(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平な面内を旋回自在な第１ビームと、この第１ビームに水平面内を旋回自在に連結されるとともに垂直面内を旋回可能な平行リンクで構成された第２ビームと、この第２ビームに支持され回転駆動源の駆動を受けて回転する工具を備えたツールユニットとを有し、前記ツールユニットによりワークに穴加工又はめねじ切りを行うドリル・タップ加工装置であって、
上下方向に移動可能かつ所望の位置で固定可能に設けたばね連結部材と、このばね連結部材の一端に前記第２ビームを上方に旋回するよう付勢可能に支持された第１のばねと、前記ばね連結部材の他端に前記第２ビームを下方に旋回するよう付勢可能に支持された第２のばねとを設けて成ることを特徴とするドリル・タップ加工装置。
【請求項２】
第１ビームと第２ビームとは、常時約９０°の角度を成して配置されることを特徴とする請求項１に記載のドリル・タップ加工装置。
【請求項３】
第２ビームは、水平面に対して平行に延びて設けられることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のドリル・タップ加工装置。
【請求項４】
ばね連結部材は、第２ビームに隣接して設けられたストッパプレートと調整板とで常時挟持固定され、この調整板をストッパプレートに止めるねじを緩めることで位置調整可能に構成されることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のドリル・タップ加工装置。
【請求項５】
調整板をストッパプレートに止めるねじは、蝶ボルトであることを特徴とする請求項４に記載のドリル・タップ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに穴加工又はめねじ切りを行うドリル・タップ加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ワークに穴加工やめねじ切りを行う上で、その工具であるドリルやタップの折損が問題となっており、こうした問題に対して特許文献１に示す穴加工方法およびその装置が提案されている。
【０００３】
特許文献１の穴加工方法およびその装置は、ドリルを回転させるスピンドルモータを電磁石などの復原要素とアクチュエータなどの減衰要素とで支持して設け、スピンドルモータがＸ，Ｙ，Ｚ直交座標系内（３次元空間内）で変位できるように構成したものである。そして、ドリルがワーク表面に接触する段階では復原要素と減衰要素による支持力を弱め、ドリルがワークに接触した時の反力をスピンドルモータの変位で吸収しつつ、スピンドルモータの振動を抑えてドリルの折損を防止する。その後、ドリルがワークを切削可能な程度に接触圧が高まると、スピンドルモータの支持力を瞬時に高めてドリルの軸振れを防止する。
【０００４】
また、特許文献１の穴加工装置においては、上述のようなドリルの受ける反力でスピンドルモータないしドリルの変位を許容すること以外に、ドリルを軸方向に送る送りモータを駆動制御することにより、ドリルに基準値を超えるスラスト荷重が作用しないように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平６−７１５０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に示された穴加工方法およびその装置によれば、ドリルがワークに接触する段階でのドリルの折損は防止できるものの、穴加工中のドリルの折損は発生する。すなわち、穴加工中には切り粉の噛み込みやドリルの形状、ワークの組成等、様々な要因が絡み合って、ドリルに作用する回転負荷トルクが複雑に変動する。これらが複合応力となってドリルには単なる回転負荷のみならず、軸心を複雑に移動させる方向の力が作用するが、特許文献１においては、穴加工段階でスピンドルモータの支持力を強化しているため、ドリルに作用する力を吸収しきれず、ドリルの折損を招く結果となってしまう。また特許文献１には、ばねとダンパによってスピンドルモータをＸＹ平面内で移動可能に支持する実施例も示されているが、この場合でも複合応力によるドリルの複雑な動きをばねとダンパで完全に減衰して吸収することは不可能であり、やはりドリルを折損してしまうことになる。むしろ、複雑な力の影響でばねの振動が増幅され、ドリルの折損を助長してしまうことにもなりかねない。そればかりか、ドリルに作用する回転負荷トルクの反力でスピンドルモータのＺ軸周りの回転変位を招き、これとばねの弾性によってスピンドルモータ自体の回転振動が起こり、ドリルの折損を助長したり、スピンドルモータ支持系を損傷したりする等の問題も発生する。
【０００７】
また、穴加工を行う場合とめねじ切り加工を行う場合とでは、ドリルまたはタップに付与すべきスラスト荷重（ドリルまたはタップに作用する軸荷重）が異なる。穴加工では、スピンドルモータないしドリルまでのツールユニットの自重によるスラスト荷重は許容できるが、めねじ切り加工ではスラスト荷重は小さく設定する必要があり、そのためにツールユニットの自重によるスラスト荷重の影響を減じなければならない場合も多い。これに対し、特許文献１の穴加工方法およびその装置においては、送りモータの制御によって穴加工時のスラスト荷重を制御していることから、めねじ切り加工を行う場合には、送りモータの制御プログラムの変更が必要になる等の問題がある。しかも、ツールユニットの自重によるスラスト荷重を減じる必要がある場合には、送りモータの駆動制御が極めて難しい等の問題もある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みて創成されたものであり、ドリルやタップ等の工具の折損を防止し、確実に穴加工やめねじ切りを行うことができるドリル・タップ加工装置の提供を目的とする。この目的を達成するために本発明は、水平な面内を旋回自在な第１ビームと、この第１ビームに水平面内を旋回自在に連結されるとともに垂直面内を旋回可能な平行リンクで構成された第２ビームと、この第２ビームに支持され回転駆動源の駆動を受けて回転する工具を備えたツールユニットとを有し、前記ツールユニットによりワークに穴加工又はめねじ切りを行うドリル・タップ加工装置であって、上下方向に移動可能かつ所望の位置で固定可能に設けたばね連結部材と、このばね連結部材の一端に前記第２ビームを上方に旋回するよう付勢可能に支持された第１のばねと、前記ばね連結部材の他端に前記第２ビームを下方に旋回するよう付勢可能に支持された第２のばねとを設けて成ることを特徴とする。
【０００９】
なお、前記第１ビームと第２ビームとは、常時約９０°の角度を成して配置されることが望ましく、また、第２ビームは水平面に対して平行に延びて設けられることが望ましい。さらに、前記ばね連結部材は、第２ビームに隣接して設けられたストッパプレートと調整板とで常時挟持固定され、この調整板をストッパプレートに止めるねじを緩めることで位置調整可能に構成されることが望ましく、この場合、調整板をストッパプレートに止めるねじは、蝶ボルトとすることが望ましい。
【発明の効果】
【００１０】
旋回動作が可能なバランスアームにツールユニットを支持して穴加工又はめねじ切りを行うため、穴加工又はめねじ切りの最中に工具に作用する複雑な力に対し、バランスアームの微妙な旋回動作を生じさせ、これによって工具を最適な位置に自動調心することが可能になる。また、ばね連結部材の固定位置を調整することにより、第２ビームの付勢方向及び第２ビームを付勢する力を簡単に変更・調節でき、穴加工及びめねじ切りのそれぞれに応じて最適なスラスト荷重を設定することが可能になる。さらに、第１ビームと第２ビームとが約９０°の角度で配置されていることから、ツールユニットの回転反力を圧力角約０°で受けることができ、回転反力によるツールユニットの位置ずれを防止することができる。これらにより、加工中のドリルやタップの折損を防止し、確実な穴加工又はめねじ切りを行うことができる。特に、小径のドリルやタップは加工中に折損を生じやすいが、本ドリル・タップ加工装置によれば、こうした小径のドリル又はタップの折損も防止することができ、微細な穴加工やめねじ切りを正確かつ確実に行うことができる等の利点もある。また、ばね連結部材はストッパプレートと調整板との間に常時挟持固定され、調整板をストッパプレートに止めるねじを緩めることで位置調整可能に構成されるため、第２ビームの付勢方向及び第２ビームを付勢する力を簡単に変更・調節できる。この効果は、調整板をストッパプレートに止めるねじを蝶ボルトとすることにより顕著となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係るドリル・タップ加工装置の斜視説明図である。
【図２】本発明に係るドリル・タップ加工装置の斜視図である。
【図３】本発明に係るドリル・タップ加工装置の正面図である。
【図４】本発明に係るドリル・タップ加工装置の平面図である。
【図５】第２ビームが下死点まで下方に旋回した状態を示す、図３のＢ−Ｂ線に係る拡大一部切欠断面図である。
【図６】第２ビームがリフトに押し上げられて上方に旋回した状態を示す、図３のＢ−Ｂ線に係る拡大一部切欠断面図である。
【図７】図２のＡ−Ａ線に係る拡大一部切欠断面図である。
【図８】穴加工時のばね連結部材の状態を示す要部拡大一部切欠断面図である。
【図９】めねじ切り加工時のばね連結部材の状態を示す要部拡大一部切欠断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照しながら本発明を実施するための形態を説明する。
図１乃至図９において、１はドリル・タップ加工装置であり、バランスアーム２と、このバランスアーム２に連結されたツールユニット３とを備えて成る。バランスアーム２は、十分に強度のある基台やフレーム等（図示せず）に立設固定される支柱４を有し、この支柱４にはビームホルダ５が固定されている。このビームホルダ５は支柱４に沿って位置調整可能に構成される。そして、このビームホルダ５には回転軸６が垂直に延びて回転自在に取り付けてあり、この回転軸６には、水平に延びる第１ビーム７が一体に連結されている。これにより、第１ビーム７は図４の矢印Ｙ１方向、すなわち水平面内を旋回自在に構成されている。また、第１ビーム７の先端には垂直上方に延びる回転軸８を介して第２ビーム９が連結されており、この第２ビーム９は、回転軸８を支点に図４の矢印Ｙ２方向、すなわち水平面内を旋回自在に構成されている。
【００１３】
前記第２ビーム９は、回転軸８に嵌合支持されたエルボ９ａと、このエルボ９ａに垂直面内を旋回可能にそれぞれ軸支されて平行に配置された２本のリンク９ｂ，９ｃと、これらリンク９ｂ，９ｃの先端をそれぞれ垂直面内で旋回可能に軸支するツールホルダ９ｄとから構成される。この構造により第２ビーム９は平行リンクを構成し、図５及び図６に示すように、リンク９ｂとリンク９ｃとは相対的に、またツールホルダ９ｄはエルボ９ａに対して、それぞれ平行関係を保って垂直面内を旋回できるように構成されている。
【００１４】
前記エルボ９ａには板状のストッパプレート１０がリンク９ｂ，９ｃと平行に延びて固定されている。このストッパプレート１０の先端下部には、ストッパブロック１１が取り付けられており、このストッパブロック１１には、ツールホルダ９ｄの下方に位置してストッパボルト１２が螺合してある。第２ビーム９は、図５に示すように、このストッパボルト１２に当接するまで下方に旋回できるようになっており、このストッパボルト１２を回してその突出量を調節することにより、第２ビーム９の下死点を任意に設定することができる。また、このストッパボルト１２には、その軸心に沿って中空穴１２ａが貫通成形してあり、ここにはリフト１３が圧入固定されている。このリフト１３は、カメラ用のレリーズ装置であり、図示しない専用コントローラを操作することで先端のピン１３ａを突出させることが可能になっている。このリフト１３のピン１３ａの突出動作により、図６に示すように、第２ビーム９を持ち上げることができるように構成されている。なお、図６では、第２ビーム９がリフト１３によって押し上げられた状態を示しているが、ツールユニット３を手で持って操作すれば、第２ビーム９をさらに上方に旋回させることができる。
【００１５】
前記ストッパプレート１０には垂直方向に延びてばね連結部材１４が設けられ、このばね連結部材１４の両端にはそれぞれ引っ張りばね１５ａ，１５ｂが連結してある。この引っ張りばね１５ａ，１５ｂは、それぞれ前記リンク９ｂ，９ｃに連結されており、引っ張りばね１５ａは、その引っ張り力により第２ビーム９を上方に旋回するよう付勢可能であり、引っ張りばね１５Ｂは、その引っ張り力により第２ビーム９を下方に旋回するよう付勢可能である。また、前記ばね連結部材１４は、ストッパプレート１０に固定された調整板１６の溝１６ａに嵌合して配置されており、常時はストッパプレート１０と調整板１６とで挟持固定されている。この調整板１６をストッパプレート１０に止めるねじの一つは蝶ボルト１７になっており、この蝶ボルト１７を緩めることで、ばね連結部材１４が溝１６ａに沿って上下方向に移動可能となるように構成されている。これにより、ばね連結部材１４を上下方向任意の位置に位置決め固定し、引っ張りばね１５ａ，１５ｂによって第２ビーム９に付与される引っ張り力を調節できるように構成されている。
【００１６】
前記引っ張りばね１５ａは、ばね連結部材１４を上限位置まで移動させて固定した状態で、めねじ切り加工を行う場合に後記する工具２５に付与すべきスラスト荷重（工具２５に作用する軸荷重）が得られる性能のものが採用されている。めねじ切り加工においては、工具２５となるタップがワークに喰い付いてめねじを切りながら進行することと、めねじ切り方向に２〜３回転する毎にタップを約１回転逆転させる必要があることとから、工具２５に付与するスラスト荷重は僅かでよい。そうしておかないと、特にタップを逆転させる時に、それまでに切っためねじに沿ってタップが戻らず、ワークに喰い付いてしまうことがある。このことから引っ張りばね１５ａは、ばね連結部材１４上限位置において、ツールユニット３の自重によるスラスト荷重を適正に減じられるよう構成されている。また、引っ張りばね１５ｂは、ばね連結部材１４を下限位置まで移動させて固定した状態で、穴加工を行う場合に後記する工具２５に付与すべきスラスト荷重が得られる性能のものが採用されている。穴加工においては、工具２５となるドリルを相応のスラスト荷重でワークに押圧しなければ、初期段階でドリルが穴加工位置から逃げたり、穿孔中の切削抵抗による衝撃で容易に折れてしまう。このことから引っ張りばね１５ｂは、ばね連結部材１４下限位置において、ツールユニット３の自重によるスラスト荷重に適正なスラスト荷重を追加できるように構成されている。
【００１７】
一方、ツールユニット３は、前記ツールホルダ９ｄと一体に取り付けられたモータマウント１８を有し、図７に示すように、このモータマウント１８には回転駆動源の一例であるＡＣサーボモータ１９（以下、単にモータ１９という）が固定されている。このモータ１９の駆動軸１９ａには、カップリング２０を介して中空軸状のツールホルダ２１が一体に回転可能に連結されており、このツールホルダ２１には、コレットホルダ２２が一体に回転可能に保持されている。このコレットホルダ２２は、常時、ツールホルダ２１の下部に設けられた鋼球２３によって抜け止めされているが、鋼球２３を押さえているカラー２４を上方へ逃がして鋼球２３を動作可能にすることで、ツールホルダ２１から取り外せるように構成されている。このコレットホルダ２２の先端には、穴加工用のドリルやめねじ切り加工用のタップ等の工具２５が一体に回転可能に保持されている。また、前記モータ１９にはエンコーダ１９ｂが備えられており、このエンコーダ１９ｂは、モータ１９の駆動軸１９ａの回転回数に応じた信号を発するように構成されている。このエンコーダ１９ｂは、モータ駆動制御用のコントローラ（図示せず）に接続されている。これらモータ１９乃至工具２５は同軸線上に配置されており、第２ビーム９の平行リンクの作用により、常時軸線垂直な姿勢に保たれるよう構成されている。
【００１８】
ツールユニット３は、軸線垂直な姿勢、すなわち工具２５の軸線が垂直方向となる姿勢で前記ツールホルダ９ｄに連結されている。このため、バランスアーム２の第１，第２ビーム７，９の各水平旋回と、第２ビーム９の垂直旋回との組み合わせで、軸線垂直な姿勢を保ったまま当該軸線方向に上下移動できるよう構成されている。
【００１９】
上記ドリル・タップ加工装置１は、バランスアーム２に保持されたツールユニット３の姿勢からもわかるように、ワークに垂直方向の穴加工又はめねじ切り加工を行うものである。第１の作業例として、穴加工を行う例を以下に示す。
【００２０】
ワークＷに穴加工を行う場合には、ツールホルダ２１に工具２５としてドリルを保持するとともに、図８に示すように、ばね連結部材１４を下限位置までスライドさせて固定する。これにより下側の引っ張りばね１５ｂがリンク９ｃを引き下げるように付勢し、加工時、ツールユニット３等の自重によるスラスト荷重に加えて引っ張りばね１５ｂの力によるスラスト荷重を工具２５に付与し、工具２５をワークＷに押圧することが可能となる。この状態で、ツールユニット３を操作してワークＷの穴加工位置に工具２５の先端を配置する。この時、第１ビーム７と第２ビーム９とは、平面視における角度θが約９０°となる水平旋回状態に設定され、かつ第２ビーム９は、リンク９ｂ，９ｃがほぼ水平方向に延びるように設定される。
【００２１】
而して、ツールユニット３のスタートスイッチ（図示せず）を入れてモータ１９が駆動すると、カップリング２０を介してツールホルダ２１乃至工具２５（ドリル）が回転する。この時、工具２５にはツールユニット３等の自重と引っ張りばね１５ｂの力とによるスラスト荷重が付与されるため、回転により工具２５はワークＷに穿孔する。この穴加工中、ツールユニット３やバランスアーム２はフリーな状態に置かれる。つまり、作業者がツールユニット３を把持したり、バランスアーム２の動きを規制したりすることはない。
【００２２】
穴加工中、工具２５には、切り粉の噛み込みや工具２５自体の形状、ワークＷの組成、モータ１９固有のトルクリップル等の様々な要因が絡み合って複雑な抗力が作用する。このような抗力が作用した場合、これを受けてバランスアーム２は水平・垂直方向に微妙に旋回動作し、ツールユニット３の位置を微調整する。これにより、工具２５は抗力に抗うことなく常に最適な状態に自動調心されてワークＷに穿孔する。また、工具２５がワークＷに穿孔するにともなうツールユニット３の下降や、前述の抗力によるツールユニット３の軸線方向の微細動に対しては、第２ビームがほぼ水平に設定されていることから、第１ビーム７、第２ビーム９を僅かな力で水平旋回させて工具２５を調心していくことが可能である。
【００２３】
また、工具２５に作用する抗力の中でも回転負荷の占める割合は大きく、加工中の変動も細かく複雑である。この回転負荷は、ツールユニット３の回転反力としてバランスアーム２に伝達される。この時、バランスアーム２は第１ビーム７と第２ビーム９とが平面視で約９０°を成すように設定されているため、この回転反力を圧力角０°で第１ビーム７によって受けることが可能になる。これにより、回転反力すなわち工具２５に作用する回転負荷による第１，第２ビーム７，９の旋回動作は生じさせず、ツールユニット３の位置ずれを防止する。
【００２４】
回転反力を圧力角０°で受けるべく、第１ビーム７と第２ビーム９の成す平面視の角度θは９０°とするのが最適であるが、実際には各ビーム７，９連結部分の摩擦抵抗の影響が存在するため、角度θが厳密に９０°でなくとも回転反力による第１，第２ビーム７，９の旋回は起こらない。実作業においては、前述のように工具２５が受ける抗力や穿孔にともなってバランスアーム２が微妙に水平旋回動作するが、この程度では回転反力の影響でツールユニット３の位置ずれを生じさせることはない。工具２５が受ける抗力に対し、バランスアーム２を十分に強度のあるものとすれば、第１ビーム７と第２ビーム９とが成す平面視の角度θは９０±５°の範囲で設定しても実用上の問題はない。
【００２５】
工具２５により所望の深さまで穿孔がなされると、モータ１９の駆動を停止するとともに、リフト１３のコントローラを操作してピン１３ａを突出させる。これにより、第２ビーム９は上方に持ち上げられ、工具２５をワークＷから抜出することができる。
【００２６】
次に第２の作業例としてワークにめねじ切り加工を行う例を示す。
ワークＷにめねじ切りを行う場合には、まず、前述のように工具２５としてドリルを用いてワークＷに下穴を形成する。その後、工具２５をタップに交換するとともに、図９に示すように、ばね連結部材１４を上限位置までスライドさせて固定する。これにより上側の引っ張りばね１５ａがリンク９ｂを引き上げるように付勢し、加工中、工具２５（タップ）に付与されるスラスト荷重（ツールユニット３等の自重による荷重）が適度に減じられる。
【００２７】
続いて、ツールユニット３を操作して工具２５先端をワークＷの下穴入口に位置させる。この時も、上述同様の理由から第１，第２ビーム７，９が平面視で約９０°を成し、かつ第２ビーム９のリンク９ｂ，９ｃがほぼ水平になるよう、バランスアーム２とワークＷとの位置・高さ関係を設定する。そして、モータ１９を正転駆動して工具２５をねじ切り方向に回転させると、工具２５は下穴に沿ってめねじを成形する。
【００２８】
めねじ切りの過程においては、コントローラでエンコーダ１９ｂの出力パルスが読み取られ、これによりモータ１９が所定の回転回数正転駆動したことが検知されると、モータ１９が逆転駆動に切り替えられる。而して、正転駆動時の回転回数よりも少ない回転回数だけモータ１９を逆転駆動させた後は、再度モータが正転駆動に戻される。これを繰り返して、所望の深さまで工具２５によるねじ切りを行う。これにより、工具２５は所定回転ねじ切りを行う度に、それよりも少ない回転分ねじ戻されるため、切り粉の噛み込みを防ぎ、安定しためねじの成形が可能となる。また、引っ張りばね１５ａの作用により、ツールユニット３の自重等による工具２５へのスラスト荷重は適正に減じられているため、工具２５のねじ切り、ねじ戻しのそれぞれにおいて、工具２５は既に成形しためねじに沿って回転することができる。よって、工具２５が既に成形されためねじに噛み込んで、別のめねじを切ってしまうような不具合の発生も防止できる。
【００２９】
このめねじ切り加工においても、工具２５の下穴への喰い付き当初からめねじの切り終わりまで、上述の穴加工の時と同様にバランスアーム２による自動調心効果と、回転反力によるツールユニット３の位置ずれを防止する効果とが得られる。このため、タップの折損を防止し、確実にめねじを切ることが可能となる。
【００３０】
以上のように本ドリル・タップ加工装置１は、穿孔中に工具２５に作用する純粋な回転負荷によるバランスアーム２の旋回（ツールユニット３の位置ずれ）は防止し、それ以外の工具２５に作用する力、例えば工具２５を平行移動させる力や曲げモーメント等に対してはバランスアーム２の水平面内及び垂直面内の微妙な旋回動作を許容し、ツールユニット３を最適位置に調心することができるものである。このため、穿孔中に作用する複雑な力によって工具２５が折損することを防止し、確実に穴加工を行うことができる。特に穴加工でφ２ｍｍ以下、めねじ切り加工でＭ２以下の微小径の穴やめねじを加工する場合には、ドリルやタップの折損率が高くなるが、本ドリル・タップ加工装置１によれば、こうした微小径の工具２５の折損も防止することが可能となる。
【００３１】
なお、上記の工具２５としてはドリルとタップを同軸上に一体構造としたドリルタップを使用することもでき、これにより下穴加工とめねじ切り加工とを１本の工具で連続的に行ってもよい。また、本実施形態においては、第１，第２のばねとして引っ張りばね１５ａ，１５ｂを例示したが、ここに用いるばね部材としては圧縮ばねや流体ばね等の他のばねを採用することができる。こうしたばねを上下各方向から第２ビームを付勢するよう、ばね連結部材１４の両端に連結することにより、ばね連結部材の上下位置調整で、上記引っ張りばね１５ａ，１５ｂの場合と同様に第２ビーム９の付勢方向と付勢力とを調節することができる。
【符号の説明】
【００３２】
１  ドリル・タップ加工装置
２  バランスアーム
３  ツールユニット
４  支柱
５  ビームホルダ
６  回転軸
７  第１ビーム
８  回転軸
９  第２ビーム
９ａ  エルボ
９ｂ  リンク
９ｃ  リンク
９ｄ  ツールホルダ
１０  ストッパプレート
１１  ストッパブロック
１２  ストッパボルト
１３  リフト
１４  ばね連結部材
１５ａ  引っ張りばね
１５ｂ  引っ張りばね
１６  調整板
１７  蝶ボルト
１８  モータマウント
１９  ＡＣサーボモータ
２０  カップリング
２１  ツールホルダ
２２  コレットホルダ
２３  鋼球
２４  カラー
２５  工具
Ｗ  ワーク
【図１】
0005400635.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0005400635.tif 000008
【図８】
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【図９】
0005400635.tif 000010