(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨液組成物を用いて被研磨基板を研磨する工程を含む、基板の製造方法であって、
前記研磨液組成物は、ＨＬＢ値が６以上であるポリエーテル変性シリコーン、研磨材、及び酸を含み、ｐＨが１以上４以下である研磨液組成物であり、
前記基板が、ハードディスク用基板である、基板の製造方法。
【請求項２】
前記研磨液組成物は、さらに酸化剤を含む、請求項１記載の基板の製造方法。
【請求項３】
前記研磨材が、アルミナである、請求項１又は２に記載の基板の製造方法。
【請求項４】
ＨＬＢ値が６以上であるポリエーテル変性シリコーン、研磨材、及び酸を含み、ｐＨが１以上４以下（但し、ｐＨ２以上を除く）である、ハードディスク基板用研磨液組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨液組成物及びそれを用いた基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピューターの急速な普及やデジタル放送等の開始等に伴い、ハードディスクドライブの記録容量の増大が望まれている。この記録容量の増大を実現するために、例えば、ハードディスクドライブに使用されるメモリーハードディスクの研磨工程において、ロールオフ（端面ダレ）の発生を抑制し、記録面積を増大させる方法が行われている。ロールオフを抑制する研磨液組成物として、ポリオキシエチレンのモノマー化合物と酸とを含む研磨液組成物（特許文献１）や、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル等のモノマー化合物を含む研磨液組成物（特許文献２）が提案されている。
【０００３】
しかしながら、情報化社会の拡大に伴い、記録容量のより一層の増大が要求されているため、従来の研磨液組成物による抑制効果では十分ではなく、さらにロールオフを抑制可能な研磨液組成物が求められている。
【特許文献１】特開２００２−１６７５７５号公報
【特許文献２】特開２００３−１６０７８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、ロールオフを抑制する研磨液組成物及びそれを用いた基板の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、ＨＬＢ値が６以上であるポリエーテル変性シリコーンと研磨材と酸とを含む研磨液組成物に関する。本発明はまた、前記研磨液組成物を用いて基板を研磨する工程を含む基板の製造方法に関する。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、基板の研磨工程におけるロールオフを抑制可能な研磨液組成物及びそれを用いた基板の製造方法を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
（本発明の研磨液組成物）
本発明者らは、ロールオフが生じる原因が、基板の研磨時における研磨パッドの変形にあることを見出した。具体的には、まず、基板を研磨する際に研磨荷重を負荷することにより研磨パッドが変形する。すると、この変形により基板の端部に局所的に高い圧力が働くため、前記基板の端部が余分に研磨される。その結果、ロールオフが生じていると推測される。本発明者らは、基板の端部に局所的に働く圧力を低減させる研究を重ねた結果、研磨パッドと研磨材との摩擦力を低下させることにより基板の端部に局所的に働く圧力を低減できるとの知見に想到した。つまり、本発明の研磨液組成物は、研磨パッドと研磨材との摩擦力を従来の研磨液組成物と比較して低くすることができ、研磨パッドの変形部分に保持される研磨材の量がその他の部分と比較して少なくなり、その結果、基板の端部が余分に研磨されることなく、ロールオフが抑制されるものと推測される。ただし、これらの推測は、本発明を限定するものではない。本発明によれば、基板の研磨工程におけるロールオフを抑制可能な研磨液組成物及びそれを用いた基板の製造方法を提供できる。
【０００８】
［ポリエーテル変性シリコーン］
本発明の研磨液組成物は、ロールオフ抑制剤として、ポリエーテル変性シリコーンを含む。前記ポリエーテル変性シリコーンは、ポリシロキサンの側鎖の一部にポリオキシアルキレン基が導入された側鎖型であっても、ポリシロキサンの両方の末端にポリオキシアルキレン基が導入された両末端型であってもよい。あるいは、ポリシロキサンのいずれか片方の末端にポリオキシアルキレン基が導入された片末端型であっての、ポリシロキサンの側鎖の一部と両方の末端にポリオキシアルキレン基が導入された側鎖両末端型であってもよい。中でも、ポリエーテル変性シリコーンの分散性上の観点から、側鎖型が好ましい。
【０００９】
前記ポリエーテル変性シリコーンの具体例としては、両末端型ポリエーテル変性シリコーン（商品名Ｘ−２２−４９５２、Ｘ−２２−４２７２、Ｘ−２２−６２６６、信越化学工業（株）製）、側鎖型ポリエーテル変性シリコーン（商品名ＫＦ−３５１Ａ、ＫＦ−３５２Ａ、ＫＦ−３５３、ＫＦ−３５４Ｌ、ＫＦ−３５５Ａ、ＫＦ−６１５Ａ、ＫＦ−６４０、ＫＦ−６４２、ＫＦ−６４３、ＫＦ−６０１１、ＫＦ−６０１２、信越化学工業（株）製、商品名ＳＨ３７７１Ｍ、ＳＨ３７７２Ｍ、ＳＨ３７７３Ｍ、ＳＨ３７４９、ＳＳ−２８０１、ＳＳ−２８０２、ＳＳ−２８０４、東レ・ダウコーニング（株）製）等が挙げられる。これらのポリエーテル変性シリコーンは、単独で使用してもよいし、二種類以上を混合して使用してもよい。
【００１０】
研磨液組成物に含まれるポリエーテル変性シリコーンのＨＬＢ(Hydrophilic-Lipophilic Balance)の値は、ロールオフの抑制及び研磨液組成物の泡立ち性の抑制、並びにポリエーテル変性シリコーンの分散性向上の観点から、６以上であり、好ましくは７以上、より好ましくは１０以上である。また、ロールオフをさらに抑制できるため、前記ポリエーテル変性シリコーンのＨＬＢ値は、２０以下、好ましくは１５以下、より好ましくは１３以下である。したがって前記ポリエーテル変性シリコーンのＨＬＢ値は、６〜２０、好ましくは７〜１５、より好ましくは１０〜１３である。
【００１１】
ＨＬＢ値が１０〜１３のポリエーテル変性シリコーンとしては、側鎖型ポリエーテル変性シリコーン（商品名ＫＦ−３５１Ａ、ＫＦ−３５３、ＫＦ−３５５Ａ、ＫＦ−６１５Ａ、ＫＦ−６４２、ＫＦ−６０１１、信越化学工業（株）製、商品名ＳＨ３７７１Ｍ、東レ・ダウコーニング（株）製）等が挙げられる。
【００１２】
ＨＬＢは乳化剤分子中の親水基と疎水基とのバランスを表す概念であり、その値は例えば次の方法により算出できる。
＜ＨＬＢ算出法＞
ＨＬＢが未知の乳化剤ＸとＨＬＢが既知の乳化剤Ａを様々な比率で混合して所要ＨＬＢが既知の油剤の乳化を行い、乳化層の厚みが最大となったときの混合比率から下記式（１）を用いて乳化剤ＸのＨＬＢを算出する。
【００１３】
【数１】
0005469809.tif 000002
上記式（１）において、ＷA：全乳化剤中の乳化剤Ａの重量分率、ＷX：全乳化剤中の乳化剤Ｘの重量分率、ＨＬＢA：乳化剤ＡのＨＬＢ、ＨＬＢX：乳化剤ＸのＨＬＢである。
【００１４】
本発明の研磨液組成物中の前記ポリエーテル変性シリコーンの含有量は、研磨液組成物の泡立ちを抑制できるため、３重量％以下が好ましく、より好ましくは２重量％以下、さらに好ましくは１重量％以下である。また、ロールオフを抑制できるため、前記ポリエーテル変性シリコーンの含有量は０．００１重量％以上が好ましく、より好ましくは０．００３重量％以上、さらに好ましくは０．００５重量％以上である。したがって、前記ポリエーテル変性シリコーンの含有量は、０．００１〜３重量％が好ましく、より好ましくは０．００３〜２重量％、さらに好ましくは０．００５〜１重量％である。
【００１５】
［研磨材］
本発明の研磨液組成物で使用する研磨材は、研磨用として一般的に使用されている研磨材が挙げられる。前記研磨材としては、金属又は半金属の炭化物、窒化物、酸化物及びホウ化物、並びに、ダイアモンド等が挙げられる。前記金属元素又は半金属元素は、長周期型周期律表における２Ａ、２Ｂ、３Ａ、３Ｂ、４Ａ、４Ｂ、５Ａ、６Ａ、７Ａ又は８Ａに属するものである。前記研磨材の具体例としては、α−アルミナ、中間アルミナ、アルミナゾル、炭化ケイ素、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化セリウム、酸化ジルコニウム、コロイダルシリカ及びヒュームドシリカ等が挙げられ、これらは単独で使用してもよいし、必要に応じて２種類以上を併用してもよい。Ｎｉ−Ｐメッキされたアルミニウム合金基板を粗研磨する場合は、α−アルミナと中間アルミナ（中でもθアルミナ）との組合せが、研磨速度をさらに向上し、表面欠陥防止及び表面粗さをさらに低減できるため好ましい。また、ガラス材質の基板を研磨する場合は、酸化セリウム、アルミナ及びシリカが好ましい。
【００１６】
前記研磨材の平均一次粒子径は、ロールオフをさらに抑制できるため、０．０１〜３μｍが好ましく、より好ましくは０．０２〜３μｍ、さらに好ましくは０．０３〜３μｍである。また、一次粒子が凝集して二次粒子を形成している場合は、研磨速度をさらに向上でき、また、ロールオフをさらに抑制できるため、その平均二次粒子径は、０．０２〜３μｍが好ましく、より好ましくは０．０５〜３μｍ、さらに好ましくは０．１〜３μｍである。前記平均一次粒子径は、走査型電子顕微鏡により撮影した研磨材の拡大写真（３０００〜３００００倍が好ましい）や、透過型電子顕微鏡により撮影した研磨材の拡大写真（１００００〜３００００倍が好ましい）を画像解析して求めることができる。前記平均二次粒子径は、レーザー光回折法を用いて体積平均粒子径として求めることができる。
【００１７】
前記研磨材の比重は、研磨液組成物における研磨材の分散性をさらに向上し、また、研磨装置への供給及び研磨液組成物の回収がさらに容易になるため、２〜６が好ましく、より好ましくは２〜５、さらに好ましくは２〜４である。
【００１８】
本発明の研磨液組成物中の前記研磨材の含有量は、研磨速度がさらに向上し、基板表面のうねりをさらに低減できるため、０．０５重量％以上が好ましく、より好ましくは０．１重量％以上、さらに好ましくは０．５重量％以上、特に好ましくは１重量％以上である。また、前記研磨材の含有量は、ロールオフをさらに抑制し、得られる基板表面の品質をさらに向上できるため、４０重量％以下が好ましく、より好ましくは３５重量％以下、さらに好ましくは３０重量％以下、特に好ましくは２５重量％以下である。したがって、前記研磨材の含有量は、０．０５〜４０重量％が好ましく、より好ましくは０．１〜３５重量％、さらに好ましくは０．５〜３０重量％、特に好ましくは１〜２５重量％である。
【００１９】
［酸］
本発明の研磨液組成物で使用する酸は、研磨用として一般的に使用されている酸が挙げられる。前記酸としては、無機酸及び有機酸の双方が使用できる。前記無機酸としては、硝酸、亜硝酸、硫酸、亜硫酸、アミド硫酸、リン酸、ポリリン酸及びホスホン酸等が挙げられる。前記有機酸としては、グリコール酸、シュウ酸、コハク酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、リンゴ酸、酒石酸、クエン酸、ホスホノヒドロキシ酢酸、ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸、ホスホノブタントリカルボン酸及びエチレンジアミンテトラメチレンホスホン酸等が挙げられる。これらの中でも、研磨速度のさらなる向上及びうねりのさらなる低減の観点から、硫酸、亜硫酸、アミド硫酸、リン酸、ポリリン酸、ホスホン酸、シュウ酸、コハク酸、イタコン酸、リンゴ酸、クエン酸、ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸及びエチレンジアミンテトラメチレンホスホン酸等が好ましく、より好ましくは硫酸、リン酸、ポリリン酸、イタコン酸及びクエン酸である。これらの酸は、単独で使用してもよいし、２種類以上を混合して使用してもよい。また、これらの酸は、一部又は全てが中和された塩の形態で研磨液組成物中に存在してもよい。
【００２０】
本発明の研磨液組成物中の酸の含有量は、研磨速度をさらに向上できるため、０．０５重量％以上が好ましく、より好ましくは０．０７５重量％以上、さらに好ましくは０．１重量％以上である。また、前記酸の含有量は、研磨装置の腐食をさらに抑制できるため、１０重量％以下が好ましく、より好ましくは７．５重量％以下、さらに好ましくは５重量％以下である。したがって、前記酸の含有量は、０．０５〜１０重量％が好ましく、より好ましくは０．０７５〜７．５重量％、さらに好ましくは０．１〜５重量％である。
【００２１】
［酸化剤］
本発明の研磨液組成物は、さらに酸化剤を含んでもよく、前記酸化剤としては、過酸化物、金属のペルオキソ酸又はその塩及び酸素酸又はその塩等が挙げられる。また、前記酸化剤は、その構造から無機系酸化剤と有機系酸化剤とに大別されるが、研磨速度をさらに向上でき、入手性及び水への溶解度等の取扱いがより容易になることから、無機系酸化剤が好ましい。前記無機系酸化剤としては、過酸化水素、アルカリ金属又はアルカリ土類金属の過酸化物、ペルオキソ炭酸塩、ペルオキソ硫酸又はその塩、ペルオキソリン酸又はその塩、ペルオキソホウ酸塩、ペルオキソクロム酸塩、過マンガン酸塩、ハロゲンを含む酸素酸塩及び無機酸金属塩等が挙げられる。前記アルカリ金属又はアルカリ土類金属の過酸化物としては、過酸化ナトリウム、過酸化カリウム、過酸化カルシウム、過酸化バリウム、過酸化マグネシウム等が挙げられ、前記ペルオキソ炭酸塩としては、ペルオキソ炭酸ナトリウム及びペルオキソ炭酸カリウム等が挙げられ、前記ペルオキソ硫酸又はその塩としては、ペルオキソ二硫酸アンモニウム、ペルオキソ二硫酸ナトリウム、ペルオキソ二硫酸カリウム及びペルオキソ一硫酸等が挙げられ、前記ペルオキソリン酸又はその塩としては、ペルオキソリン酸ナトリウム、ペルオキソリン酸カリウム及びペルオキソリン酸アンモニウム等が挙げられ、前記ペルオキソホウ酸塩としては、ペルオキソホウ酸ナトリウム及びペルオキソホウ酸カリウム等が挙げられ、前記ペルオキソクロム酸塩としては、ペルオキソクロム酸ナトリウム及びペルオキソクロム酸カリウム等が挙げられる。前記過マンガン酸塩としては、過マンガン酸ナトリウム及び過マンガン酸カリウム等が挙げられ、前記ハロゲンを含む酸素酸塩としては、過塩素酸ナトリウム、過塩素酸カリウム、次亜塩素酸ナトリウム、過沃素酸ナトリウム、過沃素酸カリウム、沃素酸ナトリウム及び沃素酸カリウム等が挙げられ、前記無機酸金属塩としては、塩化鉄（ＩＩＩ）及び硫酸鉄（ＩＩＩ）等が挙げられる。一方、前記有機系酸化剤としては、過カルボン酸類、パーオキサイト及
び有機酸鉄（ＩＩＩ）塩等が挙げられる。前記過カルボン酸類としては、過酢酸、過蟻酸及び過安息香酸等が挙げられ、前記パーオキサイトとしては、ｔ−ブチルパーオキサイト及びクメンパーオキサイト等が挙げられ、前記有機酸鉄（ＩＩＩ）塩としては、クエン酸鉄（ＩＩＩ）等が挙げられる。これらの中でも、過酸化水素、ペルオキソホウ酸ナトリウム、沃素酸ナトリウム及び沃素酸カリウムが好ましい。これらの酸化剤は、単独で使用してもよいし、２種類以上を混合して使用してもよい。
【００２２】
本発明の研磨液組成物中における前記酸化剤の含有量は、研磨速度をさらに向上でき、また、うねり及び基板の汚れをより低減できるため、０．００２重量％以上が好ましく、より好ましくは０．００５重量％以上、さらに好ましくは０．００７重量％以上、特に好ましくは０．０１重量％以上である。また、前記酸化剤の含有量は、ロールオフをさらに抑制し、得られる基板表面の品質をさらに向上できるため、２０重量％以下が好ましく、より好ましくは１５重量％以下、さらに好ましくは１０重量％以下、特に好ましくは５重量％以下である。したがって、前記酸化剤の含有量は、０．００２〜２０重量％が好ましく、より好ましくは０．００５〜１５重量％、さらに好ましくは０．００７〜１０重量％、特に好ましくは０．０１〜５重量％である。
【００２３】
［媒体］
本発明の研磨液組成物で使用する媒体としては、水が使用でき、前記水としては、蒸留水、イオン交換水、純水及び超純水等が挙げられる。本発明の研磨液組成物中の媒体の含有量は、研磨液組成物の取扱いがさらに容易になるため、５５重量％以上が好ましく、より好ましくは７５重量％以上、さらに好ましくは８５重量％以上、特に好ましくは９０重量％以上である。また、前記媒体の含有量は、研磨速度をさらに向上でき、また、ロールオフをさらに抑制できるため、９９．８重量％以下が好ましく、より好ましくは９９．３重量％以下、さらに好ましくは９８．８重量％以下である。したがって、前記媒体の含有量は、５５〜９９．８重量％が好ましく、より好ましくは７５〜９９．３重量％、さらに好ましくは８５〜９８．８重量％、特に好ましくは９０〜９８．８重量％である。
【００２４】
本発明の研磨液組成物のｐＨは、研磨する基板の材質等に応じて適宜決定できるが、被研磨基板の洗浄がさらに容易になり、また、加工機械の腐食をさらに防止し、作業者がより安全に作業できるため、１以上が好ましく、より好ましくは１．２以上、さらに好ましくは１．４以上である。また、一般に酸化剤は酸性のほうが安定である場合が多いことから、１２以下が好ましく、より好ましくは１１以下、さらに好ましくは１０以下である。したがって、研磨液組成物のｐＨは、１〜１２が好ましく、より好ましくは１．２〜１１、さらに好ましくは１．４〜１０である。また、被研磨基板が金属材料である場合は、研磨速度向上の観点から、ｐＨは、７未満が好ましく、より好ましくは６以下、さらに好ましくは５以下、特に好ましくは４以下である。
【００２５】
本発明の研磨液組成物は、さらに、殺菌剤、抗菌剤、増粘剤、分散剤、防錆剤、塩基性物質及びｐＨ調整剤等を含んでもよい。これらの成分の研磨液組成物中の含有量は、研磨特性の観点から、１０重量％以下が好ましく、より好ましくは８重量％以下、さらに好ましくは６重量％以下である。
【００２６】
本発明の研磨液組成物は、基板の製造方法におけるあらゆる研磨工程に使用できるが、中でも基板の製造方法における粗研磨工程での使用に適している。
【００２７】
（研磨液組成物の調製方法）
本発明の研磨液組成物の調製方法は、何ら制限されず、例えば、前記ポリエーテル変性シリコーン、前記研磨材、及び前記酸を適当な水系媒体に混合することによって調製できる。前記研磨材の分散は、特に制限されず、ホモミキサー、ホモジナイザー、超音波分散機及び湿式ボールミル等の撹拌機等を用いて行うことができる。
【００２８】
研磨液組成物のｐＨは、前記成分を混合後、所定のｐＨに調整してもよいし、混合前にそれぞれ調整していてもよい。前記ｐＨの調整は、ｐＨ調整剤により行うことができる。
【００２９】
（本発明の基板の製造方法）
本発明の基板の製造方法は、本発明の研磨液組成物を用いて被研磨基板を研磨する工程を含む基板の製造方法である。前記本発明の研磨液組成物を用いた研磨工程を含むため、本発明の基板の製造方法によれば、ロールオフが抑制された基板を製造できる。なお、本発明の研磨液組成物を用いて被研磨基板を研磨する工程を含むことが特徴であり、それ以外の条件及び工程等については何ら制限されない。本発明の基板の製造方法の一態様としては、ハードディスク基板の製造方法が挙げられる。
【００３０】
研磨工程は、被研磨基板の研磨面に本発明の研磨液組成物を供給し、前記研磨面に研磨パッドを接触させ、所定の圧力（荷重）をかけながら、研磨パッドや被研磨基板を動かすこと等によって行うことができる。なお、前記研磨は、従来公知の研磨装置により行うことができる。
【００３１】
前記研磨液組成物は、そのまま使用してもよいし、濃縮液であれば希釈して使用すればよい。前記濃縮液を希釈する場合、その希釈倍率は、特に制限されず、前記濃縮液における各成分の濃度（研磨材の含有量等）や研磨条件等に応じて適宜決定できる。
【００３２】
前記研磨パッドは、特に制限されず、従来公知のものが使用できる。研磨パッドの材質としては、有機高分子等が挙げられ、前記有機高分子としては、ポリウレタン等が挙げられる。前記研磨パッドの形状は、不織布状が好ましい。
【００３３】
研磨荷重は、研磨時に被研磨基板の研磨面に加えられる定盤の圧力を意味する。本発明の製造方法における研磨荷重は、ロールオフをさらに抑制できるため、好ましくは５０ｋＰａ以下、より好ましくは４０ｋＰａ以下、さらに好ましくは３０ｋＰａ以下である。また、前記研磨荷重は、生産性をさらに向上できるため、好ましくは３ｋＰａ以上、より好ましくは５ｋＰａ以上、さらに好ましくは７ｋＰａ以上である。したがって、前記研磨荷重は、３〜５０ｋＰａが好ましく、より好ましくは５〜４０ｋＰａ、さらに好ましくは７〜３０ｋＰａである。前記研磨荷重の調整は、定盤や基板等への空気圧や重りの負荷によって行うことができる。
【００３４】
研磨液組成物の供給速度は、低コストの面から、被研磨基板１ｃｍ2あたり０．２５ｍＬ／分以下が好ましく、より好ましくは０．２ｍＬ／分以下であり、さらに好ましくは０．１５ｍＬ／分以下である。また、前記供給速度は、研磨速度をさらに向上できることから、被研磨基板１ｃｍ2あたり０．０１ｍＬ／分以上が好ましく、より好ましくは０．０２５ｍＬ／分以上、さらに好ましくは０．０５ｍＬ／分以上である。したがって、前記供給速度は、被研磨基板１ｃｍ2あたり０．０１〜０．２５ｍＬ／分が好ましく、より好ましくは０．０２５〜０．２ｍＬ／分、さらに好ましくは０．０５〜０．１５ｍＬ／分である。
【００３５】
前記被研磨基板は、特に制限されないが、記録媒体として使用される記録ディスク用の基板、例えば、ハードディスク用基板を製造するための被研磨基板が好ましい。ハードディスク用基板等のための被研磨基板の具体例としては、アルミニウム合金、ガラス、ガラス状カーボン等にＮｉ−Ｐメッキを施した基板等が挙げられ、また、前記Ｎｉ−Ｐメッキに代えて各種金属化合物をメッキや蒸着等により被覆した基板等であってもよい。
【００３６】
（半導体基板の研磨方法、半導体装置の製造方法）
本発明の研磨液組成物は、半導体基板の研磨に使用した場合でもロールオフの低減ができる。したがって、本発明はその一態様として、半導体基板の研磨方法に関する。前記半導体基板としては、例えば、シリコンウエハなどが挙げられ、その他、Ｓｉ、またはＧｅ等の元素半導体、ＧａＡｓ、ＩｎＰ、またはＣｄＳ等の化合物半導体、ＩｎＧａＡｓ、ＨｇＣｄＴｅ等の混晶半導体等を材料とした基板が挙げられる。
【００３７】
本発明の研磨液組成物は、また、半導体装置の製造過程で行われる研磨工程に適用することもできる。前記研磨工程としては、化学的機械的研磨（ＣＭＰ）を含む。したがって、本発明はその他の態様として、半導体装置の製造方法に関する。前記半導体装置の製造方法は、半導体基板上の一方の主面がわに薄膜を形成する薄膜形成工程と、薄膜の半導体基板がわの面の反対面に凹凸パターンを形成する凹凸面形成工程と、凹凸面を、本実施形態の研磨液組成物を用いて研磨する研磨工程とを含むことができる。薄膜形成工程は必要に応じて複数回行ってもよい。
【００３８】
薄膜形成工程において形成される薄膜としては、例えば、絶縁層や、金属層、半導体層などの導体層などが挙げられる。上記絶縁層に含まれる材料としては、例えば、酸化ケイ素、窒化ケイ素、またはポリシリコン等が挙げられる。凹凸面の形成方法は、従来公知のリソグラフィー法等が挙げられる。リソグラフィー法では、フォトレジストの塗布、露光、現像、エッチングおよびフォトレジスト除去等がこの順に行われる。
【実施例】
【００３９】
実施例１〜３として、下記のようにポリエーテル変性シリコーンを用いて研磨液組成物を調製した。そして、調製した前記研磨液組成物を用いて被研磨基板を研磨し、研磨後の前記基板のロールオフを評価した。
【００４０】
１．研磨液組成物の調製
ポリエーテル変性シリコーン、αアルミナ粒子（平均二次粒子径０．３０μｍ）、θアルミナ粒子（平均二次粒子径０．２２μｍ）、硫酸（９８％品）、クエン酸、硫酸アンモニウム及び過酸化水素（３０重量％品、旭電化社製）を水と混合して実施例１〜３の研磨液組成物を調製した。前記研磨液組成物における前記ポリエーテル変性シリコーンの含有量は０．０２重量％であり、前記アルミナ粒子の含有量（αアルミナ粒子及びθアルミナ粒子の合計量）は３．８４重量％であり、ｐＨは、１．６とした。その他の成分の含有量は、硫酸０．６２重量％、クエン酸０．９７重量％、硫酸アンモニウム０．５２重量％及び過酸化水素０．５８重量％とした。
【００４１】
２．測定方法
（アルミナ粒子の平均二次粒子径の測定方法）
α及びθアルミナ粒子の平均二次粒子径は、レーザー光回折法を用いて体積平均粒子径により算出した。
【００４２】
３．研磨方法
調製した研磨液組成物を用いて、下記の研磨条件で前記基板を４分間研磨した（片面研磨量２．２μｍ）。
（被研磨基板）
被研磨基板は、Ｎｉ−Ｐメッキされたアルミニウム合金基板を用いた。なお、この被研磨基板は、厚み１．２７ｍｍ、直径９５ｍｍであった。
（研磨条件）
研磨試験機        ：両面研磨機（９Ｂ型両面研磨機、スピードファーム（株）製）
研磨パッド        ：厚み１．０４ｍｍ、平均開孔径４３μｍ（ＦＩＬＷＥＬ製）
定盤回転数        ：４５ｒｐｍ
研磨荷重          ：７．７ｋＰａ（設定値）
研磨液供給量      ：１００ｍＬ／ｍｉｎ（０．０７６ｍＬ）／（ｃｍ2・ｍｉｎ）
研磨時間          ：４分
投入した基板の枚数：１０枚
【００４３】
４．ロールオフの評価
研磨後の基板について、下記の条件で、０．５ｍｍロールオフ及び１．０−３．０Ｖａｌｌｅｙロールオフを測定した。得られた結果を、含有されるポリエーテル変性シリコーンとあわせて表１及び２に示す。なお、前記測定は、投入した基板１０枚のうち１枚を選択し、その１枚の基板において３点（任意）行い、その３点の平均値を測定結果とした。０．５ｍｍロールオフの値は、その値が大きければ大きいほど、基板の端部が盛り上がっていることを示し、ロールオフが抑制されたといえる。また、１．０−３．０Ｖａｌｌｅｙロールオフの値は、その値が小さければ小さいほど（絶対値の値が大きければ大きいほど）、基板の端部が盛り上がっていることを示し、ロールオフが抑制されたといえる。
（ロールオフの測定）
ロールオフの測定は、以下の０．５ｍｍロールオフ及び１．０−３．０Ｖａｌｌｅｙロールオフの２点について下記の測定条件で行った。
０．５ｍｍロールオフ
図１に示すように、基板最端部から３．０ｍｍ及び４．０ｍｍの基板表面をそれぞれＡ点及びＢ点とし、Ａ点とＢ点を結ぶ延長線を第１基準線とする。この第１基準線と、基板最端部から０．５ｍｍの基板表面Ｃ点との距離を測定し、最も短いものを０．５ｍｍロールオフ（ｎｍ）とした（以下、「０．５ｍｍ」ともいう）。
１．０−３．０Ｖａｌｌｅｙロールオフ
図２に示すように、基板最端部から１．０ｍｍ及び３．０ｍｍの基板表面をそれぞれＤ点及びＥ点とし、このＤ点とＥ点を結ぶ直線を第２基準線とする。この第２基準線から直角に基板表面までの距離を測定し、最も長いものを１．０−３．０Ｖａｌｌｅｙロールオフ（ｎｍ）とした（以下、「１．０−３．０Ｖａｌｌｅｙ」ともいう）。
（測定条件）
測定機器  ：商品名Ｎｅｗ  Ｖｉｅｗ  ５０３２（Ｚｙｇｏ社製）
レンズ    ：２．５倍
ズーム    ：０．５倍
解析ソフト：商品名Ｚｙｇｏ  Ｍｅｔｒｏ  Ｐｒｏ（Ｚｙｇｏ社製）
【００４４】
＜比較例１〜８＞
比較例１では、前記ポリエーテル変性シリコーンを用いない他は実施例１と同様にして研磨液組成物を調製した。比較例２〜７では、実施例１のポリエーテル変性シリコーンの代替成分として下記表１に示す成分を使用したこと以外は前記実施例と同様にして研磨液組成物を調製した。比較例８では、アンモニア水でｐＨを９に調整した以外は実施例３と同様にして研磨液組成物を調製した。そして、比較例１〜８の前記研磨液組成物を用いたこと以外は前記実施例と同様にして被研磨基板を研磨し、研磨後の前記基板のロールオフを評価した。得られた結果を下記表１に示す。なお、比較例２の側鎖型ポリエーテル変性シリコーンは溶媒の水に不溶であり、研磨液に配合することができなかった。
【００４５】
【表１】
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【００４６】
上記表１に示すとおり、実施例の研磨液組成物を用いて研磨した基板は、いずれも、比較例１〜８の研磨液組成物を用いて研磨した基板と比較して、０．５ｍｍロールオフの値が大きく、かつ、１．０−３．０Ｖａｌｌｅｙロールオフの値が小さかった（絶対値が大きかった）。すなわち、実施例の研磨液組成物の使用により、ロールオフが抑制できたといえる。
【００４７】
以上の結果から、ポリエーテル変性シリコーンを含む本発明の研磨液組成物によれば、ロールオフを抑制できることが示された。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明の研磨液組成物によれば、基板の研磨工程においてロールオフを抑制できる。したがって、本発明の研磨液組成物は、様々な基板の製造において有用であり、中でも、ハードディスク用基板の製造に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】図１は、本発明の実施例における（０．５ｍｍロールオフ）の測定を行った箇所を示す断面図である。
【図２】図２は、本発明の実施例における（１．０−３．０Ｖａｌｌｅｙロールオフ）の測定を行った箇所を示す断面図である。
【図１】
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【図２】
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