(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定ベースと、
基板を保持するトレーを立てた状態で保持する保持ベースと、
前記保持ベースに保持された前記トレーの姿勢を維持した状態で前記保持ベースを、前記固定ベースに対して回転させる平行リンク機構と、
前記トレーを搬送するための第１の搬送路及び第２の搬送路間で、前記保持ベースに保持された前記トレーの移動経路が形成されるように、前記平行リンク機構を駆動する駆動部と、
前記保持ベースに設けられ、前記トレーの係合部に係合して前記トレーを支持するための係合部材とを具備し、
前記係合部材は、前記トレーの係合部に係合する部分である係合端部を有し、
前記保持ベースの上端部より前記係合端部が上方に位置するように、前記係合部材が前記保持ベースの前記上端部寄りの位置に接続されている
トラバース装置。
【請求項２】
請求項１に記載のトラバース装置であって、
前記平行リンク機構による動力を前記係合部材に伝達する動力伝達機構をさらに具備する
トラバース装置。
【請求項３】
請求項１または２のうちいずれか１項に記載のトラバース装置であって、
前記保持ベースは、
前記係合部材が回転可能に接続された縦長部と、
前記トレーが載置されて前記トレーを下から支持する支持部を含み、前記縦長部の下部から水平方向に突出するように設けられた突出部とを有し、
前記保持ベースは、前記第１及び前記第２の搬送路が並ぶ方向において、前記第１及び前記第２の搬送路から等しい距離にある中心線上に、前記保持ベースの前記支持部における回転中心が配置されるように駆動される
トラバース装置。
【請求項４】
請求項１から３のうちいずれか１項に記載のトラバース装置であって、
前記平行リンク機構は、前記駆動部により駆動される、前記固定ベースと前記保持ベースとの間に接続されたクランクシャフトを有する
トラバース装置。
【請求項５】
基板を保持するトレーを立てた状態で保持する保持ベースを有し、前記保持ベースに保持された前記トレーの姿勢を維持した状態で前記保持ベースが回転するように設けられたトレー移載機構と、
前記トレーを搬送するための第１の搬送路及び第２の搬送路間で、前記保持ベースに保持された前記トレーの移動経路が形成されるように、前記トレー移載機構を駆動する駆動部と、
前記保持ベースに設けられ、前記トレーの係合部に係合して前記トレーを支持するための係合部材とを具備し、
前記係合部材は、前記トレーの係合部に係合する部分である係合端部を有し、
前記保持ベースの上端部より前記係合端部が上方に位置するように、前記係合部材が前記保持ベースの前記上端部寄りの位置に接続されている
トラバース装置。
【請求項６】
基板を処理するための処理室と、
基板を保持するトレーを立てた状態で搬送する、前記処理室内に設けられた第１の搬送路及び第２の搬送路と、
固定ベースと、基板を保持するトレーを立てた状態で保持する保持ベースと、前記保持ベースに保持された前記トレーの姿勢を維持した状態で前記保持ベースを前記固定ベースに対して回転させる平行リンク機構と、前記トレーを搬送するための第１の搬送路及び第２の搬送路間で、前記保持ベースに保持された前記トレーの移動経路が形成されるように、前記平行リンク機構を駆動する駆動部と、前記保持ベースに設けられ、前記トレーの係合部に係合して前記トレーを支持するための係合部材とを有するトラバース装置とを具備し、
前記係合部材は、前記トレーの係合部に係合する部分である係合端部を有し、
前記保持ベースの上端部より前記係合端部が上方に位置するように、前記係合部材が前記保持ベースの前記上端部寄りの位置に接続されている
基板処理装置。
【請求項７】
請求項６に記載の基板処理装置であって、
前記処理室は、前記処理室内で真空状態を維持することが可能であり、
前記トラバース装置の前記駆動部は、前記処理室外に配置されるモータを有する
基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、縦型に保持された状態の基板を移動させる装置であって、一の搬送路にある基板を別の搬送路に移し変えるトラバース装置及びこれを搭載した基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載の真空処理装置に搭載された搬送装置は、被処理基板を縦型保持する搬送トレーを搬送する。この搬送装置に設けられたトラバース装置は、トレーの搬送方向に沿ったトレーの両側を保持して、各処理室の底部に平行に敷設された２つの搬送路間で、被処理基板を保持した搬送トレーを移動させるものである。【０００３】
このトラバース装置は、搬送トレーが載置されるトレーステージと、トレーステージを昇降させるためのリフト機構と、そのリフト機構を水平方向に移動させるためのスライド機構とを有している。それらリフト機構及びスライド機構のそれぞれに駆動源（モータＭ１及びＭ２）が設けられている（例えば、特許文献１の明細書段落[００３２]、[００３３]、図２及び３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２００９／１０７７２８号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このトラバース装置は、リフト機構及びスライド機構の２軸の機構により搬送トレーを移動させるものであり、また、それぞれに駆動源が設けられるため、それらの機構が複雑となる。機構が複雑になると部品点数も増え、コストも高くなる。【０００６】
また、このトラバース装置は、リフト機構による上昇、スライド機構による水平移動及びリフト機構による下降、という３つの動作によって搬送トレーを移動させるため、動作時間が長いという問題もある。【０００７】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、構成を簡易化することで部品点数を減らすことができ、また、基板の移動時間を短縮することができるトラバース装置及びこれを搭載した真空処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係るトラバース装置は、トレー移載機構と、駆動部とを具備する。  
前記トレー移載機構は、基板を保持するトレーを立てた状態で保持する保持ベースを有する。前記保持ベースに保持された前記トレーの姿勢を維持した状態で前記保持ベースが回転するように設けられている。  
前記駆動部は、前記トレーを搬送するための第１の搬送路及び第２の搬送路間で、前記保持ベースに保持された前記トレーの移動経路が形成されるように、前記トレー移載機構を駆動する。【０００９】
本発明では、トレー移載機構によってトレーを保持する保持ベースが回転することにより、そのトレーが第１及び第２の搬送路間で移動する。したがって、従来のようなリフト機構及びスライド機構の２軸での移動動作が不要になり、トレー移載機構を駆動する１つの駆動部によりトレーの移動を実現することができる。すなわち、トラバース装置の構成を簡易化することができ、部品点数を減らすことができる。また、トレー移載機構の回転による保持ベースの移動により、従来のトラバース装置に比べその移動時間を短縮することができる。【００１０】
前記トラバース装置は、前記保持ベースに設けられ、前記トレーの係合部に係合して前記トレーを支持するための係合部材をさらに具備してもよい。これにより、トレーの移動時にトレーの姿勢を安定させることができる。【００１１】
前記トラバース装置は、前記トレー移載機構による動力を前記係合部材に伝達する動力伝達機構をさらに具備してもよい。本発明では、係合部材を駆動させるための駆動源が必要ないのでトラバース装置の構成を簡易化することができる。動力伝達機構として、例えばカム機構が用いられてもよい。【００１２】
前記係合部材は、前記トレーの係合部に係合する部分である係合端部を有し、前記保持ベースの上端部より前記係合端部が上方に位置するように、前記係合部材が前記保持ベースの前記上端部寄りの位置に接続されていてもよい。すなわち、保持ベースの大きさを小さく（あるいは、高さを低く）抑えることができるので、トラバース装置の小型化、軽量化を実現することができる。【００１３】
前記保持ベースは、縦長部と、突出部とを有してもよい。縦長部は、前記係合部材が回転可能に接続されている。突出部は、前記トレーが載置されて前記トレーを下から支持する支持部を含み、前記縦長部の下部から水平方向に突出するように設けられている。その場合、前記保持ベースは、前記第１及び前記第２の搬送路が並ぶ方向において、前記第１及び前記第２の搬送路から等しい距離にある中心線上に、前記保持ベースの前記支持部における回転中心が配置されるように駆動される。【００１４】
例えば、第１及び第２の搬送路の高さ位置が実質的に同じである場合に、本発明は特に効果的である。つまり本発明では、トレーの第１及び第２の搬送路による搬送方向で見て、トラバース装置の配置を第１及び第２の搬送路に最も近づけることができる。その結果、第１、第２の搬送路及びトラバース装置を含む全体の構成を小型化しつつ、トレーの搬送を妨げることなくトレーの回転の移動経路を形成することができる。【００１５】
前記トレー移載機構は、固定ベースと、前記駆動部により駆動され、前記固定ベースと前記保持ベースとの間に接続されたクランクシャフトとを有してもよい。【００１６】
本発明に係る基板処理装置は、処理室と、第１及び第２の搬送路と、上記トラバース装置とを具備する。  
前記処理室は、基板を処理するためのものである。  
前記第１及び第２の搬送路は、基板を保持するトレーを立てた状態で搬送し、前記処理室内に設けられている。【００１７】
本発明では、トレー移載機構によってトレーを保持する保持ベースが回転することにより、そのトレーが処理室内に設けられた第１及び第２の搬送路間で移動する。したがって、従来のようなリフト機構及びスライド機構の２軸での移動動作が不要になり、トレー移載機構を駆動する１つの駆動部によりトレーの移動を実現することができる。すなわち、トラバース装置の構成を簡易化することができ、部品点数を減らすことができる。また、トレー移載機構の回転による移動により、その移動時間を短縮することができる。【００１８】
前記処理室は、前記処理室内で真空状態を維持することが可能であり、前記トラバース装置の前記駆動部は、前記処理室外に配置されるモータを有してもよい。従来では、スライド機構のモータをその真空の処理室外に配置させるためには、処理室内の真空を維持するためにベローズが必要であった。その上、従来のようにリフト機構のモータを処理室外に配置させる場合、そのモータの回転軸周りをシールする機構が必要であった。これに対し、本発明ではスライド機構のようなリニア駆動機構を必要としないので、駆動部のモータを処理室外に位置させても、ベローズが必要なく、本発明ではモータの回転軸周りのシール機構のみで足りる。
【発明の効果】
【００１９】
以上、本発明によれば、構成を簡易化することで部品点数を減らすことができるので、コストを抑えることができ、また、基板の移動時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、トラバース装置を備えた基板処理装置としての真空処理装置を模式的に示す斜視図である。
【図２】図２は、一対のトラバース装置のうち、１つのトラバース装置を示す斜視図である。
【図３】図３は、上部のクランクシャフト付近を拡大して示すトラバース装置の図であり、Ｙ軸方向で見た図である。
【図４】図４は、動力伝達機構の正面図である。
【図５】図５は、トラバース装置の動作を説明するための模式的な図であり、Ｘ軸方向で見た図である。
【図６】図６は、保持ベースの支持部の回転軌跡を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
【００２２】
図１は、トラバース装置３０を備えた基板処理装置としての真空処理装置１０を模式的に示す斜視図である。真空処理装置１０は、複数の処理室１１〜１５を備えている。図１において、真空処理装置１０は、着脱室１１、ロードロック室（以下単に、ＬＬ室１２と言う。）、第一処理室１３、第二処理室１４、及び搬送室１５がそれぞれゲートバルブ１６を介して連結されている。
【００２３】
真空処理装置１０には、着脱室１１から搬送室１５へ向かって延びる第１の搬送路（以下単に、往路Ｒ１と言う。）と、搬送室１５から着脱室１１へ向かって延びる第２の搬送路（以下単に、復路Ｒ２と言う。）とが設けられている。本実施形態における往路Ｒ１と復路Ｒ２とは互いに平行である。
【００２４】
往路Ｒ１及び復路Ｒ２においては、それぞれ複数の搬送トレー１７が、ローラ搬送によって搬送される。例えば、Ｙ軸方向を回転軸として回転駆動する搬送ローラ１９によって搬送トレー１７の下面が支持されながら、往路Ｒ１及び復路Ｒ２に沿って搬送される。各搬送トレー１７は、被処理基板（以下、単に基板と言う。）Ｓの外縁を囲う四角枠体状に形成されている。なお、搬送ローラ１９に代えて、ラックアンドピニオン機構により搬送トレー１７が搬送されてもよい。この場合、搬送トレー１７の下部にラックが設けられ、このラックに噛み合うピニオンが各搬送路Ｒ１及びＲ２に沿って複数設けられていればよい。また、ローラ搬送、ラックアンドピニオン機構による搬送のいずれにおいても、Ｚ軸方向を回転軸として回転駆動する不図示のガイドローラが、各搬送路Ｒ１及びＲ２に沿って設けられていてもよい。
【００２５】
各搬送トレー１７の左右両側（搬送方向における前側及び後側）には、それぞれ係合部としての凸部１７ａが設けられている。各凸部１７ａは、搬送トレー１７の搬送工程において、後述するようにトラバース装置３０により該搬送トレー１７をロックするために利用される。また、各搬送トレー１７の上側には、トレー磁石２１が配設されている。第一処理室１３、第二処理室１４、及び搬送室１５の各々には、搬送トレー１７のトレー磁石２１と磁気的に作用する保持装置２２が配設されている。搬送トレー１７のトレー磁石２１は、該搬送トレー１７の搬送過程において、各保持装置２２の保持磁石２３と作用することにより、該搬送トレー１７を各搬送路の上方で非接触的に拘束する。
【００２６】
保持装置２２は、図５（Ａ）〜（Ｅ）に示すように、下部に設けられた保持磁石２３を有し、昇降駆動部により、この保持磁石２３が昇降可能となっている。保持磁石２３は、往路Ｒ１及び復路Ｒ２のピッチに一致するようなピッチでＹ軸方向において２つ設けられている。
【００２７】
本案施形態においては、往路Ｒ１における搬送トレー１７の搬送方向をＸ軸方向と言う。また、水平面に対して垂直の方向をＺ軸方向とし、Ｘ軸方向及びＺ軸方向と直交する方向であって、往路Ｒ１及び復路Ｒ２が並ぶ方向をＹ軸方向と言う。
【００２８】
着脱室１１は、外部から投入される処理前の基板Ｓを搬送トレー１７に取り付けて保持させ、該基板Ｓを立てた状態でＬＬ室１２へ搬出する。また、着脱室１１は、搬送トレー１７に保持された処理後の基板Ｓを搬送トレー１７から取り外して、真空処理装置１０の外部へ搬出する。着脱室１１は、上記基板Ｓの着脱を大気圧の下で行う。
【００２９】
ＬＬ室１２は、室内を大気圧にして、着脱室１１から搬送トレー１７を往路Ｒ１に沿って搬入し、その後、室内を減圧することにより、該搬送トレー１７を往路Ｒ１に沿って第一処理室１３へ搬出する。また、ＬＬ室１２は、室内を減圧して、第一処理室１３から搬送トレー１７を復路Ｒ２に沿って室内へ搬入し、その後、室内を大気に解放することにより、該搬送トレー１７を復路Ｒ２に沿って着脱室１１へ搬出する。
【００３０】
第一処理室１３は、ＬＬ室１２から搬送トレー１７を往路Ｒ１に沿って搬入して、保持装置２２による磁気的な作用によって、該搬送トレー１７を往路Ｒ１上に拘束する。第一処理室１３は、搬送トレー１７に保持された基板Ｓに成膜処理や加熱処理等の処理を施した後、保持装置２２による拘束を解除して、該搬送トレー１７を往路Ｒ１に沿って第二処理室１４へ搬出する。
【００３１】
また、第一処理室１３は、第二処理室１４から搬送トレー１７を復路Ｒ２に沿って搬入して、保持装置２２による磁気的な作用によって、該搬送トレー１７を復路Ｒ２上に拘束する。第一処理室１３は、搬送トレー１７に保持された基板Ｓに成膜処理や加熱処理等の処理を施した後、保持装置２２による拘束を解除して、該搬送トレー１７を復路Ｒ２に沿ってＬＬ室１２へ搬出する。第一処理室１３は、上記搬送トレー１７の搬入及び搬出を減圧下で行う。
【００３２】
第二処理室１４も、成膜処理や加熱処理等の処理を基板Ｓに施す。第二処理室１４において、保持装置２２を利用する動作及び搬送トレー１７の搬入及び搬出の手法等は、第一処理室１３におけるものと同様である。第二処理室１４は、往路Ｒ１に沿って、第一処理室１３から基板Ｓを搬入し、及び搬送室１５へ基板Ｓを搬出する。また、第二処理室１４は、復路Ｒ２に沿って、搬送室１５から基板Ｓを搬入し、及び第一処理室１５へ基板Ｓを搬出する。
【００３３】
搬送室１５におけるＸ軸方向の両側（搬送方向における前側及び後側）には、一対のトラバース装置３０が搭載されている。搬送室１５は、第二処理室１４から搬送トレー１７を往路Ｒ１に沿って搬入して、保持装置２２による磁気的な作用によって、該搬送トレー１７を一旦往路Ｒ１上に拘束する。搬送室１５は、往路Ｒ１上における搬送トレーの磁気的な拘束を解きながら、トラバース装置３０を用いて、該搬送トレー１７を往路Ｒ１から復路Ｒ２上へ搬送する。搬送室１５は、復路Ｒ２へ移動させた搬送トレー１７を復路Ｒ２に沿って第二処理室１４へ搬出する。
【００３４】
搬送室１５は、往路Ｒ１から復路Ｒ２への搬送トレー１７の搬送を減圧下で行う。また、搬送室１５は、搬送トレー１７を往路Ｒ１から復路Ｒ２へ搬送する間、トラバース装置３０のロック機能によって、該搬送トレー１７をロックする。
【００３５】
図２は、一対のトラバース装置３０のうち、１つのトラバース装置を示す斜視図である。一対のトラバース装置３０は、後に詳述する保持ベースを用いて搬送トレー１７の両側をそれぞれ保持する。両トラバース装置３０は同じ機能及び構造（形状は例えばＸ軸方向で対称）を有している。
【００３６】
図２に示すように、トラバース装置３０は、駆動部５０と、基板Ｓを保持した搬送トレー１７を保持することが可能な保持ベース３２を含むトレー移載機構としての平行リンク機構４０とを備える。
【００３７】
平行リンク機構４０は、駆動部５０の駆動によって駆動される。例えば、平行リンク機構４０は、縦長に形成され垂直に立設された固定ベース３１と、この固定ベース３１及び保持ベース３２の間に回転可能に接続されたクランクシャフト３６及び３７と、これらのクランクシャフト３６及び３７に接続された、縦長形状の保持ベース３２とを有する。駆動部５０は、モータ３３と、モータ３３の出力軸３４に図示しないカップリングを介して接続されたギアボックス３５とを有する。モータ３３の出力軸３４の途中において、大気と真空を隔てる搬送室の隔壁が配置される。すなわち、モータ３３は大気側に配置される。
【００３８】
ギアボックス３５は、例えば固定ベース３１に設置されており、モータ３３の駆動力を所定の回転速度に減速して下部側のクランクシャフト３７に伝達し、モータ３３のＹ軸周りの回転動力を、Ｘ軸周りの回転動力に変換する。
【００３９】
平行リンク機構４０の動作を安定にするために、２つのクランクシャフト３６及び３７を接続する補助リンク４４が、保持ベース３２の一方の側に設けられている。補助リンク４４は、クランクシャフト３６及び３７にそれぞれ一体的に設けられた軸部３６ａ及び３７ａに回転可能に接続されている。補助リンク４４は、クランクシャフト３６及び３７の、固定ベース３１に近い側の端部に回転可能に接続されていてもよい。
【００４０】
保持ベース３２は、搬送トレー１７を立てた状態で保持する。保持ベース３２は縦長のＬ字状に形成されており、縦長部３２ａと、その縦長部３２ａの下部から水平方向（Ｙ軸方向）に突出するように設けられた突出部３２ｂの先端部である支持部３２ｃに搬送トレー１７が載置される。そして、後述するように係合部材としてのフック部材３８が、上述した搬送トレー１７の凸部１７ａに係合する。このように、支持部３２ｃにより搬送トレー１７の下方が支持され、かつ、フック部材３８が凸部１７ａに係合することによって、保持ベース３２の回転移動時に、搬送トレー１７の姿勢を安定させることができる。
【００４１】
トラバース装置３０が待機状態（図５（Ａ）及び（Ｅ）に示す状態）にある時は、保持ベース３２の支持部３２ｃは、往路Ｒ１及び復路Ｒ２の各路面（搬送トレー１７の下端部）より下部側に配置される。
【００４２】
保持ベース３２の上端部には、フック部材３８が回転軸３９を中心として回転可能に接続されている。フック部材３８は、その上部の係合端部３８ａに設けられた切り欠きを有し、この切り欠きが凸部１７ａに係合するようになっている。フック部材３８は、次に説明するように、平行リンク機構４０の動力を利用して動作する。
【００４３】
図３は、上部のクランクシャフト３６付近を拡大して示すトラバース装置３０の図であり、Ｙ軸方向で見た図である。上記平行リンク機構４０の動力をフック部材３８に伝達する動力伝達機構４５が、保持ベース３２の固定ベース３１側に設けられている。図２では動力伝達機構４５の図示を省略している。図４は、動力伝達機構４５の正面図である。
【００４４】
動力伝達機構４５は、主にカム機構により構成される。カム機構は、クランクシャフト３６に固定されたカム４１と、このカム４１により動作するカムフォロア４２とを有する。カムフォロア４２にはリンクレバー４３の一端部が接続され、このリンクレバー４３の他端部は、フック部材３８に接続された接続軸４８に接続されている。接続軸４８は、フック部材３８の係合端部３８ａとは逆側の端部に接続されており、保持ベース３２に設けられた図示しない長穴に挿通されている。そして、接続軸４８は、保持ベース３２の裏側（動力伝達機構４５が配置される側）でリンクレバー４３と接続されている。
【００４５】
図４に示すように、フック部材３８の下部と、保持ベース３２に設けられたバネ受け４７との間にはバネ４６が接続されている。図２では、これらのバネ４６及びバネ受け４７を省略している。このバネ４６には、フック部材３８が搬送トレー１７の凸部１７ａに係合しようとして動作する時（図５（Ｂ）〜（Ｄ）に示す状態の時）には、あるいは常に、張力（例えばバネ４６が縮む方向の力）が働くように設置されている。
【００４６】
このようなバネ４６の張力により、カムフォロア４２が例えばカム４１の凹部４１ａ上を走る時、リンクレバー４３が下降し、フック部材３８が矢印の方向（図５（Ｅ）参照）に回転することにより、フック部材３８と搬送トレー１７の凸部１７ａとの係合が解除される。つまり、カムフォロア４２がカム４１の凹部４１ａ上を走るタイミングが、トラバース装置３０が待機状態にあるタイミング（つまり保持ベース３２が待機位置にある時（図５（Ａ）及び（Ｅ）に示す状態）のタイミング）と一致するように、動力伝達機構４５の動き（カム４１のタイミング）が設計されている。
【００４７】
以上のように構成されたトラバース装置３０の動作を説明する。図５はその動作を説明するための模式的な図であり、Ｘ軸方向で見た図である。図６は、保持ベース３２の支持部３２ｃの回転軌跡を説明するための図である。なお、図５及び６では、補助リンク４４の図示を省略している。
【００４８】
図５（Ａ）では、上記したようにトラバース装置３０は待機状態にあり、保持ベース３２が待機位置にある。この状態では、上記したようにフック部材３８が搬送路Ｒ１及びＲ２上にはなく、退避している。待機位置にある保持ベース３２の支持部３２ｃの回転角度位置を、図６に示すように０°とする。この時、保持装置２２の保持磁石２３が既に下降しており、搬送トレー１７の上部が非接触で保持され、その姿勢が安定している。
【００４９】
図５（Ｂ）に示すように、平行リンク機構４０の動作により、保持ベース３２が図５及び６における時計回りに回転し、その支持部３２ｃが図６に示す９０°の位置に来ると、搬送トレー１７が支持部３２ｃに接触して載置される。この時、動力伝達機構４５（図３及び４参照）の作用によりフック部材３８が回転し、フック部材３８の係合端部３８ａが搬送トレー１７の凸部１７ａの真下の位置に配置される。この後、さらに保持ベース３２が時計回りに回転し始めることにより、フック部材３８の係合端部３８ａの切り欠きが凸部１７ａに係合してロックされ、このようなロック状態で保持ベース３２が搬送トレー１７を保持しながら回転する。ロックされた後、保持装置２２の保持磁石２３が上昇することで非接触での保持が解除される。
【００５０】
図５（Ｃ）に示すように、保持ベース３２が時計回りに回転し、保持ベース３２の支持部３２ｃが１８０°の回転位置（図６参照）を通過する。そして図５（Ｄ）に示すように、支持部３２ｃが２７０°の回転位置に達するまでに、保持装置２２による非接触の保持が開始される。そして支持部３２ｃが２７０°の回転位置に達すると、搬送トレー１７が復路Ｒ２に載置される。支持部３２ｃが２７０°の回転位置を通過した後、動力伝達機構４５の作用によりフック部材３８が回転し始め、フック部材３８によるロック状態が解除される。
【００５１】
このようにして、トラバース装置３０は、保持ベース３２に保持された搬送トレー１７の姿勢を維持しながら、平行リンク機構４０の作用による保持ベース３２の回転によって搬送トレー１７を往路Ｒ１から復路Ｒ２へ移動させる。すなわち、往路Ｒ１及び復路Ｒ２間で搬送トレー１７の移動経路が形成される。
【００５２】
図５（Ｅ）に示すように、図５（Ｄ）の状態の後も保持ベース３２が時計回りに回転することにより、保持ベース３２が待機位置に戻り、フック部材３８も退避する。
【００５３】
以上のように、本実施形態では、搬送トレー１７を保持する保持ベース３２が平行リンク機構４０によって回転することにより、搬送トレー１７が往路Ｒ１及び復路Ｒ２間で移動する。したがって、従来のようなリフト機構及びスライド機構の２軸での移動動作が不要になり、平行リンク機構４０を駆動する１つの駆動部５０により搬送トレー１７の移動を実現することができる。すなわち、トラバース装置３０の構成を簡易化することができ、部品点数を減らすことができる。これにより、コストを低減することができ、メンテナンス頻度も減らすことができる。また、平行リンク機構４０の回転による移動により、従来のトラバース装置に比べその移動時間を短縮することができる。
【００５４】
本実施形態では、フック部材３８を作用させるために動力伝達機構４５が用いられている。すなわち、フック部材３８を駆動させるための別途の駆動源が必要ないのでトラバース装置３０の構成を簡易化することができる。
【００５５】
ここで、保持ベース３２の回転時に搬送トレー１７の姿勢を安定させるために、フック部材３８を用いずに、保持装置２２の動きを搬送トレー１７の回転の動きに追従させることも考えられる。しかし、保持装置２２の構造を回転動作が可能な構成とすると、その保持装置２２から発生する粉塵が多くなりおそれがあり、発生した粉塵が重力で落ちると下部にある基板Ｓの処理に悪影響を及ぼす。したがって、搬送トレー１７より上部にある構造は極力単純なものとされることが好ましく、搬送トレー１７の姿勢安定のためにフック部材３８が装備されている。
【００５６】
本実施形態では、フック部材３８の係合端部３８ａが、保持ベース３２の上端部より上方に位置するように、フック部材３８が保持ベース３２の上端部寄りの位置に接続されている。これにより、例えば従来のトラバース装置に比べ保持ベース３２の大きさを小さく（あるいは、高さを低く）抑えることができるので、トラバース装置３０の小型化、軽量化を実現することができる。
【００５７】
本実施形態では、図６に示したように、Ｙ軸方向において往路Ｒ１及び復路Ｒ２から等しい距離にある中心線Ｃ上に、保持ベース３２の支持部３２ｃの回転中心軸Ｏが配置されるように、平行リンク機構４０が保持ベース３２を回転させる。例えば、これにより、Ｘ軸方向で見てトラバース装置３０の配置を最も搬送路Ｒ１及びＲ２に近づけることができる。その結果、各搬送路Ｒ１、Ｒ２及びトラバース装置３０を含む全体の構成を小型化しつつ、搬送トレー１７の搬送を妨げることなく搬送トレー１７の回転の移動経路を形成することができる。
さらに、保持ベース３２の支持部３２ｃの回転中心軸Ｏは往路Ｒ１及び復路Ｒ２に対して平行である。この場合、保持ベース３２が回転した際に、保持ベース３２が保持した基板Ｓが描く軌跡からなる立体の容積が最も小さくなるため、各搬送路Ｒ１、Ｒ２及びトラバース装置３０を含む全体の構成を小型化する効果が最も高くなる。
【００５８】
本実施形態では、モータ３３が搬送室外に配置されている。従来では、スライド機構のスライドモータをその真空処理室外に配置させるためには、真空処理室内の真空を維持するために、そのスライドモータの出力軸にベローズを設ける必要があった。その上、従来のようにリフト機構のリフトモータを真空処理室外に配置させる場合、そのモータ３３の回転軸３９周りをシールする機構、例えば磁気シール等が必要であった。これに対し、本実施形態では、スライド機構のようなリニア駆動機構を必要としないので、モータ３３を搬送室外に位置させてもベローズが必要なく、リフトモータの回転軸周りのシール機構のみで足りる。
【００５９】
[その他の実施形態]
本発明に係る実施形態は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態が実現される。
【００６０】
駆動部５０、ギアボックス３５、クランクシャフト３６、動力伝達機構４５、カム機構、フック部材３８等の配置や構成等は適宜変更可能である。例えば、以下に示すような変更が可能である。
【００６１】
２つのクランクシャフト３６及び３７のうち上部のクランクシャフト３６が駆動軸とされ、下部のクランクシャフト３７が従動軸とされてもよい。
【００６２】
あるいは、駆動部５０が２つ設けられ、それらの駆動部５０がクランクシャフト３６及び３７をそれぞれ同期して駆動するようにしてもよい。この場合、上記の補助リンク４４は不要になる。
【００６３】
フック部材３８の回転軸３９の高さ位置がフック部材３８の係合端部３８ａより上方に位置するように、フック部材３８が構成されていてもよい。
【００６４】
上記実施形態では、トレー移載機構として平行リンク機構を例に挙げたが、他の機構が用いられてもよい。例えば、図２に示したクランクシャフト３６に代えて、保持ベース３２の回転移動をガイドするガイド部材が設けられていてもよい。この場合、保持ベース３２にローラのような回転体が接続され、そのローラが例えばレール部材（保持ベースの移動経路に沿った曲線状のもの）のような上記ガイド部材に回転可能に接続されていればよい。この場合においても、上述のように、駆動部５０、ギアボックス３５等の配置や構成を適宜変更できる。
【００６５】
カム機構のカムフォロア４２の動きを支持する支持部材が設けられ、その支持部材が弾性的に保持ベース３２に設けられていてもよい。例えばこの場合、支持部材の一部にカムフォロア４２が回転可能に接続され、支持部材の他の部位に保持ベース３２に接続された回転軸３９が接続される。支持部材が、その回転軸を中心に回転（回動）できるようになっており、その支持部材に上記リンクレバー４３やバー部材が接続される。このような構成により、支持部材がその弾性力によってカム４１の形状に沿ってカムフォロア４２を走らせることができ、フック部材３８を動作させることができる。
【００６６】
上記実施形態のように、動力伝達機構４５がフック部材３８を動作させる形態に限られず、フック部材３８を、図５（Ａ）〜（Ｅ）で示したように駆動する駆動部が、駆動部５０とは別に設けられていてもよい。
【００６７】
固定ベース３１、保持ベース３２、フック部材３８等の形状等も適宜変更可能である。
【００６８】
上記実施形態ではフック部材３８が設けられる構成であった。しかし、保持ベース３２が例えば搬送トレー１７の側面も保持できるような構造であれば、フック部材３８は設けられていなくてもよい。
【００６９】
往路Ｒ１及び復路Ｒ２がそれぞれ配置される高さ位置が異なっていてもよい。この場合、保持ベース３２の支持部３２ｃの回転中心が、図６における上記中心線Ｃ上になくてもよい。
【符号の説明】
【００７０】
Ｓ…基板
Ｒ１…往路（搬送路）
Ｒ２…復路（搬送路）
Ｃ…中心線
Ｏ…回転中心
１７…搬送トレー
３０…トラバース装置
３１…固定ベース
３２…保持ベース
３２ａ…縦長部
３２ｂ…突出部
３２ｃ…支持部
３６、３７…クランクシャフト
３８…フック部材
３８ａ…係合端部
４０…平行リンク機構
４５…動力伝達機構
５０…駆動部
【図１】
0005463417.tif 000002
【図２】
0005463417.tif 000003
【図３】
0005463417.tif 000004
【図４】
0005463417.tif 000005
【図５】
0005463417.tif 000006
【図６】
0005463417.tif 000007