(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物を保持する水平アームユニットと、
第１関節部の回転軸を中心に基端側が回転可能に連結された第１リンクと、前記第１リンクの先端側に設けられる第２関節部の回転軸を中心に基端側が回転可能に連結される一方、先端側には第３関節部の回転軸を介して前記水平アームユニットが回転可能に支持される第２リンクとをそれぞれ有する一対の脚部ユニットと
を備え、
前記一対の脚部ユニットのうち一方である主脚部ユニットは、
前記第１関節部、前記第２関節部および前記第３関節部にそれぞれ駆動源を有し、
前記一対の脚部ユニットのうち他方であるサブ脚部ユニットは、
前記駆動源を有しておらず、かつ、前記主脚部ユニットと対向する側とは反対側に前記第２関節部が突出した状態で屈曲することを防止する部材を有すること
を特徴とする搬送ロボット。
【請求項２】
前記水平アームユニットへ接続されるケーブルは、前記サブ脚部ユニットに内包されることを特徴とする請求項１に記載の搬送ロボット。
【請求項３】
前記主脚部ユニットは、前記サブ脚部ユニットよりも太く形成されることを特徴とする請求項１または２に記載の搬送ロボット。
【請求項４】
前記サブ脚部ユニットが設けられる側の基部の延伸部における水平方向に延伸する部分の上面が、前記主脚部ユニットが設けられる側の前記延伸部における水平方向に延伸する部分の上面よりも低い位置に形成されることによって段差が形成され、
前記水平アームユニットは、
前記水平アームユニットにおける下側アームユニットの一部が前記段差の範囲内になるまで下降可能であることを特徴とする請求項１、２または３に記載の搬送ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
開示の実施形態は、搬送ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の薄板状ワークをストッカ等に出し入れする搬送ロボットが知られている。
【０００３】
たとえば、特許文献１には、一対の脚部ユニットを動作させて上部に配置されたアームユニットを上下動させ、かかるアームユニットによって薄板状ワークを搬送するロボットが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４４６６７８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の搬送ロボットは、アクチュエータやモータ等の駆動部が一対の脚部ユニットに同様の構造となるように設けられており、重量やコストの削減という観点から改善の余地があった。
【０００６】
実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、構造の簡略化を図るとともに装置にかかる製造コストおよび重量を抑えることができる搬送ロボットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態の一態様に係る搬送ロボットは、搬送物を保持する水平アームユニットと、一対の脚部ユニットとを備える。一対の脚部ユニットは、第１関節部の回転軸を中心に基端側が回転可能に連結された第１リンクをそれぞれ有する。さらに、一対の脚部ユニットは、前記第１リンクの先端側に設けられる第２関節部の回転軸を中心に基端側が回転可能に連結される一方、先端側には第３関節部の回転軸を介して前記水平アームユニットが回転可能に支持される第２リンクをそれぞれ有する。また、前記一対の脚部ユニットのうち一方である主脚部ユニットは、前記第１関節部、前記第２関節部および前記第３関節部にそれぞれ駆動源を有する。また、前記一対の脚部ユニットのうち他方であるサブ脚部ユニットは、前記駆動源を有しておらず、かつ、前記主脚部ユニットと対向する側とは反対側に前記第２関節部が突出した状態で屈曲することを防止する部材を有する。
【発明の効果】
【０００８】
実施形態の一態様によれば、構造の簡略化を図るとともに装置にかかる製造コストおよび重量を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、第１の実施形態に係る搬送ロボットの説明図である。
【図２】図２は、第１の実施形態に係る搬送ロボットの模式斜視図である。
【図３】図３は、第１の実施形態に係る搬送ロボットの正面模式図である。
【図４Ａ】図４Ａは、第２の実施形態に係る搬送ロボットの正面模式図その１である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、第２の実施形態に係る搬送ロボットの正面模式図その２である。
【図５Ａ】図５Ａは、第３の実施形態に係る搬送ロボットの正面模式図その１である。
【図５Ｂ】図５Ｂは、第３の実施形態に係る搬送ロボットの正面模式図その２である。
【図６Ａ】図６Ａは、第４の実施形態に係る搬送ロボットの正面模式図その１である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、第４の実施形態に係る搬送ロボットの正面模式図その２である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、本願の開示する搬送ロボットの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１１】
（第１の実施形態）
まず、第１の実施形態に係る搬送ロボット１０について、図１を用いて説明する。図１は、第１の実施形態に係る搬送ロボット１０の説明図である。なお、図１では、説明を容易にするために一部の形状を単純化して示している。また、以下では同図右上に示すような座標軸を適宜用いて説明を行うこととし、鉛直上向き方向をＺ軸方向とする。
【００１２】
図１に示すように、第１の実施形態に係る搬送ロボット１０は、基台１１と、基部１２と、主脚部ユニット１３と、サブ脚部ユニット１４と、水平アームユニット１５とを備える。
【００１３】
主脚部ユニット１３は、支柱２１と、第１関節部２２と、第１リンク２３と、第２関節部２４と、第２リンク２５と、第３関節部２６とをさらに備える。また、サブ脚部ユニット１４は、支柱３１と、第４関節部３２と、第３リンク３３と、第５関節部３４と、第４リンク３５と、第６関節部３６とをさらに備える。
【００１４】
図１に示すように、基部１２は、基台１１に旋回可能に取り付けられた旋回部１２ａと、旋回部１２ａの両端から水平方向に延伸する延伸部１２ｂ、１２ｃとから構成され、基台１１に対し鉛直な旋回軸Ｐ１を中心として旋回する。そして、基部１２の旋回にともない、主脚部ユニット１３、サブ脚部ユニット１４および水平アームユニット１５が旋回軸Ｐ１を中心として旋回する。
【００１５】
さらに、搬送ロボット１０は、所定の関節部を駆動させることによって水平アームユニット１５を昇降させ、ワークを把持するハンド部を設ける水平アームユニット１５を、Ｙ軸の正負方向へ移動させる。また、搬送ロボット１０は、ハンド部をＸ軸の正負方向へ直線的に移動させる。
【００１６】
上述したように動作することによって、搬送ロボット１０は、ワークの把持や移載を行う。なお、搬送ロボット１０や水平アームユニット１５の形状の詳細については図２を用いて後述する。
【００１７】
ところで、従来の搬送ロボットは、２つの脚部ユニットによって水平アームユニットが支持される場合、２つの脚部ユニットが対称となるようにアクチュエータやモータ等の駆動源が内蔵される構成となっていた。
【００１８】
具体的には、従来の搬送ロボットが図１に示すような搬送ロボットの場合には、駆動源は各脚部ユニット１３、１４へ２つずつ、第１関節部２２、第２関節部２４、第４関節部３２および第５関節部３４の合計４箇所設ける構成となっていた。
【００１９】
しかし、従来の搬送ロボットは、重量やコストの削減という観点から改善の余地があった。そこで、第１の実施形態に係る搬送ロボット１０では、水平アームユニット１５の位置決めを行うための最小限の駆動源を備える構成とした。
【００２０】
具体的には、搬送ロボット１０は、第１関節部２２、第２関節部２４および第６関節部３６の３つの軸端部にそれぞれ駆動源を設け、かかる３つの関節部の回転軸を駆動軸とする。一方、第３関節部２６、第４関節部３２および第５関節部３４の回転軸は、自由軸として回転自在に軸支される。
【００２１】
なお、図１では、各関節部のうち、駆動軸とする位置を黒丸で示し、自由軸とする位置を白丸で示している。搬送ロボット１０は、３つの駆動軸を駆動させることによって水平アームユニット１５のＹ座標およびＺ座標の位置決めを行う。
【００２２】
また、主脚部ユニット１３は、水平アームユニット１５の重量を支えており、サブ脚部ユニット１４は、水平アームユニット１５の位置決めを行うために水平アームユニット１５へ支持される。
【００２３】
そこで、第１の実施形態に係る搬送ロボット１０では、サブ脚部ユニット１４を、主脚部ユニット１３より細い構造とした。これによって、搬送ロボット１０は、軽量化を図ることができる。
【００２４】
また、従来の搬送ロボットは、２つの脚部ユニットに設けられる駆動源や水平アームユニットに接続されるケーブルが、各脚部ユニットの側面に沿って配線されていた。このため、かかるケーブルが各関節部に連結されるリンクや水平アームユニット等と干渉し、搬送ロボットの動作の障害となることがあった。
【００２５】
そこで、第１の実施形態に係る搬送ロボット１０では、２つの脚部ユニット１３、１４に設けられる駆動源や水平アームユニット１５からのケーブル３７をサブ脚部ユニット１４へ内包することとした。
【００２６】
このようにすることによって、第１の実施形態に係る搬送ロボット１０では、構造の簡略化を図るとともに装置にかかる製造コストおよび重量を抑えることができる。
【００２７】
つぎに、第１の実施形態に係る搬送ロボット１０や水平アームユニット１５の形状の詳細について、図２を用いて説明する。図２は、第１の実施形態に係る搬送ロボット１０の模式斜視図である。図２に示すように、搬送ロボット１０は、基台１１と、基部１２と、主脚部ユニット１３と、サブ脚部ユニット１４と、水平アームユニット１５とを備える。
【００２８】
基部１２は、基台１１に旋回可能に取り付けられ、基台１１に対し垂直な旋回軸Ｐ１を中心として旋回する。そして、基部１２の旋回にともない、主脚部ユニット１３、サブ脚部ユニット１４および水平アームユニット１５が旋回軸Ｐ１を中心として旋回する。
【００２９】
主脚部ユニット１３は、支柱２１と、第１関節部２２と、第１リンク２３と、第２関節部２４と、第２リンク２５と、第３関節部２６とをさらに備える。また、サブ脚部ユニット１４は、支柱３１と、第４関節部３２と、第３リンク３３と、第５関節部３４と、第４リンク３５と、第６関節部３６とをさらに備える。
【００３０】
支柱２１、３１は、基部１２の各先端部からそれぞれ鉛直上向きに立設される。主脚部ユニット１３を形成する第１リンク２３は、支柱２１の先端部かつＸ軸の負方向側に基端部が第１関節部２２を介して連結される。これにより、第１リンク２３は、Ｘ軸と平行な第１関節部２２の回転軸を中心に支柱２１の先端部に回転可能に支持される。
【００３１】
第２リンク２５は、第１リンク２３の先端部かつＸ軸の負方向側に基端部が第２関節部２４を介して連結される。これにより、第２リンク２５は、Ｘ軸と平行な第２関節部２４の回転軸を中心に第１リンク２３の先端部に回転可能に支持される。
【００３２】
サブ脚部ユニット１４を形成する第３リンク３３は、支柱３１の先端部かつＸ軸の負方向側に基端部が第４関節部３２を介して連結される。これにより、第３リンク３３は、Ｘ軸と平行な第４関節部３２の回転軸を中心に支柱３１の先端部に回転可能に支持される。
【００３３】
第４リンク３５は、第３リンク３３の先端部かつＸ軸の負方向側に基端部が第５関節部３４を介して連結される。これにより、第４リンク３５は、Ｘ軸と平行な第５関節部３４の回転軸を中心に第３リンク３３の先端部に回転可能に支持される。
【００３４】
水平アームユニット１５は、第２リンク２５の先端部に第３関節部２６を介して連結される。これにより、水平アームユニット１５は、Ｘ軸と平行な第３関節部２６の回転軸を中心に第２リンク２５の先端部に回転可能に支持される。
【００３５】
また、水平アームユニット１５は、第４リンク３５の先端部に第６関節部３６を介して連結される。これにより、水平アームユニット１５は、Ｘ軸と平行な第６関節部３６の回転軸を中心に第４リンク３５の先端部に回転可能に支持される。
【００３６】
さらに、搬送ロボット１０は、第１関節部２２、第２関節部２４および第６関節部３６の軸端部にアクチュエータやモータ等の駆動源を設け（図示せず）、かかる３つの関節部の回転軸を駆動軸とする。
【００３７】
搬送ロボット１０は、かかる３つの駆動軸を駆動させて第１リンク２３や第２リンク２５の姿勢を変化させる。これにより、搬送ロボット１０は、水平アームユニット１５の位置決めを行うことができる。
【００３８】
また、サブ脚部ユニット１４には、水平アームユニット１５に接続されるケーブルが内包される（図示せず）。これにより、搬送ロボット１０は、ケーブルが他の部材へ絡まることなく水平アームユニット１５をスムーズに動作させることができる。なお、水平アームユニット１５に接続されるケーブルとは、たとえば、ワークを吸着するためのエアー用の配管や、吸着を検知するためのセンサに接続されるセンサ線のことである。
【００３９】
水平アームユニット１５は、上側アームユニット１５ａと、下側アームユニット１５ｂとを備える。下側アームユニット１５ｂに備える下側支持部材５０は、一方を、第２リンク２５の先端部に、第３関節部２６の関節軸周りに回転可能に支持され、他方を、第４リンク３５の先端部に、第６関節部３６の関節軸周りに回転可能に支持される。
【００４０】
なお、上側アームユニット１５ａと下側アームユニット１５ｂとは同様の構成となっているので、ここでは、上側アームユニット１５ａについてのみ説明する。上側アームユニット１５ａは、被搬送対象物であるワークを載置するためのハンド部４６と、このハンド部４６を先端部で支持するアーム部４７と、上側支持部材４０とを備える。
【００４１】
アーム部４７は、基端側アーム４２と先端側アーム４４とを備える。基端側アーム４２は、Ｚ軸と平行な基端側関節部４１の回転軸を中心に上側支持部材４０に回転可能に支持される。
【００４２】
先端側アーム４４は、Ｚ軸と平行な先端側関節部４３の回転軸を中心に基端側アーム４２の先端部に回転可能に支持される。ハンド部４６は、Ｚ軸と平行なアーム関節部４５の回転軸を中心に先端側アーム４４の先端部に回転可能に支持される。
【００４３】
また、ハンド部４６は、これら基端側アーム４２と先端側アーム４４とが回転動作することによってアーム部４７が伸縮し、第３関節部２６の回転軸と平行な方向へ直線的に移動する。たとえば、搬送ロボット１０の旋回位置が図２に示す状態である場合、Ｘ軸の正負方向が、ハンド部４６の移動方向およびアーム部４７の伸縮方向である。
【００４４】
なお、ここでは、上側アームユニット１５ａと下側アームユニット１５ｂとにより水平アームユニット１５を構成することとしたが、上側アームユニット１５ａまたは下側アームユニット１５ｂのみから構成する水平アームユニット１５であってもよい。
【００４５】
つぎに、第１の実施形態に係る搬送ロボット１０の水平アームユニット１５が最下位置にある場合の形状の詳細について、図３を用いて説明する。図３は、第１の実施形態に係る搬送ロボット１０の正面模式図である。
【００４６】
搬送ロボット１０は、第１関節部２２、第２関節部２４および第６関節部３６の回転軸を駆動軸とし、第３関節部２６、第４関節部３２および第５関節部３４の回転軸を自由軸とする。
【００４７】
したがって、図３に示すように、搬送ロボット１０は、第１関節部２２の駆動軸を駆動させることによって第１リンク２３の姿勢を変化させ、第２関節部２４の駆動軸を駆動させることによって第２リンク２５の姿勢を変化させる。
【００４８】
さらに、搬送ロボット１０は、第６関節部３６の駆動軸を駆動させることによって第４リンク３５の姿勢を変化させて水平アームユニット１５を最下位置まで下降させることができる。
【００４９】
また、ここで、搬送ロボット１０は、水平アームユニット１５に設けるハンド部４６の下面が基部１２の上面と接触しない程度まで下降させる。これによって、搬送ロボット１０は、２つの脚部ユニット１３、１４に干渉することなく水平アームユニット１５を移動させることができる。
【００５０】
さらに、サブ脚部ユニット１４は、剛性に寄与しないため主脚部ユニット１３より細い構成とした。したがって、水平アームユニット１５が最下位置にあっても、第３リンク３３や第４リンク３５は、水平アームユニット１５に干渉しないため、水平アームユニット１５の動作に支障をきたすことがない。
【００５１】
上述したように、第１の実施形態では、搬送ロボットは、水平アームユニットを支持する２つの脚部ユニットを非対称の構成とした。具体的には、第１の実施形態に係る搬送ロボットでは、主脚部ユニットには２つの駆動源を、サブ脚部ユニットには１つの駆動源を設ける。
【００５２】
また、第１の実施形態に係る搬送ロボットでは、サブ脚部ユニットを主脚部ユニットより細くし、ケーブル等をサブ脚部ユニットへ内包することとした。これにより、第１の実施形態に係る搬送ロボットは、構造の簡略化を図るとともに装置にかかる製造コストおよび重量を抑えることができる。
【００５３】
ところで、上述した第１の実施形態に係る搬送ロボット１０では、第１関節部２２、第２関節部２４および第６関節部３６に駆動源を設けることとしたが、これに限定されるものではない。そこで、以下に示す第２の実施形態では、第１の実施形態に係る搬送ロボット１０とは異なる構成の搬送ロボットについて説明する。
【００５４】
（第２の実施形態）
図４Ａおよび図４Ｂは、第２の実施形態に係る搬送ロボット１０Ａの正面模式図その１およびその２である。第２の実施形態に係る搬送ロボット１０Ａは、駆動源を設ける位置が第１の実施形態とは異なる。
【００５５】
なお、搬送ロボット１０Ａの構成については、駆動源を設ける位置が異なる以外は図１および図２と同様であるので、ここでは、構成の説明については省略する。
【００５６】
まず、図４Ａに示すように、搬送ロボット１０Ａは、第１関節部２２、第２関節部２４および第５関節部３４の軸端部にそれぞれ駆動源を設け、かかる３つの関節部の回転軸を駆動軸とする。一方、第３関節部２６、第４関節部３２および第６関節部３６の回転軸は、自由軸として回転自在に軸支される。
【００５７】
なお、図４Ａでは、各関節部のうち、駆動軸とする位置を黒丸で示し、自由軸とする位置を白丸で示している。搬送ロボット１０Ａは、かかる３つの駆動軸を駆動させることによって水平アームユニット１５のＹ座標およびＺ座標の位置決めを行う。
【００５８】
第５関節部３４の駆動軸の動力は、かかる駆動軸を駆動させることによって第４関節部３２と第６関節部３６とを結ぶ線に対して垂直方向に働く。その結果、第５関節部３４の駆動軸は、Ｚ軸の正負方向へ力を発生させることとなる。
【００５９】
ところが、図４Ｂに示すように、第４関節部３２および第６関節部３６の高さが同じ場合、かかる２つの関節部３２、３６の発生力の方向（同図の矢印）は水平方向（Ｙ軸の正負方向）となる。
【００６０】
このため、第５関節部３４の駆動軸は、Ｚ軸の正負方向へ力を発生することができず、その結果、水平アームユニット１５は昇降できない。
【００６１】
そこで、搬送ロボット１０Ａは、第１関節部２２および第２関節部２４の駆動軸の動力によって第４関節部３２および第６関節部３６の高さが同じにならないよう制御する。これにより、搬送ロボット１０Ａは、水平アームユニット１５を滑らかに昇降させることができる。
【００６２】
上述したように、第２の実施形態では、搬送ロボットは、水平アームユニットを支持する２つの脚部ユニットを非対称の構成とした。具体的には、第２の実施形態に係る搬送ロボットでは、第１の実施形態と同様に、主脚部ユニットには２つの駆動源を、サブ脚部ユニットには１つの駆動源を設けることとした。これにより、第２の実施形態に係る搬送ロボットは、構造の簡略化を図るとともに装置にかかる製造コストおよび重量を抑えることができる。
【００６３】
（第３の実施形態）
つぎに、第３の実施形態に係る搬送ロボット１０Ｂについて図５Ａおよび図５Ｂを用いて説明する。図５Ａおよび図５Ｂは、第３の実施形態に係る搬送ロボット１０Ｂの正面模式図その１およびその２である。
【００６４】
第３の実施形態に係る搬送ロボット１０Ｂは、駆動源を設ける位置が第１の実施形態および第２の実施形態とは異なる。なお、搬送ロボット１０Ｂの構成については、駆動源を設ける位置が異なる以外は図１および図２と同様であるので、ここでは、構成の説明については省略する。
【００６５】
まず、図５Ａに示すように、搬送ロボット１０Ｂは、第１関節部２２、第２関節部２４および第４関節部３２の軸端部にそれぞれ駆動源を設け、かかる３つの関節部の回転軸を駆動軸とする。一方、第３関節部２６、第５関節部３４および第６関節部３６の回転軸は、自由軸として回転自在に軸支される。
【００６６】
なお、図５Ａでは、各関節部のうち、駆動軸とする位置を黒丸で示し、自由軸とする位置を白丸で示している。搬送ロボット１０Ｂは、かかる３つの駆動軸を駆動させることによって水平アームユニット１５の位置決めを行う。
【００６７】
つづいて、図５Ｂに示すように、水平アームユニット１５が最下位置にある場合、第６関節部３６を上昇させるためには、搬送ロボット１０Ｂは、第６関節部３６に対してＹ軸の正方向およびＹ軸の負方向から力を与える必要がある。
【００６８】
その際、水平方向（Ｙ軸の正負方向）と第４リンク３５との角度をθ１とすると、かかる角度θ１が大きいほど第６関節部３６に対してＹ軸の正方向から与える力は小さくてよい。そこで、搬送ロボット１０Ｂは、斜線で示した基台１１と第４リンク３５とが干渉しない程度まで第４リンク３５を下降させることとした。
【００６９】
これによって、搬送ロボット１０Ｂは、駆動軸の負荷を最小限に抑えつつ滑らかに水平アームユニット１５を上昇させることができる。
【００７０】
上述したように、第３の実施形態では、搬送ロボットは、水平アームユニットを支持する２つの脚部ユニットを非対称の構成とした。具体的には、第３の実施形態に係る搬送ロボットでは、第１の実施形態および第２の実施形態と同様に、主脚部ユニットには２つの駆動源を、サブ脚部ユニットには１つの駆動源を設けることとした。これにより、第３の実施形態に係る搬送ロボットは、構造の簡略化を図るとともに装置にかかる製造コストおよび重量を抑えることができる。
【００７１】
（第４の実施形態）
つぎに、第４の実施形態に係る搬送ロボット１０Ｃについて図６Ａおよび図６Ｂを用いて説明する。図６Ａおよび図６Ｂは、第４の実施形態に係る搬送ロボット１０Ｃの正面模式図その１およびその２である。
【００７２】
第４の実施形態に係る搬送ロボット１０Ｃは、主脚部ユニット１３にのみ駆動源を設ける点が、第１の実施形態、第２の実施形態および第３の実施形態とは異なる。なお、搬送ロボット１０Ｃの構成については、駆動源を設ける位置が異なる以外は図１および図２と同様であるので、ここでは、構成の説明については省略する。
【００７３】
まず、図６Ａに示すように、搬送ロボット１０Ｃは、主脚部ユニット１３に備える関節部のみ、すなわち、第１関節部２２、第２関節部２４および第３関節部２６の軸端部にそれぞれ駆動源を設け、かかる３つの関節部の回転軸を駆動軸とする。一方、サブ脚部ユニット１４に備える第４関節部３２、第５関節部３４および第６関節部３６の回転軸は、自由軸として回転自在に軸支される。
【００７４】
なお、図６Ａでは、各関節部のうち、駆動軸とする位置を黒丸で示し、自由軸とする位置を白丸で示している。搬送ロボット１０Ｃは、かかる３つの駆動軸を駆動させることによって水平アームユニット１５の位置決めを行う。
【００７５】
ここで、上述したようにサブ脚部ユニット１４側の３つの関節部３２、３４、３６の回転軸は自由軸である。このため、搬送ロボット１０Ｃが水平アームユニット１５を昇降する際、図６Ａに示すように、第５関節部３４がサブ脚部ユニット１４の外側（Ｙ軸の正方向）へ屈曲する恐れがある。
【００７６】
そこで、図６Ｂに示すように、第３リンク３３と第４リンク３５との外側（Ｙ軸の正方向）の角度をθ２とすると、搬送ロボット１０Ｃは、θ２が１８０°以上にならないように、所定の部材を備えることとした（図示せず）。
【００７７】
たとえば、搬送ロボット１０Ｃは、第３リンク３３と第４リンク３５との間に伸びきり防止用のスプリングを備えることとしてもよい。これにより、主脚部ユニット１３にのみ駆動源を設ける場合であっても、搬送ロボット１０Ｃは、水平アームユニット１５を昇降させる際、水平アームユニット１５を水平に保つことができる。
【００７８】
上述したように、第４の実施形態では、搬送ロボットは、主脚部ユニットにのみ駆動源を設け、水平アームユニットを支持する２つの脚部ユニットを非対称の構成とした。これにより、第４の実施形態に係る搬送ロボットは、構造の簡略化を図るとともに装置にかかる製造コストおよび重量を抑えることができる。
【００７９】
さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。
【符号の説明】
【００８０】
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ  搬送ロボット
１１    基台
１２    基部
１２ａ  旋回部
１２ｂ、１２ｃ  延伸部
１３    主脚部ユニット
１４    サブ脚部ユニット
１５    水平アームユニット
１５ａ  上側アームユニット
１５ｂ  下側アームユニット
２１    支柱
２２    第１関節部
２３    第１リンク
２４    第２関節部
２５    第２リンク
２６    第３関節部
３１    支柱
３２    第４関節部
３３    第３リンク
３４    第５関節部
３５    第４リンク
３６    第６関節部
３７    ケーブル
４０    上側支持部材
４１    基端側関節部
４２    基端側アーム
４３    先端側関節部
４４    先端側アーム
４５    アーム関節部
４６    ハンド部
４７    アーム部
５０    下側支持部材
Ｐ１    旋回軸
【図１】
0005459292.tif 000002
【図２】
0005459292.tif 000003
【図３】
0005459292.tif 000004
【図４Ａ】
0005459292.tif 000005
【図４Ｂ】
0005459292.tif 000006
【図５Ａ】
0005459292.tif 000007
【図５Ｂ】
0005459292.tif 000008
【図６Ａ】
0005459292.tif 000009
【図６Ｂ】
0005459292.tif 000010