(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
充填後容器の口を封栓するキャップを電子線照射により殺菌する電子線殺菌装置において、所定の電子線照射範囲に電子線を照射する電子線照射装置と、前記キャップをスターホイール外周部に円周等分に設けたポケットに嵌めこんで、水平軸中心に回転させることによって搬送するキャップ搬送スターホイールと、該キャップ搬送スターホイールにより搬送される前記キャップを前記キャップ搬送スターホイールの側面側および外周側でガイドするキャップガイドとから成り、前記キャップ搬送スターホイールの下部を前記電子線照射範囲として、前記キャップを電子線殺菌するように構成し、
前記ポケットの形状を、前記キャップに接する凹面と該凹面から凹んだ前記キャップに接しない凹部の交互組み合わせ構成としたことを特徴とする電子線殺菌装置。
【請求項２】
請求項１に記載する電子線殺菌装置において、前記電子線照射範囲で充填前容器も同時に前記電子線照射装置からの電子線照射を受けて殺菌できるように構成したことを特徴とする電子線殺菌装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載する電子線殺菌装置において、前記キャップ搬送スターホイールに開口部を設けて、前記電子線照射装置から照射される電子線が、前記キャップ搬送スターホイールの背面側に通過できるように構成したことを特徴とする電子線殺菌装置。
【請求項４】
請求項３に記載する電子線殺菌装置において、前記キャップ搬送スターホイールの背面側に反射板を設けて、前記背面側に通過した電子線が、該反射板によって反射されて前記キャップの背面に照射できるように構成したことを特徴とする電子線殺菌装置。
【請求項５】
請求項１から４のうちいずれか一項に記載する電子線殺菌装置において、前記電子線照射範囲で、前記側面側のキャップガイドを前記キャップの搬送軌跡と非相似形になるようにして、前記キャップの内面および背面の全てが電子線照射を受けることができるように構成したことを特徴とする電子線殺菌装置。
【請求項６】
請求項１から５のうちいずれか一項に記載する電子線殺菌装置において、前記電子線照射範囲で、前記外周側のキャップガイドを前記キャップの搬送軌跡に対して蛇行形状として、前記キャップの円筒外周面の全てが電子線照射を受けることができるように構成したことを特徴とする電子線殺菌装置。
【請求項７】
請求項１から６のうちいずれか一項に記載する電子線殺菌装置において、前記キャップガイドを、内管に冷却水が循環する管状の構成としたことを特徴とする電子線殺菌装置。
【請求項８】
請求項１から７のうちいずれか一項に記載する電子線殺菌装置において、前記キャップ搬送スターホイールの電子線照射を受ける箇所に、冷却水が循環する冷却水配管が付設された構成としたことを特徴とする電子線殺菌装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＰＥＴボトル等の容器に飲料等を充填する無菌充填ラインにおいて、充填後容器の口を封栓するキャップを封栓前に殺菌する殺菌装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＰＥＴボトル等の容器に飲料等を充填する方法として、充填する容器および封栓するキャップをそれぞれ殺菌した後、無菌雰囲気下で容器内へ飲料等を充填し、充填された容器の口に殺菌済キャップを封栓する無菌充填ラインは広く知られている。
キャップの殺菌には、従来過酸化水素や紫外線照射が多く用いられてきたが、近年、紫外線照射よりも殺菌力に勝る電子線照射による殺菌技術が注目され、開発されている。（特許文献１、特許文献２）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１２８０３０号公報（図１、図２）
【特許文献２】特開２００７−７６７３０号公報（図１、図３、図４）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記特許文献１によれば、キャップの側面（円筒部）と摩擦接触する一対のベルトを互いに逆方向に異なる速度で走行させて、キャップを自転させつつ直線的に搬送させる間に、キャップの内面に対して斜め方向から電子線を照射して、キャップ内面を殺菌するとしている。
しかしながら、前記特許文献１の技術では、キャップの殺菌は内面のみの殺菌であるため、外面に付着していた菌がキャップを封栓する際に雰囲気下で浮遊して、キャップ封栓前の充填された容器内に侵入するという恐れがある。また、前記一対のベルトにも電子線が照射されるため、ベルトが早期に劣化してしまうという恐れもある。
【０００５】
また、前記特許文献２によれば、殺菌室にＰＥＴボトルを搬送する搬送装置とキャップを搬送する搬送装置を備え、両搬送装置により搬送されるＰＥＴボトルとキャップに電子線を照射する電子線照射装置を設けて、該電子線照射装置はスキャンホーンを二股に分岐した構造とし、一方はＰＥＴボトルに、他方はキャップに電子線を照射してそれぞれにＰＥＴボトルとキャップを殺菌するとしている。
しかしながら、前記特許文献２の技術では、キャップが下流側に傾斜した搬送ガイド上を転がるか、キャップ送り込み装置によって加速度を与えられて転がることによって、キャップが搬送されるとしているので、キャップが滑って自転せずに電子線の照射を受けること、或いは、キャップが電子線の照射を受ける時間が一定でないことにより、キャップの内面の箇所によっては殺菌が不十分になるという恐れ、或いは、過度の電子線照射を受けてキャップに悪影響を与えるという恐れがある。
【０００６】
本発明は、無菌充填ラインにおける充填後の容器の口を封栓するキャップを殺菌する電子線殺菌装置において、電子線照射領域でキャップが搬送中に自転して所定時間の電子線照射を受けるように、また、電子線照射の影部を作らないようにすることによってキャップが確実に殺菌できるように、さらに、キャップ搬送部が電子線照射により過熱等の弊害を受けないようにした電子線殺菌装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記の課題に対し、本発明は以下の手段により解決を図る。
（１）第１の手段の電子線殺菌装置は、充填後容器の口を封栓するキャップを電子線照射により殺菌する電子線殺菌装置において、所定の電子線照射範囲に電子線を照射する電子線照射装置と、前記キャップをスターホイール外周部に円周等分に設けたポケットに嵌めこんで、水平軸中心に回転させることによって搬送するキャップ搬送スターホイールと、該キャップ搬送スターホイールにより搬送される前記キャップを前記キャップ搬送スターホイールの側面側および外周側でガイドするキャップガイドとから成り、前記キャップ搬送スターホイールの下部を前記電子線照射範囲として、前記キャップを電子線殺菌するように構成し、前記ポケットの形状を、前記キャップに接する凹面と該凹面から凹んだ前記キャップに接しない凹部の交互組み合わせ構成としたことを特徴とする。
【０００９】
（２）第２の手段の電子線殺菌装置は、前記第１の手段の電子線殺菌装置において、前記電子線照射範囲で充填前容器も同時に前記電子線照射装置からの電子線照射を受けて殺菌できるように構成したことを特徴とする。
【００１０】
（３）第３の手段の電子線殺菌装置は、前記第１又は第２の手段の電子線殺菌装置において、前記キャップ搬送スターホイールに開口部を設けて、前記電子線照射装置から照射される電子線が、前記キャップ搬送スターホイールの背面側に通過できるように構成したことを特徴とする。
【００１１】
（４）第４の手段の電子線殺菌装置は、前記第３の手段の電子線殺菌装置において、前記キャップ搬送スターホイールの背面側に反射板を設けて、前記背面側に通過した電子線が、該反射板によって反射されて前記キャップの背面に照射できるように構成したことを特徴とする。
【００１２】
（５）第５の手段の電子線殺菌装置は、前記第１から第４の手段のうちいずれかの電子線殺菌装置において、前記電子線照射範囲で、前記側面側のキャップガイドを前記キャップの搬送軌跡と非相似形になるようにして、前記キャップの内面および背面の全てが電子線照射を受けることができるように構成したことを特徴とする。
【００１３】
（６）第６の手段の電子線殺菌装置は、前記第１から第５の手段のうちいずれかの電子線殺菌装置において、前記電子線照射範囲で、前記外周側のキャップガイドを前記キャップの搬送軌跡に対して蛇行形状として、前記キャップの円筒外周面の全てが電子線照射を受けることができるように構成したことを特徴とする。
【００１４】
（７）第７の手段の電子線殺菌装置は、前記第１から第６の手段のうちいずれかの電子線殺菌装置において、前記キャップガイドを、内管に冷却水が循環する管状の構成としたことを特徴とする。
【００１５】
（８）第８の手段の電子線殺菌装置は、前記第１から第７の手段のうちいずれかの電子線殺菌装置において、前記キャップ搬送スターホイールの電子線照射を受ける箇所に、冷却水が循環する冷却水配管が付設された構成としたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１に係わる本発明は、充填後容器の口を封栓するキャップを電子線照射により殺菌する電子線殺菌装置において、所定の電子線照射範囲に電子線を照射する電子線照射装置と、前記キャップをスターホイール外周部に円周等分に設けたポケットに嵌めこんで、水平軸中心に回転させることによって搬送するキャップ搬送スターホイールと、該キャップ搬送スターホイールにより搬送される前記キャップを前記キャップ搬送スターホイールの側面側および外周側でガイドするキャップガイドとから成り、前記キャップ搬送スターホイールの下部を前記電子線照射範囲として、前記キャップを電子線殺菌するように構成したことにより、キャップが電子線照射範囲で、キャップ搬送スターホイールのポケットによって搬送され、キャップの自重と外周側のキャップガイドとの接触摩擦により自転して、キャップの全面に均一に電子線を照射でき、キャップが電子線照射を受ける時間が一定になるという効果を有する。
【００１７】
請求項２に係わる本発明は、前記請求項１に記載する電子線殺菌装置において、前記ポケットの形状を、前記キャップに接する凹面と該凹面から凹んだ前記キャップに接しない凹部の交互組み合わせ構成としたことにより、前記キャップの自転が安定化して前記キャップの電子線殺菌が安定して行われるという効果を有する。
【００１８】
請求項３に係わる本発明は、前記請求項１又は２に記載する電子線殺菌装置において、前記電子線照射範囲で充填前容器も同時に前記電子線照射装置からの電子線照射を受けて殺菌できるように構成したことにより、容器およびキャップが同時に、かつ、効率的に電子線殺菌できるという効果を有する。
【００１９】
請求項４に係わる本発明は、前記請求項１から３のうちいずれか一項に記載する電子線殺菌装置において、前記キャップ搬送スターホイールに開口部を設けて、前記電子線照射装置から照射される電子線が、前記キャップ搬送スターホイールの背面側に通過できるように構成したことにより、前記キャップ搬送スターホイールの背面側に通過した電子線が前記キャップの背面にも照射できるという効果を有する。
【００２０】
請求項５に係わる本発明は、前記請求項４に記載する電子線殺菌装置において、前記キャップ搬送スターホイールの背面側に反射板を設けて、前記背面側に通過した電子線が、該反射板によって反射されて前記キャップの背面に照射できるように構成したことにより、前記キャップの背面の殺菌が強力かつ効果的になされるという効果を有する。
【００２１】
請求項６に係わる本発明は、前記請求項１から５のうちいずれか一項に記載する電子線殺菌装置において、前記電子線照射範囲で、前記側面側のキャップガイドを前記キャップの搬送軌跡と非相似形になるようにして、前記キャップの内面および背面の全てが電子線照射を受けることができるように構成したことにより、前記キャップの内面および背面の全ての面が均一に前記電子線の照射を受けることができるという効果を有する。
【００２２】
請求項７に係わる本発明は、前記請求項１から６のうちいずれか一項に記載する電子線殺菌装置において、前記電子線照射範囲で、前記外周側のキャップガイドを前記キャップの搬送軌跡に対して蛇行形状として、前記キャップの円筒外周面の全てが電子線照射を受けることができるように構成したことにより、前記キャップの円筒外周面が均一に殺菌されるという効果を有する。
【００２３】
請求項８に係わる本発明は、前記請求項１から７のうちいずれか一項に記載する電子線殺菌装置において、前記キャップガイドを、内管に冷却水が循環する管状の構成としたことにより、電子線照射を受けたキャップガイドが過熱されることを防止できるという効果を有する。
【００２４】
請求項９に係わる本発明は、前記請求項１から８のうちいずれか一項に記載する電子線殺菌装置において、前記キャップ搬送スターホイールの電子線照射を受ける箇所に、冷却水が循環する冷却水配管が付設された構成としたことにより、電子線照射を受けたキャップ搬送スターホイールが過熱されることを防止できるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係わる電子線殺菌装置の正面図で、摸式的に示した図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図で、要部拡大図としてある。
【図３】図１のＢ部拡大図で、要部のみ示してある。
【図４】図１のＲ部拡大図で、要部のみ示してある。
【図５】図４のＤ視図で、要部拡大図としてある。
【図６】反射板の各種形態を説明する図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係わる電子線殺菌装置の図３に相当する図で、要部拡大図としてある。
【図８】本発明の第３の実施の形態に係わる電子線殺菌装置で、図１のＡ−Ａ断面図に相当し、図２に相当する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、この発明の実施の形態につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施の形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。
（発明の第１の実施の形態）
【００２７】
本発明の第１の実施の形態を図１から図６に基づいて説明する。
図１は、本発明の第１の実施の形態に係わる電子線殺菌装置の正面図で、摸式的に示した図である。
図２は、図１のＡ−Ａ断面図で、要部拡大図としてある。
図３は、図１のＢ部拡大図で、要部のみ示してある。
図４は、図１のＲ部拡大図で、要部のみ示してある。
図５は、図４のＤ視図で、要部拡大図としてある。
図６は、反射板の各種形態を説明する図である。
【００２８】
図において、電子線殺菌装置１は、上流から矢印７の方向へシュート６上を搬送されてくるキャップＣが、殺菌室４０内のキャップ搬送スターホイール２に取り込まれて、外周側のキャップガイド１１、側面側のキャップガイド１２、側面側のキャップガイド１３および側面側のキャップガイド１４にガイドされて矢印２ａの方向に搬送される間に、電子線照射範囲Ｒで殺菌室４０の壁に設けられた電子線照射装置４からの電子線照射を受けて殺菌された後、矢印８ａの方向に回転する排出スターホイール８によって矢印９の方向へ排出されるように主として構成されている。
なお、前記キャップ搬送スターホイール２と前記排出スターホイール８は同期して回転するようになっており、前記排出スターホイール８の外周側および側面側にキャップガイドが設けられているが、図示を省略してある。
【００２９】
前記キャップ搬送スターホイール２は、図示しない駆動装置により回転駆動される水平軸２１と連結体２２を介して一体となった円板２０が、該円板２０の外周部に円周等分に設けられたポケット２ｐに前記キャップＣを嵌めて矢印２ａの方向に搬送するようになっているとともに、前記円板２０と前記連結体２２との間には冷却水通路２５ｃを有するリング状の冷却水配管２５が設けられており、前記冷却水通路２５ｃは一対の冷却水配管２３および一対の冷却水配管２４が、それぞれ前記水平軸２１の冷却水通路２１ａおよび冷却水通路２１ｂと接続されて、前記冷却水通路２１ａから前記冷却水通路２５ｃへ矢印２３ａの方向に冷却水が送られ、また、前記冷却水通路２５ｃから前記冷却水通路２１ｂへ矢印２４ａの方向に冷却水が戻されて循環されるように構成されている。
また、前記キャップ搬送スターホイール２には４箇所の開口部２ｗが設けられており、該開口部２ｗの開口の大きさは大きい方が望ましい。
なお、図１において、前記一対の冷却水配管２３および一対の冷却水配管２４は、前記連結体２２の近傍に位置しており、重なった表示となっている。
【００３０】
また、前記電子線殺菌装置１は、前記キャップ搬送スターホイール２の背面に図示しない機枠に取り付けられた反射板５を有しており、前記電子線照射装置４から照射される電子線が、前記開口部２ｗを通過し、該反射板５に反射して前記キャップＣの背面に照射されるようになっている。
なお、前記反射板５は、図示Ｌ寸法（キャップＣの背面と反射板の距離）が１５ｍｍ以上となるように配置されるのが反射電子線の線量の観点から望ましい。
ここでは、前記反射板５は、前記キャップ搬送スターホイール２と平行に、かつ、鉛直方向に設けた構造としているが、図６（ａ）に示すように鉛直方向から角度αだけ傾けた反射板５ａとしてもよく、図６（ｂ）に示すように鉛直方向にβだけ傾けた反射板５ｂ１と鉛直方向にγだけ傾けた反射板５ｂ２を折れ線状に接続した構成としてもよく、或いは、図６（ｃ）に示すように凹面形状の反射板５ｃとしてもよく、適宜選択してキャップＣの背面への電子線照射を効果的に行うようにすることができる。
【００３１】
なお、前記キャップＣは、前記電子線照射範囲Ｒでは前記ポケット２ｐにより搬送力Ｆを与えられて搬送されるとともに、前記キャップガイド１１と接触することにより、前記キャップＣの自重と前記キャップガイド１１との接触摩擦によって、図示Ｃａの方向に自転するようになっている。
さらに、前記キャップガイド１２および前記キャップガイド１３は、前記電子線照射範囲Ｒでは直線部１２ｓおよび直線部１３ｓとなって、キャップＣの搬送軌跡と非相似形になっており、前記キャップＣの搬送中の自転を通して、前記キャップＣの内面および背面の全てが前記電子線照射範囲Ｒで均一に電子線照射を受けることができるように構成されている。
ここで、図４では、便宜上キャップガイド１４の図示を省略しているが、キャップガイド１４も前記キャップガイド１２およびキャップガイド１３と同様に直線部を有した非相似形となっている。
【００３２】
なお、前記キャップガイド１１、前記キャップガイド１２、前記キャップガイド１３および前記キャップガイド１４は管状となっており、図示しない配管接続により内管を冷却水が循環するようになっている。
また、前記キャップガイド１１は、前記電子線照射範囲Ｒにおいて、図５（ａ）に示すように、前記キャップ搬送スターホイール２によるキャップＣの搬送軌跡に対して蛇行しない形状としているが、図５（ｂ）に示すように、前記キャップ搬送スターホイール２によるキャップＣの搬送軌跡に対して蛇行した形状１１ａとすることもできる。
【００３３】
次に、本発明の第１の実施の形態に係わる電子線殺菌装置１の作用を説明する。
上流から矢印７の方向へシュート６上を搬送されてくるキャップＣは、殺菌室４０内でキャップ搬送スターホイール２に取り込まれて、キャップガイド１１、キャップガイド１２、キャップガイド１３およびキャップガイド１４にガイドされて矢印２ａの方向に搬送されて、電子線照射範囲Ｒに達すると、該キャップＣが搬送により矢印Ｃａの方向に自転しながら電子線照射装置４からの電子線照射を受けて殺菌される。
この際、電子線は、矢印４ａのようにキャップＣの内側に照射して殺菌するが、キャップ搬送スターホイール２には開口部２ｗが設けられているので、矢印４ｂのように該開口部２ｗを通過して、反射板５での反射によりキャップＣの背面に照射して殺菌し、また、矢印４ｃのように反射板５に達して該反射板５での反射によりキャップＣの背面を殺菌する。
【００３４】
また、キャップガイド１２、キャップガイド１３およびキャップガイド１４の形状が電子線照射範囲ＲにおいてキャップＣの搬送軌跡と非相似形となっているので、キャップＣの図示Ｃａ方向の自転に伴い、前記電子線がキャップＣの全面に照射されることになり、キャップＣの電子線殺菌が効率的に行われる。
【００３５】
なお、キャップガイド１１は、図５（ａ）に示すように前記電子線照射範囲Ｒにおいて、キャップＣの搬送軌跡と同じ形状（蛇行していない形状）の場合でも、前記キャップＣの自転によって該キャップＣの円筒部外周面も電子線殺菌が行われるが、図５（ｂ）に示すようにキャップＣの搬送軌跡に対して蛇行した形状１１ａとなっている場合には、前記キャップＣの自転によって該キャップＣの円筒部外周面がさらに均一に電子線照射を受けるため、電子線殺菌が効率的に行われる。
【００３６】
また、前記キャップガイド１１、キャップガイド１２、キャップガイド１３およびキャップガイド１４は、内管に冷却水が循環するようになっているので、電子線照射を受けても過熱されることはなく、さらに、前記円板２０は、冷却水が通過する冷却水配管２５と接触した状態で設けられているので、電子線照射を受けても過熱されることはない。
【００３７】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態の電子線殺菌装置を図７に基づいて説明する。
図７は、本発明の第２の実施の形態に係わる電子線殺菌装置の図３に相当する図で、要部拡大図としてある。
図７において、第１の実施の形態と同じ構造のものは図示を省略し、また、同じ記号を記してあり、重複する説明は省略する。
図において、電子線殺菌装置１ａは、キャップ搬送スターホイール３の円板３０のポケット３ｐが、キャップＣと接する凹面３ｐ１と該凹面３ｐ１から凹んだ前記キャップＣに接しない凹部３ｐ２の交互組み合わせ構成となっている。
【００３８】
次に、本発明の第２の実施の形態に係わる電子線殺菌装置１ａの作用を説明する。
ポケット部３ｐで凹面３ｐ１と接触するキャップＣは、該キャップＣの搬送方向後端の凹面３ｐ１１によって搬送力Ｆを与えられて搬送されるが、前記凹面３ｐ１１との接触によってキャップＣの自転Ｃａの逆方向に接触摩擦力が小さいながらも作用する。しかしながら、ポケット部３ｐが該キャップＣと接する凹面３ｐ１と該キャップＣに接しない凹部３ｐ２の交互組み合わせ構成にしてあるため、前記第１の実施の形態の図３の連続した凹面構成の場合と比較して、前記キャップＣの自転Ｃａの逆方向に作用する接触摩擦力は、図７の場合の方が小さく、キャップＣが安定して自転することになり、該キャップＣの全面が安定して殺菌されるという効果がある。
【００３９】
（第３の実施の形態）
次に、本発明の第３の実施の形態を図８に基づいて説明する。
図８は、本発明の第３の実施の形態に係わる電子線殺菌装置で、図１のＡ−Ａ断面図に相当し、図２に相当する図である。
図８において、第１の実施の形態と同じ構造のものは同じ記号を記してあり、重複する説明は省略する。
図において、電子線殺菌装置１ｂは、図示しない駆動装置により垂直の中心線５２ｃの周りを水平回転する回転円板５２に、ＰＥＴボトル等の容器Ｂの首部Ｂｎを把持する把持装置５１が円周等分に設けられており、電子線照射範囲Ｒにおいて殺菌対象の前記容器Ｂが殺菌対象のキャップＣのほぼ下方に位置するようになっていて、電子線照射装置４からの電子線照射を受けて、容器ＢとキャップＣは同時に電子線殺菌されるように構成されている。
【００４０】
次に、本発明の第３の実施の形態に係わる電子線殺菌装置１ｂの作用を説明する。
首部Ｂｎが把持装置５１によって把持されている容器Ｂは、円板５２の水平回転により搬送されて電子線照射範囲Ｒ部に到達すると、電子線照射装置４からの電子線照射を受けて電子線殺菌され、容器ＢとキャップＣが同じ電子線照射装置４からの電子線照射を受けて同時に殺菌することができる。
飲料の無菌充填ラインにおいては、充填前に容器ＢとキャップＣは何れも殺菌する必要があり、前記説明のように、同じ電子線照射装置４からの電子線照射を受けて容器ＢとキャップＣが同時に殺菌できることは、装置コストを節約することができるとともに、容器ＢとキャップＣの殺菌を合理的に行うことができる。
【符号の説明】
【００４１】
１、１ａ、１ｂ  電子線殺菌装置
２、３  キャップ搬送スターホイール
２ｐ、３ｐ  ポケット
２ｗ  開口部
３ｐ１  （ポケットの）凹面
３ｐ２  （ポケットの凹面から凹んだ）凹部
４  電子線照射装置
５、５ａ、５ｂ１、５ｂ２、５ｃ  反射板
１１、１２、１３、１４  キャップガイド
１１ａ  （外周側のキャップガイド）の蛇行形状（非相似形）
１２ｓ、１３ｓ  （側面側のキャップガイド）の直線部（非相似形）
２０、３０  円板
２１  水平軸
２１ａ、２１ｂ、２５ｃ  冷却水通路
２２  連結体
２３、２４  冷却水配管
２５  冷却水配管
５１  把持装置
５２  円板
Ｂ  容器
Ｃ  キャップ
Ｒ  電子線照射範囲
【図１】
0005558209.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0005558209.tif 000009