(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平坦な上面を有し、この上面に基板が少なくとも一側部を突出させて載置される載置テーブルと、この載置テーブルの上面に形成され少なくとも上記基板の一側部の上記載置テーブルの上面に位置する部分を吸引力によって保持する吸引部と、上記載置テーブルの上面に保持されこの上面から突出した上記基板の一側部の下面を支持するバックアップツールと、このバックアップツールによって下面が支持された上記基板の一側部の上面に電子部品を実装する加圧ツールとを有し、上記バックアップツールによって下面が支持された上記基板の一側部の上面に上記電子部品を上記加圧ツールで加圧することでこの電子部品を上記基板の一側部の上面に実装する電子部品の実装装置において、
上記載置テーブルに形成される上記吸引部は、上記載置テーブルの上面に形成されて吸引力が付与される矩形溝及びこの矩形溝の対向する一対の側辺に両端を連結させて設けられた複数の直線溝を有する側部吸引部が、上記載置テーブルの一側部に沿って複数設けられて構成され、
上記載置テーブルの上面の全体には、上記吸引部の吸引力を上記基板に作用させるとともに、上記載置テーブルの上面全体に凹部を形成する多数の小孔が形成された多孔性シートを設けたことを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項２】
上記多孔性シートは、上記載置テーブルの上面に着脱可能に貼着されることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
【請求項３】
上記多孔性シートに形成された小孔は、隣り合う上記側部吸引部の矩形溝を連通させることのない大きさであることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
【請求項４】
上記多孔性シートは、上記吸引部が上記載置テーブルの上面に載置された基板を吸引力によって吸着したときに、上記基板に圧縮されて弾性変形することのない厚さまたは材料によって形成されていることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板としての液晶表示パネルに電子部品としてのＴＣＰ（Tape Carrier Package）を実装する電子部品の実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、基板としての液晶表示パネルを製造する場合、その液晶表示パネルに電子部品としてのＴＣＰ（ＴＡＢ部品）を実装装置によって実装するということが行われる。上記ＴＣＰを液晶表示パネルに実装する場合、まず、一側部にＴＣＰが異方性導電テープによって仮圧着された液晶表示パネルを水平方向（Ｘ、Ｙ方向）及び上下方向（Ｚ方向）に駆動される載置テーブルに供給載置する。
【０００３】
上記液晶表示パネルはＴＣＰが仮圧着された一側部を上記載置テーブルの側辺部から外方へ突出させて供給載置されるとともに、少なくともその一側部に対応する側辺部が上記載置テーブルの上面に形成された吸引部に生じる吸引力によって吸着保持される。
【０００４】
ついで、上記載置テーブルはＴＣＰが仮圧着された上記液晶表示パネルの一側部がバックアップツールの上端面に載置されるよう上記液晶表示パネルを搬送位置決めした後、上記バックアップツールの上方に配置された実装ツールを下降させ、上記ＴＣＰを加圧加熱する。それによって、上記異方性導電テープが溶融して硬化するから、上記液晶パネルの側辺部の上面にＴＣＰが実装されることになる。
【０００５】
ところで、上記液晶表示パネルは厚さが１ｍｍ以下の非常に薄い２枚のガラス板を貼り合せて形成される。そのため、液晶表示パネルを上記載置テーブルの上面に形成された吸引部に生じる吸引力によって吸着保持するとき、上記載置テーブルの上面と液晶表示パネルとの間に塵埃が介在すると、その塵埃が微細であっても、液晶表示パネルのガラス板に局部的な応力を加えることになるから、その応力によって液晶表示パネルが損傷するということがある。
【０００６】
そこで、従来は載置テーブルの上面に弾性部材を取付け、載置テーブルの上面と液晶表示パネルとの間に微細な塵埃が介在した場合、上記弾性部材が弾性変形することによって、上記液晶表示パネルのガラス板に局部的な応力が加わるのを緩和するということが行なわれていた。特許文献１には載置テーブルの上面に弾性部材を取付けることが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平５−１０９８２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、載置テーブルの上面に弾性部材が設けられていると、この載置テーブルの上面の吸着部に生じる吸引力で液晶表示パネルを吸着保持すると、その吸引力によって液晶表示パネルを介して弾性部材が圧縮変形するから、弾性部材とともに液晶表示パネルのＴＣＰが実装される側辺部も変形するということがある。
【０００９】
しかも、液晶表示パネルの側辺部に実装ツールによってＴＣＰを仮圧着或いは本圧着するときにも、上記実装ツールによって上記液晶表示パネルの側辺部に加圧力が加えられると、その加圧力によって弾性部材が圧縮変形するから、この弾性部材とともに液晶表示パネルが変形するということがある。
【００１０】
このように、液晶表示パネルの側辺部に実装ツールによってＴＣＰを仮圧着或いは本圧着するときに、液晶表示パネルの側辺部が変形すると、この側辺部に対するＴＣＰの実装精度が低下し、実装不良を招くということがある。
【００１１】
この発明は、載置テーブルと基板との間に塵埃が介在しても、その塵埃によって基板に応力が加わって損傷するのを防止できるようにするとともに、基板が載置テーブルに吸着保持される際に基板が変形し、電子部品の実装精度が低下することながないようにした電子部品の実装装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明は、平坦な上面を有し、この上面に基板が少なくとも一側部を突出させて載置される載置テーブルと、この載置テーブルの上面に形成され少なくとも上記基板の一側部の上記載置テーブルの上面に位置する部分を吸引力によって保持する吸引部と、上記載置テーブルの上面に保持されこの上面から突出した上記基板の一側部の下面を支持するバックアップツールと、このバックアップツールによって下面が支持された上記基板の一側部の上面に電子部品を実装する加圧ツールとを有し、上記バックアップツールによって下面が支持された上記基板の一側部の上面に上記電子部品を上記加圧ツールで加圧することでこの電子部品を上記基板の一側部の上面に実装する電子部品の実装装置において、
上記載置テーブルに形成される上記吸引部は、上記載置テーブルの上面に形成されて吸引力が付与される矩形溝及びこの矩形溝の対向する一対の側辺に両端を連結させて設けられた複数の直線溝を有する側部吸引部が、上記載置テーブルの一側部に沿って複数設けられて構成され、
上記載置テーブルの上面の全体には、上記吸引部の吸引力を上記基板に作用させるとともに、上記載置テーブルの上面全体に凹部を形成する多数の小孔が形成された多孔性シートを設けたことを特徴とする電子部品の実装装置にある。
【発明の効果】
【００１８】
この発明によれば、載置テーブルの上面全体に凹部を形成する多数の小孔が形成された多孔性シートを設けるようにしたから、載置テーブルと基板との間に介在する塵埃は小孔によって形成された凹部内に入り込むから、上記多孔性シートに弾性を持たせなくとも、塵埃が基板に応力を加えて損傷させるということが防止される。
【００１９】
しかも、多孔性シートに形成された小孔によって載置テーブルの吸引部で生じる吸引力を基板に確実に作用させることができるから、吸引力による基板の保持状態が損なわれるということもない。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】この発明の一実施の形態の実装装置の概略的構成を示す正面図。
【図２】液晶表示パネルの斜視図。
【図３】液晶表示パネルとＴＣＰに設けられた端子を示す斜視図。
【図４】上面に貼着された多孔性シートを破断して載置テーブルに設けられた側部吸引部と中央吸引部を示した平面図。
【図５】載置テーブル側部吸引部が設けられた部分を拡大して示す断面図。
【図６】多孔性シートの一部を拡大して示す平面図。
【図７】載置テーブルに貼着された多孔性シートの一部を拡大して示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００２２】
図１は実装装置の概略的構成図を示し、この実装装置では、図２に示すガラス製の基板として液晶表示パネル４の一側部に、粘着性を有するテープ状の異方性導電部材５によって仮圧着された電子部品としてのＴＣＰ６が後述するように本圧着される。
【００２３】
図３に示すように、上記液晶表示パネル４の一側部の上面には複数の第１のリード４ａが所定のピッチで設けられ、上記ＴＣＰ６の一端部の下面には上記第１のリード４ａが接続される複数の第２のリード６ａが設けられている。
【００２４】
そして、後述するように上記液晶表示パネル４の側辺部の下面をバックアップツール１７の上端面で支持して上記側辺部の上面に仮圧着された上記ＴＣＰ６を加圧ツール１５で加圧加熱して上記ＴＣＰ６が上記液晶表示パネル４に本圧着されるようになっている。
【００２５】
図２に示すように、上記液晶表示パネル４は、一対のガラス板４ｂを図示しないシール剤を介して所定の間隔で接着し、これらの間に液晶が封入されるとともに、各ガラス板４ｂの外面には周縁部を除く全面にわたってそれぞれ偏光板４ｃ（一方のみ図示）が貼着されている。下側のガラス板４ｂの側辺部の上面には上記ＴＣＰ６が上記異方性導電部材５を介して仮圧着されており、仮圧着されてから後述するように本圧着される。
【００２６】
図１に示すように、上記実装装置は加圧手段としての圧着ユニット１１及び後述する載置テーブル３７を水平方向（Ｘ、Ｙ方向）、回転方向（θ方向）及び矢印で示す上下方向（Ｚ方向）に移動させる位置決めユニット１２を備えている。
【００２７】
上記圧着ユニット１１は架台１３を有し、この架台１３の上端に設けられた支持部１４には実装手段としての加圧ツール１５がサーボモータなどの上下駆動源１６によって上下方向に対して駆動及び位置決め可能に設けられている。
【００２８】
上記加圧ツール１５には第１のヒータ１５ｂが内蔵され、この加圧ツール１５を数百度に加熱することができるようになっている。また、加圧ツール１５の下端面は加圧面１５ａに形成され、この加圧面１５ａの下方には後述する構成のバックアップツール１７が垂直に立設されている。このバックアップツール１７の上端部には第２のヒータ１７ｂが埋設されていて、その上端面は上記加圧ツール１５の加圧面１５ａと平行な支持面１７ａとなっている。
【００２９】
上記バックアップツール１７は液晶表示パネル４の側辺部の全長を支持できる長さを有し、上記加圧ツール１５は上記バックアップツール１７と対応する長さに設定されている。
【００３０】
上記位置決めユニット１２は上記圧着ユニット１１の側方に配置されている。この位置決めユニット１２はＸステージ１８を有し、このＸステージ１８にはＸ駆動源１９によってＸ方向に駆動されるＸ可動体２０が設けられている。
【００３１】
なお、上記圧着ユニット１１のバックアップツール１７の長手方向と平行な方向である、図１の紙面に対して直交する方向をＸ方向とし、このＸ方向と交差する方向をＹ方向とする。Ｙ方向は図１に矢印で示す。したがって、上記加圧ツール１５と上記バックアップツール１７はＸ方向に対して長く形成されていることになる。
【００３２】
上記加圧ツール１５の加圧面１５ａと、上記バックアップツール１７の支持面１７ａとの間には上記Ｘ方向に沿ってクッションシート２４が設けられている。このクッションシート２４はたとえばフッ素樹脂などの耐熱性を有する樹脂によって形成されている。
【００３３】
上記クッションシート２４は、上記液晶表示パネル４に仮圧着されたＴＣＰ６を上記加圧ツール１５によって本圧着するときに、これらの間に介在して溶融した異方性導電部材５が上記加圧ツール１５の加圧面１５ａに付着するのを阻止する。
【００３４】
なお、クッションシート２４は上記加圧ツール１５の長手方向一端側に配置された図示しない供給リールから繰り出され、使用された部分は長手方向他端側に配置された同じく図示しない巻き取りリールによって巻き取られるようになっている。
【００３５】
上記Ｘ可動体２０の上面にはＹステージ２１が一体的に設けられている。このＹステージ２１の上面にはＹ可動体２２が設けられている。このＹ可動体２２はＹ駆動源２３によって上記Ｘ方向と直交するＹ方向に駆動されるようになっている。
【００３６】
上記Ｙ可動体２２の上面には側面形状がクランク状の支持体２５が立設されている。この支持体２５の上端部の支持部２６と上記Ｙ可動体２２との間にはねじ軸２７とガイド軸２８とが軸線をＸ方向とＹ方向がなす平面に対して垂直にして設けられている。ねじ軸２７は回転可能に設けられ、ガイド軸２８は固定的に設けられている。
【００３７】
上記ねじ軸２７にはＺ可動体２９が螺合され、このＺ可動体２９には上記ガイド軸２８がスライド可能に挿通されている。したがって、ねじ軸２７を回転させれば、上記Ｚ可動体２９は回転することなく、上記ガイド軸２８に沿って上下動するようになっている。
【００３８】
上記ねじ軸２７の上端部は上記支持部２６の上面から突出し、その突出端には従動歯車３０が嵌着されている。この従動歯車３０には駆動歯車３１が噛合している。この駆動歯車３１は上記支持体２５に設けられたＺ駆動源３２の駆動軸３２ａに固定されている。したがって、Ｚ駆動源３２が作動してその駆動軸３２ａが回転すれば、噛合した一対の歯車３０、３１を介してねじ軸２７が回転されるから、上記Ｚ可動体２９が図１に矢印で示すＺ方向に駆動されることになる。
【００３９】
上記Ｚ可動体２９にはＬ字状の取付け部材３４の一辺が固着されている。この取付け部材３４の水平となった他辺の下面にはθ駆動源３５が設けられ、上面にはθ駆動源３５によって垂直軸線を中心にして回転駆動されるθ可動体３６が設けられている。
【００４０】
上記θ可動体３６の上面には平面形状が矩形状の上記載置テーブル３７がその中央部をθ可動体３６の回転中心に一致させて設けられている。この載置テーブル３７の平坦に形成された上面３７ａには、後述するように上記液晶表示パネル４が吸着保持されるようになっている。
【００４１】
なお、液晶表示パネル４は、図１に示すように、ＴＣＰ６が仮圧着された側辺部を載置テーブル３７のＸ方向に沿う側縁から外方へ突出させた状態で上記載置テーブル３７上に保持される。
【００４２】
図４に示すように、上記載置テーブル３７の一側部の上面には、この一側部の長手方向に対して所定間隔で複数の側部吸引部、この実施の形態では上記一側部の長手方向中央部に第１の側部吸引部４１ａが設けられ、この側部吸引部４１ａを中心にして対称に第２乃至第７の側部吸引部４１ｂ〜４１ｇが形成されている。また、上記載置テーブル３７の中央部分には中央吸引部４２が形成されている。ここで、複数の側部吸引部の全てを示す番号を図５に示すように４１とする。
【００４３】
なお、上記液晶表示パネル４は、上記載置テーブル３７の側部吸引部４１が形成された一側部から、ＴＣＰ６が実装される一側部を所定長さ突出させて載置される。
【００４４】
図４と図５に示すように各側部吸引部４１は、載置テーブル３７の上面に形成された矩形溝４４ａ及びこの矩形溝４４ａの対向する一対の側辺に両端を連通させて設けられた複数の直線溝４４ｂを有する。
【００４５】
図５に示すように、複数の直線溝４４ｂの１つには吸引孔４５ａが一端を連通させて設けられている。この吸引孔４５ａの他端は上記載置テーブル３７の下面に開口し、この他端には吸引管４５の一端が接続されている。図４に示すように、各側部吸引部４１に接続された吸引管４５は開閉制御弁４６を介してヘッダー４７に接続されている。このヘッダー４７には吸引ポンプ４８が接続されている。
【００４６】
なお、第１の側部吸引部４１ａと、一対の第７の側部吸引部４１ｇは他の側部吸引部よりも大きな矩形溝４４ａを有し、第１の側部吸引部４１ａの矩形溝４４ａには直線溝４４ｂと交差する縦溝４４ｃが形成されていて、この縦溝４４ｃと直線溝４４ｂとの交点に吸引孔４５ａの一端が開口している。
【００４７】
上記中央吸引部４２は大きさの異なる３つの矩形溝５１ａが同心状に設けられ、これら矩形溝５１ａは直線状の複数の連通溝５１ｂによって連通している。１つの矩形溝５１ａと連通溝５１ｂとの交点に図示しない吸引孔が一端を連通させて形成されている。
【００４８】
上記吸引孔の他端は載置テーブル３７の下面に開口していて、この他端には上記側部吸引部４１ａ〜４１ｇと同様、開閉制御弁を有する吸引管（ともに図示せず）によってヘッダー４７を介して吸引ポンプ４８に接続されている。
【００４９】
第１乃至第７の側部吸引部４１ａ〜４１ｇと吸引ポンプ４８を連通するそれぞれの吸引管４５に設けられた開閉制御弁４６の開閉を制御すれば、吸引ポンプ４８を作動させたときに吸引力が発生する側部吸引部４１ａ〜４１ｇを制御することができる。
【００５０】
つまり、載置テーブル３７に供給載置される液晶表示パネル４の大きさが代わった場合、その大きさである、液晶表示パネル４の側辺部の長さに応じて吸引力が発生する側部吸引部４１ａ〜４１ｇを制御できる。それによって、液晶表示パネル４の側辺部によって覆われていない部分の側部吸引部に吸引力が生じないようになっている。
【００５１】
なお、上記圧着ユニット１１、位置決めユニット１２、開閉制御弁４６及び吸引ポンプ４８は図示しない制御装置によって駆動が制御されるようになっている。
【００５２】
図４と図５に示すように、上記載置テーブル３７の上面には樹脂又はゴムなどの材料で形成された多孔性シート５３が図７に示すように裏面に粘着材を塗布するなどして形成された粘着面５３ａを貼着して着脱可能に設けられている。
【００５３】
上記多孔性シート５３はたとえば厚さが１ｍｍ以下であって、厚さ方向に貫通する直径が数十μｍの多数の小孔５４が規則的、たとえば図６に示すように千鳥状に形成されている。上記小孔５４の直径は、所定間隔で形成された複数の側部吸引部４１ａ〜４１ｇの隣り合う矩形溝４４ａを跨ることのない大きさ以下に設定される。
【００５４】
樹脂やゴムによって形成した多孔性シート５３の厚さを１ｍｍ以下とすることで、上記載置テーブル３７に液晶表示パネル４を吸着したとき、上記多孔性シート５３がほとんど弾性的に圧縮変形することがない。  
なお、多孔性シート５３の厚さが１ｍｍ以上であっても、液晶表示パネル４を吸着したとき加わる圧縮力で弾性変形することのない材料で形成されていればよい。
【００５５】
しかも、多孔性シート５３に形成される小孔５４の直径を、隣り合う側部吸引部の矩形溝４４ａに跨ることのない大きさにした。  
そのため、液晶表示パネル４の大きさに応じて、隣り合う一対の側部吸引部、たとえば第６の側部吸引部４１ｆと第７の側部吸引部４１ｇのうち、第６の側部吸引部４１ｆに吸引力を発生させ、第７の側部吸引部４１ｇに吸引力を生じさせないようにしたとき、第６の側部吸引部４１ｆに生じた吸引力が多孔性シート５３の小孔５４を通して吸引力を発生させない隣りの第７の側部吸引部４１ｇに作用するのが防止される。つまり、第６の側部吸引部４１ｆの吸引力が第７の側部吸引部４１ｇに漏れ、第６の側部吸引部４１ｆの吸引力が低下するのを防止できる。
【００５６】
上記多孔性シート５３を形成した樹脂やゴムなどの材料は電気抵抗が１０５  〜１０１０オウム、つまり多孔性シート５３が帯電防止材としての性質をもつよう電気抵抗が設定されている。
【００５７】
そのため、載置テーブル３７に対して液晶表示パネル４の供給と取出しを繰り返して行なって摩擦されても、多孔性シート５３が帯電することがないから、帯電によって液晶表示パネル４に形成された回路パターンが損傷するのを防止することができる。
【００５８】
上記構成の実装装置によれば、載置テーブル３７の上面には多数の小孔５４が穿設された多孔性シート５３が着脱可能に貼着されている。上記小孔５４は載置テーブル３７の上面に多孔性シート５３の厚さに応じた深さで多数の凹部を形成することになる。
【００５９】
そのため、載置テーブル３７の上面に、液晶表示パネル４を吸着保持するとき、たとえば液晶表示パネル４に付着した塵埃が載置テーブル３７の上面に落下するようなことがあっても、図７に示すように落下した塵埃Ｐのほとんどは載置テーブル３７の凹部である、小孔５４内に入り込むことになる。
【００６０】
したがって、載置テーブル３７に形成された側部吸引部４１ａ〜４１ｇ及び中央吸引部４２に吸引力を生じさせて液晶表示パネル４を吸着保持したとき、載置テーブル３７に落下した塵埃Ｐが液晶表示パネル４に局部的な応力を与えて液晶表示パネル４を損傷させるのを防止することができるということがある。
【００６１】
しかも、塵埃Ｐが小孔５４内に入り込むことで、液晶表示パネル４が載置テーブル３７の上面から浮き上がるのが防止されるから、側部吸引部４１ａ〜４１ｇや中央吸引部４２で発生する吸引力によって液晶表示パネル４が載置テーブル３７の上面に確実に吸着保持されるということもある。
【００６２】
上記載置テーブル３７と、この載置テーブル３７の上面に吸着保持される液晶表示パネル４との間に多孔性シート５３が介在することで、液晶表示パネル４の板面に、載置テーブル３７に形成された第１乃至第７の側部吸引部４１ａ〜４１ｇ及び中央吸引部４２が直接接触するのがない。それによって、液晶表示パネル４の板面に側部吸引部４１ａ〜４１ｇ及び中央吸引部４２の吸着痕が付着するのを防止することができる。
【００６３】
上記多孔性シート５３はその粘着面５３ａによって上記載置テーブル３７の上面に対して着脱可能に貼着されている。そのため、上記多孔性シート５３が所定期間の使用によって傷んだならば、新たな多孔性シート５３への貼り代えを容易に行なうことができる。
【００６４】
上記多孔性シート５３は電気的に帯電防止材としての性質を有するため、上記載置テーブル３７に対する液晶表示パネル４の供給、搬出を繰り返して行なっても、その際の摩擦力で上記多孔性シート５３に帯電することがない。  
そのため、上記多孔性シート５３が放電し、その放電によって載置テーブル３７に載置された液晶表示パネル４の回路パターンを損傷させるということがない。
【００６５】
上記多孔性シート５３は圧縮変形することのない厚さ、たとえば１ｍｍ以下の厚さである。そのため、載置テーブル３７に載置された液晶表示パネル４を第１乃至第７の側部吸引部４１ａ〜４１ｇに生じる吸引力で吸着することで、上記多孔性シート５３が液晶表示パネル４によって押圧されても、多孔性シート５３は弾性的に圧縮変形するということがほとんどないから、液晶表示パネル４の側辺部が下方へ撓むということもない。
【００６６】
したがって、液晶表示パネル４の側辺部にＴＣＰ６を本圧着するとき、液晶表示パネル４の側辺部が下方へ撓むことで、ＴＣＰ６の実装精度が低下するのを防止することができる。
【００６７】
つまり、液晶表示パネル４を、載置テーブル３７の上面との間に介在する塵埃によって損傷させることなく、しかも側辺部を撓ませることなく、載置テーブル３７の上面に吸着保持することができるから、その側辺部に対するＴＣＰ６の実装精度を向上させることができる。
【００６８】
上記一実施の形態では載置テーブルの側辺部に複数の側部吸引部を形成し、各吸引部に生じる吸引力を別々に制御できるようにしたが、載置テーブルに供給される液晶表示パネルのサイズが一定であれば、載置テーブルの側辺部には１つの側部吸引部をその側辺部のほぼ全長にわたって形成するようにしてもよい。
【００６９】
また、側部吸引部や中央吸引部の溝の形状はなんら限定されるものではない。
また、載置テーブルの上面に多孔性シートを貼着する代わりに、載置テーブルの上面に樹脂などの材料をコーティングして小孔を有する多孔性シートを設けるようにしてもよい。
【００７０】
また、上記一実施の形態では液晶表示パネルの側辺部にＴＣＰを本圧着するときの例を挙げて説明したが、仮圧着するときであっても、適用することができる。
【符号の説明】
【００７１】
４…液晶表示パネル（基板）、６…ＴＣＰ（電子部品）、１７…バックアップツール、１５…加圧ツール（実装手段）、３７…載置テーブル、４１ａ〜４１ｇ…第１〜第７の側部吸引部、４２…中央吸引部、５３…多孔性シート、５４…小孔。
【図１】
0005595842.tif 000002
【図２】
0005595842.tif 000003
【図３】
0005595842.tif 000004
【図４】
0005595842.tif 000005
【図５】
0005595842.tif 000006
【図６】
0005595842.tif 000007
【図７】
0005595842.tif 000008