(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の上板と、中央が最も高くなる中高部を上面に直接形成した下板と、前記上板を前記下板上にセットした状態で前記上板の外縁を前記下板へ着脱可能に固定する固定手段とを備え、前記固定手段による前記上板の固定状態で、前記上板が湾曲してその上面が中高となることを特徴とするラッピング定盤。
【請求項２】
前記上板は、前記下板よりも厚みが小さいものであることを特徴とする請求項１に記載のラッピング定盤。
【請求項３】
前記上板の外縁を、フランジ状の薄肉部としたことを特徴とする請求項１又は２に記載のラッピング定盤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ラップ加工に用いられるラッピング定盤に関する。
【背景技術】
【０００２】
ラップ加工（鏡面研磨）とは、ラッピング定盤の上にワークを置き、ラッピング定盤とワークとの間に研磨剤を供給しながらワークに上から圧力を加えスライディングさせて行う研磨方法である。ここで用いられるラッピング定盤の上面は、ワークを平面に仕上げるために中高の凸面となっている。
なお、出願人は、先行技術文献の調査を行ったが、中高の凸面を有するラッピング定盤に係る先行技術文献は見つからなかった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このようなラッピング定盤を用いてラップ加工を行うと、ラッピング定盤の上面が磨り減り、凸面形状が損なわれてしまい、ラップ加工の精度低下や工数の増加に繋がる。よって、ラッピング定盤の修正が必要となるが、キサゲ作業に非常な手間と時間が掛かってしまう。
【０００４】
そこで、本発明は、摩耗による修正が容易に行えるラッピング定盤を提供することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、平板状の上板と、中央が最も高くなる中高部を上面に直接形成した下板と、上板を下板上にセットした状態で上板の外縁を下板へ着脱可能に固定する固定手段とを備え、固定手段による上板の固定状態で、上板が湾曲してその上面が中高となることを特徴とするものである。
請求項２に記載の発明は、請求項１の構成において、上板は、下板よりも厚みが小さいものであることを特徴とするものである。
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２の構成において、上板の外縁を、フランジ状の薄肉部としたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００６】
請求項１に記載の発明によれば、摩耗による修正が容易に行える。よって、ラップ加工の精度を維持できると共に工数の低減も期待できる。
請求項２に記載の発明によれば、請求項１の効果に加えて、上板の厚みを下板より小さくしたことで、下板上に固定した状態で上板を確実に湾曲させて上面を中高とすることができる。
請求項３に記載の発明によれば、請求項１又は２の効果に加えて、上板の外縁を薄肉部としたことで、下板に中高部を設けても上板の外縁を下板へ確実に固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】ラッピング定盤の説明図で、（Ａ）が平面、（Ｂ）が側面をそれぞれ示す。
【図２】上板の説明図で、（Ａ）が平面、（Ｂ）が側面をそれぞれ示す。
【図３】下板の説明図で、（Ａ）が平面、（Ｂ）が側面をそれぞれ示す。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、ラッピング定盤の一例を示す説明図で、このラッピング定盤１は、上板２と下板３とからなる二層構造となっている。
まず上板２は、図２にも示すように、平面視が正方形の鋳鉄製で、外縁がフランジ状の薄肉部４、その内側が平面視正方形の厚肉部５となっており、薄肉部４における各角部寄りの部位には、側辺と直交状に固定溝６，６・・がそれぞれ形成されている。また、厚肉部５の上面には、ラップ加工時に研磨剤を供給するための溝７，７・・が格子状に形成されている。
【０００９】
次に、下板３は、図３に示すように、上板２と同じ大きさとなる平面視正方形の鋼鉄製で、上面には中高部８が形成されている。この中高部８は、段階的に小径となる複数の円形段部９，９・・を下板３の中心で同心円上に重ねた形状で、最大高さは例えば１５μｍとなっている。このような中高部８は、ロータリー研磨機等で加工可能である。
また、下板３の上面で各角部寄りの部位には、上板２の固定溝６の終端位置に対応するねじ穴１０，１０・・が形成され、中高部８の周囲には、上下方向に貫通する複数のねじ穴１１，１１・・が形成されている。さらに、下板３の左右の側面にも、一対のねじ穴１２，１２がそれぞれ形成されている。なお、ここでは上板２は下板３よりも厚みが小さく（下板３の半分）なっている。
【００１０】
以上の如く構成されたラッピング定盤１においては、下板３の上に上板２をセットすると、下板３のねじ穴１０の上方に上板２の固定溝６が位置する。よって、固定溝６を貫通させて各ねじ穴１０に固定手段としてのボルト１３をねじ込むと、図１に示すように上板２が下板３の上面に固定される。このとき、下板３の上面には中高部８が形成されているため、四隅がボルト止めされる上板２は、同図（Ｂ）に示すように、中央が最も高い凸面となるように湾曲する。すなわち、二層構造であっても上面が中高となるラッピング定盤１が得られる。
【００１１】
こうして得られたラッピング定盤１によれば、湾曲する上板２によって上面が中高となっているので、通常のラッピング定盤と変わりなくラップ加工が行える。なお、ねじ穴１１，１２は、ボルト１４を用いて図示しないテーブル等に下板３を固定するために使用される。
そして、ラップ加工によって上板２が摩耗すれば、上板２を下板３から取り外して、新しい上板２と交換するか、或いは取り外した上板２を平坦に研磨し直すかして、下板３に取り付ければ、上面が中高となるラッピング定盤１として再び使用できる。何れの場合も下板３の中高部８には全く手を加える必要がないので、ラッピング定盤１の再生は短時間で容易に行える。
【００１２】
このように、上記形態のラッピング定盤１によれば、平板状の上板２と、中央が最も高くなる中高部８を上面に形成した下板３と、上板２を下板３上にセットした状態で上板２の外縁を下板３へ着脱可能に固定するボルト１３とを備え、ボルト１３による上板２の固定状態で、上板２が湾曲してその上面が中高となるようにしたことで、摩耗による修正が容易に行える。よって、ラップ加工の精度を維持できると共に工数の低減も期待できる。
【００１３】
特にここでは、上板２の厚みを下板３より小さくしているので、下板３上に固定した状態で上板２を確実に湾曲させて上面を中高とすることができる。
また、上板２の外縁をフランジ上の薄肉部４としたことで、下板３に中高部８を設けても上板２の外縁を下板３へ確実に固定することができる。
【００１４】
なお、上板と下板との結合構造は、上記形態に限定するものではなく、ボルトの数や位置等は適宜変更可能である。また、ボルトに限らず、クランプ等の他の固定手段を用いることもできる。
さらに、上板及び下板の形状も正方形に限らず、矩形や円形等の他の形状としても差し支えない。上板の薄肉部も、上板の厚さ等によっては厚肉として上板全体を均一な厚みとすることもできる。
【符号の説明】
【００１５】
１・・ラッピング定盤、２・・上板、３・・下板、４・・薄肉部、５・・厚肉部、６・・固定溝、７・・溝、８・・中高部、９・・円形段部、１０，１１，１２・・ねじ穴、１３，１４・・ボルト。
【図１】
0005616472.tif 000002
【図２】
0005616472.tif 000003
【図３】
0005616472.tif 000004