(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックグリーンシートをクリーニングするクリーニング装置であって、
それぞれが長手方向に延在する第１の回転軸を回転中心として回転自在に設けられてなるとともに、外周部分にブラシが設けられた１対のブラシローラが、前記セラミックグリーンシートの搬送経路を挟んで対向配置されてなる第１クリーニング部と、
それぞれが長手方向に延在する第２の回転軸を回転中心として回転自在に設けられてなるとともに、外周面が粘着面とされてなる複数の第１粘着ローラからなる１対の第１粘着ローラ群が、前記搬送経路を挟んで対向配置されてなる第２クリーニング部と、
を備え、
前記第１クリーニング部においては、前記１対のブラシローラのそれぞれを前記第１の回転軸周りに回転させつつ、前記搬送経路を第１の搬送方向に搬送されてなる前記セラミックグリーンシートに前記ブラシを接触させることによって、前記セラミックグリーンシートをクリーニングする第１クリーニング処理を行い、
前記第２クリーニング部においては、前記第１クリーニング部における前記第１クリーニング処理に続いて、前記１対の第１粘着ローラ群をなす前記複数の第１粘着ローラのそれぞれを前記第２の回転軸周りに回転させながら、前記搬送経路を前記第１の搬送方向に搬送されてなる前記セラミックグリーンシートに前記粘着面を接触させることによって、前記セラミックグリーンシートをクリーニングする第２クリーニング処理を行うようになっているとともに、
クリーニングの対象となる前記セラミックグリーンシートの厚みを検知する厚み検知手段、
をさらに備え、
前記１対のブラシローラが、前記搬送経路に対し接近および離反自在に設けられてなり、
前記１対の第１粘着ローラ群が、前記搬送経路に対し接近および離反自在に設けられてなり、
前記１対のブラシローラの配置間隔が、前記厚み検知手段における検知結果に基づいて特定された前記セラミックグリーンシートの厚みに応じて設定される、
ことを特徴とするセラミックグリーンシートのクリーニング装置。
【請求項２】
請求項１に記載のクリーニング装置であって、
前記複数の第１粘着ローラはそれぞれ、相反する２方向である第１の方向と第２の方向との双方に回転自在とされてなり、
前記第１クリーニング処理を終えた後、前記搬送経路を前記第１の搬送方向に搬送されてきた一の前記セラミックグリーンシートに対し、前記複数の第１粘着ローラをそれぞれの前記第１の方向に回転させることによって、前記第１のクリーニング処理に連続する１度目の前記第２クリーニング処理を行った後、前記第１の搬送方向の反対方向である第２の搬送方向に搬送されてなる前記一の前記セラミックグリーンシートに対し、前記複数の第１粘着ローラをそれぞれの前記第２の方向に回転させることによって２度目の前記第２クリーニング処理を行う、
ことを特徴とするセラミックグリーンシートのクリーニング装置。
【請求項３】
請求項２に記載のクリーニング装置であって、
前記１対のブラシローラが、前記搬送経路に対し接近および離反自在に設けられてなり、
前記１対のブラシローラの配置間隔は、前記第１クリーニング処理に際しては、前記ブラシが前記セラミックグリーンシートに接触するように設定され、前記第２クリーニング処理が行われた後、前記一の前記セラミックグリーンシートが前記第２の搬送方向に搬送されて前記１対のブラシローラの間を通過する際には、前記ブラシが前記セラミックグリーンシートに接触しないように設定される、
ことを特徴とするセラミックグリーンシートのクリーニング装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のクリーニング装置であって、
前記第２クリーニング部が、
それぞれが長手方向に延在する第３の回転軸を回転中心として回転自在に設けられてなるとともに、外周面が粘着面とされてなる複数の第２粘着ローラからなる１対の第２粘着ローラ群、
をさらに備え、
前記１対の第２粘着ローラ群は、前記搬送経路および前記１対の第１粘着ローラ群を挟んで対向配置されてなるとともに、
前記複数の第２粘着ローラのそれぞれの粘着面は、前記複数の第１粘着ローラのそれぞれの粘着面よりも強い粘着性を備えており、
前記第２クリーニング処理に際しては、前記１対の第２粘着ローラ群をなす前記複数の第２粘着ローラのそれぞれを前記第３の回転軸周りに回転させながら、連続的または断続的に、前記複数の第２粘着ローラのそれぞれを前記複数の第１粘着ローラのうち隣り合う前記第１粘着ローラに接触させる、
ことを特徴とするセラミックグリーンシートのクリーニング装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のクリーニング装置であって、
前記クリーニングの対象となる前記セラミックグリーンシートを前記第１クリーニング部へと搬送する搬送手段が、複数の線状の無端ベルトを離間配置させることによって形成された搬送面を備え、
前記厚み検知手段が、１対のレーザ式の厚み検知手段であり、
１対のレーザ式の厚み検知手段が、出射したレーザ光が前記線状の無端ベルトの間を通過するように、前記搬送手段を挟んで対向配置されてなる、
ことを特徴とするセラミックグリーンシートのクリーニング装置。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のクリーニング装置であって、
前記搬送経路および前記１対のブラシローラを挟んで対向配置されてなるとともに、前記１対のブラシローラのそれぞれに隣接配置され、前記１対のブラシローラの近傍の空気を吸引する吸引手段、
をさらに備えることを特徴とするセラミックグリーンシートのクリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、グリーンシートプロセスによってセラミックデバイスを作製する工程においてグリーンシートをクリーニングする装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガスセンサなどのセンサ素子を初めとする種々のデバイス（電子部品）などの製造手法として、セラミックス粉末と有機物との混合物であるスラリーを所定のフィルム上に塗布しその後乾燥させたうえで、所定のサイズにカットしたセラミックグリーンシート（以下、単にグリーンシートとも称する）を用いる手法（グリーンシートプロセス）が広く知られている。係るグリーンシートプロセスにおいては、複数枚のグリーンシートが用意され、必要に応じてそれぞれのグリーンシートにスクリーン印刷等によって所定の配線パターンを形成したりあるいはキャビティを形成したうえでそれらを積層し、これによって得られる積層体を焼結させ、得られた焼成体をカットすることにより積層型セラミックデバイス（積層型電子部品）を得る。
【０００３】
グリーンシートプロセスによるデバイスの製造は、通常、クリーンルーム内で行われる。しかしながら、シート成形、印刷、キャビティ形成（パンチング）、積層などの工程の途中においてグリーンシート端部部分がわずかに欠けるなどして生じた微小なシートかすや、空気中を浮遊する繊維状その他の異物などが、グリーンシート表面に付着してしまうことがある。このようなシートかすや異物などの付着は、グリーンシートにしわ、すじ、ふくれ、汚れ、へこみなどの不良を生じさせる。係る不良が生じたグリーンシートを用いてデバイス作製を行うと、印刷パターンのかすれや積層剥がれなどが発生し、デバイスの特性不良や外観不良などの要因となる。従って、工程途中において、それらシートかすや異物をできるだけ除去する必要がある。
【０００４】
グリーンシート表面に付着している浮遊異物を回転するロール状ブラシに接触させながら吸引除去する、集塵機付きブラシローラを用いたグリーンシートのクリーニング技術が既に公知である（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平７−１５１１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に開示されているような集塵機付きブラシローラを用いるのみでは、グリーンシートに強固に付着している異物やシートかすを必ずしも除去しきれない場合がある。また、人間がブラシなどを用いて手作業で除去したり、あるいは、微視的な異物の有無を画像処理等で判定して除去処理を行う態様も考えられるが、精度やコスト、生産性などの面で、必ずしも十分でない場合もある。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、グリーンシートに付着している異物等を効率的かつ確実に除去することができるグリーンシートクリーニング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、セラミックグリーンシートをクリーニングするクリーニング装置であって、それぞれが長手方向に延在する第１の回転軸を回転中心として回転自在に設けられてなるとともに、外周部分にブラシが設けられた１対のブラシローラが、前記セラミックグリーンシートの搬送経路を挟んで対向配置されてなる第１クリーニング部と、それぞれが長手方向に延在する第２の回転軸を回転中心として回転自在に設けられてなるとともに、外周面が粘着面とされてなる複数の第１粘着ローラからなる１対の第１粘着ローラ群が、前記搬送経路を挟んで対向配置されてなる第２クリーニング部と、を備え、前記第１クリーニング部においては、前記１対のブラシローラのそれぞれを前記第１の回転軸周りに回転させつつ、前記搬送経路を第１の搬送方向に搬送されてなる前記セラミックグリーンシートに前記ブラシを接触させることによって、前記セラミックグリーンシートをクリーニングする第１クリーニング処理を行い、前記第２クリーニング部においては、前記第１クリーニング部における前記第１クリーニング処理に続いて、前記１対の第１粘着ローラ群をなす前記複数の第１粘着ローラのそれぞれを前記第２の回転軸周りに回転させながら、前記搬送経路を前記第１の搬送方向に搬送されてなる前記セラミックグリーンシートに前記粘着面を接触させることによって、前記セラミックグリーンシートをクリーニングする第２クリーニング処理を行うようになっているとともに、クリーニングの対象となる前記セラミックグリーンシートの厚みを検知する厚み検知手段、をさらに備え、前記１対のブラシローラが、前記搬送経路に対し接近および離反自在に設けられてなり、前記１対の第１粘着ローラ群が、前記搬送経路に対し接近および離反自在に設けられてなり、前記１対のブラシローラの配置間隔が、前記厚み検知手段における検知結果に基づいて特定された前記セラミックグリーンシートの厚みに応じて設定される、ことを特徴とする。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１に記載のクリーニング装置であって、前記複数の第１粘着ローラはそれぞれ、相反する２方向である第１の方向と第２の方向との双方に回転自在とされてなり、前記第１クリーニング処理を終えた後、前記搬送経路を前記第１の搬送方向に搬送されてきた一の前記セラミックグリーンシートに対し、前記複数の第１粘着ローラをそれぞれの前記第１の方向に回転させることによって、前記第１のクリーニング処理に連続する１度目の前記第２クリーニング処理を行った後、前記第１の搬送方向の反対方向である第２の搬送方向に搬送されてなる前記一の前記セラミックグリーンシートに対し、前記複数の第１粘着ローラをそれぞれの前記第２の方向に回転させることによって２度目の前記第２クリーニング処理を行う、ことを特徴とする。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項２に記載のクリーニング装置であって、前記１対のブラシローラが、前記搬送経路に対し接近および離反自在に設けられてなり、前記１対のブラシローラの配置間隔は、前記第１クリーニング処理に際しては、前記ブラシが前記セラミックグリーンシートに接触するように設定され、前記第２クリーニング処理が行われた後、前記一の前記セラミックグリーンシートが前記第２の搬送方向に搬送されて前記１対のブラシローラの間を通過する際には、前記ブラシが前記セラミックグリーンシートに接触しないように設定される、ことを特徴とする。
【００１１】
請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のクリーニング装置であって、前記第２クリーニング部が、それぞれが長手方向に延在する第３の回転軸を回転中心として回転自在に設けられてなるとともに、外周面が粘着面とされてなる複数の第２粘着ローラからなる１対の第２粘着ローラ群、をさらに備え、前記１対の第２粘着ローラ群は、前記搬送経路および前記１対の第１粘着ローラ群を挟んで対向配置されてなるとともに、前記複数の第２粘着ローラのそれぞれの粘着面は、前記複数の第１粘着ローラのそれぞれの粘着面よりも強い粘着性を備えており、前記第２クリーニング処理に際しては、前記１対の第２粘着ローラ群をなす前記複数の第２粘着ローラのそれぞれを前記第３の回転軸周りに回転させながら、連続的または断続的に、前記複数の第２粘着ローラのそれぞれを前記複数の第１粘着ローラのうち隣り合う前記第１粘着ローラに接触させる、ことを特徴とする。
【００１３】
請求項５の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のクリーニング装置であって、前記クリーニングの対象となる前記セラミックグリーンシートを前記第１クリーニング部へと搬送する搬送手段が、複数の線状の無端ベルトを離間配置させることによって形成された搬送面を備え、前記厚み検知手段が、１対のレーザ式の厚み検知手段であり、１対のレーザ式の厚み検知手段が、出射したレーザ光が前記線状の無端ベルトの間を通過するように、前記搬送手段を挟んで対向配置されてなる、ことを特徴とする。
【００１４】
請求項６の発明は、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のクリーニング装置であって、前記搬送経路および前記１対のブラシローラを挟んで対向配置されてなるとともに、前記１対のブラシローラのそれぞれに隣接配置され、前記１対のブラシローラの近傍の空気を吸引する吸引手段、をさらに備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１ないし請求項６の発明によれば、ブラシローラによって異物等を除去する第１クリーニング処理を行った後、続けて、第１粘着ローラによって異物等を粘着除去する第１クリーニング処理を行うようになっている。これにより、第１クリーニング処理に際してブラシローラによって付着力は弱まったものの、除去まではしきれなかった異物等についても、第２クリーニング処理において第１粘着ローラにより確実に除去できる。よって、ブラシローラのみを用いて異物等を除去する場合に比して、グリーンシートをより清浄にすることができる。
【００１６】
特に、請求項２および請求項３の発明によれば、異物除去効果を好適に確保しつつ、グリーンシートクリーニング装置を、グリーンシートを一方向にのみ搬送する構成のクリーニング装置よりもコンパクトな構成とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態に係るグリーンシートクリーニング装置１００の構成を概略的に示す図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’断面（ｙｚ断面）図である。
【図３】クリーニングプロセスの途中の様子を示す図である。
【図４】クリーニングプロセスの途中の様子を示す図である。
【図５】クリーニングプロセスの途中の様子を示す図である。
【図６】クリーニングプロセスの途中の様子を示す図である。
【図７】クリーニングプロセスの途中の様子を示す図である。
【図８】クリーニングプロセスの途中の様子を示す図である。
【図９】センサ素子１０１の構造を模式的に示す断面図である。
【図１０】実施例１において行ったクリーニング前後のグリーンシート表面の様子を示す光学顕微鏡像である。
【図１１】実施例２において行ったクリーニングの結果を示す図である。
【図１２】センサ素子１０１の製造工程における不良率の変化を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
＜装置構成＞
図１は、本発明の実施の形態に係るグリーンシートクリーニング装置（以下、単にクリーニング装置とも称する）１００の構成を概略的に示す図である。図２は、図１のＡ−Ａ’断面（ｙｚ断面）図である。
【００１９】
クリーニング装置１は、セラミックス粉末と有機物との混合物であるスラリーを所定のフィルム上に塗布しその後乾燥させたうえで、所定のサイズにカットしたセラミックグリーンシート（以下、単にグリーンシートとも称する）Ｓの表裏面を、クリーニングする装置である。具体的には、クリーニング装置１は、グリーンシートＳの表裏面に付着しているシートかすや浮遊異物などの不要な付着物（以下、これらを異物等と総称する）を除去するためのものである。なお、厳密には、グリーンシートＳとは、シート成形後にフィルムを剥離したものを指し示すが、本実施の形態においては、係る剥離を行う後の、より詳細にはグリーンシートＳ同士を熱圧着して積層体となっているものについても、クリーニング装置１によるクリーニングの対象となり得ることから、それらを区別せずに単にグリーンシートＳと称するものとする。
【００２０】
クリーニング装置１は、第１搬送部１０と、第２搬送部２０と、第３搬送部３０と、第１クリーニング部４０と、第２クリーニング部５０とを主として備える。なお、第１搬送部１０の一部および第３搬送部３０の一部が外部に露出している他は、これらの各部は収容ボックス２に収容されている。また、クリーニング装置１には、装置各部の動作を制御する、図示を省略する制御部が備わっている。
【００２１】
第１搬送部１０と、第２搬送部２０と、第３搬送部３０とは、それぞれにおけるグリーンシートＳの搬送方向が一直線状に位置するように、この順に水平方向に離間配置されてなる。本実施の形態においては、水平面内におけるこれら３つの搬送部の配列方向（つまりはグリーンシートＳの搬送方向）をｘ軸方向とし、水平面内において当該配列方向に垂直な方向をｙ軸方向とし、鉛直方向をｚ軸方向とする右手系のｘｙｚ座標系を採用する。図１には、係る座標系を付している。
【００２２】
概略的にいえば、第１搬送部１０と、第２搬送部２０と、第３搬送部３０とは、互いに離間する複数の線（あるいは細長い面）状の無端ベルト（無端ワイヤー）からなる無端ベルト群がグリーンシートＳの搬送を担うベルトコンベアである。
【００２３】
具体的には、第１搬送部１０は、それぞれがｙ軸方向に長手方向を有する円柱状をなしており、かつ、図１に示すようにｘ軸方向において離間配置されてなる第１ローラ１１および第２ローラ１２と、図２に示すようにｙ軸方向において離間配置された状態で、ｙ軸方向において互いに離間する態様にて設けられ、それぞれが第１ローラ１１と第２ローラ１２との間で張設保持されてなる複数の無端ベルト１３とを備える。また、第１ローラ１１と第２ローラ１２とは、図示しない駆動機構によって、ｙ軸方向に延在するそれぞれの回転軸ｒ１１、ｒ１２を回転中心として図１の時計回りおよび反時計回りに回転自在とされてなる。
【００２４】
グリーンシートＳを複数の無端ベルト１３からなる無端ベルト群の上に載置した状態で、第１ローラ１１と第２ローラ１２とを同期回転させることで、無端ベルト群にて下方から支持された状態のグリーンシートＳをｘ軸正方向および負方向に搬送することができる。なお、以降においては、クリーニング装置１００におけるｘ軸正方向へのグリーンシートＳの搬送を順方向への搬送と称し、ｘ軸負方向へのグリーンシートＳの搬送を逆方向への搬送と称する。
【００２５】
また、厳密にいえば、各搬送部では一の連続面に載置されてグリーンシートＳが搬送されるわけではないが、本実施の形態においても、便宜上、無端ベルト群のうち、グリーンシートＳが載置され、下方からこれを支持して搬送する箇所を、搬送面と称することとする。例えば、第１搬送部１０の場合であれば、搬送面１３ａに載置されたグリーンシートＳを搬送するということになる。
【００２６】
第２搬送部２０と第３搬送部３０との構成および動作は、第１搬送部１０と同様である。すなわち、第２搬送部２０は、それぞれがｙ軸方向に長手方向を有するとともにｘ軸方向に離間して配置されてなる第１ローラ２１と第２ローラ２２とによって、複数の無端ベルト２３からなる無端ベルト群をｙ軸方向において離間させつつ、張設保持させた構成を有する。第２搬送部２０においては、グリーンシートＳが該無端ベルト群からなる搬送面２３ａに載置された状態で、第１ローラ２１と第２ローラ２２とをｙ軸方向に延在する回転軸ｒ２１、ｒ２２を回転中心として回転させることで、グリーンシートをｘ軸正負方向に搬送できる。また、第３搬送部３０は、それぞれがｙ軸方向に長手方向を有するとともにｘ軸方向に離間して配置されてなる第１ローラ３１と第２ローラ３２とによって、多数の無端ベルト３３からなる無端ベルト群をｙ軸方向において離間させつつ、張設保持させた構成を有する。第３搬送部３０においては、グリーンシートＳが該無端ベルト群からなる搬送面３３ａに載置された状態で、第１ローラ３１と第２ローラ３２とをｙ軸方向に延在する回転軸ｒ３１、ｒ３２を回転中心として回転させることで、グリーンシートをｘ軸正負方向に搬送できる。
【００２７】
なお、各搬送部において、第１ローラおよび第２ローラの外周面に、個々の無端ベルトに応じた複数の溝部が設けられ、それぞれの溝部に無端ベルトが巻き掛けられてなる態様であってもよい。これにより、無端ベルトのｙ軸方向への位置ズレが防止される。
【００２８】
また、第１搬送部１０における搬送面１３ａと、第２搬送部２０における搬送面２３ａと、第３搬送部３０における搬送面３３ａとは、ｚ軸方向において同一の高さ位置に設けられる。そして、搬送面１３ａから搬送面２３ａを挟んで搬送面３３ａに至る水平面上の領域が、クリーニング装置１におけるグリーンシートＳの搬送経路３となる。図１においては破線にて搬送経路３を示している。
【００２９】
さらに、図１および図２に示すように、第１搬送部１０の近傍には、一対のレーザ式の厚み検知手段１５（１５ａ、１５ｂ）が備わっている。厚み検知手段１５ａ、１５ｂは、第１搬送部１０を挟む態様にてｚ軸方向上下に対向配置されてなる。厚み検知手段１５ａ、１５ｂは、第１搬送部１０にて搬送されることによりグリーンシートＳが両者の間を通過している間、それぞれからグリーンシートＳに向けてレーザ光ＬＢを出射するとともに、グリーンシートＳからの反射光を受光する。それぞれの厚み検知手段１５ａ、１５ｂにおける出射光の出射タイミングと反射光の受光タイミングとの時間差に基づいて、グリーンシートＳの厚みが特定される。なお、厚み検知手段１５ｂは、図２に示すように、レーザ光ＬＢの光路と無端ベルト１３とが干渉しない位置に設けられる。
【００３０】
第１クリーニング部４０は、ｘ軸方向において第１搬送部１０と第２搬送部２０との間に設けられてなる。第１クリーニング部４０は、一対のブラシローラ４１（４１ａ、４１ｂ）と、一対の吸引機構４２（４２ａ、４２ｂ）とを主として備える。
【００３１】
ブラシローラ４１ａ、４１ｂは、それぞれがｙ軸方向に長手方向を有する略円柱形状をなすとともに、その外周部分がブラシＢＲとなっている。ブラシローラ４１ａ、４１ｂは、第１搬送部１０と第２搬送部２０の間の搬送経路３を挟んでｚ軸方向上下に対向配置されてなる。なお、ブラシローラ４１のブラシＢＲ部分の材質は、クリーニングの対象とするグリーンシートＳの種類（素材）や、グリーンシートＳの表面における印刷パターンの有無などに応じて適宜に定められてよい。
【００３２】
ブラシローラ４１ａ、４１ｂは、図示しない駆動機構によって、前者が図１の反時計回りに、後者が時計回りに、それぞれｙ軸方向に延在する回転軸ｒ４１ａ、ｒ４１ｂを回転中心として回転自在とされてなるとともに、それぞれがｚ軸方向に昇降自在とされてなる。なお、吸引機構４２ａ、４２ｂも併せて昇降自在とされていてもよい。なお、ブラシローラ４１ａ、４１ｂがｚ軸方向に昇降自在であるということは、ブラシローラ４１ａ、４１ｂが搬送経路３に対し接近および離反自在であるということでもある。
【００３３】
第１クリーニング部４０においては、ブラシローラ４１ａ、４１ｂを回転させた状態で、それぞれのブラシＢＲを、両者の間を移動するグリーンシートＳの表裏面に接触させ、ブラシＢＲによってグリーンシートＳの表裏面を掃くことで、グリーンシートＳに付着した異物等が好適に除去されるようになっている。第１クリーニング部４０におけるこのクリーニング動作を第１クリーニング処理と称する。
【００３４】
第１クリーニング処理を行う際の、ブラシローラ４１ａ、４１ｂの間隔は、グリーンシートＳの材質や、厚み検知手段１５の作用に基づいて特定されたグリーンシートＳの厚みに応じて設定される。例えば、ジルコニアをセラミック成分とするグリーンシートＳの場合において、その厚みが２５０μｍ程度であれば、ブラシローラ４１ａ、４１ｂの間隔は、１００μｍ程度とするのが好適である。同じくジルコニアをセラミック成分とするグリーンシートＳにおいて、その厚みが５００μｍ程度であれば、ブラシローラ４１ａ、４１ｂの間隔は、３００μｍ程度とするのが好適である。
【００３５】
また、第１クリーニング部４０においては、鉛直上側のブラシローラ４１ａの上方に吸引機構４２ａが近接配置されてなり、鉛直下側のブラシローラ４１ｂの下方には吸引機構４２ｂが近接配置されてなる。それぞれの吸引機構４２は、収容ボックス２外に設けられた集塵手段４３に接続されている。第１クリーニング処理の際に、ブラシローラ４１のブラシＢＲによってグリーンシートＳから掃き取られてブラシＢＲに付着したかあるいは空気中へと飛散した異物等は、吸引機構４２によってその近傍の空気ともども吸引されて、集塵手段４３に集められる。
【００３６】
なお、第１搬送部１０と第２搬送部２０の第１クリーニング部４０側の上方部分にはそれぞれ、第１ガイド１４および第２ガイド２４が設けられている。第１ガイド１４および第２ガイド２４は、第１クリーニング処理の際にグリーンシートＳが鉛直上方に持ち上がって搬送経路３からずれてしまうことを防ぐべく、第１クリーニング部４０およびその前後に位置するグリーンシートＳのｚ軸方向への変位を抑制するために設けられてなる。
【００３７】
なお、第１ガイド１４および第２ガイド２４は、必ずしも、第１搬送部１０あるいは第２搬送部２０との間で、グリーンシートＳを挟持する必要はない。第１ガイド１４と第１搬送部１０との間隔、および、第２ガイド２４と第２搬送部２０との間隔は、グリーンシートＳの厚みに比して多少大きくてもよい。あるいは、ブラシローラ４１の間隔と同様に、グリーンシートＳの厚みに応じて調整可能とされていてもよい。
【００３８】
第２クリーニング部５０は、ｘ軸方向において第２搬送部２０と第３搬送部３０との間に設けられてなる。第２クリーニング部５０は、複数の第１粘着ローラ５１（５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄ、５１ｅ、５１ｆ）と、複数の第２粘着ローラ５２（５２ａ、５２ｂ、５２ｃ、５２ｄ）とを主として備える。
【００３９】
第１粘着ローラ５１と第２粘着ローラ５２は、いずれも、ｙ軸方向に長手方向を有する円柱状をなしているとともに、図示しない駆動機構によって、ｙ軸方向に延在するそれぞれの回転軸ｒ５１ａ、ｒ５１ｂ、ｒ５１ｃ、ｒ５１ｄ、ｒ５１ｅ、ｒ５１ｆ、ｒ５２ａ、ｒ５２ｂ、ｒ５２ｃ、ｒ５２ｄを回転中心として図１の時計回りおよび反時計回りに回転自在とされてなるとともに、それぞれがｚ軸方向に昇降自在とされてなる。なお、第１粘着ローラ５１と第２粘着ローラ５２がｚ軸方向に昇降自在であるということは、それぞれが搬送経路３に対し接近および離反自在であるということでもある。
【００４０】
また、それぞれの第１粘着ローラ５１と第２粘着ローラ５２は、ｙ軸方向に延在する外周面が、弾性および異物等に対する粘着性（少なくとも、グリーンシートＳのシートかすに対する粘着性）を有するように、構成されてなる。これは例えば、第１粘着ローラ５１と第２粘着ローラ５２の外周部分をブチルゴムにて構成することで実現される。ただし、第１粘着ローラ５１の外周面よりも第２粘着ローラ５２の外周面の方が高い粘着性を有するように構成される。これは例えば、ブチルゴムの重合度及びブチルゴム中のハロゲン元素の種類を変更することで実現される。
【００４１】
図１においては、搬送経路３を挟んで、第１粘着ローラ５１が３つずつ（第１粘着ローラ５１ａ、５１ｂ、５１ｃと第１粘着ローラ５１ｄ、５１ｅ、５１ｆ）対向配置されている。換言すれば、１対の第１粘着ローラ群が対向配置されているともいえる。より具体的には、いずれも鉛直方向において、第１粘着ローラ５１ａと第１粘着ローラ５１ｄとが対向配置され、第１粘着ローラ５１ｂと第１粘着ローラ５１ｅとが対向配置され、第１粘着ローラ５１ｃと第１粘着ローラ５１ｆとが対向配置されている。
【００４２】
また、搬送経路３よりも鉛直上側に配置された第１粘着ローラ５１ａ、５１ｂ、５１ｃの上方には２つの第２粘着ローラ５２（５２ａ、５２ｂ）が配置され、搬送経路３よりも鉛直下側に配置された第１粘着ローラ５１ｄ、５１ｅ、５１ｆの下方には２つの第２粘着ローラ５２（５２ｃ、５２ｄ）が配置されている。より具体的には、第２粘着ローラ５２ａ〜５２ｄを動作させる際には、第２粘着ローラ５２ａはその外周面が第１粘着ローラ５１ａ、５１ｂの外周面と接触する態様にて配置され、第２粘着ローラ５２ｂはその外周面が第１粘着ローラ５１ｂ、５１ｃの外周面と接触する態様にて配置される。同様に、第２粘着ローラ５２ｃはその外周面が第１粘着ローラ５１ｄ、５１ｅの外周面と接触する態様にて配置され、第２粘着ローラ５２ｄはその外周面が第１粘着ローラ５１ｅ、５１ｆの外周面と接触する態様にて配置される。第２粘着ローラ５２ａ〜５２ｄを動作させないときには、それぞれの第２粘着ローラ５２は、対応する第１粘着ローラ５１と離間させて配置される。
【００４３】
以降においては、搬送経路３よりも鉛直上側に位置する第１粘着ローラ５１ａ〜５１ｃと第２粘着ローラ５２ａ、５２ｂとを上側ローラ群５０Ａと称し、搬送経路３よりも鉛直下側に位置する第１粘着ローラ５１ｄ〜５１ｆと第２粘着ローラ５２ｃ、５２ｃとを下側ローラ群５０Ｂと称する。上側ローラ群５０Ａと下側ローラ群５０Ｂとはそれぞれ、図示しない駆動機構によってｚ軸方向に昇降自在とされてなる。より具体的には、それぞれに属する個々の第１粘着ローラ５１と第２粘着ローラ５２は独立に、ｚ軸方向に昇降自在とされてなる。
【００４４】
第２クリーニング部５０においては、上側ローラ群５０Ａに属する第１粘着ローラ５１と下側ローラ群５０Ｂに属する第１粘着ローラ５１とを同期的に回転させ、鉛直方向にて対向し合う第１粘着ローラ５１同士の間にてグリーンシートＳを順次に挟持させるようにする。これにより、第２搬送部２０と第３搬送部３０との間でグリーンシートＳを搬送しつつ、第１粘着ローラ５１の外周面に付与された粘着性によってグリーンシートＳの表裏面に付着している異物等を除去する。第２クリーニング部５０におけるこのクリーニング動作を第２クリーニング処理と称する。
【００４５】
上側ローラ群５０Ａに属する第１粘着ローラ５１と下側ローラ群５０Ｂに属する第１粘着ローラ５１とによるグリーンシートＳの挟持は、バネによる付勢力によって実現されてなる。すなわち、搬送経路３を挟んで互いに対向する第１粘着ローラ５１にはそれぞれ、該第１粘着ローラ５１を回転可能な態様に保ちつつ支持する、図示しないバネ部材が設けられてなる。より詳細には、上下の第１粘着ローラ５１は、グリーンシートＳが両者の間を通過しないときにお互いが接触するように、かつ、搬送されてきたグリーンシートＳが回転している両者の間に入り込んだときには、バネ部材による付勢力にてグリーンシートＳを挟持しつつ搬送できるように設けられてなる。なお、それぞれの第１粘着ローラ５１のバネ部材のバネ定数は、挟持搬送されている間にそのような付勢力にてグリーンシートＳが薄く伸ばされてしまうことのない程度の値に、調整されてなる。
【００４６】
また、第２クリーニング部５０においては、連続的または断続的に、第２粘着ローラ５２を第１粘着ローラ５１に接触させた状態で第１粘着ローラ５１の回転に同期させて回転させることで、グリーンシートＳから除去されて第１粘着ローラ５１に付着した異物等を、第２粘着ローラ５２に転写させることができるようになっている。これにより、第２クリーニング処理を継続的に行うことに伴う第１粘着ローラ５１の清浄性の低下が抑制されてなる。なお、第２粘着ローラ５２の回転方向は、隣接する第１粘着ローラ５１の回転方向とは逆に定められる。
【００４７】
収容ボックス２は、少なくとも第１クリーニング部４０および第２クリーニング部５０を外部から遮断するために設けられてなる。これにより、グリーンシートＳから除去された異物等が空気中を浮遊したとしても、収容ボックス２の外へ飛散して、クリーニング装置１の外部に存在するグリーンシートＳなどに付着することが抑制される。なお、収容ボックス２に、内部の空気を排気する排気手段を設け、該排気手段によって連続的または断続的に、収容ボックス２内の空気を排気し、異物等の飛散をさらに抑制する態様であってもよい。
【００４８】
＜グリーンシートのクリーニングプロセス＞
次に、上述のような構成を有するクリーニング装置１において行う、グリーンシートＳのクリーニングのプロセスについて説明する。図３ないし図８は、係るクリーニングプロセスの途中の様子を順次に示す図である。
【００４９】
まず、図１に示すように、第１搬送部１０の搬送面１３ａにグリーンシートＳが載置される。続いて、第１搬送部１０の第１ローラ１１および第２ローラ１２を時計回りに回転させることでグリーンシートＳの順方向への搬送が開始される。
【００５０】
そして、図３に示すように、厚み検知手段１５ａ、１５ｂの間を通過する際に、厚み検知手段１５ａ、１５ｂからレーザ光ＬＢが照射され、その反射光の受光タイミングに応じて、グリーンシートＳの厚みが特定される。そして、係る特定結果に応じて、第１クリーニング部４０のブラシローラ４１ａ、４１ｂの配置間隔が調整される。
【００５１】
好ましくは、ブラシローラ４１ａ、４１ｂは、ブラシローラ４１ｂの最上位置近傍の高さが第１搬送部１０の搬送面１３ａおよび第２搬送部２０の搬送面２３ａと概ね同じ高さとなるように配置される。また、第１粘着ローラ５１ａ〜５１ｆは、下側ローラ群５０Ｂに属する第１粘着ローラ５１ｄ〜５１ｆの最上位置近傍の高さが第２搬送部２０の搬送面２３ａおよび第３搬送部３０の搬送面３３ａと概ね同じ高さとなるように配置される。
【００５２】
なお、狙い厚み（規格で定められた厚み）が同じ複数のグリーンシートＳが連続してクリーニングの対象とされる場合には、個々のグリーンシートＳの厚みをそれぞれ求め、それぞれの部位における配置間隔を都度調整する態様であってもよいが、最初に個々のグリーンシートＳの厚みの誤差を見越した適切な配置間隔に設定し、以降は厚みの特定および配置間隔の設定を省略するようにしてもよい。なぜならば、ブラシローラ４１に備わるブラシＢＲの個々の毛先は柔軟性のある自由端となっており、第１粘着ローラ５１の外周面は弾性を有しているので、グリーンシートＳの厚みに多少の誤差があっても、ともにその表裏面に接触が可能だからである。
【００５３】
厚み検知手段１５ａ、１５ｂの位置を通過したグリーンシートＳは、収容ボックス２内に到達し、第１搬送部１０の＋ｘ軸方向の端部にて第１ガイド１４にて案内されつつ、第１クリーニング部４０のブラシローラ４１ａ、４１ｂの間へと搬送されて、第１クリーニング処理の対象となる。
【００５４】
第１クリーニング処理に際し、グリーンシートＳは、図４に示すように、反時計回りに回転しているブラシローラ４１ａと時計回りに回転しているブラシローラ４１ｂとの間を通過する。このとき、反時計回りに回転しているブラシローラ４１ａのブラシＢＲがグリーンシートＳの表面に存在する異物等を掃き取り、時計回りに回転しているブラシローラ４１ｂのブラシＢＲがグリーンシートＳの裏面に存在する異物等を掃き取る。掃き取られて空気中に浮遊した異物等は、吸引機構４２ａ、４２ｂによって吸引され、集塵手段４３に集められる。
【００５５】
第１クリーニング部４０を通過したグリーンシートＳは、第２搬送部２０の−ｘ軸方向の端部にて第２ガイド２４にて案内されつつ、第２搬送部２０の搬送面２３ａへと受け渡される。
【００５６】
第２搬送部２０においては、第１ローラ２１および第２ローラ２２を時計回りに回転させることで、グリーンシートＳを順方向へ搬送する。そして、図５に示すように、グリーンシートＳは、第２クリーニング部５０へと受け渡されて、第２クリーニング処理の対象となる。
【００５７】
第２クリーニング処理に際し、第２クリーニング部５０においては、反時計回りに回転している第１粘着ローラ５１ａ〜５１ｃと時計回りに回転している第１粘着ローラ５１ｄ〜５１ｆとの間にグリーンシートＳが送られることで、グリーンシートが上下から挟持されつつ順方向へと搬送される。係る搬送に際して、それぞれの第１粘着ローラ５１の外周面がグリーンシートＳの表裏面に接触することで、第１クリーニング部４０において除去しきれずに残存していた異物等が除去される。例えば、第１クリーニング部４０においてブラシＢＲによって掃かれることで、グリーンシートＳの表裏面に対する付着力は弱まったものの、除去まではされず、グリーンシートＳの表裏面と接触はしつつも浮き上がった状態となっている異物等が、確実に除去される。
【００５８】
それぞれの第１粘着ローラ５１の外周面に付着した異物等は、第１粘着ローラ５１に接触しつつ第１粘着ローラ５１の回転に同期して回転する第２粘着ローラ５２にて除去される。なお、第１粘着ローラ５１が動作している間、第２粘着ローラ５２を常に動作させておく必要はなく、第１粘着ローラ５１の汚れの度合いに応じて適宜のタイミングで動作させるようにしてもよい。
【００５９】
第２クリーニング部５０を通過したグリーンシートＳは、第３搬送部３０の搬送面３３ａへと受け渡される。
【００６０】
第３搬送部３０においては、第１ローラ３１および第２ローラ３２を時計回りに回転させることで、グリーンシートＳを順方向へ搬送する。これにより、図６に示すように、グリーンシートＳはいったん収容ボックス２の外まで搬送される。
【００６１】
グリーンシートＳが係る位置に到達すると、第３搬送部３０は一旦停止し、今度は、第１ローラ３１および第２ローラ３２を反時計回りに回転させることで、グリーンシートＳを逆方向へ搬送する。そして、図７に示すように、グリーンシートＳを再び第２クリーニング部５０へと受け渡す。これにより、グリーンシートＳは、再び第２クリーニング処理の対象となる。
【００６２】
この２度目の第２クリーニング処理においては、時計回りに回転している第１粘着ローラ５１ａ〜５１ｃと反時計回りに回転している第１粘着ローラ５１ｄ〜５１ｆとの間にグリーンシートＳが送られることで、グリーンシートが上下から挟持されつつ逆方向へと搬送される。係る搬送に際して、それぞれの第１粘着ローラ５１の外周面がグリーンシートＳの表裏面に接触することで、再度、グリーンシートＳからの異物等の除去が行われる。これにより、グリーンシートＳに付着していた異物等は、より確実に除去される。このとき、図７に示すように、第２粘着ローラ５２が動作していてもよい。
【００６３】
この後、グリーンシートＳは、第２搬送部２０へと受け渡される。第２搬送部２０においては、第１ローラ２１および第２ローラ２２を反時計回りに回転させることで、グリーンシートＳを逆方向へ搬送する。
【００６４】
一方、第３搬送部３０からの逆方向への搬送が開始されて以降、グリーンシートＳが第２搬送部２０によって逆方向に搬送されるまでの間に、図７に矢印ＡＲ１、ＡＲ２にて示すように、第１クリーニング部４０の２つのブラシローラ４１ａ、４１ｂは、互いに離反する方向に上昇または下降される。これにより、第２搬送部２０を逆方向へと搬送されたグリーンシートＳは、ブラシローラ４１ａ、４１ｂと接触することなく第２搬送部２０から第１搬送部１０へと受け渡される。なお、グリーンシートＳが第１搬送部１０に受け渡された後、次のグリーンシートＳについてのクリーニングが開始されるまでの間に、ブラシローラ４１ａ、４１ｂは再び元の位置に配置される。あるいは、次のグリーンシートＳについて厚みが特定された時点で、該厚みに対応する配置間隔にて配置されるようになっていてもよい。
【００６５】
第１搬送部１０においては、第１ローラ１１および第２ローラ１２を反時計回りに回転させることで、グリーンシートＳを逆方向へ搬送する。係る逆方向の搬送に際しても、途中、グリーンシートＳは厚み検知手段１５ａ、１５ｂの間を通過するが、このときには、レーザ光の照射および厚みの特定は行われない。グリーンシートＳが、図８に示すように、収容ボックス２の外の、最初に載置した位置にまで搬送されることで、クリーニングプロセスは終了する。
【００６６】
以上、説明したように、本実施の形態に係るグリーンシートクリーニング装置においては、ブラシローラによって異物等を除去する第１クリーニング処理を行った後、続けて、粘着ローラによって異物等を粘着除去する第１クリーニング処理を行うようになっている。これにより、第１クリーニング処理に際してブラシローラによって付着力は弱まったものの、除去まではしきれなかった異物等についても、第２クリーニング処理において粘着ローラにより確実に除去できる。よって、ブラシローラのみを用いて異物等を除去する場合に比して、グリーンシートをより清浄にすることができる。
【００６７】
よって、グリーンシートプロセスにてデバイスを作製する場合に、シート打ち抜き（パンチング）、印刷、キャビティ形成、積層などの工程を実行する度に係るグリーンシートクリーニング装置を用いたクリーニングを行うようにすれば、グリーンシートにおいて印刷パターンのかすれや積層剥がれなどが発生することがより好適に抑制される。結果として、デバイスにおける特性不良や外観不良など発生が抑制され、製品歩留まりが向上する。
【００６８】
また、本実施の形態に係るグリーンシートクリーニング装置は、グリーンシートを一の搬送経路にて往復搬送可能に構成されてなるとともに、最初に行う順方向への搬送時のみブラシローラによる第１クリーニング処理と粘着ローラによる第２クリーニング処理とを連続して行い、その後に行う逆方向への搬送に際しては、ブラシローラは搬送経路から離間させ、粘着ローラによる第２クリーニング処理のみを行うようになっている。これにより、粘着ローラの個数を一方向にのみ搬送可能な装置において必要な個数の１／２に減じたとしても、当該装置と同等の粘着除去効果を得ることができる。すなわち、本実施の形態に係るグリーンシートクリーニング装置は、グリーンシートを一方向にのみ搬送する構成のクリーニング装置よりもコンパクトな構成を有しつつ、異物除去を好適に行うことができる。
【００６９】
＜変形例＞
上述の実施の形態においては、グリーンシートＳを往復搬送し、逆方向への搬送に際しても第１粘着ローラ５１における異物等の粘着除去を行うようにしているが、このことは、クリーニング装置１において順方向への搬送のみでクリーニング処理を完結する態様を除外するものではない。順方向のみの搬送で充分に異物等が除去可能である場合には、図６に示すように、第３搬送部３０にて収容ボックス２の外へグリーンシートＳが搬送された時点で、クリーニング処理を終了するようにしてもよい。
【実施例】
【００７０】
以下の実施例では、上述したグリーンシートクリーニング装置１を用いることによる異物等の除去の効果について、実例に基づいて説明する。具体的には、ガスセンサの一種であるＮＯｘセンサのセンサ素子１０１をグリーンシートプロセスにて製造する工程に、グリーンシートクリーニング装置１によるクリーニング処理を適用した結果について説明する。
【００７１】
ここでいうＮＯｘセンサとは、燃焼ガス等の被測定ガス中のＮＯｘ濃度を測定する装置である。また、センサ素子１０１は、係るＮＯｘセンサの中心的な構成部品であって、ジルコニア（ＺｒＯ2）等の酸素イオン伝導性を有する固体電解質セラミックスを構造材料として構成されており、素子内外に種々の電極あるいは配線パターンが形成されてなるものである。図９は、係るセンサ素子１０１の構造を模式的に示す断面図である。
【００７２】
図９に示すセンサ素子１０１は、第一の内部空室１０２が第一の拡散律速部１１０、第二の拡散律速部１２０を通じて外部空間に開放されたガス導入口１０４と連通し、第二の内部空室１０３が第三の拡散律速部１３０を通じて第一の内部空室１０２と連通する構成を備える、いわゆる直列二室構造型のＮＯｘセンサ素子である。ＮＯｘセンサにおいては、係るセンサ素子１０１を用い、以下のようなプロセスが実行されることで、被測定ガス中のＮＯｘガス濃度が算出される。
【００７３】
まず、第一の内部空室１０２に導入された被測定ガスは、センサ素子１０１の外面に設けられた外部ポンプ電極１４１と、第一の内部空室１０２に設けられた内部ポンプ電極１４２と、両電極の間のセラミックス層１０１ａとによって構成される電気化学的ポンプセルである主ポンプセルのポンピング作用（酸素の汲み入れ或いは汲み出し）によって、酸素濃度が略一定に調整されたうえで、第二の内部空室１０３に導入される。第二の内部空室１０３においては、同じく電気化学的ポンプセルである、外部ポンプ電極１４１と、第二の内部空室１０３に設けられた補助ポンプ電極１４３と、両電極の間のセラミックス層１０１ｂとによって構成される補助ポンプセルのポンピング作用により、被測定ガス中の酸素が汲み出されて、被測定ガスが十分な低酸素分圧状態とされる。
【００７４】
係る低酸素分圧状態の被測定ガス中のＮＯｘは、第二の内部空室１０３に保護層１４４に被覆される態様にて設けられた測定電極１４５において還元ないし分解される。そして、係る還元ないし分解によって生じた酸素イオンが、測定電極１４５と、基準ガス導入口１０５に通じる多孔質アルミナ層１４６内に設けられた基準電極１４７と、両者の間のセラミックス層１０１ｃとによって構成される電気化学的ポンプセルである測定ポンプセルによって汲み出される。そして、その際に生じる電流（ＮＯｘ電流）の電流値と、ＮＯｘ濃度との間に線型関係があることに基づいて、被測定ガス中のＮＯｘ濃度が求められる。
【００７５】
加えて、センサ素子１０１には、ヒータ（抵抗体）１５１が、例えば多孔質アルミナからなる絶縁層１５２に覆われる態様にて設けられており、上述したセンサ素子１０１の動作は、ヒータ１５１に通電することでセンサ素子１０１を６００℃〜７００℃程度の温度に加熱しつつ行われる。なお、絶縁層１５２は、ヒータ１５１の配線パターンを周囲から絶縁するために設けられてなる。
【００７６】
係るセンサ素子１０１は、フィルム上に、ジルコニアをセラミックス主成分とし、その他、有機バインダー、可塑剤、及び、溶剤などの有機物を含むジルコニアスラリーを塗布して乾燥させたグリーンシートを複数枚用意し、それぞれのグリーンシートに対して、位置決め等に用いるパンチ穴や内部空所その他の空間形成となるキャビティを形成するためのパンチングや、電極やヒータその他の配線パターンの印刷などを行った後、それらを積層、圧着、焼成し、得られた焼成体をカットすることで作製される。
【００７７】
（実施例１）
本実施例においては、ヒータ１５１を形成用の印刷パターンが形成された、ジルコニアをセラミックス主成分とするグリーンシートを対象に、従来のクリーニング装置と上述の実施の形態に係るクリーニング装置１とによって順次にクリーニングを行った。
【００７８】
図１０は、本実施例におけるクリーニング前後のグリーンシート表面の様子を示す光学顕微鏡像である。図１０（ａ）は、クリーニングを行う前のグリーンシートの上面（印刷パターン形成面）の光学顕微鏡像である。図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示したグリーンシートに対して、ブラシローラのみを備える従来のクリーニング装置を用いてクリーニングを行った後の、グリーンシートの上面の光学顕微鏡像である。図１０（ｃ）は、図１０（ｃ）に示したグリーンシートに対して、上述の実施の形態に係るクリーニング装置１を用いてクリーニングを行った後の、グリーンシートの上面の光学顕微鏡像である。なお、図１０においては、グリーンシートの上面における異物等の付着箇所に円印を付している。なお、グリーンシートの厚みは５１０μｍであったので、クリーニング装置１においては、ブラシローラ４１ａ、４１ｂの間隔は３００μｍに設定された。
【００７９】
図１０（ａ）に示すクリーニング前のグリーンシートにおいては、計１１箇所に異物等の付着が確認されていた。係るグリーンシートに対して、従来のクリーニング装置によるクリーニングを行うと、図１０（ｂ）に示すように、数は減少したものの、依然として計３箇所に異物等が付着していた。異物等の種類としては、グリーンシートの端縁部分が外周方向に沿って局所的に欠落することによって生じたと見られるシートかすや、繊維状（針状）のものが多かった。なお、図１０（ｂ）に示すグリーンシートに付着している異物等の付着位置が図１０（ａ）に示すグリーンシートにおける付着位置と異なるのは、当該異物等がクリーニングによっていったんは移動したものの、除去しきれなかったためであると考えられる。
【００８０】
そこでさらに、図１０（ｂ）に示すグリーンシートに対して上述の実施の形態に係るクリーニング装置１を用いたクリーニングを行った。すると、図１０（ｃ）に示すように、異物等の付着は確認されなかった。このことは、クリーニング装置１によりクリーニングを行うことで、従来よりも確実に異物等を除去することができることを示す結果に他ならない。
【００８１】
（実施例２）
本実施例においては、上述の実施の形態に係るクリーニング装置１における異物等の除去効果の安定性を調べた。具体的には、一のグリーンシートに対して相異なる印刷パターンでの印刷を４回行うとともに、各回の印刷が終わるごとにクリーニング装置１によるクリーニング処理を行って、それぞれのクリーニング処理ごとの異物等の除去率を評価した。また、比較例として、ブラシローラのみを備えた従来のクリーニング装置についても同様の評価を行った。
【００８２】
図１１は、それぞれの異物等の除去率を示す図である。ここで、除去率とは、クリーニング前のグリーンシート表面に存在していた異物等の個数に対する、クリーニング後のグリーンシート表面に存在していた異物等の個数の比である。クリーニング装置１を用いた場合、４回のクリーニング処理のいずれにおいても、最低でも８０％以上の除去率が実現された。これに対して、比較例においては、除去率は最高でも７０％弱に留まった。係る結果は、クリーニング装置１が、異物等の除去の確実性および安定性という点において、従来よりも優れていることを示している。
【００８３】
（実施例３）
図１０（ａ）や図１０（ｂ）に示すような異物等、特に繊維状の異物が付着したままのグリーンシートをヒータ１５１の形成に用いてセンサ素子１０１を作製してしまうと、素子表面と絶縁層１５２とを連通する欠陥（連通欠陥）が形成される。連通欠陥が存在すると、絶縁層１５２の絶縁状態が良好に保たれなくなるため、連通欠陥が形成されたセンサ素子は不良と判断される。
【００８４】
係る連通欠陥の発生の有無は、浸透探傷法によって確認することができる。浸透探傷法は、概ね以下のような手順で行われる。まず、赤色その他の色に着色されているかあるいは蛍光性を有するとともに、強い浸透性を有する浸透液を、塗布あるいは浸漬などによって被検物体の表面に付着させる。その後、余剰の浸透液を除去し、物体を洗浄・乾燥する。続いて、被検物体に現像液や現像剤などを付着させる。このとき、被検物体にクラックなどの表面欠陥が存在していれば、欠陥部分に浸透していた浸透液が染み出し、被検物体の表面に赤色や蛍光などの指示模様を呈する。係る指示模様の有無により、欠陥の有無が判定できる。
【００８５】
図１２は、センサ素子１０１の製造工程において、クリーニング装置１を用いたクリーニングを、ヒータ１５１形成用の印刷パターンが形成されたグリーンシートに適用する以前と、適用した以後における、センサ素子１０１のロット単位の不良率の変化を示す図である。ここで、不良率とは、１ロット分のセンサ素子１０１の個数（具体的には３０００個）に対する、浸透探傷法の適用によって不良があると判定されたセンサ素子１０１の個数の比である。また、クリーニング装置１を用いる前は、ブラシローラのみを備えた従来のクリーニング装置を用いていた。
【００８６】
図１２に示すように、クリーニング装置１を用いる前は２．３５％であったロット間の平均不良率が、クリーニング装置１の適用を開始した以降は、０．８８％減少して１．４７％にまで低減された。すなわち、ロット間平均不良率は、クリーニング装置１の適用前の約２／３にまで低減された。係る結果は、クリーニング装置１の適用が、センサ素子１０１の不良率低減に効果があることを示している。
【符号の説明】
【００８７】
１  （グリーンシート）クリーニング装置
２  収容部
３  搬送経路
１０  第１搬送部
１１、２１、３１  第１ローラ
１２、２２、３２  第２ローラ
１３、２３、３３  無端ベルト
１３ａ、２３ａ、３３ａ  搬送面
１４  第１ガイド
１５（１５ａ、１５ｂ）  厚み検知手段
２０  第２搬送部
３０  第３搬送部
４０  第１クリーニング部
４１（４１ａ、４１ｂ）  ブラシローラ
４２（４２ａ、４２ｂ）  吸引機構
４３  集塵手段
５０  第２クリーニング部
５０Ａ  上側ローラ群
５０Ｂ  下側ローラ群
５１（５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄ、５１ｅ、５１ｆ）  第１粘着ローラ
５２（５２ａ、５２ｂ、５２ｃ、５２ｄ）  第２粘着ローラ
１０１  センサ素子
１４１  外部ポンプ電極
１４２  内部ポンプ電極
１４３  補助ポンプ電極
１４４  保護層
１４５  測定電極
１４７  基準電極
１５１  ヒータ
１５２  絶縁層
ＢＲ  ブラシ
ＬＢ  レーザ光
Ｓ  グリーンシート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１０】
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