(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
描画エリアにおいて、ワークの移動に同期して、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動することで描画を行うと共に、前記描画エリアから前記ワークの移動方向片側に外れた除給材エリアにおいて、前記ワークの除給材を行う液滴吐出装置であって、
スライダーを有すると共に、前記ワークがセットされるセットテーブルと、
前記スライダーを介して、前記セットテーブルの移動を前記描画エリアおよび前記除給材エリアに亘ってガイドするガイド手段と、を備え、
前記ガイド手段は、前記描画エリアと前記除給材エリアとに対応して２分割され、
分割された前記ガイド手段間の各小口の突き当て部分には、それぞれ連結装置を設け、且つ、各小口間には接着剤が充填されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記描画エリアおよび前記除給材エリアに亘って、前記ガイド手段を支持するベース体を、更に備え、
前記ベース体は、前記描画エリアと前記除給材エリアとに対応して２分割されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
描画エリアにおいて、ワークの移動に同期して、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動することで描画を行うと共に、前記描画エリアから前記ワークの移動方向両側に外れた２つの除給材エリアにおいて、前記ワークの除給材をそれぞれ行う液滴吐出装置であって、
それぞれがスライダーを有すると共に、前記ワークがセットされる一対のセットテーブルと、
前記各スライダーを介して、前記一対のセットテーブルの移動を前記描画エリアおよび２つの前記除給材エリアに亘ってガイドするガイド手段と、を備え、
前記ガイド手段は、前記描画エリアと２つの前記除給材エリアに対応して３分割され、
分割された前記ガイド手段間の各小口の突き当て部分には、それぞれ連結装置を設け、且つ、各小口間には接着剤が充填されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
前記描画エリアおよび２つの前記除給材エリアに亘って、前記ガイド手段を支持するベース体を、更に備え、
前記ベース体は、前記描画エリアと２つの前記除給材エリアとに対応して３分割されていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記ガイド手段は、方形断面の石定盤で構成され、
前記スライダーは、前記ガイド手段の表面および両側面にガイドされるエアースライダーで構成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークおよび機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワークに描画を行う液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の液滴吐出装置として、ワークおよび機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、描画エリアにおいて、ワークに描画を行うと共に、描画エリアから外れた除給材エリアにおいて、ワークの除給材を行うものが知られている（特許文献１参照）。
この液滴吐出装置は、ワークをセットするセットステージと、描画エリアおよび除給材領域間に亘り、セットステージを介してワークをＸ軸方向に移動させるＸ軸移動テーブルと、機能液を吐出する複数の機能液滴吐出ヘッドを有するキャリッジと、キャリッジをＹ軸方向に移動させるＹ軸移動テーブルと、を備えている。
この場合、Ｘ軸移動テーブルは、セットステージを支持するスライダーと、スライダーの移動を、描画エリアおよび除給材エリア間に亘ってガイドするガイド部と、ガイド部を支持するベース部と、を備えており、ベース部は、コンクリートの構成体で構成され、ガイド部は単一の石定盤で構成されている。このように装置の基礎部分を狂いの少ない部材で構成することにより、描画品質に影響を与えるセットステージの移動を高い精度に維持している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−４３４９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような、描画エリアの外側に除給材エリアを有する液滴吐出装置では、Ｘ軸移動テーブル（によるセットステージ）の移動範囲が極端に長くなり、これに併せて装置の基礎部分となるガイド部およびベース部が長くなる。特に、大型のワークに描画を行なう大型の液滴吐出装置では、基礎部分となるガイド部およびベース部が長くなるだけでなく強度を考慮して大型化する。このため、ガイド部およびベース部がコスト高になると共に、その単体としての重量が非常に重くなってしまい、搬送等に支障を生ずる問題があった。また、ガイド部（およびベース部）が大型化すると機械精度が出し難くなり、描画精度が低下してしまうという問題があった。
【０００５】
本発明は、描画エリアにおいては高い機械精度が要求されるものの、除給材エリアにおいてはさほど高い機械精度が要求されないことに着目して、為されたたものであり、描画精度を維持したまま、コストおよび単位重量を低く抑えることができる液滴吐出装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液滴吐出装置は、描画エリアにおいて、ワークの移動に同期して、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動することで描画を行うと共に、描画エリアからワークの移動方向片側に外れた除給材エリアにおいて、ワークの除給材を行う液滴吐出装置であって、スライダーを有すると共に、ワークがセットされるセットテーブルと、スライダーを介して、セットテーブルの移動を描画エリアおよび除給材エリアに亘ってガイドするガイド手段と、を備え、ガイド手段は、描画エリアと除給材エリアとに対応して２分割され、分割されたガイド手段間の各小口の突き当て部分には、それぞれ連結装置を設け、且つ、各小口間には接着剤が充填されていることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明の他の液滴吐出装置は、描画エリアにおいて、ワークの移動に同期して、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動することで描画を行うと共に、描画エリアからワークの移動方向両側に外れた２つの除給材エリアにおいて、ワークの除給材をそれぞれ行う液滴吐出装置であって、それぞれがスライダーを有すると共に、ワークがセットされる一対のセットテーブルと、各スライダーを介して、一対のセットテーブルの移動を描画エリアおよび２つの除給材エリアに亘ってガイドするガイド手段と、を備え、ガイド手段は、描画エリアと２つの除給材エリアに対応して３分割され、分割されたガイド手段間の各小口の突き当て部分には、それぞれ連結装置を設け、且つ、各小口間には接着剤が充填されていることを特徴とする。
【０００８】
これらの構成によれば、ガイド手段は、描画エリアと除給材エリアとの間で２分割（あるいは３分割）されているため、ガイド手段の単体を短くすることができる。これにより、ガイド手段のコストを低減することができると共に、ガイド手段単体の重量を軽減することができる。また、ガイド手段は、描画エリアでは分割されていないため、高い機械精度により描画精度を維持することができる。
【０００９】
この場合、描画エリアおよび除給材エリアに亘って、ガイド手段を支持するベース体を、更に備え、ベース体は、描画エリアと除給材エリアとに対応して２分割されていることが、好ましい。
【００１０】
同様に、描画エリアおよび２つの除給材エリアに亘って、ガイド手段を支持するベース体を、更に備え、ベース体は、描画エリアと２つの除給材エリアとに対応して３分割されていることが、好ましい。
【００１１】
これらの構成によれば、ベース体を２分割（あるいは３分割）されているため、ベース体単体を軽量化することができると共に、コストを抑えることができる。また、ベース体は、描画エリアでは分割されていないため、描画精度を維持することができる。
【００１２】
この場合、ガイド手段は、方形断面の石定盤で構成され、スライダーは、ガイド手段の表面および両側面にガイドされるエアースライダーで構成されていることが、好ましい。
【００１３】
この構成によれば、スライダーは、ガイド手段の表面および両側面によって安定にガイドされるため、ガイド手段（およびベース体）を分割しても、適切にセットテーブルを描画エリアおよび除給材エリア間で移動させることができる。なお、分割されたガイド手段（およびベース体）は、その突合せ部分において、連結手段により位置決め状態で連結されていることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】液滴吐出装置の斜視図である。
【図２】液滴吐出装置の平面図である。
【図３】液滴吐出装置の側面図である。
【図４】第１実施形態に係るＸ軸テーブルの平面図である。
【図５】機能液吐出装置の一連の動作を表した図である。
【図６】ワークテーブル廻りの断面図である。
【図７】第２実施形態に係るＸ軸テーブルの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付した図面を参照して、本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入したインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを用いて、カラーフィルターや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成すると共に、これに並行して機能液滴吐出ヘッドの機能維持・機能回復（保守）を実施するものである。なお、以下の説明では、ワークの移動方向をＸ軸方向（主走査方向）とし、機能液滴吐出ヘッド（キャリッジユニット）の移動方向をＹ軸方向（副走査方向）として説明する。
【００１６】
図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、機台ベース（ベース体）２と、Ｘ軸方向に延在し、セットしたワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル３と、Ｘ軸テーブルを跨ぐように架け渡された一対のＹ軸支持ベース４と、複数の機能液滴吐出ヘッド５３が搭載された複数の（例えば１０個）キャリッジユニット５と、一対のＹ軸支持ベース４上に配設され、複数のキャリッジユニット５（複数の機能液滴吐出ヘッド５３）をＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル６と、Ｘ軸テーブル３から外れた位置でＹ軸テーブル６に下側から臨み、機能液滴吐出ヘッド５３のメンテナンスに供する保守装置７と、Ｘ軸テーブル３に搭載した検査ステージ８と、検査ステージ８と協働して機能液滴吐出ヘッド５３の吐出検査を行う一対の画像認識ユニット９と、を備えている。
【００１７】
また、液滴吐出装置１は、Ｘ軸テーブル３に対し、ワークＷの除給を行う一対の除給材ロボット１１と、上記の構成装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバー（図示省略）と、装置全体を統括制御する制御装置１２と、を備えている。なお、Ｘ軸テーブル３に、さらに、機能液滴吐出ヘッド５３からの捨て吐出を受けるフラッシングステージ１３や、機能液滴吐出ヘッド５３から吐出された機能液の重量を測定する重量測定ステージ１４を搭載するようにしてもよい。
【００１８】
保守装置７は、機能液滴吐出ヘッド５３に対しキャッピングおよび吸引を行う吸引ユニット１５と、吸引後の機能液滴吐出ヘッド５３のノズル面を払拭するワイピングユニット１６と、を有している。液滴吐出装置１の稼働開始時や要メンテナンス時に、Ｙ軸テーブル６により機能液滴吐出ヘッド５３を吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６に臨ませて適宜、メンテナンスを行うようになっている。
【００１９】
Ｘ軸テーブル３は、ワークＷがセットされる一対のワークステージ２１と、一対のワークステージ２１のＸ軸方向への移動をガイドする一対のＸ軸移動ガイド（ガイド手段）２２と、一対のＸ軸移動ガイド２２上に各ワークステージ２１をスライド自在に支持する一対のＸ軸スライダー（スライダー）２３と、一対のＸ軸移動ガイド２２上に検査ステージ８をスライド自在に支持する検査スライダー２４と、各Ｘ軸スライダー２３を介して一対のワークステージ２１を個々に移動させ、且つ検査スライダー２４を介して検査ステージ８を移動させるＸ軸リニアモーター２５と、を有している。
同様に、Ｙ軸テーブル６は、各キャリッジユニット５を支持する複数のブリッジプレート（図示省略）と、複数のブリッジプレートのＹ軸方向への移動をガイドする一対のＹ軸移動ガイド２６と、一対のＹ軸移動ガイド２６上に各ブリッジプレートをスライド自在に支持する複数のＹ軸スライダーと、各Ｙ軸スライダーを介して複数のキャリッジユニット５を個々に移動させるＹ軸リニアモーター（共に図示省略）と、を有している。
【００２０】
一方、Ｘ軸テーブル３およびＹ軸テーブル６の交差領域には、ワークＷに描画動作を行う描画エリア３１が設定され、描画エリア３１からＹ軸方向に外れたＹ軸テーブル６の移動領域には、上記の保守装置７を配設した保守エリア３２が設定されている。また、描画エリア３１からＸ軸方向の両外側には、機能液滴吐出ヘッド５３からの検査吐出の吐出結果を検査する第１検査エリア３３および第２検査エリア３４が設定され、さらに、各検査エリア３３，３４に対するＸ軸方向の両外側には、ワークＷを除給する第１除給材エリア３５および第２除給材エリア３６が設定されている。すなわち、実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸方向において、中心に設けられた描画エリア３１の両外側に、一対の検査エリア３３，３４および一対の除給材エリア３５，３６が設けられている。
【００２１】
一対のワークステージ２１は、第１ワークステージ４１および第２ワークステージ４２からなり、第１ワークステージ４１は第１除給材エリア３５および描画エリア３１間を移動し、第２ワークステージ４２は第２除給材エリア３６および描画エリア３１間を移動する。一対の画像認識ユニット９は、第１画像認識ユニット４３および第２画像認識ユニット４４からなり、第１画像認識ユニット４３は第１検査エリア３３に、第２画像認識ユニット４４は第２検査エリア３４にそれぞれ配設されている。検査ステージ８は、第１検査エリア３３および第２検査エリア３４間を移動し、描画エリア３１を通過中に機能液滴吐出ヘッド５３（キャリッジユニット５）から検査吐出を受ける。一対の除給材ロボット１１は、第１除給材ロボット４５および第２除給材ロボット４６からなり、第１除給材ロボット４５は第１除給材エリア３５に、第２除給材ロボット４６は第２除給材エリア３６にそれぞれ配設されている。
【００２２】
図３に示すように、各キャリッジユニット５は、１２個の機能液滴吐出ヘッド５３を搭載したヘッドユニット５１と、ヘッドユニット５１をＹ軸テーブル６にθ回転および昇降自在に支持するヘッド回転機構５２と、を備えている。ヘッドユニット５１は、キャリッジプレート（図示省略）に対し、機能液滴吐出ヘッド５３が、左右に６個ずつ二分して組み付けられている。左右１組（２個）の機能液滴吐出ヘッド５３は、同一種類の機能液を吐出し、上下に６組の機能液滴吐出ヘッド５３が相互に階段状に位置ずれして配設されている。そして、機能液滴吐出ヘッド５３は、そのノズル面に、２列のノズル列を有する圧電素子駆動のインクジェットヘッドで構成されている。なお、キャリッジユニット５の個数およびキャリッジユニット５に搭載される機能液滴吐出ヘッド５３の数は任意である。
【００２３】
検査ステージ８は、ロール状に巻回した検査シートを吸着載置する吸着ステージと、吸着ステージに検査シートを繰出す繰出し機構と、検査後の検査シートを巻取る巻取り機構（いずれも図示省略）と、を備えている。検査ステージ８は、繰出し機構により繰出された検査シートを、吸着ステージに吸着させた状態で、機能液滴吐出ヘッド５３からの検査吐出を受ける。
【００２４】
各画像認識ユニット９は、検査ステージ８に上方から臨む複数（例えば５台）のカメラ５４と、複数のカメラ５４を支持する複数のカメラ台（図示省略）と、機台ベース２を跨ぐように架け渡され、複数のカメラ台をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラフレーム５５と、複数のカメラ台を介して各カメラ５４をカメラフレーム５５に沿ってＹ軸方向に移動させるカメラ移動機構（図示省略）と、を有している。この画像認識ユニット９では、複数のカメラ台を介して各カメラ５４をＹ軸方向に移動させながら、検査シートに検査吐出された液滴を数個ずつ連続して画像認識する。画像認識された検査結果は、制御装置１２に送られ、ドット抜けや飛行曲がり等を検査（吐出検査）する。
【００２５】
ここで、図４を参照し、液滴吐出装置１の一連の動作について説明する。
図４は、液滴吐出装置１の一連の動作における第１ワークステージ４１、第２ワークステージ４２および検査ステージ８の位置関係を模式的に表している。先ず、第１除給材エリア３５に位置する第１ワークステージ４１上において、第１除給材ロボット４５により、ワークＷが給材されアライメントされた状態から、第１ワークステージ４１を、描画エリア３１の描画開始位置に移動させる（同図（ａ））。描画開始と同時に第１ワークステージ４１は、描画エリア３１内を数回（Ｎ回）往復動し、且つ機能液滴吐出ヘッド５３（キャリッジユニット５）からワークＷに描画吐出を受ける（同図（ｂ））。この間、検査ステージ８は、第２検査エリア３４において待機し、第２除給材エリア３６の第２ワークステージ４２には、第２除給材ユニットにより、別のワークＷが給材され且つワークＷのアライメントが実施される。
【００２６】
第１ワークステージ４１は、最終往動動作（Ｎ回目の往動動作）を終えると、最終復動動作（Ｎ回目の復動動作）に続いて描画エリア３１を出て第１検査エリア３３を通過し、第１除給材エリア３５に移動する。この第１ワークステージ４１の最終復動動作および第１除給材エリア３５への移動に同期して、検査ステージ８は、第１ワークステージ４１を追従するように、第２検査エリア３４から描画エリア３１を通過して第１検査エリア３３に移動する（同図（ｃ））。そして、検査ステージ８は、この描画エリア３１を通過した際に（移動中）、機能液滴吐出ヘッド５３から検査吐出を受ける。
【００２７】
この第１ワークステージ４１と検査ステージ８の移動に同期して、新しいワークＷがセットされた第２ワークステージ４２が、描画エリア３１の描画開始位置に移動する（同図（ｄ））。図４の（ｃ）および（ｄ）の移動は、実際は同時に実施される。描画開始されると第２ワークステージ４２は、上記と同様に描画エリア３１内を数回（Ｎ回）往復動することで、機能液滴吐出ヘッド５３（キャリッジユニット５）からワークＷへ吐出を受ける（同図（ｅ））。一方、第１除給材エリア３５に移動した第１ワークステージ４１に対し、第１除給材ロボット４５によってワークＷの除給材とアライメントが実施される。さらに、第１検査エリア３１に移動した検査ステージ８は、第１画像認識ユニット４３に臨み、その検査吐出結果の吐出検査に供される。すなわち、第１除給材エリア３５において除給材動作が、第１検査エリア３３において吐出検査が、描画エリア３１において描画動作が、それぞれ並行して行われている。
【００２８】
第２ワークステージ４２は、最終往動動作（Ｎ回目の往動動作）を終えると、最終復動動作（Ｎ回目の復動動作）に続いて描画エリア３１を出て第２検査エリア３４を通過し、第２除給材エリア３６に移動する。この第２ワークステージ４２の最終復動動作および第２除給材エリア３６への移動に同期して、検査ステージ８は、第２ワークステージ４２を追従するように、第１検査エリア３３から描画エリア３１を通過し、検査吐出を受けて第２検査エリア３４に移動する（同図（ｆ））。すなわち、第１検査エリア３３における検査ステージ８の吐出検査は、第２ワークステージ４２（ワークＷ）の最終往動動作（Ｎ回目の往動動作）が終了するまでに、完了していることとなる。
【００２９】
次に、図１、図５および図６を参照して、Ｘ軸テーブル３周りの構造について詳細に説明する。上述のように、Ｘ軸テーブル３は、一対のワークステージ２１と、一対のＸ軸移動ガイド２２と、一対のＸ軸スライダー２３と、検査スライダー２４と、Ｘ軸リニアモーター２５と、を有し、機台ベース２上に固定されている。この場合、一対のＸ軸スライダー２３は、上記の第１ワークステージ４１および第１ワークステージ４１を搭載し、検査スライダー２４は、検査ステージ８を搭載している。
【００３０】
各ワークステージ２１は、アライメントされたワークＷを吸着セットする吸着テーブル６１と、吸着テーブル６１を支持すると共にこれをθ回転させるθテーブル６２と、を有している。そして、各ワークステージ２１の下面には各Ｘ軸スライダー２３が設けられ、検査ステージ８の下面には検査スライダー２４が設けられている。一対のＸ軸スライダー２３および検査スライダー２４は、いずれもエアースライダーで構成されており、これらは基本構造が同一であるため、以下、一方のＸ軸スライダー２３を例に説明を進める。
【００３１】
Ｘ軸スライダー２３は、ワークステージ２１（θテーブル６２）を直接支持するスライダー本体６３と、スライダー本体６３に取り付けた一対の浮上用エアーパッド６４および一対の幅規制用エアーパッド６５と、で構成されている。一方の浮上用エアーパッド６４は、一方のＸ軸移動ガイド２２の上面に対峙し、一方の幅規制用エアーパッド６５は、一方のＸ軸移動ガイド２２の外側の側面に対峙している。同様に、他方の浮上用エアーパッド６４は、他方のＸ軸移動ガイド２２の上面に対峙し、他方の幅規制用エアーパッド６５は、他方のＸ軸移動ガイド２２の外側の側面に対峙している。なお、Ｘ軸リニアモーター２５は、そのステーターがＸ軸移動ガイド２２に固定され、スライダーがスライダー本体６３に固定されており、ステーターは、Ｘ軸移動ガイド２２と同様に、一対の除給材エリア３５，３６に亘るようにＸ軸方向に延在している。また、Ｘ軸リニアモーター２５は、左右一対設けるようにしてもよい。
【００３２】
一対のＸ軸移動ガイド２２は、機台ベース２上において相互平行に配設され、一対の除給材エリア３５，３６に亘るようにＸ軸方向に延在している。各Ｘ軸移動ガイド２２は、方形断面の石定盤で構成されており、描画エリア３１に対応する描画部移動ガイド７１と、２つの除給材エリア３５，３６に対応する一対の除給材部移動ガイド７２と、で３分割されている。すなわち、各Ｘ軸移動ガイド２２は、描画部移動ガイド７１の両小口に、各除給材部移動ガイド７２の一方の小口を突き合わせる（実際には、僅かな間隙を設ける）ようにして、直線状に配設されている。そして、描画部移動ガイド７１および一対の除給材部移動ガイド７２は、相互の小口間の間隙が数〜数十マイクロメーターとなるように、機台ベース２に支持固定されている。また、各小口の突き当て部分には、それぞれ連結装置を設け、且つ各小口間には接着剤（コーキング剤）を充填しておいてもよい。なお、描画部移動ガイド７１と一対の除給材部移動ガイド７２との突合せ部分は、平面視直角の他、Ｘ軸方向において部分的にオーバーラップする平面視斜めや平面視クランク状であってもよい。
【００３３】
機台ベース２は、Ｘ軸テーブル３を包含する大きさの方形のベースであり、例えばスチール枠材にＰＣコンクリートを流し込んだコンクリート構造体や鋳物等で、構成されている。機台ベース２も、各Ｘ軸移動ガイド２２と同様に、描画エリア３１に対応する描画部機台ベース７３と、２つの除給材エリア３５，３６に対応する一対の除給材部機台ベース７４と、で３分割されている。したがって、描画部機台ベース７３は、各描画部移動ガイド７１と同じ長さに形成され、各除給材部機台ベース７４，７４は、各除給材部移動ガイド７２と略同じ長さに形成されている。そして、機台ベース２は、描画部機台ベース７３の両小口に、各除給材部機台ベース７４，７４の一方の小口を突き合わせる（実際には、僅かな間隙を設ける）ようにして、直線状に配設されている。なお、各小口の突き当て部分には、それぞれ連結装置を設け、且つ各小口間には接着剤（コーキング剤）を充填しておくことが好ましい。また、描画部機台ベース７３と一対の除給材部機台ベース７４，７４との突合せ部分は、平面視直角の他、Ｘ軸方向において部分的にオーバーラップする平面視斜めや平面視クランク状であってもよい。
【００３４】
ところで、各Ｘ軸移動ガイド２２が複数に分割されているため、除給材エリア３５，３６でワークＷをアライメントしても、描画動作すべく描画エリア３１に移動したときに、機能液滴吐出ヘッド５３に対しワークＷの位置が狂ってしまう虞がある。したがって、本実施形態では、予め除給材エリア３５，３６におけるワークＷ位置に対する、描画エリア３１におけるワークＷ位置のズレの癖を試験的に求めておき、これを描画データに反映するようにしている。
【００３５】
次に、図７を参照して、本発明の第２実施形態について説明する。なお、重複記載を避けるべく第１実施形態とは異なる部分を主として説明する。この液滴吐出装置１のＸ軸テーブル３は、ワークＷがセットされる単一のワークステージ２１と、一対のＸ軸移動ガイド（ガイド手段）２２と、一対のＸ軸スライダー（スライダー）２３と、検査スライダー２４と、Ｘ軸リニアモーター２５と、を有している。また、この液滴吐出装置１では、描画エリア３１からＸ軸方向の一方の外側は、ワークＷを除給する除給材エリア３５が設定されており、描画エリア３１からＸ軸方向の他方の外側には、機能液滴吐出ヘッド５３からの検査吐出の吐出結果を検査する単一の検査エリア３３が設定されている。
【００３６】
そして、検査エリア３３には、画像認識ユニット９が配設されており、機能液滴吐出ヘッド５３（キャリッジユニット５）から検査吐出を受けた検査ステージ８は、検査エリア３３に移動して、検査ステージ８の吐出結果を画像認識して吐出検査に供される。また、除給材エリア３５には、Ｙ軸方向に外れた位置に除給材ロボット１１が配設されており、移動してきたワークステージ２１上のワークＷを除給する。
【００３７】
一対のＸ軸移動ガイド２２は、機台ベース２上において相互平行に配設され、単一の除給材エリア３５に亘るようにＸ軸方向に延在している。各Ｘ軸移動ガイド２２は、方形断面の石定盤で構成されており、描画エリア３１に対応する描画部移動ガイド７１と、２つの除給材エリア３５に対応する除給材部移動ガイド７２と、で２分割されている。すなわち、各Ｘ軸移動ガイド２２は、描画部移動ガイド７１の一方の小口に、除給材部移動ガイド７２の一方の小口を突き当てる（実際には、僅かな間隙を設ける）ようにして、直線状に配設されている。そして、描画部移動ガイド７１および除給材部移動ガイド７２は、相互の小口間の間隙が数〜数十マイクロメーターとなるように、機台ベース２に支持固定されている。なお、各小口の突き当て部分には、それぞれ連結装置を設け、且つ各小口間には接着剤（コーキング剤）を充填しておいてもよい。
【００３８】
機台ベース２も、各Ｘ軸移動ガイド２２と同様に、描画エリア３１に対応する描画部機台ベース７３と、単一の除給材エリア３５に対応する単一の除給材部機台ベース７４と、で２分割されている。したがって、描画部機台ベース７３は、各描画部移動ガイド７１と同じ長さに形成され、各除給材部機台ベース７４は、各除給材部移動ガイド７２と略同じ長さに形成されている。そして、機台ベース２は、描画部機台ベース７３の一方の小口に、除給材部機台ベース７４の一方の小口を突き当てる（実際には、僅かな間隙を設ける）ようにして、直線状に配設されている。なお、各小口の突き当て部分には、それぞれ連結装置を設け、且つ各小口間には接着剤（コーキング剤）を充填しておくことが好ましい。
【００３９】
なお、一対のＸ軸移動ガイド２２は、一体のものとして構成され、この状態で２分割あるいは３分割（第１実施形態の場合）されていてもよい。また、機台ベース２は、分割されることなく単一のもので構成されていてもよい。
【００４０】
以上の構成によれば、Ｘ軸移動ガイド２２および機台ベース２は、描画エリア３１と除給材領域との間で２分割（あるいは３分割）されているため、Ｘ軸移動ガイド２２および機台ベース２単体の長さを短くすることができる。これにより、Ｘ軸移動ガイド２２および機台ベース２のコストを低減することができると共に、Ｘ軸移動ガイド２２単体および機台ベース２単体の重量を軽減することができる。また、Ｘ軸移動ガイド２２および機台ベース２は、描画エリア３１では分割されていないため、高い機械精度により描画精度を維持することができる。
【符号の説明】
【００４１】
１…液滴吐出装置  ２…機台ベース  ２１…ワークステージ  ２２…Ｘ軸移動ガイド  ２３…Ｘ軸スライダー  ５３…機能液滴吐出ヘッド  Ｗ…ワーク
【図１】
0005621277.tif 000002
【図２】
0005621277.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0005621277.tif 000007
【図７】
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