(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１導電型の半導体基体の一方の主面に形成された第１の電極と、
前記半導体基体の他方の主面に形成された第２の電極と、
前記第１の電極に接続するように前記半導体基体の一方の主面に形成された第２導電型のベース層と、
前記ベース層の外周側に設けられた第２導電型のＶＬＤ領域と、
前記ＶＬＤ領域の外周側に前記ＶＬＤ領域とは離間するように設けられた第１導電型もしくは第２導電型のストッパー層とを有する半導体装置において、
前記ＶＬＤ領域と前記ストッパー層の間に前記ＶＬＤ領域および前記ストッパー層と離間するように設けられ且つ前記半導体基体よりも高濃度の第２導電型の第１のクリップ層を有し、
前記第２電極と前記第１電極の間への前記半導体装置のアバランシェ耐圧に相当する電圧印加に応じて、前記第１のクリップ層と前記第１の半導体基体との接合面から前記第１のクリップ層の内部に広がる空乏層の深さが、前記第１のクリップ層の残りの空乏化していない電荷中性領域の深さよりも大きくなるに足る不純物濃度を前記第１のクリップ層が有することを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体装置において、前記ＶＬＤ領域は、前記第２電極と前記第１電極の間への前記半導体装置のアバランシェ耐圧に相当する電圧印加に応じて、前記ＶＬＤ領域の内部に空乏層が広がるとともに、空乏化していない電荷中性領域が形成されるに足る不純物濃度を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の半導体装置において、前記ＶＬＤ領域の外周側であり且つ前記第１のクリップ層の内周側にて前記ＶＬＤ領域とは離間するように設けられ且つ前記半導体基体よりも高濃度の第１導電型の第２のクリップ層を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
請求項３に記載の半導体装置において、前記第２のクリップ層は前記第１のクリップ層よりも浅いことを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
請求項３もしくは請求項４のいずれか一項に記載の半導体装置において、前記第２のクリップ層は前記第１のクリップ層と隣接していることを特徴とする半導体装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の半導体装置において、前記第１のクリップ層の表面には第１のフィールドプレートが形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の半導体装置において、前記第１のフィールドプレートが、前記第１のクリップ層の外周側に向かう方向の長さよりも内周側に向かう方向の長さが長いことを特徴とする半導体装置。
【請求項８】
請求項３乃至請求項７のいずれか一項に記載の半導体装置において、前記第２のクリップ層は絶縁幕を介して前記第１のフィールドプレートで覆われていることを特徴とする半導体装置。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか一項に記載の半導体装置において、前記ＶＬＤ領域の外周側の端部は、前記第１の電極の外周側の端部よりも外周側にあることを特徴とする半導体装置。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれか一項に記載の半導体装置において、前記ストッパー層には第２のフィールドプレートが備えられ、且つ前記第１のフィールドプレートは前記第２のフィールドプレートとは離間していることを特徴とする半導体装置。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項１０のいずれか一項に記載の半導体装置において、前記ＶＬＤ領域と前記半導体基体とのｐｎ接合は外周側に向かって波状の形状を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項１２】
請求項２乃至請求項１１のいずれか一項に記載の半導体装置において、前記ＶＬＤ領域と前記第２のクリップ層の間に第２導電型のフィールド層が設けられていることを特徴とする半導体装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の半導体装置において、前記フィールド層の前記一方の主面における不純物濃度は前記フィールド層の最大濃度よりも小さいことを特徴とする半導体装置。
【請求項１４】
請求項１乃至請求項１３に記載の半導体装置において、前記ＶＬＤ領域の一方の主面側の一部に第３のフィールドプレートが形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項１５】
請求項１乃至請求項１４に記載の半導体装置において、前記一方の主面に垂直な方向における前記ＶＬＤ領域の総不純物濃度は、前記一方の主面に垂直な方向における前記ベース層の総不純物濃度よりも小さいことを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体装置、特に電力変換装置などに使用される高耐圧半導体装置（ダイオード、ＩＧＢＴ、ＭＯＳＦＥＴ）の終端構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
高耐圧ディスクリートパワーデバイスは電力変換装置中において中心的な役割を果たしている。それらのデバイスに絶縁ゲートバイポーラトランジスタ(ＩＧＢＴ)や金属酸化物半導体電界効果トランジスタ(ＭＯＳＦＥＴ)などの素子がある。それらのデバイスは電流を制御する活性部と分離耐圧を持たせる終端構造（あるいはエッジ構造）からなる。理想的な終端構造は、活性部より耐圧が高くなるのはもちろんのこと、またその耐圧が外部イオンの影響に耐えなければならない。例えばパワー半導体デバイス（ＩＧＢＴ、ＭＯＳＦＥＴ、ダイオードなど）製品の形態の種類として、パワー半導体チップを樹脂封止して形成したディスクリート素子がある。他に、筐体にパワー半導体チップ、またはパワー半導体チップおよび制御回路チップを収納して形成したパワーモジュールもある。これらのパワー半導体デバイスを用いる電力変換装置の周辺の環境には、外部イオンが常に存在する。そして外部イオンは、これらのディスクリート素子またはパワーモジュールのパッケージに使用されている封止材料（ゲル、エポキシ樹脂等）から侵入し、終端構造の表面に到達する。終端構造の表面に到達した外部イオンは、デバイスのパシベーション層を通りぬけ、デバイスのシリコン領域上部に到達し、終端部の耐圧を劣化させる。したがって、モジュール・パッケージ材料、素子のパシベーション材料に外部イオンの影響を受け難くする機能を求める他に、終端構造領域の構成自体も、外部電荷（外部イオン）の影響を受け難い構造、つまり耐性を持つように設計しなければならない。
【０００３】
従来の終端構造として、導電性のフィールドプレートを備えるガードリング構造（以下、単にガードリング構造と呼ぶ）が広く使用されている。このガードリング構造は例えば、非特許文献１に開示されており、その断面図を図４１に示す。終端構造領域３３には、エミッタ電極１１に接続されているｐ＋ガードリング２０ａと、エミッタ電極１１とは接続されずに電気的に浮遊であるｐ＋ガードリング２０ｂ〜２０ｆが、形成されている。また、デバイスの外周端（終端構造領域３３における紙面の右側端）には、ｐ＋ガードリング２０ｆとは離間して、チャンネルストッパー層６が形成されている。ｐ＋ガードリング２０ｂ〜２０ｆ、およびチャンネルストッパー層６には、導電性のフィールドプレート２１ａ〜２１ｅおよびチャンネルストッパー層６のフィールドプレート（ストッパーフィールドプレート１５）が接続されている。このフィールドプレートを備えたガードリング構造は、外部から侵入してきた外部電荷から受ける電気的特性への影響が少なく、耐電荷性にすぐれた特性を有する。終端構造領域３３では、表面に形成された分離用酸化膜２あるいは層間絶縁膜８といったシリコン酸化膜を、フィールドプレート２１ａ〜２１ｅにて覆う。これにより、外部電荷が酸化膜近傍に到達したときに生じる等電位面の移動を、防ぐことができる。さらにｐ＋ガードリング２０ａ〜２０ｆそれぞれの近傍の電位は、シリコン内部にて広がる空乏層の等電位面の分布に従うから、ｐ＋ガードリング２０ａ〜２０ｆ自体の電位は安定である。この安定な電位がフィールドプレート２１ａ〜２１ｅの電位を決めるから、終端構造領域表面に露出したシリコン酸化膜は外部電荷からの影響を一層受け難くなる。
【０００４】
また特許文献２において、外部から侵入してきた外部電荷の影響をさらに防止する構造が開示されている（図４２）。外部電荷が終端構造領域３３の表面に存在する場合、分離用酸化膜２に対峙するｎ型ドリフト層１の表面と分離用酸化膜２および層間絶縁膜８との間に電荷が誘起される。その電荷を通して、コレクタ電極１４と同電位を示すｎ型のチャンネルストッパー層６とエミッタ電極１１が導通し、大きな漏れ電流が発生したり、耐圧が劣化したりする。この導通を防止するために、ｐ＋ガードリング２０ｂ〜２０ｆの活性領域側に隣接するようにｎ型ドリフト層よりも高濃度のｎ型チャンネルストッパー層２３が形成されている。同様にｐ＋ガードリング２０ａ〜２０ｆのデバイス外周側に隣接してｐ型チャンネルストッパー層２２が形成されている。例えば正の外部電荷が終端構造領域表面に侵入した場合には、ｎ型ドリフト層１のＳｉＯ２／Ｓｉ界面に負の電荷である電子蓄積層が形成される。そのため、ｐ型チャンネルストッパー層２２にて電子蓄積層によるコレクタ−エミッタ電極間の導通を抑えている。また負の外部電荷が終端構造領域表面に侵入した場合には、ｎ型ドリフト層１のＳｉＯ２／Ｓｉ界面に正の電荷であるホール蓄積層が形成される。そのため、ｎ型チャンネルストッパー層２３にてホール蓄積層によるコレクタ−エミッタ電極間の導通を抑えている。
【０００５】
一方、終端構造領域の長さを短縮するために、特許文献１には図４３に示した構造が開示されている。図４３によれば、終端構造領域に、エミッタ電極１１に接続されているｐ＋層に隣接して、ＲＥＳＵＲＦ(Ｒｅｄｕｃｅｄ Ｓｕｒｆａｃｅ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｆｉｅｌｄ)効果を有するＲＥＳＵＲＦ層３８が形成されている。このＲＥＳＵＲＦ層３８は、一般的なガードリング層よりも十分濃度が低い層であり、ガードリング構造に比べて、短い距離にて電界強度を緩和することができる。
【０００６】
特許文献３には、ＶＬＤ(Ｖａｒｉａｔｉｏｎ ｏｆ ｌａｔｅｒａｌ ｄｏｐｉｎｇ)とよばれる終端構造が開示されている（図４０）。つまり、終端構造領域に、分離用酸化膜２の数多くの開口部からｐ型ドーパント（例えばボロン）が導入され且つ拡散される。図４０に示すように、互いに隣接するｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄは、横方向拡散の部分が重なり合うようになっている。そして前記開口部の幅がチップ内周側から外周側に向かって小さくなり、且つ分離用酸化膜に対する開口部の比率が小さくなっている。そのためｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄは、拡散深さと濃度がチップ内周側から外周側に向かってそれぞれ小さくなるように形成されている。ｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄとｎ型ドリフト層１とのｐｎ接合の形状は概ね、複数のｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄの包絡線かあるいはそれに準じた波状の分布となる。以上のような図４０に示した終端構造を、ＶＬＤ構造と呼ぶ。複数のｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄが重なり合う領域をＶＬＤ領域１７と呼ぶ。隣り合うｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄの横方向拡散の部分が重なるため、終端構造領域の長さはＲＥＳＵＲＦ程度となり、前記のガードリング構造よりも極めて短くできる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−２３１５８号公報
【特許文献２】米国特許第６４４５０５４号明細書
【特許文献３】特開昭６１−８４８３０号公報
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】ビー・ジャイアント・バリガ（Ｂ．  Ｊａｙａｎｔ  Ｂａｌｉｇａ）著、「ファンダメンタルズ・オブ・パワー・セミコンダクター・デバイセズ（Ｆｕｎｄａｍｅｎｔａｌｓ  ｏｆ  Ｐｏｗｅｒ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｄｅｖｉｃｅｓ）」、（米国）、第１版、シュープリンガー・サイエンス＋ビジネス・メディア（Ｓｐｒｉｎｇｅｒ  Ｓｉｃｅｎｃｅ＋Ｂｕｓｉｎｅｓｓ  Ｍｅｄｉａ）、２００８年、ｐ．１３７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
前述したガードリング構造はｐ＋ガードリング層それ自体の幅と配置する個数のために、一般的にチップに占める終端構造領域の長さが長くなる。そのため、終端構造領域が長くならざるを得ない高耐圧（例えば１７００Ｖ以上）の素子、あるいはデバイスチップの面積が小さくなる小電流用途では、チップにおける終端構造領域の占める面積の割合が大きくなる。その結果、シリコンウェハーの１枚あたりから断片化できるチップの個数が少なくなり、チップ単価（コスト）が高くなるという課題がある。
【００１０】
また、前記のＲＥＳＵＲＦ構造は、シリコン表面のポテンシャル（等電位面）を均一に分布させる必要がある。そのためシリコン酸化膜をフィールドプレートで覆うことができず、外部電荷に対してＲＥＳＵＲＦ構造部の等電位面の分布形状が敏感に変化し、耐圧が低下する。
【００１１】
またＶＬＤ構造は、終端構造領域のｐ型拡散層（以下、ＶＬＤ領域と呼ぶ）の濃度がＲＥＳＵＲＦ構造よりも比較的高くでき、その点では外部電荷の影響は受け難くなっている。しかし、ガードリング構造の安定性には未だ及ばない。前述のように外部電荷が飛来すると、終端構造領域において等電位面の分布形状が変化する。そのため、終端構造領域の半導体表面近傍における電界強度の分布も変化し、外部電荷の極性に応じて最大電界強度の位置がチップ内周側もしくは外周側にシフトする。ｐ型のＶＬＤ構造の場合、正の外部電荷に対しては、空乏層はチップ内周側にシフトするので、最大電界強度はＶＬＤ構造の内部のみで移動する。つまりＶＬＤ構造で正の外部電荷の影響を吸収することが可能である。しかしながら負の外部電荷の場合、空乏層はチップ外周側にシフトするので、最大電界強度の位置はＶＬＤ領域の外周側に移動する。その結果、ＶＬＤ領域での電界強度は小さくなる。耐圧構造で担うことのできる電圧は、電界強度を横方向に積分した値であるが、上記の空乏層のシフトの結果、ＶＬＤ構造部で積分値が下がるため、電圧変化分を吸収することができない。そのため、ＶＬＤ構造であっても、負の外部電荷に対しては、耐圧が低下する。
【００１２】
以上のことを鑑みて、本発明は終端構造領域の長さが短く、且つ外部電荷の影響が極めて小さい、安定で高耐圧な終端構造を有する半導体装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記課題を解決して、本発明の目的を達成するために、本発明では、
第１導電型の半導体基体の一方の主面に形成された第１の電極と、
前記半導体基体の他方の主面に形成された第２の電極と、
前記第１の電極に接続するように前記半導体基体の一方の主面に形成された第２導電型のベース層と、
前記ベース層の外周側に設けられた第２導電型のＶＬＤ領域と、
前記ＶＬＤ領域の外周側に前記ＶＬＤ領域とは離間するように設けられた第１導電型もしくは第２導電型のストッパー層とを有する半導体装置において、
前記ＶＬＤ領域と前記ストッパー層の間に前記ＶＬＤ領域および前記ストッパー層と離間するように設けられ且つ前記半導体基体よりも高濃度の第２導電型の第１のクリップ層を有し、
前記第２電極と前記第１電極の間への前記半導体装置のアバランシェ耐圧に相当する電圧印加に応じて、前記第１のクリップ層と前記第１の半導体基体との接合面から前記第１のクリップ層の内部に広がる空乏層の深さが、前記第１のクリップ層の残りの空乏化していない電荷中性領域の深さよりも大きくなるに足る不純物濃度を前記第１のクリップ層が有することを特徴とする半導体装置、にある。
【００１４】
上記発明における半導体装置の構造の特徴は、ＶＬＤ領域の外周側に第２導電型の第１のクリップ層を設けたことである。この構造上の特徴により、終端構造領域の上面に飛来した外部電荷に対して、空乏層がチップ外周側に広がったとしても、第１のクリップ層近傍の電界強度を上げることができるため、負担できる電圧（耐圧）の低下を抑えることができる。
【００１５】
また、前記第１のクリップ層と前記ストッパー層とを離間させた離間領域を備えていることも、本発明の特徴の一つである。この特徴により、最大電界強度の場所がＶＬＤ領域の外周側にシフトしても、前記第１のクリップ層近傍に最大電界強度を固定することが可能となる。さらに前記の離間領域を設けることで、前記離間領域にて高い電圧を担うことができるようになる。その結果、正・負両方の極性の外部電荷に対して耐圧の低下を防ぐことが可能となる。
【００１６】
また、前記ＶＬＤ領域は、前記第２電極と前記第１電極の間への前記半導体装置のアバランシェ耐圧に相当する電圧印加に応じて、前記ＶＬＤ領域の内部に空乏層が広がるとともに、空乏化していない電荷中性領域が形成されるに足る不純物濃度を有することが好ましい。
【００１７】
第１のクリップ層の濃度が、全く空乏化しない程度に高い濃度であるとする。すると外部電荷によって空乏層（等電位面）がＶＬＤ領域の外周側にシフトする際、空乏層は第１のクリップ層で広がりが止められる。そのため第１のクリップ層近傍で、局所的な高電界領域が発生し、アバランシェ電流が発生して耐圧が低下する。第１のクリップ層近傍で局所的な高電界が発生しないようにするには、第１のクリップ層の内部における等電位面の密度を小さくすればよい。そのためには、第１のクリップ層の内部に出来るだけ空乏層を広げることが好ましい。特に第１のクリップ層の中に広がる空乏層の深さが、第１のクリップ層の空乏化していない残りの深さよりも大きいことが好ましい。このようにすれば、第１のクリップ層の中で電界強度を十分吸収できるので、局所的に高い電界強度の発生を抑えることができる。
【００１８】
また、前記のＶＬＤ領域の外周側であり且つ前記第１のクリップ層の内周側にて前記ＶＬＤ領域とは離間するように設けられ且つ前記半導体基体よりも高濃度の第１導電型の第２のクリップ層を有することが好ましい。
【００１９】
終端構造領域の上面に負の外部電荷が到達すると、終端構造領域の上面を保護している酸化膜と下地の半導体の界面における半導体表面に、キャリア（正孔）のチャネルが形成される。このキャリアのチャネルを通して前記第１の電極と前記第２の電極間にリーク電流の経路が発生し、漏れ電流の原因になる。これに対して、前記第２のクリップ層により、正孔のチャネルを断つことが可能となる。
【００２０】
さらに上記発明について、より好ましい手段のうち、主な手段について説明する。その他の手段については、発明を実施するための形態にて説明する。
前記第１のクリップ層は前記第２のクリップ層よりも深いことが好ましい。
【００２１】
空乏層が終端構造領域をチップ内周側から外周側に向かって広がるとき、第１のクリップ層が前記第２のクリップ層よりも深ければ、空乏層は第２のクリップ層で止められることなく、第１のクリップ層に達することができる。
【００２２】
また、前記第２のクリップ層は前記第１のクリップ層と隣接していることが好ましい。
この場合には、空乏層は第２のクリップ層にほとんどあたることなく、第１のクリップ層に達するので、電界強度が緩和される。
【００２３】
また、前記第１のクリップ層の表面には第１のフィールドプレートが形成されていることが好ましい。
この場合には、第１のクリップ層の表面の電位は、第１のフィールドプレートが形成されている領域すべてに渡って固定される。よって外部電荷の飛来による等電位面の変化をさらに小さくすることができる。
【００２４】
また、前記第１のフィールドプレートが、前記第１のクリップ層の外周側に向かう方向の長さよりも内周側に向かう方向の長さが長いことが好ましい。
第１のクリップ層内部の空乏層の広がりは、チップ内周側の方がチップ外周側よりも大きくなる。そのため、第１のクリップ層のチップ内周側近辺の電界強度が増加する。よって、前記第１のフィールドプレートのチップ内周側の長さをチップ外周側の長さよりも長くすることで、第１のクリップ層のチップ内周側近辺の電界を緩和できる。
【００２５】
また、前記第２のクリップ層は絶縁膜を介して前記第１のフィールドプレートで覆われていることが好ましい。
第２のクリップ層は前記半導体基体と同じ第１導電型であり且つ前記半導体基体よりも高濃度である。そのため、空乏層が第２のクリップ層に達したとき、電界強度は極めて大きく増加する。第１のフィールドプレートの内周側端部よりも外周側に第２のクリップ層を形成すれば、第２のクリップ層は第１のフィールドプレートで覆われる。そのため、空乏層は第２のクリップ層には達することが無く、前記の局所的な電界強度の増加を防止することができる。
【００２６】
また、前記ＶＬＤ領域の外周側の端部は、前記第１の電極の外周側の端部よりも外周側にあることが好ましい。
ＶＬＤ領域の電界緩和は、等電位面をＶＬＤ領域の表面に形成された保護用の酸化膜より外部に出すことで得られる。よって第１の電極の外周側端部をＶＬＤ領域の外周側端部よりも内周側に設けることが好ましい。
【００２７】
また、前記ストッパー層には第２のフィールドプレートが備えられ、且つ前記第１のフィールドプレートは前記第２のフィールドプレートとは離間していることが好ましい。
前記離間領域の上面において、第１のフィールドプレートと第２のフィールドプレートを離間させると、等電位面が前記離間領域に分布するようになる。その結果、前述のように空乏層がチップ外周部にシフトしても、この離間領域にて電圧を担うことが可能となる。
【発明の効果】
【００２８】
このように上記本発明によれば、終端構造領域の長さが短く、且つ外部電荷の影響が極めて小さい、安定で高耐圧の終端構造を有する半導体装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の要部断面図である。
【図２】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の要部断面図および作用の模式図である。
【図３】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の要部断面図である。
【図４】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図５】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図６】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図７】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図８】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図９】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図１０】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図１１】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図１２】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図１３】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図１４】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図１５】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図１６】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図１７】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図１８】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図１９】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図２０】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図２１】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図２２】この発明の実施の形態および従来例にかかる半導体装置の電気的特性を示す特性図である。
【図２３】この発明の実施の形態および従来例にかかる半導体装置の電気的特性を示す特性図である。
【図２４】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の要部断面図である。
【図２５】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の要部断面図である。
【図２６】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図２７】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図２８】この発明の実施の形態および従来例にかかる半導体装置の電気的特性を示す特性図である。
【図２９】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の要部断線図である。
【図３０】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の電気的特性を示す特性図である。
【図３１】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の要部断面図である。
【図３２】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の電気的特性を示す特性図である。
【図３３】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の要部断面図である。
【図３４】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の電気的特性を示す特性図である。
【図３５】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の要部断面図である。
【図３６】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図３７】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図３８】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図３９】この発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。
【図４０】従来例の半導体装置における要部断面図である。
【図４１】従来例の半導体装置における要部断面図である。
【図４２】従来例の半導体装置における要部断面図である。
【図４３】従来例の半導体装置における要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、第１導電型をｎ型、第２導電型をｐ型とするが、ｎ型とｐ型を入れ替えても本発明は同様に動作する。また、本明細書では、半導体装置について、デバイス、素子、半導体チップ、もしくは単にチップという表現も用いているが、いずれもチップ化された半導体装置の意味であり、同じ対象を示している。また、本発明のデバイスは絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ（ＩＧＢＴ）を実施例として記載しているが、公知のユニポーラデバイスである絶縁ゲート型トランジスタ（ＭＯＳＦＥＴ）、あるいは公知のｐ−ｉ−ｎダイオードに対しても同様に適用可能である。
【００３１】
また、前記のｐ型およびｎ型の極性の関係を基に、以下では、第１のクリップ層をクリップｐ層、および第２のクリップ層をクリップｎ層と呼ぶことにする。
さらにウェハーとは、チップに断片化する前のシリコン基板のことである。
【００３２】
また半導体チップにおいて、前記第１の電極（以下、エミッタ電極と呼ぶ）が形成されていて、電流を流すことができる領域を「活性領域」と呼ぶことにする。次に、エミッタ電極が前記半導体基体（以下、ｎ型ドリフト層と呼ぶ）等と接している領域におけるチップ外周側端部を、活性領域の外周側端部と定義し、「活性端部」と呼ぶことにする。また前記活性端部からチップの外周側端部までの領域であり、素子に電圧が印加されたときに発生するチップ表面の電界強度を緩和させる構造部を、「終端構造領域」と呼ぶことにする。
【００３３】
また濃度等の記載で、例えば１．０Ｅ１２／ｃｍ２という表示を用いるが、それは１．０×１０１２／ｃｍ２という意味である。また、各図の中に示された各層（ｐ層、ｎ層）の右に記載の＋（−）記号は、不純物濃度が相対的に他の層よりも高い（低い）ことを意味している。
【００３４】
前記ＶＬＤ領域とは、具体的には、以下の構造を意味する。つまり、活性端部からチップの外周端に向かって、終端構造領域に渡り、横方向拡散の部分（チップ表面に平行な向きの拡散）が互いに重なり合う複数の第２導電型拡散層が、形成される。このような複数の第２導電型拡散層が集合した領域を、ＶＬＤ領域と呼ぶ。典型的なＶＬＤ領域の構造は、ＶＬＤ領域の拡散深さが、活性端部近傍にて最も深く、チップ外周に向かって徐々に浅くなるような構造を有する。
【００３５】
本発明の基本的な構造について、図１を用いて説明する。
図１は、本発明の半導体装置の基本的な構造を示す要部断面図である。
ｎ型の半導体基体であるｎ型ドリフト層１の上面に、活性領域３１と終端構造領域３３が形成されている。活性領域３１については、本実施例では、例えばトレンチ型の金属（導電性ポリシリコン）-絶縁体（シリコン酸化膜）-半導体のいわゆるＭＯＳゲート構造を記載している。コンタクト抵抗低減のためのｐ＋領域７、７ａ、７ｂを介して、活性領域３１の上面のエミッタ電極１１に接するようにｎ型ドリフト層１より高濃度のｐ型ベース層５が設けられている。エミッタ電極１１と接するデバイスの表面から、ｐ型ベース層５を貫通してｎ型ドリフト層１に達するように、トレンチ（溝）が形成されている。前記トレンチの内側にはゲート酸化膜３を介して導電性のゲートポリシリコン４ａが埋め込まれている。トレンチの側壁には、エミッタ電極と接するようにｎ＋エミッタ層６ｂが形成されている。なお前記のＭＯＳゲート構造はトレンチ型に限らず、公知のプレーナー型であっても構わない。また、活性領域３１の中で終端構造領域３３に近い部分のＭＯＳゲート構造では、適宜ｎ＋エミッタ層６ｂを形成しない領域があっても構わない。また、図１の活性領域３１を示す矢印の左端には波線の記号が記載されているが、これは、図１の素子断面図の左端より左側にも、素子の活性領域を構成するＭＯＳゲート構造等が複数形成されていることを意味している。
【００３６】
活性端部３２には、ＭＯＳゲートは設けずに、エミッタ電極１１と接するｐ型ベース層５に加えて、ｐ型ベース層５よりも低濃度で且つ深い拡散のｐ型拡散層１７ａが設けられている。このｐ型拡散層１７ａが、ＶＬＤ領域１７の活性領域側（チップ内周側）の端部となる。なお、ｐ型拡散層１７ａがｐ型ベース層５よりも浅い拡散の場合もありうるが、その場合でもｐ型拡散層１７ａの濃度はｐ型ベース層５よりも低濃度である。
【００３７】
活性端部３２からチップ外周側に向かって、ｎ型ドリフト層１の上面に複数のｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄが形成されている。それぞれのｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄの幅は、分離用酸化膜２の開口部３５の幅に応じて、形成されている。つまりチップの外周側端部にあたるチップ外周端４６に向かって、ｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄのそれぞれの開口部３５の間隔は、徐々に狭くなる。相互に隣接するｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄは、横方向拡散部分３４（ｐ型ドーパントが開口部３５からチップの表面に平行に拡散している部分）が互いに重なり合っている。活性領域３１に最も近い側のｐ型拡散層１７ａをＶＬＤ領域１７の最高濃度とする場合、互いに重なる横方向拡散部分３４の上部にあたる分離用酸化膜２の幅は６．０μｍである。ｐ型拡散層１７ａの開口部３５の幅は４０．５μｍである。続いてｐ型拡散層１７ｂの形成領域では、開口部３５の幅は例えば１０．５μｍとする。続いてｐ型拡散層１７ｃの形成領域では、開口部３５の幅は例えば５．５μｍとする。ＶＬＤ端部４４に最も近い領域のｐ型拡散層１７ｄについては、開口部３５の幅は例えば２．０μｍである。
【００３８】
また、ｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄは、チップ内周側のｐ型拡散層１７ａから外周側のｐ型拡散層１７ｄに向かって、徐々にもしくは複数の段階を踏んで、拡散深さが浅くなっている。また、チップ内周側のｐ型拡散層１７ａから外周側のｐ型拡散層１７ｄに向かって、ｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄの平均的な濃度が徐々にもしくは複数の段階を踏んで小さくなっている。なお平均的な濃度とは、単位面積当たりの深さ方向の総不純物濃度、もしくは深さ方向にて積分された単位面積当たりの不純物濃度のことであり、単位は例えばａｔｏｍｓ／ｃｍ２である。このｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄの平均的な濃度分布の勾配は、上述のＶＬＤ領域１７の分離用酸化膜２の開口部３５の幅にて調整できる。つまり後述する製造方法の説明にあるように、分離用酸化膜２がｐ型ドーパントをイオン注入するときの遮蔽マスクとなる。そのため、ｐ型拡散層１７ａのように分離用酸化膜２の残し幅を短くし且つ開口部３５の幅を長くしている領域では、その領域のアクセプタの平均的な濃度は、注入されたｐ型ドーパントのドーズ量に十分近くなる。一方、ｐ型拡散層１７ｄのように分離用酸化膜２の残し幅を長くし且つ開口部３５の幅を短くしている領域では、その領域のアクセプタの平均的な濃度は、注入されたｐ型ドーパントのドーズ量よりも十分小さくなる。例えば、硼素のドーズ量をウェハー面内に渡って一定とする。図１のｐ型拡散層１７ｂにおいて、開口部３５の面積と、開口部３５に隣接し且つマスク遮蔽領域となる分離用酸化膜２の面積の比（以下、開口比率と呼ぶ）が、例えば４：１であるとする。このときｐ型拡散層１７ｂの平均的な総不純物量（以下、実効ドーズ量と呼ぶ）は、イオン注入されたｐ型ドーパントのドーズ量の８０％となる。さらにｐ型拡散層１７ｃにおいて、同様に開口比が１：１とすると、ｐ型拡散層１７ｂの実効ドーズ量はイオン注入ドーズ量の５０％となる。さらにｐ型拡散層１７ｄにおいて、同様に開口比が１：９とすると、ｐ型拡散層１７ｂの実効ドーズ量はイオン注入ドーズ量の１０％となる。このようにしてＶＬＤ領域１７の横方向濃度分布を調整することが可能である。さらに実効ドーズ量が小さくなるほど、同じ熱バジェットにおけるドーパントの拡散深さは浅くなるから、ＶＬＤ領域１７はチップ外周側に向かって徐々に浅くなる。以上のｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄにて形成されている領域が、ＶＬＤ領域１７である。ＶＬＤ領域１７の上面には、分離用酸化膜２と層間絶縁膜８が覆われている。
【００３９】
ＶＬＤ領域１７のチップ外周側には、ＶＬＤ領域１７と長さＬｓＣだけ離間しており、且つｎ型ドリフト層１よりも高濃度のクリップｐ層１７ｅが形成されている。さらにクリップｐ層１７ｅのチップ外周側には、クリップｐ層１７ｅとは離間して、ｎ型ドリフト層１よりも高濃度のｎ型のチャンネルストッパー層６が形成されている。なおチャンネルストッパー層６は、ｎ型ドリフト層１よりも高濃度であればｐ型でも構わない。ここで、具体的なＶＬＤ領域１７のｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄとクリップｐ層１７ｅの構造パラメータとその具体的な数値を、表１に記載しておく。なおＶＬＤ領域１７のｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄについては、従来例で記述した図４０と重複し、且つ同じ条件である。
【００４０】
【表１】
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表１の最左列について、領域とは図１に記載された符号のことである。深さとは、それぞれのｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄにおけるｐｎ接合４３の拡散深さである。幅とは、ｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄそれぞれの領域の長さである。例えば、ｐ型拡散層１７ｂの長さとは、ｐ型拡散層１７ｂの開口部３５のうち活性領域３１側の端部から、ｐ型拡散層１７ｂのチップ外周側の開口部３５のチップ外周側端部までの距離である。表面濃度とは、ｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄのチップ表面におけるｐ型アクセプタの濃度である。段数とは、それぞれのｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄにおける開口部の個数である。さらに従来例とは、図４０に示すような、クリップｐ層１７ｅおよびクリップｎ層６ａのそれぞれの無いＶＬＤ構造である。
【００４１】
エミッタ電極１１は、ＶＬＤ領域１７よりも高濃度であるコンタクト用のｐ＋領域７、７ａおよび７ｂを介して、ｐ型ベース層５と接続している。またＶＬＤ領域１７の中でｐ型拡散層１７ａとｐ型拡散層１７ｂは、ｐ＋領域７、７ａおよび７ｂと、ｐ型ベース層５を介してエミッタ電極１１と接続している部分がある。ｐ＋領域７ａと７ｂに挟まれるｐ型拡散層１７ａの上面には、同上面に形成されたゲート酸化膜３を介して後述するゲートポリシリコンランナー４ｂが形成されている。
【００４２】
エミッタ電極１１には、ｐ＋領域７ｂと接続している部分からチップ外周側に向かって、長さがＭＦＰ１の庇が形成されている。またクリップｐ層１７ｅの上面には、クリップｐ層１７ｅよりも高濃度のｐ＋領域７ｂを介してクリップフィールドプレート１５ａが接続されている。このクリップフィールドプレート１５ａは、チップ内周側の庇の長さＭＦＰ４ａの方がチップ外周側の庇の長さＭＦＰ４ｂよりも長く形成されている。さらにチャンネルストッパー層６の上面にも、クリップフィールドプレート１５ａとは離間するようにストッパーフィールドプレート１５が設けられている。ここで、クリップフィールドプレート１５ａとストッパーフィールドプレート１５の離間している領域を、離間領域４０と呼ぶことにする。また、ストッパーフィールドプレート１５のチップ内周側の庇の長さをＭＦＰ２とする。活性領域３１の一部と終端構造領域３３の上面を保護するためのパシベーション膜１３が形成されている。
【００４３】
ｎ型ドリフト層１の下面側には、周知のｎ型フィールドストップ層９が形成され、さらにｎ型フィールドストップ層９の下面に隣接してｐ型コレクタ層１０が形成されている。ｐ型コレクタ層１０の下面には、コレクタ電極１４が接続されている。勿論、ｎ型フィールドストップ層９が無いＩＧＢＴの場合もある。
【００４４】
ＶＬＤ領域１７以外の構造についての構造パラメータは、以下の通りである。分離用酸化膜２の厚さは０．５μｍである。層間絶縁膜８の厚さは１．０μｍである。従来例の図４０に示している、チャンネルストッパー層６とＶＬＤ領域１７のｐ型拡散層１７ｄとの間の長さＬｓは、１４０μｍである。エミッタ電極１１の庇の長さＭＦＰ１は２３μｍである。ストッパーフィールドプレート１５におけるＭＦＰ２の長さは１３μｍである。チャンネルストッパー層６の長さは２６μｍである。ｐ型コレクタ層１０のピーク濃度は１．８Ｅ１７／ｃｍ３、 厚さ（拡散深さ）は０．８μｍである。ｎ型フィールドストップ層９のピーク濃度は２．２Ｅ１５／ｃｍ３で、厚さは２８．５μｍである。クリップｐ層１７ｅと再近隣のＶＬＤ領域１７のｐ型拡散層１７ｄの間の距離（ＬｓＣ）は約１１３μｍである。クリップフィールドプレート１５ａの活性領域側の庇の長さＭＦＰ４ａは１２μｍであり、チップ外周側の庇の長さＭＦＰ４ｂは６μｍである。
（作用）
本発明の基本的な構造における作用効果について、図２を用いて説明する。
【００４５】
図２は、図１に示した要部断面構成を基に、本発明の基本的な作用を示した模式図である。（ａ）は図１の素子表面部分のみを記述した要部断面図、（ｂ）は前記断面図においてデバイス表面から垂直に点Ｍを通る、深さ方向のカットラインに沿った電界強度分布図、（ｃ）は、（ａ）における点Ａから点Ｄへのデバイス表面に平行なカットラインに沿った電界強度分布図である。なお電界強度分布は、ＭＯＳゲートがオフの状態でコレクタ電極１４とエミッタ電極１１の間に素子のアバランシェ耐圧に相当する電圧が印加された状態における分布とする。
【００４６】
上記発明における半導体装置の構造の特徴は、前述のように、ＶＬＤ領域１７の外周側にクリップｐ層１７ｅを設けたことである。この構造上の特徴により、終端構造領域３３の上面に飛来した負の外部電荷４２に対して、空乏層がチップ外周側に広がることを抑えることができる。
【００４７】
つまり本発明の構造によれば、図２の（ｃ）にて示すように、（１）ＶＬＤ領域１７（図２（ａ）および（ｃ）のＡ−Ｂ区間）、（２）クリップｐ層１７ｅ近傍（同  Ｂ〜Ｃ点およびその近傍）、（３）クリップｐ層１７ｅとチャンネルストッパー層６の間（同  Ｃ−Ｄ区間）、の３つの領域で、相互に電位を分担しあうことで、耐圧つまり負担する電圧の低下を抑えている。ここで、クリップｐ層１７ｅ近傍とは、例えばクリップｐ層１７ｅの最も深い位置を中心として、前記中心から、およそクリップｐ層１７ｅの拡散深さのオーダーを半径とした円周までの領域を示すと思えばよい。他の位置における近傍についても、同程度のオーダーの距離を半径とした円周までの領域を想定すればよい。
【００４８】
まず外部電荷が十分少ないとき、具体的には外部電荷をＱｓｓとおくと、｜Ｑｓｓ｜≦１Ｅ１０／ｃｍ２のときを想定する。図２の（ｃ）において、太い実線の電界強度分布に相当する。このとき、終端構造領域は、主にＶＬＤ領域１７とクリップｐ層１７ｅの近傍の領域にて、印加された電圧を担う。つまり、クリップｐ層１７ｅの手前の点Ｃが最も高い電界強度を持ち、点Ｃから活性領域側（点Ａ）およびチップ外周側（点Ｄ）に向かって電界強度が減少する。この電界強度分布を横方向距離で積分した値が、印加電圧に相当する。
【００４９】
つぎに、正の外部電荷４１、すなわちＱｓｓ＞＋１Ｅ１０／ｃｍ２の外部電荷の場合を想定する。図２の（ｃ）において、細い点線の電界強度分布に相当する。この場合、ＳｉＯ２／Ｓｉ界面のＳｉ側表層は負に帯電するので、空乏層（等電位面）はチップの内周側にシフトする。一方でＶＬＤ領域１７は電界を緩和して空乏層をチップ外周側に広げる効果をもつ。そのため、クリップｐ層１７ｅにも空乏層は広がっている。このとき、クリップｐ層１７ｅの作用でクリップｐ層１７ｅ近傍（図２のＢ〜Ｃ近傍）に相補的な高電界領域が形成される。この高電界領域により、負担する電圧を低下させずに維持することが可能となる。
【００５０】
続いて負の外部電荷４２、すなわちＱｓｓ＜−１Ｅ１０／ｃｍ２の外部電荷の場合を想定する。図２の（ｃ）において、太い破線の電界強度分布に相当する。この場合、ＳｉＯ２／Ｓｉ界面のＳｉ側表層は正に帯電するので、空乏層（等電位面）はチップの外周側にシフトする。そのため、ＶＬＤ領域１７を示す区間Ａ−Ｂの電界強度はさらに小さくなるので、ＶＬＤ領域１７だけでは大きな電圧を担うことができなくなる。ここで前述のように本発明のクリップｐ層１７ｅを設けたことで、クリップｐ層１７ｅの近傍に相補的な高電界領域が形成される。さらにチャンネルストッパー層６の活性領域側手前（点Ｄ）で空乏層の広がりは止められるので、区間Ｃ−Ｄにも高電界領域が形成される。以上のように区間Ｂ−ＣおよびＣ−Ｄの高電界領域にて印加電圧を担うことができるので、負の外部電荷に対しても、耐圧を維持することが可能となる。
【００５１】
また、図２（ｂ）に、活性部の電界強度分布を模式的に示す。図２（ｂ）に示した電界強度分布図は、同じく図２（ａ）の素子断面図の左端において、点Ｍを通るように深さ方向にカットしたときの、カットラインに沿った分布である。活性領域３１において、ある電圧（Ｖ０）が印加されてアバランシェ降伏が発生するときの最大電界強度をＥｍａｘと置く。また同じく電圧（Ｖ０）が印加されたときに、正または負の外部電荷の有無を問わず終端構造領域３３の中で最大となる電界強度をＥｔｍとする。このとき、Ｅｍａｘ≧Ｅｔｍとなることが好ましい。耐圧とほぼ同じ電圧が素子に印加されると、アバランシェ降伏による電流が発生する。このアバランシェ電流は、ある１点に集中させずに、活性領域３１の全体に流れることが好ましい。なぜならば、終端構造領域３３のある１点で、活性領域３１よりも先にアバランシェ降伏が発生すると、アバランシェ電流はその１点に集中するため、場合によっては素子が破壊し、電圧を保持できなくなるためである。このような素子の破壊を回避するためには、終端構造領域３３よりも低い電圧にて活性領域３１の広い領域でアバランシェ降伏が起きるようにするとよい。換言すれば、同じ電圧（Ｖ０）が印加されているときに、Ｅｍａｘ≧Ｅｔｍとなることが好ましい。例えば本発明の場合、活性領域３１にて広く且つ一様に形成されているｐ型ベース層５にてアバランシェ降伏が生じるようにする。こうすることで、アバランシェ電流は活性領域３１の全体に且つ安定した状態で流れるようになる。その結果、終端構造領域３３への電流集中を回避することが可能となる。
【００５２】
また、一般的に前述の図４１に示すようにガードリング構造では、終端構造領域３３のチップに占める長さ（以下、エッジ長と呼ぶ）が長くなっていた。また外部電荷に対して尤度をもたせるために、さらにガードリング数を増やす必要があり、エッジ長の増加を助長していた。本発明では、このガードリング構造と類似したクリップｐ層１７ｅを、ＶＬＤ領域１７の外周側にあえて挿入している。こうすることで、むしろ上記（１）ＶＬＤ領域１７、（２）クリップｐ層１７ｅ近傍、（３）クリップｐ層１７ｅとチャンネルストッパー層６の間の３つの領域が相互に電位を分担することが可能となった。その結果、ガードリング構造よりもはるかに短い距離で、従来には無い耐電荷性を有することができるようになった。
【００５３】
本発明について、より好ましい実施の形態について説明する。
クリップｐ層１７ｅ近傍の空乏層領域について、図２（ｄ）に示す。図２（ｄ）は、図２（ａ）の点Ｃ近傍を拡大した図に、空乏層端５０を記した模式図である。ＭＯＳゲートがオフの状態でコレクタ電極１４とエミッタ電極１１との間に素子のアバランシェ耐圧に相当する電圧を印加したときを想定する。電圧を印加すると、図２（ｄ）に示すように、クリップｐ層１７ｅの内部に空乏層５３が広がる。このとき、クリップｐ層１７ｅ内部の空乏層５３の深さｍ（空乏層幅）が、クリップｐ層１７ｅの空乏化していない電荷中性領域５４の深さｎよりも大きいことが好ましい。ここで深さとは、チップ表面に垂直な方向の距離のことを言う。
【００５４】
クリップｐ層１７ｅの濃度が、全く空乏化しない程度に高い濃度であるとする。すると外部電荷によって空乏層（等電位面）がＶＬＤ領域１７の外周側にシフトする際、空乏層の広がりはクリップｐ層１７ｅで止められる。そのため、前述した図２（ｃ）のような電界強度の増加よりも極めて狭く且つ鋭い局所的な高電界点がクリップｐ層１７ｅの近傍にて発生し、アバランシェ電流が発生して耐圧が低下する。クリップｐ層１７ｅ近傍でこのようなピンポイントの局所的な高電界点が発生しないようにするには、クリップｐ層１７ｅの内部における等電位面の密度と空間勾配を小さくすればよい。そのためには、クリップｐ層１７ｅの内部に、出来るだけ空乏層５３を広げることが好ましい。クリップｐ層１７ｅの内部では、空乏層端５０の下側が空乏層５３である。点Ｄ近傍については、紙面に対して空乏層端５０の左側（活性領域３１側）が、空乏層５３である。よって図２（ｄ）に示すように、クリップｐ層１７ｅの中に広がる空乏層５３の深さｍ（空乏層幅）が、クリップｐ層１７ｅの空乏化していない電荷中性領域５４の深さｎよりも大きいことが好ましい。
【００５５】
以下、その理由をさらに詳しく説明する。クリップｐ層１７ｅが空乏化するときは、図２（ｄ）のように、表面の高濃度部分を除いて、クリップｐ層１７ｅの内部の広い範囲にわたり空乏層５３が広がっている。後述するように、アバランシェ耐圧に相当する電圧を印加したときにクリップｐ層１７ｅの空乏層５３が担っている電圧は、定格電圧の値にもよるが、例えば４０〜５０Ｖ程度である。この電位差を、クリップｐ層１７ｅの空乏層５３が担う。一方、アバランシェ降伏を起こす臨界積分濃度は、不純物濃度によらず、シリコンの場合ではおよそ１．２Ｅ１２ａｔｏｍｓ／ｃｍ２の一定値である。よって、拡散プロファイルがガウス関数に従うとして、拡散深さが１０μｍ以下であれば、空乏層端５０でのクリップｐ層１７ｅの濃度はおよそ１．０Ｅ１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ３のオーダーとなる。ここで、クリップｐ層１７ｅの拡散深さを、例えば５μｍとする。またクリップｐ層１７ｅの深さ方向の空乏層幅ｍを、クリップｐ層１７ｅの電荷中性領域５４の幅ｎと同じとなるように、２．５μｍとする。このときクリップｐ層１７ｅ内部の電界強度分布が三角形に近似できるので、電界強度の最大値（最大電界強度）は、空乏層の２次元的な曲率を考慮しない場合で、およそ５０（Ｖ）×２／２．５（μｍ）＝４．０Ｅ５  Ｖ／ｃｍとなる。実際には、クリップｐ層１７ｅとその近傍の等電位面は、チップ表面に平行な方向と深さ方向に対して２次元的に湾曲しているので、電界強度の絶対値はさらに増加する。アバランシェ降伏を起こす臨界電界強度は、空乏層中の不純物濃度にもよるが、およそ３．０Ｅ５〜４．０Ｅ５  Ｖ／ｃｍである。よって、クリップｐ層１７ｅの拡散深さが５．０μｍのときは、クリップｐ層１７ｅの空乏層幅ｍがクリップｐ層１７ｅの電荷中性領域の深さｎよりも大きければ、最大電界強度は臨界電界強度よりも小さくできる。さらに、臨界積分濃度は不純物濃度によらず一定値であるから、空乏層端５０でのクリップｐ層１７ｅの濃度も不純物濃度にそれ程よらずに、上記の１．０Ｅ１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ３のオーダーとなる。つまり、様々な定格電圧においても、この空乏層端５０でのクリップｐ層１７ｅの濃度は同じオーダーである。よって、クリップｐ層１７ｅの深さ方向の空乏層幅ｍが、クリップｐ層１７ｅの電荷中性領域の幅ｎよりも大きければ、クリップｐ層１７ｅの中で電界強度を十分吸収できるので、前述の局所的な高電界点の発生を抑えることができる。
【００５６】
また、ＶＬＤ領域１７のｐｎ接合４３の形状は、例えば図１に示すように、個々のｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄの拡散形状を反映させた波状となる。このようにすると、ＶＬＤ領域１７における電界強度の分布は、個々のｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄの底部にて高電界領域が形成され、その分だけ高い印加電圧を担うことが可能となる。
【００５７】
さらに、図４２に示すｐ型チャンネルストッパー層２２は、本発明では不要である。正の外部電荷が終端構造領域の表面に飛来すると、ｐ＋ガードリング２０ａ〜２０ｆに挟まれたｎ型の半導体基板のＳｉＯ２／Ｓｉ界面に電子蓄積層が誘起される。この電子蓄積層を、図４２ではｐ型チャンネルストッパー層２２が断ち切る。一方、本発明では、ＶＬＤ領域１７が広く設けられている。ＶＬＤ領域１７には、正の外部電荷が飛来しても電子蓄積層は形成され難い。したがって、ｐ型チャンネルストッパー層２２は本発明では不要である。
【実施例１】
【００５８】
本発明の実施例１について、図３を用いて説明する。
図３は、本発明の実施例１にかかる半導体装置の要部断面図である。基本構成である図１に示した構造との相違点は、クリップｐ層１７ｅの活性領域側手前に、ｎ型ドリフト層１よりも高濃度のクリップｎ層６ａを形成していることである。
【００５９】
前述のように終端構造領域の上面に負の外部電荷が到達すると、ＳｉＯ２／Ｓｉ界面のＳｉ側表層は正に帯電する。特に濃度の低いｎ型ドリフト層１の界面部分（図２におけるＢ‐Ｃ間のＳｉ表面）には正孔が誘起され、正孔のチャンネル層が形成される。この正孔のチャンネル層を通して前記エミッタ電極１１と前記コレクタ電極１４間にリーク電流の経路が発生し、漏れ電流の原因になる。これに対して、クリップｎ層６ａにより、正孔のチャンネル層を断ち切ることが可能となる。
【００６０】
実施例１に固有な構造パラメータは、以下の通りである。図３において、クリップｎ層６ａの幅は約２．３μｍで、拡散深さは約３．０μｍである。クリップｎ層６ａの表面濃度は９．８Ｅ２０／ｃｍ３である。
【００６１】
以下図３を用いて、実施例１についてより好ましい実施の形態を記述する。
前記クリップｐ層１７ｅは前記クリップｎ層６ａよりも深いことが好ましい。
空乏層が終端構造領域３３をチップ内周側から外周側に向かって広がるとき、空乏層はクリップｎ層６ａで止められることなく、クリップｐ層１７ｅに達することができる。
【００６２】
また、前記クリップｎ層６ａは前記クリップｐ層１７ｅと隣接していることが好ましい。
この場合には、空乏層はクリップｎ層６ａにほとんどあたることなくクリップｐ層１７ｅに達するので、クリップｎ層６ａ近傍の電界強度が緩和される。
【００６３】
また、前記クリップｐ層１７ｅの表面にはクリップフィールドプレート１５ａが形成されていることが好ましい。
この場合には、クリップｐ層１７ｅの表面の電位は、クリップフィールドプレート１５ａの領域すべてに渡って固定される。よって外部電荷の飛来による等電位面の変化をさらに小さくすることができる。
【００６４】
また、前記クリップフィールドプレート１５ａのチップ内周側に向かう方向の庇の長さＭＦＰ４ａは、前記クリップフィールドプレート１５ａのチップ外周側に向かう方向の庇の長さＭＦＰ４ｂよりも長いことが好ましい。
【００６５】
クリップｐ層１７ｅ内部の空乏層の広がりは、チップ内周側の方がチップ外周側よりも大きくなる。そのため、クリップｐ層１７ｅのチップ内周側近辺の電界強度が増加する。よって、ＭＦＰ４ａをＭＦＰ４ｂよりも長くすることで、クリップｐ層１７ｅのチップ内周側近辺の電界を緩和できる。
【００６６】
また、クリップｎ層６ａは、分離用酸化膜２もしくは層間絶縁膜８を介してクリップフィールドプレート１５ａで覆われていることが好ましい。
クリップｎ層６ａはｎ型であり且つｎ型ドリフト層１よりも高濃度である。そのため、空乏層がクリップｎ層６ａに達したとき、電界強度は極めて大きく増加する。クリップフィールドプレート１５ａの内周側端部よりも外周側にクリップｎ層６ａを形成すれば、クリップｎ層６ａは分離用酸化膜２もしくは層間絶縁膜８を介してクリップフィールドプレート１５ａで覆われる。そのため、空乏層はクリップｎ層６ａには達することが無く、前記の電界強度の増加を防止することができる。
【００６７】
また、前記ＶＬＤ領域１７の外周側のＶＬＤ端部４４は、前記エミッタ電極１１のチップ外周側のエミッタ端部４５よりも外周側にあることが好ましい。
ＶＬＤ領域１７の電界緩和は、ＶＬＤ領域１７の上面にフィードプレートを設けず、ポテンシャル（等電位面）分布を概ね均一にすることで得られる。よってエミッタ電極１１のエミッタ端部４５をＶＬＤ端部４４よりもチップ内周側に設け、ＶＬＤ領域１７上面のフィールドプレートに覆われていない部分を広くすることが好ましい。
【００６８】
また、チャンネルストッパー層６にはストッパーフィールドプレート１５が備えられ、且つ前記クリップフィールドプレート１５ａが前記ストッパーフィールドプレート１５と離間する離間領域４０を有していることが好ましい。
【００６９】
前記離間領域４０の上面において、クリップフィールドプレート１５ａとストッパーフィールドプレート１５を離間させると、等電位面が前記離間領域４０に分布するようになる。その結果、前述のように空乏層がチップ外周部にシフトしても、この離間領域４０にて電圧を担うことが可能となる。
【００７０】
なお、図１および図３では、活性端部３２のチップ外周側に、ゲートポリシリコンランナー４ｂを記載している。ここでゲートポリシリコンランナー４ｂとは、以下の構成を意味する。例えばＩＧＢＴの単位セル（ゲートとｐ型ベース層およびｎ＋エミッタ層で構成される繰り返し周期構造の単位構造のこと）に形成されているゲートポリシリコン４ａを、例えば前記単位セルが集合している領域の端部にて１つの層にまとめる。これが、ゲートポリシリコンランナー４ｂである。このゲートポリシリコンランナー４ｂと、チップ表面のゲート端子と接続するための図示しないゲートパッド領域とを接続する。このようなゲートポリシリコンランナー４ｂは公知の技術である。本発明における実施形態の説明では、終端構造領域３３の中にゲートポリシリコンランナー４ｂを含めており、ＶＬＤ領域１７をゲートポリシリコンランナー４ｂの下部からチップ外周端に向かって形成している。
ここで、ゲートポリシリコンランナー４ｂとＶＬＤ領域１７の間に、ＶＬＤ領域１７よりも高濃度のｐ型ベース層５が形成されていてもよい。つまりＶＬＤ領域１７の最内周は、ＶＬＤ領域１７の中で最もｐ型ドーパント濃度が高い所である。よってｐ型ベース層５を形成しておいても終端構造領域３３の等電位面の分布には影響が少ない。むしろ濃度が高い分、外部電荷がゲートポリシリコンランナー４ｂ近傍の電位分布に与える影響も少なくなる。
【００７１】
次に、本発明の実施例１の半導体装置について、その製造方法を説明する。なお以下の説明では、各工程を示すそれぞれの図には記載されていない箇所の符号が登場することがあるが、それは図３に記載されているものと同じである。
【００７２】
図４から図１６は、本発明の実施例１にかかる半導体装置の製造方法を示す、各工程における要部断面図である。
（図４）（ａ）ｎ型ドリフト層１の上面に厚さ１．２μｍ前後の分離用酸化膜２を、熱酸化膜または堆積膜にて形成する。（ｂ）分離用酸化膜２の上にフォトレジスト１９を塗布し、フォトリソグラフィを実施する。
【００７３】
（図５）（ａ）続いてフォトレジスト１９をそのまま利用して、ｎ型ドリフト層１が露出するまで、分離用酸化膜２をウェット等方性エッチングまたはドライ異方性エッチングにより除去する。（ｂ）その後、フォトレジスト１９を除去しウェハーを洗浄する。（ｃ）続いて、熱酸化を行い表面に約５０ｎｍのスクリーン酸化膜２７を形成する。（ｄ）続いてウェハー全面に再びフォトレジスト１９を塗布し、フォトリソグラフィを実施する。（ｅ）その後、硼素イオンを加速エネルギー４５ｋｅＶ、ドーズ量３Ｅ１２／ｃｍ２にて注入する。その後、フォトレジスト１９を除去し、ウェハーを洗浄する。
【００７４】
（図６）（ａ）続いて、窒素雰囲気で１１００度℃、５時間のドライブインを行った後、ｎ型ドリフト層１の表面で約６００ｎｍの熱酸化膜領域２ａを１１５０℃のパイロジェニック酸化で形成する。それらの熱バッジェトで硼素が拡散されて、ＶＬＤ領域１７のｐ型拡散層１７ａ〜１７dとクリップｐ層１７ｅが形成される。前記のドーズ量（３Ｅ１２／ｃｍ２）の場合、この段階でクリップｐ層１７ｅの表面濃度は約１Ｅ１６／ｃｍ３、接合深さは５〜６μｍ程度となる。その結果、例えば図１の素子に耐圧程度の電圧が印加されたときにクリップｐ層１７ｅの内部に広がる空乏層の深さは、以下の通りである。前記のクリップｐ層１７ｅの表面濃度および接合深さのとき、図２（ｄ）に示したようなクリップｐ層１７ｅの内部に広がる空乏層の深さｍは約４μｍであった。つまり、素子表面からクリップｐ層１７ｅに残っている電荷中性領域（つまり空乏化していない領域）の深さｎは約１〜２μｍとなった。よって、クリップｐ層１７ｅの内部に広がる空乏層幅ｍの方が、前記電荷中性領域の深さｎよりも大きくなった。
【００７５】
（ｂ）その後、ウェハー全面にフォトレジスト１９を塗布し、フォトリソグラフィを実施して、トレンチエッチングのマスクとなる熱酸化膜領域２ａを選択エッチングするためのレジストをパターニングしてレジスト開口部４７ａを形成する。（ｃ）続いて酸化膜異方性エッチングを行いレジスト開口部４７ａの酸化膜を除去する。（ｄ）次にフォトレジスト１９を除去する。
【００７６】
（図７）（ａ）分離用酸化膜２と熱酸化膜領域２ａをマスクとしてシリコン異方性エッチングを実施し、トレンチ５２を形成する。トレンチの深さはデバイスの設計にもよるが、本実施例では５μｍである。さらに等方性のＣｈｅｍｉｃａｌ ｄｒｙ ｅｔｃｈｉｎｇ(ＣＤＥ)を行ってもよい。（ｂ）ウェハーの洗浄を行ってから、トレンチエッチングダメージを除去するために犠牲酸化をし、犠牲酸化膜２ｂを形成する。（ｃ）続いて酸化膜エッチングで犠牲酸化膜２ｂを除去し、ウェハーを洗浄する。（ｄ）続いてゲート酸化膜３を熱酸化もしくは堆積、あるいはそれらの組み合わせにより形成する。ゲート酸化膜３の厚さは、デバイスの設計にもよるが、本実施例では１００ｎｍとする。
【００７７】
（図８）トレンチを完全に充填するようにウェハー表面でドープドポリシリコンを堆積する。その後フォトリソグラフィを実施し、異方性または等方性のドライエッチングにてポリシリコンをエッチングして、トレンチゲートのゲートポリシリコン４ａとゲートポリシリコンランナー４ｂを形成する。そしてフォトレジスト１９を除去し、ウェハーを洗浄する。
【００７８】
（図９）（ａ）その後、ウェハー全面にフォトレジスト１９を塗布し、フォトリソグラフィを実施しレジスト開口部４７ｂを形成してから、（ｂ）フォトレジスト１９をマスクに硼素イオン注入を実施する。イオン注入の条件はデバイスの設計にも依存するが、たとえば、１００ｋｅＶ、２．５Ｅ１３／ｃｍ２とする。（ｃ）その後、フォトレジスト１９を除去し、ウェハーを洗浄する。（ｄ）ここで、以降の工程にてクリップｎ層６ａ、ｎ＋エミッタ層６ｂ、コンタクト用のｐ＋領域７、７ａ〜７ｄを形成し易くするために、ウエットエッチングでウェハー表面の酸化膜厚さを薄くしておく。
【００７９】
（図１０）（ａ）続いて、図９（ｂ）で注入した硼素イオンの拡散を非活性雰囲気にて実施し、ｐ型ベース層５を形成する。ｐ型ベース層５の拡散に必要な熱バッジェトはデバイスの設計にも依存するが、たとえば、１１００℃、２２０分、窒素雰囲気とする。（ｂ）続いてウェハー全面にフォトレジスト１９を塗布し、フォトリソグラフィを実施し、レジストをパターニングしてレジスト開口部４７ｃを形成する。（ｃ）その後、砒素イオン注入を実施する。砒素イオン注入の条件は素子の設計にも依存するが、たとえば、２０ｋｅＶ，４〜５Ｅ１５／ｃｍ２とする。（ｄ）その後、フォトレジスト１９を除去してウェハーを洗浄する。（ｅ）その後熱処理にて（ｃ）で注入した砒素イオンを活性化してｎ＋エミッタ層６ｂ、チャンネルストッパー層６、およびクリップｎ層６ａを形成する。前記熱処理の熱バッジェトの一例としては、窒素雰囲気、１１００℃、３０分である。
【００８０】
（図１１）（ａ）フォトリソグラフィを行い、フォトレジスト１９をパターニングし、レジスト開口部４７を形成する。（ｂ）続いて、硼素のイオン注入を実施する。その条件はデバイスの設計にも依存するが、たとえば、１５０ｋｅＶ、２〜３Ｅ１５／ｃｍ２とする。
【００８１】
（図１２）（ａ）続いてフォトレジストを除去してウェハーを洗浄する。（ｂ）その後例えば９７０℃３０分にて熱処理を行い、図１１（ｂ）で注入された硼素が活性化され、ｐ＋領域７、７ａ、７ｂ、７ｄが形成される。
【００８２】
（図１３）（ａ）ウェハーの上面に層間絶縁膜８を堆積する。層間絶縁膜８はたとえば、高温の気相化学成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＣＶＤ）酸化膜（ＨＴＯ）とボロン・リンシリケートガラス（ＢＰＳＧ）膜の複合膜にする。層間絶縁膜８の厚さの一例として、たとえば、ＨＴＯの厚さは２００ｎｍとし、ＢＰＳＧの厚さは１０００ｎｍとする。続いて、９７０℃、２０分、窒素雰囲気で上記複合膜をアニーリングする。（ｂ）フォトリソグラフィを実施してフォトレジスト１９をパターニングし、レジスト開口部４７ｄを形成する。（ｃ）続いて異方性エッチングによりレジスト開口部４７ｄの層間絶縁膜８をエッチングし、後に形成する電極と下地のシリコンとのコンタクト部を開口する。（ｄ）そしてフォトレジスト１９を除去し、ウェハーを洗浄する。
【００８３】
（図１４）（ａ）ウェハーの表面にバックグラインディングテープ１８を貼り付け、ウェハーの裏面に対して化学機械研磨４８（Ｃｈｅｍｉｃａｌ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｐｏｌｓｈｉｎｇ， ＣＭＰ）を施し、ウェハーを薄くする。（ｂ）続いてウェハーの裏面にｎ型フィールドストップ層９を形成するためのｎ型ドーパントイオン（リン、セレン、水素等）を注入する。イオン注入のドーズ、加速エネルギーは適宜選択する。続いてｐ型コレクタ層１０を形成するために硼素イオン注入を実施する。硼素イオン注入のドーズ、加速エネルギーは適宜選択する。（ｃ）その後、前記バックグラインディングテープ１８を外し、熱ドライブまたはレーザアニールにてｎ型フィールドストップ層９とｐ型コレクタ層１０を活性化する。熱ドライブの場合、熱バッジェトの一例として９５０℃、３０分、窒素雰囲気とする。
【００８４】
（図１５）続いて図示しないが、ウェハーを洗浄してウットエッチングでコンタクト底面の自然酸化膜を除去する。（ａ）その後ウェハーの表面に、バリアーメタル（例えばＴｉ／ＴｉＮ  ２００ｎｍ／５０ｎｍ）をスパッタしてから、Ａｌ・Ｓｉ電極材をスパッタし、エミッタ電極１１用の金属膜４９を形成する。なおバリアーメタルは無くても構わない。または図示しないが必要に応じて、バリアーメタルを形成した後、タングステン膜をＣＶＤ法にて堆積して、エッチバックまたはＣＭＰによりコンタクトホールにタングステン・プラグを形成してから、Ａｌ・Ｓｉの電極材をスパッタして表面の電極層を形成してもよい。（ｂ）続いてフォトリソグラフィを行い、フォトレジスト１９をパターニングしてレジスト開口部４７ｅを形成する。（ｃ）続いてエッチングを実施してレジスト開口部４７ｅの金属膜４９を除去し、エミッタ電極１１とクリップフィールドプレート１５ａ、ストッパーフィールドプレート１５を形成する。その後、フォトレジスト１９を除去する。
【００８５】
（図１６）ウェハー表面に、組成がＳｉ３Ｎ４に近いシリコン窒化膜を、膜厚が３００ｎｍ程度になるように形成し、パシベーション膜１３とする。あるいはシリコン窒化膜とは別に、宇宙線劣化を抑制するポリイミド膜を厚さ２８μｍにて形成してもよい。フォトリソグラフィとエッチング工程を経て、エミッタ電極１１と図示しないゲート電極のパッドを形成する。最後に、ウェハーの裏面にＡｌ・Ｓｉ電極材と、パッケージとの良好な半田付けに必要なＴｉ／Ｎｉ／Ａｕ等をスパッタリングにより形成し、コレクタ電極１４として図３に示す終端構造を完成する。
【００８６】
なお、ＶＬＤ領域の形成にあたり、前述の図５における硼素イオン注入のドーズ量は、同じく図９におけるｐ型ベース層５の形成のための硼素イオン注入のドーズ量よりも、小さいことが好ましい。ｐ型ベース層５のドーズ量よりもＶＬＤ領域のドーズ量の方が大きいとすると、空乏層がｐ型ベース層５からチップ外周側に向かってＶＬＤ領域１７の中を広がるときに、ＶＬＤ領域１７の濃度の方が高いと、空乏層が広がり難くなる。すると前述の本発明の作用である、３領域（（１）ＶＬＤ領域１７、（２）クリップｐ層１７ｅの近傍、（３）クリップｐ層１７ｅとチャンネルストッパー層６の間）での電位の相互分担が出来なくなる。ＶＬＤ領域では、空乏層が外周側に容易に広がるようにすることが必要であるから、ＶＬＤ領域の硼素ドーズ量はｐ型ベース層５の硼素ドーズ量よりも小さいことが好ましい。また、ＶＬＤ領域の硼素ドーズ量をｐ型ベース層５の硼素ドーズ量よりも小さくすると、当然アクセプタ濃度の高いｐ型ベース層５の濃度がＶＬＤ領域よりも高くなる。すると、ｐ型ベース層５の方がＶＬＤ領域よりも低い電圧においてアバランシェ降伏が生じる。その結果、図２を用いて前述したように、活性領域３１の方にアバランシェ電流が流れるようになる。よって、終端構造領域３３への電流集中を回避することができる。
【００８７】
次に、本発明の実施例１の製造方法について、変形例を説明する。
図１７から図２１は、本発明の実施例１における製造方法における変形例について、各工程における要部断面を示した図である。前述の図４および図５の工程では、ＶＬＤ領域１７形成の硼素イオン注入は１回であった。それを本変形例では、複数回に分けたことが相違点である。まず図４（ａ）から図５（ｃ）までの工程を実行する。
【００８８】
（図１７）（ａ）続いてウェハー全面に再びフォトレジスト１９を塗布し、フォトリソグラフィを実施する。このとき、図３のｐ型拡散層１７ａとクリップｐ層１７ｅの形成予定領域のみ開口するようにパターニングする。（ｂ）その後、硼素イオンを４５ｋｅＶ、１Ｅ１２／ｃｍ２で注入する。この硼素イオン注入では、図３のｐ型拡散層１７ａの部分にイオン注入をしたことになる。（ｃ）その後、フォトレジスト１９を除去し、ウェハーを洗浄する。
【００８９】
（図１８）（ａ）続いて、ウェハー全面に再びフォトレジスト１９を塗布し、フォトリソグラフィを実施する。このとき、図３のｐ型拡散層１７ｂの形成予定領域のみ開口するようにパターニングし、イオン注入開口部５１ａを形成する。（ｂ）その後、硼素イオンを４５ｋｅＶ、１Ｅ１２／ｃｍ２で注入する。この硼素イオン注入では、図３のｐ型拡散層１７ｂの部分にイオン注入をしたことになる。（ｃ）その後、フォトレジスト１９を除去し、ウェハーを洗浄する。
【００９０】
（図１９）（ａ）続いて、ウェハー全面に再びフォトレジスト１９を塗布し、フォトリソグラフィを実施する。このとき、図３のｐ型拡散層１７ｃの形成予定領域のみ開口するようにパターニングし、イオン注入開口部５１ｂを形成する。（ｂ）その後、硼素イオンを４５ｋｅＶ、０．５Ｅ１２／ｃｍ２で注入する。この硼素イオン注入では、図３のｐ型拡散層１７ｃの部分にイオン注入をしたことになる。（ｃ）その後、フォトレジスト１９を除去し、ウェハーを洗浄する。
【００９１】
（図２０）（ａ）続いて、ウェハー全面に再びフォトレジスト１９を塗布し、フォトリソグラフィを実施する。このとき、図３のｐ型拡散層１７ｄの形成予定領域のみ開口するようにパターニングし、イオン注入開口部５１ｃを形成する。（ｂ）その後、硼素イオン４５ｋｅＶ、０．５Ｅ１２／ｃｍ２で注入する。この硼素イオン注入では、図３のｐ型拡散層１７ｄの部分にイオン注入をしたことになる。（ｃ）その後、フォトレジスト１９を除去し、ウェハーを洗浄する。
【００９２】
（図２１）続いて、窒素雰囲気で１１００度℃、５時間のドライブインを行った後、ｎ型ドリフト層１の表面で約６００ｎｍの熱酸化膜領域２ａを１１５０℃の周知のパイロジェニック酸化で形成する。これらのドライブインとパイロジェニック酸化の熱バッジェトにより、ＶＬＤ領域のｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄとクリップｐ層１７ｅが形成される。以降の製造プロセスは、図６（ｂ）以降と同じ手続きを踏めばよい。
【００９３】
本変形例では、複数回（４回）に硼素イオン注入を分けた。そのため、正確にはＶＬＤ領域の平均的な濃度分布は、図４〜図１６の処理結果とは若干異なるが、総ドーズ量は同じであり、電界緩和と電位分担の機能は同じである。また、イオン注入の回数は本実施例の４回に限る必要はない。このようにＶＬＤ領域の形成のために、硼素イオン注入を複数回に分けると、マスク工程の工程数は増えるものの、電界緩和と電位分担の機能を細かくチューニングすることが可能となる。
【００９４】
図２２は、実施例１と従来例における耐圧の表面電荷依存性を示したグラフである。従来例のＶＬＤ領域のみの構造では、負の電荷、特に−０．９Ｅ１２／ｃｍ２以下で耐圧が１２００Ｖ以下に低下していることが分かる。これは、従来例でＱｓｓが−０．９Ｅ１２／ｃｍ２以下の場合、空乏層がチャンネルストッパー層にパンチスルーするのと、空乏層のチップ外周側のシフトにより終端構造領域３３で電圧を担うことができなくなるからである。
【００９５】
一方、実施例１の場合、−１．２Ｅ１２／ｃｍ２まで耐圧を１３００Ｖ以上に高く維持できている。
図２３は、実施例１と従来例について、デバイス降伏時（アバランシェ耐圧）のＳｉＯ２／Ｓｉ界面のＳｉ表面での電界強度分布である。Ｑｓｓは−１．０Ｅ１２／ｃｍ２である。従来例ではチャンネルストッパー層６の内側近辺が最大電界強度になり、ＶＬＤ領域に向かって減少する。一方、実施例１の場合、クリップｐ層１７ｅからＶＬＤ領域までの区間において電界強度が増加している。しかもその分布は横方向距離に対して一様である。さらに、負の外部電荷で空乏層がチップ外周側にシフトしやすいにも関わらず、ＶＬＤ領域の電界強度が従来例よりも高くなっている。つまり前述のように、クリップｐ層１７ｅの形成により、（１）ＶＬＤ領域１７、（２）クリップｐ層１７ｅの近傍、（３）クリップｐ層１７ｅとチャンネルストッパー層６、の３領域の間で、相互に電位を分担した結果である。
【実施例２】
【００９６】
本発明の実施例２にかかる半導体装置について、図２４を用いて説明する。
図２４は、本発明の実施例２にかかる半導体装置の要部断面図である。実施例２における実施例１（図３）との相違点は、ＶＬＤ領域１７のｐ型拡散層１７ｄのチップ外周側に、ｎ型ドリフト層１よりも高濃度の表面ｐ型フィールド層１６ａを設けたことである。この表面ｐ型フィールド層１６ａは、ｐ型拡散層１７ｄおよびクリップｐ層１７ｅもしくはクリップｎ層６ａとは離間している。
【００９７】
表面ｐ型フィールド層１６ａのＳｉＯ２／Ｓｉ界面に沿う方向の長さＬは３０μｍである。表面ｐ型フィールド層１６ａのドーズ量は５．４Ｅ１１／ｃｍ２である。ｎ型ドリフト層１の濃度が９Ｅ１３／ｃｍ３の場合、表面ｐ型フィールド層１６ａのドーズ量は、好ましくは５〜８Ｅ１１／ｃｍ２の範囲にある。表面ｐ型フィールド層１６ａは、ｐ型拡散層１７ｄとは約９．３μｍ離れている。
【００９８】
外部電荷が負のとき、終端構造領域３３のＳｉ表面は正に帯電し、空乏層がチップ外周側にシフトする。特にｎ型ドリフト層１の濃度が小さいとき（例えば６Ｅ１３／ｃｍ３以下）、終端構造領域３３におけるｎ型ドリフト層１の表面にて空間電荷密度の絶対値が一層減少するので、空乏層は容易に広がるようになる。そのため、空乏層はクリップｐ層１７ｅを越えてｎ型のチャンネルストッパー層６にパンチスルーしやすくなる。パンチスルーにより、ＳｉＯ２／Ｓｉ界面には電子の蓄積層チャンネルが形成される。その結果リーク電流が増加するか、もしくは空間電荷密度の変化により耐圧が減少する。そのため、このｎ型ドリフト層１よりも高濃度の表面ｐ型フィールド層１６ａを形成することで、空乏層の広がりを抑制するほか、電子の蓄積層チャンネルを断つ効果を奏する。
【実施例３】
【００９９】
本発明の実施例３にかかる半導体装置について、図２５を用いて説明する。
図２５は、本発明の実施例３にかかる半導体装置の要部断面図である。実施例３における実施例２（図２４）との相違点は、図２４の表面ｐ型フィールド層１６ａについて、ピーク濃度の位置をチップ表面からｎ型ドリフト層１の内部にシフトさせて、いわゆる埋め込み層と変更したことである。この埋め込み層を、埋め込みｐ型フィールド層１６ｂと呼ぶことにする。この埋め込みｐ型フィールド層１６ｂは、ｐ型拡散層１７ｄおよびクリップｐ層１７ｅもしくはクリップｎ層６ａとは離間している。図２９は、実施例２の表面ｐ型フィールド層１６ａおよび実施例３の埋め込みｐ型フィールド層１６ｂの深さ方向におけるドーピング濃度分布を示したグラフである。実施例３については、埋め込みｐ型フィールド層１６ｂピーク濃度が７．５Ｅ１５／ｃｍ３の方を「構造３−ａ」とする。構造３−ａの埋め込みｐ型フィールド層１６ｂのドーズ量は７．３Ｅ１１／ｃｍ２である。一方、ピーク濃度が１Ｅ１６／ｃｍ３の埋め込みｐ型フィールド層１６ｂの方を、「構造３−ｂ」とする。ドーズ量は９．８Ｅ１１／ｃｍ２である。構造３−ａおよび構造３−ｂのいずれも、埋め込みｐ型フィールド層１６ｂは、ｐ型拡散層１７ｄと約９．３μｍ離れている。
【０１００】
構造３−ａの埋め込みｐ型フィールド層１６ｂは、実施例２の表面ｐ型フィールド層１６ａに比べて、負の外部電荷に対して、空乏層の広がりを抑える効果が大きくなる。つまり、活性領域側から終端構造領域の表面付近を横方向に広がる空乏層は、最も濃度の高い位置が表面から深くなると、等電位面がより大きく湾曲するようになる。電界強度が等電位面の空間勾配に比例し、且つ電界強度がポアソンの式（ｄｉｖＥ＝ρ、Ｅは電界強度、ρは電荷密度）に従うから、埋め込みｐ型フィールド層１６ｂの近傍の電界強度は大きくなり、より大きな電圧を担うことが可能となる。
【０１０１】
次に、本発明の実施例２もしくは３の半導体装置について、その製造方法を説明する。実施例２の製造方法は、主に２通りある。一つは、図２６に示すように、実施例１におけるＶＬＤ領域のイオン注入工程で、表面ｐ型フィールド層１６ａの形成領域にもレジストの開口部３５ａを形成して硼素をイオン注入する方法である。この方法により、ＶＬＤ領域と同様の濃度分布にて表面ｐ型フィールド層１６ａが形成される。２つ目は、以下の通りである。まずコンタクト用のｐ＋領域７等を形成した後に、図２７（ａ）にて示すように、レジストを塗布してフォトリソグラフ法を行い、表面ｐ型フィールド層１６ａの形成予定領域のみレジストを開口させた開口部３５ｂを形成する。続いて図２７（ｂ）のようにエッチングにて分離用酸化膜２を開口する。そして図２７（ｃ）に示すように追加の硼素イオン注入を行った後フォトレジスト１９を除去する。続いて図２７（ｄ）に示すように、９５０℃３０分程度の熱処理を行い、表面ｐ型フィールド層１６ａを形成する方法である。構造３−ａあるいは構造３−ｂの製造方法についても、実施例２の製造方法と同様である。特に埋め込みｐ型フィールド層１６ｂの場合、埋め込みｐ型フィールド層１６ｂのピーク濃度の位置が深いため、前述の２つ目の方法の方が、単独で埋め込みｐ型フィールド層１６ｂを形成することが可能となる。例えば硼素のイオン注入の加速エネルギーを、例えば１００ｋｅＶ以上で２．３ＭｅＶ以下の範囲にすれば、埋め込み層の形成が可能である。
【０１０２】
図２８は、実施例２、実施例３（構造３−ａ、構造３−ｂ）および実施例１について、耐圧の表面電荷依存性を示したグラフでる。実施例１は、図２２にて示したように従来例よりは耐圧の表面電荷依存性が改善しているものの、−０．５Ｅ１２／ｃｍ２では１１００Ｖまで耐圧が減少している。一方、実施例２のように表面ｐ型フィールド層１６ａを設けることで、前述の作用の結果、同電荷で１２００Ｖ以上の耐圧を示すようになった。また埋め込みｐ型フィールド層１６ｂの場合、ドーズ量が７．３Ｅ１１／ｃｍ２では−０．８Ｅ１２／ｃｍ２以下で耐圧が減少しているものの、ドーズ量を高くして９．８Ｅ１１／ｃｍ２とすることで耐圧の低下を抑えることができた。
【０１０３】
図３０に、実施例２と構造３−ａのアバランシェ降伏時における静電ポテンシャル（等電位面）分布を示す。それぞれ図３０（ａ）が実施例２、図３０（ｂ）が構造３−ａの場合である。Ｑｓｓは−７．５Ｅ１１／ｃｍ２である。等電位面の間隔は、４３．３Ｖである。実施例２と構造３−ａの間の等電位面分布の相違点は、表面（図の上側）の太い破線で囲ったｐ型フィールド層近傍に見られる。すなわち構造３−ａの方が、より深い位置で等電位面を湾曲させていることがわかる。この湾曲が、電界強度を増加させ、高い電圧を担うことを可能にしている。
【０１０４】
なお、実施例２と構造３−ａいずれの場合も、クリップｐ層は２本の等電位面に挟まれていることが分かる。つまりクリップｐ層が担っている電圧は、およそ上記の等電位面の間隔であり、４０〜５０Ｖである。
【実施例４】
【０１０５】
本発明の実施例４にかかる半導体装置について、図３１を用いて説明する。
図３１は、本発明の実施例４にかかる半導体装置の要部断面図である。実施例４の実施例１（図３）との相違点は、以下の通りである。ｐ型拡散層１７ｂの表面に形成された分離用酸化膜２および層間絶縁膜８を、紙面の奥行きの方向（以下、長手方向と呼ぶことにする）において部分的に複数開口し、開口部３５ｃを形成する。そして開口部３５ｃに、新たにＶＬＤフィールドプレート１１ａをコンタクト用のｐ＋領域７ｃとともに設ける。ＶＬＤフィールドプレート１１ａのチップ外周側の庇の長さをＭＦ３ｂとする。
【０１０６】
長手方向において隣り合う開口部３５ｃの間隔は、チップ内周側から外周側に向かう方向における開口部３５ｃの幅よりも１６倍以上あることが好ましい。たとえば、開口部３５ｃの長さが６μｍの場合、開口部３５ｃの長手方向の間隔は１００μｍ以上であることが好ましい。負の外部電荷の飛来によりＳｉＯ２／Ｓｉ界面の電荷が正に帯電した場合、ＶＬＤ領域１７に広がる空乏層は、ｐ＋領域７ｃまで延びてくる。このとき、ｐ＋領域７ｃの場所では空乏層の伸びが阻害される。したがって、もし長手方向の全域にｐ＋領域７ｃがある場合、特異な高電界領域がｐ＋領域７ｃ近傍に発生するため、耐圧は低下する。そこで、ｐ＋領域７ｃを部分的に配置することで、長手方向にて隣り合うｐ＋領域７ｃに挟まれた箇所では、空乏層伸びは確保される。よって耐圧の低下を抑えることができる。
【０１０７】
さらに長手方向で隣り合うｐ＋領域７ｃの間の層間絶縁膜８の上に、ｐ＋領域７ｃに接続されたＶＬＤフィールドプレート１１ａが、ｐ＋領域７ｃに対応して部分的に点在することも特徴である。このＶＬＤフィールドプレート１１ａにより、チップの表面において、ｐ＋領域７ｃとｐ型拡散層１７ｃおよびｎ型ドリフト層１の間の電界強度が若干増加し、耐圧が増加する。またその向上された耐圧分に応じて、ＶＬＤ領域１７の長さを短縮できる。つまり部分的なＶＬＤフィールドプレート１１ａの形成の目的は、正の外部電荷の飛来に対して、ＶＬＤ領域１７の内部にて電界強度を若干増加させ、なお且つ電界強度の増加が強すぎないようにチップ外周側へ電界強度を緩和させることで、耐圧を向上させてＶＬＤ領域１７の長さを短縮することである。
【０１０８】
本実施例デバイスのプロセスフローは、実施例１のプロセスフローと同一である。ｐ＋領域７、７ａ、７ｂの形成と同時にｐ＋領域７ｃを形成する。層間絶縁膜８に、コンタクトの形成と同時にｐ＋領域７ｃへのコンタクトを形成する。エミッタ電極１１およびストッパーフィールドプレート１５，クリップフィールドプレート１５ａと同時にＶＬＤフィールドプレート１１ａを形成する。
【０１０９】
図３２は、実施例４について、耐圧の表面電荷依存性を示したグラフである。ｎ型ドリフト層１の濃度は６Ｅ１３／ｃｍ３である。図３２の凡例における「Ｄ８Ｃ４Ｂ８」は、ＶＬＤ領域のｐ型拡散層１７ｄが８個、ｐ型拡散層１７ｃが４個、ｐ型拡散層１７ｂが８個であることを示す。ＶＬＤフィールドプレート１１ａとｐ＋領域７ｃの追加を除いた他のパラメータは実施例１と同一である。  凡例の「Ｄ８Ｃ４Ｂ６」はＶＬＤ領域のｐ型拡散層１７ｄが８個、ｐ型拡散層１７ｃが４個、ｐ型拡散層１７ｂがＤ８Ｃ４Ｂ８よりも２個少なく、６個である。ＶＬＤ領域の構成、およびＶＬＤフィールドプレート１１ａと７ｃの追加を除いた構成は、実施例１と同一である。ＶＬＤフィールドプレート１１ａの長さを、ｐ＋領域７ｃのチップ外周側にてｐ＋領域７ｃと隣接する分離用酸化膜２の中心から、ＶＬＤフィールドプレート１１ａのチップ外周側端部までの距離、ＭＦＰ３ｂとし、値を５μｍとした。
【０１１０】
図３２から、正の外部電荷が１Ｅ１２／ｃｍ２のときには、ＶＬＤフィールドプレート１１ａとｐ＋領域７ｃを設けることにより、Ｄ８Ｃ４Ｂ８の素子は５８Ｖ、Ｄ８Ｃ４Ｂ６の素子は１６０Ｖ、耐圧が高くなる。
【０１１１】
ＶＬＤフィールドプレート１１ａとｐ＋領域７ｃを有するＤ８Ｃ４Ｂ６の方にて耐圧増加分が大きい理由は、以下のとおりである。Ｄ８Ｃ４Ｂ８では、ｐ＋領域７ｃとｐ＋領域７ｂの間に、６個のｐ型拡散層１７ｂがある。ここで、チップ表面のｐ型拡散層１７ｃのチップ外周側端部からｐ型拡散層１７ｄのチップ外周側端部までの距離は９３．３μｍである。一方、ＶＬＤフィールドプレート１１ａとｐ＋領域７ｃを有するＤ８Ｃ４Ｂ６では、ｐ＋領域７ｃとｐ＋領域７ｂの間に、４個のｐ型拡散層１７ｂがある。チップ表面のｐ＋領域７ｃのチップ外周側端部からｐ型拡散層１７ｄのチップ外周側端部までの距離は９３．３μｍである。つまり、ＶＬＤフィールドプレート１１ａとｐ＋領域７ｃを有する素子においては、前述の作用効果により、Ｄ８Ｃ４Ｂ６の素子はＤ８Ｃ４Ｂ８素子の耐圧と近くなる。その結果、ｐ型拡散層１７ｂの個数を二つ減少しても耐圧を維持することができるので、終端構造領域の長さも、約２５μｍも短くすることができる。
【実施例５】
【０１１２】
本発明の実施例５にかかる半導体装置について、図３３を用いて説明する。
図３３は、本発明の実施例５にかかる半導体装置の要部断面図である。実施例５の特徴は、埋め込みｐ型フィールド層１６ｂを有する実施例３（図２５）において、実施例４（図３１）に示したＶＬＤフィールドプレート１１ａを設けたことである。なお実施例３ではなく、表面ｐ型フィールド層１６ａを有する実施例２（図２４）においてＶＬＤフィールドプレート１１ａを設けても、勿論構わない。実施例５の製造は、実施例４のプロセスフローに実施例２、あるいは実施例３のプロセスフローを組み込むことで容易に形成できる。
【０１１３】
図３４は、実施例５について、耐圧の表面電荷依存性を示したグラフでる。ｎ型ドリフト層１の濃度は９Ｅ１３／ｃｍ-３である。凡例内の表示であるＤ８Ｃ４Ｂ８およびＤ８Ｃ４Ｂ６については、実施例４と同じである。
図３４から、正の外部電荷が１Ｅ１２／ｃｍ-２のときには、ＶＬＤフィールドプレート１１ａとｐ＋領域７ｃを設けることにより、Ｄ８Ｃ４Ｂ８の素子は５８Ｖ、Ｄ８Ｃ４Ｂ６の素子は５５Ｖ、耐圧が高くなる。
【０１１４】
ＶＬＤフィールドプレート１１ａとｐ＋領域７ｃを有するＤ８Ｃ４Ｂ６の耐圧増加分が大きい理由は、以下のとおりである。Ｄ８Ｃ４Ｂ８では、ｐ＋領域７ｃとｐ＋領域７ｂの間に、６個のｐ型拡散層１７ｂがある。一方、ＶＬＤフィールドプレート１１ａとｐ＋領域７ｃを有するＤ８Ｃ４Ｂ６では、ｐ＋領域７ｃとｐ＋領域７ｂの間に、４個のｐ型拡散層１７ｂがある。チップ表面のｐ＋領域７ｃのチップ外周側端部からｐ型拡散層１７ｄのチップ外周側端部までの距離は、いずれも９３．３μｍである。
【０１１５】
つまり、ＶＬＤフィールドプレート１１ａとｐ＋領域７ｃを有する素子においては、前述の作用効果により、Ｄ８Ｃ４Ｂ６の素子はＤ８Ｃ４Ｂ８素子の耐圧と近くなる。その結果、ｐ型拡散層１７ｂの個数を二つ減少しても耐圧を維持することができるので、終端構造領域の長さも、約２５μｍも短くすることができる。
【実施例６】
【０１１６】
本発明の実施例６にかかる半導体装置について、図３５を用いて説明する。
図３５は、本発明の実施例６にかかる半導体装置の要部断面図である。実施例６における実施例１（図３）との相違点は、ＶＬＤ領域１７のｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄのｐｎ接合面が実施例１に示すように波状ではなく、広く重なり合い、包絡線２８を形成していることである。この包絡線２８は、イオン注入時のフォトレジスト開口部を実施例１などにおける開口部の幅よりも狭めるか、あるいは（図１における）互いに隣接する横方向拡散部分３４の重なりが広くなるよう熱拡散の熱バジェットを高くすると良い。熱バジェットは周知の方法において、例えば最大温度を５０〜１００℃増加させるか、拡散時間を数時間増加させればよい。あるいは、後述するように、ＶＬＤ領域１７のための硼素イオン注入において、厚さにテーパー（山の斜面のようなスロープ形状）を持たせた酸化膜を通してイオン注入する方法によっても得られる。
【０１１７】
このようにすると、アクセプタの濃度分布がさらに滑らかになり、ＶＬＤ領域の空乏層は一層広がりやすくなる。
【実施例７】
【０１１８】
本発明の実施例７にかかる半導体装置について、図３６および図３７を用いて説明する。
図３６および図３７は、本発明の実施例７にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。実施例７における実施例１との相違点は、図５（ｃ）におけるスクリーン酸化膜２７に、厚さの分布を持たせたことである。つまり、例えば図３５におけるＶＬＤ領域１７の中で最も濃度の高い部分をｐ型拡散層１７ａおよび１７ｂとする。これらのｐ型拡散層１７ａおよび１７ｂを形成する領域のスクリーン酸化膜２７ａの厚さは、実施例１と同じとする。次に濃度の高いｐ型拡散層を１７ｃの部分を形成する部分のスクリーン酸化膜２７ｂの厚さを、さらに厚くする。最も濃度の低いｐ型拡散層１７ｄの部分を形成する部分のスクリーン酸化膜２７ｃの厚さを、最も厚くする。このようにすると、図３６に示すような複数の厚さを持つスクリーン酸化膜２７ａ〜２７ｃが形成される。そして同じく図３６に示すように、硼素をイオン注入する。このとき、スクリーン酸化膜の厚さが厚いほど、イオン注入された硼素のシリコン表面からの飛程が浅くなる。その後のドライブイン工程により、図３７に示すようなｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄにて構成されるＶＬＤ領域１７とクリップｐ層１７ｅが形成される。
【実施例８】
【０１１９】
本発明の実施例８にかかる半導体装置について、図３８および図３９を用いて説明する。
図３８および図３９は、本発明の実施例８にかかる半導体装置の製造工程を示す要部断面図である。実施例８における実施例１との相違点は、図５における分離用酸化膜２に、厚さの分布を持たせたことである。
【０１２０】
（図３８）（ａ）ｎ型ドリフト層１の表面に熱酸化にて形成した分離用酸化膜２の上面に、フォトリソグラフィを実施する。（ｂ）フォトレジスト１９をマスクに、ＶＬＤ領域を形成する予定の領域に、分離用酸化膜２の表面にダメージを与えるための砒素をイオン注入する。砒素のイオン注入の条件は、例えばドーズ量が１Ｅ１５ａｔｏｍｓ／ｃｍ２、加速エネルギーが４０ｋｅＶである。勿論、加速エネルギーと分離用酸化膜２の厚さとの関係は、注入された砒素イオンがｎ型ドリフト層１に到達せず、しかも分離用酸化膜２の表面に飛程がくるような範囲の条件とする。（ｃ）続いてフォトレジスト１９を除去し、再度、分離用酸化膜２の上面にフォトレジスト１９を塗布し、フォトリソグラフ法によりパターニングする。（ｄ）続いてフォトレジスト１９をマスクとして、ウェットエッチングにて分離用酸化膜２をエッチングする。そのとき、（ｂ）にてダメージを与えた領域のみ、分離用酸化膜２の上面のエッチングレートが極めて大きくなる。そのため、分離用酸化膜２の表面がテーパー形状となり、テーパー酸化膜３７が形成される。（ｅ）その後、フォトレジスト１９を除去し、ウェハーを洗浄する。
【０１２１】
（図３９）（ａ）続いて、スクリーン酸化膜２７を５００ｎｍの厚さで形成する。（ｂ）その後、再びフォトレジスト１９を塗布する。（ｃ）続いて、フォトリソグラフ法によりフォトレジスト１９をパターニングし、硼素をイオン注入する。硼素イオン注入の条件は、例えば加速エネルギー４５ｋｅＶ、ドーズ量３Ｅ１２／ｃｍ２である。（ｄ）その後、フォトレジスト１９を除去後ウェハーを洗浄し、ドライブインを経て、ｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄが形成される。ｐ型拡散層１７ａ〜１７ｄのｐｎ接合面は、テーパー酸化膜の形状を反映して包絡線２８を形成する。
【符号の説明】
【０１２２】
１    ｎ型ドリフト層
２    分離用酸化膜
２ａ    熱酸化膜領域
２ｂ    犠牲酸化膜
３    ゲート酸化膜
４ａ    ゲートポリシリコン
４ｂ    ゲートポリシリコンランナー
５    ｐ型ベース層
６    チャンネルストッパー層
６ａ    クリップｎ層
６ｂ    ｎ＋エミッタ層
７，７ａ，７ｂ，７ｃ, ７ｄ    ｐ＋領域
８    層間絶縁膜
９    ｎ型フィールドストップ層
１０    ｐ型コレクタ層
１１    エミッタ電極
１１ａ    ＶＬＤフィールドプレート
１３    パシベーション膜
１４    コレクタ電極
１５    ストッパーフィールドプレート
１５ａ    クリップフィールドプレート
１６ａ    表面ｐ型フィールド層
１６ｂ    埋め込みｐ型フィールド層
１７    ＶＬＤ領域
１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ    ｐ型拡散層
１７ｅ    クリップｐ層
１８    バックグラインディングテープ
１９    フォトレジスト
２０ａ，２０ｂ，２０ｆ    ｐ＋ガードリング
２１ａ，２１ｅ    フィールドプレート
２２    ｐ型チャンネルストッパー層
２３    ｎ型チャンネルストッパー層
２７，２７ａ，２７ｂ，２７ｃ    スクリーン酸化膜
２８    包絡線
３１    活性領域
３２    活性端部
３３    終端構造領域
３４    横方向拡散部分
３５，３５ａ，３５ｂ，３５ｃ    開口部
３７    テーパー酸化膜
３８    ＲＥＳＵＲＦ層
４０    離間領域
４１    正の外部電荷
４２    負の外部電荷
４３    ｐｎ接合
４４    ＶＬＤ端部
４５    エミッタ端部
４６    チップ外周端
４７，４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄ，４７ｅ    レジスト開口部
４８    化学機械研磨
４９    金属膜
５０    空乏層端
５１ａ，５１ｂ，５１ｃ    イオン注入開口部
５２    トレンチ
５３    空乏層
５４    電荷中性領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
0005515922.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３３】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
0005515922.tif 000036
【図４１】
0005515922.tif 000037
【図４２】
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【図４３】
0005515922.tif 000039
【図２２】
0005515922.tif 000040
【図２３】
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【図２８】
0005515922.tif 000042
【図２９】
0005515922.tif 000043
【図３２】
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【図３４】
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