(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品に対して所定の処理を行う電子部品処理部に、複数の前記電子部品を規則的に配列した電子部品集合体から個々の前記電子部品を供給する電子部品供給装置において、
前記電子部品ごとの位置に関する位置情報と、少なくとも良品、不良品、前記良品とは異なる回路パターンを有し、事前に実行した画像認識処理では認識できなかった認識不可能品のいずれかの属性とを対応づけてマッピングしたマッピング情報、及び比較の基礎となる前記電子部品の基本画像情報を記憶する記憶部と、
該記憶部に記憶してあるマッピング情報に基づいて、前記電子部品ごとの属性を所定順序で認識する認識部と、
該認識部で属性を認識した前記電子部品の画像情報を取得するイメージセンサと、
前記所定順序で個々の前記電子部品を前記電子部品処理部の所定位置に供給するために、前記電子部品集合体と前記電子部品処理部とを相対的に移動する移動部と、
前記認識部で認識した前記電子部品の属性が良品又は不良品である場合、前記イメージセンサで取得した前記電子部品の画像情報と、前記記憶部に記憶してある前記電子部品の前記基本画像情報とを比較し、両画像情報のずれ量に基づいて前記電子部品集合体と前記電子部品処理部との相対的な移動量を補正する移動補正部と、
前記認識部で認識した属性が認識不可能品である前記電子部品が、前記所定順序において二つ以上連続する場合、前記認識部で認識した属性が認識不可能品である前記電子部品を迂回して、前記認識部で認識した属性が良品又は不良品である前記電子部品に沿って前記イメージセンサを移動し、移動した位置で取得した前記電子部品の画像情報を用いて前記移動補正部での処理を行う迂回処理部と
を備えることを特徴とする電子部品供給装置。
【請求項２】
前記迂回処理部は、前記認識部で認識した属性が認識不可能品である前記電子部品が連続している方向に対して直交する方向に前記イメージセンサを移動することを特徴とする請求項１に記載の電子部品供給装置。
【請求項３】
前記迂回処理部は、前記認識部で認識した属性が認識不可能品である前記電子部品が所定数より多く連続している場合、前記認識部で認識した属性が認識不可能品である前記電子部品を迂回して、前記電子部品集合体と前記電子部品処理部との相対的な移動量を補正し、前記認識部で認識した属性が認識不可能品である前記電子部品が一つ又は所定数以下連続している場合、前記認識部で認識した属性が認識不可能品である前記電子部品を迂回せず、前記電子部品集合体と前記電子部品処理部との相対的な移動量を所定のピッチとすることを特徴とする請求項１又は２に記載の電子部品供給装置。
【請求項４】
前記マッピング情報は、前記電子部品ごとの位置に関する位置情報と、少なくとも良品、不良品、テスト素子、認識不可能品のいずれかの属性とを対応づけてマッピングした情報を含み、
前記移動補正部は、前記認識部で認識した前記電子部品の属性が良品、不良品、テスト素子である場合、前記イメージセンサで取得した前記電子部品の画像情報と、前記記憶部に記憶してある前記電子部品の前記基本画像情報とを比較し、両画像情報のずれ量に基づいて前記電子部品集合体と前記電子部品処理部との相対的な移動量を補正することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の電子部品供給装置。
【請求項５】
電子部品に対して所定の処理を行う電子部品処理部に、複数の前記電子部品を規則的に配列した電子部品集合体から個々の前記電子部品を供給する電子部品供給方法において、
記憶部に前記電子部品ごとの位置に関する位置情報と、少なくとも良品、不良品、前記良品とは異なる回路パターンを有し、事前に実行した画像認識処理では認識できなかった認識不可能品のいずれかの属性とを対応づけてマッピングしたマッピング情報、及び比較の基礎となる前記電子部品の基本画像情報を記憶してあり、記憶してあるマッピング情報に基づいて、前記電子部品ごとの属性を所定順序で認識する第１ステップと、
属性を認識した前記電子部品の画像情報をイメージセンサで取得する第２ステップと、
前記所定順序で個々の前記電子部品を前記電子部品処理部の所定位置に供給するために、前記電子部品集合体と前記電子部品処理部とを相対的に移動する第３ステップと、
認識した前記電子部品の属性が良品又は不良品である場合、取得した前記電子部品の画像情報と、記憶してある前記電子部品の前記基本画像情報とを比較し、両画像情報のずれ量に基づいて前記電子部品集合体と前記電子部品処理部との相対的な移動量を補正する第４ステップと、
前記第１ステップで認識した属性が認識不可能品である前記電子部品が、前記所定順序において二つ以上連続する場合、前記第１ステップで認識した属性が認識不可能品である前記電子部品を迂回して、前記第１ステップで認識した属性が良品又は不良品である前記電子部品に沿って前記イメージセンサを移動し、移動した位置で取得した前記電子部品の画像情報を用いて前記第４ステップでの処理を行う第５ステップと
を含むことを特徴とする電子部品供給方法。
【請求項６】
前記第５ステップで、前記第１ステップで認識した属性が認識不可能品である前記電子部品が連続している方向に対して直交する方向に前記イメージセンサを移動することを特徴とする請求項５に記載の電子部品供給方法。
【請求項７】
前記第５ステップで、前記第１ステップで認識した属性が認識不可能品である前記電子部品が所定数より多く連続している場合、前記第１ステップで認識した属性が認識不可能品である前記電子部品を迂回して、前記電子部品集合体と前記電子部品処理部との相対的な移動量を補正し、前記第１ステップで認識した属性が認識不可能品である前記電子部品が一つ又は所定数以下連続している場合、前記第１ステップで認識した属性が認識不可能品である前記電子部品を迂回せず、前記電子部品集合体と前記電子部品処理部との相対的な移動量を所定のピッチとすることを特徴とする請求項５又は６に記載の電子部品供給方法。
【請求項８】
前記マッピング情報は、前記電子部品ごとの位置に関する位置情報と、少なくとも良品、不良品、テスト素子、認識不可能品のいずれかの属性とを対応づけてマッピングした情報を含み、
前記第１ステップで認識した前記電子部品の属性が良品、不良品、テスト素子である場合、前記第４ステップは、取得した前記電子部品の画像情報と、記憶してある前記電子部品の前記基本画像情報とを比較し、両画像情報のずれ量に基づいて前記電子部品集合体と前記電子部品処理部との相対的な移動量を補正することを特徴とする請求項５乃至７のいずれか一項に記載の電子部品供給方法。
【請求項９】
電子部品に対して所定の処理を行う電子部品処理部に、複数の前記電子部品を規則的に配列した電子部品集合体から個々の前記電子部品を供給する電子部品供給装置で実行することが可能なコンピュータプログラムにおいて、
前記電子部品供給装置を、
前記電子部品ごとの位置に関する位置情報と、少なくとも良品、不良品、前記良品とは異なる回路パターンを有し、事前に実行した画像認識処理では認識できなかった認識不可能品のいずれかの属性とを対応づけてマッピングしたマッピング情報、及び比較の基礎となる前記電子部品の基本画像情報を記憶する記憶手段、
該記憶手段に記憶してあるマッピング情報に基づいて、前記電子部品ごとの属性を所定順序で認識する認識手段、
該認識手段で属性を認識した前記電子部品をイメージセンサで撮像して取得した画像情報を受け付ける画像受付手段、
前記所定順序で個々の前記電子部品を前記電子部品処理部の所定位置に供給するために、前記電子部品集合体と前記電子部品処理部とを相対的に移動するように移動部に指示する移動指示手段、
前記認識手段で認識した前記電子部品の属性が良品又は不良品である場合、前記画像受付手段で受け付けた前記電子部品の画像情報と、前記記憶手段に記憶してある前記電子部品の前記基本画像情報とを比較し、両画像情報のずれ量に基づいて前記電子部品集合体と前記電子部品処理部との相対的な移動量を補正して、補正した移動量を前記移動部に指示する移動補正手段、
前記認識手段で認識した属性が認識不可能品である前記電子部品が、前記所定順序において二つ以上連続する場合、前記認識手段で認識した属性が認識不可能品である前記電子部品を迂回して、前記認識手段で認識した属性が良品又は不良品である前記電子部品に沿って前記イメージセンサを移動するように前記移動部に指示し、移動した位置で取得した前記電子部品の画像情報を用いて前記移動補正手段での処理を行う迂回処理手段
として機能させることを特徴とするコンピュータプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品に対して所定の処理を行う電子部品処理部に、複数の電子部品を規則的に配列した電子部品集合体から個々の電子部品を供給する電子部品供給装置、電子部品供給方法及びコンピュータプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の実装機、ダイボンダ等は、複数の電子部品を規則的に配列した電子部品集合体（例えばウェハ）から個々の電子部品をピックアップする必要があり、電子部品をピックアップする吸着部の位置に、電子部品集合体から個々の電子部品を供給することができる電子部品供給装置を備えている。また、電子部品の特性選別機は、個々の電子部品の特性を測定する必要があり、電子部品の特性を測定する測定器の位置に、電子部品集合体から個々の電子部品を供給することができる電子部品供給装置を同様に備えている。
【０００３】
電子部品供給装置は、電子部品集合体に複数の電子部品が規則的に配列してあるので、隣接する電子部品間の距離に従い等ピッチで電子部品を移動するだけで電子部品を電子部品処理部の位置に供給することができる。しかし、電子部品の配列方向と電子部品を移動する方向とがずれた状態で電子部品集合体を電子部品供給装置にセットした場合、隣接する電子部品間の距離のバラツキ、移動ピッチの誤差等により、供給する電子部品の位置と電子部品処理部の所定位置とにずれが生じることがある。そこで、電子部品の位置と電子部品処理部の所定位置とにずれが生じているか否かを判別する電子部品供給装置が開発されている。
【０００４】
特許文献１には、電子部品の実装機が備える電子部品供給装置であって、電子部品の位置と電子部品処理部の所定位置とにずれが生じているか否かを判別する電子部品供給装置が開示してある。特許文献１に開示してある電子部品供給装置では、電子部品集合体から電子部品を取り出す際にターゲット部品を特定し、特定したターゲット部品の位置が適正か否かを判別している。ターゲット部品の位置が適正か否かの判別は、以下の処理で行っている。まず電子部品集合体を複数の小区画に分割して、ターゲット部品が位置する小区画を特定し、特定した小区画内において通常の電子部品とは回路パターンが異なるリファレンスダイを複数点基準部品として抽出して位置を検出する。そして、ターゲット部品の位置を画像認識処理で検出し、小区画内においてターゲット部品と各基準部品との位置ずれを測定し、測定した位置ずれが所定の許容範囲内にあるか否かを判別している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−８０１０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に開示してある電子部品供給装置では、通常の電子部品とは回路パターンが異なるリファレンスダイを電子部品集合体に形成しなければ、電子部品の位置と電子部品処理部の所定位置とにずれが生じているか否かを判別することができない。また、電子部品集合体にリファレンスダイが形成してあっても、画像認識処理でリファレンスダイを認識できなければ、電子部品の位置と電子部品処理部の所定位置とにずれが生じているか否かを判別することができない。
【０００７】
さらに、特許文献１に開示してある電子部品供給装置は、電子部品の位置と電子部品処理部の所定位置とにずれが生じているか否かを判別しているが、電子部品の位置と生じた電子部品処理部の所定位置とにずれを補正する構成を有していないので、位置ずれが所定の許容範囲外にあると判別された場合、位置ずれを補正する処理が別途必要になる。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、供給する電子部品の位置と電子部品処理部の所定位置とにずれが生じないように、電子部品集合体と電子部品処理部との相対的な移動量を補正することが可能な電子部品供給装置、電子部品供給方法及びコンピュータプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために第１発明に係る電子部品供給装置は、電子部品に対して所定の処理を行う電子部品処理部に、複数の前記電子部品を規則的に配列した電子部品集合体から個々の前記電子部品を供給する電子部品供給装置において、前記電子部品ごとの位置に関する位置情報と、少なくとも良品、不良品、前記良品とは異なる回路パターンを有し、事前に実行した画像認識処理では認識できなかった認識不可能品のいずれかの属性とを対応づけてマッピングしたマッピング情報、及び比較の基礎となる前記電子部品の基本画像情報を記憶する記憶部と、該記憶部に記憶してあるマッピング情報に基づいて、前記電子部品ごとの属性を所定順序で認識する認識部と、該認識部で属性を認識した前記電子部品の画像情報を取得するイメージセンサと、前記所定順序で個々の前記電子部品を前記電子部品処理部の所定位置に供給するために、前記電子部品集合体と前記電子部品処理部とを相対的に移動する移動部と、前記認識部で認識した前記電子部品の属性が良品又は不良品である場合、前記イメージセンサで取得した前記電子部品の画像情報と、前記記憶部に記憶してある前記電子部品の前記基本画像情報とを比較し、両画像情報のずれ量に基づいて前記電子部品集合体と前記電子部品処理部との相対的な移動量を補正する移動補正部と、前記認識部で認識した属性が認識不可能品である前記電子部品が、前記所定順序において二つ以上連続する場合、前記認識部で認識した属性が認識不可能品である前記電子部品を迂回して、前記認識部で認識した属性が良品又は不良品である前記電子部品に沿って前記イメージセンサを移動し、移動した位置で取得した前記電子部品の画像情報を用いて前記移動補正部での処理を行う迂回処理部とを備える。
【００１０】
また、第２発明に係る電子部品供給装置は、第１発明において、前記迂回処理部は、前記認識部で認識した属性が認識不可能品である前記電子部品が連続している方向に対して直交する方向に前記イメージセンサを移動する。
【００１１】
また、第３発明に係る電子部品供給装置は、第１又は第２発明において、前記迂回処理部は、前記認識部で認識した属性が認識不可能品である前記電子部品が所定数より多く連続している場合、前記認識部で認識した属性が認識不可能品である前記電子部品を迂回して、前記電子部品集合体と前記電子部品処理部との相対的な移動量を補正し、前記認識部で認識した属性が認識不可能品である前記電子部品が一つ又は所定数以下連続している場合、前記認識部で認識した属性が認識不可能品である前記電子部品を迂回せず、前記電子部品集合体と前記電子部品処理部との相対的な移動量を所定のピッチとする。
【００１２】
また、第４発明に係る電子部品供給装置は、第１乃至第３発明のいずれか一つにおいて、前記マッピング情報は、前記電子部品ごとの位置に関する位置情報と、少なくとも良品、不良品、テスト素子、認識不可能品のいずれかの属性とを対応づけてマッピングした情報を含み、前記移動補正部は、前記認識部で認識した前記電子部品の属性が良品、不良品、テスト素子である場合、前記イメージセンサで取得した前記電子部品の画像情報と、前記記憶部に記憶してある前記電子部品の前記基本画像情報とを比較し、両画像情報のずれ量に基づいて前記電子部品集合体と前記電子部品処理部との相対的な移動量を補正する。      
【００１３】
上記目的を達成するために第５発明に係る電子部品供給方法は、電子部品に対して所定の処理を行う電子部品処理部に、複数の前記電子部品を規則的に配列した電子部品集合体から個々の前記電子部品を供給する電子部品供給方法において、記憶部に前記電子部品ごとの位置に関する位置情報と、少なくとも良品、不良品、前記良品とは異なる回路パターンを有し、事前に実行した画像認識処理では認識できなかった認識不可能品のいずれかの属性とを対応づけてマッピングしたマッピング情報、及び比較の基礎となる前記電子部品の基本画像情報を記憶してあり、記憶してあるマッピング情報に基づいて、前記電子部品ごとの属性を所定順序で認識する第１ステップと、属性を認識した前記電子部品の画像情報をイメージセンサで取得する第２ステップと、前記所定順序で個々の前記電子部品を前記電子部品処理部の所定位置に供給するために、前記電子部品集合体と前記電子部品処理部とを相対的に移動する第３ステップと、認識した前記電子部品の属性が良品又は不良品である場合、取得した前記電子部品の画像情報と、記憶してある前記電子部品の前記基本画像情報とを比較し、両画像情報のずれ量に基づいて前記電子部品集合体と前記電子部品処理部との相対的な移動量を補正する第４ステップと、前記第１ステップで認識した属性が認識不可能品である前記電子部品が、前記所定順序において二つ以上連続する場合、前記第１ステップで認識した属性が認識不可能品である前記電子部品を迂回して、前記第１ステップで認識した属性が良品又は不良品である前記電子部品に沿って前記イメージセンサを移動し、移動した位置で取得した前記電子部品の画像情報を用いて前記第４ステップでの処理を行う第５ステップとを含む。
【００１４】
また、第６発明に係る電子部品供給方法は、第５発明において、前記第５ステップで、前記第１ステップで認識した属性が認識不可能品である前記電子部品が連続している方向に対して直交する方向に前記イメージセンサを移動する。
【００１５】
また、第７発明に係る電子部品供給方法は、第５又は第６発明において、前記第５ステップで、前記第１ステップで認識した属性が認識不可能品である前記電子部品が所定数より多く連続している場合、前記第１ステップで認識した属性が認識不可能品である前記電子部品を迂回して、前記電子部品集合体と前記電子部品処理部との相対的な移動量を補正し、前記第１ステップで認識した属性が認識不可能品である前記電子部品が一つ又は所定数以下連続している場合、前記第１ステップで認識した属性が認識不可能品である前記電子部品を迂回せず、前記電子部品集合体と前記電子部品処理部との相対的な移動量を所定のピッチとする。
【００１６】
また、第８発明に係る電子部品供給方法は、第５乃至第７発明のいずれか一つにおいて、前記マッピング情報は、前記電子部品ごとの位置に関する位置情報と、少なくとも良品、不良品、テスト素子、認識不可能品のいずれかの属性とを対応づけてマッピングした情報を含み、前記第１ステップで認識した前記電子部品の属性が良品、不良品、テスト素子である場合、前記第４ステップは、取得した前記電子部品の画像情報と、記憶してある前記電子部品の前記基本画像情報とを比較し、両画像情報のずれ量に基づいて前記電子部品集合体と前記電子部品処理部との相対的な移動量を補正する。
【００１７】
上記目的を達成するために第９発明に係るコンピュータプログラムは、電子部品に対して所定の処理を行う電子部品処理部に、複数の前記電子部品を規則的に配列した電子部品集合体から個々の前記電子部品を供給する電子部品供給装置で実行することが可能なコンピュータプログラムにおいて、前記電子部品供給装置を、前記電子部品ごとの位置に関する位置情報と、少なくとも良品、不良品、前記良品とは異なる回路パターンを有し、事前に実行した画像認識処理では認識できなかった認識不可能品のいずれかの属性とを対応づけてマッピングしたマッピング情報、及び比較の基礎となる前記電子部品の基本画像情報を記憶する記憶手段、該記憶手段に記憶してあるマッピング情報に基づいて、前記電子部品ごとの属性を所定順序で認識する認識手段、該認識手段で属性を認識した前記電子部品をイメージセンサで撮像して取得した画像情報を受け付ける画像受付手段、前記所定順序で個々の前記電子部品を前記電子部品処理部の所定位置に供給するために、前記電子部品集合体と前記電子部品処理部とを相対的に移動するように移動部に指示する移動指示手段、前記認識手段で認識した前記電子部品の属性が良品又は不良品である場合、前記画像受付手段で受け付けた前記電子部品の画像情報と、前記記憶手段に記憶してある前記電子部品の前記基本画像情報とを比較し、両画像情報のずれ量に基づいて前記電子部品集合体と前記電子部品処理部との相対的な移動量を補正して、補正した移動量を前記移動部に指示する移動補正手段、前記認識手段で認識した属性が認識不可能品である前記電子部品が、前記所定順序において二つ以上連続する場合、前記認識手段で認識した属性が認識不可能品である前記電子部品を迂回して、前記認識手段で認識した属性が良品又は不良品である前記電子部品に沿って前記イメージセンサを移動するように前記移動部に指示し、移動した位置で取得した前記電子部品の画像情報を用いて前記移動補正手段での処理を行う迂回処理手段として機能させる。
【００１８】
第１発明及び第５発明では、移動部が、所定順序で個々の電子部品を電子部品処理部の所定位置に供給するために、電子部品集合体と電子部品処理部とを相対的に移動し、移動補正部が、認識部で認識した電子部品の属性が良品又は不良品である場合、イメージセンサで取得した電子部品の画像情報と、記憶部に記憶してある電子部品の基本画像情報とを比較し、両画像情報のずれ量に基づいて電子部品集合体と電子部品処理部との相対的な移動量を補正する。迂回処理部は、認識部で認識した属性が認識不可能品である電子部品が、所定順序において二つ以上連続する場合、認識部で認識した属性が認識不可能品である電子部品を迂回して、認識部で認識した属性が良品又は不良品である電子部品に沿ってイメージセンサを移動し、移動した位置で取得した電子部品の画像情報を用いて移動補正部での処理を行う。そのため、認識部で認識した属性が認識不可能品である電子部品が所定順序において連続する場合であっても、認識部で認識した属性が良品又は不良品である電子部品の画像情報を取得することができるようにイメージセンサを移動させて移動した位置で取得した電子部品の画像情報を用いて移動補正部での処理を行うので、供給する電子部品の位置と電子部品処理部の所定位置とにずれが生じないように、電子部品集合体と電子部品処理部との相対的な移動量を補正することができる。
【００１９】
第２発明及び第６発明では、認識部で認識した属性が認識不可能品である電子部品が連続している方向に対して直交する方向にイメージセンサを移動するので、認識部で認識した属性が認識不可能品である電子部品を迂回するために、イメージセンサが移動する距離を短くすることができ、電子部品処理部に電子部品を供給する効率が向上する。
【００２０】
第３発明及び第７発明では、認識部で認識した属性が認識不可能品である電子部品が所定数より多く連続している場合、認識部で認識した属性が認識不可能品である電子部品を迂回して、電子部品集合体と電子部品処理部との相対的な移動量を補正し、認識部で認識した属性が認識不可能品である電子部品が一つ又は所定数以下連続している場合、認識部で認識した属性が認識不可能品である電子部品を迂回せず、電子部品集合体と電子部品処理部との相対的な移動量を所定のピッチとするので、電子部品供給装置として許容できない誤差が生じるまで、迂回処理部での処理を行わないように設定することができ、イメージセンサの移動量等が減り、電子部品処理部に電子部品を供給する効率が向上する。
【００２１】
第４発明及び第８発明では、マッピング情報は、電子部品ごとの位置に関する位置情報と、少なくとも良品、不良品、テスト素子、認識不可能品のいずれかの属性とを対応づけてマッピングした情報を含み、移動補正部は、認識部で認識した電子部品の属性が良品、不良品、テスト素子である場合、イメージセンサで取得した電子部品の画像情報と、記憶部に記憶してある電子部品の基本画像情報とを比較し、両画像情報のずれ量に基づいて電子部品集合体と電子部品処理部との相対的な移動量を補正するので、電子部品の属性がテスト素子であっても移動補正部での処理を行うことができ、供給する電子部品に電子部品処理部の所定位置とにずれが生じないように、電子部品集合体と電子部品処理部との相対的な移動量を補正することができる。
【００２２】
第９発明では、移動指示手段が、所定順序で個々の電子部品を電子部品処理部の所定位置に供給するために、電子部品集合体と電子部品処理部とを相対的に移動するように移動部に指示を与え、移動補正手段が、認識手段で認識した電子部品の属性が良品又は不良品である場合、画像受付手段で受け付けた電子部品の画像情報と、記憶手段に記憶してある電子部品の基本画像情報とを比較し、両画像情報のずれ量に基づいて電子部品集合体と電子部品処理部との相対的な移動量を補正して、補正した移動量を移動部に指示し、迂回処理手段が、認識手段で認識した属性が認識不可能品である電子部品が、所定順序において二つ以上連続する場合、認識手段で認識した属性が認識不可能品である電子部品を迂回して、認識手段で認識した属性が良品又は不良品である電子部品に沿ってイメージセンサを移動するように移動部に指示し、移動した位置で取得した電子部品の画像情報と、記憶部に記憶してある電子部品の基本画像情報とを比較することで、供給する電子部品の位置と電子部品処理部の所定位置とにずれが生じないように、電子部品集合体と電子部品処理部との相対的な移動量を補正することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係る電子部品供給装置、電子部品供給方法及びコンピュータプログラムは、移動部が、所定順序で個々の電子部品を電子部品処理部の所定位置に供給するために、電子部品集合体と電子部品処理部とを相対的に移動し、認識部で認識した電子部品の属性が良品又は不良品である場合、イメージセンサで取得した電子部品の画像情報と、記憶部に記憶してある電子部品の基本画像情報とを比較し、両画像情報のずれ量に基づいて電子部品集合体と電子部品処理部との相対的な移動量を補正し、認識部で認識した属性が認識不可能品である電子部品が、所定順序において二つ以上連続する場合、認識部で認識した属性が認識不可能品である電子部品を迂回して、認識部で認識した属性が良品又は不良品である電子部品に沿ってイメージセンサを移動し、移動した位置で取得した電子部品の画像情報と、記憶部に記憶してある電子部品の基本画像情報とを比較することで、供給する電子部品の位置と電子部品処理部の所定位置とにずれが生じないように、電子部品集合体と電子部品処理部との相対的な移動量を補正することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施の形態に係る電子部品供給装置の構成を示す模式図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る電子部品供給装置のＸＹテーブルに載置したウェハの平面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る電子部品供給装置のウェハのマッピング情報の例示図である。
【図４】従来のウェハのマッピング情報の例示図である。
【図５】本発明の実施の形態に係る電子部品供給装置の構成例を示すブロック図である。
【図６】本発明の実施の形態に係る電子部品供給装置のＣＰＵの処理手順を示すフローチャートである。
【図７】本発明の実施の形態に係る電子部品供給装置の吸着部及びイメージセンサの動作手順を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態における電子部品供給装置、電子部品供給方法及びコンピュータプログラムについて、図面を用いて具体的に説明する。以下の実施の形態は、特許請求の範囲に記載された発明を限定するものではなく、実施の形態の中で説明されている特徴的事項の組み合わせの全てが解決手段の必須事項であるとは限らないことは言うまでもない。
【００２６】
また、本実施の形態では、ウェハから個々の電子部品を吸着部でピックアップして基板に搬送し、実装する電子部品の実装機に用いる電子部品供給装置、電子部品供給方法及びコンピュータプログラムについて説明するが、特に電子部品の実装機に用いる場合に限定されるものではなく、電子部品の特性選別機等に用いても良い。
【００２７】
図１は、本発明の実施の形態に係る電子部品供給装置の構成を示す模式図である。図１に示す電子部品供給装置は、複数の電子部品１を規則的に配列した電子部品集合体であるウェハ２を載置するＸＹテーブル３と、ＸＹテーブル３と電子部品１をピックアップするための吸着部４とを相対的に移動する移動部５と、個々の電子部品１の画像情報を取得するイメージセンサ６と、電子部品１をピックアップする吸着部４の所定位置に、電子部品１を供給するために移動部５を制御する供給制御部７とを備えている。本実施の形態に係る電子部品供給装置を用いて、ウェハ２から電子部品１を吸着部４でピックアップして別のテーブルに搬送することで、電子部品の実装機は、別のテーブルに設けた基板８に電子部品１を実装することができる。
【００２８】
複数の電子部品１、１、・・・は、回路パターンが形成されたウェハ２を格子状に切断することで形成できる。ウェハ２は、口径が６インチ（１５０ｍｍ）、８インチ（２００ｍｍ）等の様々なサイズがあり、ウェハ２を切断することで形成された電子部品１は、コンマ数平方ミリメートル程度から数十平方ミリメートル程度に至るまで様々なサイズがある。なお、電子部品集合体は、ウェハ２に限定されるものではなく、複数の電子部品１を規則的に配列したものであれば他の構成であっても良い。
【００２９】
移動部５は、ＸＹテーブル３を移動させるモータ（図示せず）、吸着部４を移動させるモータ（図示せず）の少なくとも一方の動作を制御して、ＸＹテーブル３に載置したウェハ２と吸着部４とを相対的に移動する。さらに、移動部５は、電子部品１をピックアップして、搬送できるように、ＸＹテーブル３や別のテーブルに対して上下方向に吸着部４を移動させることができる。なお、以下、説明を簡単にするために、吸着部４をウェハ２に対して移動させる場合について説明する。
【００３０】
イメージセンサ６は、吸着部４の進行方向前側に取り付けられた撮像素子であり、吸着部４がピックアップする電子部品１より進行方向にて一つ前方に配列してある電子部品１の画像情報を取得する。つまり、本実施の形態に係る電子部品供給装置は、吸着部４がピックアップする電子部品１より進行方向にて一つ前方に配列してある電子部品１の画像情報を用いて、吸着部４の移動量（本発明では、移動量はベクトル量である）を補正している。なお、イメージセンサ６は、吸着部４に取り付けられる場合に限定されるものではなく、吸着部４とは独立に設けても良い。また、イメージセンサ６で画像情報を取得する対象となる電子部品１は、吸着部４がピックアップする電子部品１より進行方向にて一つ前方に配列してある電子部品１に限定されるものではなく、吸着部４がピックアップする電子部品１であっても良い。
【００３１】
供給制御部７は、電子部品１ごとの位置に関する位置情報と、少なくとも良品、不良品、良品とは異なる回路パターンを有した画像認識処理では認識できない認識不可能品のいずれかの属性とを対応づけてマッピングしたマッピング情報、イメージセンサ６で取得した電子部品１の画像情報との比較の基礎となる電子部品１の基本画像情報を記憶する記憶部７１と、記憶部７１に記憶してあるマッピング情報に基づいて、電子部品１ごとの属性を所定順序で認識する認識部７２とを備えている。さらに、供給制御部７は、認識部７２で認識した電子部品１の属性が良品又は不良品である場合、イメージセンサ６で取得した電子部品１の画像情報と、記憶部７１に記憶してある電子部品１の基本画像情報とを比較し、該比較結果に基づいて吸着部４の移動量を補正する移動補正部７３と、属性が認識不可能品である電子部品１が、所定順序において二つ以上連続する場合、属性が認識不可能品である電子部品１を迂回して、属性が良品又は不良品である電子部品１に沿ってイメージセンサ６を移動し、移動した位置で取得した電子部品１の画像情報を用いて移動補正部７３での処理を行う迂回処理部７４とを備えている。
【００３２】
図２は、本発明の実施の形態に係る電子部品供給装置のＸＹテーブル３に載置したウェハ２の平面図である。図３は、本発明の実施の形態に係る電子部品供給装置のウェハ２のマッピング情報の例示図である。図４は、従来のウェハのマッピング情報の例示図である。図２に示すように、ＸＹテーブル３に載置したウェハ２には、複数の電子部品１が規則的に配列してある。電子部品１は、別の検査装置の検査の結果、所定の基準を満たしている良品１ａ、所定の基準を満たしていない不良品１ｂ、電子部品１の回路パターンとは異なる画像認識処理では電子部品１とは認識できない認識不可能品１ｃの３種類の属性に分類される。
【００３３】
そのため、本実施の形態に係る電子部品供給装置のウェハ２のマッピング情報では、図３に示すように良品１ａに属性・良品（１）を、不良品１ｂに属性・不良品（３）を、認識不可能品１ｃに属性・認識不可能品（Ｍ）をそれぞれの位置に関する位置情報に対応づけてマッピングしている。しかし、従来のウェハのマッピング情報では、図４に示すように不良品と認識不可能品とを識別していないため、良品に属性・良品（１）を、不良品及び認識不可能品に属性・不良品（３）をそれぞれの位置に関する位置情報に対応づけてマッピングしている。
【００３４】
認識部７２は、図３に示すマッピング情報に基づいて電子部品１ごとの属性を認識する。つまり、認識部７２は、マッピング情報に基づいて、良品（１）、不良品（３）、認識不可能品（Ｍ）の属性を認識する。認識部７２が個々の電子部品１の属性を認識する順序は、例えば矢印３１の順序である。認識部７２が個々の電子部品１の属性を認識する順序に従い、吸着部４は、図２に示す矢印４１の方向に移動して、属性が良品（１）である電子部品１をピックアップする。イメージセンサ６も、矢印４１の方向に移動して、吸着部４がピックアップする電子部品１の進行方向にて一つ前方に配列してある電子部品１の画像情報を取得する。
【００３５】
吸着部４の移動は、隣接する電子部品１間の距離に従い、等ピッチで行う。しかし、吸着部４を等ピッチで移動するだけでは、電子部品１の配列方向と電子部品１を吸着部４が移動する方向とがずれた状態でウェハ２をＸＹテーブル３にセットした場合、隣接する電子部品１間の距離のバラツキ、移動ピッチの誤差等により、電子部品１をピックアップする吸着部４の位置と、所望の電子部品１の位置とがずれるおそれがあるので、移動補正部７３で吸着部４の移動量を補正する。移動補正部７３は、画像認識処理を用いてイメージセンサ６が取得した電子部品１の画像情報と、記憶部７１に記憶してある基本画像情報とを比較し、比較して得られる認識率が所定の認識率以上であれば両画像情報のずれ量を把握して、ずれ量に基づいて吸着部４の移動量を補正する。ここで、認識率とは、イメージセンサ６で取得した画像情報を記憶部７１に記憶してある基本画像情報として認識できる割合で、記憶部７１に記憶してある基本画像情報に対してイメージセンサ６で取得した画像情報が一致している割合である。例えば、記憶部７１に記憶してある基本画像情報に対してイメージセンサ６で取得した画像情報が一致している割合が８０％であれば、認識率は８０％である。移動補正部７３で吸着部４の移動量を補正することにより、電子部品１をピックアップする吸着部４の位置と、所望の電子部品１の位置とがずれないようにすることができる。
【００３６】
移動補正部７３は、電子部品１の属性が不良品（３）の場合、画像認識処理を用いてイメージセンサ６で取得した画像情報と記憶部７１に記憶してある基本画像情報とを比較して得られる認識率が、所定の認識率以上であれば、吸着部４の移動量を補正することは可能である。しかし、移動補正部７３は、電子部品１の属性が不良品（３）の場合であっても、画像認識処理を用いてイメージセンサ６で取得した画像情報と記憶部７１に記憶してある基本画像情報とを比較して得られる認識率が、所定の認識率より小さければ、両画像情報のずれ量を把握できず、吸着部４の移動量を補正することは不可能である。また、移動補正部７３は、電子部品１の属性が認識不可能品（Ｍ）の場合、画像認識処理を用いてイメージセンサ６で取得した画像情報と記憶部７１に記憶してある基本画像情報とを比較して得られる認識率も、所定の認識率を得ることができないので、吸着部４の移動量を補正することは不可能である。
【００３７】
図２に示すように、属性が認識不可能品（Ｍ）である電子部品１が、吸着部４が移動する方向（認識部７２が電子部品１を認識する方向）に八つ連続している区間１０が存在する場合、当該区間１０では移動補正部７３で吸着部４の移動量を補正することができず、吸着部４は、隣接する電子部品１間の距離に従い、等ピッチで移動することになる。吸着部４の進行方向に対して電子部品１の配列方向が傾くようにウェハ２が傾いている場合、吸着部４を矢印４２に示すように等ピッチで移動させるだけでは、電子部品１をピックアップする吸着部４の所定位置と、所望の電子部品１の位置とがずれることがある。
【００３８】
そこで、迂回処理部７４では、矢印４３で示すように区間１０の電子部品１を迂回して、属性が良品（１）又は不良品（３）である電子部品１に沿ってイメージセンサ６を移動する。具体的には、矢印４３で示す迂回ルートは、認識部７２が区間１０の最初の電子部品１を認識したとき、属性が認識不可能品（Ｍ）である電子部品１が連続している方向に対して直交する方向にイメージセンサ６を移動する。その後、イメージセンサ６は属性が認識不可能品（Ｍ）である電子部品１が連続している方向に進む。さらに、認識部７２が区間１０の最後の電子部品１を認識したとき、属性が認識不可能品（Ｍ）である電子部品１が連続している方向に対して直交する方向に、イメージセンサ６を移動した距離分戻す。具体的に、区間１０の電子部品１を迂回した場合、属性が認識不可能品（Ｍ）である電子部品１が連続している方向に対して直交する方向に、イメージセンサ６を移動した距離分は、電子部品１の一行分である。迂回処理部７４が区間１０の電子部品１を迂回するように処理することで、属性が良品（１）である電子部品１の画像情報を取得し、該画像情報を用いて移動補正部７３による吸着部４の移動量の補正を行うことができる。但し、従来のマッピング情報では、図４に示すように、認識不可能品にも属性・不良品（３）が付与されており、認識不可能品に対して迂回処理を行うことができない。迂回処理部７４での処理を行うためには、図３に示すように、認識不可能品１ｃに属性・認識不可能品（Ｍ）を付与したマッピング情報が必要となる。
【００３９】
なお、迂回処理部７４での処理を行う区間は、属性が認識不可能品（Ｍ）である電子部品１が、吸着部４が移動する方向（所定順序の進行方向）に二つ以上連続している区間に限定されるものではなく、属性が認識不可能品（Ｍ）である電子部品１が、所定数より多く連続する区間であっても良い。つまり、属性が認識不可能品（Ｍ）である電子部品１が、吸着部４が移動する方向（認識部７２が電子部品１を認識する方向）に一つ又は、所定数以下連続する場合は、電子部品供給装置として許容できる誤差であるとして、迂回処理部７４での処理は行わないで、吸着部４の移動量を等ピッチとする。
【００４０】
以上で説明した電子部品供給装置の構成は、コンピュータシステムにコンピュータプログラムを導入した構成としても説明することができる。なお、当業者であれば明らかな通り、本発明はその一部をコンピュータで実行することが可能なコンピュータプログラムとして実施することができる。したがって、本発明は、電子部品供給装置というハードウェアとしての実施の形態、ソフトウェアとしての実施の形態、又はソフトウェアとハードウェアとの組み合わせの実施の形態をとることができる。コンピュータプログラムは、ハードディスク、ＤＶＤ、ＣＤ、光記憶装置、磁気記憶装置等の任意のコンピュータで読み取ることが可能な記録媒体に記録することができる。
【００４１】
図５は、本発明の実施の形態に係る電子部品供給装置の構成例を示すブロック図である。本実施の形態に係る電子部品供給装置は、移動部５と、イメージセンサ６と、供給制御部７とを備えている。
【００４２】
移動部５は、ＸＹテーブル３を移動させるモータ（図示せず）、吸着部４を移動させるモータ（図示せず）の少なくとも一方を制御して、ＸＹテーブル３に載置したウェハ２と吸着部４とを相対的に移動させる。イメージセンサ６は、電子部品１の画像情報を取得する。
【００４３】
供給制御部７は、少なくともＣＰＵ（中央演算装置）２１、メモリ２２、記憶装置２３、Ｉ／Ｏインタフェース２４、ビデオインタフェース２５、可搬型ディスクドライブ２６、外部機器インタフェース２７及び上述したハードウェアを接続する内部バス２８で構成されている。このように構成した供給制御部７が、記憶部７１、認識部７２、移動補正部７３、迂回処理部７４として機能し、電子部品１をピックアップする吸着部４の所定位置に、所望の電子部品１を供給するように移動部５及びイメージセンサ６の動作を制御する。
【００４４】
ＣＰＵ２１は、内部バス２８を介して供給制御部７の上述したようなハードウェア各部と接続されており、上述したハードウェア各部の動作を制御するとともに、記憶装置２３に記憶しているコンピュータプログラム２３０に従って、種々のソフトウェア的機能を実行する。メモリ２２は、ＳＲＡＭ、ＳＤＲＡＭ等の揮発性メモリで構成され、コンピュータプログラム２３０の実行時にロードモジュールが展開され、コンピュータプログラム２３０の実行時に発生する一時的なデータ等を記憶する。
【００４５】
記憶装置２３は、内蔵される固定型記憶装置（ハードディスク）、ＲＯＭ等で構成されている。記憶装置２３には、コンピュータプログラム２３０、マッピング情報２３１、電子部品１の基本画像情報２３２を記憶している。記憶装置２３に記憶しているコンピュータプログラム２３０は、コンピュータプログラム及びデータ等の情報を記録したＤＶＤ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬型記録媒体９０から、可搬型ディスクドライブ２６によりダウンロードされ、実行時には記憶装置２３からメモリ２２へ展開して実行される。もちろん、ネットワークに接続されている外部のコンピュータからダウンロードされたコンピュータプログラムであっても良い。
【００４６】
外部機器インタフェース２７は内部バス２８に接続されており、移動部５及びイメージセンサ６と接続されることにより、移動部５、イメージセンサ６への指示や、イメージセンサ６が取得した電子部品１の画像情報を取得することが可能となっている。
【００４７】
Ｉ／Ｏインタフェース２４は、キーボード２４１、マウス２４２等の入力装置と接続され、データの入力を受け付ける。また、ビデオインタフェース２５は、ＣＲＴモニタ、ＬＣＤ等の表示装置２５３と接続され、所定の画像を表示する。
【００４８】
さらに、本実施の形態に係る電子部品供給装置の動作についてフローチャートを用いて説明する。図６は、本発明の実施の形態に係る電子部品供給装置のＣＰＵの処理手順を示すフローチャートである。まず、ＣＰＵ２１は、マッピング情報に基づいて所定順序で個々の電子部品１の属性を認識する（ステップＳ６０１）。ＣＰＵ２１は、所定順序において二つ以上連続して、属性が認識不可能品（Ｍ）である電子部品１を認識したか否かを判断する（ステップＳ６０２）。
【００４９】
ＣＰＵ２１が、所定順序において二つ以上連続して、属性が認識不可能品（Ｍ）である電子部品１を認識したと判断した場合（ステップＳ６０２：ＹＥＳ）、ＣＰＵ２１は、属性が認識不可能品（Ｍ）である電子部品１を迂回して、属性が良品（１）又は不良品（３）である電子部品１に沿ってイメージセンサ６を移動するために、イメージセンサ６が、認識した電子部品１を迂回する位置にあるか否かを判断する（ステップＳ６０３）。ここで、認識した電子部品１を迂回する位置とは、認識した電子部品１を迂回する方向にある電子部品１の位置であり、例えば、イメージセンサ６（吸着部４も同じ方向に移動）の進行方向に対して直交する方向に一つ移動した電子部品１の位置である。
【００５０】
ＣＰＵ２１は、イメージセンサ６が、認識した電子部品１を迂回する位置にないと判断した場合（ステップＳ６０３：ＮＯ）、ＣＰＵ２１は、イメージセンサ６が、認識した電子部品１を迂回する位置に移動するように、移動部５に対して移動指示を送信する（ステップＳ６０４）。移動部５は、ＣＰＵ２１からの移動指示を受信し、認識した電子部品１を迂回する位置にイメージセンサ６を移動する。イメージセンサ６が、認識した電子部品１を迂回する位置にあると、ＣＰＵ２１が判断した場合（ステップＳ６０３：ＹＥＳ）、ＣＰＵ２１は、電子部品１の画像情報を取得するように、イメージセンサ６に対して撮像指示を送信する（ステップＳ６０６）。イメージセンサ６は、ＣＰＵ２１からの撮像指示を受信し、電子部品１の画像情報を取得する。ＣＰＵ２１は、ステップＳ６０４の後、処理をステップＳ６０６へ進める。
【００５１】
ＣＰＵ２１が、所定順序において二つ以上連続して、属性が認識不可能品（Ｍ）である電子部品１を認識していないと判断し（ステップＳ６０２：ＮＯ）、ＣＰＵ２１が、認識した電子部品１の属性が認識不可能品（Ｍ）ではないと認識し、認識した電子部品１の位置と、イメージセンサ６で画像情報を取得可能な電子部品１の位置とが異なると判断した場合、ＣＰＵ２１は認識した電子部品１の画像情報を取得することが可能な位置にイメージセンサ６を移動するように、移動部５に対して移動指示を送信する（ステップＳ６０５）。移動部５は、ＣＰＵ２１からの移動指示を受信し、認識した電子部品１の画像情報を取得可能な位置へイメージセンサ６を移動する。ＣＰＵ２１は、ステップＳ６０５の後、処理をステップＳ６０６へ進める。
【００５２】
ＣＰＵ２１は、画像認識処理を用いてイメージセンサ６が取得した電子部品１の画像情報と、記憶装置２３に記憶してある基本画像情報とを比較して得られる認識率が、所定の認識率以上であるか否かを判断する（ステップＳ６０７）。ＣＰＵ２１が、比較して得られる認識率が所定の認識率以上であると判断した場合（ステップＳ６０７：ＹＥＳ）、ＣＰＵ２１は、イメージセンサ６が取得した電子部品１の画像情報と、記憶装置２３に記憶してある基本画像情報とのずれ量を算出する（ステップＳ６０８）。次に、ＣＰＵ２１は、ステップＳ６０８で算出したずれ量に基づき吸着部４の移動量の補正を行い、補正した移動量に基づく位置に吸着部４が移動するように移動部５に対して移動指示を送信する（ステップＳ６０９）。例えば、記憶装置２３に記憶してある基本画像情報中のパターンＡの画像情報の座標を（ｘ，ｙ）＝（０，０）とし、イメージセンサ６が取得した電子部品１の画像情報中のパターンＡの画像情報の座標を（ｘ，ｙ）＝（５，７）とする場合、ずれ量は画像情報の座標（ｘ，ｙ）＝（０，０）から画像情報の座標（ｘ，ｙ）＝（５，７）へ変化するベクトル量となる。当該ずれ量は、画像情報の座標の１単位が０．１ｍｍである場合、ｘ方向に０．５ｍｍ、ｙ方向に０．７ｍｍとなる。ＣＰＵ２１は、ｘ方向に０．５ｍｍ、ｙ方向に０．７ｍｍのずれ量を考慮して、補正した吸着部４の移動量を算出する。移動部５は、ＣＰＵ２１からの移動指示を受信し、補正した移動量に基づく位置に吸着部４を移動する。ＣＰＵ２１が、比較して得られる認識率が所定の認識率より小さいと判断した場合（ステップＳ６０７：ＮＯ）、ＣＰＵ２１は、吸着部４の移動量を補正せずに、吸着部４を設計等で定められた等ピッチ分（例えば、隣接する電子部品１間の距離）移動するように、移動部５に対して移動指示を送信する（ステップＳ６１０）。移動部５は、ＣＰＵ２１からの移動指示を受信し、吸着部４を等ピッチ分移動する。なお、属性が認識不可能品（Ｍ）である電子部品１が一つの場合、ステップＳ６０２においてＮＯと判断され、ステップＳ６０６で取得する電子部品１の画像情報が、ステップＳ６０７で所定の認識率未満となるので、ＣＰＵ２１は、処理をステップＳ６１０へ進め、吸着部４を設計等で定められた等ピッチ分移動するように、移動部５に対して移動指示を送信することになる。
【００５３】
ＣＰＵ２１は、認識した電子部品１の属性が良品（１）であるか否かを判断する（ステップ６１１）。ＣＰＵ２１が、認識した電子部品１の属性が良品（１）であると判断した場合（ステップＳ６１１：ＹＥＳ）、ＣＰＵ２１は、認識した電子部品１をピックアップするように吸着部４に対してピックアップ指示を送信する（ステップＳ６１２）。吸着部４は、ＣＰＵ２１からのピックアップ指示を受信し、認識した電子部品１をピックアップする。ＣＰＵ２１が、認識した電子部品１の属性が良品（１）でないと判断した場合（ステップＳ６１１：ＮＯ）、ＣＰＵ２１は、処理をステップＳ６０１へ戻し、上述した処理を繰り返す。ＣＰＵ２１は、ウェハ２の最後の電子部品１であるか否かを判断する（ステップＳ６１３）。ＣＰＵ２１が、ウェハ２の最後の電子部品１であると判断した場合（ステップＳ６１３：ＹＥＳ）、ＣＰＵ２１は処理を終了する。ＣＰＵ２１が、ウェハ２の最後の電子部品１ではないと判断した場合（ステップＳ６１３：ＮＯ）、ＣＰＵ２１は、処理をステップＳ６０１へ戻し、上述した処理を繰り返す。
【００５４】
さらに、具体的な例に基づいて、本実施の形態に係る電子部品供給装置の吸着部４及びイメージセンサ６の動作について説明する。図７は、本発明の実施の形態に係る電子部品供給装置の吸着部４及びイメージセンサ６の動作手順を示す模式図である。図７に示すように、ウェハ２は、電子部品１をＸ方向に６列、Ｙ方向に２行配列してあり、個々の電子部品１の属性は、座標（Ｘ，Ｙ）＝（２，１）、（３，１）、（４，１）が認識不可能品（Ｍ）、それ以外は良品（１）である。
【００５５】
ステップＳ６０１において、図７（ａ）に示すように、ＣＰＵ２１が座標（Ｘ，Ｙ）＝（２，１）の電子部品１の属性をマッピング情報に基づいて認識する。イメージセンサ６は、座標（Ｘ，Ｙ）＝（２，１）の電子部品１の画像情報を取得するために、座標（Ｘ，Ｙ）＝（２，１）に位置している。なお、本実施の形態に係る電子部品供給装置では、イメージセンサ６が座標（Ｘ，Ｙ）＝（２，１）に位置する場合、吸着部４は座標（Ｘ，Ｙ）＝（１，１）に位置している。また、図７において、丸印を付した座標（Ｘ，Ｙ）の電子部品１は、ＣＰＵ２１が認識した電子部品１であり、ハッチングした座標（Ｘ，Ｙ）の電子部品１は、イメージセンサ６が画像情報を取得することができる電子部品１である。
【００５６】
ステップＳ６０２において、ＣＰＵ２１は、所定順序において（Ｘ座標が増加する方向）二つ以上連続して、属性が認識不可能品（Ｍ）である電子部品１を認識したので、ステップＳ６０３に進む。ステップＳ６０３において、ＣＰＵ２１は、イメージセンサ６が座標（Ｘ，Ｙ）＝（２，１）に位置しており、イメージセンサ６が属性が認識不可能品（Ｍ）である電子部品１を迂回する位置（本例では、座標（Ｘ，Ｙ）＝（２，２））にないと判断したので、ステップＳ６０４に進む。ステップＳ６０４において、ＣＰＵ２１は、図７（ｂ）に示すように属性が認識不可能品（Ｍ）である電子部品１を迂回する位置、座標（Ｘ，Ｙ）＝（２，２）にイメージセンサ６を移動するように、移動部５に対して移動指示を送信する。移動部５は、ＣＰＵ２１からの移動指示を受信し、座標（Ｘ，Ｙ）＝（２，２）にイメージセンサ６を移動する。
【００５７】
ステップＳ６０６において、ＣＰＵ２１は、座標（Ｘ，Ｙ）＝（２，２）の電子部品１の画像情報を取得するように、イメージセンサ６に対して撮像指示を送信する。イメージセンサ６は、ＣＰＵ２１からの撮像指示を受信し、座標（Ｘ，Ｙ）＝（２，２）の電子部品１の画像情報を取得する。ステップＳ６０７において、ＣＰＵ２１は、画像認識処理を用いて、座標（Ｘ，Ｙ）＝（２，２）の電子部品１の画像情報と、記憶装置２３に記憶してある基本画像情報とを比較する。座標（Ｘ，Ｙ）＝（２，２）の電子部品１の属性は良品（１）であるので、画像認識処理の結果は、比較して得られる認識率が所定の認識率以上となり、ＣＰＵ２１は、処理をステップＳ６０９へ進める。ステップＳ６０９において、ＣＰＵ２１は、座標（Ｘ，Ｙ）＝（２，２）の電子部品１の画像情報と、記憶装置２３に記憶してある基本画像情報とのずれ量に基づき吸着部４の移動量を補正し、補正した移動量に基づく位置に吸着部４が移動するように、移動部５に対して移動指示を送信する。移動部５は、ＣＰＵ２１からの移動指示を受信し、補正した移動量に基づく位置に吸着部４を移動する。ステップＳ６０９において、吸着部４を移動することで、図７（ｃ）に示すようにイメージセンサ６は座標（Ｘ，Ｙ）＝（３，２）の位置に移動する。
【００５８】
ステップＳ６１１において、ＣＰＵ２１は、認識した電子部品１の属性が良品（１）であるか否かを判断する。座標（Ｘ，Ｙ）＝（２，１）の電子部品１の属性は、認識不可能品（Ｍ）であるので、ＣＰＵ２１は、処理をステップＳ６０１へ戻す。ＣＰＵ２１は、図７（ｄ）に示すように、座標（Ｘ，Ｙ）＝（３，１）の電子部品１の属性をマッピング情報に基づいて認識する。
【００５９】
座標（Ｘ，Ｙ）＝（３，１）、（４，１）の電子部品１についても、図７（ｄ）乃至図７（ｇ）に示すように、座標（Ｘ，Ｙ）＝（２，１）の電子部品１について行ったステップＳ６０１乃至ステップＳ６１１の処理を、ＣＰＵ２１が繰り返し実行する。
【００６０】
次に、図７（ｈ）に示すように、ＣＰＵ２１が、座標（Ｘ，Ｙ）＝（５，１）の電子部品１の属性（良品（１））を認識し、処理をステップＳ６０５へ進めた場合、ＣＰＵ２１は、認識した電子部品１の属性が認識不可能品（Ｍ）ではなく、認識した電子部品１の座標（Ｘ，Ｙ）＝（５，１）と、イメージセンサ６で画像情報を取得可能な電子部品１の座標（Ｘ，Ｙ）＝（５，２）とが異なると判断し、認識した電子部品１（座標（Ｘ，Ｙ）＝（５，１））の画像情報を取得することが可能な位置にイメージセンサ６を移動するように、移動部５に対して移動指示を送信する。移動部５は、ＣＰＵ２１からの移動指示を受信し、座標（Ｘ，Ｙ）＝（５，１）にイメージセンサ６を移動する。ステップＳ６０６において、ＣＰＵ２１は、図７（ｉ）に示すように、イメージセンサ６が座標（Ｘ，Ｙ）＝（５，１）に移動した後、座標（Ｘ，Ｙ）＝（５，１）の電子部品１の画像情報を取得するように、イメージセンサ６に対して撮像指示を送信する。イメージセンサ６は、ＣＰＵ２１からの撮像指示を受信し、座標（Ｘ，Ｙ）＝（５，１）の電子部品１の画像情報を取得する。ステップＳ６０７において、ＣＰＵ２１は、画像認識処理を用いて、座標（Ｘ，Ｙ）＝（５，１）の電子部品１の画像情報と、記憶装置２３に記憶してある基本画像情報とを比較する。座標（Ｘ，Ｙ）＝（５，１）の電子部品１の属性は良品（１）であるので、画像認識処理の結果は、比較して得られる認識率が所定の認識率以上となり、ＣＰＵ２１は、処理をステップＳ６０９へ進める。ステップＳ６０９において、ＣＰＵ２１は、座標（Ｘ，Ｙ）＝（５，１）の電子部品１の画像情報と、記憶装置２３に記憶してある基本画像情報とのずれ量に基づき吸着部４の移動量を補正し、補正した移動量に基づく位置に吸着部４が移動するように、移動部５に対して移動指示を送信する。移動部５は、ＣＰＵ２１からの移動指示を受信し、補正した移動量に基づく位置に吸着部４を移動する。ステップＳ６０９において、吸着部４を移動することで、図７（ｊ）に示すようにイメージセンサ６は座標（Ｘ，Ｙ）＝（６，１）の位置に移動する。
【００６１】
ステップＳ６１２において、ＣＰＵ２１は、図７（ｈ）に示すように認識した座標（Ｘ，Ｙ）＝（５，１）の電子部品１の属性が良品（１）であるので、該電子部品１をピックアップするように吸着部４に対してピックアップ指示を送信する。移動部５は、ＣＰＵ２１からのピックアップ指示を受信し、座標（Ｘ，Ｙ）＝（５，１）の電子部品１をピックアップする。
【００６２】
以上のように、本実施の形態に係る電子部品供給装置は、属性が認識不可能品（Ｍ）である電子部品１が、所定順序において二つ以上連続する場合、該電子部品１を迂回するようにイメージセンサ６を移動し、迂回した位置にある電子部品１の画像情報と、電子部品１の基本画像情報とを比較し、両画像情報のずれ量に基づいてウェハ２と吸着部４との相対的な移動量を補正するので、属性が認識不可能品（Ｍ）である電子部品１が所定順序の進行方向に連続していても、該電子部品１を迂回して、属性が良品（１）又は不良品（３）である電子部品１を用いてウェハ２と吸着部４との相対的な移動量を補正することができ、供給する電子部品１の位置と吸着部４の所定位置とにずれが生じないようにすることができる。
【００６３】
なお、本実施の形態に係る電子部品供給装置では、マッピング情報が、個々の電子部品１と、良品、不良品、認識不可能品のいずれかの属性とを対応づけてマッピングした情報に限定されるもではなく、個々の電子部品１と、良品、不良品、テスト素子、認識不可能品のいずれかの属性とを対応づけてマッピングした情報であっても良い。属性がテスト素子の電子部品１には、ウェハ２に形成した回路パターンが正常か否かをテストするため素子ＴＥＧ（Ｔｅｓｔ  Ｅｌｅｍｅｎｔ  Ｇｒｏｕｐ）が形成してある。移動補正部７３は、属性がテスト素子の電子部品１に対しても、属性が良品、不良品の電子部品１と同様に、イメージセンサ６で取得した電子部品１の画像情報と、記憶部７１に記憶してある電子部品１の基本画像情報とを比較し、該比較結果に基づいてウェハ２と吸着部４との相対的な移動量を補正することができる。記憶部７１に記憶してある電子部品１の基本画像情報には、属性が良品である電子部品１の画像情報、ＴＥＧの画像情報が含まれている。
【符号の説明】
【００６４】
１  電子部品
２  ウェハ（電子部品集合体）
３  ＸＹテーブル
４  吸着部（電子部品処理部）
５  移動部
６  イメージセンサ
７  供給制御部
７１  記憶部
７２  認識部
７３  移動補正部
７４  迂回処理部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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