(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物に対向させた管状の電極棒の先端から電解液を流出させると共に前記電極棒の先端と前記被加工物との間に直流電圧を印加することで前記被加工物を穿孔加工する電解加工装置において、
複数の前記電極棒をそれぞれ把持する複数の把持部と、
該複数の把持部が非直線状に配列された状態でも該複数の把持部に対して相互に同期して軸回転力を付与可能な回転機構と、
該回転機構を駆動させる駆動源と、
を備え、
前記回転機構の被加工物側の反対側に、内部に前記電解液を貯留すると共に複数の前記電極棒の基端にそれぞれ連通された電解液チャンバが配設され、
該電解液チャンバの内部が、前記電極棒の径ごと又は各電極棒ごとに複数の液室に区画されており、
各液室ごとに前記電解液の流通を制御する液流制御部が備えられていることを特徴とする電解加工装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電解加工装置において、
前記被加工物に対して相対的に移動する前記電極棒を案内する電極ガイドが備えられていることを特徴とする電解加工装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の電解加工装置において、
複数の前記電極棒に電流をそれぞれ通電させる通電部と、各電極棒ごとに前記通電を制御する通電制御部と、が備えられていることを特徴とする電解加工装置。
【請求項４】
請求項１から３の何れか一項に記載の電解加工装置において、
前記液流制御部が、電極棒の先端から流出する電解液の流量を一定に維持する定流量制御で前記電解液の流量を制御することを特徴とする電解加工装置。
【請求項５】
請求項１から４の何れか一項に記載の電解加工装置において、
前記把持部には、
前記回転機構に係合されて該回転機構の軸回転力が伝達される第一把持部材と、
該第一把持部材に対して脱着可能に取り付けられていると共に前記電極棒を把持する第二把持部材と、
が備えられていることを特徴とする電解加工装置。
【請求項６】
請求項１から５の何れか一項に記載の電解加工装置において、
前記回転機構は、前記駆動源の駆動軸に固定された駆動側回転体と、複数の前記把持部にそれぞれ固定された複数の把持部側回転体と、前記駆動側回転体の回転力を複数の前記把持部側回転体にそれぞれ伝達する回転伝達手段と、を備えていることを特徴とする電解加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を穿孔加工する電解加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の穿孔加工技術としては、機械加工やレーザ加工、放電加工、電解加工等があるが、例えばガスタービンの動翼に冷却孔を穿孔する加工方法としては、動翼が難削材、高温部材であると共に冷却孔のアスペクト比が大きいことを鑑みて、電解加工による穿孔加工が望ましい。
【０００３】
上記した電解加工による穿孔加工を行う装置として、従来、例えば下記特許文献１に記載されているような、動翼（被加工物）に対向させた管状の電極棒の先端から電解液を流出させると共に電極棒の先端と動翼との間に直流電圧を印加することで動翼を穿孔加工する電解加工装置が提供されている。この電解加工装置には、複数の電極棒の上端を把持する主軸（把持部）と、主軸を昇降させる昇降機構と、が備えられている。この電解加工装置によれば、複数の電極棒の先端（下端）を動翼の翼頂面に隙間をあけて対向させた後、電極棒の先端から電解液を流出させると共に電極棒の先端と動翼との間に直流電圧を印加しつつ、昇降機構によって主軸を下降させて電極棒を下方に向けて徐々に進行させていく。
【０００４】
また、動翼に冷却孔を穿孔する電解加工装置として、従来、例えば下記特許文献２に記載されているような、電極棒を軸回転させる回転機構が備えられ、電極棒を軸回転させながら冷却孔を穿孔することが可能な電解加工装置が提案されている。この際、特許文献２では、電極棒先端の周方向に、導電性フィンや傾斜を追加することで、軸回転する電極棒によって、冷却孔の内周面に冷却流体の乱流発生手段である螺旋状の凹凸を形成している。これにより、冷却孔によるガスタービン動翼やガスタービン静翼等のガスタービン高温用部材の冷却性能を向上させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実開平４−２５２２号公報
【特許文献２】特開２００８−３８７７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記した後者の電解加工装置では、複数の電極棒を軸回転させているが、通常、複数の電極棒が直線状に配列され、これらの電極棒を軸回転させる回転機構が備えられている。ところで、例えばガスタービンの動翼は、一般に矩形平板状に形成されてなく、断面が湾曲した翼形状を呈している。このため、複数の冷却孔も非直線状に配列させる必要がある。したがって、上記した従来の電解加工装置によって動翼に複数の冷却孔を穿孔する際には、電極棒に対する動翼の相対的な位置を変更させつつ穿孔作業を複数回に分けて行うことで、非直線状に配列された複数の冷却孔を形成する。このような穿孔方法では、タクトタイムが増加するだけでなく、動翼と加工装置の相対的な位置変更の際の位置決め誤差等により、冷却孔の位置精度が低下することになる。
【０００７】
本発明は、上記した従来の問題が考慮されたものであり、複数の孔を非直線状に配列させる場合であっても回転させながら行う穿孔作業の作業性を向上させてタクトタイムを短縮させることができると共に孔の位置精度の向上を図ることができる電解加工装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る電解加工装置は、上記した課題を解決するべく、下記の特徴を有する。
すなわち、本発明に係る電解加工装置は、被加工物に対向させた管状の電極棒の先端から電解液を流出させると共に前記電極棒の先端と前記被加工物との間に直流電圧を印加することで前記被加工物を穿孔加工する電解加工装置において、複数の前記電極棒をそれぞれ把持する複数の把持部と、該複数の把持部が非直線状に配列された状態でも該複数の把持部に対して相互に同期して軸回転力を付与可能な回転機構と、該回転機構を駆動させる駆動源と、を備え、前記回転機構の被加工物側の反対側に、内部に前記電解液を貯留すると共に複数の前記電極棒の基端にそれぞれ連通された電解液チャンバが配設され、該電解液チャンバの内部が、前記電極棒の径ごと又は各電極棒ごとに複数の液室に区画されており、各液室ごとに前記電解液の流量を制御する液流制御部が備えられていることを特徴としている。
【０００９】
このような特徴を有する電解加工装置では、まず、複数の把持部に電極棒をそれぞれ把持させ、それらの電極棒の先端を被加工物にそれぞれ対向させる。そして、各電極棒の先端から電解液をそれぞれ流出させると共に各電極棒の先端と被加工物との間に直流電圧をそれぞれ印加することで被加工物に複数の孔を同時に穿孔する。このとき、回転機構を駆動源によって駆動させ、複数の把持部を同時にそれぞれ軸回転させる。これにより、電極棒が軸回転しながら上記した穿孔加工が進んで被加工物に孔が形成される。そして、複数の把持部が非直線状に配列されていても、これら複数の把持部を回転機構によって同時に軸回転させることが可能であるので、非直線状に配列された複数の孔を同時に穿孔させることが可能である。
ここで、仮に、異なる径の電極棒が、区分けされていない電解液チャンバ（同一の液室）にそれぞれ連通されていると、電極棒の径によって流通抵抗が異なるため、電解液は、抵抗の小さい方（大径）の方に流入し易くなって、抵抗の大きい方（小径）に流入し難くなる。よって、小径の電極棒に電解液が流れない問題が生じる場合がある。これに対し、電解液チャンバの内部を前記電極棒の径ごと又は各電極棒ごとに区画することで、小径の電極棒にも電解液が十分に流入される。
また、異なる径の電極棒に電解液がそれぞれ流入する場合であっても、異なる径の電極棒に対して同一の圧力で流通させると、大径の電極棒における流通量が小径の電極棒における流通量よりも少量となる。また、電極棒の配置によっては電解液の経路長などの流路の違いから流通量が異なる場合もある。これに対し、各液室ごと、つまり、電極棒の径ごと又は各電極棒ごとに電解液の流量を制御することにより、各電極棒の径や電極棒の配置に応じた適量の電解液が電極棒から流出される。
【００１０】
また、本発明に係る電解加工装置は、前記被加工物に対して相対的に移動する前記電極棒を案内する電極ガイドが備えられていることが好ましい。
これにより、電極棒が電極ガイドによって所定方向に案内されながら被加工物に対して相対的に移動し、被加工物に対する穿孔が進行する。
【００１１】
また、本発明に係る電解加工装置は、複数の前記電極棒に電流をそれぞれ通電させる通電部と、各電極棒ごとに前記通電を制御する通電制御部と、が備えられていることが好ましい。
これにより、通電部から各電極棒に電流が通電され、各電極棒の先端と被加工物との間に直流電圧がそれぞれ印加される。このとき、通電制御部によって電極棒に対する通電が各電極棒ごとにそれぞれ個別に制御されるので、電極棒の先端と被加工物との間に印加される直流電圧が各孔に応じて各電極棒ごとに適宜調整される。
【００１３】
また、本発明に係る電解加工装置は、前記液流制御部が、電極棒の先端から流出する電解液の流量を一定に維持する定流量制御で前記電解液の流通を制御することが好ましい。
電極棒の先端から流出した電解液は、穿孔中の孔の開口端から排出されるが、穿孔が進行するに従い孔長が長くなって電解液の排出における圧力損失が徐々に増大する。よって、仮に、電極棒の先端から流出する電解液の圧力を一定に維持する定圧力制御で電解液の流通を制御すると、穿孔が進行するに従い電解液の排出量が低減され、孔底（孔の進行方向の先端側）にスラッジが溜まって電極棒と被加工物とが短絡する等の問題が生じる。これに対し、定流量制御で電解液の流通を制御すると、穿孔が進行して電解液の排出における圧力損失が増大しても、その分、電解液の流出圧力が上昇していき、電極棒の先端から流出する電解液の流量が一定に維持されるため、電解液が一定に排出され続ける。
【００１４】
また、本発明に係る電解加工装置は、前記把持部に、前記回転機構に係合されて該回転機構の軸回転力が伝達される第一把持部材と、該第一把持部材に対して脱着可能に取り付けられていると共に前記電極棒を把持する第二把持部材と、が備えられていることが好ましい。
電極棒を装着する際には、通常、装置取り合いから不自然な姿勢での装着作業となる場合が多いが、上記した把持部を有する電解加工装置では、電極棒を装着する際には、第一把持部材から取り外した第二把持部材で電極棒を把持した後、その第二把持部材を第一把持部材に取り付けることで、電極棒を装着させることができる。これにより、電極棒を直接触ることなく、電極棒の装着が行われる。
【００１５】
また、本発明に係る電解加工装置は、前記回転機構が、前記駆動源の駆動軸に固定された駆動側回転体と、複数の前記把持部にそれぞれ固定された複数の把持部側回転体と、前記駆動側回転体の回転力を複数の前記把持部側回転体にそれぞれ伝達する回転伝達手段と、を備えていることが好ましい。
これにより、駆動源の駆動軸が回転することで駆動側回転体が回転し、該駆動側回転体の回転力が回転伝達手段を介して複数の把持部側回転体にそれぞれ伝達され、それら複数の把持部側回転体がそれぞれ回転する。これにより、複数の把持部が同時にそれぞれ軸回転し、各把持部にそれぞれ把持された複数の電極棒がそれぞれ軸回転する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る電解加工装置によれば、複数の電極棒が非直線状に配列された場合であっても各電極棒をそれぞれ同時に軸回転させることができるので、非直線状に配列された孔の穿孔作業の作業性を向上させてタクトタイムを短縮させることができる。また、同時に複数の電極棒を軸回転させながら穿孔作業を行うことができることで、動翼との相対的な位置変更を最小限として、位置決め誤差等の発生を防止し位置精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施の形態を説明するための電解加工装置の模式図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を説明するための電解加工装置の部分縦断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態を説明するための電解加工装置の部分縦断面図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態を説明するための電解加工装置の模式図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態を説明するための電解加工装置の部分横断面図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態を説明するための回転伝達手段を表した斜視図である。
【図７】本発明の第４の実施の形態を説明するための電解加工装置の模式図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態を説明するための電解加工装置の部分横断面図である。
【図９】本発明の第４の実施の形態を説明するための回転伝達手段を表した斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明に係る電解加工装置の第１から第４の実施の形態について、図面に基いて説明する。
【００１９】
［第１の実施の形態］
まず、第１の実施の形態について、図１、図２に基づいて説明する。
なお、本実施の形態では、後述する電極棒２の先端側、つまり穿孔方向の前方側（図１における下側）が下方であり、その反対側、つまり電極棒２の基端側（図１における上側）が上方となっている。
【００２０】
図１に示すように、電解加工装置１は、動翼Ｘ（被加工物）の翼頂部から翼根部に向けて複数の冷却孔Ｈを穿孔する穿孔装置であって、動翼Ｘの端面に対向させた管状の電極棒２の先端から電解液を流出させると共に電極棒２の先端（下端）と動翼Ｘの被穿孔部分との間に直流電圧を印加することで動翼Ｘの被穿孔部分を電解させて動翼Ｘに穿孔加工を行う電解加工装置である。また、本実施の形態における電解加工装置１は、複数の冷却孔Ｈを同時に穿孔可能な装置であり、複数の電極棒２が装着されている。
【００２１】
上記した電解加工装置１の概略構成としては、電極棒２と、ワーク固定冶具３と、把持部４と、回転機構５と、駆動源６と、通電部７と、筐体８と、電解液チャンバ９と、昇降機構１０と、電極ガイド１１と、通電制御部１２と、液流制御部１３と、を備えている。
電極棒２は、先端と把持部以外は絶縁され、可撓性を有する円筒形状の棒材であり、例えばチタン等の導電性材料からなる。なお、電解加工装置１には、径の異なる複数種類の電極棒２が備えられており、例えば図１に示す例では、両端の電極棒２Ａと中間の電極棒２Ｂとは径が異なる。
ワーク固定冶具３は、動翼Ｘを固定する台座であり、動翼Ｘが縦置き姿勢（翼根部を下にして翼頂部を上向きにした姿勢）で載置されている。このワーク固定冶具３には、動翼Ｘを固定する図示せぬ固定手段が備えられており、ワーク固定冶具３上の動翼Ｘは固定される。
【００２２】
筐体８は、断面視矩形状の箱体であり、内部に回転機構５と通電部７とがそれぞれ収容されている。この筐体８の上壁部８０及び下壁部８１には、互いに上下に対向配置された一対の回転軸受８２、８３が複数配設されている。詳しく説明すると、図２に示すように、上壁部８０には、下部が上部よりも拡径された多段状の貫通孔８４が複数形成されており、これらの貫通孔８４の下部の内側に回転軸受８２がそれぞれ嵌合されている。また、下壁部８１のうち、上記した複数の貫通孔８４に対向する位置には、上下部が中間部よりもそれぞれ拡径された多段状の貫通孔８５がそれぞれ形成されており、これらの貫通孔８５の上部の内側に回転軸受８３がそれぞれ嵌合されている。なお、これらの貫通孔８４、８５は、後述する複数の把持部４の配列に合わせて配設されている。
【００２３】
把持部４は、電極棒２の上部を把持するチャックホルダであり、図１に示すように、上記した筐体８に複数配設されている。この把持部４は、上記した一対の回転軸受８２、８３を介して筐体８に軸回転可能に支持されている。詳しく説明すると、図２に示すように、把持部４は、上下方向に沿って延設されていると共に内側に電極棒２が挿通される筒部４０と、筒部４０の下端に設けられて電極棒２を径方向外側から締め付ける締付部４１と、筒部４０が挿通された筒状のスラスト方向受け４２と、を備えている。筒部４０の上端部は、筐体８の上壁部８０の貫通孔８４内に挿入され、その貫通孔８４内の回転軸受８２を介して軸回転可能に支持されている。筒部４０の下部は、筐体８の下壁部８１の貫通孔８５の内側に挿通され、その貫通孔８５内の回転軸受８３を介して軸回転可能に支持されている。また、筒部４０の下部には、上記した下壁部８１の貫通孔８５の下端部の内側に嵌合されたＯリング状のシール材４３が外装されており、このシール材４３によって筒部４０と貫通孔８５との間がシールされている。
【００２４】
締付部４１は、上記した下壁部８１の貫通孔８５の下端から下方に向けて突出された筒部４０の下端に固定されている。締付部４１は、下端から上方に向かうに従って漸次縮径されていると共に筒部４０の内側に連通されたテーパー孔を有する楔受け状のチャック本体４４と、チャック本体４４に上下動可能に外装されたカバー４５と、カバー４５に取り付けられてチャック本体４４のテーパー孔の内側に挿入された楔状の締付部材４６と、を備えている。この締付部４１では、締付部材４６の内側に電極棒２を挿通させた状態でカバー４５をチャック本体４４に対して上昇させて締付部材４６をチャック本体４４のテーパー孔の内側に押し込むことで、楔効果によって締付部材４６が縮径され、この締付部材４６に電極棒２が締め付けられて保持される。
【００２５】
スラスト方向受け４２は、筒部４０を支持して電極棒２のスラスト方向（軸方向）への移動を規制する部材であり、その概略構成としては、後述する受動ギア５１と下側の回転軸受８３との間に介在された円筒形状の第一スラスト方向受け４２Ａと、後述する受動ギア５１と上側の回転軸受８２との間に介在された円環形状の第二スラスト方向受け４２Ｂと、を備えている。上記した第一、第二スラスト方向受け４２Ａ、４２Ｂの内側に筒部４０がそれぞれ挿嵌されている。
また、図１に示すように、複数の把持部４は、複数の冷却孔Ｈの非直線的な配列に応じて、平面視非直線状に配列されている。例えば、動翼Ｘが円弧状に湾曲されており、複数の冷却孔Ｈを円弧状に配列させて穿孔する場合には、複数の把持部４は、平面視円弧状に配列される。
なお、把持部４（筒部４０、締付部４１及びスラスト方向受け４２）は、導電性を有する金属材料からなり、この把持部４を介して通電部７から電極棒２に電流が通電される。
【００２６】
回転機構５は、複数の把持部４が非直線状に配列された状態でもそれら複数の把持部４に対して相互に同期して軸回転力を付与可能な機構であり、後述する駆動源６の駆動軸６０に固定された駆動側回転体（駆動ギア５０）と、複数の把持部４にそれぞれ固定された複数の把持部側回転体（受動ギア５１）と、駆動側回転体の回転力を複数の把持部側回転体にそれぞれ伝達する回転伝達手段（駆動ギア５０及び受動ギア５１の歯部）と、を備えている。具体的に説明すると、回転機構５は、複数のギア５０、５１を噛合させた構成からなるギア構造であり、その概略構成としては、駆動源６の駆動軸６０に装着された駆動ギア５０と、複数の把持部４（筒部４０）にそれぞれ装着された受動ギア５１と、を備えている。駆動ギア５０は、駆動軸６０に軸支されており、複数の受動ギア５１のうちのいずれかに噛合されている。隣り合う受動ギア５１同士は、互いに噛合されており、一方の受動ギア５１の軸回転に伴い他方の受動ギア５１が反対方向に軸回転する構成となっている。なお、本実施の形態では、回転機構５が複数（２つ）のユニットに分けられており、隣り合う受動ギア５１同士が噛合された複数の受動ギア５１が２組備えられている。
【００２７】
駆動源６は、上記した回転機構５を駆動させる機構であり、駆動軸６０を軸回転させるモータである。駆動源６は、筐体８の上面に載置されており、駆動軸６０は、筐体８の上壁部８０を貫通して筐体８の内側に軸回転可能に挿入されている。なお、本実施の形態では、駆動源６は筐体８の両端部分にそれぞれ配設されている。
【００２８】
通電部７は、電解に必要な電流を複数の電極棒２にそれぞれ通電させる電流供給部であり、各電極棒２ごとにそれぞれ設けられている。詳しく説明すると、図２に示すように、通電部７は、上記した把持部４（筒部４０、締付部４１、スラスト方向受け４２）を介して電極棒２に電流を通電させるものであり、軸回転する把持部４に対して通電可能なカーボン、白金或いはチタン等のブラシからなる。この通電部７は、筐体８の内側に配設されており、把持部４の第一スラスト方向受け４２Ａの外周面に摺接する摺接部７０と、摺接部７０を把持部４側に付勢するスプリングや板バネ等の付勢部７１と、付勢部材７１を介して摺接部７０を保持するホルダー部７２と、を備えている。
【００２９】
図１に示すように、通電制御部１２は、電極棒２に対する通電を各電極棒２ごとに制御する手段である。この通電制御部１２は、各通電部７に電気的に接続されていると共に図示せぬ電源に電気的に接続されており、各通電部７に対して個別に電流を供給すると共にその電流値を適宜設定する。
【００３０】
電解液チャンバ９は、内部に電解液が貯留される液室９３を有する部材であり、断面視矩形状の箱体からなる。この電解液チャンバ９は、筐体８の上面に載置されて回転機構５の上方に配設されている。この電解液チャンバ９の下壁部９０には、筐体８の上壁部８０の複数の貫通孔８４にそれぞれ連通される複数の連通孔９１が形成されている。これらの連通孔９１の内側には、把持部４の筒部４０の上端から突出された電極棒２の上部がそれぞれ挿通されており、これらの電極棒２の上端部は、連通孔９１の上端から電解液チャンバ９の内側（液室９３）にそれぞれ挿入されている。また、連通孔９１の上端部には、内側に電極棒２が挿通されたＯリング状のシール材９２が嵌合されており、このシール材９２によって連通孔９１の上端部がシールされて電解液チャンバ９内の電解液が筐体８内に流入することが防止されている。
【００３１】
また、図１に示すように、電解液チャンバ９の内部は、隔壁９４によって電極棒２の径ごとに複数の液室９３Ａ、９３Ｂ、９３Ｃに区画されている。詳しく説明すると、電解液チャンバ９の内部には、１又は複数の隔壁９４が配設されており、これらの隔壁９４によって電解液チャンバ９の内部が複数の液室９３Ａ、９３Ｂ、９３Ｃに分割されている。これらの液室９３Ａ、９３Ｂ、９３Ｃには、各液室９３Ａ、９３Ｂ、９３Ｃごとに、１本の電極棒２の上端部又は同一径の複数の電極棒２の上端部が挿入されており、各液室９３Ａ、９３Ｂ、９３Ｃは、それらの電極棒２にそれぞれ連通されている。例えば、図１では、電解液チャンバ９の内側には、互いに対向する一対の隔壁９４が配設され、両端の液室９３Ａ、９３Ｃと中間の液室９３Ｂとが形成されている。両端の液室９３Ａ、９３Ｃには、複数の電極棒２のうちの両端に配設された電極棒２Ａの上端部がそれぞれ挿入されている。一方、中間の液室９３Ｂには、複数の電極棒２のうちの中間に配設された複数の電極棒２Ｂの各上端部がそれぞれ挿入されている。これら複数の電極棒２Ｂは、同一径であると共に前記した両端の電極棒２Ａと径が異なる。
【００３２】
また、電解液チャンバ９には、各液室９３Ａ、９３Ｂ、９３Ｃごとに、その液室９３Ａ、９３Ｂ、９３Ｃに電解液を供給する供給管９５がそれぞれ接続されている。この供給管９５は、図示せぬ電解液タンク等の電解液供給源に接続されており、その供給源から供給管９５を介して電解液チャンバ９内に電解液が供給される。また、図２に示すように、電解液チャンバ９の下壁部９０には、各液室９３ごとに、その液室９３内の電解液を排出するドレン孔９６がそれぞれ形成されており、このドレン孔９６は、ドレン孔９６内に着脱可能に嵌合されたプラグ９７によって閉塞されている。
なお、上記した電解液としては、電解に用いられる公知の加工液を使用することが可能であり、例えば硝酸液などを使用することができる。
【００３３】
液流制御部１３は、図１に示すように、各液室９３Ａ、９３Ｂ、９３Ｃに供給される電解液の流量を各液室９３Ａ、９３Ｂ、９３Ｃごとに個別的に制御する手段である。また、液流制御部１３は、電極棒２の先端から流出する電解液の流量を一定に維持する定流量制御で電解液の流通を制御するものである。例えば、液流制御部１３は、各供給管９５に定流量弁９６をそれぞれ設けて、それらの定流量弁９６を個別に制御する構成などがある。
【００３４】
昇降機構１０は、把持部４、筐体８及び電解液チャンバ９を一体的に昇降させる機構である。詳しく説明すると、昇降機構１０は、筐体８を昇降させることで、筐体８に装着された複数の把持部４と、筐体８内の回転機構５及び通電部７と、筐体８上の駆動源６及び電解液チャンバ９とをまとめて昇降させる機構であり、例えばボールネジ機構やシリンダー機構などの公知の往復動機構を用いることができる。
【００３５】
電極ガイド１１は、上記した昇降機構１０によって動翼Ｘに対して相対的に移動する複数の電極棒２を案内する案内部であり、電極ガイド１１によって複数の電極棒２の下部の進行方向がそれぞれ案内される。この電極ガイド１１は、複数の電極棒２がそれぞれ挿通される複数のガイド孔１４が形成されたブロック状の部材からなる。詳しく説明すると、この電極ガイド１１は、筐体８とワーク固定冶具３との間に配設されており、把持部４の下端とガイド孔１４の上端との間には、電極棒２を撓ませることができる程度の間隔があけられており、また、電極ガイド１１の下面は、動翼Ｘの穿孔面（翼頂部の先端面）に対向されている。複数のガイド孔１４は、各冷却孔Ｈの穿孔位置及び穿孔角度に対応した貫通孔であり、このガイド孔１４の中心軸線の延長線上に沿って電極棒２が進行して冷却孔Ｈが穿孔される。
【００３６】
次に、上記した構成からなる電解加工装置１の使用方法について説明する。
【００３７】
まず、複数の把持部４に電極棒２をそれぞれ把持させて複数の電極棒２を装着させる。具体的に説明すると、予め、昇降機構１０によって筐体８等を上昇させておき、筐体８と電極ガイド１１との間隔を広げておく。そして、把持部４の締付部４１のカバー４５をチャック本体４４に対して下げて締付部材４６の内側を拡径させた状態にし、この締付部材４６の下端から締付部材４６の内側に電極棒２を挿入し、この電極棒２を把持部４の筒部４０内及び電解液チャンバ９の連通孔９１内を通してシール材９２から電解液チャンバ９の内部（液室９３）に電極棒２の基端を挿入させる。その後、締付部４１のカバー４５をチャック本体４４に対して上昇させて締付部材４６を縮径させ、締付部材４６によって電極棒２の外周面を締め付けて電極棒２を把持する。また、電極棒２の下端部は、各々に対応する電極ガイド１１のガイド孔１４の内側に挿通させておく。
【００３８】
次に、ワーク固定冶具３に動翼Ｘを固定する。具体的に説明すると、動翼Ｘの翼頂部を上向きにした縦置き姿勢でワーク固定冶具３上に動翼Ｘを載置し、この動翼Ｘを図示せぬ固定手段によって固定する。これにより、電極棒２の先端（下端）が動翼Ｘの翼頂部の端面にそれぞれ対向する。
【００３９】
次に、昇降機構１０によって電極棒２を上下動させて電極棒２の下端と動翼Ｘの上端面との間の間隔を最適な寸法に調整する。これにより、後述する電解加工を効率的に実施することができる。
【００４０】
次に、昇降機構１０によって各電極棒２を下降させながら、各電極棒２の先端から電解液をそれぞれ流出させると共に各電極棒２の先端と動翼Ｘとの間に直流電圧をそれぞれ印加することで、動翼Ｘに複数の冷却孔Ｈを同時に穿孔する。
【００４１】
具体的に説明すると、また、このとき、昇降機構１０によって筐体８などを徐々に下降させることで筐体８に取り付けられた複数の把持部４が一体に下がっていき、これらの把持部４にそれぞれ把持された複数の電極棒２が同時に下降していく。
【００４２】
なお、加工に際し、供給管９５から電解液チャンバ９内に電解液を供給する。これにより、液室９３内の電解液が電極棒２内を流通して電極棒２の下端から流出する。このとき、電解液チャンバ９の内部が隔壁９４によって電極棒２の径ごとに複数の液室９３Ａ、９３Ｂに区画されているため、径が異なる２種の電極棒２Ａ、２Ｂのうちの小径の方にも電解液が十分に流入される。また、液流制御部１３によって各液室９３Ａ、９３Ｂごとに電解液の流量が制御されているので、各電極棒２Ａ、２Ｂの径に応じたそれぞれ適量の電解液が流通する。
【００４３】
また、通電部７によって各電極棒２に電流を流し、各電極棒２の先端と動翼Ｘとの間に直流電圧をそれぞれ印加する。すなわち、通電部７から把持部４の筒部４０に電流が流され、この電流が筒部４０から締付部４１に伝達されて締付部４１の締付部材４６から電極棒２に伝達される。これにより、電極棒２の先端と動翼Ｘとの間に直流電圧が印加される。
【００４４】
上述したように、複数の電極棒２の先端と動翼Ｘとの間に電解液がそれぞれ供給されると共に直流電圧がそれぞれ印加されることで、動翼Ｘのうちの各電極棒２の先端に対向する部分がそれぞれ電解され、複数の冷却孔Ｈが同時に穿孔され、さらに、昇降機構１０によって各電極棒２が同時に下降していくことで、複数の冷却孔Ｈの穿孔が同時に進行する。このとき、電極ガイド１１のガイド孔１４によって各電極棒２の進行方向がそれぞれ案内されるので、動翼Ｘの形状に沿って複数の冷却孔Ｈが非直線的に穿孔される。また、液流制御部１３によって定流量制御で電解液の流通を制御するため、穿孔が進行して電解液の排出における圧力損失が増大しても、その分、電解液の流出圧力が上昇していき、電極棒２の先端から流出する電解液の流量が一定に維持される。したがって、穿孔された孔（冷却孔Ｈ）の上端から電解液が一定量で排出され続ける。また、通電制御部１２によって電極棒２に対する通電が各電極棒２ごとにそれぞれ個別に制御される。これにより、電極棒２の先端と動翼Ｘとの間に印加される直流電圧が、各冷却孔Ｈに応じて各電極棒２ごとに適宜調整される。
【００４５】
また、上述したように動翼Ｘに冷却孔Ｈを穿孔する際、駆動源６によって回転機構５を駆動させ、この回転機構５によって電極棒２を軸回転させる。具体的に説明すると、駆動源６を駆動させて駆動軸６０を軸回転させる。これにより、駆動軸６０に固定された駆動ギア５０が回転し、この駆動ギア５０に噛合された受動ギア５１が回転し、互いに噛合された複数の受動ギア５１がそれぞれ回転する。その結果、各受動ギア５１にそれぞれ固定された複数の把持部４がそれぞれ軸回転し、各把持部４にそれぞれ把持された各電極棒２が軸回転する。これにより、複数の電極棒２が軸回転しながら上記した穿孔加工が進んで動翼Ｘに複数の冷却孔Ｈが形成される。また、上記した回転機構５は、複数の把持部４が非直線状に配列されていても、これら複数の把持部４を同時に軸回転させることが可能であるので、非直線状に配列された複数の冷却孔Ｈを穿孔する際、複数回に分けて穿孔する必要がなく、動翼Ｘの複数の冷却孔Ｈが一度に穿孔される。
【００４６】
上記した構成からなる電解加工装置１によれば、非直線状に配列された複数の冷却孔Ｈを穿孔する場合であっても、複数の電極棒２を同時に軸回転させながら電解棒２の先端で動翼Ｘを電解させて穿孔加工を行うことができ、タクトタイムを短縮させることができるとともに、動翼と加工装置の相対的な位置変更の際の位置決め誤差等の発生を防止することができるために冷却孔Ｈの位置精度の向上を図ることができる。
【００４７】
また、回転機構５が、駆動源６の駆動軸６０に固定された駆動ギア５０と、複数の把持部４にそれぞれ固定された複数の受動ギア５１と、駆動ギア５０の回転力を複数の受動ギア５１にそれぞれ伝達する回転伝達手段（駆動ギア５０及び受動ギア５１の歯部）と、を備えているので、複数の把持部４が非直線的に配列された状態であってもそれらの把持部４を同時に軸回転させることが可能であり、電極棒２を回転させながら、非直線的に配列された複数の冷却孔Ｈを同時に穿孔することができ、非直線状に配列された冷却孔Ｈの穿孔作業の作業性を向上させてタクトタイムを短縮させることができる。
【００４８】
また、通電制御部１２によって電極棒２に対する通電が各電極棒２ごとにそれぞれ個別に制御されることで、電極棒２の先端と動翼Ｘとの間に印加される直流電圧が各冷却孔Ｈに応じて各電極棒２ごとに適宜調整されるので、複数の冷却孔Ｈの穿孔のばらつきを抑えることができ、複数の冷却孔Ｈを効率的且つ確実に穿孔することができる。
【００４９】
また、電解液チャンバ９の内部が隔壁９４によって電極棒２の径ごとに区画されており、小径の電極棒２に対しても電解液が十分に流入されるので、複数の電極棒２（冷却孔Ｈ）が同一径でない場合であっても、各電極棒２に電解液をそれぞれ流入させることができ、複数の電極棒２を確実に同時穿孔することができる。
しかも、液流制御部１３によって各電極棒２の径ごとに電解液の流量を制御するため、各電極棒２の径に応じた適量の電解液が電極棒２から流出されるので、複数の電極棒２（冷却孔Ｈ）が同一径でない場合であっても、複数の電極棒２のうちのいずれかに対して電解液の供給過多や供給不足が生じることを防止することができ、複数の電極棒２を確実かつ効率的に同時穿孔することができる。
【００５０】
また、液流制御部１３によって定流量制御を行うため、穿孔が進行して電解液の排出における圧力損失が増大しても、その分、電解液の流出圧力が上昇していき、電極棒２の先端から流出する電解液の流量が一定に維持されるため、電解液が一定に排出され続ける。これにより、穿孔深さが深くなっても電極棒２の先端にスラッジが溜まりにくくなり、電極棒２と動翼Ｘとが短絡する問題を防止することができる。また、電解液の排出における圧力損失が増大することによる穿孔効率の低下を防止することができ、効率的に冷却孔Ｈを穿孔することができる。
【００５１】
［第２の実施の形態］
次に、第２の実施の形態について、図３に基づいて説明する。なお、本実施の形態は、第１の実施の形態と比較して、電極棒２を把持する把持部１０４の構成が相違しており、それ以外の構成については、第１の実施の形態と同様である。よって、本実施の形態では、把持部１０４の構成についてのみ説明する。
【００５２】
図３に示すように、把持部１０４は、筐体８に取り付けられた第一チャックホルダ１４０（第一把持部材）と、第一チャックホルダに対して着脱可能に取り付けられた第二チャックホルダ１４１（第二把持部材）と、を備えている。
【００５３】
第一チャックホルダ１４０は、第二チャックホルダ１４１を把持すると共に図１に示す回転機構５に係合されて回転機構５の軸回転力が伝達される部材であり、筐体８に設けられた一対の回転軸受８２、８３を介して筐体８に軸回転可能に支持されている。詳しく説明すると、第一チャックホルダ１４０は、上下方向に沿って延設されていると内側に後述する第二チャックホルダ１４１の筒部１４６が挿通される筒部１４２と、筒部１４２の下端に設けられて第二チャックホルダ１４１の筒部１４６の下端部を径方向外側から締め付ける締付部１４３と、を備えている。
【００５４】
筒部１４２の上部は、筐体８の上壁部８０の貫通孔８４内を通って電解液チャンバ９の下壁部９０の連通孔９１の内側に挿入され、前記した貫通孔８４の下部の内側に嵌合された回転軸受８２を介して軸回転可能に支持されている。なお、電解液チャンバ９の連通孔９１の下端部には拡径部９１ａが形成されており、この拡径部９１ａの内側に上記した筒部１４２が挿入されている。また、筒部１４２の上部には、前記した貫通孔８４の上部の内側に嵌合されたＯリング状のシール材１４４が外装されており、このシール材１４４によって筒部１４２と貫通孔８４との間がシールされている。筒部１４２の下部は、筐体８の下壁部８１の貫通孔８５の内側に挿通され、その貫通孔８５の上端部の内側に嵌合された回転軸受８３を介して軸回転可能に支持されている。また、筒部１４２の下部には、上記した下壁部８１の貫通孔８５の下部の内側に嵌合されたＯリング状のシール材１４５が外装されており、このシール材１４５によって筒部１４２と貫通孔８５との間がシールされている。また、筒部１４２の中間部には、回転機構５の受動ギア５１が外装されており、また、筒部１４２の中間部の外周面には、通電部７の摺接部７０が摺接されている。締付部１４３は、上記した貫通孔８５から突出した筒部１４２の下端に固定されている。この締付部１４３は、径方向に移動可能な図示せぬ押付部材（例えばボルト等）を有しており、この押付部材を第二チャックホルダ１４１の筒部１４６の外周面に密接させることで第二チャックホルダ１４１の筒部１４６を把持する。
【００５５】
第二チャックホルダ１４１は、電極棒２を把持する部材であり、第一チャックホルダ１４０に対して脱着可能に取り付けられている。詳しく説明すると、第二チャックホルダ１４１は、上下方向に沿って延設されていると内側に電極棒２が挿通される筒部１４６と、筒部１４６の下端に設けられて電極棒２を径方向外側から締め付ける締付部１４７と、を備えている。筒部１４６は、上記した第一チャックホルダ１４０の内側に挿通されている。この筒部１４６の上端は、第一チャックホルダ１４０の筒部１４２の上端から突出されて電解液チャンバ９の連通孔９１の内側に挿入されている。筒部１４６の下端は、上記した第一チャックホルダ１４０の締付部１４３の内側から下向きに突出されており、この筒部１４６の下端に締付部１４７が固定されている。締付部１４７は、上述した第１の実施の形態における締付部４１と同様の構成からなる。
【００５６】
上記した構成からなる把持部１０４を有する電解加工装置では、電極棒２を装着する際、まず、第二チャックホルダ１４１を第一チャックホルダ１４０から取り外す。具体的に説明すると、第一チャックホルダ１４０の締付部１４３の押付部材を径方向外側に移動させて第一チャックホルダ１４０による第二チャックホルダ１４１の把持を解除し、その後、第一チャックホルダ１４０の内側から第二チャックホルダ１４１を引き抜く。
【００５７】
次に、取り外した第二チャックホルダ１４１で電極棒２を把持する。具体的に説明すると、第二チャックホルダ１４１の筒部１４６及び締付部１４７の内側に電極棒２を挿通させた後、締付部１４７を締め付けて電極棒２を把持する。
【００５８】
次に、この第二チャックホルダ１４１を掴持して第二チャックホルダ１４１を第一チャックホルダ１４０に装着する。具体的に説明すると、第一チャックホルダ１４０の下端側から第一チャックホルダ１４０の締付部１４３及び筒部１４２の内側に、第二チャックホルダ１４１の筒部１４６を挿入する。そして、第一チャックホルダ１４０の締付部１４３の押付部材を径方向内側に移動させてこの締付部１４３で第二チャックホルダ１４１の筒部１４６を締め付けて把持する。これにより、第二チャックホルダ１４１が第一チャックホルダ１４０に固定される。このとき、装置取り合いから不自然な姿勢での装着作業となる場合が多いが、電極棒２を直接触ることがないため、電極棒２が曲がりにくい。
【００５９】
上記した把持部１０４を有する電解加工装置によれば、電極棒２の装着による電極棒２の曲がりが生じにくいので、余分な摺動抵抗が発生しにくく、機構全体にかかる負荷の増大が抑えられ、耐久性の低下を防止することができる。
【００６０】
なお、上記した把持部１０４では、第一チャックホルダ１４０（第一把持部材）の内側に第二チャックホルダ１４１（第二把持部材）が挿入された構成となっているが、本発明は、第一把持部材と第二把持部材との位置関係は適宜変更可能であり、例えば第一把持部材と第二把持部材とが脱着可能に上下に連結された構成であってもよい。
【００６１】
［第３の実施の形態］
次に、第３の実施の形態について、図４から図６に基づいて説明する。なお、本実施の形態は、第１の実施の形態と比較して、複数の把持部４が非直線状に配列された状態でも複数の把持部４に対して相互に同期して軸回転力を付与可能な回転機構２０５の構成が相違しており、それ以外の構成については、第１の実施の形態と同様である。よって、本実施の形態では、回転機構２０５の構成についてのみ説明する。
【００６２】
図４に示すように、回転機構２０５は、後述する駆動源６の駆動軸６０に固定された駆動側回転体（ボールネジ２５０）と、複数の把持部４にそれぞれ固定された複数の把持部側回転体（筒体２５１）と、駆動側回転体の回転力を複数の把持部側回転体にそれぞれ伝達する回転伝達手段（昇降バー２５２、及び図６に示すキー２５３及びキー溝２５４）と、を備えている。具体的に説明すると、図４、図５に示すように、回転機構２０５は、駆動軸６０に固定されたボールネジ２５０と、ボールネジ２５０の軸回転に応じて昇降する昇降バー２５２と、把持部４に外装された筒体２５１と、を備えている。
【００６３】
ボールネジ２５０は、駆動軸６０の軸回転に伴い軸回転するネジ部材である。詳しく説明すると、ボールネジ２５０は、駆動源６の駆動軸６０の下端に連結されていると共にその駆動軸６０の軸線延長線上に延設されており、筐体８の内側に配設されている。
【００６４】
昇降バー２５２は、筐体８の内部に配設された昇降可能の昇降体であり、複数の把持部４の側方を通って水平方向に沿って延在されている。この昇降バー２５２の一端部（駆動源６側の端部）には、上記したボールネジ２５０に螺合される雌ねじ部２５５が設けられており、この雌ねじ部２５５の内側に上記したボールネジ２５０が挿通されて螺着されている。また、昇降バー２５２の他端部には、上下に延在する貫通孔状のガイド軸受け２５６が形成されている。このガイド軸受け２５６の内側には、筐体８の下壁部８１の上面に立設された棒状のガイド８６が挿通されており、昇降バー２５２はガイド８６に案内されて鉛直方向に沿って昇降する。
【００６５】
また、昇降バー２５２の把持部４側の側面には、複数の把持部４に向けてそれぞれ突設されたピン状の複数のキー２５３が付設されている。複数のキー２５３は、所定の間隔をあけて配列されており、複数の把持部４にそれぞれ対向する位置にそれぞれ配設されている。また、複数のキー２５３の長さは、昇降バー２５２の側面と後述する筒体２５１の外周面との間隔に応じて長短相違しており、各キー２５３の先端は、後述する筒体２５１のキー溝２５４内に挿入されている。
【００６６】
筒体２５１は、図６に示すように、把持部４の外周に周設された円筒形状の筒体であり、把持部４に固定されている。この筒体２５１の外周面には、上記したキー２５３が挿入されるキー溝２５４が形成されている。このキー溝２５４は、筒体２５１（把持部４）の中心軸線回りに螺旋状に延設されたスパイラル溝である。
【００６７】
上記した構成の回転機構２０５を備える電解加工装置１では、上述したように動翼Ｘに冷却孔Ｈを穿孔する際、駆動源６によって回転機構２０５を駆動させ、この回転機構２０５によって電極棒２を軸回転させる。具体的に説明すると、駆動源６を駆動させて駆動軸６０を軸回転させる。これにより、駆動軸６０に固定されたボールネジ２５０が軸回転し、このボールネジ２５０に螺合された雌ねじ部２５５を有する昇降バー２５２は、ガイド８６に沿って昇降する。そして、昇降バー２５２が昇降することにより、昇降バー２５２のキー２５３と筒体２５１のキー溝２５４によって複数の筒体２５１がそれぞれ軸回転し、これらの筒体２５１に固定された複数の把持部４及びそれらの把持部４にそれぞれ把持された複数の電極棒２がそれぞれ軸回転する。これにより、複数の電極棒２が軸回転しながら上記した穿孔加工が進んで動翼Ｘに複数の冷却孔Ｈが形成される。また、上記した回転機構２０５は、複数の把持部４が非直線状に配列されていても、キー２５３の長さを調整することで、これら複数の把持部４を同時に軸回転させることが可能であるので、非直線状に配列された複数の冷却孔Ｈを穿孔する際、複数回に分けて穿孔する必要がなく、動翼Ｘの複数の冷却孔Ｈが一度に穿孔される。
【００６８】
［第４の実施の形態］
次に、第４の実施の形態について、図７から図９に基づいて説明する。なお、本実施の形態は、第１の実施の形態と比較して、複数の把持部４が非直線状に配列された状態でも複数の把持部４に対して相互に同期して軸回転力を付与可能な回転機構３０５の構成が相違しており、それ以外の構成については、第１の実施の形態と同様である。よって、本実施の形態では、回転機構３０５の構成についてのみ説明する。
【００６９】
図７に示すように、回転機構３０５は、後述する駆動源６の駆動軸６０に固定された駆動側回転体（駆動ギア３５０）と、複数の把持部４にそれぞれ固定された複数の把持部側回転体（受動ギア３５１）と、駆動側回転体の回転力を複数の把持部側回転体にそれぞれ伝達する回転伝達手段（駆動ベルト３５２）と、を備えている。駆動ギア３５０は、駆動源６の駆動軸６０に装着されたギアであり。駆動軸６０に軸支されている。受動ギア３５１は、把持部４の外周に装着されたギアであり、複数の受動ギア３５１は、図８（ａ）に示すように、隣り合う受動ギア３５１同士を互いに離間させて配列されている。駆動ベルト３５２は、図８（ａ）に示すように、複数のギア３５０、３５１に巻回された無端状（環状）のベルトであり、各ギア３５０、３５１にそれぞれ噛合可能な構成からなる。詳しく説明すると、駆動ベルト３５２は、隣り合うギア間（駆動ギア３５０と受動ギア３５１との間、或いは、隣り合う受動ギア３５１，３５１間）で平面視において交差するように波形に巻回されている。なお、図８（ｂ）に示すように、駆動ベルト３５２は、交差させずに複数のギア３５０、３５１に巻回させることも可能である。この場合、駆動ベルト３５２の外周面にアイドラ３５３を摺接させて当該駆動ベルト３５２に張力（テンション）を付与する。また、駆動ベルト３５２は、図９（ａ）に示すように、ワイヤー（芯材）３５２ａの外周にスパイラル状の条材３５２ｂが巻き付けられた構成からなり、駆動ギア３５０及び複数の受動ギア３５１にそれぞれ噛合されている。なお、図９（ｂ）に示すように、駆動ベルト３５２は、例えばゴム等からなるフレキシブルに変形可能なフレックスラックであってもよい。
【００７０】
上記した構成の回転機構３０５を備える電解加工装置１では、上述したように動翼Ｘに冷却孔Ｈを穿孔する際、駆動源６によって回転機構３０５を駆動させ、この回転機構３０５によって電極棒２を軸回転させる。具体的に説明すると、駆動源６を駆動させて駆動軸６０を軸回転させる。これにより、駆動軸６０に固定された駆動ギア３５０が回転し、この駆動ギア３５０に噛合された駆動ベルト３５２が順送りに移動する。そして、駆動ベルト３５２が順送りに移動することにより、駆動ベルト３５２に噛合された複数の受動ギア３５１がそれぞれ回転し、これらの受動ギア３５１に固定された複数の把持部４及びそれらの把持部４にそれぞれ把持された複数の電極棒２がそれぞれ軸回転する。これにより、複数の電極棒２が軸回転しながら上記した穿孔加工が進んで動翼Ｘに複数の冷却孔Ｈが形成される。また、上記した回転機構３０５は、複数の把持部４が非直線状に配列されていても、駆動ベルト３５２を巻回させることで、これら複数の把持部４を同時に軸回転させることが可能であるので、非直線状に配列された複数の冷却孔Ｈを穿孔する際、複数回に分けて穿孔する必要がなく、動翼Ｘの複数の冷却孔Ｈが一度に穿孔される。
【００７１】
以上、本発明に係る電解加工装置の実施の形態について説明したが、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、上記した第１の実施の形態では、駆動源６としてモータが２機搭載されているが、本発明は、駆動源６がモータ以外のアクチュエータであってもよく、また、駆動源６の台数は適宜変更可能である。
【００７２】
また、上記した実施の形態では、筐体８と複数の把持部４と回転機構５と通電部７と駆動源６と電解液チャンバ９とをまとめて昇降させる昇降機構１０が備えられているが、本発明は、電極棒２と動翼Ｘとを相対的に移動させることができる構成であればよく、把持部４とワーク固定冶具３とが相対的に上下方向に移動可能となっていればよい。したがって、把持部４などが固定されてワーク固定冶具３を上下方向に移動させる昇降機構が備えられていてもよく、或いは、把持部４及びワーク固定冶具３をそれぞれ上下に移動させる昇降機構が備えられていてもよい。
【００７３】
また、上記した実施の形態では、駆動側回転体と把持部側回転体と回転伝達手段とを備えた回転機構５、２０５、３０５が備えられているが、本発明は、他の構成の回転機構を備えた構成にすることも可能である。例えば、把持部４を回転させる駆動源（モータ等）が各把持部４ごとに備えられていてもよい。
【００７４】
また、上記した実施の形態では、定流量制御で電解液の流量を制御しているが、本発明は、その他の制御を行うことも可能であり、例えば電解液の流量を可変させることも可能であり、また、定圧制御で電解液を制御することも可能である。
【００７５】
また、上記した実施の形態では、電解液チャンバ９の内部が、電極棒２の径ごとに複数の液室９３Ａ、９３Ｂ、９３Ｃに区画されており、液流制御部１３によって各液室９３Ａ、９３Ｂ、９３Ｃごとに電解液の流通を制御しているが、本発明は、電解液チャンバ９の内部が、各電極棒２ごとに複数の液室に区画されていてもよく、この場合、液流制御部１３によって各液室ごと、つまり各電極棒２ごとに電解液の流通を制御してもよい。さらに、本発明は、電解液チャンバ９の内部が区画されていない構成にすることも可能であり、電解液の流通に関して全ての電解棒２に対して同様の制御を行うことも可能である。
【００７６】
また、上記した実施の形態では、各電極棒２ごとに通電部７が設けられ、これらの通電部７を通電制御部１２によって各電極棒２ごとに制御する構成となっているが、本発明は、複数の電極棒２に対してまとめて通電する通電部が設けられていてもよく、或いは、全ての電極棒２に対する通電を同様の制御で行うことも可能である。
【００７７】
その他、本発明の主旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上記した変形例を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００７８】
１  電解加工装置
２  電極棒
４  把持部
５  回転機構
６  駆動源
７  通電部
９  電解液チャンバ
１１  電極ガイド
１２  通電制御部
１３  液流制御部
５０  駆動ギア（駆動側回転体）
５１  受動ギア（把持部側回転体）
９３（９３Ａ、９３Ｂ、９３Ｃ）  液室
１０４  把持部
１４０  第一チャックホルダ（第一把持部材）
１４１  第二チャックホルダ（第二把持部材）
２０５  回転機構
２５０  ボールネジ（駆動側回転体）
２５１  筒体（把持部側回転体）
２５２  昇降バー（回転伝達手段）
２５３  キー（回転伝達手段）
２５４  キー溝（回転伝達手段）
３０５  回転機構
３５０  駆動ギア（駆動側回転体）
３５１  受動ギア（把持部側回転体）
３５２  駆動ベルト（回転伝達手段）
Ｘ  動翼（被加工物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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