(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布ヘッドと基板とを相対移動させながら、前記塗布ヘッドに設けた複数のノズルから吐出させた液滴を基板に塗布する塗布方法において、
前記塗布ヘッドのノズル毎に、異なる吐出量の液滴の組合せからなる基本吐出パターンで液滴を吐出させ、
一つのノズルから連続的に吐出される複数滴分の液滴の量が必要とされる量とは異なるときには、このノズルの前記基本吐出パターンにおける異なる吐出量の液滴の組み合わせを変更することを特徴とする塗布方法。
【請求項２】
塗布ヘッドと基板とを相対移動させながら、前記塗布ヘッドに設けた複数のノズルから吐出させた液滴を前記基板に対し前記相対移動方向に沿って塗布する塗布方法において、
前記塗布ヘッドのノズル毎に、大きさの異なる複数種類の液滴の組合せからなる基本吐出パターンで液滴を吐出させ、前記基本吐出パターンで液滴を吐出させたときの前記ノズル毎の液滴の平均吐出量と前記基本吐出パターンで前記ノズルから吐出されるべき液滴の理論平均吐出量とを比較し、前記平均吐出量と前記理論平均吐出量とが異なっているノズルがある場合、そのノズルからの前記平均吐出量が前記理論平均吐出量になるように前記基本吐出パターンにおける液滴の組合せを変更することを特徴とする塗布方法。
【請求項３】
前記平均吐出量が前記理論平均吐出量より少ないノズルについては、前記基本吐出パターンを構成する複数種類の液滴のうち吐出量の大きい液滴の吐出頻度を多く変更し、
前記平均吐出量が前記理論平均吐出量より多いノズルについては、前記基本吐出パターンを構成する複数種類の液滴のうち吐出量の小さい液滴の吐出頻度を多く変更する請求項２に記載の塗布方法。
【請求項４】
塗布ヘッドと基板とを相対移動させながら、前記塗布ヘッドに設けた複数のノズルから吐出させた液滴を前記基板に対し前記相対移動方向に沿って塗布する塗布方法において、
前記塗布ヘッドのノズル毎に、大きさの異なる複数種類の液滴の組合せからなる基本吐出パターンで液滴を吐出させ、前記各ノズルから基本吐出パターンで吐出され前記基板上に塗布された液滴によって形成された塗布膜にむらがあれば、そのむら部分に対応するノズルから吐出される液滴の前記基本吐出パターンにおける液滴の組合せを、塗布膜のむらを解消するように変更することを特徴とする塗布方法。
【請求項５】
前記むらが前記塗布膜が薄いことによって生じたむらである場合、前記むら部分に対応するノズルについては、前記基本吐出パターンを構成する複数種類の液滴のうち吐出量の大きい液滴の吐出頻度を多く変更し、
前記むらが前記塗布膜が厚いことによって生じたむらである場合、前記むら部分に対応するノズルについては、前記基本吐出パターンを構成する複数種類の液滴のうち吐出量の小さい液滴の吐出頻度を多く変更する請求項４に記載の塗布方法。
【請求項６】
複数のノズルを備えた塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドの各ノズルから吐出される液滴の吐出量を、異なる吐出量に制御可能な制御装置と、を有し、前記塗布ヘッドと基板とを相対移動させながら、前記複数のノズルから吐出させた液滴を前記基板に塗布する塗布装置において、
前記制御装置は、前記塗布ヘッドのノズル毎に、異なる吐出量の液滴の組合せからなる基本吐出パターンで液滴を吐出させ、一つのノズルから連続的に吐出される複数滴分の液滴の量が必要とされる量とは異なるときには、このノズルの前記基本吐出パターンにおける異なる吐出量の液滴の組み合わせを変更することを特徴とする塗布装置。
【請求項７】
複数のノズルを備えた塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドの各ノズルからの液滴の吐出量を測定する吐出量測定装置と、前記塗布ヘッドの各ノズルからの液滴の吐出量を制御する制御装置と、を有し、前記塗布ヘッドと基板とを相対移動させながら、前記複数のノズルから吐出させた液滴を前記基板に対し前記相対移動方向に沿って塗布する塗布装置において、
前記制御装置は、
前記塗布ヘッドのノズル毎に、大きさの異なる複数種類の液滴の組合せからなる基本吐出パターンで液滴を吐出させ、前記基本吐出パターンで液滴を吐出させたときの前記ノズル毎の液滴の平均吐出量と前記基本吐出パターンで前記ノズルから吐出されるべき液滴の理論平均吐出量とを比較し、前記平均吐出量と前記理論平均吐出量とが異なっているノズルがある場合、そのノズルからの前記平均吐出量が前記理論平均吐出量になるように前記基本吐出パターンにおける液滴の組合せを変更することを特徴とする塗布装置。
【請求項８】
前記制御装置は、前記平均吐出量が前記理論平均吐出量より少ないノズルについては、前記基本吐出パターンを構成する複数種類の液滴のうち吐出量の大きい液滴の吐出頻度を多く変更し、前記平均吐出量が前記理論平均吐出量より多いノズルについては、前記基本吐出パターンを構成する複数種類の液滴のうち吐出量の小さい液滴の吐出頻度を多く変更する請求項７に記載の塗布装置。
【請求項９】
複数のノズルを備えた塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドの各ノズルからの液滴の吐出量を制御する制御装置と、を有し、前記塗布ヘッドと基板とを相対移動させながら、前記複数のノズルから吐出させた液滴を前記基板に対し前記相対移動方向に沿って塗布する塗布装置において、
前記制御装置は、
前記塗布ヘッドのノズル毎に、大きさの異なる複数種類の液滴の組合せからなる基本吐出パターンで液滴を吐出させ、前記各ノズルから基本吐出パターンで吐出され前記基板上に塗布された液滴によって形成された塗布膜にむらがあれば、そのむら部分に対応するノズルから吐出される液滴の前記基本吐出パターンにおける液滴の組合せを、塗布膜のむらを解消するように変更することを特徴とする塗布装置。
【請求項１０】
前記制御装置は、前記むらが塗布膜が薄いことによって生じたむらである場合、前記むら部分に対応するノズルについては、前記基本吐出パターンを構成する複数種類の液滴のうち吐出量の大きい液滴の吐出頻度を多く変更し、前記むらが塗布膜が厚いことによって生じたむらである場合、前記むら部分に対応するノズルについては、前記基本吐出パターンを構成する複数種類の液滴のうち吐出量の小さい液滴の吐出頻度を多く変更する請求項９に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は塗布方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置等の製造工程では、ガラス製基板に回路パターンを形成する成膜プロセスにおいて、基板に機能性薄膜を形成するインクジェット方式の塗布装置が用いられている。
【０００３】
この塗布装置は、特許文献１に記載の如く、塗布ヘッドを基板に対して相対移動し、塗布ヘッドに設けた複数のノズルから連続的に吐出させた液滴を基板に対し上記の相対移動方向に沿って塗布する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開2003-94631
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１に記載の塗布装置にあっては、塗布ヘッドの各ノズルに対向する圧電素子が可撓板を介して設けられている。圧電素子に電圧を印加すると、可撓板が変形し、対応するノズルから液滴が吐出される。各ノズルに対向する個々の圧電素子に同じ電圧を印加しても、各ノズルは塗布液の供給源からの配管抵抗や製作精度、組み立て精度等によって吐出特性が異なるため、個々のノズルからの塗布液の吐出量に差が生じることがある。その場合、基板に形成される塗布膜にむらを生じ、機能性薄膜の厚さが均一にならない。
【０００６】
そこで、従来の塗布装置では、塗布ヘッドの各ノズルからの液滴の吐出量を測定し、各ノズルからの液滴の実際の吐出量が互いに同一の設定吐出量に高精度に合致するように、各ノズルに対応する圧電素子への印加電圧の大きさを吐出量の測定結果に基づいて高精度に微調整することとしている。
【０００７】
しかしながら、塗布ヘッドは数十個〜数百個のノズルを設けており、それらの多数のノズル毎に、対応する圧電素子への印加電圧の大きさを高精度に微調整することは容易ではなく調整に多大な時間を要するうえ、制御装置の大型化、高発熱化、高コスト化を招く。
【０００８】
本発明の課題は、塗布ヘッドの各ノズルからの液滴の吐出量の差に起因する塗布膜のむらを簡易に解消することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
実施形態に係る塗布方法は、塗布ヘッドと基板とを相対移動させながら、前記塗布ヘッドに設けた複数のノズルから吐出させた液滴を基板に塗布する塗布方法において、
前記塗布ヘッドのノズル毎に、異なる吐出量の液滴の組合せからなる基本吐出パターンで液滴を吐出させ、
一つのノズルから連続的に吐出される複数滴分の液滴の量が必要とされる量とは異なるときには、このノズルの前記基本吐出パターンにおける異なる吐出量の液滴の組み合わせを変更することを特徴とする。
実施形態に係る塗布方法は、塗布ヘッドと基板とを相対移動させながら、前記塗布ヘッドに設けた複数のノズルから吐出させた液滴を前記基板に対し前記相対移動方向に沿って塗布する塗布方法において、
前記塗布ヘッドのノズル毎に、大きさの異なる複数種類の液滴の組合せからなる基本吐出パターンで液滴を吐出させ、前記基本吐出パターンで液滴を吐出させたときの前記ノズル毎の液滴の平均吐出量と前記基本吐出パターンで前記ノズルから吐出されるべき液滴の理論平均吐出量とを比較し、前記平均吐出量と前記理論平均吐出量とが異なっているノズルがある場合、そのノズルからの前記平均吐出量が前記理論平均吐出量になるように前記基本吐出パターンにおける液滴の組合せを変更することを特徴とする。
【００１２】
実施形態に係る塗布方法は、塗布ヘッドと基板とを相対移動させながら、前記塗布ヘッドに設けた複数のノズルから吐出させた液滴を前記基板に対し前記相対移動方向に沿って塗布する塗布方法において、
前記塗布ヘッドのノズル毎に、大きさの異なる複数種類の液滴の組合せからなる基本吐出パターンで液滴を吐出させ、前記各ノズルから基本吐出パターンで吐出され前記基板上に塗布された液滴によって形成された塗布膜にむらがあれば、そのむら部分に対応するノズルから吐出される液滴の前記基本吐出パターンにおける液滴の組合せを、塗布膜のむらを解消するように変更することを特徴とする。
【００１５】
実施形態に係る塗布装置は、複数のノズルを備えた塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドの各ノズルから吐出される液滴の吐出量を、異なる吐出量に制御可能な制御装置と、を有し、前記塗布ヘッドと基板とを相対移動させながら、前記複数のノズルから吐出させた液滴を前記基板に塗布する塗布装置において、
前記制御装置は、前記塗布ヘッドのノズル毎に、異なる吐出量の液滴の組合せからなる基本吐出パターンで液滴を吐出させ、一つのノズルから連続的に吐出される複数滴分の液滴の量が必要とされる量とは異なるときには、このノズルの前記基本吐出パターンにおける異なる吐出量の液滴の組み合わせを変更することを特徴とする。
実施形態に係る塗布装置は、複数のノズルを備えた塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドの各ノズルからの液滴の吐出量を測定する吐出量測定装置と、前記塗布ヘッドの各ノズルからの液滴の吐出量を制御する制御装置と、を有し、前記塗布ヘッドと基板とを相対移動させながら、前記複数のノズルから吐出させた液滴を前記基板に対し前記相対移動方向に沿って塗布する塗布装置において、
前記制御装置は、
前記塗布ヘッドのノズル毎に、大きさの異なる複数種類の液滴の組合せからなる基本吐出パターンで液滴を吐出させ、前記基本吐出パターンで液滴を吐出させたときの前記ノズル毎の液滴の平均吐出量と前記基本吐出パターンで前記ノズルから吐出されるべき液滴の理論平均吐出量とを比較し、前記平均吐出量と前記理論平均吐出量とが異なっているノズルがある場合、そのノズルからの前記平均吐出量が前記理論平均吐出量になるように前記基本吐出パターンにおける液滴の組合せを変更することを特徴とする。
【００１８】
実施形態に係る塗布装置は、複数のノズルを備えた塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドの各ノズルからの液滴の吐出量を制御する制御装置と、を有し、前記塗布ヘッドと基板とを相対移動させながら、前記複数のノズルから吐出させた液滴を前記基板に対し前記相対移動方向に沿って塗布する塗布装置において、
前記制御装置は、
前記塗布ヘッドのノズル毎に、大きさの異なる複数種類の液滴の組合せからなる基本吐出パターンで液滴を吐出させ、前記各ノズルから基本吐出パターンで吐出され前記基板上に塗布された液滴によって形成された塗布膜にむらがあれば、そのむら部分に対応するノズルから吐出される液滴の前記基本吐出パターンにおける液滴の組合せを、塗布膜のむらを解消するように変更することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、塗布ヘッドの各ノズルからの液滴の吐出量の差に起因する塗布膜のむらを簡易に解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１は塗布装置を示す正面図である。
【図２】図２は塗布装置を示す平面図である。
【図３】図３は塗布装置を示す側面図である。
【図４】図４は塗布装置の制御系統を示すブロック図である。
【図５】図５は圧電素子駆動回路の一例を示す回路図である。
【図６】図６は圧電素子駆動回路の他の例を示す回路図である。
【図７】図７は液滴の吐出パターンを示す模式図である。
【図８】図８は64個の各ノズルからの平均吐出量の測定結果を示す線図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
図１〜図３に示す塗布装置１０は、ベース１１の上面のＹ軸方向移動ガイド１２に基板ステージ１３を搭載し、不図示のＹ軸方向移動アクチュエータによりこの基板ステージ１３をＹ軸方向に移動可能にする。基板ステージ１３には、液晶表示装置の製造に用いられるガラス製の基板１が載置される。
【００２４】
塗布装置１０は、ベース１１の上面のＹ軸方向の略中央部に、Ｙ軸方向移動ガイド１２を跨ぐ門型フレーム１４を設け、この門型フレーム１４の前面の枠体１５に複数（本実施例では３個）の塗布ヘッド２０を、図２に示すように、Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向に沿って互いに千鳥状に配置している。
【００２５】
塗布ヘッド２０は、インクジェット方式によって機能性薄膜である、例えば配向膜を形成する塗布液（ポリイミド溶液）を液滴にしてドット状に吐出する複数のノズルをＸ軸方向に沿って所定間隔で配置している。塗布ヘッド２０は、各ノズルに可撓板を介して対向する圧電素子を設けており、各圧電素子に電圧を印加することによって可撓板を変形させ、対応するノズルから塗布液の液滴を吐出させる。
【００２６】
塗布装置１０は、基板１が載置される基板ステージ１３をＹ軸方向に移動することにより、塗布ヘッド２０を基板１に対して相対移動し、塗布ヘッド２０に設けた各ノズルに対向する圧電素子に同時に予め設定した周波数で電圧を印加することにより、各ノズルから連続的に吐出される液滴を基板１に対し上記の相対移動方向に沿って塗布する。各ノズルから吐出された液滴は基板１の上で濡れ広がり、近隣の液滴と結合して塗布膜を形成する。
【００２７】
塗布装置１０は、塗布ヘッド２０の各ノズルからの液滴の吐出量を測定する吐出量測定装置３０を有する。吐出量測定装置３０は、基板ステージ１３のＹ軸方向端面（図１の右端面）に固定した取付ブラケット３１の上面のＸ軸方向移動ガイド３２にＸ軸移動装置３３を搭載し、不図示のＸ軸方向移動アクチュエータによりこのＸ軸移動装置３３をＸ軸方向に移動可能にする。Ｘ軸移動装置３３の上面には昇降装置３４が搭載され、昇降装置３４の上に吐出台３５を設置している。吐出量測定装置３０は、１つの塗布ヘッド２０に設けられるノズル個数分（図１〜図３の例では４個）の容器３６を吐出台３５の上に搭載できる。
【００２８】
吐出量測定装置３０は、各容器３６に塗布液を収容するときには、基板ステージ１３を図１の破線で示す位置までＹ軸方向に移動させ、各容器３６をＹ軸方向における塗布ヘッド２０の直下に位置付ける。この動作と同時、或いはこの動作に続いて、Ｘ軸移動装置３３を駆動し、各容器３６を３つの塗布ヘッド２０のうちの１つの塗布ヘッド２０、例えばＸ軸方向の一方の端に位置する塗布ヘッド２０の直下に、当該塗布ヘッド２０の各ノズルと各容器３６とが上下に対向位置するように位置付ける。
【００２９】
吐出量測定装置３０は、各容器３６を塗布ヘッド２０の直下に位置付けながら、昇降装置３４を駆動し、吐出台３５とともに各容器３６を上昇させ、塗布ヘッド２０のノズル形成面に各容器３６の上端を近接させる（図３の破線で示す）。この状態で、塗布ヘッド２０の全（４個）ノズルの圧電素子を同時に駆動し、各ノズルから同時に単位時間、換言すれば予め設定された吐出回数だけ塗布液の液滴を繰り返し吐出させ、この塗布液を各容器３６に収容する。塗布ヘッド２０からの塗布液の吐出が完了したら、基板ステージ１３を図１、図２の実線に示す位置まで戻し、各容器３６を吐出台３５から取出す。吐出量測定装置３０にあっては、各容器３６の重量を個別に不図示の電子天秤等の重量計により測定し、この測定値から容器３６の空の重量を差し引くことで、各容器３６に収容された、各ノズルからの液滴の予め設定された吐出回数（液滴数）分の総吐出量を測定することができる。この総吐出量を当該ノズルの吐出回数（液滴数）で除することにより、当該ノズルからの液滴の平均吐出量を測定できる。
【００３０】
しかるに、塗布装置１０にあっては、塗布ヘッド２０の各ノズルからの液滴の吐出量の差に起因する塗布膜のむらを簡易に解消するため、以下の構成を具備する。
【００３１】
塗布装置１０は、図４に示す如く、塗布ヘッド２０の各ノズルからの液滴の吐出量を制御する制御装置４０を有する。制御装置４０は、以下の如くに制御動作を行なう。
【００３２】
(1)制御装置４０は、塗布ヘッド２０のノズル毎の吐出量の増減制御により、各ノズルから吐出される液滴を大きさの異なる複数種類、本実施の形態では大液滴又は小液滴の２種類に制御可能にする。
【００３３】
即ち、制御装置４０は、塗布ヘッド２０の各ノズルに可撓板を介して対向する圧電素子に印加する電圧を制御する圧電素子駆動回路４１を用いる。制御装置４０は、例えば図５に示す圧電素子駆動回路４１により、圧電素子２３に印加する電圧を大電圧Ｖ1と小電圧Ｖ2に制御し、大電圧Ｖ1を印加された圧電素子２３が対向するノズルから大液滴Ａを吐出し、小電圧Ｖ2を印加された圧電素子２３が対向するノズルから小液滴Ｂを吐出する。尚、図５の圧電素子駆動回路４１は、２個の各ノズルに対向する２個の圧電素子２３を示している。但し、圧電素子駆動回路４１は、全ノズルのそれぞれに対向する個数の各圧電素子２３への印加電圧を個別に制御する。
【００３４】
図５に示した圧電素子駆動回路４１は、大電圧Ｖ1の電源Ｐ1と小電圧Ｖ2の電源Ｐ2を有する。電源Ｐ1にトランジスタＴ1のエミッタ端子を接続し、電源Ｐ2にトランジスタＴ2のエミッタ端子を接続するとともに、トランジスタＴ1、Ｔ2、Ｔ3の各コレクタ端子に圧電素子２３の入力端を接続する。制御部Ｃからの信号Ｄ1によりトランジスタＴ1をオンすることにより、大電圧Ｖ1を圧電素子２３に印加すると、該圧電素子が大きく縮み、続いてトランジスタＴ1をオフし、かつ信号Ｄ3によりトランジスタＴ3をオンすることにより、圧電素子２３が復元し、この圧電素子２３が対向するノズルから吐出される液滴を大液滴Ａとする。同様に、制御部Ｃからの信号Ｄ2によりトランジスタＴ2をオンすることにより、小電圧Ｖ2を圧電素子２３に印加すると、該圧電素子２３が小さく縮み、続いてトランジスタＴ2をオフし、かつ信号Ｄ3によりトランジスタＴ3をオンすることにより、圧電素子２３が復元し、この圧電素子２３が対向するノズルから吐出される液滴を小液滴Ｂとする。
【００３５】
図６に示した圧電素子駆動回路４１は、単一電源Ｐの電圧Ｖd（Ｖdは外部指令により調整できる）により、大電圧Ｖ1と小電圧Ｖ2を生成できる。即ち、電源Ｐに抵抗Ｚ1を介してトランジスタＴ1のエミッタ端子を接続し、電源Ｐに抵抗Ｚ2（Ｚ2≠Ｚ1）を介してトランジスタＴ2のエミッタ端子を接続するとともに、トランジスタＴ1、Ｔ2、Ｔ3の各コレクタ端子に抵抗Ｚ3と圧電素子２３の入力端のそれぞれを並列接続する。制御部Ｃからの信号Ｄ1によりトランジスタＴ1をオンすることにより、大電圧Ｖ1（Ｖ1＝Ｖd×[Ｚ3／（Ｚ1・Ｚ3）]）を圧電素子２３に印加すると、該圧電素子２３が大きく縮み、続いてトランジスタＴ1をオフし、かつ信号Ｄ3によりトランジスタＴ3をオンすることにより、圧電素子２３が復元し、この圧電素子２３が対向するノズルから吐出される液滴を大液滴Ａとする。同様に、制御部Ｃからの信号Ｄ2によりトランジスタＴ2をオンすることにより、小電圧Ｖ2（Ｖ2＝Ｖd×［Ｚ3／（Ｚ2・Ｚ3）］）を圧電素子２３に印加すると、該圧電素子２３が小さく縮み、続いてトランジスタＴ2をオフし、かつ信号Ｄ3によりトランジスタＴ3をオンすることにより、圧電素子２３が復元し、この圧電素子２３が対向するノズルから吐出される液滴を小液滴Ｂとする。
【００３６】
尚、図６の圧電素子駆動回路４１は、１個のノズルに対向する１個の圧電素子２３だけを示している。但し、圧電素子駆動回路４１は、全ノズルのそれぞれに対向する個数の各圧電素子２３への印加電圧を個別に制御する。
【００３７】
(2)制御装置４０は、塗布ヘッド２０の各ノズルから連続的に吐出される液滴を経時的に特定の種類で組合せた基本吐出パターンを定める。
【００３８】
この基本吐出パターンは、例えば図７（Ａ）に示す如く、大液滴Ａと小液滴Ｂの経時的な組合せを、［大液滴Ａ・小液滴Ｂ］の２液滴がこの順（交互）で並べられたパターンの繰り返しとすることができる。
【００３９】
(3)制御装置４０は、塗布ヘッド２０の各ノズルに対向する圧電素子に印加する電圧を前述(1)の如くにより制御し、全ノズルのそれぞれから上述(2)の基本吐出パターンで液滴を繰り返し吐出させる。そして、このときの各ノズルからの液滴の平均吐出量を前述の吐出量測定装置３０を用いて前述の如くに測定する。例えば、大液滴Ａと小液滴Ｂを交互に1000滴吐出させ、その総重量を1000で除算することで平均吐出量を求める。
【００４０】
吐出量測定装置３０により測定した上述の平均吐出量が基本吐出パターンに対応して理論的に吐出されるべき液滴の理論平均吐出量（各ノズルの塗布液１滴分の理論的な平均吐出量）と異なっているノズルがあれば、そのノズルから連続的に吐出される液滴の種類（大液滴Ａと小液滴Ｂ）の経時的な組合せを、下記(i)又は(ii)の如くにより、基本吐出パターンから変更吐出パターンに変更する。これにより、そのノズルからの液滴の平均吐出量が理論平均吐出量になるように調整する。
【００４１】
(i)吐出量測定装置３０により測定した平均吐出量が理論平均吐出量より少ないノズルについては、吐出量を増した種類の液滴（大液滴Ａ）の吐出頻度を多くした変更吐出パターンで液滴を吐出させる。例えば、図７（Ｂ）に示す如く、大液滴Ａと小液滴Ｂの経時的な組合せを、［大液滴Ａ・大液滴Ａ・大液滴Ａ・小液滴Ｂ］の４液滴がこの順で並べられたパターンの繰り返しとする。
【００４２】
(ii)吐出量測定装置３０により測定した平均吐出量が理論平均吐出量より多いノズルについては、吐出量を減じた種類の液滴（小液滴Ｂ）の吐出頻度を多くした変更吐出パターンで液滴を吐出させる。例えば、図７（Ｃ）に示す如く、大液滴Ａと小液滴Ｂの経時的な組合せを、［大液滴Ａ・小液滴Ｂ・小液滴Ｂ・小液滴Ｂ］の４液滴がこの順で並べられたパターンの繰り返しとする。
【００４３】
上述(i)、(ii)において、大液滴Ａの吐出頻度をｘとし、小液滴Ｂの吐出頻度をｙとするとき、ｘとｙは、吐出量測定装置３０により測定された平均吐出量の測定結果に基づき、以下の如くに算定される。
【００４４】
即ち、塗布装置１０において、大電圧Ｖ1によるノズルからの液滴（大液滴Ａ）の吐出量をＫ1とし、小電圧Ｖ2によるノズルからの液滴（小液滴Ｂ）の吐出量をＫ2とし、当該ノズルにおいて測定した平均吐出量が理論平均吐出量になるように調整するため、当該ノズルに設定すべき修正吐出量をＭ（Ｋ2＜Ｍ＜Ｋ1）とするとき、ｘ＝（Ｍ−Ｋ2）÷（Ｋ1−Ｋ2）、ｙ＝1−ｘである。
【００４５】
例えば、塗布装置１０において、制御装置４０が定める基本吐出パターンを図７（Ａ）に示した［大液滴Ａ・小液滴Ｂ］の繰り返しとし、Ｋ1＝110ng／dot、Ｋ2＝90ng／dotとすれば、各ノズルの理論平均吐出量は100ng／dotとなる。このとき、塗布ヘッド２０の各ノズルの平均吐出量を吐出量測定装置３０により測定した結果が例えば図８に示す如くになり、第５番目のノズルの平均吐出量が95ng／dotであって調整を必要とする場合には、このノズルからの平均吐出量を95ng／dotに対して約1.05倍の100ng／dotに修正する必要がある。そこで、理論平均吐出量100ng／dotを1.05倍し、このノズルの目標平均吐出量Ｍ（＝100×1.05＝105ng／dot）を求める。これより、ｘ＝（105−90）÷（110−90）＝0.75＝3／4回、ｙ＝1−0.75＝0.25＝1／4回になる。従って、大液滴Ａと小液滴Ｂの経時的な組合せを、図７（Ｂ）に示す如く、［大液滴Ａ・大液滴Ａ・大液滴Ａ・小液滴Ｂ］の４液滴からなる吐出パターンに変更するものになる。
【００４６】
本実施例によれば、以下の作用効果を奏する。
(a)塗布ヘッド２０のノズル毎の吐出量の増減制御により、各ノズルから吐出される液滴を大液滴Ａと小液滴Ｂの２種類に制御可能にし、各ノズルから連続的に吐出される液滴を経時的に特定の種類で組合せた基本吐出パターンを定めておく。そして、全ノズルのそれぞれから基本吐出パターンで液滴を繰り返し吐出させたときの各ノズルからの液滴の平均吐出量を測定し、この測定した平均吐出量が基本吐出パターンに対応して理論的に吐出されるべき理論平均吐出量と異なっているノズルがあれば、そのノズルから連続的に吐出される液滴の種類の経時的な組合せを基本吐出パターンから変更吐出パターンに変更し、そのノズルからの液滴の平均吐出量が理論平均吐出量になるように調整する。
【００４７】
各ノズルの基本吐出パターンで吐出させたときの塗布液１滴当たりの実際の吐出量が理論平均吐出量と異なっているとき、当該ノズルに対向する圧電素子２３への印加電圧の大きさ自体を微調整することなく、当該ノズルから連続的に吐出される液滴の種類の経時的な組合せを単に変更するだけで、当該ノズルからの液滴の平均吐出量を理論平均吐出量になるように調整できる。
【００４８】
従って、このような塗布装置１０を用いて基板上に所定のパターンで塗布膜を形成する場合には、各ノズルから連続的に吐出される液滴の大液滴Ａ〜小液滴Ｂの如くの２種類の液滴の経時的な組合せからなる吐出パターンを変更するだけで、塗布ヘッド２０の各ノズルからの液滴の吐出量の差に起因する塗布膜のむらを簡易に解消できる。
【００４９】
(b)各ノズルから吐出される液滴の測定された平均吐出量が理論平均吐出量より少ないノズルについては、吐出量が大きい種類の液滴（大液滴Ａ）の吐出頻度を多くした変更吐出パターンで液滴を吐出させることにより、当該ノズルからの液滴の平均吐出量が理論平均吐出量になるように簡易に調整できる。
【００５０】
(c)各ノズルから吐出される液滴の測定された平均吐出量が理論平均吐出量より多いノズルについては、吐出量が小さい種類の液滴（小液滴Ｂ）の吐出頻度を多くした変更吐出パターンで液滴を吐出させることにより、当該ノズルからの液滴の平均吐出量が理論平均吐出量になるように簡易に調整できる。
【００５１】
塗布装置１０は、塗布ヘッド２０の各ノズルからの液滴の吐出量の差に起因する塗布膜のむらを簡易に調整するため、制御装置４０による制御動作を以下の如くにすることもできる。
【００５２】
(1’)制御装置４０は、前述(1)と同様に、塗布ヘッド２０のノズル毎の吐出量の増減制御により、各ノズルから吐出される液滴を大きさの異なる複数種類、例えば、大液滴と小液滴の２種類に制御可能にする。
【００５３】
(2’)制御装置４０は、前述(2)と同様に、塗布ヘッド２０の各ノズルから連続的に吐出される液滴を経時的に特定の種類で組合せた基本吐出パターンを定める。
【００５４】
この基本吐出パターンは、例えば図７（Ａ）、大液滴Ａと小液滴Ｂの経時的な組合せを、［大液滴Ａ・小液滴Ｂ］の２液滴がこの順で並べられたパターンの繰り返しとすることができる。
【００５５】
(3’)制御装置４０は、塗布ヘッド２０の各ノズルに対向する圧電素子２３に印加する電圧を前述(1)の如くにより制御し、全ノズルのそれぞれから上述(2’)の基本吐出パターンで吐出させた液滴を基板１に塗布させる。そして、このときの基板１上に形成された塗布膜にむらがあれば、そのむらに対応するノズルから連続的に吐出される液滴の種類（大液滴Ａと小液滴Ｂ）の経時的な組合せを、下記(i)又は(ii)の如くにより、基本吐出パターンから変更吐出パターンに変更し、そのノズルに対応する塗布膜のむらを解消するように調整する。
【００５６】
(i)基板１上に形成された塗布膜の膜厚が薄いことによってむらが生じた場合には、そのむら部分に対応するノズルについては、吐出量が大きい種類の液滴（大液滴Ａ）の吐出頻度を多くした変更吐出パターンで液滴を吐出させる。例えば、図７（Ｂ）に示す如く、大液滴Ａと小液滴Ｂの経時的な組合せを、［大液滴Ａ・大液滴Ａ・大液滴Ａ・小液滴Ｂ］の４液滴がこの順で並べられたパターンの繰り返しとする。
【００５７】
(ii)基板１上に形成された塗布膜の膜厚が厚いことによってむらが生じた場合には、そのむら部分に対応するノズルについては、吐出量が小さい種類の液滴（小液滴Ｂ）の吐出頻度を多くした変更吐出パターンで液滴を吐出させる。例えば、図７（Ｃ）に示す如く、大液滴Ａと小液滴Ｂの経時的な組合せを、［大液滴Ａ・小液滴Ｂ・小液滴Ｂ・小液滴Ｂ］の４液滴がこの順で並べられたパターンの繰り返しとする。
【００５８】
塗布膜のむらは、形成された塗布膜の膜厚を膜厚測定装置を用いて測定したり、形成された塗布膜の表面の色の濃淡によって知ることが可能である。
【００５９】
本実施例によれば、以下の作用効果を奏する。
(a)塗布ヘッド２０のノズル毎の吐出量の増減制御により、各ノズルから吐出される液滴を大液滴Ａ〜小液滴Ｂの２種類に制御可能にし、各ノズルから連続的に吐出される液滴を経時的に特定の種類で組合せた基本吐出パターンを定めておく。そして、全ノズルのそれぞれから基本吐出パターンで吐出させた液滴を基板１に塗布させたとき、基板１上に形成された塗布膜にむらがあれば、そのむらに対応するノズルから連続的に吐出される液滴の種類の経時的な組合せを基本吐出パターンから変更吐出パターンに変更し、そのノズルに対応する塗布膜のむらを解消するように調整する。
【００６０】
(b)塗布膜の膜厚が薄い部分に対応するノズルについては、吐出量が大きい種類の液滴（大液滴Ａ）の吐出頻度を多くした変更吐出パターンで液滴を吐出させることにより、当該ノズルに対応する塗布膜のむらを解消するように簡易に調整できる。
【００６１】
(c)塗布膜の膜厚が厚い部分に対応するノズルについては、吐出量が小さい種類の液滴（小液滴Ｂ）の吐出頻度を多くした変更吐出パターンで液滴を吐出させることにより、当該ノズルに対応する塗布膜のむらを解消するように簡易に調整できる。
【００６２】
以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、前述した制御装置４０では、塗布ヘッド２０の各ノズルから吐出される液滴の種類を大液滴Ａと小液滴Ｂの２種類にしたが、大液滴、中液滴、小液滴の３種類にし、各ノズルからの液滴の吐出パターンをこれらの３種類の液滴を経時的に組合せてなるものにしても良い。この場合、各ノズルに対向する圧電素子２３に印加される電圧を大電圧、中電圧、小電圧に制御し、大電圧を印加された圧電素子２３が対向するノズルから大液滴を吐出し、中電圧を印加された圧電素子２３が対向するノズルから中液滴を吐出し、小電圧を印加された圧電素子２３が対向するノズルから小液滴を吐出する。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明によれば、塗布ヘッドの各ノズルからの液滴の吐出量の差に起因する塗布膜のむらを簡易に解消することができる。
【符号の説明】
【００６４】
１  基板
１０  塗布装置
２０  塗布ヘッド
３０  吐出量測定装置
４０  制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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