(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＥＵＶ領域の光を発生させるための光源（１８）と、当該光源（１８）の光によってマスク（２５）を照明するための第１の光学系（１９、２０、２１、２２、２３、２４）と、構成部材（３２）に前記マスク（２５）を結像するための第２の光学系（２６、２７、２８、２９、３０）とを備える、特にマイクロリソグラフィ用の投影露光系であって、前記光源（１８）と前記構成部材（３２）との間のビーム経路にＥＵＶ領域用の少なくとも一つの偏光光学素子（１）が配置され、当該少なくとも一つの偏光光学素子が、
所定の傾斜角αを下回って入射するＥＵＶ光の第１の偏光状態に対して少なくとも部分的に透明である基板を有し、
前記基板に配置され、かつＥＵＶ光の第２の偏光状態に対して反射性を有する層構造を有し、
前記偏光光学素子は、前記層構造を有するミラー（１５）を備え、偏光ビームスプリッタとして働き、第１の偏光状態を有する透過されたビームと、第２の偏光状態を有するミラー反射されたビームとが発生する、投影露光系。
【請求項２】
約４５゜のＥＵＶ光の入射角αで、透明でかつ反射する光学作用を有するように、前記偏光光学素子の基板および層構造が配置された、請求項１に記載の投影露光系。
【請求項３】
前記基板が１μｍ未満の厚さを有し、好ましくはシリコン基板である、請求項１または２に記載の投影露光系。
【請求項４】
前記偏光光学素子の基板が、当該基板よりも機械的安定性の高い局所的に孔の開いたキャリヤ構成物に配置されている、請求項３に記載の投影露光系。
【請求項５】
前記層構造が、交互に連続するモリブデン層とシリコン層を備える、請求項１〜４のいずれか一項に記載の投影露光系。
【請求項６】
前記層構造が交互に連続する複数の層を有する、請求項５に記載の投影露光系。
【請求項７】
前記偏光光学素子が交互に連続する８０層未満の層、好ましくは交互に連続する約４０層の層を備える、請求項６に記載の投影露光系。
【請求項８】
前記偏光光学素子のモリブデン層の層厚が２，４７８ｎｍ／ｃｏｓαであり、前記偏光光学素子のシリコン層の層厚が４，４０６ｎｍ／ｃｏｓαである請求項５〜７のいずれか一項に記載の投影露光系。
【請求項９】
ＥＵＶ光の透過成分の強度が反射成分の強度の少なくとも１０％となるように前記偏光光学素子が配置された、請求項１〜８のいずれか一項に記載の投影露光系。
【請求項１０】
ＥＵＶ光の透過成分の強度が反射成分の強度の少なくとも１５％となるように前記偏光光学素子が配置された、請求項９に記載の投影露光系。
【請求項１１】
ＥＵＶ光の透過成分の強度が反射成分の強度の少なくとも２０％となるように前記偏光光学素子が配置された、請求項１０に記載の投影露光系。
【請求項１２】
前記偏光光学素子の層構造が少なくとも一つの不均一な厚さの層を有し、または、
前記層構造の層のうち少なくとも一つがＥＵＶ光ビームにさらされる面を有し、その面が相互に傾斜した数個の部分面を有する、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の投影露光系。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の投影露光系で動作するように適応させた、ＥＵＶ領域用の偏光光学素子。
【請求項１４】
少なくとも一つの構成要素（２、４、６、１１、１３、１６、１７）を備え、伝播方向に交差して空間的に広がる光ビームの偏光状態に及ぼす前記構成要素の作用が光ビームの断面にわたって異なる、請求項１３に記載の偏光光学素子。
【請求項１５】
伝播方向に交差して空間的に広がる光ビームの場合、光ビームの断面にわたって不均一な偏光分布を形成する少なくとも一つの構成要素（２、４、６、１１、１３、１６、１７）を備える、請求項１３に記載の偏光光学素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特にマイクロリソグラフィ用の投影露光系に関する。本発明はさらに、微細構造の部材の製造方法および極紫外線（ＥＵＶ）領域用の偏光光学素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
投影露光系などの複雑な光学器械において光学像を極力高い精度で得るためには、光の偏光の影響を考慮するか、または、個々に、偏光に特定的に影響を与える必要がある。例えば、特に入射角が大きい場合、適した透明材料がないために、ＥＵＶ領域の投影露光系のベースとなるミラー系で偏光作用が起こる。これらの偏光作用は、特にｓ偏光用ミラーとｐ偏光用ミラーの反射率が異なることによるものであり、結像誤差または他の望ましくない結果をもたらす可能性がある。投影露光系の個々の構成要素で起こり得る偏光作用を測定するために努力がなされてきた。
【０００３】
例えば、特許文献１には、ＥＵＶ領域またはＸ線領域の光源および回転可能な偏光子を備えた偏光に依存した特性を測定する光学装置が開示されている。偏光子は、実質的に、入射光を少なくとも３回反射するミラー群で構成されている。ミラーは、入射光の光軸と出射光の光軸とが同一直線上にあるように配置されている。
【０００４】
ビームスプリッタは、特許文献２からのものが特に知られており、これは、回折格子によってＥＵＶ領域の光を透過光および反射光に分割するものであり、透過光と反射光とは直角に偏光される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】欧州特許出願公開第１  ３０６  ６６５  Ａ２号明細書
【特許文献２】米国特許出願公開第２００３／０１４２３２２  Ａ１号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、特にマイクロリソグラフィの投影露光系において、ＥＵＶ領域の光によって極力正確な像を確保することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本目的は、請求項１および８の各組み合わされた特徴により達成される。
【０００８】
本発明に係る偏光光学素子は、初めに偏光されていないＥＵＶ光を偏光するのに用いるか、または偏光されたＥＵＶ光の偏光状態を修正するのに用いるものである。本発明は、所望の偏光状態をもたらすことができるという利点、または望ましくない偏光作用を修正できるという利点を有しており、これにより結像誤差を低減するものである。
【０００９】
特にマイクロリソグラフィ用の本発明の第１の態様による投影露光系は、ＥＵＶ領域の光を発生させるための光源と、光源の光によってマスクを照明するための第１の光学系と、部材にマスクを結像するための第２の光学系とを備えている。光源と構成部材との間のビーム経路には、少なくとも一つの偏光光学素子が配置されている。この少なくとも一つの偏光光学素子は、前記の光源が発した光に対して偏光作用をもたらす少なくとも一つの反射円錐面を備えている。このような円錐面または円錐状の面により、接線偏光を特に容易にもたらすことができる。接線偏光の場合、光ビームの断面にわたり様々な方向に直線偏光され、かつ光軸に対する動径ベクトルに関する接線の向きから最大１０゜偏向した幾つかの領域が形成される。有益なことに、偏光光学素子は、０゜から円錐面が偏光作用をもたらす最大傾斜角までの傾斜角αの領域に円錐面の回転対称軸への傾斜角αを下回って入射するＥＵＶ光の少なくとも所定の偏光成分に対して反射性を有する外面を有する少なくとも一つの円錐体を備えており、この偏光光学素子は、円錐体の外側円錐面で反射されたＥＵＶ光を集束する少なくとも一つの別のＥＵＶ光用構成要素を有している。他の構成要素は、ビーム経路の外側円錐面の下流に配置されているのが好ましく、例えば、円筒体の内面である。偏光光学素子全体は、回転対称であることが有益である。
【００１０】
有益なことに、偏光光学素子は、０゜から最大傾斜角までの傾斜角の領域に別の円錐体の円錐面の回転対称軸への傾斜角αを下回って入射するＥＵＶ光の少なくとも所定の偏光成分に対して反射性を有する外側円錐面を有する少なくとも一つの別の円錐体を備えており、両円錐体の底面領域が相互に向かい合い、両円錐面の回転対称軸が一致している。これにより、本発明に係る偏光光学素子内のビーム経路を構成する方法が容易になる。例えば、円筒体の内面を二つの外側円錐面間のビーム経路に配置することができる。
【００１１】
外側円錐面で反射されたＥＵＶ光を集束するための少なくとも一つの別の構成要素は中空円筒体として形成され、この内面が反射性を有し、中空円筒体の回転対称軸が少なくとも一つの円錐体の回転対称軸と一致するように配置されていることが有益である。このような配置により、ＥＵＶ光ビームが本発明に係る偏光光学素子を通過する際のその強度分布を、特定の幾何学的な条件をつけて変更することが可能となる。
【００１２】
中空円筒体の代わりとして、少なくとも一つの偏光光学素子の少なくとも一つの別の反射要素が、０゜から最大傾斜角までの傾斜角の領域に円錐面の回転対称軸への傾斜角を下回って入射するＥＵＶ光の少なくとも所定の偏光成分に対して反射性を有する二つの内側円錐面を有しており、両内側円錐面が相互に向かい合い、両内側円錐面の回転対称軸が一致しており、各円錐体の円錐状の面、つまり、内側の円錐状の面および外側の円錐状の面が、入射したＥＵＶ光が初めに偏光外側円錐面によって反射され、その後続けて両内側円錐面によって反射され、その後別の外側円錐面によって反射されるように配置されている。このような配置では、光ビームが本発明に係る偏光光学素子を通過する際のその強度分布に幾何学的条件をつけた変更がなされない。さらに、この配置は、軸に平行な入射光ビームを本発明に係る偏光光学素子により軸に平行に出射させることを可能にするものである。全体として、本発明に係るＥＵＶ領域用の偏光光学素子は、二つの反射性の外側円錐面と、外側円錐面と距離を置いて取り囲む二つの反射性の内側円錐面とを設けることにより、コンパクトな構成にすることができる。外側円錐面または内側円錐面のうち少なくとも一つが偏光作用をもたらす。
【００１３】
偏光光学素子の外側円錐面および内側円錐面は、同一の円錐角を有していることが好ましい。これにより、偏光光学素子内でＥＵＶ光ビームの幾何学的位置関係を調整するのが単純で容易となる。
【００１４】
偏光光学素子の円錐角は４５゜であることが有益である。このため、単一のＥＵＶ光線は、入射光線と反射光線との間の角度が９０゜となって反射される。これにより、ＥＵＶ光ビームの調整が容易になる。
【００１５】
本発明の第２の態様による特にマイクロリソグラフィ用の投影露光系は、ＥＵＶ領域の光を発するための光源と、光源の光によってマスクを照明するための第１の光学系と、構成部材にマスクを結像するための第２の光学系とを備えており、光源と構成部材との間のビーム経路には、ＥＵＶ領域用の少なくとも一つの偏光光学素子が配置されており、前記の少なくとも一つの偏光光学素子は、所定の傾斜角を下回って入射するＥＵＶ光の第１の偏光状態に対して少なくとも部分的に透明である基板を有しており、少なくとも一つの偏光光学素子はさらに、基板に作られ、かつＥＵＶ光の第２の偏光状態に対して反射性を有する層構造を有している。このような偏光光学素子は、偏光に依存したビームスプリッタとして働き、両偏光状態を含む入射ＥＵＶ光ビームの特定の分割に用いられる。層構造、特に層厚をそれぞれ特定の大きさにすることにより、特に光波長および発生する入射角を視野に入れた、構想した種類の使用への適応が可能となる。
【００１６】
偏光光学素子の基板および層構造は、約４５゜のＥＵＶ光の傾斜角において透明となりかつ反射性のある光学的作用を有するように作られるのが好ましい。このような偏光光学素子は、ＥＵＶ光ビームの調整を容易にする。
【００１７】
偏光光学素子の基板は、１μｍ未満の厚さを有していることが好ましい。この基板はシリコン基板であることが有益である。このような基板は、ＥＵＶ領域にも高い透過性を示す。
【００１８】
偏光光学素子の基板は、基板よりも機械的安定性の高い局所的に孔のあいたキャリヤ構造に配置されるのが好ましい。このような穿孔は、基板に複数の貫通孔を設けることにより可能である。このようなキャリヤ構造は、基板自体が事実上機械的安定性をもたない場合であっても、偏光光学系に機械的強度をもたらす。
【００１９】
本発明の第２の態様による偏光光学素子の層構造は、交互に連続するモリブデン層およびシリコン層を備えていることが有益である。このような層構造により、偏光光学素子の反射率が第２の偏光状態に対して良好になる。
【００２０】
層構造は、交互に連続する複数の層を有することが好ましい。このような層構造は、干渉効果により、一方では第１の偏光状態の透過率を高くし、他方では第２の偏光状態の反射率を高くすることを可能にする。
【００２１】
このような交互に連続する層を有する偏光光学素子は、８０層未満の連続する層を有するのが好ましい。有益なのは、約４０層である。このような多層構造は、第２の偏光状態に良好な反射率をもたらす。しかし、層構造全体は、ＥＵＶ領域でもなお適正な透過率をもたらすのに十分な薄さである。
【００２２】
偏光光学素子のモリブデン層の層厚が２，４７８ｎｍ／ｃｏｓ α、偏光光学素子のシリコン層の層厚が４，４０６ｎｍ／ｃｏｓ αであることが有益である。これは、ＥＵＶの対象波長１３．５ｎｍに対して、第１の偏光状態に良好な透過率をもたらし、第２の偏光状態に良好な反射率をもたらす。
【００２３】
偏光光学素子は、ＥＵＶ光の透過成分の強度が反射成分の強度の少なくとも１０％となるように作られることが好ましい。これにより、ＥＵＶ光ビームを偏光光学素子を介して効率的に分割できるようになる。
【００２４】
偏光光学素子は、ＥＵＶ光の透過成分の強度が反射成分の強度の少なくとも１５％となるように作られるのが好ましく、あるいは少なくとも２０％でも好ましい。
【００２５】
偏光光学素子の層構造が、少なくとも一つの不均一な厚さの層を有することが有益である。加えて、または代わりとして、偏光光学素子の層構造の層のうち少なくとも一つがＥＵＶ光ビームに露出される面を有し、この面が相互に傾斜した数個の部分面を有するのが好ましい。通例、光ビームの偏光状態は、特に、光ビームが偏光光学素子の構成要素に突き当たる入射角により決まる。光ビームの断面にわたって異なる、光ビームの各偏光状態に対する作用は、光ビームの断面にわたって光ビームに対して異なって傾斜する面によって簡単に達成可能である。このように、所望の偏光分布を、構成要素を相応に幾何学的に設計することにより作り出すことができる。
【００２６】
本発明に係る微細構造の部材の製造方法は、ＥＵＶ領域の偏光により投影露光系を少なくとも部分的に操作し、部材の感光性被膜にマスクを結像するように構成されている。
【００２７】
本発明に係る方法はまた、ＥＵＶ領域で動作する投影露光系の補助により、部材の感光性被膜にマスクを結像し、このために用いる光の偏光状態を修正するように構成されている。
【００２８】
本発明に係る方法はいずれも、結像誤差を低減することを可能にし、これにより高分解能を有する構造の形成を可能にする。
【００２９】
本発明はさらに、本発明に係る投影露光系内で動作するように適応させたＥＵＶ領域用の偏光光学素子に関する。この偏光光学素子の利点は、本発明に係る投影露光系についての上述の利点に相当する。
【００３０】
本発明に係る偏光光学素子の利点は、望ましくない偏光作用を、それが光ビームの断面にわたって不均一な偏光分布によるものであっても、修正できることにある。もう一つの利点は、光ビームの断面にわたって不均一な偏光分布を本発明に係る偏光光学素子によって意図的に作ることができることにある。これにより、このように変更された光ビームの照明特性および結像特性にかなり良好な効果をもたらすことができる。
【００３１】
本発明はまた、伝播方向に交差して空間的に広がる光ビームの場合、光ビームの断面にわたって不均一な偏光分布を作り出す少なくとも一つの構成要素を有するＥＵＶ領域用の偏光光学素子にも関する。
【００３２】
本発明に係る偏光光学素子は、実質的に平行な光ビームの場合でも、光ビームの偏光状態に対する構成要素の作用が光ビームの断面にわたって異なるように設計可能である。
【００３３】
本発明に係る偏光光学素子は、５゜を下回って発散する光ビームの場合にも適応するように構成されることが好ましい。
【００３４】
本発明に係る偏光光学素子により、例えば、様々な方向に直線偏光され、かつ光軸に対する動径ベクトルに関する接線の向きから最大１０゜偏向した幾つかの領域が形成された接線偏光をもたらすことができる。
【００３５】
本発明に係る偏光光学素子は、構成要素が偏光状態に含まれる偏光成分の振幅に作用するように構成可能である。
【００３６】
偏光状態に含まれる偏光成分間の位相関係に作用を及ぼすことも可能である。振幅および位相に共通の作用をもたらすことも考慮し得るものであり、選択的な作用よりも容易に実施可能であることが多い。
【００３７】
この場合、本発明に係る偏光光学素子は回転対称であることが好ましい。
【００３８】
本発明はさらに、光が入射すると、第１の偏光成分および第２の偏光成分を有する透過光を出射するリターデイション素子の形をしたＥＵＶ領域用偏光光学素子に関する。二つの偏光成分の強度の商は、０．３から３である。二つの偏光成分間の位相差は、入射光の波長の８分の１から８分の７までである。
【００３９】
本発明の詳細は、図面と併せた次の代表的な実施形態の説明により明らかになる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明に係るＥＵＶ領域用の偏光光学素子の第１の実施形態の子午断面の概略図である。
【図２】偏光に依存した反射用の層構造の一実施形態の概略図である。
【図３】図２の層構造についての反射強度の角度依存性を示す図である。
【図４】本発明に係る偏光光学素子の第２の実施形態の図１に相当する図である。
【図５】別のビーム経路を有する図４の実施形態の図である。
【図６】本発明に係る偏光光学素子の第３の実施形態の斜視図である。
【図７】図６の偏光光学素子の第４の実施形態についての透過強度の角度依存性を示す図である。
【図８】図６の偏光光学素子の第４の実施形態についての反射強度の角度依存性を示す図である。
【図９】本発明に係る偏光光学素子の第４の実施形態の図１に相当する図である。
【図１０】図９の偏光光学素子の第４の実施形態についての透過強度の角度依存性を示す図である。
【図１１】図９の偏光光学素子の第４の実施形態についての透過ビームの位相の角度依存性を示す図である。
【図１２】図９の偏光光学素子の第４の実施形態の変形例の図９に相当する図である。
【図１３】本発明に係る偏光光学素子を有する投影露光系の一実施形態の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００４１】
図１は、本発明に係るＥＵＶ領域用の偏光光学素子１の第１の実施形態の子午断面の概略図を示すものである。ＥＵＶ領域は、極紫外線から軟Ｘ線までの範囲の波長、特に、１００ｎｍを下回る波長を含むものであり、５ｎｍから３０ｎｍまでの波長が特に重要である。以下の考察は、適した光源が利用可能であることからＥＵＶリソグラフィには確実に重要である１３．５ｎｍの波長を例に進めるものである。しかし、本発明はこの波長に限定されるものではない。
【００４２】
第１の実施形態において、偏光光学素子１は、反射外面３を有する第１の円錐体２、中空円筒体４および反射内面５、反射外面７を有する第２の円錐体６から構成される回転対称ミラー装置である。二つの円錐体２、６は、第１の円錐体２の底面と第２の円錐体６の底面とを近づけて、相互間に距離を置いて一線上に連続して配置されている。中空円筒体４は、二つの円錐体２、６と共通の軸を有している。これにより、入射光は、第１の円錐体２の外面３から中空円筒体４の内面５に反射され、ここから第２の円錐体６の外面７に反射される。光は第２の円錐体６の外面７で反射された後、ミラー装置を出る。
【００４３】
以下に詳細に説明するが、図１のミラー装置は、入射面に対して垂直に偏光された、ｓ偏光とも呼ばれる光の成分のみにほぼ限って反射を行うのに役立つ。これは、ミラー装置の回転対称性により、光の接線偏光をもたらす。接線偏光は、それぞれが光軸に向かう動径ベクトルに対する接線方向にある様々な偏光方向の直線偏光を含む偏光分布として理解されるものである。この場合、接線の向きから偏光方向への最大偏差は、１０％である。偏光に依存した反射は、反射面３、５、７のうち少なくとも一つに適用される図２の層構造により起こる。
【００４４】
図１のミラー装置はさらに、光ビーム中の強度分布に作用する。これは、第１の円錐体２の先端が第２の円錐体６の底面に近い領域に結像され、第１の円錐体２の底面に近い領域が第２の円錐体６の先端に結像されるためである。これにより、光ビームの外側の領域から中心にかけて強度の移動が生じる。
【００４５】
説明した偏光分布および説明した強度分布の形成は、光ビームの発散を全く必要としないため、例えば、５゜を下回る小さい発散の場合でも、または平行な光ビームの場合でも生じる。
【００４６】
図２は、偏光に依存した反射用の層構造の一実施形態の概略図である。モリブデン層９およびシリコン層１０が、シリコン基板８に交互に塗布されている。例えば、計８０層の層構造がこのように構成されている。１３．５ｎｍの波長については、モリブデン層９の層厚は２．４７８ｎｍ／ｃｏｓ  αであり、αは層構造の面法線に対して定められた光の入射角を表す。シリコン層１０の層厚は４．４０６ｎｍ／ｃｏｓ  αである。モリブデンの屈折率は０．９２１２５１６３＋ｉ*０．００６４１４３１である。シリコンの屈折率は０．９９９３６２３７＋ｉ*０．００１７１６０９である。図２の層構造の反射率曲線を図３に示す。
【００４７】
図３は、図２の層構造についての反射強度の角度依存性を示す図である。横座標には、入射してミラー反射されたビームと面法線とによって作られた角度の大きさが記入されている。縦座標には反射されたビームの強度が記入されている。モリブデン層９の厚さおよびシリコン層１０の厚さは入射角α＝４５゜に基づいて決定した。丸により記入した曲線経路は反射ビームのｓ偏光成分を示しており、バツにより記入した曲線経路はｐ偏光成分を示している。経路は、計算により定めたものである。ｓ偏光成分は、４５゜の角度で最大強度値を有している。ｐ偏光成分の強度は４５゜の角度ではゼロに近い。これは、４５゜の入射角の場合、図２の層構造によってミラー反射されるのは光ビームのｓ偏光成分のみにほぼ限られるということを意味している。
【００４８】
図４は、本発明に係る偏光光学素子１の第２の実施形態の図１に相当する図である。第２の実施形態においても、偏光光学素子１は二つの円錐体２、６を備える回転対称ミラー装置である。第１の実施形態とは対照的に、二つの円錐体２、６は間隔を置かずにこれらの底面で相互に押し合っている。さらに、第２の実施形態の円錐体２、６の円錐角は第１の実施形態のものよりも大きく、９０゜である。第２の実施形態は、中空円筒体４の代わりに、内面１２を有する第１の内側円錐体１１および内面１４を有する第２の内側円錐体１３、つまり、円錐内面１２、１４を有する二つの回転体を提供するものである。内側円錐体１１、１３はこれらの最大内径の付近で相互に接しており、円錐体２、６と同軸である。
【００４９】
入射光ビームは、第１の円錐体２の外面３、第１の内側円錐体１１の内面１２、第２の内側円錐体１３の内面１４、第２の円錐体６の外面７に連続して反射する。第１の実施形態について説明したように、これも接線偏光をもたらすものである。しかし、第１の実施形態とは反対に、第１の円錐体２の先端が第２の円錐体６の先端で結像されるために、不均一な照度は生じない。さらに、第２の実施形態では、子午面における、光ビームがミラー装置に入射する角度が、そのビームがミラー装置から出射する際にも再びみられる。これを図５に図示する。
【００５０】
図５は、図４の実施形態を別のビーム経路によって示すものである。図４とは反対に、入射ビームと偏光光学素子１の回転軸とが角度を作る。偏光光学素子１を通過した後、出射ビームは回転軸に対して同一角度を有している。これは、偏光光学素子１の第２の実施形態が光ビームの発散を変更しないことを意味している。
【００５１】
図６は、偏光光学素子１の第３の実施形態を斜視図で示すものである。第３の実施形態において、偏光光学素子１は、一般的な条件を与えられたとすると、ブルースター角にほぼ相当する、入射方向に対して４５゜の向きに配置した薄い平面ミラーであるミラー１５を一つのみ備えている。ミラー１５は、最大厚さが約１μｍのシリコン基板８を備えている。このような厚さがあっても、シリコン基板８はなお、１３．５ｎｍの波長に十分な透過性を示す。機械的に安定させるため、シリコン基板８はワイヤ格子（図示せず）に配置可能である。図２のものと同様に、シリコン基板８にはモリブデン層９とシリコン層１０とが交互に塗布されている。計８０層未満の層、好ましくは約４０層の層が塗布されている。パラメータは図２について言及したものと同一である。図７、８に図示した、この層構造の偏光に依存した反射透過作用のために、偏光されていない入射ビームから、一方ではｓ偏光されミラー反射されたビームが発生し、他方ではｐ偏光され透過されたビームが発生する。ＥＵＶ領域用のミラー１５の屈折率が値１に近いと、透過ビームは入射ビームの方向と比べてほとんど偏向しない。図５のミラー１５は、偏光ビームスプリッタとして働く。
【００５２】
図７は、図６の偏光光学素子１の第４の実施形態についての透過強度の角度依存性を示す図である。反射強度を示す関連図を図８に示す。図示の方法は図３のものに相当する。入射角α＝４５゜を層構造についてのパラメータとして再び選択した。図７にみられるように、透過ビームのｓ偏光成分は、面法線に対する角度４５゜において明らかな最小値を有しており、強度がほぼゼロまで低下している。ｐ偏光成分は４５゜では低下せず、このため４５゜の付近でｓ偏光成分よりも何倍も高い強度を有している。
【００５３】
図８にみられるように、反射ビームについては逆の作用が認められる。反射ビームのｓ偏光成分は、４５゜の角度において際立って最大値を有している。ｐ偏光成分も４５゜において最大値を有しているが、ｓ偏光成分と比較すると非常に低い。総体的な結果としては、４５゜の角度の付近において５゜の角度範囲内で、透過ビームはｐ偏光され、反射ビームはｓ偏光される。この場合、透過ビームの強度が反射ビームの強度の少なくとも１０％となるようにパラメータを選択する。透過強度の一部が１５％を上回ることが好ましく、２０％を超えることもある。
【００５４】
図９は、本発明に係る偏光光学素子１の第４の実施形態の図１に相当する図である。
第４の実施形態では、偏光光学素子１はミラー１６であり、その面法線と光の入射方向とが例えば４０゜の角度をなしている。ミラー１６は平面ではないため、入射角４０゜は存在する部分面の様々な入射角の平均値である。ミラー１６は、平面ではない表面の薄いシリコン基板８を備えており、これにモリブデン層９とシリコン層１０とが交互に塗布されている。塗布されている層９、１０は、基板表面の構造が層９、１０において継続するように均一な厚さを有している。図１０、１１から詳細を明らかにするが、透過ビームのｓ偏光成分およびｐ偏光成分は、角度に依存した強度差を有するのみでなく、角度に依存した位相差をも有する。結果として、ミラー１６の向きの異なる部分面は、透過ビームのｓ偏光とｐ偏光との間の位相差を異ならせることになる。伝播方向に交差して空間的に広がる光ビームがミラー１６に突き当たると、ミラー１６の向きの異なる部分面が照明される。これに伴い、ｓ偏光とｐ偏光との間の位相差が、光ビームのそれぞれに対応した断面領域について異なった作用を受ける。このため、ミラー１６の部分面の配列は、光ビームの断面における相応の位相差の分布を有している。これは、ミラー１６の部分面の相応の向きによって、所望の、特に不均一な位相差の分布が作られ、望ましくない分布が相殺されることを意味する。このため、図９の偏光光学素子１の第４の実施形態はスペースバリアントリターデイション素子（space-variant retardation element）またはスペースバリアントリターダー（space-variant retarder）である。
【００５５】
図１０は、図９の偏光光学素子１の第４の実施形態についての透過強度の角度依存性を示す図である。透過ビームの位相を示す関連図を図１１に示す。図示の方法は図３に相当し、図１１の縦座標には強度の代わりに位相を記入してある。層構造を決定するパラメータとして入射角α＝３０゜を選択した。
【００５６】
図１０にみられるように、透過ビームのｐ偏光成分のみでなくｓ偏光成分も、角度３０゜のすぐ下の範囲において強度の最小値を有している。二つの最小値は異なって著しい。これらの最小値の範囲外では、ｓ偏光成分およびｐ偏光成分はほんのわずかに異なる強度を有している。
【００５７】
図１１は、角度に依存した位相差が透過ビームのｓ偏光成分とｐ偏光成分との間に存在することを示している。結果として、透過ビームのｓ偏光成分とｐ偏光成分との間の位相差は、入射ビームがミラー１６の各部分面に突き当たる、面法線に対する角度によって決まることになる。面法線に対する入射ビームの角度もまた、それぞれ照明される部分面の角度の向きによって決まる。角度に依存した位相差の作用の利用には入射角が特に適しており、この付近では透過ビームのｓ偏光成分およびｐ偏光成分の強度はほぼ等しく一定であり、ｓ偏光成分とｐ偏光成分との間の位相差は十分に大きく、十分な角度依存性を示している。ｐ偏光成分に対するｓ偏光成分の強度比がそれ程重要でない場合、あるいは相応の修正が可能である場合、強度比には０．３から３までの値が許容され得る。透過ビームのｓ偏光成分とｐ偏光成分との間の位相差は、波長の８分の１から８分の７までの範囲内であることが好ましい。場合によっては、波長の８分の１を下回る位相差によっても十分な効果が得られることがある。本実施形態では、約２０゜または約４０゜の入射角が特に適している。これらの入射角の値は、ミラー１６の層構造を決定するのに用いられる、本実施形態では３０゜の入射角αのことではなく、ミラー１６の面法線に対する入射ビームの実際の角度のことである。
【００５８】
図１２は、本発明に係る偏光光学素子１の図９に示す第４の実施形態の変形例の図９に相当する図である。この変形例では、異なる向きの部分面を有するミラー１６を、不均一な層厚を有する層構造のミラー１７に置き換えている。ミラー１６に似て、ミラー１７もまた、モリブデン層９とシリコン層１０とが交互に連続して塗布されたシリコン基板８を備えている。ミラー１６とは反対に、シリコン基板８はミラー１７では平面である。さらに、ミラー１７の各層９、１０は均一な厚さを有しておらず、各層９、１０の厚さがそれぞれ異なっている。様々な向きの部分面により、異なる層構造の部分面についてもまた、光ビームのｓ偏光成分とｐ偏光成分との間の位相差に空間によって異なる作用をもたらすのに用いることができる。結果として、このような方法によっても、ｓ偏光とｐ偏光との間の位相差の所望の分布を透過光ビームに形成することができる。
【００５９】
偏光光学素子１の上述の代表的な実施形態により、その伝播方向に交差して空間的に広がる光ビームの各偏光成分の振幅および／または偏光成分間の位相差に、空間により異なる作用を及ぼすことが可能となる。例えば、ＥＵＶ領域で動作するマイクロリソグラフィ用の投影露光系で発生する偏光に依存した結像誤差を修正するために、これを用いることができる。例えば、ｓ偏光の点像およびｐ偏光の点像は、約０．４を上回る開口数の場合、ＥＵＶ領域においては異なるコントラストを示す。位相効果が、ｓ偏光の点像とｐ偏光の点像とに約１ｎｍの位置差を引き起こす可能性がある。これらの誤差の修正に偏光光学素子１を用いることに加え、改善した結像を確保するための偏光状態をこれによって作ることもできる。偏光光学素子１が続いて適応できるように、容易に交換できるようにこれを組み込むこともできる。また、偏光光学素子１を、例えば、偏光光学素子１の角度調整の変更を行うというような調整の可能性を含めて組み込むことも可能である。しかし、偏光光学素子１は、結像誤差の修正にのみ用いるのではなく、所望の偏光状態を作るためにも用いることができる。
【００６０】
図１３は、本発明に係る偏光光学素子１を有する投影露光系の一実施形態の概略図である。一定の率で縮尺して図示したこの投影露光系は、例えば、微細電子部品の製造に使用可能であり、このために極力小さい構造を解像できるようにＥＵＶ領域の光によって操作される。１００ｎｍを下回る波長の軟Ｘ線を用いるのが好ましい。以下の説明は、再び、１３．５ｎｍの波長に基づいたものである。
【００６１】
光は、光源１８によって発せられる。偏光を用いる場合は、例えばシンクロトロンを光源１８として用いてもよい。偏光を発生させるには、例えば、レーザプラズマ源またはプラズマ放電源が適している。コレクタ１９、五つのミラー２０、２１、２２、２３、２４からなる照明光学素子、反射マスク２５、六つのミラー２６、２７、２８、２９、３０、３１を含む投影対物レンズ、ウェーハ３２または他の任意の照明対象物が、光源１８の下流にビーム方向に次々と配置されている。反射マスク２５とウェーハ３２との間の距離は１，４８６ｍである。図１３に表したすべての光学要素の距離および向きは一定の率で縮尺したものである。
【００６２】
光源１８が発した光はコレクタ１９によって集光され、光源の中間焦点１３がコレクタ１９の下流に生じる。コレクタ１９および中間焦点の位置との間に、スペクトルフィルタ（図示せず）を配置してもよい。コレクタ１９は、米国特許出願第２００３−００４３４５５Ａ１号明細書に記載されているように、複数の回転対称の凹面鏡を備えて構成できる。米国特許出願第２００３−００４３４５５Ａ１号明細書の開示内容はすべて、本発明に組み込まれている。
【００６３】
照明系は、マスク２５の照明を極力最適にすることを確実にする必要がある。この種の照明系は、米国特許第６，４３８，１９９Ｂ１号明細書に詳細に記載されており、この開示内容はすべて本発明に組み込まれている。照明系の第１のミラー２０は、光源１８の中間焦点３３の下流のビーム経路に配置されており、複数の小平面のスクリーン素子を備え、フィールド用ハニカムとも呼ばれ、次のミラー２１の付近で複数の第２の光源を形成している。ミラー２１はまた、複数のスクリーン素子または小平面を備えており、瞳用ハニカムとも呼ばれる。本発明に係る偏光光学素子１はミラー２１、２２の間に配置されている。図示の投影露光系の実施形態では、十分な構造空間がこの領域で得られる。さらに、この領域は、比較的小さいビームの発散により優れたものとなる。しかし、偏光光学素子１は、照明系内の他のいずれかの場所、例えばミラー２０、２１間、または投影対物レンズ内にも位置させることが可能である。一般に、偏光光学素子１は、フィールドの変化を回避するために瞳の範囲内に配置されるのが好ましい。対照的に、フィールドの変化を望む場合、偏光光学素子１を瞳の外側に配置する。ミラー２２、２３、２４は、照明系の射出瞳を投影対物レンズの入射瞳に合わせ、輪帯フィールドによってマスク２５を照明する。マスク２５の所望の領域を照明するために、マスクをビーム方向を横切って移動させる。光を偏光するため、つまり、所望の偏光状態を作るために偏光光学素子１を用いた場合、示した実施形態では、マスク２５は偏光によって照明される。偏光光学素子１の位置決めを変更すると、投影露光系の別の箇所を偏光によって操作することが可能となる。
【００６４】
照明系によって照明されたマスク２５は、投影対物レンズによってウェーハ３２に結像され、これによりウェーハ３２に塗布された感光性被膜が照明される。この種の投影対物レンズは、米国特許第６，３５３，４７０号明細書に詳細に記載されており、その開示内容はすべて本発明に組み込まれる。極力最適な結像を行うために、投影対物レンズのミラー２６、２７、２８、２９、３０、３１は非球面であることが好ましい。
【００６５】
ウェーハ３２は投影露光系によって照明された後、この照明によって作られた構造をもとに処理され、その後別の照明を受け、これをもとにさらに処理を受ける。この手順を、ウェーハ３２が所望の構成をすべて現すまで繰り返す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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