(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズ調整機構および少なくとも一つのプローブ固定構造を備え、
前記レンズ調整機構は、ベースおよび少なくとも一つのレンズホルダーを有し、
前記ベースは、少なくとも一つの第一穿孔を有し、
前記レンズホルダーは、前記第一穿孔内に装着され、かつレンズの格納に用いる装着溝を有し、
前記プローブ固定構造は、前記ベースの表面に配置され、かつ基板および複数の固定モジュールを有し、
前記基板は、第二穿孔および複数の前記第二穿孔の周りに配置された溝部を有し、前記固定モジュールは、前記溝部に接続され、かつ固定ユニットおよび複数のプローブを有し、
前記固定ユニットは、前記溝部に接続され、
前記プローブは、前記溝部を通って前記固定ユニットに接続されることを特徴とする、
光学測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブ固定構造およびレンズ位置調整の技術に関し、詳しくは組み立て式プローブ固定構造と、プローブ固定構造およびレンズ調整機構を有する光学測定装置とに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップの品質を確保するために、半導体チップが完成する前に数回の測定工程を行わなければならない。それに対し、半導体チップ内部の精密な電子部品の間の電気的接続が確実であるか否か、機能が検品規格を満足させるか否かが測定項目の一つである。
【０００３】
一般的に半導体チップテストを行う際、テスターはプローブカード（ｐｒｏｂｅ  ｃａｒｄ）をチップなどの測定対象（ｄｅｖｉｃｅ  ｕｎｄｅｒ  ｔｅｓｔ，ＤＵＴ）に接触させ、信号伝送および電気信号分析を行うことによって測定対象のテスト結果を求める。
プローブカードは複数のサイズが精密なプローブを相互に配列することによって構成される。プローブはチップ上の特定の電気接点に対応するため、測定対象の対応する電気接点にプローブを接触させれば、テスターからの測定信号を確実に伝送することができる。同時にプローブカードおよびテスターの制御および分析プロセスによって測定対象の電気的特性を探る目的を達成することができる。
【０００４】
図１Ａおよび図１Ｂは従来のプローブカードを示す底面図および断面図である。従来のプローブカード１は、ガイド板１０と、ガイド板１０に配置された穿孔１１と、穿孔１１の周りに配置された複数のプローブ列１２、１３、１４を備える。
ガイド板１０は複数のプローブ列１２、１３、１４を有し、かつ面積が非常に小さい。プローブカード１を製作する際、第一プローブ列１２の配列作業とともに第二プローブ列１３および第三プローブ列１４の配列作業を同時に進めることはできないため、プローブカード１の製作効率を低下させてしまう。
一方、従来の技術は直接ガイド板１０にプローブを差し込むことである。製作工程の品質に問題がある時、または使用中のプローブの接触に異常がある時、問題があるプローブのみを別々に取り替えることができず、プローブとともにプローブカードを廃棄しなければならないため、プローブカードのコストが高く付く。
【０００５】
図１Ｃは従来のウェハ検査機構を示す模式図である。従来の技術において、ウェハ検査機構はベース６およびベース６に配置された複数の穿孔６１を有する。ベース６１はレンズホルダー７１の格納に用いられる。レンズホルダー７１は内部に陥没溝を有する。レンズ７２はねじ山７２１によって陥没溝に締め付けられる。
上述した従来の技術の抱えている未解決問題は次の通りである。一つはレンズを調整しにくいことである。検査過程において、明確な画像を取るにはレンズの焦点距離を調整する必要がある。それに対し、従来の技術はレンズの焦点距離を微調整する際、レンズ７２の表面とレンズホルダー７１との間のねじ山７２１によってレンズ７２の垂直方向の位置を変えるため、調整作業が複雑になるだけでなく、検査作業の効率に影響を与える。
一つはレンズホルダー７１の陥没溝の壁面に位置するねじ山とレンズ７２のねじ山との間に隙間があるため、レンズの位置を調整する際、誤差が生じ、結像効果に影響を与えることである。
【０００６】
上述した従来の技術の問題を解決するために、組み立て式のプローブ固定構造と、それおよびレンズ調整機構を備える光学測定装置が求められている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、プローブをモジュール化し、モジュール化したプローブとガイド板とを接続し、プローブとガイド板の組み合わせの柔軟性を高めることによってプローブカードの製作効率を向上させることが可能なだけでなく、問題があるプローブのみの交換を簡単に行い、メンテナンスの便をはかり、プローブカードのコストを削減することが可能なプローブ固定構造およびその光学測定装置を提供することを主な目的とする。
【０００８】
本発明は、レンズ調整機構が整い、かつ位置調整部に配置されたねじ山と、レンズホルダーの頂部に配置された少なくとも一つの調整溝と、調整治具とによってレンズホルダーの位置を調整し、レンズホルダー位置の調整方法を簡単化する光学測定装置を提供することをもう一つの目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の目的を達成するために、本発明によるプローブ固定構造は、基板および複数の固定モジュールを備える。基板は穿孔および複数の穿孔の周りに配置された溝部を有する。固定モジュールは溝部に繋がり、かつ固定ユニットおよび複数のプローブを有する。固定ユニットは溝部に繋がる。プローブは溝部を通って固定ユニットに接続される。
【００１０】
上述の目的を達成するために、本発明による光学測定装置は、レンズ調整機構および少なくとも一つのプローブ固定構造を備える。レンズ調整機構はベースおよび少なくとも一つのレンズホルダーを有する。ベースは少なくとも一つの第一穿孔を有する。レンズホルダーは第一穿孔内に装着され、かつ装着溝を有する。レンズは装着溝に格納される。プローブ固定構造はベースの表面に配置され、かつ基板および複数の固定モジュールを有する。
基板は第二穿孔および複数の第二穿孔の周りに配置された溝部を有する。固定モジュールは溝部に接続され、かつ固定ユニットおよび複数のプローブを有する。固定ユニットは溝部に接続される。プローブは溝部を通って固定ユニットに接続される。
【００１１】
一方、別の一実施形態において、複数の溝部は基板の溝部を通る。固定モジュールは溝部内に装着される。
【００１２】
一方、別の一実施形態において、プローブは延長部、アームおよび検知部を有する。延長部は溝部を通って固定ユニットの一側面に当接する。アームは延長部に連結され、延長部との間に第一角度を有し、固定ユニットとの間に樹脂を有する。検知部はアームに連結され、アームとの間に第二角度を有する。
【００１３】
一方、別の一実施形態において、複数の溝部は相互に繋がる。
【００１４】
一方、別の一実施形態において、複数の固定ユニットは一体に連結され、固定ユニット構造になる。
【００１５】
一方、別の一実施形態において、複数の溝部は基板の貫通溝を通る。一体になる固定ユニット構造は相互に繋がる複数の溝部を有する基板の表面に接続される。プローブは貫通溝を通る。
【００１６】
一方、別の一実施形態において、一体になる固定ユニット構造は口字型またはコ字型を呈する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１Ａ】従来の技術によるプローブカードを示す底面図である。
【図１Ｂ】従来の技術によるプローブカードを示す断面図である。
【図１Ｃ】従来のウェハ検査機構を示す模式図である。
【図２】本発明の一実施形態によるプローブ固定構造を示す斜視図である。
【図３Ａ】本発明一実施形態においての基板構造を示す斜視図である。
【図３Ｂ】本発明一実施形態においての別の基板構造を示す斜視図である。
【図４】図２に示したプローブ固定構造を示す断面図である。
【図５Ａ】本発明の一実施形態によるプローブ固定構造の固定モジュールを示す斜視図である。
【図５Ｂ】本発明の一実施形態によるプローブ固定構造の固定モジュールを示す断面図である。
【図６Ａ】本発明の一実施形態においての一体構造の固定ユニットを示す斜視図である。
【図６Ｂ】本発明の一実施形態においての別の一体構造の固定ユニットを示す斜視図である。
【図７】本発明の一実施形態による光学測定装置を示す斜視分解図である。
【図８Ａ】本発明の一実施形態においてのレンズ調整機構を示す斜視図である。
【図８Ｂ】本発明の一実施形態においての別のレンズ調整機構を示す斜視図である。
【図８Ｃ】本発明の一実施形態においての別のレンズ調整機構を示す斜視図である
【図９Ａ】本発明の一実施形態によるプローブ固定構造の配列状態を示す斜視図である。
【図９Ｂ】本発明の一実施形態による別のプローブ固定構造の配列状態を示す斜視図である。
【図１０】本発明の一実施形態においてのプローブの配置方法を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明によるプローブ固定構造およびその光学測定装置を図面に基づいて説明する。
【００１９】
（一実施形態）
図２は本発明の一実施形態によるプローブ固定構造を示す斜視図である。本実施形態において、プローブ固定構造２は、基板２０および複数の固定モジュール２１を備える。
図３Ａは基板２０の第１実施形態を示す斜視図である。基板２０は穿孔２００および複数の穿孔の周りに配置された溝部２０１を有する。溝部２０１は基板２０を貫通し、かつコ字型または口字型に配列される。
本実施形態において、溝部２０１はコ字型に近い形に配列される、即ち穿孔２００の三つ側に形成される。
図３Ｂに示すように、一方、別の一実施形態において、基板２０上のあらゆる溝部は基板２０を貫通するとは限らず、底面２０３と、底面２０３に形成された複数の第一貫通孔２０４とを有する。第一貫通孔２０４は基板２０を貫通する。基板２０はエンジニアリングプラスチック、ベークライトまたはセラミックスから構成される。
本実施形態において、基板２０はセラミックスプレートから構成される。図３Ａおよび図３Ｂに示すように、基板２０はさらにザグリ穴２０５を有する。ザグリ穴２０５は基板２０の四つの角に配置されるとは限らず、数および配置位置が基板２０の寸法および形によって決められてもよい。ザグリ穴２０５の役割は、ねじなどの締付ユニットでベースに基板２０を締め付ける際、締付ユニットを基板２０の表面に突出させないように孔に埋め込み、測定対象となるチップに傷を付けることを避けることである。一方、複数の第一貫通孔２０４は別の形として相互に繋がって単一の貫通溝になるように構成されてもよい。プローブは第一貫通孔２０４を通る。
【００２０】
本実施形態により提示された基板２０は図３Ｂに示したとおりである。図２に示すように、固定モジュール２１は溝部２０２に繋がるように溝部２０２内に装着され、かつ固定ユニット２１０および複数のプローブ２１１を有する。固定ユニット２１０は細長い柱状体を呈し、エンジニアリングプラスチック、ベークライトまたはセラミックスから構成される。本実施形態において、固定ユニット２１０はセラミックスから構成される。
図４は図２に示したプローブ固定構造を示す断面図である。固定モジュール２１と溝部２０２の接続方法は次の通りである。本実施形態において、プローブ２１１はエポキシ（ｅｐｏｘｙ）などの樹脂２２によって固定ユニット２１０に固着し、単一の固定モジュール２１になる。あらゆるプローブ２１１は湾曲し、延長部２１１０、アーム２１１１および検知部２１１２を有するＮ型プローブである。延長部２１１０は固定ユニット２１０の一側面に当接する。
本実施形態において、延長部２１１０は基板２０の表面に垂直である。アーム２１１１は延長部２１１０に連結され、延長部２１１０との間に第一角度θ１を有する。固定ユニット２１０にプローブ２１１を固着させる際、アーム２１１１と固定ユニット２１０の間を樹脂２２で接合すればよい。検知部２１１２はアーム２１１１に連結され、アーム２１１１との間に第二角度θ２を有する。第一角度θ１および第二角度θ２は大きさが特に制限されない。
需要に応じて第一角度θ１および第二角度θ２を所定の角度まで湾曲させることができる。複数のプローブ２１１のアーム２１１１の配列方法、即ちカンチレバー型プローブカード（ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ  ｐｒｏｂｅ  ｃａｒｄ，ＣＰＣ）の配列方法はまず一列のプローブ２１１を固定ユニット２１０に配置し、続いて次の一列のプローブ２１１を配置し、アーム２１１１を構成すると同時に固定ユニット２１０にプローブ２１１を積み重ねることである。
【００２１】
固定ユニット２１０とプローブ２１１の接触面は平面であるとは限らない。あらゆるプローブ２１１を固定ユニット２１０に簡単に配置するために、本実施形態は固定ユニット２１０の少なくとも一側面に湾曲したプローブ２１１に対応する陥没溝を配置することができる。
図４に示すように、固定モジュール２１は基板２０上の溝部２０２に嵌め込まれる。本実施形態は図３Ｂに示した基板２０を使用するため、あらゆるプローブ２１１の延長部２１１０は第一貫通孔２０４から基板２０を貫通する。第一貫通孔２０４によって基板２０を貫通した延長部２１１０をより安定させ、電気信号を誘導する後続工程の便をはかることができる。
一方、固定モジュール２１を基板２０に固着させる際、固定モジュール２１を溝部２０２に格納し、固定モジュール２１と溝部２０２との間の隙間に樹脂２２を充填すれば、固定モジュール２１と溝部２０２との接合効果を強化することができる。
一方、別の一実施形態は、プローブ２１１のアーム２１１１と基板２０との間の接合関係を樹脂２２ａによって強化する。
それに対し、別の一実施形態において、固定ユニット２１０は溝部２０２の内部でなく、溝部２０２の位置した基板２０の表面に連結される。このとき溝部２０２の開口部の幅は対応するプローブが通れるくらいで固定ユニット２１０の貫通溝の幅より小さい。固定ユニット２１０を基板２０に固定する際、エポキシを使用すればよい。
【００２２】
図５Ａは本発明の一実施形態によるプローブ固定構造の固定モジュールを示す斜視図である。図５Ｂは本発明の一実施形態によるプローブ固定構造の固定モジュールを示す断面図である。本実施形態の基本構造と図２に示したものと違いは、固定モジュール２１ａの固定ユニット２１０ａと図２に示した固定ユニット２１０とが異なることである。
本実施形態において、固定ユニット２１０ａは複数のプローブ２１１に対応する貫通孔２１０２を有する。あらゆるプローブ２１１の延長部２１１０は貫通孔２１０２を貫通する。図５Ｂに示すように、プローブ２１１を固定ユニット２１０ａに固定した後、樹脂２２、２２ａによってプローブ２１１を固定ユニット２１０ａに固着させることができる。樹脂の塗布位置は図に示した位置に限定されず、状況に応じて決めてもよい。
続いて固定モジュール２１ａの全体を基板２０の陥没溝に嵌め込む。基板２０の陥没溝は図３Ａに示した溝部２０１または図３Ｂに示した溝部２０２である。本実施形態は図３Ｂに示した溝部２０２を使用する。
続いて、固定モジュール２１ａの全体を溝部２０２に嵌め込んだ後、固定ジュール２１ａと基板２０との接合効果を強化する際、一実施形態に基づいて固定モジュール２１ａと基板２０の接合箇所に樹脂２２ｂを塗布すればよい。固定モジュール２１ａは本実施形態により提示された位置ではなく、基板２０上の樹脂の塗布位置に樹脂によって接合されるが、これに限らない。つまり、本発明は状況に応じて適切な接合箇所に樹脂を塗布し、接合関係を強化することができる。一方、プローブを貫通させるために、複数の貫通孔２１０２は状況に応じてそれぞれ独立の孔であっても、別の形として相互に繋がって単一の貫通溝になってもよい。
上述した実施形態により、本発明によるプローブ固定構造は基板と分離できる固定モジュールを有するため、プローブを配置してプローブ固定モジュールを構成する作業と、固定モジュールを基板に装着する作業とを別々に進行させ、組み立ての効率を向上させることができる。また単独でプローブの着脱を行い、プローブのメンテナンスを行うことができるため、プローブ固定構造全体を廃棄し、コストを増加させてしまうという問題を避けることができる。
一方、図２に示した固定モジュール２１の固定ユニット２１０および図５Ｂに示した固定モジュール２１ａの固定ユニット２１０ａは独立の細長い柱状構造である。それに対し、図６Ａおよび図６Ｂに示すように、別の一実施形態は複数の固定ユニット２１０を連結し、環状の一体構造、例えば口字型またはコ字型の一体構造を形成する。
図２に示した固定モジュール２１の固定ユニット２１０は、図６Ａに示したコ字型固定ユニット２１０ｂおよび図６Ｂに示した口字型固定ユニット２１０ｃを採用することができる。一方、別の一実施形態は図６Ａに示したコ字型固定ユニット２１０ｂおよび図６Ｂに示した口字型固定ユニット２１０ｃに貫通孔を配置する。貫通孔は図５Ａの固定モジュールの固定ユニットに対応できる。
【００２３】
図７は本発明の一実施形態による光学測定装置を示す斜視分解図である。図８Ａは  図７中のレンズ調整機構およびベースを示す斜視図である。光学測定装置３は、レンズ調整機構４およびプローブ固定構造２を備える。
レンズ調整機構４はベース４０、レンズホルダー４１および位置調整部４２を有する。ベース４０は第一穿孔４０１と、第一側面４０７に形成された第二装着溝４０６とを有する。第一穿孔４０１は第二装着溝４０６を貫通し、プローブ固定構造２の第二穿孔２００に対応する。第二装着溝４０６はプローブ固定構造２の配置に用いられ、底面に複数のねじ孔３０３および複数のスリット３０４を有する。
本実施形態において、ねじ孔３０３はそれぞれ第二装着溝４０６の四つの角に配置され、プローブ固定構造２の四つのザグリ穴２０５に対応する。スリット３０４は固定モジュール２１に対応し、かつ固定モジュール２１のプローブ２１１に対応する複数の穿孔３０５を有する。穿孔３０５はベース４０を貫通するため、あらゆるプローブ２１１の延長部２１１０とプローブカードの回路基板の表面のはんだパッドとを、穿孔３０５によって電気的に接続することができる。
【００２４】
ベース４０は、第一側面４０７に対応する第二側面４０８に形成された陥没溝４００と、陥没溝４００内に形成された第一穿孔４０１とを有する。第一穿孔４０１はベース４０全体を貫通する。陥没溝４００は本実施形態により提示された構造の一部であるが、必ずしも必要ではない。それに対し、別の一実施形態において、ベース４０は陥没溝４００が配置されず、ベース４０を貫通する第一穿孔４０１を有する。
本実施形態において、第一穿孔４０１は外回りにフランジ（ｆｌａｎｇｅ）構造部４０２を有する。レンズホルダー４１は柱状体を呈し、第一穿孔４０１内に装着され、かつ装着溝４１０を有する。レンズは装着溝４１０に格納される。本実施形態において、装着溝４１０は内部にレンズと噛み合うねじ山を有する。
【００２５】
位置調整部４２は、別々にレンズホルダー４１および第一穿孔４０１に接続されるため、第一穿孔４０１内においてレンズホルダー４１の位置調整を行うことができる。
本実施形態において、位置調整はＺ軸方向に移動する運動である。位置調整部４２は、第一ねじ山４２０と、第二ねじ山４２１と、二対の調整溝４２４ｃ、４２４ｄとを有する。二対の調整溝４２４ｃ、４２４ｄはレンズホルダー４１の表面に形成され、かつ装着溝４１０の開口部の外側に対称的に配置される。第一ねじ山４２０は第一穿孔４０１の内壁面に形成される。第二ねじ山４２１は第一ねじ山４２０と噛み合うようにレンズホルダー４１の表面に形成される。
本実施形態は第一ねじ山４２０と第二ねじ山４２１との噛み合わせを増強するか、第一ねじ山４２０と第二ねじ山４２１との間に樹脂、例えば脱落防止用樹脂を塗布し、ねじ山の間の隙間を低減することによって位置調整および移動の精度を向上させる。別の一実施形態は、エンジニアリングプラスチックまたは金属などの異なる材料でレンズホルダー４１およびベース４０を別々に製作することによってねじ山の噛み合わせを強化する。
本実施形態は、レンズホルダー４１ｃおよびベース４０を硬度の異なる材料で別々に製作することによってねじ山の噛み合わせを強化する。例えば、ベース４０の硬度はレンズホルダー４１の硬度より大きい。またはベース４０の硬度はレンズホルダー４１の硬度より小さい。特にベース４０の硬度がレンズホルダー４１の硬度より大きい場合は比較的好ましい。装着溝４１０は内壁面とレンズホルダー４１の外壁面との間の厚さＤが次の数式を満足させる。
【００２６】
[数１]
０．５ｍｍ≦Ｄ≦１．５ｍｍ
【００２７】
図７および図８に示した実施形態の操作方式は次の通りである。本実施形態は二対の調整溝４２４ｃ、４２４ｄを有するため、十字型の調整治具と二対の調整溝４２４ｃ、４２４ｄとを接続し、時計回りまたは逆時計回りに回せば、レンズホルダー４１をＺ軸方向に上または下に移動させることができる。
本実施形態は二対の調整溝４２４ｃ、４２４ｄを使用するが、これに限らず、実施形態の精神に基づいて一つまたは一対の調整溝を使用してもよい。調整溝が一つまたは一対である場合、一字型の調整治具と調整溝とを接続すれば、レンズホルダー４１を回転させることができる。一方、別の一実施形態はフランジ構造部４０２を削除し、フランジ構造部４０２の幅を低減するため、レンズ調整機構４の体積を縮小することができる。
【００２８】
図８Ｂはレンズ調整機構の別の実施形態を示す斜視図である。本実施形態において、レンズ調整機構４ｄはベース４０ｄ、レンズホルダー４１ｄおよび位置調整部４２ｄを有する。図８Ａとの違いは次の通りである。
本実施形態において、レンズホルダー４１ｄの表面は第一エリア４１６および第二エリア４１７に分割される。位置調整部４２ｄは複数のスリット４２８を有し、スリット４２８はレンズホルダー４１ｄの第一エリア４１６に位置する本体に配置される。レンズホルダー４１ｄは第一エリア４１６に複数のねじ山噛み合わせ調整部４１８を有し、ねじ山噛み合わせ調整部４１８は第一エリア４１６から外側へ広がって形成される。第一エリア４１６の第二ねじ山４２１の外径は上から漸減した。第二エリア４１７の第二ねじ山４２１の外径は上下の大きさが一致する。
【００２９】
図８Ｂに示した実施形態の操作方式は次の通りである。本実施形態は二対の調整溝４２４ｃ、４２４ｄを有する。その作動原理は図８Ａに基づいた実施形態と同じであるため、説明を省略する。
本実施形態において、レンズホルダー４１ｄの第二ねじ山４２１は第一４１６および第二エリア４１７に配置される。第一エリア４１６の第二ねじ山４２１の外径は第二エリア４１７の第二ねじ山４２１の外径より大きい。組み立てを行う際、第二エリア４１７の第二ねじ山４２１と第一ねじ山４２０とを噛み合わせ、続いてレンズホルダー４１ｄを下に移動させ、ねじ山噛み合わせ調整部４１８（第一エリア４１６）の第二ねじ山４２１と第一ねじ山４２０とを噛み合わせることによってレンズホルダー４１ｄを締め付ける。
一方、ねじ山噛み合わせ調整部４１８は外側へ広がるため、レンズホルダー４１ｄが下に移動する際、ねじ山噛み合わせ調整部４１８は第一穿孔４０１によって拘束され、レンズホルダー４１ｄの装着溝４１０の内部に追い詰められる。このときスリット４２８は緩衝空間となる。ねじ山噛み合わせ調整部４１８は追い詰められると同時に外部の第一穿孔４０１に反発力が作用し、第二ねじ山４２１と第一ねじ山４２０とを緊密に噛み合わせるため、レンズホルダー４１ｄを上下に移動させる際、ねじ山の間の隙間が原因で誤差を生じることを避け、位置調整および移動の精度を向上させることができる。
【００３０】
図８Ｃはレンズ調整機構の別の実施形態を示す斜視図である。本実施形態において、レンズ調整機構４ｅはベース４０ｅ、レンズホルダー４１ｅおよび位置調整部４２ｅを有する。図８Ａとの違いは次の通りである。
本実施形態において、位置調整部４２ｅはさらに可とう性環状体４２７、例えばＯ型環状体を有するが、これに限らない。可とう性環状体４２７はレンズホルダー４１ｅに嵌合され、かつ第二ねじ山４２１の最先端に位置付けられる。可とう性環状体４２７の外径Ｄ１は陥没溝４００の内径Ｄ２より大きいかそれに等しい。ベース４０ｅにレンズホルダー４１ｅを締め付ける際、可とう性環状体４２７は陥没溝４００の内壁に係止されるため、レンズホルダー４１ｅと陥没溝４００とを緊密に接続し、かつベース４０ｅにレンズホルダー４１ｅを固定する効果を向上させることができる。
一方、図８Ｃに示した陥没溝４００の内径Ｄ２は第一穿孔４０１の口径より大きい。それに対し、別の一実施形態において、陥没溝４００の内径Ｄ２は第一穿孔４０１の口径に等しい。従って、本発明はこれに限らず、状況に応じて決めることができる。
【００３１】
図８Ｂに示した実施形態の操作方式は次の通りである。本実施形態は二対の調整溝４２４ｃ、４２４ｄを有する。その作動原理は図８Ａに基づいた実施形態と同じであるため、説明を省略する。
本実施形態において、第二ねじ山４２１と第一穿孔４０１の第一ねじ山４２０とを噛み合わせ、レンズホルダー４１ｅを時計回りに回転させてＺ軸方向に沿って下へ移動させる際、可とう性環状体４２７はレンズホルダー４１ｅの降下に伴って陥没溝４００の壁面に接触する。レンズホルダー４１ｅを下へ持続的に移動させれば、可とう性環状体４２７は陥没溝４００によって圧縮され、変形し、陥没溝４００に密着する。圧縮された可とう性環状体４２７に生じた反発弾力は陥没溝４００を追い詰めるため、可とう性環状体４２７を配置する前より、レンズホルダー４１ｅとベース４０ｅとをより緊密に接合することができる。
一方、可とう性環状体４２７と陥没溝４００とが相互に密着した上でレンズホルダー４１ｅを上下に移動させる際、可とう性環状体４２７の作用によって第一ねじ山４２０と第二ねじ山４２１との間の隙間を低減し、レンズホルダー４１ｅのスライドを抑制することができるだけでなく、レンズホルダー４１ｅを上下に移動させる際、位置を正確に制御することができる。
【００３２】
図８Ａから図８Ｃに示すように、ベースは単一のレンズ調整機構のみを有するが、これに限らない。それに対し、図９Ａおよび図９Ｂに示すように、別の一実施形態は状況に応じて実施形態の精神に基づいてベースに複数のレンズ調整機構を配置することができる。
【００３３】
図７に示すように、プローブ固定構造２は図２または図５Ａに示した実施形態を使用できる。プローブ固定構造２は、ねじなどの複数の締付ユニット３２がザグリ穴２０５を通ってねじ孔３０３と噛み合うことによってベース４０の第二装着溝４０６内に締め付けられる。
チップテストを行う際、まず外部の光源は測定対象となるチップに照射され、電気信号を生じさせる。続いて、測定対象となるチップと電気的に接続された複数のプローブ２１１は電気信号をキャッチした後、延長部２１１０によって回路基板のはんだパッドに電気信号を伝送する。
続いて、回路基板は電気信号を受け、受けた電気信号をテスターに伝送し、電気信号測定を進める。一方、レンズホルダー４１は第一穿孔４０１内に締め付けられる。第一穿孔４０１はプローブ固定構造２の第二穿孔２００に対応するため、レンズホルダー４１内のレンズは第二穿孔２００によって光線をキャッチし、測定対象に光学測定を行うことができる。
【００３４】
図７に示すように、ベース４０は単一のプローブ固定構造２のみを格納するが、これに限らない。図９Ａおよび図９Ｂはプローブ固定構造の配列状態を示す斜視図である。
図９Ａおよび図９Ｂに示すように、別の一実施形態において、プローブ固定構造２は二次元配列を保つようにベース４０ｇ内に配置され、かつ一つのレンズホルダーに対応し、それを装着する。図９Ａに示した実施形態において、基板２０は単一のコ字型に配列された複数の固定モジュール２１を有する。図９Ｂに示した実施形態において、単一の基板２０ａは複数のコ字型に配列された複数の固定モジュール２１を有する。以上は本発明の精神に基づいて変更した実施形態である。
【００３５】
図１０はプローブの配置方法を示す斜視図である。図９Ａおよび図９Ｂに示した固定モジュール２１および複数のプローブ２１１の配列方式はＮ型プローブの配列方式である。固定モジュール２１のプローブ２１１は基板２０に垂直に配列された延長部２１１０を有する。
【００３６】
以上、本発明は、上記実施形態になんら限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実施可能である。
【符号の説明】
【００３７】
１  プローブカード  
１０  ガイド板  
１１  穿孔  
１２、１３、１４  プローブ  
２  プローブ固定構造  
２０、２０ａ  基板  
２００  穿孔、第二穿孔  
２０１、２０２  溝部  
２０３  底面  
２０４  第一貫通孔  
２０５  ザグリ穴  
２１、２１ａ  固定モジュール  
２１０、２１０ａから２１０ｃ  固定ユニット  
２１０２  貫通孔  
２１１  プローブ  
２１１０  延長部  
２１１１  アーム  
２１１２  検知部  
２２、２２ａ、２２ｂ  樹脂  
３  光学測定装置    
３０３  ねじ孔  
３０４  スリット  
３０５  穿孔  
３２  締付ユニット  
４、４ｄ、４ｅ  レンズ調整機構  
４０、４０ｄ、４０ｅ、４０ｇ  ベース  
４００  陥没溝  
４０１  第一穿孔  
４０２  フランジ構造部  
４０６  第二装着溝  
４０７  第一側面  
４０８  第二側面  
４１、４１ｄ、４１ｅ  レンズホルダー  
４１０  装着溝  
４１６  第一エリア  
４１７  第二エリア  
４１８  ねじ山噛み合わせ調整部  
４２、４２ｄ、４２ｅ  位置調整部  
４２０  第一ねじ山  
４２１  第二ねじ山  
４２４ｃ、４２４ｄ  調整溝  
４２８  スリット  
４２７  可とう性環状体  
６  ベース  
６１  穿孔  
７１  レンズホルダー  
７２  レンズ  
７２１  ねじ山
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０】
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