(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボディ内に収容されるとともにモータの回転運動に基づいて前記ボディ内を直線移動する移動体と、
前記移動体の直線運動に基づいて前記ボディに対し出没されるロッドと、
前記移動体に装着され、前記ボディに形成された溝に係合されることにより該移動体の回転運動を規制する回転規制部材と、を備えた電動アクチュエータであって、
前記移動体と前記ボディの内周面との間には、一部分にスリットを有するとともに自身で拡径可能なウェアリングが設けられ、
前記ウェアリングは、該ウェアリングにおいて離間する一端と他端とが近づくよう強制的に縮径された状態で前記移動体と前記ボディの内周面との間に設けられることにより該ウェアリングの外周面全体が前記ボディの内周面に押し付けられた状態とされ、前記移動体が移動中に偏心するときに拡径して該ウェアリングの外周面全体が前記ボディの内周面に押し付けられた状態を保持することで前記回転規制部材に偏荷重が加わることを抑制することを特徴とする電動アクチュエータ。
【請求項２】
前記ウェアリングの内周側には、前記ウェアリングを拡径させるための付勢部材がさらに設けられていることを特徴とする請求項１に記載の電動アクチュエータ。
【請求項３】
前記ウェアリングの外周面には切欠が複数設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の電動アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電動アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ワーク等を搬送する手段として、電動モータの回転運動をロッドの直線運動に変換して、ロッドを往復直線運動させるように構成された電動アクチュエータが広く用いられている。このような電動アクチュエータとしては、例えば、特許文献１に記載のものが知られている。
【０００３】
特許文献１のアクチュエータは、中空状をなすベースを備えるとともに、ベースの一端にはモータ用ケースが取り付けられている。モータ用ケース内にはサーボモータが収容されている。サーボモータは、モータ用ケースの内面に固着されたステータと、ステータの内周側に回転可能に配置されたロータとから構成されている。このロータの内周側には回転軸がロータと一体回転可能に設けられるとともに、回転軸にはボールネジが一体回転可能に連結されている。
【０００４】
また、ベース内には、円筒状のロッドがベースの軸方向へ移動可能に支持されている。このロッド内にはボールネジが挿入されるとともに、ボールネジにはボールナットが螺合されている。さらに、ボールナットとロッドとはロッド・ナット結合部材を介して連結されている。
【０００５】
ロッド・ナット結合部材の外周面における直交する４箇所（横断面方向からみて９０度の位置）には、回転規制部材が設けられている。回転規制部材は、細長板状の回転規制部材本体を備えるとともに、回転規制部材本体の両端には切欠部が形成されている。各切欠部にはウレタンゴムが圧入されている。ウレタンゴムが切欠部に圧入された状態では、切欠部が僅かに拡開されるようになっている。そして、各回転規制部材がベースの内周面に形成された溝に係合されている。
【０００６】
そして、サーボモータが駆動されて回転軸の回転に伴いボールネジが回転すると、ボールナット及びロッドが回転しようとするが、回転規制部材が溝に対して係合されているため、ロッド・ナット結合部材を介してボールナット及びロッドの回転が規制され、ロッドがベース内を軸方向に直線移動されるようになっている。また、回転規制部材が溝に対して係合された状態では、ウレタンゴムが圧入されて切欠部が拡開されていることにより、回転規制部材本体の両端側が溝の内側面と隙間なく当接するため、振動や騒音の発生が抑制されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−１３０４１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１のアクチュエータでは、ボールナットが直線移動するとボールナットが軸方向に対して偏心する場合がある。この場合、回転規制部材に対して偏荷重が加わると、回転規制部材の外周面が偏摩耗してしまい、回転規制部材本体の外周面と溝の内側面との間に隙間が形成されてしまう。その結果、ロッド・ナット結合部材に回転が伝わったとき、回転規制部材の外周面が溝の内側面に衝突して、振動や騒音が発生してしまう。
【０００９】
本発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものであり、その目的は、回転規制部材の偏摩耗を抑えることができるとともに、振動や騒音を抑制することができる電動アクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、ボディ内に収容されるとともにモータの回転運動に基づいて前記ボディ内を直線移動する移動体と、前記移動体の直線運動に基づいて前記ボディに対し出没されるロッドと、前記移動体に装着され、前記ボディに形成された溝に係合されることにより該移動体の回転運動を規制する回転規制部材と、を備えた電動アクチュエータであって、前記移動体と前記ボディの内周面との間には、一部分にスリットを有するとともに自身で拡径可能なウェアリングが設けられ、前記ウェアリングは、該ウェアリングにおいて離間する一端と他端とが近づくよう強制的に縮径された状態で前記移動体と前記ボディの内周面との間に設けられることにより該ウェアリングの外周面全体が前記ボディの内周面に押し付けられた状態とされ、前記移動体が移動中に偏心するときに拡径して該ウェアリングの外周面全体が前記ボディの内周面に押し付けられた状態を保持することで前記回転規制部材に偏荷重が加わることを抑制することを要旨とする。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記ウェアリングの内周側には、前記ウェアリングを拡径させるための付勢部材がさらに設けられていることを要旨とする。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記ウェアリングの外周面には切欠が複数設けられていることを要旨とする。
【発明の効果】
【００１４】
この発明によれば、回転規制部材の偏摩耗を抑えることができるとともに、振動や騒音を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施形態における電動アクチュエータの縦断面図。
【図２】図１におけるＡ−Ａ線断面図。
【図３】ピストンの周辺部分を拡大して示す縦断面図。
【図４】第１のウェアリングを示す斜視図。
【図５】ロッドカバーの周辺部分を拡大して示す縦断面図。
【図６】別の実施形態における第１のウェアリングを示す平面図。
【図７】別の実施形態における第１のウェアリングを示す平面図。
【図８】別の実施形態における第１のウェアリングを示す平面図。
【図９】別の実施形態におけるロッドカバーの周辺部分を拡大して示す縦断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図５にしたがって説明する。なお、以下の説明において、電動アクチュエータ１０の前後方向は、図１に示す矢印Ｙ１の方向を前後方向とする。
【００１７】
図１に示すように、電動アクチュエータ１０は、筒状をなすボディ１１を備えている。ボディ１１には円孔状の収容孔１２がボディ１１の長手方向に沿って延びるように形成されている。収容孔１２内の前端側（一端側）には、当接部材としての円環状のロッドカバー１３が設けられるとともに、ロッドカバー１３により収容孔１２の前端側が閉鎖されている。また、ボディ１１の後端部（他端部）には連結ブロック体１４が接合されるとともに、連結ブロック体１４には挿通孔１４ａが形成されている。
【００１８】
ボディ１１の後端部には、連結ブロック体１４を介してモータ用ケース２１が取り付けられている。モータ用ケース２１には正逆回転可能なモータ２２が収容されている。モータ２２は、モータ用ケース２１の内面に固着されたステータ２２ａと、ステータ２２ａの内周側に回転可能に配置されたロータ２２ｂとから構成されている。また、ロータ２２ｂの内周側には回転軸２３がロータ２２ｂと一体回転可能に設けられている。回転軸２３は、モータ用ケース２１の前端面を貫挿して前端側が連結ブロック体１４の挿通孔１４ａ内に達するまで延びるように設けられている。
【００１９】
ボディ１１には、ボールネジ３１がボディ１１の後端側に配設されたベアリング３２を介して回転可能に支持されている。また、ボールネジ３１の後端側は、連結ブロック体１４の挿通孔１４ａ内に配設されたカップリング３３に挿入されるとともに、このカップリング３３を介してボールネジ３１は回転軸２３に一体回転可能に連結されている。
【００２０】
また、ボールネジ３１には、移動体の一部を構成するボールナット３４が螺合されるとともに、ボールナット３４の外周面には円環状のピストン３５が嵌着されている。ピストン３５は、大径部３５ａと、外径が大径部３５ａよりも小径をなす中径部３５ｂと、外径が中径部３５ｂよりも小径をなす小径部３５ｃとを有しており、ピストン３５の前端から後端にかけて大径部３５ａ、中径部３５ｂ及び小径部３５ｃがこの順序で設けられている。
【００２１】
収容孔１２内には円筒状をなすロッド３６が挿通されている。ロッド３６は、ロッドカバー１３内に配設された軸受としてのロッド軸受１３ｂを介して直線移動可能に支持されている。ロッド３６の両端側内周面には雌ねじが形成されている。ロッド３６における前端側の雌ねじには、連結部材３９の外周面に形成された雄ねじが螺合されている。連結部材３９には、例えばワークが取り付けられる。また、ロッド３６における後端側の雌ねじには、ボールナット３４の前端側外周面に形成された雄ねじが螺合されるとともに、ロッド３６とボールナット３４とが一体移動可能に連結されている。
【００２２】
ボールネジ３１において、ベアリング３２よりも前側には、マグネットホルダ３７が螺合されている。マグネットホルダ３７は、円筒状の本体部３７ａと、本体部３７ａから外方へ突出するフランジ部３７ｂとを有している。マグネットホルダ３７がボールネジ３１に螺合された状態では、本体部３７ａがピストン３５の後端側に入り込んでいるとともに、フランジ部３７ｂの前端面がピストン３５（小径部３５ｃ）の後端面に当接している。フランジ部３７ｂは、小径部３５ｃの外周面よりも径方向へ突出されている。そして、中径部３５ｂの後端面とフランジ部３７ｂの前端面との間には、ピストン３５の位置を検出するためのマグネット３７ｃが保持されている。
【００２３】
図２に示すように、ピストン３５における中径部３５ｂの外周面には回転規制部材３８が装着されている。回転規制部材３８は、フッ素樹脂等の低摺動性材料から射出成形によって形成されるとともに、円環状をなす本体部３８ａと、本体部３８ａの外周面から径方向へ突出し、且つ本体部３８ａの軸方向全体に亘って延びる四つの突出部３８ｂとを有している。四つの突出部３８ｂは、本体部３８ａの周方向に沿って等間隔おきに配置されている。
【００２４】
また、収容孔１２（ボディ１１）の内周面には、各突出部３８ｂが係合可能な溝１２ａが四箇所に形成されている。四つの溝１２ａは、収容孔１２の周方向に沿って等間隔おきに形成されている。また、各溝１２ａは、ボディ１１の長手方向に沿って回転規制部材３８の移動範囲全体に亘って直線状に延びるように形成されている。回転規制部材３８が収容孔１２に収容された状態では、各突出部３８ｂが各溝１２ａに係合された状態になっている。なお、突出部３８ｂの側面と、この側面に対向する溝１２ａの内側面との間には、僅かなクリアランスが設けられている。
【００２５】
そして、モータ２２が駆動されてロータ２２ｂが回転すると回転軸２３が回転するとともに、回転軸２３の回転に伴いボールネジ３１が回転する。ボールネジ３１が回転すると、ボールナット３４が回転しようとし、その回転は回転規制部材３８に伝わるが、回転規制部材３８の突出部３８ｂが溝１２ａに対して係合されているため、回転規制部材３８の回転が規制されるとともにボールナット３４の回転が規制される。そして、ボールナット３４は、ボールネジ３１の回転に伴ってボールネジ３１の軸方向に沿って直線移動するとともに、ピストン３５、ロッド３６及びマグネットホルダ３７がボールナット３４と一体に収容孔１２（ボディ１１）内を直線移動するようになっている。よって、ピストン３５及びマグネットホルダ３７は、ボディ１１内を直線移動する移動体を構成している。また、ロッド３６における突出方向へボールナット３４が移動して、ボールナット３４の前端面がロッドカバー１３の後端面に当接すると、ロッド３６における突出方向への移動が規制されるようになっている。
【００２６】
図３に示すように、ピストン３５における大径部３５ａの外周面には装着凹部４１が形成されるとともに、装着凹部４１内には、付勢部材としての第１のＯリング４２及び第１のウェアリング４３が装着されている。
【００２７】
第１のＯリング４２の外径は、環状に整形されたときの第１のウェアリング４３の内径よりも大径に形成されている。そして、第１のＯリング４２は、装着凹部４１内において、第１のウェアリング４３よりも底部４１ａ側に配置されるとともに、第１のＯリング４２の外周面が第１のウェアリング４３の内周面に接している。さらに、第１のＯリング４２は、その弾性復帰力により第１のウェアリング４３を径方向に沿って自身の中心軸線から遠ざかる方向に付勢している。
【００２８】
図４に示すように、第１のウェアリング４３は、ポリアセタール樹脂等の高摺動性材料から形成されるとともに、その一部分にスリット４３ａが形成されて不完全環状をなしている。このスリット４３ａが形成されていることにより、第１のウェアリング４３は、自身で拡径するようになっている。また、第１のウェアリング４３は、一端と他端とが離間してその一端側と他端側とが重なり合うことなく、その径方向に沿って重合する部位が形成されていない。
【００２９】
図３に示すように、装着凹部４１内に第１のウェアリング４３が装着された状態では、第１のウェアリング４３は、ボディ１１の内周面に沿うように両端を近づけて強制的に縮径されている。しかし、第１のＯリング４２の付勢力により第１のウェアリング４３は、内周側から拡径される方向へ付勢されている。この第１のＯリング４２により、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂ全体が、ピストン３５における大径部３５ａの外周面よりも径方向に突出している。さらに、第１のＯリング４２の付勢力により、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂ全体がボディ１１の内周面に圧接するとともに、ピストン３５の移動の際にはボディ１１の内周面に摺接するようになっている。
【００３０】
図５に示すように、ロッドカバー１３の内周面には、装着凹部５１が形成されるとともに、装着凹部５１内には、付勢部材としての第２のＯリング５２及び第２のウェアリング５３が装着されている。
【００３１】
第２のＯリング５２の内径は、環状に整形されたときの第２のウェアリング５３の外径よりも小径に形成されている。そして、第２のＯリング５２は、装着凹部５１内において、第２のウェアリング５３よりも底部５１ａ側に配置されるとともに、第２のＯリング５２の内周面が第２のウェアリング５３の外周面に接している。さらに、第２のＯリング５２は、その弾性復帰力により第２のウェアリング５３を径方向に沿って自身の中心軸線に近づく方向に付勢している。なお、第２のウェアリング５３は、既に説明した第１のウェアリング４３とほぼ同じ構成をしているため、その詳細な説明を省略する。
【００３２】
装着凹部５１内に第２のウェアリング５３が装着された状態では、第２のＯリング５２の付勢力により第２のウェアリング５３が縮径されるようになっている。そして、第２のＯリング５２の付勢力により第２のウェアリング５３が縮径されると、第２のウェアリング５３の内周面５３ｂ全体が、ロッドカバー１３の内周面よりも径方向に突出している。さらに、第２のＯリング５２の付勢力により、第２のウェアリング５３の内周面５３ｂ全体がロッド３６の外周面に圧接するとともに、ロッド３６の移動の際にはロッド３６の外周面に摺接するようになっている。
【００３３】
上記構成の電動アクチュエータ１０では、ピストン３５及びロッド３６がボディ１１内を直線移動すると、ピストン３５及びロッド３６が軸方向に対して偏心する場合がある。この場合、第１のウェアリング４３が装着凹部４１の底部４１ａ側に押圧される。すると、第１のウェアリング４３よりも底部４１ａ側の第１のＯリング４２が潰されて変形するとともに、この変形により、第１のＯリング４２には、原形状に復帰しようとする弾性復帰力が生じる。そして、この弾性復帰力により第１のウェアリング４３が径方向へ付勢されるとともに、この付勢力がピストン３５及びロッド３６が偏心することで発生する偏荷重に抗して、第１のウェアリング４３を拡径させ、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂ全体がボディ１１の内周面に圧接する。
【００３４】
さらに、第２のウェアリング５３が装着凹部５１の底部５１ａ側に押圧されると、第２のウェアリング５３よりも底部５１ａ側の第２のＯリング５２が潰されて変形するとともに、この変形により、第２のＯリング５２には、原形状に復帰しようとする弾性復帰力が生じる。そして、この弾性復帰力により第２のウェアリング５３が径方向へ付勢されるとともに、この付勢力がピストン３５及びロッド３６が偏心することで発生する偏荷重に抗して、第２のウェアリング５３を縮径させ、第２のウェアリング５３の内周面５３ｂ全体がロッド３６の外周面に圧接する。
【００３５】
上記実施形態では以下の効果を得ることができる。
（１）ピストン３５には第１のウェアリング４３が設けられるとともに、第１のウェアリング４３自身が拡径するようになっている。そして、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂにおける周方向全体がボディ１１の内周面に圧接される。したがって、ピストン３５が移動中に偏心しようとしても、第１のウェアリング４３の圧接によりピストン３５の偏心を抑制することができる。その結果、回転規制部材３８に対して偏荷重が加わることを抑制することができるとともに、回転規制部材３８における突出部３８ｂと溝１２ａとの係合部位が摩耗し難くなり、回転規制部材３８の偏摩耗を抑えることができる。そして、回転規制部材３８の偏摩耗を抑えることができるため、突出部３８ｂと溝１２ａとの間に隙間が形成され難くなり、突出部３８ｂが溝１２ａに当接することで発生する振動や騒音を抑制することができる。
【００３６】
（２）回転規制部材３８がボディ１１内を直線移動するために、突出部３８ｂの側面と、この側面に対向する溝１２ａの内側面との間には、僅かなクリアランスが設けられている。しかし、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂ全体がボディ１１の内周面に圧接されているため、回転規制部材３８が勢いよく回転することが防止され、突出部３８ｂの側面が溝１２ａの内側面に衝突することに伴う騒音の発生を抑制することができる。
【００３７】
（３）第１のＯリング４２が第１のウェアリング４３の内周側に設けられるとともに、第１のウェアリング４３は、第１のＯリング４２により拡径するように付勢されている。よって、第１のウェアリング４３が第１のＯリング４２によって付勢されていない場合に比べて、第１のウェアリング４３をより確実に拡径させて、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂをボディ１１の内周面に確実に圧接させることができる。
【００３８】
（４）ロッドカバー１３の内周面には第２のウェアリング５３が装着されている。そして、第２のウェアリング５３の内周面５３ｂにおける周方向全体がロッド３６の外周面に圧接される。よって、ロッド軸受１３ｂによりロッド３６の偏心が抑えられるが、そのロッド軸受１３ｂの近傍に第２のウェアリング５３を設けることで、ロッド３６の偏心をより一層抑えることができる。
【００３９】
（５）第２のＯリング５２が第２のウェアリング５３の外周側に設けられるとともに、第２のウェアリング５３は、第２のＯリング５２により縮径するように付勢されている。よって、第２のウェアリング５３が第２のＯリング５２によって付勢されていない場合に比べて、第２のウェアリング５３をより縮径させて、第２のウェアリング５３の内周面５３ｂをロッド３６の外周面に確実に圧接させることができる。
【００４０】
（６）本実施形態の電動アクチュエータ１０では、第１のウェアリング４３を拡径させるために第１のＯリング４２を設けている。よって、第１のＯリング４２の弾性復帰力が付勢力として第１のウェアリング４３に作用して、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂ全体がボディ１１の内周面に押し付けられてボディ１１の内周面に追従する。したがって、ボディ１１の内径に寸法公差があったとしても、ボディ１１の内周面に対して第１のウェアリング４３を十分に押し付けて追従させることができる。
【００４１】
（７）第１のＯリング４２の弾性復帰力が付勢力として第１のウェアリング４３に作用して、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂ全体がボディ１１の内周面に押し付けられる。このため、第１のウェアリング４３がピストン３５に対するセンタリング用軸受としての役割を果たすことができる。よって、ピストン３５のがたを吸収することができるとともに、ピストン３５に偏荷重が加わったとしてもピストン３５を偏心し難くすることができる。その結果、ロッド３６におけるボディ１１からの突出時に、ロッド３６が垂れることを防止することができる。
【００４２】
（８）第１のＯリング４２における径方向への付勢力により、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂ全体がボディ１１の内周面に圧接される。よって、ボディ１１の内周面とピストン３５の外周面とが直接接触することがないため、ボディ１１とピストン３５との間でかじり付きが発生してしまうことがない。したがって、電動アクチュエータ１０の作動性を向上させることができる。
【００４３】
なお、実施形態は以下のように変更してもよい。
○  実施形態において、図６に示すように、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂに切欠６１を、第１のウェアリング４３の周方向に沿って等間隔をあけて複数形成してもよい。各切欠６１は、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂに対して交差するとともに、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂから径方向内側に向かって互いに近づくように直線状に延びる第１内側面６１ａ及び第２内側面６１ｂからなる。第１内側面６１ａ及び第２内側面６１ｂにおける径方向内側の先端は互いに交差するようになっており、切欠６１は平面視Ｖ字状をなしている。これによれば、ボディ１１の内周面と第１のウェアリング４３の外周面４３ｂとの間に塗布されている潤滑油が切欠６１により攪拌され易くなり、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂに切欠６１が形成されていない場合に比べて、ボディ１１の内周面と第１のウェアリング４３の外周面４３ｂとの間の潤滑性を向上させることができる。
【００４４】
○  実施形態において、図７に示すように、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂに切欠７１を、第１のウェアリング４３の周方向に沿って等間隔をあけて複数形成してもよい。各切欠７１は、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂに対して交差するとともに、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂから径方向内側に向かって互いに平行に延びる直線状の第１内側面７１ａ及び第２内側面７１ｂと、第１内側面７１ａと第２内側面７１ｂとを繋ぐ底面７１ｃとからなる。底面７１ｃは、第１内側面７１ａ及び第２内側面７１ｂに対して直交する方向に直線状に延びている。
【００４５】
○  実施形態において、図８に示すように、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂに切欠８１を、第１のウェアリング４３の周方向に沿って等間隔をあけて複数形成してもよい。各切欠８１は、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂに対して交差するとともに、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂから径方向内側に向かって互いに平行に延びる直線状の第１内側面８１ａ及び第２内側面８１ｂと、第１内側面８１ａと第２内側面８１ｂとを繋ぐ底面８１ｃとからなる。底面８１ｃは、第１内側面６１ａ及び第２内側面６１ｂにおける径方向内側の先端から円弧を描くように延びている。
【００４６】
○  実施形態において、ロッドカバー１３の内周面に装着凹部５１を形成するとともに、装着凹部５１内に、第２のＯリング５２及び第２のウェアリング５３を装着したが、これに限らない。例えば、図９に示すように、ロッドカバー１３において、ロッド軸受１３ｂの内側に装着凹部９１を形成するとともに、装着凹部９１内に第２のＯリング５２を装着して、第２のＯリング５２の弾性復帰力によりロッド軸受１３ｂを径方向に沿って自身の中心軸線に近づく方向に付勢させてもよい。なお、この場合、ロッド軸受１３ｂ自身が縮径できるようにロッド軸受１３ｂの一部分にスリットが形成されている必要がある。これによれば、ロッド軸受１３ｂの内周面全体がロッド３６の外周面に圧接するため、第２のウェアリング５３を設けなくても、ロッド３６における軸方向に対しての偏心を抑制することができる。
【００４７】
○  実施形態において、付勢部材として、環状をなす第１のＯリング４２及び第２のＯリング５２を用いたが、これに限らず、一部にスリットを有する不完全環状をなすゴム部材であったり、装着凹部４１，５１内に複数設けられるゴム片又はバネであったりしてもよい。
【００４８】
○  実施形態では、第１のウェアリング４３及び第２のウェアリング５３自身が拡径又は縮径できる機能を有するため、装着凹部４１，５１内に第１のＯリング４２又は第２のＯリング５２を設けなくてもよい。
【００４９】
○  実施形態では、ピストン３５に第１のウェアリング４３を設けたが、これに限らず、例えば、ボールナット３４に装着凹部を形成して、この装着凹部に第１のウェアリング４３を設けてもよい。さらに、この装着凹部内において、第１のウェアリング４３の内周側に第１のＯリング４２を設けてもよい。
【００５０】
○  実施形態では、ピストン３５に第１のウェアリング４３を設けたが、これに限らず、例えば、マグネットホルダ３７のフランジ部３７ｂをボディ１１の内周面まで延ばすとともに、フランジ部３７ｂに装着凹部を形成して、この装着凹部に第１のウェアリング４３を設けてもよい。さらに、この装着凹部内において、第１のウェアリング４３の内周側に第１のＯリング４２を設けてもよい。
【００５１】
○  実施形態において、ロッドカバー１３の内周面に設けられた第２のＯリング５２及び第２のウェアリング５３を削除してもよい。
○  実施形態において、ボールナット３４の代わりにすべりナットを用いてもよい。
【００５２】
上記実施形態及び別例から考えられる技術的思想を以下に記載する。
（イ）前記軸受の一部分にはスリットが形成されるとともに、前記軸受は自身で縮径可能になっており、前記軸受の外周側に前記軸受を縮径させるための付勢部材が設けられていることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の電動アクチュエータ。
【符号の説明】
【００５３】
１０…電動アクチュエータ、１１…ボディ、１３…当接部材としてのロッドカバー、１３ｂ…ロッド軸受、２２…モータ、３４…移動体の一部を構成するボールナット、３５…移動体の一部を構成するピストン、３６…ロッド、３７…移動体の一部を構成するマグネットホルダ、３８…回転規制部材、４２…付勢部材としての第１のＯリング、４３…第１のウェアリング、４３ａ…スリット、４３ｂ…外周面、５２…付勢部材としての第２のＯリング、５３…第２のウェアリング、５３ｂ…内周面、６１，７１，８１…切欠。
【図１】
0005427647.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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