(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリア材料の中にキャビティを形成するステップであって、前記キャリア材料は、エッチストップ層によって分離される上層と下層とを含む、ステップと；
前記キャビティ内にダイを付着するステップであって、前記ダイのバックサイドはＤＢＦを含む、ステップと；
前記ダイに近接した前記キャリア材料の下層上にＰｏＰランドを形成するステップと；
前記ダイの側壁に隣接し且つそれを囲む、角度を為す誘電体フィレット構造、を形成するよう、前記ダイに近接して前記キャリア材料の下層上に誘電材料を形成するステップであって、前記ＤＢＦのトップ面は前記フィレット構造のトップ面と同一平面である、ステップと；
前記誘電材料上に層をビルドアップすることにより、コアレス基板を形成するステップと；
前記キャリア材料の上層と下層及びエッチストップ層を前記コアレス基板から除去するステップとを含む、方法。
【請求項２】
前記ＤＢＦは前記ダイ上に留まる、請求項１記載の方法
【請求項３】
前記ＤＢＦはＥＭＩシールドを含む、請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記ＤＢＦは接着剤を含み、該接着剤は前記キャリア材料の下層に付着する、請求項１記載の方法。
【請求項５】
前記キャリア材料と前記エッチストップ層を、それらが前記コアレス基板上に配置されている間に、除去するステップを含む、請求項１記載の方法。
【請求項６】
前記ＤＢＦは金属充填剤を含む、請求項１記載の方法。
【請求項７】
前記金属充填剤は、銅と銀のうち少なくとも１つを含み、粒子サイズは１０ミクロンを下回る、請求項６記載の方法。
【請求項８】
前記コアレス基板はコアレスなバンプレスビルドアップ層パッケージの一部を含む、請求項１記載の方法。
【請求項９】
キャリア材料の中にキャビティを形成するステップと；
前記キャビティ内にダイを付着するステップであって、前記ダイのバックサイドは金属充填ＤＢＦを含む、ステップと；
前記ダイに近接して前記キャリア材料の下層上にＰｏＰランド構造を形成するステップと；
前記ダイの側壁に隣接し且つそれを囲む、角度を為す誘電体フィレット構造、を形成するよう、前記ダイに近接して前記キャリア材料の底面側に誘電材料を形成するステップであって、前記ＤＢＦのトップ面は前記フィレット構造のトップ面と同一平面である、ステップと；
前記誘電材料上に層をビルドアップすることによりコアレス基板を形成するステップであって、ビアが形成されてＰｏＰランド構造と接続する、ステップと；
前記キャリア材料を前記コアレス基板から除去するステップと、を含む方法。
【請求項１０】
前記キャリア材料はエッチストップ層によって分離される上層と下層とを含む、請求項９記載の方法。
【請求項１１】
前記ＤＢＦは前記コアレス基板に付着されて残る、請求項９記載の方法。
【請求項１２】
前記コアレス基板は、コアレスなバンプレスビルドアップ層パッケージの一部を含む、請求項９記載の方法。
【請求項１３】
前記ＰｏＰランド構造のトップ面は、前記コアレスなバンプレスビルドアップ層パッケージのトップ面と同一平面である、請求項１０記載の方法。
【請求項１４】
コアレス基板の中に埋め込まれたダイであり、前記コアレス基板は、当該ダイに近接する誘電材料を含み、該誘電材料は、角度を為すフィレット部分を含む、ダイと；
前記ダイのダイパッドエリアに配置されたダイパッド相互接続構造と；
前記ダイのバックサイド上に配置されたＤＢＦであり、当該ＤＢＦのトップ面は前記角度を為すフィレット部分のトップ面と同一平面である、ＤＢＦと、を含む構造。
【請求項１５】
前記ＤＢＦはＥＭＩシールドを含む、請求項１４記載の構造。
【請求項１６】
前記コアレス基板は、コアレスなバンプレスビルドアップパッケージ構造の一部を含む、請求項１４記載の構造。
【請求項１７】
前記ＤＢＦは接着剤を含む、請求項１４記載の構造。
【請求項１８】
前記ＤＢＦは金属充填粒子を含む、請求項１４記載の構造。
【請求項１９】
金属充填粒子は、銅と銀のうち少なくとも１つを含む、請求項１８記載の構造。
【請求項２０】
前記金属充填粒子は、１０ミクロンより小さい粒子サイズを有する、請求項１８記載の構造。
【請求項２１】
コアレス基板の中に埋め込まれているダイであって、前記コアレス基板は、当該ダイに近接する誘電材料を含み、該誘電材料は、角度を為すフィレット部分を含む、ダイと；
前記ダイのバックサイド上に配置されるＤＢＦであって、当該ＤＢＦのトップ面は前記フィレット部分のトップ面と同一平面である、ＤＢＦと；
前記ダイのダイパッド領域に配置されたダイパッド相互接続構造と；
非ダイ領域内に配置された前記コアレス基板内のビアであって、当該ビアはＰｏＰランドに接続され、前記ＰｏＰランドは、前記ダイに近接して前記コアレス基板内に配置され、前記ＰｏＰランドのトップ面は前記コアレス基板のトップ面と同一平面である、ビアと、を有する構造。
【請求項２２】
前記ＤＢＦはＥＭＩシールドを含む、請求項２１記載の構造。
【請求項２３】
前記コアレス基板は、コアレスなバンプレスビルドアップパッケージ構造の一部を含む、請求項２１記載の構造。
【請求項２４】
前記ＤＢＦは金属粒子を含む、請求項２１記載の構造。
【請求項２５】
前記ダイは前記コアレスなバンプレスビルドアップパッケージの中に完全に埋め込まれている、請求項２３記載の構造。
【請求項２６】
前記ＤＢＦの一部は前記コアレスなバンプレスビルドアップパッケージの中に埋め込まれている、請求項２５記載の構造。
【請求項２７】
前記コアレスなバンプレスビルドアップパッケージはＲＦコンポーネントを含む、請求項２４記載の構造。
【請求項２８】
当該構造に通信可能に接続されるバスと；
前記バスに通信可能に接続されるＤＲＡＭとを有するシステムを含む、請求項２１記載の構造。
【請求項２９】
前記ＤＢＦはガラス・クロスのバックボーンを含む、請求項２１記載の構造。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
より高いプロセッサのパフォーマンスのために半導体技術が発展するにつれ、パッケージング構造の発展は、コアレスなバンプレスビルドアップレイヤー（ＢＢＵＬ−Ｃ）パッケージ構造や他のそのようなアセンブリを含むことがある。ＢＢＵＬ−Ｃパッケージの現在のプロセスフローは、銅箔でキャップされた一時的コア／キャリアの上に、基板を形成するステップを含み、パッケージがコアから分離した後に、銅箔がエッチ除去される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００２】
マイクロエレクトロニクスパッケージング構造の形成方法及びそれにより形成される関連の構造が提供される。
【課題を解決するための手段】
【０００３】
例えばパッケージ構造のようなマイクロエレクトロニクス構造を形成し利用する方法、及び、その関連の構造が説明される。そうした方法は、キャリア材料中にキャビティ（穴）を形成するステップと、そのキャビティ中にダイを付加するステップとを含み、そのダイのバックサイドは金属充填のダイバックサイドフィルム（ＤＢＦ）を有し、前記ダイの近くで前記キャリア材料の底面上に誘電材料を形成するステップと、前記誘電材料上に層を構築することによりコアレス基板を形成するステップと、更に、前記キャリア材料を前記コアレス基板から除去するステップとを含む。
【図面の簡単な説明】
【０００４】
本明細書はクレームにより結論付けられ、そのクレームは、本発明の所定の実施形態群を特に指摘し明確に請求する一方で、添付の図面とともに読まれるときは、本発明の有利な点は、本発明の以下の説明からより容易に解明されることが可能である。その図面には：
【図１】図１ａ乃至１ｊは、本発明の一実施形態に従った構造の形成方法を表す。
【図２】図２は、本発明の一実施形態に従ったシステムを表す。
【発明を実施するための形態】
【０００５】
以下の詳細な説明では、添付図面への参照がなされ、その図面は、例示の目的で、本発明の方法が実行されてもよい特定の実施形態群を示す。これらの実施形態群は、充分に詳細に説明され、そうして当業者がその実施形態群を実行できる。理解されるべき点は、各種の実施形態（それらは異なっていても）は必ずしも相互に排他的ではないことである。例えば、或る実施形態との関連で本明細書において説明される、所定の構成、構造、又は、特徴が、他の実施形態群の範囲内で、その実施形態群の精神と適用範囲から逸脱することなく実施されてもよい。加えて、理解されるべき点は、各開示実施形態の範囲内にある個々の要素群の位置や配置は、実施形態群の精神と適用範囲から逸脱することなく変更されてもよいことである。それ故、以下の詳細な説明は、制限的な意味で捉えられるべきではなく、その実施形態の適用範囲は、添付のクレームによってのみ定義され、そのクレームが享受する均等の全範囲に即して適切に解釈される。図においては、類似する数表示は幾つかの図にわたって同一又は同様の機能について言及する。
【０００６】
例えばパッケージ構造のようなマイクロエレクトロニクス構造を形成し利用する方法、及び、その関連の構造が説明される。そうした方法は、キャリア材料中にキャビティを形成するステップと、そのキャビティ中にダイを付加するステップとを含み、そのダイのバックサイドは金属充填のダイバックサイドフィルム（ＤＢＦ）を有し、前記ダイの近くで前記キャリア材料の底面上に誘電材料を形成するステップと、前記誘電材料上に層を構築することによりコアレス基板を形成するステップと、更に、前記キャリア材料を前記コアレス基板から除去するステップとを含む。本実施形態群の方法は、ＤＢＦの機能化を可能にし、例えば、ＥＭＩシールドを構成する。
【０００７】
図１ａ―１ｊは、例えば、パッケージ構造のようなマイクロエレクトロニクス構造を形成する方法に係る実施形態群を例示する。図１ａは、キャリア材料１００、１００´を例示する。或る実施形態では、キャリア材料１００は、多層の銅箔を含んでもよく、その多層の銅箔は、マイクロエレクトロニクス・ダイ・キャリアのようなキャリアとして作用してもよい。他の実施形態群では、キャリア材料１００は、図示されるように上層１００と下層１００´の２つの層を含んでもよいが、他の実施形態では１つの層又は２つよりも多い層を含んでもよい。
【０００８】
一実施形態では、キャリア材料１００は、例えば銅のような導電体材料の２つの層を含んでもよいがこれに限定されず、その２つの層は薄いエッチングバリア（ストップ）層１０２によって分離されてもよい。一実施形態では、エッチストップ層１０２は、例えばニッケルのような材料を含んでもよいが、エッチストップ層として作用し、キャリア層１００、１００´の間でエッチ／除去のストップを容易にする如何なる材料を含んでもよい。一実施形態では、エッチストップ層１０２は例えば、特にエッチングプロセス中に、キャビティ１０４の形成において役立つよう作用する（図１ｂ）。一実施形態では、下層キャリア材料層１００´の厚さ１０３は、続くアセンブリステップにおいてキャリア材料１００´の中に埋め込まれるダイの厚さと埋め込みの深さによって決定されてもよい。
【０００９】
キャビティ１０４は、キャリア材料の或る層の中に形成されてもよく、例えば、下層キャリア材料層１００´の一部を除去することによって形成されてもよい。キャビティ１０４は、エッチングプロセスや、既知の技術の適切な除去プロセスを利用して形成されてもよい。例えば、マスキング材料がキャリア材料１００´の下層の上にラミネートされてもよく、さらに、キャリア材料１００´は、キャビティ１０４を形成するようにパターンが付けられてもよく、引き続き、ダイがその中に配置されてもよい。キャリア材料層１００、１００´の間のエッチストップ層１０２は、キャビティ１０４の形成に対するエッチストップとして作用してもよく、さらに、ダイを配置するための平坦面を定義してもよい。形成されるキャビティ１０４を備えたキャリア材料１００´は、ボトム部分１０１、角度部分１０５、及び、トップ平坦部分１０７を有してもよく、そのトップ部分はエッチストップ層１０２の一部を含む。
【００１０】
一実施形態では、ダイ１０６は、例えばマイクロエレクトロニクスダイ１０６であって、ダイバックサイドフィルム（ＤＢＦ）１０９を含んでもよい（図１ｃ）。一実施形態では、ＤＢＦは、適切な接着剤１１９と金属粒子充填剤（フィラー）１１７との混合物を含んでもよい。接着剤１１９は、幾つかの例ではエポキシベースであることができる。金属粒子充填剤１１７は、銅と銀のうち少なくとも１つを含むが、他の導電材料も特定の応用例に従って使用されてもよい。金属充填剤１１７の粒子サイズは、必要とされるＤＢＦ１０９の厚さに応じて選択可能である。一実施形態では、金属充填剤１１７の粒子サイズは約１０ミクロンよりも小さくてもよい。
【００１１】
金属充填剤に加えて、他の非金属充填剤も使用され、ＤＢＦ１０９の剛性を向上し、そうしてフィルムの取り扱いとダイ１０６及び最終パッケージ製品の反りとを向上する。一実施形態では、ＤＢＦ１０９は、ガラス・クロスのバックボーンを有してもよく、剛性を向上する。一実施形態では、ダイ１０６は、薄いダイ１０６を含んでもよく、さらに、約１５０ミクロンを下回る厚さを有してもよい。
【００１２】
一実施形態では、ダイ１０６は、キャビティ１０４を含むキャリア材料１００´のトップ部分１０７に付着されてもよい（図１ｄ）。一実施形態では、ダイ１０６は、少なくとも１つの側壁１０８、バックサイド１１１、及び、アクティブサイド１１２を含んでもよい。一実施形態では、ＤＢＦ１０９を含むダイ１０６のバックサイド１１１は、キャビティ１０４内のエッチストップ層１０２の一部の上に配置されてもよい。幾つかの例では、ＤＢＦ１０９の接着フィルム及び／又は付着プロセスは、ダイ１０６を、キャリア材料１００´のキャビティ１０４内に付着するように使用されてもよい。一実施形態では、キャリア材料１００´は、幾つかの例では銅材料を含んでもよく、ダイ１０６の付着に役立つよう粗くされることができる。
【００１３】
一実施形態では、ＤＢＦ１０９の接着フィルム１１９が、最終パッケージの恒久部分として使用されることが可能であり、例えば、ダイ１０６のバックサイド１１１を保護し、マーキングの表面を供給し、及び／又は、ダイ１０６内で発生することがある反りを管理する。ＰＯＰパッド／ランド構造１１８は、一実施形態では、キャリア材料１００´の底面に形成されてもよい（図１ｅ）。
【００１４】
誘電材料１１０が、キャリア材料１００´上であって、ダイ１０６に近接して、ＰｏＰランド構造１１８に近接して、キャリア材料１００´のキャビティ１０４内に形成されてもよい（図１ｆ）。一実施形態では、誘電材料１１０は、例えばラミネートプロセスによって形成されてもよい。誘電材料１１０は、キャビティ１０４を有するキャリア材料１００´の底面部分１０１上、キャリア材料１００´の角度部分１０５上、及びキャリア材料１００´のトップ部分１０７のダイ１０６を囲む部分上に形成されてもよい。誘電材料１１０は、続きのビルドアッププロセスのための水平面を供給してもよい。一実施形態では、キャリア材料１００´は、ラミネーションに先立って粗くされ、そうして誘電材料１１０への接着の役に立つ。
【００１５】
一実施形態では、ビア１１３が、ダイ１０６のダイランディング領域で誘電材料１１０内に形成されても良く、例えば銅ダイパッドのようなダイパッドが、ダイ１０６のアクティブ面１１２上に露出されてもよい（図１ｇ）。一実施形態では、セミアディティブプロセス（ＳＡＰ）が使用されてもよく、ダイ１０６のダイパッド上にダイパッド相互接続構造１１２を形成し、さらに、第１メタル層１１４が誘電材料１１０上にダイ１０６に近接して形成されてもよい（図１ｈ）。相互接続構造１１５が形成されてもよく、ＰｏＰ構造１１８と接続する。そして、続きの層が、例えば標準的な基板ＳＡＰビルドアップ処理を用いて形成されてもよく、更なる誘電層１１０´及び金属化（メタライゼーション）層１１４´が互いの上に形成されてもよく、ビルドアッププロセスを使用することにより、コアレスパッケージ構造１２０のコアレス基板部分１１６を形成する（図１ｉ）。一実施形態では、コアレスパッケージ構造１２０はＢＢＵＬコアレスパッケージ構造１２０を含んでもよく、ダイ１０６はコアレスパッケージ１２０の中に埋め込まれてもよい。
【００１６】
一実施形態では、ビルドアップが完成すると、キャリア材料１００の上層と、エッチストップ層１０２と、キャリア材料１００´の下層とを含むキャリア材料が、コアレス基板１２０から除去されてもよい（図１ｊ）。ＤＢＦ１０９は、コアレス基板１２０の上／中に残ってもよく、ダイ１０６のバックサイド上へ付着／配置されてもよい。次に、残ったＤＢＦ１０９は、パッケージ１２０のＥＭＩシールドとして作用してもよい。ＰｏＰ構造１１８は、同様にパッケージ構造１２０の上／中に残ってもよい、というのは、ＰｏＰ構造１１８の一部はコアレス基板１２０の誘電材料１１０の中に埋め込まれるからである。
【００１７】
ＰｏＰ構造１１８の上面１２３は、パッケージ１２０の上面１２１に関して平坦な／同一平面であってもよい。一実施形態では、コアレスパッケージ基板１２０は更に相互接続構造１２５を含んでもよく、それは例えばボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）ボールであって、パッケージ構造１２０に付着されてもよい。コアレスパッケージ構造１２０は、ダイ１０６の周りに誘電材料１１０のフィレット構造１２７を含み、その誘電材料１１０は、ダイ１０６の側壁１０８と底面１１２とを取り囲んでもよいが、誘電材料１１０はダイ１０４のバックサイド１１１には存在しない、というのもＤＢＦ１０９がダイ１０６のバックサイド１１１に配置されているからである。ＤＢＦ１０９の一部は、コアレスパッケージ１２０の誘電材料１１０の中に埋め込まれてもよく、ＤＢＦの上面は、一実施形態では、コアレスパッケージ１２０のフィレット構造１２７の上面１２８に関して平坦な／同一平面であってもよい。
【００１８】
フィレット構造１２７は、コアレス基板１２０の誘電材料１１０の平面状のトップ部分１２１に対して傾斜／隆起され得る誘電材料１１０の部分を有し得る。このフィレット構造の形状は最適化されることが可能で、ダイ／パッケージの最大信頼性を供給し、フィレット構造１２７の角度１２９は変化してもよく、そうして信頼性を最適化する。
【００１９】
図２は本発明の一実施形態に従ったコンピュータシステムを示す。システム２００には、プロセッサ２１０、メモリデバイス２２０、メモリコントローラ２３０、グラフィックコントローラ２４０、入出力（Ｉ／Ｏ）コントローラ２５０、ディスプレイ２５２、キーボード２５４、ポインティングデバイス２５６、及び周辺デバイス２５８を含み、幾つかの実施形態では、それらは全て、バス２６０を通じて互いに通信可能に接続されてもよい。プロセッサ２１０は、汎用目的のプロセッサ又は特定用途向き集積回路（ＡＳＩＣ）でもよい。Ｉ／Ｏコントローラ２５０は、有線又は無線通信用の通信モジュールを含んでもよい。メモリデバイス２２０は、ダイナミックランダムアクセスメモリ（ＤＲＡＭ）デバイス、スタティックランダムアクセスメモリ（ＳＲＡＭ）デバイス、フラッシュメモリデバイス、又は、これらのメモリデバイスの組合せでもよい。従って、幾つかの実施形態では、システム２００の中のメモリデバイス２２０は、ＤＲＡＭデバイスを含む必要はない。
【００２０】
システム２００の中に示される１つ以上のコンポーネントが含まれてもよく、及び／又は、例えば図１ｊのコアレスパッケージ構造のような、１つ以上の集積回路パッケージを含んでもよい。例えば、プロセッサ２１０やメモリデバイス２２０、Ｉ／Ｏコントローラ２５０の少なくとも一部、又は、これらのコンポーネントの組合せが、１つの集積回路パッケージの中に含まれてもよく、そのパッケージは、各種の実施形態群で表される構造の少なくとも１つの実施形態を含み、例えば、本明細書で示される各種の機能化キャリア材料構造である。
【００２１】
これらの要素群は、先行技術において知られた従来の機能を実行する。特に、メモリデバイス２２０は、幾つかの例で用いられてもよく、実行可能な命令のために長期間の記憶装置を供給し、本発明の実施形態に従ったパッケージ構造を形成する方法を供給し、他の実施形態では、より短期間のベースで、実行可能な命令を保存し、その命令は、本願発明の実施形態群に従って、プロセッサ２１０によって実行される間、パッケージ構造を形成する方法の命令である。加えて、命令は保存又は関連付けられてもよく、システムと通信可能に接続された機械アクセス可能なメディア、例えば、コンパクトディスクリードオンリーメモリ（ＣＤ−ＲＯＭ）、デジタルバーサタイルディスク（ＤＶＤ）、及び、フロッピー（登録商標）ディスク、搬送波、及び／又は他の伝播信号のようなメディアである。一実施形態では、メモリデバイス２２０は、プロセッサ２１０に、実行のために、実行可能な命令を供給してもよい。
【００２２】
システム２００には、コンピュータ（例えばデスクトップ、ラップトップ、ハンドヘルド、サーバー、ウェブ装置、ルーター等々）、無線通信デバイス（例えば携帯電話、コードレス電話、ポケベル、パーソナルデジタルアシスタント等々）、コンピュータ関連周辺機器（例えばプリンタ、スキャナ、モニタ等々）、エンターテインメントデバイス（テレビ、ラジオ、ステレオ、テープ・ＣＤプレーヤー、ビデオカセットレコーダ、カムコーダー、デジタルカメラ、ＭＰ３（モーションピクチャーエキスパートグループ、オーディオレイヤー３）プレーヤー、ビデオゲーム、時計等々）、及び類似物を含んでもよい。
【００２３】
実施形態群の利点は新たなパッケージングアーキテクチャを可能にし、現在のパッケージアーキテクチャの凡そ半分のコストで、将来のモバイル／ハンドヘルドのシステムオンチップ（ＳｏＣ）プロセッサのためのデザイン要件を満足することができる。各種実施形態群は、追加的ポストパッケージ製造コストなく、ＥＭＩシールドをＢＢＵＬ−Ｃパッケージ構造に加えることを可能にする。ＥＭＩシールドは、ＥＭＩの影響を受けやすい他のシリコンデバイスを含むＲＦ又はその他のＥＭＩ発生デバイスを採用する一部のＢＢＵＬ−Ｃ製品に必要とされ得る。ＤＢＦを金属粒子で充填してＤＢＦを機能化することにより、充填ＤＢＦは、そうしたＲＦコンポーネントに対して電磁干渉（ＥＭＩ）シールドのために使用されることができる。
【００２４】
上述の説明は、本発明の方法に使用されてもよい或るステップと材料を特定したが、当業者には多数の変形と置換がなされてもよいことが理解されるだろう。従って、意図して、そうした全ての変形、改変、置換、及び、追加は、付属のクレームによって定義される本発明の精神と適用範囲の範囲内にあると考えられる。加えて、パッケージ構造のような各種のマイクロエレクトロニクス構造は周知であることが理解される。それ故、本明細書で供される図面は、本発明の実施に関する例示的なマイクロエレクトロニクスデバイスの部分だけを例示する。従って、本発明は本明細書で説明した構造に限定されない。
【図１ａ】
0005599934.tif 000002
【図１ｂ】
0005599934.tif 000003
【図１ｃ】
0005599934.tif 000004
【図１ｄ】
0005599934.tif 000005
【図１ｅ】
0005599934.tif 000006
【図１ｆ】
0005599934.tif 000007
【図１ｇ】
0005599934.tif 000008
【図１ｈ】
0005599934.tif 000009
【図１ｉ】
0005599934.tif 000010
【図１ｊ】
0005599934.tif 000011
【図２】
0005599934.tif 000012