(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の貫通穴が形成された水平なマスクの上面に沿ってスキージにより被印刷剤を移動させ、その被印刷剤を前記マスクの貫通穴を通して回路基板に印刷するスクリーン印刷機であって、
回路基板を前記マスクに接触離間させる回路基板接離装置を含み、その回路基板接離装置が、(a)互いに相対的に昇降する第１部材および第２部材と、(b)その第２部材から上下方向に延び出させられたガイドロッドと、(c)そのガイドロッドの両側に位置する複数の位置において前記第２部材から前記ガイドロッドと平行に延び出させられた複数本の送りねじと、(d)前記第１部材に設けられ、前記ガイドロッドと摺動可能に嵌合されたガイドスリーブと、(e)前記第１部材に設けられ、前記複数本の送りねじとそれぞれ螺合された複数のナットと、(f)前記複数本の送りねじと前記複数のナットとを一斉に相対回転させる相対回転装置と、(g)前記第２部材に対して上下方向に相対移動する第３部材と、(h)その第３部材から上下方向に延び出させられたガイドロッドとを含み、かつ、
前記第２部材から延び出させられたガイドロッドが中空のガイドロッドとされ、その中空のガイドロッドの内側に前記第３部材から延び出させられたガイドロッドが摺動可能に嵌合されたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
複数の貫通穴が形成された水平なマスクの上面に沿ってスキージにより被印刷剤を移動させ、その被印刷剤を前記マスクの貫通穴を通して回路基板に印刷するスクリーン印刷機であって、
回路基板を水平に保持する基板保持装置と、
その基板保持装置を昇降させることにより回路基板を前記マスクの下面に接触離間させる基板保持装置昇降装置と、
前記マスクの下面の、回路基板が接触離間させられる部分より外側の部分に接触して前記マスクを下方から支持するマスク支持装置と、
そのマスク支持装置を昇降させることによりそのマスク支持装置を前記マスクの下面に接触離間させるマスク支持装置昇降装置と、
スクリーン印刷機本体と
を含み、前記マスク支持装置昇降装置が、前記スクリーン印刷機本体に対する前記マスク支持装置の昇降を案内する第１案内装置および前記マスク支持装置を前記スクリーン印刷機本体に対して昇降させる第１昇降駆動装置を含み、前記基板保持装置昇降装置が、前記マスク支持装置に対する前記基板保持装置の昇降を案内する第２案内装置および前記基板保持装置を前記マスク支持装置に対して昇降させる第２昇降駆動装置を含み、かつ、前記第１案内装置が、前記マスク支持装置の中央部から下方へ延び出させられた中空の第１ガイドロッドと、前記スクリーン印刷機本体に設けられて前記第１ガイドロッドと摺動可能に嵌合された第１ガイドスリーブとを含み、前記第２案内装置が、前記基板保持装置の中央部から下方へ延び出させられて前記中空の第１ガイドロッド内に摺動可能に嵌合された第２ガイドロッドを含むスクリーン印刷機。
【請求項３】
前記第１昇降駆動装置が、
前記第１ガイドロッドの両側に位置する複数の位置において前記マスク支持装置から前記第１ガイドロッドに平行に下方へかつ軸方向に相対移動不能に延び出させられた複数本の第１送りねじと、
前記スクリーン印刷機本体に軸方向に相対移動不能に設けられて前記複数本の第１送りねじの各々と螺合された複数の第１ナットと、
それら互いに螺合された複数本の第１送りねじと複数の第１ナットとを一斉に相対回転させる第１相対回転装置と
を含む請求項２に記載のスクリーン印刷機。
【請求項４】
前記基板保持装置が、
前記回路基板の下面を支持する基板支持装置と、
その基板支持装置に支持された回路基板をクランプして固定する基板クランプ装置と、
その基板クランプ装置に対する前記基板支持装置の昇降を案内する第３案内装置および前記基板支持装置を前記基板クランプ装置に対して昇降させる第３昇降駆動装置と
を含み、前記第２案内装置および前記第２昇降駆動装置が前記基板クランプ装置と前記マスク支持装置との間に設けられた請求項２または３に記載のスクリーン印刷機。
【請求項５】
前記第３案内装置が、前記基板支持装置の中央部から下方へ延び出させられた第３ガイドロッドと、前記基板クランプ装置に設けられて前記第３ガイドロッドと摺動可能に嵌合された第３ガイドスリーブとを含み、前記第３ガイドロッドが前記第２ガイドロッドを兼ねる請求項４に記載のスクリーン印刷機。
【請求項６】
前記第３昇降駆動装置が、
前記第３ガイドロッドの両側に位置する複数の位置において前記基板支持装置から前記第３ガイドロッドに平行に下方へかつ軸方向に相対移動不能に延び出させられた複数本の第３送りねじと、
前記基板クランプ装置に軸方向に相対移動不能に設けられて前記複数本の第３送りねじの各々と螺合された複数の第３ナットと、
それら互いに螺合された複数本の第３送りねじと複数の第３ナットとを一斉に相対回転させる第３相対回転装置と
を含み、かつ、前記第３送りねじが、前記マスク支持装置に軸方向に移動不能に設けられた第２ナットと螺合され、その第２ナットと第３送りねじとを相対回転させる第２相対回転装置が設けられて、それら第２ナットおよび第２相対回転装置が前記第３送りねじと共同して前記第２昇降駆動装置を構成する請求項５に記載のスクリーン印刷機。
【請求項７】
前記基板保持装置が、回路基板を支持する支持面に開口させられた吸引口を備え、前記第２ガイドロッドに、その第２ガイドロッドを長手方向に貫通する貫通穴が形成され、その貫通穴と前記中空の第１ガイドロッドの内部空間とが前記吸引口に連通する空気吸引通路とされた請求項２ないし６のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板にクリーム状はんだ等の被印刷剤を印刷するスクリーン印刷機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
下記の特許文献１に記載のスクリーン印刷機は、回路基板を水平に保持する基板保持装置，マスクを下方から支持するマスク支持装置，基板保持装置昇降装置およびマスク支持装置昇降装置を含む。基板保持装置は、回路基板の下面を支持する基板支持装置，回路基板をクランプする基板クランプ装置および基板支持装置昇降装置を含む。マスク支持装置昇降装置は、マスク支持装置本体の中央部から外れた箇所に固定されたナットと、スクリーン印刷機本体に鉛直軸線まわりに回転可能に設けられてナットと螺合された送りねじと、送りねじを回転させる電動モータとを含み、マスク支持装置を、マスク支持装置本体の側面に設けられた係合ブロックとスクリーン印刷機本体に設けられたガイドとの嵌合により案内させつつ昇降させる。基板保持装置昇降装置は、基板クランプ装置本体の中央部から外れた箇所に設けられた複数のカムフォロワと、マスク支持装置本体に水平方向に移動可能に設けられた複数のカムと、それらカムを移動させるカム駆動装置とを含む。カム駆動装置は、マスク支持装置本体に水平軸線まわりに回転可能に設けられた送りねじと、カムに設けられて送りねじと螺合されたナットと、送りねじを回転させる電動モータとを含み、カムの移動により、水平面に対して傾斜させられたカム面の斜面の作用により基板保持装置が昇降させられる。基板支持装置昇降装置は、基板クランプ装置本体の中央部に鉛直軸線まわりに回転可能に設けられた送りねじと、基板支持装置本体の中央部に固定され、送りねじと螺合されたナットと、送りねじを回転させる電動モータとを含む。基板支持装置本体の中央部から外れた複数箇所からガイドロッドが下方へ延び出させられ、クランプ装置本体およびマスク支持装置本体に摺動可能に嵌合され、基板支持装置および基板クランプ装置の昇降を案内する。
このスクリーン印刷機においては、基板支持装置の上昇により、回路基板が基板クランプ装置に対して所定の位置へ上昇させられ、クランプされる。また、基板保持装置の上昇により、回路基板がマスク支持装置に対して上昇させられ、マスク支持装置と同じ高さにされる。そして、基板保持装置とマスク支持装置とが共に上昇させられ、回路基板およびマスク支持装置がマスクに接触させられ、マスク支持装置によりマスクが支持された状態で回路基板への被印刷剤の印刷が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２８１７１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来のスクリーン印刷機には未だ改善の余地がある。例えば、基板支持装置昇降装置，マスク支持装置昇降装置はそれぞれ１つずつの送りねじとナットとの螺合によって支えられているため、支持剛性が不足し、印刷時に加えられる力によって傾き易い。また、３つの装置がそれぞれ別々の昇降装置により昇降させられ、部品点数が多く、印刷機の構成が複雑である。
このような不具合は、基板支持装置，基板クランプ装置およびマスク支持装置の全部を含むスクリーン印刷機に限らず、それらのうちの２つを含むスクリーン印刷機においても同様に生じる。
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであり、上記問題を解決するなど、改善されたスクリーン印刷機の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題は、複数の貫通穴が形成された水平なマスクの上面に沿ってスキージにより被印刷剤を移動させ、その被印刷剤を前記マスクの貫通穴を通して回路基板に印刷するスクリーン印刷機を、回路基板を前記マスクに接触離間させる回路基板接離装置を含むものとし、その回路基板接離装置を、(a)互いに相対的に昇降する第１部材および第２部材と、(b)その第２部材から上下方向に延び出させられたガイドロッドと、(c)そのガイドロッドの両側に位置する複数の位置において前記第２部材から前記ガイドロッドと平行に延び出させられた複数本の送りねじと、(d)前記第１部材に設けられ、前記ガイドロッドと摺動可能に嵌合されたガイドスリーブと、(e)前記第１部材に設けられ、前記複数本の送りねじとそれぞれ螺合された複数のナットと、(f)前記複数本の送りねじと前記複数のナットとを一斉に相対回転させる相対回転装置と、(g)前記第２部材に対して上下方向に相対移動する第３部材と、(h)その第３部材から上下方向に延び出させられたガイドロッドとを含み、かつ、前記第２部材から延び出させられたガイドロッドが中空のガイドロッドとされ、その中空のガイドロッドの内側に前記第３部材から延び出させられたガイドロッドが摺動可能に嵌合されたものとすることにより解決される。
上記第１部材と第２部材とは、例えば、発明の態様の項の各項におけるマスク支持装置の本体，基板クランプ装置の本体，基板支持装置の本体のうちの２つとしたり、スクリーン印刷機の本体と上記各装置のいずれかの本体としたりすることができる。
【０００６】
上記の課題はまた、複数の貫通穴が形成された水平なマスクの上面に沿ってスキージにより被印刷剤を移動させ、その被印刷剤を前記マスクの貫通穴を通して回路基板に印刷するスクリーン印刷機を、(A)回路基板を水平に保持する基板保持装置と、(B)その基板保持装置を昇降させることにより回路基板を前記マスクの下面に接触離間させる基板保持装置昇降装置と、(C)前記マスクの下面の、回路基板が接触離間させられる部分より外側の部分に接触して前記マスクを下方から支持するマスク支持装置と、(D)そのマスク支持装置を昇降させることによりそのマスク支持装置を前記マスクの下面に接触離間させるマスク支持装置昇降装置と、(E)スクリーン印刷機本体とを含むものとし、かつ、前記マスク支持装置昇降装置を、前記スクリーン印刷機本体に対する前記マスク支持装置の昇降を案内する第１案内装置および前記マスク支持装置を前記スクリーン印刷機本体に対して昇降させる第１昇降駆動装置を含むものとし、前記基板保持装置昇降装置を、前記マスク支持装置に対する前記基板保持装置の昇降を案内する第２案内装置および前記基板保持装置を前記マスク支持装置に対して昇降させる第２昇降駆動装置を含むものとし、かつ、前記第１案内装置を、前記マスク支持装置の中央部から下方へ延び出させられた中空の第１ガイドロッドと、前記スクリーン印刷機本体に設けられて前記第１ガイドロッドと摺動可能に嵌合された第１ガイドスリーブとを含み、前記第２案内装置を、前記基板保持装置の中央部から下方へ延び出させられて前記中空の第１ガイドロッド内に摺動可能に嵌合された第２ガイドロッドを含むものとすることにより解決される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係るスクリーン印刷機の１つにおいては、第１，第２部材が複数ずつの送りねじとナットとの螺合により剛性高く支持され、傾き難く、印刷時における回路基板の姿勢安定性が向上する。また、少なくとも、ガイドロッドの両側に位置する複数本の送りねじにより、第１，第２部材が相対的に昇降させられるため、ガイドロッドとガイドスリーブとに、それらを互いに傾かせるモーメントが加えられることが少なく、ガイドロッドとガイドスリーブとの耐久性が向上する効果が得られる。さらに、ガイドロッドの両側に位置する複数の位置に送りねじが設けられることにより十分な曲げ剛性が得られ、第１部材と第２部材とが、ガイドロッドの軸線まわりに相対回転することが十分に防止される。
さらに、第２部材のガイドロッドが第３部材のガイドロッドのガイドスリーブとして機能し、スクリーン印刷機の構成の簡易化およびコンパクト化の効果が得られる。
【０００８】
本発明に係る別のスクリーン印刷機においては、マスク支持装置の中央部の下方において第１ガイドロッドと第２ガイドロッドとを互いに嵌合させることにより、第１案内装置と第２案内装置との配設スペースを上下に重ね合わせることができ、従来とは異なった第１，第２案内装置および第１，第２昇降駆動装置との配置を採用することが可能になる。例えば、発明の態様の項の(4)項に記載のスクリーン印刷機におけるように、第１昇降駆動装置を複数の送りねじおよびナットを含む装置とし、基板保持装置による回路基板の保持安定性の向上を図ることが容易となる。また、中空の第１ガイドロッドが第２ガイドロッドのガイドスリーブとして機能し、マスク支持装置に第２ガイドロッド専用のガイドスリーブを設ける場合に比較して、構成が簡易になるとともに、スクリーン印刷機をコンパクトに構成することが可能になる。
【発明の態様】
【０００９】
以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある。請求可能発明は、本願発明の下位概念発明や、本願発明の上位概念あるいは別概念の発明を含むこともある。）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、請求可能発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載，実施形態の記載，従来技術，技術常識等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。
【００１０】
なお、以下の各項において、（１）項と（２）項とを合わせたものが請求項１に相当し、（３）項が請求項２に、（４）項が請求項３に、（６）項が請求項４に、（８）項が請求項５に、（１０）項が請求項６に、（１７）項が請求項７にそれぞれ相当する。
【００１１】
（１）複数の貫通穴が形成された水平なマスクの上面に沿ってスキージにより被印刷剤を移動させ、その被印刷剤を前記マスクの貫通穴を通して回路基板に印刷するスクリーン印刷機であって、
回路基板を前記マスクに接触離間させる回路基板接離装置を含み、その回路基板接離装置が、(a)互いに相対的に昇降する第１部材および第２部材と、(b)その第２部材から上下方向に延び出させられたガイドロッドと、(c)そのガイドロッドの両側に位置する複数の位置において前記第２部材から前記ガイドロッドと平行に延び出させられた複数本の送りねじと、(d)前記第１部材に設けられ、前記ガイドロッドと摺動可能に嵌合されたガイドスリーブと、(e)前記第１部材に設けられ、前記複数本の送りねじとそれぞれ螺合された複数のナットと、(f)前記複数本の送りねじと前記複数のナットとを一斉に相対回転させる相対回転装置とを含むことを特徴とするスクリーン印刷機。
上記「ガイドロッドの両側に位置する複数の位置」とは、ガイドロッドの軸線と、その軸線に直角な平面との交点が、その平面と複数本の送りねじの軸線との複数の交点を互いに交差することなく結ぶ線分により画定される領域内に位置することを意味する。上記領域は、送りねじが３本の場合は三角形、４本の場合は四角形の領域であり、送りねじが２本の場合は幅のない特殊な領域と考えることとする。すなわち、ガイドロッドの軸線は、２本の送りねじの軸線を結ぶ直線と直交することとなる。
下記(3)項以下の特徴は本項に記載のスクリーン印刷機にも適用可能である。
（２）前記回路基板接離装置が、さらに、(g)前記第２部材に対して上下方向に相対移動する第３部材と、(h)その第３部材から上下方向に延び出させられたガイドロッドとを含み、かつ、前記第２部材から延び出させられたガイドロッドが中空のガイドロッドとされ、その中空のガイドロッドの内側に前記第３部材から延び出させられたガイドロッドが摺動可能に嵌合された(1)項に記載のスクリーン印刷機。
第２部材のガイドロッドが第３部材のガイドロッドのガイドスリーブとして機能し、スクリーン印刷機の構成の簡易化およびコンパクト化の効果が得られる。
（３）複数の貫通穴が形成された水平なマスクの上面に沿ってスキージにより被印刷剤を移動させ、その被印刷剤を前記マスクの貫通穴を通して回路基板に印刷するスクリーン印刷機であって、
回路基板を水平に保持する基板保持装置と、
その基板保持装置を昇降させることにより回路基板を前記マスクの下面に接触離間させる基板保持装置昇降装置と、
前記マスクの下面の、回路基板が接触離間させられる部分より外側の部分に接触して前記マスクを下方から支持するマスク支持装置と、
そのマスク支持装置を昇降させることによりそのマスク支持装置を前記マスクの下面に接触離間させるマスク支持装置昇降装置と、
スクリーン印刷機本体と
を含み、前記マスク支持装置昇降装置が、前記スクリーン印刷機本体に対する前記マスク支持装置の昇降を案内する第１案内装置および前記マスク支持装置を前記スクリーン印刷機本体に対して昇降させる第１昇降駆動装置を含み、前記基板保持装置昇降装置が、前記マスク支持装置に対する前記基板保持装置の昇降を案内する第２案内装置および前記基板保持装置を前記マスク支持装置に対して昇降させる第２昇降駆動装置を含み、かつ、前記第１案内装置が、前記マスク支持装置の中央部から下方へ延び出させられた中空の第１ガイドロッドと、前記スクリーン印刷機本体に設けられて前記第１ガイドロッドと摺動可能に嵌合された第１ガイドスリーブとを含み、前記第２案内装置が、前記基板保持装置の中央部から下方へ延び出させられて前記中空の第１ガイドロッド内に摺動可能に嵌合された第２ガイドロッドを含むスクリーン印刷機。
マスク支持装置を含まず、基板支持装置と基板クランプ装置とを含むスクリーン印刷機においては、基板支持装置の本体と基板クランプ装置の本体との一方とスクリーン印刷機の本体との相対的な昇降を案内するガイドロッドを中空とし、基板支持装置の本体と基板クランプ装置の本体との相対的な昇降を案内するガイドロッドをその中空のガイドロッドの内側に摺動可能に嵌合することによって、本項に係る発明と類似の効果を得ることができる。
（４）前記第１昇降駆動装置が、
前記第１ガイドロッドの両側に位置する複数の位置において前記マスク支持装置から前記第１ガイドロッドに平行に下方へかつ軸方向に相対移動不能に延び出させられた複数本の第１送りねじと、
前記スクリーン印刷機本体に軸方向に相対移動不能に設けられて前記複数本の第１送りねじの各々と螺合された複数の第１ナットと、
それら互いに螺合された複数本の第１送りねじと複数の第１ナットとを一斉に相対回転させる第１相対回転装置と
を含む(3)項に記載のスクリーン印刷機。
送りねじは１本でもマスク支持装置を昇降させることができる。しかし、送りねじを複数本設ければ、マスク支持装置を剛性高く支持し、マスクを安定して支持させることができる。
第１送りねじの本数は、２本でも３本でもよい。しかし、次項に記載の通り４本とされることが望ましい。
（５）前記マスク支持装置が矩形状の平面形状を有し、前記複数本の第１送りねじが前記マスク支持装置の四隅に計４本設けられた(4)項に記載のスクリーン印刷機。
マスク支持装置が特に剛性高く安定して水平に支持され、昇降時にも印刷時にも傾きが防止される。
（６）前記基板保持装置が、
前記回路基板の下面を支持する基板支持装置と、
その基板支持装置に支持された回路基板をクランプして固定する基板クランプ装置と、
その基板クランプ装置に対する前記基板支持装置の昇降を案内する第３案内装置および前記基板支持装置を前記基板クランプ装置に対して昇降させる第３昇降駆動装置と
を含み、前記第２案内装置および前記第２昇降駆動装置が前記基板クランプ装置と前記マスク支持装置との間に設けられた(3)項ないし(5)項のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
（７）前記第３案内装置が、前記基板支持装置の中央部から下方へ延び出させられた第３ガイドロッドと、前記基板クランプ装置に設けられて前記第３ガイドロッドと摺動可能に嵌合された第３ガイドスリーブとを含む(6)項に記載のスクリーン印刷機。
第１，第２，第３の各案内装置がいずれも装置中央部に設けられ、第２，第３昇降駆動装置の配置の自由度が高い。
（８）前記第３ガイドロッドが前記第２ガイドロッドを兼ねる(7)項に記載のスクリーン印刷機。
構成要素の数が少なくて済み、スクリーン印刷機を簡易に構成することができる。
（９）前記第３昇降駆動装置が、
前記第３ガイドロッドの両側に位置する複数の位置において前記基板支持装置から前記第３ガイドロッドに平行に下方へかつ軸方向に相対移動不能に延び出させられた複数本の第３送りねじと、
前記基板クランプ装置に軸方向に相対移動不能に設けられて前記複数本の第３送りねじの各々と螺合された複数の第３ナットと、
それら互いに螺合された複数本の第３送りねじと複数の第３ナットとを一斉に相対回転させる第３相対回転装置と
を含む(7)項または(8)項に記載のスクリーン印刷機。
複数ずつの送りねじとナットとの螺合により、基板支持装置が剛性高く支持される。
第３送りねじの本数は、２本でも３本でもよい。しかし、(10)項の説明部分に記載の通り４本とされることが望ましい。
（１０）前記第３送りねじが、前記マスク支持装置に軸方向に移動不能に設けられた第２ナットと螺合され、その第２ナットと第３送りねじとを相対回転させる第２相対回転装置が設けられて、それら第２ナットおよび第２相対回転装置が前記第３送りねじと共同して前記第２昇降駆動装置を構成する(9)項に記載のスクリーン印刷機。
第３送りねじに第２昇降駆動装置の送りねじを兼ねさせることにより、基板クランプ装置に第２ナットと螺合される専用の送りねじを設ける場合に比較してスクリーン印刷機が簡易にかつ安価に構成される。また、基板クランプ装置も、複数ずつの送りねじとナットとの螺合により剛性高く支持される。第１，第２，第３昇降駆動装置がいずれも、それぞれ駆動すべき装置の四隅に設けられた４本の送りねじを有するのであれば、３つの装置のいずれについても(5)項に記載のスクリーン印刷機と同様の効果が得られる。
第２ナット，第３ナットおよび第３送りねじは、それらのうちの１つが回転不能とされ、２つが回転可能とされる。回転可能な２つのうち、その回転により基板クランプ装置が昇降させられるものを回転させる装置が第２相対回転装置を構成し、回転により基板支持装置が昇降させられるものを回転させる装置が第３相対回転装置を構成する。
（１１）前記基板クランプ装置が、
クランプ装置本体と、
そのクランプ装置本体に、回路基板に平行でその回路基板の両側端面の一方に直角な方向に相対移動可能に保持された可動クランプ部材と、
その可動クランプ部材を駆動するクランプ部材駆動装置と
を含むサイドクランプ装置を含む(6)項ないし(10)項のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
サイドクランプ装置は、回路基板をその回路基板の両側端面においてクランプするものであるのでクランプ部材は少なくとも一対必要である。その少なくとも一対のクランプ部材は、両方共に可動クランプ部材とすることも、一方は固定クランプ部材とすることも可能である。
（１２）前記可動クランプ部材が長手形状を有するものであり、前記クランプ部材駆動装置が、前記クランプ装置本体に保持され、前記可動クランプ部材の長手方向に隔たった２箇所を、それぞれ前記両側端面の一方に接近離間させるものである(11)項に記載のスクリーン印刷機。
回路基板の側端面に傾きがあっても、可動クランプ部材を側端面に沿わせ、回路基板を安定してクランプさせることができる。
本項に記載の特徴は、(3)項ないし(10)項のいずれに記載の特徴からも独立して採用することが可能である。
（１３）前記クランプ部材駆動装置が、
前記可動クランプ部材の長手方向に平行な方向に作動可能な２つの出力部材を備えた駆動源と、
それぞれの一端部が前記２つの出力部材の各々に相対回動可能に連結され、他端部が前記可動クランプ部材に相対回動可能に連結され、それら出力部材への連結部と可動クランプ部材への連結部との２つの相対回動軸線を結ぶ直線と前記可動クランプ部材の長手方向との成す角度が４５度より小さい２つの連結リンクと
を含む(12)項に記載のスクリーン印刷機。
出力部材の出力が減力されて可動クランプ部材に、回路基板の側端面に接近する方向に作用し、回路基板が過大な力でクランプされることがない。また、必要に応じて、出力を制御し、クランプ力を微小に変化させることもでき、そのようにすれば、可動クランプ部材により回路基板を、その剛性に応じた力でクランプすることが可能になる。
なお、クランプ部材駆動装置は、例えば、２つの流体圧シリンダを含むものとしたり、１つの流体圧シリンダを含むものとしたりすることが可能である。流体圧シリンダとしては、シリンダハウジングと、そのシリンダハウジングに摺動可能かつ気密に嵌合されたピストンと、そのピストンからシリンダハウジング外へ延び出させられたピストンロッドとを含む直線型流体圧シリンダが好適である。クランプ部材駆動装置が２つの直線型流体圧シリンダを含む場合は、例えば、それぞれのシリンダハウジングとピストンロッドとの一方をクランプ装置本体に、他方を連結リンクにそれぞれ連結すればよい。また、クランプ部材駆動装置が１つの直線型流体圧シリンダを含む場合は、シリンダハウジングを２つの連結リンクの一方に、ピストンロッドを２つの連結リンクの他方に、それぞれ連結すればよい。この場合には、シリンダハウジングとピストンロッドとがそれぞれ出力部材を構成することとなる。
（１４）前記マスク支持装置が、上面がマスク支持面とされる一方、下面が基板受け面とされたマスク支持部材を含み、前記基板保持装置昇降装置が、前記基板保持装置を、前記基板支持装置に支持された回路基板と前記サイドクランプ装置とが前記マスク支持部材の前記基板受け面に接触または近接する位置まで上昇させた状態で、前記サイドクランプ装置が回路基板をクランプする(11)項ないし(13)項のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
クランプ時に基板受け面により回路基板の縁部が上方から拘束され、回路基板の縁部がクランプ部材から上方へ外れてクランプされない事態が生じることが防止される。
（１５）前記マスク支持部材が前記マスクに平行な方向において前記可動クランプ部材に隣接した位置において前記マスクを支持するとともに、そのマスク支持部材の、前記可動クランプ部材と対向する側面の上部が前記スキージの長手方向に対して傾斜した傾斜側面とされる一方、前記可動クランプ部材と対向する側面の下部が前記スキージの長手方向に平行な平行側面とされ、かつ、前記可動クランプ部材の前記マスク支持部材に対向する側面が前記傾斜側面に平行な傾斜側面とされ、それら両傾斜側面の間の隙間が平面視において前記スキージの長手方向に対して傾斜させられた(14)項に記載のスクリーン印刷機。
マスク支持部材と可動クランプ部材とが共にマスクに接触させられた状態で、マスク支持部材と可動クランプ部材との隙間がスキージの長手方向と交差し、その隙間がスキージの長手方向と平行である場合のようにスキージが隙間に落ち込むことがなく、隙間への落ち込みによるスキージやマスクの損傷が防止される。
また、上記のように、マスク支持部材と可動クランプ部材との隙間がスキージの長手方向に対して比較的大きな角度で傾斜させられていながら、基板受け面の縁は平行側面によって画定されるため、基板受け面の縁は回路基板の側縁と平行に延び、その縁近傍の狭い部分によって回路基板の側縁部を、その側縁部の全長にわたって受けることができる。
サイドクランプ装置の一対のクランプ部材の一方が固定クランプ部材とされる場合、その固定クランプ部材とマスク支持部材との互いに対向する側面の形状も、上記形状とされることが望ましい。
本項に記載の特徴は、(3)項ないし(13)項のいずれに記載の特徴からも独立して採用することが可能である。
（１６）前記基板クランプ装置が、
クランプ装置本体と、
そのクランプ装置本体から上方へ立ち上がり、上端に、その上端から、前記基板支持装置の上方へ突出したクランプ部を備えた第１クランプ部材と、
前記クランプ部の下方に設けられ、前記基板支持装置の前記クランプ装置本体に対する相対的な昇降に伴って昇降させられ、回路基板の側端部を、前記クランプ部と共同して上下両側から挟んで固定する第２クランプ部材と
を含む上下クランプ装置を含む(6)ないし(10)項のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
本項に記載の特徴は、(3)項ないし(10)項のいずれに記載の特徴からも独立して採用することが可能である。
（１７）前記基板保持装置が、回路基板を支持する支持面に開口させられた吸引口を備え、前記第２ガイドロッドに、その第２ガイドロッドを長手方向に貫通する貫通穴が形成され、その貫通穴と前記中空の第１ガイドロッドの内部空間とが前記吸引口に連通する空気吸引通路とされた(3)項ないし(16)項のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
第１，第２ガイドロッドを利用して吸引口に負圧を供給することができ、配管を減らすことができる。
（１８）さらに、回路基板を搬送する基板コンベヤと、
その基板コンベヤにより搬送される回路基板の前縁に当接して回路基板の停止位置を規定する基板ストッパと、
その基板ストッパにより停止させられた回路基板の上面に当接して回路基板の上反りを矯正する基板押さえと、
その基板押さえを前記基板ストッパと共に保持する保持部材と、
その保持部材を昇降させる保持部材昇降装置と、
その保持部材昇降装置と前記保持部材とを、前記基板保持装置に保持された回路基板の上面に平行な移動平面内の任意の位置へ移動させ得る移動装置と
を含み、かつ、平面視において前記基板ストッパが前記基板押さえより前記回路基板の搬送方向の上流側に位置させられ、側面視において前記基板押さえの下端が前記基板ストッパの下端より下方に位置させられた(3)項ないし(17)項のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
本項に係る発明の特徴によれば、基板ストッパが停止位置において下降させられ、回路基板を停止させるとき、基板押さえは基板ストッパの後ろにあって回路基板に当たらず、基板押さえが下降させられて回路基板を押さえるとき、基板ストッパは基板押さえより上にあって回路基板に当たらず、互いの作用を妨げない。そのため、基板ストッパおよび基板押さえを共通の昇降装置によって昇降させ、共通の移動装置によって移動させることができ、スクリーン印刷機を簡易にかつ安価に構成することができる。
本項に記載の特徴は、(3)項ないし(17)項のいずれに記載の特徴からも独立して採用することが可能である。
（１９）前記マスク支持装置が、
マスク支持装置本体と、
そのマスク支持装置本体により、前記マスクに平行な方向に相対移動可能に保持され、前記マスクを支持するマスク支持面を備えた可動マスク支持部材と、
その可動マスク支持部材を前記マスク支持装置本体に固定するマスク支持部材固定装置と
を含む(3)項ないし(18)項のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
少なくとも印刷時に可動マスク支持部材がマスク支持装置本体に固定され、マスクを安定して支持することができ、印刷精度が向上する。
本項に記載の特徴は、(3)項ないし(18)項のいずれに記載の特徴からも独立して採用することが可能である。
（２０）前記マスク支持部材固定装置が、
前記マスク支持装置本体に接触する接触面を備えたパッドと、
前記可動マスク支持部材に設けられ、前記パッドを前記接触面と交差する方向に移動可能に保持するとともに、そのパッドを、前記接触面が前記マスク支持装置本体に接触離間する方向に移動させるパッド移動装置と
を含む(19)項に記載のスクリーン印刷機。
パッドにそれの接触面に開口する吸引口を設け、その吸引口に負圧を供給する負圧供給装置を設けることが望ましい。負圧によりパッドをマスク支持装置本体に積極的に固定するのである。
（２１）前記マスク支持装置が、(a)前記マスクの下面を下方から支持する支持面と、その支持面に開口させられた吸引口とを備えたマスク支持部材と、(b)前記吸引口にバキュームを供給するバキューム装置とを含む(3)項ないし(20)項のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
マスクがマスク支持部材により確実に支持され、また、マスクのマスク支持部材に対するずれが防止される。
本項に記載の特徴は、(3)項ないし(20)項のいずれに記載の特徴からも独立して採用することが可能である。
（２２）さらに、前記基板保持装置昇降装置と前記マスク支持装置昇降装置とを制御することにより、前記マスク支持装置と前記基板保持装置とを、前記マスクの弾性変形により許容される距離一体的に下降させて急激に停止させ、前記マスクの前記開口内の被印刷剤に回路基板に向かう向きの慣性力を発生させる慣性力発生制御部を含む(21)項に記載のスクリーン印刷機。
マスクが回路基板に接触したまま回路基板と共に下降させられて急激に停止させられ、被印刷剤の回路基板への付着力が増し、貫通穴から抜け出し易くなる。
マスク支持部材によるマスクの保持をバキュームによる吸着以外の手段により行えば、本項に記載の特徴を(21)項に記載の特徴から独立して採用することが可能である。
（２３）複数の貫通穴が形成された水平なマスクの上面に沿ってスキージにより被印刷剤を移動させ、その被印刷剤を前記マスクの貫通穴を通して回路基板に印刷するスクリーン印刷方法であって、
前記スキージにより前記マスクの貫通穴に前記被印刷剤を充填させる充填工程と、
その充填工程の後に、前記マスクと前記回路基板とを一体的に下降させて急激に停止させることにより、前記マスクの前記開口内の被印刷剤に回路基板に向かう向きの慣性力を発生させ、その被印刷剤の回路基板への付着力を増す付着力増加工程と、
その付着力増加工程の後に、前記マスクと前記回路基板とを離間させて、前記回路基板に付着した前記被印刷剤を前記貫通穴から抜け出させる版離し工程と
を含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
被印刷剤の回路基板への付着力の増大により、貫通穴からの抜出しが良好に行われる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】一実施形態であるスクリーン印刷機を概略的に示す正面図である。
【図２】上記スクリーン印刷機において使用されるマスクを示す平面図である。
【図３】上記スクリーン印刷機のマスク支持装置および基板保持装置を示す側面図である。
【図４】上記マスク支持装置および基板保持装置を示す斜視図である。
【図５】上記マスク支持装置の可動マスク支持部材をクランプ部材と共に示す平面図である。
【図６】上記基板保持装置のサイドクランプ装置のクランプ部材駆動装置を示す平面図である。
【図７】上記クランプ部材駆動装置を示す正面図である。
【図８】上記クランプ部材駆動装置の一部を拡大して示す正面図である。
【図９】上記スクリーン印刷機のマスク支持部材固定装置を示す斜視図である。
【図１０】上記基板保持装置の基板支持装置の一部を示す正面断面図である。
【図１１】上記マスク支持装置および基板保持装置を示す側面断面図である。
【図１２】上記スクリーン印刷機の基板ストッパ，基板押さえおよび移動装置を示す平面図である。
【図１３】上記基板ストッパおよび基板押さえを示す側面図である。
【図１４】上記基板ストッパおよび基板押さえを示す平面図である。
【図１５】上記スクリーン印刷機を制御する制御装置を示すブロック図である。
【図１６】上記基板保持装置による回路基板の保持等を説明する図である。
【図１７】別の実施形態であるスクリーン印刷機の上下クランプ装置を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、請求可能発明の実施形態を、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施形態の他、上記〔発明の態様〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更を施した態様で実施することができる。
【００１４】
図１に、請求可能発明の一実施形態であるスクリーン印刷機（以後、印刷機と略称する）が図示されている。本印刷機は、印刷機本体１０，基板搬送装置１２，基板保持装置１４，マスク支持装置１６（図３参照），マスク保持装置１８，印刷装置２０，撮像装置２２および制御装置２４（図１５参照）を備えている。マスク保持装置１８は印刷機本体１０の上部に設けられ、マスク３０を水平な姿勢で保持する。マスク３０には、図２に示すように、回路基板３２（以後、基板３２と略称する）の被印刷剤たるクリーム状はんだ（以後、はんだと略称する）の印刷箇所に対応する部分に貫通穴３４が形成されており、マスク枠３６（図１参照）に張られている。
【００１５】
印刷装置２０は、図１に示すように、それぞれスキージ３８を保持する１対のスキージヘッド４０（図１には１つのみ図示されている），それらスキージヘッド４０をそれぞれ昇降させるスキージヘッド昇降装置４２および１対のスキージヘッド４０を水平方向に移動させるスキージヘッド移動装置４４を含む。スキージヘッド移動装置４４は、可動部材４５と、電動モータ４６と、送りねじおよびナットを含む送りねじ機構４８（図１５参照）とを含む。本実施形態においては、印刷装置２０は、スキージ３８の長手方向が基板搬送装置１２による基板３２の搬送方向に平行となるように設けられ、スキージ３８の移動方向である印刷方向と搬送方向とは互いに直交する。本実施形態においては、搬送方向を左右方向、印刷方向を前後方向とする。左右方向および前後方向はいずれも水平である。
【００１６】
マスク保持装置１８の下方に基板保持装置１４およびマスク支持装置１６が設けられている。マスク支持装置本体６０は、図４に示すように平面形状が矩形を成し、水平に配設され、その上面上に１対の可動マスク支持部材６２，６４がマスク３０に平行な方向であって前後方向に移動可能に設けられている。
【００１７】
可動マスク支持部材６２，６４はそれぞれ、図４に示すように門形の脚体６６と板状の支持体６８とを備えている。可動マスク支持部材６２，６４はそれぞれ、図３に示すように、脚体６６の一対の脚部７０の各係合ブロック７２が、マスク支持装置本体６０に前後方向に平行に設けられたガイド７４に移動可能に嵌合され、マスク支持部材移動装置７６，７８により移動させられる。マスク支持部材移動装置７６はマスク支持装置本体６０に設けられた２つのエアシリンダ８０を備え、ピストンロッドの伸縮により可動マスク支持部材６２を移動させる。マスク支持部材移動装置７８については後述する。
【００１８】
可動マスク支持部材６２，６４の各支持体６８は、脚体６６の梁部８４上に搬送方向に平行な軸線まわりに回動可能に取り付けられ、１対の脚部７０の各々との間に張り渡された付勢手段の一種である弾性部材としての引張コイルスプリング８６により、梁部８４に接近する向きに付勢されている。スプリング８６の付勢による支持体６８の回動限度は、支持体６８が梁部８４に当接することにより規定され、水平な姿勢で支持される。
【００１９】
支持体６８は、図３に示すように、梁部８４から他方の可動マスク支持部材側へ突出させられ、その上面全体がマスク支持面９０を構成し、突出部の下面が基板受け面９２を構成している。また、支持体６８の後述するクランプ部材と対向する側面の上部は、図５に可動マスク支持部材６２を示すように、支持体６８の長手方向全体に渡って多次関数、あるいは三角関数曲線から成る凸状に緩やかに湾曲させられ、スキージ３８の長手方向に対して傾斜させられた傾斜側面９４とされている。支持体６８の側面の下部は、傾斜側面９４の両端より、クランプ部材とは反対側へ引っ込まされるとともに、スキージ３８の長手方向に平行な一平面状の平行側面９６とされている。基板受け面９２の縁は平行側面９６によって画定され、基板３２の側縁と平行に延びる。支持体６８には、そのマスク支持面９０に開口させられた複数の吸引口９８が形成されている。吸引口９８は支持体６８を厚さ方向に貫通して形成され、図３に示すように、梁部８４に、その上面に開口して形成された通路９９を経てバキューム装置１００から負圧が供給される。
【００２０】
マスク支持装置１６は、マスク支持装置昇降装置１２０により昇降させられる。マスク支持装置昇降装置１２０は、案内装置１２２および昇降駆動装置１２４を含む。案内装置１２２は、図４に示すように、マスク支持装置本体６０の中央部から下方へ延び出させられた中空のガイドロッド１２６と、印刷機本体１０のベッド１２８に設けられ、ガイドロッド１２６と摺動可能に嵌合されたガイドスリーブ１３０とを含む。ガイドロッド１２６およびガイドスリーブ１３０は、本実施形態においては、横断面形状が円形を成す。
【００２１】
本昇降駆動装置１２４は、図４に示すように４本の送りねじ１３６，４つのナット１３８および相対回転装置１４０を含む。４本の送りねじ１３６は、マスク支持装置本体６０の四隅であって、ガイドロッド１２６から水平方向に等距離離れた４つの位置の各々にガイドロッド１２６に平行に下方へ延び出す状態で固定され、軸方向に相対移動不能かつ相対回転不能である。４つのナット１３８は、ベッド１２８の４本の送りねじ１３６に対応する４ヶ所にそれぞれ軸方向に相対移動不能かつ相対回転可能に設けられ、４本の送りねじ１３６の各々と螺合されている。相対回転装置１４０は電動モータ１４２，４つのナット１３８の各々と一体的に設けられた４つのプーリ１４４を含む複数のプーリ１４４，プーリ１４４に巻き掛けられたベルト１４６（図１１参照）を含み、４つのナット１３８が一斉に回転させられ、４本の送りねじ１３６が一斉に軸方向に移動させられ、マスク支持装置１６が案内装置１２２により案内されつつ印刷機本体１０に対して昇降させられる。
【００２２】
前記基板保持装置１４は、図４に示すように、基板支持装置１５０およびサイドクランプ装置１５２を含む。サイドクランプ装置１５２は、クランプ装置本体１５４，１対のクランプ部材１５６，１５８およびクランプ部材駆動装置１６０（図６参照）を含む。クランプ部材１５６，１５８はそれぞれ長手形状を成し、サイドフレーム１６２，１６４に取り付けられている。クランプ装置本体１５４は平面形状が矩形を成し、サイドフレーム１６２はクランプ装置本体１５４上に搬送方向に平行に固定され、その上端部にクランプ部材１５６が長手方向が搬送方向に平行な姿勢で固定されている。以後、クランプ部材１５６を固定クランプ部材と称する場合がある。固定クランプ部材１５６は、図５に示すように、そのクランプ部材１５８と対向する側面は搬送方向に平行な平面状のクランプ面１６６とされ、背面の上部は前記傾斜側面９４に対応する湾曲を有し、傾斜側面９４と平行な傾斜側面１６８とされている。
【００２３】
サイドフレーム１６４は、図４に示すように門形を成し、一対の脚部１７６の各係合ブロック１７８がそれぞれ、図３に示すように、クランプ装置本体１５４に前後方向に平行に設けられたガイド１８０に移動可能に嵌合されている。サイドフレーム１６４は、搬送幅変更装置１８４により移動させられ、サイドフレーム１６２との間隔が変更され、基板搬送幅が変更される。本搬送幅変更装置１８４は、駆動源たる電動モータ１８２と、それぞれ複数のプーリ１８６およびベルト１８８を含み、電動モータ１８２の回転を直線運動に変換してサイドフレーム１６４の１対の脚部１７６にそれぞれ伝達する１対の運動伝達機構１９０とを含む。
【００２４】
クランプ部材１５８は、サイドフレーム１６４上に、長手方向が搬送方向に平行となる姿勢で、基板３２の両側端面の一方に接近離間可能に保持され、クランプ部材駆動装置１６０により移動させられる。以後、クランプ部材１５８を可動クランプ部材１５８と称する場合がある。可動クランプ部材１５８は、固定クランプ部材１５６と同様に、基板３２と対向する側面がクランプ面２１２とされ、背面の上部が傾斜側面２１４とされている。
【００２５】
クランプ部材駆動装置１６０は、図６および図７に示すように、１対の駆動ユニット２１６を含む。これら駆動ユニット２１６は同様に構成され、前後方向に平行で鉛直な平面に対して対称に設けられており、一方を説明する。
【００２６】
駆動ユニット２１６の駆動源たるエアシリンダ２２０は、サイドフレーム１６４の水平な梁部２２２の長手方向の中央部近傍に、シリンダハウジング２２３が搬送方向に平行な姿勢で固定されるとともに、梁部２２２の長手方向の一端部側へ延び出させられたピストンロッド２２４の先端部に、ジョイント２２６を介して連結リンク２２８の一端部が鉛直軸線まわりに回動可能に取り付けられている。連結リンク２２８の他端部には、支持軸２３０が立設されるとともに、回転案内部材たるローラ２３２が軸受を介して鉛直軸線まわりに回転可能に取り付けられている。
【００２７】
可動クランプ部材１５８の背面の下部には、図７に示すように、一対の駆動ユニット２１６のそれぞれに対応して２つずつの係合ブロック２４０，２４２が対称に設けられている。係合ブロック２４０，２４２はＬ字形を成し、係合ブロック２４０は、一方のアーム部２４４において可動クランプ部材１５８の一端部に固定されるとともに、図８に示すように、支持軸２３０に鉛直軸線まわりに相対回動可能に嵌合されている。
【００２８】
また、他方のアーム部２４６は、図８に示すように、サイドフレーム１６４に固定のガイドブロック２４７に前後方向に貫通して形成されたガイド溝２４８に嵌合されている。ガイド溝２４８の一対の溝側面にはそれぞれ、複数個ずつ、本実施形態においては２個ずつのボール２５２が前後方向に距離を隔てて回転可能に保持され、アーム部２４６はガイド溝２４８にボール２５２を介して、係合ブロック２４０の回動軸線と直角な平面である水平面内において移動可能に嵌合されている。また、ガイドブロック２４７のローラ２３２と対向し、前後方向に平行で鉛直な端面が案内面２５８を構成する。さらに、本実施形態においては、図６に示すように、可動クランプ部材１５８が基板３２を開放した状態において、連結リンク２２８の出力部材たるピストンロッド２２４との連結部と、係合ブロック２４０への連結部との２つの相対回動軸線を結ぶ直線と可動クランプ部材１５８の長手方向との成す角度αが５度とされている。
【００２９】
係合ブロック２４２は、図７に示すように、アーム部２６０において可動クランプ部材１５８に固定され、アーム部２６２は、係合ブロック２４０のアーム部２４６と同様に、サイドフレーム１６４に固定の別のガイドブロック２６４のガイド溝２６６にボール（図示省略）を介して水平面内において移動可能に嵌合されている。
【００３０】
可動クランプ部材１５８に固定の２つの係合ブロック２４０の各アーム部２４６がガイドブロック２４７のガイド溝２４８に嵌合されることにより、可動クランプ部材１５８は、その長手方向の両端部において上下方向の動きが規制され、そのクランプ面２１２に直角な軸線まわりに回ることが防止される。また、アーム部２４６がガイド溝２４８に上下それぞれ２個ずつのボール２５２を介して嵌合されることにより、可動クランプ部材１５８が、その長手方向に平行な軸線まわりに回ることが防止される。さらに、１対の駆動ユニット２１６は対称に設けられ、各ガイドブロック２４７の案内面２５８は互いに対向しており、可動クランプ部材１５８と共に移動する２つのローラ２３２はそれぞれ案内面２５８に接触させられ、その移動方向が前後方向、すなわち基板３２の側端面に直角な方向に規制される。そのため、ピストンロッド２２４の伸縮によりローラ２３２が前進，後退させられるにつれて、可動クランプ部材１５８が基板３２に接近離間させられる。可動クランプ部材１５８の離間側のストロークエンドは、ピストンのストロークエンドにより決められる。
【００３１】
前記基板搬送装置１２は、本実施形態においては基板コンベヤにより構成され、図３に示すように、サイドフレーム１６２，１６４にそれぞれ周回可能に取り付けられたベルト２７０と、それぞれ電動モータ２７２を駆動源とし、１対のベルト２７０をそれぞれ周回させる２つのベルト周回装置２７４とを含む。
【００３２】
前記マスク支持部材移動装置７８は２つのエアシリンダ２８０を備え、各エアシリンダ２８０は、図３に示すように、可動マスク支持部材６４の１対の脚部７０の各々とサイドフレーム１６４の１対の脚部１７６の各々との間に設けられている（図３には一方のエアシリンダ２８０が図示されている）。エアシリンダ２８０のシリンダハウジング２８２は可動マスク支持部材６４の脚部７０に固定され、ピストンロッド２８４の先端部には、サイドフレーム１６４の脚部１７６が、その係合部２８６において、上下方向に相対移動可能かつ前後方向に相対移動不能に係合させられている。そのため、可動マスク支持部材６４は、前記搬送幅変更装置１８４の駆動によりサイドフレーム１６４と共に前後方向に移動させられ、ピストンロッド２８４の伸縮によりサイドフレーム１６４、ひいては可動クランプ部材１５８に対して前後方向に移動させられる。
【００３３】
可動マスク支持部材６４は、図９に示すように、マスク支持部材固定装置１０２によりマスク支持装置本体６０に固定される。本マスク支持部材固定装置１０２はパッド１０４およびパッド移動装置１０６を含む。パッド移動装置１０６は、可動マスク支持部材６４の脚部７０に鉛直に下向きに取り付けられたエアシリンダ１０８を含む。ピストンロッド１１０は、シリンダハウジング１１２から下方へ延び出させられ、延出端部にパッド１０４が取り付けられている。
【００３４】
パッド１０４は、本実施形態においては硬質のゴムにより形成され、その水平な下端面が接触面１１４を構成し、接触面１１４に開口する吸引口１１６を備えている。本実施形態においては、マスク支持部材固定装置１０２は可動マスク支持部材６４の１対の脚部７０の各々に設けられている。ピストンロッド１１０の伸縮によりパッド１０４が昇降させられ、接触面１１４がマスク支持装置本体６０の水平な上面１１８に接触離間させられる。接触状態では、パッド１０４は、エアシリンダ１０８により上面１１８に押し付けられるとともに、バキューム装置１００から吸引口１１６に負圧が供給され、マスク支持装置本体６０を吸引する。これら押付けと吸引とによって接触面１１４と上面１１８との間に得られる摩擦力により、可動マスク支持部材６４がマスク支持装置本体６０に強固に固定される。
【００３５】
それにより、搬送幅変更装置１８４のベルト１８８のたるみ等によって可動マスク支持部材６４の位置がずれることが防止される。上記係合部２８６とピストンロッド２８４との前後方向における係合は精度良く行われ、サイドフレーム１６４の昇降は許容されるが、前後方向においてはサイドフレーム１６４と可動マスク支持部材６４とが固定されたに等しい状態が得られ、可動マスク支持部材６４の固定によりサイドフレーム１６４の位置ずれも防止される。
【００３６】
前記基板支持装置１５０は、装置本体３００（図４参照），ピン支持台３０２および支持部材たる複数の支持ピン３０４（図１０参照）を含む。本基板支持装置１５０は、回路基板を支持ピン３０４によって下方から支持するとともに吸着して保持するものとされ、特開２００２−１１８３９９号公報に記載の基板支持装置と同様に構成されており、簡単に説明する。
【００３７】
ピン支持台３０２は磁性材料製のピン支持面３１０を備え、平面形状が矩形状を成す装置本体３００上に固定されている。ピン支持台３０２内にはピン支持面３１０に開口する複数の負圧供給穴３１２が形成されるとともに、それぞれ開閉弁３１４が設けられている。支持ピン３０４の取付座部３２０は負圧供給穴３１２の開口より大きくされ、永久磁石３２２が設けられており、基板３２の被支持箇所に対応する負圧供給穴３１２を塞ぐ状態でピン支持台３０２に載置され、ピン支持台３０２に磁力によって固定される。載置に伴って開閉弁３１４が開かれ、支持ピン３０４内の通路３２４を経て、ピン部３２６の先端面である水平な支持面３２８に開口させられた吸引口３３０に負圧が供給される。ピン部３２６の先端部にはゴム製のカップ３３２が取り付けられ、負圧の漏れが防止される。
【００３８】
基板保持装置１４は、基板保持装置昇降装置３４０により昇降させられる。基板保持装置昇降装置３４０は、図４に示すように昇降駆動装置３４２を含む。本昇降駆動装置３４２は、マスク支持装置本体６０に回転可能かつ軸方向に移動不能に設けられた４つのナット３４４および相対回転装置３４６を含む。相対回転装置３４６は、電動モータ３５０，４つのナット３４４と一体的に設けられたプーリ３５２を含む複数のプーリ３５２およびそれらプーリ３５２に巻き掛けられたベルト３５４を含み、ベルト３５４の移動により４つのナット３４４が一斉に回転させられる。
【００３９】
基板支持装置１５０は、案内装置３６０により案内されつつ、昇降駆動装置３６２によりサイドクランプ装置１５２に対して昇降させられる。案内装置３６０および昇降駆動装置３６２が基板支持装置昇降装置を構成している。本案内装置３６０は、図３に示すように、基板支持装置本体３００の中央部から下方へ延び出させられたガイドロッド３６６と、クランプ装置本体１５４の中央部に設けられ、ガイドロッド３６６が摺動可能に嵌合されたガイドスリーブ３６８とを含む。ガイドロッド３６６はガイドスリーブ３６８から下方へ突出させられ、前記ガイドロッド１２６内に摺動可能に嵌合されている。ガイドロッド３６６およびガイドスリーブ３６８は、本実施形態においては、横断面形状が円形を成す。
【００４０】
昇降駆動装置３６２は、図４に示すように、４本の送りねじ３７６，４つのナット３７８および相対回転装置３８０を含む。送りねじ３７６は、基板支持装置本体３００のガイドロッド３６６から水平方向に等距離隔たった四隅にそれぞれ設けられ、ガイドロッド３６６に平行に下方へ相対回転可能かつ軸方向に相対移動不能に延び出させられている。ナット３７８はクランプ装置本体１５４の四隅にそれぞれ固定され、回転不能かつ軸方向に移動不能である。４本の送りねじ３７６はそれぞれナット３７８に螺合されるとともに、前記昇降駆動装置３４２の４つのナット３４４にも螺合されている。相対回転装置３８０は、基板支持装置本体３００に設けられた電動モータ３８２，４本の送りねじ３７６にそれぞれ設けられたプーリ３８４を含む複数のプーリ３８４およびそれらプーリ３８４に巻き掛けられたベルト３８６を含み、ベルト３８６の移動により４本の送りねじ３７６が４つのナット３４４に対して一斉に回転させられる。
【００４１】
４本の送りねじ３７６の回転停止状態において相対回転装置３４６によってナット３４４が回転させられることにより、送りねじ３７６が昇降させられ、基板保持装置１４がマスク支持装置１６に対して昇降させられる。この昇降はガイドロッド３６６，１２６により案内される。４本の送りねじ３７６の回転停止状態は、電動モータ３８２に保持トルクを作用させて回転停止状態に保つことにより得られる。また、４本の送りねじ３７６が回転させられることにより、基板支持装置１５０がサイドクランプ装置１５２に対して昇降させられる。この際、電動モータ３５０に保持トルクが作用させられ、４つのナット３４４が回転停止状態に保たれる。マスク支持装置１６の昇降時には、基板保持装置１４がマスク支持装置１６と共に昇降させられる。本実施形態においてはガイドロッド３６６とガイドロッド１２６とがそれぞれ、マスク支持装置１６に対する基板保持装置１４の昇降を案内する案内装置のガイドロッドとガイドスリーブとを兼ね、基板保持装置昇降装置３４０の案内装置を構成している。また、ナット３４４および相対回転装置３４６が送りねじ３７６と共同して、昇降駆動装置３４２を構成している。
【００４２】
ガイドロッド３６６内には、図１１に示すように長手方向に貫通する貫通穴３９０が形成され、その貫通穴３９０と、中空のガイドロッド１２６の内部空間３９２とが空気吸引通路３９４を構成している。空気吸引通路３９４は、基板支持装置本体３００に形成された接続口，ピン支持台３０２内に形成された通路３９６（図１０参照），負圧供給穴３１２，前記通路３２４を経て吸引口３３０に連通させられ、バキューム装置１００から負圧を供給させる。ガイドロッド３６６の下端部にはリング状の保持部材３９８が取り付けられ、その内周面と外周面とにそれぞれ、シール部材の一種であるＯリング４００，４０２が保持されており、空気吸引通路３９４からの負圧の漏れが防止されるとともに、ガイドロッド１２６，３６６の芯ずれが吸収される。
【００４３】
前記撮像装置２２は、図１に示すように印刷機本体１０のマスク保持装置１８と基板保持装置１４との間の部分に設けられている。撮像装置２２は移動装置４１０により水平面内の任意の位置へ移動させられ、マスク３０の下面に設けられた基準マークと、基板３２の上面に設けられた基準マークとを撮像する。
【００４４】
移動装置４１０は、図１２に示すように、搬送方向移動装置４１２および前後方向移動装置４１４を含む。搬送方向移動装置４１２は、可動部材４１６および可動部材駆動装置４１８を含む。可動部材駆動装置４１８は、電動モータ４２０と、ナット４２２および送りねじ４２４を含む送りねじ機構４２６とを備え、可動部材４１６を案内装置４２８に案内させつつ、搬送方向に平行な方向の任意の位置へ移動させる。前後方向移動装置４１４は可動部材４１６上に設けられ、可動部材４３４および可動部材駆動装置４３６を含む。可動部材駆動装置４３６は、可動部材駆動装置４１８と同様に構成され、可動部材４３４を案内装置４３８に案内させつつ前後方向の任意の位置へ移動させる。
【００４５】
可動部材４３４上には、図１３に示すように、基板ストッパ４５０および基板押さえ４５２が保持部材４５４により保持されて搭載され、移動装置４１０により、基板保持装置１４に保持された基板３２の上面に平行な移動平面である水平面内の任意の位置へ移動させられる。保持部材４５４は、可動部材４３４に設けられた保持部材昇降装置４６０により昇降させられ、保持部材昇降装置４６０と共に移動装置４１０により移動させられる。本実施形態においては、移動装置４１０が撮像装置移動装置と保持部材・保持部材昇降装置移動装置とを兼ねている。本保持部材昇降装置４６０は鉛直に設けられたエアシリンダにより構成され、そのシリンダハウジング４６２から下方へ延び出させられたピストンロッド４６４の下端部に板状の保持部材４５４が水平に取り付けられている。ピストンロッド４６４の伸縮により、保持部材４５４が、ピストンのストロークエンドにより決まる上端端位置と下降端位置とに昇降させられ、基板ストッパ４５０および基板押さえ４５２が昇降させられる。
【００４６】
本実施形態においては基板ストッパ４５０は円柱状を成し、保持部材４５４から下方へ延び出す状態で取り付けられている。基板押さえ４５２は円柱状を成し、少なくとも１つ、本実施形態においては複数、例えば、４つ、板状の取付部材４６６に保持されて保持部材４５４に取り付けられている。基板ストッパ４５０は、図１４に示すように、平面視において４つの基板押さえ４５２より、搬送方向の上流側に位置させられ、図１３に示すように、側面視において４つの基板押さえ４５２の下端がいずれも基板ストッパ４５０の下端より下方に位置させられている。
【００４７】
前記制御装置２４は、図１５に示すようにコンピュータ４７０を主体として構成され、画像処理コンピュータ４７２等が接続され、駆動回路４７４を介して電動モータ４６等、各種駆動源を制御する。本印刷機を構成する種々の装置の駆動源を構成する電動モータの多くは、回転角度の正確な制御が可能な電動回転モータであるサーボモータにより構成され、そのエンコーダ４７６の信号がコンピュータ４７０に入力される。また、本実施形態においては、送りねじ１３６およびナット１３８を始めとして、各種送りねじおよびナットは複数のボールを介して螺合されてボールねじ機構を構成し、プーリ１４４およびベルト１４６を始めとして、各種プーリおよびベルトはタイミングプーリおよびタイミングベルトとされている。
【００４８】
次に作動を説明する。本印刷機への基板３２の搬入時には、マスク支持装置１６は下降端位置に位置し、基板保持装置１４，基板支持装置１５０はそれぞれ、マスク支持装置１６，サイドクランプ装置１５２に対して下降端位置に位置する。また、可動マスク支持部材６２，６４はマスク支持位置に位置し、可動マスク支持部材６４はマスク支持装置本体６０に固定されていない。マスク支持位置は、可動マスク支持部材６２，６４が水平方向においてクランプ部材１５６，１５８に隣接する状態となり、マスク３０を下方から支持する位置である。また、可動クランプ部材１５８は、基板３２から離間し、クランプしない非クランプ位置ないし離間位置に位置する。なお、マスク支持部材６４のマスク支持位置は、本実施形態においては、可動クランプ部材１５８が非クランプ位置に位置する状態でも、マスク支持部材６２，６４間へ入ることができる位置とされている。
【００４９】
基板搬送装置１２が作動させられて基板３２が搬入される。基板ストッパ４５０は、搬送方向において予め設定された停止位置に位置させられるとともに、保持部材４５４の下降端位置への下降により、その下端部が基板３２の搬送経路内に位置する作用位置に下降させられている。そのため基板ストッパ４５０は基板３２の前縁に当接し（図１４参照）、マスク３０に対応する停止位置に停止させる。
【００５０】
停止後、保持部材４５４が、基板ストッパ４５０が搬送方向において基板３２から離間する向きに移動させられるとともに、上昇端位置へ上昇させられ、基板ストッパ４５０が搬送経路から離脱した退避位置へ上昇させられる。そして、保持部材４５４は、図１６(a)に示すように、基板押さえ４５２が、基板３２の中央部の上方に位置する位置へ移動させられる。
【００５１】
この状態で、図１６(b)に示すように可動マスク支持部材６２，６４が押さえ位置へ移動させられる。押さえ位置は、基板受け面９２がクランプ部材１５６，１５８およびベルト２７０の上方に位置する位置である。そして、基板保持装置１４がマスク支持装置１６に対して上昇させられ、図１６(c)に示すようにクランプ部材１５６，１５８が基板受け面９２に当接させられる。
【００５２】
次いで、基板支持装置１５０がサイドクランプ装置１５２に対して上昇させられる。それにより、図１６(d)に示すように支持ピン３０４が基板３２に接触し、ベルト２７０から持ち上げ、基板受け面９２に当接させる。基板支持装置１５０は、カップ３３２が弾性変形させられ、支持面３２８が基板３２に当接する状態となる位置まで上昇させられる。基板支持装置１５０の上昇距離が過剰であれば、支持体６８がスプリング８６の付勢力に抗して回動させられて逃げ、基板３２の損傷が回避される。
【００５３】
この状態で保持部材４５４が下降させられ、基板押さえ４５２が下降させられる。基板押さえ４５２は、保持部材４５４が下降端位置へ到達する前に基板３２の上面に当接し、図１６(e)に示すように、支持ピン３０４の支持面３２８に押し付けて下降を停止させられる。この際、基板３２に上方へ凸の反りがあれば、基板押さえ４５２により押さえられて真っ直ぐな姿勢に矯正され、基板３２の両縁部が基板受け面９２により受けられる。基板押さえ４５２が下降させられるとき、保持部材昇降装置４６０を構成するエアシリンダのエア室のエア圧力は圧力制御装置（図示省略）により、基板押さえ４５２が基板３２の弾性力に抗して反りを矯正するのに適した大きさに制御される。
【００５４】
次いで、１対の駆動ユニット２１６が作動させられ、可動クランプ部材１５８が基板３２に接近させられ、やがて、図１６(f)に示すように、固定クランプ部材１５６との間に基板３２を挟んで固定する。基板３２の側端面に傾きがあれば、１対の駆動ユニット２１６の駆動による可動クランプ部材１５８の移動量が異なり、可動クランプ部材１５８は、係合ブロック２４０の支持軸２３０まわりの回動により、鉛直軸線まわりに回動させられて基板３２の側端面に沿って押し付けられる。また、エアシリンダ２２０が連結リンク２２８を押す力が減力され、可動クランプ部材１５８が損傷の恐れなく、基板３２をクランプする。クランプ後、支持ピン３０４に負圧が供給され、基板３２を吸着し、支持面３２８により水平な姿勢で支持する。支持ピン３０４は保持ピンでもある。
【００５５】
吸着後、図１６(g)に示すように基板保持装置１４がマスク支持装置１６に対して下降させられ、クランプ部材１５６，１５８および基板３２が基板受け面９２から離間させられる。また、保持部材４５４が上昇端位置へ上昇させられ、基板押さえ４５２が退避位置へ上昇させられて基板３２から離間させられる。そして、図１６(h)に示すように、可動マスク支持部材６２，６４がマスク支持位置へ後退させられ、可動マスク支持部材６４がマスク支持装置本体６０に固定される。次いで、図１６(i)に示すように、基板保持装置１４がマスク支持装置１６に対して上昇させられ、クランプ部材１５６，１５８および基板３２が可動マスク支持部材６２，６４の間に嵌合され、それらの上面がマスク支持面９０と同一平面内に位置させられる。この状態では、傾斜側面９４と傾斜側面１６８，２１４とが互いに近接して対向するが、図５に示すように、それらの間の隙間が平面視においてスキージ３８の長手方向に対して傾斜する。そのため、はんだの印刷時にスキージ３８がマスク支持部材６２，６４とクランプ部材１５６，１５８との間の隙間に落ち込むことがない。
【００５６】
基板３２の側端面に傾きがあれば、可動クランプ部材１５８が回動させられるが、その回動による可動クランプ部材１５８の水平面内における傾きは、マスク支持位置に位置する可動マスク支持部材６４と可動クランプ部材１５８との各傾斜側面９４，２１４間の隙間により許容され、クランプ部材１５６，１５８および基板３２は、マスク支持位置に位置する可動マスク支持部材６４の間へ進入することができる。なお、図１６においては、理解を容易にするために基板３２とクランプ部材１５６，１５８との間の隙間を誇張して図示したため、図１６(i)〜図１６(k)において傾斜側面９４，２１４間の隙間が大きく図示されているが、実際にはそれより小さく僅かである。
【００５７】
嵌合後、撮像装置２２が移動させられ、マスク３０，基板３２にそれぞれ形成されたマークの撮像，両者の位置ずれの取得，修正等が行われる。これら撮像等はよく知られており、説明を省略する。撮像後、撮像装置２２は基板ストッパ４５０，基板押さえ４５２と共に、搬送方向において、マスク３０と基板３２との間の空間から離脱し、退避した退避位置へ移動させられる。
【００５８】
そして、マスク支持装置１６が上昇させられる。基板保持装置１４はマスク支持装置１６に対して停止させられており、マスク支持装置１６と共に上昇させられ、図１６(j)に示すようにマスク支持面９０とクランプ部材１５６，１５８および基板３２の各上面とがマスク３０の下面に接触させられる。マスク支持面９０は、マスク３０の下面の、クランプ部材１５６，１５８，基板３２が接触離間させられる部分より外側の部分に接触し、吸引口１１６に負圧が供給され、マスク３０を下方から吸着して支持する。そして、スキージ３８がマスク３０の上面に接触させられ、その上面に沿ってはんだを移動させ、貫通穴３４に充填する。
【００５９】
印刷後、基板３２がマスク３０から離間させられる。本実施形態においては、可動マスク支持部材６２，６４がマスク３０を吸着したままの状態でマスク支持装置１６が下降させられる。基板保持装置１４はマスク支持装置１６に対して上昇したままとされ、マスク支持装置１６と一体的に下降させられる。そのため、図１６(k)に示すように、マスク３０が可動マスク支持部材６２，６４により引っ張られて下方へ撓まされ、基板３２はマスク３０が接触したままの状態で下降させられる。
【００６０】
可動マスク支持部材６２，６４および基板３２は、マスク３０の弾性変形により許容される距離、一体的に下降させられた状態で急激に停止させられる。それにより、貫通穴３４内に充填され、基板３２に付着させられたはんだに基板３２に向かう向きの慣性力が発生させられ、付着力が増す。停止後、可動マスク支持部材６２，６４がマスク３０を吸着したままの状態で、マスク支持装置１６が基板保持装置１４と一体的に、図１６(j)に示す印刷時の位置へ上昇させられる。上昇後、可動マスク支持部材６２，６４によるマスク３０の吸着が解除される。そして、基板保持装置１４がマスク支持装置１６に対して下降させられ、可動マスク支持部材６２，６４がマスク３０を支持した状態で基板３２がマスク３０から低速で離間させられ、基板３２への付着力が増したはんだが貫通穴３４から確実に抜け出させられる。
【００６１】
離間後、マスク支持装置１６が、基板３２のマスク３０からの離間速度より高速で下降させられ、それと一体的に基板保持装置１４も下降させられる。この下降の間に、サイドクランプ装置１５２による基板３２のクランプが解除されるとともに、基板支持装置１５０がサイドクランプ装置１５２に対して下降させられ、基板３２がベルト２７０上に載置される。本実施形態においては、制御装置２４のマスク支持装置昇降装置１２０および基板保持装置昇降装置３４０を制御し、貫通穴３４内のはんだに基板３２に向かう向きの慣性力を発生させる部分が慣性力発生制御部を構成している。また、印刷機本体１０が第１部材、マスク支持装置本体６０が第２部材、クランプ装置本体１５４および基板支持装置本体３００の各々が第３部材をそれぞれ構成し、印刷機本体１０，マスク支持装置１６，基板支持装置１５０およびサイドクランプ装置１５２が回路基板接離装置を構成している。
【００６２】
なお、回路基板が極く薄く、サイドクランプすることができない場合には、図１６(f)に示すサイドクランプ工程が省略され、基板押さえ４５２による基板３２の押さえ後、支持ピンにより吸着される。
【００６３】
また、基板の種類によっては、支持ピンによる吸着が不要であり、支持ピンが基板吸着機能を備えず、カップを有さないものとされる。この場合、基板搬入後、基板支持装置１５０がサイドクランプ装置１５２に対して、反りのない基板３２の上面がクランプ部材１５６，１５８の上面と同一平面内に位置する位置へ上昇させられる。そして、基板保持装置１４がマスク支持装置１６に対して上昇させられ、クランプ部材１５６，１５８および基板が基板受け面９２に当接させられる。その後、基板押さえ４５２が下降させられ、基板の上反りが矯正される。そして、基板がクランプ部材１５６，１５８によりクランプされる。
【００６４】
基板クランプ装置は、上下クランプ装置としてもよい。その実施形態を図１７に基づいて説明する。
本上下クランプ装置５００は、前記クランプ装置本体１５４と同様のクランプ装置本体（図示省略）と、１対の上クランプ部材５０２，５０４と、１対の下クランプ部材５０６，５０８とを含む。上クランプ部材５０２，５０４は長手形状を成し、上クランプ部材５０２は、クランプ装置本体に固定されたサイドフレーム５１０の上端に長手方向が搬送方向に平行となる姿勢で固定され、上クランプ部材５０４は、クランプ装置本体に前後方向に移動可能に設けられ、門形を成すサイドフレーム５１２の梁部５１３の上端に長手方向が搬送方向に平行となる姿勢で固定されている。サイドフレーム５１２は、搬送幅変更装置により移動させられる。上クランプ部材５０２，５０４はそれぞれ、搬送方向に平行に延びる上端から、基板支持装置５１４の上方へ突出したクランプ部５１６，５１８を備えている。クランプ部５１６，５１８は長手形状の薄い板状を成す。また、サイドフレーム５１０，５１２にはそれぞれ、その側面に基板搬送装置５２０のベルト５２２およびベルト周回装置（図示省略）が設けられている。なお、図１７においては、サイドフレーム５１２は梁部５１３の両端部を支持する１対の脚部５２４の一方を除いて図示されている。
【００６５】
下クランプ部材５０６は長手形状の板状を成し、基板支持装置本体５３０のクランプ部５１６と対向する部分に、長手方向が搬送方向に平行となり、基板支持装置本体５３０から立ち上がった姿勢で取り付けられている。下クランプ部材５０８は長手形状の板状を成し、梁部５１３に昇降可能に保持された保持体５３２に、長手方向が搬送方向に平行となり、板面が鉛直となる姿勢で固定され、クランプ部５１８の下方に設けられている。保持体５３２は、圧縮コイルスプリング５３４により下向きに付勢されている。このスプリング５３４の付勢による保持体５３２の下降端は図示を省略するストッパにより規定され、下降端位置において下クランプ部材５０８は、その上端がベルト５２２の上面よりやや下に位置させられる。また、保持体５３２の下面には、複数の係合部５３６が搬送方向に距離を隔てて突設されている。
【００６６】
基板３２の搬入後、基板支持装置５１４が上下クランプ装置５００に対して上昇させられる。それにより、下クランプ部材５０６が上昇させられ、その途中で基板支持装置本体５３０が係合部５３６に当接し、下クランプ部材５０８を上昇させる。下クランプ部材５０６，５０８は同時に基板３２の下面に接触し、基板３２をベルト５２２から持ち上げてクランプ部５１６，５１８との間に挟み、共同してその側端部を上下方向からクランプし、下方から直線状に支持する。下クランプ部材５０６，５０８は基板支持部材でもあり、基板支持装置５１４を構成する。本実施形態においては、可動マスク支持部材６２，６４は基板３２を受ける必要がなく、常時、マスク支持位置に位置させられている。クランプ後、上下クランプ装置５００および基板支持装置５１４を含む基板保持装置５４０がマスク支持装置１６に対して上昇させられ、上クランプ部材５０２，５０４および基板３２が１対のマスク支持部材６２，６４間に進入させられて、上クランプ部材５０２，５０４の上面およびマスク支持面９０が同一平面内に位置させられる。
【００６７】
上下クランプ装置の下クランプ部材を、支持ピンを備えた基板支持装置のピン支持台に着脱可能に設け、回路基板の上下クランプと支持ピンによる支持との少なくとも一方が選択的に行われるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００６８】
１４：基板保持装置    １６：マスク支持装置    １２０：マスク支持装置昇降装置    １５０：基板支持装置    １５２：サイドクランプ装置    ３４０：基板保持装置昇降装置    ５００：上下クランプ装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
0005643540.tif 000016
【図１６】
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【図１７】
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