(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
活性領域及び前記活性領域の外郭部に位置する非活性領域に区分され、厚さ２５〜５０μｍのガラス基板と、
前記ガラス基板の第１面の活性領域に形成されたセンシングパターンと、
前記ガラス基板の第１面の非活性領域に形成され、前記センシングパターンに接続されるセンシングラインと、
前記ガラス基板の、第１面と反対側の面である第２面上に備えられた支持フィルムと、
を備えることを特徴とするタッチスクリーンパネル。
【請求項２】
前記支持フィルムは、透明な樹脂を含むことを特徴とする請求項１に記載のタッチスクリーンパネル。
【請求項３】
前記支持フィルムは、ポリエステル（ＰＥＴ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、及びシクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂で構成されることを特徴とする請求項１又は２に記載のタッチスクリーンパネル。
【請求項４】
前記支持フィルムの厚さは、２５〜１２５μｍであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のタッチスクリーンパネル。
【請求項５】
前記ガラス基板の第２面と前記支持フィルムとの間に第１透明接着層を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のタッチスクリーンパネル。
【請求項６】
前記第１透明接着層の厚さは、５〜３０μｍであることを特徴とする請求項５に記載のタッチスクリーンパネル。
【請求項７】
前記ガラス基板の第１面上にウィンドウ基板を備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のタッチスクリーンパネル。
【請求項８】
前記ウィンドウ基板は、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、アクリル、及びポリエステル（ＰＥＴ）からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂で構成されることを特徴とする請求項７に記載のタッチスクリーンパネル。
【請求項９】
前記ガラス基板の第１面と前記ウィンドウ基板との間に第２透明接着層を備えることを特徴とする請求項７又は８に記載のタッチスクリーンパネル。
【請求項１０】
前記第２透明接着層の厚さは、５０〜２００μｍであることを特徴とする請求項９に記載のタッチスクリーンパネル。
【請求項１１】
前記第１透明接着層及び第２透明接着層はアクリル系樹脂透明接着剤で形成されることを特徴とする請求項９又は１０に記載のタッチスクリーンパネル。
【請求項１２】
前記センシングパターンは、
第１方向に沿って接続されるように形成された複数の第１センシングセルと、
前記複数の第１センシングセルを接続する第１接続ラインと、
第２方向に沿って接続されるように形成された複数の第２センシングセルと、
前記複数の第２センシングセルを接続する第２接続ラインとを備えて構成されることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載のタッチスクリーンパネル。
【請求項１３】
前記第１接続ラインと前記第２接続ラインとの交差部に、絶縁膜を備えることを特徴とする請求項１２に記載のタッチスクリーンパネル。
【請求項１４】
前記ガラス基板の第１面の非活性領域に、ブラックマトリクスをさらに備えることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか１項に記載のタッチスクリーンパネル。
【請求項１５】
セル単位領域ごとに区分されるガラス基板の第１面上に前記セル単位領域ごとに各々のタッチスクリーンパネルを形成するステップと、
前記各々のタッチスクリーンパネルが形成されたガラス基板の第１面上に保護層を形成するステップと、
前記ガラス基板の、第１面と反対側の面である第２面にエッチング液を噴射してガラス基板を、２５〜５０μｍｍの厚みになるように厚さ方向にエッチングするステップと、
前記ガラス基板の第２面上に支持フィルムを接着するステップと、
前記各セル単位の境界領域に対応する、保護層の一部を除去するステップと、
前記保護層の除去により露出したガラス基板にエッチング液を噴射して切断するステップと、
前記ガラス基板の切断により露出した支持フィルムを切断するステップと、
前記保護層の残りの部分を除去するステップと、
を含むことを特徴とするタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項１６】
前記支持フィルムは、ポリエステル（ＰＥＴ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、及びシクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂で構成されることを特徴とする請求項１５に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項１７】
前記支持フィルムの厚さは、２５〜１２５μｍであることを特徴とする請求項１５又は１６に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項１８】
前記支持フィルムの切断は、レーザを用いて実施されることを特徴とする請求項１５〜１７のいずれか１項に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項１９】
前記支持フィルムは、前記ガラス基板の第２面と前記支持フィルムとの間に第１透明接着層を介在させて、前記ガラス基板の第２面上に接着されることを特徴とする請求項１５〜１８のいずれか１項に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項２０】
前記第１透明接着層の厚さは、５〜３０μｍであることを特徴とする請求項１９に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項２１】
前記ガラス基板の第１面上にウィンドウ基板を取り付けるステップをさらに含むことを特徴とする請求項１５〜２０のいずれか１項に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項２２】
前記ウィンドウ基板は、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、アクリル、及びポリエステル（ＰＥＴ）からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂で構成されることを特徴とする請求項２１に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項２３】
前記ウィンドウ基板は、前記ガラス基板の第１面とウィンドウ基板との間に第２透明接着層を介在させて、前記ガラス基板の第１面上に取り付けられることを特徴とする請求項２１又は２２記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項２４】
前記第２透明接着層の厚さは、５０〜２００μｍであることを特徴とする請求項２３に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項２５】
前記保護層は、着脱可能な形態であって、フィルムまたはペースト状であることを特徴とする請求項１５〜２４のいずれか１項に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチスクリーンパネルに関し、特に、フレキシブル（ｆｌｅｘｉｂｌｅ）なタッチスクリーンパネル及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
タッチスクリーンパネルは、映像表示装置などの画面に現れた指示内容を人の手または物体で選択し、ユーザの命令を入力できるようにした入力装置である。
【０００３】
このため、タッチスクリーンパネルは、映像表示装置の前面（ｆｒｏｎｔ  ｆａｃｅ）に備えられ、人の手または物体に直接接触した接触位置を電気的信号に変換する。これにより、接触位置で選択された指示内容が入力信号として受信される。
【０００４】
このようなタッチスクリーンパネルは、キーボードやマウスのように、映像表示装置に接続して動作する別の入力装置を代替できるため、その使用範囲が次第に拡大する傾向にある。
【０００５】
タッチスクリーンパネルを実現する方式としては、抵抗膜方式、光感知方式、及び静電容量方式などが知られており、このうち、静電容量方式のタッチスクリーンパネルは、人の手または物体が接触したとき、導電性センシングパターンが周辺の他のセンシングパターンまたは接地電極などと形成する静電容量の変化を感知することにより、接触位置を電気的信号に変換する（例えば特許文献１）。
【０００６】
このようなタッチスクリーンパネルは、一般的に、液晶表示装置、有機電界発光表示装置のような平板表示装置の外面に取り付けられて製品化される場合が多い。したがって、前記タッチスクリーンパネルは、高い透明度及び薄型の特性が求められる。
【０００７】
また、最近、フレキシブルな平板表示装置が開発されている傾向にあり、この場合、前記フレキシブル平板表示装置上に取り付けられるタッチスクリーンパネルも、フレキシブルな特性が求められる。
【０００８】
ただし、前記静電容量方式のタッチスクリーンパネルは、タッチセンサを実現するセンシングパターンなどを形成するために、薄膜成膜、パターン形成工程などが必要になるため、高耐熱性及び耐化学性などの特性が求められる。
【０００９】
これにより、従来、前記静電容量方式のタッチスクリーンパネルは、前記工程の特性に符合するガラス基板上に感知パターンなどを形成したが、このとき、前記ガラス基板は、工程で搬送できるように一定値以上の厚さを有していなければならないため、薄型を求める特性を満たすことができず、フレキシブルな特性を実現できないという欠点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０１０−１６４９２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、フレキシブルな超薄膜タッチスクリーンパネルを提供することを目的とする。また、本発明は、該フレキシブルなタッチスクリーンパネルの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するために、本発明の一実施形態によるタッチスクリーンパネルは、活性領域及び前記活性領域の外郭部に位置する非活性領域に区分されるガラス基板と、前記ガラス基板の第１面の活性領域に形成されたセンシングパターンと、前記ガラス基板の第１面の非活性領域に形成され、前記センシングパターンに接続されるセンシングラインと、前記ガラス基板の、第１面と反対側の面である第２面上に備えられた支持フィルムを備えることを特徴とする。
【００１３】
このとき、前記ガラス基板の厚さは、２５〜５０μｍであり、フレキシブルな特性を有するようになる。
【００１４】
また、前記支持フィルムは、透明な樹脂で構成され、前記透明な樹脂は、ポリエステル（ＰＥＴ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、及びシクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂であり、前記支持フィルムの厚さは、２５〜１２５μｍである。
【００１５】
また、前記ガラス基板の第２面と前記支持フィルムとの間に第１透明接着層が備えられ、前記第１透明接着層の厚さは、５〜３０μｍである。
【００１６】
また、前記ガラス基板の第１面上にウィンドウ基板を備え、前記ウィンドウ基板は、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、アクリル、及びポリエステル（ＰＥＴ）からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂で構成され得る。
【００１７】
また、前記ガラス基板の第１面と前記ウィンドウ基板との間に第２透明接着層が備えられ、前記第２透明接着層の厚さは、５０〜２００μｍである。
【００１８】
このとき、前記第１透明接着層及び第２透明接着層は、アクリル系樹脂接着剤、例えばＳｕｐｅｒ  Ｖｉｅｗ  Ｒｅｓｉｎ（ＳＶＲ）、Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｃｌｅａｒ  Ａｄｈｅｓｉｖｅ（ＯＣＡ）、で形成可能である。
【００１９】
また、前記センシングパターンは、第１方向に沿って接続されるように形成された複数の第１センシングセルと、前記複数の第１センシングセルを接続する第１接続ラインと、第２方向に沿って接続されるように形成された複数の第２センシングセルと、前記複数の第２センシングセルを接続する第２接続ラインとを備えて構成され、前記第１接続ラインと前記第２接続ラインとの交差部には、絶縁膜を備える。
【００２０】
また、前記ガラス基板の第１面の非活性領域には、ブラックマトリクスをさらに備えてよい。
【００２１】
また、本発明の実施形態によるタッチスクリーンパネルの製造方法は、セル単位領域ごとに区分されるガラス基板の第１面上に前記セル単位領域ごとに各々のタッチスクリーンパネルを形成するステップと、前記各々のタッチスクリーンパネルが形成されたガラス基板の第１面上に保護層を形成するステップと、前記ガラス基板の、第１面と反対側の面である第２面にエッチング液を噴射して、ガラス基板を厚さ方向にエッチングするステップと、前記ガラス基板の第２面上に支持フィルムを接着するステップと、前記各セル単位の境界領域に対応する保護層の一部を除去するステップと、前記保護層の除去により露出したガラス基板にエッチング液を噴射して切断するステップと、前記ガラス基板の切断により露出した支持フィルムを切断するステップと、前記保護層の残りの部分を除去するステップとを含む。
【００２２】
このとき、前記支持フィルムの切断は、レーザを用いて実施可能であり、前記保護層は、着脱可能な形態であって、フィルムまたはペースト状であってよい。
【発明の効果】
【００２３】
上記本発明によれば、フレキシブルな超薄膜型のタッチスクリーンパネルを実現することができ、平板表示装置の上面に取り付けられるか、または平板表示装置のウィンドウの下面に取り付けられることにより、厚さの増加を最小化しつつ、フレキシブルな特性を維持できるという利点がある。
【００２４】
また、マザーガラス状態のガラス基板上にセル単位でタッチセンサとしてのセンシングパターンを形成し、得られたガラス基板を厚さ方向にエッチングした後、ガラス基板の底面に支持フィルムを接着し、前記セル単位でガラス基板を切断した後、支持フィルムを切断する二重切断工程を採用することにより、切断断面に形成される微細なクラックを防止し、タッチスクリーンパネルの破壊強度及び量産性を確保できるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施形態によるタッチスクリーンパネルを概略的に示す平面図である。
【図２】図１のセンシングパターンの一例を示す要部拡大図である。
【図３】本発明の一実施形態によるタッチスクリーンパネルの一領域（Ｉ−Ｉ’）に関する断面図である。
【図４（ａ）】本発明の一実施形態によるタッチスクリーンパネルの製造方法を順次に示す断面図である。
【図４（ｂ）】本発明の一実施形態によるタッチスクリーンパネルの製造方法を順次に示す断面図である。
【図４（ｃ）】本発明の一実施形態によるタッチスクリーンパネルの製造方法を順次に示す断面図である。
【図４（ｄ）】本発明の一実施形態によるタッチスクリーンパネルの製造方法を順次に示す断面図である。
【図４（ｅ）】本発明の一実施形態によるタッチスクリーンパネルの製造方法を順次に示す断面図である。
【図４（ｆ）】本発明の一実施形態によるタッチスクリーンパネルの製造方法を順次に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、添付した図面を参照して本発明の実施形態をより詳細に説明する。
【００２７】
図１は、本発明の一実施形態によるタッチスクリーンパネルを概略的に示す平面図である。そして、図２は、図１のセンシングパターンの一例を示す要部拡大図である。
【００２８】
また、図３は、本発明の一実施形態によるタッチスクリーンパネルの一領域（Ｉ−Ｉ’）に関する断面図である。
【００２９】
図１〜図３に示すように、本発明の実施形態によるタッチスクリーンパネルは、フレキシブルな特性を実現できる厚さのガラス基板１０と、前記ガラス基板１０の第１面上に形成されたセンシングパターン２２０と、前記センシングパターン２２０をパッド部２５０を介して外部の駆動回路（図示せず）と接続するためのセンシングライン２３０とを備える。
【００３０】
一般的に、前記ガラス基板は、透明ながらも、高耐熱性及び耐化学性の特性を満たし、前記センシングパターンを形成するために適合した基板として幅広く用いられている。
【００３１】
ただし、従来、前記ガラス基板は、タッチスクリーンパネルの製造工程時に搬送などができるように一定の厚さ、例えば、０．３〜０．５ｍｍの厚さを有するが、このような厚さを有する場合は、フレキシブルな特性を実現することができない。
【００３２】
すなわち、最近、研究が盛んに行われているフレキシブル平板表示装置上には、前記厚さを有するガラス基板上に形成されたタッチスクリーンパネルが適用できないという問題がある。
【００３３】
ところが、前記ガラス基板の厚さを約５０μｍ以下に薄く実現する場合、ガラス基板も、フレキシブルまたは曲げ（ｂｅｎｄａｂｌｅ）特性を有することができる。そこで、本発明の実施形態では、前記ガラス基板を、このようなフレキシブルな特性を有する厚さに形成することを特徴とする。
【００３４】
このとき、前記ガラス基板１０の第２面、すなわち、ガラス基板の第１面を上面とした場合の下面には、フレキシブルな特性を有する支持フィルム２０を接着し、過度の撓みにより前記ガラス基板が破損するのを防止する。
【００３５】
ただし、前記ガラス基板の厚さを薄くするスリミング（ｓｌｉｍｍｉｎｇ）工程は、既存の厚さを有するガラス基板上に前記センシングパターン２２０などを形成した後に行われ、このような本発明の実施形態によるタッチスクリーンパネルの製造方法を、以下、図４に基づいてより詳細に説明する。
【００３６】
以下、本発明の実施形態によるタッチスクリーンパネルの構成を説明する。
【００３７】
まず、前記センシングパターン２２０は、図２に示すように、行方向に沿って各行ラインごとに接続されるように形成された複数の第１センシングセル２２０ａと、第１センシングセル２２０ａを行方向に沿って接続する第１接続ライン２２０ａ１と、列方向に沿って各列ラインごとに接続されるように形成された第２センシングセル２２０ｂと、第２センシングセル２２０ｂを列方向に沿って接続する第２接続ライン２２０ｂ１とを備える。
【００３８】
便宜上、図２では、センシングパターンの一部のみを示したが、タッチスクリーンパネルは、図２のセンシングパターンが繰り返し配置される構造を有する。
【００３９】
このような第１センシングセル２２０ａ及び第２センシングセル２２０ｂは互いに重ならないように交互に配置され、第１接続ライン２２０ａ１と第２接続ライン２２０ｂ１とは互いに交差する。このとき、第１接続ライン２２０ａ１と第２接続ライン２２０ｂ１との間には、安定性を確保するための絶縁膜（図示せず）が備えられる。
【００４０】
一方、第１センシングセル２２０ａ及び第２センシングセル２２０ｂは、インジウム−スズ−オキサイド（以下、ＩＴＯ）のような透明導電性物質を用いてそれぞれ第１接続ライン２２０ａ１及び第２接続ライン２２０ｂ１と一体に形成されるか、あるいは、これらとは別途に形成されて電気的に接続可能である。
【００４１】
例えば、第２センシングセル２２０ｂは、第２接続ライン２２０ｂ１と一体に列方向にパターニング形成され、第１センシングセル２２０ａは、第２センシングセル２２０ｂの間にそれぞれが独立したパターンを有するようにパターニングされるが、その上部または下部に位置する第１接続ライン２２０ａ１により行方向に沿って接続可能である。
【００４２】
このとき、第１接続ライン２２０ａ１は、第１センシングセル２２０ａの上部または下部で第１センシングセル２２０ａと直接接触して電気的に接続されるか、あるいは、コンタクトホールなどを介して第１センシングセル２２０ａと電気的に接続可能である。
【００４３】
このような第１接続ライン２２０ａ１は、ＩＴＯのような透明導電性物質を用いて形成されるか、あるいは、不透明な低抵抗金属物質を用いて形成されるが、パターンの可視化が防止されるようにその幅などが調整される。
【００４４】
また、図１に示す前記センシングライン２３０は、それぞれ行ライン単位及び列ライン単位の第１センシングセル２２０ａ及び第２センシングセル２２０ｂと電気的に接続され、これらをパッド部２５０を介して位置検出回路のような外部の駆動回路（図示せず）と接続する。
【００４５】
このようなセンシングライン２３０は、映像が表示される活性領域（ａｃｔｉｖｅ  ａｒｅａ）の外郭部である非活性領域（ｎｏｎ  ａｃｔｉｖｅ  ａｒｅａ）に配置されるものであって、材料選択の幅が広く、センシングパターン２２０の形成に用いられる透明導電性物質のほか、モリブデン（Ｍｏ）、銀（Ａｇ）、チタン（Ｔｉ）、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、モリブデン／アルミニウム／モリブデン（Ｍｏ／Ａｌ／Ｍｏ）などの低抵抗金属物質で形成可能である。
【００４６】
前述したような本発明の実施形態によるタッチスクリーンパネルは、静電容量方式のタッチパネルであって、人の手またはスタイラスペンなどのような接触物体が接触すると、センシングパターン２２０からセンシングライン２３０及びパッド部２５０を経由して、駆動回路（図示せず）側へと、接触位置に応じた静電容量の変化が伝達される。すると、Ｘ及びＹ入力処理回路（図示せず）などにより静電容量の変化が電気的信号に変換されることにより、接触位置が把握される。
【００４７】
図３は、フレキシブルな特性を有する厚さで実現されるガラス基板１０の第１面上に形成されたタッチスクリーンパネルの非活性領域及び活性領域の一部に関する断面図である。
【００４８】
図３に示すように、前記ガラス基板１０の活性領域上に形成されたセンシングパターン２２０は、第１方向に沿って各行ラインごとに接続されるように形成された第１センシングセル２２０ａと、第１センシングセル２２０ａを行方向に沿って接続する第１接続ライン２２０ａ１と、列方向に沿って各列ラインごとに接続されるように形成された第２センシングセル２２０ｂ（図２）と、第２センシングセル２２０ｂを列方向に沿って接続する第２接続ライン２２０ｂ１とを備え、前記第１接続ライン２２０ａ１と前記第２接続ライン２２０ｂ１との交差部には、絶縁膜２４０が介在する。
【００４９】
ただし、図３では、前記タッチスクリーンパネルを構成するセンシングパターン２２０などのような構成要素の厚さが大きく示されているが、これは、説明の便宜を図るためのものであって、実際に、各構成要素の厚さはこれよりはるかに薄い。
【００５０】
また、前記活性領域の外郭に位置する非活性領域には、図示のように、ブラックマトリクス２１０と、前記ブラックマトリクスと重なって形成され、前記センシングパターン２２０と電気的に接続されるセンシングライン２３０とが形成される。
【００５１】
このとき、前記ブラックマトリクス２１０は、非活性領域に形成されるセンシングラインなどのパターンが可視化するのを防止しつつ、表示領域の枠を形成する役割を果たす。
【００５２】
本発明の実施形態において、前記ガラス基板１０は、フレキシブルな特性を有するために、２０〜５０μｍの厚さとされることを特徴とする。
【００５３】
このように、前記ガラス基板の厚さが５０μｍ以下の場合、フレキシブルな特性を有することができるが、厚さが１５μｍ以下になると、クラックが発生しやすく、エッチング工程時に管理が難しいため、本発明の実施形態に適用されるガラス基板１０の厚さは、２５〜３０μｍとすることが好ましい。
【００５４】
また、本発明の実施形態では、図３に示すように、前記ガラス基板１０の下面、即ち第２面、にフレキシブルな特性を有する支持フィルム２０を備えることを特徴とし、これにより、外力による過度の撓みが発生しても、ガラス基板１０が破損するのを防止できるようになる。
【００５５】
このとき、前記支持フィルム２０は、透明な樹脂材質から構成され、より具体的には、ポリエステル（ＰＥＴ）、ポリエーテルスルホン（ｐｏｌｙｅｔｈｅｒ  ｓｕｌｆｏｎｅ：ＰＥＳ）、トリアセチルセルロース（ＴｒｉＡｃｅｔｙｌ  Ｃｅｌｌｕｌｏｓｅ：ＴＡＣ）、シクロオレフィンポリマー（Ｃｙｃｌｅ−ｏｌｅｆｉｎ  Ｐｏｌｙｍｅｒ：ＣＯＰ）のような物質から構成され得る。
【００５６】
特に、前記ＴＡＣ及びＣＯＰは、位相差がほとんどないため、前記支持フィルムとして活用されるためにより好ましく、前記支持フィルム２０の厚さは、２５〜１２５μｍであることが好ましい。
【００５７】
また、前記支持フィルム２０は、前記ガラス基板１０の第２面上に備えられた第１透明接着層２５を介して、第２面に接着させることができ、前記第１透明接着層３２０は、光透過率が高い透明性接着材料、例えばＳｕｐｅｒ  Ｖｉｅｗ  Ｒｅｓｉｎ（ＳＶＲ）またはＯｐｔｉｃａｌ  Ｃｌｅａｒ  Ａｄｈｅｓｉｖｅ（ＯＣＡ）等の名称で市販されている、紫外線硬化型のアクリル系樹脂、などから形成することができる。
【００５８】
ただし、本発明の実施形態では、前記第１透明接着層２５の厚さは、５〜３０μｍであることが好ましい。
【００５９】
また、前記タッチスクリーンパネルは、平板表示装置（図示せず）の上面に取り付けられる形態で実現されるにあたり、機構強度を向上させるために、前記タッチスクリーンパネルの上面には、ウィンドウ基板３０が追加で備えられる。
【００６０】
ただし、前述したように、前記平板表示装置及びタッチスクリーンパネルがフレキシブルな特性を有することができるため、前記ウィンドウ基板３０も、フレキシブルな特性を有する材質で構成されることが好ましい。
【００６１】
したがって、本発明の実施形態において、前記ウィンドウ基板３０は、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、アクリル、ポリエステル（ＰＥＴ）などのような材質からなり得、その厚さは、０．５〜１．０ｍｍ、好ましくは０．６〜０．８ｍｍである。
【００６２】
また、前記ウィンドウ基板３０は、前記センシングパターンなどの形成されたガラス基板１０の第１面上に形成された第２透明接着層２７を介して、第１面上に備えることができ、前記第２透明接着層２７は、前述した第１透明接着層２５のような光透過率が高い透明性接着材料であって、例えば、ＳＶＲまたはＯＣＡなどからなり得る。
【００６３】
ただし、本発明の実施形態において、前記第２透明接着層２７の厚さは、５０〜２００μｍであってよい。
【００６４】
以下、図４（ａ）〜図４（ｆ）を参照して本発明の実施形態によるタッチスクリーンパネルの製造工程をより詳細に説明する。
【００６５】
図４（ａ）〜図４（ｆ）は、本発明の実施形態によるタッチスクリーンパネルの製造方法を順次に示す断面図である。
【００６６】
まず、図４（ａ）に示すように、ガラス基板１、すなわち、セル単位（ｃｅｌｌ  ｕｎｉｔ）で複数のタッチスクリーンパネルが形成されるガラス基板１の第１面上に各セル単位領域ごとにタッチスクリーンパネル１００を形成する。
【００６７】
ただし、本発明の実施形態では、説明の便宜上、前記ガラス基板１が３つのセル単位で構成されることをその例とするが、本発明の実施形態はこれに限定されない。
【００６８】
また、前記タッチスクリーンパネル１００は、図１〜図３に基づいて説明したように、活性領域に形成されるセンシングパターン２２０と、非活性領域に形成されるブラックマトリクス２１０と、センシングライン２３０とを備えるものであって、図４（ａ）では、説明の便宜上、前記構成要素に関する具体的な説明は省略する。
【００６９】
このとき、前記ガラス基板１は、前記タッチスクリーンパネル１００の製造工程時に搬送などができるように一定の厚さ、例えば、０．３〜０．５ｍｍの厚さを有する。
【００７０】
次に、図４（ｂ）に示すように、前記タッチスクリーンパネル１００が各セル単位領域ごとに形成されると、前記ガラス基板の第２面、すなわち、タッチスクリーンパネル１００が形成された面の反対面に対するスリミング工程が行われる。
【００７１】
前記スリミング工程は、エッチングにより実施することができ、その際、フッ酸（ＨＦ）などのようなエッチング液（ｅｔｃｈａｎｔ）が使用される。
【００７２】
より具体的には、前記エッチング液としては、主にＨＦとリン酸／窒酸／硫酸／ＮＨ４Ｆなどの混合物、またはＮＨ４Ｆ／ＮＦ４Ｆ２Ｈと界面活性剤の混合物を使用することができる。
【００７３】
ただし、前記スリミング工程時に用いられるエッチング液は、前記ガラス基板１の第１面上に形成されたタッチスクリーンパネル１００に浸透してはならないため、図４（ｂ）に示すように、前記ガラス基板１の第１面上には、エッチングに先立ち、保護層５０が形成される。
【００７４】
このとき、前記保護層５０は、着脱可能な形態で実現されるものであって、フィルムまたはペースト状であってよい。
【００７５】
前記ガラス基板１に対するスリミング工程は、多様な方式で実施することができる。すなわち、前記エッチング液が満たされた容器に前記ガラス基板を入れて実施したり、前記ガラス基板をコンベヤで移動させながら、エッチング液を前記ガラス基板に接触させてエッチングし、又は前記ガラス基板を地面と垂直方向に配置した後、エッチング液をガラス基板の第２面に噴射することにより、ガラス基板全体を均一にエッチングすることもできる。
【００７６】
このようなスリミング工程により、図４（ｃ）に示すように、前記エッチングされたガラス基板１０の厚さは、２０〜５０μｍと薄くなり、これにより、前記ガラス基板１０は、フレキシブルな特性を有するようになる。
【００７７】
ただし、前記ガラス基板１０は、その厚さが５０μｍ以下の場合、フレキシブルな特性を有することができるが、厚さが１５μｍ以下になると、クラックが発生しやすく、エッチング工程時に管理が難しいため、本発明の実施形態に適用されるガラス基板１０の厚さは、２５〜３０μｍとすることが好ましい。
【００７８】
また、本発明の実施形態では、図４（ｃ）に示すように、前記ガラス基板１０の下面、即ち第２面、にフレキシブルな特性を有する支持フィルム２０を接着することを特徴とし、これにより、外力による過度の撓みが発生しても、ガラス基板１０が破損するのを防止できるようになる。
【００７９】
このとき、前記支持フィルム２０は、透明な樹脂材質で構成されるものであって、例えば、ポリエステル（ＰＥＴ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）のような樹脂から構成され得る。
【００８０】
特に、前記ＴＡＣ及びＣＯＰは、位相差がほとんどないため、前記支持フィルムとして活用されるためにより好ましく、前記支持フィルム２０の厚さは、２５〜１２５μｍであることが好ましい。
【００８１】
また、前記支持フィルム２０が前記ガラス基板１０の第２面に備えられた第１透明接着層２５を介して、第２面に接着させることができ、前記第１透明接着層２５は、光透過率が高い透明性接着材料であって、上記ＳＶＲまたはＯＣＡ等の商品名で市販されている、紫外線硬化型のアクリル系樹脂、などから形成することができる。
【００８２】
ただし、本発明の実施形態では、前記第１透明接着層２５の厚さは、５〜３０μｍであることが好ましい。
【００８３】
次に、複数のタッチスクリーンパネル１００を各セル単位領域ごとに切断工程が行わなければならないが、本発明の実施形態では、前記セル単位でガラス基板１０及び支持フィルム２０を互いに異なる方式で切断する二重切断工程を用いることにより、切断断面に形成される微細なクラックを防止し、タッチスクリーンパネルの破壊強度及び量産性を確保できるという利点がある。
【００８４】
より具体的には、前記セル単位でガラス基板１０を切断する際は、図４（ｂ）のスリミング工程のようなエッチング方式を用いて切断を行い、その下部の支持フィルム２０に対してはレーザカッティング方式を用いて切断を行うことを特徴とする。
【００８５】
このため、図４（ｄ）に示すように、前記ガラス基板１０の上面に形成された保護層５０に対して各セル単位領域ごとに切断が行われる部分５２、すなわち、各セル単位の境界領域に対応する保護層が除去される。
【００８６】
すなわち、図示のように、前記切断が行われる部分５２に対しては、前記ガラス基板１０が露出するようになる。
【００８７】
これにより、露出した領域に対して前述したエッチング液が噴射されることにより、前記露出した基板に対するエッチングが行われ、各セル単位ごとにガラス基板１０が切断される。
【００８８】
その後、前記各セル単位ごとにガラス基板１０が切断された後は、図４（ｅ）に示すように、同じ領域に対して、すなわち、前記ガラス基板１０の切断により露出した領域に対してレーザカッティングが行われ、前記ガラス基板１０の下部に位置する支持フィルム２０が切断され、以後、各セル単位ごとに残っている保護層５０を除去することにより、最終的に各セル単位、すなわち、タッチスクリーンパネルが完成する。
【００８９】
ただし、前述したように、各々のセル単位のタッチスクリーンパネルは、平板表示装置（図示せず）の上面に取り付けられる形態で実現されるにあたり、機構強度を向上させるために、前記タッチスクリーンパネルの上面には、図４（ｆ）に示すように、ウィンドウ基板３０を追加で形成してもよい。
【００９０】
ただし、本発明の実施形態において、前記ウィンドウ基板３０は、フレキシブルな特性を有する材質で実現されることが好ましく、例えば、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、アクリル、ポリエステル（ＰＥＴ）などのような材質から構成することができ、その厚さは、、０．５〜１．０ｍｍ、好ましくは０．６〜０．８ｍｍである。
【００９１】
また、前記ウィンドウ基板３０は、前記センシングパターンなどの形成されたガラス基板１０の第１面上に形成された第２透明接着層２７を介して、第１面上に備えることができ、前記第２透明接着層２７は、前述した第１透明接着層２５のような光透過率が高い透明性接着材料であって、ＳＶＲまたはＯＣＡなどからなり得る。
【００９２】
ただし、本発明の実施形態において、前記第２透明接着層２７の厚さは、５０〜２００μｍであってよい。
【符号の説明】
【００９３】
１、１０：基板
２０：支持フィルム
２５、２７：透明接着層
３０：ウィンドウ基板
１００：タッチスクリーンパネル
２１０：ブラックマトリクス
２２０：センシングパターン
２２０ａ、２２０ｂ：センシングセル
２２０ａ１、２２０ｂ１：接続ライン
２３０：センシングライン
２４０：絶縁膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４（ａ）】
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【図４（ｂ）】
0005427817.tif 000006
【図４（ｃ）】
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【図４（ｄ）】
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【図４（ｅ）】
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【図４（ｆ）】
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