(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空雰囲気中でプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を基板の表面に付着させることにより、基板の表面に薄膜を成膜するアレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置であって、
内部を真空状態に減圧可能であって、天井壁に高周波電源に電気的に接続した複数の天井壁側コネクタが幅方向に間隔を置いて配設された真空チャンバーと、
前記真空チャンバーの内部側へ材料ガスを供給するガス供給源と、
前記真空チャンバーの前記天井壁の内壁面に上下方向へ移動可能に設けられ、前記真空チャンバーの幅方向へ延びており、基準のレール高さ位置において前記真空チャンバーに対する前記幅方向の変位が許容された可動ガイドレールと
前記可動ガイドレールを上下方向へ移動させる上下移動機構と、
前記可動ガイドレールに前記幅方向に移動可能に支持され、前記真空チャンバーの側面側から前記可動ガイドレールに対して送り出し及び引き出し可能であって、複数の保持孔が前記幅方向に沿って形成された複数のホルダと、
前記ホルダにおける複数の前記保持孔に挿通した状態でそれぞれ保持され、上端部に対応関係にある天井側コネクタに接続可能なアンテナ側コネクタが設けられた誘導結合型電極と、を具備し、
前記可動ガイドレールに前記ホルダがセットされると、鉛直状態で同一平面上に間隔を置いて配列された複数の前記誘導結合型電極からなりかつプラズマを発生させるアレイアンテナが形成され、前記アレイアンテナの少なくとも片側に鉛直状態の基板をセット可能な基板エリアが形成されており、
前記可動ガイドレールに前記ホルダをセットした状態で、記可動ガイドレールを前記基準のレール高さ位置まで上方向へ移動させると、各アンテナ側コネクタが対応関係にある前記天井壁側コネクタに接続するようになっていることを特徴とするアレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置。
【請求項２】
前記ホルダは、前記幅方向に沿って分割された複数の分割ホルダからなることを特徴とする請求項１に記載のアレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置。
【請求項３】
前記可動ガイドレールに支持された複数の前記ホルダの前記幅方向の移動を規制するホルダ用ストッパと、を具備したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のアレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置。
【請求項４】
前記基準のレール高さ位置を越える前記可動ガイドレールの上方向の移動を規制するレール用ストッパと、を具備したことを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれかの請求項に記載のアレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置。
【請求項５】
複数の前記天井側コネクタは、前記高周波電源の供給側に電気的に接続された複数の第１天井側コネクタと、前記高周波電源の接地側に電気的に接続された複数の第２天井側コネクタとからなり、前記第１天井側コネクタと前記第２天井側コネクタが前記幅方向に沿って交互に配設されており、
複数の前記保持孔は、複数の第１保持孔と複数の第２保持孔からなり、前記ホルダに前記第１保持孔及び前記第２保持孔が前記幅方向に沿って交互に形成され、
各誘導結合型電極は、前記ホルダの前記第１保持孔に挿通した状態で保持されかつ上端部に前記第１天井側コネクタに接続可能な第１アンテナ側コネクタが設けられた第１電極棒、前記ホルダの前記第２保持孔に挿通した状態で保持されかつ前記第１電極棒に対して平行であってかつ上端部に前記第２天井側コネクタに接続可能な第２アンテナ側コネクタが設けられた第２電極棒、及び前記第１電極棒の下端部と前記第２電極棒の下端部の間に電気的に接続するように設けられた接続金具を備え、
前記可動ガイドレールに複数の前記ホルダをセットした状態で、前記可動ガイドレールを前記基準のレール高さ位置まで上方向へ移動させると、各第１アンテナ側コネクタが対応関係にある前記第１天井側コネクタに接続しかつ各第２アンテナ側コネクタが対応関係にある前記第２天井側コネクタに接続するようになっていることを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれかの請求項に記載のアレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置。
【請求項６】
各第２電極棒がパイプ状を呈しており、各第２電極棒の内部が前記ガス供給源に接続されており、各第２電極棒の外周面に材料ガスを噴出する噴出孔が貫通して形成されており、
各第２電極棒は、前記噴出孔が指定の向きを指向するように前記第２保持孔に対して回転位置決め可能になっていることを特徴とする請求項５に記載のアレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空雰囲気中でプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分をガラス基板等の基板の表面に付着させることにより、基板の表面に薄膜を成膜するアレイアンテナ式（誘導結合型）のＣＶＤプラズマ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、太陽電池等に用いられるガラス基板等の基板の大面積化（大型化）に伴い、大面積基板（大型基板）の成膜に適したアレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置について種々の開発がなされている。そして、一般的なアレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置の構成等に説明すると、次のようになる。
【０００３】
一般的なアレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置は、内部を真空状態に減圧可能な真空チャンバーを具備しており、この真空チャンバーの天井壁には、高周波電源に電気的に接続した複数の天井側コネクタが幅方向（真空チャンバーの幅方向）に間隔を置いて配設されている。また、真空チャンバーの内部には、プラズマを発生させるアレイアンテナが配設されており、このアレイアンテナは、鉛直状態で同一平面上に長さ方向に間隔を置いて配列された複数本の誘導結合型電極（アンテナ素子）を備えてあって、各誘導結合型電極の上端部には、対応関係にある天井側コネクタに接続可能なアンテナ側コネクタが設けられている。更に、アレイアンテナの少なくとも片側には、鉛直状態の基板をセット可能な基板エリアが形成されている。そして、真空チャンバーの外側の適宜位置には、真空チャンバーの内部側へ材料ガスを供給するガス供給ボンベ等のガス供給源が設けられている。
【０００４】
従って、真空チャンバーの内部を真空状態に減圧して、基板エリアに基板をセットする。また、ガス供給源によって真空チャンバーの内部側へ材料ガスを供給する。そして、高周波電源によって複数本の誘導結合型電極に高周波波電力を供給することにより、アレイアンテナの周辺にプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を基板の表面に付着させる。これにより、基板の表面に非結晶シリコン膜又は微結晶シリコン膜等の薄膜を成膜（形成）することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２６２５４１号公報
【特許文献２】特開２００３−８６５８１号公報
【特許文献３】特開２００３−１０９７９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、誘導結合型電極の表面に皮膜等が付着し易く、通常、誘導結合型電極のメンテナンスが定期的に行われており、誘導結合型電極のメンテナンスの際、真空チャンバーに対する誘導結合型電極の着脱（取付と取外し）が１本ずつ行われている。そのため、複数本の誘導結合型電極の着脱作業を含む一連の誘導結合型電極のメンテナンス作業が煩雑化して、誘導結合型電極のメンテナンス時間が長くなると共に、アレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置の停止によるスループットの低下量が大きくなるという問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成のＣＶＤプラズマ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の特徴は、真空雰囲気中でプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を基板の表面に付着させることにより、基板の表面に薄膜を成膜（形成）するアレイアンテナ式（誘導結合型）のＣＶＤプラズマ装置であって、内部を真空状態に減圧可能であって、天井壁に高周波電源に電気的に接続した複数の天井壁側コネクタが幅方向に間隔を置いて配設された真空チャンバーと、前記真空チャンバーの内部側へ材料ガスを供給するガス供給源と、前記真空チャンバーの前記天井壁の内壁面に上下方向へ移動可能に設けられ、前記真空チャンバーの幅方向へ延びており、基準のレール高さ位置において前記真空チャンバーに対する前記幅方向の変位が許容された可動ガイドレールと、前記可動ガイドレールを上下方向へ移動させる上下移動機構と、前記可動ガイドレールに前記幅方向に移動可能に支持され、前記真空チャンバーの側面側から前記可動ガイドレールに対して送り出し及び引き出し可能であって、複数の保持孔（電極保持部）が前記幅方向に沿って形成された複数のホルダと、前記ホルダにおける複数の前記保持孔に挿通した状態で保持され、上端部に対応関係にある天井側コネクタに接続可能なアンテナ側コネクタが設けられた誘導結合型電極と、を具備し、前記可動ガイドレールに前記ホルダがセットされると、鉛直状態で同一平面上に間隔を置いて配列（配設）された複数の前記誘導結合型電極からなりかつプラズマを発生させるアレイアンテナが形成（構成）され、前記アレイアンテナの少なくとも片側に鉛直状態の基板をセット可能な基板エリアが形成されており、前記可動ガイドレールに前記ホルダをセットした状態（支持させた状態）で、前記可動ガイドレールを前記基準のレール高さ位置まで上方向へ移動させると、各アンテナ側コネクタが対応関係にある前記天井壁側コネクタに接続するようになっていることを要旨とする。
【０００９】
なお、特許請求の範囲及び明細書において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、別部材を介して間接的に設けられたことを含む意であって、「配設され」とは、直接的に配設されたことの他に、別部材を介して間接的に配設されたことを含む意であって、「支持され」とは、直接的に支持されたことの他に、別部材を介して間接的に支持されたことを含む意である。
【００１０】
本発明の特徴による前記誘導結合型電極の着脱（取付と取外し）に関する作用
前記真空チャンバーの外側において、前記ホルダの複数の前記保持孔に前記誘導結合型電極を挿通させた状態でそれぞれ保持させることにより、複数本の前記誘導結合型電極をまとめることができる。次に、前記ホルダを前記真空チャンバーの側面側から前記可動ガイドレールに送り出すことにより、前記ホルダを前記可動ガイドレールにセットする。そして、前記上下移動機構によって前記可動ガイドレールを前記基準のレール高さ位置まで上方向へ移動させることにより、前記アレイアンテナを上方向へ移動させて、各アンテナ側コネクタを対応関係にある前記天井壁側コネクタに接続させる。これにより、複数本の前記誘導結合型電極をまとめた状態で前記真空チャンバーの前記天井壁側に取付けることができる。
【００１１】
また、前述の動作と反対の動作を行うことにより、複数本の前記誘導結合型電極をまとめた状態で前記真空チャンバーの前記天井壁側から取外すことができる。
【００１２】
要するに、前記真空チャンバーの前記天井壁の内壁面に前記可動ガイドレールが上下方向へ移動可能に設けられ、前記可動ガイドレールに前記ホルダが前記幅方向に移動可能に支持され、前記ホルダの複数の前記保持孔に前記誘導結合型電極が挿通した状態でそれぞれ保持され、前記可動ガイドレールに前記ホルダをセットした状態で、前記可動ガイドレールを前記基準のレール高さ位置まで上方向へ移動させると、各アンテナ側コネクタが対応関係にある前記天井壁側コネクタに接続するようになっているため、前述のように、複数本の前記誘導結合型電極をまとめた状態で前記真空チャンバーの前記天井壁側に対して着脱することができる。
【００１３】
本発明の特徴による成膜処理に関する作用
前記真空チャンバーの内部を真空状態に減圧して、前記基板エリアに基板をセットする。また、前記ガス供給源によって前記真空チャンバーの内部側へ材料ガスを供給する。そして、前記高周波電源によって複数本の誘導結合型電極に高周波波電力を供給することにより、前記アレイアンテナの周辺にプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を基板の表面に付着させる。これにより、基板の表面に薄膜を成膜（形成）することができる。なお、前記基板エリアに基板をセットした状態で、前記真空チャンバーの内部を真空状態に減圧しても構わない。
【００１４】
ここで、前記可動ガイドレールが前記基準のレール高さ位置において前記真空チャンバーに対する前記幅方向の変位が許容され、前記ホルダが前記可動ガイドレールに対して前記幅方向へ移動可能であるため、成膜処理中に、前記可動ガイドレール及び前記ホルダの前記幅方向に熱膨張を構造的に逃がすことができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、複数本の前記誘導結合型電極をまとめた状態で前記真空チャンバーの前記天井壁側に対して着脱できるため、複数本の前記誘導結合型電極の着脱作業を含む一連の前記誘導結合型電極のメンテナンス作業を簡略化して、前記誘導結合型電極のメンテナンス時間を大幅に短縮すると共に、前記アレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置の停止によるスループットの低下量が極力小さくすることができる。
【００１６】
また、成膜処理中に、前記可動ガイドレール及び前記ホルダの前記幅方向に熱膨張を構造的に逃がすことができるため、前記可動ガイドレール及び前記ホルダに過度の応力が働くことを抑えて、前記可動ガイドレール及び前記ホルダの耐久性を十分に確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係るアレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置の正面断面図である。
【図２】図２は、本発明の実施形態に係るアレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置の側面断面図である。
【図３】図３は、複数本の誘導結合型電極を真空チャンバーの天井壁側に取付ける前の状態を示す本発明の実施形態に係るアレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置の正面断面図である。
【図４】図４は、図３における矢視部IVの拡大図である。
【図５】図５は、図４におけるV-V線に沿った断面図である。
【図６】図６は、図５におけるVI-VI線に沿った断面図である。
【図７】図７は、図５におけるVII-VII線に沿った断面図である。
【図８】図８は、本発明の実施形態の作用を説明する図である。
【図９】図９は、本発明の実施形態の作用を説明する図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施形態の作用を説明する図である。
【図１１】図１１は、本発明の実施形態の作用を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の実施形態について図１から図１１を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は前方向、「ＦＲ」は後方向、「Ｌ」は左方向、「Ｒ」は右方向、「Ｕ」は上方向、「Ｄ」は下方向をそれぞれ指してある。
【００１９】
図１から図４に示すように、本発明の実施形態に係るアレイアンテナ方式（誘導結合型）のＣＶＤプラズマ装置１は、真空雰囲気中でプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を基板Ｗの表面に付着させることにより、基板Ｗの表面に非結晶シリコン膜又は微結晶シリコン膜等の薄膜（図示省略）を成膜（形成）する装置である。
【００２０】
アレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置１は、箱型の真空チャンバー３を具備しており、この真空チャンバー３は、真空圧を発生させる真空ポンプ等の真空圧発生源５に接続されており、内部を真空状態に減圧可能である。また、真空チャンバー３は、チャンバー本体７の備えており、このチャンバー本体７は、正面側（前側）にフロント開口部７ａ、背面側（後側）にリア開口部７ｂ、両側面側（左側面側及び右側面側）にサイド開口部７ｃをそれぞれ有している。更に、チャンバー本体７の正面部（前部）には、フロント開口部７ａを開閉可能なフロント壁９が設けられており、チャンバー本体７の背面部（後部）には、リア開口部７ｂを開閉可能なリア壁１１が設けられている。そして、チャンバー本体７の両側部（左側部及び右側部）には、サイド開口部７ｃを開閉可能なサイド壁（ゲートバルブを含む）１３がそれぞれ設けられており、チャンバー本体７の上部には、天井壁１５が設けられている。
【００２１】
真空チャンバー３の天井壁１５には、第１天井側コネクタ１７と第２天井側コネクタ１９が真空チャンバー３の幅方向（左右方向）に交互に配設されており、換言すれば、真空チャンバー３の天井壁１５には、複数の天井側コネクタ（複数の第１天井側コネクタ１７と複数の第２天井側コネクタ１９）が左右方向に間隔を置いて配設されている。ここで、各第１天井側コネクタ１７は、高周波電力を供給する高周波電源２１の供給側（非接地側）に電気的に接続されており、各第２天井側コネクタ１９は、高周波電源２１の接地側に電気的に接続されている。
【００２２】
真空チャンバー３の外側の適宜位置には、真空チャンバー３の内部側へ材料ガスを供給するガス供給ボンベ等のガス供給源２３が配設されている。
【００２３】
真空チャンバー３の天井壁１５の内壁面には、複数のブラケット２５が左右方向に間隔を置いて配設されており、複数のブラケット２５の配設状態は、前後に２列になっている。また、各ブラケット２５には、ガイド長穴２７が形成されており、各ガイド長穴２７は、上下方向（鉛直方向）へ延びた鉛直部２７ａと、鉛直部２７ａに連通しかつ水平な左右方向へ延びた水平部２７ｂとを有している。
【００２４】
各列の複数のブラケット２５には、左右方向へ延びた断面Ｌ型の可動ガイドレール２９が上下方向へ移動可能に設けられており、具体的には、可動ガイドレール２９の前面又は後面には、複数のスライドピン３１が左右方向に間隔を置いて配設されており、各スライドピン３１は、対応関係にあるブラケット２５のガイド長穴２７の鉛直部２７ａに上下方向へ移動可能に案内支持されている。換言すれば、真空チャンバー３の天井壁１５の内周面には、一対の可動ガイドレール２９が複数のブラケット２５等を介して上下方向へ移動可能に設けられている。
【００２５】
ここで、可動ガイドレール２９は、複数のブラケット２５のガイド長穴２７によって基準のレール高さ位置（図１において実線で示す位置）を越える上方向の移動が規制されており、換言すれば、複数のブラケット２５のガイド長穴２７はレール用ストッパとしての機能を有している。また、各可動ガイドレール２９は、複数のブラケット２５のガイド長穴２７の水平部２７ｂによって前記基準のレール高さ位置において左右方向の変位が許容されるようになっている。
【００２６】
真空チャンバー３の内部には、手動操作によって一対の可動ガイドレール２９を上下方向へ移動させる上下移動機構３３が配設されている。具体的には、真空チャンバー３の天井壁１５の内壁面には、一対のガイド支柱３５が左右方向に離隔しかつ垂下して設けられており、一方のガイド支柱（右側のガイド支柱）３５は、真空チャンバー３の天井壁１５の内壁面に対して取外し可能（着脱可能）である。また、各ガイド支柱３５には、一対の可動ガイドレール２９の左端部又は右端部を下方向から支持する可動支持部材３７が嵌挿して設けられており、各可動支持部材３７は、ガイド支柱３５に対して上下方向へ移動可能でかつ着脱可能である。更に、各ガイド支柱３５における可動支持部材３７の下側には、手動操作（回転操作）によって可動支持部材３７を上下方向へ移動させる操作ナット（操作部材の一例）３９が螺合して設けられており、各操作ナット３９は、ガイド支柱３５に対して着脱可能である。
【００２７】
なお、手動操作によって一対の可動ガイドレール２９を上下方向へ移動させる上下移動機構３３の代わりに、自動操作によって一対の可動ガイドレール２９を上下方向へ移動させるアクチュエータ等の別の上下移動機構を用いても構わない。
【００２８】
図２から図５に示すように、一対の可動ガイドレール２９には、ホルダ４１が左右方向に移動可能に支持されており、このホルダ４１は、左右方向に沿って分割した複数の分割ホルダ４１Ｓからなり、各分割ホルダ４１Ｓの前側面及び後側面には、可動ガイドレール２９の上面を転動する複数のローラ（車輪）４３が回転可能に設けられており、各ローラ４３の外周側には、可動ガイドレール２９に対して分割ホルダ４１Ｓの前後方向の移動を規制するテーパ状のフランジ部４３ｆが形成されている。また、各分割ホルダ４１Ｓは、真空チャンバー３の右側面側からチャンバー本体７のサイド開口部７ｃを介して一対の可動ガイドレール２９に対して送り出し及び引き出し可能である。更に、各分割ホルダ４１Ｓには、第１保持孔（第１電極保持部）４５及び第２保持孔（第２電極保持部）４７が左右方向に沿って交互に形成されており、換言すれば、各分割ホルダ４１Ｓには、複数の保持孔（複数の第１保持孔４５及び複数の第２保持孔４７）が左右方向に沿って形成されている。
【００２９】
一対の可動ガイドレール２９の左端部側の所定位置には、分割ホルダ４１Ｓの左方向の移動を規制する第１ホルダ用ストッパ４９が設けられており、この第１ホルダ用ストッパ４９は、可動ガイドレール２９に対して取外し可能（着脱可能）である。また、可動ガイドレール２９の右端部側の所定位置には、分割ホルダ４１Ｓの右方向の移動を規制する第２ホルダ用ストッパ５１が設けられており、この第２ホルダ用ストッパ５１は、可動ガイドレール２９に対して取外し可能（着脱可能）である。
【００３０】
各分割ホルダ４１Ｓにおける各一対の第１保持孔４５及び第２保持孔４７には、Ｕ字形状の誘導結合型電極（アンテナ素子）５３が挿通した状態で保持されており、各誘導結合型電極５３は、対応関係にある一対の第１保持孔４５及び第２保持孔４７に対して着脱可能である。そして、一対の可動ガイドレール２９に複数の分割ホルダ４１Ｓがセットさせると、複数の誘導結合型電極５３からなりかつプラズマを発生させるアレイアンテナ５５が形成（構成）されるようになっている。また、アレイアンテナ５５の前後両側（前側及び後側）には、鉛直状態の基板Ｗをセット可能な基板エリアＡが形成されている。
【００３１】
図５から図７に示すように、各誘導結合型電極５３は、分割ホルダ４１Ｓの第１保持孔４５に挿通した状態で保持されかつ上端部（基端部）に対応関係にある第１天井側コネクタ１７に接続可能な第１アンテナ側コネクタ５７が設けられた第１電極棒５９、分割ホルダ４１Ｓの第２保持孔４７に挿通した状態で保持されかつ第１電極棒５９に対して平行であってかつ上端部（基端部）に対応関係にある第２天井側コネクタ１９に接続可能な第２アンテナ側コネクタ６１が設けられたパイプ状の第２電極棒６３、及び第１電極棒５９の下端部（先端部）と第２電極棒６３の端部（先端部）の間に電気的に接続するように設けられた接続金具６５を備えている。また、各第２電極棒６３の外周面には、材料ガスを噴出する噴出孔６９が形成されている。更に、各第２電極棒６３は、噴出孔６９が指定の向きを指向するように位置決めピン等によって第２保持孔４７に対して回転位置決め可能になっている。なお、分割ホルダ４１Ｓ毎にグループ化された複数本の第１電極棒５９の下端部及び複数本の第２電極棒６３の下端部には、左右方向へ延びた連結棒７１が連結されている。
【００３２】
そして、一対の可動ガイドレール２９に複数の分割ホルダ４１Ｓをセットした状態で、一対の可動ガイドレール２９を前記基準のレール高さ位置まで上方向へ移動させると、各第１アンテナ側コネクタ５７が対応関係にある第１天井側コネクタ１７に接続しかつ各第２アンテナ側コネクタ６１が対応関係にある第２天井側コネクタ１９に接続するようになっている。
【００３３】
図１及び図２に示すように、真空チャンバー３の内部の床面には、左右方向へ延びた一対の下部ガイドレール７３が設けられており、一対の下部ガイドレール７３には、台車７５が左右方向へ移動可能に設けられている。換言すれば、真空チャンバー３の内部の床面には、台車７５が一対の下部ガイドレール７３を介して左右方向へ移動可能に設けられている。また、台車７５は、チャンバー本体７のサイド開口部７ｃを介して真空チャンバー３の内部に送り出し及び引き出し可能である。そして、台車７５には、鉛直状態の基板Ｗを保持する枠状の一対の基板ホルダ７７が立設されてある。なお、台車７５を真空チャンバー３の内部における基準の台車送り出し位置（図１に実線で示す台車７５の位置）に送り出すことによって各基板エリアＡに基板Ｗがセットされるようになっている。
【００３４】
なお、本発明の実施形態にあっては、基板エリアＡに基板Ｗをセットするために台車７５等を用いているが、別のセット手段を用いて基板エリアＡに基板Ｗをセットするようにしても構わない。
【００３５】
続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。
【００３６】
作業者による誘導結合型電極５３の着脱（取付と取外し）に関する作用
複数本の誘導結合型電極５３を真空チャンバー３の天井壁１５側に取付ける場合には、まず、真空チャンバー３の外側において、各分割ホルダ４１Ｓの各第１保持孔４５に第１電極棒５９（第１アンテナ側コネクタ５７）を挿通した状態で保持させると共に、各分割ホルダ４１Ｓの各第２保持孔４７に第２電極棒６３（第２アンテナ側コネクタ６１）を挿通した状態で保持させる。これにより、図８に示すように、複数本の誘導結合型電極５３をグループ単位（分割ホルダ４１Ｓの個数に応じたグループ単位で）まとめることができる。
【００３７】
複数本の誘導結合型電極５３をまとめた後に、図９に示すように、複数の分割ホルダ４１Ｓを真空チャンバー３の右側面側からチャンバー本体７のサイド開口部７ｃを介して一対の可動ガイドレール２９に順次送り出す。これにより、複数の分割ホルダ４１Ｓ（ホルダ４１）を一対の可動ガイドレール２９にセットすることができる。
【００３８】
このとき、第１ホルダ用ストッパ４９は一対の可動ガイドレール２９の左端部側の所定位置に装着されており、第２ホルダ用ストッパ５１は一対の可動ガイドレール２９の右端部側から取外されており、一方のガイド支柱３５は真空チャンバー３の天井壁１５の内壁面から取外されてある。また、各スライドピン３１は、対応関係にあるブラケット２５のガイド穴２７の鉛直部２７ａの底面（下側面）に支持されており、可動ガイドレール２９は、前記基準のレール高さ位置よりも低い高さ位置に位置している。
【００３９】
複数の分割ホルダ４１Ｓを一対の可動ガイドレール２９にセットした後に、図１０に示すように、第２ホルダ用ストッパ５１を一対の可動ガイドレール２９の右端部側の所定位置に装着すると共に、一方のガイド支柱３５を真空チャンバー３の天井壁１５の内壁面に装着する。次に、一方のガイド支柱３５に可動支持部材３７を下方向から嵌挿させて、一方のガイド支柱３５における可動支持部材３７の下側に操作ナット３９を螺合させる（締め付ける）。そして、図１１に示すように、各操作ナット３９の回転操作によって一対の可動支持部材３７を上方向へ移動させることにより、一対の可動ガイドレール２９を前記基準のレール高さ位置まで上方向へ移動させる。これにより、アレイアンテナ５５を上方向へ移動させて、各第１アンテナ側コネクタ５７が対応関係にある第１天井側コネクタ１７に接続させかつ各第２アンテナ側コネクタ６１を対応関係にある第２天井側コネクタ１９に接続させることができる。
【００４０】
これにより、複数本の誘導結合型電極５３をグループ単位でまとめた状態で真空チャンバー３の天井壁１５側に取付けることができる。
【００４１】
複数本の誘導結合型電極５３を真空チャンバー３の天井壁１５側から取外して、真空チャンバー３から取り出す場合には、各操作ナット３９の回転操作によって一対の可動支持部材３７を下方向へ移動させることにより、一対の可動ガイドレール２９を前記基準のレール高さ位置から下方向へ移動させる。これにより、アレイアンテナ５５を下方向へ移動させて、第１アンテナ側コネクタ５７と第１天井側コネクタ１７との接続状態を解除する共に、第２アンテナ側コネクタ６１と第２天井側コネクタ１９との接続状態を解除する。
【００４２】
第１アンテナ側コネクタ５７と第１天井側コネクタ１７との接続状態等を解除した後に、一方のガイド支柱３５における可動支持部材３７の下側から操作ナット３９を緩めて取外し、一方のガイド支柱３５から可動支持部材３７を取外す。続いて、第２ホルダ用ストッパ５１を一対の可動ガイドレール２９の右端部側の所定位置から取外すと共に、一方のガイド支柱３５を真空チャンバー３の天井壁１５の内壁面から取外す。そして、複数の分割ホルダ４１Ｓを真空チャンバー３の右側面側からチャンバー本体７のサイド開口部７ｃを介して一対の可動ガイドレール２９から順次引き出す。
【００４３】
これにより、複数本の誘導結合型電極５３をまとめた状態で真空チャンバー３の天井壁１５側から取外して、真空チャンバー３から取り出すことができる。
【００４４】
なお、複数本の誘導結合型電極５３の着脱作業の終了後に、第１ホルダ用ストッパ４９及び第２ホルダ用ストッパ５１を一対の可動ガイドレール２９から取外しておく。
【００４５】
要するに、真空チャンバー３の天井壁１５の内壁面に一対の可動ガイドレール２９が上下方向へ移動可能に設けられ、一対の可動ガイドレール２９に複数の分割ホルダ４１Ｓが左右方向に移動可能に支持され、各分割ホルダ４１Ｓにおける各一対の第１保持孔４５及び第２保持孔４７に誘導結合型電極５３が挿通した状態で保持され、一対の可動ガイドレール２９に複数の分割ホルダ４１Ｓをセットした状態で、一対の可動ガイドレール２９を前記基準のレール高さ位置まで上方向へ移動させると、各第１アンテナ側コネクタ５７が対応関係にある第１天井側コネクタ１７に接続しかつ各第２アンテナ側コネクタ６１が対応関係にある第２天井側コネクタ１９に接続するようになっているため、前述のように、複数本の誘導結合型電極５３をグループ単位でまとめた状態で真空チャンバー３の天井壁１５側に対して着脱することができる。
【００４６】
成膜処理に関する作用
まず、真空圧発生源５によって真空チャンバー３の内部を真空状態に減圧する。次に、台車７５を真空チャンバー３の内部における前記基準の台車送り出し位置に送り出すことにより、各基板エリアＡに基板Ｗをセットする。次に、また、ガス供給源２３によって真空チャンバー３の内部側へ材料ガスを供給することにより、各第２電極棒６３の各噴出孔６９から基板エリアＡに向かって材料ガスを噴射する。そして、高周波電源２１によって複数本の誘導結合型電極５３に高周波波電力を供給することにより、アレイアンテナ５５の周辺にプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を２枚の基板Ｗの表面に付着させる。これにより、２枚の基板Ｗの表面に非結晶シリコン膜又は微結晶シリコン膜等の薄膜を成膜（形成）することができる。
【００４７】
ここで、各可動ガイドレール２９が複数のブラケット２５のガイド長穴２７の水平部２７ｂによって前記基準のレール高さ位置において真空チャンバー３に対する左右方向の変位が許容され、各分割ホルダ４１Ｓが一対の可動ガイドレール２９に対して左右方向へ移動可能であるため、成膜処理中に、各可動ガイドレール２９及び各分割ホルダ４１Ｓの左右方向に熱膨張を構造的に逃がすことができる。
【００４８】
本発明の実施形態の効果
以上の如く、本発明の実施形態によれば、複数本の誘導結合型電極５３をグループ単位でまとめた状態で真空チャンバー３の天井壁１５側に対して着脱できるため、複数本の誘導結合型電極５３の着脱作業を含む一連の誘導結合型電極５３のメンテナンス作業を簡略化して、誘導結合型電極５３のメンテナンス時間を大幅に短縮すると共に、アレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置１の停止によるスループットの低下量が極力小さくすることができる。
【００４９】
また、成膜処理中に、各可動ガイドレール２９及び各ホルダの前記幅方向に熱膨張を構造的に逃がすことができるため、各可動ガイドレール２９及び各分割ホルダ４１Ｓに過度の応力が働くことを抑えて、各可動ガイドレール２９及び各分割ホルダ４１Ｓの耐久性を十分に確保することができる。
【００５０】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限るものでなく、例えば、アレイアンテナ５５にＵ字形状の複数本の誘導結合型電極５３を用いる代わりに、Ｉ字形状の複数本の誘導結合型電極を用いる等、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【符号の説明】
【００５１】
Ａ      基板エリア
Ｗ      基板
１      アレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置
３      真空チャンバー
５      真空圧発生源
７      チャンバー本体
７ｃ    チャンバー本体のサイド開口部
１５      天井壁
１７      第１天井側コネクタ
１９      第２天井側コネクタ
２１      高周波電源
２３      ガス供給源
２５      ブラケット
２７      ガイド長穴
２７ａ    ガイド長穴の鉛直部
２７ｂ    ガイド長穴の水平部
２９      可動ガイドレール
３１      スライドピン
３３      上下移動機構
３５      ガイド支柱
３７      可動支持部材
３９      操作ナット
４１      ホルダ
４１Ｓ    分割ホルダ
４３      ローラ
４５      第１保持孔
４７      第２保持孔
４９      第１ホルダ用ストッパ
５１      第２ホルダ用ストッパ
５３      誘導結合型電極
５５      アレイアンテナ
５７      第１アンテナ側コネクタ
５９      第１電極棒
６１      第２アンテナ側コネクタ
６３      第２電極棒
６５      接続金具
６７      外筒
６９      噴出孔
７１      連結棒
７３      下部ガイドレール
７５      台車
７７      基板ホルダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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