(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
折り返し連結された複数の振動板と、
これらの振動板上において、これらの一本おきに配置された圧電アクチュエータとを備え、
この圧電アクチュエータは、前記振動板上に順に積層された、下部電極と、圧電体と、上部電極とを有するミアンダ形振動子。
【請求項２】
前記圧電アクチュエータが設けられた振動板に隣接する振動板上には、
前記上部電極の配線が配置されている請求項１に記載のミアンダ形振動子。
【請求項３】
前記圧電アクチュエータが設けられた振動板に隣接する振動板上には、モニター電極が配置された請求項１に記載のミアンダ形振動子。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一つに記載のミアンダ形振動子の端部には、ミラー部が連結された光学反射素子。
【請求項５】
ミラー部と、
このミラー部と一端が連結された請求項１〜３のいずれか一つに記載のミアンダ形振動子と、
このミアンダ形振動子の他端と連結され、このミアンダ形振動子および前記ミラー部の外周を囲う枠体と、
この枠体と一端が連結された請求項１〜３のいずれか一つに記載のミアンダ形振動子と、
このミアンダ形振動子の他端と連結された支持体とを備えた光学反射素子。
【請求項６】
ミラー部と、
このミラー部と第一の支持部で連結された音叉形圧電振動子と、
この音叉形圧電振動子の振動中心と第二の支持部で連結され、前記音叉形圧電振動子および前記ミラー部の外周を囲う枠体と、
この枠体と一端が連結された請求項１〜３のいずれか一つに記載のミアンダ形振動子と、
このミアンダ形振動子の他端と連結された支持体とを備えた光学反射素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種アクチュエータに用いられるミアンダ形振動子とこれを用いた光学反射素子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図９に従来のミアンダ形振動子の一例を示す。このミアンダ形振動子は、折り返し連結された複数の振動板１Ａ〜１Ｆと、これらの振動板１Ａ〜１Ｆ上にそれぞれ配置された圧電アクチュエータ２とを備えている。この圧電アクチュエータ２は、下部電極、圧電体、上部電極とからなり、この上部電極は、隣接する圧電アクチュエータ２の上部電極とは電気的に独立して形成されている。そしてこれらの上部電極にそれぞれ逆位相の電圧を印加することによって、隣り合う振動板１Ａ〜１Ｆを１８０度異なる方向にたわみ振動させるものである。このように逆方向に撓み振動させることにより、このミアンダ形振動子の回転軸を中心に変位を蓄積させることができ、大きな駆動力を得ることができる。
【特許文献１】特開２００８−０３５６００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来のミアンダ形振動子では、小型化に伴い、生産性が低くなるという課題がある。
【０００４】
その理由は、個々の振動板１Ａ〜１Ｆにそれぞれ圧電アクチュエータ２を配置したからである。したがって隣接する振動板１Ａ〜１Ｆを逆位相に駆動させようとすると、一の振動板１Ａ〜１Ｆには、少なくとも上部電極および隣接する圧電アクチュエータの配線とを配置する必要があり、これらを微細な振動板１Ａ〜１Ｆ上に形成するのは困難である。そしてこの問題は、素子が小型化するほど顕著となる。
【０００５】
そこで本発明は、小型ミアンダ形振動子の生産性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そして、この目的を達成するために本発明は、複数の振動板上において、これらの一本おきに圧電アクチュエータを備えたものとした。
【発明の効果】
【０００７】
これにより本発明は、小型ミアンダ形振動子の生産性を向上させることが出来る。
【０００８】
その理由は、複数の振動板上において、これらの一本おきに圧電アクチュエータを配置したからである。したがって上部電極数を減らすことができ、素子が小型化しても、電極の引き回しが容易になる。そしてその結果、生産性を高めることが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
（実施の形態１）
以下本発明の実施の形態１では、ミアンダ形振動子を用いた光学反射素子について説明する。
【００１０】
図１に示すように、この光学反射素子は、ミラー部３と、このミラー部３を介して対向すると共に、このミラー部３にそれぞれの一端が連結された対のミアンダ形振動子４と、これらのミアンダ形振動子４の他端と連結され、これらのミアンダ形振動子４およびミラー部３の外周を囲う支持体５とを備えている。
【００１１】
そしてこのミアンダ形振動子４は、その回転軸６を中心に、１８０度折り返すように連結された複数の振動板７Ａ〜７Ｅからなる。これらの振動板７Ａ〜７Ｅ上には、これらの一本おきに圧電アクチュエータ８が配置されている。なお図１では圧電アクチュエータ８の配線を省略して示し、この配線については図２（ａ）を用い後述する。
【００１２】
また本実施の形態では、この圧電アクチュエータ８は、図２（ｂ）に示すように、下部電極９、圧電体１０、上部電極１１が順に積層されたものである。
【００１３】
また本実施の形態では、図２（ａ）（ｂ）に示すように、一つのミアンダ形振動子４に対し、連続した一つの上部電極１１とその配線１２が複数の振動板７Ｃ〜７Ｅ（図１の７Ａ、７Ｂも含む）に共通に引き回されている。
【００１４】
すなわち図２（ｂ）において、振動板７Ｄには幅広の上部電極１１が形成され、振動板７Ｄと隣接する振動板７Ｃ、７Ｅには、この上部電極１１より幅の狭い配線１２が形成されている。
【００１５】
そして図１に示すように、本実施の形態では、配線１２が配置された振動板７Ａ、７Ｃ、７Ｅには圧電アクチュエータ８が形成されず、これらの振動板７Ａ、７Ｃ、７Ｅは、圧電アクチュエータ８が形成された振動板７Ｂ、７Ｄと交互に配置されている。
【００１６】
次に本実施の形態における光学反射素子の部材の組成について以下に説明する。
【００１７】
この光学反射素子の基材（図２の１３）としては、金属、ガラスまたはセラミック基板などの弾性、機械的強度および高いヤング率を有する材料で構成することが生産性の観点から好ましく、例えば、金属、水晶、ガラス、石英またはセラミック材料を用いることが機械的特性と入手性の観点から好ましい。さらに、シリコン、チタン、ステンレス、エリンバー、黄銅合金などの金属を用いれば、振動特性、加工性に優れた光学反射素子を実現できる。
【００１８】
そして、圧電体１０に用いる圧電体材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの高い圧電定数を有する圧電体１０の材料が好ましい。
【００１９】
この場合、下部電極９として白金を用いることにより、圧電体１０の結晶性を向上させることが出来る。上部電極１１としては、チタン／金等が挙げられる。
【００２０】
本実施の形態における光学反射素子の製造方法について説明する。
【００２１】
まず始めに、図２（ｂ）に示す基材１３として、厚みが約０．５ｍｍのシリコン基板等を準備し、シリコン基板上に二酸化ケイ素などの絶縁膜１４を形成する。そしてこの絶縁膜１４上にスパッタリング法または蒸着法などの薄膜プロセスを用いて下部電極９を積層する。このとき、シリコン基板の厚みは変えても良い。厚みを変えることにより、固有周波数を調整できる。
【００２２】
その後、この下部電極９の上にスパッタリング法などによって圧電体１０の層を形成する。このとき、圧電体１０と下部電極９との間には、配向制御層としてＰｂとＴｉを含む酸化物誘電体を用いることが好ましく、ＰＬＭＴからなる配向制御層を形成することがより好ましい。これによって、圧電体１０の結晶配向性がより高まり、圧電特性に優れた圧電アクチュエータ８を形成できる。
【００２３】
次に、この圧電体１０の上に上部電極１１あるいはその配線１２となるチタン／金膜を形成している。
【００２４】
このとき、金の膜の下層のチタン膜はＰＺＴ薄膜などの圧電体１０との密着力を高めるために形成しており、チタンの他にクロムなどの金属を用いることができる。これによって、圧電体１０との密着性に優れ、かつ、金電極とは強固な拡散層を形成していることから、密着強度の高い圧電アクチュエータ８を形成することができる。
【００２５】
なお、本実施の形態では、白金の下部電極９の厚みは０．２μｍ、圧電体１０は３．５μｍ、および上部電極１１のチタン部分は０．０１μｍとし、金電極部分は０．３μｍで形成している。
【００２６】
次に、下部電極９、圧電体１０、上部電極１１およびその配線１２を、フォトリソ技術を用いてエッチングし、パターニングする。
【００２７】
このとき、上部電極１１およびその配線１２のエッチング液としてはヨウ素／ヨウ化カリウム混合溶液と水酸化アンモニウム、過酸化水素混合溶液からなるエッチング液を用いて所定の電極パターンを形成した。
【００２８】
また、下部電極９、圧電体１０に用いるエッチング方法としては、ドライエッチング法とウエットエッチング法のいずれかの方法、あるいはこれらを組み合わせた方法などを用いることができる。
【００２９】
一例として、ドライエッチング法であればフルオロカーボン系のエッチングガス、あるいはＳＦ6ガスなどを用いることができる。
【００３０】
その他、圧電体１０の層を、沸酸、硝酸、酢酸および過酸化水素の混合溶液を用いてウエットエッチングし、パターニングし、その後、さらに、ドライエッチングによって下部電極９をエッチングしてパターニングする方法がある。
【００３１】
次に、ＸｅＦ2ガスを用いてシリコン基板を等方的にドライエッチングすることによって不必要なシリコン部分を除去し、基材１３をパターニングすれば、図１に示すような形状の光学反射素子を形成することができる。
【００３２】
なお、シリコン基板をより高精度にエッチングする場合は、シリコンの異方性を利用したドライエッチングが好ましい。この場合は、エッチングを促進するＳＦ6ガスとエッチングを抑制するＣ4Ｆ8ガスの混合ガスを用いるか、あるいはこれらのガスを交互に切り替えることにより、より直線的にエッチングできる。
【００３３】
以上のような製造方法によって、小型で、高精度な光学反射素子を一括して効率よく作製することができる。
【００３４】
本実施の形態では、ミラー部３、ミアンダ形振動子４、支持体５の基材１３を、同一基材１３から一体形成とすることによって、安定した振動特性と、生産性に優れた光学反射素子を実現することができる。
【００３５】
なお、ミラー部３は基材１３の表面を鏡面研磨することによっても形成できるが、光の反射特性に優れた金やアルミニウムの金属薄膜をミラー膜として形成することもできる。本実施の形態では、上部電極１１として金を用いた為、この金の膜をそのままミラー膜として用いることができ、生産効率も高まる。
【００３６】
本実施の形態における光学反射素子の動作について下記に説明する。
【００３７】
まず、図２（ｂ）に示すミアンダ形振動子４の下部電極９を接地状態にし、上部電極１１には、この光学反射素子の共振周波数に相当する周波数の交流電圧を入力する。
【００３８】
するとある時点において、図２（ａ）に示す幅広の上部電極１１が配置されている振動板７Ｄは、下部電極９と上部電極１１との間に挟まれた圧電体１０に電圧が印加され、下に凸、あるいは上に凸に湾曲するように変位する。
【００３９】
この時、隣の振動板７Ｃ、７Ｅには、幅の狭い配線１２が配置されているため、圧電体１０には電圧が殆ど印加されない。したがってこの振動板７Ｃ、７Ｅは、共振の原理により、隣接する振動板７Ｄと対称的な駆動をする。すなわち振動板７Ｃ、７Ｅは、隣の振動板７Ｄとは１８０度異なる方向に変位駆動する。
【００４０】
そしてまたその隣の幅広の上部電極１１が配置された振動板（図１の７Ｂ）には、電圧が印加され、前述の隣接する振動板７Ｃとは１８０度異なる方向に変位する。
【００４１】
このように本実施の形態では、一本の上部電極１１でも隣接する振動板７Ａ〜７Ｅが１８０度異なる方向に変位するため、図３に示すように、ミアンダ形振動子４は、振動板７Ａ〜７Ｅの数が増えるにしたがって、その回転軸（図１の６）周りに変位が蓄積され、一本の上部電極１１でも大きく変位する。
【００４２】
また本実施の形態では、交流電圧を印加し共振させるため、単位時間毎に湾曲する方向が逆になり、変位量も倍増する。
【００４３】
そして本実施の形態では、図１に示すように、ミアンダ形振動子４の端部にミラー部３を連結させているため、このミアンダ形振動子４の振動エネルギーがミラー部３に伝播することで、ミラー部３をその回転軸６を中心に回動させることが出来る。
【００４４】
本実施の形態では、ミラー部３は一つの回転軸６を中心に回動するため、このミラー部３に光を照射すれば、光を一方向に走査させることができ、例えばレーザプリンタ等に利用できる。
【００４５】
本実施の形態における効果を以下に説明する。
【００４６】
本実施の形態では、小型の光学反射素子の生産性を向上させることができる。
【００４７】
すなわち、図９に示すように、従来のミアンダ形振動子は、隣接する振動板１Ａ〜１Ｆを逆位相に駆動するため、個々の振動板１Ａ〜１Ｆにそれぞれ圧電アクチュエータ２を設け、独立の上部電極を引き回していた。したがって振動板１Ａ〜１Ｆ上には、すくなくとも駆動用の上部電極と、隣接する圧電アクチュエータ２の配線とがそれぞれ引き回されることになる。したがって、上部電極や配線のスペースが狭くなり、またこれら上部電極、配線間の電気的絶縁性を確保するのが困難で、生産効率が低下するという課題があった。そしてこの課題は、ミアンダ形振動子の小型化に伴い顕著となる。
【００４８】
これに対し本実施の形態では、図１に示すように、複数の振動板７Ａ〜７Ｅ上において、これらの一本おきに圧電アクチュエータ８を配置している。したがって、一つの上部電極１１で隣接する振動板７Ａ〜７Ｅを逆位相に駆動させることができるとともに、素子上に引き回す電極数を減らすことができる。すなわち本実施の形態では、一の振動板７Ａ〜７Ｅには、少なくとも上部電極１１あるいはその配線１２のいずれか一方を交互に設けることで駆動させることができる。
【００４９】
したがって光学反射素子が小型化し、ミアンダ形振動子４も小型化しても、電極の引き回しが容易になり、結果として生産性を高めることが出来る。
【００５０】
さらに本実施の形態では、ミラー部３は二つのミアンダ形振動子４で支持体５に支持された両持ち構造のため、不要な振動の発生を抑制することができる。
【００５１】
また本実施の形態では、ミアンダ形振動子４の一端を、ミラー部３の端部と連結することにより、テコの原理でミラー部３の振幅を大きくすることができる。
【００５２】
また図１に示すように、ミアンダ形振動子４の他端を、その回転軸６上で支持体５と連結すれば、不要な振動の発生を抑制する効果がある。すなわち、この回転軸６はミアンダ形振動子４の回転中心であり、変位が殆ど無いため、この領域で支持することにより安定して支持することができる。
【００５３】
なお、上記実施の形態では、対のミアンダ形振動子４のいずれにも上述の圧電アクチュエータ８を配置したが、共振駆動させる場合は、対のミアンダ形振動子４のうち、一方のミアンダ形振動子４にのみこの圧電アクチュエータ８を配置してもよい。
【００５４】
この場合は、圧電アクチュエータ８が配置された一方のミアンダ形振動子４から、ミラー部３を介して振動が伝播し、他方のミアンダ形振動子４も同じように共振駆動させることができる。
【００５５】
さらにこの場合は、他方のミアンダ形振動子４には、圧電アクチュエータ８の上部電極１１の代わりにモニター電極（図示せず）を配置してもよい。このモニター電極は、上部電極１１と同様に、幅広に形成し、このモニター電極が配置された振動板と隣接する振動板上には幅の狭い配線を設け、引き出すことができる。
【００５６】
そしてこのモニター電極は、これが形成されているミアンダ形振動子４の圧電体１０の変位を電気信号として検知することができ、この電気信号は、フィードバック回路を介して他方のミアンダ形振動子４の上部電極１１に入力することができる。
【００５７】
これにより設計誤差や外部環境要因によりミアンダ形振動子４の共振周波数に変動があっても、駆動を確かめながら所望の電気信号を印加することができ、光学反射素子を高精度に自励駆動させることが出来る。
【００５８】
（実施の形態２）
本実施の形態と実施の形態１との違いは、図４（ａ）に示すように、ミアンダ形振動子４上に上部電極１１とモニター電極１５とを交互に配置した点である。
【００５９】
本実施の形態では、このモニター電極１５は、図４（ｂ）に示すように、上部電極１１と同様に圧電体１０上に積層されている。そして振動板７Ｃ、７Ｅ上において、このモニター電極１５は、幅広に形成され、隣接する振動板７Ｄ上には、その配線１６が幅狭に形成されている。
【００６０】
すなわち本実施の形態では、幅広の上部電極１１が配置されている振動板７Ｄにはモニター電極１５の配線１６が配置され、上部電極１１の配線１２が配置されている振動板７Ｃ、７Ｅには幅広のモニター電極１５が形成されている。
【００６１】
このモニター電極１５では、圧電体１０の変位を電気信号として検知することができる。そして上部電極１１とモニター電極１５とを複数の振動板上７Ｃ〜７Ｅ上において交互に配置することで、モニター電極１５で検知した電気信号は、この上部電極１１に印加する電気信号とは逆位相となる。したがって、この信号を、フィードバック回路を介して上部電極１１に入力すれば、ミアンダ形振動子４を高精度に自励駆動させることができる。
【００６２】
なお従来の光学反射素子では、ミアンダ形振動子にモニター電極を設けようとすると、複数の振動板に少なくとも上部電極を一本と配線を一本、およびモニター電極を一本の合計三本の電極を引き回す必要があり、上部電極やモニター電極および各配線のスペースが狭くなるとともに、これらの電気的絶縁性を確保するのが難しく、生産が困難となる。
【００６３】
これに対し本実施の形態では、図１に示す実施の形態１と同様に圧電アクチュエータ８は一つおきに配置されているため、一つのミアンダ形振動子４に引き回す電極数は、モニター電極１５と上部電極１１と合わせて二本でよい。したがって電極数の増大を抑えることができ、小型の光学反射素子の生産性を向上させることが出来る。
【００６４】
その他実施の形態１と同様の構成および効果については説明を省略する。
【００６５】
（実施の形態３）
本実施の形態と実施の形態１との主な違いは、光学反射素子を二軸駆動させている点である。
【００６６】
すなわち本実施の形態の光学反射素子は、図５に示すように、ミラー部３と、このミラー部３を介して対向するとともに、このミラー部３とそれぞれ一端が連結された一対のミアンダ形振動子４と、これらのミアンダ形振動子４のそれぞれの他端と連結され、これらのミアンダ形振動子４およびミラー部３の外周を囲う枠体１７と、この枠体１７を介して対向するとともに、この枠体１７とそれぞれの一端が連結された一対のミアンダ形振動子１８と、これらのミアンダ形振動子１８のそれぞれの他端と連結され、これらのミアンダ形振動子１８および枠体１７の外周を囲う枠状の支持体１９とを備えている。なお、本実施の形態において、ミアンダ形振動子４は実施の形態１におけるミアンダ形振動子４と同じ構成とし、圧電アクチュエータ８の構造、配置位置も同じ構成とした。
【００６７】
そして本実施の形態では、このミアンダ形振動子４の回転軸６とミアンダ形振動子１８の回転軸２０とは直交する関係にあり、これによりミラー部３から反射する光を水平方向、および垂直方向に走査することができる。
【００６８】
また本実施の形態では、ミアンダ形振動子４の回転軸６とミアンダ形振動子１８の回転軸２０とは、ミラー部３の中心で交わっている。したがって、このミラー部３の中心は不動点となり、この不動部分に光を入射すれば、入射光と反射光との光路長が一定となり、高精度な画像を投影することができる。
【００６９】
さらに本実施の形態では、ミアンダ形振動子４の上部電極の配線（図２（ａ）の１２）を、枠体１７およびミアンダ形振動子１８上に引き回しながら支持体１９上の接続端子２１に引き出している。
【００７０】
さらにミアンダ形振動子１８は、ミアンダ形振動子４と同様に、このミアンダ形振動子１８を構成する複数の振動板２２Ａ〜２２Ｅ上において、これらの一本おきに圧電アクチュエータ２３を備えている。またミアンダ形振動子１８の上部電極は、支持体１９上の接続端子２４に引き出している。
【００７１】
本実施の形態では、ミアンダ形振動子４、１８において、それぞれ、電極数を減らすことができる。したがって、素子が小型化しても電極の引き回しが用意になり、結果として光学反射素子の生産性を高めることができる。
【００７２】
特に本実施の形態のように二軸駆動の場合、ミアンダ形振動子１８に、内側のミアンダ形振動子４の圧電アクチュエータ８の上部電極の配線を引き回すことがあり、光学反射素子が小型化するほどスペースが不足し、また上部電極や配線間の電気的絶縁性の確保が困難になる。したがって本実施の形態のように、ミアンダ形振動子４とミアンダ形振動子１８がそれぞれ一本の上部電極で駆動することができれば、引き回す電極の数も減り、生産性向上に寄与する。
【００７３】
また圧電アクチュエータ８、２３は、それぞれ複数の振動板（図１の７Ａ〜７Ｅ）、２２Ａ〜２２Ｅ上において一つおきに配置することによって、いずれも隣接する振動板を逆位相に駆動させることができるため、大きな変位を得ることが出来る。
【００７４】
なお、本実施の形態においても、対のミアンダ形振動子４のいずれか一方、および対のミアンダ形振動子１８のいずれか一方は、圧電アクチュエータ８、２３の上部電極の代わりにモニター電極を配置してもよい。圧電アクチュエータ８、２３が設けられている方のミアンダ形振動子４、１８を共振駆動させれば、その振動エネルギーが伝播し、モニター電極が設けられている方のミアンダ形振動子４、１８も共振駆動させることが出来るからである。
【００７５】
その他実施の形態１と同様の構成及び効果については説明を省略する。
【００７６】
（実施の形態４）
本実施の形態と実施の形態１との主な違いは、光学反射素子を二軸駆動させている点である。
【００７７】
図６に示すように本実施の形態における光学反射素子は、ミラー部３と、このミラー部３を介して対向するとともに、このミラー部３とそれぞれの第一の支持部２５で連結された、一対の音叉形圧電振動子２６と、これらの音叉形圧電振動子２６の振動中心２７とそれぞれ第二の支持部２８で連結され、一対の音叉形圧電振動子２６の外周を囲う枠体１７と、この枠体１７を介して対向するとともに、この枠体１７とそれぞれ一方の端部が連結された、一対のミアンダ形振動子２９と、これらのミアンダ形振動子２９のそれぞれの他方の端部が連結され、これらのミアンダ形振動子２９と枠体１７の外周全体を囲う枠形状の支持体１９とを備えている。
【００７８】
そして対向するミアンダ形振動子２９は、音叉形圧電振動子２６の回転軸３０に対して左右対称に設けられ、それぞれの一端を枠体１７の角と接続され、他端はこのミアンダ形振動子２９の回転軸３１上において、支持体１９と接続されている。またこのミアンダ形振動子２９は、それぞれ音叉形圧電振動子２９の回転軸３０と平行な振動板３２Ａ〜３２Ｅを複数有し、繰り返し蛇行している。そしてこれらの振動板３２Ａ〜３２Ｅ上において、一本おき、すなわち振動板３２Ａ、３２Ｃ、３２Ｅ上には、それぞれ圧電アクチュエータ３３を設けている。この圧電アクチュエータ３３の組成は、実施の形態１のミアンダ形振動子４の圧電アクチュエータ８と同様とした。
【００７９】
そして音叉形圧電振動子２６は、それぞれ第一の支持部２５の両側に、回転軸３０とほぼ平行な第一のアーム３４と第二のアーム３５とを有している。この第一のアーム３４、第二のアーム３５上にはそれぞれ圧電アクチュエータ３６、３７を設けている。
【００８０】
そして前述の圧電アクチュエータ３３、３６、３７は、図７に示すように下部電極９、圧電体１０および上部電極３８、３９、４０からなる。なお、本実施の形態では、下部電極９および圧電体１０は音叉形圧電振動子２６とミアンダ形振動子２９とで共通に形成し、上部電極３８、３９、４０はそれぞれ電気的に独立するように形成した。
【００８１】
また図６に示すように、本実施の形態では、音叉形圧電振動子２６の回転軸３０とミアンダ形振動子２９の回転軸３１とは直交する関係にあり、これらの振動によってミラー部３を垂直方向、水平方向に励振させることができる。
【００８２】
そして本実施の形態では、第一の支持部２５と第二の支持部２８とは音叉形圧電振動子２６の回転軸３０上に設けた。
【００８３】
また本実施の形態では、音叉形圧電振動子２６の共振周波数と、ミラー部３と第一の支持部２５とで構成された捩れ振動子の共振周波数とが略同一周波数となるように振動設計することによって、音叉形圧電振動子２６を共振駆動させると、捩れ振動子も共振させることができ、効率良くミラー部３を反復回転振動させることができる。
【００８４】
また本実施の形態では、ミアンダ形振動子２９にもその共振周波数の信号を印加し、共振駆動させることによって、複数の振動板３２Ａ〜３２Ｅで振幅が蓄積し、効率よく枠体１７を反復回転振動させることが出来る。また振動子をミアンダ形とすることによって共振器長を大きくすることができ、低い周波数で駆動できる。
【００８５】
さらに、第一のアーム３４、第二のアーム３５およびこれらの連結部４１の幅や、ミアンダ形振動子２９をそれぞれ等幅とすることによって、光学反射素子に発生する不要な振動モードを低減できる。
【００８６】
また音叉形圧電振動子２６をコの字状とすることによっても不要な振動モードを抑制できる。
【００８７】
また本実施の形態では、図７に示す第三ミアンダ形振動子の振動板３２Ａ、３２Ｃ、３２Ｅに形成した圧電アクチュエータ３３の上部電極３８は、配線４２を介して図６の接続端子４３へと接続させた。また図７に示す第一のアーム３４に形成した圧電アクチュエータ３６の上部電極３９は、配線４４を介して図６の接続端子４５へと接続させた。さらに図７に示す第二のアーム３５に形成した圧電アクチュエータ３７の上部電極４０は、配線４６を介して接続端子４７へと接続させた。これにより第一のアーム３４と第二のアーム３５に正負反対の電気信号を、ミアンダ形振動子２９にその共振周波数の電気信号を、それぞれの圧電アクチュエータ３３、３６、３７に印加することができる。
【００８８】
次に、このような構成からなる光学反射素子の動作原理について説明する。
【００８９】
図７に示す下部電極９と上部電極３９，４０との間に交流の駆動電圧を印加すると、圧電体１０層が面方向に伸び・縮みし、第一のアーム３４と第二のアーム３５が基材１３に対して垂直方向に撓み振動する。
【００９０】
このとき、第一のアーム３４と第二のアーム３５に形成したそれぞれの圧電アクチュエータ３６、３７に、正負反対の駆動信号を印加すれば、図８に示すように、第一のアーム３４と第二のアーム３５とを、位相が１８０度異なる方向（矢印４８、４９方向）に、つまり逆方向に撓み振動させることができる。ここで本実施の形態では、第一、第二のアーム３４、３５は、その先端を自由端とする片持ち構造のため、大きく撓み振動させることができる。
【００９１】
そして、この第一のアーム３４と第二のアーム３５の振動エネルギーは、音叉形圧電振動子２６の連結部４１へと伝播される。これによって、音叉形圧電振動子２６は、その振動中心２７を通る直線を回転軸３０として、この回転軸３０を中心に、所定の周波数にて反復回転振動（捩れ振動）をする。
【００９２】
次に、この反復回転振動の振動エネルギーが、連結部４１に接合された第一の支持部２５に伝達され、第一の支持部２５とミラー部３とで構成される捩れ振動子が、その回転軸３０を中心に矢印５０方向に捩れ振動を起こすようになる。これによって、ミラー部３にその回転軸３０を軸中心として反復回転振動を起こす。このとき、音叉形圧電振動子２６の反復回転振動の方向と、第一の支持部２５およびミラー部３で構成される捩れ振動子の反復回転振動の方向は位相が１８０度異なる反対方向に振動することとなる。
【００９３】
また図６に示すミアンダ形振動子２９は、図７の下部電極９と上部電極３８間に電圧を印加すると、隣接する振動板３２Ａ〜３２Ｅが逆位相に変位駆動し、ミアンダ形振動子２９全体としては、その回転軸（図６の３１）を中心に変位が蓄積し、大きな変位が得られる。また交流電圧を印加することで、単位時間毎にこの変位の極性が変わり、反復回転振動を起こす。
【００９４】
そしてこのミアンダ形振動子２９からの振動エネルギーで枠体１７の端部を垂直方向に振動させ、枠体１７をミアンダ形振動子２９の回転軸３１を中心に反復回転振動させることができる。
【００９５】
そしてこのように枠体１７が振動すると、この枠体１７に支持されているミラー部３も、ミアンダ形振動子２９の回転軸３１を中心に反復回転振動させることができる。
【００９６】
そしてミラー部３に例えばレーザー光源またはＬＥＤ光源などから発生させた光線を入力し、振動するミラー部３で反射させることによって、スクリーン上に光線を走査することができる。また本実施の形態では、音叉形圧電振動子２６とミアンダ形振動子２９の回転軸３０、３１は直交するため、ミラー部３から出射させた光をスクリーン上の垂直、水平方向に走査することができる。
【００９７】
本実施の形態の効果を以下に説明する。
【００９８】
本実施の形態では、実施の形態１と同様に、光学反射素子の生産性を向上させることが出来る。
【００９９】
また本実施の形態では、音叉形圧電振動子２６とミアンダ形振動子２９とを組み合わせることにより、二軸駆動の光学反射素子において、振動の周波数比を大きくすることができる。
【０１００】
すなわち、一方の回転軸３０を中心とする反復回転振動は、音叉形圧電振動子２６によって、高い周波数で駆動できるとともに、他方の回転軸３１を中心とする反復回転振動は、梁長の大きいミアンダ形振動子２９のミアンダ梁で駆動し、低い周波数で駆動できるからである。
【０１０１】
そしてその結果、二軸駆動の光学反射素子において、周波数比を大きくすることができる。
【０１０２】
とくに画像を投影する場合、画像の分解能を高めるには、スクリーンの水平方向への走査速度を、垂直方向への走査速度より大きくすることが望ましい。
【０１０３】
本実施の形態では、垂直方向へ光を走査させるための振動子をミアンダ形振動子２９としたことにより、小型の素子内でも容易に梁長を長く設計することができ、二軸駆動の光学反射素子の周波数比を大きくすることができるのである。
【０１０４】
また本実施の形態では、内側に配置され、よりサイズも小さくなる振動子は、音叉形としたことにより、簡易なパターンとなって生産効率が高まる。
【０１０５】
また、音叉形圧電振動子２６は、音叉形にすることにより、アームの先端が自由端となるため、小型であってもミラー部３の振れ角度を効率よく大きくできる。なお、音叉形圧電振動子２６を高い周波数で駆動させようとすると、振幅が小さくなるため、このように効率よく振幅を得ることができれば、高精度の光学反射素子を実現できる。
【０１０６】
また振動源を、高Ｑ値を有する音叉形とすることにより、小さなエネルギーで大きな振動エネルギーを得ることが出来、素子の小型化にも寄与する。
【０１０７】
またこれらの音叉形圧電振動子２６、ミアンダ形振動子２９の振動設計をすることによって、出力光の反射角度を大きく変化させることができ、レーザー光線などの入力光を所定の設計値となるように掃引することができる光学反射素子を実現することができる。
【０１０８】
さらに実施の形態では、ミラー部３をその両側から一対の音叉形圧電振動子２６で囲い、これらの音叉形圧電振動子２６の外周を枠体１７で囲い、この枠体１７をその両側から一対のミアンダ形振動子２９で囲い、これらのミアンダ形振動子２９の外周を支持体１９で囲う構成のため、素子の面積を有効に活用することができ、素子を小型化できる。
【０１０９】
また本実施の形態では、第一、第二のアーム３４、３５はそれぞれ直線形状のため、加工も容易である。
【０１１０】
また本実施の形態では、ミラー部３の両側に、対称的に音叉形圧電振動子２６を配置しているため、ミラー部３を安定して左右対称に励振させることができ、ミラー部３の中心が不動点となって光を安定して走査することができる。
【０１１１】
またミラー部３は、その両端が第一の支持部２５で支持されている両持ち構造のため、ミラー部３の不要な共振を抑制し、さらに外乱振動による影響も低減できる。
【０１１２】
さらに本実施の形態では、枠体１７の両側に、対称的にミアンダ形振動子２９を配置しているため、枠体１７の中心を不動点として励振させることができる。
【０１１３】
また枠体１７は、その両端がミアンダ形振動子２９で支持されている両持ち構造のため、枠体１７の不要な共振を抑制し、外乱振動による影響も低減できる。
【０１１４】
なお、上記実施の形態では、第一のアーム３４と第二のアーム３５の双方に圧電アクチュエータ３６、３７を形成したが、少なくともいずれか一方のみに圧電アクチュエータ３６、３７を形成してもよい。これは音叉形圧電振動子２６の特性を利用したものであり、どちらか一方のアームが振動すると、連結部４１を介して他方のアームに運動エネルギーが伝播し、この他方のアームも逆位相に励振させることができるからである。これにより図７に示す上部電極３９あるいは４０のいずれかが不要になり、電極数が低減し、光学反射素子の生産性を向上させることが出来る。
【０１１５】
また本実施の形態では、音叉形圧電振動子２６、ミアンダ形振動子２９のいずれも、圧電アクチュエータ３３、３６、３７はこれらの片面にのみ形成したが、両面に形成してもよい。なお、音叉形圧電振動子２６は、ミアンダ形振動子２９よりも面積が小さく、駆動力が弱いため、音叉形圧電振動子２６のみ、基材１３の両面に圧電アクチュエータを形成してもよい。
【０１１６】
なお、第一の支持部２５、第二の支持部２８のそれぞれの断面形状を円状とすれば、捩れ振動の振動モードが安定し、不要共振も抑制することができ、外乱振動に影響されにくい光学反射素子を実現することができる。
【０１１７】
また音叉形圧電振動子２６の第一のアーム３４、第二のアーム３５、ミアンダ形振動子２９の振動板３２Ａ〜３２Ｅにそれぞれモニター電極（図示せず）を配置してもよい。
【０１１８】
その他実施の形態１と同様の構成及び効果については、説明を省略する。
【産業上の利用可能性】
【０１１９】
本発明は、光学反射素子に関して小型化できるという効果を有し、特に電子写真方式の複写機、レーザープリンタ、レーザ露光機や画像投影装置、光学スキャナ用途に有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１２０】
【図１】本発明の実施の形態１における光学反射素子の斜視図
【図２】（ａ）同光学反射素子の要部拡大斜視図、（ｂ）図２（ａ）のＡＡ断面図
【図３】同光学反射素子の動作状態を示す模式図
【図４】（ａ）本発明の実施の形態２における光学反射素子の要部拡大斜視図、(ｂ)図４（ａ）のＡＡ断面図
【図５】本発明の実施の形態３における光学反射素子の斜視図
【図６】本発明の実施の形態４における光学反射素子の平面図
【図７】同光学反射素子の平面図
【図８】同光学反射素子の動作状態を示す模式図
【図９】従来の光学反射素子の斜視図
【符号の説明】
【０１２１】
３  ミラー部
４  ミアンダ形振動子
５  支持体
６  回転軸
７Ａ〜７Ｅ  振動板
８  圧電アクチュエータ
９  下部電極
１０  圧電体
１１  上部電極
１２  配線
１３  基材
１４  絶縁膜
１５  モニター電極
１６  配線
１７  枠体
１８  ミアンダ形振動子
１９  支持体
２０  回転軸
２１  接続端子
２２Ａ〜２２Ｅ  振動板
２３  圧電アクチュエータ
２４  接続端子
２５  第一の支持部
２６  音叉形圧電振動子
２７  振動中心
２８  第二の支持部
２９  ミアンダ形振動子
３０  回転軸
３１  回転軸
３２Ａ〜３２Ｅ  振動板
３３  圧電アクチュエータ
３４  第一のアーム
３５  第二のアーム
３６  圧電アクチュエータ
３７  圧電アクチュエータ
３８  上部電極
３９  上部電極
４０  上部電極
４１  連結部
４２  配線
４３  接続端子
４４  配線
４５  接続端子
４６  配線
４７  接続端子
４８、４９  矢印
５０  矢印
【図１】
0005446122.tif 000002
【図２】
0005446122.tif 000003
【図３】
0005446122.tif 000004
【図４】
0005446122.tif 000005
【図５】
0005446122.tif 000006
【図６】
0005446122.tif 000007
【図８】
0005446122.tif 000008
【図９】
0005446122.tif 000009
【図７】
0005446122.tif 000010