(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが所定間隔を隔てて帯状の剥離シート上に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された原反の剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で剥離された接着シートを前記基材シートの他方の面側から押圧して被着体に貼付する押圧手段とを備え、
前記押圧手段には、前記基材シートの他方の面に当接可能な底面と、この底面から立ち上がって前記接着シートの外縁に当接可能な外周面と、を有した凹部が設けられ、
前記凹部の外周面は、前記接着シートの外縁と同形状かつ当該接着シートの厚みよりも大きな立ち上がり寸法を有して形成され、当該接着シートを支持した状態で前記接着剤層よりも当該外周面の開口側の位置には、前記被着体の外縁に当接して位置決め可能な位置決め手段が設けられ、
この凹部の底面および外周面を当接させた前記接着シートを前記位置決め手段で位置決めされた前記被着体に押圧して貼付可能に構成されていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが所定間隔を隔てて帯状の剥離シート上に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された原反の剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で剥離された接着シートを前記基材シートの他方の面側から押圧して被着体に貼付する押圧手段とを備え、
前記押圧手段には、前記基材シートの他方の面に当接可能な底面と、この底面から立ち上がって前記接着シートの外縁に当接可能な外周面と、を有した凹部が設けられ、
前記接着シートの接着剤層は、前記基材シートの外縁に沿った所定幅を有した環状に形成され、
前記凹部の底面は、前記外周面の基端部に沿って環状に設けられる高剛性領域と、この高剛性領域よりも内部側にて当該高剛性領域よりも剛性が低い低剛性領域とを有し、
この凹部の底面および外周面を当接させた前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付可能に構成されていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
前記凹部で前記接着シートを支持した前記押圧手段と、前記被着体とを相対移動させる移動手段を備えて構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが所定間隔を隔てて帯状の剥離シート上に仮着された原反を繰り出し、
繰り出した原反の剥離シートから前記接着シートを剥離し、
剥離した接着シートを全体略円筒状の押圧手段の凹部に受け入れ、この凹部の底面を前記基材シートの他方の面に当接させるとともに、この底面から立ち上がる凹部の外周面を前記接着シートの外縁に当接させた状態で当該接着シートを被着体に押圧して貼付するシート貼付方法において、
前記接着シートの中央を前記被着体の中央に押圧して貼付開始位置とする工程と、
前記被着体を前記凹部の外周面の開口部側の位置に設けられた位置決め手段で位置決めしつつ、前記貼付開始位置から前記接着シートの略半分を前記被着体の一方端に向けて貼付する工程と、
前記貼付開始位置から前記接着シートの残り略半分を前記被着体の他方端に向けて貼付する工程とを有することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、被着体としての半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）の表面にダイシングテープ等の接着シートを貼付するシート貼付装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。このシート貼付装置は、円柱状のサクションローラ表面に保持した接着シートをウェハ表面に押圧しながら転動させ、接着シートにウェハを貼付させて一旦サクションローラで保持するとともに、リングフレームに対してサクションローラを転動させて接着シートをリングフレームに貼付し、この接着シートを介してウェハとリングフレームとを一体化するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３３９６０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のシート貼付装置では、サクションローラを転動させて接着シートをウェハ表面に押圧しながら貼付するため、貼付開始位置をいくら正確に位置合せしても、接着シートが押圧力によって伸びてしまい、貼付が進むにつれてウェハの外縁からはみ出したり、ウェハからずれて貼付されてしまう等の不都合が生じる。特に、近年、ウェハ外径の大型化に伴って接着シートの面積が大きくなる傾向が顕著であり、微細な伸びが積算されることによって接着シート端部における積算伸び量が増大し、これによってウェハと接着シートとのずれが生じて貼付不良や塵の付着、搬送性の悪化、ウェハの破損など、様々な問題を招来してしまうこととなる。
【０００５】
本発明の目的は、被着体に対して所定の貼付位置に正確に接着シートを貼付することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明のシート貼付装置は、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが所定間隔を隔てて帯状の剥離シート上に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された原反の剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記剥離手段で剥離された接着シートを前記基材シートの他方の面側から押圧して被着体に貼付する押圧手段とを備え、前記押圧手段には、前記基材シートの他方の面に当接可能な底面と、この底面から立ち上がって前記接着シートの外縁に当接可能な外周面と、を有した凹部が設けられ、前記凹部の外周面は、前記接着シートの外縁と同形状かつ当該接着シートの厚みよりも大きな立ち上がり寸法を有して形成され、当該接着シートを支持した状態で前記接着剤層よりも当該外周面の開口側の位置には、前記被着体の外縁に当接して位置決め可能な位置決め手段が設けられ、この凹部の底面および外周面を当接させた前記接着シートを前記位置決め手段で位置決めされた前記被着体に押圧して貼付可能に構成されていることを特徴とする。
また、本発明のシート貼付装置は、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが所定間隔を隔てて帯状の剥離シート上に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された原反の剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記剥離手段で剥離された接着シートを前記基材シートの他方の面側から押圧して被着体に貼付する押圧手段とを備え、前記押圧手段には、前記基材シートの他方の面に当接可能な底面と、この底面から立ち上がって前記接着シートの外縁に当接可能な外周面と、を有した凹部が設けられ、前記接着シートの接着剤層は、前記基材シートの外縁に沿った所定幅を有した環状に形成され、前記凹部の底面は、前記外周面の基端部に沿って環状に設けられる高剛性領域と、この高剛性領域よりも内部側にて当該高剛性領域よりも剛性が低い低剛性領域とを有し、この凹部の底面および外周面を当接させた前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付可能に構成されていることを特徴とする。
【０００７】
この際、本発明のシート貼付装置は、前記凹部で前記接着シートを支持した前記押圧手段と、前記被着体とを相対移動させる移動手段を備えて構成されていることが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート貼付方法は、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが所定間隔を隔てて帯状の剥離シート上に仮着された原反を繰り出し、繰り出した原反の剥離シートから前記接着シートを剥離し、剥離した接着シートを全体略円筒状の押圧手段の凹部に受け入れ、この凹部の底面を前記基材シートの他方の面に当接させるとともに、この底面から立ち上がる凹部の外周面を前記接着シートの外縁に当接させた状態で当該接着シートを被着体に押圧して貼付するシート貼付方法において、前記接着シートの中央を前記被着体の中央に押圧して貼付開始位置とする工程と、前記被着体を前記凹部の外周面の開口部側の位置に設けられた位置決め手段で位置決めしつつ、前記貼付開始位置から前記接着シートの略半分を前記被着体の一方端に向けて貼付する工程と、前記貼付開始位置から前記接着シートの残り略半分を前記被着体の他方端に向けて貼付する工程とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、押圧手段の凹部に受け入れた状態の接着シートを被着体に押圧して貼付することで、接着シートが伸びようとしても、その外縁が凹部の外周面に当接することによって接着シートの伸びを拘束できることから、被着体の形状に応じて所定位置に接着シートを正確に貼付することができる。また、凹部で接着シートを受け入れることによって、貼付する際の接着シートの位置ずれを防止することもでき、これによって被着体への貼付位置をさらに正確に制御して貼付精度を高めることができる。
また、凹部の外周面開口側に位置決め手段が設けられているので、この位置決め手段を被着体の外縁に当接させて位置決めすることで、凹部に受け入れた接着シートと被着体とを正確に位置決めした状態で貼付することができ、貼付精度をより一層向上させることができる。
さらに、接着シートの接着剤層が環状であり、この接着剤層に対応した環状の高剛性領域と、その内部側にて可撓性を有した低剛性領域とが凹部の底面に形成されているので、高剛性領域によって接着剤層を強く被着体に押圧することができるとともに、低剛性領域が撓むことで被着体の内部側への押圧力を適宜に調節することができる。従って、例えば、被着体がその内部側（外縁部以外の部分）に電極等のバンプ（突起）を有したバンプウェハ等である場合であっても、そのバンプ部分への押圧力を適度に抑制することができ、被着体の破損を防止することができる。
【００１０】
この際、凹部に接着シートを受け入れた状態の押圧手段と被着体とを移動手段で相対移動可能に構成すれば、剥離手段から離れた位置に被着体が支持されていても押圧手段または被着体を移動させて接着シートを貼付することができ、この移動の際にも凹部によって接着シートの移動を規制できることから、貼付位置のずれを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】図１のシート貼付装置の動作説明図。
【図３】図２に続くシート貼付装置の動作説明図。
【図４】他の動作説明図。
【図５】本発明の第２実施形態に係るシート貼付装置の部分拡大図。
【図６】本発明の変形例に係るシート貼付装置の側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２実施形態以降において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材、および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。
【００１３】
〔第１実施形態〕
図１において、本実施形態のシート貼付装置１は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された接着シートＳを剥離シートＲＬから剥離して被着体としてのウェハＷに貼付するものである。ここで、接着シートＳは、基材シートＢＳの一方の面（剥離シートＲＬ側の面）に接着剤層ＡＤを有するとともに、予め所定形状（例えば、円形状）に形成されて接着剤層ＡＤが剥離シートＲＬに仮着された原反Ｒとして準備されている。接着剤層ＡＤは、基材シートＢＳの外縁に沿った所定幅の円環状に形成されており、この接着剤層ＡＤが設けられない接着シートＳの内側の部分は、基材シートＢＳの一方の面が露出してウェハＷに接着されないようになっている。また、ウェハＷは、図４に示すように、その表面に複数の電極等が突出したバンプ（突起）ＷＡを有するバンプウェハである。
【００１４】
シート貼付装置１は、原反Ｒを繰り出す繰出手段２と、繰り出された原反Ｒの剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離する剥離手段としての剥離板３と、この剥離板３で剥離した接着シートＳをウェハＷに押圧して貼付する押圧手段４と、この押圧手段４の上方にてウェハＷを下向きに支持するウェハ支持手段５と、押圧手段４をウェハＷに対して図１中上下左右に移動させる移動手段６とを備えて構成されている。
【００１５】
繰出手段２は、その全体がベースフレーム２０に支持され、このベースフレーム２０には、原反Ｒをロール状に巻回して支持する支持軸２１と、原反Ｒを案内する複数のガイドローラ２２，２３と、駆動機器である回動モータ２４によって駆動される駆動ローラ２５と、駆動ローラ２５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２６と、図示しない駆動機器によって剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２７とを備えて構成されている。
剥離板３は、ベースフレーム２０によって図１中左方向に延びて支持され、ガイドローラ２３から延びた剥離シートＲＬを駆動ローラ２５に向かって折り返すことで、接着シートＳを剥離シートＲＬから剥離するようになっている。
【００１６】
押圧手段４は、図１の紙面直交方向に延びる軸に沿った全体略円筒状の支持体４１と、この支持体４１を軸回りに回転させる駆動機器である回動モータ４２とを備え、回動モータ４２を介して移動手段６に支持されている。支持体４１には、その外周面から凹んだ凹部４３が形成され、この凹部４３は、平面に展開した形状が円形となり、ウェハＷおよび接着シートＳにほぼ隙間なく嵌り合う展開形状を有して形成されている。つまり、凹部４３は、平面に展開した形状がウェハＷおよび接着シートＳの平面形状と同一の形状を有した底面４４と、この底面４４から立ち上がる外周面４５とを有して形成されている。また、図４に示すように、支持体４１の中空内部には、図示しない吸引手段に接続されたチャンバー部４６が形成され、底面４４に形成された保持手段としての複数の吸引口４７を介して外気をチャンバー部４６に吸引することで、接着シートＳを凹部４３で吸引保持できるように構成されている。
【００１７】
さらに、凹部４３の底面４４は、金属、硬質樹脂、硬質ゴム等の剛性が大きな素材から構成されるとともに、支持した接着シートＳの接着剤層ＡＤ領域に対向する高剛性部である環状の高剛性領域４４Ａと、高剛性領域４４Ａよりも剛性が小さな軟質樹脂、軟質ゴム等の弾性部材から構成されるとともに、支持した接着シートＳの接着剤層ＡＤに対向する領域以外の領域に対向する低剛性部である円形の低剛性領域４４Ｂとを有して形成されている。このような底面４４では、支持した接着シートＳをウェハＷに押圧して貼付する際に、高剛性領域４４Ａが接着剤層ＡＤをウェハＷの外縁部表面に強く押圧して確実に貼付できる、一方、低剛性領域４４Ｂが変形することでウェハＷがバンプＷＡを介して局部的な押圧力を受けて破損することが防止できるようになっている。
【００１８】
また、凹部４３の外周面４５は、接着シートＳの厚み（基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとを合わせた厚み）よりも大きな立ち上がり寸法を有し、支持した接着シートＳの外縁に対向する対向面部４５Ａと、対向面部４５Ａよりも支持体４１の径方向外側つまり支持した接着シートＳの接着剤層ＡＤよりも外周面４５の開口側に位置する位置決め手段としての位置決め部４５Ｂとを有して構成されている。対向面部４５Ａは、支持した接着シートＳをウェハＷに押圧して貼付する際に、伸びようとする接着シートＳの外縁に当接することでその伸びを拘束し、接着シートＳがウェハＷの所定位置に貼付できるようにするシート拘束手段として機能するようになっている。また、位置決め部４５Ｂは、ウェハＷの外縁に当接することでウェハＷと接着シートＳとを位置決め可能に構成され、この位置決め部４５ＢをウェハＷの外縁に沿わせつつ支持体４１を回転させることで、接着シートＳがウェハＷからはみ出さずに貼付できるようになっている。なお、本実施形態の場合、外周面４５の立ち上がり寸法は、接着シートＳとウェハＷとを合わせた厚みよりも小さい寸法に設定されている。
【００１９】
ウェハ支持手段５は、全体矩形板状で中空状のテーブル５１と、この中空内部に接続される図示しない吸引手段とを有して構成され、テーブル５１の下面側に位置する支持面５２には、中空内部に通じる図示しない複数の吸引口が形成され、ウェハＷを支持面５２で吸引保持できるように構成されている。
移動手段６は、テーブル５１よりも図１の紙面奥側にて支持面５２に直交した上下方向に延びる駆動機器である直動モータ６１と、この直動モータ６１によってスライド駆動されるスライダ６２（図２参照）とを備え、このスライダ６２にシート支持手段４の回動モータ４２が固定されている。さらに、移動手段６は、直動モータ６１よりも図１の紙面奥側にて左右方向に延びる駆動機器である直動モータ６３と、この直動モータ６３によってスライド駆動されるスライダ６４とを備え、このスライダ６４に直動モータ６１が固定されている。
【００２０】
以上のシート貼付装置１でウェハＷに接着シートＳを貼付する手順としては、先ず、図１に示すように、移動手段６が直動モータ６１および直動モータ６３を駆動して剥離板３の先端位置近傍に支持体４１を配置させる。また、押圧手段４は、回動モータ４２を駆動して凹部４３の第１端部４３Ａを真下に向けることで、この第１端部４３Ａで接着シートＳの先端を受け入れ可能な初期状態とする。この初期状態から、繰出手段２で原反Ｒを繰り出すと、接着シートＳの先端が第１端部４３Ａに当接し、この当接したことが図示しないセンサ等の検出手段によって検出されると、接着シートＳの繰り出しと同期して（同じ速度で）回動モータ４２によって支持体４１を図１の時計回りに回転駆動する。そして、図２に示すように、剥離板３によって剥離シートＲＬから剥離される接着シートＳを凹部４３に受け入れつつ、底面４４の吸引口４７で基材シートＢＳを吸引して接着シートＳを保持することで、繰出手段２から押圧手段４に接着シートＳが受け渡される。この際、凹部４３の対向面部４５Ａで接着シートＳの外縁をガイドしつつ、押圧手段４が接着シートＳを受け取ることで、接着シートＳは凹部４３からはみ出したり大きく離隔したりすることなく、凹部４３にほぼ隙間なく嵌り合った状態で接着シートＳが保持されるようになっている。
【００２１】
（第１貼付手順）
次に、回動モータ４２および直動モータ６３を駆動して凹部４３の中央（接着シートＳの中央）がウェハ支持手段５の中央（ウェハＷの中央）に対向するように支持体４１を移動および回転させるとともに、移動手段６が直動モータ６１を駆動して押圧手段４を上昇させる。そして、凹部４３にウェハＷを受け入れるとともに、接着剤層ＡＤの一部をウェハＷの中央部に線状に接触させ、接着剤層ＡＤのウェハＷへの押圧力を適宜に調節したら直動モータ６１の駆動を停止してその位置を維持させるとともに、吸引口４７による吸引保持も停止する。この貼付開始位置から接着剤層ＡＤをウェハＷに押圧した状態のまま、先ず、移動手段６が直動モータ６３を駆動して押圧手段４を図３の右方向（一点鎖線の矢印で示す方向）に移動させるとともに、この移動に同期して（同じ速度で）押圧手段４が回動モータ４２を駆動して支持体４１を反時計回り（図３の一点鎖線の矢印で示す回転方向）に回転させ、この移動と回転を継続して凹部４３の第１端部４３ＡをウェハＷの一方端（図３の右側端）まで到達させることにより、接着シートＳの略半分の接着剤層ＡＤをウェハＷに貼付する。次に、直動モータ６３を逆向きに駆動して押圧手段４を図３の実線の矢印で示す方向に移動させるとともに、この移動に同期して（同じ速度で）回動モータ４２も逆回転して図３の実線の矢印で示す時計回りの回転方向に支持体４１を回転させ、貼付開始位置まで押圧手段４を移動させる。これに続いて、さらに直動モータ６３および回動モータ４２の駆動を継続し、押圧手段４を図３の二点鎖線の矢印で示す方向に移動および回転させ、凹部４３の第２端部４３ＢをウェハＷの他方端（図３の左側端）まで到達させることにより、接着シートＳの残り半分の接着剤層ＡＤをウェハＷに貼付する。
【００２２】
このような接着シートＳの貼付に際し、凹部４３の底面４４のうち、高剛性領域４４Ａが接着剤層ＡＤをウェハＷの外縁部表面に強く押圧して貼付する。一方、低剛性領域４４Ｂは、基材シートＢＳとウェハＷのバンプＷＡとが当接した反力によって支持体４１の内部側に変形し、このように低剛性領域４４Ｂが変形することでバンプＷＡに強い押圧力が作用せず、当該バンプＷＡを介してウェハＷが破損することを防止できるようになっている。以上のように接着シートＳ全体の接着剤層ＡＤをウェハＷに貼付したら、移動手段６および押圧手段４が直動モータ６１，６３および回動モータ４２をそれぞれ駆動して支持体４１を初期状態の位置に配置させて、次の接着シートＳの受け入れ状態で待機する。また、ウェハ支持手段５は、接着シートＳが貼付されたウェハＷを図示しない搬送手段に受け渡し、次のウェハＷを受け取って支持面５２の所定位置に吸引保持して待機する。その後、上述と同様の手順を繰り返すことで複数のウェハＷに順次接着シートＳを貼付できるようになっている。
【００２３】
（第２貼付手順）
なお、接着シートＳの貼付手順としては、上述の第１貼付手順以外に、以下の第２貼付手順を採用してもよい。すなわち、接着シートＳを支持した押圧手段４を移動手段６の直動モータ６１で上昇させる際に、凹部４３にウェハＷを受け入れ可能でかつ接着剤層ＡＤがウェハＷに接触しない程度の高さまで押圧手段４を上昇させたら、一旦直動モータ６１の駆動を停止する。この高さ位置において、先ず、移動手段６が直動モータ６３を駆動して押圧手段４を左右いずれかの方向に移動させるとともに、この移動に同期して押圧手段４が回動モータ４２を駆動して支持体４１を回転させる。そして、例えば、図４に示すように押圧手段４をウェハＷの右側端部まで移動させたら、回動モータ４２で支持体４１を反時計方向に回転させ、凹部４３の第１端部４３ＡをウェハＷの端縁に当接させ、凹部４３とウェハＷとの位置合わせを実施する。その後、移動手段６の直動モータ６１を駆動して接着剤層ＡＤをウェハＷに押圧してから、直動モータ６３を駆動して押圧手段４を図の左方向に移動させるとともに、この移動に同期して（同じ速度で）回動モータ４２駆動して支持体４１を図の時計回りに回転させ、接着剤層ＡＤを順次ウェハＷに押圧して貼付し、凹部４３の第２端部４３ＢがウェハＷの左側端部にくるまで押圧手段４の移動および回転を継続することにより、接着シートＳ全体の接着剤層ＡＤをウェハＷに貼付する。
【００２４】
本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、押圧手段４における支持体４１の凹部４３に接着シートＳを受け入れて支持することで、支持体４１に対する接着シートＳの位置ずれを防止することができるとともに、凹部４３でウェハＷを受け入れてガイドしつつウェハＷに接着シートＳを貼付することで、ウェハＷに対する接着シートＳの位置ずれも防止することができ、ウェハＷの所定の貼付位置に正確に接着シートＳを貼付することができる。さらに、移動手段６によって支持体４１で接着シートＳを押圧しながらウェハＷに貼付する際に、凹部４３の外周面４５で接着シートＳの伸びを拘束することで、接着シートＳがウェハＷからはみ出すことなく所定形状を維持したまま貼付することができ、貼付精度を向上させることができる。また、ウェハ支持手段５が下向きにウェハＷを支持して、その下方からシート支持手段４を上昇させて接着シートＳを貼付することで、ウェハＷの表面に埃などが付きにくくできる。
また、第１貼付手順を採用することで、第２貼付手順に比べて接着シートＳにおける貼付方向への積算伸び量を半分とすることができ、接着シートＳが対向面部４５Ａによって拘束される積算拘束量が半分となり、ウェハＷに貼付後の接着シートＳにおける内部応力を半減することができる。これにより、例えば、接着シートＳが貼付されたウェハＷが数十μｍにまで研削された場合、この接着シートＳの内部応力によってウェハＷがカールした（反り返った）状態となって、当該ウェハＷが破損するような不都合を防止することができる。これはウェハＷの大型化に伴って顕著化する不都合を効果的に解消することができる。
【００２５】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態に係るシート貼付装置１Ａを図５に基づいて説明する。
本実施形態のシート貼付装置１Ａにおいて、押圧手段４は、第１実施形態と同様の構成を備えるものの、剥離板３の先端近傍にて移動不能かつ回転可能に支持された支持体４１を備える、一方、ウェハ支持手段５は、移動手段６Ａによって図５中左右方向および上下方向に移動自在に支持されている。すなわち、移動手段６Ａは、図５中左右方向に延びる駆動機器である直動モータ６５と、この直動モータ６５のスライダ６６上に設けられてウェハ支持手段５のテーブル５１を昇降させる駆動機器である直動モータ６７とを有して構成されている。また、シート貼付装置１Ａには、テーブル５１の前方位置において剥離板３から突出した接着シートＳの下方からエアを吹き付けて接着シートＳの垂れ下がりを防止し、接着シートＳの先端部を押圧手段４の凹部４３に案内するアシスト手段７が設けられている。
【００２６】
このようなシート貼付装置１Ａにおける接着シートＳの貼付手順としては、先ず、押圧手段４が凹部４３の第１端部４３Ａを真下に向けた初期状態で待機する。この初期状態から、繰出手段２で原反Ｒを繰り出すと、剥離板３によって剥離シートＲＬから接着シートＳが剥離され、剥離された接着シートＳの先端がアシスト手段７でアシストされて当該接着シートＳの先端が第１端部４３Ａに当接して吸引保持される。この吸着が図示しないセンサ等の検出手段によって検出されると、アシスト手段７のエア吹き出しと繰出手段２の原反Ｒの繰り出しが停止する。次いで、移動手段６ＡによってウェハＷを上面に支持したテーブル５１を移動させ、ウェハＷの図中左端を第１端部４３Ａに当接させたら、その移動を停止することにより、凹部４３とウェハＷとの位置合わせが行われる。このとき、テーブル５１は、ウェハＷが凹部４３に受け入れ可能でかつ接着剤層ＡＤがウェハＷに接触しない程度の高さとなるように、直動モータ６７によってその高さ位置が設定されている。そして、直動モータ６７を駆動してテーブル５１を上昇させることで、接着シートＳの先端の接着剤層ＡＤをウェハＷの外縁部に接触させ、接着剤層ＡＤのウェハＷへの押圧力を適宜に調節したら直動モータ６７の駆動を停止してその位置を維持させるとともに、押圧手段４による接着シートＳの吸引保持も停止する。
【００２７】
次に、直動モータ６５がテーブル５１を図５中左方向への移動を開始させると同時に、回動モータ４２，２４（第１実施形態参照）によって支持体４１を図５の時計回りに回転駆動させるとともに、原反Ｒを繰り出すことで、接着シートＳを凹部４３に受け入れ、外周面４５によって接着シートＳの伸びやずれを規制しつつ、底面４４で基材シートＢＳの側から接着シートＳを押圧して接着剤層ＡＤをウェハＷに貼付する。このとき、接着シートＳにおける貼付後半領域が外周面４５によって拘束されていないことによって、接着シートＳにおける貼付方向の伸びを規制することができない場合、繰出手段２による接着シートＳの繰出速度をテーブル５１の搬送速度に比べて若干速くすることで解決することができる。このように接着シートＳの繰出速度を速くした場合、接着シートＳの繰出方向に直交する方向に当該接着シートＳが伸びようとするが、外周面４５が存在することで、この伸びも規制することができる。なお、接着シートＳの繰出速度は、接着シートＳの材質や雰囲気の温度等によって適宜オペレータが調整することができる。このようにして接着シートＳ全体をウェハＷに貼付したら、ウェハ支持手段５は、接着シートＳが貼付されたウェハＷを図示しない搬送手段に受け渡し、移動手段６Ａおよび押圧手段４は、直動モータ６５，６７および回動モータ４２をそれぞれ駆動して支持体４１を初期状態の位置に配置させて、次の接着シートＳの受け入れ状態で待機する。その後、上述と同様の手順を繰り返すことで複数のウェハＷに順次接着シートＳを貼付できるようになっている。
【００２８】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は前記記載で開示されているが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され且つ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状などの詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は本発明に含まれるものである。
【００２９】
例えば、前記実施形態では、被着体が半導体ウェハＷである場合を示したが、被着体は半導体ウェハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の部材も対象とすることができ、半導体ウェハとしては、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示できる。さらに、ウェハは、前記実施形態のようなバンプウェハに限らず、バンプのない表面がフラットなウェハであってもよい。
また、接着シートＳは、マウント用シートや、保護シート、ダイシングテープ、ダイボンディングテープなど、半導体ウェハに貼付される各種シートやテープ、フィルムであってもよいし、被着体が半導体ウェハ以外の部材である場合には、表面コーティング用のシートやフィルム、装飾用のシートなど、適宜な用途のシートが利用可能である。
さらに、縁環状の接着剤層ＡＤの内側に接着剤層が設けられていてもよいし、接着剤層は縁環状に形成されたもの以外に、基材シートＢＳの一方の全面に積層されたものであってもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
さらに、外周面４５の立ち上がり寸法を接着シートＳとウェハＷとを合わせた厚みよりも大きい寸法に設定してもよく、この場合、支持体４１の材質が凹む程度に押圧手段４を押圧したり、テーブル５１の支持面５２をウェハＷの外縁からはみ出さない寸法に設定したりすればよい。
また、凹部４３は、平面に展開した形状がウェハＷおよび接着シートＳの平面形状と完全に一致する形状でなく、部分的に一致する形状であってもよい。
【００３０】
また、図６に示すように、平板状の支持体４１Ａを有し、その下面側に凹部４３が形成された押圧手段４Ａと、テーブル上面に支持面５２を有したウェハ支持手段５Ａとを備えたシート貼付装置１Ｂが利用できる。この場合には、剥離板３によって剥離される前の接着シートＳの上方から支持体４１Ａを下降させて凹部４３に接着シートＳを受け入れ、底面４４に設けられた図示しない吸引口で基材シートＢＳを吸引して接着シートＳを保持する。そして、繰出手段２による接着シートSの繰り出しに同期して（同じ速度で）移動手段６が押圧手段４Ａを図の左方向に移動させつつ、剥離板３で剥離シートＲＬから剥離された接着シートＳを支持体４１Ａで支持する。次いで、移動手段６で押圧手段４Ａを下降させ、ウェハ支持手段５Ａに支持したウェハＷの上面に接着シートＳを押圧して接着シートＳをウェハＷに貼付するような貼付手順を採用することができる。
なお、シート貼付装置１Ｂにおいて、ウェハ支持手段５Ａの支持面５２をテーブル５１の上面に設けたが、これに限らず、前記ウェハ支持手段５と同様にテーブル下面側にウェハＷを支持する構成であってもよい。この場合には、押圧手段４Ａが回転手段を備え、この回転手段で支持体４１Ａを回転させて接着シートＳの接着剤層ＡＤを上向きにしてから、移動手段６で押圧手段４Ａを上昇させて接着シートＳをウェハＷの下方から押圧して貼付するように構成すればよい。
【符号の説明】
【００３１】
１，１Ａ，１Ｂ  シート貼付装置
２              繰出手段
３              剥離板（剥離手段）
４，４Ａ        押圧手段
６，６Ａ        移動手段
４３            凹部
４４            底面
４４Ａ          高剛性領域
４４Ｂ          低剛性領域
４５            外周面
４５Ｂ          位置決め部（位置決め手段）
４７            吸引口（保持手段）
Ｒ              原反
ＲＬ            剥離シート
Ｓ              接着シート
ＢＳ            基材シート
ＡＤ            接着剤層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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