(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
交換自在な回転環状ブレードを備えた切削手段と、
間隔をおいて対向配設された発光端面と受光端面とを備えた、該環状ブレードの摩耗及び破損を検出するための摩耗・破損検出手段と、
該摩耗・破損検出手段を、該発光端面と該受光端面との間に該環状ブレードの外周縁が部分的に位置する作用位置と、該環状ブレードから離隔し該環状ブレードの交換を許容する非作用位置と、に選択的に位置させるための移動手段と、
該摩耗・破損検出手段及び該移動手段を管理する管理手段と、
該摩耗・破損検出手段の該発光端面と該受光端面とを、該環状ブレードの該外周縁に対して適正な位置に調整する調整手段と、
を含む切削装置において、
該環状ブレードが交換された際に、該管理手段にブレード交換完了信号を送信するための環状ブレード交換完了入力手段が配設されており、
該管理手段は、該ブレード交換完了信号を受信後に、該摩耗・破損検出手段が該作用位置に位置付けられているか否かを判断し、該摩耗・破損検出手段が該作用位置に位置付けられている場合には、該摩耗・破損検出手段の該受光端面が受光する光量が調整範囲内であるか否かを判断し、該光量が該調整範囲未満又は該調整範囲を超える場合には、該調整手段により該摩耗・破損検出手段の位置調整を促すための調整範囲エラー信号を生成し、該受光量が該調整範囲内である場合には切削装置の切削作動開始を許容する、
ことを特徴とする切削装置。
【請求項２】
該摩耗・破損検出手段が該作用位置に位置付けられているか否かを判断するのに先立って、
該管理手段は、該ブレード交換完了信号を受信すると、該摩耗・破損検出手段が該非作用位置に位置付けられているか否かを判断し、該摩耗・破損検出手段が該非作用位置に位置付けられている場合には、該破損検出手段の該受光端面が受光する光量が該調整範囲よりも大きい所定値以上であるか否かを判断し、該光量が該所定値未満である場合には該摩耗・破損検出手段の機能回復作業を促すための所定値エラーを生成する、
ことを特徴とする請求項１記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、交換自在な回転環状ブレードを備えた切削手段と、間隔をおいて対向配設された発光端面と受光端面とを備えた環状ブレードの破損を検出するための摩耗・破損検出手段とを含む切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ等の被加工物を切削するための切削装置は、交換自在な回転環状ブレードを備えた切削手段と、間隔をおいて対向配設された発光端面と受光端面とを備えた、環状ブレードの破損を検出するための摩耗・破損検出手段と、摩耗・破損検出手段を発光端面と受光端面との間に環状ブレードの外周縁が部分的に位置する作用位置と、発光端面と受光端面との間から環状ブレードが離隔する非作用位置とに選択的に位置させるための移動手段と、摩耗・破損検出手段及び移動手段を管理する管理手段とを含んでいる。摩耗・破損検出手段の発光端面と受光端面とは、摩耗・破損検出手段が作用位置に位置されている状態において、環状ブレードの外周縁に対する相対位置が調整自在に配設されている（特許文献１参照）。
【０００３】
摩耗・破損検出手段は、環状ブレードの外周縁を挟むように発光端面及び受光端面が位置付けられ、切削中に実際に破損検出を行う際には、環状ブレードが所定速度で回転している間の、発光手段から照射される光が受光手段に受光される受光量の変化により環状ブレードの破損を検出する。具体的には、新しい環状ブレードに交換された際に、摩耗・破損検出手段の受光手段が調整範囲の受光量（例えば、環状ブレードによる遮りが無い状態を１００％の受光量とする場合で５％以上１０％以下の受光量）で受光されるように、操作者により摩耗・破損検出手段の発光端面及び受光端面の位置が調整される。切削動作が開始されると、環状ブレードの回転が開始されるとともに摩耗・破損検出手段の受光量が管理手段により監視される。切削を継続すると環状ブレードが摩耗し、それと共に摩耗・破損検出手段の受光量が増大する。受光量が検出許容範囲（例えば検出許容範囲２０％以下）を超えた際には摩耗・破損検出手段の検出能力が不安定になるため、管理手段により検出許容範囲エラー信号が出力され、切削動作が中断する。調整手段により摩耗・破損検出手段の発光端面及び受光端面の位置を受光量が調整範囲内になるように操作者が再調整し、切削を再開する。即ち、検出許容範囲内において安定した摩耗・破損検出が可能である。
【０００４】
切削中に破損した際には受光量が局所的に増大し、かかる局所的な受光量の増大を管理手段が検知すると検出許容範囲エラー信号を出力し、切削動作を中断する。破損した環状ブレードは新しい環状ブレードに交換される。上述のようにある程度摩耗が進んだ環状ブレードを新品に交換した際には、摩耗・破損検出手段の発光手段の発光端面及び受光手段の受光端面の位置は、適正な位置からずれて位置づけられることが多々ある。そのため、新品の環状ブレードに交換する毎に、摩耗・破損検出手段の発光端面及び受光端面の位置を、受光量が調整範囲内になるように操作者が調整する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２８５３４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、環状ブレード交換の際に操作者によっては、摩耗・破損検出手段の発光端面及び受光端面の適切な位置への調整作業を忘れて、切削作動を開始してしまうことがある。その場合には、摩耗・破損検出手段の発光端面及び受光端面の位置が不適切な状態で切削作動が開始され、摩耗・破損検出手段の破損検出機能が開始された途端に、摩耗・破損検出手段の検出許容値エラーが発生し、切削作動が中断される。そのため切削のための切削ライン検出作業等の切削準備工程が無駄になってしまい、再度摩耗・破損検出手段の調整及び切削準備工程を繰り返すこととなり、効率の低下を招く。
【０００７】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、環状ブレードを交換した際に必須であるブレード摩耗・破損検出手段の調整を忘れた際には、その旨を警告すると共に切削作動の開始を防止することができる、新規且つ改良された切削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、上記技術的課題を達成する切削装置として、交換自在な回転環状ブレードを備えた切削手段と、
間隔をおいて対向配設された発光端面と受光端面とを備えた、該環状ブレードの摩耗及び破損を検出するための摩耗・破損検出手段と、
該摩耗・破損検出手段を、該発光端面と該受光端面との間に該環状ブレードの外周縁が部分的に位置する作用位置と、該環状ブレードから離隔し該環状ブレードの交換を許容する非作用位置と、に選択的に位置させるための移動手段と、
該摩耗・破損検出手段及び該移動手段を管理する管理手段と、
該摩耗・破損検出手段の該発光端面と該受光端面とを、該環状ブレードの該外周縁に対して適正な位置に調整する調整手段と、
を含む切削装置において、
該環状ブレードが交換された際に、該管理手段にブレード交換完了信号を送信するための環状ブレード交換完了入力手段が配設されており、
該管理手段は、該ブレード交換完了信号を受信後に、該摩耗・破損検出手段が該作用位置に位置付けられているか否かを判断し、該摩耗・破損検出手段が該作用位置に位置付けられている場合には、該摩耗・破損検出手段の該受光端面が受光する光量が調整範囲内であるか否かを判断し、該光量が該調整範囲未満又は該調整範囲を超える場合には、該調整手段により該摩耗・破損検出手段の位置調整を促すための調整範囲エラー信号を生成し、該受光量が該調整範囲内である場合には切削装置の切削作動開始を許容する、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
【０００９】
該摩耗・破損検出手段が該作用位置に位置付けられているか否かを判断するのに先立って、
該管理手段は、該ブレード交換完了信号を受信すると、該摩耗・破損検出手段が該非作用位置に位置付けられているか否かを判断し、該摩耗・破損検出手段が該非作用位置に位置付けられている場合には、該破損検出手段の該受光端面が受光する光量が該調整範囲よりも大きい所定値以上であるか否かを判断し、該光量が該所定値未満である場合には該摩耗・破損検出手段の機能回復作業を促すための所定値エラーを生成することが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る切削装置においては、環状ブレードを交換した際に必須であるブレード摩耗・破損検出手段の調整が行われない場合には、その旨が警告されると共に切削作動の開始を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明によって構成された切削装置の要部斜視図。
【図２】（ａ）切削手段の摩耗・破損検出手段が作用位置に位置付けられた状態を示す概略図。                                                                          （ｂ）切削手段の摩耗・破損検出手段が非作用位置に位置着けられた状態を示す概略図。
【図３】摩耗・破損検出手段を示す概略図。
【図４】破損検出部の外周部を示す概略模式図。
【図５】操作パネルに表示されたブレード交換画面を示す概略図。
【図６】操作パネルに表示された摩耗・破損検出手段調整画面を示す概略図。
【図７】摩耗・破損検出手段調整作業時を示す概略フローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して本発明の切削装置の好適実施形態について更に詳細に説明する。
【００１３】
図１には、本発明に基づいて構成された切削装置の好適実施形態が図示されている。全体番号２で示す切削装置は、交換自在な回転環状ブレード４と切削手段８と図示していない被加工物を載置するための保持テーブル９とを有している。保持テーブル９は、切削手段８の下方に図１ではＸ軸方向に移動可能に配設され、上面に被加工物を吸引保持するための保持機構（図示していない）を備えている。
【００１４】
切削手段８は図１においてＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に配設されている。切削手段８はハウジング１０とハウジング１０内に回転可能に配設された図示しないスピンドルとを具備し、かかるスピンドルの先端に環状ブレード４が装着されている。切削装置全体の構造及びスピンドルの先端に環状ブレード４を装着する方式としては、例えば特開平１１−３３９０７号公報に記載の周知構造及び方式でよく本明細書内では詳細説明を省略する。ハウジング１０の前端にはブレードカバー６が装着されている。ブレードカバー６は、ブレードカバー６をハウジング１０の前端部に固定する固定部材１２と、固定部材１２に固定された固定カバー部材１４と、固定部材１２の上方に配設された移動手段１６と、移動手段１６に装着された可動カバー部材１８とから構成される。
【００１５】
図２を参照して説明を続けると、移動手段１６は、エアシリンダから構成され、シリンダ部１７は非磁性体の樹脂で構成され、水平方向に進退するロッド２０と、ロッド２０を前進及び後進させるための圧縮エアを供給するエア供給部２１（図１に図示）とを備えている。ロッド２０の片端（図２において右端）には可動カバー部材１８を構成する連結部２２が固定されており、ロッド２０の進退に伴って可動カバー部材１８も水平方向に移動され、可動カバー部材１８は図２aに示す閉位置と図２ｂに示す開位置に選択的に位置付けられる。可動カバー部材１８の下端には切削ノズル１３が固定されている。また、可動カバー部材１８に装着された装着部１９に摩耗・破損検出手段２４の後述する発光端面及び受光端面が下方に突出した状態で固定されている。切削ノズル１３は、環状ブレード４に向けて切削水を供給し、切削時に環状ブレード４を冷却するため及び切削屑を排出するためのものである。
【００１６】
上記可動カバー部材１８に配設された摩耗・破損検出手段２４は、図３に詳細を図示するように、可動カバー部材１８に固定される固定ブロック２６と、固定ブロック２６に対して図３において上下に移動可能な移動ブロック２８と、移動ブロック２８を移動させ後述する発光端面及び受光端面の環状ブレード４の外周縁に対する相対位置を調整する調整手段３０と、移動ブロック２８を固定ブロック２６の所定位置に静止させる固定ネジ２７と、を含んでいる。固定ブロック２６には拡大頭部３０aを先端に有する雄ネジロッド３０ｂが回転可能に装着されており、雄ネジロッド３０ｂは移動ブロック２８に形成された図示しない雌ネジに螺合している。拡大頭部３０aを回転すると、その回転方向に応じて移動ブロック２８が固定ブロック２６に対して上下に移動する。固定ネジ２７は、固定ブロック２６を貫通して形成された図示しない雌ネジ孔に螺合し移動ブロック２８の側面に当接し、移動ブロック２８を所定位置で静止させる。
【００１７】
摩耗・破損検出手段２４には更に間隔をおいて発光手段３２と受光手段４２が対向配設されている。摩耗・破損検出手段２４の発光手段３２は、発光ダイオード又はレーザダイオード等から構成される発光素子３４と、発光素子３４に接続された光ファイバ３６と、移動ブロック２８に取り付けられ光ファイバ３６からの光を反射する直角プリズム３８と、サファイア等から形成され直角プリズム３８に貼着された透明保護プレート４０とから構成される。透明保護プレート４０の表面が、発光手段３２の発光端面４０aを構成する。また、摩耗・破損検出手段２４の受光手段４２は、フォトダイオード等の受光素子４４と、受光素子４４に接続された光ファイバ４６と、移動ブロック２８に取り付けられた直角プリズム４８と、直角プリズム４８に貼着されたサファイア等からなる透明保護プレート５０とから構成される。透明保護プレート５０の表面が、受光手段４２の受光端面５０aを構成する。発光端面４０a及び受光端面５０aは対向して配設されている。
【００１８】
図２に戻って説明を続けると、可動カバー部材１８が図２（a）に図示する閉位置に位置づけられている場合に、摩耗・破損検出手段２４は、発光手段３２の発光端面４０aと受光手段４２の受光端面５０aとの間に環状ブレード４の外周縁４aが部分的に位置する作用位置に位置付けられる。可動カバー部材１８が図２（ｂ）に図示する開位置に位置付けられている場合に、摩耗・破損検出手段２４は環状ブレード4から離隔した非作用位置に位置付けられる。摩耗・破損検出手段２４が非作用位置に位置付けられると、可動カバー部材１８に装着されている切削ノズル１３も環状ブレード４から離隔するため、環状ブレード４の交換が許容される。
【００１９】
更に切削装置２は、図２に図示するように、移動手段１６のロッド２０の進退を検出する検出センサ５２と、切削装置２の各種設定を入力したり各種状態を表示するための操作パネル５４と、移動手段１６及び摩耗・破損検出手段２４を管理する管理手段５６とを備える。管理手段５６は切削装置２全体の制御も司っている。移動手段１６のロッド２０の他端（図２において左端）には永久磁石から構成された被検出片５８が装着されている。検出センサ５２は移動手段１６に配設された近接センサからなり、摩耗・破損検出手段２４が作用位置に位置づけられている状態において、被検出片５８に近接してこれを検出する。図２（a）に示すように摩耗・破損検出手段２４が作用位置に位置付けられている時には、検出センサ５２が被検出片５８の磁力を検出し作用位置信号を管理手段５６に発信し、管理手段５６は摩耗・破損検出手段２４が作用位置に位置付けられていることを判断する。摩耗・破損検出手段２４が図２（ｂ）に示す非作用位置に位置付けられている時には、検出センサ５２は被検出片５８の磁力を検出せず、従って作用位置信号を管理手段５６に発信せず、管理手段５６は摩耗・破損検出手段２４が非作用位置に位置付けられていることを判断する。
【００２０】
摩耗・破損検出手段２４による環状ブレード４の摩耗及び破損検出について説明する。摩耗・破損検出手段２４が上述の非作用位置（図２（ｂ））に位置づけられている時には、図４（a）で示すように、発光手段３２の発光端面４０aから照射される光の面積をＡとすると光Ａは環状ブレード４に遮られない状態であり、この時の受光端面５０aの受光量を１００％とする。図４（b）には、摩耗・破損検出手段２４が作用位置(図２（a）)に位置づけられた時の、調整直後の適切な位置に発光端面４０a及び受光端面５０aが環状ブレード４に位置づけられた状態を示している。発光端面４０aから照射した光Ａが環状ブレード４の外周縁４aによって部分的に遮られ、受光端面５０aの受光量は調整範囲内の例えば５％である。
【００２１】
通常の切削において環状ブレード４の先端が徐々に消耗し、図４において幅Ｗ消耗し、外周縁が４a’になると、受光端面５０aの受光量は例えば２０％まで増大する。検出許容範囲が例えば２０％以下と設定されている場合には、環状ブレード４の消耗が更に進行すると、受光量が検出許容範囲２０％を超えると検出能力が不安定になるため、管理手段５６は検出許容範囲エラー信号を生成し、切削操作を停止する。その後操作者により調整手段３０を手動操作して摩耗・破損検出手段２４の発光端面４０a及び受光端面５０aを図３において下方に移動し、これによって受光端面５０aの受光量を調整範囲内の値にする。従って、摩耗が進んだ古いブレードを新しい環状ブレード４に変更した場合には、摩耗・調整検出手段の調整がされない場合には光Ａの位置が適切ではないことが多い。その状態のまま切削を開始し摩耗・破損検出手段２４による検出が開始された瞬間に検出許容範囲エラーが出力される。
【００２２】
また、切削中に環状ブレード４が破損すると、受光量は局所的に増大する。急激な受光量の増加が検出された時点で管理手段５６は検出許容範囲エラー信号を生成し、検出許容範囲エラーが出力される。その際には、新しい環状ブレード４に交換する。以上のように、環状ブレード４を交換した際には上記調整手段３０により発光端面４０a及び受光端面５０aの位置を、受光端面５０aの受光量が調整範囲内に入るように調整する。
【００２３】
操作パネル５４は、切削装置２の筐体において操作者等が見やすく操作しやすい箇所に配設されている。操作パネル５４は、管理手段５６の制御の下に、ブレード摩耗・破損検出手段２４の受光端面５０aの受光量等や加工処理等に伴う各種情報を表示すると共に、環状ブレード４を交換時にブレード情報等の各種情報を入力するためのボタン表示等を表示する操作画面を表示するタッチパネルから構成されている。環状ブレード４を交換する際には、図５に図示するように、操作パネル５４にはブレード交換画面６０が表示され、切削装置２に装着されている環状ブレード４の種類、刃厚及び刃先出し量等のブレード情報が表示される。ブレード交換画面６０には、ブレード交換が終了したら管理手段５６にブレード交換完了信号を入力するための環状ブレード交換完了入力手段６２も配設されている。操作者が操作パネル５４に表示されている環状ブレード交換完了入力手段６２を押圧すると、ブレード交換完了信号が管理手段５６に送信される。ブレード交換完了信号を受信した管理手段５６は、図６に示す摩耗・破損検出手段調整画面６４を操作パネル５４に表示させる。
【００２４】
摩耗・破損検出手段調整画面６４は、図６に図示するように、摩耗・破損検出手段２４の発光手段３２の発光端面４０a及び受光手段４２の受光端面５０aの位置を調整し、環状ブレード４の外周縁４aに対して適切な位置に調整するための画面である。摩耗・破損検出手段調整画面６４は、摩耗・破損検出手段２４の受光手段４２に受光されている受光量を棒状グラフで視覚的に表示する受光レベル表示部６６及び受光量を数値で表示する受光量表示部６８を含み、受光量をリアルタイムで表示する。また受光量を示す受光量表示部６８の横に表示されている入力ボタン７０は、ブレードカバー６の可動カバー部材１８を開閉させて摩耗・破損検出手段２４を選択的に作用位置と非作用位置とに移動させるための入力手段である。入力ボタン７０にはブレードカバー６の可動カバー部材１８の現在の開閉状態を示す表示がされており、開状態では摩耗・破損検出手段２４は非作用位置に位置つけられ、閉状態では摩耗・破損検出手段２４は作用位置に位置付けられている。
【００２５】
また、摩耗・破損検出手段調整画面６４には、摩耗・破損検出手段２４が作用位置（図６ではクローズ欄７１ｂ）及び非作用位置（図６ではオープン欄７１ａ）にそれぞれ位置付けられている際の可動状況を示す可動状況表示部７１が表示されている。非作用位置では所定値以上、作用位置では調整範囲内の受光量で受光端面５０aが受光されていることを管理手段５６が判断したら「OK」が表示される。更に、摩耗・破損検出手段２４が適切な位置に調整終了されたことを管理手段５６に入力するための準備完了入力手段７２が配設されている。操作者が摩耗・破損検出手段２４の調整動作を全て行いクローズ欄７１ｂ及びオープン欄７１ａ両方に「OK」が表示された後に摩耗・破損検出手段調整画面６４の準備完了入力手段７２を押圧すると、管理手段５６に準備完了信号が送信される。準備完了信号を受信した管理手段５６は、摩耗・破損検出手段調整画面６４から加工準備画面（図示していない）を表示し、加工準備及び被加工物の切削加工を行うことができるようになる。仮に、操作者が摩耗・破損検出手段２４の調整の途中、即ち可動状況表示部７１に「NG」が表示されている場合に準備完了入力手段７２を押圧した際には、摩耗・破損検出手段調整画面６４から加工準備画面に移行せず、調整を促すエラーメッセージが表示され、加工準備には移ることができない。
【００２６】
上記の構成の切削装置２において、新たな環状ブレード４に交換された際の作動を図７のフローチャートを参照して説明する。最初に、摩耗・破損検出手段２４は非作用位置（開状態）に位置付けられ且つ操作パネル５４には図５のブレード交換画面６０を表示した状態で、操作者により摩耗又は破損した環状ブレード４が取り外されると共にスピンドルの先端に新たな環状ブレード４が装着される。交換作業が完了したら操作者によりブレード交換画面６０のブレード交換完了入力手段６２が押圧され、管理手段５６にブレード交換完了信号が送信される。管理手段５６は交換完了信号を受信する（Ｓ１）と、操作パネル５４に摩耗・破損検出手段調整画面６４を表示する（Ｓ２）。次いで、管理手段５６は、破損検出手段２４が非作用位置に位置づけられているか否かを確認し（Ｓ３）、作用位置に位置付けられている場合にはブレードカバー６の可動カバー部材１８を開動する旨を警告する（Ｓ３’）。
【００２７】
続いて、本発明の主たる技術的特徴である摩耗・破損検出手段２４の発光端面４０a及び５０aの調整作業を行う前提として、摩耗・破損検出手段２４が正常に機能しているかどうかを確認する機能調整作業を遂行する（Ｓ４〜Ｓ６）。Ｓ３において、摩耗・破損検出手段２４が非作用位置に位置づけられている場合には、管理手段５６は、受光量が所定値以上であるか否かを判断し（Ｓ４）、所定値未満である場合には、所定値エラー信号を生成し操作パネル５４に所定値エラーを出力する（Ｓ５）。所定値とは、環状ブレード４を遮らない場合を受光量１００％とすると、例えば９０％以上に設定される。所定値以上に設定する目的は、摩耗・破損検出手段２４の発光手段３２及び受光手段４２が問題なく機能しているかどうかを検査することである。所定値エラーが出力されると、操作者等により摩耗・破損検出手段２４の機能回復作業が行われる（Ｓ６）。
【００２８】
機能回復作業は、操作者により破損検出手段２４の発光端面４０a及び受光端面５０aの確認がなされ、発光端面４０a及び受光端面５０aにコンタミ等の汚れがあれば除去される等、摩耗・破損検出手段２４の機能を回復させる作業である。摩耗・破損検出手段２４は環状ブレード４が切削中に切削水及び切削屑が飛散している状態で使用されるため、発光手段３２及び受光手段４２の発光端面４０a及び受光端面５０aに汚れが付着してしまい、環状ブレード４から離隔した状態においても充分に発光又は受光されず、受光量が所定値（例えば９０％）未満になってしまう。摩耗・破損検出手段調整画面６４（図６参照）には、リアルタイムで受光量が受光レベル表示部６６及び受光量表示部６８に表示されている。操作者によりコンタミ等の汚れが発光端面４０a及び受光端面５０aから除去されると、受光量は所定値（例えば９０％）以上に回復する。
【００２９】
Ｓ４に戻り、管理手段５６は受光量が所定値以上に回復したことを確認後、可動状況表示部７１のオープン欄７１aの表示を「ＮＧ」から「ＯＫ」に変更する。その後、画面６４の入力ボタン７０が操作者により押圧されると、管理手段５６は、摩耗・破損検出手段２４を作用位置（閉状態）に移動させる（Ｓ７）。ここで、可動状況表示部７１のオープン欄７１aが「ＮＧ」が表示されている際に操作者が入力ボタン７０を押圧した際には、所定値エラーが出力され、次工程へ進むことはできない。
【００３０】
続いて、本発明の主たる技術的特徴である摩耗・破損検出手段２４の発光端面４０a及び５０aの調整作業を遂行する（Ｓ９〜Ｓ１１）。管理手段５６は、摩耗・破損検出手段２４が作用位置に位置付けられているか否かを判断し、摩耗・破損検出手段２４が非作用位置に位置付けられている場合には、ブレードカバー６の可動カバー部材１８を閉じる旨を警告する（Ｓ８’）。摩耗・破損検出手段２４が作用位置に位置づけられている場合には、摩耗・破損検出手段２４の受光手段４２の受光量を判断する（Ｓ９）。受光量が調整範囲未満又は調整範囲を超えているか否かを判断し（Ｓ９）調整範囲未満又は調整範囲を超えている場合には、図４に図示する調整手段３０を使用して摩耗・破損検出手段２４の調整を促すための調整範囲エラー信号を生成する（Ｓ１０）。調整範囲は、本実施形態においては上記のように受光量５％以上１０％以下の受光量である。例えば調整範囲未満の場合には、摩耗・破損検出手段２４の発光端面４０a及び受光端面５０aの位置が環状ブレード４の半径方向内側に移動しすぎているため、調整手段４０により発光端面４０a及び受光端面５０aの位置を半径方向外縁に移動させ、受光量が調整範囲内に入るように調整する。このように、操作者により調整手段３０を使用して摩耗・破損検出手段２４の調整作業が行われる（Ｓ１１）。
【００３１】
次いで、ステップＳ９に戻り、管理手段５６は、受光量が調整範囲内であることを判断したら（Ｓ９）、摩耗・破損検出手段調整画面６４の可動状況表示部７１のクローズ欄７１bを「ＮＧ」から「ＯＫ」に変更する。可動状況表示部７１の表示が全て「ＯＫ」になった後に、操作者により摩耗・破損検出手段調整画面６４の準備完了入力手段７２が押圧されると、管理手段５６に準備完了信号が送信される（Ｓ１２）。準備完了信号を受信した管理手段５６は、操作パネル５４に摩耗・破損検出手段調整画面６４から加工準備画面（図示していない）を表示させる。従って、操作者は加工準備及び被加工物の切削加工を行うことができる。仮に、操作者が摩耗・破損検出手段２４の調整の途中、即ち、可動状況表示部７１のクローズ欄７１ｂに「ＮＧ」が表示されている際に操作者が入力ボタン７０を押圧した際には、調整範囲エラーが出力され、準備完了信号は生成されない。従って、摩耗・破損検出手段調整画面６４から離脱できず加工作動を開始することは出来ない。
【符号の説明】
【００３２】
２        切削装置
４        環状ブレード
６        ブレードカバー
１６        移動手段
２４        摩耗・破損検出手段
３０        調整手段
３２        発光手段
４２        受光手段
４０a        発光端面
５０a        受光端面
５２        検出センサ
５４        操作パネル
５６        管理手段
６０        ブレード交換画面
６２        ブレード交換完了入力手段
６４        摩耗・破損検出手段調整画面
７１        可動状況表示部
７２        準備完了入力手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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