(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに対して相対移動可能に設けられ、ワイヤ電極を所定の軸線上に支持する第１のワイヤ支持部および第２のワイヤ支持部と、
ワーク表面への当接を検知する測定プローブと、
前記測定プローブが前記第１のワイヤ支持部と一体に移動するように、前記測定プローブを支持する支持部と、
前記測定プローブからの信号に基づきワーク寸法を計測する計測部と、
前記測定プローブがワーク表面に当接したときの前記所定の軸線の位置と、前記ワイヤ電極が同一のワーク表面に当接したときの前記所定の軸線の位置とのずれ量を予め記憶する記憶部と、
ワーク寸法の計測時に、前記支持部によって支持された前記測定プローブを、前記測定プローブからの信号に基づいてワーク表面に当接する第１の位置まで移動させた後、さらに該第１の位置から前記記憶部に記憶されたずれ量分だけずれた第２の位置まで移動させる移動手段とを備え、
前記支持部は、前記ワイヤ電極をワーク近傍から除去した状態で、前記測定プローブが前記所定の軸線上に位置するように前記測定プローブを支持し、
前記計測部は、前記測定プローブが前記第２の位置へ移動後にワーク寸法を計測することを特徴としたワイヤ放電加工機。
【請求項２】
ワークに対して相対移動可能である第１のワイヤ支持部および第２のワイヤ支持部により、所定の軸線上に支持されたワイヤ電極をワーク近傍から除去し、
測定プローブが前記所定の軸線上に位置し、かつ、前記第１のワイヤ支持部と一体に移動するように、支持部を介して前記測定プローブを支持し、
前記測定プローブをワークに対して相対移動させて、ワーク寸法を計測するワイヤ放電加工機を用いたワーク測定方法であって、
前記測定プローブがワーク表面に当接したときの前記所定の軸線の位置と、前記ワイヤ電極が同一のワーク表面に当接したときの前記所定の軸線の位置とのずれ量を予め記憶し、
ワーク寸法の計測時に、前記支持部によって支持された前記測定プローブを、前記測定プローブからの信号に基づいてワーク表面に当接する第１の位置まで移動させた後、さらに該第１の位置から前記記憶部に記憶されたずれ量分だけずれた第２の位置まで移動し、
前記第２の位置をワーク座標系の原点とすることを特徴としたワイヤ放電加工機を用いたワーク測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク測定機能を有するワイヤ放電加工機およびワイヤ放電加工機を用いたワーク測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のワーク測定方法として、ワイヤ放電加工機に接触式電子プローブ（以下、単にプローブと呼ぶ）を取り付けて、ワークの寸法を測定するようにしたものが知られている（例えば特許文献１参照）。この特許文献１記載の方法では、ワイヤ放電加工機の上部ワイヤガイドヘッドにプローブを取り付けて、プローブをワイヤ電極の側方に配置し、工作物の所定の既加工点の位置をこのプローブで計測し、計測結果に基づいてワーク加工位置を補正する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−９２６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１記載の方法では、ワイヤ電極の側方にプローブを配置するため、ワーク計測時にプローブがワイヤ放電加工機の何らかの部位（例えばワーク固定部材）に干渉し、ワイヤ電極によるワーク加工範囲の全体にわたりプローブを移動できないおそれがある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明によるワイヤ放電加工機は、ワークに対して相対移動可能に設けられ、ワイヤ電極を所定の軸線上に支持する第１のワイヤ支持部および第２のワイヤ支持部と、ワーク表面への当接を検知する測定プローブと、測定プローブが第１のワイヤ支持部と一体に移動するように、測定プローブを支持する支持部と、測定プローブからの信号に基づきワーク寸法を計測する計測部と、測定プローブがワーク表面に当接したときの所定の軸線の位置と、ワイヤ電極が同一のワーク表面に当接したときの所定の軸線の位置とのずれ量を予め記憶する記憶部と、ワーク寸法の計測時に、支持部によって支持された測定プローブを、測定プローブからの信号に基づいてワーク表面に当接する第１の位置まで移動させた後、さらに該第１の位置から記憶部に記憶されたずれ量分だけずれた第２の位置まで移動させる移動手段とを備え、支持部は、ワイヤ電極をワーク近傍から除去した状態で、測定プローブが所定の軸線上に位置するように測定プローブを支持し、計測部は、測定プローブが第２の位置へ移動後にワーク寸法を計測することを特徴とする。
また、本発明によるワイヤ放電加工機を用いたワーク測定方法は、ワークに対して相対移動可能である第１のワイヤ支持部および第２のワイヤ支持部により、所定の軸線上に支持されたワイヤ電極をワーク近傍から除去する工程と、測定プローブが所定の軸線上に位置し、かつ、第１のワイヤ支持部と一体に移動するように、支持部を介して測定プローブを支持する工程と、測定プローブをワークに対して相対移動させて、ワーク寸法を計測する工程とを含み、測定プローブがワーク表面に当接したときの所定の軸線の位置と、ワイヤ電極が同一のワーク表面に当接したときの所定の軸線の位置とのずれ量を予め記憶し、ワーク寸法の計測時に、支持部によって支持された測定プローブを、測定プローブからの信号に基づいてワーク表面に当接する第１の位置まで移動させた後、さらに該第１の位置から記憶部に記憶されたずれ量分だけずれた第２の位置まで移動し、第２の位置をワーク座標系の原点とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、ワイヤ電極をワーク近傍から除去してワークを計測する時に、測定プローブがワイヤ電極の軸線上に位置するようにしたので、ワイヤ電極によるワーク加工範囲の全体にわたりプローブを移動することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】（ａ）、（ｂ）はそれぞれワーク加工時およびワーク計測時における本発明の第１の実施の形態に係るワイヤ放電加工機の要部構成を示す正面図。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るワイヤ放電加工機の制御構成を示すブロック図。
【図３】ワイヤ電極とプローブの位置ずれを示す図。
【図４】ワイヤ電極およびプローブをそれぞれ基準としたマスターワークの中心位置を示す図。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係るワイヤ放電加工機のワーク計測時における動作を説明する平面図。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係るワイヤ放電加工機のワーク計測時における動作を説明する側面図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
−第１の実施の形態−
以下、図１〜図４を参照して本発明によるワイヤ放電加工機の第１の実施の形態について説明する。図１（ａ），（ｂ）は、それぞれ本発明の第１の実施の形態に係るワイヤ放電加工機の要部構成を示す正面図であり、図１（ａ）はワーク加工時の状態を、図１（ｂ）はワーク計測時の状態をそれぞれ示している。なお、説明の便宜上、以下では図示のように上下左右方向を定義するとともに、紙面垂直方向手前側および奥側をそれぞれ前側および後側（前後方向）と定義し、この定義に従い各部の構成を説明する。左右方向、前後方向および上下方向は、それぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向と平行である。
【０００９】
図１（ａ）に示すように、ワークＷの上方および下方には、ワークＷを挟んで互いに同軸上に上ヘッド１および下ヘッド２が配置されている。上ヘッド１と下ヘッド２の間には鉛直方向に延びる軸線Ｌ１に沿ってワイヤ電極３が支持されている。ワイヤ電極３はリール等に巻回され、ワーク加工時に不図示の送給手段によってヘッド１，２間に送給される。
【００１０】
上ヘッド１は、上部案内支持部４を介してクイル５の下端に取り付けられている。クイル５は、図示しないＸ方向のスライド機構（Ｘスライド機構）、Ｙ方向のスライド機構（Ｙスライド機構）およびＺ方向のスライド機構（Ｚスライド機構）を介して左右方向、前後方向および上下方向にスライド可能に設けられている。各スライド機構は、例えばボールねじとボールねじを回転駆動するサーボモータ等により構成される。下ヘッド２は、下部案内支持部および前後方向に延在する支持アーム（不図示）を介して上ヘッド１に一体に連結されている。なお、ワイヤ放電加工機には、ワークＷを支持するテーブルや加工液を貯留する加工槽等が設けられているが、これらの図示は省略する。
【００１１】
この構成により、上ヘッド１と下ヘッド２は、前後左右方向に一体に移動可能となり、ワイヤ電極３は、鉛直姿勢を維持したまま、ワークＷに対して前後左右方向（ＸＹ方向）に相対移動する。なお、Ｘスライド機構、Ｙスライド機構およびＺスライド機構のいずれかまたは全てを、ワークＷを支持するテーブル側に設け、テーブル側を移動することで、ワークＷに対してワイヤ電極３を相対移動させるように構成することもできる。
【００１２】
Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向の各スライド機構には、各軸の位置を検出する位置検出器がそれぞれ設けられている。ワイヤ電極３の初期位置からのＸＹ方向の移動量は、Ｘスライド機構およびＹスライド機構に設けられた位置検出器からの信号によって検出することができる。また、クイル５の軸線Ｌ１上の点、例えば上ヘッド１の下端部の点Ｐ０（以下、基準点と呼ぶ）の初期位置からのＺ方向の移動量は、Ｚスライド機構に設けられた位置検出器からの信号によって検出することができる。
【００１３】
クイル５の下端部には、上部案内支持部４の周囲を覆うように略ボックス形状のケース６が取り付けられている。ケース６の内側かつ上部案内支持部４の右側には、エア駆動式のチャック装置１０が収容支持されている。チャック装置１０は、右面に係合孔部１０ａを有し、この係合孔部１０ａに被取付部材の係合突部を挿入して、被取付部材をクランプおよびアンクランプするものである。
【００１４】
エア圧は、クイル５の前面に設けられたスイッチ８の操作に応じて供給および停止される。すなわち、スイッチ８がＡ位置に操作されると、チャック装置内へのエア圧の供給が停止され、係合孔部１０ａに設けられた作動部材がばね力によって所定方向に付勢されて、被取付部材がチャック装置１０にクランプされる。一方、スイッチ８がＢ位置に操作されると、チャック装置内にエア圧が供給され、このエア圧によって作動部材がばね力に抗して反対方向に押動され、被取付部材がチャック装置１０からアンクランプされる。図１（ａ）では、被取付部材として平板状のカバー７が用いられ、チャック装置１０によりカバー７がケース６の右面に取り付けられ、係合孔部１０ａが閉塞されている。
【００１５】
図１（ｂ）に示すように、ワーク計測時には、ワークＷの近傍からワイヤ電極３が除去されるとともに、カバー７に代えてケース６の右面にアーム１１の一端部がクランプされる。アーム１１はケース６に沿って下方に延在し、アーム１１の他端部には測定プローブ１２が保持されている。測定プローブ１２は、上ヘッド１の下方に、ワイヤ電極３の軸線Ｌ１と一致するように配置され、アーム１１を介して上ヘッド１と一体に移動可能である。
【００１６】
測定プローブ１２は、上下方向に延在するアーム部１２ｂと、アーム部１２ｂの下端部に設けられた球状ないし半球状の接触子１２ａとを有する。接触子１２ａは、アーム部１２ｂを介して弾性支持されており、ＸＹ方向の所定範囲にわたり変位可能である。この接触子１２ａの可動範囲は、アーム部１２ｂの長さおよび振れ幅に応じて異なり、例えば測定プローブ１２の中心から１０ｍｍ〜５０ｍｍ程度である。
【００１７】
軸線Ｌ１上の基準点Ｐ０と接触子１２ａとの位置ずれ量、つまりＺ方向の位置ずれ量ΔＺは予めメモリに記憶されている。測定プローブ１２は、接触子１２ａがワーク表面に当接したか否かを検知する。すなわち、測定プローブ１２は、接触子１２ａがワーク表面に非接触のときはオフ信号を出力し、ワーク表面に当接するとオン信号を出力する。このオン信号の出力時における各スライド機構の位置検出器からの信号により、ワーク寸法（ワーク表面のＸＹＺ座標）を求めることができる。すなわち、オン信号の出力時におけるＸスライド機構およびＹスライド機構の位置検出器からの信号により、測定プローブ１２の接触点におけるワーク表面のＸＹ座標を求めることができ、Ｚスライド機構の位置検出器からの信号と位置ずれ量ΔＺとにより、Ｚ座標を求めることができる。
【００１８】
図２は、第１の実施の形態に係るワイヤ放電加工機の主要な制御構成を示すブロック図である。制御部２０は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ、その他の周辺回路などを有する演算処理装置を含んで構成される。制御部２０には、Ｘスライド機構、Ｙスライド機構およびＺスライド機構の各軸の位置をそれぞれ検出する位置検出器２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚと、測定プローブ１２と、計測開始指令やワーク計測座標等の各種設定値を入力する入力部２３とが接続されている。制御部２０は、これら位置検出器２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚと、測定プローブ１２と、入力部２３とからの入力信号に基づき、ワーク寸法の計測時におけるサーボモータ２２Ｘ，２２Ｙ，２２Ｚの駆動を制御する。すなわち、ワーク寸法の計測位置において、測定プローブ１２をワーク表面に当接させる。測定プローブ１２による計測値は、ワーク寸法の設計値とともにモニター２４に出力される。
【００１９】
第１の実施の形態に係るワイヤ放電加工機による主要な動作を説明する。
（１）ワーク加工時
ワーク加工時には、図１（ａ）に示すようにチャック装置１０によりケース６の右面にカバー７を取り付ける。この状態で、予め定められた加工プログラムに従い、制御部２０から各スライド機構のサーボモータ２２Ｘ，２２Ｙ，２２Ｚに制御信号を出力し、ワークＷを固定したままワイヤ電極３を移動させて、ワイヤ電極３とワークＷとの間に加工用電源からパルス電圧を印加する。これによりワークＷとワイヤ電極３との間に放電が発生し、ワイヤ電極３の移動軌跡に沿ってワークＷを加工することができる。ワーク加工時にはカバー７を取り付けているため、チャック装置内へのごみ等の混入を防ぐことができる。
【００２０】
（２）ワーク計測時
ワーク加工終了後にワーク寸法を計測する場合、ワイヤ電極３を切断し、ワークＷの近傍からワイヤ電極３を除去する。さらに、スイッチ８をＢ位置に操作してチャック装置１０にエア圧を供給し、チャック装置１０からカバー７をアンクランプするとともに、チャック装置１０の係合孔部１０ａにアーム１１端部の係合突部を挿入した後、スイッチ８をＡ位置に操作し、アーム１１をクランプする。これにより図１（ｂ）に示すように軸線Ｌ１上の上ヘッド１の下方に測定プローブ１２が配置される。この状態で、スライド機構の動作によりワークＷを固定したまま上ヘッド１と一体に測定プローブ１２を移動し、ワーク表面の計測位置に測定プローブ１２の接触子１２ａを当接させ、ワーク寸法を計測する。すなわち、測定プローブ１２のオン信号出力時における位置検出器２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚの検出値に基づき、制御部２０は、測定プローブ１２の接触点におけるワーク表面座標を演算し、ワーク寸法計測値としてモニター２４に出力する。
【００２１】
本実施の形態によれば以下のような作用効果を奏することができる。
（１）一端部がクイル下端のケース６の側面に保持されたアーム１１の他端部に測定プローブ１２を取り付け、ワイヤ電極３の軸線Ｌ１と一致するように上ヘッド１の下方に測定プローブ１２を配置した。これにより、ワーク加工用のワイヤ電極３のＸＹ方向の位置とワーク計測用の測定プローブ１２のＸＹ方向の位置とが等しくなり、測定プローブ１２がテーブル上のワーク固定部材等に干渉することなく、ワークＷの加工範囲の全体にわたって測定プローブ１２を移動することができ、計測範囲を大きくとることができる。
（２）測定プローブ１２によるワーク寸法の測定後に、測定プローブ１２を取り外してワイヤ電極３により測定点におけるワークＷを加工する場合に、ワイヤ電極３の移動量を少なくすることができ、ワーク計測後の迅速なワーク加工が可能である。
（３）測定プローブ１２をワイヤ電極３の軸線Ｌ1と一致するように設けたので、ワークＷの計測精度を高めることができる。すなわち、例えばワーク計測時にテーブル側を所定量移動させる場合、基準となる軸線Ｌ１の位置は所定量だけ移動するのに対し、軸線Ｌ１以外では移動による誤差が生じることがあるが、本実施の形態では、このような誤差が生じることなく、ワーク寸法を精度よく計測することができる。
【００２２】
なお、以上では、プローブ１２が軸線Ｌ１上に位置するものとして説明したが、測定プローブ１２の位置Ｌ２と軸線Ｌ１とは、図３に示すように厳密には異なる場合がある。この場合には、両者のずれ量（Ｘ方向の位置ずれ量ΔＸ，Ｙ方向の位置ずれ量ΔＹ）を予め求めておき、この位置ずれ量ΔＸ，ΔＹをメモリに記憶して、制御部２０で、測定プローブ１２による計測値を位置ずれ量ΔＸ，ΔＹの分だけ補正するようにすればよい。
【００２３】
位置ずれ量ΔＸ，ΔＹは、図４に示すように、中央に円形上の貫通穴１５ａが開口されたマスターワーク１５を用いて求めることができる。この場合、まず、マスターワーク１５をテーブルに固定し、貫通穴１５ａにワイヤ電極３を挿通する。次いで、ワイヤ電極３に電圧を印加しつつワイヤ電極１５ａを貫通穴１５ａの内壁面に向けて移動し、電圧の変化に基づきワイヤ電極３が貫通穴１５ａの内壁面に接触したか否かを判定し、接触点の座標を求める。これを複数の接触点に対して行い、複数の接触点の座標から貫通穴１５ａの中心位置Ｐ１を求める。
【００２４】
次に、ワイヤ電極３を取り外した後、測定プローブ１２を貫通穴１５ａの内壁面に接触させ、接触点の座標を求める。これを複数の接触点に対して行い、複数の接触点の座標から貫通穴１５ａの中心位置Ｐ２を求める。ワイヤ電極３を基準とした中心位置Ｐ１とプローブ１２を基準とした中心位置Ｐ２とのずれ量は、軸線Ｌ１と軸線Ｌ２との位置ずれ量ΔＸ，ΔＹに相当する。このため、この中心位置Ｐ１，Ｐ２のずれ量をメモリに記憶し、ずれ量を用いて補正手段としての制御部２０で測定プローブ１２による計測値を補正する。
【００２５】
−第２の実施の形態−
図５、図６を参照して本発明によるワイヤ放電加工機の第２の実施の形態について説明する。なお、以下では、第１の実施の形態との相違点を主に説明する。第１の実施の形態では、測定プローブ１２の接触子１２ａをワーク表面に当接するまで移動させるようにしたが、第２の実施の形態では、ワーク表面に当接するまで移動させた後（第１の移動）、さらに予め定めた所定量だけ測定プローブ１２を移動させる（第２の移動）。
【００２６】
図５、図６は、第２の実施の形態に係るワイヤ放電加工機のワーク計測時における動作を説明する平面図および側面図である。なお、ワーク計測時には、ワイヤ電極３は取り除かれるが、図５では、説明の便宜上、ワイヤ電極３を示しており、第１の移動を行った時の接触子１２ａとワイヤ電極３の位置、及び第２の移動を行ったときの接触子１２ａとワイヤ電極３の位置をそれぞれ示している。また、第１の移動時のワイヤ電極３の軸線Ｌ１の位置をＬ１ａ、接触子１２ａの中心Ｌ２の位置をＬ２ａで、第２の移動時のワイヤ電極３の軸線Ｌ１の位置をＬ１ｂ、接触子１２ａの中心Ｌ２の位置をＬ２ｂでそれぞれ示している。さらに、一方のワーク端面Ｗａの計測点をＰａで、他方のワーク端面Ｗｂの計測点をＰｂでそれぞれ示している。
【００２７】
第１の移動とは、接触子１２ａをワーク端面Ｗａ，Ｗｂの計測点Ｐａ，Ｐｂに当接させるまでの移動である。一方、第２の移動とは、その計測点Ｐａ，Ｐｂにさらにワイヤ電極３が当接する位置までの移動であり、接触子１２ａとワイヤ電極３のずれ量αに相当する。このずれ量αは、ワイヤ電極３と接触子１２ａの中心位置Ｌ１ａ，Ｌ２ａのずれ量（測定プローブ１２の取付誤差）α１、およびワイヤ電極３と接触子１２ａの半径ｒ１，ｒ２の差α２（ワイヤ電極３と接触子１２ａの形状差）によって生じる。取付誤差によるずれ量α１は、例えば図４で説明した手法によって計測することができ、形状差によるずれ量α２は、例えばワイヤ電極３と接触子１２ａの設計値から求めることができる。これにより全体のずれ量αを求めることができる。本実施の形態では、測定プローブ１２を、アーム１１を介して軸線Ｌ１上に位置するように配置しているため、全体のずれ量αは、接触子１２ａの可動範囲よりもはるかに小さい。なお、形状差によるずれ量α２は、図５に示すように測定プローブ１２の移動方向に応じて方向が変化し、このため、全体のずれ量α（αａ，αｂ）も移動方向に応じて異なる。移動方向に応じたずれ量αａ，αｂは、ワーク寸法の計測前に予め測定され、メモリに記憶されている。
【００２８】
図５、図６のワーク端面Ｗａの計測点Ｐａを計測するときには、測定プローブ１２を矢印ＸＡ方向に移動し、測定プローブ１２をワーク端面Ｗａに当接させる（第１の移動）。測定プローブ１２がオン信号を出力すると、制御部２０はサーボモータ２２Ｘ，２２Ｙに信号を出力し、予め記憶されたずれ量αａ分だけ、さらに測定プローブ１２を移動させる（第２の移動）。これによりワイヤ電極３の軸線Ｌ１の位置がＬ１ａからＬ１ｂに変化し、ワイヤ電極３の位置を計測点Ｐａの位置に一致させることができる。制御部２０は、このときの位置検出器２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚからの信号に基づきワーク寸法を計測する。このとき、図６に示すように測定プローブ１２がずれ量αａ分だけワーク側に押し込まれ、接触子１２ａの中心位置１２ａが、ワークＷの内側に移動するが、この場合の押し込み量αａは接触子１２ａの可動範囲内であり、測定プローブ１２に損傷を与えることはない。
【００２９】
一方、ワーク端面Ｗｂの計測点Ｐｂを計測するときには、測定プローブ１２を矢印ＸＢ方向に移動し、測定プローブ１２をワーク端面Ｗａに当接させる（第１の移動）。測定プローブ１２がオン信号を出力すると、制御部２０はサーボモータ２２Ｘ，２２Ｙに信号を出力し、予め記憶されたずれ量αｂ分だけ、さらに測定プローブ１２をワークＷの反対側に移動させる（第２の移動）。これによりワイヤ電極３の軸線Ｌ１の位置がＬ１ａからＬ１ｂに変化し、ワイヤ電極３の位置を計測点Ｐａの位置に一致させることができる。制御部２０は、このときの位置検出器２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚからの信号に基づきワーク寸法を計測する。このとき、図６に示すように測定プローブ１２の接触子１２ａはワーク端面Ｗｂから離れる。
【００３０】
このように第２の実施形態では、測定プローブ１２がワーク表面Ｗａ，Ｗｂの計測点Ｐａ，Ｐｂに当接したと仮定したときの軸線Ｌ１の位置Ｌ１ａと、ワイヤ電極３が同一のワーク表面Ｗａ，Ｗｂの計測点Ｐａ，Ｐｂに当接したと仮定したときの軸線Ｌ１の位置Ｌ１ｂとのずれ量αを予め測定し、記憶した。そして、ワーク寸法の計測時に、制御部２０がサーボモータ２２Ｘ，２２Ｙ，２２Ｚを駆動制御することで、測定プローブ１２を、ワーク表面に当接する位置Ｌ２ａ（第１の位置）まで移動させた後（第１の移動）、さらにこの第１の位置Ｌ２ａからずれ量α分だけずれた位置Ｌ２ｂ（第２の位置）まで移動させ（第２の移動）、第２の位置Ｌ２ｂへの移動後の位置検出器２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚからの信号に基づきワーク寸法を計測するようにした。
【００３１】
これによりワーク寸法の計測時に、ワイヤ電極３の位置を計測点Ｐａ，Ｐｂの位置に一致させることができ、ワイヤ電極を用いてワークを測定する場合と同様の制御で測定プローブを用いた測定をすることができる。すなわち、接触子１２ａがワーク端面Ｗａ，Ｗｂに当接したときの位置検出器２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚの検出値を計測データとして用いる場合には、接触子１２ａの位置とワイヤ電極３の位置とがずれ量α分だけずれているため、検出値を補正する必要があるが、第２の実施形態によれば、そのような補正をすることなく、ワイヤ電極を用いてワークを測定する場合と同様の制御で測定プローブを用いた測定をすることができる。
【００３２】
また、第２の実施の形態では、測定プローブ１２がオンした後に、測定プローブ１２の位置を予め記憶したずれ量α分だけずらすので、接触子１２ａの中心位置Ｌ２がワイヤ電極３の軸線Ｌ１からずれている場合であっても、ワーク寸法を精度よく計測することができる。この場合、ずれ量αは、接触子１２ａの可動範囲内にあればいいので、測定プローブ１２の取付位置を高精度に軸線Ｌ１の位置に一致させる必要はなく、アーム１１等を安価に構成できる。
【００３３】
なお、上記実施の形態では、ワークＷに対して相対移動可能に設けられた上ヘッド１と下ヘッド２とによりワイヤ電極３を軸線Ｌ１上に支持するようにしたが、第１のワイヤ支持部および第２のワイヤ支持部の構成はこれに限らない。ワーク表面への当接を検知するのであれば、測定プローブ１２はいかなるものでもよい。測定プローブ１２からの信号に基づきワーク寸法を測定するのであれば、計測部としての位置検出器２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚおよび制御部２０の構成もいかなるものでもよい。プローブ１２が上ヘッド１と一体に移動するようにアーム１１でプローブ１２を支持するようにしたが、ワイヤ電極３をワーク近傍から除去した状態で、プローブ１２が軸線Ｌ１上に位置するようにプローブ１２を支持するのであれば、支持部の構成はこれに限らない。クイル５の下端部にケース６を設け、チャック装置１０により上ヘッド１の近傍にてアーム１１を支持するようにしたが、アーム支持部の構成もこれに限らない。
【００３４】
上記第２の実施の形態では、測定プローブ１２がワーク表面に当接したと仮定したときの軸線Ｌ１の位置と、ワイヤ電極３が同一のワーク表面に当接したと仮定したときの軸線Ｌ１の位置とのずれ量αを予め測定するようにしたが、この測定はいかなる手法を用いて行ってもよい。ずれ量αを記憶する記憶部は例えば制御部２０に設けられるが、他の記憶部を用いてもよい。制御部２０がサーボモータ２２Ｘ，２２Ｙ，２２Ｚに制御信号を出力することで、測定プローブ１２を第１の位置Ｌ２ａおよび第２の位置Ｌ２ｂに移動するようにしたが、移動手段の構成はこれに限らない。なお、以上では、測定プローブ１２をワイヤ電極３の軸線Ｌ１上に位置するようにしたが、この場合の軸線Ｌ１上に位置するとは、測定プローブ１２を精度よく軸線Ｌ１上に位置させる場合だけでなく、軸線Ｌ１の近傍に位置させる場合も含む。軸線Ｌ１の近傍とは、例えば測定プローブ１２の接触子１２ａの可動範囲内のことである。
【００３５】
また、第２の実施の形態では、第２の移動としてワイヤ電極３がワークＷに当接する位置まで移動させていたが、ワークＷの端面位置をワーク座標系の原点に使用したい場合、第１の移動でワークＷの端面位置を測定後、第２の移動としてワイヤ電極３を挿通したときのワイヤ中心位置が測定したワークＷの端面位置になるように送り軸を移動させるようにすることができる。これにより、第２の移動後の座標位置が原点位置となり、簡単にワーク座標系の原点を設定でき、原点座標に移動したときの機械位置の把握が容易になる。
【００３６】
以上の実施の形態によるワーク測定方法は、ワークＷに対して相対移動可能である上ヘッド１および下ヘッド２により、所定の軸線Ｌ１上に支持されたワイヤ電極３をワーク近傍から除去する工程と、プローブ１２が軸線Ｌ１上に位置し、かつ、上ヘッド１と一体に移動するように、アーム１１を介してプローブ１２を支持する工程と、プローブ１２をワークＷに対して相対移動させて、ワーク寸法を計測する工程とを含むことを特徴とする。
【符号の説明】
【００３７】
１    上ヘッド
２    下ヘッド
３    ワイヤ電極
１１    アーム
１２    測定プローブ
１２ａ    接触子
２０    制御部
２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚ    位置検出器
２２Ｘ，２２Ｙ，２２Ｚ    サーボモータ
Ｌ１    ワイヤ電極の軸線
Ｌ２    接触子の中心位置
【図１】
0005409836.tif 000002
【図２】
0005409836.tif 000003
【図３】
0005409836.tif 000004
【図４】
0005409836.tif 000005
【図５】
0005409836.tif 000006
【図６】
0005409836.tif 000007