(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を密閉状態で収容する搬送容器を収納自在な複数の収納部と、前記複数の収納部に対して前記搬送容器を搬送自在な搬送装置とが設けられ、
前記複数の収納部の夫々について、不活性気体を供給する吐出口と、前記吐出口から吐出する前記不活性気体の流量を調節自在な流量調節装置とを備えて前記収納部に収納された前記搬送容器の内部に前記不活性気体を供給自在な不活性気体供給部が設けられ、
前記搬送装置と前記流量調節装置との作動を制御する制御手段が設けられた物品保管設備であって、
前記複数の収納部のうち一群の収納部についての前記不活性気体供給部を対象として前記不活性気体を供給する供給源が設けられ、
前記供給源から前記一群の不活性気体供給部に対して供給可能な最大許容流量が設定され、
前記制御手段が、前記収納部に収納された前記搬送容器に対して前記不活性気体を第１目標流量で供給すべく前記流量調節装置を作動させる第１供給状態と、前記第１目標流量より小さな第２目標流量で供給すべく前記流量調節装置を作動させる第２供給状態とを前記収納部について各別に切換える形態で前記流量調節装置の作動を制御するように構成され、かつ、
前記最大許容流量と前記第１目標流量と前記第２目標流量とに基づいて、前記一群の収納部についての前記不活性気体供給部の全てにおける不活性気体の流量の合計が前記最大許容流量以下となるように、同時に前記第１供給状態とすることができる前記不活性気体供給部の最大数である同時供給最大数を算出する同時供給算出手段が設けられ、
前記制御手段が、前記同時供給算出手段によって算出された同時供給最大数を超える数量の前記不活性気体供給部が同時に前記第１供給状態となるときには、同時開始対応処理として、同時に前記第１供給状態となる前記不活性気体供給部のうち、前記同時供給最大数以下の前記不活性気体供給部を前記第１供給状態とし、残りの前記不活性気体供給部について設定遅延時間だけ前記第１供給状態の開始を遅延させる開始遅延処理を実行する物品保管設備。
【請求項２】
前記制御手段が、前記開始遅延処理により前記第１供給状態の開始を遅延させている間、当該開始遅延処理の対象の不活性気体供給部である遅延処理対象供給部に対して前記第２供給状態で前記不活性気体を供給すべく前記流量調節装置を制御するように構成されている請求項１記載の物品保管設備。
【請求項３】
前記制御手段が、前記同時供給算出手段によって算出された前記同時供給最大数を超える数量の前記不活性気体供給部が同時に前記第１供給状態となるときには、前記同時開始対応処理として、同時に前記第１供給状態となる前記不活性気体供給部のうち、前記同時供給最大数と同数の前記不活性気体供給部を前記第１供給状態とし、残りの前記不活性気体供給部について前記開始遅延処理を実行するように構成されている請求項１記載の物品保管設備。
【請求項４】
前記制御手段が、前記第１供給状態及び前記第２供給状態に加えて、収納前の前記収納部に前記搬送容器が収納されるまでの間の設定期間だけ前記不活性気体を前記第１目標流量よりも小さな収納前目標流量で供給すべく前記流量調節装置を作動させる収納前供給状態に切換え自在に構成され、
前記同時供給算出手段が、前記同時供給最大数を、前記最大許容流量と前記第１目標流量と前記第２目標流量と前記収納前目標流量とに基づいて、前記一群の収納部についての前記不活性気体供給部の全てにおける不活性気体の流量の合計が前記最大許容流量以下となるように算出するように構成されている請求項１記載の物品保管設備。
【請求項５】
前記同時供給算出手段は、前記同時供給最大数を、前記一群の収納部についての前記不活性気体供給部の全てにおける前記不活性気体の流量の合計を前記最大許容流量以下とすべく算出するように構成されている請求項１記載の物品保管設備。
【請求項６】
前記制御手段が、前記同時開始対応処理として、同時に前記第１供給状態となる前記不活性気体供給部の数量が前記同時供給算出手段によって算出された同時供給最大数を下回るときには、前記開始遅延処理の対象の不活性気体供給部である遅延処理対象供給部のうち、それを前記第１供給状態としても前記同時供給最大数を超えない数量の前記遅延処理対象供給部について前記第１供給状態とする供給開始処理を実行するように構成されている請求項１記載の物品保管設備。
【請求項７】
前記制御手段が、前記複数の収納部を識別情報に基づいて管理するように構成され、前記搬送容器を前記収納部に収納する収納指令が指令されたときに、前記識別情報に基づいて設定された優先順序にしたがって、前記複数の収納部から前記搬送容器を収納する空き状態の収納部を選択し、選択した前記空き状態の収納部に前記搬送容器を収納すべく前記搬送装置の作動を制御し、
かつ、前記供給開始処理を、前記収納部についての前記優先順序にしたがう形態で実行するように構成されている請求項６記載の物品保管設備。
【請求項８】
前記制御手段が、前記複数の収納部を識別情報に基づいて管理するように構成され、前記搬送容器を前記収納部に収納する収納指令が指令されたときに、前記識別情報に基づいて設定された優先順序にしたがって、前記複数の収納部から前記搬送容器を収納する空き状態の収納部を選択し、選択した前記空き状態の収納部に前記搬送容器を収納すべく前記搬送装置の作動を制御し、
前記遅延処理対象供給部の夫々について、前記開始遅延処理を開始してからの時間である待機時間を計測する待機時間計測手段が設けられ、
前記制御手段が、前記供給開始処理を、前記待機時間計測手段が計測した前記待機時間が長い前記遅延処理対象供給部から順に実行するように構成されている請求項６記載の物品保管設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
基板を密閉状態で収容する搬送容器を収納自在な複数の収納部と、前記複数の収納部に対して前記搬送容器を搬送自在な搬送装置とが設けられ、前記複数の収納部の夫々について、不活性気体を供給する吐出口と、前記吐出口から吐出する前記不活性気体の流量を調節自在な流量調節装置とを備えて前記収納部に収納された前記搬送容器の内部に前記不活性気体を供給自在な不活性気体供給部が設けられ、前記搬送装置と前記流量調節装置との作動を制御する制御手段が設けられた物品保管設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる物品保管設備の従来例として、半導体ウェハーを収容するＦＯＵＰ等の搬送容器を収納自在な複数の収納部を備えた保管棚が設けられ、収納部の夫々に、搬送容器内部に収納した半導体ウェハーの汚損を防止すべく、例えば窒素ガスやアルゴンガス等の不活性気体を搬送容器の内部に供給自在な不活性気体供給部としての供給ノズルが備えられたパージ機能付きの物品保管棚を備えたものが知られている。
【０００３】
このような物品保管棚の一例として、例えば、搬送容器が収納部に収納されている場合と収納されていない場合とで、供給ノズルから吐出する不活性気体の流量を変更自在に構成され、搬送容器が収納部に収納されていない場合の不活性気体の流量を搬送容器が収納部に収納されている場合の流量よりも小さくするように構成されたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
上記特許文献１の物品保管棚は、搬送容器を収納する収納部が複数備えられ、その各収納部に搬送容器の有無を検出する検出手段が設けられている。そして、検出手段によって搬送容器が収納部に収納されていることが検出された場合には、搬送容器内に、その内部に収納した半導体ウェハーの汚損を防止するのに十分な不活性気体を供給するために必要な流量（第１流量と称する）の不活性気体を供給するように構成され、また、搬送容器が収納部に収納されていないことが検出された場合には、上記供給ノズルに不純物粒子が蓄積することを防止すべく、上記第１流量よりも小さい値に設定された流量（第２流量と称する）の不活性気体を供給ノズルから吐出するように構成されている。
このような流量の切換えは流量調節装置で行われる。流量調節装置は、制御手段により指令された目標流量となるように不活性気体の供給流量を調節するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１６１９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１においては、物品保管棚に複数の搬送容器が同時期に収納された場合に、収納された全ての搬送容器に対して第１流量で不活性気体を供給するべく、制御手段から各流量調節装置に目標流量が指令され、各流量調節装置は、供給する不活性気体が指令された目標流量となるように制御される。しかしながら、物品保管棚に収納された全ての搬送容器に対する供給流量を第１流量としたときの流量が供給源（例えば窒素ガス等のボンベ）から供給可能な不活性気体の流量を上回る場合は、夫々の搬送容器に供給可能な不活性気体の流量が目標流量である第１流量に満たなくなる。そのため、流量調節装置は、目標流量として第１流量が指令されても、その目標流量とするように流量を調節することができず、不活性気体供給部からは目標流量を下回る流量の不活性気体しか供給できないという不都合があった。
【０００７】
流量調節装置によっては、実際に供給する流量が目標流量よりも低い状態が設定時間継続した状態に陥ったときにエラーを出力する機能を備えたものがある。このような流量調節装置を使用する場合、上記のように、夫々の搬送容器に供給可能な不活性気体の流量が目標流量である第１流量に満たない状態が設定時間継続したときにはエラーを出力することになり、設備を正常に運転できなくなる虞があった。
【０００８】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、不活性気体の供給源から複数の搬送容器に不活性気体を供給する場合においても、設備を正常に運転することができる物品保管設備を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明に係る物品保管設備の第１特徴構成は、基板を密閉状態で収容する搬送容器を収納自在な複数の収納部と、前記複数の収納部に対して前記搬送容器を搬送自在な搬送装置とが設けられ、前記複数の収納部の夫々について、不活性気体を供給する吐出口と、前記吐出口から吐出する前記不活性気体の流量を調節自在な流量調節装置とを備えて前記収納部に収納された前記搬送容器の内部に前記不活性気体を供給自在な不活性気体供給部が設けられ、前記搬送装置と前記流量調節装置との作動を制御する制御手段が設けられたものであって、
前記複数の収納部のうち一群の収納部についての前記不活性気体供給部を対象として前記不活性気体を供給する供給源が設けられ、
前記供給源から前記一群の不活性気体供給部に対して供給可能な最大許容流量が設定され、
前記制御手段が、前記収納部に収納された前記搬送容器に対して前記不活性気体を第１目標流量で供給すべく前記流量調節装置を作動させる第１供給状態と、前記第１目標流量より小さな第２目標流量で供給すべく前記流量調節装置を作動させる第２供給状態とを前記収納部について各別に切換える形態で前記流量調節装置の作動を制御するように構成され、前記最大許容流量と前記第１目標流量と前記第２目標流量とに基づいて、前記一群の収納部についての前記不活性気体供給部の全てにおける不活性気体の流量の合計が前記最大許容流量以下となるように、同時に前記第１供給状態とすることができる前記不活性気体供給部の最大数である同時供給最大数を算出する同時供給算出手段が設けられ、前記制御手段が、前記同時供給算出手段によって算出された同時供給最大数を超える数量の前記不活性気体供給部が同時に前記第１供給状態となるときには、同時開始対応処理として、同時に前記第１供給状態となる前記不活性気体供給部のうち、前記同時供給最大数以下の前記不活性気体供給部を前記第１供給状態とし、残りの前記不活性気体供給部について設定遅延時間だけ前記第１供給状態の開始を遅延させる開始遅延処理を実行する点にある。
【００１０】
すなわち、同時供給算出手段によって算出された同時供給最大数を超える数量の不活性気体供給部が同時に第１供給状態となるときには、同時に第１供給状態となる不活性気体供給部のうち同時供給最大数以下の不活性気体供給部を第１供給状態とし、残りの不活性気体供給部について設定遅延時間だけ第１供給状態の開始を遅延させるものであるから、同時供給最大数を超える数量の不活性気体供給部が同時に第１供給状態となる状態を回避して、不活性気体供給部における不活性気体の流量が目標流量である第１流量を下回る状態となることを回避し、設備を正常に運転することができるものとなる。
【００１１】
説明を加えると、搬送装置が搬送容器を収納部に収納すると、制御手段は、収納部に収納された搬送容器に対して、不活性気体の供給を開始すべく流量調節装置の作動を制御することになる。しかしながら、既に第１供給状態となっている不活性気体供給部に加えて新たに第１供給状態となる不活性気体供給部が追加されることとなり、その追加供給部を第１供給状態とすることにより、既に第１供給状態や第２供給状態となっている不活性気体供給部と当該追加供給部との目標流量の合計が最大許容流量を超過するときには、それらにおける不活性気体の供給量が目標流量に満たなくなる。また、一旦全ての不活性気体供給部に対する不活性気体の供給を停止した後に供給を再開する場合、又は、手動運転から自動運転に切換える等して、搬送容器が収納されている全ての不活性気体供給部に対して第１供給状態を開始するタイミングが同じになる場合には、搬送容器内を新たな不活性気体にて速やかに置換させるために全ての不活性気体供給部を第１供給状態とすることになるが、目標流量の合計が最大許容流量を超過するときには、各不活性気体供給部における不活性気体の供給量が目標流量に満たなくなる。
【００１２】
これに対して、第１特徴構成によれば、同時に第１供給状態となる不活性気体供給部のうち、同時供給最大数以下の不活性気体供給部を第１供給状態として不活性気体の供給を継続し、残りの前記不活性気体供給部が第１供給状態となることを設定時間遅延させるものであるから、不活性気体の供給源から複数の搬送容器に不活性気体を供給する場合においても、不活性気体の供給量が目標流量に満たない状態となることを回避して、設備を正常に運転することができる。
【００１３】
要するに、上記第１特徴構成によれば、不活性気体の供給源から複数の搬送容器に不活性気体を供給する場合においても、設備を正常に運転することができる物品保管設備を提供することができる。
【００１４】
本発明に係る物品保管設備の第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、前記制御手段が、前記開始遅延処理により前記第１供給状態の開始を遅延させている間、当該開始遅延処理の対象の不活性気体供給部である遅延処理対象供給部に対して前記第２供給状態で前記不活性気体を供給すべく前記流量調節装置を制御するように構成されている点にある。
【００１５】
すなわち、開始遅延処理により第１供給状態の開始を遅延させている間、当該開始遅延処理の対象の不活性気体供給部である遅延処理対象供給部に対して第２供給状態で不活性気体を供給するから、遅延処理対象供給部において第１供給状態の開始を遅延させている間にも、第１供給状態よりも小流量の第２供給状態ではあるものの、不活性気体の供給を行うことができ、搬送容器内部の環境を極力良好に維持することが可能となる。
【００１６】
本発明に係る物品保管設備の第３特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、前記制御手段が、前記同時供給算出手段によって算出された前記同時供給最大数を超える数量の前記不活性気体供給部が同時に前記第１供給状態となるときには、前記同時開始対応処理として、同時に前記第１供給状態となる前記不活性気体供給部のうち、前記同時供給最大数と同数の前記不活性気体供給部を前記第１供給状態とし、残りの前記不活性気体供給部について前記開始遅延処理を実行するように構成されている点にある。
【００１７】
すなわち、同時供給算出手段によって算出された同時供給最大数を超える数量の不活性気体供給部が同時に第１供給状態となるときには、同時に前記第１供給状態となる前記不活性気体供給部のうち同時供給最大数と同数の不活性気体供給部を第１供給状態とし、残りの不活性気体供給部について設定遅延時間だけ第１供給状態の開始を遅延させるものであるから、同時供給最大数を超える数量の不活性気体供給部が同時に第１供給状態となる状態を回避して、不活性気体供給部における不活性気体の流量が目標流量である第１流量を下回る状態となることを回避しながら、同時に第１供給状態とすることができる最大の数量の不活性気体供給部を第１供給状態とすることができ、設備全体として、搬送容器内部の環境を極力良好に維持することが可能となる。
【００１８】
本発明に係る物品保管設備の第４特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、前記制御手段が、前記第１供給状態及び前記第２供給状態に加えて、収納先の前記収納部に前記搬送容器が収納されるまでの間の設定期間だけ前記不活性気体を前記第１目標流量よりも小さな収納前目標流量で供給すべく前記流量調節装置を作動させる収納前供給状態に切換え自在に構成され、前記同時供給算出手段が、前記同時供給最大数を、前記最大許容流量と前記第１目標流量と前記第２目標流量と前記収納前目標流量とに基づいて、前記一群の収納部についての前記不活性気体供給部の全てにおける不活性気体の流量の合計が前記最大許容流量以下となるように算出するように構成されている点にある。
【００１９】
すなわち、第１供給状態及び第２供給状態に加えて、収納先の収納部に搬送容器が収納されるまでの間の設定期間だけ不活性気体を第１目標流量よりも小さな収納前目標流量で供給するから、吐出口に付着した不純物粒子等を、その収納部に搬送容器が到着する前に上記収納前目標流量の不活性気体によって清掃することができる。したがって、収納部に収納された搬送容器の内部に、吐出口に付着した不純物粒子等が侵入することを防止でき、搬送容器内の環境が悪化することを良好に防止できる。
尚、収納前供給状態を開始するタイミングとしては、例えば搬送装置が搬送容器を受け取った時点や、搬送装置が搬送対象の搬送容器を受け取るための動作を開始した時点等、種々のタイミングを設定することができる。
【００２０】
また、このとき、同時供給最大数を最大許容流量と第１目標流量と第２目標流量とに加えて、収納前目標流量をも考慮して算出するから、第１供給状態の前に収納前供給状態とすべく流量調節装置を作動させる場合にも、全ての不活性気体供給部から供給される不活性気体の流量の合計が最大許容流量を超える状態を回避することができる。
【００２１】
すなわち、第４特徴構成によれば、上記第１特徴構成による作用効果に加えて、全ての不活性気体供給部から供給される不活性気体の流量の合計が最大許容流量を超える状態を回避しながらも、収納部に収納された搬送容器の内部に、吐出口に付着した不純物粒子等が侵入することを防止でき、搬送容器内の環境を極力良好に維持することができるものとなる。
【００２２】
本発明に係る物品保管設備の第５特徴構成は、上記第１特徴構成のいずれかに加えて、前記同時供給算出手段は、前記同時供給最大数を、前記一群の収納部についての前記不活性気体供給部の全てにおける前記不活性気体の流量の合計を前記最大許容流量以下とすべく算出するように構成されている点にある。
【００２３】
すなわち、同時供給算出手段が、同時供給最大数を一群の収納部についての不活性気体供給部の全てにおける不活性気体の流量の合計を最大許容流量以下とすべく算出するから、同時供給最大数を超える数量の不活性気体供給部を同時に第１供給状態としない限り、一群の収納部についての不活性気体供給部の全てにおける不活性気体の流量の合計が最大許容流量を超えないものとなる。したがって、同時供給最大数を超える数量の不活性気体供給部を同時に第１供給状態としない条件の下では、各不活性気体供給部において供給可能な不活性気体の流量が目標流量を下回る状態を回避でき、例えば搬送容器の夫々に対して必要とする流量の不活性気体を供給できず、搬送容器内部の環境が悪化する状況を回避できる。
【００２４】
したがって、第５特徴構成によれば、上記第１特徴構成の好適な実施形態を得ることができる。
【００２５】
本発明に係る物品保管設備の第６特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、前記制御手段が、前記同時開始対応処理として、同時に前記第１供給状態となる前記不活性気体供給部の数量が前記同時供給算出手段によって算出された前記同時供給最大数を下回るときには、前記開始遅延処理の対象の不活性気体供給部である遅延処理対象供給部のうち、それを前記第１供給状態としても前記同時供給最大数を超えない数量の前記遅延処理対象供給部について前記第１供給状態とする供給開始処理を実行するように構成されている点にある。
【００２６】
すなわち、同時に第１供給状態となる不活性気体供給部の数量が同時供給算出手段によって算出された同時供給最大数を下回るときは、開始遅延処理の対象の不活性気体供給部である遅延処理対象供給部のうち、それを第１供給状態としても同時供給最大数を超えない数量の遅延処理対象供給部について第１供給状態とするものであるから、その供給部について、遅延させていた第１供給状態を開始することができる。したがって、当該供給部に対応する収納部に収納されている搬送容器内部の環境の悪化を適切に防止することが可能となる。
【００２７】
本発明に係る物品保管設備の第７特徴構成は、上記第６特徴構成に加えて、前記制御手段が、前記複数の収納部を識別情報に基づいて管理するように構成され、前記搬送容器を前記収納部に収納する収納指令が指令されたときに、前記識別情報に基づいて設定された優先順序にしたがって、前記複数の収納部から前記搬送容器を収納する空き状態の収納部を選択し、選択した前記空き状態の収納部に前記搬送容器を収納すべく前記搬送装置の作動を制御し、かつ、前記供給開始処理を、前記収納部についての前記優先順序にしたがう形態で実行するように構成されている点にある。
【００２８】
すなわち、識別情報に基づいて設定された優先順序にしたがって、複数の収納部から搬送容器を収納する空き状態の収納部を選択して選択した空き状態の収納部に搬送容器を収納し、供給開始処理を、収納部についての優先順序にしたがう形態で実行するから、収納部への搬送容器の収納順序と供給開始処理の実行順序を設定された同一の優先順序にしたがって決定することができ、上記夫々の順序を決定する場合における制御構成の簡素化を図ることができる。
【００２９】
本発明に係る物品保管設備の第８特徴構成は、上記第６特徴構成に加えて、前記制御手段が、前記複数の収納部を識別情報に基づいて管理するように構成され、前記搬送容器を前記収納部に収納する収納指令が指令されたときに、前記識別情報に基づいて設定された優先順序にしたがって、前記複数の収納部から前記搬送容器を収納する空き状態の収納部を選択し、選択した前記空き状態の収納部に前記搬送容器を収納すべく前記搬送装置の作動を制御し、前記遅延処理対象供給部の夫々について、前記開始遅延処理を開始してからの時間である待機時間を計測する待機時間計測手段が設けられ、前記制御手段が、前記供給開始処理を、前記待機時間計測手段が計測した前記待機時間が長い前記遅延処理対象供給部から順に実行するように構成されている点にある。
【００３０】
すなわち、供給開始処理を、開始遅延処理を開始してからの時間である待機時間が長い遅延処理対象供給部から順に供給開始処理を実行するものであるから、開始遅延処理を開始してからの経過時間が長い遅延処理対象供給部に対して、さらに第１供給状態の開始を遅延させることを回避して、搬送容器内部の環境が悪化する状態となることを適切に抑制することができるものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】物品保管設備の縦断側面図
【図２】同設備の一部を示す縦断正面図
【図３】収納部の斜視図
【図４】収納部と搬送容器との関係を示す概略構成図
【図５】複数の収納部への不活性気体の供給形態を表す図
【図６】制御手段の接続構成図
【図７】不活性気体の供給量の制御形態を示す説明図
【図８】同時開始対応処理の実行を判別する処理についてのフローチャート
【図９】同時開始対応処理を示すフローチャート
【図１０】開始遅延処理の実行結果を示すタイムチャート
【発明を実施するための形態】
【００３２】
本発明をパージ機能付きの物品保管設備に適用した場合の実施形態を図面に基づいて説明する。
（全体構成）
物品保管設備は、図１及び図２に示すように、基板を密閉状態で収容する搬送容器５０（以下、容器５０と略称する）を保管する保管棚１０、搬送手段としてのスタッカークレーン２０、及び、容器５０の入出庫部としての入出庫コンベヤＣＶを備えている。
保管棚１０及びスタッカークレーン２０が、壁体Ｋにて外周部が覆われた設置空間内に配設され、入出庫コンベヤＣＶが、壁体Ｋを貫通する状態で配設されている。
【００３３】
保管棚１０は、容器５０を支持する支持部としての収納部１０Ｓを、上下方向及び左右方向に並べる状態で複数備えて、複数の収納部１０Ｓの夫々に、容器５０を収納するように構成されており、その詳細は後述する。
【００３４】
そして、本実施形態においては、図１に示すように、物品保管設備が設置されたクリーンルームの天井部に敷設のガイドレールＧに沿って走行するホイスト式の搬送車Ｄが装備されて、このホイスト式の搬送車Ｄによって、入出庫コンベヤＣＶに対して容器５０が搬入及び搬出されるように構成されている。
【００３５】
（容器５０の構成）
容器５０は、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials Institute）規格に準拠した合成樹脂製の気密容器であり、基板としての半導体ウェハーＷ（図４参照）を収納するために用いられ、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼称されている。そして、詳細な説明は省略するが、容器５０の前面には、着脱自在な蓋体にて開閉される基板出入用の開口が形成され、容器５０の上面には、ホイスト式の搬送車Ｄにより把持されるトップフランジ５２が形成され、そして、容器５０の底面には、位置決めピン１０ｂ（図３参照）が係合する３つの係合溝（図示せず）が形成されている。
【００３６】
すなわち、容器５０は、図４に示すように、内部に上下方向に複数の半導体ウェハーＷを載置自在な基板支持体５３を備えたケーシング５１と、図示しない蓋体とから構成されて、ケーシング５１に蓋体を装着した状態においては、内部空間が気密状態に密閉されるように構成され、そして、収納部１０Ｓに収納された状態においては、位置決めピン１０ｂによって位置決めされるように構成されている。
【００３７】
また、図４に示すように、容器５０の底部には、後述の如く、不活性気体としての窒素ガスを注入するために、給気口５０ｉ、及び、排気口５０ｏが設けられ、そして、図示は省略するが、給気口５０ｉには、注入側開閉弁が設けられ、また、排気口５０ｏには、排出側開閉弁が設けられている。
【００３８】
注入側開閉弁は、スプリング等の付勢手段によって閉方向に付勢されて、給気口５０ｉに供給される窒素ガスの吐出圧力が大気圧よりも設定値高い設定開弁圧力以上となると、その圧力によって開き操作されるように構成されている。
また、排出側開閉弁は、スプリング等の付勢手段によって閉方向に付勢されて、容器５０内部の圧力が大気圧よりも設定値高い設定開弁圧力以上となったときに開き操作されるように構成されている。
【００３９】
（スタッカークレーン２０の構成）
スタッカークレーン２０は、保管棚１０の前面側の床部に設けられた走行レールＥに沿って走行移動自在な走行台車２１と、その走行台車２１に立設されたマスト２２と、マスト２２に案内される状態で昇降移動自在な昇降台２４とを備えている。
尚、図示はしないが、マスト２２の上端に設けられた上部枠２３が、壁体Ｋにて外周部が覆われた設置空間の天井側に設けた上部ガイドレールに係合して移動するように構成されている。
【００４０】
昇降台２４には、収納部１０Ｓに対して容器５０を移載する移載装置２５が装備されている。
移載装置２５は、容器５０を載置支持する板状の載置支持体２５Ａを、収納部１０Ｓの内部に突出する突出位置と昇降台２４側に引退した引退位置とに出退自在に備えて、載置支持体２５Ａの出退作動及び昇降台２４の昇降作動により、載置支持体２５Ａに載置した容器５０を収納部１０Ｓに降ろす降し処理、及び、収納部１０Ｓに収納されている容器５０を取出す掬い処理を行うように構成されている。
つまり、容器５０は、搬送車Ｄによって入出庫コンベヤＣＶ上に載置され、当該入出庫コンベヤＣＶによって壁体Ｋの外部から内部に搬送された後、スタッカークレーン２０によって複数の収納部１０Ｓのいずれかに搬送される。
すなわち、搬送装置としてのスタッカークレーン２０が、複数の収納部１０Ｓに対して容器５０を搬送自在に構成されている。
【００４１】
スタッカークレーン２０には、図示はしないが、走行経路上の走行位置を検出する走行位置検出手段、及び、昇降台２４の昇降位置を検出する昇降位置検出手段が装備されており、スタッカークレーン２０の作動を制御する制御手段ＨとしてのクレーンコントローラＨ３が、走行位置検出手段及び昇降位置検出手段の検出情報に基づいて、スタッカークレーン２０の作動を制御するように構成されている。
【００４２】
すなわち、クレーンコントローラＨ３が、入出庫コンベヤＣＶに搬入された容器５０を収納部１０Ｓに収納する入庫作業、及び、収納部１０Ｓに収納されている容器５０を入出庫コンベヤＣＶに取出す出庫作業を行うように、走行台車２１の走行作動及び昇降台２４の昇降作動、並びに、移載装置２５における載置支持体２５Ａの出退作動を制御するように構成されている。
【００４３】
（収納部１０Ｓの構成）
図３及び図４に示すように、複数の収納部１０Ｓの夫々は、容器５０を載置支持する板状の載置支持部１０ａを備えている。
この載置支持部１０ａは、移載装置２５の載置支持体２５Ａが上下に通過する空間を形成すべく、平面視形状がＵ字状となるように形成され、そして、その上面には、上述の位置決めピン１０ｂが起立状態で装備されている。
また、載置支持部１０ａには、容器５０が載置されているか否か（つまり、容器５０が収納部１０Ｓに収納されているか否か）を検出する２個の在荷センサ１０ｚが設けられ、それらの検出情報は、後述する流量調節装置としてのマスフローコントローラ４０の運転を管理する制御手段ＨとしてのパージコントローラＨ１（図６参照）に入力されるように構成されている。
【００４４】
載置支持部１０ａには、不活性気体としての窒素ガスを容器５０の内部に供給する供給口としての吐出ノズル１０ｉと、容器５０の内部から排出される気体を通流する排出用通気体１０ｏが設けられている。そして、吐出ノズル１０ｉには、マスフローコントローラ４０からの窒素ガスを流動させる供給配管Ｌｉが接続され、排出用通気体１０ｏには、端部が開口された排出管Ｌｏが接続されている。
また、図１及び図２に示すように、平面視において各収納部１０Ｓの奥側、つまり、容器５０が出し入れされる開口に対向する端部側で、かつ、棚左右方向において容器５０の端部近傍となる位置に、窒素ガスの供給を制御するマスフローコントローラ４０が装備されている。
【００４５】
マスフローコントローラ４０は、保管棚１０における上下方向に並べて備える収納部１０Ｓの各層について、平面視で重複する位置に設けられている。マスフローコントローラ４０の配設される箇所は、平面視で載置支持部１０ａ及びそれを支持する柱材等の存在しない箇所であり、かつ、容器５０の収納時においても、容器５０の存在しない箇所である。したがって、マスフローコントローラ４０近傍には、保管棚１０の下端から上端に亘って連通し、上下方向に気流が通流可能な空間が形成されることになる。
これにより、マスフローコントローラ４０が発生する熱によって生じる気流は、保管棚１０の下端から上端に至るまで障害物に阻害されることなく流動することになり、マスフローコントローラ４０から放散される熱が滞留することを抑制して、マスフローコントローラ４０の熱暴走等の障害を抑制することができる。
なお、上記した気流が通流可能な空間は、例えば保管棚１０が不活性気体又はクリーンエアのダウンフローにより清浄に保たれる場合においても、そのダウンフローを抵抗の小さい状態で通流させることができるものとなる。この場合においても、マスフローコントローラ４０がダウンフローによって適切に冷却されることになる。
【００４６】
つまり、容器５０が載置支持部１０ａに載置支持されると、吐出ノズル１０ｉが容器５０の給気口５０ｉに嵌合状態に接続され、かつ、排出用通気体１０ｏが容器５０の排気口５０ｏに嵌合状態に接続されるように構成されている。
そして、容器５０が載置支持部１０ａに載置支持された状態において、吐出ノズル１０ｉから大気圧よりも設定値以上高い圧力の窒素ガスを吐出させることにより、容器５０の排気口５０ｏより容器内の気体を外部に排出させる状態で、容器５０の給気口５０ｉより窒素ガスを容器５０の内部に注入できるように構成されている。
【００４７】
本実施形態においては、主にマスフローコントローラ４０、供給配管Ｌｉ、及び吐出ノズル１０ｉより不活性気体供給部Ｆが構成される。
すなわち、複数の収納部１０Ｓの夫々について、不活性気体を吐出する吐出ノズル１０ｉと、その吐出ノズル１０ｉから供給する不活性気体の流量を調節自在なマスフローコントローラ４０とを備えて、収納部１０Ｓに収納された容器５０の内部に不活性気体を供給自在な不活性気体供給部Ｆが設けられている。
【００４８】
尚、図３に示すように、供給配管Ｌｉには、手動操作式の開閉弁Ｖｉが装備されており、マスフローコントローラ４０が故障する緊急時等においては、窒素ガスの供給を停止する状態に切り替えることができるように構成されている。
【００４９】
（窒素ガスの供給構成）
図５に示すように、保管棚１０における不活性気体供給部Ｆの夫々に窒素ガスを供給するための窒素ガスの供給源として元ガス供給配管Ｌｍが備えられ、その元ガス供給配管Ｌｍから２分岐する状態で第１分岐供給配管Ｌｂ１及び第２分岐供給配管Ｌｂ２が備えられている。元ガス供給配管Ｌｍには元ガス開閉弁Ｖ１が設けられ、保管棚１０単位で窒素ガスの供給及び供給停止を切換えることができる。
【００５０】
第１分岐供給配管Ｌｂ１及び第２分岐供給配管Ｌｂ２の夫々は、さらに１２本の供給配管Ｌｓに分岐されており、これら供給配管Ｌｓの夫々が、マスフローコントローラ４０の流入側ポート４０ｉに接続される。以下、第１分岐供給配管Ｌｂ１から窒素ガスを供給される一群の不活性気体供給部Ｆをチャネル１（ＣＨ１）と呼称し、第２分岐供給配管Ｌｂ２から窒素ガスを供給される一群の不活性気体供給部Ｆをチャネル２（ＣＨ２）と呼称する。
【００５１】
第１分岐供給配管Ｌｂ１には第１電磁開閉弁Ｖ２１が設けられ、第２分岐供給配管Ｌｂ２には第２電磁開閉弁Ｖ２２が設けられている。そして、これら第１電磁開閉弁Ｖ２１及び第２電磁開閉弁Ｖ２２は、後述するＩＯ拡張モジュールＡを介して後述するパージコントローラＨ１に電気的に接続されており、パージコントローラＨ１が第１電磁開閉弁Ｖ２１及び第２電磁開閉弁Ｖ２２の開閉を制御するようになっている。
【００５２】
さらに、第１分岐供給配管Ｌｂ１及び第２分岐供給配管Ｌｂ２の夫々は、第１電磁開閉弁Ｖ２１及び第２電磁開閉弁Ｖ２２の下流側でバイパス配管Ｌｂｐにて相互に接続され、バイパス配管Ｌｂｐには手動で開閉操作自在なバイパス弁Ｖｂが設けられている。したがって、バイパス弁Ｖｂを開放すると、ＣＨ１とＣＨ２とは互いに窒素ガスを供給可能に接続されることになる。
【００５３】
本実施形態において、チャネルＣＨ１、ＣＨ２の夫々が、複数の収納部のうち一群の収納部についての不活性気体供給部Ｆに相当し、第１分岐供給配管Ｌｂ１及び第２分岐供給配管Ｌｂ２の夫々が、一群の不活性気体供給部Ｆを対象として窒素ガスを供給する供給源に相当する。
【００５４】
（マスフローコントローラ４０の構成）
図３及び図４に示すように、マスフローコントローラ４０は、流入側ポート４０ｉと吐出側ポート４０ｏとを備えており、吐出側ポート４０ｏには、上述した供給配管Ｌｉが接続され、流入側ポート４０ｉには、窒素ガスの供給源としての第１分岐供給配管Ｌｂ１及び第２分岐供給配管Ｌｂ２からの窒素ガスを導く供給配管Ｌｓが接続されている。
尚、窒素ガス供給源には、窒素ガスの供給圧力を大気圧よりも設定値以上高い設定圧力に調整するガバナや、窒素ガスの供給を断続する手動操作式の開閉弁等が装備される。
【００５５】
マスフローコントローラ４０には、流入側ポート４０ｉから吐出側ポート４０ｏに向かう内部流路を流動する窒素ガスの流量を変更調節する流量調節弁、内部流路を流動する窒素ガスの流量を計測する流量センサ、及び、流量調節弁の作動を制御する内部制御部が装備されている。
【００５６】
そして、内部制御部が、流量センサの検出情報に基づいて、容器５０への供給流量を上述したパージコントローラＨ１から指令される目標流量に調整すべく、流量調節弁を制御するように構成されている。すなわち、パージコントローラＨ１が、マスフローコントローラ４０の作動を制御するように構成されている。
【００５７】
（制御手段Ｈの構成）
図６に示すように、制御手段Ｈは、マスフローコントローラ４０を制御するパージコントローラＨ１、保管棚１０における容器５０の在庫状態等を管理するストッカコントローラＨ２、及び、スタッカークレーン２０の作動を制御するクレーンコントローラＨ３を備えて構成されている。パージコントローラＨ１、ストッカコントローラＨ２、及びクレーンコントローラＨ３は、例えば蓄積プログラム方式で情報を処理自在なコンピュータで構成され、相互にＬＡＮ等のネットワークＣ１で接続され、また、プログラマブルロジックコントローラＰ及びＩＯ拡張モジュールＡが、上記制御手段Ｈと通信自在にネットワークＣ１に接続されている。
【００５８】
プログラマブルロジックコントローラＰには、制御バスＣ２経由で１２台のマスフローコントローラ４０が接続されている。また、ＩＯ拡張モジュールＡには、上記１２台のマスフローコントローラ４０が備えられている収納部１０Ｓに対応する在荷センサ１０ｚが、夫々信号線Ｃ３で接続されている。
パージコントローラＨ１は、プログラマブルロジックコントローラＰを経由して、複数の収納部１０Ｓの夫々に対応して設置されたマスフローコントローラ４０に対して目標流量を指令することになる。
尚、パージコントローラＨ１には、各種の情報を入力するための操作卓ＨＳが装備されている。
【００５９】
ストッカコントローラＨ２は、複数の収納部１０Ｓを識別番号等の識別情報に基づいて管理するように構成されている。そして、ストッカコントローラＨ２は、上位コントローラ（作業スケジュールを管理するスケジューラ等）からの容器５０の収納要求が送信されると、識別情報に基づいて設定された優先順序にしたがって、複数の収納部１０Ｓから容器５０を収納する空き状態の収納部１０Ｓを選択し、選択した空き状態の収納部１０Ｓに容器５０を収納すべく、収納指令をクレーンコントローラＨ３に指令する。
クレーンコントローラＨ３は、ストッカコントローラＨ２から指令された収納指令にて指示された収納部１０Ｓに容器５０を収納すべく、スタッカークレーン２０の作動を制御することになる。
なお、上記の場合においては、優先順序を識別情報としての識別番号順としている。
【００６０】
パージコントローラＨ１が指令する目標流量としては、容器５０が収納部１０Ｓに収納されている状態において、容器５０の内部に窒素ガスを注入すべく、マスフローコントローラ４０に対して指令される保管用の目標流量、容器５０が収納部１０Ｓに収納される直前において、吐出ノズル１０ｉを清浄化するために指令されるノズル浄化用の目標流量、及び、保管棚１０の設置時等において、吐出ノズル１０ｉや供給配管Ｌｉ等を清浄化するために指令されるクリーニング用の目標流量がある。
【００６１】
すなわち、パージコントローラＨ１が、図７に示すように、目標流量と供給時間とを定めた複数のパージパターンとして、ノズルパージパターンＰ１、クリーニングパターンＰ２、及び、４つの保管用パージパターンＰ３〜Ｐ６を記憶している。
そして、パージコントローラＨ１が、保管棚１０の設置時等において、操作卓ＨＳにてクリーニング開始指令が指令されると、クリーニングパターンＰ２に応じてクリーニング用の清掃用流量としての目標流量を清掃用時間だけ供給すべく指令するように構成されている。
【００６２】
また、制御手段Ｈが、容器５０が入出庫コンベヤＣＶに搬入されてスタッカークレーン２０の移載装置２５が容器５０を受け取ると、ノズルパージパターンＰ１に応じてノズル浄化用の目標流量を指令するように構成されている。
本実施形態においては、制御手段Ｈは、容器５０が入出庫コンベヤＣＶに搬入された時点を、ホイスト式の搬送車Ｄの運転を制御する搬送車コントローラ（図示せず）から収納指令が通信されることによって判別するように構成されている。
つまり、搬送車コントローラが、容器５０を入出庫コンベヤＣＶに搬入したときに、収納指令を制御手段Ｈに指令するように構成されている。
【００６３】
さらに、制御手段Ｈが、２個の在荷センサ１０ｚが容器５０を検出しているときには、節約供給パターンとしての４つの保管用パージパターンＰ３〜Ｐ６のうち、操作卓ＨＳにて予め選択された一つのパターンに基づいて保管用の目標流量（供給流量）を指令するように構成されている。
【００６４】
つまり、使用者は、４つの保管用パージパターンＰ３〜Ｐ６の夫々について、パターン特定パラメータとして、不活性気体供給部Ｆから不活性気体を容器５０に供給する目標流量と不活性気体供給部Ｆから不活性気体を容器５０に供給する供給時間とを操作卓ＨＳにて変更設定しながら、４つの保管用パージパターンＰ３〜Ｐ６の夫々を試験的に使用して、好適なパターンを選択することになる。
【００６５】
（パージパターン）
次に、ノズルパージパターンＰ１、クリーニングパターンＰ２、及び、４つの保管用パージパターンＰ３〜Ｐ６の夫々について、図７に基づいて説明する。
【００６６】
ノズルパージパターンＰ１は、上述の収納指令が指令された時点から収納前供給時間として設定された供給時間ｔ１の間、ノズル浄化用の目標流量として設定された目標流量Ｌ１にて窒素ガスを供給するパターンとして定められている。
供給時間ｔ１は、例えば、５秒に設定され、そして、目標流量Ｌ１は、例えば、３０リットル／分に設定されている。
【００６７】
クリーニングパターンＰ２は、操作卓ＨＳにてクリーニング開始指令が指令されてから設置初期供給時間として設定された供給時間ｔ２の間、クリーニング用の目標流量として設定された目標流量Ｌ２にて窒素ガスを供給するパターンとして定められている。
供給時間ｔ２は、例えば、１８００秒に設定され、そして、目標流量Ｌ２は、例えば、２０リットル／分に設定されている。
【００６８】
４つの保管用パージパターンＰ３〜Ｐ６の夫々については、保管用の目標流量として、初期目標流量値Ｌαと、その初期目標流量値Ｌαよりも少ない定常目標流量値Ｌβとが設定されている。
初期目標流量値Ｌαは、例えば、５０リットル／分に設定され、そして、定常目標流量値Ｌβは、例えば、５リットル／分に設定されている。
【００６９】
そして、４つの保管用パージパターンＰ３〜Ｐ６の夫々は、容器５０に窒素ガスを供給する際には、先ず、保管用の目標流量を初期目標流量値Ｌαとし、その後、保管用の目標流量を定常目標流量値Ｌβに変更する点が共通するが、互いに異なるパターンに定められている。
以下、４つの保管用パージパターンＰ３〜Ｐ６を、第１の保管用パージパターンＰ３、第２の保管用パージパターンＰ４、第３の保管用パージパターンＰ５、及び、第４の保管用パージパターンＰ６と記載して、各パターンについて説明を加える。
【００７０】
第１の保管用パージパターンＰ３は、容器５０を収納部１０Ｓに収納することが完了した容器収納完了時点を始点とし、容器収納完了時点から設定供給時間ｔ３の間、初期目標流量値Ｌαとしての供給流量Ｌ３１にて窒素ガスを供給し、その後、定常目標流量値Ｌβとしての供給流量Ｌ３２にて窒素ガスを供給することを、一対の在荷センサ１０ｚが容器５０の存在を検出している間は継続するパターンとして定められている。
なお、設定供給時間ｔ３は初期値として例えば５分に設定されることになるが、上述の如く、使用者によって変更設定されることになる。
【００７１】
第２の保管用パージパターンＰ４は、容器収納完了時点から設定供給時間ｔ４１の間、初期目標流量値Ｌαとしての供給流量Ｌ４１にて窒素ガスを供給し、その後は、定常目標流量値Ｌβとしての供給流量Ｌ４２にて窒素ガスを間欠的供給することを、一対の在荷センサ１０ｚが容器５０の存在を検出している間は継続するパターンに定められている。
【００７２】
すなわち、第２の保管用パージパターンＰ４は、初期目標流量値Ｌαとしての供給流量Ｌ４１から定常目標流量値Ｌβとしての供給流量Ｌ４２に変更した後は、設定供給時間ｔ４３が経過すると、設定休止時間の間は窒素ガスの供給を停止することを繰り返すパターンに定められている。
【００７３】
つまり、初期目標流量値Ｌαとしての供給流量Ｌ４１から定常目標流量値Ｌβとしての供給流量Ｌ４２に変更した後は、インターバル時間ｔ４２のうちの、設定供給時間ｔ４３の間は、供給流量Ｌ４２にて窒素ガスが供給され、設定休止時間ｔ４２−ｔ４３の間は、窒素ガスの供給を停止することが、一対の在荷センサ１０ｚにて容器５０を検出している間は繰り返されることになる。
なお、設定供給時間ｔ４１は初期値として例えば５分に設定され、インターバル時間ｔ４２は初期値として例えば１０分に設定され、設定供給時間ｔ４３は初期値として例えば５分に設定されることになるが、上述の如く、使用者によって変更設定されることになる。
【００７４】
第３の保管用パージパターンＰ５は、容器収納完了時点から設定供給時間ｔ５１の間、初期目標流量値Ｌαとしての供給流量Ｌ５１にて窒素ガスを供給し、続いて、設定供給時間ｔ５２の間、定常目標流量値Ｌβとしての供給流量Ｌ５２にて窒素ガスを供給することを基本パターンとして、この基本パターンを、一対の在荷センサ１０ｚが容器５０の存在を検出している間は繰り返すパターンに定められている。
なお、設定供給時間ｔ５１は初期値として例えば５分に設定され、設定供給時間ｔ５２は初期値として例えば５分に設定されることになるが、上述の如く、使用者によって変更設定されることになる。
【００７５】
第４の保管用パージパターンＰ６は、容器収納完了時点から設定供給時間ｔ６１の間、初期目標流量値Ｌαとしての供給流量Ｌ６１にて窒素ガスを供給し、続いて、設定供給時間ｔ６３の間、定常目標流量値Ｌβとしての供給流量Ｌ６２にて窒素ガスを間欠的に供給することを基本パターンとして、この基本パターンを、一対の在荷センサ１０ｚが容器５０の存在を検出している間は継続するパターンに定められている。
【００７６】
すなわち、第４の保管用パージパターンＰ６には、初期目標流量値Ｌαとしての供給流量Ｌ６１にて窒素ガスを供給することを繰り返すための大インターバル時間ｔ６４、及び、定常目標流量値Ｌβとしての供給流量Ｌ６２にて窒素ガスを間欠的に供給することを繰り返すための小インターバル時間ｔ６２が設定されている。
【００７７】
そして、容器収納完了時点及び大インターバル時間ｔ６４が経過した時点においては、設定供給時間ｔ６１の間、初期目標流量値Ｌαとしての供給流量Ｌ６１にて窒素ガスが供給されることになり、また、初期目標流量値Ｌαとしての供給流量Ｌ６１での窒素ガスの供給が終了した後は、設定供給時間ｔ６３の間、定常目標流量値Ｌβとしての供給流量Ｌ４２にて窒素ガスを供給することと、設定休止時間ｔ６２−ｔ６３の間、窒素ガスの供給を停止することが繰り返されることになる。
【００７８】
なお、設定供給時間ｔ４１は初期値として例えば５分に設定され、大インターバル時間ｔ６４は初期値として例えば３０分に設定され、小インターバル時間ｔ６２は初期値として例えば５分に設定されることになる。
この第４の保管用パージパターンＰ６においては、大インターバル時間ｔ６４、及び、小インターバル時間ｔ６２も、使用者によって変更設定されることになる。
【００７９】
本実施形態において、第１目標流量ＬＭ１がマスフローコントローラ４０を初期目標流量値Ｌαとすべく作動させたときの流量に相当し、第２目標流量ＬＭ２がマスフローコントローラ４０を定常目標流量値Ｌβとすべく作動させたときの流量に相当する。また、目標流量Ｌ１が、第１目標流量ＬＭ１より小さい流量であるノズル浄化用の目標流量に相当する。
そして、制御手段Ｈが、収納部１０Ｓに収納された容器５０に対して供給する不活性気体の目標流量を第１目標流量ＬＭ１とすべくマスフローコントローラ４０を作動させる第１供給状態と、目標流量を第１目標流量ＬＭ１より小さな第２目標流量ＬＭ２とすべくマスフローコントローラ４０を作動させる第２供給状態と、容器５０を収納部１０Ｓに収納する収納指令が指令されたときからその収納部１０Ｓに容器５０が収納されるまでの間の供給時間ｔ１だけ目標流量を第１目標流量よりも小さな目標流量Ｌ１とすべくマスフローコントローラ４０を作動させる収納前供給状態とを切換える形態で、マスフローコントローラ４０の作動を制御するように構成されている。
【００８０】
また、パージコントローラＨ１は、第１分岐供給配管Ｌｂ１からチャネルＣＨ１に対して供給可能な最大許容流量、及び、第２分岐供給配管Ｌｂ２からＣＨ２に対して供給可能な最大許容流量を記憶する状態で管理しており、パージコントローラＨ１に備えるプログラムモジュールとしての同時供給算出部Ｈ１１が、最大許容流量Ｌｍａｘと第１目標流量ＬＭ１と第２目標流量と目標流量Ｌ１に基づいて、同時に第１供給状態とすることができる不活性気体供給部Ｆの最大数である同時供給最大数Ｎを算出するようになっている。
すなわち、本実施形態においてはパージコントローラＨ１に備える同時供給算出部Ｈ１１が同時供給算出手段に相当する。
【００８１】
同時供給算出部Ｈ１１は、同時供給最大数Ｎを、以下の数式に基づいて算出する。
Ｌｍａｘ＝（Ｎ×ＬＭ１）＋｛（Ｂ−Ｎ）×ＬＭ１｝＋ＬＭ０      ・・・（式１）
ただし、Ｌｍａｘは最大許容流量、Ｂは一群の不活性気体供給部における全ての収納部数、Ｌｉは第１目標流量、Ｌｍは第２目標流量、ＬＭ０は収納前目標流量とする。上記（式１）をＮについて解くと、
Ｎ＝（Ｌｍａｘ−Ｂ×ＬＭ２−ＬＭ０）／（ＬＭ１−ＬＭ２）        ・・・（式２）
となる。
つまり、同時供給算出部Ｈ１１は、同時供給最大数Ｎを、一群の収納部１０Ｓについての不活性気体供給部Ｆの全てにおける不活性気体の流量の合計を最大許容流量Ｌｍａｘ以下とすべく算出するように構成されている。
【００８２】
（制御手段Ｈによるパージパターンの選択）
本実施形態では、制御手段ＨとしてのパージコントローラＨ１が、前記複数のパージパターン（Ｐ１〜Ｐ６）を記憶自在に構成されている。そして、複数のパージパターンＰ１〜Ｐ６のうち、節約供給パターンとして保管用パージパターンＰ３〜Ｐ６を記憶自在に構成されている。
操作卓ＨＳは、容器５０を収納部１０Ｓに収納した収納状態において、保管用パージパターンＰ３〜Ｐ６に係る情報を表示し、図示しない入力手段（マウス、キーボード等）によってそのいずれを選択するかを人為的に選択自在に構成されている。すなわち、保管用パージパターンＰ３〜Ｐ６のうちいずれを使用するかを人為的に選択自在な供給パターン選択手段が設けられ、パージコントローラＨ１が、保管用パージパターンＰ３〜Ｐ６のうち操作卓ＨＳにて予め選択された節約供給パターンで容器５０内に活性気体を供給すべくマスフローコントローラ４０の作動を制御するように構成されている。
【００８３】
（制御手段Ｈによる同時開始対応処理の実行）
次に、制御手段Ｈによる同時開始対応処理の実行について、図８及び図９のフローチャートを参照して説明する。
図８に示すように、パージコントローラＨ１に備える同時供給算出部Ｈ１１は、同時に第１供給状態とすることができる不活性気体供給部Ｆの数量である同時供給最大数Ｎを、上記（式２）に基づいて算出する（＃１１）。
続いて、同時に第１供給状態となる不活性気体供給部Ｆの数Ｄが同時供給最大数Ｎよりも大であるか否かを判別する（＃１２）。ＤがＮよりも大であると判別した場合（＃１２：Ｙｅｓ）には、パージコントローラＨ１は、同時供給最大数を超える不活性気体供給部用の処理として実行される同時開始対応処理を実行する（＃１３）。この同時開始対応処理の詳細については後に説明する。また、ＤがＮよりも小であると判別した場合（＃１２：Ｎｏ）には、パージコントローラＨ１は、全ての不活性気体供給部Ｆに対して通常のパージ処理、すなわち、上記保管用パージパターンＰ３〜Ｐ６のいずれかとして選択されたパージパターンで設定された目標流量及び吐出時間を変更しない状態でパージを行う（＃１４）。制御手段Ｈは、＃１２がＹｅｓである間、設定遅延時間ＴＤが経過する毎に＃１３の同時開始対応処理を繰り返し実行するように構成されている。つまり、開始遅延処理は設定遅延時間ＴＤを単位時間として実行され、設定遅延時間ＴＤが経過する毎に、引き続き開始遅延処理を実行するか否かが判別される。
【００８４】
次に、図９に基づいて、同時開始対応処理について説明する。
まず、パージコントローラＨ１は、同時に第１供給状態となる不活性気体供給部Ｆの数Ｄが同時供給最大数Ｎよりも小であるか否かを判別する（＃２１）。ここでＤがＮよりも大であると判別した場合（＃２１：Ｎｏ）には、同時供給最大数を超える残りの前記不活性気体供給部に対しては第１供給状態とすることができないため、設定遅延時間ＴＤだけ第１供給状態の開始を遅延させる開始遅延処理を実行する（＃２２）。ＤがＮよりも小であると判別した場合（＃２１：Ｎｏ）には、いずれの不活性気体供給部に対しても第１供給状態とすることができるため、例えばストッカコントローラＨ２が管理する識別情報に基づいて設定された優先順序にしたがって、すなわち、識別情報としての識別番号順に、不活性気体供給部について第１供給状態とする供給開始処理を実行する（＃２３）。＃２２又は＃２３の実行が終了すると、パージコントローラＨ１は、同時開始対応処理を終了する。
【００８５】
すなわち、パージコントローラＨ１は、同時供給算出部Ｈ１１によって算出された同時供給最大数Ｎを超える数量の不活性気体供給部Ｆが同時に第１供給状態となるときには、同時開始対応処理として、同時に第１供給状態となる不活性気体供給部Ｆのうち、同時供給最大数と同数の不活性気体供給部Ｆを第１供給状態とし、残りの不活性気体供給部Ｆについて設定遅延時間ＴＤだけ第１供給状態の開始を遅延させる開始遅延処理を実行する。
なお、上記設定遅延時間ＴＤは、以下の式（式３）で算出される。
設定遅延時間ＴＤ＝第１供給状態の継続時間／（Ｎ＋１）        ・・・（式３）
【００８６】
また、パージコントローラＨ１は、開始遅延処理により第１供給状態の開始を遅延させている間、当該開始遅延処理の対象の不活性気体供給部Ｆである遅延処理対象供給部に対して第２供給状態で窒素ガスを供給すべくマスフローコントローラ４０を制御するように構成されている。
【００８７】
さらに、パージコントローラＨ１は、同時開始対応処理として、遅延処理対象供給部について、同時に第１供給状態となる不活性気体供給部Ｆの数量が同時供給算出部Ｈ１１によって算出された同時供給最大数Ｎを下回るときには、開始遅延処理を実行中の不活性気体供給部Ｆである遅延処理対象供給部のうち、それを第１供給状態としても同時供給最大数Ｎを超えない数量の遅延処理対象供給部について第１供給状態とする供給開始処理を実行するように構成されている。
【００８８】
そして、パージコントローラＨ１は、供給開始処理を、収納部１０ＳについてストッカコントローラＨ２が管理する識別情報に基づいて設定された優先順序にしたがって、すなわち、識別情報としての識別番号順に実行するように構成されている。
【００８９】
（同時開始対応処理の実行結果）
次に、同時開始対応処理を実行した結果を、図１０のタイムチャートを参照して説明する。
図１０は、縦軸に収納部に付与された識別情報としての識別番号をとり、横軸に経過時間をとったタイムチャートであり、Ｒｎが収納前供給状態と示し、Ｒ１が第１供給状態を示し、Ｒ２が第２供給状態を示す。図１０の例では、複数の収納部１０Ｓの全てにおいて容器５０が収納されていない状態を初期状態とし、容器５０を収納する収納指令が指令されるのに対応して、容器５０を識別番号順に収納部１０Ｓに収納する形態で、識別番号１から識別番号１２まで容器５０を収納する。なお、本実施形態において設けられるスタッカークレーン２０は１台としているため、容器５０を同時に収納部１０Ｓに収納することは出来ないことになる。
【００９０】
図１０の横軸の下部における表は、経過時間を設定遅延時間ＴＤを単位時間として区切った場合において同時に第１供給状態、第２供給状態、及び収納前供給状態になっている不活性気体供給部Ｆの数量を示している。また、第１供給状態については、上段に開始遅延処理が実行される前の数（つまり、同時供給最大数Ｎと開始遅延処理が実行される不活性気体供給部である遅延処理対象供給部の数との合計数）、下段に開始遅延処理が実行された後の数を記載している。また、図１０においては、第３の保管用パージパターンＰ５を適用した場合を示す。
（式２）において、全収納部数Ｂ＝１２、最大許容流量Ｌｍａｘ＝３１５［リットル／分］、第１目標流量ＬＭ１＝５０［リットル／分］、第２目標流量ＬＭ２＝５［リットル／分］、収納前目標流量ＬＭ０＝３０［リットル／分］としてＮを算出すると、Ｎ＝５となる。また、設定遅延時間ＴＤを上記（式３）に基づいて算出すると、５［分］／（５＋１）＝５０［秒］となる。
したがって、第１供給状態となる不活性気体供給部Ｆの数が５以上となった場合、５を超える数である不活性気体供給部Ｆが遅延処理対象供給部となり、設定遅延時間ＴＤとして５０［秒］の間、第１供給状態の開始が遅延される。
尚、上記した各数値は、本発明において設定する数値及びそれに基づいて算出される数値の一例を示すものであり、上記各数値に限定されるものではない。
【００９１】
図１０のタイムチャートを見ると、開始遅延処理実行前では、横軸の第１９番目の単位時間において６つの不活性気体供給部Ｆが第１供給状態となる。しかしながら、上述のように本実施形態における同時に第１供給状態とすることができる不活性気体供給部Ｆの最大数は５つであるので、いずれか１つの不活性気体供給部Ｆについて、第１供給状態とするタイミングを遅延させる開始遅延処理を実行する。ここでは、次に第１供給状態となることが予定されている識別番号４の収納部１０Ｓに対応する不活性気体供給部Ｆに対して、開始遅延処理が実行されることになる。次の第２０番目の単位時間においては、６つの不活性気体供給部Ｆが第１供給状態となるため、次に第１供給状態となることが予定されている識別番号５の収納部１０Ｓに対応する不活性気体供給部Ｆに対して、開始遅延処理が実行される。続く第２１番目の単位時間においては、７つの不活性気体供給部Ｆが第１供給状態となるため、次に第１供給状態となることが予定されている識別番号５及び識別番号６の収納部１０Ｓに対応する不活性気体供給部Ｆに対して、開始遅延処理が実行される。
このように、本実施形態では、単位時間の経過毎に開始遅延処理が必要か否かを判別するという簡素な構成で、同時に同時供給最大数Ｎ以上の数の不活性気体供給部Ｆが第１供給状態となることを抑制することができるものでありながらも、第１供給状態の開始を遅延させる状態を極力早期に解消することが可能な物品保管設備を提供できるものとなる。
なお、図１０においては、開始遅延処理を実行している状態である単位時間をＲｎで示している。
【００９２】
〔別実施形態〕
次に、本発明の別実施形態を説明する。
（１）上記実施形態では、搬送容器５０をＦＯＵＰとし、収容する物品を半導体ウェハーＷとし、不活性気体として搬送容器に窒素ガスを供給する構成を例示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、収容する物品をレチクルとし、搬送容器５０をレチクル容器としてもよい。また、搬送容器に供給する不活性気体としては、窒素ガス以外にもアルゴンガス等、収容される基板に対して反応性の低い各種の気体を使用することができる。
【００９３】
（２）上記実施形態では、流量検出手段をマスフローコントローラ４０に内蔵する状態で設ける構成を例示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、流量検出手段を供給配管Ｌｉに備える構成としてもよい。
【００９４】
（３）上記実施形態では、容器５０の収納状態において目標流量を第１目標流量と第２目標流量との２段階に切換えるべくマスフローコントローラ４０を制御する構成を説明したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば３段階以上の目標流量に切換え自在に構成してもよい。
【００９５】
（４）上記実施形態では、第１供給状態とその次の第１供給状態との間に位置する第２供給状態として、不活性気体を、断続的に第１目標流量より小さな第２目標流量で供給すべく流量調節装置を作動させる構成を例示したが、このような構成に代えて、第１供給状態とその次の第１供給状態との間に位置する第２供給状態において、第２目標流量を継続的に０リットル／分とするように構成してもよい。
【００９６】
（５）上記実施形態では、パージコントローラＨ１に同時に第１供給状態とすることができる不活性気体供給部Ｆの最大数である同時供給最大数Ｎを算出する同時供給算出部Ｈ１１を設ける構成としたが、同時供給算出部Ｈ１１をパージコントローラＨ１以外のコントローラに設けたり、単独のコンピュータ（マイクロコントローラを含む）に設ける構成としてもよい。また、同時供給算出部Ｈ１１を設けない構成とし、最大許容流量Ｌｍａｘ、第１目標流量ＬＭ１、第２目標流量ＬＭ２、収納前目標流量ＬＭ０、及びＮを固定した値とする構成としてもよい。
【００９７】
（６）上記実施形態では、開始遅延処理として設定遅延時間ＴＤだけ第１供給状態の開始を遅延させ、その後開始遅延処理を引き続き行うか否かを設定遅延時間ＴＤ経過毎に判別して、第１供給状態となっている不活性気体供給部Ｆの個数が同時最大供給数Ｎよりも小さくなったと判別した場合には、そのように判別を行った設定遅延時間ＴＤ経過時点を始点に遅延処理対象供給部に対して供給開始処理を実行する構成としたが、このような構成に代えて、第１供給状態となっている不活性気体供給部Ｆの個数が同時最大供給数Ｎよりも小さくなったことを判別した場合（例えば在荷センサ１０ｚにて第１供給状態で不活性気体を供給していた容器５０が収納部１０から取り出されたと判別した場合等）には、設定遅延時間ＴＤが満了していなくても、遅延処理対象供給部に対して供給開始処理を実行するように構成してもよい。このように構成することで、第１供給状態となっている不活性気体供給部Ｆの個数が同時最大供給数Ｎよりも小さくなった場合に、次の設定遅延時間ＴＤの経過を待つことなく逸早く遅延処理対象供給部に対して供給開始処理を実行することができるものとなる。
【００９８】
また、上記実施形態では、開始遅延処理として設定遅延時間ＴＤだけ第１供給状態の開始を遅延させ、その後設定遅延時間ＴＤが経過する毎に第１供給状態となっている不活性気体供給部Ｆの個数が同時最大供給数Ｎよりも小さくなったか否か（すなわち供給開始処理の実行が可能か否か）を判別する構成としたが、このような構成に代えて、開始遅延処理の開始後、不活性気体供給部Ｆの個数が同時最大供給数Ｎよりも小さくなってその遅延処理対象供給部に対して第１供給状態の開始が可能となる時点までを設定遅延時間とするように構成してもよい。この場合、設定遅延時間は入出庫状況に応じて変動することになる。
【００９９】
（７）上記実施形態では、パージコントローラＨ１が、開始遅延処理により第１供給状態の開始を遅延させている間、当該不活性気体供給部に対して第２供給状態で不活性気体を供給すべくマスフローコントローラ４０の作動を制御する構成を例示したが、このような構成に代えて、第１供給状態の開始を遅延させている間、第２目標流量以外の流量（第２目標流量よりも小さい方が好ましいが、同時供給最大数に影響を与えない範囲内において、第２目標流量よりも大きくてもよい）で不活性気体を供給すべくマスフローコントローラ４０の作動を制御するように構成してもよい。また、第１供給状態の開始を遅延させている間の不活性気体の供給流量を可変に構成しておき、その時々において供給可能な余剰流量の不活性気体を供給するように構成してもよい。
【０１００】
（８）上記実施形態では、容器５０を収納部１０Ｓに収納する収納指令が指令されたときからその収納部１０Ｓに容器５０が収納されるまでの間の供給時間ｔ１だけ不活性気体を第１目標流量よりも小さな目標流量Ｌ１で供給すべくマスフローコントローラ４０を作動させる収納前供給状態に切換え自在に構成したが、このような構成に限定されるものではなく、収納前供給状態を設けない構成とすることもできる。
【０１０１】
（９）上記実施形態では、ストッカコントローラＨ２が管理する識別情報を、収納部１０Ｓ固有の識別番号とする構成を例示したが、このような構成に代えて、例えば識別情報を文字列当からなる収納部ＩＤとし、その収納部ＩＤに対して優先順序を定義するように構成してもよい。なお、この場合の優先順序は、入庫口から近い箇所の収納部１０Ｓの優先順序を高く、入庫口から遠い箇所の収納部１０Ｓの優先順序を低く設定することや、或いはその逆に、入庫口から近い箇所の収納部１０Ｓの優先順序を低く、入庫口から遠い箇所の収納部１０Ｓの優先順序を高く設定することができる。また、使用頻度の低い収納部１０Ｓの優先順位を高く、使用頻度の高い収納部１０Ｓの優先順位を低く設定すれば、収納部１０Ｓの使用頻度の均等化を図ることも可能である。
【０１０２】
（１０）上記実施形態では、供給開始処理を、収納部１０ＳについてストッカコントローラＨ２が管理する識別情報に基づいて設定された優先順序にしたがう形態で実行するように構成したが、このような構成に代えて、パージコントローラＨ１に開始遅延処理の対象の不活性気体供給部である遅延処理対象供給部の夫々について開始遅延処理を開始してからの時間である待機時間を計測する待機時間計測手段としての待機時間計測部を設け、パージコントローラＨ１が、供給開始処理を、待機時間計測部が計測した待機時間が長い遅延処理対象供給部から順に実行するように構成してもよい。このように構成すれば、開始遅延処理を開始してからの待機時間が長い容器５０に対して、さらに長い時間開始遅延処理が継続されることを抑制して、容器５０内の半導体ウェハーＷが汚損することを防止することができる。
【０１０３】
（１１）上記実施形態では、容器５０を収納する収納部として、保管棚１０の収納部１０Ｓを例示したが、収納部としては、例えば、ホイスト式の搬送車ＤのガイドレールＧの横側脇に設けた収納部でもよい。
【０１０４】
（１２）上記実施形態では、制御手段Ｈが、容器５０が入出庫コンベヤＣＶに搬入されてスタッカークレーン２０の移載装置２５が容器５０を受け取ると、ノズルパージパターンＰ１に応じてノズル浄化用の目標流量を指令するように構成したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、スタッカークレーン２０が容器５０を受け取るための動作を開始した時点や、容器５０を受け取るための走行経路におけるある走行位置に到達した時点に、ノズルパージパターンＰ１に応じてノズル浄化用の目標流量を指令する構成としてもよい。
【０１０５】
（１３）上記実施形態では、同時供給算出部Ｈ１１によって算出された同時供給最大数Ｎを超える数量の不活性気体供給部Ｆが同時に第１供給状態となるときには、同時に第１供給状態となる不活性気体供給部Ｆのうち、同時供給最大数Ｎと同数の不活性気体供給部Ｆを第１供給状態とし、残りの不活性気体供給部Ｆについて開始遅延処理を実行する構成としたが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、同時供給算出部Ｈ１１によって算出された同時供給最大数Ｎを超える数量の不活性気体供給部Ｆが同時に第１供給状態となるときには、同時に第１供給状態となる不活性気体供給部Ｆのうち、同時供給最大数Ｎ以下の不活性気体供給部Ｆを第１供給状態とし、残りの不活性気体供給部Ｆについて設定遅延時間ＴＤだけ第１供給状態の開始を遅延させる開始遅延処理を実行するように構成してもよい。
【０１０６】
つまり、例えば一旦全ての不活性気体供給部に対する不活性気体の供給を停止した後に供給を再開する場合、又は、手動運転から自動運転に切換える等して、搬送容器が収納されている全ての不活性気体供給部に対して第１供給状態を開始するタイミングが同じになる場合において、搬送容器内を新たな不活性気体にて速やかに置換させるために当該搬送容器が収納されている全ての不活性気体供給部を同じタイミングで第１供給状態とする場合には、不活性気体供給部Ｆに供給する不活性気体の流量が急激に増加して不活性気体供給部Ｆにおけるマスフローコントローラ４０やそれに至る配管（供給配管Ｌｓ）等に衝撃が加わる等の事象を抑制すべく、第１供給状態とする不活性気体供給部Ｆの数量を一気に同時供給最大数Ｎまで増加させるのではなく、まず同時供給最大数Ｎ以下の設定数（例えば、同時供給最大数Ｎの１／２以下又は２／３以下の最大数等といった開始時数量を同時供給最大数Ｎの算出に伴って算出しておくことや、開始時数量を固定的に設定しておくことが考えられる。なお、開始時数量の算出法は上記に限定されるものではない。）を第１供給状態とし、その後、微小遅延時間（例えば１秒〜数秒等）をずらして、１つ又は設定された増加数量の不活性気体供給部Ｆを第１供給状態とし、最終的に同時供給最大数Ｎの不活性気体供給部Ｆを第１供給状態とするような構成とすることができる。
【符号の説明】
【０１０７】
１０Ｓ        収納部
１０ｉ        吐出口
２０          搬送装置
４０          流量調節装置
５０          搬送容器
Ｆ            不活性気体供給部
Ｗ            基板
Ｈ            制御装置
Ｈ１１        同時供給算出手段
Ｎ            同時供給最大数
Ｌｍａｘ      最大許容流量
ＬＭ０        収納前目標流量
ＬＭ１        第１目標流量
ＬＭ２        第２目標流量
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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