(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉛直方向に移動可能な可動体と、
前記可動体を鉛直方向に移動させる駆動手段と、
前記可動体にかかる重力を流体の圧力で相殺するバランスシリンダ装置と、
前記バランスシリンダ装置に供給される流体の流路である流体供給配管と、
前記流体供給配管内を流れる流体の流量を調整可能な調整バルブと、
前記バランスシリンダ装置に供給される流体の圧力を調整可能な圧力調整手段と、
少なくとも前記調整バルブと前記圧力調整手段とを制御可能な制御手段と、を備え、
前記調整バルブは開度を調整可能なバルブであり、
前記制御手段は、前記可動体の移動速度を読み込み、前記可動体の移動速度に応じて前記調整バルブを制御し、前記調整バルブを制御して流体の流量を低減させた場合、低減させた流量に応じて前記圧力調整手段を制御して圧力損失を補正する、
ステージ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のステージ装置であって、
前記制御手段は、前記可動体の移動速度が大きい場合よりも前記可動体の移動速度が小さい場合のほうが流体の流量が少なくなるように前記調整バルブの開度を制御する、
ステージ装置。
【請求項３】
鉛直方向に移動可能な可動体と、
前記可動体を鉛直方向に移動させる駆動手段と、
前記可動体にかかる重力を流体の圧力で相殺するバランスシリンダ装置と、
前記バランスシリンダ装置に供給される流体の流路である流体供給配管と、
前記流体供給配管内を流れる流体の流量を調整可能な調整バルブと、
前記バランスシリンダ装置に供給される流体の圧力を調整可能な圧力調整手段と、
少なくとも前記調整バルブと前記圧力調整手段とを制御可能な制御手段と、を備え、
前記流体供給配管における任意の位置では、並列に接続された複数の並列配管にて配管が形成されており、
前記調整バルブは、前記並列配管の少なくとも１つに取り付けられ、取り付けられた並列配管を開閉可能なバルブであり、
前記制御手段は、前記可動体の移動速度を読み込み、前記可動体の移動速度に応じて前記調整バルブを制御し、前記調整バルブを制御して流体の流量を低減させた場合、低減させた流量に応じて前記圧力調整手段を制御して圧力損失を補正する、
ステージ装置。
【請求項４】
請求項３に記載のステージ装置であって、
前記制御手段は、前記可動体の移動速度が大きい場合よりも前記可動体の移動速度が小さい場合のほうが流体の流量が少なくなるように前記調整バルブの開閉を制御して開いている並列配管の数を少なくする、
ステージ装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載のステージ装置であって、
前記バランスシリンダ装置内の流体の圧力を検出可能な圧力検出手段を備え、
前記制御手段は、前記調整バルブを制御しながら、前記圧力検出手段を用いて検出した圧力が目標圧力となるように前記圧力調整手段を制御する、
ステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高精度な位置決めが要求される工作機械等において、可動体の鉛直方向の位置決め制御を行うステージ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ワークまたは工具が取り付けられた可動体を鉛直方向や水平方向に移動させて加工を行う工作機械が知られている。そして、可動体の鉛直方向の位置決め制御を行うステージ装置においては、可動体を移動させる駆動手段の負荷を低減するとともに可動体の滑らかな移動と目標位置での静止状態を維持する等の目的にて、可動体にかかる重力を相殺するバランスシリンダ装置を備えている。
例えば特許文献１に記載された従来技術では、非接触シリンダにて可動体の重力を相殺し、リニアモータを用いて可動体を鉛直方向に移動させるステージ制御装置が開示されている。そして可動体の位置に応じて非接触シリンダに供給する流体の圧力（制御圧力）を変更して、非接触シリンダの推力に寄与する圧力が一定となるように制御し、可動体の位置にかかわらず非接触シリンダの推力を一定としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−３２２０４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された従来技術では、鉛直方向に移動させて位置決めする可動体の駆動手段にはリニアモータを用い、可動体にかかる重力を非接触シリンダにて相殺している。しかしリニアモータと非接触シリンダを用いたステージ装置では、モータとボールねじ（またはリニアガイド）を用いたステージ装置と比較して、可動体の停止時または極低速送り時において、外乱に対する安定性が低く、振動等にて位置が不安定になる（位置決め精度が低下する）可能性がある。
なお、以降の記載において「停止時」とは、動作状態から非動作状態へと状態が変化した場合だけでなく、静止状態（非動作状態を継続している場合）も含む。
本発明は、このような点に鑑みて創案されたものであり、流体を使って可動体の重力を相殺するバランスシリンダ装置を用いながら、可動体の停止時または極低速送り時等において、安定性をより向上させることができるステージ装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するための手段として、本発明の第１発明は、請求項１に記載されたとおりのステージ装置である。
請求項１に記載のステージ装置は、鉛直方向に移動可能な可動体と、前記可動体を鉛直方向に移動させる駆動手段と、前記可動体にかかる重力を流体の圧力で相殺するバランスシリンダ装置と、前記バランスシリンダ装置に供給される流体の流路である流体供給配管と、前記流体供給配管内を流れる流体の流量を調整可能な調整バルブと、前記バランスシリンダ装置に供給される流体の圧力を調整可能な圧力調整手段と、少なくとも前記調整バルブと前記圧力調整手段とを制御可能な制御手段と、を備え、前記調整バルブは開度を調整可能なバルブである。
そして前記制御手段は、前記可動体の移動速度を読み込み、前記可動体の移動速度に応じて前記調整バルブを制御し、前記調整バルブを制御して流体の流量を低減させた場合、低減させた流量に応じて前記圧力調整手段を制御して圧力損失を補正する。
【０００６】
また、本発明の第２発明は、請求項２に記載されたとおりのステージ装置である。
請求項２に記載のステージ装置は、請求項１に記載のステージ装置であって、前記制御手段は、前記可動体の移動速度が大きい場合よりも前記可動体の移動速度が小さい場合のほうが流体の流量が少なくなるように前記調整バルブの開度を制御する。
【０００７】
また、本発明の第３発明は、請求項３に記載されたとおりのステージ装置である。
請求項３に記載のステージ装置は、鉛直方向に移動可能な可動体と、前記可動体を鉛直方向に移動させる駆動手段と、前記可動体にかかる重力を流体の圧力で相殺するバランスシリンダ装置と、前記バランスシリンダ装置に供給される流体の流路である流体供給配管と、前記流体供給配管内を流れる流体の流量を調整可能な調整バルブと、前記バランスシリンダ装置に供給される流体の圧力を調整可能な圧力調整手段と、少なくとも前記調整バルブと前記圧力調整手段とを制御可能な制御手段と、を備え、前記流体供給配管における任意の位置では、並列に接続された複数の並列配管にて配管が形成されており、前記調整バルブは、前記並列配管の少なくとも１つに取り付けられ、取り付けられた並列配管を開閉可能なバルブである。
そして前記制御手段は、前記可動体の移動速度を読み込み、前記可動体の移動速度に応じて前記調整バルブを制御し、前記調整バルブを制御して流体の流量を低減させた場合、低減させた流量に応じて前記圧力調整手段を制御して圧力損失を補正する。
【０００８】
また、本発明の第４発明は、請求項４に記載されたとおりのステージ装置である。
請求項４に記載のステージ装置は、請求項３に記載のステージ装置であって、前記制御手段は、前記可動体の移動速度が大きい場合よりも前記可動体の移動速度が小さい場合のほうが流体の流量が少なくなるように前記調整バルブの開閉を制御して開いている並列配管の数を少なくする。
【０００９】
【００１０】
また、本発明の第５発明は、請求項５に記載されたとおりのステージ装置である。
請求項５に記載のステージ装置は、請求項１〜４のいずれか一項に記載のステージ装置であって、前記バランスシリンダ装置内の流体の圧力を検出可能な圧力検出手段を備え、前記制御手段は、前記調整バルブを制御しながら、前記圧力検出手段を用いて検出した圧力が目標圧力となるように前記圧力調整手段を制御する。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１または２に記載のステージ装置を用いれば、可動体の停止時または極低速送り時において、調整バルブを絞って開度を小さくして流体の流量を少なくすることで、バランスシリンダ内の流体の体積が急変することを抑制し、可動体の停止時または極低速送り時における安定性をより向上させることができる。また可動体の高速送り時には、調整バルブの開度を大きくすることにより、急変するバランスシリンダ内の体積変化に追従できる流量が確保されるため、モータの負荷電流の増大を防止することができる。
また、請求項３または４に記載のステージ装置を用いれば、可動体の停止時または極低速送り時において、開口している並列配管の数を減少させて流体の流量を少なくすることで、バランスシリンダ内の流体の体積が急変することを抑制し、可動体の停止時または極低速送り時における安定性をより向上させることができる。また可動体の高速送り時には、全ての並列配管を開口することにより、急変するバランスシリンダ内の体積変化に追従できる流量が確保されるため、モータの負荷電流の増大を防止することができる。
また、請求項１〜５に記載のステージ装置を用いれば、調整バルブを絞った場合、あるいは並列配管の数を減少させた場合において、流体の圧力損失が発生しても、発生した圧力損失を適切に補正することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明のステージ装置Ｓを適用した工作機械１０の一実施の形態を説明する概略斜視図である。
【図２】第１の実施の形態におけるステージ装置Ｓの構成を説明する図である。
【図３】制御手段ＣＴの処理手順の例を説明するフローチャートである。
【図４】Ｙ軸可動体ＹＢの移動速度（送り速度）に応じて流体の流量を調整する例、及び圧力損失の例を説明する図である。
【図５】第２の実施の形態におけるステージ装置Ｓの構成を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に本発明を実施するための形態を図面を用いて説明する。図１は、本発明のステージ装置Ｓを備えた工作機械１０の一実施の形態における概略斜視図を示している。
なお、図中においてＸ軸とＹ軸とＺ軸は互いに直交しており、Ｙ軸は鉛直上向きを示しており、Ｘ軸とＺ軸は水平方向を示しており、Ｚ軸は工具ＴがワークＷに切り込む方向を示している。
【００１４】
●［工作機械１０の概略構成（図１）］
図１を用いて、本発明のステージ装置Ｓを備えた工作機械１０の例について説明する。
工作機械１０は、Ｘ軸ガイドＧＸに沿って基台ＢＳに対してＸ軸方向に往復移動可能なＸ軸可動体ＸＢと、Ｚ軸ガイドに沿ってＸ軸可動体ＸＢに対してＺ軸方向に往復移動可能なＺ軸可動体ＺＢと、Ｙ軸ガイドに沿ってＺ軸可動体ＺＢに対してＹ軸方向に往復移動可能なＹ軸可動体ＹＢと、Ｙ軸可動体ＹＢに取り付けられた主軸モータＭと、主軸モータＭの先端に取り付けられた工具Ｔとを備えている。また基台ＢＳには、ワークＷを保持するワーク台Ｄが設けられている。
また、工作機械１０には、数値制御装置等の制御手段（図示省略）が備えられており、当該制御手段は、Ｘ軸スケール等の位置検出手段を用いて検出したＸ軸方向の位置に基づいて、Ｘ軸可動体ＸＢを移動させる駆動手段（Ｘ軸リニアモータ等）を制御して、工具Ｔの先端のＸ軸方向の位置決めを行う。
また同様に、制御手段は、Ｚ軸スケール等の位置検出手段を用いて検出したＺ軸方向の位置に基づいて、Ｚ軸可動体ＺＢを移動させる駆動手段（Ｚ軸リニアモータ等）を制御して工具Ｔの先端のＺ軸方向の位置決めを行い、Ｙ軸スケール等の位置検出手段を用いて検出したＹ軸方向の位置に基づいて、Ｙ軸可動体ＹＢを移動させる駆動手段（Ｙ軸リニアモータ等）を制御して工具Ｔの先端のＹ軸方向の位置決めを行う。
【００１５】
超精密加工を行う工作機械では、可動体（この場合、Ｘ軸可動体ＸＢ、Ｙ軸可動体ＹＢ、Ｚ軸可動体ＺＢ）の案内機構には、摩擦が無い、または摩擦係数が非常に小さい静圧案内機構を用い、駆動手段としてリニアモータを用いることが多い。
また、鉛直軸（この場合、Ｙ軸）方向の可動体（この場合、Ｙ軸可動体ＹＢ）については、駆動手段の負荷を低減するために、非接触バランスシリンダや、摩擦係数が非常に小さいシリンダ（例えばダイヤフラム式シリンダ）を併設して、可動体にかかる重力を相殺している。
しかし、例えばＹ軸可動体ＹＢとリニアモータと非接触バランスシリンダにて鉛直軸方向のステージ装置を構成した場合、Ｙ軸可動体ＹＢは非接触状態（フローティング状態）となるため、Ｙ軸可動体ＹＢの停止時や極低速送り時にて、外乱の影響を受け易く、位置決めの安定性を欠く。
そこで、鉛直軸方向に移動する可動体に対して、可動体の停止時や極低速送り時においても外乱の影響を受けにくく、より安定した位置決めを行うことができるステージ装置Ｓについて、以下、第１及び第２の実施の形態について説明する。
【００１６】
●［第１の実施の形態におけるステージ装置Ｓの構成（図２）］
次に図２の断面図を用いて、第１の実施の形態におけるステージ装置Ｓの構成について説明する。
ステージ装置Ｓは、鉛直方向に移動可能に構成されたＹ軸可動体ＹＢと、Ｙ軸可動体ＹＢを鉛直方向に移動させる駆動手段ＹＭ（図２の例ではＹ軸リニアモータ）と、Ｙ軸可動体ＹＢにかかる重力を相殺するピストンＹＰとシリンダＹＳにて構成されたバランスシリンダ装置ＹＰＳと、流体供給配管Ｈ１と、調整バルブＢＬと、制御手段ＣＴと、圧力検出手段ＹＡと、圧力調整手段ＢＰ等にて構成されている。なお、圧力検出手段ＹＡと圧力調整手段ＢＰは省略してもよい。
また図２に示すステージ装置Ｓでは、工具Ｔが取り付けられた主軸モータＭがＹ軸可動体ＹＢに取り付けられ、所定圧力の流体を供給するポンプＰが流体供給配管Ｈ１に接続された例を示している。
なお、流体は圧縮エアやオイル等を用いることが可能であり、本実施の形態では圧縮エアを流体として用いている。
【００１７】
図２（Ａ）に示すようにＹ軸可動体ＹＢにはバランスシリンダ装置ＹＰＳのシリンダＹＳが取り付けられ、シリンダＹＳはＺ軸可動体ＺＢに取り付けられたピストンＹＰと嵌合され、シリンダＹＳ（Ｙ軸可動体ＹＢ）は、ピストンＹＰに沿って鉛直方向に往復移動が可能である。なお、Ｙ軸可動体ＹＢにピストンＹＰを取り付け、Ｚ軸可動体ＺＢにシリンダＹＳを取り付けてもよい。
ポンプＰにて所定圧力（目標圧力）にされた流体は、圧力調整手段ＢＰ、調整バルブＢＬを経由して流体供給配管Ｈ１内を流れ、ピストンＹＰの先端からシリンダＹＳ内に吐出される。
ピストンＹＰの先端からシリンダＹＳ内に吐出された流体は、シリンダＹＳ（すなわちＹ軸可動体ＹＢ）を鉛直上方に押し上げてＹ軸可動体ＹＢにかかる重力を相殺するとともに、ピストンＹＰとシリンダＹＳとを非接触状態にするためにピストンＹＰとシリンダＹＳとの隙間から（常時）流出される。
【００１８】
バランスシリンダ装置ＹＰＳを備えたＹ軸可動体ＹＢは、駆動手段ＹＭにて鉛直方向に往復移動可能である。例えば駆動手段ＹＭはリニアモータであり、バランスシリンダ装置ＹＰＳにて重力が相殺されたＹ軸可動体ＹＢを、少ない負荷で鉛直方向に移動させて位置決めすることができる。
調整バルブＢＬは流体供給配管Ｈ１の任意の位置に設けられており、制御手段ＣＴからの制御信号に基づいて、流体供給配管Ｈ１内を流れる流体の流量を調整可能である。例えば調整バルブＢＬは開度（開口面積）が可変な絞りバルブであり、制御手段ＣＴからの信号に基づいて流体供給配管Ｈ１の開度（開口面積）を変更することで流量を調整する。
圧力検出手段ＹＡは圧力センサ等であり、制御手段ＣＴは圧力検出手段ＹＡからの検出信号に基づいてシリンダＹＳ内の流体の圧力を検出可能である。
圧力調整手段ＢＰは、流体供給配管Ｈ１内を流れる流体の圧力を調整する圧力調整バルブ等であり、ポンプＰから供給される流体供給配管Ｈ１内の流体の圧力を、制御手段ＣＴからの制御信号に基づいた圧力に調整可能である。
【００１９】
図２（Ｂ）及び（Ｃ）は、調整バルブＢＬの開度とＹ軸可動体ＹＢの安定性を説明する模式図である。
図２（Ｂ）はＹ軸可動体ＹＢが停止時において調整バルブＢＬの開度が最大（全開）の状態を示しており、図２（Ｃ）はＹ軸可動体ＹＢが停止時において調整バルブＢＬの開度を絞った状態を示している。
図２（Ｂ）に示した状態では、調整バルブＢＬの開度が最大であるため、図２（Ｃ）に示した状態よりもシリンダＹＳ内の空間ＹＳＫの体積が急変（変動）し易い。図２（Ｃ）に示した状態では、シリンダＹＳの空間ＹＳＫの体積の増減に対して、調整バルブＢＬを通って増加する体積に相当する流体の流入、あるいは減少する体積に相当する流体の流出、が必要であるが、調整バルブＢＬが絞られているため、流入速度も流出速度も遅くなる。すなわち、空間ＹＳＫの体積が急変（変動）しにくくなり、Ｙ軸可動体ＹＢの安定性がより向上する。
第１及び第２の実施の形態では、Ｙ軸可動体ＹＢの送り速度が所定速度以下（極低速度または静止状態（停止状態））である場合に、調整バルブを絞って流体の流量を減少させることで、Ｙ軸可動体ＹＢの安定性をより向上させる。
【００２０】
●［制御手段ＣＴの処理手順（図３、図４）］
次に図３に示すフローチャートを用いて、第１の実施の形態（図２参照）における制御手段ＣＴの処理手順について説明する。
また、制御手段ＣＴは、Ｙ軸リニアモータＹＭ等を制御する数値制御装置と共用してもよいし、数値制御装置とは別体の制御装置として設けてもよい。
【００２１】
制御手段ＣＴは、ステップＳ１０にて、Ｙ軸可動体ＹＢの送り速度を読み込み（例えば数値制御装置から出力される送り速度の指令値等を読み込み）、ステップＳ２０に進む。
ステップＳ２０では、制御手段ＣＴは、読み込んだ送り速度に応じた流量調整量を算出してステップＳ３０に進む。
ここで図４（Ａ）及び（Ｂ）を用いて、送り速度（移動速度）に応じた流量調整量の算出方法の例を説明する。
例えば制御手段ＣＴには、図４（Ａ）に示す送り速度−流量特性が予め記憶されており、読み込んだ送り速度に応じた流量を、送り速度−流量特性から求める。あるいは図４（Ｂ）に示すように、送り速度に応じた流量を求める送り速度−流量表が予め記憶されており、読み込んだ送り速度に応じた流量を、送り速度−流量特性から求める。
ステップＳ３０では、制御手段ＣＴは、求めた流量に応じた制御信号を調整バルブＢＬに出力して調整バルブＢＬの開度を制御し、ステップＳ５０に進む。
【００２２】
ここで、流体の流量が減少するように流路を絞ると、圧力損失が発生してシリンダＹＳ内の空間ＹＳＫの圧力が目標圧力に到達しなくなる可能性が考えられ、その場合はＹ軸可動体ＹＢにかかる重力を相殺できなくなる可能性がある。この状態を回避するために、圧力損失の発生を予測した場合、あるいは圧力損失の発生を検出した場合、圧力調整手段ＢＰを制御してシリンダＹＳ内の空間ＹＳＫの圧力を目標圧力（Ｐｔｙｐ）に維持することが好ましい。
ステップＳ５０では、制御手段ＣＴは、圧力調整量を算出してステップＳ６０に進む。
例えば制御手段ＣＴには、図４（Ｃ）に示す流量−推定圧力特性が予め記憶されており、ステップＳ２０にて求めた流量に応じた推定圧力を流量−推定圧力特性から推定する。この場合は、求めた推定圧力から圧力損失の発生を予測する。
ステップＳ６０では、制御手段ＣＴは、推定圧力に基づいた制御信号を圧力調整手段ＢＰに出力して圧力調整手段ＢＰを制御して圧力損失を補正し、ステップＳ１０に戻る。
なお、図４（Ｃ）に示す流量−推定圧力特性を用いずに、圧力検出手段ＹＡの検出信号に基づいてシリンダＹＳ内の空間ＹＳＫの圧力を読み込み（検出し）、予め設定された目標圧力Ｐｔｙｐとなるように、圧力調整手段ＢＰをフィードバック制御するようにしてもよい。この場合は圧力損失の発生を検出して圧力調整手段ＢＰを制御して圧力損失を補正する。
【００２３】
●［第２の実施の形態におけるステージ装置Ｓの構成（図５）］
次に図５の断面図を用いて、第２の実施の形態におけるステージ装置Ｓの構成について説明する。
図５に示す第２の実施の形態は、図２に示す第１の実施の形態に対して流体の流量を調整する構成が異なり、図２における調整バルブＢＬを別の構成としている点が異なる。以下、この相違点について主に説明する。
【００２４】
図５に示す第２の実施の形態では、図２に示した開度（開口面積）を調整可能な調整バルブＢＬの代わりに、流体供給配管Ｈ２の任意の位置において、流体供給配管Ｈ２を、並列に接続された複数の並列配管Ｈ３で構成し、複数の並列配管Ｈ３の少なくとも１つに、流路（配管）を開閉可能な調整バルブを設けている。
この場合、流体供給配管Ｈ２の内径よりも、並列配管Ｈ３のそれぞれの内径のほうが小さい。また、並列配管Ｈ３のそれぞれの径を変更しておくと、並列配管Ｈ３の組み合わせにより、種々の開度とすることができる。
図５の例では、流体供給配管Ｈ２の一部を、３本の並列配管Ｈ３にて構成し、２本の並列配管Ｈ３に、開閉可能な調整バルブＢ１、Ｂ２を設けている。
制御手段ＣＴは、調整バルブＢ１とＢ２を共に開口、あるいは調整バルブＢ１とＢ２の一方を開口して他方を閉鎖、あるいは調整バルブＢ１とＢ２を共に閉鎖、のいずれかの状態となるように制御することで、流体供給配管Ｈ２内の流体の流量を調整することができる。
【００２５】
そして第２の実施の形態では、図３に示すフローチャートにおいて、ステップＳ３０の処理内容が異なる。
ステップＳ３０では、制御手段ＣＴは、求めた流量に応じた制御信号を調整バルブＢ１及びＢ２に出力して調整バルブＢ１及びＢ２を制御（調整バルブＢ１とＢ２を共に開口、あるいは調整バルブＢ１とＢ２の一方を開口して他方を閉鎖、あるいは調整バルブＢ１とＢ２を共に閉鎖、のいずれかとなるように制御）して、ステップＳ５０に進む。
なお、他のステップの処理は第１の実施の形態と同様であるので説明を省略する。
【００２６】
以上、第１及び第２の実施の形態にて説明したステージ装置Ｓは、複雑な減衰機構を設けることなく、可動体の送り速度（移動速度）に応じた減衰効果（いわゆるダッシュポット）を得ることが可能であり、高速から停止状態まで幅広い範囲で、高い制御特性を得ることが可能である。
【００２７】
本発明のステージ装置Ｓは、本実施の形態で説明した外観、構成、構造、処理等に限定されず、本発明の要旨を変更しない範囲で種々の変更、追加、削除が可能である。
本実施の形態にて説明したステージ装置Ｓは、工作機械に限定されず、種々の機器に適用することができる。
本実施の形態にて説明したステージ装置Ｓにおけるバランスシリンダ装置ＹＰＳは、非接触シリンダに限定されるものではなく、接触式のシリンダや油圧シリンダ等にも適用することが可能である。
送り速度に応じた（目標）流量の特性は、図４（Ａ）または（Ｂ）に示す送り速度−流量特性、送り速度−流量表、に限定されるものではなく、流量に応じた圧力損失の特性は図４（Ｃ）に示す流量−推定圧力特性に限定されるものではない。
また、図５に示すステージ装置Ｓにおいて、並列配管Ｈ３の数、及び調整バルブ（Ｂ１、Ｂ２）の数は、それぞれ任意の数にすることができる。
【符号の説明】
【００２８】
１０      工作機械
ＢＳ      基台
ＢＰ      圧力調整手段
ＢＬ、Ｂ１、Ｂ２    調整バルブ
ＣＴ      制御手段
Ｈ１、Ｈ２    流体供給配管
Ｈ３      並列配管
Ｍ        主軸モータ
Ｐ        ポンプ
Ｓ        ステージ装置
Ｔ        工具
Ｗ        ワーク
ＸＢ      Ｘ軸可動体
ＹＡ      圧力検出手段
ＹＢ      Ｙ軸可動体
ＹＭ      Ｙ軸リニアモータ
ＹＰ      ピストン
ＹＰＳ    バランスシリンダ装置
ＹＳ      シリンダ
ＺＢ      Ｚ軸可動体
【図１】
0005515474.tif 000002
【図２】
0005515474.tif 000003
【図３】
0005515474.tif 000004
【図４】
0005515474.tif 000005
【図５】
0005515474.tif 000006