(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
略半円状の一対の分割プレートの分割面を互いに突き合わせて形成される略円形板の中間プレートを検査する、ツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置であって、
前記ツインロータリ圧縮機の圧縮部に組み込まれる前における前記中間プレートの前記一対の分割面を互いに突き合わせるための第一突き合わせ手段と、該突き合わせ手段によって突き合わせられた状態における前記分割面同士の隙間を測定する分割面隙間測定手段と、前記突き合わせ手段によって突き合わせられた状態における分割面に垂直な方向の前記中間プレートの外径を測定する第一外径測定手段と、を具備する第一検査装置と、
前記ツインロータリ圧縮機の圧縮部に組み込まれた状態における前記中間プレートの一対の分割面を互いに突き合わせるための第二突き合わせ手段と、該突き合わせ手段によって突き合わせられた状態における前記分割面に垂直な方向の前記中間プレートの外径を測定する第二外径測定手段と、を具備する第二検査装置と、
前記分割面隙間測定手段が測定した前記分割面同士の隙間が所定の規定値未満の場合に、前記第一外径測定手段が測定した前記中間プレートの外径と、前記第二外径測定手段が測定した前記中間プレートの外径とに基づいて、前記圧縮部に組み込まれた状態における前記中間プレートの突き合わせられた一対の分割面同士の隙間を算出する制御手段と、
を有することを特徴とするツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置。
【請求項２】
前記分割面隙間測定手段が、前記突き合わせ手段によって突き合わせられた状態における前記分割面に赤色光を照射する発光手段と、該発光手段に対応して配置され、前記分割面同士の隙間を前記赤色光が通過した場合、該通過した赤色光を検知する画像センサと、を具備し、
前記画像センサがＣＣＤカメラであって、前記通過した赤色光を検知した面積を認識して、前記分割面同士の隙間の位置および幅を測定することを特徴とする請求項１記載のツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置。
【請求項３】
前記第一突き合わせ手段が、前記中間プレートが載置される受け治具と、該受け治具に載置された前記中間プレートを該受け治具に押し付ける押し付け手段を具備することを特徴とする請求項１または２記載のツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置。
【請求項４】
前記分割プレートの外周に、前記分割面と平行な平面部が形成され、
前記第一突き合わせ手段および前記第二突き合わせ手段は、前記平面部に当接する基準プレートを具備することを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置、特に、分割タイプである中間プレートの分割片の分割面同士を突き合わせたときの分割面同士の隙間（突き合わせる面同士の隙間）を測定することができる、ツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の物体同士の隙間を検査する隙間検査装置として、光源の光線を隙間に照射して、該隙間を通過した光線をＣＣＤカメラで撮影し、該撮影データをデジタル化してコンピュータを使用して解析することによって、隙間の大きさ、形状及び位置を測定する測定装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２７７１２０号公報（第３−４頁、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示された測定装置は、光源の光線を隙間に通し、この光を反対側に設置されたＣＣＤカメラにおいて光の明暗を認識することにより、隙間の判別を行うものであるため、以下の問題があった。
（あ）室内の照明等が隙間に入った場合、誤認識が発生するため、測定装置の周囲をカバーで覆うことで誤作動を防いでいたが、装置稼動部より入る光によって、完全に誤作動を無くすことができなかった。
（い）また、この測定装置をツインロータリ圧縮機の圧縮部の組み立て時の検査に使用しようとすると、圧縮部を構成する分割タイプである中間プレートの分割面に、直接光線を当てることができないため、組立後の中間プレートの分割面の隙間（隙間の有無は大きさ等）を測定することができなかった。
（う）さらに、この測定装置のメンテナンス・作業面については、カバーで外周を覆うため構成要素が多く、メンテナンスや作業に多くの時間が必要であった。
【０００５】
この発明は、上記のような問題を解決するためになされたもので、分割タイプである中間プレートの分割片の分割面同士を突き合わせたときの分割面同士の隙間を、単純かつ精度良く検出することができる、ツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置は、略半円状の一対の分割プレートの分割面を互いに突き合わせて形成される略円形板の中間プレートを検査するものであって、
前記ツインロータリ圧縮機の圧縮部に組み込まれる前における前記中間プレートの前記一対の分割面を互いに突き合わせるための第一突き合わせ手段と、該突き合わせ手段によって突き合わせられた状態における前記分割面同士の隙間を測定する分割面隙間測定手段と、前記突き合わせ手段によって突き合わせられた状態における分割面に垂直な方向の前記中間プレートの外径を測定する第一外径測定手段と、を具備する第一検査装置と、
前記ツインロータリ圧縮機の圧縮部に組み込まれた状態における前記中間プレートの一対の分割面を互いに突き合わせるための第二突き合わせ手段と、該突き合わせ手段によって突き合わせられた状態における前記分割面に垂直な方向の前記中間プレートの外径を測定する第二外径測定手段と、を具備する第二検査装置と、
前記分割面隙間測定手段が測定した前記分割面同士の隙間が所定の規定値未満の場合に、前記第一外径測定手段が測定した前記中間プレートの外径と、前記第二外径測定手段が測定した前記中間プレートの外径とに基づいて、前記圧縮部に組み込まれた状態における前記中間プレートの突き合わせられた一対の分割面同士の隙間を算出する制御手段と、
を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係るツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置は、圧縮部に組み込まれる前における単品の中間プレートについて、突き合わせられた状態における分割面の隙間および中間プレートの外径を測定する第一検査装置と、圧縮部に組み込まれた後の中間プレートについて、突き合わせられた状態における外径を測定する第二検査装置と、第一検査装置が測定した分割面の隙間と中間プレートの外径の値と、第二検査装置が測定した中間プレートの外径の値とを比較して、圧縮部に組み込まれた後の中間プレートにおける分割面同士の隙間を算出する制御装置とを有するため、圧縮部に組み込まれた後の中間プレートにおける分割面同士の隙間を、単純かつ精度良く知ることができるから、圧縮部の品質の維持および向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施の形態に係るツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置を説明するものであって、検査対象が組み込まれた部材を模式的に示す正面視の断面図。
【図２】図１に示す検査対象（中間プレート）を模式的に示す平面図。
【図３】検査装置の一部（第一検査装置）を模式的に示す正面図。
【図４】図３に示す検査装置の一部（第一検査装置）を模式的に示す平面図。
【図５】検査装置の一部（第二検査装置）を模式的に示す正面図。
【図６】図５に示す検査装置の一部（第二検査装置）を模式的に示す平面図。
【図７】検査装置の一部（制御手段）を示す電気配線図。
【図８】検査装置における検査の流れを示す動作フローチャート。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
［実施の形態］
図１〜図８は本発明の実施の形態に係る、ツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置を説明するものであって、図１は検査対象（中間プレート）が組み込まれた部材（ツインシリンダタイプワーク）を模式的に示す正面視の断面図、図２は図１に示す検査対象（中間プレート）を模式的に示す平面図、図３および図４は一部（第一検査装置）を模式的に示す正面図および平面図、図５および図６は一部（第二検査装置）を模式的に示す正面図および平面図、図７は一部（制御手段）を示す電気配線図、図８は検査の流れを示す動作フローチャートである。なお、各図における同じ部分または相当する部分には同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【００１０】
（検査装置）
本発明の実施の形態に係る、ツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置（図示しない、「検査装置」と称する場合がある）は、第一検査装置１００、第二検査装置２００および制御装置３００を有するものであって、以下、第二検査装置２００の検査対象であるツインロータリ圧縮機に搭載された圧縮部（ツインシリンダタイプワーク）について説明し、ついで、第一検査装置１００の検査対象である前記圧縮部を形成する中間プレートについて説明する。その後、第一検査装置１００および第二検査装置２００を説明し、最後に、制御装置３００および検査の流れを説明する。
【００１１】
（圧縮部）
図１において、まず、ツインロータリ圧縮機に搭載された圧縮部（検査対象が組み込まれている）について説明する。
圧縮部（以下、「ツインシリンダタイプワーク」と称す）１５は、一対の圧縮機構（メカ部）を有している。
すなわち、一方の圧縮機構には、第一ワーク軸受１と第一ワークシリンダ２と中間プレート５とによって第一圧縮室３が形成され、第一圧縮室３に第一ピストン４が移動自在に配置され、第一圧縮室３の内周面と第一ピストン４の端面（外面）との間に第一圧縮室隙間Ａが形成されている。
また、他方の圧縮機構には、第二ワーク軸受１０と第二ワークシリンダ７と中間プレート５とによって第二圧縮室８が形成され、第二圧縮室８に第二ピストン９が移動自在に配置され、第二圧縮室８の内周面と第二ピストン９の端面（外面）との間に第二圧縮室隙間Ｂが形成されている。
そして、第一ピストン４および第二ピストン９は、それぞれシャフト１１に形成された第一偏芯部１１ａおよび第二偏芯部１１ｂに取り付けられ、シャフト１１の回転によって、第一圧縮室隙間Ａおよび第二圧縮室隙間Ｂの大きさが変動するから、第一圧縮室３および第二圧縮室８において、冷媒等の流体は高温・高圧の状態に圧縮される。なお、第一偏芯部１１ａと第二偏芯部１１ｂとは位相が相違しているため、それぞれ第一圧縮室３および第二圧縮室８において、冷媒は交互に圧縮される。
【００１２】
（中間プレート）
図２において、中間プレート５は、略半円盤状の第一分割プレート（以下、説明の便宜上「右分割プレート」と称す）５ａと第二分割プレート（以下、説明の便宜上「左分割プレート」と称す）５ｂとから構成されるものである。
右分割プレート５ａは、略半円弧状の右外周１６ａと、右外周１６ａの一部に形成された平面である右基準面１７ａと、右基準面１７ａに平行で、右外周１６ａの円弧の中心を通過する右分割面１９ａと、右分割面１９ａの一部に形成され、右外周１６ａと同心である半円弧状の右内周１８ａと、を有している。
左分割プレート５ｂの外郭は右分割プレート５ａと面対称の形状であって、左外周１６ｂと、左基準面１７ｂと、左分割面１９ｂと、左内周１８ｂと、を有している。
また、後記する受け治具２３との位置決めのため、右分割プレート５ａおよび左分割プレート５ｂには、それぞれ右位置決め孔２１ａおよび左位置決め孔２１ｂが形成されている。
【００１３】
そして、右分割面１９ａと左分割面１９ｂとを密着させたとき、すなわち、図２に示す分割面隙間Ｃが０（ゼロ）になったとき、右内周１８ａと左内周１８ｂのそれぞれの円弧の中心が一致し、右内周１８ａと左内周１８ｂとによって円筒状の中心孔２０が形成されるように設計されている（実際は、分割面隙間Ｃが０（ゼロ）にならない場合がある）。
なお、シャフト１１の第一偏芯部１１ａと第一偏芯部１１ａとに挟まれた部分が、中心孔２０内に配置され（該部分が右内周１８ａと左内周１８ｂとによって包囲される）ものであって、配置された状態における、シャフト１１の前記部分の外周面と中心孔２０の内周面との間隙を、シャフト隙間Ｄと称す（図１参照）。
【００１４】
なお、第一圧縮室３と第二圧縮室８を仕切る中間プレートが一体物（一枚板）である場合には、かかる中間プレートを圧縮部に配置するために、シャフト１１の第一偏芯部１１ａまたは第二偏芯部１１ｂを通過させる必要があるから、シャフト隙間Ｄを大きくする必要がある。そうすると、シャフト隙間Ｄが大きくなり、第一圧縮室３や第二圧縮室８からの漏れが大きくなることから、圧縮機の性能が低下する。
すなわち、中間プレート５を分割された右分割プレート５ａと左分割プレート５ｂとによって構成することによって、シャフト１１を左右から挟み付ける（正確には当接していない）ことができるから、シャフト隙間Ｄを小さくすることによって、圧縮機の性能が向上している。なお、右分割面１９ａと左分割面１９ｂとの間に隙間が発生した場合（正確には、分割面隙間Ｃが０（ゼロ）であるとみなすことができない場合）は、第一圧縮室３と第二圧縮室８とが連通するため、圧縮性能の低下が発生する。
【００１５】
（ツインシリンダタイプワークの組立方法）
次に、ツインシリンダタイプワーク１５の組立方法について説明する。
図１において、円周上の一方向で第一ピストン４の端面（外面）と第一ワークシリンダ２の内周面との間の間隙である第一圧縮室隙間Ａが、シャフト１１の第一偏芯部１１ａにおいて図面スペック（設計基準値）に納まるように、第一ワークシリンダ２と第一ワーク軸受１とを複数のボルト１２によって接合（固定）する。
そして、シャフト１１の第一偏芯部１１ａに第一ピストン４を設置し、第一ピストン４が設置されたシャフト１１を第一ワーク軸受１に挿入し、第一ピストン４を第一圧縮室３に配置する。
【００１６】
また、前記と同様に、第二圧縮室隙間Ｂが、シャフト１１の第二偏芯部１１ｂにおいて図面スペック（設計基準値）に納まるように、第二ワークシリンダ７と第二ワーク軸受１０とを複数のボルト１４によって接合（固定）する。
そして、シャフト１１の第二偏芯部１１ｂに第二ピストン９を設置し、第二ピストン９が設置されたシャフト１１を第二ワーク軸受１０に挿入し、第二ピストン９を第二圧縮室８に配置する。
そこで、単品の状態において、分割面隙間Ｃが基準値内に納まっていることが既に確認されている中間プレート５（特定の右分割プレート５ａと特定の左分割プレート５ｂとからなるセット）を、シャフト１１に設置してツインシリンダタイプワーク１５を組み立てる。
【００１７】
すなわち、第一ワークシリンダ２の下面（第一ワーク軸受１が当接していない面）と第二ワークシリンダ７の上面（第二ワーク軸受１０が当接していない面）との間に、シャフト１１を挟み付けるように両側から、右分割プレート５ａと左分割プレート５ｂとを挿入する。
そして、第一ワークシリンダ２に形成された複数のボルト孔にボルト１３を挿入し、第二ワークシリンダ７に形成された雌ネジにボルト１３を螺合し、中間プレート５を緩んだ状態で挟圧する（ボルト１３を仮締めする）。
【００１８】
最後に、第一ワーク軸受１と第二ワーク軸受１０との芯出しを行い、複数のボルト１３を締め付ける（本締めする）。このとき、中間プレート５の分割面隙間Ｃを０（ゼロ）にすれば、右内周１８ａの円弧の中心と左内周１８ｂの円弧の中心とは一致し、中心孔２０は円筒になる。
そこで、中間プレート５の外径をクランプし（右分割プレート５ａと左分割プレート５ｂとを挾持して、右分割面１９ａと左分割面１９ｂとを当接させ）、右分割面１９ａと左分割面１９ｂと隙間を検査する。そして、その値が所定の規定値未満である（分割面隙間Ｃが０（ゼロ）あるいは０（ゼロ）とみなせる）ものが、良品（合格品）とされる。
【００１９】
（第一検査装置）
次に第一検査装置の構成について説明する。
図３（正面図）において、第一検査装置１００は、下フレーム４４に支持されたベースプレート２６と、ベースプレート２６に設置された各部材から構成されている。ベースプレート２６の中心部分（装置中心部分に同じ）に、中間プレート５がセットされる受け治具２３が複数のボルト２２によって固定されている。
そして、中間プレート５が受け治具２３に確実に着座していることを検知する複数の近接センサ２４が、受け治具２３にボルト２５によって固定されている。
【００２０】
（ＬＥＤ光源）
さらに、ベースプレート２６の中心部分には貫通孔が形成され、該貫通孔を囲むようにベースプレート２６の下面に複数の六角支柱３１が固定され、六角支柱３１にはボルト３０によって光源用プレート２９が固定されている。
そして、光源用プレート２９にはＬＥＤ光源２７がボルト２８によって設置されている。ＬＥＤ光源２７の一部（先端部）は、前記貫通孔を通過し、ベースプレート２６の上面に突出し、受け治具２３に載置される中間プレート５の右分割面１９ａと右分割面１９ａとの突き当て部に向けて、赤色光が照射可能になっている。
【００２１】
（画像センサ）
また、ベースプレート２６の上面には上フレーム３２が立設され、上フレーム３２に上プレート３４が固定されている。そして、上プレート３４には画像センサ（ＣＣＤカメラに同じ）３６が複数のボルト３５によって固定されている。すなわち、画像センサ３６は、ＬＥＤ光源２７が発した赤色光が入射する位置に配置され、かかる赤色光を検知することができる。
すなわち、ＣＣＤカメラ３６の画素１個を単位面積として、赤色に見える波長６１０ｎｍ〜７５０ｎｍが当たっている画素の数を数えて面積に変換することによって、分割面隙間Ｃを求めている。このとき、室内の照明等、例えば蛍光灯の光は、その中に赤色が含まれるものの、色で見た場合「白」で判断されるため、ＬＥＤ光源２７が発する赤色光と混同されることはない。つまり、外乱にならないため、ＣＣＤカメラ３６への入射を防止するためのカバー等が不要になっている。
なお、ＬＥＤ光源２７が発する光線は、赤色光に限定するものではなく、周囲の照明の影響を受けない色であれば何れであってもよい。
すなわち、本発明において「分割面隙間測定手段」は、ＬＥＤ光源２７およびは画像センサ（ＣＣＤカメラに同じ）３６を具備している。
【００２２】
（プッシャ）
さらに、ベースプレート２６の上面で受け治具２３の近傍にはクランプシリンダ４３が設置されている。クランプシリンダ４３の軸部（稼働部）先端には、複数のプッシャガイド４０が形成されたクランプアーム３８がボルト３７によって固定されている。そして、プッシャガイド４０にはプッシャ４２が昇降（移動）自在に挿入され、プッシャ４２は、ボルト３９によって、プッシャガイド４０から抜け出し不能に保持されると共に、プッシャスプリング４１によって下方に付勢されている。このとき、複数のプッシャ４２は受け治具２３の上方に位置している。
【００２３】
したがって、クランプシリンダ４３がクランプアーム３８を引き下げたとき、プッシャ４２の下端面は、受け治具２３に載置された中間プレート５の上面に当接し、中間プレート５を受け治具２３の上面に押し付ける。このとき、プッシャ４２は、プッシャスプリング４１によって下方に付勢されているから、中間プレート５は受け治具２３の上面に、複数の箇所において均等に押し付けられ、浮き上がりが防止される。すなわち、後記する右基準プレート５２ａと左基準プレート５２ｂとによって中間プレートが挟圧される際、右分割面１９ａと左分割面１９ｂとが確実に押し合う（右分割面１９ａおよび左分割面１９ｂの一方が他方からずれて（相対的に移動して）、当接が外れることが防止される）。
【００２４】
さらに、上フレーム３２には、装置内への侵入を検知するエリアセンサ３３が固定されている。エリアセンサ３３は上フレーム３２の対向する柱（脚）部分に設置された、一対の縦に長い箱によって形成され、一方の箱に設置された発光素子から等ピッチで光が照射され、他方の箱に設置された受光素子が、かかる光を検知するようになっている。したがって、装置内に何らかの侵入物（例えば、作業者の手等）がある場合には、かかる光は遮られるから、その状況が検知される。したがって、侵入物の検知によって装置の作動を停止するようにすれば、装置の安全性が確保される。
【００２５】
（スライドプレート）
図４（平面図）において、第一検査装置１００を構成する各機器について説明する。
第一検査装置１００のベースプレート２６には中央部を挟んで、互いに並行な一対のベースレール５４ａ、５４ｃが複数のボルト５５ａ、５５ｃによって固定されている。
ベースレール５４ａ上には一対のガイドブロック（以下、説明の便宜上それぞれを、「右ガイドブロック５６ａ、左ガイドブロック５６ｂ」と称す）が移動自在に設置され、ベースレール５４ｃ上には一対のガイドブロック（以下、説明の便宜上それぞれを、右ガイドブロック５６ｃ、左ガイドブロック５６ｄ」と称す）が移動自在に設置されている。そして、右ガイドブロック５６ａおよび右ガイドブロック５６ｃとが、それぞれ右スライドプレート５７ａの端部に固定され、左ガイドブロック５６ｂおよび左ガイドブロック５６ｄとが、それぞれ左スライドプレート５７ｂの端部に固定されている。
なお、本発明において、部材を形容する「右、左」という表現は、説明上の便宜であるため、それぞれの左右が入れ替わって視認されたり、それぞれが重なって視認されたりすることがある。
【００２６】
右スライドプレート５７ａには右スライドシリンダ４７ａが右コネクタ４９ａを介して接続され、左スライドプレート５７ｂには左スライドシリンダ４７ｂが左コネクタ４９ｂを介して接続されている。なお、右スライドシリンダ４７ａは右スペーサ４６ａを介して複数のボルト４８ａによって、左スライドシリンダ４７ｂは左スペーサ４６ｂを介して複数のボルト４８ｂによって、それぞれベースプレート２６に固定されている。
したがって、右スライドプレート５７ａおよび左スライドプレート５７ｂは、右スライドシリンダ４７ａおよび左スライドシリンダ４７ｂの伸縮によって、それぞれ独立にベースレール５４ａ、５４ｃと平行に移動する。
【００２７】
また、右スライドプレート５７ａおよび左スライドプレート５７ｂの対向した面には、受け治具２３に載置された中間プレート５の右基準面１７ａおよび左基準面１７ｂに当接させるための右基準プレート５２ａおよび左基準プレート５２ｂが、それぞれ複数のボルト５３ａおよびボルト５３ｂによって固定されている。
さらに、右スライドプレート５７ａには、右基準プレート５２ａを挟んで、ベースレール５４ａ、５４ｃに平行に移動自在な右Ｖプレート５８ａが配置され、右Ｖプレート５８ａは複数の右スプリング５９ａによって付勢されている。そして、右スプリング５９ａは、右スライドプレート５７ａに設置された右カバープレート５０ａによって、散逸（飛び出し）不能に保持されている。同様に、左スライドプレート５７ｂには複数の左スプリング５９ｂによって付勢された左Ｖプレート５８ｂが設置され、左スライドプレート５７ｂに左カバープレート５０ｂが設置されている。
なお、本発明において、「第一突き合わせ手段」は、右基準プレート５２ａが設置された右スライドプレート５７ａ、右スライドプレート５７ａを移動させる右スライドシリンダ４７ａを、少なくとも具備している。
【００２８】
（リニアセンサ）
受け治具２３の上面には位置決めのための右位置決めピン６８ａおよび左位置決めピン６８ｂが立設され、受け治具２３に中間プレート５が載置された際、それぞれ右位置決め孔２１ａおよび左位置決め孔２１ｂに侵入する。
そこで、右スライドプレート５７ａおよび左スライドプレート５７ｂを前進（互いに近づく方向に移動）すると、右基準プレート５２ａは右基準面１７ａに、左基準プレート５２ｂは左基準面１７ｂにそれぞれ当接し、中間プレート５は受け治具２３上で位置決めされる。
【００２９】
したがって、右スライドプレート５７ａと左スライドプレート５７ｂが中間プレート５を両側から挟み付けた状態で、右基準面１７ａと左基準面１７ｂとの間隔、すなわち、右スライドプレート５７ａの先端（左端面）と左スライドプレート５７ｂの先端（右端面）との基準面隙間Ｅ（中間プレートの外径に相当する、図２参照）が測定される。
すなわち、右スライドプレート５７ａの左スライドプレート５７ｂに対向する面には、複数のセンサプレート６０が固定され、センサプレート６０にリニアセンサ（距離測定手段に同じ）６１が設置されている。一方、左スライドプレート５７ｂの右スライドプレート５７ａに対向する面には、複数のリニアストッパ６４が設置されている。
なお、リニアセンサ６１およびリニアストッパ６４の設置形態は、図示するものに限定するものではなく、リニアセンサ６１を左スライドプレート５７ｂに、リニアストッパ６４を右スライドプレート５７ａにそれぞれ設置してもよい。また、リニアセンサ６１およびリニアストッパ６４の数は限定するものではない。
したがって、本発明において、「第一外径測定手段」はリニアセンサ６１を具備している。
【００３０】
また、リニアセンサ６１を保護するために、右スライドプレート５７ａに、リニアセンサ６１と平行に、保護ストッパ６２が設置され、一方、左スライドプレート５７ｂには、保護ストッパ６２が当接可能な位置に、保護センサ６３が設置されている。そして、通常の検査時には、保護センサ６３に保護ストッパが当接することはなく、右スライドプレート５７ａおよび左スライドプレート５７ｂのストローク（移動量、右スライドシリンダ４７ａおよび左スライドシリンダ４７ｂの圧力に同じ）を制御している。すなわち、異常時にのみ、保護センサ６３に保護ストッパが当接するから、かかる当接が通常の検査に影響することはない。また、中間プレート５が右Ｖプレート５８ａおよび左Ｖプレート５８ｂに当接した場合、右Ｖプレート５８ａを付勢する右スプリング５９ａおよび左Ｖプレート５８ｂを付勢する左スプリング５９ｂによって後退するため、通常の検査に影響することは少ない。
なお、保護ストッパ６２および保護センサ６３の設置形態は、図示するものに限定するものではなく、保護ストッパ６２を左スライドプレート５７ｂに、保護センサ６３を右スライドプレート５７ａにそれぞれ設置してもよい。また、保護ストッパ６２および保護センサ６３の数は限定するものではない。
【００３１】
第一検査装置１００は以上の構成であるから、装置を覆うカバーが不要であるため、メンテナンスや作業が簡素で迅速になる。また、ＬＥＤ光源２７から発射させた光線（赤色光）が画像センサ（ＣＣＤカメラ）３６に確実に入射するから、装置可動部から入る光によって誤作動をすることがない。
【００３２】
（第二検査装置）
次に第二検査装置の構成について説明する。
図５および図６において、第二検査装置２００は、ツインシリンダタイプワーク１５に組み立てられた状態における中間プレート５の基準面隙間Ｅ（右基準面１７ａと左基準面１７ｂとの距離、中間プレート５の外径に相当する。図２参照）を測定するためのものであって、ツインシリンダタイプワーク１５が載置される受け治具７３を有している。
すなわち、第二検査装置２００は、第一検査装置１００からＬＥＤ光源２７、画像センサ３６およびプッシャ４２（並びにこれらをベースプレート２６に設置するための部材）を撤去して、受け治具２３を受け治具７３に変更したものであって、これを除く構成は第一検査装置１００に同じであるから、第一検査装置１００と同じ部分または相当する部分には同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
すなわち、右基準プレート５２ａが設置された右スライドプレート５７ａ、右スライドプレート５７ａを移動させる右スライドシリンダ４７ａ等を具備する「第二突き合わせ手段」と、リニアセンサ６１を具備する「第二外径測定手段」を有している。
【００３３】
受け治具７３は、ツインシリンダタイプワーク１５の第二ワークシリンダ７の下面が当接する当接面７３ａと、第二ワーク軸受１０が貫通する貫通孔７３ｂと、位置決めのための位置決めピン７３ｃと、を有している。
なお、ツインシリンダタイプワーク１５の第二ワーク軸受１０を貫通孔７３ｂに挿入して、第二ワークシリンダ７の下面を当接面７３ａに当接（載置）した状態で、右基準プレート５２ａ、右Ｖプレート５８ａ、左基準プレート５２ｂおよび左Ｖプレート５８ｂは、第一ワークシリンダ２の下面と第二ワークシリンダ７の上面とに挟まれた隙間に侵入自在な位置に位置している。
【００３４】
したがって、第一検査装置１００と同様に、右スライドプレート５７ａと左スライドプレート５７ｂが中間プレート５を両側から挟み付けた状態において、右基準面１７ａと左基準面１７ｂとの間隔、すなわち、右スライドプレート５７ａの先端（左端面）と左スライドプレート５７ｂの先端（右端面）との基準面隙間Ｅを測定することができる。
すなわち、組み立てられた状態において、分割面隙間Ｃを直接測定することはできないものの、基準面隙間Ｅを測定することによって、組み立て前後における分割面隙間Ｃの変化を知ることができる（これについては、以下に説明する）。
【００３５】
（制御手段）
図７は、第一検査装置１００および第二検査装置２００を制御する制御装置３００を示す電気配線図である。
図７において、制御装置３００は、第一検査装置１００を制御する第一制御部（以下、「第一シーケンサ」と称す）３１０と、第二検査装置２００を制御する第二制御部（以下、「第二シーケンサ」と称す）３２０と、第一シーケンサ３１０および第二シーケンサ３２０に接続された統合制御部（以下、「統合シーケンサ」と称す）３３０と、を有している。
【００３６】
第一シーケンサ３１０には、ブレーカ９６を通し、第二シーケンサ３２０はブレーカ９７を通して、統合シーケンサ３３０にはブレーカ９８を通し、それぞれ電源が供給される。
なお、第一シーケンサ３１０および第二シーケンサ３２０において、同じ部分または相当する部分には、同じ符号を付し、一部の説明を省略する。また、第一シーケンサ３１０、第二シーケンサ３２０および統合シーケンサ３３０は、説明を容易にするため別個のものであるように記載しているが、一方の機能を他方に取り込んで、１または２のシーケンサに集約してもよい。
【００３７】
第一シーケンサ３１０は、演算プログラムが登録され、数値演算を行うシーケンサＣＰＵ３００ｂと、各ユニットに電源を供給するシーケンサ電源３００ａと、近接センサ２４（中間プレート５が受け治具２３に確実に着座していることを検知する）からの信号を受け取る入力ユニット３００ｃと、エアーバルブユニット９９に信号を送る出力ユニット３００ｄと、リニアセンサ６１のアナログデータをデジタルデータに変換するＡＤ変換ユニット３００ｅと、が組み込まれている。
なお、エアーバルブユニット９９は、クランプシリンダ４３、右スライドシリンダ４７ａおよび左スライドシリンダ４７ｂのそれぞれに供給する圧縮空気の量を調整するものである。すなわち、それぞれのユニットから入力されるデータをもとに、シーケンサＣＰＵ３００ｂ内に組み立てられたプロゴラムにおいて各部材を動作させる。
【００３８】
第二シーケンサ３２０は、第一シーケンサ３１０と略同じであるが、第二検査装置２００には、クランプシリンダ４３（プッシャ４２を昇降（移動）させる）が設置されていないため、エアーバルブユニット９９は、クランプシリンダ４３に供給する圧縮空気の量を調整することはない。
統合シーケンサ３３０には、第一シーケンサ３１０のシーケンサＣＰＵ３００ｂと第二シーケンサ３２０のシーケンサＣＰＵ３００ｂとが接続され、前者から入力される単体隙間合計値Ｅ５と、後者から入力される組立隙間合計値Ｅ１５とが比較される（これについては、後記する）。
【００３９】
（動作）
次に第一検査装置１００および第二検査装置２００を用いた検査の流れについて、制御装置３００の制御を図８に示す動作フローチャートに沿って説明する。
【００４０】
（中間プレート単体における基準面隙間Ｅの測定）
第一検査装置１００において、装置中央の受け治具２３の上面に中間プレート５を載置する（Ｓ１）。このとき、右位置決め孔２１ａおよび左位置決め孔２１ｂに、右位置決めピン６８ａおよび左位置決めピン６８ｂがそれぞれ侵入している。
続いて、右スライドシリンダ４７ａおよび左スライドシリンダ４７ｂ（右スライドプレート５７ａおよび左スライドプレート５７ｂに同じ）を前進させ（Ｓ２）、右基準プレート５２ａの先端および左基準プレート５２ｂの先端を、それぞれ中間プレート５の右基準面１７ａおよび左基準面１７ｂに当接させる（Ｓ３）。このとき、右スライドシリンダ４７ａの圧力（左スライドシリンダ４７ｂの圧力に同じ）は、第二検査装置２００における組立隙間値を測定する際（Ｓ２３参照）の右スライドシリンダ４７ａの圧力に同じである。
また、右Ｖプレート５８ａは中間プレート５の右外周１６ａを、左Ｖプレート５８ｂは中間プレート５の左外周１６ｂをそれぞれ規制し（Ｓ４）、クランプシリンダ４３に押し下げられたプッシャ４２が、中間プレート５を上から押さえつけ、浮き上がりを防止している（Ｓ５）。
【００４１】
そして、保護ストッパ６２が保護センサ６３に当たる（ＯＮ）場合は（Ｓ６）、リニアセンサ６１の測定範囲を超える可能性があるため測定を中断し、装置アラーム（図示しない）が発生される（Ｓ７）。
一方、保護ストッパ６２が保護センサ６３に当たらない（ＯＦＦ）場合は（Ｓ６）、中間プレート５は正常にクランプされたと判断し、ＬＥＤ光源２７を点灯させる（Ｓ８）。
そうすると、中間プレート５の下から投光された赤色光は、右分割面１９ａと左分割面１９ｂとの間に分割面隙間Ｃが発生している場合（Ｃ≠０）、分割面隙間Ｃを通って画像センサ３６によって検知される（Ｓ９）。
【００４２】
画像センサ３６において検知された赤色光は、その色面積が演算され、演算された色面積の値が所定の規定値以上である場合、中間プレート５は単体として分割面隙間Ｃが過大であるから、不良品（ＮＧ品）と判定し、装置アラームが発生される（Ｓ７）。
一方、演算された色面積の値が所定の規定値以下の場合、分割面隙間Ｃが無い（正確には、無いに等しい）と判断し、リニアセンサ６１の数値が入力され（Ｓ１０）、それを合計した値（以下、「単体隙間合計値Ｅ５」と称す）を記憶する（Ｓ１１）。この記憶した単体隙間合計値Ｅ５は、この後、第二検査装置において使用する。かかる記憶の後、各部材は元の位置に戻り、「単品良品」として終了とする（Ｓ１２）。
【００４３】
（ツインシリンダタイプワークにおける基準面隙間Ｅの測定）
次に、第二検査装置２００おいて、ツインシリンダタイプワーク１５に組み込まれている中間プレート５の基準面隙間Ｅを測定する。すなわち、第一検査装置１００におけると略同様に、装置中央の受け治具７３の上面にツインシリンダタイプワーク１５を載置する（Ｓ２１、正確には、当接面７３ａに第二ワークシリンダ７の下面を当接する）。続いて、右スライドシリンダ４７ａおよび左スライドシリンダ４７ｂ（右スライドプレート５７ａおよび左スライドプレート５７ｂに同じ）を前進させ（Ｓ２２）、右基準プレート５２ａの先端および左基準プレート５２ｂの先端を、それぞれ中間プレート５の右基準面１７ａおよび左基準面１７ｂに当接させる（Ｓ２３）。このとき、右スライドシリンダ４７ａの圧力（左スライドシリンダ４７ｂの圧力に同じ）は、第一検査装置１００における組立隙間値を測定する際（Ｓ３参照）の右スライドシリンダ４７ａの圧力に同じである。
また、右Ｖプレート５８ａは中間プレート５の右外周１６ａを、左Ｖプレート５８ｂは中間プレート５の左外周１６ｂをそれぞれ規制している（Ｓ２４）。
【００４４】
そして、保護ストッパ６２が保護センサ６３に当たる（ＯＮ）場合は（Ｓ２５）、リニアセンサ６１の測定範囲を超える可能性があるため測定を中断し、装置アラーム（図示しない）が発生される（Ｓ２６）。
一方、保護ストッパ６２が保護センサ６３に当たらない（ＯＦＦ）場合は（Ｓ２５）、リニアセンサ６１の数値が入力され（Ｓ２７）、それを合計した値（以下、「組立隙間合計値Ｅ１５」と称す）を記憶する（Ｓ２８）。
さらに、第一検査装置１００において計測した中間プレート５単体における基準面隙間Ｅについての単体隙間合計値Ｅ５と、第二検査装置２００において計測したツインシリンダタイプワーク１５に組み込まれている中間プレート５の基準面隙間Ｅについての組立隙間合計値Ｅ１５とを比較し（Ｓ２９）、両者の差が所定の基準値以下である場合（Ｓ３０）には、各部材は元の位置に戻り、「組み立て良品」として終了とする（Ｓ３１）。
【００４５】
なお、単体隙間合計値Ｅ５および組立隙間合計値Ｅ１５の保管や送信の要領は限定されるものではなく、例えば、中間プレート５自体または中間プレート５が載置されるパレット（図示しない）に識別表示（ＩＣタグ等）を付しておき、第二検査装置２００の検査を開始する際に、該識別表示を読み取って、これを元に、制御手段に記憶された第一検査装置１００における検査結果を呼び出すようにしてもよい。また、識別表示（ＩＣタグ等）自体に第一検査装置１００における検査結果を登録してもよい。
【００４６】
以上のように、本発明の検査装置（図示しない）は、ツインロータリ圧縮機（図示しない）の組立工程において分割された中間プレート５の右分割プレート５ａと左分割プレート５ｂとが突き合わせた状態における分割面隙間Ｃを単純かつ精度良く検出すると共に、中間プレート５の基準面隙間Ｅを測定する第一検査装置１００と、ツインシリンダタイプワーク１５に組み立てられた状態における中間プレート５の基準面隙間Ｅを測定する第二検査装置２００と、両者を制御すると共に、両者が測定した基準面隙間Ｅ（単体隙間合計値Ｅ５、組立隙間合計値Ｅ１５）とを比較する制御装置３００と、を有しているから、組み込み前の中間プレート５の良否判断と、良品と判断された中間プレート５のツインシリンダタイプワーク１５に組み立てられた状態における良品が判断される。
【００４７】
このとき、ＬＥＤ光源２７に赤色光を使用し、画像センサ（ＣＣＤカメラ）３６では赤色面積で判定を行う事により、周囲の照明の影響を押さえ、精度良く隙間の測定が出来る。
また、ツインシリンダタイプワーク１５に組み立てられる前に、分割面隙間Ｃが無い状態で（正確には無い状態にするように）中間プレート５の外周をクランプして、基準面隙間Ｅを測定し、組立後に、再度クランプする事により組立前の測定値との差を演算して、基準面隙間Ｅの変化量ΔＥ（ΔＥ＝Ｅ１５−Ｅ５）を測定しているから、組立後に、分割面隙間Ｃが拡大したか否か（中心孔２０が真円のままであるか否か）を検査することができる。よって、第一圧縮室３および第二圧縮室８の液密度が向上するから、ツインシリンダタイプワーク１５の圧縮性能を良好にすることができる。
【００４８】
すなわち、単品の中間プレート５について、分割面隙間Ｃが「Ｃ５」で基準面隙間Ｅが「Ｅ１５」であると測定され、組み立て後の中間プレート５について、基準面隙間Ｅが「Ｅ１５」であると測定された場合、組み立て前後の中間プレート５の外径の拡大量ΔＥは「ΔＥ＝Ｅ１５−Ｅ５」であるから、組み立て後の中間プレート５の分割面隙間Ｃ１５は、「Ｃ１５＝Ｃ５＋ΔＥ」として演算することができる。
【符号の説明】
【００４９】
１：第一ワーク軸受、２：第一ワークシリンダ、３：第一圧縮室、４：第一ピストン、５：中間プレート、５ａ：右分割プレート、５ｂ：左分割プレート、７：第二ワークシリンダ、８：第二圧縮室、９：第二ピストン、１０：第二ワーク軸受、１１：シャフト、１１ａ：第一偏芯部、１１ｂ：第二偏芯部、１２：ボルト、１３：ボルト、１４：ボルト、１５：ツインシリンダタイプワーク、１６ａ：右外周、１６ｂ：左外周、１７ａ：右基準面、１７ｂ：左基準面、１８ａ：右内周、１８ｂ：左内周、１９ａ：右分割面、１９ｂ：左分割面、２０：中心孔、２１ａ：右位置決め孔、２１ｂ：左位置決め孔、２２：ボルト、２３：受け治具、２４：近接センサ、２５：ボルト、２６：ベースプレート、２７：ＬＥＤ光源、２８：ボルト、２９：光源用プレート、３０：ボルト、３１：六角支柱、３２：上フレーム、３３：エリアセンサ、３４：上プレート、３５：ボルト、３６：画像センサ、３７：ボルト、３８：クランプアーム、３９：ボルト、４０：プッシャガイド、４１：プッシャスプリング、４２：プッシャ、４３：クランプシリンダ、４４：下フレーム、４６ａ：右スペーサ、４６ｂ：左スペーサ、４７ａ：右スライドシリンダ、４７ｂ：左スライドシリンダ、４８ａ：ボルト、４８ｂ：ボルト、４９ａ：右コネクタ、４９ｂ：左コネクタ、５０ａ：右カバープレート、５０ｂ：左カバープレート、５２ａ：右基準プレート、５２ｂ：左基準プレート、５３ａ：ボルト、５３ｂ：ボルト、５４ａ：ベースレール、５４ｃ：ベースレール、５５ａ：ボルト、５５ｃ：ボルト、５６ａ：右ガイドブロック、５６ｂ：左ガイドブロック、５６ｃ：右ガイドブロック、５６ｄ：左ガイドブロック、５７ａ：右スライドプレート、５７ｂ：左スライドプレート、５８ａ：右Ｖプレート、５８ｂ：左Ｖプレート、５９ａ：右スプリング、５９ｂ：左スプリング、６０：センサプレート、６１：リニアセンサ、６２：保護ストッパ、６３：保護センサ、６４：リニアストッパ、６８ａ：右位置決めピン、６８ｂ：左位置決めピン、７３：受け治具、７３ａ：当接面、７３ｂ：貫通孔、７３ｃ：位置決めピン、９６：ブレーカ、９７：ブレーカ、９８：ブレーカ、９９：エアーバルブユニット、１００：第一検査装置、２００：第二検査装置、３００：制御装置、３００ａ：シーケンサ電源、３００ｂ：シーケンサＣＰＵ、３００ｃ：入力ユニット、３００ｄ：出力ユニット、３００ｅ：変換ユニット、３１０：第一シーケンサ、３２０：第二シーケンサ、３３０：統合シーケンサ、Ａ：第一圧縮室隙間、Ｂ：第二圧縮室隙間、Ｃ：分割面隙間、Ｄ：シャフト隙間、Ｅ：基準面隙間、Ｅ１５：組立隙間合計値、Ｅ５：単体隙間合計値。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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