(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
種子を分散させた状態で転動させて搬送する供給手段と、
前記供給手段の下側に設けられ、前記供給手段が搬送して供給した種子を分散させた状態で転動させて一側へ搬送する転動手段と、
前記供給手段が前記転動手段に種子を供給する供給位置の一側において前記転動手段が分散させた状態で転動させる種子を蒸気により加熱して消毒する加熱手段と、
前記加熱手段が消毒した種子を送風される空気によって冷却しつつ排出する排出手段と、
を備えた種子の消毒装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、種子を消毒する種子の消毒装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
水稲の種子（種籾）の伝染性病害（いもち病、ばか苗病、苗立枯細菌病、籾枯細菌病、ごま葉枯病、褐条病等）に対する対策（消毒）は、その重要性から高い防除効果が求められている。
【０００３】
下記特許文献１に記載された種籾消毒装置では、照射トレーに収容された種籾を、蒸気の照射によって加熱して消毒する。これにより、消毒処理能力が高くされている。
【０００４】
ここで、このような種籾消毒装置では、消毒処理能力を一層高くできるのが望ましい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２１３３６４公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記事実を考慮し、消毒処理能力を一層高くできる種子の消毒装置を得ることが目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の種子の消毒装置は、種子を分散させた状態で転動させて搬送する供給手段と、前記供給手段の下側に設けられ、前記供給手段が搬送して供給した種子を分散させた状態で転動させて一側へ搬送する転動手段と、前記供給手段が前記転動手段に種子を供給する供給位置の一側において前記転動手段が分散させた状態で転動させる種子を蒸気により加熱して消毒する加熱手段と、前記加熱手段が消毒した種子を送風される空気によって冷却しつつ排出する排出手段と、を備えている。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１に記載の種子の消毒装置では、加熱手段が種子を蒸気により加熱して消毒する。このため、短時間で良好に種子を消毒することができ、消毒処理能力を高くできる。
【００１９】
ここで、転動手段が分散させた状態で転動させる種子を加熱手段が蒸気により加熱して消毒するため、種子を均一に加熱して消毒できる。このため、消毒処理能力を一層高くできる。
【００２０】
しかも、加熱手段が消毒した種子を、排出手段が送風される空気によって冷却する。このため、短時間で種子を乾燥させることができ、種子の発芽率の低下を抑制できる。
【００２４】
さらに、供給手段が種子を分散させた状態で転動させて搬送し転動手段に供給する。このため、転動手段に供給する種子の量を安定させることができて、種子を効果的に均一に加熱して消毒できる。
【００２５】
また、転動手段が種子を一側へ搬送する。
【００２６】
ここで、供給手段が転動手段に種子を供給する供給位置の一側に、加熱手段が種子を加熱する加熱位置が配置されている。このため、種子が加熱位置に到達する前に加熱手段によって加熱された転動手段によって加熱されることを抑制でき、種子の加熱温度を容易に制御できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施の形態に係る種籾消毒装置を示す側面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る種籾消毒装置における種籾の発芽率に関する実験例の結果を示す表である。
【図３】本発明の実施の形態に係る種籾消毒装置における種籾のいもち病に関する実験例の結果を示す表である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
図１には、本発明の種子の消毒方法及びその装置が適用されて構成された実施の形態に係る種籾消毒装置１０が側面図にて示されている。なお、図面では、種籾消毒装置１０の前方を矢印ＦＲで示し、種籾消毒装置１０の上方を矢印ＵＰで示す。
【００２９】
本実施の形態に係る種籾消毒装置１０は、投入手段としての漏斗状の投入ホッパ１２（原料ホッパ）が設けられており、投入ホッパ１２には、上側（大径部側）から種子としての種籾１４（水稲の種子）が投入される。
【００３０】
投入ホッパ１２の下側には、供給手段としての供給振動フィーダ１６（定量供給用振動フィーダ）が設けられている。
【００３１】
供給振動フィーダ１６には、供給部材しての長尺板状の供給トラフ１８が設けられており、供給トラフ１８は、長手方向を前後方向側へ向けて配置されている。供給トラフ１８は、幅方向に沿った断面がＵ字状にされており、供給トラフ１８の底壁１８Ａは、平板状にされている。供給トラフ１８の底壁１８Ａは、投入ホッパ１２の下側近傍に配置されており、投入ホッパ１２に投入された種籾１４は、投入ホッパ１２の下端（小径部）から、供給トラフ１８の底壁１８Ａ上に流下される。
【００３２】
供給トラフ１８の下側には、供給振動装置２０が接続されており、供給振動装置２０は供給トラフ１８を長手方向（前後方向側）へ往復振動させる。このため、供給トラフ１８の底壁１８Ａ上に流下された種籾１４が、供給トラフ１８の底壁１８Ａ上において、薄層状（特に単層状）に均一に分散されると共に、転動され、かつ、前側へ徐々に搬送される。これにより、供給トラフ１８（底壁１８Ａ）の前端から種籾１４が流下される。
【００３３】
供給トラフ１８は、前方へ向かうに従い下方へ向かう方向へ僅かに傾斜されている。これにより、供給トラフ１８の底壁１８Ａ上の種籾１４に供給トラフ１８の往復振動による前側への搬送力のみならず重力による前側への移動力も作用されて、供給トラフ１８の前端からの種籾１４の流下量（単位時間当たりの流下量）が一定に制御される。
【００３４】
供給振動フィーダ１６の下側には、転動手段としての処理振動フィーダ２２（処理時間調整用振動フィーダ）が設けられている。
【００３５】
処理振動フィーダ２２には、載置部材しての長尺板状の処理トラフ２４が設けられており、処理トラフ２４は、長手方向を前後方向側へ向けて配置されている。処理トラフ２４は、幅方向に沿った断面がＵ字状にされており、処理トラフ２４の底壁２４Ａは、平板状にされている。処理トラフ２４は、供給トラフ１８の下側に配置されると共に、供給トラフ１８に対し前側に突出されており、供給トラフ１８（底壁１８Ａ）の前端からの種籾１４は、全て処理トラフ２４の底壁２４Ａ上に流下（供給）される。
【００３６】
処理トラフ２４の下側には、処理振動装置２６が接続されており、処理振動装置２６は処理トラフ２４を長手方向（前後方向側）へ往復振動させる。このため、処理トラフ２４の底壁２４Ａ上に流下された種籾１４が、処理トラフ２４の底壁２４Ａ上において、薄層状（特に単層状）に均一に分散されると共に、転動され、かつ、前側へ徐々に搬送される。これにより、処理トラフ２４の前端から種籾１４が流下される。
【００３７】
処理トラフ２４は、前方へ向かうに従い下方へ向かう方向へ僅かに傾斜されている。これにより、処理トラフ２４の底壁２４Ａ上の種籾１４に処理トラフ２４の往復振動による前側への搬送力のみならず重力による前側への移動力も作用されて、種籾１４が処理トラフ２４の底壁２４Ａ上を前側へ搬送される速度が一定に制御される。
【００３８】
処理トラフ２４の底壁２４Ａの前端部には、供給トラフ１８の前端の前側近傍において、処理部としての通気部２８（多孔板等の多孔部又はメッシュ部）が設けられており、供給トラフ１８（底壁１８Ａ）の前端からの種籾１４は、処理トラフ２４の通気部２８後側近傍における底壁２４Ａ上に流下される。通気部２８には、多数の通気孔２８Ａが間隔を最大限に小さくされて貫通形成されており、通気孔２８Ａは種籾１４に比し小さくされて、通気部２８上の種籾１４が通気孔２８Ａを介して落下不能にされている。
【００３９】
処理トラフ２４の通気部２８には、加熱手段としての加熱装置３０が設置されている。
【００４０】
加熱装置３０には、矩形筒状の加熱筒３２が設けられており、加熱筒３２内には、処理トラフ２４の通気部２８が収容されている。加熱筒３２は、処理トラフ２４の往復振動を許容すると共に、処理トラフ２４の前端は、加熱筒３２から前側に僅かに突出されている。
【００４１】
加熱装置３０には、蒸気供給手段としての蒸気供給装置３４が設けられており、蒸気供給装置３４は、加熱筒３２の下側に接続されている。
【００４２】
蒸気供給装置３４には、漏斗状の送気ホッパ３６が設けられており、送気ホッパ３６の上端（大径部）は、加熱筒３２の下端に密閉接続されている。送気ホッパ３６の下端（小径部）には、送気管３８の一端が接続されており、送気管３８の中間部には、一端側から他端側へ向かうに従い、蒸気過熱手段としての２次ヒータ４０及び空気過熱手段としての１次ヒータ４２がこの順で設けられている。
【００４３】
送気管３８には、２次ヒータ４０と１次ヒータ４２との間において、蒸気管４４の一端が接続されており、蒸気管４４の他端には、蒸気発生手段としてのボイラ４６が接続されている。ボイラ４６は、水蒸気（例えば乾球温度及び湿球温度が１００℃で湿度が１００％の飽和水蒸気）を発生すると共に、水蒸気を蒸気管４４を介して送気管３８に供給する。
【００４４】
送気管３８の他端には、送風手段としての第１ブロワ４８が接続されており、第１ブロワ４８は、送気管３８に常温の空気を送風する。
【００４５】
第１ブロワ４８から送気管３８に送風された空気は、１次ヒータ４２によって所定空気温度（例えば２００℃）に過熱される。さらに、１次ヒータ４２から送気管３８に送風された空気は、ボイラ４６から蒸気管４４を介して送気管３８に供給される水蒸気が割合を制御されつつ混合されて、蒸気にされる。その後、送気管３８に送風される蒸気が、２次ヒータ４０によって過熱されて、所定蒸気温度（例えば乾球温度が１００℃以上３００℃以下（１２０以上２５０℃以下が好ましい）かつ湿球温度が８０℃以上９０℃以下で湿度が５０％程度）かつ所定露点温度（例えば湿球温度が６０℃以上９５℃以下）の蒸気にされる。
【００４６】
このため、２次ヒータ４０からの所定蒸気温度かつ所定露点温度の蒸気が、送気管３８から送気ホッパ３６を介して加熱筒３２内に下側から送風されて、処理トラフ２４の通気部２８における多数の通気孔２８Ａを介して通気部２８の上側に送風される。これにより、加熱筒３２内の通気部２８上側が蒸気雰囲気にされて、通気部２８上の種籾１４に当該蒸気が所定加熱時間（種籾１４が通気部２８上を前側へ搬送される時間であり、例えば２秒以上８秒以下（特に３秒以下）の短時間）曝露される。
【００４７】
常温の種籾１４に所定蒸気温度かつ所定露点温度の蒸気が曝露されると、種籾１４の表面で結露（凝縮）が生じて湿熱により種籾１４の表面温度が所定露点温度まで速やかに上昇すると共に、種籾１４の表面に結露した水分が蒸発するまで種籾１４の表面温度が所定露点温度に維持される。なお、種籾１４に当該蒸気が曝露され続けて種籾１４の表面に結露した水分が蒸発すると、種籾１４の表面温度が、所定露点温度を越えて上昇して、最終的に所定蒸気温度に達する。
【００４８】
これにより、通気部２８上の種籾１４に所定蒸気温度かつ所定露点温度の蒸気が所定加熱時間（種籾１４の表面に結露する水分が蒸発する前までの時間）曝露されることで、種籾１４が高過ぎない所定露点温度で湿熱により効率良く加熱されて消毒される（種籾１４の表面に付着する又は種籾１４の籾殻と種皮（玄米の表面皮）との間に潜む菌（病原菌）が殺菌される）。また、当該蒸気が所定蒸気温度に制御されることで、種籾１４の表面に結露する水分の量が制御されて、種籾１４の表面の性状に影響が出ることが抑制される。さらに、種籾１４に当該蒸気が曝露される時間が所定加熱時間（短時間）にされることで、種籾１４の内部（玄米）において温度が上昇して含水率が変化する前（種籾１４の内部がダメージを受ける前）に、種籾１４の加熱が終了される。
【００４９】
加熱装置３０には、蒸気排出手段としての蒸気排出装置５０が設けられており、蒸気排出装置５０は、加熱筒３２の上側に接続されている。
【００５０】
蒸気排出装置５０には、漏斗状の排気ホッパ５２が設けられており、排気ホッパ５２の下端（大径部）は、加熱筒３２の上端に接続されている。なお、排気ホッパ５２の下端と加熱筒３２の上端との間は、密閉されても密閉されなくてもよい。
【００５１】
排気ホッパ５２の上端（小径部）には、排気手段を構成する排気エジェクタ５４が接続されており、排気エジェクタ５４は、排気管５６の中間部に設けられている。排気管５６の一端には、排気手段を構成する第２ブロワ５８が接続されており、第２ブロワ５８は、排気管５６に空気を送風する。このため、加熱筒３２内の蒸気が、排気エジェクタ５４によって排気ホッパ５２から排気管５６に吸引されて、排気管５６を送風される空気と共に排気管５６の他端から排気される。
【００５２】
処理トラフ２４の前側には、冷却手段及び排出手段としての冷却装置６０が設置されている。
【００５３】
冷却装置６０には、漏斗状の排出ホッパ６２が設けられている。排出ホッパ６２の上端（大径部）の上側には、処理トラフ２４の前端が配置されており、処理トラフ２４の前端からの種籾１４は、全て排出ホッパ６２に流下される。
【００５４】
排出ホッパ６２の下端（小径部）には、排出エジェクタ６４が接続されており、排出エジェクタ６４は、排出管６６の中間部に設けられている。排出管６６の一端には、第３ブロワ６８が接続されており、第３ブロワ６８は、排出管６６に常温の空気を送風する。このため、排出ホッパ６２に流下された種籾１４が、排出エジェクタ６４によって排出ホッパ６２から排出管６６に吸引されて、排出管６６を送風される空気によって搬送（移送）されることで、排出管６６の他端から排出される。
【００５５】
また、処理トラフ２４の前端から流下される種籾１４の表面に結露した水分は、種籾１４の表面温度が常温に比し高いことにより蒸発する。さらに、排出管６６を搬送される種籾１４は、排出管６６を送風される空気によって冷却される。これにより、種籾１４が保存に適した水分に乾燥される。
【００５６】
排出管６６の他端には、回収手段としての回収箱７０に接続されており、回収箱７０内には、排出管６６の他端から排出された種籾１４が回収（収容）される。なお、仮に回収箱７０内の種籾１４の乾燥が不十分である場合には、冷却手段としてのファン等（図示省略）によって回収箱７０内に常温の空気を短時間通風することで、種籾１４を冷却して乾燥してもよい。
【００５７】
次に、本実施の形態の作用を説明する。
【００５８】
以上の構成の種籾消毒装置１０では、投入ホッパ１２に上側から種籾１４が投入されることで、投入ホッパ１２の下端から供給振動フィーダ１６の供給トラフ１８の底壁１８Ａ上に種籾１４が流下される。
【００５９】
供給振動フィーダ１６では、供給振動装置２０が供給トラフ１８を長手方向へ往復振動させることで、供給トラフ１８の底壁１８Ａ上に流下された種籾１４が、薄層状（特に単層状）に均一に分散されると共に、転動され、かつ、前側へ徐々に搬送される。これにより、供給トラフ１８の前端から種籾１４が流下されることで、処理振動フィーダ２２の処理トラフ２４の底壁２４Ａ上に種籾１４が流下される。
【００６０】
処理振動フィーダ２２では、処理振動装置２６が処理トラフ２４を長手方向へ往復振動させることで、処理トラフ２４の底壁２４Ａ上に流下された種籾１４が、薄層状（特に単層状）に均一に分散されると共に、転動され、かつ、前側へ徐々に搬送される。これにより、処理トラフ２４の前端から種籾１４が流下されることで、冷却装置６０の排出ホッパ６２に種籾１４が流下される。
【００６１】
また、加熱装置３０の蒸気供給装置３４では、第１ブロワ４８が送気管３８に常温の空気を送風すると共に、第１ブロワ４８から送気管３８に送風された空気が１次ヒータ４２によって所定空気温度に過熱される。さらに、ボイラ４６が水蒸気を発生して蒸気管４４を介して送気管３８に供給する。このため、所定空気温度に過熱された空気が水蒸気を混合されて蒸気にされる。その後、送気管３８に送風される蒸気が２次ヒータ４０によって過熱されて、所定蒸気温度かつ所定露点温度の蒸気にされる。これにより、所定蒸気温度かつ所定露点温度の蒸気が、送気管３８から送気ホッパ３６を介して加熱筒３２内に下側から送風されて、処理トラフ２４の通気部２８における多数の通気孔２８Ａを介して通気部２８の上側に送風される。
【００６２】
したがって、上述の如く処理トラフ２４の通気部２８上を前側へ徐々に搬送される種籾１４に所定蒸気温度かつ所定露点温度の蒸気が所定加熱時間曝露される。このため、種籾１４の表面で結露が生じて湿熱により種籾１４の表面温度が所定露点温度まで速やかに上昇すると共に、種籾１４の表面温度が所定露点温度に維持されることで、種籾１４が所定露点温度で所定加熱時間加熱されて消毒される。
【００６３】
また、加熱装置３０の蒸気排出装置５０では、第２ブロワ５８が排気管５６に空気を送風することで、加熱筒３２内の蒸気が、排気エジェクタ５４によって排気ホッパ５２から排気管５６に吸引されて、排気管５６を送風される空気と共に排気管５６の他端から排気される。
【００６４】
冷却装置６０では、第３ブロワ６８が排出管６６に常温の空気を送風することで、上述の如く排出ホッパ６２に流下された種籾１４が、排出エジェクタ６４によって排出ホッパ６２から排出管６６に吸引されて、排出管６６を送風される空気によって搬送される。このため、種籾１４が、排出管６６の他端から排出されて、回収箱７０内に回収される。
【００６５】
また、処理トラフ２４の前端から流下される種籾１４の表面に結露した水分は、種籾１４の表面温度が常温に比し高いことにより蒸発する。さらに、排出管６６を搬送される種籾１４は、排出管６６に送風された空気によって冷却される。これにより、種籾１４が保存に適した水分に乾燥される。
【００６６】
ところで、上述の如く、加熱装置３０が処理トラフ２４の通気部２８上の種籾１４を蒸気により加熱して消毒する。このため、短時間で良好に種籾１４を消毒することができ、消毒処理能力を高くできる。
【００６７】
さらに、消毒した種籾１４を、冷却装置６０の排出管６６に送風された空気によって冷却する。このため、短時間で種籾１４を乾燥させることができ、種籾１４の発芽率の低下を抑制できる。
【００６８】
ここで、処理振動フィーダ２２において処理振動装置２６が処理トラフ２４を長手方向へ往復振動させることで、処理トラフ２４の底壁２４Ａ上の種籾１４が、効果的に、薄層状（特に単層状）に均一に分散できると共に、転動できる。このため、種籾１４を均一に加熱して消毒でき、消毒処理能力を一層高くできる。
【００６９】
また、供給振動フィーダ１６において供給振動装置２０が供給トラフ１８を長手方向へ往復振動させることで、供給トラフ１８の底壁１８Ａ上の種籾１４が、薄層状（特に単層状）に均一に分散されつつ、前側へ徐々に搬送されて、供給トラフ１８の前端から処理トラフ２４の底壁２４Ａ上に流下される。しかも、供給トラフ１８が前方へ向かうに従い下方へ向かう方向へ僅かに傾斜されているため、供給トラフ１８の底壁１８Ａ上の種籾１４に供給トラフ１８の往復振動による前側への搬送力のみならず重力による前側への移動力も作用される。
【００７０】
このため、種籾１４毎の大きさや重さのバラツキにより生じる種籾１４毎の前側への搬送速度のバラツキを抑制できる。これにより、供給トラフ１８の前端から処理トラフ２４の底壁２４Ａへの種籾１４の流下量（単位時間当たりの流下量）を一定に制御できて、処理トラフ２４の通気部２８上において種籾１４を一層効果的に均一に加熱して消毒できる。
【００７１】
さらに、処理振動フィーダ２２において処理振動装置２６が処理トラフ２４を長手方向へ往復振動させることで、処理トラフ２４の底壁２４Ａ上の種籾１４が、前側へ徐々に搬送される。しかも、処理トラフ２４が前方へ向かうに従い下方へ向かう方向へ僅かに傾斜されているため、処理トラフ２４の底壁２４Ａ上の種籾１４に処理トラフ２４の往復振動による前側への搬送力のみならず重力による前側への移動力も作用される。
【００７２】
このため、種籾１４毎の大きさや重さのバラツキにより生じる種籾１４毎の前側への搬送速度のバラツキを抑制できると共に、処理トラフ２４の通気部２８上で蒸気に曝露された種籾１４の表面に結露した水分等が種籾１４の前側への搬送速度に影響を与えることを抑制できる。これにより、種籾１４が処理トラフ２４の底壁２４Ａ上を前側へ搬送される速度を一定に制御できて、種籾１４が処理トラフ２４の通気部２８上を前側へ搬送される時間（所定加熱時間）を一定に制御でき、処理トラフ２４の通気部２８上において種籾１４を一層効果的に均一に加熱して消毒できる。
【００７３】
また、供給トラフ１８の前端からの種籾１４が処理トラフ２４の通気部２８後側近傍における底壁２４Ａ上に流下される。このため、処理トラフ２４が通気部２８において蒸気によって加熱されて通気部２８より後側の底壁２４Ａに熱が伝熱されても、通気部２８より後側の底壁２４Ａに伝熱された熱によって種籾１４が加熱されることを抑制できる。これにより、種籾１４が所定加熱時間以外に加熱されることを抑制できて、種籾１４の加熱温度を容易に制御できる。
【００７４】
なお、本実施の形態では、供給トラフ１８の前端の前側に処理トラフ２４の通気部２８を配置して、供給トラフ１８の前端からの種籾１４が処理トラフ２４の通気部２８後側における底壁２４Ａ上に流下される。しかしながら、供給トラフ１８の前端の下方に処理トラフ２４の通気部２８を配置して、供給トラフ１８の前端からの種籾１４が処理トラフ２４の通気部２８上に流下されてもよい。これにより、供給トラフ１８の前端からの種籾１４が通気部２８の上側に送風される蒸気中を流下されることで、種籾１４を一層均一に加熱して消毒できる。
【００７５】
また、本実施の形態において、処理トラフ２４の底壁２４Ａ上に、供給トラフ１８の前端からの種籾１４の流下位置の後側近傍（特に通気部２８の後側近傍）において、阻止手段としての阻止壁を立設してもよい。これにより、処理トラフ２４の底壁２４Ａ上に流下した種籾１４が反動で後側へ移動されることを阻止壁によって阻止でき、処理トラフ２４の底壁２４Ａ上での種籾１４の搬送方向を前側に限定できる。
【００７６】
さらに、本実施の形態において、処理トラフ２４の通気部２８上面に、前側へ向かうに従い下降する段差を所定数設けてもよい。これにより、通気部２８上での種籾１４の搬送方向を前側に限定でき、種籾１４が通気部２８上を前側へ搬送される時間（所定加熱時間）を一層安定させることができる。
【００７７】
また、本実施の形態では、処理トラフ２４の通気部２８を加熱筒３２内に収容した。しかしながら、加熱筒３２を設けずに処理トラフ２４の通気部２８を露出させてもよい。この場合、処理トラフ２４の通気部２８に送気ホッパ３６及び排気ホッパ５２を接近させるのが好ましい。
【００７８】
（実験例）
図２及び図３には、それぞれ本実施の形態の実験例の結果の表が示されている。
【００７９】
図２に示す如く、種籾消毒装置１０による処理後の種籾１４の発芽率（ろ紙を敷いたシャーレ内に浸種処理及び催芽処理をした種籾１４を配置しかつ人工気象器内で３日間育苗後に正常発芽する粒数の割合）は、所定加熱時間が５秒で所定露点温度（湿球温度）が９０℃である場合を除き、９０％以上であって、高くできる。
【００８０】
図３に示す如く、種籾消毒装置１０による処理後の種籾１４の表面へのいもち病の分生胞子形成率は、種籾消毒装置１０による処理がされない種籾１４の場合の３０．７％に比し、著しく低くできる（０％にできる）。
【符号の説明】
【００８１】
１０    種籾消毒装置（種子の消毒方法及びその装置）
１４    種籾（種子）
１６    供給振動フィーダ（供給手段）
２２    処理振動フィーダ（転動手段）
２４    処理トラフ（載置部材）
３０    加熱装置（加熱手段）
６０    冷却装置（冷却手段）
【図１】
0005621085.tif 000002
【図２】
0005621085.tif 000003
【図３】
0005621085.tif 000004