(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性を有する絶縁シートと、
前記絶縁シート内に含まれ、かつ、前記絶縁シートの厚み方向に長さ方向が平行に配置される複数の導電性を有する金属線と、
を有し、
前記金属線は、直径が１５μｍ以上５０μｍ以下のニッケルチタン合金製の芯材と、該芯材を銅からなり層厚が０．５μｍ以上１．５μｍ以下の層を含む１層以上の層からなる導電被覆層とを有する、
ことを特徴とする異方導電性シート。
【請求項２】
請求項１に記載の異方導電性シートにおいて、
前記銅からなる層の層厚は、０．９μｍ以上１．１μｍ以下である、
ことを特徴とする異方導電性シート。
【請求項３】
請求項１また２に記載の異方導電性シートにおいて、
前記芯材にはニッケルからなる導電被覆層が形成され、前記銅からなる導電被覆層は、前記ニッケルからなる導電被覆層を被覆している、
ことを特徴とする異方導電性シート。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の異方導電性シートにおいて、
前記芯材上に、前記導電被覆層として、銅を含む層と、ニッケルを含む層と、金を含む層とが、この順に積層されている、
ことを特徴とする異方導電性シート。
【請求項５】
複数の被検査電極を備えた回路基板に対して、少なくとも、前記複数の被検査電極と請求項１から４のいずれか１つに記載の異方導電性シートの前記複数の金属線の一方の端とを各々対応させて電気的に接続した状態で、前記回路基板の電気的検査を行うことを特徴とする回路基板の電気的検査方法。
【請求項６】
請求項１から４のいずれか１つに記載の異方導電性シートと、検査装置本体とを少なくとも備え、
電気的検査に際して、前記検査装置本体と、複数の被検査電極を備えた回路基板との間に前記異方導電性シートを配置すると共に、
前記検査装置本体と前記異方導電性シートとの間、および、前記異方導電性シートと前記回路基板との間、を電気的に接続した状態で、前記回路基板の電気的検査を行うことを特徴とする回路基板の電気的検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異方導電性シート、回路基板の電気的検査方法および回路基板の電気的検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電気回路基板の電気的性能を検査するための検査治具の電気接触子（プローブ）として、あるいは、電気回路基板と電子部品等との電気的接続を行う電気コネクタとして、各種の異方導電性シートが提案されている。たとえば、特許文献１には、導電性を有する複数の金属線を、その長さ方向をシリコーンゴムのシートの厚さ方向に向けて高密度に配置した構成の異方導電性シートが提案されている。そして、異方導電性シートに使用される金属線としては、従来、真鍮の芯材に対して、芯材側から順に銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）が被覆（メッキ）されたものが用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平４−１７２８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
異方導電性シートを電気回路基板等の検査治具の電気接触子として用いる際には、異方導電性シートの金属線の端部と電気回路基板等の電極部とが確実に接触されるように、異方導電性シートは電気回路基板等と検査治具側のピン端子との間で押圧させられた状態で使用される。そのため、金属線の異方導電性シートから突出している部分において、折れ曲りが発生することがある。検査が繰り返し行われ、金属線の折り曲げが繰り返されると、真鍮により形成されている芯材が、折れ曲り部分で塑性変形してしまうことがある。その結果、金属線と検査対象物の電極部との接触が不完全となり、検査を正常に行うことができなくなるという問題がある。
【０００５】
また、異方導電性シートが、電気コネクタとして用いられる場合には、金属線の端部が、電気回路基板等の電極部に対して確実に接触することができるように、電気回路基板等が異方導電性シートに対して押圧される。そのため、金属線の異方導電性シートから突出している部分において、折れ曲りが発生することがある。そして、この折れ曲りの状態が長期間継続されると、真鍮により形成されている芯材が、折れ曲り部分で塑性変形してしまうことがある。その結果、電極部に対する金属線の接触力が低下し電気的接続が不十分となってしまうという問題がある。
【０００６】
そこで、本発明は、折り曲げに対して復元性の高い金属線を有する異方導電性シート、ならびに、これを用いた回路基板の電気的検査方法および回路基板の電気的検査装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の異方導電性シートは、弾性を有する絶縁シートと、絶縁シート内に含まれ、かつ、絶縁シートの厚み方向に長さ方向が平行に配置される複数の導電性を有する金属線とを有し、金属線は、直径が１５μｍ以上５０μｍ以下のニッケルチタン合金製の芯材と、該芯材を銅からなり層厚が０．５μｍ以上１．５μｍ以下の層を含む１層以上の層からなる導電被覆層とを有することとする。
【０００８】
上記発明に加えて、異方導電性シートは、銅からなる層の層厚が、０．９μｍ以上１．１μｍ以下であることとする。
【０００９】
上記発明に加えて、異方導電性シートは、芯材にはニッケルからなる導電被覆層が形成され、銅からなる導電被覆層は、ニッケルからなる導電被覆層を被覆していることとする。
【００１０】
上記発明に加えて、異方導電性シートは、芯材上に、導電被覆層として、銅を含む層と、ニッケルを含む層と、金を含む層とが、この順に積層されていることとする。
【００１１】
本発明の回路基板の電気的検査方法は、複数の被検査電極を備えた回路基板に対して、少なくとも、複数の被検査電極と上述の異方導電性シートの複数の金属線の一方の端とを各々対応させて電気的に接続した状態で、回路基板の電気的検査を行うこととする。
【００１２】
本発明の回路基板の電気的検査装置は、異方導電性シートと、検査装置本体とを少なくとも備え、電気的検査に際して、検査装置本体と、複数の被検査電極を備えた回路基板との間に異方導電性シートを配置すると共に、検査装置本体と異方導電性シートとの間、および、異方導電性シートと回路基板との間を電気的に接続した状態で、回路基板の電気的検査を行うこととする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、折り曲げに対して復元性の高い金属線を有する異方導電性シートを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施の形態に係る異方導電性シートの一例の構成を示す斜視図である。
【図２】図１における切断線Ａ−Ａにおける断面の概略の構成を示す断面図である。
【図３】金属線の長さ方向に沿う面における断面図（縦断面図）である。
【図４】異方導電性シートの電気抵抗の比較を示すグラフである。
【図５】実施の形態に係る異方導電性シートの他の例に係る異方導電性シートの概略の構成を示す断面図である。
【図６】実施の形態に係る異方導電性シートの他の例に係る異方導電性シートの概略の構成を示す断面図である。
【図７】異方導電性シートを用いた回路基板の電気的検査装置の概略の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（実施の形態）
本発明の実施の形態に係る異方導電性シートは、弾性を有する絶縁シートと、この絶縁シート内に含まれ、かつ、絶縁シートの厚み方向に長さ方向が平行に配置される複数の導電性を有する金属線とを有し、金属線は、ニッケルチタン合金製の芯材と、この芯材を０℃における比抵抗が、６．５×１０−８Ω・ｍ以下の金属材料からなる層を含む１層以上の層からなる導電被覆層とを有する構成を有する。
【００１６】
異方導電性シートの金属線には、ニッケルチタン合金の芯材が使用されている。そのため、金属線の芯材に真鍮を用いる場合に比べて、金属線の折り曲げに対する復元性を高いものとすることができる。したがって、異方導電性シートが、検査治具の電気接触子として用いられ、繰り返し検査が行われた場合であっても、金属線の塑性変形が起き難い。また、異方導電性シートが、電気コネクタとして用いられ、長期間折れ曲り状態が継続した場合であっても、金属線の塑性変形が起き難い。
【００１７】
ところで、金属線に電極部やピン端子等が押圧されたときの金属線の折れ曲り量は、異方導電性シートの金属線を、その長さ方向を絶縁シートの厚み方向と平行に配置したときの方が、金属線を電極部やピン端子に対して傾斜して当接させる場合に比べて大きくなり易い。そのため、従来、市販されている真鍮製の芯材からなる金属線を用いた異方導電性シートには、繰り返し検査による金属線の塑性変形による折れ曲がりを抑制する観点から、金属線は、異方導電性シートの厚み方向に対して斜めに傾斜（厚み方向を基準（０度）として、１０度〜４５度程度）させて配置しているものがある。しかし、金属線を、異方導電性シートの厚み方向に対して斜めに傾斜することにより、異方導電性シートの一方の面に露出する金属線の端部と、他方の面に露出する金属線の端部とが、異方導電性シートの厚み方向において、位置ずれを生じてしまう。このため、電気回路基板の検査等において異方導電性シートを用いる場合において、位置合わせが煩雑になる。
【００１８】
しかし、本発明の実施の形態に係る異方導電性シートは、芯材に復元性の高いニッケルチタン合金を用いた金属線を用いている。したがって、本発明の実施の形態に係る異方導電性シートでは、金属線が、その長さ方向を異方導電性シートの厚み方向と平行に配置されていても、金属線の塑性変形が抑制される。また、金属線が、その長さ方向を異方導電性シートの厚み方向と平行に配置されていることで、異方導電性シートの厚さ方向の一方の面と、他方の面とに露出する金属線の端部間での位置ずれを少なくすることがでる。つまり、本発明の実施の形態に係る異方導電性シートは、位置合わせが極めて容易である上に、繰り返し検査を実施しても、電気的接触不良も生じ難い。
【００１９】
なお、絶縁シート内に含まれる金属線は、絶縁シートの厚み方向に長さ方向が平行に配置されるが、位置合わせが煩雑とならない範囲で金属線が、絶縁シートの厚み方向に対して若干傾斜（絶縁シートの厚み方向を基準（０度）として、±１０度程度の範囲内）することは許容される。
【００２０】
芯材として利用できるニッケルチタン合金製線材としては、公知のニッケルチタン合金製線材が利用でき、線材の入手容易性の観点からは、市販の線材を用いることが好ましく、これらの中でも折り曲げに対する復元力により優れる観点でバネ材用途に用いられる市販の線材がより好ましい。このようなバネ材用途に用いられる市販の線材としては、たとえば、大同特殊鋼株式会社製のキオカロイ（ＫＩＯＫＡＬＬＯＹ）等を挙げることができる。
【００２１】
ところで、芯材を形成するニッケルチタン合金は、比抵抗が８０×１０−８Ω・ｍ前後と大きく、異方導電性シートを、電気接触子あるいは電気コネクタとして用いるには不適当である。しかしながら、本実施の形態に係る異方導電性シートにおいては、芯材に比抵抗が６．５×１０−８Ω・ｍ以下の導電被覆層が被覆されている。そのため、異方導電性シートは、電気接触子あるいは電気コネクタとして用いられる場合でも、十分低い電気抵抗値となるように構成されている。
【００２２】
次に、本発明の実施の形態に係る異方導電性シートの具体的な構成を、図面を参照しながら説明する。図１は、異方導電性シート１の概略の構成を示す斜視図である。図２には、図１における切断線Ａ−Ａにおける断面の概略の構成を示す断面図と、該断面の一部を拡大して示す拡大図が示される。
【００２３】
異方導電性シート１は、弾性を有する絶縁シート２と、この絶縁シート２内に含まれ、かつ、絶縁シート２の厚に方向に長さ方向が平行に配置される複数の導電性を有する金属線３とを有している。そして、金属線３は、ニッケルチタン合金製の芯材６と、この芯材６を０℃における比抵抗が、６．５×１０−８Ω・ｍ以下の導電性を有する材料として被覆する導電被覆層８とを有する。
【００２４】
金属線３は、絶縁シート２の厚さ方向に位置する面４および面５に貫通し、金属線３の両端が、面４および面５から僅かに突出している。面４および面５から金属線３の端部が突出していることで、金属線３を電気回路基板等の電極部に接触させ易くなる。
【００２５】
また、金属線３は、その長さ方向が、絶縁シート２の厚さ方向と平行になるように配置されている。すなわち、金属線３は、その長さ方向が面４および面５に対して略直交するように配置されている。そのため、たとえば、電気回路基板の検査において、異方導電性シート１を挟んで配置される電気回路基板の電極部と検査治具側のピン端子とを、異方導電性シート１の厚さ方向において重なる位置に配置することができる。したがって、異方導電性シート１の金属線３を、電気回路基板の電極部とピン端子とに容易に位置合わせすることができる。なお、異方導電性シート１は、絶縁シート２の厚さＴ１が、たとえば、１.０ｍｍであり、面４および面５から突出する金属線３の突出長Ｓ１が、たとえば、３０μｍに構成されている。
【００２６】
金属線３は、図３に示す断面構造となっている。図３は、金属線３の長さ方向に沿う面における断面図（縦断面図）である。金属線３は、芯材６と、この芯材６を被覆する導電被覆層８と、導電被覆層８をニッケル（Ｎｉ）材により被覆するニッケル被覆層７と、ニッケル被覆層７を金（Ａｕ）材により被覆する金被覆層９とを有する。
【００２７】
本実施の形態における異方導電性シート１の芯材６の直径Ｌ１は、たとえば、３０．０μｍとされている。
【００２８】
また、導電被覆層８の厚さＴ３、ニッケル被覆層７の厚さＴ２、金被覆層９の厚さＴ４は、順にそれぞれ、たとえば、１．０μｍ、０.１μｍ、０.１μｍとされ、金属線３の直径Ｌ２は、３２．４μｍとされている。導電被覆層８は、たとえば、銅により形成されている。銅は、０℃における比抵抗が一般に、１．５５×１０−８Ω・ｍであり、６．５×１０−８Ω・ｍ以下である。導電被覆層８、ニッケル被覆層７、金被覆層９は、各種のメッキ加工にて形成することができるが、高い密着力を得やすいという点で電気メッキにて形成することが好ましい。
【００２９】
上述のように、異方導電性シート１の金属線３には、ニッケルチタン合金の芯材６が使用されている。そのため、金属線３の芯材６に真鍮を用いる場合に比べて、金属線３の折り曲げに対する復元性を高いものとすることができる。したがって、異方導電性シート１が、検査治具の電気接触子として用いられ、繰り返し検査が行われた場合であっても、金属線３の塑性変形が起き難い。また、異方導電性シート１が、電気コネクタとして用いられ、長期間折れ曲り状態が継続した場合であっても、金属線３の塑性変形が起き難い。
【００３０】
また、異方導電性シートの金属線３は、その長さ方向が絶縁シート２の厚み方向と平行に配置されている。すなわち、金属線３は、その長さ方向が、絶縁シート２の厚さ方向に位置する面４および面５に対して略直交するように配置されている。そのため、金属線３に電極部やピン端子等が押圧されたときの折れ曲り量は、金属線３が電極部やピン端子に対して傾斜して当接する場合に比べて大きくなり易い。したがって、芯材６にニッケルチタン合金を用いて金属線３の復元性を高くすることで、金属線３が、その長さ方向が絶縁シート２の厚み方向と平行に配置されている場合でも、金属線３の塑性変形を起き難くすることができる。
【００３１】
芯材６を形成するニッケルチタン合金は、比抵抗が８０×１０−８Ω・ｍ前後と大きく、異方導電性シート１を、電気接触子あるいは電気コネクタとして用いるには不適当である。しかしながら、本実施の形態に係る異方導電性シート１においては、芯材６に比抵抗が６．５×１０−８Ω・ｍ（０℃）以下である銅により形成される導電被覆層８が被覆されている。そのため、異方導電性シート１は、電気接触子あるいは電気コネクタとして用いられる場合でも、十分低い電気抵抗値となるように構成されている。
【００３２】
また、導電被覆層８を形成する銅は、一般に伸びの値が５０％程度の延性を有する。そのため、導電被覆層８は、芯材６の折り曲げに対して柔軟に追従することができ、繰り返しの折り曲げに対しても破断し難い。導電被覆層８に破断が生じた場合には、破断部において電気抵抗が高くなり、金属線３の電気抵抗が高くなる問題が発生する。しかしながら、導電被覆層８を延性に優れる銅により形成することで、かかる問題の発生を抑えることができる。
【００３３】
また、導電被覆層８には、金被覆層９が被覆されている。導電被覆層８を金被覆層９により被覆することで、導電被覆層８に対して、腐食防止等の耐候性を向上させることができる。なお、導電被覆層８と金被覆層９との間には、ニッケル被覆層７が設けられている。金被覆層９を銅により形成される導電被覆層８に直接積層する場合に比べて、ニッケル被覆層７に積層することで、金被覆層９の密着性を高いものとすることができる。
【００３４】
参考として、金属線３を備える異方導電性シートの電気抵抗と、ニッケルチタン合金の芯材にニッケルと金を被覆した金属線を備える異方導電性シートの電気抵抗と、真鍮の芯材にニッケルと金を被覆した金属線を備える異方導線性シートの電気抵抗との比較を、図４に示すグラフＧ１を参照しながら説明する。
【００３５】
グラフＧ１は、横軸方向に異方導電性シートの種類が示され、縦軸に各異方導電性シートについての電気抵抗が示されている。横軸にＡ１〜Ａ５およびＢ１〜Ｂ４として示される異方導電性シートは、金属線の芯材がニッケルチタン合金により形成されている。芯材の直径は、Ａ１〜Ａ５およびＢ１，Ｂ２の異方導電性シートについては約３０μｍであり、Ｂ３，Ｂ４の異方導電性シートについては約２０μｍである。
【００３６】
Ａ１〜Ａ５として示される異方導電性シートは、芯材（ニッケルチタン合金）にニッケルと金のみが被覆されている金属線を備えるものである。ニッケルと金の被覆層の層厚は、それぞれ約０．１μｍである。
【００３７】
Ｂ１〜Ｂ４として示される異方導電性シートは、芯材（ニッケルチタン合金）に銅、ニッケル、および金が被覆されている金属線を備えるものである。銅、ニッケル、および金の被覆層の層厚は、順にそれぞれ約１．０μｍ、約０．１μｍ、０．１μｍである。
【００３８】
Ｃ１およびＣ２として示される異方導電性シートは、金属線の芯材が真鍮であり、この芯材（真鍮）にニッケルと金が被覆されている金属線を備えるものである。真鍮の芯材の直径は約４０μｍであり、ニッケルと金の被覆層の層厚は、順にそれぞれ約０．１μｍ、約０．１μｍである。
【００３９】
図４のグラフＧ１において、ｔは、異方導電性シートの厚さを示し、Ｐは、金属線の配列間隔（マトリクスの縦横方向の間隔）を示している。なお、電気抵抗は、異方導電性シートを、測定基板の金めっきの電極部とΦ１．０ｍｍのピン電極と間で圧縮量０．２ｍｍで圧縮させて測定したときの値である。
【００４０】
グラフＧ１において、異方導電性シートＡ１〜Ａ５と異方導電性シートＣ１，Ｃ２との比較より判るように、金属線の芯材をニッケルチタン合金とした場合には、芯材を真鍮とする場合に比べて異方導電性シートの電気抵抗が高い。しかしながら、異方導電性シートＢ１〜Ｂ４のように、芯材（ニッケルチタン合金）に銅を被覆することで、異方導電性シートの電気抵抗を、芯材に真鍮を用いる異方導電性シートの電気抵抗とほぼ同程度にすることができる。
【００４１】
つまり、ニッケルチタン合金で形成される芯材６を銅により形成される導電被覆層８で被覆される金属線３を備える異方導電性シート１は、芯材に真鍮が用いられた金属線を有する異方導電性シートと同程度に低い電気抵抗を達成することができ、さらに、金属線３は、芯材に真鍮を用いた金属線に比べて、折り曲げに対して高い復元性を有する。
【００４２】
なお、導電被覆層８は、０℃における比抵抗が、６．５×１０−８Ω・ｍ以下の金属材料からなる層を含む１層以上の層から構成されていればよい。ここで、導電被覆層８が単層構成の場合には、導電被覆層８は、０℃における比抵抗が、６．５×１０−８Ω・ｍ以下の金属材料からなる層のみから構成される。また、導電被覆層８が２以上の層から構成される場合には、導電被覆層８を構成する複数の層のうち、少なくとも最表層が、０℃における比抵抗が、６．５×１０−８Ω・ｍ以下の金属材料からなる層により構成されていればよく、全ての層が６．５×１０−８Ω・ｍ以下の金属材料からなる層により構成されていることが好ましい。なお、導電被覆層８の少なくとも１層を構成する金属材料の０℃における比抵抗としては、６．５×１０−８Ω・ｍ以下であることが必要であるが、金属線の導電性をより高める観点からは５×１０−８Ω・ｍ以下であることが好ましく、３×１０−８Ω・ｍ以下であることがより好ましい。また、比抵抗の下限値は特に限定されるものではないが、材料の入手容易性などの実用上の観点からは１×１０−８Ω・ｍ以上であることが好ましい。
【００４３】
上述の異方導電性シート１においては、導電被覆層８が、伸びの値において２５％以上２００％以下を有する延性を有することが好ましく、３５％以上１００％以下の範囲内がより好ましい。
【００４４】
導電被覆層８を、伸びの値において２５％以上の延性を有する材量により形成することで、導電被覆層８は、芯材６の折り曲げに対して柔軟に追従することができ、繰り返しの折り曲げに対しても破断し難い。導電被覆層８に破断が生じた場合には、破断部において電気抵抗が高くなり、金属線の電気抵抗が高くなる問題が発生する。しかしながら、導電被覆層８を延性に優れる材質により形成することで、かかる問題の発生を抑えることができる。一方伸びの値が２００％を超えると、金属線３が折り曲げられそして復元した後に、導電被覆層８に皺が発生することがある。皺が発生した場合には、折り曲げが繰り返されたときに、この皺の部分で導電被覆層８に破断を発生し易くなる。３５％以上１００％以下とすることで、復元時の皺の発生を防止しながら折り曲げ時の破断を効果的に防止することができる。
【００４５】
以下の表１に、０℃における比抵抗が６．５×１０−８Ω・ｍ以下であり、かつ、伸びの値が２５％以上２００％以下の範囲内の延性を有する金属材料として好適な例を示す。
【００４６】
【表１】
0005514023.tif 000002
【００４７】
（絶縁シート２の構成）
絶縁シート２は、たとえば、シリコーンゴムから形成される。絶縁シート２としては、他に、ウレタンゴム、その他の合成ゴム、あるいは、熱可塑性エラストマ等を用いることができる。また、絶縁シート２は、金属線３を電気回路基板等の電極部に接触させた際に、電極部の高低差に追従できる可撓性および弾性を両立できるように、ショアＡ硬度を２０度以上６０度以下とすることが好ましい。また、耐久性の向上を考慮した場合には、ショアＡ硬度を、３０度以上６０度以下とすることが好ましい。
【００４８】
（異方導電性シート１の製造方法）
なお、異方導電性シート１は、たとえば、つぎのように製造することができる。先ず、シリコーンゴムにより形成されるシート上に、長尺状の金属線３が所定ピッチで平行に配列された基本シートを多数枚準備する。そして、これらの多数枚の基本シートを積層する。このとき、基本シートの積層方向における金属線の配列方向が、基本シートの積層面（基本シート同士が重なる面）に対して直交するように積層される。次いで、多数枚積層された基本シートをプレス等により基本シート同士を圧接着し、シリコーンゴムシートのブロック体を形成する。そして、このブロック体を、金属線３に直交する方向の面に沿って、スライスするように切断する。さらに、切断面、すなわち、金属線３に直交する面にレーザー光を照射し、該面を溶融させることで該面から金属線３を僅かに突出させる。以上のようにして、異方導電性シート１を形成することができる。
【００４９】
（他の実施の形態）
上述した異方導電性シート１に使用される金属線３は、芯材６に銅により形成される導電被覆層８とニッケル被覆層７と金被覆層９との３つの層が被覆されている。しかしながら、異方導電性シートは、以下に説明する図５に示す実施の形態のように、金属線３の構成を、ニッケル被覆層７と金被覆層９との少なくとも一方を設けない構成としてもよい。
【００５０】
たとえば、異方導電性シートは、図５の上段（Ａ）に示す異方導電性シート２０のように、直径３０μｍのニッケルチタン合金の芯材６に、銅被覆層２１を導電被覆層として層厚１．０μｍで直接被覆した金属線２２を金属線として用いることができる。
【００５１】
また、異方導電性シートは、図５の下段（Ｂ）に示す異方導電性シート３０のように、直径３０μｍのニッケルチタン合金の芯材６に、ニッケル被覆層３１を導電被覆層として層厚１．０μｍで直接被覆した金属線３２を金属線として用いることができる。
【００５２】
なお、異方導電性シート２０，３０は、共に厚さが１．０ｍｍであり、金属線２２，３２が縦横０.１ｍｍピッチでマトリクス状に配置されている構成である。
【００５３】
さらに、異方導電性シートは、図６の上段（Ａ）に示す異方導電性シート４０のように、ニッケルチタン合金の芯材６と銅被覆層４１との間にニッケル被覆層４２を形成した金属線４３を用いる構成としてもよい。このように構成した場合には、芯材６と銅被覆層４１との密着性を高くすることができ、金属線４３の折れ曲りに起因して発生する虞がある銅被覆層４１の破断等に対する耐久性を向上させることができる。
【００５４】
また、異方導電性シートは、図６の下段（Ｂ）に示す異方導電性シート５０のように、ニッケルチタン合金の芯材６に銅により形成される導電被覆層である銅被覆層５１を直接被覆し、さらに銅被覆層５１を金被覆層５２で被覆した金属線５３を用いる構成としてもよい。このように構成した場合には、銅被覆層５１に対して、腐食防止等の耐候性を向上させることができる。
【００５５】
上述の異方導電性シート１，２０，４０，５０（以下、これらの異方導電性シートを異方導電性シート１等と記載する。）の銅により形成される導電被覆層８、銅被覆層２１，４１，５１（以下、これらの導電被覆層および銅被覆層を導電被覆層８等と記載する。）の層厚は、１.０μｍとされている。しかしながら、導電被覆層８等の層厚は、０．５μｍ以上１．５μｍ以下とすることができる。
【００５６】
導電被覆層８等の層厚が厚くなるほど、金属線３，２２，４３，５３（以下、これらの金属線を金属線３等と記載する。）の電気抵抗は低くなる一方で、金属線３等が折り曲げられたときには、導電被覆層８等に破断が生じやすくなる。一方、導電被覆層８等の層厚が薄くなるほど、金属線３等が折り曲げられた場合でも、導電被覆層８等に破断が生じ難くなる一方で、金属線３等の電気抵抗が高くなる。そのため、金属線３等の電気抵抗と、金属線３等の折れ曲りに対する導電被覆層８等の破断のし難さとの観点から、異方導電性シート１等における導電被覆層８等の層厚は、０．５μｍ以上１．５μｍ以下とすることが好ましい。
【００５７】
具体的には、たとえば、層厚０．５μｍ未満の導電被覆層８等を形成した異方導電性シート１等においては、繰り返しの折り曲げが行われても破断が生じ難いが、初期抵抗値が０．０４Ωを超え、電気接触子あるいは電気コネクタとして用いることができる適切な電気抵抗値を得ることができない。一方、層厚１．５μｍを超える導電被覆層８等を形成した異方導電性シート１等においては、初期抵抗値は０．０１５Ω未満となる一方で、繰り返しの折り曲げが行われた際に破断が生じ易い。そのため、繰り返し使用後において、電気接触子あるいは電気コネクタとして用いることができる適切な電気抵抗値を得ることができない虞がある。
【００５８】
導電被覆層８等の層厚を、０．９μｍ以上１．１μｍ以下とすることで、異方導線性シート１等の初期抵抗値が０．０２Ω前後となり、また、繰り返しの折り曲げが行われても破断が起き難く、検査治具の電気接触子あるいは電気コネクタとして用いる際の電気抵抗と、金属線３等の折り曲げに対する耐久性とを共に高い水準で適切なものとすることができる。
【００５９】
また、芯材６直径Ｌ１は、１５μｍ以上５０μｍ以下とすることが好ましい。芯材６の直径Ｌ１が１５μｍ未満となると、金属線３等の折り曲げに対して復元力が低くなり、電極部等に対して確実な接触を図れなくなる虞がある。また、芯材６の直径Ｌ１が５０μｍを超えると、金属線３等の復元力は高くなるものの剛性も高くなり、金属線３等の可撓性が損なわれ、電極部等に対してが確実な接触を図れなくなる虞がある。
【００６０】
また、異方導電性シート４０のように芯材６と銅被覆層４１の間にニッケル被覆層４２を形成する場合には、ニッケル被覆層４２は、０.０５μｍ以上０．５μｍ以下の層厚で形成することが好ましい。ニッケル層の層厚を０．０５μｍ以上とすることで、銅被覆層４１と芯材６との密着性を確保することができる。一方、ニッケル層４２の層厚が０．５μｍを超えると、金属線４３の剛性が高くなり、電極部等に対してが確実な接触を図れなくなる虞がある。
【００６１】
異方導電性シート１等の金属線３等は、導電被覆層として銅から形成される導電被覆層８等が設けられている。しかしながら、導電被覆層の材質としては、銅に限らず、たとえば、表１に示す、金、銀（Ａｇ）、アルミニウム（Ａｌ）を用いて導電被覆層を形成することもできる。金、銀、アルミニウム、銅の比抵抗および伸びの値は、概ね、表１のようになっている。
【００６２】
導電被覆層は、所定の延性として、伸びの値において２５％以上を有することで、異方導電性シートが電気接触子あるいは電気コネクタとして使用される際に、金属線が折れ曲りに対して破断が生じ難い延性を有することができる。銅は、上述したように、比抵抗が１．５５×１０−８Ω・ｍ、伸びの値が５０％であり、金、銀、アルミニウムに比べて比抵抗が低く、かつ、高い伸びの値を有している。したがって、導電被覆層を銅により形成することで、金属線３等を低い電気抵抗かつ高耐久に構成することができる。
【００６３】
図５に例示したように、導電被覆層は、１層の構成が示されているが、図６に例示したように２層以上の複数層形成してもよい。複数層とすることで、各層の厚さを薄いものとしながら導電被覆層の全体（合計）の層厚を厚いものとすることができる。つまり、各層を薄くすることで、金属線３等の折り曲げに対して、導電被覆層を破断し難ものとすることができる。一方で、導電被覆層の全体の層厚を厚くすることで、異方導電性シートの電気抵抗の低減を図ることができる。
【００６４】
図７に、本実施形態の異方導電性シート１等を用いた回路基板の電気的検査方法の一例を示す模式図である。ここで、図７中、異方導電性シート１については、構造を簡略化して記載してある。図７に示すように、測定対象となるＩＣパッケージ等の回路基板１００の電気的検査に際しては、不図示のテスターに電気的に接続されたテストヘッド１１０と、このテストヘッド１１０上に配置されると共に、テストヘッド１１０と電気的にも接続されたパフォーマンスボード（測定基板）１２０と、パフォーマンスボード１２０上に配置されると共に、パフォーマンスボード１２０と電気的にも接続されたアダプターソケット１３０とを用いる。そして、測定に際しては、異方導電性シート１等が、アダプターソケット２３０上に配置される。なお、図７に示す例では、不図示のテスターと、テストヘッド１１０と、パフォーマンスボード１２０と、アダプターソケット１３０とが、検査装置本体を構成する。
【００６５】
なお、アダプターソケット１３０の上面側には、異方導電性シート１等の複数の金属線３等に対応する位置に複数の上面側電極（図中、不図示）が設けられている。そして、これらの上面側電極と１対を成すように電気的に接続され、かつ、上面側電極とは平面方向における配置ピッチが異なる下面側電極（図中、不図示）が、アダプターソケット１３０の下面側にも配置されている。また、パフォーマンスボード１２０の上面側には、アダプターソケット１３０の下面側電極に対応する位置に複数の電極（図中、不図示）が設けられている。
【００６６】
ここで、異方導電性シート１等は、各々の金属線３等（図７中では、黒色の縦線で示される部分）とアダプターソケット１３０の上面側電極とが電気的に接続されるように、アダプターソケット１３０上に設置される。そして、この異方導電性シート１等の外周部の上面に、ガイドソケット１４０を配置する。このガイドソケット１４０は、中空部１４２を有している。そして、測定に際しては、ガイドソケット１４０の中空部内に、回路基板１００を嵌め込むようにして、異方導電性シート１等の上面に回路基板１００を配置する。この際、異方導電性シート１等の上面側に露出する個々の金属線３等に対応するように、回路基板１００の下面側の個々の電極（図中、不図示）が接触する。そして、この状態で、回路基板１００を上方から押圧部材（図中、不図示）により押圧する。この際、回路基板１００とアダプターソケット１３０の上面側電極とが金属線３を介して電気的に接続され、回路基板１００の電気的検査が行える。
【実施例】
【００６７】
以下、本発明を実施例を挙げて説明するが、本発明は以下の実施例にのみ限定されるものではない。
【００６８】
（実施例１）
芯材としてニッケルチタン合金製線材（直径３０μｍ、たとえば、大同特殊鋼株式会社製のキオカロイ（ＫＩＯＫＡＬＬＯＹ））を用い、この芯材の表面に導電被覆層として、銅からなる電解メッキ層（厚み１．０μｍ）を形成し、更に、ニッケルからなる電解メッキ層（厚み０．１μｍ）および金からなる電解メッキ層（厚み０．１μｍ）を形成した金属線３を準備した。次に、絶縁シートのマトリックス材料としてシリコーンゴム（たとえば、信越化学工業株式会社製、ＫＥ−９７１Ｕ）を用いて、既述した製造方法により、図１に示すような異方導電性シート１（縦横のサイズ：２５ｍｍ×２５ｍｍ、厚み：１．０ｍｍ、金属線３の配列：正方配列、金属線３の配置ピッチ：１００μｍ）を得た。
【００６９】
（実施例２）
銅からなる電解メッキ層の材料をニッケルに変更した以外は、実施例１と同様にして異方導電性シート１を得た。
【００７０】
（比較例１）
金属線３として銅からなる電解メッキ層を形成しなかった以外は、実施例１と同様にして異方導電性シート１を得た。
【００７１】
（比較例２）
芯材の材質をニッケルチタン合金からベリリウム銅に変更した以外は、比較例１と同様にして異方導電性シート１を得た。
【００７２】
（比較例３）
芯材をニッケルチタン合金から真鍮に変更した以外は、比較例１と同様にして異方導電性シート１を得た。
【００７３】
＜評価＞
各実施例および各比較例の異方導電性シート１について、折り曲げテスト、初期抵抗値および繰り返し圧縮後の抵抗値について評価した。結果を表２に示す。
【００７４】
【表２】
0005514023.tif 000003
【００７５】
なお、表２中に示す「折り曲げテスト」、「初期抵抗値」および「繰り返し圧縮後の抵抗値の上昇の有無」の測定方法および評価基準は以下の通りである。
【００７６】
−折り曲げテスト−
折り曲げテストは、各実施例および各比較例の異方導電性シート１を２つ折りした後のシート形状の復元力を目視観察することで評価した。評価基準は以下の通りである。
○：シート形状は折り曲げ前の元の形状に完全に復元した。
×：シート形状は折れ曲がったまま、元の形状に殆ど復元できなかった。
【００７７】
−初期抵抗値−
初期抵抗値は、各実施例および各比較例の異方導電性シート１を、電気回路基板の検査治具の電気接触子として使用する前の比抵抗を測定することにより求めた。なお、異方導電性シートとして適正な初期抵抗値は、約０．０３Ω以下の範囲内である。
【００７８】
−繰り返し圧縮後の抵抗値の上昇の有無−
繰り返し圧縮後の抵抗値の上昇の有無は、各実施例および各比較例の異方導電性シート１を、電気回路基板の検査治具の電気接触子として繰り返し使用した後の比抵抗値を測定し、この測定値を初期抵抗値と比較したときの上昇率として評価した。ここで、繰り返し使用は、電気回路基板の金メッキ電極と先端Ｒ形状のφ１．０ｍｍのピン電極との間において、該ピン電極により異方導電性シートを圧縮量０．２５ｍｍで１万回繰り返して圧縮する使用である。評価基準は以下の通りである。
○：繰り返し使用した後の比抵抗値の初期抵抗値に対する上昇率が５０％以下である。
×：繰り返し使用した後の比抵抗値の初期抵抗値に対する上昇率が５０％を超える。
【符号の説明】
【００７９】
１，２０，３０，４０，５０  …  異方導電性シート
２  …  絶縁シート
３，２２，３２，４３，５３  …  金属線
４，５  …  面
６  …  芯材
８，２１，４１，５１  …  銅被覆層（導電被覆層）
９，５２  …  金被覆層（導電被覆層）
３１  …  ニッケル被覆層（導電被覆層）
４２  …  ニッケル被覆層
１００  回路基板
１１０  テストヘッド
１２０  パフォーマンスボード（測定基板）
１３０  アダプターソケット
１４０  ガイドソケット
１４２  中空部
【図１】
0005514023.tif 000004
【図２】
0005514023.tif 000005
【図３】
0005514023.tif 000006
【図４】
0005514023.tif 000007
【図５】
0005514023.tif 000008
【図６】
0005514023.tif 000009
【図７】
0005514023.tif 000010