(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を一時的に貯留する第１貯留室及び第２貯留室を備えたハウジングと、
第１貯留室と一方向弁を介して連通連結して第１貯留室に流体を送給する第１送給管と、
第２貯留室と一方向弁を介して連通連結して第２貯留室に流体を送給する第２送給管と、
第１貯留室と一方向弁を介して連通連結して第１貯留室から押し出された流体を下流側に送出する第１送出管と、
第２貯留室と一方向弁を介して連通連結して第２貯留室から押し出された流体を下流側に送出する第２送出管と、
第１貯留室と第２貯留室との間に配置して進退駆動させることにより、第１送給管から流体を第１貯留室に吸引するとともに第２貯留室から流体を第２送出管に押し出した後に、第２送給管から流体を第２貯留室に吸引するとともに第１貯留室から流体を第１送出管に押し出す振動板と、
この振動板を進退駆動させる駆動部と
を備えたポンプにおいて、
前記駆動部は、交流電流の通電によって変動磁場を生じさせる第１貯留室側の駆動用コイルと、第１貯留室側の駆動用コイルに対向して配されて交流電流の通電によって変動磁場を生じさせる第２貯留室側の駆動用コイルと、これらの駆動用コイルに交流電流を通電させる電源装置を有し、
第１貯留室側の駆動用コイル及び第２貯留室側の駆動用コイルのそれぞれには、両端部に磁極を生じさせるＵ字状のコアを設け、
前記振動板における第１貯留室側の側面には、第１貯留室側の駆動用コイルのコアの一方端と対向する領域をＮ極、このコアの他方端と対向する領域をＳ極とする第１磁石を配置し、
前記振動板における第２貯留室側の側面には、第２貯留室側の駆動用コイルのコアの一方端と対向する領域をＮ極、このコアの他方端と対向する領域をＳ極とする第２磁石を配置するとともに、
前記振動板における第１磁石と第２磁石との間に軟磁性体を配置したことを特徴とするポンプ。
【請求項２】
前記振動板が、
第１貯留室と第２貯留室とを仕切るシート体と、
このシート体の外周縁に沿ってリング状に設けたバルーンと、
前記シート体における第１貯留室側の側面に前記軟磁性体として装着した第１軟磁性体板と、
前記シート体における第２貯留室側の側面に前記軟磁性体として装着した第２軟磁性体板と、
第１軟磁性体板の表面に第１磁石として装着した第１磁石板と、
第２軟磁性体板の表面に第２磁石として装着した第２磁石板と
で構成された請求項１記載のポンプ。
【請求項３】
第１貯留室側の駆動用コイルの前記一方端と第２貯留室側の駆動用コイルの前記一方端とを対向させて、第１貯留室側の駆動用コイルの前記他方端と第２貯留室側の駆動用コイルの前記他方端とを対向させるとともに、
第１貯留室側の駆動用コイルのコアの極性と第２貯留室側の駆動用コイルのコアの極性とが逆となるように制御する請求項２記載のポンプ。
【請求項４】
第１貯留室側の駆動用コイル及び第２貯留室側の駆動用コイルが複数個ずつ設けられ、
前記振動板が円盤状とされ、
第１磁石板及び第２磁石板のそれぞれにおけるＮ極の磁性を有する領域とＳ極の磁性を有する領域とが、前記振動板の円周方向で交互に配置された請求項２又は３記載のポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、交流磁場との相互作用によって板状の振動板を進退駆動させるリニア駆動装置、及びこのリニア駆動装置を備えたポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体などの流体の送給手段としてダイアフラムポンプがよく用いられている。このようなダイアフラムポンプでは、ダイアフラムを弾性変形させることにより流体を送給しているが、ダイアフラムの変形量を大きくすることが困難であるために高い圧力で流体を送給することが比較的困難であり、しかも、ダイアフラムが弾性変形による疲労によって劣化しやすく、比較的短期間で交換の必要が生じることとなっていた。
【０００３】
そこで、ダイアフラムの代わりに剛性の高い平板を振動板として用い、この振動板の外周縁に沿ってリング状にバルーンを設けて、バルーンを弾性変形させながら振動板を振動させるポンプが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
このポンプでは、従来のダイアフラムポンプがダイアフラムを弾性変形させているのに対し、バルーンを弾性変形させているので、バルーン自体がもともと弾性変形しやすく、しかもバルーン自体の材質を調整することにより容易に長寿命化することができる。
【０００５】
しかも、バルーンを比較的大きく弾性変形させることができるので、振動板の移動量を大きくでき、流体の吐出量を大きくできるとともに、吐出圧を向上させることが可能であった。
【０００６】
このようなバルーン付き振動板を用いたポンプでは、振動板を効率よく進退駆動させるために、交流磁場を利用して振動板を進退駆動させるリニア駆動装置を用いている。
【０００７】
すなわち、リニア駆動装置では、振動板に磁石を装着し、この磁石に対向させて電磁石を設けて、電磁石で生じさせた交流磁場によって磁石との間に引力と斥力を交互に作用させて振動板を進退駆動させている。
【０００８】
特に、振動板には複数個の磁石を装着するとともに、各磁石に対してそれぞれ電磁石を対向させて設けることにより、各電磁石による制御によって振動板を進退方向に対して直交した状態に維持しながら進退駆動可能として、振動板を安定的に進退駆動させることも提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００７−１２０４９６号公報
【特許文献２】特開２００８−２４０６６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、リニア駆動装置のように磁石と電磁石を用いて駆動力を生じさせた場合には、磁石及び電磁石の磁力が駆動力の生成に全て利用されるのではなく、一定の割合で磁力が漏れることとなっていた。
【００１１】
したがって、磁力の漏れの分だけ効率が低下しているだけでなく、磁力が漏れていたとしても振動板を安定的に振動駆動させるために、磁石及び電磁石にはできるだけ磁力の大きいものを用いており、漏れた磁力の影響が無視できないものとなっていた。
【００１２】
特に、医療分野では、漏れた磁力の影響が他の医療機器に及ぶおそれがあることから、遮蔽手段を設ける必要が生じ、ポンプのコンパクト化が阻害されることとなっていた。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
そこで、本発明のリニア駆動装置では、交流電流の通電によって変動磁場を生じさせる駆動用コイルと、変動磁場との相互作用によって進退移動する振動体とを有するリニア駆動装置であって、駆動用コイルには、両端部に磁極を生じさせるＵ字状のコアを設け、振動体には、コアの一方端と対向する面をＮ極、コアの他方端と対向する面をＳ極として磁石を配置することとした。さらに、磁石には、コアと対向する面の反対側に軟磁性体を装着していることにも特徴を有するものである。
【００１４】
また、本発明のポンプでは、流体を一時的に貯留する貯留室を備えたハウジングと、貯留室と一方向弁を介して連通連結して貯留室に流体を送給する送給管と、貯留室と一方向弁を介して連通連結して貯留室から押し出された流体を下流側に送出する送出管と、貯留室に面して配置して進退駆動させることにより送給管から流体を貯留室に吸引した後に送出管に押し出す振動板と、この振動板を進退駆動させる駆動部とを備えたポンプにおいて、駆動部は、交流電流の通電によって変動磁場を生じさせる駆動用コイルと、この駆動用コイルに交流電流を通電させる電源装置を有し、駆動用コイルには、両端部に磁極を生じさせるＵ字状のコアを設け、振動体には、コアの一方端と対向する面をＮ極、コアの他方端と対向する面をＳ極として磁石を配置することとした。
【００１５】
さらに、本発明のポンプでは、以下の点にも特徴を有するものである。
（１）磁石には、コアと対向する面の反対側に軟磁性体を装着していること。
（２）振動体は、円盤状とした軟磁性体の一側面に、径方向に沿ってＮ極の磁性を有する領域とＳ極の磁性を有する領域とを交互に配置させていること。
（３）振動板を挟んで第１の貯留室と第２の貯留室を設け、第１の貯留室側に設けたコアと、第２の貯留室側に設けたコアとを対向させていること。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、交流電流の通電によって変動磁場を生じさせる駆動用コイルと、変動磁場との相互作用によって進退移動する振動体とを有するリニア駆動装置、及びこのリニア駆動装置を備えたポンプにおいて、駆動用コイルには両端部に磁極を生じさせるＵ字状のコアを設けたことにより、駆動用コイルで生じさせた磁力の漏れを抑制しやすくすることができる。
【００１７】
特に、振動体には、コアの一方端と対向する面をＮ極、コアの他方端と対向する面をＳ極として磁石を配置することにより、駆動用コイルで生成した磁力による磁力線が、コアと磁石とともにループ状の閉じた経路を形成することとなって、駆動用コイルで生成した磁力が外部に漏れることを抑制できる。
【００１８】
しかも、磁石に軟磁性体を装着した場合には、磁石から漏れ出した磁力を軟磁性体に閉じ込めさせることができ、磁力の漏れをさらに抑制できる。
【００１９】
このように磁力の漏れを抑制できることによって、リニア駆動装置の効率を向上させることができ、このリニア駆動装置を用いたポンプの効率も向上させることができるので、小型、低騒音、低消費電力のポンプとすることができる。
【００２０】
特に、磁力の漏れが小さいことにより、医療機器における駆動源としても用いることができ、しかも、駆動用コイルで生じさせた磁場を効果的に駆動力として利用できるので、駆動用コイルと振動体との間において電磁力の変化が比較的小さいリニア駆動装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施形態にかかるリニア駆動装置の概略説明図である。
【図２】他の実施形態にかかるリニア駆動装置の概略説明図である。
【図３】駆動用コイルによって生成される吸引力の大きさの比較実験の結果を示すグラフである。
【図４】他の実施形態にかかるリニア駆動装置の概略説明図である。
【図５】本発明の実施形態にかかるポンプの断面概略説明図である。
【図６】同ポンプの側面視による概略説明図である。
【図７】第１磁石の説明図である。
【図８】本発明の実施形態にかかるポンプの断面概略説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明のリニア駆動装置及びこのリニア駆動装置を備えたポンプは、交流電流の通電によって変動磁場を生じさせる駆動用コイルと、変動磁場との相互作用によって進退移動する振動体とを有するリニア駆動装置において、駆動用コイルには、両端部に磁極を生じさせるＵ字状のコアを設け、振動体には、コアの一方端と対向する面をＮ極、コアの他方端と対向する面をＳ極として磁石を配置しているものである。
【００２３】
すなわち、図１に模式的に示しように、駆動手段となる駆動用コイル１は、Ｕ字状としたコア1aと、このコア1aに巻き回したコイル1bとで構成しており、コイル1bには交流電流を通電させる電源装置２を接続している。
【００２４】
なお、説明の便宜上、図１ではコア1aの中央部分にのみコイル1bを巻き回しているが、必要に応じて例えばコア1aの全体にわたってコイル1bを巻き回してもよく、所望の磁力が生成できるようにコイル1bを適宜設けてよい。
【００２５】
振動体３は、コア1aの一方端と対向する面をＮ極とした第１磁極領域3aと、コア1aの他方端と対向する面をＳ極とした第２磁極領域3bを有する磁石Ｍで構成している。
【００２６】
このように、駆動用コイル１のコア1aをＵ字状とし、振動体３を第１磁極領域3aと第２磁極領域3bを有する磁石Ｍで構成することにより、駆動用コイル１で生成した磁力の磁力線は、図１において破線で示すループ状の閉じた経路を形成しやすくなり、駆動用コイル１で生成した磁力が外部に漏れることを抑制して、磁力の漏れの少ないリニア駆動装置及びリニア駆動装置を備えたポンプとすることができる。
【００２７】
さらに、図２に示すように、振動体３は、第１磁極領域3aと第２磁極領域3bを有する磁石Ｍだけで構成するのではなく、磁石Ｍにおけるコアと対向する面の反対側に軟磁性体Ｆを装着することにより、磁石Ｍから漏れ出した磁力を軟磁性体Ｆに閉じ込めることができ、駆動用コイル１で生成した磁力が外部に漏れることをさらに抑制できる。
【００２８】
しかも、この場合には、図３に示すように、駆動用コイル１と振動体３との間に生じる吸引力、すなわち駆動用コイル１と振動体３との間における相互作用の大きさを増大させることができ、リニア駆動装置における駆動力の向上を図ることができる。図３では、駆動用コイル１から振動体３までの距離を空隙としている。
【００２９】
このように軟磁性体Ｆを設けることにより、より小型の駆動用コイル１を用いても所望の駆動力を得ることができので、駆動用コイル１を小型化することができ、このリニア駆動装置を用いたポンプを小型化できるとともに、駆動用コイル１で生成した磁力が外部に漏れることを抑制しやすくすることができる。
【００３０】
なお、本発明のリニア駆動装置は、ポンプの駆動源として用いる場合に限定するものではなく、所定の振動運動の駆動源として用いることができる。
【００３１】
また、磁石に軟磁性体を装着する場合には、図２に示すように磁石Ｍがコア1aの両端間の間隔寸法程度の大きさを有している必要はなく、例えば、図４に示すように、軟磁性体Ｆを支持体として、コア1aの端部と対向する位置にそれぞれ所要の磁石m1,m2を設けてもよい。
【００３２】
図５は、本発明のリニア駆動装置を備えたポンプＰの縦断面模式図である。
【００３３】
本実施形態のポンプＰは、第１ハウジング10と第２ハウジング20とを振動板30を挟んで螺合させることにより、第１ハウジング10と振動板30とで囲まれた第１貯留室11を形成するとともに、第２ハウジング20と振動板30とで囲まれた第２貯留室21を形成している。すなわち、振動板30を挟んで第１貯留室11と第２貯留室21を設けている。
【００３４】
第１ハウジング10及び第２ハウジング20は、それぞれ円柱体状とした基体で構成し、第１ハウジング10の一方の端部には雄ネジ部12を形成し、第２ハウジング20の一方の端部には前記雄ネジ部12と螺合する雌ネジ部22を形成している。
【００３５】
第１ハウジング10の雄ネジ部12形成側の側面には、湾曲面状に凹ませて形成した第１凹部13を設けており、この第１凹部13で形成される空間を第１貯留室11としている。また、第２ハウジング20の雌ネジ部22形成側の側面には、湾曲面状に凹ませて形成した第２凹部23を設けており、この第２凹部23で形成される空間を第２貯留室21としている。
【００３６】
第１ハウジング10には、円柱体状となっている基体の中心軸の近傍に、基体を貫通させて形成した第１送給路14と第１送出路15を設けている。
【００３７】
さらに、第１送給路14の中途部及び第１送出路15の中途部には、それぞれ一方向弁が装着される一方向弁装着部14a,15aを設けており、第１送給路14の一方向弁装着部14aには第１送給用一方向弁14bを装着し、第１送出路15の一方向弁装着部15aには第１送出用一方向弁15bを装着している。
【００３８】
同様に、第２ハウジング20には、円柱体状となっている基体の中心軸の近傍に、基体を貫通させて形成した第２送給路24と第２送出路25を設けている。
【００３９】
さらに、第２送給路24の中途部及び第２送出路25の中途部には、それぞれ一方向弁が装着される一方向弁装着部24a,25aを設けており、第２送給路24の一方向弁装着部24aには第２送給用一方向弁24bを装着し、第２送出路25の一方向弁装着部25aには第２送出用一方向弁25bを装着している。
【００４０】
また、第１ハウジング10には、雄ネジ部12形成側の側面とは反対側の側面に、Ｕ字状のコア1aを用いていることによりＵ字状となっている駆動用コイル１の端部がそれぞれ挿入されるコイル端挿入孔Ｈを設けている。本実施形態の駆動用コイル１では、コア1aの全長にわたってコイル1bを巻き回している。
【００４１】
本実施形態では、図６に示すように、第１ハウジング10には、３つの駆動用コイル１を装着するようにしており、第１ハウジング10には、６つのコイル端挿入孔Ｈを所定位置に設けている。
【００４２】
同様に、第２ハウジング20にも、雌ネジ部22形成側の側面とは反対側の側面に、Ｕ字状となっている駆動用コイル１の端部がそれぞれ挿入される６つのコイル端挿入孔Ｈを設けている。
【００４３】
本実施形態では、図５に示すように、第１ハウジング10に設けた各コイル端挿入孔Ｈと、第２ハウジング20に設けた各コイル端挿入孔Ｈとが振動板30を挟んで対向した状態としているが、必ずしも対向した状態となっている必要はない。
【００４４】
しかしながら、第１ハウジング10と第２ハウジング20は、互いに螺合した際に、第１ハウジング10に設けた各コイル端挿入孔Ｈと、第２ハウジング20に設けた各コイル端挿入孔Ｈとが振動板30を挟んで対向した状態となるように螺合させて、第１貯留室11側に設けたコア1aと、第２貯留室21側に設けたコア1aとを対向させることにより、各駆動用コイル１で生成した磁力の漏れをさらに抑制しやすくすることができる。
【００４５】
特に、この場合には、振動板30を挟んで対向している第１貯留室11側に設けたコア1aの極性と、第２貯留室21側に設けたコア1aの極性とが逆となるように調整することにより、各駆動用コイル１で生成した磁力の漏れをさらに抑制しやすくすることができる。
【００４６】
第１ハウジング10には、第１凹部13の開口側の端縁に沿って、断面を中心角90度の扇状に凹ませた第１嵌合用凹部18を設けている。同様に、第２ハウジング20にも、第２凹部23の開口側の端縁に沿って、断面を中心角90度の扇状に凹ませた第２嵌合用凹部28を設けている。
【００４７】
そして、第１嵌合用凹部18と第２嵌合用凹部28は、第１ハウジング10と第２ハウジング20が互いに螺合することにより、断面が半円状となった凹みを形成し、この凹みを利用して後述するように振動板30を固定的に保持可能としている。
【００４８】
本実施形態では、振動板30は、第１貯留室11と第２貯留室21とを仕切る円形のシート体35と、このシート体35の外周縁に沿ってリング状に設けたバルーン36と、前記シート体35の第１貯留室11側の側面に装着した円板状の第１軟磁性体板33と、この第１軟磁性体板33の表面に重ね合わせて装着した第１磁石板31と、前記シート体35の第２貯留室21側の側面に装着した円板状の第２軟磁性体板34と、この第２軟磁性体板34の表面に重ね合わせて装着した第２磁石板32とで構成している。特に、シート体35とリング状のバルーン36とは一体的に形成している。
【００４９】
第１磁石板31及び第２磁石板32は、一方の側面をＮ極、他方の側面をＳ極とした薄板状の磁石であり、しかも、図７に示すように円盤状として、径方向に沿ってＮ極の磁性を有する領域とＳ極の磁性を有する領域とを交互に配置させている。
【００５０】
Ｎ極の磁性を有する領域とＳ極の磁性を有する領域の配置は、各駆動用コイル１の端部の位置に対応させており、駆動用コイル１に生じさせた磁場と相互作用を生じさせるようにしている。
【００５１】
本実施形態では、第１ハウジング10及び第２ハウジング20にそれぞれ３つの駆動用コイル１を装着するために、第１磁石板31及び第２磁石板32では、３つのＮ極の磁性を有する領域と３つのＳ極の磁性を有する領域を径方向に沿って交互に設けているが、駆動用コイル１の配設数、あるいは配設位置に合わせて、Ｎ極の磁性を有する領域及びＳ極の磁性を有する領域の配設数、あるいは配設位置を調整してもよい。
【００５２】
このように、第１磁石板31及び第２磁石板32にＮ極の磁性を有する領域とＳ極の磁性を有する領域とを径方向に沿って交互に配置した場合には、第１磁石板31及び第２磁石板32においても磁力が拡散することを抑制しやすく、磁力の漏れを抑制することができる。
【００５３】
第１磁石板31及び第２磁石板32は、接着剤等によってシート体33に貼着した第１軟磁性体板33及び第２軟磁性体板34に、第１磁石板31及び第２磁石板32の磁力によってそれぞれ装着しているが、第１磁石板31と第１軟磁性体板33の間、及び第２磁石板32と第２軟磁性体板34の間にそれぞれ接着剤を付けて、より強固に着設してもよい。
【００５４】
また、本実施形態では、第１磁石板31及び第２磁石板32が、第１貯留室11及び第２貯留室21に対して露出した状態となっているが、第１磁石板31及び第２磁石板32の表面にはテフロン（登録商標）などの適宜の樹脂材料などでコーティングを施してもよい。
【００５５】
リング状のバルーン36は、本実施形態では、シート体35と同材質としたゴム製の中空筒体とし、内部に空気を注入して所定の空気圧状態としている。バルーン36の内部には、空気を注入する場合だけでなく、たとえば窒素ガスを注入してもよいし、所要の粘性を有する液体を注入してもよい。
【００５６】
さらに、バルーン36には、外周縁に沿って外側方に突出させたフランジ37を設けている。このフランジ37は、振動板30をハウジング10に装着するために用いるものであって、第１ハウジング10に設けた第１嵌合用凹部18と、第２ハウジング20に設けた第２嵌合用凹部28とで形成される嵌合用凹部に嵌合可能としている。
【００５７】
すなわち、嵌合用凹部にフランジ37を嵌合させることにより、振動板30を第１ハウジング10と第２ハウジング20の間に安定的に配置可能としている。
【００５８】
このように、本実施形態のポンプＰは、振動板30を挟んで第１ハウジング10と第２ハウジング20とを螺合して形成し、第１ハウジング10の第１送給路14には、連結ソケット14cを介して第１送給管14dを連結し、第１ハウジング10の第１送出路15には、連結ソケット15cを介して第１送出管15dを連結している。
【００５９】
さらに、第２ハウジング20の第２送給路24には、連結ソケット24cを介して第２送給管24dを連結し、第２ハウジング20の第２送出路25には、連結ソケット25cを介して第２送出管25dを連結している。
【００６０】
そして、ポンプＰでは、振動板30の進退駆動にともなって、第１送給管14dから第１貯留室11に送給された流体を第１送出管15dから送り出すとともに、第２送給管24dから第２貯留室21に送給された流体を第２送出管25dから送り出すこととしている。
【００６１】
すなわち、各駆動用コイル１には、図示しない制御回路に接続しており、この制御回路から各駆動用コイル１にそれぞれ所定の交流電流を通電させることにより変動磁場を生じさせており、この変動磁場と第１磁石板31または第２磁石板32の磁場の相互作用によって振動板30に斥力と引力とを交互に作用させて、振動板30を第１ハウジング10及び第２ハウジング20の中心軸方向に沿って進退駆動させている。
【００６２】
この振動板30の進退駆動にともなって、図５に示すように振動板30が第２ハウジング20側に移動することにより、第１送給管14dから流体を第１貯留室11に吸引するとともに、第２貯留室21内の流体を第２送出管25dに押し出している。
【００６３】
さらに、図８に示すように、振動板30が第１ハウジング10側に移動することにより、第１貯留室11内の流体を第１送出管15dに押し出すとともに、第２送給管24dから流体を第２貯留室21に吸引している。
【００６４】
なお、各駆動用コイル１には、それぞれが生じさせた磁力を検出するホール素子（図示せず）を設けて、このホール素子の出力信号を制御回路に入力して、制御回路による各駆動用コイル１のフィードバック制御を行うようにしてもよい。
【００６５】
このように、各駆動用コイル１をフィードバック制御することによって、振動板30の姿勢を制御することができ、振動板30が移動方向に対して傾いた姿勢となることによって振動板30と第１ハウジング10または第２ハウジング20との接触が生じるような不具合の発生を防止できる。
【００６６】
ここで、フィードバック制御とは、各駆動用コイル１に通電させる交流電流を調整して、変動磁場を調整することである。
【符号の説明】
【００６７】
１  駆動用コイル
1a  コア
1b  コイル
２  電源装置
３  振動体
10  第１ハウジング
11  第１貯留室
12  雄ネジ部
13  第１凹部
14  第１送給路
14a 一方向弁装着部
14b 第１送給用一方向弁
14c 連結ソケット
14d 第１送給管
15  第１送出路
15a 一方向弁装着部
15b 第１送出用一方向弁
15c 連結ソケット
15d 第１送出管
18  第１嵌合用凹部
20  第２ハウジング
21  第２貯留室
22  雌ネジ部
23  第２凹部
24  第２送給路
24a 一方向弁装着部
24b 第２送給用一方向弁
24c 連結ソケット
24d 第２送給管
25  第２送出路
25a 一方向弁装着部
25b 第２送出用一方向弁
25c 連結ソケット
25d 第２送出管
28  第２嵌合用凹部
30  振動板
31  第１磁石板
32  第２磁石板
33  第１軟磁性体板
34  第２軟磁性体板
35  シート体
36  バルーン
37  フランジ
Ｐ  ポンプ
Ｈ  コイル端挿入孔
【図１】
0005514974.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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