(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子を収納する圧電素子用のパッケージであって、
前記圧電素子を収納する収納空間を形成する第一ケース部と、前記第一ケース部と接合する第二ケース部とを備え、
前記第一ケース部と前記第二ケース部との少なくともいずれか一方は、ガラス材料からなり、レーザービームを直線状に透過する底面と、この底面に連続し前記圧電素子を囲む傾斜面と、他方と接合する接合面とを有し、
前記傾斜面は、底側傾斜面と、前記底側傾斜面よりも前記接合面側に位置し、その前記底面側の端が前記底側傾斜面の前記接合面側の端に接続されている接合側傾斜面と、前記底側傾斜面と前記接合側傾斜面との接続部に形成されている段差部と、を有し、
前記底側傾斜面と前記底面の仮想延長線とのなす傾斜角度（θ１）は、４５°≦θ１≦８８°であり、
前記接合側傾斜面と前記底面の仮想延長線と略平行な第二仮想延長線とのなす傾斜角度（θ２）が４５°≦θ２≦８８°であり、
さらに、θ２＜θ１なる関係を満足することを特徴とする圧電素子用のパッケージ。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電素子用のパッケージにおいて、
当該圧電素子用のパッケージは、略矩形状に形成され、
前記傾斜面は、前記底面の４辺に対応して４つ配置され、
前記４つの傾斜面のうち１つは、周波数調整が実施される端部近傍に配置され、底側傾斜面と、前記底側傾斜面よりも前記接合面側に位置し、その前記底面側の端が前記底側傾斜面の前記接合面側の端に接続されている接合側傾斜面と、前記底側傾斜面と前記接合側傾斜面との接続部に形成されている段差部と、を有し、前記底側傾斜面と前記底面の仮想延長線とのなす傾斜角度（θ１）は、４５°≦θ１≦８８°であり、前記接合側傾斜面と前記底面の仮想延長線と略平行な第二仮想延長線とのなす傾斜角度（θ２）が４５°≦θ２≦８８°であり、さらに、θ２＜θ１なる関係を満足する
ことを特徴とする圧電素子用のパッケージ。
【請求項３】
請求項２に記載の圧電素子用のパッケージにおいて、
前記４つの傾斜面は、それぞれ、底側傾斜面と、前記底側傾斜面よりも前記接合面側に位置し、その前記底面側の端が前記底側傾斜面の前記接合面側の端に接続されている接合側傾斜面と、前記底側傾斜面と前記接合側傾斜面との接続部に形成されている段差部と、を有し、前記底側傾斜面と前記底面の仮想延長線とのなす傾斜角度（θ１）は、４５°≦θ１≦８８°であり、前記接合側傾斜面と前記底面の仮想延長線と略平行な第二仮想延長線とのなす傾斜角度（θ２）が４５°≦θ２≦８８°であり、さらに、θ２＜θ１なる関係を満足する
ことを特徴とする圧電素子用のパッケージ。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の圧電素子用のパッケージにおいて、
前記圧電素子が前記段差部と同じ高さに配置されている
ことを特徴とする圧電素子用のパッケージ。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の圧電素子用のパッケージにおいて、
前記第一ケース部と前記第二ケース部とは、プラズマ重合膜により形成された接合層を介して接合されている
ことを特徴とする圧電素子用のパッケージ。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の圧電素子用のパッケージと、
この圧電素子用のパッケージに収納された圧電素子としての水晶振動子と、
この水晶振動子を外部電極に接続する電極と、を備える
ことを特徴とする圧電部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶振動子などの圧電素子を収納する圧電素子用のパッケージ、圧電部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、水晶振動子などの圧電素子の小型化に伴って、圧電素子を収納するためのパッケージの小型化も図られている。例えば、熱成形により小型の圧電素子用のパッケージを成形する従来例がある（特許文献１〜３）。
特許文献１〜３に示される従来例では、金型としての上型及び下型間にガラス材料を配置して、パッケージのベースなどを所定形状に成形している。また、特許文献１に示される従来例では、パッケージの外側からレーザービームを通して、パッケージに収納された水晶振動子の周波数調整を実施している。この水晶振動子の周波数調整は、水晶振動子の先端に積層された金属膜にパッケージの外からレーザービームを照射して行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２―１２１０３７号公報
【特許文献２】特開２００３―２０９１９８号公報
【特許文献３】特開２００４―６５２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１〜３に示される従来例では、例えば、パッケージを構成するベース部を凹状に成形する場合、凸部を有する金型を用いて成形するが、その凸部が小さくなるとベース部にクラックが発生したり、ベース部と凸部との離型での不良が発生しやすい。
これは、ベース部の内側のベース側面とベース底面とが交差する角部において、凸部との摩擦が大きいためと考えられる。
そこで、ベース部のベース側面とベース底面とのなす角を９０°より大きくして、ベース側面をベース傾斜面とすることで、凸部との摩擦を低減することが考えられる。
しかしながら、単にベース傾斜面とするだけでは、ベース部と凸部との離型での不良を抑制することができるが、ベース傾斜面とベース底面とのなす傾斜角度が大きすぎると、パッケージの外からベース部を通して周波数調整を実施する際、レーザービームは水晶振動子の先端に積層された金属膜に照射されるから、レーザービームの照射線上にベース傾斜面が重なる場合がある。この場合、レーザービームがベース傾斜面により散乱したり、屈折して周波数調整の際の操作性が低下するおそれがある。
ここで、レーザービームの照射線上にベース傾斜面が重ならないようにしようとすると、パッケージ自体が大型化し、小型化が図れないという問題がある。
【０００５】
本発明の目的は、成形が容易な小型の圧電素子用のパッケージ、圧電部品を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
［適用例１］
本適用例に係る圧電素子用のパッケージは、圧電素子を収納する圧電素子用のパッケージであって、前記圧電素子を収納する収納空間を形成する第一ケース部と、前記第一ケース部と接合する第二ケース部とを備え、前記第一ケース部と前記第二ケース部との少なくともいずれか一方は、ガラス材料からなり、レーザービームを直線状に透過する底面と、この底面に連続し前記圧電素子を囲む傾斜面と、他方と接合する接合面とを有し、前記傾斜面は、底側傾斜面と、前記底側傾斜面よりも前記接合面側に位置し、その前記底面側の端が前記底側傾斜面の前記接合面側の端に接続されている接合側傾斜面と、前記底側傾斜面と前記接合側傾斜面との接続部に形成されている段差部と、を有し、前記底側傾斜面と前記底面の仮想延長線とのなす傾斜角度（θ１）は、４５°≦θ１≦８８°であり、前記接合側傾斜面と前記底面の仮想延長線と略平行な第二仮想延長線とのなす傾斜角度（θ２）が４５°≦θ２≦８８°であり、さらに、θ２＜θ１なる関係を満足することを特徴とする。
【０００７】
ここで、傾斜面と底面の仮想延長線とのなす傾斜角度（θ）を８８°よりも大きくした場合、傾斜面及び底面を有するケース部と、このケース部を成形する金型の凸部との摩擦が大きくなり、ケース部にクラックが発生したり、ケース部と凸型との離型が不良になる。
一方、傾斜面と底面の仮想延長線とのなす傾斜角度（θ）を４５°よりも小さくした場合、周波数調整の際、レーザービームの照射線上に傾斜面が重なり周波数調整の操作性が低下する。ここで、レーザービームの照射線上に傾斜面が重ならないようにすると、圧電素子用のパッケージが大型化する。
そこで、この構成の本適用例では、傾斜面と底面の仮想延長線とのなす傾斜角度（θ）を特定の範囲としたから、ケース部の成形不良を抑制できる。また、圧電素子用のパッケージを小型化した場合にも、傾斜面がレーザービームの照射線上に重なることがないので、周波数調整の操作性を向上させることができる。
したがって、成形が容易で、周波数調整を良好に実施できる小型の圧電素子用パッケージとすることができる。
レーザービームを直線状に透過する底面とは、入射するレーザービームを光学的に同じように出射する形状である。
【０００８】
［適用例２］
本適用例に係る圧電素子用のパッケージは、略矩形状に形成され、前記傾斜面は、前記底面の４辺に対応して４つ配置され、前記４つの傾斜面のうち１つは、周波数調整が実施される端部近傍に配置され、底側傾斜面と、前記底側傾斜面よりも前記接合面側に位置し、その前記底面側の端が前記底側傾斜面の前記接合面側の端に接続されている接合側傾斜面と、前記底側傾斜面と前記接合側傾斜面との接続部に形成されている段差部と、を有し、前記底側傾斜面と前記底面の仮想延長線とのなす傾斜角度（θ１）は、４５°≦θ１≦８８°であり、前記接合側傾斜面と前記底面の仮想延長線と略平行な第二仮想延長線とのなす傾斜角度（θ２）が４５°≦θ２≦８８°であり、さらに、θ２＜θ１なる関係を満足することを特徴とする。
この構成の本適用例では、周波数調整が実施される端部近傍の傾斜面を最も大きな傾斜角度としたから、圧電素子用のパッケージを小型化しても、傾斜面がレーザービームの照射線上に重なることを防止できるので、良好な周波数調整を確保できる。
また、金型の凸部によりケース部を成形する場合、傾斜面を形成する凸部のプレス傾斜面は、凸部の底面を形成するプレス先端面とのなす傾斜角度が９０°に近いほうが金型の製造上、平坦度を高くできる。従って、プレス傾斜面により成形される傾斜面は、傾斜角度（θ）が９０°に近い８８°であるから平坦度を高くできる。したがって、仮に、傾斜面がレーザービームの照射線上と重なったとしても、周波数調整の際の操作性の低下を抑制することができる。
【０００９】
［適用例３］
本適用例に係る圧電素子用のパッケージは、前記４つの傾斜面は、それぞれ、底側傾斜面と、前記底側傾斜面よりも前記接合面側に位置し、その前記底面側の端が前記底側傾斜面の前記接合面側の端に接続されている接合側傾斜面と、前記底側傾斜面と前記接合側傾斜面との接続部に形成されている段差部と、を有し、前記底側傾斜面と前記底面の仮想延長線とのなす傾斜角度（θ１）は、４５°≦θ１≦８８°であり、前記接合側傾斜面と前記底面の仮想延長線と略平行な第二仮想延長線とのなす傾斜角度（θ２）が４５°≦θ２≦８８°であり、さらに、θ２＜θ１なる関係を満足することを特徴とする。
この構成の本適用例では、４つの傾斜面の傾斜角度を最も大きな傾斜角度としたから、さらに、圧電素子用のパッケージを小型化できる。
【００１０】
［適用例４］
本適用例に係る圧電素子用のパッケージは、前記圧電素子が前記段差部と同じ高さに配置されていることを特徴とする。
【００１２】
［適用例５］
本適用例に係る圧電素子用のパッケージは、前記第一ケース部と前記第二ケース部とは、プラズマ重合膜により形成された接合層を介して接合されていることを特徴とする。
この構成の本適用例では、圧電素子用のパッケージをさらに小型化するため、第一ケース部と第二ケース部との接合面積を小さくしても、接合層がプラズマ重合膜により形成されているので、第一ケース部と第二ケース部との接合強度を十分に得ることができる。
したがって、容易に小型で密封性に優れた圧電素子用のパッケージとすることができる。
【００１３】
［適用例６］
本適用例に係る圧電部品は、上述の圧電素子用のパッケージと、この圧電素子用のパッケージに収納された圧電素子としての水晶振動子と、この水晶振動子を外部電極に接続する電極と、を備えることを特徴とする。
この構成の本適用例では、成形が容易で、水晶振動子の周波数調整を良好に実施できる小型のパッケージを備えるから、良質で生産性の高い小型の水晶振動子とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第一実施形態に係る圧電部品の第二ケース部が透過した平面図。
【図２】図１のII−II断面図。
【図３】図１のIII−III断面図。
【図４】前記圧電部品の第一ケース部における、水晶振動子の端部近傍を拡大した図。
【図５】前記第一ケース部を成形する方法を示す図。
【図６】本発明の第二実施形態に係る圧電部品の第一ケース部における、水晶振動子の端部近傍を拡大した図。
【図７】実施例及び比較例のグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
次に、本発明の第一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の第一実施形態に係る圧電部品の第二ケース部が透過した平面図である。すなわち、図１では、圧電部品の第二ケース部の記載は省略している。図２は、図１のII−II断面図であり、図３は、図１のIII−III断面図である。図４は、前記圧電部品の第一ケース部における、水晶振動子の端部近傍を拡大した図である。
【００１６】
図１〜３において、圧電部品１は、平面視で略矩形状の圧電素子用のパッケージ２（以下、「パッケージ」と略記する場合がある）と、このパッケージ２の内部に収納された水晶振動子３と、水晶振動子３と図示しない外部電極とを接続する内部電極４とを備える。
パッケージ２の大きさは、例えば、３．２ｍｍ（パッケージ２の短手方向）×５ｍｍ（パッケージ２の長手方向）である。
水晶振動子３は、音叉型であり、その長手方向がパッケージ２の長手方向に沿うように配置されている。
水晶振動子３は、長手方向の一端が内部電極４に接続した固定端３１であり、他端が周波数調整が実施される自由端３２である。
図１には、周波数調整が施される領域Ｒを示す。領域Ｒの面積は、例えば、０．８ｍｍ（パッケージ２の長手方向）×０．６ｍｍ（パッケージ２の短手方向）である。
【００１７】
パッケージ２は、ガラス材料からなり、一対の凹状の第一ケース部としてのベース部１０及び第二ケース部としてのリッド部２０から構成されている。
ベース部１０は、水晶振動子３の固定端３１を支持するベース底部１１と、ベース底部１１に一体的に形成された水晶振動子３を囲むベース側壁１２とを備える。
図２，３において、ベース底部１１は、水晶振動子３と所定の間隔を有するベース底面１１Ａと、厚さ方向に貫通した貫通孔１１Ｂを有する。貫通孔１１Ｂには、内部電極４が嵌合されている。
【００１８】
図１〜３において、ベース側壁１２は、第一側壁１２Ａ、第二側壁１２Ｂ、第三側壁１２Ｃ及び第四側壁１２Ｄの４つから構成されている。
第一側壁１２Ａは、水晶振動子３の自由端３２近傍に配置され、第二側壁１２Ｂは、水晶振動子３の固定端３１近傍に配置されている。
第三側壁１２Ｃは、第一及び第二側壁１２Ａ，１２Ｂの一端側に配置され、第四側壁１２Ｄは、第一及び第二側壁１２Ａ，１２Ｂの他端側に配置されている。
第一及び第二側壁１２Ａ，１２Ｂは、パッケージ２の短手方向に沿って設けられ、第三及び第四側壁１２Ｃ，１２Ｄは、パッケージ２の長手方向に沿って設けられている。すなわち、第三及び第四側壁１２Ｃ，１２Ｄは、第一及び第二側壁１２Ａ，１２Ｂよりも長く形成されている。
【００１９】
第一〜第四側壁１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄは、それぞれ水晶振動子３側にベース底面１１Ａと連続するベース傾斜面としての第一〜第四傾斜面１２Ａ１，１２Ｂ１，１２Ｃ１，１２Ｄ１を有する。
例えば、第一傾斜面１２Ａ１は、第一側壁１２Ａの高さが水晶振動子３に向かうに従って次第に小さくなる形状に形成されている。
第二〜第四傾斜面１２Ｂ１，１２Ｃ１，１２Ｄ１も第一傾斜面１２Ａ１と同様に、第二〜第四側壁１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄの高さが水晶振動子３に向かうに従って次第に小さくなる形状に形成されている。
また、ベース部１０は、第一〜第四傾斜面１２Ａ１，１２Ｂ１，１２Ｃ１，１２Ｄ１と、ベース底面１１Ａとの交差する位置にベース角部１３を有する。
【００２０】
第一傾斜面１２Ａ１は、図４において、ベース底面１１Ａの仮想延長線Ｌに対して傾斜角度（θ）を有して傾斜している。この傾斜角度（θ）は、４５°≦θ≦８８°であり、第一実施形態では、８８°である。
【００２１】
なお、図示を省略したが、第二〜第四傾斜面１２Ｂ１，１２Ｃ１，１２Ｄ１も、第一傾斜面１２Ａ１と同様に、ベース底面１１Ａの仮想延長線Ｌに対して傾斜した傾斜角度（θ）を有している。それらの傾斜角度（θ）も、それぞれ４５°≦θ≦８８°である。
【００２２】
また、第一〜第四側壁１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄは、その上端部側、すなわちリッド部２０側に第一〜第四傾斜面１２Ａ１，１２Ｂ１，１２Ｃ１，１２Ｄ１に連続する第一接合面としてのベース接合面１２Ｅを有する。このベース接合面１２Ｅには、プラズマ重合膜により形成された図示しない接合層を介してリッド部２０が接合されている。
【００２３】
リッド部２０は、ベース部１０と略同一形状に形成され、ベース底部１１と同様のリッド底部２１と、ベース側壁１２と同様のリッド側壁２２とを備える。なお、リッド底部２１には、内部電極４を嵌合するための貫通孔は形成されていない。
リッド底部２１は、ベース底面１１Ａに対向した平坦なリッド底面２１Ａを有する。また、リッド側壁２２は、第一傾斜面１２Ａ１に連続する第五傾斜面２２Ａ１と、第二傾斜面１２Ｂ１に連続する第六傾斜面２２Ｂ１と、第三傾斜面１２Ｃ１に連続する第七傾斜面２２Ｃ１と、第四傾斜面１２Ｄ１に連続する第八傾斜面２２Ｄ１とを有する。
これら第五〜第八傾斜面２２Ａ１、２２Ｂ１、２２Ｃ１、２２Ｄ１は、リッド底面２１Ａの仮想延長線Ｌとのなす傾斜角度（θ）が、第一傾斜面１２Ａ１の傾斜角度（θ）と同様に、４５°≦θ≦８８°である。
また、第五〜第八リッド側壁２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄは、その下端部側、すなわちベース部１０側に第五〜第八傾斜面２２Ａ１、２２Ｂ１、２２Ｃ１、２２Ｄ１に連続する第二接合面としてのリッド接合面２２Ｅを有する。このリッド接合面２２Ｅは、接合層を介してベース接合面１２Ｅに接合されている。
【００２４】
［パッケージの成形方法］
まず、ベース部を成形するための成形装置について説明する。図５は、ベース部を成形する方法を示す図である。
図５において、金型５は、４つのベース部１０を同時に成形する、いわゆる複数個取り加工を行う一対のプレス下型５１とプレス上型５２とを備える。プレス上型５２は、略平板状に形成され、プレス下型５１に対して進退する移動型である。
プレス下型５１は、プレス上型５２に向かって開口した凹部５３を有する。この凹部５３は、その内側に成形底面５３Ａと、成形底面５３Ａに連続した成形側面５３Ｂとを有する。
成形底面５３Ａは、プレス上型５２に向かって突出した凸部５３Ｃを有する。凸部５３Ｃは、その先端に、ベース部１０のベース底部１１を形成するためのプレス先端面５３Ｃ１と、ベース部１０の第一〜第四傾斜面１２Ａ１，１２Ｂ１，１２Ｃ１，１２Ｄ１を形成するためのプレス傾斜面５３Ｃ２とを有する。
ここでは、一例としてベース部１０を４つ同時に成形する構成を示すが、同時に成形するベース部１０の個数はこれに限られない。
【００２５】
次に、パッケージの成形方法について説明する。
先ず、プレス下型５１の凹部５３にガラス板１Ａを載置する。そして、プレス下型５１及びプレス上型５２を図示しない電気炉に投入して、ガラス軟化点温度以上に加熱する。
ガラス板１Ａが軟化したら、プレス上型５２をプレス下型５１に押し付けてガラス板１Ａをベース部１０に成形する。この際、プレス先端面５３Ｃ１がベース底面１１Ａを形成し、プレス傾斜面５３Ｃ２が第一〜第四傾斜面１２Ａ１，１２Ｂ１，１２Ｃ１，１２Ｄ１を形成する。
ここで、プレス先端面５３Ｃ１とプレス傾斜面５３Ｃ２とのなす傾斜角度（θＡ）は、１０２°≦θＡ≦１３５°である。傾斜角度（θＡ）が１０２°未満の場合、ベース角部１３と、凸部５３Ｃとの摩擦が大きくなり、ベース部１０にクラックが発生したり、ベース部１０と凸部５３Ｃとの離型が不良になる。
一方、傾斜角度（θＡ）が１３５°を超える場合、プレス傾斜面５３Ｃ２の平坦度が悪くなる。これは、削りだしによる鏡面加工が困難になるためである。そのため、プレス傾斜面５３Ｃ２により成形される第一〜第四傾斜面１２Ａ１、１２Ｂ１，１２Ｃ１，１２Ｄ１も平坦度が悪くなる。
そして、図４のように、ベース部１０の外側からベース部１０を通して周波数調整をする際、パッケージを小型化すると、周波数調整の際、第一傾斜面１２Ａ１がレーザービームの照射線上に重なり、第一傾斜面１２Ａ１の平坦度が悪いため、レーザービームが散乱したり、屈折する。したがって、周波数調整を良好に実施することができない。
さらに、傾斜角度（θＡ）が１３５°を超える場合、凹部５３に形成できる凸部５３Ｃの数が少なくなるから、一度に成形できるベース部１０の個数が少なくなり、ベース部１０の生産に時間がかかる。
そして、プレス下型５１を削り出して凹部５３を形成する際、凸部５３Ｃの数が少ないから、削り出す量が増えて、プレス下型５１の製造に時間がかかる。
【００２６】
４つ連なったベース部１０を成形した後、ベース側壁１２部分で分断して、１つのベース部１０を得る。そして、図示しない孔開け装置により、ベース部１０に貫通孔１１Ｂを形成する。なお、４つ連なったベース部１０を成形する前に、ガラス板１Ａに予め貫通孔１１Ｂを形成し、この貫通孔１１Ｂに内部電極４を嵌合した状態で４つ連なったベース部１０を成形してもよい。
リッド部２０は、ベース部１０と同様の形状であるため、ベース部１０と同様にして成形することができる。
【００２７】
［圧電部品の製造方法］
まず、ベース部１０の貫通孔１１Ｂに内部電極４を嵌合させる。そして、内部電極４の先端に接続材により水晶振動子３を接続する。これにより、ベース部１０に水晶振動子３を実装する。
次に、ベース部１０とリッド部２０とを接合する。ベース部１０とリッド部２０との接合は、ベース接合面１２Ｅ及びリッド接合面２２Ｅ間に接合層を形成し、これらのプラズマ重合膜を接合することにより行う。
具体的には、ベース部１０とリッド部２０とを炉に投入し、この炉の中に原料ガスを発生させて、ベース接合面１２Ｅとリッド接合面２２Ｅにて、プラズマエネルギーにより原料ガスを重合させてプラズマ重合膜を形成する。
形成されたプラズマ重合膜にプラズマを照射してプラズマ重合膜を活性化し表面を活性化させる。
そして、プラズマ重合膜の活性化されたベース接合面１２Ｅとリッド接合面２２Ｅとを貼り合わせて、接合層を形成し、一つのパッケージ２を得る。
なお、プラズマ重合膜は、その平均厚さが１０〜１０００ｎｍである。プラズマ重合膜の平均厚さが１０ｎｍを下回ると、十分な接合強度を得ることができず、１０００ｎｍを超えると、パッケージ２の寸法精度が著しく低下する。
また、原料ガスとしては、例えば、メチルシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン等のオルガノシロキサン、トリメチルガリウム、トリエチルガリウム、トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウム、トリメチルインジウム、トリエチルインジウム、トリメチル亜鉛、トリエチル亜鉛のような有機金属系化合物、各種炭化水素系化合物、各種フッ素系化合物等が挙げられる。
このような原料ガスを用いて得られるプラズマ重合膜は、これらの原料が重合してなるもの（重合物）、つまり、ポリオルガノシロキサン、有機金属ポリマー、炭化水素系ポリマー、フッ素系ポリマー等で構成されることになる。
【００２８】
［水晶振動子の調整（Ｆ調）］
水晶振動子の周波数調整について説明する。
図４において、水晶振動子３の自由端３２には、予め金属膜３３が積層されている。パッケージ２の外側からベース部１０を通して、レーザービームを水晶振動子３の自由端３２上の金属膜３３に照射する。
この際、第一傾斜面１２Ａ１は、傾斜角度（θ）が８８°であるため、パッケージを小型化してもレーザービームの照射線上に位置しない。したがって、レーザービームが第一傾斜面１２Ａ１により、散乱したり、屈折しない。レーザービームの照射により、金属膜３３が削られ、周波数の調整が行われる。
レーザービーム種としては、例えば、ＬＤ＿（第二高調波：ＳＨＧ）＿５３２ｎｍである。
【００２９】
したがって、第一実施形態では、次の効果を奏することができる。
（１）水晶振動子３を収納するベース部１０において、第一〜第四傾斜面１２Ａ１，１２Ｂ１，１２Ｃ１，１２Ｄ１とベース底面１１Ａの仮想延長線Ｌとのなす傾斜角度（θ）を４５°≦θ≦８８°としたから、ベース部１０の成形不良を抑制して、歩留まりを向上させることができる。また、第一傾斜面１２Ａ１の傾斜角度（θ）を上記特定の範囲としたから、パッケージ２を小型化した場合にも、第一傾斜面１２Ａ１がレーザービームの照射線上に重なることがないので、レーザー加工の際の操作性が低下しない。
【００３０】
（２）プレス先端面５３Ｃ１とプレス傾斜面５３Ｃ２とのなす傾斜角度（θＡ）を１０２°≦θＡ≦１３５°としたから、傾斜角度（θＡ）が１３５°を超える場合と比較して、凹部５３に形成できる凸部５３Ｃの数を多くできるので、プレス下型５１から凹部５３に対応する部分を削り出す際、削りだす量が比較的少なくて済む。
また、傾斜角度（θＡ）が１３５°を超える場合と比較して、凹部５３に形成できる凸部５３Ｃの数を比較的多くできるから、一度に成形できるベース部１０の個数が多くなり、ベース部１０の生産にかかる時間を短くできる。
【００３１】
（３）リッド部２０の形状をベース部１０の形状と略同様としたから、同一のプレス下型５１及びプレス上型５２を使用してリッド部２０とベース部１０とを成形できる。したがって、生産効率が向上する。
【００３２】
（４）水晶振動子３の自由端３２近傍に第一傾斜面１２Ａ１を配置して、その傾斜角度（θ）を最も大きな８８°としたから、第一傾斜面１２Ａ１が水晶振動子３に照射するレーザービームの照射線上に重なることを防止できる。また、第一傾斜面１２Ａ１の傾斜角度（θ）を８８°としたから、凸部５３Ｃのプレス傾斜面５３Ｃ２とプレス先端面５３Ｃ１とのなす傾斜角度が９０°に近くなる。このため、凸部５３Ｃを形成する際の削り出しが容易になり、プレス傾斜面５３Ｃ２の平坦度が向上する。したがって、プレス傾斜面５３Ｃ２に成形される第一傾斜面１２Ａ１の平坦度も向上し、仮に第一傾斜面１２Ａ１がレーザービームの照射線上に重なったとしても、レーザービームの散乱や屈折を抑制することができるので、周波数調整を比較的容易に実施できる。
【００３３】
（５）第一〜第四傾斜面１２Ａ１，１２Ｂ１，１２Ｃ１，１２Ｄ１のそれぞれの傾斜角度（θ）を最も大きな８８°とすることができるから、パッケージをさらに小型化できる。
【００３４】
（６）プラズマ重合膜により形成された接合層を介して、ベース部１０とリッド部２０とを接合したから、パッケージ２を小型化するためにベース接合面１２Ｅの面積を小さくしても、十分な接合強度を得ることができる。したがって、さらに小型化で密封性を確保できる。
【００３５】
（７）圧電部品１が、成形が容易で周波数調整も良好に実施できる小型のパッケージ２を備えるから、良質で生産性の高い小型の圧電部品１とすることができる。
【００３６】
［第二実施形態］
次に、第二実施形態を図６に基づいて説明する。
第二実施形態はベース部の傾斜面が複数段にて構成された例である。図６はベース部における水晶振動子の端部近傍を拡大した図である。
【００３７】
図６において、ベース部１０の第一傾斜面１２Ａ１は、ベース底面１１Ａ側の第一底側傾斜面１２Ａ１１と、ベース接合面１２Ｅ側の第一接合側傾斜面１２Ａ１２との２段により構成されている。
第一底側傾斜面１２Ａ１１はベース底面１１Ａに連続し、ベース底面１１Ａの仮想延長線Ｌとのなす傾斜角度（θ１）は、４５°≦θ１≦８８°である。
また、第一接合側傾斜面１２Ａ１２は、仮想延長線Ｌと平行な第二仮想延長線Ｌ２とのなす傾斜角度（θ２）が、４５°≦θ２≦８８°である。
第一接合側傾斜面１２Ａ１２の傾斜角度（θ２）と第一底側傾斜面１２Ａ１１の傾斜角度（θ１）との関係は、θ１＞θ２であることが好ましいが、θ１＜θ２でもよい。
【００３８】
また、段差部１２Ｆと同じ高さ位置には、水晶振動子３の自由端３２が配置されている。すなわち、水晶振動子３は、ベース接合面１２Ｅの高さ位置よりも低く、ベース底面１１Ａ側に配置されている。
なお、図示を省略したが、第二傾斜面１２Ｂ１も第一傾斜面１２Ａ１と同様に、第二底側傾斜面及び第二接合側傾斜面により構成されていてもよく、第三傾斜面１２Ｃ１も第一傾斜面１２Ａ１と同様に第三底側傾斜面及び第三接合側傾斜面により構成されていてもよく、第四傾斜面１２Ｄ１も第一傾斜面１２Ａ１と同様に第四底側傾斜面及び第四接合側傾斜面により構成されていてもよい。
【００３９】
したがって、第二実施形態では、前記第一実施形態の効果（１）〜（７）に加えて、次の効果を奏することができる。
（８）第一傾斜面１２Ａ１を第一底側傾斜面１２Ａ１１と第一接合側傾斜面１２Ａ１２とにより構成し、第一底側傾斜面１２Ａ１１の傾斜角度（θ１）と第一接合側傾斜面１２Ａ１２の傾斜角度（θ２）とを特定の範囲としたから、ベース部１０と凸部５３Ｃとの摩擦をさらに減少させることができる。
また、第一接合側傾斜面１２Ａ１２の傾斜角度（θ２）よりも、レーザービーム照射線に近い第一底側傾斜面１２Ａ１１の傾斜角度（θ１）の方を大きくしたから、上述したように、プレス下型５１の製造上、第一接合側傾斜面１２Ａ１２よりも第一底側傾斜面１２Ａ１１の平坦度を高くすることができる。したがって、仮に、第一底側傾斜面１２Ａ１１がレーザービームの照射線上と重なったとしても、周波数調整の操作性の低下を抑制することができる。
【００４０】
（９）水晶振動子３をベース接合面１２Ｅの高さ位置よりも低く、ベース底面１１Ａ側に配置しているから、ベース部１０と接合されるリッド部２０は、凹状に限らず、例えば、平板状とすることができる。リッド部２０を平板状とすることにより、リッド部２０の生産性をさらに向上させることができる。
【００４１】
なお、本発明は、上述した第一及び第二実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。
例えば、本発明では、圧電素子として水晶振動子３を例示したが、セラミック振動子でもよい。
【００４２】
また、前記実施形態では、ベース部１０の貫通孔１１Ｂに内部電極４を嵌合させ、この内部電極４を外部電極に電気的に接続させる構成であったが、これに限られない。例えば、ベース接合面１２Ｅ間に層間電極を配置して、この層間電極を介してパッケージ２内の内部電極４と外部電極とを電気的に接続させる構成でもよい。この場合、ベース部１０に貫通孔１１Ｂを形成する必要がないので、貫通孔１１Ｂを形成する工程を省略することができる。
そして、ベース接合面１２Ｅ間に層間電極を配置した場合、ベース部１０とリッド部２０を接合する接合材としては、例えば、金を２０質量％含んだスズはんだや、有機接着剤などを使用することができる。
【００４３】
また、ベース部１０とリッド部２０とは、プラズマ重合膜からなる接合層を介して接合する構成であったが、陽極接合により接合してもよく、ガラス系接着剤により接合してもよい。
そして、水晶振動子３の周波数調整の際、自由端３２のベース底面１１Ａ側に予め金属膜３３を積層し、ベース部１０を通して、レーザービームを金属膜３３に照射する構成であったが、自由端３２のリッド底面２１Ａ側に予め金属膜３３を積層し、リッド部２０を通して、レーザービームを金属膜３３に照射する構成でもよい。
さらに、前記第二実施形態では、第一底側傾斜面１２Ａ１１及び第一接合側傾斜面１２Ａ１２の２段により第一傾斜面１２Ａ１を構成したが、第一傾斜面１２Ａ１を３段以上の複数の傾斜面により構成してもよい。
【実施例】
【００４４】
本実施形態の実施例について説明する。まず、本発明の第一実施形態のパッケージに対応する実施例１〜５、及び比較例１〜５について説明する。
図７は、実施例及び比較例のグラフである。
成形実験に関しては、赤外線ヒーター加熱式のガラス素材熱成形機（東芝機械（株）製）を用いた。この熱成形機は、モールドダイ方式であり、モールサイズとしては、直径が１５０ｍｍ以下のものを使用した。また、プレス圧力は４０ｋＮ以下とし、成形温度は８００℃以下とした。モールドの金属素材には、超硬合金を使用した。
パッケージのガラス材料としては、ホウケイ酸ガラス（製品名：Ｄ２６３、  会社名：ＳＣＨＯＴＴ）を使用した。
【００４５】
（実施例１〜実施例５及び比較例１〜５）
実施例１では、第一〜第四傾斜面について傾斜角度（θ）が４５°となるようにベース部を成形した。そして、成形したベース部の不良率を算出した。
実施例２〜５及び比較例１〜５では、第一〜第四傾斜面について傾斜角度（θ）を表１に示す傾斜角度（θ）に変えた以外は、実施例１と同様に実施した。その結果を表１及び図７に示す。なお、図７では、「◇」印により示す。
【００４６】
【表１】
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【００４７】
（評価）
実施例１〜５と比較例２〜５とを比較すると、実施例１〜５では、傾斜角度（θ）が８８°以下であるため、不良率が低くなり、良好にベース部を得ることができることがわかった。
また、実施例１〜５と比較例１とを比較すると、比較例１では、成形品の不良率は低かった。しかし、傾斜角度（θ）を３０°と非常に小さくしたため、圧電素子用のパッケージを小型化すると、第一傾斜面がレーザービームの照射線上に重なりやすくなり、重なると、第一傾斜面によりレーザービームが散乱したり、屈折したりして、周波数調整を良好に実施できないおそれがあった。
【００４８】
（実施例６〜実施例１０及び比較例６〜１０）
実施例６では、４つの傾斜面のうち自由端近傍の第一傾斜面のみについて傾斜角度（θ）を４５°とし、他の３つの第二〜第四傾斜面については傾斜角度（θ）を９０°とした。それ以外は実施例１と同様にして実施した。
実施例７〜１０及び比較例６〜１０では、第一傾斜面について傾斜角度（θ）を表２に示す傾斜角度（θ）とした以外は、実施例６と同様に実施した。その結果を表２及び図７に示す。なお、図７では、「▲」印により示す。
【００４９】
【表２】
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【００５０】
（評価）
実施例６〜１０と比較例６〜１０とを比較すると、実施例６〜１０では第一傾斜面のみの傾斜角度（θ）を８８°以下しただけであったが、不良率を低くできることがわかった。一方、第一傾斜面の傾斜角度（θ）を８８°よりも大きくすると、不良率が６０％以上となった。
【００５１】
（実施例１１〜１６及び比較例１１）
次に、本発明の第二実施形態のパッケージに対応する実施例１１〜１６、及び比較例１１について説明する。
実施例１１〜１３では、第一底側傾斜面の傾斜角度（θ１）と第一接合側傾斜面の傾斜角度（θ２）との関係が、θ１＞θ２となるように実施した。
実施例１４〜１６及び比較例１１では、第一底側傾斜面の傾斜角度（θ１）と第一接合側傾斜面の傾斜角度（θ２）との関係が、θ１＜θ２となるように実施した。
実施例１１〜１６及び比較例１１での傾斜角度（θ１）及び傾斜角度（θ２）は、表３に示す角度とし、下記式（数１）より、不良率を算出した。式（数１）中、「Ｎ」は傾斜面の数であり、Ｎ＝２である。表３に結果を示す。
【００５２】
不良率（％）＝（１−（良品率）Ｎ）×１００・・・（数１）
【００５３】
【表３】
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【００５４】
（評価）
実施例１１〜１６と比較例１１とを比較すると、実施例１１〜１３では、第一底側傾斜面の傾斜角度（θ１）と第一接合側傾斜面の傾斜角度（θ２）の傾斜角度が４５°≦θ１≦８８°、４５°≦θ２≦８８°であったから、不良率が低くなることがわかった。
また、実施例１１〜１３と実施例１４〜１６とを比較すると、θ１＞θ２の関係のほうがθ１＜θ２よりも不良率を低くできることがわかった。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明は、時計、クロック発振回路を備えるコンピューター、計測機器、その他の装置に用いられる振動子、及びそのパッケージとして利用できる。
【符号の説明】
【００５６】
１…圧電部品、２…圧電素子用のパッケージ、３…水晶振動子、４…電極としての内部電極、１０…第一ケース部としてのベース部、１１Ａ…ベース底面、１２Ａ１…傾斜面としての第一傾斜面、１２Ａ１２…接合側の傾斜面としての第一接合側傾斜面、１２Ｅ…接合面としてのベース接合面、１２Ｆ…段差部、２０…第二ケース部としてのリッド部、２２Ｅ…蓋接合面としてのリッド接合面、Ｌ…仮想延長線、Ｌ２…第二仮想延長線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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