(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
成形炉内に設けられた成形体に溶融ガラスを供給すると共に、該成形体から溶融ガラスを鉛直方向に延びる搬送経路に流下させて板状のガラスリボンに延伸成形する成形工程、該ガラスリボンの内部歪をアニール炉内で除去するアニール工程、該ガラスリボンを冷却室内で室温付近まで冷却する冷却工程、該ガラスリボンを所定寸法に切断する切断工程、を含むガラス板の製造方法において、前記冷却室に排気路を設け、冷却室内の空気を外部に排出させることを特徴とするガラス板の製造方法。
【請求項２】
冷却室内の空気を、排気路を通して、成形炉及び／又はアニール炉を取り囲む室に排出させることを特徴とする請求項１に記載のガラス板の製造方法。
【請求項３】
成形工程が、オーバーフローダウンドロー法、又はスロットダウンドロー法でガラスリボンを成形する工程であることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス板の製造方法。
【請求項４】
ガラス板の短辺の長さが、２０００ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
【請求項５】
ガラス板の内部歪の最大値が１．０ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
【請求項６】
ガラス板が、質量百分率で、ＳｉＯ２  ４０〜７０％、Ａｌ２Ｏ３  ２〜２５％、Ｂ２Ｏ３  ０〜２０％、ＭｇＯ  ０〜１０％、ＣａＯ  ０〜１５％、ＳｒＯ  ０〜１０％、ＢａＯ  ０〜１５％、ＺｎＯ  ０〜１０％、ＺｒＯ２  ０〜１０％、清澄剤  ０〜２％の組成を含有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
【請求項７】
成形体に溶融ガラスを供給すると共に、該成形体から溶融ガラスを鉛直方向に延びる搬送経路に流下させて板状のガラスリボンに延伸成形するための成形炉、該ガラスリボンの内部歪を除去するためのアニール炉、該ガラスリボンを室温付近まで冷却するための冷却室、該ガラスリボンを所定寸法に切断するための切断室、を備えてなるガラス板の製造設備において、前記冷却室に排気路を設けてなることを特徴とするガラス板の製造設備。
【請求項８】
冷却室の排気路が、成形炉及び／又はアニール炉を取り囲む室に連通してなることを特徴とする請求項７に記載のガラス板の製造設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成形体から溶融ガラスを流下させて鉛直方向にガラスリボンを延伸成形するガラス板の製造方法及びその製造設備に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
各種電子機器、とりわけ液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ用板ガラスの製造方法として、成形体から溶融ガラスを流下させて鉛直方向にガラスリボンを延伸成形することによってガラス板とするダウンドロー法が知られている。
【０００３】
ダウンドロー法には、オーバーフローダウンドロー法とスロットダウンドロー法の二つの方法があり、特にオーバーフローダウンドロー法は、表面のうねりや粗さが非常に小さく、表面品位に優れたガラス板を得ることができる方法として広く知られている。
【０００４】
オーバーフローダウンドロー法とは、くさび状の断面形状を有する成形体の頂部に連続的に供給される溶融ガラスを、成形体の頂部から両側面に沿って流下させ、成形体の下端部で融合させることによって板状のガラスリボンとし、このガラスリボンの両縁部を、複数の引っ張りローラーで挟持しつつ鉛直方向に延びる搬送経路を流下させてガラスリボンに延伸成形する方法である。これによってガラスリボンは、次第に固化していき、所定の幅と厚みを有するガラス板となる。また搬送経路内の雰囲気温度は厳格に管理され、これによってガラス板の内部歪（熱歪）は十分に低減されてから、室温付近まで冷却される。
【０００５】
特に液晶ディスプレイ用ガラス板の場合は、ガラス板の内部に僅かでも内部歪が残存すると、複屈折のために均質な画像が得られなくなるため、従来よりガラスリボンを所定の温度勾配で極力均一に冷却する工夫が様々提案されている。
【０００６】
例えば、特開平５−１２４８２６号公報には、ローラー軸の冷却の影響により、ガラス板に内部歪みが生じ、変形するのを防ぐため、ローラーを片支持することや、ガラスリボンの搬送経路内で生じる熱対流による内部歪を防ぐために搬送経路内を水平に仕切る対流防止板が開示されている。
【０００７】
また特開平１０−５３４２７号公報には、成形炉やアニール炉の内部を水平に複数分割することによって複数の室を形成し、それぞれの室に室温調節機能をもたせて十分な徐冷を行い、内部歪の少ないガラス板を製造する方法が開示されている。
【０００８】
さらに特開２００１−３１４３５号公報には、アニール炉の温度分布をガラスリボンの幅方向にも形成して、微小な内部歪や変形を抑える技術が開示されている。
【特許文献１】特開平５−１２４８２６号公報
【特許文献２】特開平１０−５３４２６号公報
【特許文献３】特開２００１−３１４３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
近年、液晶ディスプレイには、ますます高精細で、高画質であることが要求され、それに使用するガラス板には、内部歪の最大値が１．０ＭＰａ以下であることが要求されている。また液晶ディスプレイ用ガラス板は、急速に大板化が進められており、例えば最終的にガラス製品となる部位の幅寸法（有効幅）が２０００ｍｍ以上のガラスリボンも成形されるようになってきている。しかしながら生産されるガラス板のサイズが大きくなるに伴ってガラス板の内部歪も大きくなる傾向にあり、内部歪を１．０ＭＰａ以下にすることが困難となってきている。
【００１０】
ガラス板の内部歪の原因の一つとして、ガラスリボンの表面に沿って上昇する空気の流れ（以下、低温空気流という）がある。つまりガラスリボンの搬送経路内では、常にガラスリボンの表面に沿って低温空気流が上昇しており、これによってアニール炉内の雰囲気温度が変動しやすくなっている。特開平５−１３９７６６号公報には、アニール炉内に対流防止板を形成することが開示されているが、低温空気流は、ガラスリボンの表面近傍を上昇するため、対流防止板では十分に遮断することができない。また対流防止板で低温空気流を完全に防止しようとすると、ガラスリボンと対流防止板との間隔を非常に小さくする必要があるが、ガラスリボンが対流防止板に接触し、その表面に傷が形成される虞れがある。
【００１１】
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、ガラス板の大板化に伴って大きくなる内部歪の問題を回避して、生産性良く高品質のガラス板を得る方法を提供することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者等は、上記課題を解決すべく種々の検討を重ねた結果、冷却室に排気路を設けることによって、冷却室からアニール炉に流入する低温空気流の量が減少し、ガラスリボンの搬送経路内における低温空気流の上昇を抑えることができることを見いだし、本発明を提案するに到った。
【００１３】
すなわち上記課題を解決するためになされた請求項１記載の発明は、成形炉内に設けられた成形体に溶融ガラスを供給すると共に、該成形体から溶融ガラスを鉛直方向に延びる搬送経路に流下させて板状のガラスリボンに延伸成形する成形工程、該ガラスリボンの内部歪をアニール炉内で除去するアニール工程、該ガラスリボンを室温付近まで冷却する冷却工程、該ガラスリボンを所定寸法に切断する切断工程、を含むガラス板の製造方法において、前記冷却室に排気路を設け、冷却室内の空気を外部に排出させることを特徴とするガラス板の製造方法に存する。
【００１４】
上記課題を解決するためになされた請求項２記載の発明は、冷却室内の空気を、排気路を通して、成形炉及び／又はアニール炉を取り囲む室に排出させることを特徴とする請求項１に記載のガラス板の製造方法に存する。
【００１５】
上記課題を解決するためになされた請求項３記載の発明は、成形工程が、オーバーフローダウンドロー法、又はスロットダウンドロー法でガラスリボンを成形する工程であることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス板の製造方法に存する。
【００１６】
上記課題を解決するためになされた請求項４記載の発明は、ガラス板の短辺の長さが、２０００ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガラス板の製造方法に存する。
【００１７】
上記課題を解決するためになされた請求項５記載の発明は、ガラス板の内部歪の最大値が１．０ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のガラス板の製造方法に存する。
【００１８】
上記課題を解決するためになされた請求項６記載の発明は、ガラス板が、質量百分率で、ＳｉＯ２  ４０〜７０％、Ａｌ２Ｏ３  ２〜２５％、Ｂ２Ｏ３  ０〜２０％、ＭｇＯ  ０〜１０％、ＣａＯ  ０〜１５％、ＳｒＯ  ０〜１０％、ＢａＯ  ０〜１５％、ＺｎＯ  ０〜１０％、ＺｒＯ２  ０〜１０％、清澄剤  ０〜２％の組成を含有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のガラス板の製造方法に存する。
【００１９】
上記課題を解決するためになされた請求項７記載の発明は、成形体に溶融ガラスを供給すると共に、該成形体から溶融ガラスを鉛直方向に延びる搬送経路に流下させて板状のガラスリボンに延伸成形するための成形炉、該ガラスリボンの内部歪を除去するためのアニール炉、該ガラスリボンを室温付近まで冷却するための冷却室、該ガラスリボンを所定寸法に切断するための切断室、を備えてなるガラス板の製造設備において、前記冷却室に排気路を設けてなることを特徴とするガラス板の製造設備に存する。
【００２０】
上記課題を解決するためになされた請求項８記載の発明は、冷却室の排気路が、成形炉及び／又はアニール炉を取り囲む室に連通してなることを特徴とする請求項７に記載のガラス板の製造設備に存する。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１記載の発明によれば、成形炉内に設けられた成形体に溶融ガラスを供給すると共に、該成形体から溶融ガラスを鉛直方向に延びる搬送経路に流下させて板状のガラスリボンに延伸成形する成形工程、該ガラスリボンの内部歪をアニール炉内で除去するアニール工程、該ガラスリボンを室温付近まで冷却する冷却工程、該ガラスリボンを所定寸法に切断する切断工程、を含むガラス板の製造方法において、前記冷却室に排気路を設け、冷却室内の空気を外部に排出させるため、冷却室内の空気が、ガラスリボンの搬送経路と排気路の両方に分散して排出されることになり、搬送経路内における低温空気流の上昇を抑えることができる。その結果、アニール炉内の雰囲気温度の変動を最小限に抑えることができ、ガラス板のサイズが大きくなっても、その内部歪を十分に低減することが可能となる。排気路は、冷却室の天井部に設けると、空気の排出効果が大きくなるため好ましい。
【００２２】
請求項２記載の発明によれば、冷却室内の空気を、排気路を通して、成形炉及び／又はアニール炉を取り囲む室に排出させるため、成形炉やアニール炉を取り囲む室の気圧が高くなり、ガラスリボンの搬送経路内における低温空気流の上昇を抑える効果が大きくなる。つまり冷却室からアニール炉内に上昇した低温空気流は、アニール炉内で加熱された後、その一部が成形炉やアニール炉の炉壁の隙間を通して外部雰囲気に漏れ出す。しかしながら成形炉やアニール炉を取り囲む室の気圧を高くすると、成形炉やアニール炉の内部空気の漏れ出しが抑えられ、ガラスリボンの搬送経路内における低温空気流の上昇を抑える効果が大きくなる。
【００２３】
請求項３記載の発明によれば、成形工程が、オーバーフローダウンドロー法、又はスロットダウンドロー法でガラスリボンを成形する工程であるため、薄板ガラスを効率良く成形することが可能である。特に表面品位に優れた板ガラスを得る場合には、スロットダウンドロー法よりも、オーバーフローダウンドロー法を採用することが望ましい。尚、スロットダウンドロー法とは、長孔状（スロット状）の開口部を有する成形体に溶融ガラスを供給した後、成形体の開口部から溶融ガラスを引き出して板状のガラスリボンとし、このガラスリボンを鉛直方向に延伸成形してガラス板を製造するという方法である。
【００２４】
また本発明では、ガラスリボンを所定長に切断する場合、冷却工程から鉛直方向に流下するガラスリボンを、その幅方向（ガラスリボンの流下方向と直交する方向）に切断しても良いし、ガラスリボンを鉛直方向から水平方向に湾曲させ、水平方向に移動させながら幅方向に切断しても良い。
【００２５】
請求項４記載の発明によれば、ガラス板の短辺の長さが、２０００ｍｍ以上であるため、一枚のガラス板（原板）から多数枚のディスプレイパネル用ガラス板を切り出すことができ、生産効率を向上することが可能となる。ガラス板のサイズが大きくなるほど、その内部歪も大きくなる傾向にある。この理由の一つは、ガラス板のサイズが大きくなると、その製造設備が大型化し、ガラスリボンの搬送経路内に低温空気が流入しやすくなり、アニール炉内の雰囲気温度が変動しやすくなるためであると考えられる。そのため本発明は、特に大型のガラス板、具体的には、短辺が２０００ｍｍ以上、好ましくは２５００ｍｍ以上、さらには３０００ｍｍ以上のガラス板を製造する場合に有用となる。
【００２６】
請求項５記載の発明によれば、ガラス板の内部歪の最大値が１．０ＭＰａ以下であるため、液晶ディスプレイの画像が複屈折により不均質になるのを防止できる。本発明によれば、アニール炉内の雰囲気温度の変動を最小限に抑えることができるため、ガラス板のサイズが大きくなっても、内部歪の発生を抑えることができる。具体的には、内部歪の最大値を１．０ＭＰａ以下、０．８ＭＰａ以下、さらには０．７ＭＰａ以下にすることが可能となる。
【００２７】
請求項６記載の発明によれば、ガラス板が、質量百分率で、ＳｉＯ２  ４０〜７０％、Ａｌ２Ｏ３  ２〜２５％、Ｂ２Ｏ３  ０〜２０％、ＭｇＯ  ０〜１０％、ＣａＯ  ０〜１５％、ＳｒＯ  ０〜１０％、ＢａＯ  ０〜１５％、ＺｎＯ  ０〜１０％、ＺｒＯ２  ０〜１０％、清澄剤  ０〜２％の組成を含有するため、耐薬品性（良好な耐酸性、耐アルカリ性、耐バッファードフッ酸性）、耐熱性（歪点６３０℃以上）、溶融性（１０２．５ポイズの粘度に相当する温度１６００℃）、成形性（液相温度１１５０℃以下）、熱膨張係数（３０〜３８０℃の温度で２５〜４５×１０−７／℃）等の特性を満足し、成形後の内部歪を抑えやすい液晶ディスプレイ用ガラス板を得ることが可能となる。
【００２８】
上記ガラス組成が好ましい理由は、次のとおりである。
【００２９】
ＳｉＯ２は、ガラスのネットワークとなる成分であり、ガラスの熱膨張係数を低下させたり、内部歪を小さくしたり、ガラスの耐酸性を向上させたり、ガラスの歪点を高くしてガラス板の熱収縮を小さくするという効果がある。しかしながらＳｉＯ２の含有量が多くなると、ガラスの高温粘度が高くなり、溶融性が悪化すると共にクリストバライトの失透ブツが析出しやすくなる傾向にある。よってＳｉＯ２の含有量は、４０〜７０％、好ましくは５０〜６７％、より好ましくは５７〜６４％である。
【００３０】
Ａｌ２Ｏ３は、ガラスの熱膨張係数を低下させたり、ガラス板の内部歪を小さくする成分である。またガラスの歪点を上昇させたり、クリストバライトの失透ブツの析出を抑える効果もある。しかしながらＡｌ２Ｏ３の含有量が多くなると、ガラスの耐バッファードフッ酸性が悪化したり、液相温度が上昇して成形しにくくなる。よってＡｌ２Ｏ３は、２〜２５％、好ましくは１０〜２０％、より好ましくは１４〜１７％である。
【００３１】
Ｂ２Ｏ３は、融剤として作用し、ガラスの粘性を低下し、溶融性を改善する成分である。またガラスの熱膨張係数を低下させたり、ガラス板の内部歪を小さくする成分である。しかしながらＢ２Ｏ３の含有量が多くなると、ガラスの歪点が低下したり、耐酸性が悪化しやすくなる。よってＢ２Ｏ３の含有量は、０〜２０％、好ましくは５〜１５％、より好ましくは７．５〜１２％である。
【００３２】
ＭｇＯは、ガラスの歪点を低下させずに高温粘性のみを低下させて、ガラスの溶融性を改善する成分である。しかしながらＭｇＯの含有量が多くなると、ガラス中に失透ブツが析出しやすくなる。また耐バッファードフッ酸性が低下し、ガラス板をバッファードフッ酸で処理する際、その表面が浸食されて反応生成物が付着し、白濁しやすくなる。よってＭｇＯの含有量は、０〜１０％、好ましくは０〜５％、より好ましくは０〜３．５％である。
【００３３】
ＣａＯは、ガラスの歪点を低下させずに高温粘性のみを低下させてガラスの溶融性を改善する成分である。しかしながらＣａＯの含有量が多くなると、耐バッファードフッ酸性が悪化しやすくなる。よってＣａＯの含有量は、０〜１５％、好ましくは０〜１２％、より好ましくは３．５〜９％である。
【００３４】
ＳｒＯは、ガラスの耐薬品性と耐失透性を向上させる成分である。しかしながらＳｒＯの含有量が多くなると、ガラスの熱膨張係数が大きくなりやすく、ガラス板の内部歪が大きくなる傾向もある。よってＳｒＯの含有量は、０〜１０％、好ましくは０〜８％、より好ましくは０．５超〜８％である。
【００３５】
ＢａＯは、ＳｒＯと同様にガラスの耐薬品性と耐失透性を向上させる成分である。しかしながらＢａＯの含有量が多くなると、ガラスの密度や熱膨張係数が大きくなったり、溶融性が著しく悪化する傾向にある。よってＢａＯの含有量は、０〜１５％、好ましくは０〜１０％、より好ましくは０〜８％である。
【００３６】
ＺｎＯは、ガラスの耐バッファードフッ酸性や溶融性を改善する成分であるが、その含有量が多くなると、ガラスの耐失透性や歪点が低下しやすくなる。よってＺｎＯの含有量は、０〜１０％、好ましくは０〜５％、より好ましくは０〜１％である。
【００３７】
ＺｒＯ２は、ガラスの歪点を高める成分であるが、その含有量が多くなると、ガラスの密度が著しく上昇したり、ＺｒＯ２に起因する失透物が析出しやすくなる。よってＺｒＯ２の含有量は、０〜１０％、好ましくは０〜７％、より好ましくは０〜５％である。
【００３８】
清澄剤としては、Ａｓ２Ｏ３、Ｓｂ２Ｏ３、ＳｎＯ２、ＳＯ３、Ｆ、Ｃｌ等を２％まで使用できる。ただしＡｓ２Ｏ３とＳｂ２Ｏ３は、環境負荷物質であることから使用は避けるべきであり、その場合には、ＳｎＯ２を０．０１〜２％含有させることが好ましい。
【００３９】
また本発明では、上記成分以外にも、例えば、ガラスの液相温度を低下させて成形性を向上する目的で、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、Ｎｂ２Ｏ３、Ｐ２Ｏ５を各々３％まで含有させることが可能である。ただしＮａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ、Ｌｉ２Ｏ等のアルカリ金属酸化物（Ｒ２Ｏ）を含有すると、液晶ディスプレイガラス板上に形成される各種の膜やＴＦＴ素子の特性を劣化させる虞れがあるため、これらの成分の含有は避けるべきである。具体的には、Ｒ２Ｏで０．１％以下に規制すべきである。
【００４０】
請求項７記載の発明によれば、成形体に溶融ガラスを供給すると共に、該成形体から溶融ガラスを鉛直方向に延びる搬送経路に流下させて板状のガラスリボンに延伸成形するための成形炉、該ガラスリボンの内部歪を除去するためのアニール炉、該ガラスリボンを室温付近まで冷却するための冷却室、該ガラスリボンを所定寸法に切断するための切断室、を備えてなるガラス板の製造設備において、前記冷却室に排気路を設けてなるため、冷却室内の空気が、ガラスリボンの搬送経路と排気路の両方に分散されて排出されることになり、搬送経路内における低温空気流の上昇を抑えることができる。その結果、アニール炉内の雰囲気温度の変動を最小限に抑えることができ、ガラス板のサイズが大きくなっても、その内部歪を十分に低減することが可能となる。
【００４１】
請求項８記載の発明によれば、冷却室の排気路が、成形炉及び／又はアニール炉を取り囲む室に連通してなるため、冷却室の空気が、成形炉やアニール炉を取り囲む室に流入し、これらの室内の気圧が高くなり、成形炉やアニール炉の炉壁の隙間を通して炉内の内部空気が外部に漏れ出しにくくなる。その結果、ガラスリボンの搬送経路内における低温空気流の上昇を抑える効果が大きくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
以下、本発明の実施形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００４３】
図１は、本発明のガラス板の製造設備を示す概略正面図である。この製造設備は、オーバーフローダウンドロー法によって液晶ディスプレイ用のガラス板（ガラス基板）を製造するためのものであって、上方から順に、くさび状の断面形状を有する成形体１０に供給される溶融ガラスＡを頂部から溢れさせると共に、その下端部で融合させることで、ガラスリボンＢを成形する成形炉１１と、ガラスリボンＢを徐冷しながらその内部歪を除去するためのアニール炉１２と、徐冷されたガラスリボンＢを十分に冷却する冷却室１３と、冷却されたガラスリボンＢを所定寸法に切断する切断室１４とを備えている。また冷却室１３の天井部には、排気路１５が設けられ、成形炉１１とアニール炉１２は、成形室１６によって取り囲まれ、冷却室１３と成形室１６は、排気路１５によって連通している。これら上下方向に隣接する冷却室１３、切断室１４及び成形室１６は、気密性のある周壁部１７によって取り囲まれ、成形炉１１、アニール炉１２、冷却室１３及び切断室１４は、ガラスリボンＢが流下する搬送経路１８で連通している。また切断室１４には、図外の後続工程（例えば端面研磨工程等）へガラス板Ｃを搬送するための搬送経路が別途設けられている。
【００４４】
次に、上記ガラス板の製造設備によるガラス板の製造工程を説明する。
【００４５】
この製造設備では、まず成形炉１１内に設けられた成形体１０の頂部に溶融ガラスＡを供給し、その溶融ガラスＡを成形体１０の頂部から溢れ出させると共にその下端部で融合させて板状のガラスリボンＢを成形する。成形体１０の付近には、一対の冷却ローラー（エッジローラー）１９が設けられ、ガラスリボンＢは、この冷却ローラー１９で両縁部を挟持され、幅方向の収縮が最小限に抑えられる。
【００４６】
次に、この成形されたガラスリボンＢをアニール炉１２で徐冷することによって内部歪を除去する。アニール炉１２には、鉛直方向に複数対の引っ張りローラー（アニールローラー）１９が配置され、ガラスリボンＢが表面張力等で幅方向に収縮しないように引っ張りローラー２０で幅方向に引っ張りながら下方に牽引する。またアニール炉１２内は、ヒーター（図示省略）によって所定の温度勾配となるように設定されており、ガラスリボンＢはアニール炉１２内を流下するに従って徐々に温度を低下させることで、内部歪が除去される。
【００４７】
またアニール炉１２の下方の冷却室１３には、複数対の支持ローラー２１が配置され、所定の幅と厚みに固化したガラスリボンＢを下方に牽引する。ガラスリボンＢは、冷却室１３内でほぼ室温まで冷却される。また冷却室１３内の空気は、アニール炉１２と排気路１５の両方に流れ込み、排気路１５に流れ込んだ空気は成形室１６内に流入する。これによってアニール炉１２内に流入する空気の量が減少し、ガラスリボンの搬送経路１８内における低温空気流の上昇を抑えることができる。
【００４８】
冷却室１４で室温付近まで冷却されたガラスリボンは、切断室１４で所定寸法のガラス板Ｃに切断された後、後続工程に搬送される。
【００４９】
上記のガラス板の製造設備を使用して、質量％で、ＳｉＯ２  ６０％、Ａｌ２Ｏ３  １５％、Ｂ２Ｏ３  １０％、ＣａＯ  ６％、ＳｒＯ  ６％、ＢａＯ  ２％、清澄剤  １％の組成を有する液晶ディスプレイ用ガラス板（日本電気硝子株式会社製ＯＡ−１０）を成形した。
【００５０】
得られたガラス板の寸法は、２３６０×２０３０×０．７ｍｍであり、このガラス板の最大歪を測定したところ、０．８ＭＰａであった。
【００５１】
また図２は、比較例のガラス板の製造設備を示す概略正面図であり、この設備は、冷却室１３に排気路が設けられておらず、その他の構造は、図１の設備と同一である。この図２の設備を使用し、上記実施形態と同じ条件でガラス板を作製し、このガラス板の最大歪を測定したところ、１．１ＭＰａであった。
【００５２】
以上のことから、実施形態によるガラス板は、比較例によるガラス板に比べて、最大歪が小さく、このことから冷却室からアニール炉を取り囲む室に通じる排気路を設けることによって、ガラス板の内部歪を低減する効果が得られることが理解できた。
【００５３】
ここでガラス板の最大歪は、ユニオプト社製の歪計を用いて光ヘテロダイン干渉法により、ガラス板の複屈折量から歪応力を測定することによって求めたものである。ガラス板の最大歪を求めた理由は、ガラス板の中に１箇所でも強い歪が存在すると、液晶ディスプレイ用ガラス板の製品規格を満たさなくなるからである。
【００５４】
尚、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、さらに種々なる形態で実施することができる。
例えば、上記実施形態では、オーバーフローダウンドロー法によるガラス板の製造に本発明を適用した場合を説明したが、これ以外にも、例えばスロットダウンドロー法によるガラス板の製造にも同様にして本発明を適用することができる。
また実施形態では、成形炉とアニール炉が一つの室（成形室）に取り囲まれている場合を説明したが、成形炉とアニール炉がそれぞれ異なる室（例えば成形室とアニール室）で取り囲まれていても良い。その場合には、冷却室の排気路は、アニール室に通じるように設けられることになる。
【００５５】
さらに実施形態では、排気路をアニール炉に近接して設けた場合を説明したが、アニール炉から離間させて設けても良い。また排気路の形状や大きさは、冷却室やアニール炉の大きさ等によって適宜設定すれば良い。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明のガラス板の製造方法及び製造設備は、液晶ディスプレイ用ガラス板を始めとして、プラズマディスプレイ、有機ＥＬ等のエレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等といった各種フラットパネルディスプレイに用いられるガラス板や、各種電子表示機能素子や薄膜を形成するための基材として用いられるガラス板の製造に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明のガラス板の製造設備を示す概略正面図である。
【図２】比較例のガラス板の製造設備を示す概略正面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１０  成形体
１１  成形炉
１１ａ  成形炉の炉壁
１２  アニール炉
１２ａ  アニール炉の炉壁
１３  冷却室
１４  切断室
１５  排気路
１６  成形室
１７  周壁部
１８  搬送経路
１９  冷却ローラー（エッジローラー）
２０  引っ張りローラー（アニールローラー）
２１  支持ローラー
２２  空気流通孔
Ａ  溶融ガラス
Ｂ  ガラスリボン
Ｃ  ガラス板
【図１】
0005428287.tif 000002
【図２】
0005428287.tif 000003