(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
空調空間を有する気密室と、前記気密室に空気を給気する給気ファンと、前記気密室から空気を排気する排気ファンと、ダンパ開度によって前記気密室から排気する空気の流量を調節可能な制御ダンパと、前記制御ダンパの近傍に設置されて前記ダンパ開度を調整する近接コントローラと、前記制御ダンパから離隔した箇所に設置されて前記近接コントローラに所定の操作指令を出力する遠隔操作コントローラと、前記気密室の室内気圧を測定してその測定気圧をそれらコントローラに出力する室圧センサとを備え、
前記気密室の室内気圧を変動させる変動要因の非発生時では、前記近接コントローラが前記室圧センサから出力された測定気圧を参照しつつ前記制御ダンパのダンパ開度を微調整して前記気密室の室内気圧を設定気圧に保持する開度第１調整手段を実行し、
前記変動要因の発生時では、前記遠隔操作コントローラが前記制御ダンパのダンパ開度を所定の開度にする操作指令を前記近接コントローラに出力する操作指令第１出力手段を実行し、前記近接コントローラが前記開度第１調整手段を中断しつつ前記遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って前記制御ダンパのダンパ開度を所定の開度に調整する開度第２調整手段を実行するとともに、前記開度第２調整手段を実行してから所定時間経過した後、前記遠隔操作コントローラが前記室圧センサから出力された前記測定気圧と前記設定気圧とを比較しつつ、前記測定気圧と前記設定気圧との差に応じて前記制御ダンパのダンパ開度を微調整して前記気密室の室内気圧を設定気圧にする操作指令を前記近接コントローラに出力する操作指令第２出力手段を実行し、前記近接コントローラが前記遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って前記制御ダンパのダンパ開度を微調整する開度第３調整手段を実行することを特徴とする室内気圧制御システム。
【請求項２】
前記操作指令第２出力手段では、前記測定気圧と前記設定気圧とを比較して操作指令を出力する１回の処理時間が０．１〜０．５ｓの範囲にある請求項１記載の室内気圧制御システム。
【請求項３】
前記システムでは、発生した前記変動要因がなくなって該変動要因の非発生時に戻ると、前記遠隔操作コントローラが前記操作指令第１出力手段と前記操作指令第２出力手段とを中断し、前記近接コントローラが前記開度第２調整手段と前記開度第３調整手段とを中断して前記開度第１調整手段を再び実行する請求項１または請求項２に記載の室内気圧制御システム。
【請求項４】
前記システムでは、前記近接コントローラが前記開度第１調整手段を実行中に、前記遠隔操作コントローラから出力される操作指令を導出するための該遠隔操作コントローラに設定された各種条件を変更可能であり、前記近接コントローラの運転を継続して前記気密室の室内気圧を設定気圧に保持しつつ、前記遠隔操作コントローラにおいて各種条件を変更する請求項１ないし請求項３いずれかに記載の室内気圧制御システム。
【請求項５】
前記変動要因が、稼働中の給排気ファンのうちの少なくとも一方の風量変化であり、稼働中のファンの風量が変化した場合、前記遠隔操作コントローラが、前記ダンパ開度を前記ファンの風量変化に対応した開度に変更または該ダンパ開度を風量変化直前の開度に保持する操作指令を前記近接コントローラに出力する前記操作指令第１出力手段を実行し、前記近接コントローラが、前記遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って前記制御ダンパのダンパ開度を前記ファンの風量変化に対応した開度に変更または該ダンパ開度を風量変化直前の開度に保持する前記開度第２調整手段を実行する請求項１ないし請求項４いずれかに記載の室内気圧制御システム。
【請求項６】
前記変動要因が、稼動中の給排気ファンのうちの少なくとも一方の停止であり、稼動中のファンが停止した場合、前記遠隔操作コントローラが、前記ダンパ開度を全閉または該ダンパ開度をファン停止直前の開度に保持する操作指令を前記近接コントローラに出力する前記操作指令第１出力手段を実行し、前記近接コントローラが、前記遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って前記制御ダンパのダンパ開度を全閉または該ダンパ開度をファン停止直前の開度に保持する前記開度第２調整手段を実行する請求項１ないし請求項５いずれかに記載の室内気圧制御システム。
【請求項７】
前記変動要因が、前記気密室に設置された扉の開放であり、前記扉が開放された場合、前記遠隔操作コントローラが、前記ダンパ開度を前記扉の開放に対応した開度に変更または該ダンパ開度を扉の開放直前の開度に保持する操作指令を前記近接コントローラに出力する前記操作指令第１出力手段を実行し、前記近接コントローラが、前記遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って前記制御ダンパのダンパ開度を前記扉の開放に対応した開度に変更または該ダンパ開度を扉の開放直前の開度に保持する前記開度第２調整手段を実行する請求項１ないし請求項６いずれかに記載の室内気圧制御システム。
【請求項８】
前記変動要因が、前記気密室に設置された停止中の局所排気装置または局所給気装置の稼動であり、停止中の局所排気装置または局所給気装置が稼動した場合、前記遠隔操作コントローラが、前記ダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の稼動に対応した開度に変更または該ダンパ開度をそれら装置の稼動直前の開度に保持する操作指令を前記近距離コントローラに出力する前記操作指令第１出力手段を実行し、前記近接コントローラが、前記遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って前記制御ダンパのダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の稼動に対応した開度に変更または該ダンパ開度をそれら装置の稼動直前の開度に保持する前記開度第２調整手段を実行する請求項１ないし請求項７いずれかに記載の室内気圧制御システム。
【請求項９】
前記変動要因が、前記気密室に設置された稼動中の局所排気装置または局所給気装置の停止であり、稼動中の局所排気装置または局所給気装置が停止した場合、前記遠隔操作コントローラが、前記ダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の停止に対応した開度に変更または該ダンパ開度をそれら装置の停止直前の開度に保持する操作指令を前記近距離コントローラに出力する前記操作指令第１出力手段を実行し、前記近接コントローラが、前記遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って前記制御ダンパのダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の停止に対応した開度に変更または該ダンパ開度をそれら装置の停止直前の開度に保持する前記開度第２調整手段を実行する請求項１ないし請求項８いずれかに記載の室内気圧制御システム。
【請求項１０】
前記開度第１調整手段では、前記近接コントローラが前記室圧センサから出力された前記測定気圧と前記設定気圧とを比較しつつ、前記測定気圧と前記設定気圧との差に応じて前記制御ダンパのダンパ開度を微調整し、前記気密室の室内気圧を設定気圧に保持する請求項１ないし請求項９いずれかに記載の室内気圧制御システム。
【請求項１１】
前記開度第１調整手段では、前記測定気圧と前記設定気圧とを比較して前記制御ダンパのダンパ開度を微調整する１回の処理時間が０．１〜０．５ｓの範囲にある請求項１０記載の室内気圧制御システム。
【請求項１２】
前記システムが、独立した複数の第１〜第ｎ気密室と、それら気密室に空気を給気する第１〜第ｎ給気ファンと、それら気密室から空気を排気する第１〜第ｎ排気ファンと、それら気密室から排気する空気の流量を調節可能な第１〜第ｎ制御ダンパと、それら制御ダンパの近傍に設置された第１〜第ｎ近接コントローラと、それら気密室の室内気圧を測定してその測定気圧を前記第１〜第ｎ近接コントローラと遠隔操作コントローラとに出力する第１〜第ｎ室圧センサとを含み、１つの前記遠隔操作コントローラが、前記第１〜第ｎ近接コントローラに所定の操作指令を個別に出力する請求項１ないし請求項１１いずれかに記載の室内気圧制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空調空間を有する気密室の室内気圧をコントロールする室内気圧制御システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
空調室に設置された圧力センサと、圧力センサから出力された測定室圧とあらかじめ設定された設定室圧とを比較してそれら室圧の差に応じた出力信号を発生する室圧コントローラと、空調室に接続された排気ダクトに設置された室圧調整用ダンパとを備え、室圧コントローラからの出力信号によって室圧調整用ダンパのダンパ開度を調整して空調室の室内気圧を設定室圧に保持する室圧制御装置がある（特許文献１参照）。
【０００３】
この室圧制御装置は、空調室の扉の開閉を検出する開閉センサが空調室に設置され、開閉センサが扉の開放を検出してその開信号を室圧コントローラに出力すると、室圧コントローラがその作動を一旦停止し、開閉センサが扉の閉鎖を検出してその閉信号を室圧コントローラに出力すると、室圧コントローラがその作動を再度開始する。扉が開放されて室圧コントローラの作動が停止すると、ダンパのダンパ開度が扉を開放する直前の開度に固定され、扉を閉鎖すると、ダンパのダンパ開度が室内気圧を設定室圧にする開度に調整される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６３−２４７５４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記公報に開示の室圧制御装置では、扉が開放されると、コントローラがその作動を一旦停止し、空調室の室内気圧のコントロールが一時的に中断するから、開放された扉を通して気圧の高い室から気圧の低い室に空気が流入したり、開放された扉を通して気圧の高い室から外部に空気が流出する。この室圧制御装置では、扉が開放されると、各空調室の室内気圧が大きく変動し、それら空調室の室内気圧が設定気圧から外れ、空調室の室内気圧を設定気圧に保持することができない。また、扉の開閉以外の室内気圧の変動要因によって空調室の室内気圧が変動した場合、その変動に対応するようにダンパ開度を調整することはないから、扉の開閉以外の変動要因による室内気圧の変動に対処することができず、室内気圧を設定気圧に戻すことができない。
【０００６】
本発明の目的は、気密室の室内気圧のコントロールが中断されることがなく、気密室の室内気圧を常時設定気圧に保持することができる室内気圧制御システムを提供する。本発明の他の目的は、各種の変動要因によって気密室の室内気圧が設定気圧から外れたとしても、気密室の環境を清浄に保持することができる室内気圧制御システムを提供する。本発明の他の目的は、各種の変動要因によって気密室の室内気圧が変動したとしても、気密室の室内気圧をスムーズに設定気圧にすることができる室内気圧制御システムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するための本発明の室内気圧制御システムは、空調空間を有する気密室と、気密室に空気を給気する給気ファンと、気密室から空気を排気する排気ファンと、ダンパ開度によって気密室から排気する空気の流量を調節可能な制御ダンパと、制御ダンパの近傍に設置されてダンパ開度を調整する近接コントローラと、制御ダンパから離隔した箇所に設置されて近接コントローラに所定の操作指令を出力する遠隔操作コントローラと、気密室の室内気圧を測定してその測定気圧をそれらコントローラに出力する室圧センサとを備え、気密室の室内気圧を変動させる変動要因の非発生時では、近接コントローラが室圧センサから出力された測定気圧を参照しつつ制御ダンパのダンパ開度を微調整して気密室の室内気圧を設定気圧に保持する開度第１調整手段を実行し、変動要因の発生時では、遠隔操作コントローラが制御ダンパのダンパ開度を所定の開度にする操作指令を近接コントローラに出力する操作指令第１出力手段を実行し、近接コントローラが開度第１調整手段を中断しつつ遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を所定の開度に調整する開度第２調整手段を実行するとともに、開度第２調整手段を実行してから所定時間経過した後、遠隔操作コントローラが室圧センサから出力された測定気圧と設定気圧とを比較しつつ、測定気圧と設定気圧との差に応じて制御ダンパのダンパ開度を微調整して気密室の室内気圧を設定気圧にする操作指令を近接コントローラに出力する操作指令第２出力手段を実行し、近接コントローラが遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を微調整する開度第３調整手段を実行することを特徴とする。
【０００８】
本発明の一例として、操作指令第２出力手段では、測定気圧と設定気圧とを比較して操作指令を出力する１回の処理時間が０．１〜０．５ｓの範囲にある。
【０００９】
本発明の他の一例として、室内気圧制御システムでは、発生した変動要因がなくなって変動要因の非発生時に戻ると、遠隔操作コントローラが操作指令第１出力手段と操作指令第２出力手段とを中断し、近接コントローラが開度第２調整手段と開度第３調整手段とを中断して開度第１調整手段を再び実行する。
【００１０】
本発明の他の一例として、室内気圧制御システムでは、近接コントローラが開度第１調整手段を実行中に、遠隔操作コントローラから出力される操作指令を導出するための遠隔操作コントローラに設定された各種条件を変更可能であり、近接コントローラの運転を継続して気密室の室内気圧を設定気圧に保持しつつ、遠隔操作コントローラにおいて各種条件を変更する。
【００１１】
本発明の他の一例としては、変動要因が稼働中の給排気ファンのうちの少なくとも一方の風量変化であり、稼働中のファンの風量が変化した場合、遠隔操作コントローラが、ダンパ開度をファンの風量変化に対応した開度に変更またはダンパ開度を風量変化直前の開度に保持する操作指令を近接コントローラに出力する操作指令第１出力手段を実行し、近接コントローラが、遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度をファンの風量変化に対応した開度に変更またはダンパ開度を風量変化直前の開度に保持する開度第２調整手段を実行する。
【００１２】
本発明の他の一例としては、変動要因が稼動中の給排気ファンのうちの少なくとも一方の停止であり、稼動中のファンが停止した場合、遠隔操作コントローラが、ダンパ開度を全閉またはダンパ開度をファン停止直前の開度に保持する操作指令を近接コントローラに出力する操作指令第１出力手段を実行し、近接コントローラが、遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を全閉またはダンパ開度をファン停止直前の開度に保持する開度第２調整手段を実行する。
【００１３】
本発明の他の一例としては、変動要因が気密室に設置された扉の開放であり、扉が開放された場合、遠隔操作コントローラが、ダンパ開度を扉の開放に対応した開度に変更またはダンパ開度を扉の開放直前の開度に保持する操作指令を近接コントローラに出力する操作指令第１出力手段を実行し、近接コントローラが、遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を扉の開放に対応した開度に変更またはダンパ開度を扉の開放直前の開度に保持する開度第２調整手段を実行する。
【００１４】
本発明の他の一例としては、変動要因が気密室に設置された停止中の局所排気装置または局所給気装置の稼動であり、停止中の局所排気装置または局所給気装置が稼動した場合、遠隔操作コントローラが、ダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の稼動に対応した開度に変更またはダンパ開度をそれら装置の稼動直前の開度に保持する操作指令を近距離コントローラに出力する操作指令第１出力手段を実行し、近接コントローラが、遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の稼動に対応した開度に変更またはダンパ開度をそれら装置の稼動直前の開度に保持する開度第２調整手段を実行する。
【００１５】
本発明の他の一例としては、変動要因が気密室に設置された稼動中の局所排気装置または局所給気装置の停止であり、稼動中の局所排気装置または局所給気装置が停止した場合、遠隔操作コントローラが、ダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の停止に対応した開度に変更またはダンパ開度をそれら装置の停止直前の開度に保持する操作指令を近距離コントローラに出力する操作指令第１出力手段を実行し、近接コントローラが、遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の停止に対応した開度に変更またはダンパ開度をそれら装置の停止直前の開度に保持する開度第２調整手段を実行する。
【００１６】
本発明の他の一例として、開度第１調整手段では、近接コントローラが室圧センサから出力された測定気圧と設定気圧とを比較しつつ、測定気圧と設定気圧との差に応じて制御ダンパのダンパ開度を微調整し、気密室の室内気圧を設定気圧に保持する。
【００１７】
本発明の他の一例として、開度第１調整手段では、測定気圧と設定気圧とを比較して制御ダンパのダンパ開度を微調整する１回の処理時間が０．１〜０．５ｓの範囲にある。
【００１８】
本発明の他の一例としては、室内気圧制御システムが、独立した複数の第１〜第ｎ気密室と、それら気密室に空気を給気する第１〜第ｎ給気ファンと、それら気密室から空気を排気する第１〜第ｎ排気ファンと、それら気密室から排気する空気の流量を調節可能な第１〜第ｎ制御ダンパと、それら制御ダンパの近傍に設置された第１〜第ｎ近接コントローラと、それら気密室の室内気圧を測定してその測定気圧を第１〜第ｎ近接コントローラと遠隔操作コントローラとに出力する第１〜第ｎ室圧センサとを含み、１つの前記遠隔操作コントローラが、第１〜第ｎ近接コントローラに所定の操作指令を個別に出力する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明にかかる室内気圧制御システムによれば、気密室の室内気圧がわずかに変動する変動要因の非発生時に近接コントローラが制御ダンパのダンパ開度を微調整して気密室の室内気圧を設定気圧に保持するから、気密室の室内気圧のコントロールが中断されることはなく、気密室の室内気圧を常時設定気圧に保持することができる。システムは、気密室の室内気圧を変動させる変動要因の発生時に、遠隔操作コントローラが制御ダンパのダンパ開度を所定の開度にする操作指令を近接コントローラに出力し、近接コントローラが遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を調整するから、各種の変動要因によって気密室の室内気圧が変動したとしても、気密室の室内気圧を設定気圧にすることができる。さらに、各種の変動要因によって気密室の室内気圧が設定気圧から外れたとしても、気密室の環境を清浄に保持することができる。なお、変動要因の発生時にダンパ開度を微調整する近接コントローラを利用すると、ダンパ開度の調整が変動要因による気圧変動に追従することができず、気密室の室内気圧を設定気圧に保持することができないとともに、気密室の室内気圧が設定気圧から外れた場合に気密室の清浄環境を維持することができないのみならず、気密室の室内気圧を設定気圧にスムーズに復帰させることができなくなるが、変動要因の発生時に遠隔操作コントローラを利用することで、変動要因による気圧変動に追従させた状態でダンパ開度を調整することができ、気密室の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、気密室の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、気密室の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、変動要因による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、気密室の環境を清浄に保持することができる。室内気圧制御システムは、変動要因の発生時において開度第２調整手段を実行して所定時間経過した後、遠隔操作コントローラが測定気圧と設定気圧とを比較しつつ、測定気圧と設定気圧との差に応じて制御ダンパのダンパ開度を微調整して気密室の室内気圧を設定気圧にする操作指令を近接コントローラに出力し、近接コントローラが遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を微調整するから、変動要因の発生時に遠隔操作コントローラが測定気圧と設定気圧とを比較しつつ制御ダンパのダンパ開度を微調整するフィードバック制御を実行することで、遠隔操作コントローラを利用して気密室の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができる。また、変動要因が発生した後に気密室の室内気圧が設定気圧の範囲内にある場合は、気密室の室内気圧を設定気圧に確実に保持することができる。
【００２０】
操作指令第２出力手段において測定気圧と設定気圧とを比較して操作指令を出力する１回の処理時間が０．１〜０．５ｓの範囲にある室内気圧制御システムは、操作指令第２出力手段における１回の処理時間が前記範囲にあるから、フィードバック制御のフィードバック時間を短くすることができ、変動要因の発生時において単位時間当たりに多くのフィードバックをかけることで、遠隔操作コントローラを利用して気密室の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができる。また、変動要因が発生した後に気密室の室内気圧が設定気圧の範囲内にある場合は、気密室の室内気圧を設定気圧に確実に保持することができる。
【００２１】
発生した変動要因がなくなって変動要因の非発生時に戻ると、遠隔操作コントローラが操作指令第１出力手段と操作指令第２出力手段とを中断し、近接コントローラが開度第２調整手段と開度第３調整手段とを中断して開度第１調整手段を再び実行する室内気圧制御システムは、変動要因の非発生時に戻った後、気密室の室内気圧がわずかに変動したとしても、近接コントローラが制御ダンパのダンパ開度を微調整して気密室の室内気圧を設定気圧に保持するから、気密室の室内気圧のコントロールが中断されることはなく、気密室の室内気圧を常時設定気圧に保持することができる。
【００２２】
近接コントローラが開度第１調整手段を実行中に、遠隔操作コントローラから出力される操作指令を導出するための遠隔操作コントローラに設定された各種条件を変更可能であり、近接コントローラの運転を継続して気密室の室内気圧を設定気圧に保持しつつ、遠隔操作コントローラにおいて各種条件を変更する室内気圧制御システムは、変動要因の各種設定条件によって遠隔操作コントローラに設定された各種条件の変更が必要になった場合でも、近接コントローラの稼動を中断することなく開度第１調整手段を継続して実行するから、気密室の室内気圧のコントロールが中断されることはなく、気密室の室内気圧を常時設定気圧に保持することができる。このシステムは、気密室の室内気圧を設定気圧に保持しつつ、遠隔操作コントローラに設定された各種条件を変更することができるから、継続運転の要求に対応しつつ、変動要因の各種設定条件に対応して遠隔操作コントローラに設定された各種条件を変更することができる。
【００２３】
変動要因が給排気ダクトに設置された稼働中のファンの風量変化であり、ファンの風量が変化した場合、近接コントローラが遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度をファンの風量変化に対応した開度に変更またはダンパ開度を風量変化直前の開度に保持する室内気圧制御システムは、給排気ダクトに設置されたファンの風量が変化した場合、遠隔操作コントローラの操作指令に従って近接コントローラが制御ダンパのダンパ開度をファンの風量変化に対応した開度に変更またはダンパ開度を風量変化直前の開度に保持するから、風量変化による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラを利用することで、風量変化による気密室の気圧変動に追従させた状態でダンパ開度を調整することができ、気密室の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、気密室の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、気密室の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、変動要因による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、気密室の環境を清浄に保持することができる。
【００２４】
変動要因が給排気ダクトに設置された稼働中にファンの停止であり、ファンが停止した場合、近接コントローラが遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を全閉またはダンパ開度をファン停止直前の開度に保持する室内気圧制御システムは、給排気ダクトに設置されたファンが停止した場合、遠隔操作コントローラの操作指令に従って近接コントローラが制御ダンパのダンパ開度を全閉またはダンパ開度をファン停止直前の開度に保持するから、ファン停止による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラを利用することで、ファン停止による気密室の気圧変動に追従させた状態でダンパ開度を調整することができ、気密室の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、気密室の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、気密室の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、変動要因による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、気密室の環境を清浄に保持することができる。
【００２５】
変動要因が気密室に設置された扉の開放であり、扉が開放された場合、近接コントローラが遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を扉の開放に対応した開度に変更またはダンパ開度を扉の開放直前の開度に保持する室内気圧制御システムは、気密室に設置された扉が開放された場合、遠隔操作コントローラの操作指令に従って近接コントローラが制御ダンパのダンパ開度を扉の開放に対応した開度に変更またはダンパ開度を扉の開放直前の開度に保持するから、扉の開放による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラを利用することで、扉の開放による気密室の気圧変動に追従させた状態でダンパ開度を調整することができ、気密室の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、気密室の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、気密室の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、変動要因による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、気密室の環境を清浄に保持することができる。
【００２６】
変動要因が気密室に設置された停止中の局所排気装置または局所給気装置の稼動であり、局所排気装置または局所給気装置が稼動した場合、近接コントローラが遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の稼動に対応した開度に変更またはダンパ開度をそれら装置の稼動直前の開度に保持する室内気圧制御システムは、気密室に設置された局所排気装置または局所給気装置が稼動した場合、遠隔操作コントローラの操作指令に従って近接コントローラが制御ダンパのダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の稼動に対応した開度に変更またはダンパ開度をそれら装置の稼動直前の開度に保持するから、局所排気装置または局所給気装置の稼動による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラを利用することで、局所排気装置または局所給気装置の稼動による気密室の気圧変動に追従させた状態でダンパ開度を調整することができ、気密室の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、気密室の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、気密室の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、変動要因による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、気密室の環境を清浄に保持することができる。
【００２７】
変動要因が気密室に設置された稼動中の局所排気装置または局所給気装置の停止であり、局所排気装置または局所給気装置が停止した場合、近接コントローラが遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の停止に対応した開度に変更またはダンパ開度をそれら装置の停止直前の開度に保持する室内気圧制御システムは、気密室に設置された局所排気装置または局所給気装置が停止した場合、遠隔操作コントローラの操作指令に従って近接コントローラが制御ダンパのダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の停止に対応した開度に変更またはダンパ開度をそれら装置の停止直前の開度に保持するから、局所排気装置または局所給気装置の停止による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラを利用することで、局所排気装置または局所給気装置の停止による気密室の気圧変動に追従させた状態でダンパ開度を調整することができ、気密室の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、気密室の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、気密室の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、変動要因による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、気密室の環境を清浄に保持することができる。
【００２８】
開度第１調整手段において近接コントローラが測定気圧と設定気圧とを比較しつつ、測定気圧と設定気圧との差に応じて制御ダンパのダンパ開度を微調整して気密室の室内気圧を設定気圧に保持する室内気圧制御システムは、室内気圧がわずかに変動する変動要因の非発生時に、近接コントローラが測定気圧と設定気圧とを比較しつつ制御ダンパのダンパ開度を微調整するフィードバック制御を実行するから、近接コントローラを利用して気密室の室内気圧を設定気圧に確実に保持することができる。
【００２９】
開度第１調整手段において測定気圧と設定気圧とを比較して制御ダンパのダンパ開度を微調整する１回の処理時間が０．１〜０．５ｓの範囲にある室内気圧制御システムは、開度第１調整手段における１回の処理時間が前記範囲にあるから、フィードバック制御のフィードバック時間を短くすることができ、室内気圧がわずかに変動する変動要因の非発生時において単位時間当たりに多くのフィードバックをかけることで、近接コントローラを利用して気密室の室内気圧を設定気圧に確実に保持することができる。
【００３０】
独立した複数の第１〜第ｎ気密室と、それら気密室に空気を給気する第１〜第ｎ給気ファンと、それら気密室から空気を排気する第１〜第ｎ排気ファンと、それら気密室から排気する空気の流量を調節可能な第１〜第ｎ制御ダンパと、それら制御ダンパの近傍に設置された第１〜第ｎ近接コントローラと、それら気密室の室内気圧を測定してその測定気圧をそれら近接コントローラと遠隔操作コントローラとに出力する第１〜第ｎ室圧センサとを含み、１つの遠隔操作コントローラが第１〜第ｎ近接コントローラに所定の操作指令を個別に出力する室内気圧制御システムは、第１〜第ｎ気密室の室内気圧がわずかに変動する変動要因の非発生時に第１〜第ｎ近接コントローラが第１〜第ｎ制御ダンパのダンパ開度を微調整してそれら気密室の室内気圧を設定気圧に保持するから、それら気密室の室内気圧のコントロールが中断されることはなく、第１〜第ｎ気密室の室内気圧を常時設定気圧に保持することができる。さらに、各種の変動要因によって第１〜第ｎ気密室の室内気圧が設定気圧から外れたとしても、第１〜第ｎ気密室の環境を清浄に保持することができる。システムは、第１〜第ｎ気密室の室内気圧を変動させる変動要因の発生時に、１つの遠隔操作コントローラが第１〜第ｎ近接コントローラをまとめて管理しつつ、遠隔操作コントローラが第１〜第ｎ制御ダンパのダンパ開度を所定の開度にする操作指令を第１〜第ｎ近接コントローラに出力し、それら近接コントローラが遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従ってそれら制御ダンパのダンパ開度を調整するから、各種の変動要因によって第１〜第ｎ気密室の室内気圧が変動したとしても、それら気密室の室内気圧を設定気圧にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】一例として示す室内気圧制御システムの構成図。
【図２】給排気ファンの風量変化と旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図。
【図３】給排気ファンの風量変化と旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）との関係の他の一例を示す図。
【図４】給排気ファンの停止と旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図。
【図５】扉の開放と旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図。
【図６】局所排気装置または局所給気装置の稼動と旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図。
【図７】局所排気装置または局所給気装置の停止と旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
一例として示す室内気圧制御システムの構成図である図１等の添付の図面を参照し、本発明にかかる室内気圧制御システムの詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図１は、第１および第２クリーンルーム１１，１２（気密室）をその側方から示している。図１では２室のクリーンルーム１１，１２を図示しているが、クリーンルームを２室に限定するものではなく、３室以上の第１〜第ｎクリーンルームに対してこのシステム１０の室内気圧コントロールを適用することもできる。
【００３３】
室内気圧制御システム１０は、独立した複数の第１および第２クリーンルーム１１，１２（第１〜第ｎクリーンルーム）（第１〜第ｎ気密室）と、それらクリーンルーム１１，１２に空気を供給する第１および第２給気ダクト１３，１４（第１〜第ｎ給気ダクト）と、それらクリーンルーム１１，１２から室外に空気を排出する第１および第２排気ダクト１５，１６（第１〜第ｎ排気ダクト）と、それらクリーンルーム１１，１２に空気を給気する第１および第２給気ファン１７，１８（第１〜第ｎ給気ファン）と、それらクリーンルーム１１，１２から空気を排気する第１および第２排気ファン１９，２０（第１〜第ｎ排気ファン）と、第１および第２制御ダンパ２１，２２（第１〜第ｎ制御ダンパ）と、第１および第２近接コントローラ２３，２４（第１〜第ｎ近接コントローラ）と、１つの遠隔操作コントローラ２５と、それらクリーンルーム１１，１２の室内気圧を測定する第１および第２室圧センサ２６，２７（第１〜第ｎ室圧センサ）と、局所排気装置２８（第１〜第ｎ局所排気装置）および局所給気装置２９（第１〜第ｎ局所給気装置）とを備えている。
【００３４】
それらクリーンルーム１１，１２は、天井３０および床３１と前後壁３２，３３および側壁３４とに囲繞された所定容積の気密な空調空間を有し、天井３０、床３１、それら壁３２〜３４によって室外と仕切られている。天井３０には、給気ダクト１３，１４から供給される空気をクリーンルーム１１，１２の室内に取り入れるための給気口（図示せず）が施設されている。側壁３４には、クリーンルーム１１，１２の室内の空気を排気ダクト１５，１６に取り入れるための排気口３５が施設されている。前壁３２には、クリーンルーム１１，１２の室内に出入りするための扉３６，３７（第１〜第ｎ扉）が設置されている。このシステム１０では、その利用中にそれらクリーンルーム１１，１２の室内気圧が厳密に管理され、室内気圧があらかじめ設定された設定気圧（目標室圧）に維持されている。
【００３５】
第１給気ダクト１３は、第１クリーンルーム１１の天井３０に施設された給気口につながり、第１クリーンルーム１１に連結されている。第２給気ダクト１４は、第２クリーンルーム１２の天井３０に施設された給気口につながり、第２クリーンルーム１２に連結されている。第１排気ダクト１５は、第１クリーンルーム１１の側壁３４に施設された排気口３５につながり、第１クリーンルーム１１に連結されている。第２排気ダクト１６は、第２クリーンルーム１２の側壁３４に施設された排気口３５につながり、第２クリーンルーム１２に連結されている。
【００３６】
第１給気ファン１７は、第１給気ダクト１３に設置され、所定量の空気を第１クリーンルーム１１に強制的に給気する。第１給気ファン１７は、インターフェイス３８（有線または無線）を介して遠隔操作コントローラ２５に接続されている。第１給気ファン１７は、そのＯＮ信号（稼動信号）およびＯＦＦ信号（停止信号）を遠隔操作コントローラ２５に出力するとともに、稼働中の風量（風速）をコントローラ２５に出力する。
【００３７】
第２給気ファン１８は、第２給気ダクト１４に設置され、所定量の空気を第２クリーンルーム１２に強制的に給気する。第２給気ファン１８は、インターフェイス３８を介して遠隔操作コントローラ２５に接続されている。第２給気ファン１８は、そのＯＮ信号（稼動信号）やＯＦＦ信号（停止信号）を遠隔操作コントローラ２５に出力するとともに、稼働中の風量（風速）をコントローラ２５に出力する。
【００３８】
第１排気ファン１９は、第１排気ダクト１５に設置され、所定量の空気を第１クリーンルーム１１から強制的に排気する。第１排気ファン１９は、インターフェイス３８を介して遠隔操作コントローラ２５に接続されている。第１排気ファン１９は、そのＯＮ信号（稼動信号）やＯＦＦ信号（停止信号）を遠隔操作コントローラ２５に出力するとともに、稼働中の風量（風速）をコントローラ２５に出力する。
【００３９】
第２排気ファン２０は、第２排気ダクト１６に設置され、所定量の空気を第２クリーンルーム１２から強制的に排気する。第２排気ファン２０は、インターフェイス３８を介して遠隔操作コントローラ２５に接続されている。第２排気ファン２０は、そのＯＮ信号（稼動信号）やＯＦＦ信号（停止信号）を遠隔操作コントローラ２５に出力するとともに、稼働中の風量（風速）をコントローラ２５に出力する。
【００４０】
第１制御ダンパ２１は、第１クリーンルーム１１と第１排気ファン１９との間に延びる第１排気ダクト１５に設置されている。第２制御ダンパ２２は、第２クリーンルーム１２と第２排気ファン２０との間に延びる第２排気ダクト１６に設置されている。それら制御ダンパ２１，２２は、モジュトロールモータ（図示せず）と、モータの駆動力によって旋回する旋回羽根３９と、旋回羽根３９の旋回によって開閉される空気流路（図示せず）とから形成されている。それら制御ダンパ２１，２２では、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）によってそれらクリーンルーム１１，１２から排気される空気の流量を調節する。それら制御ダンパ２１，２２には、平行翼ダンパまたは対向翼ダンパを使用することができる。
【００４１】
第１近接コントローラ２３は、第１制御ダンパ２１に隣接した位置（ダンパ２１の近傍）に設置されている。第１近接コントローラ２３は、インターフェイス３８を介して遠隔操作コントローラ２６に接続されている。コントローラ２３は、第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を所定の角度（所定の開度）に設定または変更する開度制御信号をダンパ２１に出力することで、空気流路の開度を所定の開度に調整する。
【００４２】
第２近接コントローラ２４は、第２制御ダンパ２２に隣接した位置（ダンパ２２の近傍）に設置されている。第２近接コントローラ２４は、インターフェイス３８を介して遠隔操作コントローラ２５に接続されている。コントローラ２４は、第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を所定の角度（所定の開度）に設定または変更する開度制御信号をダンパ２２に出力することで、空気流路の開度を所定の開度に調整する。
【００４３】
第１および第２近接コントローラ２３，２４は、演算処理を行う中央処理部と各種条件を記憶可能な主記憶部（メモリ）とを有するマイクロプロセッサである。それら近接コントローラ２３，２４には、図示はしていないが、各種条件を入力するための入力装置、入力確認のための表示装置がインターフェイスを介して接続されている。
【００４４】
第１近接コントローラ２３の主記憶部には、第１クリーンルーム１１の設定気圧と第１制御ダンパ２１の空気流路を通過する空気量との相関関係が格納され、設定気圧に対応する空気量とその空気量に対応する第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）との相関関係が格納されている。第２近接コントローラ２４の主記憶部には、第２クリーンルーム１２の設定気圧と第２制御ダンパ２２の空気流路を通過する空気量との相関関係が格納され、設定気圧に対応する空気量とその空気量に対応する第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）との相関関係が格納されている。
【００４５】
それら制御ダンパ２１，２２では、それら近接コントローラ２３，２４から出力された開度制御信号によってモジュトロールモータが回転し、それによって旋回羽根３９が所定角度に旋回する。旋回羽根３９が所定角度に旋回すると、ダンパ２１，２２の空気流路の開度が変わり、空気流路を通過する空気の流量が変わる。
【００４６】
遠隔操作コントローラ２５は、それら制御ダンパ２１，２２から離隔した箇所に設置されている。遠隔操作コントローラ２５の設置箇所としては、クリーンルーム１１，１２から離れた機械室４０や監視室４０等がある。遠隔操作コントローラ２５は、演算処理を行う中央処理装置と各種条件を記憶可能な主記憶装置（メモリ）とを有するコンピュータである。遠隔操作コントローラ２５には、図示はしていないが、各種条件を入力するための入力装置、入力確認のための表示装置がインターフェイスを介して接続されている。
【００４７】
コントローラ２５の主記憶装置には、第１および第２クリーンルーム１１，１２の設定気圧が格納されている。コントローラ２５の主記憶装置には、第１クリーンルーム１１の設定気圧と第１給気ファン１７の風量（風速）との相関関係が格納され、その風量に対応する第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９の開度（旋回角度）が格納されている。また、第１給気ファン１７の風量が設定気圧に対応する風量以外の風量に変化した場合、変化後のそれら風量において第１クリーンルーム１１の室内気圧を設定気圧にするためのそれら風量に対応した第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９の複数の開度（旋回角度）が格納されている。
【００４８】
コントローラ２５の主記憶装置には、第２クリーンルーム１２の設定気圧と第２給気ファン１８の風量（風速）との相関関係が格納され、その風量に対応する第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９の開度（旋回角度）が格納されている。また、第２給気ファン１８の風量が設定気圧に対応する風量以外の風量に変化した場合、変化後のそれら風量において第２クリーンルーム１２の室内気圧を設定気圧にするためのそれら風量に対応した第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９の複数の開度（旋回角度）が格納されている。
【００４９】
コントローラ２５の主記憶装置には、第１クリーンルーム１１の設定気圧と第１排気ファン１９の風量（風速）との相関関係が格納され、その風量に対応する第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９の開度（旋回角度）が格納されている。また、第１排気ファン１９の風量が設定気圧に対応する風量以外の風量に変化した場合、変化後のそれら風量において第１クリーンルーム１１の室内気圧を設定気圧にするためのそれら風量に対応した第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９の複数の開度（旋回角度）との相関関係が格納されている。
【００５０】
コントローラ２５の主記憶装置には、第２クリーンルーム１２の設定気圧と第２排気ファン２０の風量（風速）との相関関係が格納され、その風量に対応する第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９の開度（旋回角度）が格納されている。また、第２排気ファン２０の風量が設定気圧に対応する風量以外の風量に変化した場合、変化後のそれら風量において第２クリーンルーム１２の室内気圧を設定気圧にするためのそれら風量に対応した第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９の複数の開度（旋回角度）との相関関係が格納されている。
【００５１】
コントローラ２５の主記憶装置には、第１クリーンルーム１１の扉３６が開放されたときの扉３６の旋回角度とその旋回角度において扉３６の開放空間４１（図５参照）を通過する空気の流量との相関関係が格納され、扉３６の開放空間４１を通過する空気の流量とその流量において第１クリーンルーム１１の室内気圧を設定気圧にするための第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９の開度（旋回角度）との相関関係が格納されている。また、第２クリーンルーム１２の扉３７が開放されたときの扉３７の旋回角度とその旋回角度において扉３７の開放空間４１を通過する空気の流量との相関関係が格納され、扉３７の開放空間４１を通過する空気の流量とその流量において第２クリーンルーム１２の室内気圧を設定気圧にするための第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９の開度（旋回角度）との相関関係が格納されている。
【００５２】
コントローラ２５の主記憶装置には、第１クリーンルーム１１に設置された停止中の局所排気装置２８が稼動した場合の排気ダクト１５から排気される空気の複数の排気流量と、それら排気流量において第１クリーンルーム１１の室内気圧を設定気圧にするためのそれら排気流量に対応した第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９の複数の開度（旋回角度）とが格納されている。さらに、第２クリーンルーム１２に設置された停止中の局所給気装置２９が稼動した場合の排気ダクト１５から排気される空気の複数の排気流量と、それら排気流量において第２クリーンルーム１２の室内気圧を設定気圧にするためのそれら排気流量に対応した第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９の複数の開度（旋回角度）とが格納されている。
【００５３】
コントローラ２５の主記憶装置には、第１クリーンルーム１１に設置された稼動中の局所排気装置２８が停止した場合の排気ダクト１５から排気される空気の排気流量と、その排気流量において第１クリーンルーム１１の室内気圧を設定気圧に保持するためのその排気流量に対応した第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９の開度（旋回角度）とが格納されている。さらに、第２クリーンルーム１２に設置された稼動中の局所給気装置２９が停止した場合の排気ダクト１５から排気される空気の排気流量と、その排気流において第２クリーンルーム１２の室内気圧を設定気圧にするためのその排気流量に対応する第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９の開度（旋回角度）とが格納されている。
【００５４】
第１室圧センサ２６は、第１クリーンルーム１１の室内に設置され、インターフェイス３８を介して第１近接コントローラ２３に接続されている。第１室圧センサ２６は、第１クリーンルーム１１の室内の気圧を測定し、測定気圧を第１近接コントローラ２３に出力する。第２室圧センサ２７は、第２クリーンルーム１２の室内に設置され、インターフェイス３８を介して第２近接コントローラ２４に接続されている。第２室圧センサ２７は、第２クリーンルーム１２の室内の気圧を測定し、測定気圧を第２近接コントローラ２４に出力する。なお、それら室圧センサ２６，２７が測定した測定気圧は、それら近接コントローラ２３，２４を経由して遠隔操作コントローラ２５にも出力される。
【００５５】
局所排気装置２８は、第１クリーンルーム１１に設置され、塵や微粉、ガス等の不要物をクリーンルーム１１の室内空気とともに吸引し、不要物を室外に排出する。局所排気装置２８は、第１クリーンルーム１１の一部から室外に空気を排出する局所排気ダクト４２と、クリーンルーム１１から所定量の空気を強制的に排気する局所排気ファン４３とから形成されている。局所排気ファン４３は、インターフェイス３８を介して遠隔操作コントローラ２５に接続されている。局所排気ファン４３は、そのＯＮ信号（稼動信号）やＯＦＦ信号（停止信号）を遠隔操作コントローラ２５に出力するとともに、稼働中の風量（風速）をコントローラ２５に出力する。
【００５６】
局所給気装置２９は、第２クリーンルーム１２に設置され、クリーンルーム１２に施設された器具や機械の熱を冷却し、器具や機械の熱による損傷を防止する。局所給気装置２９は、第２クリーンルーム１２の一部に空気を供給する局所給気ダクト４４と、第２クリーンルーム１２に所定量の空気を強制的に給気する局所給気ファン４５とから形成されている。局所給気ファン４５は、インターフェイス３８を介して遠隔操作コントローラ２５に接続されている。局所給気ファン４５は、そのＯＮ信号（稼動信号）やＯＦＦ信号（停止信号）を遠隔操作コントローラ２５に出力するとともに、稼働中の風量（風速）をコントローラ２５に出力する。
【００５７】
給気ファン１７，１８から給気された空気は、給気ダクト１３，１４を通ってクリーンルーム１１，１２の室内に流入した後、排気ダクト１５，１６を通って排気ファン１９，２０に流入し、排気ファン１９，２０から排気ダクト１５，１６を通って室外に排気される。また、第１クリーンルーム１１では、局所排気装置２８が稼動すると、室内の空気が局所排気ダクト４２を通って局所排気ファン４３に流入し、局所排気ファン４３から局所排気ダクト４２を通って室外に排気される。第２クリーンルーム１２では、局所給気装置２９が稼動すると、空気が局所給気ダクト４４を通って局所吸気ファン４５に流入し、局所吸気ファン４５から局所吸気ダクト４４を通って室内に吸気される。
【００５８】
このシステム１０において、それらクリーンルーム１１，１２の室内気圧を変動させる変動要因の非発生時における室内気圧制御を説明すると、以下のとおりである。なお、変動要因には、稼働中の排気ファン１９，２０の風量変化、稼働中の給気ファン１７，１８の風量変化、稼動中の排気ファン１９，２０の停止、稼動中の給気ファン１７，１８の停止、扉３６，３７の開放、停止中の局所排気装置２８の稼動、停止中の局所給気装置２９の稼動、稼働中の局所排気装置２８の停止、稼働中の局所給気装置２９の停止がある。クリーンルーム１１，１２における変動要因の非発生時とは、扉３６，３７が閉鎖され、給排気ファン１７〜２０が初期設定の風量で稼動し、装置２８，２９が停止または装置２８，２９が稼動している状態である。
【００５９】
変動要因の非発生時では、第１および第２近接コントローラ２３，２４が第１および第２室圧センサ２６，２７から出力された測定気圧を参照しつつ、第１および第２制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を微調整してそれらクリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持する開度第１調整手段を実行する。
【００６０】
開度第１調整手段では、それら近接コントローラ２３，２４がそれら室圧センサ２６，２７から出力された測定気圧と設定気圧とを比較しつつ、測定気圧と設定気圧との差に応じてそれら制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を微調整するフィードバック制御（ＰＤ制御またはＰＩＤ制御）を実行する。第１および第２近接コントローラ２３，２４では、測定気圧と設定気圧とを比較して制御ダンパ２１，２２の旋回角度（ダンパ開度）を微調整する１回の処理時間が０．１〜０．５ｓの範囲にある。
【００６１】
変動要因の非発生時では、それら近接コントローラ２３，２４が測定気圧と設定気圧とを比較しつつ、測定気圧と設定気圧との差に応じてそれら制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を微調整するフィードバック制御を実行し、それらクリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持するから、それらクリーンルーム１１，１２の室内気圧のコントロールが中断されることはなく、それら近接コントローラ２３，２４を利用してクリーンルーム１１，１２の室内気圧を常時設定気圧に保持することができる。また、開度第１調整手段における１回の処理時間が前記範囲にあるから、フィードバック制御のフィードバック時間を短くすることができ、室内気圧がわずかに変動する変動要因の非発生時において単位時間当たりに多くのフィードバックをかけることで、それら近接コントローラ２３，２４を利用してクリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に確実に保持することができる。
【００６２】
図２は、給排気ファン１７〜２０の風量変化と旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図であり、図３は、給排気ファン１７〜２０の風量変化と旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）との関係の他の一例を示す図である。図２では、給排気ファン１７〜２０の風量が初期設定の風量から増加した場合を示し、図３は、給排気ファン１７〜２０の風量が初期設定の風量から減少した場合を示す。
【００６３】
給排気ファン１７〜２０が稼働中に、それらファン１７〜２０の少なくとも一方の風量が初期設定のそれから増加または減少（風量が変化）し、それらクリーンルーム１１，１２の室内気圧を変動させる変動要因が発生したときの室内気圧コントロールを説明すると、以下のとおりである。給排気ファン１７〜２０のうちの少なくとも一方の風量が増加または減少した場合、その風量（増加後または減少後の風量）が給排気ファン１７〜２０から遠隔操作コントローラ２５に出力される。
【００６４】
遠隔操作コントローラ２５は、ファン１７〜２０の風量が増加または減少した場合、ファン１７〜２０の風量が変化したと判断する。コントローラ２５は、増加後または減少後の風量に対応してクリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にするためのそれら制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を主記憶装置から取り出し、主記憶装置から取り出したダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（増加後または減少後の風量に対応した旋回角度）を示す開度制御信号（操作指令）をそれら近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を風量増加直前または風量減少直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号（操作指令）をそれら近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。
【００６５】
遠隔操作コントローラ２５は、制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を変化後の風量に対応したそれにする開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、ダンパ２１，２２の空気流路の開度を変化後の風量に対応したそれに調整する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を風量増加直前または風量減少直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、ダンパ２１，２２の空気流路の開度を風量増加直前または風量減少直前のそれに調整する。
【００６６】
近接コントローラ２３，２４は、遠隔操作コントローラ２５から開度制御信号を受信すると、開度第１調整手段を中断し、遠隔操作コントローラ２５から出力された開度制御信号に従ってダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を増加後または減少後の風量に対応した旋回角度（所定の開度）に調整する開度第２調整手段を実行する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を風量増加直前または風量減少直前の旋回角度（開度）に保持する開度第２調整手段を実行する。
【００６７】
制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９は、近接コントローラ２３，２４からの指令によって増加後または減少後の風量に対応した旋回角度に旋回する。また、制御ダンパ２１，２２は、近接コントローラ２３，２４からの指令によって旋回羽根３９の旋回角度を風量増加直前または風量減少直前の旋回角度に保持する。
【００６８】
室内気圧制御システム１０は、給排気ダクト１３〜１６に設置されたファン１７〜２０の風量が増加または減少（変化）した場合、遠隔操作コントローラ２５の操作指令に従って近接コントローラ２３，２４が制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）をファン１７〜２０の風量の増加または減少に対応した旋回角度に変更または旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を風量増加直前または風量減少直前の旋回角度に保持するから、風量の増加または減少による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラ２５を利用することで、風量の増加または減少によるそれらクリーンルーム１１，１２の気圧変動に追従させた状態で旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を調整することができ、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、風量の増加または減少によってクリーンルーム１１，１２の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、風量の増加または減少による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、クリーンルーム１１，１２の環境を清浄に保持することができる。
【００６９】
図４は、給排気ファン１７〜２０の停止と旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図である。給排気ファン１７〜２０が稼働中に、それらファン１７〜２０の少なくとも一方が停止し、それらクリーンルーム１１，１２の室内気圧を変動させる変動要因が発生したときの室内気圧コントロールを説明すると、以下のとおりである。給排気ファン１７〜２０のうちの少なくとも一方が停止した場合、そのＯＦＦ信号（停止信号）が給排気ファン１７〜２０から遠隔操作コントローラ２５に出力される。
【００７０】
給排気ファン１７〜２０からＯＦＦ信号を受信した遠隔操作コントローラ２５は、制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９を全閉にする開度制御信号（操作指令）をそれら近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）をファン１７〜２０停止直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号（操作指令）をそれら近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。
【００７１】
遠隔操作コントローラ２５は、制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を全閉にする開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、ダンパ２１，２２の空気流路の開度を全閉に調整する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）をファン１７〜２０停止直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、ダンパ２１，２２の空気流路の開度をファン１７〜２０停止直前のそれに調整する。
【００７２】
近接コントローラ２３，２４は、遠隔操作コントローラ２５から開度制御信号を受信すると、開度第１調整手段を中断し、コントローラ２５から出力された開度制御信号に従っての旋回羽根３９を全閉に調整する開度第２調整手段を実行する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）をファン１７〜２０停止直前の旋回角度（開度）に保持する開度第２調整手段を実行する。
【００７３】
制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９は、近接コントローラ２３，２４からの指令によって全閉になる。または、制御ダンパ２１，２２は、近接コントローラ２３，２４からの指令によって旋回羽根３９の旋回角度をファン１７〜２０停止直前の旋回角度に保持する。
【００７４】
室内気圧制御システム１０は、稼働中の給排気ファン１７〜２０が停止した場合、遠隔操作コントローラ２５から出力された操作指令に従って近接コントローラ２３，２４が制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９（ダンパ開度）を全閉または旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）をファン１７〜２０停止直前の開度に保持するから、ファン１７〜２０の停止による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラ２５を利用することで、ファン１７〜２０の停止によるそれらクリーンルーム１１，１２の気圧変動に追従させた状態で旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を調整することができ、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、ファン１７〜２０の停止によってクリーンルーム１１，１２の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、ファン１７〜２０の停止による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、クリーンルーム１１，１２の環境を清浄に保持することができる。
【００７５】
図５は、扉３６，３７の開放と旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図である。それら扉３６，３７は、一方の縦方向側部が蝶番（図示せず）を介して前壁３２に取り付けられている。扉３６，３７は、縦方向側部を軸として旋回するスイング式片開き自在戸である。それら扉３６，３７は、クリーンルーム１１，１２から室外に向かって旋回させることはできるが、クリーンルーム１１，１２の室内に向かって旋回させることはできない。扉３６，３７は、前壁３２に対して０〜１８０度の範囲で旋回する。
【００７６】
扉３６，３７を開けると、扉３６，３７の開放空間４１を介してクリーンルーム１１，１２と室外とがつながり、開放空間４１を通ってクリーンルーム１１，１２と室外とを行き来することができる。それら扉３６，３７には、クリーンルーム１１，１２の気密性を保持するためにエアタイトのそれが使用されている。ドアノブは、グレモンハンドルであり、扉３６，３７の閉鎖後にグレモンハンドルをロック（回転）することで扉３６，３７の気密性を高めている。
【００７７】
それら扉３６，３７には、図示はしていないが、複数の開閉センサが設置されている。それら開閉センサは、蝶番の側であって扉３６，３７が納まる前壁３２の扉枠に取り付けられ、扉３６，３７の開閉を検出する。開閉センサは、インターフェイス３８を介して遠隔操作コントローラ２５に接続されている。開閉センサには、マグネットスイッチが使用されている。センサ（マグネットスイッチ）が反応するまでの遊び（ストローク）を利用することで、センサが反応する扉旋回角度に差を設けることができ、それらセンサの取り付け位置を選択することで、センサが反応する扉３６，３７の開度を自由に設定することができる。扉３６，３７の開度とは、扉３６，３７が開放されたときの前壁３２と扉３６，３７とのなす角度（扉の旋回角度）をいう。扉３６，３７では、その開度が１５度、３０度、４５度、６０度、７５度、９０度、１０５度、１２０度、１３０度、１４５度、１６０度、１７５度に達したときに各センサが反応し、扉３６，３７の開放を検出するようになっている。
【００７８】
扉３６，３７が開放され、それらクリーンルーム１１，１２の室内気圧を変動させる変動要因が発生したときの室内気圧コントロールを説明すると、以下のとおりである。扉３６，３７が開放された場合、扉３６，３７の開信号が開閉センサから遠隔操作コントローラ２５に出力される。扉３６，３７の開信号は、ＯＮ信号としてコントローラ２５に入力される。なお、扉３６，３７が閉鎖されているとき（変動要因非発生時）は、開閉センサからＯＦＦ信号（閉信号）がコントローラ２５に出力されている。
【００７９】
遠隔操作コントローラ２５は、それら開閉センサから出力されたＯＮ信号によって扉３６，３７が開放されたと判断し、それらＯＮ信号に基づいて扉３６，３７の旋回角度を割り出す。コントローラ２５は、割り出した旋回角度に対応する扉３６，３７の開放空間４１を通過する空気の流量を主記憶装置から取り出すとともに、その流量に対応してクリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にするための制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を主記憶装置から取り出し、主記憶装置から取り出したダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（扉３６，３７の開放に対応した旋回角度）を示す開度制御信号（操作指令）をそれら近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を扉３６，３７の開放直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号（操作指令）をそれら近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。
【００８０】
遠隔操作コントローラ２５は、制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を扉３６，３７の開放に対応したそれにする開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、ダンパ２１，２２の空気流路の開度を扉３６，３７の開放に対応したそれに調整する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を扉３６，３７の開放直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、ダンパ２１，２２の空気流路の開度を扉３６，３７の開放直前のそれに調整する。
【００８１】
近接コントローラ２３，２４は、遠隔操作コントローラ２５から開度制御信号を受信すると、開度第１調整手段を中断し、コントローラ２５から出力された開度制御信号に従っての旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を扉３６，３７の開放に対応した旋回角度（所定の開度）に調整する開度第２調整手段を実行する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を扉３６，３７の開放直前の旋回角度（開度）に保持する開度第２調整手段を実行する。
【００８２】
制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９は、近接コントローラ２３，２４からの指令によって扉３６，３７の開放に対応した旋回角度に旋回する。また、制御ダンパ２１，２２は、近接コントローラ２３，２４からの指令によって旋回羽根３９の旋回角度を扉３６，３７の開放直前の旋回角度に保持する。
【００８３】
室内気圧制御システム１０は、クリーンルーム１１，１２の扉３６，３７が開放された場合、遠隔操作コントローラ２５の操作指令に従って近接コントローラ２３，２４が制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を扉３６，３７の開放に対応した旋回角度に変更または旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を扉３６，３７の開放直前の旋回角度に保持するから、扉３６，３７の開放による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラ２５を利用することで、扉３６，３７の開放によるそれらクリーンルーム１１，１２の気圧変動に追従させた状態で旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を調整することができ、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、扉３６，３７の開放によってクリーンルーム１１，１２の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、扉３６，３７の開放による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、クリーンルーム１１，１２の環境を清浄に保持することができる。
【００８４】
図６は、局所排気装置２８または局所給気装置２９の稼動と旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図である。停止中の局所排気装置２８または局所給気装置２９が稼動し、それらクリーンルーム１１，１２の室内気圧を変動させる変動要因が発生したときの室内気圧コントロールを説明すると、以下のとおりである。局所排気装置２８または局所給気装置２９が稼動した場合、それらのＯＮ信号（稼動信号）が排気装置２８（局所排気ファン４３）または給気装置２９（局所給気ファン４５）から遠隔操作コントローラ２５に出力される。
【００８５】
局所排気装置２８または局所給気装置２９が稼動し、それら装置２８，２９からＯＮ信号を受信した遠隔操作コントローラ２５は、それら装置２８，２９の稼動後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応し、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持するためのそれら制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を主記憶装置から取り出し、主記憶装置から取り出したダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（装置２８，２９の稼動後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応した旋回角度）を示す開度制御信号（操作指令）を近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。または、それら装置２８，２９からＯＮ信号を受信した遠隔操作コントローラ２５は、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を装置２８，２９の稼動直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号（操作指令）を近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。
【００８６】
遠隔操作コントローラ２５は、制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の稼動後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応した（装置２８，２９の稼動に対応した）それにする開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、制御ダンパ２１，２２の空気流路の開度を装置２８，２９の稼動後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応した（装置２８，２９の稼動に対応した）それに調整する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の稼動直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、制御ダンパ２１，２２の空気流路の開度を装置２８，２９の稼動直前のそれに調整する。
【００８７】
第１および第２近接コントローラ２３，２４は、遠隔操作コントローラ２５から開度制御信号を受信すると、開度第１調整手段を中断し、コントローラ２５から出力された開度制御信号に従っての旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の稼動後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応した（装置２８，２９の稼動に対応した）旋回角度（所定の開度）に調整する開度第２調整手段を実行する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の稼動直前の旋回角度（開度）に保持する開度第２調整手段を実行する。
【００８８】
第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９は、第１近接コントローラ２３からの指令によって局所排気装置２８の稼動後の排気ダクト１５から排気される空気の排気流量に対応した旋回角度に旋回する。また、制御ダンパ２１は、近接コントローラ２３からの指令によって旋回羽根３９の旋回角度を局所排気装置２８の稼動直前の旋回角度に保持する。第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９は、第２近接コントローラ２４からの指令によって局所給気装置２９の稼動後の排気ダクト１６から排気される空気の排気流量に対応した旋回角度に旋回する。また、制御ダンパ２２は、近接コントローラ２４からの指令によって旋回羽根３９の旋回角度を局所給気装置２９の稼動直前の旋回角度に保持する。
【００８９】
室内気圧制御システム１０は、局所排気装置２８または局所給気装置２９が稼動した場合、遠隔操作コントローラ２５の操作指令に従って近接コントローラ２３，２４が制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の稼動に対応した開度に変更または旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）をそれら装置２８，２９の稼動直前の開度に保持するから、局所排気装置２８または局所給気装置２９の稼動による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラ２５を利用することで、それら装置２８，２９の稼動によるクリーンルーム１１，１２の気圧変動に追従させた状態で旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を調整することができ、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、局所排気装置２８または局所給気装置２９の稼動によってクリーンルーム１１，１２の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、局所排気装置２８または局所給気装置２９の稼動による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、クリーンルーム１１，１２の環境を清浄に保持することができる。
【００９０】
図７は、局所排気装置２８または局所給気装置２９の停止と旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図である。稼動中の局所排気装置２８または局所給気装置２９が停止し、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を変動させる変動要因が発生したときの室内気圧コントロールを説明すると、以下のとおりである。局所排気装置２８または局所給気装置２９が停止した場合、それらのＯＦＦ信号（停止信号）が排気装置２８（局所排気ファン４３）または給気装置２９（局所給気ファン４５）から遠隔操作コントローラ２５に出力される。
【００９１】
局所排気装置２８または局所給気装置２９が停止し、それら装置２８，２９からＯＦＦ信号を受信した遠隔操作コントローラ２５は、それら装置２８，２９の停止後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応し、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にするためのそれら制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を主記憶装置から取り出し、主記憶装置から取り出したダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（装置２８，２９の停止後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応した旋回角度）を示す開度制御信号（操作指令）を近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。または、それら装置２８，２９からＯＦＦ信号を受信した遠隔操作コントローラ２５は、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を装置２８，２９の停止直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号（操作指令）を近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。
【００９２】
遠隔操作コントローラ２５は、制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の停止後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応した（装置２８，２９の停止に対応した）それにする開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、制御ダンパ２１，２２の空気流路の開度を装置２８，２９の停止後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応した（装置２８，２９の停止に対応した）それに調整する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の停止直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、制御ダンパ２１，２２の空気流路の開度を装置２８，２９の停止直前のそれに調整する。
【００９３】
第１および第２近接コントローラ２３，２４は、遠隔操作コントローラ２５から開度制御信号を受信すると、開度第１調整手段を中断し、コントローラ２５から出力された開度制御信号に従っての旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の停止後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応した（装置２８，２９の停止に対応した）旋回角度（所定の開度）に調整する開度第２調整手段を実行する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の停止直前の旋回角度（開度）に保持する開度第２調整手段を実行する。
【００９４】
第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９は、第１近接コントローラ２３からの指令によって局所排気装置２８の停止後の排気ダクト１５から排気される空気の排気流量に対応した旋回角度に旋回する。また、制御ダンパ２１は、近接コントローラ２３からの指令によって旋回羽根３９の旋回角度を局所排気装置２８の停止直前の旋回角度に保持する。第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９は、第２近接コントローラ２４からの指令によって局所給気装置２９の停止後の排気ダクト１６から排気される空気の排気流量に対応した旋回角度に旋回する。また、制御ダンパ２２は、近接コントローラ２４からの指令によって旋回羽根３９の旋回角度を局所給気装置２９の停止直前の旋回角度に保持する。
【００９５】
室内気圧制御システム１０は、局所排気装置２８または局所給気装置２９が停止した場合、遠隔操作コントローラ２５の操作指令に従って近接コントローラ２３，２４が制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の停止に対応した開度に変更または旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）をそれら装置２８，２９の停止直前の開度に保持するから、局所排気装置２８または局所給気装置２９の停止による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラ２５を利用することで、それら装置２８，２９の停止によるクリーンルーム１１，１２の気圧変動に追従させた状態で旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を調整することができ、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、局所排気装置２８または局所給気装置２９の停止によってクリーンルーム１１，１２の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、局所排気装置２８または局所給気装置２９の停止による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、クリーンルーム１１，１２の環境を清浄に保持することができる。
【００９６】
遠隔操作コントローラ２５は、図２〜図７に示すそれら室内気圧の変動要因の発生時において、上述したそれら開度第２調整手段を実行してから所定時間経過後、室圧センサ２６，２７から出力された測定気圧と設定気圧とを比較しつつ、測定気圧と設定気圧との差に応じてそれら制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を微調整してそれらクリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にする操作指令をそれら近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第２出力手段を実行する。それら近接コントローラ２３，２４は、遠隔操作コントローラ２５から出力された操作指令に従って制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を微調整する開度第３調整手段を実行する。
【００９７】
操作指令第２出力手段では、遠隔操作コントローラ２５がそれら室圧センサ２６，２７から出力された測定気圧と設定気圧とを比較しつつ、測定気圧と設定気圧との差に応じてそれら制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を微調整するフィードバック制御（ＰＤ制御またはＰＩＤ制御）を実行する操作指令をそれら近接コントローラ２３，２４に出力する。遠隔操作コントローラ２５では、測定気圧と設定気圧とを比較して操作指令を近接コントローラ２３，２４に出力する１回の処理時間が０．１〜０．５ｓの範囲にある。
【００９８】
室内気圧制御システム１０は、変動要因の発生時において、遠隔操作コントローラ２５が測定気圧と設定気圧とを比較しつつ、測定気圧と設定気圧との差に応じてそれら制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を微調整するフィードバック制御を実行する操作指令をそれら近接コントローラ２３，２４に出力するから、遠隔操作コントローラ２５を利用してクリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができる。また、変動要因が発生した後にクリーンルーム１１，１２の室内気圧が設定気圧の範囲内にある場合は、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に確実に保持することができる。また、操作指令第２出力手段における１回の処理時間が前記範囲にあるから、フィードバック制御のフィードバック時間を短くすることができ、変動要因の発生時において単位時間当たりに多くのフィードバックをかけることで、遠隔操作コントローラ２５を利用してクリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができる。
【００９９】
なお、発生したそれら変動要因がなくなり（変化した給排気ファン１７〜２０の風量が初期設定の風量に戻った場合、停止した給排気ファン１７〜２０が稼動した場合、開放された扉３６，３７が閉鎖された場合、稼動した局所排気装置２８または局所給気装置２９が停止した場合、停止した局所排気装置２８または局所給気装置２９が稼動した場合）、変動要因の非発生時に戻ると、遠隔操作コントローラ２５は操作指令第１出力手段と第２操作指令出力手段とを中断し、近接コントローラ２３，２４は開度第２調整手段と開度第３調整手段とを中断して開度第１調整手段を再び実行する。
【０１００】
また、システム１０では、それら近接コントローラ２３，２４が開度第１調整手段を実行中に、遠隔操作コントローラ２５から出力される操作指令を導出するためのコントローラ２５に設定された各種条件を変更可能である。したがって、それら近接コントローラ２３，２４の運転を継続してクリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持しつつ、遠隔操作コントローラ２５において各種条件を変更する。
【０１０１】
室内気圧制御システム１０は、変動要因の各種設定条件によって遠隔操作コントローラ２５に設定された各種条件の変更が必要になった場合でも、それら近接コントローラ２３，２４の稼動を中断することなく開度第１調整手段を継続して実行するから、それらクリーンルーム１１，１２の室内気圧コントロールが中断されることはなく、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を常時設定気圧に保持することができる。
【０１０２】
室内気圧制御システム１０は、第１〜第２クリーンルーム１１，１２（第１〜第ｎクリーンルーム）の室内気圧を変動させる変動要因の発生時に、１つの遠隔操作コントローラ２５が第１〜第２近接コントローラ２３，２４（第１〜第ｎ近接コントローラ）をまとめて管理しつつ、コントローラ２５が第１〜第２制御ダンパ２１，２２（第１〜第ｎ制御ダンパ）の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を所定の開度にする操作指令をそれら近接コントローラ２３，２４に出力し、それら近接コントローラ２３，２４がコントローラ２５から出力された操作指令に従ってそれら制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度を調整するから、各種の変動要因によってそれらクリーンルーム１１，１２の室内気圧が変動したとしても、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧のすることができる。
【符号の説明】
【０１０３】
１０    室内気圧制御システム
１１    第１クリーンルーム（第１気密室）
１２    第２クリーンルーム（第２気密室）
１３    第１給気ダクト
１４    第２給気ダクト
１５    第１排気ダクト
１６    第２排気ダクト
１７    第１給気ファン
１８    第２給気ファン
１９    第１排気ファン
２０    第２排気ファン
２１    第１制御ダンパ
２２    第２制御ダンパ
２３    第１近接コントローラ
２４    第２近接コントローラ
２５    遠隔操作コントローラ
２６    第１室圧センサ
２７    第２室圧センサ
２８    局所排気装置
２９    局所給気装置
３６    扉
３７    扉
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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