(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持手段にて保持される被保持部を備えた物品を、その被保持部が前記物品の前後方向の中央部に位置する搬送用姿勢で搬送経路に沿って搬送する搬送装置が設けられている搬送設備であって、
前記搬送装置が、前記搬送用姿勢での前記被保持部から前記前後方向の一方側の端部までの長さが異なる複数種の物品を搬送するように構成され、
前記搬送経路の途中に予め設定された被保持部用設定位置に前記被保持部が位置して物品用設定位置に位置する前記物品を検出する物品検出手段と、
前記物品検出手段にて検出された物品に検出作用してその物品の前記前後方向の一方側の端部を検出する端部検出手段と、
前記物品検出手段の検出情報と前記端部検出手段の検出情報とに基づいて物品の種類を判別する判別手段とが設けられている搬送設備。
【請求項２】
前記端部検出手段が、前記物品用設定位置に位置する物品の前記前後方向の一方側の端部の位置を検出するように構成され、
前記判別手段が、前記物品用設定位置に位置する物品の前記前後方向の一方側の端部の位置に基づいて物品の種類を判別するべく、前記物品検出手段の検出情報と前記端部検出手段の検出情報とに基づいて物品の種類を判別するように構成されている請求項１記載の搬送設備。
【請求項３】
前記搬送装置が、前記複数種の物品として、第１物品と、前記搬送用姿勢での前記被保持部から前記前後方向の一方側の端部までの長さが前記第１物品における前記搬送用姿勢での前記被保持部から前記前後方向の一方側の端部までの長さより長い第２物品とを搬送するように構成され、
前記端部検出手段が、前記物品用設定位置に位置する前記第１物品の前記前後方向の一方側の端部よりも前記前後方向の一方側に、前記物品用設定位置に位置する物品の前後方向の一方側の端部が存在するか否かを検出するように構成され、
前記判別手段が、前記物品検出手段の検出情報と前記端部検出手段の検出情報とに基づいて、前記物品用設定位置に位置する物品の前記前後方向の一方側の端部が前記端部検出手段にて検出されないときは当該物品を第１物品と判別し、前記物品用設定位置に位置する物品の前記前後方向の一方側の端部が前記端部検出手段にて検出されたときは当該物品を第２物品と判別するように構成されている請求項２記載の搬送設備。
【請求項４】
前記搬送装置が、前記複数種の物品として、基板を複数枚収納して工場内で搬送されるＦＯＵＰと、基板を複数枚収納して工場間で搬送されるＦＯＳＢとを搬送するように構成され、
前記複数種の物品の夫々に、前記被保持部として、前記保持手段に載置支持された状態で前記保持手段に備えられた係合ピンに係合して物品を所定の位置に位置決めするための位置決め部が下面に備えられ、
前記ＦＯＳＢが、前記前後方向の一方側の端部から前記被保持部までの長さが前記ＦＯＵＰにおける前記前後方向の一方側の端部ら前記被保持部までの長さより長くなる箇所に前記位置決め部が備えられている請求項１〜３のいずれか１項に記載の搬送設備。
【請求項５】
前記複数種の物品の夫々に、前記被保持部に対応して形成された上下方向に貫通する貫通孔が形成され、
前記物品検出手段が、投光部にて投光した検出光を前記貫通孔を通して受光部にて受光することで、前記被保持部用設定位置に前記位置決め部が位置した前記物品を検出するように構成されている請求項４記載の搬送設備。
【請求項６】
前記搬送装置が、前記物品用設定位置とこの物品用設定位置より搬送下手側に設定された停止準備位置を経由する形態で、前記複数種の物品を搬送経路に沿って水平方向に載置搬送する搬送コンベアにて構成され、
前記停止準備位置に搬送された物品の前後方向の一方側の端部となる搬送方向の一方側の端部を検出する停止用検出手段と、
前記停止用検出手段にて検出された物品を、物品の種類に応じて予め設定された設定移動量搬送するべく、前記判別手段の判別情報及び前記停止用検出手段の検出情報に基づいて前記搬送コンベアの作動を制御する作動制御手段とが設けられている請求項１〜５のいれか１項に記載の搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持手段にて保持される被保持部を備えた物品を、その被保持部が前記物品の前後方向の中央部に位置する搬送用姿勢で搬送経路に沿って搬送する搬送装置が設けられている搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる搬送設備は、搬送装置にて物品を搬送経路に沿って搬送するものであり、被保持部が物品の前後方向の中央部に位置する搬送用姿勢で物品を搬送することにより、搬送された物品の被保持部を保持手段にて保持したときに、その物品を前後方向でのバランスがよい状態で保持できるようになっている。そして、従来では、基板を複数枚収納して工場内で搬送されるＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を物品として、その物品をその前後方向が搬送方向に沿う姿勢で搬送装置にて搬送するものがあった（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
この特許文献１に記載の搬送設備は、搬送装置にてＦＯＵＰを搬送するものであるが、このような搬送装置にＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）を混在させて搬送させる場合がある。ＦＯＳＢは、ＦＯＵＰと同様に基板を複数枚収納するものであるが、ＦＯＵＰのように規格で標準化されておらず、ＦＯＳＢには、搬送用姿勢での被保持部から前後方向の一方側の端部までの長さがＦＯＵＰのその長さより長いものが多く、搬送装置にて搬送されるＦＯＳＢとして搬送用姿勢での被保持部から前後方向の一方側の端部までの長さがＦＯＵＰのその長さより長いものだけが使用される場合がある。そして、ＦＯＵＰとＦＯＳＢとを搬送装置にて搬送する等、搬送用姿勢での被保持部から前後方向の一方側の端部までの長さが異なる複数種の物品を搬送させる場合では、搬送装置にて搬送される複数種の物品の種類を判別する必要がある。
【０００４】
つまり、例えば、特許文献１に記載の搬送装置では、停止準備位置に搬送されたＦＯＵＰの前端部を位置検出手段にて検出し、この位置検出手段にてＦＯＵＰの前端部が検出された直後に搬送装置の作動を停止させてＦＯＵＰを停止位置に停止させる。この搬送装置にＦＯＳＢを搬送させた場合、位置検出手段にてＦＯＳＢの前端部が検出された直後に搬送装置の作動を停止させると、ＦＯＳＢはその前端部がＦＯＵＰの前端部と同じ位置に停止する。このようにＦＯＳＢを、その前端部がＦＯＵＰの前端部と同じ位置となるように停止させると、搬送用姿勢での被保持部から前後方向の一方側の端部までの長さがＦＯＵＰより長い分、ＦＯＳＢの被保持部の位置はＦＯＵＰの被保持部の位置に対して搬送上手側にずれる。このようにずれたＦＯＳＢの被保持部を保持手段にて保持しようとしても、保持手段にてＦＯＳＢの被保持部を適確に保持できない虞がある。そこで、ＦＯＳＢを停止させる場合では、前端部が位置検出手段にて検出されてから設定時間後に搬送装置の作動を停止させて、ＦＯＳＢの被保持部の位置をＦＯＵＰの被保持部と同じ位置に停止させることが考えられるが、このようにする場合には、ＦＯＵＰやＦＯＳＢを停止させるより前に、搬送装置にて搬送される物品がＦＯＵＰであるかＦＯＳＢであるかを判別する必要がある。
【０００５】
そして、搬送用姿勢での被保持部から前後方向の一方側の端部までの長さが異なる複数種の物品の種類を判別するものとしては、蓋が取り付けられたＦＯＵＰと蓋が取り外されたＦＯＳＢとを複数種の物品とし、蓋検出手段の検出情報により、蓋が取り付けられている物品をＦＯＵＰ、蓋が取り外されている物品をＦＯＳＢというように、複数種の物品を判別するものがあった（例えば、特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平０６−１５６６７６号公報
【特許文献２】特開２００５−３４７５７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
引用文献２には、複数種の物品としてのＦＯＵＰとＦＯＳＢとを判別するものが記載されており、特許文献２に記載のものは、蓋が取り付けられたＦＯＵＰと蓋が取り外されたＦＯＳＢとを蓋検出手段にて蓋の存否を検出してＦＯＵＰとＦＯＳＢとを判別し、ＦＯＵＰの場合は、その蓋をＦＯＵＰオープナーで取り外し、ＦＯＳＢの場合は、手作業で事前に蓋が取り外されているためＦＯＵＰオープナーでは蓋を取り外さないようになっている。しかし、搬送装置にてＦＯＵＰやＦＯＳＢを搬送する場合は一般的に蓋が取り付けられており、このようにＦＯＵＰとＦＯＳＢとの両方に蓋が取り付けられた場合では、特許文献２に記載のものではＦＯＵＰとＦＯＳＢとを判別することができない。よって、特許文献２に記載のものでは、搬送用姿勢での被保持部から前後方向の一方側の端部までの長さが異なる複数種の物品を搬送装置にて搬送した場合に、その複数種の物品の種類を判別することができない。
【０００８】
ちなみに、搬送用姿勢での被保持部から前後方向の一方側端部までの長さが異なる複数種の物品を判別するものとしては、上面に天井搬送車等にて吊り下げ支持されるときに把持されるフランジ部が備えられているＦＯＵＰとフランジ部が備えられていないＦＯＳＢとを搬送装置にて搬送し、フランジ部が備えられている物品をＦＯＵＰ、フランジ部が備えられていない物品をＦＯＳＢというように、ＦＯＵＰとＦＯＳＢとを判別することも考えられる。しかし、フランジ部を備えたＦＯＳＢも存在しており、このようなフランジ部を備えたＦＯＳＢをＦＯＵＰと混在させて搬送装置にて搬送した場合では、ＦＯＵＰとＦＯＳＢとを判別することができない。
【０００９】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、搬送用姿勢での被保持部から前後方向の一方側の端部までの長さが異なる複数種の物品を搬送装置にて搬送した場合に、その複数種の物品の種類を判別することができる搬送設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明にかかる搬送設備は、保持手段にて保持される被保持部を備えた物品を、その被保持部が前記物品の前後方向の中央部に位置する搬送用姿勢で搬送経路に沿って搬送する搬送装置が設けられているものであって、その第１特徴構成は、
前記搬送装置が、前記搬送用姿勢での前記被保持部から前記前後方向の一方側の端部までの長さが異なる複数種の物品を搬送するように構成され、前記搬送経路の途中に予め設定された被保持部用設定位置に前記被保持部が位置して物品用設定位置に位置する前記物品を検出する物品検出手段と、前記物品検出手段にて検出された物品に検出作用してその物品の前記前後方向の一方側の端部を検出する端部検出手段と、前記物品検出手段の検出情報と前記端部検出手段の検出情報とに基づいて物品の種類を判別する判別手段とが設けられている点にある。
【００１１】
すなわち、物品用設定位置は被保持部用設定位置に位置する被保持部を基準に定められているため、物品用設定位置に位置する物品の被保持部は物品の種類に拘わらず同じ被保持部用位置に位置している。また、物品の種類により被保持部から前後方向の一方側の端部までの長さが異なるため、物品用設定位置に位置する物品の前後方向の一方側の端部の位置は、物品の種類により異なる。よって、搬送装置にて物品用設定位置に搬送された物品が物品検出手段にて検出されるに伴って、その物品検出手段にて検出された物品に検出作用してその物品の前後方向の一方側の端部を端部検出手段にて検出することにより、判別手段は、物品検出手段にて検出された物品の種類を端部検出手段の検出情報から判別することができる。
【００１２】
従って、搬送用姿勢での被保持部から前後方向の一方側の端部までの長さが異なる複数種の物品を搬送装置にて搬送した場合に、その複数種の物品の種類を判別することができる搬送設備を提供することができるに至った。
【００１３】
本発明にかかる搬送設備の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記端部検出手段が、前記物品用設定位置に位置する物品の前記前後方向の一方側の端部の位置を検出するように構成され、前記判別手段が、前記物品用設定位置に位置する物品の前記前後方向の一方側の端部の位置に基づいて物品の種類を判別するべく、前記物品検出手段の検出情報と前記端部検出手段の検出情報とに基づいて物品の種類を判別するように構成されている点にある。
【００１４】
すなわち、物品用設定位置に位置する物品の前後方向の一方側の端部の位置を端部検出手段にて検出するように構成されているため、例えば、物品用設定位置から物品を搬送して、物品用設定位置より搬送下手側に位置する物品の前後方向の一方側の端部の位置を端部検出手段にて検出するように構成した場合に比べて、物品用設定位置から搬送下手側に物品を搬送する必要がない分、端部検出手段にて物品の前後方向の一方側の端部を早期に検出することができ、物品検出手段にて物品が検出されてから判別手段にて物品の種類を判別するまでの時間を短縮することができる。
【００１５】
本発明にかかる搬送設備の第３特徴構成は、第２特徴構成において、前記搬送装置が、前記複数種の物品として、第１物品と、前記搬送用姿勢での前記被保持部から前記前後方向の一方側の端部までの長さが前記第１物品における前記搬送用姿勢での前記被保持部から前記前後方向の一方側の端部までの長さより長い第２物品とを搬送するように構成され、前記端部検出手段が、前記物品用設定位置に位置する前記第１物品の前記前後方向の一方側の端部よりも前記前後方向の一方側に、前記物品用設定位置に位置する物品の前後方向の一方側の端部が存在するか否かを検出するように構成され、前記判別手段が、前記物品検出手段の検出情報と前記端部検出手段の検出情報とに基づいて、前記物品用設定位置に位置する物品の前記前後方向の一方側の端部が前記端部検出手段にて検出されないときは当該物品を第１物品と判別し、前記物品用設定位置に位置する物品の前記前後方向の一方側の端部が前記端部検出手段にて検出されたときは当該物品を第２物品と判別するように構成されている点にある。
【００１６】
すなわち、端部検出手段は、物品用設定位置に位置する第１物品の前後方向の一方側の端部よりも前後方向の一方側に、物品用設定位置に位置する物品の前後方向の一方側の端部が存在するか否かを検出するべく設けられている。よって、物品用設定位置に位置する物品が第１物品である場合では、端部検出手段にて物品の端部が検出されないため、判別手段は、物品用設定位置に位置する物品の前後方向の一方側の端部が端部検出手段にて検出されないときは当該物品を第１物品と判別することができる。また、物品用設定位置に位置する物品が第２物品である場合では、端部検出手段にて物品の端部が検出されるため、判別手段は、物品用設定位置に位置する物品の前後方向の一方側の端部が端部検出手段にて検出されたときは当該物品を第２物品と判別することができる。
【００１７】
よって、第１物品と、搬送用姿勢での被保持部から前後方向の一方側の端部までの長さが第１物品におけるその長さより長い第２物品との２種類の物品の種類を判別するのに、端部検出手段として、物品用設定位置に位置する第１物品の前後方向の一方側の端部よりも前後方向の一方側に、物品用設定位置に位置する物品の前後方向の一方側の端部が存在するか否かを検出するセンサを設けるだけで済み、しかも、数少ないセンサの検出情報から簡単なロジックで物品の種類を判別できるため判別手段の構成も簡素なものにでき、搬送設備の構成を簡素なものにできる。
【００１８】
本発明にかかる搬送設備の第４特徴構成は、第１〜第３特徴構成のいずれか１つにおいて、前記搬送装置が、前記複数種の物品として、基板を複数枚収納して工場内で搬送されるＦＯＵＰと、基板を複数枚収納して工場間で搬送されるＦＯＳＢとを搬送するように構成され、前記複数種の物品の夫々に、前記被保持部として、前記保持手段に載置支持された状態で前記保持手段に備えられた係合ピンに係合して物品を所定の位置に位置決めするための位置決め部が下面に備えられ、前記ＦＯＳＢが、前記前後方向の一方側の端部から前記被保持部までの長さが前記ＦＯＵＰにおける前記前後方向の一方側の端部ら前記被保持部までの長さより長くなる箇所に前記位置決め部が備えられている点にある。
【００１９】
すなわち、基板を複数枚収納して工場内で搬送されるＦＯＵＰと基板を複数枚収納して工場内で搬送されるＦＯＳＢとは、いずれも基板を複数枚収納して搬送するものであり同様の形状に形成されているが、ＦＯＵＰは規格により標準化されているのに対して、ＦＯＳＢは規格により標準化されていないことにより、ＦＯＵＰとＦＯＳＢとは全く同じ形状には形成されていない。ＦＯＳＢには、搬送用姿勢での被保持部としての位置決め部から前後方向の一方側の端部までの長さがＦＯＵＰのその長さより長いものが多く、搬送装置にて搬送されるＦＯＳＢとして搬送用姿勢での位置決め部から前後方向の一方側の端部までの長さがＦＯＵＰのその長さより長いものだけが使用される場合がある。
【００２０】
そこで、このＦＯＵＰとＦＯＳＢとの搬送用姿勢での位置決め部から前後方向の一方側の端部までの長さの違いに着目し、物品が物品用設定位置に位置して物品検出手段にて物品が検出されるに伴って、その物品検出手段にて検出された物品に検出作用してその物品の前後方向の一方側の端部が端部検出手段にて検出することにより、判別手段は、物品検出手段にて検出された物品を端部検出手段の検出情報からＦＯＵＰであるかＦＯＳＢであるかを判別することができる。
【００２１】
本発明にかかる搬送設備の第５特徴構成は、第４特徴構成において、前記複数種の物品の夫々に、前記被保持部に対応して形成された上下方向に貫通する貫通孔が形成され、前記物品検出手段が、投光部にて投光した検出光を前記貫通孔を通して受光部にて受光することで、前記被保持部用設定位置に前記位置決め部が位置した前記物品を検出するように構成されている点にある。
【００２２】
すなわち、複数種の物品の夫々に、被保持部に対応して形成された上下方向に貫通する貫通孔が形成されており、投光部にて投光した検出光を貫通孔を通して受光部にて受光することで、物品の種類に拘わらず、被保持部が被保持部用設定位置に位置して物品用設定位置に位置する物品を物品検出手段にて検出することができる。
【００２３】
そして、複数種の物品としてＦＯＵＰとＦＯＳＢとを搬送装置にて搬送する場合、ＦＯＵＰやＦＯＳＢには、複数備えられた位置決め部の中心を示す上下方向に貫通する孔が位置決め部に対応して予め形成されている。この孔を物品検出手段にて検出するための検出孔として利用することにより、物品検出手段にて検出するための専用の検出孔をＦＯＵＰやＦＯＳＢに形成する必要がなく、ＦＯＵＰやＦＯＳＢの構成の簡素化を図ることができる。
【００２４】
本発明にかかる搬送設備の第６特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれか１つにおいて、前記搬送装置が、前記物品用設定位置とこの物品用設定位置より搬送下手側に設定された停止準備位置を経由する形態で、前記複数種の物品を搬送経路に沿って水平方向に載置搬送する搬送コンベアにて構成され、前記停止準備位置に搬送された物品の前後方向の一方側の端部となる搬送方向の一方側の端部を検出する停止用検出手段と、前記停止用検出手段にて検出された物品を、物品の種類に応じて予め設定された設定移動量搬送するべく、前記判別手段の判別情報及び前記停止用検出手段の検出情報に基づいて前記搬送コンベアの作動を制御する作動制御手段とが設けられている点にある。
【００２５】
すなわち、停止準備位置に搬送された物品の搬送方向の一方側の端部を停止用検出手段にて検出してから、その物品を物品の種類に応じて予め設定された設定移動量搬送することにより、複数種の物品を被保持部が搬送方向で同じ位置となるように停止させることができる。具体的には、複数種の物品としてＦＯＵＰとＦＯＳＢとを搬送する場合では、ＦＯＳＢは、搬送用姿勢での被保持部から前後方向の一方側の端部までの長さがＦＯＵＰのそれより長いので、ＦＯＳＢ用の設定移動量としてＦＯＵＰ用の設定移動量より長い量を設定することにより、ＦＯＵＰとＦＯＳＢとを夫々の被保持部が搬送方向で同じ位置となるように停止させることができる。そして、物品の種類に拘わらず被保持部が同じ位置となるように複数種の物品を停止させることができるので、停止させた物品の被保持部を保持手段にて保持するときに被保持部を適確に保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】搬送装置の平面図
【図２】物品用設定位置及び減速位置の物品を示す平面図
【図３】物品用設定位置及び減速位置の物品を示す側面図
【図４】停止準備位置及び停止位置の物品を示す平面図
【図５】搬送設備の制御ブロック図
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、搬送設備には、半導体ウェハ等の基板を複数枚収納して工場内を搬送するために使用される工場内搬送用のＦＯＵＰ（第１物品に相当する）１と、半導体ウェハ等の基板を複数枚収納して工場間で搬送するために使用される工場間搬送用のＦＯＳＢ（第２物品に相当する）２との複数種の物品を搬送する搬送コンベア（搬送装置に相当する）３が設けられている。
【００２８】
ＦＯＵＰ１及びＦＯＳＢ２の夫々は、その下面にフォーク装置（保持手段に相当する、図４参照）４に載置支持された状態でフォーク装置４に備えられた係合ピン４ａに係合して物品１，２をフォーク装置４上で所定の位置に位置決めする等のための位置決め部（被保持部に相当）５が備えられている。また、ＦＯＵＰ１及びＦＯＳＢ２の夫々には、その上面に天井搬送車等にて吊り下げ支持されるときに把持されるフランジ部６が備えられている。また、図示は省略するが、ＦＯＵＰ１及びＦＯＳＢ２の夫々には、その前端部７に基板を出し入れするための出し入れ口が形成され且つその出し入れ口を開閉自在な蓋が前端部７に取り付けられている。
【００２９】
また、ＦＯＵＰ１及びＦＯＳＢ２の夫々には、複数備えられた位置決め部５の中心を示す上下方向に貫通する貫通孔８が位置決め部５に対応して予め形成されている。この貫通孔８は、平面視において、ＦＯＵＰ１における位置決め部５に対する貫通孔８の位置とＦＯＳＢ２における位置決め部５に対する貫通孔８の位置とが同じ位置関係となるように形成されている。よって、ＦＯＵＰ１の位置決め部５とＦＯＳＢ２の位置決め部５とが、搬送経路に沿う方向及び搬送経路と直交する方向で同じ箇所に位置している場合は、ＦＯＵＰ１の貫通孔８とＦＯＳＢ２の貫通孔８とも、搬送経路に沿う方向及び搬送経路と直交する方向で同じ箇所に位置するようになっている。
【００３０】
そして、図２に示すように、ＦＯＳＢ２は、前端部７から位置決め部５までの長さＢ１がＦＯＵＰ１における前端部７から位置決め部５までの長さＰ１より長くなる箇所に位置決め部５が備えられている。つまり、ＦＯＵＰ１とＦＯＳＢ２とでは前端部７から位置決め部５までの長さが異なっており、ＦＯＵＰ１とＦＯＳＢ２とは別の種類の物品となっている。
【００３１】
図１〜図４に示すように、搬送コンベア３は、上述の如くフォーク装置４等にて保持される位置決め部５を備えた複数種の物品１，２の夫々を、前端部７が搬送上手側に向く姿勢で且つ位置決め部５が物品１，２の前後中央部に位置する姿勢となる搬送用姿勢で搬送するように構成されている。尚、図１〜図３においては、矢印で示す方向が搬送方向となっており、物品１，２は矢印の方向に沿って搬送上手側から搬送下手側に搬送される。
【００３２】
搬送設備には、搬送経路の途中に予め設定された被保持部用設定位置Ａに位置決め部５が位置する物品１，２が物品用設定位置Ｂに位置することを検出する物品検出手段１１と、物品検出手段１１にて物品１，２が検出されるに伴って、物品検出手段１１にて検出された物品１，２に検出作用してその物品１，２の前端部７の位置を検出する端部検出手段１２と、物品用設定位置Ｂに位置する物品１，２の前端部７の位置に基づいて物品１，２の種類を判別するべく、物品検出手段１１の検出情報と端部検出手段１２の検出情報とに基づいて物品１，２の種類を判別する判別手段１３を備えた制御装置Ｈとが設けられている。尚、図２及び図３では、物品用設定位置Ｂに位置する物品１，２を実線で示し、後述する減速位置Ｃに位置する物品１，２を仮想線で示している。
【００３３】
図２及び図３に示すように、端部検出手段１２は、物品用設定位置Ｂに位置するＦＯＵＰ１の前端部７よりも搬送下手側に、物品用設定位置Ｂに位置する物品１，２の前端部７が存在するか否かを検出するように構成されている。具体的には、端部検出手段１２は、搬送方向と直交する水平方向に向けて検出光を投光する端部検出用投光部１２ａと、端部検出用投光部１２ａから投光された検出光を受光する端部検出用受光部１２ｂとを備えて構成されている。そして、図２に示すように、端部検出手段１２は、ＦＯＵＰ１が物品用設定位置Ｂに位置する状態で検出光がＦＯＵＰ１の前端より搬送下手側を通過し且つＦＯＳＢ２が物品用設定位置Ｂに位置する状態で検出光がＦＯＳＢ２の前端より搬送上手側を通過するように配設されており、端部検出用投光部１２ａにて投光した検出光を端部検出用受光部１２ｂにて受光するか否かにより、物品１，２の前端部７が検出光を遮断しないように検出光が通過する箇所より搬送上手側に位置するか、或いは、物品１，２の前端部７が検出光を遮断するように検出光が通過する箇所に位置するかの２種類の前端部７の位置を検出するように構成されている。
【００３４】
図３に示すように、物品検出手段１１は、鉛直上方に向けて検出光を投光する物品検出用投光部（投光部に相当）１１ａと、物品検出用投光部１１ａから投光された検出光を受光する物品検出用受光部（受光部に相当）１１ｂとを備えて構成されている。そして、物品検出手段１１は、物品１，２が物品用設定位置Ｂに位置する状態で検出光が貫通孔８を上下方向に通過するように配設されており、物品検出用投光部１１ａにて投光した検出光を貫通孔８を通して物品検出用受光部１１ｂにて受光することで、物品用設定位置Ｂに位置する物品１，２を検出するように構成されている。
【００３５】
判別手段１３は、物品用設定位置Ｂに位置する物品１，２の前端部７の位置に基づいて物品１，２の種類を判別するべく、物品検出手段１１の検出情報と端部検出手段１２の検出情報に基づいて、物品用設定位置Ｂに位置する物品１，２の前端部７が端部検出手段１２にて検出されないときは当該物品をＦＯＵＰ１と判別し、物品用設定位置Ｂに位置する物品１，２の前端部７が端部検出手段１２にて検出されたときは当該物品をＦＯＳＢ２と判別するように構成されている。
【００３６】
具体的には、物品１，２が物品用設定位置Ｂに位置することによって物品検出用投光部１１ａにて投光した検出光を物品検出用受光部１１ｂが受光している状態において、その物品１，２の前端部７が検出光が通過する箇所より搬送上手側に位置することによって端部検出用投光部１２ａにて投光した検出光を端部検出用受光部１２ｂが受光している状態では、判別手段１３は当該物品をＦＯＵＰ１と判別する。また、物品１，２が物品用設定位置Ｂに位置することによって物品検出用投光部１１ａにて投光した検出光を物品検出用受光部１１ｂが受光している状態において、その物品１，２の前端部７が検出光が通過する箇所に位置することによって端部検出用投光部１２ａにて投光した検出光を端部検出用受光部１２ｂが受光していない状態では、判別手段１３は当該物品をＦＯＳＢ２と判別する。
【００３７】
また、搬送設備には、物品用設定位置Ｂより搬送上手側の減速位置Ｃに位置する物品１，２の前端部７を検出する減速用検出手段１５（図２及び図３参照）と、物品用設定位置Ｂより搬送下手側の停止準備位置Ｄに位置する物品１，２の前端部７を検出する停止用検出手段１６（図４参照）とが設けられている。これら減速用検出手段１５及び停止用検出手段１６の検出情報に基づいて搬送コンベア３の作動を制御する作動制御手段１７が制御装置Ｈに備えられている。ちなみに、物品用設定位置Ｂは、物品１，２の位置決め部５を基準に位置が定められているため、物品用設定位置Ｂに位置するＦＯＵＰ１とＦＯＳＢ２とは、これらの位置決め部５は搬送方向で同じ箇所に位置するが、停止準備位置Ｄ及び停止位置Ｅは、物品１，２の前端部７を基準に位置が定められているため、停止準備位置Ｄ及び停止位置Ｅに位置するＦＯＵＰ１とＦＯＳＢ２とは、これらの位置決め部５は互いに搬送方向にずれて位置する。尚、図４では、停止位置Ｅに位置する物品１，２を実線で示し、後述する停止準備位置Ｄに位置する物品１，２を仮想線で示している。
【００３８】
作動制御手段１７は、減速用検出手段１５にて物品１，２が検出されるに伴って、搬送コンベア３の搬送速度を物品搬送用速度から物品搬送用速度より低速の物品判別用速度に減速し、減速用検出手段１５にて物品１，２が検出されてから減速用設定移動量搬送した後に、搬送コンベア３の搬送速度を物品搬送用速度に増速するべく、減速用検出手段１５の検出情報に基づいて搬送コンベア３の作動を制御する。尚、減速用設定移動量は、減速位置Ｃに位置する物品１，２の位置決め部５から被保持部用設定位置Ａに位置する位置決め部５までの長さより長い量に設定されている。
【００３９】
つまり、図２及び図３に示すように、物品１，２が減速位置Ｃまで搬送されてその物品１，２が減速用検出手段１５にて検出されると、搬送コンベア３の搬送速度が物品搬送用速度から物品判別用速度に減速され、物品１，２が物品用設定位置Ｂに搬送されて物品１，２の前端部７が端部検出手段１２にて検出された後、搬送コンベア３の搬送速度が物品判別用速度から物品搬送用速度に増速するようになっており、搬送コンベア３の搬送速度が遅い状態で端部検出手段１２にて物品１，２の前端部７を検出するように構成されている。
【００４０】
また、作動制御手段１７は、停止用検出手段１６にて検出された物品１，２を、物品１，２の種類に応じて予め設定された設定移動量搬送するべく、判別手段１３の判別情報及び停止用検出手段１６の検出情報に基づいて搬送コンベア３の作動を制御する。
【００４１】
つまり、図４に示すように、ＦＯＵＰ１用の設定移動量としてＦＯＵＰ用移動量Ｐ２が設定され、ＦＯＳＢ２用の設定移動量としてＦＯＳＢ用移動量Ｂ２が設定されており、物品１，２が停止準備位置Ｄに搬送されてその物品１，２が停止用検出手段１６にて検出されると、その検出された物品１，２がＦＯＵＰ１であれば停止準備位置ＤからＦＯＵＰ用移動量Ｐ２だけ搬送して搬送コンベア３の作動を停止し、検出された物品１，２がＦＯＳＢ２であれば停止準備位置ＤからＦＯＳＢ用移動量Ｂ２だけ搬送して搬送コンベア３の作動を停止するようになっている。
【００４２】
そして、ＦＯＳＢ用移動量Ｂ２は、ＦＯＳＢ２における位置決め部５から前端部７までの長さＢ１がＦＯＵＰ１における位置決め部５から前端部７までの長さＰ１より長い分だけＦＯＵＰ用移動量Ｐ２よりも長い量となっており、停止したＦＯＵＰ１の位置決め部５とＦＯＳＢ２の位置決め部５とが搬送方向で同じ位置となる状態で停止する。
【００４３】
要するに、ＦＯＵＰ１とＦＯＳＢ２との複数種の物品１，２は、物品用設定位置Ｂと、物品用設定位置Ｂより搬送上手側に設定された減速位置Ｃと、物品用設定位置Ｂより搬送下手側に設定された停止準備位置Ｄ及び停止位置Ｅとを経由する形態で、搬送コンベア３にて搬送用姿勢で搬送方向に沿って水平方向に載置搬送される。
【００４４】
そして、物品１，２が減速位置Ｃまで搬送されると、搬送コンベア３による搬送速度が減速され、物品用設定位置Ｂにおいて端部検出手段１２にて物品１，２が物品検出手段１１にて検出され且つ物品１，２の前端部７が端部検出手段１２にて検出されて、これら物品検出手段１１の検出情報及び端部検出手段１２の検出情報に基づいて、判別手段１３にて物品１，２の種類がＦＯＵＰ１であるかＦＯＳＢ２であるかが判別される。その後、物品１，２は、停止準備位置Ｄまで搬送されると判別手段１３にて判別された種類に基づいてＦＯＵＰ用設定量或いはＦＯＳＢ用設定量搬送されて停止位置Ｅに停止される。このように停止位置Ｅに停止した物品１，２は、フォーク装置４にて掬い取られて図外の移載先に移載される。
【００４５】
〔別実施形態〕
（１）  上記実施形態では、端部検出手段１２を、物品用設定位置Ｂに位置する第１物品の前端部７より搬送下手側に、物品用設定位置Ｂに位置する物品の前端部７が位置するか否かを検出するように構成し、判別手段１３を、物品検出手段１１の検出情報と端部検出手段１２の検出情報とに基づいて、物品用設定位置Ｂに位置する物品の前端部７が端部検出手段１２にて検出されないときは当該物品を第１物品と判別し、物品用設定位置Ｂに位置する物品の前端部７が端部検出手段１２にて検出されたときは当該物品を第２物品と判別するように構成したが、端部検出手段１２や判別手段１３の構成は適宜変更可能である。
【００４６】
具体的には、例えば、端部検出手段１２を、複数組の投受光器を搬送方向に並べて設け、判別手段１３を、複数組みの投受光器の受光状態に基づいて物品の種類を判別するように構成してもよい。また、端部検出手段１２を、物品用設定位置Ｂから搬送下手側に搬送された物品の前端部７を検出するように構成し、判別手段１３を、物品用設定位置Ｂに位置する物品が物品検出手段１１に検出されてから端部検出手段１２にて物品の前端部７が検出されるまでの時間に基づいて物品の種類を判別するように構成してもよい。ちなみに、これらのように端部検出手段１２や判別手段１３を構成することにより、３種類以上の物品の種類を判別することができる。
【００４７】
（２）  上記実施形態では、搬送装置を搬送コンベア３にて構成し、この搬送コンベア３にて複数種の物品を搬送方向に沿って水平方向に搬送するように構成したが、搬送装置を天井搬送車にて構成し、この天井搬送車にて複数種の物品を搬送方向に沿って鉛直方向に搬送するように構成してもよい。また、上記実施形態では、搬送装置を搬送コンベア３にて構成し、その搬送コンベア３にて前端部７が搬送下手側に向く姿勢で物品を搬送したが、搬送コンベア３にて前端部７が搬送上手側を向く姿勢で搬送してもよい。
【００４８】
（３）  上記実施形態では、保持手段をフォーク装置４にて構成し、このフォーク装置４に備えられた係合ピン４ａに係合して物品を所定の位置に位置決めするための位置決め部５を被保持部としたが、保持手段を天井搬送車にて構成し、この天井搬送車に備えられた把持装置に把持されて物品を所定の位置に位置決めするためのフランジ部６を被保持部としてもよい。
【００４９】
（４）  上記実施形態では、ＦＯＵＰ１やＦＯＳＢ２等の基板を複数枚収納して搬送される容器に予め形成された孔を物品検出手段１１の検出光を通す貫通孔８として利用したが、この予め形成された孔とは別に、物品検出手段１１の検出光を通す貫通孔８を別途形成してもよい。また、物品検出手段１１の構成は、上述の如く検出光を通して貫通孔８を検出する以外に、被保持部を直接検出する、又は、ＦＯＵＰ１やＦＯＳＢ２等の物品に貼付した反射板を検出する等、適宜変更可能である。
【００５０】
（５）  上記実施形態では、物品の種類に応じて予め設定された設定移動量搬送するべく、判別手段１３の判別情報に基づいて搬送装置の作動を制御したが、物品の種類に応じて予め設定された搬送先に搬送するべく、判別手段１３の判別情報に基づいて搬送装置の作動を制御してもよい。つまり、例えば、搬送装置としては搬送コンベア３を、ＦＯＵＰ１とＦＯＳＢ２とを載置搬送する混載コンベアと、ＦＯＵＰ１を載置搬送するＦＯＵＰ１用の専用コンベアと、ＦＯＳＢ２を載置搬送するＦＯＳＢ２用の専用コンベアと、混載コンベアと専用コンベアとの間の分岐コンベアとで構成し、混載コンベアから分岐コンベアに搬送された物品１，２が判別手段１３にてＦＯＵＰ１と判別された物品であればＦＯＵＰ１用の専用コンベアに搬送し、混載コンベアから分岐コンベアに搬送された物品が判別手段１３にてＦＯＳＢ２と判別された物品であればＦＯＳＢ２用の専用コンベアに搬送するべく、判別手段１３の判別情報に基づいて分岐コンベアの作動を制御してもよい。
【００５１】
（６）  ＦＯＵＰ１とＦＯＳＢ２とを複数種の物品として搬送する場合、被保持部から前後方向の一方側の端部までの長さがＦＯＵＰ１のそれより長いＦＯＳＢ２として、被保持部から前後方向の一方側の端部までの長さが異なる複数タイプのＦＯＳＢ２を搬送装置にて搬送してもよい。この場合、複数タイプのＦＯＳＢを同じ種類の物品として搬送してもよく、複数タイプのＦＯＳＢ２の夫々を別の種類の物品として搬送してもよい。また、上記実施形態では、フランジ部６を備えたＦＯＳＢ２を搬送装置にて搬送したが、フランジ部６を備えないＦＯＳＢ２を搬送装置にて搬送してもよく、フランジ部６を備えたＦＯＳＢ２とフランジ部６を備えないＦＯＳＢ２とを混在させて搬送装置にて搬送してもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１    ＦＯＵＰ（第１物品、物品）
２    ＦＯＳＢ（第２物品、物品）
３    搬送コンベア（搬送装置）
４    保持手段
５    位置決め部（被保持部）
７    端部
８    貫通孔
１１    物品検出手段
１１ａ  投光部
１１ｂ  受光部
１２    端部検出手段
１３    判別手段
１６    停止用検出手段
１７    作動制御手段
Ａ    被保持部用設定位置
Ｂ    物品用設定位置
Ｄ    停止準備位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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