(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を載置可能であり、移動するシャトルと、
前記シャトルに載置された前記電子部品を把持して搬送するロボットと、
前記シャトルに備えられ、前記ロボットが搬送する前記電子部品の前記把持された面とは反対の面を撮影可能な第１の撮影装置と、
を備えること特徴とする電子部品ハンドラ。
【請求項２】
前記ロボットに備えられ、前記第１の撮影装置の撮影方向とは反対方向を撮影可能な第２の撮影装置を備えることを特徴とする請求項１に記載の電子部品ハンドラ。
【請求項３】
前記ロボットには前記電子部品を吸着する吸着ノズルを備え、
前記吸着ノズルの位置を変化させる位置可変装置を有することを特徴とする請求項１または２に記載の電子部品ハンドラ。
【請求項４】
前記第１の撮影装置及び前記第２の撮影装置で撮影した画像の画像データを画像処理し、前記吸着ノズルの位置を変更することを特徴とする請求項３に記載の電子部品ハンドラ。
【請求項５】
前記シャトルは複数平行に設けられ、当該各々のシャトルに前記第１の撮影装置が設けられていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の電子部品ハンドラ。
【請求項６】
前記シャトルは２列の配置となっており、当該２列の間に前記電子部品を検査する位置が設けられていることを特徴とする請求項５に記載の電子部品ハンドラ。
【請求項７】
前記電子部品は前記シャトルに着脱可能なチェンジキットを介して前記シャトルに載置されることを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載の電子部品ハンドラ。
【請求項８】
載置部を有し、移動するシャトルと、
前記載置部の上方に移動するロボットと、
前記シャトルに備えられ、前記載置部の上方を撮影可能な第１の撮影装置と、
前記シャトルとは異なる位置に備えられ、前記第１の撮影装置の撮影方向とは反対方向を撮影可能な第２の撮影装置と、
を備えることを特徴とするハンドラ。
【請求項９】
前記第１の撮影装置の撮影方向は前記シャトルの前記載置部における載置面から上方を向いており、
前記第２の撮影装置は前記ロボットに備えられ、
前記第２の撮影装置の撮影方向が前記シャトルに向くように、前記ロボットが移動可能なことを特徴とする請求項８に記載のハンドラ。
【請求項１０】
前記ロボットは、開口端を備えるノズルを有し、当該開口端を負圧にすることができ、
前記ノズルは、前記載置部に近づいたり、前記載置部から離れたりすることができる構成であることを特徴とする請求項８または９に記載のハンドラ。
【請求項１１】
前記ノズルの位置を変化させる位置可変装置を有することを特徴とする請求項１０に記載のハンドラ。
【請求項１２】
前記第１の撮影装置及び前記第２の撮影装置で撮影した画像の画像データを画像処理し、前記ノズルの位置を変更することを特徴とする請求項１１に記載のハンドラ。
【請求項１３】
前記シャトルは２列平行に設けられ、当該各々のシャトルに前記第１の撮影装置が設けられており、前記ロボットは当該２列の間の所定位置に移動することができることを特徴
とする請求項８乃至１２の何れか一項に記載のハンドラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品ハンドラ、及び、ハンドラに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体チップ等の電子部品の試験装置には、電子部品を搬送するための複数の搬送用ロボットが備えられている。そして、搬送ロボットによって、検査前の電子部品は、測定を行う検査用ソケットへ搬送され、検査が済んだ後、検査用ソケットから回収される。
【０００３】
具体的には、例えば、検査前の電子部品は、供給ロボットによって吸着把持されて供給シャトルのポケットに離脱配置された後、測定ロボットが吸着把持する位置まで供給シャトルによって移動される。検査前の電子部品は、測定ロボットによって供給シャトルから検査用ソケットに離脱配置され、検査が済んだ後、再び測定ロボットによって吸着把持されて検査用ソケットから回収シャトルのポケットに離脱配置される。そして、検査後の電子部品は、回収ロボットの位置まで回収シャトルによって移動されて、回収ロボットによってテスト結果に応じた回収トレイに離脱配置される。
【０００４】
各ロボットによって検査用ソケットや各ポケットを順次搬送される際に、電子部品は、該検査用ソケットや該各ポケットの所定位置に配置される必要がある。特に、電子部品が検査用ソケットに配置される際には、検査用ソケットの測定端子と電子部品の端子とが好適に接触する必要があるため、電子部品と検査用ソケットとの相対ズレは微少であることが望まれている。また、その他の各ポケットに配置される際についても、各ポケットと電子部品との相対ズレは少ないことが望ましい。
【０００５】
電子部品と検査用ソケット等との相対ズレを少なくするために、カメラで電子部品や検査用ソケット等を撮影した画像データを画像処理して相対ズレの量を演算し、該演算結果に基づいて、相対ズレの分だけ位置補正を行う、様々な方法がある。又、相対ズレの補正を行う一連の処理には時間を要することが多く、その処理に要する時間を短縮することも望まれている。
【０００６】
そこで、ソケット等と電子部品との相対ズレを補正する１つの方法が提案されている（特許文献１）。特許文献１の電子部品ハンドラは、シャトルから検査前の電子部品をテスト装置へ搬送する際に、該電子部品を吸着把持した搬送ヘッドを、シャトルとテスト装置の間に備えられたカメラの上方に移動させて、該カメラにて電子部品の吸着状態を撮影する。電子部品ハンドラの制御装置は、撮影で取得した画像データを画像処理して、電子部品とテスト装置の相対ズレを算出し、算出結果に基づいて搬送装置の調整機構を作動させ、テスト装置に対する電子部品の相対ズレを補正する。
【０００７】
又、電子部品ハンドラは、シャトルから検査済みの電子部品をトレイに搬送する際に、該電子部品を吸着把持したＰ＆Ｐロボットを、その可動範囲に配設されたカメラの上方に移動させて、該カメラにて電子部品の吸着状態を撮影する。制御装置は、撮影で取得した画像データを画像処理して、電子部品とトレイの相対ズレを算出し、算出結果に基づいてロボットの調整機構を作動させ、トレイに対する電子部品の相対ズレを補正する。
【０００８】
しかし、特許文献１では、カメラを単独で配設する場所が必要であった。さらに、検査前及び検査済みの電子部品を撮影するためにはそれぞれカメラが必要であった。又、搬送ヘッドやＰ＆Ｐロボットが、カメラの上方まで移動して電子部品を撮影するため電子部品の移載に時間を要していた。
【０００９】
そこで、ズレ補正の処理時間を短くする方法が提案されている（特許文献２）。特許文献２の電子部品ハンドラは、搬送装置に把持された検査前の電子部品がテスト装置の上方に、そのテスト装置と相対向して配置された際に、該電子部品と該テスト装置の間に配設した鏡を介して、該電子部品と該テスト装置との鏡像を、鏡と同じ支持部材に取り付けられたカメラで同時に撮影する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】再公表特許公報ＷＯ２００３／０２３４３０
【特許文献２】特許第３０６３８９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、特許文献２では、鏡の鏡像を撮影するため、鏡などの配置及び調整が複雑であった。さらに、電子部品ハンドラに鏡とカメラとを取り付けた支持部材を配設する場所が必要であった。
【００１２】
本発明の目的は、電子部品ハンドラのカメラの設置スペースを小さくできるとともに、カメラによる撮影に要する時間を短縮させる電子部品ハンドラ、及び、ハンドラを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の電子部品ハンドラは、電子部品を載置可能であり、移動するシャトルと、前記シャトルに載置された前記電子部品を前記シャトルから離して搬送するロボットと、前記シャトルに備えられ、前記ロボットが搬送する前記電子部品を撮影可能な第１の撮影装置と、前記シャトルとは異なる位置に備えられ、前記第１の撮影装置の撮影方向とは反対方向を撮影可能な第２の撮影装置と、を備えた。
【００１４】
このような構成によれば、第１の撮影装置を単独で電子部品ハンドラ上に配設するスペースを確保する必要が無いため、第１の撮影装置の配置スペースが省略された結果、電子部品ハンドラを小さくすることができる。さらに、ロボットの第１の撮影装置までの移動距離が短くなれば、電子部品の搬送に要する時間を短くすることができるようにもなる。
【００１５】
この電子部品ハンドラは、上記記載の電子部品のハンドラにおいて、前記第２の撮影装置は、前記ロボットに備えられてもよい。
このような構成によれば、第２の撮影装置はロボットとともに移動することができるようになる。
【００１６】
この電子部品ハンドラは、上記記載の電子部品ハンドラにおいて、前記ロボットには前記電子部品を吸着する吸着ノズルを備え、前記吸着ノズルの位置を変化させる位置可変装置を有することが望ましい。
【００１７】
このような構成によれば、位置可変装置を介して、対応する吸着ノズルの位置調整を行うことができるようになる。これにより、位置可変装置を介して、吸着ノズルをＸ方向、Ｙ方向に変化させ、または該ＸＹ平面における回転角度を変化させることにより同吸着ノズルに吸着された電子部品の向きなどを変更させることができる。その結果、ロボットにより電子部品が適切な向きや位置で搬送先の載置位置、例えば電子部品を検査する検査用ソケットやシャトルの載置部などへ搬送されるようになる。
【００１８】
この電子部品ハンドラは、上記記載の電子部品ハンドラにおいて、前記第１の撮影装置及び前記第２の撮影装置で撮影した画像の画像データを画像処理し、前記吸着ノズルの位置を変更することが好適である。
【００１９】
このような構成によれば、吸着ノズルの位置が第１及び第２の撮像装置で撮影した画像の画像データにより変更される。これにより、第１及び第２の撮像装置が撮像した画像データに基づいて演算された電子部品の吸着ノズルの吸着位置や向きに基づいて、位置可変装置による吸着ノズルに吸着された電子部品の向きなどをより好適に変更させることができる。その結果、ロボットにより電子部品が適切な向きや位置で搬送先の載置位置、例えば電子部品を検査する検査用ソケットやシャトルの載置部などへ搬送されるようになる。
【００２０】
この電子部品ハンドラは、上記記載の電子部品ハンドラにおいて、前記シャトルは複数平行に設けられ、当該各々のシャトルに前記第１の撮影装置が設けられていることが望ましい。
【００２１】
このような構成によれば、複数のシャトルのそれぞれに第１の撮影装置が設けられているため、いずれかのシャトルの上方にあることでロボットが搬送する電子部品を撮像してその向きなどを変更することができる。これにより、電子部品を撮像させるためのロボットの移動距離を短くして、搬送に要する時間を短くすることができるようになる。
【００２２】
この電子部品ハンドラは、上記記載の電子部品ハンドラにおいて、前記シャトルは２列の配置となっており、当該２列の間に前記電子部品を検査する位置が設けられていることが望ましい。
【００２３】
このような構成によれば、電子部品を検査する位置などの所定の位置が２列のシャトルの間に配置されているため、２つのシャトルと当該所定の位置との間を短くして電子部品の搬送に要する時間を短くすることができる。
【００２４】
この電子部品ハンドラは、上記記載の電子部品ハンドラにおいて、前記電子部品は前記シャトルに着脱可能なチェンジキットを介して前記シャトルに載置されることが好適である。
【００２５】
このような構成によれば、チェンジキットはシャトルに着脱可能であるため、シャトルに対するチェンジキットの交換が容易である。
本発明のハンドラは、載置部を有し、移動するシャトルと、前記載置部の上方に移動するロボットと、前記シャトルに備えられ、前記載置部の上方を撮影可能な第１の撮影装置と、前記シャトルとは異なる位置に備えられ、前記第１の撮影装置の撮影方向とは反対方向を撮影可能な第２の撮影装置と、を備えた。
【００２６】
このような構成によれば、第１の撮影装置を単独で電子部品ハンドラなどのハンドラ上に配設するスペースを確保する必要が無いため、第１の撮影装置の配置スペースが省略された結果、電子部品ハンドラなどのハンドラを小さくすることができる。さらに、ロボットの第１の撮影装置までの移動距離が短くなれば、電子部品等の搬送に要する時間を短くすることができるようにもなる。
【００２７】
このハンドラは、上記記載のハンドラにおいて、前記第１の撮影装置の撮影方向は前記シャトルの前記載置部における載置面から上方を向いており、前記第２の撮影装置は前記ロボットに備えられ、前記第２の撮影装置の撮影方向が前記シャトルに向くように、前記ロボットが移動可能であることが望ましい。
【００２８】
このような構成によれば、第２の撮影装置はロボットとともに移動することができるようになるため、第２の撮影装置を移動させる構成を簡単な構成にすることができる。
また、電子部品がロボットにより移動される向きであるシャトルの上方を撮影できるため、撮影に係る準備が少なくて済む。
【００２９】
このハンドラは、上記記載のハンドラにおいて、前記ロボットは、開口端を備えるノズルを有し、当該開口端を負圧にすることができ、前記ノズルは、前記載置部に近づいたり、前記載置部から離れたりすることができる構成であることが望ましい。
【００３０】
このような構成によれば、ロボットはノズルを載置部に近づけてその開口端を負圧にすることで、例えば載置部に載置されているものを吸着して搬送したりするようなことができるようになる。
【００３１】
このハンドラは、上記記載のハンドラにおいて、前記ノズルの位置を変化させる位置可変装置を有することが望ましい。
このような構成によれば、位置可変装置を介して、対応する吸着ノズルの位置調整を行うことができるようになる。これにより、位置可変装置を介して、吸着ノズルをＸ方向、Ｙ方向に変化させ、または該ＸＹ平面における回転角度を変化させることにより同吸着ノズルに吸着された電子部品の向きなどを変更させることができる。その結果、ロボットにより電子部品が適切な向きや位置で搬送先の載置位置、例えば電子部品を検査する検査用ソケットやシャトルの載置部などへ搬送されるようになる。
【００３２】
このハンドラは、上記記載のハンドラにおいて、前記第１の撮影装置及び前記第２の撮影装置で撮影した画像の画像データを画像処理し、前記ノズルの位置を変更することが好適である。
【００３３】
このような構成によれば、吸着ノズルの位置が第１及び第２の撮像装置で撮影した画像の画像データにより変更される。これにより、第１及び第２の撮像装置が撮像した画像データに基づいて演算された電子部品の吸着ノズルの吸着位置や向きに基づいて、位置可変装置による吸着ノズルに吸着された電子部品の向きなどをより好適に変更させることができる。その結果、ロボットにより電子部品が適切な向きや位置で搬送先の載置位置、例えば電子部品を検査する検査用ソケットやシャトルの載置部などへ搬送されるようになる。
【００３４】
このハンドラは、上記記載のハンドラにおいて、前記シャトルは２列平行に設けられ、当該各々のシャトルに前記第１の撮影装置が設けられており、前記ロボットは当該２列の間の所定位置に移動することができることが望ましい。
【００３５】
このような構成によれば、複数のシャトルのそれぞれに第１の撮影装置が設けられているため、いずれかのシャトルの上方にあることでロボットが搬送する電子部品を撮像してその向きなどを変更することができる。これにより、電子部品を撮像させるためのロボットの移動距離を短くして、搬送に要する時間を短くすることができるようになる。
【００３６】
また、電子部品を検査する位置などの所定の位置が２列のシャトルの間に配置されているため、２つのシャトルと当該所定の位置との間を短くして電子部品の搬送に要する時間を短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本実施形態のＩＣハンドラの平面図。
【図２】（ａ）は本実施形態のシャトルの平面図、（ｂ）同じくシャトルの側面図。
【図３】本実施形態の供給側チェンジキットの斜視図。
【図４】（ａ）は本実施形態のディンプルプレートが嵌合した回収側チェンジキットの斜視図、（ｂ）同じくディンプルプレートの斜視図、（ｃ）同じくバンプとディンプルが嵌合した部分断面図。
【図５】（ａ）は本実施形態の測定ロボットの側面図、（ｂ）同じく測定ロボットの底面図。
【図６】（ａ）は本実施形態のシャトルの供給位置を説明する説明図、（ｂ）同じく検査前移載位置を説明する説明図、（ｃ）同じくチップ撮影位置を説明する説明図、（ｄ）同じく検査後移載位置を説明する説明図、（ｅ）同じく回収位置を説明する説明図。
【図７】本実施形態の測定ロボットの電気ブロック図。
【図８】（ａ）は本実施形態の第３カメラによる検査用ソケット撮影前の説明図、（ｂ）同じく検査用ソケットの撮影の説明図。
【図９】（ａ）は本実施形態の第１カメラによる検査前のＩＣチップＴの撮影前の説明図、（ｂ）同じくＩＣチップＴの撮影の説明図。
【図１０】（ａ）は本実施形態の第１カメラによる検査済みのＩＣチップＴの撮影の説明図、（ｂ）同じくＩＣチップＴを撮影した後の説明図。
【図１１】本実施形態の測定ロボットの撮影動作を説明するフローチャート図。
【図１２】（ａ）（ｂ）（ｃ）は本実施形態の第３カメラによる検査用ソケットを撮影する別例の説明する説明図。
【図１３】（ａ）（ｂ）（ｃ）は本実施形態の第１カメラによる検査前のＩＣチップＴを撮影する別例の説明図。
【図１４】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は本実施形態の第１カメラによる検査済みのＩＣチップＴを撮影する別例の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図１１に従って説明する。図１は、電子部品ハンドラとしてのＩＣハンドラ１０を示す平面図である。
ＩＣハンドラ１０は、ベース１１、安全カバー１２、高温チャンバ１３、供給ロボット１４、回収ロボット１５、第１シャトル１６、第２シャトル１７、複数のコンベアＣ１〜Ｃ６を備えている。
【００３９】
ベース１１は、その上面に前記各要素を搭載している。安全カバー１２は、ベース１１の大きな領域を囲っていて、この内部には、供給ロボット１４、回収ロボット１５、第１シャトル１６及び第２シャトル１７が収容されている。
【００４０】
複数のコンベアＣ１〜Ｃ６は、その一端部側が、安全カバー１２の外に位置し、他端部が安全カバー１２内に位置するように、ベース１１に設けられている。各コンベアＣ１〜Ｃ６は、半導体チップなどの電子部品としてのＩＣチップＴを複数収容したトレイ１８を、安全カバー１２の外から安全カバー１２の中へ搬送したり、反対に、トレイ１８を、安全カバー１２の中から安全カバー１２の外へ搬送したりする。
【００４１】
供給ロボット１４は、Ｘ軸フレームＦＸと第１のＹ軸フレームＦＹ１により構成されている。回収ロボット１５は、該Ｘ軸フレームＦＸと第２のＹ軸フレームＦＹ２により構成されている。Ｘ軸フレームＦＸは、Ｘ方向に配置されている。第１のＹ軸フレームＦＹ１及び第２のＹ軸フレームＦＹ２は、Ｙ方向に沿って互いに平行となるように配置され、前記Ｘ軸フレームＦＸに対して、Ｘ方向に移動可能に支持されている。そして、第１のＹ軸フレームＦＹ１及び第２のＹ軸フレームＦＹ２は、Ｘ軸フレームＦＸに設けた図示しないそれぞれのモータによって、該Ｘ軸フレームＦＸに沿ってＸ方向に往復移動する。
【００４２】
第１のＹ軸フレームＦＹ１の下側には、供給側ロボットハンドユニット２０がＹ方向に移動可能に支持されている。供給側ロボットハンドユニット２０は、第１のＹ軸フレームＦＹ１に設けた図示しないそれぞれのモータによって、該第１のＹ軸フレームＦＹ１に沿ってＹ方向に往復移動する。そして、供給側ロボットハンドユニット２０は、例えば、コンベアＣ１のトレイ１８に収容された検査前のＩＣチップＴを、例えば、第１シャトル１６に供給する。
【００４３】
第２のＹ軸フレームＦＹ２の下側には、回収側ロボットハンドユニット２１がＹ方向に移動可能に支持されている。回収側ロボットハンドユニット２１は、第２のＹ軸フレームＦＹ２に設けた図示しないそれぞれのモータによって、該第２のＹ軸フレームＦＹ２に沿ってＹ方向に往復移動する。そして、回収側ロボットハンドユニット２１は、例えば、第１シャトル１６に供給された検査後のＩＣチップＴを、例えば、コンベアＣ６のトレイ１８に供給する。
【００４４】
ベース１１の上面であって、供給ロボット１４と回収ロボット１５の間には、２本のレール３０がＸ軸方向に平行して固設されている。一方のレール３０には、第１シャトル１６がＸ軸方向に往復動可能に備えられており、他方のレール３０には、第２シャトル１７がＸ軸方向に往復動可能に備えられている。
【００４５】
図２は、第１及び第２シャトル１６，１７を示す平面図である。第１及び第２シャトル１６，１７は同様の構造をしているので、説明の都合上、第１シャトル１６の構造についてのみ説明し、第２シャトル１７の説明は省略する。
【００４６】
第１シャトル１６の下部は、Ｘ軸方向に長い略板状のベース部材１６ａで形成されている。ベース部材１６ａの底面には、図示しないレール受けが固設されていて、該レール受けが、レール３０に摺接されている。そして、第１シャトル１６に設けた第１シャトルモータＭ１（図７参照）によって、レール３０に沿って往復動される。
【００４７】
第１シャトル１６の上面左側（供給ロボット１４側）には、供給側チェンジキット３１がネジなどで交換可能に固着されている。供給側チェンジキット３１の上面には、図２（ａ）及び図３に示すように、載置部としての供給用ポケット３２が４つ凹設されている。
【００４８】
各供給用ポケット３２は、その周囲はＩＣチップＴよりも大きく形成されて、その内部にＩＣチップＴが載置される。各供給用ポケット３２の底面には、それぞれ吸着穴３３が設けられ、その吸着穴３３は、シャトル用切替えバルブＶ１（図７参照）を介して吸引装置４１（図７参照）に接続されている。そして、シャトル用切替えバルブＶ１の切替えによって、吸着穴３３と吸引装置４１が接続されると、吸着穴３３に負圧が供給されて、負圧の作用によりＩＣチップＴを供給用ポケット３２の底面に吸着する。反対に、シャトル用切替えバルブＶ１の切替によって、吸着穴３３が吸引装置４１から大気に接続されると、吸着穴３３は大気圧になり、ＩＣチップＴの供給用ポケット３２底面への吸着を解除する。従って、供給用ポケット３２に吸着されたＩＣチップＴは、第１シャトル１６の移動の際にも、供給用ポケット３２の所定の位置に保持される。
【００４９】
第１シャトル１６の上面右側（回収ロボット１５側）には、回収側チェンジキット３４がネジなどで交換可能に固着されている。回収側チェンジキット３４の上面には、図２（ａ）及び図４（ａ）に示すように、載置部としての回収用ポケット３５が４つ凹設されている。
【００５０】
各回収用ポケット３５は、その周囲がＩＣチップＴよりも大きく形成されていて、その内部にＩＣチップＴが載置される。回収用ポケット３５の底面には、ディンプルプレート３６が交換可能に嵌合されている。
【００５１】
ディンプルプレート３６は、図４（ｂ）に示すように、回収用ポケット３５に嵌合される大きさの板状部材であって、ディンプルプレート３６の表面には、図４（ｃ）に示すように、ＩＣチップＴの底面のバンプ（突起状電極）Ｂを嵌合する多数のディンプル３６ｄが、ＩＣチップＴと略同じか、それよりも広い範囲に設けられている。従って、各回収用ポケット３５に載置されて、その底面のバンプＢがディンプルプレート３６のディンプル３６ｄに嵌合した各ＩＣチップＴは、第１シャトル１６の移動の際にも、回収用ポケット３５の所定の位置に保持される。
【００５２】
第１及び第２シャトル１６，１７の上面中央には、それぞれ第１の撮影装置としての第１及び第２カメラ３７，３８が上方を撮影可能に備えられている。第１及び第２カメラ３７，３８は、後記する測定ロボット２２によって把持されているＩＣチップＴを撮影し、その撮影データを出力するものであり、測定ロボット２２の直下位置においては、該把持されている全て（４個）のＩＣチップＴを一度に撮影できる。そして、第１及び第２カメラ３７，３８が撮影した画像データは画像処理される。尚、本実施形態においては、第１及び第２カメラ３７，３８はＣＣＤカメラであるが、これに限られない。
【００５３】
図１において、ベース１１の上面であって、供給側及び回収側チェンジキット３１，３４を備えた第１及び第２シャトル１６，１７の間には、ＩＣチップＴを検査する位置としての検査用ソケット２３が設けられている。検査用ソケット２３は、供給側チェンジキット３１の供給用ポケット３２の数（４個）に対応した数だけ設けられている。各検査用ソケット２３は、それぞれ対応する供給用ポケット３２に収容されたＩＣチップＴが装着される。
【００５４】
詳述すると、各検査用ソケット２３にそれぞれ対応するＩＣチップＴは、後記する測定ロボット２２によって、それぞれ対応する検査用ソケット２３の直上位置に配置される。その後、各ＩＣチップＴは、下方に移動し、ＩＣチップＴの各バンプＢが、上方からそれぞれ対応する検査用ソケット２３の接触部と当接しスプリングピンを下方に押し下げることによって、該検査用ソケット２３に装着される。
【００５５】
そして、各検査用ソケット２３に装着されたＩＣチップＴは電気的検査が行われる。そして、検査が終了すると、各検査用ソケット２３に装着されたＩＣチップＴは、後記する測定ロボット２２によって、それぞれ対応する検査用ソケット２３から抜き取られて、回収側チェンジキット３４の直上位置に配置される。その後、各ＩＣチップＴは、下方に移動し、それぞれ対応する回収側チェンジキット３４の回収用ポケット３５に収容されるようになっている。
【００５６】
そして、本実施形態では、供給側ロボットハンドユニット２０によって、第１及び第２シャトル１６，１７の供給側チェンジキット３１の各供給用ポケット３２に対してＩＣチップＴを供給するときには、図６（ａ）に示すように、第１及び第２シャトル１６，１７は、最もレール３０の左側の位置（以下、供給位置という）に移動される。
【００５７】
また、供給側チェンジキット３１の各供給用ポケット３２から対応する検査用ソケット２３にＩＣチップＴを装着させるときは、図６（ｂ）に示すように、第１及び第２シャトル１６，１７は、該供給側チェンジキット３１が検査用ソケット２３と相対向する位置（以下、検査前移載位置という）に移動される。
【００５８】
さらに、測定ロボット２２によって把持されているＩＣチップＴを第１及び第２カメラ３７，３８で撮影するときは、図６（ｃ）に示すように、第１及び第２シャトル１６，１７は、該第１及び第２カメラ３７，３８が検査用ソケット２３と相対向する位置（以下、チップ撮影位置という）に移動される。
【００５９】
さらにまた、検査用ソケットから対応する回収側チェンジキット３４の回収用ポケット３５にＩＣチップＴを収容させるときは、図６（ｄ）に示すように、第１及び第２シャトル１６，１７は、該回収側チェンジキット３４が検査用ソケット２３と相対向する位置（以下、検査後移載位置という）に移動される。
【００６０】
また、回収側ロボットハンドユニット２１によって、回収側チェンジキット３４の各回収用ポケット３５からＩＣチップを回収するときは、図６（ｅ）に示すように、第１及び第２シャトル１６，１７は、最もレール３０の右端の位置（以下、回収位置という）に移動される。
【００６１】
次に、測定ロボット２２を図５に従って説明する。
高温チャンバ１３内は、第１及び第２シャトル１６，１７及び検査用ソケット２３の上方を跨ぐようにＹ方向に配設された図示しない測定フレームが備えられている。
【００６２】
測定フレームの下面は、図示しないレールに対して、Ｙ方向に往復移動可能に測定ロボット２２が支持されている。測定ロボット２２は、測定フレームに備えられたＹ軸モータＭＹ（図７参照）によって、Ｙ方向に往復動させられる。
【００６３】
図５（ａ）は測定ロボット２２の側面図であり、図５（ｂ）は測定ロボット２２の底面図である。
測定ロボット２２は、図５（ａ）に示すように、支持部２２ａ、連結部２２ｂ、及び押圧保持装置としての押圧保持部２２ｃを有している。支持部２２ａの上部は、図示しないレールに対して、Ｙ方向に往復移動可能に支持されている。支持部２２ａの下面は、連結部２２ｂが、該支持部２２ａに対してＺ方向に往復可能に連結支持されている。連結部２２ｂは、支持部２２ａに備えられたＺ軸モータＭＺ（図７参照）によって、Ｚ方向に往復動させられる。該連結部２２ｂの下端には、押圧保持部２２ｃが固着されている。押圧保持部２２ｃは、連結部２２ｂとともにＺ方向に往復動する。つまり、測定ロボット２２の押圧保持部２２ｃは、測定フレームに対してＹ方向及びＺ方向に移動可能に構成されている。
【００６４】
尚、押圧保持部２２ｃは、測定ロボット２２をＹ方向に移動して第１及び第２シャトル１６，１７の中間に配置したとき、検査用ソケット２３の直上に位置するように配設されている。
【００６５】
押圧保持部２２ｃの一側面には、下方に位置する検査用ソケット２３を撮影するための第２の撮影装置としての第３カメラ２４が下方を撮影可能に備えられている。第３カメラ２４は、押圧保持部２２ｃの側面に連結された下方にＬ字状に屈曲した支柱２４ａの先端に連結固定されている。従って、第３カメラ２４は、測定ロボット２２がＹ方向に移動して下方に位置する検査用ソケット２３を撮影することができる。
【００６６】
尚、第３カメラ２４のレンズ側の下端は、少なくとも押圧保持部２２ｃの下端よりも高い位置になるように構成されている。
押圧保持部２２ｃの下側には、各検査用ソケット２３及び各ポケット３２，３５に対応してＸ方向に２台、Ｙ方向に２台の計４台の押圧装置２６が備えられている。
【００６７】
各押圧装置２６下部の中心には、それぞれ下方向に延出する吸着ノズル２７が設けられている。４個の吸着ノズル２７は、それぞれ前記供給側チェンジキット３１の各供給用ポケット３２及び回収側チェンジキット３４の各回収用ポケット３５、及び、各検査用ソケット２３に対応して設けられている。
【００６８】
各吸着ノズル２７は、その下端に開口端を備え、該開口端は、吸着ノズル２７の内部を連通し、ノズル用切替えバルブＶ２（図７参照）を介して吸引装置４１に接続されている。つまり、ノズル用切替えバルブＶ２の切替えによって、吸着ノズル２７と吸引装置４１が接続されると、吸着ノズル２７の開口端が負圧となり、その負圧によりＩＣチップＴを吸着ノズル２７の開口端に吸着する。反対に、ノズル用切替えバルブＶ２の切替えによって、吸着ノズル２７が吸引装置４１から大気に接続されると、吸着ノズル２７の開口端は大気圧になり、吸着していたＩＣチップＴを吸着ノズル２７の開口端から開放する。
【００６９】
押圧保持部２２ｃの内部には、各押圧装置２６に対応してそれぞれ位置可変装置としての位置調整装置２５が設けられている。各位置調整装置２５は、押圧保持部２２ｃに対して各押圧装置２６（吸着ノズル２７）をＸ方向及びＹ方向に移動可能にするとともに、該ＸＹ平面に対して吸着ノズル２７の中心軸を回転中心として回転するようになっている。
【００７０】
又、押圧保持部２２ｃのＹ方向側の両側面には、各押圧装置２６に対応して、支柱２８ａがそれぞれ固着されている。各支柱２８ａは、コ字状に形成され、その先端部はそれぞれ対応する押圧装置２６と相対向配置されている。各支柱２８ａの先端部には、アライメントマーク２８がそれぞれ取着されている。各アライメントマーク２８は、円柱状をなし、その円形の下面をマーク部２８ｂとしている。
【００７１】
次に、以上のように構成した測定ロボット２２の電気的構成を図７に従って説明する。
図７において、制御装置４０は、ＣＰＵ（中央演算装置）６１，ＲＯＭ６２，ＲＡＭ６３、画像プロセッサ６４及び画像メモリ６５を備えている。制御装置４０（ＣＰＵ６１）は、ＲＯＭ６２に記憶された各種データ及び各種制御プログラムに従って、供給側チェンジキット３１の供給用ポケット３２から検査前のＩＣチップＴを吸着把持して取り出して検査用ソケット２３に装着する処理を実行する。又、検査後のＩＣチップＴを検査用ソケット２３から吸着把持して取り出して回収側チェンジキット３４の回収用ポケット３５に収容する処理等を実行する。
【００７２】
制御装置４０は、各種スイッチとディスプレイを有した入出力装置７０と接続されている。入出力装置７０は、前記各処理の実行を開始する指令信号や、各処理を実行するための初期値データ等を制御装置に出力する。
【００７３】
制御装置４０は、Ｙ軸モータ駆動回路７１と電気的に接続されている。制御装置４０は、Ｙ軸モータ駆動回路７１を介してＹ軸モータＭＹを駆動制御する。そして、制御装置４０は、Ｙ軸モータＭＹを駆動制御して、押圧保持部２２ｃを検査用ソケット２３の上方位置と第１又は第２シャトル１６，１７の上方位置に配置する。
【００７４】
制御装置４０は、Ｚ軸モータ駆動回路７２と電気的に接続されている。制御装置４０は、Ｚ軸モータ駆動回路７２を介してＺ軸モータＭＺを駆動制御する。そして、制御装置４０は、Ｚ軸モータＭＺを駆動制御して、連結部２２ｂを介して押圧保持部２２ｃ（吸着ノズル２７）を下動開始位置である上方原点位置や吸着開始位置に配置する。
【００７５】
制御装置４０は、バルブ駆動回路７３と電気的に接続されている。制御装置４０は、バルブ駆動回路を介して、シャトル用切替えバルブＶ１とノズル用切替えバルブＶ２とをそれぞれ個別に駆動制御する。そして、制御装置４０は、シャトル用切替えバルブＶ１を駆動制御して、供給用ポケット３２の吸着穴３３を、吸引装置４１と大気とのいずれかに切り替える。吸着穴３３が吸引装置４１に接続されると、ＩＣチップＴは供給用ポケット３２の底面に吸着保持される。また、制御装置４０は、ノズル用切替えバルブＶ２を駆動制御して、吸着ノズル２７の開口端を、吸引装置４１と大気とのいずれかに切り替える。開口端が吸引装置４１に接続されるとＩＣチップＴは吸着ノズル２７の開口端に吸着把持される。
【００７６】
制御装置４０は、各押圧装置２６に対応して設けられた電空レギュレータ回路７４が接続されている。制御装置４０は、各電空レギュレータ回路７４を駆動制御し、それぞれ対応する押圧装置２６（吸着ノズル２７）を、空圧力にて押圧保持部２２ｃに対して吸着開始位置から下方の装着位置まで移動させる。
【００７７】
制御装置４０は、押圧保持部２２ｃに設けた各位置調整装置２５と電気的に接続されている。制御装置４０は、各位置調整装置２５を駆動制御し、該各位置調整装置２５を介して各押圧装置２６（吸着ノズル２７）を、押圧保持部２２ｃに対してＸ方向及びＹ方向に移動可能にするとともに、該ＸＹ平面に対して吸着ノズル２７の中心軸を回転中心として回転する。
【００７８】
制御装置４０は、第１モータ駆動回路７５と電気的に接続されている。制御装置４０は、第１モータ駆動回路７５を介して第１シャトルモータＭ１を駆動制御する。制御装置４０は、第１シャトルモータＭ１を駆動制御して、第１シャトル１６を、供給位置、検査前移載位置、チップ撮影位置、検査後移載位置、及び回収位置に配置する。
【００７９】
制御装置４０は、第２モータ駆動回路７６と電気的に接続されている。制御装置４０は、第２モータ駆動回路７６を介して第２シャトルモータＭ２を駆動制御する。制御装置４０は、第２シャトルモータＭ２を駆動制御して、第２シャトル１７を、供給位置、検査前移載位置、チップ撮影位置、検査後移載位置、及び回収位置に配置する。
【００８０】
制御装置４０は、第１カメラ駆動回路７７と電気的に接続されている。制御装置４０は、第１カメラ駆動回路７７を介して第１カメラ３７を駆動制御する。そして、制御装置４０は、第１カメラ３７を駆動制御して、第１カメラ３７が撮影した画像のデータ（画像データ）を取得する。制御装置４０は、画像プロセッサ６４によって、取得した画像データを使って、各吸着ノズル２７に吸着したＩＣチップＴの画像処理を行なう。そして、制御装置４０は、各ＩＣチップＴについて、吸着ノズル２７に対するＩＣチップＴの吸着位置とその向きを演算する。つまり、吸着ノズル２７に対するＩＣチップＴの吸着ズレを演算する。また、制御装置４０は、吸着ノズル２７の中心軸が、ＩＣチップＴの上面の中心位置に対して、Ｘ方向及びＹ方向にどれだけ偏倚しているか、また、ＩＣチップＴの各辺がＸ方向及びＹ方向に対してどれだけ回転しているかを演算する。
【００８１】
制御装置４０は、第１ストロボ駆動回路７７ｓと電気的に接続されている。制御装置４０は、第１ストロボ駆動回路７７ｓを介して第１カメラ３７の撮影に合わせて第１ストロボ３７ｓを駆動制御する。そして、制御装置４０は、第１ストロボ３７ｓを駆動して、第１カメラ３７がより鮮明に画像を撮影できるように周辺を明るくする。
【００８２】
制御装置４０は、第２カメラ駆動回路７８と電気的に接続されている。制御装置４０は、第２カメラ駆動回路７８を介して第２カメラ３８を駆動制御する。そして、制御装置４０は、第２カメラ３８を駆動制御して、第２カメラ３８が撮影した画像のデータ（画像データ）を取得する。制御装置４０は、画像プロセッサ６４によって、取得した画像データを使って、各吸着ノズル２７に吸着したＩＣチップＴの画像処理を行なう。そして、制御装置４０は、各ＩＣチップＴについて、吸着ノズル２７に対するＩＣチップＴの吸着位置とその向きを演算する。つまり、吸着ノズル２７に対するＩＣチップＴの吸着ズレを演算する。また、制御装置４０は、吸着ノズル２７の中心軸が、ＩＣチップＴの上面の中心位置に対して、Ｘ方向及びＹ方向にどれだけ偏倚しているか、また、ＩＣチップＴの各辺がＸ方向及びＹ方向に対してどれだけ回転しているかを演算する。
【００８３】
制御装置４０は、第２ストロボ駆動回路７８ｓと電気的に接続されている。制御装置４０は、第２ストロボ駆動回路７８ｓを介して第２カメラ３８の撮影に合わせて第２ストロボ３８ｓを駆動制御する。そして、制御装置４０は、第２ストロボ３８ｓを駆動して、第２カメラ３８がより鮮明に画像を撮影できるように周辺を明るくする。
【００８４】
制御装置４０は、第３カメラ駆動回路７９と電気的に接続されている。制御装置４０は、第３カメラ駆動回路７９を介して第３カメラ２４を駆動制御する。そして、制御装置４０は、第３カメラ２４を駆動制御して、第３カメラ２４が撮影した画像（検査用ソケット２３）のデータ（画像データ）を取得する。制御装置４０は、画像プロセッサ６４によって、取得した画像データを使って、検査用ソケット２３の画像処理を行なう。そして、制御装置４０は、検査用ソケット２３の位置を演算する。つまり、検査用ソケット２３の位置に対する測定ロボット２２の相対位置を演算する。
【００８５】
制御装置４０は、第３ストロボ駆動回路７９ｓと電気的に接続されている。制御装置４０は、第３ストロボ駆動回路７９ｓを介して第３カメラ２４の撮影に合わせて第３ストロボ２４ｓを駆動制御する。そして、制御装置４０は、第３ストロボ２４ｓを駆動して、第３カメラ２４がより鮮明に画像を撮影できるように周辺を明るくする。
【００８６】
次に、図８に従って、第３カメラ２４によって、検査用ソケット２３を撮影して検査用ソケット２３に対する測定ロボット２２の相対位置の位置ズレを演算する手順について説明する。
【００８７】
制御装置４０は、測定ロボット２２が図８（ａ）に示すように、第１シャトル１６のレール３０直上に配置されている場合には、測定ロボット２２を検査用ソケット２３の方向に移動させる。
【００８８】
制御装置４０は、測定ロボット２２を移動させて、図８（ｂ）に示すように、第３カメラ２４を４つの検査用ソケット２３（Ｘ方向から見える２つのみ図示）の上方中央に配置させる。制御装置４０は、測定ロボット２２が検査用ソケット２３の上方中央に配置されたときに、連結部２２ｂをＺ方向に往復動させて、第３カメラ２４と検査用ソケットとの距離を第３カメラ２４の焦点距離に合わせる。制御装置４０は、第３カメラ２４を焦点距離まで移動したら、第３カメラ２４によって、第３ストロボ２４ｓに照明された４つの検査用ソケット２３のすべてを一度に撮影する。
【００８９】
制御装置４０は、撮影した画像データを画像メモリ６５に記憶させて、画像プロセッサ６４により画像処理を行ない、各検査用ソケット２３の位置を演算させる。制御装置４０は、該演算結果に基づいて、各検査用ソケット２３に対応する吸着ノズル２７のＸ方向、Ｙ方向及び該ＸＹ平面における回転角度の位置ズレを演算して、ＲＡＭ６３の各レジスタに記憶する。そして、制御装置４０は、ＲＡＭ６３に記憶された各位置ズレに基づいて、各ＩＣチップＴを対応する検査用ソケット２３に装着する際に、位置調整装置２５を介して、対応する吸着ノズル２７の位置調整を行う。
【００９０】
次に、図９に従って、第１カメラ３７によって、検査前のＩＣチップＴを撮影して吸着ノズル２７に対するＩＣチップＴの吸着ズレを演算する手順について説明する。尚、説明の都合上、以下では第１シャトル１６についてのみ説明するが、第２シャトル１７についても同様である。
【００９１】
制御装置４０は、図９（ａ）に示すように、第１シャトル１６を検査前移載位置に移動して、供給側チェンジキット３１に載置された検査前の４つのＩＣチップＴ（Ｙ方向から見える２つのみ図示）を測定ロボット２２に吸着把持させて上昇させる。
【００９２】
制御装置４０は、ＩＣチップＴが上昇したら、図９（ｂ）に示すように、第１シャトル１６をチップ撮影位置まで移動させる。制御装置４０は、測定ロボット２２の直下に第１カメラ３７を配置してから、連結部２２ｂをＺ方向に往復動させて第１カメラ３７とＩＣチップＴの距離を第１カメラ３７の焦点距離に合わせる。制御装置４０は、初回のみ測定ロボット２２による第１カメラ３７とＩＣチップＴの焦点距離を合わせる動作を行い、該焦点距離をＲＡＭ６３のレジスタに記憶して、次回からは、直に測定ロボット２２をその高さまで移動させる。
【００９３】
そして、制御装置４０は、測定ロボット２２が焦点距離まで移動してから、第１カメラ３７によって、第１ストロボ３７ｓに照明された４つのＩＣチップＴと対応するアライメントマーク２８とを一度に撮影する。
【００９４】
制御装置４０は、前記撮影した画像データを画像メモリ６５に記憶させて、画像プロセッサ６４により画像処理を行ない、各ＩＣチップＴの吸着位置と向きを演算する。制御装置４０は、該演算結果に基づいて、各ＩＣチップＴの上面中央部の位置と対応する吸着ノズル２７とのＸ方向、Ｙ方向及び該ＸＹ平面における回転角度の位置ズレを演算して、ＲＡＭ６３の各レジスタに記憶する。そして、制御装置４０は、各位置ズレに基づいて、各ＩＣチップＴを対応する検査用ソケット２３に装着する際に、位置調整装置２５を介して、対応する吸着ノズル２７の位置調整を行う。その後、制御装置４０は、測定ロボット２２にてＩＣチップＴを検査用ソケット２３へ搬送する。
【００９５】
つまり、ＩＣチップＴを検査用ソケット２３に配置する際には、ＩＣチップＴは、各検査用ソケット２３との位置ズレと、アライメントマーク２８との位置ズレとの両方の位置ズレの演算結果によって位置調整装置２５を介して、各吸着ノズル２７により位置調整される。
【００９６】
次に、図１０に従って、第１カメラ３７によって、検査済みのＩＣチップＴを撮影して吸着ノズル２７に対するＩＣチップＴの吸着ズレを演算する手順について説明する。尚、説明の都合上、以下では第１シャトル１６についてのみ説明するが、第２シャトル１７についても同様である。
【００９７】
制御装置４０は、図１０（ａ）に示すように、チップ撮影位置にある第１シャトル１６の直上に、検査済みのＩＣチップＴを吸着把持して焦点距離まで上昇した測定ロボット２２を移動させる。そして、制御装置４０は、測定ロボット２２を第１カメラ３７の直上に配置してから、第１カメラ３７によって、第１ストロボ３７ｓに照明された４つのＩＣチップＴと対応するアライメントマーク２８とを一度に撮影する。
【００９８】
制御装置４０は、前記撮影した画像データを画像メモリ６５に記憶させて、画像プロセッサ６４により画像処理を行ない、各ＩＣチップＴの吸着位置と向きを演算する。制御装置４０は、該演算結果に基づいて、各ＩＣチップＴの上面中央部の位置と対応する吸着ノズル２７とのＸ方向、Ｙ方向及び該ＸＹ平面における回転角度の位置ズレを演算して、ＲＡＭ６３の各レジスタに記憶する。そして、制御装置４０は、各位置ズレに基づいて、各ＩＣチップＴを対応する、回収側チェンジキット３４の回収用ポケット３５に収容する際に、位置調整装置２５を介して、対応する吸着ノズル２７の位置調整を行う。
【００９９】
再度、制御装置４０は、チップ撮影位置において、第１カメラ３７によって、第１ストロボ３７ｓに照明された４つのＩＣチップＴを一度に撮影する。制御装置４０は、撮影した画像データを画像メモリ６５に記憶させて、画像プロセッサ６４により画像処理を行ない、各ＩＣチップＴ底面のバンプの状態を検査する。制御装置４０は、画像プロセッサ６４による画像処理によりＩＣチップの底面のバンプの良否を判断して、良否の結果をＲＡＭ６３のレジスタに記憶する。
【０１００】
次に、測定ロボット２２が、供給側チェンジキット３１の供給用ポケット３２から検査前のＩＣチップＴを取り出して検査用ソケット２３に装着した後、検査後のＩＣチップＴを検査用ソケット２３から取り出して回収側チェンジキット３４の回収用ポケット３５に収容するまでの動作を図１１に示すフローチャート図に従って説明する。
【０１０１】
まず、制御装置４０は、ＩＣハンドラ１０の電源投入時や測定対象のＩＣチップＴを変更した際に、初期設定動作を行なう。その初期設定動作において、制御装置４０は、図８（ｂ）に示すように、第３カメラ２４にて撮影した各検査用ソケット２３の画像データを、画像プロセッサ６４にて画像処理して各検査用ソケット２３の位置を演算する。制御装置４０は、演算された各検査用ソケット２３の位置に基づいて、対応する吸着ノズル２７のＸ方向、Ｙ方向及び該ＸＹ平面における回転角度の位置ズレを演算して、ＲＡＭ６３のレジスタに記憶する（ステップＳ１００）。
【０１０２】
初期設定動作が終了すると、制御装置４０は、図６（ａ）に示す、供給位置にある第１シャトル１６の供給側チェンジキット３１の各供給用ポケット３２に、供給側ロボットハンドユニット２０からＩＣチップＴを供給する。
【０１０３】
そして、各供給用ポケット３２にＩＣチップＴが供給されると、制御装置４０は、シャトル用切替えバルブＶ１を吸引装置４１側に切替える。ＩＣチップＴが供給用ポケットに３２の底面に吸着固定されると、制御装置４０は、第１シャトル１６を、図６（ｂ）に示す、検査前移載位置に移動させる。
【０１０４】
第１シャトル１６が検査前移載位置に移動すると、制御装置４０は、各吸着ノズル２７を、供給側チェンジキット３１の供給用ポケット３２からそれぞれ対応するＩＣチップＴが吸着可能の上方位置に移動させる。各吸着ノズル２７が上方位置に位置すると、制御装置４０は、各吸着ノズル２７を下降させて、各ＩＣチップＴの上面に各吸着ノズル２７の開口端を接触させる。
【０１０５】
ＩＣチップＴに吸着ノズル２７の開口端が接触したら、制御装置４０は、ノズル用切替えバルブＶ２を吸引装置４１側に切替えて各吸着ノズル２７によってそれぞれのＩＣチップＴを吸着把持する。同時に、制御装置４０は、シャトル用切替えバルブＶ１を吸引装置４１側から大気側に切替えて、ＩＣチップＴの供給用ポケット３２への吸着を解除する。
【０１０６】
そして、図６（ｂ）に示すように、吸着ノズル２７に吸着されたＩＣチップＴは、上昇して供給用ポケット３２から離脱される。そして、上昇したＩＣチップＴは、第１シャトル１６の直上で待機する。
【０１０７】
続いて、制御装置４０は、図６（ｃ）に示すように、第１シャトル１６をチップ撮影位置に移動させて、第１シャトル１６の直上で待機している各ＩＣチップＴの直下に第１カメラ３７を移動させる。制御装置４０は、第１カメラ３７から各吸着ノズル２７によって吸着把持されている４つのＩＣチップＴの画像データを取得し画像認識を実行して（ステップＳ１０２）、各ＩＣチップＴの位置ズレ（吸着ズレ）を求める（ステップＳ１０４）。制御装置４０は、前記求められた各位置ズレ及び初期設定で求められた検査用ソケット２３に対する位置ズレに基づいて、位置調整装置２５による位置補正が必要かどうか判断する（ステップＳ１０６）。
【０１０８】
位置補正が必要な場合（ステップＳ１０６においてＹＥＳ）、制御装置４０は、位置調整装置２５によって検査用ソケット２３に対して好適な向きになるように各ＩＣチップＴを調整する（ステップＳ１０８）。反対に、位置補正が不要な場合（ステップＳ１０６においてＮＯ）、制御装置４０は、位置調整装置２５による位置補正を行なわずステップＳ１１０に進む。
【０１０９】
尚、カメラ３７によるＩＣチップＴの撮影が終了しても、制御装置４０は、ＩＣチップＴの回収の際の撮影のために、第１シャトル１６をチップ撮影位置に待機させておく。
調整が完了すると、制御装置４０は、各吸着ノズル２７を検査用ソケット２３の上方に移動させてから、押圧保持部２２ｃを吸着開始位置に下降させ、さらに押圧装置２６を装着位置まで下降させ、各ＩＣチップＴを対応する検査用ソケット２３に装着し、電気的検査を行う（ステップＳ１１０）。そして、電気的検査を終了すると（ステップＳ１１２）、制御装置４０は、吸着ノズル２７にて、ＩＣチップＴを吸着把持して検査用ソケット２３から外して、第１シャトル１６のカメラ３７の上方まで移動させる。
【０１１０】
カメラ３７の上方まで移動すると、制御装置４０は、第１カメラ３７から各吸着ノズル２７に吸着把持されたＩＣチップＴの画像データを取得し画像認識を実行する（ステップＳ１２０）。そして、制御装置４０は、各ＩＣチップＴの位置ズレを求める（ステップＳ１２２）。続いて、制御装置４０は、前記求められた各位置ズレに基づいて、位置調整装置２５によって位置補正が必要かどうか判断する（ステップＳ１２４）。
【０１１１】
位置補正が必要な場合（ステップＳ１２４でＹＥＳ）、制御装置４０は、前記求められた各位置ズレに基づいて、位置調整装置２５によって回収用ポケット３５に対して好適な向きになるように各ＩＣチップＴを調整する（ステップＳ１２６）。反対に、位置補正が不要な場合（ステップＳ１２４でＮＯ）、制御装置４０は、位置調整装置２５による位置補正を行なわずステップＳ１２８に進む。
【０１１２】
制御装置４０は、再度、カメラ３７から各吸着ノズル２７に吸着把持されたＩＣチップＴの画像データを取得し、ＩＣチップＴ底面のバンプの良否を検出する（ステップＳ１２８）。
【０１１３】
第１カメラ３７による撮影が完了すると、図６（ｄ）に示すように、制御装置４０は、第１シャトル１６を検査後移載位置に移動させる。即ち、第１シャトル１６の回収側チェンジキット３４の各回収用ポケット３５が、各吸着ノズル２７に把持された対応する各ＩＣチップＴの直下に位置するようにする。
【０１１４】
その後、制御装置４０は、吸着ノズル２７を下降させ、回収用ポケット３５にＩＣチップＴを載置する（ステップＳ１３０）。その際に、ＩＣチップＴの底面のバンプＢは、回収用ポケット３５底面のディンプルプレート３６のディンプル３６ｄに嵌合される（図４（ｃ）参照）。
【０１１５】
そして、制御装置４０は、吸着ノズル２７用のノズル用切替えバルブＶ２を吸引装置４１側から大気側に切替え、吸着ノズル２７開口端がＩＣチップＴを吸引することを解除する。
【０１１６】
次に、制御装置４０は、第１シャトル１６を回収位置に移動させて、回収用ポケット３５のＩＣチップＴを回収側ロボットハンドユニット２１に搬出させる。その後、制御装置４０は、全てのＩＣチップＴの検査が終了したか否かを判断する（ステップＳ１３２）。全てのＩＣチップＴの検査が終了していない場合はステップＳ１０２に戻る。一方、全てのＩＣチップＴの検査が終了した場合は、処理を終了する。
【０１１７】
本実施形態によれば以下のような効果を得ることができる。
（１）本実施形態によれば、第１及び第２シャトル１６，１７の上面に、第１及び第２カメラ３７，３８を備えた。従って、ベース１１にカメラを設置する場所を必要としない。その結果、第１及び第２シャトル１６，１７と検査用ソケット２３との間隔を短くすることができるので、ＩＣハンドラ１０を小さくすることができる。
【０１１８】
又、第１及び第２シャトル１６，１７上面の第１及び第２カメラ３７，３８にてＩＣチップＴを撮影するので、測定ロボット２２は吸着把持したＩＣチップＴをカメラの位置まで移動させる必要がない。その結果、測定ロボット２２は、ＩＣチップＴを各シャトル１６，１７と検査用ソケット２３との最短距離で搬送できるので、ＩＣチップＴの搬送時間が短縮され、ＩＣチップＴの検査工程に要する時間を短縮することができる。
【０１１９】
さらに又、第１及び第２カメラ３７，３８は、測定ロボット２２に比較して高速に移動する第１及び第２シャトル１６，１７によって迅速にチップ撮影位置に移動させられるので、ＩＣチップＴの撮影に要する時間を短縮させることができる。
【０１２０】
（２）本実施形態によれば、ＩＣチップＴとともにアライメントマーク２８を撮影した。従って、ＩＣチップＴと同時に撮影したアライメントマーク２８を基準にして画像処理をし、ＩＣチップＴの位置ズレ（吸着ズレ）を演算できる。その結果、ＩＣチップＴの位置ズレの演算をする際にアライメントマーク２８等を別途撮影する必要が無いので、撮影に要する時間を短縮させることができる。
【０１２１】
又、アライメントマーク２８を測定ロボット２２に備えたので、ベース１１にアライメントマーク２８等を配設するスペースを確保する必要がなく、ＩＣハンドラ１０を小さくすることができる。
【０１２２】
（３）本実施形態によれば、第１及び第２カメラ３７，３８は、測定ロボット２２が吸着把持したＩＣチップＴを下方から撮影した。従って、第１及び第２カメラ３７，３８に焦点距離調節機能を備えなくても、測定ロボット２２の押圧保持部２２ｃをＺ方向に移動させてＩＣチップＴと第１及び第２カメラ３７，３８との焦点距離を合わせることができる。その結果、第１及び第２カメラ３７，３８を簡単な構造にすることができる。
【０１２３】
（４）本実施形態によれば、第１及び第２カメラ３７，３８は、検査前と検査済みのＩＣチップＴの位置ズレの演算を行う為の、及び検査済みのＩＣチップＴ底面のバンプの状態の検査を行う為の画像データの取得に用いた。従って、１つのカメラを多用途に用いることができるので、高機能なＩＣハンドラ１０を、簡単な構造で安価に提供することができる。
【０１２４】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、第３カメラ２４は、すべての検査用ソケット２３を一度に撮影できた。しかし、これに限らず、第３カメラ２４は、各検査用ソケット２３を複数回に分けて撮影しても良い。その場合は、Ｙ方向に測定ロボット２２を移動させて、順次、第３カメラ２４を撮影対象の各検査用ソケット２３と対向する位置にそれぞれ合わせて撮影するとよい。そうすれば、カメラ一台で検査用ソケット２３を次々と撮影をすることができる。
【０１２５】
例えば、第３カメラ２４がＸ方向に並んだ２つの検査用ソケット２３を一度に撮影する場合について説明する。このとき、画像プロセッサ６４は、好適に２つの検査用ソケット２３を抽出して画像処理できる設定に変更しておく。図１２（ａ）に示すように、測定ロボット２２を第１シャトル１６上に配置してから、検査用ソケット２３の方向に移動する。図１２（ｂ）に示すように、第３カメラ２４が第１シャトル１６寄りの検査用ソケット２３の直上に配置されたときに、該検査用ソケット２３を撮影する。さらに、測定ロボット２２を検査用ソケット２３の方向に移動する。図１２（ｃ）に示すように、第３カメラ２４が次の検査用ソケット２３の直上に配置されたときに、該検査用ソケット２３を撮影すると良い。
【０１２６】
・上記実施形態では、第１及び第２カメラ３７，３８は、測定ロボット２２に把持されたすべてのＩＣチップＴを一度に撮影できた。しかし、これに限らず、第１及び第２カメラ３７，３８は、各ＩＣチップＴを複数回に分けて撮影しても良い。複数のＩＣチップＴを、Ｘ方向に分割して撮影する場合は第１又は第２シャトル１６，１７を移動させ、Ｙ方向に分割して撮影する場合は測定ロボット２２を移動させ、順次、第１及び第２カメラ３７，３８を撮影対象の各ＩＣチップＴ対向する位置にそれぞれ合わせて撮影するとよい。そうすれば、カメラ一台でＩＣチップＴを次々と撮影をすることができる。
【０１２７】
例えば、第１カメラ３７がＹ方向に並んだ２つの検査前のＩＣチップＴを一度に撮影する場合について説明する。このとき、画像プロセッサ６４は、好適に２つのＩＣチップＴを抽出して画像処理できる設定に変更しておく。図１３（ａ）に示すように、供給側位置にてＩＣチップＴを吸着把持した測定ロボット２２は、その位置にて上昇する。第１シャトル１６が回収位置方向に移動する。図１３（ｂ）に示すように、第１カメラ３７が測定ロボット２２の回収側にあるＩＣチップＴｂの直下（以下、第１チップ撮影位置という）に配置されたときに、ＩＣチップＴｂを撮影する。さらに第１シャトル１６が回収位置方向に移動する。図１３（ｃ）に示すように、第１カメラ３７が測定ロボット２２の供給側にあるＩＣチップＴａの直下（以下、第２チップ撮影位置という）に配置されたときに、ＩＣチップＴａを撮影すると良い。
【０１２８】
又、例えば、第１カメラ３７がＹ方向に並んだ２つの検査済みのＩＣチップＴを一度に撮影できる場合について説明する。このとき、画像プロセッサ６４は、好適に２つのＩＣチップＴを抽出して画像処理できる設定に変更しておく。図１４（ａ）に示すように、第１シャトル１６が第２チップ撮影位置にあるところで、測定ロボット２２が検査済みのＩＣチップＴを吸着把持して第１シャトル１６の直上に移動して、ＩＣチップＴａを撮影する。第１シャトル１６が第１チップ撮影位置に移動する。図１４（ｂ）に示すように、第１シャトル１６が第１チップ撮影位置に配置されたときに、ＩＣチップＴｂを撮影する。次に、同位置でバンプ検査用にＩＣチップＴｂを撮影する。第１シャトル１６が第２チップ撮影位置に移動する。図１４（ｃ）に示すように、同位置でバンプ検査用にＩＣチップＴａを撮影する。その後、図１４（ｄ）に示すように、第１シャトル１６が回収位置に移動すると良い。
【０１２９】
・上記実施形態では、第１及び第２カメラ３７，３８は、ＩＣチップＴを撮影する際にＩＣチップＴの直下に配置された。しかし、これに限らず、第１及び第２シャトル１６，１７を移動させたまま、第１及び第２カメラ３７，３８は、第１及び第２カメラ３７，３８がＩＣチップＴの直下を通過する際にＩＣチップＴを撮影してもよい。そうすれば、撮影に要する時間を短縮することができる。
【０１３０】
尚、第１及び第２シャトル１６，１７を移動させたまま撮影した画像は、撮影した画像が流れている場合があるが、第１及び第２ストロボ３７ｓ，３８ｓ光量を増加させて発光時間を短くすれば、画像の流れを減らすことができる。又、流れた画像であっても、画像プロセッサ６４においてＩＣチップＴ底面のバンプ、及びアライメントマーク２８の認識アルゴリズムに重心計測を用いることで、流れた画像から好適にＩＣチップＴの位置を求めることができ、制御装置４０でＩＣチップＴの位置ズレを演算することができる。
【０１３１】
・本実施形態においては、第１〜第３カメラ３７，３８，２４は焦点距離調整機能を備えなかった。しかし、これに限らず、各カメラ３７，３８，２４は焦点距離調整機能を備えても良い。
【０１３２】
・上記実施形態では、ＩＣハンドラ１０に第１及び第２シャトル１６，１７を備えた。しかし、これに限らず、シャトルは、１台でも、２台よりも多くてもよい。
・上記実施形態では、シャトル１６，１７には供給側チェンジキット３１と回収側チェンジキット３４を備えた。しかし、これに限らず、ＩＣハンドラ１０に好適であれば第１及び第２シャトル１６，１７上に配置するチェンジキットはどのような組み合わせはでもよい。又、チェンジキットは１つでも、２つより多くてもよい。この場合は、チェンジキットには、供給側チェンジキット３１、又は、回収側チェンジキット３４等のうち、好適なチェンジキットを用いればよい。
【符号の説明】
【０１３３】
Ｔ…ＩＣチップ、１０…ＩＣハンドラ、１１…ベース、１２…安全カバー、１３…高温チャンバ、１４…供給ロボット、１５…回収ロボット、１６…第１シャトル、１７…第２シャトル、１８…トレイ、２０…供給側ロボットハンドユニット、２１…回収側ロボットハンドユニット、２２…測定ロボット、２３…検査用ソケット、２４…第３カメラ、２７…吸着ノズル、３０…レール、３１…供給側チェンジキット、３２…供給用ポケット、３３…吸着穴、３４…回収側チェンジキット、３５…回収用ポケット、３７…第１カメラ、３８…第２カメラ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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