査基板が載置されていない常態において、当該基板受けヘッドにおける前記スリーブ側の端面と、当該摺動量制限部における前記フランジ部側とは反対側の端面とが、弾性限度まで伸ばした前記コイルスプリングの長さから当該常態における当該コイルスプリングの長さを差し引いた第１の長さよりも短い第２の長さだけ離間するように筒長が規定されている。
【００１９】
また、請求項２記載の基板受けピンは、請求項１記載の基板受けピンにおいて、前記プランジャは、内径が前記摺動量制限部の外径よりも大径に形成されると共に前記基板受けヘッドにおける前記スリーブ側の端面から当該スリーブ側に突出するように当該基板受けヘッドに配設された筒体を備え、前記筒体は、前記常態において前記摺動量制限部における前記フランジ部側とは反対側の端部が当該筒体内に位置するように前記基板受けヘッドにおける前記スリーブ側の前記端面からの突出長が規定されて形成されている。
【００２０】
上記目的を達成すべく請求項３記載のピンボードユニットは、請求項１または２記載の複数の基板受けピンと、前記検査基板の複数の支持位置に対応する各位置に第１取付孔がそれぞれ形成されると共に当該検査基板の複数のプロービング位置に対応する各位置に第２取付孔がそれぞれ形成された平板状のボード本体と、前記ボード本体に取り付けられた複数のコンタクトピンとを備え、前記基板受けピンは、前記ボード本体における前記検査基板の搭載面側に前記基板受けヘッドおよび前記フランジが位置するように前記スリーブが前記各第１取付孔に挿着されて当該ボード本体に取り付けられ、前記コンタクトピンは、前記検査基板と接触する先端部が前記搭載面側に位置するように前記各第２取付孔に挿着されて当該ボード本体に取り付けられている。
【００２１】
上記目的を達成すべく請求項４記載の基板検査装置は、請求項３記載のピンボードユニットと、前記ピンボードユニットに対して接離動自在に前記ボード本体における前記搭載面側に配設されて、前記各基板受けピンの前記基板受けヘッド上に載置された前記検査基板を前記コイルスプリングの復元力に抗して前記ボード本体側へ押し動かして前記複数のコンタクトピンの前記先端部を前記プロービング位置に接触させるための押さえピンと、前記押さえピンを前記ピンボードユニットに対して接離動させる駆動部と、前記複数のコンタクトピンに対して検査用信号を出力すると共に、当該検査用信号の出力に起因して前記検査基板に発生する電気信号を当該複数のコンタクトピンを介して測定する測定部と、前記検査用信号および前記測定された電気信号に基づいて前記検査基板に対する検査を実行する処理部とを備えている。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１記載の基板受けピンでは、フランジ部におけるスリーブ本体側とは反対側に摺動量制限部が設けられると共に、常態において、基板受けヘッドにおけるスリーブ側の端面と、摺動量制限部におけるフランジ部側とは反対側の端面とが、弾性限度まで伸ばしたコイルスプリングの長さから常態におけるコイルスプリングの長さを差し引いた第１の長さよりも短い第２の長さだけ離間するように摺動量制限部の筒長が規定されている。
【００２３】
したがって、請求項１記載の基板受けピンによれば、基板受けヘッドにおけるスリーブ側の端面と、摺動量制限部におけるフランジ部側とは反対側の端面とが互いに接するまでスリーブに対してプランジャを摺動させられたとしても、コイルスプリングが第２の長さを超えて伸長させられることがないため、スリーブに対するプランジャの摺動に伴って、コイルスプリングに塑性変形が生じる事態を回避することができる。このため、この基板受けピンによれば、常態におけるコイルスプリングの長さを「常態におけるコイルスプリングの長さ」に維持することができる結果、基板受けピン上に載置した検査基板が押さえユニット等による押さえ付けに先立ってコンタクトピンに接触してコンタクトピンや検査基板に傷付きが生じる事態を回避することができると共に、常態においてスリーブのフランジ部における基板受けヘッド側の端面から基板受けヘッドの端面までの距離を一定にすることができる。
【００２４】
請求項２記載の基板受けピンによれば、常態において摺動量制限部におけるフランジ部側とは反対側の端部が筒体内に位置するように基板受けヘッドにおけるスリーブ側の端面からの突出長が規定されて、基板受けヘッドにおけるスリーブ側の端面からスリーブ側に突出するように基板受けヘッドに配設された筒体を備えたことにより、基板受けピン上に検査基板を未搭載の常態から、基板受けピン上に載置した検査基板を押さえユニット等によって押さえ付けた状態のすべての状態において、プランジャ本体における基板受けヘッド側の端部を筒体によって覆った状態とすることができる。したがって、この基板受けピンによれば、プランジャ本体における基板受けヘッド側の端部に塵埃が付着したり、プランジャ本体と摺動量制限部におけるプランジャ本体の挿通孔との間に塵埃が侵入したりするのを防止できる結果、スリーブに対してプランジャをスムーズに摺動させ得る状態を長期に亘って維持することができる。
【００２５】
請求項３記載のピンボードユニットによれば、請求項１または２記載の複数の基板受けピンを備えたことにより、各基板受けピンにおけるコイルスプリングの常態における長さを製造当初の長さに維持することができるため、検査基板の未搭載時においても、また検査基板の搭載時においても、ピンボードユニットにおけるボード本体の搭載面から各基板受けヘッドの上端面までの高さを確実に一定に揃えることができる。したがって、このピンボードユニットによれば、搭載された検査基板をボード本体に対して、平行な状態で、かつガタの極めて少ない状態で支持することができる。
【００２６】
請求項４記載の基板検査装置によれば、請求項３記載のピンボードユニットを備えたことにより、ボード本体に対して平行な状態で、かつガタの極めて少ない状態で支持されてピンボードユニットに搭載されている検査基板に押さえユニットをほぼ同時に接触させて、押し動かすことができるため、各押さえピンの接触および押し動かし（移動）の際に、各押さえピンから検査基板に対して作用している検査基板を変形させる応力を大幅に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】基板検査装置１の非検査状態での構成図である（検査基板８の一部については断面図で表している）。
【図２】基板検査装置１の検査状態での要部構成図である（検査基板８の一部については断面図で表している）。
【図３】基板受けピン１３の分解図である。
【図４】基板受けピン１３の完成図である。
【図５】基板受けピン１３を備えたピンボードユニット２の要部断面図である（非検査状態）。
【図６】基板受けピン１３を備えたピンボードユニット２の要部断面図である（検査状態）。
【図７】基板受けピン１３を備えたピンボードユニット２の要部断面図である（基板受けヘッド２２ｃが摺動量制限部２１ｄに当接した状態）。
【図８】従来のピンボードユニット５１の非検査状態での構成図である。
【図９】図８の基板受けピン５４の分解図である。
【図１０】従来のピンボードユニット５１の非検査状態での要部断面図である（図中の右側の基板受けピン５４は、構成の説明のために、正面図（非断面図）で表されている）。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、添付図面を参照して、基板受けピン１３、この基板受けピン１３を備えたピンボードユニット２、およびこのピンボードユニット２を備えた基板検査装置１の実施の形態について説明する。
【００２９】
最初に、基板検査装置１の構成について、図１を参照して説明する。
【００３０】
基板検査装置１は、図１に示すように、ピンボードユニット２、押さえユニット３、駆動部４、測定部５、処理部６および表示部７を備え、検査基板８に対する検査を実行可能に構成されている。
【００３１】
ピンボードユニット２は、ボード本体１１、複数のガイド棒１２、複数の基板受けピン１３、および複数のコンタクトピン１４を備えている。なお、発明の理解を容易にするため、ガイド棒１２、基板受けピン１３およびコンタクトピン１４のいずれについても一例として２つを図示しているが、ピンボードユニット２は、実際にはこれらの各要素１２，１３，１４のいずれについても３つ以上の任意の数を備えている。
【００３２】
ボード本体１１は、樹脂材料（例えばアクリル）を用いて平板状に形成されている。各ガイド棒１２は、検査基板８に形成されたガイド孔８ａの形成位置に対応させて、ボード本体１１における検査基板８の搭載面側（図１中の上面側）の位置に突設されている。また、ボード本体１１には、検査基板８に予め規定された複数の支持位置に対応する各位置に第１取付孔（貫通孔）１１ａが形成され、かつ検査基板８の複数のプロービング位置に対応する各位置に第２取付孔（貫通孔）１１ｂが形成されている。
【００３３】
各基板受けピン１３は、後述する基板受けヘッド、およびスリーブのフランジが検査基板８の搭載面側に位置するように各第１取付孔１１ａに挿着されることにより、検査基板８の上記した支持位置に対応させてボード本体１１に取り付けられている。各コンタクトピン１４は、先端部（検査基板８と接触する端部）が検査基板８の搭載面側に位置するように各第２取付孔１１ｂに挿着されることにより、検査基板８の上記したプロービング位置に対応させてボード本体１１に取り付けられている。具体的には、各基板受けピン１３は、図１，３に示すように、スリーブ２１、プランジャ２２およびコイルスプリング２３を備えている。
【００３４】
スリーブ２１は、図３に示すように、スリーブ本体２１ａ、スプリング取付部２１ｂ、フランジ部２１ｃおよび摺動量制限部２１ｄが一体的に形成されている。スリーブ本体２１ａは、筒状（本例では一例として円筒状）に形成されている。スプリング取付部２１ｂは、内径がスリーブ本体２１ａの内径と同一で、かつ外径がスリーブ本体２１ａの外径よりも小径な筒状（本例では一例として円筒状）に形成されて、スリーブ本体２１ａの一端側（図３中の右端側）の端面にスリーブ本体２１ａと同軸に設けられている。この場合、スプリング取付部２１ｂの外周面には、コイルスプリング２３をねじ込んで嵌めるための（取り付けるための）雄ねじ部２１ｅが形成されている。
【００３５】
フランジ部２１ｃは、内径がスリーブ本体２１ａの内径と同一で、かつ外径がスリーブ本体２１ａの外径よりも大径な環状（本例では一例として円環状）に形成されて、スリーブ本体２１ａの他端側（図３中の左端側）の端面にスリーブ本体２１ａと同軸に設けられている。摺動量制限部２１ｄは、内径がスリーブ本体２１ａの内径と同一で、外径がフランジ部２１ｃの外径以下の筒状（本例では一例として円筒状）に形成されて、フランジ部２１ｃにおけるスリーブ本体２１ａとは反対側にスリーブ本体２１ａやフランジ部２１ｃと同軸に設けられている。
【００３６】
プランジャ２２は、スリーブ２１内（スプリング取付部２１ｂ内、スリーブ本体２１ａ内、フランジ部２１ｃ内および摺動量制限部２１ｄ内）に軸線方向（図３中の左右方向）に沿って摺動自在に挿通された柱状（本例では一例として円柱状）のプランジャ本体２２ａ、スプリング取付部２１ｂ側から突出するプランジャ本体２２ａの一端側の外周面に形成された突起部２２ｂ、および摺動量制限部２１ｄ側から突出するプランジャ本体２２ａの先端部（図３中の左端部：他端側の先端部）に配設された基板受けヘッド２２ｃを備えている。
【００３７】
プランジャ本体２２ａは、スプリング取付部２１ｂ側から突出する部位の先端部２２ｄ（「スプリング係合部」の一例）のみが他の部位よりも小径に形成されている。突起部２２ｂは、一例として、プランジャ本体２２ａの全周に亘る環状リブに形成されると共に、この環状リブの外周面がスプリング取付部２１ｂ側に向かうに従って拡径して、スプリング取付部２１ｂの外径と同一の状態または若干小径な状態に至るテーパ面に形成されている。
【００３８】
基板受けヘッド２２ｃは、一例として、外径がスリーブ２１におけるスリーブ本体２１ａや摺動量制限部２１ｄの外径と同程度の柱状（本例では一例として円柱状）に形成されると共に、図３に破線で示すように、その裏面側（同図では、右側）に、プランジャ本体２２ａの一端部を挿入可能な凹部２２ｃａが形成されている。また、基板受けヘッド２２ｃには、内径がスリーブ２１における摺動量制限部２１ｄの外径よりも大径の筒状（本例では一例として円筒状）に形成されて、基板受けヘッド２２ｃにおけるスリーブ２１側の端面（図３における右側の端面）からスリーブ２１側に突出させられた筒状部２２ｃｂ（「筒体」の一例）が一体的に形成されている。
【００３９】
コイルスプリング２３は、一端側（図３中の右端側）の部位を除く他の部位がほぼ均一な内径（他端側をスプリング取付部２１ｂの外周面に形成された雄ねじ部２１ｅにねじ込んで取り付け可能な内径）に形成されている。また、コイルスプリング２３の一端側の部位は、図３に示すように、内径が徐々に縮径して（つまり、外径も縮径して）構成されて、図４に示すように、その先端部（図４中の右端側）の内径が、プランジャ本体２２ａの先端部２２ｄは挿通し、かつ、この先端部２２ｄよりも大径なプランジャ本体２２ａの他の部位は挿通不能な寸法に形成されている。
【００４０】
この基板受けピン１３では、後述するように、スリーブ２１に対するプランジャ２２の摺動に伴ってコイルスプリング２３が伸長させられる際に、コイルスプリング２３の全長が、図７に示す長さＬ３を超えることのないようにスリーブ２１およびプランジャ２２における各部のサイズが規定されている。この場合、上記の長さＬ３は、コイルスプリング２３を弾性限度まで伸ばしたときの長さよりも短い長さに規定されている。このため、コイルスプリング２３が上記の長さＬ３よりも長く伸長させられたときには、コイルスプリング２３に塑性変形が生じて、塑性伸びの分だけその全長が長くなる。
【００４１】
したがって、この基板受けピン１３では、図４，５に示すように、基板受けヘッド２２ｃ上に検査基板８が載置されていない常態において、基板受けヘッド２２ｃにおけるスリーブ２１側（摺動量制限部２１ｄ側）の端面と、摺動量制限部２１ｄにおけるフランジ部２１ｃ側とは反対側の端面（すなわち、基板受けヘッド２２ｃ側の端面）とが、弾性限度まで伸ばしたコイルスプリング２３（図示せず）の長さから、常態におけるコイルスプリング２３の長さＬ１を差し引いた長さ（「第１の長さ」の一例）よりも短い長さＬ１ｓ（「第２の長さ」の一例）だけ離間するように、スリーブ２１における上記の摺動量制限部２１ｄの長さＬ４（筒長）が規定されてプランジャ２２およびスリーブ２１が形成されている。これにより、この基板受けピン１３では、コイルスプリング２３が、上記の長さＬ１と長さＬ１ｓとの和の長さである長さＬ３を超えて伸長させられるのが阻止される。
【００４２】
また、この基板受けピン１３では、図４，５に示すように、基板受けヘッド２２ｃ上に検査基板８が載置されていない常態において、摺動量制限部２１ｄにおけるフランジ部２１ｃ側とは反対側の端部が筒状部２２ｃｂ内に位置するように基板受けヘッド２２ｃにおけるスリーブ２１側の端面からの筒状部２２ｃｂの突出長（長さＬ５）が規定されてプランジャ２２およびスリーブ２１が形成されている。
【００４３】
以上のような構成要素を備えた基板受けピン１３は、一例として以下の手順で組み立てられる。まず、プランジャ本体２２ａの他端側（図３中の左端側）をスプリング取付部２１ｂ側からスリーブ２１内に挿入することにより、プランジャ本体２２ａをスリーブ２１に挿通させる。次いで、プランジャ本体２２ａにおけるスリーブ２１の摺動量制限部２１ｄ側から突出する先端部に、ねじ込みや圧入などの方法で基板受けヘッド２２ｃを取り付ける。この際には、図４に示すように、摺動量制限部２１ｄにおけるフランジ部２１ｃ側とは反対側の端部が筒状部２２ｃｂ内に位置する状態となり、プランジャ本体２２ａの他端側が筒状部２２ｃｂによって覆われた状態となる。
【００４４】
続いて、スプリング取付部２１ｂ側から突出しているプランジャ本体２２ａにコイルスプリング２３を嵌める（コイルスプリング２３内にプランジャ本体２２ａを挿通させる）。次いで、コイルスプリング２３の小径な一端側（図３中の右端側）にプランジャ本体２２ａの先端部２２ｄを挿通して、コイルスプリング２３の一端側とプランジャ本体２２ａの一端側（先端部２２ｄ）とを係合させる。なお、コイルスプリング２３の一端側とプランジャ本体２２ａの一端側（先端部２２ｄ）との係合構造は、上記した従来の基板受けピン５４におけるコイルスプリング６３の一端側とプランジャ本体６２ａにおける小径な先端部６２ｃとの係合構造と同一であることから、詳細な説明を省略する。
【００４５】
次いで、コイルスプリング２３を伸長させて、コイルスプリング２３の他端側（図３中の左端側）をスプリング取付部２１ｂの外周面に形成された雄ねじ部２１ｅにねじ込んで固定する。この場合、この基板受けピン１３では、突起部２２ｂが、上記したように外周面がスプリング取付部２１ｂ側に向かうに従って拡径して最終的にスプリング取付部２１ｂの外径と同一の状態または若干小径な状態に至るテーパ面に形成されているため、プランジャ本体２２ａにコイルスプリング２３を嵌める（コイルスプリング２３内にプランジャ本体２２ａを挿通させる）際に、コイルスプリング２３のスプリング取付部２１ｂ側の端部が突起部２２ｂによって案内されて、スプリング取付部２１ｂの端面（端部）と干渉することなく、スプリング取付部２１ｂにスムーズにねじ込むことが可能となっている。また、スプリング取付部２１ｂへの取り付けが完了した状態のコイルスプリング２３は、取り付け前の長さＬ０（自由長：図３参照）よりも僅かに伸長させられて、図４，５に示すように、その全長が長さＬ１となる。これにより、図４に示すように、基板受けピン５４が完成する。
【００４６】
なお、上記の手順では、プランジャ本体２２ａに基板受けヘッド２２ｃを取り付けた後に、コイルスプリング２３を取り付けているが、逆に、コイルスプリング２３を取り付けてから基板受けヘッド２２ｃを取り付ける手順で組み立てもよいのは勿論である。
【００４７】
この基板受けピン１３では、上記したように、コイルスプリング２３を自由長である長さＬ０よりも伸長させて長さＬ１とした状態で、スリーブ２１のスプリング取付部２１ｂとプランジャ本体２２ａの先端部２２ｄとの間に配設している。このため、プランジャ本体２２ａには、その先端部２２ｄをスプリング取付部２１ｂ側に移動させる向きの付勢力がコイルスプリング２３から常時作用した状態となっている。また、このコイルスプリング２３の付勢力（復元力）は、プランジャ２２の自重に対して十分に強い（検査基板８の搭載時に各基板受けピン１３に分散して加わる検査基板８の重さを考慮したとしても強い）大きさに規定されている。このため、図４に示す完成状態において、図５に示すように、基板受けピン１３をスリーブ２１に対してコイルスプリング２３が下になるように起立させた状態においても、突起部２２ｂは、そのスプリング取付部２１ｂ側の端面がスプリング取付部２１ｂの端面と当接した状態（図５に示す状態）に維持されている。したがって、この状態において、すべての基板受けピン１３では、スリーブ２１のフランジ部２１ｃにおける基板受けヘッド２２ｃ側の端面から基板受けヘッド２２ｃの端面までの突出長（距離）Ｌａが一定となっている。
【００４８】
この基板受けピン１３は、図５に示すように、ボード本体１１にその厚み方向に沿って形成された第１取付孔１１ａ内に、ボード本体１１における検査基板８の搭載面側（図５に示す上面側）から、コイルスプリング２３およびスリーブ２１の順で挿入することで、第１取付孔１１ａに挿着される（取り付けられる）。一例として本例では、基板受けピン１３は、フランジ部２１ｃがボード本体１１の搭載面（表面）に当接するまで第１取付孔１１ａ内にスリーブ本体２１ａを圧入することによって挿着される。
【００４９】
一方、図１に示すように、押さえユニット３は、一例として、平板状のベース部３１および複数の押さえピン３２を備え、ボード本体１１における検査基板８の搭載面（ピンボードユニット２における検査基板８の搭載面でもある）に対向する位置（搭載面側の位置）に配設されている。複数の押さえピン３２は、ベース部３１におけるピンボードユニット２との対向面に、一例として、ボード本体１１に取り付けられた各基板受けピン１３に対応する位置（対向する位置）に１つずつ立設されている。また、各押さえピン３２のベース部３１からの突出長は、同一に規定されている。
【００５０】
駆動部４は、押さえユニット３のベース部３１を、ピンボードユニット２のボード本体１１と平行な状態で、かつボード本体１１に対して接離動可能に保持するガイド機構（例えばガイドレール）と、処理部６によって制御されて、ピンボードユニット２に対してベース部３１を接離動させる（つまり、押さえユニット３を接離動させる）駆動機構（いずれも図示せず）とを備えている。測定部５は、ピンボードユニット２の各コンタクトピン１４に接続されている。また、測定部５は、処理部６によって制御されて、コンタクトピン１４に対して検査用信号を出力すると共に、検査用信号の出力に起因して検査基板８（検査基板８に形成された配線パターンや実装された電子部品など）に発生する電気信号を、コンタクトピン１４を介して入力して測定する。
【００５１】
処理部６は、測定部５から出力される上記の検査用信号および測定部５で測定された上記の電気信号に基づいて、検査基板８に対する検査を実行する。例えば、測定部５が、検査基板８に形成された一対の配線パターン間に検査用信号として規定電圧の電圧信号を出力し、この配線パターン間に流れる電流信号を電気信号として測定する場合には、処理部６は、検査用信号としての電圧信号と、電気信号として測定される電流信号とに基づいて、一対の配線パターン間の絶縁抵抗を算出し、算出した絶縁抵抗を予め規定された基準抵抗値と比較することにより、一対の配線パターン間の絶縁状態を検査する。また、処理部６は、例えばディスプレイ装置で構成された表示部７に検査結果を表示させる。
【００５２】
次に、基板検査装置１の動作について説明する。なお、図１に示すように、ボード本体１１上には、検査基板８が、ガイド孔８ａ内にガイド棒１２が挿通され、かつその支持位置に基板受けピン１３のプランジャ２２（具体的には、基板受けヘッド２２ｃ）が当接した状態で予め載置されているものとする。
【００５３】
非検査状態においては、処理部６は、駆動部４を制御することにより、押さえユニット３を検査基板８から離間した待機位置に移動させている。検査基板８に対する検査を実行するときには、処理部６は、まず、駆動部４を制御することにより、押さえユニット３を検査基板８側（図１では下方）に向けて移動させる（検査基板８に接近させる）と共に、ベース部３１に取り付けられている各押さえピン３２が検査基板８に当接した後には、各押さえピン３２で検査基板８をボード本体１１側（図１中の下方）に押し動かして、ボード本体１１に取り付けられた各コンタクトピン１４の先端部と検査基板８に規定された接触位置とが接触する検査状態（図２に示す状態）に移行させた後に、押さえユニット３の移動を停止させる。
【００５４】
この場合、この基板検査装置１のピンボードユニット２に取り付けられた基板受けピン１３では、上記したように、プランジャ本体２２ａには、その先端部２２ｄをスプリング取付部２１ｂ側に移動させる向きの付勢力がコイルスプリング２３から常時作用しており、かつその付勢力（コイルスプリング２３の復元力）がプランジャ２２の自重に対して十分に強い大きさに規定されている。このため、検査基板８の未搭載時（図５に示す状態のとき）においても、また検査基板８の搭載時においても、図５に示すように、コイルスプリング２３の付勢力（復元力）によってプランジャ２２が上方に引き上げられて、プランジャ２２に形成された突起部２２ｂがスリーブ２１におけるスプリング取付部２１ｂの端面（図中の下端部の端面）と当接した状態に維持されている。
【００５５】
したがって、検査基板８の未搭載時においても、また検査基板８の搭載時においても、ピンボードユニット２におけるボード本体１１の搭載面から各基板受けヘッド２２ｃの上端面までの高さＬｂは、すべての一定となっている。これにより、ピンボードユニット２に搭載された検査基板８は、ピンボードユニット２のボード本体１１に対して平行な状態で、かつガタの極めて少ない状態で支持される。したがって、押さえユニット３の各押さえピン３２が検査基板８に対してほぼ同時に接触して、検査基板８の移動を開始することができるため、各押さえピン３２の接触の際、および各押さえピン３２による移動の際に、各押さえピン３２から検査基板８に対して作用する検査基板８を変形させる応力が大幅に低減されている。
【００５６】
また、図２に示す状態において、各基板受けピン１３では、検査基板８を介して各押さえピン３２で押し動かされる結果、プランジャ２２は、コイルスプリング２３の付勢力（復元力）に抗して、基板受けヘッド２２ｃがスリーブ２１側へ接近する向きで所定距離だけ移動させられた状態、つまり、プランジャ２２のプランジャ本体２２ａに形成された突起部２２ｂがスリーブ２１のスプリング取付部２１ｂから離反した状態となる（図６参照）。しかしながら、ボード本体１１とベース部３１とは平行であり、かつベース部３１からの押さえピン３２の突出長は一定の長さに規定されているため、検査基板８は、ボード本体１１に対して平行な状態で、各基板受けピン１３によって支持されている。このため、ボード本体１１に取り付けられた各コンタクトピン１４は、検査基板８の対応するプロービング位置にほぼ均一な接触圧で接触する。
【００５７】
次いで、処理部６は、測定部５に対する制御を実行し、コンタクトピン１４を介して検査基板８に対して検査用信号を出力させると共に、コンタクトピン１４を介して検査基板８からの電気信号を測定させる。続いて、処理部６は、検査用信号と電気信号とに基づいて、検査基板８に対する検査を実行し、その検査結果を表示部７に表示させる。最後に、処理部６は、駆動部４による制御を実行して、押さえユニット３を待機位置に移動させる。これにより、検査基板８に対する検査が完了する。
【００５８】
この場合、この基板検査装置１（ピンボードユニット２、基板受けピン１３）では、検査基板８に対する電気的検査に際して押さえユニット３によって検査基板８が押さえ付けられたときに、図６に示すように、基板受けヘッド２２ｃにおけるスリーブ２１側（摺動量制限部２１ｄ側）の端面と、摺動量制限部２１ｄにおけるフランジ部２１ｃ側とは反対側の端面（すなわち、基板受けヘッド２２ｃ側の端面）との間に長さＬ２ｓの隙間が生じている状態において、各コンタクトピン１４が検査基板８の対応するプロービング位置に接触するように構成されている。この状態においては、各基板受けピン１３のコイルスプリング２３が、前述した長さＬ３よりも短い長さＬ２まで伸長させられる。したがって、検査基板８に対する正常な検査時には、各基板受けピン１３のコイルスプリング２３が長さＬ３を超えて伸長させられることがなく、これにより、コイルスプリング２３に塑性変形が生じる事態が回避されている。
【００５９】
一方、例えば、想定外の事故が生じて、押さえユニット３によって検査基板８が必要以上に下方まで押さえ付けられたとき（一例として、複数枚の検査基板８が搬送されてピンボードユニット２上に載置されてしまったとき）には、図６に示す状態よりも、基板受けヘッド２２ｃがスリーブ２１側に移動させられることとなる。この結果、スリーブ２１に対するスリーブ２１の摺動に伴ってコイルスプリング２３が、長さＬ２よりも長く伸長させられる。しかしながら、この基板受けピン１３では、スリーブ２１における上記の摺動量制限部２１ｄの長さＬ４が前述したように規定されている。
【００６０】
したがって、検査基板８（基板受けヘッド２２ｃ）が図６に示す状態からさらに下降させられたときには、図７に示すように、基板受けヘッド２２ｃにおけるスリーブ２１側（摺動量制限部２１ｄ側）の端面と、摺動量制限部２１ｄにおけるフランジ部２１ｃ側とは反対側の端面（すなわち、基板受けヘッド２２ｃ側の端面）とが接して、それ以上の下降（スリーブ２１に対するプランジャ２２の摺動）が阻止される。この状態におけるコイルスプリング２３の長さＬ３が、弾性限度まで伸ばしたコイルスプリング２３（図示せず）の長さよりも短い長さであるため、想定外の事故が生じて、押さえユニット３によって検査基板８が必要以上に下方まで押さえ付けられたときであっても、コイルスプリング２３に塑性変形が生じる事態が回避される。
【００６１】
また、前述したように、この基板受けピン１３では、常態において、摺動量制限部２１ｄにおけるフランジ部２１ｃ側とは反対側の端部が筒状部２２ｃｂ内に位置するように基板受けヘッド２２ｃにおけるスリーブ２１側の端面からの突出長（長さＬ５）が規定されてプランジャ２２およびスリーブ２１が形成されている。したがって、非検査時において、プランジャ本体２２ａにおける基板受けヘッド２２ｃ側の端部が筒状部２２ｃｂによって覆われているため、この部位に塵埃が付着する事態が回避されている。なお、この基板受けピン１３では、図７に示すように、スリーブ２１に対してプランジャ２２最も摺動させられたときには、筒状部２２ｃｂの下端部とフランジ部２１ｃとの間に長さＬ３ｓの隙間が生じるように筒状部２２ｃｂの長さＬ５が規定されており、これにより、基板受けヘッド２２ｃにおけるスリーブ２１側の端面と、摺動量制限部２１ｄにおけるフランジ部２１ｃ側とは反対側の端面とが接するのに先立って筒状部２２ｃｂが基板受けヘッド２２ｃに接触する事態が回避されている。
【００６２】
このように、この基板受けピン１３では、フランジ部２１ｃにおけるスリーブ本体２１ａ側とは反対側に摺動量制限部２１ｄが設けられると共に、常態において、基板受けヘッド２２ｃにおけるスリーブ２１側の端面と、摺動量制限部２１ｄにおけるフランジ部２１ｃ側とは反対側の端面とが、弾性限度まで伸ばしたコイルスプリング２３の長さから、常態におけるコイルスプリング２３の長さＬ１を差し引いた長さ（第１の長さ）よりも短い長さＬ１ｓ（第２の長さ）だけ離間するように摺動量制限部２１ｄの長さＬ４（筒長）が規定されている。
【００６３】
したがって、この基板受けピン１３によれば、基板受けヘッド２２ｃにおけるスリーブ２１側の端面と、摺動量制限部２１ｄにおけるフランジ部２１ｃ側とは反対側の端面とが互いに接するまでスリーブ２１に対してプランジャ２２を摺動させられたとしても、コイルスプリング２３が長さＬ１と長さＬ１ｓとの和の長さ（長さＬ３）を超えて伸長させられることがないため、スリーブ２１に対するプランジャ２２の摺動に伴って、コイルスプリング２３に塑性変形が生じる事態を回避することができる。このため、この基板受けピン１３によれば、常態におけるコイルスプリング２３の長さを上記の長さＬ１に維持することができる結果、基板受けピン１３上に載置した検査基板８が押さえユニット３による押さえ付けに先立ってコンタクトピン１４に接触してコンタクトピン１４や検査基板８に傷付きが生じる事態を回避することができると共に、常態においてスリーブ２１のフランジ部２１ｃにおける基板受けヘッド２２ｃ側の端面から基板受けヘッド２２ｃの端面までの距離Ｌａを一定にすることができる。
【００６４】
また、この基板受けピン１３によれば、常態において摺動量制限部２１ｄにおけるフランジ部２１ｃ側とは反対側の端部が筒状部２２ｃｂ内に位置するように基板受けヘッド２２ｃにおけるスリーブ２１側の端面からの長さＬ４（突出長）が規定されて、基板受けヘッド２２ｃにおけるスリーブ２１側の端面からスリーブ２１側に突出するように基板受けヘッド２２ｃに配設された筒状部２２ｃｂを備えたことにより、基板受けピン１３上に検査基板８を未搭載の常態から、基板受けピン１３上に載置した検査基板８を押さえユニット３によって押さえ付けた状態のすべての状態において、プランジャ本体２２ａにおける基板受けヘッド２２ｃ側の端部を筒状部２２ｃｂによって覆った状態とすることができる。したがって、この基板受けピン１３によれば、プランジャ本体２２ａにおける基板受けヘッド２２ｃ側の端部に塵埃が付着したり、プランジャ本体２２ａと摺動量制限部２１ｄにおけるプランジャ本体２２ａの挿通孔との間に塵埃が侵入したりするのを防止できる結果、スリーブ２１に対してプランジャ２２をスムーズに摺動させ得る状態を長期に亘って維持することができる。
【００６５】
また、このピンボードユニット２によれば、上記の基板受けピン１３を複数備えたことにより、各基板受けピン１３におけるコイルスプリング２３の常態における長さを製造当初の長さに維持することができるため、検査基板８の未搭載時においても、また検査基板８の搭載時においても、ピンボードユニット２におけるボード本体１１の搭載面から各基板受けヘッド２２ｃの上端面までの高さＬｂを確実に一定に揃えることができる。したがって、このピンボードユニット２によれば、搭載された検査基板８をボード本体１１に対して、平行な状態で、かつガタの極めて少ない状態で支持することができる。
【００６６】
また、この基板検査装置１によれば、上記のピンボードユニット２を備えたことにより、ボード本体１１に対して平行な状態で、かつガタの極めて少ない状態で支持されてピンボードユニット２に搭載されている検査基板８に押さえユニット３をほぼ同時に接触させて、押し動かすことができるため、各押さえピン３２の接触および押し動かし（移動）の際に、各押さえピン３２から検査基板８に対して作用している検査基板８を変形させる応力を大幅に低減することができる。
【００６７】
なお、上記の基板受けピン１３では、スリーブ２１のスリーブ本体２１ａ、スプリング取付部２１ｂおよび摺動量制限部２１ｄを円筒状に形成すると共に、フランジ部２１ｃを円環状に形成する構成を採用しているが、スリーブ本体２１ａ、スプリング取付部２１ｂおよび摺動量制限部２１ｄを三角筒状や四角筒状などの多角筒状に形成したり、フランジ部２１ｃを平面視三角筒状や四角筒状などの多角筒状の環状に形成したりすることもできる。この場合、摺動量制限部２１ｄを多角筒状に形成した場合には、摺動量制限部２１ｄの外周面と、筒状部２２ｃｂの内周面との間に過剰に拡い隙間が生じることのないように、筒状部２２ｃｂについても多角筒状に形成するのが好ましい。また、上記の基板受けピン１３では、プランジャ本体２２ａを円柱状に形成する構成を採用しているが、スリーブ２１に対して摺動自在に装着される構成であれば、スリーブ本体２１ａを多角柱状に形成してもよいのは勿論である。
【００６８】
さらに、突起部２２ｂを環状リブに形成し、かつその外周面を上記のようなテーパ面に形成する好ましい構成を採用したが、突起部２２ｂに代えて、外径が一定の環状リブに形成する構成を採用することもできる（図示せず）。なお、この場合、突起部の外径は、コイルスプリング２３の内径よりも小径にする必要があり、さらにはスプリング取付部２１ｂの外径よりも小径にするのが、コイルスプリング２３をスムーズに装着可能とする観点から好ましい。また、スプリング取付部２１ｂと当接して、プランジャ２２のスリーブ２１からの突出長を一定にするという突起部２２ｂの主たる機能が確保し得る限り、図示はしないが、突起部２２ｂは円環リブの形状に限定されず、複数の突起で構成するなど、種々の構成を採用することができる。
【符号の説明】
【００６９】
１  基板検査装置
２  ピンボードユニット
３  押さえユニット
４  駆動部
５  測定部
６  処理部
８  検査基板
１１  ボード本体
１３  基板受けピン
１４  コンタクトピン
２１  スリーブ
２１ａ  スリーブ本体
２１ｂ  スプリング取付部
２１ｃ  フランジ部
２１ｄ  摺動量制限部
２１ｅ  雄ねじ部
２２  プランジャ
２２ａ  プランジャ本体
２２ｂ  突起部
２２ｃ  基板受けヘッド
２２ｄ  先端部
２２ｃｂ  筒状部
２３  コイルスプリング
Ｌ０〜Ｌ６，Ｌ１ｓ〜Ｌ３ｓ  長さ
【図１】
0005570439.tif 000002
【図２】
0005570439.tif 000003
【図３】
0005570439.tif 000004
【図４】
0005570439.tif 000005
【図５】
0005570439.tif 000006
【図６】
0005570439.tif 000007
【図７】
0005570439.tif 000008
【図８】
0005570439.tif 000009
【図９】
0005570439.tif 000010
【図１０】
0005570439.tif 000011