(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート面方向に沿う所定の搬送方向に搬送される帯状のシート状基材を乾燥対象とし、前記シート状基材にエアを吹き付けることにより、前記シート状基材を乾燥させるシート状基材の乾燥装置であって、
全体として略柱状の部材として構成され、その長手方向に沿うエアの吹出口を有するとともに、同じく長手方向の一端側にエアの流入口を有し、前記シート状基材の両面側にて前記長手方向が前記シート状基材の幅方向となる姿勢で前記搬送方向に間隔を隔てて配設される複数のノズルと、
複数の前記ノズルがその前記流入口側から支持される支持面部を有し、該支持面部に複数の前記ノズルを支持した状態で、その支持する複数の前記ノズルに対して前記流入口を介してエアを供給するチャンバーと、
前記複数のノズルおよび前記チャンバーを収容し、前記シート状基材の搬送を許容する入口部および出口部を有するとともに、前記ノズルから吹き出されたエアの排気口を有する乾燥室と、
前記乾燥室に対して隔壁を介して設けられ、前記チャンバーの入口開口部を介して該チャンバーと連通するとともに、エアの供給口を有するエア供給室と、
前記乾燥室内のエアを吸入するとともにその吸入したエアを前記エア供給室に送入する循環ファンと、
を備え、
前記ノズルは、エアの流れにおける前記流入口と前記吹出口との間に整流部材を有し、
前記整流部材は、板状の多孔部材により構成され、エアの流れにおける前記流入口と前記吹出口との間に前記長手方向に沿って配され該長手方向に複数並設される開口部を有する基部と、前記開口部の前記長手方向における前記流入口側に対する奥側の辺部から前記吹出口側の反対側に延設される風向板部とを含み、
前記風向板部は、該風向板部の前記基部に対する前記流入口側の角度が、前記流入口側に位置する前記風向板部から、前記奥側に位置する前記風向板部にかけて、段階的に小さくなるように設けられる、
ことを特徴とするシート状基材の乾燥装置。
【請求項２】
前記ノズルと前記支持面部との間に介装され、その介装された状態で、前記流入口を覆うとともに、該流入口に連通する開口孔部を有し、前記チャンバーから前記ノズルに対するエアの供給量を調整するための流量調整部材を備え、
前記開口孔部の開口面積が、前記複数のノズル間で、前記ノズルの前記支持面部に対する支持位置に応じて調整されることを特徴とする請求項１に記載のシート状基材の乾燥装置。
【請求項３】
前記吹出口は、
前記ノズルのエアの吹出し側面部において前記搬送方向に対向する両辺部に設けられ、
前記長手方向に平行でありエアの吹出し側にかけて前記吹出し側面部における前記搬送方向中央側に傾斜する斜面である外側斜面と、該外側斜面に対して前記ノズルにおける内側に設けられ該外側斜面に対して平行でありかつ対向する斜面である内側斜面とにより形成されるスリット状の開口部であり、
前記外側斜面は、前記内側斜面よりもエアの吹出し側に延設される案内部を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート状基材の乾燥装置。
【請求項４】
前記スリット状の開口部に対する前記ノズルの内部からのエアの入口であるスリット入口の幅寸法が、前記スリット状の開口部のスリット幅寸法に対して十分な大きさを有することを特徴とする請求項３に記載のシート状基材の乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば電池用の電極シート等の乾燥用として好適なシート状基材の乾燥装置に関する。詳細には、例えば熱風エア等のエア（乾燥風）を吹き出すノズルを備え、このノズルから吹き出すエアを吹き付けることにより、搬送されるシート状基材を乾燥させるシート状基材の乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、帯状（長尺状）の形状を有するシート状（薄膜状）の部材を基材とする製品の製造に際し、そのシート状の基材（以下「シート状基材」という。）に乾燥を必要とする材料が塗布される場合、塗布された材料を乾燥させるために、ローラ等により搬送されるシート状基材を乾燥する乾燥装置が用いられている。このような乾燥装置により乾燥されるシート状基材としては、例えば、電極を構成する物質が有機溶剤（溶媒）等で分散等されたペースト状の材料が塗布された電池用の電極シートがある。
【０００３】
シート状基材の乾燥装置には、例えば熱風エア等のエア（乾燥風）を吹き出すノズルを備え、このノズルから吹き出すエアを吹き付けることにより、搬送されるシート状基材を乾燥させるものがある。
具体的には、例えば特許文献１および特許文献２に示されているように、エアを吹き出すノズルが、ローラ等により搬送されるシート状基材の両面側において、その搬送方向に間隔を隔てて複数配設される構成を有する乾燥装置である。かかる乾燥装置に備えられるノズルは、細長形状のエア吹出口を有し、そのエア吹出口が、シート状基材側に向かうとともに長手方向がシート状基材の搬送方向に対して垂直方向（シート状基材の幅方向）となるような姿勢で設けられる。このような構成を有する乾燥装置は、次のようにして用いられる。
【０００４】
すなわち、材料が塗布されるシート状基材の搬送ラインにおいて、乾燥装置は、シート状基材に対して材料が塗布される塗工装置が設けられる位置の下流側に設けられる。そして、搬送されながら塗工装置において塗工されたシート状基材が、乾燥装置に送られ、乾燥装置において搬送されつつ乾燥させられる。乾燥装置では、前記のとおり搬送されるシート状基材の両面側に配設される複数のノズルから、シート状基材に対してその両面側からエアが吹き付けられることにより、材料が塗布されたシート状基材が乾燥させられる。
【０００５】
上記のような構成を有する従来の乾燥装置（以下「従来装置」という。）においては、そのノズルの配設構成に起因して、次のような問題がある。従来装置におけるノズルの配設構成およびそれに起因する問題について、図１９および図２０を用いて具体的に説明する。
【０００６】
図１９は、従来装置におけるノズルの配設構成を示す模式図である。図１９に示すように、従来装置においては、前記のとおり搬送されるシート状基材１５０の両面側に配設されるノズル１０２は、シート状基材１５０を両側から挟んで対向する平面部１０６から、シート状基材１５０側に向けて突出する中空状の突条部分として構成される。言い換えると、従来装置におけるノズル１０２は、シート状基材１５０の両側において、シート状基材１５０に対してエアを吹き付ける方向に突出する中空状の突条部分として平面部１０６に設けられる。
【０００７】
このように突条部分として構成されるノズル１０２においては、その突出方向の先端側（シート状基材１５０側）にて突条部分の長手方向（図１９において紙面に垂直方向）に沿って細長形状のエア吹出口が設けられる。このようなノズル１０２は、前記のとおりエア吹出口の長手方向、つまり突条部分の長手方向がシート状基材１５０の幅方向（図１９において紙面に垂直方向）となるように設けられる。ノズル１０２が有するエア吹出口は、その長手方向の寸法について、少なくともシート状基材１５０の幅方向の寸法と略同じ寸法を有する。これにより、搬送されるシート状基材１５０の幅方向の全体にわたってエアが吹き付けられる。
【０００８】
このような構成のノズル１０２を備える従来装置においては、搬送されるシート状基材１５０に対して同じ側（図１９においては上側または下側）に設けられる複数のノズル１０２（の内部空間）が、例えば所定の個数ごとに、エアの案内通路となる空間を形成するチャンバー部１０５ａを介して連通された状態となる。つまり、前記のとおり平面部１０６から突出する突条部分として構成されるノズル１０２に対し、その平面部１０６を介してチャンバー部１０５ａが形成され、このチャンバー部１０５ａによって複数のノズル１０２（の内部空間）がその基部側（平面部１０６側）において連通される。そして、チャンバー部１０５ａによって連通される複数のノズル１０２に対しては、チャンバー部１０５ａを介してエアが供給される。したがって、ノズル１０２に対して、ノズル１０２の基部側（チャンバー部１０５ａ側）から先端側（エアの吹出し側）に向かう方向に、エアが供給されることとなる。つまり、従来装置においては、ノズル１０２に対するエアの供給方向と、ノズル１０２からのエアの吹出し方向とが略同じ方向となっている。
【０００９】
ところで、シート状基材の乾燥に際しては、乾燥のムラをなくすためや、シート状基材の安定した搬送を行うため、シート状基材に対してエアが均一に吹き付けられる必要がある。つまり、ノズルからそのエア吹出口の全体にわたってエアが均一に吹き出す必要がある。このため、図１９に示すような従来装置においては、各ノズル１０２に対しておよび各ノズル１０２におけるエア吹出口全体に対して、エアが均一に供給される必要が生じる。したがって、各ノズル１０２に連通するチャンバー部１０５ａにおいては、その内部でエアの流れが偏ることなく、各ノズル１０２に対しておよび各ノズル１０２におけるエア吹出口全体に対して、均一にエアが供給されるように、相当程度の大きさの空間が確保されることが必要となる。
【００１０】
図２０に、従来装置におけるノズルの配設構成の一例を示す。図２０に示すように、前記のとおり均一にエアが供給されるようにチャンバー部１０５ａについて相当程度の大きさの空間が確保される必要から、チャンバー部１０５ａを構成するチャンバー１０５が、ノズル１０２の大きさに対して比較的大容量のものとなる。
【００１１】
すなわち、図２０に示す構成においては、チャンバー１０５が有する供給口１１０から、チャンバー部１０５ａに対してエアが供給される。チャンバー部１０５ａに供給されたエアは、平面部１０６に設けられるノズル１０２とチャンバー部１０５ａとを連通する流入口１０４を介してノズル１０２に流入し、ノズル１０２のエア吹出口から吹き出し、シート状基材１５０に対して吹き付けられる。かかる構成においては、各ノズル１０２における吹出口全体に対して均一にエアが供給されるように、流入口１０４についてエア吹出口に対応する大きさが必要となるとともに、各ノズル１０２に対して（各流入口１０４に対して）均一にエアが供給されるように、チャンバー部１０５ａについて相当程度の大きさの空間が確保されることが必要となる。このため、チャンバー１０５が大容量なものとなる。
【００１２】
具体的には、チャンバー１０５の容積が十分に大きくなると、チャンバー１０５内におけるエアの流速が０に近付き、複数の各ノズル１０２の流入口１０４側付近（下面付近）のエア圧が均一化される。これにより、ノズル１０２内におけるエアの流れる方向は、ノズル１０２の流入口１０４から吹出し側まで垂直となる。言い換えると、流入口１０４からのエアの流入方向と、ノズル１０２からのエアの吹出し方向とが略同じ方向となる。このため、ノズル１０２の長手方向にはエアの流れが生じず、ノズル１０２の長手方向について均一なエアの吹出し量が得られる。また、チャンバー１０５の容積が十分に大きくなると、各ノズル１０２へのエアの供給圧が等しくなるので、チャンバー１０５に支持される複数の各ノズル１０２間でのエアの吹出し量の差もなくなる。
なお、図２０においては、シート状基材１５０の両面側に配されるノズル１０２のうち、片側（下側）に配されるノズル１０２のみを示している。したがって、実際の装置においては、シート状基材１５０を挟んで略対称に（シート状基材１５０の上側に）、ノズル１０２およびチャンバー１０５が設けられることとなる。
【００１３】
このように、従来装置においては、各ノズル１０２に対しておよび各ノズル１０２におけるエア吹出口全体に対して、均一にエアが供給されるものの、ノズル１０２の配設構成から、装置の大型化、特にノズル１０２に対してエアが供給される方向に対応するエアの吹出し方向（図１９および図２０において上下方向）の寸法についての大型化が避けられず、装置のコンパクト化を図ることが困難であった。具体的には、従来装置におけるエアの吹出し方向（上下方向）の寸法（高さ寸法）が、２０００ｍｍ程度となっていた。
【００１４】
また、乾燥装置においては、シート状基材に対してエアが吹き付けられることによる乾燥により、シート状基材に塗布された材料から成分が揮発する。シート状基材１５０が、例えば、電極を構成する物質が有機溶剤等で分散等されたペースト状の材料が塗布される電池用の電極シートである場合、そのシート状基材１５０の乾燥中に、揮発した溶剤（以下「揮発溶剤」という。）が生じる。このような揮発溶剤は、従来装置においては、そのノズル１０２の配設構成から、逃げ場がなく換気が困難であるため、隣り合うノズル１０２と平面部１０６とシート状基材１５０との間のスペース（例えば図１９において符号Ｓ１で示す部分）において滞留することとなる。このように搬送されるシート状基材１５０の近傍に滞留する揮発溶剤は、次のような問題を引き起こす。
【００１５】
すなわち、図１９に示すように、ノズル１０２からシート状基材１５０に吹き付けられたエアは、シート状基材１５０から跳ね返った後、チャンバー部１０５ａを形成する平面部１０６にて跳ね返り、再びシート状基材１５０に当たることとなる（図１９中、矢印参照）。このとき、前記のとおりシート状基材１５０の近傍に滞留している揮発溶剤が、エアとともにシート状基材１５０に吹き付けられ、シート状基材１５０に吸着することとなる。つまり、揮発溶剤が、シート状基材１５０に塗布されている材料に再び混ざることとなる。このように、ノズル１０２から吹き出されたエアの跳ね返りによってシート状基材１５０に揮発溶剤が吸着することは、シート状基材１５０の乾燥速度に影響を与え、乾燥装置における乾燥能力の低下を招く。
また、前述したように跳ね返ったエアがシート状基材１５０に再び当たることは、シート状基材１５０近傍の気流の安定性を低下させ、シート状基材１５０が振動する等、シート状基材１５０の搬送を不安定なものとする原因となる。
【００１６】
なお、図１９（ａ）は、例えば特許文献２に示されているように、搬送されるシート状基材１５０の両面側に設けられるノズル１０２が、シート状基材１５０の搬送方向において略同じ位置に配設される（対向配置される）構成を示している。また、同図（ｂ）は、同じくシート状基材１５０の両面側に設けられるノズル１０２が、シート状基材１５０の搬送方向において互い違いに（交互に）配設される構成を示している。これらいずれの構成を有する従来装置においても、前述したようなノズル１０２の配設構成に起因する問題が生じる。
【特許文献１】特開２００５−３０６５７号公報
【特許文献２】特開平９−６３５７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明は、上記のような従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、装置のコンパクト化を容易に図ることができるとともに、エアの吹付けによる乾燥によって生じる揮発溶剤等の揮発した成分の換気性の向上が図れ、基材に対する跳ね返りエアが防止できることから、乾燥効率の向上、および基材搬送の安定性の向上を図ることができるシート状基材の乾燥装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【００１９】
すなわち、請求項１においては、シート面方向に沿う所定の搬送方向に搬送される帯状のシート状基材を乾燥対象とし、前記シート状基材にエアを吹き付けることにより、前記シート状基材を乾燥させるシート状基材の乾燥装置であって、全体として略柱状の部材として構成され、その長手方向に沿うエアの吹出口を有するとともに、同じく長手方向の一端側にエアの流入口を有し、前記シート状基材の両面側にて前記長手方向が前記シート状基材の幅方向となる姿勢で前記搬送方向に間隔を隔てて配設される複数のノズルと、複数の前記ノズルがその前記流入口側から支持される支持面部を有し、該支持面部に複数の前記ノズルを支持した状態で、その支持する複数の前記ノズルに対して前記流入口を介してエアを供給するチャンバーと、前記複数のノズルおよび前記チャンバーを収容し、前記シート状基材の搬送を許容する入口部および出口部を有するとともに、前記ノズルから吹き出されたエアの排気口を有する乾燥室と、前記乾燥室に対して隔壁を介して設けられ、前記チャンバーの入口開口部を介して該チャンバーと連通するとともに、エアの供給口を有するエア供給室と、前記乾燥室内のエアを吸入するとともにその吸入したエアを前記エア供給室に送入する循環ファンと、を備え、前記ノズルは、エアの流れにおける前記流入口と前記吹出口との間に整流部材を有し、前記整流部材は、板状の多孔部材により構成され、エアの流れにおける前記流入口と前記吹出口との間に前記長手方向に沿って配され該長手方向に複数並設される開口部を有する基部と、前記開口部の前記長手方向における前記流入口側に対する奥側の辺部から前記吹出口側の反対側に延設される風向板部とを含み、前記風向板部は、該風向板部の前記基部に対する前記流入口側の角度が、前記流入口側に位置する前記風向板部から、前記奥側に位置する前記風向板部にかけて、段階的に小さくなるように設けられるものである。
【００２０】
請求項２においては、請求項１に記載のシート状基材の乾燥装置において、前記ノズルと前記支持面部との間に介装され、その介装された状態で、前記流入口を覆うとともに、該流入口に連通する開口孔部を有し、前記チャンバーから前記ノズルに対するエアの供給量を調整するための流量調整部材を備え、前記開口孔部の開口面積が、前記複数のノズル間で、前記ノズルの前記支持面部に対する支持位置に応じて調整されるものである。
【００２１】
請求項３においては、請求項１または請求項２に記載のシート状基材の乾燥装置において、前記吹出口は、前記ノズルのエアの吹出し側面部において前記搬送方向に対向する両辺部に設けられ、前記長手方向に平行でありエアの吹出し側にかけて前記吹出し側面部における前記搬送方向中央側に傾斜する斜面である外側斜面と、該外側斜面に対して前記ノズルにおける内側に設けられ該外側斜面に対して平行でありかつ対向する斜面である内側斜面とにより形成されるスリット状の開口部であり、前記外側斜面は、前記内側斜面よりもエアの吹出し側に延設される案内部を有するものである。
【００２２】
請求項４においては、請求項３に記載のシート状基材の乾燥装置において、前記スリット状の開口部に対する前記ノズルの内部からのエアの入口であるスリット入口の幅寸法が、前記スリット状の開口部のスリット幅寸法に対して十分な大きさを有するものである。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
すなわち、本発明によれば、装置のコンパクト化を容易に図ることができるとともに、エアの吹付けによる乾燥によって生じる揮発溶剤等の揮発した成分の換気性の向上が図れ、基材に対する跳ね返りエアが防止できることから、乾燥効率の向上、および基材搬送の安定性の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
次に、発明の実施の形態を説明する。
本発明に係るシート状基材の乾燥装置（以下単に「乾燥装置」という。）は、乾燥が必要な材料が塗布された帯状のシート状基材（薄膜基材）に対して熱風エア等のエアを吹き付けることにより、搬送されるシート状基材をリフティングしながら連続乾燥させる乾燥炉である。
すなわち、本発明に係る乾燥装置は、シート面方向に沿う所定の搬送方向に搬送される帯状のシート状基材を乾燥対象とするものであり、材料が塗布されるシート状基材の搬送ラインにおいて、シート状基材に対して材料が塗布される塗工装置が設けられる位置の下流側に設けられる。そして、搬送されながら塗工装置において塗工されたシート状基材が、乾燥装置に送られ、乾燥装置において搬送されつつ乾燥させられる。乾燥装置では、搬送されるシート状基材の両面側に配設される複数のノズルから、シート状基材に対してその両面側からエアが吹き付けられることにより、材料が塗布されたシート状基材が乾燥させられる。
以下では、本発明に係る乾燥装置の実施の一形態である乾燥装置１を用いて、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。
【００２５】
本実施形態の乾燥装置１は、その乾燥対象である帯状のシート状基材を、電池用の電極シート５０とする。つまり、電極シート５０には、電極を構成する物質が有機溶剤（溶媒）等に分散等されたペースト状の材料が塗布され、この電極シート５０に塗布された材料を乾燥させるため、乾燥装置１が用いられる。
また、本実施形態の乾燥装置１においては、電極シート５０の搬送方向（以下単に「搬送方向」ともいう。）は、電極シート５０のシート面方向に沿う水平方向となる。つまり、本実施形態の乾燥装置１では、帯状の電極シート５０は、そのシート面方向の長手方向に沿って乾燥装置１に対して水平方向に搬送される（図３矢印Ａ１参照）。
【００２６】
したがって、乾燥装置１における電極シート５０の搬送方向が、前記のとおり水平方向となるように、例えば、電極シート５０の搬送ラインにおいて、乾燥装置１の上流側に巻出し装置（図示略）が設けられるとともに、乾燥装置１の下流側に巻取り装置（図示略）が設けられる。そして、電極シート５０に対して材料を塗布するための塗工装置（図示略）が、乾燥装置１の上流側に設けられる。塗工装置においては、電極シート５０の片面または両面に、電極活物質のペースト材料が塗工される。材料が塗工された電極シート５０は、乾燥装置１に送られて乾燥させられる。
【００２７】
本実施形態の乾燥装置１は、前記のとおりシート面方向に沿う水平方向に搬送される帯状の電極シート５０を乾燥対象とし、その電極シート５０に熱風エア（以下単に「エア」という。）を吹き付けることにより、ペースト材料が塗布された電極シート５０を乾燥させる。
乾燥装置１は、電極シート５０に対してエアを吹き付けるための複数のノズル２を備える。
【００２８】
ノズル２は、電極シート５０の幅方向（搬送方向に対して垂直方向）を長手方向とするエアの吹出口３を有する。本実施形態に係る吹出口３は、スリット状の開口部として構成され、ノズル２におけるエアの吹出し側において、電極シート５０の搬送方向に対向するように平行に二箇所設けられる。なお、吹出口３の長さは、電極シート５０の幅方向の長さよりも長く設定されており、搬送される電極シート５０の幅方向の全体にわたってエアが吹き付けられる。
【００２９】
ノズル２は、乾燥装置１において、搬送される電極シート５０の両面側にて搬送方向に間隔を隔てて配設される。すなわち、本実施形態の乾燥装置１においては、水平方向に搬送される電極シート５０の上側および下側それぞれにおいて、複数のノズル２が、電極シート５０の搬送方向（水平方向）に間隔を隔てて配される。
また、本実施形態の乾燥装置１においては、電極シート５０に対して上側に配される複数のノズル（以下「上ノズル」という。）２と下側に配される複数のノズル（以下「下ノズル」という。）２とは、電極シート５０の搬送方向において互い違いに（交互に）配設される。
【００３０】
そして、本実施形態の乾燥装置１においては、ノズル２が、全体として吹出口３と長手方向を同じくする略柱状の部材として構成される。そして、ノズル２は、その長手方向の一端側にエアの流入口４を有し、この流入口４側が、複数のノズル２に対して流入口４を介してエアを供給するチャンバー５を構成する支持面部６に対して支持される。
【００３１】
すなわち、図１、図２、図５、および図６等に示すように、ノズル２は、全体として水平方向に配される略柱状（棒状）の中空部材として構成され、その長手方向が、電極シート５０の幅方向（搬送方向に対して垂直方向）と平行方向となるように設けられる。ノズル２の長さは、吹出口３が前記のとおり電極シート５０の幅方向の長さよりも長くなるため、電極シート５０の幅方向の長さよりも長くなる。
【００３２】
そして、このように略柱状に構成されるノズル２は、その長手方向の一端側にエアの流入口４を有し、この流入口４側が支持された状態で設けられる。ノズル２の支持は、ノズル２の長手方向の一端側がチャンバー５を構成する支持面部６に対して固定されることで行われる。つまり、ノズル２は、支持面部６に対して支持された状態で、流入口４を介してチャンバー５と連通した状態となる。したがって、支持面部６には、流入口４に対応する開口部が設けられる。
【００３３】
このようなノズル２を備える本実施形態の乾燥装置１においては、搬送される電極シート５０の上側および下側において、複数の略柱状のノズル２が、略鉛直面として構成される支持面部６から、水平方向であって電極シート５０の幅方向に突出した状態で設けられることとなる。かかる状態で設けられるノズル２は、上ノズル２と下ノズル２とで搬送方向において互い違いに配設される。
【００３４】
なお、本実施形態では、ノズル２は、長手方向の一端側に流入口４を有し、その流入口４側が支持される構成であるが、これに限定されず、長手方向の両端側に流入口４を有し、その両端側が支持される構成であってもよい。つまり、略柱状に構成されるノズル２が、その長手方向の両端側がチャンバーと連通する状態で支持されることにより、ノズル２に対してその両端側からエアが流入する構成であってもよい。
すなわち、略柱状に構成されるノズル２は、その長手方向の両端側の少なくとも一側にエアの流入口４を有し、この流入口４側が、チャンバーを構成する支持面部に対して支持される構成であればよい。
【００３５】
このようなノズル２の配設構成を備える乾燥装置１においては、装置のコンパクト化を容易に図ることができるとともに、エアの吹付けによる乾燥によって生じる揮発溶剤等の揮発した成分の換気性の向上が図れ、電極シート５０に対する跳ね返りエアが防止できることから、乾燥効率の向上、および基材搬送の安定性の向上を図ることができる。
【００３６】
すなわち、本実施形態の乾燥装置１においては、略柱状のノズル２に対して、その長手方向の端部側からエアが流入する構成であることから、チャンバー５のコンパクト化を図ることができる。これにより、装置の大型化、特にノズル２が電極シート５０を挟む方向（本実施形態では上下方向）の寸法についての大型化を避けることができ、装置全体のコンパクト化を容易に図ることができる。
装置のコンパクト化が図れることは、本実施形態の乾燥装置１では、電極シート５０に対して吹き付けられるエア（熱風エア）についての放熱量を低減することができること等の理由により、装置全体における熱効率の向上につながる。
【００３７】
また、ノズル２が、略柱状に構成されその長手方向の端部側が支持される構成、即ち略柱状のノズル２が、支持面部６から水平方向に突出した状態で設けられる構成であることから、各ノズル２の周囲にスペースが確保されることとなる。つまり、電極シート５０の上側および下側それぞれにおいて配設される複数のノズル２について、隣り合うノズル２間において、電極シート５０に対してエアが吹き付けられる方向と反対方向に吹き抜けの状態となる。
このため、図３および図７に示すように、隣り合うノズル２間においてエアが電極シート５０の反対側へと排出される通路が確保され、ノズル２から吹き付けられて電極シート５０から跳ね返ったエアが、ノズル２と電極シート５０との間のスペースの外部へと逃げることが可能となる。
【００３８】
これにより、エアが吹き付けられることで電極シート５０から生じる揮発した溶剤（揮発溶剤）の換気性の向上が図れ、揮発溶剤の濃度の高いエアが、電極シート５０の近傍に滞留することを防止することができるとともに、この滞留する揮発溶剤を含むエアが電極シート５０に対して再度吹き付けられて吸着することを防止することができる。結果として、電極シート５０の乾燥を促進して速やかに行うことができ、乾燥効率の向上を図ることができる。
【００３９】
また、前記のとおり電極シート５０から跳ね返ったエアが逃げることが可能となることから、従来装置において生じていた、基材に吹き付けられたエアが基材とチャンバーとの間で何度も跳ね返るというような、電極シート５０に対する跳ね返りエアを防止することができる。これにより、電極シート５０近傍の気流の安定性を保つことが実現でき、電極シート５０の振動を抑制することができる等、電極シート５０の搬送についての安定性の向上が図れる。
【００４０】
次に、本実施形態の乾燥装置１の全体的な構成について説明する。
図１および図２に示すように、乾燥装置１は、複数のノズル２と、ノズル２に対してエアを供給するチャンバー５と、ノズル２およびチャンバー５が収容される乾燥室７と、乾燥室７に対して隣接する状態で設けられるエア供給室８と、循環ファン９とを備える。
【００４１】
ノズル２は、前述したように、全体として略柱状の部材として構成され、その長手方向に沿うエアの吹出口３を有するとともに、同じく長手方向の一端側にエアの流入口４を有する。また、複数のノズル２は、電極シート５０の両面側にて前記長手方向が電極シート５０の幅方向となる姿勢で搬送方向に間隔を隔てて配設される。
本実施形態では、複数のノズル２は、電極シート５０の上側および下側それぞれにおいて七本ずつ（計十四本）等ピッチで配置され、電極シート５０の上下間では互い違いとなるように配置される。
【００４２】
チャンバー５は、複数のノズル２がその流入口４側から支持される支持面部６を有し、支持面部６に複数のノズル２を支持した状態で、その支持する複数のノズル２に対して流入口４を介してエアを供給する。
本実施形態では、上ノズル２および下ノズル２それぞれに対してチャンバー５が設けられる。つまり、搬送される電極シート５０に対して上側のチャンバー５と下側のチャンバー５とが設けられ、上側のチャンバー５に対して複数（本実施形態では七本）の上ノズル２が連通した状態で支持され、下側のチャンバー５に対して複数（本実施形態では七本）の下ノズル２が連通した状態で支持される。
【００４３】
チャンバー５は、平面視で略三角形状を有する平板状の中空部材として構成される。チャンバー５においては、その平面視形状である略三角形状における一辺部側に、ノズル２を支持する支持面部６が形成される。
本実施形態では、支持面部６は、電極シート５０の搬送方向に平行に配される略鉛直面部として構成される。つまり、チャンバー５が有する支持面部６は、電極シート５０の搬送方向に沿う細長状の面部であり、この支持面部６に対して、七本のノズル２が、等ピッチで配置されて支持される。
【００４４】
また、チャンバー５においては、その平面視形状である略三角形状における支持面部６と反対側となる頂点部側に、エアの入口開口部１０が設けられる。入口開口部１０は、中空部材であるチャンバー５においてその内部空間と外部とを連通させる。つまり、チャンバー５に対しては、入口開口部１０を介してエアが供給される。本実施形態では、入口開口部１０は、電極シート５０の搬送方向を長手方向とする略長方形状の開口部として構成される。
このように、平面視で略三角形状を有する平板状の中空部材として構成され、上ノズル２および下ノズル２それぞれに対して設けられるチャンバー５は、上下に略平行に略重なる状態となる。
【００４５】
乾燥室７は、前記のとおり複数のノズル２およびチャンバー５を収容する。つまり、搬送される電極シート５０を上下方向に挟むようにして設けられる複数のノズル２、およびそれを支持する上下のチャンバー５が、壁部等により囲まれることで形成される空間（略閉空間）の内部に収容されることで、乾燥室７が構成される。したがって、乾燥室７は、電極シート５０の搬送を許容する入口部１１および出口部１２を有する。入口部１１および出口部１２は、例えば、乾燥室７を構成する壁部に、乾燥室７の内部と外部とを連通させる開口部が設けられることにより構成される。
【００４６】
本実施形態では、乾燥室７は、電極シート５０の搬送方向を長手方向とする略直方体状の空間に、複数のノズル２およびチャンバー５が収容されることにより構成される。そして、乾燥室７において、その長手方向の一側（上流側）の壁部に入口部１１が設けられ、同じく他側（下流側）の壁部に出口部１２が設けられる。乾燥室７の寸法としては、例えば、長手方向（図２における上下方向）の寸法が３０００ｍｍ程度、高さ方向（図１における上下方向）の寸法が７００ｍｍ程度とされる。
【００４７】
また、乾燥室７は、ノズル２から吹き出されたエアの排気口１３を有する。排気口１３は、乾燥室７を構成する壁部に設けられ、乾燥室７の内部と外部とを連通させる開口部等により構成される。本実施形態では、排気口１３は、乾燥室７を構成する壁部のうち、ノズル２が突出する方向と反対側の壁部において、その搬送方向の下流側に設けられる。本実施形態では、排気口１３は、図１および図３に示すように、乾燥室７を構成する壁部における上側に設けられる。
このように排気口１３を有する乾燥室７においては、ノズル２から吹き付けられて電極シート５０から跳ね返り、前記のとおり隣り合うノズル２間を吹き抜けたエア等が、排気口１３を介して乾燥室７の外部へと排出される。
【００４８】
エア供給室８は、乾燥室６に対して隔壁１４を介して設けられ、チャンバー５の入口開口部１０を介してチャンバー５と連通する。
エア供給室８は、乾燥室７に隣接するとともに、壁部等により囲まれることで形成される空間（略閉空間）として構成される。エア供給室８は、乾燥室７に対して隔壁１４により区画される。エア供給室８は、乾燥室７に対して、その収容するノズル２の突出する方向と反対側、つまりチャンバー５の入口開口部１０側（以下「反ノズル側」という。）に設けられる。そして、エア供給室８は、チャンバー５に対して入口開口部１０を介して連通した状態となる。つまり、エア供給室８は、乾燥室７に対して隔壁１４を介して隔てられるとともに、チャンバーの入口開口部１０を介してチャンバー５内と連通する。したがって、チャンバー５は、その入口開口部１０が隔壁１４を介してエア供給室８内に臨む状態で、乾燥室７内において配置支持される。
【００４９】
本実施形態では、エア供給室８は、電極シート５０の搬送方向を長手方向とするとともに、その長手方向の寸法が乾燥室７の半分程度となる略直方体状の空間として構成される。そして、エア供給室８は、乾燥室７に対して反ノズル側において搬送方向の一側（上流側）に設けられる。したがって、エア供給室８は、乾燥室７とともに平面視で略Ｌ字状を構成する状態となる（図２参照）。乾燥室７とエア供給室８とを含む、搬送方向に対して垂直方向（図２における左右方向）の寸法としては、例えば２２００ｍｍ程度とされる。
【００５０】
また、エア供給室８は、エアの供給口１５を有する。供給口１５は、エア供給室８を構成する壁部に設けられ、エア供給室８の内部と外部とを連通させる開口部等により構成される。本実施形態では、供給口１５は、エア供給室８を構成する壁部のうち、搬送方向の上流側の壁部に設けられる。本実施形態では、供給口１５は、図４に示すように、エア供給室８の壁部における下側に設けられる。
このように供給口１５を有するエア供給室８においては、例えば熱交換器と送風機とを備えるエア発生装置等の、熱風を発生させるためのエア源（図示略）から導かれたエアが、供給口１５を介してエア供給室８の内部へと供給される。
【００５１】
循環ファン９は、乾燥室７内のエアを吸入するとともにその吸入したエアをエア供給室８に送入する。
循環ファン９は、モータ等の駆動源により回転するプロペラ（図示略）を有するとともに排風ダクト部９ａを有し、プロペラの回転によりエアの流れを形成することで、乾燥室７内のエアを吸入して排風ダクト部９ａを介してエア供給室８へと送り込む。したがって、循環ファン９は、乾燥室７およびエア供給室８に対して連通した状態となる。循環ファン９は、乾燥室７に対して反ノズル側であって、エア供給室８に対して搬送方向の他側（下流側）に設けられる。
【００５２】
すなわち、循環ファン９は、乾燥室７に対しては、乾燥室７における反ノズル側の壁部に設けられる吸入口１６を介して連通する。本実施形態では、吸入口１６は、図３および図４に示すように、乾燥室７の壁部における下側に設けられる。
また、循環ファン９は、エア供給室８に対しては、エア供給室８における搬送方向の他側（下流側）の壁部側から、排風ダクト部９ａの先端部に設けられる出口開口部９ｂを介して連通する。つまり、循環ファン９は、その出口開口部９ｂがエア供給室８における搬送方向の他側の壁部を介してエア供給室８内に臨む状態で設けられる。
なお、乾燥室７（吸入口１６）と循環ファン９との間には、吸入ダクト１７が設けられる。
【００５３】
本実施形態の乾燥装置１においては、前述したように、エア供給室８は、その長手方向の寸法が乾燥室７の半分程度となるように構成されるとともに、乾燥室７に対して搬送方向の一側（本実施形態では上流側）に設けられる。これにともない、チャンバー５においては、その平面視形状である略三角形状において頂点部側に設けられる入口開口部１０が、搬送方向の一側に偏った位置に設けられる。つまり、チャンバー５は、その平面視形状である略三角形状が、頂点部側が搬送方向の一側に偏ることで搬送方向に非対称な形状となるように構成される。そして、循環ファン９が、乾燥室７の反ノズル側において、搬送方向でエア供給室８が設けられる側と反対側に、搬送方向において乾燥室７からはみ出ないように設けられる。
【００５４】
このように、乾燥装置１においては、チャンバー５がその平面視形状が搬送方向に非対称な形状となるように構成されるとともに、エア供給室８および循環ファン９が、乾燥室７の搬送方向の寸法内に収まるように構成されことで、装置のコンパクト化が図られている。
【００５５】
以上のような構成を備える乾燥装置１においては、次のようにして電極シート５０の搬送および乾燥が行われる。
すなわち、乾燥装置１においては、乾燥対象である電極シート５０が、入口部１１および出口部１２を介して貫通した状態となる乾燥室７内において、上下のノズル２からエアが吹き付けられることにより、気流搬送されながら乾燥させられる。ここで、電極シート５０は、上下のノズル２からエアが吹き付けられることによりリフティングされ波打った状態となる（図７参照）。
【００５６】
エア供給室８においては、前記のとおりエア源から供給口１５を介してエアが供給される。供給口１５を介してエア供給室８内に取り込まれたエアは、入口開口部１０を介して上下各チャンバー５に供給される。チャンバー５内に取り込まれたエアは、チャンバー５を介して各ノズル２へと導かれて流入口４を介してノズル２内に流入し、ノズル２が有する吹出口３から、電極シート５０に対して吹き付けられる。
【００５７】
そして、ノズル２の吹出口３から電極シート５０に対して吹き付けられ、乾燥室７内に存在するエアは、その一部が、排気口１３を介して乾燥室７の外部へと排出される。また、同じく乾燥室７内に存在するエアは、循環ファン９によって乾燥室７の下側に設けられる吸入口１６を介して吸入され、排風ダクト部９ａから出口開口部９ｂを介してエア供給室８へと送り込まれる。そして、循環ファン９によってエア供給室８内に送り込まれたエアは、前記のとおり供給口１５から供給されるエアとともに、再びチャンバー５へと供給される。つまり、循環ファン９により、乾燥室７内のエアが、エア供給室８を介して各チャンバー５に再び送り込まれることで循環する状態となる。これにより、乾燥室７内がエア（熱風エア）によって昇温する。
【００５８】
ここで、供給口１５と排気口１３とは、エア供給室８に対する供給口１５を介しての単位時間あたりのエアの供給量と、乾燥室７からの排気口１３を介しての単位時間あたりのエアの排出量とが、略同じ量となるように構成される。つまり、供給口１５からは、排気口１３から排出されるエアの量に見合う量のエアが供給される。これにより、乾燥室７内が略一定の圧力（気圧）に保たれる。
【００５９】
以上のような構成を備える本実施形態の乾燥装置１においては、ノズル２が、その長手方向の一端側に流入口４を有し、その流入口４側が、チャンバー５の支持面部６に対して支持される。つまり、本実施形態の乾燥装置１においては、略柱状のノズル２に対して、その長手方向の一側からエアが供給される構成となっている。
また、ノズル２は、エアの流れにおける流入口４と吹出口３との間に整流部材２０を有する。
【００６０】
本実施形態のノズル２のように、略柱状に構成され、その長手方向の一側からエアが供給される構成においては、ノズル２の長手方向について流入口４から離れた位置、つまり流入口４に対して奥側の位置であるほど、供給されるエアの流速が高くなる。
【００６１】
このため、例えば図１１に示すように、整流板（整流部材２０）を有しない場合のノズル２０２においては、ノズル２０２の長さによっては、エアの吹出し側面部２３１において長手方向に沿って形成されるスリット状の吹出口から吹き出すエアについて、その吹出し量が長手方向で不均一となる（図１１中、矢印参照）。
【００６２】
すなわち、ノズル２０２において、その長手方向の一端側に設けられる流入口２０４から流入したエアは、直進性を有することから、流入口２０４から供給されるエアについては、ノズル２０２の長手方向において流入口２０４に近い位置側（手前側）から、流入口２０４から離れた位置側（奥側）にかけてエアの流速が高くなる。また、スリット状の吹出口の面積は、ノズル２０２における流入口２０４から流入したエアの流路面積（直進方向の断面積）に比べて極めて小さいものとなる。
これらのことから、ノズル２０２において吹き出されるエアの量は、その長手方向において手前側から奥側にかけて多くなり、ノズル２０２の末端付近で最も多くなる。かかる現象は、ノズル２０２において、例えば従来装置等において用いられている多数の小孔が略全面に形成されている平板状の整流板が備えられる構成であっても同様に生じることとなる。
なお、図１１において、（ａ）はノズル２０２の斜視図であり、（ｂ）はノズル２０２の内部を示す側面模式図である。
【００６３】
また、前記のような現象、つまりノズル２０２においてその長手方向の長さによって吹き出すエアの量が長手方向で不均一となる現象についての対策として、図１２に示すような整流板３２０を用いる方法が考えられる。
【００６４】
すなわち、図１２（ａ）に示すように、整流板３２０を有する場合のノズル３０２においては、その平板状の整流板３２０が、ノズル３０２の内部であって、その長手方向の一端側に設けられる流入口３０４よりも上側にて、エアの吹出し側面部３３１と平行に設けられる。
そして、図１２（ｂ）に示すように、整流板３２０は、多数の小孔３２１を有するとともに、その小孔３２１が設けられる面積が、ノズル３０２の長手方向において流入口３０４に近い位置側（手前側、図１２において左側）から、流入口３０４から離れた位置側（奥側、図１２において右側）にかけて徐々に小さくなるように構成されている。図１２（ｂ）においては、整流板３２０において小孔３２１が設けられる部分の平面視形状が、ノズル３０２の奥側に対応する側が頂点側となる三角形状とされることで、小孔３２１が設けられる面積が前記のとおり徐々に小さくなるように調整されている。
なお、図１２において、（ａ）はノズル３０２の内部を示す側面模式図であり、（ｂ）は整流板３２０を示す平面図である。
【００６５】
このように、整流板３２０において、ノズル３０２における奥側に対応する側にかけて小孔３２１が設けられる面積が小さくされることで、ノズル３０２において整流板３２０を通過するエアについての圧力損失が、ノズル３０２の奥側にかけて高くなる。これにより、前記のとおりノズル３０２の長手方向において流入口３０４の奥側にかけて多くなるエアの吹出し量について、その均一化が図れる。つまり、整流板３２０において小孔３２１が設けられる面積が小さくなる部分は、その分、圧力損失が高くなり、整流板３２０を通過するエアの量も少なくなる。このため、小孔３２１が設けられる面積の大きさの調整により圧力損失が調整されることで、ノズル３０２におけるエアの吹出し量が調整され、その長手方向におけるエアの吹出し量の均一化が図られる。
しかし、図１２に示すような整流板３２０が用いられる方法は、前記のとおり整流板３２０を通過するエアの圧力損失が高くなるため、エアの循環効率が低下し、エネルギーロスが大きくなることから、得策ではない。
【００６６】
そこで、本実施形態の乾燥装置１におけるノズル２が有する整流部材２０は、次のような構成を備える。整流部材２０の構成について、図８〜図１０を用いて説明する。
整流部材２０は、板状の多孔部材により構成される。すなわち、整流部材２０は、全体として、例えばパンチングメタルやエキスパンドメタル等の、多数の小孔２１を有する板状部材により構成される。
整流部材２０は、複数の開口部２３を有する基部２２と、開口部２３の一辺部から延設される風向板部２４とを含む。
【００６７】
基部２２は、ノズル２において、エアの流れにおける流入口４と吹出口３との間にノズル２の長手方向に沿って配される。
本実施形態では、水平方向に突出された状態で設けられるノズル２に対して、基部２２は、その面方向が水平面方向となる。また、基部２２は、ノズル２の内部において、流入口４と吹出口３との間を仕切るような状態となるように構成される。このため、基部２２は、ノズル２の内部空間の平面視形状に対応する形状・大きさを有する。したがって、本実施形態では、基部２２は、ノズル２の内部空間の平面視形状に沿う長方形状となる外形を有する。そして、基部２２は、ノズル２の内部において流入口４よりも吹出口３側（図１０において上側）に位置する。
【００６８】
また、基部２２は、ノズル２の長手方向に複数並設される開口部２３を有する。
本実施形態では、開口部２３は、長方形状となる基部２２に対して、その長手方向に間隔を隔てて六個設けられている。各開口部２３は、矩形状を有し、その矩形状が、基部２２の外形形状である長方形状に沿うように形成される。
また、各開口部２３の大きさは、基部２２の長手方向において略対称となるように設定される。したがって、本実施形態では、図９に示すように、六個の開口部２３のうち、基部２２の長手方向（図９において左右方向）両側に設けられる四個（片側二個）の開口部２３が略同じ大きさを有し、基部２２の中央部に設けられる二個の開口部２３が互いに略同じ大きさを有する。なお、基部２２の中央部に設けられる二個の開口部２３は、その大きさが、他の開口部２３よりも若干大きめに設定されている。
【００６９】
風向板部２４は、開口部２３の、ノズル２の長手方向における流入口４側に対する奥側（以下単に「奥側」といい、その反対側を「手前側」ともいう。）の辺部（以下「奥側辺部」という。）２３ａから、吹出口３側の反対側（図１０において下側）に延設される。
開口部２３における奥側辺部２３ａは、前記のとおり矩形状を有する開口部２３において奥側（図９および図１０において左側）の部分を形成する辺部である。したがって、奥側辺部２３ａは、ノズル２における流入口４からのエアの流入方向（ノズル２の長手方向）に対して垂直方向の辺部となる。そして、この開口部２３における奥側辺部２３ａから、風向板部２４が、ノズル２におけるエアの吹出し側と反対側（図１０において下側、以下「反吹出し側」という。）において突出する板状の部分として延設される。
【００７０】
また、風向板部２４は、この風向板部２４の基部２２に対する流入口４側の角度が、流入口４側（手前側）に位置する風向板部２４から、奥側に位置する風向板部２４にかけて、段階的に小さくなるように設けられる。
ここで、風向板部２４の基部２２に対する流入口４側の角度（以下「風向板角度」という。）とは、基部２２の面方向に対する風向板部２４の面方向の角度のうち、流入口４側（図１０において右側）の角度である。言い換えると、風向板角度とは、ある風向板部２４について、その奥側辺部２３ａより流入口４側に位置する基部２２の部分（の面方向）に対する、風向板部２４（の面方向）の角度である。したがって、前記のとおり基部２２が水平面方向となる本実施形態では、風向板角度は、水平方向に対する風向板部２４の面方向の角度のうち流入口４側の角度となる（図１０中、符号α１参照）。
【００７１】
本実施形態の整流部材２０においては、六つの風向板部２４についての風向板角度が、手前側（図１０において右側）に位置するものから順に、９０°、９０°、４５°、３０°、２０°、２０°として設定され、段階的に小さくなっている。
したがって、図１０に示すように、手前側に位置する二つの風向板部２４ａ、２４ｂは、基部２２に対して反吹出し側に垂直方向に突出する板状の部分となる。また、他の四つの風向板部２４ｃ〜２４ｆは、基部２２に対して反吹出し側かつ流入口４側（図１０において右側）に向かう斜め方向（図１０において下右斜め方向）に突出する板状の部分となる。
【００７２】
整流部材２０は、本実施形態では次のようにして構成される。すなわち、整流部材２０の製造には、多数の小孔２１が形成されている長方形状の平板状の部材が用いられる。この平板状の部材の開口部２３に対応する矩形状の部分において、奥側辺部２３ａに対応する辺部以外の辺部（矩形状のうちの三つの辺部）が切り込まれる。そして、その切込みにより形成された開口部２３の形状に対応する矩形状の片部が、反吹出し側に折り曲げられる。これにより、長方形状の外形を有する基部２２において開口部２３および風向板部２４が形成され、整流部材２０が構成される。
そして、整流部材２０においては、例えば整流部材２０を構成する素材が有する塑性等により、風向板角度（風向板部２４の折曲げ角度）が任意に調整できるようになっている。
【００７３】
以上の構成を備える整流部材２０は、ノズル２に対して、その基部２２がノズル２の内部において流入口４よりも吹出口３側（図１０において上側）に位置する状態で設けられる。
また、整流部材２０は、ノズル２内に設けられた状態で、複数の風向板部２４のうち、前記のとおり風向板角度が９０°である手前側の二つの風向板部２４ａ、２４ｂの先端が、ノズル２の壁面（内面）に接する状態となる。
このようにして、整流部材２０は、ノズル２内において流入口４と吹出口３との間に設けられる。なお、整流部材２０のノズル２に対する固定に際しては、ボルト等の締結具による固定や溶接による固定など適宜の方法が用いられる。
【００７４】
このように、整流部材２０を有するノズル２においては、流入口４からノズル２内に流入したエアは、その大部分が、基部２２の下側において、各風向板部２４により開口部２３へと導かれるとともに、風向板部２４が有する小孔２１あるいは風向板部２４とノズル２の壁面との間の隙間を介して奥側に進行する。そして、ノズル２内に流入したエアは、開口部２３あるいは基部２２が有する小孔２１を介して吹出口３から吹き出すこととなる。
すなわち、ノズル２内に整流部材２０が設けられることにより、風向板部２４が存在することによって、ノズル２に対する流入口４からのエアの進入方向の速度成分が減少するとともに、風向板部２４によりエアが開口部２３に導かれることによって、吹出口３からのエアの吹出し方向のエアの流れが作られるという作用が得られる。
【００７５】
ここで、ノズル２内において各風向板部２４が位置する部分における、風向板部２４によって開口部２３に導かれるエアの量と、風向板部２４を介して奥側に進行するエアの量との関係については、風向板角度が大きいほど、開口部２３に導かれるエアの量の方が多くなる。
したがって、風向板角度は、前述したように手前側に位置する風向板部２４から奥側に位置する風向板部２４にかけて段階的に小さくなっているため、手前側ほど開口部２３に導かれるエアの量の方が多くなる。これにより、前述したような、ノズルにおいて手前側から奥側にかけて、エアの流速が高くなりその吹出し量が多くなるという現象に対して、エアの吹出し量についての均一化が図れる。
【００７６】
すなわち、整流部材２０においては、ノズル２において吹出口３に対して均等にエアが供給されるように、開口部２３についての大きさや数や形状や、風向板部２４についての大きさや形状や風向板角度等が、ノズル２（吹出口３）の大きさ（長さ）や形状等に対応して調整される。したがって、整流部材２０における開口部２３の大きさや風向板部２４の風向板角度等については、本実施形態に限定されるものではなく、ノズル２（吹出口３）の大きさ等によって適宜設定される。
また、風向板角度の調整のための構成についても、本実施形態に限定されるものではない。風向板角度の調整のための構成としては、例えば、風向板部２４が基部２２とは別体とされ、その風向板部２４が、基部２２に対して角度調整可能に連結される構成等であってもよい。
【００７７】
このように、ノズル２が整流部材２０を有することにより、本実施形態の乾燥装置１のように、略柱状に構成されるノズル２に対してその長手方向の一側からエアが供給される構成において、ノズル２の長手方向の寸法にかかわらず、ノズル２内に流入するエアの流速が不均一となるノズル２の長手方向について、その長手方向に沿って設けられる吹出口３に対して均等にエアを供給することが可能となる。つまり、ノズル２の長手方向に沿って形成される吹出口３からのエアの吹出し量について、吹出口３の長手方向についての均一化が図れる。これにより、装置のコンパクト化をより容易に図ることが可能となる。
【００７８】
すなわち、ノズル２が略柱状である構成においては、そのノズル２の長手方向に沿って形成される吹出口３の長さが比較的長く、ノズル２が、例えば、整流部材２０を有しない構成や、従来装置等において用いられている平板状の整流板が備えられる構成である場合など、その吹出口３に対して均等にエアが供給されるためには、ノズル２の長手方向の両側からエアが供給される必要が生じる。
そこで、前述したような整流部材２０がノズル２に設けられることにより、吹出口３からのエアの吹出し量について均一化が図れるとともに、本実施形態の乾燥装置１のように略柱状のノズル２に対してその長手方向の一側からエアが供給される構成が実現できる。これにより、電極シート５０の上下において平行に配設される複数のノズル２に対して、その長手方向の両側からエアが供給される構成、例えばノズル２の長手方向の両側にチャンバーが設けられる構成と比べて、より効果的に装置のコンパクト化を図ることが可能となる。
【００７９】
また、整流部材２０が設けられることにより、乾燥装置１において、ノズル２に対して単位時間あたりに流入するエアの流量が変化しても、例えば整流部材２０における風向板角度が変更されること等により、ノズル２の形状の変更をともなうことなく、吹出口３に対するエアの均等な供給が可能となる。
【００８０】
また、本実施形態の乾燥装置１は、図１３および図１４に示すように、チャンバー５からノズル２に対するエアの供給量を調整するための流量調整部材２５を備える。流量調整部材２５は、ノズル２と支持面部６との間に介装され、その介装された状態で、流入口４を覆うとともに、この流入口４に連通する開口孔部２６を有する。
そして、流量調整部材２５の開口孔部２６の開口面積が、複数のノズル２間で、ノズル２の支持面部６に対する支持位置に応じて調整される。
【００８１】
流量調整部材２５は、厚さ数ｍｍ程度の矩形板状の部材として構成され、各ノズル２と、そのノズル２が支持される支持面部６との間に挟まれた状態となる。具体的には、流量調整部材２５は、ノズル２において流入口４が開口する手前側の面となる開口面部２ａと、チャンバー５の支持面部６との間に介装される。
【００８２】
ノズル２の支持面部６に対する支持に際しては、ノズル２において流入口４を有する開口面部２ａが、支持面部６に対向した状態となる。これにより、流入口４を介して、ノズル２内とチャンバー５内とが連通した状態となる。そこで、流量調整部材２５は、開口面部２ａと支持面部６との間に挟まれた状態で、ノズル２が支持面部６に対して固定されることにともない、ノズル２とチャンバー５（支持面部６）との間において固定される。
ここで、ノズル２の支持面部６に対する固定方法は、特に限定されるものではないが、例えば、次のような方法が用いられる。
【００８３】
すなわち、ノズル２の支持面部６に対する固定に際しては、ボルト等の締結具による固定方法が用いられる。具体的には、ノズル２の開口面部２ａにおいて、その周縁に鍔状のフランジ部（図示略）が設けられる。そして、このフランジ部を介して、ノズル２が支持面部６に対してボルトによって固定される。つまり、ボルトが、支持面部６に対して支持された状態のノズル２が有するフランジ部を貫通するとともに支持面部６に対して螺挿される。これにより、ノズル２が、支持面部６に対して締結固定される。このように、ノズル２は、支持面部６に対してボルト締結によって着脱可能に固定される。かかる構成においては、ノズル２と支持面部６との間に介装される流量調整部材２５は、ボルトによって、支持面部６に対してノズル２とともに共締めされることとなる。
なお、ノズル２と支持面部６との間における流量調整部材２５の固定方法は、特に限定されるものではない。
【００８４】
流量調整部材２５は、エアを通過させるための開口孔部２６を有する。つまり、開口孔部２６は、板状の部材である流量調整部材２５を貫通する孔部である。本実施形態の流量調整部材２５においては、開口孔部２６は、一個の孔部として設けられ、流量調整部材２５の外形形状に沿う形状、つまり矩形状を有し、流量調整部材２５の略中央部に設けられる。したがって、流量調整部材２５は、全体として額縁状の部材となる。
【００８５】
なお、本実施形態の流量調整部材２５においては、その開口孔部２６が、一個の略矩形状の孔部として設けられているが、これに限定されるものではない。つまり、流量調整部材２５が有する開口孔部２６は、例えば、複数の孔部であったり、曲線部を有する形状（例えば、Ｒ形状部分を有する略矩形状等）であったりしてもよい。ただし、開口孔部２６についての孔部の数や形状の設定に際しては、チャンバー５からノズル２に流入するエアについての圧力損失が考慮される。
【００８６】
流量調整部材２５は、ノズル２と支持面部６との間に介装された状態（以下、流量調整部材２５について「介装状態」という。）で、ノズル２の流入口４を覆った状態となる。流入口４が流量調整部材２５によって覆われた状態で、開口孔部２６が、流入口４と連通する。すなわち、図１４に示すように、介装状態の流量調整部材２５においては、その開口孔部２６が、ノズル２の流入口４の開口範囲内において開口した状態となる。言い換えると、介装状態の流量調整部材２５の開口孔部２６は、その開口範囲が、ノズル２の流入口４の開口範囲に含まれる状態となる。
【００８７】
したがって、流量調整部材２５の開口孔部２６の開口面積が調整されることで、チャンバー５とノズル２との間の連通面積が調整されることとなる。なお、開口孔部２６の開口面積の調整が、チャンバー５とノズル２との間の連通面積の調整となるように、前述したようにノズル２の流入口４に対応して支持面部６に設けられる開口部の大きさ・形状が設定される。具体的には、流入口４に対応して支持面部６に設けられる開口部は、例えば流入口４と略同じ大きさ・形状となるように形成される。
【００８８】
そして、流量調整部材２５の開口孔部２６の開口面積が、複数のノズル２間で、ノズル２の支持面部６に対する支持位置に応じて調整される。
開口孔部２６の開口面積の調整に際しては、チャンバー５から各ノズル２に供給されるエアの量が、ノズル２の支持される位置にかかわらず均等になるように調整される。
【００８９】
本実施形態では、例えば図２に示すごとく、チャンバー５は、前述したように平面視で略三角形状を有し、その頂点部側に入口開口部１０が設けられるとともに、その頂点部側に対向する一辺部側にノズル２が支持される支持面部６が設けられる。このため、入口開口部１０の開口面積は、支持面部６における複数のノズル２が支持される範囲の面積に対して小さいものとなる。このため、チャンバー５において、その支持する各ノズル２に対して配分されるエアの量が不均一となる。具体的には、前述のような略三角形状を有するチャンバー５においては、その支持する複数のノズル２について、次のようなエアの供給量の偏りが生じる。
【００９０】
すなわち、チャンバー５の支持面部６において、入口開口部１０の正面部分に位置するノズル２に対しては、入口開口部１０から流入したエアがそのまま直進することで導かれるため、エアの供給量が比較的多くなる。また、入口開口部１０から流入して直進するエアのうち、入口開口部１０の正面部分に位置するノズル２に流入しないエアは、支持面部６（のチャンバー５の内部側）に吹き付けられ、左右方向（搬送方向）に分散する。本実施形態の場合、入口開口部１０から支持面部６に吹き付けられてから左右方向に分散するエアは、チャンバー５において搬送方向について偏った位置となる入口開口部１０が設けられる側と反対側（図２における上側、搬送方向下流側）に主に導かれる。このため、チャンバー５において搬送方向について入口開口部１０が設けられる側と反対側に位置するノズル２についても、エアの供給量が比較的多くなる。
したがって、支持面部６に支持される複数のノズル２のうち、前述のようにエアの供給量が比較的多くなるノズル２以外のノズル２、つまり入口開口部１０の正面部分に位置するノズル２や、入口開口部１０が設けられる側と反対側に位置するノズル２以外のノズル２については、エアの供給量が比較的少なくなる。
【００９１】
このように、本実施形態の乾燥装置１においては、省スペース等を目的としてチャンバー５が薄型かつ小容積となるように構成されているため、チャンバー５内のエア圧が均一とならず、支持面部６におけるノズル２の取付け位置によって、各ノズル２に供給されるエアの量にバラツキが生じる。つまり、チャンバー５内のエア圧が均一とならないことから、チャンバー５から各ノズル２に供給されるエアの総量、即ち吹出口３から吹き出されるエアの勢い（出方）に強弱が生じやすい。
【００９２】
そこで、このような各ノズル２に対するエアの供給量のバラツキに応じて、チャンバー５から各ノズル２に流入するエアの量が、そのチャンバー５に支持される全てのノズル２について均等になるように、各ノズル２と支持面部６との間に介装される流量調整部材２５の開口孔部２６の開口面積が調整される。
【００９３】
すなわち、支持面部６に支持される複数のノズル２のうち、前述したようにエアの供給量が比較的多くなるノズル２に対して設けられる流量調整部材２５の開口孔部２６は、その開口面積が比較的小さくなるように調整される（図１４において一点鎖線で示す開口孔部２６ａ参照）。
また、支持面部６に支持される複数のノズル２のうち、前述したようにエアの供給量が比較的少なくなるノズル２に対して設けられる流量調整部材２５の開口孔部２６は、その開口面積が比較的大きくなるように調整される（図１４において二点鎖線で示す開口孔部２６ｂ参照）。
【００９４】
以上のように、各ノズル２と支持面部６との間に流量調整部材２５を介装し、その開口孔部２６の開口面積の調整によって、チャンバー５とノズル２との間の連通面積を調整することで、前述したようにノズル２内に設けられる整流部材２０についての風向板角度の調整を含めた、各ノズル２の吹出口３からのエアの吹出し量についての調整が簡単となる。
【００９５】
すなわち、各ノズル２の吹出口３からのエアの吹出し量の調整には、チャンバー５から各ノズル２へのエアの供給量の差の調整と、各ノズル２における吹出口３からの長手方向についてのエアの吹出し量（流量）の差の調整とが含まれる。これらの調整は、ノズル２内に設けられる整流部材２０における風向板角度の調整によっても可能である。
【００９６】
しかし、各ノズル２の吹出口３からのエアの吹出し量の調整が、各ノズル２の整流部材２０における風向板角度の調整のみによって行われる場合、複数のノズル２それぞれの整流部材２０における風向板角度が、そのノズル２に供給されるエアの量に応じて調整される必要が生じる。このため、各ノズル２の吹出口３からのエアの吹出し量の調整に際しての作業が煩雑となる。
【００９７】
そこで、ノズル２と支持面部６との間に流量調整部材２５が介装され、その流量調整部材２５が有する開口孔部２６の開口面積の調整によって、チャンバー５から各ノズル２に対するエアの供給量が均等とされることで、各ノズル２に設けられる整流部材２０における風向板角度の調整の共通化が図れる。つまり、チャンバー５から各ノズル２対するエアの供給量が均等となることで、そのエアの供給量に合わせて、各ノズル２が有する整流部材２０の風向板角度を同じように調整することが可能となる。したがって、各ノズル２に対するエアの供給量に応じて、風向板角度が一旦調整された整流部材２０については、全ノズル２に対して共通部品として用いることができる。これにより、各ノズル２の吹出口３からのエアの吹出し量の調整に際し、作業内容が簡単となり作業時間が短くなるというメリットが得られる。
【００９８】
このように、ノズル２と支持面部６との間に流量調整部材２５を介装し、チャンバー５から各ノズル２に対するエアの供給量を調整することで、各ノズル２が有する整流部材２０による、各ノズル２の吹出口３からのエアの吹出し量の調整を、より効果的なものとすることができる。
【００９９】
以上のように、本実施形態の乾燥装置１においては、チャンバー５から各ノズル２へのエアの供給量については、流量調整部材２５によって均一化が図られ、各ノズル２における吹出口３からの長手方向のエアの吹出し量については、整流部材２０によって均一化が図られる。
【０１００】
続いて、ノズル２における吹出口３の構成について、図１５および図１６を用いて説明する。
吹出口３は、ノズル２のエアの吹出し側面部３１において搬送方向に対向する両辺部に設けられる。
すなわち、本実施形態においては、略柱状に構成されるノズル２は、四角柱状の形状においてその一側面（エアの吹出し側の面）の対向する長手方向の辺部が面取りされたような外形を有する。そして、その面取り形状の部分に挟まれる部分となる平面部が、ノズル２におけるエアの吹出し側面部３１となる。この吹出し側面部３１における搬送方向に対向する辺部それぞれに、吹出口３が設けられる。したがって、各ノズル２においては、その吹出し側面部３１において、搬送方向に対向する平行な二つの吹出口３が、ノズル２の長手方向に沿うように設けられることとなる。
【０１０１】
吹出口３は、図１５に示すように、外側斜面３３と内側斜面３５とにより形成されるスリット状の開口部である。
外側斜面３３は、ノズル２の長手方向（図１５において紙面に垂直方向）に平行でありエアの吹出し側（図１５において上側）にかけて吹出し側面部３１における搬送方向（図１５において左右方向）中央側に傾斜する斜面である。内側斜面３５は、外側斜面３３に対してノズルにおける内側に設けられ外側斜面３３に対して平行でありかつ対向する斜面である。これら外側斜面３３および内側斜面３５が形成されるノズル２の構成について具体的に説明する。
【０１０２】
図１５に示すように、ノズル２は、板状部材により構成され断面視で略Ｕ字状（矩形状の一側が開口されたような形状）となる周壁部４１と、同じく板状部材により構成され周壁部４１の断面視形状である略Ｕ字状の開口側（図１５において上側）を覆うように設けられる端壁部４２とを有する。
【０１０３】
周壁部４１は、その断面視形状である略Ｕ字状の両端部、つまり図１５において上側端部となる両端部において、内側に折り曲げられた部分として形成される斜面部（以下「外側斜面部」という。）４３を有する。つまり、外側斜面部４３は、周壁部４１の断面視形状である略Ｕ字状の両端部において、その先端同士の間隔（図１５において左右方向の間隔）が狭まる方向に折り曲げられた部分として形成される。したがって、図１５に示すように、対向する一対の外側斜面部４３は、ノズル２の断面視において略ハ字状となる。
【０１０４】
端壁部４２は、周壁部４１が有する二つの外側斜面部４３の間の空間に位置する。端壁部４２は、ノズル２がエアを吹き付けることとなる電極シート５０のシート面方向と略平行となる水平部４４と、この水平部４４の搬送方向の両端部に設けられる斜面部（以下「内側斜面部」という。）４５とを有する。内側斜面部４５は、端壁部４２の両端部において、エアの吹出し側と反対側（図１５において下側）に折り曲げられた部分として形成される。また、内側斜面部４５は、外側斜面部４３に対して平行な面部となるように形成される。したがって、対向する一対の内側斜面部４５は、外側斜面部４３と同様、ノズル２の断面視において略ハ字状となる（図１５参照）。
なお、端壁部４２は、例えば、その長手方向の両端部がノズル２の長手方向両端側の壁部（開口面部２ａおよびその反対側（奥側）の面部）に対して固着されること等により、ノズル２において固定される。
【０１０５】
このような構成を備えるノズル２において、周壁部４１が有する外側斜面部４３と、端壁部４２が有する内側斜面部４５とにより、吹出口３が形成される。すなわち、外側斜面部４３により、吹出口３を形成する外側斜面３３が形成され、内側斜面部４５により、同じく吹出口３を形成する内側斜面３５が形成される。具体的には、外側斜面部４３の内側面が外側斜面３３となり、内側斜面部４５の外側面が内側斜面３５となる。したがって、ノズル２において両側の吹出口３を形成する外側斜面３３同士、および内側斜面３５同士は、それぞれ図１５に示すノズル２の断面視において略ハ字状となる。
【０１０６】
このようにして形成されるスリット状の開口部である吹出口３においては、図１５に示すように、ノズル２において反吹出し側から整流部材２０を介して吹出し側に流れるエアが、吹出し側面部３１における搬送方向の中央側に向かう斜め方向に吹き出される。
【０１０７】
そして、このように構成される吹出口３において、外側斜面３３は、内側斜面３５よりもエアの吹出し側に延設される案内部３６を有する。
本実施形態では、案内部３６は、外側斜面３３が、内側斜面３５のエアの吹出し側の端部位置となる端壁部４２の水平部４４よりも、エアの吹出し側に延設されることにより構成される。つまり、案内部３６は、外側斜面３３からその面方向に沿って延出され、水平部４４よりもエアの吹出し側に斜め方向に突出する面部となる。そして、外側斜面３３は、前記のとおり外側斜面部４３により形成されるため、外側斜面３３が延出されることで設けられる案内部３６は、外側斜面部４３において設けられる延設部４６により形成される。つまりは、延設部４６の内側面が案内部３６となる。
【０１０８】
このように、外側斜面３３が案内部３６を有することにより、吹出口３から吹き出すエアが、吹出口３を形成する外側斜面３３および内側斜面３５の方向に沿うように流れることとなるため、吹出口３から吹き出すエアの安定性を向上することができる。これにより、電極シート５０の搬送についての安定性をより向上することができる。
外側斜面３３が案内部３６を有することにより、吹出口３から吹き出すエアが安定することは、次のような原理に基づく。
【０１０９】
図１７に示すように、本実施形態では、チャンバー５は、前述したように平面視で略三角形状を有し、その頂点部側に入口開口部１０が設けられるとともに、その頂点部側に対向する一辺部側にノズル２が支持される支持面部６が設けられる。このため、入口開口部１０の開口面積は、支持面部６における複数のノズル２が支持される範囲の面積に対して小さいものとなる。また、前述したように、入口開口部１０は、チャンバー５において搬送方向の一側（図１７において左側）に偏った位置に設けられる。これらのことから、チャンバー５において、その支持する各ノズル２に対して配分されるエアについての流れベクトルが不均一となる。
このため、チャンバー５内から流入口４を介してノズル２内に流入するエアは、ノズル２内で乱流となり、吹出口３から吹き出すエアの流出角度が不安定となる。具体的には、次のとおりとなる。
【０１１０】
すなわち、図１６に示すように、ノズル２の内部から吹出口３を介して吹き出すエアについて、外側斜面３３と内側斜面３５とに挟まれる領域を助走領域Ｂ１とすると、ノズル２内から助走領域Ｂ１を通過したエアは、助走領域Ｂ１の方向（矢印ａ１参照）に沿って流れ出るほか、端壁部４２の水平部４４側に流れ出たり（矢印ａ２参照）、その反対側となる外側斜面部４３側に流れ出ようとしたりする（矢印ａ３参照）。
つまり、外側斜面３３が案内部３６を有しない場合、助走領域Ｂ１を通過したエアは、助走領域Ｂ１の方向に沿うことなく、様々な流出角度で吹き出すこととなる。
【０１１１】
そこで、前記のとおり外側斜面３３が案内部３６を有することにより、外側斜面３３側に流れ出ようとするエアは遮られる。また、端壁部４２の水平部４４側に流れ出るエアについては、助走領域Ｂ１を通過して端壁部４２の水平部４４側にエアが流れ出ることにより、案内部３６に沿う部分の圧力が低くなり、その部分に低圧領域（図１６中、符号Ｂ２参照、以下「低圧領域Ｂ２」とする。）が生じる。このため、端壁部４２の水平部４４側に流れ出ようとするエアは、低圧領域Ｂ２側に導かれる（引っ張られる）こととなる。
結果として、助走領域Ｂ１を通過したエアの流れ出る方向は、助走領域Ｂ１の方向（矢印ａ１参照）に安定することとなる。つまり、吹出口３から吹き出すエアについて、案内部３６の方向（外側斜面３３および内側斜面３５の傾斜方向）に沿わせることが可能となる。
このように、外側斜面３３が案内部３６を有することにより、吹出口３から吹き出すエアの安定性が向上することとなる。
【０１１２】
また、上述のようにノズル２においてスリット状の開口部として構成される吹出口３においては、そのスリット状の開口部に対するノズル２の内部からのエアの入口であるスリット入口３８の幅寸法が、スリット状の開口部のスリット幅寸法に対して十分な大きさを有することが好ましい。
【０１１３】
吹出口３について、スリット状の開口部のスリット幅寸法とは、図１８において符号Ｃ１で示すように、吹出口３を形成する外側斜面３３と内側斜面３５との間の寸法となる。つまり、吹出口３をスリット状の開口部として形成する外側斜面３３と内側斜面３５とは、互いに平行でありかつ対向する斜面同士であり、これら外側斜面３３と内側斜面３５との間の垂直距離が、スリット幅寸法となる。
【０１１４】
一方、吹出口３について、スリット状の開口部に対するノズル２の内部からのエアの入口であるスリット入口３８は、外側斜面部４３を含む周壁部４１の内側面と、端壁部４２が有する内側斜面部４５との間に形成されるスリット状の開口部となる。つまり、吹出口３に対するスリット入口３８は、ノズル２の内部から、外側斜面３３と内側斜面３５とにより形成されるスリット状の部分（外側斜面３３と内側斜面３５とにより挟まれた空間部分）へのエアの流れる経路において、外側斜面３３と内側斜面３５との間に流れ込む前の、周壁部４１と端壁部４２の内側斜面部４５との間に挟まれた空間部分である。
【０１１５】
そして、このようなスリット入口３８の幅寸法が、吹出口３のスリット幅寸法に対して、十分な大きさを有することが好ましい。
本実施形態では、次のような寸法が、スリット入口３８に係る寸法として用いられ、スリット入口３８の幅寸法について吹出口３のスリット幅寸法に対する十分な大きさが確保される。
【０１１６】
すなわち、本実施形態では、スリット入口３８に係る寸法として、図１８において符号Ｃ２で示すように、ノズル２を構成する周壁部４１と端壁部４２との間の水平方向（図１８において左右方向）の寸法が用いられる。具体的には、スリット入口３８に係る寸法Ｃ２は、周壁部４１の外側斜面部４３を除く部分における内側面４１ａと、端壁部４２の内側斜面部４５の水平方向端部との間の、水平方向の寸法となる。つまり、図１８に示す断面視において、端壁部４２の内側斜面部４５の水平方向端部から内側面４１ａに対して平行に下ろした直線と、内側面４１ａとの間の寸法となる。言い換えると、スリット入口３８に係る寸法Ｃ２は、外側斜面３３の外側（図１８において左側）端と、内側斜面３５の外側端との、水平方向（搬送方向）の距離となる。
【０１１７】
そして、前記のようなスリット入口３８に係る寸法Ｃ２について、前述したスリット幅寸法Ｃ１の２倍以上の大きさが確保される。したがって、例えば、スリット幅寸法Ｃ１が、３ｍｍ程度である場合、スリット入口３８に係る寸法Ｃ２については、６ｍｍ程度以上の寸法が確保される。
このように、本実施形態において、スリット入口３８に係る寸法Ｃ２についてスリット幅寸法Ｃ１の２倍以上の寸法が確保されることにより、スリット入口３８の幅寸法が、スリット幅寸法Ｃ１に対して十分な大きさを有することとなることが、実験等により判っている。
【０１１８】
以上のように、スリット入口３８の幅寸法が、スリット幅寸法Ｃ１に対して十分な大きさを有することにより、ノズル２における搬送方向両側（左右両側）の吹出口３の間や、各吹出口３におけるその長手方向について生じる、エアの吹出し量のバラツキを低減することができる。
【０１１９】
すなわち、ノズル２の内部において、整流部材２０を介して吹出口３側に導かれたエアは、スリット入口３８を介して、外側斜面３３と内側斜面３５とにより挟まれた空間部分へと流れ込む。そして、外側斜面３３と内側斜面３５との間（以下「斜面間」という。）に流れ込んだエアは、その斜面間にて、吹出口３の長手方向について同等の圧力損失となることで、吹出口３からのエアの吹出し量が吹出口３の長手方向について均一となる。つまり、斜面間に流れ込んだエアは、前述した助走領域Ｂ１（図１６参照）において、圧力損失の大きさが吹出口３の長手方向について揃った状態で吹出口３から吹き出ることとなる。
【０１２０】
このため、斜面間に流れ込むエアについて十分な流入量が得られない場合、前述のような斜面間におけるエアの圧力損失が揃う作用が得られず、ノズル２における搬送方向両側（左右両側）の吹出口３の間や、各吹出口３におけるその長手方向について、エアの吹出し量のバラツキが生じることとなる。
斜面間に流れ込むエアについて十分な流入量が得られないことに関しては、スリット入口３８の幅寸法について十分な大きさが得られないことが原因となる。つまり、スリット入口３８の幅寸法が小さいと、ノズル２において周壁部４１や端壁部４２を構成する部品について、板曲げ等の加工精度、組付精度、各部品の自重、熱歪等の影響により、スリット入口３８の幅寸法について十分な大きさが得られない状態が生じる場合がある。かかる場合、斜面間に流れ込むエアについて十分な流入量が得られず、前記のとおりエアの吹出し量のバラツキが生じる。
【０１２１】
そこで、前述したように、スリット入口３８の幅寸法が、スリット幅寸法Ｃ１に対して十分な大きさを有することにより、斜面間に流れ込むエアについて十分な流入量が得られる。これにより、斜面間においてエアの圧力損失が揃う作用が得られ、ノズル２における搬送方向両側（左右両側）の吹出口３の間や、各吹出口３におけるその長手方向についての、エアの吹出し量のバラツキが低減する。
【０１２２】
すなわち、スリット入口３８の幅寸法について、スリット幅寸法Ｃ１に対する十分な大きさとは、斜面間においてエアの圧力損失が揃う作用が得られるに十分な量のエアが、斜面間に流れ込む程度の大きさとなる。
そして、本実施形態では、スリット入口３８の幅寸法が、スリット幅寸法Ｃ１に対して十分な大きさを有することが、前述したスリット入口３８に係る寸法Ｃ２が、スリット幅寸法Ｃ１の２倍以上の大きさを有することで確保される。
【０１２３】
このように、左右の吹出口３の間や各吹出口３におけるその長手方向についてのエアの吹出し量のバラツキが低減することで、ノズル２が有する整流部材２０による、吹出口３の長手方向についてのエアの吹出し量の均一化を、より効果的なものとすることができる。
【０１２４】
以上説明した本実施形態の乾燥装置１においては、その乾燥対象であるシート状基材が電池用の電極シート５０であるが、これに限定されるものではない。つまり、シート状基材としては、電極シート５０に限られるものではなく、例えば写真フィルム等、乾燥を必要とする材料が塗布される他のシート状基材であってもよい。
また、本実施形態の乾燥装置１においては、シート状基材である電極シート５０の搬送方向が水平方向となっているが、これに限定されるものではない。つまり、シート状基材の搬送方向は、例えば鉛直方向（上下方向）であってもよい。この場合、シート状基材にエアを吹き付ける複数のノズルは、シート状基材の両面側にて鉛直方向に間隔を隔てて配設されることとなる。
【図面の簡単な説明】
【０１２５】
【図１】本発明の一実施形態に係る乾燥装置の全体構成を示す斜視図。
【図２】同じく平面図。
【図３】本発明の一実施形態に係る乾燥装置を模式的に示す正面図。
【図４】同じく側面図。
【図５】ノズルの配設構成を示す斜視図。
【図６】ノズルとチャンバーとの連結構成を示す斜視図。
【図７】ノズルの配設構成を模式的に示す正面図。
【図８】整流部材を示す斜視図。
【図９】同じく平面図。
【図１０】同じく側面図。
【図１１】ノズルにおけるエアの流速についての説明図。
【図１２】同じく整流板を有する場合の説明図。
【図１３】流量調整部材の介装位置を示す斜視図。
【図１４】ノズルおよび流量調整部材を示す図。
【図１５】ノズルの構成を示す断面図。
【図１６】図１５におけるＸ部分拡大図。
【図１７】ノズルに対するエアの流れ方向を示す説明図。
【図１８】吹出口についてのスリット入口の幅寸法とスリット幅寸法との関係を示す説明図。
【図１９】従来の乾燥装置におけるノズルの配設構成を示す模式図。
【図２０】従来の乾燥装置におけるノズルの配設構成の一例を示す斜視図。
【符号の説明】
【０１２６】
１    乾燥装置
２    ノズル
３    吹出口
４    流入口
５    チャンバー
６    支持面部
７    乾燥室
８    エア供給室
９    循環ファン
１０  入口開口部
１１  入口部
１２  出口部
１３  排気口
１４  隔壁
２０  整流部材
２２  基部
２３  開口部
２４  風向板部
２５  流量調整部材
２６  開口孔部
３１  吹出し側面部
３３  外側斜面
３５  内側斜面
３６  案内部
３８  スリット入口
５０  電極シート（シート状基材）
【図１】
0005522213.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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