(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面が開口し、内部に精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部に被せられる蓋体とを具備し、容器本体の両側壁面に、複数枚の精密基板を保持するリテーナが設けられた収納容器であって、
前記リテーナは、精密基板が載置される載置面に、精密基板との接触面積を減らす凸部が設けられてなり、
精密基板が載置されるリテーナの載置面は、容器本体の開口部付近に、凸部の最頂部と面一になる滑り止め面が形成されていることを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項２】
凸部は、容器本体の底面側から開口部側に向かって線状に凸設するように形成されている請求項１に記載の精密基板収納容器。
【請求項３】
凸部は、容器本体の底面側から開口部側に向かって点線状に凸設するように形成されている請求項１に記載の精密基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハや液晶用ガラス板などの精密基板を多数枚収納し、保管、運搬等に使用する精密基板収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ等の精密基板（薄板）は、その表面に超微細加工が施されることから、その保管、運搬、収納には極めて高度な清潔性が必要とされており、このため、密封性に優れた容器本体と蓋体とからなる基板収納容器が使用されている。
【０００３】
この収納容器に精密基板を収納する場合は、まず、図６および図７に示すように、容器本体２を横倒しにして開口部２０を側面に開口させた状態で、容器本体２に設けられた各リテーナ２３上に精密基板５が載置される（図６（ａ）および図７（ａ）参照）。
【０００４】
精密基板５を載置後、開口部２０に蓋体３を固定すると、容器本体２のリテーナ２３上に載置されていた精密基板５は、この蓋体３に設けたフロントリテーナ６が可撓変形して生じる付勢力によって容器本体２内へと押し込まれ、リアリテーナ４とフロントリテーナ６との間で挟持される（図６（ｂ）および図７（ｂ）参照）。
【０００５】
精密基板５を挟持した後の収納容器は、開口部２０が上方に向くように容器本体２を起こして運搬されるが、この容器本体２を起こした際、精密基板５は、リアリテーナ４のＶ溝４１の溝底側へとスライドし、このＶ溝４１の溝底と、フロントリテーナ６との間で挟持固定されることになり、リテーナ２３上から離れた状態となる（図６（ｃ）および図７（ｃ）参照）。この状態で精密基板５は搬送される。
【０００６】
この収納容器から精密基板５を取り出す場合は、収納容器全体を横倒しにしてリテーナ２３上に精密基板５を載置した状態にする（図６（ｄ）および図７（ｄ）参照）。
【０００７】
その後、蓋体３を取り外す。この蓋体３を取り外すと、蓋体３のフロントリテーナ６と容器本体２のリアリテーナ４のＶ溝４１の溝底との間で挟持されていた精密基板５は、フロントリテーナ６の付勢力が解除され、容器本体２のリテーナ２３上の所定位置に載置されることとなる（図６（ｅ）および図７（ｅ）参照）。
【０００８】
そして、精密基板５は、このリテーナ２３の上から順に取り出される。
【０００９】
従来より、このリテーナ上に載置された状態で精密基板５の位置を正確に位置決めするために、リテーナに厚肉部と中肉部とを形成し、その段差部分に精密基板５を納めることが行われていた（例えば、特許文献１，２，３，４参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００５−１９１０２１号公報
【特許文献２】特開２００５−３５３８９８号公報
【特許文献３】特開２００６−１２０７９１号公報
【特許文献４】特開２００８−２１７４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、上記従来の収納容器の場合、次のような不都合を生じることになる。
【００１２】
すなわち、収納容器は、一般に、ポリカーボネート樹脂で形成されており、その素地表面は、精密基板５との摩擦抵抗が大きい。特に洗浄後の精密基板５を収納する場合には、収納容器の素地表面と精密基板との間の摩擦抵抗はさらに大きくなる。したがって、容器本体を横倒しにしてリテーナ上に精密基板５を載置した際、容器本体を起こしてリテーナ上から精密基板５を離した際、蓋体３を外して精密基板５に加わっていたフロントリテーナ６の付勢力を解除した際などに、この動作に起因して精密基板５とリテーナ２３との間で摩擦を生じることとなり、この摩擦によって発塵し、容器本体内を汚してしまうことが懸念される。
【００１３】
上記従来の収納容器のように段差部分に精密基板５を納める場合であっても、この収納容器は、段差部分に精密基板５を納め易くするために遊びを設けて設計されているので、精密基板５とリテーナ２３との間の摩擦を解消することはできない。
【００１４】
また、このような段差部分を設けた収納容器の場合、容器本体２を射出成形して脱型する際に複雑な金型が必要となるため、製造コストが嵩んでしまう。すなわち、容器本体２を脱型する場合、当該容器本体２の底面から開口部方向に型を引き抜いて脱型するのが通常であるが、この脱型方向に対して直行する方向に段差部分があるため、単純に引き抜くことができる型を形成することができない。また、後加工によって段差部分を形成することも考えられるが、この場合、加工時の発塵によって清浄性が損なわれるため、加工後の処理が著しくコストが嵩むことになる。
【００１５】
本発明は係る実情に鑑みてなされたものであって、精密基板を、収納容器から取り出したり収納容器に収納したりする際の摩擦を軽減してこの摩擦に起因する発塵を防止することができる精密基板収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するための本発明の精密基板収納容器は、上面が開口し、内部に精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部に被せられる蓋体とを具備し、容器本体の両側壁面に、複数枚の精密基板を保持するリテーナが設けられた収納容器であって、前記リテーナは、精密基板が載置される載置面に、精密基板との接触面積を減らす凸部が設けられたものである。
【００１７】
上記精密基板収納容器において、凸部は特に限定されるものではないが、例えば、容器本体の底面側から開口部側に向かって線状に凸設するように形成されたものでも良く、また、上記精密基板収納容器において、凸部は、容器本体の底面側から開口部側に向かって点線状に凸設するように形成されたものでも良く、さらに、上記精密基板収納容器において、精密基板が載置されるリテーナの載置面は、容器本体の開口部付近に、凸部最頂部と面一になる滑り止め面が形成されたものでも良いのである。
【発明の効果】
【００１８】
以上述べたように、本発明の精密基板収納容器によると、精密基板が載置されるリテーナの載置面に、精密基板との接触面積を減らす凸部を設けているので、精密基板は、リアリテーナとの摩擦抵抗が減り、この摩擦に起因する発塵を防止することができる結果、所謂コンタミの問題を解消できるのである。
【００１９】
また、容器本体の開口部付近の載置面に、凸部最頂部と面一になる滑り止め面を形成することで、精密基板が横滑りして位置ズレすることを防止できるのである。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に係る精密基板収納容器の全体構成の概略を示す断面図である。
【図２】本発明に係る精密基板収納容器の全体構成の概略を示す分解斜視図である。
【図３】本発明に係る精密基板収納容器において、精密基板を出し入れする状態を示す断面図である。
【図４】（ａ）ないし（ｃ）は、本発明に係る精密基板収納容器における各種リテーナの形状を示す部分拡大図である。
【図５】（ａ）ないし（ｃ）は、本発明に係る精密基板収納容器におけるさらに他のリテーナの形状を示す部分拡大図である。
【図６】（ａ）ないし（ｅ）は、精密基板収納容器に精密基板を収納して運搬後、取り出すまでの作業を示す工程図である。
【図７】（ａ）ないし（ｅ）は、図６（ａ）ないし（ｅ）の工程における精密基板の状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２２】
図１ないし図３は収納容器１の全体構成の概略を示し、図４および図５は同収納容器１のリテーナ２３部分の各実施の形態を示し、図６は同収納容器１に精密基板５を収納し、運搬後、取り出すまでの動作を示し、図７は図６の要部を示している。
【００２３】
この収納容器１は、精密基板５を収納する容器本体２と、この容器本体２の開口部２０に被せられる蓋体３とを具備し、容器本体２の両側壁面２２ｂ，２２ｄに、精密基板５を保持するリテーナ２３が設けられており、このリテーナ２３の載置面２３１に、凸部２３１ａが設けられている。
【００２４】
容器本体２は、ポリカーボネート、ポリプロピレンその他のプラスチックで主として透明または半透明材料によって成形されている。この容器本体２は、図１および図２に示す縦置き状態で、４つの側壁面２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄと底面２１とから構成されて上面が開口した略立方体形状の有底筒状に形成されている。この容器本体２は、開口部２０に蓋体３を設けることで、この開口部２０を閉塞することができるように構成されている。容器本体２の底面２１には、平行する二列のリアリテーナ固定部２４が、対向する側壁面２２ａ，２２ｃ間を連絡するように設けられている。また、対向する残りの側壁面２２ｂ，２２ｄには、それぞれ開口部２０近傍から底面２１に向かって複数の板状のリテーナ２３が設けられている。容器本体２は横倒しにした状態で、これらのリテーナ２３が水平方向となり、そして、開口部２０が側面から開口するように横倒しにした状態で、対向する側壁面２２ａ，２２ｃと平行するように、精密基板５が等間隔で複数枚収納される。各精密基板５は、容器本体２の側壁面２２ｂ，２２ｄに設けられた各リテーナ２３と、底面２１のリアリテーナ固定部２４に設けられたリアリテーナ４とによって支持される。
【００２５】
上記リテーナ２３は、図４（ａ）に示すように、精密基板５が載置される側の載置面２３１全体に、容器本体２の底面２１から開口部２０に向かって線状に突出する凸部２３１ａが設けられている。この場合、この凸部２３１ａは、高さ約０．５ｍｍ、幅約０．５ｍｍとなるように凸設されている。この凸部２３１ａとしては、線状のものに限定されるものではなく、図４（ｂ）に示すように、載置面２３１全体に、直径１ｍｍ以下、高さ１ｍｍ以下、好ましくは直径０．５ｍｍ、高さ０．５ｍｍの突起を配した凸部２３１ａであってもよいし、図４（ｃ）に示すように、上記線状の凸部２３１ａと同じ箇所を点線状に凸設した凸部２３１ａであってもよいのである。
【００２６】
この場合、精密基板５は、凸部２３１ａ上に載置されることになり、接触面積が減るので、リテーナ２３の載置面２３１と精密基板５との間の摩擦抵抗を減らすことができる結果、この摩擦に起因する発塵を防止することができるのである。
【００２７】
この凸部２３１ａの高さとしては、特に０．５ｍｍに限定されるものではなく、精密基板５が凸部２３１ａとのみ接触して接触面積を減らすことができる高さがあればよい。ただし、あまり高すぎると無駄であり、また、容器本体２を成型して脱型する際に支障を来たすこととなるため、１ｍｍ以下、特に０．５ｍｍ程度が好ましい。このように、１ｍｍ以下の高さの場合、複雑な脱型構造を有する高価な金型を使用しなくても容器本体２の底面２１から開口部２０の方向に脱型する型を使用して成形することができる。
【００２８】
また、凸部２３１ａにおける精密基板５との接触面積については、リテーナ２３の載置面２３１よりも減るのであれば、特に限定されるものではないが、精密基板５をリテーナ２３に載置した際の安定性を確保した状態でできるだけ接触面積を減らしたものにすることが好ましい。具体的には、精密基板５と載置面２３１との接触面積を１００とした場合、精密基板５と凸部２３１ａとの接触面積が１０％以下、好ましくは５％以下となるように凸部２３１ａを形成することが好ましい。
【００２９】
また、凸部２３１ａは、精密基板５が載置される載置面２３１のうち、実際に精密基板５が載置される箇所のみに設けられたものであってもよい。例えば、図５においては、実際に精密基板５が載置される箇所のみに凸部２３１ａを設け、載置面２３１の開口部付近は、この凸部２３１ａの最頂部と面一となるようにした平滑面２３１ｂを形成している。
【００３０】
この場合、仮に精密基板５が凸部２３１ａ上で横滑りしそうな状況があったとしても、平滑面２３１ｂで摩擦抵抗が増すので、精密基板５が横滑りして位置ズレすることを防止することができる。
【００３１】
リアリテーナ４は、サーモプラスチックエラストマーによって形成されている。このリアリテーナ４は、上記した容器本体２の底面２１のリテーナ固定部２４上にそれぞれ長尺上に設けられており、その表面には、図３に示すように、精密基板５の周縁５１を支持するＶ溝４１と、精密基板５の裏面５２を支持する支持片４２とが長手方向に沿って交互に複数個設けられている。
【００３２】
このうち、支持片４２は、容器本体２の側壁面２２ｂ，２２ｄに設けられたリテーナ２３と同ピッチで設けられており、このリテーナ２３と支持片４２とによって、精密基板５の裏面５２を支持することができるように構成されている。この支持片４２を設けるピッチとしては、８ｍｍ〜１２ｍｍとなされ、Ｖ溝４１は６ｍｍ〜８ｍｍの範囲に設けられる。このリアリテーナ４は、図１に示すように、精密基板５の周縁５１の円弧に沿うように、Ｖ溝４１および支持片４２が斜めに加工されている。
【００３３】
上記蓋体３は、容器本体２と同様の素材によって形成されている。この蓋体３は、容器本体２の開口部２０の内側にガスケット３０を介して落とし込むことが可能な大きさに形成されている。この蓋体３上面には回動可能なカム３１が設けられており、このカム３１の回動に連動するリンク機構３２を介して蓋体３の対向する２辺の端面から係合片３３が出没するように形成されている。また、蓋体３を開口部２０の内側にガスケット３０を介して落とし込んだ状態で、蓋体３の係合片３３が出没する位置と対向する容器本体２の開口部２０内側の位置には係合孔２５が設けられている。そして、この係合孔２５に蓋体３の係合片３３が係合することで容器本体２に蓋体３を固定することができるように構成されている。
【００３４】
この蓋体３の内面には、サーモプラスチックエラストマーによって形成されたフロントリテーナ６が設けられている。このフロントリテーナ６は、図１に示すように、蓋体３に嵌合される嵌合部６１から延設された各アーム６２の先端に支持溝６３を設けて構成されており、この嵌合部６１の部分を蓋体３の内面から突設されたリブ３４に嵌合固定することによって取り付けられる。上記支持溝６３は、精密基板５の周縁５１を挟持することができるように、２０〜４５度の傾斜面を有するＶ字溝からなる。また、アーム６２は、可撓変形可能となされており、精密基板５の周縁５１を支持溝６３で挟持した状態のまま、可撓変形可能な範囲内で、精密基板５の動きに追従できるようになされている。
【００３５】
次に、このようにして構成される精密基板収納容器１に精密基板５を収納する場合、また、運搬後、取り出す場合について説明する。
【００３６】
まず、図６（ａ）に示すように、容器本体２を横倒しにして開口部２０を側面に開口させた状態にする。
【００３７】
次いで、図７（ａ）に示すように、容器本体２のリテーナ２３の載置面２３１と、リアリテーナ４の支持片４２との上に精密基板５を載置させる。
【００３８】
載置後、図６（ｂ）および図７（ｂ）に示すように、容器本体２の開口部２０に蓋体３を固定する。
【００３９】
この固定は、蓋体３の係合片３３を容器本体２の係合孔２３に係合させて行われる。この係合の際、精密基板５は、支持片４２に支持された状態で、蓋体３に設けたフロントリテーナ６の支持溝６３に周縁５１が支持されるが、この支持溝６３は、蓋体３を固定することによってアーム６２が可撓変形するので、精密基板５を容器本体２内へと押し込む付勢力を生じることになる。この押し込みにより、精密基板５は、フロントリテーナ６とリアリテーナ４との間で挟持固定されることになる。
【００４０】
精密基板５を収納した後の収納容器１は、図６（ｃ）に示すように、開口部２０が上方に向くように容器本体２を起こして運搬される。この容器本体２を起こした際、図７（ｃ）に示すように、精密基板５は、フロントリテーナ６の付勢力と自重とにより、容器本体２の底面２１に位置する周縁５１が、リアリテーナ４のＶ溝４１の溝底側へとスライド移動することとなり、リテーナ２３の載置面２３１からは離れ、上記Ｖ溝４１と、フロントリテーナ６の支持溝６３との間で嵌合挟持固定されることになる。
【００４１】
このリテーナ２３の載置面２３１から精密基板５が離れる際、精密基板５は、載置面２３１と擦れて摩擦することとなるが、この載置面２３１に形成した凸部２３１ａ（図１，図４，図５参照）としか接触していないので、摩擦抵抗が減り、この摩擦に起因する載置面２３１からの発塵を防止することができる結果、所謂コンタミの問題を解消できるのである。
【００４２】
運搬後、収納容器１から精密基板５を取り出す場合は、図６（ｃ）に示す状態から、図６（ｄ）に示すように収納容器１を横倒しにする。この際、図７（ｄ）に示すように、リテーナ２３の載置面２３１から離れて、リアリテーナ４のＶ溝４１と、フロントリテーナ６の支持溝６３との間で嵌合挟持固定されていた精密基板５は、再度、リテーナ２３の載置面２３１と、リアリテーナ４の支持片４２との上に載置される。
【００４３】
この際、精密基板５は、載置面２３１と擦れて摩擦することになるが、この載置面２３１に形成した凸部２３１ａ（図１，図４，図５参照）としか接触していないので、摩擦抵抗が減り、この摩擦に起因する載置面２３１からの発塵を防止することができる結果、所謂コンタミの問題を解消できるのである。
【００４４】
次いで、図６（ｅ）に示すように、容器本体２の開口部２０から蓋体３を取外す。
【００４５】
この取外し作業は、係合孔２３に係合されていた蓋体３の係合片３３の係合を解除して行う。この取外し作業の際、フロントリテーナ６のアーム６２の可撓変形が緩和されて支持溝６３に作用する付勢力が無くなり、精密基板５は、リテーナ２３の載置面２３１と、リアリテーナ４の支持片４２との所定位置上に載置され、容器本体２から取り出し作業が可能な状態となる。また、この蓋体３の取外しによってフロントリテーナ６の付勢力を解除した際に、この動作に起因して精密基板５とリテーナ２３の載置面２１との間で摩擦を生じることになるが、精密基板５は、この載置面２３１に形成した凸部２３１ａ（図１，図４，図５参照）としか接触していないので、摩擦抵抗が減り、この摩擦に起因する載置面２３１からの発塵を防止することができる結果、所謂コンタミの問題を解消できるのである。
【００４６】
また、この蓋体３を取り外す際に、精密基板５がリテーナ２３の載置面２３１から横滑りすることが懸念される場合には、図５に示すように、実際に精密基板５が載置される箇所のみに凸部２３１ａを形成し、載置面２３１の開口部付近は、この凸部２３１ａの最頂部と面一となるようにした平滑面２３１ｂを形成しておけば、平滑面２３１ｂで摩擦抵抗が増すので、精密基板５が横滑りして位置ズレすることを防止できる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明に係る精密基板収納容器は、高度の清潔性が要求される半導体ウエハ、液晶ガラス基板などを収納して航空機輸送し、或いは温度差の大きい地域への移送用として使用される。
【符号の説明】
【００４８】
１  精密基板収容容器
２  容器本体
２０  開口部
２１  底面
２２ｂ  側壁面
２２ｄ  側壁面
２３  リテーナ
２３１  載置面
２３１ａ  凸部
２３１ｂ  平滑面（滑り止め面）
３  蓋体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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