(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
横断面における外周が、長手方向の両端を湾曲させた扁平状をなす金属又は合金製のパイプと、
前記外周のうちの前記長手方向に対応する部分を当接させる内壁を有し、前記パイプを嵌合させる凹部が形成された金属又は合金製の基材と、
前記凹部に前記パイプを嵌合させた状態で、金属又は合金からなる粉末をガスと共に加速し、前記パイプ及び前記基材の表面に固相状態のままで吹き付けて前記粉末を堆積させることにより形成された堆積層と、
を備え、
前記基材の表面から前記パイプが突出する突出量ｈと前記両端における曲率半径Ｒとの比率ｈ／Ｒが０．２５以上０．５以下であることを特徴とするパイプ埋設構造体。
【請求項２】
前記横断面における前記凹部と前記パイプとのクリアランスは０ｍｍ以上０．０５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載のパイプ埋設構造体。
【請求項３】
前記パイプは、ＳＵＳ鋼、銅合金、ニッケル合金、タンタル、ニオブ、チタン、アルミニウム、又はアルミニウム合金からなることを特徴とする請求項１又は２に記載のパイプ埋設構造体。
【請求項４】
前記基材は、銅、銅合金、アルミニウム、又はアルミニウム合金からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のパイプ埋設構造体。
【請求項５】
前記粉末は、銅又はアルミニウムからなることを特徴とする請求項４に記載のパイプ埋設構造体。
【請求項６】
金属又は合金製の基材に対し、横断面における外周が長手方向の両端を湾曲させた扁平状をなす金属又は合金製のパイプのうち、前記外周のうちの前記長手方向に対応する部分を当接させる内壁を有する凹部を形成する基材形成工程と、
前記凹部に前記パイプを嵌合させ、金属又は合金からなる粉末をガスと共に加速し、前記パイプ及び前記基材の表面に固相状態のままで吹き付けて前記粉末を堆積させることにより堆積層を形成する堆積層形成工程と、
を含み、
前記基材形成工程は、前記基材の表面から前記パイプが突出する突出量ｈと前記両端における曲率半径Ｒとの比率ｈ／Ｒを０．２５以上０．５以下にすることを特徴とするパイプ埋設構造体の製造方法。
【請求項７】
前記基材形成工程は、前記パイプの横断面における前記凹部と前記パイプとのクリアランスを０ｍｍ以上０．０５ｍｍ以下にすることを特徴とする請求項６に記載のパイプ埋設構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷却ガスや冷却水等の温度調節媒体を流通させるパイプを金属部材に埋設させたパイプ埋設構造体及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
金属部材の内部に流体を流通させるパイプを埋設させた構造体（以下、パイプ埋設構造体という）は、半導体や液晶表示装置や光ディスクといった製品の製造プロセス等において様々な用途に用いられている。例えば、パイプに熱媒体（冷媒）を流通させたパイプ埋設構造体は、基板の温度を調節（冷却又は加熱）する温度調節装置（コールドプレート等）として用いられる（例えば、特許文献１参照）。また、流路に所定の成分を含むガスを流通させたパイプ埋設構造体は、基板にガスを供給するシャワープレートとして用いられることもある。
【０００３】
このようなパイプ埋設構造体は、従来、流体を流通させるパイプと、掘削加工等によりパイプに対応する形状の凹部を形成した金属部材とを別々に作製し、パイプを金属部材の凹部に嵌め込むことにより製造されていた。
【０００４】
また、近年では、金属の粉末を固相状態のまま基材に吹き付け、基材に金属を堆積させることにより構造物を形成する所謂コールドスプレー法により、パイプを金属部材に埋設させる技術も提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１３４９７号公報
【特許文献２】特開２０１１−２３８７０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
パイプ埋設構造体においては、パイプと金属部材との間に隙間が存在すると、熱抵抗が大きくなって、パイプ内を流通する流体と金属部材との間の熱伝導性や均熱性が低下してしまう。また、両者の隙間に異物が混入したり、隙間により凹部の中でパイプがガタついてしまうおそれもある。しかしながら、金属部材に設けた凹部に単にパイプを嵌め込むだけの方法では、凹部の内壁とパイプの外壁との間に隙間が生じないように、両者を密着させて接合することは困難であった。
【０００７】
この点について、コールドスプレー法によれば、パイプの周囲に緻密な金属皮膜を堆積させることができるので、熱伝導性に優れた構造体を作製することができる。しかしながら、この場合であっても、パイプの形状や、パイプ及び基材に対して金属の粉末を吹き付ける角度等の条件によっては、パイプの周囲に局所的な隙間が生じるなどして、パイプに対する金属皮膜の密着性が低下してしまうことも考えられる。
【０００８】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、流路をなすパイプと金属部材との間の密着性を向上させたパイプ埋設構造体及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るパイプ埋設構造体は、横断面における外周が、長手方向の両端を湾曲させた扁平状をなす金属又は合金製のパイプと、前記外周のうちの前記長手方向に対応する部分を当接させる内壁を有し、前記パイプを嵌合させる凹部が形成された金属又は合金製の基材と、前記凹部に前記パイプを嵌合させた状態で、金属又は合金からなる粉末をガスと共に加速し、前記パイプ及び前記基材の表面に固相状態のままで吹き付けて前記粉末を堆積させることにより形成された堆積層と、を備え、前記基材の表面から前記パイプが突出する突出量ｈと前記両端における曲率半径Ｒとの比率ｈ／Ｒが０．２５以上０．５以下であることを特徴とする。
【００１０】
上記パイプ埋設構造体において、前記横断面における前記凹部と前記パイプとのクリアランスは０ｍｍ以上０．０５ｍｍ以下であることを特徴とする。
【００１１】
上記パイプ埋設構造体において、前記パイプは、ＳＵＳ鋼、銅合金、ニッケル合金、タンタル、ニオブ、チタン、アルミニウム、又はアルミニウム合金からなることを特徴とする。
【００１２】
上記パイプ埋設構造体において、前記基材は、銅、銅合金、アルミニウム、又はアルミニウム合金からなることを特徴とする。
【００１３】
上記パイプ埋設構造体において、前記粉末は、銅又はアルミニウムからなることを特徴とする。
【００１４】
本発明に係るパイプ埋設構造体の製造方法は、金属又は合金製の基材に対し、横断面における外周が長手方向の両端を湾曲させた扁平状をなす金属又は合金製のパイプのうち、前記外周のうちの前記長手方向に対応する部分を当接させる内壁を有する凹部を形成する基材形成工程と、前記凹部に前記パイプを嵌合させ、金属又は合金からなる粉末をガスと共に加速し、前記パイプ及び前記基材の表面に固相状態のままで吹き付けて前記粉末を堆積させることにより堆積層を形成する堆積層形成工程と、を含み、前記基材形成工程は、前記基材の表面から前記パイプが突出する突出量ｈと前記両端における曲率半径Ｒとの比率ｈ／Ｒを０．２５以上０．５以下にすることを特徴とする。
【００１５】
上記パイプ埋設構造体の製造方法において、前記基材形成工程は、前記パイプの横断面における前記凹部と前記パイプとのクリアランスを０ｍｍ以上０．０５ｍｍ以下にすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、流路をなすパイプの基材からの突出量ｈとパイプの外周の曲率半径Ｒとの比率ｈ／Ｒが０．２５以上０．５以下となるような凹部を基材に形成し、該凹部にパイプを嵌合させて所謂コールドスプレー法によりパイプ及び基材の表面に堆積層を形成するので、基材から突出するパイプの周囲に緻密な堆積層を形成することができ、パイプと金属部材との間の密着性を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係るパイプ埋設構造体の構造を示す断面図である。
【図２】図２は、図１に示すパイプ埋設構造体の製造方法を示すフローチャートである。
【図３Ａ】図３Ａは、図２に示す工程Ｓ１を説明するための模式図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、図２に示す工程Ｓ２を説明するための模式図である。
【図３Ｃ】図３Ｃは、図２に示す工程Ｓ３を説明するための模式図である。
【図４】図４は、コールドスプレー装置の概要を示す模式図である。
【図５】図５は、実施例１における堆積層を示すＳＥＭ画像である。
【図６】図６は、実施例２における堆積層を示すＳＥＭ画像である。
【図７】図７は、比較例１における堆積層を示すＳＥＭ画像である。
【図８】図８は、比較例２における堆積層を示すＳＥＭ画像である。
【図９】図９は、実施例３における堆積層を示す光学写真である。
【図１０】図１０は、実施例４における堆積層を示す光学写真である。
【図１１】図１１は、比較例３における堆積層を示す光学写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の実施の形態により本発明が限定されるものではない。また、以下の説明において参照する各図は、本発明の内容を理解し得る程度に形状、大きさ、及び位置関係を概略的に示してあるに過ぎない。即ち、本発明は各図で例示された形状、大きさ、及び位置関係のみに限定されるものではない。
【００１９】
（実施の形態）
図１は、本発明の実施の形態に係るパイプ埋設構造体の構造を示す断面図である。図１に示すように、本実施の形態に係るパイプ埋設構造体１は、金属又は合金からなるパイプ１０と、該パイプ１０を嵌合させる凹部１１ａが形成された金属又は合金製の基材１１と、パイプ１０及び基材１１上に形成された金属又は合金の堆積層１２とを備える。このようなパイプ埋設構造体１は、パイプ１０内に所望の流体（液体又は気体）を流通させて、温度調節装置（例えばコールドプレート）や流体供給装置（例えばシャワープレート）等として用いられる。
【００２０】
パイプ１０の横断面における外周は、長手方向の端部１０ａ、１０ｂを湾曲させた扁平状をなしている。また、本実施の形態において、端部１０ａと端部１０ｂとに挟まれた長手方向の外周部１０ｃ、１０ｄは、直線状をなしている。なお、長手方向の外周部１０ｃ、１０ｄは必ずしも直線状である必要はない。例えば、長手方向の外周部１０ｃを端部１０ａ、１０ｂよりも曲率半径が大きくなるように湾曲させて、外周全体を楕円形状にしても良い。以下、横断面におけるパイプ１０の長手方向の幅をｗ1、短手方向の幅をｗ2とする。なお、パイプ１０の厚みは、材料や用途に応じて適宜決定される。
【００２１】
パイプ１０の長さ方向（流体を流通させる方向）の形状は特に限定されず、パイプ埋設構造体１の上方からみたパイプ１０の平面形状は直線状、うずまき状、蛇行形状等、様々な形状にすることができる。
【００２２】
パイプ１０の材料は、パイプ１０内に流通させる流体やパイプ埋設構造体１の用途に応じて選択される。例えば、腐食性を有する液体又は気体を流通させる場合には、ＳＵＳ鋼、銅合金、ニッケル合金、タンタル、ニオブ、又はチタン等の耐食性を有する金属又は合金が用いられる。また、冷却水として市水や海水を流通させる場合には、上述した材料のうち、ＳＵＳ鋼のように良好な熱伝導性を有する材料が用いられる。一方、ＰＣＷ（process  cooling  water）、有機溶剤、不活性ガス等を流通させる場合には、耐食性は必須ではなく、熱伝導性に優れたアルミニウム又はアルミニウム合金を用いることもできる。
【００２３】
基材１１は、例えば、銅、銅合金、アルミニウム、又はアルミニウム合金のように、良好な熱伝導性を有する金属又は合金により形成されたバルク材である。凹部１１ａは、基材１１の上面１１ｂを溝状に掘削することにより形成されている。なお、凹部１１ａの上面１１ｂにおける平面形状は、パイプ１０の平面形状に対応している。
【００２４】
凹部１１ａは、パイプ１０の外周の一部を当接させる内壁を有している。この凹部１１ａの内壁の横断面形状は、一方の長手方向の外周部１０ｃ及びその端部１０ａ、１０ｂに沿った形状をなしている。凹部１１ａの深さｄは、パイプ１０が上面１１ｂから突出する高さ（以下、突出量という）ｈ（ｈ＝ｗ2−ｄ）とパイプ１０の端部１０ａ、１０ｂにおける曲率半径Ｒとの比率ｈ／Ｒが０．２５以上０．５以下となるように規定されている。また、凹部１１ａの幅は、凹部１１ａの底面を基準とすると、曲率半径Ｒに対応する高さにおいて最大値ｗ3（ｗ3≒ｗ1）となり、そこから上部においては最大値ｗ3を維持したまま開口している。さらに、凹部１１ａとパイプ１０とのクリアランスｗ3−ｗ1は、０ｍｍ以上０．０５ｍｍ以下の範囲に収められている。
【００２５】
堆積層１２は、所謂コールドスプレー法により形成されている。ここで、コールドスプレー法とは、金属又は合金からなる粉末をガスと共に加速し、基体（本実施の形態においてはパイプ１０及び基材１１）の表面に固相状態のままで吹き付けて粉末を堆積させる皮膜形成法である。コールドスプレー法により形成された堆積層１２は、相変態がなく酸化も抑制されているため、高い熱伝導性を有する。また、基体や基体上に先に堆積した皮膜に衝突した際に、粉末と基体との間で塑性変形が生じてアンカー効果が得られると共に、互いの酸化皮膜が破壊されて新生面同士による金属結合が生じるので、基体との密着強度が強くなり、熱抵抗が抑制された皮膜を形成することができる。
このような堆積層１２は、例えば銅やアルミニウムのように、良好な熱伝導性を有する金属又は合金により形成されている。
【００２６】
次に、パイプ埋設構造体１の製造方法を説明する。図２は、パイプ埋設構造体１の製造方法を示すフローチャートである。また、図３Ａ〜図３Ｃは、パイプ埋設構造体１の製造方法を説明する模式図である。
【００２７】
まず、工程Ｓ１において、図３Ａに示すように、金属又は合金のバルク材１３の表面に、掘削加工により溝状の凹部１１ａを形成して、基材１１を作製する。
続く工程Ｓ２において、図３Ｂに示すように、凹部１１ａにパイプ１０を嵌合させる。
【００２８】
さらに、工程Ｓ３において、図３Ｃに示すように、コールドスプレー法により、パイプ１０及び基材１１の表面に堆積層１２を形成する。
【００２９】
図４は、工程Ｓ３において用いられるコールドスプレー装置の概要を示す模式図である。図４に示すように、コールドスプレー装置２０は、圧縮ガスを加熱するガス加熱器２１と、堆積層１２の材料の粉末（以下、単に粉末ともいう）２８を収容し、スプレーガン２３に供給する粉末供給装置２２と、加熱された圧縮ガス及びそこに供給された粉末２８を基体２７に噴射するガスノズル２４と、ガス加熱器２１及び粉末供給装置２２に対する圧縮ガスの供給量をそれぞれ調節するバルブ２５及び２６とを備える。
【００３０】
圧縮ガスとしては、ヘリウム、窒素、空気などが使用される。ガス加熱器２１に供給された圧縮ガスは、例えば５０℃以上であって、粉末２８の融点よりも低い範囲の温度に加熱された後、スプレーガン２３に供給される。圧縮ガスの加熱温度は、好ましくは３００〜９００℃である。一方、粉末供給装置２２に供給された圧縮ガスは、粉末供給装置２２内の粉末２８をスプレーガン２３に所定の吐出量となるように供給する。
【００３１】
加熱された圧縮ガスは末広形状をなすガスノズル２４により超音速流（約３４０ｍ／ｓ以上）にされる。この際の圧縮ガスのガス圧力は、１〜５ＭＰａ程度とすることが好ましい。圧縮ガスの圧力をこの程度に調整することにより、基体２７に対する粉末（皮膜）の密着強度の向上を図ることができるからである。より好ましくは、２〜４ＭＰａ程度の圧力で処理すると良い。スプレーガン２３に供給された粉末２８は、この圧縮ガスの超音速流の中への投入により加速され、固相状態のまま基体２７に高速で衝突して堆積する。なお、基体２７に向けて固相状態のまま衝突させて皮膜を形成できる装置であれば、図４に示すコールドスプレー装置２０に限定されるものではない。
【００３２】
このようなコールドスプレー装置２０において、基体２７として凹部１１ａにパイプ１０を嵌合させた基材１１を配置し、パイプ１０及び基材１１の表面に皮膜を形成する。この際、凹部１１ａの上端近傍のパイプ１０との間の領域１４にも粉末２８が入り込んで皮膜が形成される。
【００３３】
このようにして堆積層１２を所望の厚さまで形成することにより、図１に示すパイプ埋設構造体１が完成する。なお、図３Ｃに示すように、基材の上面１１ｂよりもパイプ１０の一部が盛り上がっているので、堆積層１２もパイプ１０の上部で盛り上がった形状となる。このため、堆積層１２を厚めに形成した後で不要な部分を切削等により除去して、表面を平坦にすると良い。
【００３４】
次に、パイプ１０の横断面と基材１１に設ける凹部１１ａとの関係について説明する。
コールドスプレー法においては、一般に、ガスノズル２４から一方向に向けて噴射した粉末２８を基体２７に衝突させることにより皮膜を形成する。このため、粉末２８の噴射方向に対して影になる部分には皮膜を形成することができない。また、粉末２８の噴射方向に対して皮膜の形成面が平行に近づくほど、皮膜の形成が困難になる。そこで、本願発明者らは、コールドスプレー法により堆積層１２を形成する際に、パイプ１０の側方、即ち、基材１１との境界近傍にも緻密で均質な堆積層１２を形成するための条件を求めるべく、鋭意実験を重ねた。
【００３５】
その結果、本願発明者らは、横断面の外周形状が扁平状のパイプ１０を埋設させたパイプ埋設構造体１を製造する場合に、以下の条件（１）及び（２）に適合する凹部１１ａを基材１１に設けることにより、パイプ１０及び基材１１に密着した緻密で均質な堆積層１２が形成可能となることを見出した。
（１）基材１１の表面からパイプ１０が突出する突出量ｈとパイプ１０の外周の曲率半径Ｒとの比率ｈ／Ｒを、０．２５以上０．５以下とする。
（２）凹部１１ａとパイプ１０とのクリアランスΔを、０ｍｍ以上０．０５ｍｍ以下とする。
【００３６】
本実施の形態によれば、上述した条件で規定される凹部を基材に形成し、該凹部にパイプを嵌合させてコールドスプレー法により堆積層を形成することにより、パイプ及び基材に密着した緻密で均質な堆積層をパイプの周囲に形成することが可能となる。従って、このように密着性を向上させたパイプ埋設構造体を温度調節装置やシャワープレートとして用いる場合には、良好な熱伝導性及び均熱性により、温度調節効率の向上を図ることが可能となる。なお、この場合、堆積層１２側を熱伝導面として使用すると良い。
【実施例】
【００３７】
以下、図５〜図１１を参照しながら、実施例及び比較例を説明する。
まず、実施例１、２及び比較例１、２を説明する。図５〜図８は、比率ｈ／Ｒを変化させて堆積層１２を形成した場合のパイプ１０、基材１１、及び堆積層１２を、パイプ１０の横断面と直交する方向から撮像したＳＥＭ画像である。なお、図５〜図８においては、パイプの外径の一部を破線で補足している。
【００３８】
実施例１、２及び比較例１、２においては、以下の材料及び条件で試料を作製した。
基材：５０ｍｍ×５０ｍｍ、厚さ１０ｍｍの銅合金板
パイプ：長手方向の幅ｗ1＝８．２ｍｍ、短手方向の幅ｗ2＝２．５ｍｍ、
外周の曲率半径Ｒ＝１．２５ｍｍの銅合金
堆積層の材料：平均粒径２６．１８μｍの銅粉末
基材に設けた凹部とパイプとのクリアランス：Δ＝０ｍｍ
【００３９】
（実施例１）
比率ｈ／Ｒを０．４０とした。その結果、図５に示すように、パイプ１０の側方にも十分な厚さの緻密で均質な堆積層１２を形成することができた。
【００４０】
（実施例２）
比率ｈ／Ｒを０．２８とした。その結果、図６に示すように、パイプ１０の側方にも十分な厚さの緻密で均質な堆積層１２を形成することができた。
【００４１】
（比較例１）
比率ｈ／Ｒを０．６０とした。この場合、図７に示すように、パイプ１０の側方に十分な堆積層１２を形成することができなかった。そのため、この隙間に堆積層１２を形成することができず、パイプ１０上に形成された堆積層１２と基材１１上に形成された堆積層１２とが分断されてしまった。
【００４２】
（比較例２）
比率ｈ／Ｒを０．２０とした。この場合、図８に示すように、パイプ１０の側方に十分な堆積層１２を形成することができなかった。これは、堆積層１２を形成すべき凹部１１ａの内壁部分、即ち、粉末２８（図３Ｃ参照）噴射方向に対して平行な部分の深さが実施例１、２と比べて深すぎたためと考えられる。このため、パイプ１０上に形成された堆積層１２と基板１１上に形成された堆積層１２との間に割れが生じてしまった。
【００４３】
次に、実施例３、４、及び比較例３を説明する。図９〜図１１は、凹部１１ａとパイプ１０とのクリアランスΔを変化させた場合の堆積層１２を示す光学写真である。これらの光学写真は、パイプ１０上に堆積層１２を十分に（パイプ１０の上端面から１ｍｍを越える高さまで）形成した後、該堆積層１２をフライス加工により、パイプ１０の上端面から１ｍｍの高さで切削し、さらに研磨した研磨面を上面側から撮像したものである。
【００４４】
実施例３、４、及び比較例３においては、以下の材料及び条件で試料を作製した。
基材：４０ｍｍ×４０ｍｍ、厚さ１０ｍｍの銅合金板
パイプ：長手方向の幅ｗ1＝８．２ｍｍ、短手方向の幅ｗ2＝２．５ｍｍ、
外周の曲率半径Ｒ＝１．２５ｍｍの銅合金
堆積層の材料：平均粒径２６．１８μｍの銅粉末
比率ｈ／Ｒ＝０．４
【００４５】
（実施例３）
クリアランスΔを０ｍｍとした。その結果、図９に示すように、パイプ１０上の領域と基材１１上の領域とで滑らかに連続する緻密で均質な堆積層１２を形成することができた。
【００４６】
（実施例４）
クリアランスΔを０．０５ｍｍとした。その結果、図１０に示すように、パイプ１０上の領域と基材１１上の領域との間に面の境界線が若干観察されるものの、両領域間で連続する緻密で均質な堆積層１２を形成することができた。
【００４７】
（比較例３）
クリアランスΔを０．１０ｍｍとした。この場合、図１１に示すように、パイプ１０上の領域と基材１１上の領域との間に割れが観察された。
【符号の説明】
【００４８】
１  パイプ埋設構造体
１０  パイプ
１０ａ、１０ｂ  端部
１０ｃ、１０ｄ  長手方向の外周部
１１  基材
１１ａ  凹部
１１ｂ  上面
１２  堆積層
１３  バルク材
１３  堆積層
１４  領域
２０  コールドスプレー装置
２１  ガス加熱器
２２  粉末供給装置
２３  スプレーガン
２４  ガスノズル
２５、２６  バルブ
２７  基体
２８  粉末
【要約】
【課題】流路をなすパイプと金属部材との間の密着性を向上させたパイプ埋設構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】パイプ埋設構造体１は、横断面における外周が長手方向の両端を湾曲させた扁平状をなす金属又は合金製のパイプ１０と、長手方向に対応する外周部１０ｃを当接させる内壁を有し、パイプ１０を嵌合させる凹部１１ａが形成された金属又は合金製の基材１１と、凹部１１ａにパイプ１０を嵌合させた状態で、金属又は合金からなる粉末をガスと共に加速し、パイプ１０及び基材１１の表面に固相状態のままで吹き付けて粉末を堆積させることにより形成された堆積層１２とを備え、基材１１の表面からパイプ１０が突出する突出量ｈと端部１０ａ、１０ｂにおける曲率Ｒとの比率ｈ／Ｒが０．２５以上０．５以下であることを特徴とする。
【選択図】図１【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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