(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、
装置本体に前記搬送方向に直交する搬送幅方向に間隔を置いて配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、浮上ガスを収容する複数のチャンバーと、
各チャンバーの上面に設けられ、内部が前記チャンバーの内部に連通してあって、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、
複数の前記浮上ユニットによって区画される搬送領域に配設され、配設状態が前記搬送幅方向に複数列になっており、基板を前記搬送方向へ搬送する複数のローラ駆動ユニットと、を具備し、
各ローラ駆動ユニットは、
前記チャンバーに着脱可能に設けられ、前記チャンバーにおける前記搬送方向に平行な垂直側面に当接可能な垂直基準面を有した取付ベースと、
前記取付ベースに設けられ、上側に開口部を有したケースと、
前記ケース内に収容され、前記取付ベースの前記垂直基準面に直交する方向に平行な軸心周りに回転可能であって、一部分が前記ケースの前記開口部から上方向へ突出し、基板の裏面を支持する搬送ローラと、
前記ケース内に収容され、前記搬送ローラを前記直交する方向に平行な軸心周りに回転させる搬送モータと、
前記ケースの前記開口部から前記ケース内に空気を吸引する吸引ファンと、を備えたことを特徴とする浮上搬送装置。
【請求項２】
前記チャンバーの前記垂直側面に凹部或いは突起が設けられ、前記取付ベースの前記垂直基準面に前記凹部に係合可能な係合突起或いは前記突起に係合可能な係合凹部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置。
【請求項３】
各ローラ駆動ユニットは、前記取付ベースに設けられ、前記ケースに収容された支持プレートと、を備え、
前記支持プレートの上部に前記搬送ローラが設けられ、前記支持プレートの下部に前記搬送モータが設けられていることと特徴とする請求項１又は請求項２に記載の浮上搬送装置。
【請求項４】
前記ケースは、前記取付ベースに設けられた下部ケースと、前記取付ベースにおける前記下部ケースの上側に設けられた上部ケースとからなることを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれか１項に記載の浮上搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、クリーン搬送の分野では浮上搬送装置について種々の開発がなされており、本願の発明者も浮上搬送装置について既に開発している。以下、本願の発明者が開発した先行技術に係る浮上搬送装置の構成等について説明する。
【０００３】
先行技術に係る浮上搬送装置は、搬送方向へ延びた装置本体（装置フレーム）を具備しており、この装置本体には、浮上ガスとしての圧縮空気を収容する複数のチャンバーが配設されており、各チャンバーの内部は、圧縮空気を供給する供給ファン等の圧縮空気供給源（浮上ガス供給源の一例）に接続されている。また、各チャンバーの上面には、圧縮空気の圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットが搬送方向に沿って設けられており、各浮上ユニットの内部は、チャンバーの内部に連通してあって、各浮上ユニットの上面には、圧縮空気を噴出するノズルが形成されている。
【０００４】
複数の浮上ユニットによって区画（画定）される搬送領域には、基板を搬送方向へ搬送する複数のローラ駆動ユニットが搬送方向に沿って配設されており、複数のローラ駆動ユニットの配設状態は、搬送方向に直交する搬送幅方向に複数列になっている。そして、各ローラ駆動ユニットの具体的な構成は、次のようになる。
【０００５】
即ち、装置本体又はチャンバーには、ケースが設けられており、このケースは、上側（上面）に、開口部を有している。また、ケース内には、基板の裏面を支持する搬送ローラが設けられており、搬送ローラは、搬送幅方向へ平行な軸心周りに回転可能であって、搬送ローラの一部分は、ケースの開口部から上方向へ突出してある。そして、ケース内における搬送ローラの下方には、搬送ローラを搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる搬送モータが設けられている。更に、ケースの下面には、ケースの開口部からケース内に空気を吸引する吸引ファンが設けられている。
【０００６】
従って、圧縮空気供給源の作動によって各チャンバーの内部へ圧縮空気を供給して、各浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させる。また、各吸引ファンの作動によって各ケースの開口部から各ケース内に空気を吸引して、各搬送ローラの周辺域（周辺領域）に負圧力を発生させると共に、各搬送モータの駆動によって各搬送ローラを搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、各搬送ローラの周辺域の負圧力によって基板の裏面と複数の搬送ローラとの接触を保った状態で、基板を搬送方向へ浮上搬送することができる。
【０００７】
なお、本発明に関連する他の先行技術として特許文献１に示すものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−２５４９１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、搬送方向に対する基板の直進性を十分に確保して、基板の浮上搬送を適切に行うには、ローラ駆動ユニットを搬送領域に配設する際に、搬送幅方向に対する搬送ローラの軸心の平行度を高精度に設定する必要がある。
【００１０】
しかしながら、搬送幅方向に対する搬送ローラの軸心の平行度を高精度に設定することは非常に厄介であって、ローラ駆動ユニットの配設作業に多くの時間と手間を要するという問題がある。
【００１１】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の特徴は、基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、装置本体に前記搬送方向に直交する搬送幅方向に間隔を置いて配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、浮上ガスを収容する複数のチャンバーと、各チャンバーの上面に設けられ、内部が前記チャンバーの内部に連通してあって、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、複数の前記浮上ユニットによって区画される搬送領域に配設され、配設状態が前記搬送幅方向に複数列になっており、基板を前記搬送方向へ搬送する複数のローラ駆動ユニットと、を具備し、各ローラ駆動ユニットは、前記チャンバーに着脱可能に設けられ、前記チャンバーにおける前記搬送方向に平行な垂直側面に当接可能な垂直基準面を有した取付ベースと、前記取付ベースに設けられ、上側に開口部を有したケースと、前記ケース内に収容され、前記取付ベースの前記垂直基準面に直交する方向に平行な軸心周りに回転可能であって、一部分が前記ケースの前記開口部から上方向へ突出し、基板の裏面を支持する搬送ローラと、前記ケース内に収容され、前記搬送ローラを前記直交する方向に平行な軸心周りに回転させる搬送モータと、前記ケースの前記開口部から前記ケース内に空気を吸引する吸引ファンと、を備えたことを要旨とする。
【００１３】
なお、本願の明細書及び特許請求の範囲において、「配設され」とは、直接的に配設されたことの他に、ブラケット等の介在部材を介して間接的に配設されたことを含む意であって、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、ブラケット等の介在部材を介して間接的に設けられたこと及び一体形成されたこと含む意である。また、「浮上ガス」とは、圧縮空気（エア）、アルゴンガス、窒素ガス等の含む意である。
【００１４】
本発明の特徴によると、前記浮上ガス供給源の作動によって各チャンバーの内部へ浮上ガスを供給して、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させる。また、各吸引ファンの作動によって各ケースの開口部から各ケース内に空気を吸引して、各搬送ローラの周辺域に負圧力を発生させると共に、各搬送モータの駆動によって各搬送ローラを前記取付ベースの前記垂直基準面に直交する方向（換言すれば、前記搬送幅方向）に平行な軸心周りに回転させる。これにより、各搬送ローラの周辺域の負圧力によって基板の裏面と複数の前記搬送ローラとの接触を保った状態で、基板を搬送方向へ浮上搬送することができる。
【００１５】
前述の作用の他に、前記取付ベースが前記チャンバーの前記垂直側面に当接可能な前記垂直基準面を有し、前記搬送ローラが前記取付ベースの前記垂直基準面に直交する方向に平行な軸心周りに回転可能であるため、前記取付ベースの前記垂直基準面を前記チャンバーの前記垂直側面に当接させて、前記取付ベースを前記チャンバーに装着するだけで、前記取付ベースの前記垂直基準面に直交する方向を前記搬送幅方向（前記搬送幅方向に平行な方向）に一致させて、前記搬送幅方向に対する前記搬送ローラの軸心の平行度を高精度に設定することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、前記取付ベースの前記垂直基準面を前記チャンバーの前記垂直側面に当接させて、前記取付ベースを前記チャンバーに装着するだけで、前記搬送幅方向に対する前記搬送ローラの軸心の平行度を高精度に設定できるため、前記ローラ駆動ユニットの配設作業が簡単になり、前記ローラ駆動ユニットの配設作業に要する時間と手間を極力低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図２におけるI-I線に沿った断面図である。
【図２】図３におけるII-II線に沿った断面図である。
【図３】図５における矢視部IIIの拡大図である。
【図４】図５におけるIV-IV線に沿った拡大断面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の概略的な平面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の概略的な正面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の概略的な側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の実施形態について図１から図７を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向、「ＦＲ」は、後方向、「Ｌ」は、左方向、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。
【００１９】
図４から図７に示すように、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置１は、例えばガラス基板等の基板Ｗを搬送方向（本発明の実施形態にあっては、前後方向）へ浮上搬送する装置であって、前後方向へ延びた装置本体（装置フレーム）３を具備している。また、装置本体３は、搬送方向へ延びた支持台５と、この支持台５の下側に一体的に設けられた複数の支柱７と、複数の支柱７に連結するように設けられた複数の補強部材９とを備えている。なお、装置本体３は、搬送方向に沿って複数に分割されてあっても構わない。
【００２０】
支持台５には、浮上ガスとしての圧縮空気（エア）を収容するチャンバー１１が搬送方向及び搬送方向に直交する搬送幅方向（本発明の実施形態にあっては、左右方向）に間隔を置いて配設されており、複数のチャンバー１１は、搬送幅方向に３列になっている。また、各チャンバー１１は、搬送方向へ延びてあって、搬送方向に平行な垂直側面ＭＳを有しており、各チャンバー１１の垂直側面ＭＳには、搬送方向へ延びた一対の溝１３（凹部の一例）が設けられている。更に、各チャンバー１１の下面には、チャンバー１１の内部へ圧縮空気を供給する浮上ガス供給源としての複数の供給ファン（本発明の実施形態にあっては、ファンフィルタユニット）１５が設けられている。
【００２１】
各チャンバー１１の上面には、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを浮上させる複数の浮上ユニット１７が搬送方向及び搬送幅方向に間隔を置いて配設されており、換言すれば、支持台５には、複数の浮上ユニット１７が複数のチャンバー１１を介して搬送方向及び搬送幅方向に間隔を置いて配設されている。また、各浮上ユニット１７の正面視形状（図６参照）及び側面視形状（図７参照）は、それぞれＴ字形状を呈しており、各浮上ユニット１７の内部は、対応するチャンバー１１の内部に連通してある。そして、各浮上ユニット１７の上面には、圧縮空気を噴出する矩形枠状のノズル１９が浮上ユニット１７の上面の外縁に沿って形成されており、各浮上ユニット１７は、基板Ｗとの間に浮上ガス溜まり層としてのエア溜まり層（圧力溜まり層）Ｓを生成可能である（図４参照）。ここで、各浮上ユニット１７のノズル１９は、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、垂直方向（浮上ユニット１７の上面に垂直な方向）に対してユニット中心側（浮上ユニット１７の中心側）へ傾斜するようになっている。
【００２２】
なお、複数の浮上ユニット１７によって、基板Ｗを搬送する搬送領域Ｔが区画されるようになっている。
【００２３】
搬送領域Ｔには、基板Ｗを搬送方向へ搬送する複数のローラ駆動ユニット２１が搬送方向に沿って配設されており、複数のローラ駆動ユニット２１の配設状態は、搬送幅方向に２列になっている。そして、各ローラ駆動ユニット２１の具体的な構成は、次のようになる。
【００２４】
図１から図３に示すように、チャンバー１１の垂直側面ＭＳには、断面Ｌ字状の取付ベース２３が複数の取付ボルト２５を介して着脱可能に設けられており、取付ベース２３の垂直部２３ｖと水平部２３ｈとからなっている。また、取付ベース２３の垂直部２３ｖは、チャンバー１１の垂直側面ＭＳに当接可能な垂直基準面ＲＳを有してあって、取付ベース２３の水平部２３ｈには、切欠２７が形成されている。更に、取付ベース２３の垂直部２３ｖの垂直基準面ＲＳには、チャンバー１１の溝１３に係合可能な複数（図１には１つのみ図示）の係合突起２９がねじ止めによって設けられている。なお、チャンバー１１の垂直側面ＭＳに突起（図示省略）が設けられた場合にあっては、取付ベース２３の垂直部２３ｖの垂直基準面ＲＳに、係合突起２９が設けられる代わりに、チャンバー１１の突起に係合可能な係合凹部（図示省略）が設けられるようにしても構わない。
【００２５】
取付ベース２３の水平部２３ｈにおける切欠２７の下側周縁には、下部ケース３１が設けられており、下部ケース３１は、取付ベース２３の垂直部２３ｖに適宜に固定されている。また、取付ベース２３の水平部２３ｈにおける切欠２７の上側周縁（換言すれば、下部ケース３１の上側）には、上部ケース３３が設けられており、上部ケース３３は、上側（上面）に、開口部３５を有している。更に、取付ベース２３の垂直部２３ｖには、上下方向へ延びた支持プレート３７が複数の取付ボルト３９を介して設けられており、支持プレート３７は、取付ベース２３の切欠２７を挿通（貫通）してあって、下部ケース３１及び上部ケース３３内に収容されている。
【００２６】
支持プレート３７の上部には、基板Ｗの裏面を支持する搬送ローラ４１がローラ軸４３を介して設けられており、搬送ローラ４１は、上部ケース３３内に収容されている。また、搬送ローラ４１は、取付ベース２３の垂直部２３ｖの垂直基準面ＲＳに直交する方向に平行な軸心周りに回転可能であって、搬送ローラ４１の一部分は、上部ケース３３の開口部３５から上方向へ突出してある。ここで、取付ベース２３の垂直部２３ｖの垂直基準面ＲＳをチャンバー１１の垂直側面ＭＳに当接させた状態において、取付ベース２３の垂直部２３ｖの垂直基準面ＲＳに直交する方向は、搬送幅方向（搬送幅方向に平行な方向）と同じ方向になっている。
【００２７】
支持プレート３７の下部には、搬送ローラ４１を取付ベース２３の垂直部２３ｖの垂直基準面ＲＳに直交する方向（換言すれば、搬送幅方向）に平行な軸心周りに回転させる搬送モータ４５が複数本の取付ロッド４７を介して設けられており、搬送モータ４５は、下部ケース３１内に収容されている。また、搬送モータ４５の出力軸は、主動プーリ４９、タイミングベルト５１、及び従動プーリ５３を介して搬送ローラ４１に連動連結してある。
【００２８】
下部ケース３１の下面には、上部ケース３１の開口部３５から下部ケース３１及び上部ケース３３内に空気を吸引する吸引ファン５５が設けられている。
【００２９】
続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。
【００３０】
各供給ファン１５の作動によって各チャンバー１１の内部へ圧縮空気を供給することにより、各浮上ユニット１７のノズル１９から圧縮空気を噴出させる。また、各吸引ファン５５の作動によって各上部ケース３３の開口部３５から各下部ケース３１及び各上部ケース３３内に空気を吸引して、各搬送ローラ４１の周辺域に負圧力を発生させると共に、各搬送モータ４５の駆動によって各搬送ローラ４１を取付ベース２３の垂直部２３ｖの垂直基準面ＲＳに直交する方向（換言すれば、搬送幅方向）に平行な軸心周りに回転させる。これにより、各搬送ローラ４１の周辺域の負圧力によって基板Ｗの裏面と複数の搬送ローラ４１との接触を保った状態で、基板Ｗと複数の浮上ユニット１７の間にエア溜まり層Ｓを生成しつつ、基板Ｗを搬送方向へ浮上搬送することができる。
【００３１】
前述の作用の他に、取付ベース２３の垂直部２３ｖがチャンバー１１の垂直側面ＭＳに当接可能な垂直基準面ＲＳを有し、搬送ローラ４１が取付ベース２３の垂直部２３ｖの垂直基準面ＲＳに直交する方向に平行な軸心周りに回転可能であるため、取付ベース２３の垂直部２３ｖの垂直基準面ＲＳをチャンバー１１の垂直側面ＭＳに当接させて、取付ベース２３をチャンバー１１に複数の取付ボルト３９を介して装着するだけで、取付ベース２３の垂直部２３ｖの垂直基準面ＲＳに直交する方向を搬送幅方向（搬送幅方向に平行な方向）に一致させて、搬送幅方向に対する搬送ローラ４１の軸心の平行度を高精度に設定することができる。
【００３２】
また、取付ベース２３の垂直部２３ｖの垂直基準面ＲＳをチャンバー１１の垂直側面ＭＳに当接させる際に、取付ベース２３の係合突起２９をチャンバー１１の溝１３に係合させることにより、チャンバー１１に対してローラ駆動ユニット２１の上下方向の位置決めを簡単かつ高精度に行うことができる。
【００３３】
本発明の実施形態によれば、取付ベース２３の垂直部２３ｖの垂直基準面ＲＳをチャンバー１１の垂直側面ＭＳに当接させて、取付ベース２３をチャンバー１１に複数の取付ボルト３９を介して装着するだけで、搬送幅方向に対する搬送ローラ４１の軸心の平行度を高精度に設定できるため、ローラ駆動ユニット２１の配設作業が簡単になり、ローラ駆動ユニット２１の配設作業に要する時間と手間を極力低減することができる。特に、チャンバー１１に対してローラ駆動ユニット２１の上下方向の位置決めを簡単かつ高精度に行うことができるため、前述の効果をより一層高めることができる。
【００３４】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限るものでなく、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【符号の説明】
【００３５】
Ｗ        基板
ＭＳ      垂直側面
ＲＳ      垂直基準面
Ｓ        エア溜まり層（圧力溜まり層）
Ｔ        搬送領域
Ｗ        基板
１        浮上搬送装置
３        装置本体
５        支持台
１１        チャンバー
ＭＳ        チャンバーの垂直側面  
１３        溝（凹部）
１５        供給ファン
１７        浮上ユニット
１９        ノズル
２１        ローラ駆動ユニット
２３        取付ベース
２３ｈ      水平部
２３ｖ      垂直部
ＲＳ        取付ベースの垂直部の基準面
２５        取付ボルト
２７        切欠
２９        係合突起
３１        下部ケース
３３        上部ケース
３５        開口部
３７        支持プレート
４１        搬送ローラ
４３        ローラ軸
４５        搬送モータ
４９        主動プーリ
５１        タイミングベルト
５３        従動プーリ
５５        吸引ファン
【図１】
0005515923.tif 000002
【図２】
0005515923.tif 000003
【図３】
0005515923.tif 000004
【図４】
0005515923.tif 000005
【図５】
0005515923.tif 000006
【図６】
0005515923.tif 000007
【図７】
0005515923.tif 000008