(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極層、及び、前記電極層を挟む２つの圧電層を有する圧電素子の検査方法であって、
前記２つの圧電層のうちの一方の前記圧電層を液体に接触させた状態において、この液体と前記圧電素子外において接触する導電体が高電位電極となり且つ前記電極層が低電位電極となるように両電極間に第１の電界を印加しつつ、前記導電体と前記電極層との間の抵抗値を測定する第１の測定工程と、
前記第１の電界の印加を解除した後に、前記第１の測定工程において測定された抵抗値が第１のしきい値未満である圧電素子に対して、前記導電体と前記電極層との間の抵抗値を測定する第２の測定工程と、
前記第１の測定工程において測定された抵抗値が前記第１のしきい値以上である圧電素子は、前記一方の圧電層を貫通するクラックが形成されていないものであり、前記第２の測定工程において測定された抵抗値が第２のしきい値未満である圧電素子は、前記２つの圧電層及び前記電極層を貫通するクラックが形成されたものであり、前記第２の測定工程において測定された抵抗値が前記第２のしきい値以上である圧電素子は、前記一方の圧電層を貫通し他方の前記圧電層を貫通しないクラックが形成されたものであると判定する判定工程とを備えていることを特徴とする圧電素子の検査方法。
【請求項２】
前記第２の測定工程において、前記導電体が低電位電極となり且つ前記電極層が高電位電極となるように両電極間に第２の電界を印加しつつ、前記導電体と前記電極層との間の抵抗値を測定することを特徴とする請求項１に記載の圧電素子の検査方法。
【請求項３】
前記第２の電界が前記第１の電界よりも小さいことを特徴とする請求項２に記載の圧電素子の検査方法。
【請求項４】
複数の液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置であって、
各液体吐出ヘッドは、
液体を吐出する吐出口及び圧力室をそれぞれ含む複数の個別液体流路が形成された、少なくとも一部が前記複数の個別液体流路に露出した導電体からなる流路ユニットと、
共通電極層、前記共通電極層を挟む２つの圧電層、及び、前記共通電極層と対向するように前記２つの圧電層のうちの一方の前記圧電層の表面上に形成された複数の個別電極層を有し、前記複数の個別電極層が複数の前記圧力室と対向し且つ前記複数の個別電極層が前記流路ユニットとは反対方向を向くように、前記流路ユニットに取り付けられた圧電素子とを含んでおり、
複数の前記液体吐出ヘッドには、
請求項１に記載の圧電素子の検査方法によって前記抵抗値が前記第１のしきい値以上であると判定された前記圧電素子を有する第１の液体吐出ヘッドと、
請求項１に記載の圧電素子の検査方法によって前記抵抗値が前記第２のしきい値以上であると判定された前記圧電素子を有する第２の液体吐出ヘッドとの両方が含まれており、
前記第１の液体吐出ヘッド及び前記第２の液体吐出ヘッドが、互いに異なるタイプの液体を吐出することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項５】
前記第２の液体吐出ヘッドは、前記第１の液体吐出ヘッドよりも、前記圧電層に対する損傷作用又は前記共通電極に対する腐蝕作用が低い液体を吐出することを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記第１の液体吐出ヘッドが前処理液を吐出し、
前記第２の液体吐出ヘッドがインクを吐出することを特徴とする請求項５に記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記第２の液体吐出ヘッドは、前記第１の液体吐出ヘッドよりも、使用頻度の低い液体を吐出することを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置。
【請求項８】
前記第１の液体吐出ヘッドがブラックインクを吐出し、
前記第２の液体吐出ヘッドがカラーインクを吐出することを特徴とする請求項７に記載の液体吐出装置。
【請求項９】
複数の液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置の製造方法であって、
液体を吐出する吐出口及び圧力室をそれぞれ含む複数の個別液体流路が形成された、少なくとも一部が前記複数の個別液体流路に露出した導電体からなる流路ユニットと、共通電極層、前記共通電極層を挟む２つの圧電層、及び、前記共通電極層と対向するように前記２つの圧電層のうちの一方の前記圧電層の表面上に形成された複数の個別電極層を有し、前記複数の個別電極層が複数の前記圧力室と対向し且つ前記複数の個別電極層が前記流路ユニットとは反対方向を向くように、前記流路ユニットに取り付けられた圧電素子とを含む前記複数の液体吐出ヘッドを製造するヘッド製造工程と、
前記ヘッド製造工程後に、前記２つの圧電層のうちの他方の前記圧電層を前記圧力室内の液体に接触させた状態において、この液体と接触する前記導電体が高電位電極となり且つ前記共通電極層が低電位電極となるように両電極間に第１の電界を印加しつつ、前記導電体と前記共通電極層との間の抵抗値を測定する第１の測定工程と、
前記第１の電界の印加を解除した後に、前記第１の測定工程において測定された抵抗値が第１のしきい値未満である圧電素子に対して、前記導電体と前記共通電極層との間の抵抗値を測定する第２の測定工程と、
前記第１の測定工程において測定された抵抗値が前記第１のしきい値以上である圧電素子は、前記他方の圧電層を貫通するクラックが形成されていないものであり、前記第２の測定工程において測定された抵抗値が第２のしきい値未満である圧電素子は、前記２つの圧電層及び前記共通電極層を貫通するクラックが形成されたものであり、前記第２の測定工程において測定された抵抗値が前記第２のしきい値以上である圧電素子は、前記他方の圧電層を貫通し前記一方の前記圧電層を貫通しないクラックが形成されたものであると判定する判定工程と、
前記判定工程において前記抵抗値が前記第１のしきい値以上であると判定された前記圧電素子を有する第１の液体吐出ヘッドと、前記判定工程において前記抵抗値が前記第２のしきい値以上であると判定された前記圧電素子を有する第２の液体吐出ヘッドとの両方を、前記複数の液体吐出ヘッドを支持する支持部材に組み付ける組み付け工程とを備え、
前記組み付け工程において、前記第１の液体吐出ヘッドに第１の液体を供給可能となるように前記第１の液体吐出ヘッドが前記支持部材に組み付けられ、前記第２の液体吐出ヘッドに前記第１の液体とは異なるタイプの第２の液体を供給可能となるように前記第２の液体吐出ヘッドが前記支持部材に組み付けられることを特徴とする液体吐出装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子の検査方法、液体吐出装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクに吐出エネルギーを付与する部材として、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの圧電材料を含む圧電素子をアクチュエータとして用いたインクジェットヘッドが知られている。セラミックスで構成された圧電素子にとって、クラックの発生は避けられないものであり、近年の圧電素子の薄膜化に伴って、圧電素子にはクラックがより一層発生しやすくなっている。
【０００３】
特許文献１には、インクジェットヘッドの圧電アクチュエータ（圧電素子）にクラックが形成されているか否かを検査する方法が記載されている。特許文献１に記載の方法においては、キャビティユニット（流路ユニット）に形成されたノズル及び圧力室を含むインク流路にインクを充填した後、圧電アクチュエータ内で最もキャビティユニットに近い電極と、導電性を有するキャビティユニットとの間の抵抗値を測定する。圧電アクチュエータ内で最もキャビティユニットに近いセラミックス層（圧電層）にクラックが形成されていると、このクラックにインクが浸透して上記電極とキャビティユニットとが短絡し、両者間の抵抗値は小さな値となる。一方、クラックが生じていなければ、上記電極とキャビティユニットとの間の抵抗値は非常に大きな値となる。したがって、この抵抗値を測定することによって、最もキャビティユニットに近いセラミックス層に上記電極に達するクラックが形成されているか否かを検査することができる。そして、検査結果を利用して、上記電極に達するクラックが形成されている圧電アクチュエータを有するインクジェットヘッドが不良品として破棄される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１９５０４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の技術では、上下の圧電層及びこれら２つの圧電層に挟まれた内部電極を含む圧電素子について、下方圧電層だけを貫通して内部電極に達するクラックが形成されている圧電素子と、上下の圧電層を貫通したクラックが形成されている圧電素子とを区別することができない。下方圧電層だけを貫通して内部電極に達するクラックが形成されている圧電素子は、例えば上方圧電層上に外部電極が配置されて内部電極と外部電極との間をつなぐクラックが存在しない場合には、両電極間がインクを介して短絡することがないために使用可能である。それにも拘わらず、特許文献１の技術では、両者を区別することができないために、下方圧電層だけを貫通して内部電極に達するクラックが形成されている圧電素子を廃棄せざるを得ないという問題がある。
【０００６】
本発明の目的は、圧電素子内の一部の圧電層だけを貫通するクラックが形成されている圧電素子、圧電素子の全圧電層を貫通するクラックが形成されている圧電素子、及び、圧電素子の前記一部の圧電層を貫通するクラックが形成されていない圧電素子を互いに区別することが可能な圧電素子の検査方法を提供することである。
【０００７】
本発明の別の目的は、上述した圧電素子の検査方法に基づいて、圧電素子におけるクラックの状態が互いに異なる２種類の液体吐出ヘッドを効果的に用いた液体吐出装置及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の圧電素子の検査方法は、電極層、及び、前記電極層を挟む２つの圧電層を有する圧電素子の検査方法であって、前記２つの圧電層のうちの一方の前記圧電層を液体に接触させた状態において、この液体と前記圧電素子外において接触する導電体が高電位電極となり且つ前記電極層が低電位電極となるように両電極間に第１の電界を印加しつつ、前記導電体と前記電極層との間の抵抗値を測定する第１の測定工程と、前記第１の電界の印加を解除した後に、前記第１の測定工程において測定された抵抗値が第１のしきい値未満である圧電素子に対して、前記導電体と前記電極層との間の抵抗値を測定する第２の測定工程と、前記第１の測定工程において測定された抵抗値が前記第１のしきい値以上である圧電素子は、前記一方の圧電層を貫通するクラックが形成されていないものであり、前記第２の測定工程において測定された抵抗値が第２のしきい値未満である圧電素子は、前記２つの圧電層及び前記電極層を貫通するクラックが形成されたものであり、前記第２の測定工程において測定された抵抗値が前記第２のしきい値以上である圧電素子は、前記一方の圧電層を貫通し他方の前記圧電層を貫通しないクラックが形成されたものであると判定する判定工程とを備えている。
【０００９】
本発明によると、２回の抵抗値測定を行うことによって、圧電素子にクラックが形成されている（少なくとも前記一方の圧電層を貫通するクラックが形成されている）か否か、さらにはクラックが貫通クラック（両方の圧電層を貫通するクラック）及び非貫通クラック（前記一方の圧電層だけを貫通するクラック）のいずれであるかを知ることができる。したがって、破棄される圧電素子の割合を減らすことが可能となる。
【００１０】
なお、本発明は、３つ以上の圧電層及び内部に（つまり圧電層に挟まれた）２つ以上の電極層を有する圧電素子を検査する用途にも適用可能である。その場合、本発明の「電極層」に相当するのは、２つ以上の電極層のうちで低電位電極とする電極層であり、本発明の「一方の圧電層」に相当するのは、２つ以上の電極層のうちで低電位電極とする電極層と、最も外側にある２つの圧電層のうちで液体に接触させる圧電層とに挟まれた一又は複数の圧電層である。そして、「他方の圧電層」に相当するのは、低電位電極とする電極層と、最も外側にある２つの圧電層のうちで液体に接触させない圧電層とに挟まされた一又は複数の圧電層である。
【００１１】
本発明の検査方法は、液体に接触させる圧電層を代えて２回行ってもよい。つまり、２回目の検査では、前記２つの圧電層のうちの他方の前記圧電層を液体に接触させた状態において、この液体と前記圧電素子外において接触する導電体が高電位電極となり且つ前記電極層が低電位電極となるように両電極間に第１の電界を印加しつつ、前記導電体と前記電極層との間の抵抗値を測定する第１の測定工程と、前記第１の電界の印加を解除した後に、前記第１の測定工程において測定された抵抗値が第１のしきい値未満である圧電素子に対して、前記導電体と前記電極層との間の抵抗値を測定する第２の測定工程とを行う。これによって、前記他方の圧電層だけを貫通するクラックが形成された圧電素子をさらに識別することが可能となる。この場合においても、３つ以上の圧電層及び内部に２つ以上の電極層を有する圧電素子を検査することができる。このとき、１回目の検査と２回目の検査とで、別の電極層を低電位電極としてもよい。
【００１２】
本発明の液体吐出装置は、複数の液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置であって、各液体吐出ヘッドは、液体を吐出する吐出口及び圧力室をそれぞれ含む複数の個別液体流路が形成された、少なくとも一部が前記複数の個別液体流路に露出した導電体からなる流路ユニットと、共通電極層、前記共通電極層を挟む２つの圧電層、及び、前記共通電極層と対向するように前記２つの圧電層のうちの一方の前記圧電層の表面上に形成された複数の個別電極層を有し、前記複数の個別電極層が複数の前記圧力室と対向し且つ前記複数の個別電極層が前記流路ユニットとは反対方向を向くように、前記流路ユニットに取り付けられた圧電素子とを含んいる。そして、複数の前記液体吐出ヘッドには、上述した圧電素子の検査方法によって前記抵抗値が前記第１のしきい値以上であると判定された前記圧電素子を有する第１の液体吐出ヘッドと、上述した圧電素子の検査方法によって前記抵抗値が前記第２のしきい値以上であると判定された前記圧電素子を有する第２の液体吐出ヘッドとの両方が含まれており、前記第１の液体吐出ヘッド及び前記第２の液体吐出ヘッドが、互いに異なるタイプの液体を吐出する。
【００１３】
これによって、吐出される液体のタイプに応じたヘッドを効果的に用いることができるので、ヘッドの歩留まりが向上する。
【００１４】
本発明の液体吐出装置の製造方法は、複数の液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置の製造方法であって、液体を吐出する吐出口及び圧力室をそれぞれ含む複数の個別液体流路が形成された、少なくとも一部が前記複数の個別液体流路に露出した導電体からなる流路ユニットと、共通電極層、前記共通電極層を挟む２つの圧電層、及び、前記共通電極層と対向するように前記２つの圧電層のうちの一方の前記圧電層の表面上に形成された複数の個別電極層を有し、前記複数の個別電極層が複数の前記圧力室と対向し且つ前記複数の個別電極層が前記流路ユニットとは反対方向を向くように、前記流路ユニットに取り付けられた圧電素子とを含む前記複数の液体吐出ヘッドを製造するヘッド製造工程と、前記ヘッド製造工程後に、前記２つの圧電層のうちの他方の前記圧電層を前記圧力室内の液体に接触させた状態において、この液体と接触する前記導電体が高電位電極となり且つ前記共通電極層が低電位電極となるように両電極間に第１の電界を印加しつつ、前記導電体と前記共通電極層との間の抵抗値を測定する第１の測定工程と、前記第１の電界の印加を解除した後に、前記第１の測定工程において測定された抵抗値が第１のしきい値未満である圧電素子に対して、前記導電体と前記共通電極層との間の抵抗値を測定する第２の測定工程と、前記第１の測定工程において測定された抵抗値が前記第１のしきい値以上である圧電素子は、前記他方の圧電層を貫通するクラックが形成されていないものであり、前記第２の測定工程において測定された抵抗値が第２のしきい値未満である圧電素子は、前記２つの圧電層及び前記共通電極層を貫通するクラックが形成されたものであり、前記第２の測定工程において測定された抵抗値が前記第２のしきい値以上である圧電素子は、前記他方の圧電層を貫通し前記一方の前記圧電層を貫通しないクラックが形成されたものであると判定する判定工程と、前記判定工程において前記抵抗値が前記第１のしきい値以上であると判定された前記圧電素子を有する第１の液体吐出ヘッドと、前記判定工程において前記抵抗値が前記第２のしきい値以上であると判定された前記圧電素子を有する第２の液体吐出ヘッドとの両方を、前記複数の液体吐出ヘッドを支持する支持部材に組み付ける組み付け工程とを備えている。そして、前記組み付け工程において、前記第１の液体吐出ヘッドに第１の液体を供給可能となるように前記第１の液体吐出ヘッドが前記支持部材に組み付けられ、前記第２の液体吐出ヘッドに前記第１の液体とは異なるタイプの第２の液体を供給可能となるように前記第２の液体吐出ヘッドが前記支持部材に組み付けられる。
【００１５】
これによって、吐出される液体のタイプに応じたヘッドを効果的に用いることができるので、ヘッドの歩留まりが向上する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によると、２回の抵抗値測定を行うことによって、圧電素子にクラックが形成されている（少なくとも前記一方の圧電層を貫通するクラックが形成されている）か否か、さらにはクラックが貫通クラック（両方の圧電層を貫通するクラック）及び非貫通クラック（前記一方の圧電層だけを貫通するクラック）のいずれであるかを知ることができる。したがって、破棄される圧電素子の割合を減らすことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施の形態に係る液体吐出装置であるインクジェットプリンタの内部構成を示す縦断面図である。
【図２】図１に描かれインクジェットプリンタに含まれるヘッド本体の平面図である。
【図３】図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図４】図３に示すIV−IV線に沿った断面図である。
【図５】アクチュエータユニットの拡大断面図及び個別電極の平面図である。
【図６】図１に描かれインクジェットプリンタの製造工程図である。
【図７】圧電素子であるアクチュエータユニットの検査方法を順に示す模式的な断面図である。
【図８】圧電素子であるアクチュエータユニットの検査方法を順に示す模式的な断面図である。
【図９】圧電素子であるアクチュエータユニットの検査方法を順に示す模式的な断面図である。
【図１０】圧電素子であるアクチュエータユニットの検査方法を順に示す模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
（プリンタ全体構成）
液体吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドを含む、本発明の一実施の形態に係るインクジェットプリンタ１０１は、図１に示すように、直方体形状の筐体１０１ａを有している。このプリンタ１０１はラインプリンタである。筐体１０１ａ内には、透明なプレコート液（Ｐ）、イエローインク（Ｙ）、マゼンタインク（Ｍ）、シアンインク（Ｃ）、ブラックインク（Ｋ）をそれぞれ吐出する５つのインクジェットヘッド１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ（以下の説明において互いの区別が必要ないときには単にヘッド１と記載することがある）、及び、搬送機構１６が配置されている。搬送機構１６の上方には、５つのインクジェットヘッド１ａ〜１ｅが、枠形状の支持部材としてのフレーム３に支持されている。フレーム３は、筐体１０１ａに支持され、５つのヘッド１は、用紙搬送方向に沿って並んでいる。また、筐体１０１ａの天板内面には、５つのインクジェットヘッド１ａ〜１ｅ及び搬送機構１６の動作を制御する制御部１００が取り付けられている。天板上面には、用紙Ｐが排出される排紙凹部（排紙部）１５が設けられている。搬送機構１６の下方には、筐体１０１ａに対して着脱可能な給紙ユニット１０１ｂが配置されている。給紙ユニット１０１ｂの下方には、筐体１０１ａに対して着脱可能なインクタンクユニット１０１ｃが配置されている。
【００１９】
インクジェットプリンタ１０１の内部には、給紙ユニット１０１ｂから排紙凹部１５に向けて、図１に示す太矢印に沿って、用紙Ｐが搬送される用紙搬送経路が形成されている。給紙ユニット１０１ｂは、給紙トレイ１１と、給紙ローラ１２とを有している。給紙トレイ１１は、上方に向かって開口した箱形状を有しており、複数枚の用紙Ｐを積層された状態で収納する。給紙ローラ１２は、給紙トレイ１１の最も上方にある用紙Ｐを送り出す。送り出された用紙Ｐは、ガイド部のガイド１３ａ、１３ｂによりガイドされ且つ送りローラ対１４によって搬送機構１６へと送られる。
【００２０】
搬送機構１６は、図１に示すように、ベルトローラ６、７および両ローラ６、７間に巻回された無端状の搬送ベルト８に加え、搬送ベルト８の外側に配置されたニップローラ４および剥離プレート５、搬送ベルト８の内側に配置された直方体形状のプラテン１８およびテンションローラ１０を有している。
【００２１】
ベルトローラ７は、駆動ローラであって、搬送モータ１９によって、図１中時計回りに回転する。搬送モータ１９の駆動力は、複数のギアを介して伝達される。このとき、搬送ベルト８は、太矢印に沿って走行する。ベルトローラ６は、従動ローラであって、搬送ベルト８の走行に伴い、図１中時計回りに回転する。ニップローラ４は、ベルトローラ６に対向配置され、前段のガイド部から供給された用紙Ｐを搬送ベルト８の外周面８ａに押さえつける。外周面８ａには、粘着性のシリコーン処理が施されており、用紙Ｐを保持して搬送する。剥離プレート５は、ベルトローラ７に対向配置され、用紙Ｐを外周面８ａから剥離して後段のガイド部に導く。ガイド部では、剥離された用紙Ｐが、ガイド２９ａ、２９ｂによりガイドされ、且つ二組の送りローラ対２８によって上方に搬送される。用紙Ｐは、筐体１０１ａ上部の排出口３０から排紙凹部１５へ排出される。
【００２２】
プラテン１８は、５つのインクジェットヘッド１ａ〜１ｅに対向配置され、搬送ベルト８の上側ループを内側から支える。これにより、外周面８ａとヘッド１０の吐出面２ａとの間には。画像形成に適した所定の間隔が形成される。テンションローラ１０は、搬送ベルト８の下側ループを内側から下方に付勢しており、搬送ベルト８にテンションが付加される。
【００２３】
各ヘッド１は、主走査方向に長尺な略直方体形状を有している。各ヘッド１は、下方からヘッド本体２、液体分配部材（図示せず）、制御基板（図示せず）が積層された積層体である。液体分配部材は、ヘッド本体２に連通する液体流路を有し、後述のインクタンク１７から供給されたインクをヘッド本体２に分配する。制御基板は、制御信号を生成し、後述のアクチュエータユニット２１に供給する。制御基板とアクチュエータユニット２１とは、平型柔軟基板であるＣＯＦ（Chip On Film：図示せず）によって電気的に接続されている。ＣＯＦには、ドライバＩＣが実装されている。
【００２４】
５つのインクジェットヘッド１ａ〜１ｅは、後述するクラック程度に関するグループの点以外は、互いに同じ構造を有している。
【００２５】
インクジェットヘッド１ａは、残り４つのインクジェットヘッド１ｂ〜１ｅよりも搬送方向上流に配置されている。画像形成に際して、インクジェットヘッド１からは、プレコート液（前処理液）が吐出される。プレコート液は、用紙Ｐ上においてインクジェットヘッド１ｂ〜１ｅから吐出されるインクに先駆けて着弾することになる。着弾したプレコート液は、インクの滲みを抑制する又は用紙Ｐへのインク定着性を向上させる。
【００２６】
４つのインクジェットヘッド１ｂ〜１ｅは互いに異なる色のインクを、より詳細には、インクジェットヘッド１ｂはイエローインクを、インクジェットヘッド１ｃはマゼンタインクを、インクジェットヘッドｄはシアンインクを、インクジェットヘッド１ｅはブラックインクを、それぞれ吐出する。
【００２７】
インクジェットヘッド１の底面は、インク又はプレコート液（以下、両者を合わせて単に「液体」と称することがある）を吐出する吐出面２ａとなっている。吐出面２ａには、複数の吐出口１０８（図４参照）が形成されている。搬送される用紙Ｐが５つのインクジェットヘッド１ａ〜１ｅのすぐ下方を通過する際に、用紙Ｐの上面に向けて吐出口１０８からプレコート液及び各色のインクが順に吐出される。これにより、用紙Ｐの上面、すなわち、印刷面に所望のカラー画像が形成される。このとき、画像を構成する搬送方向に沿った複数の画素は、１つの吐出口１０８から吐出されたインクにより形成されている。
【００２８】
インクタンクユニット１０１ｃ内には、５つのインクタンク１７ａ〜１７ｅ（以下の説明において互いの区別が必要ないときには単にインクタンク１７と記載することがある）が配置されている。インクタンク１７ａはプレコート液を、インクタンク１７ｂはイエローインクを、インクタンク１７ｃはマゼンタインクを、インクタンク１７ｄはシアンインクを、インクタンク１７ｅはブラックインクを、それぞれ貯溜している。各インクジェットヘッド１は、５つのインクタンク１７ａ〜１７ｅのうちいずれか１つであって当該ヘッド１が吐出する液体と同じタイプの液体を貯溜するインクタンク１７と、図示しないチューブを介して接続されている。各インクタンク１７からは、このチューブを介して対応するインクジェットヘッド１にインクが供給される。
【００２９】
本実施の形態において、プレコート液を吐出するインクジェットヘッド１ａ及びブラックインクを吐出するインクジェットヘッド１ｅとしては、後述する製造工程においてグループＡ、つまり「非貫通クラック」及び「貫通クラック」のいずれも存在しないグループに分類されたアクチュエータユニット２１を有するヘッド１（単に「グループＡに属するヘッド」と称することがある）が使用されている。また、これら以外のヘッド１、つまりイエローインクを吐出するインクジェットヘッド１ｂ、マゼンタインクを吐出するインクジェットヘッド１ｃ及びシアンインクを吐出するインクジェットヘッド１ｄとしては、後述する製造工程においてグループＢ、つまり「非貫通クラック」が存在するグループに分類されたアクチュエータユニット２１を有するヘッド１（単に「グループＢに属するヘッド」と称することがある）が使用されている。
【００３０】
プリンタ１０１における５つのヘッド１ａ〜１ｅの位置は、各ヘッド１から吐出される液体のタイプに応じて決定される。プレコート液を吐出するインクジェットヘッド１ａは、画質向上の観点から、他の４つのヘッド１ｂ〜１ｅよりも搬送方向の上流になければならない。加えて、用紙Ｐ上に着弾した異なる色のインク同士の重畳の順序に応じて人間が観察したときの色合いが異なるので、その観点からもインクを吐出する４つのヘッド１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅの位置が決められる必要がある。本実施の形態では、搬送方向に沿って上流からヘッド１ｂ、ヘッド１ｃ、ヘッド１ｄ、ヘッド１ｅの順に配置されることが求められる。このように、各ヘッド１が４色のインク及びプレコート液のうちのいずれを吐出するかは、各ヘッド１のフレーム３に対する取付位置に依存することになる。
【００３１】
（ヘッド本体）
次に、図２〜図５を参照しながら、ヘッド本体２について説明する。ヘッド本体２は、図２に示すように、流路ユニット９、及び、流路ユニット９の上面９ａに固定された４つのアクチュエータユニット２１を含んでいる。流路ユニット９は、図４に示すように、９枚の金属プレート１２２〜１３０からなる導電性の積層体である。これら金属プレート１２２〜１３０は、主走査方向に長尺で、矩形の平面形状を有している。
【００３２】
流路ユニット９の上面９ａには、図２に示すように、１０個のインク供給口１０５ｂが開口している。各インク供給口１０５ｂは、主走査方向にアクチュエータユニット２１を挟んで配置されている。各インク供給口１０５ｂには、上述の液体分配部材からのインクが流入する。また、複数の圧力室１１０が、図３に示すように、マトリクス状に規則的に配列されている。各圧力室１１０は、ほぼ菱形の平面形状を有している。流路ユニット９の内部には、図２〜図４に示すように、インク供給口１０５ｂに接続するマニホールド流路１０５、マニホールド流路１０５から分岐した複数の副マニホールド流路１０５ａ、さらに副マニホールド流路１０５ａの出口から圧力室１１０を介して吐出口１０８に至る複数の個別インク流路１３２が含まれる。圧力室１１０は、絞り部としてのアパーチャ１１２を介して副マニホールド流路１０５ａに接続する。流路ユニット９の下面（吐出面２ａ）には、吐出口１０８がマトリクス状に配列されている。なお、図３において、実線で描くべきアクチュエータユニット２１を二点鎖線で描き、破線で描くべき後述のアパーチャ１１２を実線で描いている。
【００３３】
このように、流路ユニット９は金属（導電体）で構成されているので、すべての個別インク流路１３２の内面には、導電体である金属が露出している。インク供給口１０５ｂから供給されたインクは、流路ユニット９のインク流路を満たし、吐出口１０８に至る。この状態では、金属はインクに接触している。
【００３４】
４つのアクチュエータユニット２１は、図２に示すように、台形の平面形状を有し、それぞれ台形の下底を副走査方向の外側にして、主走査方向に２列の千鳥に配列されている。各列の平行対向辺は、主走査方向に沿って配置され、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士が副走査方向に重なっている。
【００３５】
アクチュエータユニット２１は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなり、図５（ａ）に示すように、３枚の圧電層１４１〜１４３を含む。最上層の圧電層１４１だけに、上下両面に電極が形成されている。圧力室１１０から遠い個別電極１３５は、図５（ｂ）に示すように、圧力室１１０と相似な略菱形の平面形状を有する。個別電極１３５は、主要部分が圧力室１１０に対向して配置され、菱形の一方の鋭角部が圧力室１１０外に延出されている。延出方向の先端には、平面視で円形のランド１３６が形成されている。ランド１３６は、個別電極１３５よりも厚い。一方、圧力室１１０に近い共通電極１３４は、２つの圧電層１４１、１４２に挟まれており、圧電層１４１の下面（圧電層１４２の上面）のほぼ全体に形成されている。圧電層１４３は、下面が流路ユニット９の上面９ａに固定され、圧力室１１０の開口を封止している。なお、圧電層１４１の上面には、共通電極１３４と電気的に接続された共通電極用のランド（図示せず）も形成されている。
【００３６】
各アクチュエータユニット２１には、ＣＯＦが接続されている。ＣＯＦに実装されたドライバＩＣは、制御基板からの制御信号に基づいて駆動信号（駆動電圧パルス）を生成し、アクチュエータユニット２１に供給する。個別電極用ランド１３６には駆動振動が選択的に与えられ、共通電極用ランドには基準電位のグランド電位が与えられる。アクチュエータユニット２１において、圧電層１４１は外部電界により自発的に変位し、圧電層１４２、１４３は自発的に変位しない。さらに個別電極１３５と圧力室１１０とで挟まれた部分が、他の部位から独立して平面と直交方向に変形し、圧力室１１０の容積を変化させる。個別電極１３５及び圧力室１１０間は、それぞれ個別のアクチュエータとして働く。このように、アクチュエータユニット２１には、圧力室１１０と同数のエネルギー付与部材である圧電アクチュエータが作り込まれている。
【００３７】
ノズルからインク滴を吐出させるためのアクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。圧電層１４１はその厚み方向に分極されている。ドライバＩＣから駆動信号が供給されると、圧電層１４１には、２つの電極１３４、１３５間に厚み方向に沿う電界が生じる。電界印加部分（活性部）は、主に平面方向の圧電歪み（ｄ３１の振動モードでの変位）を生じる。圧電層１４２、１４３は、自発的変位をしないので、圧電層１４１（活性部）との間で平面方向に歪みの差が生じる。本実施の形態では、電界印加方向が分極方向と同じとき、圧力室１１０に対向するアクチュエータ部分が、歪み差でユニモルフ変形をして圧力室１１０の容積を減少させる。これにより、圧力室１１０内のインクに圧力（吐出エネルギー）が付与され、吐出口１０８からインク滴が吐出される。
【００３８】
（プリンタの製造方法）
次に、プリンタ１０１の製造方法について図６〜図１０をさらに参照して説明する。まず、複数のインクジェットヘッド１を製造する（ヘッド製造工程：Ｓ１）。インクジェットヘッド１を製造する工程は、流路ユニット９の作製工程（Ｓ３１）、アクチュエータユニット２１の作製工程（Ｓ３２）、及び、アクチュエータユニット２１の流路ユニット９への固定工程（Ｓ３３）を含んでいる。流路ユニット９の作製工程（Ｓ３１）とアクチュエータユニット２１の作製工程（Ｓ３２）は、互いに独立に行われるものであり、いずれを先に行ってもよいし、並行して行ってもよい。
【００３９】
工程Ｓ３１では、まず、流路ユニット９を構成する複数の金属プレートを用意し、各金属プレートにエッチング等により溝及び貫通孔を形成する。そして、各金属プレートに熱硬化性接着剤を塗布して互いに位置合わせしつつ積層し、加熱及び加圧工程を経ることにより、流路ユニット９が完成する。
【００４０】
工程Ｓ３２では、まず、予め焼成による収縮量を見込んで形成された、台形の圧電層１４１〜１４３となるグリーンシートを３枚用意する。そして、圧電層１４１となるグリーンシート上に複数の個別電極１３５のパターンで、圧電層１４２となるグリーンシート上には共通電極１３４のパターンで、それぞれＡｇ−Ｐｄ系の導電性ペーストをスクリーン印刷する。その後、治具を用いて位置合わせしつつ、印刷がされていない圧電層１４３となるグリーンシート上に、共通電極１３４が印刷された面を上にして圧電層４２となるグリーンシートを重ね、さらにその上に、個別電極１３５及び表面電極１４５が印刷された面を上にして圧電層１４１となるグリーンシートを重ねる。次に、このグリーンシートの積層体を、公知のセラミックと同様に脱脂し、所定の温度で焼成する。これにより、３枚のグリーンシートが圧電層１４１〜１４３となり、導電性ペーストが個別電極１３５及び共通電極１３４となる。さらに、パターニングされたマスクを用いて、個別電極１３５上に導電性のランド１３６を印刷する。
【００４１】
そして、工程Ｓ３３では、工程Ｓ３１で作製された流路ユニット９の上面に、個別電極１３５が流路ユニット９とは反対方向を向くように、工程Ｓ３２で作製された４つのアクチュエータユニット２１を固定する。この際、流路ユニット９とアクチュエータユニット２１との間にエポキシ系の熱硬化性接着剤を介在させて加熱及び加圧を行うことで、両者は固定されると共に、図５（ｂ）に示すように、個別電極１３５の大部分が圧力室１１０と平面視で重なるように位置合わせが行われる。これによって、ヘッド本体２が完成する。さらに各ランド１３６がＣＯＦ上の端子と電気的に接続されるように、各アクチュエータユニット２１の上面に導電性接着剤を用いてＣＯＦを接合し、その後、流路ユニット９上面に液体分配部材を水密に固定する。さらに、制御基板などの他の部材を取り付けることによって、インクジェットヘッド１が完成する。なお、工程Ｓ１では少なくともヘッド本体２を製造すればよく、液体分配部材及び制御基板などの他の部材は、後の工程でヘッド本体２に取り付けることにしてもよい。
【００４２】
ここで、アクチュエータユニット２１に形成されるクラックについて説明する。アクチュエータユニット２１には、工程Ｓ３２の焼成時、工程Ｓ３３の流路ユニット９への固定時、ＣＯＦの接合時にクラックが形成されることがある。アクチュエータユニットに形成されるクラックには、その長さ及び場所によって、少なくとも圧電層１４１、１４２、１４３及び共通電極１３４を貫通したクラック（本実施の形態において「貫通クラック」と称する）と、圧電層１４２、１４３を貫通して共通電極１３４に達しているが圧電層１４１を貫通していないクラック（本実施の形態において「非貫通クラック」と称する）と、少なくとも圧電層１４１を貫通して共通電極１３４に達しているが圧電層１４２、１４３を貫通していないクラック（本実施の形態において「上部クラック」と称する）、それ以外の比較的短いクラックとに分類される。
【００４３】
上記４種類のクラックのうち貫通クラックがアクチュエータユニット２１に形成されている場合には、圧力室１１０から毛細管現象で貫通クラック内に浸透した液体を介して個別電極１３５と共通電極１３４とが短絡するために、アクチュエータユニット２１が正常に動作しない可能性が高い。また、非貫通クラックがアクチュエータユニット２１に形成されている場合には、アクチュエータユニット２１は、将来的に何らかの要因でクラックが成長したときに正常に動作しなくなる可能性があるものの、現時点では正常な動作を行う。
【００４４】
したがって、本実施の形態では、以下に説明する工程を通して、貫通クラックが形成されたアクチュエータユニット２１（グループＣ）と、非貫通クラックが形成されたアクチュエータユニット２１（グループＢ）と、それ以外のアクチュエータユニット２１（グループＡ）とを区別し、グループＡに属するヘッド１と、グループＢに属するヘッド１とを用いてプリンタ１０１を製造する。さらに、グループＢのアクチュエータユニット２１がグループＡのアクチュエータユニット２１よりも将来的な故障を起こしやすいことを考慮して、グループＢに属するヘッド１は、グループＡに属するヘッド１よりも使用頻度が低い液体の吐出用として、さらにはグループＡに属するヘッド１よりも圧電層へのアタックの程度又は共通電極１３４に対する腐蝕作用が低い液体の吐出用として用いるようにする。
【００４５】
なお、上部クラックが形成されたアクチュエータユニット２１は、非貫通クラックが形成されているアクチュエータユニット２１と同様に、現時点では正常な動作を行うが、将来的に何らかの要因でクラックが成長したときに正常に動作しなくなる可能性があるものである。したがって、上部クラックが形成されたアクチュエータユニット２１は非貫通クラックが形成されたアクチュエータユニット２１と同じグループに分類することが好ましい。しかしながら、上部クラックが形成されたアクチュエータユニット２１を識別するには、後で説明するように以下に説明する検査工程をさらにもう１回追加で行う必要がある。そこで、本実施の形態では、プリンタ製造の煩雑さを回避するために、上部クラックが形成されたアクチュエータユニット２１を、貫通クラック、非貫通クラック及び上部クラックの３種類のクラック以外の比較的短いクラックが形成されたアクチュエータユニット２１と同じグループＡに属するものとして扱うことにしている。この場合においても、グループＡに属するヘッド１とグループＢに属するヘッド１とをプリンタ１０１において区別して用いるようにすることで、両グループＡ及びＢのヘッド１を区別して用いないときに比べて、ヘッド１の故障頻度を低下させることが可能である。
【００４６】
図６に戻って、工程Ｓ１の後、ポンプで加圧することによって、適切な液体をヘッド本体２内に導入する（Ｓ２）。これによって、ヘッド本体２内のすべての個別インク流路１３２が液体で充填される。ヘッド本体２内に導入される液体としては、インクから色素成分を除去したものを用いることができる。
【００４７】
図７（ａ）は、工程Ｓ２終了時点における、非貫通クラック１５１が形成されたグループＢに属すると判定されるであろうアクチュエータユニット２１を有するヘッド１を模式的に示している。図７（ｂ）は、工程Ｓ２終了時点における、貫通クラック１５２が形成されたグループＣに属すると判定されるであろうアクチュエータユニット２１を有するヘッド１を模式的に示している。図７（ｃ）は、工程Ｓ２終了時点における、グループＡに属すると判定されるであろうアクチュエータユニット２１を有するヘッド１を模式的に示している。なお、図７（ａ）及び図７（ｂ）において、非貫通クラック１５１及び貫通クラック１５２を実際よりも大きな幅で描いている。
【００４８】
非貫通クラック１５１を有するヘッド１については、図７（ａ）に示すように、圧力室１１０内の液体が毛細管現象で非貫通クラック１５１内に浸透しようとするが、非貫通クラック１５１が圧電層１４１で蓋をされているために、毛細管力だけでは非貫通クラック１５１内にはほとんど液体は浸透しない。貫通クラック１５２を有するヘッド１については、図７（ｂ）に示すように、毛細管現象によって、圧力室１１０内の液体が貫通クラック１５２内に浸透している。ただし、液体はその水位が共通電極１３４に達しない程度までしか浸透しない。非貫通クラック１５１及び貫通クラック１５２のいずれも形成されていないヘッド１については、図７（ｃ）に示すように、圧力室１１０に面したクラックが形成されていないので、圧力室１１０内の液体がアクチュエータユニット２１内に浸入することがない。
【００４９】
次に、流路ユニット９が電位＋５Ｖの高電位電極となり、共通電極１３４が電位０Ｖの低電位電極となるように、両電極間に電界を印加する（Ｓ３）。すると、非貫通クラック１５１を有するヘッド１については、図８（ａ）に示すように、液体成分の電気分解に伴う電気浸透によって、圧力室１１０内の液体が非貫通クラック１５１内を上昇していき、その水位が共通電極１３４に到達する。その結果、流路ユニット９と共通電極１３４とが短絡して両者間の抵抗値が非常に小さくなる。ここで＋５Ｖという電圧の大きさは、圧力室１１０内の液体が非貫通クラック１５１内を上昇してその水位が共通電極１３４に到達する最小限の電圧よりも大きく、しかも、電気分解で発生した水素によって圧電層１４２、１４３の層間剥離が引き起こされる電圧よりも小さいという観点で決定されたものである。なお、層間剥離が発生するか否かは、電圧値だけでなく電圧の印加時間にも依存するため、５Ｖよりも大きな電圧を印加する場合には印加時間をより短くすることが有効である。他方、貫通クラック１５２を有するヘッド１については、図８（ｂ）に示すように、電気浸透によって、圧力室１１０内の液体が貫通クラック１５２内を上昇していき、その水位が共通電極１３４に到達してからもさらに上昇を続け、最終的には個別電極１３５にまで到達する。その結果、流路ユニット９と共通電極１３４とが短絡して両者間の抵抗値が非常に小さくなる。
【００５０】
さらに、工程Ｓ３においては、上記の電界を印加したままで両電極間の抵抗値を測定する（第１の測定工程）。この結果、非貫通クラック１５１及び貫通クラック１５２を有するヘッド１については、非常に小さな抵抗値が得られるが、それ以外のヘッド１については、大きな抵抗値が得られる。このとき、１つのヘッド１内の４つのアクチュエータユニット２１に１つでも非貫通クラック１５１又は貫通クラック１５２が形成されていれば、両電極間の抵抗値は非常に小さな値となる。
【００５１】
しかる後、両電極間の電圧を解除する（Ｓ４）。その結果、非貫通クラック１５１を有するヘッド１については、図９（ａ）に示すように、共通電極１３４にまで到達していた液体の水位が空気圧の影響で低下し、液体は共通電極１３４とは接触しなくなる。他方、貫通クラック１５２を有するヘッド１については、図９（ｂ）に示すように、非貫通クラック１５１の場合とは異なり空気圧の影響を受けないために、液体の水位は低下しない。仮に、この段階で、両電極間の抵抗値を測定すれば、非貫通クラックを有するヘッド１は大きな抵抗値を示すようになるが、貫通クラックを有するヘッド１は小さな抵抗値のままである。
【００５２】
工程Ｓ５では、工程Ｓ３で得られた抵抗の測定値としきい値Ｒth1とを比較する。この比較は人間が行ってもよいし、工程Ｓ３で得られた抵抗の測定値に基づいてコンピュータが行ってもよい。そして、測定値がしきい値Ｒth1以上であるアクチュエータユニット２１（図７（ｃ））は、工程Ｓ６においてグループＡに分類される（判定工程の一部）。なお、工程Ｓ５及びＳ６は、工程Ｓ３よりも後で工程Ｓ４の前に行ってもよい。
【００５３】
次に、工程Ｓ５での比較によって抵抗の測定値がしきい値Ｒth1未満であるとされた、未だグループ分けがされていないアクチュエータユニット２１に対して、流路ユニット９が電位０Ｖの低電位電極となり、共通電極１３４が電位＋１Ｖの高電位電極となるように、両電極間に電界を印加する（Ｓ７）。ここで電界を印加するのは、工程Ｓ３とは逆方向の電気浸透を生じさせることによって、非貫通クラック１５１が形成されている場合において液体の水位が十分に低下せず液体が共通電極１３４に接触したままになっているという事態を防止するためである。これにより、クラックの貫通・非貫通の識別性が向上する。すなわち、非貫通クラック１５１を有するヘッド１については、図１０（ａ）に示すように、液体が共通電極１３４とは確実に接触しなくなる。他方、貫通クラック１５２を有するヘッド１については、工程Ｓ３とは逆方向の電気浸透によって液体の水位が低下することはあるが、電圧が工程Ｓ３の場合よりも小さいために、共通電極１３４を越えて液体の水位が低下することはない。したがって、図１０（ｂ）に示すように、液体の水位は依然として共通電極１３４の上方にある。
【００５４】
さらに、工程Ｓ７においては、上記の電界を印加したままで両電極間の抵抗値を測定する（第２の測定工程）。この結果、貫通クラック１５２を有するヘッド１については、非常に小さな抵抗値が得られるが、非貫通クラック１５１を有するヘッド１については、大きな抵抗値が得られる。しかる後、両電極間の電圧を解除する。この電圧解除は、より後の工程で行ってもよい。
【００５５】
工程Ｓ８では、工程Ｓ７で得られた抵抗の測定値としきい値Ｒth2とを比較する。この比較は人間が行ってもよいし、工程Ｓ７で得られた抵抗の測定値に基づいてコンピュータが行ってもよい。そして、測定値がしきい値Ｒth2以上であるアクチュエータユニット２１（図７（ａ））は工程Ｓ９においてグループＢに分類され（判定工程の一部）、測定値がしきい値Ｒth2未満であるアクチュエータユニット２１（図７（ｂ））は工程Ｓ１０においてグループＣに分類される（判定工程の一部）。グループＣに分類されたアクチュエータユニット２１を有するヘッド１は、工程Ｓ１１において廃棄される。
【００５６】
工程Ｓ１２では、グループＡに属する２つのヘッド１と、グループＢに属する３つのヘッド１とをフレーム３に組み付ける（組み付け工程）。この時点で、フレーム３はプリンタ１０１内に支持されていてもよいし、未だプリンタ１０１内に支持されていなくてもよい。組み付け工程において、グループＡに属する２つのヘッド１は、それぞれ、プレコート液を吐出するヘッド１ａ及びブラックインクを吐出するヘッド１ｅとなるようなフレーム３上の位置、つまり５つのヘッド１の取付位置のうちで図１において最も左及び最も右にそれぞれ固定される。さらに、グループＢに属する３つのヘッド１は、それぞれ、イエローインク、マゼンタインク及びシアンインクを吐出するヘッド１ｂ、１ｃ、１ｄとなるようなフレーム３上の位置、つまり５つのヘッド１の取付位置のうちで図１において左から２、３、４番目にそれぞれ固定される。
【００５７】
工程Ｓ１２が未だプリンタ１０１内に支持されていないフレーム３に５つのヘッド１を固定するものである場合、工程Ｓ１２の後に、フレーム３をプリンタ１０１内の所定位置に組み付ける。以上の工程によって、プリンタ１０１が完成する。
【００５８】
以上説明した本実施の形態に係るアクチュエータユニット２１の検査方法によると、比較的簡易な２回の抵抗値測定を行うことによって、アクチュエータユニット２１がグループＡ（非貫通クラック１５１及び貫通クラック１５２なし）、グループＢ（非貫通クラック１５１有り）及びグループＣ（貫通クラック１５２有り）のいずれであるかを知ることができる。したがって、従来破棄されていたグループＢのアクチュエータユニット２１を破棄せずに用いることができるため、破棄されるアクチュエータユニット２１の割合を減らすことが可能となる。この際、測定によって得られた抵抗値を２つのしきい値Ｒth1、Ｒth2と比較することによって、アクチュエータユニット２１を容易に分類することが可能となる。
【００５９】
また、工程Ｓ７では工程Ｓ３のときとは逆電界を印加することで、クラックの形態に対する識別精度が高くなる。例えば、非貫通クラック１５１が形成されているにも拘わらず、液体の水位が下がらず液体が共通電極１３４に接触したままで抵抗値が小さく検出されてしまう誤検出を防止できる。さらに、工程Ｓ７で印加される電界が工程Ｓ３で印加される電界よりも小さいので、貫通クラック１５２が形成されている場合に液体の水位が過度に低下するのを防止することができる。したがって、貫通クラック１５２が形成されているにも拘わらず、抵抗値が大きく検出されてしまう誤検出を防止できる。
【００６０】
また、本実施の形態に係るインクジェットプリンタ１０１では、グループＡ及びグループＢに属する２タイプのヘッド１を吐出される液体のタイプに応じて使い分けているので、廃棄されるヘッド１が少なくなってヘッド１の歩留まりを向上させることができるものとなる。特に、本実施の形態では、共通電極１３４に対する腐蝕作用がインクよりも高いプレコート液を吐出するヘッド１ａとしてグループＡに属するヘッド１を用いるようにしているので、故障率を低下させることができる。さらに、カラー（イエロー、マゼンタ、シアン）インクよりも使用頻度の高いブラックインクを吐出するヘッド１ｅとしてグループＡに属するヘッド１を用いるようにしているので、故障率を低下させることができる。
【００６１】
なお、製造済みのプリンタ１０１に対しても上述した実施の形態に記載した検査を行うことができる。その場合に、グループＣのヘッド１が新たに見つかったときには、そのヘッド１について、個別電極１３５が低電位電極となり且つ流路ユニット９が高電位電極となるように電界を印加しつつ当該個別電極１３５と流路ユニット９との間の抵抗値を測定する。もしアクチュエータユニット２１の当該個別電極１３５と平面視で重なる領域内に貫通クラック１５２が形成されている場合には、測定で得られた抵抗値がしきい値よりも小さなものとなる。これとは逆に、測定で得られた抵抗値が前記しきい値よりも大きければ、当該個別電極１３５と平面視で重なる領域内に貫通クラック１５２が形成されていないと推定される。このような作業を当該ヘッド１のすべての個別電極１３５について行うことで、アクチュエータユニット２１のどの領域に貫通クラック１５２が形成されているかを特定することができる。したがって、ヘッド１の取り替え作業が行われるまでは、当該個別電極１３５には駆動信号を与えないという応急処置を行うことで、ヘッドの故障を回避しつつ印字を行うことが可能となる。
【００６２】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更を上述の実施の形態に施すことが可能である。例えば、上述した実施の形態では圧電層１４３に液体を接触させてアクチュエータユニット２１の検査を行うものであるが、上部クラックが形成されたアクチュエータユニット２１を識別するために、圧電層１４１を液体に接触させてもう１度上述した検査を行ってもよい。このとき、圧電層１４１の上面に配置された液体に対して、導電体（高電位電極）としてプローブを接触させ、プローブと共通電極１３４との間に５Ｖの電圧を印加する。この状態で測定される抵抗値が（しきい値よりも）小さければ、アクチュエータユニット２１は上部クラックを有すると判定される。この検査は、ＣＯＦの接続前に行うとよい。これによって、アクチュエータユニット２１を４つのグループ（上述したグループＣが、さらに上部クラックを有するものと、上部クラック、貫通クラック及び非貫通クラックのいずれも有していないものとに区分される）に区分することが可能となる。これによって、上部クラックを有するものをグループＢに属するヘッド１と同等に扱うことが可能となって、よりヘッド１の効率的な利用を図ることが可能となる。
【００６３】
工程Ｓ７の第２の測定工程では電界を印加しなくてもよい。
【００６４】
上述した実施の形態では個別電極１３５を形成したヘッド１に対して工程Ｓ２から工程Ｓ１１を行っているが、工程Ｓ２から工程Ｓ１１を行ってから、アクチュエータユニット２１に個別電極１３５を形成してもよい。また、工程Ｓ２から工程Ｓ１１は、ヘッドの製造工程（Ｓ１）においてＣＯＦをアクチュエータユニット２１に接続後に行っているが、ＣＯＦを接続する前であって、流路ユニット９とアクチュエータユニット２１との接続前に行ってもよい。これによって、流路ユニット９及びアクチュエータユニット２１以外の部品が付属した状態でヘッド１を廃棄する無駄がなくなる。なお、ＣＯＦの接続時にクラックが生じる可能性があるが、接続点が圧力室１１０から離れたランド１３６が接続点のため、クラックが圧力室１１０内に露出することはほとんどない。
【００６５】
グループＡに属するヘッド１をプレコート液を吐出するためだけに用い、インクを吐出するヘッド１をすべてグループＢに属するヘッド１としてもよい。また、グループＢに属するヘッド１をイエローインクを吐出するために用い、それ以外のインクをグループＡに属するヘッド１を用いて吐出するようにしてもよい。
【００６６】
本発明に係る液体吐出装置をプリンタ以外の用途に用いる場合には、２つのグループＡ及びＢに属するヘッド１が互いに異なるタイプの液体を吐出するようにする。好適には、グループＢに属するヘッドがグループＡに属するヘッドよりも使用頻度が低い液体を吐出するように、２つのグループＡ及びＢに属するヘッド１を液体吐出装置に固定する。
【００６７】
本発明の圧電素子の検査方法は、インクジェットプリンタを含む液体吐出装置とは関係のない圧電素子の検査に用いることも可能である。
【００６８】
本発明の圧電素子の検査方法は、内部に電極を２つ以上有する圧電素子にも適用可能である。
【００６９】
また、本発明は、上述した実施の形態のようなラインプリンタ用のヘッドだけではなく、シリアルプリンタ用のヘッドにも適用可能である。また、インク以外の液体を吐出するヘッドにも適用可能である。
【符号の説明】
【００７０】
１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ  インクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）
２  ヘッド本体
３  フレーム（支持部材）
８  搬送ベルト
９  流路ユニット
１６  搬送機構
１７ａ〜１７ｅ  インクタンク
２１  アクチュエータユニット
１００  制御部
１０１  インクジェットプリンタ
１０１ｂ  給紙ユニット
１０１ｃ  インクタンクユニット
１０８  吐出口
１１０  圧力室
１３４  共通電極
１３５  個別電極
１４１〜１４３  圧電層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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