(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属ガラスにより形成されていて、長手方向の両端に一端部と他端部とを有しているとともに前記両端間に前記長手方向に沿った外周面を有しており、前記一端部が前記他端部よりも大きな径を有しており、前記一端部に入力された超音波を前記他端部まで伝達する本体と；
Ｕ字形状の湾曲端部及び両端部を有しており、前記本体中で前記湾曲端部を前記他端部に配置させるとともに前記両端部を前記一端部に配置させて前記長手方向に沿い延出し、前記両端部を前記外周面において前記一端部に対応した領域から外方に突出させたＵ字形状パイプと；
を備えており、
前記本体の前記外周面において前記一端部に対応した領域から外方に突出した前記Ｕ字形状パイプの前記両端部は、前記本体の前記一端部に入力された超音波の節に位置している、
ことを特徴とする超音波伝達部材。
【請求項２】
前記金属ガラスの基となる合金は３つ以上の元素を含んでいて、これら３つ以上の元素はＴｉ，Ｚｒ，そしてＡｌの中の少なくとも１つを含んでいる、
ことを特徴とする請求項１に記載の超音波伝達部材。
【請求項３】
前記金属ガラスの基になる合金が、Zr55Cu30Al10Ni5， Zr60Cu30Al10, Ti53Cu30Ni15Co2, Al10Ni15La65Y10, Ti53Cu15Ni18.5Hf3Al7Si3B0.5, Ti40Zr10Cu36Pd14, Ti53Cu15Ni18.5Zr3Al7Si3B0.5, のいずれか１つである、
ことを特徴とする請求項２に記載の超音波伝達部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、超音波伝達部材に関係している。
【背景技術】
【０００２】
超音波伝達部材は例えば内視鏡や超音波溶接装置等において広く使用されている。
【０００３】
米国特許第６，３２５，８１１Ｂ１号明細書（特許文献１）は内視鏡の挿入部の基端から先端まで挿入されて使用される細長い超音波伝達部材を開示しており、この超音波伝達部材の先端部には挟持腕部材が開閉可能に取り付けられている。
【０００４】
米国特許第５，４８４，３９８号明細書（特許文献２）も内視鏡の挿入部の基端から先端まで挿入されて使用される細長い中空の超音波伝達部材を開示している。
【０００５】
さらに、米国特許第５，９９７，４９７号明細書（特許文献３）も内視鏡において基端から先端まで挿入されて使用される細長い超音波伝達部材を開示している。
【０００６】
これら従来の超音波伝達部材は、夫々の一端から他端まで超音波を効率よく伝達する為に高い寸法精度を有していなければならず、また耐蝕性も必要な為、例えばチタン，チタン合金，アルミニウム合金，またはニッケル―アルミニウム合金等の金属材料を機械加工することにより作製されている。
【０００７】
これらの金属材料の高い寸法精度を伴った機械加工は、従来の超音波伝達部材の作製に要する時間を多くしているとともにコストを高くしている。
【０００８】
金属材料に比べ、結晶粒界がなく、従って耐蝕性，強度，弾性率，成形加工性，そして形状転写性に優れている材料として金属ガラスが近年注目を集めている。例えば、特開平１０−２０２３７２号公報（特許文献４）には、２つ以上の部材を金属ガラスを用いて一体的に接合することが開示されている。また、特開２０００−３４３２０５号公報（特許文献５）には、金属ガラスをその過冷却液体域において筒状に成形することが開示されている。さらに、特開平９−３２３１７４号公報（特許文献６）にも、２つ以上の部材を金属ガラスを用いて一体的に接合することが開示されている。
【０００９】
金属ガラスとは、３種以上の複数の結晶性金属を例えばアーク放電等の手段で溶解して合金化した後に急冷化することにより得られるアモルファス合金の一種であり、所定の温度範囲の過冷却液体域（ガラス遷移温度域）を有している。過冷却液体域（ガラス遷移温度域）では、加熱して柔らかくしたガラスを加工する場合のように優れた形状転写性を発揮する。また、上述した如く溶解されて合金化された複数の結晶性金属を合金化した後に急冷化する際に型部材の鋳型に注入することにより、溶融したガラスを型部材の鋳型に注入した場合と同様に、型部材の鋳型の形状寸法を精密に転写させることが出来る。例えば、所定の型部材の所定の雌型に対する一般的なアルミダイカスト合金の充填率が略８４％であるのに比べNi基の金属ガラスの上記充填率は略９９％である。
【００１０】
上記３種以上の複数の結晶性金属の夫々は元素の大きさが相互に異なっていて上述した如く合金化した後には規則正しく並ぶことがなく結晶化しない。３種以上の複数の結晶性金属はまた、合金化される前よりも合金化された後のほうがエネルギー量が少なく混ざり易い。このような金属ガラスと呼べる性質を有した種々のアモルファス合金が知られているが、例えばZr, Cu, Al,そしてNiの４種の金属からなるZr55Cu30Al10Ni5が比較的良く知られている。
【００１１】
このアモルファス合金は、Zr, Cu, Al,そしてNiの４種の金属を略１２００℃で融解させた後に10K/sec以上で急冷することにより得ることが出来、略４００℃と略４５０℃との間が過冷却液体域（ガラス遷移温度域）となっている。
【００１２】
金属ガラスは上述した優れた形状転写性や加工性以外にも、従来の例えばマグシウム合金，ジュラルミン，チタン合金，ステンレス鋼，超高張力鋼等の結晶性合金と比べ、同等の低ヤング率を有しているばかりでなく引っ張り強度において遥かに優れている。金属ガラスはさらに、従来のステンレス鋼に比べ略１００００倍以上の耐蝕性を有している。
【特許文献１】米国特許第６，３２５，８１１Ｂ１号明細書
【特許文献２】米国特許第５，４８４，３９８号明細書
【特許文献３】米国特許第５，９９７，４９７号明細書
【特許文献４】特開平１０−２０２３７２号公報
【特許文献５】特開２０００−３４３２０５号公報
【特許文献６】特開平９−３２３１７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
この発明の目的は、従来に比べより容易により短時間でより低コストでより高い寸法精度を伴って製造可能な超音波伝達部材を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
この発明の１つの概念に従った超音波伝達部材は：金属ガラスにより形成されていて、長手方向の両端に一端部と他端部とを有しているとともに前記両端間に前記長手方向に沿った外周面を有しており、前記一端部が前記他端部よりも大きな径を有しており、前記一端部に入力された超音波を前記他端部まで伝達する本体と；Ｕ字形状の湾曲端部及び両端部を有しており、前記本体中で前記湾曲端部を前記他端部に配置させるとともに前記両端部を前記一端部に配置させて前記長手方向に沿い延出し、前記両端部を前記外周面において前記一端部に対応した領域から外方に突出させたＵ字形状パイプと；を備えており、前記本体の前記外周面において前記一端部に対応した領域から外方に突出した前記Ｕ字形状パイプの前記両端部は、前記本体の前記一端部に入力された超音波の節に位置している、ことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１８】
上述した如く構成されたことを特徴とするこの発明に従った複数の超音波伝達部材のいずれもが、基本的に、型部材の雌型に金属ガラスの基になる合金を溶かして入れ液相状態のまま固化させることにより上記溶融された合金を金属ガラスに移行させることにより形成されている。この結果として、従来に比べより容易により短時間でより低コストでより高い寸法精度を伴って超音波伝達部材を製造可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
［第１の実施の形態］
最初は、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法について説明する。
【００２０】
図１の（Ａ）及び図１の（Ｂ）中に図示されている如く、雌型１２を有している主型部材１０が準備される。主型部材１０は、雌型１２を外部空間に連通させる為の溶融材料流入通路（湯道）１４も有している。雌型１２は図１の（Ｃ）中に図示されている所望の超音波伝達部材１６の全体外形状及び外形寸法に対応した形状を有している。
【００２１】
この実施の形態において上記所望の超音波伝達部材１６は、大径の一端部１６ａと小径の他端部１６ｂとを有しており、一端部１６ａに入力された超音波を他端部１６ｂまで伝達する細長い超音波プローブを構成している。大径の一端部１６ａにおいて他端部１６ｂとは反対側には超音波伝達部材１６を図示しない超音波発生装置に接続する為の接続具１６ｃが形成されている。この実施の形態において接続具１６ｃは、雄ねじである。
【００２２】
接続具１６ｃに接続された上記図示しない超音波発生装置からは超音波伝達部材１６の一端部１６ａに所定の周波数の超音波が入力されるが、大径の一端部１６ａにおいて小径の他端部１６ｂとは反対側の端面から他端部１６ｂの末端までの長さＬは、上記超音波の１波長λの半分（λ／２）の整数倍であることが好ましい。このような超音波伝達部材１６は、例えば内視鏡手術において使用されている。
【００２３】
さらに、超音波伝達部材１６の大径の一端部１６ａにおいて小径の他端部１６ｂ側の端（即ち、超音波伝達部材１６の外周面において大径の一端部１６ａから小径の他端部１６ｂに移行を開始する位置）が、接続具１６ｃに接続された上記図示しない超音波発生装置から超音波伝達部材１６の一端部１６ａに入力された超音波の節に略一致することが好ましい。
【００２４】
この実施の形態の雌型１２は、超音波伝達部材１６の大径の一端部１６ａに対応した一端部対応部分１２ａと、超音波伝達部材１６の小径の他端部１６ｂに対応した他端部対応部分１２ｂと、を含んでいる。
【００２５】
主型部材１０は、縦方向に広がった分割面を有する側方２分割型であり、例えば銅の如き熱伝導率の高い金属により作製されている。主型部材１０の２つの半側片１０ａ，１０ｂは相互に対称な形状をしており、公知の分離可能な固定構造、例えばボルトとナットとの組み合わせ、により分離可能に相互に固定されている。雌型１２及び溶融材料流入通路（湯道）１４は、主型部材１０の２つの半側片１０ａ，１０ｂの夫々の分割面に縦に分割されて形成されている。
【００２６】
溶融材料流入通路（湯道）１４は、主型部材１０の上面に開口した外端（湯口）と、雌型１２の所定の部分、この実施の形態では一端部対応部分１２ａにおいて他端部対応部分１２ｂとは反対側に接続した内端と、を有している。
【００２７】
溶融材料流入通路（湯道）１４の外端（湯口）には、金属ガラスの基になる３つ以上の元素を含んでおり溶融された合金１８が流し込まれる。この実施の形態において上記３つ以上の元素は、Ti, Zr,そしてAlの中の少なくとも１つを含んでいる。Alの音響インピーダンスは低く（14Gpa.s/m3）、Tiの音響インピーダンスもAlほどではないが低い（21Gpa.s/m3）。しかし、Tiの機械的品質係数Ｑ及び機械的強度は高い。Zrはアモルファス形成能力を高め、金属ガラスの過冷却液体域（ガラス遷移温度域）を広げる。一般的に、音響インピーダンスが低く機械的品質係数Ｑが高い材質ほど振動伝達に伴う損失が小さい。
【００２８】
より詳細には、この実施の形態において使用される金属ガラスの基になる合金１８は、Zr55Cu30Al10Ni5である。とはいうものの、超音波伝達部材１６の所望の形成と形成後の超音波伝達部材１６の所望の性能とが得られる限り、種々の公知の金属ガラスの基になる合金であることができる。このような公知の金属ガラスの基になる合金は、Zr60Cu30Al10, Ti53Cu30Ni15Co2, Al10Ni15La65Y10, Ti53Cu15Ni18.5Hf3Al7Si3B0.5, Ti40Zr10Cu36Pd14, Ti53Cu15Ni18.5Zr3Al7Si3B0.5, etc. を含んでいる。
【００２９】
溶融材料流入通路（湯道）１４を介して雌型１２中に流し込まれた金属ガラスの基になる溶融している合金１８が液相状態のまま固化するよう、主型部材１０には図示されていない種々の公知の放熱及び／又は冷却構造が適用されている。この結果、雌型１２中に流し込まれた溶融している合金１８は10K/sec以上の冷却速度で冷却される。雌型１２中に流し込まれた溶融している合金１８がこのように急冷されて結晶粒界の存在しないアモルファス合金（いわゆる金属ガラス）になることにより、雌型１２の形状及び寸法が上記アモルファス合金（いわゆる金属ガラス）に精密に転写される。
【００３０】
雌型１２中でガラス固体域になり雌型１２の形状が転写された金属ガラスにより構成された超音波伝達部材１６は、所定の時間のさらなる放熱後に主型部材１０から取り出される。この時には、図１の（Ｃ）中に実線で示されている如く雌型１２の形状が転写されている超音波伝達部材１６は、大径の一端部１６ａにおいて他端部１６ｂとは反対側に図１の（Ｃ）中に２点鎖線で示されている如く溶融材料流入通路（湯道）１４に対応した形状の溶融材料流入通路対応部分１４ａを伴っている。
【００３１】
次に、溶融材料流入通路対応部分１４ａが機械加工されて接続具１６ｃが作り出される。この機械加工の間には、この機械加工により溶融材料流入通路対応部分１４ａの金属ガラスの温度が結晶化温度以上にならない（即ち、金属ガラスが非晶質を失わず結晶化しない）よう、例えば冷却液体を含む冷却媒体の適用などの公知の種々の冷却対策をとる必要がある。
【００３２】
ここで金属ガラスにより超音波伝達部材１６を作製したことによる技術上の利点を述べると以下のようである。
【００３３】
・超音波伝達部材を作製していた従来の例えばチタン，チタン合金，アルミニウム合金，またはニッケル―アルミニウム合金等の金属材料に比べると成形加工性や形状転写性に優れるので、複雑な形状であっても超音波伝達部材の殆ど全体を鋳造のみにより高い寸法精度で作製することが出来、超音波伝達部材の製造コストを低下させる。
【００３４】
・金属ガラスは非結晶で結晶粒界がないため、音響特性に優れている。通常の金属は結晶粒界があるので超音波を流すと超音波の反射が起こり、超音波振動エネルギーの損失が生じる。
【００３５】
・金属ガラスの引っ張り強度は通常の金属よりも遥かに優れる、例えばTi合金の約３倍、ので、超音波伝達部材に超音波を流したときに超音波伝達部材に生じる振動応力により超音波伝達部材が壊れにくい。
【００３６】
・金属ガラスは非結晶で結晶粒界がないため、耐蝕性に優れている。
【００３７】
なお上述した実施の形態においては、溶融している金属ガラスの基になる合金１８は溶融材料流入通路（湯道）１４の外端（湯口）に対し重力を利用して流し込まれていたが、公知の加圧機構により圧力を負荷された状態で溶融材料流入通路（湯道）１４の外端（湯口）に対し流し込まれても良いことは言うまでもない。
【００３８】
［第１の実施の形態の第１の変形例］
次に、図２の（Ａ）乃至図２の（Ｃ）を参照しながら、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の第１の変形例について説明する。
【００３９】
この変形例は図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら前述した、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法と以下のように異なっている。即ち、主型部材１０に超音波伝達部材１６の外形状に対応して形成されている雌型１２´が、一端部対応部分１２ａにおいて他端部対応部分１２ｂとは反対側に超音波伝達部材１６の接続具１６´ｃの外形に対応した接続具対応部分１２ｃを含んでおり、溶融材料流入通路（湯道）１４の内端が接続具対応部分１２ｃにおいて一端部対応部分１２ａとは反対側に接続されていることである。
【００４０】
溶融材料流入通路（湯道）１４の外端（湯口）に金属ガラスの基になる溶融された合金１８が流し込まれ、さらに雌型１２´に充たされた合金１８が急冷されて雌型１２中でガラス固体域の金属ガラスになり雌型１２の形状が転写された金属ガラスが超音波伝達部材１６を構成する。この超音波伝達部材１６が所定の時間のさらなる放熱後に主型部材１０から取り出された時には、図２の（Ｃ）中に実線で示されている如く接続具１６´ｃにおいて大径の一端部１６ａとは反対側に図２の（Ｃ）中に２点鎖線で示されている如く溶融材料流入通路（湯道）１４に対応した形状の溶融材料流入通路対応部分１４ａを伴っている。
【００４１】
従って最後に、溶融材料流入通路対応部分１４ａが接続具１６´ｃから機械加工により取り除かれる。
【００４２】
図２の（Ａ）乃至図２の（Ｃ）を参照しながら上述した、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の第１の変形例により作製された超音波伝達部材１６の性能は、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら上述した、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法により作製された超音波伝達部材１６の性能と同じである。しかし、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の第１の変形例により超音波伝達部材１６を作製すると接続具１６ｃの為の機械加工が不要になる。
【００４３】
［第１の実施の形態の第２の変形例］
次に、図３の（Ａ）及び図３の（Ｂ）を参照しながら、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の第２の変形例について説明する。
【００４４】
この変形例では、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら前述した第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法と以下のように異なっている。
【００４５】
即ち、図２の（Ａ）乃至図２の（Ｃ）を参照しながら前述した、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の第１の変形例において主型部材１０に形成されていた雌型１２´と同じ雌型１２´が複数形成されている主型部材２０が準備される。
【００４６】
主型部材２０は、水平方向に広がった分割面を有する上下２分割型であり、例えば銅の如き熱伝導率の高い金属により作製されている。主型部材２０の２つの上下半片２０ａ，２０ｂは、公知の分離可能な固定構造、例えばボルトとナットとの組み合わせ、により分離可能に相互に固定されている。複数の雌型１２´は、主型部材２０の２つの上下半片２０ａ，２０ｂの夫々の分割面に水平に分割されて形成されている。
【００４７】
主型部材２０において複数の雌型１２´は、夫々の小径の他端部対応部分１２ｂの自由端を一点に集めて放射状に配置されていて、下半片２０ｂには上記一点に位置した内端と下半片２０ｂの下表面に開口した外端（湯口）とを有した溶融材料流入通路（湯道）２２が形成されている。溶融材料流入通路（湯道）２２の内端は、複数の雌型１２´の夫々の小径の他端部対応部分１２ｂの自由端に連通している。
【００４８】
溶融材料流入通路（湯道）２２の外端（湯口）には、金属ガラスの基になる溶融された合金１８を保持した公知の溶融金属加圧注入機構２４の注入口が接続される。溶融金属加圧注入機構２４はその注入口から溶融された合金１８を所定の圧力を伴って溶融材料流入通路（湯道）２２を介し複数の雌型１２´に注入する。
【００４９】
溶融金属加圧注入機構２４は、溶融された合金１８を保持する内孔を有したシリンダ２４ａと、シリンダ２４ａの内孔に摺動可能に収容され内孔中の溶融された合金１８を注入口に向かい所定の圧力で押し出すピストン２４ｂと、シリンダ２４ａの内孔に保持されている溶融された合金１８の温度を融点以上に保つためのヒータ２４ｃと、を含んでいる。
【００５０】
溶融材料流入通路（湯道）２２は主型部材２０の上半片２０ａに形成することも出来る。その場合には、溶融材料流入通路（湯道）２２を介して溶融された合金１８を複数の雌型１２´の夫々に巣を生じさせることなく流し込むことが出来るのであれば、溶融金属加圧注入機構２４を使用することなく溶融された合金１８を重力のみを利用して溶融材料流入通路（湯道）２２の外端（湯口）に注ぎ込むことも出来る。
【００５１】
さらに、溶融された合金１８を溶融材料流入通路（湯道）２２を介して複数の雌型１２´の夫々に巣を生じさせることなく流し込むことが出来るのであれば、主型部材２０において複数の雌型１２´を放射状以外の種々の配列で並べることも出来る。
【００５２】
またさらに、図２の（Ａ）乃至図２の（Ｃ）を参照しながら前述した、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の第１の変形例において主型部材１０に形成されていた雌型１２´と同じ雌型１２´に代わり、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら前述した、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法において主型部材１０に形成されていた雌型１２と同じ雌型１２を使用しても良い。
【００５３】
また、溶融材料流入通路（湯道）２２を介して雌型１２´中に流し込まれた金属ガラスの基になる溶融している合金１８が液相状態のまま固化するよう、主型部材２０には図示されていない種々の公知の放熱及び／又は冷却構造が適用されている。この結果、雌型１２´中に流し込まれた溶融している合金１８は10K/sec以上の冷却速度で冷却される。雌型１２´中に流し込まれた溶融している合金１８がこのように急冷されて結晶粒界の存在しないアモルファス合金（いわゆる金属ガラス）になることにより、雌型１２´の形状及び寸法が上記アモルファス合金（いわゆる金属ガラス）に精密に転写される。
【００５４】
［第１の実施の形態の第３の変形例］
次に、図４の（Ａ）乃至図４の（Ｃ）を参照しながら、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の第３の変形例について説明する。
【００５５】
第３の変形例に従った、超音波伝達部材を作製する方法は、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら前述した、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法，図２の（Ａ）乃至図２の（Ｃ）を参照しながら前述した、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の第１の変形例，或いは、図３の（Ａ）及び図３の（Ｂ）を参照しながら前述した、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の第２の変形例により作製された超音波伝達部材１６の所定の部位をさらに所望の形状にすることを含んでいる。
【００５６】
以下の説明では、超音波伝達部材１６の所定の部位を小径の他端部１６ｂの先端部分ＥＰとする。
【００５７】
その為に第３の変形例では、図４の（Ａ）及び図４の（Ｂ）中に図示されている如く、上記所望の形状に対応した所定の雌型２６を有している副型部材２８が準備される。
【００５８】
この変形例において副型部材２８は、縦方向に広がった分割面を有する側方２分割型であり、例えば銅の如き金属により作製されている。副型部材２８の２つの半側片２８ａ，２８ｂは、図示しない公知の開閉機構により接離可能に支持されている。上記所定の雌型２６は、半側片２８ａ，２８ｂの夫々の分割面に縦に分割されて形成されている。
【００５９】
副型部材２８及び／又は副型部材２８の周囲には、ヒータ３０が配置されている。
【００６０】
副型部材２８の半側片２８ａ，２８ｂが図４の（Ｂ）中に図示されている如く相互に離間され、副型部材２８の雌型２６に超音波伝達部材１６の小径の他端部１６ｂの先端部分ＥＰが入れられた時、副型部材２８の半側片２８ａ，２８ｂが閉じられる前に、先端部分ＥＰはヒータ３０により加熱され、超音波伝達部材１６を形成している金属ガラスの過冷却液体域（ガラス遷移領域）の温度に加熱され維持される。
【００６１】
次に、副型部材２８の半側片２８ａ，２８ｂが閉じられ、図４の（Ｃ）中に図示されている如く過冷却液体域（ガラス遷移領域）の温度に維持されている先端部分ＥＰの金属ガラスに副型部材２８の雌型２６が押し当てられ、そして、先端部分ＥＰの金属ガラスに副型部材２８の雌型２６の所望の形状が転写される。
【００６２】
その後、ヒータ３０の動作が停止され、先端部分ＥＰの金属ガラスの温度がガラス転移温度域Ｔｇ以下に下がった、即ちガラス固体域になった、後に、副型部材２８の半側片２８ａ，２８ｂが開かれ、副型部材２８６の雌型２６から超音波伝達部材１６の小径の他端部１６ｂの先端部分ＥＰが取り出される。
【００６３】
このようにして、副型部材２８の雌型２６の外形状が小径の他端部１６ｂの先端部分ＥＰに移された超音波伝達部材１６は、先端部分ＥＰを再び過冷却液体域の温度に加熱し維持している間に、別の所望の形状に対応した所定の別の雌型を有している別の副型部材を使用して、先端部分ＥＰを上記別の副型部材の上記所定の別の雌型の外形状に対応した上記別の所望の形状に変形させることが出来る。
【００６４】
［第２の実施の形態］
次に、図５の（Ａ）乃至図５の（Ｅ）を参照しながら、第２の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法について説明する。
【００６５】
この方法では最初に、図５の（Ａ）中に図示されている如く、超音波伝達の為の所望の寸法の全体形状を所定部位を除外して有している超音波伝達部材本体３２が準備されるとともに、上記所定部位の外形状に対応した雌型３４を有している所定部位成形型部材３６が準備される。
【００６６】
所定部位成形型部材３６は、縦方向に広がった分割面を有する側方２分割型であり、例えば銅の如き熱伝導率の高い金属により作製されている。所定部位成形型部材３６の２つの半側片３６ａは、公知の分離可能な固定構造、例えばボルトとナットとの組み合わせ、により分離可能に相互に固定されている。２つの半側片３６ａは相互に対称な形状をしており、図５の（Ａ）中には一方の半側片３６ａのみが示されている。雌型３４は、所定部位成形型部材３６の２つの半側片３６ａの夫々の分割面に縦に分割されて形成されている。
【００６７】
この実施の形態において超音波伝達部材本体３２は、大径の一端部３２ａと小径の他端部３２ｂとを有している。超音波伝達部材本体３２は、一端部３２ａに入力された超音波を他端部３２ｂまで伝達する細長い超音波プローブ素材を構成しており、他端部３２ｂの先端に前記所定部位がさらに接続されることにより超音波伝達の為の所望の寸法の全体形状を有した細長い超音波プローブの最終製品となる。
【００６８】
超音波伝達部材本体３２は、大径の一端部３２ａにおいて他端部１６ｂとは反対側に図示しない超音波発生装置に接続する為の接続具３２ｃが形成されている。この実施の形態において接続具３２ｃは、雄ねじである。
【００６９】
超音波伝達部材本体３２はさらに、図５の（Ｂ）中に図示されている如く、前記所定部位がさらに接続される他端部３２ｂの先端（即ち、前記所定部位に隣接する隣接部位）に、所定部位成形型部材３６の雌型３４により成形される前記所定部位が固定されるアンカー構造３２ｄが形成されている。この実施の形態においてアンカー構造３２ｄは、他端部３２ｂの先端から同心的に突出した小径の柄と柄の先端において拡径した傘とを有している。しかし、アンカー構造３２ｄは、超音波伝達部材本体３２の他端部３２ｂの先端に所定部位成形型部材３６の雌型３４により成形される上記所定部位が固定されることが出来る限り、公知の種々の形状であることが出来る。
【００７０】
超音波伝達部材本体３２は、内視鏡手術において従来使用されている超音波プローブと同様に例えばチタン，チタン合金，アルミニウム合金，またはニッケル―アルミニウム合金等の金属材料を機械加工することにより形成されている。
【００７１】
所定部位成形型部材３６は、超音波伝達部材本体３２を収容する為の超音波伝達部材本体３２の外形状と同じ外形状の超音波伝達部材本体収容空間３８も有している。超音波伝達部材本体収容空間３８も、所定部位成形型部材３６の２つの半側片３６ａの夫々の分割面に縦に分割されて形成されている。雌型３４は、超音波伝達部材本体収容空間３８において超音波伝達部材本体３２の小径の他端部３２ｂの先端に対応した部分の延長として細長い形状に構成されている。
【００７２】
雌型３４において超音波伝達部材本体収容空間３８とは反対側には、所定部位成形型部材３６に形成されている溶融材料流入通路（湯道）４０の内端が連通している。溶融材料流入通路（湯道）４０もまた、所定部位成形型部材３６の２つの半側片３６ａの夫々の分割面に縦に分割されて形成されている。
【００７３】
溶融材料流入通路（湯道）４０の外端（湯口）には、金属ガラスの基になる溶融されている合金１８が流し込まれる。溶融されている合金１８は、溶融材料流入通路（湯道）４０の外端（湯口）に対し重力により流し込まれることができるし、或いは図３の（Ａ）及び図３の（Ｂ）を参照しながら前述した、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の第２の変形例において使用されていた溶融金属加圧注入機構２４により流し込まれることができる。
【００７４】
溶融材料流入通路（湯道）４０を介して雌型３４中に流し込まれた金属ガラスの基になる溶融されている合金１８が液相状態のまま固化するよう、所定部位成形型部材３６には図示されていない種々の公知の放熱及び／又は冷却構造が適用されている。この結果、雌型３４中に流し込まれた溶融している合金１８は10K/sec以上の冷却速度で冷却される。雌型３４中に流し込まれた溶融している合金１８がこのように急冷されて結晶粒界の存在しないアモルファス合金（いわゆる金属ガラス）になることにより、雌型３４の形状及び寸法が上記アモルファス合金（いわゆる金属ガラス）に精密に転写される。
【００７５】
雌型３４中でガラス固体域になり雌型３４の形状が転写された金属ガラスにより構成されている所定部位４２は、所定の時間のさらなる放熱後に超音波伝達部材本体３２とともに所定部位成形型部材３６から取り出される。この時には、所定部位４２が、図５の（Ｃ）中に実線で示されている如く超音波伝達部材本体３２の小径の他端部３２ｂの先端にアンカー構造３２ｄにより接続されている。所定部位４２には溶融材料流入通路（湯道）４０に対応した形状の図示しない溶融材料流入通路対応部分が付着しているが、この溶融材料流入通路対応部分は所定部位４２から公知の切断機構により切り離される。
【００７６】
この実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法においては、超音波伝達部材本体３２の小径の他端部３２ｂの先端にアンカー構造３２ｄにより接続された所定部位４２を所望の外形状にする為に、図５の（Ｃ）乃至図５の（Ｅ）中に図示されている如く上記所望の外形状に対応した雌型４６を有している副成形型部材４４も準備されている。
【００７７】
この実施の形態において副成形型部材４４は、縦方向に広がった分割面を有する側方２分割型であり、例えば銅の如き熱伝導率の高い金属により作製されている。副成形型部材４４の２つの半側片４４ａ，４４ｂは、図示しない公知の開閉機構により接離可能に支持されている。雌型４６は、半側片４４ａ，４４ｂの夫々の分割面に縦に分割されて形成されている。副成形型部材４４及び／又は副成形型部材４４の周囲には、ヒータ４８が配置されている。
【００７８】
副成形型部材４４の半側片４４ａ，４４ｂが図５の（Ｄ）中に図示されている如く相互に離間され、副成形型部材４４の雌型４６に超音波伝達部材本体３２の小径の他端部３２ｂの先端に接続されている所定部位４２が入れられた時、副成形型部材４４の半側片４４ａ，４４ｂが閉じられる前に、所定部位４２はヒータ４８により加熱され、所定部位４２を形成している金属ガラスの過冷却液体域（ガラス遷移領域）の温度に加熱され維持される。
【００７９】
次に、副成形型部材４４の半側片４４ａ，４４ｂが閉じられ、図５の（Ｅ）中に図示されている如く過冷却液体域（ガラス遷移領域）の温度に維持されている所定部位４２の金属ガラスに副成形型部材４４の雌型４６が押し当てられ、そして、所定部位４２の金属ガラスに副成形型部材４４の雌型４６の所望の最終形状が転写される。
【００８０】
その後、ヒータ４８の動作が停止され、所定部位４２の金属ガラスの温度がガラス転移温度域Ｔｇ以下に下がった、即ちガラス固体域になった、後に、副成形型部材４４の半側片４４ａ，４４ｂが開かれ、副成形型部材４４の雌型４６から超音波伝達部材本体３２の小径の他端部３２ｂの先端の所定部位４２が取り出される。
【００８１】
このように所望の最終形状が転写された所定部位４２を伴った超音波伝達部材本体３２は、大径の一端部３２ａに接続具３２ｃにより接続された図示しない超音波発生装置から入力された超音波を小径の他端部３２ｂに接続された所望の最終形状の所定部位４２まで伝達する所望の寸法の全体形状を有した細長い超音波プローブの最終製品を構成する。
【００８２】
接続具３２ｃに接続された上記図示しない超音波発生装置からは上記超音波プローブの最終製品の大部分を構成している超音波伝達部材本体３２の大径の一端部３２ａに所定の周波数の超音波が入力されるが、大径の一端部３２ａにおいて小径の他端部３２ｂとは反対側の端面から小径の他端部３２ｂに接続されていて上記超音波プローブの最終製品の残部を構成している上記所望の最終形状の所定部位４２の末端までの長さＬは、上記超音波の１波長λの半分（λ／２）の整数倍であることが好ましい。このような細長い超音波プローブは、例えば内視鏡手術において使用されている。
【００８３】
さらに、超音波伝達部材本体３２の大径の一端部３２ａにおいて小径の他端部３２ｂ側の端（即ち、超音波伝達部材本体３２の外周面において大径の一端部３２ａから小径の他端部３２ｂに移行を開始する位置）が、接続具３２ｃに接続された上記図示しない超音波発生装置から超音波伝達部材本体３２の一端部３２ａに入力された超音波の節に略一致することが好ましい。
【００８４】
上述した如く、副成形型部材４４の雌型４６の外形状が写された所定部位４２は、所定部位４２を再び過冷却液体域（ガラス遷移領域）の温度に加熱し維持している間に、別の所望の形状に対応した所定の別の雌型を有している別の副成形型部材を使用して、上記別の副成形型部材の上記所定の別の雌型の外形状に対応した上記別の所望の形状に変形させることが出来る。
【００８５】
次に、図６の（Ａ）及び図６の（Ｂ）を参照しながら、第３の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法について説明する。
【００８６】
図６の（Ａ）中に図示されている如く、雌型５０を有している主型部材５２が準備される。主型部材５２は、雌型５０を外部空間に連通させる為の溶融材料流入通路（湯道）５４も有している。雌型５０は図６の（Ｂ）中に縦断面が図示されている所望の超音波伝達部材５６の全体外形状及び外形寸法に対応した形状を有している。
【００８７】
この実施の形態において上記所望の超音波伝達部材５６は、大径の一端部５６ａと小径の他端部５６ｂとを有しており、一端部５６ａに入力された超音波を他端部５６ｂまで伝達する細長い超音波プローブを構成している。大径の一端部５６ａにおいて他端部５６ｂとは反対側には超音波伝達部材５６を図示しない超音波発生装置に接続する為の接続具５６ｃが形成されている。この実施の形態において接続具５６ｃは、雄ねじである。
【００８８】
接続具５６ｃに接続された上記図示しない超音波発生装置からは上記超音波プローブを構成している超音波伝達部材５６の大径の一端部５６ａに所定の周波数の超音波が入力されるが、大径の一端部５６ａにおいて小径の他端部５６ｂとは反対側の端面から小径の他端部５６ｂの末端までの長さＬは、上記超音波の１波長λの半分（λ／２）の整数倍であることが好ましい。このような超音波伝達部材５６は、例えば内視鏡手術において使用されている。
【００８９】
さらに、超音波伝達部材５６の大径の一端部５６ａにおいて小径の他端部５６ｂ側の端（即ち、超音波伝達部材５６の外周面において大径の一端部５６ａから小径の他端部５６ｂに移行を開始する位置）が、接続具５６ｃに接続された上記図示しない超音波発生装置から超音波伝達部材５６の一端部５６ａに入力された超音波の節に略一致することが好ましい。
【００９０】
この実施の形態の雌型５０は、超音波伝達部材５６の大径の一端部５６ａに対応した一端部対応部分５０ａと、超音波伝達部材５６の小径の他端部５６ｂに対応した他端部対応部分５０ｂと、超音波伝達部材５６の接続具５６ｃの外形に対応した接続具対応部分５０ｃを含んでおり、溶融材料流入通路（湯道）５４の内端が接続具対応部分５０ｃにおいて一端部対応部分５０ａとは反対側に接続されている。
【００９１】
主型部材５２は、縦方向に広がった分割面を有する側方２分割型であり、例えば銅の如き熱伝導率の良い金属により作製されている。主型部材５２の２つの半側片５２ａは、公知の分離可能な固定構造、例えばボルトとナットとの組み合わせ、により分離可能に相互に固定されている。２つの半側片５２ａは相互に対称な形状をしており、図６の（Ａ）中には一方の半側片５２ａのみが示されている。雌型５０及び溶融材料流入通路（湯道）５４は、主型部材５２の２つの半側片５２ａの夫々の分割面に縦に分割されて形成されている。
【００９２】
主型部材５２の雌型５０には、雌型５０の一端部から他端部まで（この実施の形態では、接続具対応部分５０ｃにおいて一端部対応部分５０ａとは反対側の部位から他端部対応部分５０ｂにおいて一端部対応部分５０ａとは反対側の部位まで）延出した細長い中子部材５８が延出して配置されている。中子部材５８は主型部材５２とは別体に形成されている。
【００９３】
溶融材料流入通路（湯道）５４の外端（湯口）には、金属ガラスの基になる溶融された合金１８が流し込まれる。溶融されている合金１８は、溶融材料流入通路（湯道）５４の外端（湯口）に対し重力により流し込まれることができるし、或いは図３の（Ａ）及び図３の（Ｂ）を参照しながら前述した第１の実施の形態の第２の変形例に従った超音波伝達部材作製の方法において使用されていた溶融金属加圧注入機構２４により流し込まれることができる。
【００９４】
溶融材料流入通路（湯道）５４を介して雌型５０中に流し込まれた金属ガラスの基になる溶融している合金１８が液相状態のまま固化するよう、主型部材５２には図示されていない種々の公知の放熱及び／又は冷却構造が適用されている。この結果、雌型５０中に流し込まれた溶融している合金１８は10K/sec以上の冷却速度で冷却される。雌型５０中に流し込まれた溶融している合金１８がこのように急冷されて結晶粒界の存在しないアモルファス合金（いわゆる金属ガラス）になることにより、雌型５０の形状及び寸法が上記アモルファス合金（いわゆる金属ガラス）に精密に転写される。
【００９５】
雌型５０中でガラス固体域になり雌型５０の形状が転写された金属ガラスが構成している超音波伝達部材５６は、所定の時間のさらなる放熱後に中子部材５８を伴って主型部材５２から取り出される。この時には、図６の（Ｂ）中に実線で示されている超音波伝達部材５６は、接続具５６ｃに図６の（Ｂ）中に２点鎖線で示されている如く溶融材料流入通路（湯道）５４に対応した形状の溶融材料流入通路対応部分５４ａを伴っている。
【００９６】
次に、中子部材５８が超音波伝達部材５６から引き抜かれ、また溶融材料流入通路対応部分５４ａが接続具５６ｃから機械加工により取り除かれる。
【００９７】
この結果、接続具５６ｃの外端から小径の他端部５６ｂの外端まで中子部材５８に対応して同心的に延出した細長い中心孔を有した超音波伝達部材５６を得ることが出来る。
【００９８】
なお主型部材５２の雌型５０において大径の一端部対応部分５０ａと溶融材料流入通路（湯道）５４の内端との間には接続具対応部分５０ｃが介在されていたが、接続具対応部分５０ｃを省略して、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら前述した第１の実施の形態の主型部材１０の雌型１２の如く大径の一端部対応部分５０ａにおいて小径の他端部対応部分５０ｂとは反対側の端に溶融材料流入通路（湯道）５４の内端を直結することが出来る。
【００９９】
この場合には、超音波伝達部材５６が主型部材５２の雌型５０から取り出され、さらに中子部材５８が超音波伝達部材５６から引き抜かれた後に、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら前述した第１の実施の形態の主型部材１０の雌型１２から超音波伝達部材１６を形成した場合の如く、溶融材料流入通路対応部分５４ａを機械加工して接続具５６ｃを形成する必要がある。この機械加工の間には、この機械加工により溶融材料流入通路対応部分５４ａの金属ガラスの温度が結晶化温度以上にならない（即ち、金属ガラスが非晶質を失わず結晶化しない）よう、例えば冷却液体を含む冷却媒体の適用などの公知の種々の冷却対策をとる必要がある。
【０１００】
［第３の実施の形態の変形例］
次に、図７の（Ａ）及び図７の（Ｂ）を参照しながら、第３の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の変形例について説明する。
【０１０１】
この変形例が図６の（Ａ）及び図６の（Ｂ）を参照しながら前述した、第３の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法と異なっているのは、主型部材５２の雌型５０に、細長い中子部材５８の代わりに細長い中空部材６０が配置されることである。中空部材６０は主型部材５２とは別に形成されている。
【０１０２】
さらに、細長い中空部材６０は、超音波伝達部材５６が主型部材５２の雌型５０から取り出された後に超音波伝達部材５６から引き出されない。
【０１０３】
主型部材５０の雌型５０から取り出された直後の超音波伝達部材５６から、接続具５６ｃに接続されている図７の（Ｂ）中に２点鎖線で示されている溶融材料流入通路対応部分５４ａを機械加工により取り除く際に、超音波伝達部材５６の小径の他端部５６ｂの外端及び接続具５６ｃの外端から突出している中空部材６０の両端部分もまた機械加工により除去される。
【０１０４】
この結果、接続具５６ｃの外端から小径の他端部５６ｂの外端まで同心的に延出した細長い中空管６０を伴った超音波伝達部材５６を得ることが出来る。細長い中空管６０は超音波伝達部材５６とともに使用されるので、超音波伝達部材５６の使用環境においても変質しない材料で形成されている必要がある。
【０１０５】
［第４の実施の形態］
次に、図８の（Ａ）乃至図８の（Ｃ）を参照しながら、第４の実施の形態に従ったこの発明の超音波伝達部材を作製する方法について説明する。
【０１０６】
図８の（Ａ）中に図示されている如く、雌型７０を有している主型部材７２が準備される。主型部材７２は、雌型７０を外部空間に連通させる為の溶融材料流入通路（湯道）７４も有している。雌型７０は図８の（Ｃ）中に図示されている所望の超音波伝達部材７６の全体外形状及び外径寸法に対応した形状を有している。
【０１０７】
この実施の形態において上記所望の超音波伝達部材７６は、大径の一端部７６ａと小径の他端部７６ｂとを有しており、一端部７６ａに入力された超音波を他端部７６ｂまで伝達する細長い超音波プローブを構成している。大径の一端部７６ａにおいて他端部７６ｂとは反対側には超音波伝達部材７６を公知の超音波発生装置ＵＳＧに接続する為の接続具７６ｃが形成されている。この実施の形態において接続具７６ｃは、雄ねじである。このような超音波伝達部材７６は、例えば内視鏡手術において使用される。
【０１０８】
この実施の形態の雌型７０は、超音波伝達部材７６の大径の一端部７６ａに対応した一端部対応部分７０ａと、超音波伝達部材７６の小径の他端部７６ｂに対応している他端部対応部分７０ｂと、超音波伝達部材７６の接続具７６ｃの外形に対応した接続具対応部分７０ｃを含んでおり、溶融材料流入通路（湯道）７４の内端が接続具対応部分７０ｃにおいて一端部対応部分７０ａとは反対側に接続されている。
【０１０９】
主型部材７２は、縦方向に広がった分割面を有する側方２分割型であり、例えば銅の如き熱伝導率の高い金属により作製されている。主型部材７２の２つの半側片７２ａは、公知の分離可能な固定構造、例えばボルトとナットとの組み合わせ、により分離可能に相互に固定されている。２つの半側片７２ａは相互に対称な形状をしており、図８の（Ａ）中には一方の半側片７２ａのみが示されている。雌型７０及び溶融材料流入通路（湯道）７４は、主型部材７２の２つの半側片７２ａの夫々の分割面に縦に分割されて形成されている。
【０１１０】
主型部材７２の雌型７０には、雌型７０の一端部から他端部まで（この実施の形態では、一端部対応部分７０ａの内周面から他端部対応部分７０ｂにおいて一端部対応部分７０ａとは反対側の外端の近傍まで）延出しまた上記一端部まで戻るＵ字形状パイプ７８が延出して配置されている。詳細には、Ｕ字形状パイプ７８は主型部材７２とは別体に準備されている。そして、Ｕ字形状パイプ７８の両端は主型部材７２の雌型７０において一端部対応部分７０ａの内周面の相互に離間した２つの位置から一端部対応部分７０ａの半径方向の外方に向かい突出しており、またＵ字形状パイプ７８の１８０度湾曲した湾曲部分は主型部材７２の雌型７０において他端部対応部分７０ｂの外端の近傍に位置している。
【０１１１】
溶融材料流入通路（湯道）７４の外端（湯口）には、金属ガラスの基になる溶融されている合金１８が流し込まれる。溶融されている合金１８は、溶融材料流入通路（湯道）７４の外端（湯口）に対し重力により流し込まれることができるし、或いは図３の（Ａ）及び図３の（Ｂ）を参照しながら前述した、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の第２の変形例において使用されていた溶融金属加圧注入機構２４により流し込まれることができる。
【０１１２】
溶融材料流入通路（湯道）７４を介して雌型７０中に流し込まれた金属ガラスの基になる溶融している合金１８が液相状態のまま固化するよう、主型部材７２には図示されていない種々の公知の放熱及び／又は冷却構造が適用されている。この結果、雌型７０中に流し込まれた溶融している合金１８は10K/sec以上の冷却速度で冷却される。雌型７０中に流し込まれた溶融している合金１８がこのように急冷されて結晶粒界の存在しないアモルファス合金（いわゆる金属ガラス）になることにより、雌型７０の形状及び寸法が上記アモルファス合金（いわゆる金属ガラス）に精密に転写される。
【０１１３】
雌型７０中でガラス固体域になり雌型７０の形状が転写された金属ガラスは、超音波伝達部材７６を構成しており、超音波伝達部材７６は所定の時間のさらなる放熱後にＵ字形状パイプ７８を伴って主型部材７２から取り出される。この時には、図６の（Ｂ）中に実線で示されている超音波伝達部材７６は、接続具７６ｃに図８の（Ｂ）中に２点鎖線で示されている如く溶融材料流入通路（湯道）７４に対応した形状の溶融材料流入通路対応部分７４ａを伴っている。
【０１１４】
次に、溶融材料流入通路対応部分７４ａが接続具７６ｃから機械加工により取り除かれる。
【０１１５】
なお主型部材７２の雌型７０において大径の一端部対応部分７０ａと溶融材料流入通路（湯道）７４の内端との間には接続具対応部分７０ｃが介在されていたが、接続具対応部分７０ｃを省略して、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら前述した第１の実施の形態の主型部材１０の雌型１２の如く大径の一端部対応部分７０ａにおいて小径の他端部対応部分７０ｂとは反対側の端に溶融材料流入通路（湯道）７４の内端を直結することが出来る。
【０１１６】
この場合には、超音波伝達部材７６が主型部材７２の雌型７０から取り出された後に、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら前述した第１の実施の形態の主型部材１０の雌型１２から超音波伝達部材１６を形成した場合の如く、溶融材料流入通路対応部分７４ａを機械加工して接続具７６ｃを形成する必要がある。この機械加工の間には、この機械加工により溶融材料流入通路対応部分７４ａの金属ガラスの温度が結晶化温度以上にならない（即ち、金属ガラスが非晶質を失わず結晶化しない）よう、例えば冷却液体を含む冷却媒体の適用などの公知の種々の冷却対策をとる必要がある。
【０１１７】
接続具７６ｃに接続された超音波発生装置ＵＳＧからは超音波伝達部材７６の大径の一端部７６ａに所定の周波数の超音波が入力されるが、大径の一端部７６ａにおいて小径の他端部７６ｂとは反対側の端面から小径の他端部７６ｂの外端までの長さＬは、上記超音波の１波長λの半分（λ／２）の整数倍であることが好ましい。
【０１１８】
さらに、超音波伝達部材７６の大径の一端部７６ａにおいて小径の他端部７６ｂ側の端（即ち、超音波伝達部材７６の外周面において大径の一端部７６ａから小径の他端部７６ｂに移行を開始する位置）が、接続具７６ｃに接続された超音波発生装置ＵＳＧから超音波伝達部材７６の一端部７６ａに入力された超音波の節に略一致することが好ましい。
【０１１９】
さらに、超音波伝達部材７６の大径の一端部７６ａの外周面から突出したＵ字形状パイプ７８の両端部は、超音波伝達部材７６の一端部７６ａに超音波発生装置ＵＳＧから入力された超音波の節に位置していることが好ましい。
【０１２０】
このことにより、超音波伝達部材７６の一端部７６ａに超音波発生装置ＵＳＧから入力された超音波の振動によりＵ字形状パイプ７８の両端部が破損する可能性を非常に少なくすることが出来る。
【０１２１】
超音波伝達部材７６のＵ字形状パイプ７８の両端部は、図８の（Ｃ）中に図示されている如く、公知の冷却装置ＲＧに接続される。冷却装置ＲＧは例えば液体を含む冷媒をＵ字形状パイプ７８の一端部に供給し、Ｕ字形状パイプ７８を通過する上記冷媒は超音波伝達部材７６が超音波を伝達する際に発生させる熱を吸収しＵ字形状パイプ７８の他端部を介して冷却装置ＲＧに回収される。冷却装置ＲＧは、回収された上記冷媒中の熱を放熱し、放熱後の上記冷媒を再度Ｕ字形状パイプ７８の一端部に供給する。
【０１２２】
［第５の実施の形態］
次に、図９の（Ａ）乃至図９の（Ｅ）を参照しながら、第５の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法について説明する。
【０１２３】
図９の（Ａ）中に図示されている如く、雌型８０を有している型部材８２が準備される。型部材８２は、雌型８０を外部空間に連通させる為の溶融材料流入通路（湯道）８４も有している。雌型８０は図９の（Ｅ）中に側面が図示されている所望の超音波伝達部材８６の全体外形状と長さを除外して対応した形状を有している。
【０１２４】
この実施の形態において上記所望の超音波伝達部材８６は、大径の一端部８６ａと小径の他端部８６ｂとを有しており、一端部８６ａに入力された超音波を他端部８６ｂまで伝達する所定の長さＬの細長い可撓性を有した超音波プローブを構成している。大径の一端部８６ａにおいて他端部８６ｂとは反対側には超音波伝達部材８６を図示しない超音波発生装置に接続する為の接続具８６ｃが形成されている。この実施の形態において接続具８６ｃは、雄ねじである。このような超音波伝達部材８６は、例えばカテーテルを使用した手術において血管内のプラークを除去するために使用されている。
【０１２５】
接続具８６ｃに接続された上記図示しない超音波発生装置からは超音波伝達部材８６の一端部８６ａに所定の周波数の超音波が入力されるが、大径の一端部８６ａにおいて他端部８６ｂとは反対側の端面から他端部８６ｂの末端までの長さＬは、上記超音波の１波長λの半分（λ／２）の整数倍であることが好ましい。
【０１２６】
さらに、超音波伝達部材８６の大径の一端部８６ａにおいて小径の他端部８６ｂ側の端（即ち、超音波伝達部材８６の外周面において大径の一端部８６ａから小径の他端部８６ｂに移行を開始する位置）が、接続具８６ｃに接続された図示されていない超音波発生装置から超音波伝達部材８６の一端部８６ａに入力された超音波の節に略一致することが好ましい。
【０１２７】
この実施の形態の雌型８０は、超音波伝達部材８６の大径の一端部８６ａに対応した一端部対応部分８０ａと、一端部対応部分８０ａの一方の端に同心的に連続しており超音波伝達部材８６の小径の他端部８６ｂよりも太く短い中間部分８０ｂと、一端部対応部分８０ａの他方の端に同心的に連続しており超音波伝達部材８６の接続具８６ｃの外形に対応した接続具対応部分８０ｃと、中間部分８０ｂにおいて一端部対応部分８０ａとは反対側に位置している他端部分８０ｄと、を含んでおり、溶融材料流入通路（湯道）８４の内端が接続具対応部分８０ｃにおいて一端部対応部分８０ａとは反対側に接続されている。雌型８０の他端部分８０ｄには雌型８０の長手方向と交差する方向に直線状の中子８７が貫通している。
【０１２８】
図９の（Ｂ）中に図示されている如く、型部材８２は、縦方向に広がった分割面を有する側方２分割型であり、例えば銅の如き熱伝導率の高い金属により作製されている。型部材８２の２つの半側片８２ａは、公知の分離可能な固定構造、例えばボルトとナットとの組み合わせ、により分離可能に相互に固定されている。２つの半側片８２ａは相互に対称な形状をしており、雌型８０及び溶融材料流入通路（湯道）８４は、型部材８２の２つの半側片８２ａの夫々の分割面に縦に分割されて形成されている。
【０１２９】
溶融材料流入通路（湯道）８４の外端（湯口）には、金属ガラスの基となる溶融された合金１８が流し込まれる。溶融されている合金１８は、溶融材料流入通路（湯道）８４の外端（湯口）に対し重力により流し込まれることができるし、或いは図３の（Ａ）及び図３の（Ｂ）を参照しながら前述した第１の実施の形態の第２の変形例に従った超音波伝達部材作製の方法において使用されていた溶融金属加圧注入機構２４により流し込まれることができる。
【０１３０】
溶融材料流入通路（湯道）８４を介して雌型８０中に流し込まれた金属ガラスの基になる溶融している合金１８が液相状態のまま固化するよう、型部材８２には図示されていない種々の公知の放熱及び／又は冷却構造が適用されている。この結果、雌型８０中に流し込まれた溶融している合金１８は10K/sec以上の冷却速度で冷却される。雌型８０中に流し込まれた溶融している合金１８がこのように急冷されて結晶粒界の存在しないアモルファス合金（いわゆる金属ガラス）になることにより、雌型８０の形状及び寸法が上記アモルファス合金（いわゆる金属ガラス）に精密に転写される。
【０１３１】
雌型８０中でガラス固体域になり雌型８０の形状が転写された金属ガラスが構成しているのは、図９の（Ｅ）中に図示されている超音波伝達部材８６の全体の外形状と、長さが上記所定の長さＬ以下であることを除外して、対応している超音波伝達部材素材８８である。
【０１３２】
超音波伝達部材素材８８は、雌型８０の一端部対応部分８０ａの形状及び寸法が転写され超音波伝達部材８６の大径の一端部８６ａと同じ大径の一端部８６ａと、雌型８０の接続具対応部分８０ｃの形状及び寸法が転写され超音波伝達部材８６の接続具８６ｃと同じ接続具８６ｃと、雌型８０の溶融材料流入通路（湯道）８４の形状及び寸法が転写された溶融材料流入通路対応部８４ａと、雌型８０の中間部分８０ｂの形状及び寸法が転写された中間部分対応部８８ａと、雌型８０の他端部分８０ｄの形状及び寸法が転写された他端部８８ｂと、を含んでいる。
【０１３３】
超音波伝達部材素材８８は、所定の時間の放熱後に中子８７が取り除かれるとともに型部材８２から取り出される。
【０１３４】
次に、溶融材料流入通路対応部８４ａが接続具８６ｃから機械加工により取り除かれる。
【０１３５】
なお型部材８２の雌型８０において大径の一端部対応部分８０ａと溶融材料流入通路（湯道）８４の内端との間には接続具対応部分８０ｃが介在されていたが、接続具対応部分８０ｃを省略して、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら前述した第１の実施の形態の主型部材１０の雌型１２の如く大径の一端部対応部分８０ａにおいて中間部分８０ｂとは反対側の端に溶融材料流入通路（湯道）８４の内端を直結することが出来る。
【０１３６】
この場合には、超音波伝達部材素材８８が型部材８２の雌型８０から取り出された後に、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら前述した第１の実施の形態の主型部材１０の雌型１２から超音波伝達部材１６を形成した場合の如く、溶融材料流入通路対応部８４ａを機械加工して接続具８６ｃを形成する必要がある。この機械加工の間には、この機械加工により溶融材料流入通路対応部８４ａの金属ガラスの温度が結晶化温度以上にならない（即ち、金属ガラスが非晶質を失わず結晶化しない）よう、例えば冷却液体を含む冷却媒体の適用などの公知の種々の冷却対策をとる必要がある。
【０１３７】
上述した如く型部材８２の雌型８０から取り出され、さらに溶融材料流入通路対応部８４ａが接続具８６ｃから取り除かれるか又は接続具８６ｃが溶融材料流入通路対応部８４ａから機械加工により形成されるか、した後の超音波伝達部材素材８８は、中間部分対応部８８ａを過冷却液体域（ガラス遷移領域）に加熱し過冷却液体域（ガラス遷移領域）に維持している間に超音波伝達部材素材８８を所定の長さまで引っ張る為に引っ張り装置９０に設置させる。
【０１３８】
引っ張り装置９０は、超音波伝達部材素材８８の接続具８６ｃが着脱可能に固定される固定台座９０ａと、超音波伝達部材素材８８の他端部分対応部８８ｂが着脱可能に固定される引っ張り移動台座９０ｂと、超音波伝達部材素材８８の接続具８６ｃが固定台座９０ａに着脱可能に固定され他端部分対応部８８ｂが引っ張り移動台座９０ｂに着脱可能に固定されている間の超音波伝達部材素材８８の中間部分対応部８８ｂを取り囲むヒータ９０ｃと、を含む。
【０１３９】
超音波伝達部材素材８８の他端部分対応部８８ｂにおいて中子８７が取り除かれた後の貫通孔には、引っ張り移動台座９０ｂにおいて超音波伝達部材素材８８の他端部分対応部８８ｂと超音波伝達部材素材８８の長手方向に直交するよう形成されている貫通孔を介して引っ張り棒９２が挿入され、引っ張り棒９２の両端部が引っ張り移動台座９０ｂの貫通孔に支持されている。
【０１４０】
従って、引っ張り装置９０においては、ヒータ９０ｃが超音波伝達部材素材８８の中間部分対応部８８ａを過冷却液体域（ガラス遷移領域）に加熱し過冷却液体域（ガラス遷移領域）に維持している間に超音波伝達部材素材８８の他端部分対応部８８ｂが引っ張り棒９２を介して引っ張り移動台座９０ｂにより超音波伝達部材素材８８の長手方向に矢印Ｐにより示されている如く引っ張られることにより中間部分対応部８８ａを細長くすることが出来る。
【０１４１】
引っ張り移動台座９０ｂによる超音波伝達部材素材８８の他端部分対応部８８ｂの引っ張りは、超音波伝達部材素材８８の一端部８６ａの接続具８６ｃ側の端から超音波伝達部材素材８８の中間部分対応部８８ａにおける他端部分対応部８８ｂ側の端までの距離が前述した所定の距離Ｌ以上になった時点で停止される。その際の中間部分対応部８８ａの外径は、中間部分対応部８８ａが９０度以上に湾曲されたとしても塑性変形せず、中間部分対応部８８ａに湾曲の為に負荷されていた力が取り除かれた後には元の直線状に弾性的に復帰する可能な可撓性を発揮できる寸法であることが好ましく、例えば略０．２ｍｍ〜略１ｍｍであることが好ましい。
【０１４２】
引っ張り装置９０は容器９４に取り囲まれ、容器９４の内部空間が真空にされるか又は不活性ガスが充填されている間に、ヒータ９０ｃによる超音波伝達部材素材８８の中間部分対応部８８ａの上述した加熱や引っ張り移動台座９０ｂによる上述した引張りが行なわれることが好ましい。
【０１４３】
上記加熱が真空や不活性ガス中で行なわれることにより、加熱された中間部分対応部８８ａが空気中の酸素による悪影響（例えば酸化）を受けることから阻止される。
【０１４４】
上記引っ張りが停止されるとともに上記加熱が停止され、さらに加熱され引っ張られていた中間部分対応部８８ａの温度が過冷却液体域以下に下降した後に、超音波伝達部材素材８８は引っ張り装置９０から取り外される。
【０１４５】
その後、超音波伝達部材素材８８は、超音波伝達部材素材８８の一端部８６ａの接続具８６ｃ側の端から超音波伝達部材素材８８の中間部分対応部８８ａにおける他端部分対応部８８ｂ側の端までの距離が前述した所定の距離Ｌとなるよう、中間部分対応部８８ａにおける他端部分対応部８８ｂ側の端が切断される。
【０１４６】
この結果として、超音波伝達部材素材８８は、図９の（Ｅ）中に図示されている超音波伝達部材８６となる。
【０１４７】
［第６の実施の形態］
次に、図１０の（Ａ）乃至図１０の（Ｃ）を参照しながら、第６の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法について説明する。
【０１４８】
図１０の（Ａ）及び図１０の（Ｂ）中に図示されている如く、雌型１０２を有している主型部材１００が準備される。主型部材１００は、雌型１０２を外部空間に連通させる為の溶融材料流入通路（湯道）１０４も有している。雌型１０２は図１０の（Ｃ）中に図示されている所望の超音波伝達部材１０６の全体外形状及び外形寸法に対応した形状を有している。
【０１４９】
この実施の形態において上記所望の超音波伝達部材１０６は大きな直方体形状の一端部１０６ａと小さな直方体形状の他端部１０６ｂとを有している。他端部１０６ｂにおいて一端部１０６ａ側の端部は厚さが徐々に増加して一端部１０６ａにおいて他端部１０６ｂ側の端につながっている。即ち、他端部１０６ｂは概略的な楔形状の全体外形状を有している。このような超音波伝達部材１０６は、一端部１０６ａに入力された超音波を他端部１０６ｂまで伝達する超音波ホーンを構成している。そしてこのような超音波ホーンは、例えば超音波を利用した溶接に使用される。
【０１５０】
大きな一端部１０６ａにおいて小さな他端部１０６ｂとは反対側には超音波伝達部材１０６を図示しない超音波発生装置に接続する為の接続具１０６ｃが形成されている。この実施の形態において接続具１０６ｃは、雄ねじである。
【０１５１】
接続具１０６ｃに接続された上記図示しない超音波発生装置からは超音波伝達部材１０６の一端部１０６ａに所定の周波数の超音波が入力されるが、大きな一端部１０６ａにおいて小さな他端部１０６ｂとは反対側の端面から他端部１０６ｂの末端までの長さＬは、上記超音波の１波長λの半分（λ／２）の整数倍であることが好ましい。このような超音波伝達部材１０６は、例えば超音波（高周波）溶接機において使用されている。
【０１５２】
さらに、超音波伝達部材１０６の大きな一端部１０６ａにおいて小さな他端部１０６ｂ側の端（即ち、超音波伝達部材１０６の外表面において大きな一端部１０６ａから小さな他端部１０６ｂに移行を開始する位置）が、接続具１０６ｃに接続された上記図示しない超音波発生装置から超音波伝達部材１０６の一端部１０６ａに入力された超音波の節に略一致することが好ましい。
【０１５３】
この実施の形態の雌型１０２は、超音波伝達部材１０６の大きな一端部１０６ａに対応した一端部対応部分１０２ａと、超音波伝達部材１０６の小さな他端部１０６ｂに対応した他端部対応部分１０２ｂと、超音波伝達部材１０６の接続具１０６ｃに対応した接続具対応部分１０２ｃと、を含んでいる。
【０１５４】
主型部材１００は、縦方向に広がった分割面を有する側方２分割型であり、例えば銅の如き熱伝導率の高い金属により作製されている。主型部材１００の２つの半側片１００ａ，１００ｂは相互に対称な形状をしており、公知の分離可能な固定構造、例えばボルトとナットとの組み合わせ、により分離可能に相互に固定されている。雌型１０２及び溶融材料流入通路（湯道）１０４は、主型部材１００の２つの半側片１００ａ，１００ｂの夫々の分割面に縦に分割されて形成されている。
【０１５５】
溶融材料流入通路（湯道）１０４は、主型部材１００の上面に開口した外端（湯口）と、雌型１０２の所定の部分、この実施の形態では接続具対応部分１０２ｃにおいて一端部対応部分１０２ａとは反対側、に接続した内端と、を有している。
【０１５６】
溶融材料流入通路（湯道）１０４の外端（湯口）には、金属ガラスの基になる溶融された合金１８が流し込まれる。溶融されている合金１８は、溶融材料流入通路（湯道）１０４の外端（湯口）に対し重力により流し込まれることができるし、或いは図３の（Ａ）及び図３の（Ｂ）を参照しながら前述した、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材の作製の方法の第２の変形例において使用されていた溶融金属加圧注入機構２４により流し込まれることができる。
【０１５７】
溶融材料流入通路（湯道）１０４を介して雌型１０２中に流し込まれた金属ガラスの基になる溶融している合金１８が液相状態のまま固化するよう、主型部材１００には図示されていない種々の公知の放熱及び／又は冷却構造が適用されている。この結果、雌型１０２中に流し込まれた溶融している合金１８は10K/sec以上の冷却速度で冷却される。雌型１０２中に流し込まれた溶融している合金１８がこのように急冷されることにより結晶粒界の存在しないアモルファス合金（いわゆる金属ガラス）になり、雌型１０２の形状及び寸法が上記アモルファス合金（いわゆる金属ガラス）に精密に転写される。
【０１５８】
雌型１０２中でガラス固体域になり雌型１０２の形状が転写された金属ガラスにより構成された超音波伝達部材１０６は、所定の時間のさらなる放熱後に主型部材１００から取り出される。この時には、接続具１０６ｃにおいて大きな一端部１０６ａとは反対側に溶融材料流入通路（湯道）１０４に対応した形状の図示されていない溶融材料流入通路対応部分が伴われている。
【０１５９】
従って最後に、この図示されていない溶融材料流入通路対応部分が接続具１０６ｃから機械加工により取り除かれることにより、図１０の（Ｃ）中に図示されている超音波ホーンとしての超音波伝達部材１０６が完成される。
【０１６０】
なお主型部材１００の雌型１０２において大きな一端部対応部分１０２ａと溶融材料流入通路（湯道）１０４の内端との間には接続具対応部分１０２ｃが介在されていたが、接続具対応部分１０２ｃを省略して、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら前述した第１の実施の形態の主型部材１０の雌型１２の如く、大きな一端部対応部分１０２ａにおいて小さな他端部対応部分１０２ｂとは反対側の端に溶融材料流入通路（湯道）１０４の内端を直結することが出来る。
【０１６１】
この場合には、超音波伝達部材１０６が主型部材１００の雌型１０２から取り出された後に、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら前述した第１の実施の形態の主型部材１０の雌型１２から超音波伝達部材１６を形成した場合の如く、図示されていない溶融材料流入通路対応部分を機械加工して接続具１０６ｃを形成する必要がある。この機械加工の間には、この機械加工により図示されていない溶融材料流入通路対応部分の金属ガラスの温度が結晶化温度以上にならない（即ち、金属ガラスが非晶質を失わず結晶化しない）よう、例えば冷却液体を含む冷却媒体の適用などの公知の種々の冷却対策をとる必要がある。
【０１６２】
この実施の形態に従った超音波伝達部材作製の方法により最終的に作製される超音波伝達部材１０６が構成している例えば超音波を利用した溶接に使用される超音波ホーンの外形寸法は、図１の（Ａ）乃至図９の（Ｅ）中に図示されていた、種々の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する種々の方法及びこれらの方法の種々の変形例により最終的に作製される超音波伝達部材が構成している内視鏡用の超音波プローブの外形寸法よりも遥かに大きい。
【０１６３】
従って、この実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法のように超音波伝達部材１０６の全体を金属ガラスにより形成する場合には、主型部材１００に図示されていない種々の公知の放熱及び／又は冷却構造が適用されていたとしても、主型部材１００の雌型１０２の中心近傍では、雌型１０２に流入された金属ガラスの基になる溶融された合金１８が液相状態で固化できない（例えば、10K/sec以上の冷却速度で冷却できない）可能性が生じる。
【０１６４】
このような可能性をなくすことが出来る、超音波伝達部材を作製する方法が以下の第７の実施の形態である。
【０１６５】
［第７実施の形態］
次に、図１１の（Ａ）乃至図１１の（Ｃ）を参照しながら、第７の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法について説明する。
【０１６６】
この方法では最初に、図１１の（Ａ）中に図示されている如く、超音波伝達の為の所望の寸法の全体形状を所定部位を除外して有している超音波伝達部材本体１１０が準備されるとともに、上記所定部位の外形状に対応した雌型１１２を有している所定部位成形型部材１１４が準備される。
【０１６７】
所定部位成形型部材１１４は、縦方向に広がった分割面を有する側方２分割型であり、例えば銅の如き熱伝導率の高い金属により作製されている。所定部位成形型部材１１４の２つの半側片１１４ａ，１１４ｂは相互に対称な形状をしており、公知の分離可能な固定構造、例えばボルトとナットとの組み合わせ、により分離可能に相互に固定されている。雌型１１２は、所定部位成形型部材１１４の２つの半側片１１４ａ，１１４ｂの夫々の分割面に縦に分割されて形成されている。
【０１６８】
この実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法により最終的に作製される超音波伝達部材１１６の全体の外形状が図１１の（Ｃ）中に図示されている。上記超音波伝達部材１１６は大きな直方体形状の一端部の大部分を構成している超音波伝達部材本体１１０と、大きな直方体形状の一端部の残りの部分と小さな直方体形状の他端部とを構成している所定部位１１８とを有している。所定部位１１８においては、上記他端部は上記一端部の残りの部分に隣接する部分が徐々に増加して上記一端部の残りの部分につながっている。即ち、超音波伝達部材１１６の所定部位１１８は概略的な楔形状の全体外形状を有している。このような超音波伝達部材１１６は、一端部の大部分を構成している超音波伝達部材本体１１０に入力された超音波を超音波伝達部材１１６の他端部を構成している所定部位１１８まで伝達する超音波ホーンを構成している。そしてこのような超音波ホーンは、例えば超音波を利用した溶接に使用される。
【０１６９】
超音波伝達部材本体１１０において所定部位１１８とは反対側には超音波伝達部材１１６を図示しない超音波発生装置に接続する為の接続具１２０が形成されている。この実施の形態において接続具１２０は、雄ねじである。
【０１７０】
接続具１２０に接続された上記図示しない超音波発生装置からは超音波伝達部材１１６の超音波伝達部材本体１１０に所定の周波数の超音波が入力されるが、超音波伝達部材本体１１０において所定部位１１８とは反対側の端面から所定部位１１８の末端までの長さＬは、上記超音波の１波長λの半分（λ／２）の整数倍であることが好ましい。このような超音波伝達部材１１６は、例えば超音波（高周波）溶接機において使用されている。
【０１７１】
さらに、超音波伝達部材１１６の所定部位１１８の大きな直方体形状の一端部の残りの部分において小さな他端部側の端（即ち、超音波伝達部材１１６の外表面において大きな一端部から小さな他端部に移行を開始する位置）が、接続具１２０に接続された上記図示しない超音波発生装置から超音波伝達部材１１６の一端部に入力された超音波の節に略一致することが好ましい。
【０１７２】
超音波伝達部材本体１１０はさらに、接続具１２０とは反対側に所定部位成形型部材１１４の雌型１１２により成形される所定部位１１８が固定されるアンカー構造１２２を備えている。この実施の形態においてアンカー構造１２２は、超音波伝達部材本体１１０の上記反対側から突出した小径の支柱と支柱の先端において拡径した円板とを有している。しかし、アンカー構造１２２は、超音波伝達部材本体１１０の上記反対側に、所定部位成形型部材１１４の雌型１１２により成形される所定部位１１８が固定されることが出来る限り、公知の種々の形状であることが出来る。
【０１７３】
超音波伝達部材本体１１０には、接続具１２０の末端からアンカー構造１２２の末端（即ち、傘の頂部）まで貫通した貫通孔１１０ａが形成されている。
【０１７４】
超音波伝達部材本体１１０は、従来使用されている超音波ホーンと同様に例えばチタン，チタン合金，アルミニウム合金，またはニッケル―アルミニウム合金等の金属材料を機械加工することにより形成されている。
【０１７５】
所定部位成形型部材１１４は、超音波伝達部材本体１１０を収容する為の超音波伝達部材本体１１０の外形状と同じ外形状の超音波伝達部材本体収容空間１２４も有している。超音波伝達部材本体収容空間１２４も、所定部位成形型部材１１４の２つの半側片１１４ａ，１１４ｂの夫々の分割面に縦に分割されて形成されている。超音波伝達部材本体収容空間１２４は雌型１１２に対し雌型１１２において大きな直方体形状の一端部の残りの部分に対応した部位の末端に隣接して配置されている。
【０１７６】
超音波伝達部材本体収容空間１２４において雌型１１２とは反対側に超音波伝達部材本体１１０の接続具１２０が配置される。超音波伝達部材本体収容空間１２４において超音波伝達部材本体１１０の接続具１２０の末端に対応する位置に、所定部位成形型部材１１４に形成されている溶融材料流入通路（湯道）１２６の内端が連通している。溶融材料流入通路（湯道）１２６もまた、所定部位成形型部材１１４の２つの半側片１１４ａ，１１４ｂの夫々の分割面に縦に分割されて形成されている。
【０１７７】
溶融材料流入通路（湯道）１２６の外端（湯口）には、金属ガラスの基になる溶融された合金１８が流し込まれる。溶融されている合金１８は、溶融材料流入通路（湯道）１２６の外端（湯口）に対し重力により流し込まれることができるし、或いは図３の（Ａ）及び図３の（Ｂ）を参照しながら前述した、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の第２の変形例において使用されていた溶融金属加圧注入機構２４により流し込まれることができる。
【０１７８】
溶融材料流入通路（湯道）１２６に流し込まれた溶融している合金１８は、所定部位成形型部材１１４の超音波伝達部材本体収容空間１２４中に収容されている超音波伝達部材本体１１０の貫通孔１１０ａを介して雌型１１２に到達し、雌型１１２に充填される。
【０１７９】
雌型１１２及び貫通孔１１０ａを、さらに好ましくは溶融材料流入通路（湯道）１２６も、満たした金属ガラスの基になる溶融している合金１８が液相状態のまま固化するよう、所定部位成形型部材１１４には図示されていない種々の公知の放熱及び／又は冷却構造が適用されている。この結果、雌型１１２及び貫通孔１１０ａを、さらに好ましくは溶融材料流入通路（湯道）１２６も、満たした溶融している合金１８は10K/sec以上の冷却速度で冷却される。上述した如く流し込まれた溶融している合金１８がこのように急冷されて結晶粒界の存在しないアモルファス合金（いわゆる金属ガラス）になることにより、雌型１１２及び貫通孔１１０ａ、さらに好ましくは溶融材料流入通路（湯道）１２６、の形状及び寸法が上記アモルファス合金（いわゆる金属ガラス）に精密に転写される。
【０１８０】
所定部位成形型部材１１４の雌型１１２中でガラス固体域になり雌型１１２の形状が転写された金属ガラスにより構成されている所定部位１１８は、所定部位成形型部材１１４中で雌型１１２に隣接している超音波伝達部材本体収容空間１２４中に収容されている超音波伝達部材本体１１０のアンカー構造１２２を取り囲み、超音波伝達部材本体１１０に固定される。
【０１８１】
このようにアンカー構造１２２により超音波伝達部材本体１１０に固定された所定部位１１８は、所定の時間のさらなる放熱後に超音波伝達部材本体１１０とともに所定部位成形型部材１１４から取り出される。この時には、超音波伝達部材本体１１０の接続具１２０には溶融材料流入通路（湯道）１２６に対応した形状の図示しない溶融材料流入通路対応部分が付着しているが、この溶融材料流入通路対応部分は接続具１２０から公知の切断機構により切り離される。
【０１８２】
この結果として、図１１の（Ｃ）中に図示されている超音波ホーンとしての超音波伝達部材１１６が完成される。
【０１８３】
なお、この実施の形態では、所定部位成形型部材１１４において溶融材料流入通路（湯道）１２６の内端は超音波伝達部材本体収容空間１２４において超音波伝達部材本体１１０の接続具１２０の末端に対応する位置に連通しており、さらに超音波伝達部材本体収容空間１２４中に収容されている超音波伝達部材本体１１０中の貫通孔１１０ａを介して所定部位成形型部材１１４中の雌型１１２に連通されている。しかしながら、溶融材料流入通路（湯道）１２６の内端を雌型１１２の末端（即ち、雌型１１２において超音波伝達部材本体収容空間１２４とは反対側の端）に直接接続させるとともに、超音波伝達部材本体１１０中の貫通孔１１０ａを無くすことも出来る。
【０１８４】
［第７実施の形態の第１乃至第４の変形例］
次に、図１２の（Ａ）乃至図１２の（Ｄ）を参照しながら、図１１の（Ａ）乃至図１１の（Ｃ）を参照しながら前述した、第７の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法において使用される超音波伝達部材本体１１０のアンカー構造１２２の第１乃至第４の変形例について説明する。
【０１８５】
図１２の（Ａ）中に図示されている第１の変形例に従ったアンカー構造１２２ａは、超音波伝達部材本体１１０において接続具１２０とは反対側から突出した小径の支柱と支柱の先端において支柱の長手方向に並んだ複数の位置（図１２の（Ａ）中では３箇所）で拡径した複数の張り出しとを有している。第１の変形例に従ったアンカー構造１２２ａの複数の張り出しの夫々の断面は、超音波伝達部材本体１１０の上記反対側に所定部位成形型部材１１４の雌型１１２により成形される所定部位１１８（図１１の（Ｃ）参照）が固定されることが出来る限り、任意の形状であることが出来る。
【０１８６】
図１２の（Ｂ）中に図示されている第２の変形例に従ったアンカー構造１２２ｂは、超音波伝達部材本体１１０において接続具１２０とは反対側から突出した小径の支柱と支柱の先端において支柱の先端で拡径した張り出しとを有している。第２の変形例に従ったアンカー構造１２２ｂの張り出しの断面は、図１１の（Ａ）及び図１１の（Ｂ）を参照しながら前述した第７の実施の形態の超音波伝達部材本体１１０のアンカー構造１２２の支柱の先端の張り出しの一種である円板の断面とは異なる形状を有しており、超音波伝達部材本体１１０の上記反対側に所定部位成形型部材１１４の雌型１１２により成形される所定部位１１８（図１１の（Ｃ）参照）が固定されることが出来る限り、任意の形状であることが出来る。
【０１８７】
図１２の（Ｃ）中に図示されている第３の変形例に従ったアンカー構造１２２ｃは、超音波伝達部材本体１１０において接続具１２０とは反対側から突出した大きな径の支柱基部と支柱基部の先端から突出した小さな径の支柱端部と支柱端部の先端で拡径した張り出しとを有している。第３の変形例に従ったアンカー構造１２２ｃの張り出しは円板形状をしているが、超音波伝達部材本体１１０の上記反対側に所定部位成形型部材１１４の雌型１１２により成形される所定部位１１８（図１１の（Ｃ）参照）が固定されることが出来る限り、任意の形状であることが出来る。
【０１８８】
図１２の（Ｄ）中に図示されている第４の変形例に従ったアンカー構造１２２ｄは、超音波伝達部材本体１１０において接続具１２０とは反対側から突出した支柱と、上記反対側において超音波伝達部材本体１１０の貫通孔１１０の周囲から貫通孔１１０の内部に向かい延出した複数の分岐孔１１０ｂと、を備えており、複数の分岐孔１１０ｂの内端は貫通孔１１０の内部で貫通孔１１０に連通されている。
【０１８９】
このアンカー構造１２２ｄでは、溶融材料流入通路（湯道）１２６に流し込まれた金属ガラスの基になる溶融している合金１８（図１１の（Ａ）参照）が所定部位成形型部材１１４の超音波伝達部材本体収容空間１２４中に収容されている超音波伝達部材本体１１０の貫通孔１１０ａを介して雌型１１２に充填される間に、上述した溶融している合金１８（図１１の（Ａ）参照）がさらに貫通孔１１０ａを介して複数の分岐孔１１０ｂにも充填される。複数の分岐孔１１０ｂ中の溶融している合金１８は、所定部位成形型部材１１４の雌型１１２,超音波伝達部材本体１１０の貫通孔１１０ａ,そして溶融材料流入通路（湯道）１２６中の溶融している合金１８とともにガラス固体域になり、その結果として、超音波伝達部材本体１１０を雌型１１２中に形成される所定部位１１８（図１１の（Ｃ）参照）に対し木の根の如く固定する。逆に言えば、雌型１１２中に形成される所定部位１１８（図１１の（Ｃ）参照）は複数の分岐孔１１０ｂ中で溶融している合金１８からガラス固体域になった金属ガラスにより超音波伝達部材本体１１０に固定される。
【０１９０】
第４の変形例に従ったアンカー構造１２２ｄの複数の分岐孔１１０ｂの夫々は、以下の条件を満たす限り種々の形状であることが出来る。その条件とは、溶融材料流入通路（湯道）１２６に流し込まれた金属ガラスの基になる溶融している合金１８（図１１の（Ａ）参照）が所定部位成形型部材１１４の超音波伝達部材本体収容空間１２４中に収容されている超音波伝達部材本体１１０の貫通孔１１０ａを介して雌型１１２に充填される間に、複数の分岐孔１１０ｂの夫々にもまた上述した溶融している合金１８（図１１の（Ａ）参照）を貫通孔１１０ａを介して充填でき、しかも、複数の分岐孔１１０ｂの夫々の中で上述した溶融している合金１８がガラス固体域の金属ガラスになった後に超音波伝達部材本体１１０の上記反対側に所定部位成形型部材１１４の雌型１１２中に上述した溶融している合金１８からガラス固体域になった金属ガラスにより成形される所定部位１１８（図１１の（Ｃ）参照）を十分強固に固定出来ることである。
【０１９１】
［第８の実施の形態］
次に、図１３の（Ａ）乃至図１３の（Ｄ）を参照しながら、第８の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法について説明する。
【０１９２】
図１３の（Ａ）中に図示されている如く、雌型１３０を有している主型部材１３２が準備される。主型部材１３２は、雌型１３０を外部空間に連通させる為の溶融材料流入通路（湯道）１３４も有している。雌型１３０は図１３の（Ｃ）中に側面が図示されている所望の超音波伝達部材１３６の全体外形状及び外形寸法に対応した形状を有している。
【０１９３】
この実施の形態において上記所望の超音波伝達部材１３６は、大径の一端部１３６ａと、小径の他端部１３６ｂと、そして小径の他端部１３６ｂにおいて大径の一端部１３６ａとは反対側に形成されている工具固定部１３６ｃと、を有しており、一端部１３６ａに入力された超音波を他端部１３６ｂまで伝達する。このような超音波伝達部材１３６は、超音波ホーンを構成している。そして小径の他端部１３６ｂにおいて大径の一端部１３６ａとは反対側に工具固定部１３６ｃが形成されている。このような超音波ホーンは、工具固定部１３６ｃに固定される工具を超音波を利用して動作させる工具−超音波駆動装置として使用される。
【０１９４】
この実施の形態において工具固定部１３６ｃは、工具固定部１３６ｃの末端から他端部１３６ｂの長手方向に沿い延出し工具固定部１３６ｃを直径方向に横断している工具保持スリット１３８を含んでいる。工具保持スリット１３８には、例えばナイフの如き工具１４０の基端部が保持される。工具保持スリット１３８に保持された工具１４０の基端部は、工具固定部１３６ｃの外周面に被せられ固定される工具固定要素１４２により工具固定部１３６ｃに固定される。工具固定要素１４２は、工具保持スリット１３８に保持された工具１４０の先端部を露出させる開口を有している。工具固定要素１４２は、工具固定部１３６ｃの外周面に公知の固定構造により着脱可能に被せられ固定されることが好ましい。この為に、この実施の形態では、工具固定部１３６ｃの外周面には雄ねじが形成されていて、工具固定要素１４２の内周面には工具固定部１３６ｃの外周面の雄ねじに螺合される雌ねじが形成されている。しかしながら上記固定は摩擦係合により行なわれることができるし、接着剤により行なわれることも出来る。
【０１９５】
大きな一端部１３６ａにおいて小さな他端部１３６ｂとは反対側には超音波伝達部材１３６を図示しない超音波発生装置に接続する為の接続具１３６ｄが形成されている。この実施の形態において接続具１３６ｄは、雄ねじである。
【０１９６】
接続具１３６ｄに接続された上記図示しない超音波発生装置からは超音波伝達部材１３６の一端部１３６ａに所定の周波数の超音波が入力されるが、大きな一端部１３６ａにおいて小さな他端部１３６ｂとは反対側の端面から他端部１３６ｂの末端の工具支持部１３６ｃの端面までの長さＬは、上記超音波の１波長λの半分（λ／２）の整数倍であることが好ましい。
【０１９７】
さらに、超音波伝達部材１３６の大きな一端部１３６ａにおいて小さな他端部１３６ｂ側の端（即ち、超音波伝達部材１３６の外表面において大きな一端部１３６ａから小さな他端部１３６ｂに移行を開始する位置）が、接続具１３６ｄに接続された上記図示しない超音波発生装置から超音波伝達部材１３６の一端部１３６ａに入力された超音波の節に略一致することが好ましい。
【０１９８】
この実施の形態の雌型１３０は、超音波伝達部材１３６の大きな一端部１３６ａに対応した一端部対応部分１３０ａと、超音波伝達部材１３６の小さな他端部１３６ｂに対応した他端部対応部分１３０ｂと、超音波伝達部材１３６の工具固定部１３６ｃに対応した工具固定部対応部分１３０ｃと、そして超音波伝達部材１３６の接続具１３６ｄに対応した接続具対応部分１３０ｄと、を含んでいる。
【０１９９】
主型部材１３２は、縦方向に広がった分割面を有する側方２分割型であり、例えば銅の如き熱伝導率の高い金属により作製されている。主型部材１３２の２つの半側片１３２ａ，１３２ｂは相互に対称な形状をしており、公知の分離可能な固定構造、例えばボルトとナットとの組み合わせ、により分離可能に相互に固定されている。雌型１３０及び溶融材料流入通路（湯道）１３４は、主型部材１３２の２つの半側片１３２ａ，１３２ｂの夫々の分割面に縦に分割されて形成されている。
【０２００】
溶融材料流入通路（湯道）１３４は、主型部材１３２の上面に開口した外端（湯口）と、雌型１３０の所定の部分、この実施の形態では接続具対応部分１３０ｄにおいて一端部対応部分１３０ａとは反対側、に接続した内端と、を有している。
【０２０１】
主型部材１３２の雌型１３０には、工具固定部対応部分１３０ｃを直径方向に横切って平坦な板状の中子部材１４４が配置されている。この実施の形態では、中子部材１４４は主型部材１３２の２つの半側片１３２ａ，１３２ｂの夫々の分割面に支持されている。
【０２０２】
溶融材料流入通路（湯道）１３４の外端（湯口）には、金属ガラスの基になる溶融されている合金１８が流し込まれる。溶融されている合金１８は、溶融材料流入通路（湯道）１３４の外端（湯口）に対し重力により流し込まれることができるし、或いは図３の（Ａ）及び図３の（Ｂ）を参照しながら前述した、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の第２の変形例において使用されていた溶融金属加圧注入機構２４により流し込まれることができる。
【０２０３】
溶融材料流入通路（湯道）１３４を介して雌型１３０中に流し込まれた金属ガラスの基になる溶融している合金１８が液相状態のまま固化するよう、主型部材１３２には図示されていない種々の公知の放熱及び／又は冷却構造が適用されている。この結果、雌型１３０中に流し込まれた溶融している合金１８は10K/sec以上の冷却速度で冷却される。雌型１３０中に流し込まれた溶融している合金１８がこのように急冷されて結晶粒界の存在しないアモルファス合金（いわゆる金属ガラス）になることにより、雌型１３０の形状及び寸法が上記アモルファス合金（いわゆる金属ガラス）に精密に転写される。
【０２０４】
雌型１３０中でガラス固体域になり雌型１３０の形状が転写された金属ガラスが構成している超音波伝達部材１３６は、所定の時間のさらなる放熱後に中子部材１４４を伴って主型部材１３２から取り出される。この時には、図１３の（Ｃ）中に実線で示されている超音波伝達部材１３６は、接続具１３６ｄに図１３の（Ｃ）中に２点鎖線で示されている如く溶融材料流入通路（湯道）１３４に対応した形状の溶融材料流入通路対応部分１３４ａを伴っている。
【０２０５】
次に、中子部材１４４が超音波伝達部材１３６から引き抜かれ、また溶融材料流入通路対応部分１３４ａが接続具１３６ｄから機械加工により取り除かれる。この結果、図１３の（Ｃ）中に図示されている工具−超音波駆動装置の為の超音波ホーンとしての超音波伝達部材１３６が完成される。
【０２０６】
なお主型部材１３２の雌型１３０において大径の一端部対応部分１３０ａと溶融材料流入通路（湯道）１３４の内端との間には接続具対応部分１３０ｄが介在されていたが、接続具対応部分１３０ｄを省略して、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら前述した第１の実施の形態の主型部材１０の雌型１２の如く大径の一端部対応部分１３０ａにおいて小径の他端部対応部分１３０ｂとは反対側の端に溶融材料流入通路（湯道）１３４の内端を直結することが出来る。
【０２０７】
この場合には、超音波伝達部材１３６が主型部材１３２の雌型１３０から取り出され、さらに中子部材１４４が超音波伝達部材１３６から引き抜かれた後に、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら前述した第１の実施の形態の主型部材１０の雌型１２から超音波伝達部材１６を形成した場合の如く、溶融材料流入通路対応部分１３４ａを機械加工して接続具１３６ｄを形成する必要がある。この機械加工の間には、この機械加工により溶融材料流入通路対応部分１３４ａの金属ガラスの温度が結晶化温度以上にならない（即ち、金属ガラスが非晶質を失わず結晶化しない）よう、例えば冷却液体を含む冷却媒体の適用などの公知の種々の冷却対策をとる必要がある。
【０２０８】
また、超音波伝達部材１３６の工具固定部１３６ｃの工具保持スリット１３８や工具固定部１３６ｃの外周面の雄ねじは、主型部材１３２の雌型１３０の工具固定部対応部分１３０ｃや中子部材１４４による形状転写によってではなく、超音波伝達部材１３６が主型部材１３２の雌型１３０から取り出された後の機械加工によっても形成することが出来る。この機械加工の間にも、この機械加工により工具固定部対応部分１３０ｃの金属ガラスの温度がガラス結晶化温度以上にならない（即ち、金属ガラスが非晶質を失わず結晶化しない）よう、例えば冷却液体を含む冷却媒体の適用などの公知の種々の冷却対策をとる必要がある。
【０２０９】
［第８の実施の形態の変形例］
図１３の（Ｅ）には、図１３の（Ａ）乃至図１３の（Ｄ）を参照しながら前述した、第８の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の変形例に従って作製された超音波伝達部材１３６´の小径の他端部１３６´ｂの工具固定部１３６´ｃと工具固定部１３６´ｃに固定されている工具１４０´とが概略的に示されている。ここにおいて工具１４０´は工具固定部１３６´ｃと同じ材料で一体的に形成されている。
【０２１０】
この変形例が前述の第８の実施の形態と異なっているのは、主型部材１３２の雌型１３０が工具固定部対応部分１３０ｃにおいて他端部対応部分１３０ｂとは反対側に工具対応部分を有していることであり、中子部材１４４は不要である。
【０２１１】
［第９の実施の形態］
次に、図１４の（Ａ）及び図１４の（Ｂ）を参照しながら、第９の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法について説明する。
【０２１２】
図１４の（Ａ）中に図示されている如く、雌型１５０を有している主型部材１５２が準備される。主型部材１５２は、雌型１５０を外部空間に連通させる為の溶融材料流入通路（湯道）１５４も有している。雌型１５０は図１４の（Ｂ）中に図示されている所望の超音波伝達部材１５６の全体外形状及び外形寸法に対応した形状を有している。
【０２１３】
この実施の形態において上記所望の超音波伝達部材１５６は、大径の一端部１５６ａと小径の他端部１５６ｂとを有しており、一端部１５６ａに入力された超音波を他端部１５６ｂまで伝達する。このような超音波伝達部材１５６は超音波ホーンを構成しており、この実施の形態では噴霧器１６０中に使用されている。
【０２１４】
大径の一端部１５６ａにおいて他端部１５６ｂとは反対側には超音波伝達部材１５６を公知の超音波発生装置ＵＳＧに接続する為の接続具１５６ｃが形成されている。この実施の形態において接続具１５６ｃは、雄ねじである。
【０２１５】
接続具１５６ｃに接続された超音波発生装置ＵＳＧからは上記超音波ホーンを構成している超音波伝達部材１５６の大径の一端部１５６ａに所定の周波数の超音波が入力されるが、大径の一端部１５６ａにおいて小径の他端部１５６ｂとは反対側の端面から小径の他端部１５６ｂの末端までの長さＬは、上記超音波の１波長λの半分（λ／２）の整数倍であることが好ましい。
【０２１６】
さらに、超音波伝達部材１５６の大径の一端部１５６ａにおいて小径の他端部１５６ｂ側の端（即ち、超音波伝達部材１５６の外周面において大径の一端部１５６ａから小径の他端部１５６ｂに移行を開始する位置）が、接続具１５６ｃに接続された超音波発生装置ＵＳＧから超音波伝達部材１５６の一端部１５６ａに入力された超音波の節に略一致することが好ましい。
【０２１７】
この実施の形態の雌型１５０は、超音波伝達部材１５６の大径の一端部１５６ａに対応した一端部対応部分１５０ａと、超音波伝達部材１５６の小径の他端部１５６ｂに対応した他端部対応部分１５０ｂと、超音波伝達部材１５６の接続具１５６ｃの外形に対応した接続具対応部分１５０ｃと、を含んでおり、溶融材料流入通路（湯道）１５４の内端が接続具対応部分１５０ｃにおいて一端部対応部分１５０ａとは反対側に接続されている。
【０２１８】
主型部材１５２は、縦方向に広がった分割面を有する側方２分割型であり、例えば銅の如き熱伝導率の高い金属により作製されている。主型部材１５２の２つの半側片１５２ａは、公知の分離可能な固定構造、例えばボルトとナットとの組み合わせ、により分離可能に相互に固定されている。２つの半側片１５２ａは相互に対称な形状をしており、図１４の（Ａ）中には一方の半側片１５２ａのみが示されている。雌型１５０及び溶融材料流入通路（湯道）１５４は、主型部材１５２の２つの半側片１５２ａの夫々の分割面に縦に分割されて形成されている。
【０２１９】
主型部材１５２の雌型１５０には、雌型１５０の一端部から他端部まで（この実施の形態では、一端部対応部分１５０ａの内周面から他端部対応部分１５０ｂにおいて一端部対応部分１５０ａとは反対側の外端まで）延出したパイプ１５８が延出して配置されている。
【０２２０】
詳細には、パイプ１５８は主型部材１５２とは別体に準備されている。そして、パイプ１５８において一端部対応部分１５０ａ側の端部（基端部）は主型部材１５４の雌型１５０において一端部対応部分１５０ａの内周面から一端部対応部分１５０ａの半径方向の外方に向かい突出しており、またパイプ１５８において他端部対応部分１５０ｂ側の端部（延出端部）は主型部材１５２の雌型１５０において他端部対応部分１５０ｂの外端から他端部対応部分１５０ｂの長手方向に沿った外方に向かい突出している。
【０２２１】
溶融材料流入通路（湯道）１５４の外端（湯口）には、金属ガラスの基になる溶融している合金１８が流し込まれる。溶融している合金１８は、溶融材料流入通路（湯道）１５４の外端（湯口）に対し重力により流し込まれることができるし、或いは図３の（Ａ）及び図３の（Ｂ）を参照しながら前述した、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の第２の変形例において使用されていた溶融金属加圧注入機構２４により流し込まれることができる。
【０２２２】
溶融材料流入通路（湯道）１５４を介して雌型１５０中に流し込まれた金属ガラスの基になる溶融している合金１８が液相状態のまま固化するよう、主型部材１５２には図示されていない種々の公知の放熱及び／又は冷却構造が適用されている。この結果、雌型１５０中に流し込まれた溶融している合金１８は10K/sec以上の冷却速度で冷却される。雌型１５０中に流し込まれた溶融している合金１８がこのように急冷されて結晶粒界の存在しないアモルファス合金（いわゆる金属ガラス）になることにより、雌型１５０の形状及び寸法が上記アモルファス合金（いわゆる金属ガラス）に精密に転写される。
【０２２３】
雌型１５０中でガラス固体域になり雌型１５０の形状が転写された金属ガラスが構成している超音波伝達部材１５６は、所定の時間のさらなる放熱後にパイプ１５８を伴って主型部材１５２から取り出される。この時には、図１４の（Ｂ）中に実線で示されている超音波伝達部材１５６は、接続具１５６ｃに溶融材料流入通路（湯道）１５４に対応した形状の図示されていない溶融材料流入通路対応部分を伴っている。
【０２２４】
次に、この図示されていない溶融材料流入通路対応部分が接続具１５６ｃから機械加工により取り除かれるとともに、小径の他端部１５６ｂの外端から突出しているパイプ１５８の延出端部も機械加工により取り除かれる。
【０２２５】
この結果、一端部１５６ａの外周面から小径の他端部１５６ｂの外端まで延出したパイプ１５８を有し超音波ホーンを構成している超音波伝達部材１５６を得ることが出来る。
【０２２６】
なお主型部材１５２の雌型１５０において大径の一端部対応部分１５０ａと溶融材料流入通路（湯道）１５４の内端との間には接続具対応部分１５０ｃが介在されていたが、接続具対応部分１５０ｃを省略して、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら前述した第１の実施の形態の主型部材１０の雌型１２の如く大径の一端部対応部分１５０ａにおいて小径の他端部対応部分１５０ｂとは反対側の端に溶融材料流入通路（湯道）１５４の内端を直結することが出来る。
【０２２７】
この場合には、超音波伝達部材１５６が主型部材１５２の雌型１５０から取り出された後に、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら前述した第１の実施の形態の主型部材１０の雌型１２から超音波伝達部材１６を形成した場合の如く、溶融材料流入通路対応部分を機械加工して接続具１５６ｃを形成する必要がある。この機械加工の間には、この機械加工により溶融材料流入通路対応部分の金属ガラスの温度が結晶化温度以上にならない（即ち、金属ガラスが非晶質を失わず結晶化しない）よう、例えば冷却液体を含む冷却媒体の適用などの公知の種々の冷却対策をとる必要がある。
【０２２８】
さらに、超音波伝達部材１５６の大径の一端部１５６ａの外周面から突出したパイプ１５８の基端部は、超音波伝達部材１５６の一端部１５６ａに超音波発生装置ＵＳＧから入力された超音波の節に位置していることが好ましい。
【０２２９】
このことにより、超音波伝達部材１５６の一端部１５６ａに超音波発生装置ＵＳＧから入力された超音波の振動によりパイプ１５８の基端部が破損する可能性を非常に少なくすることが出来る。
【０２３０】
超音波伝達部材１５６を伴った超音波発生装置ＵＳＧは、図１４の（Ｂ）中に図示されている如く噴霧器１６０の為のハウジング１６２中の所定の位置に配置される。ハウジング１６２内の超音波発生装置ＵＳＧからはハウジング１６２の外部の超音波発生装置動力源（例えば、電源）ＰＳへと動力ケーブルＰＣが延出しており、またハウジング１６２内の超音波伝達部材１５６のパイプ１５８の基端からはハウジング１６２の外部の液体供給源ＬＳへと液体供給パイプＬＰが延出している。
【０２３１】
超音波伝達部材１５６のパイプ１５８は液体供給源ＬＳから液体供給パイプＬＰを介して供給される液体により変質しない材料により形成されていなければならず、上記液体は所望の種類であることが出来る。
【０２３２】
ハウジング１６２は、超音波伝達部材１５６の小径の他端部１５６ｂの外端を外部空間に露出させる開口１６２ａを有しているとともに開口１６２ａを取り囲むカバー１６２ｂを備えている。
【０２３３】
超音波発生装置動力源（例えば、電源）ＰＳから動力ケーブルＰＣを介して超音波発生装置ＵＳＧに動力が供給されると、超音波発生装置ＵＳＧが発生した超音波が超音波伝達部材１５６の大径の一端部１５６ａに入力され、さらに超音波伝達部材１５６の小径の他端部１５６ｂの外端まで伝達される。この時に、液体供給源ＬＳから液体供給パイプＬＰを介して超音波伝達部材１５６のパイプ１５８に液体が供給されると、超音波により振動している超音波伝達部材１５６の小径の他端部１５６ｂの外端におけるパイプ１５８の外端から上記液体が霧化して排出される。
【０２３４】
［第１０の実施の形態］
次に、図１５の（Ａ）乃至図１５の（Ｃ）を参照しながら、第１０の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法について説明する。
【０２３５】
図１５の（Ａ）中に図示されている如く、雌型１７０を有している主型部材１７２が準備される。主型部材１７２は、雌型１７０を外部空間に連通させる為の溶融材料流入通路（湯道）１７４も有している。雌型１７０は図１５の（Ｂ）中に図示されている所望の超音波伝達部材１７６の全体外形状及び外形寸法に対応した形状を有している。
【０２３６】
この実施の形態において上記所望の超音波伝達部材１７６は、大径の一端部１７６ａと小径の他端部１７６ｂとを有しており、一端部１７６ａに入力された超音波を他端部１７６ｂまで伝達する。このような超音波伝達部材１７６は超音波ホーンを構成しており、例えば図１４の（Ｂ）中に図示されている噴霧器１６０において使用されている超音波伝達部材１５６に代わり使用可能である。
【０２３７】
大径の一端部１７６ａにおいて他端部１７６ｂとは反対側には超音波伝達部材１７６を、図１４の（Ｂ）中に図示されている公知の超音波発生装置ＵＳＧに接続する為の接続具１７６ｃが形成されている。この実施の形態において接続具１７６ｃは、雄ねじである。
【０２３８】
接続具１７６ｃに接続された超音波発生装置ＵＳＧからは上記超音波ホーンを構成している超音波伝達部材１７６の大径の一端部１７６ａに所定の周波数の超音波が入力されるが、大径の一端部１７６ａにおいて小径の他端部１７６ｂとは反対側の端面から小径の他端部１７６ｂの末端までの長さＬは、上記超音波の１波長λの半分（λ／２）の整数倍であることが好ましい。
【０２３９】
さらに、超音波伝達部材１７６の大径の一端部１７６ａにおいて小径の他端部１７６ｂ側の端（即ち、超音波伝達部材１７６の外周面において大径の一端部１７６ａから小径の他端部１７６ｂに移行を開始する位置）が、接続具１７６ｃに接続された超音波発生装置ＵＳＧから超音波伝達部材１７６の一端部１７６ａに入力された超音波の節に略一致することが好ましい。
【０２４０】
この実施の形態の雌型１７０は、超音波伝達部材１７６の大径の一端部１７６ａに対応した一端部対応部分１７０ａと、超音波伝達部材１７６の小径の他端部１７６ｂに対応した他端部対応部分１７０ｂと、超音波伝達部材１７６の接続具１７６ｃの外形に対応した接続具対応部分１７０ｃを含んでおり、溶融材料流入通路（湯道）１７４の内端が接続具対応部分１７０ｃにおいて一端部対応部分１７０ａとは反対側に接続されている。
【０２４１】
主型部材１７２は、縦方向に広がった分割面を有する側方２分割型であり、例えば銅の如き金属により作製されている。主型部材１７２の２つの半側片１７２ａは、公知の分離可能な固定構造、例えばボルトとナットとの組み合わせ、により分離可能に相互に固定されている。２つの半側片１７２ａは相互に対称な形状をしており、図１５の（Ａ）中には一方の半側片１７２ａのみが示されている。雌型１７０及び溶融材料流入通路（湯道）１７４は、主型部材１７２の２つの半側片１７２ａの夫々の分割面に縦に分割されて形成されている。
【０２４２】
主型部材１７２の雌型１７０には、雌型１７０の他端部対応部分１７０ｂにおいて一端部対応部分１７０ａとは反対側の外端から一端部対応部分１７０ａまで延出した細長い第１の中子構成要素１７８ａと、一端部対応部分１７０ａにおいてその内周面から一端部対応部分１７０ａの半径方向の内方に向かい延出した細長い第２の中子構成要素１７８ｂと、が配置されている。第１の中子構成要素１７８ａ及び第２の中子構成要素１７８ｂの夫々の外端部は主型部材１７２に支持されていて、第１の中子構成要素１７８ａ及び第２の中子構成要素１７８ｂの夫々の内端部は一端部対応部分１７０ａ中で相互に当接している。
【０２４３】
第１の中子構成要素１７８ａ及び第２の中子構成要素１７８ｂの夫々の周面は上述した外端部から上述した内端部に向かうにつれて径が徐々に減少するテーパ形状を有している。第１の中子構成要素１７８ａ及び第２の中子構成要素１７８ｂは、主型部材１７２の雌型１７０において一端部対応部分１７０ａから他端部対応部分１７０ｂまで延出した細長い中子部材を構成している。
【０２４４】
溶融材料流入通路（湯道）１７４の外端（湯口）には、金属ガラスの基になる溶融されている合金１８が流し込まれる。溶融されている合金１８は、溶融材料流入通路（湯道）１７４の外端（湯口）に対し重力により流し込まれることができるし、或いは図３の（Ａ）及び図３の（Ｂ）を参照しながら前述した、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の第２の変形例において使用されていた溶融金属加圧注入機構２４により流し込まれることができる。
【０２４５】
溶融材料流入通路（湯道）１７４を介して雌型１７０中に流し込まれた金属ガラスの基になる溶融している合金１８が液相状態のまま固化するよう、主型部材１７２には図示されていない種々の公知の放熱及び／又は冷却構造が適用されている。この結果、雌型１７０中に流し込まれた溶融している合金１８は10K/sec以上の冷却速度で冷却される。雌型１７０中に流し込まれた溶融している合金１８がこのように急冷されて結晶粒界の存在しないアモルファス合金（いわゆる金属ガラス）になることにより、雌型１７０の形状及び寸法が上記アモルファス合金（いわゆる金属ガラス）に精密に転写される。
【０２４６】
雌型１７０中でガラス固体域になり雌型１７０の形状が転写された金属ガラスが構成している超音波伝達部材１７６は、所定の時間のさらなる放熱後に第１及び第２の中子構成要素１７８ａ,１７８ｂを伴って主型部材１７２から取り出される。この時には、図１５の（Ｂ）中に実線で示されている超音波伝達部材１７６は、接続具１７６ｃに図１５の（Ｂ）中に２点鎖線で示されている溶融材料流入通路（湯道）１７４に対応した形状の溶融材料流入通路対応部分１７４ａを伴っている。
【０２４７】
次に、溶融材料流入通路対応部分１７４ａが接続具１７６ｃから機械加工により取り除かれるとともに、第１及び第２の中子構成要素１７８ａ,１７８ｂが超音波伝達部材１７６から引き抜かれる。
【０２４８】
この結果、超音波伝達部材１７６において第１及び第２の中子構成要素１７８ａ,１７８ｂが引き抜かれた跡は大径の一端部１７６ａの外周面から小径の他端部１７６ｂの外端まで延出した貫通孔１８０となる。即ち、このようにして形成され超音波ホーンを構成している超音波伝達部材１７６は貫通孔１８０を有している。
【０２４９】
なお主型部材１７２の雌型１７０において大径の一端部対応部分１７０ａと溶融材料流入通路（湯道）１７４の内端との間には接続具対応部分１７０ｃが介在されていたが、接続具対応部分１７０ｃを省略して、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら前述した第１の実施の形態の主型部材１０の雌型１２の如く大径の一端部対応部分１７０ａにおいて小径の他端部対応部分１７０ｂとは反対側の端に溶融材料流入通路（湯道）１７４の内端を直結することが出来る。
【０２５０】
この場合には、超音波伝達部材１７６が主型部材１７２の雌型１７０から取り出されるとともに超音波伝達部材１７６において第１及び第２の中子構成要素１７８ａ,１７８ｂが引き抜かれた後に、図１の（Ａ）乃至図１の（Ｃ）を参照しながら前述した第１の実施の形態の主型部材１０の雌型１２から超音波伝達部材１６を形成した場合の如く、溶融材料流入通路対応部分１７４ａを機械加工して接続具１７６ｃを形成する必要がある。この機械加工の間には、この機械加工により溶融材料流入通路対応部分１７４ａの金属ガラスの温度が結晶化温度以上にならない（即ち、金属ガラスが非晶質を失わず結晶化しない）よう、例えば冷却液体を含む冷却媒体の適用などの公知の種々の冷却対策をとる必要がある。
【０２５１】
さらに、超音波伝達部材１７６の大径の一端部１７６ａにおいて第２の中子構成要素１７８ｂが引き抜かれた跡が構成している貫通孔１８０の径方向延出部位は、超音波伝達部材１７６の一端部１７６ａに超音波発生装置ＵＳＧから入力された超音波の節に略一致していることが好ましい。
【０２５２】
このことにより、超音波伝達部材１７６の大径の一端部１７６ａの外周面における貫通孔１８０の開口に後述する如く接続される管部材が、超音波伝達部材１７６の一端部１７６ａに超音波発生装置ＵＳＧから入力された超音波の振動により破損する可能性を非常に少なくすることが出来る。
【０２５３】
次に、図１５の（Ｂ）中に図示されている如く超音波伝達部材１７６の大径の一端部１７６ａの外周面における貫通孔１８０の開口の周囲及び小径の他端部１７６ｂの外端部がヒータ１８２により加熱され、超音波伝達部材１７６を形成している金属ガラスの過冷却液体域（ガラス遷移領域）の温度に加熱され維持される。そして、この間に、超音波伝達部材１７６の大径の一端部１７６ａの外周面における貫通孔１８０の開口及び小径の他端部１７６ｂの外端における貫通孔１８０の開口に所望の形状の管部材１８４ａ及び１８４ｂが挿入される。
【０２５４】
管部材１８４ａ及び１８４ｂの夫々は、貫通孔１８０に流される流体により変質しない材料、例えばチタニウム等、であることが好ましい。
【０２５５】
その後、ヒータ１８２の動作が停止され、超音波伝達部材１７６の大径の一端部１７６ａの外周面における貫通孔１８０の開口の内部及び小径の他端部１７６ｂの外端における貫通孔１８０の開口の内部に所望の形状の管部材１８４ａ及び１８４ｂが緊密に埋設される。
【０２５６】
ここにおいては、図１５の（Ｂ）中に図示されている如く超音波伝達部材１７６の大径の一端部１７６ａの外周面における貫通孔１８０の開口の周囲及び小径の他端部１７６ｂの外端部をヒータ１８２により加熱し、超音波伝達部材１７６を形成している金属ガラスの過冷却液体域（ガラス遷移領域）の温度に加熱し維持することにより、超音波伝達部材１７６の大径の一端部１７６ａの外周面における貫通孔１８０の開口及び小径の他端部１７６ｂの外端における貫通孔１８０の開口に対する管部材１８４ａ及び１８４ｂの挿入と、それらの開口からの分離と、を繰り返し実行可能であるし、これらの開口に対する管部材１８４ａ及び１８４ｂに代わる別の所望の部材の挿入と分離とを繰り返し実行可能である。
【図面の簡単な説明】
【０２５７】
【図１】図１の（Ａ）は、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法に使用される主型部材の概略的な側面図であり；図１の（Ｂ）は、図１の（Ａ）中に図示されている主型部材の概略的な上面図であり；そして、図１の（Ｃ）は、図１の（Ａ）及び図１の（Ｂ）中に概略的に示されている主型部材を使用して金属ガラスにより作製された超音波伝達部材の概略的な側面図である。
【図２】図２の（Ａ）は、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の第１の変形例に使用される主型部材の概略的な側面図であり；図２の（Ｂ）は、図２の（Ａ）中に図示されている主型部材の概略的な上面図であり；そして、図２の（Ｃ）は、図２の（Ａ）及び図２の（Ｂ）中に概略的に示されている主型部材を使用して金属ガラスにより作製された超音波伝達部材の概略的な側面図である。
【図３】図３の（Ａ）は、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の第２の変形例に使用される主型部材の概略的な縦断面図であり；そして、図３の（Ｂ）は、図３の（Ａ）中に図示されている主型部材の概略的な上面図である。
【図４】図４の（Ａ）は、第１の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の第３の変形例に使用されるヒータを伴った副型部材と、この副型部材の雌型の所望の形状が転写される所定の部位として小径の他端部の先端部分を有している超音波伝達部材と、を示す概略的な側面図であり；図４の（Ｂ）は、図４の（Ａ）の副型部材と超音波伝達部材の小径の他端部の先端部分とを副型部材のみを断面にして示す概略的な正面図であり；そして、図４の（Ｃ）は、図４の（Ａ）の副型部材と超音波伝達部材の小径の他端部の先端部分とを、副型部材の雌型により超音波伝達部材の小径の他端部の先端部分に雌型の外形状が転写された状態で副型部材のみを断面にして拡大して示す概略的な側面図である。
【図５】図５の（Ａ）は、第２の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法に使用される一次成形型部材の側半片及びこの側半片の半雌型に設置された超音波伝達部材本体の概略的な側面図であり；図５の（Ｂ）は、図５の（Ａ）の側半片の半雌型に設置された超音波伝達部材本体の所定の部位である小径の他端部の先端部分を拡大して概略的に示す側面図であり；図５の（Ｃ）は、図５の（Ａ）の一次成形型部材により所定の部位である小径の他端部の先端部分に二次成形の為の部分素材が形成された後の超音波伝達部材本体と、超音波伝達部材本体の部分素材を二次成形するために使用されるヒータを伴った二次成形型部材と、を概略的に示す側面図であり；図５の（Ｄ）は、図５の（Ｃ）の二次成形型部材と超音波伝達部材の小径の他端部の先端部分の部分素材とを二次成形型部材のみを断面にして示す概略的な正面図であり；そして、図５の（Ｅ）は、図５の（Ｃ）の二次成形型部材と超音波伝達部材の小径の他端部の先端部分の部分素材とを、二次成形型部材の雌型により超音波伝達部材の小径の他端部の先端部分の部分素材に雌型の外形状が転写された状態で二次成形型部材のみを断面にして拡大して示す概略的な側面図である。
【図６】図６の（Ａ）は、第３の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法に使用される主型部材の側半片及びこの側半片に形成された半雌型に配置された細長い中子部材を概略的に示す側面図であり；そして、図６の（Ｂ）は、図６の（Ａ）の細長い中子部材を伴った主型部材の雌型により金属ガラスから形成された超音波伝達部材の概略的な縦断面図である。
【図７】図７の（Ａ）は、第３の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の変形例に使用される主型部材の側半片及びこの側半片に形成された半雌型に配置された細長い中空部材を概略的に示す側面図であり；そして、図７の（Ｂ）は、図７の（Ａ）の細長い中空部材を伴った主型部材の雌型により金属ガラスから形成された超音波伝達部材の概略的な縦断面図である。
【図８】図８の（Ａ）は、第４の実施の形態に従ったこの発明の超音波伝達部材を作製する方法に使用される主型部材の側半片及びこの側半片に形成された半雌型に配置された細長いＵ字形状パイプを概略的に示す側面図であり；図８の（Ｂ）は、図８の（Ａ）の細長いＵ字形状パイプを伴った主型部材の雌型により金属ガラスから形成された超音波伝達部材の概略的な側面図であり；そして、図８の（Ｃ）は、図８の（Ｂ）のＵ字形状パイプを伴った超音波伝達部材の使用形態の一例の概略的な側面図である。
【図９】図９の（Ａ）は、第５の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法に使用される型部材の側面を概略的に示す側面図であり；図９の（Ｂ）は、図９の（Ａ）の型部材のＩＸＢ−ＩＸＢ線に沿った概略的な断面図であり；図９の（Ｃ）は、図９の（Ａ）の型部材の雌型により金属ガラスから形成された超音波伝達部材素材を、その両端部を引っ張り装置に固定するとともにその中間部分対応部を金属ガラスの過冷却液体域に加熱されている間に、上記引っ張り装置により引っ張られている状態を上記引っ張り装置の一部を断面にして概略的に示す側面図であり；図９の（Ｄ）は、図９の（Ｃ）において上記引っ張り装置により超音波伝達部材素材が所定の長さ以上まで引っ張られた状態を概略的に示す側面図であり；そして、図９の（Ｅ）は、図９の（Ａ）乃至図９の（Ｄ）中に図示された種々の工程を含む、第５の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法により最終的に製作された超音波伝達部材の概略的な側面図である。
【図１０】図１０の（Ａ）は、第６の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法に使用される主型部材の概略的な側面図であり；図１０の（Ｂ）は、図１０の（Ａ）中に図示されている主型部材の概略的な上面図であり；そして、図１０の（Ｃ）は、図１０の（Ａ）及び図１０の（Ｂ）中に概略的に示されている主型部材を使用して金属ガラスにより作製された超音波伝達部材の概略的な側面図である。
【図１１】図１１の（Ａ）は、第７の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法に使用される所定部位成形型部材の概略的な側面図であり、ここにおいては所定部位成形型部材の一部が破断されていて所定部位成形型部材中に所定部位の成形の為の所定部位成形雌型に隣接して配置された超音波伝達部材本体が図示されている；図１１の（Ｂ）は、図１１の（Ａ）中に図示されている所定部位成形型部材を一部を破断して示す概略的な上面図であり；そして、図１１の（Ｃ）は、図１１の（Ａ）及び図１１の（Ｂ）中に概略的に示されている所定部位型部材を使用して金属ガラスにより作製された所定部位が上記所定部位型部材中に配置された超音波伝達部材本体に接合されて構成した超音波伝達部材の全体の概略的な側面図である。
【図１２】図１２の（Ａ）は、図１１の（Ａ）乃至図１１の（Ｃ）を参照しながら前述した、第７の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法において使用される超音波伝達部材本体のアンカー構造の第１の変形例の拡大された概略的な側面図であり；図１２の（Ｂ）は、図１１の（Ａ）乃至図１１の（Ｃ）を参照しながら前述した、第７の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法において使用される超音波伝達部材本体のアンカー構造の第２の変形例の拡大された概略的な側面図であり；図１２の（Ｃ）は、図１１の（Ａ）乃至図１１の（Ｃ）を参照しながら前述した、第７の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法において使用される超音波伝達部材本体のアンカー構造の第３の変形例の拡大された概略的な側面図であり；そして、図１２の（Ｄ）は、図１１の（Ａ）乃至図１１の（Ｃ）を参照しながら前述した、第７の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法において使用される超音波伝達部材本体のアンカー構造の第４の変形例の拡大された概略的な側面図である。
【図１３】図１３の（Ａ）は、第８の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法に使用される型部材を一部を破断して示す概略的な側面図であり；図１３の（Ｂ）は、図１３の（Ａ）中に図示されている主型部材の概略的な上面図であり；図１３の（Ｃ）は、図１３の（Ａ）及び図１３の（Ｂ）中に概略的に示されている主型部材を使用して金属ガラスにより作製された超音波伝達部材を、上記超音波伝達部材に固定して使用される工具及び上記固定の為に使用される工具固定要素と伴に、相互に分離した状態で示す概略的な側面図であり；図１３の（Ｄ）は、図１３の（Ｃ）中に図示されている超音波伝達部材に対し工具固定要素により工具が固定されている状態を示す概略的な部分側面図であり；そして、図１３の（Ｅ）は、第８の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法の変形例において超音波伝達部材とともに工具が一体的に形成されている状態を示す概略的な部分側面図である。
【図１４】図１４の（Ａ）は、第９の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法に使用される主型部材の側半片及びこの側半片に形成された半雌型に配置された細長い中空部材を概略的に示す側面図であり；そして、図１４の（Ｂ）は、図１４の（Ａ）の細長い中空部材を伴った主型部材の雌型により金属ガラスから形成された超音波伝達部材を使用した噴霧器の概略的な縦断面図である。
【図１５】図１５の（Ａ）は、この発明の第１０の実施の形態に従った超音波伝達部材を作製する方法に使用される主型部材の側半片及びこの側半片に形成された半雌型に配置された細長いテーパ状の中子部材を概略的に示す側面図であり；図１５の（Ｂ）は、図１５の（Ａ）の細長いテーパ状の中子部材を伴った主型部材の雌型により金属ガラスから形成された超音波伝達部材及び上記超音波伝達部材の貫通孔の両端の開口に接続される管部材をそれらを部分的に破断して概略的に示す側面図であり；そして、図１５の（Ｃ）は、図１５の（Ｂ）中に図示されている超音波伝達部材の貫通孔の両端の開口に図１５の（Ｂ）中に図示されている管部材が接続された状態をそれらを部分的に破断して概略的に示す側面図である。
【符号の説明】
【０２５８】
１０…主型部材、１０ａ，１０ｂ…半側片、１２…雌型、１２ａ…一端部対応部分１２ａ、１２ｂ…他端部対応部分、１４…溶融材料流入通路（湯道）、１４ａ…溶融材料流入通路対応部分、１６…超音波伝達部材（超音波プローブ）、１６ａ…一端部、１６ｂ…他端部、１６ｃ…接続具、Ｌ…長さ、１８…（金属ガラスの基になる）合金；
１２´…雌型、１２ｃ…接続具対応部分、１６´ｃ…接続具；
２０…主型部材、２０ａ…上半片、２０ｂ…下半片、２２…溶融材料流入通路（湯道）、２４…溶融金属ガラス加圧注入機構、２４ａ…シリンダ、２４ｂ…ピストン、２４ｃ…ヒータ；
ＥＰ…先端部分（所定の部位）、２６…雌型、２８…副型部材、２８ａ，２８ｂ…半側片、３０…ヒータ；
３２…超音波伝達部材本体（超音波プローブ）、３２ａ…一端部、３２ｂ…他端部、３２ｃ…接続具、３２ｄ…アンカー構造、３４…雌型、３６…所定部位成形型部材、３６ａ…半側片、３８…超音波伝達部材本体収容空間、４０…溶融材料流入通路（湯道）、４２…所定部位（超音波プローブ）、４４…副成形型部材、４４ａ，４４ｂ…半側片、４６…雌型、４８…ヒータ；
５０…雌型、５０ａ…一端部対応部分、５０ｂ…他端部対応部分、５２…主型部材、５２ａ…半側片、５４…溶融材料流入通路（湯道）、５４ａ…溶融材料流入通路対応部分、５６…超音波伝達部材（超音波プローブ）、５６ａ…一端部、５６ｂ…他端部、５６ｃ…接続具、５８…中子部材；
６０…中空部材；
７０…雌型、７０ａ…一端部対応部分、７０ｂ…他端部主要対応部分、７０ｃ…接続具対応部分、７２…主型部材、７２ａ…半側片、７４…溶融材料流入通路（湯道）、７６…超音波伝達部材（超音波プローブ）、７６ａ…一端部、７６ｂ…他端部、７６ｃ…接続具、７６ｄ…蓋部材、ＵＳＧ…超音波発生装置、７８…Ｕ字形状パイプ、ＲＧ…冷却装置；
８０…雌型、８０ａ…一端部対応部分。８０ｂ…中間部分、８０ｃ…接続具対応部分、８０ｄ…他端部分、８２…型部材、８２ａ…半側片、８４…溶融材料流入通路（湯道）、８４ａ…溶融材料流入通路対応部、８６…超音波伝達部材（超音波プローブ）、８６ａ…一端部、８６ｂ…他端部、８６ｃ…接続具、８７…中子、８８…超音波伝達部材素材、８８ａ…中間部分対応部、８８ｂ…他端部分対応部、９０…引っ張り装置、９０ａ…固定台座、９０ｂ…引っ張り移動台座、９０ｃ…ヒータ、９２…引っ張り棒、９４…容器；
１００…主型部材、１００ａ，１００ｂ…半側片、１０２…雌型、１０２ａ…一端部対応部分、１０２ｂ…他端部対応部分、１０２ｃ…接続具対応部分、１０４…溶融材料流入通路（湯道）、１０６…超音波伝達部材（溶接用超音波ホーン）、１０６ａ…一端部、１０６ｂ…他端部、１０６ｃ…接続具；
１１０…超音波伝達部材本体、１１０ａ…貫通孔、１１２…雌型、１１４…所定部位成形型部材、１１４ａ，１１４ｂ…半側片、１１６…超音波伝達部材（溶接用超音波ホーン）
１１８…所定部位、１２０…接続具、１２２…アンカー構造、１２４…超音波伝達部材本体収容空間、１２６…溶融材料流入通路（湯道）；
１２２ａ…アンカー構造、１２２ｂ…アンカー構造、１２２ｃ…アンカー構造、１２２ｄ…アンカー構造、１１０ａ…分岐孔；
１３０…雌型、１３０ａ…一端部対応部分、１３０ｂ…他端部対応部分、１３０ｃ…工具固定部対応部分、１３０ｄ…接続具対応部分、１３２…主型部材、１３２ａ，１３２ｂ…半側片、１３４…溶融材料流入通路（湯道）、１３４ａ…溶融材料流入通路対応部分、１３６…超音波伝達部材（工具−超音波駆動装置の為の超音波ホーン）、１３６ａ…一端部、１３６ｂ…他端部、１３６ｃ…工具固定部、１３６ｄ…接続具、１３８…工具保持スリット、１４０…工具、１４２…工具固定要素、１４４…中子部材；
１３６´…超音波伝達部材、１３６´ｂ…他端部、１３６´ｃ…工具固定部、１４０´…工具；
１５０…雌型、１５０ａ…一端部対応部分、１５０ｂ…他端部対応部分、１５０ｃ…接続具対応部分、１５２…主型部材、１５２ａ…半側片、１５４…溶融材料流入通路（湯道）、１５６…超音波伝達部材（噴霧器中に使用されている超音波ホーン）、１５６ａ…一端部、１５６ｂ…他端部、１５６ｃ…接続具、１５８…パイプ、１６０…噴霧器、１６２…ハウジング、１６２ａ…開口、１６２ｂ…カバー、ＰＳ…超音波発生装置動力源（例えば、電源）、ＰＣ…動力ケーブル、ＬＳ…液体供給源、ＬＰ…液体供給パイプ；
１７０…雌型、１７０ａ…一端部対応部分、１７０ｂ…他端部対応部分、１７０ｃ…接続具対応部分、１７２…主型部材、１７２ａ…半側片、１７４…融材料流入通路（湯道）、１７４ａ…溶融材料流入通路対応部分、１７６…超音波伝達部材（噴霧器中に使用されている超音波ホーン）、１７６ａ…一端部、１７６ｂ…他端部、１７６ｃ…接続具、１７８ａ…第１の中子構成要素、１７８ｂ…第２の中子構成要素、１８０…貫通孔、１８２…ヒータ、１８４ａ，１８４ｂ…管部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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