(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下に加えられる圧力に対して弾発緩衝作動する上下接点構造を有するスプリングタイプのプローブピンにおいて、
上接地部を有する円筒状の上スリーブと、下接地部を有する円筒状の下スリーブとが上下移動案内可能に内外側に重畳設置され、
前記上スリーブおよび前記下スリーブそれぞれの内部において、前記上スリーブと前記下スリーブとの間には、ゼンマイ状に巻き取られた一対の上緩衝スプリングと下緩衝スプリングとが少なくとも一つ上下に連結され、
前記上緩衝スプリングと前記下緩衝スプリングとは、ゼンマイ状軌道が互いに異なるように折り曲げられ、前記上緩衝スプリングと前記下緩衝スプリングとが互いに離隔する離隔位置から前記上緩衝スプリングと前記下緩衝スプリングとが重畳する重畳位置まで上下に弾発緩衝作動する緩衝作動部を、形成するようにプレスで一体成形され、
前記緩衝作動部の前記上緩衝スプリングと前記下緩衝スプリングは、前記上スリーブと前記下スリーブとを連結し、中心軸線で左右にジグザグ状に延長されるように連続的に打ち抜き加工された、「＞」形状、「＜」形状の左延長連結部と右延長連結部とを、中心軸線を中心としてゼンマイ状に巻き取り、前記上緩衝スプリングのゼンマイ状軌道と前記下緩衝スプリングのゼンマイ状軌道が互いに異なり、前記離隔位置から前記重畳位置まで上下に弾発緩衝作動するように、構成されることを特徴とする、上下接点構造を有するスプリングタイプのプローブピン。
【請求項２】
前記上スリーブの内部に前記下スリーブが重畳するように挿入されて上下移動案内され、前記上スリーブは、中央部位を内側に折り曲げ、前記下スリーブの上下緩衝作動するストロークを制限する係止段部を形成するように構成されることを特徴とする、請求項１に記載の上下接点構造を有するスプリングタイプのプローブピン。
【請求項３】
上下に加えられる圧力に対して弾発緩衝作動により衝撃を吸収する、上下接点構造を有するスプリングタイププローブピンの製造方法において、
弾性力を有する板素材を打ち抜き加工し、プローブピンの上接地部と下接地部、上スリーブと下スリーブ、および前記上スリーブと前記下スリーブとの間に設置される緩衝作動部を形成するための平面形の打ち抜き体を成形する打ち抜き体成形段階と、
前記緩衝作動部を形成するために前記上スリーブと前記下スリーブとを連結するように、左右にジグザグ状に延長されるように連続的に形成された左延長連結部と右延長連結部とを少なくとも一つ連設した打ち抜き体の前記左延長連結部と前記右延長連結部とを、中心軸線を中心として内側にゼンマイ状に巻き取るように折り曲げることにより、上緩衝スプリングと下緩衝スプリングとを形成し、前記上緩衝スプリングと前記下緩衝スプリングとのゼンマイ状軌道が互いに異なり、前記上緩衝スプリングと前記下緩衝スプリングとが、前記上緩衝スプリングと前記下緩衝スプリングとが互いに離隔する離隔位置から前記上緩衝スプリングと前記下緩衝スプリングとが重畳する重畳位置まで上下に弾発緩衝作動するように、前記上緩衝スプリングと前記下緩衝スプリングとを形成する緩衝作動部成形段階と、
前記下スリーブを形成する打ち抜き体を緩衝作動部の上部に重畳するように折り曲げた後、前記打ち抜き体の両端を緩衝作動部の外側に巻いて成形する下スリーブ成形段階と、
前記下スリーブと前記緩衝作動部を、前記上スリーブを形成する打ち抜き体の上部に重畳するように折り曲げた後、前記打ち抜き体の両端を前記下スリーブの外側に重畳するように巻いて成形する上スリーブ成形段階と、
を有することを特徴とする、上下接点構造を有するスプリングタイププローブピンの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、上下接点構造を有するスプリングタイプのプローブピン、および上下接点構造を有するスプリングタイププローブピンの製造方法に係り、さらに詳しくは、弾性力を有する板素材をプレス成形方式によって一体成形して製造コストの節減および優れた製造生産性を図り、上・下接地部を有する上・下スリーブを上下に一定に移動案内すると共に、上・下スリーブ間のスプリングタイプ緩衝作動部のワイヤ長および緩衝ストロークを最大化しながら小型・超小型の製作が可能であり、圧力（荷重）に対する弾発作動力および電気的特性に優れるうえ、何よりも耐久性に優れる、上下接点構造を有するスプリングタイプのプローブピンに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ウェーハに設けられた素子と半導体チップパッケージをテストするためのテストソケットなどの電気・電子機械部品において、上下に接点構造を有するスプリングタイプのプローブピンが使用されている。
【０００３】
このような上下接点構造を有するスプリングタイプのプローブピンとしては、様々なものが知られている。また、上下接点構造を有するスプリングタイプのプローブピンとしては、例えば、本出願人が先出願して登録を受けた特許文献１、特許文献２に記載のプローブピンもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】韓国登録特許第１０−１０３１６３４号公報
【特許文献２】韓国登録特許第１０−８２３１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した従来の技術および本出願人の先出願に係る技術に係るプローブピンは、例えば、上・下接地部の間にスプリングを連結して形成した構造でできており、上下に圧力（荷重）が印加されるときに弾発緩衝作動する。ところが、上述した従来の技術および本出願人の先出願に係る技術に係るプローブピンでは、上・下接地部が上下に圧力（荷重）が印加されるときに上下に一定に緩衝作動しないため、例えば、作動信頼性、耐久性および電気的特性が低下する恐れがあった。
【０００６】
しかも、上述した従来の技術および本出願人の先出願に係る技術に係るプローブピンは、上・下接地部間のスプリングが同一の半径サイズを有する螺旋状のスプリングタイプであるため、螺旋状スプリングの原理と同様にスプリングのワイヤが離隔した間隔（隙間）だけ上下移動しながら緩衝作動するものである。すなわち、上・下接地部間のスプリングは、スプリングワイヤが離隔した間隔のストロークだけ上下移動しながら緩衝作動するため、プローブピンを超小型（例えば長さ４ｍｍ以下）に製作する場合、スプリングワイヤの長さを十分に確保しないこと、および緩衝ストロークを少なくとも１ｍｍ以上を有するように十分に確保しないことにより、作動性および耐久性に顕著に劣る可能性があった。
【０００７】
したがって、従来の技術では、例えば作動性および耐久性の問題により、例えば４ｍｍ以下の超小型プローブピンを製作することは、困難であった。
【０００８】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、製造コストを低減することが可能であり、製造生産性にも優れた、新規かつ改良された上下接点構造を有するスプリングタイプのプローブピン、および上下接点構造を有するスプリングタイププローブピンの製造方法を提供することにある。
【０００９】
また、本発明の他の目的とするところは、緩衝作動部のワイヤ長および緩衝ストロークを最大化しながら小型化が可能であり、圧力（荷重）に対する弾発作動力および電気的特性に優れるうえ、何よりも耐久性に優れる、新規かつ改良された上下接点構造を有するスプリングタイプのプローブピン、および上下接点構造を有するスプリングタイププローブピンの製造方法を提供することにある。
【００１０】
より具体的には、例えば、上・下接地部を有する上・下スリーブを内外側に重畳設置して上下に一定に移動案内するとともに、上・下スリーブの間にはゼンマイ状に巻き取られる一対の上・下緩衝スプリングを少なくとも一つ連結した緩衝作動部が形成され、上・下緩衝スプリングはゼンマイ状軌道が互いにずれて上下に重畳位置まで弾発緩衝作動するので、緩衝作動部のワイヤ長および緩衝ストロークを最大化しながら小型（例えば長さ４ｍｍ以下）製作が可能であり、圧力（荷重）に対する弾発作動力および電気的特性に優れるうえ、何よりも耐久性に優れたプローブピンを提供する。
【００１１】
また、例えば、上・下接地部を有する上・下スリーブを内外側に重畳設置して上下に一定に移動案内するとともに、上・下スリーブの間には螺旋状に巻き取られる緩衝スプリングを複数連結した緩衝作動部を形成することにより、緩衝作動部のワイヤ長および緩衝ストロークを最大化しながら小型（例えば長さ４ｍｍ以上）製作が可能であり、圧力（荷重）に対する弾発作動力および電気的特性に優れるうえ、何よりも耐久性に優れるプローブピンを提供する
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明のある観点によれば、上下に加えられる圧力に対して弾発緩衝作動する上下接点構造を有するスプリングタイプのプローブピンにおいて、上・下接地部を有する円筒状の上・下スリーブが上下移動案内可能に内外側に重畳設置され、上記上・下スリーブの間には、ゼンマイ状に巻き取られた一対の上・下緩衝スプリングが少なくとも一つ上下に連結され、上記上・下緩衝スプリングは、ゼンマイ状軌道が互いにずれて位置するように折り曲げられ、上下に重畳位置まで弾発緩衝作動する緩衝作動部を形成するようにプレスで一体成形される、上下接点構造を有するスプリングタイプのプローブピンが提供される。
【００１３】
また、上記緩衝作動部の上・下緩衝スプリングは、上・下スリーブを連結し、中心軸線で左右にジグザグ状に延長されるように連続的に打ち抜き加工された、「＞」形状、「＜」形状の左・右延長連結部を、中心軸線を中心としてゼンマイ状に巻き取り、上緩衝スプリングのゼンマイ状軌道と下緩衝スプリングのゼンマイ状軌道が互いにずれて位置し、上下に重畳位置まで弾発緩衝作動するように構成されてもよい。
【００１４】
また、上記上スリーブの内部に下スリーブが重畳するように挿入されて上下移動案内され、上記上スリーブは、中央部位を内側に折り曲げ、下スリーブの上下緩衝作動するストロークを制限する係止段部を形成するように構成されてもよい。
【００１５】
また、上記目的を達成するために、本発明の他の観点によれば、上下に加えられる圧力に対して弾発緩衝作動により衝撃を吸収する、上下接点構造を有するスプリングタイププローブピンの製造方法において、弾性力を有する板素材を打ち抜き加工し、プローブピンの上・下接地部、上・下スリーブ、および上記上・下スリーブの間に設置される緩衝作動部を形成するための平面形の打ち抜き体を成形する打ち抜き体成形段階と、上記緩衝作動部を形成するために上・下スリーブを連結するように、左右にジグザグ状に延長されるように連続的に形成された左・右延長連結部を少なくとも一つ連設した打ち抜き体の左・右延長連結部を、中心軸線を中心として内側にゼンマイ状に巻き取るように折り曲げることにより、上・下緩衝スプリングを形成し、上記上・下緩衝スプリングのゼンマイ状軌道が互いにずれて位置し、上下に重畳位置まで弾発緩衝作動するように成形する緩衝作動部成形段階と、上記下スリーブを形成する打ち抜き体を緩衝作動部の上部に重畳するように折り曲げた後、上記打ち抜き体の両端を緩衝作動部の外側に巻いて成形する下スリーブ成形段階と、上記下スリーブと上記緩衝作動部を、上スリーブを形成する打ち抜き体の上部に重畳するように折り曲げた後、上記打ち抜き体の両端を下スリーブの外側に重畳するように巻いて成形する上スリーブ成形段階と、を有する上下接点構造を有するスプリングタイププローブピンの製造方法が提供される。
【００１６】
また、上記目的を達成するために、本発明の他の観点によれば、上下に加えられる圧力に対して弾発緩衝作動する、上下接点構造を有するスプリングタイプのプローブピンにおいて、上・下接地部を有する円筒状の上・下スリーブが上下移動案内可能に内外側に重畳設置され、上記上・下スリーブの間には、螺旋状に巻き取られた緩衝スプリングを少なくとも一つ上下に連結して上下に弾発緩衝作動する緩衝作動部が形成され、上記緩衝作動部の緩衝スプリングは、上スリーブの下部と下スリーブの下部の側端に「＞」形状の連結部を少なくとも一つ有し、上記連結部を螺旋状に巻いて形成するようにプレスで一体成形される、上下接点構造を有するスプリングタイプのプローブピンが提供される。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、製造コストを低減することが可能であり、製造生産性にも優れたプローブピンを提供することができる。
【００１８】
より具体的には、本発明によれば、例えば、弾性力を有する板素材をプレス成形方式によって一体成形製造することにより、製造コストを低減し、かつ製造生産性にも優れたプローブピンを提供することが可能となるという効果を有する。
【００１９】
また、本発明によれば、緩衝作動部のワイヤ長および緩衝ストロークを最大化しながら小型化が可能であり、圧力（荷重）に対する弾発作動力および電気的特性に優れるうえ、何よりも耐久性に優れるプローブピンを提供することができる。
【００２０】
より具体的には、本発明に係るプローブピンは、例えば、上・下接地部を有する上・下スリーブを内外側に重畳設置して上下に一定に移動案内すると共に、上・下スリーブ間のスプリングタイプ緩衝作動部のワイヤ長および緩衝ストロークを最大化しながら超小型・小型製作が可能であり、圧力（荷重）に対する弾発作動力および電気的特性に優れるうえ、何よりも優れた耐久性を提供する。また、緩衝作動部は、例えば、上・下スリーブの間にゼンマイ状に巻き取られる一対の上・下緩衝スプリングの形で形成され、上・下緩衝スプリングのゼンマイ状軌道が互いにずれて上下に重畳位置まで緩衝作動するので、緩衝作動部のワイヤ長および緩衝ストロークを最大化して例えば４ｍｍ以下の超小型製作が可能であり、緩衝作動部は螺旋状に巻き取られる緩衝スプリングからなるので、緩衝作動部のワイヤ長および緩衝ストロークを最大化して例えば４ｍｍ以上の小型製作が可能である。すなわち、本発明に係るプローブピンは、例えば、上・下スリーブの構造と、上・下スリーブを内外側に重畳設置して一定に移動案内する構造と、上・下スリーブの内部に緩衝作動部を設置する構造とによって、緩衝作動部のワイヤ長および緩衝ストロークを最大化しながら超小型・小型製作が可能であり、圧力（荷重）に対する弾発作動力および電気的特性に優れるうえ、何よりも優れた耐久性を提供する効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施形態に係るプローブピンを示す正面図である。
【図２】図１に示す本発明の実施形態に係るプローブピンの平面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るプローブピンを示す正断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るプローブピンの緩衝作動部を示す平断面図である。
【図５】本発明の実施形態に係るプローブピンの打ち抜き体を示す平面図である。
【図６】図５の打ち抜き体によって本発明の実施形態に係るプローブピンを成形製造する過程を示す工程図である。
【図７】図６に示す緩衝作動部成形過程をさらに詳細に示す工程図である。
【図８】本発明の他の実施形態に係るプローブピンにおける展開状態を示す正面図である。
【図９】図８に示す本発明の他の実施形態に係るプローブピンを示す正断面図である。
【図１０】本発明の他の実施形態に係るプローブピンにおける展開状態を示す正面図である。
【図１１】図１０に示す本発明の他の実施形態に係るプローブピンを示す正断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００２３】
まず、本発明の実施形態に係る上下接点構造を有するスプリングタイプのプローブピン１００を上下長さが超小型（例えば４ｍｍ以下）となるように製作可能な実施形態を中心として説明する。
【００２４】
本発明の実施形態に係るプローブピンは、図１〜図５に示すように、上・下接地部１１、２１を有する円筒状の上・下スリーブ１０、２０を上下移動案内可能に内外側に重畳設置し、上・下スリーブ１０、２０の間にはゼンマイ状に巻き取られた一対の上・下緩衝スプリング３１、３１’を少なくとも一つ上下に連結して構成する。また、上・下緩衝スプリング３１、３１’は、ゼンマイ状軌道が互いにずれて位置するように折り曲げられ、上下に重畳位置まで弾発緩衝作動するように緩衝作動部３０を形成する。
【００２５】
緩衝作動部３０の上・下緩衝スプリング３１、３１’は、上・下スリーブ１０、２０を連結し、中心軸線３３で左右にジグザグ状に延長されるように連続的に打ち抜き加工によって形成された、「＞」形状、「＜」形状の左・右延長連結部３２、３２’を中心軸線３３を中心としてゼンマイ状に巻き取り、上緩衝スプリング３１のゼンマイ状軌道と下緩衝スプリング３１’のゼンマイ状軌道が互いにずれて位置して上下に重畳位置まで弾発緩衝作動するように構成される。
【００２６】
すなわち、上・下緩衝スプリング３１、３１’間の間隔だけでなく、上・下緩衝スプリング３１、３１’の重畳間隔まで上下に弾発緩衝作動するように構成される。
【００２７】
また、上スリーブ１０の内部に下スリーブ２０が重畳するように挿入されて上下移動案内されるが、上スリーブ１０は、中央部位を内側に折り曲げて下スリーブ２０の上下緩衝作動するストロークを制限する係止段部１２を形成するように構成される。このような本発明の実施形態に係るプローブピン１００は、弾性力を有する板素材を打ち抜き加工してプレス成形工程によって一体に成形製作される。
【００２８】
以下、本発明の実施形態に係るブローブピンの製造方法について、図６および図７を参照して説明する。
【００２９】
まず、弾性力を有する板素材を打ち抜き加工する。プローブピン１００の上・下接地部１１、２１、上・下スリーブ１０、２０、および上・下スリーブの間に設置される緩衝作動部３０を形成するための平面形の打ち抜き体Ａを形成する打ち抜き体成形段階を行う。
【００３０】
このとき、緩衝作動部３０を形成する打ち抜き体Ａ−１は、上下スリーブ１０、２０を連結するように左右にジグザグ状に延長されるように連続的に形成された、「＞」形状、「＜」形状の左・右延長連結部３２、３２’を少なくとも一つ連設したものである。
【００３１】
この状態で緩衝作動部３０を形成する打ち抜きＡ−１の左・右延長連結部３２、３２’を、中心軸線３３を中心として内側にゼンマイ状に巻き取るように折り曲げ、少なくとも一つの上・下緩衝スプリング３１、３１’を形成し、上・下緩衝スプリングのゼンマイ状軌道が互いにずれて上下に重畳位置まで弾発緩衝作動するように成形する緩衝作動部成形段階を行う。
【００３２】
この状態で下スリーブ２０を形成する打ち抜き体Ａ−２を、緩衝作動部３０の上部に重畳するように折り曲げた後、打ち抜き体Ａ−２の両端を緩衝作動部３０の外側に巻いて成形する下スリーブ成形段階を行う。
【００３３】
このとき、下スリーブ２０を形成する打ち抜き体Ａ−２は、両端を一部巻いて折り曲げた状態で緩衝作動部３０の上部に重畳するように折り曲げる。
【００３４】
この状態で下スリーブ２０と緩衝作動部３０を、上スリーブ１０を形成する打ち抜き体Ａ−３の上部に重畳するように折り曲げた後、打ち抜き体Ａ−３の両端を下スリーブ２０の外側に重畳するように巻いて成形する上スリーブ成形段階を行う。
【００３５】
このときにも、上スリーブ１０を形成する打ち抜き体Ａ−３は、両端を一部巻いて折り曲げると共に、上スリーブ１０は打ち抜き体Ａ−３の中央を内側に段差が付くように折り曲げた（上述したプローブピンの構造における係止段部１２を形成するための部分）状態で、下スリーブ２０と緩衝作動ブ３０を重畳するように折り曲げる。
【００３６】
こうして、図１〜図４に示したような本発明の実施形態に係るプローブピン１００をプレス成形工程によって一体に成形製作するため、製造コストの低減を図ることができ、また、製造生産性にも優れる。
【００３７】
このような本発明の実施形態に係るプローブピン１００は、上・下接地部１１、２１に外部連結端子（図示せず）を連結して止揚するが、圧力（荷重）に対して上・下スリーブ１０、２０が上下移動案内されながら緩衝作動部３０によって弾発緩衝作動する。
【００３８】
特に、上・下スリーブ１０、２０は内外側に重畳するように挿入されて上下に一定に移動案内され、緩衝作動部３０は、上・下スリーブ１０、２０の間に、ゼンマイ状に巻き取られた一対の上・下緩衝スプリング３１、３１’を上下に連結して構成されるが、上・下緩衝スプリング３１、３１’は、上緩衝スプリング３１のゼンマイ状軌道と下緩衝スプリング３１’のゼンマイ状軌道が互いにずれて位置するため、上緩衝スプリング３１と下緩衝スプリング３１’が互いに離隔した間隔および上・下緩衝スプリング３１、３１’が重畳する位置まで弾発緩衝作動することから、緩衝作動部３０のワイヤ長および緩衝ストロークを最大化しながら超小型（例えば長さ４ｍｍ以下）製作が可能であり、圧力（荷重）に対する弾発作動力および電気的特性に優れるうえ、何よりもプローブピン１００の長さを例えば４ｍｍ以下に製作して例えば１ｍｍ以上の上下ストロークで長時間（例えば３０万ストローク以上）使用可能である。
【００３９】
したがって、上述した実施形態のプローブピン１００は、上・下スリーブ構造と、上・下スリーブを内外側に重畳設置して一定に移動案内する構造とを有し、上・下スリーブの内部にゼンマイ状スプリングタイプの緩衝作動部を設置するが、緩衝作動部のワイヤ長および緩衝ストロークを最大化しながら超小型製作が可能であり、圧力（荷重）に対する弾発作動力および電気的特性に優れるうえ、何よりも優れた耐久性を示す。
【００４０】
次に、本発明の実施形態に係る上下接点構造を有するスプリングタイプのプローブピンを上下長さが小型（例えば４ｍｍ以上）となるように製作可能な実施形態を中心として説明する。
【００４１】
このプローブピンは、図８〜図１１に示すように、上・下接地部１１１、１２１を有する円筒状の上・下スリーブ１１０、１２０を上下移動案内可能に内外側に重畳設置し、上・下スリーブ１１０、１２０の間には螺旋状に巻き取られた緩衝スプリング１３１を少なくとも一つ上下に連結することにより上下に弾発緩衝作動する緩衝作動部１３０を形成するように、プレスで一体成形してなされる。
【００４２】
このとき、上・下スリーブ１１０、１２０は板素材を円筒状に巻いて形成し、緩衝作動部１３０は上スリーブ１１０の下部と下スリーブ１２０の下部の側端に「＞」形状の連結部１３２を少なくとも一つ連設し、連結部１３２を螺旋状に巻いて緩衝スプリング１３１を形成して構成される。
【００４３】
このような本発明の実施形態は、上述した実施形態と同様に上・下接地部を有する上・下スリーブ１１０、１２０を上下に一定に移動案内するとともに、上・下スリーブの内部に設置される緩衝スプリング１３２によって弾発緩衝作動するため、緩衝作動部１３０のワイヤ長および緩衝ストロークを最大化しながら小型（例えば長さ４ｍｍ以上）製作が可能であり、圧力（荷重）に対する弾発作動力および電気的特性に優れるうえ、何よりも使用耐久性に優れる。
【００４４】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【００４５】
１１、２１    上・下接地部
１２    係止段部
１０、２０    上・下スリーブ
３１、３１’    上・下緩衝スプリング
３０    緩衝作動部
３２、３２’    左・右延長連結部
３３    中心軸線
【図１】
0005619059.tif 000002
【図２】
0005619059.tif 000003
【図３】
0005619059.tif 000004
【図４】
0005619059.tif 000005
【図５】
0005619059.tif 000006
【図６】
0005619059.tif 000007
【図７】
0005619059.tif 000008
【図８】
0005619059.tif 000009
【図９】
0005619059.tif 000010
【図１０】
0005619059.tif 000011
【図１１】
0005619059.tif 000012