(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸素同位体の濃縮方法であって、
原料酸素の一部をオゾン化し、酸素とオゾンが混合された第１混合流体を得るオゾン化工程と、
前記第１混合流体と希釈物質を第１蒸留塔に導入して蒸留し、オゾンと前記希釈物質が混合された第２混合流体と、酸素と、に分離する第１蒸留工程と、
前記第２混合流体にレーザを照射し、酸素同位体を含むオゾンを選択的に分解し、酸素同位体を含む酸素を発生させ、酸素とオゾンと前記希釈物質が混合された第３混合流体を得る光分解工程と、
前記第３混合流体を液溜め部に導入する液溜め部導入工程と、
前記液溜め部によって得られる液ヘッド圧によって、前記第３混合流体を第２蒸留塔に導出して蒸留し、オゾンと前記希釈物質からなる第４混合流体と、酸素同位体重成分が濃縮された製品酸素と、に分離する第２蒸留工程と、
前記第４混合流体中のオゾンを分解するオゾン分解工程と、
オゾンが分解された前記第４混合流体から、前記希釈物質を回収する希釈物質回収工程と、
を有することを特徴とする酸素同位体の濃縮方法。
【請求項２】
前記希釈物質回収工程によって回収された前記希釈物質を前記液溜め部に導入する希釈物質導入工程を有することを特徴とする請求項１に記載の酸素同位体の濃縮方法。
【請求項３】
前記希釈物質が、クリプトン、キセノン、ラドン、または四フッ化炭素であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の酸素同位体の濃縮方法。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の酸素同位体の濃縮方法を実施するための装置であって、
原料酸素の一部をオゾン化させるオゾナイザと、
前記第１蒸留工程を実施する前記第１蒸留塔と、
酸素同位体を含むオゾンを選択的に分解する光反応セルと、
前記第３混合流体が導入される前記液溜め部と、
前記第２蒸留工程を実施する前記第２蒸留塔と、
オゾンを分解するオゾン分解装置と、
前記希釈物質回収工程を実施する第３蒸留塔と、を有することを特徴とする酸素同位体の濃縮装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、酸素同位体の濃縮方法および酸素同位体の濃縮装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、酸素同位体を濃縮する方法として光化学反応（以下、光反応）を利用した方法が知られている。
例えば、特許文献１および特許文献２には、オゾン中に含まれる特定の酸素同位体を含むオゾンのアイソトポローグ（ｉｓｏｔｏｐｏｌｏｇｕｅ）の吸収線にレーザを光照射し、所望の酸素同位体（１７Ｏまたは１８Ｏ）を含むオゾンを選択的に分解することで、酸素同位体を濃縮する方法が開示されている。この光反応は、分子同士の衝突によるエネルギー散逸による非選択的なオゾン分解を避けるため、減圧状態で実施される。
【０００３】
ところで、このような光反応によってオゾンを分解して精製した酸素分子を、未反応のオゾンから分離するためには、オゾンと酸素の混合ガスを、光反応を行う装置（光反応セル）から、蒸留塔などの分離装置へ移送する必要がある。
【０００４】
一般的には、移送方法として、（１）圧縮機などを用いた昇圧による移送方法、（２）後段の圧力条件を光反応セルより低圧とした圧力差による移送方法、（３）希釈ガスで光反応生成ガスを昇圧して押し出す移送方法（特許文献３参照）、（４）光反応生成ガスをコンデンサで液化し、液ヘッド（液頭圧）により昇圧して移送する方法（特許文献４参照）が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２６１７７６号公報
【特許文献２】特開２００６−２７２０９０号公報
【特許文献３】特開２００８−７３６５６号公報
【特許文献４】特開２００８−８０２００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、蒸留塔などの分離装置への移送方法として上記（１）の方法を採用すると、オゾンが熱に対して不安定な物質であるため、圧縮熱によりオゾンが分解される恐れがある。その結果、不特定のオゾンが分解されて酸素になり、光反応にて選択的に生成された所望の酸素同位体を含む酸素を希釈することとなり、十分に濃縮することができなくなるという不都合がある。
【０００７】
また、上記（２）の方法を採用すると、後段の装置（たとえば蒸留塔）を光反応装置よりも低圧にする必要があるため、装置の運転条件が著しく制限されるという問題がある。
【０００８】
また、上記（３）の方法は、光反応完了後に押し出しによって移送を行うのでバッチ操作となる。その結果、連続的に製品を得たい場合には、複数本の光反応セルを用意して、時間差で蒸留塔などの分離装置に供給することが必要になるが、これでは装置コストが嵩むという不都合がある。
【０００９】
また、上記（４）の方法は、蒸留塔内にて蒸留成分自身の液ヘッドによる差圧を生じさせて、外部の光反応セルにガスを送る方法である。したがって、この方法でもバッチ運転にのみ適用されることとなり、連続的に製品を得ることができないという問題がある。
【００１０】
このような背景の下、レーザによる光反応を利用して、連続的に製品を得ることができ、光反応セルから後段の分離装置に送ガスする際に支障が生じない酸素同位体の濃縮方法および酸素同位体の濃縮装置が要望されていたが、有効適切なものが提供されていないのが実情であった。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、酸素同位体の濃縮方法であって、原料酸素の一部をオゾン化し、酸素とオゾンが混合された第１混合流体を得るオゾン化工程と、前記第１混合流体と希釈物質を第１蒸留塔に導入して蒸留し、オゾンと前記希釈物質が混合された第２混合流体と、酸素と、に分離する第１蒸留工程と、前記第２混合流体にレーザを照射し、酸素同位体を含むオゾンを選択的に分解し、酸素同位体を含む酸素を発生させ、酸素とオゾンと前記希釈物質が混合された第３混合流体を得る光分解工程と、前記第３混合流体を液溜め部に導入する液溜め部導入工程と、前記液溜め部によって得られる液ヘッド圧によって、前記第３混合流体を第２蒸留塔に導出して蒸留し、オゾンと前記希釈物質からなる第４混合流体と、酸素同位体重成分が濃縮された製品酸素と、に分離する第２蒸留工程と、前記第４混合流体中のオゾンを分解するオゾン分解工程と、オゾンが分解された前記第４混合流体から、前記希釈物質を回収する希釈物質回収工程と、を有することを特徴とする酸素同位体の濃縮方法である。
【００１２】
請求項２に係る発明は、前記希釈物質回収工程によって回収された前記希釈物質を前記液溜め部に導入する希釈物質導入工程を有することを特徴とする請求項１に記載の酸素同位体の濃縮方法である。
【００１３】
請求項３に係る発明は、前記希釈物質が、クリプトン、キセノン、ラドン、または四フッ化炭素であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の酸素同位体の濃縮方法である。
【００１４】
請求項４に係る発明は、請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の酸素同位体の濃縮方法を実施するための装置であって、原料酸素の一部をオゾン化させるオゾナイザと、前記第１蒸留工程を実施する前記第１蒸留塔と、酸素同位体を含むオゾンを選択的に分解する光反応セルと、前記第３混合流体が導入される前記液溜め部と、前記第２蒸留工程を実施する前記第２蒸留塔と、オゾンを分解するオゾン分解装置と、前記希釈物質回収工程を実施する第３蒸留塔と、を有することを特徴とする酸素同位体の濃縮装置である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明により、装置の運転条件が著しく制限されることなく、レーザによる光反応を利用して、連続的に酸素同位体を十分に濃縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の濃縮装置の一例を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明を適用した酸素同位体の濃縮方法および酸素同位体の濃縮装置について図面を用いて詳細に説明する。
本実施形態の酸素同位体の濃縮方法は、オゾン化工程と、第１蒸留工程と、光分解工程と、液浸部導入工程（液溜め部導入工程）と、第２蒸留工程と、オゾン分解工程と、希釈物質回収工程と、を有した構成となっている。
【００１８】
＜オゾン化工程＞
まず、図１に示すように、原料酸素をオゾナイザ１に導入して原料酸素の一部をオゾン化させる。オゾナイザ１は、オゾンを発生させることができるものであれば、どのようなものを用いてもよく、公知のもので構わない。
このオゾン化工程によって、オゾナイザ１から導出される第１混合流体は、酸素とオゾンが混合された流体となる。
【００１９】
＜第１蒸留工程＞
次に、第１蒸留塔２の中間部に第１混合流体を導入するとともに、バルブ３を操作して、希釈物質を導入して蒸留する。この蒸留により、第１蒸留塔２の塔頂からは不要な酸素が排出され、塔底からは濃縮されたオゾンと希釈物質が混合された第２混合流体が導出される。なお、希釈物質の導入位置は、第１混合流体の導入部より、上方、下方のどちらでもよい。また、第１混合流体と混合して導入することも可能である。
第１蒸留塔２の塔頂から導出された酸素の一部は、第１コンデンサ４に導入されて液化し、第１還流液となって第１蒸留塔２の塔頂に導入される。また、塔底から導出された第２混合流体の一部は、第１リボイラ５に導入されて気化し、第１上昇ガスとして第１蒸留塔２に導入される。
【００２０】
希釈物質は、酸素と分離されたオゾンが、高濃度に濃縮されることで自己分解を起すことを防ぐ目的で導入される。したがって、希釈物質には、オゾンと混合した際にオゾンの爆発下限界を上昇させる性質を有するものを用いるのが好ましく、例えばクリプトン（Ｋｒ）、キセノン（Ｘｅ）、ラドン（Ｒｎ）などの希ガス、またはトリフルオロメタン（ＣＨＦ３）、四フッ化炭素（ＣＦ４）を用いることが好ましい。
【００２１】
＜光分解工程＞
次に、バルブ６を操作して、第１蒸留塔２の塔底から導出された第２混合流体の残部を光反応セル７に導入する。光反応セル７では、レーザ装置（図示略）によってレーザを光照射し、目的の同位体を酸素分子として濃縮する。
【００２２】
ここで、オゾンのアイソトポローグ（同位体を含む分子種）には、酸素同位体の種類及びその組み合わせから、１６Ｏ１６Ｏ１６Ｏ、１６Ｏ１６Ｏ１７Ｏ、１６Ｏ１７Ｏ１６Ｏ、１６Ｏ１６Ｏ１８Ｏ、１６Ｏ１８Ｏ１６Ｏ、１６Ｏ１７Ｏ１７Ｏ、１７Ｏ１６Ｏ１７Ｏ、１６Ｏ１７Ｏ１８Ｏ、１７Ｏ１６Ｏ１８Ｏ、１６Ｏ１８Ｏ１７Ｏ、１７Ｏ１７Ｏ１７Ｏ、１６Ｏ１８Ｏ１８Ｏ、１８Ｏ１６Ｏ１８Ｏ、１７Ｏ１７Ｏ１８Ｏ、１７Ｏ１８Ｏ１７Ｏ、１７Ｏ１８Ｏ１８Ｏ、１８Ｏ１７Ｏ１８Ｏ、１８Ｏ１８Ｏ１８Ｏの１８種類が存在する。
【００２３】
そして、これらのオゾンのアイソトポローグのうち、濃縮したい酸素同位体（例えば１８Ｏ）を含むアイソトポローグの持つ吸収線に対してレーザを光照射することにより、特定のアイソトポローグのオゾン（例えば、１６Ｏ１６Ｏ１８Ｏ、１６Ｏ１７Ｏ１８Ｏ、１６Ｏ１８Ｏ１８Ｏなど）を酸素ガスへと分解する。
【００２４】
このオゾンのアイソトポローグの分解には、圧力、温度条件が大きく影響し、圧力が上昇すると、圧力広がりと呼ばれる吸収線の波長幅の広がりが生じ、各アイソトポローグ同士の光吸収線が重なり、選択的に分解することができなくなるという問題がある。
そこで、この吸収線広がりを抑制するため、光反応セルにおけるオゾンの分解は、減圧および低温下で行われる。例えば、光反応セルの圧力、温度条件を１０ｋＰａ以下、１００Ｋ以上、２５０Ｋ以下などにすることが好ましい。
以上のように目的のオゾンを分解することで、光反応セル７から導出される流体は、少量の酸素とオゾンと希釈物質が混合された第３混合流体となる。
【００２５】
＜液浸部導入工程（液溜め部導入工程）＞
次に、バルブ８を操作して、光反応セル７から導出された第３混合流体は、第２コンデンサ９により液化され、直下の液浸部（液溜め部）１０に滴下される。なお、液浸部１０には、装置の立ち上げ時間を短縮する目的から、装置の立ち上げ段階ですでに一定の液面高さが保たれるように希釈物質が充填されていることが好ましい。
また、装置の運転時においては、液浸部１０には、後述するように第３蒸留塔２５から回収された希釈物質が導入される。
【００２６】
＜第２蒸留工程＞
次に、液浸部１０の塔底から導出した第３混合流体と希釈物質は、第２蒸留塔２１に導入され、蒸留される。この蒸留により、第２蒸留塔２１の塔頂からは目的となる酸素同位体が濃縮された製品酸素が導出され、塔底からは、オゾンと希釈物質とからなる第４混合流体が導出される。
第２蒸留塔２１の塔頂から導出された製品酸素の多くは、製品として回収されるが、一部は、第３コンデンサ２２に導入されて液化し、第２還流液として第２蒸留塔２１の塔頂に導入される。また、塔底から導出された第４混合流体の一部は、第２リボイラ２３に導入されて気化し、第２上昇ガスとして第２蒸留塔２１に導入される。
【００２７】
＜オゾン分解工程＞
次に、第２蒸留塔２１の塔底から導出された第４混合流体の残部は、オゾン分解触媒２４に流通させられ、オゾンは完全に分解される。これにより、オゾン分解後の第４混合流体には、酸素と希釈物質のみが含まれることとなる。
【００２８】
＜希釈物質回収工程＞
次に、オゾン分解後の酸素と希釈物質とのみからなる第４混合流体を、第３蒸留塔２５に導入する。第３蒸留塔２５の塔頂からは低沸点成分である同位体濃度が低下した酸素が排気ガスとして導出される。第３蒸留塔２５の塔頂から導出された排気ガスの一部は、第４コンデンサ２６に導入されて液化し、第３還流液として第３蒸留塔２５の塔頂に導入される。また、塔底から導出された希釈物質の一部は、第３リボイラ２７に導入されて気化し、第３上昇ガスとして第３蒸留塔２５に導入される。
また、第３蒸留塔２５の塔底から導出された希釈物質の残部は、第１蒸留塔２および液浸部１０に循環する。具体的には、第３蒸留塔の塔底から導出された希釈物質は、ポンプ２８により昇圧し、バルブ３を操作することで第１蒸留塔２に、バルブ２９を操作することで液浸部１０に導入する。
【００２９】
本実施形態では、光反応によってオゾンが分解して精製された、目的の酸素同位体を含む酸素分子が混合された第３混合流体を、第２蒸留塔２１とは別に設けた液浸部１０に滴下して導入している。そして、この液浸部１０の液ヘッドを用いて、第３混合流体を第２蒸留塔２１に導入している。すなわち、本実施形態では、目的の同位体の酸素分子を、未反応のオゾンから分解するために第２蒸留塔２１に移送する際に、圧縮機などを用いることなく移送することができる。
また、第２蒸留塔２１の運転条件を光反応セル７より低圧にするなどということもなく、運転条件の制約もない。
また、第２蒸留塔２１とは別に設けられた液浸部１０の液ヘッドを用いて導入しているので、連続的な製品を精製することもできる。
【００３０】
また、本実施形態では、液浸部１０には第３混合流体のみならず、希釈物質も導入されている。これにより、光反応セル７から導出される第３混合流体の流量が少量であっても、液浸部１０に希釈物質を導入することで所望の液ヘッドを得ることができるので、装置の立ち上げ時間を短縮することもできる。
【００３１】
以下、実施例により、本発明を更に詳しく説明するが、本発明は下記実施例に何ら制限されるものではない。
本実施例では、図１に示した酸素同位体の濃縮装置を用いて、製品酸素を製造するシミュレーションを行っており、以下では、特に、液浸部で所望の液ヘッドを得るために必要な液面高さを中心に検討する。
【００３２】
まず、原料酸素をオゾナイザに導入して原料酸素の一部をオゾン化させる。その後、希釈物質であるＣＦ４とともに第１蒸留塔に導入し、第１蒸留塔の塔底からＣＦ４とオゾンの混合流体を得る。
その後、この混合流体を光反応セルに導入して、目的の酸素同位体（本実施例では１７Ｏ）を含む同位体オゾン（１６Ｏ１６Ｏ１７Ｏ）のみを分解する。このオゾンの分解の際には、下記式（１）に示す反応が起きている。
【００３３】
【数１】
0005620705.tif 000002
【００３４】
光反応セルの圧力・温度条件は、オゾンの非選択的分解を抑制するために、低温・減圧条件とし、具体的には、１０ｋＰａ、−１００℃の条件とする。
なお、第１蒸留塔は、ガス輸送の際に配管圧力損失が生じることを加味し、光反応セルと同じ、またはやや高い圧力で運転する。
【００３５】
また、第２蒸留塔は、圧力１４０ｋＰａの条件で運転する。このように大気圧以上に設定することにより、第２蒸留塔から製品酸素を抜き出す際に、圧縮機などの動力を使用する必要がなくなる。
【００３６】
また、光反応セルから第２蒸留塔に導出される第３混合流体の流量は、第２蒸留塔と光反応セルにおける酸素の物質収支から算出することができる。すなわち、光反応セルから導出される酸素量と第２蒸留塔の塔頂から導出される酸素量との間には下記式（２）に示す関係がある。
【００３７】
【数２】
0005620705.tif 000003
【００３８】
ここで、光反応セル導出流体中の酸素体積比をＸＯ２，２、光反応セル導出流体の総量をＱ２、第２蒸留塔塔頂導出流体中の酸素体積比をＸＯ２，３、第２蒸留塔塔頂導出流体の総量をＱ３として、式（２）を書き換えると、下記式（３）となる。なお、Ｘｉ，ｊやＱｊにおける添字ｉは物質名で、ｊはプロセス上の位置であり、ｊ＝１は、光反応セル導入時点を、ｊ＝２は、光反応セル導出時点を、ｊ＝３は、第２蒸留塔塔頂導出時点を指している。
【００３９】
【数３】
0005620705.tif 000004
【００４０】
仮に、本装置で酸素同位体１７Ｏを１０ａｔｏｍ％含む、Ｈ２１７Ｏを年間５ｋｇ生産するとした場合、第２蒸留塔の塔頂から導出される製品酸素の体積流量ＸＯ２，３・Ｑ３は、０．００５６Ｌ／ｍｉｎ（０℃、１ａｔｍ）となる。
なお、酸素中の酸素同位体１７Ｏ濃度は、製品酸素の生産量とは無関係であり、光反応過程におけるオゾンアイソトポローグの選択性に依存する。
【００４１】
また、光反応セル内におけるオゾン濃度は高ければ高いほど望ましいが、その分安全上の取扱いが難しくなる。ここでは、光反応セル導入流体中のオゾン濃度ＸＯ３，１＝ ０．１５、光反応セル導入流体中の希釈物質濃度ＸＣＦ４，１＝０．８５とする。
このときの光反応セル導入口における全オゾンに対する特定オゾンアイソトポローグの濃度比Ｙを算出する。
【００４２】
まず原料酸素として、同位体組成比が表１の純酸素ガスを使用する。これをオゾナイザに流通させ、オゾンを発生させる。このときオゾン生成時の同位体効果はほぼ無視できるものとする。すなわちアイソトポローグ１６Ｏ１６Ｏ１７Ｏのオゾン中の存在比は、分解された各酸素原子が結合する確率を算出すればよく、表２の通りになる。Ｙ６６７をオゾン中の１６Ｏ１６Ｏ１７Ｏの存在比とすると、Ｙ６６７＝０．０１４である。
【００４３】
【表１】
0005620705.tif 000005
【００４４】
【表２】
0005620705.tif 000006
【００４５】
１６Ｏ１６Ｏ１７Ｏのレーザによる分解反応の分解率は、光反応セル７の光路長、あるいはレーザの光強度を調整することにより任意の値に調整可能である。ここでは、オゾンアイソトポローグの１６Ｏ１６Ｏ１７Ｏ成分が、光反応セルの導出口において分解率Ｚ＝０．８０まで分解されるとし、そのときの光反応セル導出流体中の酸素発生量ＸＯ２，２・ＱＯ２，２は、下記式（４）に示す関係がある。
【００４６】
【数４】
0005620705.tif 000007
【００４７】
ここで式中の係数１．５はオゾン１分子の分解につき酸素分子が１．５個発生するという意味であり、（１）式に示したオゾン分解反応によって生じる原子状酸素１個が、オゾン１個を分解すると仮定した場合に量論式より求まる。
以上より、上記式（３）及び、上記式（４）より、Ｑ１＝２．２１Ｌ／ｍｉｎ（０℃、１ａｔｍ）が求まる。
【００４８】
ところで、光反応セルから第２蒸留塔に流体を輸送するためには少なくとも液浸部において塔圧力１４０ｋＰａ以上の差圧を生じる液ヘッドを得る必要がある。配管とバルブによる圧力損失分をこれに加え、ここでは１９０ｋＰａの差圧分の液ヘッドを立てるとする。
【００４９】
まず、圧力１９０ｋＰａにおけるオゾン混合液の液密度Ｐを算出する。
ＣＦ４の１９０ｋＰａにおける気液平衡下での液密度は、ＰＣＦ４＝１５５０．９ｋｇ／ｍ３である。また、オゾンの液密度は、A. G. Streng, Table of ozone properties, J. Chem. Eng. Data, 1961, 6(3), p.431-436に記載された推算式より計算するとＰＯ３＝１３７３．９ｋｇ／ｍ３となる。
【００５０】
液浸部における酸素は光反応セル内で生成された酸素しか含まないため微量であり、液密度にはほとんど影響しないため無視する。したがって、オゾン混合液の密度Ｐは１５２４．３ｋｇ／ｍ３となる。
【００５１】
ここで、液浸部における液密度が均一であると仮定とすると、必要な液面高さｈは、ｈ＝１２．７２ｍとなる。液浸部の実際の液面高さは、上記の液面高さｈに設計上必要な安全率を持たせて決定する。
このように液浸部を設計することで、十分な液ヘッドを得ることができるので、光反応セルから導出された目的となる酸素同位体を含む酸素と、オゾンと、ＣＦ４とからなる混合流体を、圧縮機などを用いることなく、第２蒸留塔に導入することができる。
【００５２】
なお、液浸部の管を１５Ａステンレス鋼管とし、内径１８．４ｍｍとすると、前述の液ヘッドを得るために最低限必要な液容量Ｖは３．３８Ｌとなり、これをガス体積に換算すると１４００．６Ｌ（０℃、１ａｔｍ）となる。
したがって、液浸部に必要なヘッド高さｈがたまるまでの時間ｔは、下記式（５）に示すように、約１０．６時間となる。
【００５３】
【数５】
0005620705.tif 000008
【００５４】
実際の装置では冷却時の管収縮にともなう応力を分散させる目的で管にベント部分を加えたりするなど、より管の長さを長くする方向の設計を行うため、液がたまるまでの時間はさらに長くなる。
したがって、装置の立ち上げ段階から、液浸部にヘッド高さｈまでＣＦ４を導入しておけば、上記待ち時間ｔを待つ必要がなくなり、装置立ち上げ時間を短縮できる。
【００５５】
第２蒸留塔に導入した後は、実施形態と同様に、蒸留により、第２蒸留塔の塔頂から製品酸素を抽出し、塔底からは、オゾンとＣＦ４とからなる第４混合流体を導出する。そして、第４混合流体の一部は、オゾン分解触媒を流通し、これによりオゾンは完全に分解する。その後、第４混合流体を第３蒸留塔に導入し、塔頂からは、酸素を排気ガスとして導出し、塔底からはＣＦ４を導出する。この第３蒸留塔の塔底から導出されたＣＦ４は、ポンプによって昇圧して、第１蒸留塔および液浸部に還流する。
【符号の説明】
【００５６】
１・・・オゾナイザ、２・・・第１蒸留塔、７・・・光反応セル、１０・・・液浸部、２１・・・第２蒸留塔、２４・・・オゾン分解装置、２５・・・第３蒸留塔
【図１】
0005620705.tif 000009