(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクルフレームの外側面から内側面へ貫通する１以上の気圧調整孔を有し、
前記気圧調整孔は、その内周面の表面における接線がペリクルフレーム中心断面の垂線となす角度θが２°以上である断面形状を有し、
前記気圧調整孔の内周面がペリクルフレーム内側に連続して開いた形状であって、ペリクルフレームの外側から内側に向かう途中で角度θが大きくなった部分変形円錐形状であるか、又は、ペリクルフレームの外側から内側に向かって角度θが連続的に大きくなるように開いたラッパ状の形状であり、
かつ、前記気圧調整孔はその内周面に粘着剤層を有することを特徴とする
リソグラフィ用ペリクル。
【請求項２】
前記角度θが５°〜４５°である、請求項１に記載のリソグラフィ用ペリクル。
【請求項３】
ペリクルフレームの外側面から内側面へ貫通する１以上の気圧調整孔を有し、
前記気圧調整孔は、その内周面の表面における接線がペリクルフレーム中心断面の垂線となす角度θが２°以上である断面形状を有し、
前記気圧調整孔の内周面がペリクルフレーム内側に連続して開いた形状であって、ペリクルフレームの外側から内側に向かう途中で角度θが大きくなった部分変形円錐形状であるか、又は、ペリクルフレームの外側から内側に向かって角度θが連続的に大きくなるように開いたラッパ状の形状であるペリクルフレームを作成する工程、及び、
前記ペリクルフレームの内側から前記ペリクルフレームの内側面及び気圧調整孔の内周面に粘着剤組成物をスプレー塗布する工程、を含むことを特徴とする
リソグラフィ用ペリクルの製造方法。
【請求項４】
前記角度θが５°〜４５°である、請求項３に記載のリソグラフィ用ペリクルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置又は液晶表示板を製造する際のリソグラフィ用マスクのゴミよけとして使用される、リソグラフィ用ペリクルに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体製造又は液晶表示板などの製造においては、半導体ウエハー又は液晶用原板に光を照射してパターン作製するが、この場合に用いる露光原版にゴミが付着していると、このゴミが光を吸収したり、光を曲げてしまうために、転写したパターンが変形したり、エッジががさついたものとなるほか、下地が黒く汚れたりして、寸法、品質、外観などが損なわれるという問題があった。なお、本発明において、「露光原版」とは、リソグラフィ用マスク及びレチクルの総称である。
【０００３】
これらの作業は通常クリーンルームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光原版を常に清浄に保つことが難しいので、露光原版の表面にゴミよけのための露光用の光をよく通過させるペリクルを貼着する方法が取られている。
この場合、ゴミは露光原版の表面上には直接付着せず、ペリクル膜上に付着するため、リソグラフィ時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、ペリクル膜上のゴミは転写に無関係となる。
【０００４】
ペリクルの基本的な構成は、ペリクルフレーム及びこれに張設したペリクル膜からなる。ペリクル膜は、露光に用いる光（ｇ線、ｉ線、２４８ｎｍ、１９３ｎｍ、１５７ｎｍ等）をよく透過させるニトロセルロース、酢酸セルロース、フッ素系ポリマーなどからなる。ペリクルフレームは、黒色アルマイト処理等を施したＡ７０７５、Ａ６０６１、Ａ５０５２などのアルミニウム合金、ステンレス、ポリエチレンなどからなる。ペリクルフレームの上部にペリクル膜の良溶媒を塗布し、ペリクル膜を風乾して接着する（特許文献１参照）か、アクリル樹脂、エポキシ樹脂やフッ素樹脂などの接着剤で接着する（特許文献２〜４参照）。更に、ペリクルフレームの下部には露光原版が装着されるために、ポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂又はシリコーン樹脂等からなる粘着層、及び粘着層の保護を目的としたレチクル粘着剤保護用ライナーを設ける。
【０００５】
ペリクルは、露光原版の表面に形成されたパターン領域を囲むように設置される。ペリクルは、露光原版上にゴミが付着することを防止するために設けられるものであるから、このパターン領域とペリクル外部とはペリクル外部の塵埃がパターン面に付着しないように隔離されている。
【０００６】
本出願人は、気圧調整孔に設けられるフィルターを粘着剤により湿潤したフィルター付きペリクルを開示している（特許文献５参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開昭５８−２１９０２３号公報
【特許文献２】米国特許第４８６１４０２号明細書
【特許文献３】特公昭６３−２７７０７号公報
【特許文献４】特許第３０８９１５３号公報
【特許文献５】特開平９−６８７９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
近年、ＬＳＩのデザインルールはサブクオーターミクロンへと微細化が進んでおり、それに伴い、異物の管理がさらに厳しくなってきている。またペリクル貼り付けによって生じる閉空間をクリーンエアーに置換して露光するような要求もあり、フレームの気圧調整孔の役割は一段と重要になってきている。
【０００９】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものである。すなわち、本発明が解決しようとする課題は、気圧調整孔から発生する、又はこれを通過する可能性のある異物を低減し得るリソグラフィ用ペリクルを提供することである。
【００１０】
上記の課題は、以下に記載の手段＜１＞及び＜４＞により解決された。本発明の好ましい実施態様である＜２＞及び＜３＞と共に列記する。
＜１＞ペリクルフレームに設けられた１以上の気圧調整孔の内周面が前記ペリクルフレーム内側に対して開いた形状を有することを特徴とするリソグラフィ用ペリクル、
＜２＞前記気圧調整孔の内周面に粘着剤層を有する、＜１＞に記載のリソグラフィ用ペリクル、
＜３＞前記気圧調整孔の内周面が前記ペリクルフレーム内側に連続して開いた形状である、＜１＞又は＜２＞に記載のリソグラフィ用ペリクル、
＜４＞＜１＞〜＜３＞いずれか１つに記載のリソグラフィ用ペリクルを作成する工程、及び、ペリクルフレーム内側から粘着剤組成物をスプレー塗布する工程、を含むことを特徴とするリソグラフィ用ペリクルの製造方法。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ペリクルフレームに設けられた１以上の気圧調整孔の内周面がペリクルフレーム内側に向かって開く形状を有することにより、気圧調整孔の内周面に効率的且つより均一に粘着剤層を形成することが可能になり、気圧変動に伴う異物の増加を抑制することができた。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係るリソグラフィ用ペリクルの全体構成を模式的に示す概略斜視図である。
【図２】本発明に係るリソグラフィ用ペリクルの一実施態様におけるペリクルフレームの気圧調整孔の周辺を模式的に示す概略部分拡大図である。（ａ）はペリクルフレームの内側から見た気圧調整孔付近の正面図を示し、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面における気圧調整孔の断面図を示し、また、（ｃ）はペリクルフレームの外側から見た気圧調整孔周辺の正面図を示す。以下の図３〜７においても同様に、（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、内側正面図、断面図及び外側正面図を示す。
【図３】本発明に係るリソグラフィ用ペリクルの他の実施形態におけるペリクルフレームの気圧調整孔の周辺を模式的に示す概略部分拡大図である。
【図４】本発明に係るリソグラフィ用ペリクルの他の実施形態におけるペリクルフレームの気圧調整孔の周辺を模式的に示す概略部分拡大図である。
【図５】本発明に係るリソグラフィ用ペリクルの他の実施形態におけるペリクルフレームの気圧調整孔の周辺を模式的に示す概略部分拡大図である。
【図６】本発明に係るリソグラフィ用ペリクルの他の実施形態におけるペリクルフレームの気圧調整孔の周辺を模式的に示す概略部分拡大図である。気圧調整孔の内周面の表面における接線がペリクルフレーム中心断面の垂線となす角度（開口角）θを示している。
【図７】従来のリソグラフィ用ペリクルのペリクルフレームの気圧調整孔の周辺を模式的に示す概略部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明のリソグラフィ用ペリクルは、ペリクルフレームに設けられた１以上の気圧調整孔の内周面がペリクルフレーム内側に対して開いた形状であることを特徴とする。ペリクルフレーム厚さの９０％以上が開いた形状であることが好ましく、ペリクルフレーム厚さの全長で開いた形状であることがより好ましい。ここで「開いた形状」とは、気圧調整孔の内周面の表面における接線がペリクルフレーム中心断面の垂線となす角度θが２°以上であることをいい、５°以上であることが好ましい。
以下、リソグラフィ用ペリクルを単に「ペリクル」ともいい、ペリクルフレームを単に「フレーム」ともいう。
【００１４】
本発明に係るリソグラフィ用ペリクルの基本的構成を図１を用いて説明する。
図１は、本発明のリソグラフィ用ペリクルの基本的構成例を模式的に示す概略図である。図１に示すように、本発明によるリソグラフィ用ペリクル１０は、例えば略矩形状の枠体であるペリクルフレーム３と、ペリクルフレーム３の上端面に貼り付け用接着層（不図示）を介して張設されたペリクル膜１とを有している。
【００１５】
ペリクルフレーム３の下端面には、ペリクル１０を露光原版（マスク基板又はレチクル）５に粘着させるための粘着層（不図示）が形成されている。粘着層の下端面には、ライナー（不図示）が剥離可能に貼着されている。このライナーは、リソグラフィ用ペリクル１０を露光原版５に粘着させる際に剥離されるものである。
【００１６】
また、ペリクルフレーム３には、その外側面から内側面へ貫通する１以上の気圧調整孔（通気口）６が設けられている。気圧調整孔６の外側面には、好ましくは、気圧調整孔６の開口部を覆うように、異物を除去するための除塵用フィルター７が設けられている。
【００１７】
また、ペリクルフレーム３の内側面には、粘着剤による樹脂コーティングを施し、内側面粘着剤層（不図示）を形成することが好ましい。
【００１８】
これらペリクル構成部材の大きさは通常のペリクル、例えば半導体リソグラフィ用ペリクル、大型液晶表示板製造リソグラフィ工程用ペリクル等と同様であり、また、その材質も公知の材質を使用することができる。
ペリクル膜１の種類は、露光波長の光線を透過する限り特に制限はなく、例えば従来エキシマレーザー用に使用されている、非晶質フッ素ポリマー等が用いられる。非晶質フッ素ポリマーの例としては、サイトップ（旭硝子（株）製商品名）、テフロン（登録商標）ＡＦ（デュポン社製商品名）等が挙げられる。これらのポリマーは、そのペリクル膜作製時に必要に応じて溶媒に溶解して使用してもよく、例えばフッ素系溶媒などで適宜溶解することができる。
【００１９】
以下に本発明に係るペリクルのいくつかの実施形態を図２〜６により説明する。
本発明のペリクルは、フレームに設けられている１以上の気圧調整孔の内周面が、従来のペリクルにおけるように、円筒形状のまっすぐなものではなく（図７参照）、少なくとも気圧調整孔の一部において、フレーム内側に向かって開いている形状であることを特徴とする。
本発明のペリクルに設けられた気圧調整孔の内周面の一例は、図２に示すように、フレーム厚さの全長で、一様に連続してペリクル内側に開いた部分円錐形状でもよい。
本発明のペリクルに設けられた気圧調整孔の他の例は、図３に示すように、外側から内側に向かう途中でその開き角度が大きくなった部分変形円錐形状でもよい。
本発明のペリクルに設けられた気圧調整孔のさらに他の例は、図４に示すように、ペリクルフレーム側面に平行な断面形状が矩形である部分角錐形状であってもよい。
また、図５に示すように、気圧調整孔の形状は外側から最初はまっすぐで途中から内側に向かって開くような、円筒に部分円錐形状を接続したような、形状の切り替え部分を有してもよい。円錐部分は短い方が好ましく、フレーム厚さの１０％未満であることが好ましく、円錐部分を有しないことがより好ましい。
また、図６に示すように、気圧調整孔の内周面が、フレームの外側から内側に向かって開口度θが連続的に大きくなるように開いた、ラッパ状の形状でもよい。
【００２０】
気圧調整孔の具体的な孔径は、フレーム外側面の最小孔径が０．５〜２．０ｍｍφであることが好ましく、フレーム内側面の最大孔径が０．８〜３．０ｍｍφであることが好ましい。孔径は、フィルターを貼り付けるフレーム外側面の余地を残して、かつ、フレームの必要強度を損なうことなく設定することが好ましい。
【００２１】
本発明のフレームに設けられた気圧調整孔は、その内周面に粘着剤層を有することが好ましい。この粘着剤層は、種々の方法で設けることができるが、粘着剤組成物をスプレー塗布することが好ましい。スプレー塗布した場合、気圧調整孔の内周面に比較的均一に粘着剤を塗布することができる。スプレー塗布の際に外側面から吸引してもよい。
また、粘着剤組成物としては、シリコーン粘着剤が好ましく、スプレー型がより好ましい。シリコーン粘着剤は、信越化学工業（株）製の市販品（ＫＲ３７００、Ｘ９２−１８３）等を使用できる。
【００２２】
上記の気圧調整孔は、ペリクルをマスクに貼り付けた後、ペリクル貼り付けによって生じた閉空間内をクリーンエアーにより置換する際に重要な役割を担う。また、ペリクルを貼り付けた後に、マスク基板を空輸等で運搬する際に生じる気圧変動を緩和する働きを奏する。
上記のように気圧調整孔が有効に作用した場合には、気圧調整孔を通して、ある程度の気体が通過する。その際に気圧調整孔内部にパーティクル等の異物が存在した場合には、ペリクル閉空間内部に異物を送り込んでしまう可能性がある。
【００２３】
従来からも上記のような不具合を防ぐため、ペリクルフレームの精密洗浄、エアーガンによるペリクルのブロー洗浄、ペリクル内周面への粘着剤コーティングなどを施している。しかしながら、ペリクルの気圧調整孔の代表的な大きさは、０．５ｍｍφである。このため、精密洗浄では気圧調整孔の内部に気体が残り十分な超音波洗浄が行えないこと、また、内周面の粘着剤コーティングでは気圧調整孔の直径が小さくフレーム内側からスプレー塗布しても、孔内に未塗工部分が残ってしまったりする不具合がある程度の割合で発生してしまう。
【００２４】
本発明のペリクルのように気圧調整孔の開口をペリクル内側に大きくすることにより、フレーム内側からスプレー等で粘着性樹脂組成物を塗布する場合に、気圧調整孔の内周面にも確実に塗布され、前記のような不具合発生の頻度を低下させることができる。
具体的には、気圧調整孔の断面が円形の場合には、フレーム内側面における直径を約２．０ｍｍとして、フレーム外側面における直径を約０．５ｍｍとして、気圧調整孔の内側面がフレーム内側に向かって連続して一様に拡大しているフレームが例示できる（図２参照）。また、気圧調整孔の断面が三角形又は矩形の場合、例えば正方形の場合（図４参照）でも、フレームの両側面で、一辺の長さを約０．５ｍｍから約２．０へ拡大した形状とすることができる。
【００２５】
気圧調整孔の断面形状が、円形の場合にも、正方形の場合にも、ペリクルフレーム内側から粘着性樹脂組成物をスプレー塗布したところ、気圧調整孔内の粘着剤の乾燥厚みは、平均１８μｍであり、内側面寄りの最も薄い部分でも約９μｍの厚さが確保することが容易である。
従来のフレーム（気圧調整孔の直径が０．５ｍｍφの円筒である。図７参照）に対して、上記と全く同様に粘着剤樹脂組成物をフレーム内側からスプレー塗布したところ、気圧調整孔内側面の粘着剤塗布厚みは、フレーム内側寄りの入り口付近で約５μｍであったのを最高に薄くなり、フレーム厚さ約２ｍｍの中央部付近では、１μｍ未満に減少する。さらにフレーム外側面の出口付近では気圧調整孔内に粘着剤樹脂はほとんど塗布されていなかった。
【００２６】
気圧調整孔内側面のフレーム内側に向かって開く傾斜が強くなればなるほど、フレーム内側から粘着剤樹脂組成物を塗布した場合、気圧調整孔の内周面に塗布される粘着剤樹脂厚みは、より均一になり、また厚くなる傾向がある。
【００２７】
気圧調整孔の内周面はフレーム内側に開く方向にある程度傾斜さえしていれば、途中で傾斜の異なる面の境界線があっても構わない。傾斜の平均角度は、少なくとも２°であることが好ましく、５°〜４５°であることがより好ましく、１０°〜２５°であることが特に好ましい。また、気圧調整孔の断面形状は、既述の通り、円形である必要はなく、三角形でも四角形でも六角形でもよい。
【実施例】
【００２８】
以下に実施例により具体的に本発明を例示して説明する。なお、実施例及び比較例における「マスク」は「露光原版」の例として記載したものであり、レチクルに対しても同様に適用できることはいうまでもない。また、以下の実施例６は参考例６と読み替えるものとする。
【００２９】
（実施例１）
ペリクルフレームとして、フレーム外寸１５０ｍｍ×１２２ｍｍ×５．８ｍｍ、フレーム厚さ２ｍｍの黒色アルマイトを施したジュラルミン製フレームを用意した。フレーム短辺中央部に気圧調整孔を１個設けた。気圧調整孔の形状は、部分円錐状とし、フレーム内側面側において、２ｍｍφであり、外側面側で０．５ｍｍφであり、外側に向かうに従って一定の割合で徐々に小さくなるように傾斜していた（図２参照）。言い換えると、この気圧調整孔はその内周面が、このフレーム内側に開いた形状を有する。この形状であることは、以下の実施例２〜６でも同様である。
【００３０】
このフレームを精密洗浄後、フレーム内側面の全面に信越化学工業（株）製のシリコーン粘着剤（商品名：ＫＲ３７００）をスプレー塗布し、内周面に粘着剤層を形成した。続いて、フレーム下端面に、信越化学工業（株）製のレチクル装着用シリコーン粘着剤（Ｘ４０−３１２２）をロボット塗布機で線引き塗布した。さらに反対側上端面に旭硝子（株）製のペリクル膜接着用フッ素樹脂（ＣＹＴＯＰ  ＣＴＸ−１０９Ａ）をロボットで線引き塗布し、高周波誘導加熱装置で加熱した。最後に気圧調整孔を覆うように気圧調整孔フィルターを貼り付け、ペリクルフレームを完成させた。
こうして完成させたフレームにあらかじめ準備したペリクル膜を貼り合わせペリクルを完成させた。
【００３１】
完成させたペリクルを１２インチシリコーンウェハに貼り合わせ後、圧力変動庫に保管し、常圧から０．５気圧への減圧及び０．５気圧から常圧への復圧の気圧変動サイクルを５回繰り返した。この際ペリクル膜保護のため常圧から０．５気圧までの減圧変動を１０分かけて実施した。
【００３２】
上記の気圧変動サイクルテスト終了後、１２インチシリコーンのペリクルで保護された内側部分の異物検査を実施したところ、異物の増加は見られなかった。
【００３３】
また、上記の検査終了後、ペリクルをシリコーンウェハから剥がし、フレーム気圧調整孔部分を切断して、気圧調整孔の内周面のシリコーン粘着剤の塗布厚を測定したところ、気圧調整孔内部は最も薄い部分で約９μｍの厚みであり、フレーム内側面は約１８μｍの厚みであった。気圧調整孔の内周面に粘着剤層が必要な厚さで塗布されていた。
【００３４】
（実施例２）
実施例１と同じジュラルミン製フレームを用意した。フレーム短辺中央部に気圧調整孔を１個設けた。気圧調整孔の形状は、部分円錐状とし、フレーム内側面側が３．０ｍｍφであり、外側面側が２．０ｍｍφであり、外側に向かうに従って一定の割合で徐々に小さくなるように傾斜するようにした以外は、全く実施例１と同様にして（図２参照）フレームを作製し、このフレームを用いて実施例１と同様にペリクルを完成させた。
【００３５】
実施例１と同じ気圧変動サイクルテスト終了後、１２インチシリコーンのペリクルで保護された内側部分の検査を実施したところ、異物の増加は見られなかった。
【００３６】
測定後ペリクルをシリコーンウェハから剥がし、実施例１と同様にしてシリコーン粘着剤の塗布厚を測定したところ、気圧調整孔内部は最も薄い部分で約１０μｍであり、フレーム内側面では約１８μｍの厚みであった。気圧調整孔の内周面に粘着剤層が必要な厚さで塗布されていた。
【００３７】
（実施例３）
実施例１と同じジュラルミン製フレームを用意した。フレーム短辺中央部に気圧調整孔を１個設けた。気圧調整孔の形状は、部分円錐状とし、フレーム内側面が０．８ｍｍφであり、外側面が０．５ｍｍφであり、外側に向かうに従って一定の割合で徐々に小さくなるように傾斜していた（図２参照）。このフレームを用いて実施例１と同様にペリクルを完成させた。
【００３８】
実施例１と同じ気圧変動サイクルテスト終了後、１２インチシリコーンのペリクルで保護された内側部分の検査を実施したところ、異物の増加は見られなかった。
【００３９】
実施例１と同様にして、フレーム内側面のシリコーン粘着剤層の塗布厚を測定したところ、気圧調整孔の内周面は最も薄い部分で約３μｍであり、フレーム内側面は約１８μｍであった。気圧調整孔の内周面に粘着剤層が必要な厚さで塗布されていた。
【００４０】
（実施例４）
実施例１と同じジュラルミン製フレームを用意した。フレーム短辺中央部に気圧調整孔を１個設けた。気圧調整孔の形状は、図３に示したように、フレーム内側面側が３．０ｍｍφであり、深さ１ｍｍの部分で１．５ｍｍφとなり、外側面側が１．０ｍｍφとなるように、内側面から深さ１ｍｍまで、及び、深さ１ｍｍから外側出口まで、それぞれ一定の割合で徐々に小さくなるように傾斜していた。すなわち、深さ１ｍｍの部分に面の境界部分が存在した。このフレームを用いた以外は、実施例１と同様にしてペリクルを完成させた。
【００４１】
実施例１と同じ気圧変動サイクルテスト終了後、１２インチシリコーンのペリクルで保護された内側部分の検査を実施したところ、異物の増加は見られなかった。
【００４２】
実施例１と同様にして気圧調整孔の内周面のシリコーン粘着剤層の塗布厚を測定したところ、塗布厚は、気圧調整孔の内部は最も薄い部分で約８μｍであり、フレーム内側面は約１８μｍであった。気圧調整孔の内周面に粘着剤層が必要な厚さで塗布されていた。
【００４３】
（実施例５）
実施例１と同じジュラルミン製フレームを用意した。フレーム短辺中央部に気圧調整孔を１個設けた。気圧調整孔の形状はフレーム内側面側が一辺２．０ｍｍの正方形であり、外側面側が一辺０．８ｍｍの正方形であり、外側に向かうに従って一定の割合で徐々に小さくなるように傾斜していた（図４参照）。このフレームを用いて実施例１と同様にペリクルを完成させた。
【００４４】
実施例１と同じ気圧変動サイクルテスト終了後、１２インチシリコーンのペリクルで保護された内側部分の検査を実施したところ、異物の増加は見られなかった。
【００４５】
実施例１と同様にして気圧調整孔の内周面のシリコーン粘着剤の塗布厚を測定したところ、気圧調整孔の内部で最も薄い部分で約８μｍであり、フレーム内側面は約１８μｍであった。気圧調整孔の内周面に粘着剤層が必要な厚さで塗布されていた。
【００４６】
（実施例６）
実施例１と同じジュラルミン製フレームを用意した。フレーム短辺中央部に気圧調整孔を１個設けた。気圧調整孔の形状はフレーム内側面側が２．０ｍｍφで深さ１ｍｍの部分で１．０ｍｍφ、外側面側が１．０ｍｍφ、内側面から深さ１ｍｍまで一定の割合で徐々に小さくなるように傾斜していた。深さ１ｍｍから外側面出口までは同じ径であった。すなわち、深さ１ｍｍの部分に面の境界部分が存在した（図５参照）。このフレームを用いて実施例１と同様にしてペリクルを完成させた。
【００４７】
実施例１と同じ気圧変動サイクルテスト終了後、１２インチシリコーンのペリクルで保護された内側部分の検査を実施したところ、気圧調整孔周辺に１個の異物が検出された。
【００４８】
実施例１と同様にしてシリコーン粘着剤の塗布厚を測定したところ、フレーム内側面は約１８μｍであったが、気圧調整用孔内部は内側面側入り口付近で０．３μｍ、薄かった外側面出口付近では約０．１μｍであった。気圧調整孔内部の粘着剤コーティングが深さ１ｍｍから外側面に至る部分で不十分だったため、気圧変動サイクル試験で発塵した可能性が高い。
【００４９】
（比較例１）
実施例１と同じジュラルミン製フレームを用意した。フレーム短辺中央部に気圧調整孔を１個設けた。気圧調整孔の形状は２．０ｍｍφでフレーム厚み２ｍｍを貫通するよう加工されていた（図７参照）。このフレームを用いて実施例１と同様にペリクルを完成させた。
【００５０】
実施例１と同じ気圧変動サイクルテスト終了後、１２インチシリコーンのペリクルで保護された内側部分の検査を実施したところ、気圧調整孔周辺に３個異物が検出された。
【００５１】
実施例１と同様にして気圧調整孔の内周面のシリコーン粘着剤の塗布厚を測定したところ、フレーム内側面は約１８μｍであったが、気圧調整孔の内側入り口付近で０．３μｍであり、外側出口付近では僅か０．０２μｍしかなかった。気圧調整孔の内周面に粘着剤層が必要な厚さで塗布されていなかったために、気圧変動サイクル試験で発塵した可能性が高い。
【００５２】
（比較例２）
実施例１と同じジュラルミン製フレームを用意した。フレーム短辺中央部に気圧調整孔を１個設けた。気圧調整孔の形状は、円筒形で０．５ｍｍφでフレーム厚み２ｍｍを貫通するよう加工されていた（図７参照）。このフレームを用いて実施例１と同様にペリクルを完成させた。
【００５３】
実施例１と同じ気圧変動サイクルテスト終了後、１２インチシリコーンのペリクルで保護された内側部分の検査を実施したところ、気圧調整孔周辺に３個異物が検出された。
【００５４】
測定後ペリクルをシリコーンウェハから剥がし、フレームの気圧調整孔部分を切断して、気圧調整孔内部のシリコーン粘着剤の塗布を測定したところ、フレーム内側面は約１８μｍの厚みであったが、気圧調整孔の内部は、内側面側入り口付近で約０．２μｍであり、外側面出口付近では僅か約０．０１μｍしかなかった。気圧調整孔の内周面に粘着剤層が必要な厚さで塗布されていなかったため、気圧変動サイクル試験で発塵した可能性が高い。
【００５５】
上記の検証実験に用いたペリクルは、そのフレームは高さがそれぞれ５．８ｍｍと３．５ｍｍの２種類のペリクルであったが、孔径の上限はフレーム強度から考えて、それぞれ３．０ｍｍφ、２ｍｍφ程度と考えられる。
これ以外のフレームサイズの場合、フレーム高さに応じて気圧調整孔の内面側孔径の上限を適宜設定することができる。同時に孔径の下限は、孔あけ加工の難易度及び安定性から考えて約０．３ｍｍφとすることが適当である。
【符号の説明】
【００５６】
１：ペリクル膜
３：ペリクルフレーム
５：露光原版
６：気圧調整孔
７：除塵用フィルター
１０：リソグラフィ用ペリクル
θ：開口角
【図１】
0005411666.tif 000002
【図２】
0005411666.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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