(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形の板状体であるワークの底面に当接する複数の支持部材を、上下方向に沿って等間隔に配置された複数の支持位置の各々で保持する複数の支柱を備えたワーク積載装置において、
前記複数の支柱は、各々が水平面内で前記ワークの底面におけるプロセスパターン領域より大きい矩形状の領域の各角部に配置され、
前記複数の支持部材は、各々が固定支持部材及び可動支持部材からなり、
前記固定支持部材は、前記ワークの第１〜３の辺の各々に平行な上端が、前記ワークの前記第１〜３の辺の各々の端部内で、全長にわたって水平となるように前記支柱に固定され、
前記可動支持部材は、前記ワークの第４の辺に平行な上端が、前記ワークの第４の辺の端部内で、全長にわたって水平となるように前記支柱に上下方向に着脱自在に保持され、
前記領域の外側で、複数の前記可動支持部材を上下方向に着脱自在に保持して収納する収納部材を備えたワーク積載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造の熱処理装置等に用いられ、ガラス基板等の矩形の板状体のワークを所定の間隔を設けて多段に積載するワーク積載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造時には、矩形の板状体のワークである基板に対する熱処理が含まれる。熱処理の作業効率を向上するためには、熱処理装置内に複数枚の基板を収納することが考えられ、複数枚の基板を所定の間隔を設けて多段に積載するワーク積載装置が用いられている。
【０００３】
ワーク積載装置は、熱処理装置内に設置されており、基板を１枚ずつ支持する支持部を上下方向に多段に備えている。各支持部には、基板の底面に当接する複数の支持部材が配置されている。各支持部材と基板の底面との接触面積を小さくして基板の全面に均一な熱処理を施すべく、各支持部材を基板の底面に点接触させることとすると、基板は大型化に伴って大きな撓みを生じる。
【０００４】
そこで、従来のワーク積載装置では、各支持部材を支持フレームから基板の幅よりも短い所定長さだけ水平方向に延出した支持ピンで構成し、各支持部材が基板の底面に線接触するようにしたものがある（例えば、特許文献１参照。）。各支持部材と基板の底面との接触面積が拡大することで、基板の撓みを防止できると考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１４３９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、支持フレームから所定長さにわたって延出した支持ピンで基板を支持することとすると、支持ピンの自由端が基板の中心寄りに位置することになり、基板におけるプロセスパターン領域に達して温度ムラや傷による半導体製品の品質不良を生じる。基板の底面に点接触する支持部材を用いた場合でも、基板の撓みを防止すべく、支持部材の接触位置を基板の中心寄りに配置した際に同様の問題を生じる。
【０００７】
この発明の目的は、基板の底面における各辺の近傍の略全長に渡って当接するように支持部材を配置することで、プロセスパターン領域に劣化を生じることなく基板の大きな撓みを防止できるワーク積載装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明のワーク積載装置は、複数の支柱、及び支持部材を含む。複数の支柱は、各々水平面内でワークの底面におけるプロセスパターン領域より大きい矩形状の領域の各角部に配置され、支持部材を上下方向に沿って等間隔に配置された複数の支持位置の各々で保持する。支持部材は、固定支持部材及び可動支持部材からなる。固定支持部材は、ワークの第１〜３の辺の各々に平行な上端が、ワークの第１〜３の辺の各々の端部内で、全長にわたって水平となるように支柱に固定される。可動支持部材は、ワークの底面における第４の辺に平行な上端が、ワークの第４の辺の端部内で、全長にわたって水平となるように支柱に上下方向に着脱自在に保持される。また、領域の外側で、複数の可動支持部材を上下方向に着脱自在に保持して収納する収納部材を備えている。
【０００９】
この構成によれば、複数の支持位置の各々で、固定支持部材が上端をワークの底面における第１〜３の辺の各々に平行にして固定的に配置され、可動支持部材が上端をワークの底面における第４の辺の平行にして上下方向に着脱自在に配置される。各支持位置で、矩形の板状体であるワークの底面における４辺の各々の端部に、固定支持部材及び可動支持部材の上面が全長にわたって当接する。可動支持部材は、各支持位置に対するワークの搬入出時に、上端がワークの底面の第４の辺側の端部に当接した状態でワークとともに搬送アームに載置される。また、ワーク積載装置にワークを搬入する前に搬送アームに載置する可動支持部材、及びワーク収納部にワークを搬送した後の搬送アームから除去した可動支持部が、ワーク載置装置の近傍で収納される。
【００１０】
なお、ワークの底面における各辺の端部は、ワークのプロセスパターン領域以外の部分である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、基板の底面における各辺の近傍の略全長に渡って当接する支持部材を各支持位置に配置することができ、プロセスパターン領域に劣化を生じることなく基板の撓みを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】この発明の実施形態に係るワーク積載装置の外観図である。
【図２】同ワーク積載装置における支持位置の外観図である。
【図３】この発明の別の実施形態に係るワーク積載装置における支持位置の外観図である。
【図４】この発明の別の実施形態に係るワーク積載装置の固定支持部材及び可動支持部材の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に、図面を参照して、この発明の実施形態に係るワーク積載装置１０について説明する。
【００１６】
ワーク積載装置１０は、例えば、加熱装置２００内に配置され、液晶パネル等の材料となるガラス基板等の薄板状のワーク１００を所定の間隔を設けて多段に積載する。加熱装置２００の近傍には、収納カセット３００が配置されている。収納カセット３００は、加熱処理前の複数枚のワーク１００を収納する。ワーク１００は、ロボットアーム４００によってワーク積載装置１０と収納カセット３００との間に搬入出される。
【００１７】
ワーク積載装置１０は、台座１１、支柱２１，２２、第１固定支持部材３１、第２固定支持部材３２、可動支持部材３３を備え、支柱２１，２２の長手方向である垂直方向に沿って、複数の支持位置を備えている。複数の支持位置のそれぞれには、２本の第１固定支持部材３１、１本の第２固定支持部材３２が支柱２１，２２に固定されている。２本の第１固定支持部材３１は、ワーク１００の搬入出方向Ｘに平行にして、２本の支柱２１に固定されている。１本の第２固定部材３２は、ワーク積載装置１０の背面側で、２本の支柱２２に固定されている。可動支持部材３３は、複数の支持位置の各々におけるワーク積載装置１０の前面側で、２本の支柱２２に着脱自在に保持される。
【００１８】
加熱装置２００の近傍における収納カセット３００との間の収納位置５００に、複数の可動支持部材３３が上下方向に沿って所定の間隔を設けて収納されている。
【００１９】
ロボットアーム４００は、収納カセット３００内の未処理のワーク１００をワーク積載装置１０に搬入する際には、収納位置５００で可動支持部材３３を所定の位置に載置した後、収納カセット３００内のワーク１００を載置する。ロボットアーム４００は、可動支持部材３３及びワーク１００を載置した状態で、ワーク積載装置１０の何れかの支持位置に水平方向に進入する。
【００２０】
図２に示すように、支柱２１は、各支持位置に固定具４１を水平方向に突出させて備えている。固定具４１は、上面が開放した凹部４１１を備えている。第１固定支持部材３１は、凹部４１１内に嵌入した後、固定具４１の底面から凹部４１１内に貫通した図外の固定ネジにより固定される。凹部４１１の深さは第１固定支持部材３１の外径よりも小さくされており、凹部４１１に嵌入した第１支持部材３１の上端は固定具４１の上面よりも上方に露出する。
【００２１】
背面側の支柱２２は、各支持位置に固定具４２を水平に突出させて備えている。第２固定支持部材３２は、端面を固定具４２の垂直面４２１に当接させた状態で、固定具４２を側面から貫通した図外の固定ネジによって固定される。
【００２２】
なお、第１固定支持部材３１及び第２固定支持部材３２は、必ずしも固定具４１及び４２に固定されている必要はなく、載置されている状態でもよい。
【００２３】
前面側の支柱２２は、各支持位置に受け具４３を水平に突出させて備えている。受け具４３は、上面が水平の受け部４３１を備えている。可動支持部材３３は、両端部に形成された水平面３３１を受け部４３１に載置した状態で保持される。
【００２４】
固定具４１に固定された第１固定支持部材３１の上端、固定具４２に固定された第２固定支持部材３２の上端、及び受け具４３に保持された可動支持部材３３の上端は、同一水平面内に位置する。したがって、各支持位置においてワーク１００は、底面を第１固定支持部材３１、第２固定支持部材３２及び可動支持部材３３の各々の上端に当接させて水平に保持される。
【００２５】
第１固定支持部材３１及び第２固定支持部材３２は、ワーク１００の第１〜３の辺の各々に平行な上端が、ワーク１００の第１〜３の辺の各々の端部内で、全長にわたって水平となるように支柱２１，２２に固定される。可動支持部材３３は、ワーク１００の底面における第４の辺に平行な上端が、ワーク１００の第４の辺の端部内で、全長にわたって水平となるように支柱２２に上下方向に着脱自在に保持される。
【００２６】
第１固定支持部材３１、第２固定支持部材３２及び可動支持部材３３は、ワーク１００の底面におけるプロセスパターン領域１１０の外側に位置しているため、プロセスパターン領域１１０内に傷や温度ムラを生じさせることがない。
【００２７】
また、第１固定支持部材３１、第２固定支持部材３２及び可動支持部材３３は、ワーク１００の底面におけるプロセスパターン領域１１０の外側に、各辺の略全域にわたって連続して当接する。このため、ワーク１００は、各辺の略全域で保持され、熱処理中に大きな撓みを生じることがない。
【００２８】
なお、固定具４１，４２及び受け具４３は、支柱２１，２２の上下方向に沿って所定の間隔を設けて複数配置されている。したがって、複数の支持位置は、支柱２１，２２の上下方向に沿って所定の間隔で配置されている。所定の間隔は、２枚のワークの間にロボットアーム４００が搬入出方向Ｘに沿って進退し、ワーク１００をロボットアーム４００とワーク積載装置１０との間で移載するために十分な距離である。
【００２９】
ロボットアーム４００には、上面が開放した凹部４０１が形成されている。凹部４０１は、ロボットアーム４００の上面に載置したワーク１００におけるワーク積載装置１０の前面側端部とプロセスパターン領域１１０との間に、長手方向が搬入出方向Ｘに直交させて形成されている。凹部４０１の幅及び深さは、可動支持部材３３の外径に等しい。ロボットアーム４００に可動支持部材３３及びワーク１００を順に搭載すると、ワーク１００は底面に凹部４０１に嵌入した可動支持部材３３の上端が当接した状態で水平となる。
【００３０】
図３に示すように、第１固定支持部材３１の前面側端部に水平面３１１を形成し、可動支持部材３３の水平面３３１を水平面３１１で保持することもできる。ワーク積載装置１０の前面側で、第１固定支持部材３１の上端とワーク１００の底面との接触長さをより長くすることができる。
【００３１】
また、図４に示すように、２本の第１固定支持部材３１と１本の第２固定支持部材３２とを一体的に構成することもできる。ワーク積載装置１０の背面側で、第１固定支持部材３１の上端とワーク１００の底面との接触長さをより長くすることができる。
【００３２】
上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００３３】
１０−ワーク積載装置
２１，２２−支柱
３１−第１固定支持部材
３２−第２固定支持部材
３３−可動支持部材
１００−ワーク
２００−熱処理装置
３００−収納カセット
４００−ロボットアーム
５００−収納位置
【図１】
0005583516.tif 000002
【図２】
0005583516.tif 000003
【図３】
0005583516.tif 000004
【図４】
0005583516.tif 000005