(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性を有して表面に複数の接触子を備えたフィルムタイププローブと、
当該フィルムタイププローブを支持して上記各接触子を被検査体の各電極に電気的に接触させる、上記被検査体に対して相対的に往復動可能なプローブブロックと、
当該プローブブロックに支持されて、当該プローブブロックの往動により、上記フィルムタイププローブの各接触子が被検査体の各電極にそれぞれ接触した状態でこのフィルムタイププローブを均一な圧力で加圧する加圧部材とを備え、
上記フィルムタイププローブの先端部に上記各接触子が備えられると共に、当該先端部が上記加圧部材によって加圧されていないときに、当該先端部が上記プローブブロックから延出して自由に撓み得る状態で当該フィルムタイププローブが上記プローブブロックに支持され、
上記加圧部材が、上記フィルムタイププローブの先端部に接触する加圧面を有し、上記加圧面が上記プローブブロックの往動により上記フィルムタイププローブの先端部に接触する際に、上記フィルムタイププローブの幅方向に関し、上記加圧面の部位による接触タイミングのずれを許容するように、上記加圧部材が、上記プローブブロックに揺動可能に支持されると共に、上記加圧面を上記フィルムタイププローブの先端部に臨ませた非接触状態で、上記加圧部材の加圧面と上記フィルムタイププローブの先端部との間に隙間を有することを特徴とするプローブユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のプローブユニットにおいて、
上記加圧部材の加圧面の部分が、弾性体で構成されたことを特徴とするプローブユニット。
【請求項３】
請求項１に記載のプローブユニットにおいて、
上記プローブブロックが、スライド可能にかつ上記フィルムタイププローブ側へ付勢されて設けられ、上記フィルムタイププローブの先端部が上記被検査体側に接触して撓んで上記加圧部材に当接されるとき、当該加圧部材が一体的に付勢されて上記フィルムタイププローブの先端部を弾性的にかつ均一に加圧することを特徴とするプローブユニット。
【請求項４】
被検査体を支持して検査する測定部を備えた検査装置であって、
上記測定部のプローブユニットとして、請求項１乃至３のいずれか１項に記載のプローブユニットを用いたことを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の被検査体の検査に用いるプローブユニット及び検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル等の製造工程においては、その液晶パネル等の検査として点灯検査等が行われる。この検査には、一般に、複数のプローブを有するプローブユニットを備えた検査装置が用いられる。この場合において、上記検査は、上記プローブユニットの各プローブを液晶パネル等の電極に押し当てた状態で、各電極に検査信号を供給することにより行われる。
【０００３】
上記プローブユニットとしては、例えば特許文献１に記載の液晶ディスプレイパネル検査用プローブユニットがある。この液晶ディスプレイパネル検査用プローブユニットを、図１，２に基づいて概説する。
【０００４】
プローブマウント１は装置本体側に取り付けられている。プローブマウント１にはプローブブロック２が取り付けられている。このプローブブロック２の下側面の先端側（図１の左側）にはフィルムタイププローブ３が取り付けられている。このフィルムタイププローブ３は、フィルム基板４と、接触子５と、絶縁ゴム板６とから構成されている。接触子５は、フィルム基板４の下側面に、等間隔に複数設けられている。絶縁ゴム板６は、フィルム基板４の上側面に設けられている。フィルムタイププローブ３は、プローブブロック２の下側面の先端側に固定されている。
【０００５】
これにより、液晶ディスプレイパネル７の各電極に、フィルムタイププローブ３の接触子５がそれぞれ接触され、絶縁ゴム板６を介してプローブブロック２で押圧されて、電気的に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】韓国特許公開公報第１０−２００６−０１０８４２６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、上記従来の液晶ディスプレイパネル検査用プローブユニットでは、フィルムタイププローブ３の各接触子５が液晶ディスプレイパネル７の各電極に接触するが、液晶ディスプレイパネル７の電極面の平坦度が良くないと、高い精度で接触することが難しくなる。
【０００８】
液晶ディスプレイパネル７は、全体的には平坦な板材であるが、部分的には平面がうねっている所も存在する。この場合でも、各接触子５はプローブブロック２によって正確に支持されているため、うねりの程度によっては、絶縁ゴム板６で吸収できない場合がある。そして、液晶ディスプレイパネル７に、絶縁ゴム板６で吸収できないうねりがあると、フィルムタイププローブ３の接触子５と液晶ディスプレイパネル７の各電極との接触精度が低下してしまうという問題がある。
【０００９】
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、フィルムタイププローブの接触子と被検査体の各電極との接触精度を高く維持することができるプローブユニット及び検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために本発明に係るプローブユニットは、（１）可撓性を有して表面に複数の接触子を備えたフィルムタイププローブと、（２）当該フィルムタイププローブを支持して上記各接触子を被検査体の各電極に電気的に接触させる、上記被検査体に対して相対的に往復動可能なプローブブロックと、（３）当該プローブブロックに支持されて、当該プローブブロックの往動により、上記フィルムタイププローブの各接触子が被検査体の各電極にそれぞれ接触した状態でこのフィルムタイププローブを均一な圧力で加圧する加圧部材とを備え、（４）上記フィルムタイププローブの先端部に上記各接触子が備えられると共に、当該先端部が上記加圧部材によって加圧されていないときに、当該先端部が上記プローブブロックから延出して自由に撓み得る状態で当該フィルムタイププローブが上記プローブブロックに支持され、（５）上記加圧部材が、上記フィルムタイププローブの先端部に接触する加圧面を有し、上記加圧面が上記プローブブロックの往動により上記フィルムタイププローブの先端部に接触する際に、上記フィルムタイププローブの幅方向に関し、上記加圧面の部位による接触タイミングのずれを許容するように、上記加圧部材が、上記プローブブロックに揺動可能に支持されると共に、上記加圧面を上記フィルムタイププローブの先端部に臨ませた非接触状態で、上記加圧部材の加圧面と上記フィルムタイププローブの先端部との間に隙間を有することを特徴とする。
【００１１】
また、被検査体を支持して検査する測定部を備えた検査装置であって、上記測定部のプローブユニットとして、上述したプローブユニットを用いたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
上記プローブユニット及び検査装置では、フィルムタイププローブの各接触子と被検査体の各電極との接触精度を高く維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】従来のプローブユニットを示す側面断面図である。
【図２】従来のプローブユニットのフィルムタイププローブを示す斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係る検査装置の測定部を示す斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係る検査装置のプローブユニットを正面側から示す斜視図である。
【図５】本発明の実施形態に係る検査装置のプローブユニット背面側からを示す斜視図である。
【図６】本発明の実施形態に係るプローブユニットのプローブ組立体を示す側面断面図である。
【図７】本発明の実施形態に係るプローブユニットのプローブ組立体を示す正面図である。
【図８】本発明の実施形態に係るプローブユニットの加圧部材の弾性体ベースが右に揺動した状態を示す正面図である。
【図９】本発明の実施形態に係るプローブユニットの加圧部材の弾性体ベースが揺動していない状態を示す正面図である。
【図１０】本発明の実施形態に係るプローブユニットの加圧部材の弾性体ベースが左に揺動した状態を示す正面図である。
【図１１】本発明の実施形態に係るプローブユニットの加圧部材（図６の点線円Ｘ部分）を示す要部拡大図である。
【図１２】本発明の実施形態に係るプローブユニットのフィルムタイププローブを示す平面図である。
【図１３】図１１のＡ−Ａ線矢視断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態に係るプローブユニット及び検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。
【００１５】
本実施形態の検査装置は、後述する本発明のプローブユニットを備えた装置である。このプローブユニットを備えることができる公知のすべての検査装置を本実施形態の検査装置として用いることができる。この検査装置は、パネルセット部と、測定部とを備えている。パネルセット部は、外部から挿入された被検査体としての液晶パネル等の表示装置を受け取って測定部へ搬送し、検査終了後の表示装置を外部へ受け渡すための装置である。測定部は、パネルセット部から渡された表示装置を支持して点灯検査等をするための装置である。
【００１６】
測定部は、図３に示すように、アライメントステージ１１、ワークテーブル１２、パネル受け部１３、プローブユニット１４等を備えて構成されている。
【００１７】
アライメントステージ１１は、表示装置１６のＸＹＺθ方向の位置調整を行う装置である。アライメントステージ１１は、Ｘ移動機構、Ｙ移動機構、Ｚ移動機構、θ回転機構（何れも図示せず）を備えて構成されている。ワークテーブル１２は、表示装置１６を支持する部材である。パネル受け部１３は、表示装置１６を位置決めして支持する部材である。表示装置１６はパネル受け部１３で支持され、パネル受け部１３はワークテーブル１２で支持され、ワークテーブル１２はアライメントステージ１１で支持されている。そして、アライメントステージ１１の各機構がＸＹＺθ方向に動作することで、表示装置１６とプローブユニット１４の後述するフィルムタイププローブ２３とが正確に位置合わせされると共に互いに接触されるようになっている。
【００１８】
プローブユニット１４は、後述する各接触子としてのＴＡＢ電極６６を、表示装置１６の各電極１６Ａにそれぞれ電気的に接触させる部材である。プローブユニット１４は主に、プローブベース１８と、画像入力装置１９と、プローブ組立体２０とから構成されている。
【００１９】
プローブベース１８は、装置本体側に固定されて、画像入力装置１９とプローブ組立体２０を一体的に支持する板材である。プローブベース１８は、表示装置１６の隣接する２つの辺に沿って２つ設けられている。各プローブベース１８は、プローブ組立体２０等をワークテーブル１２上の表示装置１６に臨ませて支持している。各プローブベース１８の上側面には、接続基板１８Ａ（図４参照）が設けられている。接続基板１８Ａは、後述するフィルムタイププローブ２３に接続され、このフィルムタイププローブ２３を介して表示装置１６の各電極１６Ａに電気的に接続される。
【００２０】
画像入力装置１９は、表示装置１６の位置決め用のマーク(図示せず)を撮影するための装置である。画像入力装置１９は、位置決め用のマーク等の画像情報を取り込んで、制御部(図示せず)に送信する。制御部は、この画像情報に基づいてアライメントステージ１１を制御し、各接触子としてのＴＡＢ電極６６と、表示装置１６の各電極１６Ａとが互いに整合するように表示装置１６の位置を調整して、互いに接触させるようになっている。
【００２１】
プローブ組立体２０は、各接触子としてのＴＡＢ電極６６を直接支持している。このプローブ組立体２０は、各プローブベース１８に複数設けられている。各プローブ組立体２０は、図４〜６に示すように、支持部２１と、スライド部２２と、フィルムタイププローブ２３とから構成されている。
【００２２】
上記支持部２１は、その基端側が上記プローブベース１８に支持された状態で、その先端側で上記スライド部２２を支持するための部材である。この支持部２１は、上記プローブベース１８に直接取り付けられて全体を支持する積載台２５と、この積載台２５の上側に一体的に設けられてスライド部２２をスライド可能に支持するサスペンションブロック２６とから構成されている。
【００２３】
積載台２５は、ほぼ立方体状に形成されている。積載台２５の下側面には、フィルムタイププローブ２３を通すプローブ用溝２７が設けられている。プローブ用溝２７は、接続基板１８Ａ側からスライド部２２側へ貫通した溝として構成されている。このプローブ用溝２７に、フィルムタイププローブ２３のＦＰＣ６１が通されている。ＦＰＣ６１は、自由に撓み得る状態で、プローブ用溝２７を貫通している。
【００２４】
サスペンションブロック２６は、ほぼＬ字型に形成されている。サスペンションブロック２６内には、２本のボルト２８，２９が通されている。このボルト２８，２９は、積載台２５にねじ込まれて、積載台２５とサスペンションブロック２６とを互いに固定している。
【００２５】
サスペンションブロック２６の上部の先端側（ワークテーブル１２側）には、スライド支持部３１が形成されている。このスライド支持部３１は、サスペンションブロック２６の上部から水平に張り出して、スライド部２２の上部を覆うように形成されている。スライド支持部３１には、調整ボルト穴３２が設けられている。この調整ボルト穴３２は、調整ボルト３３の頭部３３Ａを嵌め込むための頭部用凹部３２Ａと、調整ボルト３３のネジ棒部３３Ｂを通すネジ穴部３２Ｂとから構成されている。ネジ穴部３２Ｂの内側面にはネジ溝は形成されておらず、ネジ棒部３３Ｂが自由に上下動できるようになっている。
【００２６】
２個のスプリング３５は、調整ボルト３２を挟んでスライド支持部３１とスライド部２２との間に装着されている。具体的にはスプリング３５は、スライド支持部３１の下面と、スライドブロック３７の上面に設けられた凹部に支持されてスライド部２２を下方（フィルムタイププローブ２３側）へ付勢している。サスペンションブロック２６のうち、スライド部２２側の縦壁には、スライドレール３６が上下方向に向けて取り付けられている。このスライドレール３６は、スライド部２２を上下方向にスライド可能に支持するレールである。
【００２７】
スライド部２２は、フィルムタイププローブ２３を支持してサスペンションブロック２６側のスプリング３５で下方へ付勢される部材である。スライド部２２は、スライドブロック３７と、プローブブロック３８とから構成されている。
【００２８】
スライドブロック３７は、支持部２１のサスペンションブロック２６に上下方向にスライド可能に支持されている。スライドブロック３７は、Ｌ字型に形成され、スライドガイド４０と、調整ボルト穴４１と、固定ボルト穴４２と、位置決めピン穴４３とを備えている。
【００２９】
スライドガイド４０は、サスペンションブロック２６のスライドレール３６にスライド可能に取り付けられている。スライドガイド４０は、スライドブロック３７に固定されて、このスライドブロック３７を上下にスライド可能に支持している。
【００３０】
調整ボルト穴４１は、上記調整ボルト３３がねじ込まれるためのネジ穴である。この調整ボルト穴４１に調整ボルト３３がねじ込まれ、この調整ボルト３３のねじ込み量を変えて、スライドブロック３７の高さを調整するようになっている。これにより、スライド部２２が設定高さに調整されて、フィルムタイププローブ２３の各接触子としてのＴＡＢ電極６６と、表示装置１６の各電極１６Ａの間隔を調整するようになっている。そして、調整ボルト穴４１にねじ込まれた調整ボルト３３は、その頭部３３Ａがスライド支持部３１の調整ボルト穴３２の頭部用凹部３２Ａに支持された状態で、スライドブロック３７を支持している。さらに、スライドブロック３７は、スプリング３５で下方に付勢されている。これにより、スライド部２２に支持されたフィルムタイププローブ２３の各接触子としてのＴＡＢ電極６６が表示装置１６の各電極１６Ａに接触したとき、スプリング３５が収縮して、各接触子としてのＴＡＢ電極６６と各電極１６Ａとが弾性的に加圧されるようになっている。
【００３１】
固定ボルト穴４２は、固定ボルト４５が通されて、スライドブロック３７とプローブブロック３８とが互いに固定されるためのボルト穴である。
【００３２】
位置決めピン穴４３は、位置決めピン４６が嵌め込まれて、スライドブロック３７とプローブブロック３８とが互いに位置決めされるためのピン穴である。
【００３３】
プローブブロック３８は、フィルムタイププローブ２３を直接支持して上記各接触子としてのＴＡＢ電極６６を表示装置１６の各電極１６Ａに電気的に接触させるための部材である。プローブブロック３８は、ほぼ立方体状に形成されている。このプローブブロック３８の上側面には、上記位置決めピン４６と整合する位置に位置決めピン穴４８が設けられ、固定ボルト穴４２と整合する位置に固定ボルト穴４９が設けられている。プローブブロック３８の下側面には、フィルムタイププローブ２３を固定するネジ穴５０が設けられている。
【００３４】
プローブブロック３８の先端側（図６の左側）には、後述する加圧部材５５を装着して支持する加圧部材装着部５１が設けられている。この加圧部材装着部５１は、プローブブロック３８の先端側の上部を加圧部材５５の厚さと同じ寸法だけ張り出して形成された張り出し部５２と、加圧部材５５を固定するネジ穴５３とから構成されている。
【００３５】
張り出し部５２は、装着された加圧部材５５の上側端部との間に僅かな隙間ができるように形成され、加圧部材５５の揺動を許容している。ネジ穴５３は、加圧部材５５を揺動可能に支持するためのネジ穴である。ネジ穴５３は、テーパ部を有して、加圧部材５５を正確に位置決めして固定するようになっている。
【００３６】
プローブブロック３８の先端側の加圧部材装着部５１には、加圧部材５５が取り付けられている。この加圧部材５５は、フィルムタイププローブ２３を均一な圧力で加圧するための部材である。加圧部材５５は、プローブブロック３８に揺動可能に支持されて、フィルムタイププローブ２３の各接触子としてのＴＡＢ電極６６が表示装置１６の各電極１６Ａにそれぞれ接触した状態で加圧するようになっている。
【００３７】
加圧部材５５は、図６〜１１に示すように、取付ネジ５６と、ベアリング５７と、弾性体ベース５８と、弾性体５９とから構成されている。
【００３８】
取付ネジ５６は、ベアリング５７を介して弾性体ベース５８を回動可能に支持するためのネジである。取付ネジ５６は、上記プローブブロック３８の加圧部材装着部５１のネジ穴５３にねじ込まれることで、加圧部材５５を加圧部材装着部５１に取り付けている。
【００３９】
ベアリング５７は、取付ネジ５６により固定されて、弾性体ベース５８を上記プローブブロック３８の加圧部材装着部５１に揺動可能に支持している。
【００４０】
弾性体ベース５８は、四角形板状に形成され、プローブブロック３８の先端側の加圧部材装着部５１に揺動可能に装着されている。
【００４１】
弾性体５９は、フィルムタイププローブ２３に直接的に接触して加圧するための部材である。弾性体５９は、弾性体ベース５８のフィルムタイププローブ２３側に取り付けられている。これにより、上記加圧部材５５の加圧面の部分が、弾性体５９で構成されている。この弾性体５９の下側面が、上記フィルムタイププローブ２３の先端部に接触する加圧面となっている。この加圧面（弾性体５９の下側面）が、上記フィルムタイププローブ２３の先端部に臨まされた状態で、弾性体５９は上記プローブブロック３８に揺動可能に支持されている。
【００４２】
フィルムタイププローブ２３は、表示装置１６の各電極１６Ａに電気的に接続される部材である。フィルムタイププローブ２３は、図５，６，１１，１２に示すように、ＦＰＣ６１と、コネクタ６２と、ＴＡＢ取付板６３と、ＴＡＢ基板６４と、ＴＡＢ・ＩＣ６５と、ＴＡＢ電極６６とから構成されている。
【００４３】
ＦＰＣ６１は、プローブベース１８側に固定された接続基板１８Ａと、ＴＡＢ取付板６３に取り付けられたＴＡＢ基板６４とを接続するための部材である。ＦＰＣ６１は、可撓性を有し、スライド部２２の上下へのスライドに対応して撓むようになっている。ＦＰＣ６１の基端部（図６の右側端部）にはコネクタ６２が設けられ、このコネクタ６２を介してＦＰＣ６１が接続基板１８Ａに電気的に接続されている。
【００４４】
ＴＡＢ取付板６３は、ＴＡＢ基板６４等を支持して、プローブブロック３８の下側面に固定される板である。ＴＡＢ取付ネジ６９がプローブブロック３８の下側面のネジ穴５０にねじ込まれることで、ＴＡＢ取付板６３がプローブブロック３８の下側面に固定されている。
【００４５】
ＴＡＢ基板６４は、ＴＡＢ・ＩＣ６５とＴＡＢ電極６６を支持する基板である。ＴＡＢ基板６４は、可撓性を有する材料で構成され、ＴＡＢ取付板６３に固定されている。さらに、ＴＡＢ基板６４は、ＴＡＢ取付板６３に固定された状態で、その先端部（フィルムタイププローブ２３の先端部であって、図６の左側端部）が、ＴＡＢ取付板６３から延出し、さらにプローブブロック３８から延出して形成されている。これにより、ＴＡＢ基板６４の先端部が、自由に撓み得る状態で上記プローブブロック３８に支持されている。
【００４６】
ＴＡＢ・ＩＣ６５は、表示装置１６の駆動機能等を備えている。ＴＡＢ・ＩＣ６５の一方はＦＰＣ６１の配線６１Ａに接続され、ＴＡＢ・ＩＣ６５の他方はＴＡＢ電極６６に接続されている。
【００４７】
ＴＡＢ電極６６は、表示装置１６の各電極１６Ａに接触される接触子である。ＴＡＢ電極６６は、上記ＴＡＢ基板６４の先端部の下側表面に複数設けられている。具体的には、表示装置１６の各電極１６Ａと同じ数のＴＡＢ電極６６が、各電極１６Ａの位置に対応した、上記ＴＡＢ基板６４の先端部の下側表面の位置に、それぞれ設けられている。
【００４８】
自由に撓み得る状態で上記プローブブロック３８に延出して支持された上記ＴＡＢ基板６４の先端部（上記フィルムタイププローブ２３の先端部）は、上記加圧部材５５の加圧面（弾性体５９の下側面）との間に隙間Ｓ（図１１参照）を有している。この隙間Ｓによって、上記ＴＡＢ基板６４の先端部の下側表面のＴＡＢ電極６６が、表示装置１６の各電極１６Ａにそれぞれ接触された状態で、表示装置１６に押されて僅かに持ち上がったときに、上記ＴＡＢ基板６４の先端部と上記加圧部材５５の加圧面とが互いに接触するようになっている。即ち、表示装置１６の基板表面のうねりにより、電極１６Ａの平坦が出ていないときに、上記ＴＡＢ基板６４が表示装置１６に押されて僅かに持ち上がり、ＴＡＢ基板６４は自身の撓みにより電極１６Ａの上面に追従し、その後弾性体５９は弾性体ベース５８の揺動作用によりＴＡＢ基板６４の上面に追従して、各ＴＡＢ電極６６が各電極１６Ａに確実に接触した状態で、上記ＴＡＢ基板６４の先端部が上記加圧部材５５の加圧面（弾性体５９の下側面）で加圧されるようになっている。即ち、上記ＴＡＢ基板６４の先端部（上記フィルムタイププローブ２３の先端部）と上記加圧部材５５の加圧面との間の隙間Ｓは、ＴＡＢ基板６４の先端部が自由に撓むことを許容し、また弾性体ベース５８の揺動作用を許容している。それにより、上記ＴＡＢ基板６４の先端部を自由な状態で撓ませて電極１６Ａの上面に追従させることが可能になり、予めＴＡＢ基板６４の先端部を弾性体５９の下面に接触若しくは接着させた場合と較べてＴＡＢ基板６４の先端部にストレスが掛かることが無いため精度の良い接触が可能になるとともに破損の防止、寿命の伸びが可能になる。
【００４９】
以上のように構成されたプローブユニット１４は、次のように作用する。
【００５０】
表示装置１６がアライメントステージ１１に載置され、このアライメントステージ１１で、図１３（Ａ）に示すように、表示装置１６の各電極１６Ａと、フィルムタイププローブ２３の各ＴＡＢ電極６６とが互いに整合するように位置合わせされる。ここで、表示装置１６のうねりにより、各電極１６Ａと、ＴＡＢ基板６４の先端部との間にΘ１の傾きがあるものとする。
【００５１】
次いで、アライメントステージ１１で表示装置１６が持ち上げられ、表示装置１６の各電極１６Ａと、フィルムタイププローブ２３の各ＴＡＢ電極６６とが互いに接触される。
【００５２】
このとき、上記ＴＡＢ基板６４の先端部は、自由に撓み得る状態で上記プローブブロック３８に延出しているため、図１３（Ｂ）のように、表示装置１６に合わせて撓み、表示装置１６の各電極１６Ａと、フィルムタイププローブ２３の各ＴＡＢ電極６６とが互いに整合して接触する。なお、このときは、これらの間にはほとんど圧力がかかっていない。
【００５３】
このように、表示装置１６の表面のうねり等により、各電極１６Ａの上面とフィルムタイププローブ２３の各ＴＡＢ電極６６の並行が出ていない場合でも、アライメントステージ１１で表示装置１６が持ち上げられて上記フィルムタイププローブ２３の先端部が僅かに持ち上がったときに、上記ＴＡＢ基板６４の先端部は、上記加圧部材５５の加圧面との間の隙間Ｓがあることで、各電極１６Ａに柔軟に追従して、互いに整合する。
【００５４】
そして、その後、上記ＴＡＢ基板６４の先端部が、上記加圧部材５５の弾性体５９の加圧面に接触して加圧される。
【００５５】
さらに、加圧部材５５は、上記プローブブロック３８に揺動可能に支持されているため、表示装置１６の表面の平坦が出ていないときでも、その角度を、表示装置１６の上面に合わせて変える。その結果、図１３（Ｃ）に示すように、フィルムタイププローブ２３の先端部の各ＴＡＢ電極６６が表示装置１６の各電極１６Ａにそれぞれ接触した状態で、各ＴＡＢ電極６６と各電極１６Ａとの整合を保ちながら、フィルムタイププローブ２３の先端部が、上記角度を変えた加圧部材５５の加圧面に接触する。これにより、各電極１６Ａと、ＴＡＢ基板６４の先端部との間の傾きΘ１はΘ２（≒０）になり、表示装置１６のうねりが吸収される。
【００５６】
これにより、当該加圧部材５５が、上記フィルムタイププローブ２３の先端部に均一に圧接する。さらに、上記フィルムタイププローブ２３の先端部が、表示装置１６側に接触して上記加圧部材５５に当接されるとき、当該加圧部材５５を上記スプリング３５が付勢して上記フィルムタイププローブ２３の先端部を弾性的に加圧する。
【００５７】
この結果、フィルムタイププローブ２３の各ＴＡＢ電極６６と表示装置１６の各電極１６Ａとの接触精度を高く維持することができるようになる。
【００５８】
なお、上記実施形態に係る検査装置としては、上記プローブユニット１４を備えることができる公知のすべての検査装置を用いることができる。
【符号の説明】
【００５９】
１１：アライメントステージ、１２：ワークテーブル、１３：パネル受け部、１４：プローブユニット、１６：表示装置、１６Ａ：各電極、１８：プローブベース、１８Ａ：接続基板、１９：画像入力装置、２０：プローブ組立体、２１：支持部、２２：スライド部、２３：フィルムタイププローブ、２５：積載台、２６：サスペンションブロック、２７：プローブ用溝、２８，２９：ボルト、３１：スライド支持部、３２：調整ボルト穴、３２Ａ：頭部用凹部、３３：調整ボルト、３３Ａ：頭部、３３Ｂ：ネジ棒部、３５：スプリング、３６：スライドレール、３７：スライドブロック、３８：プローブブロック、４０：スライドガイド、４１：調整ボルト穴、４２：固定ボルト穴、４３：位置決めピン穴、４５：固定ボルト、４６：位置決めピン、４８：位置決めピン穴、４９：固定ボルト穴、５０：ネジ穴、５１：加圧部材装着部、５２：張り出し部、５３：ネジ穴、５５：加圧部材、５６：取付ネジ、５７：ベアリング、５８：弾性体ベース、５９：弾性体、６１：ＦＰＣ、６２：コネクタ、６３：ＴＡＢ取付板、６４：ＴＡＢ基板、６５：ＴＡＢ・ＩＣ、６６：ＴＡＢ電極、６９：ＴＡＢ取付ネジ、Ｓ：隙間。
【図１】
0005459673.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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