(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状部材を挟み込んでシールするゲートバルブのシール構造であって、
押付け面を有する押付け部材と、
前記押付け面に対向する受け面を有する受け部材と、
前記受け面に一端を開口したゲートと、
前記受け面と押付け面との間に介在し、前記ゲートの開口端周囲の隙間をシールする環状の第一シール材と、
前記押付け面を受け面に押し付けた状態で見て前記第一シール材に隣接する第二シール材と、
前記押付け面を前記受け面に押し付けた時に、その押付け面、受け面、前記第一及び第二シール材、並びに前記ゲートに通されたシート状部材によって囲まれる空間と、
前記空間に連通する差動排気通路と、を有し、
前記押付け面と受け面は、ゲートに通されたシート状部材の部材面と概平行な面、及びその部材面に対して傾斜した面を有し、かつ、それぞれの概平行な面どうしが対向し、それぞれの傾斜した面どうしが対向するようになっていて、
前記第一シール材は、押付け面又は受け面の傾斜した面に取り付けてあり、
前記第二シール材は、押付け面又は受け面の概平行な面に取り付けてあり、
前記差動排気通路は、
前記ゲートに通されたシート状部材の一方の部材面又は他方の部材面と対向する前記空間内の前記押し付け面又は前記受け面に形成した排気溝と、
前記排気溝に一端を開口した排気孔と、からなり、
前記空間は、前記差動排気通路を通じて排気されることにより、シート状部材周囲の微小隙間を差動排気でシールする差動排気シールの差圧室になること
を特徴とするゲートバルブのシール構造。
【請求項２】
前記傾斜した面は平面であること
を特徴とする請求項１に記載のゲートバルブのシール構造。
【請求項３】
前記第一シール材は受け面に取り付け、前記第二シール材はその第一シール材に隣接して同じ受け面に取り付けてあること
を特徴とする請求項１に記載のゲートバルブのシール構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子ペーパ、有機ＥＬ、薄膜太陽電池、液晶表示装置のカラーフィルタ等のベース基材、その他のシート状部材を挟み込んでシールするゲートバルブのシール構造に関し、特にコンパクトな機器構成でゲートバルブのシール性能の向上を図れるようにしたものである。
【背景技術】
【０００２】
図１２は、前述したシート状部材を真空チャンバや密閉チャンバ（以下どちらも「チャンバ」という）内へ間欠的に移送し、同チャンバ内で停止したシート状部材の部材面にＰＶＤやＣＶＤ等の加工を施す例えば真空加工装置の概念図である。【０００３】
図１２の真空加工装置は、真空ポンプにより真空引きされるチャンバの出入口にゲートバルブを設置している。このゲートバルブは、シート状部材を挟み込んで該部材面をシールすることにより、チャンバ内とその外部とを仕切り、チャンバ内を真空に保てるようにしている。このような機能・構成を備えたゲートバルブについては、例えば特許文献１（同文献１の図２及び図３を参照）に開示されている。【０００４】
同文献１に開示のゲートバルブ（以下「従来のゲートバルブ」という）は、シート状部材を挿通させる弾性筒体（３５）と、弾性筒体（３５）を径方向に弾性変形させる上下のピストン（７１Ａ、７１Ｂ）とを備えている（同文献の図２及び図３を参照）。そして、このゲートバルブでは、上下のピストン（７１Ａ、７１Ｂ）で弾性筒体（３５）を内向きに撓ませ、撓んだ弾性筒体（３５）でシート状部材（１０）を挟み込み、挟み込んだシート状部材（１０）の部材両面を弾性筒体（３５）の内面でシールするようにしている。【０００５】
しかしながら、従来のゲートバルブでは、弾性筒体（３５）でシート状部材（１０）を挟み込んだ際、弾性筒体（３５）の上下に硬度差が無くシート状部材が変形することがあり、また、弾性筒体（３５）は上部ピストン（７１Ａ）と下部ピストン（７１Ｂ）にそれぞれ接続していなければならず、メンテナンス等で弾性筒体（３５）の交換が必要になった場合、交換には非常に手間を要する。また、弾性筒体（３５）でシート状部材（１０）を挟み込んだ際に弾性筒体（３５）とシート状部材（１０）の両端には必ず微小隙間が出来、チャンバ両脇のゲートバルブ２台でチャンバ内部を高真空にすることは難しい。【０００６】
チャンバ内の高真空を維持する手段として、チャンバに備えたゲートバルブとは別に差動排気チャンバとゲートバルブ及び真空ポンプを追加し、差動排気することも考えられるが、その追加により装置機器構成が大掛かりになってしまうという欠点がある。【０００７】
尚、前記カッコ内の符号は特許文献１で用いられている符号である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００９−３０７５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、前記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、コンパクトな機器構成でシール性及びメンテナンス性の良いゲートバルブを得るのに好適なゲートバルブのシール構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するために、本発明は、シート状部材を挟み込んでシールするゲートバルブのシール構造であって、押付け面を有する押付け部材と、前記押付け面に対向する受け面を有する受け部材と、前記受け面に一端を開口したゲートと、前記受け面と押付け面との間に介在し、ゲートの開口端周囲の隙間をシールする環状の第一シール材と、前記押付け面を受け面に押し付けた状態で見て前記第一シール材に隣接する第二シール材と、前記押付け面を前記受け面に押し付けた時に、その押付け面、受け面、前記第一及び第二シール材、並びに前記ゲートに通されたシート状部材によって囲まれる空間と、前記空間に連通する差動排気通路と、を有し、前記空間は、前記差動排気通路を通じて排気されることにより、シート状部材周囲の微小隙間を差動排気でシールする差動排気シールの差圧室になることを特徴とする。【００１１】
本発明において、第一シール材は押付け面に取り付け、第二シール材はその第一シール材に隣接して同じ押付け面に取り付ける構成、又は、第一シール材は受け面に取り付け、第二シール材はその第一シール材に隣接して同じ受け面に取り付ける構成を採用することができる。【００１２】
本発明において、第一シール材は押付け面に取り付け、第二シール材は受け面に取り付けてあり、押付け面を受け面に押し付けた段階で受け面の第二シール材が押付け面の第一シール材に隣接して配置される構成、又は、第一シール材は受け面に取り付け、第二シール材は押付け面に取り付けてあり、押付け面を受け面に押し付けた段階で押付け面の第二シール材が受け面の第一シール材に隣接して配置される構成を採用することもできる。【００１３】
本発明において、押付け面と受け面は、ゲートに通されたシート状部材の部材面と概平行な面、及びその部材面に対して傾斜した面を有し、かつ、それぞれの概平行な面どうしが対向し、それぞれの傾斜した面どうしが対向するようになっていて、第一シール材は、押付け面又は受け面の傾斜した面に取り付け、第二シール材は、押付け面又は受け面の概平行な面に取り付ける構成を採用してもよい。【００１４】
本発明において、前記傾斜した面は平面とすることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明にあっては、前記構成の採用により、以下の作用効果が得られる。【００１６】
（１）第一シール材によりゲートの開口端周囲の隙間をシールすると同時に、ゲートに通されたシート状部材周囲の微小隙間を差動排気によってシールするので、ゲートバルブとは別に差動排気装置を設ける必要がなく、コンパクトな機器構成でシール性能の良いゲートバルブを得ることができる。【００１７】
（２）また、押付け面又は受け面の傾斜した面に第一シール材が取り付けられる構成において、その傾斜した面を平面とする構成によると、第一シール材として安価な市販のＯリングを使用できること、及び、そのような平面に第一シール材を取り付ける手段としてアリ溝のようなシール溝を利用するなら、シール溝は平面に加工すればよいので、簡単かつ安価にシール溝を形成できること等から、ゲートバルブ全体のコストダウンを図れる。【００１８】
（３）さらに、押付け面又は受け面の傾斜した面に第一シール材が取り付けられる構成において、その傾斜した面を平面とする構成によると、第一シール材は平面に配置されるので、第一シール材を取り外して点検したり交換したりする等のメンテナンス作業がし易く、ゲートバルブのメンテナンス性の向上も図れる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明を適用したゲートバルブ（開状態）の断面図。
【図２】図１のゲートバルブが閉の状態であるときの断面図。
【図３】図１のゲートバルブにおいて、差動排気シールの差圧室となる空間、及び受け面の概平行な平面と傾斜した平面との境界部の説明図。
【図４】図１のゲートバルブを構成する押付け部材の平面図。
【図５】図１のゲートバルブを構成する受け部材の平面図。
【図６】図１のゲートバルブを構成する第一及び第二シール材、差動排気通路、シート状部材の位置関係の説明図。
【図７】図３のＡ−Ａ矢視断面拡大図。
【図８】第二シール材の他の実施形態の説明図。
【図９】本発明の他の実施形態の説明図。
【図１０】本発明の他の実施形態の説明図。
【図１１】本発明の他の実施形態の説明図。
【図１２】ゲートバルブ付き真空チャンバを有する真空加工装置の概念図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２１】
図１は本発明を適用したゲートバルブ（開状態）の断面図、図２は図１のゲートバルブが閉の状態であるときの断面図、図３は図１のゲートバルブにおいて、差動排気シールの差圧室となる空間、及び受け面の概平行な平面と傾斜した平面との境界部の説明図、図４は図１のゲートバルブを構成する押付け部材の平面図、図５は図１のゲートバルブを構成する受け部材の平面図、図６は図１のゲートバルブを構成する第一及び第二シール材と差動排気通路とシート状部材の位置関係の説明図である。
【００２２】
＜図１のゲートバルブＧＶの概要＞
図１の本ゲートバルブＧＶは、シート状部材Ｗを挟み込んでシールするゲートバルブであって、押付け面１を有する押付け部材２と、押付け面１に対向する受け面３を有する受け部材４と、受け面３に一端を開口したゲート５と、押付け面１と受け面３との間に介在し、ゲート５の開口端周囲の隙間をシールする環状の第一シール材６と、押付け面１を受け面３に押し付けた状態（図２参照）で見て第一シール材６に隣接する第二シール材７と、押付け面１を受け面３に押し付けた時に、その押付け面１、受け面３、第一及び第二シール材６、７、並びにゲート５に通されたシート状部材Ｗによって囲まれる空間８（図２及び図３参照）と、この空間８に連通する差動排気通路９と、を有している。そして、前記空間８は、差動排気通路９を通じて排気されることにより、シート状部材Ｗ周囲の微小隙間Ｇ（図７参照）を差動排気でシールする差動排気シールの差圧室になる。
【００２３】
＜押付け部材２、受け部材４の詳細＞
押付け部材２の押付け面１と受け部材４の受け面３は、いずれも、図１のように、シート状部材Ｗの部材面Ｗ１又はＷ２と概平行な平面１Ａ、３Ａ、及びそのシート状部材Ｗの部材面Ｗ１又はＷ２に対して傾斜した平面１Ｂ、３Ｂを有し、かつ、それぞれの概平行な平面１Ａ、３Ａどうしが互いに対向し、それぞれの傾斜した平面１Ｂ、３Ｂどうしが互いに対向するようになっている。
【００２４】
図３に示したように、受け面３の概平行な平面３Ａと傾斜した平面３Ｂとの境界部３Ｃには第一シール材６の一部の先端が当接する。このため、境界部３Ｃが角面になっていると第一シール材６が破損し易いので、本ゲートバルブＧＶでは、かかる境界部３Ｃを第一シール材６先端の曲面より大きい曲率半径の曲面になるように形成している。尚、かかる境界部３Ｃは第一シール材６先端の曲面と同等の曲率半径の曲面となるように形成してもよい。
【００２５】
押付け面１の傾斜した平面１Ｂには、第一シール材６の取付け手段の一例として、アリ溝からなるシール溝１０（図３参照）を環状に形成してある。このような環状のシール溝１０の形成加工は平面１Ｂに対して行われるので容易かつ安価であり、ゲートバルブＧＶ全体のコストダウンに大きく寄与する。また、押付け面１の概平行な平面１Ａには、第二シール材７の取付け手段の一例として、アリ溝からなるシール溝１１を形成してある。このシール溝１１の形成加工も平面１Ａに対して行われるので容易かつ安価である。
【００２６】
押付け部材２は昇降軸１２の先端に取り付けられており、昇降軸１２の上昇動作によって、押付け部材２の押付け面１は受け部材４の受け面３に押し付けられる。また、その昇降軸１２の下降動作によって、押付け部材２の押付け面１は受け部材４の受け面３から離れるようになっている。
【００２７】
＜ゲート５の詳細＞
ゲート５は、受け部材４の後面から受け面３の傾斜した平面３Ｂに向かって水平に穿設した孔からなり、低圧室（例えば高真空室）と高圧室（例えば大気圧室）等のように圧力差のある二つの室を結ぶ通路として機能する。一方の室に位置するシート状部材Ｗは、このゲート５を通過することにより他方の室へ進むことができる。他方の室から一方の室へ進む場合も同様である。また、受け面３に開口しているゲート５の一端は、受け面３の概平行な平面３Ａに対して段差無くフラットに連続するように形成してある。
【００２８】
本ゲートバルブＧＶでは、図１のように、受け面３に開口しているゲート５の一端側が高真空室に連通し、同ゲート５の他端側が大気圧室に連通することにより、高真空室と大気圧室とがゲート５を通じて結ばれる構成、及び、大気圧室からゲート５を通じて高真空室へシート状部材Ｗが移送される構成を採用しているが、これらの構成に限定されることはない。例えばゲート５の一端側が高真空室に連通し、同ゲート５の他端側が大気圧室に連通する構成も採用できる。
【００２９】
＜第一シール材６の詳細＞
第一シール材６は、先端が曲面になっている市販のＯリング（図４参照）からなり、先に説明したシール溝１０に嵌め込むことで、押付け面１の傾斜した平面１Ｂに取り付けてある。これにより、第一シール材６はゲート５に通されたシート状部材Ｗの部材面Ｗ１又はＷ２に対して傾斜するように設けている。そして、本ゲートバルブＧＶでは、図２のように押付け面１を受け面３に押し付けた時、そのように傾斜している第一シール材６の上部がシート状部材Ｗの一方の部材面Ｗ１に当接するように構成してある。なお、前記シール溝１０にシール材を塗布する方法で第一シール材６を成形することもできる。
【００３０】
尚、市販のＯリング以外のシール材でも、環状のシール材であるなら、第一シール材６として採用することができる。
【００３１】
＜第二シール材７の詳細＞
第二シール材７は、ゴム等のような弾性部材からなり、先に説明したシール溝１１に嵌め込むことで、第一シール材６に隣接して同じ押付け面１の概平行な平面１Ａに取り付けてある。これにより、第二シール材７はシート状部材Ｗの部材面Ｗ１又はＷ２に対して概平行になるように設けている。そして、本ゲートバルブＧＶでは、図２のように押付け面１を受け面３に押し付けた時、そのように概平行になっている第二シール材７もシート状部材Ｗの一方の部材面Ｗ１に当接するように構成してある。なお、前記シール溝１１にシール材を塗布する方法で第二シール材７を成形することもできる。
【００３２】
また、第二シール材７は、図６のようにゲート５に通されたシート状部材Ｗの幅方向両側から十分はみ出すように形成してある。さらに、この第二シール材７は、図４のように両端７Ａ、７Ｂが屈曲して第一シール材６の側面に連結されることにより、第一シール材６との間で細長の間隙（以下「シール材間隙１３」という）を形成するようになっている。
【００３３】
本ゲートバルブＧＶでは、ゲート５にシート状部材Ｗを通して、押付け面１を受け面３に押し付けた時、前記シール材間隙１３の上面が受け面３とシート状部材Ｗの部材面とで閉じられることにより、前記空間８（図３参照）、すなわち押付け面１、受け面３、第一及び第二シール材６、７、並びにゲート５に通されたシート状部材Ｗによって囲まれる空間８が形成されるように構成してある。
【００３４】
＜差動排気通路の詳細＞
差動排気通路９は、図１、図５に示したように、受け部材４に形成した排気溝９Ａと排気孔９Ｂにより構成されている。
【００３５】
排気溝９Ａは、受け面３の概平行な平面３Ａに形成され、かつ、図６のようにゲート５に通されたシート状部材Ｗの幅方向両側から十分はみ出す長さを有している。また、この排気溝９Ａは、先に説明したシール材間隙１３と対向するように設けられていて、押付け面１を受け面３に押し付けた時に、図６のようにシール材隙間１３に連通するようになっている。
【００３６】
排気孔９Ｂの一端は排気溝９Ａに開口し、同排気孔９Ｂの他端は図示しない排気ポンプに接続してある。また、図１のゲートバルブＧＶでは、前記のような排気溝９Ａのはみ出し部分に排気孔９Ｂの一端を開口しているが（図６参照）、この開口位置に限定されることはない。排気孔９Ｂの一端は排気溝９Ａのいずれかの位置に開口することで排気溝９Ａに繋がっていればよい。
【００３７】
＜ゲートバルブＧＶの動作説明＞
次に、上記の如く構成された図１のゲートバルブＧＶの動作について説明する。
【００３８】
図１に示すゲートバルブＧＶのゲート５は開放されている。この開放されているゲート５を閉鎖する場合は、図示しないバルブ動作スイッチをＯＮにする。そうすると、昇降軸１２の上昇動作により押付け部材２が受け部材４に接近し、図２のように押付け面１が受け面３に所定の圧力で押し付けられる。
【００３９】
これにより、押付け面１がゲート５の開口端を塞ぎ、当該ゲート５は閉鎖される。このとき、ゲート５に通されたシート状部材Ｗの部材面Ｗ１又はＷ２に対して傾斜している第一シール材６の上部、及び、同部材面Ｗ１又はＷ２に対して概平行になっている第二シール材７が、図３のようにシート状部材Ｗの一方の部材面Ｗ１に当接することで、該部材面Ｗ１付近の隙間が２重にシールされる。また、第一シール材６によってゲート５の開口端周囲の隙間がシールされる。
【００４０】
ところで、図７に示したように、シート状部材Ｗには所定の厚さｔがあるため、シート状部材Ｗの幅方向両側に第一シール材６や第二シール材７ではシールできない微小隙間Ｇが生じることは避けられない。
【００４１】
しかしながら、本ゲートバルブＧＶでは、前記のようなシート状部材Ｗ両側の微小隙間Ｇは後述の差動排気によりシールされるため、微小隙間Ｇを通り抜ける気体のリーク量は大幅に低減される。
【００４２】
また、シート状部材Ｗの他方の部材面Ｗ２とこれに直接当接している受け面３との間に生じる隙間も、後述の差動排気によりシールされるため、その隙間を通り抜ける気体のリーク量も大幅に低減される。
【００４３】
＜差動排気によるシール＞
図２のようにゲート５にシート状部材Ｗを通した状態で押付け面１を受け面３に押し付けると、押付け面１と受け面３と第一及び第二シール材６、７とシート状部材Ｗとにより囲まれる図３の空間８ができ、この空間８に差動排気通路９が連通し、図示しない排気ポンプが作動する。
【００４４】
そうすると、前記空間８は差動排気通路９を通じて排気されることにより、ゲート５の開口端付近の圧力（大気圧室の圧力と略同じ）よりも低圧になる。
【００４５】
従って、図６のようにゲート５の開口端からシート状部材Ｗ両側の微小隙間Ｇ（図７参照）を通り抜けて高真空室側へリークしようとする気体ＧＡＳ１や、シート状部材Ｗの他方の部材面Ｗ２とこれに直接当接している受け面３との間の隙間（シート状部材Ｗの部材面Ｗ２付近の隙間）を抜けて高真空室側へリークしようとする気体ＧＡＳ２は、いずれも排気により減圧され低圧になっている前記空間８に流れ込み、差動排気通路９を通じて外部に差動排気される。
【００４６】
以上説明したように、図１のゲートバルブＧＶによると、第一シール材６によりゲート５の開口端周囲の隙間をシールすると同時に、ゲート５に通されたシート状部材Ｗ周囲の微小隙間（具体的には、シート状部材Ｗの幅方向両側の微小隙間Ｇや、シート状部材Ｗの他方の部材面Ｗ２とこれに直接当接している受け面３との間の隙間）を差動排気によってシールするため、ゲートバルブＧＶとは別に差動排気装置を設ける必要がなく、コンパクトな機器構成でシール性能の向上が図られている。
【００４７】
また、図１のゲートバルブＧＶにあっては、平面１Ｂに環状の第一シール材６が取り付けられる構成の採用により、第一シール材６として安価な市販のＯリングを使用することができたこと、及び、平面１Ｂに第一シール材６を取り付ける手段としてアリ溝のようなシール溝１０を利用する場合に、シール溝１０は平面１Ｂに加工すればよいので、簡単かつ安価にシール溝１０を形成できること等から、ゲートバルブＧＶ全体のコストダウンが図られている。
【００４８】
さらに、図１のゲートバルブＧＶにあっては、平面１Ｂに第一シール材６が取り付けられる構成の採用により、第一シール材６は平面１Ｂに配置されるので、第一シール材６を取り外して点検したり交換したりする等のメンテナンス作業がし易く、メンテナンス性の向上も図られている
【００４９】
＜他の実施形態＞
図８は第二シール材７の他の実施形態を示したものである。同図の第二シール材７は第一シール材６より少し大径の市販のＯリングを第一シール材６の外側に配置した構造になっている。この構造の第二シール材７でも図３の空間８と同様の空間を形成することができ、かかる空間が差動排気通路９によって排気されることにより差動排気シールの差圧室として機能するので、図１のゲートバルブＧＶと同様にコンパクトな機器構成でシール性能が向上する。尚、図示は省略するが、第一シール材６より少し小径の市販のＯリングを第三シール材として第一シール材６の内側に配置する構成でも、図３の空間８と同様の空間を形成することができる。
【００５０】
図１のゲートバルブＧＶでは、第一シール材６を押付け面１に取り付け、第二シール材７をその第一シール材６に隣接して同じ押付け面１に取り付けているが、図９のゲートバルブＧＶのように、第一シール材６を受け面３に取り付け、第二シール材７をその第一シール材６に隣接して同じ受け面３に取り付けるように構成してもよい。このような構成でも、ゲート５にシート状部材Ｗを通し、押付け面１を受け面３に押し付けた時に、図３の空間８と同様の空間８が形成され、かかる空間８が差動排気通路９を通じて排気されることにより差動排気シールの差圧室として機能するので、図１のゲートバルブＧＶと同様にコンパクトな機器構成でシール性能が向上する。
【００５１】
図１０のゲートバルブＧＶのように、第一シール材６は押付け面１に取り付け、第二シール材７は受け面３に取り付けてあって、かつ、押付け面１を受け面３に押し付けた段階で初めて、受け面３の第二シール材７が押付け面１の第一シール材６に隣接して配置されるように構成してもよい。また、上記のように押し付けた段階で、第二シール材６の両端７Ａ、７Ｂ（図４参照）が第一シール材６を跨ぐ構成を採用するか、図示は省略するが第二シール材７そのものを環状に形成することで、ゲート５にシート状部材Ｗを通し、押付け面１を受け面３に押し付けた時に、図３の空間８と同様の空間８が形成され、かかる空間８が差動排気通路９を通じて排気されることにより差動排気シールの差圧室として機能するので、図１のゲートバルブＧＶと同様にコンパクトな機器構成でシール性能が向上する。
【００５２】
また、図１１のゲートバルブＧＶのように、第一シール材６は受け面３に取り付け、第二シール材７は押付け面１に取り付けてあって、かつ、押付け面１を受け面３に押し付けた段階で初めて、押付け面１の第二シール材７が受け面３の第一シール材６に隣接して配置されるように構成してもよい。この場合も、上記のように押し付けた段階で、第二シール材６の両端７Ａ、７Ｂ（図４参照）が第一シール材６を跨ぐ構成を採用するか、図示は省略するが第二シール材７そのものを環状に形成することで、ゲート５にシート状部材Ｗを通し、押付け面１を受け面３に押し付けた時に、図３の空間８と同様の空間８が形成され、かかる空間８が差動排気通路９を通じて排気されることにより差動排気シールの差圧室として機能するので、図１のゲートバルブＧＶと同様にコンパクトな機器構成でシール性能が向上する。
【００５３】
図１、図９から図１１のゲートバルブＧＶでは、排気溝９Ａと排気孔９Ｂからなる差動排気通路９を受け部材４に形成しているが、この差動排気通路９は押付け部材２に形成してもよく、また、受け部材４と押付け部材２の双方に差動排気通路９を設ける構成も採用し得る。図１〜３、図９〜１１では押付け部材２がシート状部材Ｗの下に配置してあるが、受け部材４と押付け部材２を上下反転させても良い。
【００５４】
また、以上説明した実施形態において、押付け面１の概平行な平面１Ａや傾斜した平面１Ｂ、及び、受け面３の概平行な平面３Ａや傾斜した平面３Ｂは、曲面であってもよい。
【符号の説明】
【００５５】
１  押付け面
１Ａ  押付け面の概平行な平面
１Ｂ  押付け面の傾斜した平面
２  押付け部材
３  受け面
３Ａ  受け面の概平行な平面
３Ｂ  受け面の傾斜した平面
３Ｃ  境界部
４  受け部材
５  ゲート
６  第一シール材
７  第二シール材
８  空間（差圧室）
９  差動排気通路
１０、１１  シール溝
１２  昇降軸
１３  シール材間隙
ＧＶ  ゲートバルブ
Ｇ  シート状部材の幅方向両側の微小隙間
Ｗ  シート状部材
Ｗ１  シート状部材の一方の部材面
Ｗ２  シート状部材の他方の部材面
【図１】
0005514893.tif 000002
【図２】
0005514893.tif 000003
【図３】
0005514893.tif 000004
【図４】
0005514893.tif 000005
【図５】
0005514893.tif 000006
【図６】
0005514893.tif 000007
【図７】
0005514893.tif 000008
【図８】
0005514893.tif 000009
【図９】
0005514893.tif 000010
【図１０】
0005514893.tif 000011
【図１１】
0005514893.tif 000012
【図１２】
0005514893.tif 000013