(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
テストコンタクト（２０）をコンタクト支持体（５０）上に位置決めおよび接触させてテストコンタクト配列（５３）を作製するための装置であって、熱エネルギを伝達するための少なくとも１つの伝達チャネル（２４）を有し、かつテストコンタクト保持装置が設けられた、少なくとも１つのコンタクトヘッド（１０，２６，４５）を備え、前記コンタクトヘッドは、自身のコンタクト端部（１２）およびチャネル開口部（２７，３９）の領域にテストコンタクト容器（１３，２８）が設けられており、前記テストコンタクト容器は、テストコンタクトに対する位置決めされた当接のため、および熱エネルギを吸収するための吸収領域を有するテストコンタクトをチャネル開口部に位置決めするための少なくとも２つの位置決め面を有する位置決め装置（１９）を含み、チャネル開口部（２７，３９）は、コンタクトヘッド（２６，４５）の縦軸（３３）に対する傾斜角（α）で配置された開口断面（３１）を示し、開口断面を制限するチャネル開口部の開口端縁（３０）によって位置決め面が形成されており、開口断面（３１）は、コンタクトヘッド（２６，４５）の隣接した外壁（３５）と平行にまたは外壁に対する鋭角で配置されるように、チャネル開口部（２７，３９）の領域内に配置される、装置。
【請求項２】
チャネル開口部（２７，３９）は、伝達チャネル（２４）の出口漏斗（１４，３２）によって形成され、テストコンタクト（２０）の吸収領域の吸収断面に従って寸法決めされる開口断面（１５，３１）を示すことを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
位置決め装置の少なくとも１つの位置決め面は、テストコンタクトの吸収領域がチャネル開口部の出口漏斗の内部に配置されるように、チャネル開口部の開口断面の上方に配置されることを特徴とする、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
開口断面（３１）に隣接しかつ熱的に接している外壁は平坦部を示すことを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テストコンタクトをコンタクト支持体上に位置決めおよび接触させてテストコンタクト配列を作製するための装置であって、熱エネルギを伝達するための少なくとも１つの伝達チャネルを有し、かつテストコンタクト保持装置が設けられた、少なくとも１つのコンタクトヘッドを含み、コンタクトヘッドは、自身のコンタクト端部およびチャネル開口部の領域にテストコンタクト容器が設けられており、テストコンタクト容器は、テストコンタクトに対する位置決めされた当接のため、および熱エネルギを吸収するための吸収領域を有するテストコンタクトをチャネル開口部に位置決めするための少なくとも２つの位置決め面を有する位置決め装置を含む装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のテストコンタクトを有するテストコンタクト配列が、個々のテストコンタクトを制御するための制御装置が設けられた共通のテストプラットフォーム上に配置される。ここで、テストコンタクトは、個々のチップの規定された接触が個々のテストコンタクトを用いてウェハレベルで可能になるように、ウェハアセンブリに配置されたチップに従ってマトリックス配列に並べられる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
テストコンタクト配列を作製するために、個々のテストコンタクトは、コンタクトチップの所望のマトリックス配列に対応するテストボードとして設計されるコンタクト支持体上に配置され、テストコンタクトは、テストボード上に形成されたコンタクト面にはんだ付けされる。各テストボード上に多数のテストコンタクトがあり、したがってテストコンタクト同士の間に得られる距離が狭いため、電気的に確実に、かつ位置的に正確にテストコンタクトをテストボードに接触させることが特に高く望まれる。
【０００４】
したがって、本発明の目的は、テストコンタクトをコンタクト支持体上に位置決めおよび接触させるための装置であって、テストコンタクトをコンタクト支持体上に位置的に正確に配置でき、特に確実に接触させることができる装置を提案することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この目的を達成するため、本発明の装置は請求項１の特徴を示す。
本発明によると、テストコンタクトをコンタクト支持体上に位置決めおよび接触させてテストコンタクト配列を作製するための装置は、熱エネルギを伝達するための少なくとも１つの伝達チャネルを有し、かつテストコンタクト保持装置が設けられたコンタクトヘッドを特徴とし、コンタクトヘッドは、自身のコンタクト端部およびチャネル開口部の領域にテストコンタクト容器が設けられており、テストコンタクト容器は、テストコンタクトに対する位置決めされた当接のため、および熱エネルギを吸収するための吸収領域を有するテストコンタクトをチャネル開口部に位置決めするための少なくとも２つの位置決め面を有する。
【０００６】
その結果、本発明の装置は、操作および位置決めプロセス時にテストコンタクトをテストコンタクト容器内に確実な収容および操作できるだけでなく、テストコンタクト容器内に形成された位置決め装置を用いて、かつ２つの位置決め面によって、テストコンタクトをコンタクト支持体上に正確に位置決めすることができ、同時に、チャネル開口部のテストコンタクトの選択された吸収領域の規定露光を可能にするので、熱エネルギを所望の場所でテストコンタクトに離散的に導入し、それぞれテストコンタクトの所望の領域（吸収領域）に導入することができるため、エネルギが印加される場所および露光面の寸法の両方を、確実な接触のために必要なエネルギ量に適合させることができ、かつコンタクト支持体上のテストコンタクトの反りのない配列が可能になる。
【０００７】
本発明の有利な発展によると、チャネル開口部は、伝達チャネルの出口漏斗によって形成され、テストコンタクトの吸収領域の吸収断面に従って寸法決めされる開口断面を示す。チャネル開口部の対応する形状設計を選択することによって、テストコンタクトの規定面を、技術的複雑度が比較的低いテストコンタクトの吸収領域に決定することができる。
【０００８】
好ましい実施例によると、位置決め装置の少なくとも１つの位置決め面は、テストコンタクトの吸収領域がチャネル開口部の出口漏斗の内部に配置されるように、チャネル開口部の開口断面の上方に配置される場合、テストコンタクトの比較的大きな部分表面に熱エネルギを単純な方法で印加することが可能である。
【０００９】
チャネル開口部が、コンタクトヘッドの縦軸に対する傾斜角で配置された開口断面を示し、開口断面を制限するチャネル開口部の開口端縁によって位置決め面が形成される場合、同様に特に有利である。このように、テストコンタクトの部分表面の横方向の露光が可能であり、同時に、テストコンタクトをコンタクト支持体上に配置した際に、テストコンタクトに対するコンタクトヘッドの対応する横方向の延長部が可能になる。特に、テストコンタクトをコンタクト支持体上に位置決めおよび接触させる際、テストコンタクトに対するコンタクトヘッドの傾斜が可能になるため、テストコンタクトをコンタクトヘッドの直径よりも小さい間隔でコンタクト支持体上に配置することができる。
【００１０】
コンタクトヘッドに対するテストコンタクトの特に理想的な相対配置は、開口断面が、コンタクトヘッドの隣接した外壁と平行に、または外壁に対する鋭角で配置されるようにチャネル開口部の領域内に配置される場合に得られる。このように、一方では、コンタクト支持体上に既に配置された一連のテストコンタクトの方向における最小限の接触距離の妨げとなる、テストコンタクトを越えるコイルコンタクトヘッド横方向の大きな突出部がないことを確実にできる。他方では、傾斜したコンタクトヘッドとコンタクト支持体との望ましくない接触を防止するために、コンタクトヘッドとコンタクト支持体との間に十分大きい距離を実現できることが可能であるべきである。。
【００１１】
開口断面に隣接したツール本体の外壁の平坦部は、コンタクト支持体上のテストコンタクト同士の間の距離の最小化を達成するのに貢献する。
【００１２】
本発明の有利な実施例は、図面を参照してより詳細に説明される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１の実施例におけるコンタクト装置のコンタクトヘッドを示す図である。
【図２】図１のコンタクトヘッドを示す縦断面図である。
【図３】テストコンタクトがテストコンタクト容器に挿入された、図１のコンタクトヘッドを示す図である。
【図４】第２の実施例におけるコンタクト装置のコンタクトヘッドを示す図である。
【図５】図４のコンタクトヘッドを示す縦断面図である。
【図６】テストコンタクトがテストコンタクト容器に配置された、図４のコンタクトヘッドを示す図である。
【図７】別の実施例におけるコンタクト装置のコンタクトヘッドを示す図である。
【図８】図７のコンタクトヘッドを示す縦断面図である。
【図９】テストコンタクトがテストコンタクト容器に収容された、図７のコンタクトヘッドを示す図である。
【図１０】テストコンタクトをコンタクト支持体に接触させる際のコンタクトヘッドを示す図である。
【図１１】テストコンタクトをコンタクト支持体に接触させる際の図４から図６のコンタクトヘッドを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１は、テストコンタクト容器１３がコンタクト端部１２に形成されたコンタクト装置１１のコンタクトヘッド１０を示す。図２の縦断面図から明らかなように、コンタクトヘッド１０にはコンタクト端部１２に向かって出口漏斗１４が形成されており、出口漏斗１４は、テストコンタクト容器１３への移行区域において、開口断面１５を有するチャネル開口部３９を示す。開口断面１５の下方にはテストコンタクト容器１３が延在しており、テストコンタクト容器１３はこの断面図では本質的にＵ字形の設計を示し、テストコンタクト容器１３内で、コンタクトヘッド１０の縦軸１６と平行に配置されたテストコンタクトベース当接面１７が位置決め装置１９の第１の位置決め面を形成する。
【００１５】
図２と図３を組合せた図から明らかなように、位置決め装置１９が内部に形成されたテストコンタクト容器１３によって、テストコンタクトベース２１を有するテストコンタクト２０が、テストコンタクトベース当接面１７に横方向に当接し、かつテストコンタクトベース２１に配置されたテストコンタクトブラケット２２とともに、チャネル開口部３９の領域内に第２の位置決め面として形成されたテストコンタクトブラケット当接面１８に当接するように、テストコンタクト２０を位置決めして収容することが可能になる。
【００１６】
特に図２から明らかなように、テストコンタクト２０を開口断面１５に対してテストコンタクト容器１３内に配置することによって、テストコンタクト２０の部分表面として吸収領域が規定され、それぞれ、コンタクトヘッド１０の内部の伝達チャネル２４、それぞれ出口漏斗１４を介して行なわれるレーザ放射２５を用いて熱エネルギがテストコンタクト２０に印加されるテストコンタクトブラケット２２である。本願で示される例示的な実施例の場合は、伝達チャネル２４は同時に、テストコンタクト２０に低圧（Unterdruck）を印加するように作用し、同時にコンタクトヘッド１０を形成するためにそれぞれ吸収領域に、それぞれテストコンタクト容器１３をテストコンタクト保持装置として印加する。
【００１７】
図４は、自身のコンタクト端部にテストコンタクト容器２８が設けられたコンタクトヘッド２６を示し、テストコンタクト容器２８は、チャネル開口部２７の領域において、開口断面３１の開口端縁３０によって形成されたテストコンタクトベース当接面２９を示す。
【００１８】
図５と図６を組合せた図から明らかなように、コンタクトヘッド２６内に形成された出口漏斗３２の開口断面３１は、コンタクトヘッド２６の縦軸３３に対する傾斜角αで配置される。これに対応して、テストコンタクトベース当接面２９も縦軸３３に対して同様に傾いて配置され、コンタクトヘッド２６の外壁３５の下縁によってテストコンタクトブラケット当接面３４が形成される。図５のテストコンタクト容器２８内のテストコンタクト２０を示す一点鎖線から明らかなように、テストコンタクトベース当接面２９を縦軸３３に対して傾斜して配置することよって、図１から図３に示されるコンタクトヘッド１０の例示的な実施例と比較してテストコンタクト２０の実質的に拡大した吸収領域３６が得られ、この場合、テストコンタクトベース２１に対するレーザ放射２５の本質的に横方向の印加が行なわれ、テストコンタクトブラケット２２は本質的に露光されないままである。このように、十分な熱量をテストコンタクト２０に導入可能なテストコンタクトベース２１に対する本質的に広範なレーザ放射の印加にもかかわらず、反りを生じさせることになる、比較的断面の薄いテストコンタクトブラケット２２の過熱を防止することができる。
【００１９】
これも特に図５から明らかなように、開口断面３１は隣接する外壁３５と本質的に平行に設けられているため、図１から図３に示されるコンタクトヘッド１０の例示的な実施例と比較して、テストコンタクトは外壁３５と本質的に同一平面上に配置される。
【００２０】
別の実施例における図７から図９に示されるコンタクトヘッドは、図４から図６に示されるコンタクトヘッド２６とは対照的に、平坦部の領域ではテストコンタクトブラケット当接面を形成する下縁を有し、かつテストコンタクトブラケット２２の直径ｄ、それぞれテストコンタクトベース２１の厚みｔに実質的に対応する幅ｂを有する、出口漏斗の外壁を示す。特に図９から明らかなように、この寸法によって、テストコンタクト２０は、外壁と本質的に同一平面上に配置されるようにコンタクトヘッドのテストコンタクト容器内に配置される。
【００２１】
概略図１０は、コンタクト支持体上に設けられたコンタクト面５１にテストコンタクト２０を接触させる際のコンタクトヘッド４５を示す。これも図１０に示されるように、コンタクト面５１は複数のさらなるコンタクト面５１とともにコンタクト面配列５２を形成し、コンタクト面配列５２は、対応する数のテストコンタクト２０を接触させ、それぞれ配置して、テストコンタクト配列５３を作製する。
【００２２】
図１０から明らかなように、テストコンタクト配列５３は、図１０に示される一番右のテストコンタクト２０から始めてテストコンタクト２０を順次接触させることによって達成される。テストコンタクト２０をコンタクトヘッドの縦軸に対する傾斜角αで配置することによって、コンタクトヘッド４５がテストコンタクト２０に対して実質的に斜めに横方向に配置されるため、コンタクト支持体上の個々のテストコンタクト同士の間の最小限の距離が実現され得る。
【００２３】
図１１は、テストコンタクト２０をコンタクト支持体５０上に位置決めする際の図４から図６に示されるコンタクトヘッド２６を示す。位置決め時、およびその後のテストコンタクトブラケット２２を用いた接触時にテストコンタクト容器２８に収容されるテストコンタクト２０はしたがって、テストコンタクトブラケット当接面３４に当接する。テストコンタクトブラケット２２は、ここでは本質的に長方形状に形成されたテストコンタクトベース２１と平行に延在し、そのテストコンタクト先端５４でテストコンタクトベース２１の下縁５５を越えて突出し、これに沿って位置決め後、コンタクト支持体５０との接触が行なわれる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
0005399500.tif 000011
【図１１】
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