(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口に連通した圧力発生室および前記圧力発生室に連通するマニホールドが形成された流路形成基板と、
前記圧力発生室毎に設けられた圧力発生素子と、
前記流路形成基板上に設けられ、前記圧力発生素子を収める保護基板と、
コンプライアンス基板を挟んで前記マニホールドと対向するダンパー部と、
前記ダンパー部と連通するバッファー室と、
前記バッファー室内に、重力方向とは反対方向で前記バッファー室の底面より離れた位置に開口を有し、前記ダンパー部と連通する大気開放孔と、
前記流路形成基板から前記保護基板に向かって形成された挿入孔と、
前記バッファー室に形成され、前記挿入孔の開口方向とは異なる開口方向を有する開口部と、
前記圧力発生素子に形成された電極から引き出され、前記挿入孔に露出したリード電極と、
前記挿入孔を通され、端部が前記リード電極に、異方性導電性接着剤で接続されたフレキシブル配線基板とを備えている
ことを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドユニットにおいて、
前記大気開放孔の一部は、前記バッファー室に突出して形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項３】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドユニットにおいて、
前記大気開放孔は、前記バッファー室の底面より重力方向とは反対方向に離れた、前記バッファー室の側面に形成された切り欠き部の内面に形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットにおいて、
前記コンプライアンス基板上に設けられ、前記ダンパー部が形成された保持部材と、
前記保持部材上に接合され、前記バッファー室が形成されたホルダー部材とを備え、
前記挿入孔は、
前記流路形成基板から前記保持部材へ向かって、前記保護基板の厚さ方向に貫通して形成された貫通孔と、
前記貫通孔とつながり、前記保持部材から前記ホルダー部材へ向かって、前記保持部材の厚さ方向に貫通して形成された保持孔と、
前記保持孔とつながり、前記ホルダー部材の厚さ方向に貫通して形成された開口部とを含む
ことを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットを備えた
ことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッドを備えた液体噴射ヘッドユニットおよび液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドとして、例えば、ノズル開口が複数穿設されたノズルプレートが一方面に接合され、各ノズル開口にそれぞれ連通する圧力発生室と各圧力発生室の共通のインク室であるマニホールドとしてのインク貯留室とを形成する流路形成基板を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。液体噴射ヘッドユニットは、このような液体噴射ヘッドを備えている。
流路形成基板の他方面には、振動板が接合され、振動板を介して圧力発生室に対向する位置には、圧力発生室内の圧力を変化させてノズル開口からインクを吐出させる圧電素子としての圧電振動子が配置される。ここで、振動板には、金属製薄膜と樹脂製薄膜とを貼り合せたものが用いられている。また、流路形成基板の他方面には、圧電振動子を保護するための保護基板、ケースヘッド等が設けられる。
【０００３】
圧電振動子から引き出されたリード電極には、フレキシブル配線基板が、樹脂に導電粒子を分散させたＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄａｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ）、ＡＣＰ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄａｃｔｉｖｅ  Ｐａｓｔｅ）等の異方性導電性接着剤により接続される。フレキシブル配線基板は、ケースヘッド内を通り、圧電振動子の駆動ＩＣ、さらには接続基板の端子を経由して、制御部に接続される。
【０００４】
ケースヘッド等には、マニホールドの圧力変動を吸収するダンパー用凹部が振動板を介して設けられ、ダンパー用凹部はケースヘッド等に形成された外部連通路を介して外部に連通している。ここで、外部連通路の開口は、フレキシブル配線基板の引き出される方向と同方向に向かって形成されている。
また、マニホールドには、液体導入路を経て液体が導入され、液体は溶媒を含んだものが用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２８９０７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、外部連通路の開口が、フレキシブル配線基板の引き出される方向と同方向に向かって形成されているので、液体の溶媒がフレキシブル配線基板の引き出される開口および収められた空間を通じて、リード電極とフレキシブル配線基板との接続部に達し、ＡＣＦ等に用いられる樹脂が分解または膨潤し、接続部において接触不良が生じる。
また、外部連通路の開口を、フレキシブル配線基板の引き出される方向と異なる方向であるケースヘッド等の側面やノズルプレートに向かって形成すると、ノズルプレートから噴射した液体が浸入し易くなり、液体が外部連通路を塞いで、マニホールドの圧力変動の吸収が困難になる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］
液体を噴射するノズル開口に連通した圧力発生室および前記圧力発生室に連通するマニホールドが形成された流路形成基板と、前記圧力発生室毎に設けられた圧力発生素子と、前記流路形成基板上に設けられ、前記圧力発生素子を収める保護基板と、コンプライアンス基板を挟んで前記マニホールドと対向するダンパー部と、前記ダンパー部と連通するバッファー室と、前記バッファー室内に、重力方向とは反対方向で前記バッファー室の底面より離れた位置に開口を有し、前記ダンパー部と連通する大気開放孔と、前記流路形成基板から前記保護基板に向かって形成された挿入孔と、前記バッファー室に形成され、前記挿入孔の開口方向とは異なる開口方向を有する開口部と、前記圧力発生素子に形成された電極から引き出され、前記挿入孔に露出したリード電極と、前記挿入孔を通され、端部が前記リード電極に、異方導電性接着剤で接続されたフレキシブル配線基板とを備えていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【０００９】
この適用例によれば、バッファー室は、フレキシブル配線基板が通される挿入孔の開口方向とは異なる方向に開口部を有しているので、マニホールドからコンプライアンス基板を通過し、バッファー室に至った液体の溶媒は、挿入孔の開口方向とは異なる方向に放出される。したがって、液体の溶媒は、フレキシブル配線基板の通される挿入孔を通じて、リード電極とフレキシブル配線基板との接続部に達しにくくなり、溶媒が接続部に達するまでの時間が稼げ、溶媒が挿入孔の開口方向と同方向に放出される場合と比較して、リード電極とフレキシブル配線基板との接触不良が生じるまでの時間が長い液体噴射ヘッドが得られる。
また、バッファー室の開口部から浸入した液体は、重力によってバッファー室の底面に溜まる。ここで、ダンパー部とバッファー室とを連通する大気開放孔の開口が、重力方向とは反対方向で底面より離れた位置にあるため、液体が大気開放孔に浸入しにくい。したがって、ダンパー部の気体の出入りが妨げられにくく、コンプライアンス基板によるマニホールドの圧力変動の吸収が円滑に行なわれる液体噴射ヘッドユニットが得られる。
【００１０】
［適用例２］
上記液体噴射ヘッドユニットであって、前記大気開放孔の一部は、前記バッファー室に突出して形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
この適用例では、大気開放孔の一部が、バッファー室に突出して形成されているので、バッファー室の底面から大気開放孔の開口に向かって液体が這い上がりにくく、液体が大気開放孔に、より浸入しにくい。したがって、ダンパー部の気体の出入りが、より妨げられにくく、コンプライアンス基板によるマニホールドの圧力変動の吸収がより円滑に行なわれる液体噴射ヘッドユニットが得られる。
【００１１】
［適用例３］
上記液体噴射ヘッドユニットであって、前記大気開放孔は、前記バッファー室の底面より重力方向とは反対方向に離れた、前記バッファー室の側面に形成された切り欠き部の内面に形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
この適用例では、バッファー室の側面に形成された切り欠き部は、バッファー室の一部として、バッファー室と同時に形成できる。したがって、バッファー室の形成が容易な液体噴射ヘッドユニットが得られる。
【００１２】
［適用例４］
上記液体噴射ヘッドユニットであって、前記コンプライアンス基板上に設けられ、前記ダンパー部の一部が形成された保持部材と、前記保持部材上に接合され、前記バッファー室が形成されたホルダー部材とを備え、前記挿入孔は、前記流路形成基板から前記保持部材へ向かって、前記保護基板の厚さ方向に貫通して形成された貫通孔と、前記貫通孔とつながり、前記保持部材から前記ホルダー部材へ向かって、前記保持部材の厚さ方向に貫通して形成された保持孔と、前記保持孔とつながり、前記ホルダー部材の厚さ方向に貫通して形成された開口部とを含むことを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
この適用例では、ダンパー部の一部が形成された保持部材と、バッファー室が形成されたホルダー部材とが別部材なので、ダンパー部の一部およびバッファー室が形成し易い。また、フレキシブル配線基板が挿入される挿入孔も、保護基板に形成された貫通孔と保持部材に形成された保持孔とホルダー部材に形成されたホルダー開口部とを含んで、保護基板、保持部材およびホルダー部材を重ねることで形成される。したがって、製造の容易な液体噴射ヘッドユニットが得られる。
【００１３】
［適用例５］
上記液体噴射ヘッドユニットを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【００１４】
この適用例によれば、前述の効果を達成できる液体噴射装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施形態におけるプリンターの概略構成を示す図。
【図２】インクジェット式記録ヘッドユニットの斜視図。
【図３】インクジェット式記録ヘッドユニットを示す分解斜視図。
【図４】インクジェット式記録ヘッドの部分分解斜視図。
【図５】インクジェット式記録ヘッドの部分分解断面斜視図。
【図６】図２におけるインクジェット式記録ヘッドユニットのＡ−Ａ断面図。
【図７】図２におけるインクジェット式記録ヘッドユニットのＢ−Ｂ断面図。
【図８】変形例１におけるインクジェット式記録ヘッドユニットの断面図。
【図９】変形例２におけるホルダー部材の部分斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下の説明は、実施形態にかかる液体噴射ヘッドユニットが液体噴射装置としてのプリンター１０００に搭載される場合を例に挙げて行う。
図１はプリンター１０００の概略構成を示す図である。図１中、Ｘ方向は、キャリッジ２が移動する主走査方向を示し、Ｙ方向は、記録媒体Ｐが移送される副走査方向を示している。Ｚ方向は、Ｘ方向およびＹ方向と直交する方向で、Ｘ方向およびＹ方向が水平面にある場合、重力方向であるが、プリンター１０００の設置状況によって重力方向からずれる場合もある。
【００１７】
図１に示すように、プリンター１０００は、図１では直接図示していない複数のインクジェット式記録ヘッド１を備えた液体噴射ヘッドユニットとしてのインクジェット式記録ヘッドユニット１１と、キャリッジ２と、キャリッジ移動機構３と、プラテンローラー４と、インクカートリッジ５とを備えている。
【００１８】
インクジェット式記録ヘッド１は、インクジェット式記録ヘッドユニット１１の記録用紙等の記録媒体Ｐ側（図１中Ｚ方向下面）に取付けられ、記録媒体Ｐの表面にインクを液滴として吐出する。
キャリッジ移動機構３は、タイミングベルト６と、駆動プーリー７と、従動プーリー８と、モーター１０７とを備えている。タイミングベルト６には、キャリッジ２が係止されており、タイミングベルト６は、駆動プーリー７と従動プーリー８とに張設されている。駆動プーリー７は、モーター１０７の出力軸に接続されている。
モーター１０７が作動すると、キャリッジ２は、プリンター１０００に架設されたガイドロッド９に案内されて、主走査方向であるＸ方向に往復移動する。プラテンローラー４は、モーター１０４から駆動力を受け、記録媒体Ｐを副走査方向であるＹ方向に移送する。
【００１９】
インクカートリッジ５は、インクを貯留し、キャリッジ２に着脱可能に装着されている。インクカートリッジ５は、インクジェット式記録ヘッド１にインクを供給する。供給するインクが複数色の場合、インクカートリッジ５は複数個装着される。図１では、１０個のインクカートリッジ５が装着されている。
【００２０】
このように構成されたプリンター１０００は、キャリッジ２をキャリッジ移動機構３によりＸ方向に往復移動させるとともに、記録媒体Ｐをプラテンローラー４によりＹ方向に移送させながら、キャリッジ２に取付けられたインクジェット式記録ヘッド１からインクを吐出することによって、記録媒体Ｐ上に画像等の記録を行うことができる。
【００２１】
インクジェット式記録ヘッド１およびインクジェット式記録ヘッドユニット１１について、図２および図３に基づいて説明する。
図２に、実施形態にかかるインクジェット式記録ヘッドユニット１１の斜視図を示した。また、図３（ａ）〜（ｃ）は、インクジェット式記録ヘッドユニット１１を示す分解斜視図である。
ここで、図３（ｃ）では、インクジェット式記録ヘッド１を、組み込まれる前の状態の１個のみについて拡大して示している。実際には、５個のインクジェット式記録ヘッド１がインクジェット式記録ヘッドユニット１１に組み込まれている。
【００２２】
図２および図３において、１個のインクジェット式記録ヘッド１は、２種類のインクの吐出に対応しており、実施形態では５個のインクジェット式記録ヘッド１を用いて１０色のインクを吐出する。
なお、インクジェット式記録ヘッドユニット１１に組み込まれるインクジェット式記録ヘッド１の数は、吐出するインクの種類に応じ、５個に限らない。
【００２３】
インクジェット式記録ヘッドユニット１１は、ホルダー部材４００と中継基板５００とを備えている。
ホルダー部材４００には、５個のインクジェット式記録ヘッド１に対応して１０箇所に液体導入路としてのインク導入路４１０が形成されている。また、中継基板５００にはインク導入路４１０を通すための孔５１０が形成されている。
中継基板５００は、インク導入路４１０を孔５１０に通した状態で、ホルダー部材４００の片側から、ホルダー部材４００にはめ込まれている。
【００２４】
図３（ｃ）において、インクジェット式記録ヘッド１は、保持部材としてのケースヘッド１１０とフレキシブル配線基板としての一対のＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）基板２１０とを備えている。また、ＣＯＦ基板２１０は、複数の配線２２０および駆動回路２００を備えている。
図２および図３において、インクジェット式記録ヘッド１は、中継基板５００のはめ込まれた側とは反対側である記録媒体Ｐ側（図１中Ｚ方向下面）から、ホルダー部材４００に差し込まれている。ホルダー部材４００には、ホルダー開口部４２０が、差し込まれるインクジェット式記録ヘッド１に対応して５ヵ所に形成され、中継基板５００には開口部としてのスリット５２０が５ヵ所に形成されている。一対のＣＯＦ基板２１０は、ホルダー開口部４２０およびスリット５２０に通され、配線２２０は、中継基板５００の端子５３０にそれぞれ接合されている。
【００２５】
また、図３（ｃ）において、ケースヘッド１１０には、インク導入路４１０と接続され、インクジェット式記録ヘッド１内にインクを導入する液体導入路としてのインク導入路１１１が形成されている。さらに、ケースヘッド１１０には、後述するダンパー部４７（図６参照）と連通する外部連通路１２０が形成されている。
【００２６】
図４は、インクジェット式記録ヘッド１の部分分解斜視図であり、インクジェット式記録ヘッド１が、ホルダー部材４００および中継基板５００に組み込まれる前の状態を示している。図５は、インクジェット式記録ヘッド１の部分分解断面斜視図である。図５では、ケースヘッド１１０が省略されている。
また、図６は、図２におけるインクジェット式記録ヘッドユニット１１のＡ−Ａ断面図、図７は、図２におけるインクジェット式記録ヘッドユニット１１のＢ−Ｂ断面図である。
【００２７】
図４、図５および図６において、インクジェット式記録ヘッド１は、流路形成基板１０とノズルプレート２０と保護基板３０とコンプライアンス基板４０と駆動回路２００が実装された一対のＣＯＦ基板２１０とを備えている。
流路形成基板１０とノズルプレート２０と保護基板３０とは、流路形成基板１０をノズルプレート２０と保護基板３０とで挟むように積み重ねられ、保護基板３０上には、コンプライアンス基板４０が設けられている。
ＣＯＦ基板２１０は、第１の端部２１１と第１の端部２１１の反対に位置する第２の端部２１２とを備えている。図６において、ＣＯＦ基板２１０の第１の端部２１１は保護基板３０に差し込まれ、第２の端部２１２は中継基板５００と接続されている。
【００２８】
流路形成基板１０は、例えば、面方位（１１０）のシリコン単結晶板からなる。その一方の面には、例えば、二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。
なお、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板以外の材料、例えば、金属板やセラミック板などであってもよい。
【００２９】
流路形成基板１０には、隔壁によって区画された複数の圧力発生室１２が、その幅方向に並設された列として２列設けられている。ここで、圧力発生室１２は列間で対をなして設けられている。
また、各列の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には連通部１３が形成され、連通部１３と各圧力発生室１２とが、圧力発生室１２毎に設けられたインク供給路１４を介して連通されている。連通部１３は、保護基板３０の供給部１０１と連通して圧力発生室１２の列毎に共通のインク室となるマニホールド１００の一部を構成する。
インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
なお、実施形態では、流路の幅を片側から絞ることでインク供給路１４を形成したが、流路の幅を両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。また、流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向から絞ることでインク供給路１４を形成してもよい。
【００３０】
また、流路形成基板１０の弾性膜５０が形成された面とは反対側の面には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。実施形態では、流路形成基板１０に圧力発生室１２が並設された列を２列設けたため、１つのインクジェット式記録ヘッド１には、ノズル開口２１の並設されたノズル列が２列設けられている。なお、ノズルプレート２０は、例えばガラスセラミックス、シリコン単結晶基板またはステンレス鋼などからなる。
【００３１】
一方、流路形成基板１０に形成された弾性膜５０上には、絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、白金（Ｐｔ）などの金属やルテニウム酸ストロンチウム（ＳｒＲｕＯ）などの金属酸化物からなる下電極６０と、ペロブスカイト構造の圧電体層７０と、Ａｕ、Ｉｒなどの金属からなる上電極８０とが形成され、圧力発生素子としての圧電素子３００を構成している。
ここで、圧電素子３００は、下電極６０、圧電体層７０および上電極８０を含む部分をいう。圧電素子３００は、圧力発生室１２に対応して対をなしている。
また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせてアクチュエーター装置と称する。なお、上述した例では、弾性膜５０、絶縁体膜５５および下電極６０が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜５０および絶縁体膜５５を設けずに、下電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電素子３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００３２】
一般的には、圧電素子３００のいずれか一方の電極を共通電極とし、他方の電極および圧電体層７０を各圧力発生室１２にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされたいずれか一方の電極および圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。
なお、実施形態では、下電極６０を圧電素子３００の共通電極とし、上電極８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。いずれの場合においても、圧力発生室１２毎に圧電体能動部が形成されていることになる。
【００３３】
また、圧電素子３００の個別電極である各上電極８０には、絶縁体膜５５上まで延設された、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されている。リード電極９０は、圧電素子３００に対応して対をなしている。リード電極９０は、一端部が上電極８０に接続されていると共に、他端部側が、並設された圧電素子３００の列と列との間に引き出され、延設されている。
【００３４】
また、圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、圧電素子３００に対向する領域に、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３１を有する保護基板３０が、接着剤３５等によって接合されている。圧電素子３００は、この圧電素子保持部３１内に配置されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。なお、圧電素子保持部３１は、密封されていても、密封されていなくてもよい。また、圧電素子保持部３１は、各圧電素子３００に独立して設けてもよく、複数の圧電素子３００に亘って連続して設けるようにしてもよい。実施形態では、圧電素子保持部３１を複数の圧電素子３００に亘って連続して設けるようにした。
【００３５】
さらに、保護基板３０上の圧電素子保持部３１に相対向する領域には、複数の個別流路の共通のインク室（液体室）となるマニホールド１００の一部が設けられている。実施形態では、マニホールド１００の一部は、保護基板３０と流路形成基板１０との接合面とは反対側の面に設けられた凹部で形成されている。
保護基板３０の流路形成基板１０との反対は凹部で開口しており、開口は、コンプライアンス基板４０によって封止されている。なお、マニホールド１００は、複数の個別流路の短手方向（幅方向）に亘って連続して設けられている。
【００３６】
また、マニホールド１００は、圧力発生室１２の長手方向で保護基板３０の両端部近傍まで設けられており、マニホールド１００の一端部側は、個別流路の端部に相対向する領域まで設けられている。このようにマニホールド１００を圧電素子保持部３１の上方（平面視した際に圧電素子保持部３１と重なる領域）に設けることで、マニホールド１００を、圧力発生室１２の長手方向における外側に拡幅する必要がなく、インクジェット式記録ヘッド１の圧力発生室１２の長手方向の幅を小さくして小型化することができる。
【００３７】
また、保護基板３０の略中央部、すなわち、一対の圧力発生室１２の対向する領域には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３２が形成されている。さらに、貫通孔３２の中心には仕切り部３３が設けられている。
延設されたリード電極９０は、上電極８０に接続されている端部とは反対の他端部側が、貫通孔３２の底部に露出している。貫通孔３２に露出したリード電極９０は、貫通孔３２に挿入されたＣＯＦ基板２１０に形成された配線２２０と第１の端部２１１で電気的に接続されている。接続は、例えば、異方性導電性接着剤としてのＡＣＰ６００を用いて行なわれている。
ＡＣＰ６００を用いることで、複数のリード電極９０を１つのＣＯＦ基板２１０に接続することができるため、ワイヤーボンディングによって各リード電極９０と順次接続するのに比べて作業時間を短縮することができ、コストを低減することができる。
ＣＯＦ基板２１０は可撓性のある基板であり、リード電極９０と接続される第１の端部２１１は略Ｌ字型に曲げられている。第１の端部２１１は対向する圧電素子３００に向けて配置されている。ＣＯＦ基板２１０に実装された駆動回路２００によって、各圧電素子３００は駆動する。
【００３８】
保護基板３０の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス材料、金属、樹脂等が挙げられるが、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料で形成されていることがより好ましく、実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成する。
【００３９】
コンプライアンス基板４０は、封止膜４１および固定板４２を備えている。封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料、例えば、厚さが数μｍ程度のポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム等からなる。また、固定板４２は、例えば、厚さが数十μｍ程度のステンレス鋼（ＳＵＳ）などの金属などの硬質の材料からなる。
図６において、封止膜４１と固定板４２とは、貼り合わせ接着剤７００によって接着されている。
【００４０】
固定板４２は、保護基板３０のマニホールド１００の周囲に亘って設けられており、マニホールド１００に相対向する領域は厚さ方向に完全に除去された固定板開口部４３となっている。
また、図４および図５において、固定板４２には、固定板開口部４３側に突出する突出部４４が設けられており、この突出部４４には、厚さ方向に貫通してインクが貯留された図１に示したインクカートリッジ５からのインクをマニホールド１００に供給するための液体導入口としてのインク導入口４５が設けられている。
図４および図５において、実施形態では、突出部４４を、供給部１０１とは反対側に、かつ圧力発生室１２の並設方向の一部をマニホールド１００に相対向する領域まで突出させるように設けた。このため、インク導入口４５は、保護基板３０に設けられた供給部１０１とは圧力発生室１２の長手方向における反対側の端部に設けるようにした。このように、インク導入口４５を保護基板３０の供給部１０１とは反対側の端部に設けることによって、図１に示したインクカートリッジ５から導入されたインクの動圧による影響が、供給部１０１を介して圧力発生室１２に及ぶのを低減することができる。
【００４１】
そして、このような固定板４２の固定板開口部４３によって、マニホールド１００の一方面は、可撓性を有する封止膜４１および貼り合わせ接着剤７００で封止された撓み変形可能な可撓部４６となっている。ここで、可撓部４６は、封止膜４１のみで構成されていてもよい。
実施形態では、可撓部４６は、マニホールド１００に相対向する領域の保護基板３０の供給部１０１に相対向する領域と、マニホールド１００に相対向する領域の固定板４２のインク導入口４５の周囲とに設けられており、可撓部４６は、これらの供給部１０１に相対向する領域とインク導入口４５の周囲とに亘って連続して設けられている。このように、可撓部４６を供給部１０１に相対向する領域とインク導入口４５の周囲とに亘って連続して設けることで、可撓部４６を広い面積で形成することができ、マニホールド１００内のコンプライアンスを増大させて、圧力変動の悪影響によるクロストークの発生を確実に低減させることができる。
【００４２】
さらに、コンプライアンス基板４０上には、ケースヘッド１１０が設けられている。ケースヘッド１１０には、図４に示した突出部４４に形成されたインク導入口４５に連通して図１に示したインクカートリッジ５等のインク貯留手段からのインクをマニホールド１００に供給するインク導入路１１１が設けられている。
また、ケースヘッド１１０には、固定板開口部４３に対向する領域に凹部１１２が形成され、固定板開口部４３のたわみ変形が適宜行われるようになっている。
さらに、ケースヘッド１１０には、保護基板３０に設けられた貫通孔３２と連通する保持孔１１３が設けられている。
【００４３】
ＣＯＦ基板２１０の第１の端部２１１は、保持孔１１３および貫通孔３２内に挿通されて、第１の端部２１１の配線２２０がリード電極９０と接続されている。
なお、ＣＯＦ基板２１０は、貫通孔３２および保持孔１１３に充填されたモールド剤で支持してもよい。
【００４４】
また、図６および図７において、ケースヘッド１１０には、固定板開口部４３に対向する領域にダンパー用凹部であるダンパー部４７が形成され、可撓部４６のたわみ変形が適宜行われるようになっている。
さらに、ケースヘッド１１０には、保護基板３０に設けられた貫通孔３２と連通する保持孔１１３が設けられている。
【００４５】
図６において、ＣＯＦ基板２１０の第１の端部２１１とは反対側に位置する第２の端部２１２は、ホルダー部材４００のホルダー開口部４２０および中継基板５００のスリット５２０に通され、第２の端部２１２の配線２２０が中継基板５００の端子５３０に接合されている。
【００４６】
図６および図７において、ダンパー部４７と連通するように、図３および図４に示した外部連通路１２０がケースヘッド１１０に形成されている。外部連通路１２０は、ホルダー部材４００に形成された大気開放孔４５０と連通している。
ケースヘッド１１０の材料としては、例えば、ＰＰＳが主成分の樹脂材料、金属材料等が挙げられる。
【００４７】
ホルダー部材４００には、バッファー室４３０が形成され、大気開放孔４５０が連通している。大気開放孔４５０は、バッファー室４３０内で管形状を有し、バッファー室４３０に向けて突出し、バッファー室４３０の中程で開口している。
また、図７において、バッファー室４３０は、ホルダー部材４００の側面に開口部４４０を備えており、外部と連通している。
バッファー室４３０は、ホルダー部材４００にバッファー室４３０の一部を構成する凹部を形成した後、蓋９００によって凹部を塞ぐことによって形成することができる。蓋９００は、図３にも示した。
【００４８】
前述のように、ＣＯＦ基板２１０の第１の端部２１１は、挿入孔としてのホルダー開口部４２０、保持孔１１３および貫通孔３２内に挿通されて、第１の端部２１１の配線２２０がリード電極９０と接続されている。
ＣＯＦ基板２１０は、貫通孔３２および保持孔１１３にモールド剤を充填して支持することができる。
【００４９】
インクジェット式記録ヘッド１では、図１に示したインクカートリッジ５からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路２００からの駆動信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極６０と上電極８０との間に電圧が印加される。電圧の印加によって、弾性膜５０および圧電体層７０がたわみ変形し、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。インクの溶媒としては、例えば、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル等を用いることができる。
【００５０】
駆動信号は、例えば、駆動電源信号等の駆動ＩＣを駆動させるための駆動系信号のほか、シリアル信号（ＳＩ）等の各種制御系信号を含み、配線は、それぞれの信号が供給される複数の配線で構成される。
【００５１】
このような実施形態によれば、以下の効果がある。
（１）バッファー室４３０は、ＣＯＦ基板２１０が通されるホルダー開口部４２０、貫通孔３２および保持孔１１３の開口方向とは異なる方向に開口部４４０を有しているので、マニホールド１００から可撓部４６を通過し、バッファー室４３０に至ったインクの溶媒は、ホルダー開口部４２０の開口方向とは異なる方向に放出される。したがって、インクの溶媒は、ＣＯＦ基板２１０の通されるホルダー開口部４２０、貫通孔３２および保持孔１１３を通じて、リード電極９０とＣＯＦ基板２１０との接続部に達しにくくなり、溶媒が接続部に達するまでの時間を稼ぐことができ、溶媒がホルダー開口部４２０の開口方向と同方向に放出される場合と比較して、リード電極９０とＣＯＦ基板２１０との接触不良が生じるまでの時間が長いインクジェット式記録ヘッド１を得ることができる。
また、バッファー室４３０の開口部４４０から浸入したインク８００は、重力によってバッファー室４３０の底面４３００に溜まる。ここで、ダンパー部４７とバッファー室４３０とを連通する大気開放孔４５０の開口が、重力方向とは反対方向で底面４３００より離れた位置にあるため、インク８００を大気開放孔４５０に浸入しにくくできる。したがって、ダンパー部４７の気体の出入りを妨げられにくくでき、可撓部４６によるマニホールド１００の圧力変動の吸収が円滑に行なわれるインクジェット式記録ヘッドユニット１１を得ることができる。
【００５２】
（２）大気開放孔４５０の一部が、バッファー室４３０に突出して形成されているので、バッファー室４３０の底面４３００から大気開放孔４５０の開口に向かってインク８００を這い上がりにくくでき、インク８００を大気開放孔４５０により浸入しにくくできる。したがって、ダンパー部４７の気体の出入りをより妨げられにくくでき、可撓部４６によるマニホールド１００の圧力変動の吸収がより円滑に行なわれるインクジェット式記録ヘッドユニット１１を得ることができる。
【００５３】
（３）ダンパー部４７の一部が形成されたケースヘッド１１０と、バッファー室４３０が形成されたホルダー部材４００とが別部材なので、ダンパー部４７の一部およびバッファー室４３０を形成し易くできる。また、ＣＯＦ基板２１０が挿入される挿入孔も、保護基板３０に形成された貫通孔３２とケースヘッド１１０に形成された保持孔１１３とホルダー部材４００に形成されたホルダー開口部４２０とを含んで、保護基板３０、ケースヘッド１１０およびホルダー部材４００を重ねることで形成できる。したがって、製造の容易なインクジェット式記録ヘッドユニット１１を得ることができる。
【００５４】
（４）前述の効果を達成できるプリンター１０００を得ることができる。
【００５５】
（変形例１）
図８は、変形例１におけるインクジェット式記録ヘッドユニット１１の図２におけるＢ−Ｂ断面図に相当する断面図である。
図８において、バッファー室４３１はホルダー部材４００の側面に凹部として形成され、側面に開口部４４１を備えている。バッファー室４３１は、Ｚ方向に段差４５２を有している。段差４５２には、大気開放孔４５１が、Ｚ方向（重力方向とは反対方向）に向かって開口するように形成されている。
【００５６】
変形例１によれば、以下の効果がある。
（５）実施形態における蓋９００が必要でなく、バッファー室４３１の構造が簡単で、製造が行い易いインクジェット式記録ヘッドユニット１１を得ることができる。
【００５７】
（変形例２）
図９は、変形例２におけるホルダー部材４００の部分斜視図である。
図９において、凹部として形成されたバッファー室４３２の側面に、バッファー室４３２の底面４３２０からＺ方向（重力方向とは反対方向）の離れた位置に半円柱状の切り欠き部４６０が形成されている。切り欠き部４６０の底面４６００に、大気開放孔４５３が開口するように形成されている。また、側面には、開口部４４２が形成されている。
【００５８】
変形例２によれば、以下の効果がある。
（６）バッファー室４３２の側面に形成された切り欠き部４６０は、バッファー室４３２の一部として、バッファー室４３２と同時に形成できる。したがって、バッファー室４３２の形成が容易なインクジェット式記録ヘッドユニット１１を得ることができる。
また、大気開放孔４５３の開口が切り欠き部４６０の側面で覆われているので、よりインクが浸入しにくい。
【００５９】
以上、実施形態および変形例を説明したが、上述したものに限定されるものではない。
例えば、実施形態では、複数のインクジェット式記録ヘッド１を備えたインクジェット式記録ヘッドユニット１１について説明したが、一つのインクジェット式記録ヘッド１を備えたものであってもよい。
また、フレキシブル配線基板はＣＯＦ基板２１０に限らず、駆動回路が実装されていないフレキシブル基板であってもよい。
【００６０】
なお、上記実施の形態においては、液体噴射ヘッドユニットの一例としてインクジェット式記録ヘッドユニットを、また液体噴射装置の一例としてプリンターを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。
【符号の説明】
【００６１】
１…インクジェット式記録ヘッド、２…キャリッジ、３…キャリッジ移動機構、４…プラテンローラー、５…インクカートリッジ、６…タイミングベルト、７…駆動プーリー、８…従動プーリー、９…ガイドロッド、１０…流路形成基板、１１…液体噴射ヘッドユニットとしてのインクジェット記録ヘッドユニット、１２…圧力発生室、１３…連通部、１４…インク供給路、２０…ノズルプレート、２１…ノズル開口、３０…保護基板、３１…圧電素子保持部、３２…挿入孔としての貫通孔、３３…仕切り部、３５…接着剤、４０…コンプライアンス基板、４１…封止膜、４２…固定板、４３…固定板開口部、４５…インク導入口、４６…可撓部、４７…ダンパー部、５０…弾性膜、５５…絶縁体膜、６０…下電極、７０…圧電体層、８０…上電極、９０…リード電極、１００…マニホールド、１０１…供給部、１０４，１０７…モーター、１１０…保持部材としてのケースヘッド、１１１，４１０…インク導入路、１１３…挿入孔としての保持孔、１２０…外部連通路、２００…駆動回路、２１０…ＣＯＦ基板、２１１…第１の端部、２１２…第２の端部、２２０…配線、３００…圧電素子、４００…ホルダー部材、４２０…挿入孔としてのホルダー開口部、４３０，４３１，４３２…バッファー室、４４０，４４１…開口部、４５０，４５１，４５３…大気開放孔、４６０…切り欠き部、５００…中継基板、５１０…孔、５２０…スリット、５３０…端子、６００…ＡＣＰ、７００…貼り合わせ接着剤、８００…液体としてのインク、９００…蓋、１０００…液体噴射装置としてのプリンター、４３００，４３２０…底面、４６００…内面としての底面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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