(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する収納部と、前記収納部内に基板を支持する支持部と、収納部に設けられた開口から基板を搬出する移動部と、前記移動部を駆動する駆動機構と、を有する基板搬送装置において、
基板の支持位置が、正常時の位置から前記開口とは反対側の方向に向かってずれていることに基づく異常を検出する検出部と、
前記検出部により異常が検出された場合に、前記移動部が、基板を前記開口に向かって移動させて基板を正常時の位置に戻しつつ基板から離れる方向に移動するように駆動機構を制御する制御装置と、
を有することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
基板を収納する収納部と、前記収納部内に基板を支持する支持部と、収納部に設けられた開口から基板を搬出する移動部と、前記移動部を、基板に対して平行な第１の方向及び基板に対して垂直な第２の方向に移動させる駆動機構と、を有する基板搬送装置において、
基板の支持位置が正常時の位置から前記開口とは反対側の方向に向かってずれていることに基づく異常を検出する検出部と、
前記検出部により異常が検出された場合に、前記移動部が、第１の方向における基板の位置を正常時の位置に修正する方向に移動した後、第２の方向に移動することにより基板から離れるように、駆動機構を制御する制御装置と、
を有することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
前記制御装置は、さらに、前記基板から離れる方向、または前記第２の方向に移動した後、再度基板を搬出する動作を行うように駆動機構を制御することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記移動部には、前記支持部に支持された基板を保持する保持部が設けられ、
前記保持部は、
基板の縁部に当接する当接部と、
前記当接部との間で基板を挟持可能となるように、基板の縁部に接離する方向に移動可能に設けられた可動部と、
を有し、
前記検出部は、前記可動部の位置に基づいて、基板の位置の異常を検出可能に設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記制御装置は、
正常な基板の位置を記憶する記憶部と、
前記検出部により検出された前記可動部の位置と、前記記憶部に記憶された正常な基板の位置とに基づいて、基板の位置を修正するための移動部の移動距離を決定する決定部と、
を有することを特徴とする請求項４記載の基板搬送装置。
【請求項６】
基板の有無を検出する第２の検出部を有し、
前記制御装置は、前記第２の検出部により基板が無いことが検出された場合に、基板が無かった当該位置からの前記移動部による搬出動作を省略するように、前記駆動機構を制御することを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項７】
前記制御装置は、前記第２の検出部により基板が無いことが検出された場合に、前記移動部が、他の基板の搬出動作をするように、前記駆動機構を制御することを特徴とする請求項６記載の基板搬送装置。
【請求項８】
収納部内の支持部により支持された基板を、前記収納部に設けられた開口から駆動機構により駆動される移動部が搬出する基板搬送方法において、
検出部が、基板の位置の異常を検出し、
検出部により異常が検出された場合に、移動部が、基板を前記開口に向かって移動させて基板を正常時の位置に戻しつつ基板から離れる方向に移動することを特徴とする基板搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体ウェーハのような平板状の基板の製造のために、収納部に積層収納された基板を搬出する基板搬送装置及び基板搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ等の基板の製造工程においては、基板を一時的に積層収納するカセット等の収納部を備え、この収納部への基板の出し入れを行うための基板搬送装置が不可欠である。収納部への基板の出し入れは、一般的には、基板に平行な方向に進退するアームによって行われる。【０００３】
例えば、アーム上に載置若しくは保持された基板を、アームの移動に従って収納部内に挿入することにより、基板を搬入する。また、基板の下部に挿入したアームに、当該基板を載置若しくは保持し、そのアームを外部に引き出すことによって、基板を搬出する（特許文献１参照）。【０００４】
ところで、一般的な収納部の内壁には、突起若しくは溝からなる支持部が等間隔に形成されており、この支持部に基板の縁部が支持されることにより、各基板が一定の間隔で保持される。このような収納部の一例を、図７を参照して説明する。すなわち、収納部１の筐体１０には、その前側に開口１０ａが設けられている。筐体１０の左右の内側面には、水平方向の平板状の横支持部１１が設けられている。この横支持部１１によって、基板Ｓの左右の下面が支持される。【０００５】
また、筐体１０の奥側の左右のコーナーには、突出部である奥支持部１２が設けられている。この奥支持部１２によって、基板Ｓの奥側の下面が支持される。なお、奥支持部１２における基板Ｓとの接触面には、挿入される基板Ｓの高さの相違を許容するために、傾斜が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−２２０００３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上記のような収納部においては、基板の収納時に、奥支持部に乗り上げる形で、基板が保持される現象が発生する可能性がある。すなわち、図８の点線に示すように、奥支持部１２の手前側に当接する形で基板Ｓが支持されていれば、基板Ｓ同士は互いに平行となる（図７参照）。しかし、図８の実線で示すように、奥支持部１２の奥側の高い位置に当接する形で基板Ｓが支持されると、基板Ｓの奥側が上に傾いてしまうので、基板Ｓ同士の平行が保てない（図９参照）。【０００８】
このような状態（以下、「奥掛り」と呼ぶ）が発生すると、アームによる基板Ｓの保持がうまくいかずに、基板Ｓの取り出しに失敗する可能性がある。この奥掛りは、アームによって基板Ｓを自動的に挿入する場合にも起きる場合はある。しかし、試験用の基板Ｓを挿入する場合などには、基板Ｓを作業者が手で挿入する必要があり、その場合には、奥掛りが発生する可能性が高くなる。【０００９】
なお、奥掛りが生じるのは、基板Ｓの縁部が収納部１の奥支持部１２に乗り上げる場合だけではない。例えば、奥支持部１２が設けられていないカセット等においては、基板Ｓの奥側縁部がカセット等の内奥面に掛かり、傾いた状態で支持されてしまう形態も考えられる。【００１０】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、収納部内の基板が正常な位置に保持されていなかった場合であっても、正常な位置に修正した後、通常の取出し動作ができる基板搬送装置及び基板搬送方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記のような目的を達成するため、本発明は、基板を収納する収納部と、前記収納部内に基板を支持する支持部と、収納部に設けられた開口から基板を搬出する移動部と、前記移動部を駆動する駆動機構と、を有する基板搬送装置において、
基板の支持位置が、正常時の位置から前記開口とは反対側の方向に向かってずれていることに基づく異常を検出する検出部と、
前記検出部により異常が検出された場合に、前記移動部が、基板を前記開口に向かって移動させて基板を正常時の位置に戻しつつ基板から離れる方向に移動するように駆動機構を制御する制御装置と、
を有することを特徴とする。なお、本発明は、基板搬送方法の発明としても捉えることができる。
【００１２】
他の態様は、基板を収納する収納部と、前記収納部内に基板を支持する支持部と、収納部に設けられた開口から基板を搬出する移動部と、前記移動部を、基板に対して平行な第１の方向及び基板に対して垂直な第２の方向に移動させる駆動機構と、を有する基板搬送装置において、
基板の支持位置が正常時の位置から前記開口とは反対側の方向に向かってずれていることに基づく異常を検出する検出部と、
前記検出部により異常が検出された場合に、前記移動部が、第１の方向における基板の位置を正常時の位置に修正する方向に移動した後、第２の方向に移動することにより基板から離れるように、駆動機構を制御する制御装置と、
を有することを特徴とする。
【００１３】
以上のような発明では、基板の位置に異常が発生した場合であっても、これを検出部が検出して、移動部が基板の位置を修正する方向に移動するとともに、基板から離れることによって、支持部に置き直されるので、基板が正常な位置に復帰する。【００１４】
他の態様は、前記移動部には、前記支持部に支持された基板を保持する保持部が設けられ、前記保持部は、基板の縁部に当接する当接部と、前記当接部との間で基板を挟持可能となるように、基板の縁部に接離する方向に移動可能に設けられた可動部と、を有し、前記検出部は、前記可動部の位置に基づいて、基板の位置の異常を検出可能に設けられていることを特徴とする。
以上のような態様では、可動部と基板との接触位置は、基板の位置に応じて変動するので、基板の位置の異常を容易且つ確実に検出することができる。【００１５】
他の態様は、前記制御装置は、正常な基板の位置を記憶する記憶部と、前記検出部により検出された前記可動部の位置と、前記記憶部に記憶された正常な基板の位置とに基づいて、基板の位置を修正するための移動部の移動距離を決定する決定部と、を有することを特徴とする。
以上のような態様では、基板のずれ量に応じて、移動部を移動させるので、正常な位置に正確に復帰させることができる。【００１６】
他の態様は、基板の有無を検出する第２の検出部を有し、前記制御装置は、前記第２の検出部により基板が無いことが検出された場合に、基板が無かった当該位置からの前記移動部による搬出動作を省略するように、前記駆動機構を制御することを特徴とする。
以上のような態様では、基板が無かった場合に、無駄な動作を省略して、基板の取り出し作業の高速化を図ることができる。【００１７】
他の態様は、前記制御装置は、前記第２の検出部により基板が無いことが検出された場合に、前記移動部が、他の基板の搬出動作をするように、前記駆動機構を制御することを特徴とする。
以上のような態様では、他の基板の搬出動作に素早く移行できる。
【発明の効果】
【００１８】
以上、説明したように、本発明によれば、収納部内の基板が正常な位置に保持されていなかった場合であっても、正常な位置に修正した後、通常の取出し動作ができる基板搬送装置及び基板搬送方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態におけるヘッドの前進時を示す平面断面図である。
【図２】図１の実施形態におけるヘッドの後退時を示す平面断面図である。
【図３】図１の実施形態の制御装置の構成を示す機能ブロック図である。
【図４】図１の実施形態の処理の手順を示すフローチャートである。
【図５】図１の実施形態の基板位置の正常時の動作を示す工程図である。
【図６】図１の実施形態の基板位置の異常時の動作を示す工程図である。
【図７】カセットの収納部を示す透視内側面図である。
【図８】図７の収納部における奥掛り状態を示す拡大図である。
【図９】図７の収納部における奥掛り状態を示す透視内側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
次に、本発明を実施するための最良の形態（以下、実施形態と呼ぶ）について、図面を参照して具体的に説明する。
［構成］
まず、本実施形態の構成を、図１〜３を参照して説明する。すなわち、本実施形態は、図１に示すように、収納部１、移動部２、保持部３を有している。収納部１は、図７で例示したものと同様である。なお、収納部１における開口１０ａ側を手前側（図中左方）、その反対側を奥側（図中右方）とする。また、以下のアーム２１及びヘッド３３ｂの移動に関しては、奥側への移動を「前進」、手前側への移動を「後退」とする。
【００２１】
移動部２は、基板Ｓを載置するプレート状のアーム２１を有している。このアーム２１は、駆動機構２１ａ（図３参照）によって、収納部１における基板Ｓに対して、垂直な方向に昇降可能に、且つ基板Ｓに対して平行な方向（図中、左右方向）にスライド移動可能に設けられている。
【００２２】
このようにアーム２１を駆動する駆動機構２１ａとしては、例えば、ラックとピニオンによってサーボモータの回転を、図中の上下方向及び左右方向への駆動力に変換するものや、シリンダによって、図中の上下方向及び左右方向へ駆動するもの等が考えられるが、周知のあらゆる技術を適用可能であるため、説明は省略する。
【００２３】
保持部３は、アーム２１の奥側の端部に設けられた当接部３１と、アーム２１の手前側に設けられた可動部３２を有している。当接部３１は、アーム２１に固定され、基板Ｓの奥側の縁に当接する一対の突起である。可動部３２は、押え部３３及び駆動部３４を有している。押え部３３は、連結具３３ａと、その先端に設けられたヘッド３３ｂを有するプランジャーである。連結具３３ａは、図中、左右方向に延びたロッドである。ヘッド３３ｂは、連結具３３ａの移動に従って、基板Ｓの手前側の縁に接離する一対の円柱形部材である。
【００２４】
駆動部３４は、固定筒３４ａ、移動筒３４ｂ及び付勢部材３４ｃを有している。固定筒３４ａは、アーム２１に固定され、減圧手段３４ｄ（図３参照、例えば、ポンプ等）に配管を介して接続されている。移動筒３４ｂは、その内部に固定筒３４ａが挿入され、固定筒３４ａに対して、図中、左右方向にスライド移動可能に設けられている。この移動筒３４ｂと固定筒３４ａによって、バキュームシリンダが構成されている。移動筒３４ｂの先端には、連結具３３ａの端部が固定されている。
【００２５】
付勢部材３４ｃは、移動筒３４ｂ内における固定筒３４ａとの間に設けられ、移動筒３４ｂを奥側に付勢している。付勢部材３４ｃとしては、例えば、圧縮コイルばねとすることが考えられるが、これには限定されない。なお、付勢部材３４ｃに後方に付勢された移動筒３４ｂは、これに従って移動するヘッド３３ｂが基板Ｓに接しない場合でも、アーム２１上に設けられたストッパ（図示せず）等によって、所定の移動端で停止するように構成されている。
【００２６】
さらに、アーム２１には、センサ１３が設けられている（図３参照）。このセンサ１３は、移動筒３４ｂに従って移動するヘッド３３ｂが、当接部３１とで基板Ｓを正常に保持したときの位置を超えたか否かを検出する手段であり、基板Ｓの支持位置のずれに基づく異常を検出する検出部を構成する。かかる機能を有するものであれば、センサ１３の種類や設置位置は自由である。例えば、センサ１３として、移動筒３４ｂ、連結具３３ａ若しくはヘッド３３ｂに対して、機械的な接触により検出するもの、レーザや赤外線等の非接触により検出するもの等が考えられるが、周知の技術であるため説明を省略する。なお、センサ１３は、アーム２１上に設けられた既述のストッパ（図示せず）にヘッド３３ｂが接したことを感知するものであってもよい。
【００２７】
アーム２１及びヘッド３３ｂは、図３に示すように、その駆動機構２１ａ、減圧手段３４ｄ等が制御装置１００によって制御されることにより、所定の動作を行う。この制御装置１００は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって、以下のような機能を実現することにより構成されている。
【００２８】
すなわち、制御装置１００は、ヘッド制御部１１０、アーム制御部１２０、判定部１３０、回復動作指示部１４０、記憶部１５０等を有している。ヘッド制御部１１０は、減圧手段３４ｄを制御することにより、ヘッド３３ｂを前進及び後退させる手段である。
【００２９】
アーム制御部１２０は、駆動機構２１ａを制御することにより、アーム２１を移動させる手段である。このアーム制御部１２０は、アーム２１を所望の基板Ｓの高さに位置決めさせる昇降指示部１２１、アーム２１を前進及び後退させる挿排指示部１２２を有している。
【００３０】
判定部１３０は、センサ１３からの信号に基づいて、基板Ｓの配置異常を判定する手段である。回復動作指示部１４０は、判定部１３０の判定に基づく割り込みにより、異常時の回復動作を、アーム制御部１２０に指示する手段である。この回復動作は、基板Ｓの正常位置からヘッド３３ｂの停止位置までの距離だけ、アーム２１を後退させた後に、一旦、アーム２１を下降させ、再び正常動作に復帰させるものである。つまり、回復動作指示部１４０は、異常時に基板Ｓの位置を修正するための移動部（アーム２１）の移動距離を決定する決定部として作動する。
【００３１】
記憶部１５０は、各種のデータ、設定等の情報を記憶する手段である。記憶部１５０に記憶される情報としては、例えば、正常動作及び回復動作時のアーム２１及びヘッド３３ｂの動作量及び動作タイミング、基板Ｓの正常位置（例えば、正常時のヘッド３３の停止位置）等が考えられるが、これには限定されない。これらの情報は、あらかじめ記憶部１５０に設定しておくことも、下記の入力装置を用いて、入力することもできる。
【００３２】
なお、作業者が、制御装置１００を操作するためのスイッチ、タッチパネル、キーボード、マウス等の入力装置、制御装置１００の状態を確認するためのディスプレイ、ランプ、メータ等の出力装置については、説明を省略する。
【００３３】
［作用］
上記のような構成を有する本実施形態の動作を、図４のフローチャート、図５及び図６の工程図を参照して説明する。なお、以下に説明する手順で基板を搬送する方法及び搬送装置を動作させるコンピュータプログラムも、本発明の一態様である。
【００３４】
［正常時の動作］
まず、基板Ｓが収納部１に正常に収納されている場合の取り出し動作を、図４及び図５に従って説明する。すなわち、取り出し動作開始時には、ヘッド制御部１１０が、減圧手段３４ｄを作動させることにより、付勢部材３４ｃに抗して移動筒３４ｂを移動させ、ヘッド３３ｂを後退させておく（ステップ４０１）。
【００３５】
次に、あらかじめ記憶部１５０に記憶された設定若しくは入力装置からの入力に従って、昇降指示部１２１が、駆動機構２１ａの作動を指示することにより、収納部１における目標の基板Ｓの下部に対応する高さに、アーム２１を位置決めさせる（ステップ４０２、図５（Ａ））。
【００３６】
そして、挿排指示部１２２が、駆動機構２１ａの作動を指示することにより、目標の基板Ｓの下部に、アーム２１を挿入する（ステップ４０３、図５（Ｂ））。これにより、保持部３が基板Ｓの下部に来る。この状態で、昇降指示部１２１が、駆動機構２１ａの作動を指示することにより、アーム２１を上昇させる（ステップ４０４、図５（Ｃ））。
【００３７】
すると、アーム２１によって、基板Ｓが持ち上げられるので、横支持部１１から離れる（図５（Ｄ））。なお、図５（Ｄ）〜（Ｇ）における矩形の点線は、横支持部１１に正常に支持されていた場合の基板Ｓを示す。
【００３８】
次に、ヘッド制御部１１０が、減圧手段３４ｄを停止させると、付勢部材３４ｃの付勢力によって移動筒３４ｂが移動して、ヘッド３３ｂが前進する（ステップ４０５）。これにより、ヘッド３３ｂが基板Ｓに当接する（図５（Ｅ））。そして、ヘッド３３ｂによって、基板Ｓが奥側へ付勢されて移動し、ヘッド３３ｂと当接部３１との間に基板Ｓが保持される（図５（Ｆ））。この時、基板Ｓが正常な位置にあれば、ヘッド３３ｂがそれ以上前進することはなく、センサ１３による異常の検知もない（ステップ４０６）。
【００３９】
その後、挿排指示部１２２が、駆動機構２１ａの作動を指示することにより、アーム２１を後退させ、収納部１からアーム２１を引き出す（ステップ４０９、図５（Ｇ））。これにより、アーム２１に載置された基板Ｓが、収納部１から搬出される。
【００４０】
［異常時の動作］
以上のような正常時の動作に対して、目標とする基板Ｓに「奥掛り」が発生していた場合の動作を、図４及び図６に従って説明する。まず、図６（Ａ）〜（Ｄ）（ステップ４０１〜４０４）までの動作は、図５（Ａ）〜（Ｄ）までの動作と同様である。なお、図６（Ｄ）〜（Ｈ）における矩形の点線は、横支持部１１に正常に支持されていた場合の基板Ｓを示す。
【００４１】
その後、ヘッド制御部１１０が、減圧手段３４ｄを停止させ、付勢部材３４ｃの付勢力によってヘッド３３ｂが前進すると（ステップ４０５）、ヘッド３３ｂが基板Ｓに当接する（図６（Ｅ））。このとき、基板Ｓに「奥掛り」が発生しているため、ヘッド３３ｂの基板Ｓへの当接位置が、正常時の位置よりもオーバーして、ストッパにより停止する（図６（Ｆ））。このようなヘッド３３ｂの動作が、センサ１３によって検知されると、判定部１３０によって、基板Ｓの位置に異常が発生したことが判定される（ステップ４０６）。
【００４２】
すると、回復動作指示部１４０が、アーム制御部１２０に対して回復動作を指示する。これにより、アーム制御部１２０における挿排指示部１２２が、駆動機構２１ａの作動を指示するので、アーム２１は、ヘッド３３ｂの正常位置からのずれ量（図中の距離ｂ）と同じだけ（図中の距離ｂ’）、後退する（ステップ４０７、図６（Ｇ））。
【００４３】
続いて、昇降指示部１２１が、駆動機構２１ａの作動を指示することにより、アーム２１が下降して、基板Ｓから離れる（ステップ４０８、図６（Ｈ））。なお、基板Ｓが比較的厚い場合には、傾きの角度によっては、図６（Ｇ）の段階で、アーム２１がさらに後退しないと、基板Ｓを正常位置に戻せない可能性がある。その場合には、図６（Ｈ）の段階で、アーム２１が「基板Ｓの厚みと傾きが成す距離分（図中ｈで示す）」後退した位置から下降を始める必要がある。但し、実際に想定される２ｍｍ程度の基板Ｓの厚みであれば、このようなステップを取らなくても、問題はない。
【００４４】
これにより、基板Ｓが自重で横支持部１１に降りるので、基板Ｓは正常な位置に支持される（図６（Ｉ））。さらに、ヘッド３３ｂを後退させて（ステップ４０９）、ステップ４０１と同位置に位置付け、そして、アーム２１を前進させた後（ステップ４１０）、上記のステップ４０４〜４０５の処理（図６（Ｃ）〜（Ｅ））を再び行い、まだ異常がある場合には、上記の回復動作を行う（ステップ４０７〜４１０、図６（Ｆ）〜（Ｉ））。異常がなくなった場合には（ステップ４０６）、挿排指示部１２２が、駆動機構２１ａの作動を指示することにより、アーム２１を後退させ、収納部１からアーム２１を引き出す（ステップ４１１）。これにより、アーム２１に載置された基板Ｓが、収納部１から搬出される。
【００４５】
［効果］
以上のような本実施形態によれば、基板Ｓの収納時に、奥掛り現象が発生しても、これを検知して、アーム２１によって自動的に回復動作を行うことができるので、その後、基板Ｓの取り出しに失敗することが防止される。
【００４６】
また、ヘッド３３ｂが、正常時の位置よりもオーバーしたことを検出することにより、回復動作が行われるので、既存の基板搬送装置に対して、特別に複雑な機構を追加する必要がなく、安価に構成できる。
【００４７】
［他の実施形態］
本発明は、上記のような実施形態に限定されるものではない。例えば、収納部、横支持部、奥支持部、ヘッド、アーム等は、上記と同様の機能を発揮できるものであれば、その大きさ、形状、数等は自由である。収納部の基板の収納枚数も、特定の数には限定されない。
【００４８】
また、上記の実施形態では、アームを駆動する駆動機構は、回復動作の際、アームを後退させて基板の水平位置を戻してから、下降させることにより基板から離れていた。このようなアームによる基板の戻しと基板からの離れを、例えば、駆動機構によって、アームを斜め方向（手前側）に下降させることにより、一つの動作で実現してもよい。
【００４９】
また、可動部を駆動する駆動部は、上記のバキュームシリンダと付勢部材によるものには限定されない。ヘッドを基板に接離させることができる構造であれば、他のシリンダによるもの、ラックとピニオンによるモータ駆動によるもの等、周知のあらゆる技術を適用可能である。さらに、上記の実施形態においては、付勢部材がヘッドを基板側に付勢していたが、付勢部材がヘッドを基板から離れる方向に付勢していて、搬送開始時に、これに抗する方向に駆動する構成としてもよい。
【００５０】
また、上記の実施形態では、正常時のヘッドの停止位置と、異常時のストッパによるヘッドの停止位置との間の距離だけ、アームを後退させることにより、基板の位置を修正していた。しかし、ヘッドが、異常時の基板に当接した場合に停止するようにして、その停止位置を、センサにより検出するように構成してもよい。この場合、制御装置に、異常時の停止位置と正常時の停止位置（例えば、上述のようにあらかじめ記憶部１５０に記憶されている）との距離を、アームの移動距離として算出する決定部を設け、アーム制御部１２０が、決定部により決定された距離だけ、アームを戻す制御を行うことにより、正確な位置の修正を行ってもよい。
【００５１】
また、上記の実施形態で、回復動作を所定の回数繰り返した場合に、処理を終了するようにして、無用な繰り返しを防ぐことも可能である。例えば、制御装置に、判定部が異常ありと判定した場合に、その数をカウントするカウント部と、カウント部によるカウント数が、あらかじめ記憶部に記憶された所定の回数になった場合（若しくは所定の回数を超えた場合）に、処理を終了させる終了指示部を設けることが考えられる。また、基板のずれに基づく異常が検出された場合に、制御装置に接続された表示装置、ランプ等の出力部から、エラー等、基板がずれていることをオペレータ等に知らせる旨を出力する構成とすることも可能である。
【００５２】
なお、何らかの理由により特定の段に基板が存在せず、取り出しを行えない場合もある。その場合、上記のような構成で、回復動作を所定回数繰り返すことにより、処理を終了させることもできる。但し、基板の有無を検出するセンサ（第２の検出部）を設け、このセンサが、基板が無いことを検出した場合に、制御装置が、回復動作を省略するように構成してもよい。これにより、無駄な動作を省略して、基板の取り出し作業の高速化を図ることができる。
【００５３】
そして、このように回復動作を省略した後、次の処理に移行するように構成してもよい。次の処理としては、例えば、制御装置に接続された表示装置、ランプ等の出力部から、エラー等、基板が無いことをオペレータ等に知らせる旨を出力することや、制御装置が、上若しくは下の段の基板（他の基板）の取り出し動作を行うように駆動機構を制御することなどが考えられる。これにより、オペレータ等による素早い対処、他の基板の搬出動作への素早い移行等が可能となる。
【００５４】
基板の有無を検出するセンサの種類は、基板の有無を検出できるものであればよい。例えば、上記のセンサ１３と同様に、機械的な接触により検出するもの、レーザや赤外線等の非接触により検出するもの等が考えられるが、これには限定されない。センサの設置位置も自由である。例えば、ヘッド３３ｂにセンサを設けて何も接触せずに停止した場合に基板が無いと判断する、アーム２１にセンサを設けて光学的に基板の存在が検出できない場合に基板が無いと判断する等が考えられるが、これには限定されない。さらに、上記のセンサ１３を基板の有無を検出するセンサと兼用させることもできる。
【００５５】
基板についても、その大きさ、形状、材質等は自由であり、将来において採用されるあらゆるものに適用可能である。従って、半導体ウェーハばかりでなく、記録媒体用のディスク基板、液晶や有機ＥＬ用の基板等、あらゆる基板に適用することができる。つまり、請求項に記載の「基板」は、円盤状等には限定されず、平面状の製品を広く含む概念である。
【符号の説明】
【００５６】
１…収納部
２…移動部
３…保持部
１０…筐体
１０ａ…開口
１１…横支持部
１２…奥支持部
１３…センサ
２１…アーム
３１…当接部
３２…可動部
３３…押え部
３３ａ…連結具
３３ｂ…ヘッド
３４…駆動部
３４ａ…固定筒
３４ｂ…移動筒
３４ｃ…付勢部材
１００…制御装置
１１０…ヘッド制御部
１２０…アーム制御部
１２１…昇降指示部
１２２…挿排指示部
１３０…判定部
１４０…回復動作指示部
１５０…記憶部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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