(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハイブリッドアジマス偏極モードまたはハイブリッドラジアル偏極モードを発生させるための方法において、
ａ．入力ビームとして直線偏極ガウシアンビームを発生させる工程、及び
ｂ．コアを有する撚りファイバによって前記入力ビームを結合させる工程、
を含み、
前記撚りファイバが１０ターン/ｍより高いレートで撚り合わされ、且つ前記入力ビームがＬＰ１１モードで前記撚りファイバ内を伝搬する、
ことを特徴とする方法。
【請求項２】
ラジアル偏極モードを発生させるための方法において、
ａ．入力ビームとして直線偏極ガウシアンビームを発生させる工程、
ｂ．ハイブリッドアジマス偏極モードを生じさせるに十分なレートで撚り合わされた、コアを有する撚りファイバによって前記入力ビームを結合させ、且つ前記入力ビームがＬＰ１１モードで前記撚りファイバ内を伝搬する工程、
ｃ．アジマス偏極モードを生じさせるために、前記ハイブリッドアジマス偏極モードに１/４波長板を通過させる工程、及び
ｄ．ラジアル偏極モードを生じさせるために、前記アジマス偏極モードに１/２波長板を通過させる工程、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項３】
アジマス偏極モードを発生させるための方法において、
ａ．入力ビームとして直線偏極ガウシアンビームを発生させる工程、
ｂ．ハイブリッドアジマス偏極モードを生じさせるに十分なレートで撚り合わされた、コアを有する撚りファイバによって前記入力ビームを結合させ、且つ前記入力ビームがＬＰ１１モードで前記撚りファイバ内を伝搬する工程、及び
ｃ．アジマス偏極モードを得るために、前記ハイブリッドアジマス偏極モードに１/４波長板を通過させる工程、
を含むことを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【関連出願の説明】
【０００１】
本出願は、２００８年７月１０日に出願された米国仮特許出願第６１/０７９６４１号及び２００８年１１月２６日に出願された米国仮特許出願第６１/１１８０９７号の優先権の恩典を主張する。
【技術分野】
【０００２】
本発明は、撚り光導波路デバイスを用いて入力直線偏極ガウシアンビームから発生される、ハイブリッドアジマス(方位角方向)偏極ビーム及びハイブリッドラジアル(径方向)偏極ビームをラジアル偏極ビーム及びアジマス偏極ビームとともに含む、ＨＡＲＰモードと称される、軸対称偏極光ビームに関する。
【背景技術】
【０００３】
光渦を有する光ビームは多くの重要な用途に望ましい。そのような用途には、例えば、光学像形成、リソグラフィ、帯電粒子加速、材料処理、高効率レーザ切断、高効率レーザ溶接及び計測学がある。さらに、ラジアル偏極光ビーム及びアジマス偏極光ビームにより、回折限界をこえるビームの集束が可能になると同時に、定常縦電場及び定常縦磁場の発生が可能になる。
【０００４】
軸対称ベクトルビームと称される、ラジアル偏極光ビーム及び／またはアジマス偏極光ビームは、例えば、キャビティ内偏極操作、コンピュータ生成ホログラム、少数モード光ファイバへのオフセット入力及び高次モード光ファイバ励起を含む、いくつかの異なる方法を用いて発生させることができる。光トラップのような用途に対し、ラジアル偏極ビームは周囲媒体をトラップすることができ、アジマス偏極ビームは誘電率が周囲媒体より低い粒子をトラップするようにはたらく。ラジアル偏極とアジマス偏極の切換えは、例えば２枚の１/２波長板を用いて、行うことができる。
【０００５】
これらの方法はベクトルビームを発生するために考案されたが、これらの方法では少数モードファイバを、非対称位相板、１/２波長板及び偏極コントローラのような、多くの微小光学コンポーネントとともに使用する必要があるため、複雑である。例えば、初めに位相板を用いて入力ガウシアンビームを非対称ビームに変換し、次いで軸対称偏極モードへの変換を可能にするために多くの偏極コンポーネントを用いることになろう。
【０００６】
光ファイバを撚り合わせると光ファイバの第１の空間モード、すなわちＬＰ０１モードの２つの直線偏極モードの間の結合をおこさせ得ることは周知である。例えば、非特許文献１，特許文献１及び非特許文献２を見よ。そのような撚り合わせの手法及び技術は、長距離光ファイバ伝送線路における偏極モード分散を低減する目的のため、十分に研究されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】米国特許第５２９８０４７号明細書
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】エイ・ジェイ・バーロー(A. J. Barlow)等，Applied Optics，１９８１年，第２０巻，ｐ.２９６１
【非特許文献２】エム・ジェイ・リー(M. J. Li)及びディー・エイ・ノーラン(D. A. Nolan)，Optics Letters，１９９８年，第２３巻，第２１号，ｐ.１６５９〜１６６１
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、発明者等がハイブリッドアジマス偏極モードと称し、ハイブリッドラジアル偏極モードとも称する偏極モードを含む、軸対称偏極光を入力直線偏極ガウシアンビームから発生させるための方法を説明する。ハイブリッドアジマス偏極モードはアジマス偏極モードとＨＥ２１モードの組合せである。ハイブリッドラジアル偏極モードもラジアル偏極モードとＨＥ２１モードの組合せである。変換は撚り少数モード光導波路デバイス内でおこる。導波路は、屈折率分布が渦−ベクトル偏極モードの直線偏極ＬＰ１１重ね合わせの伝搬を可能にするに適切な、撚りファイバ導波路である。さらに、コアは若干楕円形とすることができ、コアの中心はデバイスの幾何学的中心から若干ずれている。線引きプロセス中のファイバの撚り合わせにより、これらの非対称性は撚りの周期でデバイス長に沿って回転させられる。センチメートル程度ないしさらに短い周期の重ね合わせでデバイスを撚り合わせることで、光が入力基本モードからＬＰ１１モードに結合され、これは渦−ベクトルモードの重ね合わせである。これらのモードは、ＨＥ２１モード、ラジアルモード及びアジマスモードを含む。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、４つのＬＰ１１モードの偏極パターンの線図表示であって、(ａ)はＴＥ０１モードに対する偏極パターンであり、(ｂ)はＴＭ０１モードに対する偏極パターンであり、(ｃ)はＨＥ２１偶モードに対する偏極パターンであり、(ｄ)はＨＥ２１奇モードに対する偏極パターンである。
【図２】図２はラジアル偏極状態及びアジマス偏極状態に対する線図表示であり、本発明にしたがうハイブリッドアジマス偏極状態を示す。
【図３】図３は軸対称ベクトルビームの発生及び解析のための実験構成を示す。
【図４】図４は、(ａ)撚りファイバの出力と、(ｂ)０°，(ｃ)４５°及び(ｄ)９０°に設定された直線偏光子をファイバの出力が通過した後に見られる強度を示す。
【図５】図５は，(ａ)撚りファイバからの出力偏極状態と、(ｂ)０°，(ｃ)４５°及び(ｄ)９０°に設定された直線偏光子を出力が通過したときの強度及び偏極状態を示す。
【図６】図６は撚りファイバからの出力の、方位が０°または９０°に定められた１/４波長板を用いる、純アジマス偏極ビームへの変換を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
ジー・ボルプ(G. Volpe)，ディー・ペトロフ(D. Petrov)，「ラゲール-ガウシアンビームによって励起された少数モード光ファイバによる軸対称ベクトルビームの発生(Generation Of Cylindrical Vector Beams With Few-Mode Fibers Excited By Laguerre-Gaussian Beams)」，Opt. Commun.，２００４年，第２３７巻，ｐ.８９〜９５、及びその他の論文に説明されているように、ステップインデックス型ファイバ内部を伝搬するモードの偏極特性と軸対称ベクトルビームの間の相似性を利用することによって軸対称ベクトルビームを発生させることができる。少数モードファイバは基本モードＬＰ０１(ＨＥ１１)だけでなく、さらに二次モードＬＰ１１(ＴＥ０１，ＴＭ０１及びＨＥ２１)もサポートする。ＴＥ０１モード及びＴＭ０１モードの横電場はそれぞれ、アジマス偏極電場及びラジアル偏極電場を与え、ハイブリッド電場モードのＨＥ２１モードはハイブリッド構造を有する。しかし、ファイバ断面内のモードパワー分布はＬＰ０１モードとＬＰ１１モードとで異なる。ＬＰ０１に対して、パワーはファイバの軸を囲む小領域に集中する。対照的に、ＬＰ１１に対して、例えばファイバの入力においてガウシアンビームの代わりに一次ラゲール−ガウシアンＬＧ１０ビームを用いると、パワーはドーナツ形状で分布する。
【００１２】
４つのＬＰ１１モード、すなわち、ＴＥ０１モード，ＴＭ０１モード，ＨＥ２１偶モード及びＨＥ２１奇モードの横電場は：
【数１】
0005518059.tif 000002
【数２】
0005518059.tif 000003
【数３】
0005518059.tif 000004
【数４】
0005518059.tif 000005
【００１３】
として与えられ、ここでＦ(ｒ)はラジアル関数であり、
【数５】
0005518059.tif 000006
【００１４】
及び
【数６】
0005518059.tif 000007
【００１５】
は単位ベクトルである。これらの様々なモードの偏極パターンが図１に示される。これらのモードに対しては３つの伝搬常数、すなわち、偶ＨＥ２１モード及び奇ＨＥ２１モードに対するβＨＥ，ＴＥ０１モードに対するβＴＥ及びＴＭ０１モードに対するβＴＭ，があるから、全電場偏極状態はファイバに沿って変化する。
【００１６】
上に示したように、ラジアル偏極ビームまたはアジマス偏極ビームの偏極状態に対する一般式はそれぞれ、式[１]：
【数７】
0005518059.tif 000008
【００１７】
で与えられ、ここで、φはビーム周りの角位置を表し、ａ，ｂはある角度において円偏極状態または楕円偏極状態を可能にする係数である。ａ＝ｂ＝１の場合の、これらの２つの偏極状態がそれぞれ図２(ａ)及び２(ｂ)に示される。図２(ｃ)は：
【数８】
0005518059.tif 000009
【００１８】
に対して、ａ＝１，ｂ＝ｉとした場合の、偏極状態を示す。
【００１９】
これは、発明者等が本明細書でハイブリッドアジマス偏極(ＨＡＰ)状態として説明し、発明者等がハイブリッドラジアル偏極(ＨＲＰ)状態として説明する直交状態を有する、本発明にしたがう新しい偏極状態である。ＨＡＰモードはφ＝０，π/２，π，３π/２においてアジマス偏極と同様の偏極を有し、φ＝π/４，３π/４，５π/４及び７π/４において円偏極と同様の偏極を有する。
【００２０】
ＨＲＰモードはφ＝０，π/２，π，３π/２においてラジアル偏極と同様の偏極を有し、φ＝π/４，３π/４，５π/４及び７π/４において円偏極と同様の偏極を有する。ＨＡＰモード及びＨＲＰモードは発明者等がＨＡＲＰモードと称している分類を形成する。
【００２１】
ハイブリッドアジマス偏極は横電場ＴＥ０１モードとハイブリッド電場(偶)ＨＥ２１モードの重ね合わせとして書くことができる。ＴＥ０１モードは図１(ａ)及び２(ｂ)に示されるアジマス偏極モードと同じモードである。対処的に、ＨＥ２１モードはそれ自体ハイブリッドモードであり、図１(ｄ)に示される。ＴＥ０１モードをＨＥ２１モードと与えられた位相差(ｉ)で：
【数９】
0005518059.tif 000010
【００２２】
のように組み合わせれば、ＨＡＰ状態が生じる。ＨＥ２１モードの前の因子‘ｉ’は、最終偏極における円偏極成分の原因となる、２つの偏光状態の間のπの位相差を表す。
【００２３】
ハイブリッドラジアル偏極(ＨＲＰ)モードはＨＡＰ偏極モードに直交し、ＴＭ０１モードと奇ＨＥ２１モードの重ね合わせ：
【数１０】
0005518059.tif 000011
【００２４】
である。
【００２５】
ＨＡＰモード及びＨＲＰモードの線運動量及び角運動量は、エル・アレン(L. Allen)，エム・ジェイ・パジェット(M. J. Padgett)，エム・ベイビカー(M. Babiker)，Progress in Optics XXIX，１９９９年，ｐ.２９１〜３７２の方法にしたがって計算することができる。ここでＨＡＰモードを、ＨＲＰモードに関して同様の言明がなされ得ることを念頭において、詳細に考察する。上式[１]からわかるように、偏極状態εはφの関数であり、また単位ベクトル：
【数１１】
0005518059.tif 000012
【００２６】
及び
【数１２】
0005518059.tif 000013
【００２７】
を含むことが示される。ｒ及びφとして書き換えれば、ＨＡＰ状態の表出の原因になる項である、定数ａ及びｂを消去することができるであろう。ベクトルポテンシャルが：
【数１３】
0005518059.tif 000014
【００２８】
の形をとるとし、ここで、
【数１４】
0005518059.tif 000015
【００２９】
であり、
【数１５】
0005518059.tif 000016
【００３０】
はビーム周りの方位角位置であり、
【数１６】
0005518059.tif 000017
【００３１】
であるとすれば、ローレンツゲージ[１０]から計算される電場及び磁場は、式[３]：
【数１７】
0005518059.tif 000018
【００３２】
及び、式[４]：
【数１８】
0005518059.tif 000019
【００３３】
である。
【００３４】
これらの場を用いて時間平均線運動量：
【数１９】
0005518059.tif 000020
【００３５】
を計算すれば、式[５]：
【数２０】
0005518059.tif 000021
【００３６】
が得られる。
【００３７】
式[５]から、ＨＡＰ状態の角運動量密度が、式[６]：
【数２１】
0005518059.tif 000022
【００３８】
と計算される。
【００３９】
倍角の公式を用いれば、
【数２２】
0005518059.tif 000023
【００４０】
である。これを円偏極光ビームについて計算された角運動量と比較すれば、円偏極光の旋進性に依存して±１の値を有し、また直線偏極光については０の値を有していた、光子のスピン角運動量として知られる‘σ’が、今では空間においてsin２φで変化する値をとることがわかる。このφ依存性は、局所的に、角運動量が、φ＝０における０から、φ＝π/４における：
【数２３】
0005518059.tif 000024
【００４１】
になり、次いでφ＝π/２における０になり，次いでφ＝３π/４における：
【数２４】
0005518059.tif 000025
【００４２】
になり、以下同様に変化することを意味する。図１(ｃ)において円偏極があれば必ず、角運動量は：
【数２５】
0005518059.tif 000026
【００４３】
である。ビームにわたって積分することで全角運動量を計算すれば、式[７]：
【数２６】
0005518059.tif 000027
【００４４】
が得られ、式[７]におけるｊｚのφに関する０から２πまでの積分は０である。よって、ハイブリッド偏極に対する角運動量密度の空間変化が非ゼロであっても、全角運動量は事実上、ゼロである。これは、純ラジアル偏極モードまたは純アジマス偏極モードのいずれに対しても角運動量密度はゼロ、すなわち：
【数２７】
0005518059.tif 000028
【００４５】
及び
【数２８】
0005518059.tif 000029
【００４６】
であるから、純ラジアル偏極光または純アジマス偏極光の場合の角運動量と異なる。
【００４７】
実験及びデータ
ＬＰ０１空間モードの１つの偏極モードから別の偏極モードへの結合を生じさせるためには、ファイバの撚りレートがビート長より十分に短いことが必要である。ビート長はファイバコアの楕円率の逆数に関係する。ビート長は、コアが若干楕円形のファイバの２つの直線偏極モードの伝搬定数または実効屈折率の差にも関係する。
【００４８】
ここで、ＬＰ１１モードはＨＥ２１モードの、またラジアル偏極モード及びアジマス偏極モードの重ね合わせである。これらのモードは全て相異なる伝搬定数を有する。例えば、ヴァッサロ(Vassallo)著，「光導波路(Optical Waveguide Concepts)」，１９９１年，エルスビア(Elsevier)を見よ。これらのモードの伝搬定数または屈折率は全て互いに若干異なる。ファイバの撚り合わせはこれらの全てのモードの間で結合を生じさせ得る。
【００４９】
ＨＡＰ状態を有する渦ビームを発生するための実験構成が図３に示される。波長が６３２.８ｎｍの縦(直線)偏極Ｈｅ-Ｎｅ(ヘリウム-ネオン)レーザ３０が１/２波長板３２を通過して、所望の方位に回転させることができる直線偏極ガウシアンビームになる。直線偏極ガウシアンビームは次いで、ビームを撚りファイバ３４のコア上に集束させるはたらきをする２０倍の顕微鏡対物レンズ３５ａを通して、撚りファイバ３４に結合される。ファイバからの出力は第２の２０倍顕微鏡対物レンズ３５ｂによって減結合され、対物レンズ３５ｂは出力モードを拡大するためにはたらく。ビームは次いで出力偏極状態を定めるための検光子としてはたらく直線偏光子３６を通過する。強度分布がモノクロＣＣＤカメラ３８上に記録される。
【００５０】
縦偏極Ｈｅ-Ｎｅレーザ３０が直線偏極ガウシアンビームの発生源として説明されるが、いかなる直線偏極ガウシアンビーム発生源も用いられ得ることが当業者には明らかである。しかし、ファイバに入力されると、光がＬＰ１１モードとして伝搬するような発生源が好ましい。図３に示される実験構成において、楕円コアファイバ３４は作成時に２０ターン/ｍのレートで撚り合わされる。しかし、ファイバ３４の撚りレートは変換をおこさせたいファイバの楕円率及びファイバ長に依存して変わり得る。例えば、軸対称ファイバは理論的にはさらに低いレートで撚ることができるが、レートは１０ターン/ｍより高いことが好ましい。しかし、楕円コアファイバを用いると、さらに高い撚りレートで同じモード結合効果を生じさせ得るであろう。
【００５１】
さらに、この実験に用いた撚りファイバ３４の長さはほぼ１０ｍである。しかし、モード変換をおこさせるに十分にファイバが長ければ、ファイバ長は数ｃｍから所望のいかなる長さにも変わり得る。与えられた楕円率に対し、ファイバ長を短くしていくにつれて、撚りファイバの撚りレートを高めていく必要があろう。さらに、図３の実験構成はカットオフ波長が７４０ｎｍのファイバを示している。しかし、ＬＰ１１モードの発生のために必要なことは、ファイバを伝搬する光の波長よりカットオフ波長が長いことだけである。波長が６３２.８ｎｍのレーザ３０を用いていたから、カットオフ波長が７４０ｎｍの撚りファイバは許容できた。しかし、ＨＥ３１モードより高次のＨＥモードの伝搬を可能にするには、カットオフ波長が長すぎないことが好ましい。図３に示される実験構成によれば、撚りファイバ３４は１％のコアΔ及び数μｍのコア径を有し、この結果として、適切なカットオフ波長が得られている。今説明したように、様々なコアΔとコア径の組合せを有するファイバを、適切なカットオフ波長が達成されるならば、用いることができる。
【００５２】
図３に示される実験構成において、撚りファイバの撚りコアは若干楕円形である。軸対称コアを用いることができるが、楕円の方位は回転するから、楕円形であることによって、異なる偏極モードへの、また異なる偏極モードからの、優れた結合が可能になる。撚りファイバのコアの楕円率は５％より大きい離心率を有することが好ましい。実験に用いた撚りファイバはさらに、ファイバクラッドの幾何学的中心から若干ずらされたコア中心を有する。このずれのため、対称ガウシアンモードから非対称ラゲール-ガウシアンモードへの空間モード分布の変化が可能になる。コア中心はファイバの幾何学的中心から少なくともコア径の１０％はずらされることが好ましい。
【００５３】
直線偏極光が撚りファイバ３４に入力して直線検光子３６を通過したときの代表的な出力が図４に示される。図は検光子の偏光角がそれぞれ(ｂ)０°，(ｃ)４５°及び(ｄ)９０°に設定されたときの撚りファイバ３４からのコリメートされた出力のベクトル状態を示す。検光子が０°または９０°に設定されたときの強度パターンは一次エルミート-ガウシアンモードに類似し、検光子が４５°に設定されたときの強度分布は一次ラゲール-ガウシアンモードに類似する。この撚りファイバ３４は実効的に、ゼロ次モードを一次モードに変換する、モードコンバータとしてはたらく。入射偏極光の方位は撚りファイバ３４からのＨＡＰ出力に影響しない。
【００５４】
ＬＰ１１モード間の光の変換に必要な撚りレートを計算するためには、初めに、ＬＰ１１のベクトルモード、すなわち、ＨＥ２１モード、ＴＭモード及びＴＥモードについての、ＬＰ１１モード[４]への偏極補正を計算する必要がある。これらのベクトルモードの内の２つの間の差に等価なレートで撚りレートが続けば、光は、その２つのベクトルモードの一方から他方に、迅速かつ完全に転換するであろう。
【表１】
0005518059.tif 000030
【００５５】
撚りファイバ３４の出力状態の撚りレート依存性が表１に示される。全般的に、本発明には軸対称である撚りファイバ導波路デバイスが包含されるであろうが、コア中心がデバイスの幾何学的中心から若干ずらされている、若干楕円形の導波路が用いられることが好ましい。そのような構成では、ファイバ線引きプロセス中にファイバを撚り合わせることで、非対称性をファイバ長に沿って撚り周波数で回転させる。したがって、撚られていない、すなわち撚りレートが０ターン/ｍの、同じカットオフ周波数及び屈折率をもつファイバに光を結合させても渦は見られない。代わりに、直線偏極であるエルミート-ガウシアンモードが見られる。図５を参照すれば、無撚りファイバの出力は図５(ｂ)または(ｄ)のようなＨＧモード構造を有する。ファイバへの結合のアライメントに依存して、出力はＨＧ１０モードまたはＨＧ０１モードになる。図５(ｂ)〜(ｄ)は、 (ｂ)０°，(ｃ)４５°及び(ｄ)９０°に設定されている直線偏光子を光が通過した後の偏極状態を簡略に示す。
【００５６】
しかし、撚りレートが１０ターン/ｍのファイバに光が結合されると、出力は、光渦を有し、偏極が全くの直線偏極ではなく、全くのハイブリッドアジマス偏極でもない、渦とＨＧモードの間の混合のように見える、軸対称ベクトルモードへの変換の兆候を示し始める。
【００５７】
撚りレートが２０ターン/ｍのファイバに光が結合されると、出力は、図５(ａ)に簡略な線図で、また図４(ａ)の偏光子出力図で示されるような、ＨＥモードへの完全な変換を示す。図示されるように、撚りファイバの出力は直線偏極状態及び円偏極状態を含むベクトル重ね合わせ状態にある光渦である。したがって、ＨＡＰ状態が形成されていることが示される。
【００５８】
図４及び５に示され、説明される軸対称ベクトルは、ビームプロファイルを９０°まわる毎に円偏極状態が現れるハイブリッドアジマス偏極の実験観測結果である。次に図６を参照すれば、方位が０°または９０°に定められた１/４波長板を挿入することによって、ハイブリッドアジマス偏極ビームを純アジマス偏極状態に変換することができる。これは円偏極領域の方位が円偏極の旋進性に依存して４５°または１３５°に定められた直線偏極への変換であり、直線偏極状態には影響しないであろう。このビームはさらに、図６に示されるように、方位が４５°に定められた１/２波長板をビーム路に挿入することによって純ラジアル偏極モードに変換することができる。
【００５９】
さらに、線引きプロセス中のファイバ撚り合わせは、光の、アジマス偏極モードへの直接結合よりもハイブリッドアジマス偏極モードへの結合を生じさせ得る。これは、ハイブリッドがＨＥ２１モードとアジマスモードの組合せであり、一方のモードだけより両モードによる占有の方がおこり易くなるための結果である。
【００６０】
上述は本発明の実施形態例を含む。本発明を説明する目的のためにコンポーネントまたは方法の全ての組合せを説明することはもちろん不可能であるが、当業者であれば、本発明の多くの別の組合せ及び置換が可能であることを認めるであろう。したがって、本発明は、添付される特許請求項の精神及び範囲内に入るような、別形、改変及び変形の全てを包含するとされる。
【符号の説明】
【００６１】
３０    レーザ
３２    １/２波長板
３４    撚りファイバ
３５ａ，３５ｂ    ２０倍顕微鏡対物レンズ
３６    直線偏光子
３８    モノクロＣＣＤカメラ
【図１（ａ）】
0005518059.tif 000031
【図１（ｂ）】
0005518059.tif 000032
【図１（ｃ）】
0005518059.tif 000033
【図１（ｄ）】
0005518059.tif 000034
【図２】
0005518059.tif 000035
【図３】
0005518059.tif 000036
【図４（ａ）】
0005518059.tif 000037
【図４（ｂ）】
0005518059.tif 000038
【図４（ｃ）】
0005518059.tif 000039
【図４（ｄ）】
0005518059.tif 000040
【図５】
0005518059.tif 000041
【図６】
0005518059.tif 000042