(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
移送方向に沿って移送対象物を移送させる移送部と、前記移送対象物の側部で前記移送方向に沿って離隔するように配置され、前記移送対象物が前記移送方向に沿って移送されるようにガイドする複数の第１のローラーと、前記移送対象物の側部で隣接する第１のローラーの間に配置される第２のローラーと、前記の隣接する第１のローラーのうち前記移送方向を基準にして前記第２のローラーの後方に配置された第１のローラーと前記第２のローラーとの間に巻き掛けられるベルトと、前記第２のローラーを前記移送対象物に近づく方向又は前記移送対象物から遠ざかる方向に往復移動させる第２のローラー移動部と、前記第１のローラーを回転させ、前記第１のローラーと前記第２のローラーとの間に巻き掛けられたベルトを回転させる第１のローラー回転駆動部と、を含み、
前記移送対象物が前記ベルトに引っ掛かって停止した状態での第１のローラー回転駆動部のトルクを基準トルクと定義し、
前記第１のローラー回転駆動部のトルクを感知するトルクセンサー；及び
前記トルクセンサーで感知されたトルクが前記基準トルク以上である場合、前記第２のローラーを前記移送対象物から遠ざかる方向に移動させた後、再び前記第２のローラーを前記移送対象物に近づく方向に移動させるように前記第２のローラー移動部を制御する制御部；をさらに含むことを特徴とするガイドローラー装置。
【請求項２】
前記移送対象物が進入したことを感知する進入センサー；をさらに含み、
前記進入センサーによって前記移送対象物が進入したことを感知した後、前記第２のローラー移動部により、前記第２のローラーは前記移送対象物に近づく方向に移動することを特徴とする、請求項１に記載のガイドローラー装置。
【請求項３】
前記移送対象物が前記第２のローラー又は前記ベルトに衝突するときの衝撃を吸収するために、前記移送方向と交差する方向に沿って前記第２のローラーを前記移送対象物側に押す方向に弾性力を作用させるように前記第２のローラーに設置されるスプリング部材；をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載のガイドローラー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガイドローラー装置に関し、より詳細には、移送対象物が移送方向に沿って正常に移送されるように移送対象物の両側部からガイドするガイドローラー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
平板ディスプレイパネルなどのディスプレイ基板を製造するとき、基板にパターンを形成するために蒸着、洗浄、乾燥、エッチング、露光などの多様な工程が行われる。そして、これら各工程は、ほとんどが該当の工程を行うための工程チャンバーで行われるが、基板は、基板移送装置によってそれぞれの工程チャンバーに進入するために移送されたり、該当の工程チャンバーで工程が完了すると工程チャンバーから搬出するために移送される。
【０００３】
現在、基板移送装置で適用されている基板移送方式としては、基板を水平状態で支持して移送する水平移送方式、基板を垂直状態で支持して移送する垂直移送方式、そして、基板を傾斜した状態で支持して移送する傾斜移送方式などがある。
【０００４】
基板を移送する過程で正常に基板が移送される場合は、基板が移送方向に沿って直進しながら移送される。しかし、基板移送装置の回転力の不均衡、基板移送装置の平坦度の不良などの要因により、基板が移送方向に沿って直進できない場合が発生し得る。このように基板が移送方向に沿って直進できない場合に備えて、基板が正常に移送されるように、基板の両側部には基板の直進移送をガイドするガイドローラー装置が設置される。
【０００５】
図１は、従来のガイドローラー装置の一例を示した図である。
【０００６】
図１を参照すると、従来のガイドローラー装置では、複数のガイドローラー２０が移送方向Ａ１に沿って一定間隔だけ離隔するように配置され、それぞれのガイドローラー２０は、無動力で自由に回転できるように結合されている。移送対象物１０が移送方向Ａ１に沿って移送される途中、少し曲がってガイドローラー２０に衝突すると、ガイドローラー２０が回転しながら移送対象物１０の進行方向が反対の方向に変わり、移送対象物１０は再び移送方向Ａ１に沿って正常に移送できるように構成されている。
【０００７】
しかし、図１の（ｂ）に示したように、移送対象物１０が移送方向Ａ１を基準にして過度に曲がってガイドローラー２０に衝突すると、ガイドローラー２０はそれ以上回転せず、移送対象物１０がガイドローラー２０に引っ掛かって停止するという問題が発生する。このような問題を解決するためには、作業者が手動でガイドローラー２０を調整する方法などで移送対象物１０の移送を正常に復帰させていた。
【０００８】
このように移送対象物がガイドローラーに引っ掛かってそれ以上移送方向に沿って移送されない場合、工程装置を中止しなければならないので製品の生産効率が低下し、移送される移送対象物にも無理な外力が加えられるので移送対象物が損傷し得るという問題がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
したがって、本発明の目的は、このような従来の問題点を解決するために、移送対象物の正常な移送をガイドするローラーの他に、移送対象物に近づく方向に移動できるローラーをさらに備えることによって、移送対象物が移送方向を基準にして過度に曲がった場合にも、ローラーに引っ掛かって移送方向に沿って移送されなくなるという問題を防止できるガイドローラー装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記のような目的を達成するために、本発明のガイドローラー装置は、移送方向に沿って移送対象物を移送させる移送部と、前記移送対象物の側部で前記移送方向に沿って離隔するように配置され、前記移送対象物が前記移送方向に沿って移送されるようにガイドする複数の第１のローラーと、前記移送対象物の側部で隣接する第１のローラーの間に配置される第２のローラーと、前記の隣接する第１のローラーのうち前記移送方向を基準にして前記第２のローラーの後方に配置された第１のローラーと前記第２のローラーとの間に巻き掛けられるベルトと、前記第２のローラーを前記移送対象物に近づく方向又は前記移送対象物から遠ざかる方向に往復移動させる第２のローラー移動部と、前記第１のローラーを回転させ、前記第１のローラーと前記第２のローラーとの間に巻き掛けられたベルトを回転させる第１のローラー回転駆動部とを含み、前記移送対象物が前記ベルトに引っ掛かって停止した状態での第１のローラー回転駆動部のトルクを基準トルクと定義し、前記第１のローラー回転駆動部のトルクを感知するトルクセンサー；及び該トルクセンサーで感知されたトルクが前記基準トルク以上である場合、前記第２のローラーを前記移送対象物から遠ざかる方向に移動させた後、再び前記第２のローラーを前記移送対象物に近づく方向に移動させるように前記第２のローラー移動部を制御する制御部；をさらに含むことを特徴とする。
【００１１】
本発明に係るガイドローラー装置において、望ましくは、前記移送対象物が進入したことを感知する進入センサー；をさらに含み、該進入センサーによって前記移送対象物が進入したことを感知した後、前記第２のローラー移動部により、前記第２のローラーは前記移送対象物に近づく方向に移動する。
【００１２】
本発明に係るガイドローラー装置において、望ましくは、前記移送対象物が前記第２のローラー又は前記ベルトに衝突するときの衝撃を吸収するために、前記移送方向と交差する方向に沿って前記第２のローラーを前記移送対象物側に押す方向に弾性力を作用させるように前記第２のローラーに設置されるスプリング部材；をさらに含む。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のガイドローラー装置によると、移送対象物が移送方向を基準にして過度に曲がった場合にも、ローラーに引っ掛かって移送対象物が停止するという問題を防止することができる。
【００１４】
また、本発明のガイドローラー装置によると、曲がって進む途中でベルトに衝突した移送対象物を移送方向に正常に復帰させるとともに、ベルトに引っ掛かって停止した移送対象物を移送方向に容易に復帰させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】従来のガイドローラー装置の一例を示した図である。
【図２】本発明の一実施例に係るガイドローラー装置を示した図である。
【図３】図２のガイドローラー装置の第１のローラー回転駆動部によって回転する第１のローラー、第２のローラー及びベルトを示した図である。
【図４】移送対象物が移送方向に沿って移送されないときの図２のガイドローラー装置の第２のローラーの動作を説明する図である。
【図５】図２のガイドローラー装置のスプリング部材を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係るガイドローラー装置の各実施例を添付の図面を参照して詳細に説明する。
【００１７】
図２は、本発明の一実施例に係るガイドローラー装置を示した図で、図３は、図２のガイドローラー装置の第１のローラー回転駆動部によって回転する第１のローラー、第２のローラー及びベルトを示した図で、図４は、移送対象物が移送方向に沿って移送されないときの図２のガイドローラー装置の第２のローラーの動作を説明する図で、図５は、図２のガイドローラー装置のスプリング部材を示した図である。
【００１８】
図２ないし図５を参照すると、本実施例のガイドローラー装置１００は、移送対象物が移送方向に沿って正常に移送されるように移送対象物の両側部からガイドするものであって、移送部１１０、複数の第１のローラー１２０、第２のローラー１３０、ベルト１４０、第２のローラー移動部（図示せず）、第１のローラー回転駆動部（図示せず）、制御部（図示せず）、進入センサー１６０、及びスプリング部材１７０を含む。
【００１９】
前記移送部１１０は、移送対象物１０を下部で支持し、移送方向Ａ１に沿って移送対象物１０を移送させる。移送部１１０は、移送方向Ａ１に沿って配置されるボールスクリュー及び直線運動ガイド部と、ボールスクリューを回転させる回転駆動力を供給するモーターとを含んで構成することができる。移送部１１０は、モーターの回転方向に従って移送対象物１０を移送方向Ａ１に沿って又は必要に応じて移送方向Ａ１の反対方向に沿って移送させることができる。
【００２０】
本明細書において、移送対象物１０とは、基板トレーがない状態で移送される基板自体又は基板トレーに収容された基板を意味する。
【００２１】
前記複数の第１のローラー１２０は、移送対象物１０が移送方向Ａ１に沿って移送されるようにガイドするものであって、移送対象物１０の側部で移送方向Ａ１に沿って離隔するように配置される。第１のローラー１２０は、移送対象物１０を損傷させず、移送対象物１０に静電気を発生させない材質で形成することが望ましく、例えば、ＰＥＥＫ（ｐｏｌｙ  ｅｔｈｅｒ  ｅｔｈｅｒ  ｋｅｔｈｏｎｅ）などの材質で形成することができる。
【００２２】
第１のローラー１２０は、中心部を上下方向に貫通する回転軸を中心に回転できるように設置される。
【００２３】
前記第２のローラー１３０は、移送対象物１０の側部で隣接する第１のローラー１２０の間に配置される。第２のローラー１３０も、移送対象物１０を損傷させず、移送対象物１０に静電気を発生させない材質で形成することが望ましく、例えば、ＰＥＥＫ（ｐｏｌｙ  ｅｔｈｅｒ  ｅｔｈｅｒ  ｋｅｔｈｏｎｅ）などの材質で形成することができる。第２のローラー１３０も、中心部を上下方向に貫通する回転軸を中心に回転できるように設置される。
【００２４】
第２のローラー１３０は、移送方向Ａ１に沿って隣接する第１のローラー１２０の間に全て設置することもでき、一部の領域では隣接する第１のローラー１２０の間に設置し、他の一部の領域では隣接する第１のローラー１２０の間に設置しない場合のように間欠的に設置することもできる。
【００２５】
前記ベルト１４０は、第１のローラー１２０と第２のローラー１３０との間に巻き掛けられ、第１のローラー１２０及び第２のローラー１３０と共に回転することができる。図２に示したように、ベルト１４０は、隣接する第１のローラー１２０のうち移送方向Ａ１を基準にして第２のローラー１３０の後方に配置された第１のローラー１２０に巻き掛けられる。
【００２６】
ベルト１４０も、移送対象物１０を損傷させず、移送対象物１０に静電気を発生させない材質で形成されることが望ましい。
【００２７】
前記第２のローラー移動部（図示せず）は、移送対象物の移送方向Ａ１と交差する方向に沿って第２のローラー１３０を移送対象物に近づく方向Ｂ１又は移送対象物から遠ざかる方向Ｂ２に往復移動させる。
【００２８】
第２のローラー１３０が移送対象物に近づく方向Ｂ１に移動した状態では、第１のローラー１２０の回転軸と第２のローラー１３０の回転軸とを連結する仮想の直線は移送方向Ａ１に対して傾斜するように配置され、第２のローラー１３０が移送対象物から遠ざかる方向Ｂ２に移動した状態では、第１のローラー１２０の回転軸と第２のローラー１３０の回転軸とを連結する仮想の直線は移送方向Ａ１に対して実質的に平行に配置される。
【００２９】
第２のローラー移動部は、空圧シリンダー、ボールスクリューと回転モーターとを組み合わせた構造、リニアモーターなどの直線駆動ユニットによって具現することができ、このような直線駆動ユニットの構成は、当該技術分野の通常の技術者によって容易に具現可能であるので、それについての詳細な説明は省略する。
【００３０】
第２のローラー移動部は、それぞれの第２のローラー１３０を個別的に移動できるように構成することもでき、複数の第２のローラー１３０を一度に移動できるように構成することもできる。
【００３１】
前記第１のローラー回転駆動部（図示せず）は、第１のローラー１２０を回転させ、第１のローラー１２０と第２のローラー１３０との間に巻き掛けられたベルト１４０を回転させる。第１のローラー回転駆動部は、第１のローラー１２０を回転させる回転駆動力を供給するモーターと、モーターの回転駆動力を第１のローラー１２０に伝達する動力伝達ユニットとを含んで構成することができる。このような構成は、当該技術分野の通常の技術者によって容易に具現可能であるので、それについての詳細な説明は省略する。
【００３２】
第１のローラー回転駆動部は、それぞれの第１のローラー１２０を個別的に回転できるように構成することもでき、複数の第１のローラー１２０を同時に回転できるように構成することもできる。
【００３３】
前記制御部（図示せず）は、移送対象物１０がベルト１４０に引っ掛かった状態で、第１のローラー１２０を回転させても移送対象物１０が移送方向Ａ１に移送されずに停止したとき、移送対象物１０が正常に移送されるように第２のローラー移動部を制御する。
【００３４】
第１のローラー回転駆動部には、第１のローラー回転駆動部のトルクを感知するトルクセンサー（図示せず）が設置される。移送対象物１０がベルト１４０に衝突しない状態ではベルト１４０の回転を妨害する要素がないので、第１のローラー回転駆動部の定格トルクによってベルト１４０が回転することができる。しかし、図４の（ａ）に示したように、移送対象物１０がベルト１４０に衝突し、ベルト１４０に引っ掛かって停止した状態ではベルト１４０の回転が妨害されるので、ベルト１４０を回転させるのに必要な第１のローラー回転駆動部のトルクが増加するようになる。
【００３５】
このとき、移送対象物１０がベルト１４０に引っ掛かって停止した状態で第１のローラー回転駆動部の定格トルクを超えるトルクを基準トルクと定義する。
【００３６】
移送対象物１０がベルト１４０に引っ掛かって停止した状態でトルクセンサーで感知されたトルクが前記で定義した基準トルク以上である場合、制御部は、図４の（ｂ）に示したように、第２のローラー１３０を移送対象物から遠ざかる方向Ｂ２に移動させた後、図４の（ｃ）に示したように、再び第２のローラー１３０を移送対象物に近づく方向Ｂ１に移動させるように第２のローラー移動部を制御する。
【００３７】
図４の（ｃ）を参照すると、第２のローラー１３０が移送対象物に近づく方向Ｂ１に移動しながら移送対象物１０のコーナー部分を押し出すので、移送対象物１０の曲がった角度がある程度補償されながら、移送対象物１０は再び正常な軌道に復帰して移送方向Ａ１に沿って移送させることができる。
【００３８】
前記進入センサー１６０は、移送対象物１０が進入したことを感知する。
【００３９】
進入センサー１６０を用いて移送対象物１０が進入したことを感知した後、制御部は、第２のローラー１３０が移送対象物に近づく方向Ｂ１に移動するように第２のローラー移動部を制御する。
【００４０】
移送部１１０において進入センサー１６０が設置された端部の反対側端部には搬出センサー（図示せず）を設置することができる。搬出センサーによって移送対象物１０が搬出されたことを感知した後、制御部は、第２のローラー１３０が移送対象物から遠ざかる方向Ｂ２に移動するように第２のローラー移動部を制御することができる。
【００４１】
前記スプリング部材１７０は、移送対象物１０が第２のローラー１３０又はベルト１４０に衝突するときの衝撃を吸収するために第２のローラー１３０に設置される。
【００４２】
スプリング部材１７０は、移送方向Ａ１と交差する方向に沿って第２のローラー１３０を移送対象物１０側に押す方向Ａ１に弾性力を作用させるように設置される。移送対象物１０が第２のローラー１３０又はベルト１４０に衝突する場合、スプリング部材１７０の弾性力は、第２のローラー１３０を移送対象物１０側に押す方向Ｂ１に作用し、このような弾性力によって移送対象物１０の曲がった角度が補償されながら、移送対象物１０は移送方向Ａ１に再び復帰させることができる。
【００４３】
上述したように構成された本実施例に係るガイドローラー装置によると、移送対象物の正常な移送をガイドする第１のローラーの他に、移送対象物に近づく方向に移動できる第２のローラーをさらに備えることによって、移送対象物が移送方向を基準にして過度に曲がった場合にも、ローラーに引っ掛かって移送対象物が停止するという問題を防止することができる。
【００４４】
また、上述したように構成された本実施例に係るガイドローラー装置によると、第１のローラーと第２のローラーとの間に巻き掛けられたベルトを回転させることによって、曲がって進む途中でベルトに衝突した移送対象物を移送方向に正常に復帰させることができる。
【００４５】
また、上述したように構成された本実施例に係るガイドローラー装置によると、移送対象物がベルトに引っ掛かって停止したとき、第２のローラーを後退させてから再び前進させることによって、ベルトに引っ掛かって停止した移送対象物を移送方向に容易に復帰させることができる。
【００４６】
また、上述したように構成された本実施例に係るガイドローラー装置によると、第２のローラーを移送対象物側に押す方向に弾性力を作用させるスプリング部材を備えることによって、ベルトに衝突した移送対象物を移送方向に容易に復帰させることができる。
【００４７】
本発明の権利範囲は、上述した実施例及び変形例に限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲内で多様な形態の実施例に具現することができる。特許請求の範囲で請求する本発明の要旨を逸脱せず、当該発明の属する技術分野で通常の知識を有する者なら誰でも変形可能な多様な範囲までが本発明の請求範囲の記載の範囲内であると見なす。
【符号の説明】
【００４８】
１００：ガイドローラー装置、１１０：移送部、１２０：第１のローラー、１３０：第２のローラー、１４０：ベルト
【図１】
0005459748.tif 000002
【図２】
0005459748.tif 000003
【図３】
0005459748.tif 000004
【図４】
0005459748.tif 000005
【図５】
0005459748.tif 000006