(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体回路装置の配線の抵抗値を算出する抵抗値算出処理をコンピュータに実行させるための抵抗値算出プログラムであって、
前記コンピュータを、
直交座標系で、前記配線について、互いを包含しない複数の矩形状の領域を生成する領域生成部、
前記領域生成部で得る複数の領域のうち、重複領域を有する第１領域と第２領域について、前記第１領域の中央部の長手方向に前記重複領域の端部の所定長さ手前まで第１線分を引く第１線分生成部、
前記第１線分生成部が前記第１線分を引いた後に、前記第２領域の中央部の長手方向に第２線分を引く第２線分生成部、及び
前記第１線分及び前記第２線分の各々について、線分長と領域幅とに応じた抵抗値を算出する抵抗値算出部
として機能させ、
前記第１線分生成部が前記第１線分を引く前記第１領域は、長手方向に対する幅が前記第２領域よりも広い領域であり、
前記第２線分生成部は、前記第２線分を引く方向において、前記第２線分が前記第１線分とオーバーラップするオーバーラップ区間を有する場合は、前記オーバーラップ区間について前記第２線分を引かずに、前記オーバーラップ区間以外の前記第２線分を前記第１線分にクランク状に接続する、抵抗値算出プログラム。
【請求項２】
前記第１線分生成部は、前記第１領域の短辺と前記第２領域が重複する場合に、前記重複領域の端部の所定長さ手前まで第１線分を引く、請求項１に記載の抵抗値算出プログラム。
【請求項３】
前記所定長さは、前記第２領域の長手方向に対する幅の半分の長さである、請求項１又は２に記載の抵抗値算出プログラム。
【請求項４】
前記第２線分生成部は、前記第２線分の端点を前記第１線分に接続する、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の抵抗値算出プログラム。
【請求項５】
前記領域生成部は、前記配線に含まれる線分を前記直交座標の第１軸方向及び第２軸方向に走査することにより、前記配線を前記互いを包含しない複数の矩形状の領域を生成する、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の抵抗値算出プログラム。
【請求項６】
前記コンピュータを、
前記半導体回路装置に含まれるビアの中心位置が前記第１線分上、又は前記第２線分上に位置しない場合は、前記ビアの中心位置を前記第１線分上、又は前記第２線分上にずらすビア位置調整部としてさらに機能させる、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の抵抗値算出プログラム。
【請求項７】
半導体回路装置の配線の抵抗値をコンピュータが算出する抵抗値算出方法であって、
前記コンピュータは、
直交座標系において、前記配線について、互いを包含しない複数の矩形状の領域を生成する領域生成工程と、
前記領域生成工程で得る複数の領域のうち、重複領域を有する第１領域と第２領域について、前記第１領域の中央部の長手方向に前記重複領域の端部の所定長さ手前まで第１線分を引く第１線分生成工程と、
前記第１線分生成工程で前記第１線分を引いた後に、前記第２領域の中央部の長手方向に第２線分を引く第２線分生成工程と、
前記第１線分及び前記第２線分の各々について、線分長と領域幅とに応じた抵抗値を算出する抵抗値算出工程と
を実行し、
前記第１線分生成工程で前記第１線分を引く前記第１領域は、長手方向に対する幅が前記第２領域よりも広い領域であり、
前記第２線分生成工程は、前記第２線分を引く方向において、前記第２線分が前記第１線分とオーバーラップするオーバーラップ区間を有する場合は、前記オーバーラップ区間について前記第２線分を引かずに、前記オーバーラップ区間以外の前記第２線分を前記第１線分にクランク状に接続する工程である、抵抗値算出方法。
【請求項８】
直交座標系において、半導体回路装置の配線について、互いを包含しない複数の矩形状の領域を生成する領域生成部と、
前記領域生成部が生成した複数の領域のうち、重複領域を有する第１領域と第２領域について、前記第１領域の中央部の長手方向に前記重複領域の端部の所定長さ手前まで第１線分を引く第１線分生成部と、
前記第１線分生成部が前記第１線分を引いた後に、前記第２領域の中央部の長手方向に第２線分を引く第２線分生成部と、
前記第１線分及び前記第２線分の各々について、線分長と領域幅とに応じた抵抗値を算出する抵抗値算出部と
を含み、
前記第１線分生成部が前記第１線分を引く前記第１領域は、長手方向に対する幅が前記第２領域よりも広い領域であり、
前記第２線分生成部は、前記第２線分を引く方向において、前記第２線分が前記第１線分とオーバーラップするオーバーラップ区間を有する場合は、前記オーバーラップ区間について前記第２線分を引かずに、前記オーバーラップ区間以外の前記第２線分を前記第１線分にクランク状に接続する、抵抗値算出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
抵抗値算出プログラム、抵抗値算出方法、抵抗値算出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体回路装置内の配線の抵抗値を求める種々の手法があった。
【０００３】
例えば、マスクレイアウトから抵抗素子とコンタクトの矩形の座標情報を取得し、コンタクトを通るＸ軸、Ｙ軸方向の直交線を求め、抵抗素子の矩形内に存在する直交線同士の交点とコンタクトの矩形の中心点を結ぶことによって抵抗線を求める手法があった。
【０００４】
また、複数の配線を用いてマスクレイアウトされた半導体集積回路における任意の１つの配線を選択するための入力手段と、前記選択された配線の結線状態を探索して前記選択された配線に繋がる全ての配線を選択する選択処理手段と、前記選択処理手段で選択した全ての配線の配線抵抗値または配線容量値等の寄生情報を求める計算手段と、前記選択した配線の上に前記寄生情報を表示する表示手段とを備える寄生情報表示装置があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−２６９２６７号公報
【特許文献２】特開２００５−１８２６３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述のように、従来の抵抗線を求める手法では、抵抗線の位置がコンタクトの位置による制約を受けるため、例えば、実際の抵抗線の形状が何度も折れ曲がるように複雑な形状である場合には、抵抗線を求めることが困難になるという問題点があった。
【０００７】
また、従来の寄生情報表示装置は、単純な形状の配線については抵抗値を求めることができるが、例えば、実際の抵抗線の形状が何度も折れ曲がるように複雑な形状である場合には、抵抗線を求めることが困難になるという問題点があった。
【０００８】
そこで、複雑な形状の配線についても、抵抗値を算出することのできる抵抗値算出プログラム、抵抗値算出方法、抵抗値算出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の実施の形態の抵抗値算出プログラムは、半導体回路装置の配線の抵抗値を算出する抵抗値算出処理をコンピュータに実行させるための抵抗値算出プログラムであって、前記コンピュータを、直交座標系で、前記配線について、互いを包含しない複数の矩形状の領域を生成する領域生成部、前記領域生成部で得る複数の領域のうち、重複領域を有する第１領域と第２領域について、前記第１領域の中央部の長手方向に前記重複領域の端部の所定長さ手前まで第１線分を引く第１線分生成部、前記第１線分生成部が前記第１線分を引いた後に、前記第２領域の中央部の長手方向に第２線分を引く第２線分生成部、及び前記第１線分及び前記第２線分の各々について、線分長と領域幅とに応じた抵抗値を算出する抵抗値算出部として機能させ、前記第１線分生成部が前記第１線分を引く前記第１領域は、長手方向に対する幅が前記第２領域よりも広い領域であり、前記第２線分生成部は、前記第２線分を引く方向において、前記第２線分が前記第１線分とオーバーラップするオーバーラップ区間を有する場合は、前記オーバーラップ区間について前記第２線分を引かずに、前記オーバーラップ区間以外の前記第２線分を前記第１線分にクランク状に接続する。
【発明の効果】
【００１０】
複雑な形状の配線についても、抵抗値を算出することのできる抵抗値算出プログラム、抵抗値算出方法、抵抗値算出装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】従来の抵抗値算出方法による配線を分割する手法を示す図である。
【図２】従来の他の抵抗値算出方法において配線に施す処理を示す図である。
【図３】種々の配線のパターンを示す図である。
【図４】実施の形態の抵抗値算出装置を含むエレクトロマイグレーション解析装置が適用されるコンピュータシステムの斜視図である。
【図５】コンピュータシステム１０の本体部１１内の要部を示すブロック図である。
【図６】実施の形態の抵抗値算出装置を含むエレクトロマイグレーション解析装置を示す図である。
【図７】実施の形態の抵抗値算出方法で用いる配線の頂点の座標を示すAnnotated-GDSデータの一例である。
【図８】図７のAnnotated-GDSデータで表される配線のパターンをＸＹ座標上に示す図である。
【図９】実施の形態における抵抗値の算出方法の原理の一部を表す図である。
【図１０】実施の形態の抵抗値算出方法による線分の引き方を説明するための図である。
【図１１】実施の形態の抵抗値算出方法のルール１によって配線７０を複数の領域に分ける方法を説明するための図である。
【図１２】実施の形態の抵抗値算出方法のルール２により領域に線分を引く方向と、領域の幅の設定方法を説明するための図である。
【図１３】実施の形態の抵抗値算出方法による線分の引き方を段階的に示す図である。
【図１４】実施の形態の抵抗値算出方法における領域の幅を示す図である。
【図１５】実施の形態の抵抗値算出方法のルール７によるビアの位置調整の手法を示す図である。
【図１６】実施の形態の抵抗値算出装置１００に含まれる処理部を示すブロック図である。
【図１７】実施の形態の抵抗値算出装置１００が実行する抵抗値算出処理の処理内容を示すフローチャートである。
【図１８】実施の形態の抵抗値算出方法で抵抗の算出に用いる線分のデータ構造を示す図である。
【図１９】実施の形態の抵抗値算出方法において算出する線分の抵抗値を表す抵抗値データの構造を示す図である。
【図２０】実施の形態の抵抗値算出方法による線分の引き方を説明するための図である。
【図２１】実施の形態の抵抗値算出方法による線分の引き方を説明するための図である。
【図２２】実施の形態の抵抗値算出方法による線分の引き方を説明するための図である。
【図２３】実施の形態の抵抗値算出方法による線分の引き方を説明するための図である。
【図２４】実施の形態の抵抗値算出方法による線分の引き方を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の抵抗値算出プログラム、抵抗値算出方法、抵抗値算出装置を適用した実施の形態について説明する。
【００１３】
実施の形態の抵抗値算出プログラム、抵抗値算出方法、抵抗値算出装置について説明する前に、図１及び図２を用いて、上述の背景技術とは別に、従来の抵抗値算出方法における問題点について説明する。
【００１４】
ＬＳＩ（Large Scale Integrated circuit：大規模集積回路）のような半導体回路装置の配線に、電流が一定方向に流れ続けると、配線内の金属原子が移動することによって配線に欠損が生じるエレクトロマイグレーション（electromigration）が生じる場合がある。
【００１５】
このため、半導体回路装置の研究開発段階又は設計段階等において、配線に通流する電流量を解析し、エレクトロマイグレーションが生じうる電流閾値を電流量が超えていないか検証するエレクトロマイグレーション解析を行っている。
【００１６】
エレクトロマイグレーション解析において、半導体回路装置の複雑な形状を有する配線をどのようにして抵抗素子として抽出するかは、解析結果の精度と解析時間に大きな影響を与える。
【００１７】
ここで、配線は略一定の厚さを有するため、配線の形状が平面視で単純な矩形であれば、配線の抵抗値は、シート抵抗×配線長÷配線幅で算出できるので、配線を抵抗素子に置き換えることは容易である。
【００１８】
しかしながら、実際の配線は、平面視で、分岐、折れ曲がり、配線幅の大小の段差、配線幅の増減等を含む複雑な多角形であるため、実際の配線についてエレクトロマイグレーション解析を行うことは容易ではない。
【００１９】
従来、このようなエレクトロマイグレーション解析には、例えば、以下の２つの抵抗値算出方法が用いられている。
【００２０】
図１（Ａ）は、従来の抵抗値算出方法による配線を分割する手法を示す図であり、（Ｂ）は（Ａ）の一部を拡大して示す図である。
【００２１】
図１（Ａ）に示すように、配線１は、配線部２（斜線の部分）と配線部３（斜線なしの部分）がＴ字型に接続され、配線部２と配線部３の接続部には突出部４Ａ、４Ｂ、４Ｃがある。
【００２２】
このような配線１に対して、従来の抵抗値算出方法では、配線１を破線で示す微小なメッシュに分割し、図１（Ｂ）に示すようにメッシュに含まれる格子の各々に抵抗素子Ｒを割り当て、配線１の全体の抵抗値を求めていた。
【００２３】
次に、図２を用いて、従来の他の抵抗値算出方法について説明する。
【００２４】
図２（Ａ）、（Ｂ）は、従来の他の抵抗値算出方法において配線に施す処理を示す図である。なお、説明の便宜上、図２（Ａ）、（Ｂ）には、図１（Ａ）に示す配線１と同一の配線を示す。
【００２５】
従来の他の抵抗値算出方法では、例えば、図２（Ａ）に示す配線１の突出部４Ａ、４Ｂ、４Ｃを図２（Ｂ）に示すように除去して配線１の形状を単純化し、単純化した配線１の配線部２、配線部３に抵抗値Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３を付与することにより、配線１の抵抗値を求めていた。
【００２６】
以上のように、従来の抵抗値算出方法は、メッシュに分割して各格子の微小抵抗の合成抵抗値を算出するか、又は単純化した形状の配線について抵抗値を算出していた。
【００２７】
しかしながら、メッシュに分割して各格子の微小抵抗の合成抵抗値を算出する方法は、抵抗値を高精度に求めることができるが、膨大な数の抵抗素子が抽出されるため、エレクトロマイグレーション解析が長時間化するという問題があった。また、微細化が進むにつれ、計算量が増大するという問題があった。
【００２８】
このため、メッシュに分割して各格子の微小抵抗の合成抵抗値を算出するために、連立方程式（または逆行列）を直接法で解くのは、現実的な算出方法ではなかった。
【００２９】
微細化の進んだ半導体回路装置のエレクトロマイグレーション解析には、反復法などにより、電流の近似解を求める算出方法が用いられていた。
【００３０】
また、単純化した形状の配線について抵抗値を算出する手法では、微細化が進むと、エレクトロマイグレーション解析における電流閾値を変更する必要が生じるため、電流閾値と配線の微小段差の関係により、抵抗値の算出精度にばらつきが生じるという問題がある。
【００３１】
また、実際の配線には、図３に示すように種々のパターンがある。例えば、図３（Ａ）に示すように配線５の角部５Ａの内側及び外側に突出部５Ｂ、５Ｃが形成されたパターン、又は、図３（Ｂ）に示すように直線状の配線６の端部に突出部６Ａ、６Ｂが形成されたパターンがある。また、図３（Ｃ）に示す配線７のようにクランク状に折れ曲がったパターン、又は、図３（Ｄ）に示す配線８のように互いに向きの異なる４本の配線部８Ａ〜８Ｄの接合部８Ｅに突出部があるパターン等がある。そして、実際の配線は、全体的には図３（Ａ）〜図３（Ｄ）のパターンを複雑に組み合わせたパターンとなる。
【００３２】
このように複雑な配線のパターンについて、単純化した形状の配線について抵抗値を算出する手法を用いると、抵抗値の算出精度が低下するという問題がある。
【００３３】
以上のように、従来の抵抗値算出方法には、エレクトロマイグレーション解析の長時間化、計算量の増大、抵抗値の算出における精度のばらつき、精度の低下等の問題点がある。
【００３４】
このため、以下で説明する実施の形態では、上述の問題点を解決した抵抗値算出プログラム、抵抗値算出方法、抵抗値算出装置を提供することを目的とする。
【００３５】
以下、実施の形態の抵抗値算出プログラム、抵抗値算出方法、抵抗値算出装置について説明する。
【００３６】
また、以下において、抵抗値の算出の仕方を説明するにあたっては、実施の形態の抵抗値算出プログラムをインストールしたコンピュータシステム（抵抗値算出装置）によって実行される、実施の形態の抵抗値算出方法として説明する。
【００３７】
＜実施の形態＞
図４は、実施の形態の抵抗値算出装置を含むエレクトロマイグレーション解析装置が適用されるコンピュータシステムの斜視図である。図４に示すコンピュータシステム１０は、本体部１１、ディスプレイ１２、キーボード１３、マウス１４、及びモデム１５を含む。
【００３８】
本体部１１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit：中央演算装置）、ＨＤＤ（Hard Disk Drive：ハードディスクドライブ）、及びディスクドライブ等を内蔵する。ディスプレイ１２は、本体部１１内のＣＰＵが生成する指令により表示画面１２Ａ上に解析結果等を表示する表示部であり、例えば、液晶モニタを用いることができる。キーボード１３は、コンピュータシステム１０に種々の情報を入力するための入力部である。マウス１４は、ディスプレイ１２の表示画面１２Ａ上の任意の位置を指定する入力部である。モデム１５は、外部のデータベース等にアクセスして他のコンピュータシステムに記憶されているプログラム等をダウンロードする。
【００３９】
コンピュータシステム１０がエレクトロマイグレーション解析処理及び抵抗値算出処理を実行する際に用いるエレクトロマイグレーション解析プログラム及び抵抗値算出プログラムは、ディスク１７等の可搬型記録媒体に格納されるか、モデム１５等の通信装置を使って他のコンピュータシステムの記録媒体１６からダウンロードされる。
【００４０】
エレクトロマイグレーション解析プログラムは、コンピュータシステム１０のＣＰＵをエレクトロマイグレーション解析装置として動作させる。
【００４１】
抵抗値算出プログラムは、エレクトロマイグレーション解析用プログラムの一部であってもよく、エレクトロマイグレーション解析用プログラムとは別のプログラムであってもよい。抵抗値算出プログラムは、コンピュータシステム１０のＣＰＵを抵抗値算出装置として動作させる。
【００４２】
エレクトロマイグレーション解析プログラム及び抵抗値算出プログラムは、例えばディスク１７等のコンピュータ読み取り可能な記録媒体に格納されていてもよい。コンピュータ読み取り可能な記録媒体は、ディスク１７、ＩＣカードメモリ、フロッピー（登録商標）ディスク等の磁気ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬型記録媒体に限定されるものではなく、モデム１５又はＬＡＮ等の通信装置を介して接続されるコンピュータシステムでアクセス可能な各種記録媒体を含む。
【００４３】
図５は、コンピュータシステム１０の本体部１１内の要部を示すブロック図である。本体部１１は、バス２０によって接続されたＣＰＵ２１、ＲＡＭ又はＲＯＭ等を含むメモリ部２２、ディスク１７用のディスクドライブ２３、及びハードディスクドライブ（ＨＤＤ）２４を含む。
【００４４】
なお、コンピュータシステム１０は、図４及び図５に示すものに限定されず、各種周知の要素を付加してもよく、又は代替的に用いてもよい。
【００４５】
次に、図６を用いて、実施の形態の抵抗値算出装置を含むエレクトロマイグレーション解析装置に含まれる処理部の構成及びデータ処理の流れについて説明する。
【００４６】
図６は、実施の形態の抵抗値算出装置を含むエレクトロマイグレーション解析装置を示す図である。
【００４７】
エレクトロマイグレーション解析装置３０は、スケマティックデータベース３１、GDSデータベース３２、一致検証部３３、Annotated-GDSデータベース３４、抵抗値算出装置１００、及び抵抗値データベース１０１を含む。また、エレクトロマイグレーション解析装置３０は、さらに、配線パラメータ抽出部３５、寄生パラメーラデータベース３６、ベクターデータベース３７、動作時間測定部３８、回路シミュレーション部３９、平均電流データベース４０、エレクトロマイグレーション解析部４１、及び解析結果データベース４２を含む。
【００４８】
スケマティックデータベース３１は、半導体回路装置に含まれる部品名、端子名、及びネット名を関連付けた配線（スケマティック(schematic)）のデータを格納するデータベースである。
【００４９】
GDSデータベース３２は、マスクパターンを表すデータを格納するデータベースである。ここで、GDS(Graphic Data System)とは、ＬＳＩのレイアウトを決めるためのデータ形式である。GDSデータベース３２には、マスクパターンを表すデータがGDS形式で格納される。
【００５０】
一致検証部３３は、スケマティックデータベース３１に格納される配線のデータと、GDSデータベース３２に格納されるマスクパターンを表すデータとの一致性を検証し、線のネット番号とGDS形式のデータを関連付けたバイナリ形式のデータであるAnnotated-GDSデータを出力する。一致検証部３３には、例えば、Calibre LVS(Layout Versus Schematic)を用いることができる。Annotated-GDSデータについては、図７及び図８を用いて後述する。
【００５１】
Annotated-GDSデータベース３４は、Annotated-GDSデータを格納する。
【００５２】
抵抗値算出装置１００は、Annotated-GDSデータベース３４に格納されるAnnotated-GDSデータを用いて、半導体回路装置の配線の抵抗値を算出する装置である。抵抗値算出装置１００の処理内容については、後述する。
【００５３】
抵抗値データベース１０１は、抵抗値算出装置１００が算出する抵抗値を表す抵抗値データを格納するデータベースである。抵抗値データについては後述する。
【００５４】
配線パラメータ抽出部３５は、抵抗値データベース１０１が格納する抵抗値データを用いて、配線に含まれる寄生パラメータ（寄生抵抗、寄生容量の値）を抽出する。配線パラメータ抽出部３５としては、例えば、LPE（layout parameter extraction：寄生パラメータ抽出）用のStar-RCXTを用いることができる。
【００５５】
寄生パラメーラデータベース３６は、配線パラメータ抽出部３５によって抽出された寄生パラメータを格納する。
【００５６】
ベクターデータベース３７は、入力波形と出力波形の期待値とを時系列に記述したベクターファイルを格納する。
【００５７】
動作時間測定部３８は、寄生パラメーラデータベース３６が格納する寄生パラメータを用いて、半導体回路装置の動作における立ち上がり時間Ｔｒ（rise time）、立ち下がり時間Ｔｆ(fall time)を測定し、平均電流を算出する。
【００５８】
回路シミュレーション部３９は、寄生パラメーラデータベース３６が格納する寄生パラメータと、ベクターデータベース３７が格納するベクターファイルとを用いて、配線に流れる平均電流を算出する。回路シミュレーション部３９には、例えば、Ultra Simを用いることができる。
【００５９】
平均電流データベース４０は、動作時間測定部３８が算出した平均電流、又は、回路シミュレーション部３９が算出する平均電流を表す平均電流データを格納する。
【００６０】
エレクトロマイグレーション解析部４１は、抵抗値データベース１０１が格納する抵抗値データと、平均電流データベース４０が格納する平均電流データとを用いて、エレクトロマイグレーション解析を実行する。
【００６１】
解析結果データベース４２は、エレクトロマイグレーション解析部４１の解析結果を格納する。
【００６２】
なお、一致検証部３３、抵抗値算出装置１００、配線パラメータ抽出部３５、動作時間測定部３８、回路シミュレーション部３９、及びエレクトロマイグレーション解析部４１は、図５に示すコンピュータシステム１０のＣＰＵ２１がプログラムを実行することによって実現される。
【００６３】
また、スケマティックデータベース３１、GDSデータベース３２、Annotated-GDSデータベース３４、抵抗値データベース１０１、寄生パラメーラデータベース３６、ベクターデータベース３７、平均電流データベース４０、及び解析結果データベース４２は、図５に示すＨＤＤ２４に格納される。
【００６４】
次に、図７、図８を用いて、Annotated-GDSデータについて説明する。
【００６５】
図７は、実施の形態の抵抗値算出方法で用いる配線の頂点の座標を示すAnnotated-GDSデータの一例である。
【００６６】
図８は、図７のAnnotated-GDSデータで表される配線のパターンをＸＹ座標上に示す図である。図８に示す配線のパターンは、配線を平面視での形状を表す。
【００６７】
上述のように、GDSとは、ＬＳＩのレイアウトを決めるためのデータ形式であり、典型的にはマスクパターンを表すデータのデータ形式として用いられている。
【００６８】
また、Annotated-GDSデータとは、配線のネット番号とGDS形式のデータを関連付けたバイナリ形式のデータである。Annotated-GDSデータには、配線の座標を表すデータの他に、ビアの座標を表すデータが含まれる。
【００６９】
図７には、本来バイナリ形式で表されるAnnotated-GDSデータをテキスト形式で表す。図７に示すAnnotated-GDSデータは、図８に示す配線５１、配線５２のAnnotated-GDSデータである。
【００７０】
Annotated-GDSデータは、配線に含まれる頂点のＸＹ座標（Ｘ，Ｙ）を座標から時計回り、又は反時計回りに並べて表している。
【００７１】
このため、図８に示す配線５１（Net051）のAnnotated-GDSデータは、図７に示すように、（１００，１００）−（３００，１００）−（３００，２００）−（２００，２００）−（２００，４００）−（１００，４００）−（１００，１００）と表される。最初と最後の座標が（１００，１００）で等しいのは、配線５１を反時計回りで一周して閉じているからである。
【００７２】
同様に、図８に示す配線５２（Net052）のAnnotated-GDSデータは、図７に示すように、（４００，１００）−（５００，１００）−（５００，４００）−（３００，４００）−（３００，３００）−（４００，３００）−（４００，１００）と表される。
【００７３】
なお、Net051、Net052は、配線のネット番号を表す。
【００７４】
次に、図９を用いて、実施の形態において抵抗値を算出する方法について説明する。
【００７５】
図９は、実施の形態における抵抗値の算出方法の原理の一部を表す図である。
【００７６】
ＬＳＩのような半導体回路装置の配線には、例えば、銅又はアルミニウム等の金属配線を用いる。このような金属配線は、一般的に、一定の厚さを有する。
【００７７】
厚さが一定の配線の抵抗値Ｒは、シート抵抗×配線長÷配線幅で求まるが、実際の配線は複雑なパターンを有するため、本実施の形態では、複雑なパターンを有する配線を、所定のルールの下で矩形状の複数の領域に分けて領域毎に抵抗値を算出する。
【００７８】
また、所定のルールの下で配線を分けて得る複数の領域のうちの１つが図９に示す領域６０であるとする。
【００７９】
実際の配線は複雑なパターンを有し、特に、領域同士の接続部では抵抗値を求めるための長さと幅の定義が困難であるため、本実施の形態では、領域６０の長手方向の対称軸ｌ上に抵抗成分を表す線分６１を引く。
【００８０】
線分６１の長さは、領域６０の周囲の領域との接続関係及び位置関係で決まる。また、線分６１が引かれる領域６０の幅は、所定のルールの下で決定する。
【００８１】
そして、線分６１の長さと、線分６１が引かれる領域６０の幅を用いて、領域６０の抵抗値をシート抵抗×配線長÷配線幅で算出する。
【００８２】
本実施の形態では、上述のようにして抵抗値が求まる線分６１を抵抗値Ｒの抵抗素子として取り扱う。
【００８３】
以下、実施の形態の抵抗値算出方法における線分の引き方と、抵抗値の求め方について説明する。
【００８４】
なお、以下では、抵抗成分を表す線分を、単に線分と称す場合がある。
【００８５】
次に、実施の形態の抵抗値算出方法において抵抗値を算出する場合のルールについて説明する。
【００８６】
実施の形態の抵抗値算出方法では、次のルールによって抵抗成分を表す線分の長さと、領域の幅を求めた上で、抵抗値を算出する。
【００８７】
１．互いを包含しない複数の矩形状の領域に配線を分ける。互いを包含しない矩形状の領域とは、自己の領域の全体が他の領域に内包されない領域である。このため、互いを包含しない矩形状の領域は、他の矩形状の領域の一部分を含んでもよい。すなわち、互いを包含しない矩形状の領域は、他の矩形状の領域と重複する領域（重複領域）を有していてもよい。
【００８８】
２．各領域について、線分を引く方向を長手方向に設定し、領域の幅を短手方向に設定する。線分は、矩形状の領域の長手方向と短手方向の対称軸のうちの長手方向の対称軸上に引く。また、線分は、ルール４によって引きしろが設定されない限り、領域の端から端まで引くため、線分の両端の座標は、領域の短辺の中点の座標となる。なお、領域が正方形である場合は、線分を引く方向をＹ軸方向に設定し、Ｘ軸方向にある辺を短辺として取り扱う。
【００８９】
３．ルール１で生成した複数の領域に対して線分を引く順番は、幅の広い領域から幅の狭い領域の順番とする。
【００９０】
４．線分の端点を含む短辺に他の領域との重複領域がある場合は、線分に引きしろを設定する。引きしろは、線分の端点をオフセットして線分を短縮する部分であり、その長さは、自己の領域に重複する他の領域の幅Ｗの半分（Ｗ／２）である。なお、Annotated-GDSデータで表される座標値は整数であるため、幅Ｗの値も整数になる。実施の形態では、幅Ｗの値が奇数の場合は、小数点以下を切り捨てることとする。なお、小数点以下を切り捨てない座標値を用いてもよい。
【００９１】
５．線分を引く順番が２番目以降の領域について線分を引く場合に、現在処理中の領域と重複領域を有する他の領域について既に引かれている線分があり、現在処理中の領域に線分を引くと、線分を引く方向において、他の領域について既に引かれている線分とオーバーラップが生じる場合は、クランク接続を行う。クランク接続とは、オーバーラップが生じる区間については現在処理中の領域に線分を引かずに、線分を引かない区間の端部を直角に折り曲げて、他の領域に既に引かれている線分にクランク状に接続することをいう。
【００９２】
６．各線分の抵抗値を求める際に必要となる領域の幅は、ルール２で設定する幅とする。クランク接続のために線分を折り曲げた部分については、折り曲げた部分の線分を含む領域の幅とする。
【００９３】
７．ビアの中心が線分上に位置しない場合は、ビアの中心位置を線分上にずらす。
【００９４】
以上のルール１〜ルール７により、半導体回路装置のすべての配線の抵抗値を線分毎に求める。
【００９５】
線分毎の抵抗値は、行列式形式のテーブルデータとして保持する。
【００９６】
次に、図１０乃至図１３を用いて、上述のルールによって線分を引く方法について説明する。
【００９７】
図１０は、実施の形態の抵抗値算出方法による線分の引き方を説明するための図である。
【００９８】
図１０に示す配線７０のAnnotated-GDSデータは、（２００，１００）−（３００，１００）−（３００，４００）−（４００，４００）−（４００，７００）−（３００，７００）−（３００，１０００）−（２００，１０００）−（２００，１００）である。
【００９９】
ここで、図１０に示すように、各頂点を通る直線を定義する。Ｘ＝２００、３００、４００で表される直線をそれぞれ直線Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３とし、Ｙ＝１００、４００、７００、１０００で表される直線をそれぞれ直線Ｌ４、Ｌ５、Ｌ６、Ｌ７とする。配線７０は、直線Ｌ１〜Ｌ３、Ｌ４〜Ｌ７によって４つの長方形に分割される。
【０１００】
図１０に示すように、直線Ｌ１〜Ｌ３、Ｌ４〜Ｌ７によって分割された長方形の頂点を頂点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈ、Ｉ、Ｊとする。
【０１０１】
次に、図１０に示す配線７０に対して、上述のルール１を適用し、互いを包含しない複数の矩形状の領域に配線７０を分ける。
【０１０２】
ルール１によって配線７０を複数の領域に分けるには、まず、多角形のパターンを有する配線７０を互いを包含しない複数の矩形状の領域に分ける。
【０１０３】
ここで、直線Ｌ１〜Ｌ３、Ｌ４〜Ｌ７によって分割されたすべての長方形について、互いを包含しない複数の矩形状の領域を以下の要領で検索する。
（１−１）長方形ＡＢＤＣ、ＡＢＧＦ、ＣＤＪＩ、ＦＧＪＩは、長方形ＡＢＪＩに包含される。
（１−２）長方形ＣＤＧＦは、長方形ＡＢＪＩ及び長方形ＣＥＨＦに包含される。
（１−３）長方形ＤＥＨＧは、長方形ＣＥＨＦに包含される。
（１−４）長方形ＡＢＪＩ及び長方形ＣＥＨＦは、他のいずれの長方形にも包含されない。
以上より、配線７０内に存在する矩形領域のうち、互いを包含しない複数の矩形状の領域は、長方形ＡＢＪＩと長方形ＣＥＨＦとなる。
【０１０４】
上述のように互いを包含しない複数の矩形状の領域に配線を分ける手法はいくつかあると考えられるが、本実施の形態では、例えば、図１１に示す手法で行うこととする。
【０１０５】
なお、図１１の説明では、配線のパターンに含まれる線分を用いるが、図１１における線分は、抵抗成分を表す線分とは異なり、配線のパターンを表す多角形の頂点を結ぶ線分をいう。
【０１０６】
図１１は、実施の形態の抵抗値算出方法のルール１によって配線７０を複数の領域に分ける方法を説明するための図である。
【０１０７】
実施の形態では、図１１（Ａ）に示す配線７０に含まれるすべての頂点Ａ〜Ｊに着目し、多角形ＡＢＤＥＨＧＪＩで表されるパターンを有する配線７０の各頂点間の線分をＸ軸方向及びＹ軸方向に走査することにより、互いを包含しない複数の矩形状の領域を求める。
（２−１）線分ＡＢをＹ軸の負方向に走査すると、線分ＡＢから線分ＩＪまで到達することにより、長方形ＡＢＪＩが得られる。
（２−２）線分ＣＤをＹ軸の正方向及び負方向に走査すると、線分ＡＢから線分ＩＪまで走査することにより、長方形ＡＢＪＩが得られる。ただし、長方形ＡＢＪＩの抽出は、（２−１）の処理によってすでに行われている。なお、これは、線分ＦＧ、ＩＪについても同様である。
（２−３）線分ＣＥをＹ軸の負方向に走査すると、線分ＣＥから線分ＦＨまで到達することにより、長方形ＣＥＨＦが得られる。なお、これは、線分ＦＨについても同様である。
【０１０８】
なお、（２−１）〜（２−３）におけるＹ軸をＸ軸に入れ替えても同一の結果を得ることができる。
【０１０９】
次に、図１２を用いて、ルール２による処理について説明する。ルール２では、領域に抵抗成分を表す線分を引く方向と、領域の幅を設定する。
【０１１０】
図１２は、実施の形態の抵抗値算出方法のルール２により領域に抵抗成分を表す線分を引く方向と、領域の幅の設定方法を説明するための図である。
【０１１１】
上述のように、ルール２では、各領域について、抵抗成分を表す線分を引く方向を長手方向に設定し、領域の幅を短手方向に設定する。
【０１１２】
図１２（Ａ）に示す領域８０Ａのように、Ｘ軸方向の辺の長さΔｘとＹ軸方向の辺の長さΔｙについて、Δｘ＞Δｙが成立する場合は、領域８０Ａの長手方向がＸ軸方向を向いている場合である。このような場合には、線分を引く方向を長手方向（Ｘ軸方向）に設定し、領域８０Ａの抵抗値を求めるための幅を短手方向（Ｙ軸方向）の辺の長さΔｙに設定する。
【０１１３】
なお、Ｘ軸方向の辺の長さΔｘとＹ軸方向の辺の長さΔｙは、領域８０Ａの頂点の座標値から求めればよい。
【０１１４】
また、図１２（Ｂ）に示す領域８０Ｂのように、Ｘ軸方向の辺の長さΔｘとＹ軸方向の辺の長さΔｙについて、Δｘ＜Δｙが成立する場合は、領域８０Ｂの長手方向がＹ軸方向を向いている場合である。このような場合には、線分を引く方向を長手方向（Ｙ軸方向）に設定し、領域８０Ｂの抵抗値を求めるための幅を短手方向（Ｘ軸方向）の辺の長さΔｘに設定する。
【０１１５】
なお、本実施の形態では、領域が正方形である場合は、線分を引く方向をＹ軸方向に設定し、領域の抵抗値を求めるための幅をＸ軸方向の辺の長さΔｘに設定する。
【０１１６】
次に、図１３を用いて、線分の引き方について説明する。
【０１１７】
図１３は、実施の形態の抵抗値算出方法による線分の引き方を段階的に示す図である。
【０１１８】
図１３（Ａ）に示す配線７０は、図１０及び図１１に示した配線７０と同一のパターンを有する配線であるので、配線７０は、ルール１により、互いを包含しない複数の矩形状の領域ＡＢＪＩと、領域ＣＥＨＦとに分けられる。
【０１１９】
実施の形態のルール２では、線分を引く方向を領域の長手方向に設定し、領域の抵抗値を求めるための幅を領域の短手方向の辺の長さに設定する。
【０１２０】
領域ＡＢＪＩは、Ｙ軸方向が長手方向であり、Ｘ軸方向が短手方向であるため、線分はＹ軸方向に引き、領域ＡＢＪＩの幅は、辺ＡＢの長さＷ１である。領域ＡＢＪＩに引く線分の両端は、辺ＡＢの中点と、辺ＩＪの中点である。
【０１２１】
領域ＣＥＨＦは、Ｙ軸方向が長手方向であり、Ｘ軸方向が短手方向であるため、線分はＹ軸方向に引き、領域ＣＥＨＦの幅は、辺ＣＥの長さＷ２（＞Ｗ１）である。領域ＣＥＨＦに引く線分の両端は、ルール４に定められた端点となる。
【０１２２】
なお、領域ＡＢＪＩ、領域ＣＥＨＦの長手方向と短手方向の判別は、各領域の頂点座標に基づき、矩形状の領域のＸ軸方向の辺とＹ軸方向の辺とのどちらが長いかを判定すればよい。
【０１２３】
また、各領域に引く線分の両端の座標は、各領域の一対の短辺の中点として求めればよい。
【０１２４】
次に、実施の形態のルール３では、ルール１で求めた領域ＡＢＪＩと領域ＣＥＨＦについて、ルール２で定めた幅の広い領域から順番に線分を引くことになる。
【０１２５】
上述のように、領域ＡＢＪＩと領域ＣＥＨＦでは、領域ＣＥＨＦの幅Ｗ２の方が領域ＡＢＪＩの幅Ｗ１よりも広いため、領域ＡＢＪＩと領域ＣＥＨＦについては、領域ＣＥＨＦ、領域ＡＢＪＩの順番で線分を引くことになる。
【０１２６】
このように線分を引く順番は、ルール２で定めた幅の広い領域から順番に引くことになるため、各領域の短辺の長さを比較し、短辺の長さが長い領域から順番に線分を引くようにすればよい。
【０１２７】
図１３に示す配線７０では、まず、領域ＣＥＨＦに線分を引く。領域ＣＥＨＦの場合、ルール２によって設定される線分の両端は、図１３（Ｂ）に示す点Ｄ、Ｇとなる。点Ｄは一方の短辺である辺ＣＥの中点であり、点Ｇは他方の短辺である辺ＦＨの中点である。すなわち、ルール２によれば、領域ＣＥＨＦには、領域ＣＥＨＦの長手方向の対称軸上に線分ＤＧを引くことになる。
【０１２８】
しかし、線分ＤＧの端点Ｄを含む短辺ＣＥには、図１３（Ａ）に示すように、領域ＡＢＪＩが重複している。
【０１２９】
このため、ルール４により、線分ＤＧの端点Ｄには、図１３（Ｂ）に引きしろが必要になる。線分ＤＧの端点Ｄに必要な引きしろの長さは、ルール４によれば、自己の短辺ＣＥに重複する他の領域ＡＢＪＩの幅Ｗ１の半分の長さ（Ｗ１／２）である。
【０１３０】
従って、線分ＤＧは、図１３（Ｂ）に示すように、端点Ｄにおいて引きしろ（Ｗ１／２）だけ短縮され、点Ｐまでとなる。
【０１３１】
また、点Ｇを含む短辺ＦＨには、図１３（Ａ）に示すように、領域ＡＢＪＩが重複している。
【０１３２】
このため、ルール４により、線分ＤＧの端点Ｇには、図１３（Ｂ）に引きしろが必要になる。線分ＤＧの端点Ｇに必要な引きしろの長さは、ルール４によれば、自己の短辺ＦＨに重複する他の領域ＡＢＪＩの幅Ｗ１の半分の長さ（Ｗ１／２）である。
【０１３３】
従って、線分ＤＧは、図１３（Ｂ）に示すように、端点Ｇにおいて引きしろ（Ｗ１／２）だけ短縮され、点Ｖまでとなる。
【０１３４】
以上より、領域ＣＥＨＦには、長手方向の対称軸上に線分ＰＶを引くことになる。
【０１３５】
次に、領域ＡＢＪＩに線分を引く。領域ＡＢＪＩの場合、ルール２によって設定される線分の両端は、図１３（Ｃ）に示す点Ｋ、Ｌとなる。点Ｋは辺ＡＢの中点であり、点Ｌは辺ＩＪの中点である。すなわち、ルール２によれば、領域ＡＢＪＩには、領域ＡＢＪＩの長手方向の対称軸上に線分ＫＬを引くことになる。
【０１３６】
ここで、線分ＫＬの端点Ｋを含む短辺ＡＢには、図１３（Ａ）に示すように、他の領域は重複していない。
【０１３７】
このため、線分ＫＬの端点Ｋは、ルール４には該当せず、引きしろは必要ない。
【０１３８】
また、線分ＫＬの端点Ｌを含む短辺ＩＪには、図１３（Ａ）に示すように、他の領域は重複していない。
【０１３９】
このため、線分ＫＬの端点Ｌは、ルール４には該当せず、引きしろは必要ない。
【０１４０】
次に、領域ＡＢＪＩは、線分を引く順番が２番目以降であることから、ルール５が適用される。
【０１４１】
線分ＫＬを引くと、既に引かれている他の領域ＣＥＨＦの線分ＰＶとＹ軸方向においてオーバーラップが生じるため（図１３（Ｃ）参照）、線分ＫＬのうち、Ｙ座標が線分ＰＶと同一となる区間ＮＳについては線分を引かずに、線分ＫＮと線分ＳＬを線分ＰＶにクランク接続する。
【０１４２】
図１３（Ｄ）に示すように、クランク接続を行うために、点Ｎにおいて線分ＮＳをＸ軸の正方向に折り曲げて点Ｐに接続する。また、点Ｓにおいて線分ＮＳをＸ軸の正方向に折り曲げて点Ｖに接続する。
【０１４３】
このようにクランク接続を行うと、配線７０について、図１３（Ｅ）に示すように、５つ線分ＫＮ、線分ＮＰ、線分ＰＶ、線分ＶＳ、線分ＳＬが得られる。線分ＫＮ、線分ＮＰ、線分ＰＶ、線分ＶＳ、線分ＳＬは、この順で接続されている。
【０１４４】
線分ＫＮ、線分ＮＰ、線分ＰＶ、線分ＶＳ、線分ＳＬは、配線７０についての抵抗成分を表す。
【０１４５】
線分ＫＮ、線分ＮＰ、線分ＰＶ、線分ＶＳ、線分ＳＬを用いて配線７０の抵抗値を算出する場合は、各線分の長さを抵抗の長さとして用いる。
【０１４６】
次に、図１４を用いて、配線７０の抵抗成分を表す線分ＫＮ、線分ＮＰ、線分ＰＶ、線分ＶＳ、線分ＳＬを用いて抵抗値を算出する際に必要となる領域の幅について説明する。
【０１４７】
図１４は、実施の形態の抵抗値算出方法における領域の幅を示す図である。
【０１４８】
図１４（Ａ）に示す配線７０は、図１３（Ａ）、（Ｅ）に示す配線７０と同一であるが、説明の便宜上、点Ｍ、Ｏ、Ｑ、Ｒ、Ｔ、Ｕ、Ｘ、Ｙ、Ｚ、Ｗと、各点を結ぶ直線とを追加してある。
【０１４９】
図１４（Ｂ）〜図１４（Ｆ）は、配線７０について求めた５つの線分ＫＮ、線分ＮＰ、線分ＰＶ、線分ＶＳ、線分ＳＬの長さと、各線分を含む領域の幅を表す。
【０１５０】
図１４（Ｂ）に示すように、線分ＫＮは、抵抗成分としての長さが線分ＫＮの長さであり、領域の幅は領域Ｗ１である。線分ＫＮは、線分ＫＬの一部であるため、ルール６により、線分ＫＮを含む領域の幅は、線分ＫＬを含む領域ＡＢＪＩの幅Ｗ１に設定される。
【０１５１】
図１４（Ｃ）に示すように、クランク接続された線分ＮＰは、抵抗成分としての長さが線分ＮＰの長さであり、領域の幅はＷ１である。線分ＮＰは、ルール５によって線分ＫＬのうちの線分ＮＳについてオーバーラップが生じたために、線分ＮＳを折り曲げて点Ｐに接続することによって生成された線分である。
【０１５２】
このため、線分ＮＰを含む領域の幅は、ルール６により、クランク接続を行う前に線分ＮＰの元となった線分ＮＳを含む領域ＡＢＪＩの幅Ｗ１に設定される。
【０１５３】
図１４（Ｄ）に示すように、線分ＰＶは、抵抗成分としての長さが線分ＰＶの長さである。また、線分ＰＶは、領域ＣＥＨＦの線分ＤＧの両端をルール４の引きしろによってオフセットすることによって生成された線分であるため、線分ＰＶを含む領域の幅は、線分ＰＶの元となった線分ＤＧを含む領域ＣＥＨＦの幅Ｗ２に設定される。
【０１５４】
図１４（Ｅ）に示すように、クランク接続された線分ＳＶは、抵抗成分としての長さが線分ＳＶの長さであり、領域の幅はＷ１である。線分ＳＶは、ルール５によって線分ＫＬのうちの線分ＮＳについてオーバーラップが生じたために、線分ＮＳを折り曲げて点Ｖに接続することによって生成された線分である。
【０１５５】
このため、線分ＳＶを含む領域の幅は、ルール６により、クランク接続を行う前に線分ＳＶの元となった線分ＮＳを含む領域ＡＢＪＩの幅Ｗ１に設定される。
【０１５６】
図１４（Ｆ）に示すように、線分ＳＬは、抵抗成分としての長さが線分ＳＬの長さであり、領域の幅は領域Ｗ１である。線分ＳＬは、線分ＫＬの一部であるため、ルール６により、線分ＳＬを含む領域の幅は、線分ＫＬを含む領域ＡＢＪＩの幅Ｗ１に設定される。
【０１５７】
以上のように、配線７０については、図１４（Ｂ）〜図１４（Ｆ）に示す線分の長さと、領域の幅とが求まる。
【０１５８】
本実施の形態の抵抗値算出方法では、上述のようにして求めた線分の長さと、領域の幅とを用いて、シート抵抗×線分長×領域幅で配線７０の抵抗値の抵抗値を算出する。
【０１５９】
次に、図１５を用いて、ビアの位置調整について説明する。
【０１６０】
図１５は、実施の形態の抵抗値算出方法のルール７によるビアの位置調整の手法を示す図である。
【０１６１】
ＬＳＩのような半導体回路装置は、多層配線を含み、層間接続にはビアが用いられる。ビア９１は、例えば、アルミニウム又は銅で作製され、上層の配線９０Ａと、下層の配線９０Ｂとを層間接続している。
【０１６２】
なお、図１５は、上層の配線９０Ａ、下層の配線９０Ｂ、及びビア９１の位置関係だけを平面視で示しており、層間絶縁膜は図示を省略してある。また、下層の配線９０Ｂのうち、上層の配線９０Ａの陰になる部分を破線で示す。
【０１６３】
また、上層の配線９０Ａには線分９２が引かれており、下層の配線９０Ｂには線分９３が引かれているとする。
【０１６４】
実施の形態の抵抗値算出方法では、ビア９１の中心９１Ａが線分９２、９３上に位置しない場合は、ルール７により、ビア９１の位置をずらし、中心９１Ａが線分９２、９３上に位置するように調整を行う。
【０１６５】
なお、上層の配線９０Ａと下層の配線９０Ｂとに接続する矩形状のビア９１の四つの頂点の座標は、Annotated-GDSデータに含まれている。このため、ここでは、ビア９１の中心９１Ａが線分９２、９３上に位置するように、四つの頂点の座標の調整を行うようにすればよい。
【０１６６】
ビア９１を動かす方向は、図１５に矢印で示すＸ軸方向でも、Ｙ軸方向でも、どちらでもよく、最も近い線分上に移動すればよい。最も近い線分は、Annotated-GDSデータに含まれるビア９１の中心の座標と、線分の両端の座標とに基づいて求めればよい。
【０１６７】
なお、ビア９１の位置の調整は、ビア９１を表す抵抗の上層の端点と下層の端点とを独立的にＸ軸方向又はＹ軸方向に動かすことによって実現すればよい。  次に、図１６を用いて、実施の形態の抵抗値算出装置について説明する。
【０１６８】
図１６は、実施の形態の抵抗値算出装置１００に含まれる処理部を示すブロック図である。図１６に示す各処理部は、コンピュータシステム１０（図５参照）内のＣＰＵ２１がＨＤＤ２４に格納されている抵抗値算出プログラムを実行することによって実現される。
【０１６９】
抵抗値算出プログラムの実行によって実現される処理部には、主制御部１１１、多角形データ読込部１１２、座標抽出部１１３、矩形領域生成部１１４、領域幅設定部１１５、線分座標算出部１１６、順番決定部１１７、引きしろ設定部１１８、クランク接続部１１９、ビア位置調整部１２０、抵抗値算出部１２１、及びデータ管理部１２２が含まれる。
【０１７０】
主制御部１１１は、多角形データ読込部１１２乃至データ管理部１２２の各部を制御し、処理を統括する。
【０１７１】
多角形データ読込部１１２は、Annotated-GDSデータに含まれる多角形データを読み込む。多角形データは、半導体回路装置に含まれるすべての配線の形状（多角形）を表すデータであり、多角形に含まれるすべての頂点の座標を原点に近い頂点からＸＹ座標において反時計回りで並べたデータである。多角形データの一例としては、図１０に示す配線７０の形状を表す多角形ＡＢＤＥＨＧＪＩの各頂点の座標をこの順に並べたデータが挙げられる。多角形データは、一つの配線について１つのデータが設けられている。
【０１７２】
座標抽出部１１３は、多角形データ読込部１１２が読み込んだ多角形データに含まれるすべての頂点の座標を抽出する処理を行う。例えば、図１０に示す多角形ＡＢＤＥＨＧＪＩの場合は、頂点Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｅ、Ｈ、Ｇ、Ｊ、Ｉに含まれるＸ座標値、Ｙ座標値のすべてを抽出する。抽出された頂点の座標は、互いを包含しない複数の矩形状の領域に配線を分ける前段階として、図１０に示すように、配線を複数の長方形に分割するために用いられる。
【０１７３】
矩形領域生成部１１４は、ルール１に従い、多角形データ読込部１１２が読み込んだ多角形データが表す配線のパターンから、互いを包含しない複数の矩形状の領域を抽出する処理を行う。矩形領域生成部１１４は、多角形で表される配線の各頂点間の線分をＸ軸方向及びＹ軸方向に走査することにより、互いを包含しない複数の矩形状の領域を抽出する処理を行う。
【０１７４】
具体的には、例えば、矩形領域生成部１１４は、図１１（Ａ）に示す多角形ＡＢＤＥＨＧＪＩで表される配線７０の各頂点間の線分をＸ軸方向及びＹ軸方向に走査することにより、領域ＡＢＪＩ（図１１（Ｂ）参照）と領域ＣＥＨＦ（図１１（Ｃ）参照）とを抽出する。
【０１７５】
領域幅設定部１１５は、ルール２及びルール６に従い、矩形領域生成部１１４が抽出したすべての領域について、領域の幅を設定する。領域の幅は、領域の長手方向に対する幅に設定する。すなわち、領域幅設定部１１５は、領域の幅を領域の短手方向の長さに設定する。
【０１７６】
また、領域幅設定部１１５は、クランク接続部１１９によってクランク接続が行われた場合は、ルール６に従い、クランク接続によって折り曲げられた線分について抵抗値の算出の際に必要となる領域幅を、折り曲げた部分の線分を含む領域の幅に設定する。これは、例えば、図１４（Ｃ）、図１４（Ｅ）で線分ＮＰ、ＳＶについて幅Ｗ１を設定した処理が該当する。
【０１７７】
なお、領域幅設定部１１５は、領域が正方形である場合は、図８に示したＸ軸方向の長さを領域の幅として設定する。
【０１７８】
線分座標算出部１１６は、矩形領域生成部１１４が抽出したすべての領域について、長手方向の中心軸上に引く線分の両端の座標を求める。線分は、領域の長手方向の対称軸上において、領域の端から端まで引かれるため、線分の両端の座標は、それぞれ、領域の短辺の中点となる。
【０１７９】
順番決定部１１７は、ルール３に従い、複数の領域に対して線分を引く順番を決定する。複数の領域に対して線分を引く順番は、領域幅設定部１１５によって設定された幅の広い領域から幅の狭い領域の順番とする。
【０１８０】
順番決定部１１７は、領域幅設定部１１５によって幅が設定されたすべての領域の幅を比較し、幅の広い領域から幅の狭い領域の順に、線分を引く順番を決定する。各領域の幅は、各領域の短辺の長さであるため、順番決定部１１７は、各領域の短辺の長さに基づいて、線分を引く順番を決定することになる。
【０１８１】
引きしろ設定部１１８は、ルール４に従い、領域の短辺が他の領域と重複する場合に、線分の長さを短くする分（引きしろ）を算出し、線分座標算出部１１６によって算出される線分の端点の座標を引きしろ分だけオフセットした座標値に設定する。引きしろの長さは、他の領域の幅の半分の長さとする。
【０１８２】
なお、引きしろ設定部１１８は、短辺の全体ではなく、短辺の一部分においてでも他の領域との重複があれば、領域の短辺が他の領域と重複していると判定し、引きしろを設定する。
【０１８３】
クランク接続部１１９は、ルール５に従い、線分を引く順番が２番目以降の領域について線分を引く場合に、現在処理中の領域と重複領域を有する他の領域について既に引かれている線分があり、現在処理中の領域に線分を引くと、線分を引く方向において、他の領域について既に引かれている線分とオーバーラップが生じる場合に、クランク接続を行う。
【０１８４】
ビア位置調整部１２０は、ルール７に従い、ビアの中心が上層及び下層の配線にそれぞれ引かれた線分上に位置しない場合は、ビアの中心が線分状に位置するようにビアの位置をずらす処理を行う。これは、上層及び下層の線分とビアを接続するためである。ビアの両端の中心位置の座標は、Annotated-GDSデータに含まれるため、ビア位置調整部１２０は、ルール７に従ってビアの位置をずらした分だけ、Annotated-GDSデータに含まれるビアの両端の中心位置の座標を修正する。
【０１８５】
抵抗値算出部１２１は、すべての領域について設定された線分についての抵抗値を算出する。抵抗値算出部１２１は、シート抵抗×線分長×領域幅で各線分の抵抗値を算出する。
【０１８６】
抵抗値算出部１２１は、各線分の抵抗値を抵抗値データとしてデータ管理部１２２にわたす。
【０１８７】
データ管理部１２２は、抵抗値算出部１２１によって算出された抵抗値データを抵抗値データベース１０１に格納する処理を管理するデータ管理部である。
【０１８８】
次に、図１７を用いて、実施の形態の抵抗値算出装置１００が実行する抵抗値算出処理について説明する。
【０１８９】
図１７は、実施の形態の抵抗値算出装置１００が実行する抵抗値算出処理の処理内容を示すフローチャートである。
【０１９０】
抵抗値算出装置１００は、Annotated-GDSデータベース３４（図６参照）から、半導体回路装置に含まれるすべての多角形データを読み込む（ステップＳ１）。ステップＳ１の処理は、抵抗値算出装置１００内の多角形データ読込部１１２が実行する。
【０１９１】
次いで、抵抗値算出装置１００は、ステップＳ１で読み込んだ多角形データのうちの１つを選択する（ステップＳ２）。多角形データの選択は、例えば、ネット番号の小さい方から順番に選択すればよい。ステップＳ２の処理は、抵抗値算出装置１００内の主制御部１１１が実行する。
【０１９２】
抵抗値算出装置１００は、多角形データに含まれるすべての頂点の座標を抽出する処理を行う（ステップＳ３）。ステップＳ３の処理は、抵抗値算出装置１００内の座標抽出部１１３が実行する。抽出された頂点の座標は、互いを包含しない複数の矩形状の領域に配線を分ける前段階として、図１０に示すように、配線を複数の長方形に分割するために用いられる。
【０１９３】
抵抗値算出装置１００は、多角形データ読込部１１２が読み込んだ多角形データが表す配線のパターンから、互いを包含しない複数の矩形状の領域を抽出する処理を行う（ステップＳ４）。ステップＳ４の処理は、抵抗値算出装置１００内の矩形領域生成部１１４がルール１に従って実行する。
【０１９４】
抵抗値算出装置１００は、ステップＳ４で生成された各領域について、領域の幅を設定する（ステップＳ５）。領域の幅は、領域の長手方向に対する幅（領域の短手方向の長さ）に設定する。領域が正方形である場合は、Ｘ軸方向の長さを領域の幅として設定する。ステップＳ５の処理は、ルール２及びルール６に従って、抵抗値算出装置１００内の領域幅設定部１１５が実行する。
【０１９５】
抵抗値算出装置１００は、ステップＳ４で生成された各領域について、長手方向の中心軸上に引く線分の両端の座標を求める（ステップＳ６）。線分は、領域の長手方向の対称軸上において、領域の端から端まで引かれるため、線分の両端の座標は、それぞれ、領域の短辺の中点となる。ステップＳ６の処理は、抵抗値算出装置１００内の線分座標算出部１１６が実行する。
【０１９６】
抵抗値算出装置１００は、ステップＳ５で設定されたすべての領域の幅を比べて、幅の広い領域から幅の狭い領域の順に、各領域に対して線分を引く順番を決定する（ステップＳ７）。ステップＳ７の処理は、ルール３に従って、抵抗値算出装置１００内の順番決定部１１７が実行する。
【０１９７】
抵抗値算出装置１００は、ステップＳ７で順番を決定した順番に従い、幅の広い領域から順番に領域を選択する（ステップＳ８）。ステップＳ８において選択される線分は、１つである。ステップＳ８の処理は、抵抗値算出装置１００内の主制御部１１１が実行する。
【０１９８】
抵抗値算出装置１００は、領域の短辺に他の領域との重複があるか否かを判定する（ステップＳ９）。ステップＳ９の処理は、ルール４に従って、抵抗値算出装置１００内の引きしろ設定部１１８が実行する。
【０１９９】
領域の短辺が他の領域と重複するか否かは、短辺の全体ではなく、短辺の一部分において他の領域との重複があれば、領域の短辺が他の領域と重複していると判定することとする。
【０２００】
抵抗値算出装置１００は、ステップＳ９において、領域の短辺に他の領域との重複があると判定した場合（Ｓ９  ＹＥＳ）は、重複の生じている短辺に含まれる線分の端点（領域の短辺の中点）に引きしろを設定する（ステップＳ１０）。ステップＳ１０の処理は、ルール４に従って、抵抗値算出装置１００内の引きしろ設定部１１８が実行する。
【０２０１】
ステップＳ１０の処理により、線分の端点の座標は、引きしろ分だけオフセットした座標値に設定される。引きしろの長さは、他の領域の幅の半分の長さである。
【０２０２】
なお、抵抗値算出装置１００は、ステップＳ９において、領域の短辺に他の領域との重複がないと判定した場合（Ｓ９  ＮＯ）は、ステップＳ１０の処理をスキップする。
【０２０３】
抵抗値算出装置１００は、現在処理中の領域と重複領域を有する他の領域について、現在処理中の領域の線分と、他の領域に既に引かれている線分とにオーバーラップが生じるか否かを判定する（ステップＳ１１）。ステップＳ１１の処理は、抵抗値算出装置１００内のクランク接続部１１９が実行する。
【０２０４】
ステップＳ１１で判定の対象となる他の領域は、既に線分の引かれている領域であるため、現在処理中の領域よりも、線分を引く順番が早い領域である。
【０２０５】
オーバーラップが生じるか否かの判定は、現在処理中の領域の線分の座標を他の領域に既に引かれている線分の座標と比較し、Ｘ軸方向又はＹ軸方向において、重複する区間があるか否かを判定することによって行う。
【０２０６】
なお、オーバーラップは、線分を引く順番が２番目以降の領域について生じうるため、線分を引く順番が１番目の領域については、オーバーラップは生じない。このため、線分を引く順番が１番目の領域についてのステップＳ１１における判定結果は、ＮＯとなる。
【０２０７】
抵抗値算出装置１００は、ステップＳ１１でオーバーラップが生じていると判定した場合（Ｓ１１  ＹＥＳ）は、現在処理中の領域について引く線分を他の領域に既に引かれている線分に対してクランク接続する（ステップＳ１２）。ステップＳ１２の処理は、抵抗値算出装置１００内のクランク接続部１１９が実行する。
【０２０８】
抵抗値算出装置１００は、オーバーラップが生じている区間に対しては線分を引かずに、図１３（Ｄ）、図１３（Ｅ）に示すように線分を折り曲げて、現在処理中の領域よりも線分を引く順番が早い領域に対して既に引かれている線分にクランク接続する。
【０２０９】
なお、抵抗値算出装置１００は、ステップＳ１１において、オーバーラップが生じていないと判定した場合（Ｓ１１  ＮＯ）は、ステップＳ１２の処理をスキップする。
【０２１０】
抵抗値算出装置１００は、すべての領域について、線分を引く処理が終了したか否かを判定する（ステップＳ１３）。ステップＳ１３の処理は、抵抗値算出装置１００内の主制御部１１１が実行する処理であり、ステップＳ７で順番が決定されたすべての領域について線分を引く処理が終了したか否かを判定する処理である。
【０２１１】
抵抗値算出装置１００は、すべての領域について線分を引く処理が終了したと判定した場合（Ｓ１３  ＹＥＳ）は、フローをステップＳ１４に進行する。
【０２１２】
一方、抵抗値算出装置１００は、すべての領域について線分を引く処理が終了していないと判定した場合（Ｓ１３  ＮＯ）は、フローをステップＳ８にリターンする。
【０２１３】
フローがステップＳ８にリターンすると、ステップＳ８において、線分を引く順番が次の領域が選択され、ステップＳ９〜Ｓ１３の処理が繰り返し実行される。
【０２１４】
ステップＳ８〜Ｓ１３の処理がステップＳ７で順番が決定されたすべての領域について繰り返し実行されることにより、ステップＳ７で順番が決定されたすべての領域について線分が引かれることになる。
【０２１５】
抵抗値算出装置１００は、ステップＳ１３においてすべての領域について線分を引く処理が終了した（Ｓ１３  ＹＥＳ）と判定した場合は、各領域に引いた線分の長さ（線分長）と、各領域について設定した領域の幅（領域幅）とを用いて、抵抗成分としての各線分が表す抵抗値を算出する（ステップＳ１４）。
【０２１６】
ステップＳ１４の処理は、抵抗値算出装置１００内の抵抗値算出部１２１が実行する処理であり、抵抗値算出部１２１は、シート抵抗×線分長×領域幅で各線分の抵抗値を算出する。
【０２１７】
抵抗値算出部１２１が算出した各線分の抵抗値は、線分の識別子と関連付けられて抵抗値データとしてデータ管理部１２２によって抵抗値データベース１０１に格納される。
【０２１８】
抵抗値算出装置１００は、ステップＳ１〜Ｓ１３の処理により、各領域について引かれた線分の両端の座標と、ビアの中心位置の座標とを比較し、ビアの中心位置が線分上にない場合は、ビアの中心位置を線分上に調整する処理を行う（ステップＳ１５）。
【０２１９】
ステップＳ１５の処理は、上層及び下層の線分とビアを接続するために行う処理であり、ルール７に従って、抵抗値算出装置１００内のビア位置調整部１２０が実行する。
【０２２０】
なお、ビアの中心位置が線分上にある場合は、ビアの中心位置の調整は行わない。
【０２２１】
抵抗値算出装置１００は、すべての多角形について、抵抗値を算出する処理が終了したか否かを判定する（ステップＳ１６）。
【０２２２】
ステップＳ１６の処理は、ステップＳ１で読み込んだすべての多角形データにつき、ネット番号が最も大きい配線まで処理が終了したか否かを判定する処理であり、抵抗値算出装置１００内の主制御部１１１が実行する。
【０２２３】
抵抗値算出装置１００は、すべての多角形について抵抗値を算出する処理が終了していないと判定した場合（Ｓ１６  ＮＯ）は、フローをステップＳ２にリターンする。この場合は、続くステップＳ２において、次のネット番号の配線を表す多角形データが選択され、次の多角形データについてステップＳ３〜Ｓ１５の処理が実行される。
【０２２４】
一方、抵抗値算出装置１００は、すべての多角形について抵抗値を算出する処理が終了したと判定した場合（Ｓ１６  ＹＥＳ）は、一連の処理を終了する。
【０２２５】
以上により、ステップＳ１でAnnotated-GDSデータベース３４（図６参照）から読み込んだすべての多角形データにつき、抵抗成分を表す線分を引くことによって抵抗値を算出する処理が終了する。これにより、ＬＳＩのような半導体回路装置に含まれるすべての配線の抵抗値を得ることができる。
【０２２６】
次に、図１８を用いて、実施の形態の抵抗値算出方法において用いるデータ構造について説明する。
【０２２７】
図１８は、実施の形態の抵抗値算出方法で抵抗の算出に用いる線分のデータ構造を示す図である。
【０２２８】
図１８に示す線分のデータ構造は、多角形データが表す配線に含まれる線分のＸ軸方向の線分のデータ（Ｘ線分データ）、及びＹ軸方向の線分の情報（Ｙ線分データ）を関連付けた構造を有する。
【０２２９】
Ｘ線分データは、多角形データが表す配線に含まれる線分のうち、ＸＹ座標におけるＸ軸方向に引かれる線分の両端の座標と、領域幅とを含む。
【０２３０】
Ｘ線分データは、図１８に示すように階層化されており、ｍ個（ｍは任意の整数）の線分（Ｘ線分１、Ｘ線分２、Ｘ線分３、Ｘ線分ｍ）のそれぞれについての一端のＸ座標（Ｘ０）、一端のＹ座標（Ｙ０）、他端のＸ座標（Ｘ１）、他端のＹ座標（Ｙ１）、及び領域幅（Ｗ）が関連付けられている。
【０２３１】
なお、線分（Ｘ線分１、Ｘ線分２、Ｘ線分３、Ｘ線分ｍ）を表す部分のデータ形式は、可変長配列になっているため、各領域について順番に線分を引く際に、線分の数がいくつであっても対応できるデータ構造になっている。
【０２３２】
Ｙ線分データは、多角形データが表す配線に含まれる線分のうち、ＸＹ座標におけるＹ軸方向に引かれる線分の両端の座標と、領域幅とを含む。
【０２３３】
Ｙ線分データは、図１８に示すように階層化されており、ｎ個（ｎは任意の整数）の線分（Ｙ線分１、Ｙ線分２、Ｙ線分３、Ｙ線分ｎ）のそれぞれについての一端のＸ座標（Ｘ０）、一端のＹ座標（Ｙ０）、他端のＸ座標（Ｘ１）、他端のＹ座標（Ｙ１）、及び領域幅（Ｗ）が関連付けられている。
【０２３４】
例えば、図１４（Ｂ）〜図１４（Ｆ）に示す５つの線分ＫＮ、線分ＮＰ、線分ＰＶ、線分ＶＳ、線分ＳＬについての線分のデータ構造は、Ｘ軸方向の線分が線分ＮＰと線分ＳＶの２つで、Ｙ軸方向の線分が線分ＫＮ、線分ＰＶ、線分ＳＬの３つであるため、ｍが２で、ｎが３となる。
【０２３５】
すなわち、図１８に示すＸ線分１が線分ＮＰ、Ｘ線分２が線分ＶＳ、Ｙ線分１が線分ＫＮ、Ｙ線分２が線分ＰＶ、Ｙ線分３が線分ＳＬとなる。
【０２３６】
Ｘ線分１、Ｘ線分２、Ｙ線分１、Ｙ線分２、Ｙ線分３の各々についての線分の一端のＸ座標（Ｘ０）、一端のＹ座標（Ｙ０）、他端のＸ座標（Ｘ１）、他端のＹ座標（Ｙ１）は、それぞれ、線分ＫＮ、線分ＮＰ、線分ＰＶ、線分ＶＳ、線分ＳＬの一端及び他端のＸ座標、Ｙ座標を表す。
【０２３７】
また、Ｘ線分１、Ｘ線分２、Ｙ線分１、Ｙ線分３の各々についての幅Ｗは、線分ＫＮ、線分ＮＰ、線分ＶＳ、線分ＳＬの領域幅Ｗ１を表す。Ｙ線分２についての幅Ｗは、線分ＰＶの領域幅Ｗ２を表すことになる。
【０２３８】
実施の形態の抵抗値算出方法では、図１８に示す線分のデータを用いて、抵抗値の算出を行う。
【０２３９】
次に、図１９を用いて、実施の形態の抵抗値算出方法において算出する線分の抵抗値を表すデータの構造について説明する。
【０２４０】
図１９は、実施の形態の抵抗値算出方法において算出する線分の抵抗値を表す抵抗値データの構造を示す図である。
【０２４１】
図１９（Ａ）に示す抵抗値データは、図１８に示すＸ線分１、Ｘ線分２、Ｙ線分１、Ｙ線分２、Ｙ線分３の各々についての抵抗値を表す行列式形式のテーブルデータにしたものである。
【０２４２】
抵抗値データは、各線分に対して１つずつ作成され、抵抗ＩＤ（Identification：識別子）、ノードｎ０、ノードｎ１、領域幅Ｗ、線分長Ｌを含む。ノードｎ０（ｎｏｄｅ０）は、線分の一端を表し、ノードｎ１（ｎｏｄｅ１）は、線分の他端を表す。領域幅Ｗは、線分の領域幅であり、線分長は線分の長さである。
【０２４３】
各線分のノードｎ０、ｎ１の座標（Ｘ、Ｙ）の値については、図１９（Ｂ）に示すように、ノード毎に関連付けられたテーブルデータが抵抗値を表す行列形式のテーブルデータとともに作成される。
【０２４４】
例えば、図１４（Ｂ）〜図１４（Ｆ）に示す５つの線分ＫＮ、線分ＮＰ、線分ＰＶ、線分ＶＳ、線分ＳＬについては、５つの抵抗値データＲ０〜Ｒ４が作成されることになる。
【０２４５】
図１８においてＸ線分１が線分ＮＰ、Ｘ線分２が線分ＶＳ、Ｙ線分１が線分ＫＮ、Ｙ線分２が線分ＰＶ、Ｙ線分３が線分ＳＬとなる場合の抵抗値データは次のようになる。
【０２４６】
Ｒ０がＹ線分１（線分ＫＮ）の抵抗値データ、Ｒ１がＸ線分１（線分ＮＰ）の抵抗値データ、Ｒ２がＹ線分２（線分ＰＶ）の抵抗値データ、Ｒ３がＸ線分２（線分ＶＳ）の抵抗値データ、Ｒ４がＹ線分３（線分ＳＬ）の抵抗値データというように、線分ＫＮ、線分ＮＰ、線分ＰＶ、線分ＶＳ、線分ＳＬの順に抵抗値データが配列される。
【０２４７】
次に、図２０乃至図２５を用いて、ルール１〜７に従って、種々のパターンを有する配線について抵抗成分を表す線分を引く手法について説明する。
【０２４８】
図２０（Ａ）〜（Ｆ）に示す配線２００Ａ〜２００Ｆは、配線２０１Ａ〜２０１Ｆ（ハッチングの部分）と、配線２０２Ａ〜２０２Ｆ（ハッチングのない部分）とをそれぞれ異なるパターンで接続した配線である。
【０２４９】
図２０（Ａ）に示す配線２００Ａの場合、ルール１により、互いを包含しない複数の矩形状の領域は、領域ＡＢＦＧと領域ＨＤＥＧとになる。
【０２５０】
ルール２により、領域ＡＢＦＧと領域ＨＤＥＧの線分を引く方向はＹ軸方向となり、領域の幅はＸ軸方向となる。
【０２５１】
領域ＨＤＥＧの幅Ｗ２は、領域ＡＢＦＧの幅Ｗ１よりも広いため、ルール３により、線分を引く順番は、領域ＨＤＥＧが先で、領域ＡＢＦＧが後になる。
【０２５２】
領域ＨＤＥＧの長手方向の対称軸となる線分ＬＭ上に線分を引こうとすると、領域ＨＤＥＧの短辺ＨＤに他の領域ＡＢＦＧが重複しているため、ルール４により線分ＬＭには、端点Ｍについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＡＢＦＧの幅Ｗ１の半分（Ｗ１／２）になるため、線分ＬＭの端点Ｍは、Ｗ１／２手前の点Ｈに変更される。
【０２５３】
以上より、領域ＨＤＥＧについて引く線分は、線分ＬＨとなる。
【０２５４】
次に、領域ＡＢＦＧに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＫＪ上に線分を引こうとすると、線分ＫＪのうち、線分ＫＩは、既に線分が引かれている線分ＬＨとオーバーラップが生じているため、ルール５によりクランク接続をすることになる。
【０２５５】
このため、線分ＫＪのうちの線分ＫＩには線分を引かずに、線分ＩＪについて線分を引くとともに、線分ＩＪを端点Ｉで折り曲げて線分ＬＨにクランク接続する。
【０２５６】
以上により、図２０（Ａ）に示す配線２００Ａには、線分ＬＨ、線分ＨＩ、線分ＩＪが抵抗成分として引かれることになる。なお、線分ＬＨの領域幅はＷ２、線分ＨＩの領域幅はＷ１、線分ＩＪの領域幅はＷ１である。
【０２５７】
図２０（Ｂ）に示す配線２００Ｂは、図２０（Ａ）に示す配線２００Ａを変形したものである。
【０２５８】
配線２００Ｂからは、互いを包含しない複数の矩形状の領域ＡＢＦＧと領域ＩＤＥＨが得られる。
【０２５９】
ルール２により、領域ＡＢＦＧと領域ＩＤＥＨの線分を引く方向はＹ軸方向となり、領域の幅はＸ軸方向となる。
【０２６０】
領域ＩＤＥＨの幅Ｗ２は、領域ＡＢＦＧの幅Ｗ１よりも広いため、ルール３により、線分を引く順番は、領域ＩＤＥＨが先で、領域ＡＢＦＧが後になる。
【０２６１】
領域ＩＤＥＨの長手方向の対称軸となる線分ＪＬ上に線分を引こうとすると、領域ＩＤＥＨの短辺ＩＤに他の領域ＡＢＦＧが重複しているため、ルール４により線分ＪＬには、端点Ｌについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＡＢＦＧの幅Ｗ１の半分（Ｗ１／２）になるため、線分ＪＬの端点Ｌは、Ｗ１／２手前の点Ｋに変更される。
【０２６２】
以上より、領域ＩＤＥＨについて引く線分は、線分ＪＫとなる。
【０２６３】
次に、領域ＡＢＦＧに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＪＭ上に線分を引こうとすると、線分ＪＭのうち、線分ＪＫは、既に線分が引かれている線分ＪＫとオーバーラップが生じているため、ルール５によりクランク接続をすることになる。
【０２６４】
しかしこのとき、線分ＪＫと線分ＪＭはＸ軸方向の値が同一で、同一直線上にあるため、クランクの長さは零に設定される。
【０２６５】
このため、線分ＪＭのうちの線分ＪＫには線分を引かずに、線分ＫＭについて線分を引いて、既に引いてある線分ＪＫに接続する。
【０２６６】
以上により、図２０（Ｂ）に示す配線２００Ｂには、線分ＪＫ、線分ＫＭが抵抗成分として引かれることになる。なお、線分ＪＫの領域幅はＷ２、線分ＫＭの領域幅はＷ１である。
【０２６７】
図２０（Ｃ）に示す配線２００Ｃは、図２０（Ａ）に示す配線２００Ａを変形したものである。
【０２６８】
配線２００Ｃの場合、ルール１により、互いを包含しない複数の矩形状の領域は、領域ＡＢＤＥと領域ＧＣＤＦとになる。
【０２６９】
配線２００Ｃは、配線２００Ａと線対称なパターンであるため、線分の抽出過程の説明は省略する。
【０２７０】
図２０（Ｃ）に示す配線２００Ｃには、線分ＩＪ、線分ＪＫ、線分ＫＬが抵抗成分として引かれることになる。なお、線分ＩＪの領域幅はＷ２、線分ＪＫの領域幅はＷ１、線分ＫＬの領域幅はＷ１である。
【０２７１】
図２０（Ｄ）に示す配線２００Ｄは、図２０（Ａ）に示す配線２００Ａを変形したものである。
【０２７２】
配線２００Ｄの場合、ルール１により、互いを包含しない複数の矩形状の領域は、領域ＡＢＦＧと領域ＩＤＥＨとになる。
【０２７３】
ルール２により、領域ＡＢＦＧと領域ＩＤＥＨの線分を引く方向はＹ軸方向となり、領域の幅はＸ軸方向となる。
【０２７４】
領域ＩＤＥＨの幅Ｗ２は、領域ＡＢＦＧの幅Ｗ１よりも広いため、ルール３により、線分を引く順番は、領域ＩＤＥＨが先で、領域ＡＢＦＧが後になる。
【０２７５】
領域ＩＤＥＨの長手方向の対称軸となる線分ＧＪ上に線分を引こうとすると、領域ＩＤＥＨの短辺ＩＤに他の領域ＡＢＦＧが重複しているため、ルール４により線分ＧＪには、端点Ｊについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＡＢＦＧの幅Ｗ１の半分（Ｗ１／２）になるため、線分ＧＪの端点Ｊは、Ｗ１／２手前の点Ｋに変更される。
【０２７６】
以上より、領域ＩＤＥＨについて引く線分は、線分ＧＫとなる。
【０２７７】
次に、領域ＡＢＦＧに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＭＮ上に線分を引こうとすると、線分ＭＮのうち、線分ＬＮは、既に線分が引かれている線分ＧＫとオーバーラップが生じているため、ルール５によりクランク接続をすることになる。
【０２７８】
このため、線分ＭＮのうちの線分ＬＮには線分を引かずに、線分ＭＬについて線分を引くとともに、線分ＭＬを端点Ｌで折り曲げて線分ＧＫにクランク接続する。これにより、線分ＫＬが生成される。
【０２７９】
以上により、図２０（Ｄ）に示す配線２００Ｄには、線分ＧＫ、線分ＫＬ、線分ＬＭが抵抗成分として引かれることになる。なお、線分ＧＫの領域幅はＷ２、線分ＫＬの領域幅はＷ１、線分ＬＭの領域幅はＷ１である。
【０２８０】
図２０（Ｅ）に示す配線２００Ｅからは、互いを包含しない複数の矩形状の領域ＡＣＤＨと領域ＢＣＥＦが得られる。
【０２８１】
ルール２により、領域ＡＣＤＨの線分を引く方向はＸ軸方向となり、領域の幅はＹ軸方向となる。また、領域ＢＣＥＦの線分を引く方向はＹ軸方向となり、領域の幅はＸ軸方向となる。
【０２８２】
領域ＢＣＥＦの幅Ｗ２は、領域ＡＣＤＨの幅Ｗ１よりも広いため、ルール３により、線分を引く順番は、領域ＢＣＥＦが先で、領域ＡＣＤＨが後になる。
【０２８３】
領域ＢＣＥＦの長手方向の対称軸となる線分ＩＫ上に線分を引こうとすると、領域ＢＣＥＦの短辺ＢＣに他の領域ＡＣＤＨが重複しているため、ルール４により線分ＩＫには、端点Ｋについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＡＣＤＨの幅Ｗ１の半分（Ｗ１／２）になるため、線分ＩＫの端点Ｋは、Ｗ１／２手前の点Ｊに変更される。
【０２８４】
以上より、領域ＢＣＥＦについて引く線分は、線分ＩＪとなる。
【０２８５】
次に、領域ＡＣＤＨに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＬＭ上に線分を引こうとすると、領域ＡＣＤＨの短辺ＤＣに他の領域ＢＣＥＦが重複しているため、ルール４により線分ＬＭには、端点Ｍについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＢＣＥＦの幅Ｗ２の半分（Ｗ２／２）になるため、線分ＬＭの端点Ｍは、Ｗ２／２手前の点Ｊに変更される。
【０２８６】
以上より、領域ＢＣＥＦについて引く線分は、線分ＩＪとなる。
【０２８７】
以上により、図２０（Ｅ）に示す配線２００Ｅには、線分ＩＪ、線分ＪＬが抵抗成分として引かれることになる。なお、線分ＩＪの領域幅はＷ２、線分ＪＬの領域幅はＷ１である。
【０２８８】
図２０（Ｆ）に示す配線２００Ｆからは、互いを包含しない複数の矩形状の領域ＡＣＤＨと領域ＡＢＦＧが得られる。
【０２８９】
図２０（Ｅ）に示す配線２００Ｅと線対称なパターンであるため、線分の抽出過程の説明は省略する。
【０２９０】
図２０（Ｆ）に示す配線２００Ｆには、線分ＩＪ、線分ＪＭが抵抗成分として引かれることになる。なお、線分ＩＪの領域幅はＷ２、線分ＪＭの領域幅はＷ１である。
【０２９１】
図２１（Ａ）に示す配線２１０は、互いを包含しない複数の矩形状の４つの領域ＡＣＮＫ（図２１（Ｂ））、領域ＢＣＨＩ（図２１（Ｃ））、領域ＭＥＧＩ（図２１（Ｄ））、領域ＬＥＦＫ（図２１（Ｅ））が得られる。
【０２９２】
ルール２により、領域ＡＣＮＫ、領域ＢＣＨＩ、領域ＭＥＧＩの線分を引く方向はＹ軸方向となり、領域の幅はＸ軸方向となる。また、領域ＬＥＦＫの線分を引く方向はＸ軸方向となり、領域の幅はＹ軸方向となる。
【０２９３】
領域ＡＣＮＫと領域ＭＥＧＩの幅Ｗ２は、領域ＢＣＨＩと領域ＬＥＦＫの幅Ｗ１よりも広いため、ルール３により、線分を引く順番は、領域ＡＣＮＫと領域ＭＥＧＩが先で、領域ＢＣＨＩと領域ＬＥＦＫが後になる。ここで、Ｗ２＝２×Ｗ１である。
【０２９４】
領域ＡＣＮＫの長手方向の対称軸となる線分ＪＢ上に線分を引こうとすると、領域ＡＣＮＫの短辺ＫＮに他の領域ＢＣＨＩ、領域ＬＥＦＫが重複しているため、ルール４により線分ＪＢには、端点Ｊについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＢＣＨＩ、領域ＬＥＦＫの幅Ｗ１の半分（Ｗ１／２）になるため、線分ＪＢの端点Ｊは、Ｗ１／２手前の点Ｏに変更される。
【０２９５】
以上より、領域ＡＣＮＫについて引く線分は、線分ＯＢとなる。
【０２９６】
同様にして、領域ＭＥＧＩに引く線分は、線分ＨＰとなる。
【０２９７】
次に、領域ＢＣＨＩに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＲＱ上に線分を引こうとすると、ＲＱは、既に引かれている線分ＯＢと線分ＨＰと、一端Ｒから他端Ｑにかけて全体的にオーバーラップしている。このため、領域ＢＣＨＩについて引く線分は生じない。
【０２９８】
また、領域ＬＥＦＫに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＳＴ上に線分を引こうとすると、領域ＬＥＦＫの短辺ＫＬと短辺ＦＥに他の領域ＡＣＮＫ、領域ＭＥＧＩが重複しているため、ルール４により線分ＳＴには、端点Ｓ、端点Ｔの両方について引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＡＣＮＫ、領域ＭＥＧＩの幅Ｗ２の半分（Ｗ２／２）になるため、線分ＳＴの端点Ｓ、端点Ｔは、Ｗ２／２手前の点Ｏ、点Ｐにそれぞれ変更される。
【０２９９】
以上により、図２１（Ａ）に示す配線２１０には、線分ＨＰ、線分ＰＯ、線分ＯＢが抵抗成分として引かれることになる。なお、線分ＨＰの領域幅はＷ２、線分ＰＯの領域幅はＷ１、線分ＯＢの領域幅はＷ２である。
【０３００】
図２２（Ａ）に示す配線２２０の場合、ルール１により、互いを包含しない複数の矩形状の領域は、領域ＡＢＩＪ、領域ＬＤＨＪ、領域ＫＦＧＪになる。
【０３０１】
ルール２により、領域ＡＢＩＪ、領域ＬＤＨＪ、領域ＫＦＧＪの線分を引く方向はＹ軸方向となり、領域の幅はＸ軸方向となる。
【０３０２】
領域ＫＦＧＪ、領域ＬＤＨＪ、領域ＡＢＩＪの幅は、それぞれ、Ｗ３、Ｗ２、Ｗ１であり、Ｗ３＞Ｗ２＞Ｗ１であるため、ルール３により、線分を引く順番は、領域ＫＦＧＪ、領域ＬＤＨＪ、領域ＡＢＩＪの順になる。
【０３０３】
領域ＫＦＧＪの長手方向の対称軸となる線分ＰＵ上に線分を引こうとすると、領域ＫＦＧＪの短辺ＫＦに他の領域ＬＤＨＪが重複しているため、ルール４により線分ＰＵには、端点Ｕについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＬＤＨＪの幅Ｗ２の半分（Ｗ２／２）になるため、線分ＰＵの端点Ｕは、Ｗ２／２手前の点Ｔに変更される。
【０３０４】
以上より、領域ＫＦＧＪについて引く線分は、線分ＰＴとなる。
【０３０５】
次に、領域ＬＤＨＪに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＩＣ上に線分を引こうとすると、線分ＩＣのうち、線分ＩＳは、既に線分が引かれている線分ＰＴとオーバーラップが生じているため、ルール５によりクランク接続をすることになる。
【０３０６】
また、領域ＬＤＨＪに線分を引く際に、領域ＬＤＨＪの短辺ＬＤに領域ＡＢＩＪが重複しているため、線分ＩＣは、端点Ｃにおいて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、重複相手である領域ＡＢＩＪの幅Ｗ１の半分（Ｗ１／２）となり、端点Ｃは、点Ｒまでオフセットすることになる。
【０３０７】
以上より、領域ＬＤＨＪについて線分ＩＣを引こうとすると、端点Ｉ側は区間ＩＳに線分を引けないため、クランク接続によって線分ＳＴが生成され、端点Ｃ側は点Ｒまでオフセットするため、領域ＬＤＨＪについては、線分ＴＳと線分ＳＲが引かれることになる。
【０３０８】
次に、領域ＡＢＩＪの長手方向の対称軸となる線分ＮＭ上に線分を引こうとすると、線分ＮＭのうち、線分ＮＱは、既に線分が引かれている線分ＰＴ及び線分ＳＲとオーバーラップが生じているため、ルール５によりクランク接続をすることになる。
【０３０９】
このため、線分ＮＭについては、区間ＮＱに線分を引かずに、点Ｑで線分ＳＲに接続するためにクランク接続が行われる。
【０３１０】
以上により、図２２（Ａ）に示す配線２２０には、線分ＰＴ、線分ＴＳ、線分ＳＲ、線分ＲＱ、線分ＱＭが抵抗成分として引かれることになる。なお、線分ＰＴの領域幅はＷ３、線分ＴＳと線分ＳＲの領域幅はＷ２、線分ＲＱと線分ＱＭの領域幅はＷ１である。
【０３１１】
図２２（Ｂ）に示す線分２３０の場合、ルール１により、互いを包含しない複数の矩形状の領域は、領域ＡＢＫＬ、領域ＰＤＨＬ、領域ＣＤＩＪ、領域ＭＦＧＬ、領域ＯＤＥＮになる。なお、領域ＰＤＨＬは正方形である。
【０３１２】
ルール２により、領域ＡＢＫＬ、領域ＰＤＨＬ、領域ＣＤＩＪの線分を引く方向はＹ軸方向となり、領域の幅はＸ軸方向となる。なお、領域ＰＤＨＬは正方形であり、実施の形態ではＹ軸方向に線分を引くことになっている。また、領域ＭＦＧＬ、領域ＯＤＥＮの線分を引く方向はＸ軸方向となり、領域の幅はＹ軸方向となる。
【０３１３】
領域ＡＢＫＬ、領域ＣＤＩＪ、領域ＭＦＧＬ、領域ＯＤＥＮの幅は、それぞれ、Ｗ１であり、領域ＰＤＨＬの幅はＷ２（＝２×Ｗ１）である。このため、ルール３により、線分を引く順番は、領域ＰＤＨＬが先であり、領域ＡＢＫＬ、領域ＣＤＩＪ、領域ＭＦＧＬ、領域ＯＤＥＮは後になる。
【０３１４】
まず、領域ＰＤＨＬについて長手方向（Ｙ軸方向）の対称軸上に線分ＣＫを引こうとすると、短辺ＰＤ、短辺ＬＨにおいて、それぞれ、領域ＡＢＫＬ、領域ＣＤＩＪが重複しているため、ルール４により線分ＣＫには、端点Ｃ、端点Ｋについてそれぞれ引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＡＢＫＬ、領域ＣＤＩＪの幅Ｗ１の半分（Ｗ１／２）になるため、線分ＣＫの端点Ｃ、端点Ｋは、Ｗ１／２手前の点Ｑ、点Ｒに変更される。
【０３１５】
以上より、領域ＰＤＨＬについて引く線分は、線分ＲＱとなる。
【０３１６】
次に、領域ＡＢＫＬに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＴＳ上に線分を引こうとすると、線分ＴＳのうち、線分ＵＶは、既に線分が引かれている線分ＲＱとオーバーラップが生じているため、ルール５によりクランク接続をすることになる。
【０３１７】
また、領域ＣＤＩＪに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＷＸ上に線分を引こうとすると、線分ＷＸのうち、線分ＹＺは、既に線分が引かれている線分ＲＱとオーバーラップが生じているため、ルール５によりクランク接続をすることになる。
【０３１８】
このため、領域ＡＢＫＬについては、線分ＶＳが点Ｖにおいて線分ＲＱにクランク接続されるため、線分ＶＱが生成される。また、領域ＣＤＩＪについては、線分ＷＹが点Ｙにおいて線分ＲＱにクランク接続されるため、線分ＹＲが生成される。
【０３１９】
また、領域ＭＦＧＬ、領域ＯＤＥＮについては、線分Ａ１Ｂ１、線分Ｄ１Ｃ１についてそれぞれ線分を引こうとすると、短辺ＤＥ、短辺ＭＬが領域ＰＤＨＬと重複しているため、ルール４によって引きしろが必要になる。引きしろの長さは、線分Ａ１Ｂ１、線分Ｄ１Ｃ１ともに、領域ＰＤＨＬの幅Ｗ２の半分（Ｗ２／２＝Ｗ１）である。
【０３２０】
このため、領域ＭＦＧＬ、領域ＯＤＥＮについては、それぞれ、線分Ａ１Ｑ、線分Ｃ１Ｒに線分を引くことになるが、区間ＶＱ、区間ＲＹについては既に引かれている線分とオーバーラップするため、線分Ａ１Ｑ、線分Ｃ１Ｒは、線分Ａ１Ｖ、線分Ｃ１Ｙに短縮される。なお、この場合、線分Ａ１Ｑ、線分Ｃ１Ｒの区間ＶＱ、区間ＲＹについてのオーバーラップは、Ｙ軸方向の値が同一で、同一直線上にあるため、クランクの長さは零に設定される。
【０３２１】
以上により、図２２（Ｂ）に示す配線２３０には、線分ＷＹ、線分Ｃ１Ｙ、線分ＹＲ、線分ＲＱ、線分ＱＶ、線分ＶＳ、線分ＶＡ１が引かれることになる。なお、線分ＲＱの領域幅はＷ２、線分ＲＱ以外の線分ＷＹ、線分Ｃ１Ｙ、線分ＹＲ、線分ＱＶ、線分ＶＳ、線分ＶＡ１の領域幅はＷ１である。
【０３２２】
図２２（Ｃ）に示す配線２４０では、ルール１により、互いを包含しない複数の矩形状の領域は、領域ＡＣＲＯ、領域ＱＥＳＭ、領域ＲＧＩＫ、領域ＢＣＬＭ、領域ＤＥＪＫ、領域ＰＥＦＯ、領域ＮＧＨＭになる。なお、領域ＡＣＲＯ、領域ＱＥＳＭ、領域ＲＧＩＫは正方形である。
【０３２３】
ルール２により、領域ＡＣＲＯ、領域ＱＥＳＭ、領域ＲＧＩＫ、領域ＢＣＬＭ、領域ＤＥＪＫの線分を引く方向はＹ軸方向となり、領域の幅はＸ軸方向となる。また、領域ＰＥＦＯ、領域ＮＧＨＭの線分を引く方向はＸ軸方向となり、領域の幅はＹ軸方向となる。
【０３２４】
領域ＡＣＲＯ、領域ＱＥＳＭ、領域ＲＧＩＫの幅は、それぞれ、Ｗ２（＝２×Ｗ１）であり、領域ＢＣＬＭ、領域ＤＥＪＫ、領域ＰＥＦＯ、領域ＮＧＨＭの幅はＷ１である。このため、ルール３により、線分を引く順番は、領域ＡＣＲＯ、領域ＱＥＳＭ、領域ＲＧＩＫが先であり、領域ＡＢＫＬ、領域ＣＤＩＪ、領域ＭＦＧＬ、領域ＯＤＥＮは後になる。
【０３２５】
まず、領域ＡＣＲＯについて長手方向（Ｙ軸方向）の対称軸上に線分ＮＢを引こうとすると、短辺ＯＲにおいて、領域ＰＥＦＯが重複しているため、ルール４により線分ＮＢには、端点Ｎについてそれぞれ引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＰＥＦＯの幅Ｗ１の半分（Ｗ１／２）になるため、線分ＮＢの端点Ｎは、Ｗ１／２手前の点Ｔに変更される。
【０３２６】
以上より、領域ＡＣＲＯについて引く線分は、線分ＴＢとなる。
【０３２７】
次に、領域ＲＧＩＫについて長手方向（Ｙ軸方向）の対称軸上に線分ＪＦを引こうとすると、短辺ＲＧにおいて、領域ＮＧＨＭが重複しているため、ルール４により線分ＪＦには、端点Ｆについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＮＧＨＭの幅Ｗ１の半分（Ｗ１／２）になるため、線分ＪＦの端点Ｆは、Ｗ１／２手前の点Ｕに変更される。
【０３２８】
以上より、領域ＲＧＩＫについて引く線分は、線分ＪＵとなる。
【０３２９】
次に、領域ＱＥＳＭに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＬＤ上に線分を引こうとすると、短辺ＱＥにおいて、領域ＰＤＲＯが重複しているため、ルール４により線分ＬＤには、端点Ｄについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＰＤＲＯの幅Ｗ１の半分（Ｗ１／２）になるため、線分ＬＤの端点Ｄは、Ｗ１／２手前の点Ｖに変更される。
【０３３０】
また、同様に、領域ＱＥＳＭについては、短辺ＳＭにおいて、領域ＮＧＨＭが重複しているため、ルール４により線分ＬＤには、端点Ｌについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＮＧＨＭの幅Ｗ１の半分（Ｗ１／２）になるため、線分ＬＤの端点Ｌは、Ｗ１／２手前の点Ｗに変更される。
【０３３１】
以上より、領域ＱＥＳＭについて引く線分は、線分ＶＷとなる。
【０３３２】
また、領域ＢＣＬＭ、領域ＤＥＪＫについては、領域ＡＣＲＯ、領域ＱＥＳＭ、領域ＲＧＩＫに線分を引く処理ですべて賄われているため、線分を引く処理は行われない。
【０３３３】
次に、領域ＰＥＦＯ、領域ＮＧＨＭについて線分を引く。
【０３３４】
領域ＰＥＦＯについては、短辺ＰＯと短辺ＥＦにおいて、それぞれ、領域ＡＣＲＯ、領域ＱＥＳＭが重複しているため、領域ＡＣＲＯ、領域ＱＥＳＭの幅（ともにＷ２）の半分（Ｗ２／２）の引きしろが必要になる。
【０３３５】
このため、領域ＰＥＦＯについて引く線分は、ＴＶとなる。
【０３３６】
同様に、領域ＮＧＨＭについては、短辺ＧＨと短辺ＮＭにおいて、それぞれ、領域ＱＥＳＭ、領域ＲＧＩＫが重複しているため、領域ＱＥＳＭ、領域ＲＧＩＫの幅（ともにＷ２）の半分（Ｗ２／２）の引きしろが必要になる。
【０３３７】
このため、領域ＮＧＨＭについて引く線分は、ＷＵとなる。
【０３３８】
以上により、図２２（Ｃ）に示す配線２３０には、線分ＪＵ、線分ＵＷ、線分ＷＶ、線分ＶＴ、線分ＴＢが引かれることになる。なお、線分ＪＵ、線分ＵＷ、線分ＷＶ、線分ＴＢの領域幅はＷ２であり、線分ＵＷ、線分ＶＴの領域幅はＷ１ある。
【０３３９】
図２２（Ｄ）に示す配線２５０では、ルール１により、互いを包含しない複数の矩形状の領域は、領域ＡＢＭＮ、領域ＣＤＫＬ、領域ＥＦＩＪ、領域ＡＦＧＰ、領域ＯＨＩＮになる。
【０３４０】
ルール２により、領域ＡＢＭＮ、領域ＣＤＫＬ、領域ＥＦＩＪの線分を引く方向はＹ軸方向となり、領域の幅はＸ軸方向となる。また、領域ＡＦＧＰ、領域ＯＨＩＮの線分を引く方向はＸ軸方向となり、領域の幅はＹ軸方向となる。
【０３４１】
領域ＡＢＭＮ、領域ＣＤＫＬ、領域ＥＦＩＪ、領域ＡＦＧＰ、領域ＯＨＩＮの幅は、すべてＷ１であるため、ルール３による線分を引く順番は、すべて同一となる。
【０３４２】
領域ＡＢＭＮ、領域ＣＤＫＬ、領域ＥＦＩＪ、領域ＡＦＧＰ、領域ＯＨＩＮは、それぞれ、その短辺において、他の領域と重複しているため、引きしろが必要になる。
【０３４３】
引きしろの長さは、すべてＷ１／２である。
【０３４４】
このため、配線２５０には、線分Ａ１Ｆ１、線分Ｂ１Ｅ１、線分Ｃ１Ｄ１、線分Ａ１Ｃ１、線分Ｆ１Ｄ１が引かれることになる。なお、線分Ａ１Ｆ１、線分Ｂ１Ｅ１、線分Ｃ１Ｄ１、線分Ａ１Ｃ１、線分Ｆ１Ｄ１の領域幅はすべてＷ１である。
【０３４５】
図２３（Ａ）に示す配線２６０では、ルール１により、互いを包含しない複数の矩形状の領域は、領域ＡＢＲＳ、領域ＴＥＦＳ、領域ＤＥＨＩ、領域ＮＧＨＭ、領域ＮＯＫＬになる。
【０３４６】
ルール２により、領域ＡＢＲＳ、領域ＤＥＨＩ、領域ＮＯＫＬの線分を引く方向はＹ軸方向となり、領域の幅はＸ軸方向となる。また、領域ＴＥＦＳ、領域ＮＧＨＭの線分を引く方向はＸ軸方向となり、領域の幅はＹ軸方向となる。
【０３４７】
領域ＡＢＲＳ、領域ＴＥＦＳ、領域ＤＥＨＩ、領域ＮＧＨＭ、領域ＮＯＫＬの幅は、すべてＷ１であるとする。このため、ルール３による線分を引く順番は、すべて同一となる。
【０３４８】
領域ＡＢＲＳ、領域ＴＥＦＳ、領域ＤＥＨＩ、領域ＮＧＨＭ、領域ＮＯＫＬは、それぞれ、その短辺において、他の領域と重複しているため、引きしろが必要になる。
【０３４９】
引きしろの長さは、すべてＷ１／２である。
【０３５０】
このため、配線２６０には、線分Ａ１Ｂ１、線分Ｂ１Ｃ１、線分Ｃ１Ｄ１、線分Ｄ１Ｅ１、線分Ｅ１Ｆ１が引かれることになる。なお、線分Ａ１Ｂ１、線分Ｂ１Ｃ１、線分Ｃ１Ｄ１、線分Ｄ１Ｅ１、線分Ｅ１Ｆ１の領域幅はすべてＷ１である。
【０３５１】
図２３（Ｂ）に示す線分２７０の場合、ルール１により、互いを包含しない複数の矩形状の領域は、領域ＡＢＨＩ、領域ＯＣＨＪ、領域ＮＤＥＭ、領域ＮＣＧＬになる。
【０３５２】
ルール２により、領域ＡＢＨＩ、領域ＯＣＨＪの線分を引く方向はＹ軸方向となり、領域の幅はＸ軸方向となる。また、領域ＮＤＥＭ、領域ＮＣＧＬの線分を引く方向はＸ軸方向となり、領域の幅はＹ軸方向となる。
【０３５３】
領域ＡＢＨＩ、領域ＮＤＥＭの幅は、それぞれ、Ｗ１であり、領域ＯＣＨＪ、領域ＮＣＧＬの幅はＷ２（＝２×Ｗ１）である。このため、ルール３により、線分を引く順番は、領域ＯＣＨＪ、領域ＮＣＧＬが先であり、領域ＡＢＨＩ、領域ＮＤＥＭは後になる。
【０３５４】
まず、領域ＯＣＨＪについて長手方向（Ｙ軸方向）の対称軸上に線分ＩＰを引こうとすると、短辺ＯＰにおいて、領域ＮＣＧＬが重複しているため、ルール４により線分ＩＰには、端点Ｐについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＮＣＧＬの幅Ｗ２の半分（Ｗ２／２）になるため、線分ＩＰの端点Ｐは、Ｗ２／２手前の点Ｑに変更される。
【０３５５】
以上より、領域ＯＣＨＪについて引く線分は、線分ＩＱとなる。
【０３５６】
次に、領域ＮＣＧＬに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＭＦ上に線分を引こうとすると、短辺ＣＧにおいて、領域ＯＣＨＪが重複しているため、ルール４により線分ＭＦには、端点Ｆについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＯＣＨＪの幅Ｗ２の半分（Ｗ２／２）になるため、線分ＭＦの端点Ｆは、Ｗ１／２手前の点Ｑに変更される。
【０３５７】
以上より、領域ＮＣＧＬについて引く線分は、線分ＭＱとなる。
【０３５８】
次に、領域ＡＢＨＩに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＷＵ上に線分を引こうとすると、線分ＷＵのうち、線分ＲＷは、既に線分が引かれている線分ＩＱとオーバーラップが生じるため、線分ＷＵはルール５によりクランク接続をすることになる。
【０３５９】
線分ＷＵから線分ＲＷを除いた残りの線分ＲＵは、線分ＭＱ、線分ＩＱにクランク接続され、線分ＲＱが生成される。
【０３６０】
また、領域ＮＤＥＭに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＶＴ上に線分を引こうとすると、線分ＶＴのうち、線分ＶＳは、既に線分が引かれている線分ＭＲとオーバーラップが生じるため、ルール５によりクランク接続をすることになる。
【０３６１】
しかしながら、このとき既に線分ＳＲが引かれているため、線分ＴＳは他の線分にクランク接続されているため、線分ＶＴについては、線分ＴＳだけを引くことになる。
【０３６２】
以上により、図２３（Ｂ）に示す配線２７０には、線分ＩＱ、線分ＭＱ、線分ＱＲ、線分ＲＵ、線分ＳＴが引かれることになる。なお、線分ＩＱ、線分ＭＱの領域幅はＷ２、線分ＱＲ、線分ＲＵ、線分ＳＴの領域幅はＷ１である。
【０３６３】
図２３（Ｃ）に示す配線２８０は、ルール１により、互いを包含しない複数の矩形状の領域は、領域ＡＢＩＪ、領域ＬＤＨＪ、領域ＫＦＧＪになる。
【０３６４】
ルール２により、領域ＡＢＩＪ、領域ＬＤＨＪの線分を引く方向はＹ軸方向となり、領域の幅はＸ軸方向となる。また、領域ＫＦＧＪの線分を引く方向はＸ軸方向となり、領域の幅はＹ軸方向となる。
【０３６５】
領域ＡＢＩＪ、領域ＫＦＧＪの幅は、それぞれ、Ｗ１であり、領域ＬＤＨＪの幅はＷ２（＝２×Ｗ１）である。このため、ルール３により、線分を引く順番は、領域ＬＤＨＪが先であり、領域ＡＢＩＪ、領域ＫＦＧＪは後になる。
【０３６６】
まず、領域ＬＤＨＪについて長手方向（Ｙ軸方向）の対称軸上に線分ＩＣを引こうとすると、短辺ＬＤ、短辺ＪＨにおいて、それぞれ、領域ＡＢＩＪ、領域ＫＦＧＪが重複しているため、ルール４により線分ＩＣには、端点Ｉ、端点Ｃについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＡＢＩＪ、領域ＫＦＧＪの幅Ｗ１の半分（Ｗ１／２）になるため、線分ＩＣの端点Ｉ、端点Ｃは、それぞれ、Ｗ１／２手前の点Ｍ、点Ｎに変更される。
【０３６７】
以上より、領域ＬＤＨＪについて引く線分は、線分ＭＮとなる。
【０３６８】
次に、領域ＡＢＩＪに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＱＰ上に線分を引こうとすると、線分ＱＰのうち、線分ＯＴは、既に線分が引かれている線分ＭＮとオーバーラップが生じるため、ルール５によりクランク接続をすることになる。
【０３６９】
また、領域ＫＦＧＪに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＲＳ上に線分を引こうとすると、短辺ＫＪにおいて、領域ＬＤＨＪが重複しているため、ルール４により線分ＲＳには、端点Ｒについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＬＤＨＪの幅Ｗ２の半分（Ｗ２／２）になるため、線分ＲＳの端点Ｒは、Ｗ２／２手前の点Ｍに変更される。
【０３７０】
以上より、領域ＡＢＩＪについて引く線分は、線分ＯＰとなり、領域ＫＦＧＪについて引く線分は、線分ＭＳとなる。
【０３７１】
以上により、図２３（Ｃ）に示す配線２８０には、線分ＳＭ、線分ＭＮ、線分ＮＯ、線分ＯＰが引かれることになる。なお、線分ＭＮの領域幅はＷ２、線分ＳＭ、線分ＮＯ、線分ＯＰの領域幅はＷ１である。
【０３７２】
図２３（Ｄ）に示す配線２９０は、ルール１により、互いを包含しない複数の矩形状の領域は、領域ＡＢＫＬ、領域ＰＤＩＭ、領域ＯＦＧＮになる。
【０３７３】
ルール２により、領域ＡＢＫＬ、領域ＰＤＩＭの線分を引く方向はＹ軸方向となり、領域の幅はＸ軸方向となる。また、領域ＯＦＧＮの線分を引く方向はＸ軸方向となり、領域の幅はＹ軸方向となる。
【０３７４】
領域ＡＢＫＬ、領域ＯＦＧＮの幅は、それぞれ、Ｗ１であり、領域ＰＤＩＭの幅はＷ２（＝２×Ｗ１）である。このため、ルール３により、線分を引く順番は、領域ＰＤＩＭが先であり、領域ＡＢＫＬ、領域ＯＦＧＮは後になる。
【０３７５】
まず、領域ＰＤＩＭについて長手方向（Ｙ軸方向）の対称軸上に線分ＪＣを引こうとすると、短辺ＰＤ、短辺ＭＩにおいて、領域ＡＢＫＬが重複しているため、ルール４により線分ＪＣには、端点Ｊ、端点Ｃについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＡＢＫＬの幅Ｗ１の半分（Ｗ１／２）になるため、線分ＪＣの端点Ｊ、端点Ｃは、それぞれ、Ｗ１／２手前の点Ｑ、点Ｒに変更される。
【０３７６】
以上より、領域ＰＤＩＭについて引く線分は、線分ＱＲとなる。
【０３７７】
次に、領域ＡＢＫＬに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＳＴ上に線分を引こうとすると、線分ＳＴのうち、線分ＵＶは、既に線分が引かれている線分ＱＲとオーバーラップが生じるため、ルール５によりクランク接続をすることになる。
【０３７８】
従って、領域ＡＢＫＬについて引く線分は、線分ＳＵと線分ＶＴとなり、線分ＳＵは点Ｕにおいて線分ＱＲにクランク接続される。このため、線分ＵＱが生成される。
【０３７９】
また、線分ＶＴは点Ｖにおいて線分ＱＲにクランク接続されるため、線分ＶＲが生成される。
【０３８０】
以上より、領域ＡＢＫＬについて引く線分は、線分ＳＵ、線分ＵＱ、線分ＲＶ、線分ＶＴとなる。
【０３８１】
次に、領域ＯＦＧＮについて長手方向（Ｙ軸方向）の対称軸上に線分ＸＹを引こうとすると、短辺ＯＮにおいて、領域ＰＤＩＭが重複しているため、ルール４により線分ＸＹには、端点Ｙについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＰＤＩＭの幅Ｗ２の半分（Ｗ２／２）になるため、線分ＸＹの端点Ｙは、Ｗ２／２（＝Ｗ１）手前の点Ｗに変更される。
【０３８２】
以上より、領域ＯＦＧＮについて引く線分は、線分ＷＸとなる。
【０３８３】
以上により、図２３（Ｄ）に示す配線２９０には、線分ＳＵ、線分ＵＱ、線分ＱＲ、線分ＷＸ、線分ＲＶ、線分ＶＴが引かれることになる。なお、線分ＱＲの領域幅はＷ２、線分ＳＵ、線分ＵＱ、線分ＷＸ、線分ＲＶ、線分ＶＴの領域幅はＷ１である。
【０３８４】
図２３（Ｅ）に示す配線３００は、ルール１により、互いを包含しない複数の矩形状の領域は、領域ＡＢＫＬ、領域ＰＤＩＭ、領域ＯＦＧＮになる。
【０３８５】
ルール２により、領域ＡＢＫＬの線分を引く方向はＹ軸方向となり、領域の幅はＸ軸方向となる。また、領域ＰＤＩＭ、領域ＯＦＧＮの線分を引く方向はＸ軸方向となり、領域の幅はＹ軸方向となる。
【０３８６】
領域ＡＢＫＬ、領域ＯＦＧＮの幅は、それぞれ、Ｗ１であり、領域ＰＤＩＭの幅はＷ３（＝３×Ｗ１）である。このため、ルール３により、線分を引く順番は、領域ＰＤＩＭが先であり、領域ＡＢＫＬ、領域ＯＦＧＮは後になる。
【０３８７】
まず、領域ＰＤＩＭについて長手方向（Ｘ軸方向）の対称軸上に線分ＱＲを引こうとすると、短辺ＰＭ、短辺ＤＩにおいて、それぞれ、領域ＡＢＫＬ、領域ＯＦＧＮが重複しているため、ルール４により線分ＱＲには、端点Ｑ、端点Ｒについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＡＢＫＬ、領域ＯＦＧＮの幅Ｗ１の半分（Ｗ１／２）になるため、線分ＱＲの端点Ｑ、端点Ｒは、それぞれ、Ｗ１／２手前の点Ｓ、点Ｘに変更される。
【０３８８】
以上より、領域ＰＤＩＭについて引く線分は、線分ＳＸとなる。
【０３８９】
次に、領域ＡＢＫＬに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＴＵ上に線分を引こうとすると、領域ＡＢＫＬには領域ＰＤＩＭ、領域ＯＦＧＮが重複しているが、オーバーラップは生じていない。
【０３９０】
このため、ルール５は適用されず、領域ＡＢＫＬに線分ＴＵを引くことになる。
【０３９１】
次に、領域ＯＦＧＮについて長手方向（Ｘ軸方向）の対称軸上に線分ＱＶを引こうとすると、短辺ＯＮにおいて、領域ＡＢＫＬが重複しているため、ルール４により線分ＱＶには、端点Ｑについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＡＢＫＬの幅Ｗ１の半分（Ｗ１／２）になるため、線分ＱＶの端点Ｑは、Ｗ１／２（＝Ｗ１）手前の点Ｓに変更される。
【０３９２】
また、領域ＯＦＧＮは、線分ＳＶのうち、線分ＳＸは、領域ＰＤＩＭについて既に線分が引かれている線分ＳＸとオーバーラップが生じるため、ルール５によりクランク接続をすることになる。
【０３９３】
しかしこのとき、線分ＳＶと線分ＳＸはＹ軸方向の値が同一で、同一直線上にあるため、クランクの長さは零に設定される。
【０３９４】
従って、領域ＯＦＧＮには、線分ＳＶから線分ＳＸを除いた線分ＸＶが引かれる。
となる。
【０３９５】
以上により、図２３（Ｅ）に示す配線３００には、線分ＳＸ、線分ＸＶ、線分ＴＵが引かれることになる。なお、線分ＳＸの領域幅はＷ３、線分ＸＶ、線分ＴＵの領域幅はＷ１である。
【０３９６】
図２３（Ｅ）に示す配線３１０は、ルール１により、互いを包含しない複数の矩形状の領域は、領域ＡＢＪＫ、領域ＥＦＨＩ、領域ＬＧＨＫになる。
【０３９７】
ルール２により、領域ＡＢＪＫ、領域ＥＦＨＩ、領域ＬＧＨＫの線分を引く方向はＹ軸方向となり、領域の幅はＸ軸方向となる。
【０３９８】
領域ＡＢＪＫの幅は、Ｗ１であり、領域ＥＦＨＩの幅はＷ２（＝２×Ｗ１）、領域ＬＧＨＫの幅はＷ４（＝４×Ｗ１）である。このため、ルール３により、線分を引く順番は、領域ＬＧＨＫ、領域ＥＦＨＩ、領域ＡＢＪＫの順番になる。
【０３９９】
まず、領域ＬＧＨＫについて長手方向（Ｙ軸方向）の対称軸上に線分ＩＤを引こうとすると、短辺ＬＧにおいて、領域ＡＢＪＫ、領域ＥＦＨＩが重複しているため、ルール４により線分ＩＤには、端点Ｄについて引きしろが必要になる。
【０４００】
ここで、領域ＡＢＪＫ、領域ＥＦＨＩは幅が異なるため、ここでは、引きしろの長さは、他の領域のうちの幅が広い領域ＥＦＨＩの幅Ｗ２の半分（Ｗ２／２＝Ｗ１）になる。このため、線分ＩＤの端点Ｄは、Ｗ１手前の点Ｍに変更される。
【０４０１】
以上より、領域ＬＧＨＫについて引く線分は、線分ＩＭとなる。
【０４０２】
次に、領域ＥＦＨＩに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＮＯ上に線分を引こうとすると、領域ＥＦＨＩには領域ＬＧＨＫが重複しており、線分ＮＯのうちの線分ＮＰは、領域ＬＧＨＫの線分ＩＭとオーバーラップしている。
【０４０３】
このため、線分ＮＯから線分ＮＰを除いた残りの線分ＰＯの点Ｐは、線分ＩＭにクランク接続され、線分ＰＭが生成される。
【０４０４】
また、領域ＡＢＪＫに線分ＱＲを引こうとすると、領域ＬＧＨＫの線分ＩＭとオーバーラップしているため、線分ＱＲから線分ＱＳを除いた残りの線分ＳＲの点Ｓは、線分ＩＭにクランク接続され、線分ＳＭが生成される。
【０４０５】
以上により、図２３（Ｅ）に示す配線３１０には、線分ＩＭ、線分ＭＰ、線分ＰＯ、線分ＭＳ、線分ＳＲが引かれることになる。なお、線分ＩＭの領域幅はＷ４、線分ＭＰ、線分ＰＯの領域幅はＷ２、線分ＭＳ、線分ＳＲの領域幅はＷ１である。
【０４０６】
図２４（Ａ）に示す配線３２０は、ルール１により、互いを包含しない複数の矩形状の領域は、領域ＡＣＲＮ、領域ＰＤＲＯ、領域ＳＧＨＬ、領域ＳＦＪＫ、領域ＢＣＶＫ、領域ＴＧＵＯになる。
【０４０７】
ルール２により、領域ＡＣＲＮ、領域ＳＦＪＫ、領域ＢＣＶＫの線分を引く方向はＹ軸方向となり、領域の幅はＸ軸方向となる。また、領域ＰＤＲＯ、領域ＳＧＨＬ、領域ＴＧＵＯの線分を引く方向はＸ軸方向となり、領域の幅はＹ軸方向となる。
【０４０８】
領域ＡＣＲＮ、領域ＰＤＲＯ、領域ＳＧＨＬ、領域ＳＦＪＫの幅は、それぞれ、Ｗ２（＝２×Ｗ１）である。また、領域ＢＣＶＫ、領域ＴＧＵＯの幅は、Ｗ１である。このため、ルール３により、線分を引く順番は、領域ＡＣＲＮ、領域ＰＤＲＯ、領域ＳＧＨＬ、領域ＳＦＪＫが先であり、領域ＢＣＶＫ、領域ＴＧＵＯが後になる。
【０４０９】
まず、領域ＡＣＲＮ、領域ＰＤＲＯ、領域ＳＧＨＬ、領域ＳＦＪＫについて長手方向の対称軸上に線分ＭＢ、線分ＴＥ、線分ＭＵ、線分ＶＥを引こうとすると、それぞれ、短辺ＮＲ、短辺ＤＲ、短辺ＳＬ、短辺ＳＦにおいて、互いに重複している。
【０４１０】
このため、ルール４により線分ＭＢ、線分ＴＥ、線分ＭＵ、線分ＶＥには、端点Ｍ、端点Ｅ、端点Ｍ、端点Ｅについてそれぞれ引きしろが必要になる。
【０４１１】
領域ＡＣＲＮ、領域ＰＤＲＯ、領域ＳＧＨＬ、領域ＳＦＪＫの幅は、すべてＷ２であるので、引きしろの長さは、すべてＷ２の半分（Ｗ２／２＝１）になり、端点Ｍと端点Ｅはともに点Ｓに変更され、端点Ｍと端点Ｅは、ともに点Ｒに変更される。
【０４１２】
これにより、領域ＡＣＲＮ、領域ＰＤＲＯ、領域ＳＧＨＬ、領域ＳＦＪＫについて引く線分は、線分ＳＢ、線分ＴＳ、線分ＲＵ、線分ＶＲとなる。
【０４１３】
次に、領域ＢＣＶＫに線分を引く。領域ＢＣＶＫは、領域ＡＣＲＮ、領域ＰＤＲＯ、領域ＳＧＨＬ、領域ＳＦＪＫと重複している。また、領域ＢＣＶＫに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＺＹ上に線分を引こうとすると、線分ＺＹのうち、線分ＷＹは、領域ＡＣＲＮについて既に引かれている線分ＳＢとオーバーラップが生じているため、ルール５によりクランク接続をすることになる。
【０４１４】
また、線分ＺＹのうち、線分ＺＸは、領域ＳＦＪＫについて既に引かれている線分ＶＲとオーバーラップが生じているため、ルール５によりクランク接続をすることになる。
【０４１５】
このため、線分ＺＹのうち、区間ＺＸと区間ＷＹについては線分を引かずに、残りの線分ＸＷの両端点Ｘ、Ｙをそれぞれ、線分ＶＲ、線分ＳＢにクランク接続する。これにより、線分ＲＸと線分ＷＳが生成される。
【０４１６】
最後に、領域ＴＧＵＯに線分を引く。領域ＴＧＵＯは、領域ＡＣＲＮ、領域ＰＤＲＯ、領域ＳＧＨＬ、領域ＳＦＪＫと重複している。また、領域ＴＧＵＯに長手方向の対称軸上に線分Ａ１Ｂ１を引こうとしても、線分Ａ１Ｂ１のすべてにおいて、既に引かれている線分とオーバーラップが生じる。
【０４１７】
このため、領域ＴＧＵＯに線分を引く処理は行わない。
【０４１８】
以上により、図２４（Ａ）に示す配線３２０には、線分ＳＢ、線分ＳＴ、線分ＲＵ、線分ＲＶ、線分ＲＸ、線分ＸＷ、線分ＷＳが引かれることになる。なお、線分ＳＢ、線分ＳＴ、線分ＲＵ、線分ＲＶの領域幅はＷ２、線分ＲＸ、線分ＸＷ、線分ＷＳの領域幅はＷ１である。
【０４１９】
図２４（Ｂ）に示す配線３３０は、互いを包含しない複数の矩形状の４つの領域ＡＣＭＫ、領域ＮＥＧＩ、領域ＬＥＦＫ、領域ＢＣＨＩが得られる。
【０４２０】
ルール２により、領域ＡＣＭＫ、領域ＮＥＧＩ、領域ＬＥＦＫ、領域ＢＣＨＩの線分を引く方向はＹ軸方向となり、領域の幅はＸ軸方向となる。
【０４２１】
領域ＬＥＦＫの幅はＷ３（＝３×Ｗ１）であり、領域ＡＣＭＫ、領域ＮＥＧＩの幅はＷ２（＝２×Ｗ１）であり、領域ＢＣＨＩの幅はＷ１である。
【０４２２】
このため、ルール３により、線分を引く順番は、領域ＬＥＦＫが１番で、領域ＡＣＭＫ、領域ＮＥＧＩが２番で、領域ＢＣＨＩが最後になる。
【０４２３】
領域ＬＥＦＫの長手方向の対称軸となる線分ＯＰ上に線分を引こうとすると、領域ＬＥＦＫの短辺ＬＤ、短辺ＫＭに他の領域ＡＣＭＫ、領域ＮＥＦＪが重複しているため、ルール４により線分ＯＰには、端点Ｏ、端点Ｐについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＡＣＭＫ、領域ＮＥＦＪの幅Ｗ２の半分（Ｗ２／２）になるため、線分ＯＰの端点Ｏ、端点Ｐは、それぞれ、Ｗ２／２手前の点Ｑ、点Ｒに変更される。
【０４２４】
以上より、領域ＬＥＦＫについて引く線分は、線分ＱＲとなる。
【０４２５】
次に、領域ＡＣＭＫ、領域ＮＥＧＩについてそれぞれ線分を引く際に、領域ＡＣＭＫ、領域ＮＥＧＩは、既に線分ＲＱが引かれている領域ＬＥＦＫと重複しており、領域ＡＣＭＫ、領域ＮＥＧＩにそれぞれ線分ＪＢ、線分ＨＤを引くと、領域ＬＥＦＫの線分ＱＲとオーバーラップが生じる。
【０４２６】
このため、ルール５により、線分ＢＳ、線分ＨＴを線分ＱＲにクランク接続する。これにより、線分ＳＲと線分ＱＴが生成される。
【０４２７】
以上により、配線３３０には、線分ＨＴ、線分ＴＱ、線分ＱＲ、線分ＲＳ、線分ＳＢが引かれることになる。
【０４２８】
次に、領域ＢＣＨＩの長手方向の対称軸となる線分ＵＶ上に線分を引こうとすると、線分ＵＶは、既に引かれている線分ＨＴ、線分ＱＲ、線分ＳＢと、一端Ｕから他端Ｖにかけて全体的にオーバーラップしている。このため、領域ＢＣＨＩについて引く線分は生じない。
【０４２９】
以上により、図２４（Ｂ）に示す配線３３０には、線分ＨＴ、線分ＴＱ、線分ＱＲ、線分ＲＳ、線分ＳＢが抵抗成分として引かれることになる。なお、線分ＱＲの領域幅はＷ３、線分ＨＴ、線分ＴＱ、線分ＲＳ、線分ＳＢの領域幅はＷ２である。
【０４３０】
図２４（Ｃ）に示す線分３４０の場合、ルール１により、互いを包含しない複数の矩形状の領域は、領域ＡＢＥＦ、領域ＫＣＥＧ、領域ＪＣＤＩになる。
【０４３１】
ルール２により、領域ＡＢＥＦ、領域ＫＣＥＧの線分を引く方向はＹ軸方向となり、領域の幅はＸ軸方向となる。また、領域ＪＣＤＩの線分を引く方向はＸ軸方向となり、領域の幅はＹ軸方向となる。
【０４３２】
領域ＡＢＥＦの幅は、Ｗ２（＝２×Ｗ１）であり、領域ＫＣＥＧの幅はＷ３（＝３×Ｗ１）であり、領域ＪＣＤＩの幅はＷ１である。このため、ルール３により、線分を引く順番は、領域ＫＣＥＧ、領域ＡＢＥＦ、領域ＪＣＤＩの順になる。
【０４３３】
まず、領域ＫＣＥＧについて長手方向（Ｙ軸方向）の対称軸上に線分ＭＮを引こうとすると、短辺ＫＣにおいて、領域ＡＢＥＦが重複しているため、ルール４により線分ＭＮには、端点Ｎについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＡＢＥＦの幅Ｗ２の半分（Ｗ２／２＝Ｗ１）になるため、線分ＭＮの端点Ｎは、Ｗ１手前の点Ｏに変更される。
【０４３４】
以上より、領域ＫＣＥＧについて引く線分は、線分ＭＯとなる。
【０４３５】
次に、領域ＡＢＥＦに線分を引く際に、長手方向の対称軸となる線分ＰＱ上に線分を引こうとすると、線分ＰＱのうち、線分ＰＲは、領域ＫＣＥＧについて既に線分が引かれている線分ＭＯとオーバーラップが生じるため、ルール５によりクランク接続をすることになる。
【０４３６】
このため、領域ＡＢＥＦについては、線分ＲＱが点Ｒにおいて線分ＭＯにクランク接続されるため、線分ＲＯが生成される。
【０４３７】
また、領域ＪＣＤＩに線分を引く際に、領域ＪＣＤＩの短辺ＣＤは領域ＡＢＥＦと重複しているため、ルール４により線分ＳＴには、端点Ｔについて引きしろが必要になる。引きしろの長さは、他の領域ＡＢＥＦの幅Ｗ２の半分（Ｗ２／２＝Ｗ１）になるため、線分ＳＴの端点Ｔは、Ｗ１手前の点Ｕに変更される。
【０４３８】
また、領域ＪＣＤＩに線分ＳＵ上に線分を引こうとすると、線分ＳＵのうち、線分ＶＵは、領域ＡＢＥＦについて既に線分が引かれている線分ＯＲとオーバーラップが生じるため、ルール５によりクランク接続をすることになる。
【０４３９】
このため、線分ＳＵは、線分ＯＲにクランク接続され、線分ＶＯが生成される。
【０４４０】
従って、図２４（Ｃ）に示す配線３４０には、線分ＭＯ、線分ＯＲ、線分ＲＱ、線分ＯＶ、線分ＶＳが引かれることになる。なお、線分ＭＯの領域幅はＷ３、線分ＯＲ、線分ＲＱの領域幅はＷ２、線分ＯＶ、線分ＶＳの領域幅はＷ１である。
【０４４１】
以上により、図２０乃至図２４に示す様々な複雑なパターンを有する配線について、抵抗成分を表す線分を引くことができるとともに、各線分についての領域幅を求めることができる。
【０４４２】
図２０乃至図２４に示す各配線の各線分についての抵抗値は、シート抵抗×線分長÷領域幅で求まるので、各配線の抵抗値を算出することができる。このように抵抗値を求める処理は、図２０乃至図２４に示すパターン以外の配線についても、ルール１〜ルール７に従って処理を行うことにより、同様に算出することができる。
【０４４３】
以上、本実施の形態の抵抗値算出方法によれば、複雑なパターンを有する配線についても、抵抗成分を有する線分を引くことができ、各線分の長さと、領域幅を用いて抵抗値を算出することができる。
【０４４４】
また、抵抗成分を表す線分をビアと接続するので、半導体回路装置の複数の層にわたって配線の抵抗値を算出することができ、半導体回路装置の全体における配線及びビアの抵抗値を求めることができる。
【０４４５】
また、１つの配線に含まれる多数の線分の抵抗値を表すデータは、図１９に示すような行列式形式のテーブルデータとして得ることができる。
【０４４６】
このため、図６に示すようなエレクトロマイグレーション解析装置の抵抗値データベースに本実施の形態の抵抗値算出方法で得られる抵抗値データを用いれば、エレクトロマイグレーション解析部４１で行列式形式の抵抗値データと平均電流データとに基づき、半導体回路装置の全体についてのエレクトロマイグレーション解析を高精度に行うことができる。
【０４４７】
なお、以上では、抵抗成分を表す線分を領域の中心線上に引いたが、必ずしも中心線上である必要はない。
【０４４８】
また、領域が正方形である場合は、長手方向をＹ軸方向にとり、Ｙ軸方向に線分を引くこととしたが、長手方向をＸ軸方向にとり、Ｘ軸方向に線分を引いてもよい。
【０４４９】
また、引きしろの長さを、重複相手となる他の領域の幅Ｗの半分の長さ（Ｗ／２）に設定したが、他の領域の幅Ｗの半分の長さ（Ｗ／２）には限らない。
【０４５０】
以上、本発明の例示的な実施の形態の抵抗値算出プログラム、抵抗値算出方法、抵抗値算出装置について説明したが、本発明は、具体的に開示された実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲から逸脱することなく、種々の変形や変更が可能である。
【符号の説明】
【０４５１】
１０  コンピュータシステム
２１  ＣＰＵ
２２  メモリ部
２３  ディスクドライブ
２４  ＨＤＤ
３０  エレクトロマイグレーション解析装置
３１  スケマティックデータベース
３２  GDSデータベース
３３  一致検証部
３４  Annotated-GDSデータベース
３５  配線パラメータ抽出部
３６  寄生パラメーラデータベース
３７  ベクターデータベース
３８  動作時間測定部
３９  回路シミュレーション部
４０  平均電流データベース
４１  エレクトロマイグレーション解析部
４２  解析結果データベース
５１、５２、７０  配線
６０  領域
６１  線分
８０Ａ、８０Ｂ  領域
９０Ａ  上層の配線
９０Ｂ  下層の配線
９１  ビア
９１Ａ  中心
１００  抵抗値算出装置
１０１  抵抗値データベース
１１１  主制御部
１１２  多角形データ読込部
１１３  座標抽出部
１１４  矩形領域生成部
１１５  領域幅設定部
１１６  線分座標算出部
１１７  順番決定部
１１８  引きしろ設定部
１１９  クランク接続部
１２０  ビア位置調整部
１２１  抵抗値算出部
１２２  データ管理部
２００Ａ〜２００Ｆ、２０１Ａ〜２０１Ｆ、２０２Ａ〜２０２Ｆ  配線
２２０〜３４０  配線
【図１】
0005621427.tif 000002
【図２】
0005621427.tif 000003
【図３】
0005621427.tif 000004
【図４】
0005621427.tif 000005
【図５】
0005621427.tif 000006
【図６】
0005621427.tif 000007
【図７】
0005621427.tif 000008
【図８】
0005621427.tif 000009
【図９】
0005621427.tif 000010
【図１０】
0005621427.tif 000011
【図１１】
0005621427.tif 000012
【図１２】
0005621427.tif 000013
【図１３】
0005621427.tif 000014
【図１４】
0005621427.tif 000015
【図１５】
0005621427.tif 000016
【図１６】
0005621427.tif 000017
【図１７】
0005621427.tif 000018
【図１８】
0005621427.tif 000019
【図１９】
0005621427.tif 000020
【図２０】
0005621427.tif 000021
【図２１】
0005621427.tif 000022
【図２２】
0005621427.tif 000023
【図２３】
0005621427.tif 000024
【図２４】
0005621427.tif 000025