(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂、重合性化合物、重合開始剤、イソシアナト基含有シラン化合物、及び溶剤を含み、
前記樹脂が、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種の単量体（ａ）と；炭素−炭素二重結合及び式（ｂ１−０）で表される構造を有する単量体（ｂ１）と；の共重合体である樹脂組成物。
【化１】
0005620774.tif 000024
［式（ｂ１−０）中、Ｗ0は脂環式炭化水素の環であって、橋かけ環を表す。］
【請求項２】
イソシアナト基含有シラン化合物が、式（Ｆ１）で表される化合物である請求項１に記載の樹脂組成物。
ＯＣＮ−Ｌ−Ｓｉ（Ｒ1）m1（Ｒ2）(3-m1) （Ｆ１）
［式（Ｆ１）中、Ｌは、Ｃ1-6アルカンジイル基を表す。Ｒ1は、Ｃ1-4アルキル基を表し、ｍ１は０又は１を表す。但しｍ１が０であるとは、Ｒ1が存在しないことを意味する。Ｒ2は、Ｃ1-4アルコキシ基を表し、複数のＲ2は、互いに同じでも、異なっていてもよい。］
【請求項３】
イソシアナト基含有シラン化合物の含有量が、樹脂組成物の固形分に対して、０．１質量％以上１５質量％以下である請求項１又は２に記載の樹脂組成物。
【請求項４】
着色剤をさらに含む請求項１〜３のいずれかに記載の樹脂組成物。
【請求項５】
重合開始剤が、ビイミダゾール化合物、アセトフェノン化合物、オキシム化合物及びトリアジン化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種である請求項１〜４のいずれかに記載の樹脂組成物。
【請求項６】
２つ以上のスルファニル基を有する化合物をさらに含む請求項１〜５のいずれかに記載の樹脂組成物。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の樹脂組成物を用いて形成される塗膜。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれかに記載の樹脂組成物を用いて形成されるパターン。
【請求項９】
請求項７に記載の塗膜及び請求項８に記載のパターンからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む液晶表示装置。
【請求項１０】
請求項７に記載の塗膜及び請求項８に記載のパターンからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む有機ＥＬ表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂組成物、この樹脂組成物から得られる塗膜及びパターン、並びに前記塗膜及び／又はパターンを含む表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶などの表示装置に用いられているカラーフィルタの画素は、一般的に、感光性樹脂組成物を用いるフォトリソグラフ法（フォトリソグラフィ）によって形成される。詳しくは、塗布装置を用いて、赤、緑又は青のいずれか１色の感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、揮発成分を加熱等の手段で除去し、マスクを介して露光し、次いでネガ型の場合は未露光部分を、ポジ型の場合は露光部分をアルカリ水溶液等の現像液で除去して現像することによって着色パターンを形成し、得られた着色パターンを加熱処理することによって、画素が形成される。そして、同様の操作を、残る２色の感光性樹脂組成物を用いて、それぞれ同様の操作で着色パターンを形成し、最終的に３色の各画素を有するカラーフィルタを形成する。
【０００３】
上記のような樹脂組成物は基板との良好な密着性が求められる。基板との密着性を向上させるために、シラン化合物が樹脂組成物に添加されることがある。例えば特許文献１では、ガラス基板との密着性を高めるために、アミノ基含有シラン化合物を用いることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−３５６７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
アミノ基含有シラン化合物を用いると、基板に対して充分な密着性を達成できないことがある。またアミノ基含有シラン化合物を含む樹脂組成物の中には、保存安定性が悪いものがある。本発明はこのような事情に着目してなされたものであって、その目的は、基板に対して充分な密着性を示すと共に、保存安定性に優れた樹脂組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、以下の発明を含む。
［１］  樹脂、重合性化合物、重合開始剤、イソシアナト基含有シラン化合物、及び溶剤を含み、前記樹脂が、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種の単量体（ａ）と；炭素−炭素二重結合（即ちオレフィン性二重結合）を有し、単量体（ａ）とは異なる単量体（ｘ）と；の共重合体である樹脂組成物。
【０００７】
［２］  単量体（ｘ）が、炭素−炭素二重結合及び環状エーテル構造を有する単量体（ｂ）を含む［１］に記載の樹脂組成物。
【０００８】
［３］  単量体（ｘ）が、炭素−炭素二重結合及びエポキシ構造を有する単量体（ｂ１）を含む［２］に記載の樹脂組成物。
【０００９】
［４］  イソシアナト基含有シラン化合物が、式（Ｆ１）で表される化合物である［１］〜［３］に記載の樹脂組成物。
ＯＣＮ−Ｌ−Ｓｉ（Ｒ1）m1（Ｒ2）(3-m1)      （Ｆ１）
［式（Ｆ１）中、Ｌは、Ｃ1-6アルカンジイル基を表す。Ｒ1は、Ｃ1-4アルキル基を表し、ｍ１は０又は１を表す。但しｍ１が０であるとは、Ｒ1が存在しないことを意味する。
Ｒ2は、Ｃ1-4アルコキシ基を表し、複数のＲ2は、互いに同じでも、異なっていてもよい。］
【００１０】
［５］  イソシアナト基含有シラン化合物の含有量が、樹脂組成物の固形分に対して、０．１質量％以上１５質量％以下である［１］〜［４］のいずれかに記載の樹脂組成物。
【００１１】
［６］  着色剤をさらに含む［１］〜［５］のいずれかに記載の樹脂組成物。
【００１２】
［７］  重合開始剤が、ビイミダゾール化合物、アセトフェノン化合物、オキシム化合物及びトリアジン化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種である［１］〜［６］のいずれかに記載の樹脂組成物。
【００１３】
［８］  ２つ以上のスルファニル基を有する化合物をさらに含む［１］〜［７］に記載の樹脂組成物。
【００１４】
［９］  ［１］〜［８］のいずれかに記載の樹脂組成物を用いて形成される塗膜。
【００１５】
［１０］  ［１］〜［８］のいずれかに記載の樹脂組成物を用いて形成されるパターン。
【００１６】
［１１］  ［９］に記載の塗膜及び［１０］に記載のパターンからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む液晶表示装置。
【００１７】
［１２］  ［９］に記載の塗膜及び［１０］に記載のパターンからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む有機ＥＬ表示装置。
【発明の効果】
【００１８】
従来のアミノ基含有シラン化合物に代えて、イソシアナト基含有シラン化合物を用いることによって、本発明の樹脂組成物は、基板に対して充分な密着性を示し、且つ優れた保存安定性も達成できる。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の樹脂組成物は、樹脂（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、重合開始剤（Ｃ）、イソアシアナト基含有シラン化合物（Ｆ）及び溶剤（Ｊ）を含有し、場合により重合開始助剤（Ｄ）、２つ以上のスルファニル基を有する化合物（Ｅ）（以下「多官能チオール（Ｅ）」と略称することがある。）、着色剤（Ｇ）及びその他の添加剤（Ｈ）を含有していてもよい。前記各成分は、特に断りが無い限り、１種を単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
【００２０】
前記樹脂（Ａ）は、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種の単量体（ａ）に由来する構造単位を含む共重合体であり、カルボキシ基、又はカルボキシ基を形成し得るカルボニルオキシカルボニル基（カルボン酸無水物構造）を有する。このようなカルボキシ基等を有する樹脂（Ａ）とシラン化合物（例えば、シランカップリング剤）とを混合すれば、互いに反応して増粘し、保存安定性が低下するおそれがある。しかし驚くべきことに、イソシアナト基含有シラン化合物（Ｆ）を使用することにより、保存安定性が良好であることを見出した。
【００２１】
アミノ基含有シラン化合物の中には、樹脂組成物の保存安定性を低下させないものもある。しかしそのようなアミノ基含有シラン化合物は、基板に対して充分な密着性を確保できないことがある（下記実施例を参照）。これに対してイソシアナト基含有シラン化合物（Ｆ）を用いれば、良好な保存安定性と共に、基板に対して充分な密着性を確保できる。
以下、本発明の樹脂組成物に含まれる各成分を順に説明する。
【００２２】
〈樹脂（Ａ）〉
樹脂（Ａ）は、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種の単量体（ａ）と；炭素−炭素二重結合を有し、単量体（ａ）とは異なる単量体（ｘ）と；の共重合体である。単量体（ａ）及び単量体（ｘ）は、それぞれ、１種を単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
【００２３】
単量体（ａ）としては、例えば、
（メタ）アクリル酸、クロトン酸、桂皮酸、ｏ−、ｍ−、ｐ−ビニル安息香酸、コハク酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート、５−カルボキシ−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等の不飽和モノカルボン酸類；
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸、３−ビニルフタル酸、４−ビニルフタル酸、３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸、１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸、ジメチルテトラヒドロフタル酸、１，４−シクロヘキセンジカルボン酸、メチル−５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸等の不飽和ジカルボン酸類；
無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、３−ビニルフタル酸無水物、４−ビニルフタル酸無水物、３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸無水物、１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸無水物、ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、５，６−ジカルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン無水物（ハイミック酸無水物）等の不飽和ジカルボン酸類無水物；
などが挙げられる。
【００２４】
なお本明細書において、「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸及びメタクリル酸からなる群から選ばれる少なくとも１種を表す。「（メタ）アクリロイル」及び「（メタ）アクリレート」等の表記も、同様の意味を有する。
【００２５】
共重合反応性やアルカリ溶解性などの点から、単量体（ａ）は、好ましくは、（メタ）アクリル酸及び無水マレイン酸からなる群から選ばれる少なくとも１種、より好ましくはメタクリル酸である。
【００２６】
単量体（ｘ）は、好ましくは、炭素−炭素二重結合及び環状エーテル構造を有する単量体（ｂ）を含む。単量体（ｂ）は、１種を単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。環状エーテル構造を有する単量体（ｂ）としては、エポキシ構造を有する単量体（ｂ１）、オキセタン構造を有する単量体（ｂ２）、及びテトラヒドロフラン構造を有する単量体（ｂ３）などが挙げられる。これらの中でも、エポキシ構造を有する単量体（ｂ１）及びオキセタン構造を有する単量体（ｂ２）が好ましく、エポキシ構造を有する単量体（ｂ１）がより好ましい。
【００２７】
エポキシ構造は、
（１）単環のオキシラン環を有する構造（即ちアルケンをエポキシ化した構造）（以下「構造（１）」と略称する）、及び、
（２）脂環式炭化水素の環とオキシラン環が縮合した構造（下記式（ｂ１−０）で表される構造）（以下「構造（２）」と略称する）
に分類できる。
【００２８】
【化１】
0005620774.tif 000002
［式（ｂ１−０）中、Ｗ0は脂環式炭化水素の環を表す。］
【００２９】
さらに構造（２）は、
（２−１）脂環式炭化水素の環が単環であるもの（式（ｂ１−０）で表される構造において、Ｗ0が単環の脂環式炭化水素の環である構造）（以下「構造（２−１）」と略称する）、及び、
（２−２）脂環式炭化水素の環が多環であるもの（式（ｂ１−０）で表される構造において、Ｗ0が橋かけ環である構造）（以下「構造（２−２）」と略称する）
に分類できる。これらの中でも、構造（２）が好ましく、構造（２−２）がより好ましい。
【００３０】
構造（１）を有する単量体（ｂ１）としては、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、β−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、β−エチルグリシジル（メタ）アクリレート、グリシジルビニルエーテル、特開平７−２４８６２５号公報に記載の式（ｂ１−１）で表される単量体などが挙げられる。
【００３１】
【化２】
0005620774.tif 000003
［式（ｂ１−１）中、Ｒ3〜Ｒ5は、それぞれ独立に、水素原子又はＣ1-10アルキル基を表す。ｍ２は１〜５の整数を表す。］
【００３２】
なお本明細書及び特許請求の範囲において、「Ｃx-y」とは「炭素数がｘ以上ｙ以下である」ことを意味する。
【００３３】
構造（１）を有する単量体（ｂ１−１）としては、例えば、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、２，３−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，４−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，５−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，６−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，３，４−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，３，５−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，３，６−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、３，４，５−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、及び２，４，６−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレンなどが挙げられる。
【００３４】
構造（２−１）を有する単量体（ｂ１）としては、例えば、１，２−エポキシ−４−ビニルシクロヘキサン（例えば、セロキサイド（登録商標）２０００；ダイセル化学工業（株）製）、２，３−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート（例えば、サイクロマー（登録商標）Ａ４００；ダイセル化学工業（株）製）、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート（例えば、サイクロマー（登録商標）Ｍ１００；ダイセル化学工業（株）製）などが挙げられる。
【００３５】
構造（２−２）を有する単量体（ｂ１）は、炭素−炭素二重結合を、多環である脂環式炭化水素基中に有していてもよく、環に結合する側鎖中に有していてもよい。多環としては、例えばノルボルナン環、トリシクロデカン環などが挙げられ、これらの中でもトリシクロデカン環が好ましい。
【００３６】
構造（２−２）を有する単量体（ｂ１）としては、例えば、エポキシノルボルニル（メタ）アクリレート｛例えば３，４−エポキシノルボルニル（メタ）アクリレート｝、式（ｂ１−２）で表される単量体、及び式（ｂ１−３）で表される単量体が挙げられる。
【００３７】
【化３】
0005620774.tif 000004
【００３８】
式（ｂ１−２）及び式（ｂ１−３）中、Ｒ6は、水素原子又はＣ1-4飽和脂肪族炭化水素基を表し、前記の飽和脂肪族炭化水素基の水素原子は−ＯＨで置換されていてもよい。Ｌ1は、単結合又は２価のＣ1-6飽和脂肪族炭化水素基を表し、前記の２価の飽和脂肪族炭化水素基の−ＣＨ2−は、−Ｏ−、−Ｓ−又は−ＮＲ7−で置換されていてもよく、前記Ｒ7は、水素原子又はＣ1-10飽和脂肪族炭化水素基を表す。
【００３９】
尚、式（ｂ１−２）中のＲ6及びＬ1は、それぞれ、式（ｂ１−３）中のＲ6及びＬ1と同じものでもよく、異なっていてもよい。同様に本明細書の他の式で共通する記号も、各式同士で、同じものでもよく、異なっていてもよい。また「−ＣＨ2−が−Ｏ−等で置換されている２価の飽和脂肪族炭化水素基」等とは、「見掛け上、２価の飽和脂肪族炭化水素基の−ＣＨ2−が−Ｏ−等で置換されたとみなされる基」等を意味し、「実際上、２価の飽和脂肪族炭化水素基を合成した後に、−ＣＨ2−を−Ｏ−等で置換して得られる基」等を意味しない。「水素原子が−ＯＨで置換されている飽和脂肪族炭化水素基」等の表現も同様の意味である。
【００４０】
Ｒ6のヒドロキシ基で置換されていてもよい飽和脂肪族炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ヒドロキシメチル基、１−ヒドロキシエチル基、２−ヒドロキシエチル基、１−ヒドロキシプロピル基、２−ヒドロキシプロピル基、３−ヒドロキシプロピル基、１−ヒドロキシ−１−メチルエチル基、２−ヒドロキシ−１−メチルエチル基、１−ヒドロキシブチル基、２−ヒドロキシブチル基、３−ヒドロキシブチル基、４−ヒドロキシブチル基などが挙げられる。Ｒ6は、好ましくは水素原子、メチル基、ヒドロキシメチル基、１−ヒドロキシエチル基、又は２−ヒドロキシエチル基であり、より好ましくは水素原子又はメチル基である。
【００４１】
Ｌ1の−Ｏ−等で置換されていてもよい２価の飽和脂肪族炭化水素基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン−１，３−ジイル基、プロパン−１，２−ジイル基、ブタン−１，４−ジイル基、ブタン−１，３−ジイル基、ペンタン−１，５−ジイル基、ヘキサン−１，６−ジイル基、メチレンオキシ基（−ＣＨ2−Ｏ−）、エチレンオキシ基｛−（ＣＨ2）2−Ｏ−｝、プロパンジイルオキシ基｛−（ＣＨ2）3−Ｏ−等｝、メチレンスルファンジイル基（−ＣＨ2−Ｓ−）、エチレンスルファンジイル基｛−（ＣＨ2）2−Ｓ−｝、プロパンジイルスルファンジイル基｛−（ＣＨ2）3−Ｓ−等｝、メチレンイミノ基（−ＣＨ2−ＮＨ−）、エチレンイミノ基｛−（ＣＨ2）2−ＮＨ−｝、プロパンジイルイミノ基｛−（ＣＨ2）3−ＮＨ−等｝などが挙げられる。Ｌ1は、好ましくは単結合、メチレン基、エチレン基、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、エチレンスルファンジイル基、又はエチレンイミノ基であり、より好ましくは単結合又はエチレンオキシ基である。
【００４２】
単量体（ｂ１−２）及び単量体（ｂ１−３）は、それぞれ、１種を単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。さらに単量体（ｂ１−２）及び単量体（ｂ１−３）の混合物を使用してもよい。これらの混合物を使用する場合、単量体（ｂ１−２）：単量体（ｂ１−３）のモル比は、好ましくは５：９５〜９５：５、より好ましくは１０：９０〜９０：１０、さらに好ましくは２０：８０〜８０：２０である。
【００４３】
好ましい単量体（ｂ１−２）は、式（ｂ１−２−１）〜式（ｂ１−２−１５）のいずれかで表される。これらの中でも、単量体（ｂ１−２−１）、単量体（ｂ１−２−３）、単量体（ｂ１−２−５）、単量体（ｂ１−２−７）、単量体（ｂ１−２−９）、及び単量体（ｂ１−２−１１）〜単量体（ｂ１−２−１５）がより好ましく、単量体（ｂ１−２−１）、単量体（ｂ１−２−７）、単量体（ｂ１−２−９）、及び単量体（ｂ１−２−１５）がさらに好ましい。
【００４４】
【化４】
0005620774.tif 000005
【００４５】
好ましい単量体（ｂ１−３）は、式（ｂ１−３−１）〜式（ｂ１−３−１５）のいずれかで表される。これらの中でも、単量体（ｂ１−３−１）、単量体（ｂ１−３−３）、単量体（ｂ１−３−５）、単量体（ｂ１−３−７）、単量体（ｂ１−３−９）、及び単量体（ｂ１−３−１１）〜単量体（ｂ１−３−１５）がより好ましく、単量体（ｂ１−３−１）、単量体（ｂ１−３−７）、単量体（ｂ１−３−９）、及び単量体（ｂ１−３−１５）がさらに好ましい。
【００４６】
【化５】
0005620774.tif 000006
【００４７】
オキセタン構造を有する単量体（ｂ２）としては、例えば、３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、３−エチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−［１−（メタ）アクリロキシ］メチルオキセタン、３−エチル−３−［１−（メタ）アクリロキシ］メチルオキセタン、３−メチル−３−［１−（メタ）アクリロキシ］エチルオキセタン、３−エチル−３−［１−（メタ）アクリロキシ］エチルオキセタン、２−フェニル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、２−トリフルオロメチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、２−ペンタフルオロエチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン、３−メチル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン、２−フェニル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン、２−トリフルオロメチル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン又は２−ペンタフルオロエチル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン、３−（メタ）アクリロキシオキセタンなどが挙げられる。これらの中でも、３−エチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタンが好ましい。
【００４８】
テトラヒドロフラン構造を有する単量体（ｂ３）としては、例えば、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフリルメトキシエチル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフリルメトキシプロピル（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
【００４９】
単量体（ｘ）は、単量体（ａ）及び単量体（ｂ）とは異なる単量体（ｃ）を含んでいてもよい。単量体（ｃ）としては、例えば、炭素−炭素二重結合を有するカルボン酸エステル類、炭素−炭素二重結合を有するアミド類、側鎖に重合性の不飽和結合（炭素−炭素二重結合又は三重結合）を有する芳香族化合物、置換ビニル化合物、Ｎ−置換マレイミド類、ジエン類、多環式不飽和化合物などが挙げられる。単量体（ｃ）は、１種を単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
【００５０】
単量体（ｃ）としては、より具体的には、
メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−メチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、トリシクロ［５．２．１．０2,6］デカン−８−イル（メタ）アクリレート（該分野では「ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート」との慣用名で呼ばれることもある）、４−トリシクロ［５．２．１．０2,6］デセン−８−イル（メタ）アクリレート、５−トリシクロ［５．２．１．０2,6］デセン−８−イル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、アミノエチル（メタ）アクリレート、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチルなどの不飽和カルボン酸エステル類；
酢酸ビニル又はプロピオン酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類；
ジメチル（メタ）アクリルアミド、イソプロピル（メタ）アクリルアミドなどの炭素−炭素二重結合を有するアミド類；
スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、ｐ−メトキシスチレンなどの側鎖に重合性の不飽和結合を有する芳香族化合物；
アクリロニトリル、メタクリロニトリル又はα−クロロ（メタ）アクリロニトリルなどのシアン化ビニル化合物；
クロロエチレン、ジクロロエチレン、トリクロロエチレン、フルオロエチレン、ジフルオロエチレン、トリフルオロエチレン、テトラフルオロエチレンなどのハロゲン化ビニル化合物；
Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−エチルマレイミド、Ｎ−ブチルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミドなどのＮ−置換マレイミド類；
１，３−ブタジエン、イソプレン、２，３−ジメチル−１，３−ブタジエンなどのジエン類；
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（２’−ヒドロキシエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−エトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジヒドロキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（ヒドロキシメチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（２’−ヒドロキシエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジメトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジエトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチル−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−フェノキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（シクロヘキシルオキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンなどの多環式不飽和化合物；
などが挙げられる。
【００５１】
単量体（ｃ）の中でも、ベンジルアクリレート、スチレン、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンが好ましい。
【００５２】
単量体（ｘ）としては、単量体（ｂ）又は単量体（ｃ）のいずれかのみを使用してもよく、これらの両方を使用してもよい。単量体（ｘ）は、好ましくは単量体（ｂ）を含む。即ち単量体（ｘ）は、好ましくは単量体（ｂ）のみであるか、又は単量体（ｂ）及び単量体（ｃ）の両方であり、より好ましくは単量体（ｂ）のみである。単量体（ｂ）を含む共重合体は、樹脂組成物から得られる塗膜又はパターンの耐熱性、耐光性、耐溶剤性、機械特性が向上する。
【００５３】
樹脂（Ａ）が、単量体（ａ）と単量体（ｂ）との共重合体である場合、共重合体の全構成単位中、単量体（ａ）に由来する構造単位は、好ましくは２〜９８モル％（より好ましくは５〜６０モル％、さらに好ましくは１０〜５０モル％）であり、単量体（ｂ）に由来する構造単位は、好ましくは２〜９８モル％（より好ましくは４０〜９５モル％、さらに好ましくは５０〜９０モル％）である。この範囲であれば、樹脂組成物の保存安定性及び現像性、並びに硬化塗膜やパターンの残膜率及び耐溶剤性が良好になる傾向がある。
【００５４】
樹脂（Ａ）が、単量体（ａ）と単量体（ｃ）との共重合体である場合、共重合体の全構造単位中、単量体（ａ）に由来する構造単位は２〜９８モル％であり、単量体（ｃ）に由来する構造単位は２〜９８モル％であることが好ましい。この範囲であれば、保存安定性や耐熱性が良好になる傾向がある。より好ましくは、単量体（ａ）と単量体（ｃ）との共重合体の全構造単位中、単量体（ａ）に由来する構造単位は５〜５０モル％であり、単量体（ｃ）に由来する構造単位は５０〜９５モル％である。この範囲であれば、現像性や残膜率も良好になる傾向がある。
【００５５】
樹脂（Ａ）が、単量体（ａ）、単量体（ｂ）及び単量体（ｃ）の共重合体である場合、共重合体の全構造単位中、単量体（ａ）に由来する構造単位は２〜９７モル％であり、単量体（ｂ）に由来する構造単位は２〜９７モル％であり、単量体（ｃ）に由来する構造単位は１〜９６モル％であることが好ましい。この範囲であれば、保存安定性、耐熱性及び機械強度が良好になる傾向がある。より好ましくは、単量体（ａ）、単量体（ｂ）及び単量体（ｃ）の共重合体の全構造単位中、単量体（ａ）に由来する構造単位は１０〜５０モル％であり、単量体（ｂ）に由来する構造単位は２０〜８０モル％であり、単量体（ｃ）に由来する構造単位は１０〜７０モル％である。この範囲であれば、現像性、残膜率や耐溶剤性も良好になる傾向がある。
【００５６】
樹脂（Ａ）は、例えば、文献「高分子合成の実験法」（大津隆行著  発行所（株）化学同人  第１版第１刷  １９７２年３月１日発行）に記載された方法及び該文献で引用されている文献を参考にして、単量体を重合することによって製造できる。より詳しくは、所定量の単量体（ａ）、並びに単量体（ｂ）及び／又は単量体（ｃ）、重合開始剤及び溶剤を反応容器に仕込み、窒素置換した酸素不存在下で、攪拌、加熱、保温することによって共重合体を製造できる。この共重合の仕込方法や反応温度は、製造設備や重合による発熱量等を考慮しながら、適宜調整すればよい。
【００５７】
得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよい。特に、後述する溶剤（Ｊ）を重合溶媒として使用すれば、重合後の共重合体溶液から溶剤を除去せずに、そのまま樹脂組成物に使用することができ、製造工程を簡略化できる。また共重合体溶液を濃縮してもよいし、希釈してもよい。さらに再沈殿などの方法で固体（粉体）として取り出した共重合体を使用してもよい。
【００５８】
樹脂（Ａ）は、さらに、側鎖に炭素−炭素二重結合を有する構造単位（ｄ）を有していてもよい。構造単位（ｄ）は、式（ｄ１）又は式（ｄ２）で表されるように、好ましくは１−アルキル−１−エテンカルボニル基、より好ましくは（メタ）アクリロイル基を末端に有する。
【００５９】
【化６】
0005620774.tif 000007
【００６０】
式（ｄ１）及び式（ｄ２）中、Ｒ8及びＲ9は、それぞれ独立に、水素原子又はＣ1-6アルキル基（好ましくは水素原子又はメチル基）を表す。なお式（ｄ１）及び式（ｄ２）中の＊印は、それぞれ、構造単位（ｄ１）及び構造単位（ｄ２）中の結合位置を表す。他の化学式でも同様である。
【００６１】
側鎖に炭素−炭素二重結合を有する構造単位（ｄ）は、単量体（ａ）、並びに単量体（ｂ）及び／又は単量体（ｃ）を共重合した後、単量体（ａ）に由来するカルボキシ基又はカルボニルオキシカルボニル基（カルボン酸無水物構造）に、例えば特開２００５−１８９５７４号公報に記載の方法と同様にして、炭素−炭素二重結合及び環状エーテル構造を有する単量体（ｂ）、好ましくは炭素−炭素二重結合及びエポキシ構造を有する単量体（ｂ１）｛例えば式（ｂ１−４）又は式（ｂ１−５）で表される単量体｝を付加させることによって形成できる［式（ｂ１−４）又は式（ｂ１−５）中、Ｒ9は前記と同じである。
］。
【００６２】
【化７】
0005620774.tif 000008
【００６３】
側鎖に炭素−炭素二重結合を有する構造単位（ｄ）は、詳しくは、以下のようにして形成できる。単量体（ａ）、並びに単量体（ｂ）及び／又は単量体（ｃ）を共重合した後に、反応容器内の雰囲気を窒素から空気に置換し、共重合に用いた単量体（ａ）の量に対して５〜８０モル％の単量体（ｂ）を添加する。次いで共重合体に用いた単量体（ａ）及び付加反応に用いる単量体（ｂ）の合計量に対して、０．００１〜５質量％の反応触媒（例えばトリスジメチルアミノメチルフェノール等）及び０．００１〜５質量％の重合禁止剤（例えばハイドロキノン等）を添加し、６０〜１３０℃で１〜１０時間反応させる。なお共重合と同様に、この付加反応でも、製造設備や付加反応による発熱量等を考慮し、仕込方法や反応温度を適宜調整すればよい。
【００６４】
この付加反応では、付加反応に用いる単量体（ｂ）の量は、共重合に用いた単量体（ａ）の量に対して、好ましくは１０〜７５モル％、より好ましくは１５〜７０モル％である。この範囲内であれば、保存安定性、現像性、耐溶剤性、耐熱性、機械強度及び感度のバランスが良好になる傾向がある。
【００６５】
側鎖に炭素−炭素二重結合を有する構造単位（ｄ）を含む共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮又は希釈してもよい。さらに再沈殿などの方法で固体（粉体）として取り出した共重合体を使用してもよい。
【００６６】
樹脂（Ａ）の酸価は、好ましくは５０〜１５０（ｍｇＫＯＨ／ｇ）、より好ましくは６０〜１３５（ｍｇＫＯＨ／ｇ）、さらに好ましくは７０〜１３５（ｍｇＫＯＨ／ｇ）である。この範囲であれば、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなる。
ここで酸価はアクリル酸系重合体１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することによって求めることができる。
【００６７】
樹脂（Ａ）の重量平均分子量は、好ましくは２，０００〜１００，０００（より好ましくは２，０００〜５０，０００、さらに好ましくは３，０００〜３０，０００）である。
この範囲であれば、樹脂組成物の塗布性が良好で、現像時の残膜率を保持しながら、高い現像速度が得られる傾向がある。なお重量平均分子量は、ポリスチレンを標準とするゲル浸透クロマトグラフィーで求められる。
【００６８】
樹脂（Ａ）の分子量分布｛即ち重量平均分子量（Ｍｗ）／数平均分子量（Ｍｎ）｝は、好ましくは１．１〜６．０（より好ましくは１．２〜４．０）である。この範囲であれば、現像性に優れる傾向がある。
【００６９】
樹脂組成物中の樹脂（Ａ）の含有量は、樹脂組成物の固形分に対して、好ましくは５〜９０質量％（より好ましくは１０〜７０質量％）である。この範囲であれば、現像液への溶解性が充分であり、非露光部分（非画素部分）の基板上に現像残渣が発生しにくくなる。また現像時に露光部分（画素部分）の膜減りが生じにくく、残膜率が高くなる傾向がある。なお本明細書及び特許請求の範囲において「組成物の固形分」とは、「溶剤を除く樹脂組成物の各成分の合計」をいう。この固形分は、ガスクロマトグラフィーや液体クロマトグラフィーなどの公知の手段によって測定できる。
【００７０】
〈重合性化合物（Ｂ）〉
重合性化合物（Ｂ）は、加熱又は光照射によって重合開始剤（Ｃ）から発生した活性ラジカル、酸などによって重合する化合物であり、例えば重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。重合性化合物（Ｂ）は、好ましくは、炭素−炭素不飽和結合を３つ以上有する重合性化合物（以下「３官能以上の重合性化合物」という）である。
【００７１】
３官能以上の重合性化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレートトリ（メタ）アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物、トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物、カプロラクトン変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレートトリ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールオクタ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物などが挙げられる。
【００７２】
これらの中でも、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートが好ましく、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートがより好ましい。
【００７３】
重合性化合物（Ｂ）の含有量は、樹脂（Ａ）及び重合性化合物（Ｂ）の合計中、好ましくは５〜７５質量％（より好ましくは１０〜７０質量％、さらに好ましくは１５〜６５質量％）である。この範囲であれば、硬化が充分におこり、現像前後で膜厚の低下が防止されて、パターンにアンダーカットが入りにくくなり、パターンの密着性が良好になる傾向がある。またこの範囲であれば、樹脂組成物の感度、並びに塗膜及びパターンの強度、平滑性、耐熱性、耐薬品性が良好になる傾向がある。
【００７４】
〈重合開始剤（Ｃ）〉
重合開始剤（Ｃ）は、加熱又は光照射によって活性ラジカルや酸などを発生し、重合を開始する化合物であり、公知の重合開始剤を用いることができる。本発明の樹脂組成物は、好ましくは、光照射によって活性ラジカルや酸などを発生する光重合開始剤（Ｃ）を含有する感光性樹脂組成物である。
【００７５】
重合開始剤（Ｃ）として、例えば、ビイミダゾール化合物、アセトフェノン化合物、トリアジン化合物、アシルホスフィンオキサイド化合物、オキシム化合物、ベンゾイン化合物、ベンゾフェノン化合物等が挙げられる。これらの中でも、ビイミダゾール化合物、アセトフェノン化合物、オキシム化合物及びトリアジン化合物が好ましく、感度に優れるビイミダゾール化合物がより好ましい。
【００７６】
ビイミダゾール化合物としては、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２，３−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール（例えば、特開平６−７５３７２号公報、特開平６−７５３７３号公報等を参照）、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（アルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ジアルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（トリアルコキシフェニル）ビイミダゾール（例えば、特公昭４８−３８４０３号公報、特開昭６２−１７４２０４号公報等を参照）、４，４’，５，５’位のフェニル基がアルコキシカルボニル基（−ＣＯＯＲ）により置換されているイミダゾール化合物（例えば、特開平７−１０９１３号公報等を参照）等が挙げられる。
【００７７】
これらの中でも、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール｛特に２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール｝、２，２’−ビス（２，３−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２、４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾールが好ましい。
【００７８】
アセトフェノン化合物としては、ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕−２−メチルプロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−１−｛４−［４−（２−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオニル）−ベンジル］−フェニル｝−２−メチル−プロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン、２−（２−メチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（３−メチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（４−メチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−エチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−プロピルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−ブチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２，３−ジメチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２、４−ジメチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−クロロベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−ブロモベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（３−クロロベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（４−クロロベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（３−ブロモベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（４−ブロモベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−メトキシベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（３−メトキシベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（４−メトキシベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−メチル−４−メトキシベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−メチル−４−ブロモベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−ブロモ−４−メトキシベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマー等が挙げられる。
【００７９】
トリアジン化合物としては、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシスチリル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン等が挙げられる。
【００８０】
アシルホスフィンオキサイド化合物としては、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド等が挙げられる。
【００８１】
オキシム化合物としては、Ｏ−アシルオキシム系化合物が挙げられ、その具体例としては、１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−ブタン−１，２−ジオン  ２−オキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−オクタン−１，２−ジオン  ２−オキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノン  １−Ｏ−アセテート、１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−（３，３−ジメチル−２，４−ジオキサシクロペンタニルメチルオキシ）ベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノン  １−Ｏ−アセテート等が挙げられる。
【００８２】
ベンゾイン化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等が挙げられる。
【００８３】
ベンゾフェノン化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノン等が挙げられる。
【００８４】
さらに重合開始剤（Ｃ）として、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、２−エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物等を使用してもよい。
【００８５】
また重合開始剤（Ｃ）として、特表２００２−５４４２０５号公報に記載されているような、連鎖移動を起こし得る基を有する重合開始剤を使用してもよい。尚、連鎖移動を起こし得る基を有する重合開始剤は、樹脂（Ａ）の共重合に使用して、樹脂（Ａ）の構造単位として組み込むこともできる。
【００８６】
連鎖移動を起こしうる基を有する重合開始剤としては、例えば、式（Ｃ１）〜（Ｃ６）で表される重合開始剤が挙げられる。
【００８７】
【化８】
0005620774.tif 000009
【００８８】
重合開始剤（Ｃ）の含有量は、樹脂（Ａ）及び重合性化合物（Ｂ）の合計１００質量部に対して、好ましくは０．１〜４０質量部（より好ましくは１〜３０質量部）である。この範囲であれば、樹脂組成物が光や熱に対して高感度となり、この樹脂組成物を用いて形成した塗膜やパターンの強度や平滑性が良好になる傾向がある。
【００８９】
〈重合開始助剤（Ｄ）〉
本発明の樹脂組成物は、必要に応じて、重合開始助剤（Ｄ）を含有していてもよい。重合開始助剤（Ｄ）は、通常、重合開始剤（Ｃ）と組み合わせて用いられ、重合開始剤（Ｃ）によって開始された重合を促進するために用いられる。
【００９０】
重合開始助剤（Ｄ）を使用する場合、その含有量は、樹脂（Ａ）及び重合性化合物（Ｂ）の合計１００質量部に対して、好ましくは０．０１〜５０質量部（より好ましくは０．１〜４０質量部）である。この範囲の重合開始助剤（Ｄ）を用いれば、得られる樹脂組成物の光や熱に対する感度がさらに高まり、この樹脂組成物を用いて形成する塗膜やパターンの生産性が向上する傾向がある。
【００９１】
重合開始助剤（Ｄ）としては、アミン化合物、チオキサントン化合物、カルボン酸化合物などが挙げられる。
【００９２】
アミン化合物としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミンなどの脂肪族アミン類；４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称：ミヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンなどの芳香族アミン類；が挙げられる。またアミン化合物として、商品名「ＥＡＢ−Ｆ」（保土谷化学工業（株）製）などの市販品を用いてもよい。
【００９３】
チオキサントン化合物としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００９４】
カルボン酸化合物としては、（フェニルチオ）酢酸、（メチルフェニルチオ）酢酸、（エチルフェニルチオ）酢酸、（メチルエチルフェニルチオ）酢酸、（ジメチルフェニルチオ）酢酸、（メトキシフェニルチオ）酢酸、（ジメトキシフェニルチオ）酢酸、（クロロフェニルチオ）酢酸、（ジクロロフェニルチオ）酢酸、Ｎ−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、（ナフチルチオ）酢酸、Ｎ−ナフチルグリシン、ナフトキシ酢酸等の芳香族ヘテロ酢酸類などが挙げられる。
【００９５】
重合開始助剤（Ｄ）として、式（Ｄ１）で表される化合物を使用してもよい。
【００９６】
【化９】
0005620774.tif 000010
【００９７】
式（Ｄ１）中、Ｗ1は、Ｃ6-12芳香環を表し、前記芳香環の水素原子はハロゲン原子（例えばフッ素原子、塩素原子、臭素原子など）で置換されていてもよい。Ｌ2は、酸素原子（−Ｏ−）又は硫黄原子（−Ｓ−）を表す。Ｒ10は、直鎖状、分枝鎖状又は環式のＣ1-6脂肪族炭化水素基を表す。Ｒ11は、直鎖状、分枝鎖状又は環式のＣ1-12脂肪族炭化水素基、又はＣ6-12芳香族炭化水素基を表し、前記脂肪族炭化水素基及び前記芳香族炭化水素基の水素原子は、ハロゲン原子（例えばフッ素原子、塩素原子、臭素原子など）で置換されていてもよい。
【００９８】
Ｗ1の芳香環としては、ベンゼン環、メチルベンゼン環、ジメチルベンゼン環、エチルベンゼン環、プロピルベンゼン環、ブチルベンゼン環、ペンチルベンゼン環、ヘキシルベンゼン環、シクロヘキシルベンゼン環、ナフタレン環、フェニルベンゼン環などが挙げられる。Ｗ1のハロゲン化芳香環としては、クロロベンゼン環、ジクロロベンゼン環、ブロモベンゼン環、ジブロモベンゼン環、クロロフェニルベンゼン環、ブロモフェニルベンゼン環、クロロナフタレン環、ブロモナフタレン環などが挙げられる。Ｗ1は、好ましくはベンゼン環（フェニレン基）又はナフタレン環（ナフチレン基）である。
【００９９】
Ｒ10の脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、２−メチルプロピル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、２−メチルブチル基、３−メチルブチル基、１，１−ジメチルプロピル基、１，２−ジメチルプロピル基、２，２−ジメチルプロピル基、ヘキシル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基などが挙げられる。Ｒ10は、好ましくはメチル基である。
【０１００】
Ｒ11の脂肪族炭化水素基としては、Ｒ10で列挙した基に加えて、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、シクロヘプチル基、メチルシクロヘキシル基、ヘキシルシクロヘキシル基、ノルボルニル基、アダマンチル基などが挙げられる。Ｒ11のハロゲン化脂肪族炭化水素基としては、トリフルオロメチル基、１−クロロブチル基、２−クロロブチル基、３−クロロブチル基、１−ブロモヘキシル基、２−ブロモドデシル基などが挙げられる。Ｒ11の芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、メチルフェニル基、ジメチルフェニル基、エチルフェニル基、プロピルフェニル基、ブチルフェニル基、ペンチルフェニル基、ヘキシルフェニル基、シクロヘキシルフェニル基、ナフチル基、ビフェニリル基などが挙げられる。またＲ11のハロゲン化芳香族炭化水素基としては、クロロフェニル基、ジクロロフェニル基、ブロモフェニル基、ジブロモフェニル基、クロロフェニルフェニル基、ブロモフェニルフェニル基、クロロナフチル基、ブロモナフチル基などが挙げられる。Ｒ11は、好ましくはフェニル基、ビフェニリル基、又はナフチル基である。
【０１０１】
重合開始助剤（Ｄ１）としては、例えば、２−ベンゾイルメチレン−３−メチルナフト［２，１−ｄ］チアゾリン、２−ベンゾイルメチレン−３−メチルナフト［１，２−ｄ］チアゾリン、２−ベンゾイルメチレン−３−メチルナフト［２，３−ｄ］チアゾリン、２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチルベンゾチアゾリン、２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチルベンゾチアゾリン、２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−フェニルベンゾチアゾリン、２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−フェニルベンゾチアゾリン、２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−フルオロベンゾチアゾリン、２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−フルオロベンゾチアゾリン、２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−クロロベンゾチアゾリン、２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−クロロベンゾチアゾリン、２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−ブロモベンゾチアゾリン、２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−ブロモベンゾチアゾリン、２−（４−フェニルベンゾイルメチレン）−３−メチルベンゾチアゾリン、２−（４−フェニルベンゾイルメチレン）−３−メチル−５−フェニルベンゾチアゾリン、２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチルナフト［２，１−ｄ］チアゾリン、２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチルナフト［１，２−ｄ］チアゾリン、２−（４−フェニルベンゾイルメチレン）−３−メチルナフト［２，１−ｄ］チアゾリン、２−（４−フェニルベンゾイルメチレン）−３−メチルナフト［１，２−ｄ］チアゾリン、２−（ｐ−フルオロベンゾイルメチレン）−３−メチルナフト［２，１−ｄ］チアゾリン、２−（ｐ−フルオロベンゾイルメチレン）−３−メチルナフト［１，２−ｄ］チアゾリン、２−ベンゾイルメチレン−３−メチルナフト［２，１−ｄ］オキサゾリン、２−ベンゾイルメチレン−３−メチルナフト［１，２−ｄ］オキサゾリン、２−ベンゾイルメチレン−３−メチルナフト［２，３−ｄ］オキサゾリン、２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチルベンゾオキサゾリン、２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチルベンゾオキサゾリン、２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−フェニルベンゾオキサゾリン、２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−フェニルベンゾオキサゾリン、２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−フルオロベンゾオキサゾリン、２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−フルオロベンゾオキサゾリン、２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−クロロベンゾオキサゾリン、２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−クロロベンゾオキサゾリン、２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−ブロモベンゾオキサゾリン、２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−ブロモベンゾオキサゾリン、２−（４−フェニルベンゾイルメチレン）−３−メチルベンゾオキサゾリン、２−（４−フェニルベンゾイルメチレン）−３−メチル−５−フェニルベンゾオキサゾリン、２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチルナフト［２，１−ｄ］オキサゾリン、２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチルナフト［１，２−ｄ］オキサゾリン、２−（４−フェニルベンゾイルメチレン）−３−メチルナフト［２，１−ｄ］オキサゾリン、２−（４−フェニルベンゾイルメチレン）−３−メチルナフト［１，２−ｄ］オキサゾリン、２−（ｐ−フルオロベンゾイルメチレン）−３−メチルナフト［２，１−ｄ］オキサゾリン、２−（ｐ−フルオロベンゾイルメチレン）−３−メチルナフト［１，２−ｄ］オキサゾリン等が挙げられる。
【０１０２】
上述のものの中でも、式（Ｄ１−１）で表される２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチルベンゾチアゾリン、式（Ｄ１−２）で表される２−ベンゾイルメチレン−３−メチルナフト［１，２−ｄ］チアゾリン、及び式（Ｄ１−３）で表される２−（４−フェニルベンゾイルメチレン）−３−メチルナフト［１，２−ｄ］チアゾリンが好ましい。
【０１０３】
【化１０】
0005620774.tif 000011
【０１０４】
重合開始助剤（Ｄ１）を含む樹脂組成物は高感度となり、塗膜やパターンの生産性が向上する傾向がある。重合開始助剤（Ｄ１）は、塗膜やパターンを形成する際のポストベーク工程の熱によっても昇華せず、ベーク炉内の汚染を抑制できる。また重合開始助剤（Ｄ１）は、光又は熱の作用により退色するので、これを使用すれば、塗膜やパターンの可視光透過率を向上させることができる。
【０１０５】
重合開始助剤（Ｄ１）の含有量は、重合開始助剤（Ｄ）の含有量に対して、好ましくは５０質量％以上（より好ましくは６０質量％以上、さらに好ましくは６５質量％以上）、好ましくは１００質量％以下である。この範囲の量で重合開始助剤（Ｄ１）を使用すれば、塗膜の可視光透過率が高くなる。
【０１０６】
また重合開始助剤（Ｄ）として、式（Ｄ２）又は式（Ｄ３）で表される化合物を使用してもよい。
【０１０７】
【化１１】
0005620774.tif 000012
【０１０８】
式（Ｄ２）又は式（Ｄ３）中、Ｗ2及びＷ3は、それぞれ独立に、Ｃ6-12芳香環又は複素環を表し、前記芳香環及び前記複素環の水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。Ｌ3及びＬ4は、それぞれ独立に、酸素原子又は硫黄原子（好ましくは酸素原子）を表す。Ｒ12及びＲ13は、それぞれ独立に、直鎖状、分枝鎖状又は環式のＣ1-12脂肪族炭化水素基、又はＣ6-12芳香族炭化水素基を表し、前記脂肪族炭化水素基及び前記芳香族炭化水素基の水素原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基又はＣ1-6アルコキシ基で置換されていてもよい。
【０１０９】
Ｗ2及びＷ3の芳香環及び複素環としては、ベンゼン環、フラン環、チオフェン環、ピロール環、イミダゾール環、ピリジン環、ピリミジン環、及びピラジン環など、並びにこれらの組合せ（例えばナフタレン環、イソベンゾフラン環、ベンゾイミダゾール環など）が挙げられる。Ｗ2及びＷ3のハロゲン化芳香環としては、クロロベンゼン環、ジクロロベンゼン環、ブロモベンゼン環、ジブロモベンゼン環、フェニルベンゼン環、クロロフェニルベンゼン環、ブロモフェニルベンゼン環、クロロナフタレン環、ブロモナフタレン環などが挙げられる。Ｗ2及びＷ3は、それぞれ独立に、好ましくはベンゼン環又はナフタレン環である。
【０１１０】
Ｒ12及びＲ13の脂肪族炭化水素基、ハロゲン化脂肪族炭化水素基、芳香族炭化水素基、及びハロゲン化芳香族炭化水素基としては、Ｒ11で列挙したものなどが挙げられる。Ｒ12又はＲ13のヒドロキシ基で置換された脂肪族炭化水素基としては、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基、ヒドロキシブチル基等が挙げられる。Ｒ12又はＲ13のヒドロキシ基で置換された芳香族炭化水素基としては、ヒドロキシフェニル基、ヒドロキシナフチル基等が挙げられる。Ｒ12又はＲ13のアルコキシ基で置換された脂肪族炭化水素基としては、メトキシメチル基、メトキシエチル基、メトキシプロピル基、メトキシブチル基、ブトキシメチル基、エトキシエチル基、エトキシプロピル基、プロポキシブチル基等が挙げられる。Ｒ12又はＲ13のアルコキシ基で置換された芳香族炭化水素基としては、メトキシフェニル基、エトキシナフチル基等が挙げられる。Ｒ12及びＲ13は、それぞれ独立に、好ましくはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基又はブチル基である。
【０１１１】
重合開始助剤（Ｄ２）又は（Ｄ３）としては、例えば、
ジメトキシナフタレン、ジエトキシナフタレン、ジプロポキシナフタレン、ジイソプロポキシナフタレン、ジブトキシナフタレンなどのジアルコキシナフタレン類；
ジメトキシアントラセン、ジエトキシアントラセン、ジプロポキシアントラセン、ジイソプロポキシアントラセン、ジブトキシアントラセン、ジペンタオキシアントラセン、ジヘキサオキシアントラセン、メトキシエトキシアントラセン、メトキシプロポキシアントラセン、メトキシイソプロポキシアントラセン、メトキシブトキシアントラセン、エトキシプロポキシアントラセン、エトキシイソプロポキシアントラセン、エトキシブトキシアントラセン、プロポキシイソプロポキシアントラセン、プロポキシブトキシアントラセン、イソプロポキシブトキシアントラセンなどのジアルコキシアントラセン類；
ジメトキシテトラセン、ジエトキシテトラセン、ジプロポキシテトラセン、ジイソプロポキシテトラセン、ジブトキシテトラセンなどのジアルコキシテトラセン類；
等が挙げられる。
【０１１２】
〈多官能チオール（Ｅ）〉
本発明の樹脂組成物は、必要に応じて、多官能チオール（Ｅ）を含有していてもよい。
多官能チオール（Ｅ）の中でも、脂肪族炭化水素基の炭素原子と結合するスルファニル基を２つ以上有する化合物が、樹脂組成物の光や熱に対する感度を向上させるため、好ましい。
【０１１３】
多官能チオール（Ｅ）としては、例えば、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、１，４−ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビス（３−スルファニルプロピオネート）、ブタンジオールビス（２−スルファニルアセテート）、エチレングリコールビス（２−スルファニルアセテート）、トリメチロールプロパントリス（２−スルファニルアセテート）、ブタンジオールビス（３−スルファニルプロピオネート）、トリメチロールプロパントリス（３−スルファニルプロピオネート）、トリメチロールプロパントリス（２−スルファニルアセテート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−スルファニルプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（２−スルファニルアセテート）、トリスヒドロキシエチルトリス（３−スルファニルプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−スルファニルブチレート）、１，４−ビス（３−スルファニルブチリルオキシ）ブタン等が挙げられる。
【０１１４】
多官能チオール（Ｅ）を使用する場合、その含有量は、重合開始剤（Ｃ）１００質量部に対して、好ましくは０．５〜１００質量部、より好ましくは１〜９０質量部である。この範囲の量で多官能チオール（Ｅ）を使用すれば、感度が高くなり、また現像性が良好になる傾向がある。また多官能チオール（Ｅ）は、重合開始剤（Ｃ）であるビイミダゾール化合物と組み合わせて使用することが好ましい。この組合せを使用すれば、感度が高くなる傾向がある。
【０１１５】
〈イソシアナト基含有シラン化合物（Ｆ）〉
本発明の樹脂組成物は、イソシアナト基含有シラン化合物（Ｆ）を含有することによって、良好な保存安定性と基板への充分な密着性とを両立させることを特徴とする。
【０１１６】
樹脂（Ａ）として、不飽和カルボン酸等である単量体（ａ）、及び炭素−炭素二重結合及び環状エーテル構造を有する単量体（ｂ）｛特にエポキシ構造を有する単量体（ｂ１）｝に由来する構造単位を含む共重合体を使用する場合、アミノ基含有シラン化合物を用いると、保存安定性が極端に悪くなることがある。例えば下記実施例に示すように、カルボキシ基及び環状エーテル構造（特にエポキシ構造）を有する樹脂（Ａ）とアミノ基含有シラン化合物とを混合すると増粘することがある。これは、従来のアミノ基含有シラン化合物が、カルボキシ基と環状エーテル構造との反応を促進するアミン触媒として作用するためであると考えられる。これに対してイソシアナト基含有シラン化合物（Ｆ）を使用すれば、カルボキシ基と環状エーテル構造との反応を促進することもなく、良好な保存安定性を達成できる。
【０１１７】
また従来のアミノ基含有シラン化合物の中には、樹脂組成物の保存安定性をそれほど低下させないものもある。しかしこのようなアミノ基含有シラン化合物は、基板に対して充分な密着性を確保できないことがある。これに対してイソシアナト基含有シラン化合物（Ｆ）を使用すれば、基板に対して充分な密着性を確保できる。以上のように本発明は、樹脂組成物中でイソシアナト基含有シラン化合物を使用することによって、良好な保存安定性と基板に対する充分な密着性とを両立させることを特徴とする。
【０１１８】
イソシアナト基シラン化合物（Ｆ）は、好ましくは式（Ｆ１）で表される。
ＯＣＮ−Ｌ−Ｓｉ（Ｒ1）m1（Ｒ2）(3-m1)      （Ｆ１）
［式（Ｆ１）中、Ｌは、Ｃ1-6アルカンジイル基を表す。Ｒ1は、Ｃ1-4アルキル基を表し、ｍ１は０又は１を表す。但しｍ１が０であるとは、Ｒ1が存在しないことを意味する。
Ｒ2は、Ｃ1-4アルコキシ基を表し、複数のＲ2は、互いに同じでも、異なっていてもよい。］
【０１１９】
Ｌのアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン−１，３−ジイル基、プロパン−１，２−ジイル基、ブタン−１，４−ジイル基、ブタン−１，３−ジイル基、ペンタン−１，５−ジイル基、ヘキサン−１，６−ジイル基等が挙げられる。Ｌは、好ましくはプロパン−１，３−ジイル基である。
【０１２０】
Ｒ1のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、２−ブチル基（ｓｅｃ−ブチル基）、２−メチルプロピル基（イソブチル基）等が挙げられる。Ｒ1は、好ましくはメチル基又はエチル基である。
【０１２１】
Ｒ2のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、ｓｅｃ−ブトキシ基、イソブトキシ基等が挙げられる。Ｒ2は、好ましくはメトキシ基又はエトキシ基である。
【０１２２】
ｍ１は、好ましくは０である。また複数のＲ2は同じものであることが好ましい。
【０１２３】
イソシアナト基含有シラン化合物（Ｆ１）としては、例えば、イソシアナトメチルトリメトキシシラン、２−イソシアナトエチルトリメトキシシラン、３−イソシアナトプロピルメチルジメトキシシラン、３−イソシアナトプロピルトリメトキシシラン、３−イソシアナトプロピルメチルジエトキシシラン、３−イソシアナトプロピルトリエトキシシラン、４−イソシアナトブチルトリメトキシシラン、５−イソシアナトペンチルトリメトキシシラン等が挙げられる。これらの中でも、３−イソシアナトプロピルトリメトキシシラン及び３−イソシアナトプロピルトリエトキシシランが好ましい。
【０１２４】
イソシアナト基含有シラン化合物（Ｆ）の含有量は、樹脂組成物の固形分に対して、好ましくは０．１質量％以上１５質量％以下（より好ましくは０．２質量％以上１０質量％以下）である。この範囲であれば、樹脂組成物の保存安定性及び塗膜やパターンの密着性が良好になる傾向があり、さらに現像残渣も見られなくなる傾向がある。
【０１２５】
〈着色剤（Ｇ）〉
本発明の樹脂組成物は、着色剤（Ｇ）を含有していてもよい。着色剤（Ｇ）としては、染料及び顔料が挙げられる。染料及び顔料のいずれも着色に用いられる物質であるが、本明細書及び特許請求の範囲では、溶剤に溶解するものを染料と、溶剤に溶解しないものを顔料と定義する。染料及び顔料のいずれも、１種を単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。また染料及び顔料の組合せを着色剤（Ｇ）として使用してもよい。
【０１２６】
顔料としては、具体的には、カラーインデックス（The Society of Dyers and Colourists 出版）でピグメントに分類されている化合物が挙げられる。詳しくは、例えば、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、３、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、８３、８６、９３、９４、１０９、１１０、１１７、１２５、１２８、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５３、１５４、１６６、１７３、１９４、２１４などの黄色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、３１、３６、３８、４０、４２、４３、５１、５５、５９、６１、６４、６５、７１、７３などのオレンジ色の顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、９７、１０５、１２２、１２３、１４４、１４９、１６６、１６８、１７６、１７７、１８０、１９２、２０９、２１５、２１６、２２４、２４２、２５４、２５５、２６４、２６５などの赤色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、１５：３、１５：４、１５：６、６０などの青色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、１９、２３、２９、３２、３６、３８などのバイオレット色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、５８などの緑色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、２５などのブラウン色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、７などの黒色顔料；
などが挙げられる。なお本明細書では、最初の顔料にのみ「Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー」等を記載し、それに続く同じ記載の顔料は番号のみを記載した。染料でも同様である。
【０１２７】
上述の顔料の中でも、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、１３９、１５０；Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、２０９、２４２、２５４；Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３；Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、１５：６；及びＣ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、５８；が好ましい。
【０１２８】
顔料は、必要に応じて、ロジン処理；酸性基又は塩基性基が導入された顔料誘導体や顔料分散剤などを用いた表面処理；高分子化合物などによる顔料表面へのグラフト処理；硫酸微粒化法などによる微粒化処理；不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理；イオン交換法などによるイオン性不純物の除去処理；などが施されていてもよい。
【０１２９】
粒径が均一である顔料が好ましい。また顔料を使用する場合、顔料分散剤を用いて、顔料を溶剤中に均一に分散させることが好ましい。顔料分散剤は、１種を単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。顔料分散剤を用いる場合、その使用量は、顔料１質量部あたり、好ましくは０．０５質量部以上、１質量部以下（より好ましくは０．５質量部以下）である。この範囲の量で顔料分散剤を使用すれば、均一に分散した顔料分散液が得られる傾向がある。
【０１３０】
顔料分散剤として、界面活性剤を使用できる。界面活性剤は、電気的には、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性に分類でき、化合物的には、エステル系、アミン系、アクリル系、シリコーン系、フッ素系などに分類できる。これらの界面活性剤は、顔料等に応じて適宜選択して使用すればよい。界面活性剤としては、例えばポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、３級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類などが挙げられる。また市販の界面活性剤、例えば、商品名でＫＰ（信越化学工業（株）製）、ポリフロー（登録商標）（共栄社化学（株）製）、エフトップ（登録商標）（三菱マテリアル電子化成（株））、メガファック（登録商標）（ＤＩＣ（株）製）、フロラード（登録商標）（住友スリーエム（株）製）、アサヒガード（登録商標）（旭硝子（株）製）、サーフロン（登録商標）（ＡＧＣセイミケミカル（株）製）、ソルスパース（登録商標）（ゼネカ（株）製）、ＥＦＫＡ（ＣＩＢＡ社製）、アジスパー（登録商標）（味の素ファインテクノ（株）製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ（ビックケミー社製）なども使用できる。
【０１３１】
染料として、公知の染料、例えば、油溶性染料、酸性染料、酸性染料のアミン塩、酸性染料のスルホンアミド誘導体などを使用できる。染料としては、例えば、カラーインデックス（The Society of Dyers and Colourists 出版）で染料に分類されている化合物（例えばＣ．Ｉ．ソルベント染料、Ｃ．Ｉ．アシッド染料、Ｃ．Ｉ．ダイレクト染料、Ｃ．Ｉ
．モーダント染料など）や、染色ノート（色染社）に記載されている染料が挙げられる。
【０１３２】
Ｃ．Ｉ．ソルベント染料としては、例えば、
Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー４、１４、１５、２３、２４、３８、６２、６３、６８、８２、９４、９８、９９、１６２；
Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド４５、４９、１２５、１３０；
Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ２、７、１１、１５、２６、５６；
Ｃ．Ｉ．ソルベントブルー３５、３７、５９、６７；
Ｃ．Ｉ．ソルベントグリーン１、３、４、５、７、２８、２９、３２、３３、３４、３５；
などが挙げられる。
【０１３３】
Ｃ．Ｉ．アシッド染料としては、例えば
Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー１、３、７、９、１１、１７、２３、２５、２９、３４、３６、３８、４０、４２、５４、６５、７２、７３、７６、７９、９８、９９、１１１、１１２、１１３、１１４、１１６、１１９、１２３、１２８、１３４、１３５、１３８、１３９、１４０、１４４、１５０、１５５、１５７、１６０、１６１、１６３、１６８、１６９、１７２、１７７、１７８、１７９、１８４、１９０、１９３、１９６、１９７、１９９、２０２、２０３、２０４、２０５、２０７、２１２、２１４、２２０、２２１、２２８、２３０、２３２、２３５、２３８、２４０、２４２、２４３、２５１；
Ｃ．Ｉ．アシッドレッド１、４、８、１４、１７、１８、２６、２７、２９、３１、３４、３５、３７、４２、４４、５０、５１、５２、５７、６６、７３、８０、８７、８８、９１、９２、９４、９７、１０３、１１１、１１４、１２９、１３３、１３４、１３８、１４３、１４５、１５０、１５１、１５８、１７６、１８２、１８３、１９８、２０６、２１１、２１５、２１６、２１７、２２７、２２８、２４９、２５２、２５７、２５８、２６０、２６１、２６６、２６８、２７０、２７４、２７７、２８０、２８１、１９５、３０８、３１２、３１５、３１６、３３９、３４１、３４５、３４６、３４９、３８２、３８３、３９４、４０１、４１２、４１７、４１８、４２２、４２６；
Ｃ．Ｉ．アシッドオレンジ６、７、８、１０、１２、２６、５０、５１、５２、５６、６２、６３、６４、７４、７５、９４、９５、１０７、１０８、１６９、１７３；
Ｃ．Ｉ．アシッドブルー１、７、９、１５、１８、２３、２５、２７、２９、４０、４２、４５、５１、６２、７０、７４、８０、８３、８６、８７、９０、９２、９６、１０３、１１２、１１３、１２０、１２９、１３８、１４７、１５０、１５８、１７１、１８２、１９２、２１０、２４２、２４３、２５６、２５９、２６７、２７８、２８０、２８５、２９０、２９６、３１５、３２４：１、３３５、３４０；
Ｃ．Ｉ．アシッドバイオレット６Ｂ、７、９、１７、１９；
Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン１、３、５、９、１６、２５、２７、５０、５８、６３、６５、８０、１０４、１０５、１０６、１０９；
などが挙げられる。
【０１３４】
Ｃ．Ｉ．ダイレクト染料としては、例えば
Ｃ．Ｉ．ダイレクトイエロー２、３３、３４、３５、３８、３９、４３、４７、５０、５４、５８、６８、６９、７０、７１、８６、９３、９４、９５、９８、１０２、１０８、１０９、１２９、１３６、１３８、１４１；
Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド７９、８２、８３、８４、９１、９２、９６、９７、９８、９９、１０５、１０６、１０７、１７２、１７３、１７６、１７７、１７９、１８１、１８２、１８４、２０４、２０７、２１１、２１３、２１８、２２０、２２１、２２２、２３２、２３３、２３４、２４１、２４３、２４６、２５０；
Ｃ．Ｉ．ダイレクトオレンジ３４、３９、４１、４６、５０、５２、５６、５７、６１、６４、６５、６８、７０、９６、９７、１０６、１０７；
Ｃ．Ｉ．ダイレクトブルー５７、７７、８０、８１、８４、８５、８６、９０、９３、９４、９５、９７、９８、９９、１００、１０１、１０６、１０７、１０８、１０９、１１３、１１４、１１５、１１７、１１９、１３７、１４９、１５０、１５３、１５５、１５６、１５８、１５９、１６０、１６１、１６２、１６３、１６４、１６６、１６７、１７０、１７１、１７２、１７３、１８８、１８９、１９０、１９２、１９３、１９４、１９６、１９８、１９９、２００、２０７、２０９、２１０、２１２、２１３、２１４、２２２、２２８、２２９、２３７、２３８、２４２、２４３、２４４、２４５、２４７、２４８、２５０、２５１、２５２、２５６、２５７、２５９、２６０、２６８、２７４、２７５、２９３；
Ｃ．Ｉ．ダイレクトバイオレット４７、５２、５４、５９、６０、６５、６６、７９、８０、８１、８２、８４、８９、９０、９３、９５、９６、１０３、１０４；
Ｃ．Ｉ．ダイレクトグリーン２５、２７、３１、３２、３４、３７、６３、６５、６６、６７、６８、６９、７２、７７、７９、８２；
などが挙げられる。
【０１３５】
Ｃ．Ｉ．モーダント染料としては、例えば
Ｃ．Ｉ．モーダントイエロー５、８、１０、１６、２０、２６、３０、３１、３３、４２、４３、４５、５６、６１、６２、６５；
Ｃ．Ｉ．モーダントレッド１、２、３、４、９、１１、１２、１４、１７、１８、１９、２２、２３、２４、２５、２６、３０、３２、３３、３６、３７、３８、３９、４１、４３、４５、４６、４８、５３、５６、６３、７１、７４、８５、８６、８８、９０、９４、９５；
Ｃ．Ｉ．モーダントオレンジ３、４、５、８、１２、１３、１４、２０、２１、２３、２４、２８、２９、３２、３４、３５、３６、３７、４２、４３、４７、４８；
Ｃ．Ｉ．モーダントブルー１、２、３、７、８、９、１２、１３、１５、１６、１９、２０、２１、２２、２３、２４、２６、３０、３１、３２、３９、４０、４１、４３、４４、４８、４９、５３、６１、７４、７７、８３、８４；
Ｃ．Ｉ．モーダントバイオレット１、２、４、５、７、１４、２２、２４、３０、３１、３２、３７、４０、４１、４４、４５、４７、４８、５３、５８；
Ｃ．Ｉ．モーダントグリーン１、３、４、５、１０、１５、１９、２６、２９、３３、３４、３５、４１、４３、５３；
などが挙げられる。
【０１３６】
染料として、例えば式（１）〜式（７）のいずれかで表される基を有する酸性染料のアミン塩、及び式（８）又は式（９）で表される基を有する酸性染料のスルホンアミド誘導体を使用できる。また酸性染料のスルホンアミド誘導体は、式（８）又は式（９）で表される基に加えて、式（１０）で表される基を有していてもよい。前記酸性染料としては、例えばアゾ染料、アントラキノン染料、トリフェニルメタン染料、キサンテン染料及びフタロシアニン染料などが挙げられる。
【０１３７】
−（ＳＯ3-）（ＣnＨ2n+1Ｎ+Ｈ3）      （１）
−（ＳＯ3-）｛（ＣnＨ2n+1）2Ｎ+Ｈ2｝      （２）
−（ＳＯ3-）｛（ＣnＨ2n+1）3Ｎ+Ｈ｝      （３）
−（ＳＯ3-）｛（ＣnＨ2n+1）4Ｎ+｝      （４）
−（ＳＯ3-）（ＣoＨ2o+1ＯＣpＨ2pＮ+Ｈ3）      （５）
−（ＳＯ3-）｛（ＣnＨ2n+1）（ＰｈＣＨ2）2Ｎ+Ｈ｝      （６）
−（ＳＯ3-）｛（ＣnＨ2n+1）Ｐｙ+｝      （７）
−ＳＯ2ＮＨ（ＣnＨ2n+1）      （８）
−ＳＯ2ＮＨ（ＣoＨ2o+1ＯＣpＨ2p）      （９）
−ＳＯ3Ｍ      （１０）
【０１３８】
式（１）〜（１０）中、ｎは、１以上２０以下の整数を表す。ｏ及びｐは、それぞれ独立に、１以上１０以下の整数を表す。Ｐｈは、フェニル基を表す。Ｐｙ+は、式（１１）で表される基である。Ｍは、水素原子又は一価の陽イオンを表す。
【０１３９】
【化１２】
0005620774.tif 000013
【０１４０】
式（１１）中、ｑは、０又は１を表し、ｑが０であるとはメチル基が存在しないことを意味する。式（１１）中の＊印はＰｙ+の結合位置を表し、Ｐｙ+はこの結合位置で式（７）中のＣnＨ2n+1の炭素原子と結合する。
【０１４１】
ｎは、好ましくは１以上、１０以下（より好ましくは８以下）の整数である。ｏ及びｐは、それぞれ独立に、好ましくは１以上、８以下（より好ましくは６以下）の整数である。ｑは、好ましくは１である。Ｍの一価の陽イオンとしては、例えば、リチウムイオン、ナトリウムイオン、カリウムイオン、４級アンモニウムイオン｛例えば（Ｃ2Ｈ5）3ＨＮ+｝などが挙げられ、好ましくはナトリウムイオンである。
【０１４２】
酸性染料のアミン塩に含まれる式（１）〜式（７）のいずれかで表される基の数は、好ましくは１以上、２０以下（より好ましくは１０以下、さらに好ましくは８以下）である。酸性染料のスルホンアミド誘導体に含まれる式（８）又は式（９）で表される基の数は、好ましくは１以上、８以下（より好ましくは６以下、さらに好ましくは５以下）の整数である。さらに酸性染料のスルホンアミド誘導体は、好ましくは８個以下、より好ましくは６個以下、さらに好ましくは５個以下の式（１０）で表される基を有していてもよい。
【０１４３】
スルホンアミド構造を有するアゾ染料としては、例えば、式（Ｇ１）で表される染料が挙げられる。
【０１４４】
【化１３】
0005620774.tif 000014
【０１４５】
式（Ｇ１）中、Ｒ14は、Ｃ2-20アルキル基、シクロへキシル基で置換されたＣ2-12アルキル基、Ｃ1-4アルキル基で置換されたシクロへキシル基、Ｃ2-12アルコキシ基で置換されたＣ2-12アルキル基、Ｃ1-20アルキル基で置換されたフェニル基、フェニル基で置換されたＣ1-20アルキル基、式（１２）で表されるアルキルカルボニルオキシアルキル基、又は式（１３）で表されるアルキルオキシカルボニルアルキル基を表す｛式（１２）及び式（１３）中、Ｒ19はＣ2-12アルキル基を表し、Ｌ5はＣ2-12アルカンジイル基を表す。｝。
−Ｌ5−Ｏ−ＣＯ−Ｒ19      （１２）
−Ｌ5−ＣＯ−Ｏ−Ｒ19      （１３）
【０１４６】
式（Ｇ１）中、Ｒ15〜Ｒ17は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、ヒドロキシ基、カルバモイル基又はシアノ基を表す。Ｒ18は、Ｃ1-4アルキル基を表す。
【０１４７】
Ｒ14のＣ2-20アルキル基としては、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ヘキシル基、ノニル基、デシル基、ドデシル基、２−エチルヘキシル基、１，３−ジメチルブチル基、１−メチルブチル基、１，５−ジメチルヘキシル基及び１，１，３，３−テトラメチルブチル基などが挙げられる。Ｒ14のシクロへキシル基で置換されたＣ2-12アルキル基としては、シクロヘキシルエチル基、３−シクロヘキシルプロピル基及び８−シクロヘキシルオクチル基などが挙げられる。Ｒ14のＣ1-4アルキル基で置換されたシクロへキシル基としては、２−エチルシクロヘキシル基、２−プロピルシクロヘキシル基及び２−ブチルシクロヘキシル基などが挙げられる。Ｒ14のＣ2-12アルコキシ基で置換されたＣ2-12アルキル基としては、３−エトキシプロピル基、３−プロポキシプロピル基、４−プロポキシブチル基、３−メチルヘキシルオキシエチル基及び３−（２−エチルヘキシルオキシ）プロピル基などが挙げられる。Ｒ14のＣ1-20アルキル基で置換されたフェニル基としては、ｏ−イソプロピルフェニル基などが挙げられる。Ｒ14のフェニル基で置換されたＣ1-20アルキル基としては、ＤＬ−１−フェニルエチル基、ベンジル基及び３−フェニルブチル基などが挙げられる。
【０１４８】
Ｒ19のＣ2-12アルキル基としては、エチル基、プロピル基、ヘキシル基、ノニル基、デシル基、ドデシル基、２−エチルヘキシル基、１，３−ジメチルブチル基、１−メチルブチル基、１，５−ジメチルヘキシル基及び１，１，３，３−テトラメチルブチル基などが挙げられる。Ｌ5のＣ2-12アルカンジイル基としては、エチレン基及びヘキサンジイル基などが挙げられる。
【０１４９】
Ｒ18のＣ1-4アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基が挙げられる。
【０１５０】
Ｒ14は、好ましくはＣ2-10アルキル基、より好ましくは２−エチルヘキシル基である。
Ｒ15は、好ましくはメチル基である。Ｒ16は、好ましくはシアノ基である。Ｒ17は、好ましくはヒドロキシ基である。Ｒ18は、好ましくはメチル基、エチル基、プロピル基又はブチル基、より好ましくはブチル基である。染料（Ｇ１）の中でも、式（Ｇ１−１）で表される染料が好ましい。
【０１５１】
【化１４】
0005620774.tif 000015
【０１５２】
またスルホンアミド構造を有するアゾ染料としては、例えば、式（Ｇ２）、式（Ｇ３）又は式（Ｇ４）で表される染料が挙げられる。
【０１５３】
【化１５】
0005620774.tif 000016
【０１５４】
スルホンアミド構造を有するアントラキノン染料としては、例えば、式（Ｇ５）で表される染料が挙げられる。
【０１５５】
【化１６】
0005620774.tif 000017
【０１５６】
スルホンアミド構造を有するトリフェニルメタン染料としては、例えば、式（Ｇ６）で表される染料が挙げられる。
【０１５７】
【化１７】
0005620774.tif 000018
【０１５８】
スルホンアミド構造を有するキサンテン染料としては、例えば、式（Ｇ７）で表される染料が挙げられる。
【０１５９】
【化１８】
0005620774.tif 000019
【０１６０】
スルホンアミド構造を有するフタロシアニン染料としては、例えば、式（Ｇ８）で表される染料が挙げられる。
【０１６１】
【化１９】
0005620774.tif 000020
【０１６２】
式（Ｇ８）中、Ｒ20〜Ｒ23は、それぞれ独立に、水素原子、−ＳＯ2ＮＨ（ＣＨ2）3ＯＣＨ（ＣＨ3）2基又はスルホ基（−ＳＯ3Ｈ）を表す。但しＲ20〜Ｒ23の少なくとも２つは、−ＳＯ2ＮＨ（ＣＨ2）3ＯＣＨ（ＣＨ3）2基である。
【０１６３】
塗膜やパターンで目的とする分光を達成するために着色剤（Ｇ）を使用する場合、その含有量は、樹脂組成物の固形分に対して、好ましくは６０質量％以下、より好ましくは５５質量％以下、さらに好ましくは５０質量％以下である。
【０１６４】
目的とする分光を達成するために顔料を使用する場合、その含有量は、着色剤（Ｇ）に対して、好ましくは２質量％以上（より好ましくは５質量％以上、さらに好ましくは１０質量％以上）、好ましくは１００質量％以下（より好ましくは９８質量％以下、さらに好ましくは９５質量％以下）である。この範囲の量で顔料を使用すれば、優れた耐熱性及び耐光性を実現できる。
【０１６５】
〈その他の添加剤（Ｈ）〉
本発明の樹脂組成物は、必要に応じて、その他の添加剤（Ｈ）を含有していてもよい。
その他の添加剤（Ｈ）としては、例えば、充填剤、樹脂（Ａ）以外の高分子化合物、密着促進剤、界面活性剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、連鎖移動剤などが挙げられる。
【０１６６】
充填剤としては、例えば、ガラス、シリカ、アルミナ等が挙げられる。
高分子化合物としては、例えば、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂等の硬化性樹脂ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレート、ポリエステル、ポリウレタン等の熱可塑性樹脂等が挙げられる。
【０１６７】
界面活性剤としては、例えば、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤及びフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも１種が挙げられる。界面活性剤は、界面活性剤を除く感光性樹脂組成物１００質量％に対して、０．００２５〜０.０２５０質量％であることが適しており、好ましくは０.００２５〜０.０２００質量％、より好ましくは０.００５〜０.０１００質量％である。界面活性剤をこの範
囲で含有することにより、塗膜の平坦性を良好にすることができるとともに、溶媒乾燥時の突沸を防止することが可能となる。
【０１６８】
シリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合を有する界面活性剤が挙げられる。
具体的には、ＤＣ３ＰＡ、ＳＨ７ＰＡ、ＤＣ１１ＰＡ、ＳＨ２１ＰＡ、ＳＨ２８ＰＡ、同ＳＨ２９ＰＡ、ＳＨ３０ＰＡ、ＳＨ８４００（商品名：東レ・ダウコーニング（株）製）、ＫＰ３２１、ＫＰ３２２、ＫＰ３２３、ＫＰ３２４、ＫＰ３２６、ＫＰ３４０、ＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、ＴＳＦ４００、ＴＳＦ４０１、ＴＳＦ４１０、ＴＳＦ４３００、ＴＳＦ４４４０、ＴＳＦ４４４５、ＴＳＦ−４４４６、ＴＳＦ４４５２、ＴＳＦ４４６０（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製）等が挙げられる。
【０１６９】
フッ素系界面活性剤としては、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。
具体的には、フロリナート（登録商標）ＦＣ４３０、同ＦＣ４３１（住友スリーエム（株）製）、メガファック（登録商標）Ｆ１４２Ｄ、同Ｆ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７７、同Ｆ１８３、同Ｒ３０（ＤＩＣ（株）製）、エフトップ（登録商標）ＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５１、同ＥＦ３５２（三菱マテリアル電子化成（株）製）、サーフロン（登録商標）Ｓ３８１、同Ｓ３８２、同ＳＣ１０１、同ＳＣ１０５（ＡＧＣセイミケミカル（株）製）、Ｅ５８４４（（株）ダイキンファインケミカル研究所製）、ＢＭ−１０００、ＢＭ−１１００（いずれも商品名：ＢＭ  Ｃｈｅｍｉｅ社製）等が挙げられる。
【０１７０】
フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合及びフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、メガファック（登録商標）Ｒ０８、同ＢＬ２０、同Ｆ４７５、同Ｆ４７７、同Ｆ４４３（ＤＩＣ（株）製）等が挙げられる。
【０１７１】
密着促進剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、３−グリシジルオキシキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、３−スルファニルプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。
これらは、イソシアナト基含有シラン化合物（Ｆ）と併用してもよい。
【０１７２】
酸化防止剤としては、例えば、２−ｔｅｒｔ−ブチル−６−（３−ｔｅｒｔ−ブチル−２−ヒドロキシ−５−メチルベンジル）−４−メチルフェニルアクリレート、２−［１−（２−ヒドロキシ−３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ペンチルフェニル）エチル］−４，６−ジ−ｔｅｒｔ−ペンチルフェニルアクリレート、６−［３−（３−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロポキシ］−２，４，８，１０−テトラ−ｔｅｒｔ−ブチルジベンズ［ｄ、ｆ］［１，３，２］ジオキサホスフェピン、３，９−ビス［２−｛３−（３−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロピオニルオキシ｝−１，１−ジメチルエチル］−２，４，８，１０−テトラオキサスピロ［５．５］ウンデカン、２，２’−メチレンビス（６−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノール）、４，４’−ブチリデンビス（６−ｔｅｒｔ−ブチル−３−メチルフェノール）、４，４’−チオビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−メチルフェノール）、２，２’−チオビス（６−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノール）、ジラウリル３，３’−チオジプロピオネート、ジミリスチル３，３’−チオジプロピオネート、ジステアリル３，３’−チオジプロピオネート、ペンタエリスリチルテトラキス（３−ラウリルチオプロピオネート）、１，３，５−トリス（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）−１，３，５−トリアジン−２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）−トリオン、３，３’，３”，５，５’，５”−ヘキサ−ｔｅｒｔ−ブチル−ａ，ａ’，ａ”−（メシチレン−２，４，６−トリイル）トリ−ｐ−クレゾール、ペンタエリスリトールテトラキス［３−（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノール等が挙げられる。また酸化防止剤は、チバ・ジャパン社などから「ＩＲＧＡＮＯＸ３１１４」などの商品名で市販されている。
【０１７３】
紫外線吸収剤としては、例えば、２−（２−ヒドロキシ−５−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−２Ｈ−ベンゾトリアゾール、オクチル−３−［３−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−（５−クロロ−２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）フェニル］プロピオネート、２−［４−［（２−ヒドロキシ−３−ドデシルオキシプロピル）オキシ］−２−ヒドロキシフェニル］−４，６−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−［４−［（２−ヒドロキシ−３−（２’−エチル）ヘキシル）オキシ］−２−ヒドロキシフェニル］−４，６−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（２−ヒドロキシ−４−ブチルオキシフェニル）−６−（２，４−ビス−ブチルオキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−（２−ヒドロキシ−４−［１−オクチルオキシカルボニルエトキシ］フェニル）−４，６−ビス（４−フェニルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−４，６−ビス（１−メチル−１−フェニルエチル）フェノール、２−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−６−（１−メチル−１−フェニルエチル）−４−（１，１，３，３−テトラメチルブチル）フェノール、２−（３−ｔｅｒｔ−ブチル−２−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等が挙げられる。
【０１７４】
光安定剤としては、例えば、コハク酸と（４−ヒドロキシ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン−１−イル）エタノールとからなる高分子；Ｎ，Ｎ’，Ｎ”，Ｎ'”−テトラキス（４，６−ビス（ブチル−（Ｎ−メチル−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン−４−イル）アミノ）トリアジン−２−イル）−４，７−ジアザデカン−１，１０−ジアミン；デカンジオイックアシッドとビス（２，２，６，６−テトラメチル−１−（オクチルオキシ）−４−ピペリジニル）エステルと１，１−ジメチルエチルヒドロパーオキシドとの反応物；ビス（１，２，２，６，６−ペンタメチル−４−ピペリジニル）−［［３，５−ビス（１，１−ジメチルエチル）−４−ヒドロキシフェニル］メチル］ブチルマロネート；２，４−ビス［Ｎ−ブチル−Ｎ−（１−シクロヘキシルオキシ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン−４−イル）アミノ］−６−（２−ヒドロキシエチルアミン）−１，３，５−トリアジン；ビス（１，２，２，６，６−ペンタメチル−４−ピペリジニル）セバケート；メチル（１，２，２，６，６−ペンタメチル−４−ピペリジニル）セバケート等が挙げられる。
【０１７５】
連鎖移動剤としては、例えば、ドデカンチオール、２，４−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテン等が挙げられる。
【０１７６】
〈溶剤（Ｊ）〉
溶剤（Ｊ）としては、樹脂（Ａ）等の各成分を均一に溶解又は分散し、かつ各成分と反応しないものが適している。塗布性及び乾燥性の点から、沸点が１００℃〜２００℃である有機溶剤が好ましい。溶剤（Ｊ）としては、例えば、以下のものを使用できる。
【０１７７】
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル及びエチレングリコールモノブチルエーテル等のエチレングリコールモノアルキルエーテル類；
エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシペンチルアセテート等のアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類。
【０１７８】
プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル等のプロピレングリコールモノアルキルエーテル類；
プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールジプロピルエーテルプロピレングリコールプロピルメチルエーテル、プロピレングリコールエチルプロピルエーテル等のプロピレングリコールジアルキルエーテル類；
プロピレングリコールメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールエチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールプロピルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールブチルエーテルプロピオネート等のプロピレングリコールアルキルエーテルプロピオネート類。
【０１７９】
メトキシブチルアルコール、エトキシブチルアルコール、プロポキシブチルアルコール、ブトキシブチルアルコール等のブタンジオールモノアルキルエーテル類；
メトキシブチルアセテート、エトキシブチルアセテート、プロポキシブチルアセテート、ブトキシブチルアセテート等のブタンジオールモノアルキルエーテルアセテート類；
メトキシブチルプロピオネート、エトキシブチルプロピオネート、プロポキシブチルプロピオネート、ブトキシブチルプロピオネート等のブタンジオールモノアルキルエーテルプロピオネート類。
【０１８０】
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル等のジエチレングリコールジアルキルエーテル類；
ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエチルエーテル等のジプロピレングリコールジアルキルエーテル類。
【０１８１】
ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン等の芳香族炭化水素類；
メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類。
【０１８２】
酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、２−ヒドロキシプロピオン酸エチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ヒドロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、３−ヒドロキシプロピオン酸メチル、３−ヒドロキシプロピオン酸エチル、３−ヒドロキシプロピオン酸プロピル、３−ヒドロキシプロピオン酸ブチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プロピル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブチル、プロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、プロポキシ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、ブトキシ酢酸メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プロピル、ブトキシ酢酸ブチル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸ブチル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−エトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸ブチル、２−ブトキシプロピオン酸メチル、２−ブトキシプロピオン酸エチル、２−ブトキシプロピオン酸プロピル、２−ブトキシプロピオン酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸プロピル、３−メトキシプロピオン酸ブチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸プロピル、３−エトキシプロピオン酸ブチル、３−プロポキシプロピオン酸メチル、３−プロポキシプロピオン酸エチル、３−プロポキシプロピオン酸プロピル、３−プロポキシプロピオン酸ブチル、３−ブトキシプロピオン酸メチル、３−ブトキシプロピオン酸エチル、３−ブトキシプロピオン酸プロピル、３−ブトキシプロピオン酸ブチル等のエステル類。
【０１８３】
テトラヒドロフラン、ピラン等の環状エーテル類；
γ−ブチロラクトン等の環状エステル類。
【０１８４】
上述のものの中でも、アルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類（より好ましくはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）、ケトン類（より好ましくはシクロヘキサノン）、ブタンジオールモノアルキルエーテルアセテート類（より好ましくはメトキシブチルアセテート）、ブタンジオールモノアルキルエーテル類、ジエチレングリコールジアルキルエーテル類（より好ましくはジエチレングリコールエチルメチルエーテル）、エステル類（より好ましくは３−エトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル）が好ましい。
【０１８５】
溶剤（Ｊ）の含有量は、組成物に対して、好ましくは５０質量％以上（より好ましくは６０質量％以上）、好ましくは９５質量％以下（より好ましくは９０質量％以下）である。
【０１８６】
〈塗膜、パターン及び表示装置〉
本発明の塗膜は、前記樹脂組成物を、基体（例えば基板又は樹脂層が形成された基板など）に塗布した後、熱重合又は光重合することによって塗膜を形成できる。塗膜を形成するための塗布方法には特に限定は無く、スピンコート法などの公知の方法を使用できる。
【０１８７】
本発明のパターンは、例えばインクジェット機器などを用いて、本発明の樹脂組成物をパターン状に塗布した後、熱重合又は光重合することによって形成できる。また光重合開始剤（Ｃ）を含有する本発明の感光性樹脂組成物を用いれば、フォトリソグラフ法によってもパターンを形成できる。フォトリソグラフ法では、通常、感光性樹脂組成物の塗布、溶剤除去、露光前の加熱（プリベーク）、露光、現像、現像後の加熱（ポストベーク）、及び各工程を経てパターンが形成される。
【０１８８】
本発明の塗膜及びパターンは、例えば、表示装置のカラーフィルタ又はアレイ基板などの構成部品である透明膜、カラーフィルタの着色パターン、フォトスペーサ、オーバーコート、絶縁膜、液晶配向制御用突起、マイクロレンズ、コート層などに好適である。本発明の塗膜及びパターンは、基板に対して充分な密着性を示すので、この基板上に形成される塗膜又はパターンとして特に有用である。前記表示装置としては、好ましくは、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置などが挙げられる。
【実施例】
【０１８９】
以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例によって制限を受けるものではなく、上記・下記の趣旨に適合し得る範囲で適当に変更を加えて実施することも勿論可能であり、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。
なお以下では、成分量における「％」及び「部」は、特記がない限り、「質量％」及び「質量部」である。
【０１９０】
１．樹脂（Ａ）の合成
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えた１Ｌのフラスコ内に窒素を０．０２Ｌ／分で流して窒素雰囲気とし、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル１４０部を入れ、撹拌しながら７０℃まで加熱した。次いでメタクリル酸４０部；並びに単量体（ｂ１−２−１）及び単量体（ｂ１−３−１）の混合物｛混合物中の単量体（ｂ１−２−１）：単量体（ｂ１−３−１）のモル比＝５０：５０｝３６０部を、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル１９０部に溶解させた溶液を調製し、この溶液を、滴下ポンプを用いて４時間かけて、７０℃に保温したフラスコ内に滴下した。
【０１９１】
【化２０】
0005620774.tif 000021
【０１９２】
一方、重合開始剤２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）３０部をジエチレングリコールエチルメチルエーテル２４０部に溶解させた溶液を、別の滴下ポンプを用いて５時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤溶液の滴下が終了した後、７０℃で４時間保持し、その後室温まで冷却して、固形分４２．３％、酸価６０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇの共重合体｛樹脂（Ａ１）｝の溶液を得た。得られた樹脂（Ａ１）の重量平均分子量（Ｍｗ）は８０００、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）は１．９１であった。
【０１９３】
得られた樹脂（Ａ１）の重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）は、以下の条件のゲル浸透クロマトグラフィーによって測定した。
装置：Ｋ２４７９（（株）島津製作所製）
カラム：ＳＨＩＭＡＤＺＵ  Ｓｈｉｍ−ｐａｃｋ  ＧＰＣ−８０Ｍ
カラム温度：４０℃
溶媒：ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）
流速：１．０ｍＬ／ｍｉｎ
検出器：ＲＩ
標準：ポリスチレン
【０１９４】
２．感光性樹脂組成物の調製
実施例１．感光性樹脂組成物１（以下「組成物１」と略称する）の調製
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６：４．３部、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０：１．９部及びアクリル系顔料分散剤１．７部を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３５部と混合し、ビーズミルを用いて顔料を充分に分散させて、顔料分散液を調製した。この顔料分散液、樹脂（Ａ１）溶液１００．２部（固形分換算４２．４部）、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製）４２．４部、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール（Ｂ−ＣＩＭ；保土谷化学（株）製）３．４部、２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチルベンゾチアゾリン０．４部、ペンタエリスリトールテトラキス（３−スルファニルプロピオネート）（ＰＥＭＰ；ＳＣ有機化学（株）製）２．５部、３−イソシアナトプロピルトリエトキシシラン（ＫＢＥ−９００７；信越化学工業（株）製）０．９部、シリコーン系界面活性剤であるポリエーテル変性シリコーンオイル（ＳＨ８４００；東レ・ダウコーニング（株）製）０．０４部、ＩＲＧＡＮＯＸ３１１４（チバ・ジャパン社製）０．２部、及び溶剤を混合して、組成物１を得た。溶剤は、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、及びジプロピレングリコールジメチルエーテルの質量比が４０：３０：１７：１３になり、且つ組成物１の固形分が３３％となるように混合した。
【０１９５】
実施例２〜６．感光性樹脂組成物２〜６
各成分の使用量を表１に記載される量に変更する以外は、実施例１と同様にして感光性樹脂組成物２〜６（以下「組成物２」等と略称する。）を得た。
【０１９６】
【表１】
0005620774.tif 000022
【０１９７】
比較例１．感光性樹脂組成物Ｈ１（以下「組成物Ｈ１」と略称する）の調製
３−イソシアナトプロピルトリエトキシシランを３−アミノプロピルトリメトキシシランに代えたこと以外は組成物１と同様にして組成物Ｈ１を調製した。しかし各成分を混合すると、組成物Ｈ１はゲル化した。そのため密着性等を評価できなかった。
【０１９８】
比較例２．感光性樹脂組成物Ｈ２（以下「組成物Ｈ２」と略称する）の調製
３−イソシアナトプロピルトリエトキシシランをＮ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシシランに代えたこと以外は組成物１と同様にして、組成物Ｈ２を得た。
【０１９９】
３．評価
以下のようにして組成物の保存安定性、密着性、フォトリソグラフ法のパターン現像時の残渣及び解像度を評価した。
【０２００】
（１）保存安定性の評価
組成物を２３℃で４日間保管した前後で、その粘度を測定した。粘度測定には、東機産業社製の粘度計（ＶＩＳＣＭＥＴＥＲ  ＴＶ−３０）を使用した。式（Ｉ）で示す粘度変化（％）の値が９８〜１０２％の範囲内であれば良好（○）と、この範囲を外れれば不良（×）と評価した。結果を表２に示す。
粘度変化（％）
＝１００×保管後の粘度（ｍＰａ・ｓ）／保管前の粘度（ｍＰａ・ｓ）      （Ｉ）
【０２０１】
（２）密着性の評価
シリコンナイトライド基板への密着性を以下のようにして評価した。まず５ｃｍ×５ｃｍのシリコンナイトライド基板を、中性洗剤、水及びアルコールで順次洗浄してから乾燥した。この基板上に、組成物をポストベーク後の膜厚が３．０μｍになるようにスピンコートした。次いで減圧乾燥機（ＶＣＤマイクロテック（株）製）で減圧度を１．０ｔｏｒｒまで減圧することによって溶剤を除去して、塗膜を形成した。この塗膜を、ホットプレート中、９０℃で２分間プリベークした。次いで露光機（ＴＭＥ−１５０ＲＳＫ；トプコン（株）製、光源；超高圧水銀灯）を用いて、大気雰囲気下、１００ｍＪ／ｃｍ2の露光量（４０５ｎｍ基準）で、プリベーク後の塗膜に露光した。この露光では、超高圧水銀灯からの放射光を光学フィルタ（ＬＵ０４００；朝日分光（株）製）を通過させて行った。
露光後の塗膜を、２７℃のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液（水溶液１００部中にテトラメチルアンモニウムヒドロキシドを０．２０部含有）で１２０秒間浸漬し、水洗後、ホットプレートにて、２３５℃で１１分間ポストベークを行い、膜厚３μｍの硬化塗膜を得た。
【０２０２】
硬化塗膜に、カッター及びスーパーカッターガイド（太佑機材社製）を用いて１ｍｍ間隔で切り込みを入れ、１ｍｍ×１ｍｍの升目を１００個作製した。切り込みを入れた硬化塗膜を、プレッシャークッカー試験装置（タバイエスペック（株）社製）で温度１２０℃、湿度１００％、圧力２．１気圧の条件下で２時間処理した。次いで硬化塗膜の切り込みの升目にセロテープ（登録商標）２４ｍｍ幅（ニチバン（株）社製）を貼り、セロテープの上から消しゴムでこすって硬化塗膜にセロテープを付着させ、２分後にセロテープの端を持って、塗膜面に直角に保ちながら、一気に剥がした。その後、硬化塗膜が剥離せずに基板に残った升目の数を目視で数えた。結果を表２に示す。
【０２０３】
（３）フォトリソグラフ法のパターン現像時の残渣及び解像度
（３−１）パターン現像
５ｃｍ×５ｃｍのガラス基板を、中性洗剤、水及びアルコールで順次洗浄してから乾燥した。この基板上に、樹脂組成物をポストベーク後の膜厚が３．０μｍになるようにスピンコートした。次いで減圧乾燥機（ＶＣＤマイクロテック（株）製）で減圧度を１．０Ｔｏｒｒまで減圧することによって溶剤を除去して、塗膜を形成した。この塗膜を、ホットプレート中、９０℃で２分間プリベークした。次いで露光機（ＴＭＥ−１５０ＲＳＫ；トプコン（株）製、光源；超高圧水銀灯）を用いて、大気雰囲気下、５０ｍＪ／ｃｍ2の露光量（４０５ｎｍ基準）で、プリベーク後の塗膜に露光した。この露光では、超高圧水銀灯からの放射光を、光学フィルタ（ＬＵ０４００；朝日分光（株）製）を通過させて行った。またこの露光では、線幅３μｍ、４μｍ、５μｍ、６μｍ、７μｍ、８μｍ、９μｍ、１０μｍ、２０μｍ、３０μｍ、４０μｍ、５０μｍおよび１００μｍの線状のパターンを形成するための石英ガラス製フォトマスクを使用し、基板とフォトマスクとの間隔を１０μｍとした。露光後の塗膜を、２７℃のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液（水溶液１００部中にテトラメチルアンモニウムヒドロキシドを０．２０部含有）で１２０秒間浸漬して現像し、水洗後、ホットプレートにて、２３５℃で１１分間ポストベークを行い、膜厚３μｍのラインアンドスペースのパターンを形成した。
【０２０４】
（３−２）残渣評価
パターンの非露光部を顕微鏡（ＶＦ７５１０；キーエンス社製；倍率１２５０倍）で観察し、組成物に由来する付着物が観察されなかった場合を良好（○）と、観察された場合を不良（×）と評価した。結果を表２に示す。
【０２０５】
（３−３）解像度評価
走査型電子顕微鏡（Ｓ−４０００；（株）日立製作所社製）で得られたパターンを観察し、パターンが分離している最小線幅を解像度とした。結果を表２に示す。
【０２０６】
【表２】
0005620774.tif 000023
【０２０７】
３−アミノプロピルトリメトキシシランを使用する組成物Ｈ１は、保存安定性が悪く、各成分を混合するとゲル化した。またＮ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシシランを含有する組成物Ｈ２は、その保存安定性は良好であるが、シリコンナイトライド基板に対する密着性に劣っている。これらに対して３−イソシアナトプロピルトリエトキシシランを含有する組成物１〜６は、保存安定性及び密着性の両方とも優れている。さらに組成物１〜６は、パターン現像時の非露光部分で残渣が認められず、現像性にも優れている。
【産業上の利用可能性】
【０２０８】
本発明の樹脂組成物は、保存安定性が良好であり、且つ基板に対して充分な密着性を有する硬化塗膜及びパターンを形成できる。さらに光重合開始剤を含む本発明の感光性樹脂組成物は、現像残渣なくパターンを形成できる。本発明の樹脂組成物は、高品質な透明膜やカラーフィルタの着色パターンを製造でき、これらを構成部品とする表示装置の歩留まりを向上させることができる。