(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマプロセスの少なくとも１つの第１の特性量（ＫＧ）を所定の第１の閾値（ＳＷ1）と比較し、該第１の閾値（ＳＷ1）に到達した際には潜在的なアーク放電を識別し、第１の時間（ｔＡＳ1）にわたって該アーク放電を抑制する第１の対抗措置を講じることによってプラズマプロセスの少なくとも１つの第１の特性量（ＫＧ）を監視する、プラズマプロセスにおけるアーク放電を識別する方法において、
前記プラズマプロセスの少なくとも１つの第１の特性量または少なくとも１つの第２の特性量を、前記第１の閾値とは異なる所定の第２の閾値（ＳＷ2）と比較し、該第２の閾値に到達すると、第２の時間（ｔＡＳ2）にわたってアーク放電を抑制する第２の対抗措置を講じ、
前記第１の特性量または前記第２の特性量が前記第２の閾値に達した直後または該第２の対抗措置の開始直後に開始する所定の遮断時間（Ｔｔ）の間、前記第２の対抗措置を講じた後は、該第２の対抗措置が再び講じられることを阻止し、前記遮断時間（Ｔｔ）中でも前記第１の対抗措置を講じることができ、
ただし、前記第１の特性量または前記第２の特性量は、アーク放電が存在しないときの値から偏差すると、先ず前記第２の閾値（ＳＷ2）に到達することを特徴とする、プラズマプロセスにおけるアーク放電を識別する方法。
【請求項２】
前記第２の時間（ｔＡＳ2）は前記第１の時間（ｔＡＳ1）より短い、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記第１の特性量または前記第２の特性量が前記第２の閾値（ＳＷ2）に達した後、
ａ）前記第１の特性量（ＫＧ）が前記第１の閾値（ＳＷ1）に達したとき、前記第１の対抗措置を講じるか、
または、
ｂ）所定の時間にわたって、前記第１の特性量と前記第１の閾値（ＳＷ1）との比較を行わないか、または該比較の結果を無視する請求項１または２記載の方法。
【請求項４】
１つまたは複数の特性量を２つ以上の閾値と比較し、該２つ以上の閾値に達するとそれぞれの対抗措置で反応する、請求項１から３までのいずれか１項記載の方法。
【請求項５】
第１の対抗措置または第２の対抗措置として、プラズマ直流電圧供給部を遮断するか、プラズマ直流電圧供給部の電圧の極性を反転させる、請求項１から４までのいずれか１項記載の方法。
【請求項６】
前記第２の時間（ｔＡＳ2）に対してｔ0≦ｔＡＳ2≦２０μｓ、ただしｔ0に対してはｔ0≦１μｓ、が適用される、請求項１から５までのいずれか１項記載の方法。
【請求項７】
前記遮断時間（Ｔｔ）は前記第１の時間（ｔＡＳ1）または前記第２の時間（ｔＡＳ2）よりも長い、請求項１から６までのいずれか１項記載の方法。
【請求項８】
前記第１の閾値（ＳＷ1）に到達した後の所定の第１の遅延時間（ｔ1）の経過後に、前記第１の閾値（ＳＷ1）に依然として到達しているか否かを検査し、到達している場合には前記第１の対抗措置を講じる、請求項１から７までのいずれか１項記載の方法。
【請求項９】
前記遮断時間（Ｔｔ）を第１の値、例えばＴｔ＞０と、数μｓまたは数ｍｓのオーダにある第２の値との間の値に調整する、請求項１から８までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１０】
前記遮断時間（Ｔｔ）を前記第２の対抗措置の持続時間よりも長い値に調整する、請求項１から９までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１１】
前記第２の閾値（ＳＷ2）を、所定の期間内の前記第１の特性量または前記第２の特性量の極限値として求め、
少なくとも、前記第１の特性量または前記第２の特性量の瞬時値または該瞬時値に比例する値と前記第２の閾値（ＳＷ2）とを比較することにより、前記アーク放電の識別を実施し、前記瞬時値または該瞬時値に比例する値と前記極限値との偏差量が所定の偏差量を超えるか、前記瞬時値または該瞬時値に比例する値が所定の偏差量から求められる基準値に達する場合にはアーク放電を検出する、請求項１から１０までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１２】
１つまたは複数の閾値に到達する頻度を検出する、請求項１から１１までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１３】
プラズマプロセスの第１の特性量（ＫＧ）を所定の第１の閾値（ＳＷ1）と比較する第１の比較手段（４）を備えた比較装置（３）を有し、該第１の比較手段（４）によって、前記第１の閾値（ＳＷ1）への到達時に第１の制御信号（ＡＳ1）をアクティブ化することによって、第１の時間（ｔＡＳ1）にわたってアーク放電を抑制する第１の対抗措置が講じられる、プラズマプロセスにおけるアーク放電を識別するアーク放電識別装置（１）において、
前記比較装置（３）は、前記プラズマプロセスの第１の特性量または第２の特性量を、前記第１の閾値（ＳＷ1）とは異なる所定の第２の閾値（ＳＷ2）と比較する第２の比較手段（５）をさらに有し、
前記第１の特性量または前記第２の特性量は、アーク放電が存在しないときの値から偏差すると、先ず前記第２の閾値（ＳＷ2）に到達し、
前記第１の特性量または前記第２の特性量が前記第２の閾値（ＳＷ2）に到達すると前記第２の比較手段（５）が第２の制御信号（ＡＳ2）のアクティブ化によって、第２の時間（ｔＡＳ2）にわたってアーク放電を抑制する第２の対抗措置を講じ、
前記比較装置（３）は遮断制御ユニット（６）を有し、前記第１の特性量または前記第２の特性量が前記第２の閾値に達した直後または該第２の対抗措置の開始直後に開始する所定の遮断時間（Ｔｔ）の間、該遮断制御ユニット（６）によって前記第２の制御信号（ＡＳ2）をアクティブ化した後は、前記第２の制御信号（ＡＳ2）が再びアクティブ化されることが阻止され、前記遮断時間（Ｔｔ）中でも前記第１の対抗措置を講じることができることを特徴とする、プラズマプロセスにおけるアーク放電を識別するアーク放電識別装置（１）。
【請求項１４】
前記第１の特性量または前記第２の特性量が前記第２の閾値（ＳＷ2）に達した後、
ａ）前記第１の特性量（ＫＧ）が前記第１の閾値（ＳＷ1）に達したとき、前記第１の対抗措置を講じるか、
または、
ｂ）所定の時間にわたって、前記第１の特性量と前記第１の閾値（ＳＷ1）との比較を行わないか、または該比較の結果を無視する、請求項１３記載のアーク放電識別装置（１）。
【請求項１５】
前記遮断時間（Ｔｔ）は０〜数μｓまたは数ｍｓである、請求項１３または１４記載のアーク放電識別装置（１）。
【請求項１６】
アーク放電識別装置が少なくとも比較器を有する、プラズマプロセスにおけるアーク放電を識別するアーク放電識別装置として構成されており、
前記第１の特性量または前記第２の特性量は、所定の期間における前記第１の特性量または前記第２の特性量の極限値を第２の閾値として求める極限値検出装置に供給され、
該比較器は、
・前記第１の特性量または前記第２の特性量の瞬時値または前記瞬時値に比例する比例信号と前記極限値との偏差量が、所定の偏差量を超える場合、
または、
・前記瞬時値または前記比例信号が、所定の偏差量から求められる基準値に達する場合、
アーク放電を検出したことを表すアーク放電識別信号を出力する、請求項１３から１５までのいずれか１項記載のアーク放電識別装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマプロセスにおけるアーク放電を識別する方法に関し、この方法においては、少なくとも１つの第１の特性量を所定の第１の閾値と比較し、閾値に到達した際には潜在的なアーク放電を識別し、アーク放電を抑制するための第１の対抗措置を講じることによってプラズマプロセスの少なくとも１つの第１の特性量を監視することによりアーク放電識別が実施される。
【０００２】
さらに本発明は、プラズマプロセスにおけるアーク放電を識別するアーク放電識別装置に関し、このアーク放電識別装置はプラズマプロセスの第１の特性量を所定の第１の閾値と比較する第１の比較手段を備えた比較装置を有しており、第１の比較手段によって、第１の閾値への到達時に第１の制御信号をアクティブ化することによってアーク放電を抑制するための第１の対抗措置を講じることができる。
【０００３】
プラズマプロセスは例えばプラズマ処理装置およびコーティング装置において行われる。この種の装置はスパッタリングプロセスに使用されることから一般的にスパッタリング装置とも称される。直流電流スパッタリング装置では電流がプラズマにおける導電性のルートを探す弧絡がしばしば生じる。殊に、基板のいわゆる反応性コーティングの際にはこの種の弧絡が比較的頻繁に生じる。この弧絡の原因は基板自体以外にもスパッタリング装置の一部、例えば処理チャンバの内壁が非導電性の材料または導電性が低い材料によってコーティングされ、この材料が降伏電圧まで充電されることにある。したがってスパッタリング装置のより大きな損傷を回避するために、プラズマ直流電圧供給部の電流供給が弧絡の発生中に可能な限り早期に遮断または短時間停止されるか、プラズマチャンバにおける電圧が短絡されるかその極性が反転される。前述の措置を一般的に導入できるようにするために、アーク放電識別（アーク識別）ならびにアーク放電（アーク）抑制または消弧のための装置がプラズマ給電部またはプラズマ直流電圧供給部の構成要素であることが多い。
【０００４】
ここでは先ずアーク放電またはアークの確実な識別が重要になる。例えば、プラズマ直流電圧供給部の出力側における電圧降伏もしくは電圧降下または電圧上昇によってアーク放電を識別することができる。換言すれば、プラズマプロセスの少なくとも１つの相応の特性量、例えば前述の電気的な特性量のうちの１つを監視することによってアーク放電を識別することができる。
【０００５】
この目的に関しては、例えばWO 2006/014212 A2，EP 1 121 705 A1，DE 10 2004 015090 A1およびEP 0 692 138 B1から、プラズマプロセスの前述の電気的な特性量のうちの１つの監視からアーク放電が識別され、また相応の対抗措置が講じられる、冒頭で述べたような方法および装置が公知である。
【０００６】
上記の刊行物WO 2006/014212 A2には、種々の種類または特性ないし強度のアーク放電がプラズマプロセスに関与している可能性あることが既に示唆されている。スパッタリング装置を損傷させ、処理すべき基板における欠陥を生じさせる可能性があるいわゆる「ハードアーク」の他に、殊に、いわゆる「ショートアーク」（比較的大きく発達するが、ハードアークとは異なり自己消弧する）や、いわゆる「マイクロアーク」（以下ではマイクロアーク放電とも称する）が公知である。アーク放電を識別するための閾値の調整によっては、マイクロアーク放電が自身で再び消弧する場合、前述の方法および装置では通常の場合この種のマイクロアーク放電は全く識別されない。もっとも、この種のマイクロアーク放電が増大し、続いて影響の大きいショートアークまたはハードアークに繋がる可能性があることが公知である。
【０００７】
この関係において上述のWO 2006/014212 A2においては、マイクロアークの識別時にプラズマ直流電圧供給部を遮断するシャント回路素子を用いてアーク放電を消弧させることが提案されている。続いて、比較的短い時間が経過した後にプラズマ直流電圧供給部が再びスイッチオンされ、アーク放電が依然として検出されるか否かが検査される。アーク放電が検出される場合には、ハードアークの存在が想定され、スイッチング素子が再度（比較的長い）ある期間にわたりスイッチオン状態に維持される。
【０００８】
起こりうるショートアークまたはハードアークを検査するために必要とされる、マイクロアーク放電の識別後の比較的短い休止時間に基づき、この種のアプローチはプラズマプロセスの処理率に不利に作用することは欠点である。
【０００９】
したがって本発明の課題は、処理率を低下させることなくプラズマプロセスのマイクロアーク放電も識別することができる、冒頭で述べたような方法およびアーク放電識別装置を提供することである。
【００１０】
この課題は、本発明によれば、冒頭で述べたような方法において、少なくとも１つの第１の特性量および／または少なくとも１つの第２の特性量が、第１の閾値とは異なる所定の第２の閾値（ＳＷ2）と比較され、第２の閾値に到達するとアーク放電を抑制するための第２の対抗措置が講じられ、第２の対抗措置が講じられた後は、遮断時間（Ｔｔ）の間に第２の対抗措置が再び講じられることが阻止されることによって解決される。
【００１１】
方法の１つのヴァリエーションにおいては、特性量はアーク放電が存在しない典型的な動作値から偏差すると先ず第２の閾値に到達する。
【００１２】
前述の課題は本発明によれば冒頭で述べたようなアーク放電識別装置において、比較装置が第１の特性量および／または第２の特性量を、第１の閾値とは異なる所定の第２の閾値と比較する第２の比較手段をさらに有し、第２の閾値に到達すると第２の比較手段が第２の制御信号のアクティブ化によってアーク放電を抑制するための第２の対抗措置を講じ、比較装置はまた遮断制御ユニットを有し、この遮断制御ユニットによって第２の制御信号をアクティブ化した後は遮断時間（Ｔｔ）の間に第２の制御信号が再びアクティブ化されることが阻止される。
【００１３】
アーク放電識別装置の１つの実施形態においては、特性量はアーク放電が存在しない典型的な動作値から偏差すると先ず第２の閾値に到達する。
【００１４】
したがって本発明が基礎とする特性は、アーク放電を識別するために少なくとも２つの閾値が設けられており、一方の閾値はマイクロアーク放電を識別し、このマイクロアーク放電に場合によっては発生直後に短いパルスでもって反応することができるが、調整可能な時間の経過後に改めて対抗措置を講じることができる。このことは本発明によれば、この時間中にさらにマイクロアーク放電が識別される場合であっても有効である。別の閾値はそれ自体公知のやり方でショートアークおよびハードアークを識別するために使用される。その種の本発明による装置でもって、処理率に影響が及ぼされることなく、ショートアークおよびハードアークの発生を著しく低減できることが分かった。
【００１５】
WO 2006/014212 A2に記載されている発明のように、遮断時間を維持せずにあらゆるマイクロアーク放電に即座に反応する場合には、これにより処理率が非常に低くなる虞がある。これを阻止するために従来技術では閾値の感度を相応に低く調整しなければならないが、これではむしろ多くのマイクロアーク放電が識別されないことになる。また相応に多くのマイクロアーク放電が識別されない場合には、ショートアークまたはハードアークが発生する確率が高まる。ショートアークおよびハードアークはプラズマ処理の成果にとって非常に不利となる。したがって本発明によれば有利には、本発明の枠内では（電気的な）特性量として使用することができる給電信号（電流および電圧）における非常に僅かな変化しか惹起しないマイクロアーク放電も識別されることによって、ショートアークおよびハードアークの発生率が低下される。
【００１６】
このマイクロアーク放電にその都度反応することはもはや必要なく、むしろ有利には上述の遮断時間が維持される。この関係において「遮断時間」は非常に広範に解釈されるべきである。本発明の実施形態によれば、固定の所定の遮断時間の代わりに、遮断時間を例えば識別されたマイクロアーク放電の発生率、もしくは識別されたショートアークまたはハードアークの発生率に依存させて自動的に調整することもできる。遮断時間は、例えば発生しているガス圧力または使用される混合ガスに関するユーザによる測定または制御に自動的に依存するように、プラズマ給電部の所定の入力ピンにおける信号に依存して可変であってもよい。
【００１７】
最後に遮断時間は、識別されたマイクロアーク放電の回数が所定の事前に設定されたまたは設定可能な回数に到達した後に終了するように可変であってもよい。有利には、例えばマイクロアーク放電の回数は５０〜１００である。この回数も前述のようにユーザによって固定に設定することができるか、マイクロアーク放電、ショートアークおよび／またはハードアークのアーク発生率と関連付け、必要に応じてユーザによって自動的に制御を行わせることができる。
【００１８】
時間の自動的な調整に加えて、または時間の自動的な調整の代わりに、この自動的な時間調整により比較的長い持続時間が設定されたとしてもそれを上回ることのない最長時間を選択することも可能である。付加的に、自動的な時間調整により比較的短い持続時間が設定されたとしても、それを下回ることない最短時間を選択することも可能である。
【００１９】
さらに本発明の別の実施形態によれば、前述のマイクロアーク放電と同様に反応されるサブマイクロアークを識別するための限界値または閾値が規定される。この種のサブマイクロアークに関する別の遮断時間をマイクロアーク放電に依存せずに調整することができる。
【００２０】
１つまたは複数の特性量を２つ以上の閾値と比較することができ、閾値を超えると種々の対抗措置によって反応することができる。１つの特性量を２つ以上の閾値と比較することも考えられる。さらには種々の特性量を種々の閾値と比較することも考えられる。種々の比較に基づき種々の対抗措置によって反応することができる。殊に、対抗措置として、電流供給部がオンオフされ、給電信号、殊にＨＦ信号が遅延され、スイッチング素子が切り替えられるか、給電電圧の極性が反転されるか、アークの発生がカウントされる。さらには、比較結果がニューラルネットワークまたはファジーロジックに供給され、ニューラルネットワークまたはファジーロジックによってどの対抗措置が講じられるかが判定される。遮断時間を第１の時間または第２の時間よりも長く選定することができる。これによって電流供給部の早期の遮断を阻止することができる。殊に、公知の方法に比べてより多くの電力がプラズマチャンバに供給されることを保証することができる。
【００２１】
アーク放電識別装置においては、相応に遮断時間を第１の時間または第２の時間よりも長く設定することができる。
【００２２】
本発明によれば、考察する特性量が電圧であるか電流であるかに応じて、第１の閾値および第２の閾値を閾値電圧ないし電圧閾値または電流閾値として構成することができる。本発明の説明に使用されている閾値に「到達する」とは、比較の結果において監視される（電気的な）特性量が実質的に閾値に対応する値を有するか、特性量がそれぞれの閾値を下回ったか（監視される特性量がプラズマプロセスの電圧である場合）、上回った（監視される特性量がプラズマプロセスの電流である場合）ことが確認されることと解される。
【００２３】
本発明によるアーク放電識別装置の相応の実施形態によれば、比較装置はプラズマ直流電圧供給部の出力電圧および／または出力電流を閾値電圧または閾値電流の形の第１の閾値および第２の閾値と比較するために構成されている。
【００２４】
本発明による方法の実施形態においては、第１の対抗措置としてプラズマ直流電圧供給部が調整可能な第１の時間にわたり遮断されるか、プラズマ直流電圧供給部の電圧の極性が反転される。このようにして、存在するアーク放電または生じたアーク放電を効果的に抑制することができる。このこと自体は当業者に公知である。
【００２５】
本発明による方法の別の実施形態によれば、第２の対抗措置としてプラズマ給電部が調整可能な第２の時間にわたり遮断されるか、プラズマ給電部の電圧の極性が反転される。このようにして識別されたマイクロアーク放電を同様に効果的に抑制することができる。
【００２６】
したがって本発明によるアーク放電識別装置によれば、第１の制御信号および／または第２の制御信号に応じてプラズマ直流電圧供給部を遮断することができるか、プラズマ直流電圧供給部の電圧の極性を反転することができる。
【００２７】
さらに本発明による方法の別の実施形態によれば、第２の時間を第１の時間よりも短くすることができる。殊に、本発明による方法の実施形態においては、第２の時間ｔＡＳ２に対してはｔ0＜ｔＡＳ2＜２０μｓ、ただしｔ0＜１μｓが適用される。つまり大抵の場合はマイクロアーク放電を消弧させることができ、ショートアークおよびハードアークの発生率は効果的に低減される。
【００２８】
本発明によるアーク放電識別装置の相応の実施形態によれば、第１の対抗措置および第２の対抗措置のそれぞれの持続時間に関して、第２の対抗措置の持続時間は第１の対抗措置の持続時間よりも短く、第２の対抗措置の持続時間は有利には１μｓ以下から２０μｓの間である。
【００２９】
本発明による方法の別の実施形態によれば、それぞれのプラズマプロセスに依存してアーク放電の発生にフレキシブルに反応できるようにするために、第１の対抗措置が第１の閾値に到達した後の調整可能な遅延時間の経過後にトリガされる。択一的または付加的に、第２の対抗措置を第２の閾値に到達した後の調整可能な第２の遅延時間ｔ2の経過後にトリガすることができる。
【００３０】
本発明によるアーク放電識別装置の相応の実施形態によれば、第１の対抗措置および／または第２の対抗措置を第１の制御信号または第２の制御信号に関する相応の調整可能な遅延時間の経過後にトリガすることができる。
【００３１】
上述のように、本発明による方法の実施形態においてｔ2＝０の場合には、第２の閾値に到達した直後に第２の対抗措置を講じることができる。換言すれば、マイクロアーク放電にショートアークまたはハードアークよりも迅速に、殊に識別直後（ｔ2＝０）に反応することができるので、本発明によればこのようにしてショートアークおよびハードアークの発生率を低減することができる。
【００３２】
本発明の相応の実施形態によれば、遅延時間ｔ2もユーザによって固定に設定することができるか、識別されたマイクロアーク放電の発生率または識別されたショートアークまたはハードアークの発生率に依存して自動的に調整することもできる。択一的に、遅延時間ｔ2は、ユーザによる測定または制御に自動的に依存させるためにプラズマ給電部の入力ピンにおける信号に依存して可変であってもよい。本発明の実施形態によれば、遅延時間を自動的に調整できることに加えて、遅延時間に関する自動的な調整により比較的長い持続時間または比較的短い持続時間が設定された場合であっても上回るまたは下回ることのない最大遅延時間または最小遅延時間をユーザは予め選択することができる
さらには、第２の閾値に到達した際に、所定の時間にわたり第１の閾値との比較は行われない、または比較結果が無視される。第２の閾値に到達すると対抗措置が講じられる。これにより場合によっては、第１の閾値に到達することも考えられる。したがって、第２の対抗措置が講じられている期間にわたり、第１の閾値の識別を行わないことが好適である。
【００３３】
択一的に、第１の閾値に到達した後の調整可能な遅延時間の経過後に、依然として第１の閾値に到達しているか否か、またその場合に第１の対抗措置が講じられるべきか否かを検査することができる。調整可能な遅延時間の経過後に第１の閾値に依然として到達している場合には、ハードアークの存在が想定される。したがって第１の対抗措置を講じることができる。さらには、ハードアークへの発達を阻止するために、マイクロアークが所定の回数発生するまで待機して第１の対抗措置を講じることも考えられる。この方法に関しては、一方の閾値の感度を他方よりも高くすることが必要になる。
【００３４】
識別されたマイクロアーク放電に対する反応をフレキシブルに適合させるために、本発明による方法の別の実施形態によれば、遮断時間Ｔｔが第１の値Ｔｔ＞０と、数μｓまたは数ｍｓのオーダにある第２の値との間の値に調整される。
【００３５】
本発明によるアーク放電識別装置の相応の実施形態によれば、遮断時間は０秒〜数μｓまたは数ｍｓである。
【００３６】
遮断時間を第２の対抗措置の持続時間よりも長く調整することができる。遮断時間の相応の調整をアーク放電識別装置において実施することができる。
【００３７】
少なくとも１つの特性量をインピーダンス整合回路の前段または後段またはインピーダンス整合回路内で検出することができる。特性量が検出される場所は、殊に何を特性量として使用するかに依存する。例えば特性量として電流、電圧、電圧の時間的な変化、電流の時間的な変化、電界または磁界を検出することができる。殊に、電気的、光学的、音響的な測定またはそれらの組合せが考えられる。さらに物理的なパラメータを線路内の特性量として測定することができるか、プラズマチャンバにおけるアンテナを用いて測定することができる。
【００３８】
相応にアーク放電識別装置はインピーダンス整合回路の前段または後段またはインピーダンス整合回路内に測定装置を有することができる。さらに電気的、光学的または音響的な測定のためのセンサを設けることができる。さらに、測定のためにプラズマチャンバ内にアンテナを設けることができる。
【００３９】
有利には、調整の可能性が多数存在する場合、殊に有利な調整の１つまたは複数のデータセットをユーザに提供することができ、ユーザはそれらのデータセットから簡単に選択することができる。
【００４０】
有利には本発明の１つの実施形態によるアーク放電識別装置は、調整可能な時間および閾値を有効な値に設定する事前に調整されたパラメータの１つまたは複数のセットを有し、これにより起動をより迅速にすることができる。有利には、本発明の別の実施形態によるアーク放電識別装置は、その種のデータセットをユーザの指示に従い記憶することができる。本発明によるアーク放電識別装置の相応の実施形態では、有利にはこれらのデータセットが不揮発性のメモリに記憶され、この不揮発性のメモリはアーク放電識別装置があらゆる給電部から完全に分離されている場合であってもデータを記憶する。
【００４１】
また調整の可能性が多数存在する場合には、ユーザが無意味な時間または閾値、もしくは、例えば閾値または遮断時間が過度に短く調整されることに起因して電流供給部が動作しない可能性がある時間または閾値を入力する危険が存在する。これにより、アーク放電識別装置が永続的にマイクロアーク放電に反応し、出力側における信号を識別できない可能性があるので出力側には信号が供給されない虞がある。有利には、本発明の相応の実施形態においては、無意味なデータまたは動作に支障を来す虞があるデータの入力が試みられた際に起こりうる危険に関する警告がユーザに通知される。本発明の別の実施形態においては全く意味のない調整を阻止することもできる。
【００４２】
有利には、本発明による方法または本発明によるアーク放電識別装置の実施形態において、殊に第２の閾値をユーザによって固定の電圧値または電流値として、または特性量の一定の割合で、すなわち例えば調整された電圧の１０％〜９０％の形で設定できるように調整することができる。本発明の実施形態において、関連する特性量の一定の割合を設定する際には、実際に存在する特性量が検出され、続いてその特性量に基づいて閾値も検出される期間を規定することができる。これに択一的または付加的に、特性量の最大値または平均値が閾値を検出するための選択された期間にわたり使用されるべきか否かを設定することができる。
【００４３】
この関係において、本発明によるアーク放電識別装置の実施形態は上述の対抗措置の実施に相応に適した入力手段、記憶手段、警告手段および表示手段を有することができる。
【００４４】
殊に、マイクロアーク放電の識別は比較的大きいリプルを有する電流供給部においては困難になるので、本発明による方法の別の実施形態においては、マイクロアーク放電の識別をいわゆる自動アーク放電識別と組み合わせ、相応に実現することができる。このことは本発明による方法の実施形態において、アーク放電識別が少なくとも第２の閾値に関して、DE 10 2004 015090 A1に開示されている自動的な識別方法を使用して実施される。この刊行物の開示内容は明示的な参照により本願の参考文献とする。
【００４５】
相応に、本発明によるアーク放電識別装置の実施形態においては、アーク放電識別装置が少なくとも、自動的にアーク放電を識別するための第２の閾値に関係する電気的な特性量の比較に関してDE 10 2004 015090 A1の開示内容に従い構成されている。
【００４６】
１つまたは複数の閾値をユーザによって、または自動的に調整することができる。殊に、閾値を変更することができ、これにより更新することができる。殊に、閾値を識別されたマイクロアーク放電に依存して、または識別されたショートアークまたはハードアークに依存して調整することができる。択一的に、閾値をプラズマ給電部の入力ピンにおける信号に依存して変更することができる。本発明の実施形態によれば、閾値の自動的な調整に加えて、閾値に関する自動的な調整により比較的大きい値または比較的小さい値が設定された場合であってもそれを上回るまたは下回ることのない最大閾値または最小閾値をユーザは選択することができる。この措置によって閾値を事後的に調整することができる。何故ならば、カソードが焼かれた際にはプラズマチャンバ内の電力も変化するからである。電圧の緩慢な変化により閾値も緩慢に変化する。
【００４７】
さらには１つまたは複数の閾値への到達の頻度を検出することができる。１つまたは複数の閾値への到達の頻度はアークの発生の頻度に対応する。どの閾値にどの程度の頻度で達したかに応じて種々に反応することができる。例えば、マイクロアークの識別に使用される閾値を任意の感度に調整することができる。これによって第２の対抗措置をより頻繁に講じることができる。さらには、マイクロアークの過度に高い発生頻度が確認されると、クリーニングプログラムが実施される。択一的または付加的に、マイクロアークの発生頻度が非常に高い場合には、電流供給を比較的長く遮断することができる。マイクロアークの発生頻度の検出から、パルスチャンバにおいて準周期的なパルスが何時行われているかを識別することができる。これは望ましいものではない。したがって種々のエスカレーションレベルを設けることができる。例えば、第１の頻度においては警告の通知、第２の頻度においては閾値の適合、また第３の頻度においては極性の反転または給電の遮断を行うことができる。
【００４８】
本発明のさらに別の特徴および利点は、本発明の実施例に関する以下の説明、本発明を詳細に示した図面、ならびに特許請求の範囲に示されている。個々の特徴は各々それ自体単独で実現してもよいし、あるいは本発明の変形実施例において複数の特徴を任意に組み合わせて実現してもよい。
【００４９】
本発明の有利な実施例が図面に概略的に示されており、以下ではそれらの図面を参照しながら本発明の実施例を詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施例によるアーク放電識別装置の概略的なブロック図を示す。
【図２】図１に示した本発明によるアーク放電識別装置の動作時の信号経過のグラフを示す。
【図３】本発明による方法の実施例を説明するためのフローチャートを示す。
【００５１】
図１は、本発明の実施例によるアーク放電識別装置の概略的なブロック図を示す。本発明によるアーク放電識別装置１は、電気的な特性量である監視すべき特性量または相応の信号ＫＧ用の入力側２を有する。特性量は、一般性を制限することなく、（図示していない）プラズマプロセスの電気的な特性量、例えばプラズマ処理装置またはコーティング装置において使用される特性量である。殊に、特性量ＫＧはプラズマプロセスの電圧供給部の電気的な特性量、例えば相応の電圧値または相応の電流強度の電気的な特性量である。
【００５２】
入力側２は信号技術的に比較装置３と接続されており、この比較装置３は第１の比較手段４および第２の比較手段５を有する。これらの比較手段４，５は図１に示した実施例では相互に並列に接続されている。第２の比較手段５は遮断制御ユニット６を有する。比較装置３の第１の比較手段４および第２の比較手段５には別の信号入力側７〜１１が設けられている。入力側７を介して第１の閾値ＳＷ1を、入力側８ａを介して第１の遅延時間ｔ1を、また入力側８ｂを介して第１のアクティブ化時間ｔＡＳ1または相応の信号を第１の比較手段４に入力することができる。入力側９を介して第２の閾値ＳＷ2を、入力側１０ａを介して第２の遅延時間ｔ2を、入力側１０ｂを介して第２のアクティブ化時間ｔＡＳ2また入力側１１を介して遮断時間Ｔｔを第２の比較手段５に入力することができる。さらに第１の比較手段４は第１の制御またはアクティブ化信号ＡＳ1のための出力側を有し、この信号を本発明によるアーク放電識別装置１の相応の出力側１２に出力することができる。相応に第２の比較手段５は第２の制御またはアクティブ化信号ＡＳ2のための出力側を有し、この信号を本発明によるアーク放電識別装置１の相応の出力側１３に出力することができる。
【００５３】
以下では図１および図２を参照しながら、図１に示した本発明によるアーク放電識別装置１の動作を詳細に説明する。プラズマプロセスにおけるアーク放電の発生を識別するために、当業者には周知であるように、プラズマプロセスの直流電圧供給部（本明細書においてはプラズマ直流電圧供給部と記す）を電圧低下（電圧降伏）または電圧上昇の発生について監視することができる。しかしながら本願明細書における例示的な説明の枠内では、一般性を制限することなく、プラズマプロセスの直流電圧供給部の電圧信号がアーク放電を識別するための電気的な特性量として使用される特定のケースのみを検討する。電圧源（図１には図示せず）を用いるプラズマ直流電圧供給部は電圧低下または電圧降伏について監視される。このために相応の信号が入力側２において本発明によるアーク放電識別装置１に入力される。これにより提供される特性量ＫＧは続けて比較装置３の第１の比較手段４および第２の比較手段５においてそれぞれ相応の所定の閾値ＳＷ1，ＳＷ2と比較される。本発明によれば閾値ＳＷ1，ＳＷ2は、（放電に起因する）電圧降下の際に特性量ＫＧが先ず第２の閾値ＳＷ2、すなわち第２の比較手段５の閾値に到達するように選定されている。換言すれば、第２の閾値ＳＷ2は第１の比較手段４の第１の閾値ＳＷ1よりも、アーク放電が存在しない（またはアークフリーな）典型的なプラズマ直流電圧の値に近い。このことは本発明との関係において、選定された閾値電圧ＳＷ2に応じて僅かな電圧降伏、すなわち値的に比較的小さい電圧降伏は第２の比較手段５によってのみ識別され、これに対し値的に比較的大きい電圧低下は選定された第１の閾値電圧ＳＷ1に応じて第１の比較手段によって識別されることを意味する。
【００５４】
第１の比較手段４および／または第２の比較手段５が相応の電圧降下を識別すると、すなわち電気的な特性量ＫＧがそれぞれの閾値ＳＷ1，ＳＷ2に到達した場合またはそれらの閾値を下回った場合、それぞれの比較手段４，５が相応のアクティブ化信号ＡＳ1，ＡＳ2をそれぞれの出力側１２，１３に出力する。アクティブ化信号ＡＳ1，ＡＳ2によって、プラズマプロセスにおけるアーク放電を抑制するための相応の第１の対抗措置および第２の対抗措置が講じられ、このような対抗措置は当業者に公知である。例えば、アクティブ化信号ＡＳ1，ＡＳ2によってプラズマ直流電圧供給部を遮断することができるか、電圧の極性を反転させることができ、このことは図１には詳細に図示していない。
【００５５】
本発明の実施例の枠内において第１のアクティブ化信号ＡＳ1および第２のアクティブ化信号ＡＳ2の出力は、相応の信号がそれぞれバイナリの信号として高い論理レベル（「１」）において出力されることと解されるが、本発明はこの種の構成に限定されるものではない。
【００５６】
本発明によれば、基本的にアクティブ化信号ＡＳ1，ＡＳ2は、それぞれの閾値ＳＷ1，ＳＷ2に到達した直後に第１の比較手段４および第２の比較手段５によって出力されるものではない。むしろ、アクティブ化信号ＡＳ1，ＡＳ2はそれぞれ入力側８ａないし入力側１０ａを介して設定可能な遅延時間ｔ1，ｔ2の経過後に出力される。本発明によれば通常の場合ｔ2＜ｔ1である。殊に本発明によればｔ2を０に近付けることができ、その結果第２のアクティブ化信号ＡＳ2の出力は実質的に閾値ＳＷ2への到達直後に行われる。
【００５７】
本発明によればこのようにして、第１の比較手段の機能によって第１のアクティブ化信号ＡＳ1を介して、より大きく発達し、且つ比較的長く続くアーク放電、いわゆる「ショートアーク」または「ハードアーク」を抑制することができ、他方では、第２の比較手段５がその機能に基づき第２のアクティブ化信号ＡＳ2を用いることにより、短く、且つ小さくしか発達しないマイクロアーク放電、いわゆる「マイクロアーク」を抑制することができる。この理由から本発明によれば基本的に、前述のように、遅延時間ｔ2に関しては遅延時間ｔ1よりも短い値が設定される。遅延時間ｔ2をほぼ０にすることができる（ｔ2＝０）。当業者には周知であるように、第１の遅延時間ｔ1に関する有限値によって、自然に弱くなっていくアーク放電が生じている状況においては電圧供給部の遮断または電圧の極性反転のような対抗措置は必要とされなくなる。
【００５８】
さらに本発明によれば、アーク放電を抑制するために第１のアクティブ化信号ＡＳ1を用いて講じられる第１の対抗措置に関する値を、第２のアクティブ化信号ＡＳ2によって講じられる第２の対抗措置に関する値よりも大きくすることができる。例えば、第１のアクティブ化信号ＡＳ1によって、第２のアクティブ化信号ＡＳ2よる場合に比べて電圧供給部を長く遮断するか、電圧の極性を大きく反転させることができる。
【００５９】
本発明の枠内において、第２の閾値ＳＷ2のレベルに起因する恒常的に繰り返される第２のアクティブ化信号ＡＳ2の出力を回避するために、比較装置３の第２の比較手段５には前述の遮断制御ユニット６が設けられている。この遮断制御ユニット６は監視している電気的な特性量ＫＧが第２の比較手段５の第２の閾値ＳＷ2に到達した直後、すなわち、この実施例においてはプラズマ直流電圧供給部が第２の閾値ＳＷ2によって表される電圧レベルを下回った直後に起動される。この時点において遮断制御ユニット６は入力側１１を介して設定可能な時間Ｔｔ中に例えば高い論理レベルの遮断信号を出力し、この遮断信号に基づき第２の比較手段５が時間Ｔｔ中に再びアクティブ化信号ＡＳ2を出力することを阻止する。換言すれば、プラズマ直流電圧が遮断時間Ｔｔ中に再度、また繰り返し閾値ＳＷ2を下回っても、時間Ｔｔが経過するまで第２の対抗措置を講じるためのさらなる第２のアクティブ化信号ＡＳ2は出力されない。したがって遮断制御ユニット６の遮断信号は、論理的なＸＯＲ結合にしたがい第２のアクティブ化信号ＡＳ2と相互作用する。すなわち、遮断信号が期間Ｔｔ中に高い論理レベルを有している場合には、第２のアクティブ化信号ＡＳ2は高い論理レベルを取ることはできない（したがって、本発明によれば第２の対抗措置、例えばプラズマ直流電圧供給部の一時的な遮断または電圧の極性反転が行われる）。
【００６０】
したがって、本発明によるアーク放電識別装置を統合することができるプラズマ直流電圧供給部はアーク放電を識別するための２つの異なる閾値を有する。第１の限界値、すなわち第１の閾値ＳＷ1はショートアークおよびハードアークを識別するために使用され、関連する従来技術から十分に公知であるやり方でそれらのアークに反応することができる。本発明によれば第２の限界値、すなわち第２の閾値ＳＷ2は第１の限界値よりも遙かに高感度に設定されている。本発明の枠内では、第２の閾値を用いることにより、いわゆるマイクロアークが識別され、このマイクロアークは非常に短く、多くは自己消弧するアーク放電を表し、関連する電圧値または電流値、すなわち電気的な特性量ＫＧにごく僅かな影響を及ぼすに過ぎない。この種のマイクロアーク放電は、通常はショートアークまたはハードアークの識別に使用されるアーク放電識別閾値によっては識別されない。本発明によれば、第２のアクティブ化信号ＡＳ2の対抗措置による電圧供給部の出力側における電圧の短時間の遮断または極性反転でもって、マイクロアーク放電に即座に、または有利には調整可能な短い遅延時間t2後に反応する。以下では、アーク放電を抑制するため講じられるそのような対抗措置の持続時間を図２に基づきさらに詳細に説明する。この第２の対抗措置の持続時間ならびに第１の対抗措置の持続時間を入力側１０ｂないし８ｂを介して調整することができる（ｔＡＳ2およびｔＡＳ1）。
【００６１】
本発明によるさらなる利点は、同様に調整可能な遮断時間Ｔｔが設けられており、この遮断時間Ｔｔ内ではその種のマイクロアーク放電に再び反応しない。期間Ｔｔを０秒から数μｓまたは数ｍｓの値に調整することができる。実験によりその種の装置によって、マイクロアーク放電が識別された後の電圧供給の恒常的な遮断に起因するプラズマプロセスのスループットの過度の低下が生じることなく、発生したマイクロアーク放電から発達する可能性があるショートアークおよびハードアークの発生を著しく低減できることが判明した。したがって本発明によれば、殊に、マイクロアーク放電が頻繁に発生しているにもかかわらずマイクロアークがショートアークまたはハードアークに発達しないであろうプラズマプロセスにおいては処理率が過度に低下しないことが保証されている。これはマイクロアーク放電が繰り返し発生していることに基づき出力は相応に常に弱くなっているので、プラズマ直流電圧供給部が広範囲に出力を供給しない場合である。
【００６２】
マイクロアーク放電が発生しないプラズマプロセスでは、通常の場合ショートアークおよびハードアークも発生しない。しかしながらそれにもかかわらずショートアークおよびハードアークが発生した場合には、本発明によるアーク放電識別装置１を用いることにより、従来技術から公知であるようなパルス動作がプロセススループットに影響を及ぼすことなく、その種のアーク放電に慣例のやり方で反応することができる。これに対し僅かな頻度でマイクロアーク放電が発生するプラズマプロセスでは、本発明によればハードアークの発生を抑制することができるか、少なくとも著しく低減することができる。
【００６３】
図２は、図１に示した本発明によるアーク放電識別装置の動作時の信号経過のグラフを示す。図２のグラフは、上記において図１を参照して詳細に説明した本発明によるアーク放電識別装置１の動作時の関係をさらに詳細に説明するために使用される。図２の一番上の領域ａ）は入力側２における電気的な特性量ＫＧないし相応の特性量信号の例示的な時間的な経過を示す。これらの特性量ＫＧないし相応の特性量信号として殊に電圧信号が考えられる。信号ＫＧは図２においては（１）〜（４）で表されている所定の時点に電圧降下ないし電圧降伏を示す。ここで（１）、（２）および（４）における電圧降下はマイクロアーク放電（マイクロアーク）に対応し、（３）における電圧降下はいわゆるショートアークまたはハードアークを示す。さらに図２の上方の部分には、第１の限界値および第２の限界値、すなわち第１の閾値ＳＷ1および第２の閾値ＳＷ2のそれぞれのレベルが示されている。第２の閾値ＳＷ2は、図２において水平な破線によりシンボリックに表されている、特性量信号ＫＧが放電を示さない場合の典型的な信号経過の比較的近くに位置する。図２のａ）から見て取れるように、電気的な特性量ＫＧは時点（１）、（２）および（４）に閾値ＳＷ2のみを下回る。これに対し時点（３）では閾値ＳＷ1も下回る。
【００６４】
相応に図２のｂ）に時間的な経過が示されている遮断信号ＢＳが遮断制御ユニット６（図１を参照されたい）によって、状態「０」および「１」を有するバイナリ信号の形で出力される。本発明において状態「１」は遮断信号ＢＳがアクティブであることを意味する。図２のグラフによれば、電気的な特性量ＫＧが最初に閾値ＳＷ2を下回った直後、すなわち最初のマイクロアーク放電が検出された直後に遮断信号ＢＳがアクティブにされ、その後遮断信号ＢＳは遮断制御ユニット６（図１を参照されたい）によって設定される遮断時間Ｔｔの間はアクティブ状態にとどまり、その結果、（例えば時点（２）における）別のマイクロアーク放電は確かに識別されるが、もはや能動的には補償されない。時間Ｔｔが経過した後に、時点（３）と時点（４）との間において遮断信号ＢＳが再びデアクティブにされた（ＢＳ＝０）後にようやく、時点（４）ではマイクロアーク放電が再び識別され、本発明にしたがい上記において詳細に説明したように抑制される。
【００６５】
前述の状況は図２ｃ）のグラフに改めて示されている。この図２ｃ）のグラフには第２のアクティブ化信号ＡＳ2の状態が示されており、この第２のアクティブ化信号ＡＳ2は遮断信号ＢＳと同様に、本願発明では高い論理レベル（「１」）においてアクティブ化されているバイナリの信号である。時点（１）における電圧降下に続いて第２のアクティブ化信号ＡＳ2が期間ｔＡＳ2の間アクティブ化され、したがって識別されたマイクロアーク放電を抑制するための第２の対抗措置が講じられるが、時点（２）では遮断信号ＢＳが高い論理レベル（ＢＳ＝１）を有しているので第２のアクティブ化信号ＡＳ2のアクティブ化は行われない。上記の説明にしたがい、時間Ｔｔの経過後の時点（４）においてようやく第２のアクティブ化信号ＡＳ2は期間ｔＡＳ2の間にわたり再びアクティブ化される。もちろん、時点（２）において別のマイクロアーク放電が識別されても遮断信号ＢＳは再度形成されず、したがって第２の対抗措置が再び講じられることはない。
【００６６】
図２ｃ）によれば第２のアクティブ化信号ＡＳ2をアクティブ化するため、すなわち第２の対抗措置を講じるための遅延時間ｔ2はｔ2＝０であることを言及しておく。換言すれば、第２のアクティブ化信号ＡＳ2のアクティブ化はマイクロアーク放電の識別直後に行われる。しかしながらこれとは異なり、所定のプラズマプロセスにとって所望であれば、それぞれの識別時点と第２のアクティブ化信号ＡＳ2のアクティブ化との間に有限の遅延期間ｔ2を設けることができる。
【００６７】
図２ｂ）によれば、遮断時間Ｔｔは該当する時間内にハードアークまたはショートアークが識別されるか否かに依存せずに経過することを言及しておく。しかしながらその代わりに、ハードアークまたはショートアークが識別される度に遮断信号ＢＳをデアクティブにすることも可能である。このことは殊に遮断時間が非常に長い場合、または遮断時間の自動的な調整が行われる場合には有用である。何故ならば、ハードアークまたはショートアークはプラズマにおける特別なイベントを表すからである。
【００６８】
さらに図２ｄ）には第１のアクティブ化信号ＡＳ1の状態が示されており、この第１のアクティブ化信号ＡＳ1は同様に、高い論理レベル（「１」）においてアクティブ化されているバイナリの信号である。このグラフによれば、第１のアクティブ化信号ＡＳ1は時点（３）において発生した電圧降下に続く遅延期間または遅延時間ｔ1の経過後に、上述の実施形態のようにアーク放電を抑制する第１の対抗措置を講じるために時間ｔＡＳ1にわたりアクティブ化される。ここでのアーク放電はショートアークまたはハードアークであるので、第１のアクティブ化信号ＡＳ1のアクティブ化は第２のアクティブ化信号ＡＳ2のアクティブ化よりも長い期間にわたり行われる。したがってｔＡＳ1＞ｔＡＳ2である。本発明によればｔＡＳ2に関する有利な値は１μｓ〜２０μｓであるが、殊に有利には値は１μｓを下回る。
【００６９】
当業者であれば、図２に例示的に示したショートアークまたはハードアークの発生とは異なるケースにおいても、本発明にしたがいアーク放電の発生に対する２段階の反応を行えることが分かる。このことは、ＢＳ＝０の状態で時点（３）において明確な電圧降下が識別され、先ずｔ2≦ｔ1に基づき第２の対抗措置、例えばプラズマ直流電圧供給部の遮断が行われ、続いて規則的により強力な第１の対抗措置、例えばプラズマ直流電圧供給部の比較的長い時間にわたる遮断が行われる。本発明によるアーク放電識別装置のその種の段階的な反応特性またはこのアーク放電識別装置を使用するプラズマ直流電圧供給部の段階的な反応特性はプラズマプロセスにおけるアーク放電の回避に非常に寄与する。
【００７０】
第２の対抗措置を講じることにより第２の閾値を頻繁に下回ることになる。したがって有利には、本発明の別の実施形態においては第２の対抗措置が有効である期間にわたり第１の閾値を用いてハードアークおよびショートアークを識別することができる。相応の調整によって、第２の対抗措置が講じられた後にハードアークまたはショートアークが確実に識別されることを保証しなければならない。その種の方法により多くのエラーが生じる可能性があるので、有利には、本発明の前述の実施形態によれば、意図的に第２の遅延時間ｔ2＞０が設けられ、この遅延時間ｔ2内に（まだ）識別されていないマイクロアーク放電に反応する。この時間内ではアーク放電識別により第１の閾値への到達を検出することができ、これによりショートアークまたはハードアークが識別され、相応に第１の対抗措置が講じられる。
【００７１】
図３は、本発明による方法の実施例を説明するためのフローチャートを示す。図３のフローチャートに基づき、既に図１および図２に基づき説明した、本発明によるアーク放電識別装置１の動作時のプロセスをもう一度要約して説明する。
【００７２】
図３に示した本発明による方法の実施例はステップＳ１００で始まる。続くステップＳ１０２においては特性量、ここでは殊に電気的な特性量、例えばプラズマ直流電圧供給部の電圧信号の前述の監視が行われる。続くステップＳ１０４においては、先ず電気的な特性量が、本発明によれば電気的な特性量の典型的な「通常状態」により近い第２の閾値に到達しているか否かが検査される。到達していない場合（ｎ）、方法はステップＳ１０２に戻り、電気的な特性量の監視がさらに継続的に行われる。
【００７３】
ステップＳ１０４における判定が肯定の場合（ｊ）、方法はステップＳ１０６に進み、このステップＳ１０６において第２の閾値の監視と関連する第２の遅延時間ｔ2の経過が待機され、続くステップＳ１０８においては電気的な特性量が（第２の閾値とは大きく異なる）第１の閾値にも到達しているか否かが検査される。到達している場合（ｊ）、これはショートアークまたはハードアークが存在していることの徴候と評価される。それに応じて本発明による方法はステップＳ１１０において、電圧が殊に回復していようが（自己消弧型のショートアーク）、アークが相応の対抗措置を講じなくてもプラズマを完全に消滅することができるハードアークであろうが待機する（第１の遅延時間）。第１の遅延時間の経過後に、続くステップＳ１１２において特性量信号が依然として第１の閾値を下回っているか否かが検査される。肯定の場合（ｊ）、方法はステップＳ１１４に進む。ステップＳ１１４においては、上記において詳細に説明したように、第１のアクティブ化信号のアクティブ化が行われるので、続くステップＳ１１６においては識別されたアーク放電を抑制するための第１の対抗措置を講じることができる。その後方法はステップＳ１１８で終了する。択一的に（図３の破線に従い）、方法をさらに（繰り返し）ステップＳ１０２から継続させることもできる。
【００７４】
ステップＳ１１２において特性量信号がもはや第１の閾値を下回っていない場合（ｎ）、方法はプロセスを中断させることなく同様にステップＳ１０２に戻る（自己消弧型のショートアーク）。
【００７５】
ステップＳ１０８における判定が否定の場合（ｎ）、すなわち特性量信号は第２の閾値を下回るが、第１の閾値を下回っていない場合、ステップＳ１２０において遮断信号（図２におけるｂ）を参照されたい）がアクティブであるか否かがさらに検査される。遮断信号がアクティブである場合（ｊ）、第２のアクティブ化信号のアクティブ化は行われず、方法はステップＳ１０２に戻る。遮断信号がアクティブでない場合（ｎ）、第２のアクティブ化信号のアクティブ化が行われ、続くステップＳ１２４においては相応の期間（上記を参照されたい）の間に遮断信号のアクティブ化が行われる。ステップＳ１２６においては確認されたマイクロアーク放電を抑制するための第２の対抗措置が講じられ、その後方法はステップＳ１１８で終了するか（図３の破線に従い）ステップＳ１０２に戻る。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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