(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子と、当該圧電素子が積層される補強板とを有し、前記圧電素子への駆動電圧の印加に応じて振動する圧電振動体であって、
前記補強板は、前記圧電素子と平面視略同形状であり、当該圧電素子が積層される補強板本体と、
当該補強板を所定位置に固定する固定部とを有し、
前記補強板本体及び前記圧電素子は、平面視略矩形状に形成され、各長辺に沿う第１側面及び第２側面と、各短辺に沿う第３側面及び第４側面とを有し、
前記固定部は、前記補強板本体の第１側面のみから前記圧電素子より平面視で外側に突出し、
前記補強板本体の第２側面と前記圧電素子の第２側面とは、平面視で揃っており、前記短辺に沿う方向の前記圧電素子の寸法は、当該方向の前記補強板本体の寸法より大きいことを特徴とする圧電振動体。
【請求項２】
圧電素子と、当該圧電素子が積層される補強板とを有し、前記圧電素子への駆動電圧の印加に応じて振動する圧電振動体であって、
前記補強板は、前記圧電素子と平面視略同形状であり、当該圧電素子が積層される補強板本体と、
当該補強板を所定位置に固定する固定部とを有し、
前記補強板本体及び前記圧電素子は、平面視略矩形状に形成され、各長辺に沿う第１側面及び第２側面と、各短辺に沿う第３側面及び第４側面とを有し、
前記固定部は、前記補強板本体の第１側面のみから前記圧電素子より平面視で外側に突出し、
前記補強板本体の第２側面と前記圧電素子の第２側面とは、平面視で揃っており、前記短辺に沿う方向の前記圧電素子の寸法は、当該方向の前記補強板本体の寸法より小さいことを特徴とする圧電振動体。
【請求項３】
請求項１および請求項２に記載の圧電振動体において、
前記補強板は、当該圧電振動体の振動時に被駆動体に接触して当該被駆動体を駆動させる接触部を有し、
前記接触部は、前記補強板本体の第３側面に設けられ、
前記補強板本体の第３側面と前記圧電素子の第３側面とは、平面視で揃っていることを特徴とする圧電振動体。
【請求項４】
請求項３に記載の圧電振動体において、
前記補強板は、前記第３側面における前記固定部に近い端部と、前記第４側面における前記固定部から離れた端部とに、前記圧電素子より外側に突出する突出部を有し、
前記接触部は、前記第３側面から突出する前記突出部に形成されていることを特徴とする圧電振動体。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の圧電振動体において、
前記補強板本体の第１側面には、前記圧電素子の第１側面より前記補強板本体の内側に没入する凹部が形成されていることを特徴とする圧電振動体。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の圧電振動体と、当該圧電振動体の振動により駆動される被駆動体とを備えることを特徴とする圧電アクチュエーター。
【請求項７】
請求項６に記載の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする電子機器。
【請求項８】
圧電素子と、当該圧電素子が積層される補強板とを備え、前記圧電素子への駆動電圧の印加に応じて振動する圧電振動体の製造方法であって、
前記補強板は、前記圧電素子と平面視略同形状であり、当該圧電素子が積層される補強板本体と、
当該補強板を所定位置に固定する固定部とを有し、
前記補強板本体及び前記圧電素子は、平面視略矩形状に形成され、各長辺に沿う第１側面及び第２側面と、各短辺に沿う第３側面及び第４側面とを有し、
前記固定部は、前記補強板本体の第１側面のみから前記圧電素子より平面視で外側に突出し、
前記圧電振動体の製造方法は、前記圧電振動体の外側に配置される第１位置決め部材に、前記補強板本体の第２側面、及び、前記圧電素子の第２側面をそれぞれ当接させて、これら各第２側面が平面視で揃うように、前記圧電素子と前記補強板本体とを位置決めする位置決め工程と、
前記圧電素子と前記補強板本体とを接合させる接合工程と、
を有することを特徴とする圧電振動体の製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載の圧電振動体の製造方法において、
前記補強板は、前記圧電振動体の振動時に被駆動体に接触して当該被駆動体を駆動させる接触部を有し、
前記接触部は、前記補強板本体の第３側面に設けられ、
前記位置決め工程は、前記補強板本体及び前記圧電素子のそれぞれの前記第２側面を前記第１位置決め部材に当接させ、かつ、前記補強板本体及び前記圧電素子のそれぞれの前記第３側面を第２位置決め部材に当接させるように位置決めする位置決め手順を有することを特徴とする圧電振動体の製造方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の圧電振動体の製造方法において、
前記位置決め手順は、前記補強板本体の中央を中心として、前記第２側面及び前記第３側面により挟まれる角部とは反対側の角部に対して振動を加えつつ、前記圧電素子及び前記補強板本体が前記第１位置決め部材及び前記第２位置決め部材に当接するように位置決めすることを特徴とする圧電振動体の製造方法。
【請求項１１】
請求項８から請求項１０のいずれかに記載の圧電振動体の製造方法において、
前記位置決め工程にて、前記圧電素子及び前記補強板本体を位置決めする際に、前記圧電素子及び前記補強板本体の少なくともいずれかを押圧する押圧部材は、弾性を有し、かつ、前記圧電素子及び前記補強板本体の少なくともいずれかに当接する当接部を有することを特徴とする圧電振動体の製造方法。
【請求項１２】
請求項８に記載の圧電振動体の製造方法において、
前記位置決め工程は、前記圧電素子における前記補強板本体に対向する面とは反対側の面を吸引して、当該圧電素子を前記補強板本体に対して位置決めすることを特徴とする圧電振動体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動体、当該圧電振動体を備える圧電アクチュエーター、当該圧電アクチュエーターを備える電子機器、及び当該圧電振動体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ステンレス等の板状体である補強板に圧電素子が積層された圧電振動体が知られている。この圧電振動体では、圧電素子の表裏両面に形成される電極の位置、当該電極への電圧の印加状態、並びに、これら圧電素子及び補強板の形状及び寸法に応じて、圧電素子の長手方向に沿って伸縮する縦振動（縦一次振動）と、当該縦振動に直交する方向に屈曲する屈曲振動（屈曲二次振動）とを、当該圧電振動体に生じさせることができる。
このような補強板に、圧電振動体を所定の位置に固定する固定部を設けた圧電振動体が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１に記載の圧電振動体では、圧電素子の積層方向に沿って補強板を見た際に、当該補強板における長手方向に沿う両側面の略中央から圧電素子の外側に突出するように、固定部がそれぞれ設けられている。このような圧電振動体の製造方式として、特許文献１には、いわゆる片寄せ方式が挙げられている。この片寄せ方式では、圧電素子及び補強板を、当該圧電素子及び補強板の長手方向に沿う側面のうちの一方と、平面視で当該長手方向に直交する方向である短手方向に沿う側面のうちの一方とに沿うように、複数の位置決め部材を配置する。これら各位置決め部材に対して圧電素子及び補強板を位置決めした後、当該圧電素子及び補強板を加圧又は加熱して接着層を硬化させることで、圧電振動体が製造される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開ＷＯ２００４／０４３６１７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、圧電振動体を効率よく振動させるために、前述の固定部を一方の側面のみに設けた圧電振動体が提案されている。
ここで、前述の特許文献１に記載の圧電振動体のように、圧電振動体の両側面から固定部が突出形成されている場合には、当該各固定部で支持される両側面で、圧電振動体の振動は抑制されてしまう。これに対して、圧電振動体の一方の側面（平面視で長辺に沿う側面）から固定部が突出形成されている場合には、当該固定部とは反対側の側面（長辺）側での振動が、当該固定部により抑制されないので、圧電振動体が効率よく振動する。従って、被駆動体を確実に駆動することができる。
【０００６】
しかしながら、当該圧電振動体を上記片寄せ方式により製造すると、それぞれが揃う圧電素子及び補強板の側面の位置によっては、当該圧電振動体の振動特性にばらつきが生じる。具体的に、圧電素子及び補強板の寸法がそれぞれ一致していない場合、位置決め部材により位置決めされる各側面の位置は圧電素子及び補強板で一致するが、反対側の各側面の位置は、圧電素子及び補強板で一致しない。このように、圧電素子及び補強板の一方に対して他方が突出していると、製造される各圧電振動体のアンバランスのばらつきが多くなり、当該各圧電振動体の個体間で振動特性にばらつきが生じる。このような問題から、振動特性のばらつきが生じにくい圧電振動体の構成、及び、当該圧電振動体の製造方法が要望されてきた。
【０００７】
本発明の目的は、良好な振動特性を有する圧電振動体、圧電アクチュエーター、電子機器及び当該圧電振動体の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記した目的を達成するために、本発明の圧電振動体は、圧電素子と、当該圧電素子が積層される補強板とを有し、前記圧電素子への駆動電圧の印加に応じて振動する圧電振動体であって、前記補強板は、前記圧電素子と平面視略同形状であり、当該圧電素子が積層される補強板本体と、当該補強板を所定位置に固定する固定部とを有し、前記補強板本体及び前記圧電素子は、平面視略矩形状に形成され、各長辺に沿う第１側面及び第２側面と、各短辺に沿う第３側面及び第４側面とを有し、前記固定部は、前記補強板本体の第１側面のみから前記圧電素子より平面視で外側に突出し、前記補強板本体の第２側面と前記圧電素子の第２側面とは、平面視で揃っていることを特徴とする。
【０００９】
ここで、平面視とは、前記補強板本体に対する前記圧電素子の積層方向に沿って前記補強板本体及び前記圧電素子を見る状態を意味する。
また、前記補強板本体の第２側面と前記圧電素子の第２側面とは、平面視で揃っているとは、平面視で、第１側面側でのそれぞれの位置ずれ量に対して、第２側面側のそれぞれの位置ずれ量が小さい、或いは、第２側面側の両者の平面視位置が一致していることを指す。なお、前記補強板本体の第２側面と前記圧電素子の第２側面とは、平面視で揃っているとしているが、これら各第２側面位置が揃うように製造されていれば、多少の誤差によりずれていても本発明に含まれる。
【００１０】
本発明によれば、固定部が位置する第１側面とは反対側の補強板本体の第２側面と、当該第２側面に応じた圧電素子の第２側面とは、平面視で揃うこととなる。これによれば、第１側面から突出する固定部により、当該第１側面側における補強板本体の振動は多少抑制されるが、固定部が形成されていない第２側面側における補強板本体の振動は殆ど抑制されることはない。このため、当該第２側面側では、圧電素子によって大きな振幅の振動が励起されるので、第１側面側における補強板本体の振動は小さくなり、第２側面側における補強板本体の振動は大きくなる。
【００１１】
ここで、補強板本体と、当該補強板本体に積層される圧電素子との平面視位置がずれると、駆動信号による圧電素子の振動が振動板を振動させる振動伝達状況に変化をもたらせる。このうち、当該平面視位置のずれが生じる側面が、固定部が位置する長辺側の側面である場合と、固定部が位置しない長辺側の側面である場合とを比較すると、それぞれの側面でのずれ量が同等であったとして、圧電振動体の振動への影響は、固定部が位置しない長辺側の側面である場合の方が、固定部が位置する長辺側の側面である場合に比べて大きくなる。
【００１２】
すなわち、固定部が位置する長辺側付近の振動は、当該固定部により抑制されるため、振動エネルギーも小さくなり、ひいては、圧電素子と補強板本体とのずれ量が振動エネルギーに寄与する度合いも小さくなる。これに対し、固定部が位置しない長辺側付近の振動は、固定部により抑制されないため大きくなり、振動エネルギーも大きくなる。このため、当該ずれ量が振動エネルギーに寄与する度合いも大きくなる。このように、当該ずれ量による大きな振動エネルギーの変化は、補強板本体の振動にも大きな変化をもたらす。
【００１３】
そこで、本発明では、補強板本体の振動に大きな影響を与える長辺側の位置ずれ量、すなわち、固定部が位置しない長辺側の側面における圧電素子と補強板本体との位置ずれ量を無くすか減少させている。これによれば、圧電振動体それぞれの振動のばらつきを抑制できる。従って、圧電振動体を量産した場合に、製造される各圧電振動体の振動状態のばらつきを少なくでき、当該振動状態を安定化できる。そして、これにより、圧電振動体により駆動される被駆動体を、安定して確実に駆動できる。
【００１４】
本発明の圧電振動体において、前記補強板は、当該圧電振動体の振動時に被駆動体に接触して当該被駆動体を駆動させる接触部を有し、前記接触部は、前記補強板本体の第３側面に設けられ、前記補強板本体の第３側面と前記圧電素子の第３側面とは、平面視で揃っていることが好ましい。
【００１５】
ここで、前記補強板本体の第３側面と前記圧電素子の第３側面とは、平面視で揃っているとは、平面視で、第４側面側でのそれぞれの位置ずれ量に対して、第３側面側のそれぞれの位置ずれ量が小さい、或いは、第３側面側の両者の平面視位置が一致していることを指す。
本発明によれば、被駆動体に接触する接触部が設けられる補強板本体の第３側面と、圧電素子の第３側面とは、平面視で揃う。これによれば、補強板本体及び圧電素子のそれぞれの位置は、第３側面において略一致するので、被駆動体を駆動させる接触部近傍の振動状態のばらつきは、各圧電振動体で少なくなる。
詳述すると、一般に、駆動電圧の印加による圧電素子の振動は、補強板本体における当該圧電素子が平面視で重なっている部分に伝達される。このため、第３側面側においても、平面視で圧電素子と補強板本体とが重なった部分により、接触部が振動することになる。そこで、第３側面側で、補強板本体及び圧電素子のそれぞれの位置が略一致していることにより、被駆動体を駆動する接触部近傍の振動状態のばらつきは、各圧電振動体で少なくなる。従って、本発明によれば、各第２側面が揃うことと合わせて、製造される圧電振動体の個体間の振動特性のばらつきを一層抑制することができ、被駆動体を、より安定して確実に駆動することができる。
【００１６】
本発明の圧電振動体において、前記補強板は、前記第３側面における前記固定部に近い端部と、前記第４側面における前記固定部から離れた端部とに、前記圧電素子より外側に突出する突出部を有し、前記接触部は、前記第３側面から突出する前記突出部に形成されていることが好ましい。
【００１７】
ここで、短辺側に位置する第３側面及び第４側面に突出部が設けられている場合に、固定部から近い突出部を、被駆動体に接触させる接触部とすることにより、固定部から離れた突出部に接触部が形成されている場合に比べ、圧電振動体の駆動時における動作範囲のばらつきを小さくすることができる。従って、被駆動体を安定して駆動させることができる。これは次の事情による。
まず、補強板本体は、固定部との接続部分付近では殆ど振動することがなく、固定部から離れた部分で大きく振動する。一方、被駆動体に接触させる接触部が形成される突出部の形状は、加工上のばらつきにより大きくなったり小さくなったりし、或いは、当該突出部の重心がばらついてしまう。そこで、接触部が、固定部から離れた（接触部と固定部との距離が長い）第４側面の突出部に形成されている場合と、固定部から比較的離れていない（接触部と固定部との距離が短い）第３側面の突出部に形成されている場合とを、突出部の大きさ及び重心位置がそれぞれ同じ状態でばらついたとして比較すると、第４側面に形成されている接触部の振動が大きいために前述のばらつきによる振動へばらつきも大きくなり、第３側面に形成されている接触部の振動が小さいために前述のばらつきによる振動へばらつきも小さくなる。
従って、第３側面に形成された接触部によるばらつきの少ない振動により、被駆動体を安定して駆動させることができる。
一方、当該突出部が位置する補強板本体の第３側面と、圧電素子の第３側面とが平面視で揃っていない場合には、圧電振動体の振動時に、当該圧電素子の側面が被駆動体に接触してしまう可能性がある。これに対し、本発明では、各第３側面が平面視で揃っているので、圧電素子が被駆動体に接触することを防止できる。従って、被駆動体を確実に駆動させることができる。
【００１８】
本発明の圧電振動体において、前記短辺に沿う方向の前記圧電素子の寸法は、当該方向の前記補強板本体の寸法より大きいことが好ましい。
ここで、圧電素子及び補強板の各第２側面を揃えるには、例えば、当該各第２側面を平坦な位置決め部材に当接させることが考えられる。このような場合、当該位置決め部材に向かって圧電素子を押圧することが考えられる。しかしながら、補強板本体を挟むように一対の圧電素子を積層する場合には、短辺に沿う方向の各圧電素子の寸法より同方向の補強板本体の寸法が大きいと、当該各圧電素子をそれぞれ個別に押圧する必要が生じ、各圧電素子の位置決め工程が煩雑化する。
これに対し、本発明によれば、短辺に沿う方向の圧電素子の寸法は、同方向の補強板本体寸法より大きいので、補強板を挟む各圧電素子を同時に押圧して位置決めすることができる。従って、補強板本体及び圧電素子の位置決め工程を簡略化することができる。
【００１９】
また、１つの押圧部材で各圧電素子を押圧することにより、各圧電素子を押圧しやすいほか、補強板本体を避けて圧電素子を押圧する必要がないので、補強板本体から圧電素子が浮いたり、押圧段階で圧電素子に欠けが生じたりすることを抑制できる。従って、製造される圧電振動体の振動特性のばらつきを一層抑制できるほか、当該圧電振動体の歩留りを向上できる。
更に、短辺に沿う方向における圧電素子の寸法が補強板本体の寸法より小さい場合には、これらの接触面積が小さくなり、当該圧電素子の振動が補強板本体に十分に伝わらない可能性がある。これに対し、本発明では、同方向における圧電素子の寸法が補強板本体の寸法より大きいので、当該接触面積を大きくすることができ、圧電素子の振動を補強板に効率よく伝達することができる。
【００２０】
或いは、本発明の圧電振動体において、前記短辺に沿う方向の前記圧電素子の寸法は、当該方向の前記補強板本体の寸法より小さいことが好ましい。
ここで、短辺に沿う方向の圧電素子の寸法が補強板本体の寸法より大きい場合には、圧電振動体を電子機器等に組み込む際に、当該圧電素子における補強板本体からの突出部分に圧力や衝撃が加わると、当該突出部分が欠けてしまう可能性がある。
これに対し、本発明によれば、短辺に沿う方向においては圧電素子が補強板本体から突出しないので、製造後における圧電素子に欠けが発生することを抑制でき、当該圧電振動体の信頼性を向上できる。
【００２１】
本発明の圧電振動体において、前記補強板本体の第１側面には、前記圧電素子の第１側面より前記補強板本体の内側に没入する凹部が形成されていることが好ましい。
本発明によれば、補強板本体を挟むように一対の圧電素子が設けられる場合に、凹部が形成された位置で一対の圧電素子を押圧することにより、当該各圧電素子を１つの押圧部材で押圧することができ、これら各圧電素子を補強板本体に対して一度に位置決めすることができる。この際、各圧電素子と補強板本体との寸法の差にばらつきが生じた場合でも、凹部においては、当該各圧電素子の第１側面が確実に補強板本体の第１側面から突出するので、当該各圧電素子を確実に押圧することができる。従って、圧電素子と補強板本体との位置決め工程を簡略化することができる。
また、補強板本体における圧電素子との接触面に接着剤が塗布される場合でも、当該接着剤は凹部には塗布されない。このため、当該凹部に応じた位置を押圧部材で押圧して、これら圧電素子及び補強板の位置を揃える場合でも、接着剤が圧電振動体の側面に漏出することがなく、当該接着剤が押圧部材に付着することがない。従って、不要な接着剤が、製造される圧電振動体の側面に付着することを防止できる。
【００２２】
また、本発明の圧電アクチュエーターは、前述の圧電振動体と、当該圧電振動体の振動により駆動される被駆動体とを備えることを特徴とする。
本発明によれば、前述の圧電振動体と同様の効果を奏することができるので、振動特性のばらつきを抑制でき、かつ、駆動信頼性の高い圧電アクチュエーターを構成及び製造できる。
【００２３】
また、本発明の電子機器は、前述の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする。
このような電子機器として、腕時計等の時計や、カメラ等を例示することができる。
本発明によれば、前述の圧電アクチュエーターと同様の効果を奏することができ、これにより、動作信頼性の高い電子機器を構成及び製造することができる。
【００２４】
また、本発明の圧電振動体の製造方法は、圧電素子と、当該圧電素子が積層される補強板とを備え、前記圧電素子への駆動電圧の印加に応じて振動する圧電振動体の製造方法であって、前記補強板は、前記圧電素子と平面視略同形状であり、当該圧電素子が積層される補強板本体と、当該補強板を所定位置に固定する固定部とを有し、前記補強板本体及び前記圧電素子は、平面視略矩形状に形成され、各長辺に沿う第１側面及び第２側面と、各短辺に沿う第３側面及び第４側面とを有し、前記固定部は、前記補強板本体の第１側面のみから前記圧電素子より平面視で外側に突出し、前記圧電振動体の製造方法は、前記圧電振動体の外側に配置される第１位置決め部材に、前記補強板本体の第２側面、及び、前記圧電素子の第２側面をそれぞれ当接させて、これら各第２側面が平面視で揃うように、前記圧電素子と前記補強板本体とを位置決めする位置決め工程と、前記圧電素子と前記補強板本体とを接合させる接合工程と、を有することを特徴とする。
【００２５】
ここで、前述のように、平面視とは、前記補強板本体に対する前記圧電素子の積層方向に沿って前記補強板本体及び前記圧電素子を見る状態を意味する。
また、前記補強板本体の第２側面と前記圧電素子の第２側面とは、平面視で揃っているとは、平面視で、第１側面側でのそれぞれのずれ量に対して、第２側面側のそれぞれのずれ量が小さい、或いは、第２側面側の両者の平面視位置が一致していることを指す。なお、前記補強板本体の第２側面と前記圧電素子の第２側面とは、平面視で揃っているとしているが、これら各第２側面が揃うように製造されていれば、多少の誤差によりずれていても本発明に含まれる。
【００２６】
本発明によれば、前述の良好な振動特性を有する圧電振動体を効率よく製造することができる。
すなわち、補強板本体の振動に大きな影響を与える長辺側での圧電素子と補強板本体とのずれ量、すなわち、固定部が位置しない長辺側での圧電素子と補強板本体とのずれ量が無いか、或いは、減少されるので、圧電振動体を量産した場合に、製造される各圧電振動体の振動状態のばらつきを少なくでき、当該振動状態を安定化できる。そして、これにより、圧電振動体により駆動される被駆動体を、安定して確実に駆動することができる。
【００２７】
本発明の圧電振動体の製造方法において、前記補強板は、前記圧電振動体の振動時に被駆動体に接触して当該被駆動体を駆動させる接触部を有し、前記接触部は、前記補強板本体の第３側面に設けられ、前記位置決め工程は、前記補強板本体及び前記圧電素子のそれぞれの前記第２側面を前記第１位置決め部材に当接させ、かつ、前記補強板本体及び前記圧電素子のそれぞれの前記第３側面を第２位置決め部材に当接させるように位置決めする位置決め手順を有することが好ましい。
【００２８】
本発明によれば、第１位置決め部材により、固定部とは反対側の各第２側面がそれぞれ揃えられ、第２位置決め部材により、被駆動体に接触する接触部が位置する側の各第３側面がそれぞれ揃えられる。これによれば、圧電振動体において、２つの側面がそれぞれ揃えられるので、製造される各圧電振動体の振動特性のばらつきを抑制することができるほか、接触部の駆動範囲のばらつきを抑制することができる。更に、各第３側面が揃うので、被駆動体に圧電素子が接触することを防止できる。従って、圧電振動体を適切に振動させることができ、被駆動体を確実に駆動させることができる。
【００２９】
本発明の圧電振動体の製造方法において、前記位置決め手順は、前記補強板本体の中央を中心として、前記第２側面及び前記第３側面により挟まれる角部とは反対側の角部に対して振動を加えつつ、前記圧電素子及び前記補強板本体が前記第１位置決め部材及び前記第２位置決め部材に当接するように位置決めすることが好ましい。
【００３０】
ここで、圧電素子及び補強板本体を第１位置決め部材に向かって押圧する工程と、当該圧電素子及び補強板本体を第２位置決め部材に向かって押圧する工程とをそれぞれ個別に行う場合には、圧電振動体の製造工程が増える。
これに対し、位置決め手順にて、第２側面及び第３側面により挟まれる角部に向かって、圧電素子及び補強板本体を押圧することにより、１度の位置決め手順にて圧電素子及び補強板本体を、第１位置決め部材及び第２位置決め部材に対して位置決めできる。従って、位置決め手順を簡略化できる。
【００３１】
また、圧電素子及び補強板本体が第１位置決め部材及び第２位置決め部材に当接した場合には、当該各位置決め部材と圧電素子及び補強板本体との摩擦抵抗等により、当該各位置決め部材への各側面の当接が適切に行われない場合が生じうる。
これに対し、本発明では、圧電素子及び補強板本体に対して、振動を加えながら当該圧電素子及び補強板本体を、第１位置決め部材及び第２位置決め部材に向かって押圧するので、これら圧電素子及び補強板本体と各位置決め部材とに抵抗があっても、当該圧電素子及び補強板本体を各位置決め部材に確実に当接させることができる。従って、圧電素子及び補強板を各位置決め部材に対して適切に位置決めできる。
【００３２】
本発明の圧電振動体の製造方法において、前記位置決め工程にて、前記圧電素子及び前記補強板本体を位置決めする際に、前記圧電素子及び前記補強板本体の少なくともいずれかを押圧する押圧部材は、弾性を有し、かつ、前記圧電素子及び前記補強板本体の少なくともいずれかに当接する当接部を有することが好ましい。
本発明によれば、圧電素子と補強板本体との寸法差を、弾性を有する当接部により吸収することができるので、これら圧電素子及び補強板本体の少なくともいずれかを、１つの押圧部材により確実に押圧することができる。
【００３３】
本発明の圧電振動体の製造方法において、前記位置決め工程は、前記圧電素子における前記補強板本体に対向する面とは反対側の面を吸引して、当該圧電素子を前記補強板本体に対して位置決めすることが好ましい。
ここで、圧電素子と補強板本体とを互いに固定する場合には、当該圧電素子及び補強板本体のうち、少なくとも一方における他方に対向する面に接着層を形成し、当該接着層を硬化させることで、これら圧電素子及び補強板本体を固定（接着）する方法が一般的である。この場合、前述の位置決め部材に向かって圧電素子及び補強板本体を押圧部材により押圧しつつ、補強板本体に対する圧電素子の積層方向に沿ってこれらを加圧すると、当該接着層を形成する接着剤が外部に漏出して、押圧部材に付着することがある。このように押圧部材に接着剤が付着すると、圧電振動体からの押圧部材の剥離が煩雑となるほか、押圧部材から接着剤を除去する必要が生じるため、圧電振動体の製造工程が煩雑となる。
【００３４】
これに対し、本発明では、補強板本体に対向する面とは反対側の圧電素子の面を吸引して、当該圧電素子を補強板本体に対して位置決めする。これによれば、圧電振動体の側面から接着剤が漏出する場合でも、押圧部材を用いる必要がないので、当該押圧部材から接着剤を除去する必要がない。従って、圧電振動体の製造工程を簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る時計を示す平面図。
【図２】前記実施形態における圧電アクチュエーター及び減速輪列を示す模式図。
【図３】前記実施形態における圧電振動体を示す概要斜視図。
【図４】前記実施形態における圧電振動体を示す概要斜視図。
【図５】前記実施形態における圧電振動体を示す断面図。
【図６】前記実施形態における圧電振動体及び位置決め部材の位置を示す平面図。
【図７】前記実施形態における圧電素子及び補強板を位置決めする工程を示す図。
【図８】前記実施形態における押圧部材による圧電素子の押圧状態を示す図。
【図９】前記実施形態における押圧部材の変形を示す図。
【図１０】前記実施形態における圧電振動体の振動特性の分布を示す図。
【図１１】本発明の第２実施形態に係る圧電素子及び補強板の位置決め工程を説明する図。
【図１２】本発明の第３実施形態に係る圧電素子及び補強板の位置決め工程を説明する図。
【図１３】本発明の第４実施形態に係る圧電素子及び補強板の位置決め工程を説明する図。
【図１４】前記実施形態における圧電素子及び補強板の位置決め工程を説明する図。
【図１５】前記各実施形態の変形を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態について、図面に基づいて説明する。
なお、後述する第２実施形態、第３実施形態及び第４実施形態において、以下に説明する第１実施形態での構成部材と同じ構成部材及び同様な機能を有する構成部材には、同一符号を付し、説明を簡単に或いは省略する。
【００３７】
［時計の概略構成］
図１は、本実施形態に係る時計１０を示す平面図である。
本実施形態に係る電子機器である電子時計（以下、「時計」と略す場合がある）１０は、計時手段としてのムーブメント１、通常時刻を表示する文字板２、時針３、分針４及び秒針５のほか、クロノグラフ時間を示す秒クロノグラフ針６及び分クロノグラフ針７を備える。
時針３、分針４及び秒針５は、一般的なアナログクォーツと同様のものであり、詳しい図示を省略するが、水晶振動子が組み込まれた回路基板と、コイル、ステーター及びローターを有するステッピングモーターと、駆動輪列と、電池とにより駆動される。
秒クロノグラフ針６は、後述する圧電アクチュエーター２０及び減速輪列５０により駆動され、また、分クロノグラフ針７は、図示を省略したが、当該秒クロノグラフ針６と同様の機構により駆動される。
【００３８】
［圧電アクチュエーター及び減速輪列の構成］
図２は、圧電アクチュエーター２０及び減速輪列５０を示す模式図である。
圧電アクチュエーター２０は、図２に示すように、電圧印加に応じて振動する圧電振動体３０と、当該圧電振動体３０の振動により回転するローター４０とを備える。
このうち、被駆動体としてのローター４０は、板ばね４１によって圧電振動体３０側に付勢されており、当該圧電振動体３０とローター４０外周との間に適切な摩擦力が発生することで、圧電振動体３０の振動が効率良くローター４０に伝達されるようになっている。なお、圧電振動体３０の構成については、後に詳述する。
【００３９】
減速輪列５０は、ローター４０の回転を秒クロノグラフ針６に伝達する。この減速輪列５０は、歯車５１，５２により構成されている。
歯車５１は、ローター４０と同軸に配置され、当該ローター４０と一体となって回転する。また、歯車５２は、秒クロノグラフ針６（図１参照）の回転軸に固定され、歯車５１に噛合している。このため、圧電振動体３０の駆動により生じたローター４０の回転が、歯車５１，５２を介して減速された秒クロノグラフ針６に伝達され、当該秒クロノグラフ針６が駆動する。
【００４０】
［圧電振動体の構成］
図３及び図４は、圧電振動体３０を示す概要斜視図である。詳述すると、図３は、圧電振動体３０を固定部３３３側から見た斜視図であり、図４は、圧電振動体３０を固定部３３３側とは反対側から見た斜視図である。なお、以降の図におけるＸ、Ｙ及びＺの各軸は、互いに直交する軸である。このうち、Ｘ軸及びＹ軸は、圧電素子３１，３２の補強板３３に対する積層方向に沿って見た際の圧電素子３１，３２及び補強板３３の短辺に沿う軸及び長辺に沿う軸を示す。また、＋Ｘ方向及び−Ｘ方向は、Ｘ軸に沿い、かつ、互いに反対を向く方向である。＋Ｙ方向及び−Ｙ方向、並びに、＋Ｚ方向及び−Ｚ方向も同様である。
圧電振動体３０は、図３及び図４に示すように、一対の圧電素子３１，３２（説明の便宜上、図３及び図４における上方（＋Ｚ方向）に位置する圧電素子を３１とし、下方（−Ｚ方向）に位置する圧電素子を３２とする）と、これらの圧電素子３１，３２の間に介装される平板状の補強板３３とを備える。そして、これら圧電素子３１，３２と補強板３３とは、本実施形態では、接着剤により互いに接合される。
【００４１】
［圧電素子の構成］
圧電素子３１，３２は、それぞれ補強板３３の後述する補強板本体３３１に積層される。これら圧電素子３１，３２は、平板状を有し、平面視した際（圧電素子３１，３２の補強板３３への積層方向に沿って見た際であり、換言すると＋Ｚ方向又は−Ｚ方向に沿って見た際）に略矩形状に形成されている。
このうち、圧電素子３１は、当該圧電素子３１を平面視した際に長辺に沿う第１側面３１１及び第２側面３１２と、短辺に沿う第３側面３１３及び第４側面３１４とを有する。
同様に、圧電素子３２は、当該圧電素子３２を平面視した際に長辺に沿う第１側面３２１及び第２側面３２２と、短辺に沿う第３側面３２３及び第４側面３２４とを有する。
【００４２】
圧電素子３１，３２の表面（それぞれ補強板３３に対向する面とは反対側の面）には、当該圧電素子３１，３２に駆動信号としての交流電圧を印加するための電極（図示省略）がそれぞれ形成される。これら電極は、ニッケル或いは金などによるめっき、スパッタ、蒸着等の方法で形成される。なお、圧電素子３１，３２の裏面（それぞれ補強板３３に対向する面）にも、表面側と同様の電極が形成され、この電極は補強板３３と重ねられ導通されている。
【００４３】
このような圧電素子３１，３２の材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ（登録商標））、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等を例示できる。
なお、これら圧電素子３１，３２の寸法、並びに、圧電素子３１，３２に前述の各電極を介して印加される交流電圧の周波数（駆動周波数）は、圧電素子３１，３２に繰り返し電圧が印加された際に、当該圧電素子３１，３２に縦振動（縦一次振動）及び屈曲振動（屈曲二次振動）が同時に現れるように、適宜設定される。
【００４４】
［補強板の構成］
補強板３３は、ステンレス鋼等の導電性を有する金属材料から形成されている。この補強板３３は、圧電素子３１，３２が積層される補強板本体３３１と、当該補強板本体３３１に一体的に形成された一対の突出部３３２及び固定部３３３とを備える。
補強板本体３３１は、平面視略矩形状に形成されている。このような補強板本体３３１は、平面視した際に当該補強板本体３３１の長辺に沿う第１側面３３１１及び第２側面３３１２と、短辺に沿う第３側面３３１３及び第４側面３３１４とを有する。なお、この補強板本体３３１の平面視の寸法は、圧電素子３１，３２と略同じとなるように設定されている。
【００４５】
一対の突出部３３２は、第３側面３３１３及び第４側面３３１４におけるそれぞれの一方の端部から外側に略円弧状に突出するように形成されている。具体的に、一対の突出部３３２は、補強板本体３３１を平面視した際の１つの対角線上の角部近傍に位置し、当該補強板本体３３１の中央を中心として点対称に形成されている。換言すると、第３側面３３１３における固定部３３３に近い端部に突出部３３２が形成され、第４側面３３１４における固定部３３３から離れた端部に突出部３３２が形成されている。これらの突出部３３２のうち、固定部３３３に近い突出部３３２（第３側面３３１３に形成された突出部３３２）が、前述のローター４０（図２参照）に接触する。すなわち、当該突出部３３２におけるローター４０に接触する部分が、本発明の接触部に相当する。
【００４６】
固定部３３３は、第１側面３３１１の略中央から、当該補強板本体３３１の圧電素子３１，３２に対向する面（対向面）に沿って、これら圧電素子３１，３２の外側に突出するように形成されている。この固定部３３３は、第１側面３３１１から−Ｘ方向に延出する腕部３３３１と、当該腕部３３３１の延出方向先端に形成された平面視略矩形状の固定部本体３３３２とを有する。この固定部本体３３３２には、孔部３３３３が形成され、当該孔部３３３３を挿通したねじ（図示省略）が、ムーブメント１を構成する地板に固定されることにより、圧電振動体３０は当該地板に固定される。
【００４７】
図５は、圧電振動体３０を示す縦断面図（Ｚ軸に沿う断面図）である。
ここで、圧電素子３１，３２及び補強板本体３３１の寸法は、それぞれ略同じとなるように製造されるが、これらの製造時の誤差（寸法公差）により、当該寸法は必ずしも一致しない。このような寸法の不一致により、圧電素子３１，３２及び補強板本体３３１の各第２側面３１２，３２２，３３１２の位置が揃っていない場合には、製造される各圧電振動体３０でアンバランスのばらつきが多くなり、当該各圧電振動体３０の振動特性にばらつきを生じさせる要因となる。
【００４８】
このため、本実施形態に係る圧電振動体３０では、図５に示すように、圧電素子３１，３２及び補強板本体３３１の＋Ｘ方向の寸法が異なる場合でも、固定部３３３が位置する側とは反対側の各第２側面３１２，３２２，３３１２が平面視で揃うように、圧電素子３１，３２と補強板本体３３１とを位置決め及び固定する。
また、本実施形態に係る圧電振動体３０では、固定部３３３に近い突出部３３２が位置する補強板本体３３１の第３側面３３１３と、圧電素子３１，３２の第３側面３１３，３２３とが、平面視で揃うように、圧電素子３１，３２と補強板本体３３１とを位置決め及び固定する。
【００４９】
例えば、本実施形態では、図５（Ａ）に示すように、圧電素子３１，３２の＋Ｘ方向の寸法が補強板本体３３１の同方向の寸法より大きい場合でも、第２側面３１２，３２２，３３１２が平面視で揃うように、圧電素子３１，３２と補強板本体３３１とを固定する。
また、図５（Ｂ）に示すように、圧電素子３１，３２及び補強板本体３３１の＋Ｘ方向の寸法がそれぞれ異なる場合でも、第２側面３１２，３２２，３３１２が平面視で揃うように、圧電素子３１，３２と補強板本体３３１とを固定する。
更に、図５（Ｃ）に示すように、圧電素子３１，３２の＋Ｘ方向の寸法が補強板本体３３１の同方向の寸法より小さい場合でも、第２側面３１２，３２２，３３１２が平面視で揃うように、圧電素子３１，３２と補強板本体３３１とを固定する。
【００５０】
［圧電振動体の製造工程］
図６は、圧電振動体３０及び位置決め部材Ｐ１，Ｐ２の位置を示す平面図である。
上記のような圧電振動体３０は、圧電素子３１，３２と補強板本体３３１の各接合面に接着剤を塗布等により配置する接着剤配置工程と、圧電素子３１，３２と補強板本体３３１とを位置決めする位置決め工程を経て、当該圧電素子３１，３２及び補強板本体３３１を接合する接合工程を行うことにより製造される。
この接着剤配置工程では、圧電素子３１，３２と補強板本体３３１の各接合面に、塗布等により接着剤を配置する。この接着剤は、熱硬化型接着剤や嫌気性接着剤を用いることが好ましい。熱硬化型接着剤としては、例えばエポキシ樹脂系接着剤が好ましい。これは、エポキシ樹脂系接着剤が適度な粘性を有した液状であり、接着面に塗布可能であるためである。また、嫌気性接着剤としては、例えば、アクリル系嫌気性接着剤又はシアノアクリル系嫌気性接着剤が好ましい。これは、同様に、アクリル系嫌気性接着剤及びシアノアクリル系嫌気性接着剤が液状であり、接着面に塗布可能であるためである。
【００５１】
このような接着剤（例えばエポキシ樹脂系接着剤）を、圧電素子３１，３２において補強板本体３３１と接触する面に、印刷或いはディスペンサーにより塗布して接着剤を配置する。このようにして各面に塗布された接着剤も、粘性を有している。従って、後述する位置決め工程により圧電素子３１，３２と補強板本体３３１とが所定位置に位置決めされた状態では、当該圧電素子３１，３２と補強板本体３３１とは、接着剤の上記粘性によって上記所定位置に仮保持される。
【００５２】
位置決め工程では、図６に示すように、各第２側面３１２，３２２，３３１２の位置を揃える第１位置決め部材としての円筒状の位置決め部材Ｐ１を、製造される圧電振動体３０のサイズ等に応じて所定の位置に配置し、また、各第３側面３１３，３２３，３３１３の位置を揃える第２位置決め部材としての円筒状の位置決め部材Ｐ２を、当該サイズ等に応じて所定の位置に配置する。これらのうち、位置決め部材Ｐ１は複数箇所に配置される。なお、これら位置決め部材Ｐ１，Ｐ２の位置は、同じサイズの圧電振動体３０を製造する場合には、一度設定されれば、変更せずともよい。
【００５３】
ここで、圧電振動体３０の振動時では、前述のように、縦振動及び屈曲振動を生じる。
このうち、縦振動は、圧電素子３１、３２の表面と裏面の電極に駆動信号が印加されることにより生じるもので、圧電振動体３０を平面視した際の中央を中心としてＹ軸に沿って伸縮する振動である。すなわち、圧電振動体３０は、伸長時には当該中央を中心として外側に延出し、収縮時には当該中央を中心として内側に収縮する。このため、当該中央を通り、かつ、圧電振動体３０のＸ軸上の領域は、当該圧電振動体３０の縦振動時に変位が生じにくい領域となり、当該中央の位置が縦振動時の節Ｄ１となる。
【００５４】
また、屈曲振動は、前述の縦振動が引き起こされる際に、各突出部３３２が幅方向（Ｘ軸）において中央位置からずれてアンバランスに配置されていることにより引き起こされるものである。この屈曲振動は、圧電素子３１，３２の平面中心に対して点対称に、Ｘ軸に沿って、Ｙ軸一方の端部側及び他方の端部側が、それぞれ互いに反対方向に変位する振動である。この変位の方向は、一方の端部側及び他方の端部側で、振動１サイクルの中で反転するようになる。このため、屈曲振動時においては、圧電振動体３０の±Ｘ方向の中心線は、図６において一点鎖線で示す曲線となる。これら曲線の交点であり、屈曲振動時の節Ｄ１，Ｄ２（中央の節Ｄ１は縦振動時の節を兼ねる）を通り、かつ、当該圧電振動体３０の±Ｘ方向上の領域は、屈曲振動時に圧電振動体３０において変位が生じにくい領域となる。
【００５５】
一方、一対の突出部３３２は、圧電振動体３０が振動した際に変位量が大きくなる部位であり、圧電振動体３０に屈曲振動及び縦振動を生じさせることにより、略楕円軌道Ｒ（図２参照）を描いて振動する。そして、一方の突出部３３２が、上記のように振動することにより、前述のローター４０（図２参照）を回転させる。
なお、屈曲振動は、突出部３３２が補強板３３にアンバランスに配置されているために縦振動に誘起されて振動する場合、或いは、補強板３３上に配置された複数の電極に駆動信号を選択的に引加することにより誘起される場合に生じうる。しかしながら、本実施形態では、屈曲振動は、前者により誘起される。ただし、後者によって屈曲振動が誘起されるようにしてもよい。後者の場合、各突出部３３２の配置位置は、補強板３３の第３側面３３１３及び第４側面３３１４の±Ｘ方向での中央位置付近に配置されることが好ましい。しかしながら、これに限らず、前述のようにアンバランスに配置されてもよい。
【００５６】
このような節Ｄ１，Ｄ２の位置に応じて、各位置決め部材Ｐ１，Ｐ２はそれぞれ配置される。
具体的に、本実施形態では、各側面３１１，３２１，３３１１が位置決め部材Ｐ１に当接した際に、当該位置決め部材Ｐ１の位置が各節Ｄ２に応じた位置（節Ｄ２を通る＋Ｘ方向上の位置）となるように、当該位置決め部材Ｐ１は配置される。本実施形態では、これら位置決め部材Ｐ１は、固定部３３３を挟むように、図６における左右に一つずつ位置するように配置される。このように位置決め部材Ｐ１を配置することにより、接合工程にて、接着剤が圧電素子３１，３２及び補強板３３の外部に漏出した場合でも、当該接着剤を位置決め部材Ｐ１の周囲に毛細管現象により集めることができる。このため、接着剤は、圧電振動体３０の振動時に変位が生じにくい領域に集められることとなるので、当該接着剤が圧電振動体３０の振動特性に悪影響を与えることを抑制できる。
また、各側面３１３，３２３，３３１３が位置決め部材Ｐ２に当接した際に、当該位置決め部材Ｐ２の位置が節Ｄ２に応じた位置（節Ｄ２を通る−Ｙ方向上の位置）となるように、当該位置決め部材Ｐ２は配置される。このため、位置決め部材Ｐ２は、±Ｘ方向における各側面３１３，３２３，３３１３の略中央に配置される。
【００５７】
図７は、位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に沿って圧電素子３１，３２及び補強板３３を位置決めする工程を示す図である。
以上のように配置された位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に向かって、圧電素子３１，３２及び補強板３３を押圧部材９（９Ａ〜９Ｄ）により押圧し、これらを当該位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に対して位置決めする。これにより、各第１側面３１１，３２１，３３１１が平面視で揃うとともに、各第３側面３１３，３２３，３３１３が平面視で揃うこととなる（位置決め手順）。
【００５８】
具体的に、図７に示すように、圧電素子３１，３２を位置決め部材Ｐ１のそれぞれに向かって押圧する２つの押圧部材９Ａは、圧電素子３１，３２及び補強板本体３３１における位置決め部材Ｐ１とは反対側の位置にそれぞれ配置される。また、補強板３３を位置決め部材Ｐ１に向かって押圧する押圧部材９Ｂは、固定部３３３における補強板本体３３１とは反対側の端部を当該位置決め部材Ｐ１に向かって押圧する位置に配置される。
一方、圧電素子３１，３２を位置決め部材Ｐ２に向かって押圧する押圧部材９Ｃは、圧電素子３１，３２及び補強板本体３３１における位置決め部材Ｐ２とは反対側の位置にそれぞれ配置される。また、補強板３３を位置決め部材Ｐ２に向かって押圧する押圧部材９Ｄは、第４側面３３１４に突設された突出部３３２を位置決め部材Ｐ２に向かって押圧する位置に配置される。
【００５９】
このような押圧部材９（９Ａ〜９Ｄ）は、押圧対象となる圧電素子３１，３２又は補強板３３に当接する当接部９１と、圧縮バネ等の弾性部９２と、移動部９３とを備える。そして、移動部９３が押圧対象に近接する方向に移動すると、押圧対象に弾性部９２及び当接部９１を介して図７において点線で示す付勢力が作用し、当該押圧対象が位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に向かって押圧される。
【００６０】
図８は、押圧部材９Ａによる圧電素子３１，３２の押圧状態を示す図である。
ここで、前述のように、圧電素子３１，３２及び補強板本体３３１の寸法は、それぞれ一致するように製造されるが、製造時の誤差により寸法差が生じる場合がある。
例えば、図８（Ａ）に示すように、圧電素子３１，３２のＸ軸に沿う寸法が、補強板本体３３１の同軸に沿う寸法より大きい場合がある。この場合には、各第１側面３１１，３２１を同時に押圧可能な当接部９１を有する押圧部材９Ａにより、当該圧電素子３１，３２を位置決め部材Ｐ１に向かって押圧する。これにより、第２側面３１２，３２２が位置決め部材Ｐ１に沿うように、当該圧電素子３１，３２が位置決めされる。なお、圧電素子３１，３２に寸法差が生じている場合でも、これらを１つの押圧部材９Ａで押圧するために、後述する当接部９１Ｅのように、当接部９１を弾性部材により形成したり、或いは、当該当接部９１が水平方向を軸として傾斜可能としてもよい。
一方、図８（Ｂ）に示すように、圧電素子３１，３２のＸ軸に沿う寸法が、補強板本体３３１の同軸に沿う寸法より小さい場合がある。この場合には、各第１側面３１１，３２１を個別に押圧する押圧部材９Ａにより、当該圧電素子３１，３２を位置決め部材Ｐ１に向かって押圧する。これにより、第２側面３１２，３２２が位置決め部材Ｐ１に沿うように、当該圧電素子３１，３２が位置決めされる。
【００６１】
また、図示を省略するが、圧電素子３１，３２のＹ軸に沿う寸法が、補強板本体３３１の同軸に沿う寸法より大きい場合には、各第４側面３１４，３２４を同時に押圧可能な当接部９１を有する押圧部材９Ｃにより、当該圧電素子３１，３２を位置決め部材Ｐ２に向かって押圧する。一方、圧電素子３１，３２のＹ軸に沿う寸法が、補強板本体３３１の同軸に沿う寸法より小さい場合には、各第４側面３１４，３２４を個別に押圧する押圧部材９Ｃにより、当該圧電素子３１，３２を位置決め部材Ｐ２に向かって押圧する。これにより、第３側面３１３，３２３が位置決め部材Ｐ２に沿うように、当該圧電素子３１，３２が位置決めされる。
【００６２】
なお、圧電素子３１，３２の寸法に依らず、補強板３３は、押圧部材９Ｂにより固定部３３３が位置決め部材Ｐ１に向かって押圧されることで、当該位置決め部材Ｐ１に第２側面３３１２が沿うように位置決めされる。
また、押圧部材９Ｄにより第４側面３３１４に突設された突出部３３２が位置決め部材Ｐ２に向かって押圧されることで、補強板３３は、当該位置決め部材Ｐ２に第３側面３３１３が沿うように位置決めされる。
【００６３】
図９は、押圧部材９Ａ，９Ｃの変形である押圧部材９Ｅを示す図である。
なお、押圧部材９Ａ，９Ｃに代えて、図９に示す押圧部材９Ｅを用いて、圧電素子３１，３２及び補強板３３を位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に押圧するようにしてもよい。
この押圧部材９Ｅは、当接部９１に代えて、当接部９１Ｅを有するほかは、押圧部材９Ａ，９Ｃと同様の構成を有する。
【００６４】
当接部９１Ｅは、ゴム等の弾性を有する部材により構成され、圧電素子３１，３２及び補強板３３の寸法差を吸収可能に構成されている。このため、当接部９１Ｅは、圧電素子３１，３２及び補強板本体３３１にそれぞれ同時に当接できる。従って、このような押圧部材９Ｅを押圧部材９Ａ，９Ｃに代えて採用することにより、これら圧電素子３１，３２及び補強板３３を同時に位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に向かって押圧することができる。従って、各第２側面３１２，３２２，３３１２を平面視で揃えることができるとともに、各第３側面３１３，３２３，３３１３を平面視で揃えることができる。
このような押圧部材９Ｅを、押圧部材９Ａ，９Ｃに代えて採用する場合には、圧電素子３１，３２とともに補強板３３を位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に向かって押圧することができるので、押圧部材９Ｂ，９Ｄによる押圧を省略することも可能となる。
【００６５】
接合工程では、位置決め部材Ｐ１，Ｐ２及び押圧部材９により、各第２側面３１２，３２２，３３１２が揃い、かつ、各第３側面３１３，３２３，３３１３が揃った状態で、圧電素子３１，３２及び補強板３３を−Ｚ方向に加圧する。そして、圧電素子３１，３２と補強板３３との間の接着層（接着剤）を硬化させることにより、これら圧電素子３１，３２及び補強板３３を接合する。これにより、圧電振動体３０が製造される。
【００６６】
具体的に、前述の接着剤の硬化は、当該接着剤が熱硬化性接着剤である場合には、加熱することにより行われる。例えば、熱硬化接着剤としてエポキシ樹脂系接着剤を用いた場合には、上記加圧状態のまま圧電振動体３０をヒーターにより加熱する。そして、所定時間経過して接着剤が硬化した後、当該加圧状態を解除することにより、接合工程が終了する。また、接着剤が嫌気性接着剤である場合には、上記加圧状態のまま所定時間、放置しておく。すると、接着剤には酸素がほとんど存在していないことから、当該接着剤が硬化して、圧電素子３１，３２及び補強板本体３３１を互いに接合することができる。
【００６７】
［第１実施形態の効果］
以上説明した本実施形態に係る時計１０によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）圧電振動体３０において、固定部３３３とは反対側の補強板本体３３１の第２側面３３１２と、圧電素子３１，３２の第２側面３１２，３２２とは、平面視で揃う。
ここで、第１側面３１１，３２１，３３１１付近の振動は固定部３３３により抑制されるので、圧電素子３１，３２と補強板本体３３１とのずれ量が振動エネルギーに寄与する度合いは小さくなる。一方、第２側面３１２，３２２，３３１２付近の振動は固定部３３３により抑制されないので、当該ずれ量が振動エネルギーに寄与する度合いも大きくなる。換言すると、圧電素子３１，３２と補強板本体３３１とのずれ量が大きい側面が、第１側面３１１，３２１，３３１１側である場合に比べ、第２側面３１２，３２２，３３１２側である場合には、振動エネルギーに寄与する度合いも大きくなり、当該ずれ量の大小により、圧電振動体３０の振動特性が大きく変化する。
これに対し、本実施形態では、圧電素子３１，３２の第２側面３１２，３２２と補強板本体３３１の第２側面３３１２と平面視で揃えている。これによれば、圧電振動体３０のそれぞれの振動特性のばらつきを抑制できる。従って、製造される各圧電振動体３０の振動状態のばらつきを少なくでき、当該振動状態を安定化できるほか、被駆動体であるローター４０を安定して確実に駆動できる。
【００６８】
図１０は、圧電素子及び補強板本体の各第１側面が揃うように製造された圧電振動体と、第２側面３１２，３２２，３３１２が揃うように製造された圧電振動体３０との振動特性の分布を示す図である。この図１０の横軸に示されるΔｆは、製造された圧電振動体における縦振動の共振周波数と屈曲振動の共振周波数との差を示すものである。このΔｆが所定の範囲（図１０において一対の一点鎖線で挟まれる範囲）内にあれば、当該Δｆを有する圧電振動体は、縦振動及び屈曲振動のバランスが取れ、第３側面３３１３の突出部３３２が適切な楕円振動を描く良好な振動特性を有するものと評価される。また、図１０の縦軸は、当該Δｆを有する圧電振動体の個数を示す。
【００６９】
具体的に、図１０において破線で示すように、圧電素子及び補強板本体の各第１側面が平面視で揃い、各第２側面が揃っていない各圧電振動体ではΔｆが広範囲となり、前述の良好な振動特性を有する圧電振動体は少ない。このように、当該構成では、良好な振動特性を有する圧電振動体の製造効率が高くない。
【００７０】
これに対し、図１０において実線で示すように、少なくとも各第２側面３１２，３２２，３３１２が平面視で揃う各圧電振動体３０ではΔｆの範囲が狭まり、各Δｆが前述の所定の範囲内に収まりやすい。すなわち、製造される各圧電振動体３０で、振動特性のばらつきが少ないので、当該構成では、良好な振動特性を有する圧電振動体３０の製造効率が高い。従って、圧電振動体を量産しても、各圧電振動体の振動のばらつきが少ないので、被駆動体の被駆動量のばらつきを少なくすることができ、当該被駆動体の安定駆動を実現することができる。
このように、各第２側面３１２，３２２，３３１２を平面視で揃えることにより、駆動信頼性の高い圧電振動体３０及び圧電アクチュエーター２０を製造できる。また、製造される圧電振動体３０の歩留りを向上できる。
【００７１】
（２）上記圧電振動体３０では、各第２側面３１２，３２２，３３１２だけでなく、各第３側面３１３，３２３，３３１３が平面視で揃えられる。これによれば、補強板本体３３１及び圧電素子３１，３２のそれぞれの位置は、第３側面３１３，３２３，３３１３において略一致するので、被駆動体であるローター４０を駆動させる突出部３３２近傍の振動状態のばらつきを抑制することができる。従って、製造される圧電振動体３０の個体間の振動特性のばらつきを一層抑制できる。従って、圧電振動体３０を量産しても、各圧電振動体３０の振動のばらつきを少なくすることができ、ひいては、当該圧電振動体３０により駆動する被駆動体（ローター４０）の被駆動量のばらつきを少なくすることができるので、当該被駆動体を安定して駆動させることができる。
【００７２】
（３）第３側面３１３，３２３，３３１３は平面視で揃えられる。ここで、当該第３側面３３１３に形成され、固定部３３３に近い突出部３３２は、圧電振動体３０の駆動時における動作範囲のばらつきが小さい。このため、第３側面３１３，３２３，３３１３を揃えることにより、当該突出部３３２の動作範囲のばらつきを一層抑制でき、被駆動体であるローター４０の駆動を一層安定化することができる。また、当該第３側面３１３，３２３，３３１３では、圧電素子３１，３２が補強板本体３３１から突出しないので、当該圧電素子３１，３２が、圧電振動体３０の振動時にローター４０に接触することを防止できる。従って、圧電振動体３０を適切に振動させることができ、ローター４０を確実に駆動させることができる。
【００７３】
（４）圧電素子３１，３２のＸ軸に沿う寸法が、補強板本体３３１の同軸に沿う寸法より大きい場合には、第１側面３１１，３２１が第１側面３３１１から突出するので、当該圧電素子３１，３２を、１つの押圧部材９Ａで同時に押圧して位置決めできる。従って、これら圧電素子３１，３２を個別に押圧する場合に比べ、当該圧電素子３１，３２及び補強板本体３３１の位置決め工程を簡略化することができる。
【００７４】
（５）１つの押圧部材９Ａで各第１側面３１１，３２１を位置決め部材Ｐ１に向かって押圧することにより、当該圧電素子３１，３２と補強板本体３３１との対向面に沿って各圧電素子３１，３２を押圧しやすくなる。
更に、補強板本体３３１を避けて圧電素子３１，３２を押圧する必要がないので、当該補強板本体３３１から圧電素子３１，３２が浮いたり、当該圧電素子３１，３２が押圧の段階で欠けたりすることを抑制できる。従って、製造される圧電振動体３０の振動特性のばらつきを一層抑制できるほか、当該圧電振動体３０の歩留りを向上できる。
【００７５】
ここで、圧電素子３１，３２のＸ軸に沿う寸法が、補強板本体３３１の同軸に沿う寸法より大きい場合には、これら圧電素子３１，３２と補強板本体３３１との接触面積が小さくなり、当該圧電素子３１，３２の振動が補強板本体３３１に十分に伝わらない可能性がある。これに対し、圧電素子３１，３２のＸ軸に沿う寸法を補強板本体３３１の同軸に沿う寸法より大きくすることにより、当該接触面積を大きくすることができ、圧電素子３１，３２の振動を補強板本体３３１に効率よく伝達することができる。
【００７６】
（６）一方、圧電素子３１，３２のＸ軸に沿う寸法が、補強板本体３３１の同軸に沿う寸法より大きい場合には、圧電振動体３０を時計１０等の電子機器に組み込む際に、圧電素子３１，３２における補強板本体３３１からの突出部分に圧力や衝撃が加わると、当該突出部分が欠けてしまう可能性がある。
これに対し、圧電素子３１，３２のＸ軸に沿う寸法が補強板本体３３１の同軸に沿う寸法より小さいことにより、−Ｘ方向においては、補強板本体３３１から圧電素子３１，３２が突出しない。従って、製造後に圧電素子３１，３２に欠けが発生することを抑制でき、当該圧電振動体３０の信頼性を向上できる。
【００７７】
（７）圧電素子３１，３２と補強板３３とを位置決めする際に、押圧部材９Ｅによりこれらを押圧する場合には、弾性を有する当接部９１Ｅにより、圧電素子３１，３２と補強板本体３３１との寸法差を吸収することができる。従って、これら圧電素子３１，３２及び補強板本体３３１を、１つの押圧部材９Ｅにより、位置決め部材Ｐ１又は位置決め部材Ｐ２に向かって確実に押圧することができる。このほか、圧電素子３１，３２及び補強板本体３３１の位置決めに要する押圧部材９の数を削減できる。
【００７８】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態に係る時計における圧電振動体３０Ａについて、図１１に基づいて説明する。この図１１は、本実施形態に係る圧電振動体３０Ａを構成する圧電素子３１，３２及び補強板３３Ａの位置決め工程を説明する図である。このうち、図１１（Ａ）は、当該圧電振動体３０Ａを示す平面図である。また、図１１（Ｂ）は、後述する凹部３３１５にて、圧電素子３１，３２の積層方向（±Ｚ方向）に沿って断面視した圧電振動体３０Ａを示す断面図である。なお、図１１（Ａ）においては、前述の押圧部材９Ｃ，９Ｄの図示を省略する。
【００７９】
第１実施形態では、圧電素子３１，３２と補強板本体３３１とのＸ軸に沿う寸法差に応じて、補強板本体３３１を挟む圧電素子３１，３２を１つの押圧部材９Ａで押圧するか、当該圧電素子３１，３２をそれぞれ個別に押圧部材９Ａで押圧するかを決定していた。
これに対し、第２実施形態では、補強板本体３３１に凹部３３１５を形成し、１つの押圧部材９Ｆにより、当該凹部３３１５に応じた位置で圧電素子３１，３２を位置決め部材Ｐ１に向かって押圧する。
【００８０】
本実施形態に係る時計は、圧電振動体３０に代えて圧電振動体３０Ａを備えるほかは、第１実施形態の時計１０と同様の構成を備える。また、当該圧電振動体３０Ａは、補強板３３に代えて、補強板３３Ａを備えるほかは、圧電振動体３０と同様の構成を備える。
補強板３３Ａは、図１１に示すように、補強板３３と同様の構成を備える。しかしながら、補強板３３Ａは、補強板本体３３１の第１側面３３１１において押圧部材９（９Ｆ）が配置される位置（換言すると、位置決め部材Ｐ１が位置する側とは反対側の位置）に、補強板本体３３１の内側に没入する凹部３３１５を有する。
【００８１】
これら凹部３３１５は、平面視略円弧状（詳述すると、略半円形状）に形成されている。このため、凹部３３１５が形成された位置においては、第１側面３３１１から第１側面３１１，３２１が突出する。従って、当該凹部３３１５が形成された位置においては、補強板３３Ａの寸法に依らずに、圧電素子３１，３２を１つの押圧部材９Ｆにより、位置決め部材Ｐ１に向かって押圧することができる。
【００８２】
押圧部材９（９Ｆ）は、当接部９１に代えて当接部９１Ｆを有するほかは、前述の押圧部材９Ａ等と同様に、弾性部９２及び移動部９３を備える。
この当接部９１Ｆにおける圧電素子３１，３２に当接する端面は、平面視した際に凹部３３１５の形状に合わせた略円弧状（略半円形状）に形成されている。このため、当該当接部９１Ｆと圧電素子３１，３２との接触面積を小さくすることができるので、凹部３３１５内において第１側面３３１１から突出した第１側面３１１，３２１に、当接部９１Ｆを確実に当接させることができる。従って、押圧部材９Ｆを用いて、圧電素子３１，３２のみを確実に位置決め部材Ｐ１に向かって押圧することができる。
なお、圧電素子３１，３２に寸法差が生じている場合でも、これらを１つの押圧部材９Ｆで押圧可能とするために、前述の当接部９１Ｅのように、当接部９１を弾性部材により形成したり、或いは、当該当接部９１が水平方向を軸として傾斜可能としてもよい。
【００８３】
本実施形態に係る圧電振動体３０Ａは、第１実施形態で示した製造工程と同様の製造工程にて製造される。
すなわち、位置決め工程では、補強板３３Ａは、前述の押圧部材９Ｂにより位置決め部材Ｐ１に向かって押圧されて位置決めされる。また、図示を省略したが、圧電素子３１，３２及び補強板３３Ａは、押圧部材９Ｃ，９Ｄにより、位置決め部材Ｐ２に向かって押圧されて位置決めされる。これにより、圧電振動体３０Ａにおいては、第２側面３１２，３２２，３３１２が平面視で揃い、第３側面３１３，３２３，３３１３が平面視で揃うこととなる。この後、接合工程にて、圧電素子３１，３２と補強板３３Ａとが接合される。
なお、このような凹部３３１５を、第４側面３３１４にも形成し、当該凹部３３１５に応じた位置で、押圧部材９Ｆにより、圧電素子３１，３２を位置決め部材Ｐ２に向かって押圧して位置決めするようにしてもよい。また、凹部３３１５及び当接部９１Ｆの形状は、円弧状（半円形状）に限らず、多角形状であってもよい。また、凹部３３１５が、圧電振動体３０Ａ又は補強板３３Ａの縦振動又は屈曲振動の節に応じた位置に形成される場合には、当該圧電振動体３０Ａの振動系にほとんど悪影響を及ぼすことが無い。
【００８４】
以上説明した本実施形態に係る時計によれば、前述の時計１０と同様の効果を奏することができるほか、以下の効果を奏することができる。
（８）補強板３３Ａは、押圧部材９Ｆ及び位置決め部材Ｐ１に応じた位置に凹部３３１５を有する。これによれば、当該凹部３３１５においては、補強板本体３３１の第１側面３３１１から圧電素子３１，３２の第１側面３１１，３２１が突出する。このため、当該圧電素子３１，３２を１つの押圧部材９Ｆで位置決め部材Ｐ１に向かって押圧することができ、これら各圧電素子３１，３２を補強板本体３３１に対して一度に位置決めできる。従って、圧電素子３１，３２と補強板本体３３１との位置決め工程を簡略化できる。
【００８５】
［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態に係る圧電振動体３０の製造工程について、図１２に基づいて説明する。この図１２は、本実施形態に係る圧電振動体３０における圧電素子３１，３２及び補強板３３の位置決め工程を説明する図である。
第１実施形態では、押圧部材９Ａ，９Ｃにより、第２側面３１２，３２２及び第３側面３１３，３２３が位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に沿うように、圧電素子３１，３２を位置決めした。
これに対し、第３実施形態では、第１側面３１１，３２１及び第４側面３１４，３２４のそれぞれに当接する押圧部材９Ｇにより、第２側面３１２，３２２及び第３側面３１３，３２３が位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に沿うように、圧電素子３１，３２を位置決めする。
【００８６】
本実施形態に係る圧電振動体３０の製造工程の位置決め工程にて、圧電素子３１，３２及び補強板３３を位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に沿って位置決めする押圧部材９（９Ｇ）は、図１２に示すように、当接部９１Ｇ、弾性部９２及び移動部９３Ｇを有する。
当接部９１Ｇは、前述の当接部９１Ｅと同様に弾性を有する部材で構成されている。この当接部９１Ｇは、補強板本体３３１の中央を中心として、第１側面３１１，３２１，３３１１と第３側面３１３，３２３，３３１３とにより挟まれる角部とは反対側の角部を挟むように、各第１側面３１１，３２１，３３１１及び各第４側面３１４，３２４，３３１４に当接する。
【００８７】
移動部９３Ｇは、位置決め工程にて、圧電振動体３０に近接する方向に移動して、弾性部９２を介して、当接部９１Ｇを位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に向かう方向に押圧する。この際、移動部９３Ｇは、図１２における破線の矢印で示すように、第１側面３１１，３２１，３３１１と第４側面３１４，３２４，３３１４とに挟まれる角部Ｃ１から、第２側面３１２，３２２，３３１２と第３側面３１３，３２３，３３１３とに挟まれる角部Ｃ２に向かう方向に、圧電素子３１，３２と補強板本体３３１との対向面（ＸＹ平面）に沿う方向の振動（揺動）を加えつつ、弾性部９２を介して当接部９１Ｇを押圧する。換言すると、移動部９３Ｇは、角部Ｃ１と角部Ｃ２とを結ぶ対角線に沿って、圧電素子３１，３２と補強板本体３３１との対向面に沿う方向の振動を加えつつ、当接部９１Ｇを押圧する。
これにより、第２側面３１２，３２２，３３１２が平面視で揃い、第３側面３１３，３２３，３３１３が平面視で揃うこととなる。
この後、接合工程にて、圧電素子３１，３２と補強板３３とが接合される。
【００８８】
以上説明した本実施形態に係る圧電振動体３０の製造工程によれば、第１実施形態で示した効果と同様の効果を奏することができるほか、以下の効果を奏することができる。
（９）押圧部材９Ｇにより、各第２側面３１２，３２２，３３１２及び各第３側面３１３，３２３，３３１３が平面視で揃うように、位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に対して圧電素子３１，３２及び補強板３３（補強板本体３３１）を位置決めできる。このため、前述の第１実施形態で示したように、圧電素子３１，３２及び補強板３３の位置決め部材Ｐ１に対する位置決め、及び、位置決め部材Ｐ２に対する位置決めを、それぞれ別工程で行う場合に比べ、これら位置決めを一度に行うことができる。従って、当該位置決め手順を簡略化できる。
【００８９】
なお、本実施形態では、当接部９１Ｇが弾性を有する部材により構成され、当該当接部９１Ｇは、第１側面３１１，３２１及び第４側面３１４，３２４だけでなく、第１側面３３１１及び第４側面３３１４に当接するとした。しかしながら、これに限らず、圧電素子３１，３２と補強板３３とをそれぞれ別の押圧部材により位置決めしてもよい。例えば、押圧部材９Ｇが、圧電素子３１，３２を位置決めし、前述の押圧部材９Ｂ，９Ｄが補強板３３を位置決めしてもよい。また、当接部９１Ｇは、弾性を有していなくてもよい。
【００９０】
［第４実施形態］
次に、本発明の第４実施形態に係る圧電振動体３０の製造工程について、図１３及び図１４に基づいて説明する。この図１３及び図１４は、本実施形態に係る圧電振動体３０における圧電素子３１，３２及び補強板３３の位置決め工程を説明する図であり、当該図１３及び図１４は、圧電振動体３０を示す平面図及び断面図である。
第１実施形態では、押圧部材９Ａ〜９Ｅを用いて、各第２側面３１２，３２２，３３１２と、各第３側面３１３，３２３，３３１３とが平面視でそれぞれ揃うように、圧電素子３１，３２及び補強板３３を位置決めした。
これに対し、第４実施形態では、圧電素子３２、補強板３３及び圧電素子３１を、それぞれ順に吸引装置９Ｈにより吸引して、位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に対して位置決めする。
【００９１】
本実施形態に係る圧電振動体３０の製造工程において、まず、補強板本体３３１において圧電素子３２が接合される面３３１６、及び、圧電素子３１において補強板本体３３１に接合される面３１５に接着剤を塗布する。この接着剤及び当該接着剤の塗布方法については、第１実施形態と同様である。
次に、当該製造工程における位置決め手順では、まず、最も下方に位置する圧電素子３２を、当該圧電素子３２の上方に配置された吸引装置９Ｈのノズル９Ｈ１により吸引し、当該圧電素子３２が設置される位置決め装置９Ｊに予め配置された位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に側面３１２，３１３がそれぞれ沿うように、当該圧電素子３２を位置決めする。この際、ノズル９Ｈ１により、当該圧電素子３２における補強板本体３３１と接することになる対向面３２５（図１４）が吸引され、ノズル９Ｈ１により圧電素子３２が保持された状態で、当該ノズル９Ｈ１を移動させることで、当該圧電素子３２を位置決めする。このように位置決めされた状態で、圧電素子３２の下側に配置された位置決め装置９Ｊの吸引部９Ｊ１（図１４）により、当該圧電素子３２の下面（対向面３２５とは反対側の面）を吸引する。これにより圧電素子３２は、当該圧電素子３２からノズル９Ｈ１が離れても、位置決め装置９Ｊにより、位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に対して位置決めされたまま保持される。
【００９２】
次に、圧電素子３２の場合と同様に、補強板本体３３１における圧電素子３１に対する対向面をノズル９Ｈ１により吸引し、ノズル９Ｈ１により補強板３３が保持された状態で、当該ノズル９Ｈ１を移動させて、位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に側面３３１２，３３１３がそれぞれ沿うように、当該補強板３３を位置決めする。
このように補強板３３が位置決めされると、補強板３３と圧電素子３２とは、補強板本体３３１の面３３１６に塗布された接着剤に接触する。そして、当該補強板３３及び圧電素子３２は、接着剤の粘性及び吸引部９Ｊ１の吸引により、平面方向に移動することなく仮保持される。
【００９３】
この後、図１３に示すように、圧電素子３１における補強板本体３３１に対向する面とは反対側の面をノズル９Ｈ１により吸引し、ノズル９Ｈ１により圧電素子３１が保持された状態で、当該ノズル９Ｈ１を移動させて、位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に側面３１２，３１３がそれぞれ沿うように、当該圧電素子３１を位置決めする。
圧電素子３１が、補強板３３の上面（圧電素子３２とは反対側の面）で位置決めされると、補強板３３は、圧電素子３１の下面（補強板３３に対向する面）である面３１５に塗布された接着剤に接触する。そして、当該圧電素子３１と、補強板３３及び圧電素子３２とは、接着剤の粘性及び吸引部９Ｊ１の吸引により、平面方向に移動することなく仮保持される。
そして、各第２側面３１２，３２２，３３１２及び各第３側面３１３，３２３，３３１３が平面視でそれぞれ揃った状態で、圧電素子３１，３２及び補強板３３の積層体を−Ｚ方向に沿って加圧するとともに、当該積層体を加熱する。これにより、接着材が硬化し、圧電素子３１，３２及び補強板３３が接合される（接合工程）。
【００９４】
以上説明した本実施形態に係る圧電振動体３０の製造工程によれば、第１実施形態で示した効果と同様の効果を奏することができるほか、以下の効果を奏することができる。
（１０）押圧部材９Ａ〜９Ｇにより圧電素子３１，３２及び補強板３３を押圧した状態で、これらを加圧すると、接着剤が外部に漏出し、当該押圧部材９に付着する可能性がある。この場合、圧電振動体３０からの押圧部材９Ａ〜９Ｇの剥離が煩雑となるほか、当該押圧部材９Ａ〜９Ｇから接着剤を除去する必要が生じるため、圧電振動体３０の製造工程が煩雑となる。
これに対し、本実施形態では、吸引装置９Ｈのノズル９Ｈ１及び吸引部９Ｊ１により、圧電素子３１，３２及び補強板３３をそれぞれ吸引し、これらを個別に位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に対して位置決めする。これによれば、圧電振動体３０の側面から接着剤が漏出する場合でも、押圧部材９Ａ〜９Ｇを用いていないので、当該押圧部材９Ａ〜９Ｇから接着剤を除去する必要がない。従って、圧電振動体３０の製造工程を簡略化できる。
【００９５】
［実施形態の変形］
図１５は、前記各実施形態の変形を示す図である。
前記各実施形態では、各第２側面３１２，３２２，３３１２及び各第３側面３１３，３２３，３３１３を平面視でそれぞれ揃えるとしたが、本発明はこれに限らない。すなわち、第２側面３１２，３２２，３３１２のみを揃えるようにしてもよく、また、第３側面３１３，３２３，３３１３のみを揃えるようにしてもよい。
例えば、図１５に示すように、前述の位置決め部材Ｐ２及び押圧部材９Ｃ，９Ｄを用いて、第３側面３１３，３２３，３３１３のみが平面視で揃えられるように、圧電素子３１，３２及び補強板３３を位置決め及び固定してもよい。なお、他の方法（例えば、吸引装置９Ｈを用いる方法）により、これら圧電素子３１，３２及び補強板３３を位置決めしてもよい。
【００９６】
前記各実施形態では、補強板本体３３１を挟むように、圧電素子３１，３２を配置したが、本発明はこれに限らない。すなわち、補強板本体３３１に対して１つの圧電素子が設けられる構成としてもよい。
【００９７】
前記各実施形態では、位置決め部材Ｐ１，Ｐ２の位置は、製造される圧電振動体３０，３０Ａの振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じて設定されるとしたが、本発明はこれに限らない。すなわち、第２側面３１２，３２２，３３１２が平面視で揃うように、圧電素子３１，３２及び補強板３３を位置決め可能であれば、位置決め部材Ｐ１の位置は問わない。同様に、第３側面３１３，３２３，３３１３が平面視で揃うように、圧電素子３１，３２及び補強板３３を位置決め可能であれば、位置決め部材Ｐ２の位置は問わない。
【００９８】
また、当該各側面が平面視で揃うように圧電素子３１，３２及び補強板３３を位置決め可能であれば、位置決め部材及び押圧部材の数、位置、形状及び構成は問わない。このため、凹部３３１５の位置も、位置決め部材の位置に応じて形成されていればよく、位置決め部材の形状も、円筒状に限らず角柱状であってもよい。
【００９９】
前記各実施形態では、接触部としての突出部３３２は、第３側面３３１３に突設されているとしたが、本発明はこれに限らない。すなわち、当該第３側面３３１３の端部が、被駆動体であるローター４０に接触して、当該ローター４０を駆動させるように構成してもよい。また、突出部の形状は、適宜設定可能である。また、第４側面３３１４に突設された突出部３３２を、接触部として用いてもよい。
【０１００】
前記第４実施形態では、圧電素子３１，３２及び補強板３３を吸引装置９Ｈにより、それぞれ位置決め部材Ｐ１，Ｐ２に対して位置決めしたが、本発明はこれに限らない。前述の押圧部材９を利用して、圧電素子３１，３２及び補強板３３のいずれか（例えば、最も上方に位置する圧電素子３１）のみを吸引装置９Ｈにより位置決めしてもよい。
【０１０１】
前記各実施形態では、圧電振動体３０，３０Ａ及び当該圧電振動体３０，３０Ａを有する圧電アクチュエーター２０は、電子機器としての時計１０に用いられるとして説明したが、本発明はこれに限らない。すなわち、プリンター等の他の電子機器に、上記構成を有する圧電振動体及び圧電アクチュエーターを採用してもよい。
【０１０２】
その他、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【符号の説明】
【０１０３】
１０…時計（電子機器）、２０…圧電アクチュエーター、３０，３０Ａ…圧電振動体、３１，３２…圧電素子、３３，３３Ａ…補強板、３１１，３２１，３３１１…第１側面、３１２，３２２，３３１２…第２側面、３１３，３２３，３３１３…第３側面、３１４，３２４，３３１４…第４側面、３３１…補強板本体、３３２…突出部（接触部）、３３３…固定部、３３１５…凹部、４０…ローター（被駆動体）、９（９Ａ〜９Ｇ）…押圧部材、９１Ｅ…当接部、Ｐ１…位置決め部材（第１位置決め部材）、Ｐ２…位置決め部材（第２位置決め部材）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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