(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１動圧発生溝を有するラジアル軸受と、第２動圧発生溝を有するスラスト軸受と、ステータコイルとを有するステータ部と、
ポリゴンミラーと、前記ステータコイルに対向するマグネットと、前記ラジアル軸受に対向する動圧面及び前記スラスト軸受に対向する動圧面を有し前記ポリゴンミラー及び前記マグネットを支持する回転体と、を有するロータ部と、
を備える光偏向装置において、
前記ステータコイルと前記マグネットとは、前記ラジアル軸受の軸方向に対向して並列配置され、
前記スラスト軸受と、前記ラジアル軸受と、前記回転体とで構成される動圧軸受部における前記ラジアル軸受の軸方向の一方の端部を、前記ラジアル軸受と前記回転体の前記動圧面間の間隙を除いて密閉し、
前記ロータ部は、別部材又は一体の部材から構成された、前記動圧軸受部の軸方向の一方の前記端部を密閉する密閉部材を有し、
前記第１動圧発生溝は、上方の動圧発生溝と下方の動圧発生溝の２個の動圧発生溝からなり、前記ロータ部の回転によって、前記ラジアル軸受と前記密閉部材との間の密閉された空間が減圧されるべく上方の動圧発生溝と下方の動圧発生溝において異なる動圧を発生するように、溝の長さ、溝の深さ及び溝の傾斜度の少なくともいずれか１以上が異なり、その他は等しいことを特徴とする光偏向装置。
【請求項２】
前記ステータ部に対して、前記ロータ部が上となる上下関係の配置を有することを特徴とする請求項１に記載の光偏向装置。
【請求項３】
前記ステータ部に対して、前記ロータ部が下となる上下関係の配置を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光偏向装置。
【請求項４】
前記回転体と前記密閉部材とは、同一材料からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の光偏向装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複写機、レーザプリンタ、レーザファクシミリ等の画像形成装置に用いられるポリゴンミラー（回転多面鏡）を有する光偏向装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザプリンタ等の画像形成装置においては、その画像の書き込み手段として読み取った情報を基にレーザ光を光偏向装置の高速回転するポリゴンミラー（回転多面鏡）に入光させ、ポリゴンミラーの回転により走査光を形成し、感光体を走査露光し画像形成を行っている。
【０００３】
このポリゴンミラーをロータ部として回転する光偏向装置では、ロータ部を動圧軸受で支持することによりポリゴンミラーの高速回転が行われる。
【０００４】
一般的に、この動圧軸受を用いた回転機構は、スラスト軸受と、ラジアル軸受と、これらの動圧軸受に対して回転可能なロータ部とを有し、ロータ部の回転により、動圧軸受に設けられた動圧発生溝の作用で、対向するロータ部の動圧面と動圧軸受の動圧面との間に数μｍの空気間隙を空気圧により形成し、動圧軸受とロータ部との間の抵抗を低下させることで高速回転を可能とするものである。
【０００５】
特許文献１，２には、動圧軸受を用いた光偏向装置が開示されている。
【０００６】
特許文献１では、ラジアル軸受とロータ部との間に動圧を発生させるとともに、スラスト方向には、ラジアル軸受に設けた永久磁石とロータ部に設けた磁性体との間の磁気吸引力によりポリゴンミラーを有するロータ部を浮上させている。スラスト方向の端部には、空気を流通させるオリフィスが設けられている。
【０００７】
特許文献２でも、特許文献１と同様に、ラジアル軸受とロータ部との間に動圧を発生させるとともに、スラスト方向には、ラジアル軸受に設けた永久磁石とロータ部に設けた磁性体との間の磁気吸引力によりロータ部を浮上させている。特許文献１、２ではスラスト方向の端部では、蓋体に空気が流通する通気孔を設け、動圧軸受部と外部との間で空気を流通させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平８−１９６０５６号公報
【特許文献２】特開平７−２０３９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１、２は、動圧軸受に設けられた永久磁石と、ロータ部に設けられた磁性体との間の磁気吸引力によりロータ部を浮上させて回転可能にしている。そして、動圧軸受部において発生した気流をスラスト方向の端部で流通させている。
【００１０】
特許文献１、２のように、動圧軸受部のスラスト方向の端部において、空気を外部と流通させる回転機構では、回転機構が外部からの影響を受けやすいという問題がある。このように外部からの影響を受けやすいという問題は具体的には、次のようなものである。即ち、動圧軸受部を有する回転機構に対して衝撃や力が加えられたとき、ロータ部が脱落する等の不具合が生じる場合がある。動圧軸受部を有する回転機構は、該機構が組み付けられたときの他部品との関係で、動圧軸受に対してロータ部が下方に位置するような配置となる場合がある。このような配置では、重力がロータ部に対して、これを動圧軸受から引き離す力として作用するので、ロータ部が特に脱落しやすい。
【００１１】
本発明は、動圧軸受部を有する従来の回転機構におけるこのような問題、即ち、外部から加えられる衝撃や力に対して弱いという問題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的は、下記の構成により達成される。
【００１３】
１．第１動圧発生溝を有するラジアル軸受と、第２動圧発生溝を有するスラスト軸受と、ステータコイルとを有するステータ部と、
ポリゴンミラーと、前記ステータコイルに対向するマグネットと、前記ラジアル軸受に対向する動圧面及び前記スラスト軸受に対向する動圧面を有し前記ポリゴンミラー及び前記マグネットを支持する回転体と、を有するロータ部と、
を備える光偏向装置において、
前記ステータコイルと前記マグネットとは、前記ラジアル軸受の軸方向に対向して並列配置され、
前記スラスト軸受と、前記ラジアル軸受と、前記回転体とで構成される動圧軸受部における前記ラジアル軸受の軸方向の一方の端部を、前記ラジアル軸受と前記回転体の前記動圧面間の間隙を除いて密閉し、
前記ロータ部は、別部材又は一体の部材から構成された、前記動圧軸受部の軸方向の一方の前記端部を密閉する密閉部材を有し、
前記第１動圧発生溝は、上方の動圧発生溝と下方の動圧発生溝の２個の動圧発生溝からなり、前記ロータ部の回転によって、前記ラジアル軸受と前記密閉部材との間の密閉された空間が減圧されるべく上方の動圧発生溝と下方の動圧発生溝において異なる動圧を発生するように、溝の長さ、溝の深さ及び溝の傾斜度の少なくともいずれか１以上が異なり、その他は等しいことを特徴とする光偏向装置。
【００１７】
２．前記ステータ部に対して、前記ロータ部が上となる上下関係の配置を有することを特徴とする前記１に記載の光偏向装置。
【００１８】
３．前記ステータ部に対して、前記ロータ部が下となる上下関係の配置を有することを特徴とする前記１又は２に記載の光偏向装置。
【００２０】
４．前記回転体と前記密閉部材とは、同一材料からなることを特徴とする前記１〜３のいずれか１項に記載の光偏向装置。
【発明の効果】
【００２１】
本発明においては、動圧軸受部におけるスラスト方向の一方の端部を密閉している。このような動圧軸受部の密閉構造により、外部からの衝撃や力に対する安定性が向上し、ロータ部の脱落が十分に防止される。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態に係る光偏向装置を用いたビーム光走査光学装置の一例を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る光偏向装置の一例の全体構成を示す断面の拡大図である。
【図３】ラジアル軸受及びスラスト軸受を示す図である。
【図４】スラスト軸受の動圧面を示す図である。
【図５】動圧軸受野回転時における諸力の関係を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態に係る光偏向装置の一例の全体構成を示す断面の拡大図である。
【図７】本発明の実施の形態に係る光偏向装置の他の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図示の本発明の実施の形態に基づいて、本発明を説明するが、本発明は該実施の形態に限定されるものではない。
【００２４】
図１は、本発明の実施の形態に係る光偏向装置１０１を用いたビーム光走査光学装置１の一例を示す斜視図である。
【００２５】
図１において、１００は取り付け用の基台、１Ａは光ビームを発生する半導体レーザ発光体、２はコリメータレンズ（ビーム整形用光学系）、５は第１シリンドリカルレンズ、１１６はポリゴンミラー、７はｆθレンズ、８は第２シリンドリカルレンズ、９は反射ミラー、１０は感光体ドラムをそれぞれ示している。なお、１１はタイミング検出用のミラー、１２は同期検知器である。半導体レーザ発光体１Ａから出射した光ビームは、コリメータレンズ２により平行光となる。光ビームは第１結像光学系の第１シリンドリカルレンズ５を経て回転するポリゴンミラー１１６に入射して反射する。反射した光ビームは、ｆθレンズ７、第２シリンドリカルレンズ８から成る第２結像光学系を透過し、反射ミラー９を介して感光体ドラム１０面上に、所定のスポット径で入射し、主走査方向に走査する。なお、１ライン毎の同期検知は、主走査開始前の光束を、ミラー１１を介して同期検知器１２に入射することにより行う。
【００２６】
図２は、動圧軸受部を有する本発明の実施の形態に係る光偏向装置の一例の全体構成を示す断面の拡大図である。光偏向装置１０１はステータ部１０２とロータ部１０３とで構成される。
【００２７】
ステータ部１０２は、基台１００に固定されており、スラスト軸受１０４、ラジアル軸受１０５及びステータコイル１２４を有する。スラスト軸受１０４とラジアル軸受１０５とは一個の部材１１０からなり、後に説明するように、スラスト軸受１０４の動圧面１０４ａには、動圧発生溝１０４ｂが、ラジアル軸受１０５の動圧面１０５ａには動圧発生溝１０５ｂがそれぞれ形成されている。
【００２８】
ロータ部１０３は、回転体１０７、マグネット１２５及びポリゴンミラー１１６を有する。ロータ部１０３を構成するこれらの部材は一体に回転する。スラスト軸受１０４と、ラジアル軸受１０５と、回転体１０７とで、回転時に空気により形成される動圧で回転体１０７が支持される動圧軸受部が形成される。回転体１０７の下面はスラスト軸受１０４の動圧面１０４ａに対向する動圧面を形成し、回転体１０７の内周面は、ラジアル軸受１０５の動圧面１０５ａに対向する動圧面を形成する。回転体１０７の動圧面（下面）と動圧面１０４ａとの間の間隔及び回転体１０７の動圧面（内周面）と動圧面１０５ａとの間の間隔がそれぞれ１〜７μｍとなるように、スラスト軸受１０４、ラジアル軸受１０５及び回転体１０７は高精度に加工されている。
【００２９】
回転体１０７には、ポリゴンミラー１１６と密閉部材１１８とマグネット１２５とが固定されている。ポリゴンミラー１１６は多角形のロータ部であり、その外周面は、多角形の辺の数に相当する数の鏡面となっている。密閉部材１１８は動圧軸受部におけるスラスト方向の一方の端部を密閉する部材であり回転体１０７に固定されている。回転体１０７、ポリゴンミラー１１６及び密閉部材１１８にはアルミニウム若しくはアルミ合金が用いられる。回転体１０７と密閉部材１１８とは、ラジアル軸受１０５と回転体１０７間の間隙以外は密閉された空間１１８ａを形成する。すなわち、スラスト軸受１０４と、ラジアル軸受１０５と、回転体１０７とで構成される動圧軸受部におけるスラスト方向の一方の端部である空間１１８ａを、ラジアル軸受１０５と回転体１０７の動圧面間の間隙を除いて密閉している。この例では、密閉部材１１８も用いて空間１１８ａを形成している。このように、回転体１０７と密閉部材１１８とは密閉された空間１１８ａを形成するために、これらを構成する材料には同一材料を用いることが好ましい。
【００３０】
光偏向装置１０１はアキシャル型のモータとして構成される。即ち、ステータコイル１２４とマグネット１２５とはスラスト方向に対向、並列して配置される。ステータコイル１２４とマグネット１２５とはそれぞれ多数のコイル、多数のマグネットからなり、前記多数のコイル、前記多数のマグネットは、円柱状の部材１１０を囲む円上に輪状に配列されている。
【００３１】
スラスト軸受１０４とラジアル軸受１０５とを構成する部材１１０はアルミニウム又はアルミ合金からなる。
【００３２】
図３はスラスト軸受１０４とラジアル軸受１０５とを構成する部材１１０の側面図、水平断面図である。図３（ｂ）は図３（ａ）におけるに線Ｃ−Ｃに沿った断面図である。
【００３３】
円柱状のラジアル軸受１０５の外周は、動圧面１０５ａであり、動圧面１０５ａには、第１動圧発生溝としての動圧発生溝１０５ｂ１及び１０５ｂ２が形成されている。詳細には、図３に示すようにスラスト方向に並列配置された第１動圧発生溝として動圧発生溝１０５ｂ１と第１動圧発生溝としての動圧発生溝１０５ｂ２とを有する。動圧発生溝１０５ｂ１、動圧発生溝１０５ｂ２はそれぞれ２個の動圧発生溝からなる。図３（ａ）における上方の動圧発生溝１０５ｂ１は図の左上から右下に向かって下方に傾斜している。図３における下方の動圧発生溝１０５ｂ２は図の左下から右上に向かって傾斜している。図示の例では、動圧発生溝１０５ｂ１、動圧発生溝１０５ｂ２それぞれの深さ及び傾斜角度が等しい。そして、これら溝の長さが異なるように形成されている。図３では、溝の長さが動圧発生溝１０５ｂ１、１０５ｂ２のスラスト方向の長さＡ、Ｂとして表されている。
【００３４】
即ち、動圧発生溝１０５ｂ１の長さＡと、動圧発生溝１０５ｂ２の長さＢとが等しくない（Ａ≠Ｂ）、となるように動圧発生溝１０５ｂ１、１０５ｂ２が形成される。このように、動圧発生溝１０５ｂ１と動圧発生溝１０５ｂ２とは、両者を隔てる間隔の中心線Ｄ、即ち、スラスト方向に直角な中心線Ｄに関して非対称に形成されている。
【００３５】
なお、図３に示す例では、動圧発生溝１０５ｂ１と動圧発生溝１０５ｂ２とが分離された２組の溝として形成されているが、動圧発生溝１０５ｂ１と動圧発生溝１０５ｂ２とが連続したものとして形成されてもよい。このような動圧発生溝においては、動圧発生溝１０５ｂ１と動圧発生溝１０５ｂ２との連結部が中心線となり、該中心線に対して、動圧発生溝１０５ｂ１と動圧発生溝１０５ｂ２とが非対称に形成される。
【００３６】
図４はスラスト軸受１０４の平面図である。スラスト軸受１０４の動圧面１０４ａには、渦巻き状の第２動圧発生溝としての動圧発生溝１０４ｂが形成されている。
【００３７】
以上説明した光偏向装置１０１の作動について以下に説明する。
【００３８】
ステータコイル１２４に駆動電流が流れることによりロータ部１０３が回転する。
【００３９】
高速回転により、スラスト軸受１０４と回転体１０７間の間隙及びラジアル軸受１０５と回転体１０７の内周面間の間隙に空気による動圧が発生してロータ部１０３が浮上し高速回転する。
【００４０】
高速回転においては、次に説明するような平衡状態が維持されて、ロータ部１０３は安定して回転する。
Ｆ１＋Ｆ２＋Ｆ３＋Ｆ４＝０
Ｆ１：ステータコイル１２４とマグネット１２５間の磁気吸引力
Ｆ２：スラスト軸受１０４と回転体１０７間の間隙にある空気による動圧
Ｆ３：気圧差による力
Ｆ４：ロータ部１０３の質量により発生する重力
力Ｆ１〜Ｆ４の向きを図５に示す。
【００４１】
磁気吸引力Ｆ１は、下方のステータコイル１２４が上方のマグネット１２５を引き寄せる力であるので下向きとなる。動圧Ｆ２は動圧発生溝１０４ｂによって発生する力であり、ロータ部１０３を上方に押し上げる上向の力である。Ａ＞Ｂであるために、ラジアル軸受１０５に形成された動圧発生溝１０５ｂにより、図３における下方に向かう気流が発生する。その結果、図２におけるラジアル軸受１０５と密閉部材１１８との間の空間１１８ａが減圧される。この減圧により、下向きの力である気圧差による力Ｆ３が発生する。なお、気圧差による力Ｆ３は次に説明するように動圧軸受部の設計により調整可能である。重力Ｆ４はロータ部１０３をステータ部１０２側に引き寄せる下向きの力である。
【００４２】
このように、力Ｆ１〜Ｆ４が全てスラストに作用する力であり、これらの力の平衡関係によりロータ部１０３が安定して高速回転する。特に、ステータコイル１２４とマグネット１２５とがスラスト方向に対向するアキシャル型のモータであるので、磁気吸引力Ｆ１が安定的にロータ部１０３を保持する。
【００４３】
このような力の平衡関係では、密閉部材１１８の密閉により、動圧軸受部が外からの衝撃や力による影響を受け難くなる。即ち、動圧軸受部のスラスト方向１端部を密閉とすることにより、前記諸力間の平衡関係が安定して保持され、外部からの影響を受け難い動圧軸受部を構成する。その結果、ロータ部１０３は安定して回転する。密閉構造でない場合、前記式で表される平衡関係が崩れやすくなり、ロータ部１０３の回転が不安定になる。
【００４４】
次に気圧差による力Ｆ３について説明する。気圧差による力Ｆ３はラジアル軸受１０５において発生する力である。即ち、図３（ａ）における矢印Ｗ２で示す気流と矢印Ｗ３で示す気流との関係により発生する力である。言い換えると、気圧差による力Ｆ３は動圧発生溝１０５ｂ１と動圧発生溝１０５ｂ２との関係により発生する。動圧発生溝１０５ｂ１の下端と動圧発生溝１０５ｂ２の上端との間の中点に引いた中心線Ｄを中心に、動圧発生溝１０５ｂ１と動圧発生溝１０５ｂ２とが線対称であるときは、矢印Ｗ２で示す気流と矢印Ｗ３で示す気流とは等しいので、気圧差により力Ｆ３は０となる。即ち、動圧発生溝１０５ｂ１、１０５ｂ２によりロータ部１０３を押し上げ又は押し下げる力は発生しない。中心線Ｄを中心に、動圧発生溝１０５ｂ１と動圧発生溝１０５ｂ２とが線対称でないときに、動圧発生溝１０５ｂ１、１０５ｂ２によりロータ部１０３をスラスト方向に動かす力が発生する。
【００４５】
圧力差により力Ｆ３が０の場合、即ち、動圧発生溝１０５ｂ１と動圧発生溝１０５ｂ２によりロータ部１０３をスラスト方向に動かす力が発生しない場合、ロータ部１０３は高速回転中において、スラスト方向に安定しない。したがって、光偏向装置１０１は外力による影響を受けやすくなり、高速回転中に光偏向光装置１０１に対して衝撃や外力が加えられた場合、ロータ部１０３が脱落する場合がある。
【００４６】
気圧差により力Ｆ３を０でなくする、即ち、動圧発生溝１０５ｂ１、１０５ｂ２によりロータ部１０３をスラスト方向に動かす力を発生させることにより、ロータ部１０３の回転運動中の安定性が増加し、衝撃や外力が加えられてもロータ部１０３が脱落し難くなる。
【００４７】
図３に示す例では、動圧発生溝１０５ｂ１はラジアル軸受１０５の外周に２個設けられている。動圧発生溝１０５ｂ２も同様にラジアル軸受１０５の外周に２個設けられている。図示のように動圧発生溝１０５ｂ１と動圧発生溝１０５ｂ２とは軸方向に並列に、且つ回転方向にはほぼ同じ角度位置に設けられている。
【００４８】
動圧発生溝１０５ｂ１、１０５ｂ２に対向する回転体１０７の内周面の部分が矢印Ｗ１で示す方向に移動するように回転体１０７が回転する場合、動圧発生溝１０５ｂ１においては、下向きの矢印Ｗ２で示す動圧力が生じ、動圧発生溝１０５ｂ２においては、上向きの矢印Ｗ３で示す動圧力が生ずる。
【００４９】
図３のように動圧発生溝１０５ｂ１と動圧発生溝１０５ｂ２とを中心線Ｄに関して非対称とすることにより、光偏向装置１０１の外力に対する安定性を向上している。
【００５０】
なお、気圧差による力Ｆ３を発生させる手段としては、動圧発生溝１０５ｂ１と１０５ｂ２との関係を、長さ以外に溝の深さ或いは溝の傾斜角度を変えることによっても調整することが可能であり、さらに、これら３要素の少なくともいずれか２以上を組み合わせて用いることも可能である。
【００５１】
図３に示す例では、Ａ＞Ｂとすることにより、空間１１８ａを減圧している。
【００５２】
動圧発生溝１０５ｂ１、１０５ｂ２に対向する回転体１０７の内周面の部分が矢印Ｗ１で示す方向に移動するように回転体１０７が回転する場合、動圧発生溝１０５ｂ１においては、下向きの矢印Ｗ２で示す動圧力が生じ、動圧発生溝１０５ｂ２においては、矢印Ｗ３で示す上向きの動圧力が生ずる。Ａ＞Ｂとすることにより、下向きの動圧力が上向きの気流よりも強くなり、空間１１８ａが減圧される。
【００５３】
空間１１８ａの減圧によるロータ部１０３の脱落防止は次のように行われる。Ｆ１＋Ｆ２＋Ｆ４は図５における上向きの合力になる。気圧差による力Ｆ３がこの上向きの合力を打ち消してロータ部１０３を安定させ、その脱落を防止する。
【００５４】
なお、装置の構成の如何によっては、空間１１８ａ内の気圧を大気圧よりも高くする、即ち、加圧する場合もある。このような場合には、例えば、Ｂ＞Ａとなるように動圧発生溝１０５ｂ１と動圧発生溝１０５ｂ２とが形成される。
【００５５】
他の部品との関係によっては、光偏向装置１０１は様々な向きで画像形成装置に組み込まれる。図６は基台１００が上の状態で画像形成装置に組み込まれる光偏向装置１０１の例を示す。図６の光偏向装置１０１においては、前記式Ｆ１＋Ｆ２＋Ｆ３＋Ｆ４＝０における重力Ｆ４が他と力Ｆ１〜Ｆ３との関係で相対的に逆向きとなる。
【００５６】
図６の例では、重力Ｆ４が、ロータ部１０３をステータ部１０２から離す方向に作用する。図６の例を図５による表示に適用した場合、重力Ｆ４を基準として下向きに表示すれば磁気吸引力Ｆ１及び動圧Ｆ２は図５に示すものと反対向きとなる。図３に示す例では、合力Ｆ１＋Ｆ２＋Ｆ４がロータ部１０３をステータ部１０２から離す方向作用する力であり、圧力差によるＦ３が合力Ｆ１＋Ｆ２＋Ｆ４を打ち消す構成となっている。
【００５７】
図６の例では、重力Ｆ４がロータ部１０３をステータ部１０２から離すように作用する。したがって、図６の例では、図３の例よりもさらに、ＡをＢよりも長くすることにより空間１１８ａの真空度を高めることにより、ロータ部１０３の脱落が防止される。
【００５８】
図７は本発明の実施の形態に係る光偏向装置の他の例を示す。
【００５９】
図７の例では、回転体１０７は動圧軸受部におけるスラスト方向の一方の端部を密閉している。即ち、図２の例ように、回転体１０７とは別部材１１８により密閉するのではなく、回転体１０７がスラスト方向の端部を密閉する。図示にように、スラスト軸受１０４と、ラジアル軸受１０５と、回転体１０７とで構成される動圧軸受部におけるスラスト方向の一方の端部である空間１１８ａは、ラジアル軸受１０５と回転体１０７の動圧面間の間隙を除いてラジアル軸受１０５と回転体１０７とにより密閉されている。
【符号の説明】
【００６０】
１  ビーム光走査光学装置
１０１  光偏向装置
１０２  ステータ部
１０３  ロータ部
１０４  スラスト軸受
１０４ａ、１０５ａ  動圧面
１０４ｂ、１０５ｂ１、１０５ｂ２  動圧発生溝
１０５  ラジアル軸受
１０７  回転体
１１６  ポリゴンミラー
１１８  密閉部材
１１８ａ  空間
【図１】
0005446528.tif 000002
【図２】
0005446528.tif 000003
【図３】
0005446528.tif 000004
【図４】
0005446528.tif 000005
【図５】
0005446528.tif 000006
【図６】
0005446528.tif 000007
【図７】
0005446528.tif 000008