(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導体に流れている電流を検出する装置であり、
その導体に固定して用いる電流検出ヘッドと、
基板と、
前記電流検出ヘッドと前記基板の間を伸びている光ファイバを備えており、
前記電流検出ヘッドに、前記光ファイバの一端と、レンズと、磁気光学素子が固定されており、
前記基板に、貫通孔が形成されており、
前記基板の前記貫通孔に、前記光ファイバの他端が挿入されて固定されており、
前記基板に、前記光ファイバの前記他端に偏光を入射する光源と、前記光ファイバの前記他端から射出した偏光の回転角に対応する電気信号を出力する受光装置が配置されており、
前記電流検出ヘッドによって、前記光ファイバを通過した偏光を前記レンズを経て前記磁気光学素子に導くとともに、前記磁気光学素子によって磁気光学効果を受けた偏光を前記レンズを経て前記光ファイバに導く光学系が形成されていることを特徴とする電流検出装置。
【請求項２】
前記光ファイバが、前記磁気光学素子に向かう光が通過する入射用光ファイバと、前記磁気光学素子からの光が通過する射出用光ファイバに区分されていることを特徴とする請求項１の電流検出装置。
【請求項３】
前記電流検出ヘッドが、前記導体に固定されており、
前記磁気光学素子は、磁気カー効果を発揮するものであり、
前記レンズを通過した光を前記磁気光学素子で反射して前記レンズに戻す光学系が形成されていることを特徴とする請求項１または２の電流検出装置。
【請求項４】
前記電流検出ヘッドが、前記光ファイバの一端と、前記レンズと、前記磁気光学素子のそれぞれが固定されている固定部材を備えており、
その固定部材に前記導体が固定されることを特徴とする請求項１から３のいずれかの１項に記載の電流検出装置。
【請求項５】
前記固定部材が、第１固定部材と、第１固定部材に対して所定の位置関係で固定されている第２固定部材を備えており、
前記第１固定部材に、前記光ファイバと前記レンズが固定されており、
前記第２固定部材に、前記磁気光学素子が固定されていることを特徴とする請求項４に記載の電流検出装置。
【請求項６】
前記固定部材が、第１固定部材と、第１固定部材に対して所定の位置関係で固定されている第２固定部材を備えており、
前記第１固定部材に、前記光ファイバが固定されており、
前記第２固定部材に、前記レンズと前記磁気光学素子が固定されていることを特徴とする請求項４に記載の電流検出装置。
【請求項７】
前記光ファイバが、前記磁気光学素子に向かう光が通過する第１芯と前記磁気光学素子からの光が通過する第２芯を備えている１本の光ファイバであることを特徴とする請求項１から６のいずれかの１項に記載の電流検出装置。
【請求項８】
前記磁気光学素子に向かう光と前記磁気光学素子からの光が共通のレンズを通過することを特徴とする請求項１から７のいずれかの１項に記載の電流検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導体に流れている電流値を検出するための電流検出ヘッドが固定されている導体に関する。また、電流検出ヘッドが固定されている導体を製造するために用いる電流検出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
導体に流れている電流値を検出するために、磁気光学効果を利用する技術が開発されている。特許文献１には、導体の外面に磁気光学素子を固定し、磁気光学素子と光源の間を入射用光ファイバで接続し、磁気光学素子と受光装置の間を射出用光ファイバで接続した電流検出装置が開示されている。特許文献１の技術では、受光装置に導かれた光の強度を測定する。導体に電流が流れると磁気光学素子に磁界が作用し、磁気光学素子に磁界が作用すると磁気光学素子を透過する光にファラデー効果が作用して偏光面が回転し、偏光面が回転すると受光装置で受光する光の強度が変化する。導体を流れている電流値が磁界強度を決め、磁界強度が回転角を決め、回転角が受光装置で受光する光の強度を決定することから、特許文献１の電流検出装置では、受光装置で測定した光の強度から導体を流れている電流値を検出する。【０００３】
特許文献２には、入射用光ファイバ、ロッドレンズ、全反射ミラー、偏光子、磁気光学素子、検出子、全反射ミラー、射出用光ファイバを備えた電流検出ヘッドが開示されている。特許文献２の技術では、導体の周りを一巡するコアにギャップを設け、そのギャップ内に上記した電流検出ヘッドを設置する。特許文献２の技術では、電流検出ヘッドを小型することでギャップの間隔を狭くし、コアに生じる磁界強度を高め、電流検出感度を増大する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６０−２０２３６５号公報
【特許文献２】特開平９−１４５８０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ファラデー効果ないし磁気カー効果等の磁気光学現象を利用して導体を流れている電流値を検出する場合、導体に対する磁気光学素子の位置、導体に対する磁気光学素子の方位（例えば導体に対する磁気光学素子の磁化容易軸の方位）、磁気光学素子に対する入射用光ファイバと入射用レンズの位置、磁気光学素子に対する射出用光ファイバと射出用レンズの位置等が、検出値と電流値の関係に大きく影響する。電流検出ヘッドを固定した導体を量産する場合、前記した位置関係等が安定しないと、導体毎に検出特性（検出値と電流値の関係をいう）が大きくばらついてしまう。検出特性が安定した導体を量産することができない。【０００６】
特許文献１は、導体に磁気光学素子を固定し、磁気光学素子に入射用光ファイバの一端と射出用光ファイバの一端を固定するとしか説明しておらず、前段落で説明した位置関係の重要性を認識していない。特許文献１では、例えば入射用光ファイバと射出用光ファイバの位置関係がずれてしまうと受光装置で測定した光の強度と導体を流れている電流値の関係が大きくずれてしまうという問題を認識しておらず、それに対する対策を講じていない。
特許文献２によると、入射用光ファイバから射出用光ファイバまでの光学系については部材同士の位置関係が所望の位置関係に調整された状態で固定される。しかしながら特許文献２では、導体に対する電流検出ヘッドの位置と方位が位置決めされない。特許文献２は、導体に対する磁気光学素子の位置と方位が位置決めされないと、受光装置で測定した光の強度と導体を流れている電流値の関係が大きくずれてしまうという問題を認識しておらず、それに対する対策を講じていない。【０００７】
本発明では、電流検出ヘッドを組み込んだ導体を量産する場合に、検出値と電流値の関係にばらつきが少ない導体群を量産することができる技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本出願は、電流検出ヘッドが固定されている導体に関する。電流検出ヘッドは、レンズと磁気光学素子と固定部材を備えており、固定部材に、レンズと磁気光学素子と導体の各々が固定されている。その状態で、光をレンズを経て磁気光学素子に導くとともに磁気光学素子によって磁気光学効果を受けた光をレンズに導く光学系が形成されている。
ここでいうレンズは、入射用と射出用に区分されていてもよいし、入射用と射出用を兼用するものであってもよい。磁気光学素子は、磁界強度に依存して変化する光学現象が生じる材料であればよく、ファラデー効果を発揮するものであってもよいし、磁気カー効果を発揮するものであってもよい。固定部材は、一体の部材で構成されていてもよいし、相互に位置決め形状が形成されているために組み合わせた際には一定の相対的位置関係となることが保証されている２以上の部材で構成されていてもよい。【０００９】
本出願の導体では、固定部材にレンズと磁気光学素子と導体の各々が固定されていることから、導体に対する磁気光学素子の位置、導体に対する磁気光学素子の方位（例えば、導体に対する磁化容易軸の方位）、磁気光学素子に対する入射用レンズの位置、磁気光学素子に対する射出用レンズの位置等、検出結果に大きく影響する位置関係のすべてが一定の位置関係に調整されて固定される。検出値と電流値の関係においてばらつきが小さい導体を量産することができる。【００１０】
固定部材に固定部材を導体に固定する固定部を形成しておくとともに、固定部材と導体の間に両者の位置関係を一定位置に位置決めする位置決め形状を形成しておけば、固定部材を導体に固定することで、電流検出ヘッドが所定位置に固定されている導体を量産することができる。【００１１】
固定部材に光ファイバの一端が固定されており、電流検出ヘッドから光ファイバが伸びていてもよい。この場合、電流検出ヘッドと光源あるいは電流検出ヘッドと受光装置との接続作業が簡単化される。なお、レンズとミラーと空間によって導光路を確保することができる。光ファイバに代えてレンズとミラー等で構成される導光路を利用してもよい。光ファイバの利用は不可欠でない。【００１２】
導体が導体板である場合には、導体板の一面に固定部材が固定されることが好ましい。その場合、磁気光学素子が磁気カー効果を発揮するものであり、レンズを通過した光を磁気光学素子で反射し、その際に磁気カー効果を受けた光をレンズに戻す光学系が形成されていることが好ましい。この場合も、入射用レンズと射出用レンズが別に設けられていてもよいし、入射用と射出用を兼用するレンズを用いるものであってもよい。【００１３】
磁気光学素子で反射する光学系を利用すると、導体板の一面に固定部材を固定することで導体板に対する光学系の位置関係が予定の位置関係に調整されて固定された状態を得ることができる。検出値と電流値の関係が安定している導体群を簡単に量産することができる。【００１４】
光ファイバが伸びている電流検出ヘッドが導体に固定されている場合、光ファイバの端部を基板に固定して用いることが好ましい。その基板は、固定部材が固定されている導体板の一面に向かいあう位置に配置されている。その基板に貫通孔を形成しておくと、その貫通孔に光ファイバの端部を挿入して固定することができる。また、基板に光源と受光装置を配置することができる。そのために基板によって、光ファイバと光源の位置関係が調整され、光ファイバと受光装置の位置関係が調整される。基板を利用して、入射用光ファイバの端部に偏光した光を入射する光源と、射出用光ファイバの端部から射出した偏光の回転角に対応する電気信号を出力する受光装置を配置しておくことができる。なお受光装置は、磁気カー効果によって生じた回転角に対応する電気信号を出力するものであればよく、磁気カー効果を受けた偏光を偏光フィルタに通してから強度を検出するものであってもよいし、直交する２方向の偏光成分の強度比あるいは強度差を検出するものであってもよい。【００１５】
一体の部材で固定部材を構成してもよいが、第１固定部材と第２固定部材を組み合わせて固定部材を構成してもよい。この場合、第１固定部材と第２固定部材の双方に、両者を組み合わせた際には一定の相対的位置関係となることを保証する位置決め形状を形成しておく。
第１固定部材と第２固定部材を組み合わせて固定部材を構成する場合、第１固定部材に光ファイバとレンズが固定されており、第２固定部材に磁気光学素子と導体が固定されている構成としてもよいし、第１固定部材に光ファイバが固定されており、第２固定部材にレンズと磁気光学素子と導体が固定されている構成としてもよい。
上記構成によると、「光ファイバとレンズ」または「光ファイバ」が固定されている第１固定部材と、「レンズと磁気光学素子と導体」または「磁気光学素子と導体」が固定されている第２固定部材の製造が容易化され、ひいては固定部材の製造が容易化される。
第２固定部材に、導体との位置関係を一定位置に位置決めする形状を形成しておけば、第２固定部材を導体に固定することで、電流検出ヘッドが所定位置に固定されている導体を量産することができる。【００１６】
光ファイバを利用すると導光路を簡単に確保することができる。この場合、入射用の光ファイバと射出用の光ファイバを別々に用意してもよいし、双方向の光ファイバを利用してもよい。また磁気光学素子に向かう光が通過する第１芯と、磁気光学素子からの光が通過する第２芯を備えた一本の光ファイバであってもよい。後者の場合、光ファイバの本数が一本ですむ。
同様に、磁気光学素子に向かう光が通過するレンズと磁気光学素子からの光が通過するレンズを別々に用意してもよいし、双方向のレンズを利用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施例１の電流検出ヘッドが固定されている導体の分解図。
【図２】図１の電流検出ヘッドの拡大図。
【図３】図１の電流検出ヘッドに接続する光源と受光装置の構成を示す図。
【図４】導体と磁気光学素子と光路の位置関係と方位関係を説明する図。
【図５】実施例２の電流検出ヘッドが固定されている導体の分解図。
【図６】実施例２の電流検出ヘッドが固定されているときの検出値と電流値の関係を示す図。
【図７】従来技術の電流検出ヘッドが固定されているときの検出値と電流値の関係を示す図。
【図８】実施例３の電流検出ヘッドが固定されている導体の分解図。
【図９】実施例４の電流検出ヘッドを示す図。
【図１０】実施例５の電流検出ヘッドを示す図。
【図１１】実施例６の電流検出ヘッドを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１は、第１実施例の電流検出ヘッド７０を示している。参照符号２２は、樹脂で一体成形されている固定部材であり、磁気光学素子２８と、レンズ２４と、レンズ２４に光を導く入射用光ファイバ１４の下端と、レンズ２４からの光を導く射出用光ファイバ１６の下端が、固定部材２２に固定されている。また、固定部材２２の所定位置には取付け穴３０，３２が形成されており、導体板３４の所定位置にも取付け穴３６，３８が形成されている。取付け穴３０，３６にボルト１８を通してナット４０を締め、取付け穴３２，３８にボルト２０を通してナット４２を締めれば、導体板３４に固定部材２２が固定される。固定部材２２の取付け穴３０と導体板３４の取付け穴３６とボルト１８によって、取付け穴３０の導体板３４に対する位置が固定され、固定部材２２の取付け穴３２と導体板３４の取付け穴３８とボルト２０によって、取付け穴３２の導体板３４に対する位置が固定される。固定部材２２の２箇所が導体板３４に対して位置決めされるために、導体板３４に対する固定部材２２の位置と方位が一定に位置決めされる。固定部材２２の取付け穴３０，３２と、導体板３４の取付け穴３６，３８によって、固定部材２２と導体板３４の相対位置関係が一定位置に位置決めされる。固定部材２２に形成されている取付け穴３０，３２と、取付け穴３０，３２が形成されているフランジ部が、固定部材２２を導体板３４に固定する固定部となっている。
入射用光ファイバ１４の下端とレンズ２４と磁気光学素子２８と射出用光ファイバ１６の下端と導体板３４の全部が固定部材２２によって位置決めされて固定されていることから、入射用光ファイバ１４の下端とレンズ２４と磁気光学素子２８と射出用光ファイバ１６の下端と導体板３４の全部の相対的位置関係が常に一定に調整されて固定される。
【００１９】
導体板３４に向かい合う位置に基板６が配置されている。基板６には貫通穴８，１０が形成されており、貫通穴８には入射用光ファイバ１４の上端が挿入されて固定され、貫通穴１０には射出用光ファイバ１６の上端が挿入されて固定されている。参照番号１２は、入射用光ファイバ１４の上端と射出用光ファイバ１６の上端を固定しておく固定部材であり、基板６に位置決めされる。貫通穴８の上部には、偏光を入射用光ファイバ１４の上端に入射する光源２が固定されている。貫通穴１０の上部には、射出用光ファイバ１６の上端から射出する偏光を受け入れる受光装置４が固定されている。光源２と受光装置４が基板６によって固定されている。
【００２０】
光源２の詳細が図３に示されている。光源２は、半導体レーザ５２と偏光プリズム５４とレンズ５６で構成されており、偏光プリズム５４で偏光されたレーザ光を入射用光ファイバ１４に入力する。受光装置４は、レンズ５８とビームスプリッタ６０と第１フォトダイオード６２と第２フォトダイオード６４とオペアンプ６６で構成されている。ビームスプリッタ６０は、光を偏光方向によって２分する機能を備えており、第１フォトダイオード６２に入射する光の偏光面と第２フォトダイオード６４に入射する光の偏光面は直交している。オペアンプ６６で第１偏光面の光強度と第２偏光面の光強度の差を増幅した値は偏光面の回転角に対応して変化する。
【００２１】
図１の構造では、電流検出ヘッド７０が固定されている導体板３４を量産する。電流検出ヘッド７０から光ファイバ１４，１６が伸びている。その光ファイバ１４，１６の上端を基板６に固定する。これによって、光源２と磁気光学素子２８の間が光ファイバ１４で接続され、磁気光学素子２８と受光装置４の間が光ファイバ１６で接続され、電流検出装置が完成する。
【００２２】
図１の電流検出装置の作用を説明する。半導体レーザ５２がレーザ光を発光する。そのレーザ光が偏光プリズム５４を通過することによって、特定の偏光面内で偏光している光成分のみがレンズ５６を介して光ファイバ１４に入射される。図２に示すように、光ファイバ１４の下端に到着した偏光はレンズ２４によって斜め方向に光路を変え、磁気光学素子２８の上面に至る。磁気光学素子２８の上面に至った偏光は、磁気光学素子２８の上面で反射される。
【００２３】
図１の導体板は紙面垂直方向に長く、紙面垂直方向に電流Ｉが流れている。図１は、図４のA−A線断面図に相当する。そのために、磁気光学素子２８には、図１と図２の左右方向の磁界Ｈが作用している。磁界Ｈが作用している磁気光学素子２８の上面で偏光が反射すると、磁気カー効果（この場合は縦カー効果）が生じる。磁気光学素子２８には、磁気カー効果を発揮する結晶が選択されている。磁気カー効果が生じるために、磁気光学素子２８の上面で反射された偏光の偏光面が回転する。すなわち、入射光４６の偏光面と、反射光４８の偏光面は同一でなく、回転している。
【００２４】
磁気光学素子２８の上面で反射された光は、レンズ２４と射出用光ファイバ１６とレンズ５８とビームスプリッタ６０を経て、第１フォトダイオード６２と第２フォトダイオード６４に入射する。第１フォトダイオード６２で検出される第１偏光面の光強度と、第２フォトダイオード６４で検出される第２偏光面（第１偏光面に直交している）の光強度の差を増幅した値は、磁気カー効果によって生じた偏光面の回転角に依存して変化する。オペアンプ６６の出力から、磁気カー効果によって生じた偏光面の回転角、その回転角をもたらした磁気光学素子２８に作用している磁界Ｈの強度、その磁界強度をもたらした電流Ｉの大きさが検出される。
【００２５】
図１から図３の電流検出ヘッド７０付きの導体板３４を量産した場合に、検出値と電流値の関係が安定している導体板３４を量産するためには、電流検出に関与する部材同士の相対的位置関係と相対的方位関係が一定の関係に調整されて固定されていることが重要である。
【００２６】
図４に示すように、導体板３４に電流Ｉが流れている場合に生じる磁界Ｈの強度は、導体板３４に対する位置によって変化する。そこで、導体板３４と磁気光学素子２８の相対的位置関係が重要である。磁気光学素子２８は磁化容易軸Ｊを備えている。磁気カー効果によって生じる偏光面の回転角は、磁化容易軸Ｊと磁界Ｈがなす角度θ１によっても影響を受ける。そこで、磁気光学素子２８の磁化容易軸Ｊと導体板３４とがなす角度θ１も重要である。磁気カー効果によって生じる偏光面の回転角は、磁化容易軸Ｊと入射光４６がなす角（水平方向の角度θ２と、垂直方向の角度θ３）によっても影響を受ける。光ファイバ１４とレンズ２４と磁気光学素子２８と光ファイバ１６の相対的位置関係が重要である。
【００２７】
図１から図３の電流検出装置では、固定部材２２に光ファイバ１４とレンズ２４と磁気光学素子２８と光ファイバ１６と導体板３４の各々が固定されるために、光ファイバ１４とレンズ２４と磁気光学素子２８と光ファイバ１６と導体板３４の相対的位置関係と相対的方位関係が一定の関係に調整されて固定される。本実施例では、電流検出に関与する全部材１４，２４，２８，１６，３４が固定部材２２に固定されているために、電流検出に関与する全部材１４，２４，２８，１６，３４の相対的位置関係と方位関係（角度関係）が一定の関係に調整されて固定される。図１から図３の電流検出装置によると、検出値と電流値の関係が安定している電流検出ヘッド７０付きの導体板３４を量産することができる。
【００２８】
また基板６によって、光ファイバ１４の上端と半導体レーザ５２と偏光プリズム５４とレンズ５６の相対的位置関係と相対的角度関係が一定の関係に調整されて固定される。さらに、基板６によって、光ファイバ１６の上端とレンズ５８とビームスプリッタ６０と第１フォトダイオード６２と第２フォトダイオード６４の相対的位置関係と相対的角度関係が一定の関係に調整されて固定される。これらの要素もまた、検出値と電流値の関係が安定している電流検出装置付きの導体板３４を量産することに寄与する。
【００２９】
固定部材２２は、図１に示すように一個の物体で形成されていてもよいし、図５に示すように２個の物体で形成されていてもよい。図５の場合、第１固定部材２２ａに光ファイバ１４，１６が固定され、第２固定部材２２ｆにレンズ２４と磁気光学素子２８が固定されている場合を例示している。第１固定部材２２ａには一対の凹所２２ｂ，２２ｃが形成されており、第２固定部材２２ｂには一対の係止爪２２ｄ，２２ｅが形成されている。第１固定部材２２ａと第２固定部材２２ｂを組み合わせると、係止爪２２ｄが凹所２２ｂとかみ合い、係止爪２２ｅが凹所２２ｃとかみ合った状態で、第１固定部材２２ａと第２固定部材２２ｂが固定される。その状態では、第１固定部材２２ａと第２固定部材２２ｂの相対的位置関係が一定の関係に調整されて固定されている。第１固定部材２２ａと第２固定部材２２ｂが組み合わせされると、第１固定部材２２ａと第２固定部材２２ｂの相対的位置関係が安定し、光ファイバ１４の下端とレンズ２４と磁気光学素子２８と光ファイバ１６の下端の相対的位置関係と相対的角度関係が一定の関係に調整されて固定される。
第２固定部材２２ｆには、導体板３４と位置決めして固定するフランジ２２ｇと、取付け穴３０，３２が形成されている。第２固定部材２２ｆに形成されているフランジ２２gと取付け穴３０，３２が、第２固定部材２２ｆを導体板３４に固定する固定部となっている。
取付け穴３０と取付け穴３６にボルト１８を通してナット４０を締め、取付け穴３２と取付け穴３８にボルト２０を通してナット４２を締めれば、光ファイバ１４の下端とレンズ２４と磁気光学素子２８と光ファイバ１６の下端と導体板３４の相対的位置関係と相対的角度関係が一定の関係に調整されて固定される。
本実施例では、導体板３４に凹所３４ａが形成されており、磁気光学素子２８が導体板３４の厚みの範囲内に収容される。磁気光学素子２８に作用する磁界の強度が増大し、電流検出感度が増大する。図１と図５に例示するように、レンズ２４の形状は、特性に合わせて選択される。
【００３０】
図６は、図５の電流検出ヘッド７２を固定した導体板３４を量産した場合の、検出値（オペアンプ６６の値）と真の電流値の関係のばらつき範囲を示している。ばらつき範囲は狭い。図７は、導体板に磁気光学素子を固定し、磁気光学素子に対してレンズを位置決めし、レンズに対して光ファイバを位置決めする方法で電流検出ヘッド付きの導体板を量産した場合の検出値と電流値の関係のばらつき範囲を示している。ばらつき範囲が広い。従来の技術で電流検出ヘッド付きの導体板を量産すると、量産品の間で検出値と電流値の関係が大きくばらついてしまう。
【００３１】
図８は第３実施例を示している。第１固定部材２２ｊに、光ファイバ１４，１６と、レンズ２４が固定され、第２固定部材２２ｏに磁気光学素子２８が固定されている。レンズ２４は、図８に示すように第１固定部材２２ｊに固定してもよいし、図５に示すように第２固定部材２２ｆに固定してもよい。
【００３２】
図９は、導体板３４と磁気光学素子２８とレンズ２４と光ファイバ１５の下端を、樹脂材でインサート形成して製造した実施例を示している。固定部材２２ｒによって、導体板３４と磁気光学素子２８とレンズ２４と光ファイバ１５の下端の全部の相対的位置関係が一定に調整された状態で固定されている。検出値と電流値の関係が安定している導体板３４を量産することができる。導体板３４には開口３４ｂが形成されており、固定部材２２ｒが導体板３４から分離することがない。
図９の場合、磁気光学素子２８に向かう光をガイドするコア（第１芯）１４ａと、磁気光学素子２８で反射した光をガイドするコア（第２芯）１６ａが、一本の光ファイバ１５内に収容されている。一本の光ファイバ１５でよいことから接続作業等が簡単化される。
【００３３】
図１０は、導体板３４の一面に、導体板３４と磁気光学素子２８とレンズ２４と光ファイバ１４の下端と光ファイバ１６の下端を、樹脂材でインサート形成して製造した実施例を示している。導体板３４に斜めに延びる溝３４ｃ、３４ｄを形成しておくと、導体板３４から固定部材２２ｓが分離することがない。
【００３４】
図１１は、磁気光学素子２８とレンズ２４と光ファイバ１４の下端と光ファイバ１６の下端を樹脂材でインサート形成して製造した固定部材２２ｔを導体板３４に固定して製造した実施例を示している。この実施例では、導体板３４に形成しておく穴３４ｅの径と、固定部材２２ｔの下面に設けておく筒部の径を管理し、両者が密着する関係にしておく。固定部材２２ｔの筒部を導体板３４の穴３４ｅに挿入することで、導体板３４に対する固定部材２２ｔの位置を正確に位置決めする。また、ねじ１８ａ，２０ａによって、導体板３４に対する固定部材２２ｔの取付角度を正確に一定角度に調整する。
【００３５】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は、複数の目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００３６】
２：光源
４：受光装置
６：基板
８：貫通穴
１０：貫通穴
１２：上端固定部材
１４：入射用光ファイバ
１６：射出用光ファイバ
２２：固定部材
２２ａ，２２ｊ：第１固定部材
２２ｆ、２２ｏ：第２固定部材
２４：レンズ
２６：空間
２８：磁気光学素子
３４：導体板
【図１】
0005598538.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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