(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス供給配管における自動パージ工程の動作手順を設定した制御情報を生成する制御情報生成装置であって、
情報を格納して表示する複数のセルの行列からなり、前記自動パージ工程において実行される複数の動作項目が表示されると共に、前記動作項目に対応する動作情報が入力される入力テーブルと、
前記入力テーブルを提示して、前記動作情報の入力を受け付ける入力受付手段と、
前記入力受付手段が受け付けた入力に基づいて前記入力テーブルの内容を変更し、前記動作手順が設定された動作設定テーブルを生成する動作設定テーブル生成手段と、
前記動作設定テーブルに基づいて前記制御情報を生成する制御情報生成手段と、を備え、
前記入力テーブルは、
行方向および列方向の一方に沿って並べられ、前記動作項目を格納して表示する複数の項目セルと、
行方向および列方向の他方に沿って並べられ、前記動作情報が実行ステップごとに入力されると共に、入力された前記動作情報を格納して表示する複数の入力セルと、
前記項目セルおよび前記入力セルによって行列における位置が特定されるように配列され、前記動作項目の実行または不実行を示すフラグ情報を格納して表示する複数のフラグセルと、を有し、
前記動作設定テーブル生成手段は、互いに対応する前記動作項目および前記動作情報を格納した前記項目セルおよび前記入力セルによって特定される位置の前記フラグセルに、前記動作項目の実行を示すフラグ情報を格納することを特徴とする、
自動パージ工程制御情報生成装置。
【請求項２】
前記動作設定テーブル生成手段は、前記動作項目の実行を示すフラグ情報として前記フラグセルに１を格納し、前記動作項目の不実行を示すフラグ情報として前記フラグセルに０を格納し、
前記制御情報生成手段は、前記フラグセルに格納された前記フラグ情報を、前記項目セルによって特定される位置を各桁とする２進数として取得し、取得した前記２進数に基づいて前記制御情報を生成することを特徴とする、
請求項１に記載の自動パージ工程制御情報生成装置。
【請求項３】
前記制御情報生成手段は、取得した前記２進数を１６進数の文字列に変換し、変換した前記１６進数の文字列に基づいて前記制御情報を生成することを特徴とする、
請求項２に記載の自動パージ工程制御情報生成装置。
【請求項４】
前記動作項目は、複数のグループに分けられ、
前記制御情報生成手段は、前記フラグセルに格納された前記フラグ情報を、前記グループごとに取得することを特徴とする、
請求項１乃至３のいずれかに記載の自動パージ工程制御情報生成装置。
【請求項５】
前記動作項目には、複数の前記実行ステップにわたって継続される継続動作項目が含まれ、
前記動作設定テーブル生成手段は、前記継続動作項目の開始を示す前記動作情報を格納した前記入力セルから前記継続動作項目の終了を示す前記動作情報を格納した前記入力セルの１つ手前の前記入力セルまでの間において、前記継続動作項目を格納した前記項目セルによって特定される位置のフラグセルに前記継続動作項目の実行を示すフラグ情報を格納することを特徴とする、
請求項１乃至４のいずれかに記載の自動パージ工程制御情報生成装置。
【請求項６】
前記入力テーブルは、
前記入力セルに付随して設けられ、前記実行ステップの継続時間に対応する時間情報が入力される時間入力セルと、
前記入力セルに付随して設けられ、前記実行ステップの継続時間を表示する時間表示セルと、を備えることを特徴とする、
請求項１乃至５のいずれかに記載の自動パージ工程制御情報生成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス供給配管における自動パージ工程の動作手順を設定した制御情報を生成する制御情報生成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば半導体の製造においては様々なプロセスガスが使用されており、このようなプロセスガスを所定の圧力および流量で安全に供給するための設備として、シリンダキャビネットが使用されている。このシリンダキャビネットは、プロセスガスを充填したシリンダ（容器）、ガス供給配管および各種バルブ等をキャビネット内に収容したものであり、毒性や可燃性を有するプロセスガスを各種製造装置に向けて安全に供給するように構成されている。
【０００３】
また、シリンダキャビネットには、真空ポンプやバキュームジェネレータ（エジェクタ）等によってガス供給配管内のプロセスガスを吸引して排出するための配管であるベントライン、およびガス供給配管内に窒素ガス等をパージするための配管であるパージラインが設けられている。すなわち、空になったシリンダを交換する際に、予めガス供給配管内をパージすることで、危険なプロセスガスが周囲に漏洩するのを防止可能となっている。（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
さらに、近年のシリンダキャビネットでは、各種バルブ、圧力計およびガス検知機等を制御する制御装置と共に、情報の表示および入力操作を可能とするタッチパネル等を備えることで、シリンダ交換時等におけるパージ工程の自動化およびガイダンス表示を可能としたものが一般的となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１４１９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、シリンダキャビネットのガス供給配管におけるパージ工程は、例えば上記特許文献１の段落「００１８」〜「００２１」に示されるように、プロセスガスの外部への漏洩やプロセスガスへの外気等の混入といった不具合を防止すべく、複雑な手順を踏んで実行されるものであることから、自動化に際しては、制御プログラムにおける動作手順の設定を入念にチェックする必要があり、チェック作業に多大な手間と時間を要するという問題があった。
【０００７】
特に、シリンダキャビネットは一般に種々のガスを使用可能な汎用品として製造され、また、シリンダキャビネットが使用される各工場では独自の作業標準や安全基準を定めていることから、パージ工程の動作手順の設定は、使用ガスや使用工場、設置場所等に応じてカスタマイズされるものとなっている。従って、自動パージ工程の制御プログラムは、シリンダキャビネットを設置する度に動作手順の設定を変更すると共に、これに伴う入念なチェック作業が必要となっており、生産性の著しく低いものとなっていた。
【０００８】
本発明は、斯かる実情に鑑み、自動パージ工程における動作手順を設定した制御情報を容易に生成可能な自動パージ工程制御情報生成装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）本発明は、ガス供給配管における自動パージ工程の動作手順を設定した制御情報を生成する制御情報生成装置であって、情報を格納して表示する複数のセルの行列からなり、前記自動パージ工程において実行される複数の動作項目が表示されると共に、前記動作項目に対応する動作情報が入力される入力テーブルと、前記入力テーブルを提示して、前記動作情報の入力を受け付ける入力受付手段と、前記入力受付手段が受け付けた入力に基づいて前記入力テーブルの内容を変更し、前記動作手順が設定された動作設定テーブルを生成する動作設定テーブル生成手段と、前記動作設定テーブルに基づいて前記制御情報を生成する制御情報生成手段と、を備え、前記入力テーブルは、行方向および列方向の一方に沿って並べられ、前記動作項目を格納して表示する複数の項目セルと、行方向および列方向の他方に沿って並べられ、前記動作情報が実行ステップごとに入力されると共に、入力された前記動作情報を格納して表示する複数の入力セルと、前記項目セルおよび前記入力セルによって行列における位置が特定されるように配列され、前記動作項目の実行または不実行を示すフラグ情報を格納して表示する複数のフラグセルと、を有し、前記動作設定テーブル生成手段は、互いに対応する前記動作項目および前記動作情報を格納した前記項目セルおよび前記入力セルによって特定される位置の前記フラグセルに、前記動作項目の実行を示すフラグ情報を格納することを特徴とする、自動パージ工程制御情報生成装置である。
【００１０】
（２）本発明はまた、前記動作設定テーブル生成手段は、前記動作項目の実行を示すフラグ情報として前記フラグセルに１を格納し、前記動作項目の不実行を示すフラグ情報として前記フラグセルに０を格納し、前記制御情報生成手段は、前記フラグセルに格納された前記フラグ情報を、前記項目セルによって特定される位置を各桁とする２進数として取得し、取得した前記２進数に基づいて前記制御情報を生成することを特徴とする、上記（１）に記載の自動パージ工程制御情報生成装置である。
【００１１】
（３）本発明はまた、前記制御情報生成手段は、取得した前記２進数を１６進数の文字列に変換し、変換した前記１６進数の文字列に基づいて前記制御情報を生成することを特徴とする、上記（２）に記載の自動パージ工程制御情報生成装置である。
【００１２】
（４）本発明はまた、前記動作項目は、複数のグループに分けられ、前記制御情報生成手段は、前記フラグセルに格納された前記フラグ情報を、前記グループごとに取得することを特徴とする、上記（１）乃至（３）のいずれかに記載の自動パージ工程制御情報生成装置である。
【００１３】
（５）本発明はまた、前記動作項目には、複数の前記実行ステップにわたって継続される継続動作項目が含まれ、前記動作設定テーブル生成手段は、前記継続動作項目の開始を示す前記動作情報を格納した前記入力セルから前記継続動作項目の終了を示す前記動作情報を格納した前記入力セルの１つ手前の前記入力セルまでの間において、前記継続動作項目を格納した前記項目セルによって特定される位置のフラグセルに前記継続動作項目の実行を示すフラグ情報を格納することを特徴とする、上記（１）乃至（４）のいずれかに記載の自動パージ工程制御情報生成装置である。
【００１４】
（６）本発明はまた、前記入力テーブルは、前記入力セルに付随して設けられ、前記実行ステップの継続時間に対応する時間情報が入力される時間入力セルと、前記入力セルに付随して設けられ、前記実行ステップの継続時間を表示する時間表示セルと、を備えることを特徴とする、上記（１）乃至（５）のいずれかに記載の自動パージ工程制御情報生成装置である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る自動パージ工程制御情報生成装置によれば、自動パージ工程における動作手順を設定した制御情報を容易に生成可能という優れた効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】（ａ）本発明の実施形態に係る自動パージ工程制御情報生成装置の装置構成を示した概略図である。（ｂ）自動パージ工程制御情報生成装置の機能的構成、および自動パージ工程制御情報生成装置の機能的構成を実現するためのプログラム等の構成を示した概略図である。
【図２】シリンダキャビネットの構成の一例を示した概略図である。
【図３】基本情報入力テーブル（基本設定テーブル）の一例を示した概略図である。
【図４】動作情報入力テーブルの一例を示した概略図である。
【図５】動作設定テーブルの一例を示した概略図である。
【図６】制御情報の生成方法を概念的に示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を、添付図面を参照して説明する。
【００１８】
まず、本実施形態に係る自動パージ工程制御情報生成装置１の基本的な構成について説明する。図１（ａ）は、自動パージ工程制御情報生成装置１の装置構成を示した概略図である。自動パージ工程制御情報生成装置１（以下、制御情報生成装置１と呼ぶ）は、コンピュータ１０から構成されており、同図に示されるように、コンピュータ１０は、ＣＰＵ１２、ＲＯＭ１４、ＲＡＭ１６、補助記憶装置１８、表示装置２０、入力装置２２、入出力インタフェース２４およびバス２６を備えて構成されている。
【００１９】
ＣＰＵ１２は、中央演算処理装置（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）であり、各種プログラムを実行することによって画像領域抽出システム１の各種機能を実現する。ＲＯＭ１４は、リード・オンリー・メモリ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）であり、ＣＰＵ１２で実行される基本的なプログラムを記憶する。ＲＡＭ１６は、ランダム・アクセス・メモリ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）であり、ＣＰＵ１２の作業領域として使用される。
【００２０】
補助記憶装置１８は、例えばハードディスクドライブ、光ディスクドライブ、フラッシュメモリまたはソリッド・ステート・ドライブ（Ｓｏｌｉｄ  Ｓｔａｔｅ  Ｄｒｉｖｅ）等から構成され、画像領域抽出システム１の全体的な基本動作を実現するＯＳ（Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ  Ｓｙｓｔｅｍ）プログラムを記憶すると共に、後述する制御情報生成装置１の機能的構成を実現するためのプログラム等および生成した制御情報等の各種情報を記憶する。
【００２１】
表示装置２０は、例えば液晶ディスプレイから構成され、ユーザに提示するテーブル等各種情報を表示すると共に、ユーザに対する視覚的なインタフェースを提供する。入力装置２２は、例えばキーボードやマウス、タッチパネル等から構成され、ユーザからの各種情報の入力操作を受け付ける。入出力インタフェース２４は、外部の機器と各種情報をやり取りするためのインタフェースである。バス２６は、ＣＰＵ１２、ＲＯＭ１４、ＲＡＭ１６、補助記憶装置１８、表示装置２０、入力装置２２および入出力インタフェース２４などを一体的に接続して通信を行うための経路である。
【００２２】
図１（ｂ）は、制御情報生成装置１の機能的構成、および制御情報生成装置１の機能的構成を実現するためのプログラム等の構成を示した概略図である。
【００２３】
同図に示されるように、コンピュータ１０の補助記憶装置１８には、汎用の表計算プログラム３０、およびこの表計算プログラム３０によって処理される表計算ファイル４０が記憶されている。このうち、表計算ファイル４０は、情報を格納して表示する複数のセルの行列からなるワークシートによって構成される基本情報入力テーブル５０および動作情報入力テーブル６０と、ワークシート上で実行されるマクロプログラム７０と、を含んでいる。
【００２４】
本実施形態では、この表計算プログラム３０をＣＰＵ１２が実行し、表計算ファイル４０を処理することによって制御情報生成装置１の機能的構成が実現されるようになっている。同図に示されるように、制御情報生成装置１は、機能的構成として、入力受付手段８０と、動作設定テーブル生成手段８２と、制御情報生成手段８４と、を備えている。
【００２５】
入力受付手段８０は、基本情報入力テーブル５０および動作情報入力テーブル６０を表示装置２０に表示することでこれらをユーザに提示し、入力装置２２を介したユーザの入力を受け付ける。すなわち、入力受付手段８０は、表示された基本情報入力テーブル５０および動作情報入力テーブル６０のセルに対して数値や文字列等の情報の入力操作があった場合に、情報が入力されたセルに入力された情報を格納すると共に、入力されたセル内に入力された情報を表示する。
【００２６】
なお、基本情報入力テーブル５０は、ユーザからの情報の入力を入力受付手段８０が受け付けることで内容が変更され、自動パージ工程における基本的な情報が設定された基本設定テーブル５０ａとなる。基本情報入力テーブル５０および基本設定テーブル５０ａの詳細については、後述する。
【００２７】
動作設定テーブル生成手段８２は、入力受付手段８０が受け付けた動作情報入力テーブル６０に対する入力に基づいて動作情報入力テーブル６０の内容を変更し、自動パージ工程の動作手順が設定された動作設定テーブル６０ａを生成する。すなわち、動作情報入力テーブル６０は、入力受付手段８０によるユーザからの情報の入力の受け付け、およびこれに基づく動作設定テーブル生成手段８２による内容の変更により、動作設定テーブル６０ａとなる。動作情報入力テーブル６０および動作設定テーブル６０ａの詳細については、後述する。
【００２８】
制御情報生成手段８４は、マクロプログラム７０の実行によって実現される機能構成である。制御情報生成手段８４は、基本設定テーブル５０ａおよび動作設定テーブル６０ａに基づいて、自動パージ工程の制御プログラムが自動パージ工程を実行する際に参照する制御情報９０を生成する。すなわち、制御情報生成手段８４は、ワークシート形式によってユーザの視覚による認識を容易にした基本設定テーブル５０ａおよび動作設定テーブル６０ａを、制御プログラムが参照するデータ形式に変換するものである。制御情報生成手段８４による処理の詳細については、後述する。
【００２９】
次に、自動パージ工程が実行されるシリンダキャビネット１００について説明する。図２は、シリンダキャビネット１００の構成の一例を示した概略図である。同図に示されるように、本実施形態のシリンダキャビネット１００は、プロセスガスが充填された左シリンダ１０２Ｌおよび右シリンダ１０２Ｒの２つのシリンダ（容器）を備えており、半導体製造装置等に接続されるガス供給ライン２００に向けてこれら左シリンダ１０２Ｌおよび右シリンダ１０２Ｒからプロセスガスを供給するものである。
【００３０】
シリンダキャビネット１００は、左シリンダ１０２Ｌに接続された左ガス供給配管１０４Ｌ（左シリンダ系統）と、右シリンダ１０２Ｒに接続された右ガス供給配管１０４Ｒ（右シリンダ系統）と、左右ガス供給配管１０４Ｌ、１０４Ｒとガス供給ライン２００を繋ぐ共通配管１０６（供給系統）と、左右ガス供給配管１０４Ｌ、１０４Ｒ内のガスを吸引（真空引き）して排出（ベント）するためのバキューム配管１０８およびバキュームジェネレータＶＧ（ＶＧライン系統）と、バキュームジェネレータＶＧと左右ガス供給配管１０４Ｌ、１０４Ｒを繋ぐベント側配管１１０と、左右ガス供給配管１０４Ｌ、１０４Ｒにパージ用ガスを導入するためのパージ配管１１２と、を備えている。
【００３１】
さらに、シリンダキャビネット１００は、複数のバルブＡＶ１、ＡＶ２Ｌ〜ＡＶ６Ｌ、ＡＶ２Ｒ〜ＡＶ６Ｒ、ＡＶ７〜ＡＶ９、ＡＶ１０Ｌ、ＡＶ１０Ｒと、複数の圧力計ＰＴ１Ｌ、ＰＴ２Ｌ、ＰＴ１Ｒ、ＰＴ２Ｒ、ＰＴ３、ＰＴ４と、プロセスガスの供給圧力を調整する左レギュレータＲＧ１Ｌおよび右レギュレータＲＧ１Ｒと、プロセスガスの漏洩（リーク）を検知するガス検知器ＧＳと、を備えると共に、これらを制御する制御装置１２０と、制御装置１２０に対する入力および各種情報の表示を行うタッチパネル１３０を備えている。
【００３２】
左ガス供給配管１０４Ｌは、一次側１０４Ｌ１がバルブＡＶ１０Ｌ（容器開閉器）を介して左シリンダ１０２Ｌに接続されると共に、二次側１０４Ｌ２がバルブＡＶ６Ｌを介して共通配管１０６に接続されており、途中に設けられたバルブＡＶ４Ｌによって一次側１０４Ｌ１と二次側１０４Ｌ２を分離可能となっている。そして、左ガス供給配管１０４Ｌの一次側１０４Ｌ１には、圧力計ＰＴ１Ｌが設けられ、二次側１０４Ｌ２には、圧力計ＰＴ２Ｌおよび左レギュレータＲＧ１Ｌが設けられている。
【００３３】
同様に、右ガス供給配管１０４Ｒは、一次側１０４Ｒ１がバルブＡＶ１０Ｒ（容器開閉器）を介して右シリンダ１０２Ｒに接続されると共に、二次側１０４Ｒ２がバルブＡＶ６Ｒを介して共通配管１０６に接続されており、途中に設けられたバルブＡＶ４Ｒによって一次側１０４Ｒ１と二次側１０４Ｒ２を分離可能となっている。そして、右ガス供給配管１０４Ｒの一次側１０４Ｒ１には、圧力計ＰＴ１Ｒが設けられ、二次側１０４Ｒ２には、圧力計ＰＴ２Ｒおよび左レギュレータＲＧ１Ｒが設けられている。
【００３４】
共通配管１０６は、上述のように、左ガス供給配管１０４Ｌおよび右ガス供給配管１０４Ｒとガス供給ライン２００を繋ぐ配管であり、バルブＡＶ６ＬおよびバルブＡＶ６Ｒの開閉によって左シリンダ１０２Ｌおよび右シリンダ１０２Ｒのいずれからプロセスガスを供給するかを切り替えることが可能となっている。
【００３５】
バキューム配管１０８は、一端側が希釈用窒素ガスの供給源（図示省略）に接続されると共に、他端側（排気系統）が除害筒３００に接続されている。バキューム配管１０８には、バキュームジェネレータＶＧと共にバルブＡＶ１が設けられており、このバルブＡＶ１を開くことによってバキュームジェネレータＶＧに希釈用窒素ガスが導入され、吸引力が発生するようになっている。
【００３６】
ベント側配管１１０は、バルブＡＶ７を介してバキュームジェネレータＶＧに接続されると共に、バルブＡＶ３Ｌを介して左ガス供給配管１０４Ｌの一次側１０４Ｌ１に接続され、バルブＡＶ５Ｌを介して左ガス供給配管１０４Ｌの二次側１０４Ｌ２に接続され、バルブＡＶ３Ｒを介して右ガス供給配管１０４Ｒの一次側１０４Ｒ１に接続され、バルブＡＶ５Ｒを介して右ガス供給配管１０４Ｒの二次側１０４Ｒ２に接続されている。また、ベント側配管１１０の途中には、圧力計ＰＴ３が設けられている。
【００３７】
パージ配管１１２は、一端側がバルブＡＶ８を介してパージ用窒素ガスの供給源（図示省略）に接続されると共に、バルブＡＶ９を介して高圧気密用窒素ガスの供給源（図示量略）に接続されている。そして、パージ配管１１２の他端側は、バルブＡＶ２Ｌを介して左ガス供給配管１０４Ｌの一次側１０４Ｌ１に接続されると共に、バルブＡＶ２Ｒを介して右ガス供給配管１０４Ｒの一次側１０４Ｒ１に接続されている。また、パージ配管１１２の途中には、圧力計ＰＴ４が設けられている。
【００３８】
制御装置１２０は、プログラマブル・ロジック・コントローラ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｌｏｇｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）から構成されている。制御装置１２０は、供給制御プログラムに従って、左右レギュレータＲＧ１Ｌ、ＲＧ１Ｒ、バルブＡＶ６Ｌ、ＡＶ６Ｒ、圧力計ＰＴ１Ｌ、ＰＴ２Ｌ、ＰＴ１Ｒ、ＰＴ２Ｒ、およびガス検知機ＧＳ等を制御すると共に、各種情報をタッチパネル１３０に表示する等してガス供給ライン２００へのプロセスガスの供給を制御する。
【００３９】
制御装置１２０はまた、自動パージ制御プログラムに従って、各バルブＡＶ１、ＡＶ２Ｌ〜ＡＶ６Ｌ、ＡＶ２Ｒ〜ＡＶ６Ｒ、ＡＶ７〜ＡＶ９、ＡＶ１０Ｌ、ＡＶ１０Ｒを開閉すると共に、各圧力計ＰＴ１Ｌ、ＰＴ２Ｌ、ＰＴ１Ｒ、ＰＴ２Ｒ、ＰＴ３、ＰＴ４、およびガス検知器ＧＳの出力を監視することで、自動パージ工程を実行する。さらに、自動パージ工程において制御装置１２０は、実行ステップごとにガイダンスをタッチパネル１３０に表示すると共に、異常を検出した場合にはタッチパネル１３０や他の警報装置を使用して警報を発する。
【００４０】
なお、自動パージ工程は、通常、左シリンダ１０２Ｌを交換する際に左ガス供給配管１０４Ｌ（左シリンダ系統）について行われ、右シリンダ１０２Ｒを交換する際に右ガス供給配管１０４Ｒ（左シリンダ系統）について行われる。すなわち、左右いずれか一方の系統をパージしてシリンダを交換している際にも、他方の系統を使用してプロセスガスの供給を継続することが可能となっている。
【００４１】
次に、制御情報生成装置１による制御情報９０の生成手順を説明すると共に、基本情報入力テーブル５０および基本設定テーブル５０ａ、ならびに動作情報入力テーブル６０および動作設定テーブル６０ａの詳細について説明する。図１に戻って、制御情報９０の生成では、まずユーザは表計算プログラム３０を起動して表計算ファイル４０を開き、表計算ファイル４０に含まれる複数のワークシートの中から基本情報入力テーブル５０を選択して表示させる。
【００４２】
図３は、基本情報入力テーブル５０（基本設定テーブル５０ａ）の一例を示した概略図である。同図に示されるように、基本情報入力テーブル５０は、設定すべき基本項目を表示した複数の項目セル５２と、各基本項目に対する基本情報を入力する複数の入力セル５４と、を有している。各基本項目は、「構成設定」、「シリンダ設定」、「圧力計設定」、「気密試験設定」、「パージ繰返回数設定」および「時間設定」の６つのグループに分類されて表示されており、入力する基本情報を選択するための参照表５６が必要に応じて付されている。
【００４３】
ユーザは、項目セル５２に表示された基本項目ごとに基本情報として実際の数値や文字列、参照表５６から選択したＩＤ等を入力セル５４に入力する。例えば、「構成設定」においては、「配管フローのタイプ」には参照表５６から選択したＩＤを入力し、「供給系統数」、「シリンダ系統数」、「ＶＧライン系統数」および「排気系統数」には各系統の実際の数を入力し、「ガス検知器の有無」、「熱感知器の有無」および「ドアロックの有無」には「有」の場合は「１」を、「無」の場合は「０」を入力する。
【００４４】
なお、図３では、図２に示したシリンダキャビネット１００について各基本情報を入力した場合の例を示している。上述のように、シリンダキャビネット１００は、左シリンダ１０２Ｌおよび左ガス供給配管１０４Ｌ、ならびに右シリンダ１０２Ｒおよび右ガス供給配管１０４Ｒを有し、左右２つのシリンダ系統を備えている。従って、「シリンダ設定」においては、「シリンダ１」について左シリンダ１０２Ｌの基本情報が入力され、および「シリンダ２」について右シリンダ１０２Ｒの基本情報が入力されている。
【００４５】
また、「圧力計設定」においては、「ＰＴ１−１」について圧力計ＰＴ１Ｌの基本情報が入力され、「ＰＴ１−２」について圧力計ＰＴ１Ｒの基本情報が入力され、「ＰＴ２−１」について圧力計ＰＴ２Ｌの基本情報が入力され、「ＰＴ２−２」について圧力計ＰＴ２Ｒの基本情報が入力されている。また、「気密試験設定」および「パージ繰返回数設定」においては、「系統１」について左シリンダ１０２Ｌおよび左ガス供給配管１０４Ｌの基本情報が入力され、「系統２」について右シリンダ１０２Ｒおよび右ガス供給配管１０４Ｒの基本情報が入力されている。
【００４６】
基本情報入力テーブル５０における「時間設定」は、実行ステップの継続時間、すなわち実行ステップを開始してから次の実行ステップを開始するまでの時間を、予めパターン化して設定しておくものである。「時間設定」では、例えば１秒、２秒、３秒、５秒、１０秒、１５秒および１分等、実行ステップの継続時間として使用する時間を、単位および説明と共に入力する。上述のようにシリンダキャビネット１００は、左右２つのシリンダ系統を備えているため、図３では、「シリンダ系統１」について左ガス供給配管１０４Ｌの時間設定が入力され、「シリンダ系統２」について右ガス供給配管１０４Ｒの時間設定が入力されている。
【００４７】
本実施形態では、自動パージ工程における基本的な情報を基本情報入力テーブル５０に入力するようにすることで、各種基本設定の一覧性を高めると共に、入力ミスの発見および修正、ならびに各種基本設定の変更を容易にしている。特に、後述する動作情報入力テーブル６０は、数百ステップからなる実行ステップを記入するものであるところ、「パージ繰返回数設定」や「時間設定」を別テーブルに入力するようにすることで、例えば３０を３００と入力したり、１０秒を１０分と入力したりといった入力ミスを効果的に防止または容易に発見することが可能になる。さらに、複数の実行ステップにおける設定をまとめて一度に変更することができるため、設定変更時における入力ミスや修正漏れ等も防止可能となっている。
【００４８】
入力受付手段８０は、入力装置２２を介したユーザの入力を受け付けると共に、これに基づいて基本情報入力テーブル５０の内容を変更し、これにより、基本設定テーブル５０ａが生成される。生成された基本設定テーブル５０ａは、一旦ＲＡＭ１６に記憶された後、または直接補助記憶装置１８に記憶される。ユーザは、基本設定テーブル５０ａを印刷出力する等して入力内容をチェックし、必要であれば基本設定テーブル５０ａを修正する。
【００４９】
なお、本実施形態では、基本情報入力テーブル５０（基本設定テーブル５０ａ）を、１つのワークシートから構成しているが、例えばグループごとに分けた複数のワークシートから構成するようにしてもよい。また、本実施形態では、基本情報入力テーブル５０に基本情報を入力したものをそのまま基本設定テーブル５０ａとするようにしているが、例えば不要な項目セル５２や入力セル５４を削除等した異なる表形式の基本設定テーブル５０ａを別個に生成するようにしてもよい。また、項目セル５２、入力セル５４および参照表５６の配置構成は、図３に示す例に限定されるものではなく、その他の配置構成を採用してもよいことは言うまでもない。
【００５０】
基本情報入力テーブル５０への入力が完了し、基本設定テーブル５０ａが生成されたならば、次にユーザは、表計算ファイル４０に含まれる複数のワークシートの中から動作情報入力テーブル６０を選択して表示させる。図４は、動作情報入力テーブル６０の一例を示した概略図であり、シリンダキャビネット１００の左シリンダ系統における自動パージ工程の動作情報入力テーブル６０を示している。また、図５は、動作設定テーブル６０ａの一例として、シリンダキャビネット１００の左シリンダ系統における自動パージ工程の動作設定テーブル６０ａを示した概略図である。
【００５１】
動作情報入力テーブル６０は、図４に示されるように、行方向（横方向）に並べられた複数の項目セル６２と、列方向（縦方向）に並べられた複数の入力セル６４と、項目セル６２および入力セル６４によって行列における位置が特定されるように配列され、動作項目の実行または不実行を示すフラグ情報を格納して表示する複数のフラグセル６６と、を有している。
【００５２】
項目セル６２は、自動パージ工程において実行される動作項目を格納して表示するものである。本実施形態では、項目セル６２を行方向に並べることにより、自動パージ工程における全ての動作項目を一覧表示すると共に、後述するフラグセル６６の行位置が項目セル６２によって特定されるようにしている。また、本実施形態では、項目セル６２を、「バルブ動作項目」を表示する第１の項目セル６２ａと、「アラーム動作項目」を表示する第２の項目セル６２ｂと、「オプション動作項目」を表示する第３の項目セル６２ｃと、の３つにグループ分けしており、これらの第１〜第３の項目セル６２ａ、６２ｂ、６２ｃは、それぞれ１６個ずつ設けられている。
【００５３】
「バルブ動作項目」を表示する第１の項目セル６２ａには、それぞれバルブの開閉動作を示す動作項目が格納され、表示されている。「バルブ動作項目」のうち、例えば「ＡＶ１」はシリンダキャビネット１００のバキューム配管１０８に設けられたバルブＡＶ１を開くまたは閉じる動作項目であり、「ＡＶ２」はパージ配管１１２と左ガス供給配管１０４Ｌの一次側１０４Ｌ１を接続するバルブＡＶ２Ｌを開くまたは閉じる動作項目であり、「ＡＶ３」はベント側配管１１０と左ガス供給配管１０４Ｌの一次側１０４Ｌ１に接続するバルブＡＶ３Ｌを開くまたは閉じる動作項目である。なお、シリンダキャビネット１００では左シリンダ系統のパージに使用するバルブは１０個であるため、「ＡＶ１１」〜「ＡＶ１６」は実行されない（予備の）動作項目となっている。
【００５４】
「アラーム動作項目」を表示する第２の項目セル６２ｂには、圧力計やガス検知器等のセンサ類をチェックして異常の有無を検出する動作項目が格納され、表示されている。「アラーム動作項目」のうち、例えば「ベント側真空不良」は、ベント側配管１１０に設けられた圧力計ＰＴ３をチェックし、適切な真空度が得られている場合にはその旨をタッチパネル１３０に表示し、適切な真空度が得られていない場合には警報をタッチパネル１３０およびその他の警報装置等によって出力すると共に、開いているバルブを全て閉じる動作項目である。
【００５５】
同様に、「一次側真空不良」は、左ガス供給配管１０４Ｌの一次側１０４Ｌ１の圧力計ＰＴ１Ｌをチェックし、適切な真空度の場合はその旨を出力し、適切な真空度でない場合は警報の出力と共に全てのバルブを閉じる動作項目であり、「二次側真空不良」は、左ガス供給配管１０４Ｌの二次側１０４Ｌ２の圧力計ＰＴ２Ｌをチェックし、適切な真空度の場合はその旨を出力し、適切な真空度でない場合は警報の出力と共にバルブを閉じる動作項目である。また、「パージ圧力異常」は、パージ配管１１２の圧力計ＰＴ４をチェックし、適切な圧力値の場合はその旨を出力し、適切な圧力値でない場合は警報の出力と共にバルブを閉じる動作項目である。
【００５６】
さらに、図示は省略しているが、「アラーム動作項目」にはこの他にも、圧力計ＰＴ１、ＰＴ２の示す圧力値の時間的変化をチェックすることにより左ガス供給配管１０４Ｌの気密性試験を行う動作項目や、ガス検知器ＧＳによってリークチェックを行う動作項目等が含まれている。
【００５７】
「オプション動作項目」を表示する第３の項目セル６２ｃには、自動パージ工程における付加的な動作項目が格納され、表示されている。「オプション動作項目」のうち、例えば「確認／取消」は、自動パージ工程における「前パージ」、「容器交換」および「後パージ」等の各工程を開始する旨と共に実行ボタンおよび取消ボタンをタッチパネル１３０に表示し、自動パージ工程の作業員が実行ボタンを操作した場合には次の実行ステップを実行し、作業員が取消ボタンを操作した場合には次の実行ステップを実行することなく処理を終了する動作項目である。また、「確認」は、各種ガイダンス表示と共に確認ボタンをタッチパネル１３０に表示し、作業員が確認ボタンを操作するまでは次の実行ステップを実行しない動作項目である。
【００５８】
また、「サイクルパージ」は、指定した１つまたは複数の実行ステップを基本設定テーブル５０ａに設定された繰返回数だけ繰り返す動作項目であり、「回数加算」は、指定した実行ステップを繰り返した回数をカウントする動作項目であり、「回数比較」は、基本設定テーブル５０ａに設定された繰返回数とカウント回数を比較し、カウント回数が設定された繰返回数に到達したならば繰り返しを終了して次の実行ステップを実行する動作項目である。
【００５９】
また、「前パージ」、「容器交換」、「気密試験」、「後パージ」および「実ガス置換」は、自動パージ工程に含まれるこれらの各工程の開始および終了を設定すると共に、各工程の開始および終了を作業員に確認させるための動作項目であり、「終了」は、自動パージ工程を終了させる動作項目である。
【００６０】
なお、項目セル６２に格納して表示する動作項目が上述のものに限定されないことは、言うまでもない。すなわち、バルブの個数や配管構成等に応じて、自動パージ工程に必要な動作を動作項目として設定すればよい。また、本実施形態では、１６×３＝４８個の動作項目を設定しているが、動作項目（項目セル６２）の個数はこれ以外の個数であってもよいし、項目セル６２のグループを追加または削減するようにしてもよい。また、項目セル６２のグループの中に動作項目を格納していない空欄の項目セル６２を設けるようにしてもよい。
【００６１】
入力セル６４は、動作情報等を実行ステップごとに入力するためのものであり、動作情報等として入力された文字列や数値は、入力受付手段８０によって入力セル６４に格納され、表示される。本実施形態では、入力セル６４として、動作情報の基本的な情報を入力する基本入力セル６４ａと、動作情報の追加的な情報（補完的な情報）を入力する追加入力セル６４ｂと、基本設定テーブル５０ａに設定された時間番号を入力する時間番号入力セル６４ｃと、タッチパネル１３０に表示するガイダンスの番号を入力するガイダンス番号入力セル６４ｄと、の４つを１つの行に設けると共に、各行の左端にステップ番号を付すようにしている。
【００６２】
すなわち、入力セル６４は、１つの実行ステップの情報を１行にまとめて入力すると共に、各実行ステップの実行順どおりに列方向（下方向）に情報を順次入力していくように構成されており、列位置によって各実行ステップを特定できるようになっている。
【００６３】
基本入力セル６４ａは、項目セル６２に表示された動作項目をそのまま入力するものである。すなわち、基本入力セル６４ａへの入力により、各実行ステップにおいて項目セル６２に表示された動作項目のいずれを実行するが設定される。基本入力セル６４ａへの動作項目の入力は、キーボード等によって同一の文字列を打ち込むようにしてもよいし、項目セル６２の内容をコピー・アンド・ペーストするようにしてもよい。
【００６４】
追加入力セル６４ｂは、基本入力セル６４ａに入力された情報を補完するような情報等を追加して入力するものである。追加入力セル６４ｂには、例えば同一行の基本入力セル６４ａに「確認／取消」を入力した場合には「前パージ」または「容器交換」等、いずれの工程を開始するかの情報を入力する。また、例えば基本入力セル６４ａに「ＡＶ１」等を入力した場合には、同一行の追加入力セル６４ｂに「開」または「閉」と入力することで、バルブＡＶ１を開くのか閉じるのかを設定する。なお、追加する情報がない場合には、追加入力セル６４ｂには何も入力しない。また、追加入力セル６４ｂに実行ステップについてのコメントやメモ、解説等を入力するようにしてもよい。
【００６５】
時間番号入力セル６４ｃは、基本設定テーブル５０ａの「時間設定」に設定された継続時間の番号（時間番号）を入力するものである。すなわち、時間番号入力セル６４ｃへの時間番号の入力により、各実行ステップの継続時間が設定される。例えば、実行ステップの継続時間を５秒に設定する場合には基本設定テーブル５０ａを参照して時間番号入力セル６４ｃに「４」を入力し、実行ステップの継続時間を１０秒に設定する場合には基本設定テーブル５０ａを参照して時間番号入力セル６４ｃに「５」を入力する。
【００６６】
各時間番号入力セル６４ｃには、同一行に隣接して２つの時間情報表示セル６８が設けられている。動作設定テーブル生成手段８２は、時間番号入力セル６４ｃに格納された時間番号に基づき、その実行ステップの継続時間の値および継続時間の単位を、同一行に隣接する２つの時間情報表示セル６８にそれぞれ格納して表示させる。
【００６７】
具体的には、これら２つの時間情報表示セル６８には、同一行の時間番号入力セル６４ｃに格納された時間番号に基づいて基本設定テーブル５０ａの「時間設定」を参照し、格納された時間番号に設定された継続時間を取得して自身に格納する関数、および格納された時間番号に設定された単位を取得して自身に格納する関数がそれぞれ設定されている。すなわち、本実施形態では、セルに設定した関数によって動作設定テーブル生成手段８２を実現している。これにより、２つの時間情報表示セル６８には、例えば「５」および「秒」等、各実行ステップの継続時間および単位がそれぞれ表示されるようになっている。
【００６８】
自動パージ工程においては、例えば各配管を真空引きまたはパージする際のバルブの開動作や、図示を省略した気密性試験およびリークチェック等、所定の期間にわたって動作状態を保持する必要がある実行ステップが含まれるところ、本実施形態では、時間番号入力セル６４ｃと時間情報表示セル６８を設けることにより、このような実行ステップの継続時間（すなわち、保持期間）を、各工場の安全基準や作業標準等に応じて容易に設定および変更することが可能となっている。
【００６９】
さらに、本実施形態では、バルブの閉動作等も含め、全ての実行ステップの継続時間を設定することにより、自動パージ工程の全工程に要する時間、および「前パージ」や「容器交換」等の個別の工程に要する時間を、予め容易に把握することが可能となっている。従って、作業時間を考慮した実際的な動作手順を早い段階から設定することが可能となっている。また、各工程や各実行ステップの進捗状況を時間管理することができるため、例えばカウントダウン表示といった分かりやすいガイダンスを行うことが可能となっている。
【００７０】
また、本実施形態では、時間番号入力セル６４ｃと時間情報表示セル６８とを個別に設けることで、各実行ステップの継続時間の入力および修正を容易としながらも、これによって動作情報入力テーブル６０および動作設定テーブル６０ａの閲覧性が阻害されないようにしている。
【００７１】
ガイダンス番号入力セル６４ｄは、図示を省略したガイダンス番号参照表に設定されたガイダンス番号を入力するものである。すなわち、本実施形態では、ガイダンス番号入力セル６４ｄへのガイダンス番号の入力により、各実行ステップの実行中にタッチパネル１３０に表示されるガイダンスの内容が設定されるようになっている。
【００７２】
なお、項目セル６２に表示された動作項目をそのまま基本入力セル６４ａに入力するのではなく、時間番号入力セル６４ｃのように、各動作項目に対応付けた記号や番号等を基本入力セル６４ａに入力するようにしてもよい。同様に、追加入力セル６４ｂについても、予め設定された記号等を入力するようにしてもよい。この場合さらに、基本入力セル６４ａまたは追加入力セル６４ｂに入力された記号等に基づいて動作項目を取得して格納する関数が設定された動作項目表示セルを同一行に設けるようにしてもよい。
【００７３】
また、基本入力セル６４ａ、追加入力セル６４ｂ、時間番号入力セル６４ｃおよびガイダンス番号入力セル６４ｄに加え、さらに他の情報を入力する入力セル６４を設けるようにしてもよい。また、基本入力セル６４ａと追加入力セル６４ｂを１つの入力セル６４に統合し、動作情報の基本的な情報および追加的な情報を、文字列または数値の例えば前半部分および後半部分に分けて入力するようにしてもよい。さらに、時間番号入力セル６４ｃまたはガイダンス番号入力セル６４ｄを、基本入力セル６４ａまたは追加入力セル６４ｂと統合するようにしてもよい。すなわち、１つの入力セル６４に複数の入力領域を設け、複数種類の情報を入力領域ごとに入力するようにしてもよい。
【００７４】
また、時間番号入力セル６４ｃおよび時間情報表示セル６８を設ける代わりに、各実行ステップの継続時間および単位を直接入力する入力セル６４を設けるようにしてもよい。また、１つの時間情報表示セル６８に継続時間および単位をまとめて表示するようにしてもよい。また、ガイダンス番号入力セル６４ｄを設けるのではなく、基本入力セル６４ａまたは追加入力セル６４ｂに入力された情報等に基づき、参照表等からガイダンス番号を取得して格納する関数が設定されたガイダンス番号表示セルを設けるようにしてもよい。
【００７５】
フラグセル６６は、各実行ステップにおいて各動作項目を実行するか否かを示すフラグ情報を格納して表示するものであり、各実行ステップ（ステップ番号）と各動作項目を１対１で対応付けるように行列配置されている。従って、各実行ステップと同一行にある各フラグセル６６は、自身と同一列の項目セル６２に表示された動作項目をその実行ステップにおいて実行するか否かを示すように構成されている。
【００７６】
本実施形態では、同一列の項目セル６２に表示された動作項目の実行を示すフラグ情報を数値の「１」とし、不実行を示すフラグ情報を数値の「０」としている。動作設定テーブル生成手段８２は、基本入力セル６４ａまたは追加入力セル６４ｂに入力された情報に基づいて、各フラグセル６６に「１」または「０」のフラグ情報を格納して表示する。これにより、動作情報入力テーブル６０の内容が変更され、自動パージ工程における動作手順がフラグセル６６に格納されたフラグ情報として設定された動作設定テーブル６０ａが生成される。
【００７７】
上述のように、本実施形態では、セルに設定した関数によって動作設定テーブル生成手段８２を実現している。例えば、フラグセル６６のうち、「バルブ動作項目」を表示する第１の項目セル６２ａと同一列に配置された第１のフラグセル６６ａには、自身と同一行の基本入力セル６４ａに自身と同一列の動作項目が格納されると共に自身と同一行の追加入力セル６４ｂに「閉」が格納されている場合には自身に「０」を格納し、それ以外の場合には、自身と同一行の基本入力セル６４ａに自身と同一列の第１の項目セル６２ａの動作項目が格納されると共に自身と同一行の追加入力セル６４ｂに「開」が格納されている、または自身の１つ上（１つ前の実行ステップ）の行且つ自身と同一列の第１のフラグセル６６ａに「１」が格納されているならば自身に「１」を格納し、いずれにも該当しないならば自身に「０」を格納する関数が設定されている。
【００７８】
これにより、第１のフラグセル６６ａにおいては、図４または図５に示されるように、例えばステップ番号７において基本入力セル６４ａに「ＡＶ７」と入力されると共に追加入力セル６４ｂに「開」と入力され、ステップ番号１５において基本入力セル６４ａに「ＡＶ７」と入力されると共に追加入力セル６４ｂに「閉」と入力された場合には、「ＡＶ７」と表示された第１の項目セル６２ａと同一列の第１のフラグセル６６ａは、ステップ番号７から１４までの間において「１」が格納されて表示されることとなる。
【００７９】
すなわち、第１のフラグセル６６ａにおいては、図４または図５に示されるように、フラグ情報として「１」が格納および表示された第１のフラグセル６６ａの、行位置（横方向の位置）によっていずれのバルブが開状態であるかが特定され、列位置（縦方向の位置）によっていずれの実行ステップにおいて当該バルブが開状態であるかが特定される。
【００８０】
第１のフラグセル６６ａの関数をこのように設定することで、バルブの開状態が複数の実行ステップにわたるような場合にも、これを容易に設定することが可能となる。さらに、動作設定シート６０ａにおいて、各バルブの開閉状態を第１のフラグセル６６ａによってチャート的に表示することができるため、各バルブの開閉状態の確認を容易にすると共に、バルブの閉じ忘れ等の入力ミスを容易に発見することが可能となる。
【００８１】
また、「アラーム動作項目」を表示する第２の項目セル６２ｂと同一列に配置された第２のフラグセル６６ｂには、自身と同一行の基本入力セル６４ａに自身と同一列の第１の項目セル６２ａの動作項目が格納されている場合には自身に「１」を格納し、それ以外の場合には自身に「０」を格納する関数が設定されている。
【００８２】
すなわち、第２のフラグセル６６ｂにおいては、図４または図５に示されるように、フラグ情報として「１」が格納および表示された第２のフラグセル６６ｂの、行位置（横方向の位置）によって「アラーム動作項目」に含まれるいずれの動作項目が実行されるかが特定され、列位置（縦方向の位置）によっていずれの実行ステップにおいて当該動作項目が実行されるかが特定される。
【００８３】
また、「オプション動作項目」を表示する第３の項目セル６２ｃと同一列に配置された第３のフラグセル６６ｃには、動作項目に応じた関数が列ごとに設定されている。例えば「確認／取消」、「確認」、「回数加算」、「回数比較」および「終了」を表示した第３の項目セル６２ｃと同一列に配置された第３のフラグセル６６ｃには、自身と同一行の基本入力セル６４ａに自身と同一列の第１の項目セル６２ａの動作項目が格納されている場合には自身に「１」を格納し、それ以外の場合には自身に「０」を格納する関数が設定されている。
【００８４】
これにより、これらの第３のフラグセル６６ｃにおいては、図４または図５に示されるように、フラグ情報として「１」が格納および表示された第３のフラグセル６６ｃの、行位置（横方向の位置）によって「アラーム動作項目」に含まれるいずれの動作項目が実行されるかが特定され、列位置（縦方向の位置）によっていずれの実行ステップにおいて当該動作項目が実行されるかが特定される。
【００８５】
また、「サイクルパージ」を表示した第３の項目セル６２ｃと同一列に配置された第３のフラグセル６６ｃには、自身の１つ上（１つ前の実行ステップ）の行且つ「回数比較」を表示した第３の項目セル６２ｃと同一列の第３のフラグセル６６ｃに「１」が格納されている場合には自身に「０」を格納し、それ以外の場合には、自身と同一行且つ「回数加算」を表示した第３の項目セル６２ｃと同一列の第３のフラグセル６６ｃに「１」が格納されている、または自身の１つ上（１つ前の実行ステップ）の行且つ自身と同一列の第３のフラグセル６６ｃに「１」が格納されているならば自身に「１」を格納し、いずれにも該当しないならば自身に「０」を格納する関数が設定されている。
【００８６】
これにより、「サイクルパージ」を表示した第３の項目セル６２ｃと同一列に配置された第３のフラグセル６６ｃには、例えば図５のステップ番号３６〜５０に示されるように、基本設定テーブル５０ａの「パージ繰返回数設定」に設定された回数だけ繰り返される実行ステップ（「回数加算」を実行する実行ステップから「回数比較」を実行する実行ステップまで）において「１」のフラグ情報が格納されることとなる。
【００８７】
このように関数を設定することで、繰り返し実行される実行ステップを容易に設定することが可能となる。さらに、繰り返される実行ステップを動作設定シート６０ａにおいてチャート的に表示することができるため、繰り返される実行ステップの確認および入力ミス等の発見を容易にすることが可能となる。
【００８８】
また、自動パージ工程に含まれる各工程である「前パージ」、「容器交換」、「気密試験」、「後パージ」および「実ガス試験」を表示した第３の項目セル６２ｃと同一列に配置された第３のフラグセル６６ｃには、自身の１つ上（１つ前の実行ステップ）の行の基本入力セル６４ａに「確認」が格納されると共に自身の１つ上（１つ前の実行ステップ）の行の追加入力セル６４ｂに自身と同一列の第１の項目セル６２ａの動作項目が格納されている場合には自身に「０」を格納し、それ以外の場合には、自身と同一行の基本入力セル６４ａに「確認／取消」が格納されると共に自身と同一行の追加入力セル６４ｂに自身と同一列の第１の項目セル６２ａの動作項目が格納されている、または自身の１つ上（１つ前の実行ステップ）の行且つ自身と同一列の第３のフラグセル６６ｃに「１」が格納されているならば自身に「１」を格納し、いずれにも該当しないならば自身に「０」を格納する関数が設定されている。
【００８９】
これにより、これらの第３のフラグセル６６ｃには、例えば図５のステップ番号１〜６４に示されるように、各工程に含まれる実行ステップ（各工程の開始を確認する実行ステップから各工程の終了を確認する実行ステップまで）において「１」のフラグ情報が格納されることとなる。
【００９０】
このように関数を設定することで、自動パージ工程に含まれる各工程の開始および終了を容易に設定すると共に、各工程の範囲を動作設定シート６０ａにおいてチャート的に表示することができるため、各工程に含まれる実行ステップの確認および入力ミス等の発見を容易にすることが可能となる。
【００９１】
各フラグセル６６（第１〜第３のフラグセル６６ａ、６６ｂ、６６ｃ）には、このようにして入力セル６４への入力内容に基づいた「０」または「１」のフラグ情報が格納され、表示される。また、第１〜第３のフラグセル６６ａ、６６ｂ、６６ｃは、第１〜第３の項目セル６２ａ、６２ｂ、６２ｃに対応して１つの実行ステップごとに１６個ずつそれぞれ設けられているため、フラグセル６６のフラグ情報は、各実行ステップにおいて動作項目グループごとの１６ビットの情報として取り扱うことが可能となっている。
【００９２】
なお、各フラグセル６６に設定される関数は、上述のものに限定されず、その他の関数であってもよい。また、時間番号入力セル６４ｃ、ガイダンス番号入力セル６４ｄまたは時間情報表示セル６８に基づく関数をフラグセル６６に設定するようにしてもよい。また、各フラグセル６６に格納されるフラグ情報は、「０」および「１」以外の数値または文字等であってもよいことは言うまでもない。
【００９３】
入力受付手段８０は、入力装置２２を介したユーザの入力を受け付けると共に、これに基づいて動作情報入力テーブル６０の入力セル６４の内容を変更する。そして、動作設定テーブル生成手段８２、すなわちフラグセル６６および時間情報表示セル６８に設定された関数は、入力セル６４の内容に基づいて、フラグセル６６および時間情報表示セル６８内容を変更し、これにより、図５に示されるような動作設定テーブル６０ａが生成される。
【００９４】
生成された動作設定テーブル６０ａは、一旦ＲＡＭ１６に記憶された後、または直接補助記憶装置１８に記憶される。ユーザは、動作設定テーブル６０ａを印刷出力する等して内容をチェックし、必要であれば動作設定テーブル６０ａを修正する。動作設定テーブル６０ａには、基本入力セル６４ａおよび追加入力セル６４ｂにおいて自動パージ工程における動作項目が列方向に沿って実行順に表示されると共に、フラグセル６６において実行ステップを示す入力セル６４および動作項目を表示する項目セル６２に対応付けられた配列でフラグ情報がチャート的に表示されるため、動作手順の設定内容のチェックおよび修正が容易となっている。
【００９５】
また、動作設定テーブル６０ａの生成後、必要であれば基本設定テーブル５０ａを修正することも可能である。この場合、基本設定テーブル５０ａの修正後に、動作設定テーブル６０ａのワークシートを再計算させるだけで、基本設定テーブル５０ａの修正が動作設定テーブル６０ａに反映されることとなるため、容易に基本設定を変更することが可能となっている。
【００９６】
動作情報入力テーブル６０への入力が完了し、動作設定テーブル６０ａが生成されたならば、次にユーザは、表計算ファイル４０に含まれるマクロプログラム７０を実行させる。マクロプログラム７０、すなわち制御情報生成手段８４は、基本設定テーブル５０ａおよび動作設定テーブル６０ａに基づいて、制御情報９０を生成する。図６は、制御情報９０の生成方法を概念的に示した図である。
【００９７】
同図に示されるように、制御情報９０は、基本設定を示した基本設定情報９２と、時間設定を示した時間設定情報９４と、ガイダンス設定を示したガイダンス設定情報９６と、動作手順の設定を示した動作制御情報９８と、から構成され、動作制御情報９８は、バルブ動作項目の設定を示したバルブ動作制御情報９８ａと、アラーム動作項目の設定を示したアラーム動作制御情報９８ｂと、オプション動作項目の設定を示したオプション動作制御情報９８ｃと、から構成されている。
【００９８】
制御情報生成手段８４は、基本設定テーブル５０ａに基づいて基本設定情報９２を生成し、動作設定テーブル６０ａの時間情報表示セル６８の内容に基づいて時間設定情報９４を生成し、動作設定テーブル６０ａのガイダンス番号入力セル６４ｄの内容に基づいてガイダンス設定情報９６を生成する。また、制御情報生成手段８４は、動作設定テーブル６０ａのフラグセル６６の内容に基づいて動作制御情報９８を生成する。
【００９９】
具体的に、制御情報生成手段８４は、「バルブ動作項目」に対応した第１のフラグセル６６ａの内容に基づいてバルブ動作制御情報９８ａを生成し、「アラーム動作項目」に対応した第２のフラグセル６６ｂの内容に基づいてアラーム動作制御情報９８ｂを生成し、「オプション動作項目」に対応した第３のフラグセル６６ｃの内容に基づいてオプション動作制御情報９８ｃを生成する。
【０１００】
バルブ動作制御情報９８ａの生成において、制御情報生成手段８４は、第１のフラグセル６６ａに格納されたフラグ情報を、図６における破線の矢印に示されるように、第１のフラグセル６６ａの行位置を実行ステップ順に上位となる各桁とする１つの２進数である第１の２進数９８ａ１として取得する。そして、この第１の２進数９８ａ１を１６進数の文字列に変換したものをバルブ動作制御情報９８ａとして生成する。
【０１０１】
制御情報生成手段８４は、同様に、第２のフラグセル６６ｂに格納されたフラグ情報を第２の２進数９８ｂ１として取得し、第２の２進数９８ｂ１を１６進数の文字列に変換したものをアラーム動作制御情報９８ｂとして生成すると共に、第３のフラグセル６６ｃに格納されたフラグ情報を第３の２進数９８ｃ１として取得し、第３の２進数９８ｃ１を１６進数の文字列に変換したものをオプション動作制御情報９８ｃとして生成する。なお、第１の２進数９８ａ１、第２の２進数９８ｂ１および第３の２進数９８ｃ１は、数値であってもよいし、文字列であってもよい。
【０１０２】
生成された制御情報９０は、表計算ファイル４０に含まれるワークシートの１つとして、一旦ＲＡＭ１６に記憶された後、または直接補助記憶装置１８に保存される。具体的には、基本設定情報９２、時間設定情報９４、ガイダンス設定情報９６、バルブ動作制御情報９８ａ、アラーム動作制御情報９８ｂおよびオプション動作制御情報９８ｃは、それぞれワークシート内の１つのセル、または複数のセルに分割されて格納される。本実施形態では、バルブ動作制御情報９８ａ、アラーム動作制御情報９８ｂおよびオプション動作制御情報９８ｃを１６進数の文字列とすることで、セルに格納可能な数値の桁数が制限されている場合においても、これらの情報を多数のセルに分割することなく格納することを可能としている。
【０１０３】
本実施形態の制御情報生成装置１では、以上の手順により、制御情報９０が生成される。生成された制御情報９０は、専用プログラムの実行等によって実現される送信手段により、入出力インタフェース２４を介して、シリンダキャビネット１００の制御装置１２０に送信される。
【０１０４】
なお、制御情報９０は、表計算ファイル４０とは別のデータとして補助記憶装置１８に記憶されるものであってもよい。この場合、第１〜第３の２進数９８ａ１、９８ｂ１、９８ｃ１を、そのままバルブ動作制御情報９８ａ、アラーム動作制御情報９８ｂおよびオプション動作制御情報９８ｃとしてもよいし、上述のように１６進数の文字列に変換するようにしてもよい。また、制御情報９０の送信は、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）やインターネット等のネットワークを介して行われるものであってもよいし、メモリカードやＵＳＢメモリ等を介して行われるものであってもよい。
【０１０５】
以上説明したように、本実施形態に係る自動パージ工程制御情報生成装置１は、ガス供給配管（シリンダキャビネット１００）における自動パージ工程の動作手順を設定した制御情報９０を生成する制御情報生成装置であって、情報を格納して表示する複数のセルの行列からなり、自動パージ工程において実行される複数の動作項目が表示されると共に、動作項目に対応する動作情報が入力される動作情報入力テーブル６０と、動作情報入力テーブル６０を提示して、動作情報の入力を受け付ける入力受付手段８０と、入力受付手段８０が受け付けた入力に基づいて動作情報入力テーブル６０の内容を変更し、動作手順が設定された動作設定テーブル６０ａを生成する動作設定テーブル生成手段８２と、動作設定テーブル６０ａに基づいて制御情報９０を生成する制御情報生成手段８４と、を備え、動作情報入力テーブル６０は、行方向および列方向の一方に沿って並べられ、動作項目を格納して表示する複数の項目セル６２と、行方向および列方向の他方に沿って並べられ、動作情報が実行ステップごとに入力されると共に、入力された動作情報を格納して表示する複数の入力セル６４と、項目セル６２および入力セル６４によって行列における位置が特定されるように配列され、動作項目の実行または不実行を示すフラグ情報を格納して表示する複数のフラグセル６６と、を有し、動作設定テーブル生成手段８２は、互いに対応する動作項目および動作情報を格納した項目セル６２および入力セル６４によって特定される位置のフラグセル６６に、動作項目の実行を示すフラグ情報を格納する。
【０１０６】
このような構成とすることで、自動パージ工程における動作手順を設定した制御情報９０を容易に生成することができる。すなわち、入力セル６４に動作情報を入力するだけで、フラグセル６６に動作項目および実行ステップに対応付けられた配列でフラグ情報が自動的に格納されるため、フラグ情報をそのまま１ビットの情報としてダイレクトに利用することが可能となり、制御情報９０を効率的に生成することができる。また、項目セル６２に動作項目を表示することで、ユーザによる入力セル６４への動作情報の入力を容易にするだけではなく、フラグセル６６において動作手順をチャート的に示すことが可能となるため、動作手順のチェックおよび修正を容易にすることができる。
【０１０７】
また、動作設定テーブル生成手段８２は、動作項目の実行を示すフラグ情報としてフラグセル６６に１を格納し、動作項目の不実行を示すフラグ情報としてフラグセル６６に０を格納し、制御情報生成手段８４は、フラグセル６６に格納されたフラグ情報を、項目セル６２によって特定される位置を各桁とする２進数として取得し、取得した２進数に基づいて制御情報９０を生成する。このようにすることで、動作設定テーブル６０ａに設定された動作手順を始めから複数ビットの情報として取り扱うことが可能となるため、制御情報９０の生成を効率的に行うことができる。
【０１０８】
また、制御情報生成手段８４は、取得した２進数を１６進数の文字列に変換し、変換した１６進数の文字列に基づいて制御情報９０を生成する。このようにすることで、例えば一般的な表計算プログラムを活用することが可能となるため、制御情報９０の生成、保存および取り扱いを容易にすることができる。
【０１０９】
また、動作項目は、複数のグループに分けられ、制御情報生成手段８４は、フラグセル６６に格納されたフラグ情報を、グループごとに取得する。このようにすることで、例えば各グループに含まれる動作項目を１６個とすることにより、各グループについて１つの実行ステップに関する情報を１６ビットの情報とした制御情報９０を生成することが可能となるため、効率的な制御情報９０を生成することができる。
【０１１０】
また、動作項目には、複数の実行ステップにわたって継続される継続動作項目（例えばＡＶ１〜１６等）が含まれ、動作設定テーブル生成手段８２は、継続動作項目の開始を示す動作情報を格納した入力セル６４から継続動作項目の終了を示す動作情報を格納した入力セル６４の１つ手前の入力セル６４までの間において、継続動作項目を格納した項目セル６２によって特定される位置のフラグセル６６に継続動作項目の実行を示すフラグ情報を格納する。このようにすることで、例えばバルブの開状態等、複数の実行ステップにわたる継続動作項目を明確に設定すると共に、継続動作項目をフラグセル６６によってチャート的に表示することが可能となるため、継続動作項目の確認および入力ミス等の発見を容易にすることができる。
【０１１１】
また、動作情報入力テーブル６０は、入力セル６４に付随して設けられ、実行ステップの継続時間に対応する時間情報（時間番号）が入力される時間入力セル（時間番号入力セル６４ｃ）と、入力セル６４に付随して設けられ、実行ステップの継続時間を表示する時間表示セル（時間情報表示セル６８）と、を備えている。このようにすることで、各実行ステップの継続時間の設定および修正を容易にすることができる。また、自動パージ工程の各工程に要する時間を事前に把握することが容易になると共に、各工程や各実行ステップの進捗状況を時間管理することが可能となる。
【０１１２】
なお、この場合、本実施形態のように、時間入力セルに格納された時間情報に基づき、動作設定テーブル生成手段８２が、その実行ステップの継続時間の値（および継続時間の単位）を時間表示セルに格納するようにしてもよいし、時間入力セルと時間表示セルを１つのセルに統合し、入力された継続時間を入力受付手段８０がセルに格納して表示させるようにしてもよい。
【０１１３】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明の自動パージ工程制御情報生成装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【０１１４】
例えば、上記実施形態では、表計算プログラム３０および表計算ファイル４０を活用した場合の例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば専用のプログラムまたは回路から、入力受付手段８０、動作設定テーブル生成手段８２および制御情報生成手段８４を構成し、専用のテーブルから、基本情報入力テーブル５０、基本設定テーブル５０ａ、動作情報入力テーブル６０および動作設定テーブル６０ａを構成するようにしてもよい。
【０１１５】
また、上記実施形態では、基本情報入力テーブル５０および動作情報入力テーブル６０を別個に設ける場合の例を示したが、基本情報入力テーブル５０および動作情報入力テーブル６０を１つのテーブル（ワークシート）にまとめるようにしてもよい。
【０１１６】
また、上記実施形態では、動作情報入力テーブル６０および動作設定テーブル６０ａにおいて、項目セル６２を行方向（横方向）に並べ、入力セル６４を列方向（縦方向）に並べた例を示したが、項目セル６２を列方向（縦方向）に並べ、入力セル６４を行方向（横方向）に並べるようにしてもよい。また、上記実施形態では、動作項目を１６個ずつグループ分けした場合の例を示したが、例えば８個ずつや３２個ずつ等、その他の個数ずつ動作項目をグループ分けするようにしてもよい。
【０１１７】
また、上記実施形態において示した作用および効果は、本発明から生じる最も好適な作用および効果を列挙したものに過ぎず、本発明による作用および効果は、これらに限定されるものではない。
【産業上の利用可能性】
【０１１８】
本発明の自動パージ工程制御情報生成装置は、シリンダキャビネット以外にも、各種ガスや液体等の供給配管の自動パージ工程において利用することができる。
【符号の説明】
【０１１９】
１  自動パージ工程制御情報生成装置
６０  動作情報入力テーブル
６２項目セル
６４  入力セル
６４ｃ  時間番号入力セル
６６  フラグセル
６８  時間情報表示セル
６０ａ  動作設定テーブル
８０  入力受付手段
８２  動作設定テーブル生成手段
８４  制御情報生成手段
９０  制御情報
１００  シリンダキャビネット
【要約】
【課題】自動パージ工程における動作手順を設定した制御情報を容易に生成可能な自動パージ工程制御情報生成装置を提供する。
【解決手段】自動パージ工程制御情報生成装置１では、動作情報入力テーブル６０は、複数の項目セル６２と、複数の入力セル６４と、項目セル６２および入力セル６４によって行列における位置が特定されるように配列され、動作項目の実行または不実行を示すフラグ情報を格納して表示する複数のフラグセル６６と、を有し、動作設定テーブル生成手段は、互いに対応する動作項目および動作情報を格納した項目セル６２および入力セル６４によって特定される位置のフラグセル６６に、動作項目の実行を示すフラグ情報を格納する。
【選択図】図４【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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