(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射した光を波長に応じて空間的に分散する分光器と、
前記分光器により分散された光を受光するための検出部とを備え、前記検出部は、第１の波長範囲の成分が入射する第１の検出領域と、前記第１の波長範囲より長波長側の第２の波長範囲の成分が入射する第２の検出領域とを含み、
前記分光器の前段に配置され、前記第１の波長範囲を遮断するフィルタと、
前記検出部に生じる迷光を示す迷光パターンを記憶する記憶部とを備え、前記迷光パターンは、前記第２の波長範囲のうち長波長側の一部の波長範囲に強度を有する基準光を前記検出部で検出した結果から取得されたものであり、
測定対象の光によって前記検出部に生じる迷光を補正する補正部を備え、
前記補正部は、前記迷光パターンの前記第１の波長範囲における波長についての第１の変化量と、前記検出部の前記第１の検出領域で検出される結果に含まれる波長についての第２の変化量とに基づいて、前記迷光パターンを補正することで、前記測定対象の光によって生じる迷光成分を算出する、分光特性測定装置。
【請求項２】
前記補正部は、前記第１の変化量および前記第２の変化量に基づいて、前記迷光パターンを振幅方向に拡大または縮小する、請求項１に記載の分光特性測定装置。
【請求項３】
前記補正部は、前記拡大または縮小された迷光パターンと前記測定対象の光を検出して得られた測定スペクトルとの、前記第１の波長範囲における振幅差に応じて、前記拡大または縮小された迷光パターンのオフセット補正を行なう、請求項２に記載の分光特性測定装置。
【請求項４】
前記補正部は、前記第２の波長範囲において、前記測定対象の光を検出して得られた測定スペクトルとその波形が一致するように、前記迷光パターンを補正する、請求項１に記載の分光特性測定装置。
【請求項５】
前記第１および第２の変化量は、波長についての傾きを含む、請求項１に記載の分光特性測定装置。
【請求項６】
分光器に関連付けられ、第１の波長範囲の成分が入射するように構成された第１の検出領域と、前記第１の波長範囲より長波長側の第２の波長範囲の成分が入射するように構成された第２の検出領域とを含む検出部に対して、前記第２の波長範囲に強度を有する測定対象の光を入射させるステップと、
前記検出部による検出結果に対して、前記測定対象の光によって生じる迷光成分を補正するステップとを備え、
前記補正するステップは、
前記検出部に生じる迷光を示す迷光パターンを読み出すステップを含み、前記迷光パターンは、前記第２の波長範囲のうち長波長側の一部の波長範囲に強度を有する基準光を前記検出部で検出した結果から取得されたものであり、
前記迷光パターンの前記第１の波長範囲における波長についての第１の変化量と、前記検出部の前記第１の検出領域で検出される結果に含まれる波長についての第２の変化量とに基づいて、前記迷光パターンを補正することで、前記測定対象の光によって生じる迷光成分を算出するステップを含み、分光特性測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、迷光による影響を低減できる分光特性測定装置および分光特性測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、発光体などの評価を行なうための技術として、分光計測が広く用いられている。このような分光計測に用いられる分光特性測定装置では、一般的に、測定対象の発光体などからの被測定光を分光器（典型的には、回折格子）でそれぞれの成分に分光し、分光された各成分を検出部で検出する。被測定光以外の影響を極力低減するために、これらの分光器や検出部は、筐体内に収納される。
【０００３】
しかしながら、現実的には、検出部による検出結果は、筐体内部で乱反射した光、分光器表面で拡散反射した光、および測定次数以外の次数をもつ光などの影響を受け得る。一般的に、これらの光は「迷光」と称される。このような意図しない迷光による影響を抑制するために、各種の方法が提案されている。
【０００４】
たとえば、特開２０１０−１１７３４３号公報（特許文献１）には、補正領域（分光器で分光された光が入射しない領域）で検出された信号強度に基づいて補正値を算出し、検出領域（分光器からの光の入射面に対応する領域）で検出された測定スペクトルに含まれる各成分値から、当該算出した補正値を減じることで補正測定スペクトルを算出することで、スペクトルをより短時間かつ高精度に測定できる光学特性測定装置が開示されている。
【０００５】
また、特開平１１−０３０５５２号公報（特許文献２）には、分光光度計の分散光学系から導かれた光を多数の受光素子を有する受光器によって測定する場合に生じる迷光の影響を、当該分光光度計の測定定数として正確に見積り、その影響を除去する迷光補正方法が開示されている。
【０００６】
また、特開２００９−２２２６９０号公報（特許文献３）には、測定データから迷光を取り除くことが可能な安価な分光測定器が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−１１７３４３号公報
【特許文献２】特開平１１−０３０５５２号公報
【特許文献３】特開２００９−２２２６９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特開２０１０−１１７３４３号公報（特許文献１）に開示された光学特性測定装置では、検出感度のある波長範囲の全体に亘って迷光成分が一様であることを前提としており、装置構成によっては、必ずしも迷光成分が波長範囲の全体に亘って一様とはならない。
【０００９】
また、特開平１１−０３０５５２号公報（特許文献２）に開示された迷光補正方法では、各受光素子で測定した受光信号強度と、当該波長に対応する受光素子によって測定した受光信号強度との比を、検出部を構成する受光素子の数だけ算出する必要がある。そのため、相対的に多くの時間を要するといった課題がある。
【００１０】
また、特開２００９−２２２６９０号公報（特許文献３）に開示された分光測定器では、Δλについての分光放射照度を用いて迷光成分を補正する意味においては好ましいが、２つのフィルタまたはフィルタ群を用いる必要があり、測定を迅速化できないとともに、装置構成が複雑化するという課題がある。また、２つのフィルタの特性を完全に一致させることは難しく、分光スペクトルの測定精度を高めることが難しいという課題がある。さらに、フィルタの遮断特性の範囲でしか迷光を補正できないため、検出部が検出可能な波長範囲の一部のみしか、実際の検出に使用できないという課題がある。
【００１１】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、迷光の影響を低減して、分光特性をより短時間かつ高精度に測定可能な分光特性測定装置および分光特性測定方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のある局面に従う分光特性測定装置は、入射した光を波長に応じて空間的に分散する分光器と、分光器により分散された光を受光するための検出部とを含む。検出部は、第１の波長範囲の成分が入射する第１の検出領域と、第１の波長範囲より長波長側の第２の波長範囲の成分が入射する第２の検出領域とを含む。分光特性測定装置は、分光器の前段に配置され、第１の波長範囲を遮断するフィルタと、検出部に生じる迷光を示す迷光パターンを記憶する記憶部とを含む。迷光パターンは、第２の波長範囲のうち長波長側の一部の波長範囲に強度を有する基準光を検出部で検出した結果から取得されたものである。分光特性測定装置は、測定対象の光によって検出部に生じる迷光を補正する補正部を含む。補正部は、迷光パターンの第１の波長範囲における波長についての第１の変化量と、検出部の第１の検出領域で検出される結果に含まれる波長についての第２の変化量とに基づいて、迷光パターンを補正することで、測定対象の光によって生じる迷光成分を算出する。
【００１３】
好ましくは、補正部は、第１の変化量および第２の変化量に基づいて、迷光パターンを振幅方向に拡大または縮小する。
【００１４】
さらに好ましくは、補正部は、拡大または縮小された迷光パターンと測定対象の光を検出して得られた測定スペクトルとの、第１の波長範囲における振幅差に応じて、拡大または縮小された迷光パターンのオフセット補正を行なう。
【００１５】
好ましくは、補正部は、第２の波長範囲において、測定対象の光を検出して得られた測定スペクトルとその波形が一致するように、迷光パターンを補正する。
【００１６】
好ましくは、第１および第２の変化量は、波長についての傾きを含む。
本発明の別の局面に従う分光特性測定方法は、分光器に関連付けられ、第１の波長範囲の成分が入射するように構成された第１の検出領域と、第１の波長範囲より長波長側の第２の波長範囲の成分が入射するように構成された第２の検出領域とを含む検出部に対して、第２の波長範囲に強度を有する測定対象の光を入射させるステップと、検出部による検出結果に対して、測定対象の光によって生じる迷光成分を補正するステップとを含む。補正するステップは、検出部に生じる迷光を示す迷光パターンを読み出すステップを含む。迷光パターンは、第２の波長範囲のうち長波長側の一部の波長範囲に強度を有する基準光を検出部で検出した結果から取得されたものである。補正するステップは、迷光パターンの第１の波長範囲における波長についての第１の変化量と、検出部の第１の検出領域で検出される結果に含まれる波長についての第２の変化量とに基づいて、迷光パターンを補正することで、測定対象の光によって生じる迷光成分を算出するステップを含む。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、迷光の影響を低減して、分光特性をより短時間かつ高精度に測定できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施の形態に従う分光特性測定装置の外観図を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態に従う測定器本体の概略断面図である。
【図３】本発明の実施の形態に従う測定器本体に内蔵されている光検出器の検出面を示す模式図である。
【図４】本発明の実施の形態に従う分光特性測定装置の光検出器から出力される検出結果の一例を示す概念図である。
【図５】図４（Ｂ）に示す基準光から生じる迷光スペクトルの測定例を示す。
【図６】図５に示す迷光スペクトルから算出される迷光パターンの一例を示す。
【図７】本実施の形態に従う測定器本体において生じる０次光起因の迷光の空間的な強度分布を説明する模式図である。
【図８】本実施の形態において迷光パターンから算出される迷光スペクトルの概念図である。
【図９】本発明の実施の形態に従う分光特性測定装置の処理装置における制御構造を示す概略図である。
【図１０】本発明の実施の形態に従う処理装置のハードウェア構成を示す概略構成図である。
【図１１】本発明の実施の形態に従う迷光パターン取得に係る処理内容を模式的に示す図である。
【図１２】本発明の実施の形態に従う迷光パターンの取得に係る手順を示すフローチャートである。
【図１３】本発明の実施の形態に従うダーク補正および迷光補正を含む通常測定に係る処理内容を模式的に示す図である。
【図１４】本発明の実施の形態に従うダーク補正および迷光補正を含む通常測定に係る手順を示すフローチャートである。
【図１５】本発明の実施の形態に従う分光特性測定装置を用いた測定結果の一例である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中の同一または相当部分については、同一符号を付してその説明は繰返さない。
【００２０】
＜Ａ．装置全体構成＞
図１は、本発明の実施の形態に従う分光特性測定装置１の外観図を示す図である。
【００２１】
図１を参照して、本発明の実施の形態に従う分光特性測定装置１は、各種の発光体（以下、「対象物」とも称す。）の分光特性（典型的には、スペクトル）を測定する。さらに、分光特性測定装置１は、この測定したスペクトルに基づいて、対象物の明るさや色合いといった光学特性を算出することもできる。明るさとは、対象物の輝度や光度などを意味し、色合いとは、対象物の色度座標、主波長、刺激純度、および相関色温度などを意味する。本実施の形態に従う分光特性測定装置１は、発光ダイオード（ＬＥＤ：Light Emitting Diode）やフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Flat Panel Display）などの測定にも適用できる。
【００２２】
分光特性測定装置１は、分光測定器本体（以下、「測定器本体」と称する。）２と処理装置１００とを含む。測定器本体２には、先端にプローブ６が設けられた光ファイバ４が接続されている。対象物から放射された測定対象の光（以下、「被測定光」とも称す。）は、プローブ６から取り入れられ、光ファイバ４を介して測定器本体２へ導かれる。
【００２３】
測定器本体２は、後述するように、測定器本体２へ入射する被測定光を分光し、それに含まれる各成分の強度を示す検出結果（信号強度）を処理装置１００へ出力する。測定器本体２は、被測定光を分光する分光器と、分光器によって分光された光を受光する検出部（光検出器）とを含んでいる。
【００２４】
分光特性測定装置１は、光検出器に生じる迷光を示す迷光パターンを予め記憶しており、この迷光パターンを測定時の状況に応じて補正することで、各測定において生じる迷光成分を算出する。分光特性測定装置１は、被測定光を測定することで得られるスペクトル（以下、「測定スペクトル」とも称す。）を迷光成分で補正することで、迷光に起因する誤差を除いた測定結果を出力する。分光特性測定装置１は、このような迷光による誤差の影響の低減に加えて、光検出器に流れる暗電流による誤差の影響をも低減する。
【００２５】
＜Ｂ．測定器本体の構成＞
図２は、本発明の実施の形態に従う測定器本体２の概略断面図である。図２を参照して、測定器本体２は、シャッター２１と、スリット２２と、内部カットフィルタ２３と、分光器２４と、光検出器２５と、光吸収部２６とを含む。これらの構成要素は、筐体２７内に収納される。筐体２７の一部には、光取入口２０が形成されている。光取入口２０は、光ファイバ４と接続される。光ファイバ４によって導かれた被測定光は、筐体２７内へ入射し、所定の光軸Ａｘに沿って伝搬する。光取入口２０の側から順に、この光軸Ａｘに沿って、シャッター２１、スリット２２、内部カットフィルタ２３、および分光器２４が配置される。被測定光は、スリット２２および内部カットフィルタ２３を通過した後に分光器２４へ入射する。
【００２６】
シャッター２１は、筐体２７の外部から筐体２７内へ入射する光を遮断する。シャッター２１は、光検出器２５に流れる暗電流による誤差を示すスペクトル（以下、「ダークスペクトル」とも称す。）を取得するために、筐体２７内に光が入射しない状態をつくる。一例として、シャッター２１は、光軸Ａｘに対して垂直方向に変位できるように構成されている。これにより、シャッター２１が光軸Ａｘ上に存在する場合（以下、「クローズ位置」とも称す。）には、筐体２７内へ入射する光が遮断される。筐体２７内へ入射する光を遮断した状態で、光検出器２５で検出されるダークスペクトルを測定する操作を、「ダーク測定」とも表現する。この「ダーク測定」と区別するために、被測定光についてのスペクトルを測定する操作を「通常測定」とも表現する。
【００２７】
一方、シャッター２１が光軸Ａｘから離れた位置に位置する場合（以下、「オープン位置」とも称す。）、被測定光は筐体２７内に取込まれる。図２には、シャッター２１を筐体２７内に設ける構成について例示したが、筐体２７の外部に設けてもよい。さらに、筐体２７内に入射する光を遮断する機構については、いずれの種類の構成を採用してもよい。
【００２８】
分光器２４は、光軸Ａｘ上に配置され、光軸Ａｘ上に沿って入射する被測定光を波長別に複数の成分に分ける。分光器２４が分光することで生じる光は、光検出器２５へ導かれる。すなわち、分光器２４は、入射した光を波長に応じて空間的に分散する。但し、分光器２４に光が入射すると０次光も発生し、この０次光は、光検出器２５とは離れた位置に導かれる。この０次光は迷光の原因となるので、光吸収部２６によって、乱反射しないように吸収される。
【００２９】
分光器２４は、一例として、ブレーズドホログラフィック型と呼ばれる凹面回折格子（グレーティング）からなる。この凹面回折格子は、入射する被測定光を所定の波長間隔の回折光として、対応する方向に反射する。そのため、分光器２４で分光された光（回折光）は、空間的な広がりをもって、光検出器２５へ向けて放射される。
【００３０】
分光器２４としては、上述したブレーズドホログラフィック型の凹面回折格子に代えて、フラットフォーカス型の凹面回折格子といった任意の回折格子を採用することができる。
【００３１】
光検出器２５は、分光器２４によって分光された被測定光（回折光）を受光する。光検出器２５は、受光した被測定光に含まれる各成分の強度を検出し、出力する。すなわち、光検出器２５は、分光器２４により分散された光を受光する。この光検出器２５によって検出された強度は、各波長に対応付けられている。そのため、光検出器２５からの検出結果は、被測定光のスペクトルに相当する。光検出器２５は、代表的にフォトダイオードなどの複数の検出素子を、アレイ状に配置したフォトダイオードアレイ（ＰＤＡ：Photo Diode Array）からなる。あるいは、フォトダイオードなどの複数の検出素子を、マトリックス状に配置したＣＣＤ（Charged Coupled Device）を採用することもできる。一例として、光検出器２５は、２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲で５１２個（チャンネル）の成分の強度を示す信号を出力可能に構成される。また、光検出器２５は、検出された光強度の信号をデジタル信号として出力するためのＡ／Ｄ（Analog to Digital）変換器や周辺回路を含む。
【００３２】
測定器本体２においては、分光器２４および光検出器２５は、入射する被測定光のうち、最小波長ｆｍｉｎから最大波長ｆｍａｘの範囲の成分を分光器２４に導くように光学設計されているものとする。すなわち、測定器本体２が検出感度を有する波長範囲（設計上の測定可能範囲）は、最小波長ｆｍｉｎから最大波長ｆｍａｘの範囲となる。
【００３３】
スリット２２は、所定の検出分解能を実現するために、被測定光の光束径（大きさ）を調整する。一例として、スリット２２の各スリット幅は０．２ｍｍ〜０．０５ｍｍ程度に設定される。そして、スリット２２を通過後の被測定光は、内部カットフィルタ２３へ入射する。なお、内部カットフィルタ２３は、スリット２２を通過後の被測定光のフォーカス位置とほぼ一致する位置に配置される。
【００３４】
内部カットフィルタ２３は、筐体２７に取込まれた被測定光が分光器２４へ入射する光路である光軸Ａｘ上に配置される。内部カットフィルタ２３は、この被測定光に含まれる成分のうち、所定の遮断波長ｆｃｕｔ１より短波長側の光を遮断する。すなわち、内部カットフィルタ２３は、分光器２４の前段に配置され、波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１（第１の波長範囲）を遮断する。遮断波長ｆｃｕｔ１は、ｆｍｉｎ＜ｆｃｕｔ１＜ｆｍａｘの関係が成立するように設定される。したがって、測定器本体２において実質的に検出可能な波長範囲は、遮断波長ｆｃｕｔ１から最大波長ｆｍａｘの範囲（以下、「有効波長範囲」とも称す。）となる。
【００３５】
図３は、本発明の実施の形態に従う測定器本体２に内蔵されている光検出器２５の検出面を示す模式図である。図３を参照して、光検出器２５は、その検出面として、有効波長範囲に対応する有効検出領域２５ｂと、有効波長範囲より短波長側の補正領域２５ａとを含む。すなわち、補正領域２５ａには、波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１（第１の波長範囲）の成分が入射するように構成され、有効検出領域２５ｂには、より長波長側の波長範囲ｆｃｕｔ１〜ｆｍａｘ（第２の波長範囲）の成分が入射するように構成される。図３には、補正領域２５ａと有効検出領域２５ｂとが連続して配置される例を示すが、遮断波長ｆｃｕｔ１付近の成分が補正領域２５ａに入射しないように、両領域の間を離して構成してもよい。
【００３６】
再度図２を参照して、分光特性測定装置１の迷光パターンを取得する際には、外部カットフィルタ３１を用いて所定の波長範囲の成分を遮断した光（以下「基準光」とも称す。）を分光特性測定装置１へ入射させる。外部カットフィルタ３１は、測定器本体２の有効波長範囲（波長範囲ｆｃｕｔ１〜ｆｍａｘ）のうち短波長側にある一部の波長範囲の成分を遮断する。すなわち、外部カットフィルタ３１は、遮断波長ｆｃｕｔ２（但し、ｆｃｕｔ１＜ｆｃｕｔ２＜ｆｍａｘ）を有するハイパスフィルタであり、遮断波長ｆｃｕｔ２より長い波長をもつ光のみを透過させる。そのため、外部カットフィルタ３１の存在によって、測定器本体２へ入射する基準光は、遮断波長ｆｃｕｔ２より長い成分のみが含まれることになる。なお、外部カットフィルタ３１は、迷光パターンを取得するために必要であり、通常測定時には、装着する必要はない。
【００３７】
＜Ｃ．補正処理の概要＞
次に、本実施の形態に従う分光特性測定装置１における誤差の補正処理について説明する。図２に示すように、測定器本体２の筐体２７の内部に光が入射すると、迷光が生じ得る。加えて、光検出器２５は、ＣＣＤなどの半導体デバイスからなり、このような半導体デバイスを駆動する際には暗電流が流れる。この暗電流によっても、光検出器２５の検出結果には誤差成分（ダークスペクトル）が生じ得る。この暗電流の大きさは、周囲温度の影響を受けやすく、測定環境に起因して時間的に変動し得る。
【００３８】
以上をまとめると、光検出器２５からの検出結果（測定スペクトル）は、主として、（１）被測定光本来のスペクトル、（２）筐体２７の内部で発生する迷光に起因する誤差成分（迷光スペクトル）、（３）光検出器２５に流れる暗電流による誤差成分（ダークスペクトル）、および（４）その他の誤差成分を含む。
【００３９】
図４は、本発明の実施の形態に従う分光特性測定装置１の光検出器２５から出力される検出結果の一例を示す概念図である。より具体的には、図４（Ａ）は、ある被測定光を測定器本体２へ入射した場合の例を示し、図４（Ｂ）は、測定器本体２の有効波長範囲の一部（波長範囲ｆｃｕｔ２〜ｆｍａｘ）の成分のみを有する基準光を測定器本体２へ入射した場合の例を示す。
【００４０】
図４（Ａ）を参照して、光検出器２５からの検出結果（測定スペクトル）は、被測定光本来のスペクトル３０に加えて、迷光に起因する迷光スペクトル４０および暗電流に起因するダークスペクトル５０を含む。
【００４１】
これに対して、図４（Ｂ）に示すように、波長範囲ｆｃｕｔ２〜ｆｍａｘの成分のみを有する基準光を測定器本体２へ入射させると、成分が存在しない（すなわち、強度がゼロである）波長範囲ｆｃｕｔ１〜ｆｃｕｔ２の部分は、迷光スペクトル４０およびダークスペクトル５０のみを反映した値を示す。そのため、測定スペクトルのうち、基準光が強度を有しない波長範囲に対応する部分の特性値から、迷光スペクトル４０を算出できる。なお、ダークスペクトル５０については、ダーク測定によって算出できる。
【００４２】
図５は、図４（Ｂ）に示す基準光から生じる迷光スペクトルの測定例を示す。図５に示す例では、外部カットフィルタ３１（図２）の遮断波長を５５０ｎｍとした。また、図５には、ダーク補正後（ダークスペクトルを取り除く補正を行なった後）の結果を示す。
【００４３】
図５に示すように、チャンネル番号が小さいほど、すなわち短波長側ほど迷光成分が大きいことがわかる。本願発明者らは、図５に示すような測定結果から、迷光に起因する誤差成分（迷光スペクトル）は、０次光による影響を強く受けていることを見出した。すなわち、本願発明者らは、光検出器２５のうち、０次光の照射位置（図２に示す光吸収部２６）により近いチャンネルほど０次光が迷光としてより多く入射することを見出した。また、迷光スペクトルの大きさは、０次光の強度、すなわち筐体２７内へ入射する光全体の強度に依存して変化するが、迷光スペクトルの波長領域における波形は、迷光の強度（絶対値）には依存せず、ほぼ一定に維持されることを見出した。すなわち、迷光パターンは、０次光の入射する位置と分光器２４との位置関係、ならびに、分光器２４の検出面の位置および大きさなどに依存して、分光特性測定装置１の各々に固有であることを見出した。
【００４４】
そこで、本実施の形態に従う分光特性測定装置１では、光検出器２５に生じる迷光を示す迷光パターンを予め取得しておき、各測定時において、この迷光パターンを用いて迷光スペクトルを動的に生成（予測）する。そして、この動的に生成した迷光スペクトルを用いて、光検出器２５からの測定スペクトルを補正することで、被測定光本来のスペクトルをより高精度に測定する。すなわち、分光特性測定装置１は、光検出器２５に生じる迷光を示す迷光パターンを記憶する記憶部を含むとともに、被測定光によって光検出器２５に生じる迷光を補正するための補正部を含む。
【００４５】
上述したような迷光パターンは、有効波長範囲（ｆｃｕｔ１〜ｆｍａｘ）のうち長波長側の一部の波長範囲（ｆｃｕｔ２〜ｆｍａｘ）に強度を有する基準光を光検出器２５で検出した結果から取得される。このような迷光スペクトル４０を取得するために必要な基準光を生成する方法としては、図２において説明したような、所定の発光スペクトルを有する光源からの光と波長フィルタ（外部カットフィルタ３１）とを組み合わせる方法を採用できる。但し、本発明はこの方法には限定されない。
【００４６】
代替の方法として、レーザやＬＥＤなどの半導体発光デバイスを用いてもよい。このような半導体デバイスは、特定の波長または所定の波長範囲の光を発光するため、測定器本体２の有効波長範囲（ｆｃｕｔ１〜ｆｍａｘ）のうち長波長側の一部の波長範囲（ｆｃｕｔ２〜ｆｍａｘ）に強度を有する基準光を直接的に生成できる。
【００４７】
図６は、図５に示す迷光スペクトルから算出される迷光パターンの一例を示す。図６を参照して、迷光スペクトルは、波長が長くなるにつれてその信号強度が小さくなるような特性を有している。そこで、迷光スペクトルの波長範囲ｆｃｕｔ１〜ｆｃｕｔ２において信号強度が最小値をとる位置（以下、「ボトム位置」とも称す。）を特定し、ボトム位置より長波長側（図６の領域Ｃ）では、信号強度が一律にその最小値であるとみなす。このボトム位置での信号強度をオフセットとして、迷光スペクトルからこのオフセットを引いた波形を迷光パターンとして格納する。
【００４８】
図６の領域Ａは、理論上、被測定光が入射しない領域であり、領域Ａで検出された信号強度（ダーク補正後）は、測定器本体２内部の迷光全体の強度を示すものと考えられる。そこで、分光特性測定装置１は、迷光パターンの領域Ａに対応する波長についての変化量と被測定光を測定して得られた測定スペクトルの領域Ａに対応する波長についての変化量とを比較することで、予め取得される迷光パターンから各測定に応じた迷光スペクトルを決定（推定）する。すなわち、迷光パターンから迷光スペクトルを決定する場合には、光検出器２５の補正領域２５ａ（図３参照）において受光された信号強度の情報が用いられる。
【００４９】
図７は、本実施の形態に従う測定器本体２において生じる０次光起因の迷光の空間的な強度分布を説明する模式図である。図８は、本実施の形態において迷光パターンから算出される迷光スペクトルの概念図である。
【００５０】
図７を参照して、０次光の入射中心から離れるほど、０次光による影響（迷光の強度）は小さくなると考えられる。また、０次光の強度は、測定器本体２へ入射する被測定光全体の強度（パワー）にほぼ比例するものと考えられる。例えば、図８（Ａ）に示すように、相対的に信号強度の高い被測定光が入射したときには、迷光スペクトルの振幅およびオフセットはより大きくなり、図８（Ｂ）に示すように、相対的に信号強度の弱い被測定光が入射したときには、迷光スペクトルの振幅およびオフセットはより小さくなる。
【００５１】
各測定時の迷光スペクトルは、迷光パターンに対して、光検出器２５の補正領域２５ａにおいて検出された信号強度に基づいて、比率補正（振幅補正）および高さ補正（オフセット補正）を行なうことで算出される。すなわち、分光特性測定装置１は、迷光パターンの波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１における波長についての変化量と、光検出器２５の補正領域２５ａで検出される結果に含まれる波長についての変化量とに基づいて、迷光パターンを補正することで、被測定光によって生じる迷光成分を算出する。
【００５２】
比率補正（振幅補正）においては、迷光パターンと測定スペクトル（ダーク補正後）との間で、波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１における傾き（波長に対する信号強度の変化度合い）の比率を算出し、この算出した比率で迷光パターンを振幅方向に拡大または縮小する。すなわち、上述した波長についての変化量の一例として、波長についての傾きが用いられる。そして、迷光パターンおよび測定スペクトルの波長についての変化量（波長についての傾き）に基づいて、迷光パターンが振幅方向に拡大または縮小される。
【００５３】
より具体的には、迷光パターンおよび測定スペクトル（ダーク補正後）について、波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１における傾きが一次近似などを用いて算出される。そして、以下のような式に従って、傾きの比率ｂが算出される。
【００５４】
傾きの比率ｂ＝（測定スペクトルの波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１における傾き）／（迷光パターンの波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１における傾き）
そして、迷光パターンに対して傾きの比率ｂの逆数を乗じることで、振幅補正後の迷光パターンが算出される。すなわち、傾きの比率ｂを用いて、以下のような式に従って、迷光パターンに対して振幅補正が実行される。
【００５５】
（振幅補正後の迷光パターン）＝（迷光パターン）／（傾きの比率ｂ）
すなわち、比率補正（振幅補正）においては、波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１における傾きに基づいて、波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１において、測定スペクトルとその波形が一致するように、迷光パターンが補正される。
【００５６】
高さ補正（オフセット補正）においては、測定スペクトル（ダーク補正後）と迷光パターン（振幅補正後）との間で、波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１における信号強度の差の平均値から、高さ補正値ｈが算出される。
【００５７】
高さ補正値ｈ＝Σ｛（測定スペクトル（ダーク補正後）の成分値）−（迷光パターン（振幅補正後）の成分値）｝／チャンネル数
そして、振幅補正後の迷光パターンに対して、高さ補正値ｈが一律に加算されることで、迷光スペクトルが算出される。
【００５８】
（迷光スペクトル）＝（迷光パターン（振幅補正後））＋高さ補正値ｈ
最終的に、測定スペクトルから迷光スペクトルが除算されることで、補正後の測定スペクトルとして出力される。
【００５９】
なお、波長についての変化量としては、上述の傾きに限らず、迷光パターンと測定スペクトル（ダーク補正後）との間で波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１における波形を一致させることができれば、どのような特徴量を用いてもよい。例えば、多項式を用いて波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１における波形を近似し、その近似した多項式に含まれる係数の比率などを用いてもよい。
【００６０】
＜Ｄ．制御構造＞
次に、上述のような補正処理を実現するための制御構造について説明する。図９は、本発明の実施の形態に従う分光特性測定装置１の処理装置１００における制御構造を示す概略図である。図９を参照して、処理装置１００は、迷光パターンを取得するための制御構造と、測定結果を算出するための制御構造とを有している。但し、迷光スペクトルを取得するための制御構造については、必ずしも処理装置１００に実装する必要はなく、別の校正装置などに実装してもよい。原則として、迷光パターンを頻繁に更新する必要はないからである。
【００６１】
より具体的には、処理装置１００は、迷光パターンを取得するための制御構造として、減算部２０２と、ボトム位置探索部２０４と、迷光パターン生成部２０６とを含む。一方、測定結果を算出するための構成として、処理装置１００は、記憶部２１０と、減算部２２２と、バッファ２２４と、比率算出部２２６と、高さ補正値算出部２２８と、乗算部２３０と、加算部２３２と、減算部２３４とを含む。
【００６２】
図９には、一例として、光検出器２５は、全体としてＭ個の検出素子を有し、そのうち短波長側のＮ個（１〜Ｎチャンネル）が補正領域２５ａ（図３）に対応し、残りの（Ｍ−Ｎ）個が有効検出領域２５ｂ（図３）に対応する。
【００６３】
迷光パターンを取得する場合には、ダーク測定および基準光に対する測定が実行される。減算部２０２は、基準光に対する測定によって取得されたスペクトルからダーク測定によって取得されるダークスペクトルを減じて、基準光についての迷光スペクトルを算出する。すなわち、減算部２０２は、ダーク補正を実行する。ボトム位置探索部２０４は、ダーク補正後の迷光スペクトルの波長範囲ｆｃｕｔ１〜ｆｃｕｔ２において信号強度が最小値となる位置（ボトム位置）を探索する。そして、ボトム位置探索部２０４は、ボトム位置に対応するチャンネル番号およびその信号強度（オフセット）を算出する。
【００６４】
迷光パターン生成部２０６は、迷光スペクトル（ダーク補正後）に対して、ボトム位置探索部２０４によって算出されたオフセットを一律に減じるとともに、ボトム位置探索部２０４によって算出されたボトム位置より長波長側の成分値をゼロに設定することで、迷光パターンを生成する。
【００６５】
記憶部２１０は、この生成された迷光パターンを格納する。
次に、測定結果を算出するための構成について説明する。
【００６６】
通常の測定時においても、被測定光に対する測定に加えてダーク測定が実行される。減算部２２２は、被測定光に対する測定によって取得された測定スペクトルからダーク測定によって取得されるダークスペクトルを減じて、測定スペクトル（ダーク補正後）を算出する。すなわち、減算部２２２は、ダーク補正を実行する。
【００６７】
バッファ２２４は、測定スペクトル（ダーク補正後）を一時的に格納する。
比率算出部２２６は、記憶部２１０から迷光パターンを読み出して、迷光パターンの波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１における傾き（波長に対する信号強度の変化度合い）を算出し、測定スペクトル（ダーク補正後）の波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１における傾きを算出し、そして、２つの傾きの間の比率ｂを算出する。なお、迷光パターンの波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１における傾きについては、迷光パターンとともに、記憶部２１０へ予め格納しておいてもよい。比率算出部２２６は、補正領域２５ａに対応する１〜Ｎチャンネルで検出された信号強度に基づいて、測定スペクトル（ダーク補正後）についての傾きを算出する。
【００６８】
高さ補正値算出部２２８は、記憶部２１０から迷光パターンを読み出して、迷光パターンと測定スペクトル（ダーク補正後）との間で、波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１における信号強度の差の平均値から、高さ補正値ｈを算出する。高さ補正値算出部２２８は、補正領域２５ａに対応する１〜Ｎチャンネルの各々で検出された信号強度と迷光パターンの対応する成分との差分をそれぞれ算出することで、高さ補正値ｈを算出する。
【００６９】
乗算部２３０は、記憶部２１０から迷光パターンを読み出して、迷光パターンに対して一律に１／ｂを乗じる。すなわち、乗算部２３０は、迷光パターンに対して比率補正（振幅補正）を実行する。
【００７０】
加算部２３２は、振幅補正後の迷光パターンに対して、高さ補正値ｈを一律に加算する。すなわち、加算部２３２は、迷光パターンに対して高さ補正（オフセット補正）を実行する。これにより、迷光スペクトルが算出される。
【００７１】
減算部２３４は、測定スペクトル（ダーク補正後）から算出された迷光スペクトルを減じることで、測定スペクトル（迷光補正後）を算出する。
【００７２】
＜Ｅ．処理装置の構成＞
上述した被測定光のスペクトルを補正する処理は、基本的には、処理装置１００によって実行される。以下、処理装置１００の構成について説明する。
【００７３】
図１０は、本発明の実施の形態に従う処理装置１００のハードウェア構成を示す概略構成図である。図１０を参照して、処理装置１００は、代表的にコンピュータによって構成される。より具体的には、処理装置１００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１０１と、メモリ１０２と、モニタ１０３と、マウス１０４と、キーボード１０５と、固定ディスク１０７と、通信インターフェイス部（Ｉ／Ｆ）１０８と、ＣＤ−ＲＯＭドライブ１０９とを含む。これらのコンポーネントは、相互にバス１０６で接続されている。
【００７４】
処理装置１００は、典型的には、ＣＰＵ１０１がメモリ１０２などのコンピュータハードウェアを用いて、プログラムを実行することで実現される。
【００７５】
固定ディスク１０７には、補正処理を実現するための補正ロジック１０７ａと当該補正に用いられる予め取得される迷光パターン１０７ｂとが格納される。補正ロジック１０７ａは、典型的には、ＣＰＵ１０１によって実行可能なプログラム（コード）として具現化される。迷光パターン１０７ｂについては、任意のデータ構造を採用することができる。一般的に、このようなプログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ１１０などの記録媒体に格納されて、あるいはネットワークなどを介して流通する。そして、このようなプログラムは、ＣＤ−ＲＯＭドライブ１０９などにより記録媒体から読取られて、固定ディスク１０７に一旦格納される。
【００７６】
ＣＰＵ１０１は、補正ロジック１０７ａを含む、各種のプログラムを順次実行することで、所定の演算を実施する演算処理部である。メモリ１０２は、ＣＰＵ１０１でのプログラム実行に応じて、各種の情報を一時的に記憶する。
【００７７】
モニタ１０３は、ＣＰＵ１０１によって算出される対象物の明るさや色合いなどの算出結果を表示するための表示装置であって、一例としてＬＣＤ（Liquid Crystal Display）やＣＲＴ（Cathode Ray Tube）などから構成される。
【００７８】
マウス１０４は、クリックやスライドなどの動作に応じたユーザからの指令を受付ける。キーボード１０５は、入力されるキーに応じたユーザからの指令を受付ける。
【００７９】
処理装置１００には、必要に応じて、プリンタなどの他の出力装置が接続されてもよい。
【００８０】
通信インターフェイス１０８は、処理装置１００と測定器本体２との間のデータ通信を仲介するための装置であり、測定器本体２から送信された測定データを示す電気信号を受信してＣＰＵ１０１が処理可能なデータ形式に変換するとともに、ＣＰＵ１０１が出力した指令などを電気信号に変換して測定器本体２へ送出する。
【００８１】
なお、本実施の形態に従う補正処理については、上述したようなＣＰＵ１０１がプログラムを実行することで提供される形態に代えて、その全部または一部を専用のプロセッサまたはＩＣ（集積回路）などを用いて実現するようにしてもよい。あるいは、専用のＬＳＩ（Large Scale Integration）を用いて実現してもよい。
【００８２】
＜Ｆ．処理手順＞
（ｆ１：概要）
本実施の形態に従う処理手順は、（１）迷光パターンの取得に係る処理（事前処理）と、（２）通常測定時におけるダーク補正および迷光補正を含む補正処理（通常測定）とに大別される。以下、それぞれの処理の詳細について説明する。
【００８３】
なお、現実の実施態様としては、メーカが分光特性測定装置を出荷する前段階で、迷光パターンの取得に係る処理が実行されて、取得された迷光パターンが当該分光特性装置に組込まれる（図１０の迷光パターン１０７ｂ）。そして、通常の測定時には、分光特性測定装置の内部で、このような迷光パターン１０７ｂを用いた迷光補正が自動的に実行されるという態様が最も一般的であると想定される。
【００８４】
（ｆ２：迷光パターン取得（事前処理））
図１１は、本発明の実施の形態に従う迷光パターン取得に係る処理内容を模式的に示す図である。図１１を参照して、本実施の形態に従う迷光パターンの取得処理では、外部カットフィルタ３１を用いて遮断波長ｆｃｕｔ２以下の成分を遮断した基準光を生成し、この基準光を測定器本体２へ入射させることで検出されるスペクトル３０１と、シャッター２１をクローズ位置に駆動して測定器本体２に光が入射しない状態で検出されるダークスペクトル３０２とを取得する。そして、スペクトル３０１からダークスペクトル３０２を減じる（ダーク補正する）ことで、迷光成分を示すスペクトル３０３が算出される。
【００８５】
このスペクトル３０３に対して、ボトム位置の探索およびオフセット分の補正が行なわれることで、迷光パターン３０４が算出される。
【００８６】
図１２は、本発明の実施の形態に従う迷光パターンの取得に係る手順を示すフローチャートである。図１２を参照して、まず、ユーザは、迷光パターンを算出するための基準光のスペクトルの測定に必要な治具を用意する（ステップＳ１００）。具体的には、外部カットフィルタ３１の配置や、基準光を発生するための光源が用意される。なお、測定器本体２および光源は、測定開始前に十分にエージングされる。
【００８７】
そして、ステップＳ１０２およびＳ１０４に示すダークスペクトルの取得処理が実行される。ステップＳ１０２において、シャッター２１がクローズ位置に駆動され、測定器本体２への光の入射が遮断された状態が形成される（ステップＳ１０２）。この状態で、測定器本体２で検出されたスペクトルがダークスペクトルとして取得される（ステップＳ１０４）。
【００８８】
続いて、ステップＳ１０６およびＳ１０８に示す迷光パターンを算出するためのスペクトルの取得処理が実行される。ステップＳ１０６において、ユーザは、基準光を測定器本体２へ入射させる。典型的には、基準光は、ブロードバンド光源から照射される光に対して、外部カットフィルタ３１（図２）を用いて遮断波長ｆｃｕｔ２より短い成分を遮断することで生成される。但し、レーザやＬＥＤなどの半導体発光デバイスを用いて、特定の波長範囲にのみ強度を有する光を基準光としてもよい。この状態で、測定器本体２で検出されたスペクトルが取得される（ステップＳ１０８）。
【００８９】
なお、上述のステップＳ１０２およびＳ１０４に示すダークスペクトルの取得処理と、ステップＳ１０６およびＳ１０８に示す迷光パターンを算出するためのスペクトルの取得処理とについては、いずれの順序で実行してもよい。
【００９０】
続いて、ステップＳ１１０〜Ｓ１１８に示す迷光パターンの算出処理が実行される。ステップＳ１１０において、ステップＳ１０８において取得されたスペクトルからステップＳ１０６において取得されたダークスペクトルを減算することで、基準光についての迷光スペクトルが算出される。この減算処理では、対応する各波長について２つの成分の間で引き算がそれぞれ実行される。ステップＳ１１０において算出された迷光スペクトルからボトム位置が探索される（ステップＳ１１２）。すなわち、ダーク補正後の迷光スペクトルの波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ２において信号強度が最小値をとる位置が探索される。
【００９１】
そして、ステップＳ１１２において探索されたボトム位置での信号強度をオフセットとし、ステップＳ１１０において算出された迷光スペクトルからこのオフセットが一律に差し引かれる（ステップＳ１１４）。さらに、ステップＳ１１４において算出されたスペクトルのうち、ボトム位置より長波長側の信号強度が一律にゼロに設定される（ステップＳ１１６）。以上の処理によって、迷光パターンが取得される。この迷光パターンは、典型的には、分光特性測定装置１の処理装置１００に格納される（ステップＳ１１８）。
【００９２】
なお、迷光パターンを振幅方向に規格化してもよい。すなわち、ボトム位置およびボトム位置より長波長側での信号強度をゼロとするとともに、信号強度の最大値が「１」や「２５５」などの値になるように全体をスケーリングしてもよい。
【００９３】
（ｆ３：ダーク補正／迷光補正（通常測定））
図１３は、本発明の実施の形態に従うダーク補正および迷光補正を含む通常測定に係る処理内容を模式的に示す図である。図１３を参照して、被測定光を測定器本体２へ入射させて検出される測定スペクトル３１１と、シャッター２１をクローズ位置に駆動して測定器本体２に光が入射しない状態で検出されるダークスペクトル３１２とを取得する。そして、測定スペクトル３１１からダークスペクトル３１２を減じる（ダーク補正する）ことで、被測定光を示すスペクトル３１３が算出される。
【００９４】
一方、予め取得されている迷光パターン３０４を補正することで、被測定光によって生じる迷光スペクトル３１４が算出される。具体的には、迷光パターン３０４に対して、傾きの比率の逆数（１／ｂ）が乗じられ、さらに、高さ補正値ｈが一律に加算される。すなわち、迷光パターン３０４に対して、比率補正（振幅補正）および高さ補正（オフセット補正）が実行されることで、迷光パターン３０４が算出される。上述したように、傾きの比率ｂおよび高さ補正値ｈについては、迷光パターン３０４およびスペクトル３１３の波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１の成分に基づいて算出される。
【００９５】
そして、ダーク補正後のスペクトル３１３から算出された迷光スペクトル３１４を減じることで、対象物の分光特性を示す測定スペクトル３１５を算出する。このスペクトル３１５が測定結果として出力される。
【００９６】
図１４は、本発明の実施の形態に従うダーク補正および迷光補正を含む通常測定に係る手順を示すフローチャートである。図１４を参照して、まず、ステップＳ２００およびＳ２０２に示すダークスペクトルの取得処理が実行される。ステップＳ２００において、シャッター２１がクローズ位置に駆動され、測定器本体２への光の入射が遮断された状態が形成される（ステップＳ２００）。この状態で、測定器本体２で検出されたスペクトルがダークスペクトルとして取得される（ステップＳ２０２）。
【００９７】
続いて、ステップＳ２０４およびＳ２０６に示す被測定光の測定スペクトルの取得処理が実行される。ステップＳ２０４において、ユーザは、プローブ６を対象物に近接配置し、対象物から放射される被測定光を、光ファイバ４を介して測定器本体２へ入射させる（ステップＳ２０４）。この状態で、測定器本体２で検出された測定スペクトルが取得される（ステップＳ２０６）。
【００９８】
このように、ステップＳ２０４およびＳ２０６においては、分光器２４に関連付けられ、波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１の成分が入射するように構成された補正領域２５ａと、この波長範囲より長波長側の有効波長範囲（波長範囲ｆｃｕｔ１〜ｆｍａｘ）の成分が入射するように構成された有効検出領域２５ｂとを含む光検出器２５に対して、有効波長範囲に強度を有する被測定光を入射させるステップが実行される。
【００９９】
なお、上述のステップＳ２００およびＳ２０２に示すダークスペクトルの取得処理と、ステップＳ２０４およびＳ２０６に示す測定スペクトルの取得処理とについては、いずれの順序で実行してもよい。
【０１００】
続いて、ステップＳ２０８〜Ｓ２２０に示す補正処理が実行される。すなわち、光検出器２５による検出結果に対して、被測定光によって生じる迷光成分を補正するステップが実行される。ステップＳ２０８において、ステップＳ２０６において取得された測定スペクトルからステップＳ２０２において取得されたダークスペクトルを減算することで、ダーク補正後の測定スペクトルが算出される。この減算処理では、対応する各波長について２つの成分の間で引き算がそれぞれ実行される。
【０１０１】
続いて、予め取得されている迷光パターンが読み出される（ステップＳ２１０）。すなわち、光検出器２５に生じる迷光を示す迷光パターンが読み出される。上述したように、迷光パターンは、有効波長範囲（ｆｃｕｔ１〜ｆｍａｘ）のうち長波長側の一部の波長範囲（ｆｃｕｔ２〜ｆｍａｘ）に強度を有する基準光を光検出器２５で検出した結果から取得される。
【０１０２】
続いて、読み出された迷光パターンおよび測定スペクトル（ダーク補正後）について、波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１における信号強度から傾きの比率ｂが算出される（ステップＳ２１２）。また、読み出された迷光パターンおよび測定スペクトル（ダーク補正後）について、波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１における信号強度から高さ補正値ｈが算出される（ステップＳ２１４）。
【０１０３】
ステップＳ２１２において算出された傾きの比率ｂ、および、ステップＳ２１４において算出された高さ補正値ｈに基づいて、迷光パターンが補正されることで、今回の測定における迷光スペクトルが算出される（ステップＳ２１６）。すなわち、ステップＳ２１２〜Ｓ２１６においては、迷光パターンの波長範囲ｆｍｉｎ〜ｆｃｕｔ１における波長についての第１の変化量と、光検出器２５の補正領域２５ａで検出される結果に含まれる波長についての第２の変化量とに基づいて、迷光パターンを補正することで、被測定光によって生じる迷光成分が算出される。
【０１０４】
ステップＳ２０８において取得された測定スペクトル（ダーク補正後）から算出した迷光スペクトルを減じることで、ダーク補正および迷光補正がなされた測定スペクトルが算出される（ステップＳ２１８）。この補正後の測定スペクトルが結果として出力される（ステップＳ２２０）。
【０１０５】
＜Ｇ．測定例＞
次に、本実施の形態に従う分光特性測定装置１を用いた測定結果の一例を示す。図１５は、本発明の実施の形態に従う分光特性測定装置１を用いた測定結果の一例である。
【０１０６】
図１５に示すような迷光パターンが予め取得されているとする。その上で、ある対象物からの被測定光を測定したところ、図１５に示すような測定スペクトルが得られたとする。なお、図１５には、ダーク補正後の測定スペクトルを示す。
【０１０７】
迷光パターンに対して、比率補正（振幅補正）および高さ補正（オフセット補正）が実行されることで、図１５に示すような迷光スペクトルが算出される。そして、測定スペクトルから迷光パターンを減じることで、迷光補正後の迷光スペクトルが算出される。
【０１０８】
図１５に示すように、本実施の形態に従う迷光補正を行なうことで、０次光の影響を受けやすい短波長側での迷光の影響を排除できていることがわかる。
【０１０９】
＜Ｈ．変形例＞
（ｈ１：変形例１）
上述の実施の形態においては、測定器本体２および処理装置１００をそれぞれ独立の装置として構成する場合について例示したが、両装置を一体化して構成してもよい。
【０１１０】
（ｈ２：変形例２）
図２に示す測定器本体２においては、内部カットフィルタ２３を用いて、筐体２７内に入射した光が入射しない補正領域２５ａを実現したが、分光器２４により反射されたいずれの光も入射しない任意の位置に補正領域２５ａを設けてもよい。
【０１１１】
（ｈ３：変形例３）
本発明に係るプログラムは、コンピュータのオペレーティングシステム（ＯＳ）の一部として提供されるプログラムモジュールのうち、必要なモジュールを所定の配列で所定のタイミングで呼出して処理を実行させるものであってもよい。その場合、プログラム自体には上記モジュールが含まれずＯＳと協働して処理が実行される。このようなモジュールを含まないプログラムも、本発明に係るプログラムに含まれ得る。
【０１１２】
さらに、本発明に係るプログラムは他のプログラムの一部に組込まれて提供されるものであってもよい。その場合にも、プログラム自体には上記他のプログラムに含まれるモジュールが含まれず、他のプログラムと協働して処理が実行される。このような他のプログラムに組込まれたプログラムも、本発明に係るプログラムに含まれ得る。
【０１１３】
さらに、本発明に係るプログラムによって実現される機能の一部または全部を専用のハードウェアによって構成してもよい。
【０１１４】
＜Ｉ．利点＞
本実施の形態によれば、分光特性測定装置１に測定器本体２に固有で生じ得る迷光成分を示す迷光パターンを予め取得しておき、各測定時において、迷光パターンをその状況に応じて補正（すなわち、迷光スペクトルを推定）した上で、測定スペクトルからその迷光スペクトルを減じることで、迷光成分の影響を低減除した被測定物の分光特性（スペクトル）を算出する。また、迷光補正とともに、光検出器に流れる暗電流などの影響もダーク補正によって低減する。これらの補正によって、被測定物のスペクトルをより高精度に取得できる。
【０１１５】
このように迷光パターンを入射する被測定光に応じて動的に補正することで、測定光源の変化に応じた迷光スペクトルをより正確に推定できる。本願発明者らの知見によれば、迷光の主たる要因となる０次光の強度、すなわち被測定光の総和エネルギーは、光源毎に異なり、生じる迷光のスペクトルも変化し得るが、基本の迷光パターンは、分光器および光検出器などの位置関係により決定されて変化しない。そのため、波長についての変化量（傾き）に基づいて０次光の影響を評価し、その評価結果から迷光パターンを振幅方向に拡大または縮小するとともに、オフセット補正を行なうことで、光源に応じた迷光スペクトルをより正確に推定できる。
【０１１６】
また、本実施の形態によれば、測定された迷光スペクトルから迷光パターンを算出するので、補正パターンを近似関数などで定義する構成とは異なり、分光特性測定装置１の別にパラメータなどを設定する必要がない。
【０１１７】
また、本実施の形態によれば、光検出器２５の検出面に、被測定光が入射しない領域（補正領域２５ａ）と、被測定光が入射する領域（有効検出領域２５ｂ）とが設けられており、補正領域２５ａでの検出結果に基づいて、迷光スペクトルが算出される。そのため、通常測定において、内部カットフィルタを交換するなどの機械的な動作が不要であり、かつ、測定スペクトルの検出に併せて検出される信号強度を用いて迷光スペクトルが算出されるので、処理時間を短縮できる。言い換えれば、処理時間の増大を回避しつつ、迷光補正を行ない、より高精度の測定を行なうことができる。
【０１１８】
また、本実施の形態によれば、測定毎にその状況に応じた迷光スペクトルが推定されるので、短時間の間に、環境（例えば、温度）が大きく変化するような状況であっても、安定して高精度の測定を行なうことができる。
【０１１９】
また、本実施の形態によれば、迷光パターンの取得時に、複数の外部カットフィルタを用いることで、対象の測定器本体に生じる迷光スペクトルの範囲を確認した上で、適切な外部カットフィルタおよび迷光パターンを取得できる。
【０１２０】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【０１２１】
１  分光特性測定装置、２  測定器本体、４  光ファイバ、６  プローブ、２０  光取入口、２１  シャッター、２２  スリット、２３  内部カットフィルタ、２４  分光器、２５  光検出器、２５ａ  補正領域、２５ｂ  有効検出領域、２６  光吸収部、２７  筐体、３１  外部カットフィルタ、１００  処理装置、１０１  ＣＰＵ、１０２  メモリ、１０３  モニタ、１０４  マウス、１０５  キーボード、１０６  バス、１０７  固定ディスク、１０７ａ  補正ロジック、１０７ｂ  迷光パターン、１０８  通信インターフェイス、１０９  ＣＤ−ＲＯＭドライブ、１１０  ＣＤ−ＲＯＭ、２０２，２２２，２３４  減算部、２０４  ボトム位置探索部、２０６  迷光パターン生成部、２１０  記憶部、２２４  バッファ、２２６  比率算出部、２２８  高さ補正値算出部、２３０  乗算部、２３２  加算部。
【図１】
0005484537.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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