(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板の表面を区画する隔壁と、前記隔壁により区画された基板上の領域と、を有するマイクロアレイ用基板の製造方法において、
紫色顔料（ａ）を含む感放射線性組成物を用いて基板上に第１膜を形成する第１膜形成工程と、
前記第１膜をリソグラフィー法によりパターニングして前記隔壁を形成する隔壁形成工程と、を備えることを特徴とするマイクロアレイ用基板の製造方法。
【請求項２】
前記紫色顔料（ａ）が、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２３及びＣ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２９から選ばれる少なくとも１種である請求項１に記載のマイクロアレイ用基板の製造方法。
【請求項３】
前記感放射線性組成物は、更に、重合体（Ｂ）、多官能性単量体（Ｃ）及び感放射線性重合開始剤（Ｄ）を含有し、且つ、
前記重合体（Ｂ）はアルカリ可溶性重合体（ｂ）を含む請求項１又は２に記載のマイクロアレイ用基板の製造方法。
【請求項４】
基板と、前記基板表面を区画する隔壁と、前記隔壁により区画された基板上の領域と、を有するマイクロアレイ用基板における該隔壁を形成するための感放射線組成物であって、
紫色顔料（ａ）を含むことを特徴とする感放射線性組成物。
【請求項５】
前記紫色顔料（ａ）が、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２３及びＣ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２９から選ばれる少なくとも１種である請求項４に記載の感放射線性組成物。
【請求項６】
更に、重合体（Ｂ）、多官能性単量体（Ｃ）及び感放射線性重合開始剤（Ｄ）を含有し、且つ、
前記重合体（Ｂ）はアルカリ可溶性重合体（ｂ）を含む請求項４又は５に記載の感放射線性組成物。
【請求項７】
請求項４乃至６のうちのいずれかに記載の感放射線性組成物を用いて得られたことを特徴とするマイクロアレイ用基板の隔壁。
【請求項８】
（ＰＲ１）請求項１乃至３のうちのいずれかに記載のマイクロアレイ用基板の製造方法を用いて、前記マイクロアレイ用基板を製造するマイクロアレイ用基板製造工程と、
（ＰＲ２）前記領域にターゲット物質を固定するための固定用物質を配置する固定用物質配置工程と、
（ＰＲ３）前記固定用物質にターゲット物質を固定する固定化工程と、を備えることを特徴とするバイオチップの製造方法。
【請求項９】
（ＰＲ１）請求項１乃至３のうちのいずれかに記載のマイクロアレイ用基板の製造方法を用いて、前記マイクロアレイ用基板を製造するマイクロアレイ用基板製造工程と、
（ＰＲ２）前記領域に、表面にターゲット物質を有する担持物質を、配置する担持物質配置工程と、を備えることを特徴とするバイオチップの製造方法。
【請求項１０】
前記固定用物質が、ポリリシン、コラーゲン、ラミニン、含シアル酸オリゴ糖、マンノース結合性レクチン、インテグリンファミリーリガンド、ペプチド、抗原、抗体又は核酸である請求項８に記載のバイオチップの製造方法。
【請求項１１】
前記ターゲット物質が、生体関連物質である請求項８乃至１０のうちのいずれかに記載のバイオチップの製造方法。
【請求項１２】
請求項８乃至１１のうちのいずれかに記載のバイオチップの製造方法によって得られたことを特徴とするバイオチップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はマイクロアレイ用基板の製造方法、感放射線性組成物、マイクロアレイ用基板の隔壁、バイオチップの製造方法及びバイオチップに関する。更に詳しくは、ＤＮＡシーケンシングなどに用いられるバイオチップ等のマイクロアレイに用いるマイクロアレイ用基板の製造方法、感放射線性組成物、マイクロアレイ用基板隔壁、バイオチップの製造方法及びバイオチップに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、基体上に、核酸、タンパク質、ペプチド、糖鎖、低分子化合物、細胞、組織などの物質をプローブ分子として搭載し、ターゲット分子である生体関連物質との相互作用を計測したり、反応を利用したりするためのデバイスとしてマイクロアレイが注目されている。このマイクロアレイには、プローブ分子を固定化するための区画された複数の反応領域（キャビティ）を有する基板（マイクロアレイ用基板）が用いられる。具体的には、例えば、ＤＮＡ、タンパク質、糖鎖等の生体関連物質等のターゲット物質を基板表面に区画化して高密度に集積したバイオチップが知られている。このバイオチップでは、多数の検体を同時に処理できることから注目されている。そして、一括した処理でより多くの情報を得るために、集積量を上げる試みがなされている。
このターゲット物質を基板表面にアレイ化して多数配置する方法には、主として２種類の方法が知られている。一方は、基板上でターゲット物質を合成することによって配置する方法であり、他方は、予め用意したターゲット物質を基板表面に液滴等を介して配置する方法である。このうち後者の方法では、例えば、ターゲット物質が溶解された液体を基板の所定領域に滴下して固定する方法等が採用される。
このような技術を利用した技術としては下記特許文献１〜３が知られている。
また、このようなバイオチップを用いると核酸等の塩基配列を検知するシーケンシング剤の基板として用いることが可能である。バイオチップ上でポリメラーゼ連鎖反応（ＰＣＲ法、水中で行う。）により生態関連物質を増幅させ、生態関連物質から発せられる蛍光標識を用いることで塩基配列を検知することができる（特許文献４又は５）
更に、プローブ分子とターゲット分子との相互作用や反応を検出する方法として、プローブ分子とターゲット分子との相互作用や反応の際に放出される蛍光を、必要に応じ蛍光標識剤等を用いて、検出する技術が知られている。即ち、例えば、蛍光標識を用いた反応では、マイクロアレイ全体に誘起光照射を行い、個々のキャビティから発せられる蛍光を測定器により受光して反応の有無や状態を検知する技術が知られている（特許文献１乃至５）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２１４８８９号公報
【特許文献２】ＷＯ０６／１０１２２９号公報
【特許文献３】特開２００１−３４３３８５号公報
【特許文献４】特開２００６−３２０３０７号公報
【特許文献５】ＷＯ０７／０４８０３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そして、前記バイオチップなどのマイクロアレイでは、隔壁によって区画された個々のキャビティ内の反応について蛍光標識を利用する等して、その蛍光から反応に関する情報を得ることが一般的である。即ち例えば、蛍光標識を用いた反応では、バイオチップ全体に誘起光照射を行い、個々のキャビティから発せられる蛍光を測定器により受光して反応の有無や状態が検知される。
しかし、前述のように、高密度化が進むにつれて、各キャビティから発せられる蛍光の混色が問題となる。即ち、高密度化により隔壁が狭化してキャビティ間の光を十分に分離できなくなるという問題がある。これに対して、測定光領域に吸収帯を有する成分（吸光剤等）を含有させた隔壁形成剤により隔壁を形成することにより、光学的にキャビティ間を分離する方法が考えられる。しかしながら、隔壁形成剤への異成分添加により、隔壁が本来必要な特性（耐水密着性）が低下しかねないという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、キャビティ（即ち、隔壁により区画された領域）間の光学的分離を確保しつつ、隔壁と基板との密着性及び隔壁の耐水性を向上させたマイクロアレイ用基板の製造方法、感放射線性組成物、マイクロアレイ用基板の隔壁、バイオチップの製造方法及びバイオチップを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、以下のとおりである。
〈１〉基板と、前記基板の表面を区画する隔壁と、前記隔壁により区画された基板上の領域と、を有するマイクロアレイ用基板の製造方法において、
紫色顔料（ａ）を含む感放射線性組成物を用いて基板上に第１膜を形成する第１膜形成工程と、
前記第１膜をリソグラフィー法によりパターニングして前記隔壁を形成する隔壁形成工程と、を備えることを特徴とするマイクロアレイ用基板の製造方法。
〈２〉前記紫色顔料（ａ）が、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２３及びＣ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２９から選ばれる少なくとも１種である前記〈１〉に記載のマイクロアレイ用基板の製造方法。
〈３〉前記感放射線性組成物は、更に、重合体（Ｂ）、多官能性単量体（Ｃ）及び感放射線性重合開始剤（Ｄ）を含有し、且つ、
前記重合体（Ｂ）はアルカリ可溶性重合体（ｂ）を含む前記〈１〉又は〈２〉に記載のマイクロアレイ用基板の製造方法。
〈４〉基板と、前記基板表面を区画する隔壁と、前記隔壁により区画された基板上の領域と、を有するマイクロアレイ用基板における該隔壁を形成するための感放射線組成物であって、
紫色顔料（ａ）を含むことを特徴とする感放射線性組成物。
〈５〉前記紫色顔料（ａ）が、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２３及びＣ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２９から選ばれる少なくとも１種である前記〈４〉に記載の感放射線性組成物。
〈６〉更に、重合体（Ｂ）、多官能性単量体（Ｃ）及び感放射線性重合開始剤（Ｄ）を含有し、且つ、
前記重合体（Ｂ）はアルカリ可溶性重合体（ｂ）を含む前記〈４〉又は〈５〉に記載の感放射線性組成物。
〈７〉前記〈４〉乃至〈６〉のうちのいずれかに記載の感放射線性組成物を用いて得られたことを特徴とするマイクロアレイ用基板の隔壁。
〈８〉（ＰＲ１）請求項１乃至３のうちのいずれかに記載のマイクロアレイ用基板の製造方法を用いて、前記マイクロアレイ用基板を製造するマイクロアレイ用基板製造工程と、
（ＰＲ２）前記領域にターゲット物質を固定するための固定用物質を配置する固定用物質配置工程と、
（ＰＲ３）前記固定用物質にターゲット物質を固定する固定化工程と、を備えることを特徴とするバイオチップの製造方法。
〈９〉（ＰＲ１）請求項１乃至３のうちのいずれかに記載のマイクロアレイ用基板の製造方法を用いて、前記マイクロアレイ用基板を製造するマイクロアレイ用基板製造工程と、
（ＰＲ２）前記領域に、表面にターゲット物質を有する担持物質を、配置する担持物質配置工程と、を備えることを特徴とするバイオチップの製造方法。
〈１０〉前記固定用物質が、ポリリシン、コラーゲン、ラミニン、含シアル酸オリゴ糖、マンノース結合性レクチン、インテグリンファミリーリガンド、ペプチド、抗原、抗体又は核酸である前記〈８〉に記載のバイオチップの製造方法。
〈１１〉前記ターゲット物質が、生体関連物質である前記〈８〉乃至〈１０〉のうちのいずれかに記載のバイオチップの製造方法。
〈１２〉前記〈８〉乃至〈１１〉のうちのいずれかに記載のバイオチップの製造方法によって得られたことを特徴とするバイオチップ。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のマイクロアレイ用基板の製造方法によれば、隔壁によって区画された領域同士の間の光学的分離を確保しつつ、隔壁と基板（マイクロアレイ用基板を構成する素基板）との密着性及び隔壁の耐水性を向上させることができる。
本発明のマイクロアレイ用基板の製造方法において、前記紫色顔料（ａ）が、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２３及びＣ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２９から選ばれる少なくとも１種である場合は、隔壁によって区画された領域同士の間の光学的分離をより確実に確保しつつ、隔壁と基板（マイクロアレイ用基板を構成する素基板）との密着性及び隔壁の耐水性をより向上させることができる。
本発明のマイクロアレイ用基板の製造方法において、前記感放射線性組成物が、更に、重合体（Ｂ）、多官能性単量体（Ｃ）及び感放射線性重合開始剤（Ｄ）を含有し、且つ、前記重合体（Ｂ）がアルカリ可溶性重合体（ｂ）を含む場合は、密着性と耐水性において優れた特性を発揮できる。
【０００８】
本発明の感放射線性組成物によれば、区画された領域同士の間の光学的分離を確保しつつ、基板（マイクロアレイ用基板を構成する素基板）との密着性及び耐水性に優れたマイクロアレイ用基板（バイオチップ用途にも利用できる）の隔壁を得ることができる。
本発明の感放射線性組成物において、前記紫色顔料（ａ）が、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２３及びＣ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２９から選ばれる少なくとも１種である場合は、隔壁によって区画された領域同士の間の光学的分離をより確実に確保しつつ、隔壁と基板（マイクロアレイ用基板を構成する素基板）との密着性及び隔壁の耐水性をより向上させることができる。
本発明の感放射線性組成物が、更に、重合体（Ｂ）、多官能性単量体（Ｃ）及び感放射線性重合開始剤（Ｄ）を含有し、且つ、前記重合体（Ｂ）がアルカリ可溶性重合体（ｂ）を含む場合は、密着性と耐水性において優れた特性を発揮できる。
【０００９】
本発明のマイクロアレイ用基板の（バイオチップ用にも利用できる）隔壁によれば、区画された領域同士の間の光学的分離を確保しつつ、基板（マイクロアレイ用基板を構成する素基板）との密着性及び耐水性に優れた隔壁とすることができる。
本発明のバイオチップの製造方法によれば、隔壁によって区画された領域同士の間の光学的分離を確保しつつ、隔壁と基板（マイクロアレイ用基板を構成する素基板）との密着性及び隔壁の耐水性を向上されたバイオチップを製造できる。
本発明のバイオチップによれば、隔壁によって区画された領域同士の間の光学的分離を確保しつつ、隔壁と基板（マイクロアレイ用基板を構成する素基板）との密着性及び隔壁の耐水性に優れる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に係るマイクロアレイ用基板（プレバイオチップ）を模式的に説明する斜視図である。
【図２】本発明に係るマイクロアレイ用基板（プレバイオチップ）を模式的に説明する平面図である。
【図３】本発明に係るマイクロアレイ用基板の製造方法を模式的に説明する説明図である。
【図４】本発明に係る第１のバイオチップの製造方法を模式的に説明する説明図である。
【図５】本発明に係る第２のバイオチップの製造方法を模式的に説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明を詳細に説明する。尚、本明細書において、「（メタ）アクリル」とは、アクリル及びメタクリルを意味し、「（メタ）アクリレート」とは、アクリレート及びメタクリレートを意味する。
【００１２】
［１］マイクロアレイ用基板の製造方法
本発明のマイクロアレイ用基板の製造方法は、基板（マイクロアレイ用基板を構成する素基板、以下単に「素基板」ともいう）と、前記基板の表面を区画する隔壁と、前記隔壁により区画された基板上の領域と、を有するマイクロアレイ用基板の製造方法において、
紫色顔料（ａ）を含む感放射線性組成物を用いて基板上に第１膜を形成する第１膜形成工程と、
前記第１膜をリソグラフィー法によりパターニングして前記隔壁を形成する隔壁形成工程と、を備えることを特徴とする。
【００１３】
本発明のマイクロアレイ用基板では、上記紫色顔料（ａ）を用いた隔壁２０を形成することにより、目的とする波長（５００ｎｍ〜６００ｎｍ）の光を隔壁２０が効率よく遮蔽できる。従って、隔壁２０によって隔てられた領域（キャビティ）３０の優れた光学的分離を得ることができる。また、上記紫色顔料（ａ）は、少量の添加により高い遮蔽効果を発揮できる。このため、上記紫色顔料（ａ）の感放射線性組成物への配合量を少なく抑えることができ、素基板１０との密着性を十分に発揮させることができる。特に隔壁２０の素基板１０に対する密着性に寄与する樹脂成分をより多く配合できるために、密着性向上に寄与させることができる。
【００１４】
本方法により形成される隔壁２０は、図１〜図５に例示されるように、素基板１０の表面を区画する。この隔壁２０によって隔てられて区画化された領域は、隔壁２０によって取り囲まれたキャビティ３０となる。
また、本方法にいうバイオチップ１００は、少なくとも素基板１０と隔壁２０とを有する（固定用物質及びターゲット物質を有さない）マイクロアレイ用基板（即ち、プレバイオチップ）１０１に、固定用物質５１及びターゲット物質５２が配置されたチップ１００ａ（図４）、及び、少なくとも素基板１０と隔壁２０とを有する（担持物質を有さない）マイクロアレイ用基板（即ち、プレバイオチップ）１０１に、担持物質５３が配置されたチップ１００ｂ（図５）である。前記マイクロアレイ用基板（即ち、プレバイオチップ）１０１とは、利用者がターゲット物質を導入して用いるチップである。この他のバイオチップ及び隔壁の詳細については、後述する。
【００１５】
前記「第１膜形成工程」は、前記感放射線性組成物を用いて素基板１０上に第１膜２１を形成する工程である（図３参照）。
本発明では、前記感放射線性組成物を用いることにより、キャビティ間を光学的に分離できると共に、隔壁と素基板（又は素基板表面に積層された他層）との密着性を向上させることができる。加えて、隔壁を水又は水を含む液体と接触させた場合に隔壁の膨潤を抑制し、これによって隔壁が素基板表面から剥離することや、密着性が低下することを防止できる。
【００１６】
前記「感放射線性組成物」は、紫色顔料（ａ）を含む組成物である。この感放射線性組成物並びに各成分については、後述する感放射線性組成物における各々をそのまま適用できる。
この感放射線性組成物はどのようにして膜化してもよいが、通常、液状の感放射線性組成物を、目的とする表面（例えば、素基板の表面、素基板に積層された他層の表面）に塗布して形成される。塗布方法等は特に限定されず、回転塗布（スピンコーティング等）、流延塗布、ロール塗布、噴射塗布（スプレーコーティング等）及び印刷（ドクターブレードコーティング等）などの種々の方法を用いることができる。
【００１７】
また、感放射線性組成物が溶剤を含有する場合、感放射線性組成物を塗布して得られた塗膜は、必要に応じて、プレベーク（ＰＢ）することによって、塗膜内に含まれた溶剤等を揮発させることができる。プレベークを行う際の加熱条件は、感放射線性組成物の特性によって適宜選択されるが、例えば、加熱温度は３０〜２４０℃とすることができ、好ましくは５０〜１８０℃とすることができる。更に、加熱時間は３０〜１８００秒間とすることができ、好ましくは６０〜６００秒間とすることができる。
【００１８】
前記第１膜の厚みは特に限定されないが、例えば、０．０１〜５００μｍとすることができる。好ましくは１〜１００μｍとすることができ、より好ましくは１０〜７０μｍとすることができる。この範囲では、マイクロアレイ（バイオチップを含む）に適した隔壁の高さを確保することができる。
【００１９】
前記「基板（素基板）」の種類は特に限定されず、無機材料からなってもよく、有機材料からなってもよく、これらの複合材料からなってもよい。また、素基板１０は、その表面側と他面側とが異なる材料からなってもよい。素基板を構成する材料としては、シリコン、二酸化ケイ素及びガラス（ホウケイ酸ガラス、表面改質ガラス、石英ガラス等を含む）等のケイ素を主成分とする無機材料が挙げられる。また、ポリプロピレン及びポリアクリルアミド（アクリルアミドによって表面が活性化されたポリアクリルアミドを含む）等の有機材料が挙げられる。この他、第１膜との密着性を更に向上させるのに適した反応性部位（例えば、活性なアミノ基など）を有する素基板を適宜用いることができる。更に、前記基板としては、固体撮像素子（ＣＭＯＳイメージセンサーなど）などの受光素子を用いることができる。受光素子を基板として用いた場合には、生態関連物質から発せられる光（蛍光など）や、生態関連物質の反応により発せられる光（蛍光など）等を基板自体に受光させることができる。
【００２０】
前記「隔壁形成工程」は、第１膜２１をリソグラフィー法によりパターニングして隔壁２０を形成する工程である（図３参照）。
前記「リソグラフィー法」は、所望のパターンとなるようにパターンマスク４０を介して露光を行った後、現像を行ってパターンを顕在化させることによって第１膜２１をパターニングする方法である。即ち、隔壁形成工程は、通常、第１膜２１をパターンマスク４０を介して露光する露光工程と、露光後に現像液により不要部を除去する現像工程と、を備える。
【００２１】
前記露光工程において、露光に用いる放射線種は特に限定されず、水銀灯のスペクトル（波長３００〜６００ｎｍ）、ＬＥＤランプ、紫外線（ｇ線、ｈ線、ｉ線等を含む）、遠紫外線｛ＫｒＦエキシマレーザー（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザー（波長１９３ｎｍ）、Ｆ２エキシマレーザー（波長１５７ｎｍ）、ＥＵＶ（波長１３ｎｍ等）等を含む｝、シンクロトロン放射線等のＸ線、電子線等の荷電粒子線、γ線、分子線、イオンビーム等が挙げられる。また、露光方式としては、公知のものから適宜選択され、その中でも、等倍投影法、縮小投影法などが好ましい。露光条件は、感放射線性組成物の配合組成、添加剤の種類等に応じて適宜選定される。
【００２２】
また、前記現像工程は、露光工程後に現像液に対して可溶性の部位を除去する工程である。現像液としては、溶剤及びアルカリ性現像液等が用いられる。現像液に対して可溶性とは、露光部と未露光部で相対的に現像液に対して溶解性の差があればよく、２３℃において現像液に１分間浸漬した場合に、当該膜の初期膜厚の１％を越えて溶解される性質をいうものとする。
【００２３】
この現像液としては、各種有機溶剤の他、アルカリ金属水酸化物、アンモニア水、アルキルアミン類、アルカノールアミン類、複素環式アミン類、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド類、コリン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ［４．３．０］−５−ノネン等のアルカリ性化合物等を溶解した液体が挙げられる。前記アルカリ性化合物の濃度は特に限定されないが、１０質量％以下が好ましく、１〜１０質量％がより好ましく、２〜５質量％が更に好ましい。
【００２４】
現像液を構成する溶媒の種類も特に限定されないが、水及び／又は有機溶媒が挙げられる。有機溶媒としては、アセトン等のケトン類；エチルアルコール等のアルコール類；テトラヒドロフラン等のエーテル類；酢酸エチル等のエステル類；トルエン等の芳香族炭化水素類や、フェノール、アセトニルアセトン、ジメチルホルムアミド等が挙げられる。これらの有機溶媒は１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
また、現像液には、界面活性剤等を添加できる。これにより第１膜に対する現像液の濡れ性を向上させることができる。
【００２５】
本発明のマイクロアレイ用基板の製造方法では、第１膜形成工程及び隔壁形成工程以外にも他の工程を備えることができる。他の工程としては、前記露光後に行う加熱処理｛即ち、ＰＥＢ（Ｐｏｓｔ  Ｅｘｐｏｓｕｒｅ  Ｂａｋｅ）｝が挙げられる。ＰＥＢを行うことにより第１膜の見掛けの感度を向上させることができる。ＰＥＢの加熱条件は、感放射線性組成物の配合組成、添加剤の種類等に応じて適宜選定されるが、３０〜２００℃が好ましく、５０〜１５０℃がより好ましい。更に、前記現像を行った後に、現像後に第１膜（隔壁）を水洗する水洗工程を行うことができる。
更に、他の工程としては、現像後に行う加熱処理が挙げられる。現像後に行う加熱処理の加熱条件は、感放射線性組成物の配合組成、添加剤の種類等に応じて適宜選定されるが、通常、３０〜３００℃、好ましくは５０〜２５０℃で、加熱時間は、通常、１分〜５時間である。
【００２６】
［２］感放射線性組成物
本発明の感放射線性組成物は、素基板と、前記素基板表面を区画する隔壁と、前記隔壁により区画された基板上の領域と、を有するマイクロアレイ用基板における該隔壁を形成するための感放射線性組成物（即ち、隔壁形成用組成物である）であって、紫色顔料（ａ）を含むことを特徴とする。
【００２７】
［２−１］着色剤（Ａ）
前記「紫色顔料（ａ）」は、紫色を呈する着色剤である。また、隔壁によって区画された領域同士の間の光学的分離をより大きくするために配合される成分である。この紫色顔料（ａ）は、他の顔料に比べて少ない含有量で隔壁による光学的分離（隔壁によって区画された領域同士の間の光学的分離であって、特に５００〜６００ｎｍの波長の光に対する透過阻害）を確保できる。加えて、リソグラフィー法におけるｇｈｉ線に対する露光阻害｛ｇ線（４３６ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）及びｉ線（３６５ｎｍ）を含む４５０ｎｍ以下（特に３００〜４５０ｎｍ）の波長の光に対する透過阻害｝を抑制でき、ｇｈｉ線に対する露光感度に優れた感放射線性組成物とすることができる。更に加えて、前記光学的特性を備えながら、隔壁と素基板との密着性及び隔壁の耐水性を十分に得ることができる。
【００２８】
この紫色顔料としては、カラーインデックス名（Ｃｏｌｏｕｒ  Ｉｎｄｅｘ  Ｇｅｎｅｒｉｃ  Ｎａｍｅｓ）における各種のＣ．Ｉ．ピグメントバイオレットが挙げられる。
より具体的には、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２：２、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット５、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット５：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２５、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２７、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３７、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット４４、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット４７、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット５０等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００２９】
これらのなかでは、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、及び、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２９から選ばれる少なくとも１種であることが好ましい。これらの紫色顔料（ａ）は、他に比べて特に少ない含有量で前記光学的分離を確保できる。加えて、前記ｇｈｉ線に対する露光感度にもより優れ、更には、これらの光学的特性を具備しつつ、隔壁と素基板との密着性及び隔壁の耐水性を特に効果的に向上させることができる。
【００３０】
尚、前記紫色とは、英国染料染色学会（Ｓｏｃｉｅｔｙ  ｏｆ  Ｄｙｅｒｓ  ａｎｄ  Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ）により規定されたカラーインデックス名（Ｃｏｌｏｕｒ  Ｉｎｄｅｘ  Ｇｅｎｅｒｉｃ  Ｎａｍｅｓ）における色合い（Ｈｕｅ）として１０種に分類されたイエロー・オレンジ・レッド・バイオレット・ブルー・グリーン・ブラウン・ブラック・ホワイト・メタルの各色合いのうちの「バイオレット」に属する色である。
【００３１】
前記紫色顔料（ａ）の含有量は、特に限定されないが、感放射線性組成物全体１００質量％に対して、通常、０．０１〜５０質量％である。この範囲では、特に優れた密着性及び耐水性を得ることができる。
また、この含有量は、後述する重合体（Ｂ）が含まれる場合においては、重合体（Ｂ）１００質量部に対して、１〜３００質量部が好ましく、５〜１００質量部がより好ましく、１０〜５０質量部が更に好ましい。この範囲では、特に優れた密着性及び耐水性を得ることができる。
【００３２】
また、前記感放射線性組成物には、前記紫色顔料（ａ）以外に他の着色剤｛尚、以下では、紫色顔料（ａ）及び紫色顔料（ａ）以外の他の着色剤の両方を包含して「着色剤（Ａ）」という｝が含まれてもよい。紫色顔料（ａ）以外の他の着色剤も、前記紫色顔料（ａ）と同様に、隔壁によって区画された領域同士の間の光学的分離をより大きくするために配合される成分である。その種類は色を付与するものであれば特に限定されないが、ピグメントに分類された各種化合物（以下、単に「ピグメント化合物」という）を用いることが好ましい。
【００３３】
ピグメント化合物としては、下記カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号が付されているものが挙げられる。即ち、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２７２；
【００３４】
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２１１；
【００３５】
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７２、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７４；
【００３６】
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー８０；Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８；Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５；Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７などが挙げられる。
【００３７】
これらの紫色顔料（ａ）以外の他の着色剤としての各種ピグメント化合物は、１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。更に、前述の有機顔料だけなく、必要に応じて無機顔料を用いることができる。無機顔料としては、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら｛赤色酸化鉄（ＩＩＩ）｝、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等が挙げられる。これらの無機顔料は１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。その他、更に、染料や天然色素を用いることができる。
尚、前記紫色顔料（ａ）以外の他の着色剤を用いる場合、その含有量は、紫色顔料（ａ）全体を１００質量部とした場合に、１００質量部以下であることが好ましい。
【００３８】
尚、本発明において、各種の前記顔料は必要に応じて、その粒子表面を改質して用いることができる。顔料の粒子表面を改質する方法としては、特開平８−２５９８７６号公報に記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマー又はオリゴマーなどを用いることができる。
【００３９】
また、着色剤（Ａ）を用いる場合、着色剤（Ａ）を分散質とし、分散媒に分散させた着色剤分散液として用いることが好ましい。分散媒としては、感放射線性組成物に利用できる後述の溶剤（Ｇ）が適用できる。溶剤（Ｇ）は１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。分散媒の配合量は特に限定されないが、着色剤（Ａ）１００質量部に対して、２００〜１２００質量部が好ましく、３００〜１０００質量部がより好ましい。
【００４０】
更に、その他の着色剤分散液には、その他、分散剤及び分散助剤等を配合できる。分散剤の種類は特に限定されないが、ポリマー分散剤が特に好ましい。具体的には、変性アクリル系共重合体、アクリル系共重合体、ポリウレタン、ポリエステル、高分子共重合体のアルキルアンモニウム塩又はリン酸エステル塩、カチオン性櫛型グラフトポリマー等が挙げられる。前記カチオン性櫛型グラフトポリマーとは、複数の塩基性基（カチオン性の官能基）を有する幹ポリマー１分子に、２分子以上の枝ポリマーがグラフト結合した構造のポリマーをいい、例えば、幹ポリマー部がポリエチレンイミン、枝ポリマー部がε−カプロラクトンの開環重合体で構成されるポリマーが挙げられる。これら分散剤の中で、変性アクリル系共重合体、ポリウレタン、カチオン性櫛型グラフトポリマーが好ましい。
【００４１】
このような分散剤として、より具体的には、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２０００、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１｛以上、変性アクリル系共重合体分散剤、ビックケミー（ＢＹＫ）社製｝、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６２、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６５、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６７、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７０、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１８２｛以上、ポリウレタン系分散剤、ビックケミー（ＢＹＫ）社製｝、ソルスパース２４０００、ソルスパース３７０００、ソルスパース５６０００、ソルスパース７６５００｛以上、カチオン性櫛型グラフトポリマー分散剤、ルーブリゾール株式会社製｝、アジスパーＰＢ８２１、アジスパーＰＢ８２２、アジスパーＰＢ８２３、アジスパーＰＢ８２４、アジスパーＰＢ８２７、アジスパーＰＢ８８０、アジスパーＰＢ８８１｛以上、カチオン性櫛型グラフトポリマー分散剤、味の素ファインテクノ株式会社製｝等が挙げられる。
【００４２】
また、分散剤を利用する場合、着色剤分散液に対する分散剤の含有量は、用いる着色剤（Ａ）の種類及び分散剤の種類等の組み合わせにより適宜のものとすることが好ましいが、着色剤（Ａ）１００質量部に対して、１００質量部以下が好ましく、０．５〜１００質量部がより好ましく、１〜７０質量部が更に好ましく、１０〜６０質量部が特に好ましい。
尚、前記分散助剤としては、銅フタロシアニン誘導体等を用いることができる。
【００４３】
更に、着色剤分散液の調製方法は特に限定されないが、前記着色剤（Ａ）を分散媒中、分散剤等の添加剤の存在下で、場合により後述する多官能性単量体（Ｃ）の一部と共に、ディゾルバー、ロッドミル、ビーズミル、ロールミル等を用いて、粉砕混合しつつ着色剤分散液を調製できる。着色剤分散液中の着色剤（Ａ）の平均粒径は、５０〜４００ｎｍが好ましく、５０〜１５０ｎｍがよりより好ましい。
【００４４】
［２−２］重合体（Ｂ）
前記感放射線性組成物は、前記紫色顔料（ａ）以外に、他の成分を含有できる。他の成分としては、重合体（Ｂ）が挙げられる。重合体（Ｂ）は、各種現像液に対して可溶性の重合体である。現像液としては、後述する溶剤（Ｇ）及び後述するアルカリ現像液等を用いることができる。また、前記可溶性とは、温度２３〜３０℃の現像液に、重合体（Ｂ）からなる被膜を３００秒間浸漬した場合に、被膜の初期膜厚の５０％を越えて溶解される性質を意味する。一方、不溶性又は難溶性とは、前記条件において被膜の初期膜厚の５０％以上が残存する性質を意味する。
【００４５】
この重合体（Ｂ）は、現像液（好ましくはアルカリ現像液）に対して可溶性の重合体であればよく、その種類は特に限定されない。そのなかでも、重合体（Ｂ）は、カルボキシル基を有するアルカリ可溶性重合体（ｂ）が好ましい。更には、１個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和結合を有する単量体（以下、「単量体（ｂ１）」という）と、他の共重合可能なエチレン性不飽和結合を有する単量体（以下、「単量体（ｂ２）」という）とを含む単量体を用いて得られた重合体であることが好ましい。
【００４６】
前記１個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和結合を有する単量体、即ち、単量体（ｂ１）としては、下記（１）〜（５）が挙げられる。これらの単量体（ｂ１）は、１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
（１）（メタ）アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノカルボン酸類；
（２）マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸又はその無水物類；
（３）３価以上の不飽和多価カルボン酸又はその無水物類；
（４）こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕等の２価以上の多価カルボン酸のモノ〔（メタ）アクリロイロキシアルキル〕エステル類；
（５）ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート等の両末端にカルボキシ基と水酸基とを有する化合物のモノ（メタ）アクリレート類；
【００４７】
一方、前記他の共重合可能なエチレン性不飽和結合を有する単量体、即ち、単量体（ｂ２）としては、下記（１）〜（１２）が挙げられる。これらの単量体（ｂ２）は、１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
（１）スチレン、α−メチルスチレン、ｏ−ビニルトルエン、ｍ−ビニルトルエン、ｐ−ビニルトルエン、ｐ−クロルスチレン、ｏ−メトキシスチレン、ｍ−メトキシスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｏ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｍ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｐ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の芳香族ビニル化合物；
（２）ｐ−イソプロペニルフェノール、インデン、１−メチルインデン、アセナフチレン等の他の重合性芳香族化合物；
【００４８】
（３）メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ｉ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｉ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、２−メトキシエチル（メタ）アクリレート、２−フェノキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシジエチレングルコール（メタ）アクリレート、メトキシトリエチレングルコール（メタ）アクリレート、メトキシプロピレングルコール（メタ）アクリレート、メトキシジプロピレングルコール（メタ）アクリレート、トリシクロ〔５．２．１．０２，６〕デカジエニル（メタ）アクリレート、トリシクロ〔５．２．１．０２，６〕デカニル（メタ）アクリレート、トリシクロ〔５．２．１．０２，６〕デセニル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタジエニル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類；
【００４９】
（４）２−アミノエチル（メタ）アクリレート、２−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、２−アミノプロピル（メタ）アクリレート、２−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、３−アミノプロピル（メタ）アクリレート、３−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類；
（５）グリシジル（メタ）アクリレート等の不飽和カルボン酸グリシジルエステル類；
（６）酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル類；
（７）ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル等の不飽和エーテル類；
【００５０】
（８）（メタ）アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン等のシアン化ビニル化合物；
（９）（メタ）アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリルアミド等の不飽和アミド類；
（１０）マレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド等の不飽和イミド類；
（１１）１，３−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類；
（１２）ポリスチレン、ポリメチル（メタ）アクリレート、ポリ−ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノ（メタ）アクリロイル基を有するマクロモノマー類；
【００５１】
前記重合体（Ｂ）を構成する全構成単位を１００質量％とした場合に、前記単量体（ｂ１）に由来する構成単位は、５質量％以上含まれることが好ましく、５〜３０質量％がより好ましく、１０〜２５質量％が特に好ましい。この範囲では、隔壁形成に適した現像特性を得ることができる。
【００５２】
また、前記重合体（Ｂ）のゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ、溶出溶媒：テトラヒドロフラン）によるポリスチレン換算重量平均分子量（以下、単に「Ｍｗ」ともいう）は、３，０００〜３００，０００が好ましく、５，０００〜１００，０００がより好ましい。また、同様に測定されるポリスチレン換算数平均分子量（以下、単に「Ｍｎ」ともいう）は、３，０００〜６０，０００が好ましく、５，０００〜２５，０００がより好ましい。更に、ＭｗとＭｎの比（Ｍｗ／Ｍｎ）は、１〜５が好ましく、１〜４がより好ましい。この範囲では、隔壁形成に適した現像特性を得ることができる。
【００５３】
前記重合体（Ｂ）は、１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
また、前記感放射線性組成物に重合体（Ｂ）が含有される場合、その含有量は特に限定されないが、着色剤（Ａ）１００質量部に対して、５〜１，０００質量部が好ましく、１０〜５００質量部がより好ましい。この範囲では、隔壁形成に適した現像特性を得ることができる。
【００５４】
尚、前記重合体（Ｂ）としては、例えば、特開２００７−２９３３０６号公報｛当該公報に記載された式（１）で表される構造単位および式（２）で表される構造単位を含有する重合体（Ａ）｝、特開２００３−２１５８０２号公報｛当該公報に記載されたフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂（Ａ）｝、特開２００３−２５８４２２号公報｛当該公報に記載されたポリアミドイミド樹脂｝、特開２００４−１０６６０号公報｛当該公報に記載された｝、特開２００４−１７１０２６号公報｛当該公報に記載された感光性プレポリマー（Ａ）｝等に開示された各アルカリ可溶性樹脂を用いることができる。更に、特開２００４−２１２９８３号公報、ＷＯ０４／１１１７３４号公報、ＷＯ０５／０３６２６９号公報、特開２００４−１９８９０６号公報及び特開２００５−２６６４７４号公報等に開示された各無機系アルカリ可溶性樹脂を用いることができる。
【００５５】
また、前記重合体（Ｂ）としてのアルカリ可溶性重合体（ｂ）が、反応性基を有する場合には、この反応性基と反応可能な基を有するとともに重合性基を有する化合物（重合性基導入成分）を用いて、アルカリ可溶性重合体（ｂ）に重合性基を導入することができる。即ち、重合性基導入成分が有するアルカリ可溶性重合体（ｂ）の反応性基と当該反応性基と反応可能な基とを反応させることによって、重合性基が導入されたアルカリ可溶性重合体（ｂ）を用いることができる。これにより、重合体（Ｂ）から形成される隔壁２０の耐水性、及び、隔壁２０の素基板１０に対する密着性（耐水密着性）を向上させることができる。
【００５６】
アルカリ可溶性重合体（ｂ）が有する反応性基としては、フェノール性水酸基、カルボキシル基、スルホン酸基等が挙げられる。これらの基は１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。また、アルカリ可溶性重合体（ｂ）が有する反応性基と反応可能な基としては、エポキシ基、イソシアネート基等が挙げられる。これらの基は１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。更に、重合性基としては、エチレン性不飽和基等が挙げられる。これらの基は１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００５７】
上記の反応性基、及び、この反応性基と反応可能な基、との組合せのなかでも、（１）反応性基がカルボキシル基であるとともに、反応性基と反応可能な基がエポキシ基である場合が挙げられる。このような組合せによりアルカリ可溶性重合体（ｂ）に重合性基を導入する方法は、例えば、特開２００６−１２４６６４号公報に開示されている。更に、（２）反応性基がヒドロキシル基であるとともに、反応性基と反応可能な基がイソシアネート基である場合が挙げられる。このような組合せによりアルカリ可溶性重合体（ｂ）に重合性基を導入する方法は、例えば、特開２００７−２４１２４７号公報に開示されている。
【００５８】
上記（１）の場合、即ち、アルカリ可溶性重合体（ｂ）が反応性基としてカルボキシル基を有するとともに、このカルボキシル基と反応可能な基としてエポキシ基を用いる場合には、エポキシ基と重合性基とを有する重合性基導入成分（重合性基導入化合物）を用いることができる。より具体的には、重合性基として（メタ）アクリロリル基を有するとともに、エポキシ基を有する化合物が挙げられる。即ち、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル｛４−（２，３−エポキシ）ブチル（メタ）アクリレート｝等が挙げられる。これらの化合物は１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
上記重合性基導入成分の配合量は、条件により適宜の範囲とすることができるが、例えば、アルカリ可溶性重合体（ｂ）中のカルボキシル基のモル数に対し、モル分率で５〜９０モル％とすることが好ましく、１０〜８０モル％とすることがより好ましい。この範囲では、より優れた耐水性及び密着性を得ることができる。
【００５９】
上記（２）の場合、即ち、アルカリ可溶性重合体（ｂ）が反応性基としてヒドロキシル基を有するとともに、このヒドロキシル基と反応可能な基としてイソシアネート基を用いる場合には、イソシアネート基と重合性基とを有する重合性基導入成分（重合性基導入化合物）を用いることができる。より具体的には、重合性基として（メタ）アクリロリル基を有するとともに、イソシアネート基を有する化合物が挙げられる。即ち、例えば、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート、３−（メタ）アクリロイルオキシプロピルイソシアネート、４−（メタ）アクリロイルオキシブチルイソシアネート、６−（メタ）アクリロイルオキシヘキシルイソシアネート、８−（メタ）アクリロイルオキシオクチルイソシアネート、１０−（メタ）アクリロイルオキシデシルイソシアネート等が挙げられる。これらの化合物は１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
上記重合性基導入成分の配合量は、条件により適宜の範囲とすることができる。
【００６０】
［２−３］多官能性単量体（Ｃ）
更に、前記感放射線性組成物には、多官能性単量体（Ｃ）を含有できる。多官能性単量体（Ｃ）は、分子中に重合が可能な不飽和結合（以下、単に「重合性不飽和結合」という）を少なくとも２個有する常温で液体又は固体の化合物である。前記重合性不飽和結合としては、エチレン性不飽和結合等が含まれる。このような多官能性単量体（Ｃ）としては、下記（１）〜（６）が挙げられる。これらの（１）〜（６）の多官能性単量体（Ｃ）は、１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００６１】
（１）エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルキレングリコールのジ（メタ）アクリレート類；即ち、例えば、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１、９−ノナンジオールジアクリレート、２−ｎ−ブチル−２−エチル−１、３−プロパンジオールジアクリレート等が含まれる。
【００６２】
（２）ジエチレングリコール以上のポリエチレングリコール、ジプロピレングリコール以上のポリプロピレングリコール等のポリアルキレングリコールのジ（メタ）アクリレート類；即ち、例えば、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート等が含まれる。
【００６３】
（３）グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の３価以上の多価アルコールのジ（メタ）アクリレート類及びこれらのジ（メタ）アクリレート類のジカルボン酸変性物；即ち、例えば、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレートジ（メタ）アクリレート、テトラメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート等が含まれる。
【００６４】
（４）ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等のオリゴ（メタ）アクリレート類；ビスフェノールＡジグリシジルエーテルに（メタ）アクリル酸を付加させたエポキシ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジ（メタ）アクリロイルオキシエチルエーテル、ビスフェノールＡジ（メタ）アクリロイルオキシエチルオキシエチルエーテル、ビスフェノールＡジ（メタ）アクリロイルオキシメチルエチルエーテル等が含まれる。
【００６５】
（５）両末端に水酸基を有するポリ−１，３−ブタジエン、両末端に水酸基を有するポリイソプレン、両末端に水酸基を有するポリカプロラクトン等の両末端に水酸基を有する重合体のジ（メタ）アクリレート類；
（６）トリス〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕フォスフェート、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレート等のその他の多官能性単量体；
【００６６】
更に、これらの多官能性単量体（Ｃ）のなかでも、重合性不飽和結合を３つ以上且つ６つ以下有する多官能性単量体（ｃ）を用いることが好ましい。この多官能性単量体（ｃ）は、１つの分子内に３〜６つの重合性不飽和結合を有する単量体である。この重合性不飽和結合は、重合が可能な不飽和結合を意味し、エチレン性不飽和結合等が含まれる。即ち、多官能性単量体（ｃ）は、エチレン性不飽和結合を３つ以上且つ６つ以下有するものであることが好ましい。
【００６７】
更に、エチレン性不飽和結合は、どのような化学構造中に含まれてもよい。即ち、例えば、（メタ）アクリル基、ビニル基、アリル基等が挙げられる。これらのなかでも（メタ）アクリル基が好ましい。（メタ）アクリル基は、下記式（１）で表される基である。
【化１】
0005527093.tif 000002
〔式（１）中、Ｒ１１は水素原子又はメチル基を表す。Ｒ１２及びＲ１３は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子又は１価の有機基を表す。〕
【００６８】
前記式（１）における１価の有機基としては、アルキル基、アルケニル基、アリール基、アリル基、グリシジル基等が挙げられる。これらの１価の有機基は各々置換基によって置換されていてもよい。この置換基としては、水酸基、カルボキシル基、エポキシ基、オキソ基、アミノ基、シアノ基、シアニル基、イソシアニル基、（メタ）アクリロイル基、（メタ）アクリロイルオキシ基、ラクトニル基を有する基、カルボン酸無水物基を有する基、炭素数１〜４のアルキル基、炭素数１〜４のフルオロアルキル基、炭素数１〜４のヒドロキシアルキル基、炭素数２〜５のシアノアルキル基、炭素数１〜４のアルコキシル基、炭素数２〜５のアルコキシメチル基、炭素数２〜５のアルコキシカルボニル基（但し、酸解離性のものを除く）、炭素数２〜５のアルコキシカルボニルアミノ基、炭素数１〜４のアルコキシスルホニル基、炭素数１〜４のアルキルアミノスルホニル基等が挙げられる。但し、この１価の有機基には、重合性不飽和結合を含まれない。
【００６９】
前記（メタ）アクリル基を３つ以上且つ６つ以下有する多官能性単量体としては、各種のトリ（メタ）アクリレート化合物、テトラ（メタ）アクリレート化合物、ペンタ（メタ）アクリレート化合物、及び、ヘキサ（メタ）アクリレート化合物等が挙げられる。
より具体的には、〈１〉多価アルコールの（メタ）アクリレート化合物、及び、〈２〉多価アルコールとアルキレンオキサイドとの反応物を（メタ）アクリレート化した化合物、などが挙げられる。このうち、〈２〉化合物は、多価アルコールの残基と、ポリアルキレンオキシド鎖及びアクリル基を有する下記式（２）で表される基と、を有する化合物である。
【化２】
0005527093.tif 000003
〔式（２）中、Ｒ１１は水素原子又はメチル基を表す。Ｒ１２及びＲ１３は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子又は１価の有機基を表す。ｎは１〜５であり、ｍは１〜１０である。〕
尚、式（２）における１価の有機基は、前記式（１）における１価の有機基をそのまま適用できる。
【００７０】
前記多価アルコールとしては、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン等があげられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
前記アルキレンオキサイドとしては、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイド、ブチレンオキサイド等があげられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。また、ポリアルキレンオキシド基としては、ポリエチレンオキシド基、ポリプロピレンオキシド基、ポリブチレンオキシド基などが挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００７１】
即ち、前記多官能性単量体（ｃ）として、下記式（３）で表されるペンタエリスリトール（メタ）アクリレート化合物が挙げられる。
【化３】
0005527093.tif 000004
〔式（３）中、Ｒ２〜Ｒ５のうちの３つ以上の基は、各々独立に、下記式（１）又は下記式（２）で表される基であり、残りの基は水素原子、ハロゲン原子又は１価の有機基である。〕
尚、式（３）における残りの基を構成できる１価の有機基は、前記式（１）における１価の有機基をそのまま適用できる。
【化４】
0005527093.tif 000005
〔式（１）中、Ｒ１１は水素原子又はメチル基を表す。Ｒ１２及びＲ１３は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子又は１価の有機基を表す。〕
【化５】
0005527093.tif 000006
〔式（２）中、Ｒ１１は水素原子又はメチル基を表す。Ｒ１２及びＲ１３は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子又は１価の有機基を表す。ｎは１〜５であり、ｍは１〜１０である。〕
【００７２】
前記式（３）で表されるペンタエリスリトール（メタ）アクリレート化合物としては、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールポリアルコキシレートトリ（メタ）アクリレート、及び、ペンタエリスリトールポリアルコキシレートテトラ（メタ）アクリレート等が挙げられる。また、前記式（２）に示す基が含まれる場合においては、ｎは１〜５が好ましく、１〜２が好ましい。また、ｍは１〜１０が好ましく、１〜２がより好ましい。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００７３】
また、前記多官能性単量体（ｃ）として、下記式（４）で表されるジペンタエリスリトール（メタ）アクリレート化合物が挙げられる。
【化６】
0005527093.tif 000007
〔式（４）中、Ｒ２〜Ｒ７のうちの３つ以上の基は、各々独立に、下記式（１）又は下記式（２）で表される基であり、残りの基は水素原子、ハロゲン原子又は１価の有機基である。〕
尚、式（４）における残りの基を構成できる１価の有機基は、前記式（１）における１価の有機基をそのまま適用できる。
【化７】
0005527093.tif 000008
〔式（１）中、Ｒ１１は水素原子又はメチル基を表す。Ｒ１２及びＲ１３は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子又は１価の有機基を表す。〕
【化８】
0005527093.tif 000009
〔式（２）中、Ｒ１１は水素原子又はメチル基を表す。Ｒ１２及びＲ１３は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子又は１価の有機基を表す。ｎは１〜５であり、ｍは１〜１０である。〕
【００７４】
前記式（４）で表されるジペンタエリスリトール（メタ）アクリレート化合物としては、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールポリアルコキシレートトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールポリアルコキシレートテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールポリアルコキシレートペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールポリアルコキシレートヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。また、前記式（２）に示す基が含まれる場合においては、ｎは１〜５が好ましく、１〜２がより好ましい。また、ｍは１〜１０が好ましく、１〜２がより好ましい。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００７５】
更に、前記多官能性単量体（ｃ）として、下記式（５）で表されるトリメチロールプロパン（メタ）アクリレート化合物が挙げられる。
【化９】
0005527093.tif 000010
〔式（５）中、Ｒ２〜Ｒ４は、各々独立に、下記式（１）又は下記式（２）で表される基である。〕
【化１０】
0005527093.tif 000011
〔式（１）中、Ｒ１１は水素原子又はメチル基を表す。Ｒ１２及びＲ１３は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子又は１価の有機基を表す。〕
【化１１】
0005527093.tif 000012
〔式（２）中、Ｒ１１は水素原子又はメチル基を表す。Ｒ１２及びＲ１３は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子又は１価の有機基を表す。ｎは１〜５であり、ｍは１〜１０である。〕
【００７６】
前記式（５）で表されるトリメチロールプロパン（メタ）アクリレート化合物としては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、及び、トリメチロールプロパンポリアルコキシレートトリ（メタ）アクリレート等が挙げられる。また、前記式（２）に示す基が含まれる場合においては、ｎは１〜５が好ましく、１〜２がより好ましい。また、ｍは１〜１０が好ましく、１〜２がより好ましい。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００７７】
また、前記多官能性単量体（ｃ）として、下記式（６）で表されるジトリメチロールプロパン（メタ）アクリレート化合物が挙げられる。
【化１２】
0005527093.tif 000013
〔式（６）中、Ｒ２〜Ｒ５のうちの３つ以上の基は、各々独立に、下記式（１）又は下記式（２）で表される基であり、残りの基は水素原子、ハロゲン原子又は１価の有機基である。〕
尚、式（６）における残りの基を構成できる１価の有機基は、前記式（１）における１価の有機基をそのまま適用できる。
【化１３】
0005527093.tif 000014
〔式（１）中、Ｒ１１は水素原子又はメチル基を表す。Ｒ１２及びＲ１３は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子又は１価の有機基を表す。〕
【化１４】
0005527093.tif 000015
〔式（２）中、Ｒ１１は水素原子又はメチル基を表す。Ｒ１２及びＲ１３は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子又は１価の有機基を表す。ｎは１〜５であり、ｍは１〜１０である。〕
【００７８】
前記式（６）で表されるジトリメチロールプロパン（メタ）アクリレート化合物としては、ジトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンポリアルコキシレートトリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンポリアルコキシレートテトラ（メタ）アクリレート等が挙げられる。また、前記式（２）に示す基が含まれる場合においては、ｎは１〜５が好ましく、１〜２がより好ましい。また、ｍは１〜１０が好ましく、１〜２がより好ましい。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００７９】
更に、感放射線性組成物では、多官能性単量体（Ｃ）｛多官能性単量体（ｃ）を含む｝の一部を、１つの重合性不飽和結合を有する単官能性単量体で置き換えることができる。
前記単官能性単量体としては、前記重合体（Ｂ）において例示される不飽和化合物を用いることができる他、Ｎ−ビニルサクシンイミド、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルフタルイミド、Ｎ−ビニル−２−ピペリドン、Ｎ−ビニル−ε−カプロラクタム、Ｎ−ビニルピロール、Ｎ−ビニルピロリジン、Ｎ−ビニルイミダゾール、Ｎ−ビニルイミダゾリジン、Ｎ−ビニルインドール、Ｎ−ビニルインドリン、Ｎ−ビニルベンズイミダゾ−ル、Ｎ−ビニルカルバゾール、Ｎ−ビニルピペリジン、Ｎ−ビニルピペラジン、Ｎ−ビニルモルフォリン、Ｎ−ビニルフェノキサジン等のＮ−ビニル含窒素複素環式化合物；Ｎ−（メタ）アクリロイルモルフォリンや、市販品として、Ｍ−５３００、Ｍ−５４００、Ｍ−５６００（以上、東亞合成株式会社製）等を用いることができる。これらの単官能性単量体は、１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。単官能性単量体を用いる場合、多官能性単量体（Ｃ）と単官能性単量体の合計を１００質量％とすると、単官能性単量体は５０質量％以下とすることが好ましい。
【００８０】
前記感放射線性組成物における多官能性単量体（Ｃ）の含有量は特に限定されないが、感放射線性組成物全体１００質量％に対して、通常、３〜７０質量％である。この範囲では、特に優れた密着性及び耐水性を得ることができる。
また、この含有量は、重合体（Ｂ）が含まれる場合においては、重合体（Ｂ）１００質量部に対して、５〜５００質量部が好ましく、２０〜３００質量部がより好ましく、３０〜１５０質量部が更に好ましく、４０〜８０質量部が特に好ましい。この範囲では、特に優れた密着性及び耐水性を得ることができる。
更に、前記多官能性単量体（ｃ）を含有する場合、多官能性単量体（Ｃ）全体を１００質量％とした場合に、少なくとも１０質量％以上含有されることが好ましく、５０〜１００質量％がより好ましく、８０〜１００質量％が特に好ましい。
【００８１】
［２−４］感放射線性重合開始剤（Ｄ）
更に、前記感放射線性組成物には、感放射線性重合開始剤（Ｄ）を含有できる。感放射線性重合開始剤（Ｄ）は、露光により前記多官能性単量体（ｃ）の重合を誘発する成分である。露光に用いる放射線種は特に限定されないことは、前記露光工程における記載と同じであり、利用できる放射線種についてもそのまま適用できる。
この感放射線性重合開始剤（Ｄ）としては、アシルホスフィンオキサイド系化合物、ビイミダゾール系化合物、ベンゾイン系化合物、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、トリアジン系化合物、Ｏ−アシルオキシム型化合物等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００８２】
前記アシルホスフィンオキサイド系化合物（ｄ）は、下記式（７）又は下記式（８）で表される化合物である。
【化１５】
0005527093.tif 000016
〔式（７）中のＲ１及びＲ２は、各々独立に、脂肪族基、芳香族基、脂肪族オキシ基、芳香族オキシ基、複素環基を表し、Ｒ３は、脂肪族基、芳香族基、複素環基を表す。Ｒ１とＲ２は結合して５員環乃至９員環の環構造を形成できる。また、前記環構造は、環構造中に酸素原子、窒素原子及び硫黄原子から選ばれるヘテロ原子を含む複素環であってもよい。〕
【００８３】
【化１６】
0005527093.tif 000017
〔式（８）中のＲ１及びＲ３は、各々独立に、アルキル基、アリール基、複素環基を表し、Ｒ２は、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、複素環基を表す。〕
【００８４】
前記式（７）中のＲ１、Ｒ２及びＲ３における脂肪族基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アラルキル基等が挙げられる。これらの脂肪族基は、環状脂肪族基でも鎖状脂肪族基でもよい。また、鎖状脂肪族基においては分岐を有していてもよく、有していなくてもよい。更に、前記脂肪族基は下記置換基（Ｚ）により置換されていてもよい。
【００８５】
前記置換基（Ｚ）としては、−ＣＯＯＨ（カルボキシル基）、−ＳＯ３Ｈ（スルホ基）、−ＣＮ（シアノ基）、ハロゲン原子（フッ素原子、塩素原子、臭素原子等）、−ＯＨ（ヒドロキシ基）、炭素数３０以下のアルコキシカルボニル基（メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ベンジルオキシカルボニル基等）、炭素数３０以下のアルキルスルホニルアミノカルボニル基、アリールスルホニルアミノカルボニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、炭素数３０以下のアシルアミノスルホニル基、炭素数３０以下のアルコキシ基（メトキシ基、エトキシ基、ベンジルオキシ基、フェノキシエトキシ基、フェネチルオキシ基等）、炭素数３０以下のアルキルチオ基（メチルチオ基、エチルチオ基、メチルチオエチルチオエチル基等）、炭素数３０以下のアリールオキシ基（フェノキシ基、ｐ−トリルオキシ基、１−ナフトキシ基、２−ナフトキシ基等）、ニトロ基、アルコキシカルボニルオキシ基、アリールオキシカルボニルオキシ基、炭素数３０以下のアシルオキシ基（アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基等）、炭素数３０以下のアシル基（アセチル基、プロピオニル基、ベンゾイル基等）、カルバモイル基（カルバモイル基、Ｎ，Ｎ−ジメチルカルバモイル基、モルホリノカルボニル基、ピペリジノカルボニル基等）、スルファモイル基（例えば、スルファモイル基、Ｎ，Ｎ−ジメチルスルファモイル基、モルホリノスルホニル基、ピペリジノスルホニル基等）、炭素数３０以下のアリール基（フェニル基、４−クロロフェニル基、４−メチルフェニル基、α−ナフチル基等）、置換アミノ基（アミノ基、アルキルアミノ基、ジアルキルアミノ基、アリールアミノ基、ジアリールアミノ基、アシルアミノ基等）、置換ウレイド基、置換ホスホノ基、複素環基等が挙げられる。これらの置換基は１種のみを用いてもよく２種以上が併用されてもよい。更に、前記カルボキシル基、スルホ基、ヒドロキシ基、及び、ホスホノ基は、各々塩の状態であってもよい。塩を形成するカチオンとしては、陽イオンを形成し得る基であり、有機カチオン性化合物、遷移金属配位錯体カチオン又は金属カチオンが好ましい。
【００８６】
前記脂肪族基のなかでも中でも、アルキル基（置換及び無置換）、アルケニル基（置換及び無置換）又はアラルキル基（置換及び無置換）が好ましく、アルキル基（置換及び無置換）が特に好ましい。
【００８７】
前記アルキル基（置換及び無置換）としては、直鎖状、分岐状、環状のアルキル基が挙げられる。アルキル基の炭素数は特に限定されないが、１以上３０以下が好ましく、１以上２０以下がより好ましい。置換アルキル基のアルキル部分の炭素数は特に限定されないが、１以上３０以下が好ましく、１以上２０以下がより好ましい。
前記アルキル基（置換及び無置換）としては、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、２−エチルヘキシル基、デシル基、ドデシル基、オクタデシル基、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、ネオペンチル基、イソプロピル基、イソブチル基等が挙げられる。
【００８８】
前記アルケニル基（置換及び無置換）としては、直鎖状、分岐状、環状のアルケニル基が挙げられる。アルケニル基の炭素数は特に限定されないが、２以上３０以下が好ましく、２以上２０以下がより好ましい。
前記アルキニル基（置換及び無置換）としては、直鎖状、分岐状、環状のアルキニル基が挙げられる。アルキニル基の炭素数は特に限定されないが、２以上３０以下が好ましく、２以上２０以下がより好ましい。
前記アラルキル基（置換及び無置換）としては、直鎖状、分岐状、環状のアルキル側鎖を有するアラルキル基が挙げられる。アラルキル基の炭素数は特に限定されないが、７以上３５以下が好ましく、７以上２５以下がより好ましい。前記アラルキル基のアリール部分は、置換基を有していてもよい。この置換基としては前記各種置換基（Ｚ）が挙げられる他、炭素数３０以下の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００８９】
前記式（７）中のＲ１、Ｒ２及びＲ３における芳香族基としては、アリール基が挙げられる。このアリール基は前記置換基（Ｚ）及び炭素数３０以下の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基により置換されていてもよい。アリール基の炭素数は特に限定されないが、６以上３０以下が好ましく、６以上２０以下がより好ましい。
前記アリール基の具体例としては、フェニル基、α−ナフチル基、β−ナフチル基等が挙げられる。
【００９０】
前記式（７）中のＲ１又はＲ２における脂肪族オキシ基としては、炭素数１以上３０以下のアルコキシ基が好ましい。このアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、ブトキシ基、オクチルオキシ基、フェノキシエトキシ基等が挙げられる。
前記式（７）中のＲ１又はＲ２における芳香族オキシ基としては、炭素数６以上３０以下のアリールオキシ基が好ましい。このアリールオキシ基としては、フェノキシ基、メチルフェニルオキシ基、クロロフェニルオキシ基、メトキシフェニルオキシ基、オクチルオキシフェニルオキシ基等が挙げられる。
【００９１】
前記式（７）中のＲ１、Ｒ２又はＲ３における複素環基としては、Ｎ、Ｏ又はＳ原子を含む複素環基が好ましい。この複素環基としては、ピリジル基、フリル基、チエニル基、イミダゾリル基、ピロリル基等が挙げられる。
【００９２】
更に、具体的には、前記式（７）におけるＲ１及びＲ２は各々独立に、フェニル基、メトキシ基、又は、イソプロポキシ基であることが好ましい。更に、Ｒ３は２，４，６−トリメチルフェニル基、２，４−ジメチルフェニル基、２−メチルフェニル基（ｏ−トルイル基）、イソブチル基、又は、ｔ−ブチル基であることが好ましい。
【００９３】
即ち、例えば、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスインオキサイド、イソブチリル−メチルホスフィン酸メチルエステル、イソブチリル−フェニルホスフィン酸メチルエステル、ピバロイル−フェニルホスフィン酸メチルエステル、２−エチルヘキサノイル−フェニルホスフィン酸メチルエステル、ピバロイル−フェニルホスフィン酸イソプロピルエステル、ｐ−トルイル−フェニルホスフィン酸メチルエステル、ｏ−トルイル−フェニルホスフィン酸メチルエステル、２，４−ジメチルベンゾイル−フェニルホスフィン酸メチルエステル、ｐ−三級ブチルベンゾイル−フェニルホスフィン酸イソプロピルエステル、アクリロイル−フェニルホスフィン酸メチルエステル、イソブチリル−ジフェニルホスフィンオキサイド、２−エチルヘキサノイル−ジフェニルホスフィンオキサイド、ｏ−トルイル−ジフェニルホスフィンオキサイド、ｐ−三級ブチルベンゾイル−ジフェニルホスフィンオキサイド、３−ピリジルカルボニル−ジフェニルホスフィンオキサイド、アクリロイル−ジフェニルホスフィンオキサイド、ベンゾイル−ジフェニルホスフィンオキサイド、ピバロイル−フェニルホスフィン酸ビニルエステル、アジポイル−ビス−ジフェニルホスフィンオキサイド、ピバロイル−ジフェニルホスフィンオキサイド、ｐ−トルイル−ジフェニルホスフィンオキサイド、４−(三級ブチル)−ベンゾイル−ジフェニルホスフィンオキサイド、２−メチルベンゾイル−ジフェニルホスフィンオキサイド、２−メチル−２−エチルヘキサノイル−ジフェニルホスフィンオキサイド、１−メチル−シクロヘキサノイル−ジフェニルホスフィンオキサイド、ピバロイル−フェニルホスフィン酸メチルエステル及びピバロイル−フェニルホスフィン酸イソプロピルエステル等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００９４】
前記式（８）中のＲ１、Ｒ２又はＲ３におけるアルキル基、アリール基、複素環基、アルコキシ基及びアリールオキシ基は、各々前記式（７）で示したアルキル基、アリール基、複素環基、アルコキシ基及びアリールオキシ基を適用できる。これらのアルキル基、アリール基、複素環基、アルコキシ基及びアリールオキシ基は、前記置換基（Ｚ）により置換されていてもよい。
【００９５】
更に、具体的には、前記式（８）におけるＲ１及びＲ３は各々独立に、２，４，６−トリメチルフェニル基、２，６−ジメチルフェニル基、又は、２，６−ジメトキシフェニル基であることが好ましい。更に、Ｒ２はフェニル基、又は、２，４，４−トリメチルペンチル基であることが好ましい。
【００９６】
即ち、例えば、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−フェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−２，５−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−４−エトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−４−プロピルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−２−ナフチルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−１−ナフチルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−４−クロルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−２，４−ジメトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−デシルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−４−オクチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−２，５−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロル−３，４，５−トリメトキシベンゾイル）−２，５−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロル−３，４，５−トリメトキシベンゾイル）−４−エトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２−メチル−１−ナフトイル）−２，５−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２−メチル−１−ナフトイル）−４−エトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２−メチル−１−ナフトイル）−２−ナフチルホスフィンオキサイド、ビス（２−メチル−１−ナフトイル）−４−プロピルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２−メチル−１−ナフトイル）−２，５−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２−メトキシ−１−ナフトイル）−４−エトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２−クロル−１−ナフトイル）−２，５−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルホスフィンオキサイド等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００９７】
前記ビイミダゾール系化合物としては、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニル）−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニル）−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４，６−トリクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４，６−トリブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００９８】
前記ベンゾイン系化合物としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、２−ベンゾイル安息香酸メチル等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００９９】
前記アセトフェノン系化合物としては、２，２−ジメトキシアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノプロパン−１−オン、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル−（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【０１００】
前記ベンゾフェノン系化合物としては、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
前記α−ジケトン系化合物としては、ジアセチル、ジベンゾイル、メチルベンゾイルホルメート等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
前記多核キノン系化合物としては、アントラキノン、２−エチルアントラキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
前記キサントン系化合物としては、キサントン、チオキサントン、２−クロロチオキサントン等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【０１０１】
前記トリアジン系化合物としては、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−ｎ−ブトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【０１０２】
前記Ｏ−アシルオキシム型化合物としては、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−［２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）メトキシベンゾイル］−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【０１０３】
前記感放射線性組成物における感放射線性重合開始剤（Ｄ）の含有量は特に限定されないが、感放射線性組成物全体１００質量％に対して、通常、０．５〜５０質量％である。この範囲では、特に優れた密着性及び耐水性を得ることができる。
また、この含有量は、後述する重合体（Ｂ）が含まれる場合においては、重合体（Ｂ）１００質量部に対して、１〜１５０質量部が好ましく、３〜１４０質量部がより好ましく、１０〜８０質量部が更に好ましく、２０〜６０質量部が特に好ましい。この範囲では、特に優れた密着性及び耐水性を得ることができる。
また、前記感放射線性組成物において、アシルホスフィンオキサイド系化合物（アシルホスフィンオキサイド系感放射線性重合開始剤）と他の感放射線性重合開始剤とを併用する場合、他の感放射線性重合開始剤の含有量は特に限定されないが、アシルホスフィンオキサイド系化合物（ｄ）１００質量部に対して、他の感放射線性重合開始剤は１０〜２００質量部が好ましく、２０〜１５０質量部がより好ましく、３０〜７０量部が特に好ましい。この範囲では、特に優れた密着性及び耐水性を得ることができる。
【０１０４】
［２−５］その他の成分
その他、前記感放射線性組成物には、必要に応じて、接着助剤（Ｅ）、界面活性剤（Ｆ）及び有機溶媒（Ｇ）等を含有できる。
このうち接着助剤（Ｅ）は、素基板と隔壁との接着性を更に向上させるために成分であり、この接着助剤としては官能性シランカップリング剤が好ましい。即ち、例えば、カルボキシル基、メタクリロイル基、イソシアネート基、エポキシ基等の反応性置換基を有するシランカップリング剤が好ましい。官能性シランカップリング剤としては、トリメトキシシリル安息香酸、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−イソシアナートプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、トリス−（３−トリメトキシシリルプロピル）イソシアヌレートなどが挙げられる。
【０１０５】
前記感放射線性組成物に対する接着助剤（Ｅ）の含有量は特に限定されないが、感放射線性組成物全体１００質量％に対して、通常、０．０００５〜７質量％である。この範囲では、特に優れた密着性及び耐水性を得ることができる。
また、この含有量は、重合体（Ｂ）が含まれる場合においては、重合体（Ｂ）１００質量部に対して、通常、２０質量部以下であり、好ましくは０．００１〜１５質量部、更に好ましくは０．０１〜１０質量部、特に好ましくは０．１〜７質量部である。この範囲では、より優れた密着性を得ることができる。
【０１０６】
前記界面活性剤（Ｆ）の種類は特に限定されず、種々のものを適宜選択して用いることができる。この界面活性剤（Ｆ）は密着助剤としても機能される。感放射線性組成物に対する界面活性剤（Ｆ）の含有量は特に限定されないが、通常、感放射線性組成物全体１００質量％に対して、０．００００５〜１０質量％である。この範囲では、特に優れた密着性及び耐水性を得ることができる。
また、この含有量は、重合体（Ｂ）が含まれる場合においては、重合体（Ｂ）１００質量部に対して、通常、２０質量部以下であり、好ましくは０．０００１〜１５質量部、更に好ましくは０．００１〜１０質量部、特に好ましくは０．０１〜５質量部である。この範囲では、より優れた密着性を得ることができる。
【０１０７】
前記有機溶媒（Ｇ）の種類は特に限定されず、種々のものを適宜選択して用いることができる。有機溶媒（Ｇ）としては、エチレングリコール等のアルコール類；テトラヒドロフラン等の環状エーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテル等の多価アルコールのアルキルエーテル類；プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等の多価アルコールのアルキルエーテルアセテート類；トルエン等の芳香族炭化水素類；メチルエチルケトン等のケトン類；酢酸エチル等のエステル類などが挙げられる。これらの溶媒（Ｆ１）は１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【０１０８】
前記感放射線性組成物に対する溶剤（Ｇ）の含有量は特に限定されず、塗布形態等に適した固形分濃度となるように用いられる。また、感放射線性組成物の固形分濃度は、隔壁部の高さにより適宜選択することができ特に限定されないが、１０〜９０質量％が好ましく、３０〜８０質量％がより好ましく、４０〜７０質量％が更に好ましい。
【０１０９】
［３］マイクロアレイ用基板の隔壁（バイオチップ用隔壁を含む）
本発明のマイクロアレイ用基板の隔壁（バイオチップ用隔壁を含む）隔壁は、前記感放射線性組成物を用いて得られたことを特徴とする。即ち、前記本発明の感放射線性組成物を用いて素基板１０上に第１膜２１を形成した後、この第１膜２１をリソグラフィー法によりパターニングして形成された隔壁２０である（図１〜３参照）。
【０１１０】
この隔壁の性状は特に限定されず適宜のものとすることができる、厚さ５μｍにおいて、波長５５０ｎｍの光に対する透過率が０〜１０％とすることができる。この範囲では、混色を防ぐ点において特に優れた特性を発揮できる。
更に、隔壁の形状は特に限定されず適宜のものとすることができるが、通常、前記キャビティ間において、少なくとも１μｍ以上の幅（キャビティ間を隔てる距離）を有することが好ましい。更に、この幅は１〜１０００μｍが好ましく、２〜５００μｍがより好ましく、５〜５０μｍが特に好ましい。
【０１１１】
［４］バイオチップの製造方法（１）
本発明の第１のバイオチップの製造方法（図３及び図４参照）は、（ＰＲ１）マイクロアレイ用基板製造工程（即ち、素基板に隔壁を形成する隔壁形成工程）と、（ＰＲ２）固定用物質配置工程と、（ＰＲ３）固定化工程と、を備えることを特徴とする。
【０１１２】
前記「マイクロアレイ用基板製造工程（ＰＲ１）」（図３参照）は、前記マイクロアレイ用基板の製造方法を用いて、素基板１０上に前記隔壁２０を形成する工程である。このマイクロアレイ用基板工程については、前記マイクロアレイ用基板の製造方法をそのまま適用できる。
【０１１３】
前記「固定用物質配置工程（ＰＲ２）」（図４参照）は、隔壁２０によって区画された領域３０（即ち、キャビティ）にターゲット物質５２を固定するための固定用物質５１を配置する工程である。
前記固定用物質５１とは、ターゲット物質と素基板とを連結する物質である。この固定用物質としては、ポリリシン、コラーゲン、ラミニン、含シアル酸オリゴ糖、マンノース結合性レクチン、インテグリンファミリーリガンド、ペプチド、抗原、抗体又は核酸等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
この固定用物質を固定する方法は特に限定されず、化学結合を用いた固定であってもよく、物理吸着を用いた固定であってもよく、更にその他の方法による固定であってもよい。
【０１１４】
この固定用物質配置工程（ＰＲ２）に際しては、予め前記隔壁２０が形成された素基板１０のキャビティ３０内の表面（素基板の表面及び隔壁の表面を含む）に対して、前記固定用物質５１の配置を助けるための表面処理や、後述するターゲット物質の付着を抑制するための表面処理等を施すことができる。この表面処理としては、脂質膜（細胞膜）と非特異的な付着を防止する性質をエチレンジアミン等により付与する方法等が挙げられる。
【０１１５】
前記「固定化工程（ＰＲ３）」（図４参照）は、固定用物質５１にターゲット物質５２を固定する工程である。
前記ターゲット物質５２とは、標的たる生体高分子等に対して特異的に結合し得る物質である。このターゲット物質としては、より具体的には生体関連物質が挙げられる。この生体関連物質としては、真核細胞、原核細胞、ウイルス、及びリポソーム等が挙げられる。更に、これらよりも更に小さい、ＤＮＡ、ＲＮＡ、ＰＮＡ、ＢＮＡ、人工核酸、プロテイン（ペプチド）、糖鎖、及びこれらを組み合わせたプローブ等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【０１１６】
このターゲット物質５２を固定する方法は特に限定されず、化学結合を用いた固定であってもよく、物理吸着を用いた固定であってもよい。
【０１１７】
［５］バイオチップの製造方法（２）
本発明の第２のバイオチップの製造方法（図３及び図５参照）は、（ＰＲ１）マイクロアレイ用基板製造工程（即ち、素基板に隔壁を形成する隔壁形成工程）と、（ＰＲ４）担持物質配置工程と、を備えることを特徴とする。
【０１１８】
前記「マイクロアレイ用基板製造（ＰＲ１）」（図３参照）は、前記マイクロアレイ用基板の製造方法を用いて、基板１０上に前記隔壁２０を形成する工程である。このマイクロアレイ用基板製造工程については、前記マイクロアレイ用基板の製造方法をそのまま適用できる。
【０１１９】
前記「担持物質配置工程（ＰＲ４）」（図５参照）は、固相但体５４の表面にターゲット物質５２を有する、担持物質５３を、前記隔壁２０が形成された素基板１０のキャビティ３０内に配置する工程である。
【０１２０】
前記固相但体５４とは、その表面にターゲット物質５２を担持するための固相物である。この固相担体５４は、通常、粒子である。粒子の種類は特に限定されず、有機粒子であってもよく、無機粒子であってもよいが、好ましくは無機粒子である。更には、無機粒子のなかでも、金属及び／又は金属酸化物等からなる粒子であることがより好ましい。金属及び／又は金属酸化物等からなる粒子としては、例えば、磁性粒子を用いることができる。磁性粒子は磁性を有する粒子である。磁性粒子を用いた場合は、ターゲット物質５２を固相単体５４から単離する際に外部磁場により容易に磁気単離することができる。
この磁性粒子を構成する材料としては、例えば、鉄、コバルト又はニッケルの塩、酸化物、ホウ化物又は硫化物並びに高い磁化率を有する稀土類元素（例えば、ヘマタイト又はフェライト）などが挙げられる。これらの材料は１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
磁性粒子の具体例としては、例えば、マグネタイト、鉄−鉛合金、鉄−白金合金、コバルト−白金合金などの強磁性合金が挙げられる。これらの磁性粒子は１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
また、前記固相担体５４が粒子である場合、粒子サイズは特には限定されず、ナノ粒子、マイクロ粒子、及びミリ粒子等を適宜用いることができる。
【０１２１】
また、固相但体５４の表面には、ターゲット物質５２を連結するために、固定用物質を表面に配置してもよい。固定用物質は、前記第１のバイオチップの製造方法における工程（ＰＲ２）において記載した固定用物質５１の説明をそのまま適用できる。
また、前記ターゲット物質５２は、前記第１のバイオチップの製造方法における工程（ＰＲ３）において記載したターゲット物質５２の説明をそのまま適用できる。
【０１２２】
更に、固相但体５４の表面にターゲット物質５２を有する、担持物質５３を、前記隔壁２０が形成された素基板１０のキャビティ３０内に配置する方法は特に限定されないが、通常、担持物質５３を含有する分散液を隔壁２０が形成された素基板１０に塗布することにより行われる。
【０１２３】
また、（ＰＲ４）工程においては、担持物質がマイクロアレイ用基板のキャビティ外に移動しないようにするために、キャビティ内に担持物質より小さいサイズの物質（例えばナノ粒子など）を配置することができある。さらに、バイオチップを効率的に機能させる、つまり、ターゲット物質とＤＮＡやＲＮＡなどの対象試料との反応（ハイブリダイゼーション）を促進するための触媒機能や酵素機能を有する物質を、キャビティ内に配置することができる。
【０１２４】
［６］バイオチップ
本発明のバイオチップは、本発明のバイオチップの製造方法によって得られたことを特徴とする。図１及び図２に例示されるマイクロアレイ用基板（プレバイオチップ）１０１は、少なくとも素板１０と隔壁２０とを有する。そして、この隔壁２０によって区画化された基板上の領域３０を有する。この区画化された領域３０は、隔壁２０によって取り囲まれており外観上は凹部（即ち、キャビティ３０）として認められる。このキャビティ３０は、通常、１つのマイクロアレイ用基板（プレバイオチップ）１０１に複数設けられている。このキャビティ３０はいわゆるウェルとして利用できる。更に、図４（最後段）に例示されるようにバイオチップは、キャビティ３０内の少なくとも基板（素基板）表面に配置された固定用物質５１と、この固定用物質５１に固定されたターゲット物質５２と、を備える。又は、図５（最後段）に例示されるようにバイオチップは、キャビティ３０内に配置された、固相但体５４の表面にターゲット物質５２を有した担持物質５３を備える。
【０１２５】
前記キャビティの開口形状は特に限定されず、四角形であってもよく、円形であってよく、三角形であってもよく、その他の多角形であってもよく、更にその他の形状であってもよい。
更に、キャビティは、開口部と同形状の底部形状であってよく（即ち、特選的に掘り下げられたキャビティであってもよく）、裾窄まりの形状であってもよく、更に他の形状であってもよい。
また、キャビティは、隔壁層を貫通して、隔壁層が積層されている下層（素基板やその他の層）の表面を底面としてもよく、また、隔壁層を貫通せず、隔壁層内において底面を有してもよい。
【０１２６】
本発明のバイオチップは、ＤＮＡシークエンシング用のバイオチップや、診断用のバイオチップなどの、蛍光を検知することにより機能するバイオチップとして利用できる。
【実施例】
【０１２７】
以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形態を更に具体的に説明する。但し、本発明は、この実施例に何ら制約されるものではない。尚、実施例の記載における「部」及び「％」は、特記しない限り質量基準である。
【０１２８】
［１］着色剤（Ａ）分散液の調製
［調製例１］分散液（ａ１）
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９｛紫色顔料（ａ）である｝２質量部、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１（ビックケミージャパン社製、分散剤）１質量部（固形分換算）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（溶媒）を、ビーズミルにより１２時間混合・分散して、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９が分散された固形分濃度２０質量％の分散液（ａ１）を得た。
【０１２９】
［調製例２］分散液（ａ２）
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２９｛紫色顔料（ａ）である｝４質量部、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１（ビックケミージャパン社製、分散剤）１質量部（固形分換算）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（溶媒）を、ビーズミルにより１２時間混合・分散して、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２９が分散された固形分濃度２０質量％の分散液（ａ２）を得た。
【０１３０】
［調製例３］分散液（ａ３）
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２３｛紫色顔料（ａ）である｝４質量部、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１（ビックケミージャパン社製、分散剤）１質量部（固形分換算）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（溶媒）を、ビーズミルにより１２時間混合・分散して、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２３が分散された固形分濃度２０質量％の分散液（ａ３）を得た。
【０１３１】
［調製例４］分散液（ａ４）
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６｛紫色顔料（ａ）ではない｝４質量部、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２３｛紫色顔料（ａ）ではない｝５質量部、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１（ビックケミージャパン社製、分散剤）１質量部（固形分換算）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（溶媒）を、ビーズミルにより１２時間混合・分散して、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６及びＣ．Ｉ．ピグメントレッド１２３が分散された固形分濃度２０質量％の分散液（ａ４）を得た。
【０１３２】
［２］重合体（Ｂ）｛アルカリ可溶性重合体｝の合成
［合成例１］重合体（ｂ１）
冷却管及び攪拌機を備えたフラスコに、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル３質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２００質量部を仕込んだ。引き続いて、単量体として、メタクリル酸１０質量部、トリシクロ［５．２．１．０２．６］デカニルメタクリレート２５質量部、イソボロニルアクリレート２０質量部、ｎ−ブチルアクリレート３０質量部、ｐ−イソプロペニルフェノール１５質量部を仕込むと共に、分子量調節剤として１−メチル−４−イソプロピリデン−１−シクロヘキセン５質量部を仕込んで、窒素置換した。その後ゆるやかに撹拌して、反応溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度を５時間保持して重合することにより、重合体（ｂ１）の溶液を得た。（Ｍｗ＝１０，０００、Ｍｎ＝６，０００、固形分濃度３１．２質量％）
【０１３３】
［合成例２］重合体（ｂ２）
下記表１に示す各単量体を表１に示す配合で用いた以外は、合成例１と同様の手法にて重合体（ｂ２）を得た。即ち、冷却管及び攪拌機を備えたフラスコに、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル３質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２００質量部を仕込んだ。引き続いて、単量体として、メタクリル酸１１質量部、トリシクロ［５．２．１．０２．６］デカニルメタクリレート１５質量部、イソボロニルアクリレート３９質量部、ｐ−イソプロペニルフェノール１５質量部、フェノキシジエチレングリコールアクリレート２０質量部を仕込むと共に、分子量調節剤として１−メチル−４−イソプロピリデン−１−シクロヘキセン５質量部を仕込んで、窒素置換した。その後ゆるやかに撹拌して、反応溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度を５時間保持して重合することにより、重合体（ｂ２）の溶液を得た。（Ｍｗ＝９，０００Ｍｎ＝４，５００、固形分濃度３０質量％）
【０１３４】
［合成例３］重合体（ｂ３）
表１に示すように、トリシクロ［５．２．１．０２．６］デカニルメタクリレート、イソボルニルアクリレート、及び、ｎ−ブチルアクリレートの各配合割合を変更するとともに、ｐ−イソプロペニルフェノールに換えてベンジルメタクリレートを用いた以外は、合成例１と同様にして、重合体（ｂ３）の溶液を得た。（Ｍｗ＝１０，０００、Ｍｎ＝４，０００、固形分濃度３０質量％）
【０１３５】
［合成例４］重合体（ｂ４）の合成
表１に示すように、メタクリル酸、及び、トリシクロ［５．２．１．０２．６］デカニルメタクリレートの各配合割合を変更するとともに、ｐ−イソプロペニルフェノールに換えてベンジルメタクリレートを用いた以外は、合成例１と同様にして、重合体（ｂ４）の溶液を得た。（Ｍｗ＝１０，０００、Ｍｎ＝４，０００、固形分濃度３０質量％）
尚、重合体（ｂ４）は、重合体（ｂ６）及び重合体（ｂ７）の原料重合体であり、本実施例では重合体（ｂ４）自体をそのまま利用しない。
【０１３６】
［合成例５］重合体（ｂ５）の合成
表１に示すように、メタクリル酸、及び、ｎ−ブチルアクリレートの各配合割合を変更するとともに、更に、ヒドロキシエチルアクリレート１５質量部を加えた以外は、合成例４と同様にして、重合体（ｂ５）の溶液を得た。（Ｍｗ＝１０，０００、Ｍｎ＝４，０００、固形分濃度３０質量％）
尚、重合体（ｂ５）は、重合体（ｂ８）の原料重合体であり、本実施例では重合体（ｂ５）自体をそのまま利用しない。
【０１３７】
［合成例６］重合体（ｂ６）の合成
合成例４で得られた重合体（ｂ４）１００質量部に、グリシジルメタクリレート（重合性基導入成分）１５質量部、テトラブチルアンモニウムブロミド１．４質量部、及び、４−メチルフェノール０．０５質量部を投入し、８０℃で１０時間反応｛重合体（ｂ４）が有するカルボキシル基と重合性基導入成分のエポキシ基との反応を目的とする｝させて、重合性基を有する重合体（ｂ６）の溶液を得た。（Ｍｗ＝１１，０００、Ｍｎ＝４，５００、固形分濃度３０質量％）
【０１３８】
［合成例７］重合体（ｂ７）の合成
合成例４で得られた重合体（ｂ４）１００質量部に、４−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル（重合性基導入成分）１５質量部、テトラブチルアンモニウムブロミド１．４質量部、及び、４−メチルフェノール０．０５質量部を投入し、８０℃で１０時間反応｛重合体（ｂ４）が有するカルボキシル基と重合性基導入成分のエポキシ基との反応を目的とする｝させて、重合性基を有する重合体（ｂ７）の溶液を得た。（Ｍｗ＝１１，０００、Ｍｎ＝４，５００、固形分濃度３０質量％）
【０１３９】
［合成例８］重合体（ｂ８）の合成
合成例５で得られた重合体（ｂ５）１００質量部に、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（重合性基導入成分、商品名「カレンズＭＯＩ」、昭和電工株式会社製）１８質量部、ジブチルスズラウレート０．３質量部、及び、４−メトキシフェノール０．１質量部を投入して、４０℃で１時間撹拌し、更に、６０℃で２時間撹拌して反応｛重合体（ｂ５）が有するヒドロキシル基と重合性基導入成分のイソシアネート基との反応を目的とする｝させて、重合性基を有する重合体（ｂ８）の溶液を得た。（Ｍｗ＝１１，０００、Ｍｎ＝４，５００、固形分濃度３５．０質量％）
尚、この合成例８では、反応の進行をＩＲ（赤外線）吸収スペクトルにより追跡し、時間とともに２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネートのイソシアネート基に由来する２２７０ｃｍ−１付近のピークが減少して行く様子が確認された。
【０１４０】
【表１】
0005527093.tif 000018
【０１４１】
［３］感放射線性組成物の調製
［実施例１］
前記［１］で得た紫色顔料（ａ）を含んだ分散液（ａ１）５質量部、前記［２］で得た重合体（ｂ１）１００質量部、下記多官能性単量体（ｃ１）３０質量部、下記多官能性単量体（ｃ２）３０質量部、下記感放射線性重合開始剤（ｄ１）２０質量部、下記感放射線性重合開始剤（ｄ２）２０質量部、下記接着助剤（Ｅ）３質量部、下記界面活性剤（Ｆ）０．１質量部を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート｛有機溶媒（Ｇ）である｝にて、固形分濃度が５５質量％となるように混合して、実施例１の感放射線性組成物（隔壁材形成用組成物）を得た。
【０１４２】
［実施例２〜３及び比較例１］
下記表２に示す成分を用いた以外は、実施例１と同じ手法にてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート｛有機溶媒（Ｇ）である｝で固形分濃度が５５質量％となるように混合して、実施例２〜９及び比較例１の感放射線性組成物（隔壁材形成用組成物）を調整した。
【０１４３】
【表２】
0005527093.tif 000019
【０１４４】
多官能性単量体（Ｃ）：
（ｃ１）ペンタエリスリトールテトラアクリレート
（ｃ２）ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（ｃ３）多官能性単量体；商品名「アロニックスＭ−４５０」、東亞合成社株式会社製、
【０１４５】
感放射線性重合開始剤（Ｄ）：
（ｄ１）２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン（商品名「イルガキュア６５１」、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製
（ｄ２）２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名「Ｌｕｃｉｒｉｎ  ＬＲ８９５３Ｘ」、ＢＡＳＦ社製、下記式（１０）に示すアシルホスフィンオキサイド系感放射線性重合開始剤。
【化１７】
0005527093.tif 000020
（ｄ３）感放射線性重合開始剤；商品名「イルガキュアＯＸＥ０１」、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製、
（ｄ４）感放射線性重合開始剤；商品名「イルガキュアＯＸＥ０２」、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製、
（ｄ５）感放射線性重合開始剤；商品名「イルガキュア８１９」、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製、
【０１４６】
接着助剤（Ｅ）：
（Ｅ）シランカップリング剤、トリス−（３−トリメトキシシリルプロピル）イソシアヌレート（商品名「Ｙ−１１５９７」、モメンティブ社製）
界面活性剤（Ｆ）：
（Ｆ）フッ素系界面活性剤（商品名「ＦＴＸ−２１８Ｆ」、ネオス社製）
【０１４７】
［４］評価
（１）隔壁に対する波長５００ｎｍ〜６００ｎｍ光及び５５０ｎｍ光の透過率の測定
シリコンウエハ上にスピンコート法にて、実施例１〜９及び比較例１の各感放射線性組成物を塗布した。その後、ホットプレートにて１１０℃で５分間加熱して厚さ５μｍの第１膜を得た。得られた第１膜について、分光光度計（日立社製、型式「Ｕー２０１０形」）を用いて、隔壁に対する波長５００〜６００ｎｍ光及び５５０ｎｍ光の透過率の測定を行った。得られた結果を表３に示した。
【０１４８】
（２）素基板に対する隔壁の密着性評価
シリコンウエハ上にスピンコート法にて、実施例１〜９及び比較例１の各感放射線性組成物を塗布した。その後、ホットプレートにて１１０℃で５分間加熱して厚さ４５μｍの第１膜を得た。
次いで、マスクを介して、超高圧水銀灯（ＯＳＲＡＭ社製、ＨＢＯ、出力１、０００Ｗ）を用いて、３００〜１０００ｍＪ／ｃｍ２の紫外光を照射した。露光量は、照度計｛株式会社オーク製作所製、型式「ＵＶ−Ｍ１０」）にプローブ（受光器、型式「ＵＶ−３５」）をつないだ照度計｝を用いて確認した。
その後、露光した第１膜を、２．３８重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を現像液として、室温で現像を行った後、流水洗浄し、更に窒素ブローした。次いで、オーブンを用いて２２０℃で１時間加熱して、厚さ（隔壁の高さ）３５μｍ、ピッチ３０μｍ、２５μｍ×２５μｍの正方形状の凹部（キャビティ）を１０個有するパターン（隔壁）を得た。
【０１４９】
得られた隔壁を走査型電子顕微鏡（日立社製、型式「Ｓ−４２００」）を用いて、倍率１０００倍において観察し、下記基準にて密着性評価を行い、表３に併記した。
「Ａ」：１０個の各キャビティ内を観察した際に隔壁と基板と剥がれを確認できない。
「Ｂ」：１０個の各キャビティ内を観察した際に隔壁と基板と剥がれを１つ以上確認できた。
【０１５０】
（３）隔壁の耐水性評価
前記（２）の密着性評価を行った隔壁（基板上に形成された隔壁）を、水に浸漬し、５５℃で２４時間保温した。その後、窒素ブローにて水を除去した。次いで、浸漬後の隔壁を走査型電子顕微鏡（日立社製、型式「Ｓ−４２００」）を用いて、倍率１０００倍において観察し、下記基準にて密着性評価を行い、表３に併記した。
「Ａ」：１０個の各キャビティ内を観察した際に隔壁と素基板と剥がれを確認できない。
「Ｂ」：１０個の各キャビティ内を観察した際に隔壁と素基板と剥がれを１つ以上確認できた。
【０１５１】
（４）感度の評価
前記（２）の基板に対する隔壁の密着性評価を行った際に、隔壁を形成するのに必要であった露光量を感度（ｍＪ／ｃｍ２）として表３に併記した。
【０１５２】
（５）ウェルの形状
前記（２）の密着性評価を行った隔壁により形成されたキャビティの形状（ウェルの形状）を、走査型電子顕微鏡（日立社製、型式「Ｓ−４２００」）を用いて観察し、下記基準にて評価を行た。
「Ａ」：１０個の各キャビティ内を観察した際、１０個全てのキャビティが２５μｍ×２５μｍの正方形状であった。
「Ｂ」：１０個の各キャビティ内を観察した際、１個以上のキャビティが２５μｍ×２５μｍの正方形状でなかった。
【０１５３】
【表３】
0005527093.tif 000021
【０１５４】
尚、本発明においては、上記の具体的実施例に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明の範囲内で種々変更した実施例とすることができる。
【符号の説明】
【０１５５】
１０；基板（素基板）、
２０；隔壁、２１；第１膜、
３０；キャビティ、区画化された領域、
４０；マスクパターン、
５１；固定用物質、５２；ターゲット物質、５３；担持物質、５４；固相担体、
１００；バイオチップ、
１０１；マイクロアレイ用基板（プレバイオチップ）。
【図１】
0005527093.tif 000022
【図２】
0005527093.tif 000023
【図３】
0005527093.tif 000024
【図４】
0005527093.tif 000025
【図５】
0005527093.tif 000026