(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の処理手順を記述したレシピを記憶するレシピ記憶手段と、
前記レシピ記憶手段から処理手順を読み出し、この処理手順に対応した検査基準を記述した検査基準ファイルを生成する検査基準生成手段と、
前記検査基準生成手段によって生成された検査基準ファイルを記憶する検査基準記憶手段と、
前記レシピ記憶手段に記憶されたレシピに従う制御動作を実行する制御手段と、
前記制御手段による制御動作を記録する制御動作記録手段と、
前記制御動作記録手段によって記録された制御動作と、前記検査基準記憶手段に記憶された検査基準ファイルに記述された検査基準とを照合することにより、前記制御動作の適否を判定する制御動作判定手段と
を含み、
前記レシピ記憶手段は、ノズルから基板に対して処理流体を吐出させる処理手順を含むレシピを記憶することができるものであって、ノズルからの処理流体の吐出および停止に関する記述を含み、かつ、複数のステップを含むレシピを記憶することができるものであり、
前記検査基準生成手段は、ノズルからの処理流体吐出制御に関する検査を行うための検査基準を含む検査基準ファイルを生成するものであって、ステップ毎の制御検査区間を設定する制御検査区間設定手段と、前記制御検査区間中における前記ノズルの吐出指示状態または停止指示状態を記述した制御合格基準を生成する制御合格基準生成手段とを含み、
前記制御動作判定手段は、前記制御検査区間における前記制御手段の前記ノズルに関する制御動作と前記制御合格基準とを照合するものであり、
前記制御検査区間設定手段は、ステップ開始から第１所定時間経過後、当該ステップ終了より第２所定時間前までの期間を当該ステップの制御検査区間として設定するものである、基板処理装置。
【請求項２】
前記制御手段による制御によって基板処理装置が実行した装置動作を記録する装置動作記録手段と、
前記装置動作記録手段によって記録された装置動作と、前記検査基準記憶手段に記憶された検査基準ファイルに記述された検査基準とを照合することにより、前記基板処理装置の装置動作の適否を判定する装置動作判定手段とをさらに含む、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
基板の処理手順を記述したレシピを記憶するレシピ記憶手段と、
前記レシピ記憶手段から処理手順を読み出し、この処理手順に対応した検査基準を記述した検査基準ファイルを生成する検査基準生成手段と、
前記検査基準生成手段によって生成された検査基準ファイルを記憶する検査基準記憶手段と、
前記レシピ記憶手段に記憶されたレシピに従って基板処理装置によって実行された装置動作を記録する装置動作記録手段と、
前記装置動作記録手段によって記録された装置動作と、前記検査基準記憶手段に記憶された検査基準ファイルに記述された検査基準とを照合することにより、前記基板処理装置の装置動作の適否を判定する装置動作判定手段と
を含み、
前記レシピ記憶手段は、ノズルから基板に対して処理流体を吐出させる処理手順を含むレシピを記憶することができるものであって、ノズルからの処理流体の吐出および停止に関する記述を含み、かつ、複数のステップを含むレシピを記憶することができるものであり、
前記検査基準生成手段は、ノズルからの処理流体吐出動作に関する検査を行うための検査基準を含む検査基準ファイルを生成するものであって、ステップ毎の装置検査区間を設定する装置検査区間設定手段と、前記装置検査区間中における前記ノズルの吐出状態または停止状態を記述した装置合格基準を生成する装置合格基準生成手段とを含み、
前記装置動作判定手段は、前記装置検査区間における前記ノズルに関する装置動作と前記装置合格基準とを照合するものであり、
前記装置検査区間設定手段は、ステップ開始から第３所定時間経過後、当該ステップ終了より第４所定時間前までの期間を当該ステップの装置検査区間として設定するものである、基板処理装置。
【請求項４】
基板処理装置を検査するための検査装置であって、
前記基板処理装置は、基板の処理手順を記述したレシピを記憶するレシピ記憶手段と、前記レシピ記憶手段に記憶されたレシピに従う制御動作を実行する制御手段とを含み、
前記レシピ記憶手段から処理手順を読み出し、この処理手順に対応した検査基準を記述した検査基準ファイルを生成する検査基準生成手段が、前記基板処理装置または前記検査装置に備えられ、
前記検査装置は、前記制御手段による制御動作を記録する制御動作記録手段と、前記検査基準生成手段によって生成された検査基準ファイルを記憶する検査基準記憶手段と、前記制御動作記録手段によって記録された制御動作と、前記検査基準記憶手段に記憶された検査基準ファイルに記述された検査基準とを照合することにより、前記制御動作の適否を判定する制御動作判定手段とを含み、
前記レシピ記憶手段は、ノズルから基板に対して処理流体を吐出させる処理手順を含むレシピを記憶することができるものであって、ノズルからの処理流体の吐出および停止に関する記述を含み、かつ、複数のステップを含むレシピを記憶することができるものであり、
前記検査基準生成手段は、ノズルからの処理流体吐出制御に関する検査を行うための検査基準を含む検査基準ファイルを生成するものであって、ステップ毎の制御検査区間を設定する制御検査区間設定手段と、前記制御検査区間中における前記ノズルの吐出指示状態または停止指示状態を記述した制御合格基準を生成する制御合格基準生成手段とを含み、
前記制御動作判定手段は、前記制御検査区間における前記制御手段の前記ノズルに関する制御動作と前記制御合格基準とを照合するものであり、
前記制御検査区間設定手段は、ステップ開始から第１所定時間経過後、当該ステップ終了より第２所定時間前までの期間を当該ステップの制御検査区間として設定するものである、
基板処理装置のための検査装置。
【請求項５】
前記制御手段による制御によって基板処理装置が実行した装置動作を記録する装置動作記録手段と、
前記装置動作記録手段によって記録された装置動作と、前記検査基準記憶手段に記憶された検査基準ファイルに記述された検査基準とを照合することにより、前記基板処理装置の装置動作の適否を判定する装置動作判定手段とをさらに含む、請求項４に記載の基板処理装置のための検査装置。
【請求項６】
基板処理装置を検査するための検査装置であって、
前記基板処理装置は、基板の処理手順を記述したレシピを記憶するレシピ記憶手段を含み、
前記レシピ記憶手段から処理手順を読み出し、この処理手順に対応した検査基準を記述した検査基準ファイルを生成する検査基準生成手段が前記基板処理装置または前記検査装置に設けられ、
前記検査装置は、前記レシピ記憶手段に記憶されたレシピに従って基板処理装置によって実行された装置動作を記録する装置動作記録手段と、前記検査基準生成手段によって生成された検査基準ファイルを記憶する検査基準記憶手段と、前記装置動作記録手段によって記録された装置動作と、前記検査基準記憶手段に記憶された検査基準ファイルに記述された検査基準とを照合することにより、前記基板処理装置の装置動作の適否を判定する装置動作判定手段とを含み、
前記レシピ記憶手段は、ノズルから基板に対して処理流体を吐出させる処理手順を含むレシピを記憶することができるものであって、ノズルからの処理流体の吐出および停止に関する記述を含み、かつ、複数のステップを含むレシピを記憶することができるものであり、
前記検査基準生成手段は、ノズルからの処理流体吐出動作に関する検査を行うための検査基準を含む検査基準ファイルを生成するものであって、ステップ毎の装置検査区間を設定する装置検査区間設定手段と、前記装置検査区間中における前記ノズルの吐出状態または停止状態を記述した装置合格基準を生成する装置合格基準生成手段とを含み、
前記装置動作判定手段は、前記装置検査区間における前記ノズルに関する装置動作と前記装置合格基準とを照合するものであり、
前記装置検査区間設定手段は、ステップ開始から第３所定時間経過後、当該ステップ終了より第４所定時間前までの期間を当該ステップの装置検査区間として設定するものである、
基板処理装置のための検査装置。
【請求項７】
コンピュータを請求項４〜６のいずれか一項に記載の検査装置として機能させるためのコンピュータプログラム。
【請求項８】
請求項７記載のコンピュータプログラムを記録したコンピュータ読取可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板を処理する基板処理装置、基板処理装置の制御動作および／または装置動作を検査するための検査装置、ならびに検査用コンピュータプログラムおよびそれを記録した記録媒体に関する。基板処理装置の処理対象となる基板には、たとえば、半導体ウエハ、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、ＦＥＤ(Field Emission Display)用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板などが含まれる。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ等の基板を処理する基板処理装置は、たとえば、基板を保持して回転するスピンチャックと、スピンチャックに保持された基板に対して処理液を供給する複数の処理液ノズルと、これらを制御する制御ユニットとを含む。制御ユニットは、たとえば、スピンチャックで基板を保持して回転させる一方で、回転中の基板に対して処理液ノズルから処理液が供給されるように、スピンチャックおよび処理液ノズルの動作を制御する。
【０００３】
具体的には、制御ユニットは、基板の処理手順を記述したレシピに従って、スピンチャック、処理液ノズルその他の構成要素を制御する。レシピに記述される処理手順は、例えば、複数のステップを含む。各ステップには、たとえば、スピンチャックの回転開始／停止、スピンチャックの回転速度、処理液吐出の開始／停止などが記述される。
基板処理装置のハードウェア仕様は、目的とする処理内容により異なり、現実には、個々のユーザが実行しようとする処理内容に応じたカスタムメードとなっている。また、基板処理の内容は複雑であり、それに応じてハードウェア構成が複雑になっている。したがって、ハードウェアを制御するためのソフトウェアも複雑になっている。
【０００４】
基板処理装置の使用者は、基板処理装置のハードウェア仕様およびソフトウェア仕様を理解したうえで、目的とする処理内容を定義するレシピを作成する。このレシピに従って制御ユニットがハードウェアを制御することにより、基板の処理が行われる。
使用者の意図に適合するようにハードウェアが動作しなければ、目的とする基板処理を行うことができない。そこで、レシピに従って実際に基板処理装置を動作させ、その動作の確認を行う必要がある。動作の確認方法は、概ね２つの方法に大別される。第１の方法は、ソフトウェア処理の記録とレシピとを照合する方法である。具体的には、制御ユニットが実行したソフトウェア動作を表す制御ログが記録されて、記憶装置に蓄積される。この蓄積された制御ログとレシピとを作業員が照合することで、制御ユニットによる制御動作の妥当性が検査される。ただし、ソフトウェア動作の全部が制御ログとして記録されるわけではないので、記録される動作のみが検査対象となる。第２の方法は、基板処理装置の実際の動作を作業員が目視して、レシピと照合する方法である。第１の方法では、ソフトウェア処理の妥当性が検査される。これに対して、第２の方法では、基板処理装置の現実の動作の妥当性が検査される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１００２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
基板処理装置は、複数のレシピを登録できるように構成されている。使用者は、様々な処理の組み合わせを定義した複数のレシピを基板処理装置に予め登録しておき、必要に応じていずれかのレシピを呼び出して用いることができる。たとえば、複数の処理液ノズルからの吐出順序や吐出時間などを様々に定義した複数のレシピが作成されて、基板処理装置に登録される。
【０００７】
しかし、多数のレシピについて前述のような検査を行うには、多大な時間と労力を要する。しかも、人間による確認作業であるので、誤りや漏れを完全になくすことは困難である。そのため、基板処理工程において、不良が生じてしまうおそれがある。
一方、基板処理装置の構成部品の経年劣化等に起因する不良により、基板処理工程が不良となる場合がある。この場合、当該工程で問題が生じているので、その後の処理工程の実行は無駄になる。ところが、処理不良は処理完了後の基板または基板から取り出された最終製品（たとえば半導体製品）を検査する段階で明らかになる。そのため、不良な処理工程の後の工程が無駄に行われることになり、生産性が損なわれている。
【０００８】
また、レシピの記述に問題があり、そのために基板処理工程が不良となる場合もあるから、不良の原因が部品の経年劣化等であると直ちに特定できるわけではない。そのため、不良原因の特定に時間がかかる場合があり、このことも、生産性を阻害する一因となっている。
そこで、この発明の第１の目的は、制御動作の妥当性（レシピに適合するか否か）を確実にかつ短時間に検査することができる基板処理装置を提供することである。
【０００９】
この発明の第２の目的は、実際の処理動作の妥当性（レシピに適合するか否か）を自動的に検査することができる基板処理装置を提供することである。
この発明の第３の目的は、基板処理装置の制御動作の妥当性（レシピに適合するか否か）を確実にかつ短時間に検査することができる、基板処理装置のための検査装置を提供することである。
【００１０】
この発明の第４の目的は、基板処理装置の実際の処理動作の妥当性（レシピに適合するか否か）を自動的に検査することができる、基板処理装置のための検査装置を提供することである。
この発明の第５の目的は、コンピュータを上記のような検査装置として機能させるためのコンピュータプログラムを提供することである。
【００１１】
この発明の第６の目的は、上記のようなコンピュータプログラムを記録した記録媒体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板の処理手順を記述したレシピを記憶するレシピ記憶手段(193)と、前記レシピ記憶手段から処理手順を読み出し、この処理手順に対応した検査基準を記述した検査基準ファイルを生成する検査基準生成手段(16,191,192,A1-A9,B3,C1-C9,D3,E4;16,197;71,741,742)と、前記検査基準生成手段によって生成された検査基準ファイルを記憶する検査基準記憶手段(196;746)と、前記レシピ記憶手段に記憶されたレシピに従う制御動作を実行する制御手段(16,190,B2,D2,E2)と、前記制御手段による制御動作を記録する制御動作記録手段(16,191,B4;71,741)と、前記制御動作記録手段によって記録された制御動作と、前記検査基準記憶手段に記憶された検査基準ファイルに記述された検査基準とを照合することにより、前記制御動作の適否を判定する制御動作判定手段(16,191,B6-B8;71,741)とを含み、前記レシピ記憶手段は、ノズル(N1,N2,N3)から基板に対して処理流体を吐出させる処理手順を含むレシピを記憶することができるものであって、ノズル(N1,N2,N3)からの処理流体の吐出および停止に関する記述を含み、かつ、複数のステップを含むレシピを記憶することができるものであり、前記検査基準生成手段は、ノズルからの処理流体吐出制御に関する検査を行うための検査基準を含む検査基準ファイルを生成するものであって、ステップ毎の制御検査区間を設定する制御検査区間設定手段(16,191,A5,A6;16,197;71,741)と、前記制御検査区間中における前記ノズルの吐出指示状態または停止指示状態を記述した制御合格基準を生成する制御合格基準生成手段(16,191,A7;16,197;71,741)とを含み、前記制御動作判定手段は、前記制御検査区間における前記制御手段の前記ノズルに関する制御動作と前記制御合格基準とを照合するものであり、前記制御検査区間設定手段は、ステップ開始から第１所定時間(T1)経過後、当該ステップ終了より第２所定時間(T2)前までの期間を当該ステップの制御検査区間として設定するものである、基板処理装置である。なお、括弧内の英数字は後述の実施形態における対応構成要素等を表すが、特許請求の範囲を実施形態に限定する趣旨ではない。以下、この項において同じ。
【００１３】
この構成によれば、レシピに応じた検査基準（制御動作検査基準）を記述した検査基準ファイルが生成される。この検査基準ファイルに記述された検査基準に照らして、制御手段の制御動作の妥当性が判定される。これにより、制御手段がレシピの記述に従って妥当な制御動作を行っているかどうかを検査できるから、制御動作の不具合を確実に見つけることができる。しかも、レシピに応じた検査基準の抽出が検査基準生成手段によって行われ、その抽出された検査基準と制御動作との照合が制御動作判定手段によって行われるから、検査に要する時間および労力を大幅に削減することができる。
【００１４】
前記制御動作記録手段は、前記制御手段による制御動作を制御動作記憶手段(194;744)に記録するものであってもよい。
前記レシピ記憶手段、検査基準記憶手段および制御動作記憶手段は、個別の記憶媒体(19,74)で構成されてもよいし、同一記憶媒体(19)の異なる記憶領域(193,196,194)を用いて構成されてもよい。
【００１５】
前記レシピ記憶手段は、ノズル(N1,N2,N3)から基板に対して処理流体を吐出させる処理手順を含むレシピを記憶することができるものであり、前記検査基準生成手段は、ノズルからの処理流体吐出制御に関する検査を行うための検査基準を含む検査基準ファイルを生成するものであるので、ノズルからの処理流体吐出制御に関する検査を自動で行える。
【００１６】
ノズルは、処理流体を吐出する吐出部(11,12,13)と、流体の流通路(31,32,33)を開閉するバルブ(21,22,23)とを含む。複数の流通路が一つの吐出部へと合流し、各流通路に個別にバルブが設けられる場合、個々のバルブと共通の吐出部とが個々のノズルを形成しているとみなすことができる。処理流体は、気体（処理ガス）であってもよいし、液体（処理液）であってもよい。処理ガスの例は、窒素ガス等の不活性ガス、フッ酸蒸気等の腐食性ガスを含む。処理液の例は、洗浄液、エッチング液、ポリマー除去液、レジスト剥離液、リンス液を含む。洗浄液とは、基板表面の異物を除去する薬液であり、アンモニア過酸化水素水や塩酸過酸化水素水などが該当する。エッチング液とは、基板表面の薄膜を除去する薬液であり、フッ酸、塩酸、硫酸等が該当する。ポリマーとは、ドライエッチングやイオン注入のマスクとして用いられたフォトレジストから生じた変質物（レジスト残渣）である。このポリマーを除去するための薬液がポリマー除去液であり、有機アルカリ液を含む液体、有機酸を含む液体、無機酸を含む液体、フッ化アンモン系物質を含む液体などで構成される。レジスト剥離液は、たとえば、硫酸と過酸化水素水との混合液からなり、基板表面のレジスト（たとえばドライエッチングやイオン注入のマスクとして使用された後のレジスト）を剥離するために用いられる。
【００１７】
前記基板処理装置は、基板保持回転機構(1)を備えていてもよい。そして、前記ノズルは、基板保持回転機構によって保持されている基板に対して処理流体を供給するものであってもよい。基板保持回転機構は、基板（典型的には１枚の基板）を保持して回転させるものである。基板保持回転機構は、たとえば、鉛直軸線周りに回転可能な回転軸(5)と、回転軸の上端に水平に固定されたスピンベース(6)と、スピンベースに備えられた基板保持機構(8)と、回転軸を回転駆動する回転駆動機構(7:たとえば電動モータ)とを含む。基板保持機構は、基板の下面を吸引して保持する吸引保持機構（いわゆるバキュームチャック）であってもよいし、基板の端面に当接する保持部材によって基板を握持（挟持）するもの（いわゆるメカニカルチャック）であってもよい。
【００１９】
請求項１の発明では、ステップ毎の制御検査区間が設定され、当該制御検査区間におけるノズルの吐出指示状態または停止指示状態が制御合格基準として記述される。制御動作判定手段は、制御手段の前記ノズルに関する制御動作（制御動作記録手段によって記録された動作）が制御合格基準に適合するか否かを判定する。こうして、各ステップにおけるノズルの吐出／停止制御の妥当性が自動判定される。
【００２０】
レシピに含まれる複数のステップには、たとえば、実行順に識別情報（たとえばステップ番号）が付される。この場合、制御手段は、その識別情報の順序に従って、各ステップの記述に応じた制御動作を実行する。制御動作記録手段は、制御手段の制御動作をステップの識別情報と関連づけて時系列に従って記録することが好ましい。これにより、制御動作判定手段は、ステップの識別情報に基づいて、各ステップに対応した制御検査基準と、当該ステップで実行された制御動作とを照合することができる。これにより、レシピに従う制御動作が行われたか否かを検査することができる。
【００２１】
この発明の一実施形態では、前記レシピ記憶手段は、複数のノズル(N1,N2,N3)からの処理流体の吐出および停止に関する記述を含み、かつ、複数のステップを含むレシピを記憶することができるものであり、前記検査基準生成手段は、ステップ毎の制御検査区間を設定する制御検査区間設定手段(16,191,A5,A6;16,197;71,741)と、前記制御検査区間中における前記複数のノズルの吐出指示状態または停止指示状態をそれぞれ記述した制御合格基準を生成する制御合格基準生成手段(16,191,A7;16,197;71,741)とを含み、前記制御動作判定手段は、前記制御検査区間における前記制御手段の前記複数のノズルに関する制御動作と前記制御合格基準とを照合するものである。
【００２２】
この構成により、複数のノズルに関する制御動作を検査することができる。具体的には、各制御検査区間に対して、複数のノズルの吐出指示状態または吐出停止状態が、レシピに応じて制御合格基準に記述される。制御動作判定手段は、制御手段の前記複数のノズルに関する制御動作（制御動作記録手段によって記録された動作）が制御合格基準に適合するか否かを判定する。こうして、各ステップにおける複数のノズルの吐出／停止制御の妥当性が自動判定される。
【００２３】
請求項１の発明では、前記制御検査区間設定手段は、ステップ開始から第１所定時間(T1)経過後、当該ステップ終了より第２所定時間(T2)前までの期間を当該ステップの制御検査区間として設定する。
たとえば、第１ステップにおいて、特定のノズルから処理流体の吐出を開始させ、次の第２ステップにおいて当該ノズルからの処理流体の吐出を停止させる場合を想定する。この場合、制御手段が本来的に有する制御動作の遅れや、制御動作データの収集または記録のタイミングずれ等の影響のために、第１ステップにおける処理流体の吐出指示に遅れが生じるおそれがある。また、制御動作データの収集または記録のタイミングおよび方法によっては、第１ステップから第２ステップへの移行が記録されるタイミングよりも、処理流体吐出停止指示が記録されるタイミングが早くなるかもしれない。すなわち、ステップが移行する前後の期間に記録された制御動作は、その信頼性が低い。そこで、ステップ開始から第１所定時間経過後、当該ステップ終了より第２所定時間前までの期間を当該ステップの制御検査区間として設定することによって、信頼性の高い情報（制御動作の記録）に基づいて、制御動作の妥当性を適正に判定することができる。
【００２４】
請求項２記載の発明は、前記制御手段による制御によって基板処理装置が実行した装置動作を記録する装置動作記録手段(16,192,D4,E5;71,742)と、前記装置動作記録手段によって記録された装置動作と、前記検査基準記憶手段に記憶された検査基準ファイルに記述された検査基準とを照合することにより、前記基板処理装置の装置動作の適否を判定する装置動作判定手段(16,192,D6-D8,E7-E9;71,742)とをさらに含む、請求項１に記載の基板処理装置である。
【００２５】
また、請求項３記載の発明は、基板の処理手順を記述したレシピを記憶するレシピ記憶手段(193)と、前記レシピ記憶手段から処理手順を読み出し、この処理手順に対応した検査基準を記述した検査基準ファイルを生成する検査基準生成手段(16,192,C1-C9,D3,E4;16,197;71,742)と、前記検査基準生成手段によって生成された検査基準ファイルを記憶する検査基準記憶手段(196;746)と、前記レシピ記憶手段に記憶されたレシピに従って基板処理装置によって実行された装置動作を記録する装置動作記録手段(16,192,D4,E5;71,742)と、前記装置動作記録手段によって記録された装置動作と、前記検査基準記憶手段に記憶された検査基準ファイルに記述された検査基準とを照合することにより、前記基板処理装置の装置動作の適否を判定する装置動作判定手段(16,192,D6-D8,E7-E9;71,742)とを含み、前記レシピ記憶手段は、ノズル(N1,N2,N3)から基板に対して処理流体を吐出させる処理手順を含むレシピを記憶することができるものであって、ノズル(N1,N2,N3)からの処理流体の吐出および停止に関する記述を含み、かつ、複数のステップを含むレシピを記憶することができるものであり、前記検査基準生成手段は、ノズルからの処理流体吐出動作に関する検査を行うための検査基準を含む検査基準ファイルを生成するものであって、ステップ毎の装置検査区間を設定する装置検査区間設定手段(16,192,C5,C6;16,197;71,742)と、前記装置検査区間中における前記ノズルの吐出状態または停止状態を記述した装置合格基準を生成する装置合格基準生成手段(16,192,C7;16,197;71,742)とを含み、前記装置動作判定手段は、前記装置検査区間における前記ノズルに関する装置動作と前記装置合格基準とを照合するものであり、前記装置検査区間設定手段は、ステップ開始から第３所定時間(T3)経過後、当該ステップ終了より第４所定時間(T4)前までの期間を当該ステップの装置検査区間として設定するものである、基板処理装置である。
【００２６】
請求項２または３の発明によれば、基板処理装置の実際の動作がレシピの記述に適合するか否かを自動的に検査することができる。すなわち、基板処理装置の動作が記録され、その記録された装置動作と、レシピから抽出された検査基準とが照合される。これにより、基板処理装置の実際の動作の妥当性が自動で検査される。よって、誤りや漏れを生じることなく、確実に基板処理装置の動作を検査できる。
【００２７】
前記装置動作記録手段は、前記基板処理装置によって実行された装置動作を装置動作記憶手段(195;745)に記録するものであってもよい。
前記レシピ記憶手段、検査基準記憶手段および装置動作記憶手段は、個別の記憶媒体(19,74)で構成されてもよいし、同一記憶媒体(19)の異なる記憶領域(193,196,195)を用いて構成されてもよい。
【００２８】
また、装置動作の妥当性は、基板処理と並行して検査してもよい。そして、装置動作の不具合が発見されたときには、所定の装置異常処理を行うこととしてもよい。装置異常処理は、たとえば、使用者に対して異常発生を報知する処理を含んでいてもよい。これにより、たとえば、使用者は、すみやかに基板処理を中止することができる。したがって、装置動作異常に起因して処理が不良となる基板の発生を抑制できる。また、当該装置異常が生じたときに処理された基板に対して、その後の処理工程を省くことができる。これにより、無駄な後工程が実行されることによる生産性の低下を抑制できる。
【００２９】
また、装置動作の妥当性が検査されるので、基板処理に不具合が生じたときに、その不具合が不適切なレシピに起因するのか、装置動作の不具合（たとえば部品の経年劣化）に起因するのかを、ただちに判断することができる。これにより、問題解決までの時間を短縮することができるので、基板処理の生産性を向上することができる。
請求項２または３の発明では、前記レシピ記憶手段は、ノズル(N1,N2,N3)から基板に対して処理流体を吐出させる処理手順を含むレシピを記憶することができるものであり、前記検査基準生成手段は、ノズルからの処理流体吐出動作に関する検査を行うための検査基準を含む検査基準ファイルを生成するものであるので、ノズルからの処理流体吐出動作に関する検査を自動で行える。
【００３０】
さらに、請求項３の発明では、前記レシピ記憶手段は、ノズル(N1,N2,N3)からの処理流体の吐出および停止に関する記述を含み、かつ、複数のステップを含むレシピを記憶することができるものであり、前記検査基準生成手段は、ステップ毎の装置検査区間を設定する装置検査区間設定手段(16,192,C5,C6;16,197;71,742)と、前記装置検査区間中における前記ノズルの吐出状態または停止状態を記述した装置合格基準を生成する装置合格基準生成手段(16,192,C7;16,197;71,742)とを含み、前記装置動作判定手段は、前記装置検査区間における前記ノズルに関する装置動作と前記装置合格基準とを照合するものである。
【００３１】
この構成により、ステップ毎の装置検査区間が設定され、当該装置検査区間におけるノズルの吐出状態または停止状態が装置合格基準として記述される。装置動作判定手段は、前記ノズルに関する装置動作（装置動作記録手段によって記録された動作）が装置合格基準に適合するか否かを判定する。こうして、各ステップにおけるノズルの吐出／停止動作の妥当性が自動判定される。
【００３２】
レシピに含まれる複数のステップには、たとえば、実行順に識別情報（たとえばステップ番号）が付される。この場合、制御手段は、その識別情報の順序に従って、各ステップの記述に応じた制御動作を実行する。装置動作記録手段は、装置の実際の動作をステップの識別情報と関連づけて時系列に従って記録することが好ましい。これにより、装置動作判定手段は、ステップの識別情報に基づいて、各ステップに対応した装置検査基準と、当該ステップで実行された装置動作とを照合することができる。これにより、レシピに従う装置動作が行われたか否かを検査することができる。
【００３３】
この発明の一実施形態では、前記レシピ記憶手段は、複数のノズル(N1,N2,N3)からの処理流体の吐出および停止に関する記述を含み、かつ、複数のステップを含むレシピを記憶することができるものであり、前記検査基準生成手段は、ステップ毎の装置検査区間を設定する装置検査区間設定手段(16,192,C5,C6;16,197;71,742)と、前記装置検査区間中における前記複数のノズルの吐出状態または停止状態をそれぞれ記述した装置合格基準を生成する装置合格基準生成手段(16,192,C7;16,197;71,742)とを含み、前記装置動作判定手段は、前記装置検査区間における前記複数のノズルに関する装置動作と前記装置合格基準とを照合するものである。
【００３４】
この構成により、複数のノズルの実際の動作を検査することができる。具体的には、各装置検査区間に対して、複数のノズルの吐出状態または吐出状態が、レシピに応じて装置合格基準に記述される。装置動作判定手段は、前記複数のノズルに関する装置動作（装置動作記録手段によって記録された動作）が装置合格基準に適合するか否かを判定する。こうして、各ステップにおける複数のノズルの吐出／停止動作の妥当性が自動判定される。
【００３５】
請求項３の発明では、前記装置検査区間設定手段は、ステップ開始から第３所定時間(T3)経過後、当該ステップ終了より第４所定時間(T4)前までの期間を当該ステップの装置検査区間として設定する。
たとえば、第１ステップにおいて、特定のノズルから処理流体の吐出を開始させ、次の第２ステップにおいて当該ノズルからの処理流体の吐出を停止させる場合を想定する。この場合、制御手段が本来的に有する制御動作の遅れや、装置動作データの収集または記録のタイミングずれ等の影響のために、第１ステップにおける処理流体の吐出開始に遅れが生じるおそれがある。さらに、処理流体の吐出を開始しても、目標流量に達するには或る程度の時間がかかる。また、装置動作データの収集または記録のタイミングによっては、第１ステップから第２ステップへの移行が記録されるタイミングよりも、処理流体吐出停止が記録されるタイミングが早くなるかもしれない。さらに、たとえば処理流体吐出開始から設定時間経過後に処理流体の吐出を停止しても、処理流体の流量が零になるまでには或る程度の時間がかかる。したがって、ステップが移行する前後の期間に記録された装置動作は、装置動作の適否を確認する目的に使用するには、その信頼性が低い。そこで、ステップ開始から第３所定時間経過後、当該ステップ終了より第４所定時間前までの期間を当該ステップの装置検査区間として設定することによって、信頼性の高い情報（装置動作の記録）に基づいて、装置動作の妥当性を適正に判定することができる。
【００３６】
請求項４記載の発明は、基板処理装置を検査するための検査装置であって、前記基板処理装置は、基板の処理手順を記述したレシピを記憶するレシピ記憶手段と、前記レシピ記憶手段に記憶されたレシピに従う制御動作を実行する制御手段とを含み、前記レシピ記憶手段から処理手順を読み出し、この処理手順に対応した検査基準を記述した検査基準ファイルを生成する検査基準生成手段が、前記基板処理装置または前記検査装置に備えられ、前記検査装置は、前記制御手段による制御動作を記録する制御動作記録手段と、前記検査基準生成手段によって生成された検査基準ファイルを記憶する検査基準記憶手段と、前記制御動作記録手段によって記録された制御動作と、前記検査基準記憶手段に記憶された検査基準ファイルに記述された検査基準とを照合することにより、前記制御動作の適否を判定する制御動作判定手段とを含み、前記レシピ記憶手段は、ノズルから基板に対して処理流体を吐出させる処理手順を含むレシピを記憶することができるものであって、ノズルからの処理流体の吐出および停止に関する記述を含み、かつ、複数のステップを含むレシピを記憶することができるものであり、前記検査基準生成手段は、ノズルからの処理流体吐出制御に関する検査を行うための検査基準を含む検査基準ファイルを生成するものであって、ステップ毎の制御検査区間を設定する制御検査区間設定手段と、前記制御検査区間中における前記ノズルの吐出指示状態または停止指示状態を記述した制御合格基準を生成する制御合格基準生成手段とを含み、前記制御動作判定手段は、前記制御検査区間における前記制御手段の前記ノズルに関する制御動作と前記制御合格基準とを照合するものであり、前記制御検査区間設定手段は、ステップ開始から第１所定時間経過後、当該ステップ終了より第２所定時間前までの期間を当該ステップの制御検査区間として設定するものである、基板処理装置のための検査装置である。この発明により、基板処理装置の制御動作の妥当性（レシピに適合するか否か）を確実にかつ短時間に検査することができる、基板処理装置のための検査装置が提供される。
【００４０】
請求項５記載の発明は、前記制御手段による制御によって基板処理装置が実行した装置動作を記録する装置動作記録手段と、前記装置動作記録手段によって記録された装置動作と、前記検査基準記憶手段に記憶された検査基準ファイルに記述された検査基準とを照合することにより、前記基板処理装置の装置動作の適否を判定する装置動作判定手段とをさらに含む、請求項４に記載の基板処理装置のための検査装置である。
【００４１】
請求項６記載の発明は、基板処理装置を検査するための検査装置であって、前記基板処理装置は、基板の処理手順を記述したレシピを記憶するレシピ記憶手段を含み、前記レシピ記憶手段から処理手順を読み出し、この処理手順に対応した検査基準を記述した検査基準ファイルを生成する検査基準生成手段が前記基板処理装置または前記検査装置に設けられ、前記検査装置は、前記レシピ記憶手段に記憶されたレシピに従って基板処理装置によって実行された装置動作を記録する装置動作記録手段と、前記検査基準生成手段によって生成された検査基準ファイルを記憶する検査基準記憶手段と、前記装置動作記録手段によって記録された装置動作と、前記検査基準記憶手段に記憶された検査基準ファイルに記述された検査基準とを照合することにより、前記基板処理装置の装置動作の適否を判定する装置動作判定手段とを含み、前記レシピ記憶手段は、ノズルから基板に対して処理流体を吐出させる処理手順を含むレシピを記憶することができるものであって、ノズルからの処理流体の吐出および停止に関する記述を含み、かつ、複数のステップを含むレシピを記憶することができるものであり、前記検査基準生成手段は、ノズルからの処理流体吐出動作に関する検査を行うための検査基準を含む検査基準ファイルを生成するものであって、ステップ毎の装置検査区間を設定する装置検査区間設定手段と、前記装置検査区間中における前記ノズルの吐出状態または停止状態を記述した装置合格基準を生成する装置合格基準生成手段とを含み、前記装置動作判定手段は、前記装置検査区間における前記ノズルに関する装置動作と前記装置合格基準とを照合するものであり、前記装置検査区間設定手段は、ステップ開始から第３所定時間経過後、当該ステップ終了より第４所定時間前までの期間を当該ステップの装置検査区間として設定するものである、基板処理装置のための検査装置である。この発明により、基板処理装置の実際の処理動作の妥当性（レシピに適合するか否か）を自動的に検査することができる、基板処理装置のための検査装置が提供される。
【００４５】
前記検査装置を構成する各手段は、基板処理装置に備えられたコンピュータによって実現されてもよいし、基板処理装置とは別に備えられたコンピュータによって実現されてもよい。つまり、検査装置は、基板処理装置に内蔵することもでき、基板処理装置に外付けすることもできる。また、検査装置の一部の構成が基板処理装置に備えられ、別の一部の構成が基板処理装置に外付けされてもよい。
【００４６】
請求項７記載の発明は、コンピュータを請求項４〜６のいずれか一項に記載の検査装置として機能させるためのコンピュータプログラムである。この発明により、コンピュータを上記のような検査装置として機能させるためのコンピュータプログラムが提供される。
請求項８記載の発明は、請求項７記載のコンピュータプログラムを記録したコンピュータ読取可能な記録媒体(19,74,80,90)である。記録媒体の例としては、固体メモリ、データ記録ディスクなどが挙げられ、固定メディアおよびリムーバブルメディアのいずれも該当する。固体メモリとしては、一般的なメモリであるＲＯＭおよびＲＡＭのほか、フラッシュデバイスを例示できる。フラッシュデバイスとしては、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリ、メモリカード（ＳＤメモリカードなど）を例示できる。データ記録ディスクは、固定ディスク（ハードディスク装置等）であってもよいし、リムーバブルディスクであってもよい。リムーバブルディスクの例は、ＣＤ−ＲＯＭディスク、ＤＶＤ−ＲＯＭディスクなどである。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】この発明の一実施形態に係る基板処理装置の構成を示す図である。
【図２】前記基板処理装置の電気的構成を説明するためのブロック図である。
【図３】記憶装置に登録することができるレシピの一例を示す図である。
【図４】制御動作ログメモリに記録される制御動作ログデータの一例を示す図である。
【図５】装置動作ログメモリに記録される装置動作ログデータの一例を示す図である。
【図６Ａ】制御動作を検査するための制御検査基準の例を説明するための図である。
【図６Ｂ】制御動作を検査するための制御検査基準の例を説明するための図である。
【図６Ｃ】制御動作を検査するための制御検査基準の例を説明するための図である。
【図７】制御検査基準の他の例を説明するための図であり、制御動作の一例が示されている。
【図８】図７の例による制御検査区間設定のより具体的な例を示す図である。
【図９】図９Ａは図８の処理におけるステップ番号「３」のための制御検査基準の例を示す。図９Ｂは図８の処理におけるステップ番号「４」のための制御検査基準の例を示す。
【図１０】制御検査基準自動生成動作を説明するためのフローチャートである。
【図１１】制御動作検査機能を説明するためのフローチャートである。
【図１２】制御動作ログデータおよび装置動作ログデータの一例をグラフ化して示す図である。
【図１３】図１３Ａは図１２の処理におけるステップ番号「２」のための装置検査基準の例を示す。図１３Ｂは図１２の処理におけるステップ番号「３」のための装置検査基準の例を示す。
【図１４】装置検査基準自動生成動作を説明するためのフローチャートである。
【図１５】装置動作検査機能の一例を説明するためのフローチャートである。
【図１６】装置動作検査機能の他の例を説明するためのフローチャートである。
【図１７】この発明の他の実施形態に係る基板処理装置の構成を説明するためのブロック図である。
【図１８】この発明のさらに他の実施形態に係る基板処理装置の構成を説明するためのブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００４８】
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置の構成を示す図である。この基板処理装置は、半導体ウエハ等の基板Ｗを一枚ずつ処理する枚葉型の装置である。この基板処理装置は、スピンチャック１と、複数（この実施形態では３個）の処理液ノズルＮ１，Ｎ２，Ｎ３と、処理カップ２とを備えている。
【００４９】
スピンチャック１は、１枚の基板Ｗを水平姿勢で保持して回転する基板保持回転機構である。より具体的には、スピンチャック１は、鉛直方向に沿って延びる回転軸５と、回転軸５の上端に水平姿勢で固定されたスピンベース６と、回転軸５を鉛直軸線周りに回転駆動する回転駆動機構７とを有している。スピンベース６は、たとえば、円盤状に形成されており、その周縁部には、周方向に間隔を開けて複数の保持部材８が設けられている。この複数の保持部材８によって、基板Ｗが握持（挟持）されて保持されるようになっている。この構成により、基板Ｗを水平姿勢で保持し、鉛直軸線周りに回転させることができる。
【００５０】
処理液ノズルＮ１，Ｎ２，Ｎ３は、それぞれ、吐出部１１，１２，１３および処理液バルブ２１，２２，２３を有している。処理液バルブ２１，２２，２３は、それぞれ、処理液流路３１，３２，３３の途中に介装されており、これらの処理液流路３１，３２，３３の先端に吐出部１１，１２，１３が設けられている。処理液バルブ２１，２２，２３を開閉することにより、吐出部１１，１２，１３から処理液を吐出させたり、その吐出を停止させたりすることができる。吐出部１１，１２，１３は、それぞれ、スピンチャック１に保持された基板Ｗに向けて処理液を吐出するように配置されている。
【００５１】
吐出部１１，１２，１３は、固定ノズルの形態を有していてもよいし、基板Ｗの上方で水平方向に移動する移動ノズル（いわゆるスキャンノズル）の形態を有していてもよい。むろん、３つの吐出部１１，１２，１３が同一のノズル形態を有している必要はない。この実施形態では、ノズルＮ２，Ｎ３に対応した吐出部１２，１３は固定ノズルの形態を有しており、ノズルＮ１に対応した吐出部１１はスキャンノズルの形態を有している。吐出部１１は、水平面に沿って揺動可能な揺動アーム３５の揺動端に結合されている。揺動アーム３５の固定端は、鉛直軸線まわりに回転可能な回転軸３６に結合されている。この回転軸３６は、揺動駆動機構３７によって鉛直軸線周りに回転され、かつ、昇降駆動機構３８によって上下動されるようになっている。これにより、揺動アーム３５を水平面に沿って揺動させることができ、かつ、上下動させることができる。その結果、吐出部１１は、スピンチャック１に保持された基板Ｗの表面に沿って移動することができ、かつ、その基板Ｗの上方で上下動することができる。吐出部１１が上限位置および下限位置にあることをそれぞれ検出するために上センサ３９および下センサ４０が備えられている。これらのセンサ３９，４０は、昇降駆動機構３８の作動部の位置を検出するものであってもよい。
【００５２】
処理液ノズルＮ１には、処理液タンク４１に貯留された処理液が、処理液ポンプ５１により汲み出され、処理液流路３１を介して供給されるようになっている。同様に、処理液ノズルＮ２には、処理液タンク４２に貯留された処理液が、処理液ポンプ５２によって汲み出され、処理液流路３２を介して供給されるようになっている。処理液ノズルＮ３には、この実施形態では、リンス液供給源４３からのリンス液が処理液流路３３を介して供給されるようになっている。リンス液は、純水（脱イオン水：ＤＩＷ）であってもよい。
【００５３】
処理カップ２は、スピンチャック１を取り囲む筒状の容器体であり、基板Ｗの処理のための処理液およびそのミストを含む雰囲気の拡散を防ぐ。
回転駆動機構７、揺動駆動機構３７、昇降駆動機構３８および処理液バルブ２１，２２，２３の動作を制御するために、マイクロコンピュータ等を含む制御装置１５が備えられている。制御装置１５には、さらに、処理液流路３１，３２，３３にそれぞれ介装された流量計４６，４７，４８から、流量検出結果を表す信号が入力されている。また、制御装置１５には、前述の上センサ３９および下センサ４０の出力信号が入力されている。
【００５４】
制御装置１５は、予め設定される処理レシピに従って、基板処理装置の構成要素を制御する。処理レシピは、基板処理の処理手順を記述した複数のステップを含む。各ステップには、スピンチャック１の回転速度、処理液吐出すべき処理液ノズル、吐出停止すべき処理液ノズル、その他の制御情報が記述される。
図２は、前記基板処理装置の電気的構成を説明するためのブロック図であり、主として、制御装置１５の構成が示されている。制御装置１５は、コンピュータ１６と、入力装置１７と、表示装置１８と、記憶装置１９と、ハードウェアインタフェース２０とを備えている。
【００５５】
コンピュータ１６は、ＣＰＵを含み、記憶装置１９から必要なプログラムおよびデータを読み込んで、基板処理および基板処理装置の検査のために必要な演算処理および制御処理を実行する。これにより、コンピュータ１６は、本発明における検査基準生成手段（制御検査区間設定手段、制御合格基準生成手段、装置検査区間設定手段、装置合格基準生成手段）、制御手段、制御動作記録手段、制御動作判定手段、装置動作記録手段、および装置動作判定手段として機能することができる。
【００５６】
入力装置１７は、コンピュータ１６に接続されており、操作者によって操作されるキーボード、ポインティングデバイス、タッチパネルその他の入力インタフェースからなる。表示装置１８は、コンピュータ１６に接続されており、入力装置１７とともに操作者に対するインタフェースを提供する。表示装置１８は、たとえば、液晶表示装置等の二次元表示装置からなる。操作者は、表示装置１８の表示を参照しながら入力装置１７を操作することにより、コンピュータ１６に対して、予め作成されたレシピの選択、基板処理の開始、その他の指令を与えることができる。また、操作者は、入力装置１７および表示装置１８を用いて、レシピを作成して登録することもできる。
【００５７】
ハードウェアインタフェース２０は、基板処理装置に備えられた制御対象（構成要素）に対するインタフェースを提供する。すなわち、コンピュータ１６は、ハードウェアインタフェース２０を介して、回転駆動機構７、揺動駆動機構３７、昇降駆動機構３８、処理液ノズルＮ１，Ｎ２，Ｎ３（より具体的にはバルブ２１，２２，２３）などを制御する。また、上センサ３９、下センサ４０、流量計４６〜４８、その他の各種センサ類からの検出信号は、ハードウェアインタフェース２０を介して、制御装置１５に取り込まれるようになっている。図示は省略するが、流量計４６〜４８は、それぞれ下限センサを有している。下限センサは、たとえば、流量値が予め設定された下限流量値以上のときにオンし、流量値が当該下限流量値未満のときにオフするオン／オフ型のセンサである。
【００５８】
コンピュータ１６は、制御対象のハードウェアに対する制御指令をハードウェアインタフェース２０に備えられた制御動作ログメモリ２０ａに書き込む。この書き込まれた制御指令が、それぞれのハードウェアに与えられる。制御動作ログメモリ２０ａには、制御手順のために必要な各種センサ類からの検出信号も書き込まれる。この書き込まれた信号は、コンピュータ１６によって取り込まれ、制御動作のために用いられる。また、基板処理装置に備えられた各種ハードウェアの動作をモニタするために、各種センサ類からの検出信号が、ハードウェアインタフェース２０に備えられた装置動作ログメモリ２０ｂに、時系列に従って書き込まれるようになっている。この書き込まれた検出信号が、コンピュータ１６によって取り込まれ、基板処理装置の動作が監視されるようになっている。制御動作ログメモリ２０ａおよび装置動作ログメモリ２０ｂは、別の記憶媒体で構成されても、同一記憶媒体の異なる記憶領域で構成されてもよい。
【００５９】
制御動作ログメモリ２０ａに書き込まれた制御指令および検出信号（以下、「制御動作ログデータ」という。）は、コンピュータ１６が実行した制御動作の記録である。そこで、コンピュータ１６は、制御動作ログメモリ２０ａに書き込まれた制御動作ログデータを定期的に取得し、制御動作データとして記憶装置１９に書き込む。また、装置動作ログメモリ２０ｂに書き込まれた検出信号（以下、「装置動作ログデータ」という。）は、基板処理装置の実際の動作（装置動作）を表す記録である。そこで、コンピュータ１６は、装置動作ログメモリ２０ｂに書き込まれた装置動作ログデータを定期的に取得し、装置動作データとして記憶装置１９に書き込む。
【００６０】
記憶装置１９は、コンピュータ１６に接続されており、固体メモリ装置、ハードディスク装置その他の記憶装置からなる。記憶装置１９は、基板処理制御プログラムを記憶した記憶領域１９０、制御動作検査プログラムを記憶した記憶領域１９１、装置動作検査プログラムを記憶した記憶領域１９２、レシピを記憶するための記憶領域１９３（レシピ記憶手段）、前記制御動作ログデータを記憶するための記憶領域１９４、前記装置動作ログデータを記憶するための記憶領域１９５、および後述の検査基準ファイルを記憶するための記憶領域１９６（検査基準記憶手段）を有している。記憶領域１９３には予めレシピを登録しておくことができ、登録されたレシピは、入力装置１７の操作によって呼び出して、コンピュータ１６に実行させることができる。
【００６１】
基板処理制御プログラムは、記憶領域１９３に記憶されたレシピに従って基板処理装置の各部を動作させるためのプログラムである。コンピュータ１６は、このプログラムを読み取って実行することにより、レシピに従って基板処理装置の各部の動作を制御する制御手段として機能する。
制御動作検査プログラム（記憶領域１９１）は、レシピに従うコンピュータ１６の制御動作の妥当性を検査するためのプログラムである。コンピュータ１６は、このプログラムを読み取って実行することにより、記憶領域１９３に記憶されたレシピと、記憶領域１９４に記憶された制御動作ログデータとを照合し、これにより、制御動作の妥当性を検査する。この機能を実現するために、コンピュータ１６は、制御動作検査プログラムを実行することによって、記憶領域１９３に記憶されたレシピに対応した制御検査基準を記述した検査基準ファイルを作成して記憶領域１９６に書き込む。制御動作ログメモリ２０ａから制御動作ログデータを定期的に取得して記憶領域１９４に書き込む機能も、制御動作検査プログラムを実行するコンピュータ１６の機能の一つである。
【００６２】
装置動作検査プログラム（記憶領域１９２）は、レシピに従う基板処理装置のハードウェア動作（装置動作）の妥当性を検査するためのプログラムである。コンピュータ１６は、このプログラムを読み取って実行することにより、記憶領域１９３に記憶されたレシピと、記憶領域１９５に記憶された装置動作ログデータとを照合し、これにより、装置動作（ハードウェア動作）の妥当性を検査する。この機能を実現するために、コンピュータ１６は、装置動作検査プログラムを実行することによって、記憶領域１９３に記憶されたレシピに対応した装置検査基準を記述した検査基準ファイルを作成して記憶領域１９６に書き込む。装置動作ログメモリ２０ｂから装置動作ログデータを定期的に取得して記憶領域１９５に書き込む機能も、装置動作検査プログラムを実行するコンピュータ１６の機能の一つである。
【００６３】
図３は、記憶装置１９の記憶領域１９３に登録することができるレシピの一例を示す。基板処理のためのレシピは、たとえば、使用者が入力装置１７を操作することによって、予め記憶装置１９に登録しておくことができる。記憶装置１９には、複数種類のレシピを登録することができる。使用者は、入力装置１７を操作することによって、登録済みのレシピの一つを選択し、その実行を基板処理装置に対して指示することができる。
【００６４】
レシピは、この実施形態では、「ステップ番号」と、「内容」とを含む。ステップ番号は、処理手順の実行順序を表す識別情報である。内容とは、ステップ番号によって特定されるステップで実行すべき処理手順の記述である。コンピュータ１６は、ステップ番号に従う順序でレシピを読み取り、各ステップの内容を実行する。
図３の例では、ステップ番号「１」の内容は、「スピンベースを１０００ｒｐｍで回転開始」することである。したがって、コンピュータ１６は、回転駆動機構７を制御して、１０００ｒｐｍでスピンチャック１を回転させる。このステップは、スピンチャック１の回転速度が１０００ｒｐｍに達するまで継続される。スピンチャック１の回転速度は、たとえば、回転駆動機構７がモータを含む場合、そのモータの回転速度を検出することによって検出できる。コンピュータ１６は、スピンチャック１の回転速度が１０００ｒｐｍに達すると、次のステップに進む。
【００６５】
ステップ番号「２」の内容は、「スキャンノズルＮ１を上昇」することである。したがって、コンピュータ１６は、昇降駆動機構３８を制御して、吐出部１１（スキャンノズル）を上位置まで上昇させる。このステップは、上センサ３９がスキャンノズルＮ１が上位置に達したことを検出するまで継続される。すなわち、コンピュータ１６は、上センサ３９によって、スキャンノズルＮ１が上位置に達したことが検出されると、次のステップに進む。
【００６６】
ステップ番号「３」の内容は、「ノズルＮ３を吐出開始」させることである。したがって、コンピュータ１６は、処理液バルブ２３を開いて、ノズルＮ３の吐出部１３から処理液（リンス液）を吐出させる。このステップは、たとえば、当該ステップにおいて記述される処理液吐出時間だけ継続される（図３では記述を省略）。コンピュータ１６は、処理液バルブ２３を開いた後、流量計４８の下限センサがオンしてからの時間を計測し、その時間が処理液吐出時間に達すると、次のステップに進む。
【００６７】
ステップ番号「４」の内容は、「ノズルＮ３を吐出停止」させることである。したがって、コンピュータ１６は、処理液バルブ２３を閉じて、ノズルＮ３からの処理液の吐出を停止させる。コンピュータ１６は、処理液バルブ２３を閉じた後、流量計４８の下限センサがオフすると、次のステップに進む。
ステップ番号「５」の内容は、「スピンチャックの回転を停止」することである。したがって、コンピュータ１６は、回転駆動機構７を制御して、スピンチャック１の回転を停止させる。このステップは、スピンチャック１の回転停止が検出されるまで継続される。スピンチャック１の回転停止は、たとえば、回転駆動機構７がモータを含む場合に、このモータの停止を確認することによって検出できる。
【００６８】
図４は、ハードウェアインタフェース２０の制御動作ログメモリ２０ａに記録される制御動作ログデータの一例を示す。この例では、制御動作ログデータは、日時情報と、イベント内容とを含む。すなわち、イベントが生じると、日時情報と当該イベントの内容とを含む制御動作ログデータが生成され、制御動作ログメモリ２０ａに記録される。イベントとは、この例では、コンピュータ１６による制御指令の発行と、オン／オフ型センサによるオン／オフの切り換わりとを含む。コンピュータ１６が制御指令を発行すると、その制御指令の内容が日時情報とともに制御動作ログデータとして制御動作ログメモリ２０ａに書き込まれる。また、オン／オフ型センサによるオン／オフの切り換わりが生じると、当該センサの変化後の状態（オンまたはオフ）と、そのときの日時情報とが制御動作ログデータとして制御動作ログメモリ２０ａに書き込まれる。センサのオン／オフ情報は、コンピュータ１６による制御手順の実行のために用いられる情報である。
【００６９】
オン／オフ型センサには、たとえば、上センサ３９および下センサ４０が該当する。スキャンノズルＮ１が上位置まで上昇すると上センサ３９はオフからオンに変化する。また、スキャンノズルＮ１が下位置まで下降すると下センサ４０はオフからオンに変化する。さらに、流量計４６〜４８に、前述の下限センサが備えられている場合には、この下限センサもオン／オフ型センサに該当する。
【００７０】
たとえば、図４の例では、コンピュータ１６がスキャンノズルＮ１の上昇指令（図３のステップ「２」）を発行すると、この指令が、制御動作ログメモリ２０ａに、その発行日時情報とともに記録される。この指令に応じて昇降駆動機構３８が作動し、スキャンノズルＮ１が上位置に達すると、上センサ３９がオフからオンに切り換わり、この信号がハードウェアインタフェース２０に入力される。そして、制御動作ログメモリ２０ａに、イベント内容として「上センサオン」が記録され、さらに、上センサ３９がオン状態となった日時情報が記録される。
【００７１】
上センサ３９がオンになると、コンピュータ１６は、次のステップ（図３のステップ「３」）を実行する。すなわち、コンピュータ１６は、ノズルＮ３からの処理液吐出を指令する。この指令が、制御動作ログメモリ２０ａに、その発行日時情報とともに記録される。そして、この指令に応じて処理液バルブ２３が開かれることになる。処理液バルブ２３が開かれて処理液流路３３に処理液（リンス液）が流通し始めると、処理液流量は流量計４８に予め設定された下限流量値に達する。これにより、下限センサがオンすると、その信号がハードウェアインタフェース２０に入力される。そして、制御動作ログメモリ２０ａに、イベント内容として「下限センサオン」が記録され、さらに下限センサがオン状態となった日時情報が記録される。
【００７２】
その後、レシピに記述された処理液吐出時間が経過すると、コンピュータ１６は、ノズルＮ３からの処理液吐出を停止するために、処理液バルブ２３を閉じるための指令を発行する。この指令が、制御動作ログメモリ２０ａに、その発行日時情報とともに記録される。そして、この指令に応じて、処理液バルブ２３が閉じられると、処理液流路３３を流通する処理液流量が減少し、流量計４８に設定された下限流量値を下回る。これにより、下限センサがオフ状態となると、その信号がハードウェアインタフェース２０に入力される。そして、制御動作ログメモリ２０ａに、イベント内容として「下限センサオフ」が記録され、さらに、下限センサがオフ状態となった日時情報が記録される。
【００７３】
同様にして、他の制御指令、およびレシピのステップ遷移のためのトリガとなるセンサ情報等が制御動作ログメモリ２０ａに記録される。
図５は、装置動作ログメモリ２０ｂに記録される装置動作ログデータの記録態様の一例を示す図である。この例では、所定の記録周期（たとえば１秒）ごとに、実行中のステップ番号と、処理液ノズルＮ３に対応した流量計４８が検出する流量値とを時系列に従って記録した例が示されている。すなわち、ステップ番号と流量値とが時系列に従って記録されている。より具体的には、ステップ「３」の開始によって流量が増加し、所定時間の経過後には、流量が減少していく。そして、流量がゼロになった時点で、ステップ「４」に遷移している。
【００７４】
図６Ａ、図６Ｂおよび図６Ｃは、コンピュータ１６が実行する制御動作を検査するための検査基準（制御検査基準）の例を説明するための図である。コンピュータ１６は、制御動作検査プログラム（記憶領域１９１）を実行することによって、レシピに対応した制御検査基準を作成し、この制御検査基準を記述した検査基準ファイルを生成する。この検査基準ファイルが、記憶装置１９の記憶領域１９６に格納される。図６Ａでは、処理液ノズルＮ３からの処理液吐出制御に関する制御検査基準の作成例が示されている。
【００７５】
図３に示す処理レシピを実行する場合、コンピュータ１６は、ステップ番号「３」が実行される期間を「検査区間」（制御検査区間）とする。すなわち、「検査区間開始条件」（制御検査区間開始条件）は、「ステップ番号が３であること」である。また、「検査区間終了条件」（制御検査区間終了条件）は、「ステップ番号が３以外であること」である。そして、「合格基準」（制御合格基準）は、「ノズルＮ３に吐出指示が出ていること」および「他のノズルに吐出指示が出ていないこと」を含む。コンピュータ１６は、処理レシピの内容を読み取って上記のような検査区間開始条件、検査区間終了条件および合格基準を作成し、これらを含む検査基準ファイルを作成する。コンピュータ１６は、その作成した検査基準ファイルを記憶装置１９の記憶領域１９６に登録する。
【００７６】
コンピュータ１６は、制御動作ログデータ（記憶領域１９４）および装置動作ログデータ（記憶領域１９５）と検査基準ファイル（記憶領域１９６）とを照合することによって、制御動作の妥当性を判定する。具体的には、コンピュータ１６は、装置動作ログデータ（図５参照）に基づき、ステップ番号の時間変化を調べる。これにより、図６Ｂおよび図６Ｃの各上段に示すステップ番号の時間変化が把握される。さらに、コンピュータ１６は、制御動作ログデータ（図４参照）に基づき、ステップ「３」が開始された時刻からステップ「３」が終了する時刻までの間（検査区間）における処理液ノズルＮ３および他のノズルに対する制御指令を調べる。これにより、図６Ｂおよび図６Ｃの各下段に示すように、処理液ノズルＮ３に関する吐出指示の時間変化が把握される。他の処理液ノズルに関する吐出指示の時間変化も同様にして把握される。コンピュータ１６は、前記検査区間において、処理液ノズルＮ３から処理液を吐出させるための制御指令が発生されており、かつ、他のノズルから処理液を吐出させるための制御指令が発生されていなければ、合格基準（制御合格基準）を満たすと判定し、さもなければ当該合格基準を満たしていないと判定する。
【００７７】
図６Ｂは合格基準を満たす例であり、図６Ｃは合格基準を満たさない例である。図６Ｃの例では、検査区間の初期において、処理液ノズルＮ３から処理液を吐出すべき旨の指令が発生されていない。
図７は、検査基準（制御検査基準）の他の例を説明するための図であり、制御動作の一例が示されている。図７の上段には装置動作ログデータから把握されるステップ番号の時間変化を示し、図７の下段には制御動作ログデータから把握される処理液ノズルＮ３に対する吐出指示の時間変化を示す。
【００７８】
ハードウェアインタフェース２０の制御動作ログメモリ２０ａへの制御指令等の書き込みは、一定の時間間隔（たとえば１０ミリ秒間隔）で実行される。また、制御動作ログメモリ２０ａへのステップ番号の書き込み（更新）は、別の一定の時間間隔（たとえば１００ミリ秒間隔）で実行される。そのため、ステップ番号の変化と制御指令発行のタイミングとは必ずしも一致しない。そこで、図７の例では、各ステップの検査区間（制御検査区間）を、当該ステップの継続時間よりも短く設定している。具体的には、ステップ番号「３」の検査区間の開始条件は「ステップ３の開始から第１所定時間Ｔ１だけ経過したこと」であり、終了条件は「ステップ３の終了よりも第２所定時間Ｔ２だけ前であること」である。これにより、制御装置１５が本来的に有する制御動作（より具体的にはハードウェアインタフェース２０への制御動作ログデータの書き込み）の遅れまたはタイミングずれの影響等を排除して、妥当な検査区間を設定することができる。その結果、より適正に制御動作を検査することができる。前記第１所定時間Ｔ１は、たとえば、０．２秒であってもよい。また、前記第２所定時間Ｔ２は、たとえば、０．３秒であってもよい。
【００７９】
図８は、図７の例による検査区間設定のより具体的な例を示す。図８の上段には装置動作ログデータから把握されるステップ番号の時間変化を示し、図８の中段には制御動作ログデータから把握される処理液ノズルＮ１に対する吐出指示の時間変化を示し、図８の下段には制御動作ログデータから把握される処理液ノズルＮ３に対する吐出指示の時間変化を示す。この図８には、ステップ番号「２」において処理液ノズルＮ１から処理液を吐出し、ステップ番号「３」において処理液ノズルＮ３から処理液を吐出することを記述した処理レシピに対応する吐出指示（制御動作ログデータ）が示されている。
【００８０】
ステップ番号が「１」から「２」に変化するタイミングよりも少し遅れて処理液ノズルＮ１から処理液を吐出させるための制御指令が発行されている。また、ステップ番号が「２」から「３」に変化するタイミングよりも少し前に、処理液ノズルＮ１からの処理液吐出を停止させるための制御指令が発行されている。さらに、ステップ番号が「２」から「３」に変化するタイミングより少し遅れて処理液ノズルＮ３からの処理液吐出を指示する制御指令が発行されている。さらに、ステップ番号が「３」から「４」に変化するよりも少し前のタイミングで処理液ノズルＮ３からの処理液吐出を停止させるための制御指令が発行されている。
【００８１】
図９Ａは、図８の処理におけるステップ番号「２」のためにコンピュータ１６が自動生成する検査基準（制御検査基準）の例を示す。検査区間開始条件は「ステップ番号が２になってから０．２秒後」である。検査区間終了条件は「ステップ番号が２でなくなる０．３秒前」である。したがって、ステップ番号が「２」になった後第１所定時間Ｔ１（たとえば０．２秒）経過した時点から、ステップ番号が「２」でなくなる（「２」から「３」に変わる）よりも第２所定時間Ｔ２（たとえば０．３秒）前の時点までが、制御検査区間（図８の「検査区間１」）として設定されることになる。制御合格基準は、「処理液ノズルＮ１への吐出指示が出ており、かつ、処理液ノズルＮ２，Ｎ３への吐出指示が出ていないこと（吐出停止状態を保っていること）」である。このような内容の検査基準が作成され、検査基準ファイルとして、記憶装置１９（記憶領域１９６）に登録される。コンピュータ１６は、前述のように設定される「検査区間１」において当該合格条件を満たすかどうかを判断する。
【００８２】
図９Ｂは、図８の処理におけるステップ番号「３」のためにコンピュータ１６が自動生成する検査基準（制御検査基準）の例を示す。検査区間開始条件は「ステップ番号が３になってから０．２秒後」である。検査区間終了条件は「ステップ番号が３でなくなる０．３秒前」である。したがって、ステップ番号が「３」になった後第１所定時間Ｔ１（たとえば０．２秒）経過した時点から、ステップ番号が「３」でなくなる（「３」から「４」に変わる）よりも第２所定時間Ｔ２（たとえば０．３秒）前の時点までが、制御検査区間（図８の「検査区間２」）として設定されることになる。合格基準は、「処理液ノズルＮ１，Ｎ２への吐出指示が出ておらず（吐出停止状態を保っており）、かつ、処理液ノズルＮ３への吐出指示が出ていること」である。このような内容の検査基準が作成され、検査基準ファイルとして、記憶装置１９（記憶領域１９６）に登録される。コンピュータ１６は、前述のように設定される「検査区間２」において当該合格条件を満たすかどうかを判断する。
【００８３】
前述のとおり、処理液を吐出するステップは、流量計の下限センサがオフすることをトリガとして終了する。そのため、処理液吐出指令が発行されてから、次のステップに移行するまでに遅れ時間が生じる。そこで、検査区間の終了条件をステップの変化よりも早めておくことにより、制御動作の妥当性をより適正に検査できる。
図１０は、コンピュータ１６が制御動作検査プログラムを実行することによって実現される機能の一つである制御検査基準自動生成動作を説明するためのフローチャートである。操作者は、入力装置１７の操作によって、検査対象の処理レシピを選択する（ステップＡ１）。また、操作者は、前記第１所定時間Ｔ１および第２所定時間Ｔ２を設定する（ステップＡ１）。ただし、これらの時間Ｔ１，Ｔ２は、制御動作検査プログラムにおいて予め設定しておき、操作者による入力を要しないようにしてもよい。
【００８４】
コンピュータ１６は、検査対象として選択された処理レシピを記憶装置１９（記憶領域１９３）から読み込む（ステップＡ２）。さらに、コンピュータ１６は、当該基板処理装置に備えられている全ての処理液ノズルの情報を取得する（ステップＡ３）。
たとえば、基板処理制御プログラム（記憶領域１９０）は、最大でｎ個の処理液ノズルの制御に対応しており、それらｎ個の処理液ノズルに異なるノズル番号を付して識別するように設計されていてもよい。この場合、基板処理装置に実際に備えられている処理液ノズルに対して異なるノズル番号が割り当てられ、基板処理制御プログラムは、ノズル番号に基づいて各処理液ノズルの制御を実行する。基板処理装置が必ずしもｎ個のノズルを備えているとは限らないから、いずれの処理液ノズルも割り当てられないノズル番号が存在する場合もある。そこで、各ノズル番号に対して、予め、有効（対応処理液ノズルあり）または無効（対応処理液ノズルなし）のフラグが付与される。この場合、前記ステップＡ３における処理は、有効なノズル番号を全て取得する処理となる。
【００８５】
次に、コンピュータ１６は、検査対象の処理レシピを構成するステップを先頭ステップから順に調べ、各ステップに対応する制御検査基準を作成する。
具体的には、コンピュータ１６は、該当ステップにおいて、吐出開始する処理液ノズルおよび吐出継続している処理液ノズルが全て抽出される（ステップＡ４）。さらに、コンピュータ１６は、当該ステップに対する制御検査区間を設定する。すなわち、検査区間開始条件を、「ステップ番号が当該ステップの番号になってから第１所定時間Ｔ１が経過したこと」、とする（ステップＡ５）。さらに、検査区間終了条件を、「ステップ番号が当該ステップ番号でなくなるよりも第２所定時間Ｔ２だけ前であること」、とする（ステップＡ６）。これにより、図８、図９Ａおよび図９Ｂを参照して説明した態様で制御検査区間が設定されることになる。さらに、コンピュータ１６は、該当ステップにおける制御合格基準を作成する（ステップＡ７）。具体的には、コンピュータ１６は、当該ステップに対する制御合格基準を、「吐出指示状態となっている全ての処理液ノズルに対して吐出指示がでており、かつ吐出指示状態となっていない全ての処理液ノズルに対して吐出指示が出ていないこと」、とする。「吐出指示状態となっている全ての処理液ノズル」とは、ステップＡ４で抽出された全ての処理液ノズルであり、それ以外の全ての処理液ノズルが「吐出指示状態となっていない全ての処理液ノズル」である。コンピュータ１６は、検査区間開始条件、検査区間終了条件および制御合格基準を含む制御検査基準を作成し、この制御検査基準を検査基準ファイルに格納して記憶装置１９（記憶領域１９６）に書き込む（ステップＡ８）。
【００８６】
このような処理が、処理レシピを構成する全てのステップに対して繰り返し実行される（ステップＡ９）。処理レシピの全てのステップに対して制御検査基準の作成が終わると、処理を終了する。
図１１は、コンピュータ１６が制御動作検査プログラムを実行することによって実現される制御動作検査機能を説明するためのフローチャートである。この図１１には、基板処理装置の製造段階で実行される検査手順が示されているが、むろん、実際の基板処理の段階で同様の検査を行うこともできる。
【００８７】
まず、操作者は、入力装置１７を操作して、基板処理装置に備えられる全ての処理液ノズルからの吐出を順次行う検査用レシピを選択する（ステップＢ１）。この検査用レシピは、予め作成されて記憶装置１９（記憶領域１９３）に登録されているものとする。次に、操作者は、入力装置１７を操作して、選択された検査用レシピの実行を指示する。これにより、コンピュータ１６は、基板処理制御プログラムを実行し、前記選択された検査用レシピに含まれるステップを順次実行する（ステップＢ２）。その一方で、コンピュータ１６は、制御動作検査プログラムを実行し、検査用レシピに対応した制御検査基準を作成して記憶装置１９（記憶領域１９６）に登録する（ステップＢ３）。この処理の詳細は、前述の図１０に示したとおりである。
【００８８】
コンピュータ１６は、検査用レシピを実行しているときに、ハードウェアインタフェース２０のメモリ２０ａ，２０ｂに記憶された制御動作ログデータおよび装置動作ログデータを定期的に読み込み、記憶装置１９（記憶領域１９４，１９５）に書き込む（ステップＢ４）。
検査用レシピの実行が終了すると（ステップＢ５）、コンピュータ１６は、収集された制御動作ログデータおよび装置動作ログデータを記憶装置１９から読み出し、さらに、検査基準ファイルを記憶装置１９から読み出す（ステップＢ６）。そして、コンピュータ１６は、装置動作ログデータから、ステップ番号の時間変化（図８等の上段の図を参照）を把握し、制御検査基準に従って、各ステップの制御検査区間を特定する（ステップＢ７）。そして、各ステップの検査区間において、制御検査基準に含まれる制御合格基準を満たしているかどうかを判断する（ステップＢ８）。
【００８９】
検査用処理レシピの全てのステップについて制御合格基準を満たせば（ステップＢ８：ＹＥＳ）、処理を終了する。検査用処理レシピのいずれかステップにおいて制御合格基準が満たされないときには、予め定める制御異常処理が実行される（ステップＢ９）。制御異常処理は、たとえば、制御機能に異常が生じていることを報知する処理であってもよい。この報知は、表示装置１８において異常の発生を表す表示を行う処理であってもよいし、警報音を発生する処理であってもよい。また、前記制御異常処理は、制御異常が生じたステップを特定するレポートを作成して記憶装置１９に格納する処理を含んでいてもよい。
【００９０】
このようにして、この実施形態によれば、実行されるレシピに対応した制御検査基準が自動的に作成される一方で、レシピ実行中における制御動作が監視される。そして、制御動作と制御検査基準とが照合されることにより、制御動作の妥当性が自動的に判定される。これにより、人的なミスを介在させることなく、制御動作の妥当性を速やかに判定することができる。
【００９１】
次に、基板処理装置の装置動作の妥当性を判定するための構成について説明する。
図１２は、ハードウェアインタフェース２０の制御動作ログメモリ２０ａに格納される制御動作ログデータおよび装置動作ログメモリ２０ｂに格納される装置動作ログデータの一例をグラフ化して示す図である。より具体的には、図１２(a)はステップ番号の時間変化を表している。ステップ番号の時間変化は、装置動作ログデータ（図５参照）から得られる。図１２(b)は処理液ノズルＮ１に対する吐出指示を表している。この吐出指示（制御指令）の時間変化は、制御動作ログデータ（図４参照）から得られる。図１２(c)は処理液ノズルＮ１からの処理液吐出流量の時間変化を表している。この吐出流量時間変化は、装置動作ログデータ（図５参照）における流量計４６の計測値から得られる。図１２(d)は処理液ノズルＮ３に対する吐出指示を表している。この吐出指示（制御指令）の時間変化は、制御動作ログデータ（図４参照）から得られる。図１２(e)は処理液ノズルＮ３からの処理液吐出流量の時間変化を表している。この吐出流量時間変化は、装置動作ログデータ（図５参照）における流量計４８の計測値から得られる。この図１２は、ステップ番号「２」において処理液ノズルＮ１から処理液を吐出し、ステップ番号「３」において処理液ノズルＮ３から処理液を吐出することを記述した処理レシピに対応している。
【００９２】
図１２(b)に表れているように、ステップ番号が「１」から「２」に変化するタイミングよりも少し遅れて処理液ノズルＮ１から処理液を吐出させるための制御指令が発行されている。また、ステップ番号が「２」から「３」に変化するタイミングよりも少し前に、処理液ノズルＮ１からの処理液吐出を停止させるための制御指令が発行されている。制御指令の発行に応答して処理液バルブ２１が開閉される。これにより、図１２(c)に表れているように、流量計４６によって計測される吐出流量が変化する。制御指令発行から処理液バルブ２１が実際に動作するまでに制御系統での指令伝達に要する時間分の遅延が生じる。さらに、処理液バルブ２１が実際に開閉されてから、吐出流量が下限流量値（たとえば１５００ｍｌ／分）に達するまで、または吐出流量が零になるまでには、処理液バルブ２１および処理液流路３１等の特性に応じた遅延が生じる。
【００９３】
同様に、図１２(d)に表れているように、ステップ番号が「２」から「３」に変化するタイミングより少し遅れて処理液ノズルＮ３からの処理液吐出を指示する制御指令が発行されている。さらに、ステップ番号が「３」から「４」に変化するよりも少し前のタイミングで処理液ノズルＮ３からの処理液吐出を停止させるための制御指令が発行されている。制御指令の発行に応答して処理液バルブ２３が開閉される。これにより、図１２(e)に表れているように、流量計４６によって計測される吐出流量が変化する。制御指令発行から処理液バルブ２３が実際に動作するまでに制御系統での指令伝達に要する時間分の遅延が生じる。さらに、処理液バルブ２３が実際に開閉されてから、吐出流量が下限流量値（たとえば２２００ｍｌ／分）に達するまで、または吐出流量が零になるまでには、処理液バルブ２１および処理液流路３１等の特性に応じた遅延が生じる。
【００９４】
図１３Ａは、図１２の処理におけるステップ番号「２」のためにコンピュータ１６が自動生成する検査基準（装置検査基準）の例を示す。検査区間開始条件は「ステップ番号が２になってから０．２秒後」である。検査区間終了条件は「ステップ番号が２でなくなる０．３秒前」である。したがって、ステップ番号が「２」になった後第３所定時間Ｔ３（たとえば０．２秒。前記第１所定時間Ｔ１と等しくてもよい。）経過した時点から、ステップ番号が「２」でなくなる（「２」から「３」に変わる）よりも第４所定時間Ｔ４（たとえば０．３秒。前記第２所定時間Ｔ２と等しくてもよい。）前の時点までが、装置検査区間（図１２の「検査区間１」）として設定されることになる。装置合格基準は、「処理液ノズルＮ１への吐出指示が出ており、かつ、処理液ノズルＮ１の吐出流量が１５００ｍｌ／分（下限流量値）を超えていること」である。このような内容の装置検査基準が作成され、検査基準ファイルとして、記憶装置１９（記憶領域１９６）に登録される。検査時において、コンピュータ１６は、「検査区間１」において当該装置合格条件を満たすかどうかを判断することになる。
【００９５】
図１２(c)の例では、「検査区間１」において、処理液ノズルＮ１に対する吐出指示が出ており、かつ、処理液ノズルＮ１の吐出流量は１５００ｍｌ／分を超えているから、装置合格基準が満たされている。
図１３Ｂは、図１２の処理におけるステップ番号「３」のためにコンピュータ１６が自動生成する検査基準（装置検査基準）の例を示す。検査区間開始条件は「ステップ番号が２になってから０．２秒後」である。検査区間終了条件は「ステップ番号が３でなくなる０．３秒前」である。したがって、ステップ番号が「３」になった後第３所定時間Ｔ３（たとえば０．２秒）経過した時点から、ステップ番号が「３」でなくなる（「３」から「４」に変わる）よりも第４所定時間Ｔ４（たとえば０．３秒）前の時点までが、装置検査区間（図１２の「検査区間２」）として設定されることになる。装置合格基準は、「処理液ノズルＮ３への吐出指示が出ており、かつ、処理液ノズルＮ３の吐出流量が２２００ｍｌ／分（下限流量値）を超えていること」である。このような内容の装置検査基準が作成され、検査基準ファイルとして、記憶装置１９（記憶領域１９６）に登録される。検査時において、コンピュータ１６は、「検査区間２」において当該装置合格条件を満たすかどうかを判断することになる。
【００９６】
図１２(e)の例では、「検査区間２」において、処理液ノズルＮ３に対する吐出指示が出ているものの、「検査区間２」の当初の期間において処理液ノズルＮ３の吐出流量は２２００ｍｌ／分に達していない。したがって、合格基準が満たされていない。原因としては、処理液バルブ２１の不具合や処理液流路３３の不具合（たとえばフィルタの目詰まり）が考えられる。
【００９７】
図１４は、コンピュータ１６が装置動作検査プログラムを実行することによって実現される機能の一つである装置検査基準自動生成動作を説明するためのフローチャートである。操作者は、入力装置１７の操作によって、検査対象の処理レシピを選択する（ステップＣ１）。また、操作者は、前記第３所定時間Ｔ３および第４所定時間Ｔ４を設定する（ステップＣ１）。ただし、これらの時間Ｔ３，Ｔ４は、装置動作検査プログラムにおいて予め設定しておき、操作者による入力を要しないようにしてもよい。
【００９８】
コンピュータ１６は、検査対象として選択された処理レシピを記憶装置１９（記憶領域１９３）から読み込む（ステップＣ２）。さらに、コンピュータ１６は、当該基板処理装置に備えられている全ての処理液ノズルの情報を取得する（ステップＣ３）。この処理の具体例は、図１０のステップＡ３と同様である。
次に、コンピュータ１６は、検査対象の処理レシピを構成するステップを先頭ステップから順に調べ、各ステップに対応する装置検査基準を作成する。
【００９９】
具体的には、コンピュータ１６は、該当ステップにおいて、吐出開始する処理液ノズルおよび吐出継続している処理液ノズルが全て抽出される（ステップＣ４）。さらに、コンピュータ１６は、当該ステップに対する装置検査区間を設定する。すなわち、検査区間開始条件を、「ステップ番号が当該ステップの番号になってから第３所定時間Ｔ３が経過したこと」、とする（ステップＣ５）。さらに、検査区間終了条件を、「ステップ番号が当該ステップ番号でなくなるよりも第４所定時間Ｔ４だけ前であること」、とする（ステップＣ６）。これにより、図１２、図１３Ａおよび図１３Ｂを参照して説明した態様で装置検査区間が設定されることになる。さらに、コンピュータ１６は、該当ステップにおける装置合格基準を作成する（ステップＣ７）。具体的には、コンピュータ１６は、当該ステップに対する装置合格基準を、「吐出指示状態となっている処理液ノズルに対して吐出指示がでており、かつ当該処理液ノズルの吐出流量が下限流量値を超えていること」、とする。「吐出指示状態となっている全ての処理液ノズル」とは、ステップＣ４で抽出された全ての処理液ノズルである。コンピュータ１６は、検査区間開始条件、検査区間終了条件および装置合格基準を含む装置検査基準を作成し、この装置検査基準を検査基準ファイルに格納して記憶装置１９（記憶領域１９６）に書き込む（ステップＣ８）。
【０１００】
このような処理が、処理レシピを構成する全てのステップに対して繰り返し実行される（ステップＣ９）。処理レシピの全てのステップに対して装置検査基準の作成が終わると、処理を終了する。
図１５は、コンピュータ１６が装置動作検査プログラムを実行することによって実現される装置動作検査機能を説明するためのフローチャートである。この図１５には、基板処理装置の製造段階で実行される検査手順が示されている。
【０１０１】
まず、操作者は、入力装置１７を操作して、基板処理装置に備えられる全ての処理液ノズルからの吐出を順次行う検査用レシピを選択する（ステップＤ１）。この検査用レシピは、予め作成されて記憶装置１９（記憶領域１９３）に登録されているものとする。次に、操作者は、入力装置１７を操作して、選択された検査用レシピの実行を指示する。これにより、コンピュータ１６は、基板処理制御プログラムを実行し、前記選択された検査用レシピに含まれるステップを順次実行する（ステップＤ２）。その一方で、コンピュータ１６は、装置動作検査プログラムを実行し、装置検査基準を作成して記憶装置１９（記憶領域１９６）に登録する（ステップＤ３）。この処理の詳細は、前述の図１４に示したとおりである。
【０１０２】
コンピュータ１６は、検査用レシピを実行しているときに、ハードウェアインタフェース２０のメモリ２０ａ，２０ｂに記憶された制御動作ログデータおよび装置動作ログデータを定期的に読み込み、記憶装置１９（記憶領域１９４，１９５）に書き込む（ステップＤ４）。
検査用レシピの実行が終了すると（ステップＤ５）、コンピュータ１６は、収集された制御動作ログデータおよび装置動作ログデータを記憶装置１９から読み出し、さらに、検査基準ファイルを記憶装置１９から読み出す（ステップＤ６）。そして、コンピュータ１６は、装置動作ログデータから、ステップ番号の時間変化（図１２(a)参照）を把握し、装置検査基準に従って、各ステップの装置検査区間を特定する（ステップＤ７）。そして、各ステップの装置検査区間において、装置検査基準に含まれる装置合格基準を満たしているかどうかを判断する（ステップＤ８）。
【０１０３】
検査用処理レシピの全てのステップについて装置合格基準を満たせば（ステップＤ８：ＹＥＳ）、処理を終了する。検査用処理レシピのいずれかステップにおいて装置合格基準が満たされないときには、予め定める装置異常処理が実行される（ステップＤ９）。装置異常処理は、たとえば、装置のハードウェア機能に異常が生じていることを報知する処理であってもよい。この報知は、表示装置１８において異常の発生を表す表示を行う処理であってもよいし、警報音を発生する処理であってもよい。また、前記装置異常処理は、異常が生じたハードウェア（たとえば処理液ノズル）や異常が生じたステップを特定するレポートを作成して記憶装置１９に格納する処理を含んでいてもよい。
【０１０４】
このようにして、検査用処理レシピに対応した装置検査基準が自動作成され、検査用処理レシピに基づく実際の装置動作が装置検査基準に適合するかどうかが自動的に判定される。これにより、基板処理装置の製造段階における装置動作の検査の手間および時間を大幅に低減でき、かつ、人為的ミスを可及的に排除して、より確実な検査に寄与することができる。
【０１０５】
図１６は、コンピュータ１６が装置動作検査プログラムを実行することによって実現される装置動作検査機能を説明するためのフローチャートであり、実際の基板処理時に実行される検査手順が示されている。まず、操作者は、入力装置１７を操作して、基板Ｗを処理するために適用すべき処理レシピを指定する（ステップＥ１）。この処理レシピは、予め作成されて記憶装置１９（記憶領域１９３）に登録されている。処理レシピの指定は、複数枚の基板Ｗ（たとえば１ロットを形成する複数枚（たとえば２５枚）の基板）に対して行われてもよい。また、個々の基板Ｗに対して、それぞれ処理レシピが指定されてもよい。
【０１０６】
次に、操作者は、入力装置１７を操作して、処理の実行を指示する。これにより、コンピュータ１６は、基板処理制御プログラムを実行し、前記指定された処理レシピに含まれるステップを順次実行する（ステップＥ２）。この処理が、処理すべき複数枚の基板Ｗに対して繰り返し実行される（ステップＥ３）。
一方、コンピュータ１６は、装置動作検査プログラムを実行し、実行中の処理レシピに対応した装置検査基準を作成して記憶装置１９（記憶領域１９６）に登録する（ステップＥ４）。この処理の詳細は、前述の図１４に示したとおりである。
【０１０７】
コンピュータ１６は、処理レシピを実行しているときに、ハードウェアインタフェース２０のメモリ２０ａ，２０ｂに記憶された制御動作ログデータおよび装置動作ログデータを定期的に読み込み、記憶装置１９（記憶領域１９４，１９５）に書き込む（ステップＥ５）。
１枚の基板Ｗに対して処理レシピの実行が終了すると（ステップＥ６）、コンピュータ１６は、収集された制御動作ログデータおよび装置動作ログデータを記憶装置１９から読み出し、さらに、検査基準ファイルを記憶装置１９から読み出す（ステップＥ７）。そして、コンピュータ１６は、装置動作ログデータから、ステップ番号の時間変化（図１２(a)参照）を把握し、装置検査基準に従って、各ステップの装置検査区間を特定する（ステップＥ８）。そして、各ステップの装置検査区間において、装置検査基準に含まれる装置合格基準を満たしているかどうかを判断する（ステップＥ９）。
【０１０８】
処理レシピの全てのステップについて合格基準を満たせば（ステップＥ９：ＹＥＳ）、処理を終了する。処理レシピのいずれかステップにおいて合格基準が満たされないときには、予め定める装置異常処理が実行される（ステップＥ１０）。装置異常処理は、たとえば、装置のハードウェア機能に異常が生じていることを報知する処理であってもよい。この報知は、表示装置１８において異常の発生を表す表示を行う処理であってもよいし、警報音を発生する処理であってもよい。また、前記装置異常処理は、異常が生じたハードウェア（たとえば処理液ノズル）や異常が生じたステップを特定するレポートを作成して記憶装置１９に格納する処理を含んでいてもよい。また、前記装置異常処理は、基板処理装置の動作を停止する処理を含んでいてもよい。基板処理動作の停止は、たとえば、処理中の基板Ｗの終了を待って行ってもよい。
【０１０９】
このようにして、実際に基板Ｗを処理しているときに、並行して装置動作に不具合が生じていないかどうかが検査される。これにより、ハードウェアに異常が生じたときには、後工程による基板Ｗの処理を待つことなく、その異常が報知されるから、後工程が無駄に行われることを回避できる。また、ハードウェアの異常が自動で検出されるから、基板Ｗに対する処理不良が生じたときに、その原因が処理レシピに起因するのか、ハードウェアに起因するのかを即座に判別できる。これにより、処理不良に対する対策をすみやかに採ることができるから、生産性の向上に寄与することができる。
【０１１０】
図１７は、この発明の他の実施形態に係る基板処理装置の構成を説明するためのブロック図である。この図１７において、前述の図２に示された各部に対応する部分には、同一参照符号を付して示す。
この実施形態では、パーソナルコンピュータ等のコンピュータで構成された検査装置７０が基板処理装置に対して接続可能とされている。すなわち、基板処理装置は、検査装置７０を接続するためのインタフェース６０を有している。このインタフェース６０を介して、基板処理装置は、制御装置１５のコンピュータ１６との間でデータ通信を行うことができる。検査装置７０は、コンピュータ７１と、入力装置７２と、表示装置７３と、記憶装置７４とを備えている。
【０１１１】
コンピュータ７１は、ＣＰＵを含み、記憶装置７４から必要なプログラムおよびデータを読み込んで基板処理装置を検査するための演算処理および制御処理を実行する。これにより、コンピュータ７１は、制御動作記録手段、制御動作判定手段、装置動作記録手段、および装置動作判定手段として機能することができる。
入力装置７２は、コンピュータ７１に接続されており、操作者によって操作されるキーボード、ポインティングデバイス、タッチパネルその他の入力インタフェースからなる。表示装置７３は、コンピュータ７１に接続されており、入力装置７２とともに操作者に対するインタフェースを提供する。表示装置７３は、たとえば、液晶表示装置等の二次元表示装置からなる。操作者は、表示装置７３の表示を参照しながら入力装置７２を操作することにより、コンピュータ７１に対して指令を与えることができる。
【０１１２】
基板処理装置側のコンピュータ１６は、前述の第１の実施形態の場合と同様に、制御対象のハードウェアに対する制御指令をハードウェアインタフェース２０に備えられた制御動作ログメモリ２０ａに書き込む。この書き込まれた制御指令が、それぞれのハードウェアに与えられる。制御動作ログメモリ２０ａには、制御手順のために必要な各種センサ類からの検出信号も書き込まれる。この書き込まれた信号は、コンピュータ１６によって取り込まれ、制御動作のために用いられる。また、基板処理装置の動作をモニタするために、各種センサ類からの検出信号は、ハードウェアインタフェース２０に備えられた装置動作ログメモリ２０ｂに時系列に従って書き込まれるようになっている。この書き込まれた検出信号が、コンピュータ１６によって取り込まれ、基板処理装置の動作が監視されるようになっている。
【０１１３】
一方、検査装置７０のコンピュータ７１は、制御動作ログメモリ２０ａに書き込まれた制御指令および検出信号（制御動作ログデータ）を定期的に取得し、制御動作データとして記憶装置７４に書き込む。また、検査装置７０のコンピュータ７１は、装置動作ログメモリ２０ｂに書き込まれた検出信号（装置動作ログデータ）を定期的に取得し、装置動作データとして記憶装置７４に書き込む。
【０１１４】
記憶装置７４は、コンピュータ７１に接続されており、固体メモリ装置、ハードディスク装置その他の記憶装置からなる。記憶装置７４は、制御動作検査プログラムを記憶した記憶領域７４１、装置動作検査プログラムを記憶した記憶領域７４２、前記制御動作ログデータを記憶するための記憶領域７４４、前記装置動作ログデータを記憶するための記憶領域７４５、および検査基準ファイルを記憶するための記憶領域７４６を有している。
【０１１５】
制御動作検査プログラム（記憶領域７４１）は、基板処理装置側コンピュータ１６の制御動作の妥当性を検査するためのプログラムである。検査装置側コンピュータ７１は、このプログラムを読み取って実行することにより、基板処理装置が実行するレシピと制御動作ログデータ（記憶領域７４４）とを照合し、これにより、制御動作の妥当性を検査する。制御動作ログメモリ２０ａから制御動作ログデータを定期的に取得して記憶領域７４４に書き込む機能も、制御動作検査プログラムを実行するコンピュータ７１の機能の一つである。
【０１１６】
装置動作検査プログラム（記憶領域７４２）は、レシピに従う基板処理装置のハードウェア動作の妥当性を検査するためのプログラムである。検査装置側コンピュータ７１は、このプログラムを読み取って実行することにより、基板処理装置が実行するレシピと、記憶領域７４５に記憶された装置動作ログデータとを照合し、これにより、装置動作（ハードウェア動作）の妥当性を検査する。装置動作ログメモリ２０ｂから装置動作ログデータを定期的に取得して記憶領域７４５に書き込む機能も、装置動作検査プログラムを実行するコンピュータ７１の機能の一つである。
【０１１７】
一方、基板処理装置側の記憶装置１９には、記憶領域１９０に基板処理制御プログラムが格納され、記憶領域１９３に処理レシピが格納され、記憶領域１９７に検査基準作成プログラムが格納されている。基板処理装置側のコンピュータ１６は、検査基準作成プログラムを読み取って実行することにより、実行されるレシピに対応した検査基準を含む検査基準ファイルを生成する。この検査基準ファイルは、検査装置７０に与えられ、その記憶装置７４（記憶領域７４６）に格納される。
【０１１８】
このような構成により、基板処理装置および検査装置７０が協働することにより、前述の第１の実施形態と同様な動作が可能となり、制御動作および装置動作の妥当性を検査することができる。すなわち、基板処理装置および検査装置７０は、協働して、図１１、図１５および図１６などに示した処理を実行することができる。しかも、この実施形態では、基板処理装置の制御装置１５には、検査基準作成機能を備えればよいので、制御装置１５の仕様に対する変更を最小限に抑制することができる。換言すれば、前述の第１の実施形態においては、検査装置７０の機能が基板処理装置に内蔵されているのに対して、本実施形態では、検査機能を外付けの検査装置７０によって実現している。
【０１１９】
なお、検査基準作成プログラムの機能は、検査装置７０に備えられる制御動作検査プログラムおよび装置動作検査プログラムにそれぞれ備えられていてもよい。この場合には、基板処理装置のコンピュータ１６は、検査基準作成機能を備える必要はない。この構成を採るときには、検査装置７０側のコンピュータ７１は、基板処理装置から処理レシピのデータを取得し、この処理レシピに対応する検査基準ファイルを自動生成する。このような構成とすれば、基板処理装置の制御装置１５の仕様変更をより少なくすることができる。
【０１２０】
また、図１８に示すように、外部記憶装置８０に、検査基準作成プログラムが格納されていてもよい。この外部記憶装置８０は、ＵＳＢメモリ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭその他のコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。この外部記憶装置８０に格納された検査基準作成プログラムを制御装置１５に備えられた適切な読み取り手段を介して読み取り、コンピュータ１６で実行させることにより、コンピュータ１６が検査基準作成機能を有することになる。こうして、前述の実施形態の場合と同様の効果を得ることができる。
【０１２１】
この実施形態による利点は、必要なときに検査レシピ自動生成機能を付加できることである。これにより、検査基準作成プログラムを制御装置１５の記憶装置１９に格納しておく必要がないから、記憶装置１９の記憶容量を節約できる。また、制御装置１５が予め検査基準作成機能を有している必要がないから、このような機能のない制御装置１５に対して、事後的に検査基準作成機能を付加することができる。さらに、外部記憶装置８０を適切に管理しておくことにより、検査基準作成機能の使用者を限定することができる。外部記憶装置８０に格納された検査基準作成プログラムの複製を制御装置１５の記憶装置１９に格納して運用する場合には、制御装置１５の構成は図１７のとおりとなる。
【０１２２】
同様に、図１８に示すように、検査装置７０において実行される制御動作検査プログラムおよび装置動作検査プログラムが、外部記憶装置９０に格納されていてもよい。この外部記憶装置９０も、前述の外部記憶装置８０と同様に、ＵＳＢメモリ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭその他のコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。この外部記憶装置９０に格納された制御動作検査プログラムおよび装置動作検査プログラムを検査装置７０に備えられた適切な読み取り手段を介して読み取り、コンピュータ７１で実行させることにより、コンピュータ７１が制御動作検査機能および装置動作検査機能を有することになる。外部記憶装置９０に格納された制御動作検査プログラムおよび装置動作検査プログラムの各複製を検査装置７０の記憶装置７４に格納して運用する場合には、検査装置７０の構成は図１７のとおりとなる。
【０１２３】
以上、この発明の一実施形態について説明したが、この発明は、他の形態で実施することもできる。たとえば、前述の実施形態では、３つの処理液ノズルを備えた基板処理装置を例に取ったが、この数は、むろん、一例に過ぎない。また、前述の実施形態では、主として、処理液ノズルの吐出制御および吐出動作の検査について説明したが、スピンチャック１の制御動作および実際の回転動作に関する検査や、揺動アーム３５に関する制御動作および実際の揺動および昇降動作に関する検査も同様に行うことができる。たとえば、スピンチャック１の制御動作に関しては、回転開始から回転停止までの間で検査区間を設定し、この検査区間内において回転継続の指令が出されているかどうかを検査してもよい。また、実際の回転動作に関しては、検査区間内においてスピンチャック１の回転速度がレシピにおいて指定された回転速度近傍の誤差範囲内の値となっているかどうかを検査してもよい。
【０１２４】
さらに、前述の実施形態では、制御動作検査機能および装置動作検査機能の両方が備えられる例について説明したが、いずれか一方のみの検査機能が備えられてもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【符号の説明】
【０１２５】
１    スピンチャック
２    処理カップ
５    回転軸
６    スピンベース
７    回転駆動機構
８    保持部材
１１，１２，１３    吐出部
１５    制御装置
１６    コンピュータ
１７    入力装置
１８    表示装置
１９    記憶装置
１９０    記憶領域（基板処理制御プログラム）
１９１    記憶領域（制御動作検査プログラム）
１９２    記憶領域（装置動作検査プログラム）
１９３    記憶領域（レシピ）
１９４    記憶領域（制御動作ログデータ）
１９５    記憶領域（装置動作ログデータ）
１９６    記憶領域（検査基準ファイル）
１９７    記憶領域（検査基準生成プログラム）
２０    ハードウェアインタフェース
２０ａ    制御動作ログメモリ
２０ｂ    装置動作ログメモリ
２１，２２，２３    処理液バルブ
３１，３２，３３    処理液流路
３５    揺動アーム
３６    回転軸
３７    揺動駆動機構
３８    昇降駆動機構
３９    上センサ
４０    下センサ
４１，４２    処理液タンク
４３    リンス液供給源
４６，４７，４８    流量計
５１，５２    処理液ポンプ
６０    インタフェース
７０    基板処理装置
７０    検査装置
７１    コンピュータ
７２    入力装置
７３    表示装置
７４    記憶装置
７４１    記憶領域（制御動作検査プログラム）
７４２    記憶領域（装置動作検査プログラム）
７４４    記憶領域（制御動作ログデータ）
７４５    記憶領域（装置動作ログデータ）
７４６    記憶領域（検査基準ファイル）
８０    外部記憶装置
９０    外部記憶装置
Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３    処理液ノズル
Ｔ１    第１所定時間
Ｔ２    第２所定時間
Ｔ３    第３所定時間
Ｔ４    第４所定時間
Ｗ      基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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