(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
設定されている入力変数値セットの各々について、当該入力変数値セットの各々について実測出力変数値を格納する実測出力変数値格納部に格納されているデータから前記実測出力変数値のばらつきに関連する指標値を算出し、前記入力変数値セットに対応付けて指標値格納部に格納するステップと、
特定の入力パラメータ値セットと特定の入力変数値セットとから出力変数の計算値である計算出力変数値を算出するシミュレータに、候補の入力パラメータ値セット及び前記入力変数値セットの各々に対する計算出力変数値を算出させて、当該計算出力変数値と前記実測出力変数値格納部に格納されている、該当入力変数値セットについての前記実測出力変数値との差を前記指標値格納部に格納されている、該当入力変数値セットについての前記指標値を用いて評価した部分誤差を全ての前記入力変数値セットについて考慮した結果である全体誤差、又は当該計算出力変数値と該当入力変数値セットについての前記実測出力変数値との差である部分誤差を該当入力変数値セットについての前記指標値を用いて重み付けしつつ全ての前記入力変数値セットについて考慮した結果である全体誤差を算出する処理を繰り返して、当該全体誤差が最小となる前記候補の入力パラメータ値セットを特定し、出力データ格納部に格納するステップと、
を、コンピュータに実行させるための入力パラメータ値セット特定プログラム。
【請求項２】
前記指標値が、前記実測出力変数値のばらつきを表す値であり、
前記部分誤差が、
特定の入力変数値セットについての前記計算出力変数値と前記特定の入力変数値セットについての前記実測出力変数値との差を、前記特定の入力変数値セットについての前記指標値で正規化した値であり、
前記全体誤差が、
前記部分誤差の自乗を全ての前記入力変数値セットについて加算して前記入力変数値セットの数で除した値、又は１−ｅｘｐ｛−（前記部分誤差の自乗を全ての前記入力変数値セットについて加算して前記入力変数値セットの数で除した値)｝である
請求項１記載の入力パラメータ値セット特定プログラム。
【請求項３】
前記指標値が、標準偏差であり、
前記部分誤差が、（｜前記計算出力変数値−前記実測出力変数値|−前記標準偏差）と０とのうち大きい方の値であり、
前記全体誤差が、前記部分誤差の自乗を全ての前記入力変数値セットについて加算した値を前記入力変数値セットの数で除した値である
請求項１記載の入力パラメータ値セット特定プログラム。
【請求項４】
前記指標値が、標準偏差であり、
前記部分誤差が、（｜前記計算出力変数値−前記実測出力変数値｜／標準偏差）であり、
前記全体誤差が、前記部分誤差の自乗を全ての前記入力変数値セットについて加算した値を前記入力変数値セットの数で除した値である
請求項１記載の入力パラメータ値セット特定プログラム。
【請求項５】
前記指標値が、標準偏差であり、
前記部分誤差が、（｜前記計算出力変数値−前記実測出力変数値｜／標準偏差）であり、
前記全体誤差が、１−ｅｘｐ｛−（前記部分誤差の自乗を全ての前記入力変数値セットについて加算した値を前記入力変数値セットの数で除した値)｝である
請求項１記載の入力パラメータ値セット特定プログラム。
【請求項６】
前記指標値が、標準偏差であり、
前記入力変数値セットが、ゲート長及びゲート幅と電圧値とを含み、
前記出力変数値が、電流値であり、
前記部分誤差が、前記ゲート長及びゲート幅と電圧値との特定の組み合わせについて、（｜前記計算電流値−前記実測電流値|−前記標準偏差）と０とのうち大きい方の値であり、
前記全体誤差が、
前記ゲート長及びゲート幅の特定の組み合わせについて前記部分誤差の自乗を全ての前記電圧値について加算した値を前記電圧値の数で除した第２の部分誤差を、前記ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについて加算して前記ゲート長及びゲート幅の組み合わせの数で除した値である
請求項１記載の入力パラメータ値セット特定プログラム。
【請求項７】
前記指標値が、前記実測出力変数値の分散度合いに応じて設定されている、入力変数空間における前記入力変数値セットの粗密度合いを表す値であり、
前記部分誤差が、
特定の入力変数値セットについての前記計算出力変数値と前記特定の入力変数値セットについての前記実測出力変数値との差であり、
前記全体誤差が、
前記部分誤差を該当入力変数値セットについての前記指標値を用いて重み付けしつつ全ての前記入力変数値セットについて加算して前記入力変数値セットの数で除した値である
請求項１記載の入力パラメータ値セット特定プログラム。
【請求項８】
前記入力変数値セットが、ゲート長及びゲート幅と電圧値とを含み、
前記指標値が、
前記ゲート長の対数値が第１の軸に対応し、前記ゲート長の対数値が第２の軸に対応し、前記ゲート長及びゲート幅の各組み合わせが前記第１の軸及び第２の軸で張られる平面上に点として配置されている場合において、各前記点について、当該点を含み且つ他の前記点を含まない最大の矩形の面積であり、
前記出力変数値が、電流値であり、
前記部分誤差が、
前記ゲート長及びゲート幅と電圧値との特定の組み合わせについて｜前記計算電流値−前記実測電流値｜である第２の部分誤差の自乗を、全ての前記電圧値について加算して前記電圧値の数で除した値であり、
前記全体誤差が、
前記部分誤差を前記ゲート長及びゲート長の該当する組み合わせについての前記指標値で重み付けした上で、前記ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについて加算して前記ゲート長及びゲート幅の組み合わせの数で除した値である
請求項１記載の入力パラメータ値セット特定プログラム。
【請求項９】
設定されている入力変数値セットの各々について、当該入力変数値セットの各々について実測出力変数値を格納する実測出力変数値格納部に格納されているデータから前記実測出力変数値のばらつきに関連する指標値を算出し、前記入力変数値セットに対応付けて指標値格納部に格納するステップと、
特定の入力パラメータ値セットと特定の入力変数値セットとから出力変数の計算値である計算出力変数値を算出するシミュレータに、候補の入力パラメータ値セット及び前記入力変数値セットの各々に対する計算出力変数値を算出させて、当該計算出力変数値と前記実測出力変数値格納部に格納されている、該当入力変数値セットについての前記実測出力変数値との差を前記指標値格納部に格納されている、該当入力変数値セットについての前記指標値を用いて評価した部分誤差を全ての前記入力変数値セットについて考慮した結果である全体誤差、又は当該計算出力変数値と該当入力変数値セットについての前記実測出力変数値との差である部分誤差を該当入力変数値セットについての前記指標値を用いて重み付けしつつ全ての前記入力変数値セットについて考慮した結果である全体誤差を算出する処理を繰り返して、当該全体誤差が最小となる前記候補の入力パラメータ値セットを特定し、出力データ格納部に格納するステップと、
を含み、コンピュータに実行される入力パラメータ値セット特定方法。
【請求項１０】
設定されている入力変数値セットの各々について、当該入力変数値セットの各々について実測出力変数値を格納する実測出力変数値格納部に格納されているデータから前記実測出力変数値のばらつきに関連する指標値を算出し、前記入力変数値セットに対応付けて指標値格納部に格納する指標値算出部と、
特定の入力パラメータ値セットと特定の入力変数値セットとから出力変数の計算値である計算出力変数値を算出するシミュレータに、候補の入力パラメータ値セット及び前記入力変数値セットの各々に対する計算出力変数値を算出させて、当該計算出力変数値と前記実測出力変数値格納部に格納されている、該当入力変数値セットについての前記実測出力変数値との差を前記指標値格納部に格納されている、該当入力変数値セットについての前記指標値を用いて評価した部分誤差を全ての前記入力変数値セットについて考慮した結果である全体誤差、又は当該計算出力変数値と該当入力変数値セットについての前記実測出力変数値との差である部分誤差を該当入力変数値セットについての前記指標値を用いて重み付けしつつ全ての前記入力変数値セットについて考慮した結果である全体誤差を算出する処理を繰り返して、当該全体誤差が最小となる前記候補の入力パラメータ値セットを特定し、出力データ格納部に格納する制御部と、
を有する入力パラメータ値セット特定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、シミュレーションにおいて用いられる入力パラメータ値を特定するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、計算機シミュレーションによる回路などの設計・開発が広く行われている。しかし、シミュレータの利用は、シミュレータの出力計算値が実測値を再現することが前提であるが、実際には誤差が発生している。例えば図１に示すように、シミュレータに入力される入力変数値を横軸に、シミュレータからの出力変数値を縦軸にしたグラフにおいて、入力変数とは別に設定される入力パラメータ値＝１０とした場合の曲線ａと入力パラメータ値＝２０とした場合の曲線ｂとが得られるものとする。一方、特定の入力変数値に対する実測値を菱形の点としてプロットすると、本例では、入力パラメータ値＝２０の曲線ｂとほぼ一致する。しかしながら、入力パラメータ値＝１０と設定してしまうと、計算値の曲線ａは実測値の点から離れてしまう。このように、シミュレータに対する入力パラメータ値を調節して、誤差を最小化する必要がある。
【０００３】
より具体的に、シミュレータとしてＳＰＩＣＥ（Simulation Program with Integrated Circuit Emphasis）を用いて、トランジスタの電流電圧特性をシミュレーションする場合について検討する。この場合、図２に示すように、入力パラメータ値としてはよく知られたＢＳＩＭ（Berkeley Short-Channel IGFET Model）のモデルパラメータを入力パラメータとして採用し、入力変数として電圧、ゲート長及びゲート幅を採用して、それらの値をＳＰＩＣＥシミュレータに入力すると、出力変数である電流の値が出力されるものとする。
【０００４】
この場合、ある入力パラメータ値について、入力変数である電圧の値と、出力変数である電流の値との関係は、シミュレーションの結果として図３に示すようになる。一方、特定の電圧値における電流の実測値をプロットすると図４のようになる。すなわち、矢印の長さの分だけ誤差が発生している。
【０００５】
従来では、誤差関数として、Σ（計算値−実測値）2×重みを用いて、この誤差関数値を最小にするように、入力パラメータ値を調整するようになっている。なお、重みは、ユーザが自らの感覚にあったフィッティングをするために、調整する必要がある。しかしながら、重みを適切に設定することは非常に難しい上、一度重みを設定しても再度入力パラメータ値を最適化しなければならない。さらに、重みの設定が、ユーザのスキルに依存する面があり、客観的に根拠を示すのが難しいといった問題もある。
【０００６】
なお、入力パラメータ値の設定については、幾つかの従来技術が存在している。例えば、設計回路を構成するトランジスタ等のデバイスの実際の動作端子電圧条件にフィッティングした２次モデルパラメータを生成し、この２次モデルパラメータを使って回路シミュレーションを行うような技術が存在している。しかしながら、重みについては検討されていない。
【０００７】
また、以下のような技術も存在している。すなわち、トランジスタのデバイスモデル式とデバイスパラメータの初期値を入力する。そして、入力したデバイスモデル式とデバイスパラメータの初期値、及びトランジスタの所望する電圧−電流特性を記憶する記憶装置に記憶したデバイスパラメータの初期値に基づいて演算を行って、トランジスタにおける多結晶シリコン層のゲート電極側表面のゲート電極端に隣接したソース領域端の第１電位、多結晶シリコン層の絶縁基板側表面におけるソース領域端の第２電位、トランジスタにおける多結晶シリコン層のゲート電極側表面のゲート電極端に隣接したドレイン領域端の第３電位、及び多結晶シリコン層の絶縁基板側表面におけるドレイン領域端の第４電位をそれぞれ算出する。さらに、これら第１乃至第４の電位を記憶装置に記憶したデバイスモデル式に代入してドレイン電流を算出する。そして、記憶装置に記憶した所望の電圧−電流特性と、演算の結果得たドレイン電流に基づく電圧−電流特性とを比較し、許容誤差以下になるまでデバイスパラメータを変更してモデルパラメータを得る。しかしながら、重みについては検討されていない。
【０００８】
さらに、遺伝的アルゴリズムを用いて複数のパラメータを含む物理モデルのパラメータ調整処理を自動的に行う技術も存在している。しかしながら、誤差関数で用いられる重みについては検討されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００７−８００６２号公報
【特許文献２】特開２００８−２８３２８号公報
【特許文献３】特開２００８−２４２９２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従って、本技術の目的は、シミュレーションによる計算値と実測値との誤差の評価に用いる新たな指標を導入してシミュレーション用の入力パラメータ値を適切に設定できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本入力パラメータ値セット特定方法は、（Ａ）設定されている入力変数値セットの各々について、当該入力変数値セットの各々について実測出力変数値を格納する実測出力変数値格納部に格納されているデータから実測出力変数値のばらつきに関連する指標値を算出し、入力変数値セットに対応付けて指標値格納部に格納するステップと、（Ｂ）（１）特定の入力パラメータ値セットと特定の入力変数値セットとから出力変数の計算値である計算出力変数値を算出するシミュレータに、候補の入力パラメータ値セット及び入力変数値セットの各々に対する計算出力変数値を算出させて、（２）当該計算出力変数値と実測出力変数値格納部に格納されている、該当入力変数値セットについての実測出力変数値との差を指標値格納部に格納されている、該当入力変数値セットについての指標値を用いて評価した部分誤差を全ての入力変数値セットについて考慮した結果である全体誤差、又は当該計算出力変数値と該当入力変数値セットについての実測出力変数値との差である部分誤差を該当入力変数値セットについての指標値を用いて重み付けしつつ全ての入力変数値セットについて考慮した結果である全体誤差を算出する処理を繰り返して、（３）当該全体誤差が最小となる候補の入力パラメータ値セットを特定し、出力データ格納部に格納するステップとを含む。
【発明の効果】
【００１２】
適切な入力パラメータ値が設定できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、入力変数と出力変数との関係を示す図である。
【図２】図２は、回路シミュレーションの概要を説明するための図である。
【図３】図３は、電圧と電流との関係を示す図である。
【図４】図４は、計算値と実測値との誤差について説明するための図である。
【図５】図５は、電流値の測定態様について説明するための図である。
【図６】図６は、標準偏差を説明するための図である。
【図７】図７は、標準偏差を説明するための図である。
【図８】図８は、実施の形態１乃至６に係る入力パラメータ値セット特定装置の機能ブロック図である。
【図９】図９は、実測値データ格納部に格納されるデータの一例を示す図である。
【図１０】図１０は、実施の形態１についてのメインの処理フローを示す図である。
【図１１】図１１は、標準偏差格納部に格納されるデータの一例を示す図である。
【図１２】図１２は、実施の形態１における初期入力パラメータ値セット決定処理の処理フローを示す図である。
【図１３】図１３は、入力パラメータ値セット格納部に格納されるデータの一例を示す図である。
【図１４】図１４は、実施の形態１における計算機シミュレーション処理の処理フローを示す図である。
【図１５】図１５は、計算値データ格納部に格納されるデータの一例を示す図である。
【図１６】図１６は、実施の形態１における全体誤差算出処理の処理フローを示す図である。
【図１７Ａ】図１７Ａは、実施の形態１におけるゲート長及びゲート幅についての部分誤差計算処理の処理フローを示す図である。
【図１７Ｂ】図１７Ｂは、全体誤差データ格納部に格納されるデータの一例を示す図である。
【図１８】図１８は、実施の形態１についてのメインの処理フローを示す図である。
【図１９】図１９は、入力パラメータ値の最適化について説明するための図である。
【図２０】図２０は、実施の形態２におけるゲート長及びゲート幅についての部分誤差計算処理の処理フローを示す図である。
【図２１】図２１は、実施の形態３におけるゲート長及びゲート幅についての部分誤差計算処理の処理フローを示す図である。
【図２２】図２２は、シミュレーションの概要を説明するための図である。
【図２３】図２１は、実施の形態４における出力変数の測定態様を示す図である。
【図２４】図２４は、実測値データ格納部に格納されるデータの一例を示す図である。
【図２５】図２５は、実施の形態４についてのメインの処理フローを示す図である。
【図２６】図２６は、標準偏差格納部に格納されるデータの一例を示す図である。
【図２７】図２７は、実施の形態４における初期入力パラメータ値セット決定処理の処理フローを示す図である。
【図２８】図２８は、実施の形態４における計算機シミュレーション処理の処理フローを示す図である。
【図２９】図２９は、計算値データ格納部に格納されるデータの一例を示す図である。
【図３０】図３０は、実施の形態４における全体誤差算出処理の処理フローを示す図である。
【図３１】図３１は、実施の形態４についてのメインの処理フローを示す図である。
【図３２】図３２は、実施の形態５における全体誤差算出処理の処理フローを示す図である。
【図３３】図３３は、実施の形態６における全体誤差算出処理の処理フローを示す図である。
【図３４】図３４は、実施の形態７及び８における入力変数値の設定の粗密について説明するための図である。
【図３５】図３５は、実施の形態７における重み値の算出方法を説明するための図である。
【図３６】図３６は、実施の形態７における入力パラメータ値セット特定装置の機能ブロック図である。
【図３７】図３７は、実施の形態７におけるメインの処理フローを示す図である。
【図３８】図３８は、重みデータ格納部に格納されるデータの一例を示す図である。
【図３９】図３９は、実施の形態７における初期入力パラメータ値セット決定処理を示す図である。
【図４０】図４０は、実施の形態７における計算機シミュレーション処理を示す図である。
【図４１】図４１は、実施の形態７における全体誤差算出処理を示す図である。
【図４２】図４２は、実施の形態７におけるゲート長及びゲート幅についての部分誤差計算処理を示す図である。
【図４３】図４３は、実施の形態７のメインの処理フローを示す図である。
【図４４】図４４は、実施の形態８における重み値の算出方法を説明するための図である。
【図４５】図４５は、実施の形態８のメインの処理フローを示す図である。
【図４６】図４６は、コンピュータの機能ブロック図である。
【図４７】図４７は、実施の形態についての処理フローを示す図である。
【図４８】図４８は、実施の形態についての装置の機能ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
［実施の形態１］
本実施の形態では、図２に示したように、シミュレータに、ＳＰＩＣＥシミュレータを、入力パラメータにＢＳＩＭパラメータを、入力変数に電圧、ゲート長及びゲート幅を、出力変数に電流を想定する。
【００１５】
なお、ゲート長及びゲート幅の組み合わせが同じトランジスタであっても、電流電圧特性はばらつき、さらに同一トランジスタであっても測定誤差があるので測定毎に電流電圧特性はばらつく。従って、本来であれば、ゲート長及びゲート幅の組み合わせ毎に、多数の該当するトランジスタについて何度も電流電圧曲線を描けるように測定する必要がある。しかし、このような測定は多大な手間とコストがかかるので、本実施の形態では、ゲート長及びゲート幅の各組み合わせについて、図５の菱形点に示すように、多数の該当トランジスタ（又は同一トランジスタについて何度も）について、代表電圧値における電流値を測定する。一方、少数のトランジスタについて網羅的に電圧値を変動させて、各電圧値について電流値を測定する。すなわち、図５で曲線ｄ乃至ｆで示すように、電流電圧曲線が描けるように測定する。そして、代表電圧値において中央値（図５では黒菱形の点）となる電流値と同一又は近い電流値が測定されたトランジスタについての電流電圧曲線（図５では実線の曲線ｅ）を、誤差関数での評価対象とする。
【００１６】
また、本実施の形態では、計算電流値と実測電流値との誤差を、代表電圧値で測定された実測電流値の標準偏差を用いて評価する。すなわち、実測値のばらつきの度合いに応じて誤差を評価するものである。例えば図６に示すように実測値のばらつきが大きく標準偏差ＳＤ１が大きな値になるような場合に、実測値と計算値との差が大きくなっても、あまり問題ではない。しかし、例えば図７に示すように実測値のばらつきが小さく標準偏差ＳＤ２が小さな値である場合に、実測値と計算値との差が図６の場合と同じ値となったりすると大きく平均値から外れた値となるため問題が大きい。このようなことを考慮に入れて誤差を評価すれば、客観的、定量的且つ自動的に誤差を調整できるようになる。
【００１７】
このような考え方の下で、本実施の形態に係る入力パラメータ値セット特定装置は、図８に示すような構成を有する。すなわち、入力パラメータ値セット特定装置は、（Ａ）設定データの入力を受け付ける入力部１と、（Ｂ）入力部１により受け付けられた設定データを格納する設定データ格納部２と、（Ｃ）設定データ格納部２等に格納されているデータを用いて処理を実施するパラメータ値セット生成部３と、（Ｄ）パラメータ値セット生成部３により生成されたデータを格納する入力パラメータ値セット格納部４と、（Ｅ）実測出力変数値を格納する実測値データ格納部６と、（Ｆ）実測値データ格納部６に格納されているデータを用いて処理を実施する標準偏差算出部７と、（Ｇ）標準偏差算出部７により算出された標準偏差のデータを格納する標準偏差格納部８と、（Ｈ）実測値データ格納部６と入力パラメータ値セット格納部４とに格納されているデータを用いて処理を実施するシミュレーション制御部５と、（Ｉ）シミュレーション制御部５が取得したシミュレーション結果を格納する計算値データ格納部９と、（Ｊ）実測値データ格納部６と標準偏差格納部８と計算値データ格納部９とに格納されているデータを用いて処理を実施する全体誤差算出部１０と、（Ｋ）全体誤差算出部１０の処理結果を格納する全体誤差データ格納部１１と、（Ｌ）設定データ格納部２及び全体誤差データ格納部１１に格納されているデータを用いて処理を実施する入力パラメータ値特定処理部１２と、（Ｍ）最終的に入力パラメータ値特定処理部１２が特定した入力パラメータ値セットを格納する出力データ格納部１３と、（Ｎ）出力データ格納部１３に格納されているデータを出力装置（例えば印刷装置、表示装置など）又は他のコンピュータなどに出力する出力部１４とを有する。
【００１８】
入力パラメータ値特定処理部１２は、パラメータ値セット生成部３、シミュレーション制御部５及び全体誤差算出部１０に対する制御を実施する。シミュレーション制御部５は、回路シミュレータなどのシミュレータ１００に対して、入力変数値セット及び入力パラメータ値セットを入力してシミュレーションを実施させ、シミュレーションの結果として出力変数値を取得する。パラメータ値セット生成部３は、所定のアルゴリズムに従って全体誤差データ格納部１１に格納されている全体誤差の値に基づき、次の繰り返し処理で用いられる入力パラメータ値セットを生成する。なお、パラメータ値セット生成部３は、初期入力パラメータ値セットをも生成する。また、シミュレーション制御部５は、入力パラメータ値特定処理部１２とやりとりを行うようになっている。
【００１９】
実測値データ格納部６には、例えば図９に示すようなフォーマットでデータが格納されている。すなわち、ゲート長とゲート幅と電圧値との組み合わせに対して、電流の実測値（以下、実測電流値とも記す）が格納されている。なお、図５を用いて説明したように、ゲート長及びゲート幅の各組み合わせについて、所定個数の電圧値に対応して少なくとも１つの実測電流値が格納されている。また、ゲート長及びゲート幅の各組み合わせについて、代表電圧値に対する複数の実測電流値が格納されている。
【００２０】
次に、図１０乃至図１９を用いて、本実施の形態に係る入力パラメータ値セット特定装置の処理内容を説明する。まず、入力部１は、ユーザに対して、生成すべき初期入力パラメータ値のセット数の入力を促し、ユーザからセット数の入力を受け付け、設定データ格納部２に格納する（ステップＳ１）。また、入力部１は、ユーザに対して、以下で実施される最適化のための繰り返し処理における繰り返し上限回数の入力を促し、ユーザから上限回数を受け付け、設定データ格納部２に格納する（ステップＳ３）。なお、入力部１は、ユーザに対して実測値データの入力を促して、実測値データの入力を受け付け、実測値データ格納部６に格納する場合もある。また、他のコンピュータから、実測値データを含むファイルを取得して実測値データ格納部６に格納するようにしても良い。
【００２１】
また、標準偏差算出部７は、実測値データ格納部６に格納されているゲート長及びゲート幅の各組み合わせについて、実測値データ格納部６に格納されている代表電圧値に対する実測電流値の標準偏差を算出し、標準偏差格納部８に格納する（ステップＳ５）。標準偏差については周知であるから説明を省略する。この処理によって、標準偏差格納部８には、例えば図１１に示すようなフォーマットのデータが格納されている。すなわち、ゲート長及びゲート幅の各組み合わせについて、電流値の標準偏差が格納されている。
【００２２】
そして、入力パラメータ値特定処理部１２は、入力パラメータ値セット生成部３に指示を行い、入力パラメータ値セット生成部３は、指示に従って初期入力パラメータ値セット決定処理を実施する（ステップＳ７）。初期入力パラメータ値セット決定処理については、図１２を用いて説明する。
【００２３】
図１２の処理において、入力パラメータ値セット生成部３は、所定のアルゴリズムに従って、初期入力パラメータ値セットを計算し、入力パラメータ値セット格納部４に格納する（ステップＳ２１）。初期値であるからどのような方法で算出するようにしても良いが、例えばランダムサンプリングなどの方法で、各入力パラメータに対して当該入力パラメータの値域内で初期値を算出する。入力パラメータ値セット格納部４には、例えば図１３に示すようなデータが格納される。図１３に示すように、入力パラメータ１乃至ｍのそれぞれについて、値が登録されている。なお、指定セット数がＭであれば、最終的にＭレコードが登録される。
【００２４】
そして、入力パラメータ値セット生成部３は、設定データ格納部２に格納されている指定セット数だけ入力パラメータ値セットを算出したか判断する（ステップＳ２３）。まだ指定セット数だけ入力パラメータ値セットを算出していない場合にはステップＳ２１に戻る。一方、指定セット数だけ入力パラメータ値セットを算出した場合には、元の処理に戻る。
【００２５】
図１０の処理の説明に戻って、入力パラメータ値特定処理部１２は、シミュレーション制御部５に指示を行い、シミュレーション制御部５は、指示に従って入力パラメータ値セット格納部４に格納されている初期入力パラメータ値のうち未処理のセットを１つ特定する（ステップＳ９）。そして、シミュレーション制御部５などは、特定された入力パラメータ値セットについての計算機シミュレーション処理を実施する（ステップＳ１１）。この特定された入力パラメータ値セットについての計算機シミュレーション処理については、図１４及び図１５を用いて説明する。
【００２６】
図１４の処理において、シミュレーション制御部５は、実測値データ格納部６において、入力変数値（ここではゲート長及びゲート幅と電圧値）の未処理の組み合わせを１つ特定する（ステップＳ３１）。そして、シミュレーション制御部５は、本処理の上位の処理で特定された入力パラメータ値セットと入力変数値のステップＳ３１で特定された組み合わせとについて、シミュレータ１００に計算機シミュレーションを実施させ、シミュレータ１００から出力変数値である計算電流値を取得し、計算値データ格納部９に格納する（ステップＳ３３）。計算機シミュレーションについては、従来技術と同じであるからこれ以上述べない。計算値データ格納部９には、例えば図１５に示すようなデータが格納される。図１５の例では、ゲート長及びゲート幅と電圧値とを含む入力変数値の組み合わせと、入力パラメータ１乃至ｍの値とに対応付けて、計算された電流値（計算電流値と記す）が登録されるようになっている。
【００２７】
そして、シミュレーション制御部５は、実測値データ格納部６に格納されている入力変数値の全ての組み合わせについて処理したか判断する（ステップＳ３５）。未処理の組み合わせが存在する場合には、ステップＳ３１に戻る。一方、入力変数値の全ての組み合わせについて処理した場合には、シミュレーション制御部５は、例えば入力パラメータ値特定処理部１２に処理完了を通知し、その後入力パラメータ値特定処理部１２は、全体誤差算出部１０に処理を指示する。そして、全体誤差算出部１０は、全体誤差算出処理を実施する（ステップＳ３７）。この全体誤差算出処理については、図１６乃至図１７Ｂを用いて説明する。なお、全体誤差算出処理が完了すると、元の処理に戻る。
【００２８】
図１６の処理において、全体誤差算出部１０は、計算値データ格納部９において、ゲート長及びゲート幅の未処理の組み合わせを１つ特定する（ステップＳ４１）。そして、ゲート長及びゲート幅についての部分誤差計算処理を実施する（ステップＳ４３）。本実施の形態に係る部分誤差計算処理について図１７Ａ及び図１７Ｂを用いて説明する。
【００２９】
図１７Ａにおいて、全体誤差算出部１０は、計算値データ格納部９において、未処理の電圧値を１つ特定する（ステップＳ５１）。そして、全体誤差算出部１０は、全入力変数についての部分誤差を、ｍａｘ（｜計算電流値−実測電流値｜−標準偏差，０）として算出し、例えばメインメモリなどの記憶装置に格納する（ステップＳ５３）。標準偏差は、ゲート長及びゲート幅の処理に係る組み合わせについての標準偏差であって、標準偏差格納部８から読み出す。（｜計算電流値−実測電流値｜−標準偏差）によって、標準偏差より大きい差が計算電流値と実測電流値との間に存在するか否かが判定される。標準偏差より大きい差が計算電流値と実測電流値との間に存在する場合には、（｜計算電流値−実測電流値｜−標準偏差）の値が正になるので、ｍａｘ（｜計算電流値−実測電流値｜−標準偏差，０）も（｜計算電流値−実測電流値｜−標準偏差）の正の値となる。一方、標準偏差より大きい差が計算電流値と実測電流値との間に存在しない場合には、最終的な値は「０」となる。従って、標準偏差より小さい差しか計算電流値と実測電流値との間に存在しない場合には、無視されるような部分誤差が算出されるようになる。このように、実測値のばらつきに応じて算出される標準偏差を基に誤差を評価するものである。
【００３０】
そして、全体誤差算出部１０は、計算値データ格納部９において全ての電圧値について処理したか判断する（ステップＳ５５）。未処理の電圧値が存在する場合には、ステップＳ５１に戻る。
【００３１】
一方、全ての電圧値について処理した場合には、全体誤差算出部１０は、ゲート長及びゲート幅についての部分誤差を、Σ全入力変数についての部分誤差の自乗／電圧値の数として算出し、例えばメインメモリ等の記憶装置に格納する（ステップＳ５７）。「Σ」は、全ての電圧値についての和を表す。このような処理を実施して、元の処理に戻る。
【００３２】
図１６の処理の説明に戻って、全体誤差算出部１０は、計算値データ格納部９において、ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについて処理したか判断する（ステップＳ４５）。未処理の組み合わせが存在する場合にはステップＳ４１に戻る。一方、全ての組み合わせについて処理した場合には、全体誤差算出部１０は、全体誤差を、Σゲート長及びゲート幅についての部分誤差／ゲート長及びゲート幅の組み合わせの数として算出し、入力パラメータ値セットに対応付けて全体誤差の値を全体誤差データ格納部１１に格納する（ステップＳ４７）。「Σ」は、ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについての和を表す。実質的に、ゲート長及びゲート幅についての部分誤差の自乗平均が算出されている。このような処理を実施して、元の処理に戻る。
【００３３】
全体誤差データ格納部１１には、例えば図１７Ｂに示すようなデータが格納される。図１７Ｂの例では、採用した入力パラメータ値セット（入力パラメータ１乃至ｍのパラメータ値）に対応付けて、算出された全体誤差の値が登録されるようになっている。
【００３４】
このような処理を実施すると図１０の処理に戻る。そして、シミュレーション制御部５は、初期入力パラメータ値の全てのセットについて処理したか判断する（ステップＳ１３）。未処理のセットが存在する場合にはステップＳ９に戻る。一方、全てのセットについて処理した場合には、端子Ａを介して、図１８の処理に移行する。
【００３５】
図１８の処理の説明に移行して、入力パラメータ値特定処理部１２は、全体誤差データ格納部１１に格納されており且つ全体誤差が最小である初期入力パラメータ値セット等（例えば全体誤差最小だけではなく小さい方から３番目までといった形であってもよい）を特定する（ステップＳ６１）。このようにして、入力パラメータ値セットを最適化する上での初期値が特定される。
【００３６】
例えば図１９に示すように、入力パラメータと全体誤差との関係を単純に表すと、ステップＳ６１では（１）乃至（３）の点が得られることになる。そうすると、これらの点から２次曲線を想定すると、全体誤差極小のｘという点が存在すると予測されるので、点ｘのための入力パラメータ値を生成する。実際に計算すると、全体誤差はさらに小さな値として算出され、点（４）が得られたとする。そうすると、（２）乃至（４）の点から２次曲線を想定すると、全体誤差極小のｙという点の存在が予測される。そこで、点ｙのための入力パラメータ値を生成する。このように、既算出全体誤差を用いて次の入力パラメータ値セットを生成する処理を行う。
【００３７】
なお、このような次の入力パラメータ値セットを生成する処理は、最適化アルゴリズムでＢｒｅｎｔ法として知られているが、本実施の形態ではこのような方法だけではなく、Nelder-Mead法、Powell法、最急勾配法、共役勾配法、遺伝的アルゴリズム、シミュレーテッドアニーリング、微分進化アルゴリズム、粒子群最適化などを採用しても良い。これらは周知なのでこれ以上の説明は省略する。
【００３８】
図１８の処理の説明に戻って、入力パラメータ値特定処理部１２は、カウンタｎを１にセットして（ステップＳ６３）、既算出全体誤差に基づき、上で述べたような所定のアルゴリズムに従って次の入力パラメータ値セットを決定し、シミュレーション制御部５に設定する（ステップＳ６５）。そして、シミュレーション制御部５等は、設定された入力パラメータ値セットについての計算機シミュレーション処理を実施する（ステップＳ６７）。この処理は、入力パラメータ値セットが異なるだけで、ステップＳ１１と同じ処理である。従って、処理の詳細な説明については省略する。
【００３９】
シミュレーション制御部５は、処理終了を入力パラメータ値特定処理部１２に通知し、入力パラメータ値特定処理部１２は、ｎが、設定データ格納部２に格納されている最適化繰り返し上限回数に達したか判断する（ステップＳ６９）。最適化繰り返し上限回数に達していなければ、ｎを１インクリメントして（ステップＳ７１）、ステップＳ６５に戻る。一方、ｎが最適化繰り返し上限回数に達している場合には、入力パラメータ値特定処理部１２は、全体誤差データ格納部１１に格納されている全体誤差の値が最小の入力パラメータ値セットを特定して、その入力パラメータ値セットを決定値として出力データ格納部１３に格納する。出力部１４は、出力データ格納部１３に格納されている入力パラメータ値セットを、出力装置（例えば印刷装置、表示装置又はネットワークに接続されている他のコンピュータなど）に出力する（ステップＳ７３）。
【００４０】
このような処理を実施することによって、本実施の形態では、実測値のばらつきに応じて誤差を評価した上で、当該誤差から得られる全体誤差を最小とする入力パラメータ値セットが特定できるようになる。すなわち、このような入力パラメータ値セットを用いて、以後の計算機シミュレーションを実施すれば、全体誤差の小さいシミュレーションが可能となる。
【００４１】
このように標準偏差を採用することで、従来のように重みの値をどのように決定するかについてエンジニアのスキル依存といった曖昧な点はなく、自動的に且つ客観的な値を用いることができるようになる。また、入力パラメータ値セットの最適化を行う前に標準偏差を算出することができるので、重みを確定するために最適化の処理を繰り返し実施したりする必要はない。このような効果は、以下の実施の形態で共通である。
【００４２】
なお、第１の実施の形態では、誤差関数は、以下のように表される。
全体誤差＝Σ1Σ2｛ｍａｘ（｜計算電流値−実測電流値｜−標準偏差，０）｝2／｛（電圧値の数）×（ゲート長及びゲート幅の組み合わせ数）｝
なお、Σ2は、ゲート長及びゲート幅の特定の組み合わせにおける全ての電圧値についての加算を表し、Σ1は、ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについての加算を表す。
【００４３】
［実施の形態２］
誤差関数は、第１の実施の形態のものに限定されるものではなく、例えば、以下のような誤差関数を採用することも可能である。
全体誤差＝Σ1Σ2｛｜計算電流値−実測電流値｜／標準偏差｝2／｛（電圧値の数）×（ゲート長及びゲート幅の組み合わせ数）｝
なお、Σ2は、ゲート長及びゲート幅の特定の組み合わせにおける全ての電圧値についての加算を表し、Σ1は、ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについての加算を表す。
【００４４】
このようにすれば、実測値のばらつきを表す標準偏差の何倍にあたるのかということで、誤差を評価することになる。
【００４５】
以下、第１の実施の形態とは異なる部分について説明する。具体的に、ゲート長及びゲート幅についての部分誤差計算処理（図１７Ａ）が、図２０に示すような処理に置換される。なお、入力パラメータ値セット特定装置の機能は、第１の実施の形態と図２０に示す部分を除き同じであるので、図８に示したものと同じ参照番号を用いるものとする。
【００４６】
図２０において、全体誤差算出部１０は、計算値データ格納部９において、未処理の電圧値を１つ特定する（ステップＳ８１）。そして、全体誤差算出部１０は、全入力変数についての部分誤差を、｜計算電流値−実測電流値｜／標準偏差として算出し、例えばメインメモリなどの記憶装置に格納する（ステップＳ８３）。標準偏差は、ゲート長及びゲート幅の処理に係る組み合わせについての標準偏差であって、標準偏差格納部８から読み出す。｜計算電流値−実測電流値｜／標準偏差によって、標準偏差より大きい差が計算電流値と実測電流値との間に存在するか否かが判定される。標準偏差より大きい差が計算電流値と実測電流値との間に存在する場合には、部分誤差は１より大きくなる。一方、標準偏差より大きい差が計算電流値と実測電流値との間に存在しない場合には、部分誤差は１より小さくなる。このように、実測値のばらつきに応じて算出される標準偏差を基に誤差を評価するものである。
【００４７】
そして、全体誤差算出部１０は、計算値データ格納部９において全ての電圧値について処理したか判断する（ステップＳ８５）。未処理の電圧値が存在する場合には、ステップＳ８１に戻る。
【００４８】
一方、全ての電圧値について処理した場合には、全体誤差算出部１０は、ゲート長及びゲート幅についての部分誤差を、Σ全入力変数についての部分誤差の自乗／電圧値の数として算出し、例えばメインメモリ等の記憶装置に格納する（ステップＳ８７）。「Σ」は、全ての電圧値についての和を表す。このような処理を実施して、元の処理に戻る。
【００４９】
以上のように誤差関数の形を変更しても良い。
【００５０】
［実施の形態３］
誤差関数は、第１及び第２の実施の形態のものに限定されるものではなく、例えば、以下のような誤差関数を採用することも可能である。
全体誤差＝Σ1｛１−ｅｘｐ｛−Σ2｛｜計算電流値−実測電流値｜／標準偏差｝2／（電圧値の数）｝／（ゲート長及びゲート幅の組み合わせ数）｝
なお、Σ2は、ゲート長及びゲート幅の特定の組み合わせにおける全ての電圧値についての加算を表し、Σ1は、ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについての加算を表す。部分誤差については、第２の実施の形態と同じであるが、全体誤差の式の形が異なっている。第１の実施の形態や第２の実施の形態の場合、｜計算電流値−実測電流値｜の値が標準偏差と比較して大きい場合には全体誤差の比較においてどの程度異なるのかについて判断が適切に行うことができなくなる。これに対して、このような形式にすれば、全体誤差の比較を適切に行うことができるようになる。
【００５１】
以下、第１の実施の形態とは異なる部分について説明する。具体的に、ゲート長及びゲート幅についての部分誤差計算処理（図１７Ａ）が、図２１に示すような処理に置換される。なお、入力パラメータ値セット特定装置の機能は、第１の実施の形態と図２１に示す部分を除き同じであるので、図８に示したものと同じ参照番号を用いるものとする。
【００５２】
図２１において、全体誤差算出部１０は、計算値データ格納部９において、未処理の電圧値を１つ特定する（ステップＳ９１）。そして、全体誤差算出部１０は、全入力変数についての部分誤差を、｜計算電流値−実測電流値｜／標準偏差として算出し、例えばメインメモリなどの記憶装置に格納する（ステップＳ９３）。標準偏差は、ゲート長及びゲート幅の処理に係る組み合わせについての標準偏差であって、標準偏差格納部８から読み出す。｜計算電流値−実測電流値｜／標準偏差によって、標準偏差より大きい差が計算電流値と実測電流値との間に存在するか否かが判定される。標準偏差より大きい差が計算電流値と実測電流値との間に存在する場合には、部分誤差は１より大きくなる。一方、標準偏差より大きい差が計算電流値と実測電流値との間に存在しない場合には、部分誤差は１より小さくなる。このように、実測値のばらつきに応じて算出される標準偏差を基に誤差を評価するものである。
【００５３】
そして、全体誤差算出部１０は、計算値データ格納部９において全ての電圧値について処理したか判断する（ステップＳ９５）。未処理の電圧値が存在する場合には、ステップＳ９１に戻る。
【００５４】
一方、全ての電圧値について処理した場合には、全体誤差算出部１０は、ゲート長及びゲート幅についての部分誤差を、１−ｅｘｐ｛−（Σ全入力変数についての部分誤差の自乗／電圧値の数）｝として算出し、例えばメインメモリ等の記憶装置に格納する（ステップＳ９７）。「Σ」は、全ての電圧値についての和を表す。このような処理を実施して、元の処理に戻る。
【００５５】
以上のように誤差関数の形を変更しても良い。
【００５６】
［実施の形態４］
第１乃至第３の実施の形態では、入力変数をゲート長及びゲート幅と電圧とに限定し、出力変数を電流に限定し、シミュレーションを回路シミュレーションに限定していた。しかしながら、第１乃至第３の実施の形態に示した考え方は、回路シミュレーションの場合に限定されるものではない。一般的に、図２２に示すように、入力パラメータと入力変数とが規定されており、それらの値を入力して所定のシミュレータで計算を行った結果として出力変数の値が得られるものであっても、適用可能である。
【００５７】
なお、以下では、図２３に示すように、入力変数値の複数の組み合わせ（図２３では４つ）の各々について、異なる対象物に１又は複数回測定を行って出力変数の実測値（菱形の点）を得るか又は同一対象物に複数回測定を行って出力変数の実測値（菱形の点）を得る。そして、入力変数値の各組み合わせについて、標準偏差ＳＤa乃至ＳＤdを算出する。
【００５８】
入力パラメータ値セット特定装置の構成は、以下で述べる処理の部分以外第１の実施の形態と同様であるから、図示は省略する。
【００５９】
次に図２４乃至図３１を用いて、第４の実施の形態の処理内容について説明する。本実施の形態は、第１の実施の形態とほぼ同じ形の誤差関数を採用する。
【００６０】
すなわち、第４の実施の形態では、誤差関数は、以下のように表される。
全体誤差＝Σ｛ｍａｘ（｜計算出力変数値−実測出力変数値｜−標準偏差，０）｝2／（入力変数値の組み合わせの数）
なお、Σは、入力変数値の全ての組み合わせについての加算を表す。
【００６１】
また、本実施の形態における実測値データ格納部６には、例えば図２４に示すようなフォーマットでデータが格納されている。すなわち、入力変数１乃至ｒの値の組み合わせに対して、出力変数の実測値（以下、実測出力変数値とも記す）が格納されている。上でも説明したが、入力変数値の各組み合わせについて、複数の実測出力変数値が格納されている。  
【００６２】
次に図２５乃至図３１を用いて具体的な処理内容について説明する。まず、入力部１は、ユーザに対して、生成すべき初期入力パラメータ値のセット数の入力を促し、ユーザからセット数の入力を受け付け、設定データ格納部２に格納する（ステップＳ１０１）。また、入力部１は、ユーザに対して、以下で実施される最適化のための繰り返し処理における繰り返し上限回数の入力を促し、ユーザから上限回数を受け付け、設定データ格納部２に格納する（ステップＳ１０３）。なお、入力部１は、ユーザに対して実測値データの入力を促して、実測値データの入力を受け付け、実測値データ格納部６に格納する場合もある。また、他のコンピュータから、実測値データを含むファイルを取得して実測値データ格納部６に格納するようにしても良い。
【００６３】
また、標準偏差算出部７は、実測値データ格納部６に格納されている入力変数値の各組み合わせについて、実測値データ格納部６に格納されている実測出力変数値の標準偏差を算出し、標準偏差格納部８に格納する（ステップＳ１０５）。標準偏差については周知であるから説明を省略する。この処理によって、標準偏差格納部８には、例えば図２６に示すようなフォーマットのデータが格納されている。すなわち、入力変数１乃至ｒの値の組み合わせ毎に、出力変数値の標準偏差が格納されている。
【００６４】
そして、入力パラメータ値特定処理部１２は、入力パラメータ値セット生成部３に指示を行い、入力パラメータ値セット生成部３は、指示に従って初期入力パラメータ値セット決定処理を実施する（ステップＳ１０７）。初期入力パラメータ値セット決定処理については、図２７を用いて説明する。
【００６５】
図２７の処理において、入力パラメータ値セット生成部３は、所定のアルゴリズムに従って、初期入力パラメータ値セットを計算し、入力パラメータ値セット格納部４に格納する（ステップＳ１２１）。初期値であるからどのような方法で算出するようにしても良いが、例えばランダムサンプリングなどの方法で、各入力パラメータに対して当該入力パラメータの値域内で初期値を算出する。例えば、入力パラメータ値セット格納部４には、例えば第１の実施の形態において図１３で示すようなデータが格納される。
【００６６】
そして、入力パラメータ値セット生成部３は、設定データ格納部２に格納されている指定セット数だけ入力パラメータ値セットを算出したか判断する（ステップＳ１２３）。まだ指定セット数だけ入力パラメータ値セットを算出していない場合にはステップＳ１２１に戻る。一方、指定セット数だけ入力パラメータ値セットを算出した場合には、元の処理に戻る。
【００６７】
図２６の処理の説明に戻って、入力パラメータ値特定処理部１２は、シミュレーション制御部５に指示を行い、シミュレーション制御部５は、指示に従って入力パラメータ値セット格納部４に格納されている初期入力パラメータ値のうち未処理のセットを１つ特定する（ステップＳ１０９）。そして、シミュレーション制御部５などは、特定された入力パラメータ値セットについての計算機シミュレーション処理を実施する（ステップＳ１１１）。この特定された入力パラメータ値セットについての計算機シミュレーション処理については、図２８乃至図３１を用いて説明する。
【００６８】
図２８の処理において、シミュレーション制御部５は、実測値データ格納部６において、入力変数値の未処理の組み合わせを１つ特定する（ステップＳ１３１）。そして、シミュレーション制御部５は、本処理の上位の処理で特定された入力パラメータ値セットと入力変数値のステップＳ１３１で特定された組み合わせとについて、シミュレータ１００に計算機シミュレーションを実施させ、シミュレータ１００から計算出力変数値を取得し、計算値データ格納部９に格納する（ステップＳ１３３）。計算機シミュレーションについては、従来技術と同じであるからこれ以上述べない。計算値データ格納部９には、例えば図２９に示すようなデータが格納される。図２９の例では、入力変数１乃至ｒの値の組み合わせと、入力パラメータ１乃至ｍの値とに対応付けて、計算された出力変数値（計算出力変数値と記す）が登録されるようになっている。
【００６９】
そして、シミュレーション制御部５は、実測値データ格納部６に格納されている入力変数値の全ての組み合わせについて処理したか判断する（ステップＳ１３５）。未処理の組み合わせが存在する場合には、ステップＳ１３１に戻る。一方、入力変数値の全ての組み合わせについて処理した場合には、シミュレーション制御部５は、例えば入力パラメータ値特定処理部１２に処理完了を通知し、その後入力パラメータ値特定処理部１２は、全体誤差算出部１０に処理を指示する。そして、全体誤差算出部１０は、全体誤差算出処理を実施する（ステップＳ１３７）。この全体誤差算出処理については、図３０を用いて説明する。なお、全体誤差算出処理が完了すると、元の処理に戻る。
【００７０】
図３０の処理において、全体誤差算出部１０は、計算値データ格納部９において、入力変数値の未処理の組み合わせを１つ特定する（ステップＳ１４１）。そして、全体誤差算出部１０は、入力変数値の特定された組み合わせについての部分誤差を、ｍａｘ（｜計算出力変数値−実測出力変数値｜−標準偏差，０）として算出し、例えばメインメモリなどの記憶装置に格納する（ステップＳ１４３）。標準偏差は、入力変数値の特定された組み合わせについての標準偏差であって、標準偏差格納部８から読み出す。このような式の考え方については第１の実施の形態と同じである。
【００７１】
そして、全体誤差算出部１０は、計算値データ格納部９において入力変数値の全ての組み合わせについて処理したか判断する（ステップＳ１４５）。未処理の組み合わせが存在する場合には、ステップＳ１４１に戻る。
【００７２】
一方、入力変数値の全ての組み合わせについて処理した場合には、全体誤差算出部１０は、全体誤差を、Σ入力変数値の特定された組み合わせについての部分誤差の自乗／入力変数値の組み合わせの数として算出し、入力パラメータ値セットに対応付けて全体誤差の値を全体誤差データ格納部１１に格納する（ステップＳ１４７）。「Σ」は、入力変数値の全ての組み合わせについての和を表す。このような処理を実施して、元の処理に戻る。
【００７３】
全体誤差データ格納部１１には、例えば第１の実施の形態における図１７Ｂに示すようなデータが格納される。
【００７４】
このような処理を実施すると図２５の処理に戻る。そして、シミュレーション制御部５は、初期入力パラメータ値の全てのセットについて処理したか判断する（ステップＳ１１３）。未処理のセットが存在する場合にはステップＳ１０９に戻る。一方、全てのセットについて処理した場合には、端子Ｂを介して、図３１の処理に移行する。
【００７５】
図３１の処理の説明に移行して、入力パラメータ値特定処理部１２は、全体誤差データ格納部１１に格納されており且つ全体誤差が最小である初期入力パラメータ値セット等（例えば全体誤差最小だけではなく小さい方から３番目までといった形であってもよい）を特定する（ステップＳ１５１）。このようにして、入力パラメータ値セットを最適化する上での初期値が特定される。
【００７６】
本実施の形態でも、次の入力パラメータ値セットを生成する処理には、最適化アルゴリズムとして知られている、Ｂｒｅｎｔ法、Nelder-Mead法、Powell法、最急勾配法、共役勾配法、遺伝的アルゴリズム、シミュレーテッドアニーリング、微分進化アルゴリズム、粒子群最適化などを採用しても良い。
【００７７】
そして、入力パラメータ値特定処理部１２は、カウンタｎを１にセットして（ステップＳ１５３）、既算出全体誤差に基づき、上で述べたような所定のアルゴリズムに従って次の入力パラメータ値セットを決定し、シミュレーション制御部５に設定する（ステップＳ１５５）。そして、シミュレーション制御部５等は、設定された入力パラメータ値セットについての計算機シミュレーション処理を実施する（ステップＳ１５７）。この処理は、入力パラメータ値セットが異なるだけで、ステップＳ１１１と同じ処理である。従って、処理の詳細な説明については省略する。
【００７８】
シミュレーション制御部５は、処理終了を入力パラメータ値特定処理部１２に通知し、入力パラメータ値特定処理部１２は、ｎが、設定データ格納部２に格納されている最適化繰り返し上限回数に達したか判断する（ステップＳ１５９）。最適化繰り返し上限回数に達していなければ、ｎを１インクリメントして（ステップＳ１６１）、ステップＳ１５５に戻る。一方、ｎが最適化繰り返し上限回数に達している場合には、入力パラメータ値特定処理部１２は、全体誤差データ格納部１１に格納されている全体誤差の値が最小の入力パラメータ値セットを特定して、その入力パラメータ値セットを決定値として出力データ格納部１３に格納する。出力部１４は、出力データ格納部１３に格納されている入力パラメータ値セットを、出力装置（例えば印刷装置、表示装置又はネットワークに接続されている他のコンピュータなど）に出力する（ステップＳ１６３）。
【００７９】
このような処理を実施することによって、本実施の形態では、実測値のばらつきに応じて誤差を評価した上で、当該誤差から得られる全体誤差を最小とする入力パラメータ値セットが特定できるようになる。すなわち、このような入力パラメータ値セットを用いて、以後の計算機シミュレーションを実施すれば、全体誤差の小さいシミュレーションが可能となる。
【００８０】
［実施の形態５］
誤差関数は、第４の実施の形態のものに限定されるものではなく、第２の実施の形態と類似の誤差関数を採用することも可能である。
全体誤差＝Σ｛｜計算出力変数値−実測出力変数値｜／標準偏差｝2／（入力変数値の組み合わせ数）
なお、Σは、入力変数値の全ての組み合わせについての加算を表す。
【００８１】
このようにすれば、実測値のばらつきを表す標準偏差の何倍にあたるのかということで、誤差を評価することになる。
【００８２】
以下、第４の実施の形態とは異なる部分について説明する。具体的に、全体誤差算出処理（図３０）が、図３２に示すような処理に置換される。なお、入力パラメータ値セット特定装置の機能は、第４の実施の形態と図３２に示す部分を除き同じであるので、図８に示したものと同じ参照番号を用いるものとする。
【００８３】
図３２において、全体誤差算出部１０は、計算値データ格納部９において、入力変数値の未処理の組み合わせを１つ特定する（ステップＳ１７１）。そして、全体誤差算出部１０は、入力変数値の特定された組み合わせについての部分誤差を、｜計算出力変数値−実測出力変数値｜／標準偏差として算出し、例えばメインメモリなどの記憶装置に格納する（ステップＳ１７３）。標準偏差は、入力変数値のステップＳ１７１で特定された組み合わせについての標準偏差であって、標準偏差格納部８から読み出す。この式の考え方については第２の実施の形態と同様であるから、詳細については省略する。
【００８４】
そして、全体誤差算出部１０は、計算値データ格納部９において入力変数値の全ての組み合わせについて処理したか判断する（ステップＳ１７５）。未処理の組み合わせが存在する場合には、ステップＳ１７１に戻る。
【００８５】
一方、全ての組み合わせについて処理した場合には、全体誤差算出部１０は、全体誤差を、Σ入力変数値の特定された組み合わせの部分誤差の自乗／入力変数値の組み合わせの数として算出し、全体誤差データ格納部１１に格納する（ステップＳ１７７）。「Σ」は、入力変数値の全ての組み合わせについての和を表す。このような処理を実施して、元の処理に戻る。
【００８６】
以上のように誤差関数の形を変更しても良い。
【００８７】
［実施の形態６］
誤差関数は、第４及び第５の実施の形態のものに限定されるものではなく、第３の実施の形態に類似した以下のような誤差関数を採用することも可能である。
全体誤差＝１−ｅｘｐ｛−Σ｛｜計算出力変数値−実測出力変数値｜／標準偏差｝2／（入力変数値の組み合わせ数）｝
なお、Σは、入力変数値の全ての組み合わせについての加算を表す。部分誤差については、第５の実施の形態と同じである。このような式を採用する背景については、第３の実施の形態と同様である。
【００８８】
以下、第４の実施の形態とは異なる部分について説明する。具体的に、全体誤差算出処理（図３０）が、図３３に示すような処理に置換される。なお、入力パラメータ値セット特定装置の機能は、第４の実施の形態と図３３に示す部分を除き同じであるので、図８に示したものと同じ参照番号を用いるものとする。
【００８９】
図３３において、全体誤差算出部１０は、計算値データ格納部９において、入力変数値の未処理の組み合わせを１つ特定する（ステップＳ１８１）。そして、全体誤差算出部１０は、入力変数値の特定された組み合わせについての部分誤差を、｜計算出力変数値−実測出力変数値｜／標準偏差として算出し、例えばメインメモリなどの記憶装置に格納する（ステップＳ１８３）。標準偏差は、入力変数値のステップＳ１８１で特定された組み合わせについての標準偏差であって、標準偏差格納部８から読み出す。この式の考え方については第２の実施の形態と同様であるから、詳細については省略する。
【００９０】
そして、全体誤差算出部１０は、計算値データ格納部９において入力変数値の全ての組み合わせについて処理したか判断する（ステップＳ１８５）。未処理の組み合わせが存在する場合には、ステップＳ１８１に戻る。
【００９１】
一方、全ての組み合わせについて処理した場合には、全体誤差算出部１０は、全体誤差を、１−ｅｘｐ｛−（Σ入力変数値の特定された組み合わせの部分誤差の自乗／入力変数値の組み合わせの数）｝として算出し、全体誤差データ格納部１１に格納する（ステップＳ１８７）。「Σ」は、入力変数値の全ての組み合わせについての和を表す。このような処理を実施して、元の処理に戻る。
【００９２】
以上のように誤差関数の形を変更しても良い。
【００９３】
［実施の形態７］
上で述べた実施の形態では、標準偏差を実測値から算出して用いる例を示したが、実測値のばらつきを考慮した上で、入力変数値を設定する場合がある。例えば、図３４では、入力変数であるゲート長の対数値を横軸に、ゲート幅の対数値を縦軸に設定しており、点は、ゲート長及びゲート幅の組み合わせに対応する。図３４で示されているように、このような平面において設定される点には、粗密が発生している。これは、ゲート長及びゲート幅が短い左下の領域Ｑでは、電流電圧特性が複雑で、実際小さなトランジスタなので測定誤差も生じてしまい、実測値がばらつくことが多い。すなわち、精度良く入力パラメータ値セットを設定するには、領域Ｑでは、ゲート長及びゲート幅の組み合わせを数多く設定して実測値についても多くする必要がある。一方、ゲート長及びゲート幅が長い右上の領域Ｒでは、電流電圧特性は単純であり、測定自体も領域Ｑの場合に比して簡単であるから、精度良く測定できる。従って、ゲート長及びゲート幅の組み合わせの数をあまり多く設定する必要がなく、実測値についてもあまり多くしなくても済む。
【００９４】
このように実測値のばらつきを考慮した上で入力変数値が設定されるような状況においては、入力変数空間における入力変数値の組み合わせに対応する点の粗密に応じて誤差関数の重みを設定すれば、間接的に実測値のばらつきが考慮された形で、重みが設定できるようになる。
【００９５】
第７の実施の形態では、図３５に示すように、図３４と同じ平面において、注目する点を含むが他の点を含まないような最大の矩形を生成する。例えば、各点を中心に設定して、中心の左右の縦の辺を水平方向に中心から遠ざかるように移動させ、同時に中心の上下の横の辺を垂直方向に中心から遠ざかるように移動させる。そうすると、そのうち他の点の辺又は上限値と接触するようになるので、その際には、その水平方向又は垂直方向の両辺の移動を終了させる。図３４の例では、点１０１及び１０４の上辺がゲート幅の上限値に達して、上辺及び下辺の移動が停止する。また、点１０１の右辺と点１０４の左辺とが接すると、左右の辺の移動が停止する。同様に、点１０２の右辺と点１０５の左辺とが接すると、左右の辺の移動が停止する。また、点１０２及び１０５の下辺と点１０３及び１０６の上辺とが接すると、上下の辺の移動が停止する。さらに、点１０８の下辺と点１０９の上辺とが接すると、上下の辺の移動が停止する。また、点１０７乃至１０９の右辺と点１１０及び１１１の左辺とが接すると、左右の辺の移動が停止する。このようにすれば、平等に各点について当該点を含むが他の点を含まない最大の矩形を得ることができる。
【００９６】
そして、本実施の形態では、このようにして各点について得られた矩形の面積を重みとして用いる。
【００９７】
具体的に、本実施の形態に係る入力パラメータ値セット特定装置は、図３６に示すような構成を有する。すなわち、入力パラメータ値セット特定装置は、（Ａ）設定データの入力を受け付ける入力部１と、（Ｂ）入力部１により受け付けられた設定データを格納する設定データ格納部２と、（Ｃ）設定データ格納部２等に格納されているデータを用いて処理を実施するパラメータ値セット生成部３と、（Ｄ）パラメータ値セット生成部３により生成されたデータを格納する入力パラメータ値セット格納部４と、（Ｅ）実測出力変数値を格納する実測値データ格納部６と、（Ｆ）実測値データ格納部６に格納されているデータを用いて処理を実施する重み算出部２７と、（Ｇ）重み算出部２７により算出された重みの値を格納する重みデータ格納部２８と、（Ｈ）実測値データ格納部６と入力パラメータ値セット格納部４とに格納されているデータを用いて処理を実施するシミュレーション制御部５と、（Ｉ）シミュレーション制御部５が取得したシミュレーション結果を格納する計算値データ格納部９と、（Ｊ）実測値データ格納部６と重みデータ格納部２８と計算値データ格納部９とに格納されているデータを用いて処理を実施する全体誤差算出部３０と、（Ｋ）全体誤差算出部３０の処理結果を格納する全体誤差データ格納部１１と、（Ｌ）設定データ格納部２及び全体誤差データ格納部１１に格納されているデータを用いて処理を実施する入力パラメータ値特定処理部１２と、（Ｍ）最終的に入力パラメータ値特定処理部１２が特定した入力パラメータ値セットを格納する出力データ格納部１３と、（Ｎ）出力データ格納部１３に格納されているデータを出力装置（例えば印刷装置、表示装置など）又は他のコンピュータなどに出力する出力部１４とを有する。このように、重み算出部２７及び重みデータ格納部２８と全体誤差算出部３０については、図８とは異なるが、他の構成要素については、ほぼ同じ処理を実施するので、同じ参照番号を付している。
【００９８】
入力パラメータ値特定処理部１２は、パラメータ値セット生成部３、シミュレーション制御部５及び全体誤差算出部３０に対する制御を実施する。シミュレーション制御部５は、回路シミュレータなどの回路シミュレータ１１０に対して、入力変数値セット及び入力パラメータ値セットを入力してシミュレーションを実施させ、シミュレーションの結果として出力変数値を取得する。パラメータ値セット生成部３は、所定のアルゴリズムに従って全体誤差データ格納部１１に格納されている全体誤差の値に基づき、次の繰り返し処理で用いられる入力パラメータ値セットを生成する。なお、パラメータ値セット生成部３は、初期入力パラメータ値セットをも生成する。また、シミュレーション制御部５は、入力パラメータ値特定処理部１２とやりとりを行うようになっている。
【００９９】
実測値データ格納部６には、第１の実施の形態と同様に、例えば図９に示すようなフォーマットでデータが格納されている。
【０１００】
次に、図３７乃至図４３を用いて、本実施の形態に係る入力パラメータ値セット特定装置の処理内容を説明する。まず、入力部１は、ユーザに対して、生成すべき初期入力パラメータ値のセット数の入力を促し、ユーザからセット数の入力を受け付け、設定データ格納部２に格納する（ステップＳ２０１）。また、入力部１は、ユーザに対して、以下で実施される最適化のための繰り返し処理における繰り返し上限回数の入力を促し、ユーザから上限回数を受け付け、設定データ格納部２に格納する（ステップＳ２０３）。なお、入力部１は、ユーザに対して実測値データの入力を促して、実測値データの入力を受け付け、実測値データ格納部６に格納する場合もある。また、他のコンピュータから、実測値データを含むファイルを取得して実測値データ格納部６に格納するようにしても良い。
【０１０１】
また、重み算出部２７は、ゲート長の対数値を表す横軸とゲート幅の対数値を表す縦軸とで張られる平面において、実測値データ格納部６に格納されているゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせに対応する点を配置し、ゲート長及びゲート幅の各組み合わせについて、担当最大矩形を特定し、当該担当最大矩形の面積を算出して当該面積を重みとして重みデータ格納部２８に格納する（ステップＳ２０５）。担当最大矩形については、例えば図３５について述べたような方法で特定し、その面積を算出する。例えば、図３８に示すようなデータが重みデータ格納部２８に格納される。図３８の例では、ゲート長及びゲート幅の各組み合わせについて、重み値が登録されるようになっている。
【０１０２】
そして、入力パラメータ値特定処理部１２は、入力パラメータ値セット生成部３に指示を行い、入力パラメータ値セット生成部３は、指示に従って初期入力パラメータ値セット決定処理を実施する（ステップＳ２０７）。初期入力パラメータ値セット決定処理については、図３９を用いて説明する。
【０１０３】
図３９の処理において、入力パラメータ値セット生成部３は、所定のアルゴリズムに従って、初期入力パラメータ値セットを計算し、入力パラメータ値セット格納部４に格納する（ステップＳ２２１）。初期値であるからどのような方法で算出するようにしても良いが、例えばランダムサンプリングなどの方法で、各入力パラメータに対して当該入力パラメータの値域内で初期値を算出する。例えば、入力パラメータ値セット格納部４には、例えば図１３に示すようなデータが格納される。
【０１０４】
そして、入力パラメータ値セット生成部３は、設定データ格納部２に格納されている指定セット数だけ入力パラメータ値セットを算出したか判断する（ステップＳ２２３）。まだ指定セット数だけ入力パラメータ値セットを算出していない場合にはステップＳ２２１に戻る。一方、指定セット数だけ入力パラメータ値セットを算出した場合には、元の処理に戻る。
【０１０５】
図３７の処理の説明に戻って、入力パラメータ値特定処理部１２は、シミュレーション制御部５に指示を行い、シミュレーション制御部５は、指示に従って入力パラメータ値セット格納部４に格納されている初期入力パラメータ値のうち未処理のセットを１つ特定する（ステップＳ２０９）。そして、シミュレーション制御部５などは、特定された入力パラメータ値セットについての計算機シミュレーション処理を実施する（ステップＳ２１１）。この特定された入力パラメータ値セットについての計算機シミュレーション処理については、図４０を用いて説明する。
【０１０６】
図４０の処理において、シミュレーション制御部５は、実測値データ格納部６において、入力変数値（ここではゲート長及びゲート幅と電圧値）の未処理の組み合わせを１つ特定する（ステップＳ２３１）。そして、シミュレーション制御部５は、本処理の上位の処理で特定された入力パラメータ値セットと入力変数値のステップＳ２３１で特定された組み合わせとについて、回路シミュレータ１１０に計算機シミュレーションを実施させ、回路シミュレータ１１０から出力変数値である計算電流値を取得し、計算値データ格納部９に格納する（ステップＳ２３３）。計算機シミュレーションについては、従来技術と同じであるからこれ以上述べない。計算値データ格納部９には、例えば図１５に示すようなデータが格納される。
【０１０７】
そして、シミュレーション制御部５は、実測値データ格納部６に格納されている入力変数値の全ての組み合わせについて処理したか判断する（ステップＳ２３５）。未処理の組み合わせが存在する場合には、ステップＳ２３１に戻る。一方、入力変数値の全ての組み合わせについて処理した場合には、シミュレーション制御部５は、例えば入力パラメータ値特定処理部１２に処理完了を通知し、その後入力パラメータ値特定処理部１２は、全体誤差算出部３０に処理を指示する。そして、全体誤差算出部３０は、全体誤差算出処理を実施する（ステップＳ２３７）。この全体誤差算出処理については、図４１を用いて説明する。なお、全体誤差算出処理が完了すると、元の処理に戻る。
【０１０８】
図４１の処理において、全体誤差算出部３０は、計算値データ格納部９において、ゲート長及びゲート幅の未処理の組み合わせを１つ特定する（ステップＳ２４１）。そして、ゲート長及びゲート幅についての部分誤差計算処理を実施する（ステップＳ２４３）。本実施の形態に係る部分誤差計算処理について図４２を用いて説明する。
【０１０９】
図４２において、全体誤差算出部３０は、計算値データ格納部９において、未処理の電圧値を１つ特定する（ステップＳ２５１）。そして、全体誤差算出部３０は、全入力変数についての部分誤差を、実測値データ格納部６に格納されているデータから、｜計算電流値−実測電流値｜として算出し、例えばメインメモリなどの記憶装置に格納する（ステップＳ２５３）。そして、全体誤差算出部３０は、計算値データ格納部９において全ての電圧値について処理したか判断する（ステップＳ２５５）。未処理の電圧値が存在する場合には、ステップＳ２５１に戻る。
【０１１０】
一方、全ての電圧値について処理した場合には、全体誤差算出部３０は、ゲート長及びゲート幅についての部分誤差を、Σ全入力変数についての部分誤差の自乗／電圧値の数として算出し、例えばメインメモリ等の記憶装置に格納する（ステップＳ２５７）。「Σ」は、全ての電圧値についての和を表す。このような処理を実施して、元の処理に戻る。
【０１１１】
図４１の処理の説明に戻って、全体誤差算出部３０は、計算値データ格納部９において、ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについて処理したか判断する（ステップＳ２４５）。未処理の組み合わせが存在する場合にはステップＳ２４１に戻る。一方、全ての組み合わせについて処理した場合には、全体誤差算出部３０は、重みデータ格納部２８から対応する重み値を読み出し、全体誤差を、Σゲート長及びゲート幅についての部分誤差×対応する重み値／ゲート長及びゲート幅の組み合わせの数として算出し、入力パラメータ値セットに対応付けて全体誤差の値を全体誤差データ格納部１１に格納する（ステップＳ２４７）。「Σ」は、ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについての和を表す。重み値は、ゲート長及びゲート幅の組み合わせについての重み値である。
【０１１２】
なお、ステップＳ２４７で重み値をゲート長及びゲート幅についての部分誤差に乗じているが、ステップＳ２５７において（全入力変数についての部分誤差の自乗）に対して重み値を乗じるようにしても良い。
【０１１３】
なお、全体誤差データ格納部１１には、例えば図１７Ｂに示すようなデータが格納される。
【０１１４】
このような処理を実施すると図３７の処理に戻る。そして、シミュレーション制御部５は、初期入力パラメータ値の全てのセットについて処理したか判断する（ステップＳ２１３）。未処理のセットが存在する場合にはステップＳ２０９に戻る。一方、全てのセットについて処理した場合には、端子Ｃを介して、図４３の処理に移行する。
【０１１５】
図４３の処理の説明に移行して、入力パラメータ値特定処理部１２は、全体誤差データ格納部１１に格納されており且つ全体誤差が最小である初期入力パラメータ値セット等（例えば全体誤差最小だけではなく小さい方から３番目までといった形であってもよい）を特定する（ステップＳ２５１）。このようにして、入力パラメータ値セットを最適化する上での初期値が特定される。
【０１１６】
このような次の入力パラメータ値セットを生成する処理には、Ｂｒｅｎｔ法、Nelder-Mead法、Powell法、最急勾配法、共役勾配法、遺伝的アルゴリズム、シミュレーテッドアニーリング、微分進化アルゴリズム、粒子群最適化などの周知の方法を採用しても良い。
【０１１７】
そして、入力パラメータ値特定処理部１２は、カウンタｎを１にセットして（ステップＳ２５３）、既算出全体誤差に基づき、上で述べたような所定のアルゴリズムに従って次の入力パラメータ値セットを決定し、シミュレーション制御部５に設定する（ステップＳ２５５）。そして、シミュレーション制御部５等は、設定された入力パラメータ値セットについての計算機シミュレーション処理を実施する（ステップＳ２５７）。この処理は、入力パラメータ値セットが異なるだけで、ステップＳ２１１と同じ処理である。従って、処理の詳細な説明については省略する。
【０１１８】
シミュレーション制御部５は、処理終了を入力パラメータ値特定処理部１２に通知し、入力パラメータ値特定処理部１２は、ｎが、設定データ格納部２に格納されている最適化繰り返し上限回数に達したか判断する（ステップＳ２５９）。最適化繰り返し上限回数に達していなければ、ｎを１インクリメントして（ステップＳ２６１）、ステップＳ２５５に戻る。一方、ｎが最適化繰り返し上限回数に達している場合には、入力パラメータ値特定処理部１２は、全体誤差データ格納部１１に格納されている全体誤差の値が最小の入力パラメータ値セットを特定して、その入力パラメータ値セットを決定値として出力データ格納部１３に格納する。出力部１４は、出力データ格納部１３に格納されている入力パラメータ値セットを、出力装置（例えば印刷装置、表示装置又はネットワークに接続されている他のコンピュータなど）に出力する（ステップＳ２６３）。
【０１１９】
このようにすれば、実測値のばらつきに応じて設定される入力変数値の組み合わせの設定の粗密に応じて重み値が設定され、それに応じて自動的に且つ客観的に適切な入力パラメータ値セットを特定できるようになる。
【０１２０】
なお、第７の実施の形態では、誤差関数は、以下のように表される。
全体誤差＝Σ1Σ2｛｜計算電流値−実測電流値｜2×ゲート長及びゲート幅についての重み値｝／｛（電圧値の数）×（ゲート長及びゲート幅の組み合わせ数）｝
なお、Σ2は、ゲート長及びゲート幅の特定の組み合わせにおける全ての電圧値についての加算を表し、Σ1は、ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについての加算を表す。
【０１２１】
［実施の形態８］
入力変数値の設定の粗密に応じた重み値には他のバリエーションも可能である。すなわち、図４４に示すように、ゲート長の対数値を表す横軸とゲート幅の対数値を表す縦軸とで張られる平面において、入力変数値の組み合わせに対応する点をプロットして、各点を中心とする所定面積の矩形に含まれる点の数を計数する。図４４の例では、点１１０の場合には矩形Ｓ１に含まれる点は点１１０のみである。また、点１０５の場合には矩形Ｓ２に含まれる点は４つである。このように、点が密に配置されている領域では矩形には点が多く含まれ、点が疎に配置されている領域では矩形には点があまり含まれない。従って、重み値には、点の数の逆数を採用する。
【０１２２】
なお、本実施の形態に係る入力パラメータ値セット特定装置の構成は、図３６と以下で説明する処理内容が異なるだけで、同様である。
【０１２３】
具体的に、第７の実施の形態と異なる処理の部分について、図４５を用いて説明する。
【０１２４】
まず、入力部１は、ユーザに対して、生成すべき初期入力パラメータ値のセット数の入力を促し、ユーザからセット数の入力を受け付け、設定データ格納部２に格納する（ステップＳ３０１）。また、入力部１は、ユーザに対して、以下で実施される最適化のための繰り返し処理における繰り返し上限回数の入力を促し、ユーザから上限回数を受け付け、設定データ格納部２に格納する（ステップＳ３０３）。なお、入力部１は、ユーザに対して実測値データの入力を促して、実測値データの入力を受け付け、実測値データ格納部６に格納する場合もある。また、他のコンピュータから、実測値データを含むファイルを取得して実測値データ格納部６に格納するようにしても良い。
【０１２５】
また、重み算出部２７は、ゲート長の対数値を表す横軸とゲート幅の対数値を表す縦軸とで張られる平面において、実測値データ格納部６に格納されているゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせに対応する点を配置し、ゲート長及びゲート幅の各組み合わせについて、所定サイズの矩形を配置して、当該矩形の範囲内に含まれる点の数を計数し、当該点の数の逆数を重み値として重みデータ格納部２８に格納する（ステップＳ３０５）。矩形のサイズについては、例えば経験的に好ましいものを設定する。
【０１２６】
そして、入力パラメータ値特定処理部１２は、入力パラメータ値セット生成部３に指示を行って、指示に従って入力パラメータ値セット生成部３は、初期入力パラメータ値セット決定処理を実施する（ステップＳ３０７）。初期入力パラメータ値セット決定処理については、図３９で説明したものと同じである。
【０１２７】
そして、入力パラメータ値特定処理部１２は、シミュレーション制御部５に指示を行って、指示に従ってシミュレーション制御部５は、入力パラメータ値セット格納部４に格納されている初期入力パラメータ値のうち未処理のセットを１つ特定する（ステップＳ３０９）。そして、シミュレーション制御部５などは、特定された入力パラメータ値セットについての計算機シミュレーション処理を実施する（ステップＳ３１１）。この特定された入力パラメータ値セットについての計算機シミュレーション処理については、図４０を用いて説明したものと同じである。
【０１２８】
そして、シミュレーション制御部５は、初期入力パラメータ値の全てのセットについて処理したか判断する（ステップＳ３１３）。未処理のセットが存在する場合にはステップＳ３０９に戻る。一方、全てのセットについて処理した場合には、端子Ｃを介して、図４３の処理に移行する。以降の処理は、第７の実施の形態と同じである。
【０１２９】
なお、第８の実施の形態では、誤差関数は、重み値の内容が異なるだけで第７の実施の形態で示したものと同じになる。
【０１３０】
以上本技術の実施の形態を説明したが、本技術はこれに限定されるものではない。例えば、上で述べた機能ブロック図は単なる例に過ぎず、実際のプログラムモジュール構成とは異なる場合もある。シミュレータ１００及び回路シミュレータ１１０は、入力パラメータ値セット特定装置に含まれない場合もあれば、含まれない場合もある。
【０１３１】
さらに処理フローについては、処理結果が変化しない限りにおいて処理順番を入れ替えたり、並列実施することができるようになる。
【０１３２】
また、スタンドアロン型コンピュータで入力パラメータ値セット特定装置を実施する例を示したが、コンピュータネットワークに接続させて、当該コンピュータネットワークに接続されている複数のコンピュータと連携して上記の処理を実施するようにしても良い。
【０１３３】
なお、上で述べた入力パラメータ値セット特定装置などは、コンピュータ装置であって、図４６に示すように、メモリ２５０１とＣＰＵ２５０３とハードディスク・ドライブ（ＨＤＤ）２５０５と表示装置２５０９に接続される表示制御部２５０７とリムーバブル・ディスク２５１１用のドライブ装置２５１３と入力装置２５１５とネットワークに接続するための通信制御部２５１７とがバス２５１９で接続されている。オペレーティング・システム（ＯＳ：Operating System）及び本実施例における処理を実施するためのアプリケーション・プログラムは、ＨＤＤ２５０５に格納されており、ＣＰＵ２５０３により実行される際にはＨＤＤ２５０５からメモリ２５０１に読み出される。必要に応じてＣＰＵ２５０３は、表示制御部２５０７、通信制御部２５１７、ドライブ装置２５１３を制御して、必要な動作を行わせる。また、処理途中のデータについては、メモリ２５０１に格納され、必要があればＨＤＤ２５０５に格納される。本技術の実施例では、上で述べた処理を実施するためのアプリケーション・プログラムはコンピュータ読み取り可能なリムーバブル・ディスク２５１１に格納されて頒布され、ドライブ装置２５１３からＨＤＤ２５０５にインストールされる。インターネットなどのネットワーク及び通信制御部２５１７を経由して、ＨＤＤ２５０５にインストールされる場合もある。このようなコンピュータ装置は、上で述べたＣＰＵ２５０３、メモリ２５０１などのハードウエアとＯＳ及び必要なアプリケーション・プログラムとが有機的に協働することにより、上で述べたような各種機能を実現する。
【０１３４】
以上述べた本実施の形態をまとめると、以下のようになる。
【０１３５】
本入力パラメータ値セット特定方法（図４７）は、（Ａ）設定されている入力変数値セットの各々について、当該入力変数値セットの各々について実測出力変数値を格納する実測出力変数値格納部に格納されているデータから実測出力変数値のばらつきに関連する指標値を算出し、入力変数値セットに対応付けて指標値格納部に格納するステップ（図４７：ステップＳ３００１）と、（Ｂ）（１）特定の入力パラメータ値セットと特定の入力変数値セットとから出力変数の計算値である計算出力変数値を算出するシミュレータに、候補の入力パラメータ値セット及び入力変数値セットの各々に対する計算出力変数値を算出させて、（２）当該計算出力変数値と実測出力変数値格納部に格納されている、該当入力変数値セットについての実測出力変数値との差を指標値格納部に格納されている、該当入力変数値セットについての指標値を用いて評価した部分誤差を全ての入力変数値セットについて考慮した結果である全体誤差、又は当該計算出力変数値と該当入力変数値セットについての実測出力変数値との差である部分誤差を該当入力変数値セットについての指標値を用いて重み付けしつつ全ての入力変数値セットについて考慮した結果である全体誤差を算出する処理を繰り返して、（３）当該全体誤差が最小となる候補の入力パラメータ値セットを特定し、出力データ格納部に格納するステップ（図４７：ステップＳ３００３）とを含む。
【０１３６】
上で述べたような実測出力変数値のばらつきに関連する指標値を導入することによって、より客観的に実測値のばらつきに応じた誤差の評価を行うことができ、最終的に適切な入力パラメータ値セットを特定できるようになる。
【０１３７】
なお、上で述べた指標値が、実測出力変数値のばらつきを表す値（例えば、標準偏差や分散や四分位範囲）である場合もある。このような場合、上で述べた部分誤差が、特定の入力変数値セットについての計算出力変数値と特定の入力変数値セットについての実測出力変数値との差を、特定の入力変数値セットについての上記指標値で正規化した値（標準偏差未満の誤差を無視するような評価や標準偏差に対する比での評価を含む）である場合もある。また、上で述べた全体誤差が、部分誤差の自乗を全ての入力変数値セットについて加算して入力変数値セットの数で除した値、又は１−ｅｘｐ｛−（部分誤差の自乗を全ての入力変数値セットについて加算して入力変数値セットの数で除した値)｝とする場合もある。全体誤差は、前者の場合非常に大きな値となってしまう場合があり、そのような場合には後者を採用することによって適切に評価できるようになる。
【０１３８】
さらに具体的には、上で述べた指標値が、標準偏差であってもよい。このような場合、上で述べた部分誤差が、（｜計算出力変数値−実測出力変数値|−標準偏差）と０とのうち大きい方の値である場合もある。さらに、上で述べた全体誤差が、部分誤差の自乗を全ての入力変数値セットについて加算した値を入力変数値セットの数で除した値である場合もある。このように、標準偏差以下の誤差を無視するような部分誤差を採用する場合もある。
【０１３９】
また、上で述べた指標値が標準偏差である場合には、上で述べた部分誤差が、（｜計算出力変数値−実測出力変数値｜／標準偏差）である場合もある。このような場合、上で述べた全体誤差が、部分誤差の自乗を全ての入力変数値セットについて加算した値を入力変数値セットの数で除した値である場合もある。このように、標準偏差に対する比にて正規化した部分誤差の自乗平均を全体誤差とする場合もある。
【０１４０】
さらに、上で述べた指標値が標準偏差である場合、上で述べた部分誤差が、（｜計算出力変数値−実測出力変数値｜／標準偏差）である場合もある。さらに、上で述べた全体誤差が、１−ｅｘｐ｛−（部分誤差の自乗を全ての入力変数値セットについて加算した値を入力変数値セットの数で除した値)｝である場合もある。このようにすれば、部分誤差が大きな値になる場合であっても適切に評価できるようになる。
【０１４１】
さらに具体的に、上で述べた指標値が標準偏差で、上で述べた出力変数値が電流値で、上で述べた入力変数値セットが、ゲート長及びゲート幅と電圧値とを含む場合もある。そして、上で述べた部分誤差が、ゲート長及びゲート幅と電圧値との特定の組み合わせについて、（｜計算電流値−実測電流値|−標準偏差）と０とのうち大きい方の値となる場合もある。さらに、上で述べた全体誤差が、ゲート長及びゲート幅の特定の組み合わせについて部分誤差の自乗を全ての電圧値について加算した値を電圧値の数で除した第２の部分誤差を、ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについて加算してゲート長及びゲート幅の組み合わせの数で除した値である場合もある。
【０１４２】
また他の具体例として  上で述べた指標値が標準偏差で、上で述べた入力変数値セットが、ゲート長及びゲート幅と電圧値とを含み、上で述べた出力変数値が電流値である場合もある。この場合、上で述べた部分誤差が、ゲート長及びゲート幅と電圧値との特定の組み合わせについての（｜計算電流値−実測電流値｜／標準偏差）である場合もある。また、上で述べた全体誤差が、ゲート長及びゲート幅の特定の組み合わせについて部分誤差の自乗を全ての電圧値について加算した値を電圧値の数で除した第２の部分誤差を、ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについて加算してゲート長及びゲート幅の組み合わせの数で除した値である場合もある。
【０１４３】
また他の具体例として、上で述べた指標値が標準偏差で、上で述べた入力変数値セットが、ゲート長及びゲート幅と電圧値とを含み、上で述べた出力変数値が電流値である場合もある。このような場合、上で述べた部分誤差が、ゲート長及びゲート幅と電圧値との特定の組み合わせについての（｜計算電流値−実測電流値｜／標準偏差）である場合もある。また、上で述べた全体誤差が、ゲート長及びゲート幅の特定の組み合わせについて、１−ｅｘｐ｛−（部分誤差の自乗を全ての入力変数値セットについて加算した値を入力変数値セットの数で除した値)｝である第２の部分誤差を、ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについて加算してゲート長及びゲート幅の組み合わせの数で除した値である場合もある。
【０１４４】
さらに、上で述べた指標値が、実測出力変数値の分散度合いに応じて設定されている、入力変数空間における入力変数値セットの粗密度合いを表す値である場合もある。そのような場合、上で述べた部分誤差が、特定の入力変数値セットについての計算出力変数値と特定の入力変数値セットについての実測出力変数値との差である場合もある。また、上で述べた全体誤差が、部分誤差を該当入力変数値セットについての指標値を用いて重み付けしつつ全ての入力変数値セットについて加算して入力変数値セットの数で除した値である場合もある。
【０１４５】
入力変数値セットの設定方法の特性を利用して、間接的に実測値のばらつきに応じた誤差の評価を行うことができるようになる。そして、最終的に適切な入力パラメータ値セットを特定できるようになる。
【０１４６】
より具体的に、上で述べた入力変数値セットが、ゲート長及びゲート幅と電圧値とを含み、上で述べた出力変数値が電流値である場合もある。そして、上で述べた指標値が、ゲート長の対数値が第１の軸に対応し、ゲート長の対数値が第２の軸に対応し、ゲート長及びゲート幅の各組み合わせが第１の軸及び第２の軸で張られる平面上に点として配置されている場合において、各点について、当該点を含み且つ他の点を含まない最大の矩形の面積である場合もある。このような場合、上で述べた部分誤差が、ゲート長及びゲート幅と電圧値との特定の組み合わせについて｜計算電流値−実測電流値｜である第２の部分誤差の自乗を、全ての電圧値について加算して電圧値の数で除した値である場合もある。上で述べた全体誤差が、部分誤差をゲート長及びゲート長の該当する組み合わせについての指標値で重み付けした上で、ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについて加算してゲート長及びゲート幅の組み合わせの数で除した値である場合もある。
【０１４７】
また他の具体例では、上で述べた入力変数値セットが、ゲート長及びゲート幅と電圧値とを含み、上で述べた出力変数値が電流値である場合もある。そして、上で述べた指標値が、ゲート長の対数値が第１の軸に対応し、ゲート長の対数値が第２の軸に対応し、ゲート長及びゲート幅の各組み合わせが第１の軸及び第２の軸で張られる平面上に点として配置されている場合において、各点について、当該点を中心とした所定面積の矩形に含まれる点の数の逆数である場合もある。このような場合、上で述べた部分誤差が、ゲート長及びゲート幅と電圧値との特定の組み合わせについて｜計算電流値−実測電流値｜である第２の部分誤差の自乗を、全ての電圧値について加算して電圧値の数で除した値である場合もある。そして、上で述べた全体誤差が、部分誤差を前記ゲート長及びゲート長の該当する組み合わせについての指標値で重み付けした上で、ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについて加算してゲート長及びゲート幅の組み合わせの数で除した値である場合もある。
【０１４８】
また本入力パラメータ値セット特定装置（図４８）は、（Ａ）設定されている入力変数値セットの各々について、当該入力変数値セットの各々について実測出力変数値を格納する実測出力変数値格納部（図４８：３１０１）に格納されているデータから実測出力変数値のばらつきに関連する指標値を算出し、入力変数値セットに対応付けて指標値格納部（図４８：３１０５）に格納する指標値算出部（図４８：３１０３）と、（Ｂ）（１）特定の入力パラメータ値セットと特定の入力変数値セットとから出力変数の計算値である計算出力変数値を算出するシミュレータ（図４８：３１０９）に、候補の入力パラメータ値セット及び入力変数値セットの各々に対する計算出力変数値を算出させて、（２）当該計算出力変数値と実測出力変数値格納部に格納されている、該当入力変数値セットについての実測出力変数値との差を指標値格納部に格納されている、該当入力変数値セットについての指標値を用いて評価した部分誤差を全ての入力変数値セットについて考慮した結果である全体誤差、又は当該計算出力変数値と該当入力変数値セットについての実測出力変数値との差である部分誤差を該当入力変数値セットについての指標値を用いて重み付けしつつ全ての入力変数値セットについて考慮した結果である全体誤差を算出する処理を繰り返して、（３）当該全体誤差が最小となる候補の入力パラメータ値セットを特定し、出力データ格納部（図４８：３１１１）に格納する制御部（図４８：３１０７）とを有する。
【０１４９】
なお、上で述べたような処理をコンピュータに実施させるためのプログラムを作成することができ、当該プログラムは、例えばフレキシブル・ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、光磁気ディスク、半導体メモリ（例えばＲＯＭ）、ハードディスク等のコンピュータ読み取り可能な記憶媒体又は記憶装置に格納される。なお、処理途中のデータについては、ＲＡＭ等の記憶装置に一時保管される。
【０１５０】
以上の実施例を含む実施形態に関し、さらに以下の付記を開示する。
【０１５１】
（付記１）
設定されている入力変数値セットの各々について、当該入力変数値セットの各々について実測出力変数値を格納する実測出力変数値格納部に格納されているデータから前記実測出力変数値のばらつきに関連する指標値を算出し、前記入力変数値セットに対応付けて指標値格納部に格納するステップと、
特定の入力パラメータ値セットと特定の入力変数値セットとから出力変数の計算値である計算出力変数値を算出するシミュレータに、候補の入力パラメータ値セット及び前記入力変数値セットの各々に対する計算出力変数値を算出させて、当該計算出力変数値と前記実測出力変数値格納部に格納されている、該当入力変数値セットについての前記実測出力変数値との差を前記指標値格納部に格納されている、該当入力変数値セットについての前記指標値を用いて評価した部分誤差を全ての前記入力変数値セットについて考慮した結果である全体誤差、又は当該計算出力変数値と該当入力変数値セットについての前記実測出力変数値との差である部分誤差を該当入力変数値セットについての前記指標値を用いて重み付けしつつ全ての前記入力変数値セットについて考慮した結果である全体誤差を算出する処理を繰り返して、当該全体誤差が最小となる前記候補の入力パラメータ値セットを特定し、出力データ格納部に格納するステップと、
を、コンピュータに実行させるための入力パラメータ値セット特定プログラム。
【０１５２】
（付記２）
前記指標値が、前記実測出力変数値のばらつきを表す値であり、
前記部分誤差が、
特定の入力変数値セットについての前記計算出力変数値と前記特定の入力変数値セットについての前記実測出力変数値との差を、前記特定の入力変数値セットについての前記指標値で正規化した値であり、
前記全体誤差が、
前記部分誤差の自乗を全ての前記入力変数値セットについて加算して前記入力変数値セットの数で除した値、又は１−ｅｘｐ｛−（前記部分誤差の自乗を全ての前記入力変数値セットについて加算して前記入力変数値セットの数で除した値)｝である
付記１記載の入力パラメータ値セット特定プログラム。
【０１５３】
（付記３）
前記指標値が、標準偏差であり、
前記部分誤差が、（｜前記計算出力変数値−前記実測出力変数値|−前記標準偏差）と０とのうち大きい方の値であり、
前記全体誤差が、前記部分誤差の自乗を全ての前記入力変数値セットについて加算した値を前記入力変数値セットの数で除した値である
付記１記載の入力パラメータ値セット特定プログラム。
【０１５４】
（付記４）
前記指標値が、標準偏差であり、
前記部分誤差が、（｜前記計算出力変数値−前記実測出力変数値｜／標準偏差）であり、
前記全体誤差が、前記部分誤差の自乗を全ての前記入力変数値セットについて加算した値を前記入力変数値セットの数で除した値である
付記１記載の入力パラメータ値セット特定プログラム。
【０１５５】
（付記５）
前記指標値が、標準偏差であり、
前記部分誤差が、（｜前記計算出力変数値−前記実測出力変数値｜／標準偏差）であり、
前記全体誤差が、１−ｅｘｐ｛−（前記部分誤差の自乗を全ての前記入力変数値セットについて加算した値を前記入力変数値セットの数で除した値)｝である
付記１記載の入力パラメータ値セット特定プログラム。
【０１５６】
（付記６）
前記指標値が、標準偏差であり、
前記入力変数値セットが、ゲート長及びゲート幅と電圧値とを含み、
前記出力変数値が、電流値であり、
前記部分誤差が、前記ゲート長及びゲート幅と電圧値との特定の組み合わせについて、（｜前記計算電流値−前記実測電流値|−前記標準偏差）と０とのうち大きい方の値であり、
前記全体誤差が、
前記ゲート長及びゲート幅の特定の組み合わせについて前記部分誤差の自乗を全ての前記電圧値について加算した値を前記電圧値の数で除した第２の部分誤差を、前記ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについて加算して前記ゲート長及びゲート幅の組み合わせの数で除した値である
付記１記載の入力パラメータ値セット特定プログラム。
【０１５７】
（付記７）
前記指標値が、標準偏差であり、
前記入力変数値セットが、ゲート長及びゲート幅と電圧値とを含み、
前記出力変数値が、電流値であり、
前記部分誤差が、前記ゲート長及びゲート幅と電圧値との特定の組み合わせについての（｜前記計算電流値−前記実測電流値｜／標準偏差）であり、
前記全体誤差が、
前記ゲート長及びゲート幅の特定の組み合わせについて前記部分誤差の自乗を全ての前記電圧値について加算した値を前記電圧値の数で除した第２の部分誤差を、前記ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについて加算して前記ゲート長及びゲート幅の組み合わせの数で除した値である
付記１記載の入力パラメータ値セット特定プログラム。
【０１５８】
（付記８）
前記指標値が、標準偏差であり、
前記入力変数値セットが、ゲート長及びゲート幅と電圧値とを含み、
前記出力変数値が、電流値であり、
前記部分誤差が、前記ゲート長及びゲート幅と電圧値との特定の組み合わせについての（｜前記計算電流値−前記実測電流値｜／標準偏差）であり、
前記全体誤差が、前記ゲート長及びゲート幅の特定の組み合わせについて、１−ｅｘｐ｛−（前記部分誤差の自乗を全ての前記入力変数値セットについて加算した値を前記入力変数値セットの数で除した値)｝である第２の部分誤差を、前記ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについて加算して前記ゲート長及びゲート幅の組み合わせの数で除した値である
付記１記載の入力パラメータ値セット特定プログラム。
【０１５９】
（付記９）
前記指標値が、前記実測出力変数値の分散度合いに応じて設定されている、入力変数空間における前記入力変数値セットの粗密度合いを表す値であり、
前記部分誤差が、
特定の入力変数値セットについての前記計算出力変数値と前記特定の入力変数値セットについての前記実測出力変数値との差であり、
前記全体誤差が、
前記部分誤差を該当入力変数値セットについての前記指標値を用いて重み付けしつつ全ての前記入力変数値セットについて加算して前記入力変数値セットの数で除した値である
付記１記載の入力パラメータ値セット特定プログラム。
【０１６０】
（付記１０）
前記入力変数値セットが、ゲート長及びゲート幅と電圧値とを含み、
前記指標値が、
前記ゲート長の対数値が第１の軸に対応し、前記ゲート長の対数値が第２の軸に対応し、前記ゲート長及びゲート幅の各組み合わせが前記第１の軸及び第２の軸で張られる平面上に点として配置されている場合において、各前記点について、当該点を含み且つ他の前記点を含まない最大の矩形の面積であり、
前記出力変数値が、電流値であり、
前記部分誤差が、
前記ゲート長及びゲート幅と電圧値との特定の組み合わせについて｜前記計算電流値−前記実測電流値｜である第２の部分誤差の自乗を、全ての前記電圧値について加算して前記電圧値の数で除した値であり、
前記全体誤差が、
前記部分誤差を前記ゲート長及びゲート長の該当する組み合わせについての前記指標値で重み付けした上で、前記ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについて加算して前記ゲート長及びゲート幅の組み合わせの数で除した値である
付記１記載の入力パラメータ値セット特定プログラム。
【０１６１】
（付記１１）
前記入力変数値セットが、ゲート長及びゲート幅と電圧値とを含み、
前記指標値が、
前記ゲート長の対数値が第１の軸に対応し、前記ゲート長の対数値が第２の軸に対応し、前記ゲート長及びゲート幅の各組み合わせが前記第１の軸及び第２の軸で張られる平面上に点として配置されている場合において、各前記点について、当該点を中心とした所定面積の矩形に含まれる点の数の逆数であり、
前記出力変数値が、電流値であり、
前記部分誤差が、
前記ゲート長及びゲート幅と電圧値との特定の組み合わせについて｜前記計算電流値−前記実測電流値｜である第２の部分誤差の自乗を、全ての前記電圧値について加算して前記電圧値の数で除した値であり、
前記全体誤差が、
前記部分誤差を前記ゲート長及びゲート長の該当する組み合わせについての前記指標値で重み付けした上で、前記ゲート長及びゲート幅の全ての組み合わせについて加算して前記ゲート長及びゲート幅の組み合わせの数で除した値である
付記１記載の入力パラメータ値セット特定プログラム。
【０１６２】
（付記１２）
設定されている入力変数値セットの各々について、当該入力変数値セットの各々について実測出力変数値を格納する実測出力変数値格納部に格納されているデータから前記実測出力変数値のばらつきに関連する指標値を算出し、前記入力変数値セットに対応付けて指標値格納部に格納するステップと、
特定の入力パラメータ値セットと特定の入力変数値セットとから出力変数の計算値である計算出力変数値を算出するシミュレータに、候補の入力パラメータ値セット及び前記入力変数値セットの各々に対する計算出力変数値を算出させて、当該計算出力変数値と前記実測出力変数値格納部に格納されている、該当入力変数値セットについての前記実測出力変数値との差を前記指標値格納部に格納されている、該当入力変数値セットについての前記指標値を用いて評価した部分誤差を全ての前記入力変数値セットについて考慮した結果である全体誤差、又は当該計算出力変数値と該当入力変数値セットについての前記実測出力変数値との差である部分誤差を該当入力変数値セットについての前記指標値を用いて重み付けしつつ全ての前記入力変数値セットについて考慮した結果である全体誤差を算出する処理を繰り返して、当該全体誤差が最小となる前記候補の入力パラメータ値セットを特定し、出力データ格納部に格納するステップと、
を含み、コンピュータに実行される入力パラメータ値セット特定方法。
【０１６３】
（付記１３）
設定されている入力変数値セットの各々について、当該入力変数値セットの各々について実測出力変数値を格納する実測出力変数値格納部に格納されているデータから前記実測出力変数値のばらつきに関連する指標値を算出し、前記入力変数値セットに対応付けて指標値格納部に格納する指標値算出部と、
特定の入力パラメータ値セットと特定の入力変数値セットとから出力変数の計算値である計算出力変数値を算出するシミュレータに、候補の入力パラメータ値セット及び前記入力変数値セットの各々に対する計算出力変数値を算出させて、当該計算出力変数値と前記実測出力変数値格納部に格納されている、該当入力変数値セットについての前記実測出力変数値との差を前記指標値格納部に格納されている、該当入力変数値セットについての前記指標値を用いて評価した部分誤差を全ての前記入力変数値セットについて考慮した結果である全体誤差、又は当該計算出力変数値と該当入力変数値セットについての前記実測出力変数値との差である部分誤差を該当入力変数値セットについての前記指標値を用いて重み付けしつつ全ての前記入力変数値セットについて考慮した結果である全体誤差を算出する処理を繰り返して、当該全体誤差が最小となる前記候補の入力パラメータ値セットを特定し、出力データ格納部に格納する制御部と、
を有する入力パラメータ値セット特定装置。
【符号の説明】
【０１６４】
１  入力部    ２  設定データ格納部    ３  パラメータ値セット生成部
４  入力パラメータ値セット格納部    ５  シミュレーション制御部
６  実測値データ格納部    ７  標準偏差算出部
８  標準偏差格納部    ９  計算値データ格納部    
１０，３０  全体誤差算出部
１１  全体誤差データ格納部    １２  入力パラメータ値特定処理部
１３  出力データ格納部    １４  出力部  
２７  重み算出部    ２８  重みデータ格納部
【図１】
0005463856.tif 000002
【図２】
0005463856.tif 000003
【図３】
0005463856.tif 000004
【図４】
0005463856.tif 000005
【図５】
0005463856.tif 000006
【図６】
0005463856.tif 000007
【図７】
0005463856.tif 000008
【図８】
0005463856.tif 000009
【図９】
0005463856.tif 000010
【図１０】
0005463856.tif 000011
【図１１】
0005463856.tif 000012
【図１２】
0005463856.tif 000013
【図１３】
0005463856.tif 000014
【図１４】
0005463856.tif 000015
【図１５】
0005463856.tif 000016
【図１６】
0005463856.tif 000017
【図１７Ａ】
0005463856.tif 000018
【図１７Ｂ】
0005463856.tif 000019
【図１８】
0005463856.tif 000020
【図１９】
0005463856.tif 000021
【図２０】
0005463856.tif 000022
【図２１】
0005463856.tif 000023
【図２２】
0005463856.tif 000024
【図２３】
0005463856.tif 000025
【図２４】
0005463856.tif 000026
【図２５】
0005463856.tif 000027
【図２６】
0005463856.tif 000028
【図２７】
0005463856.tif 000029
【図２８】
0005463856.tif 000030
【図２９】
0005463856.tif 000031
【図３０】
0005463856.tif 000032
【図３１】
0005463856.tif 000033
【図３２】
0005463856.tif 000034
【図３３】
0005463856.tif 000035
【図３４】
0005463856.tif 000036
【図３５】
0005463856.tif 000037
【図３６】
0005463856.tif 000038
【図３７】
0005463856.tif 000039
【図３８】
0005463856.tif 000040
【図３９】
0005463856.tif 000041
【図４０】
0005463856.tif 000042
【図４１】
0005463856.tif 000043
【図４２】
0005463856.tif 000044
【図４３】
0005463856.tif 000045
【図４４】
0005463856.tif 000046
【図４５】
0005463856.tif 000047
【図４６】
0005463856.tif 000048
【図４７】
0005463856.tif 000049
【図４８】
0005463856.tif 000050