(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリシリコンを収納した包装袋を外部から緊締用フィルムにより締着して前記包装袋を前記ポリシリコン表面に密着固定したことを特徴とするポリシリコンの包装体。
【請求項２】
包装袋と緊締用フィルムとの間の少なくとも一部に包装袋と緊締用フィルムとを離間する介在物を存在せしめた請求項１記載の包装体。
【請求項３】
ポリシリコンがカットロッドの形態を成す請求項１又は２記載の包装体
【請求項４】
介在物が前記カットロッドの筒体周壁の円周に直行する方向に配置された板状体である請求項３記載の包装体。
【請求項５】
介在物が前記カットロッドの筒体周壁の円周に直行する方向に配置されたシートである請求項３記載の包装体。
【請求項６】
緊締用フィルムが、ストレッチフィルム又はシュリンクフィルムである請求項１ないし５のいずれか１項に記載の包装体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体の製造原料に使用されるポリシリコンの新規な包装体に関する。
より詳しくは、輸送時の振動によるポリシリコンの表面とフィルムの内面が擦れることを確実に防止し、樹脂粉の発生を効果的に防止できるポリシリコンの新規な包装体、すなわち、ポリシリコンの汚染をより高度に防止できるポリシリコンの新規な包装体に関する。
【背景技術】
【０００２】
高純度の棒状ポリシリコンは、主にシーメンス法で製造され、半導体デバイスなどの素材として用いられるシリコン単結晶製造のための原料として使用される。かかるシーメンス法とは、高純度シリコンのシードを通電加熱し、そのシード表面でシラン系ガスと水素とを反応させることにより、高純度の棒状ポリシリコンを製造する、気相成長によるポリシリコン製造方法である。
【０００３】
そのシーメンス法によって製造されたポリシリコンは、棒状を成しており、これを所定長さに切断されたカットロッドの形態や、破砕された塊片（以下、ナゲットという）の形態で包装・梱包されて単結晶製造工場へ輸送される。
前記カットロッドの直径は、一般に１００〜１５０ｍｍ程度、また、その長さは、一般に５０〜４００ｍｍ程度である。また、ナゲットの大きさは、相当直径が５〜１２０ｍｍ程度のものが一般的である。
【０００４】
そして、前記ポリシリコンは、必要に応じて、表面の不純物を除去するためのエッチング処理を行なった後、汚染を防止するため、ポリエチレンフィルムで包装され、更に、輸送用ケース内に梱包されて輸送される。
従来、前記輸送において、内容物のポリシリコンとポリエチレンフィルムとの擦れによって、ポリエチレンフィルムが削れ、発生したポリエチレン粉によりポリシリコンが汚染されるという問題が指摘されている。既にかかる問題に対して、いくつかの対策も提案されている。
【０００５】
例えば、塊状のポリシリコンを収容する内カゴと該内カゴを収容する外袋とを有し、塊状のポリシリコンを内カゴに収容した状態で外袋を封止し、内カゴを介在させて、ポリシリコンとポリシリコン包装袋との接触を妨げることにより、ポリシリコン包装袋の破損を防止し、ポリシリコンの汚染を防止する収容容器が提案されている（特許文献１参照）。
また、ポリエチレンフィルムよりなる包装袋にポリシリコンを収納し、袋内を真空にした状態で袋の開口部をシールすることにより、内容物であるポリシリコンを包装袋に密着固定することにより、前記擦れを無くし、樹脂粉の発生を防止する方法も提案されている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】実開平５−９４１８７号公報
【特許文献２】特許第３４９６０２１号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら  特許文献１に記載の収容容器では、内カゴを介在させることによって、袋の破れは防げるものの、塊状のポリシリコンと内カゴの擦れによって内カゴの削れ屑が発生し、発生した樹脂屑によってポリシリコンが汚染される虞がある。
また、特許文献２に記載の方法は、内容物であるカットロッドやナゲットは、鋭利な角部を有しており、これにより袋にピンホールが開いたり、破れが生じたりすることを完全に回避することは難しい。
【０００８】
このような場合、前記真空により密着固定する方法においては、包装袋内が真空状態を維持することができず、包装袋とポリシリコンとを密着固定できなくなることが懸念される。また、フィルム袋内の真空度が高い場合、輸送中にピンホールや破れが生じると、内側が減圧であることから  外気を袋内に吸い込み、ポリシリコンを汚染してしまう虞がある。その袋の破れを生じないようにするためには、包装袋の厚みを大きくして強度を保てばよいが、厚みを厚くすると真空に引いた際の前記密着性が低下することも懸念される。
それら問題を解決した新規な包装体を提供することが本発明の解決すべき課題であり、従って、本発明の目的は、ポリシリコンの包装において、前記問題を解決した新規な包装体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決した手段である本発明の包装体は、ポリシリコンを収納した包装袋を外部から緊締用フィルムにより締着して前記包装袋を前記ポリシリコン表面に密着固定したことを特徴とするものである。
本発明は、本発明者らが、前記課題を解決するべく鋭意検討を重ねた結果、ポリシリコンが収納された包装袋を外部から緊締用フィルムを用いて締着することにより、包装袋内が大気圧下であっても、ポリシリコン表面に包装袋を密着固定させることができ、輸送時の振動によるポリシリコンと包装袋とのこすれを確実に防止できる包装体が得られることを見出したことによるものである。
【００１０】
また、前記包装体によれば、仮に包装袋にピンホールや破れが生じても、密着固定状態を維持でき、更に、包装袋内が大気圧であるため、外気が袋内に吸引されることが無く、ポリシリコンの汚染をより高度に防止できることを見出し、本発明を完成するに至った。
即ち、本発明によれば、ポリシリコンを収納した包装袋を外部から緊締用フィルムにより締着して前記包装袋を前記ポリシリコン表面に密着固定したことを特徴とするポリシリコンの包装体が提供される。
【００１１】
そして、本発明の前記包装体において、緊締用フィルムを切断する際、切断のための刃物と包装体とが直接接触して、包装体を破損するのを防止して作業性をより向上するため、包装袋と緊締用フィルムとの間の少なくとも一部に包装袋と緊締用フィルムを離間する介在物を存在せしめることが好ましい。
【００１２】
また、内容物のポリシリコンがカットロッドである場合、カットロッドの胴部の少なくとも一部を巻装するように緊締用フィルムを設け、前記介在物を前記カットロッドの周壁の円周に直行する方向に配置された板状体又はシートで構成すると共に、かかる緊締用フィルムの巾と同じか或いは緊締用フィルムより露出する部分が存在する長さとなるように設けることが、前記作業をより確実に行なうことができ好ましい。
さらに、前記緊締用フィルムは、ストレッチフィルム又はシュリンクフィルムであることが、ポリシリコンと包装袋とをより強固に密着固定することができるため好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の包装体によれば、ポリシリコンが収納された包装袋を外部から緊締用フィルムにより締着して前記包装袋を前記ポリシリコン表面に密着固定するため、輸送時の振動によるポリシリコンの表面とフィルムの内面が擦れることを確実に防止することができ、樹脂粉の発生を効果的に防止することができる。
また、本発明はポリシリコンの包装袋と緊締用のフィルムの間の一部に包装袋と緊締用フィルムを離間する介在物を存在させた場合には、緊締用フィルムから  ポリシリコン包装袋を取り出す際に、緊締用フィルムを切断するための刃物がポリシリコンに直接触れてポリシリコンを汚染するリスクを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】包装袋と緊締用フィルムとの間の介在物が板状の場合の本発明の包装体の正面図。
【図２】図１の包装体の側面図。
【図３】包装袋と緊締用フィルムとの間の介在物がシート状の場合の本発明の包装体の正面図。
【図４】図３の包装体の側面図。
【符号の説明】
【００１５】
１      ポリシリコンカットロッド
２      包装袋
３      緊締用フィルム
４      介在物（板状）
５      介在物（シート状）
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明において、包装の対象となるポリシリコンは、シーメンス法により気層成長したポリシリコンであって、前記カットロッドの形態や、ナゲットの形態等については特に制限されない。また、大きさも特に制限されないが、前記した大きさのものが好ましく取り扱われる。
前記ポリシリコンは、エッチングや洗浄等されたものであってもされてないものであってもよいが、高い純度を要求されるポリシリコンの汚染を防止するための包装体であるから、エッチングされたものの方が、本発明の効果がより発揮される。
【００１７】
以下、本発明の包装体をポリシリコンのカットロッドを包装対象とした場合を例にとり、その実施態様を示す添付図面に従って説明する。
本発明の包装体は、図１〜図４に示すように、ポリシリコン１を収納した包装袋２を外部から緊締用フィルム３により締着して前記包装袋を前記ポリシリコン表面に密着固定することを特徴とする。
【００１８】
前記ポリシリコンを収納する包装袋２は、カットロッド１に直に触れるものであり、不純物の混入を避けるため、その材質は、添加剤が無添加の樹脂フィルムからなる包装袋が好ましい。前記無添加の樹脂フィルムからなる包装袋としては、汎用樹脂であり、入手が容易なポリエチレンフィルムからなる包装袋が好ましい。
また、前記包装袋の形状は、対象となるポリシリコンを収納し、密閉できる形状であれば特に制限されない。例えば、従来からポリシリコンの包装に使用されているガゼット袋が一般に使用される。さらに、ポリシリコンがカットロッドである場合、カットロッドの径に近い大きさの筒状の包装袋を使用することは、後述する緊締用フィルム３による緊締を行なう際、作業がし易いため好ましい。
【００１９】
本発明において、緊締用フィルム３は、包装袋の外部からカットロッド２を緊締することにより、ポリシリコン表面と該包装袋とを密着固定するためのものである。従って、輸送中に張力が維持できるフィルムを使用することが好ましい。かかる特性を有するフィルムとして、例えば、ストレッチフィルム、シュリンクフィルムが挙げられる。
【００２０】
前記ストレッチフィルムは、公知のフィルムが特に制限無く使用される。また、ストレッチフィルムの材質としては、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン等が一般的である。
ストレッチフィルムは、伸縮性のあるフィルムを伸ばしたときに、伸ばす前の状態に戻ろうと収縮しようとする性質を利用したものであるから、それを用いてカットロッドを緊締する際には巻装するのがよく、その場合にはフィルムを少し張った状態でポリシリコン包装袋の外側から多重に巻きつける。この多重巻きつけは振動に耐えうる強度が保てるように行う。
【００２１】
その際には、後記するようにカットロッドの全長の５０％以上、好ましくは、８０％以上を緊締用フィルムで巻回するようにするのが好ましいので、その幅に相当する広幅のフィルムを用いるのが好ましい。
また、このように広幅のフィルムではなく、狭い幅のストレッチフィルムも使用可能であり、その際には、ゲートル（脚絆）あるいは包帯を足に巻き付けるように、狭い幅のフィルムの一部を重ねながら、所定幅（全長の５０％以上）の一端から他端まで巻き付ける。
【００２２】
このように巻回した後のストレッチフィルムの端は、特別な処理は不要である。
すなわち、ストレッチフィルムには、通常自己粘着性を有するものが多く、多重に巻くことにより、ストレッチフィルムとストレッチフィルム同士が接着するため、特別な処理は不要であるが、ストレッチフィルムの端を熱溶着によって接着させてもよい。
【００２３】
また、シュリンクフィルムも公知のフィルムが特に制限無く使用される。例えば、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレン、多層ポリオレフィン、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート等がある。中でも、シール強度が高く、収縮率が大きく、弾力性があるものが好ましいが、収縮させるのに必要な熱量がポリシリコンの包装袋の融点よりも低いものを選択する。
例えば、シュリンクフィルムを用いてポリシリコンカットロッドを締着する場合、筒状の前記シュリンクフィルムに包装袋に入ったままのカットロッドを挿入した後、熱をかけて、カットロッド包装袋の筒体周壁の円周上に収縮させる。
【００２４】
本発明においては、前記カットロッド１を開口部から包装袋２に挿入し、前記開口部をヒートシール等で封止することによって、カットロッド１を包装袋２に収納する。
前記封止の際には、包装袋の中の空気量を予め少なくなるように調節しておくことが望ましい。即ち、密封後の袋内に存在する空気が多すぎると、緊締用フィルム３により締着して該カットロッド表面と包装袋とを密着固定する際に、ポリシリコンカットロッドの表面と包装袋との間に空気が存在し、十分密着固定できない。従って、包装袋内の空気量は、できるだけ少なくすることが好ましい。
前記空気を少なくする方法としては、ポリシリコンカットロッドを包装袋に挿入後に、該包装袋を外から押えて空気を追い出す程度でもよいし、包装袋内にノズルを差し込んで包装袋内の空気を吸い出してもよい。後者の場合、空気を吸い出した結果、包装袋内が減圧になったときは、封止する前に包装袋内を大気圧に戻すことが好ましい。
【００２５】
本発明において、前記包装袋を締着する際の巻装方法としては、緊締用フィルム３によりカットロッド１を包装袋２の外部から巻回することによって行なう方法が好ましい。特に、ポリシリコンがカットロッドである場合、図に示すように、カットロッドの胴部の周囲を緊締用フィルム３により巻回することが、カットロッド表面と包装袋をより確実に密着固定することができ好ましい。また、この場合、緊締用フィルム３は、カットロッド１の一部に巻回されればよいが、より確実に締着を行なうためには、カットロッド１の全長の５０％以上、好ましくは、８０％以上を緊締用フィルム３で巻回するように締着を行なうことが好ましい。
【００２６】
本発明においては、包装袋は、緊締用フィルム３により、包装袋の外部からカットロッド２を緊締することにより、ポリシリコン表面と包装袋とを密着固定することができ、所期の目的を達成することができる。
他方、包装袋を搬送先である単結晶製造工程等に輸送した後には開梱することが必要となり、その際には緊締用フィルム３をカッターなどの刃物で切断してポリシリコンを取り出すことになるが、その取り出しの際には包装袋を傷つけたり、更には、内部のカットロッドに刃物が触れて汚染したりすることが懸念される。
【００２７】
前記懸念に対処するには、包装袋２と緊締用フィルム３との間の少なくとも一部に包装袋と緊締用フィルムとを離間するような介在物を挟み込むことが好ましい。
前記介在物４、５は、緊締用フィルム３を刃物で切断する際に、刃物が包装袋まで接触することを防止することができるものであればよく、その材質、形態などは、前記目的が達成できるものであれば特に制限されない。例えば、軽量で取扱いが容易な、樹脂、紙、木などの材質が好ましく、また、形状は、板状、シート状が一般的であるが、その他後述するような機能を持たせた構造体も使用することができる。
【００２８】
前記介在物４、５については、図１、２は板状体の形態を、図３、４はシート状の形態を示す。また、図2の形態は板状体の裏面に溝を設けたものである。かかる構造により、刃物の先をこの溝に合わせてスライドさせることによって緊締用フィルムを切断することができ、前記切断作業をより効率的に行なうことができる。
また、介在物４の存在位置を確認し易くするため、この介在物に部分的、もしくは全面に色をつけることが好ましい。これにより、誤りなく緊締用フィルムの切断作業を行うことができる。
【００２９】
本発明において、前記介在物４、５の存在のさせ方は、包装袋２と緊締用フィルム３との間の少なくとも一部に存在させればよい。例えば、図に示すカットロッドの場合、胴部に緊締用フィルム３を巻装する際、カットロッドの筒体周壁の円周に直行する方向に配置することが好ましい。
この場合、介在物４、５は包装袋を保護するためのものであるから、切断される緊締用フィルム３の長さよりも長く、介在物の両端がそれぞれ緊締用フィルムからはみ出す位置に設けることが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明の包装体によれば、ポリシリコンが収納された包装袋を外部から緊締用フィルムにより締着して前記包装袋を前記ポリシリコン表面に密着固定するため、輸送時の振動によるポリシリコンの表面とフィルムの内面が擦れることを確実に防止することができ、樹脂粉の発生を効果的に防止することができる。
そのため、この包装体を単結晶製造工場へ輸送し、開梱することにより高純度の単結晶シリコンを製造することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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