(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
特定の波長に反応する感光性物質が用いられる室内を照明する照明装置において、
発光する光の波長が異なる複数のＬＥＤと、
前記複数のＬＥＤの発光を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、
受付けた前記感光性物質に対する処理の有無の指示に応じて、白色光の照明と、前記特定の波長を抑制した光の照明との変更が可能であることを特徴とする照明装置。
【請求項２】
前記制御部に前記感光性物質に対する処理の有無の指示を送信する操作部を有し、
前記操作部からの指示に応じた前記制御部の制御により、
前記白色光の照明と、前記特定の波長を抑制した光の照明との変更を行うことを特徴とする請求項１に記載の照明装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の発光ダイオード（以下、ＬＥＤという）を備えた照明装置に関し、特に感光性物質を取り扱う作業空間に用いられる照明装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に半導体製造工程及び液晶表示装置製造工程においては、特定波長を有する光に露光されることにより、溶解性などの物性が変化するフォトレジストを用いて微細な回路パターンを転写するいわゆるパターニング作業が行われる。硬化する物性を有するＵＶ樹脂等を使用した接着作業が行われる。
前記回路パターンはサブミクロン単位のものが多いので、塵埃の無いクリーンルームで行われている。一方、フォトレジスト、ＵＶ樹脂等を反応・硬化させるために用いられる光としては、ｇ線（波長４３６ｎｍ），ｉ線（波長３６５ｎｍ），ＫｒＦエキシマレーザー（波長２４８ｎｍ），ＡｒＦエキシマレーザー（波長１９３ｎｍ）があり、微細な回路パターンほど短波長の光が用いられている。フォトレジスト、ＵＶ樹脂等は、このような光に短時間（数秒〜数十秒）露光されることにより硬化される。
【０００３】
従って、クリーンルーム内に用いられる照明装置においては、前記フォトレジスト、ＵＶ樹脂等が前記照明装置からの光によって光反応しないようにするための工夫が施されている。一般には、蛍光灯にフィルタを設けることにより、前記フォトレジスト、ＵＶ樹脂等と光反応する波長の光を遮断している。
【０００４】
一方、特許文献１には、紫外線及び青色の光吸収特性を容易に制御することが可能なカット幕を備えた光カットフィルタ及びこのフィルタを備えた照明装置が開示されている。
【０００５】
しかし、上述のように蛍光灯にフィルタを設けた照明装置の場合は、暗い黄色の光を発するようになるので、前記照明装置が用いられる環境下での作業に不具合をもたらすという問題があった。つまり、フィルタを設ける事で、一般的蛍光灯の場合で照度が１／３〜１／４に減少し、暗い黄色の環境で長時間作業することにより作業者がストレスを感じる上、製品の色判別が出来なくなる等の問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−２２１７５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上述のように蛍光灯にフィルタを設けた照明装置の場合は、暗い黄色の光を発するようになるので、前記照明装置が用いられる環境下での作業に不具合をもたらすという問題があった。つまり、フィルタを設ける事で、一般的蛍光灯の場合で照度が１／３〜１／４に大幅に減少し、暗い黄色の環境で長時間作業することにより作業者がストレスを感じる上、製品の色判別が出来なくなる等の問題があった。
【０００８】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、複数のＬＥＤを備えた照明装置において、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等に係る光の発光を制御することが出来る照明装置及び照明機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る照明装置は、特定の波長に反応する感光性物質が用いられる室内を照明する照明装置において、発光する光の波長が異なる複数のＬＥＤと、前記複数のＬＥＤの発光を制御する制御部とを備え、前記制御部は、受付けた前記感光性物質に対する処理の有無の指示に応じて、白色光の照明と、前記特定の波長を抑制した光の照明との変更が可能であることを特徴とする。
また、本発明に係る照明装置は、前記制御部の制御により、前記特定の波長を抑制した光の照明と、前記複数のＬＥＤへの電源供給による白色光の照明との変更が可能であることを特徴とする。
【００１０】
本発明にあっては、例えば、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等に係る光が発しないように前記複数のＬＥＤの発光を制御し、照明を行う。
【００１１】
本発明に係る照明装置は、複数のＬＥＤを備えた照明装置において、前記複数のＬＥＤを制御することにより、白色の照明と、特定の波長に反応する感光性物質が感光することを防止するために、前記特定の波長を抑制した照明とができることを特徴とする。
【００１２】
本発明にあっては、通常の事務等の作業を行う場合には白色照明による明るく視認性の高い照明をすることができ、感光性物質を用いる場合には特定の波長を抑制した照明ができ、照明装置が備えられる室内で行われる作業によって、適宜いずれかの照明に変更できる。
【００１３】
本発明に係る照明装置は、前記複数のＬＥＤは、緑色ＬＥＤ及び赤色ＬＥＤを含み、前記緑色ＬＥＤ及び赤色ＬＥＤによって混合された光を発光するように構成されていることを特徴とする。
また、本発明に係る照明装置は、前記制御部に前記感光性物質に対する処理の有無の指示を送信する操作部を有し、前記操作部からの指示に応じた前記制御部の制御により、前記白色光の照明と、前記特定の波長を抑制した光の照明との変更を行うことを特徴とする。
【００１４】
本発明にあっては、前記緑色ＬＥＤ及び赤色ＬＥＤの光の混合による光の発光が行われ、紫外線のｉ線の光と、青色ＬＥＤの光の波長（４６０ｎｍ）付近にて生じるｇ線に係る光との発光が防止された照明が行われる。
【００１５】
本発明に係る照明装置は、前記光は、ｘｙ色度図において、０．３８〜０．４４のｘ値及び０．４８〜０．５４のｙ値によって特定される色であることを特徴とする。
【００１６】
本発明にあっては、前記緑色ＬＥＤ及び赤色ＬＥＤの光を混合し、ｘｙ色度図において、０．３８〜０．４４のｘ値及び０．４８〜０．５４のｙ値によって表示される色にて照明を行い、ｉ線及びｇ線に係る光の発光を防止すると共に、前記照明装置が用いられる環境下での作業の不具合を軽減させる。
【００１７】
本発明に係る照明装置は、前記複数のＬＥＤは、さらに青色ＬＥＤを含み、前記緑色ＬＥＤ、赤色ＬＥＤ及び青色ＬＥＤ夫々の個別発光、又はこれらの組み合わせによる発光を制御する制御部を備えていることを特徴とする。
【００１８】
本発明にあっては、前記制御部は、必要に応じて前記緑色ＬＥＤ、赤色ＬＥＤ及び青色ＬＥＤ夫々の個別発光又は、これらの組み合わせによる発光を行う。例えば、作業場の整理整頓の際は前記緑色ＬＥＤ、赤色ＬＥＤ及び青色ＬＥＤを共に発光させる。一方、感光性物質を使用するパターンニングの作業を行う場合には、緑色ＬＥＤ及び赤色ＬＥＤのみを発光させる。
【００１９】
本発明に係る照明装置は、前記複数のＬＥＤの一部又は全部の表面に黄色蛍光体層又は赤色蛍光体層が設けられてあることを特徴とする。
【００２０】
本発明にあっては、前記青色ＬＥＤにより励起され、黄色の光を発光する黄色蛍光体層又は赤色蛍光体層を複数のＬＥＤの一部又は全部の表面に備え、前記青色ＬＥＤの発光と共に生じるｇ線の光の発光を抑制する。
【００２１】
本発明に係る照明装置は、複数のＬＥＤが実装された基板と、前記基板が収容される収容部と、該収容部に取り付けられ、前記複数のＬＥＤからの光を透光させる透光部とを備え、該透光部を前記収容部に取り付けた場合、該透光部及び前記収容部が扁平体をなすように構成されていることを特徴とする。
【００２２】
本発明にあっては、前記透光部を前記収容部に取り付けた場合、該透光部及び前記収容部が扁平体をなすように構成し、設置面に対する前記照明装置の突出量を軽減させる。従って、前記照明装置の付近においての空気の流れが妨害されることがなくなり、前記照明装置の付近に塵埃が集中することが防止される。
【００２３】
本発明に係るクリーンルームは、上記照明装置の何れかを備えたことを特徴とする。
【００２４】
本発明にあっては、例えば、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等に係る光が発しないように前記複数のＬＥＤの発光を制御し、照明を行うクリーンルームとすることができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明にあっては、波長の異なる複数のＬＥＤを備え、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の特定波長範囲に係る光が発しないように制御するので、例えば、フォトレジスト、ＵＶ樹脂等の感光性物質を取り扱う場合、照明装置の光と反応することを防止することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施の形態１に係る複数の照明装置を備えた照明機器の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る照明装置の灯部の外観を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る照明装置の灯部のカバーが取り外された状態を示す概略図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る照明装置の灯部のカバーが取り外された状態を示す分解斜視図である。
【図５】基板の交換作業において、掛止部材の操作を説明する説明図である。
【図６】本発明の実施の形態１に係る照明装置の灯部が装着されたクリーンルームを示す例示図である。
【図７】赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ及び青色ＬＥＤを点灯させた場合のスペクトルを示すグラフである。
【図８】赤色ＬＥＤ及び緑色ＬＥＤのみを点灯させた場合のスペクトルを示すグラフである。
【図９】本発明の実施の形態２に係る照明装置の灯部のＬＥＤ、基板及び接続部材を示す斜視図である。
【図１０】本発明の実施の形態２に係る照明装置の灯部を点灯させた場合のスペクトルを示すグラフである。
【図１１】本発明の実施の形態３に係る照明装置の灯部のＬＥＤモジュール、基板及び接続部材を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
（実施の形態１）
以下本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。図１は実施の形態１に係る複数の照明装置を備えた照明機器の構成を示すブロック図である。図中、実施の形態１に係る照明機器は二点鎖線によって囲まれており、照明装置は点線によって囲まれている。実施の形態１に係る照明機器は、複数の照明装置が接続部材８，８，８によって電気的に接続されることにより構成されている。また、照明機器は外部の操作部３０と接続されている。
【００２８】
実施の形態１に係る照明装置は灯部１と、灯部１の点灯を制御する制御部２０とを備えている。制御部２０は、操作部３０からの指示信号に応じて灯部１の点灯を制御する。
【００２９】
図２は実施の形態１に係る照明装置の灯部１の外観を示す斜視図である。実施の形態１に係る照明装置の灯部１は、扁平であって長細い蒲鉾状をなす本体１０（扁平体）及び、本体１０の両端に設けられたカバー４，４を備えている。
【００３０】
図３は実施の形態１に係る照明装置の灯部１のカバー４が取り外された状態を示す概略図、図４は分解斜視図である。
【００３１】
灯部１は、複数のＬＥＤ５，５，…が複数の列で矩形の基板６に実装されている。基板６は、基板６より少し大きい細長い樋形状の収容部２に収容されており、収容部２は両開口端が掛止部材７，７によって掛止されている。収容部２を覆い、前記ＬＥＤからの光を均一に拡散させるグローブ３は、トンネル状をなしており、基板６を覆うように収容部２に挟持されている。
【００３２】
ＬＥＤ５，５，…は、赤色ＬＥＤと、緑色ＬＥＤと、青色ＬＥＤとからなるいわゆるマルチチップ方式の白色ＬＥＤである。また、赤色ＬＥＤと、緑色ＬＥＤと、青色ＬＥＤとは、制御部２０によって夫々個別発光制御が出来るように構成されている。
【００３３】
一面にＬＥＤ５，５，…が実装されている基板６は、細長状の矩形である。基板６の長手方向の両端部であってＬＥＤ５，５，…が実装されている実装面には、ＬＥＤ５，５，…に電力を供給するための一対のリード線９，９と、制御部２０へ指示信号を送る信号線（図示せず）が夫々設けられている。リード線９，９及び信号線の一端は基板６に夫々半田付けされており、他端は夫々接続部材８，８に接続されている。リード線９，９は例えば１０ｍｍ程度の長さを有している。基板６がリード線９，９を介して接続部材８，８と接続されることにより、外部から接続部材８，８に加わる衝撃、引っ張り力等の影響を基板６が直接受けることを防ぐことが出来る。つまり、外部から接続部材８，８に衝撃、引っ張り力等加わった場合、接続部材８，８に接続されているリード線９，９が変形、断線等されることによって緩和され、基板６へ損傷を与えることを抑制する。基板６は長辺側の両端部が収容部２に係合されることによって支持されている。
【００３４】
収容部２は樋形状をなしている。収容部２は、基板６に倣う細長状の矩形を有し、一面が設置面と面する取付板２１と、基板６の長辺側の両端部を係合するための係合溝２２，２２とを備えている。取付板２１の長さは基板６より長く、取付板２１の幅は基板６より少し広い。係合溝２２，２２は取付板２１の両長辺側に設けられており、基板６は係合溝２２，２２に案内されて収容部２に嵌入され、基板６の非実装側の面が取付板２１の他面と接する状態で係合されている。従って、電線の断線等が発生した場合、作業特性に応じて灯部１を交換する場合等に、基板６を収容部２から差し出して、修理、交換等を行うことが出来る。取付板２１及び係合溝２２，２２は夫々アルミニウム製であり、一対形成されている。
【００３５】
収容部２は両開口端が掛止部材７，７によって、前記一面が設置面と面するように掛止されている。掛止部材７，７は、掛止部材７，７を設置面にネジ止めするための貫通孔７２，７２を夫々有する直方体形状の取付部７１，７１と、接続部材８，８が載置される載置板７３とを備えている。載置板７３は矩形であって収容部２の取付板２１と等しい厚みを有している。取付部７１，７１は対向配置されており、載置板７３の両長辺側に配設されている。取付部７１，７１及び載置板７３はプラスチック製であり、取付部７１，７１及び載置板７３は設置面側の面が面一になるように一体成形されている。取付部７１，７１の貫通孔７２，７２は、載置板７３の長辺に沿う方向を長径方向とする長孔である。また、各掛止部材７，７の取付部７１，７１は、相互対向面に接続部材８，８を係止するための係止突起７５，７５を夫々突設している。一方、取付部７１，７１は収容部２と対向する収容部側面に、収容部２を設置面に掛止するための掛止鍔７４，７４を夫々設けている。掛止鍔７４，７４は、前記収容部側面であって設置面側の縁から載置板７３の厚みだけ隔てた位置に夫々設けられている。実施の形態１に係る照明装置の灯部１の設置の際には、掛止鍔７４，７４が取付板２１の長手方向の両端部の他面と当接する状態で、各貫通孔７２，７２，７２，７２にネジを挿入して掛止部材７，７を設置面にネジ止めすることにより、収容部２を設置面に設置する。換言すれば、収容部２の取付板２１の長手方向の両端部が、掛止部材７，７の掛止鍔７４，７４，７４，７４及び設置面の間にて挟持される。
【００３６】
グローブ３はトンネル状をなしており、基板６を覆い、ＬＥＤ５，５，…からの光を拡散させ、均一に外側へ透光させる。グローブ３は基板６に倣う矩形状の扁平板３１と、扁平板３１の両長辺側の縁から扁平板３１と直交する方向に徐々に延びる湾曲板３２，３２とを備えている。扁平板３１及び湾曲板３２，３２は、耐衝撃性及び耐熱性に優れた乳白色のポリカーボネート樹脂製であり、一対成形されている。グローブ３は、湾曲板３２，３２の縁部が収容部２の係合溝２２，２２によって挟持されることにより、取り付けられている。
【００３７】
接続部材８，８は、リード線９，９の他端と接続されている略四角筒状の雌部８１，８１と、外部と電線８４，８４を介して接続されている略四角筒状の雄部８２，８２とを備えている。雌部８１，８１は、掛止部材７，７の載置板７３に載置された場合係止突起７５，７５に対応する位置に、係止突起７５，７５と係止するための被係止突起８３，８３を設けている。雌部８１，８１及び雄部８２，８２は接続・分離可能に係合されている。つまり、雌部８１，８１は掛止部材７，７に係止されており、雄部８２，８２は後述のカバー４，４の切欠４１，４１を介して、雌部８１，８１との接続・分離が可能に構成されている。
【００３８】
掛止部材７，７が露出されることによって照明装置の見栄えが悪くなることを防ぐために、カバー４，４は掛止部材７，７を覆うように取り付けられている。カバー４，４は、グローブ３及び収容部２の長手方向に連設されるように取り付けられている。また、カバー４，４は、グローブ３及び収容部２と反対側に、接続部材８，８の雄部８２，８２が挿通するための四角形の切欠４１，４１が設けられている。
【００３９】
操作部３０は、装置のメンテナンス、作業空間の整理整頓等のための「白色点灯」ボタン、パターニング作業等のための「波長制御点灯」ボタン、電源を切るための「オフ」ボタンの３つのボタンを設けている（図示せず）。制御部２０は、作業者が操作部３０、つまり３つのボタンの内、何れかを操作することによって指示を受付けた場合、灯部１，１，…の前記赤色ＬＥＤと、緑色ＬＥＤと、青色ＬＥＤへの電源供給を制御する。
【００４０】
なお、本実施の形態においては、制御部２０は照明装置内に設けられているが、操作部３０内に設けていてもよい。また、複数の照明装置を連結した照明機器の場合には、操作部３０内の制御部３０にて、複数の照明装置を一括して制御してもよい。
【００４１】
以下、実施の形態１に係る照明装置における基板６の交換作業について説明する。図５は基板６の交換作業において、掛止部材７，７の操作を説明する説明図である。図５（ａ）は掛止部材７，７を操作する前の状態を示す図であり、図５（ｂ）は掛止部材７，７を操作した後の状態を示す図である。説明の便宜上、図中グローブ３を省略しており、灯部１の両端部のうち、片方のみを図示している。
【００４２】
基板６の交換作業のためには、まず、カバー４，４を取り外す。基板６の交換作業の前においては、図５（ａ）に示すように、収容部２の取付板２１の長手方向の両端部が、掛止部材７，７の掛止鍔７４，７４，７４，７４及び設置面の間にて挟持され、本体１０が設置面に取り付けられている。
【００４３】
次いで、リード線９，９を接続部材８，８から外す。その後、ネジＳ，Ｓ，Ｓ，Ｓを回転させて、掛止部材７，７が遊びを持つほどにネジ止めを緩める。ネジＳ，Ｓ，Ｓ，Ｓは長孔である貫通孔７２，７２，７２，７２へ挿通されているので、掛止部材７，７を貫通孔７２，７２，７２，７２の長径方向（図５（ａ）中白抜き矢印にて表示される方向）に移動させることが出来る。これにより、掛止部材７，７の掛止鍔７４，７４，７４，７４は、収容部２の取付板２１の長手方向の両端部と当接しなくなり、掛止鍔７４，７４，７４，７４による収容部２（取付板２１）の掛止は解除される（図５（ｂ））。
【００４４】
このような操作により、本体１０のみを設置面から取り外すことが出来る。次いで、グローブ３を取り外し、基板６を収容部２から抜き出し、新しい基板への交換、断線の修理等の作業を行う。
【００４５】
以下、実施の形態１に係る照明装置の灯部１の制御について説明する。図６は実施の形態１に係る照明装置が装着されたクリーンルームＣを示す例示図である。部屋Ｒは網状の台板Ｂによって、上方の空間Ｒ１及び下方の空間Ｒ２に仕切られている。空間Ｒ１には装置Ｍ１，Ｍ２が載置されており、空間Ｒ２には装置Ｍ３，Ｍ４が向かい合って載置されている。
【００４６】
空間Ｒ１は、同一寸法の矩形であって台板Ｂに対して垂直方向に突設された仕切り壁Ｗ１及び仕切り壁Ｗ２によって仕切られているクリーンルームＣを有している。仕切り壁Ｗ２と対向する部屋Ｒの一側壁と、仕切り壁Ｗ２とは廊下Ｐを構成している。クリーンルームＣ及び廊下Ｐの天井側には天井板Ｕが跨って配置されている。クリーンルームＣ側の天井板Ｕの内側には、略前面に渡ってＨＥＰＡフィルタＦが取り付けられている。ＨＥＰＡフィルタＦはいわゆるファンフィルターユニットのフレームに縁部を当接させて架設されている。一方、廊下Ｐ側の天井板Ｕの内側には、一部にのみＨＥＰＡフィルタＦが取り付けられている。天井板Ｕの外側には、空気をクリーンルームＣ及び廊下Ｐ内へ送風する循環ファンＰ，Ｐ，…が複数設けられている。循環ファンＰ，Ｐ，…によってクリーンルームＣ及び廊下Ｐ内へ送風される空気は、ＨＥＰＡフィルタＦにより塵埃がフィルタリングされる。クリーンルームＣ及び廊下Ｐ内へ入った空気は、台板Ｂを介してクリーンルームＣ及び廊下Ｐの外へ流れ出す。クリーンルームＣ及び廊下Ｐの外側の空気は、循環ファンＰ，Ｐ，…によって再びクリーンルームＣ及び廊下Ｐ内へ送風される。従ってクリーンルームＣ内には一定の空気の流れが形成されている。
【００４７】
クリーンルームＣにおいては、ファンフィルターユニットのフレームの下側面に、細長状をなす複数の灯部１，１，…が２列で長手方向に並設され、クリーンルームＣ内を照らしている。一方、廊下Ｐにおいては、部屋Ｒの前記一側壁に、天井板Ｕ及び台板Ｂに沿って複数の灯部１，１，…が夫々並設けられ、廊下Ｐ及び歩行者の足元を照らしている。
【００４８】
一方、空間Ｒ２に載置されている装置Ｍ３には、装置Ｍ４と対向する一面の上部に複数の灯部１，１，…が適宜隔てて長手方向に並設され、装置Ｍ３及び装置Ｍ４の間の狭い空間を照らしている。
【００４９】
上述したように、クリーンルームＣ内には一定の空気の流れが形成されているので、クリーンルームＣ内に配設される照明装置は、設置面に対する突出量を小さくすることが望ましい。突出量が大きい場合、前記空気の流れが妨害されて、照明装置の付近では空気の流れが悪くなり、塵埃が集中する問題生じるからである。実施の形態１に係る照明装置の灯部１は、上述したような構成を有するので、設置面に対する突出量を小さく抑えることが出来るので、前記問題の発生を軽減させることが出来る。また、灯部１が廊下Ｐに配設された場合においては、設置面に対する突出量が少ないので、通行者の歩行が邪魔されない。
【００５０】
以下においては、説明の便宜上、ｇ線（波長４３６ｎｍ），ｉ線（波長３６５ｎｍ）の光に露光されることにより、溶解性などの物性が変化するフォトレジストを用いて微細な回路パターンを転写するいわゆるパターニング作業、硬化する物性を有するＵＶ樹脂等を用いていわゆる接着作業を行う場合と、パターニング装置のメンテナンスを行う場合とに分けて灯部１の制御を説明する。
【００５１】
まず、パターニング装置のメンテナンスを行う場合、作業者は操作部３０の「白色点灯」ボタンを操作する。「白色点灯」ボタンの操作により指示を受付けた制御部２０，２０，…は、灯部１，１，…の各赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ及び青色ＬＥＤへ電源を供給し、白色の光を発光させる。図７は赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ及び青色ＬＥＤを点灯させた場合のスペクトルを示すグラフである。グラフの縦軸は相対強度を示しており、横軸は波長（ｎｍ）を示す。図中、４６０ｎｍの付近にて最高値を有する実線のピークは、青色ＬＥＤによる光のピークであり、５１０ｎｍの付近にて最高値を有する点線のピークは、緑色ＬＥＤによる光のピークであり、６５０ｎｍの付近にて最高値を有する二点鎖線のピークは、赤色ＬＥＤによる光のピークである。図７に示すように、ｉ線（波長３６５ｎｍ）の光は発光されていないが、ｇ線（波長４３６ｎｍ）の光が多少発光されている。しかし、ｉ線及びｇ線と光反応するフォトレジスト、ＵＶ樹脂等を用いた作業は行わないので、作業上の不具合が生じることはない。なお、クリーンルームＣ内は、赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ及び青色ＬＥＤの光が混合された白色の光により明るく照らされるので、作業者は明るい作業環境の中で、パターニング装置のメンテナンスを行うことが出来る。
【００５２】
一方、パターニング装置のメンテナンスが終了し、フォトレジスト、ＵＶ樹脂等を用いてパターニング作業を行う場合、作業者は操作部３０の「波長制御点灯」ボタンを操作する。「波長制御点灯」ボタンの操作により指示を受付けた制御部２０，２０，…は、灯部１，１，…の各赤色ＬＥＤ及び緑色ＬＥＤにのみ電源を供給する。図８は赤色ＬＥＤ及び緑色ＬＥＤのみを点灯させた場合のスペクトルを示すグラフである。グラフの縦軸は相対強度を示しており、横軸は波長（ｎｍ）を示す。図７及び図８から明らかであるように、赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ及び青色ＬＥＤを点灯させた場合には存在していたｇ線（波長４３６ｎｍ）付近のピークが完全に無くなっていることが分かる。従って、ｉ線及びｇ線の発光が完全にカットされ、ｉ線及びｇ線と光反応するフォトレジスト、ＵＶ樹脂等を用いるパターニング作業に不具合を生じさせることはない。なお、クリーンルームＣ内は、赤色ＬＥＤ及び緑色ＬＥＤの光が混合された黄色（レモン色）の光により明るく照らされる。この際における黄色は例えば、ｘｙ色度図において、０．３８〜０．４４のｘ値及び０．４８〜０．５４のｙ値によって特定される、白色に近い明るい黄色であるので、作業者はストレスを感じることなく明るい作業環境の中で、パターニング作業を行うことが出来る。
【００５３】
以上の記載においては、各制御部２０が各灯部１の各赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ及び青色ＬＥＤへ電源を供給する場合並びに、各赤色ＬＥＤ及び緑色ＬＥＤにのみ電源を供給する場合を制御する例について説明したが、これに限るものでない。必要に応じて、赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ又は青色ＬＥＤ別のいわゆる単波長点灯も出来るように構成しても良い。
【００５４】
以上の記載においては、青色ＬＥＤへの電源供給を制限することによる制御を例として説明したがこれに限るものでない。例えば、各赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ及び青色ＬＥＤをＰＷＭ（Pulse Width Modulation）制御することによっても同様の効果を得ることが出来る。なお、このようにＰＷＭ制御を行う場合には、赤色ＬＥＤ及び緑色ＬＥＤの混光による光の色を調整することも可能である。
【００５５】
また、以上の記載においては、各照明装置が制御部２０を備えている場合について説明したがこれに限るものでない。例えば、一つの制御部２０が複数の灯部１，１，…に係る各赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ及び青色ＬＥＤの点灯を制御することが出来るように構成しても良い。
【００５６】
一方、廊下Ｐに配設された、灯部１，１，…は、常に各赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ及び青色ＬＥＤを点灯させ、白色の光による照明を行うようにしてもよく、非常時の場合は何れか一つのＬＥＤのみが発光するように構成しても良い。
【００５７】
（実施の形態２）
図９は本発明の実施の形態２に係る照明装置の灯部１のＬＥＤ５Ａ，５Ａ，…、基板６及び接続部材８，８を示す斜視図である。なお、実施の形態１と同一の部分については同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００５８】
実施の形態２に係る照明装置の灯部１は複数のＬＥＤ５Ａ，５Ａ，…が複数の列で矩形の基板６に実装されている。ＬＥＤ５Ａ，５Ａ，…は、赤色ＬＥＤと、緑色ＬＥＤと、青色ＬＥＤとからなるいわゆるマルチチップ方式の白色ＬＥＤである。また、青色ＬＥＤの表面には、青色ＬＥＤの光に励起される黄色蛍光体が塗着されている（図示せず）。例えば、青色ＬＥＤは、ＩｎＧａＮ系であり、黄色蛍光体はＢＯＳ蛍光体（ＢａＳｒ）2 ＳｉＯ4 ：Ｅｕ２＋、又はＣｅ：ＹＡＧ（セリウム賦活イットリウム・アルミニウム・ガーネット）蛍光体である。前記黄色蛍光体は青色ＬＥＤの光と反応して青色ＬＥＤの光の発光を抑制するので、青色ＬＥＤの点灯の際生じるｇ線（波長４３６ｎｍ）も共に抑制される。図１０は実施の形態２に係る照明装置の灯部１を点灯させた場合のスペクトルを示すグラフである。ｉ線（波長３６５ｎｍ）の光は発光されておらず、ｇ線（波長４３６ｎｍ）の光も殆どがカットされ、僅かな発光のみが観察される。従って、ｉ線及びｇ線と光反応するフォトレジスト、ＵＶ樹脂等を用いるパターニング作業に不具合を生じさせることはない。なお、青色ＬＥＤ及び黄色蛍光体による白色の光と、赤色ＬＥＤ及び緑色ＬＥＤの光が混合された黄色（レモン色）の光とが混合されるので、クリーンルームＣ内は、一層白色に近い明るい黄色にて照明が行われ、作業者はストレスを感じることなく明るい作業環境の中で、パターニング作業を行うことが出来る。
【００５９】
実施の形態２に係る照明装置の灯部１においては、青色ＬＥＤの光と反応して青色ＬＥＤの光の発光を抑制する蛍光体として黄色蛍光体を用いた場合を例として説明したがこれに限るものでなく、黄色蛍光体の代わりに、例えば、Ｓｒ2 Ｓｉ5 Ｎ8 ：Ｅｕ又はＣａＡｌＳｉＮ：Ｅｕ２＋からなる赤色蛍光体を用いても良い。
【００６０】
（実施の形態３）
図１１は本発明の実施の形態３に係る照明装置の灯部１のＬＥＤモジュール４０，４０、基板６及び接続部材８，８を示す斜視図である。なお、実施の形態１及び実施の形態２と同一の部分については同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００６１】
実施の形態３に係る照明装置の灯部１は２つのＬＥＤモジュール４０，４０が基板６の長手方向に適宜隔てて、基板６に取付られている。ＬＥＤモジュール４０，４０は、矩形のセラミック基板の表側の中央部に、複数の０．１ＷのＬＥＤ５Ｂ，５Ｂ，…（スモールチップ）が密集して実装されている。前記セラミック基板の対向する何れか２つの頂点には、ネジ止めのための貫通孔（図示せず）が設けられ、ＬＥＤモジュール４０，４０は基板６にネジ止めされている。
【００６２】
ＬＥＤ５Ｂ，５Ｂ，…は、赤色ＬＥＤと、緑色ＬＥＤと、青色ＬＥＤとからなるいわゆるマルチチップ方式の白色ＬＥＤである。また、赤色ＬＥＤと、緑色ＬＥＤと、青色ＬＥＤとは、夫々個別発光制御が出来るように構成されている。
【００６３】
以上、実施の形態２及び実施の形態３において、赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ及び青色ＬＥＤを備えた照明装置として説明したが、青色ＬＥＤのみと黄色蛍光体等の蛍光体からなる照明装置であってもよい。黄色蛍光体の量を増やして調整することで、青色ＬＥＤからの光が黄色蛍光体で波長変換せれる確率が高まり、ｇ線（波長４３６ｎｍ）の波長の青色の光は抑制される。
【００６４】
青色ＬＥＤからの青色光と黄色蛍光体からの黄色光の合成光でも、白色に近い明るい黄色（レモン色）となり、このレモン色の照明により、作業者はストレスを感じることなく明るい作業環境の中で、パターニング作業を行うことが出来る。この場合、黄色蛍光体が、感光性物質が感光することを防止するために、前記特定の波長を抑制する制御部として作用する。
【符号の説明】
【００６５】
１ 灯部
２ 収容部
３ グローブ
５，５Ａ，５Ｂ ＬＥＤ
６ 基板
８ 接続部材
１０ 本体  
２０ 制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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