(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を水平面内の所定方向であるＸ方向に搬送する基板搬送機構と、
パターンを形成した複数のマスクをそれぞれ保持し、前記水平面内で前記Ｘ方向と直交するＹ方向に沿って配置される複数のマスク保持部と、
前記複数のマスク保持部の上部にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、
前記マスク保持部の前記マスクを交換すべく、前記各マスク保持部の下面と対向可能なマスクトレー部を有するマスクチェンジャーと、を備える露光装置であって、
前記マスクチェンジャーは、前記マスクトレー部に載置される前記マスクを、前記Ｘ方向及び前記Ｘ方向及びＹ方向と直交するＺ方向回りのθ方向に駆動可能な駆動機構を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記駆動機構は、前記マスクトレー部の中間部に対してＹ方向に対称にそれぞれ配置される一対のＸ方向駆動機構を備え、
該一対のＸ方向駆動機構は、前記マスクが載置される前記マスクトレー部の載置部をそれぞれ同期してＸ方向に駆動することで、前記載置部に載置された前記マスクを、前記Ｘ方向に駆動し、前記マスクトレー部の載置部をそれぞれ相対的にＸ方向に駆動することで、前記載置部に載置された前記マスクを、前記θ方向に駆動することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記駆動機構は、前記マスクトレー部のＹ方向中間部に配置され、前記マスクトレー部の載置部に載置される前記マスクをＸ方向に駆動するＸ方向駆動機構と、前記載置部に載置される前記マスクを少なくとも１８０°回転可能な回転駆動機構と、を備えることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】
前記複数のマスク保持部をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部をさらに備え、
前記マスク駆動部は、前記Ｙ方向に前記マスク保持部を駆動するＹ軸駆動機構と、前記Ｚ方向に前記マスク保持部を駆動するＺ軸駆動機構と、を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の露光装置。
【請求項５】
前記マスクチェンジャーには、交換用アライメントカメラが設けられるとともに、前記マスク保持部には、アライメント用マークが設けられ、
前記マスクチェンジャーは、交換用アライメントカメラが前記マスクトレー部に載置された前記マスクと前記マスク保持部のアライメント用マークとを確認しながら、前記マスクを前記マスク保持部に吸着保持することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の露光装置。
【請求項６】
基板を水平面内の所定方向であるＸ方向に搬送する基板搬送機構と、
パターンを形成した複数のマスクをそれぞれ保持し、前記水平面内で前記Ｘ方向と直交するＹ方向に沿って配置される複数のマスク保持部と、
前記複数のマスク保持部の上部にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、を備える露光装置であって、
アライメントカメラとギャップセンサの少なくとも一方の検出系を支持する検出系支持部と、前記複数のマスク保持部の下方に前記Ｙ方向に沿って延び、該検出系支持部を前記Ｙ方向に案内する検出系駆動軸と、前記検出系支持部を前記検出系駆動軸に沿って駆動する検出系駆動機構と、を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項７】
前記検出系駆動機構は、前記ギャップセンサを上下方向に駆動可能であることを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の露光装置を用いることを特徴とする露光方法。
【請求項９】
請求項８に記載の露光方法によって基板を露光することを特徴とする基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置、露光方法及び基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板を所定方向に搬送する基板搬送機構と、それぞれマスクを保持して所定方向と交差する方向に沿って千鳥状に二列配置される複数のマスク保持部と、露光用光をそれぞれ照射する複数の照射部と、複数のマスク保持部に保持される各マスクを交換するためのマスクチェンジャーと、を備え、マスクチェンジャーが二列配置された複数のマスク保持部の下方を移動してマスク保持部に保持されるマスクを交換するようにしたスキャン露光装置が知られている（例えば、特許文献１及び２参照。）。
【０００３】
特許文献１に記載の露光装置は、各マスク保持部それぞれが、マスク保持部をＸ軸方向に駆動するＸ軸駆動機構と、Ｙ軸方向に駆動するＹ軸駆動機構と、Ｚ軸方向に駆動するＺ軸駆動機構と、基板の上面の法線回りに回転駆動するθ軸駆動機構と、を有する。また、特許文献２に記載の露光装置では、各マスク保持部の下方に、アライメントカメラやギャップセンサが配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２５６４５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示されている露光装置では、各マスク保持部が、Ｘ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構、Ｚ軸駆動機構、及びθ軸駆動機構をそれぞれ備えるので、大型の露光装置においてマスク保持部の数が増加すると、これに伴ってＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、及びθ軸駆動機構の数が増加し、露光装置の装置コストが増大するという課題がある。同様に、各マスク保持部の下方に配置されるアライメントカメラやギャップセンサの数もマスク保持部の数の増加に伴って増加する。特に、近年、露光装置は大型化する傾向があり、改善の余地があった。
【０００６】
本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、装置コストを大幅に抑制することができる露光装置、露光方法及び基板の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
（１）基板を水平面内の所定方向であるＸ方向に搬送する基板搬送機構と、
パターンを形成した複数のマスクをそれぞれ保持し、前記水平面内で前記Ｘ方向と直交するＹ方向に沿って配置される複数のマスク保持部と、
前記複数のマスク保持部の上部にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、
前記マスク保持部の前記マスクを交換すべく、前記各マスク保持部の下面と対向可能なマスクトレー部を有するマスクチェンジャーと、を備える露光装置であって、
前記マスクチェンジャーは、前記マスクトレー部に載置される前記マスクを、前記Ｘ方向及び前記Ｘ方向及びＹ方向と直交するＺ方向回りのθ方向に駆動可能な駆動機構を備えることを特徴とする露光装置。
（２）前記駆動機構は、前記マスクトレー部の中間部に対してＹ方向に対称にそれぞれ配置される一対のＸ方向駆動機構を備え、
該一対のＸ方向駆動機構は、前記マスクが載置される前記マスクトレー部の載置部をそれぞれ同期してＸ方向に駆動することで、前記載置部に載置された前記マスクを、前記Ｘ方向に駆動し、前記マスクトレー部の載置部をそれぞれ相対的にＸ方向に駆動することで、前記載置部に載置された前記マスクを、前記θ方向に駆動することを特徴とする上記（１）に記載の露光装置。
（３）前記駆動機構は、前記マスクトレー部のＹ方向中間部に配置され、前記マスクトレー部の載置部に載置される前記マスクをＸ方向に駆動するＸ方向駆動機構と、前記載置部に載置される前記マスクを少なくとも１８０°回転可能な回転駆動機構と、を備えることを特徴とする上記（１）に記載の露光装置。
（４）前記複数のマスク保持部をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部をさらに備え、
前記マスク駆動部は、前記Ｙ方向に前記マスク保持部を駆動するＹ軸駆動機構と、前記Ｚ方向に前記マスク保持部を駆動するＺ軸駆動機構と、を備えることを特徴とする上記（１）〜（３）のいずれかに記載の露光装置。
（５）前記マスクチェンジャーには、交換用アライメントカメラが設けられるとともに、前記マスク保持部には、アライメント用マークが設けられ、
前記マスクチェンジャーは、交換用アライメントカメラが前記マスクトレー部に載置された前記マスクと前記マスク保持部のアライメント用マークとを確認しながら、前記マスクを前記マスク保持部に吸着保持することを特徴とする上記（１）〜（４）のいずれかに記載の露光装置。
（６）基板を水平面内の所定方向であるＸ方向に搬送する基板搬送機構と、
パターンを形成した複数のマスクをそれぞれ保持し、前記水平面内で前記Ｘ方向と直交するＹ方向に沿って配置される複数のマスク保持部と、
前記複数のマスク保持部の上部にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、を備える露光装置であって、
アライメントカメラとギャップセンサの少なくとも一方の検出系を支持する検出系支持部と、前記複数のマスク保持部の下方に前記Ｙ方向に沿って延び、該検出系支持部を前記Ｙ方向に案内する検出系駆動軸と、前記検出系支持部を前記検出系駆動軸に沿って駆動する検出系駆動機構と、を備えることを特徴とする露光装置。
（７）前記検出系駆動機構は、前記ギャップセンサを上下方向に駆動可能であることを特徴とする上記（６）に記載の露光装置。
（８）上記（１）〜（７）のいずれかに記載の露光装置を用いることを特徴とする露光方法。
（９）上記（８）に記載の露光方法によって基板を露光することを特徴とする基板の製造方法。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の露光装置によれば、マスクチェンジャーが、マスクトレー部に載置されるマスクを、Ｘ方向及びＺ方向回りのθ方向に駆動可能な駆動機構を備えるので、マスクトレー部のマスクをマスク保持部に吸着保持するとき、駆動機構によってマスクトレー部をＸ方向及びθ方向に駆動してマスクとマスク保持部とのアライメント調整を行ってマスクをマスク保持部に保持させることができる。また、従来、それぞれのマスク保持部が有していた多数のＸ軸駆動機構及びθ軸駆動機構を、マスクチェンジャーに集約配置することができ、Ｘ軸駆動機構及びθ軸駆動機構の数量を大幅に削減して露光装置の装置コストを抑制することができる。
【０００９】
また、アライメントカメラとギャップセンサの少なくとも一方を支持する検出系支持部と、該検出系支持部を複数のマスク保持部に沿ってＹ方向に案内する検出系駆動軸と、検出系支持部を検出系駆動軸に沿って駆動する検出系駆動機構と、を備えるので、従来、それぞれのマスク保持部が有していた多数のアライメントカメラとギャップセンサを、一ヶ所に集約配置して、アライメントカメラとギャップセンサの数量を大幅に削減して露光装置の装置コストを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る近接露光装置を、照射部を取り外した状態で示す平面図である。
【図２】図１における露光装置の正面図である。
【図３】図１におけるマスク保持部の要部拡大図である。
【図４】図１のマスク保持部の概略構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図である。
【図５】図１のマスクチェンジャーのマスクトレー部拡大図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係るマスクチェンジャーのマスクトレー部拡大図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の各実施形態に係る露光装置について図面に基づいて詳細に説明する。
【００１２】
（第１実施形態）
図１及び図２に示すように、本実施形態のスキャン露光装置１は、基板Ｗを浮上させて支持すると共に、所定方向（図１のＸ方向）に搬送する基板搬送機構１０と、マスクＭをそれぞれ保持し、所定方向と交差する方向（図１のＹ方向）に沿って千鳥状に二列配置された複数（図１に示す実施形態において、左右それぞれ６個）のマスク保持部１１と、複数のマスク保持部１１をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部１２と、複数のマスク保持部１１の上部にそれぞれ配置されて露光用光を照射する複数の照射部１４と、露光装置１の各作動部分の動きを制御する制御部１５と、を主に備える。
【００１３】
基板搬送機構１０は、基板ＷをＸ方向に搬送する領域、即ち、複数のマスク保持部１１の下方領域、及びその下方領域からＸ方向両側に亘る領域に設けられた浮上ユニット１６と、基板ＷのＹ方向一側（図１において上辺）を保持してＸ方向に搬送する基板駆動ユニット１７とを備える。
【００１４】
浮上ユニット１６は、複数のフレーム１９上にそれぞれ設けられた排気のみ或いは排気と吸気を同時に行なう複数のエアパッド２０を備え、ポンプやソレノイドバルブ（いずれも図示せず）を介して複数のエアパッド２０からエアを排気或いは、吸排気する。
【００１５】
基板駆動ユニット１７は、図１に示すように、浮上ユニット１６によって浮上、支持された基板Ｗの一端を保持する吸着パッド２２を備え、モータ２３、ボールねじ２４、及びナット（図示せず）からなるボールねじ機構２５によって、ガイドレール２６に沿って基板ＷをＸ方向に搬送する。
【００１６】
なお、図２に示すように、複数のフレーム１９は、地面にレベルブロック１８を介して設置された装置ベース２７上に他のレベルブロック２８を介して配置されている。また、基板Ｗは、ボールねじ機構２５の代わりに、リニアサーボアクチュエータによって搬送されてもよい。
【００１７】
図３も参照して、マスク駆動部１２は、フレーム（図示せず）に取り付けられてマスク保持部１１をＺ方向（Ｘ，Ｙ方向からなる水平面の鉛直方向）に駆動するＺ軸駆動機構３１と、Ｚ軸駆動機構３１の先端に取り付けられてマスク保持部１１をＹ方向に沿って駆動するＹ軸駆動機構３２と、を有する。これにより、マスク保持部１１は、マスク駆動部１２によってＺ、Ｙ方向に駆動可能である。なお、Ｚ、Ｙ軸駆動機構３１，３２の配置の順序は、適宜変更可能である。
【００１８】
マスク保持部１１に保持される各マスクＭには、Ｘ方向に並べて配置された２つのパターンＰ１、Ｐ２が形成されている。また、パターンＰ１、Ｐ２の外側には、それぞれ監視用の窓部４０が設けられている。２つのパターンＰ１、Ｐ２を有するマスクＭは、マスク保持部１１に保持されるとき、１８０°回転させて保持させることにより、２つのパターンＰ１、Ｐ２の露光の使い分けが可能となっている。
【００１９】
また、図１に示すように、Ｙ方向に沿ってそれぞれ直線状に配置された上流側及び下流側の各マスク保持部１１ａ，１１ｂ間には、各マスク保持部１１のマスクＭを同時に交換可能なマスクチェンジャー２が配設されている。マスクチェンジャー２は、千鳥状に二列配置された各マスク保持部１１ａ，１１ｂのそれぞれの列に対応する一対のマスクトレー部３３を有し、マスク保持部１１ａ，１１ｂ間でＹ方向に延設されたガイドレール１３に案内されてＹ方向に移動可能である。
【００２０】
これにより、各マスクトレー部３３が、各マスク保持部１１ａ，１１ｂの下面と対向可能となっている。また、マスクチェンジャー２により搬送される使用済み或いは未使用のマスクＭは、マスクストッカ３，４との間でマスクローダー５により受け渡しが行なわれる。
【００２１】
図２に示すように、マスク保持部１１の上部に配置される照射部１４は、露光用光ＥＬを放射する超高圧水銀ランプからなる光源４１と、光源４１から照射された光を集光する凹面鏡４２と、この凹面鏡４２の焦点近傍に光路方向に移動可能な機構を有するオプチカルインテグレータ４３と、光路の向きを変えるための平面ミラー４５及び球面ミラー４６と、平面ミラー４５とオプチカルインテグレータ４３との間に配置されて照射光路を開閉制御するシャッター４４と、を備える。なお、光源４１としては、ＹＡＧフラッシュレーザやエキシマレーザであってもよい。
【００２２】
また、マスク保持部１１の下方に配置されたフレーム１９には、基板ＷとマスクＭの相対位置を検知する撮像手段であるラインカメラ７０が、マスクＭの窓部４０を観測可能な位置で、複数のマスク保持部１１ごとに配置されている。ラインカメラ７０としては、公知の構成のものが適用され、搬送される基板Ｗに予め形成されたパターン（Ｒ，Ｇ，Ｂを露光する場合には、ブラックマトリクスの基準線）と、各マスクＭに設けられたラインカメラ用のマークとを、それぞれ同一視野に捕らえて撮像するものであり、光を受光する多数の受光素子を一直線上に並べて備えた受光面としてのラインＣＣＤと、基板Ｗの基準線やマークをラインＣＣＤ上に結像させる集光レンズ等を備える。
【００２３】
さらに、図４に示すように、複数のマスク保持部１１の下方には、一対のアライメントカメラ５３と一対のギャップセンサ５４を支持する検出系支持部５１と、その両端部がフレーム１９によって支持され、複数のマスク保持部１１の下方をＹ方向に沿って延びる検出系駆動軸５２と、を備える。検出系支持部５１は、図示しない検出系駆動機構によって駆動され、検出系駆動軸５２に沿って図４（ａ）、（ｃ）で下方に示す待機位置ＷＰと、各マスク保持部１１の下面と対向する作動位置ＯＰとの間をＹ方向に移動する。なお、図４（ａ）では、基板Ｗを図示省略して示している。
【００２４】
また、検出系駆動機構５２は、検出系支持部５１で支持されるギャップセンサ５４を、図４中実線で示す下方位置と、図４中破線で示す上方位置との間を上下方向に駆動可能であり、上方位置において基板ＷとマスクＭとのギャップを測定する。
【００２５】
図５は、マスクチェンジャーの一方のマスクトレー部の拡大図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図である。図５に示すように、マスクチェンジャー２の各マスクトレー部３３に設けられたベース部３４には、一対のＸ方向駆動機構３５Ａ、３５Ｂが、マスクトレー部３３の中間部に対してＹ方向に対称に配設されている。一対のＸ方向駆動機構３５Ａ、３５Ｂは、マスクＭが載置される載置部３７をそれぞれＸ方向に駆動する。
【００２６】
即ち、一対のＸ方向駆動機構３５Ａ、３５Ｂは、載置部３７をそれぞれ同期してＸ方向に駆動することでマスクＭをＸ方向に駆動可能であり、また、載置部３７をそれぞれ相対的にＸ方向に駆動することでマスクＭをＸ方向及びＹ方向と直交するＺ方向回りのθ方向に駆動可能となっている。
【００２７】
また、各ベース部３４には、一対の交換用アライメントカメラ３６が、マスクＭの有効露光エリア内の両端（図４においては上下端）に配置され、マスクＭをマスク保持部１１に吸着保持する際、載置部３７に載置されたマスクＭのアライメントマークＭａとマスク保持部１１のアライメント用マーク６０とを確認してアライメント調整を行う（図３参照。）。
【００２８】
本実施形態のスキャン露光装置１の作用について説明する。図１に示すように、マスクストッカ３，４に収容されているマスクＭは、マスクローダー５によってマスクストッカ３，４から取り出され、各マスクトレー部３３の載置部３７上に載置される。載置部３７にマスクＭを載置するマスクトレー部３３は、ガイドレール１３に案内されてＹ方向に移動し、各マスク保持部１１ａ，１１ｂの下面と対向して停止する。
【００２９】
そして、一対の交換用アライメントカメラ３６で、載置部３７に載置されたマスクＭのアライメントマークＭａと、マスク保持部１１のアライメント用マーク６０とを確認しながら、一対のＸ方向駆動機構３５Ａ、３５Ｂを駆動してＸ方向及びθ方向にマスクＭのアライメント調整を行い、マスクＭをマスク保持部１１に吸着保持させる。
【００３０】
なお、本実施形態では、マスクトレー部３３に設けられた交換用アライメントカメラ３６を用いてマスク貼り付け時のアライメントを行っているが、図４に示した検出系支持部５１に設けられた一対のアライメントカメラ５３を用いて行うことも可能であり、その場合、マスクトレー部３３には、交換用アライメントカメラ３６を省略してもよい。
【００３１】
マスクトレー部３３は、Ｙ方向にステップ移動しながら順次、マスクトレー部３３を各マスク保持部１１ａ，１１ｂの下面と対向させて、上記の動作を繰り返し行うことにより、マスクＭをアライメント調整して各マスク保持部１１ａ，１１ｂに保持させる。
【００３２】
次に、スキャン露光装置１は、基板Ｗの露光に先立って、基板Ｗを搬送しながら装置１の調整を行う。浮上ユニット１６のエアパッド２０の空気流によって基板Ｗを浮上させて保持し、基板Ｗの一端を基板駆動ユニット１７で吸着してＸ方向に搬送する。そして、検出系支持部５１に設けられたギャップセンサ５４がマスクＭと基板Ｗとの間のギャップを測定しながら、マスク駆動部１２のＺ軸駆動機構３１を駆動してギャップ調整を行う。
【００３３】
さらに、一対のアライメントカメラ５３は、検出系支持部５１が待機位置ＷＰからマスク保持部１１の下面と対向する作動位置ＯＰに移動して、基板Ｗのブラックマトリックスなどの基準線と、マスクＭの基準線とを確認して位置調整を行う。この段階でマスクの位置調整を行う場合には、マスクトレー部３３を移動し、一旦マスクＭをマスクトレー部３３に載せて、調整後にマスク保持部１１に貼り付ける。
【００３４】
装置１を調整した後、各マスクＭの下方に搬送された基板Ｗに対して、照射部１４からの露光用光ＥＬが基板Ｗに近接するマスクＭを介して照射され、マスクＭのパターンＰ１（Ｐ２）を基板Ｗに塗布されたフォトレジストに露光転写する。
【００３５】
このとき、基板ＷとマスクＭとの位置誤差は、ラインカメラ７０が検出する基板Ｗの基準線及びマスクＭのマークの位置データに基づいて制御部１５から出力される指令信号によって、マスク駆動部１２のＹ軸駆動機構３２が作動して、マスク保持部１１（マスクＭ）の位置を微調整することで相対的なズレが補正（位置合わせ）される。
【００３６】
また、マスクＭの２つのパターンＰ１、Ｐ２のパターン切り換えは、各マスク保持部１１ａ，１１ｂに保持されるマスクＭを、一旦、マスクチェンジャー２で回収した後、マスクローダー５によってマスクＭを１８０°回転させて載置部３７に載置し、マスク保持部１１に保持し直すことにより可能である。
【００３７】
以上説明したように、本実施形態のスキャン露光装置１によれば、マスクチェンジャー２が、マスクトレー部３３に載置されるマスクＭを、Ｘ方向及びθ方向に駆動可能なＸ方向駆動機構３５Ａ、３５Ｂを備えるので、マスクＭをマスク保持部１１に吸着保持するとき、駆動機構３５Ａ、３５Ｂによってマスクトレー部３３をＸ方向及びθ方向に駆動してマスクＭとマスク保持部１１とのアライメント調整を行うことができる。これにより、従来、それぞれのマスク保持部１１が有していた多数のＸ軸及びθ軸駆動機構を、マスクチェンジャー２に集約配置することができ、Ｘ軸及びθ軸駆動機構の数を大幅に削減して露光装置１の装置コストを抑制することができる。
【００３８】
また、駆動機構は、マスクトレー部３３の中間部に対してＹ方向に対称に配置される一対のＸ方向駆動機構３５Ａ、３５Ｂを備え、一対のＸ方向駆動機構３５Ａ、３５Ｂを同期駆動することでマスクＭをＸ方向に駆動し、相対的にＸ方向に駆動することでマスクＭをθ方向に駆動するようにしたので、簡単な機構により、マスク保持部１１へのマスクＭの保持に先だって、マスクＭとマスク保持部１１とのＸ方向及びθ方向のアライメント調整を行うことができる。
【００３９】
更に、マスク保持部１１をＹ方向に駆動するＹ軸駆動機構３２、及びＺ方向に駆動するＺ軸駆動機構３１を備えるので、ギャップ調整、及び基板Ｗの露光時にマスクＭと基板Ｗの位置ズレを補正することができ、高精度の露光が可能となる。
【００４０】
更に、マスクチェンジャー２に設けられた交換用アライメントカメラ３６が、マスクトレー部３３のマスクＭのアライメントマークＭａと、マスク保持部１１のアライメント用マーク６０とを確認しながら、マスクＭをマスク保持部１１に吸着保持するようにしたので、マスクＭをアライメント調整してマスク保持部１１に保持させることができる。
【００４１】
また、スキャン露光装置１は、一対のアライメントカメラ５３と一対のギャップセンサ５４を支持する検出系支持部５１と、該検出系支持部５１を複数のマスク保持部１１に沿ってＹ方向に案内する検出系駆動軸５２と、検出系支持部５１を検出系駆動軸５２に沿って駆動する検出系駆動機構と、を備えるので、アライメント調整やギャップ調整を行う場合、待機位置ＷＰで待機する一対のアライメントカメラ５３と一対のギャップセンサ５４を、調整を行う各マスク保持部１１の下面に対向する作動位置ＯＰに移動させて調整することができる。これにより、従来、それぞれのマスク保持部が有していたアライメントカメラとギャップセンサを、一ヶ所の検出系支持部５１に集約配置することができ、アライメントカメラ５３とギャップセンサ５４の数を大幅に削減して露光装置１の装置コストを抑制することができる。
また、検出系駆動機構は、ギャップセンサ５４を上下方向に駆動可能であるので、精度よくマスクＭと基板Ｗのギャップを検出することができる。
【００４２】
（第２実施形態）
図６は本発明の第２実施形態に係るマスクチェンジャーの一方のマスクトレー部拡大図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図である。
【００４３】
図５に示すように、第２実施形態のマスクチェンジャー２の各マスクトレー部３３に設けられたベース部３４のＹ方向中間部には、マスクＭが載置される載置部３７をＸ方向に駆動するＸ方向駆動機構３８が配設され、このＸ方向駆動機構３８上には、載置部３７を少なくとも１８０°回転可能な回転駆動機構３９が配設されている。
【００４４】
そして、マスクチェンジャー２により各マスク保持部１１の下方に対向させたマスクトレー部３３から、マスクＭをマスク保持部１１に吸着保持させる際、一対の交換用アライメントカメラ３６により、載置部３７に載置されたマスクＭのアライメントマークＭａと、マスク保持部１１のアライメント用マーク６０とを確認し、Ｘ方向駆動機構３８をＸ方向に駆動すると共に、回転駆動機構３９を回動させてマスクＭのＸ方向及びθ方向のアライメント調整を行う。
【００４５】
また、マスクＭの２つのパターンＰ１、Ｐ２のパターン切り換えは、各マスク保持部１１ａ，１１ｂに保持されるマスクＭを、一旦、載置部３７に載置した後、回転駆動機構３９で載置部３７を１８０°回転させて、マスク保持部１１に保持し直すことにより行われる。
【００４６】
以上説明したように、本実施形態のスキャン露光装置１によれば、駆動機構は、マスクトレー部３３の載置部３７をＸ方向に駆動するＸ方向駆動機構３８と、少なくとも１８０°回転可能な回転駆動機構３９とを備えるので、マスクＭのＸ方向及びθ方向のアライメント調整と共に、マスクＭを１８０°回転させてパターンの切り換えが可能となる。
その他の構成及び作用については、本発明の第１実施形態と同様である。
【００４７】
尚、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。
【００４８】
尚、第１実施形態のスキャン露光装置１は、Ｘ方向及びθ方向に駆動する駆動機構を有しないマスク駆動部としたが、検出系を支持する検出系支持部５１、検出系駆動軸５２、検出系駆動機構からなる構成は、マスク駆動部がＸ、Ｙ、Ｚ、及びθ軸駆動機構を備えるスキャン露光装置１に適用されてもよい。
【００４９】
また、本実施形態では、複数のマスク保持部１１が千鳥状に二列配置された場合を説明したが、本発明はいずれも、少なくとも一列で、Ｙ方向に複数のマスク保持部１１が配置されている構成であれば適用可能である。
【００５０】
さらに、本発明の露光装置を用いた露光方法は、本実施形態のスキャン露光であってもよいが、露光領域で一時的に基板を停止して露光した後、基板を所定距離だけ搬送する動作を繰り返すステップ露光であってもよい。
【符号の説明】
【００５１】
１        スキャン露光装置
２        マスクチェンジャー
１０      基板搬送機構
１１，１１ａ，１１ｂ    マスク保持部
１２      マスク駆動部
１４      照射部
３１      Ｚ軸駆動機構
３２      Ｙ軸駆動機構
３３      マスクトレー部
３５Ａ，３５Ｂ    Ｘ方向駆動機構(駆動機構)
３６      交換用アライメントカメラ
３７           載置部
３８      Ｘ方向駆動機構(駆動機構) 
３９      回転駆動機構
５１      検出系支持部
５２      検出系駆動軸
５３      アライメントカメラ
５４      ギャップセンサ
ＥＬ      露光用光
Ｍ        マスク
Ｐ１，Ｐ２      パターン
Ｗ        基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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