(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の基板上に、複数の空間を隔てる隔壁を形成する工程と、
該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体を充填する工程と、
粘着剤が形成されている第二の基板の該粘着剤が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板と前記第二の基板を圧着する工程を有し、
前記第一の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であり、
前記第一の基板と圧着されている前記第二の基板を剥離する工程と、
該第二の基板が剥離された第一の基板と、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板を接着する工程をさらに有することを特徴とする電気泳動表示素子の製造方法。
【請求項２】
第一の基板上に、複数の空間を隔てる隔壁を形成する工程と、
該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体を充填する工程と、
粘着剤が形成されている第二の基板の該粘着剤上に、前記液体に不溶であるバリア層を形成する工程と、
該バリア層が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板と前記第二の基板を圧着する工程を有することを特徴とする電気泳動表示素子の製造方法。
【請求項３】
前記第一の基板は、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板であり、
前記第二の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であることを特徴とする請求項２に記載の電気泳動表示素子の製造方法。
【請求項４】
前記第一の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であり、
前記第一の基板と圧着されている前記第二の基板を剥離する工程と、
該第二の基板が剥離された第一の基板と、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板を接着する工程をさらに有することを特徴とする請求項２に記載の電気泳動表示素子の製造方法。
【請求項５】
前記粘着剤は、熱硬化型又は紫外線硬化型の粘着剤であり、
前記第一の基板と圧着されている前記第二の基板に形成されている前記粘着剤を硬化する工程をさらに有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の電気泳動表示素子の製造方法。
【請求項６】
第一の基板上に、複数の空間を隔てる隔壁が形成されており、
該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体が充填されており、
粘着剤が形成されている第二の基板の該粘着剤が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板及び前記第二の基板が圧着された後、前記第二の基板が剥離されており、
該第二の基板が剥離された第一の基板と、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板が接着されており、
前記第一の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であることを特徴とする電気泳動表示素子。
【請求項７】
第一の基板上に、複数の空間を隔てる隔壁が形成されており、
該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体が充填されており、
粘着剤及び前記液体に不溶であるバリア層が順次積層されている第二の基板の該バリア層が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板及び前記第二の基板が圧着されていることを特徴とする電気泳動表示素子。
【請求項８】
前記第一の基板は、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板であり、
前記第二の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であることを特徴とする請求項７に記載の電気泳動表示素子。
【請求項９】
第一の基板上に、複数の空間を隔てる隔壁が形成されており、
該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体が充填されており、
粘着剤及び前記液体に不溶であるバリア層が順次積層されている第二の基板の該バリア層が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板及び前記第二の基板が圧着された後、前記第二の基板が剥離されており、
該第二の基板が剥離された第一の基板と、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板が接着されており、
前記第一の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であることを特徴とする電気泳動表示素子。
【請求項１０】
前記粘着剤は、熱硬化型又は紫外線硬化型の粘着剤であり、
前記第一の基板と圧着されている前記第二の基板に形成されている前記粘着剤が硬化されていることを特徴とする請求項６乃至９のいずれか一項に記載の電気泳動表示素子。
【請求項１１】
請求項６乃至１０のいずれか一項に記載の電気泳動表示素子を有することを特徴とする画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動表示素子の製造方法、電気泳動表示素子及び画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報機器の発達に伴い、書類作成等の情報処理をコンピュータ上で行うようになり、表示用端末上で文章を読む機会が大幅に増えている。
【０００３】
このような状況において、書き換えが可能であると共に、読むのに適した、ペーパーライクな表示媒体へのニーズが高まっている。中でも、電気泳動表示素子を有する表示媒体は、表示品質、表示動作時の消費電力の点で優れている。
【０００４】
特許文献１には、基板と、基板上に設けられ上端部に接合膜を有する隔壁と、隔壁の上端部側に設けられた封止膜とにより閉じ込められた空間に、少なくとも分散媒と帯電泳動粒子からなる分散液を配置した表示素子の製造方法が開示されている。このとき、表示素子の製造方法は、隔壁の少なくとも上端部に重合性化合物からなる接合膜前駆体を配置する工程、隔壁間に充填された分散液の露出面と隔壁の少なくとも上端部の接合膜前駆体の面に、重合性化合物からなる封止膜前駆体を配置する工程、接合膜前駆体と封止膜前駆体とが接触した状態で重合性化合物の重合処理を行って接合膜と封止膜を一体に形成する工程を有する。
【０００５】
しかしながら、分散媒と帯電泳動粒子からなる分散液が配置される空間に封止膜が延伸するという問題がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記従来技術が有する問題に鑑み、帯電粒子を含む液体が充填されている空間への封止膜の延伸を抑制することが可能な電気泳動表示素子の製造方法、該電気泳動表示素子の製造方法を用いて製造されている電気泳動表示素子及び該電気泳動表示素子を有する画像表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明は、電気泳動表示素子の製造方法において、第一の基板上に、複数の空間を隔てる隔壁を形成する工程と、該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体を充填する工程と、粘着剤が形成されている第二の基板の該粘着剤が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板と前記第二の基板を圧着する工程を有し、前記第一の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であり、前記第一の基板と圧着されている前記第二の基板を剥離する工程と、該第二の基板が剥離された第一の基板と、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板を接着する工程をさらに有することを特徴とする。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、電気泳動表示素子の製造方法において、第一の基板上に、複数の空間を隔てる隔壁を形成する工程と、該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体を充填する工程と、粘着剤が形成されている第二の基板の該粘着剤上に、前記液体に不溶であるバリア層を形成する工程と、該バリア層が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板と前記第二の基板を圧着する工程を有することを特徴とする。
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の電気泳動表示素子の製造方法において、前記第一の基板は、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板であり、前記第二の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であることを特徴とする。
請求項４に記載の発明は、請求項２に記載の電気泳動表示素子の製造方法において、前記第一の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であり、前記第一の基板と圧着されている前記第二の基板を剥離する工程と、該第二の基板が剥離された第一の基板と、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板を接着する工程をさらに有することを特徴とする。
【０００９】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の電気泳動表示素子の製造方法において、前記粘着剤は、熱硬化型又は紫外線硬化型の粘着剤であり、前記第一の基板と圧着されている前記第二の基板に形成されている前記粘着剤を硬化する工程をさらに有することを特徴とする。
【００１２】
請求項６に記載の発明は、電気泳動表示素子において、第一の基板上に、複数の空間を隔てる隔壁が形成されており、該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体が充填されており、粘着剤が形成されている第二の基板の該粘着剤が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板及び前記第二の基板が圧着された後、前記第二の基板が剥離されており、該第二の基板が剥離された第一の基板と、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板が接着されており、前記第一の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であることを特徴とする。
【００１３】
請求項７に記載の発明は、電気泳動表示素子において、第一の基板上に、複数の空間を隔てる隔壁が形成されており、該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体が充填されており、粘着剤及び前記液体に不溶であるバリア層が順次積層されている第二の基板の該バリア層が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板及び前記第二の基板が圧着されていることを特徴とする。
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の電気泳動表示素子において、前記第一の基板は、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板であり、前記第二の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であることを特徴とする。
請求項９に記載の発明は、電気泳動表示素子において、第一の基板上に、複数の空間を隔てる隔壁が形成されており、該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体が充填されており、粘着剤及び前記液体に不溶であるバリア層が順次積層されている第二の基板の該バリア層が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板及び前記第二の基板が圧着された後、前記第二の基板が剥離されており、該第二の基板が剥離された第一の基板と、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板が接着されており、前記第一の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であることを特徴とする。
【００１４】
請求項１０に記載の発明は、請求項６乃至９のいずれか一項に記載の電気泳動表示素子において、前記粘着剤は、熱硬化型又は紫外線硬化型の粘着剤であり、前記第一の基板と圧着されている前記第二の基板に形成されている前記粘着剤が硬化されていることを特徴とする。
【００１７】
請求項１１に記載の発明は、画像表示装置において、請求項６乃至１０のいずれか一項に記載の電気泳動表示素子を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、帯電粒子を含む液体が充填されている空間への封止膜の延伸を抑制することが可能な電気泳動表示素子の製造方法、該電気泳動表示素子の製造方法を用いて製造されている電気泳動表示素子及び該電気泳動表示素子を有する画像表示装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の電気泳動表示素子の製造方法の一例を示す概念図である。
【図２】従来の電気泳動表示素子を示す概念図である。
【図３】本発明の電気泳動表示素子の製造方法の他の例を示す概念図である。
【図４】本発明の電気泳動表示素子の製造方法の一例を示す断面図である。
【図５】図４のＴＦＴアレイが形成されている基板を示す断面図である。
【図６】本発明の電気泳動表示素子の製造方法の他の例を示す断面図である。
【図７】本発明の画像表示装置の一例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
次に、本発明を実施するための形態を図面と共に説明する。
【００２１】
図１に、本発明の電気泳動表示素子の製造方法の一例を示す。まず、基板１１上に、複数の空間を隔てる隔壁１２を形成する（図１（ａ）参照）。次に、スキージＳを用いて、隔壁１２により隔てられた複数の空間に電気泳動液１３を充填する（図１（ｂ）参照）。さらに、粘着剤１４が形成されている基板１５の粘着剤１４が隔壁１２と接触するように基板１１と基板１５を配置し、ローラーＲを用いて、圧着する（図１（ｃ）参照）。その結果、電気泳動液１３が充填されている空間が封止され、電気泳動表示素子１０Ａが得られる（図１（ｄ）参照）。これにより、電気泳動液１３が充填されている空間への粘着剤１４の延伸を抑制することができる。
【００２２】
一方、粘着剤１４の代わりに、接着剤１４'を用いて、図１と同様にして圧着すると、接着剤１４'は流動性があるため、電気泳動液１３が充填されている空間に接着剤１４'が延伸する（図２参照）。
【００２３】
図３に、本発明の電気泳動表示素子の製造方法の他の例を示す。まず、基板１１上に、複数の空間を隔てる隔壁１２を形成する（図３（ａ）参照）。次に、スキージＳを用いて、隔壁１２により隔てられた複数の空間に電気泳動液１３を充填する（図３（ｂ）参照）。一方、粘着剤１４が形成されている基板１５の粘着剤１４上に、電気泳動液１３に不溶であるバリア層１６を形成する（図３（ｃ）参照）。さらに、粘着剤１４及びバリア層１６が順次積層されている基板１５のバリア層１６が隔壁１２と接触するように基板１１と基板１５を配置し、ローラーＲを用いて、圧着する（図３（ｄ）参照）。その結果、電気泳動液１３が充填されている空間が封止され、電気泳動表示素子１０Ｂが得られる（図３（ｅ）参照）。これにより、電気泳動液１３が充填されている空間への粘着剤１４の延伸を抑制することができる。この場合、粘着剤１４の電気泳動液１３への溶出を抑制することができる。その結果、電気泳動液１３に可溶な粘着剤１４を用いることができる。
【００２４】
隔壁１２を形成する方法としては、特に限定されないが、フォトレジストを用いる方法等が挙げられる。
【００２５】
電気泳動液１３としては、帯電粒子を含む液体であれば、特に限定されない。
【００２６】
粘着剤１４としては、基板１１と基板１５を圧着することが可能であれば、特に限定されないが、熱硬化型又は紫外線硬化型の粘着剤が好ましい。
【００２７】
粘着剤１４として、熱硬化型又は紫外線硬化型の粘着剤を用いる場合は、基板１１と基板１５を圧着した後、粘着剤１４を硬化することにより、粘着剤１４の電気泳動液１３への溶出を抑制することができる。
【００２８】
バリア層１６としては、電気泳動液１３に不溶であれば、特に限定されない。
【００２９】
図４に、本発明の電気泳動表示素子の製造方法の一例を示す。図４の電気泳動表示素子の製造方法は、図１の電気泳動表示素子の製造方法において、基板１１及び基板１５として、それぞれＴＦＴアレイ１１ａが形成されている基板１１ｂ及び透明導電膜１５ａが形成されている透明フィルム１５ｂを用いる構成である。
【００３０】
図５に、ＴＦＴアレイ１１ａが形成されている基板１１ｂを示す。ＴＦＴアレイ１１ａは、ゲート電極１、ゲート絶縁膜２、ソース電極３Ａ及びドレイン電極３Ｂ、半導体４、コンタクトホール５ａが形成されている絶縁膜５、コンタクトホール５ａを介して、ドレイン電極３Ｂから引き出されている駆動電極６、駆動電極６上に形成されている保護膜７を有する。
【００３１】
なお、図４において、ＴＦＴアレイ１１ａにおける各ＴＦＴは、各電気泳動液１３が充填されている空間に対応しているが、複数の電気泳動液１３が充填されている空間に対応していてもよい。このとき、ＴＦＴアレイ１１ａにおける各ＴＦＴの境界上に、隔壁１２が配置されていてもよいし、電気泳動液１３が充填されている空間が配置されていてもよい。
【００３２】
図６に、本発明の電気泳動表示素子の製造方法の他の例を示す。まず、基板１５上に、複数の空間を隔てる隔壁１２を形成する（図６（ａ）参照）。次に、スキージＳを用いて、隔壁１２により隔てられた複数の空間に電気泳動液１３を充填する（図６（ｂ）参照）。さらに、熱硬化型の粘着剤１４が形成されている剥離シート１７の粘着剤１４が隔壁１２と接触するように基板１１と剥離シート１７を配置し、ローラーＲを用いて、圧着する（図６（ｃ）参照）。次に、ヒーターＨを用いて、電気泳動液１３が充填されている空間が封止された基板１５を加熱し、粘着剤１４を硬化する（図６（ｄ）参照）。さらに、粘着剤１４が硬化した基板１５から剥離シート１７を剥離する（図６（ｅ）参照）。次に、接着剤１８を用いて、剥離シート１７が剥離された基板１５と、ＴＦＴアレイ１１ａが形成されている基板１１ｂを接着し、電気泳動表示素子１０Ｃが得られる（図６（ｆ）参照）。これにより、製造時におけるＴＦＴアレイ１１ａが形成されている基板１１ｂの破損を抑制することができる。
【００３３】
図７に、本発明の画像表示装置の一例を示す。画像表示装置１００は、電気泳動表示素子１０、電気泳動表示素子１０に画像情報を入力する情報入力部２０、筺体３０、駆動回路（不図示）、演算回路（不図示）、内部メモリ（不図示）、電気泳動表示素子１０及び情報入力部２０に電力を供給する電力供給部（不図示）を有する。画像表示装置１００は、電気泳動表示素子１０の指定のピクセルを発色させることにより、画像を表示することができる。電力供給部としては、電池等の内部電力を用いてもよいし、外部の電源から受電するコンセント等の受電装置を用いてもよい。
【実施例】
【００３４】
以下、本発明の実施例を説明するが、本発明は、実施例により限定されない。
【００３５】
［比較例１］
ＴＦＴアレイが形成されている基板のＴＦＴアレイ上に、一辺が１７５μｍ、深さが６０μｍの正四角柱状のセルが２００μｍピッチで正方格子状に形成されるように、フォトレジストＳＵ８（日本化薬社製）を用いて隔壁を形成した。次に、スキージを用いて、セル内に電気泳動液を充填した。電気泳動液は、正に帯電しているカーボン粒子、負に帯電している酸化チタン粒子、電荷制御剤Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ１７０００（アビシア社製）及び非極性溶媒ＩｓｏｐａｒＧ（エクソンモービル社製）から構成される。
【００３６】
ＩＴＯ膜が形成されている透明ＰＥＴフィルムのＩＴＯ膜上に、紫外線硬化型接着剤３０４２Ｃ（スリーボンド社製）を、厚さが５〜１０μｍ程度になるように塗布した。
【００３７】
紫外線硬化型接着剤が隔壁と接触するように、セル内に電気泳動液が充填された基板上に、紫外線硬化型接着剤が塗布された透明ＰＥＴフィルムを配置し、ローラーを用いて圧着した。次に、１５００〜２０００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射し、電気泳動表示素子を得た。
【００３８】
その結果、セルの隅に接着剤が延伸し、セルの中心部分に電気泳動粒子が集積したため、コントラストが低下した。
【００３９】
［参考例１］
ＴＦＴアレイが形成されている基板のＴＦＴアレイ上に、一辺が１７５μｍ、深さが６０μｍの正四角柱状のセルが２００μｍピッチで正方格子状に形成されるように、フォトレジストＳＵ８（日本化薬社製）を用いて隔壁を形成した。次に、スキージを用いて、セル内に電気泳動液を充填した。電気泳動液は、正に帯電しているカーボン粒子、負に帯電している酸化チタン粒子、電荷制御剤Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ１７０００（アビシア社製）及び非極性溶媒ＩｓｏｐａｒＧ（エクソンモービル社製）から構成される。
【００４０】
ＩＴＯ膜が形成されている透明ＰＥＴフィルムのＩＴＯ膜上に、アクリルエマルジョン粘着剤Ｏｒｉｂａｉｎ  ＢＰＷ（東洋インキ製造社製）を、厚さが５〜１０μｍ程度になるように塗布した。
【００４１】
アクリルエマルジョン粘着剤が隔壁と接触するように、セル内に電気泳動液が充填された基板上に、アクリルエマルジョン粘着剤が塗布された透明ＰＥＴフィルムを配置し、ローラーを用いて圧着した。次に、シール剤を用いて、透明ＰＥＴフィルムの周辺部を基板と接着させ、電気泳動表示素子を得た。
【００４２】
その結果、セル内に粘着剤は延伸せず、セル内で均一に電気泳動粒子が移動するため、コントラストは良好であった。このとき、Ｏｒｉｂａｉｎ  ＢＰＷ（東洋インキ製造社製）は、ＩｓｏｐａｒＧ（エクソンモービル社製）に不溶である。
【００４３】
［実施例２］
ＴＦＴアレイが形成されている基板のＴＦＴアレイ上に、一辺が１７５μｍ、深さが６０μｍの正四角柱状のセルが２００μｍピッチで正方格子状に形成されるように、フォトレジストＳＵ８（日本化薬社製）を用いて隔壁を形成した。次に、スキージを用いて、セル内に電気泳動液を充填した。電気泳動液は、正に帯電しているカーボン粒子、負に帯電している酸化チタン粒子、電荷制御剤Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ１７０００（アビシア社製）及び非極性溶媒ＩｓｏｐａｒＧ（エクソンモービル社製）から構成される。
【００４４】
ＩＴＯ膜が形成されている透明ＰＥＴフィルムのＩＴＯ膜上に、アクリル系粘着シートＬＵＣＩＡＣＳ  ＣＳ９６２１Ｔ（日東電工社製）を貼付した。次に、アクリル系粘着シート上に、バリア層として、厚さが０．１〜１μｍ程度のＩＴＯ膜を形成した。
【００４５】
バリア層が隔壁と接触するように、セル内に電気泳動液が充填された基板上に、バリア層が形成された透明ＰＥＴフィルムを配置し、ローラーを用いて圧着した。次に、シール剤を用いて、透明ＰＥＴフィルムの周辺部を基板と接着させ、電気泳動表示素子を得た。
【００４６】
その結果、セル内に粘着剤は延伸せず、セル内で均一に電気泳動粒子が移動するため、コントラストは良好であった。このとき、ＬＵＣＩＡＣＳ  ＣＳ９６２１Ｔ（日東電工社製）は、ＩｓｏｐａｒＧ（エクソンモービル社製）に可溶であるが、ＩＴＯは、ＩｓｏｐａｒＧ（エクソンモービル社製）に不溶である。
【００４７】
［実施例３］
ＴＦＴアレイが形成されている基板のＴＦＴアレイ上に、一辺が１７５μｍ、深さが６０μｍの正四角柱状のセルが２００μｍピッチで正方格子状に形成されるように、フォトレジストＳＵ８（日本化薬社製）を用いて隔壁を形成した。次に、スキージを用いて、セル内に電気泳動液を充填した。電気泳動液は、正に帯電しているカーボン粒子、負に帯電している酸化チタン粒子、電荷制御剤Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ１７０００（アビシア社製）及び非極性溶媒ＩｓｏｐａｒＧ（エクソンモービル社製）から構成される。
【００４８】
ＩＴＯ膜が形成されている透明ＰＥＴフィルムのＩＴＯ膜上に、アクリル系粘着シートＬＵＣＩＡＣＳ  ＣＳ９６２１Ｔ（日東電工社製）を貼付した。次に、アクリル系粘着シート上に、紫外線硬化性樹脂ＰＥＧ４００ＤＡ（ダイセルサイテック社製）を、厚さが１〜５μｍ程度になるように塗布した後、１５００〜２０００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射し、バリア層を形成した。
【００４９】
バリア層が隔壁と接触するように、セル内に電気泳動液が充填された基板上に、バリア層が形成された透明ＰＥＴフィルムを配置し、ローラーを用いて圧着した。次に、シール剤を用いて、透明ＰＥＴフィルムの周辺部を基板と接着させ、電気泳動表示素子を得た。
【００５０】
その結果、セル内に粘着剤は延伸せず、セル内で均一に電気泳動粒子が移動するため、コントラストは良好であった。このとき、ＬＵＣＩＡＣＳ  ＣＳ９６２１Ｔ（日東電工社製）は、ＩｓｏｐａｒＧ（エクソンモービル社製）に可溶であるが、紫外線硬化性樹脂ＰＥＧ４００ＤＡ（ダイセルサイテック社製）の硬化膜は、ＩｓｏｐａｒＧ（エクソンモービル社製）に不溶である。
【００５１】
［実施例４］
ＩＴＯ膜が形成されている透明ＰＥＴフィルムのＩＴＯ膜上に、一辺が１７５μｍ、深さが６０μｍの正四角柱状のセルが２００μｍピッチで正方格子状に形成されるように、フォトレジストＳＵ８（日本化薬社製）を用いて隔壁を形成した。次に、スキージを用いて、セル内に電気泳動液を充填した。電気泳動液は、正に帯電しているカーボン粒子、負に帯電している酸化チタン粒子、電荷制御剤Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ１７０００（アビシア社製）及び非極性溶媒ＩｓｏｐａｒＧ（エクソンモービル社製）から構成される。
【００５２】
両面に剥離シートが貼付されている熱硬化型の粘着シートのパナライブＨＭ（パナック社製）の片面の剥離シートを剥離して、粘着シートが隔壁と接触するように、セル内に電気泳動液が充填された透明ＰＥＴフィルム上に配置し、ローラーを用いて圧着した。次に、ヒーターを用いて、粘着シートと圧着されている透明ＰＥＴフィルムを８０〜１００℃程度に加熱して、粘着シートを熱硬化した後、剥離シートを剥離した。
【００５３】
ＴＦＴアレイが形成されている基板のＴＦＴアレイ上に、エポキシ系接着剤を用いて、熱硬化された粘着シートが形成されている透明ＰＥＴフィルムの熱硬化された粘着シートが形成されている側の面を接着し、電気泳動表示素子を得た。
【００５４】
その結果、セル内に粘着剤は延伸せず、セル内で均一に電気泳動粒子が移動するため、コントラストは良好であった。このとき、パナライブＨＭ（パナック社製）は、ＩｓｏｐａｒＧ（エクソンモービル社製）に不溶である。
【００５５】
［実施例５］
ＩＴＯ膜が形成されている透明ＰＥＴフィルムのＩＴＯ膜上に、一辺が１７５μｍ、深さが６０μｍの正四角柱状のセルが２００μｍピッチで正方格子状に形成されるように、フォトレジストＳＵ８（日本化薬社製）を用いて隔壁を形成した。次に、スキージを用いて、セル内に電気泳動液を充填した。電気泳動液は、正に帯電しているカーボン粒子、負に帯電している酸化チタン粒子、電荷制御剤Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ１７０００（アビシア社製）及び非極性溶媒ＩｓｏｐａｒＧ（エクソンモービル社製）から構成される。
【００５６】
ワイヤーバーを用いて、ポリビニルアルコールの０．１〜１．０質量％水溶液をガラス基板上に塗布した後、６０〜１００℃程度で乾燥し、厚さが１〜５μｍ程度のポリビニルアルコール膜を形成した。次に、両面に剥離シートが貼付されている紫外線硬化型の粘着シートＵＶＰ−２００１（東亜合成社製）の片面の剥離シートを剥離して、粘着シートがポリビニルアルコール膜と接触するように、ガラス基板上に配置し、ローラーを用いて圧着した。さらに、粘着シートと圧着されているガラス基板を剥離することにより、ポリビニルアルコール膜を粘着シートに転写して、バリア層を形成した。
【００５７】
バリア層が隔壁と接触するように、セル内に電気泳動液が充填された透明ＰＥＴフィルム上に、バリア層が形成された粘着シートを配置し、ローラーを用いて圧着した。次に、粘着シートと圧着されている透明ＰＥＴフィルムに１５００〜２０００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射し、粘着シートを硬化させた後、剥離シートを剥離した。
【００５８】
ＴＦＴアレイが形成されている基板のＴＦＴアレイ上に、エポキシ系接着剤を用いて、紫外線硬化した粘着シートが形成されている透明ＰＥＴフィルムの紫外線硬化した粘着シートが形成されている側の面を接着させ、電気泳動表示素子を得た。
【００５９】
その結果、セル内に粘着剤は延伸せず、セル内で均一に電気泳動粒子が移動するため、コントラストは良好であった。このとき、ＵＶＰ−２００１（東亜合成社製）は、ＩｓｏｐａｒＧ（エクソンモービル社製）に可溶であるが、ポリビニルアルコールは、ＩｓｏｐａｒＧ（エクソンモービル社製）に不溶である。
【符号の説明】
【００６０】
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ    電気泳動表示素子
１１    基板
１１ａ    ＴＦＴアレイ
１１ｂ    基板
１２    隔壁
１３    電気泳動液
１４    粘着剤
１５    基板
１５ａ    透明導電膜
１５ｂ    透明フィルム
１６    バリア層
１７    剥離シート
１８    接着剤
１００    画像表示装置
Ｈ    ヒーター
Ｒ    ローラー
Ｓ    スキージ
【先行技術文献】
【特許文献】
【００６１】
【特許文献１】特開２００４−１３８９６０号公報
【図１】
0005621607.tif 000002
【図２】
0005621607.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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