(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材（３）と、第２部材（２）との間を、フレキシブルプリント基板（１３）により電気的に接続する接続工程と、
前記第１部材（３）と第２部材（２）とを、それらの形成する内部空間内に前記フレキシブルプリント基板（１３）が収納された状態で結合する組付工程とを含むセンサ装置（１，２１）の製造方法において、
前記第１部材（３）には、前記内部空間内で開口するように、前記フレキシブルプリント基板（１３）の中間部のたるみ部分を収容する収容凹部（９ｂ）が形成されていると共に、
前記フレキシブルプリント基板（１３）には、前記収容凹部（９ｂ）に収容される中間部分に位置して、磁性材料からなる吸着部材（１５）が固着されており、
前記接続工程後に、前記吸着部材（１５）を、前記第１部材（３）の外部から磁気的に吸引することにより、前記フレキシブルプリント基板（１３）の中間部のたるみ部分を前記収容凹部（９ｂ）内に収容させる収容工程を実行することを特徴とするセンサ装置の製造方法。
【請求項２】
前記収容工程は、磁石からなる磁性治具（１８）を用いて、前記第１部材（３）の外部から前記吸着部材（１５）を吸引して前記収容凹部（９ｂ）内に入り込むようにさせることにより実行されることを特徴とする請求項１記載のセンサ装置の製造方法。
【請求項３】
前記収容工程は、前記収容凹部（９ｂ）の開口部を上向きとした前記第１部材（３）の配置状態で実行されることを特徴とする請求項２記載のセンサ装置の製造方法。
【請求項４】
前記収容工程は、前記第１部材（３）と第２部材（２）とが位置合せ状とされた仮接合状態で実行され、その後、前記仮接合状態の第１部材（３）と第２部材（２）とを結合する組付工程が実行されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のセンサ装置の製造方法。
【請求項５】
前記収容工程は、前記組付工程の前、又は、前記組付工程の後、或いは、前記組付工程と同時に実行されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のセンサ装置の製造方法。
【請求項６】
第１部材（３）と、第２部材（２）と、それらの間を電気的に接続するフレキシブルプリント基板（１３）とを備え、前記フレキシブルプリント基板（１３）は、接続作業のために予め長尺に構成されると共に、前記第１部材（３）と第２部材（２）との結合状態で、それらの形成する内部空間内に収容されるセンサ装置（１，２１）であって、
前記第１部材（３）には、前記内部空間内で開口するように、前記フレキシブルプリント基板（１３）の中間部のたるみ部分を収容する収容凹部（９ｂ）が形成されていると共に、
前記フレキシブルプリント基板（１３）には、前記収容凹部（９ｂ）に収容される中間部分に位置して、前記第１部材（３）の外部からの磁気的な吸引によって前記収容凹部（９ｂ）に対して前記たるみ部分を収容させる磁性材料からなる吸着部材（１５）が固着されていることを特徴とするセンサ装置。
【請求項７】
前記吸着部材（１５）は、前記フレキシブルプリント基板（１３）の重量を調整して、外部の振動周波数に対して共振周波数をずらすためのウェイトとしての機能を兼用していることを特徴とする請求項６記載のセンサ装置。
【請求項８】
前記フレキシブルプリント基板（１３）には、前記中間部のたるみ部分に位置して、ノイズ除去用の電子部品（２２）が実装され、
前記ノイズ除去用の電子部品（２２）が、前記フレキシブルプリント基板（１３）の重量を調整して、外部の振動周波数に対して共振周波数をずらすためのウェイトとしての機能を兼用していることを特徴とする請求項６記載のセンサ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１部材と、第２部材と、それらの間を電気的に接続するフレキシブルプリント基板とを備えるセンサ装置の製造方法及びセンサ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば自動車のエンジンのコモンレール圧の検出に用いられる半導体圧力センサは、圧力を導入するためのパイプ部を下方に延びて有する金属（ＳＵＳ）製のハウジングと、このハウジングの上面側に結合（接合）される合成樹脂製のコネクタケース部とを備えている。前記コネクタケース部の上部には、ターミナルがインサート成型により設けられて外部接続用のコネクタが構成されている。また、コネクタケース部の下端側外周部には、下面が開口した金属円筒部が設けられている。コネクタケース部は、前記金属円筒部の下端部がハウジングに溶接されることにより結合される。
【０００３】
前記ハウジングの上面側には、パイプ部の上端部に設けられたダイヤフラム部の圧力が伝達される圧力検出素子がガラスにより接着されている。そして、この圧力検出素子と前記コネクタのターミナルとの間の電気的接続は、細長い合成樹脂製フィルムに配線パターンが形成されたフレキシブルプリント基板（以下「ＦＰＣ」と略称する）によりなされるようになっている（例えば特許文献１参照）。この場合、ＦＰＣの一端側が、ハウジングに接着され、その上面の電極と前記圧力検出素子の電極とがボンディングワイヤにより接続される。また、ＦＰＣの他端部の電極が、コネクタのターミナルの基端部に対してはんだ付けにより接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１１１４３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記した半導体圧力センサを製造する場合には、コネクタケース側（ターミナル）にＦＰＣの他端部をはんだ付けにより接続し、ハウジングの上面にＦＰＣの一端側を接着しボンディングワイヤにより接続し、その後、ハウジングに対しコネクタケースの金属円筒部を溶接する、という手順がとられる。このとき、上記した接続作業を行う（作業性を確保する）ために、ＦＰＣは、予め、最終的な組付形態で必要となる長さよりも長尺に構成されている。そのため、半導体圧力センサの組付状態では、ＦＰＣはたるみをもった状態でハウジングとコネクタケースとの間の内部空間に収納されるようになる。
【０００６】
しかし、そのようにＦＰＣがたるみをもった状態で収納されると、そのたるみ部分がボンディングワイヤに接触し、ボンディングワイヤにダメージを与えてしまうといった不具合があった。尚、ＦＰＣの長さが比較的長くなると、外部（車体やエンジン）の振動に伴い共振を起し、大きな振幅で振動することがあり、その共振により、はんだ接続部やボンディングワイヤ部分、或いは接着部に大きなダメージを与えたり、ＦＰＣ自身が劣化したりする虞がある。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、第１部材と第２部材とをフレキシブルプリント基板により電気的に接続するものにあって、作業工程上、フレキシブルプリント基板を予め長尺に構成せざるを得ない事情があっても、フレキシブルプリント基板のたるみに起因する不具合を未然に防止することができるセンサ装置の製造方法及びセンサ装置を提供するにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明のセンサ装置の製造方法は、第１部材（３）と第２部材（２）との間をフレキシブルプリント基板（１３）により電気的に接続する接続工程と、前記第１部材（３）と第２部材（２）とをそれらの形成する内部空間内に前記フレキシブルプリント基板（１３）が収納された状態で結合する組付工程とを含むセンサ装置（１，２１）の製造方法であって、前記第１部材（３）には、前記内部空間内で開口するように、前記フレキシブルプリント基板（１３）の中間部のたるみ部分を収容する収容凹部（９ｂ）が形成されていると共に、前記フレキシブルプリント基板（１３）には、前記収容凹部（９ｂ）に収容される中間部分に位置して、磁性材料からなる吸着部材（１５）が固着されており、前記接続工程後に、前記吸着部材（１５）を、前記第１部材（３）の外部から磁気的に吸引することにより、前記フレキシブルプリント基板（１３）の中間部のたるみ部分を前記収容凹部（９ｂ）内に収容させる収容工程を実行するところに特徴を有する（請求項１の発明）。
【０００９】
また、上記目的を達成するために、本発明のセンサ装置は、第１部材（３）と、第２部材（２）と、それらの間を電気的に接続するフレキシブルプリント基板（１３）とを備え、前記フレキシブルプリント基板（１３）は、接続作業のために予め長尺に構成されると共に、前記第１部材（３）と第２部材（２）との結合状態で、それらの形成する内部空間内に収容されるセンサ装置（１，２１）であって、前記第１部材（３）には、前記内部空間内で開口するように、前記フレキシブルプリント基板（１３）の中間部のたるみ部分を収容する収容凹部（９ｂ）が形成されていると共に、前記フレキシブルプリント基板（１３）には、前記収容凹部（９ｂ）に収容される中間部分に位置して、前記第１部材（３）の外部からの磁気的な吸引によって前記収容凹部（９ｂ）に対して前記たるみ部分を収容させる磁性材料からなる吸着部材（１５）が固着されているところに特徴を有する（請求項６の発明）。
【００１０】
本発明においては、第１部材（３）と第２部材（２）とを電気的に接続するフレキシブルプリント基板（「ＦＰＣ」という）（１３）は、接続作業上、予め長尺に構成されるため、中間部にたるみ部分が生ずる事情がある。ところが、第１部材（３）に内部空間内で開口する収容凹部（９ｂ）が形成されているので、ＦＰＣ（１３）のたるみ部を収容凹部（９ｂ）に収容させることにより、ＦＰＣ（１３）のたるみ部が、例えばボンディングワイヤ（１６）等の他の部材特に強度の小さい部材に接触することを無くすことができる。
【００１１】
このとき、第１部材（３）と第２部材（２）との接合状態では、ＦＰＣ（１３）が配置されている内部空間は閉塞されるため、接合後に外部からＦＰＣ（１３）の中間部を直接的に動かすことはできない。ところが、ＦＰＣ（１３）の中間部分に、磁性材料からなる吸着部材（１５）を固着したことにより、磁気的な吸引力によって吸着部材（１５）ひいてはＦＰＣ（１３）の中間部分を動かすことが可能となる。
【００１２】
従って、第１部材（３）の外部からの磁気的な吸引力によって、ＦＰＣ（１３）の中間部のたるみ部分を収容凹部（９ｂ）内に収容させることができ（収容工程）、この結果、ＦＰＣ（１３）のたるみに起因する不具合を未然に防止することができる。尚、ＦＰＣ（１３）の中間部のたるみ部分を収容凹部（９ｂ）内に収容させる作業（収容工程）は、第１部材（３）と第２部材（２）との接合時（組付工程）の直前に行っても良いし、組付工程後に実行しても良い。さらに、組付工程と同時（実行中）に収容工程を実行することも可能である。
【００１３】
本発明のセンサ装置の製造方法においては、前記収容工程を、磁石からなる磁性治具（１８）を用いて、前記第１部材（３）の外部から前記吸着部材（１５）を吸引して前記収容凹部（９ｂ）内に入り込むようにさせることにより実行することができる（請求項２の発明）。このとき、収容工程を、前記収容凹部（９ｂ）の開口部を上向きとした前記第１部材（３）の配置状態で実行すれば、より効果的となる（請求項３の発明）。
【００１４】
本発明のセンサ装置の製造方法においては、前記収容工程を、前記第１部材（３）と第２部材（２）とが位置合せ状とされた仮接合状態で実行し、その後、前記仮接合状態の第１部材（３）と第２部材（２）とを結合する組付工程を実行することができる（請求項４の発明）。或いは、前記収容工程を、前記組付工程の前、又は、前記組付工程の後、或いは、前記組付工程と同時に実行することができる（請求項５の発明）。
【００１５】
ところで、上記構成のセンサ装置（１，２１）を、例えば自動車に搭載する場合、車体やエンジン等の振動に伴ってＦＰＣ（１３）が共振するようなことがあると、電気的な接続部に対するダメージ等の不具合が生ずる。この場合、自動車における主要な振動周波数の成分は、例えば実験的に求めることができ、いくつかに限られてくる。これに対し、ＦＰＣ（１３）の共振周波数は、その重量に応じて変動するため、例えば重量を調整することによって、共振周波数をずらすことができる（重量を大きくすると共振周波数は小さくなる）。
【００１６】
そこで、本発明のセンサ装置においては、前記吸着部材（１５）を、前記ＦＰＣ（１３）の重量を調整して、外部の振動周波数に対して共振周波数をずらすためのウェイトとしての機能を兼用させることができる（請求項７の発明）。これによれば、吸着部材（１５）の重量を調整することにより、ＦＰＣ（１３）の共振周波数を調整することができ、共振しにくいＦＰＣ（１３）にすることができる。このとき、共振周波数の調整のためのウェイトとして、吸着部材（１５）を利用しているので、部品数が増えたり、構造が徒に複雑化したりすることなく、簡単で安価な構成で済ませることができる。
【００１７】
或いは、ＦＰＣ（１３）に、中間部のたるみ部分に位置して、ノイズ除去用の電子部品（２２）を実装し、そのノイズ除去用の電子部品（２２）を、前記ＦＰＣ（１３）の重量を調整して、外部の振動周波数に対して共振周波数をずらすためのウェイトとしての機能を兼用させることができる（請求項８の発明）。これによれば、ＦＰＣ（１３）にノイズ除去用の電子部品（２２）を実装して重量を調整することにより、ＦＰＣ（１３）の共振周波数を調整することができ、高いノイズ除去効果を得ながら、共振しにくいＦＰＣ（１３）にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施例を示すもので、圧力センサ装置の全体構成を示す縦断面図
【図２】接続工程の様子を示す圧力センサ装置の縦断面図
【図３】収容工程の実行時の様子を示す圧力センサ装置の上下反転した縦断面図
【図４】本発明の第２の実施例を示す図１相当図
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を、例えば自動車のエンジンのコモンレールの燃料パイプ内圧力の検出に用いられる半導体圧力センサ装置に適用した第１の実施例について、図１ないし図３を参照して説明する。図１は、本実施例に係るセンサ装置たる圧力センサ装置１の全体構成を示している。この圧力センサ装置１は、図２及び図３にも示すように、第２部材としての金属製（例えばＳＵＳ製）のハウジング２と、第１部材としてのコネクタケース部３とを結合（接合）して構成される。
【００２０】
前記ハウジング２は、この場合、円板状（中心部に穴を有するリング状）をなすベース部４と、上端がその穴に差込まれて配置される円管状のパイプ部５とを、ベース部４の下面側にて溶接等により固着して構成されている。これにて、ハウジング２は、ベース部４の下面中心部から下方に延びるパイプ部５を一体的に有した形態を有して構成される。ハウジング２全体を一体物として製造する場合に比べて、製造が簡単になり、また、ベース部４とパイプ部５との間で、材質を異ならせることも可能とされている。
【００２１】
前記パイプ部５は、先端（下端）面が開口し、基端部（上端部）には管の開口端部を塞ぐようにしてダイヤフラム６が一体に設けられている。また、パイプ部５の外周部には、ねじ部５ａが形成されている。図示はしないが、この圧力センサ装置１は、コモンレール部分に設けられた雌ねじ部を有する取付穴に対し、前記ねじ部５ａがねじ込まれることにより取付けられる。これにより、パイプ部５内の中空部を通してコモンレール圧（燃料圧）が導入され、ダイヤフラム６がその圧力を受けて変形するようになっている。
【００２２】
そして、前記ハウジング２の上面中央部（前記ダイヤフラム６の上面部）には、圧力検出素子（半導体圧力センサチップ）７が、接着用ガラス８を介して接着され、前記ダイヤフラム６の圧力が伝達されるようになっている。詳しく図示はしないが、前記圧力検出素子７は、周知のように、シリコンチップに、４個のピエゾ抵抗体をブリッジ接続してなる歪みゲージを形成すると共に、増幅回路を一体的に組込んで構成されおり、上面の図１で右辺部に、３個の電極（電源、グランド、信号出力）を有している。
【００２３】
一方、図１〜図３に示すように、前記コネクタケース部３は、例えばＰＰＳ等の合成樹脂の成型品からなり、円柱ブロック状のボディ部９と、そのボディ部９から上方に延びる筒状のコネクタハウジング９ａとを一体に有すると共に、例えば３本のターミナル１０、及び、金属円筒部１１をインサート成型により一体的に備えて構成される。前記コネクタハウジング９ａとターミナル１０とから、外部（例えばエンジン制御装置（ＥＣＵ））との電気的接続用のコネクタ１２が構成される。
【００２４】
前記金属円筒部１１は、前記ハウジング２（ベース部４）の外径寸法よりもやや径小に構成された下面側が開口する薄肉円筒状の胴部の上端面に、中心部に円形開口部を有したリング状部を一体に有する形態をなしている。この金属円筒部１１は、前記胴部が、前記ボディ部９の外周面に密着するように位置し、リング状部がボディ部９内に埋め込まれた形態にインサート成型される。この金属円筒部１１の胴部の下端部は、ボディ部９の下面よりも、下方に延びて位置している。
【００２５】
後述するように、この金属円筒部１１の下端部を前記ハウジング２のベース部４の上面に例えば溶接により結合（接合）することにより、ハウジング２とコネクタケース部３とが組付けられる。このとき、ボディ部９の下面側と前記ハウジング２の上面との間には、外周側が金属円筒部１１により塞がれた内部空間が形成されるようになっており、この内部空間内に前記圧力検出素子７や後述するＦＰＣ等の部品が配置される。
【００２６】
また、前記３本のターミナル１０（１本のみ図示）は、上下方向に延びるピン状をなし、その下部が前記ボディ部９内に埋込まれた形態にインサート成型され、上端部分が前記コネクタハウジング９ａ内に配置される。前記３本のターミナル１０の下端部は、ボディ部９の下面から若干量の長さだけ下方に突出している。そして、前記ボディ部９には、図１で右側外周寄り部分に位置して、下面側（内部空間内）で開口するように収容凹部９ｂが形成されている。この収容凹部９ｂは、断面矩形状をなし、後述するＦＰＣの中間部（たるみ部分）が収容される大きさに形成されている。
【００２７】
さて、前記圧力検出素子７と、コネクタ１２（３本のターミナル１０）との間は、内部空間内に配置されるフレキシブルプリント基板１３（以下「ＦＰＣ１３」と略称する）により電気的に接続される。周知のように、このＦＰＣ１３は、例えばポリイミドフィルムの表面に銅箔等の配線パターン１３ａを形成して構成される。本実施例では、ＦＰＣ１３は、全体として細長い帯状に形成され、３本の配線パターン１３ａ（１本のみ図示）が長手方向に並行して延びて設けられている。
【００２８】
詳しく図示はしないが、このＦＰＣ１３の一端側表面部には、前記圧力検出素子７との接続用の３個の電極が、各配線パターン１３ａに夫々連続して設けられ、他端側には、前記各ターミナル１０との接続用の３個のスルーホールが各配線パターン１３ａに夫々接続されて設けられている。また、このＦＰＣ１３の途中部（スルーホールに近い部分）には、ノイズ除去用の（ノイズフィルタを構成する）チップコンデンサ１４が実装されている。そして、このＦＰＣ１３の中間部分には、磁性材料例えば鉄からなるチップ状の吸着部材１５が、例えば接着やはんだ付け等の方法により固着されている。尚、この吸着部材１５は、共振防止の観点から予め設定される重量を有している。
【００２９】
次の作用説明（製造方法の工程説明）でも述べるように、このＦＰＣ１３は、一端側の裏面が、前記ハウジング２の上面の圧力検出素子７の右側部分に接着され、各配線パターン１３ａの端部の電極と、圧力検出素子７の各電極とが、ボンディングワイヤ１６により電気的に接続される。一方、ＦＰＣ１３の他端側は、前記一端側の接着部分から図１で上方左側に折返された状態で、その裏面側が前記コネクタケース部３のボディ部９の下面に接着される。また、前記各ターミナル１０の基端部が前記各スルーホールに通され、はんだ付け（はんだ付け部１７）により各配線パターン１３ａに接続される。
【００３０】
そして、ＦＰＣ１３は長尺であるため、ハウジング２とコネクタケース部３との間の内部空間内に配置されるＦＰＣ１３の中間部にたるみ部分が生ずるが、その中間部分が、収容凹部９ｂ内に収容されるようになっている。このとき、ＦＰＣ１３の中間部を収容凹部９ｂ内に収容する作業は、ＦＰＣ１３の中間部に固着された吸着部材１５を、コネクタケース部３の外部から磁気的に吸引することにより行われ、最終的には、前記吸着部材１５が収容凹部９ｂ内の底部（上端部）に位置される。
【００３１】
次に、上記構成の作用について述べる。上記構成の圧力センサ装置１を製造するにあたっては、まず、第１部材としてのコネクタケース部３（ターミナル１０及び金属円筒部１１をインサート成型により備えたもの）を製造する。これと共に、第２部材としてのハウジング２（ベース部４にパイプ部５を溶接し圧力検出素子７を接着したもの）を製造する。また、吸着部材１５を固着したＦＰＣ１３を用意しておく。
【００３２】
次いで、上記ハウジング２とコネクタケース部３との間を、ＦＰＣ１３により電気的に接続する接続工程が実行される。この接続工程は、図２に示すように、ＦＰＣ１３の一端側を、ハウジング２の上面に接着した後、圧力検出素子７の各電極とＦＰＣ１３の各電極との間のワイヤボンディングを行う。これと共に、ＦＰＣ１３の他端側を、コネクタケース部３のボディ部９の下面（図２ではコネクタケース部３を上下反転しているため上面）に接着し、各ターミナル１０をＦＰＣ１３の各スルーホールに通してはんだ付けを行う。このとき、上記した接続の作業性を確保するために、ＦＰＣ１３は、組付状態で中間部にたるみ部分が生ずる程度に長く構成される。
【００３３】
そして、上記接続工程の後、ハウジング２とコネクタケース部３とを、ハウジング２の上面外周部に対して金属円筒部１１の下端部を位置合せ状に載置した仮接合（仮止め）状態とし、その状態で、前記収容凹部９ｂに対してＦＰＣ１３の中間部（たるみ部分）を収容する収容工程が実行される。この収容工程は、図３に示すように、ハウジング２及びコネクタケース部３を上下反転した状態、つまり、収容凹部９ｂの開口部が上向きとなるように、コネクタケース部３を配置した状態で実行される。
【００３４】
この収容工程では、コネクタケース部３のボディ部９の外部（この場合下側）から、例えば永久磁石からなる磁性治具１８を用いて、ＦＰＣ１３の中間部に固着された吸着部材１３を磁気的に図３で下方に吸引する。これにより、吸着部材１３を収容凹部９ｂ内の奥方に入り込ませるようにし、更に吸着部材１３を収容凹部９ｂの底部に向けて動かすようにする。このとき、磁気的な吸引力に加えて重力の作用によって、吸着部材１３を収容凹部９ｂ内の奥方にスムーズに入り込ませることが期待できる。
【００３５】
このように、ＦＰＣ１３に固着された吸着部材１３を移動させることによって、ＦＰＣ１３の中間部分が収容凹部９ｂ内に収容されてたるみが解消されるようになる。この後、仮接合状態とされたハウジング２とコネクタケース部３の金属円筒部１１とを、溶接により結合する組付工程が実行される。これにて、図１に示すように、ハウジング２とコネクタケース部３とがなす内部空間に、圧力検出素子７やＦＰＣ１３が収容された圧力センサ装置１が完成するのである。
【００３６】
このような本実施例によれば、ハウジング２とコネクタケース部３とを電気的に接続するＦＰＣ１３が、接続作業上、予め長尺に構成される事情があっても、コネクタケース部３のボディ９に形成された収容凹部９ｂ内に、ＦＰＣ１３の中間部分を収容凹部９ｂに収容させることにより、ＦＰＣ１３のたるみ部が、ボンディングワイヤ１６に接触して悪影響を与えてしまうといったことを未然に防止することができる。
【００３７】
このとき、ハウジング２とコネクタケース部３との接合（仮接合）状態では、ＦＰＣ１３が配置されている内部空間は閉塞されるため、外部からＦＰＣ１３の中間部を直接的に動かすことはできない。ところが、本実施例では、ＦＰＣ１３の中間部分に、磁性材料からなる吸着部材１５を固着したことにより、収容工程において、コネクタケース部３の外部からの磁性治具１８による磁気的な吸引力によって吸着部材１５ひいてはＦＰＣ１３の中間部分を動かして、収容凹部９ｂ内に収容させることが可能となったのである。この結果、ＦＰＣ１３のたるみに起因する不具合を未然に防止することができる。
【００３８】
ところで、本実施例の圧力センサ装置１は、自動車に搭載されるのであるが、車体やエンジン（コモンレール）等の振動に伴ってＦＰＣ１３が共振するようなことがあると、ボンディングワイヤ１６やはんだ付け部１７等の電気的な接続部に対するダメージ等の不具合が生ずる。この場合、自動車における主要な振動周波数の成分は、例えば実験的に求めることができ、いくつかに限られてくる。これに対し、ＦＰＣ１３の共振周波数は、その重量に応じて変動するため、重量を調整することによって、共振周波数を上記いくつかの主要な振動周波数からずらすことができる。
【００３９】
そこで、本実施例においては、予め実験的に求められた適切な（共振を起こしにくい）共振周波数となるように、吸着部材１５の重量を設定したことにより、前記ＦＰＣ１３の重量を調整して外部の振動周波数に対して共振周波数をずらすためのウェイトとしての機能を兼用させている。これによれば、吸着部材１５の重量の調整によって、共振しにくいＦＰＣ１３を得ることができる。共振周波数の調整のためのウェイトとして、吸着部材１５を利用しているので、部品数が増えたり、構造が徒に複雑化したりすることなく、簡単で安価な構成で済ませることができる。
【００４０】
図４は、本発明の第２の実施例に係る圧力センサ装置２１の構成を示しており、上記第１の実施例の圧力センサ装置１と相違するところは、ハウジング２とコネクタケース部３との間を電気的に接続するＦＰＣ１３の構成にある。即ち、ＦＰＣ１３には、上記第１実施例と同様に、ノイズ除去用のチップコンデンサ１４や、収容工程を実行するための例えば鉄製の吸着部材１５が設けられているのであるが、ここでは、それに加えて、ＦＰＣ１３の中間部（たるみ部分）に位置して、ノイズ除去用の電子部品たるチップ部品２２が複数個設けられている。このチップ部品２２としては、チップコンデンサ、チップ抵抗、静電気防止用のチップダイオード等を採用することができる。これらチップ部品２２は、ＦＰＣ１３の重量を調整して、外部の振動周波数に対して共振周波数をずらすためのウェイトとしての機能を兼用しているのである。
【００４１】
この第２の実施例によれば、上記第１の実施例と同様に、ＦＰＣ１３の中間部分に、磁性材料からなる吸着部材１５を固着したことにより、収容工程において、ＦＰＣ１３の中間部分を収容凹部９ｂ内に収容させることができ、ＦＰＣ１３のたるみに起因する不具合を未然に防止することができる。そして、これに加えて、ＦＰＣ１３にチップ部品２２を実装することにより重量を調整することによって、ＦＰＣ１３の共振周波数を調整することができ、より高いノイズ除去効果を得ながら、共振しにくいＦＰＣ１３を得ることができる。
【００４２】
尚、上記第１の実施例では、ＦＰＣ１３の中間部を収容凹部９ｂ内に収容させる収容工程を、ハウジング２とコネクタケース部３との接合（組付工程）の前に行うようにしたが、組付工程後に実行しても良く、組付工程と同時（実行中）に収容工程を実行することも可能である。また、上記各実施例では、吸着部材１５の材料（磁性材料）を鉄から構成したが、他の磁性材料を採用したり、或いは、永久磁石を採用したりしても良い。このとき、吸着部材１５を動かすための磁性治具１８としても、永久磁石に限らず、電磁石を備えたものとしても良く、吸着部材が永久磁石からなる場合には、鉄等の磁性材料から構成することも可能である。
【００４３】
さらには、上記各実施例では、本発明を半導体圧力センサ装置に適用するようにしたが、圧力検出以外にも、他の力学量や温度の検出、特定物質の検出など、様々な用途及び検出対象のセンサ装置に適用することができる。その他、第１部材及び第２部材の具体的な構成についても様々な変更が可能であることは勿論であり、それらの接合の方法についても、ロウ付け、かしめ結合、ねじ止め等様々な方法を採用できる等、本発明は要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施し得るものである。
【符号の説明】
【００４４】
図面中、１，２１は圧力センサ装置（センサ装置）、２はハウジング（第２部材）、３はコネクタケース部（第１部材）、７は圧力検出素子、９はボディ部、９ｂは収容凹部、１０はターミナル、１２はコネクタ、１３はフレキシブルプリント基板、１３ａは配線パターン、１４はチップコンデンサ、１５は吸着部材、１６はボンディングワイヤ、１８は磁性治具、２２はチップ部品（電子部品）を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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