(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の電極を封止するバルブ部を有する発光管と、
前記発光管からの光を反射する反射面を備えたリフレクタと、
前記発光管を冷却するガスを発生させる送風装置と、
前記バルブ部の一部分である第１の半球部に向けて前記ガスを噴出する際に用いられる第１の流路と、
前記バルブ部の別の一部分であり、前記第１の半球部とは異なる第２の半球部に向けて前記ガスを噴出する際に用いられる第２の流路と、
前記第１の流路と前記第２の流路とを分離して各流路の一部を形成し、前記各流路に流入する前記ガスの量を調整することにより前記各流路での風量を調整し、風量が大きくなるように調整した流路での流路面積を前記流路の噴出口に向けて小さくする可動板と、を有する、光源装置。
【請求項２】
前記第１の流路の、前記可動板と前記第１の流路の噴出口との間の区間に、前記第１の流路の流路面積を前記第１の流路の噴出口に向けて小さくする第１の固定壁と、
前記第２の流路の、前記可動板と前記第２の流路の噴出口との間の区間に、前記第２の流路の流路面積を前記第２の流路の噴出口に向けて小さくする第２の固定壁と、をさらに有する、請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記第１の半球部が前記バルブ部の鉛直方向上側に位置する場合は前記第１の流路での風量を前記第２の流路での風量より大きくし、前記第２の半球部が前記バルブ部の鉛直方向上側に位置する場合は前記第２の流路での風量を前記第１の流路での風量より大きくする、請求項１または２に記載の光源装置。
【請求項４】
前記発光管は、前記一対の電極に電圧を供給する導体を封止し、前記バルブ部から前記リフレクタで反射した光の出射方向に向かって延びた封止部を有し、
前記光源装置は、前記送風装置からの前記ガスを、前記封止部の、前記光の出射方向の先端部に向けて噴射する第３の流路をさらに有し、
前記第３の流路は、前記第１の流路と前記第２の流路とを分離する分離壁により一部が形成されており、
前記第３の流路は、前記第１の流路および前記第２の流路を横切って延びる下流側の第１の区間と、該第１の区間と連結し、前記送風装置からの前記ガスの流入口から前記第１の流路および前記第２の流路に沿って延びた上流側の第２の区間とからなる、請求項１から３のいずれか１項に記載の光源装置。
【請求項５】
前記送風装置からの前記ガスを、前記リフレクタの外面に沿って前記リフレクタの裏側に噴出する更に別の流路を有している、請求項１から４のいずれか１項に記載の光源装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載の光源装置を備えた投写型表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電により発光するバルブ部を冷却する送風装置を備えた光源装置と、その光源装置を備えた投写型表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばプロジェクタのような投写型表示装置に備えられる光源装置には、放電によって発光するバルブ部を有するランプが用いられることがある。この光源装置は、ランプの使用時にバルブ部が発熱するため、バルブ部を冷却する構造を備えたものがある。【０００３】
バルブ部内には、放電して発光する一対の電極が配されている。一対の電極が鉛直方向に角度を有する状態で対向する場合、放電によって発光する基点となる電弧は、重力と反対側に凸状の弧を描くことが知られている。この場合、バルブ部の温度は、鉛直方向下側よりも鉛直方向上側の方が高くなる。ランプの寿命を確保するためには、特に、バルブ部の温度を所望の範囲に保つことが望ましく、バルブ部の冷却精度の向上は重要である。バルブ部の温度が適切な範囲に維持されないと、バルブ部の白濁や黒化により、ランプの寿命が低下したり、輝度低下や明滅（フリッカ）などの発光異常が生じたりすることがある。【０００４】
バルブ部全体を均等に冷却すると、バルブ部の鉛直方向上側と鉛直方向下側とでは、１００〜１５０℃程度の温度差が生じることがある。したがって、バルブ部の鉛直方向上側を適温に冷却した場合にはバルブ部の鉛直方向下側が過冷却となり、バルブ部の鉛直方向下側を適温に冷却した場合にはバルブ部の鉛直方向上側が冷却不足になることがある。【０００５】
プロジェクタのような光源装置は、設置面に対して上方に設置（床置き設置）されたり、設置面に対して下方に設置（天吊り設置）されたりすることがある。このような光源装置では、床置き設置された場合においても、天吊り設置された場合においても、バルブ部の鉛直方向上側が効率よく冷却されることが望まれる。【０００６】
特開２００２−２９８６３９号公報（以下、特許文献１と呼ぶ。）および特開２００６−２４３６３５号公報（以下、特許文献２と呼ぶ。）には、上下反転して使用しても、バルブ部の鉛直方向下側よりも鉛直方向上側を強く冷却することができる光源装置が開示されている。【０００７】
特許文献１および特許文献２に記載の光源装置は、バルブ部を冷却する冷却風を導くダクトを有する。ダクトの内部には風向制御板が設けられている。風向制御板により、バルブ部を冷却する冷却風の方向が切り換えられ、光源装置の上下が反転されたとしても、バルブ部の鉛直方向上側に強い冷却風を供給することができる。【０００８】
特許文献１に記載の光源装置では、ダクトから噴出した冷却風は、リフレクタの内面に対して角度を持った方向に噴出し、リフレクタの内面でバルブ部に向かって曲げられる。冷却風は、進行方向が曲げられたときに周囲に分散し易く、その結果、バルブ部の冷却効率が低下することがある。【０００９】
特許文献２に記載の光源装置では、ダクトの噴出口に冷却風ガイドが設けられている。この冷却風ガイドによって、ダクトから噴出した冷却風の進行方向がバルブ部の方向に向けて約９０度曲げられている。このように、ダクトから噴出したガスの進行方向が大きく曲げられるため、ガスの流れが分散し、冷却効率が低下することがある。【００１０】
特に、バルブ部の鉛直方向上側を冷却するガスの流れが分散し、冷却効率が低下すると、バルブ部の鉛直方向上側が高温になりすぎることがある。【００１１】
また、特許文献２に記載の光源装置では、冷却風を導くダクトが、その流入口付近で約９０度曲げられている。このようにダクトの構造が複雑化すると、ダクトの大型化を招くという課題もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００２−２９８６３９号公報
【特許文献２】特開２００６−２４３６３５号公報
【発明の開示】
【００１３】
本発明の目的は、上述した課題のいずれかを解決する投写型表示装置を提供することにある。
【００１４】
本発明の一態様による光源装置は、発光管、リフレクタと、送風装置とを有する。発光管は、一対の電極を封止するバルブ部を有する。リフレクタは、発光管からの光を反射する反射面を備える。送風装置は、発光管を冷却するガスを発生させる。また、光源装置は、バルブ部の一部分である第１の半球部に向けてガスを噴出する際に用いられる第１の流路と、バルブ部の別の一部分であり、第１の半球部とは異なる第２の半球部に向けてガスを噴出する際に用いられる第２の流路と、第１の流路と第２の流路とを分離して各流路の一部を形成し、各流路に流入するガスの量を調整することにより各流路での風量を調整し、風量が大きくなるように調整した流路での流路面積を流路の噴出口に向けて小さくする可動板と、を有する。
【００１５】
また、本発明の一態様による投写型表示装置は、上記の光源装置を備えている。
【００１６】
上記構成の光源装置によれば、光源装置が設置面に対して上方に設置された場合でも、下方に設置された場合でも、バルブ部の鉛直方向上側に効率よくガスを吹き付けることができる。
【００１７】
本発明の上記及び他の目的、特徴、利点は、本発明を例示した添付の図面を参照する以下の説明から明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】一実施形態における投写型表示装置の概略斜視図である。
【図２】図１に示す光源装置に設けられるランプユニットの概略斜視図である。
【図３】ランプホルダに取り付けられた状態のランプユニットの概略斜視図である。
【図４】ランプホルダ周辺の構成の概略斜視図である。
【図５】ランプホルダ周辺の構成を図４とは反対側から見た概略斜視図である。
【図６】ランプホルダ周辺の構成を、リフレクタで反射した光の出射方向から見た概略平面図である。
【図７】ダクト構造体の一部の構造を示すための概略斜視図である。
【図８】図６の８Ａ−８Ａ線に沿った光源装置の概略断面図である。
【図９】図８の９Ａ−９Ａ線に沿った光源装置の概略断面図である。
【図１０】図８の１０Ａ−１０Ａ線に沿った光源装置の概略断面図である。
【図１１】図６の１１Ａ−１１Ａ線に沿った光源装置の概略断面図である。
【図１２】図１１の１２Ａ−１２Ａ線に沿った光源装置の概略断面図である。
【図１３】可動板およびその周辺の構成の別の一例を示す概略断面図である。
【図１４】図１３の１４Ａ−１４Ａ線に沿った光源装置の概略断面図である。
【符号の説明】
【００１９】
１０    光源装置
１２    送風装置
１４    ランプホルダ
１６    光学エンジン
１８    投写レンズ
２０    ランプユニット
２２    発光管
２３    バルブ部
２４    封止部
２６、２７    導電体
２８    導電ワイヤ
２９    一対の電極
３０    リフレクタ
３４    排出口
３８    ダクト構造体
４０    第１の流路
４２    第１の流路の噴出口
４６    固定壁
４７    バルブ部の第１の半球部
４８    バルブ部の第２の半球部
５０    第２の流路
５２    第２の流路の噴出口
５６    固定壁
５８    分離壁
６０    第３の流路
６２    第３の流路の噴出口
６６    第１の区間
６８    第２の区間
７０    第４の流路
７２    第４の流路の噴出口
８０    第５の流路
８２    第５の流路の噴出口
９０    可動板
９２    回動軸
９４    ストッパ
９６    設置面
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態について説明する。下記の実施形態では、光源装置を備えた投写型表示装置について詳細に説明する。しかし、本発明は、下記実施形態に限定されず、発光管を冷却するガスの流れを発生させる送風装置を備えた光源装置全般に適用できる。
【００２１】
図１は、本発明の一実施形態における投写型表示装置の主要部の構成を示している。ただし、図１には、便宜上、光源装置１０のランプユニットは示されていない。投写型表示装置は、光源装置１０と、光学エンジン１６と、投写レンズ１８とを備えている。本発明の一実施形態に係る光源装置１０は、ランプユニット（不図示）、ランプユニットを保持するランプホルダ１４、および送風装置１２を有する。光源装置１０は、例えば床や天井などの設置面に設置される。
【００２２】
光源装置１０のランプユニットから出射した光は、光学エンジン１６の内部の光学部品によって光学処理された後、投写レンズ１８から装置外に投写される。本実施形態では、投写レンズ１８から投写される光は、ランプユニットから出射した光の方向から概ね９０°曲げられている。ランプユニットは、送風装置１２から送られる、例えば空気のようなガス（冷媒ガス）によって冷却される。
【００２３】
図２はランプユニットの概略斜視図であり、図３は、ランプホルダ１４に保持された状態のランプユニットの概略斜視図である。ランプユニット２０は、発光管２２およびリフレクタ３０を有する。発光管２２としては、例えば超高圧水銀ランプを用いることができる。
【００２４】
発光管２２は、バルブ部２３と封止部２４とを有する。バルブ部２３は、略球状であり、放電により光を生じる一対の電極（図９の符号２９も参照。）を封止している。一対の電極は、光源装置の設置面に垂直な面を挟んで対向している。封止部２４は、バルブ部２３から両側に棒状に延在している。なお、図２においては、一方の封止部２４のみが示されており、他方の封止部は、リフレクタ３０の裏側に向けて延びているため示されていない。
【００２５】
封止部２４は、バルブ部２３に設けられた一対の電極２９に電力を供給する導電体２６、２７を封止している。バルブ部２３および封止部２４を含む発光管２２は、例えばガラス管からなり、金属からなる導電体２６、２７を気密に封止している。導電体２６、２７の先端部は、発光管２２の両先端部から突き出ており、外部からバルブ部２３内の一対の電極２９に電力を供給する。導電体２６の先端部は、導電ワイヤ２８に接続されている。
【００２６】
発光管２２は、例えば無機材料を主成分とした接着剤により、リフレクタ３０に保持されている。リフレクタ３０は、バルブ部２３からの光を反射する反射面を備え、バルブ部２３からの光を出射する凹面形状である。リフレクタ３０は、バルブ部２３が反射面の中心に位置するように発光管２２を収容する。リフレクタ３０の反射面で反射した光は、概ね、一方向Ｔに向けて出射される。発光管２２の一方の封止部２４は、リフレクタ３０で反射された光が出射される方向Ｔに向かって延在している。
【００２７】
一例として、発光管２２は全長が５０ｍｍであり、ほぼ中央にバルブ部２３が位置している。そして、発光管２２の一先端部、つまり封止部２４の先端部から５ｍｍの範囲に、導電体２６と導電ワイヤ２８との接続部（以下、金属接合部と呼ぶ。）や、発光管を気密に封着した部分（以下、気密封着部と呼ぶ。）が位置している。
【００２８】
光源装置１０が、設置面に対して上方および下方に設置（床置き設置および天吊り設置）されたとき、バルブ部２３内の一対の電極２９は水平面内で対向する。この場合、バルブ部２３内で、放電によって発光する基点となる電弧は、重力と反対側に凸状の弧を描く。そのため、バルブ部２３の温度は、鉛直方向下側よりも鉛直方向上側の方が高くなることが知られている。バルブ部２３の温度が、所定の温度範囲より高いと、バルブ部２３内に白濁が生じ、発光管２２の寿命が低下することがある。バルブ部２３の温度が所定の温度範囲より低いと、輝度低下やフリッカなどの発光異常が生じ、バルブ部２３が黒化して、発光管２２の寿命が低下することがある。
【００２９】
また、発光管２２の先端部に位置する気密封止部や金属接合部などの温度が適温よりも高いと、気密封止部や金属接合部などが変形したり切断したりすることがある。
【００３０】
発光管２２の中央付近に位置するバルブ部２３の適温は９００℃程度であり、発光管２２の先端付近に位置する気密封止部や金属接合部の適温は３００〜３５０℃以下である。したがって、バルブ部２３と発光管２２の先端部とは、異なる強さで冷却されることが好ましい。
【００３１】
図４は、ランプホルダ周辺の構成の概略斜視図である。図５はランプホルダ周辺の構成を図４とは反対側から見た概略斜視図であり、図６はランプホルダ周辺の構成を、リフレクタ３０で反射した光の出射方向Ｔから見た概略平面図である。送風装置１２は、発光管２２を冷却するガスの流れを発生させる。光源装置１０は、送風装置１２からのガスを発光管２２に導くダクト構造体３８を有する。送風装置１２は、ダクト構造体３８に対して、リフレクタで反射した光の出射方向Ｔの下流側に設置されている。ダクト構造体３８は、ランプホルダ１４に隣接して設けられており、バルブ部２３からの光を遮らない位置に配されている。
【００３２】
ダクト構造体３８には、少なくとも、主に発光管２２のバルブ部２３を冷却するガスを噴射する際に用いられる第１の流路４０および第２の流路５０が形成されている。さらに、ダクト構造体３８には、発光管２２の一先端部に位置する金属接合部および気密封止部を冷却するガスを噴射する第３の流路６０が形成されていることが好ましい。さらに、ダクト構造体３８には、リフレクタ３０の外面に沿ってリフレクタ３０の裏側にガスを噴出する第４の流路７０および第５の流路８０が設けられることが好ましい。
【００３３】
送風装置１２からのガスは、いずれかの流路４０、５０、６０を通過して、発光管２２のいずれかの部分に達する。それから、ガスは、排出口３４を介して光源装置１０の外部に排気される。
【００３４】
図７は、ダクト構造体３８の一部の構造を示す概略斜視図である。なお、図７では、ダクト構造体３８に形成された第１の流路４０および第２の流路５０のみが示されている。
【００３５】
図８は、図６の８Ａ−８Ａ線に沿った光源装置の概略断面図であり、第１の流路４０から噴出したガスの流れを示している。図９は、図８の９Ａ−９Ａ線に沿った光源装置の概略断面図である。図１０は、図８の１０Ａ−１０Ａ線に沿った光源装置の概略断面図であり、第１の流路４０および第２の流路５０から噴出したガスの流れを示している。なお、これらの図では、水平面に平行な設置面９６の上方に光源装置１０が置かれている場合を示している。
【００３６】
第１の流路４０は、送風装置１２からのガスを、設置面９６から遠くに位置する第１の半球部４７に向けて、リフレクタ３０の内面に沿って噴出する際に用いられる。第２の流路５０は、送風装置１２からのガスを、設置面９６の近くに位置する第２の半球部４８に向けて、リフレクタ３０の内面に沿って噴出する際に用いられる。
【００３７】
本明細書において、「第１の半球部４７」とは、光源装置１０を設置面９６の上方に設置したときに鉛直方向上側に位置する、バルブ部の部分を言う。また、「第２の半球部４８」とは、光源装置１０を設置面９６の上方に設置したときに鉛直方向下側に位置する、バルブ部の部分を言う。したがって、光源装置１０が設置面の下方に逆さまに設置された場合、第１の半球部４７は鉛直方向下側に位置し、第２の半球部４８は鉛直方向上側に位置する。
【００３８】
光源装置１０は、第１の流路４０と第２の流路５０とを分離して第１および第２の流路４０、５０の一部を形成する可動板９０を有する。可動板９０は、各流路４０、５０に流入するガスの量を調整することにより各流路４０、５０での風量の割合を調整する。可動板９０は、風量が大きくなるように調整した流路４０または５０での流路面積をガスの噴射方向に向けて徐々に狭める。
【００３９】
また、本実施形態では、第１の流路４０および第２の流路５０の、可動板９０よりも下流側の区間には、各流路４０、５０の流路面積を下流に向かうにつれて狭くする固定壁４６、５６がそれぞれ設けられている。
【００４０】
送風装置１２からのガスは、可動板９０によって、バルブ部の第１の半球部４７を冷却するガスと第２の半球部４８を冷却するガスとに分離される。第１の流路４０の噴出口４２から噴射されたガスは、リフレクタ３０の内面に沿って噴出し、バルブ部の第１の半球部４７に達して、バルブ部の第１の半球部４７を冷却する。バルブ部の第１の半球部４７を冷却したガスは、リフレクタ３０の内面に沿って流れ、噴出口４２とは反対側に設けられた排出口３４を通って光源装置１０の外に排気される。
【００４１】
なお、第２の流路５０の噴出口５２から噴射されたガスの流れは、発光管２２中心を通る水平面に対して、第１の流路４０から噴射されたガスの流れと対称になる。
【００４２】
可動板９０によって、光源装置１０が床置き設置されていても、逆さまに天吊り設置されていても、バルブ部の鉛直方向上側Ｕに位置する半球部を強く冷却することができる。つまり、第１の半球部４７が鉛直方向上側に位置していれば、第１の流路４０の風量を強くし、第２の半球部４８が鉛直方向上側に位置していれば、第２の流路５０の風量を強くすることができる。
【００４３】
可動板９０は、風量が大きくなるように調整した流路４０または５０での流路面積をガスの流れる方向に向けて徐々に狭めるため、風量が大きくなるように調整した流路から噴射されたガスの大部分が、強くかつ真っ直ぐ流動する。そして、風量が大きくなるように調整した流路から噴射されたガスは、リフレクタ３０の内面に沿ってバルブ部２３までほぼ最短距離で流れるため、ガス流の淀みが抑制され、ガスの流れの損失が小さくなる。特に、バルブ部２３の、鉛直方向上側に位置する半球部に向けて噴射するガスの風量を大きくすることで、バルブ部２３の鉛直方向上側の半球部を効率良く冷却することができる。このように、バルブ部２３全体を適温まで冷却することで、バルブ部２３の短寿命化や発光異常を防ぐことができる。
【００４４】
具体的には、ダクト構造体３８は、送風装置１２からのガスを第１の流路４０と第２の流路５０との間を仕切る分離壁５８を有している（図５および図６も参照。）。可動板９０は、この分離壁５８からガスの流れの上流側に向けて延びている。可動板９０および分離壁５８は、概ねガスの噴出方向に延在しており、これにより、第１の流路４０および第２の流路５０がガスの噴出方向に沿って延在する。
【００４５】
上記のように、風量の大きい方の流路４０または５０の噴出口付近は、ガスを噴出する方向に延在し、かつガス噴出方向の下流側に向かうにつれて流路面積が小さくなっていることが好ましい。これによりガスの分散がより抑制されガスの流れの損失が小さくなる。
【００４６】
本実施形態では、可動板９０は、回動軸９２を中心に回動可能に構成されている。回転軸９２は、光源装置１０が水平な設置面９６に設置されたときに、設置面９６に実質的に平行に構成されている。可動板９０は、重力によって回動軸９２を中心に回動する。これにより、光源装置が床置き設置された場合にも、天吊設置された場合にも、バルブ部２３の鉛直方向上側の半球部に向けてガスを噴射する流路４０または５０を通過するガスの風量を大きくするように、可動板９０が回動する。
【００４７】
図９および図１０では、光源装置１０が設置面９６に対して上方に設置された場合について示しているが、設置面９６に対して下方に逆さまに設置された場合、可動板９０は、第２の流路５０を通過するガスの風量を大きくする。これにより、第２の半球部４８が、鉛直方向上方Ｕに位置したときであっても、バルブ部２３を効果的に冷却することが出来る。
【００４８】
本実施形態では、可動板９０の回動範囲はストッパ９４によって調整されており、他方の流路（図９の場合では第２の流路５０）にも一部のガスが流れるようになっている。このように、第１の流路４０を通過するガスの風量と第２の流路５０を通過するガスの風量との配分を調節することができる。これにより、バルブ部２３に生じる温度差が低減され、バルブ部２３全体を適切な温度に冷却することができる。
【００４９】
本実施形態において、送風装置１２からのガスの進行方向は、第１の流路４０および第２の流路５０の、可動板９０よりも上流側で曲げられていない。これにより、流路内の圧力の上昇が抑えられるため、可動板９０が動作しやすいという利点もある。
【００５０】
図１１は、図６の１１Ａ−１１Ａ線に沿った断面図であり、第３の流路６０の構成を示している。図１２は、図１１の１２Ａ−１２Ａ線に沿った概略断面図であり、第３の流路６０の噴出口６２から噴射されたガスの流れを示している。第３の流路６０の噴出口６２は、第１の流路の噴出口４２と第２の流路の噴出口５２との間に位置していることが好ましい。第３の流路６０は、第１の流路４０と第２の流路５０とを分離する分離壁５８の裏側に位置し、第１の流路４０および第２の流路５０を横切って延びた第１の区間６６を有する。分離壁の裏側の面５８ａは、第３の流路６０の少なくとも一部を形成している。これにより、ダクト構造体３８の構成が簡素化し、光源装置１０の小型化および軽量化を図ることができる。
【００５１】
より具体的には、第３の流路６０は、第１の流路４０および第２の流路５０を横切って延びる下流側の第１の区間６６と、該第１の区間６６と連結し、第１の流路４０および第２の流路５０に沿って延びた上流側の第２の区間６８とから成る。これにより、第１および第２の流路４０、５０に流入するガスの流れを生じさせる送風装置１２と同じ装置から、第３の流路６０内にガスが流入する。
【００５２】
また、第３の流路６０の第１の区間６６が、第１の流路４０および第２の流路５０を横切って、ガスの噴出方向に延びているため、第３の流路６０から噴出したガスの流れの分散が抑制される。これにより、第３の流路６０を通ったガス流の利用効率は高くなり、発光管２２の先端部を効率よく冷却することができる。
【００５３】
第３の流路６０から噴出したガスの大部分は、発光管２２の一先端部、導電体２６付近に吹きつけられる。これにより、発光管２２の一先端に位置する気密封止部や溶接部が冷却される。発光管２２の先端部を冷却したガスは、排出口３４から光源装置１０の外部に排出される。
【００５４】
また、第１の流路４０および第２の流路５０に隣接する第４の流路７０および第５の流路８０の噴出口７２、８２から噴出したガスは、リフレクタ３０の外面（裏面）に沿って流れ、リフレクタ３０の裏側にあるケーブルやコネクタ（図示していない）などを冷却する（図８参照。）。このガスは、リフレクタ３０の周囲に配された金属部品やプラスチック部品なども冷却する。
【００５５】
本実施形態では、第４および第５の流路７０、８０は、第３の流路６０の第２の区間６８を挟んで両側に設けられている。また、第４および第５の流路７０、８０は、発光管２２に対して第１および第２の流路４０、５０よりも外側に位置している。
【００５６】
図１３は、可動板９０およびその周辺の構成の別の一例を示す概略断面図である。図１４は、図１３の１４Ａ−１４Ａ線に沿った光源装置の概略断面図である。
【００５７】
図１３および図１４に示す例では、可動板９０は、第１の流路４０または第２の流路５０の内壁に接触するまで回動する。なお、光源装置１０のその他の構成は、上述した例と同様であるため、その説明を省略する。可動板９０が、流路４０または５０の内壁に接触すると、第１の流路４０と第２の流路５０のうちの一方の流路のみにガスが流入し、他方の流路は閉じられる。バルブ部２３の、鉛直方向下側の半球部を冷却する必要がなければ、本例に示す光源装置であっても十分である。第１の流路４０と第２の流路５０の両方にガスを流すと、バルブ部２３の、鉛直方向下側の半球部が過冷却になる場合がある。このような場合には、本例に示す光源装置が有効である。
【００５８】
以上、本発明の望ましい実施形態について提示し、詳細に説明したが、添付の特許請求の範囲の趣旨または範囲から逸脱しない限り、さまざまな変更及び修正が可能であることを理解されたい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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