(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉄製ワークピースを保持するための磁気保持装置であって、
該装置は、フレーム（２）と、ソレノイド（３）と、プレート（１１）とを含み、
前記フレーム（２）は、第１の厚さ（Ｓ"）を有し、かつ、横方向および下方向から複数の磁極片（１３）を収容するように適合されており、
前記複数の磁極片（１３）は、それぞれ保持表面（１３Ａ）を画定する強磁性部材から形成されており、
前記ソレノイド（３）は、可逆性磁石（４）の周囲に設けられており、
前記プレート（１１）は、第２の厚さ（Ｓ）を有しており、
前記複数の磁極片（１３）は、前記プレート（１１）から延長しており、かつ、前記プレート（１１）とともに１つの部材に形成されている
形式の磁気保持装置において、
貫通孔（１４）が、前記プレートの前記第２の厚さ（Ｓ）と、前記磁気保持装置（１２）のための基板として機能する前記フレーム（２）の前記第１の厚さ（Ｓ"）の一部とにわたって延在している、
ことを特徴とする磁気保持装置。
【請求項２】
前記プレート（１１）は、前記プレート（１１）の第２の厚さ（Ｓ）より短く貫通しない複数の溝（１５）を有し、前記各溝（１５）には静的磁石（９）が装着されており、
前記プレート（１１）は、前記各溝（１５）の開口部が、前記複数の磁極片（１３）の保持表面（１３Ａ）と同じ側に存在するように、前記フレーム（２）と組み合わされている、ことを特徴とする請求項１記載の磁気保持装置。
【請求項３】
前記プレート（１１）は、前記プレート（１１）の第２の厚さ（Ｓ）より短く貫通しない複数の溝（１５）を有し、前記各溝（１５）には静的磁石（９）が装着されており、
前記プレート（１１）は、前記各溝（１５）の開口部が、前記複数の磁極片（１３）の保持表面（１３Ａ）とは反対側に存在するように、前記フレーム（２）と組み合わされている、ことを特徴とする請求項１記載の磁気保持装置。
【請求項４】
前記プレート（１１）は、複数の溝（１５，１８）を含み、
該溝（１５，１８）は、前記複数の磁極片（１３）のそれぞれの周囲を画定し、かつ前記複数の磁極片（１３）を互いに接続するための接続部分（１１Ａ）を形成するように適合されており、
前記複数の磁極片（１３）は、円形の平断面を有しており、
前記溝（１５，１８）は、円周溝であり、
該円周溝の中心（Ｃ）は、前記各磁極片（１３）の中心（Ｃ）にある、
ことを特徴とする請求項１記載の磁気保持装置。
【請求項５】
前記プレート（１１）は、複数の溝（１５，１８）を含み、
該溝（１５，１８）は、前記複数の磁極片（１３）のそれぞれの周囲を画定し、かつ前記複数の磁極片（１３）を互いに接続するための接続部分（１１Ａ）を形成するように適合されており、
前記複数の溝（１５，１８）の少なくとも１つの溝は、前記複数の溝（１５，１８）の少なくとも１つの第２の溝と直交している、ことを特徴とする請求項１または２記載の磁気保持装置。
【請求項６】
前記貫通孔（１４）は、前記複数の磁極片（１３）のそれぞれの中心（Ｃ）に形成されている、請求項１から５までのいずれか１項記載の磁気保持装置。
【請求項７】
・前記複数の磁極片（１３）の各磁極片は、保持表面（１３Ａ）を画定するように適合された少なくとも１つの面を有し、
・前記接続部分（１１Ａ）の断面積は、前記保持表面（１３Ａ）を画定するように適合された前記少なくとも１つの面の面積の３０％よりも小さい、
ことを特徴とする請求項４または５記載の磁気保持装置。
【請求項８】
前記接続部分（１１Ａ）は、前記プレート（１１）の厚さ（Ｓ）と前記複数の溝（１５，１８）の第１深さ（Ｈ）との間の残りの寸法に等しい厚さ（Ｓ’）を有する、
ことを特徴とする請求項７記載の磁気保持装置。
【請求項９】
前記接続部分（１１Ａ）は、
前記プレート（１１）の厚さ（Ｓ）と、
前記保持表面（１３Ａ）とは反対側の面（１３Ｂ）から前記保持表面（１３Ａ）に向かって測定したときの前記複数の溝（１５，１８）の第１深さ（Ｈ）と、
前記保持表面（１３Ａ）から該保持表面（１３Ａ）の反対側の前記面（１３Ｂ）に向かって測定したときの前記複数の溝（１５，１８）の第２深さ（ｈ）の間の残りの寸法に等しい厚さ（Ｓ’）を有する、
ことを特徴とする請求項７記載の磁気保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有利には制限のない、請求項１および１２の上位概念にそれぞれ記載の磁気クランプ装置のための一体型（one-piece）多極プレート、および該プレートの製造方法に関する。本明細書で使用される磁気クランプ装置という用語は、以下のものを指すことを意図している:
・永久磁石式装置、すなわち、クランプするため、または、装置の状態を活性状態から非活性状態およびその逆に変更するために使用される際にいかなる電力供給も必要としない装置であって、該装置の中に永久磁石が適切な配置で装置の中に設けられている装置。
・永電磁式装置、すなわち、クランプするために使用される際にはいかなる電力供給も要求せず、活性化および非活性化される際に電力供給を要求する装置であって、該装置の中に可逆性永久磁石（reversible permanent magnet）、および必要に応じて静的永久磁石（static permanent magnet）が、適切な配置で装置の中に設けられている装置。
・電磁式装置、すなわちクランプするために使用される際に電力供給を要求する装置であって、該装置の磁気コアが強磁性材料から形成されている装置。
【０００２】
図１Ａならびに図１Ｂに関する従来技術において、例えばデュアルマグネット型永電磁式の磁気クランプ装置１の製造方法は、第１ステップを含み、該第１ステップにおいて固体の強磁性材料からフレームが形成され、このフレームの中にソレノイドとしても知られている"Ｎ"個のコイル３が配置される。
【０００３】
他方でフレーム２は、当業者にはよく知られた方法を用いて種々異なる構成要素を組み立てることによって形成することができる。ソレノイド３は、北／南の極性を得るように適切に配置され、フレーム２の外側に配置された電源（図示しない）と電気的に接続されている。
【０００４】
ソレノイド３は、例えばＡｌＮｉＣｏ磁石のような可逆性磁石４を収容するための空間を画定するように構成されており、該可逆性磁石４の上には磁極片５が載置されている。
【０００５】
磁極片５は、固形の強磁性材料を機械的に機械加工することによって得られる。
【０００６】
本明細書で使用される磁極片という用語は、磁気装置が活性化されていない時には通常磁気的に中性であり、かつ磁気装置が活性化されている時には磁気的に活性状態である表面を有する強磁性材料から形成される構成要素を表すよう意図されていることに注意されたい。
【０００７】
図１Ｂの詳細な図面においては、磁極片５は、所定の幅、長さ、厚さの６つの面を備えた正方形平断面を有する強磁性構成要素として示されている。詳細には、この磁極片５は、これら６つの面のうち磁界が１つの方向に配向されている４つの面と、磁界方向、ひいては北／南の極性が可変である第５の面と、第６の面５Ａとを有し、この第６の面５Ａは、磁気装置が活性化されていない場合には中性とすることができるか、または、磁気装置が活性化されている場合には、残りの５つの面と同じ極性を有することができる。
【０００８】
磁気装置１が複数の磁極片５を有していることに注意されたい。これらの磁極片は互いに物理的に分離されており、ワークピースを保持する表面２Ａを形成するためにフレーム２と結合されている。表面２Ａの上には、機械的に加工されるべきワークピースが配置される。
【０００９】
換言すると、複数の磁極片５の全ての面５Ａが磁気装置の磁気プレートの保持表面２Ａを形成しており、該保持表面の上に、機械的に加工されることとなるワークピースが配置され、磁気装置が活性化されると堅固にクランプされる。
【００１０】
その後製造方法は、磁極片５を例えばねじ６によってフレーム２に結合させるステップを含み、このようにしてソレノイド３−可逆性磁石４アセンブリを容器にクランプすることができる。各磁極片５をフレーム２に結合できるようにするために、フレーム２と磁極片５の両方に孔部７が形成されており、該孔部は、各磁極片５をフレーム２にクランプするためのねじ６と噛み合うように構成されている。さらに、ワークピースを加工するために特別に必要とされる場合には、磁極延長部分（図示しない）を、それぞれ１つまたは複数の磁極片５と結合することができる。
【００１１】
この磁極延長部分は、例えば磁極片５に形成された付加的な孔部８に前記磁極延長部分をねじ結合することによって、磁気装置１の磁極片５と結合することができる。この付加的な孔部８は、前記孔部７と同一の縦軸に沿って延在している。
【００１２】
製造方法は、同様に適切に配向されたフェライトまたはＮｄＦｅＢのような静的磁石９を磁極片５間の間隙に嵌め込むステップも含む。
【００１３】
最後に製造方法は、可逆性磁石４の磁束が静的磁石９の磁束と平衡化される"キャリブレーション"ステップと、樹脂注型ステップ１０とを含み、該樹脂注型ステップにおいては、磁気装置１を、不純物および／または液体浸透に対して実質的に耐性にすることができ、全ての間隙を充填することができる。
【００１４】
それでもなお、装置１を製造するためのこの製造方法は若干の問題を抱えており、その問題の１つはキャリブレーションステップに関連している。時間がかかることに加えて、キャリブレーションステップは、特別に技術を有する技術者が実行しなければならない。
【００１５】
キャリブレーションステップは、磁気装置１に特別に関連した以下のような問題のために必要とされることに注意されたい：
ａ）各磁極片の複数の静的磁石から得られ得る全磁束値は、前もって統計的に計算されている場合でさえ、使用されている可逆性磁石の値と、質、量等に関して相違し得る。
ｂ）磁気プレートの保持表面を形成する磁極片５の各ペアの間の中心間距離、ならびに、磁極片５の各ペアの表面間の距離は、種々異なる物質（静的磁石、磁極片）の寸法公差によって変化し得る。
ｃ）あいだに静的磁石９が嵌め込まれた磁極片５の各ペアの表面は、磁極片とフレームとのねじ結合のせいで非平行である。
【００１６】
上に述べたことに加え、磁気装置の製造に関連して、該装置がデュアルマグネット型永電磁式であろうとなかろうとさらに以下のような課題がある：
・磁極片５の頭部に形成される孔部８の、精確なアラインメントおよび均等なスペーシングを達成することは不可能である。
・磁極片５は、特に磁極延長部分が使用される場合には、クランピングプレートに対して保持されるワークピースの機械加工により引き起こされる振動を吸収する能力に乏しい。
・上記振動によって充填樹脂１０の損傷が引き起こされ、冷却液がソレノイド領域３に浸透してしまい、短絡が引き起こされる可能性がある。
【００１７】
上述のような従来技術に鑑みて、本発明の課題は、従来技術に関連して上に挙げた問題を回避することである。
【００１８】
本発明によれば、この課題は、請求項１記載の磁気クランプ装置のためのプレートによって解決される。
【００１９】
この課題はまた、請求項１２記載の磁気クランプ装置のためのプレートの製造方法によって解決される。
【００２０】
最後にこの課題は、請求項２０記載の磁気クランプ装置によって解決される。
【００２１】
本発明によれば、一体型多極プレートを、ただ１つの強磁性材料から形成することができるので、著しく時間を節約することができる。
【００２２】
組み立ての際にも時間を節約することができる。なぜなら本発明は、ただ１つの部材、すなわち一体型多極プレートを用いるだけでよいからである。
【００２３】
このようにして得られる一体型多極プレートによれば、"Ｎ"個の磁極片を、種々の磁極片間のアラインメントおよび中心間距離に注意を払う必要なしに、ソレノイド−可逆性磁石ユニットに簡単に取り付けることが可能となる。
【００２４】
本発明によればさらに、静的磁石（static magnet）の位置をずらすことなく挿入することができ、従来技術による装置とは異なり、いかなる磁極片の位置調節も必要されず、磁極プレートをフレームに対してセンタリングするだけでよくなる。
【００２５】
本発明の一体型多極プレートのさらなる利点は、以下のとおりである：
・磁極延長部分が使用される場合に、これらのスペーシングが１００分の１の精度で保証され、これによって磁気装置の使用中における機械加工の精度が向上する。
・ソレノイド領域への液体浸透が阻止される。なぜなら、一体型磁極プレートは、ソレノイド領域と作業面との間に金属ダイヤフラムを形成するからである。
・ワークピースの機械加工によってプレートに及ぶ応力がプレート全体に亘り、これによって高い振動耐性が保証される。
【００２６】
最後に、本発明のプレートがデュアルマグネット型の磁気装置において使用される場合には、２つの（静的および可逆性）磁石のキャリブレーションを回避することができる。その理由は以下のとおりである：
１）磁極片が一定の間隔を置いて配向されており、磁極片のピッチは、０．１ミリメータより小さい公差によって提供される。
２）本発明のプレートによれば、いかなる超過磁束も部分的に短絡させることが可能となる；これによって、２つの（静的および可逆性）磁石の磁束のバランスをとる必要性を回避することができ、このようにして組み立て中の時間節約が可能となる。
【００２７】
本発明の特徴および利点は、実施形態についての以下の詳細な説明から明らかとなる。実施形態は添付図面に図示されているが、これに限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１Ａおよび１Ｂは、それぞれ従来技術による磁気装置の縦断面図と、該磁気装置の構成要素の平面図である。
【図２Ａ】図２Ａは、本発明の一体型多極プレートの第１実施例の平面図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、図２Ａの一体型多極プレートのＸ−Ｘに沿った縦断面図である。
【図２Ｃ】図２Ｃは、本発明の一体型多極プレートの第２実施例の平面図である。
【図２Ｄ】図２Ｄは、図２Cの一体型多極プレートのＸ’−Ｘ’に沿った縦断面図である。
【図３】図３は、本発明の磁気装置を形成するフレームと結合された際の、図２Ａまたは図２Ｃのプレートを示す図である。
【図４】図４は、本発明の別の磁気装置を形成するフレームと結合された際の、図２Ａまたは図２Ｃのプレートを示す図である。
【図５Ａ】図５Ａは、本発明の一体型多極プレートの第３実施例の平面図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは、図５Ａの一体型多極プレートのＸ’’−Ｘ’’に沿った縦断面図である。
【図６】図６は、本発明の磁気装置を形成するフレームと結合された際の、図５Ａのプレートを示す図である。
【図７Ａ】図７Ａは、本発明の一体型多極プレートの第４実施例の平面図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、図７Ａの一体型多極プレートのＸ’’’−Ｘ’’’に沿った縦断面図である。
【図７Ｃ】図７Ｃは、本発明の一体型多極プレートの第５実施例の平面図である。
【図７Ｄ】図７Ｄは、図７Ａの一体型多極プレートのＸ’’’’−Ｘ’’’’に沿った縦断面図である。
【００２９】
上述した構成要素が同一の参照符号によって示されている添付図面２Ａ〜７Ｄを参照すると、磁気クランプ装置１２のためのプレートは、概して参照符号１１によって示されている。
【００３０】
プレート１１は複数の磁極片１３を含む。これらの磁極片は、例えば正方形平面（図２Ａ，７Ａ）または円形平面（２Ｃ，５Ａ，７Ｃ）を有することができるが、図示しない別のプロフィール、例えば三角形プロフィールも可能である。
【００３１】
磁極片１３はプレート１１から延長しており、前記プレート１１とともに１つの部材から形成されている。すなわち複数の磁極片１３はプレートの一部である。
【００３２】
このように、プレート１１は一体型多極プレートである。
【００３３】
より詳細には、複数の磁極片１３がプレート１１から突出しており、磁気装置１２の保持表面１２Ａを画定している。この保持表面１２の上には、機械加工すべきワークピース（図示しない）を置くことができる。
【００３４】
このようにして、予め決められた幅Ｌ、長さｌ、および厚さＳを有する平坦な強磁性プレートは、プレート１１を得るための複数の機械加工ステップに供給される。ここでは特別な適用要求に応じて複数の、例えば６個、８個、またはそれ以上の磁極片１３が、凹部または溝１５を形成することによって得られる。
【００３５】
より詳細には、溝１５は、各磁極片１３の周囲を画定しており、各磁極片１３につき少なくとも１つの保持領域ないし表面１３Ａを形成する。
【００３６】
磁気装置１２の保持表面１２Ａは、複数の保持領域１３Ａの全体によって画定される。
【００３７】
プレート１１が、（静的磁石および可逆性磁石を備えた）デュアルマグネット型磁気装置と結合される場合、これらの溝１５は静的磁石９および樹脂１０のための容器を形成することができ（図３および４）、（可逆性磁石のみを有する）シングルマグネット型磁気装置と結合されている場合、これらの溝は、樹脂１０だけのための容器を形成することができる（図６）ことに注意されたい。
【００３８】
溝１５におけるプレート１１の残りの材料部分は、種々の磁極片１３の間の接続部分１１Ａを画定しており、磁極片１３のペアの間の接続を可能にするためのものである。
【００３９】
特にこの接続部分１１Ａは、磁気装置が活性化された際に、磁極片１３の静的磁石９同士間のある種の部分的な短絡を形成し、磁極片１３の、ひいてはプレート１１の剛性を増大させることができ、したがって機械的応力に対するプレートの抵抗力を増加させる。
【００４０】
部分１１Ａの断面全体は、有利には磁極片１３の領域１３Ａの３０％よりも小さくなるように、すなわち磁極片１３の保持表面１３Ａによって画定されている領域の３０％を超えないようにすべきであるが、これに限定されるものではない。
【００４１】
部分１１Ａの断面が各磁極片１３の保持表面１３Ａの領域の３０％よりも大きい場合には、磁気装置のクランプ能力はより劣ってしまう可能性がある。さらに添付図面を参照すると、各磁極片１３につき１つの貫通孔１４が見受けられる。
【００４２】
この貫通孔１４は、プレート１１の厚さＳ（したがって磁極片１３の厚さ）と、磁気装置１２のための基板として機能するフレーム２の厚さＳ１１の一部とを通って延在している。
【００４３】
貫通孔１４を各磁極片１３の中心Ｃに形成すると有利であるということに注意されたい。貫通孔１４の位置にかかわらず、中心Ｃのペア間で一定ピッチＰを達成することができる。
【００４４】
有利には、孔１４が磁極片１３の中心に形成される場合、該孔１４は、直交座標軸Ｘ−Ｙを備える基準系の軸に平行な所定の軸に沿って配向される。
【００４５】
各貫通孔１４は、該貫通孔に結合された締結装置１７を有することができることに注意されたい。該締結装置の特徴は、イタリア国特許出願ＭＩ２００７Ａ００１２２７に記載されており、締結装置は、ソレノイド３−可逆性磁石４ユニットを、磁極片１３とフレーム２の基板との間の容器にクランプすることができる。
【００４６】
磁極延長部分のシャンク（図示しない）は上記締結装置１７と結合することができる。
【００４７】
磁極延長部分の技術的特徴および作動特徴、ならびに該磁極延長部分を使用した利点は、例えばイタリア国特許ＩＴ１２２２８７５および特許出願ＭＩ２００７Ａ００１３５３において発見できるだろう。
【００４８】
磁気装置１２の製造方法は、図１Ａの従来技術に関連した製造方法と類似しているが、該磁気装置１２の製造方法は有利には、プレート１１、ひいては磁極片１３全体を装置のフレーム２と結合することができるたった１つのステップを含む。
【００４９】
この特徴によって、磁極片の製造工程においても、有利には組み立て中においても、両方において著しい時間節約が提供され、１つの部材が用いられるだけで、磁極片５のように多くの部材を磁気装置１２に取り付ける必要はない。
【００５０】
磁極延長部分が使用される場合、組み立て工程は磁極延長部分のペアの間の中心間距離を１００分の１の精度で保証し、これによりワークピースの機械加工の精度が増加することに注目されたい。
【００５１】
特に、本発明の第１実施例を図示した図２Ａおよび２Ｂを参照すると、プレート１１から６個の磁極片１３が突出している様子が図示されている。
【００５２】
プレート１１、ひいては６個の磁極片１３は、平坦なプレートから材料除去によって、例えばフライス加工ステップまたは穿孔ステップによって形成することができる。
【００５３】
特にフライス加工ステップは、凹部または溝１５を画定する。
【００５４】
図２Ａの実施例においては、溝１５は、プレート１１の厚さＳの少なくとも１つの深さＨに亘って延在するように形成されている。
【００５５】
換言すると、接続部分１１Ａの厚さＳ’は、以下の関係式によって規定される。
Ｓ’＝Ｓ−Ｈ
なお、Ｓはプレート１１の厚さであり、Ｈは溝１５の深さである。
【００５６】
複数の磁極片１３の各磁極片の溝１５は、直交座標軸Ｘ−Ｙを備える基準系の軸Ｘに平行な線に沿って、および軸Ｙに平行な線に沿って延在しており、したがって磁極片１３は正方平面形を有し、平行な列に沿って配向されている。
【００５７】
穿孔ステップは、貫通孔１４、および、プレート１１の断面Ｓを貫通して延在する付加的な貫通孔１６の両方を形成する。
【００５８】
有利には、これらの貫通孔１６は、フレーム２とプレート１１のより簡単なアラインメントを提供するのと同様に、樹脂１０の通路も提供する。特に、本発明の第１実施例を図示した図２Ｃおよび２Ｄを参照すると、プレート１１から８個の磁極片１３が突出している様子が図示されている。
【００５９】
ここでも再び、プレート１１および８個の磁極片１３は、例えばコアラーなどのフライス機械を使用した材料除去によって平坦なプレートから形成することができる。
【００６０】
特に、このフライス加工は、各磁極片１３の中心Ｃと同心に実施される。
【００６１】
このようにして円形の平断面を備える複数の磁極片１３が得られる。
【００６２】
再度、図２Ｃおよび２Ｄに図示される実施例において、接続部分１１Ａの厚さＳ’は関係式Ｓ’＝Ｓ−Ｈによって規定される。なお、Ｓはプレート１１の厚さであり、Ｈは溝１５の深さである。
【００６３】
図３および４を参照すると、磁気装置１２の断面図が示されており、図２Ａまたは２Ｃに示されるようなプレート１１が磁気装置１２のフレーム２に組み立てられている。
【００６４】
図３および４からは、プレート１１が、組み立て中にプレートの位置に依存している、例えば（静的磁石と可逆性磁石を有する）デュアルマグネット型永電磁式のような２つの型の磁気装置１２を提供することができることがわかる。
【００６５】
より詳細には、"表"位置または従来位置として知られた位置（図４参照）、および、"裏"位置または金属位置として知られる第２位置（図３参照）を規定することができる。"表"位置または従来位置として知られた位置（図４参照）では、図２Ａまたは２Ｃに図示されるようなプレート１１が、磁極片１３が露出されている保持表面１２を有する様子が図示されている。前記"裏"位置または金属位置として知られる第２位置（図３参照）では、図２Ａまたは２Ｃに図示されるようなプレート１１は、磁極片１３が見えないようになっている保持表面１２Ａを有している。プレート１２が従来位置（図４）にある装置１２は、該磁気装置１２の保持表面１２Ａからより多くの材料除去を可能にするという利点を提供することに注目されたい。なぜなら、不活性状態においてはいかなる活性化部分も磁束によって損傷されないからである。
【００６６】
これは特に有利である。なぜなら、機械加工によって引き起こされる保持表面の劣化のせいで、要求されるワークピースの機械加工精度はそのうち保証することができなくなるからである。この欠点を回避するために、プレート１１を使用すれば、および図４に図示されるパターンに従ったプレート１１の配置によれば、装置１２の保持表面１２Ａを研削するために多様なステップを実施することが可能となり、その一方で、活性化部分への損傷を阻止することができる。他方で、プレート１１が裏位置（図３）にある装置１２は、図４に図示された装置と比較してより広い金属表面、とくに樹脂のない保持表面を有するという利点を提供する。
【００６７】
後者の特徴は、保持表面に樹脂が無いので、保持表面１２Ａの温度の上昇を含む機械加工の際に、樹脂の破損、変形、および／または剥離が起こらないという点で非常に有利である。
【００６８】
さらに、磁気装置のために選択されるプレートの位置にかかわらず、液体がソレノイド領域３に浸透することはない。なぜなら一体型プレート１１は、ソレノイド３と作業面との間における金属ダイヤフラムを形成するからである。
【００６９】
特にデュアルマグネット型装置（静的磁石および可逆性磁石を有する）の場合、磁極片１３の中心Cと中心との間の距離が一定であるという特徴によって、キャリブレーションの必要性が回避されることに注目されたい。なぜならプレート１２の部分１１Ａによる静的磁石９間の部分的な短絡により、静的磁石９と可逆性磁石４の磁束を完全にバランスをとる必要はなくなるからである。
【００７０】
さらに、プレート１１が円形の磁極片を有する磁気装置１２によれば、図２Ａおよび２Ｂの実施例と比較して一層良好な機械的応力分布が可能となることにも注目されたい。なぜなら残りの金属ダイヤフラムが、磁極片１３の周囲全体にわたって配置されているからである。
【００７１】
図３および４を参照しながら説明した実施例とは異なる、本発明の第３実施例を示す図５Ａ〜６を参照すると、プレート１１は、（可逆性磁石のみを有する）シングルマグネット型磁気装置のための特別なプレートである。
【００７２】
図５Ｂに示される特別な実施形態においては、接続部分１１Ａの厚さＳ’は、以下の関係式によって規定されることに注意されたい：
Ｓ’＝Ｓ−Ｈ−ｈ
なお、Ｓはプレート１１の厚さであり、Ｈは、保持表面１３Ａとは反対側の面１３Ｂから保持表面１３Ａに向かって測定したときの溝１５の深さであり、ｈは、保持表面１３Ａから保持表面１３Ａの反対側の面１３Ｂに向かって測定したときの溝１５の深さである。
【００７３】
さらに保持表面１３Ａは、リング１９Ａを収容するための環状の凹部１９を有する。該リング１９Ａは、有利には非磁性金属材料から形成されており、磁気装置が活性化されている場合に、磁気装置１２の保持表面１３Ａの上へのクランピング力を集中させるために使用される。
【００７４】
図７Ａ−７Ｂおよび図７Ｃ−７Ｄを参照すると、プレート１１の磁極片１３は、例えば材料の穿孔による材料除去の機械的ステップによって得られる。
【００７５】
特に、これらのステップは、内部に材料を含まない貫通溝１８を画定するために、プレート１１からの完全な材料除去を含む。
【００７６】
換言すると、貫通溝１８は、プレート１１の厚さＳを完全に貫通するように材料が完全に除去された開口部であり、すなわち貫通溝１８の深さＨ（またはｈ）は、プレート１１の厚さＳと同じである。
【００７７】
これらの溝１８は、磁極片１３のプロフィールを画定または形成しており、これらの磁極片は、あらゆる形状、例えば四角形（図７Ａおよび７Ｂ）、円形（図７Ｃおよび７Ｄ）、または三角形（図示しない）のような別の形状とすることができる。
【００７８】
換言すると、プレート１１における溝１８は凹部のプロフィールを画定しており、各凹部自体が磁極片１３の周囲を画定している。
【００７９】
特にこの溝１８は、磁極片１３間の接続、および静的磁石（ある場合には）の部分的な短絡、ならびに磁気漏洩の低減を可能にするために、先細プロフィールを備える交点１８Ａにて終端することができる。
【００８０】
これによって、プレート１１の周縁に沿って、および、交点１８Ａにて、磁気装置１２が活性化された際に静的磁石を部分的に短絡させるための、磁極片１３間における接続が可能となる。
【００８１】
図７Ａ−Ｂに図示されるような実施例において、領域１８は、直交座標軸Ｘ−Ｙを備える基準系の軸Ｘ，Ｙに対して実質的に平行に延在していることに注目されたい。
【００８２】
逆に、図７Ｃ−７Ｄの実施例においては、領域１８は、各磁極片１３の中心Ｃと同心に延在している。
【００８３】
この分野の当業者であれば、以下の特許請求の範囲に規定されているような、本発明の範囲を逸脱することなく、特定の要求を満たすために、これまで説明してきた実施形態に対して種々の変更および変形を行うことができることは自明である。
【図１Ａ】
0005583015.tif 000002
【図１Ｂ】
0005583015.tif 000003
【図２Ａ】
0005583015.tif 000004
【図２Ｂ】
0005583015.tif 000005
【図２Ｃ】
0005583015.tif 000006
【図２Ｄ】
0005583015.tif 000007
【図３】
0005583015.tif 000008
【図４】
0005583015.tif 000009
【図５Ａ】
0005583015.tif 000010
【図５Ｂ】
0005583015.tif 000011
【図６】
0005583015.tif 000012
【図７Ａ】
0005583015.tif 000013
【図７Ｂ】
0005583015.tif 000014
【図７Ｃ−１】
0005583015.tif 000015
【図７Ｃ−２】
0005583015.tif 000016