(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つのグラフェンと、
前記グラフェンを貫通するように形成された、１次元形状を持つ少なくとも一つのナノ構造体と、を備える複合構造体であって、
前記ナノ構造体は、ナノワイヤー、ナノチューブまたはナノロッドを有し、
前記ナノ構造体は、IV族半導体、III−V族半導体、II−VI族半導体、IV−VI族半導体、IV−V−VI族半導体、酸化物半導体、窒化物半導体及び金属からなる群から選択された一つの物質を含み、
前記ナノ構造体は、長手方向による異種構造を持ち、導電性不純物でドーピングされていることを特徴とする複合構造体。
【請求項２】
前記ナノ構造体は、前記グラフェンを貫通しつつその内部に前記グラフェンを含むように形成される請求項１に記載の複合構造体。
【請求項３】
前記ナノ構造体は、前記グラフェンを貫通しつつその内部に前記グラフェンを含まないように形成される請求項１に記載の複合構造体。
【請求項４】
複数の前記グラフェンが一定の間隔で配され、前記少なくとも一つのナノ構造体が前記グラフェンを貫通するように形成される請求項１に記載の複合構造体。
【請求項５】
基板を用意する工程と、
前記基板上に少なくとも一つのグラフェンを用意する工程と、
前記基板上で前記グラフェンを貫通するように、１次元形状を持つ少なくとも一つのナノ構造体を成長形成させる工程と、を含む複合構造体の製造方法であって、
前記ナノ構造体は、ナノワイヤー、ナノチューブまたはナノロッドを有し、
前記ナノ構造体は、IV族半導体、III−V族半導体、II−VI族半導体、IV−VI族半導体、IV−V−VI族半導体、酸化物半導体、窒化物半導体及び金属からなる群から選択された一つの物質を含み、
前記ナノ構造体は、長手方向による異種構造を持ち、導電性不純物でドーピングされていることを特徴とする製造方法。
【請求項６】
前記ナノ構造体は、前記グラフェンを貫通しつつその内部に前記グラフェンを含むように形成される請求項５に記載の複合構造体の製造方法。
【請求項７】
前記ナノ構造体は、前記グラフェンを貫通しつつその内部に前記グラフェンを含まないように形成される請求項５に記載の複合構造体の製造方法。
【請求項８】
前記基板を用意した後、前記基板を表面処理する工程をさらに含む請求項５に記載の複合構造体の製造方法。
【請求項９】
前記少なくとも一つのグラフェンのうち、最下部に設けられるグラフェンは、前記基板に当接するか、または前記基板と離隔して配される請求項５に記載の複合構造体の製造方法。
【請求項１０】
複数の前記グラフェンが、前記基板上に互いに一定の間隔で離隔して配される請求項５に記載の複合構造体の製造方法。
【請求項１１】
複数の前記グラフェンが互いに接するように配される請求項５に記載の複合構造体の製造方法。
【請求項１２】
前記基板を用意した後、前記基板上に金属触媒層を形成する工程を含む請求項５に記載の複合構造体の製造方法。
【請求項１３】
前記少なくとも一つのナノ構造体は、前記金属触媒層から成長形成される請求項１２に記載の複合構造体の製造方法。
【請求項１４】
前記少なくとも一つのグラフェンのうち最下部に設けられるグラフェンは、前記金属触媒層に当接するか、または前記金属触媒層と離隔して配される請求項１２に記載の複合構造体の製造方法。
【請求項１５】
複数の前記グラフェンが、前記金属触媒層上に互いに一定の間隔で離隔して配される請求項１２に記載の複合構造体の製造方法。
【請求項１６】
複数の前記グラフェンが、前記金属触媒層上に互いに接するように配される請求項１２に記載の複合構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
グラフェンとナノ構造体との複合構造体に係り、具体的に、２次元形状のグラフェンと１次元形状のナノ構造体との複合構造体及びこれを製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
炭素ナノチューブが１９９０年代以後から注目されていたが、最近には板状構造のグラフェンが多く注目されている。グラフェンは、炭素原子が２次元的に配列された数nm厚さの薄膜物質であって、その内部で電荷がゼロ有効質量粒子として作用するため、非常に高い電気伝導度を持ち、また高い熱伝導度、弾性などを持つ。したがって、グラフェンが研究された以後にグラフェンについての多くの特性研究が進んでおり、また多様な応用分野も研究されている。これらのグラフェンは、高い電気伝導度及び弾性特性により透明かつフレキシブルな素子に好適に適用できる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、２次元形状のグラフェンと１次元形状のナノ構造体との複合構造体及びこれを製造する方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の一側面において、少なくとも一つのグラフェンと、前記グラフェンを貫通するように形成された、１次元形状を持つ少なくとも一つのナノ構造体と、を備える複合構造体が提供される。
【０００５】
前記ナノ構造体は、ナノワイヤー、ナノチューブまたはナノロッドを備える。
【０００６】
前記ナノ構造体は、前記グラフェンを貫通しつつその内部に前記グラフェンを含むように形成される。また、前記ナノ構造体は、前記グラフェンを貫通しつつその内部に前記グラフェンを含まないように形成されてもよい。
【０００７】
複数の前記グラフェンが一定の間隔で配され、前記少なくとも一つのナノ構造体が前記グラフェンを貫通するように形成される。
【０００８】
前記ナノ構造体は、IV族半導体、III−V族半導体、II−VI族半導体、IV−VI族半導体、IV−V−VI族半導体、酸化物半導体、窒化物半導体及び金属からなる群から選択された一つの物質からなる。
【０００９】
前記ナノ構造体は、半径方向による異種構造または長手方向による異種構造を持つ。この場合、前記ナノ構造体は導電性物質でドーピングされうる。
【００１０】
本発明の他の側面において、基板を用意する工程と、前記基板上に少なくとも一つのグラフェンを用意する工程と、前記基板上で前記グラフェンを貫通するように、１次元形状を持つ少なくとも一つのナノ構造体を成長形成させる工程と、を含む複合構造体の製造方法が提供される。
【００１１】
前記基板を用意した後、前記基板を表面処理する工程をさらに含む。
【００１２】
前記少なくとも一つのグラフェンのうち、最下部に設けられるグラフェンは、前記基板に当接するか、または前記基板と離隔して配される。そして、前記複数のグラフェンが、前記基板上に互いに一定の間隔で離隔して配されるか、または、前記複数のグラフェンが前記互いに接するように配されうる。
【００１３】
前記基板を用意した後、前記基板上に金属触媒層を形成する工程を含む。この場合、前記少なくとも一つのナノ構造体は、前記金属触媒層から成長形成される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、高い電気伝導度を持つ２次元形状のグラフェンに１次元形状のナノ構造体が貫通する３次元形状の複合構造体を具現でき、かかる複合構造体は、論理素子、メモリ素子、フレキシブル及びストレッチャブル素子などの多様な分野に応用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体を図示した斜視図である。
【図２】図１に図示された複合構造体の断面を図示した図である。
【図３】図２に図示された複合構造体の変形例を図示した断面図である。
【図４】図１に図示されたナノ構造体の変形例を図示した図である。
【図５】図１に図示されたナノ構造体の他の変形例を図示した図である。
【図６】本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体を図示した斜視図である。
【図７】本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体を図示した斜視図である。
【図８】本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体を図示した斜視図である。
【図９】本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体の製造方法を説明するための図である。
【図１０】本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体の製造方法を説明するための図である。
【図１１】本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体の製造方法を説明するための図である。
【図１２】本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体の製造方法を説明するための図である。
【図１３】本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体の製造方法を説明するための図である。
【図１４】本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体の製造方法を説明するための図である。
【図１５】本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体の製造方法を説明するための図である。
【図１６】本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体の製造方法を説明するための図である。
【図１７】本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体の製造方法を説明するための図である。
【図１８】本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体の製造方法を説明するための図である。
【図１９】本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体の製造方法を説明するための図である。
【図２０】本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体の製造方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付した図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。図面で同じ参照符号は同じ構成要素を称し、各構成要素のサイズや厚さは説明の明瞭性のために誇張していることがある。
【００１７】
図１は、本発明の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体を図示した斜視図である。そして、図２は、図１に図示された複合構造体の断面を図示したものである。
【００１８】
図１及び図２を参照すれば、本実施形態による複合構造体１００は、グラフェン１２０と、前記グラフェン１２０を貫通するように形成されたナノ構造体１１０とを備える。ここで、前記グラフェン１２０は、炭素原子が２次元的に配列された数nm厚さの薄膜物質であって、板状構造を持っている。かかるグラフェン１２０は、その内部で電荷がゼロ有効質量粒子として作用するため、非常に高い電気伝導度を持ち、それ以外にも弾性、高い熱伝導度などを持つ。そして、前記ナノ構造体１１０は前記グラフェン１２０を貫通するように形成されるものであって、１次元形状を持つ。このような１次元形状のナノ構造体１１０は、例えば、ナノワイヤーになりうる。しかし、これに限定されるものではなく、それ以外にも前記ナノ構造体１１０は炭素ナノチューブ（ＣＮＴ、ｃａｒｂｏｎ  ｎａｎｏｔｕｂｅ）などのナノチューブまたはナノロッドになりうる。これらのナノ構造体１１０は、グラフェン１２０に対して垂直または傾斜して形成されうる。
【００１９】
図２に図示されたように、前記ナノ構造体１１０は、前記グラフェン１２０を貫通しつつその内部にグラフェン１２０を含むように形成されうる。この場合、前記グラフェン１２０を貫通する地点でのナノ構造体１１０の断面にはグラフェン１２０が形成されている。一方、図３に図示されたように、ナノ構造体１１０’がグラフェン１２０’を含まないように形成されてもよい。図３を参照すれば、複合構造体１００’は、グラフェン１２０’と前記グラフェン１２０’を貫通するように形成された１次元形状のナノ構造体１１０’とを備え、前記ナノ構造体１１０’は、前記グラフェン１２０’を貫通しつつその内部にグラフェン１２０’を含まないように形成されうる。
【００２０】
前記１次元形状のナノ構造体１１０は多様な物質からなりうる。例えば、前記ナノ構造体１１０は、Ｃ、Ｓｉ、ＧｅなどのIV族半導体、III−V族半導体、II−VI族半導体、IV−VI族半導体またはIV−V−VI族半導体からなり、それ以外にもＺｎＯなどの酸化物半導体、窒化物半導体または金属からなりうる。しかし、これに限定されるものではなく、それ以外にも多様な物質からなりうる。一方、前記ナノ構造体１１０は、相異なる成分を持つ物質が結合された異種構造、例えば、半径方向による異種構造または長手方向による異種構造を持つことができる。
【００２１】
図４には、半径方向による異種構造を持つナノ構造体１１１が図示されている。図４を参照すれば、前記ナノ構造体１１１は、コア部１１１ａと、前記コア部１１１ａを取り囲むように形成されるシェル部１１１ｂとを備える。ここで、前記コア部１１１ａ及びシェル部１１１ｂは、例えば、IV族半導体、III−V族半導体、II−VI族半導体、IV−VI族半導体またはIV−V−VI族半導体、酸化物半導体、窒化物半導体または金属からなりうる。しかし、これに限定されるものではなく、それ以外にも多様な物質からなりうる。そして、前記コア部１１１ａ及びシェル部１１１ｂは、例えば、ｐ型またはｎ型物質を含む導電性不純物でドーピングされうる。
【００２２】
図５には、長手方向による異種構造を持つナノ構造体１１２が図示されている。図５を参照すれば、前記ナノ構造体１１２は線形の第１及び第２ナノ構造体１１２ａ、１１２ｂを備える。ここで、前記第１及び第２ナノ構造体１１２ａ、１１２ｂは、前述したように、例えば、IV族半導体、III−V族半導体、II−VI族半導体、IV−VI族半導体またはIV−V−VI族半導体、酸化物半導体、窒化物半導体または金属からなりうる。そして、第１及び第２ナノ構造体１１２ａ、１１２ｂは、例えば、ｐ型またはｎ型物質を含む導電性不純物でドーピングされうる。
【００２３】
以上のように、本実施形態では２次元形状のグラフェン１２０に１次元形状のナノ構造体１１０が貫通することによって、３次元形状の複合構造体１００を形成する。これらの複合構造体１００では、高い電気伝導性を持つグラフェン１２０を通じて伝えられた電荷が１次元形状のナノ構造体１１０に沿って移動するか、またはナノ構造体１１０を通じて伝えられた電荷がグラフェン１２０を通じて速く移動する。このような本実施形態によるグラフェン１２０とナノ構造体１１０との複合構造体１００は、論理素子、メモリ素子、スーパーキャパシタ、センサー、光素子、エネルギー素子、透明ディスプレイ素子などのように多様な分野に応用できる。また、フレキシブルで強度の高いグラフェン１２０がナノワイヤーなどのナノ構造体１１０と結合することによって製作された複合構造体は、フレキシブルでストレッチャブルな素子を具現するのに非常に有効に適用できる。一方、前記複合構造体１００は、応用分野によって複数のグラフェンと複数のナノ構造体とが結合したアレイ形態に製作されうる。
【００２４】
図６は、本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体を図示した斜視図である。図６を参照すれば、本実施形態による複合構造体２００は、互いに離隔して配される複数のグラフェン２２０と、前記グラフェン２２０を貫通するように形成されたナノ構造体２１０とを備える。ここで、前記グラフェン２２０間の間隔は、設計条件によって適宜に調節されうる。一方、図６には、３個のグラフェン２２０が例示的に図示されているが、これに限定されずに多様な数のグラフェン２２０が設けられうる。前記ナノ構造体２１０は１次元形状を持ち、例えば、ナノワイヤー、ナノチューブまたはナノロッドを含むことができる。これらのナノ構造体は、前述したように、例えば、IV族半導体、III−V族半導体、II−VI族半導体、IV−VI族半導体またはIV−V−VI族半導体、酸化物半導体、窒化物半導体または金属からなりうる。そして、前記ナノ構造体２１０は、前記グラフェン２２０を貫通しつつその内部にグラフェン２２０を含むように形成されるか、または前記グラフェン２２０を貫通しつつその内部にグラフェン２２０を含まないように形成されうる。一方、前記ナノ構造体２１０は、同じ物質からなる同種構造だけではなく、相異なる物質が結合された異種構造を持つことができる。例えば、前記ナノ構造体２１０は、半径方向による異種構造または長手方向による異種構造を持つことができる。この場合、前記ナノ構造体２１０は導電性不純物でドーピングされうる。
【００２５】
図７は、本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体を図示した斜視図である。図７を参照すれば、本実施形態による複合構造体３００は、グラフェン３２０と、前記グラフェン３２０を貫通するように形成された複数のナノ構造体３１０とを備える。ここで、前記ナノ構造体３１０の間隔は、設計条件によって適宜に調節されうる。一方、図７には、３個のナノ構造体３１０が例示的に図示されているが、これに限定されずに多様な数のナノ構造体３１０が設けられうる。前記ナノ構造体３１０それぞれは１次元形状を持ち、例えば、ナノワイヤー、ナノチューブまたはナノロッドを含むことができる。そして、前記ナノ構造体３１０それぞれは、前記グラフェン３２０を貫通しつつその内部にグラフェン３２０を含むように形成されるか、または前記グラフェン３２０を貫通しつつその内部にグラフェン３２０を含まないように形成されうる。一方、前記ナノ構造体２１０は、同じ物質からなる同種構造だけではなく相異なる物質が結合された異種構造を持つことができる。
【００２６】
図８は、本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体を図示した斜視図である。図８を参照すれば、本実施形態による複合構造体４００は、複数のグラフェン４２０と、前記グラフェン４２０を貫通するように形成された複数のナノ構造体４１０とを備える。ここで、前記グラフェン４２０の間隔及びナノ構造体４１０の間隔は、設計条件によって適宜に調節されうる。そして、前記グラフェン４２０及びナノ構造体４１０の数は多様に変形されうる。前記ナノ構造体４１０それぞれは１次元形状を持ち、例えば、ナノワイヤー、ナノチューブまたはナノロッドを含むことができる。そして、前記ナノ構造体４１０それぞれは、前記グラフェン４２０を貫通しつつその内部にグラフェン４２０を含むように形成されるか、または前記グラフェン４２０を貫通しつつその内部にグラフェン４２０を含まないように形成されうる。
【００２７】
以下では、本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体を製造する方法について説明する。
【００２８】
図９ないし図１３は、本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体の製造方法を説明するための図である。
【００２９】
図９を参照すれば、まず基板５３０を用意する。前記基板５３０としては、例えば、シリコン基板またはガラス基板が使われうるが、これに限定されず、多様な材質の基板が使われうる。次いで、前記基板５３０の上面に金属触媒層５４０を形成する。これらの金属触媒層５４０は、後述する１次元形状のナノ構造体５１０を成長させるためのシード層の役割を行う。したがって、前記金属触媒層５４０をなす物質は、成長させようとするナノ構造体５１０の物質により定められる。一方、前記金属触媒層５４０を形成した後、この金属触媒層５４０をパターニングする工程がさらに含まれうる。このように、金属触媒層５４０をパターニングすれば、成長されるナノ構造体５１０の密度及びサイズなどを調節できる。
【００３０】
図１０を参照すれば、金属触媒層５４０が形成された基板５３０上に複数のグラフェン５２０を一定の間隔で配する。ここで、最下部に位置するグラフェン５２０は金属触媒層５４０に接するように設けられうる。そして、前記基板５３０に離隔して配されるグラフェン５２０は、スペーサ（図示せず）により支持されうる。一方、図１０には、基板５３０上に３個のグラフェン５２０が配される場合が図示されているが、本実施形態はこれに限定されず、基板５３０上に多様な数のグラフェン５２０、具体的に少なくとも一つのグラフェン５２０が配されうる。
【００３１】
図１１を参照すれば、前記金属触媒層５４０から１次元形状のナノ構造体５１０を成長させる。ここで、前記ナノ構造体５１０は、ナノワイヤー、ナノチューブまたはナノロッドなどを含むことができる。これらのナノ構造体５１０の成長は、化学気相蒸着法（ＣＶＤ；Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）などの乾式法または所定溶液の中でナノ構造体５１０を成長させる湿式法により行われうる。前記ナノ構造体５１０は、Ｃ、Ｓｉ、ＧｅなどのIV族半導体、III−V族半導体、II−VI族半導体、IV−VI族半導体またはIV−V−VI族半導体からなり、それ以外にもＺｎＯなどの酸化物半導体、窒化物半導体または金属からなりうる。しかし、これに限定されるものではなく、それ以外にも多様な物質からなりうる。
【００３２】
前記成長工程を通じて、前記ナノ構造体５１０は前記グラフェン５２０を貫通するように形成される。ここで、前記ナノ構造体５１０それぞれは、前記グラフェン５２０を貫通しつつその内部にグラフェン５２０を含むように形成されうる。一方、前記ナノ構造体６１０それぞれは、前記グラフェン５２０を貫通しつつその内部にグラフェン５２０を含まないように形成されてもよい。前記ナノ構造体５１０がグラフェン５２０を貫通する過程で、前記グラフェン５２０のそれぞれは、前記ナノ構造体５１０の成長方向に沿って一定の距離で移動しうる。
【００３３】
前記ナノ構造体５１０は、同じ物質からなる同種構造だけでなく相異なる物質が結合された異種構造を持つように形成されうる。例えば、前記ナノ構造体５１０は、半径方向による異種構造または長手方向による異種構造を持つように形成されうる。かかる異種構造を持つナノ構造体５１０も、前述したように、例えば、IV族半導体、III−V族半導体、II−VI族半導体、IV−VI族半導体またはIV−V−VI族半導体、酸化物半導体、窒化物半導体または金属からなりうる。そして、この場合、前記ナノ構造体５１０は導電性不純物でドーピングされうる。
【００３４】
一方、以上では図１０に図示されたように、基板５３０上に配されるグラフェン５２０のうち最下部に位置するグラフェン５２０が触媒金属層５４０に接するように配される場合が説明された。しかし、図１２に図示されたように、前記最下部に位置するグラフェン５２０は、触媒金属層５４０上に設けられた所定高さのスペーサ５４５により支持されることによって、触媒金属層５４０と離隔して配されることも可能である。そして、前記触媒金属層５４０からナノワイヤー、ナノロッドまたはナノチューブなどのナノ構造体を成長させれば、図１１に図示されたように、グラフェン５２０を貫通する１次元形状のナノ構造体５１０が得られる。また、図１３に図示されたように、前記最下部に位置するグラフェン５２０は、基板５３０’の両側に形成された突出部５３０ａにより支持されることによって、触媒金属層５４０と離隔して配されることもできる。ここで、前記基板５３０’には、エッチング工程などを通じて前記突出部５３０ａが形成され、前記突出部５３０ａ間の基板５３０’の上面に触媒金属層５４０が形成されうる。
【００３５】
図１４及び図１５は、本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体の製造方法を説明するための図である。以下では、前述した実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００３６】
図１４を参照すれば、基板６３０を用意した後、前記基板６３０の上面に金属触媒層６４０を形成する。一方、前記金属触媒層６４０を形成した後には前記金属触媒層６４０をパターニングする工程がさらに含まれうる。次いで、前記触媒金属層６４０上に複数のグラフェン６２０を互いに接するように配する。
【００３７】
図１５を参照すれば、前記金属触媒層６４０から１次元形状のナノ構造体６１０を成長させる。ここで、前記ナノ構造体６１０は、ナノワイヤー、ナノチューブまたはナノロッドなどを含むことができる。これらのナノ構造体６１０の成長は、乾式法または湿式法により行われうる。前記ナノ構造体６１０は、例えば、IV族半導体、III−V族半導体、II−VI族半導体、IV−VI族半導体またはIV−V−VI族半導体、酸化物半導体、窒化物半導体または金属からなりうる。
【００３８】
前記成長工程を通じて前記ナノ構造体６１０は、前記グラフェン６２０を貫通するように形成される。そして、前記ナノ構造体６１０がグラフェン６２０を貫通する過程で、前記グラフェン６２０のそれぞれは前記ナノ構造体６１０の成長方向に沿って一定の距離だけ移動しうる。これにより、ナノ構造体６１０により貫通されたグラフェン６２０は、前記基板６４０の上部で一定の間隔で離隔して配されうる。前記ナノ構造体６１０のそれぞれは、前記グラフェン６２０を貫通しつつその内部にグラフェン６２０を含むように形成されうる。一方、前記ナノ構造体６１０それぞれは、前記グラフェン６２０を貫通しつつその内部にグラフェン６２０を含まないように形成されてもよい。前記ナノ構造体６１０は、同じ物質からなる同種構造だけでなく相異なる物質が結合された異種構造を持つように形成されうる。この場合、前記ナノ構造体６１０は、導電性不純物でドーピングされうる。
【００３９】
図１６ないし図２０は、本発明の他の実施形態によるグラフェンとナノ構造体との複合構造体の製造方法を説明するための図である。以下では、前述した実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００４０】
図１６を参照すれば、まず基板７３０を用意する。前記基板７３０としては、例えば、シリコン基板、ゲルマニウム基板、ガラス基板またはプラスチック基板などが使われうる。しかし、これに限定されるものではない。そして、前記基板７３０を表面処理する工程がさらに行われうる。このような表面処理工程により、前記基板７３０の上面には後述するナノ構造体７１０の成長のためのシード層（図示せず）が形成されうる。例えば、前記基板７３０がシリコン基板である場合には、前記基板７３０を表面処理すれば、前記基板７３０の上面には、シリコンナノ構造体形成のためのシード層が形成されうる。そして、前記基板７３０がゲルマニウム基板である場合には、前記基板７３０を表面処理すれば、前記基板７３０の上面にはゲルマニウムナノ構造体形成のためのシード層が形成されうる。一方、前記基板７３０を表面処理しない場合にもナノ構造体の形成ができる。例えば、前記基板７３０がガラス基板、プラスチック基板などである場合には、前記基板７３０の表面処理なしに前記基板７３０上に、例えば、ＺｎＯナノ構造体を成長させることができる。
【００４１】
図１７を参照すれば、前記基板７３０上に複数のグラフェン７２０を一定の間隔で配する。ここで、最下部に位置するグラフェン７２０は、基板７３０に接するように設けられうる。そして、前記基板７３０に離隔して配されるグラフェン７２０はスペーサ（図示せず）により支持できる。一方、図１７には基板７３０上に３個のグラフェン７２０が配される場合が図示されているが、本実施形態はこれに限定されず、基板７３０上に多様な数のグラフェン７２０、具体的に少なくとも一つのグラフェン７２０が配されうる。
【００４２】
図１８を参照すれば、前記基板７３０から１次元形状のナノ構造体７１０を成長させる。ここで、前記ナノ構造体７１０は、ナノワイヤー、ナノチューブまたはナノロッドなどを含むことができる。これらのナノ構造体７１０の成長は、乾式法または湿式法により行われうる。ここで、前記ナノ構造体７１０は、例えば、Ｃ、Ｓｉ、ＧｅなどのIV族半導体、III−V族半導体、II−VI族半導体、IV−VI族半導体またはIV−V−VI族半導体からなり、それ以外にもＺｎＯなどの酸化物半導体、窒化物半導体または金属からなりうる。しかし、これに限定されるものではなく、それ以外にも多様な物質からなりうる。
【００４３】
前記成長工程を通じて前記ナノ構造体７１０は、前記グラフェン７２０を貫通するように形成される。ここで、前記ナノ構造体７１０のそれぞれは、前記グラフェン７２０を貫通しつつその内部にグラフェン７２０を含むように形成されうる。一方、前記ナノ構造体７１０のそれぞれは、前記グラフェン７２０を貫通しつつその内部にグラフェン７２０を含まないように形成されてもよい。前記ナノ構造体７１０がグラフェン７２０を貫通する過程で、前記グラフェン７２０それぞれは、前記ナノ構造体７１０の成長方向に沿って一定の距離で移動しうる。
【００４４】
前記ナノ構造体７１０は、同じ物質からなる同種構造だけでなく相異なる物質が結合された異種構造を持つように形成されうる。例えば、前記ナノ構造体７１０は、半径方向による異種構造または長手方向による異種構造を持つように形成されうる。そして、この場合、前記ナノ構造体７１０は導電性不純物でドーピングされうる。
【００４５】
一方、以上では図１７に図示されたように、基板７３０上に配されるグラフェン７２０のうち、最下部に位置するグラフェン７２０が基板７３０に接するように配される場合が説明された。しかし、図１９に図示されたように、前記最下部に位置するグラフェン７２０は、基板７２０上に設けられた所定高さのスペーサ７４５により支持されることによって、基板７３０と離隔して配されることも可能である。そして、前記基板７３０からナノワイヤー、ナノロッドまたはナノチューブなどのナノ構造体を成長させれば、図１８に図示されたように、グラフェン７２０を貫通する１次元形状のナノ構造体７１０が得られる。また、図２０に図示されたように、前記最下部に位置するグラフェン７２０は、基板７３０’の両側に形成された突出部７３０ａにより支持されることによって、前記突出部７３０ａ間の基板５４０と離隔して配されることも可能である。ここで、前記基板７３０’には、エッチング工程などを通じて前記突出部７３０ａが形成されうる。
【００４６】
本実施形態では、表面処理された基板７３０上に複数のグラフェン７２０が一定の間隔で離隔して配される場合が説明されたが、図１４に図示されたように、前記複数のグラフェン７２０が表面処理された基板７３０上に互いに接するように配されることも可能である。この場合、前記ナノ構造体７１０が成長しつつグラフェン７２０を貫通すれば、前記グラフェン７２０は、ナノ構造体７１０の成長方向に沿って一定の距離ほど移動できる。これにより、前記ナノ構造体７１０により貫通されたグラフェン７２０は、図１５に図示されたように、基板７３０上部で一定の間隔で離隔して配されうる。一方、以上の実施形態による複合構造体の製造方法で、グラフェン５２０、６２０、７２０の数及びナノ構造体５１０、６１０、７１０の数はいくらでも変形可能である。
【００４７】
以上で本発明の実施形態が説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当業者ならば、これより多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解できるであろう。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明は、グラフェンとナノ構造体との複合構造体関連の技術分野に好適に用いられる。
【符号の説明】
【００４９】
１００  複合構造体
１１０  ナノ構造体
１２０  グラフェン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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