(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクリーンメッシュを介してスクリーン枠にメタルマスクを張設したメタルマスク版の製造方法であって、
スクリーン枠内に、Ｘ方向とＹ方向の張力の比が１：１．５以上１：３以下となる状態にてスクリーンメッシュを張設する工程、
短手方向と長手方向の長さの比が１：１００以上の細線状開口部を有するメタルマスクにつき、当該細線状開口部の長手方向が略Ｙ方向となる状態にて、当該メタルマスク周辺部を前記スクリーンメッシュに固着する工程、
前記メタルマスク固着部の内側部分の前記スクリーンメッシュを切除して、前記メタルマスク上のＸ方向とＹ方向の張力の比が１：１．３以上１：２．５以下となる状態とする工程、
を有することを特徴とするメタルマスク版の製造方法。
【請求項２】
スクリーンメッシュを介してスクリーン枠にメタルマスクを張設したメタルマスク版の製造方法であって、
スクリーン枠内にスクリーンメッシュを張設する工程、
短手方向と長手方向の長さの比が１：１００以上の細線状開口部を有するメタルマスクにつき、当該メタルマスク周辺部を前記スクリーンメッシュに固着する工程、
前記メタルマスク固着部の内側部分の前記スクリーンメッシュを切除する工程、
前記細線状開口部の短手方向をＸ方向、長手方向をＹ方向としたとき、前記スクリーンメッシュの前記メタルマスクが戴置されていない部分にＹ方向の切り込みを入れ、前記メタルマスク上のＸ方向とＹ方向の張力の比が１：１．３以上１：２．５以下となる状態とする工程、
を有することを特徴とするメタルマスク版の製造方法。
【請求項３】
前記Ｙ方向の切り込みは、前記メタルマスクの両脇に入れられることを特徴とする請求項２記載のメタルマスク版の製造方法。
【請求項４】
スクリーンメッシュを介してスクリーン枠にメタルマスクを張設したメタルマスク版の製造方法であって、
スクリーン枠内にスクリーンメッシュを張設する工程、
前記スクリーンメッシュ上の、メタルマスクが戴置されるべき部分以外の部分に切り込みを入れ、前記スクリーンメッシュ上のＸ方向とＹ方向の張力の比が１：１．５以上１：３以下となる状態とする工程、
短手方向と長手方向の長さの比が１：１００以上の細線状開口部を有するメタルマスクにつき、当該細線状開口部の長手方向が前記切り込みと同方向となるよう、当該メタルマスク周辺部を前記スクリーンメッシュに固着する工程、
前記メタルマスク固着部の内側部分の前記スクリーンメッシュを切除して、前記メタルマスク上のＸ方向とＹ方向の張力の比が１：１．３以上１：２．５以下となる状態とする工程、
を有することを特徴とするメタルマスク版の製造方法。
【請求項５】
前記切込みが入れられるのは、メタルマスクが載置されるべき部分の両脇部分であることを特徴とする請求項４記載のメタルマスク版の製造方法。
【請求項６】
前記メタルマスクは、太陽電池用基板の電極を製造するためのものであることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか記載の製造方法。
【請求項７】
スクリーンメッシュを介してスクリーン枠にメタルマスクを張設したメタルマスク版であって、
前記メタルマスクは短手方向と長手方向の長さの比が１：１００以上の細線状開口部を有し、
当該細線状開口部の短手方向をＸ方向、長手方向をＹ方向としたとき、前記メタルマスクにおけるＸ方向とＹ方向の張力の比が１：１．３以上１：２．５以下である
ことを特徴とするメタルマスク版。
【請求項８】
前記メタルマスクは、太陽電池用基板の電極を製造するためのものであることを特徴とする請求項７記載のメタルマスク版。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ペースト印刷に用いられるメタルマスク版に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、プリント配線基板等の基板回路形成には金属の板に印刷パターンが開口されたメタルマスクが一般的に用いられている。このメタルマスクの製造はめっき（電鋳法、無電解めっき法）、レーザ加工又はエッチング法などで行われるのが一般的であるが、微細な印刷パターンを形成するためには電鋳法を用いるのが好ましい。
【０００３】
メタルマスクを用いて基板上に導電性ペーストを印刷する場合には、金属ないし硬質樹脂等の外枠（以下、「枠」という。）にメタルマスクを張設した所謂メタルマスク版と呼ばれる形態で印刷装置にセットして用いられるのが一般的である。
【０００４】
メタルマスク版は構造的に、枠に直接メタルマスクを張設したフルメタル版と、スクリーンメッシュ（紗）を張設した枠（以下、「スクリーン枠」という。）にメタルマスクを張設したコンビネーション版があり、主にコンビネーション版が多く用いられている。
【０００５】
コンビネーション版では、印刷パターンが開口されたメタルマスクを、スクリーン枠に対して引張力を掛けた状態で取り付ける必要がある。そのため、スクリーンメッシュはメタルマスクに張力を与える目的で用いられる。コンビネーション版は、スクリーンメッシュを張設したスクリーン枠の中央部に、メタルマスク（周辺部に接着剤を塗布する。この固着面を「コンビネーション部」という。）を固着し、メタルマスクの固着面の内側部分のスクリーンメッシュを切抜くことにより形成される。メタルマスクの周辺部固着面の内側部分のスクリーンメッシュを切抜くのは、スクリーンメッシュがメタルマスク上の開口部パターン部分に存在すると、コンビネーション版を使用する際にスクリーンメッシュに妨げられてペーストの抜けが悪くなるためである。そのため、スクリーンメッシュを切り抜いて、メタルマスクの開口部パターンを露出させるのである。
【０００６】
コンビネーション版の製造は、一般的には、以下のような工程にて行なわれる。
１)スクリーンメッシュの４辺をそれぞれクランプする。
２）クランプした４辺を引張り、Ｘ方向、Ｙ方向にそれぞれ所定の張力をかける。
３）張力がかけられた状態のスクリーンメッシュを枠に接着固定する。
以上により、張力がかかった状態のスクリーンメッシュが固定されているスクリーン枠を得る。
【０００７】
４）  次に、スクリーン枠内のスクリーンメッシュ上にメタルマスク（印刷パターンが開口されたもの。周辺部には接着剤を塗布する。）を戴置し、固着する。
このとき、メタルマスク面部分は、メタルマスクとスクリーンメッシュが重なった状態となっている。
５）メタルマスクの固着面（周辺部）の内側部分のスクリーンメッシュを切り抜く。
これにより、メタルマスク面の開口部がスクリーンメッシュに妨げられることなく露出することとなる。
【０００８】
メタルマスクは周辺部がスクリーンメッシュと固着されているため、スクリーンメッシュの有する張力が与えられている状態となる。すなわち、上記工程により得られたメタルマスク版は、スクリーン枠によって張力がかけられた状態のメタルマスクを有することとなる。
【０００９】
当該メタルマスク版を用いた印刷方法としては、オフコンタクト印刷と、オンコンタクト印刷がある。オフコンタクト印刷とは、メタルマスク版を基板から離して水平に載置しメタルマスク上に印刷するペーストを置き、メタルマスク上でスキージを基板方向に押し付けながら移動させることにより開口部内にペーストを充填し、スキージが通り過ぎた時点で版離れが発生し、基板接触部にペーストが載せられてゆく印刷方法である。オンコンタクト印刷とは、メタルマスク版を基板に密着させ、メタルマスク上に印刷するペーストを置き、メタルマスク上でスキージを水平方向に移動させることにより開口部内にペーストを充填し、ペースト印刷後に版を基板から剥離して、基板接触部にペーストを転写する印刷方法である。
【００１０】
ところで、近時の太陽電池用基板においては、短手方向と長手方向の長さの比が１：１００以上（望ましくは１：５００以上、更に望ましくは１：１５００以上）の極めて細長い形状の電極の印刷が求められている。このとき、上記のようなコンビネーション版によりこれを印刷しようとすれば、メタルマスク上にはこれに対応した、短手方向と長手方向の長さの比が１：１００以上（望ましくは１：５００以上、さらに望ましくは１：１５００以上）の細長い溝のような形状の開口部（以下、「細線状開口部」という。）が必要となる。
しかし、メタルマスクにこのような細線状開口部を設けてコンビネーション版を製造しようとすると、製造時に与えられる張力によって開口部の形状が変形してしまうという問題があった。
【００１１】
この問題の解決としては、開口部内に架橋部を設けることにより、開口部の形状の変形を抑えるメタルマスクが開示されている。
【特許文献１】特開２００５−１１６７８６号公報
【００１２】
しかし、開口部内に架橋部を設けると、ペースト印刷時に架橋部がペーストの充填を阻害し、架橋部対応箇所でのペースト転写性が低下する。その結果、完成した基板のペーストの高さが部分的に低くなるという問題があった。すなわち、架橋部に対応する部分のペーストの高さが架橋部に阻まれて低くなってしまうのである。
【００１３】
また、メッシュを補強用の架橋として用いることも考えられるが、さらに印刷精度は低下することとなる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、印刷ペーストの転写性を犠牲にすることなく、細線状開口部を有する場合においても張力による開口部形状の変形が少ないメタルマスク版を得るという課題を解決することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明におけるメタルマスク版の製造方法は、
スクリーンメッシュを介してスクリーン枠にメタルマスクを張設したメタルマスク版の製造方法であって、
枠内に、Ｘ方向とＹ方向の張力の比が１：１．５以上１：３以下となる状態にてスクリーンメッシュを張設する工程、
短手方向と長手方向の長さの比が１：１００以上の細線状開口部を有するメタルマスクにつき、当該細線状開口部の長手方向が略Ｙ方向となる状態にて、当該メタルマスク周辺部を前記スクリーンメッシュに固着する工程、
前記メタルマスク固着部の内側部分の前記スクリーンメッシュを切除して、前記メタルマスク上のＸ方向とＹ方向の張力の比が１：１．３以上１：２．５以下となる状態とする工程、
を有することを特徴とする。
【００１６】
スクリーンメッシュを介してスクリーン枠にメタルマスクを張設したメタルマスク版は、前述のように、一般にコンビネーション版等と呼ばれる。
従来、コンビネーション版の製造においては、Ｘ方向とＹ方向の張力は、極力同じであることが望ましいとされていた。スキージ後にメタルマスク版を基板からはがす際に、強く均一に張力がかけられていた方がペーストの抜けがよいのが一般だからである。このため従来は、Ｘ方向とＹ方向の張力の差は±５％以内に収めるのが望ましいとされ、当該範囲内となるように留意して製造が行なわれていた。
【００１７】
これに対し本発明は、細線状開口部を有するメタルマスクにおいて、あえてＸ方向とＹ方向の張力に差異を設けることにより、架橋を設けることなく問題が解決しうることを見出したものである。
【００１８】
これにより、短手方向と長手方向の長さの比（以下、場合により「縦横比」という。）が１：１００以上の細線状開口部を有するメタルマスクを有するコンビネーション版を得ることが可能となった。縦横比が１：５００、さらには１：１５００を超える細線状開口部を有するメタルマスクを用いる場合には、さらに顕著に効果が現れる。
【００１９】
なお、ここにいう「短手方向と長手方向の長さの比が１：１００以上の細線状開口部」とは、架橋がなされていない縦横比１：１００以上の開口部はもちろん、架橋部間、または架橋部と辺の間の開口部、換言すれば架橋部の無い部分の開口部の縦横比が１：１００以上である場合を含む。
【００２０】
このとき、メタルマスク上の開口部が全てこの範囲の細線状開口部である必要はない。また、全ての細線状開口部がＹ方向を向いていることも必須ではない。すなわち、細線状開口部を有し、かつ主要な細線状開口部の長手方向がＹ方向ないしＹ方向に近い方向を向いていればよい。上記において「略Ｙ方向」と記載されているのはその趣旨である。
【００２１】
なお、スクリーンメッシュのＸ方向とＹ方向の張力の比は１：１．５以上で効果が得られるが、１：２以上であり１：３以下であることが望ましい。
【００２２】
製造時において張力を調整する手法としては、スクリーンメッシュの４辺をクランプして牽引する方法が一般的であるが、これに限られるものではない。
なお、スクリーンメッシュの張力の比は、１：３程度が上限であると考えられる。これを超える高比率を与えようとすると、Ｘ方向の張力を一定にし、Ｙ方向の張力を強く調整した場合にはスクリーンメッシュの破断がおき、Ｙ方向の張力を一定にし、Ｘ方向の張力を弱くした場合には、印刷後にメタルマスク版を基板から剥がす際に不具合が起きるので好ましくない。
【００２３】
また、本発明の別の製造方法は、
スクリーンメッシュを介してスクリーン枠にメタルマスクを張設したメタルマスク版の製造方法であって、
枠内にスクリーンメッシュを張設する工程、
短手方向と長手方向の長さの比が１：１００以上の細線状開口部を有するメタルマスクにつき、当該メタルマスク周辺部を前記スクリーンメッシュに固着する工程、
前記メタルマスク固着部の内側部分の前記スクリーンメッシュを切除する工程、
前記細線状開口部の短手方向をＸ方向、長手方向をＹ方向としたとき、前記スクリーンメッシュの前記メタルマスクが戴置されていない部分にＹ方向の切り込みを入れ、前記メタルマスク上のＸ方向とＹ方向の張力の比が１：１．３以上１：２．５以下となる状態とする工程、
を有することを特徴とする。
【００２４】
Ｙ方向の切り込みは、前記メタルマスクの両脇に入れられることが望ましい。
【００２５】
本発明のさらに別の製造方法は、
スクリーンメッシュを介してスクリーン枠にメタルマスクを張設したメタルマスク版の製造方法であって、
枠内にスクリーンメッシュを張設する工程、
前記スクリーンメッシュ上の、メタルマスクが戴置されるべき部分以外の部分に切り込みを入れ、前記スクリーンメッシュ上のＸ方向とＹ方向の張力の比が１：１．５以上１：３以下となる状態とする工程、
短手方向と長手方向の長さの比が１：１００以上の細線状開口部を有するメタルマスクにつき、当該細線状開口部の長手方向が前記切り込みと同方向となるよう、当該メタルマスク周辺部を前記スクリーンメッシュに固着する工程、
前記メタルマスク固着部の内側部分の前記スクリーンメッシュを切除して、前記メタルマスク上のＸ方向とＹ方向の張力の比が１：１．３以上１：２．５以下となる状態とする工程、
を有することを特徴とする。
【００２６】
切込みが入れられるのは、メタルマスクが載置されるべき部分の両脇部分であることが望ましい。
【００２７】
従来、コンビネーション版の製造においては、スクリーンメッシュに欠損が生じることは製品に欠陥が生じることを意味するものと理解されていた。しかしながら、本発明の発明者は、一定の張力を与えられたスクリーンメッシュに切り込みを入れることが、スクリーンメッシュのＸ方向とＹ方向の張力に差異を設ける方法として有効であることを見出したものである。この方法によって、容易かつ安価に、スクリーンメッシュに張力の差異を与えることが可能となる。そして、前述のように、これにより細線状開口部を有するメタルマスクを有するコンビネーション版を得ることが可能となる。
【００２８】
一度スクリーンメッシュに切り込みを入れれば、切り込み部分が広がるのを回避するために当該切り込み部分にテープを張り接着剤を塗布するなどしてこれを閉塞しても、Ｘ・Ｙ方向の張力の差異は保持される。したがって、切り込み部を塞ぐ工程をさらに追加してもよい。
【００２９】
このとき、全ての細線状開口部がＹ方向を向いていることが最も望ましいが、開口部が全て細線状開口部である必要はなく、また細線状開口部開口部が全て同方向であることも必須ではないことは前記と同様である。
【００３０】
なお、スクリーンメッシュのＸ方向とＹ方向の張力の比は１：１．５以上で効果が得られるが、１：２以上１：３以下であればさらに望ましい。
また、完成後のメタルマスク版のメタルマスク面上における張力比に着目した場合には、１：１．３以上で効果が得られるが、１：１．５以上１：２．５以下であればさらに望ましい。
【００３１】
上記各製造方法は、太陽電池用基板の電極を製造するためのメタルマスクの製造において特に有効である。
【００３２】
また、本発明におけるメタルマスク版は、
スクリーンメッシュを介してスクリーン枠にメタルマスクを張設したメタルマスク版であって、
前記メタルマスクは短手方向と長手方向の長さの比が１：１００以上の細線状開口部を有し、
当該細線状開口部の短手方向をＸ方向、長手方向をＹ方向としたとき、前記メタルマスクにおけるＸ方向とＹ方向の張力の比が１：１．３以上１：２．５以下である
ことを特徴とする。
【００３３】
さらに、当該メタルマスク版は太陽電池用基板の電極を製造するためのものである場合に特に有効である。
【００３４】
本発明によるメタルマスク版は、前記の本発明の製造方法により製造することが可能である。
【発明の効果】
【００３５】
本発明により製造されたメタルマスク版及び本発明のメタルマスク版によれば、開口部内に架橋が存在せず、かつ張設時の開口部の形状の変形が少ないため、高精度のペースト印刷が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明のメタルマスク版の製造工程の一例を示す工程図である。
【図２】本発明のメタルマスク版の製造工程の一例を示す工程図である。
【図３】本発明のメタルマスク版の製造工程の一例を示す工程図である。
【図４】実施例と比較例の試験結果の一覧表である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
〔実施例１〕
以下、本発明の実施例について具体的に説明する。
本発明のメタルマスク版およびその製造方法の一例を図１に示す。
メタルマスク版１０の作製には、スクリーンメッシュ３（Ｓｍａｒｔｍｅｓｈ−Ｐ、日本特殊織物製ポリエステルメッシュ、線径５４μｍ、１インチ毎のメッシュ本数１８０本）の張力比を、メタルマスク５の開口部６、７、８の短手方向と長手方向をＸ、Ｙとしたときに、Ｘ：Ｙを１：２に設定してスクリーンメッシュ３を枠２に張設したスクリーン枠１を使用した（ａ）。スクリーン枠１のサイズはＸ方向が６５０ｍｍ、Ｙ方向が５５０ｍｍである。
【００３８】
このときテンションゲージ（ＳＴＧ−７５、プロテック社製。以下、「テンションゲージ１」という）の測定値は、枠のＸ方向が２．４ｍｍ、Ｙ方向が１．２ｍｍであり、張力比はＸ：Ｙが１：２であった。なお、今回用いたテンションゲージを含む一般のテンションゲージは、スクリーンメッシュ上に錘を戴置し、当該錘の沈み込み量を計測するものであるため、計測値の単位系は「ｍｍ」であり、テンション（張力）が大きいほど小さく（０に近く）なる。ここで、本発明における「張力の比」ないし「張力比」とは、当該計測値の逆数の比である。また、本発明において、テンションゲージ１はスクリーン枠の面の中央近傍に載置して張力を測定した。
【００３９】
メタルマスク５のサイズは３２０ｍｍ×３２０ｍｍ、厚みは０．０５ｍｍで、電鋳法により作製した（ｂ）。メタルマスク５の開口部の形状は、Ｘ方向が０．０８ｍｍ、Ｙ方向が３８ｍｍの長さの細線状開口部６（縦横比１：４７５）と、７４ｍｍの長さの細線状開口部７（縦横比１：９２５）と、３８ｍｍの長さの細線状開口部８（縦横比１：４７５）を、Ｘ方向に２ｍｍ間隔で６７本配列した。また、細線状開口部６、７、８の間のＹ方向の間隔は２ｍｍである。
【００４０】
スクリーン枠１にメタルマスク５を固着し、固着内部のスクリーンメッシュを切除した（ｃ）。メタルマスク周辺のスクリーンメッシュ部に補強テープ１１を貼り、当該テープを貼り付けた裏面に接着剤を塗布して補強し、メタルマスク版１０を得る（ｄ）。完成後のメタルマスク版のメタルマスク面上における張力をテンションゲージ（ＳＴＧ−８０ＮＡ、プロテック社製、以下「テンションゲージ２」という）で測定したところ、Ｘ方向が０．９２ｍｍ、Ｙ方向が０．６ｍｍであり、張力比はＸ：Ｙが１：１．５であった。ここで、本発明においてテンションゲージ２はメタルマスク版のメタルマスク面の中央近傍に載置して張力を測定した。このメタルマスク版の細線状開口部寸法を測定したところ、張設による開口部寸法の変化量は０．００５ｍｍ以下であることが確認された。
【００４１】
この様にして作製したメタルマスク版を用いて、印刷試験を行った。当該試験は、手刷り印刷機の金属スキージを用いて、約１５ｍｍ／秒の印刷速度で銀ペースト（粒径８〜１０μｍ、粘度２０５Ｐａ．ｓ）を印刷した。結果としては、充填不足による割れ、欠けの見られない良好な印刷結果が得られた。拡大観察では、表面に凹凸がなく、平坦であることが確認された。  なお、印刷方向は開口部の長手方向に対して平行になるように実施した。印刷後にメタルマスク版の開口部寸法を測定したが、寸法の変化量は０．００５ｍｍ未満であることが確認された。
【００４２】
〔実施例２〕
本発明のメタルマスク版、及びその製造方法の別の例を図２に示す。
実施例１と同様の枠とスクリーンメッシュからなり、スクリーンメッシュのＸ方向とＹ方向の張力比が等方的なスクリーンメッシュ枠に、メタルマスク５を固着し、固着内部のスクリーンメッシュを切除した後、実施例１と同様にスクリーンメッシュ部に補強用のテープを貼り、当該テープを貼り付けた部分の裏面に接着剤を塗布して補強してメタルマスク版を作製した。スクリーンメッシュ枠の張力は、テンションゲージ１で測定したところ、Ｘ方向が０．９５ｍｍ、Ｙ方向が０．９２ｍｍであり、張力比はＸ：Ｙが１：１であった。
【００４３】
メタルマスクの両脇部分のスクリーンメッシュ（メタルマスクが載置されていない部分）に、Ｙ方向に平行に、メタルマスクのＹ方向と同程度の長さである３２０ｍｍの切り込み１３を入れた（ａ）。さらに、切り込み部の亀裂を防止す為、再度、テープ１４をスクリーンメッシュの切り込み部に貼り、その部位の裏面に接着剤を塗布して補強した（ｂ）。
【００４４】
完成後のメタルマスク版のメタルマスク面上における張力をテンションゲージ２で測定したところ、Ｘ方向０．９８ｍｍ、Ｙ方向で０．５５ｍｍであり、張力比はＸ：Ｙが１：１．８であった。このメタルマスク版の細線状開口部寸法を測定したところ、張設による開口部寸法の変化量は０．００５ｍｍ以下であることが確認された。
【００４５】
この様にして作製したメタルマスク版を用いて、実施例１と同様の印刷試験を行った。結果としては、充填不足による割れ、欠けの見られない良好な印刷結果が得られた。拡大観察では、表面に凹凸がなく、平坦であることが確認された。なお、印刷方向は細線状開口部の長手方向に対して平行になるように実施した。印刷後にメタルマスク版の開口部寸法を測定したが、寸法の変化量は０．００５ｍｍ未満であることが確認された。
【００４６】
〔実施例３〕
本発明のメタルマスク版、及びその製造方法の別の例を図３に示す。
実施例２と同様にＸ方向とＹ方向のスクリーンメッシュの張力比が等方的なスクリーンメッシュ枠を用いた。枠の近傍のスクリーンメッシュに補強テープ１６を貼り、裏面に接着剤を塗布した（ａ）。この後、スクリーンメッシュの、メタルマスクが戴置されるべき部分の両脇（メタルマスクが戴置されるべき部分以外の部分）に、Ｙ方向に平行にメタルマスクのＹ方向と同程度の長さである３２０ｍｍの切り込み１７を入れた（ｂ）。
このときのスクリーンメッシュ枠の張力をテンションゲージ１で測定したところ、Ｘ方向が１．６９ｍｍ、Ｙ方向が０．９５ｍｍであり張力比はＸ：Ｙが１：１．８であった。このスクリーンメッシュ枠にメタルマスク５を固着し、固着内部のスクリーンメッシュを切除した（ｃ）。さらに、切り込み部の亀裂を防止す為、スクリーンメッシュ部にテープ１９を貼り、裏面に接着剤を塗布した（ｄ）。このようにして作製したメタルマスク版のメタルマスク面上の張力をテンションゲージ２で測定したところ、Ｘ方向が１．１ｍｍ、Ｙ方向が０．６０ｍｍであり、張力比はＸ：Ｙが１：１．８であった。
【００４７】
このメタルマスク版の細線状開口部寸法を測定したところ、張設による開口部寸法の変化量は０．００５ｍｍ以下であることが確認された。
【００４８】
この様にして作製したメタルマスク版を用いて、実施例１と同様の印刷試験を行った。結果としては、充填不足による割れ、欠けの見られない良好な印刷結果が得られた。拡大観察では、表面に凹凸がなく、平坦であることが確認された。印刷後にメタルマスク版の開口部寸法を測定したが、寸法の変化量は０．００５ｍｍ未満であることが確認された。
【００４９】
［比較例１］
実施例１と同様のメタルマスクとスクリーンメッシュと枠を用いて、Ｘ方向とＹ方向の張力比が１：１であるスクリーンメッシュ枠でメタルマスク版を作製したところ、張設した時点でマスクの細線状開口部のうち枠に近い開口部の形状が明確に変形し、メタルマスク版としては使えなかった。なお、このときのメタルマスク版のメタルマスク面上における張力比は、テンションゲージ２で測定したところ、Ｘ：Ｙで１：１．１であった。
その他、実施例１と同様の手順で、テンションゲージ２で測定した場合のメタルマスク面上の張力比がＸ：Ｙで１：１．２または１：１．３であるメタルマスク版を作製し、開口部形状の観察と実施例１と同様の印刷試験を行った。その結果を、本比較例と実施例１の結果とともに図４の表に示す。このことから、メタルマスク固着前のスクリーン枠のスクリーンメッシュ上のＸ方向対Ｙ方向の張力比が１：１．５以上であり、作製したメタルマスク版のメタルマスク上のＸ方向対Ｙ方向の張力比が１：１．３以上である場合に開口部形状の変形が少なく、高精度の印刷が可能となることが確認された。
【００５０】
［比較例２］
開口部形状の変形を防止するために細線状開口部内に架橋部を設けたメタルマスクを用いて、比較例１と同様のスクリーン枠を用いてメタルマスク版を作製し、実施例１と同様に印刷試験を行い、印刷物を拡大観察すると、細線状開口部内の架橋部に対応した部分にパターンの寸断及び欠けが見られた。さらに欠けのない部分を拡大観察したところ、架橋部に対応する箇所には凹みが確認された。
【００５１】
［比較例３］
Ｙ方向の張力を０．９５ｍｍ（テンションゲージ１で計測）に維持しつつ、Ｘ方向の張力を緩めることで高い張力の比を持つスクリーン枠を作製した。このスクリーン枠の、テンションゲージ１で測定した張力は、Ｘ方向が２．９ｍｍ、Ｙ方向が０．９５ｍｍであり、張力比はＸ：Ｙが１：３であった。これを用いて作製したメタルマスク版のメタルマスク面上の張力をテンションゲージ２で測定したところ、Ｙ方向が０．６０ｍｍであったが、Ｘ方向は１．５ｍｍであり、張力比はＸ：Ｙが１：２．５であった。
このようにして作製したメタルマスク版を用いて実施例１と同様の印刷試験を行ったところ、印刷後にメタルマスク版を基板から剥がす際に不具合が生じた。また、それにより印刷した電極の形状不良が確認された。
【符号の説明】
【００５２】
１  スクリーン枠、２  枠、３  スクリーンメッシュ、５  メタルマスク、４  １２  １５  ２０  張力（計測値）、６  ７  ８  細線状開口部、１０  １８  メタルマスク版、９  コンビネーション部、１１  １４  １６  １９  補強テープ、１３、１７  切り込み部。
【図１】
0005522726.tif 000002
【図２】
0005522726.tif 000003
【図３】
0005522726.tif 000004
【図４】
0005522726.tif 000005