(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
清浄化された一様空気流を吹き出す空気流開口面を有する一対のプッシュフードと、
前記一対のプッシュフードの各空気流開口面側に設けられ、前記空気流開口面側から前記一様空気流の下流側に向かって延び、下流側端部に開口面を形成する一対のガイドと、を備え、
前記一対のプッシュフードは、それぞれの前記空気流開口面が対向するように配置され、
前記一対のガイドの前記開口面を互いに離間して対向させることにより、前記各ガイドの前記開口面間に開放した領域を形成し、
前記それぞれの空気流開口面から吹き出される清浄化された一様空気流が前記開放した領域内で衝突して前記開放した領域外に流出することにより、前記ガイド内及び前記開放した領域内を他の領域に比較して高い清浄度の作業者の作業領域とし、
前記空気流開口面間の距離を該空気流開口面側に前記ガイドが設けられていない場合に比べて長くすることにより、前記作業領域内を高い洗浄度に維持した状態で当該作業領域を拡大可能である、ことを特徴とする局所空気清浄化装置。
【請求項２】
清浄化された一様空気流を吹き出す空気流開口面を有する一対のプッシュフードと、
前記一対のプッシュフードの一方のプッシュフードの空気流開口面側に設けられ、前記空気流開口面側から前記一様空気流の下流側に向かって延び、下流側端部に開口面を形成するガイドと、を備え、
前記一対のプッシュフードは、それぞれの前記空気流開口面が対向するように配置され、
前記ガイドの前記開口面を、前記ガイドが設けられていないプッシュフードの空気流開口面と離間して対向させることにより、前記ガイドの開口面と前記ガイドが設けられていないプッシュフードの空気流開口面との間に開放した領域を形成し、
前記それぞれの空気流開口面から吹き出される清浄化された一様空気流が前記開放した領域内で衝突して前記開放した領域外に流出することにより、前記ガイド内及び前記開放した領域内を他の領域に比較して高い清浄度の作業者の作業領域とし、
前記空気流開口面間の距離を該空気流開口面側に前記ガイドが設けられていない場合に比べて長くすることにより、前記作業領域内を高い洗浄度に維持した状態で当該作業領域を拡大可能である、ことを特徴とする局所空気清浄化装置。
【請求項３】
前記ガイドのそれぞれの開口面が略同一形状である、ことを特徴とする請求項１に記載の局所空気清浄化装置。
【請求項４】
前記ガイドの開口面と前記ガイドが取り付けられていないプッシュフードの空気流開口面とが略同一形状である、ことを特徴とする請求項２に記載の局所空気清浄化装置。
【請求項５】
前記ガイドの開口面と、当該ガイドが取り付けられているプッシュフードの空気流開口面とが略同一形状である、ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の局所空気清浄化装置。
【請求項６】
前記一対のプッシュフードは、それぞれ、複数のプッシュフードを連結してなる、ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の局所空気清浄化装置。
【請求項７】
前記空気流開口面から吹き出される清浄化された一様空気流の流速は０．２〜０．７ｍ／ｓである、ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の局所空気清浄化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、局所空気清浄化装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、局所的な作業空間の空気清浄度を向上させる装置としてクリーンベンチがしばしば用いられている。一般的なクリーンベンチは、作業台の手前の面だけが作業用の開口になっており、それ以外の面では清浄度を保つために囲いとなっている。このようなクリーンベンチでは、その囲い内に清浄空気吹き出し口が配置されており、作業者は手前の作業用の開口から手を入れて作業を行っている。
【０００３】
しかし、クリーンベンチの作業用の開口が狭いことから、作業者が精密機械の組立作業等を行う場合には、その作業性に問題がある。また、製造ラインのように、製品や製造部品の移動が伴う場合には、ライン全体をクリーンルーム内に入れる等の措置がとられてきたが、これでは設備が大規模になってしまうという問題がある。
【０００４】
このため、本発明者らは、清浄化された空気の一様流を吹き出すことのできる一対のプッシュフードの空気流開口面を対向させて配置し、それぞれの空気流開口面からの空気流を衝突させることにより、一対のプッシュフード間の領域を他の領域に比較して高い清浄度を有する清浄空気空間とすることができる局所空気清浄化装置を提案した（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２７５２６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、作業の種類や作業の進め方によっては、もう少し広い清浄空気空間で作業を行いたい場合もある。このため、さらに広い清浄空気空間を形成することができる局所空気清浄化装置が要望されている。
【０００７】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、広い清浄空気空間を形成することができる局所空気清浄化装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る局所空気清浄化装置は、
清浄化された一様空気流を吹き出す空気流開口面を有する一対のプッシュフードと、
前記一対のプッシュフードの各空気流開口面側に設けられ、前記空気流開口面側から前記一様空気流の下流側に向かって延び、下流側端部に開口面を形成する一対のガイドと、を備え、
前記一対のプッシュフードは、それぞれの前記空気流開口面が対向するように配置され、
前記一対のガイドの前記開口面を互いに離間して対向させることにより、前記各ガイドの前記開口面間に開放した領域を形成し、
前記それぞれの空気流開口面から吹き出される清浄化された一様空気流が前記開放した領域内で衝突して前記開放した領域外に流出することにより、前記ガイド内及び前記開放した領域内を他の領域に比較して高い清浄度の作業者の作業領域とし、
前記空気流開口面間の距離を該空気流開口面側に前記ガイドが設けられていない場合に比べて長くすることにより、前記作業領域内を高い洗浄度に維持した状態で当該作業領域を拡大可能である、ことを特徴とする。
【０００９】
本発明の第２の観点に係る局所空気清浄化装置は、
清浄化された一様空気流を吹き出す空気流開口面を有する一対のプッシュフードと、
前記一対のプッシュフードの一方のプッシュフードの空気流開口面側に設けられ、前記空気流開口面側から前記一様空気流の下流側に向かって延び、下流側端部に開口面を形成するガイドと、を備え、
前記一対のプッシュフードは、それぞれの前記空気流開口面が対向するように配置され、
前記ガイドの前記開口面を、前記ガイドが設けられていないプッシュフードの空気流開口面と離間して対向させることにより、前記ガイドの開口面と前記ガイドが設けられていないプッシュフードの空気流開口面との間に開放した領域を形成し、
前記それぞれの空気流開口面から吹き出される清浄化された一様空気流が前記開放した領域内で衝突して前記開放した領域外に流出することにより、前記ガイド内及び前記開放した領域内を他の領域に比較して高い清浄度の作業者の作業領域とし、
前記空気流開口面間の距離を該空気流開口面側に前記ガイドが設けられていない場合に比べて長くすることにより、前記作業領域内を高い洗浄度に維持した状態で当該作業領域を拡大可能である、ことを特徴とする。
【００１０】
第１の観点に係る局所空気清浄化装置では、前記ガイドのそれぞれの開口面が略同一形状であることが好ましい。
第２の観点に係る局所空気清浄化装置では、前記ガイドの開口面と前記ガイドが取り付けられていないプッシュフードの空気流開口面とが略同一形状であることが好ましい。
前記ガイドの開口面と、当該ガイドが取り付けられているプッシュフードの空気流開口面とが略同一形状であることが好ましい。
前記一対のプッシュフードは、例えば、それぞれ、複数のプッシュフードを連結して構成することができる。
前記空気流開口面から吹き出される清浄化された一様空気流の流速は０．２〜０．７ｍ／ｓであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、広い清浄空気空間を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態に係る局所空気清浄化装置を示す図である。
【図２】プッシュフードの構造を示す図である。
【図３】局所空気清浄化装置の別例を示す図である。
【図４】清浄化された一様空気流の流れを説明するための図である。
【図５】局所空気清浄化装置の別例を示す図である。
【図６】局所空気清浄化装置の別例を示す図である。
【図７】局所空気清浄化装置の別例を示す図である。
【図８】他の実施の形態の局所空気清浄化装置を示す図である。
【図９】他の実施の形態の局所空気清浄化装置を示す図である。
【図１０】他の実施の形態の局所空気清浄化装置を示す図である。
【図１１】他の実施の形態の局所空気清浄化装置を示す図である。
【図１２】実施例１の測定位置を示す図である。
【図１３】実施例２〜６の条件を示す図である。
【図１４】実施例２〜６の測定位置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の局所空気清浄化装置について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施の形態に係る局所空気清浄化装置の一例を示す図である。
【００１４】
図１に示すように、本発明の局所空気清浄化装置１は、対向するように配置された一対のプッシュフード２、３と、各プッシュフード２、３にそれぞれ設けられたガイド４、５と、を備えている。
【００１５】
一対のプッシュフード２、３は、清浄化された一様空気流を吹き出す機構を有するものであればよく、従来からプッシュプル型換気装置に用いられているプッシュフードを基本的構造とし清浄用フィルタを内設した構造を採用することができる。
【００１６】
ここでいう一様空気流および一様流は、林太郎著「工場換気」（空気調和・衛生工学会  １９８２年発行）に記載の一様流と同義であり、一様に連続し、大きな渦部の生じない微風速の流れをいう。ただし、本発明は、空気の流速および速度分布を厳密に規定した空気吹き出し装置を提供しようとするものではない。一様空気流は、例えば、障害物がない状態での速度分布のバラツキが、その平均値に対して±５０％以内、さらには±３０％以内であるものが好ましい。
【００１７】
本実施の形態のプッシュフード２、３は、連結具により、それぞれ９個（縦３個×横３個）のプッシュフードがその空気流開口面が同一方向であって、プッシュフードの短辺どうし、長辺どうしがそれぞれ隣り合うように配列して連結されている。ここで、連結具により連結されたプッシュフードの構造は基本的に同一であることから、このうちの１個のプッシュフード２ａの構造について説明することにより、本実施の形態のプッシュフード２、３の構造について説明する。図２にプッシュフード２ａの構造を示す。
【００１８】
図２に示すように、プッシュフード２ａのハウジング２１は、略直方体状に形成され、その一面に空気流吸込面２２が形成されている。空気流吸込面２２は、例えば、ハウジング２１の一面全体に複数の孔が形成された面からなる。空気流吸込面２２では、この孔からプッシュフード２ａの外部の周辺空気である外気や室内空気を取り入れる。また、ハウジング２１の空気流吸込面２２と対向する他面には、空気吹出面（空気流開口面）２３が形成されている。空気流開口面２３は、例えば、ハウジング２１の一面全体に複数の孔が形成された面からなる。空気流開口面２３では、この孔からプッシュフード２ａ内で形成された清浄空気の一様空気流がプッシュフード２ａの外部に吹き出される。プッシュフード２ａの空気流開口面２３の大きさは、特に限定されるものではないが、例えば、１０５０ｍｍ×８５０ｍｍである。
【００１９】
プッシュフード２、３は、それぞれの空気流開口面２３が対向するように配置されている。ここで、それぞれの空気流開口面２３が対向するとは、プッシュフード２、３のそれぞれの空気流開口面２３が正対した状態に限定されるものではなく、例えば、図３に示すように、プッシュフード２の空気流開口面２３とプッシュフード３の空気流開口面２３とが若干傾いた状態のものも含まれる。プッシュフード２の空気流開口面２３とプッシュフード３の空気流開口面２３との傾きは、それぞれの空気流開口面２３どうしが成す角度が１０°程度の範囲内であることが好ましい。また、図７に示すように、互いの開口面から吹き出される空気流が正面からぶつかるが、その中心の軸がずれているような状態のものも、それぞれの空気流開口面２３が対向する状態に含まれる。
【００２０】
ハウジング２１内には、送風機構２４と、高性能フィルタ２５と、整流機構２６とが配置されている。
送風機構２４は、ハウジング２１内の空気流吸込面２２側に配置されている。送風機構２４は、空気吸い込み用のファン等から構成されている。送風機構２４は、プッシュフード２ａの周辺空気である外気や室内空気を空気流吸込面２２から取り入れるとともに、空気流開口面２３から空気流を吹き出す。また、送風機構２４は、ファンの吸引力を制御することにより、空気流開口面２３から吹き出される空気流の流速を可変できるように形成されている。
【００２１】
高性能フィルタ２５は、送風機構２４と整流機構２６との間に配置されている。高性能フィルタ２５は、取り入れた周辺空気をろ過するためのＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter）等の清浄化レベルに応じた高性能フィルタから構成されている。高性能フィルタ２５は、送風機構２４によって取り入れた周辺空気を所望の洗浄化レベルの清浄空気に清浄化する。高性能フィルタ２５により所望の洗浄化レベルに清浄された清浄空気は、送風機構２４により整流機構２６に送られる。
【００２２】
整流機構２６は、高性能フィルタ２５と空気流開口面２３との間に配置されている。整流機構２６は、図示しない空気抵抗体を備えている。空気抵抗体は、空気流開口面２３全体に対して通気量に偏りのある送風空気を、空気流開口面２３全体に対して通気量に偏りのない均一化された空気流（一様空気流）に補正するための送風空気の抵抗体であり、パンチングプレートや網部材などから形成されている。整流機構２６は、高性能フィルタ２５から送風されてくる清浄空気を、空気流開口面２３全体に対して通気量に偏りのない均一化された空気流（一様空気流）に補正（整流）する。この整流された一様空気流が、送風機構２４により、空気流開口面２３全体からプッシュフード２の外部に吹き出される。
【００２３】
また、プッシュフード２ａは、図２に示すように、ハウジング２１内の空気流吸込面２２と送風機構２４との間に、プレフィルタ２７が配置されていることが好ましい。プレフィルタ２７としては、例えば、中性能フィルタが挙げられる。空気流吸込面２２と送風機構２４との間にプレフィルタ２７を配置することにより、空気流吸込面２２を介してハウジング２１内部に吸い込まれた周辺空気に含まれる比較的大きな粉塵を取り除くことができる。このように周辺空気に含まれる粉塵の大きさに応じて多段階で粉塵を取り除くことができるので、目詰まり等が生じやすい高性能フィルタ２５の性能を長期間維持することができる。
【００２４】
このように構成されたプッシュフード２ａでは、送風機構２４によって取り入れた周辺空気がプレフィルタ２７、及び、高性能フィルタ２５によって所望の洗浄化レベルの清浄空気に清浄化される。そして、清浄化された清浄空気は整流機構２６によって一様空気流に整流される。このように清浄化された一様空気流は空気流開口面２３全体からプッシュフード２ａの空気流開口面２３にほぼ垂直方向に外部へ向かって吹き出される。
【００２５】
ガイド４、５は、その一端が、プッシュフード２、３のそれぞれの空気流開口面２３側に設けられている。また、ガイド４、５は、空気流開口面２３に設けられ、そこから、空気流開口面２３から吹き出される一様空気流の下流側に向かって延び、空気流開口面２３の外周輪郭部を覆うように形成されている。例えば、空気流開口面２３の形状が四角形の場合、その断面形状がコの字状となるように延伸形成されている。このコの字状の開放された側と床面とにより、一様空気流の吹き出し方向に向かって外周輪郭部を含み、そこから吹き出される一様空気流の流れと並行に気流の周囲をトンネル状に囲う状態となる。また、床面が無い場合においては、ガイド４、５の断面形状がコの字状ではなく、例えば、ロの字状となるように延伸形成される。このガイド４、５は、それぞれの他端（開口面４１、５１）との間に開放した領域を有するように形成されている。ここで、ガイド４、５の開口面４１、５１とは、空気流開口面２３から吹き出される一様空気流の下流側に向かってトンネル状に延びるガイド４、５の下流側端部（開放した領域との境目）の周縁部輪郭によって囲まれた空洞状の端面、つまり開口のことをいう。例えば、床をガイド４、５の一部として代用する場合においては、ガイド４、５の断面形状がコの字状の場合にはガイド４、５の下流側端部と床面とにより形成される四角形状の空洞状の開口が開口面４１、５１に該当し、ガイド４、５の断面形状がロの字状の場合にはガイド４、５の下流側端部に形成される四角形状の空洞状の開口が開口面４１、５１に該当する。
【００２６】
ガイド４、５は、その開口面４１、５１から吹き出される空気流が、空気流開口面２３からの清浄化された一様空気流の状態を維持可能なものであれば、任意の材料により形成することが可能である。また、ガイド４、５は、空気流開口面２３からの清浄化された一様空気流の状態を維持可能であれば、一様空気流の周囲全体を完全に覆っていなくてもよく、例えば、その一部に穴が開いていたり、スリットが形成されていてもよい。
【００２７】
開口面４１と開口面５１とは、その形状がほぼ同じ形状となるように形成されていることが好ましい。一様空気流は、正面から衝突しあうと、図４に示すように、互いの気流は混ざり合うことなく、ほぼ垂直に流れの向きを変える挙動を示す。それはあたかもそこに壁があるかのような流れ方をする。このように流れることにより、衝突した空気流はぶつかり合った面の外側へと流出する。この結果、互いの気流がぶつかりあう面を中心に互いの開口面端部までの領域において清浄空間が得られる。開口面４１の形状と開口面５１の形状とをほぼ同じ形状とすることにより、開口面４１から吹き出された空気流と開口面５１から吹き出された空気流とが衝突する面の大きさが、互いの空気流の流れる面の大きさとほぼ同じとなる。
【００２８】
ただし、開口面４１の形状と開口面５１の形状とは、ほぼ同じ形状でなくてもよく、例えば、図５に示すように、開口面５１を拡大して開口面４１よりも大きくなるように形成してもよい。また、図６に示すように、開口面５１を縮小して開口面４１よりも小さくなるように形成してもよい。これらの場合にも、開口面４１から吹き出された空気流と開口面５１から吹き出された空気流とがぶつかり合う面を中心に互いの開口面端部までの領域において清浄空間が得られる。
【００２９】
例えば、図５及び図６に示すように、開口面５１の幅を拡大または縮小することにより開口面４１と開口面５１との形状（面積）を変える場合、（開口面５１の幅）／（空気流開口面２３の幅）は、０．６〜１．４であることが好ましく、０．８〜１．２であることがさらに好ましい。かかる範囲とすることにより、開口面４１と開口面５１とから吹き出された空気流を衝突させたときに、衝突する気流の面積が著しく小さくならないため、作業をするのに十分な清浄空間が得られるためである。
【００３０】
また、開口面４１、５１の形状は、空気流開口面２３とほぼ同じ形状となるように形成されていることが好ましい。開口面４１、５１と空気流開口面２３とをほぼ同じ形状とすることにより、開口面４１、５１において空気流開口面２３から吹き出された一様空気流の状態を維持しやすいためである。ただし、開口面４１、５１と空気流開口面２３とはほぼ同じ形状でなくてもよく、例えば、前述の図５及び図６に示すように、開口面５１の幅を拡大または縮小することにより開口面５１と空気流開口面２３とを異なる形状にしてもよい。この場合にも一様空気流の状態を維持することが可能なためである。開口面５１の幅を拡大または縮小する場合、（開口面５１の幅）／（空気流開口面２３の幅）は、０．６〜１．４であることが好ましく、０．８〜１．２であることがさらに好ましい。かかる範囲とすることにより、開口面５１において空気流開口面２３から吹き出された一様空気流の状態を維持可能なためである。
【００３１】
ガイド４、５は、開口面４１、５１が互いに対向するように配置されている。開口面４１，５１が互いに対向するように配置されることで、互いの空気流が正面から衝突することになるためである。ここで、開口面４１，５１が互いに対向するとは、開口面４１，５１が正対した状態に限定されるものではなく、例えば、図３に示すように、ガイド４の開口面４１とガイド５の開口面５１とが若干傾いた状態のものも含まれる。互いの開口面４１、５１から吹き出される空気流が正面からぶつからない状態であっても、図３の点線で囲われている空間に清浄空間を形成することができるためである。ガイド４の開口面４１とガイド５の開口面５１との傾き（それぞれの空気流開口面２３どうしが成す角度）は、１０°程度の範囲内であることが好ましい。また、図７に示すように、互いの開口面４１、５１から吹き出される空気流が正面からぶつかるが、その中心の軸がずれている場合においても、空気流どうしがぶつかり合う面を中心に互いの開口面端部までの領域においては清浄空間を形成することができる。
【００３２】
ガイド４、５の長さｂは、その開口面４１、５１を互いに離間して対向させることにより、ガイド４、５の開口面４１、５１間に開放した領域を形成できる長さであればよく、プッシュフード２の空気流開口面２３とプッシュフード３の空気流開口面２３との間隔Ｘや、空気流開口面２３（開口面４１、５１）から吹き出される一様空気流の流速等に応じた所定の長さにすることが好ましい。例えば、プッシュフード２の空気流開口面２３とプッシュフード３の空気流開口面２３との間隔Ｘが１２ｍの場合、ガイド４、５の長さｂは、一様空気流の流速が０．７ｍ／ｓでは４ｍ以上、例えば、４〜５．７５ｍであることが好ましい。また、ガイド３の長さｂは、間隔Ｘが１２ｍであって、一様空気流の流速が０．５ｍ／ｓでは、３．２５〜５．７５ｍ、０．２ｍ／ｓでは５〜５．７５ｍ、０．１ｍ／ｓでは５．５〜５．７５ｍであることが好ましい。
【００３３】
このように構成されたガイド４、５は、図１に示すように、プッシュフード２、３の空気流開口面２３側から、それぞれ一様空気流の下流側に向かって設けられ（取り付けられ）、その下流側端部に設けられた開口面４１、５１が対向するように配置される。これにより、開口面４１と開口面５１との間に開放された領域が形成される。
【００３４】
以上のように構成された局所空気清浄化装置１では、プッシュフード２及びプッシュフード３の送風機構２４によって取り入れた空気流吸込面２２近傍の周辺空気がプレフィルタ２７、及び、高性能フィルタ２５によって所望の洗浄化レベルの清浄空気に清浄化される。そして、清浄化された清浄空気が整流機構２６によって一様空気流に整流され、清浄化された一様空気流が空気流開口面２３全体からガイド４及びガイド５にそれぞれ吹き出される。
【００３５】
ここで、空気流開口面２３から吹き出される清浄化された一様空気流の流速は、０．７ｍ／ｓ以下であることが好ましく、０．５ｍ／ｓ以下であることがより好ましく、０．４ｍ／ｓ以下であることがより好ましく、０．２〜０．１ｍ／ｓであることが最も好ましい。これらの流速で吹き出すことにより、空気流開口面２３から吹き出される清浄化された一様空気流がガイド４及びガイド５内を押し出されるように移動し、ガイド４及びガイド５内で一様空気流の状態を維持しやすいためである。さらに、流速を遅くすることにより、騒音値及び消費電力を抑制することができるとともに、プレフィルタ２７、及び、高性能フィルタ２５の負荷を低減することができる。一方、ガイド４、あるいは、ガイド５の清浄化された空間内で、コンタミナンツが発生するような状況においては、一様空気流の流速を０．５ｍ／ｓ程度とすることで、一様空気流の流速を０．２ｍ/ｓに設定している場合と比較してガイド内のコンタミナンツを速やかに排除することができる。このように、使用の用途に応じて自由に一様空気流の流速を設定することも可能である。
【００３６】
ガイド４に吹き出された清浄化された一様空気流は、一様空気流の状態を維持しつつ、ガイド４を通過して開口面４１から吹き出される。また、ガイド５に吹き出された清浄化された一様空気流は、一様空気流の状態を維持しつつ、ガイド５を通過して開口面５１から吹き出される。
【００３７】
開口面４１から吹き出された空気流と開口面５１から吹き出された空気流とは、それぞれの開口面間に形成される開放した領域内で衝突する。衝突した空気流は、その開放した領域外（局所空気清浄化装置１外）に流出する。この結果、空気流開口面２３間の領域（ガイド４の内部、ガイド５の内部、及び、開口面４１と開口面５１との間の開放した領域）を局所空気清浄化装置１外の領域よりも高い清浄度とすることができる。
【００３８】
ここで、本発明と特許文献１に記載の局所空気清浄化装置との比較を行った。比較するにあたって、両方の装置のプッシュフードの空気流開口面の大きさを横１０５０ｍｍ×縦８５０ｍｍとし、それぞれ、そのプッシュフード９個（縦３個×横３個）を連結した状態で対向させた。このとき、特許文献１に記載の局所空気清浄化装置では、空気流開口面２３間の距離が５．５ｍ程度までは開放された領域が清浄空気空間となることを確認した。これに対し、本発明の局所空気清浄化装置１では前述した特許文献１と同一の構成である９個のプッシュフードを連結した状態で対向させた一対のプッシュフードの空気流開口面の外周輪郭部に空気流開口面から下流側に向かってそれぞれ３．２５ｍの長さのガイドを取り付け、開口面４１、５１間の距離を前述した特許文献１の一対のプッシュフードの空気流開口面間の距離と同様に５．５ｍにして開放した領域を設けた場合、清浄空気空間としては、この開口面４１、５１間の開放された領域と一対のプッシュフードの空気流開口面からそれぞれガイドの開口面までの距離の和となる。すなわち、空気流開口面２３間の距離１２ｍまでが清浄空気空間となる。このように、本発明の局所空気清浄化装置１は、広い清浄空気空間を形成することができる。
【００３９】
また、特許文献１に記載の技術を用いた開放型空気清浄化装置と比較した場合、同一面積のプッシュフードから吹き出される一様空気流の風速が同一であっても、得られる清浄空間を格段に広くできるため、プッシュフード２、３の消費電力が同じであっても、清浄空間の単位面積当たり消費する電力量を低減できることになる。或いは、同じ清浄空間を清浄化する場合には、特許文献１より風速を落とすことができるため、消費電力の低減が可能になる。そして、風速を落とすことができることにより、局所空気清浄化装置の運転に伴う騒音も低減することが可能であり、かつ、清浄空気を得るためのフィルタの消耗度を抑えることも可能である。また、特許文献１の開放型局所空気清浄化装置を、前記条件で設置した場合、消費電力は７２００Ｗ、騒音値は対向している空気流開口面２３間の中央において７５ｄＢ（Ａ）であることを確認した。これに対し、本発明で前記設置条件（空気流開口面２３間の距離２２ｍ、ガイド各１０ｍ）とした場合、消費電力、騒音値が空気流開口面２３間の中央において前記特許文献１と同等となることを確認した。言い換えると、特許文献１では、約４５立方メートルの空間を清浄化しており、１立方メートルあたりを清浄化するために消費した電力は、約１６０Ｗであった。これに対して、本発明では、約１７７立方メートルの空間を清浄化しており、１立方メートルあたりを清浄化するために消費した電力は、約４１Ｗであることを確認した。また、前記本発明では空気流開口面２３間の距離を２２ｍとした場合の例であるが、この距離を大きくした場合は、さらに単位体積あたりの消費電力を低下させることが可能である。
【００４０】
さらに、一般的なクリーンルームでは部屋全体を清浄化するため、施工工事が容易でないが、本実施の形態の局所空気清浄化装置１においては、一対のプッシュフード２、３を容易に移動させることができる。また、プッシュフード２、３に設けられたガイド４、５を一様空気流に影響のない範囲内であれば作業に応じて曲げたり、片方のプッシュフード側のガイドをなくしたり、ガイドの開口面どうしからなる開放領域を任意の位置に移動させるなどその作業領域のレイアウト変更が極めて容易に変更することが可能である。
【００４１】
また、作業者自身が清浄領域に入りきって作業するような一般的なクリーンルームの場合は、作業者が作業する床面から清浄空気吹き出し装置の取り付けられた天井との距離をいかに延ばそうとも、作業者の作業領域が変化することはない。しかし、局所空気清浄化装置１においては水平流を用いていることから、ガイド４、５内の領域を増やすことで、その清浄領域内に全身入り込んで作業する作業者の作業領域（床面積）を増やすことができる。
【００４２】
また、本実施の形態の開放した領域内には、一般的なクリーンルームに必要な作業者や部品や製造機器の出し入れするためのドアがなく、これらのドアを開けることによる清浄空間領域内の清浄度低下がなく、いつでも開放した領域から出入り、或いは、部品等の出し入れが可能である。また、仮にガイド４、５内や開放した領域内が汚れたとしても、一般のクリーンルームが清浄化するのに数時間かかるところを、極めて短時間で清浄化することが可能である。
【００４３】
以上説明したように、本実施の形態の局所空気清浄化装置１によれば、ガイド４、５を設けることにより、ガイド４の内部、ガイド５の内部、及び、開口面４１と開口面５１との間の開放された領域を局所空気清浄化装置１外の領域よりも高い清浄度とすることができるので、広い清浄空気空間を形成することができる。
【００４４】
なお、本発明は、上記の実施の形態に限られず、種々の変形、応用が可能である。以下、本発明に適用可能な他の実施の形態について説明する。
【００４５】
上記実施の形態では、ガイド４の長さとガイド５の長さが同じ場合を例に本発明を説明したが、ガイド４の長さとガイド５の長さは異なっていてもよい。この場合にもガイド４の内部、ガイド５の内部、及び、開口面４１と開口面５１との間の開放された領域を局所空気清浄化装置１外の領域よりも高い清浄度とすることができるので、広い清浄空気空間を形成することができる。
【００４６】
上記実施の形態では、プッシュフード２、３にそれぞれガイド４、５が設けられている場合を例に本発明を説明したが、例えば、図８に示すように、プッシュフード２のみにガイド４が設けられ、プッシュフード３にガイド４が設けられていなくてもよい。この場合にも、ガイド４の内部、開口面４１とプッシュフード３の空気流開口面２３との間の開放された領域を局所空気清浄化装置１外の領域よりも高い清浄度とすることができるので、広い清浄空気空間を形成することができる。このように、全ての実施形態において、ガイドは一対のプッシュフードの両方に設けられていても、片方のみに設けられていてもよい。
【００４７】
上記実施の形態では、プッシュフード２、３につながるガイド４、５の形状をプッシュフード２、３の空気流開口面２３からガイドの開口面４１、５１に向かって真っ直ぐに伸びている場合を例に本発明を説明したが、例えば、図９に示すように、空気流開口面２３から吹き出される一様空気流の状態が維持される範囲であれば湾曲していてもよい。この場合にも、ガイド４、５の内部、開口面４１、５１との間の開放された領域を局所空気清浄化装置１外の領域よりも高い清浄度とすることができるので、広い清浄空気空間を形成することができる。
【００４８】
上記実施の形態では、プッシュフード２、３が連結具によりそれぞれ９個（縦３個×横３個）のプッシュフードが連結されている場合を例に本発明を説明したが、プッシュフード２、３を構成するプッシュフードの数は、１０個以上であっても、８個以下であってもよい。例えば、プッシュフード２、３が連結具によりそれぞれ４個（縦２個×横２個）のプッシュフードが連結されていてもよい。これらのようにプッシュフードが連結される場合には、プッシュフードの空気流開口面が同一方向であって、プッシュフードの短辺どうし、長辺どうしがそれぞれ隣り合うように配列される。このとき、互いのプッシュフードは隣り合うプッシュフードの側面、上下面或いはその両方の面が気密状態で連結されていること、或いは、隣り合うプッシュフードの側面、上下面或いはその両方の面の間にパッキン等のシール材を介して気密状態で連結されていることが好ましい。また、図１０に示すように、プッシュフード２、３が１個のプッシュフードから構成されていてもよい。これらの場合にもガイド４の内部、ガイド５の内部、及び、開口面４１と開口面５１との間の開放された領域を局所空気清浄化装置１外の領域よりも高い清浄度とすることができるので、広い清浄空気空間を形成することができる。また、局所空気清浄化装置１では、床をガイド４、５の一面に利用するのではなく、ガイド４、５の断面形状をロの字状とし、空気流開口面２３の間に作業台を備えてもよい。
【００４９】
上記実施の形態では、開口面４１と開口面５１との間の開放された領域を、その上面及び両側面が開放された場合を例に本発明を説明したが、例えば、図１１に示すように、ガイド４とガイド５の上面の端部を連結し、両側面のみが開放された領域を形成してもよい。この場合にも、空気流開口面２３間の領域を局所空気清浄化装置１外の領域よりも高い清浄度とすることができる。
【００５０】
また、プッシュフード２、３は底面にキャスターを取付けた構造としてもよい。この場合、プッシュフード２、３を容易に移動させることが可能である。また、ガイド４、５として、キャスター付きパーティションのユニットであって、プッシュフード２、３に自在に接続可能な形状のものを用い、これにビニールシートを被せる形態としてもよい。この場合、施工が容易、かつ、移動も容易に行うことが可能である。さらに、ガイド４、５は蛇腹状に空気流の流れ方向に伸縮自在なビニールハウスのような形態としてもよい。この場合、ガイド４、５の長さを容易に変更したり、ガイド４、５を曲げたり、ガイド４、５の位置、すなわち、清浄空間を得られる位置を変更することも容易になる。
【００５１】
例えば、部屋の隅にクリーンゾーンを形成する場合においては、ガイド４、５の一部を側壁面や床で代用してもよい。
また、清浄空間内にコンベア状のラインの一部を配置する場合、清浄化したいラインの部分全体を覆うようにトンネル状に囲い、その囲った一方にプッシュフード（２）がつながるように接続され、他方を開放状態（開口面４１）として、その対向する位置にもう一方のプッシュフード３を配置すれば良い。このような例において、ラインが壁づたいに配置されている場合においては、この壁をガイド４の一部として代用することも可能である。
【実施例】
【００５２】
以下、本発明の具体的な実施例を示し、本発明をさらに詳細に説明する。
【００５３】
（実施例１）
図１に示す局所空気清浄化装置１を用い、図１２に示す測定位置１〜１５（ガイド４、５の内部、開口面４１と開口面５１との間の開放された領域）について清浄度を測定した。なお、図１２は局所空気清浄化装置１の上面図である。プッシュフード２、３は、横１０５０ｍｍ、縦８５０ｍｍのプッシュフード９個（縦３個×横３個）をその空気流開口面が同一方向であって、プッシュフードの短辺どうし、長辺どうしがそれぞれ隣り合うように配列して連結したものであり、その開口面の大きさは、幅３１５０ｍｍ、高さ２５５０ｍｍである。測定位置１〜１５の測定高さについては、プッシュフード２、３の高さの１／２の位置とした。清浄度の測定は、ＰＭＳ社製のＬＡＳＡＩＲ−ＩＩを用い、粒子径０．３μｍの粉塵数（個／ＣＦ）を測定した。清浄度は、３００個／ＣＦ以下の場合を高い清浄度であると評価した。なお、ガイド４、５の長さｂは５ｍ、プッシュフード２の空気流開口面２３とプッシュフード３の空気流開口面２３との間隔Ｘは１２ｍ、清浄化された一様空気流の流速は０．２ｍ／ｓとした。なお、参考のため、局所空気清浄化装置１外の測定位置１６〜１８についても同様に、清浄度を測定した。結果を表１に示す。
【００５４】
【表１】
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【００５５】
表１に示すように、ガイド４、５を設けることにより、ガイド４の内部、ガイド５の内部、及び、開口面４１と開口面５１との間の開放された領域を局所空気清浄化装置１外の領域よりも高い清浄度とできることが確認できた。
【００５６】
（実施例２〜６）
図１３に示すように、清浄化された一様空気流の流速、及び、ガイド４、５の長さｂを変化させた場合について清浄度を測定した。このとき、プッシュフード２の空気流開口面２３とプッシュフード３の空気流開口面２３との間隔Ｘは実施例１と同様に１２ｍとした。なお、実施例１においてガイド４、５の内部が清浄化されていることが確認できたことから、実施例２〜６では、図１４に示すように、開口面４１、開口面５１、及び、開口面４１と開口面５１との中央、それぞれの測定点Ａ〜Ｇの７点について清浄度を測定した。結果を表２〜表６に示す。なお、測定点Ａ、Ｄ、Ｅの位置は、ガイド４、５の下流側端部の上縁から１５ｃｍ下側でガイド下流側端部の側縁から気流の内側に１５ｃｍの位置とした。測定点Ｂ、Ｆの位置は、ガイド４、５の下流側端部の上縁と下縁の中間の高さでガイド下流側端部の側縁から気流の内側に１５ｃｍの位置とした。測定点Ｃ、Ｇの位置は、ガイド４、５の下流側端部の下縁からガイドの１５ｃｍ上側でガイド下流側端部の側縁から気流の内側に１５ｃｍの位置とした。
【００５７】
【表２】
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【００５８】
【表３】
0005484515.tif 000004
【００５９】
【表４】
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【００６０】
【表５】
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【００６１】
【表６】
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【００６２】
表２〜表６に示すように、清浄化された一様空気流の流速、及び、ガイド４、５の長さｂを変化させても、ガイド４、５を設けることにより、開口面４１、開口面５１、及び、開口面４１と開口面５１との間の開放された領域を局所空気清浄化装置１外の領域よりも高い清浄度とできることが確認できた。実施例３においては、前記の清浄状態となるまでに要した時間は６２秒であった。
【００６３】
（実施例７、８）
実施例７では、開口面４１、５１の間隔を３．５ｍ、ガイド４、５の長さｂを３．２５ｍ、プッシュフード２の空気流開口面２３とプッシュフード３の空気流開口面２３との間隔Ｘを１０ｍとした以外は実施例３と同様に清浄度を測定した。実施例８では、開口面４１、５１の間隔を３．５ｍ、プッシュフード２の空気流開口面２３とプッシュフード３の空気流開口面２３との間隔Ｘを８ｍとした以外は実施例３と同様に清浄度を測定した。結果を表７、表８に示す。
【００６４】
【表７】
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【００６５】
【表８】
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【００６６】
表７、表８に示すように、プッシュフード２の空気流開口面２３とプッシュフード３の空気流開口面２３との間隔Ｘを変化させても、ガイド４、５を設けることにより、開口面４１、開口面５１、及び、開口面４１と開口面５１との間の開放された領域を局所空気清浄化装置１外の領域よりも高い清浄度とできることが確認できた。
【００６７】
（実施例９、１０）
実施例９では、図１０に示すプッシュフード２、３が１個のプッシュフードから構成されている局所空気清浄化装置を用い、開口面４１、５１の間隔を１ｍ、ガイド４、５の長さｂを５．５ｍとした以外は実施例３と同様に清浄度を測定した。実施例１０では、開口面４１、５１の間隔を０．５ｍ、ガイド４、５の長さｂを５．７５ｍ、清浄化された一様空気流の流速を０．２ｍ／ｓとした以外は実施例９と同様に清浄度を測定した。なお、実施例１０では、開口面４１と開口面５１との中央のみについて清浄度を測定した。結果を表９、表１０に示す。
【００６８】
【表９】
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【００６９】
【表１０】
0005484515.tif 000011
【００７０】
表９、表１０に示すように、図１０に示すプッシュフード２、３が１個のプッシュフードから構成されている局所空気清浄化装置を用いた場合にもガイド４、５を設けることにより、開口面４１、開口面５１、及び、開口面４１と開口面５１との間の開放された領域を局所空気清浄化装置１外の領域よりも高い清浄度とできることが確認できた。
【００７１】
（実施例１１、１２）
実施例１１では、図８に示すプッシュフード２のみにガイド４が設けられた局所空気清浄化装置を用い、ガイド４の長さｂを９ｍとした以外は実施例３と同様に清浄度を測定した。実施例１２では、ガイド４の長さｂを６．５ｍとした以外は実施例１１と同様に清浄度を測定した。測定点については実施例３と同様であるが、プッシュフード単体側においては、開口面５１の代わりにプッシュフード３の空気流開口面をガイド５に見立てた場合の測定点とした。結果を表１１、表１２に示す。
【００７２】
【表１１】
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【００７３】
【表１２】
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【００７４】
表１１、表１２に示すように、図８に示すプッシュフード２のみにガイド４が設けられた局所空気清浄化装置を用いた場合にもガイド４を設けることにより、開口面４１、プッシュフード３の空気流開口面２３、及び、開口面４１とプッシュフード３の空気流開口面２３との間の開放された領域を局所空気清浄化装置１外の領域よりも高い清浄度とできることが確認できた。
【００７５】
（実施例１３、１４）
実施例１３では、図５に示す開口面５１を拡大して開口面４１よりも大きくなるように形成した局所空気清浄化装置を用い、開口面４１、５１の間隔を３ｍ、ガイド４の長さｂを４．５ｍとした以外は実施例３と同様に清浄度を測定した。なお、このときの測定点は、中央と開口面４１については開口面４１のガイドを基準とした位置で、開口面５１については開口面５１を基準とした位置で測定した。実施例１４では、図６に示す開口面５１を縮小して開口面４１よりも小さくなるように形成した局所空気清浄化装置を用い、開口面４１、５１の間隔を３ｍ、ガイド４の長さｂを４．５ｍとした以外は実施例３と同様に清浄度を測定した。なお、このときの測定点は、中央と開口面４１については開口面４１のガイドを基準とした位置で、開口面５１については開口面５１を基準とした位置で測定した。結果を表１３、表１４に示す。
【００７６】
【表１３】
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【００７７】
【表１４】
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【００７８】
表１３、表１４に示すように、図５に示す開口面５１を拡大して開口面４１よりも大きくなるように形成した局所空気清浄化装置、及び、図６に示す開口面５１を縮小して開口面４１よりも小さくなるように形成した局所空気清浄化装置を用いた場合にもガイド４、５を設けることにより、開口面４１、開口面５１、及び、開口面４１と開口面５１との間の開放された領域を局所空気清浄化装置１外の領域よりも高い清浄度とできることが確認できた。
【００７９】
（実施例１５）
実施例１５では、図１１に示すガイド４とガイド５の上面の端部を連結し、両側面のみが開放された領域を形成した局所空気清浄化装置を用い、ガイド４の長さｂを５ｍ、流速０．２ｍ／ｓとした以外は実施例３と同様に清浄度を測定した。結果を表１５に示す。
【００８０】
【表１５】
0005484515.tif 000016
【００８１】
表１５に示すように、図１１に示すガイド４とガイド５の上面の端部を連結し、両側面のみが開放された領域を形成した局所空気清浄化装置を用い場合にもガイド４、５を設けることにより、開口面４１、開口面５１、及び、開口面４１と開口面５１との間の開放された領域を局所空気清浄化装置１外の領域よりも高い清浄度とできることが確認できた。
【００８２】
（実施例１、１６、１７）
実施例１の場合について、清浄化された一様空気流の流速をそれぞれ０．２ｍ／ｓ、０．３ｍ／ｓ、及び、０．５ｍ／ｓと変化させた場合の消費電力、開口面間の中央での騒音を測定した。また、実施例１から、ガイド４の長さｂを１０ｍ（実施例１６）、２０ｍ（実施例１７）と変え、清浄化された一様空気流の流速をそれぞれ０．２ｍ／ｓ、０．３ｍ／ｓ、及び、０．５ｍ／ｓと変化させた場合についても同様に、消費電力、開口面間の中央での騒音を測定した。結果を表１６に示す。
【００８３】
【表１６】
0005484515.tif 000017
【００８４】
表１６に示すように、一様空気流の流速を０．２〜０．５ｍ／ｓに変化させることにより、消費電力は２１２４〜７２００Ｗに変化した。また、騒音値は、一様空気流の流速を０．２〜０．５ｍ／ｓに変化させることにより、実施例１では５９．０〜７５．０ｄＢ（Ａ）、実施例１６では５６．０〜７０．４ｄＢ（Ａ）、実施例１７では５５．４〜６９．１ｄＢ（Ａ）に変化した。このように、一様空気流の流速を低くすることにより、消費電力及び騒音値が低くなることが確認できた。
【産業上の利用可能性】
【００８５】
本発明は局所的な作業空間の空気洗浄に有用である。
【符号の説明】
【００８６】
１  局所空気清浄化装置
２、２ａ、３  プッシュフード
４、５  ガイド
２１  ハウジング
２２  空気流吸込面
２３  空気吹出面（空気流開口面）
２４  送風機構
２５  高性能フィルタ
２６  整流機構
２７  プレフィルタ
４１、５１  開口面
【図２】
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【図１３】
0005484515.tif 000019
【図１】
0005484515.tif 000020
【図３】
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【図４】
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【図５】
0005484515.tif 000023
【図６】
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【図７】
0005484515.tif 000025
【図８】
0005484515.tif 000026
【図９】
0005484515.tif 000027
【図１０】
0005484515.tif 000028
【図１１】
0005484515.tif 000029
【図１２】
0005484515.tif 000030
【図１４】
0005484515.tif 000031