(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液剤を対象部位に塗布するための液剤塗布装置であって、
開口部に液剤が線状に臨む液溜まり部と、前記液溜まり部に液剤を供給する液剤供給部とを筐体に備え、
前記液溜まり部を前記対象部位に位置させると共に、該液溜まり部の線状液剤を前記開口部から前記対象部位に接触させる塗布動作を行う塗布動作部を備え、
前記液剤供給部は、液剤が貯められる貯液部と、該貯液部から前記液溜まり部に至るまで液剤を導く複数の液導部とを含み、
前記液導部は、前記貯液部から前記液溜まり部との間で間隔を置いた並列状の複数の貫通孔である、
ことを特徴とする液剤塗布装置。
【請求項２】
請求項１記載の液剤塗布装置であって、
前記液溜まり部は、前記開口部を前記対象部位側に有する溝部からなり、
前記塗布動作部は、前記溝部に溜められた線状液剤のうち前記開口部からの垂下部分を前記対象部位に接触させることによって前記線状液剤を前記対象部位に塗布する、
ことを特徴とする液剤塗布装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の液剤塗布装置であって、
前記複数の液導部は、円筒状に形成され、該円筒の内径及び長さは均等にされた、
ことを特徴とする液剤塗布装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の液剤塗布装置であって、
前記複数の液導部は、相互に均等な間隔をおいて設けられた、
ことを特徴とする液剤塗布装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の液剤塗布装置であって、
前記液導部は、前記液溜まり部に対する開口縁部に前記液剤をガイドするガイド面を備えた、
ことを特徴とする液剤塗布装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の液剤塗布装置であって、
前記液溜まり部は、前記対象部位が有する形状と同一形状に形成された、
ことを特徴とする液剤塗布装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の液剤塗布装置であって、
前記液溜まり部は、開口縁部に前記液剤をガイドするガイド面を備えた、
ことを特徴とする液剤塗布装置。
【請求項８】
請求項５又は７記載の液剤塗布装置であって、
前記液溜まり部又は液導部のガイド面は、テーパ面又は曲面である、
ことを特徴とする液剤塗布装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の液剤塗布装置であって、
前記液剤は、接着剤であり、
前記液溜まり部は、前記接着剤の液離れを行わせる撥液処理が施された、
ことを特徴とする液剤塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば接着剤や電子材料等の液剤を線状に塗布するための液剤塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば接着剤や電子材料等の液剤を塗布するために、複数個の吐出細孔から液剤を吐出する構成の液剤吐出用マルチノズルが知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１に記載の液剤吐出用マルチノズルは、液剤が供給される液剤流入口と、液剤を吐出する複数の吐出細孔との間の流路内に、前記複数の吐出細孔の相対的な口径又は配置に応じて前記複数の吐出細孔のそれぞれから所望量の液剤を吐出させる吐出量調整手段を設けて構成される。
【０００４】
上記特許文献１に記載の液剤吐出用マルチノズルによれば、複数個の吐出細孔から所望量の接着剤や電子材料等の液剤を吐出させることができる。
【０００５】
しかしながら、従来のマルチノズルでは、個々のノズルは相互に独立しており、隣接するノズル間に所定の隙間が存在する。このため、従来のマルチノズルを用いて液剤の線状塗布を試みた場合、ノズル吐出口の対面部位では液剤が厚く塗布されるが、ノズル吐出口の非対面部位では液剤が塗布されない。要するに、従来のマルチノズルを用いた液剤の線状塗布では、点状の液剤塗布スポットの集合によって線状塗布を行っていた。従って、液剤の厚みを均一にして線状塗布を行うことは困難であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２５１２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
解決しようとする課題は、従来のマルチノズルを用いた液の塗布では、液剤の厚みを均一にして線状塗布を行うことは困難であった点である。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、液剤の厚みを均一にして線状塗布を遂行可能な液剤塗布装置を得ることを目的とする。
【０００９】
前記目的を達成するために、本発明に係る液剤塗布装置は、液剤を対象部位に塗布するための液剤塗布装置であって、開口部に液剤が線状に臨む液溜まり部と、前記液溜まり部に液剤を供給する液剤供給部とを筐体に備え、前記液溜まり部を前記対象部位に位置させると共に、該液溜まり部の線状液剤を前記開口部から前記対象部位に接触させる塗布動作を行う塗布動作部を備え、前記液剤供給部は、液剤が貯められる貯液部と、該貯液部から前記液溜まり部に至るまで液剤を導く複数の液導部とを含み、前記液導部は、前記貯液部から前記液溜まり部との間で間隔を置いた並列状の複数の貫通孔であることを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る液剤塗布装置によれば、開口部に液剤が線状に臨む液溜まり部と、前記液溜まり部に液剤を供給する液剤供給部と、前記液溜まり部を前記対象部位に位置させると共に、該液溜まり部の線状液剤を前記開口部から前記対象部位に接触させる塗布動作を行う塗布動作部と、を備えたので、液剤の厚みを均一にして線状塗布を遂行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施例に係る液剤塗布装置の外観を表す正面図である。
【図２】実施例に係る液剤塗布装置の要部である線状塗布ヘッドの説明図であり、図２（Ａ）は、線状塗布ヘッドの斜視図、図２（Ｂ）は、線状塗布ヘッドを下方から視た平面図である。
【図３】線状塗布ヘッドのうち液溜まり部に注目した説明図であり、図３（Ａ）は、図２（Ｂ）のＩＩＩＡ−ＩＩＩＡ線に沿う液溜まり部の矢視拡大断面図、図３（Ｂ）は、図２（Ｂ）のＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線に沿う液溜まり部の矢視拡大断面図である。
【図４】液溜まり部に溜められた線状液剤の説明図であり、図４（Ａ）は、図３（Ａ）の液溜まり部に線状液剤が溜められた様子を示す説明図、図４（Ｂ）は、図３（Ｂ）の液溜まり部に線状液剤が溜められた様子を示す説明図である。
【図５】実施例に係る液剤塗布装置を用いてワークに線状塗布を行う工程を示す説明図であり、図５（Ａ）は、ワークの対象部位上に線状塗布ヘッドが位置付けられた状態を示す説明図、図５（Ｂ）は、ワークの対象部位に線状塗布ヘッドが接触した状態を示す説明図である。
【図６】アクチュエータベースにおける線状塗布の対象部位を拡大して示す説明図であり、図６（Ａ）は、アクチュエータベースの平面図、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）のＶＩＢ−ＶＩＢ線に沿うアクチュエータベースの矢視断面図である。
【図７】図６に示す隙間部に液剤を充填するための、変形例に係る液剤塗布装置の要部である線状塗布ヘッドの説明図であり、図７（Ａ）は、線状塗布ヘッドの斜視図、図７（Ｂ）は、線状塗布ヘッドを下方から視た平面図である。
【図８】他の変形例に係る液剤塗布装置の塗布ヘッドを示し、図８（Ａ）は図２ＢのＩＩＩＡ−ＩＩＩＡ線に沿う矢視拡大断面図、図８（Ｂ）は図２ＢのＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線に沿う矢視拡大断面図である。
【図９】更に他の変形例に係る液剤塗布装置の塗布ヘッドを示し、図９（Ａ）は図２ＢのＩＩＩＡ−ＩＩＩＡ線に沿う矢視拡大断面図、図９（Ｂ）は図２ＢのＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線に沿う矢視拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
液剤の厚みを均一にして線状塗布を遂行可能な液剤塗布装置を得るといった目的を、開口部に液剤が線状に臨む液溜まり部を対象部位に位置させると共に、該液溜まり部の線状液剤を前記開口部から対象部位に接触させる塗布動作を行う塗布動作部によって実現した。
【実施例】
【００１３】
以下、本発明の実施例に係る液剤塗布装置について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１４】
初めに、実施例に係る液剤塗布装置の概要について説明する。
［液剤塗布装置の概要］
図１は、本発明の実施例に係る液剤塗布装置の説明図である。
【００１５】
実施例に係る液剤塗布装置１１は、図１に示すように、ＸＹ軸アーム機構部１３と、Ｚ軸駆動機構部１５と、接着剤塗布動作部１７と、を備える。
【００１６】
前記ＸＹ軸アーム機構部１３は、不図示のＸ軸アーム、Ｙ軸アーム、及びこれらＸＹ軸アームの駆動モータを有する。前記駆動モータによって、前記Ｙ軸アームを前記Ｘ軸アームに沿って往復移動させると共に、前記Ｚ軸駆動機構部１５を前記Ｙ軸アームに沿って往復移動させることができる。
【００１７】
上述のように構成されたＸＹ軸アーム機構部１３では、制御部２５からの駆動制御信号が与えられると、前記駆動モータが駆動して前記ＸＹ軸アーム機構部１３が動作する。これによって、前記接着剤塗布動作部１７は、ＸＹ軸方向の指令位置まで移動するように動作する。
【００１８】
前記Ｚ軸駆動機構部１５は、図１に示すように、前記ＸＹ軸アーム機構部１３の側から、基部１５ａ、ロッド１５ｂ、中間支持部１５ｃ、ロッド１５ｄ、及び係止部１５ｅを順次設けてなる。
【００１９】
前記基部１５ａは、前記ＸＹ軸アーム機構部１３に対して往復移動可能に支持されている。この基部１５ａには、前記ロッド１５ｂをＺ軸方向に往復移動させる不図示のＺ軸駆動モータが設けられている。
【００２０】
前記ロッド１５ｂは、前記Ｚ軸駆動モータの駆動動作を、前記中間支持部１５ｃ及びロッド１５ｄに伝達する役割を果たす。
【００２１】
上述のように構成されたＺ軸駆動機構部１５では、前記駆動制御部２５からの駆動制御信号が与えられると、前記Ｚ軸駆動モータが駆動して前記Ｚ軸駆動機構部１５が動作する。これによって、前記接着剤塗布動作部１７は、Ｚ軸方向の指令位置まで移動するように動作する。
【００２２】
前記接着剤塗布動作部１７は、図１に示すように、略円筒形状のシリンジ１７ａと、同シリンジ１７ａの上端側に設けた蓋部１７ｂと、チューブ１７ｃと、同シリンジ１７ａの下端側に着脱自在に設けた線状塗布ヘッド１９と、を備えて構成されている。この接着剤塗布動作部１７は、前記ロッド１５ｄを介して、このロッド１５ｄの先端側に設けた前記係止部１５ｅによって垂直（Ｚ軸）方向に係止固定されている。
【００２３】
前記シリンジ１７ａには、対象部位に線状塗布される液剤として、例えば接着剤２１が収容されている。この接着剤２１は、ディスペンサ２３から前記シリンジ１７ａ内に送り込まれた圧縮空気によって、後に詳述するように、前記線状塗布ヘッド１９の下端側から線状に塗布されるようになっている。前記接着剤２１としては、例えば、熱硬化性、紫外線硬化性、若しくは嫌気硬化性のもの、又は導電性若しくは非導電性のもの等を好適に採用することができる。
【００２４】
前記蓋部１７ｃには、前記シリンジ１７ａ内に圧縮空気を送り込むためのチューブ１７ｄが設けられている。このチューブ１７ｄの他側には、前記ディスペンサ２３が接続されている。このディスペンサ２３は、前記駆動制御部２５に接続されており、同駆動制御部２５からの駆動制御信号が与えられると、前記シリンジ１７ａ内に圧縮空気が送り込まれる。これによって、前記接着剤塗布動作部１７は、ディスペンサ２３から前記シリンジ１７ａ内に送り込まれた圧縮空気によって、前記線状塗布ヘッド１９から接着剤２１を線状塗布するように動作する。
【００２５】
次に、実施例に係る液剤塗布装置の要部である線状塗布ヘッドの構成について説明する。
［線状塗布ヘッドの構成］
図２は、実施例に係る液剤塗布装置の要部である線状塗布ヘッドの説明図であり、図２（Ａ）は、線状塗布ヘッドの斜視図、図２（Ｂ）は、線状塗布ヘッドを下方から視た平面図、図３は、線状塗布ヘッドのうち液溜まり部に注目した説明図であり、図３（Ａ）は、図２（Ｂ）のＩＩＩＡ−ＩＩＩＡ線に沿う液溜まり部の矢視拡大断面図、図３（Ｂ）は、図２（Ｂ）のＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線に沿う液溜まり部の矢視拡大断面図、図４は、液溜まり部に溜められた線状液剤の説明図であり、図４（Ａ）は、図３（Ａ）の液溜まり部に線状液剤が溜められた様子を示す説明図、図４（Ｂ）は、図３（Ｂ）の液溜まり部に線状液剤が溜められた様子を示す説明図である。
【００２６】
前記線状塗布ヘッド１９は、接着剤２１等の液剤を、対象部位に線状塗布する役割を果たす。
【００２７】
前記線状塗布を的確に行うために、前記線状塗布ヘッド１９は、図２（Ａ）に示すように、箱状の筐体３１と、貯液部３３と、複数の液導部３５と、液溜まり部３７とを有して構成されている。
【００２８】
前記筐体３１は、例えば、ステンレス等の金属または合成樹脂等を素材としてなる。この筐体３１は、所定幅の上側筐体部３１ａと、この上側筐体部３１ａよりも幅の狭い下側筐体部３１ｂとの間を、一対の傾斜面３１ｃを介して接続して形成されている。前記下側筐体部３１ｂは、下方に向かってなだらかに幅狭となる一対の傾斜面３１ｄを外方に有する。
【００２９】
前記貯液部３３は、前記筐体３１の内部空間に形成されて前記接着剤２１を一時的に貯める役割を果たす。
【００３０】
前記複数の液導部３５は、前記貯液部３３から前記液溜まり部３７に至るまで前記接着剤２１を横並びで均等に導く役割を果たす。
【００３１】
前記複数の液導部３５は、図２（Ａ）〜図３（Ｂ）に示すように、前記貯液部３３から前記液溜まり部３７に至る貫通孔３５ａを、前記下側筐体部３１ｂの内部に並列状に複数形成してなる。前記複数の各液導部３５は、円筒状に形成され、該円筒の内径Ｒ（例えば０．０５〜０．１５ｍｍ程度）及び軸高Ｈ１（例えば０．１〜０．５ｍｍ程度）は均等とされる。これにより、前記貯液部３３から前記液溜まり部３７に到達するまでに接着剤２１が受ける流動抵抗を、前記複数の各液導部３５相互間で均等に保つことができる。従って、前記複数の各液導部３５を通過して前記液溜まり部３７に至る接着剤２１の吐出量を、前記複数の各液導部３５相互間で均等に保つことができる。
【００３２】
前記複数の各液導部３５は、図２（Ｂ）に示すように、相互に均等な間隔Ｌ１（例えば０．２〜０．３ｍｍ程度）を置いて設けられている。前記複数の各液導部３５間の間隔Ｌ１は、可能な限り小さいことが好ましい。前記液溜まり部３７に形成される線状液剤の高さＨ２を長さ（Ｌ０）方向にわたって均等化するのに有利であることに基づく。
【００３３】
前記貯液部３３及び前記液導部３５は、本発明の“液剤供給部”に相当する。
【００３４】
各液導部３５は、液溜まり部３７に対する開口部の開口縁部に角部３６が形成されている。角部３６は、液導部３５の内周面と後述する液溜まり部３７の溝部３７ａ上面との間で略直角に形成されている。
【００３５】
前記液溜まり部３７は、前記複数の各液導部３５を通過してきた接着剤２１が線状に溜められる部分である。
【００３６】
前記液溜まり部３７は、図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、接着剤２１を塗布すべき対象部位側に開口部３８を有する直方形状の溝部３７ａからなる。この液溜まり部３７は、図３（Ａ），（Ｂ）に拡大して示すように、接着剤２１の液滴を線状に溜めるために適した幅Ｗ０（例えば１〜２ｍｍ程度）、高さＨ０（例えば０．３〜１ｍｍ程度）、及び長さＬ０（例えば１〜５ｍｍ程度）をそれぞれ有する。従って、前記液溜まり部３７は、前記開口部３８に液剤２１が線状に臨む構成となっている。
【００３７】
なお、前記液溜まり部３７の幅Ｗ０、高さＨ０、及び長さＬ０の各寸法は、接着剤２１の粘度、または対象部位への接着剤２１の塗布量などの諸要素を勘案して適宜設定すればよい。
【００３８】
液溜まり部３７は、溝部３７ａの開口部３８の開口縁部に角部４０が形成されている。角部４０は、溝部３７ａの内周面と下側筐体部３１ｂの下面との間で略直角の角部となっている。
【００３９】
上述のように構成された液溜まり部３７では、線状に溜められた接着剤２１に由来する分子間力及び表面張力が、重力に拮抗して作用する。これにより、前記液溜まり部３７の溝部３７ａに溜められた線状液剤２１は、図４（Ａ），（Ｂ）に拡大して示すように、前記液溜まり部３７の開口部３８からドーム状に垂下した部分２１ａを生じる。前記ドーム状とは、前記線状液剤２１の等張力点間を相互接続した面形状を意味する。このドーム状の垂下部分２１ａを対象部位に接触させることによって、前記線状液剤２１を前記対象部位に線状塗布することができる。
【００４０】
なお、前記液溜まり部３７のうち前記溝部３７ａの周面及び前記開口部３８の周辺部位には、撥液処理が施されているのが好ましい。このように構成すれば、前記液溜まり部３７に溜められた液剤（接着剤）の液離れが良好となって、液剤の糸引き現象（この現象は、液剤が比較的低粘度の場合に生じがちである。）を抑止すると共に、塗布量の高精度化に寄与することができる。ただし、ワークとして次述するヘッドサスペンション４１を採用する場合には、比較的高粘度の接着剤が使用される。この場合、接着剤の糸引き現象はほとんど生じない。
【００４１】
また、前記液溜まり部３７に溜められる液剤２１を的確に保持するために、前記溝部３７ａに対し、格子状又は網目状の保持部材（不図示）を設けてもよい。このように構成すれば、前記液溜まり部３７に溜められる液剤２１を的確に保持することができる。
【００４２】
前記筐体３１の素材がステンレス等の金属製である場合、前記貯液部３３、前記液導部３５、及び前記液溜まり部３７は、金属の切削加工及び微細孔加工等の処理を施すことで形成することができる。
【００４３】
一方、前記筐体３１の素材が合成樹脂製である場合、前記貯液部３３、前記液導部３５、及び前記液溜まり部３７は、所定形状の型を用いたインサート成形等の処理を施すことで形成することができる。
【００４４】
次に、本実施例に係る液剤塗布装置１１の適用範囲について説明する。
［液剤塗布装置の適用例］
本実施例に係る液剤塗布装置１１は、液剤を線状に塗布すべき対象部位を有する全てのワークに適用することができる。前記ワークの一例として、図５に示すように、ヘッドサスペンション４１の半製品を例示することができる。
【００４５】
図５は、実施例に係る液剤塗布装置を用いてワークに線状塗布を行う工程を示す説明図であり、図５（Ａ）は、ワークの対象部位上に線状塗布ヘッドが位置付けられた状態を示す説明図、図５（Ｂ）は、ワークの対象部位に線状塗布ヘッドが接触した状態を示す説明図である。
【００４６】
前記ヘッドサスペンション３１は、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、磁気ディスク装置（不図示）における情報の読み書きに用いられるもので、ベースプレート４３と、ロードビーム４５と、アクチュエータベース４６となどを備えている。
【００４７】
前記ベースプレート４３は、前記アクチュエータベース４６を介して、前記ロードビーム４５を弾性支持する役割を果たす。このベースプレート４３は、例えば、１５０〜２００μｍ程度の板厚の、ステンレス鋼などの金属製薄板からなる。
【００４８】
前記ロードビーム４５は、その先端側に設けられる磁気ヘッドスライダ（不図示）に負荷荷重を与える役割を果たす。このロードビーム４５は、例えば、５０〜１５０μｍ程度の板厚の、ばね性を有するステンレス鋼などの金属製薄板からなる。
【００４９】
前記アクチュエータベース４６は、前記ベースプレート４３と前記ロードビーム４５との間に介在させて設けられ、電圧の印加状態に応じて圧縮変形する圧電素子４７の取付部としての役割を果たす。このアクチュエータベース４６は、前記ベースプレート４３と一体に形成してもよい。
【００５０】
前記ヘッドサスペンション４１の半製品は、前記アクチュエータベース４６に設けた開口部４９と、この開口部４９の下部から内方側にせり出して前記圧電素子４７の下側電極面を受ける受け部４９ａ（図６（Ｂ）参照）とを有する。
【００５１】
次に、実施例に係る液剤塗布装置１１の塗布動作について説明する。
【００５２】
［液剤塗布装置の塗布動作］
前記開口部４９に前記圧電素子４７を実装するにあたり、次述する二段階の線状塗布工程を実行する。
【００５３】
第１の線状塗布工程では、前記受け部４９ａに液剤、具体的には非導電性接着剤２１ｂを線状に塗布する。その後、前記線状に塗布した非導電性接着剤２１ｂを介在させて、前記受け部４９ａに前記圧電素子４７を固着接合する（図６（Ｂ）参照）。
【００５４】
第２の線状塗布工程では、前記開口部４９における周縁部４９ｂと、圧電素子４７の周側面との間に生じた矩形枠形状の間隙部５１内に、非導電性接着剤を線状に塗布することによって、前記間隙部５１内に非導電性接着剤２１ｂを充填する。これにより、前記充填された非導電性接着剤２１ｂを介在させて、前記開口部３９に圧電素子４７を固着接合する。
【００５５】
前述した二段階の線状塗布工程を実行するにあたり、まず、前記接着剤塗布動作部１７の塗布動作によって、図５（Ａ）に示すように、前記線状塗布ヘッド１９を前記開口部３９のうち対象部位に位置決め移動させる。
【００５６】
次いで、前記接着剤塗布動作部１７の塗布動作によって、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記線状塗布ヘッド１９を前記対象部位で下降移動させる。
【００５７】
すると、図５（Ｂ）に示すように、前記液溜まり部３７に溜められた線状液剤２１のうち前記開口部３８からの前記ドーム状の垂下部分２１ａが前記対象部位に接触する。これにより、前記線状液剤２１を前記対象部位に線状塗布することができる。
【００５８】
前記二段階の線状塗布工程を経て、前記ヘッドサスペンション４１は製品となって、前記圧電素子３７の変形に従ってロードビーム４５の先端側をスウェイ方向に変位させる機能を獲得することができる。
【００５９】
以上説明したように、本発明の実施例に係る液剤塗布装置１１では、開口部３８に液剤２１が線状に臨む液溜まり部３７と、前記液溜まり部３７に液剤２１を供給する液剤供給部と、前記液溜まり部３７を前記対象部位に位置させると共に、該液溜まり部３７の線状液剤２１を前記開口部３８から前記対象部位に接触させる塗布動作を行う接着剤塗布動作部１７と、を備える構成を採用した。
【００６０】
また、前記液溜まり部３７は、開口部３８を対象部位側に有する溝部３７ａからなり、前記接着剤塗布動作部１７は、前記溝部３７ａに溜められた線状液剤２１のうち前記開口部３８からの垂下部分２１ａを対象部位に接触させることによって前記線状液剤２１を対象部位に塗布する構成を採用した。
【００６１】
従って、実施例に係る液剤塗布装置１１によれば、液剤の厚みを均一にして線状塗布を遂行することができる。
【００６２】
さらに、液剤が貯められる貯液部３３と、該貯液部３３から前記液溜まり部３７に至るまで液剤２１を導く複数の液導部３５とを含んでなる液剤供給部の構成を作用したので、線状塗布すべき液剤を液溜まり部まで的確に供給することができる。
【００６３】
しかも、前記複数の液導部３５は、円筒状に形成され、該円筒の内径Ｒ及び長さＨ１は均等にされた。また、前記複数の液導部３５は、相互に均等な間隔をおいて設けられた。このため、前記液溜まり部３７に形成される線状液剤の高さＨ２を、長さ（Ｌ０）方向にわたって均等にすることができる。
【００６４】
従って、線状液剤の塗布動作をムラなく正確な量をもって遂行することができる。
【００６５】
さらに、前記液溜まり部３５は、撥液処理が施されたので、前記液溜まり部３７に溜められた液剤（接着剤）の液離れが良好となって、液剤の糸引き現象を抑止すると共に、塗布量の高精度化に寄与することができる。
【００６６】
［変形例に係る線状塗布ヘッドの構成］
前記第２の線状塗布工程では、液剤（非導電性接着剤）２１を線状塗布すべき対象部位は、矩形枠形状である。こうした所定の形状を有する対象部位に、ムラなく適量の液剤を塗布する目的で、変形例に係る線状塗布ヘッドを好適に用いることができる。
【００６７】
図６は、アクチュエータベースにおける線状塗布の対象部位を拡大して示す説明図であり、図６（Ａ）は、アクチュエータベースの平面図、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）のＶＩＢ−ＶＩＢ線に沿うアクチュエータベースの矢視断面図、図７は、図６（Ａ），（Ｂ）に示す隙間部に液剤を充填するための、変形例に係る液剤塗布装置の要部である線状塗布ヘッドの説明図であり、図７（Ａ）は、線状塗布ヘッドの斜視図、図７（Ｂ）は、線状塗布ヘッドを下方から視た平面図である。
【００６８】
前記第１の線状塗布工程を実行後の前記アクチュエータベース４６には、図６に示すように、開口部４９における周縁部４９ｂと、前記受け部４９ａに固着接合された圧電素子４７の周側面との間に、矩形枠形状の間隙部５１が生じる。なお、符号５３は、前記アクチュエータベース４６周りの剛性向上のために、同アクチュエータベース４６の両側部にＵ字形状に突出形成された一対の可撓連結部である。
【００６９】
実施例に係る液剤塗布装置１１と、変形例に係る液剤塗布装置とは、基本的な構成要素が共通であるため、その重複した説明を省略して、両者の相違点に注目して説明を進めることにする。
【００７０】
実施例と変形例との相違点は次の通りである。すなわち、実施例に係る液剤塗布装置１１では、線状塗布ヘッド１１は、直線状の液溜まり部３７を有する構成である。
【００７１】
これに対し、変形例に係る液剤塗布装置では、線状塗布ヘッド５５は、前記矩形枠形状の間隙部５１を埋める液剤（非導電性接着剤）２１を一挙に塗布または充填するために、図７（Ａ），（Ｂ）に示すように、当該矩形枠形状の間隙部５１と同一形状に形成された液溜まり部５７を有する構成を採用している。要するに、変形例に係る線状塗布ヘッド５５は、液溜まり部５７が有する形状の点で、実施例１に係る線状塗布ヘッド１１とは大きく相違している。
【００７２】
前記液溜まり部５７は、前記間隙部５１の矩形枠形状と同一形状の溝部５７ａを有する。この液溜まり部５７の溝部５７ａ内に液剤２１が線状に溜められる。前記液溜まり部５７では、線状に溜められた液剤（非導電性接着剤）２１に由来する分子間力及び表面張力が、重力に拮抗して作用する。これにより、前記液溜まり部５７の溝部５７ａに溜められた線状液剤２１は、前記液溜まり部５７の開口部５８からドーム状に垂下した部分を生じる。このドーム状の垂下部分は、前記間隙部５１の矩形枠形状と同一形状である。従って、このドーム状の垂下部分を前記間隙部５１に接触させることによって、前記液剤２１を前記間隙部５１に線状塗布することができる。
【００７３】
また、前記間隙部５１内に前記液剤（非導電性接着剤）２１を充填するには、前記液溜まり部５７の開口部５８を前記間隙部５１内に、前記受け部４９ａ上に塗布された液剤（非導電性接着剤）２１ｂに接触するまで挿し込むようにすればよい。こうして前記線状塗布ヘッド５５の開口部５８を前記間隙部５１内に挿し込んだ状態で、前記ディスペンサ２３から前記シリンジ１７ａ内に圧縮空気を送り込む。これによって、前記液剤（非導電性接着剤）２１を前記間隙部５１内に強制的に送り込みながら充填することができる。
【００７４】
変形例に係る線状塗布ヘッド５５を備えた液剤塗布装置によれば、前記液溜まり部５７は、前記間隙部５１が有する矩形枠形状と同一形状に形成されたので、矩形枠形状の間隙部５１に対して液剤（非導電性接着剤）２１を一挙に塗布又は充填することができる。
【００７５】
なお、上述した変形例では、矩形枠形状の液溜まり部５７を有する線状塗布ヘッド５５を例示して説明したが、本発明はこの例に限定されない。本発明は、対象部位が有する形状と同一形状に形成された液溜まり部である限り、いかなる形状のものでも採用することができる。
【００７６】
［他の変形例］
上記実施例の他の変形例に係る液剤塗布装置の塗布ヘッドについて図８（Ａ）〜図９（Ｂ）を参照して説明する。
【００７７】
図８（Ａ）及び図８（Ｂ）は、図２の実施例の他の変形例に係る液剤塗布装置の塗布ヘッドを示し、図８（Ａ）は図２（Ｂ）のＩＩＩＡ−ＩＩＩＡ線に沿う矢視拡大断面図、図８（Ｂ）は図２（Ｂ）のＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線に沿う矢視拡大断面図である。
【００７８】
図９（Ａ）及び図９（Ｂ）は、図２の実施例の更に他の変形例に係る液剤塗布装置の塗布ヘッドを示し、図９（Ａ）は図２（Ｂ）のＩＩＩＡ−ＩＩＩＡ線に沿う矢視拡大断面図、図９（Ｂ）は図２（Ｂ）のＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線に沿う矢視拡大断面図である。
【００７９】
なお、本変形例では、上記実施例１と基本構成が共通しているため、対応する構成部分に同符号又は同符号にＡ或いはＢを付して詳細な説明を省略する。
【００８０】
図８（Ａ）〜図９（Ｂ）の変形例は、上記実施例及び変形例に対し、塗布ヘッドの液導部及び液溜まり部の開口縁部に液剤２１をガイドするガイド面を形成したものである。
【００８１】
図８（Ａ）及び図８（Ｂ）の変形例では、各液導部３５Ａ及び液溜まり部３７Ａの開口縁部にガイド面であるテーパ面４２及び４４が形成されている。
【００８２】
液導部３５Ａのテーパ面４２は、液導部３５Ａの周面と液溜まり部３７Ａの溝部３７Ａａ上面との間に形成され、開口縁部を液溜まり部３７Ａに向けて漸次拡径するように傾斜設定されている。
【００８３】
液溜まり部３７Ａのテーパ面４４は、溝部３７Ａａの周面と下側筐体部３１Ａｂの下面との間に設けられ、開口部３８Ａ側に向けて溝部３７Ａａの断面積を幅方向及び長さ方向の双方で漸次大きくするように傾斜設定されている。
【００８４】
図９（Ａ）及び図９（Ｂ）の変形例は、上記図８（Ａ）及び図８（Ｂ）の変形例のテーパ面４２及び４４に代えて、各液導部３５Ｂ及び液溜まり部３７Ｂの開口縁部にガイド面である所定曲率の曲面４８及び５０を設けたものである。
【００８５】
上記図８（Ａ）〜図９（Ｂ）の変形例によれば、液導部３５Ａ及び３５Ｂのテーパ面４２及び曲面４８により、液導部３５Ａ及び３５Ｂから液溜まり部３７Ａ及び３７Ｂへ液剤（接着剤）２１をガイドすることができる。
【００８６】
このため、変形例では、液剤２１を液溜まり部３７Ａ及び３７Ｂ全体へ行き渡らせて確実に線状に保持することができる。
【００８７】
また、液溜まり部３７Ａ及び３７Ｂのテーパ面４４及び曲面５０によって液剤２１をガイドすることで、液溜まり部３７Ａ及び３７Ｂに溜められた液剤２１の液離れが良好となって、液剤の糸引き現象を抑止すると共に、塗布量の高精度化に寄与することができる。
【００８８】
なお、テーパ面４２及び４４並びに曲面４８及び５０は、何れか一方のみを設けて他方を省略してもよい。また、複数の液導部３５Ａ及び３５Ｂのいくつかについてのみテーパ面４２及び曲面４８を設けてもよい。また、一つ以上の液導部にテーパ面４２を設け、残りに曲面４８を設けてもよい。
【００８９】
また、各液導部及び液溜まり部の何れか一方にテーパ面を設け、同他方に曲面を設けてもよい。
【００９０】
また、図８（Ａ）〜図９（Ｂ）の液導部及び液溜まり部の断面形状は、図７（Ａ）の変形例にも適用することができる。
【００９１】
［その他］
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う液剤塗布装置もまた、本発明における技術的範囲の射程に包含されるものである。
【００９２】
すなわち、本発明実施例中、液剤の塗布対象としてヘッドサスペンション３１の半製品を例示して説明したが、本発明はこの例に限定されない。本発明は、液剤を塗布する要請のあるあらゆる対象物に適用することができる。
【００９３】
また、本発明実施例中、液剤として接着剤を例示して説明したが、本発明はこの例に限定されない。本発明は、液剤であるという条件を満たす限りにおいて、いかなる性質の液剤でも採用することができる。
【００９４】
さらに、本発明実施例中、貯液部３３から液溜まり部３７に至るまで液剤２１を導く複数の液導部３５を例示して説明したが、本発明はこの例に限定されない。本発明は、隣り合う液導部同士が相互に連通する構成の複数の液導部３５を採用してもよい。
【００９５】
最後に、本発明実施例中、直線状または矩形枠線状の液溜まり部を例示して説明したが、本発明はこの例に限定されない。本発明は、線状であるという条件を満たす限りにおいて、例えば曲線状またはつづら折り線状などの、いかなる形状を有する液溜まり部でも採用することができる。
【符号の説明】
【００９６】
１１  液剤塗布装置
１７  接着剤塗布動作部（塗布動作部）
１９  実施例に係る線状塗布ヘッド
２１  接着剤（液剤）
３３  貯液部（液剤供給部）
３５  液導部（液剤供給部）
３７  液溜まり部
３７ａ  溝部
３８  開口部
４１  ヘッドサスペンションの半製品
５５  変形例に係る線状塗布ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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