(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板上に設けられ、前記基板に対して固定された固定部と、
前記基板上における前記固定部の周囲に設けられ、前記固定部に対して、前記基板の面内における第１の方向に移動が可能な連結部と、
前記基板上に設けられ、前記固定部及び前記連結部の周囲に配置され、前記連結部に対して、前記基板の面内における前記第１の方向に対して交差する第２の方向に移動が可能な可動部と、
一端は、前記固定部に接続され、他端は、前記連結部に接続され、上面に配線が設けられた第１バネ部と、
一端は、前記連結部に接続され、他端は、前記可動部に接続され、上面に配線が設けられた第２バネ部と、
前記固定部と前記連結部との間に設けられた第１ダンパーと、
前記連結部と前記可動部との間に設けられた第２ダンパーと、
を備えた手振れ補正装置。
【請求項２】
前記第１ダンパーは、
前記固定部から前記連結部へ延びる複数の第１の凸部と、
前記連結部から前記固定部へ延びる複数の第２の凸部と、
を有し、
２本の前記第１の凸部間に１本の前記第２の凸部が挟まれ、
２本の前記第２の凸部間に１本の前記第１の凸部が挟まれ、
前記第１の凸部と前記第２の凸部との間には隙間が設けられている請求項１記載の手振れ補正装置。
【請求項３】
前記第１の凸部と前記第２の凸部との間に電圧を印加し、前記第１の凸部及び前記第２の凸部との間に静電力を発生させることにより、前記連結部を移動させる請求項２記載の手振れ補正装置。
【請求項４】
前記第２ダンパーは、
前記可動部から前記連結部へ延びる複数の第３の凸部と、
前記連結部から前記可動部へ延びる複数の第４の凸部と、
を有し、
２本の前記第３の凸部間に１本の前記第４の凸部が挟まれ、
２本の前記第４の凸部間に１本の前記第３の凸部が挟まれ、
前記第３の凸部と前記第４の凸部との間には隙間が設けられている請求項１記載の手振れ補正装置。
【請求項５】
前記第３の凸部と前記第４の凸部との間に電圧を印加し、前記第３の凸部及び前記第４の凸部との間に静電力を発生させることにより、前記可動部を移動させる請求項４記載の手振れ補正装置。
【請求項６】
前記第１の凸部及び前記第２の凸部が延びる方向と、前記第３の凸部及び前記第４の凸部が延びる方向とは直交している請求項４または５に記載の手振れ補正装置。
【請求項７】
前記可動部の上面に形成された電極パッドをさらに備える請求項１〜６のいずれか１つに記載の手振れ補正装置。
【請求項８】
前記第１バネ部及び前記第２バネ部は、それぞれ、Ｕ字型の部材を有する請求項１〜７のいずれか１つに記載の手振れ補正装置。
【請求項９】
前記基板と前記固定部との間に配置された絶縁層をさらに備え、
前記基板はＳＯＩ基板の支持基板を加工して形成されたものであり、
前記絶縁層は前記ＳＯＩ基板の埋込絶縁膜を加工して形成されたものであり、
前記固定部、前記連結部及び前記可動部は、前記ＳＯＩ基板のシリコン層を加工して形成されたものである請求項１〜８のいずれか１つに記載の手振れ補正装置。
【請求項１０】
筐体と、
請求項１〜９のいずれか１つに記載の手振れ補正装置と、
上面に複数個の画素が形成されたイメージセンサと、
結像レンズと、
を備え、
前記基板は前記筐体に対して固定されており、
前記イメージセンサは前記可動部に対して固定されている撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、手振れ補正装置及び撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一部の固体撮像装置には、撮像時の手振れを抑えるため、結像レンズとイメージセンサ間の相対位置を調整する手振れ補正装置が設けられている。既存の手振れ補正装置には、電磁アクチュエータ方式のＶＣＭ(Voice Coil Motor：ボイスコイルモーター)が幅広く使われている。近年、撮像素子の小型化に伴い、手振れ補正装置についても小型化が望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２９０８９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態は、小型化を図ることができる手振れ補正装置及び撮像装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態に係る手振れ補正装置は、基板と、前記基板上に設けられ、前記基板に対して固定された固定部と、前記基板上における前記固定部の周囲に設けられ、前記固定部に対して、前記基板の面内における第１の方向に移動が可能な連結部と、前記基板上に設けられ、前記固定部及び前記連結部の周囲に配置され、前記連結部に対して、前記基板の面内における前記第１の方向に対して交差する第２の方向に移動が可能な可動部と、一端は、前記固定部に接続され、他端は、前記連結部に接続され、上面に配線が設けられた第１バネ部と、一端は、前記連結部に接続され、他端は、前記可動部に接続され、上面に配線が設けられた第２バネ部と、前記固定部と前記連結部との間に設けられた第１ダンパーと、前記連結部と前記可動部との間に設けられた第２ダンパーと、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】第１の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する平面図である。
【図２】第１の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する断面図であり、（ａ）は、図１に示すＡ−Ａ’線による断面図であり、（ｂ）は、図１に示すＢ−Ｂ’線による断面図であり、（ｃ）は、図１に示すＣ−Ｃ’線による断面図である。
【図３】第１の実施形態に係る撮像装置を模式的に例示する図である。
【図４】（ａ）第１の実施形態に係る手振れ補正装置の動作を模式的に例示する平面図であり、（ｂ）は、その断面図である。
【図５】第１の実施形態における手振れの挙動を例示する図であり、（ａ）は、手振れ前を例示する図であり、（ｂ）は、手振れ補正装置が設けられていない場合の図であり、（ｃ）は、手振れ補正装置が設けられている場合の図である。
【図６】第２の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する平面図である。
【図７】第２の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する断面図であり、（ａ）は、図４に示すＡ−Ａ’線による断面図であり、（ｂ）は、図４に示すＢ−Ｂ’線による断面図であり、（ｃ）は、図４に示すＣ−Ｃ’線による断面図である。
【図８】第２の実施形態に係る手振れ補正装置が設けられている場合の手振れの挙動を例示する図である。
【図９】第３の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する平面図である。
【図１０】第３の実施形態における第２のバネ部を例示する平面図である。
【図１１】第４の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する平面図である。
【図１２】第４の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する断面図であり、（ａ）は、図９に示すＡ−Ａ’線による断面図であり、（ｂ）は、図９に示すＢ−Ｂ’線による断面図である。
【図１３】（ａ）〜（ｄ）は、第５の実施形態に係る手振れ補正装置の製造方法を例示する工程断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
（第１の実施形態）
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態について説明する。
先ず、第１の実施形態について説明する。
図１は、第１の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する平面図である。
図２は、第１の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する断面図であり、（ａ）は、図１に示すＡ−Ａ’線による断面図であり、（ｂ）は、図１に示すＢ−Ｂ’線による断面図であり、（ｃ）は、図１に示すＣ−Ｃ’線による断面図である。
図３は、第１の実施形態における手振れの挙動を例示する図であり、（ａ）は、手振れ前を例示する図であり、（ｂ）は、手振れ補正装置が設けられていない場合の図であり、（ｃ）は、手振れ補正装置が設けられている場合の図である。
【０００９】
図１及び図２に示すように、本実施形態に係る手振れ補正装置１は、基板１０、固定部１１、連結部としての枠状中間部１２、可動部１３、固定部１１と枠状中間部１２とを連結する第１バネ部１４及び枠状中間部１２と可動部１３とを連結する第２バネ部１５を含んでいる。
なお、後述するように、可動部１３上にはＣＩＳ（CMOS Image Sensor：ＣＭＯＳイメージセンサ）４８が配置されているが、図１においては図示を省いている。また、図１において、手振れ補正装置１を説明するために、ＸＹ直交座標系を採用する。このＸＹ直交座標系においては、図面の上方を＋Ｙ方向、その逆方向を−Ｙ方向とする。「＋Ｙ方向」及び「−Ｙ方向」を総称して「Ｙ方向」ともいう。＋Ｙ方向から時計の針が回転する方向に９０度回転した方向を＋Ｘ方向、その逆方向を−Ｘ方向とする。「＋Ｘ方向」及び「−Ｘ方向」を総称して「Ｘ方向」ともいう。
【００１０】
基板１０は、例えば、シリコン層、絶縁膜及び支持基板を含むＳＯＩ（silicon on insulator）基板における支持基板である。
基板１０上には、Ｈ型の固定部１１が設けられている。固定部１１は、例えば、ＳＯＩ基板のシリコン層を加工して形成されたものである。固定部１１は、Ｘ方向に長い矩形の板状部１６と、板状部１６の＋Ｘ方向の端部から＋Ｙ方向に突出した矩形の板状部１７ａと、板状部１６の＋Ｘ方向の端部から−Ｙ方向に突出した矩形の板状部１７ｂと、板状部１６の−Ｘ方向の端部から＋Ｙ方向に突出した矩形の板状部１７ｃと、板状部１６の−Ｘ方向の端部から−Ｙ方向に突出した矩形の板状部１７ｄとを含んでいる。
【００１１】
図２（ｂ）に示すように、固定部１１と基板１０との間には絶縁膜１８が設けられている。絶縁膜１８は、例えば、ＳＯＩ基板における埋込絶縁膜を加工して形成されたものである。一方、枠状中間部１２及び可動部１３と基板１０との間には、絶縁膜１８は設けられていない。
固定部１１の中央部に、Ｘ方向に並んで２本の貫通電極１９が設けられている。貫通電極１９は、基板１０の裏面２０から、基板１０、絶縁膜１８及び固定部１１を貫通して設けられている。
【００１２】
固定部１１における板状部１７ａと板状部１７ｃとの間には、櫛状部２１ａが設けられている。櫛状部２１ａは、固定部１１における＋Ｙ方向側のＸ方向に延びる辺に沿って、−Ｙ方向に複数の切込み２２が形成されたものである。固定部１１における切込み２２間に相当する部分は、＋Ｙ方向に突出した凸部２３となっている。
同様に、固定部１１における板状部１７ｂと板状部１７ｄとの間には、櫛状部２１ｂが設けられている。櫛状部２１ｂは、固定部１１における−Ｙ方向側のＸ方向に延びる辺に沿って、＋Ｙ方向に複数の切込み２２が形成されたものである。固定部１１における切込み２２間に相当する部分は、−Ｙ方向に突出した複数の凸部２３となっている。
凸部２３と基板１０との間には絶縁膜１８は設けられていない。すなわち、複数の凸部２３は、固定部１１の本体部分によって支持されている。
【００１３】
基板１０上における固定部１１の周囲には、固定部１１を囲むように、枠状中間部１２が設けられている。すなわち、枠状中間部１２の枠の内側に、Ｈ型の固定部１１が配置されている。枠状中間部１２は、２本のＸ方向に延びる辺部材２４ａ及び２４ｂと２本のＹ方向に延びる辺部材２５ａ及び２５ｂとが接合して四角形の枠の形状とされている。枠状中間部１２において、辺部材２４ａは＋Ｙ方向側の辺に相当し、枠２４ｂは−Ｙ方向側の辺に相当し、枠２５ａは＋Ｘ方向側の辺に相当し、枠２５ｂは−Ｘ方向側の辺に相当する。
【００１４】
枠状中間部１２における辺部材２４ａの内側には、Ｔ字型の板状部２６ａが設けられている。板状部２６ａは、辺部材２４ａに接合された矩形の板状部２７ａと、板状部２７ａの−Ｙ方向の端部に接合されたＸ方向に延びる板状部２８ａとを含んでいる。板状部２８ａのＸ方向の長さは、板状部２７ａのＸ方向の長さより長い。板状部２８ａは、固定部１１の櫛状部２１ａに対向するように設けられている。板状部２８ａの−Ｙ方向側には、−Ｙ方向に突出した複数の凸部２９が設けられている。各凸部２９は、櫛状部２１ａにおける各切込み２２内に挿入されている。各凸部２９と凸部２３との間には隙間が設けられている。この隙間の内部は空気層となっている。複数の凸部２３と、複数の凸部２９とで第１のダンパー３０ａが形成されている。
【００１５】
枠状中間部１２における辺部材２４ｂの内側には、Ｔ字型の板状部２６ｂが設けられている。板状部２６ｂは、辺部材２４ｂに接合された矩形の板状部２７ｂと、板状部２７ｂの＋Ｙ方向の端部に接合されたＸ方向に延びる板状部２８ｂとを含んでいる。板状部２８ｂのＸ方向の長さは、板状部２７ｂのＸ方向の長さより長い。板状部２８ｂは、固定部１１の櫛状部２１ｂに対向するように設けられている。板状部２８ｂの＋Ｙ方向側には、＋Ｙ方向に突出した複数の凸部２９が設けられている。各凸部２９は、櫛状部２１ａにおける各切込み２２内に挿入されている。各凸部２９と凸部２３との間には隙間が設けられている。この隙間の内部は空気層となっている。複数の凸部２３と、複数の凸部２９とで第１のダンパー３０ｂが形成されている。
辺部材２５ａの中央部には、＋Ｘ方向に突出した複数の凸部３５が設けられている。辺部材２５ｂの中央部には、−Ｘ方向に突出した複数の凸部３５が設けられている。
【００１６】
枠状中間部１２と固定部１１とは、４本の第１のバネ部１４ａ〜１４ｄにより連結されている。第１のバネ部１４ａ〜１４ｄと基板１０との間には、絶縁膜１８は設けられていない。各第１のバネ部の形状は、両端部がＹ方向に延びて枠状中間部１２及び固定部１１におけるＹ方向に面した側面に連結され、中間部がＸ方向に迂回するように湾曲したＵ字型である。これにより、Ｙ方向について、枠状中間部１２を固定部１１に対して一定の範囲内で移動可能としている。以下、第１のバネ部１４ａ〜１４ｄのそれぞれの形状を、より詳細に説明する。
【００１７】
第１のバネ部１４ａは、辺部材２４ａと板状部２８ａとの間及び辺部材２５ａと板状部２７ａとの間に設けられている。
第１のバネ部１４ａにおいては、Ｘ方向に延びる２本の矩形の板状部３２ａ、３３ａの−Ｘ方向の端部が、Ｙ方向に延びる矩形の板状部３４ａによって相互に連結され、２本の板状部３２ａ及び３３ａのうち固定部１１側の板状部３２ａの＋Ｘ方向の端部が−Ｙ方向に屈曲して、固定部１１の板状部１７ａに連結され、２本の板状部３２ａ及び３３ａのうち枠状中間部１２側の板状部３３ａの＋Ｘ方向の端部が＋Ｙ方向に屈曲して、枠状中間部１２の枠２４ａに連結されている。
【００１８】
第１のバネ部１４ｂは、辺部材２４ｂと板状部２８ｂとの間及び辺部材２５ａと板状部２７ｂとの間に設けられている。
第１のバネ部１４ｂにおいては、Ｘ方向に延びる２本の矩形の板状部３２ｂ、３３ｂの−Ｘ方向の端部が、Ｙ方向に延びる矩形の板状部３４ｂによって相互に連結され、２本の板状部３２ｂ及び３３ｂのうち固定部１１側の板状部３２ｂの＋Ｘ方向の端部が＋Ｙ方向に屈曲して、固定部１１の板状部１７ｂに連結され、２本の板状部３２ｂ及び３３ｂのうち枠状中間部１２側の板状部３３ｂの＋Ｘ方向の端部が−Ｙ方向に屈曲して、枠状中間部１２の枠２４ｂに連結されている。
【００１９】
第１のバネ部１４ｃは、辺部材２４ａと板状部２８ａとの間及び辺部材２５ｂと板状部２７ａとの間に設けられている。
第１のバネ部１４ｃは、Ｘ方向に延びる２本の矩形の板状部３２ｃ、３３ｃの＋Ｘ方向の端部が、Ｙ方向に延びる矩形の板状部３４ｃによって相互に連結され、２本の板状部３２ｃ及び３３ｃのうち固定部１１側の板状部３２ｃの−Ｘ方向の端部が−Ｙ方向に屈曲して、固定部１１の板状部１７ｃに連結され、２本の板状部３２ｃ及び３３ｃのうち枠状中間部１２側の板状部３３ｃの−Ｘ方向の端部が＋Ｙ方向に屈曲して、枠状中間部１２の枠２４ｂに連結されている。
【００２０】
第１のバネ部１４ｄは、辺部材２４ｂと板状部２８ｂとの間及び辺部材２５ｂと板状部２７ｂとの間に設けられている。
第１のバネ部１４ｄは、Ｘ方向に延びる２本の矩形の板状部３２ｄ、３３ｄの＋Ｘ方向の端部が、Ｙ方向に延びる矩形の板状部３４ｄによって相互に連結され、２本の板状部３２ｄ及び３３ｄのうち固定部１１側の板状部３２ｄの−Ｘ方向の端部が＋Ｙ方向に屈曲して、固定部１１の板状部１７ｄに連結され、２本の板状部３２ｂ及び３３ｂのうち枠状中間部１２側の板状部３３ｂの−Ｘ方向の端部が−Ｙ方向に屈曲して、枠状中間部１２の枠２４ｂに連結されている。
【００２１】
枠状中間部１２の周囲には、枠状中間部１２を囲むように、可動部１３が設けられている。すなわち、可動部１３の枠の内側に、枠状中間部１２が配置されている。可動部１３は、２本のＸ方向に延びる辺部材３６ａ及び３６ｂと２本のＹ方向に延びる辺部材３７ａ及び３７ｂとが接合して四角形の枠の形状とされている。可動部１３において、辺部材３６ａは＋Ｙ方向側の辺に相当し、辺部材３６ｂは−Ｙ方向側の辺に相当し、辺部材３７ａは＋Ｘ方向側の辺に相当し、辺部材３７ｂは−Ｘ方向側の辺に相当する。
【００２２】
辺部材３７ａの内側における＋Ｙ方向の端と−Ｙ方向の端には、矩形の台座部３８ａ及び３８ｂが設けられている。また、辺部材３７ａの内側の中央部には、−Ｘ方向に突出した複数の凸部３９が設けられている。各凸部３９は、枠状中間部の枠２５ａの＋Ｘ方向に突出した各凸部３５の間に配置されている。複数の凸部３５と、複数の凸部３９とで第２のダンパー９９ａが形成されている。
【００２３】
辺部材３７ｂの内側における＋Ｙ方向の端と−Ｙ方向の端には、矩形の台座部３８ｃ及び３８ｄが設けられている。また、辺部材３７ｂの内側の中央部には、＋Ｘ方向に突出した複数の凸部３９が設けられている。各凸部３９は、枠状中間部の枠２５ｂの−Ｘ方向に突出した各凸部３５の間に配置されている。複数の凸部３５と、複数の凸部３９とで第２のダンパー９９ｂが形成されている。凸部３５と凸部３９との間には隙間が形成されており、空気層となっている。
【００２４】
可動部１３と枠状中間体１２とは、４本の第２のバネ部１５ａ〜１５ｄにより連結されている。第２のバネ部と基板１０との間には、絶縁膜１８は設けられていない。各第２のバネ部の形状は、両端部がＸ方向に延びて可動部１３及び枠状中間部１２におけるＸ方向に面した側面に連結され、中間部がＹ方向に迂回するように湾曲したＵ字型である。これにより、Ｘ方向について、可動部１３を枠状中間部１２に対して一定の範囲内で移動可能としている。以下、第２のバネ部１５ａ〜１５ｄのそれぞれの形状を、より詳細に説明する。
【００２５】
第２のバネ部１５ａは、台座部３８ａと辺部材２５ａとの間及び辺部材３６ａと凸部３５との間に設けられている。
第２のバネ部１５ａにおいては、Ｙ方向に延びる２本の矩形の板状部４０ａ、４１ａの−Ｙ方向の端部が、Ｘ方向に延びる矩形の板状部４２ａによって相互に連結され、２本の板状部４０ａ及び４１ａのうち枠状中間部１２側の板状部４０ａの＋Ｙ方向の端部が−Ｘ方向に屈曲して枠状中間部１２の辺部材２５ａにおける＋Ｙ方向の端部に連結され、可動部１３側の板状部４１ａの＋Ｙ方向の端部が＋Ｘ方向に屈曲して台座部３８ａに連結されている。
【００２６】
第２のバネ部１５ｂは、台座部３８ｂと辺部材２５ａとの間及び辺部材３６ｂと凸部３５との間に設けられている。
第２のバネ部１５ｂにおいては、Ｙ方向に延びる２本の矩形の板状部４０ｂ、４１ｂの＋Ｙ方向の端部が、Ｘ方向に延びる矩形の板状部４２ｂによって相互に連結され、２本の板状部４０ｂ及び４１ｂのうち枠状中間部１２側の板状部４０ｂの−Ｙ方向の端部が−Ｘ方向に屈曲して枠状中間部１２の辺部材２５ａにおける−Ｙ方向の端部に連結され、可動部１３側の板状部４１ｂの−Ｙ方向の端部が＋Ｘ方向に屈曲して台座部３８ｂに連結されている。
【００２７】
第２のバネ部１５ｃは、台座部３８ｃと辺部材２５ｂとの間及び辺部材３６ａと凸部３５との間に設けられている。
第２のバネ部１５ｃにおいては、Ｙ方向に延びる２本の矩形の板状部４０ｃ、４１ｃの−Ｙ方向の端部が、Ｘ方向に延びる矩形の板状部４２ｃによって相互に連結され、２本の板状部４０ｃ及び４１ｃのうち枠状中間部１２側の板状部４０ｃの＋Ｙ方向の端部が＋Ｘ方向に屈曲して枠状中間部１２の辺部材２５ｂにおける＋Ｙ方向の端部に連結され、可動部１３側の板状部４１ｃの＋Ｙ方向の端部が−Ｘ方向に屈曲して台座部３８ｃに連結されている。
【００２８】
第２のバネ部１５ｄは、台座部３８ｄと辺部材２５ｂとの間及び辺部材３６ｂと凸部３５との間に設けられている。
第２のバネ部１５ｄにおいては、Ｙ方向に延びる２本の矩形の板状部４０ｄ、４１ｄの＋Ｙ方向の端部が、Ｘ方向に延びる矩形の板状部４２ｄによって相互に連結され、２本の板状部４０ｄ及び４１ｄのうち枠状中間部１２側の板状部４０ｄの−Ｙ方向の端部が＋Ｘ方向に屈曲して枠状中間部１２の辺部材２５ｂにおける−Ｙ方向の端部に連結され、可動部１３側の板状部４１ｄの−Ｙ方向の端部が−Ｘ方向に屈曲して台座部３８ｄに連結されている。
【００２９】
可動部１３における辺部材３６ａ、３６ｂ、３７ａ及び３７ｂの上面４３には、複数の電極パッド４４が、各辺部材が延びる方向に沿って設けられている。
可動部１３の上面には、辺部材３６ａ、３６ｂ、３７ａ及び３７ｂに沿って、配線４５が設けられており、電極パッド４４に接続されている。また、第２のバネ部１５の上面には、第２のバネ部１５の板状部４１、板状部４２及び板状部４０に沿って配線４６が設けられている。そして、配線４５は、配線４６に接続されている。
【００３０】
第１のバネ部１４の上面にも、第１のバネ部１４の板状部３３、板状部３４、板状部３２に沿って配線４７が設けられている。これにより、電極パッド４４は、配線４５、配線４６、枠状中間部１４上の配線、配線４７及び固定部１１の配線を介して貫通電極１９と接続されている。
【００３１】
次に、本実施形態に係る撮像装置について説明する。
図３は、本実施形態に係る撮像装置を模式的に例示する図である。
図３に示すように、本実施形態に係る撮像装置１００においては、筐体１０１が設けられており、筐体１０１には、結像レンズ９０が取り付けされている。撮像装置１００には、結像レンズ９０を含む撮像光学系が設けられている。また、筐体１０１の内部には、前述の手振れ補正装置１が設けられている。手振れ補正装置１の基板１０は、筐体１０１に対して固定されている。また、手振れ補正装置１の可動部１３上には、ＣＩＳ４８が設けられている。ＣＩＰ４８は可動部１３に対して固定されている。ＣＩＳ４８の上面には、複数個の画素５１がマトリクス状に形成されている。ＣＩＳ４８には、貫通電極が設けられている。貫通電極４９の下面は、バンプ５０を介して電極パッド４８に接続されている。
【００３２】
次に、本実施形態に係る手振れ補正装置１の動作について説明する。
図４（ａ）は、本実施形態に係る手振れ補正装置１の動作を模式的に例示する平面図であり、（ｂ）はその断面図である。
図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、固定部１１は基板１０に対して固定されている。一方、枠状中間部１２は、第１のバネ部１４ａ〜１４ｄが撓むことによって、固定部１１に対して一定の範囲内でＹ方向に移動可能である。このとき、櫛状部２１ａの凸部２３と櫛状部２１ｂの凸部２９との間の空気層がクッションの役目を果たすことにより、枠状中間部１２の急激な移動を緩和し、枠状中間部１２が固定部１１に衝突することを防止する。なお、図４（ａ）及び（ｂ）においては、第１のバネ部１４ａ〜１４ｄ及び櫛状部２１と櫛状部２１ｂとの間の空気層を、バネの図形によって示している。
【００３３】
また、可動部１３は、第２のバネ部１５ａ〜１５ｄが撓むことによって、枠状中間部１２に対して一定の範囲内でＸ方向に移動可能である。このとき、凸部３５と凸部３９との間の空気層がクッションの役目を果たすことにより、可動部１３の急激な移動を緩和し、可動部１３が枠状中間部１２に衝突することを防止する。なお、図Ｂ（ａ）及び（ｂ）においては、第２のバネ部１５ａ〜１５ｄ及び凸部３５と凸部３９との間の空気層を、バネの図形によって示している。
【００３４】
このように、可動部１３は枠状中間部１２に対してＸ方向に移動可能であり、枠状中間部１２は固定部１１に対してＹ方向に移動可能であるため、可動部１３は固定部１１に対して、Ｘ方向及びＹ方向の双方に関して、一定の範囲内で移動可能である。従って、ＣＩＳ４８の画素５１は、撮像装置１００の筐体１０１に対して、一定の範囲内で移動可能である。
【００３５】
次に、撮像時に手振れを防止する動作について説明する。
図５（ａ）に示すように、手振れ前は、結像レンズ９０の光軸上に、ＣＩＳ４８の受光面が配置されている。そして、被写体の一点Ｐから発した光９１は、結像レンズ９０によって、ある１つの画素５１ａに集光する。これにより、ＣＩＳ４８の受光面に、被写体の画像が結像される。
図５（ｂ）に示すように、本実施形態に係る手振れ補正装置１を組み込んでいない撮像装置を用いて撮像する際に、撮像装置を持っている手が動いてしまった場合を考える。
撮像装置が移動するのに伴って、露光時間の間に、撮像装置から見た被写体の方向が変化し、点Ｐから発した光９１が結像レンズ９０に入射する角度も変化するため、光９１は画素５１ａから外れた位置に集光する。これによって、手振れが発生する。
【００３６】
一方、図５（ｃ）に示すように、本実施形態に係る手振れ補正装置１を組み込んだ撮像装置においても、撮像中に手を動かしてしまった場合には、撮像装置から見た被写体の方向が変化する。しかしながら、本実施形態に係る撮像装置１００には手振れ補正装置１にが組み込まれているため、ＣＩＳ４８は撮像装置１００の筐体１０１に対して移動可能である。このため、画素５１ａは、撮像装置１００の移動に対して、少し遅れて追従する。この結果、露光時間中におけるＣＩＳ４８の受光面における光９１の集光点の移動距離を短くすることができる。これにより、手振れを防止又は軽減することができる。
【００３７】
次に、本実施形態の効果について説明する。
本実施形態に係る手振れ補正装置１によれば、手振れを防止又は軽減することができる。
また、光の入射方向から見て、可動部１３をＣＩＳ４８と同じサイズとし、手振れ補正装置１とＣＩＳとをフリップチップボンディングし、固定部１１を枠状の可動部１３の内部に配置することにより、手振れ補正装置１とＣＩＳとを同じサイズとすることができる。更に、手振れ補正装置１における固定部１１と可動部１３とをバネ部の上面に形成された配線で接続しているので、ワイヤーボンディングする必要はない。よって、手振れ補正装置１を小型化することができる。
更にまた、手振れ補正装置１は電力を必要としないため、手振れ補正装置１に電源装置を設ける必要がない。これによっても、手振れ補正装置１を小型化することができる。手振れ補正装置１を小型化することにより、撮像装置１００も小型化することができる。
【００３８】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態について説明する。
図６は、第２の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する平面図である。
図７は、第２の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する断面図であり、（ａ）は、図６に示すＡ−Ａ’線による断面図であり、（ｂ）は、図６に示すＢ−Ｂ’線による断面図であり、（ｃ）は、図６に示すＣ−Ｃ’線による断面図である。
図８は、第２の実施形態に係る手振れ補正装置が設けられている場合の手振れの挙動を例示する図である。
【００３９】
図６及び図７に示すように、本実施形態に係る手振れ補正装置２においては、固定部１１が、４つの部分に分割されている。すなわち、櫛状部２１ａ及び２１ｂにおける最も＋Ｘ方向にある凸部２３の＋Ｘ方向側の側面を結ぶ線５２ａより＋Ｘ方向側に配置された矩形の板状部５３ａ、櫛状部２１ａ及び２１ｂにおける最も−Ｘ方向にある凸部２３の−Ｘ方向側の側面を結ぶ線５２ｂより−Ｘ方向側に配置された矩形の板状部５３ｂ、線５２ａ及び線５２ｂで挟まれた部分をＹ方向に分割したうちの＋Ｙ方向側の矩形の板状部５４ａ並びに線５２ａ及び線５２ｂで挟まれた部分をＹ方向に分割したうちの−Ｙ方向側の矩形の板状部５４ｂの４つに分割されている。貫通電極１９は、板状部５３ａ、板状部５３ｂ、板状部５４ａ及び板状部５４ｂの４つの部分にそれぞれ設けられている。
そのうち、板状部５４ａに接続された貫通電極１９は、板状部５４ａに設けられた配線（図示せず）によって、櫛状部２１ａの凸部２３に接続されている。板状部５４ｂに接続された貫通電極１９は、板状部５４ｂに設けられた配線（図示せず）によって、櫛状部２１ｂの凸部２３に接続されている。
【００４０】
また、枠状中間部１４における板状部２７ａは、＋Ｘ方向側の辺に沿った矩形の部分５５ａ及び−Ｘ方向側の辺に沿った矩形の部分５５ｂを残して除去されている。また、枠２４ａにおいて、部分５５ａの−Ｘ方向側の側面が接する位置から、部分５５ｂの＋Ｘ方向側の側面が接する位置までの部分が除去されている。
そして枠２４ａ及び板状部２７ａが除去された部分に、矩形の固定部５６ａが設けられている。固定部５６ａと基板１０との間には、絶縁膜１８が設けられている。また、基板１０、絶縁膜１８及び固定部５６ａには、それらを貫通する貫通電極５７が、設けられている。
【００４１】
固定部５６ａと可動部１３における枠３６ａとの間にはＬ字型の連結部５８ａが設けられている。連結部５８ａは、Ｘ方向に延びる矩形の板状部５９ａとＹ方向に延びる矩形の板状部６０ａとを含んでいる。板状部５９ａの−Ｘ方向側の端部と板状部６０ａの＋Ｙ方向側の端部が接合されている。板状部５９ａの＋Ｘ方向側の端部は＋Ｙ方向に屈曲して可動部１３の枠３６ａに接続されている。板状部６０ａの−Ｙ方向側の端部は＋Ｘ方向に屈曲して固定部５６ａの−Ｘ方向側の側面に接合されている。
【００４２】
固定部５６ａに設けられた貫通電極５７は、Ｌ字型の連結部５８ａに沿って設けられている配線９４に接続されている。そして、可動部１３の枠３６ａ、第２のバネ部１５ａ及び１５ｃ、枠状中間部の枠２４ａ、板状部５５ａ及び５５ｃ並びに板状部２８を介して凸部２９に接続されている。
【００４３】
同様に、枠状中間部１４における板状部２７ｂは、＋Ｘ方向側の辺に沿った矩形の部分５５ｃ及び−Ｘ方向側の辺に沿った矩形の部分５５ｄを残して除去されている。また、枠２４ｂにおいて、部分５５ｃの−Ｘ方向側の側面が接する位置から部分５５ｄの＋Ｘ方向側の側面が接する位置までの部分が除去されている。
そして枠２４ｂ及び板状部２７ｂが除去された部分に、矩形の固定部５６ｂが設けられている。固定部５６ｂと基板１０との間には、絶縁膜１８が設けられている。また、基板１０、絶縁膜１８及び固定部５６ｂには、それらを貫通する貫通電極５７が、設けられている。
【００４４】
固定部５６ｂと可動部１３における枠３６ｂとの間にはＬ字型の連結部５８ｂが設けられている。連結部５８ｂは、Ｘ方向に延びる矩形の板状部５９ｂとＹ方向に延びる矩形の板状部６０ｂとを含んでいる。板状部５９ｂの−Ｘ方向側の端部と板状部６０ｂの＋−Ｙ方向側の端部が接合されている。板状部５９ｂの＋Ｘ方向側の端部は−Ｙ方向に屈曲して可動部１３の枠３６ｂに接続されている。板状部６０ｂの＋Ｙ方向側の端部は＋Ｘ方向に屈曲して固定部５６ｂの−Ｘ方向側の側面に接合されている。
【００４５】
固定部５６ｂに設けられた貫通電極５７は、Ｌ字型の連結部５８ｂに沿って設けられている配線９４に接続されている。そして、可動部１３の枠３６ｂ、第２のバネ部１５ｂ及び１５ｄ、枠状中間部の枠２４ｂ、板状部５５ｃ及び５５ｄ並びに板状部２８を介して凸部２９に接続されている。
本実施形態における上記以外の構成は、前述の第１の実施形態と同様である。
【００４６】
次に、本実施形態に係る手振れ補正装置２の動作について説明する。
本実施形態に係る手振れ補正装置２を組み込んだ撮像装置においては、撮像装置の移動によって、固定部１１は移動する。しかし、貫通電極１９及び貫通電極５７に電位を印加させることにより、凸部２３と凸部２９との間に静電力を発生させる。
これにより、図６に示すように、可動部１３上に搭載されたＣＩＳ４８を撮像装置が移動する方向と同じ方向に移動させる。このようにして、露光時間の間にカメラ中の露光面が移動することを防ぐ。
【００４７】
次に、本実施形態の効果について説明する。
本実施形態に係る手振れ補正装置２によれば、貫通電極１９と貫通電極５７との間に電圧を印加することにより、可動部１３の移動を制御することができる。よって、手振れを抑制し、撮像画像を高画質化することができる。
本実施形態における上記以外の効果は、前述の第１の実施形態と同様である。
【００４８】
（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態について説明する。
図９は、第３の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する平面図である。
図１０は、第３の実施形態における第２のバネ部を例示する平面図である。
【００４９】
本実施形態においては、固定部１１が、４つの部分に分割されている。すなわち、固定部１１における櫛状部２１ａに沿った矩形の板状部６１ａ、固定部１１における櫛状部２１ｂに沿った矩形の板状部６１ｂ、固定部１１における板状部６１ａ及び６１ｂ以外の部分をＸ方向に２分した＋Ｘ方向側の板状部６２ａ並びに固定部１１における板状部６１ａ及び６１ｂ以外の部分をＸ方向に２分した−Ｘ方向側の板状部６２ｂの４つに分割されている。貫通電極１９は、板状部６１ａ、板状部６１ｂ、板状部６２ａ及び板状部６２ｂの４つの部分にそれぞれ設けられている。
そのうち、板状部６１ａに接続された貫通電極１９は、板状部６１ａに設けられた配線（図示せず）によって、櫛状部２１ａの凸部２３に接続されている。板状部６１ｂに接続された貫通電極１９は、板状部６１ｂに設けられた配線（図示せず）によって、櫛状部２１ｂの凸部２３に接続されている。
【００５０】
枠状中間部１４における枠２５ａにはＴ字型部６３が設けられている。Ｔ字型部６３は、Ｘ方向に延びる矩形の板状部６４とＹ方向に延びる矩形の板状部６５を含んでいる。板状部６４の一端は板状部６５のＹ方向における中央部に接合されている。板状部６５における板状部６４が接続されていない側面には複数の凸部６６が設けられている。Ｔ字型部６３における複数の凸部６６が設けられている方向を櫛方向という。枠２５ａの＋方向側の中央に、櫛方向を＋Ｘ方向としてＴ字型部６３が設けられている。また、枠２５ａの＋Ｘ方向側には、複数の凸部６７が設けられている。
枠２５ｂの−Ｘ方向側の中央に、櫛方向を−Ｘ方向としてＴ字型部６３が設けられている。また、枠２５ａの−Ｘ方向側には、複数の凸部６７が設けられている。
【００５１】
可動部１３の枠３７ａの−Ｘ方向側の中央部には、枠状中間部１４の枠２５ａに設けられたＴ字型部６３の複数の各凸部６６間に１つずつ挟まれるように複数の凸部９５が設けられている。枠３７ａの−Ｘ方向側における複数の凸部９５を挟むように２つのＴ字型部６３が、櫛方向を−Ｘ方向として設けられている。枠２５ａの複数の各凸部６７間に、枠３７ａに設けられたＴ字型部６３の複数の各凸部６６が１つずつ挟まれている。
【００５２】
可動部１３の枠３７ｂの＋Ｘ方向側の中央部には、枠状中間部１４の枠２５ｂに設けられたＴ字型部６３の複数の各凸部６６間に１つずつ挟まれるように複数の凸部９５が設けられている。枠３７ａの＋Ｘ方向側における複数の凸部９５を挟むように２つのＴ字型部６３が、櫛方向を＋Ｘ方向として設けられている。枠２５ａの複数の各凸部６７間に、枠３７ａに設けられたＴ字型部６３の複数の各凸部６６が１つずつ挟まれている。
【００５３】
図１０に示すように、第２のバネ部１５における板状部４０及び４１には、板状部４０及び４１が延びる方向に延びる切込み６８が設けられている。
本実施形態における上記以外の構成及び動作は、前述の第２の実施形態と同様である。
【００５４】
次に、第３の実施形態の効果について説明する。
本実施形態においては、第２のバネ部１５の板状部４０及び４１には、切込み６８が設けられている。よって、第２のバネ部１５の弾性が増加し、撮像装置の急激な動きを緩衝することができる。また、凸部と凸部とが噛み合わされたダンパーを多数設けている。よって、ダンパーによって、撮像装置の急激な動きを緩衝することができる。
【００５５】
（第４の実施形態）
次に、第４の実施形態について説明する。
図１１は、第４の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する平面図である。
図１２は、第４の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する断面図であり、（ａ）は、図１１に示すＡ−Ａ’線による断面図であり、（ｂ）は、図１１に示すＢ−Ｂ’線による断面図である。
【００５６】
図１１及び図１２に示すように、本実施形態に係る手振れ補正装置４は、基板７０、固定部７１、中間部８３、可動部７２、固定部７１と中間部８３とを連結する第１のバネ部８４及び中間部８３と可動部７２とを連結する第２のバネ部８５を含んでいる。
図１１は、下方から見た平面図となっている。また、図１１においては、ＣＩＳ４８を省いている。図１１においても、手振れ補正装置４を説明するために、ＸＹ直交座標系を採用する。このＸＹ直交座標系においては、図面の上方を＋Ｙ方向、その逆方向を−Ｙ方向とする。「＋Ｙ方向」及び「−Ｙ方向」を総称して「Ｙ方向」ともいう。＋Ｙ方向から時計の針が回転する方向に９０度回転した方向を＋Ｘ方向、その逆方向を−Ｘ方向とする。「＋Ｘ方向」及び「−Ｘ方向」を総称して「Ｘ方向」ともいう。
【００５７】
基板７０は、例えば、シリコン層７４、絶縁膜７５及び支持基板を含むＳＯＩ基板における支持基板である。基板７０は、シリコン層７４が設けられた側を下方に向けている。基板７０には、貫通孔７７が設けられている。貫通孔７７を下方から見た形状は、Ｘ方向に平行な２辺７８ａ及び７８ｃとＹ方向に平行な２辺７８ｂ及び７８ｄからなる正方形７９の部分と、各辺７８ａ〜７６ｄの中央部に接するように設けられた正方形８０の部分とからなる形状とされている。辺７８ａは＋Ｙ方向側にあり、辺７８ｃは−Ｙ方向側にある。辺７８ｂは＋Ｘ方向側にあり、辺７８ｄは−Ｘ方向側にある。
【００５８】
正方形７９の＋Ｙ方向側にある正方形８０ａの＋Ｘ方向側及び−Ｘ方向側のシリコン層７４は矩形の形状で他のシリコン層７４から分離された固定部７１ａとされている。正方形７９の＋Ｘ方向側にある正方形８０ｂの＋Ｙ方向側及び−Ｙ方向側のシリコン層７４は矩形の形状で他のシリコン層７４から分離された固定部７１ｂとされている。正方形７９の−Ｙ方向側にある正方形８０ｃの＋Ｘ方向側及び−Ｘ方向側のシリコン層７４は矩形の形状で他のシリコン層７４から分離された固定部７１ｃとされている。正方形７９の−Ｘ方向側にある正方形８０ｄの＋Ｙ方向側及び−Ｙ方向側のシリコン層７４は矩形の形状で他のシリコン層７４から分離された固定部７１ｄとされている。
【００５９】
固定部７１と基板７０との間には絶縁膜７５が設けられている。
貫通孔７７における正方形７９の部分の下方には、可動部７２が設けられている。可動部７２はＸ方向に平行な枠８１ａ及び８１ｂ並びにＹ方向に平行な枠８２ａ及び８２ｂとからなる枠状の形状とされている。
貫通孔７７における各正方形８０の部分の下方には、２つの矩形の中間部８３が設けられている。中間部８３及び固定部７１は第１のバネ部８４によって連結されている。中間部８３及び可動部７２は、第２のバネ部８５によって連結されている。
【００６０】
可動部７２の下面には、複数の電極パッド８６が可動部７２の枠８１ａ、８１ｂ、８２ａ及び８２ｂに沿って設けられている。
可動部７２には、ＣＩＳ４８が配置されている。ＣＩＳ４８の上面には、受光面及び、電極パッド８９が設けられている。
可動部７２の電極パッド８６は、バンプを介してＣＩＳ４８の上面に設けられた電極パッド８９に接続されている。
【００６１】
次に、本実施形態の動作について説明する。
本実施形態の手振れ補正装置４において、撮像装置を動かすと、撮像装置の移動によって、固定部７１も移動する。しかし、第１バネ部８５及び第２バネ部８４は、自身の形状を変化させることによって、固定部１１の急激な移動を緩和して、露光面が移動することを防ぐ。
本実施形態における上記以外の動作については、前述の第１の実施形態と同様である。
【００６２】
次に、本実施形態の効果について説明する。
本実施形態においては、ＣＩＳ４８が設置される可動部７２は、貫通孔７７の直下領域の内部に配置されている。よって、ＣＩＳ４８が設置される部分の厚さを薄くすることができる。よって、手振れ補正装置を高集積化することができる。
【００６３】
（第５の実施形態）
次に、第５の実施形態について説明する。本実施形態は、第４の実施形態に係る手振れ補正装置の製造方法についてのものである。
図１３は、第５の実施形態に係る手振れ補正装置の製造方法を例示する工程断面図である。
【００６４】
図１３（ａ）に示すように、ＳＯＩ基板を用意する。その後、シリコン層７４上にシリコン酸化膜９７を形成した後に、アルミニウムを蒸着する。そして、配線９８及び電極パッド８６以外のアルミニウム膜を除去する。
次に、図１３（ｂ）に示すように、シリコン層７４上にフォトレジスト膜９６を形成する。フォトレジスト膜９６は、固定部７１、可動部７２、中間部８３、第１バネ部８４及び第２バネ部８５が形成される部分を覆うものである。
そして、フォトレジスト膜９６をマスクとしてシリコン層７４をドライエッチングし、ＳＯＩ基板の絶縁膜７５上に、固定部７１、可動部７２、中間部８３、第１バネ部８４及び第２バネ部８５を形成する。さらに、ウェットエッチングを行い、固定部７１以外の可動部７２、中間部８３、第１バネ部８４及び第２バネ部８５の直下の絶縁膜７５を除去する。
【００６５】
そして、図１３（ｃ）に示すように、フォトレジスト膜９６を除去する。
その後、図１３（ｄ）に示すように、ＣＩＳ４８のチップを可動部の電極パット８６にバンプ５０を介して接続する。そして、可動部７２直下の基板７０に貫通孔７７を形成する。このようにして、図９及び図１０に示す手振れ補正装置４が製造される。
次に、本実施形態の効果について説明する。
ＳＯＩウェハを用いることにより、ＭＥＭＳの形成技術を用いて、手振れ補正装置４を形成することができる。よって、高集積化した手振れ補正装置４を得ることができる。
【００６６】
以上説明した実施形態によれば、小型化を図ることができる手振れ補正装置及び撮像装置を提供することができる。
【００６７】
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明及びその等価物の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００６８】
１、２、３、４：固体撮像装置、１０：基板、１１：固定部、１２：枠状中間部、１３：可動部、１４：第１のバネ部、１５：第２のバネ部、１６：板状部、１７ａ：板状部、１７ｂ：板状部、１７ｃ：板状部、１７ｄ：板状部、１８：絶縁膜、１９：貫通電極、２１：櫛状部２１ａ、２１ｂ：櫛状部、２２：切込み、２３：凸部、２４ａ：辺部材、２４ｂ：辺部材、２５ａ：辺部材、２５ｂ：辺部材、２６ａ：板状部、２６ｂ：板状部、２７ａ：板状部、２７ｂ：板状部、２８ａ：板状部、２８ｂ：板状部、２９：凸部、３０ａ：第１のダンパー、３０ｂ：第１のダンパー、３２ａ：板状部、３２ｂ：板状部、３２ｃ：板状部、３２ｄ：板状部、３３ａ：板状部、３３ｂ：板状部、３３ｃ：板状部、３３ｄ：板状部、３４ａ：板状部、３４ｂ：板状部、３４ｃ：板状部、３４ｄ：板状部、３５：凸部、３６ａ：辺部材、３６ｂ：辺部材、３７ａ：辺部材、３７ｂ：辺部材、３８ａ：台座部、３８ｂ：台座部、３８ｃ：台座部、３８ｄ：台座部、３９：凸部、４０ａ：板状部、４０ｂ：板状部、４０ｃ：板状部、４０ｄ：板状部、４１ａ：板状部、４１ｂ：板状部、４１ｃ：板状部、４１ｄ：板状部、４２ａ：板状部、４２ｂ：板状部、４２ｃ：板状部、４２ｄ：板状部、４３：上面、４４：電極パッド、４５：配線、４６：配線、４７：配線、４８：ＣＩＳ、４９：貫通電極、５０：バンプ、５１：画素、５１ａ：画素、５２ａ：線、５２ｂ：線、５３ａ：板状部、５３ｂ：板状部、５４ａ：板状部、５４ｂ：板状部、５５ａ：板状部、５５ｂ：板状部、５６ａ：固定部、５６ｂ：固定部、５７：貫通電極、５８ａ：連結部、５８ｂ：連結部、５９ａ：板状部、５９ｂ：板状部、６０ａ：板状部、６０ｂ：板状部、６１ａ：板状部、６１ｂ：板状部、６２ａ：板状部、６２ｂ：板状部、６３：Ｔ字型部、６４：板状部、６５：板状部、６６：凸部、６７：凸部、６８：切込み、７０：基板、７１：固定部、７２：可動部、７４：シリコン層、７５：絶縁膜、７７：貫通孔、７８ａ：辺、７８ｂ：辺、７８ｃ：辺、７８ｄ：辺、７９：正方形、８０：正方形、８１ａ：枠、８１ｂ：枠、８２ａ：枠、８２ｂ：枠、８３：中間部、８４：第１のバネ、８５：第２のバネ、８６：電極パッド、８９：電極パッド、９０：結像レンズ、９１：光軸、９３：受光面、９４：配線、９５：凸部、９６：フォトレジスト、９７：シリコン酸化膜、９８：配線、９９ａ：第２のダンパー、９９ｂ：第２のダンパー、１００：撮像装置、１０１：筐体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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