(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
近接場光により記録媒体に情報を記録するヘッドジンバルアセンブリであって、
前記記録媒体の表面に沿って延設され、厚さ方向に撓む板状の撓み部材と、
前記撓み部材の先端側において、前記記録媒体の表面と対向するように配置され、光束を用いて近接場光を発生するスライダと、
前記光束を前記撓み部材の先端まで導く導光部と、
前記撓み部材と一体に形成され、前記撓み部材が前記光束を前記スライダに向けて反射する角度に曲げ加工され形成されるミラー部材と
を備えることを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項２】
前記撓み部材の先端側に備えられており、前記撓み部材よりも厚さ方向に撓み易いとともに前記スライダが配置されるフレクシャを備え、
前記フレクシャの一部は、前記ミラー部材により構成されることを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項３】
前記ミラー部材は、前記光束を反射する面に金属膜を備えることを特徴とする請求項１及び２のいずれかに記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項４】
前記ミラー部材は、前記光束を反射する部分が、前記光束を集光する凹状の集光部分を備えることを特徴とする請求項１及び２のいずれかに記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項５】
前記角度に曲げ加工される接続部を備え、
前記接続部は、前記撓み部材よりも厚み方向に曲がり易い構造から構成されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項６】
前記接続部は、厚みが他の部位よりも薄い部分を備えることを特徴とする請求項５に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項７】
前記接続部は、幅が前記ミラー部材における前記接続部以外の部位よりも狭い部分を備えることを特徴とする請求項５に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項８】
前記フレクシャは、前記光導波路を位置決めするために用いられる位置決め部を備えることを特徴とする請求項２に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項９】
前記位置決め部は、前記フレクシャと一体に形成されており、前記光導波路の長手方向に延びる細長空間部を備えており、
前記導光部は、前記細長空間部に配置されることにより、前記導光部の幅方向の位置決めが成されるものであることを特徴とする請求項８に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１０】
前記ミラー部材は、前記細長空間部に配置された前記導光部の先端と対向するように備えられていることを特徴とする請求項９に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１１】
前記ミラー部材の傾斜角を保持する傾斜保持部を備えることを特徴とする請求項１及び２のいずれかに記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１２】
前記傾斜保持部は、
前記撓み部材に備えられ、前記ミラー部材の両面のうちの前記光束を反射する側とは逆側の部分と当接する当接部を備えることを特徴とする請求項１１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１３】
前記ミラー部材は、前記当接部が嵌め込まれる溝を備えることを特徴とする請求項１２に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１４】
前記スライダに電流を供給する電気配線を備え、
前記フレクシャは、傾斜部と平坦部とを備え、
前記傾斜部の一部は前記ミラー部材により構成されており、
前記平坦部には、前記電気配線が備えられていることを特徴とする請求項２に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１５】
前記フレクシャは、
前記スライダを支持する支持部と、
前記フレクシャの先端で前記支持部と接続され、前記支持部に備えられる腕部とを備え、
前記支持部と前記腕部は前記ミラー部材を介して接続する第１接続部と、
前記導光部の長手方向に対して直交する方向において、前記第１接続部と併設して備えられており、前記腕部と前記支持部とを接続する第２接続部と、
前記第１接続部及び前記第２接続部のうちの前記第２接続部のみを介して前記スライダに前記電気配線が接続される電気配線部と
を備えることを特徴とする請求項１４に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１６】
前記導光部は、前記スライダと同等もしくは広い幅を有することを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光を集光したスポット光を利用して記録媒体に各種の情報記録再生するヘッドジンバルアセンブリに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータ機器におけるハードディスク等の記録媒体（以下、ディスクという）は、より大容量且つ高密度情報の記録再生を行いたい等のニーズを受けて、更なる高密度化が求められている。そのため、隣り合う磁区同士の影響や、熱揺らぎを最小限に抑えるために、保持力の強いものがディスクとして採用され始めている。そのため、ディスクに情報を記録することが困難になっていた。
【０００３】
そこで、上述した不具合を解消するために、近接場光を利用して磁区を局所的に加熱して一時的に保持力を低下させ、その間にディスクへの書き込みを行うハイブリッド磁気記録方式の情報記録再生装置が提案されている。特に、近接場光を利用する場合には、従来の光学系において限界とされていた光の波長以下となる領域を加熱することが可能となる。よって、従来の磁気記録再生装置を超える記録ビットの高密度化を図ることができる。
【０００４】
上述したハイブリッド磁気記録方式による情報記録再生装置としては、各種のものが提案されているが、その１つとして、スライダ外部の光源からの光を導光部で導き、スライダ上に設けられた近接場光ヘッドにその光を供給することで、微小開口から十分大きな近接場光を生成し、超高分解能の再生記録、高速記録再生、高ＳＮ比化を図ることができる情報記録再生装置が知られている。この情報記録再生装置は、近接場光ヘッドとそれに隣接する磁気記録素子を備えたスライダをディスク上でスキャンさせ、スライダをディスク上の所望する位置に配置する。その後、近接場光ヘッドから放射された近接場光と磁気記録素子から発生する記録磁界とを協働させることで、ディスクに情報を記録することができる。またその中でも、ディスク面と近接場光ヘッドとの間の距離をより近接させるために、近接場光ヘッドをスライダの先端面（流出端）側に配置するような構成が知られている。
【０００５】
ここで、近接場光ヘッドに光束を供給する導光部分は、スライダの厚み方向に薄く形成されている方が、スライダの浮上特性に影響を与え難い。そこで、特許文献１や特許文献２に示すように、光ファイバや樹脂導波路などの光導波路に光曲げ機能を付加的に加工することでスライダが厚み方向に大型化することを軽減させる工夫がなされた構造が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開第２００６−１９６１４０号公報
【特許文献２】特許４１６２６９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、特許文献１に開示されている近接場光ヘッドに光束を供給する構成においては、屈折率の異なる複数の光導波路の光軸をあわせて光学的に接続し、さらに光導波路の先端には光曲げのための反射面を形成しなければならない。このように、破損し易い光導波路に複雑な加工を施す必要があるため、加工工数及び製造コストが増加し、製造効率が低いという問題がある。
【０００８】
一方、サスペンションに沿って光を導く構造として特許文献２がある。特許文献２では、光導波路がフレクシャ上に形成されているという構造上の特徴のために、光導波路先端に光曲げ構造を形成する際、レーザ加工工程が必要となる。ゆえに、既存のフレクシャ製造工程では製造できず、光曲げ構造である先端４５度カットを非常に正確に行える高精度のレーザ加工機を導入し、加工工数を増やす必要がある。よって、加工工数及び製造コストが増加し、製造効率が低いという問題がある。
【０００９】
そこで本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、近接場光ヘッドに光束を供給するための光曲げ構造を容易に行うことで、加工コスト及び製造コストを低減して製造効率を向上させることができるヘッドジンバルアセンブリを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記目的を達成するために、以下の手段を提供する。
【００１１】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、近接場光により記録媒体に情報を記録するヘッドジンバルアセンブリであって、記録媒体の表面に沿って延設され、厚さ方向に撓む板状の撓み部材と、撓み部材の先端側において、記録媒体の表面と対向するように配置され、光束を用いて近接場光を発生するスライダと、光束を前記撓み部材の先端まで導く導光部と、撓み部材と一体に形成されており、撓み部材に対して傾斜しているとともに導光部から出射した光束をスライダに反射するミラー部材とを備えることを特徴とするものである。
【００１２】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、導光部から出射した光束をスライダへ反射するミラー部材が撓み部材と一体に形成されていることにより、導光部に複雑な加工を施すことなく、導光部を伝播してきた光束をスライダへ容易に曲げることができる。これにより、加工工数や製造コストを低減させることができるため、製造効率を向上させることができる。
【００１３】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、撓み部材の先端側に備えられており、撓み部材よりも厚さ方向に撓み易いとともにスライダが配置されるフレクシャを備え、フレクシャの一部は、ミラー部材により構成されることを特徴とするものである。
【００１４】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スライダに隣接するフレクシャにミラー部材が構成されていることによって、導光部から出射された光の空中伝播をより少なくすることが可能であり、光効率を向上させることができる。
【００１５】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、ミラー部材は、光束を反射する面に金属膜を備えることを特徴とするものである。
【００１６】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、ミラー部材の反射面に金属膜を備えることにより、より高効率に光束を反射させることができ、光効率を向上させることが出来る。
【００１７】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、ミラー部材は、光束を反射する部分が、光束を集光する凹状の集光部分を備えることを特徴とするものである。
【００１８】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、ミラー部材の反射面に集光部分を備えることにより、光束を集光することができるため、光効率を向上させることが出来る。
【００１９】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、ミラー部材は、撓み部材への接続部を備え、接続部は、撓み部材よりも厚み方向に曲がり易い構造から構成されることを特徴とするものである。
【００２０】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、ミラー部材の接続部を撓み部材よりも曲がり易い構造にすることにより、ミラー部材を適切な角度に曲げる際、容易に行うことが出来るため製造効率が向上する。
【００２１】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、接続部は、厚みが他の部位よりも薄い部分を備えることを特徴とするものである。
【００２２】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、ミラー部材の接続部は厚みが他の部位よりも薄い部分をそなえることにより、薄い部分において曲がり易い構造であるため、ミラー部材を適切な角度に曲げる際、容易に行うことが出来るため製造効率が向上する。
【００２３】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、接続部は、幅が前記ミラー部材における接続部以外の部位よりも狭い部分を備えることを特徴とするものである。
【００２４】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、ミラー部材の接続部の幅が他の部位よりも狭い部分を備えていることにより、幅の狭い部分において曲がり易い構造であるため、ミラー部材を適切な角度に曲げる際、容易に行うことが出来るため製造効率が向上する
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、フレクシャは、光導波路を位置決めするために用いられる位置決め部を備えることを特徴とするものである。
【００２５】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、フレクシャが光導波路の位置決め部を備えることにより、光導波路の位置決めを容易に行うことができるため、製造効率を向上させることが出来る。
【００２６】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、位置決め部は、フレクシャと一体に形成されており、光導波路の長手方向に延びる細長空間部を備えており、導光部は、細長空間部に配置されることにより、導光部の幅方向の位置決めが成されるものであることを特徴とするものである。
【００２７】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、フレクシャと一体形成された位置決め機能を持つ細長空間部に光導波路を配置することにより、フレクシャのスライダを配置する面を面一に保つことができるため、スライダの配置を容易にすることができ、製造効率を向上させることが出来る。
【００２８】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、ミラー部材は、細長空間部に配置された導光部の先端と対向するように備えられていることを特徴とするものである。
【００２９】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、フレクシャに一体形成された細長空間部の先端面をミラー部材とすることにより、光導波路の位置決め機能とミラー機能を有する構造を一括加工することが可能であるため、製造効率を向上させることができる。
【００３０】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、ミラー部材の傾斜角を保持する傾斜保持部を備えることを特徴とするものである。
【００３１】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、ミラー部材に保持部を備えることにより、ミラー部材の傾斜角を適切な角度に保つことが出来る。これにより、長期使用による性能劣化を防ぐことが出来る。
【００３２】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、傾斜保持部は、撓み部材に備えられ、ミラー部材の両面のうちの光束を反射する側とは逆側の部分と当接する当接部を備えることを特徴とするものである。
【００３３】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、ミラー部材の反射面とは反対の面に傾斜保持部の当接部を備えることにより、ミラー部材の傾斜角を適切な角度に保つことが出来る。これにより、長期使用による性能劣化を防ぐことが出来る。
【００３４】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、ミラー部材は、当接部が嵌め込まれる溝を備えることを特徴とするものである。
【００３５】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、ミラー部材の反射面とは反対側の面に溝を備えることにより、ミラー部材を折り曲げる工程を行う際、溝に当接部を嵌めこむことで反射面を適切な角度にすることが可能であり、加工が容易になる。これにより、製造効率が向上する。さらに、溝に当接部を嵌めこみ、ミラー部材の傾斜角を保持させることにより、ミラー部材の傾斜角をより強固に保つことが出来る。これにより、長期使用による性能劣化を防ぐことが出来る。
【００３６】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダに電流を供給する電気配線を備え、フレクシャは、傾斜部と平坦部とを備え、傾斜部の一部は前記ミラー部材により構成されており、平坦部には、電気配線が備えられていることを特徴とするものである。
【００３７】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、平坦部に電気配線が備えられることにより、電気配線が、傾斜面などで曲げられて受ける余計な負荷を回避することができる。これにより、電気配線の劣化を防ぐことができる。
【００３８】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、フレクシャは、スライダを支持する支持部と、フレクシャの先端で支持部と接続され、支持部に備えられる腕部とを備え、支持部と腕部はミラー部材を介して接続する第１接続部と、導光部の長手方向に対して直交する方向において、第１接続部と併設して備えられており、腕部と支持部とを接続する第２接続部と、第１接続部及び第２接続部のうちの第２接続部のみを介してスライダに電気配線が接続される電気配線部とを備えることを特徴とするものである。
【００３９】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、ミラー部材が備えられているフレクシャの領域を避けて電気配線を配置することにより、電気配線が、傾斜面などで曲げられて受ける余計な負荷を回避することができる。これにより、電気配線の劣化を防ぐことができる。
【００４０】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、導光部は、スライダと同等もしくは広い幅を有することを特徴とするものである。
【００４１】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、導光部がスライダと同等かそれ以上の幅を持つ程度に幅広く作られていることにより、導光部の上に直接スライダを固定しても、スライダを安定してフレクシャに固定できる。このため、スライダを安定して固定するための立体構造部などの構造が必要ない。これにより、立体構造部の材料費を削減できる。またさらに、導光部が幅広に形成されていることにより、導光部を扱い易くなる。
【発明の効果】
【００４２】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、導光部から出射した光束をスライダへ反射するミラー部材が撓み部材と一体に形成されていることにより、導光部に複雑な加工を施すことなく、導光部を伝播してきた光束をスライダへ容易に曲げることができる。これにより、加工工数や製造コストを低減させることができるため、製造効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】第１実施形態に係る情報記録再生装置１の一実施形態を示す構成図である。
【図２】図１に示すスライダ２を拡大した断面図である。
【図３】図１に示すヘッドジンバルアセンブリ１２を部品ごとに分離して見た斜視図である。
【図４】図３に示すフレクシャ２５を拡大して示した斜視図である。
【図５】図４とは異なる構造例を示したフレクシャ２５の拡大斜視図である。
【図６】第２実施形態に係るミラー部材５２を示した斜視図である。
【図７】第３実施形態に係るミラー部材５３を示した斜視図である。
【図８】第４実施形態に係るミラー部材５４を示した図である。上図：ミラー部材を真上から見た図。下図：上図のＢ−Ｂ'線で切った断面図。
【図９】第５実施形態に係るフレクシャ２５の先端部分を拡大して示した斜視図である。
【図１０】第６実施形態に係るミラー部材５６を示した斜視図である。
【図１１】第７実施形態に係るフレクシャ２５及び導光部３２１を拡大して示した斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００４４】
（第１実施形態）
（情報記録再生装置）
以下、本発明に係る第１実施形態を、図１から図５を参照して説明する。図１は、本発
明に係る情報記録再生装置１の一実施形態を示す構成図である。なお、本実施形態の情報
記録再生装置１は、垂直記録層を有するディスク（記録媒体）Ｄに対して、垂直記録方式
で書き込みを行う装置である。
【００４５】
本実施形態の情報記録再生装置１は、キャリッジ１１と、キャリッジ１１の基端側から光束を供給するレーザ光源２０と、キャリッジ１１の先端側に支持され、サスペンション３とサスペンション３の先端に形成されたスライダ２から構成されるヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）１２と、ヘッドジンバルアセンブリ１２をディスクＤの表面に平行なＸＹ方向に向けてスキャン移動させるアクチュエータ６と、ディスクＤを所定の方向に向けて回転させるスピンドルモータ７と、配線４を介してレーザ光源２０に接続されており、情報に応じて変調した電流をスライダ２に対して供給する制御部５と、これら各構成品を内部に収容するハウジング（不図示）とを備えている。
【００４６】
ハウジングは、アルミニウム等の金属材料からなる上部開口部を有する箱型形状のものであり、上面視四角形状の底部９と、底部９の周縁において底部９に対して鉛直方向に立設する周壁（不図示）とで構成されている。そして、周壁に囲まれた内側には、上述した各構成品等を収容する凹部が形成される。なお、図１においては、説明を分かりやすくするため、ハウジングの周囲を取り囲む周壁を省略する。また、このハウジングには、ハウジングの開口を塞ぐように図示しない蓋が着脱可能に固定されるようになっている。底部９の略中心には、上述したスピンドルモータ７が取り付けられており、該スピンドルモータ７に中心孔を嵌め込むことでディスクＤが着脱自在に固定される。
【００４７】
ディスクＤの外側、つまり底部９の隅角部には、上述したアクチュエータ６が取り付けられている。このアクチュエータ６には、ピボット軸１０を中心にＸＹ方向に対して回動可能なキャリッジ１１が取り付けられている。このキャリッジ１１は、基端部から先端部に向けてディスクＤの表面に沿って延設されたアーム部１４と、基端部を介してアーム部１４を片持ち状に支持する基部１５とが、削り出し加工等により一体形成されたものである。基部１５は、ピボット軸１０まわりを回動可能に支持されている。つまり、基部１５はピボット軸１０を介してアクチュエータ６に連結されており、このピボット軸１０がキャリッジ１１の回転中心となっている。
【００４８】
アーム部１４は、基端部から先端部に向かうにつれ先細るテーパ形状に形成されており、各アーム部１４間に、ディスクＤが挟み込まれるように配置されている。つまり、アーム部１４とディスクＤとが、互い違いになるように配されており、アクチュエータ６の駆動によってアーム部１４がディスクＤの表面に平行な方向（ＸＹ方向）に移動可能とされている。なお、キャリッジ１１及びヘッドジンバルアセンブリ１２は、ディスクＤの回転停止時にアクチュエータ６の駆動によって、ディスクＤ上から退避するようになっている。
（ヘッドジンバルアセンブリ）
ヘッドジンバルアセンブリ１２は、レーザ光源２０から導光部３２を介してスライダ２へ入射させた光束を、スライダ２の先端から近接場光として発生させ、該近接場光を利用してディスクＤに各種情報を記録再生させるものである。また、スライダ２をディスクＤからわずかに浮上させる機能を有している。
【００４９】
本実施形態のヘッドジンバルアセンブリ１２は、上述したレーザ光源２０からスライダ２まで光束を導くための導光部３２と、スライダ２に備えられる後述する記録素子４２や再生素子４１などを動作させるための電流を供給する電気配線３１が、スライダ２に隣接して接続されている。さらにこれらの導光部３２、電気配線３１及びスライダ２を固定させるサスペンション３が備えられている。
（スライダ）
スライダ２は、ディスクＤとサスペンション３との間に配置された状態で、サスペンション３の下面にフレクシャ２５を挟んで支持されている。図２はスライダ２をＸ方向から見た時の断面を拡大して示してある。スライダ２は、ディスクＤ（図１参照）の表面から所定距離だけ浮上した状態でディスクＤに対向配置され、ディスクＤの表面に対向する浮上面２ａを有するスライダ基板６０と、その先端面６０ｃに備えられた記録素子４２、再生素子４１、及び導光部３２（図２参照）から供給された光束をディスクＤ側から近接場光として光を発生させる近接場光発生素子４０から構成される。
【００５０】
ここで、記録素子４２、近接場光発生部４０、及び再生素子４１の配置はこの限りではなく、スライダ基板６０の先端面６０ｃに再生素子４１、その隣に記録素子４２、さらにその隣に近接場光発生素子４０が配置されていてもよい。
【００５１】
また、スライダ２（スライダ基板６０）の底面は、上述したようにディスクＤの表面に対向する浮上面２ａとなっている。この浮上面２ａは、回転するディスクＤによって生じた空気流の粘性から、浮上するための圧力を発生させる面であり、ＡＢＳ（Ａｉｒ Ｂｅａｒｉｎｇ Ｓｕｒｆａｃｅ）と呼ばれている。
【００５２】
(サスペンション)
図３は、スライダ２が上側に備えられる方向から、サスペンション３を部品ごとに分離して示した斜視図である。サスペンション３は、上面視略四角状に形成されたベースプレート２２と、ベースプレート２２の先端側にヒンジ板２３を介して連結された平面視略三角状のロードビーム２４とフレクシャ２５で構成されている。
【００５３】
ベースプレート２２は、ステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、基端側には厚さ方向に貫通する開口２２ａが形成されている。そして、この開口２２ａを介してベースプレート２２がアーム部１４（図１参照）の先端に固定されるようになっている。ベースプレート２２の上面には、ステンレス等の金属材料により構成されたシート状のヒンジ板２３が配置されている。このヒンジ板２３は、ベースプレート２２の上面の全面に亘って形成された平板状のものである。ヒンジ板２３の先端部分にロードビーム２４が連結されている。
【００５４】
ロードビーム２４は、ベースプレート２２と同様にステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、その基端がベースプレート２２の先端との間に間隙を有した状態でヒンジ板２３に連結されている。これにより、サスペンション３はベースプレート２２とロードビーム２４との間を中心に屈曲して、ディスクＤの表面に垂直なＺ方向に向けて撓み易くなっている。
【００５５】
フレクシャ２５は、ステンレス等の金属材料により構成されたシート状のものであり、シート状に形成されることで厚さ方向に撓み変形可能に構成されている。また、フレクシャ２５は、ロードビーム２４の先端側に固定されており、サスペンション３が変形した際にサスペンション３の変形に追従するように構成されている。
【００５６】
また、ロードビーム２４の先端には、フレクシャ２５及びスライダ２の略中心に向かって突出する突起部１９が形成されている。この突起部１９の先端は、丸みを帯びた状態となっている。そして突起部１９は、スライダ２がディスクＤから受ける風圧によりロードビーム２４側に浮上したときに、フレクシャ２５の先端表面（上面）に点接触するようになっている。つまり、突起部１９は、フレクシャ２５と導光部３２を介して、スライダ２を支持するとともに、ディスクＤの表面に向けて（Ｚ方向に向けて）スライダ２に荷重を付与するようになっている。
【００５７】
(フレクシャ)
図４は、図３のフレクシャ２５を抜き出して拡大したもの（基部の一部は省略）と、フレクシャ２５に固定する部材を点線で示した斜視図である。フレクシャ２５は、先端部分に腕部２１と支持部１６を備えている。
【００５８】
腕部２１は、フレクシャ２５の中ほどから二分岐して先端部分で繋がっている。電気配線３１も同様に、フレクシャ２５の中ほどから分岐し、腕部２１に沿ってフレクシャ２５の先端まで引き回され、スライダ２の先端部に接続されている。
【００５９】
支持部１６は、腕部２１に囲われたフレクシャ２５の先端部分の内部空地に備えられており、フレクシャ２５の先端で腕部２１に支持されている。導光部３２は、スライダ２と支持部１６の間に挟まれた状態で備えられている。支持部１６には、導光部３２を伝播してきた光束を、スライダ２へ入射させる方向に反射する機能を有するミラー部材５０と、スライダ２を導光部３２を挟んで支持部１６に固定する際に、安定して固定するために用いられる立体構造部８０が設けられている。
【００６０】
ミラー部材５０は、支持部１６に一体形成されたものであり、接続部５０１と反射板５０２とから形成される。接続部５０１は、反射面５０２よりも幅が狭く作られている。反射板５０２は、この接続部５０１に繋がって備えられている。ミラー部材５０は、フレクシャ２５を成型する際のエッチング工程で作る。接続部５０１は、プレス加工により折り曲げ、反射板が適切な角度を持つように成型する。導光部３２により導かれた光束はこの反射板５０１の表面で反射され、略９０°曲げられた光束はスライダ内の近接場光発生素子４０へ入射する。
【００６１】
立体構造部８０は、導光部３２の周辺に位置するように支持部１６上に設けられており、電気配線３１の材料の一部に使用されるポリイミド樹脂などの合成樹脂でできている。スライダ２はこの立体構造部８０の上に固定される。この立体構造部８０により、スライダ２が導光部３２のみを土台に固定されることで、固定が不安定になることを防ぐことができる。また、電気配線３１と接続する際の高さ調節を行うこともできる。
【００６２】
このように、支持部１６にミラー部材５０を設けることで、導光部３２に複雑な加工を施すことなく、サスペンション３の延設方向に伝播してきた光束をスライダ２の近接場光発生素子４０へ入射する方向に容易に曲げることができる。これにより、加工工数や製造コストを低減させることができるため、製造効率を向上させることができる。
【００６３】
ここで、ミラー部材５０は図４や上記に示した限りではなく、図５に示すような支持部１６の全体を山折りにしたミラー部材５１のようなものでもよい。この場合、導光部３２の先端面に対向するミラー部材５１の斜面が反射面となり、導光部３２より導かれた光束はこの反射面で反射されて、スライダ内の近接場光発生素子４０へ入射する。
（情報記録再生方法）
次に、このように組み立てられたヘッドジンバルアセンブリ１２により、ディスクＤに各種の情報を記録再生する手順について以下に説明する。まず、図１に示すように、スピンドルモータ７を駆動させてディスクＤを所定方向に回転させる。次いで、アクチュエータ６を作動させて、ピボット軸１０を回転中心としてキャリッジ１１を回動させ、キャリッジ１１を介してヘッドジンバルアセンブリ１２をＸＹ方向にスキャンさせる。これにより、ディスクＤ上の所望する位置にスライダ２を配置させることができる。この際、スライダ２は、サスペンション３によって支持されていると共に所定の力でディスクＤ側に押さえ付けられている。また、これと同時にスライダ２は、浮上面２ａがディスクＤに対向しているので、回転するディスクＤによって生じる風圧の影響を受けて浮上する力を受けている。この両者の力のバランスによって、スライダ２はディスクＤ上から離間した位置に浮上している状態となっている。また、ディスクＤの凹凸やうねり等により、スライダ２にＸＹ方向に向かう風圧が加わったときに、フレクシャ２５の支持部１６に備えられたスライダ２は、突起部１９を中心としてＸ軸及びＹ軸の２軸回りに捩じれるようになっている。これにより、ディスクＤのうねりによるＺ方向の変位（ディスクＤの表面に略直交する方向への変位）を吸収することができ、スライダ２の姿勢が安定するようになっている。
【００６４】
ここで、情報の記録を行う場合、制御部５はレーザ光源２０を作動させるとともに、情報に応じて変調した電流をスライダ２に供給し、記録素子４２を作動させる。
【００６５】
レーザ光源２０から出射された光束は、導光部３２内を先端（流出端）側に向かって進み、導光部３２の先端に備えられたミラー部材５０によりディスクＤに向かって垂直方向に曲げられる。曲げられた光束は、図２に示すように、スライダ２の上面２ｄ側から近接場光発生素子４０に入射され、近接場光発生素子４０を介することにより、近接場光として発生される。すると、ディスクＤは、この近接場光によって局所的に加熱されて一時的に保磁力が低下する。 一方、制御部５（図１参照）によってスライダ２に電流が供給されると、スライダ２内部の記録素子４２により、ディスクＤに対して垂直方向の記録磁界を発生させることができる。その結果、近接場光と記録素子４２で発生した記録磁界とを協働させたハイブリッド磁気記録方式により情報の記録を行うことができる。さらに、垂直記録方式で記録を行うので、熱揺らぎ現象等の影響を受け難く、安定した記録を行うことができる。よって、書き込みの信頼性を高めることができる。またさらに、記録磁界が局所的に作用する位置に加熱温度のピーク位置を入れることができる。従って、確実に記録を行うことができ、信頼性の向上化を図ることができると共に高密度記録化を図ることができる。
【００６６】
次に、ディスクＤに記録された情報を再生する場合には、再生素子４１が、ディスクＤから漏れ出ている磁界を受けて、その大きさに応じて電気抵抗が変化する。よって、再生素子４１の電圧が変化する。これにより制御部５（図１参照）は、ディスクＤから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することができる。そして制御部５は、この電圧の変化から信号の再生を行うことで、情報の再生を行うことができる。
【００６７】
このように、スライダ２を利用してディスクＤに対して各種の情報を記録再生することができる。  
【００６８】
(第２実施形態)
次に、図６に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、支持部１６について、第１実施形態と相異しており、それ以外は第１実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
【００６９】
図６は、第２実施形態における支持部１６に一体形成されたミラー部材５２を拡大して示したものである。ミラー部材５２は、接続部５２１と反射板５２２から成り、反射板５２２の表面には、光束の反射率を向上させるために金属膜７０が備えられている。
【００７０】
金属膜７０は、接続部５２１を折り曲げる前に、アルミや金などを蒸着やスパッタなどの方法で付ける。ただし、工程順序はこの限りではなく、接続部５２１を折り曲げてから付けてもよい。また金属膜７０は、図６に示すとおりに反射板５２２に局所的に付ける必要はなく、支持部１６やフレクシャ２５全体に付いていてもよい。
【００７１】
係る実施形態においては、ミラー部材５２の反射板５２２に金属膜７０を備えることにより、反射率を上げ、光効率を向上させることができる。
【００７２】
（第３実施形態）
次に、図７に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、支持部１６について、第１実施形態と相異しており、それ以外は第１実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
【００７３】
図７は、第３実施形態における支持部１６に一体形成されたミラー部材５３を拡大して示したものである。ミラー部材５３は接続部５３１と反射板５３２から成り、反射板５３２の表面には、光束を反射した際に、光束を集光させてスライダ２の近接場光発生素子４０へ導くことができる凹状の集光部分７１を備えられている。集光部分７１は、フレクシャ２５を形成する際のエッチング過程で形成する。ただし、集光部分７１の製造方法はこの限りではなく、フレクシャ２５の立体構造を形成するプレス加工の際に、同時にプレス加工により形成してもよい。
【００７４】
係る実施形態においては、ミラー部材５３の反射板５３２に集光部分７１を備えることにより、光束を集光することができるため、光効率を向上させることが出来る。
（第４実施形態）
次に、図８に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、支持部１６について、第１実施形態と相異しており、それ以外は第１実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
【００７５】
図８の上図は、第４実施形態における支持部１６に一体形成されたミラー部材５４を真上から見た状態で拡大して示したものである。また図８の下図は、上図のＢ-Ｂ'線で切った面をＸ方向から見た図である。ミラー部材５４は、接続部５４１と反射板５４２から成り、接続部５４１には、接続部５４１を折り曲げる際、より曲がり易くするために、他の部位よりも板薄になっているえぐり部７２が備えられている。えぐり部７２は、フレクシャ２５を形成する際のエッチング過程で形成する。
【００７６】
係る実施形態においては、ミラー部材５４の接続部５４１に他の部位よりも板薄になっているえぐり部が設けられることにより、接続部５４１を曲げる際に曲げ易くなり、加工を容易に行うことができる。
【００７７】
（第５実施形態）
次に、図９に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、フレクシャ２５の先端部分について、第１実施形態と相異しており、それ以外は第１実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
【００７８】
図９は、フレクシャ２５の先端部分を拡大して示したものである。支持部１６１は、導光部３２を支持部１６１のＸ方向に位置決めすると共に、導光部３２が支持部１６１に備えられた際に、支持部１６１と導光部３２の上面を面一にする溝７３を備えている。また溝７３は、溝７３の側面のうち、導光部３２の先端面が対向するど当たり面に、ミラー部材５５が備えられている。ミラー部材５５を備えた溝７３は、フレクシャ２５を成型する際のプレス加工で他の凹凸を成型すると同時に形成する。
【００７９】
係る実施形態においては、溝７３のど当たり面をミラー部材とすることで、導光部３２を支持部１６１の特にミラー部材５５に対して精度よく位置決めすることができる。
【００８０】
またさらに、ミラー部材５５および導光部３２を支持部１６１の面よりもスライダ２が固定される側とは反対側に突出するように配置したことで、支持部１６１のスライダ２を固定する面が面一になるため、立体構造部８０を薄くすることができる。すなわち、導光部３２の上にスライダ２を固定させた際、スライダ２は固定が不安定になるため立体構造部８０は、導光部３２の厚み程度に厚く形成する必要があったが、その必要がなくなる。これにより、立体構造部８０の材料費を削減できると共に、スライダ２を支持部１６１に固定する工程を容易に行うことができる。
【００８１】
（第６実施形態）
次に、図１０に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、支持部１６について、第１実施形態と相異しており、それ以外は第１実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
【００８２】
図１０は、第６実施形態における支持部１６に一体形成されたミラー部材５６を拡大して示したものである。ミラー部材５６は、反射板５６２、反射板５６２の接続部５６１および保持部７４により構成される。反射板５６２の光束を反射する面とは反対側の面には、保持部７４が当接する部分に保持部７４が嵌め込まれるかしめ溝７５が備えられており、保持部７４はこのかしめ溝７５に嵌ることにより、反射板５６２を適切な角度に保持することができる。接続部５６１は、反射板５６２と同じ幅に形成されている。ミラー部材５６は、フレクシャ２５を成型する際のエッチング工程で反射板５６２と保持部７４の周りの金属板を抜いて形成し、かしめ溝７５は同様のエッチング工程でエッチングレートを下げることにより形成する。
【００８３】
係る実施形態においては、保持部７４をかしめ溝７５に嵌め込むことで、ミラー部材５６の反射板５６２を保持し、それにより反射板５６２を適切な角度に容易に固定することができると共に、反射板５６２を強固に固定することができる。
【００８４】
（第７実施形態）
次に、図１１に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、フレクシャ２５について、第１実施形態と相異しており、それ以外は第１実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
【００８５】
図１１は、図３のフレクシャ２５を抜き出して拡大したもの（基部の一部は省略）と、フレクシャ２５に固定する部材を点線で示した斜視図である。ただし、導光部３２１のみはフレクシャ２５と同様の実線で示してある。導光部３２１はスライダ２と同程度の幅に形成されている。スライダ２は、導光部３２１の支持部１６２とは反対側に固定される。導光部３２１は、樹脂導波路などで形成される。
【００８６】
係る実施形態においては、導光部３２１がスライダ２と同程度の幅に形成されていることにより、第１実施形態から第６実施形態において、スライダ２を安定して支持部１６２に固定させるために必要であった立体構造部８０が必要なくなる。これにより、立体構造部８０の材料費を削減できる。またさらに、導光部３２１が幅広に形成されていることにより、導光部を扱い易くなる。
【産業上の利用可能性】
【００８７】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリによれば、導光部から出射した光束をスライダへ反射するミラー部材が撓み部材と一体に形成されていることにより、導光部に複雑な加工を施すことなく、導光部を伝播してきた光束をスライダへ容易に曲げることができる。これにより、加工工数や製造コストを低減させることができるため、製造効率を向上させることができる。
【符号の説明】
【００８８】
Ｄ:ディスク（記録媒体）
１:情報記録再生装置
２:スライダ
２a:浮上面
２ｄ:スライダ上面
３:サスペンション
４:配線
５:制御部
６:アクチュエータ
７:スピンドルモータ
９:ハウジング底部
１０:ピボット軸
１１:キャリッジ
１２:ヘッドジンバルアセンブリ
１４:アーム部
１５：基部
１６，１６１，１６２：支持部
１９:突起部
２０：レーザ光源
２１：腕部
２２:ベースプレート
２２a:開口
２３:ヒンジ板
２４:ロードビーム
２５:フレクシャ
３１:電気配線
３２，３２１:導光部
３３：光導波路
３４：光学素子
４０:近接場光発生素子
４１:再生素子
４２:記録素子
５０，５１，５２，５３，５４，５５，５６：ミラー部材
５０１，５２１，５３１，５６１：接続部
５０２，５２２，５３２，５６２：反射板
６０:スライダ基板
６０ｃ:スライダ基板の先端面
７０：金属膜
７１：集光部分
７２：えぐり部
７３：溝
７４：保持部
８０：立体構造部
【図１】
0005415887.tif 000002
【図２】
0005415887.tif 000003
【図３】
0005415887.tif 000004
【図４】
0005415887.tif 000005
【図５】
0005415887.tif 000006
【図６】
0005415887.tif 000007
【図７】
0005415887.tif 000008
【図８】
0005415887.tif 000009
【図９】
0005415887.tif 000010
【図１０】
0005415887.tif 000011
【図１１】
0005415887.tif 000012