(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電源と負荷との間に設けられて前記電源と負荷との間のインピーダンスの整合を図る際に操作される操作軸を有する可変インピーダンス素子と、モータを駆動源として前記可変インピーダンス素子の前記操作軸を操作する操作機構と、前記インピーダンスの整合を図るために必要な前記操作軸の目標位置を設定する目標位置設定部と、前記操作軸の現在位置を検出する操作軸位置検出部と、前記可変インピーダンス素子の操作軸の位置を前記目標位置設定部で設定された目標位置に一致させるように前記モータを制御するモータ制御部と、前記操作軸の目標位置と現在位置とを監視して前記目標位置と現在位置との残留偏差が許容値を超えたときに異常判定を行う異常判定部とを備えたインピーダンス整合装置であって、
前記モータ制御部は、前記異常判定部が最初の異常判定を行うまでの間前記モータの出力トルクを初期トルクに設定し、前記異常判定部が最初の異常判定を行った後は前記モータの出力トルクを前記初期トルクよりも大きい異常検出後トルクに設定する出力トルク設定部と、前記モータの出力トルクを前記出力トルク設定部により設定されたトルクとするように前記モータを駆動するモータ駆動部とを備え、
前記モータの出力トルクが前記異常検出後トルクに設定されている状態で前記異常判定が行われたときに前記可変インピーダンス素子のメンテナンスが必要であると判定するメンテナンス要否判定部が設けられていること、
を特徴とするインピーダンス整合装置。
【請求項２】
前記異常判定部が最初の異常判定を行ったとき、またはモータの出力トルクが前記初期トルクから異常検出後トルクに切り替わったときに前記可変インピーダンス素子のメンテナンス時期が近づいていることを示す警報信号を発生する警報発生手段を更に備えていることを特徴とする請求項１に記載のインピーダンス整合装置。
【請求項３】
電源と負荷との間に設けられて前記電源と負荷との間のインピーダンスの整合を図る際に操作される操作軸を有する可変インピーダンス素子と、モータを駆動源として前記可変インピーダンス素子の前記操作軸を操作する操作機構と、前記インピーダンスの整合を図るために必要な前記操作軸の目標位置を設定する目標位置設定部と、前記操作軸の現在位置を検出する操作軸位置検出部と、前記可変インピーダンス素子の操作軸の位置を前記目標位置設定部で設定された目標位置に一致させるように前記モータを制御するモータ制御部と、前記操作軸の目標位置と現在位置とを監視して前記目標位置と現在位置との残留偏差が許容値を超えたときに異常判定を行う異常判定部とを備えたインピーダンス整合装置であって、
前記モータ制御部は、前記異常判定部が最初の異常判定を行うまでの間前記モータの出力トルクを初期トルクに設定し、前記異常判定部が最初の異常判定を行った後は、前記モータの出力トルクを、前記初期トルクよりも大きく、かつ前記異常判定が行われる毎に値が増大していく異常検出後トルクに設定する出力トルク設定部と、前記モータの出力トルクを前記出力トルク設定部により設定されたトルクとするように前記モータを駆動するモータ駆動部とを備え、
前記異常判定部が異常判定を行った回数が予め設定された第１の設定値に達したとき、又は前記異常検出後トルクが予め設定された第１の判定値に達したときに前記可変インピーダンス素子のメンテナンスを行う時期が近づいていることを示す警報信号を発生する警報発生手段と、前記異常判定部が異常判定を行った回数が前記第１の設定値よりも大きい値に設定された第２の設定値に達したとき、又は前記異常検出後トルクが前記第１の判定値よりも大きい値に設定された第２の判定値に達したときに前記可変インピーダンス素子のメンテナンスが必要であると判定するメンテナンス要否判定部とが更に設けられていること、
を特徴とするインピーダンス整合装置。
【請求項４】
前記出力トルク設定部は、前記異常判定部が最初の異常判定を行った後前記異常判定が行われる毎に前記異常検出後トルクの値を増大させていく際の該異常検出後トルクの増分を予め定めた値とするように構成されていること、
を特徴とする請求項３に記載されたインピーダンス整合装置。
【請求項５】
前記出力トルク設定部は、前記異常判定部が最初の異常判定を行った後前記異常判定が行われる毎に前記異常検出後トルクの値を増大させていく際の増分を、異常判定が行われた回数と設定するトルクとの間の予め定められた関係に基づいて決定するように構成されていること、
を特徴とする請求項３に記載されたインピーダンス整合装置。
【請求項６】
前記異常判定部の判定結果を示す信号及び前記出力トルク設定部が設定しているトルクの大きさを示す信号を外部に出力するための信号出力端子が設けられている請求項１ないし５の何れか一つに記載のインピーダンス整合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置に用いるプラズマ処理装置等において、高周波電源と負荷との間のインピーダンスの整合を図るために用いるインピーダンス整合装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
高周波電源からプロセスチャンバ内に設けられたプラズマ発生装置等の負荷に電力を供給する場合には、例えば特許文献１に示されているように、負荷からの電力の反射を無くして負荷に効率よく電力を供給するために、高周波電源と負荷との間にインピーダンス整合装置を設けて、電源の出力インピーダンスと負荷のインピーダンスとを整合させるようにしている。
【０００３】
インピーダンス整合装置は、電源と負荷との間に設けられて電源と負荷との間のインピーダンスの整合を図る際に操作される可変インピーダンス素子と、モータを駆動源として可変インピーダンス素子の操作軸を操作する操作機構と、インピーダンスの整合を図るために必要な操作軸の目標位置を設定する目標位置設定部と、操作軸の現在位置を検出する操作軸位置検出部と、可変インピーダンス素子の操作軸の位置を目標位置設定部で設定された目標位置に一致させるようにモータを制御するモータ制御部とを備えていて、高周波電源と負荷との間のインピーダンスの整合を図るために可変インピーダンス素子の操作軸を制御する。可変インピーダンス素子としては、可変コンデンサや、可変インダクタンスが用いられる。
【０００４】
例えば、特許文献１に示されたインピーダンス整合装置は、高周波電源から負荷に入力される入力電圧及び入力電流と、該入力電圧と入力電流との間の位相差とを検出する入力検出部と、高周波電源の出力端子間に対して並列に接続された第１の可変コンデンサと、高周波電源の一方の出力端子と負荷の一端との間に接続された第２の可変コンデンサと、第１の可変コンデンサ及び第２の可変コンデンサのそれぞれに対して設けられた第１及び第２のモータを備えてこれらのモータを駆動源として第１の可変コンデンサ及び第２の可変コンデンサの操作軸を操作する操作機構と、入力検出部により検出される入力電圧及び入力電流から求められる電源の出力インピーダンスの値に基づいて第１の可変コンデンサの操作軸の位置を目標位置とするように制御するモータ制御部と、入力検出部により検出される入力電圧及び入力電流の位相差に基づいて第２の可変コンデンサの操作軸の位置を目標位置とするようにモータを制御するモータ制御部とを備えている。第１の可変コンデンサ及び第２の可変コンデンサとしては、多くの場合、特許文献２や特許文献３に示されているように、真空容器内に固定電極と可動電極とを封入した真空可変コンデンサが用いられている。
【０００５】
インピーダンス整合装置に用いる真空可変コンデンサなどの可変インピーダンス素子は、使用に伴って操作軸の潤滑剤（グリスなど）が固化していき、操作軸からモータにかかる負荷トルクが増大していく。また操作軸とその軸受け部との間の接触部の機械的な摩耗や、操作軸の回転変位を可変インピーダンス素子の可動部（可変コンデンサの場合には可動電極）に伝達する変位伝達機構を構成する部品の機械的摩耗によっても、操作軸からモータにかかる負荷トルクが増大していく。特に、操作軸の回転変位をネジ機構により直線変位に変換して真空室内に配置された可動電極に伝達するように構成された真空可変コンデンサの場合には、ネジ機構を構成しているネジのうち、真空室内に配置された可動電極に結合されている一方のネジに真空室側から常時吸引力が作用して、ネジ機構を構成しているネジ同士の接触部に偏った力がかかるため、比較的短期間でネジ山の摩耗が進行して、操作軸を操作するために必要なトルクが増大していく。本明細書では、上記のように、可変インピーダンス素子の操作軸の潤滑剤が固化したり、操作軸の回転変位を可変インピーダンス素子の可動部に伝達する変位伝達機構の構成部品が摩耗したりして、可変インピーダンス素子を操作するために必要なトルクが大きくなっていく状態を可変インピーダンス素子の機構部の劣化と呼ぶ。
【０００６】
上記のように、可変インピーダンス素子の機構部の劣化によりモータにかかる負荷トルクが過大になり、モータの駆動能力の限界を超えると、操作軸を回転させることができなくなるため、インピーダンスの整合を図ることができなくなる。例えば、可変インピーダンス素子を操作するモータとしては、パルスモータや、ステッピングモータを用いることが多いが、これらのモータを用いた場合には、モータにかかる負荷トルクが増大していくと、やがて駆動パルスとモータの回転との同期をとることができない脱調状態になり、モータを回転させることができなくなる。従来は、可変インピーダンス素子の機構部の劣化が、寿命に近い状態まで進んだ際にもその操作を可能にするように、モータの出力トルクを十分に大きい値（一定値）に設定していた。
【０００７】
可変インピーダンス素子の機構部の劣化が進み、モータにより可変インピーダンス素子を操作することができなくなった場合には、可変インピーダンス素子を交換したり、その機構部の部品を交換したりする等のメンテナンスを行う必要がある。またメンテナンスの際には、インピーダンス整合装置の再
調整を行うことが必要になる。可変インピーダンス素子を操作することができなくなった場合に、インピーダンス整合装置全体を交換することもあるが、その場合にもインピーダンス整合装置の再調整が必要であり、その作業には長時間を要する。
【特許文献１】特開２００１−１６７７９号公報
【特許文献２】特開平１１−９７２９３号公報
【特許文献３】特開平１０−１０６８８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記のように可変インピーダンス素子の機構部の劣化によりモータにかかる負荷トルクが増大して、可変インピーダンス素子の操作を正常に行うことができなくなった場合には、電源と負荷のインピーダンス整合ができなくなるため、整合装置の修理や交換などのメンテナンス作業を行う必要があり、その作業に長い時間を要する。
【０００９】
整合装置の本来の役割である整合動作が機能しなくなると、半導体製造プロセスを中断することになるが、その様な事態は極力さける努力が必要である。そのため、従来は劣化時期を予測して、可変インピーダンス素子のメンテナンス周期を短く設定したり、整合装置の交換を早めに行う等の対応を推奨していたが、使用条件によっては、過剰にメンテナンスを行うことになり、更なる改善を行う余地がある。
【００１０】
インピーダンス整合装置の性能の維持を経済的に図るためには、インピーダンス整合装置のメンテナンス作業を、予め設定したメンテナンス日に行うことができるようにしておくことが好ましい。そのためには、メンテナンスが必要になる時期を予測し得るようにしておくことが必要である。
【００１１】
通常、機械的な可動部を有する装置の寿命の判定、或いはメンテナンスが必要であることの判定は、装置の運転時間により行っているが、インピーダンス整合装置の場合は、可変インピーダンス素子の操作軸が操作される時間や回数が負荷の状態により大きく異なり、予測が不能であるため、インピーダンス整合装置の運転時間からその寿命やメンテナンス時期を正確に判定することは困難である。
【００１２】
本発明の目的は、可変インピーダンス素子の寿命が近いことを予知することができるようにして、メンテナンスを的確に行うことができるようにしたインピーダンス整合装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、電源と負荷との間に設けられて電源と負荷との間のインピーダンスの整合を図る際に操作される操作軸を有する可変インピーダンス素子と、モータを駆動源として可変インピーダンス素子の操作軸を操作する操作機構と、インピーダンスの整合を図るために必要な操作軸の目標位置を設定する目標位置設定部と、操作軸の現在位置を検出する操作軸位置検出部と、可変インピーダンス素子の操作軸の位置を目標位置設定部で設定された目標位置に一致させるようにモータを制御するモータ制御部と、操作軸の目標位置と現在位置とを監視して目標位置と現在位置との残留偏差が許容値を超えたときに異常判定を行う異常判定部とを備えたインピーダンス整合装置を対象とする。
【００１４】
本発明においては、可変インピーダンス素子の機構部の劣化が進んでいない状態では、該可変インピーダンス素子を小さいトルクで操作できることに着目して、最初はモータの出力トルクを比較的小さい「初期トルク」に設定して、設定された一定の期間が経過した後に可変インピーダンス素子のメンテナンスを行う必要があるといえる程度まで可変インピーダンス素子の機構部の劣化が進んだときに最初の異常判定が行われるようにしておき、異常判定が行われたときにモータの出力トルクを初期トルクより大きい「異常検出後トルク」に変更する。
【００１５】
そのため、本発明では、上記モータ制御部に、異常判定部が最初の異常判定を行うまでの間は、モータの出力トルクを初期トルクに設定し、異常判定部が最初の異常判定を行った後はモータの出力トルクを初期トルクよりも大きい異常検出後トルクに設定する出力トルク設定部と、モータの出力トルクを出力トルク設定部により設定されたトルクとするように前記モータを駆動するモータ駆動部とを設けた。
【００１６】
本発明においてはまた、モータの出力トルクが異常検出後トルクに設定されている状態で異常判定が行われたときに可変インピーダンス素子のメンテナンスが必要であると判定するメンテナンス要否判定部を設けた。
【００１７】
上記異常検出後トルクは、基本的には、従来のインピーダンス整合装置において設定されていたモータの出力トルクと同等の大きさに設定する。初期トルクの大きさは、異常検出後トルクよりも小さく、かつ可変インピーダンス素子の機構部が近い将来メンテナンスを必要とするといえる程度まで劣化するまでの間、可変インピーダンス素子の操作軸の目標位置と現在位置との残留偏差を許容範囲に保つことができる大きさに設定しておく。即ち、可変インピーダンス素子の機構部が、一定の時間後にはメンテナンスを必要とするといえる程度まで劣化したときに、可変インピーダンス素子の操作軸の目標位置と現在位置との残留偏差が許容値を超えて異常判定部が異常判定を行うように初期トルクの大きさを設定しておく。
【００１８】
上記のように構成すると、例えば、最初の異常判定が行われたこと、またはモータの出力トルクが初期トルクから異常検出後トルクに切り換えられたことから、可変インピーダンス素子の機構部が、一定時間後にメンテナンスを行うことが必要な程度に（メンテナンスの時期が近いといえる程度に）劣化していることを知ることができる。従って、メンテナンスが必要であることを看過して運転が継続されて、製造ラインを止める必要がある事態が突然生じるのを防ぐことができる。
【００１９】
また上記のように構成しておくと、可変インピーダンス素子の機構部の劣化によりインピーダンス整合装置がインピーダンスの整合をとることができなくなる状態が生じる前に、可変インピーダンス素子のメンテナンスを行う時期が来ていることを知ることができるため、半導体製造プロセスの中断を未然に防ぐだけでなく、過剰にメンテナンスを行うのを防ぐことができる。
【００２０】
本発明の好ましい態様では、異常判定部が最初の異常判定を行ったとき、またはモータの出力トルクが初期トルクから異常検出後トルクに切り替わったときに可変インピーダンス素子のメンテナンス時期が近づいていることを示す警報信号を発生する警報発生手段が更に設けられている。
【００２１】
上記のように、異常判定部が最初の異常判定を行ったとき、またはモータの出力トルクが初期トルクから異常検出後トルクに切り替わったときに可変インピーダンス素子のメンテナンス時期が近づいていることを示す警報信号を発生する警報発生手段を設けておくと、装置の管理者にメンテナンス時期が近いことの情報を確実に与えることができるため、インピーダンス整合装置の性能の維持を的確に図ることができる。
【００２２】
なおメンテナンス要否判定部によりメンテナンスが必要であると判定された時点でも、少なくとも製造ラインにおいて処理中の製品の処理が完了するまでの間は、許容される誤差範囲でインピーダンスの整合をとることができるように、異常検出後トルクは、出力トルクの上限値よりも少し小さく設定しておくことが好ましい。すなわち、上記出力トルク設定部がモータの出力トルクを異常検出後トルクに設定している状態で異常判定が行われた場合に、出力トルクを少し大きくすることができれば、再度、モータを駆動できる可能性が高まる。そうすることによって、処理中の製品の処理を完了させることができる可能性が高まるからである。
【００２３】
本発明の好ましい態様では、上記モータ制御部に、異常判定部が最初の異常判定を行うまでの間はモータの出力トルクを初期トルクに設定し、異常判定部が最初の異常判定を行った後は、モータの出力トルクを、初期トルクよりも大きく、かつ異常判定が行われる毎に値が増大していく異常検出後トルクに設定する出力トルク設定部と、モータの出力トルクを出力トルク設定部により設定されたトルクとするようにモータを駆動するモータ駆動部とが設けられる。
【００２４】
上記のように構成すると、メンテナンス時期が近づいていることの情報をきめ細かく得ることができるため、メンテナンスの計画を立てやすくすることができ、製品の製造計画との関係で最適のタイミングでメンテナンスを行うことができる。
【００２５】
上記のように構成する場合には、異常判定部が異常判定を行った回数が予め設定された第１の設定値に達したときに可変インピーダンス素子のメンテナンスを行う時期が近づいていることを示す警報信号を発生する警報発生手段を設けることができる。
【００２６】
上記のように構成する場合には、可変インピーダンス素子の機構部の劣化が進行して行くにつれて、異常判定が行われる回数が増えていくため、異常判定部が異常判定を行った回数が予め適値に設定された第１の設定値に達したときに可変インピーダンス素子のメンテナンスを行う時期が近づいていると判定することができる。
【００２７】
また上記のように構成する場合には、異常検出後トルクが予め設定された第１の判定値に達したときに可変インピーダンス素子のメンテナンスを行う時期が近づいていることを示す警報信号を発生する警報発生手段を設けることもできる。上記第１の判定値は、異常判定回数が上記第１の設定値に達したときに設定される異常検出後トルクの大きさに等しく設定しておく。
【００２８】
更に上記のように構成する場合には、異常判定部が異常判定を行った回数が第１の設定値よりも大きい値に設定された第２の設定値に達したときに可変インピーダンス素子のメンテナンスが必要であると判定するメンテナンス要否判定部を設けることができる。
【００２９】
上記のように、異常判定部が最初の異常判定を行った後、モータの出力トルクを、初期トルクよりも大きく、かつ異常判定が行われる毎に値が増大していく異常検出後トルクに設定するように構成する場合には、可変インピーダンス素子の機構部の劣化が進行して行くにつれて、異常判定部が異常判定を行う回数が増えていくため、異常判定部が異常判定を行った回数が第１の設定値よりも大きい値に設定された第２の設定値に達したことから、可変インピーダンス素子のメンテナンスが必要であると判定することができる。
【００３０】
上記のように構成する場合、可変インピーダンス素子の機構部の劣化の程度は、異常検出後トルクの大きさにも反映されているため、メンテナンス要否判定部は、異常検出後トルクが前記第１の判定値よりも大きい値に設定された第２の判定値に達したときに前記可変インピーダンス素子のメンテナンスが必要であると判定するように構成することもできる。
【００３１】
上記出力トルク設定部は、異常判定部が最初の異常判定を行った後異常判定が行われる毎に異常検出後トルクの値を増大させていく際の該異常検出後トルクの増分を予め定めた値（例えば予め定めた一定値）とするように構成されていることが好ましい。
【００３２】
上記出力トルク設定部は、異常判定部が最初の異常判定を行った後異常判定が行われる毎に異常検出後トルクの値を増大させていく際の増分を、異常判定が行われた回数と設定するトルクとの間の予め定められた関係に基づいて決定するように構成されていることが好ましい。例えば、異常判定が行われ回数の増大に伴って、異常検出後トルクの値の増分を大きくしていくように、出力トルク設定部を構成することができる。
【００３３】
本発明の好ましい態様では、上記異常判定部の判定結果を示す信号及び出力トルク設定部が設定しているトルクの大きさを示す信号を外部に出力するための信号出力端子が設けられる。
【００３４】
上記のように、異常判定部の判定結果を示す信号及び出力トルク設定部が設定しているトルクの大きさを示す信号を外部に出力するための信号出力端子を設けておくと、これらの信号により得られる情報を外部のコンピュータに与えて、製造ラインの制御や管理に利用したり、外部に設置した監視装置にインピーダンス整合装置のモニタ情報を与えたりすることができる。
【発明の効果】
【００３５】
請求項１〜６に記載された発明によれば、モータの出力トルクの大きさから、可変インピーダンス素子の機構部の劣化がある程度進んでいて、メンテナンスの時期が近づいていることを知ることができるため、メンテナンスの時期が来ていることを看過して、運転が継続されて、可変インピーダンス素子の機構部の劣化により、製造ラインを止める必要がある事態が突然生じるのを防ぐことができる。
【００３６】
請求項２〜６に記載された発明によれば、可変インピーダンス素子のメンテナンス時期が近づいていることを示す警報信号を発生させて、装置の管理者に、可変インピーダンス素子のメンテナンス時期が近いことの情報を確実に与えることができるため、インピーダンス整合装置の性能の維持を的確に図ることができる。
【００３７】
請求項１〜６に記載された発明によれば、所定の条件が成立したときに、可変インピーダンス素子のメンテナンスが必要であるとの判定を行うメンテナンス要否判定部を設けたので、可変インピーダンス素子の機構部の劣化によりインピーダンス整合装置がインピーダンスの整合をとることができなくなる状態が生じる前に、可変インピーダンス素子のメンテナンスが必要であることを知ることができる。従って、半導体製造プロセスの中断を未然に防ぐだけでなく、過剰にメンテナンスを行うのを防ぐことができる。
【００３８】
請求項６に記載された発明によれば、異常判定部の判定結果を示す信号及び出力トルク設定部が設定しているトルクの大きさを示す信号を外部に出力するための信号出力端子を設けたので、異常判定部の判定結果を示す信号及び設定されているモータのトルクの大きさを示す信号により得られる情報を外部のコンピュータに与えて、製造ラインの制御や管理に利用したり、外部に設置した監視装置にインピーダンス整合装置のモニタ情報を与えたりすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下図面を参照して本発明の好ましい実施形態を詳細に説明する。
図１は本発明の一実施形態に係わるインピーダンス整合装置の構成を示したもので、同図において１は高周波電源、２は半導体製造装置等のプロセスチャンバである。プロセスチャンバ２内にはプラズマ発生装置等の、高周波電源１の負荷が収容されている。３及び４は高周波電源１とプロセスチャンバ（負荷）２との間に設けられた第１及び第２の可変インピーダンス素子で、第１の可変インピーダンス素子３は高周波電源１及び負荷に対して並列に接続され、第２の可変インピーダンス素子４は、高周波電源１及びプロセスチャンバ２（負荷）に対して直列に接続されている。本実施形態では、第１の可変インピーダンス素子３が第１の可変コンデンサＶＣ1からなり、第２の可変インピーダンス素子４が第２の可変コンデンサＶＣ2からなっている。第１の可変コンデンサＶＣ1及び第２の可変コンデンサＶＣ2としては真空可変コンデンサが用いられている。
【００４０】
図示の例では、第２の可変コンデンサＶＣ2と負荷との間にインダクタンス５が挿入されている。また負荷に入力される電圧Ｖinと、電流Ｉinと、電圧Ｖinと電流Ｉinとの間の位相差θinとを検出する入力検出部６が、高周波電源１と第２の可変コンデンサＶＣ2との間に設けられている。この入力検出部６による電圧Ｖin、電流Ｉinおよび位相差θinの検出方法は、周知であるので説明を省略する。
【００４１】
第１の可変コンデンサＶＣ1に対しては、第１のモータ７ａを駆動源として該第１の可変コンデンサＶＣ1の操作軸を操作する第１の操作機構が設けられ、第２の可変コンデンサＶＣ2に対しては、第２のモータ７ｂを駆動源として該第２の可変コンデンサＶＣ2の操作軸を操作する第２の操作機構が設けられている。本実施形態では、モータ７ａ及び７ｂとしてステップモータを用いるものとする。各操作機構は、各モータの回転を各可変コンデンサの操作軸に伝達する機構により構成することができる。例えば、各モータの回転軸と各可変コンデンサの操作軸とを接続するカップリングを用いた機構により構成することができる。場合によっては、各モータの回転を減速して各可変コンデンサの操作軸に伝達する機構により構成することもできる。
【００４２】
また第１の可変コンデンサＶＣ1の操作軸の位置を検出する第１の位置検出器８ａと、第２の可変コンデンサＶＣ2の操作軸の位置を検出する第２の位置検出器８ｂとを備えた操作軸位置検出部８が設けられ、第１及び第２の位置検出器８ａ及び８ｂの出力信号Ｓpa及びＳpbが、入力検出部６から得られる入力電圧検出信号Ｓv、入力電流検出信号Ｓi及び位相差検出信号Ｓθとともに目標位置設定部９に入力されている。
【００４３】
目標位置設定部９は、入力検出部６により検出された入力電圧Ｖin及び入力電流Ｉinを用いて、インピーダンス整合装置の入力端（入力検出部６の入力端）から負荷側を見たインピーダンスを演算により求めて、高周波電源１とプロセスチャンバ（負荷）２とのインピーダンス整合を行なうために必要な可変コンデンサＶＣ1及びＶＣ2のそれぞれの操作軸の目標位置を演算する。すなわち、インピーダンス整合装置の入力端から伝送線路を経由し高周波電源１側を見た電源側インピーダンス（通常は５０Ω）と、インピーダンス整合装置の入力端からプロセスチャンバ（負荷）２側を見た負荷側インピーダンスとを整合させるために必要な可変コンデンサＶＣ1及びＶＣ2のそれぞれの操作軸の目標位置を演算する。そして、第１の可変コンデンサＶＣ1の操作軸の演算された目標位置と、第１の位置検出器８ａにより検出された可変コンデンサＶＣ1の操作軸の現在位置との偏差を零にするために必要なステップモータ７ａの駆動量（ステップモータ７ａに与えるパルス数）を演算し、演算した駆動量を示す目標位置設定信号Ｓdaを第１のモータ駆動部１０ａに与える。
【００４４】
可変コンデンサＶＣ1及びＶＣ2のそれぞれの操作軸の目標位置の演算は、インピーダンスの整合を図るために必要な可変コンデンサＶＣ1及びＶＣ2のリアクタンス値を目標リアクタンス値として演算する手段と、各可変コンデンサに対して予め求めた操作軸の回転角度位置と各可変コンデンサの静電容量との間の関係を用いて、演算された各目標リアクタンス値に対応する各可変コンデンサの操作軸の回転角度位置（目標位置）を演算する手段とにより構成できる。第１及び第２の位置検出器８ａ及び８ｂは、例えば、可変コンデンサＶＣ1及びＶＣ2のそれぞれの操作軸が微少角度回転する毎に位置検出パルスを発生するエンコーダを用いて構成することができる。
【００４５】
目標位置設定部９はまた、第２の可変コンデンサＶＣ2の操作軸の演算された目標位置と、第２の位置検出器８ｂにより検出された第２の可変コンデンサＶＣ2の操作軸の現在位置との偏差を零にするために必要なステップモータ７ｂの駆動量（ステップモータに与えるパルス数）を演算し、演算した駆動量を示す目標位置設定信号Ｓdbを第２のモータ駆動部１０ｂに与える。本実施形態では、第１のモータ駆動部１０ａと第２のモータ駆動部１０ｂとにより、モータ駆動部１０が構成されている。
【００４６】
１１は異常判定部で、この異常判定部は、第１の可変コンデンサＶＣ1の操作軸の目標位置と現在位置、及び第２の可変コンデンサＶＣ2の操作軸の目標位置と現在位置をそれぞれ監視して、第１の可変コンデンサＶＣ1の操作軸の目標位置と現在位置との残留偏差が許容値を超えたときに第１の可変コンデンサＶＣ1の機構部が異常であるとの異常判定を行うとともに、第２の可変コンデンサＶＣ2の操作軸の目標位置と現在位置との残留偏差が許容値を超えたときに第２の可変コンデンサＶＣ2の機構部が異常であるとの異常判定を行う。
【００４７】
なお可変コンデンサの操作軸の目標位置と現在位置との「残留偏差」は、モータ駆動部１０が目標位置設定部９で演算された駆動量だけモータを駆動した時点で、可変コンデンサの操作軸の目標位置と現在位置との間に存在する偏差である。ここで、「モータ駆動部１０が目標位置設定部９で演算された駆動量だけモータを駆動した時点」とは、通常は、検出の遅れを考慮して、モータが実際に駆動したと考えられる時点を示す。すなわち、可変コンデンサの操作軸の現在位置の検出には遅れが伴うことが避けられず、可変コンデンサの操作軸の目標位置のデータ及びその目標位置に対応する現在位置の検出データは、同時に発生するものではないので、モータが脱調状態になったときに、可変コンデンサの操作軸の目標位置と現在位置との間に存在する偏差を正確に検知するためには何らかの工夫を要する。例えば、目標位置のデータを目標位置設定部９から異常判定部１１に出力する際に、検出の遅れを考慮して現在位置の検出データを出力するタイミングを遅らせる処理を行うことにより、モータが脱調状態になったときに可変コンデンサの操作軸の目標位置と現在位置との間に存在する偏差を正確に検知することができる。また、異常判定部１１に目標位置のデータ及び現在位置の検出データを一旦記憶するメモリを設け、遅れを考慮してメモリから読み出す等の処理を行うことによっても、上記の偏差を正確に検知することができる。
【００４８】
異常判定部１１は、第１の可変コンデンサＶＣ1の機構部が異常であるとの異常判定を行ったときに第１の異常判定信号Ｓaaを発生し、第２の可変コンデンサＶＣ2の可動部が異常であるとの異常判定を行ったときに第２の異常判定信号Ｓabを発生する。異常判定部１１が出力する第１の異常判定信号Ｓaa及び第２の異常判定信号Ｓabはそれぞれ第１の出力トルク設定部１２ａ及び第２の出力トルク設定部１２ｂに与えられる。
【００４９】
第１の出力トルク設定部１２ａ及び第２の出力トルク設定部１２ｂは、異常判定部１１による判定結果に応じて第１のモータ７ａ及び第２のモータ７ｂの出力トルクを設定する部分で、第１の出力トルク設定部１２ａは、異常判定部１１が第１のモータ７ａについて最初の異常判定を行うまでの間は、モータ７ａの出力トルクを初期トルクに設定し、異常判定部１１が最初の異常判定を行った後は前記モータの出力トルクを上記初期トルクよりも大きい異常検出後トルクに設定するように構成される。
【００５０】
第２の出力トルク設定部１２ｂは、異常判定部１１が最初の異常判定を行うまでの間は、モータ７ｂの出力トルクを初期トルクに設定し、異常判定部１１が最初の異常判定を行った後はモータ７ｂの出力トルクを前記初期トルクよりも大きい異常検出後トルクに設定するように構成される。
【００５１】
第１のモータ駆動部１０ａは、目標位置設定部９により設定されたパルス数だけ第１のモータ７ａに駆動パルスを与えるとともに、第１のモータ７ａの出力トルクを第１の出力トルク設定部１２ａにより設定されたトルクに等しくするように、該第１のモータに流す駆動電流を調整する。
【００５２】
また第２のモータ駆動部１０ｂは、目標位置設定部９により設定されたパルス数だけ第２のモータ７ｂに駆動パルスを与えるとともに、第２のモータ７ｂの出力トルクを第２の出力トルク設定部１２ｂにより設定されたトルクに等しくするように、第２のモータに流す駆動電流を調整する。
【００５３】
第１のモータ７ａ及び第２のモータ７ｂの出力トルクをそれぞれ第１の出力トルク設定部１２ａ及び第２の出力トルク設定部１２ｂにより設定されたトルクに等しくするように、第１のモータ７ａ及び第２のモータ７ｂに流す駆動電流を調整する方法は、例えば、抵抗値を変化させることによって行われる。また、抵抗値を変化させる手段としては、例えば、可変抵抗を用いてもよいし、抵抗値を変化させることが可能なＩＣを用いてもよい。そして、出力トルク設定部１２からモータ駆動部１０に、出力トルクを変更するように信号が出力されると、その信号に応じて抵抗値を変化させて、各モータに流す駆動電流を調整すればよい。
【００５４】
本実施形態では、第１の出力トルク設定部１２ａ及び第２の出力トルク設定部１２ｂにより出力トルク設定部１２が構成され、モータ駆動部１０と出力トルク設定部１２とにより、可変コンデンサ（可変インピーダンス素子）の操作軸の位置を目標位置設定部９で設定された目標位置に一致させるようにモータ７ａ，７ｂを制御するモータ制御部１３が構成されている。
【００５５】
第１の可変コンデンサＶＣ1の可動部がグリスの固化や機械的摺動部の摩耗などにより劣化すると、該第１の可変コンデンサの操作軸から第１のモータ７ａにかかる負荷トルクが大きくなっていく。第１のモータ７ａにかかる負荷トルクが大きくなっていき、ある限界と超えると、該モータの回転が駆動パルスと同期しない状態（脱調状態）になりモータを回転させることができなくなる。このような状態が生じると、第１の可変コンデンサ７ａの操作軸を目標位置まで回転させることができなくなり、高周波電源１と負荷２との間のインピーダンスの整合をとることができなくなって、モータ駆動部１０ａがモータ７ａの駆動を完了した時点での可変コンデンサＶＣ1の操作軸の現在位置と目標位置との残留偏差が大きくなる。
【００５６】
同様に、第２の可変コンデンサＶＣ2の可動部が劣化した場合には、モータ７ｂの回転が駆動パルスと同期しない状態（脱調状態）になり、該モータを正常に回転させることができなくなる。このような状態が生じると、第２の可変コンデンサ７ｂの操作軸を目標位置まで回転させることができなくなるため、高周波電源１と負荷との間のインピーダンスの整合をとることができなくなり、モータ駆動部１０ｂがモータ７ｂの駆動を完了した時点での可変コンデンサＶＣ2の操作軸の現在位置と目標位置との残留偏差が大きくなる。
【００５７】
従って、異常判定部１１で、各可変コンデンサの操作軸の現在位置と目標位置とを監視して、両位置の間の残留偏差が許容値を超えたか否かを判定することにより、各可変コンデンサの可動部が異常であるか否かを判定することができる。
【００５８】
上記異常検出後トルクは、従来のインピーダンス整合装置において設定されていたモータの出力トルクと同等の大きさ、即ち、メンテナンスが必要な程度まで可変インピーダンス素子の機構部の劣化が進んだ状態でも、可変インピーダンス素子の操作軸を目標位置まで回転させることができるような大きさに設定しておく。
【００５９】
上記の実施形態において、初期トルクの大きさは、異常検出後トルクよりも小さく、かつ可変コンデンサの機構部が一定時間後にはメンテナンスを必要とするといえる程度まで劣化する前の状態にある間は、該可変コンデンサの操作軸を操作し得るが、可変コンデンサの機構部が一定時間後にはメンテナンスを必要とするといえる程度まで劣化した状態では、可変インピーダンス素子の操作軸を操作することができなくなる程度の大きさに設定しておく。即ち、可変コンデンサの機構部が一定時間後にはメンテナンスを必要とするといえる程度まで劣化したときに、可変コンデンサの操作軸の目標位置と現在位置との残留偏差が許容値を超えて異常判定部が異常判定を行うように初期トルクの大きさを設定しておく。
【００６０】
上記のように、異常判定部１１が最初の異常判定を行ったときにモータの出力トルクを初期トルクよりも大きい異常検出後トルクに設定し直すようにすると、最初の異常判定が行われたこと、またはモータの出力トルクが初期トルクから異常検出後トルクに切り換えられたことから、可変インピーダンス素子の機構部が一定時間後にメンテナンスを行うことが必要な程度に（メンテナンスの時期が近いといえる程度に）劣化していることを知ることができる。従って、メンテナンスが必要であることを看過して運転が継続されて、製造ラインを止める必要がある事態が突然生じるのを防ぐことができる。また、モータの出力トルクを初期トルクよりも大きい異常検出後トルクに設定し直すことによって、再度、残留偏差が許容値に収まるようにモータを駆動させることが可能となる。
【００６１】
図示の例では、異常判定部１１の出力と、出力トルク設定部１２の出力とがメンテナンス要否判定部１４に与えられている。メンテナンス要否判定部１４は、第１の出力トルク設定部１２ａがモータ７ａの出力トルクを異常検出後トルクに設定している状態で異常判定部１１により異常判定が行われたときに第１の可変コンデンサＶＣ1のメンテナンスが必要であると判定する。
【００６２】
メンテナンス要否判定部１４はまた、第２の出力トルク設定部１２ｂがモータ７ｂの出力トルクを異常検出後トルクに設定している状態で異常判定部１１により異常判定が行われたときに第２の可変コンデンサＶＣ2のメンテナンスが必要であると判定する。
【００６３】
本実施形態ではまた、異常判定部１１の出力が警報発生手段１５に与えられている。警報発生手段１５は、異常判定部１１が可変コンデンサＶＣ1について最初の異常判定を行ったときに、可変コンデンサＶＣ1のメンテナンス時期が近づいていることを示す警報信号を発生し、異常判定部１１が可変コンデンサＶＣ2について最初の異常判定を行ったときに、可変コンデンサＶＣ2のメンテナンス時期が近づいていることを示す警報信号を発生する。
【００６４】
また、本実施形態では、出力トルク設定部１２が設定しているトルクの大きさを示す信号Ｓta，Ｓtb及び異常判定部１１の判定結果を示す信号Ｓaa，Ｓabを外部に出力するための信号出力端子ｔ1ないしｔ4が設けられている。
【００６５】
本実施形態のように、異常判定部の判定結果を示す信号及び出力トルク設定部が設定しているトルクの大きさを示す信号を外部に出力するための信号出力端子を設けておくと、異常判定部の判定結果を示す信号と、設定されているモータのトルクの大きさを示す信号により得られる可変コンデンサの可動部の劣化の程度を示す情報とを外部のコンピュータに与えて、製造ラインの制御や管理に利用したり、外部に設置した監視装置にインピーダンス整合装置のモニタ情報を与えたりすることができる。
【００６６】
上記の実施形態のように、異常判定部１１が最初の異常判定を行うまでの間は、モータ７ａ，７ｂの出力トルクを初期トルクに設定し、異常判定部１１が最初の異常判定を行った後はモータ７ａ，７ｂの出力トルクを初期トルクよりも大きい異常検出後トルクに設定するようにしておくと、最初の異常判定が行われたことから、可変インピーダンス素子の機構部が、一定時間後にメンテナンスを行うことが必要な程度に（メンテナンスの時期が近いといえる程度に）劣化していることを知ることができる。従って、メンテナンスが必要であることを看過して運転が継続されて、製造ラインを止める必要がある事態が突然生じるのを防ぐことができる。
【００６７】
また上記の実施形態のように、異常判定部が最初の異常判定を行ったときに可変コンデンサのメンテナンス時期が近づいていることを示す警報信号を発生する警報発生手段１５を設けておくと、可変コンデンサのメンテナンス時期が近いことの情報を得ることができるため、インピーダンス整合装置のメンテナンスの計画を立てやすくすることができる。従って、インピーダンス整合装置の性能の維持を的確に図ることができ、インピーダンス整合装置が突然正常な整合動作を行うことができなくなって、製造ラインがストップするといった不都合な状態が生じるのを防ぐことができる。
【００６８】
また上記の実施形態のように、出力トルク設定部１２がモータの出力トルクを異常検出後トルクに設定している状態で異常判定が行われたときに可変コンデンサのメンテナンスが必要であると判定するメンテナンス要否判定部を設けておくと、可変コンデンサの機構部の劣化によりインピーダンス整合装置がインピーダンスの整合をとることができなくなる状態が生じる前に、可変インピーダンス素子のメンテナンスが必要であることを知ることができる。従って、インピーダンス整合装置が用いられている製造ラインにおいて、製品の処理の途中でラインを止めなければならないといった事態が生じるのを防ぐことができる。
【００６９】
上記の説明では、可変コンデンサの機構部が一定時間後にはメンテナンスを必要とするといえる程度まで劣化したときに、可変コンデンサの操作軸の目標位置と現在位置との残留偏差が許容値を超えて異常判定部が最初の異常判定を行うようにモータの初期トルクの大きさを設定して、異常判定部が最初の異常判定を行ったときに、メンテナンスの時期が近いことを示す警報信号を発生させるようにしたが、モータの初期トルクを小さめに設定して、可変コンデンサの機構部が一定時間後にはメンテナンスを必要とするといえる程度まで劣化するまでの間に異常判定が複数回行われるようにしてもよい。
【００７０】
即ち、モータ制御部１３は、異常判定部１１が最初の異常判定を行うまでの間は、モータの出力トルクを初期トルクに設定し、異常判定部が最初の異常判定を行った後は、モータの出力トルクを、初期トルクよりも大きく、かつ異常判定が行われる毎に値が増大していく異常検出後トルクに設定する出力トルク設定部と、モータの出力トルクを出力トルク設定部により設定されたトルクとするようにモータを駆動するモータ駆動部とを備えた構成とすることができる。
【００７１】
この場合、警報発生手段１５は、異常判定部１１が異常判定を行った回数が１以上の値に設定された第１の設定値ｎs1に達したときに可変コンデンサのメンテナンスを行う時期が近づいていることを示す警報信号を発生するように構成する。
【００７２】
また設定されているモータの出力トルクの大きさに基づいて、メンテナンスを行う時期が近づいていることを示す警報信号を発生させる場合には、異常検出後トルクが初期トルクよりも大きい値に予め設定された第１の判定値に達したときに可変インピーダンス素子のメンテナンスを行う時期が近づいていることを示す警報信号を発生するように、警報発生手段を構成する。
【００７３】
上記のように、異常判定が行われる毎に異常検出後トルクの値を増大させていく構成をとる場合、メンテナンス要否判定部１４は、異常判定部が異常判定を行った回数が第１の設定値よりも大きい値に設定された第２の設定値に達したときに可変インピーダンス素子のメンテナンスが必要であると判定するように構成するか、または異常検出後トルクが第１の判定値よりも大きい値に設定された第２の判定値に達したときに可変インピーダンス素子のメンテナンスが必要であると判定するように構成する。
【００７４】
上記のように異常判定が行われる毎に異常検出後トルクの大きさを増大させていく場合、出力トルク設定部１２は、異常判定部１１が最初の異常判定を行った後異常判定が行われる毎に異常検出後トルクの値を増大させていく際の該異常検出後トルクの増分を予め定めた値（例えば予め定めた一定値）とするように構成することができる。
【００７５】
また上記のように異常判定が行われる毎に異常検出後トルクの大きさを増大させていく場合、出力トルク設定部１２は、異常判定部が最初の異常判定を行った後異常判定が行われる毎に異常検出後トルクの値を増大させていく際の増分を、異常判定が行われた回数と設定するトルクとの間の予め定められた関係に基づいて決定するように構成することもできる。例えば、異常判定が行われ回数の増大に伴って、異常検出後トルクの値の増分を大きくしていくように、出力トルク設定部を構成することができる。
【００７６】
図１に示した実施形態において、異常判定部１１と、第１の出力トルク設定部１２ａ及び第２の出力トルク設定部１２ｂと、メンテナンス要否判定部１４と、警報発生手段１５とをコンピュータを用いて構成する場合にコンピュータに実行させるタスクのアルゴリズムの一例を示すフローチャートを図２に示した。
【００７７】
図２に示したタスクは第１の可変コンデンサＶＣ1及び第２の可変コンデンサＶＣ2のそれぞれについて、モータ駆動部１０によるモータ７ａ，７ｂの駆動を制御する制御ループのタイミング毎に実行される。図２に示したタスクにおいて、ｎは異常判定部１１が異常判定を行った回数（異常判定回数）で、その初期値は０である。ｎs1〜ｎs3はそれぞれ異常判定回数ｎに対して設定された第１乃至第３の設定値で、ｎs1＜ｎs2＜ｎs3の関係がある。ｎs1の値は１以上に設定され、ｎs2の値は２以上に設定される。またτはモータの出力トルク、τ1は初期トルク、Δτは出力トルクの増分である。ΔＰは可変コンデンサの操作軸の目標位置と現在位置との残留偏差、ΔＰａは残留偏差の許容値である。
【００７８】
異常検出部１１により異常判定が一度も行われていない状態では、各種の初期設定を行う際に、モータの出力トルクが初期値に設定されている。モータ駆動部１０ａ，１０ｂによるモータ７ａ，７ｂの駆動が完了すると、第１の可変コンデンサ及び第２の可変コンデンサについて図２のタスクが実行される。第１の可変コンデンサＶＣ1について図２に示したタスクが開始されると、先ずそのステップＳ１０１で第１の可変コンデンサＶＣ1の操作軸の目標位置と、第１の位置検出器８ａにより検出されている該操作軸の現在位置との間の残留偏差ΔＰを演算する。次いでステップＳ１０２で残留偏差ΔＰが許容値ΔＰ1以下であるか否かを判定し、偏差ΔＰが許容値ΔＰ1以下であると判定されたときには、以後何もしないで（モータの出力トルクを変更せずに）このタスクを終了する。
【００７９】
ステップＳ１０２で偏差ΔＰが許容値ΔＰ1以下でない（許容値ΔＰを超えている）と判定されたときには、ステップＳ１０３に移行して異常信号を発生させ、ステップＳ１０４で異常判定回数ｎを１だけインクリメントする。次いで、ステップＳ１０５で異常判定回数ｎが第３の設定値（許容限界値）ｎs3以下であるか否かを判定する。その結果、異常判定回数ｎが第３の設定値以下であると判定された場合には、ステップＳ１０６でモータの出力トルクτを所定の増分Δτだけ増加させる。次いでステップＳ１０７で異常判定回数ｎが第１の設定値ｎs1以上であるか否かを判定し、異常判定回数ｎが第１の設定値ｎs1以上でない場合は、以後何もしないでこのタスクを終了する。また、ステップＳ１０７で異常判定回数ｎが第１の設定値ｎs1以上である場合には、次いでステップＳ１０８で異常判定回数ｎが第２の設定値ｎs2以上であるか否かを判定する。その結果異常判定回数ｎが第２の設定値ｎs2以上でないと判定されたときには、ステップＳ１０９に移行し、メンテナンス時期が近いことを示す警報信号を発生させてこのタスクを終了する。
【００８０】
ステップＳ１０８で異常判定回数ｎが第２の設定値ｎs2以上であると判定されたときには、ステップＳ１１０に移行し、メンテナンス時期が来ていることを示すメンテナンス指令を発生させてこのタスクを終了する。
【００８１】
ステップＳ１０５で異常判定回数ｎが第３の設定値を超えていると判定されたときには、ステップＳ１１１でモータの駆動を停止することを指令する停止指令を発生させてこのタスクを終了する。なお、このときに警報信号を発生させるようにしてもよい。
【００８２】
上記のアルゴリズムによる場合、可変コンデンサが異常であるとの判定が一度も行われていないときには、モータの出力トルクが、初期トルクに設定されている。異常判定が一度行われると、図２のタスクのステップＳ１０４でｎの値が１とされ、ステップＳ１０６でモータの出力トルクが初期トルクより一定の増分Δτだけ大きい異常検出後トルクに設定される。
【００８３】
異常判定が繰り返される毎にｎの値が大きくなっていき、ステップＳ１０６でモータの出力トルクが増大させられる。ｎ≧ｎs1となるとステップＳ１０９でメンテナンスが必要になる時期が近いことを示す警報信号が発生する。この警報信号はｎの値が第２の設定値よりも小さい間発生し続ける。ｎの値が第２の設定値ｎs2以上になるとステップＳ１１０でメンテナンス時期が来ていることを示すメンテナンス指令が発生する。ｎの値が第２の設定値ｎs2を超えた後も、ｎの値が第３の設定値ｎs3未満である間はモータの出力トルクが増大させられるが、ｎの値が第３の設定値ｎs3以上になった後は、モータの破損を防止するためにステップＳ１１１でモータの駆動が禁止される。ｎs3の値（モータの出力トルクを増大させる回数の上限値）は、モータに流すことができる駆動電流の限界値を考慮して適当な値に設定する。
【００８４】
上記のアルゴリズムによる場合には、図２のステップＳ１０１，Ｓ１０２及びＳ１０３により異常判定部１１が構成される。またステップＳ１０４及びＳ１０６により出力トルク設定部１２が構成され、ステップＳ１０８及びＳ１１０により、メンテナンス要否判定部１４が構成される。更に、ステップＳ１０７，Ｓ１０８及びＳ１０９により警報発生手段１５が構成される。なお、ステップＳ１０８はメンテナンス要否判定部１４及び警報発生手段１５の両方に属することになる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明に係わるインピーダンス整合装置の一実施形態の構成を示したブロックズである。
【図２】図１の実施形態のトルク異常検出部、出力トルク設定部、警報発生手段及びメンテナンス要否判定部を構成するためにコンピュータに実行させるタスクのアルゴリズムの一例を示したフローチャートである。
【符号の説明】
【００８６】
１ 高周波電源
２ プロセスチャンバ
３ 第１の可変コンデンサ
４ 第２の可変コンデンサ
５ インダクタンス
６ 入力検出部
７ａ 第１のモータ
７ｂ 第２のモータ
８ 位置検出部
８ａ 第１の位置検出器
８ｂ 第２の位置検出器
９ 目標位置設定部
１０ モータ駆動部
１１ 異常判定部
１２ 出力トルク設定部
１３ モータ制御部
【図１】
0005382566.tif 000002
【図２】
0005382566.tif 000003