(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体としてのズームレンズにより解像力チャートを結像あるいは投影させて該ズームレンズを検査する際に用いられるフロントコンバータであって、
前記結像がなされる場合の解像力チャートあるいは前記投影がなされる場合の投影面と、広角端以外の状態に設定されたズームレンズとの間に配置されるフロントコンバータにおいて、
前記ズームレンズと反対側から順に、接合レンズのみから構成されて負の屈折力を有する前群、接合レンズのみから構成されて正の屈折力を有する後群が配設されてなり、
１未満の角倍率を有することを特徴とするフロントコンバータ。
【請求項２】
前記前群を構成する正レンズのアッベ数をν1p、負レンズのアッベ数をν1n、前記後群を構成する正レンズのアッベ数をν2p、負レンズのアッベ数をν2nとしたとき、下記の式を満足していることを特徴とする請求項１記載のフロントコンバータ。
ν1p＜ν1n  （１）
ν2p＞ν2n  （２）
【請求項３】
前記後群を構成する接合レンズの前群側の面と比べて、その反対側の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有していることを特徴とする請求項１または２記載のフロントコンバータ。
【請求項４】
前記角倍率をγ、前記結像がなされる場合の解像力チャートからフロントコンバータまでの距離が１０００ｍｍのときのバックフォーカスをｆｂとしたとき、下記の式を満足していることを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載のフロントコンバータ。
０．１＜γ＜０．９  （３）
−０．２５＜１０００／ｆｂ  （４）
【請求項５】
前記角倍率γおよびバックフォーカスｆｂの値が下記の式を満足していることを特徴とする請求項４記載のフロントコンバータ。
０．２＜γ＜０．９  （３）′
−０．２５＜１０００／ｆｂ  ＜０．２（４）′
【請求項６】
被検体としてのズームレンズにより解像力チャートを結像あるいは投影させて該ズームレンズを検査するズームレンズの検査方法において、
前記結像がなされる場合の解像力チャートあるいは前記投影がなされる場合の投影面と、広角端以外の状態に設定されたズームレンズとの間に、１未満の角倍率を有するフロントコンバータを配置し、
前記フロントコンバータとして、前記ズームレンズと反対側から順に、接合レンズのみから構成されて負の屈折力を有する前群、接合レンズのみから構成されて正の屈折力を有する後群が配設されてなるものを用いることを特徴とするズームレンズの検査方法。
【請求項７】
前記フロントコンバータとして、前記前群を構成する正レンズのアッベ数をν1p、負レンズのアッベ数をν1n、前記後群を構成する正レンズのアッベ数をν2p、負レンズのアッベ数をν2nとしたとき、下記の式を満足するものを用いることを特徴とする請求項６記載のズームレンズの検査方法。
ν1p＜ν1n  （１）
ν2p＞ν2n  （２）
【請求項８】
前記フロントコンバータとして、後群を構成する接合レンズの前群側の面と比べて、その反対側の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有するものを用いることを特徴とする請求項６または７記載のズームレンズの検査方法。
【請求項９】
前記フロントコンバータとして、前記角倍率をγ、前記結像がなされる場合の解像力チャートからフロントコンバータまでの距離が１０００ｍｍのときのバックフォーカスをｆｂとしたとき、下記の式を満足するものを用いることを特徴とする請求項６から８いずれか１項記載のズームレンズの検査方法。
０．１＜γ＜０．９  （３）
−０．２５＜１０００／ｆｂ  （４）
【請求項１０】
前記角倍率γおよびバックフォーカスｆｂの値が下記の式を満足していることを特徴とする請求項９記載のズームレンズの検査方法。
０．２＜γ＜０．９  （３）′
−０．２５＜１０００／ｆｂ  ＜０．２（４）′
【請求項１１】
ズームレンズを検査に供するために、このズームレンズにより解像力チャートを結像あるいは投影させるようにしたズームレンズの検査装置において、
前記結像がなされる場合の解像力チャートあるいは前記投影がなされる場合の投影面と、広角端以外の状態に設定されたズームレンズとの間に、１未満の角倍率を有するフロントコンバータが配置され、
前記フロントコンバータとして、前記ズームレンズと反対側から順に、接合レンズのみから構成されて負の屈折力を有する前群、接合レンズのみから構成されて正の屈折力を有する後群が配設されてなるものが用いられていることを特徴とするズームレンズの検査装置。
【請求項１２】
前記フロントコンバータとして、前記前群を構成する正レンズのアッベ数をν1p、負レンズのアッベ数をν1n、前記後群を構成する正レンズのアッベ数をν2p、負レンズのアッベ数をν2nとしたとき、下記の式を満足するものが用いられていることを特徴とする請求項１１記載のズームレンズの検査装置。
ν1p＜ν1n  （１）
ν2p＞ν2n  （２）
【請求項１３】
前記フロントコンバータとして、後群を構成する接合レンズの前群側の面と比べて、その反対側の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有するものが用いられていることを特徴とする請求項１１または１２記載のズームレンズの検査装置。
【請求項１４】
前記フロントコンバータとして、前記角倍率をγ、前記結像がなされる場合の解像力チャートからフロントコンバータまでの距離が１０００ｍｍのときのバックフォーカスをｆｂとしたとき、下記の式を満足するものが用いられていることを特徴とする請求項１１から１３いずれか１項記載のズームレンズの検査装置。
０．１＜γ＜０．９  （３）
−０．２５＜１０００／ｆｂ  （４）
【請求項１５】
前記角倍率γおよびバックフォーカスｆｂの値が下記の式を満足していることを特徴とする請求項１４記載のズームレンズの検査装置。
０．２＜γ＜０．９  （３）′
−０．２５＜１０００／ｆｂ  ＜０．２（４）′
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はズームレンズの検査に用いられるフロントコンバータに関するものである。
【０００２】
また本発明は、そのようなフロントコンバータを用いたズームレンズの検査方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００３】
従来、ズームレンズを検査する際には、解像力チャートを被写体として用いて、被検レンズにより該チャートの像を結像させ、その像を顕微鏡により観察して結像性能を検査する、あるいはその像を撮像した光電変換素子が出力する電気信号に基づいて結像性能を検査する、といった方法が用いられてきた。
【０００４】
また反対に、上記の場合の結像位置に解像力チャートを配置し、それを被検レンズによって被写体側（上記の場合のチャート側）に逆投影し、投影されたチャートの像を目視して結像性能を検査する方法も一般的に用いられている。
【０００５】
ところが、近年ズームレンズの高倍率化により望遠側の焦点距離が長くなったことに伴い、望遠側では被写体距離による収差の変動が大きくなり、そのために解像力チャートから被検レンズまでの距離が長くなって、検査設備が巨大化する問題が生じてきた。これは、解像力チャートを被検レンズによって投影する場合も同様であり、その場合は被検レンズから投影面までの距離が長大化する。
【０００６】
この問題を解決するために、例えば特許文献１および２に示されるようなクローズアップレンズを挿入することにより、解像力チャートあるいは投影面と被検レンズとの距離を短くして検査できるようにした方法も当分野では知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平７−３１８８０１号公報
【特許文献２】特開２００２−６２１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、十分に小さな設備で検査を行うためには、クローズアップレンズを用いる方法ではチャートが細かくなり過ぎ、そのようなチャートを十分な精度で作製するのは困難であるという問題が認められている。また前述の逆投影を行う場合にも、投影像が小さくなり過ぎて、細部の判別が困難になるという問題が認められている。
【０００９】
本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、解像力チャートあるいは投影面と被検レンズとの距離を短く設定した上で高精度の検査を行うことができる、ズームレンズの検査方法を提供することを目的とするものである。
【００１０】
また本発明は、そのような検査方法を実施することができるズームレンズの検査装置を提供することを目的とするものである。
【００１１】
さらに本発明は、そのようなズームレンズの検査方法および装置を実現できるフロントコンバータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明によるフロントコンバータは、
前述したように、被検体としてのズームレンズにより解像力チャートを結像あるいは投影させて該ズームレンズを検査する際に用いられるフロントコンバータであって、
前記結像がなされる場合の解像力チャートあるいは前記投影がなされる場合の投影面と、広角端以外の状態に設定されたズームレンズとの間に配置されるフロントコンバータにおいて、
ズームレンズと反対側から順に、接合レンズのみから構成されて負の屈折力を有する前群、接合レンズのみから構成されて正の屈折力を有する後群が配設されてなり、
１未満の角倍率を有することを特徴とするものである。
【００１３】
他方、本発明によるズームレンズの検査方法は、
前述したように被検体としてのズームレンズにより解像力チャートを結像あるいは投影させて該ズームレンズを検査するズームレンズの検査方法において、
前記結像がなされる場合の解像力チャートあるいは前記投影がなされる場合の投影面と、広角端以外の状態に設定されたズームレンズとの間に、１未満の角倍率を有するフロントコンバータを配置することを特徴とするものである。
【００１４】
なお、本発明におけるこの「検査方法」とは、ズームレンズの性能を評価、判別する通常の検査は勿論のこと、解像力チャートを結像あるいは投影させ、それを観察しながら該ズームレンズを調整（例えばレンズの偏心や倒れ、フォーカス状態等の調整）する作業も含むものとする。すなわち、その種の調整作業においても、レンズをどのように調整するかは、当然、ズームレンズの性能の評価、判別に応じて決められるものであるから、作業にズームレンズの検査が含まれることは自明である。
【００１５】
また、上記の方法を実施するための本発明によるズームレンズの検査装置は、
ズームレンズを検査に供するために、このズームレンズにより解像力チャートを結像あるいは投影させるようにしたズームレンズの検査装置において、
前記結像がなされる場合の解像力チャートあるいは前記投影がなされる場合の投影面と、広角端以外の状態に設定されたズームレンズとの間に、１未満の角倍率を有するフロントコンバータが配置されていることを特徴とするものである。
【００１６】
なお、より詳細には、本発明のズームレンズの検査方法においても、前述した１未満の角倍率を有するフロントコンバータとして、ズームレンズと反対側から順に、接合レンズのみから構成されて負の屈折力を有する前群、接合レンズのみから構成されて正の屈折力を有する後群が配設されてなるフロントコンバータが用いられる。
【００１７】
また、本発明のズームレンズの検査装置においても、より詳細には、前述した１未満の角倍率を有するフロントコンバータとして、ズームレンズと反対側から順に、接合レンズのみから構成されて負の屈折力を有する前群、接合レンズのみから構成されて正の屈折力を有する後群が配設されてなるフロントコンバータが適用される。
【００１８】
また本発明においては、フロントコンバータの前記前群を構成する正レンズのアッベ数をν1p、負レンズのアッベ数をν1n、前記後群を構成する正レンズのアッベ数をν2p、負レンズのアッベ数をν2nとしたとき、下記の式を満足していることが望ましい。
【００１９】
ν1p＜ν1n  （１）
ν2p＞ν2n  （２）
さらに本発明においては、フロントコンバータの上記後群を構成する接合レンズの前群側の面と比べて、その反対側の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有していることが望ましい。
【００２０】
また本発明においては、フロントコンバータの角倍率をγ、前記結像がなされる場合の解像力チャートからフロントコンバータまでの距離が１０００ｍｍのときのバックフォーカス（レンズ最後部頂点からレンズ後側焦点までの距離）をｆｂとしたとき、下記の式を満足していることが望ましい。
【００２１】
０．１＜γ＜０．９  （３）
−０．２５＜１０００／ｆｂ  （４）
これらの角倍率γおよびバックフォーカスｆｂの値は、さらに好ましくは下記の式を満足する範囲内に設定される。
【００２２】
０．２＜γ＜０．９  （３）′
−０．２５＜１０００／ｆｂ  ＜０．２（４）′
なお本発明において、フロントコンバータの製造誤差による性能への影響をより少なくするためには、フロントコンバータを構成するレンズの全ての面を球面で構成することが望ましい。しかし、本発明では特にそれに限らず、レンズの一部の面が非球面から構成されても構わない。
【発明の効果】
【００２３】
望遠側の焦点距離が長いズームレンズを高精度に検査するためには、ある程度の大きさの解像力チャートもしくは投影像が必要となる。しかし、設備を小さくしようとして検査距離を短くすると、解像力チャートもしくは投影像も小さくなってしまう。そこで、前述した特許文献１や２に記載されたクローズアップレンズと併せてフロントワイドコンバータを用いることにより、十分な大きさのチャートを用いながら望遠側の検査を可能にすることが考えられる。なお、その種のワイドコンバータは、例えば特開２００６−１１９３４６号公報、同２００６−３９１０２号公報、同２００６−８４８１１号公報、同２００７−１７８８２６号公報、および特開昭６３−１００４１４号公報等に記載がある。しかし、クローズアップレンズとフロントワイドコンバータを併用すると、検査用光学系を複雑化することになり、それは検査精度の低下につながるので好ましくない。
【００２４】
以上の知見に基づいて本発明は、フロントワイドコンバータにクローズアップレンズの機能を併せ持たせることにより、検査精度を落とすことなく検査装置の小型化を実現したものである。すなわち本発明によるフロントコンバータは、１未満の角倍率を有するものとされていることにより、有限の検査距離（解像力チャートあるいは投影面とズームレンズとの距離）が設定されている場合において、その検査距離よりも遠い距離に虚像を形成して高い検査精度を確保可能となっている。そこで本発明によれば、高倍率のズームレンズに対しても、小さなスペースで望遠側の検査を行うことが可能になる。
【００２５】
それに対して従来のフロントワイドコンバータは角倍率が１未満ではあるが、アフォーカル系となっているために、それを適用した場合、高い検査精度を確保しようとすると検査距離を短くすることができない。
【００２６】
また本発明によれば、検査距離を短縮することにより空気の揺らぎによる影響を少なくする効果も得られる。そして、上述の通りにして検査距離を短縮できれば、同一の架台に被検レンズとフロントコンバータを同架することも容易である。そのようにすれば、被検レンズとフロントコンバータを合わせた光学系の等価的な焦点距離を短くすることができ、振動の影響を小さくすることが可能となる。この空気の揺らぎや振動による影響は、長焦点距離レンズの検査においては深刻な問題となっているので、この影響を排除できることは実用的価値が極めて高いと言える。
【００２７】
ここで、上述のような目的のために使用する本発明のフロントコンバータは、被検体のズームレンズと併せて良好な性能を得るだけでは不十分である。すなわち、そのズームレンズの性能にほとんど変化を与えないことが重要であり、またフロントコンバータの製造誤差に起因してズームレンズの性能に大きな変化を与えるようなことも有ってはならない。さらに、ズームレンズとの相対位置関係についても十分な許容度が必要とされる。
【００２８】
その点から本発明のフロントコンバータは、被検体であるズームレンズと反対側から順に、負の屈折力を有する前群、正の屈折力を有する後群が配設されて構成されている。このような構成とすることにより、フロントコンバータの組み立てが容易化され、製造誤差によるレンズ性能への影響を軽減できるようになる。
【００２９】
そして、上述のような前群および後群が特に、いずれも接合レンズのみから構成されていることから、各群内のレンズ組み立て誤差の発生が抑制されるので、この組み立て誤差によるレンズ性能への影響も排除できるようになる。
【００３０】
また本発明において、特にフロントコンバータが前記（１）式を満足している場合は倍率の色収差の補正が容易になり、さらに前記（２）式を満足している場合は軸上の色収差の補正も容易となる。
【００３１】
また本発明において、特にフロントコンバータの後群を構成する接合レンズの前群側の面と比べて、その反対側の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有している場合は、収差補正の点で有利となる。すなわち、フロントコンバータを本発明の方法におけるようにズームレンズの検査に用いる場合は、歪曲収差は無視することができ、球面収差、コマ収差、非点収差、色収差を主に補正する必要がある。そこで、後群を構成する接合レンズを上述のような構成のものとしておくと、必要な角倍率を確保しつつ、補正が必要な色収差以外の上記各収差を容易に補正可能となる。
【００３２】
また本発明において、特にフロントコンバータが前記（３）および（４）式を満足している場合は、検査精度の良い検査システムを構築することが可能となる。
【００３３】
すなわち、（３）式は角倍率γの好ましい範囲を規定するものであり、角倍率γがそこに規定された下限以下になっているとフロントコンバータによる収差が大きくなり、被検レンズの性能を的確に判断することが難しくなる。また、角倍率γがそこに規定された上限以上になると、フロントコンバータのワイドコンバータとしての機能が弱くなり、解像力チャートもしくは投影像を十分に大きくすることが不可能になる。つまり、この（３）式が満足されていれば、フロントコンバータによる収差を小さく抑え、また解像力チャートもしくは投影像を十分に大きくして、検査精度を高めることができる。
【００３４】
なお、フロントコンバータが前記（３）′式を満足している場合は、角倍率γの下限がより大きくなることにより、上述の収差を抑える効果がより大となる。
【００３５】
一方、（４）式は検査距離を短縮するための条件を示しており、１０００／ｆｂの値がそこに規定された下限以下になるとクローズアップレンズとしての機能が弱くなり、十分に検査距離を短縮することができなくなる。ここでは代表的に１０００ｍｍの被写体距離（検査距離）での値を用いているが、実際の検査距離は装置の小型化のためにそれよりも近い距離とするのが望ましい。なお、１０００ｍｍよりも短い検査距離で、より遠い距離に虚像を形成するためには（４）式は正の値も取り得る。
【００３６】
また、フロントコンバータが前記（４）′式を満足している場合は、フロントコンバータの位置精度が緩和される。つまり、１０００／ｆｂの値がそこに規定された上限以上になると、クローズアップレンズの屈折力が強くなり過ぎて、位置精度を確保するのが厳しくなる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施形態によるズームレンズの検査装置の概略構成を示す斜視図
【図２】本発明によるズームレンズの検査装置における実施例１の光学系を示す断面図
【図３】本発明によるズームレンズの検査装置における実施例２の光学系を示す断面図
【図４】本発明によるズームレンズの検査装置における実施例３の光学系を示す断面図
【図５】本発明によるズームレンズの検査装置における実施例４の光学系を示す断面図
【図６】本発明によるズームレンズの検査装置における実施例５の光学系を示す断面図
【図７】図６の光学系の一部を拡大して示す断面図
【図８】本発明によるズームレンズの検査装置における実施例６の光学系を示す断面図
【図９】図８の光学系の一部を拡大して示す断面図
【図１０】本発明によるズームレンズの検査装置における実施例７の光学系を示す断面図
【図１１】本発明によるズームレンズの検査装置における実施例８の光学系を示す断面図
【図１２】（Ａ）〜（Ｄ）は上記実施例１のズームレンズのみの各収差図であり、（Ｅ）〜（Ｈ）は該ズームレンズとフロントコンバータとを合わせた光学系の各収差図
【図１３】（Ａ）〜（Ｄ）は上記実施例２のズームレンズのみの各収差図であり、（Ｅ）〜（Ｈ）は該ズームレンズとフロントコンバータとを合わせた光学系の各収差図
【図１４】（Ａ）〜（Ｄ）は上記実施例３のズームレンズのみの各収差図であり、（Ｅ）〜（Ｈ）は該ズームレンズとフロントコンバータとを合わせた光学系の各収差図
【図１５】（Ａ）〜（Ｄ）は上記実施例４のズームレンズのみの各収差図であり、（Ｅ）〜（Ｈ）は該ズームレンズとフロントコンバータとを合わせた光学系の各収差図
【図１６】（Ａ）〜（Ｄ）は上記実施例５のズームレンズのみの各収差図であり、（Ｅ）〜（Ｈ）は該ズームレンズとフロントコンバータとを合わせた光学系の各収差図
【図１７】（Ａ）〜（Ｄ）は上記実施例６のズームレンズのみの各収差図であり、（Ｅ）〜（Ｈ）は該ズームレンズとフロントコンバータとを合わせた光学系の各収差図
【図１８】（Ａ）〜（Ｄ）は上記実施例７のズームレンズのみの各収差図であり、（Ｅ）〜（Ｈ）は該ズームレンズとフロントコンバータとを合わせた光学系の各収差図
【図１９】（Ａ）〜（Ｄ）は上記実施例８のズームレンズのみの各収差図であり、（Ｅ）〜（Ｈ）は該ズームレンズとフロントコンバータとを合わせた光学系の各収差図
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００３９】
図１は、本発明の一実施形態によるズームレンズの検査装置の概略斜視形状を示すものである。ここに示される通り、従来公知の解像力チャート１が所定位置に配され、この解像力チャート１の像が被検レンズとしてのズームレンズ２およびフロントコンバータ３によって結像される。このときズームレンズ２は広角端以外の状態、多くは望遠端の状態に設定される。そしてこの結像された像が、例えばＣＣＤ撮像素子等の撮像素子４によって撮像され、該撮像素子４から上記像を担持する電気的画像信号Ｓｄが出力される。この画像信号Ｓｄは上記像の鮮鋭度や歪み等を示すものとなっているので、この画像信号Ｓｄを所定の処理にかけることにより、ズームレンズ２の性能を検査することができる。
【００４０】
なお、そのように画像信号Ｓｄに基づいてズームレンズ２の性能を検査する他、上記の結像された像を検査者が顕微鏡等で拡大観察することによってズームレンズ２の検査を行うこともできる。また反対に、上記撮像素子４の位置に解像力チャートを配置し、それをズームレンズ２およびフロントコンバータ３によって、上記の場合の解像力チャート１側に投影させ、その投影像を観察する等によってズームレンズ２の検査を行うことも可能である。
【００４１】
上記フロントコンバータ３は、先に述べたように検査距離つまり、解像力チャート１とズームレンズ２との距離を短くしつつ高精度の検査を可能とするために設置されたものである。以下、これらのズームレンズ２およびフロントコンバータ３からなる光学系の具体的な実施例について詳しく説明する。
【００４２】
《実施例１》
図２に、本実施例におけるズームレンズ２およびフロントコンバータ３の断面形状を示す。ここではフロントコンバータ３をＣＶとして示してあり、前群のレンズＬ１１、Ｌ１２および後群のレンズＬ２１、Ｌ２２から構成されている。ここで、レンズ構成を説明するに当たっては、ズームレンズ２が実際に使用される状態で被写体側となる図中左側を「前」と称し、それと反対の図中右側を「後」と称することとする。その他のレンズＬ３１〜Ｌ４２並びに開口絞りＳｔおよび平行平板状の光学部材ＰＰは、ズームレンズ２を構成するものである。なお同図におけるＳｉｍは、ズームレンズ２およびフロントコンバータ３による結像面を示している。以上の表記法は、後に説明する図３〜１１においても同様である。
【００４３】
また下記の表１に、本実施例におけるズームレンズ２およびフロントコンバータ３のレンズデータを示す。この表１のレンズデータにおいて、Ｓｉの欄には最も物体側（解像力チャート１側）の構成要素の面を１番目として像側に向かうに従い順次増加するｉ番目（ｉ＝１、２、３、…）の面番号を示し、Ｒｉの欄にはｉ番目の面の曲率半径を示し、Ｄｉの欄にはｉ番目の面とｉ＋１番目の面との光軸Ｚ上の面間隔を示している。また、Ｎｄｊの欄には最も物体側の光学要素を１番目として像側に向かうに従い順次増加するｊ番目（ｊ＝１、２、３、…）の光学要素のｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対する屈折率を示し、νｄｊの欄にはｊ番目の光学要素のｄ線に対するアッベ数を示している。なお、曲率半径の符号は、物体側に凸の場合を正、像側に凸の場合を負としている。レンズデータには、解像力チャートＯＢＪ、開口絞りＳｔ、光学部材ＰＰも含めて示している。開口絞りＳｔに相当する面の面番号の欄には面番号とともにそれぞれ（開口絞り）という語句を記載している。以上の表記法は、後に説明する表３，５，７，９，１１，１３および１５においても同様である。
【表１】
0005480070.tif 000002
【００４４】
表１のレンズデータでは、非球面は面番号に＊印を付しており、非球面の曲率半径として近軸の曲率半径の数値を示している。表２は、これらの非球面に関するデータである非球面係数を示すものである。
【表２】
0005480070.tif 000003
【００４５】
非球面データとしては、以下の式（Ａ）によって表される非球面形状の式における各係数Ａｎ，Ｋの値を記す。Ｚｄは、より詳しくは、光軸Ｚから高さｈの位置にある非球面上の点から、非球面の頂点の接平面（光軸Ｚに垂直な平面）に下ろした垂線の長さ（ｍｍ）を示す。
【００４６】
Ｚｄ＝Ｃ・ｈ２／｛１＋（１−（Ｋ＋１）・Ｃ２・ｈ２）１／２｝＋ΣＡｎ・ｈｎ…（Ａ）
（ｎ＝３以上の整数）
ただし、
Ｚ：非球面の深さ（ｍｍ）
ｈ：光軸からレンズ面までの距離（高さ）（ｍｍ）
Ｋ：円錐定数
Ｃ：近軸曲率＝１／Ｒ
（Ｒ：近軸曲率半径）
Ａｎ：第ｎ次の非球面係数
以上の表記法は、後に説明する表４，６，８，１０，１２，１４および１６においても同様である。
【００４７】
なお本実施例では、非球面係数ＡｎとしてＡ３〜Ａ20までの次数を適宜有効に用いてＺｄを表している。
【００４８】
本実施例においては、検査に際しズームレンズ２は望遠端に設定される。つまりズームレンズ２は無限遠の被写体に合焦する状態とされる。また本実施例において、ズームレンズ２のみの焦点距離ｆ＝６３．６９ｍｍ、Ｆ値＝５．６０、画角（２ω）＝７．４°であり、ズームレンズ２とフロントコンバータ３とを合わせた光学系の焦点距離ｆ＝５１．５８ｍｍ、Ｆ値＝５．５９、画角（２ω）＝９．０°である。
【００４９】
本実施例のズームレンズ２のみにおける球面収差、非点収差、ディストーション（歪曲収差）、倍率色収差（倍率の色収差）をそれぞれ図１２（Ａ）〜図１２（Ｄ）に示し、ズームレンズ２とフロントコンバータ３とを合わせた光学系における球面収差、非点収差、ディストーション（歪曲収差）、倍率色収差（倍率の色収差）をそれぞれ図１２（Ｅ）〜図１２（Ｈ）に示す。
【００５０】
各収差図は波長５８７．６ｎｍのｄ線を基準としたものであるが、球面収差図では波長４６０．０ｎｍと波長６１５．０ｎｍに関する収差も示し、倍率色収差図では波長４６０．０ｎｍと波長６１５．０ｎｍに関する収差を示す。非点収差図では、サジタル方向については実線で、タンジェンシャル方向については破線で示している。球面収差図のＦｎｏ．はＦ値を意味し、その他の収差図のωは半画角を意味する。以上の表記法は、後に説明する図１３〜１９においても同様である。
【００５１】
後に示す表１７は、本実施例１および後述する実施例２〜８におけるフロントコンバータ３の角倍率γ、および前述した１０００／ｆｂの値をまとめて示すものである。ここに示されている通り、本実施例では角倍率γは１未満となっており、また特に前述した（３）′式の条件も満足している。それにより、フロントコンバータ３による収差を小さく抑え、また解像力チャート１を十分に大きくして、検査精度を高めることができる。さらにこの表１７に示されている通り、前述した（４）′式の条件も満足されている。それにより、フロントコンバータ３の位置精度が緩和される。
【００５２】
なお表１７においては、参考のために、前述した特開２００６−１１９３４６号公報、同２００６−３９１０２号公報、同２００６−８４８１１号公報、同２００７−１７８８２６号公報、および特開昭６３−１００４１４号公報に記載された構成における数値も併せて記載してある。
【００５３】
また本実施例では、フロントコンバータ３のレンズＬ１１、Ｌ１２からなる前群が負の屈折力を有し、レンズＬ２１、Ｌ２２からなる後群が正の屈折力を有している。それにより、フロントコンバータ３の組み立てが容易化され、製造誤差によるレンズ性能への影響を軽減できるようになる。
【００５４】
そして上記前群および後群は、それぞれ接合レンズのみから構成されている。それにより、各群内のレンズ組み立て誤差の発生が抑制されるので、この組み立て誤差によるレンズ性能への影響も排除できるようになる。
【００５５】
また、上記前群を構成する正レンズであるレンズＬ１１のアッベ数ν1p＝４２．８２、負レンズであるレンズＬ１２のアッベ数ν1n＝６１．１３であるので、前述した（１）式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ３の倍率の色収差の補正が容易になる。
【００５６】
一方、上記後群を構成する正レンズであるレンズＬ２２のアッベ数ν2p＝６０．６７、負レンズであるレンズＬ２１のアッベ数ν2n＝３９．２４であるので、前述した（２）式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ３の軸上の色収差の補正も容易となる。
【００５７】
また、上記後群を構成する接合レンズの前群側の面（面番号４の面）の曲率半径＝∞であり、それに対してその反対側の面（面番号６の面）の曲率半径＝−１１７．５２６０８であるので、後者の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有している。それにより、前述したように必要な角倍率γを確保しつつ、補正が必要な球面収差、コマ収差、非点収差等の収差を容易に補正可能となる。
【００５８】
《実施例２》
図３に、本実施例におけるズームレンズ２およびフロントコンバータ３の断面形状を示す。ここではフロントコンバータ３をＣＶとして示してあり、前群のレンズＬ１１、Ｌ１２および後群のレンズＬ２１、Ｌ２２から構成されている。
【００５９】
また下記の表３に、本実施例におけるズームレンズ２およびフロントコンバータ３のレンズデータを示す。
【表３】
0005480070.tif 000004
【００６０】
表３のレンズデータでは、非球面は面番号に＊印を付しており、非球面の曲率半径として近軸の曲率半径の数値を示している。表４は、これらの非球面に関するデータである非球面係数を示すものである。
【表４】
0005480070.tif 000005
【００６１】
なお本実施例では、非球面係数ＡｎとしてＡ３〜Ａ20までの次数を適宜有効に用いてＺｄを表している。
【００６２】
本実施例においては、検査に際しズームレンズ２は５．０ｍ前方に合焦する状態とされる。また本実施例において、ズームレンズ２のみの焦点距離ｆ＝６３．３９ｍｍ、Ｆ値＝５．６２、画角（２ω）＝７．４°であり、ズームレンズ２とフロントコンバータ３とを合わせた光学系の焦点距離ｆ＝４８．２７ｍｍ、Ｆ値＝５．６１、画角（２ω）＝９．６°である。
【００６３】
本実施例のズームレンズ２のみにおける球面収差、非点収差、ディストーション（歪曲収差）、倍率色収差（倍率の色収差）をそれぞれ図１３（Ａ）〜図１３（Ｄ）に示し、ズームレンズ２とフロントコンバータ３とを合わせた光学系における球面収差、非点収差、ディストーション（歪曲収差）、倍率色収差（倍率の色収差）をそれぞれ図１３（Ｅ）〜図１３（Ｈ）に示す。
【００６４】
前述した表１７に示されている通り、本実施例では角倍率γは１未満となっており、また特に前述した（３）′式の条件も満足している。それにより、フロントコンバータ３による収差を小さく抑え、また解像力チャート１を十分に大きくして、検査精度を高めることができる。さらにこの表１７に示されている通り、前述した（４）′式の条件も満足されている。それにより、フロントコンバータ３の位置精度が緩和される。
【００６５】
また本実施例では、フロントコンバータ３のレンズＬ１１、Ｌ１２からなる前群が負の屈折力を有し、レンズＬ２１、Ｌ２２からなる後群が正の屈折力を有している。それにより、フロントコンバータ３の組み立てが容易化され、製造誤差によるレンズ性能への影響を軽減できるようになる。
【００６６】
そして上記前群および後群は、それぞれ接合レンズのみから構成されている。それにより、各群内のレンズ組み立て誤差の発生が抑制されるので、この組み立て誤差によるレンズ性能への影響も排除できるようになる。
【００６７】
また、上記前群を構成する正レンズであるレンズＬ１１のアッベ数ν1p＝３９．２４、負レンズであるレンズＬ１２のアッベ数ν1n＝６０．２９であるので、前述した（１）式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ３の倍率の色収差の補正が容易になる。
【００６８】
一方、上記後群を構成する正レンズであるレンズＬ２２のアッベ数ν2p＝６０．６７、負レンズであるレンズＬ２１のアッベ数ν2n＝３９．２４であるので、前述した（２）式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ３の軸上の色収差の補正も容易となる。
【００６９】
また、上記後群を構成する接合レンズの前群側の面（面番号４の面）の曲率半径＝∞であり、それに対してその反対側の面（面番号６の面）の曲率半径＝−１１７．５２６０８であるので、後者の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有している。それにより、前述したように必要な角倍率γを確保しつつ、補正が必要な球面収差、コマ収差、非点収差等の収差を容易に補正可能となる。
【００７０】
《実施例３》
図４に、本実施例におけるズームレンズ２およびフロントコンバータ３の断面形状を示す。ここではフロントコンバータ３をＣＶとして示してあり、前群のレンズＬ１１、Ｌ１２および後群のレンズＬ２１、Ｌ２２から構成されている。
【００７１】
また下記の表５に、本実施例におけるズームレンズ２およびフロントコンバータ３のレンズデータを示す。
【表５】
0005480070.tif 000006
【００７２】
表５のレンズデータでは、非球面は面番号に＊印を付しており、非球面の曲率半径として近軸の曲率半径の数値を示している。表６は、これらの非球面に関するデータである非球面係数を示すものである。
【表６】
0005480070.tif 000007
【００７３】
なお本実施例では、非球面係数ＡｎとしてＡ３〜Ａ１0までの次数を適宜有効に用いてＺｄを表している。
【００７４】
本実施例においては、検査に際しズームレンズ２は無限遠に合焦する状態とされる。また本実施例において、ズームレンズ２のみの焦点距離ｆ＝８７．３４ｍｍ、Ｆ値＝５．６３、画角（２ω）＝５．０°であり、ズームレンズ２とフロントコンバータ３とを合わせた光学系の焦点距離ｆ＝５９．４６ｍｍ、Ｆ値＝５．６２、画角（２ω）＝７．４°である。
【００７５】
本実施例のズームレンズ２のみにおける球面収差、非点収差、ディストーション（歪曲収差）、倍率色収差（倍率の色収差）をそれぞれ図１４（Ａ）〜図１４（Ｄ）に示し、ズームレンズ２とフロントコンバータ３とを合わせた光学系における球面収差、非点収差、ディストーション（歪曲収差）、倍率色収差（倍率の色収差）をそれぞれ図１４（Ｅ）〜図１４（Ｈ）に示す。
【００７６】
前述した表１７に示されている通り、本実施例では角倍率γは１未満となっており、また特に前述した（３）′式の条件も満足している。それにより、フロントコンバータ３による収差を小さく抑え、また解像力チャート１を十分に大きくして、検査精度を高めることができる。さらにこの表１７に示されている通り、前述した（４）′式の条件も満足されている。それにより、フロントコンバータ３の位置精度が緩和される。
【００７７】
また本実施例では、フロントコンバータ３のレンズＬ１１、Ｌ１２からなる前群が負の屈折力を有し、レンズＬ２１、Ｌ２２からなる後群が正の屈折力を有している。それにより、フロントコンバータ３の組み立てが容易化され、製造誤差によるレンズ性能への影響を軽減できるようになる。
【００７８】
そして上記前群および後群は、それぞれ接合レンズのみから構成されている。それにより、各群内のレンズ組み立て誤差の発生が抑制されるので、この組み立て誤差によるレンズ性能への影響も排除できるようになる。
【００７９】
また、上記前群を構成する正レンズであるレンズＬ１１のアッベ数ν1p＝４０．７５、負レンズであるレンズＬ１２のアッベ数ν1n＝６０．６４であるので、前述した（１）式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ３の倍率の色収差の補正が容易になる。
【００８０】
一方、上記後群を構成する正レンズであるレンズＬ２２のアッベ数ν2p＝６１．１３、負レンズであるレンズＬ２１のアッベ数ν2n＝３９．２４であるので、前述した（２）式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ３の軸上の色収差の補正も容易となる。
【００８１】
また、上記後群を構成する接合レンズの前群側の面（面番号４の面）の曲率半径＝∞であり、それに対してその反対側の面（面番号６の面）の曲率半径＝−１３７．８７１９９であるので、後者の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有している。それにより、前述したように必要な角倍率γを確保しつつ、補正が必要な球面収差、コマ収差、非点収差等の収差を容易に補正可能となる。
【００８２】
《実施例４》
図５に、本実施例におけるズームレンズ２およびフロントコンバータ３の断面形状を示す。ここではフロントコンバータ３をＣＶとして示してあり、前群のレンズＬ１１、Ｌ１２および後群のレンズＬ２１、Ｌ２２から構成されている。
【００８３】
また下記の表７に、本実施例におけるズームレンズ２およびフロントコンバータ３のレンズデータを示す。
【表７】
0005480070.tif 000008
【００８４】
表７のレンズデータでは、非球面は面番号に＊印を付しており、非球面の曲率半径として近軸の曲率半径の数値を示している。表８は、これらの非球面に関するデータである非球面係数を示すものである。
【表８】
0005480070.tif 000009
【００８５】
なお本実施例では、非球面係数ＡｎとしてＡ３〜Ａ１0までの次数を適宜有効に用いてＺｄを表している。
【００８６】
本実施例においては、検査に際しズームレンズ２は５．０ｍ前方に合焦する状態とされる。また本実施例において、ズームレンズ２のみの焦点距離ｆ＝８７．８２ｍｍ、Ｆ値＝５．６４、画角（２ω）＝４．９°であり、ズームレンズ２とフロントコンバータ３とを合わせた光学系の焦点距離ｆ＝５４．９６ｍｍ、Ｆ値＝５．６５、画角（２ω）＝７．９°である。
【００８７】
本実施例のズームレンズ２のみにおける球面収差、非点収差、ディストーション（歪曲収差）、倍率色収差（倍率の色収差）をそれぞれ図１５（Ａ）〜図１５（Ｄ）に示し、ズームレンズ２とフロントコンバータ３とを合わせた光学系における球面収差、非点収差、ディストーション（歪曲収差）、倍率色収差（倍率の色収差）をそれぞれ図１５（Ｅ）〜図１５（Ｈ）に示す。
【００８８】
前述した表１７に示されている通り、本実施例では角倍率γは１未満となっており、また特に前述した（３）′式の条件も満足している。それにより、フロントコンバータ３による収差を小さく抑え、また解像力チャート１を十分に大きくして、検査精度を高めることができる。さらにこの表１７に示されている通り、前述した（４）′式の条件も満足されている。それにより、フロントコンバータ３の位置精度が緩和される。
【００８９】
また本実施例では、フロントコンバータ３のレンズＬ１１、Ｌ１２からなる前群が負の屈折力を有し、レンズＬ２１、Ｌ２２からなる後群が正の屈折力を有している。それにより、フロントコンバータ３の組み立てが容易化され、製造誤差によるレンズ性能への影響を軽減できるようになる。
【００９０】
そして上記前群および後群は、それぞれ接合レンズのみから構成されている。それにより、各群内のレンズ組み立て誤差の発生が抑制されるので、この組み立て誤差によるレンズ性能への影響も排除できるようになる。
【００９１】
また、上記前群を構成する正レンズであるレンズＬ１１のアッベ数ν1p＝３９．２４、負レンズであるレンズＬ１２のアッベ数ν1n＝６０．２９であるので、前述した（１）式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ３の倍率の色収差の補正が容易になる。
【００９２】
一方、上記後群を構成する正レンズであるレンズＬ２２のアッベ数ν2p＝６１．１３、負レンズであるレンズＬ２１のアッベ数ν2n＝３９．２４であるので、前述した（２）式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ３の軸上の色収差の補正も容易となる。
【００９３】
また、上記後群を構成する接合レンズの前群側の面（面番号４の面）の曲率半径＝∞であり、それに対してその反対側の面（面番号６の面）の曲率半径＝−１３７．８７１９９であるので、後者の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有している。それにより、前述したように必要な角倍率γを確保しつつ、補正が必要な球面収差、コマ収差、非点収差等の収差を容易に補正可能となる。
【００９４】
《実施例５》
図６に、本実施例におけるズームレンズ２およびフロントコンバータ３の断面形状を示す。ここではフロントコンバータ３をＣＶとして示してあり、前群のレンズＬ１１、Ｌ１２および後群のレンズＬ２１、Ｌ２２から構成されている。そして図７には、ズームレンズ２の構成を、その範囲をＭＬとして拡大図示する。
【００９５】
また下記の表９に、本実施例におけるズームレンズ２およびフロントコンバータ３のレンズデータを示す。
【表９】
0005480070.tif 000010
【００９６】
表９のレンズデータでは、非球面は面番号に＊印を付しており、非球面の曲率半径として近軸の曲率半径の数値を示している。表１０は、これらの非球面に関するデータである非球面係数を示すものである。
【表１０】
0005480070.tif 000011
【００９７】
なお本実施例では、非球面係数ＡｎとしてＡ３〜Ａ20までの次数を適宜有効に用いてＺｄを表している。
【００９８】
本実施例においては、検査に際しズームレンズ２は無限遠に合焦する状態とされる。また本実施例において、ズームレンズ２のみの焦点距離ｆ＝１２１．７１ｍｍ、Ｆ値＝５．８２、画角（２ω）＝３．２°であり、ズームレンズ２とフロントコンバータ３とを合わせた光学系の焦点距離ｆ＝４９．１０ｍｍ、Ｆ値＝５．８１、画角（２ω）＝９．４°である。
【００９９】
本実施例のズームレンズ２のみにおける球面収差、非点収差、ディストーション（歪曲収差）、倍率色収差（倍率の色収差）をそれぞれ図１６（Ａ）〜図１６（Ｄ）に示し、ズームレンズ２とフロントコンバータ３とを合わせた光学系における球面収差、非点収差、ディストーション（歪曲収差）、倍率色収差（倍率の色収差）をそれぞれ図１６（Ｅ）〜図１６（Ｈ）に示す。
【０１００】
前述した表１７に示されている通り、本実施例では角倍率γは１未満となっており、また特に前述した（３）′式の条件も満足している。それにより、フロントコンバータ３による収差を小さく抑え、また解像力チャート１を十分に大きくして、検査精度を高めることができる。さらにこの表１７に示されている通り、前述した（４）′式の条件も満足されている。それにより、フロントコンバータ３の位置精度が緩和される。
【０１０１】
また本実施例では、フロントコンバータ３のレンズＬ１１、Ｌ１２からなる前群が負の屈折力を有し、レンズＬ２１、Ｌ２２からなる後群が正の屈折力を有している。それにより、フロントコンバータ３の組み立てが容易化され、製造誤差によるレンズ性能への影響を軽減できるようになる。
【０１０２】
そして上記前群および後群は、それぞれ接合レンズのみから構成されている。それにより、各群内のレンズ組み立て誤差の発生が抑制されるので、この組み立て誤差によるレンズ性能への影響も排除できるようになる。
【０１０３】
また、上記後群を構成する正レンズであるレンズＬ２２のアッベ数ν2p＝８１．５４、負レンズであるレンズＬ２１のアッベ数ν2n＝４６．５７であるので、前述した（２）式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ３の軸上の色収差の補正も容易となる。
【０１０４】
また、上記後群を構成する接合レンズの前群側の面（面番号４の面）の曲率半径＝∞であり、それに対してその反対側の面（面番号６の面）の曲率半径＝−８４．０５２８３であるので、後者の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有している。それにより、前述したように必要な角倍率γを確保しつつ、補正が必要な球面収差、コマ収差、非点収差等の収差を容易に補正可能となる。
【０１０５】
《実施例６》
図８に、本実施例におけるズームレンズ２およびフロントコンバータ３の断面形状を示す。ここではフロントコンバータ３をＣＶとして示してあり、前群のレンズＬ１１、Ｌ１２および後群のレンズＬ２１、Ｌ２２から構成されている。そして図９には、ズームレンズ２の構成を、その範囲をＭＬとして拡大図示する。
【０１０６】
また下記の表１１に、本実施例におけるズームレンズ２およびフロントコンバータ３のレンズデータを示す。
【表１１】
0005480070.tif 000012
【０１０７】
表１１のレンズデータでは、非球面は面番号に＊印を付しており、非球面の曲率半径として近軸の曲率半径の数値を示している。表１２は、これらの非球面に関するデータである非球面係数を示すものである。
【表１２】
0005480070.tif 000013
【０１０８】
なお本実施例では、非球面係数ＡｎとしてＡ３〜Ａ20までの次数を適宜有効に用いてＺｄを表している。
【０１０９】
本実施例においては、検査に際しズームレンズ２は７．５ｍ前方に合焦する状態とされる。また本実施例において、ズームレンズ２のみの焦点距離ｆ＝１３９．０３ｍｍ、Ｆ値＝５．８７、画角（２ω）＝３．２°であり、ズームレンズ２とフロントコンバータ３とを合わせた光学系の焦点距離ｆ＝４０．８７ｍｍ、Ｆ値＝５．８６、画角（２ω）＝１０．８°である。
【０１１０】
本実施例のズームレンズ２のみにおける球面収差、非点収差、ディストーション（歪曲収差）、倍率色収差（倍率の色収差）をそれぞれ図１７（Ａ）〜図１７（Ｄ）に示し、ズームレンズ２とフロントコンバータ３とを合わせた光学系における球面収差、非点収差、ディストーション（歪曲収差）、倍率色収差（倍率の色収差）をそれぞれ図１７（Ｅ）〜図１７（Ｈ）に示す。
【０１１１】
前述した表１７に示されている通り、本実施例では角倍率γは１未満となっており、また特に前述した（３）′式の条件も満足している。それにより、フロントコンバータ３による収差を小さく抑え、また解像力チャート１を十分に大きくして、検査精度を高めることができる。さらにこの表１７に示されている通り、前述した（４）′式の条件も満足されている。それにより、フロントコンバータ３の位置精度が緩和される。
【０１１２】
また本実施例では、フロントコンバータ３のレンズＬ１１、Ｌ１２からなる前群が負の屈折力を有し、レンズＬ２１、Ｌ２２からなる後群が正の屈折力を有している。それにより、フロントコンバータ３の組み立てが容易化され、製造誤差によるレンズ性能への影響を軽減できるようになる。
【０１１３】
そして上記前群および後群は、それぞれ接合レンズのみから構成されている。それにより、各群内のレンズ組み立て誤差の発生が抑制されるので、この組み立て誤差によるレンズ性能への影響も排除できるようになる。
【０１１４】
また、上記後群を構成する正レンズであるレンズＬ２２のアッベ数ν2p＝８１．５４、負レンズであるレンズＬ２１のアッベ数ν2n＝４６．５７であるので、前述した（２）式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ３の軸上の色収差の補正も容易となる。
【０１１５】
また、上記後群を構成する接合レンズの前群側の面（面番号４の面）の曲率半径＝∞であり、それに対してその反対側の面（面番号６の面）の曲率半径＝−８４．０５２８３であるので、後者の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有している。それにより、前述したように必要な角倍率γを確保しつつ、補正が必要な球面収差、コマ収差、非点収差等の収差を容易に補正可能となる。
【０１１６】
《実施例７》
図１０に、本実施例におけるズームレンズ２およびフロントコンバータ３の断面形状を示す。ここではフロントコンバータ３をＣＶとして示してあり、前群のレンズＬ１１、Ｌ１２および後群のレンズＬ２１、Ｌ２２から構成されている。
【０１１７】
また下記の表１３に、本実施例におけるズームレンズ２およびフロントコンバータ３のレンズデータを示す。
【表１３】
0005480070.tif 000014
【０１１８】
表１３のレンズデータでは、非球面は面番号に＊印を付しており、非球面の曲率半径として近軸の曲率半径の数値を示している。表１４は、これらの非球面に関するデータである非球面係数を示すものである。
【表１４】
0005480070.tif 000015
【０１１９】
なお本実施例では、非球面係数ＡｎとしてＡ３〜Ａ20までの次数を適宜有効に用いてＺｄを表している。
【０１２０】
本実施例においては、検査に際しズームレンズ２は５．０ｍ前方に合焦する状態とされる。また本実施例において、ズームレンズ２のみの焦点距離ｆ＝６３．３９ｍｍ、Ｆ値＝５．６２、画角（２ω）＝７．４°であり、ズームレンズ２とフロントコンバータ３とを合わせた光学系の焦点距離ｆ＝４７．９９ｍｍ、Ｆ値＝５．６１、画角（２ω）＝９．６°である。
【０１２１】
本実施例のズームレンズ２のみにおける球面収差、非点収差、ディストーション（歪曲収差）、倍率色収差（倍率の色収差）をそれぞれ図１８（Ａ）〜図１８（Ｄ）に示し、ズームレンズ２とフロントコンバータ３とを合わせた光学系における球面収差、非点収差、ディストーション（歪曲収差）、倍率色収差（倍率の色収差）をそれぞれ図１８（Ｅ）〜図１８（Ｈ）に示す。
【０１２２】
前述した表１７に示されている通り、本実施例では角倍率γは１未満となっており、また特に前述した（３）′式の条件も満足している。それにより、フロントコンバータ３による収差を小さく抑え、また解像力チャート１を十分に大きくして、検査精度を高めることができる。さらにこの表１７に示されている通り、前述した（４）′式の条件も満足されている。それにより、フロントコンバータ３の位置精度が緩和される。
【０１２３】
また本実施例では、フロントコンバータ３のレンズＬ１１、Ｌ１２からなる前群が負の屈折力を有し、レンズＬ２１、Ｌ２２からなる後群が正の屈折力を有している。それにより、フロントコンバータ３の組み立てが容易化され、製造誤差によるレンズ性能への影響を軽減できるようになる。
【０１２４】
そして上記前群および後群は、それぞれ接合レンズのみから構成されている。それにより、各群内のレンズ組み立て誤差の発生が抑制されるので、この組み立て誤差によるレンズ性能への影響も排除できるようになる。
【０１２５】
また、上記前群を構成する正レンズであるレンズＬ１１のアッベ数ν1p＝３９．２４、負レンズであるレンズＬ１２のアッベ数ν1n＝６０．２９であるので、前述した（１）式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ３の倍率の色収差の補正が容易になる。
【０１２６】
一方、上記後群を構成する正レンズであるレンズＬ２２のアッベ数ν2p＝５５．５３、負レンズであるレンズＬ２１のアッベ数ν2n＝３２．１０であるので、前述した（２）式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ３の軸上の色収差の補正も容易となる。
【０１２７】
また、上記後群を構成する接合レンズの前群側の面（面番号４の面）の曲率半径＝−８６６．０１９０６であり、それに対してその反対側の面（面番号６の面）の曲率半径＝−１１７．５２６０８であるので、後者の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有している。それにより、前述したように必要な角倍率γを確保しつつ、補正が必要な球面収差、コマ収差、非点収差等の収差を容易に補正可能となる。
【０１２８】
《実施例８》
図１１に、本実施例におけるズームレンズ２およびフロントコンバータ３の断面形状を示す。ここではフロントコンバータ３をＣＶとして示してあり、前群のレンズＬ１１、Ｌ１２および後群のレンズＬ２１、Ｌ２２から構成されている。
【０１２９】
また下記の表１５に、本実施例におけるズームレンズ２およびフロントコンバータ３のレンズデータを示す。
【表１５】
0005480070.tif 000016
【０１３０】
表１５のレンズデータでは、非球面は面番号に＊印を付しており、非球面の曲率半径として近軸の曲率半径の数値を示している。表１６は、これらの非球面に関するデータである非球面係数を示すものである。
【表１６】
0005480070.tif 000017
【０１３１】
なお本実施例では、非球面係数ＡｎとしてＡ３〜Ａ20までの次数を適宜有効に用いてＺｄを表している。
【０１３２】
本実施例においては、検査に際しズームレンズ２は５．０ｍ前方に合焦する状態とされる。また本実施例において、ズームレンズ２のみの焦点距離ｆ＝６３．３９ｍｍ、Ｆ値＝５．６２、画角（２ω）＝７．４°であり、ズームレンズ２とフロントコンバータ３とを合わせた光学系の焦点距離ｆ＝４８．０７ｍｍ、Ｆ値＝５．６１、画角（２ω）＝９．６°である。
【０１３３】
本実施例のズームレンズ２のみにおける球面収差、非点収差、ディストーション（歪曲収差）、倍率色収差（倍率の色収差）をそれぞれ図１９（Ａ）〜図１９（Ｄ）に示し、ズームレンズ２とフロントコンバータ３とを合わせた光学系における球面収差、非点収差、ディストーション（歪曲収差）、倍率色収差（倍率の色収差）をそれぞれ図１９（Ｅ）〜図１９（Ｈ）に示す。
【０１３４】
前述した表１７に示されている通り、本実施例では角倍率γは１未満となっており、また特に前述した（３）′式の条件も満足している。それにより、フロントコンバータ３による収差を小さく抑え、また解像力チャート１を十分に大きくして、検査精度を高めることができる。さらにこの表１７に示されている通り、前述した（４）′式の条件も満足されている。それにより、フロントコンバータ３の位置精度が緩和される。
【０１３５】
また本実施例では、フロントコンバータ３のレンズＬ１１、Ｌ１２からなる前群が負の屈折力を有し、レンズＬ２１、Ｌ２２からなる後群が正の屈折力を有している。それにより、フロントコンバータ３の組み立てが容易化され、製造誤差によるレンズ性能への影響を軽減できるようになる。
【０１３６】
そして上記前群および後群は、それぞれ接合レンズのみから構成されている。それにより、各群内のレンズ組み立て誤差の発生が抑制されるので、この組み立て誤差によるレンズ性能への影響も排除できるようになる。
【０１３７】
また、上記前群を構成する正レンズであるレンズＬ１１のアッベ数ν1p＝３９．２４、負レンズであるレンズＬ１２のアッベ数ν1n＝６０．２９であるので、前述した（１）式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ３の倍率の色収差の補正が容易になる。
【０１３８】
一方、上記後群を構成する正レンズであるレンズＬ２２のアッベ数ν2p＝６４．２０、負レンズであるレンズＬ２１のアッベ数ν2n＝３４．４７であるので、前述した（２）式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ３の軸上の色収差の補正も容易となる。
【０１３９】
また、上記後群を構成する接合レンズの前群側の面（面番号４の面）の曲率半径＝６５８．９０７３７であり、それに対してその反対側の面（面番号６の面）の曲率半径＝−１２９．５５１５２であるので、後者の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有している。それにより、前述したように必要な角倍率γを確保しつつ、補正が必要な球面収差、コマ収差、非点収差等の収差を容易に補正可能となる。
【表１７】
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【符号の説明】
【０１４０】
１    解像力チャート
２    ズームレンズ（被検レンズ）
３    フロントコンバータ
４      撮像素子
Ｌ１１，Ｌ１２，Ｌ２１，Ｌ２２    フロントコンバータのレンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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