(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に一方の面から他方の面に形成された電極にまで貫通するホールを形成するホール形成工程と、
前記ホール内に有機絶縁膜を形成する有機絶縁膜形成工程と、
前記ホール内の側壁部の前記有機絶縁膜を残し、前記ホール内の底部の前記有機絶縁膜の少なくとも一部を除去して前記電極に貫通させる工程と、
前記電極の露出面を不活性ガスのプラズマによってクリーニングするクリーニング工程と、
前記ホール内に導体金属を充填する導体金属充填工程と、
酸素プラズマを作用させて前記有機絶縁膜の表面層の少なくとも前記クリーニング工程によって損傷を受けた部分を除去する表面層除去工程と、
前記基板を非酸化性雰囲気で熱処理する熱処理工程と
を具備し、上記の順で各工程を行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の半導体装置の製造方法であって、
前記有機絶縁膜は、ポリイミド膜である
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項３】
請求項２記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ポリイミド膜は、蒸着重合によって形成する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項４】
請求項２〜３いずれか１項記載の半導体装置の製造方法であって、
前記クリーニング工程では、不活性ガスのプラズマとしてＡｒプラズマを使用する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】
請求項２〜４いずれか１項記載の半導体装置の製造方法であって、
有機絶縁膜表面層除去工程は、ダウンフロープラズマを用いる
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項６】
請求項２〜５いずれか１項記載の半導体装置の製造方法であって、
前記熱処理工程では、前記基板を２００℃〜４００℃に加熱する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項７】
請求項２〜６いずれか１項記載の半導体装置の製造方法であって、
前記表面層除去工程では、前記ポリイミド膜を、少なくとも表面から０．１μｍ除去する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項８】
請求項２〜５いずれか１項記載の半導体装置の製造方法であって、
前記熱処理工程では、前記基板を２００℃〜３００℃に加熱する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造分野では、微細化によって集積度を上げる試みが多く行われてきた。また、近年では三次元実装と呼ばれる半導体装置の積層によって単位面積あたりの集積度を上げる試みが盛んに行われている。【０００３】
縦に積層された半導体装置（チップ）は、基板を貫通して形成された電極を具備しており、この電極を介して電気的に接続されるようになっている。このような基板を貫通する電極を形成する際には、基板に開けたホール内に絶縁膜を形成し、ホール内の絶縁膜を側壁部を残して底部のみを除去して反対側の面に形成された配線部（電極パッド）まで貫通させる。【０００４】
次に、ホール底部に露出した配線部（電極パッド）の表面に形成された酸化膜の除去等のクリーニングのため、Ａｒプラズマの照射等を行い、この後、ホール内に導電性金属等を埋め込んで、基板の表裏を貫通する電極を形成する。【０００５】
なお、上記のように、ホール内に形成した絶縁膜を、ホール内の側壁部を残して底部のみを除去する方法としては、ホール形状をテーパ状とし、基板表面にテープを貼り付けて、このテープのホールに対応する部分にホールの開口径より小さな穴を開け、この穴を介してホールの底部の絶縁膜をエッチングする方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２００４／０６４１５９号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した半導体装置の製造方法において、ホール底部の絶縁膜の除去を行った後、ホール底部に露出した配線部に形成された酸化膜の除去等のクリーニングを行うため、Ａｒプラズマ等の不活性ガスのプラズマを照射する工程等を設ける場合がある。しかしながら、ホール内に形成する絶縁膜としてポリイミド膜等の有機膜を使用した場合、このようなクリーニングを行うと、有機膜がＡｒプラズマによって損傷を受け、絶縁性が低下してしまうという問題がある。【０００８】
本発明は、上記従来の事情に対処してなされたもので、絶縁膜としてポリイミド膜等の有機膜を用いても、不活性ガスのプラズマの照射によるクリーニングに起因する絶縁膜の絶縁性の低下を回復することができ、リーク電流の発生を抑制した良質な半導体装置を製造することのできる半導体装置の製造方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の半導体装置の製造方法の一態様は、基板に一方の面から他方の面に形成された電極にまで貫通するホールを形成するホール形成工程と、前記ホール内に有機絶縁膜を形成する有機絶縁膜形成工程と、前記ホール内の側壁部の前記有機絶縁膜を残し、前記ホール内の底部の前記有機絶縁膜の少なくとも一部を除去して前記電極に貫通させる工程と、前記電極の露出面を不活性ガスのプラズマによってクリーニングするクリーニング工程と、前記ホール内に導体金属を充填する導体金属充填工程と、酸素プラズマを作用させて前記有機絶縁膜の表面層の少なくとも前記クリーニング工程によって損傷を受けた部分を除去する表面層除去工程と、前記基板を非酸化性雰囲気で熱処理する熱処理工程とを具備し、上記の順で各工程を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、絶縁膜としてポリイミド膜等の有機膜を用いても、不活性ガスのプラズマの照射によるクリーニングに起因する絶縁膜の絶縁性の低下を回復することができ、リーク電流の発生を抑制した良質な半導体装置を製造することのできる半導体装置の製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１Ａ】本発明の一実施形態の工程を示す図。
【図１Ｂ】本発明の一実施形態の工程を示す図。
【図１Ｃ】本発明の一実施形態の工程を示す図。
【図１Ｄ】本発明の一実施形態の工程を示す図。
【図１Ｅ】本発明の一実施形態の工程を示す図。
【図１Ｆ】本発明の一実施形態の工程を示す図。
【図１Ｇ】本発明の一実施形態の工程を示す図。
【図１Ｈ】本発明の一実施形態の工程を示す図。
【図２】実サンプルにおけるリーク電流の測定結果を示すグラフ。
【図３】実サンプルの製造工程を説明するための図。
【図４】本発明の一実施形態の工程を説明するための図。
【図５】クリーニング処理前後のポリイミド膜のリーク電流の測定方法を示す図。
【図６】クリーニング処理前後のポリイミド膜のリーク電流の測定結果を示すグラフ。
【図７】クリーニング処理前後のポリイミド膜表面のＸＰＳ分析の結果を示すグラフ。
【図８】酸素プラズマによる表面除去深さ０．１μｍの場合のポリイミド膜表面のＸＰＳ分析の結果を示すグラフ。
【図９】酸素プラズマによる表面除去深さ０．３μｍの場合のポリイミド膜表面のＸＰＳ分析の結果を示すグラフ。
【図１０】酸素プラズマによる表面除去深さ０．６μｍの場合のポリイミド膜表面のＸＰＳ分析の結果を示すグラフ。
【図１１】酸素プラズマによる表面除去深さとポリイミド膜のリーク電流との関係を調べた測定結果を示すグラフ。
【図１２】酸素プラズマによる表面除去深さと熱処理後のポリイミド膜のリーク電流との関係を調べた測定結果を示すグラフ。
【図１３】熱処理温度を変化させたときの熱処理後のポリイミド膜のリーク電流の測定結果を示すグラフ。
【図１４】各処理操作後のポリイミド膜のリーク電流と特徴をまとめた図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の詳細を、図面を参照して実施形態について説明する。
【００１３】
図４は、本発明の一実施形態における工程の概略を説明するための模式図であり、後述するポリイミド膜の絶縁特性を測定した測定サンプルを作成した工程を示している。まず、図４（ａ）に示すようにシリコン基板４００上に蒸着重合によってポリイミド膜４０１を成膜する。
【００１４】
次に、図４（ｂ）に示すように、実際の半導体装置におけるクリーニング処理と同様に、ポリイミド膜４０１の表面にＡｒプラズマを照射する。
【００１５】
図４（ｃ）は、クリーニング処理後のポリイミド膜４０１の状態を示しており、ポリイミド膜４０１の表面には、Ａｒプラズマが照射されたことにより、イミド環が消滅する変化が起こった層４０２が生じている。
【００１６】
次に、図４（ｄ）に示すように、このイミド環が消滅する変化が起こった層４０２を、酸素プラズマを用いて除去する。図４（ｅ）は、イミド環が消滅する変化が起こった層４０２を除去し、ポリイミド膜４０１の膜厚が減少した状態を示している。
【００１７】
この後、図４（ｆ）に示すように、シリコン基板４００全体を加熱雰囲気４０５中に配置し、加熱して、図４（ｇ）に示すように、一連の処理を終了する。
【００１８】
以下、各処理の時点で図５に示す方法で行うポリイミド膜の絶縁性能を確認するリーク電流測定の結果と、ＸＰＳによる組成分析の結果とを交えて説明する。
【００１９】
図５はクリーニング処理前後を例にとって、リーク電流の測定を行う方法を説明した図である。この測定方法では、シリコン基板４００を接地し、ポリイミド膜４０１（又はイミド環が消滅する変化が起こった層４０２）の表面に、電圧を印加可能な電流を測定する端子４１０を当て、印加する電圧を０から徐々に上げながら、それぞれの電圧において検出した電流値を記録する。
【００２０】
図６のグラフは、図４（ｂ）のクリーニング処理前後、すなわち図４（ａ）および図４（ｃ）の状態における、印加電圧に対するリーク電流の変化を示している。図６に示されるように、リーク電流が１．０×１０−１２（Ａ／ｃｍ２）以下であったポリイミド膜が、Ａｒプラズマ照射によるクリーニング処理後は１．０×１０−１０（Ａ／ｃｍ２）以上のリーク電流が発生するようになっており、絶縁膜としての性能が低下していることが分かる。
【００２１】
例えば、図６の横軸に示す印加電圧が１０Ｖの場合、クリーニング処理前はリーク電流が１．２×１０−１３Ａ／ｃｍ２であったのに対し、クリーニング処理後は３．６×１０−９Ａ／ｃｍ２であった。
【００２２】
図６のグラフに測定結果を示したサンプルのポリイミド膜表面をＸＰＳによって分析したところ、図７に示すように、結合エネルギーが２８８．６ｅＶ付近に現れるイミド環由来のピークが、クリーニング処理によって減少していることが明らかになった。図７のグラフの横軸は照射したＸ線を基準としたときの光電子のエネルギー、縦軸は観測された光電子の個数を示している。なお、後述する図８〜１０のグラフも同じである。
【００２３】
次に、図４（ｄ）に該当する、損傷を受けたポリイミド膜（イミド環が消滅する変化が起こった層４０２）をＯ２プラズマによって除去する処理を行い、その特性を測定した。成膜したポリイミド膜の厚さは１μｍであるが、表面から０．１μｍ（図８）、０．３μｍ（図９）、０．６μｍ（図１０）と除去する深さを変え、それぞれ除去後の表面をＸＰＳによって分析を行った。図８に示すように、損傷を受けたポリイミド膜を表面から０．１μｍ除去すれば、図中円で囲んだ部分に示されるように、２８８．６ｅＶに現れるイミド環由来のピークが再び現れるようになった。
【００２４】
しかしながら、各サンプルのリーク電流を測定すると、図１１に示すように、リーク電流値は１．０×１０−１１（Ａ／ｃｍ２）を下回ることはなく、絶縁膜としての性能は低下したまま、元の状態に戻っていないことが分かる。
【００２５】
更に続いて、損傷を受けたポリイミド膜をＯ２プラズマによって除去したサンプルを、４００℃で加熱処理を行った。その結果、ポリイミド膜を表面から０．１μｍ以上除去していれば、図１２に示すように、リーク電流値は、クリーニング処理を行う前と同じ１．０×１０−１３（Ａ／ｃｍ２）レベル（指数）に戻ることが確認できた。
【００２６】
また、温度を変えて熱処理を行ったところ、図１３に示すように、温度が２００℃以上であれば、表面から０．１μｍまでポリイミド膜を除去しておくことによって、クリーニング処理前の絶縁性能に回復できることが分かる。
【００２７】
三次元実装は、既に半導体装置を形成した半導体ウエハに対して行う。半導体装置には様々な材料を使用しており、中には高温に耐えられない物性を有するものもある。したがって、高温ではなく、可能な限り低温での処理を行うことが好ましい。ここでは低温とは３００℃以下の温度を意味し、３００℃以下で処理を行えることは、半導体ウエハに形成した半導体装置への損傷を防ぐ意味で非常に重要である。
【００２８】
続いて、本発明の詳細を、別の実施形態を用いて説明する。
【００２９】
図１Ａ〜図１Ｈは、被処理基板としての半導体ウエハＷの要部断面構成を拡大して模式的に示し、本実施形態の工程を示すものである。
【００３０】
図１Ａ〜図１Ｈに示す半導体ウエハＷは、シリコン製の半導体ウエハＷに半導体回路を形成した後、裏面側からグラインディングによって薄化処理を行ったものである。この半導体ウエハＷをトレイ等に仮貼り合わせを行った後、裏面側を上向きににし、所定のリソグラフィ工程を行って、図１Ａに示すように、半導体ウエハＷを貫通して配線部（電極パッド）１００に通じるホール１０１を形成し、ホール１０１の底部１０１ａ及び側壁部１０１ｂを含めて、半導体ウエハＷの表面に有機絶縁膜、本実施形態では、ポリイミド膜１０２を形成する。
【００３１】
上記ポリイミド膜１０２は、例えば蒸着重合によって形成することができる。ポリイミド膜１０２を蒸着重合によって形成する場合、例えば、ＰＭＤＡ及びＯＤＡをモノマー原料として半導体ウエハＷ上で共蒸着重合反応を起こすことによって、半導体ウエハＷ上に均一なポリイミド膜１０２を形成することができる。このポリイミド膜１０２の膜厚は、例えば１．０μｍ程度とする。
【００３２】
次に、図１Ｂに示すように、ホール１０１の側壁部１０１ｂに形成されたポリイミド膜１０２を残し、ホール１０１の底部１０１ａに形成されたポリイミド膜１０２のみを除去して配線部１００に貫通させる。この工程は、例えば、ホール１０１の側壁部１０１ｂに形成されたポリイミド膜１０２を保護するマスク等を用いた周知の方法で行うことができる。
【００３３】
次に、図１Ｃに示すように、半導体ウエハに、不活性ガスのプラズマ、本実施形態ではＡｒプラズマを照射して、露出した配線部１００の表面に形成された酸化膜等の除去のため等のクリーニング処理を行う。このＡｒプラズマの照射によって、ポリイミド膜１０２が損傷を受け、その絶縁性が低下してしまう。
【００３４】
次に、図１Ｄに示すように、ホール１０１内にバリアシード層１０３、例えばＣｕ／ＴｉＮ／Ｔｉのスパッタ膜を形成する。
【００３５】
次に、図１Ｅに示すように、ホール１０１内に導体金属１０４充填して、配線部１００と電気的に導通したウエハＷを貫通する電極を形成する。
【００３６】
次に、図１Ｆに示すように、バリアシード層１０３を除去して半導体ウエハＷを貫通する電極が完成する。
【００３７】
次に、図１Ｇに示すように、酸素プラズマを作用させて、ポリイミド膜１０２の表面層の少なくとも一部を除去する表面層除去工程を行う。この表面層除去工程は、半導体ウエハＷにバイアスを印加せず、ダウンフロープラズマを用いて酸素のラジカルを作用させて行うことが好ましい。この場合、ポリイミド膜１０２を表面から０．１μｍ以上除去することが好ましい。
【００３８】
次に、図１Ｈに示すように、半導体ウエハＷを非酸化性雰囲気、例えば窒素雰囲気で熱処理する熱処理工程を行う。この熱処理工程における加熱温度は、例えば、２００℃以上程度とすればよく、２００℃〜４００℃程度とすることが好ましく、２００℃〜３００℃程度とすることがさらに好ましい。また、加熱処理時間は、例えば、３０分程度とすることが好ましい。
【００３９】
上記の酸素プラズマによる表面層除去工程と、熱処理工程とを行うことによって、ポリイミド膜１０２の絶縁性を回復させることができる。
【００４０】
上記の工程では、絶縁膜としてポリイミド膜のような有機膜を用いても、ウェット洗浄等を用いることなく、Ａｒプラズマの照射によるドライ工程による洗浄を行うことができ、かつ、絶縁膜の絶縁性を回復させて絶縁性の低下を抑制することができる。
【００４１】
縦軸を単位面積当たりのリーク電流値（Ａ／ｃｍ２）、横軸を電界強度（ＭＶ／ｃｍ）とした図２のグラフは、Ａｒプラズマの照射によるクリーニング処理の有無、上記したダメージ回復処理の後におけるポリイミド膜の絶縁性を測定した結果を示している。この図２のグラフの「クリーニング処理前」と「クリーニング処理後」とを比較すると分かるように、Ａｒプラズマの照射によって、ポリイミド膜の絶縁性が低下し、Ａｒプラズマの照射前と比べて４桁以上リーク電流が増加する。
【００４２】
上記のリーク電流の測定は、半導体ウエハに、図３に示すような貫通電極（ＴＳＶ（through silicon via））構造を模擬したサンプルを作成して行った。以下、図３を参照してサンプルの製造方法について説明する。
【００４３】
まず、図３（ａ）に示すように、シリコン基板２００にホール２０１を形成し、ホール２０１内を含めて表面にポリイミド膜２０２（厚さ約１．０μｍ）を形成した。このポリイミド膜２０２の形成は、ＰＭＤＡ及びＯＤＡをモノマー原料とした共蒸着重合反応によって行った。
【００４４】
次に、図３（ｂ）に示すように、Ａｒプラズマの照射を行った。このＡｒプラズマの照射は、高周波電力を２００Ｗとして、６０秒行った。
【００４５】
次に、図３（ｃ）に示すように、バリアシード層２０３を形成した。このバリアシード層２０３は、Ｃｕ／ＴｉＮ／Ｔｉ膜（厚さ１０００ｎｍ／３５ｎｍ／３５ｎｍ）をスパッタにより成膜して形成した。
【００４６】
次に、図３（ｄ）に示すように、フォトレジストマスク２０４を形成し、Ｓｎ／Ｃｕメッキによって、ホール２０１の底部から側壁部及び上部開口周辺に至るように電極２０５を形成した。
【００４７】
次に、図３（ｅ）に示すように、剥離液によってフォトレジストマスク２０４を剥離し、この後、図３（ｆ）に示すように、バリアシード層２０３を除去した。
【００４８】
上記の工程で製造したサンプルについて、図３（ｇ）に示すように、電極２０５にプローブ２１０を当接させ、シリコン基板２００の裏面側を接地電位としてリーク電流の測定を行った。この測定結果が、図２のグラフ中「クリーニング処理後」として示されている。
【００４９】
また、図３（ｂ）に示すように、Ａｒプラズマの照射を行った後、酸素のダウンフロープラズマによりポリイミド膜の表面層を除去したサンプルについても、同様にリーク電流の測定を行った。この測定結果が、図２のグラフ中「Ｏ２プラズマ処理後」として示されている。
【００５０】
さらに、上記のように酸素のダウンフロープラズマによりポリイミド膜の表面層を除去した後、加熱処理を行ったサンプルについても、同様にリーク電流の測定を行った。この測定結果が、図２のグラフ中「加熱処理後」として示されている。
【００５１】
図２のグラフに示すように、「クリーニング処理前」の場合に比べて、Ａｒプラズマ照射を行った場合（図２に示すクリーニング処理後）は、リーク電流が４桁以上増え、絶縁性が大きく低下する。そして、ダメージ回復処理として、酸素のダウンフロープラズマによりポリイミド膜の表面層を除去すると、ある程度絶縁性が改善され、リーク電流は、ダメージ回復前より低下するが、「クリーニング処理前」の状態に比べて、リーク電流が多く、完全には回復していない（図２に示すＯ２プラズマ処理後）。
【００５２】
そして、上記の酸素のダウンフロープラズマによる処理の後、加熱処理を行うと、クリーニング処理前と同様なレベルにまでリーク電流が減少し、ダメージを回復して絶縁性をクリーニング処理前の状態と同等にすることができた（図２に示す加熱処理後）。
【００５３】
これらの結果をまとめたものが図１４である。図１４には各操作を行った後の、実サンプルを用いて測定した、電界強度が０．１０ＭＶ／ｃｍの場合のリーク電流と、それぞれの特徴を示している。Ｏ２プラズマ処理によって、クリーニング処理前のリーク電流値よりも１桁大きい数値になっているが、加熱処理を加えた回復処理を行う事で、元の桁に戻っている。リーク電流値が１桁大きくなるだけで、全体の消費電力が増加し、許容することは好ましくない。なお、図１４の結果は、図３に示す実サンプルでの測定結果なので、図５における測定用サンプルの結果とはリーク電流の数値、特に桁（ｏｒｄｅｒ）が異なっているが、得られた結果の傾向は同等であり、技術の内容は同一である。
【００５４】
以上のとおり、本発明の実施形態によれば、絶縁膜としてポリイミド膜等の有機膜を用いても、不活性ガスのプラズマの照射によるクリーニングに起因する絶縁膜の絶縁性の低下を回復することができ、リーク電流の発生を抑制した良質な半導体装置を製造することができる。なお、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、各種の変形が可能であることは、勿論である。
【符号の説明】
【００５５】
１００……配線部、１０１……ホール、１０１ａ……底部、１０１ｂ……側壁部、１０２……ポリイミド膜、１０３……バリアシード層、１０４……導電性の金属、Ｗ……半導体ウエハ
【図１Ａ】
0005400964.tif 000002
【図１Ｂ】
0005400964.tif 000003
【図１Ｃ】
0005400964.tif 000004
【図１Ｄ】
0005400964.tif 000005
【図１Ｅ】
0005400964.tif 000006
【図１Ｆ】
0005400964.tif 000007
【図１Ｇ】
0005400964.tif 000008
【図１Ｈ】
0005400964.tif 000009
【図２】
0005400964.tif 000010
【図３】
0005400964.tif 000011
【図４】
0005400964.tif 000012
【図５】
0005400964.tif 000013
【図６】
0005400964.tif 000014
【図７】
0005400964.tif 000015
【図８】
0005400964.tif 000016
【図９】
0005400964.tif 000017
【図１０】
0005400964.tif 000018
【図１１】
0005400964.tif 000019
【図１２】
0005400964.tif 000020
【図１３】
0005400964.tif 000021
【図１４】
0005400964.tif 000022