(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理容器内に処理ガスを供給しながら前記処理ガスを排気して前記処理容器内の圧力を所定値に設定し、処理ガスに外部エネルギを供給してプラズマを生成し、前記処理容器内の基板が載置される載置台に印加するバイアスを所定値に設定することによって、シリコン窒化膜をシリコン及び／又はシリコン酸化膜に対して選択的にエッチングするプラズマエッチング方法において、
前記処理ガスは、プラズマ励起用ガス、ＣＨxＦyガス、並びにＯ２、ＣＯ２、ＣＯの群から選ばれる少なくとも一つの酸化性ガスを含み、
前記ＣＨxＦyガスに対する前記酸化性ガスの流量比を、前記酸化性ガスとしてＯ２又はＣＯ２を用いた場合には４／９以上８／９以下に設定し、前記酸化性ガスとしてＣＯを用いた場合には８／９以上１６／９以下に設定し、前記酸化性ガスとしてＯ２、ＣＯ２及びＣＯの少なくとも二つを混合した混合ガスを用いた場合にはＯ２に換算して４／９以上８／９以下に設定することを特徴とするプラズマエッチング方法。
ただし、前記ＣＨxＦyガスにおいてＸ及びＹは１以上の整数。
【請求項２】
前記外部エネルギとして、前記処理容器の上部の誘電体窓を介して前記処理容器内にマイクロ波を導入し、
前記処理容器内の基板が載置される載置台に基板１ｃｍ２あたり、３０Ｗ／（１５×１５×πｃｍ２）以下のＲＦ（radio frequency）を印加することを特徴とする請求項１に記載のプラズマエッチング方法。
【請求項３】
前記処置容器内の圧力を１３．３Pa以下（１００mTorr以下）に設定することを特徴とする請求項１又は２に記載のプラズマエッチング方法。
【請求項４】
前記プラズマエッチング方法は、ゲート電極の側壁にシリコン窒化膜からなるスペーサを形成するためのものであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のプラズマエッチング方法。
【請求項５】
処理容器内に処理ガスを供給しながら前記処理ガスを排気して前記処理容器内の圧力を所定値に設定し、処理ガスに外部エネルギを供給してプラズマを生成し、前記処理容器内の基板が載置される載置台に印加するバイアスを所定値に設定することによって、シリコン窒化膜をシリコン及び／又はシリコン酸化膜に対して選択的にエッチングする半導体デバイスの製造方法において、
前記処理ガスは、プラズマ励起用ガス、ＣＨxＦyガス、並びにＯ２、ＣＯ２、ＣＯの群から選ばれる少なくとも一つの酸化性ガスを含み、
前記酸化性ガスの前記ＣＨxＦyガスに対する前記酸化性ガスの流量比を、前記酸化性ガスとしてＯ２又はＣＯ２を用いた場合には４／９以上８／９以下に設定し、前記酸化性ガスとしてＣＯを用いた場合には８／９以上１６／９以下に設定し、前記酸化性ガスとしてＯ２、ＣＯ２及びＣＯの少なくとも二つを混合した混合ガスを用いた場合にはＯ２に換算して４／９以上８／９以下に設定することを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
ただし、前記ＣＨxＦyガスにおいてＸ及びＹは１以上の整数。
【請求項６】
シリコン窒化膜をシリコン及び／又はシリコン酸化膜に対して選択的にエッチングするプラズマエッチング装置であって、
内部が減圧可能な処理容器と、前記処理容器の内部に設けられる載置台と、前記処理容器に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、前記処理容器内の前記処理ガスを排気するガス排気部と、プラズマを生成するために前記処理ガスに外部エネルギを供給するエネルギ供給部と、前記載置台にＲＦ（radio frequency）を印加するバイアス印加部と、前記処理ガスの流量、前記処理容器内の圧力、及び前記載置台に印加されるバイアスを制御する制御部と、を備え、
前記処理ガスは、プラズマ励起用ガス、ＣＨxＦyガス、並びにＯ２、ＣＯ２、ＣＯの群から選ばれる少なくとも一つの酸化性ガスを含み、
前記制御部は、前記酸化性ガスの前記ＣＨxＦyガスに対する前記酸化性ガスの流量比を、前記酸化性ガスとしてＯ２又はＣＯ２を用いた場合には４／９以上８／９以下に制御し、前記酸化性ガスとしてＣＯを用いた場合には８／９以上８／９以下に制御し、前記酸化性ガスとしてＯ２、ＣＯ２及びＣＯの少なくとも二つを混合した混合ガスを用いた場合にはＯ２に換算して４／９以上８／９以下に制御することを特徴とするプラズマエッチング装置。
ただし、前記ＣＨxＦyガスにおいてＸ及びＹは１以上の整数。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマを用いたプラズマエッチング方法、半導体デバイスの製造方法、及びプラズマエッチング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ(Large Scale Integration)は、これまで２〜３年毎に４倍のスピードで集積化が進められてきており、今後も続くものと予想される。プラズマエッチング技術は半導体製造の微細パターンを形成する上で、リソグラフィと並び重要な基盤技術である。プラズマエッチングの基本メカニズムはプラズマ生成によって発生するラジカルの被エッチング膜への吸着と、ＲＦによるイオン照射とによって起こるイオンアシストエッチング反応である。これまでにプラズマソースとして平行平板、ＥＣＲ(Electron Cyclotron Resonance)、ＩＣＰ(Inductively Coupled Plasma)タイプが使用されている。【０００３】
プラズマエッチング方法として、シリコン基板上やシリコン酸化膜上のシリコン窒化膜をエッチングする場合がある。この場合、下地となるシリコン基板やシリコン酸化膜に対してシリコン窒化膜の選択比を高くすることが要求される。選択比は、エッチング対象のシリコン窒化膜のエッチングレートとエッチング非対象の下地膜のエッチングレートの比で表され、選択比が大きいほどよいことになる。【０００４】
シリコン基板やシリコン酸化膜に対するシリコン窒化膜の選択比を高めたエッチング方法は、例えばＭＯＳ(Metal-Oxide-Semiconductor)トランジスタの製造方法において使用される。ＭＯＳトランジスタの製造方法の一例は以下のとおりである。【０００５】
図２４は、ＭＯＳトランジスタの製造方法の一例を示す。大規模ＬＳＩはほとんどがトランジスタとしてＭＯＳトランジスタを用いている。ＭＯＳトランジスタを微細化する上で、ＭＯＳトランジスタのソース、ドレインには、ｐｎ接合深さを浅く形成する所謂「浅い接合」が要求される。「浅い接合」を実現するため、ＭＯＳトランジスタのソース、ドレインには、エクステンション領域が形成される（例えば特許文献１参照）。【０００６】
まず、図２４（ａ）に示すように、シリコン基板１０１上にシリコン酸化膜１０２を形成する。次に、基板上にポリシリコン膜を堆積した後、リソグラフィ技術及びドライエッチングにより、ポリシリコンをパターニングしてゲート電極１０３を形成する。【０００７】
次に、図２４（ｂ）に示す工程で、ＣＶＤ法により基板上にシリコン酸化膜１０４を堆積する。続いて、図２４（ｃ）に示す工程で、シリコン酸化膜１０４をエッチバックしてゲート電極１０３の側面上にオフセットスペーサ１０４ａを形成するとともに、ゲート電極１０３の下にゲート絶縁膜１０２ａを形成する。これに続いて、ゲート電極１０３及びオフセットスペーサ１０４ａをマスクとしてイオン注入を行い、シリコン基板１０１内のゲート電極１０３の両側方にエクステンション領域１０８を形成する。【０００８】
次に、図２４（ｄ）に示す工程で、基板上にシリコン酸化膜等の絶縁膜を堆積した後、これをエッチバックし、オフセットスペーサ１０４ａの外側にシリコン酸化膜からなるサイドウォールスペーサ１０９を形成する。その後、ゲート電極１０３、オフセットスペーサ１０４ａ及びサイドウォールスペーサ１０９をマスクとしてイオン注入を行い、シリコン基板１０１内のエクステンション領域１０８の外側に高濃度ソース・ドレイン領域１０７を形成する。【０００９】
次に、図２４（ｅ）に示す工程で、基板上にコバルト、ニッケル等の金属膜を堆積してから、ゲート電極１０３の上部及び高濃度ソース・ドレイン領域１０７の露出しているシリコン表面部とコバルト、ニッケル等とを反応させることにより、低抵抗化のためのシリサイド膜１１０を、ゲート電極１０３の上部及び高濃度ソース・ドレイン領域１０７の露出している表面部に自己整合的に形成する。【００１０】
微細化したゲート電極１０３をエッチングする際、処理容器内にプラズマを発生させ、処理容器内の基板が載置される載置台にＲＦを印加することによって、基板上にイオンを引き込み、ゲート電極１０３をドライエッチングする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００２−２８９８４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上記図２４（ｄ）に示す工程において、ゲート電極１０３の側壁にサイドウォールスペーサ１０９を形成するにあたり、ソース・ドレイン領域の上部及びゲート電極１０３の上部のシリコン窒化膜をエッチングする工程が必要になる場合がある。この場合、下地となるシリコン基板やシリコン酸化膜に対するシリコン窒化膜の選択比を高めたエッチングが要求される。【００１３】
また、サイドウォールスペーサ１０９には、イオン注入に耐えられる強度が要求されることから、シリコン窒化膜が使用される場合がある。そして、上記図２４（ｅ）に示す工程で、イオン注入の際にマスクとして使用されたシリコン窒化膜からなるサイドウォールスペーサ１０９を除去するエッチングが必要になる。すなわち、シリコン窒化膜からなるサイドウォールスペーサ１０９をシリコン酸化膜からなるオフセットスペーサ１０４ａに対して選択的に除去するエッチングが必要になる。【００１４】
そこで本発明の目的は、下地となるシリコン基板やシリコン酸化膜に対するシリコン窒化膜の選択比を高めることができ、これにより下地にダメージ（リセス）入るのを防止できるプラズマエッチング方法、半導体デバイスの製造方法、及びプラズマエッチング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するために、本発明の一態様は、処理容器内に処理ガスを供給しながら前記処理ガスを排気して前記処理容器内の圧力を所定値に設定し、処理ガスに外部エネルギを供給してプラズマを生成し、前記処理容器内の基板が載置される載置台に印加するバイアスを所定値に設定することによって、シリコン窒化膜をシリコン及び／又はシリコン酸化膜に対して選択的にエッチングするプラズマエッチング方法において、前記処理ガスは、プラズマ励起用ガス、ＣＨxＦyガス、並びにＯ２、ＣＯ２、ＣＯの群から選ばれる少なくとも一つの酸化性ガスを含み、前記ＣＨxＦyガスに対する前記酸化性ガスの流量比を、前記酸化性ガスとしてＯ２又はＣＯ２を用いた場合には４／９以上８／９以下に設定し、前記酸化性ガスとしてＣＯを用いた場合には８／９以上１６／９以下に設定し、前記酸化性ガスとしてＯ２、ＣＯ２及びＣＯの少なくとも二つを混合した混合ガスを用いた場合にはＯ２に換算して４／９以上８／９以下に設定することを特徴とするプラズマエッチング方法である。ただし、前記ＣＨxＦyガスにおいてＸ及びＹは１以上の整数。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の一態様によれば、ＣＦ系の堆積物（deposit）を除去するために必要な量よりも過剰に酸化性ガスが供給されるので、シリコン基板の表面を酸化しながらエッチングすることになり、シリコンの表面にＳｉＯ２の被膜が形成される。結合エネルギに関して、Ｓｉ−Ｏ＞Ｓｉ−Ｎ＞Ｓｉ−Ｓｉの関係があるので、シリコン基板の表面にＳｉＯ２の被膜を形成することで、シリコン基板の表面が硬くなり、シリコンのエッチングレートが低くなる。一方、シリコン基板と同様にシリコン窒化膜も酸化されるが、エッチングレートはシリコンほど低くならないので、シリコンに対するシリコン窒化膜の選択比が高くなる。
【００１８】
また、ＣＦ系の堆積物（deposit）を除去するために必要な量よりも過剰に酸化性ガスを供給することで、もともと酸化されているシリコン酸化膜のエッチングレートも低くなる。したがって、シリコン酸化膜に対するシリコン窒化膜の選択比が高くなる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態のＲＬＳＡエッチング装置の全体構成図
【図２】ＲＬＳＡのスリットのパターンを示す斜視図(一部断面図を含む)
【図３】ＲＬＳＡエッチング装置における誘電体窓からの距離と電子密度との関係を示すグラフ
【図４】ＲＬＳＡエッチング装置における誘電体窓からの距離と電子温度との関係を示すグラフ
【図５】ＭＯＳトランジスタの製造方法の工程図
【図６】サイドウォールスペーサを等方性エッチングしたＭＯＳトランジスタの断面図
【図７】シリコン基板に発生するダメージ、フッティングを示す模式図（図中（ａ）はダメージを示し、図中（ｂ）はフッティングを示す）
【図８】ＭＯＳトランジスタのサイドウォールスペーサの等方性エッチングの工程図
【図９】ＭＯＳトランジスタのエッチングの工程図（図中（ａ）は異方的エッチングを示し、図中（ｂ）は等方的エッチングを示す）
【図１０】ＦｉｎＦＥＴの製造方法の工程図
【図１１】実施例にて用意された半導体デバイスの異方性エッチングの工程図
【図１２】リセスの観察結果を示す写真
【図１３】リセスの観察結果を示す写真
【図１４】エッチングレートのパラメータ依存性を示すグラフ（図中（ａ）はＯ２流量依存性を示し、図中（ｂ）はマイクロ波パワー依存性を示し、図中（ｃ）はＲＦパワー依存性を示す）
【図１５】エッチング後のシリコン表面のＸＰＳ分析結果を示すグラフ
【図１６】Ｏ２流量とシリコン酸化膜のエッチングレートとの関係を示すグラフ
【図１７】シリコン窒化膜の酸化状態を示す（図中（ａ）は深さと酸素濃度との関係を示し、図中（ｂ）は表面のＯ２濃度とエッチングレートとの関係を示す）
【図１８】シリコン基板の表面に形成されるシリコン酸化膜を示す模式図
【図１９】Ｖｐｐとシリコン酸化膜の関係を示すグラフ
【図２０】ＲＬＳＡエッチング装置と平行平板のエッチング装置とでイオンエネルギを比較した模式図
【図２１】プラズマ源としてＲＬＳＡを用いたエッチング装置と平行平板を用いたエッチング装置とで、プラズマポテンシャルを比較したグラフ（図中（ａ）はマイクロ波パワーを変化させたグラフを示し、図中（ｂ）は圧力を変化させたグラフを示し、図中（ｃ）はＲＦパワーを変化させたグラフを示す）
【図２２】圧力を変化させたときのシリコン窒化膜のエッチングレート及びスリミングレートの変化を示すグラフ
【図２３】圧力・ＲＦを変化させたときのシリコン窒化膜、シリコン酸化膜、及びポリシリコンのエッチングレートの変化を示すグラフ
【図２４】従来のＭＯＳトランジスタの製造方法の工程図
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、添付図面を参照して、本発明の第一及び第二の実施形態のプラズマエッチング方法を説明する。第一及び第二の実施形態のプラズマエッチング方法は同一の構造のエッチング装置において実行される。エッチング装置には、ＲＬＳＡ（Radial Line Slot Antenna）を用いてマイクロ波プラズマを生成するＲＬＳＡエッチング装置が用いられる。
【００２２】
図１は、ＲＬＳＡエッチング装置の全体の構成図を示す。ＲＬＳＡエッチング装置はプラズマ源としてマイクロ波を利用する。マイクロ波を利用することで、エッチング処理を行う領域において低電子温度かつ高密度のプラズマを生成することが可能になる。ＲＬＳＡエッチング装置の各部の構造は以下のとおりである。
【００２３】
ＲＬＳＡエッチング装置は、アルミニウム合金等からなる筒状の処理容器１を備える。処理容器１は接地されている。処理容器１の底部の中央には、支柱９により起立された載置台１０が設けられる。載置台１０の上面に半導体ウェハＷが保持される。この載置台１０は、例えばアルミナや窒化アルミナ等のセラミック材からなる。載置台１０には、その略全域に亘って抵抗加熱ヒータ１１が埋め込まれ、半導体ウェハＷを所定の温度に加熱維持できるようになっている。この抵抗加熱ヒータ１１は、支柱９内に配された配線を介してヒータ電源１３に接続される。載置台１０の内部には、図示しない冷却媒体経路が設けられる。冷却媒体経路は円環状に形成される。チラーユニットから供給される冷却媒体を冷却媒体経路に循環させることで、半導体ウェハＷを所定の温度に冷却維持できるようになっている。
【００２４】
載置台１０の上面には、網目状に配設した導体線１２を内部に備える薄板状の静電チャック１４が設けられる。導体線１２には、直流電源１５を接続してあり、直流電源１５が供給する直流電圧により、静電チャック１４は、載置台１０に載置される半導体ウェハＷを静電吸着する。静電チャック１４の内部の導体線１２には、例えば、整合器（不図示）を介して１３．５６ＭＨｚのバイアス用の高周波電力を印加するバイアス印加部としてのバイアス用高周波電源１６が接続される。整合器は、載置台１０、処理容器１内に生成されたプラズマ、及び処理容器１を含む負荷のインピーダンスにバイアス用高周波電源１６の出力インピーダンスを整合させる。整合器は自己バイアスを発生させるためのブロックコンデンサ（blocking condenser）を含む。バイアス用高周波電源１６が供給する高周波電力の周波数は、１３．５６ＭＨｚに限定されるものではなく、２７ＭＨｚなど他のＲＦ帯の周波数でもよい。
【００２５】
載置台１０の下方には、半導体ウェハＷの搬出入時に載置台１０を昇降させるための複数の昇降ピン１７が設けられる。昇降ピン１７は、伸縮可能なベローズ１８を介して処理容器１の底部を貫通して設けられた昇降ロッド１９により昇降される。載置台１０には、昇降ピン１７が挿通可能な挿通孔２０が形成される。
【００２６】
処理容器１の周囲壁には、半導体ウェハＷを搬入、搬出するための搬出入口２１が設けられる。搬出入口２１には、処理容器１内を密閉状態にしたまま搬出入口２１を開閉するためのゲートバルブ２２が設けられる。
【００２７】
処理容器１の天井部の誘電体窓２の中央には、処理容器１内に処理ガスを供給するセンターガス導入路２３が設けられる。センターガス導入路２３は同軸管３８の内側導体を貫通するように設けられる。誘電体窓２ａの中央には処理容器に開口する噴射口２３ａが形成される。センターガス導入路２３はガス通路２５ａを介してガス供給源２４に接続される。ガス通路２５ａの途中には、各ガスの流量を制御する流量制御器（ＭＦＣ）及びオンオフを行うバルブが設けられていて、処理ガスの各ガスの流量を制御しつつガス通路２３に供給できるようになっている。ガス供給源２４からの処理ガスは、ガス通路２５ａ及びセンターガス導入路２３を流れ、噴射口２３ａから下方に位置する載置台１０に向かって噴射される。処理ガスは真空ポンプ３０によって載置台１０を囲む円環状の排気経路に引かれているので、半導体ウェハＷに向かって噴射された処理ガスは処理容器内を半径方向外側に拡散する。
【００２８】
また、噴射口２３ａよりも下方でかつ半導体ウェハＷよりも上方には、処理ガスを供給するためのガスリング７が設けられる。これらのガスリング７及びセンターガス導入路２３が処理ガス供給部を構成する。ガスリング７は中空のリング形状に形成され、その内周側の側面には周方向に均等間隔を空けて複数の側面噴出口を有する。複数の側面噴射口は処理容器１内のプラズマ領域内に開口する。ガスリング７は、ガス通路２５ｂを介してガス供給源２４に接続される。ガス通路２５ｂの途中には、処理ガスの各ガスの流量を制御する流量制御器（ＭＦＣ）及びオンオフを行うバルブが設けられていて、処理ガスの各ガスの流量を制御しつつガスリング７に供給できるようになっている。ガス供給源２４からの処理ガスはガス通路２５ｂを介してガスリング７に導入される。ガスリング７の内部圧力は処理ガスが充満することで周方向に均一になり、多数の側面噴射口から処理容器１内のガスリング７の半径方向の内側領域に向かって均一に処理ガスが噴射される。ガスリング７からプラズマの電子温度の低い領域(プラズマ拡散領域)に処理ガスが供給されるので、処理ガスの過剰解離を抑制し、最適な解離状態を得ることができる。
【００２９】
処理ガスには、プラズマ励起用ガス、ＣＨxＦyガス（Ｘ及びＹは１以上の整数）、及び酸化性ガスが含まれる。プラズマ励起用ガスは、Ａｒ、Ｈｅ、Ｎｅ、Ｋｒ及びＸｅの少なくも一つを含む。ＣＨxＦyガスは、ＣＨ２Ｆ２、ＣＨ３Ｆ、ＣＨＦ２、ＣＨＦ３の群から選ばれる少なくとも一つを含む。酸化性ガスは、Ｏ２、ＣＯ２、ＣＯの群から選ばれる少なくとも一つを含む。ＣＨxＦyガス及び酸化性ガスがエッチングガスを構成する。エッチングガスのうち、ＣＨＦ系ガスのラジカルは基板に堆積して堆積膜を形成する。Ｏ２、ＣＯ２、ＣＯなどの酸化性ガスは堆積膜中の炭素成分を除去・調整するために使用される。
【００３０】
処理容器１の底部には、処理ガスを排出する排気口２８が設けられる。載置台１０の上の基板Ｗに関して対称に分布する均一なガスの流れを得るために、排気口２８は円周方向に均等間隔を空けて多数設けられる。排気口２８には、制御部としての圧力調整弁２９、ガス排気部としての真空ポンプ３０が介装された排気路３１が接続される。これにより、処理容器１内の圧力を所要の値に調節することができる。
【００３１】
処理容器１の天井部には、処理容器１の内部を密封するように誘電体窓２が設けられる。誘電体窓２は、石英、セラミック、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、あるいは窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの誘電体からなり、マイクロ波に対して透過性を有する。誘電体窓２の下面には処理容器１の内部に向かって突出する凸部２ａが形成される。凸部２ａを形成することで、プラズマ領域に対して斜めにマイクロ波が入射し、高真空から低真空まで広い圧力範囲にわたって共鳴吸収を起こさせることが可能になる。このため、高真空から低真空まで高密度プラズマを生成することが可能になる。
【００３２】
マイクロ波プラズマを発生させるＲＬＳＡ４の構成は以下のとおりである。誘電体窓２の上面には、マイクロ波導入部として、処理容器１の内部にプラズマを発生させるＲＬＳＡ４が設置される。ＲＬＳＡ４は、導電性材料よりなるスロット板３と、スロット板３の上面に設けられる円盤状の誘電体板５と、を備える。スロット板３の直径は半導体ウェハＷの直径よりも大きい。例えば半導体ウェハＷのサイズが３００ｍｍである場合、スロット板３の直径は４００〜５００ｍｍ程度である。スロット板３の厚みは１〜数ｍｍ程度に設定される。
【００３３】
スロット板３は、その表面が金メッキされた銅板又はアルミニウム板からなる。スロット板３には、同心円状に分布するＴ字状形状の多数のスリット３ａが形成され、多数のスリット３ａから処理容器１内にマイクロ波が放射される。スリット３ａの配置は特に限定されるものでなく、例えば同心円状、渦巻状、あるいは放射状に配置される。
【００３４】
スロット板３の上面に設けられる誘電体板５は、石英、セラミック、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、あるいは窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの誘電体からなる。誘電体板５は、同軸導波管６から導入されるマイクロ波を半径方向に伝搬させると共に、マイクロ波の波長を圧縮する。誘電体板５の上面及び下面は導体で覆われる。誘電体板５の上部にはＲＬＳＡ４を冷却するための冷却ジャケット８が設けられる。冷却ジャケット８には図示しないチラーユニットに接続される流路が形成される。冷却ジャケット８は誘電体板５に発生する熱を吸収し、外部に排出する。
【００３５】
誘電体板５には、マイクロ波を導入する同軸導波管６が接続される。同軸導波管６は、モード変換器３２及び矩形導波管３３を介してマイクロ波発生器３４に接続される。マイクロ波発生器３４は、例えば、２．４５ＧＨｚのマイクロ波を発生する。マイクロ波の周波数は２．４５ＧＨｚに限定されるものではなく、例えば８．３５ＧＨｚなど他の周波数でもよい。また、マイクロ波を発生させるための高周波電力は１００Ｗ以上であり、例えば、１５００Ｗ、２０００Ｗ、３０００Ｗなどに設定される。矩形導波管３３は矩形状のパイプから構成され、マイクロ波発生器３４からモード変換器３２にＴＥモードでマイクロ波を伝搬する。モード変換器３２は、矩形導波管３３を同軸導波管６に連結するためのものであり、矩形導波管３３内のＴＥモードのマイクロ波を同軸導波管６内のＴＥＭモードのマイクロ波に変換する。モード変換器３２は下方に向かって尖った円錐形状に形成される。モード変換器３２の上部は矩形導波管３３に結合され、モード変換器３２の下部は同軸導波管６の内側導体に結合される。同軸導波管６はモード変換器３２からＲＬＳＡ４に向かって垂直下方に延び、スロット板３に連結される。同軸導波管６は、外側導体と内側導体とを有する二重管から構成される。マイクロ波は外側導体と内側導体との間をＴＥＭモードで伝搬する。
【００３６】
マイクロ波発生器３４から出力されたマイクロ波は、矩形導波管３３、モード変換器３２、同軸導波管６を経由した後、ＲＬＳＡ４に供給される。マイクロ波はＲＬＳＡ４の誘電体板５を半径方向に拡散し、スロット板３のスリット３ａを介して処理容器１内に放射される。これにより、誘電体窓２の直下の処理ガスがイオン化され、処理容器１内にプラズマが発生する。
【００３７】
図２はＲＬＳＡの４の多数のスリットのパターンの一例を示す。スロット板３にはＴ字状の多数のスリット３ａが同心円状に配列される。各スリット３ａは長手方向が直交する二種類の個別スリットから構成される。同心円の半径方向のピッチは、ＲＬＳＡ４を半径方向に伝搬するマイクロ波の波長に基づいて定められる。スリット３ａを通過することで、マイクロ波は互いに直交する二つの偏光成分を有する平面波に変換される。このようなＲＬＳＡ４はアンテナの全領域から処理容器１内に均一にマイクロ波を放射するのに効果的であり、アンテナの下方に均一なプラズマを生成するのに適している。
【００３８】
マイクロ波発生器３４、バイアス用高周波電源１６、直流電源１５、ヒータ電源１３、ガス供給源２４、排気ポンプ２９等の個々の作動及び全体の動作は、制御部３６によって制御される。制御部３６は、例えばマイクロコンピュータ等から構成される。個々の作動及び全体の動作を定めたプログラムは、ＨＤＤ、半導体メモリ又はＣＤ等の記憶媒体３７に記憶される。
【００３９】
制御部には、処理ガスの流量、処理容器内の圧力、マイクロ波発生器３４のマイクロ波パワー、載置台１０のＲＦパワーを設定するためのレシピ設定部が設けられる。レシピ設定部に設定された各種の値はＨＤＤ、半導体メモリ又はＣＤ等の記憶媒体３７に記憶される。
【００４０】
ＲＬＳＡエッチング装置の特徴は、エッチング処理を行う領域において低電子温度、かつ高密度のプラズマを生成できることにある。図３に示すように、処理容器１の上部の誘電体窓２を介してマイクロ波を導入すると、誘電体窓２の直下の１０〜５０ｍｍの領域に高密度のプラズマが励起される。図４に示すように、発生領域のプラズマは高密度で電子温度も比較的高いが、プラズマは拡散によって発生領域からエッチング処理を行う領域に輸送されるので、電子温度が低下する。半導体ウェハＷは電子温度の十分に低い拡散領域に設置されるため、イオン衝撃ダメージの少ないエッチングが可能になる。電子密度も同様に拡散によって減衰するが、発生領域のプラズマは高密度であるため、拡散領域においても十分に高密度が維持される。誘電体窓２の下方のガスリング７からプラズマ拡散領域に処理ガスを供給することで、処理ガスの解離制御が可能になる。
【００４１】
上記構成のＲＬＳＡエッチング装置を用いて、本発明の第一及び第二の実施形態のエッチング方法を実行する。本発明の第一及び第二の実施形態のエッチング方法は、半導体デバイスの製造方法の一工程として行われる。まず、半導体デバイスの製造方法の一例として、ＭＯＳトランジスタの製造方法を説明する。
【００４２】
図５は、「浅い接合」が形成されるＭＯＳトランジスタの製造方法を示す。まず、図５（ａ）に示すように、シリコン基板４１に活性領域を囲むための素子分離を形成した後、熱酸化法により、シリコン基板４１の活性領域上にゲート絶縁膜としてシリコン酸化膜４２を形成する。次に、ＣＶＤ法により、シリコン酸化膜４２上にポリシリコン膜４３を堆積する。その後、リソグラフィ技術及びドライエッチング技術により、ポリシリコン膜４３をパターニングして、ゲート電極４４を形成する。なお、ゲート絶縁膜としてHigh-K材料を用い、ゲート電極として金属を用いてもよい。
【００４３】
次に、図５（ｂ）に示す工程で、例えばＣＶＤ法により、ゲート電極４４の表面上にシリコン酸化膜４５を形成する。
【００４４】
次に、図５（ｃ）に示す工程で、ゲート電極４４のポリシリコン表面が露出するまで、ドライエッチングを行ない、シリコン酸化膜４５のうちゲート電極４４の上面の部分、及びシリコン基板４１の上面の部分を除去する。これにより、オフセットスペーサ４５ａがゲート電極４４の側壁に形成される。
【００４５】
この後、図５（ｄ）に示す工程で、ゲート電極４４及びオフセットスペーサ４５ａをマスクとして不純物イオンを注入し、シリコン基板４１内のゲート電極４４の両側方にエクステンション領域４６を形成する。オフセットスペーサ４５ａを形成することにより、シリコン基板４１内の、ゲート電極４４の直下方へのエクステンション領域４６の入り込みを浅くすることができる。
【００４６】
次に、図５（ｅ）に示す工程で、シリコン基板４１上にＣＶＤ法により、シリコン窒化膜４８を形成し、これを図５（ｆ）に示す工程で、エッチバックしてサイドウォールスペーサ４８ａをオフセットスペーサ４５ａの側面上に形成する。その後、ゲート電極４４、オフセットスペーサ４５ａ及びサイドウォールスペーサ４８ａをマスクとして不純物イオンのイオン注入を行ない、エクステンション領域４６の外側に高濃度ソース・ドレイン領域５０を形成する。
【００４７】
次に、図５（ｇ）に示す工程で、ＣＶＤ法によりコバルト膜を基板上に堆積し、コバルト膜とポリシリコンとを反応させた後、エッチングにより未反応の金属コバルト膜を除去する。その後、シリサイドの相転換を行うことにより、ゲート電極４４の上部にはシリサイド膜５１が形成され、高濃度ソース・ドレイン領域５０の表面部にもシリサイド膜が形成される（図示せず）。
【００４８】
本発明の第一の実施形態の半導体ウェハのエッチング方法は、上記図５（ｅ）→図５（ｆ）に示すように、ゲート電極４４の上部及びエクステンション領域４６の上部のシリコン窒化膜４８を異方性エッチングする工程に使用される。
【００４９】
以下に、本発明の第一の実施形態の半導体ウェハのエッチング方法を説明する。図６には、図５の（ｅ）から（ｆ）に至る工程が示されている。シリコン基板４１上にシリコン窒化膜４８が積層された半導体ウェハＷは、ＲＬＳＡエッチング装置に搬送される。ＲＬＳＡエッチング装置では、シリコン酸化膜４８をエッチバックしてサイドウォールスペーサ４８ａをオフセットスペーサ４５ａの側面上に形成する。
【００５０】
本発明の第一の実施形態の半導体ウェハのエッチング方法においては、処理容器１内に処理ガスを供給しながら処理ガスを排気して処理容器１内の圧力を所定値に設定し、処理ガスにマイクロ波を供給してプラズマを生成し、処理容器１内の半導体ウェハＷが載置される載置台１０に印加するバイアスを所定値に設定することによって、シリコン窒化膜４８をエッチングする。
【００５１】
処理ガスは、プラズマ励起用ガス、ＣＨxＦyガス、及び酸化性ガスを混合したガスである。プラズマ励起ガスは、Ａｒ、Ｈｅ、Ｎｅ、Ｋｒ及びＸｅの群から選ばれる少なくも一つを含む。ＣＨxＦyガスは、ＣＨ２Ｆ２、ＣＨ３Ｆ、ＣＨＦ２、ＣＨＦ３の群から選ばれる少なくとも一つを含む。酸化性ガスは、Ｏ２、ＣＯ２、ＣＯの群から選ばれる少なくとも一つを含む。ＣＨxＦyガス及び酸化性ガスがエッチングガスを構成する。エッチングガスのうち、ＣＨＦ系ガスのラジカルは基板に堆積して堆積膜を形成する。Ｏ２、ＣＯ２、ＣＯなどの酸化性ガスは堆積膜中のＣ分を除去・調整するために使用される。
【００５２】
シリコン窒素膜４８をエッチングするにあたり、シリコン基板４１に対するシリコン窒化膜４８の選択比を高くすることが課題となる。図７（ａ）に示すように、選択比が低いと、シリコン基板４１にダメージ（リセス）が発生し、トランジスタの電流駆動能力（drivability）に悪影響を及ぼすからである。
【００５３】
シリコン基板４１に対するシリコン窒化膜４８の選択比を高くするために、本発明の第一の実施形態の半導体ウェハのエッチング方法においては、ＣＨxＦyガスに対する酸化性ガスの流量比を、酸化性ガスとしてＯ２又はＣＯ２を用いた場合には４／９以上に設定し、酸化性ガスとしてＣＯを用いた場合には８／９以上に設定する。酸化性ガスとしてＯ２、ＣＯ２及びＣＯの少なくとも二つを混合した混合ガスを用いた場合にはＯ２に換算して４／９以上に設定する。例えばＯ２の流量がα、ＣＯの流量がβだとすると、Ｏ２に換算した流量はα＋β／２になる。同様にＣＯ２の流量がγ、ＣＯの流量がβだとすると、Ｏ２に換算した流量はγ＋β／２になる。Ｏ２の流量がα、ＣＯの流量がβ、ＣＯ２の流量がγだとすると、Ｏ２に換算した流量はα＋β／２＋γになる。これらのＯ２に換算した流量をＣＨxＦyガスの流量で割ることで流量比が得られる。Ｏ２に換算したときの流量比を４／９以上に設定すればよい。
【００５４】
ＣＦ系の堆積物（deposit）を除去する捕集材（scavenger）としての酸化性ガスの流量は、ＣＨxＦyガスの流量の１／２０程度である。ＣＨxＦyガスに対する酸化性ガスの流量比を酸素ガスに換算して４／９以上という大きな値に設定することで過剰に酸化性ガスが供給され、シリコン基板４１の表面を酸化しながらエッチングすることになる。詳しくは実施例にて後述するが、シリコンの表面にＳｉＯ２の被膜を形成することで、シリコン基板４１の表面が硬くなり、シリコンのエッチングレートが低くなる。したがって、シリコン基板４１に対するシリコン窒化膜４８の選択比が高くなる。
【００５５】
ただし、シリコン基板４１の表面にＳｉＯ２の被膜を形成すると、ＳｉＯ２の被膜がダメージ(リセス)となってしまう。このため、ＳｉＯ２の被膜の厚さは薄いことが望まれる。ＳｉＯ２の被膜の厚さはイオンエネルギと相関関係があり、イオンエネルギが小さければ小さいほどＳｉＯ２の被膜が薄くなる。載置台１０に印加されるＲＦバイアスを小さくすれば、イオンエネルギが小さくなるので、半導体ウェハＷの直径が３００ｍｍの場合、ウェハ１ｃｍ２あたり、３０Ｗ／（１５×１５×πｃｍ２）以下のＲＦ（radio frequency）を載置台１０に印加する。半導体ウェハＷの直径が４５０ｍｍの場合、３０Ｗ×（２２．５×２２．５×πｃｍ２）／（１５×１５×πｃｍ２）以下のＲＦを印加すればよい。
【００５６】
ただし、ＲＦバイアスを１５Ｗ／（１５×１５×πｃｍ２）以下にすると、図７（ｂ）に示すように、シリコン窒化膜４８のサイドウォールスペーサ４８ａにフッティング４８ａ１（footing）が形成されてしまう。フッティング４８ａ１が生ずると、次工程のドーピングの精度に悪影響を及ぼす。フッティング４８ａ１（footing）を生じさせないため、２０Ｗ／（１５×１５×πｃｍ２）以上のＲＦ（radio frequency）を印加するのが望ましい。なお、フッティングが生じないエッチングの場合には、ＲＦを２０Ｗ以下にしてもよい。
【００５７】
表１に本発明の第一の実施形態の半導体ウェハのエッチング方法の処理条件（３００ｍｍの半導体ウェハＷをエッチングするとき）の一例を示す。
【表１】
0005466756.tif 000002
【００５８】
本発明の第二の実施形態の半導体ウェハのエッチング方法は、上記図５（ｇ）に示す工程で、ゲート電極４４の上部及びソース・ドレイン領域５０の表面部にシリサイド膜５１を形成した後、マスクとして使用されたゲート電極４４の側壁のサイドウォールスペーサ４８ａを除去する工程に使用される。
【００５９】
ゲート電極４４に側壁のサイドウォールスペーサ４８ａが形成された半導体ウェハＷは、ＲＬＳＡエッチング装置に搬送される。ＲＬＳＡエッチング装置では、ゲート電極４４の側壁のサイドウォールスペーサ４８ａをエッチングする。
【００６０】
本発明の第二の実施形態の半導体ウェハのエッチング方法においては、処理容器１内に処理ガスを供給しながら処理ガスを排気して処理容器１内の圧力を所定値に設定し、処理ガスにマイクロ波を供給してプラズマを生成し、処理容器１内の半導体ウェハＷが載置される載置台１０に印加するバイアスを０に設定することによって、シリコン窒化膜４８を選択的にエッチングする。
【００６１】
処理ガスは、プラズマ励起用ガス、ＣＨxＦyガス、及び酸化性ガスを混合したガスである。プラズマ励起ガスは、Ａｒ、Ｈｅ、Ｎｅ、Ｋｒ及びＸｅの群から選ばれる少なくも一つを含む。ＣＨxＦyガスは、ＣＨ２Ｆ２、ＣＨ３Ｆ、ＣＨＦ２、ＣＨＦ３の群から選ばれる少なくとも一つを含む。酸化性ガスは、Ｏ２、ＣＯ２、ＣＯの群から選ばれる少なくとも一つを含む。ＣＨxＦyガス及び酸化性ガスがエッチングガスを構成する。エッチングガスのうち、ＣＨＦ系ガスのラジカルは基板に堆積して堆積膜を形成する。Ｏ２、ＣＯ２、ＣＯなどの酸化性ガスは堆積膜中の炭素成分を除去・調整するために使用される。
【００６２】
図８（ａ）はサイドウォールスペーサ４８ａの除去前の状態を示し、図８（ｂ）はサイドウォールスペーサ４８ａの除去後の状態を示す。ゲート電極４４の側壁のＳｉＮからなるサイドウォールスペーサ４８ａをエッチングするにあたり、下地のシリコン酸化膜４５やシリサイド膜５１にダメージ（リセス）を与えず、設計値どおりにデバイスを製造することが課題になる。
【００６３】
本実施形態のエッチング方法では、下地のシリコン酸化膜４５やシリサイド膜５１にダメージ、リセスを与えないために、マイクロ波プラズマが生成される処理容器１内の圧力を４０．０Ｐａ以上（３００mTorr以上）に設定し、載置台１０にＲＦを印加しない状態でサイドウォールスペーサ４８ａを等方的にエッチングする。ＲＦを印加しないことで、イオンが方向性を持たなくなるので、等方的なエッチングが可能になる。処理容器１内の圧力を４０．０Ｐａ以上（３００mTorr以上）に高圧に設定することで、イオンが基板に到達するまでにガス分子に衝突する回数が多くなり、その方向性を失い易くなる。このため、より等方的なエッチングが可能になる。図９（ａ）はＲＦを印加した比較例を示す。ＲＦを印加すると、イオンがシリコン基板４１に引き込まれ、イオンの方向性、すなわち異方性が生まれる。
【００６４】
表２に本発明の第二の実施形態の半導体ウェハのエッチング方法の処理条件（３００ｍｍのウェハＷのエッチングするとき）の一例を示す。
【００６５】
【表２】
0005466756.tif 000003
【００６６】
なお、本発明は、本発明の教示を考慮して様々に修正・変更可能である。具体的な実施形態についても、本発明の範囲から逸脱しない範囲で様々に修正・変更可能である。
【００６７】
例えば本発明の第一の実施形態の半導体ウェハのエッチング方法においては、プラズマを発生させるのにＲＬＳＡエッチング装置を用いているが、ＲＬＳＡエッチング装置の替わりに、平行平板、ＥＣＲ(Electron Cyclotron Resonance)、ＩＣＰ(Inductively Coupled Plasma)のエッチング装置を用いてもよい。
【００６８】
本発明の第二の実施形態の半導体ウェハのエッチング方法においても、プラズマを発生させるのにＲＬＳＡエッチング装置を用いているが、マイクロ波によって処理容器内にプラズマを発生させることができれば、ＲＬＳＡエッチング装置の替わりに、他のエッチング装置を用いてもよい。
【００６９】
また、本発明の第一及び第二の実施形態の半導体ウェハのエッチング方法は、三次元構造のＭＯＳＦＥＴであるＦｉｎＦＥＴのエッチングにも適用することができる。図１０はＦｉｎＦＥＴの製造方法の工程図を示す。図１０（ａ）に示すように、シリコン基板６１にフィン（fin）６２と呼ばれるシリコン領域を形成し、フィン（fin）６２の上面にシリコン酸化膜を形成する。次に、シリコン窒化膜６５をマスクにしてポリシリコンからなるゲート電極６３をエッチングする。ゲート電極６３はフィン６２をまたぐように形成されていて、フィン６２の側面がチャネルとして使用される。ゲート電極６３はゲート絶縁膜６４を介してシリコン基板６１上に形成される。次に、図１０（ｂ）に示すように、シリコン基板６１、フィン６２及びシリコン窒化膜６５の上面に例えばＣＶＤ法によりシリコン窒化膜６６を形成し、これを図１０（ｃ）に示す工程で、エッチバックしてゲート電極６３の側壁にスペーサ４６ａを形成する。
【００７０】
図１０（ｂ）から図１０（ｃ）に至る過程で、シリコン基板及びシリコン酸化膜に対するシリコン窒化膜６６の選択比を高めた異方性エッチングが必要になる。この異方性エッチングに本発明の第一の実施形態の半導体ウェハのエッチング方法を使用することができる。また図５（ｃ）に示す工程で、ゲート電極６３の側壁のスペーサ６６ａを等方的なエッチングが必要になる。この等方的なエッチングに本発明の第二の実施形態の半導体ウェハのエッチング方法を使用することができる。
【００７１】
本発明の第一及び第二の実施形態のエッチング方法はＭＯＳＦＥＴの製造方法だけでなく、各種の半導体デバイスの製造方法に適用できる、
【実施例１】
【００７２】
図１１（ａ）に示す半導体デバイスを用意し、シリコン窒化膜７３をハードマスクにしてポリシリコンからなるゲート電極７２をエッチングした。次に、ＣＶＤ法によりシリコン基板７１、ゲート電極７２及びシリコン窒化膜７３の上面に６ｎｍのシリコン窒化膜７４を形成した。ＲＬＳＡエッチング装置を用いて、図１１（ｂ）に示すように、シリコン窒化膜７４を異方性エッチングした。エッチングの処理条件は以下のとおりである。
【表３】
0005466756.tif 000004
【００７３】
そして、シリコン７１の表面のリセスをＴＥＭ（Transmission Electron Microscope）で観察した。【００７４】
図１２はリセスの観察結果を示す。図１２中のinitialはエッチング前のリセスを示し、ＭＥはメインエッチング後のリセスを示し、５０％ＯＥは５０％オーバーエッチング後のリセスを示す。リセスの欄の括弧書き内の数字はリセスの深さを表し、Δが付された数字はエッチング後のリセスの増加量を表す。５０％オーバーエッチングしてもリセスの増加量は１ｎｍ未満であった。このリセスの値は半導体デバイス上許容される値よりもかなり低かった。５０％オーバーエッチングによりフッティングもなくなった。【００７５】
図１３はＲＦバイアスを１５Ｗから２５Ｗに変化させたときのリセスの観察結果を示す。ＲＦバイアスを１５Ｗにすると、リセスは小さいもののフッティングが生じた。ＲＦバイアスを２５Ｗにすると、フッティングが無くなった。フッティングをなくすためにはＲＦバイアスを２０Ｗ以上にする必要があった。
【実施例２】
【００７６】
ポリシリコン又はシリコン窒化膜を被覆したブランケットウェハを用意し、ＲＬＳＡエッチング装置を用いて各種の条件でエッチングした。エッチングの処理条件は下記の表４のとおりである。
【表４】
0005466756.tif 000005
【００７７】
そして、光学干渉法を用いてこれらのエッチングレートを測定し、エッチングレートのＯ２流量、マイクロ波パワー、ＲＦパワーの依存性を調べた。またＸＰＳを用いてブランケットウェハの表面を解析した。【００７８】
図１４（ａ）はエッチングレートのＯ２流量依存性を示す。Ｏ２流量を２０ｓｃｃｍ以上に増やすと、シリコンに対するシリコン窒化膜の選択比が急激に増加した。このときのＣＨ２Ｆ２ガスに対するＯ２ガスの流量比は、２０／４５＝４／９であった。Ｏ２流量を３０ｓｃｃｍ以上に増やすと、選択比は４０程度の大きな値となった。Ｏ２流量を増やすと、シリコン窒化膜のエッチングレート及びシリコンのエッチングレートが共に低下する。しかし、シリコンのエッチングレートが低下する割合がシリコン窒化膜の割合よりも大きいので、エッチングレートが増加する。一方、図１４（ｂ）に示すように、エッチングレートはマイクロ波パワーの大きさやＲＦパワーの大きさには依存しなかった。【００７９】
Ｏ２流量を増やすとエッチングレートが増加する原因を調べるために、エッチング後のシリコン基板の表面をＸＰＳ分析した。図１５にＸＰＳ分析の結果を示す。分析の結果、Ｏ２流量を２０ｓｃｃｍ以上に増やしたとき、シリコン基板の表面がＳｉＯ２の膜で被覆されていたることがわかった。つまり、シリコンの表面がＳｉＯ２に酸化されながらシリコン窒化膜のエッチングが行われていたことになる。結合エネルギには、Ｓｉ−Ｏ＞Ｓｉ−Ｎ＞Ｓｉ−Ｓｉの関係がある。酸化膜は結合エネルギが大きく、図１６に示すように、エッチングしされにくい。シリコンが同士の結合エネルギが小さいが、酸化することでエッチングしされにくくなり、これが原因で選択比が高くなるものと推測される。【００８０】
従来のエッチング方法において、Ｏ２ガスを添加する目的はＣＦ系の堆積物中の炭素（Ｃ）を除去することにあった。このため、ＣＨxＦyガスに対するＯ２ガスの流量比は１／２０程度に設定されていた。これに対して、本発明のエッチング方法において、ＣＦ系の堆積物を取りきるだけでなく、さらに過剰にＯ２ガスを供給することで、シリコンの表面を酸化させている。【００８１】
図１４（ａ）にも示すように、Ｏ２流量を増やすとシリコン窒化膜のエッチングレートが低下する。シリコン窒化膜も酸化されているのではないかと考え、シリコン窒化膜の表面をＸＰＳ分析した。その結果、図１７（ａ）に示すように、シリコン窒化膜の表面も酸化されているというデータが得られた。図１７（ｂ）に示すように、シリコン窒化膜の表面が酸化されると、シリコン窒化膜のエッチングレートも低下した。しかし、Ｓｉを酸化してＳｉＯ２になるのとは異なり、ＳｉＯＮになっているので、膜の強さが弱く、酸化してもエッチングされ易いと考えられる。【００８２】
次に、イオンエネルギとシリコン表面に形成されるシリコン酸化膜の厚さとの関係を調べた。図１８に示すように、シリコン基板の表面にはＯ２ガスによってシリコン酸化膜が形成される。このシリコン酸化膜はリセスとしてカウントされる。図１９に示すように、Ｖｐｐが高くなればなるほど、言い換えればイオンエネルギが高くなればなるほど、酸化膜の厚さが厚くなった。イオンエネルギを低く抑えればシリコン酸化膜の厚さを薄くできると考えられる。イオンエネルギはＲＦバイアス電圧Ｖｄｃとプラズマポテンシャルとの和と相関関係がある。図２０に示すように、ＲＬＳＡエッチング装置を用いた場合には、平行平板のエッチング装置を用いた場合に比べて、プラズマポテンシャルを小さくできるので、イオンエネルギも小さくできる。このため、酸化膜の厚さを薄くできると考えられる。
【実施例３】
【００８３】
図２１に示すうように、プラズマ源としてＲＬＳＡを用いたＲＬＳＡエッチング装置（出願人のポリエッチャー用ＲＬＳＡエッチング装置）と平行平板を用いたエッチング装置（出願人のポリエッチャー用平行平板型のエッチング装置）とで、プラズマポテンシャルを比較した。【００８４】
図２１（ａ）に示すように、ＲＬＳＡエッチング装置において、マイクロ波電力を増加させても、イオンエネルギは殆ど変化しなかった。【００８５】
図２１（ｂ）に示すように、ＲＬＳＡエッチング装置及び平行平板型のエッチング装置においては、いずれも処理容器１内の圧力を上げれば上げるほどイオンエネルギは低下した。そして、ＲＬＳＡエッチング装置で発生させたプラズマのイオンエネルギは平行平板型のエッチング装置よりも小さかった。圧力３０mTorrでみたとき、ＲＬＳＡエッチング装置は７〜８ｅＶ以下であるのに対して、平行平板型のエッチング装置は４０ｅＶもあった。イオンエネルギは電子温度に比例する。ＲＬＳＡエッチング装置では、低電子温度のプラズマが生成することがわかった。なお、このグラフには、ＲＬＳＡについて圧力が３０mTorr以上のデータが示されていないが、３０mTorr以上にしてもイオンエネルギは減少し続けた。【００８６】
図２１（ｃ）はシリコン基板にＲＦを印加したときのイオンエネルギの変化を示す。イオンエネルギは、プラズマポテンシャルとＲＦバイアスの和と相関関係がある。ＲＦバイアスを印加しない場合、プラズマポテンシャルだけでエッチングできることになる。ＲＬＳＡ装置では、ＲＦバイアスを印加しないと、７〜８ｅＶの低いイオンエネルギでエッチングできる。平行平板型のエッチング装置では、ＲＦバイアスを０にしても８０ｅＶ程度の高いイオンエネルギが残る。【００８７】
処理容器１内の圧力を高圧に設定することでも、図９（ｂ）に示すような等方的なエッチングが可能になる。低圧の場合よりもイオンがサイドウォールスペーサ４８ａやシリコン基板４１に到達するまでにガス分子に衝突し易くなり、その方向性を失うからである。処理容器１内の圧力を高圧にすると、電子温度も低下する。【００８８】
図２２は、サイドウォールスペーサ４８ａのエッチングレート（縦方向のエッチング速度）及びスリミングレート（幅方向のエッチング速度）を示す。スリミングレートはサイドウォールスペーサ４８ａの上部と下部の二か所で測定されている。エッチングレートが高くなると、サイドウォールスペーサ４８ａが縦方向にエッチングされ易くなり、スリミングレートが高くなると、サイドウォールスペーサ４８ａが幅方向にエッチングされ易くなることを示す。【００８９】
エッチングの処理条件（処理ガスの流量、圧力、マイクロ波の高周波電力、ＲＦバイアス）は以下の表５のとおりである。【００９０】
【表５】
0005466756.tif 000006
【００９１】
図２２から圧力が１００mTorrから高くなるにしたがって、サイドウォールスペーサ４８ａの縦方向のエッチングレートが線形に落ちていき、３００mTorr以上になるとスリミングレートに近づいた。【００９２】
これに対して、サイドウォールスペーサ４８ａの幅方向のスリミングレートは圧力が高くなっても殆ど変化しなかった。サイドウォールスペーサ４８ａの下部のスリミングレートは圧力にかかわらずほぼ一定の値になり、サイドウォールスペーサ４８ａの上部のスリミングレートは３００mTorr以上でほぼ一定になった。【００９３】
そして、圧力が３００mTorr以上になると、サイドウォールスペーサ４８ａ縦方向のエッチングレートと幅方向のスリミングレートが近くなるので、等方的なエッチングが可能になることがわかる。【００９４】
なお、低圧仕様のＲＬＳＡでは、圧力を５００mTorr以上にするとプラズマが安定しなくなる。このため、圧力は５００mTorr以下に設定するのが好ましい。【００９５】
図２３は、圧力を変化させたときのシリコン窒化膜、シリコン酸化膜、及びポリシリコンのエッチングレートの変化を示す。使用したガス種、流量、マイクロ波の高周波電力、ＲＦバイアスは表５のとおりである。図中上段がＲＦ＝０（Ｗ）の場合である。エッチングレートはＯ２の流量に依存性があるため、横軸にＯ２の流量をとっている。【００９６】
図２３の上段に示すように、圧力が３５０mTorr以上の高圧になるとき、Ｏ２の流量を最適化するとことで（具体的にはＯ２の流量が１７〜１８ｓｃｃｍ以上で）、シリコン窒化膜のエッチングレートを正の値にすることができる。これに対し、ポリシリコンやシリコン酸化膜のエッチングレートはＯ２の流量によらず、常に０以下の負の値になること、すなわちエッチングされずに堆積膜が形成されることがわかった。すなわち、シリコン酸化膜やポリシリコンに対するシリコン窒化膜のエッチング選択比を無限大にすることができる。したがって、シリコン酸化膜やポリシリコンをエッチングすることなく、シリコン窒化膜のみをエッチングすることができる。また、シリコン窒化膜のエッチングレートは極めて小さい値なので、１０ｎｍ程度と薄いシリコン窒化膜の厚さ制御も可能になる。特に、シリコン窒化膜をエッチングすることなく、シリコン窒化膜を薄く残す場合に有効である。【００９７】
これに対し、圧力が４０mTorrのときは、シリコン酸化膜及びポリシリコンのエッチングレートだけでなく、シリコン窒化膜のエッチングレートも負になってしまう（つまり、堆積性の反応が生ずる）。【００９８】
図２３の下段は、シリコン基板に５０ＷのＲＦを印加したときのシリコン窒化膜、シリコン酸化膜、及びポリシリコンのエッチングレートを示す。処理容器１内が４０mTorrのとき、図２３の上段に示すように、ＲＦバイアスが０のときはシリコン窒化膜がエッチングできない。しかし、図２３の下段に示すように、ＲＦバイアスを５０Ｗ印加するとシリコン窒化膜がエッチングできるようになる。ＲＦバイアスを印加すると、イオンがシリコン窒化膜の表面に留まることなく、シリコン窒化膜の中に入り、シリコン窒化膜と反応すると推定される。【００９９】
これに対し、シリコン酸化膜やポリシリコンのエッチングレートは、ＲＦバイアスを印加しても０に近い。このため、ＲＦバイアスを印加することで、シリコン酸化膜やポリシリコンに対するシリコン窒化膜の選択比を高くできることがわかる。【０１００】
なお、図示されてはいないが、ＲＦバイアスを８０Ｗまで上げても、また圧力を５００mTorrまで上げても、同様にシリコン酸化膜やポリシリコンに対してシリコン窒化膜のエッチングレートを高くすることができた。実際にＲＦを８０Ｗ以下、圧力を５００mTorr以下にしてシリコン窒化膜４８をエッチングしたところ、シリコン酸化膜４５やポリシリコンからなるゲート電極４４に発生するリセスが少なく、サイドウォールスペーサ４８ａの形状も安定化させることができた。【０１０１】
本明細書は、２０１０年３月４日出願の特願２０１０−０４８４５０に基づく。この内容はすべてここに含めておく。
【符号の説明】
【０１０２】
１…処理容器
２…誘電体窓
４…ＲＬＳＡ（マイクロ波導入部）
７…シャワーヘッド（処理ガス供給部）
１０…載置台
１６…バイアス用高周波電源（バイアス印加部）
２３…ガス導入管（処理ガス供給部）
２９…圧力調整弁
３０…真空ポンプ（ガス排気部）
３６…制御部
４１…シリコン基板（基板）
４４…ゲート電極
４５…シリコン酸化膜
４５ａ…オフセットスペーサ
４８…シリコン窒化膜
４９ａ…スペーサ（サイドウォールスペーサ）
【図１】
0005466756.tif 000007
【図２】
0005466756.tif 000008
【図３】
0005466756.tif 000009
【図４】
0005466756.tif 000010
【図５】
0005466756.tif 000011
【図６】
0005466756.tif 000012
【図７】
0005466756.tif 000013
【図８】
0005466756.tif 000014
【図９】
0005466756.tif 000015
【図１０】
0005466756.tif 000016
【図１１】
0005466756.tif 000017
【図１２】
0005466756.tif 000018
【図１３】
0005466756.tif 000019
【図１４】
0005466756.tif 000020
【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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