(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品パッケージを製造するための方法であって、
(ｉ)電子部品の電極が封止樹脂層の表面から露出するように該電子部品が該封止樹脂層に埋設されたパッケージ前駆体を形成する工程、
(ｉｉ)貫通孔を有する金属箔を前記封止樹脂層の前記表面に設ける工程であって、該貫通孔が前記電子部品の前記電極に対向して位置付けられるように該金属箔を設ける工程、および
(ｉｉｉ)前記金属箔に対して金属めっき層を形成する工程
を含み、
前記工程(ｉｉｉ)では、乾式めっき法を実施した後で湿式めっき法を実施して前記金属めっき層を形成しており、該金属めっき層によって前記金属箔の貫通孔が充填され、該金属めっき層と該金属箔とが一体化されることを特徴とする、電子部品のパッケージの製造方法。
【請求項２】
前記乾式めっき法を実施して、前記貫通孔を介して前記電子部品の前記電極に直接的に接する乾式めっき層を形成し、また
前記湿式めっき法を実施して、前記乾式めっき層に直接的に接する湿式めっき層を形成することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記乾式めっき法を実施して、前記貫通孔の輪郭形状に沿った屈曲形態を有する前記乾式めっき層を形成することを特徴とする、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記湿式めっき法を実施して、前記貫通孔を全て満たして前記金属箔上に厚みを有する前記湿式めっき層を形成することを特徴とする、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記金属箔の前記貫通孔の形状がテーパー状であることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記金属箔の厚さが１８μｍ〜１０００μｍであることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記(ｉｉ)の工程において、前記封止樹脂層の前記表面に対向する位置にある前記金属箔に前記貫通孔を形成する工程を更に含み、
前記電極に対向する位置に形成した前記貫通孔と、前記封止樹脂層の前記表面に対向する位置に形成した前記貫通孔との開口径が異なることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記開口径が異なることにより、前記金属めっき層のめっき成長高さを変えることを特徴とする、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記電極に対向する位置に形成した前記貫通孔の開口径が、前記封止樹脂層の前記表面に対向する位置に形成した前記貫通孔の開口径よりも小さいことを特徴とする、請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記乾式めっき法を実施して１００ｎｍ〜１０００ｎｍの厚さの乾式めっき層を形成する一方、前記湿式めっき法を実施して１μｍ〜１０μｍの厚さ(前記貫通孔の設置領域以外の領域における厚さ)の湿式めっき層を形成することを特徴とする、請求項２に記載の方法。
【請求項１１】
前記乾式めっき法としてスパッタリングを実施する一方、前記湿式めっき法として電気めっきを実施することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記一体化した金属箔および前記金属めっき層をパターニング処理に付すことによって、金属配線層を形成することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
前記工程(ｉ)の前記パッケージ前駆体を形成は、
(ａ)粘着性キャリアに貼り付けられるように前記電子部品を該粘着性キャリアに配置する工程、
(ｂ)前記電子部品を覆うように前記粘着性キャリア上に封止樹脂層を形成する工程、および
(ｃ)前記封止樹脂層から前記粘着性キャリアを剥離することによって、前記封止樹脂層の表面から前記電子部品の前記電極を露出させる工程を含むことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
前記金属箔に接着剤層が含まれ、該接着剤層が前記封止樹脂層の前記電極を露出させた面と接することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
前記電子部品として発光素子を含み、
前記封止樹脂層の形成に代えて、前記発光素子上に蛍光体層を配置し、該発光素子および該蛍光体層を覆うように透明樹脂層を形成することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項１６】
電子部品パッケージであって、
封止樹脂層、
前記封止樹脂層に埋設された電子部品、および
前記封止樹脂層上に形成され、かつ前記電子部品の電極に接合されている金属配線層
を有して成り、
前記金属配線層が、前記電子部品の電極に対して直接的に接合した金属めっき層および該金属めっき層と一体化した金属箔から構成されており、また、
前記金属めっき層が乾式めっき層と湿式めっき層とから成る２層構造を有し、該乾式めっき層が前記電子部品の前記電極に直接的に接触するように屈曲した形態を有する一方、該湿式めっき層が該屈曲した形態に起因して形成された該乾式めっき層の窪み部を満たして前記金属箔上に厚みを有する形態を有することを特徴とする、電子部品パッケージ。
【請求項１７】
前記金属箔の内部領域を局所的に貫通するように前記金属めっき層が延在していることを特徴とする、請求項１６に記載の電子部品パッケージ。
【請求項１８】
前記電子部品の前記電極に加えて、更に前記封止樹脂層と直接的に接触するように前記金属めっき層が延在していることを特徴とする、請求項１６に記載の電子部品パッケージ。
【請求項１９】
前記封止樹脂層と直接的に接触する金属めっき層上に、ハンダ付けがされることを特徴とする、請求項１８に記載の電子部品パッケージ。
【請求項２０】
前記電子部品の前記電極と直接的に接触する前記金属めっき層と、前記封止樹脂層と直接的に接触する前記金属めっき層との前記金属めっきの高さが異なることを特徴とする、請求項１６に記載の電子部品パッケージ。
【請求項２１】
前記電子部品の前記電極と直接的に接触する前記金属めっき層の高さが、前記封止樹脂層と直接的に接触する前記金属めっき層との前記金属めっきの高さよりも高いことを特徴とする、請求項２０に記載の電子部品パッケージ。
【請求項２２】
前記金属めっき層の形状がテーパー状であることを特徴とする、請求項１６に記載の電子部品パッケージ。
【請求項２３】
前記金属箔が１８μｍ〜１０００μｍの厚さを有することを特徴とする、請求項１６に記載の電子部品パッケージ。
【請求項２４】
前記金属めっき層の厚さ(前記乾式めっき層の前記窪み部以外の領域における厚さ)が、前記金属箔の厚さよりも薄いことを特徴とする、請求項１６に記載の電子部品パッケージ。
【請求項２５】
前記乾式めっき層が１００ｎｍ〜１０００ｎｍの厚さを有する一方、前記湿式めっき層が１μｍ〜１０μｍの厚さ(前記乾式めっき層の前記窪み部以外の領域における厚さ)を有することを特徴とする、請求項１６に記載の電子部品パッケージ。
【請求項２６】
前記電子部品として発光素子を有して成り、また
前記封止樹脂層に代えて、前記発光素子上に蛍光体層が設けられ、該発光素子および該蛍光体層を覆う透明樹脂層が設けられていることを特徴とする、請求項１６に記載の電子部品パッケージ。
【請求項２７】
前記金属箔に接着剤層が含まれ、該接着剤層が前記封止樹脂層の前記電極を露出させた面と接することを特徴とする、請求項１６に記載の電子部品パッケージ。
【請求項２８】
前記金属配線層に対して設けられたレジスト層を更に有していることを特徴とする、請求項１６に記載の電子部品パッケージ。
【請求項２９】
前記金属箔および前記金属めっき層の少なくとも一部が前記電子部品パッケージの放熱部材となっていることを特徴とする、請求項１６に記載の電子部品パッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品パッケージおよびその製造方法に関する。より詳細には、本発明は電子部品を備えたパッケージ品およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器の進展に伴い、エレクトロニクス分野では様々な実装技術が開発されている。例示すると、ＩＣやインダクタなどの電子部品の実装技術（パッケージング技術）として、回路基板やリードフレームを用いた実装技術が存在する。つまり、一般的な電子部品のパッケージ形態としては「回路基板を用いたパッケージ」および「リードフレーム・タイプのパッケージ」などが存在する。【０００３】
「回路基板を用いたパッケージ」（図５(ａ）参照）は、回路基板上に電子部品が実装された形態を有している。かかるパッケージの種類としては「ワイヤーボンディング型（Ｗ／Ｂ型）」と「フリップチップ型（Ｆ／Ｃ型）」とが一般に存在する。「リードフレーム・タイプのパッケージ」（図５（ｂ）参照）は、リードやダイパッドなどから成るリードフレームを含んだ形態を有している。リードフレーム・タイプのパッケージ、回路基板を用いたパッケージともに、各種の電子部品がはんだ付けなどでボンディングされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−８０５２８号公報
【特許文献２】特開平１０−２２３８３２号公報
【特許文献３】特開２０１１-１３４８１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の技術においては、放熱特性および高密度実装における接続信頼性の点で十分ではないという問題がある。【０００６】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、放熱特性および高密度実装における接続信頼性の向上を実現する電子部品パッケージおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る電子部品パッケージを製造するための方法は、
(ｉ)電子部品の電極が封止樹脂層の表面から露出するように電子部品が封止樹脂層に埋設されたパッケージ前駆体を形成する工程、
(ｉｉ)貫通孔を有する金属箔を封止樹脂層の表面に設ける工程であって、貫通孔が電子部品の電極に対向して位置付けられるように金属箔を設ける工程、
(ｉｉｉ)金属箔に対して金属めっき層を形成する工程を含み、
工程(ｉｉｉ)では、乾式めっき法を実施した後で湿式めっき法を実施して金属めっき層を形成しており、金属めっき層によって金属箔の貫通孔が充填され、金属めっき層と金属箔とが一体化されることを特徴とする。【０００８】
また、本発明の一態様では、上記製造方法によって得られる電子部品パッケージも提供される。かかる電子部品パッケージは、
封止樹脂層、
封止樹脂層に埋設された電子部品、および
封止樹脂層上に形成され、かつ電子部品の電極に接合されている金属配線層
を有して成り、
金属配線層が、電子部品の電極に対して直接的に接合した金属めっき層および金属めっき層と一体化した金属箔から構成されており、また、
金属めっき層が乾式めっき層と湿式めっき層とから成る２層構造を有し、乾式めっき層が電子部品の電極に直接的に接触するように屈曲した形態を有する一方、湿式めっき層が屈曲した形態に起因して形成された乾式めっき層の窪み部を満たして金属箔上に厚みを有する形態を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の電子部品パッケージによれば、放熱特性および高密度実装における接続信頼性の向上を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本発明の電子部品パッケージの製造方法を模式的に示した工程断面図である。
【図２】図２は、本発明の実施態様の電子部品パッケージの概略断面図である。
【図３】図３は、本発明の別の実施態様の電子部品パッケージの概略断面図である。
【図４】図４は、本発明の他の実施態様の電子部品パッケージの概略断面図である。
【図５】図５は、従来技術の電子部品パッケージの構成態様を模式的に示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（本発明の基礎となった知見）
本発明者は、「背景技術」の欄において記載した従来のパッケージ技術に関し、以下の問題が生じることを見出した。
【００１２】
「回路基板を用いたパッケージ」（図５（ａ）参照）は高密度実装を実現できるが、回路基板を用いているため、放熱を十分に行うことができない。又、基板自体のコストもかかる。更に、ワイヤーボンディグやフリップチップ実装を行うためのコストも無視できない。それ故、更なるコスト低減が望まれている。又、「リードフレーム・タイプのパッケージ」（図５（ｂ）参照）は、リードフレームで微細加工が困難であるため、高密度な実装には向かない問題を有している。
【００１３】
又、はんだ付けが両パッケージになされているため、全体を樹脂で封止した場合、いわゆる“はんだフラッシュ”の問題が懸念される。すなわち、はんだ付けにおける加熱に際して、パッケージ内の部品接合に用いられているはんだ材料が、再溶融してしまい短絡を起こしたりするおそれがある。それ故、接続信頼性が十分ではない問題を有している。
【００１４】
本発明はかかる事情に鑑みて為されたものである。すなわち、本発明の主たる目的は、(１)放熱特性が良好であり、(２)実装コストを削減でき、又、(３)接続信頼性が十分である電子部品パッケージおよびその製造方法を提供することである。
【００１５】
このため、本願発明者らは、従来技術の延長線上で対応するのではなく、新たな方向で対処することによって上記目的の達成を試みた。その結果、上記目的が達成された電子部品パッケージおよびその製造方法の発明に至った。具体的には、本発明の一態様では、電子部品パッケージを製造するための方法であって、
(ｉ)電子部品の電極が封止樹脂層の表面から露出するように電子部品が封止樹脂層に埋設されたパッケージ前駆体を形成する工程、
(ｉｉ)貫通孔を有する金属箔を封止樹脂層の表面に設ける工程であって、貫通孔が電子部品の電極に対向して位置付けられるように金属箔を設ける工程、
(ｉｉｉ)金属箔に対して金属めっき層を形成する工程を含み、
工程(ｉｉｉ)では、乾式めっき法を実施した後で湿式めっき法を実施して金属めっき層を形成しており、金属めっき層によって金属箔の貫通孔が充填され、金属めっき層と金属箔とが一体化されることを特徴とする、電子部品パッケージを製造するための方法が提供される。
【００１６】
本発明の一態様では、電子部品の電極露出面上に厚みのある金属配線層が直接的に設けられているため、金属配線層を介して電子部品からの熱を効率良く放熱することができる。より具体的には、金属配線層を構成する金属箔が封止樹脂層に直接的に接しており、又、金属配線層を構成する金属めっき層が電子部品の電極に直接的に接しているため、金属箔および電子部品の電極を介して電子部品からの熱を効率良く放熱することができる。又、本発明では、パッケージ内においてはんだ接合を行っていない。それ故、はんだフラッシュなどの不都合は回避されており、接続信頼性の向上を図ることができる。更に、本発明の一態様では、基板を用いておらず、又、ワイヤーボンディングやフリップチップ実装などと比べて簡易なプロセスでパッケージング可能であるため、パッケージの低コスト化を図ることができる。
【００１７】
以下、本発明の一態様に係る電子部品パッケージおよびその製造方法について説明する。
【００１８】
まず、図１（ａ）に示すように、粘着性キャリア１０を準備する。粘着性キャリア１０は、例えば、基板と粘着層とから構成されたキャリアシートであってよい。つまり、図１（ａ）に示すように、支持基材１２上に粘着層１１が設けられた２層構造のキャリアシートを用いてよい。なお、支持基材１２は可撓性を有していることが好ましい。
【００１９】
支持基材１２としては、電子部品２０の配置や封止樹脂層３０の形成などのプロセスに支障をきたすものでなければ、いずれのシート状部材であってもよい。例えば、支持基材１２の材質は、樹脂、金属および／またはセラミックなどであってよい。支持基材１２の樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル樹脂、ポリメタクリル酸メチルなどのアクリル樹脂、ポリシクロオレフィン樹脂、ポリカーボネートなどを挙げることができる。支持基材１２の金属としては、例えば、鉄、銅、アルミニウムもしくはそれらの合金などを挙げることができる。支持基材１２のセラミックスとしては、例えば、アパタイト、アルミナ、シリカ、炭化ケイ素、窒化ケイ素、炭化ホウ素等を挙げることができる。支持基材１２自体の厚さは、“シート状”ゆえ、好ましくは０．１ｍｍ〜２．０ｍｍ、より好ましくは０．２ｍｍ〜１．０ｍｍ（例えば、０．２ｍｍ）である。
【００２０】
一方、粘着層１１は、電子部品２０に対して粘着性を有するものであれば特に制限はない。例えば、粘着層１１自体は、アクリル樹脂系接着剤、ウレタン樹脂系接着剤、シリコーン樹脂系粘着剤およびエポキシ樹脂系接着剤から成る群から選択される少なくとも１種以上の接着性材料を含んで成るものであってよい。粘着層１１の厚さは、好ましくは２μｍ〜５０μｍ、より好ましくは５μｍ〜２０μｍ（例えば１０μｍ）である。尚、粘着層１１としては、粘着両面テープを用いてもよい（例えばＰＥＴフィルムなどの樹脂薄層の両主面に対して接着剤層が形成されたテープを用いてもよい）。
【００２１】
次に、図１（ｂ）に示すように、粘着性キャリア１０上に少なくとも１種類の電子部品２０を配置する。つまり、粘着性キャリア１０に対して電子部品２０を貼り付ける。電子部品２０は、エレクトロニクス実装分野で用いられる回路部品・回路素子であれば、いずれの種類のものを用いてよい。あくまでも例示にすぎないが、かかる電子部品の種類としては、ＩＣ（例えばコントロールＩＣ）、インダクタ、半導体素子（例えば、ＭＯＳ（金属酸化物半導体））、コンデンサ、パワー素子、発光素子（例えばＬＥＤ）、チップ抵抗、チップコンデンサ、チップバリスタ、チップサーミスタ、その他チップ状の積層フィルター、接続端子などを挙げることができる。
【００２２】
電子部品２０の配置は、その電極２５部分が粘着性キャリア１０と接するように行うことが好ましい。これによって、下記に示す剥離操作において電子部品２０の電極２５を好適に露出させることができる。
【００２３】
次に、図１（ｃ）に示すように、電子部品２０を覆うように粘着性キャリア１０上に封止樹脂層３０を形成する。封止樹脂層３０は、樹脂原料をスピンコート法やドクターブレード法などにより粘着性キャリア１０の粘着面に塗布した後で熱処理や光照射などに付すことによって設けることができる（即ち、塗布した樹脂原料を熱硬化または光硬化させることによって封止樹脂層３０を設けることができる）。あるいは、別法にて粘着性キャリア１０の粘着面に対して樹脂フィルムなどを貼り合わせることによって封止樹脂層３０を設けてもよい。さらには、未硬化状態の粉体状もしくは液状の封止樹脂を金型に充填し、加熱硬化により封止樹脂層３０を設けることができる。封止樹脂層３０の材質は、絶縁性を供するものであればいずれの種類の材質であってもよく、例えば、エポキシ系樹脂やシリコーン系樹脂などであってよい。封止樹脂層３０の厚さは、好ましくは０．５ｍｍ〜５．０ｍｍ程度、より好ましくは１．２ｍｍ〜１．８ｍｍ程度である。
【００２４】
次に、図１（ｄ）に示すように、粘着性キャリア１０を剥離し、それによって、封止樹脂層３０の表面から電子部品２０の電極２５を露出させて、電子部品パッケージ前駆体１００’を形成する。
【００２５】
次に、図１（ｅ）、図１（ｆ)に示すように、封止樹脂層３０の露出面および電子部品２０の電極２５露出面と接するように貫通孔加工を行った金属箔４０を設ける。この時、電子部品２０の電極２５に対向する箇所に金属箔４０に設けた貫通孔が位置付けられるように位置合わせを行う。これにより、金属箔４０に設けた貫通孔から電子部品２０の電極２５が露出する。なお、金属箔４０の厚さは、好ましくは９μｍ〜２０００μｍであり、より好ましくは１８μｍ〜１０００μｍである。又、金属箔４０は、好ましくはＣｕ（銅）、Ｎｉ（ニッケル）およびＡｌ（アルミニウム）から成る群から選択される少なくとも１種類の金属材料を含んで成る。貫通孔の形成方法としては、エレクトロニクス実装分野で用いられている処理であれば特に制限はない。例えば、レジスト形成〜露光・現像〜エッチングなどを実施するフォトリソグラフィーを利用することによって所望のパターニング処理を実施してよい。この時、封止樹脂層３０からＢステージの状態で粘着性キャリア１０を剥離し、金属箔４０と位置合わせ後加熱加圧することで封止樹脂層３０と金属箔４０とを一体化させ、その後、本硬化することで封止樹脂層３０と金属箔４０との接着性を良好にすることができる。
【００２６】
次に、図１（ｇ）に示すように、位置合わせを行った金属箔４０に対して乾式めっき法を実施して乾式めっき層５０を形成する。この乾式めっき層５０のうち、金属箔４０に設けた貫通孔内の乾式めっき層５０は、電子部品２０の電極２５と直接的に接触し、又、貫通孔の輪郭形状に沿った屈曲形態を有するように形成される。
【００２７】
次に、図１(ｈ)に示すように、位置合わせを行った金属箔４０に対して湿式めっき法を実施して湿式めっき層６０を形成する。この湿式めっき層６０のうち、金属箔４０に設けた貫通孔内の湿式めっき層６０は、乾式めっき層５０の窪み部を満たす、すなわち、埋めるように形成される。好ましくは、乾式めっき法を実施して１００ｎｍ〜１０００ｎｍの厚さの乾式めっき層５０を形成し、湿式めっき法を実施して１μｍ〜１０μｍの厚さ(但し、乾式めっき層の窪み部以外の領域における厚さに相当する)の湿式めっき層６０を乾式めっき層上に形成する。つまり、乾式めっき層５０は非常に薄いのに対して、湿式めっき層６０は乾式めっき層５０と比較すると厚く設けられる。
【００２８】
乾式めっき法によって形成される乾式めっき層５０は、例えば、Ｔｉ（チタン）、Ｃｒ（クロム）およびＮｉ（ニッケル）から成る群から選択される少なくとも１種類の金属材料を含んで成ることが好ましい。一方、湿式めっき法によって形成される湿式めっき層６０は、Ｃｕ（銅）、Ｎｉ（ニッケル）およびＡｌ（アルミニウム）から成る群から選択される少なくとも１種類の金属材料を含んで成ることが好ましい。なお、あくまでも例示にすぎないが、乾式めっき層５０は、単一層として形成することに限らず、複数の層として形成してもよい。例えば、乾式めっき層５０としては、スパッタリングによりＴｉ薄膜層とＣｕ薄膜層とを形成してよい（より具体的には、Ｔｉ薄膜層を形成した後にＣｕ薄膜層を形成してよい）。この場合、かかる２層構造のスパッタ層上に湿式めっき層６０として厚いＣｕめっき層を電解めっきにより形成することが好ましい。
【００２９】
以上により、金属箔４０上に乾式めっき層５０および湿式めっき層６０から構成され、厚みを有する金属めっき層が形成される。これにより、金属めっき層と金属箔４０とが一体化され、電子部品２０の電極２５と金属箔４０とが電気的に接続される。又、封止樹脂層３０の露出面および電子部品２０の電極２５露出面上に、金属箔４０を設けることで、金属箔４０を電子部品２０からの熱を放熱するためにより好適な放熱部材として利用することができる。更に、乾式めっき層５０、すなわち、金属めっき層が直接的に電子部品２０の電極２５に接触しているため、金属箔４０および金属めっき層を電子部品２０からの熱を放熱するためにより好適な放熱部材として利用することができる。
【００３０】
本発明の製造方法は、乾式めっき法を実施するからこそ、後の湿式めっき法でめっき層を密着力良く形成できる。乾式めっき法は、真空めっき法（ＰＶＤ法）と化学気相めっき法（ＣＶＤ法）とを含んでおり、真空めっき法（ＰＶＤ法）が更にスパッタリング、真空蒸着およびイオンプレーディングなどを含んで成る。一方、湿式めっき法は、電気めっき法（例えば電解めっき）、化学めっき法および溶融めっき法などを含んで成る。ある好適な態様として、本発明の製造方法では、乾式めっき法としてスパッタリングで形成し、湿式めっき法として電気めっき法（例えば電解めっき）で形成してよい。
【００３１】
次に、図１（ｉ）に示すように、金属箔４０および金属めっき層をパターニング処理することによって、所望の金属配線層を形成することができる。このパターンニング処理自体は、エレクトロニクス実装分野で用いられている処理であれば特に制限はない。例えば、レジスト形成〜露光・現像〜エッチングなどを実施するフォトリソグラフィーを利用することによって所望のパターニング処理を実施してよい。又、金属箔４０および金属めっき層のパターニング処理後、金属配線層に対してレジスト層を形成することが好ましい。例えば、金属配線層に対してソルダーレジスト層を形成することが好ましい。このレジスト層７０の形成は、エレクトロニクス実装分野で一般に用いられているソルダーレジスト形成と同様であってよい。更に、ダイシング処理を経て、最終的に図２に示す本発明の一態様に係る電子部品パッケージ１００を得ることができる。
【００３２】
図２に示すように、本発明の一態様に係る電子部品パッケージは、封止樹脂層３０、封止樹脂層３０に埋設された電子部品２０、封止樹脂層３０上に形成され、かつ電子部品２０の電極２５に接合されている金属配線層を有して成る。この金属配線層は、電子部品２０の電極２５に対して直接的に接合された金属めっき層およびこの金属めっき層と一体化した金属箔４０から構成されている。金属箔４０は、電子部品２０の電極２５の一部および封止樹脂層３０に直接的に接している。なお、金属箔４０は封止樹脂層にのみ接する形態でもよい。又、金属めっき層は電子部品２０の電極２５に直接的に接している。金属めっき層は、乾式めっき層５０と湿式めっき層６０とから成る２層構造を有しており、厚さ１８μｍ〜１０００μｍの金属箔４０の内部領域を局所的に貫通するように延在している。電子部品２０の電極２５に対向する位置にある乾式めっき層５０は、電子部品２０の電極２５に直接的に接触するように屈曲した形態を有する。この形態に起因して、電子部品２０の電極２５に対向する位置に、乾式めっき層５０の窪み部が形成されている。又、電子部品２０の電極２５に対向する位置にある湿式めっき層６０は乾式めっき層５０の窪み部を満たすように隙間なく形成されている。それ故、電子部品２０の電極２５に直接的に接触する金属めっき層は、凸部形状を有している。又、乾式めっき層５０は１００ｎｍ〜１０００ｎｍの厚さを有しており、乾式めっき層５０の窪み部以外の領域における湿式めっき層６０の厚さは１μｍ〜１０μｍの厚さを有している。すなわち、湿式めっき層は金属箔４０上に厚みのある形態を有している。又、乾式めっき層５０の窪み部以外の領域における金属めっき層の厚さは、金属箔４０の厚さよりも薄い。
【００３３】
以上の事から、本発明の一態様に係る電子部品パッケージ１００は、以下の特徴を有する。すなわち、封止樹脂層３０の露出面および電子部品２０の電極２５露出面上に直接的に厚い金属箔４０が設けられており、又、電子部品２０の電極２５上に直接的に金属めっき層が形成されている。それ故、本発明の一態様に係る電子部品パッケージ１００は、優れた放熱特性を有することが可能である。従って、電子部品の特性や動作寿命が増す効果がもたらされ、又、熱に起因した電子部品や封止樹脂の変性・変色なども効果的に防止することができる。又、ワイヤやバンプを介した電気接続の場合と比較して電気抵抗にも優れている。そのため、本発明の一態様に係るパッケージでは、より大きな電流を流すことができる効果なども奏され得る。例えば、ＬＥＤパッケージなどの発光素子パッケージの場合を例にとると、高放熱特性や大電流などに起因して、より高輝度な発光素子パッケージを本発明で実現できる。
【００３４】
又、本発明は下記に示す態様を採ってもよい。
【００３５】
この態様では、まず、粘着性キャリア１０を準備し金属パターン層を粘着性キャリア１０上に設けてよい。つまり、粘着性キャリア１０に対して貼り付けられるように金属パターン層を設けてよい。粘着性キャリア１０に対して設けられる金属パターン層は、パターン化処理が施された金属層である。金属パターン層の金属材質としては、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）、パラジウム（Ｐｄ）、白金（Ｐｔ）およびニッケル（Ｎｉ）から成る群から選択される少なくとも１種の金属材料を含んで成るものであってよい。金属パターン層８０の厚みは、好ましくは５μｍ〜１００μｍ、より好ましくは１０μｍ〜５０μｍ（例えば１８μｍ）である。金属パターン層におけるパターニングは、粘着性キャリア１０への設置前に行ってもよいし、又は、粘着性キャリア１０への設置後に行ってもよい。なお、金属パターン層のパターニング処理自体は、エレクトロニクス実装分野で用いられている処理であれば特に制限はない。例えば、レジスト形成〜露光・現像〜エッチングなどを実施するフォトリソグラフィーを利用することによってパターニング処理してよい。
【００３６】
次に、金属パターン層と重ならないキャリア領域に対して少なくとも１種類の電子部品２０を配置してよい。つまり、金属パターン層と重ならない範囲で粘着性キャリア１０に対して電子部品２０を貼り付けてよい。電子部品２０の配置に際しては、金属パターン層を認識パターンとして用いてよい。つまり、金属パターン層の少なくとも一部をアライメントマークとして用いてもよい。例えば、電子部品２０を配置する際の位置決めに金属パターン層のアライメントマークを用いることができる。これによって、所望の電子部品２０を正確に位置付けることができ、信頼性の高いパッケージを実現することができる。なお、アライメントマーク自体は、それを意図して金属パターン層のパターンに予め含めておいてもよいし、又は、別の目的で形成したパターン部分をそのまま利用してもよい。又、金属パターン層のアライメントマークは、電子部品の位置決めに用いることに限定されず、他の用途の位置決めに用いることも可能である。次に、電子部品２０および金属パターン層を覆うように粘着性キャリア１０上に封止樹脂層３０を形成してよい。
【００３７】
次に、粘着性キャリア１０を剥離し、それによって、封止樹脂層３０の表面から電子部品２０の電極２５を露出させると共に、金属パターン層を露出させてよい。本発明では、金属パターン層の存在によって粘着性キャリア１０の好適な剥離が達成される。具体的には、封止樹脂層３０と粘着性キャリア１０との接合面にて局所的に介在する金属パターン層の存在によって、封止樹脂層３０に対する粘着性キャリア１０の全体的な離型性を向上させている。これは、「金属パターン層と粘着性キャリア１０との接合面」が「封止樹脂層３０と粘着性キャリア１０との接合面」よりも減じられた接合力を供することに起因している。つまり、金属パターン層と粘着性キャリア１０との「減じられた接合力が供される接合面」を局所的に介在させ、それによって、封止樹脂層３０に対する粘着性キャリア１０の剥離性向上を全体として図っている。換言すれば、本発明においては封止樹脂層３０と粘着性キャリア１０との接合面にて局所的に介在する金属パターン層が“離型促進部材”または“離型補助部材”として機能している。本発明では、金属パターン層に起因して「粘着性キャリア１０と封止樹脂層３０との全体的な離型性」が効果的に図られているので、粘着性キャリア１０の剥離操作を好適に行うことができる。
【００３８】
なお、粘着性キャリアの剥離を更により好適に行うために、光沢面を有する金属パターン層を用いることが好ましい。具体的には、剥離前において金属パターン層の光沢面が粘着性キャリア１０と接するような形態にしておくことが好ましい。つまり、金属パターン層の光沢面が粘着性キャリア１０（特に粘着層１１）と接するように金属パターン層を粘着性キャリア１０上に設けることが好ましい。金属パターン層の光沢面が好適に利用されると、「金属パターン層と粘着性キャリア１０との接合面」における接合力を更に減じることができ、結果的に「封止樹脂層３０に対する粘着性キャリア１０の剥離性」を更に向上させることができる。
【００３９】
又、光沢面に加えて又はそれに代えて、粗化面を有する金属パターン層を用いることが好ましい。この場合、粗化面が封止樹脂層３０と接合するように金属パターン層が封止樹脂層３０に覆われる形態にしておくことが好ましく、それによって、粘着性キャリアの剥離を更により好適に行うことができる。つまり、金属パターン層の粗化面が露出面となるように、金属パターン層を粘着性キャリア１０上に設けることが好ましい。そして、露出した粗化面に対して封止樹脂層３０が供されることになるので、粗化面と封止樹脂層３０とが相互に接合するように金属パターン層が封止樹脂層３０に覆われる。このような金属パターン層の“粗化面”が存在すると、それに起因して金属パターン層と封止樹脂層３０との接合力が増すことになり、結果的に、粘着性キャリア１０の剥離を更により好適に行うことができる。
【００４０】
特に好ましい態様としては、金属パターン層が光沢面および粗化面を有している。つまり、金属パターン層が光沢面および粗化面を有し、光沢面が粘着性キャリア１０と接すると共に、粗化面と封止樹脂層３０とが相互に接合するように金属パターン層が封止樹脂層３０に覆われていることが好ましい。かかる場合、「金属パターンと封止樹脂層３０との密着性向上」および「封止樹脂層３０と粘着性キャリア１０との剥離性向上」の双方を図ることができる。
【００４１】
なお、本発明において粗化面とは、金属パターン層の主面が粗い面（微細な凹凸面）となっていることを意味しており、例えば金属パターン層の表面の算術平均粗さＲｚが５．０μｍ以上、好ましくは７．０μｍ以上となっていることを実質的に意味している（その上限値は特に制限はないものの、例えば１０．０μｍ以下である）。又、本明細書において光沢面とは、金属パターン層の主面が平滑面となっていることを意味しており、例えば金属パターン層の表面の算術平均粗さＲａが０．３μｍ以下、好ましくは０．２μｍ以下（Ｒｚが２．０μｍ以下、好ましくは１．０μｍ以下）となっていることを実質的に意味している（つまり、金属パターン層の光沢面の算術平均粗さＲａが０（０を除く）〜０．３μｍ、好ましくは０（０を除く）〜０．２μｍとなっている）。ここで、本明細書でいう『算術平均粗さ（Ｒａ）』とは、平均線の方向に基準長さＬだけ抜き取り、この抜き取り部分における平均線から測定曲線までの偏差の絶対値を合計して得られる値を平均化したものを実質的に意味している。又、ここでいう表面粗さを表すＲｚとは、ＪＩＳ Ｂ０６０１で規定されている粗さＲｚのことを指している。つまり、本発明におけるＲｚは、粗さ曲線からその平均線の方向に基準長さだけを抜き取り、この抜取り部分の平均線から縦倍率の方向に測定した、最も高い山頂から５番目までの山頂の標高(Ｙｐ)の絶対値の平均値と、最も低い谷底から５番目までの谷底の標高(Ｙｖ)の絶対値の平均値との和を求め、この値をマイクロメートル(μｍ)で表したものをいう（ＪＩＳ Ｂ０６０１：１９９４参照）。
【００４２】
次に、封止樹脂層３０の露出面および電子部品２０の電極２５露出面の一部と接するように貫通孔加工を行った金属箔４０を設ける。この時、電子部品２０の電極２５に対向する箇所に金属箔４０に設けた貫通孔が位置付けられるように位置合わせを行う。これにより、金属箔４０に設けた貫通孔から電子部品２０の電極２５が露出する。なお、貫通孔は電子部品２０の電極２５部分に対向する箇所だけでなく、金属パターン層直下に形成することも可能である。これにより封止樹脂層３０面や電子部品２０の電極２５露出面以外からの放熱性を向上させることができる。次に、位置合わせを行った金属箔４０に対して乾式めっき法を実施して乾式めっき層５０を形成する。この乾式めっき層５０のうち、金属箔４０に設けた貫通孔内の乾式めっき層５０は、貫通孔の輪郭形状に沿った屈曲形態を有するように形成される。次に、位置合わせを行った金属箔４０に対して湿式めっき法を実施して湿式めっき層６０を形成する。この湿式めっき層６０のうち、金属箔４０に設けた貫通孔内の湿式めっき層６０は、乾式めっき層５０の窪み部を満たす、すなわち、埋めるように形成される。以上により、金属箔４０上に乾式めっき層５０および湿式めっき層６０から構成され、厚みを有する金属めっき層が形成される。これにより、金属めっき層と金属箔４０とが一体化され、電子部品２０の電極２５と金属箔４０とが電気的に接続される。
【００４３】
又、本発明は下記に示す態様を採ってもよい。
【００４４】
まず、粘着性キャリア１０を準備する。次に、粘着性キャリア１０上に少なくとも１種類の電子部品２０を配置する。つまり、粘着性キャリア１０に対して電子部品２０を貼り付ける。次に、電子部品２０を覆うように粘着性キャリア１０上に封止樹脂層３０を形成する。次に、粘着性キャリア１０を剥離し、それによって、封止樹脂層３０の表面から電子部品２０の電極２５を露出させて、電子部品パッケージ前駆体１００’を得る。次に、封止樹脂層３０の露出面および電子部品２０の電極２５露出面に対向する金属箔４０面上に接着層９０を形成し、電子部品２０の電極２５に対向するように貫通孔が形成された接着層付き金属箔４０’を準備する。
【００４５】
接着層９０はアクリル樹脂系接着剤、ウレタン樹脂系接着剤、シリコーン樹脂系粘着剤およびエポキシ樹脂系接着剤から成る群から選択される少なくとも１種以上の接着性材料を含んで成るものであってよい。接着層９０の厚さは、好ましくは２μｍ〜５０μｍ、より好ましくは５μｍ〜１０μｍ（例えば１０μｍ）である。
【００４６】
接着層付き金属箔４０’への貫通孔の形成方法は、エレクトロニクス実装分野で用いられている処理であれば特に制限はない。例えば、レジスト形成〜露光・現像〜エッチングなどを実施するフォトリソグラフィーを利用することによってパターニング処理してよい。更には、レーザー加工、パンチング加工（打ち抜き加工）などの機械的加工処理によって貫通孔を形成してもよい。
【００４７】
次に、電子部品２０の電極２５と貫通孔が対向するように位置合わせし、封止樹脂層３０の露出面および電子部品２０の電極２５露出面と金属箔４０とが接着層９０を介して積層される。接着層９０に熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂を用いた場合は、材料に応じて加熱加圧工程を加えて積層することができる。これにより、電子部品パッケージ前駆体１００’と金属箔４０との間での剥離がなく、信頼性の高い電子部品パッケージを得ることができる。次に、位置合わせを行った接着層付き金属箔４０’に対して乾式めっき法を実施して乾式めっき層５０を形成する。この乾式めっき層５０のうち、接着層付き金属箔４０’に設けた貫通孔内の乾式めっき層５０は、貫通孔の輪郭形状に沿った屈曲形態を有するように形成される。次に、位置合わせを行った接着層付き金属箔４０’に対して湿式めっき法を実施して湿式めっき層６０を形成する。この湿式めっき層６０のうち、接着層付き金属箔４０’に設けた貫通孔内の湿式めっき層６０は、乾式めっき層５０の窪み部を満たす、すなわち、埋めるように形成される。
【００４８】
これにより、接着層付き金属箔４０’上に乾式めっき層５０および湿式めっき層６０から構成され、厚みを有する金属めっき層が形成される。これにより、金属めっき層と接着層付き金属箔４０’とが一体化され、電子部品２０の電極２５と接着層付き金属箔４０’とが電気的に接続される。
【００４９】
最後に、接着層付き金属箔４０’をパターニング処理することによって、所望の配線形成（例えば、取り出し電極を含む所望の配線パターン形成）を行い、更にはダイシング処理を経て、最終的に図３に示す本発明の電子部品パッケージ１００を得ることができる。
【００５０】
図３に示すように、この実施態様における本発明の電子部品パッケージは、封止樹脂層３０、封止樹脂層３０に埋設された電子部品２０、封止樹脂層３０上に形成され、かつ電子部品２０の電極２５に接合されている金属配線層を有して成る。この金属配線層は、電子部品２０の電極２５に対して直接的に接合した金属めっき層およびこの金属めっき層と一体化した接着層付き金属箔４０‘から構成されている。金属めっき層は、乾式めっき層５０と湿式めっき層６０とから成る２層構造を有しており、接着層付き金属箔４０’の内部領域を局所的に貫通するように延在している。乾式めっき層５０は、電子部品２０の電極２５に直接的に接触するように屈曲した形態を有する。湿式めっき層６０は、屈曲した形態に起因して形成された乾式めっき層５０の窪み部を満たして接着層付き金属箔４０’上に厚みを有する形態を有する。乾式めっき層５０の窪み部以外の領域における金属めっき層の厚さは、接着層付き金属箔４０’の厚さよりも薄い。
【００５１】
この実施態様における本発明の電子部品パッケージ１００は、封止樹脂層３０の露出面および電子部品２０の電極２５露出面の一部に直接的に厚い接着層付き金属箔４０’を設けているため、封止樹脂層３０の露出面および電子部品２０の電極２５露出面と接着層付き金属箔４０’との間での剥離がない。それ故、優れた放熱特性を有する信頼性の高い電子部品パッケージを得ることができる。従って、電子部品の特性や動作寿命が増す効果がもたらされ、又、熱に起因した電子部品や封止樹脂の変性・変色なども効果的に防止することができる。又、ワイヤやバンプを介した電気接続の場合と比較して電気抵抗にも優れている。そのため、この実施態様における本発明のパッケージでは、より大きな電流を流すことができる効果なども奏され得る。例えば、ＬＥＤパッケージなどの発光素子パッケージの場合を例にとると、高放熱特性や大電流などに起因して、より高輝度な発光素子パッケージを本発明で実現できる。
【００５２】
又、本発明は下記に示す態様を採ってもよい。
【００５３】
まず、粘着性キャリア１０を準備する。次に、粘着性キャリア１０上に少なくとも１種類の電子部品２０を配置する。つまり、粘着性キャリア１０に対して電子部品２０を貼り付ける。次に、電子部品２０を覆うように粘着性キャリア１０上に封止樹脂層３０を形成する。次に、粘着性キャリア１０を剥離し、それによって、封止樹脂層３０の表面から電子部品２０の電極２５を露出させて、電子部品パッケージ前駆体１００’を形成する。次に、封止樹脂層３０の露出面および電子部品２０の電極２５露出面と直接的に接するようにテーパー状に貫通孔加工を行った金属箔４０を設ける。この時、電子部品２０の電極２５に対向する箇所に、金属箔４０に設けたテーパー状の貫通孔が位置付けられるように位置合わせを行う。これにより、金属箔４０に設けた貫通孔から電子部品２０の電極２５が露出する。封止樹脂層３０の露出面および電子部品２０の電極２５露出面上に直接的に金属箔４０を設けることで、金属箔４０を電子部品からの熱を放熱するためにより好適な放熱部材として利用することができる。なお、封止樹脂層３０の露出面に対向する位置にある金属箔４０にテーパー状の貫通孔を更に設けてよい。この態様により、最終的に製造される本発明の電子部品パッケージでは、電子部品２０の電極２５に加えて、更に封止樹脂層３０と直接的に接触するテーパー状の金属めっき層が延在している。
【００５４】
この時、封止樹脂層３０の露出面に対向する位置に形成した貫通孔の開口径と電子部品２０の電極２５に対向する位置に形成した貫通孔の開口径の大きさが異なる。それ故、電子部品２０の電極２５と直接的に接触する金属めっき層と、封止樹脂層３０と直接的に接触する金属めっき層との金属めっきの高さが異なるのである。なお、電子部品２０の電極２５に対向する位置に形成した貫通孔の開口径は、封止樹脂層３０の露出面に対向する位置に形成した貫通孔の開口径よりも小さい。これにより、貫通孔の壁面にめっき層が形成しやすくなり接続不良を低減することができる。
【００５５】
その一方で、封止樹脂層３０の露出面に対向する位置に形成した貫通孔の開口径が電子部品２０の電極２５に対向する位置に形成した貫通孔の開口径よりも大きい。特に、金属箔４０をパターニングし配線層を形成する際に、封止樹脂層３０の露出面に対向する位置に形成した貫通孔の形成する場所を、電子部品パッケージ１００と基板をはんだ接続するためのランド部にすることが可能である。これにより、はんだボールをマウントする際に発生する実装不良や、はんだボールをリフローした際におこるはんだフラッシュなどを抑制することができる。
【００５６】
最後に、金属箔４０をパターニング処理することによって、所望の配線形成（例えば、取り出し電極を含む所望の配線パターン形成）を行い、更にはダイシング処理を経て、最終的に図４に示す本発明の電子部品パッケージ１００を得ることができる。
【００５７】
図４に示すように、この実施態様における本発明の電子部品パッケージは、封止樹脂層３０、封止樹脂層３０に埋設された電子部品２０、封止樹脂層３０上に形成され、かつ電子部品２０の電極２５に接合されている金属配線層を有して成る。この金属配線層は、電子部品２０の電極２５に対して直接的に接合したテーパー状の金属めっき層およびこの金属めっき層と一体化した金属箔４０から構成されている。テーパー状の金属めっき層は、テーパー状の乾式めっき層５０とテーパー状の湿式めっき層６０とから成る２層構造を有しており、金属箔４０の内部領域を局所的に貫通するように延在している。具体的には、テーパー状の乾式めっき層５０は、電子部品２０の電極２５および露出した封止樹脂層３０に直接的に接触するように屈曲した形態を有する。テーパー状の湿式めっき層６０は、屈曲した形態に起因して形成されたテーパー状の乾式めっき層５０の窪み部を満たして金属箔４０上に厚みを有する形態を有する。又、電子部品２０の電極２５に直接的に接触するテーパー状の金属めっき層の幅は、露出した封止樹脂層３０に直接的に接触するテーパー状の金属めっき層の幅よりも狭い。これに伴い、電子部品２０の電極２５に直接的に接触するテーパー状の金属めっき層の高さは、露出した封止樹脂層３０に直接的に接触するテーパー状の金属めっき層の高さよりも高い。従って、電子部品２０の電極２５に直接的に接触するテーパー状の金属めっき層と電子部品２０の電極２５との接続不良を低減することができる。
【００５８】
その一方で、露出した封止樹脂層３０に直接的に接触するテーパー状の金属めっき層の幅は、電子部品２０の電極２５に直接的に接触するテーパー状の金属めっき層の幅よりも広い。従って、露出した封止樹脂層３０に直接的に接触するテーパー状の金属めっき層の部分を、電子部品パッケージ１００と基板をはんだ接続するためのランド部にすることができる。これにより、はんだボールをマウントする際に発生する実装不良や、はんだボールをリフローした際におこるはんだフラッシュなどを抑制することができる。
【００５９】
又、本発明は下記に示す態様を採ってもよい。
【００６０】
本発明の電子部品パッケージの構成要素である電子部品２０として、発光素子を用いる場合であっても、好適に発光素子パッケージ品を製造することができる。この場合、封止樹脂層３０に代えて、蛍光体層および透明樹脂層を用いることが好ましい。具体的には、粘着性キャリア１０に配置された発光素子上に蛍光体層を配置し、次いで、発光素子および蛍光体層を覆うように透明樹脂層を形成する。これにより、所望の発光素子パッケージを得ることができる。
【００６１】
蛍光体層および透明樹脂層の材質や厚さ等は、ＬＥＤパッケージにて一般的に用いられているものであればよい。なお、本明細書において「発光素子」とは、光を発する素子であって、例えば発光ダイオード（ＬＥＤ）およびそれらを含む電子部品のことを実質的に意味する。従って、「発光素子」は、「ＬＥＤのベアチップ（即ちＬＥＤチップ）」のみならず、「ＬＥＤチップがモールドされたディスクリート・タイプ」をも包含した態様を表すものとして用いている。なお、ＬＥＤチップに限らず、半導体レーザーチップなども用いることができる。
【００６２】
電子部品に発光素子が含まれるパッケージの場合、金属箔４０を反射層として好適に用いることができる。この場合、発光素子の直下に反射層が位置付けられるので、発光素子から発された下向きの光を金属箔４０で効率的に反射させることができる。つまり、下向きに発された光を上方へと向けることが可能となる。このような高反射特性を特に重視するならば、金属箔４０は、ＡｇおよびＡｌ等から成る群から選択される金属を含んで成ることが好ましい。
【００６３】
最後に、本発明は下記の態様を有するものであることを確認的に付言しておく。
第１態様：電子部品パッケージを製造するための方法であって、
(ｉ)電子部品の電極が封止樹脂層の表面から露出するように電子部品が封止樹脂層に埋設されたパッケージ前駆体を形成する工程、
(ｉｉ)貫通孔を有する金属箔を封止樹脂層の表面に設ける工程であって、貫通孔が電子部品の電極に対向して位置付けられるように金属箔を設ける工程、および
(ｉｉｉ)金属箔に対して金属めっき層を形成する工程
を含み、
工程(ｉｉｉ)では、乾式めっき法を実施した後で湿式めっき法を実施して金属めっき層を形成しており、金属めっき層によって金属箔の貫通孔が充填され、金属めっき層と金属箔とが一体化されることを特徴とする、電子部品のパッケージの製造方法。
第２態様：上記第１態様において、乾式めっき法を実施して、貫通孔を介して電子部品の電極に直接的に接する乾式めっき層を形成し、また湿式めっき法を実施して、乾式めっき層に直接的に接する湿式めっき層を形成することを特徴とする、電子部品のパッケージの製造方法。
第３態様：上記第１態様又は第２態様において、乾式めっき法を実施して、貫通孔の輪郭形状に沿った屈曲形態を有する乾式めっき層を形成することを特徴とする、電子部品のパッケージの製造方法。
第４態様：上記第１態様〜第３態様のいずれかにおいて、湿式めっき法を実施して、貫通孔を全て満たして金属箔上に厚みを有する湿式めっき層を形成することを特徴とする、電子部品のパッケージの製造方法。
第５態様：上記第１態様〜第４態様のいずれかにおいて、金属箔の貫通孔の形状がテーパー状であることを特徴とする、電子部品のパッケージの製造方法。
第６態様：上記第１態様〜第５態様のいずれかにおいて、金属箔の厚さが１８μｍ〜１０００μｍであることを特徴とする、電子部品のパッケージの製造方法。
第７態様：上記第１態様〜第６態様のいずれかにおいて、(ｉｉ)の工程において、封止樹脂層の表面に対向する位置にある金属箔に貫通孔を形成する工程を更に含み、
電極に対向する位置に形成した貫通孔と、封止樹脂層の表面に対向する位置に形成した貫通孔との開口径が異なることを特徴とする、電子部品のパッケージの製造方法。
第８態様：上記第７態様のいずれかにおいて、開口径が異なることにより、金属めっき層のめっき成長高さを変えることを特徴とする、電子部品のパッケージの製造方法。
第９態様：上記第７態様又は第８態様において、電極に対向する位置に形成した貫通孔の開口径が、封止樹脂層の表面に対向する位置に形成した貫通孔の開口径よりも小さいことを特徴とする、電子部品のパッケージの製造方法。
第１０態様：上記第１態様〜第９態様のいずれかにおいて、乾式めっき法を実施して１００ｎｍ〜１０００ｎｍの厚さの乾式めっき層を形成する一方、湿式めっき法を実施して１μｍ〜１０μｍの厚さ(貫通孔の設置領域以外の領域における厚さ)の湿式めっき層を形成することを特徴とする、電子部品のパッケージの製造方法。
第１１態様：上記第１態様〜第１０態様のいずれかにおいて、乾式めっき法としてスパッタリングを実施する一方、湿式めっき法として電気めっきを実施することを特徴とする、電子部品のパッケージの製造方法。
第１２態様：上記第１態様〜第１１態様のいずれかにおいて、一体化した金属箔および金属めっき層をパターニング処理に付すことによって、金属配線層を形成することを特徴とする、電子部品のパッケージの製造方法。
第１３態様：上記第１態様〜第１２態様のいずれかにおいて、工程(ｉ)のパッケージ前駆体を形成は、  
(ａ)粘着性キャリアに貼り付けられるように電子部品を粘着性キャリアに配置する工程、
(ｂ)電子部品を覆うように粘着性キャリア上に封止樹脂層を形成する工程、および
(ｃ)封止樹脂層から粘着性キャリアを剥離することによって、封止樹脂層の表面から電子部品の電極を露出させる工程を含むことを特徴とする、電子部品のパッケージの製造方法。
第１４態様：上記第１態様〜第１３態様のいずれかにおいて、金属箔に接着剤層が含まれ、接着剤層が封止樹脂層の電極を露出させた面と接することを特徴とする、電子部品のパッケージの製造方法。
第１５態様：上記第１態様〜第１４態様のいずれかにおいて、電子部品として発光素子を含み、
封止樹脂層の形成に代えて、発光素子上に蛍光体層を配置し、発光素子および蛍光体層を覆うように透明樹脂層を形成することを特徴とする、電子部品のパッケージの製造方法。
第１６態様：電子部品パッケージであって、
封止樹脂層、
封止樹脂層に埋設された電子部品、
封止樹脂層上に形成され、かつ電子部品の電極に接合されている金属配線層
を有して成り、
金属配線層が、電子部品の電極に対して直接的に接合した金属めっき層および金属めっき層と一体化した金属箔から構成されており、また、
金属めっき層が乾式めっき層と湿式めっき層とから成る２層構造を有し、乾式めっき層が電子部品の電極に直接的に接触するように屈曲した形態を有する一方、湿式めっき層が屈曲した形態に起因して形成された乾式めっき層の窪み部を満たして金属箔上に厚みを有する形態を有することを特徴とする、電子部品パッケージ。
第１７態様：上記第１６態様において、金属箔の内部領域を局所的に貫通するように金属めっき層が延在していることを特徴とする、電子部品パッケージ。
第１８態様：上記第１６態様又は第１７態様において、電子部品の電極に加えて、更に封止樹脂層と直接的に接触するように金属めっき層が延在していることを特徴とする、電子部品パッケージ。
第１９態様：上記第１８態様において、封止樹脂層と直接的に接触する金属めっき層上に、ハンダ付けがされることを特徴とする、電子部品パッケージ。
第２０態様：上記第１６態様〜第１９態様のいずれかにおいて、電子部品の電極と直接的に接触する金属めっき層と、封止樹脂層と直接的に接触する金属めっき層との金属めっきの高さが異なることを特徴とする、電子部品パッケージ。
第２１態様：上記第２０態様において、電子部品の電極と直接的に接触する金属めっき層の高さが、封止樹脂層と直接的に接触する金属めっき層との金属めっきの高さよりも高いことを特徴とする、電子部品パッケージ。
第２２態様：上記第１６態様〜第２１態様のいずれかにおいて、金属めっき層の形状がテーパー状であることを特徴とする、電子部品パッケージ。  
第２３態様：上記第１６態様〜第２２態様のいずれかにおいて、金属箔が１８μｍ〜１０００μｍの厚さを有することを特徴とする、電子部品パッケージ。
第２４態様：上記第１６態様〜第２３態様のいずれかにおいて、金属めっき層の厚さ(乾式めっき層の窪み部以外の領域における厚さ)が、金属箔の厚さよりも薄いことを特徴とする、電子部品パッケージ。
第２５態様：上記第１６態様〜第２４態様のいずれかにおいて、乾式めっき層が１００ｎｍ〜１０００ｎｍの厚さを有する一方、湿式めっき層が１μｍ〜１０μｍの厚さ(乾式めっき層の窪み部以外の領域における厚さ)を有することを特徴とする、電子部品パッケージ。
第２６態様：上記第１６態様〜第２５態様のいずれかにおいて、電子部品として発光素子を有して成り、また封止樹脂層に代えて、発光素子上に蛍光体層が設けられ、発光素子および蛍光体層を覆う透明樹脂層が設けられていることを特徴とする、電子部品パッケージ。
第２７態様：上記第１６態様〜第２６態様のいずれかにおいて、金属箔に接着剤層が含まれ、接着剤層が封止樹脂層の電極を露出させた面と接することを特徴とする、電子部品パッケージ。
第２８態様：上記第１６態様〜第２７態様のいずれかにおいて、金属配線層に対して設けられたレジスト層を更に有していることを特徴とする、電子部品パッケージ。
第２９態様：上記第１６態様〜第２８態様のいずれかにおいて、金属箔および金属めっき層の少なくとも一部が電子部品パッケージの放熱部材となっていることを特徴とする、電子部品パッケージ。
【００６４】
以上、本発明の実施態様について説明してきたが、これら実施態様はあくまでも例示に過ぎない。これら実施態様に限定されず、種々の変更態様が考えられることは、当業者により容易に理解されよう。
【実施例】
【００６５】
以下のとおり、本発明の電子部品パッケージを作成した。【００６６】
本発明の電子部品パッケージの製造に使用した材料は、次のとおりである。
１．粘着性キャリア（粘着フィルム）：粘着片面テープ(粘着層約１５μｍ＋ポリエステルフィルム約２００μｍ)約２００ｍｍ×約２００ｍｍ
２．封止樹脂層：液状エポキシ樹脂
３．金属箔：片面光沢銅箔(約１８μｍ)／樹脂側粗化面【００６７】
以下の工程を踏んで、電子部品パッケージを作成した。【００６８】
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【００６９】
上記工程により、金属配線層を構成する金属箔４０が封止樹脂層３０に直接的に接しており、又、金属配線層を構成する金属めっき層が電子部品２０の電極２５に直接的に接しているため、金属箔４０および電子部品２０の電極２５を介して電子部品からの熱を効率良く放熱することができた。
又、パッケージ内においてはんだ接合を行っていないため、はんだフラッシュなどの不都合は回避されており、接続信頼性の向上を図ることができた。更に、基板を用いておらず、又、ワイヤーボンディングやフリップチップ実装などと比べて簡易なプロセスでパッケージング可能であるため、パッケージの低コスト化を図ることができた。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明は、エレクトロニクス実装分野の各種用途に用いることができる。例えば、本発明は、電源パッケージ（ＰＯＬコンバータ、例えば降圧型ＤＣ-ＤＣコンバータ）、ＬＥＤパッケージや部品内蔵モジュールなどに用いることができる。
【関連出願の相互参照】
【００７１】
本出願は、日本国特許出願第２０１２−２７９８３０号（出願日：２０１２年１２月２１日、発明の名称「電子部品パッケージおよびその製造方法」）に基づくパリ条約上の優先権を主張する。当該出願に開示された内容は全て、この引用により、本明細書に含まれるとする。
【符号の説明】
【００７２】
１０    粘着性キャリア
１１    粘着層
１２    支持基材
２０    電子部品
２５    電極
３０    封止樹脂層
４０    金属箔
４０’  接着層付き金属箔
５０    乾式めっき層
６０    湿式めっき層
７０    レジスト層
８０    金属パターン層
９０    接着層
１００’電子部品パッケージ前駆体
１００  電子部品パッケージ
【要約】
本発明に係る電子部品パッケージの製造方法は、(ｉ)電子部品の電極が封止樹脂層の表面から露出するように電子部品が封止樹脂層に埋設されたパッケージ前駆体を形成する工程、(ｉｉ)貫通孔を有する金属箔を封止樹脂層の表面に設ける工程であって、貫通孔が電子部品の電極に対向して位置付けられるように金属箔を設ける工程、および、(ｉｉｉ)金属箔に対して金属めっき層を形成する工程を含む。工程(ｉｉｉ)では、乾式めっき法を実施した後で湿式めっき法を実施して金属めっき層を形成しており、金属めっき層によって金属箔の貫通孔が充填され、金属めっき層と金属箔とが一体化される。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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