(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
非酸化性雰囲気中の半田ワイヤをルツボに供給する半田供給装置であって、
前記ルツボの上流側に、半田ワイヤを切断してその切断部位よりも下流側の半田ワイヤを前記ルツボに供給する切断機構を備え、切断機構は、シールした状態で非酸化性雰囲気中のルツボとを連通する通路と、この通路内に配置される回動体とを有し、回動体を介してルツボに供給されている半田ワイヤを前記回動体の回動によって切断することを特徴とする半田供給装置。
【請求項２】
前記回動体は円柱体からなり、前記半田ワイヤが通過する切欠部が設けられ、この切欠部の切欠端部に半田ワイヤを切断するための刃部を備えていることを特徴とする請求項１に記載の半田供給装置。
【請求項３】
半田ワイヤを所定寸のワイヤ切断片に切断してこのワイヤ切断片をルツボに供給する半田供給装置であって、
半田ワイヤを切断してワイヤ切断片を形成する切断機構と、ガス置換機構とを備え、切断機構は、シールした状態でルツボに連通する通路と、この通路内に配置されて半田ワイヤが供給されるポケットを形成した回動体とを有し、このポケットにワイヤが供給された状態での回動体の回動によってワイヤを切断し、この形成されたワイヤ切断片を前記ポケットに収納した状態とし、前記ガス置換機構にてこのポケット内をガス置換して、ポケット内をこの置換ガス雰囲気に維持しつつこのワイヤ切断片をルツボに供給することを特徴とする半田供給装置。
【請求項４】
非酸化性雰囲気中の半田ワイヤをルツボに供給する半田供給方法であって、
非酸化性雰囲気中の半田ワイヤを、シールした状態でルツボに連通する通路を介してルツボに供給し、所定量の半田ワイヤがルツボに供給された状態で、半田ワイヤのルツボへの供給を停止し、その停止状態で半田ワイヤを前記通路内に配置される回動体の回動によって切断した後、上流の半田ワイヤを切断位置よりも僅かに上流側へ引っ張り、その切断部位よりも下流の半田ワイヤを前記ルツボに供給することを特徴とする半田供給方法。
【請求項５】
半田ワイヤを所定寸のワイヤ切断片に切断してこのワイヤ切断片をルツボに供給する半田供給方法であって、
シールされた状態でルツボに連通する通路内に、ワイヤ収納用のポケットを有する回動体を配置し、この回動体のポケットに半田ワイヤを供給した後、回動体を回転させて半田ワイヤを切断してワイヤ切断片を形成し、このワイヤ切断片をポケットに収納した状態として、回動体を所定角度位置となるまで回動してその位置で一旦停止し、その停止状態で、ポケット内を非酸化性雰囲気とするガス置換した後、ポケット内をこの置換ガス雰囲気に維持しつつ回動体をさらに回動させて、このポケットからワイヤ切断片をルツボに供給することを特徴とする半田供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半田供給装置および半田供給方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造設備であるダイボンダなどには半田供給装置が使用される。リードフレームを使用して半導体装置を製造する設備のダイボンダは、リードフレームのアイランドに定量の半田を供給し、供給した半田上に半導体チップをマウントしている。このダイボンダにおけるリードフレームへの半田供給には、固体半田を溶融させた液体半田をリードフレーム上に供給するものがある。
【０００３】
液体半田をリードフレーム上に供給する半田供給装置には、半田ポット（ルツボ）を用いるもるものがある（特許文献１および特許文献２）。この場合、ルツボには半田ワイヤが供給される。すなわち、このような半田供給装置は、図６に示すようなワイヤ送り機構を備える。ワイヤ送り機構は、長尺な半田ワイヤ５１が巻回されたスプール５２と、一対の送りローラ５４、５５を備える。送りローラ５４、５５はゴムローラと金属ローラの一対で、両ローラが半田ワイヤ５１を挟持して回転することで、半田ワイヤ５１がルツボ５６に送り込まれる。ルツボ５６内が気密な不活性・還元ガス雰囲気（非酸化性雰囲気）に保持される。ワイヤ送り機構も非酸化性雰囲気に保持される非酸化性雰囲気室５７内に配置される。ところで、半田が存在する雰囲気において、非酸化性雰囲気でなければ、半田が大気雰囲気に晒されることになる。長期にわたって溶融された半田では、その表面にＳｎＯ（酸化第１錫）、ＰｂＯ（一酸化鉛）等の酸化物（半田酸化物）が発生して、酸化層が形成されることになる。このように半田酸化物が発生すれば、半田付けされた部品への半田による汚染やはんだ不良等を起こすおそれがある。このため、ルツボ５６内等を気密な不活性・還元ガス雰囲気（非酸化性雰囲気）に保持するのが好ましい。
【０００４】
非酸化性雰囲気室５７とルツボ５６との間に気密分離機構５８が配置される。気密分離機構５８は、非酸化性雰囲気室５７とルツボ５６との間の通路Ｒの開閉を行うシャッタ５９を備え、半田ワイヤ５１をルツボ５６に供給する際には、このシャッタ５９が開状態となる。また、この半田供給装置は半田ワイヤ５１を切断するカッタ機構６０を備えている。カッタ機構６０は、カッタ（刃部）６１と、このカッタ６１を駆動する駆動機構６２とを備える。
【０００５】
次に、この図６に示す半田供給装置を用いた半田供給方法を説明する。送りローラ５４、５５の矢印Ｂ１、Ｂ２方向の駆動によって、半田ワイヤ５１を矢印Ｅ方向にスプール５２から送出されて気密分離機構５８を介してルツボ５６に供給する。そして、ルツボ５６内でその供給された半田ワイヤ５１が溶融され、その溶融半田が所定量に達したら、半田ワイヤ５１の供給を停止する。その停止状態で、カッタ機構６０にて半田ワイヤ５１を切断する。この切断時には送りローラ５４、５５の矢印Ｂ１ａ、Ｂ２ａ方向に回転させて半田ワイヤ５１を矢印Ｆ方向に僅かに巻き上げて半田ワイヤ５１に張力を付与する。
【０００６】
カッタ機構６０は、図６（ａ）に示すよう状態、つまりカッタ６１は引っ込んだ状態から駆動機構６２を駆動して、図６（ｂ）に示すようにカッタ６１を送出させる。これによって、カッタ６１にて半田ワイヤ５１が切断される。そして、切断後は、気密分離機構５８のシャッタ５９にて通路Ｒが遮断される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−１４９７８４号公報
【特許文献２】特開２００８−９３６９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、前記図６に示すような装置を用いる場合、カッタ機構６０と気密分離機構５８とを必要とし、装置全体が大型化していた。特に、各機構毎に往復動機構としてのアクチュエータを必要として、大型化および高コスト化を招いていた。また、図６に示す装置では、カッタ機構６０にて半田ワイヤ５１を切断した後、気密分離機構５８にて通路Ｒを遮断する必要がある。このため、そのタイミング調整が必要であり、制御の複雑化を招いていた。
【０００９】
そこで、本発明は斯かる実情に鑑み、装置全体のコンパクト化を図ることができ、しかも、調整部位を少なくできてコストの低減を図ることが可能な半田供給装置および半田供給方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１の半田供給装置は、非酸化性雰囲気中の半田ワイヤをルツボに供給する半田供給装置であって、前記ルツボの上流側に、半田ワイヤを切断してその切断部位よりも下流側の半田ワイヤを前記ルツボに供給する切断機構を備え、切断機構は、シールした状態で非酸化性雰囲気中のルツボとを連通する通路と、この通路内に配置される回動体とを有し、回動体を介してルツボに供給されている半田ワイヤを前記回動体の回動によって切断するものである。
【００１１】
本発明の第１の半田供給装置によれば、半田ワイヤが回動体を介してルツボに供給されている状態で、回動体の回動をさせることによって、半田ワイヤを切断することができる。回動体を回動させて半田ワイヤを切断する際、半田ワイヤの供給を停止するのが好ましいが、供給しながら切断することも可能である。また、回動体が配置される通路はシール状態が維持され、ワイヤが酸化性雰囲気に晒されることが防止できる。
【００１２】
前記回動体は円柱体からなり、前記半田ワイヤが通過する切欠部が設けられ、この切欠部の切欠端部に半田ワイヤを切断するための刃部を備えているのが好ましい。回動体をこのように構成とすることによって、切断機構のコンパクト化を図ることができる。
【００１３】
本発明の第２の半田供給装置は、半田ワイヤを所定寸のワイヤ切断片に切断してこのワイヤ切断片をルツボに供給する半田供給装置であって、半田ワイヤを切断してワイヤ切断片を形成する切断機構と、ガス置換機構とを備え、この切断機構は、シールした状態でルツボに連通する通路と、この通路内に配置されて半田ワイヤが供給されるポケットを形成した回動体とを有し、このポケットにワイヤが供給された状態での回動体の回動によってワイヤを切断し、形成されたワイヤ切断片を前記ポケットに収納した状態で、前記ガス置換機構にてこのポケット内を非酸化性雰囲気とするガス置換して、ポケット内をこの置換ガス雰囲気に維持しつつこのワイヤ切断片をルツボに供給するものである。
【００１４】
第２の半田供給装置によれば、ポケットにワイヤが供給された状態で、回動体を回動させれば、ワイヤを切断してワイヤ切断片をこのポケットに収納することができる。そして、ワイヤ切断片が収納されたポケットに対して、非酸化性雰囲気とするガス置換ができる。すなわち、ポケット内を非酸化性雰囲気とでき、この状態のまま、ポケット内のワイヤ切断片をルツボに供給することができる。
【００１５】
第１の半田供給方法は、非酸化性雰囲気中の半田ワイヤをルツボに供給する半田供給方法であって、非酸化性雰囲気中の半田ワイヤを、シールした状態でルツボに連通する通路を介してルツボに供給し、所定量の半田ワイヤがルツボに供給された状態で、半田ワイヤのルツボへの供給を停止し、その停止状態で半田ワイヤを前記通路内に配置される回動体の回動によって切断した後、上流の半田ワイヤを切断位置よりも僅かに上流側へ引っ張り、その切断部位よりも下流の半田ワイヤを前記ルツボに供給するものである。
【００１６】
第１の半田供給方法によれば、所定量の半田ワイヤがルツボに供給された時点で、半田ワイヤのルツボへの供給を停止し、その停止状態で回動体の回動によって半田ワイヤを切断することができる。この切断後においては、半田ワイヤは僅かに巻き上げられた状態で行われる。このため、切断された半田ワイヤが回動体の回動に影響を与えないようにでき、安定した切断が可能となる。しかも、非酸化性雰囲気中の半田ワイヤをシールした状態でルツボに連通する通路を介してルツボに供給されるものであるので、半田ワイヤはワイヤが酸化性雰囲気に晒されることが防止できる。
【００１７】
第２の半田供給方法は、半田ワイヤを所定寸のワイヤ切断片に切断してこのワイヤ切断片をルツボに供給する半田供給方法であって、シールされた状態でルツボに連通する通路内に、ワイヤ収納用のポケットを有する回動体を配置し、この回動体のポケットに半田ワイヤを供給した後、回動体を回転させて半田ワイヤを切断してワイヤ切断片を形成し、この切断片をポケットに収納した状態として、回動体を所定角度位置となるまで回動してその位置で一旦停止し、その停止状態で、ポケット内を非酸化性雰囲気となるガス置換した後、ポケット内をこの置換ガス雰囲気に維持しつつ回動体をさらに回動させて、このポケットからワイヤ切断片をルツボに供給するものである。
【００１８】
第２の半田供給方法によれば、回動体のポケットに半田ワイヤを供給した状態で、回動体を回転させれば、半田ワイヤを切断してワイヤ切断片を形成することができ、しかも、このワイヤ切断片がこの回動体のポケットに収納された状態となる。そして、このように、ポケットにワイヤ切断片が収納された状態から回動体を所定角度位置になるまで回動させれば、ポケット内を非酸化性雰囲気となるガス置換することができる。その後は、ポケット内がガス置換雰囲気に維持されながら回動体がさらに回動して、この回動体のポケットに収納されたワイヤ切断片がルツボに供給される。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の第１の半田供給装置および第１の半田供給方法では、回動体の回動をさせることによって、半田ワイヤを切断することができ、しかも、ワイヤが酸化性雰囲気に晒されることが防止できる。このため、従来のようなカッタ機構や気密分離機構等を必要とせず、装置の小型化および低コスト化を図ることができるとともに、複数個のアクチュエータを必要とせず、制御の簡略化を図ることができる。
【００２０】
また、第１の半田供給装置において、回動体を円柱体から構成することによって、切断機構のコンパクト化を図ることができ、装置全体の小型化に寄与するとともに、大幅なコスト低減を発揮することができる。
【００２１】
本発明の第２の半田供給装置および第２の半田供給方法では、回動体の回動をさせることによって、半田ワイヤを切断してワイヤ切断片を形成することができ、しかも、ワイヤ切断片は、非酸化性雰囲気とされる回動体のポケットに収納され、ワイヤ切断片を酸化性雰囲気に晒されることなくルツボに供給することができる。このため、従来のようなカッタ機構や気密分離機構等を必要とせず、装置の小型化および低コスト化を図ることができるとともに、複数個のアクチュエータを必要とせず、制御の簡略化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１の実施形態の半田供給装置を示し、（ａ）は半田ワイヤをルツボに供給している状態の要部簡略図であり、（ｂ）は半田ワイヤを切断した状態の要部簡略図である。
【図２】前記半田供給装置の切断機構に用いる回動体の簡略図である。
【図３】図２に示す回動体の要部斜視図である。
【図４】本発明の第２の実施形態の半田供給装置を示し、（ａ）は半田ワイヤ切断前の要部簡略断面図であり、（ｂ）はガス置換状態の要部簡略断面図であり、（ｃ）はワイヤ切断片をルツボに供給する状態の要部簡略断面図である。
【図５】図４に示す半田供給装置の切断機構に用いる回動体を示し、（ａ）は前記図４（ａ）に対応する状態での簡略図であり、（ｂ）は前記図４（ｂ）に対応する状態での簡略図であり、（ｃ）は前記図４（ｃ）に対応する状態での簡略図である。
【図６】従来の半田供給装置を示し、（ａ）は半田ワイヤのルツボ供給状態の簡略図であり、（ｂ）は半田ワイヤの切断状態の簡略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下本発明の実施の形態を図１〜図５に基づいて説明する。
【００２４】
図１は本発明に係る半田供給装置の要部簡略図を示す。この半田供給装置は、非酸化性雰囲気中の半田ワイヤＷをルツボ１に供給するためのものである。このため、ワイヤ送り手段を備える。ワイヤ送り手段は、長尺な半田ワイヤＷが巻回されたスプール２と、一対の送りローラ４、５を有する送り機構３とを備える。ワイヤ送り手段は、気密な不活性・還元ガス雰囲気（非酸化性雰囲気）を構成する非酸化性雰囲気室７内に配置されている。送りローラ４、５はゴムローラと金属ローラの一対で、両ローラが半田ワイヤＷを挟持して回転することで、半田ワイヤＷがルツボ１に送り込まれる。なお、不活性ガスとは、化学反応を起こしにくい気体であり、狭義にはヘリウムなどの希ガス族元素をいい、広義には化学反応性の低い窒素などを含めることができる。このため、本発明では、不活性ガスをこの広義のものとする。
【００２５】
ルツボ１は、その内部が気密な不活性・還元ガス雰囲気（非酸化性雰囲気）に保持され、この上流側、つまりルツボ１と非酸化性雰囲気室７との間に、切断機構１０が設けられている。この切断機構１０は、仕切板１１に設けられた通路１２と、この通路１２内に配置される円柱状の回動体１３とを備える。
【００２６】
通路１２は、前記回動体１３がその軸心廻りに回動可能として収納される本体１２ａと、この本体１２ａと非酸化性雰囲気室７とを連通する連通部１２ｂと、この本体１２ａとルツボ１とを連通する連通部１２ｃとからなる。
【００２７】
回動体１３には、図２と図３に示すように、切欠部１５が設けられている。この切欠部１５は、半円弧状の切欠本体１５ａと、切欠本体１５ａと連続する四半円弧状の副部１５ｂとを備える。すなわち、この切欠部１５は、切欠本体１５ａの幅寸法Ａ１と、副部１５ｂの幅寸法Ａ２とが同一に設定されたスリット状の切欠である。この場合、切欠本体１５ａは回動体１３の外周面に開口しているが、副部１５ｂは回動体１３の外周面に開口していない。そして、切欠部１５の切欠端部、つまり副部１５ｂの周方向端部に半田ワイヤを切断するための刃部１６が形成される。切欠本体１５ａを形成することによって、径方向に延びる平坦面からなる切欠端面１７が構成される。
【００２８】
また、回動体１３の切欠部１５の回動体軸方向の両側にＯリング等のシール部材１８、１９が外嵌配置され、切欠部１５の近傍の外周面にＯリング等のシール部材２０が配置されている。図１に示すように、切欠本体１５ａの切欠端面１７が非酸化性雰囲気室７側に位置するとともに、刃部１６がルツボ１側に位置している状態で、前記シール部材２０が鉛直方向に沿って配設される。この図１（ａ）に示す状態では、切欠端面１７が鉛直方向に沿って配設され、スプール２から送出された半田ワイヤＷが通路１２の連通部１２ｂを介して回動体１３の切欠部１５に進入し、切欠部１５の切欠端面１７にガイドされて刃部１６の近傍を通過して、通路１２の連通部１２ｃを介してルツボ１に進入する。
【００２９】
ところで、回動体１３はその軸心廻りに回動する必要がある。このため、回動体１３は、駆動機構（図示省略）が連設されている。駆動機構として、モータ等の駆動源と、この駆動源からの駆動力（回転力）を回動体に伝達するギア等の伝達機構等からなる。この際、回動角の制御を行う制御手段を備えるのが好ましい。制御手段としてはマイクロコンピュータ等にて構成できる。
【００３０】
次に前記のように構成された半田供給装置を用いた半田供給方法を説明する。まず、切断機構１０の回動体１３を、切欠本体１５ａの切欠端面１７が非酸化性雰囲気室７側に位置するとともに、刃部１６がルツボ１側に位置している状態とする。この状態では、回動体１３の軸方向端部がシール部材１８，１９でシールされている。
【００３１】
この状態で、送り機構３の一対の送りローラ４、５を矢印Ｂ１、Ｂ２方向に回転駆動することによって、スプール２の半田ワイヤＷを矢印Ｅ方向に送出する。そして、スプール２から送出された半田ワイヤＷを通路１２の連通部１２ｂを介して回動体１３の切欠部１５に進入させ、切欠部１５の切欠端面１７にガイドさせて刃部１６の近傍を通過させて、通路１２の連通部１２ｃを介してルツボ１に進入させる。
【００３２】
このようにルツボ１に進入した半田ワイヤＷは溶融される。そのため、そのルツボ１内の液体半田（溶融半田）の量が所定量に達すれば、その供給が停止される。このように、半田ワイヤの供給が停止した状態では、回動体１３が矢印Ｃ方向に所定角度（約９０°）だけ回動させる。これによって、回動体１３の刃部１６によって半田ワイヤＷを切断することができる。このように、半田ワイヤＷを切断した後は、送りローラ４、５を矢印Ｂ１ａ、Ｂ２ａ方向に反転させて半田ワイヤＷを矢印Ｆ方向に僅かに巻き上げる。
【００３３】
切断すれば、図１（ｂ）に示すように、切断部位よりも下流側（ルツボ１側）の半田ワイヤＷはルツボ１に落下する。また、上流側の半田ワイヤＷは、その切断端Ｗｅが回動体１３の切欠部１５の四半弧状の副部１５ｂ内に位置するとともに、切断端部Ｗ１が副部１５ｂの切欠端面２１に当接した状態となる。この状態では、シール部材２０が本体部１２ａ側の連通部１２ｃの開口部外周縁に配置され、通路１２とルツボ１との間がシールされる。このように、通路１２はシール部材１８、１９、２０にて外部と遮断された状態でシールされている。なお、切断後は、図１（ｂ）に示す状態から回動体１３を矢印Ｃ方向とは逆の矢印Ｄ方向に回動して図１（ａ）に示す状態とする。
【００３４】
ところで、ルツボ１には図示省略の半田量検出手段が付設される。半田量検出手段は、ルツボ１内の液体半田の液面高さを検出して液体半田の容積増減を検知し、容積が規定の範囲内に維持されるように制御する。すなわち、半田量検出手段は、ルツボ１内に設置した２本の電極棒と、電極棒の通電の有無を検出する検流計と、電源等を備えた通電式液面センサ等にて構成することができる。この半田量検出手段では、一対の電極棒は、ルツボ１内の上端部から下方に延び、下端位置が相違している。この場合、一方の電極棒の下端が他方の電極棒の下端よりも高位置にある。
【００３５】
液体半田の液面が一方の電極棒の下端より下がると、この電極棒の通電が停止し、これを検流計が検出して、液体半田の容積が規定値（上限値）より減少したことを検知する。液体半田の液面が他方の電極棒の下端より下がると、この電極棒の通電が停止し、これを検流計が検出して、液体半田の容積が規定値（下限値）より減少したことを検知する。
【００３６】
両電極棒は、その下端が液体半田に浸漬されると、電極棒に液体半田を通じた通電が発生し、これを検流計が検出して液体半田の容積が規定値まで収容されていることが検知される。このため、検流計の検知信号が制御手段（制御回路）（この制御手段は、回動体を制御する制御手段であっても、他のマイクロコンピュータ等の制御手段であってもよい。）に送られて、ルツボ１内の液体半田がほぼ定量（液面が両電極棒の下端間に配置される量）になるよう制御される。また、ルツボ１は、圧力制御手段による内圧制御にて図示省略のノズルから液体半田を吐出する。
【００３７】
このため、液体半田の容積が規定値（下限値）より減少したことを検知すると、送り機構３の一対の送りローラ４、５を矢印Ｂ１、Ｂ２方向に回転駆動することによって、スプール２の半田ワイヤＷを送出することができ、再度半田ワイヤＷをルツボ１に供給することができる。また、ルツボ１内の半田溶融量が所定量に達すれば、その供給が停止されて、半田ワイヤＷが切断されることになる。
【００３８】
本発明では、回動体１３の回動をさせることによって、半田ワイヤＷを切断することができ、しかも、ワイヤＷが酸化性雰囲気に晒されることが防止できる。このため、従来のようなカッタ機構や気密分離機構等を必要とせず、装置の小型化および低コスト化を図ることができるとともに、複数個のアクチュエータを必要とせず、制御の簡略化を図ることができる。
【００３９】
また、第１の半田供給装置において、回動体１３を円柱体から構成することによって、切断機構１０のコンパクト化を図ることができ、装置全体の小型化に寄与するとともに、大幅なコスト低減を発揮することができる。
【００４０】
次に、図４は第２の実施形態を示し、この場合、半田ワイヤＷを所定寸のワイヤ切断片Ｗａを形成し、このワイヤ切断片Ｗａをルツボ１に供給するものである。この場合も切断機構１０の回動体１３には、径方向に延びるスリット状のポケット３０が設けられている。また、この装置においては、ガス置換機構３１を備えている。
【００４１】
ガス置換機構３１は、仕切板（基板）１１の通路１２に連通される連通部３２と、この連通部３２を介して回動体１３のポケット３０内を非酸化性雰囲気とするガス置換して、ポケット内をこの置換ガス雰囲気とする。すなわち、ポケット３０内を真空引きした後、例えば窒素などの不活性ガスを供給する。
【００４２】
また、回動体１３には、回動体軸方向の両側の一対のシール部材１８、１９に加えさらに３つのシール部材３５、３６、３７が装着されている。シール部材３５、３６、３７は、周方向に沿って所定ピッチでずれた状態で配置されている。
【００４３】
次に、図４に示す半田供給装置を用いた半田供給方法を説明する。まず、図４（a）に示すように、ポケット３０の開口部を連通部１２ｂに対応させた状態とする。この状態で、図１に示すように、送り機構３の一対の送りローラ４、５を矢印Ｂ１、Ｂ２方向に回転駆動することによって、スプール２の半田ワイヤＷを送出する。そして、図４（a）に示すように、ポケット３０に半田ワイヤＷが収納された状態で、半田ワイヤＷの送りを停止する。図４（ａ）に示す状態では、シール部材３５によって、連通部１２ｂおよび連通部３２と、連通部１２ｃとの間がシールされ、シール部材３６によって、連通部１２ｃと、連通部３２および連通部１２ｂとの間がシールされる。
【００４４】
この状態から、図４（ｂ）に示すように、ポケット３０の軸心と、連通部３２の軸心とがほぼ一致する状態となるまで、回動体１３を矢印Ｄ方向に所定角だけ回動させる。この回動によって、ポケット３０の開口縁（反回転方向側の開口縁）３０ａがカッタ部となって、半田ワイヤＷを切断する。これによって、ワイヤ切断片Ｗａが形成され、このワイヤ切断片Ｗａがポケット３０に収納された状態となる。
【００４５】
そして、回動体１３が矢印Ｄ方向に所定角だけ回動させた状態では、ポケット３０が連通部３２と連通状となる。この連通状態において、ポケット３０内を非酸化性雰囲気とするガス置換が行われる。これによって、ポケット３０内が非酸化性雰囲気となる。この図４（ｂ）に示す状態では、シール部材３５によって、連通部３２と、連通部１２ｃおよび連通部１２ｂとの間がシールされ、シール部材３６によって、連通部１２ｃと、連通部３２および連通部１２ｂとの間がシールされる。シール部材３７によって、連通部１２ｂと、連通部３２および連通部１２ｃとの間がシールされる。
【００４６】
その後、図４（ｂ）に示す状態から図４（ｃ）に示す状態となるまで、回動体１３を回動させる。すなわち、ポケット３０の開口部が下方、つまりルツボ１側に向く位置となるように回動させて、その位置で停止する。これによって、ワイヤ切断片Ｗａがルツボ１に供給される（落下する）。この図４（ｃ）に示す状態では、シール部材３５によって、連通部１２ｃと、連通部３２および連通部１２ｂとの間がシールされ、シール部材３６によって、連通部１２ｂと、連通部３２および連通部１２ｃとの間がシールされ、シール部材３７によって、連通部３２と、連通部１２ｂおよび連通部１２ｃとの間がシールされる。
【００４７】
次に図４（ｃ）に示す状態となって、ワイヤ切断片Ｗａがルツボ１に供給された後は、さらに矢印Ｄ方向に回動させて、図４（ａ）に示す基本姿勢に戻す。そして、前記の工程が繰り返されて、順次ワイヤ切断片Ｗａがルツボ１に供給される。なお、この図４に示す装置であっても、回動体１３及び半田ワイヤＷの供給量を制御する制御手段にて制御される。
【００４８】
この図４に示す半田供給装置であっても、半田量検出手段が付設され、ルツボ１の溶融半田が所定量に達したか否かを判断でき、この溶融量に応じてワイヤ切断片Ｗａの供給を停止することができる。
【００４９】
図４に示す半田供給装置では、回動体１３の回動をさせることによって、半田ワイヤＷを切断してワイヤ切断片Ｗａを形成することができ、しかも、ワイヤ切断片Ｗａは、非酸化性雰囲気とされる回動体１３のポケット３０に収納され、しかも通路１２はシール状態が維持され、ワイヤ切断片Ｗａが酸化性雰囲気に晒されることなくルツボ１に供給することができる。このため、従来のようなカッタ機構や気密分離機構等を必要とせず、装置の小型化および低コスト化を図ることができるとともに、複数個のアクチュエータを必要とせず、制御の簡略化を図ることができる。
【００５０】
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、前記各実施形態では、切断機構１０を介して半田が供給されるルツボ１から、リードフレームの半田供給部等に塗布されるものであるが、このルツボ１を溶融槽として、このルツボ１の下方に、リードフレームの半田供給部等に塗布するものである他のルツボを配置したものであってもよい。また、図４に示す半田供給装置として、供給される半田ワイヤＷが図１に示すように、非酸化性雰囲気中に配置されているものであっても、大気雰囲気中に配置されているものであってもよい。
【符号の説明】
【００５１】
１     ルツボ
１０   切断機構
１２   通路
１３   回動体
１５   切欠部
１６   刃部
３０   ポケット
３１   ガス置換機構
Ｗ     半田ワイヤ
Ｗａ   ワイヤ切断片
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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