(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁放射事象を検出する装置であって、
電磁放射を受信する受信機と、
前記受信された電磁放射の帯域幅よりも狭い周波数帯域幅を有する電子回路であって、所定の立ち上がり時間を有する前記受信された電磁放射に応じて、徐々に減衰する出力信号を発生し、所定の立ち上がり時間を有する電磁放射事象が識別される狭帯域幅能動電子回路と、を備え、前記狭帯域幅能動電子回路は、所定の立ち上がり時間よりも長い立ち上がり時間を有する高周波信号に応じて異なる信号を発生すると共に、前記狭帯域幅能動電子回路は、演算増幅器と、前記演算増幅器の利得のダイナミックレンジを増大させるよう、前記演算増幅器の反転入力端子と前記演算増幅器の出力端子との間に挿入される第１ダイオードと第２ダイオードとを有する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的に電磁信号を検出して測定するシステム及び方法、詳細には、静電放電（ＥＳＤ）事象を検出して測定するシステム及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
静電放電（ＥＳＤ）が電子装置に損傷を与え得ることは周知である。このような静電気による損傷を受けやすい装置の例として、半導体ウェーハ、ディスクドライブ用磁気ヘッド、集積回路、他の電子部品及び回路等が挙げられる。その上、静電放電は、電子回路の動作を妨害することがある。粉体処理等のような電子用途以外においては、静電放電は出火の原因になることがある。
【０００３】
静電放電事象、電動機の整流、ソレノイド等から、あるいは他の源から結果として生じる短い過渡性のスパイク状の信号は、電子装置に損傷を誘導して回路不良を引き起こすことがある。不適切な処理を施された接地線も、同様にサージ電圧を送る媒体になることがある。
【０００４】
現在のところでは、静電放電によって引き起こされる損傷を低減する最も一般的な方法としては、予防的なリスト−ラップ部の接地、導電性の椅子、導電性の床被膜、イオン化装置等がある。これらの対策は放電を引き起こす静電圧の蓄積を低減あるいは除去すると考えられる。静電放電予防対策の効果の目標とする指標は、静電放電事象として周知の静電放電（ＥＳＤ）事象の実際の発生である。静電放電事象の検出、大きさの測定、及び今後の分析のためのデータのログ収集によって、静電放電環境のアセスメント用の有用な情報、静電放電保護、静電放電問題のリアルタイムアドレッシング、静電放電が原因で起こりうる欠陥の決定、及び統計的処理分析がもたらされる。
【０００５】
米国特許第４，６３１，４７３号において示されているようにサンキ社（Sanki）及びルーセントテクノロジーズ社Ｔ１００（Lucent'T100）のような現在使用されている静電放電事象検出装置により、プリセットレベルより大きい静電放電事象の表示が得られる。しかしながら、これらの装置は発生した静電放電事象を単に検出するのみで、静電放電事象の大きさを測定する能力はない。静電放電事象の大きさについての情報は、静電放電によって引き起こされる潜在的損傷の評価及び静電放電予防対策の効果に関係する有用な情報を提供している。さらに、既存の装置は毎日の静電放電の監視を行なうより不定期な静電放電点検を行なう傾向にある。連続的な静電放電の監視を行なうことにより、静電放電問題のリアルタイム表示を行い、静電放電補正及び予防対策の実施用に即時フィードバックを行なう。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
静電放電事象は短時間（典型的には、ナノ秒レベル）継続する。このため、これらの静電放電事象の大きさの測定を、実際的でコスト上有効でかつユーザフレンドリーな方式で行なうことは困難である。高速オシロスコープ及びアンテナは、静電放電事象の大きさの分析用に静電放電の波形を捕捉するために頻繁に使用されている。この技術は日常使用するためには実用的ではない。したがって、静電放電事象及び静電放電事象の大きさを検出して、他の過渡信号によって実際の静電放電事象と区別することができる装置を提供することが望ましい。静電放電事象及び過渡信号の検出、及び測定装置と方法を提供することは望ましく、それは本発明が目指している目標である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
静電放電事象の測定の改良された精度についての方法と実施について説明する。システム及び方法により、他の非静電放電事象信号により区別された実際の静電放電事象信号を発生できる。システムでは、静電放電事象信号を検出するためにフィルタ処理及び／又はパターン認識を使用できる。一実施態様では、システムは、特定の方法で静電放電事象に類似した特性を有する信号に応じて、かつ異なる方法で他の信号に応じる狭帯域幅の能動電子回路である。好適な実施態様では、狭帯域幅能動電子回路が演算増幅器あるいはフォロワ回路である。パターン認識は、ソフトウェアあるいはハードウェアにおいて実施可能である。
【０００８】
本発明による電磁放射事象の検出用装置を説明する。装置は、電磁放射を受信する受信機、及び受信された電磁放射の帯域幅より狭い帯域幅を有する狭帯域幅能動電子回路を備える。所定の立ち上がり時間を有する電磁放射を識別するように、狭帯域幅能動電子回路は、所定の立ち上がり時間を有する受信された電磁放射に応じて徐々に減衰する出力信号を発生する。
【０００９】
本発明の別の態様において、静電放電事象を識別する装置が設けられる。入力信号が静電放電事象信号か否かを決定するために、装置は入力信号を受信する受信機、及び受信された入力信号を所定の信号と比較する識別子ユニットを備える。装置は、入力信号が静電放電事象信号として識別されるか否かの識別信号を出力する出力回路をさらに備える。
【００１０】
本発明の別の態様において、入力信号が静電放電事象信号か否かを決定するために、入力信号を受信する受信機を備え、その入力信号がエンベロープ及び受信された入力信号エンベロープを所定の静電放電事象信号と比較する識別子ユニットを備える静電放電事象を識別する装置が設けられる。装置は、入力信号が静電放電事象信号として識別されるか否かの識別信号を出力する出力回路をさらに備える。
【００１１】
本発明の別の態様において、距離による放射信号を測定する装置が設けられる。装置は、入力信号を受信する受信機、及び入力信号までの距離を決定する信号距離測定ユニットを備える。入力信号及び入力信号までの距離に基づいて、装置は入力信号の強度を決定する信号強度決定ユニットをさらに備える。距離は装置に手動で入力される。
【００１２】
異なる態様では、静電気の放電事象放射検出装置が設けられる。装置は入力信号を受信する受信機であり、かつ入力信号までの距離を決定する信号距離測定ユニットである。装置はまた、入力信号の強度を決定する信号強度決定ユニットと、入力信号を生じさせた電圧を決定するプロセッサとを備え、電圧は入力信号までの距離、入力信号の強度、及び入力信号の放電モデルに基づいて決定される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明は、特に、静電放電測定の装置及び方法に適用でき、これに関連して、本発明を説明する。しかしながら、装置がさらに他の電磁信号及び過渡事象を検出かつ測定できるので、本発明による装置と方法がより大きな有用性を有することが理解されよう。
【００１４】
図１ａは、静電気の放電事象の代表的な波形１０を示している。一般に、静電放電（ＥＳＤ）事象の検出及び測定は、静電放電事象によって発生する電磁場を受け入れ、処理し、そして分析することによって実現される。特に、静電放電事象は、電磁場及び回路内で電気信号を発生する。それらは、非常に特定のエンベロープ特性、即ち、非常に鋭いあるいは短い立ち上がり時間（典型的には、１〜２ナノ秒）そして非常に短い持続時間を有する。周知の装置は、図１ａに示されている信号１０を測定して検出することができるが、周知の装置は一般的に、ステッパモータ、リレー等のような他の非静電放電事象過渡信号を検出して測定する。それらの信号の特性は静電放電事象に対するスペクトル及びエンベロープにおいて類似している。図１ｂは、これらの他の過渡信号の代表的な波形１２を示している。明らかなように、信号１０、１２の双方は短い継続時間を有し、そしてそれらのスペクトル成分は多少類似している。しかしながら、その相違は、信号の継続時間あるいはスペクトル成分にあるのではなく、信号エンベロープの内容にある。特に、静電放電事象による信号の立ち上がり時間は極めて短く急峻であり、そして信号の減衰は特定の形状を有しているが、一方、他の源（ここでは「静電放電事象」と呼ぶ）による信号はより緩やかな／より長い時間（ほぼ１０又は１００のオーダーのナノ秒）及び類似的により緩やかな減衰時間を有している。代表的な装置は、同様に静電放電事象を捕捉するその検出回路の広帯域幅のために、このような信号を完全に分離することができない。したがって、測定の精度及び有効性の目的を有する非静電放電  ＥＭＩ事象から有効な静電放電事象を分離することができるようにすることが極めて望ましい。
【００１５】
図１ｃは、演算増幅器２０（「オペアンプ」）で作製された増幅器１８を示す図である。高速ＣＭＯＳ演算増幅器が好ましい演算増幅器２０は、反復可能性及び再現可能性の高い現象をしている。そこでは、静電放電事象に類似した立ち上がり時間を有する急速な過渡信号は、演算増幅器の出力部において非常に長い電気信号を引き起こしている。ＣＭＯＳ装置に大半を依存する他の回路構成でも、このような動作が見られる。例えば、オーディオ増幅器及び前置増幅器、並びにビデオ増幅器では同様な動作が見られる。概して、この動作を示す回路は、狭帯域幅能動電子回路として知られている。説明する目的のために、本発明の演算増幅器の実施態様を以下に説明するが、本発明は演算増幅器の実施態様に限定されるものではない。
【００１６】
高速ＣＭＯＳ演算増幅器２０に基づいた増幅器１８が適切に選択された抵抗２２、２４及び２６、並びにアンテナ３０により受信される入来信号４０を受信するコンデンサ２８をさらに含む。この実施態様において、ＣＭＯＳ増幅器２０は十分な帯域幅（典型的には、少なくとも４０ＭＨｚ）でなければならないが、それでもなおその帯域幅は静電放電事象そのものの帯域幅より著しく狭いものであり、そしてバイアス抵抗２６は高い抵抗値（典型的には、数メガオームである）であることが好ましい。アンテナ３０により受信された信号が静電放電事象信号４０の特性を有する場合、増幅器１８が静電放電事象信号の大きさに比例する大きさを有する著しく長い減衰信号４２を発生する。より短い立ち上がり時間がより高い増幅出力信号を結果として生成するので、出力信号４２もまた入力信号４０の立ち上がり時間の影響を受ける。出力信号の極性は、入力信号の極性と同じである。本発明によると、回路が簡単なフォロワになることができるので演算増幅器２０を使用する回路が増幅器である必要がない。そこでは抵抗２４が存在せずに、抵抗２２も抵抗値０オームの単なるジャンパである。
【００１７】
静電放電事象信号４０と異なる波形を有する入力信号４４が回路１８により受信される場合、入力信号４４の立ち上がり時間は前回の場合のように出力信号を発生するには十分ではないことがある。その上、演算増幅器の限定帯域幅のために、入力信号４４のような高周波数の信号を通過させることができない場合がある。したがって、入力信号４４に応じた回路１８の出力４６は入力信号の存在を捕捉しない。よって、図１ｃに示されるように、ＥＭＩ事象信号の大半が無視されている間に、回路１８は静電放電事象信号のみが捕捉されるという結果によって動作する。その結果、回路は静電放電事象信号の特性にチューニングされる弁別器／フィルタとして動作する。
【００１８】
図２は、２つの異なる入力信号に基づいた図１の増幅器の動作を示している。また、回路が動作して、出力信号の特性のために演算増幅器の範囲以内の十分狭い帯域幅を有する入力の非静電放電信号をフィルタ処理して除去する。例えば、入力信号５０は著しく異なる特性を有しているが、入力信号の緩やかな立ち上がりと立ち下がり時間により、回路１８に出力信号を発生させる限定帯域幅を有している。しかしながら、明らかなように、静電放電事象によって生成された信号、及び演算増幅器２０の出力部における非静電放電信号５０は、出力信号４２及び５２によって示されているように非常に異なる。
【００１９】
図３は、静電気放電事象が起こった時の、本発明による静電気放電事象測定装置用の装置１９を示す図である。図３に示される装置１９は、図２に示される２つの出力信号を区別することができる。この装置内で、演算増幅器２０を有する回路１８は使用される。上記のように、入力信号４０は演算増幅器２０の出力部に出力信号６０を発生する。装置１９は演算増幅器２０の出力部に高域フィルタをさらに備え、その高域フィルタがコンデンサ６２及び抵抗６４を含むことがある。高域フィルタからの出力信号６６は、鋭い前部及び信号６０の継続時間に依存しない非常に短い継続時間を有する。装置１９は、図３に示されるように接続されているダイオード６８、コンデンサ７０、及び抵抗７２ピーク検出器をさらに含み、これらの部品６８、７０、７２の値は、静電放電事象の場合、出力波形７４が出力信号６０の波形に極めて近い波形で表示するように設定される。装置１９は抵抗７８及び８０を備える演算増幅器７６を有する増幅回路をさらに備え、その演算増幅器はピーク検出器から信号を緩和して増幅する。装置１９は、抵抗８２及び８４を有する増幅器回路の出力部に接続されている電圧分圧器を含むことがある。演算増幅器２０の出力部の信号６０は、ウィンドウ比較器８６の中央入力部に接続されている。ウィンドウ比較器８６の上限入力が演算増幅器の出力部に接続され、ウィンドウ比較器の下限入力が抵抗８２及び８４より成る電圧分圧器の出力部に接続されている。ウィンドウ比較器は、中央入力部の信号のエンベロープが上下限入力間にある場合、区域外の出力信号を生成する周知の回路である。したがって、明らかなように、入力信号４０が出力信号６０を発生する静電放電事象信号の波形を有する場合、出力信号６０のエンベロープが信号８８以下であり、その信号８８はウィンドウ比較器の上限入力部において存在するが、ウィンドウ比較器の下限入力部において存在する信号９０より高い。この場合、ウィンドウ比較器が「範囲外」の信号を生成しない。上記の動作は、マイクロプロセッサ及びＡ／Ｄ変換器により全面的にあるいは部分的に行なわれることが可能であることに留意すべきであり、その際、双方とも信号を処理するのに十分な動作速度を有している。しかしながら、好適な実施態様では、図３に示されるようにハードウェアを介してフィルタ処理が行われ、装置の費用を低減する下級のマイクロプロセッサ及びＡ／Ｄ変換器を使用することが可能である。２つの信号のエンベロープを比較するウィンドウ比較器の代わりに、本発明では受信された信号のスペクトルを既知の静電放電事象信号のスペクトルと比較することも可能である。信号のスペクトルは１つ以上の周波数における所定量のエネルギーである。
【００２０】
図４は、図３の装置１９、及びＥＭＩ事象が生じてＥＭＩ事象信号５０が装置１９によって受信された場合のその動作を示す図である。この場合、ウィンドウ比較器の中央入力部に供給される信号５２は静電放電事象の場合からの信号とは全く異なるが、演算増幅器７６の入力部における信号７４は静電放電事象の場合の波形に近似した状態を維持している。信号５２は、予期される静電放電事象による波形７４とは本質的に異なるので、信号はウィンドウ比較器８６をトリガーする。そのウィンドウ比較器８６は、入力信号がＥＳＤ事象の信号とは異なる波形を有することを表示するパルス８７を順に生成する。
【００２１】
図５は、本発明による装置１９の好適な実施態様の実現例を示す図である。アンテナ１０９は、ジャックＪ１に接続される。ジャックＪ１からの信号は、コンデンサＣ１を介して演算増幅器Ｕ１Ａの非反転入力部に送信される。抵抗Ｒ１は演算増幅器Ｕ１Ａに直流バイアスを供給して、演算増幅器Ｕ１Ａは正極性及び負極性の電源供給ＶＤＤ及びＶＥＥによりそれぞれ動力を供給される。電源供給の特定構造は、本発明の主題ではなく本発明では図示しない。一連の抵抗Ｒ３、Ｒ４９は周知のように演算増幅器Ｕ１Ａの利得を規定する。種々の大きさのＥＳＤ事象の検出及び測定を可能にするために、アナログスイッチＵ１１及び抵抗Ｒ６は演算増幅器Ｕ１Ａの利得を大きくするために使用されることがある。スイッチＵ１１は、マイクロプロセッサあるいは手動スイッチによって、通常は制御される。本発明の範囲内で、示される単一ステップのアナログスイッチの代わりに、利得制御の他の手段が使用されることは可能である。例えば、１つ以上の利得設定ができる多重ステップのアナログスイッチ、あるいはデジタル制御の電位差計、又は電位差計あるいはスイッチ切換装置のどちらかによる利得の手動調節が挙げられる。
【００２２】
演算増幅器Ｕ１Ａが僅かに異なる方法で実行されることもある。特に、図５ａは逆並列接続のダイオードＤ１及びＤ２を有する演算増幅器Ｕ１Ａを表し、そのダイオードが擬似対数特性を演算増幅器Ｕ１Ａのゲイン部に供給し、その結果利得の切換なしにダイナミックレンジを大きくする。
【００２３】
図３、４、及び５は、ハードウェア構成要素に基づいてエンベロープ検出器を表しているが、プロセッサ上でのソフトウェア実施において、エンベロープ比較機能が全面的にあるいは部分的に実行されることは可能である。ソフトウェアが、参照表、あるいはエンベロープの上限あるいは下限を形成する式を有し、次に入力信号がデジタル信号に変換され、これらの水準と比較される。
【００２４】
図５を再度参照すると、演算増幅器Ｕ１Ａの出力は演算増幅器Ｕ１Ｂ及び抵抗Ｒ２及びＲ４からなるインバータに接続されている。インバータでは、双方の極性の静電放電事象が同様に良好に測定されることを確実にすることが必要になる。一連のコンデンサＣ１９及びＣ１９並びに抵抗Ｒ２３及びＲ２８は、高域フィルタ及びそれらの双方からの信号を合計するダイオードＤ２を含み、そして抵抗Ｒ２９及びＲ５８並びにコンデンサＣ２１と共に、ピーク検出器を形成する。このピーク検出器の出力部において、純粋な静電放電信号が印加された場合、信号は演算増幅器Ｕ１ＡあるいはＵ１Ｂの一方によく近似する。抵抗Ｒ５及びＲ６０を有する演算増幅器Ｕ１Ｃは、ピーク検出器による信号出力用の増幅器を備える。この増幅器の出力は、ウィンドウ比較器の中央入力部に接続されていて、そのウィンドウ比較器は一連の比較器Ｕ２Ａ及びＵ２Ｂ並びにＲ９２からなり、各比較器は演算増幅器を使用して実行されることが好ましい。演算増幅器Ｕ１Ａ及びＵ１Ｂの出力は、双対のダイオードＤ１のアノード（陽極）及びカソード（陰極）にさらに接続され、このダイオードは直流阻止コンデンサＣ２２及びＣ２３を介し、一連の電圧分圧器Ｒ１７／Ｒ４１及びＲ１８／Ｒ４２にそれぞれ接続されている。これらの電圧分圧器は、ウィンドウ比較器（演算増幅器Ｕ２Ａの入力３及び演算増幅器Ｕ２Ｂの入力１３を参照）の高低の入力用の異なる直流レベルを供給する。
【００２５】
装置１９により受信された信号が静電放電事象により発生させられた信号である場合、演算増幅器Ｕ１Ｃの出力部における波形は、ウィンドウ比較器の適切な入力において低電圧及び高電圧間の波形であり、ウィンドウ比較器の出力が状態を変化させない。入力信号の波形が静電放電事象の波形と異なる場合、演算増幅器Ｕ１Ｃの出力部における信号はウィンドウ比較器の高水準の入力を上回るか、該比較器の低水準の入力を下回る。いずれの場合でも、図５に示されるように、ウィンドウ比較器は登録された事象が偽事象であり無視されることを示すパルスを生成する。十分な処理速度であるマイクロプロセッサ及びＡ／Ｄ変換器が使用される場合、本発明の比較器はソフトウェアにおいて全面的に実行される可能性もあることに留意すべきである。
【００２６】
事象信号が抵抗Ｒ８７及びＲ８８により設定された閾値を上回る場合、演算増幅器Ｕ１Ｄ並びに抵抗Ｒ８７及びＲ８８により形成される比較器はパルスを発生する。この信号は事象が起こったことを示すために使用される可能性がある。信号Ｔ＿ＥＶＥＮＴが正パルスを発生するように、真静電放電事象が存在するたびに演算増幅器Ｕ１Ｄの出力は抵抗Ｒ９２に接続される。この信号Ｔ＿ＥＶＥＮＴパルスは、抵抗Ｒ９５及びダイオードＤ９及び／又はブザーＳＰ１のような可聴警報からなる可視警報をトリガーすることができる。種々のタイプの警報がリレー接点のように使用することができることは、当業者にとって自明であろう。
【００２７】
静電放電事象の強度の測定は装置１９の種々のポイントで行なうことができる。例えば、ポイント１００から１０８（図５の円内に示している）までの出力が、静電放電事象の強度の測定に使用される可能性がある。正規の静電放電事象に対する該ポイント１０６及び１０８の信号が、正規の静電放電事象に対する演算増幅器Ｕ１Ａの出力部の原信号の極めて類似であるので、ポイント１０６及び１０８における測定は、直接の信号の測定ではないが、それでも有効なものである。これらの出力は、Ａ／Ｄ変換器、あるいは棒グラフ表示器あるいはアナログ計器等のような任意の他の測定装置に信号を供給する。このような測定装置あるいは表示装置が、測定及び表示装置の遅い処理速度のために長い処理時間を必要とする場合、演算増幅器Ｕ４Ｃ及びＵ４Ｄ、ダイオードＤ４及びＤ５、抵抗Ｒ５３、Ｒ２４、Ｒ２５、及びＲ３２、並びにコンデンサＣ２０からなるピークホールド検出器は、パルスを必要な長さに「引き伸ばす」。マイクロプロセッサが信号測定に使用される場合、Ａ／Ｄ信号の捕捉の処理に必要な時間、信号がコンデンサ上に存在するように、マイクロプロセッサは、測定が首尾よく行なわれた後にコンデンサ２０を放電することができる。
【００２８】
図５ｂは、装置１９の別の実施態様を示していて、その中では、同じ要素が同じ参照番号を有し、他に記載がなければ同じ方法で動作する。この実施態様では、静電放電事象が正極あるいは負極を有するか否かを示す信号を、装置が供給することができるように、付加的な比較器Ｕ２Ｃが含まれることがある。図５ｂにおいて明らかなように、演算増幅器Ｕ１Ａの出力信号は、比較器として作動するように構成された演算増幅器Ｕ２Ｃの非反転入力部に接続される。この演算増幅器の非反転入力は、抵抗分圧回路等のような何らかの周知の方法で導出される電圧基準源に接続される。正極性の静電放電事象の場合、演算増幅器Ｕ１Ａからの出力パルス及び比較器Ｕ２Ｃの出力は事象の正極性を示すことになる。静電放電事象が負極性の場合、比較器Ｕ２Ｃの出力はゼロになる。このように、静電放電事象の極性の決定を行なうことができる。
【００２９】
図６は、図５に示される装置に接続することができるマクロプロセッサベースの回路１２０である。マイクロプロセッサベースの回路は、信号を測定し、データを格納して、データを通信することができる。回路１２０が、Ａ／Ｄ変換器（Ａ／Ｄ）１５０を備えることがあり、そして示されているように任意の数の信号入力を有することができる。Ａ／Ｄ変換器は、周知のように図５に示されている回路からのアナログ信号をデジタル信号に変換する。Ａ／Ｄ変換器１５０の出力は、関連する記憶装置１５４を有するマイクロプロセッサ１５２に接続される。好適な実施態様では、Ａ／Ｄ変換器１５０はマイクロプロセッサそれ自体に組み込まれることがある。マイクロプロセッサ１５２は、信号の測定を行い、任意のあるいは全ての以下の装置にデータを供給する、放電の大きさあるいは放電の総数のどちらかを示すことができ、リセット釦１５８を有する表示装置１５６、ＬＥＤ１６０、音声オン／オフスイッチ１６２と共に使用することができる音声ブザー１６２（＊１６４）、あるいは任意の他の指示器及び表示器。信号の測定及び信号に基づいたデータの生成を実行するために、記憶装置１５４はマイクロプロセッサにより実行されて測定及びデータ生成作業を行なうファームウエア／ソフトウェアを格納することがある。さらに、回路１２０は、Ｄ／Ａ変換器１６６（また、好適な実施態様ではマイクロプロセッサ１５２内に組み込まれる）を備えることがあり、このＤ／Ａ変換器は、アナログ信号を任意の外部測定装置に、０〜５  Ｖ（１６８）あるいは４〜２０ｍＡ（１７０）のような種々の形式におけるデータ収集システムに、供給することができる。さらに、マイクロプロセッサ１５２は、シリアルＲＳ２３２あるいはＲＳ４８５  １７４、ＴＣＰ／ＩＰ／Ｅｔｈｅｒｎｅｔ１７６のようなデジタル形式の出力を供給し、ダイアルアップ接続１８０あるいはワイアレス接続１８２によりデータを提供し、あるいは組み込み型のウェブサーバー１８４さえも備えることができる。
【００３０】
上記の装置は、静電放電事象と異なる波形を有する信号を受け付けないとはいえ、上記の装置による正規の静電放電信号として識別されることがあるリレー接点による整流のような静電放電状の波形を有する多少の事象はまだ存在する。このような非静電放電信号に対して識別を行なうために、本発明の別の実施態様もパターン認識の方法を使用することができる。特に、静電放電事象は本来偶発的であり、全ての静電放電事象は蓄積された静電圧の放電によって引き起こされる。静電圧は摩擦帯電あるいは２つの異種材料の離隔によって生成される。本来の機械的運動のために、典型的な処理における構成要素上に生成される電荷は毎回違ったものである。静電放電は高い反復可能性のベースにおける規則正しいパターンでは起こらない。同時に、リレー整流等による信号は高い水準で規則的に起こり、かつ頻繁に類似した大きさを得られる。このため、本発明の実施態様は静電放電事象（これらの事象は偶発的であり、その都度異なる大きさである）及び非静電放電事象（これらの事象は周期的であり及び／又はその都度類似の大きさである）を識別する。
【００３１】
図７ａはワイヤ結合工具信号事象を示している。明らかなように、一連の事象によって生成された一連の信号２００は異なる大きさであるのに高い水準での周期ベースで生じる。この信号パターンは非静電放電事象を表示する。しかしながら、一連の信号２０２は散発的に生じ、そして静電放電事象と見なす。図７ｂは、共にクラスター化されてほぼ同じ大きさになっている複数の事象２０４を示し、一連の事象は静電放電事象ではないことを示す傾向がある。図７ｃは、共にグループ化されて別の複数の事象を示していて、図７ｃの事象２０６は偶発的であり、大きさが一致していないので、静電放電事象であると見なす。
【００３２】
図８ａは、本発明の、パターン認識を使用して非静電放電事象を受け付けない方法を示している。工程２５０において、事象信号は捕捉されて記憶装置に格納される。その記憶装置は、ＦＩＦＯあるいは他の使用可能な構成として構成することが可能である。工程２５２においては、測定処理中は連続して処理される。本発明によると、工程２５４において格納された事象信号による連続パターン認識が行なわれて、工程２５６においてパターンが同定される場合、パターンの一部である事象は、工程２６０において廃棄される。工程２６４において、パターンの一部ではない事象のみが受け入れられる。工程２６６及び２６８において、この静電放電事象は静電放電事象として報告される。
【００３３】
図８ｂは、図８ａの方法が如何に静電放電事象と非静電放電事象を区分するかをしている。図８ｂにおいて、図６の０〜５  Ｖ  １６８の出力のような測定装置の出力が示される。明らかなように、一連の事象信号２７０（一連の事象から）は極めて同じ振幅であり、高い水準で反復可能性がある。このことは、これらの事象が機械の操作によって殆ど引き起こされ、静電気によるものではないことを示している。これらの事象は、図８ａの方法によって受け付けられない。しかしながら、この一連の事象２７６はそれらを純粋な静電放電事象として見なし、それらは方法によって受理されるように、一連の事象２７６は時間の面では偶発的であり、大きさの面では不規則である。図３に記述された方法と組み合わせて、この方法は、他の信号を受け付けないと共に静電放電事象の高い水準で精度のよい検出と測定を提供する。
【００３４】
図９ａは、本発明の別の実施態様によるハンドヘルド装置である。この装置３００は、アンテナ３０２、ＬＥＤ指示計３０４、音響指示計３０６、電源スイッチ３０８、電源表示ＬＥＤ３１０、広範囲にわたる静電放電事象の測定を可能にするレンジスイッチ３１２、対数／線形目盛切換スイッチ３１４、警報レベル調節スイッチ３１６、及びヘッドホンジャック３１８を含む。明らかに、提案される本発明を利用するためには、示めされてはいないが全ての要素が本装置には必要である。この特定の場合には、ＬＥＤ棒状指示計は静電放電事象の相対的強度を示している。警報レベル電位差計は、そのレベルを静電放電事象が表示され、かつ／又は音声警報が動作するレベル以上に調節する。ハンドヘルド装置３００は、図５に示される装置１９、及び入来信号の区別及び他の処理を実行する図８ａに示される方法をさらに組み込む。携帯型装置のみだけでなくデータ収集システムを有する卓上装置が、提案される発明を使用して実行することができることは、当業者にとって自明であろう。
【００３５】
図９ｂは、本発明の別の実施態様によるハンドヘルド装置３００である。この実施態様では、装置３００は、発生時に静電放電事象の極性を表示する２つの付加的なＬＥＤ３２０を備える。図９ｃは、装置３００が放電の正極及び負極の大きさを個別に表示するＬＥＤ棒グラフ３２６を有する別の実施態様である。ＬＥＤ棒グラフの左側に放電の負極における大きさが表示され、ＬＥＤ棒グラフの右側に放電の正極における大きさが表示される。
【００３６】
ユーザは、静電放電協会のような共通の実施によって規定される放電の強度及びモデルと相互に関連している事象の大きさを頻繁に知る必要がある。このような共通の実施では、ＣＤＭ（荷電デバイスモデル）、ＨＢＭ（人体モデル）、及び幾つかの他のモデルのような幾つかのモデルが規定される。放電の強度について、例えば、２００ＶのＣＤＭ、あるいは２０００ＶのＨＢＭのような放電を引き起こす静電圧に関して示されている。この形式の放電による電磁場の受信によって発生した静電放電事象の測定を行うために、計器が放電の特定モデルに対して、及び放電による測定距離に基づいて特徴づけられていなければならない。図９Ａ、９Ｂ、９Ｃ、１２、及び１３に示されている装置が、放射／入力信号を測定するために使用されることができ、この放射／入力信号は、いかなる音響、又はアルファ、ベータ、もしくはガンマ線のようなイオン化放射線放射と同様に、いかなる電磁放射、電場あるいは磁場の放射であることも可能である。
【００３７】
図１０は、ＣＤＭ型の放電用の静電放電事象モニタを有するこのような特徴データの一例を示している。図１０このモニタの出力は、０〜５Ｖである。図１０の特徴データから明らかなように、１００Ｖの静電圧及びＣＤＭモデルに適合した方法による放電によって事象が引き起こされる場合、事象から１２．７ｃｍ（５インチ）離れた地点にアンテナを備えたモニタが、３Ｖ信号を発生する。基本的に、１００ＶのＣＤＭの静電放電事象が、事象から１２．７ｃｍ（５インチ）離れた地点に設置されたモニタ内に３Ｖの出力信号を生ずる。同様に、２００ＶのＣＤＭの静電放電事象が、事象から１５．２ｃｍ（６インチ）離れた地点に設置されたモニタ内に３．７Ｖの出力信号を生ずる。このような特徴は特定のモニタに対する固有的なものである。
【００３８】
図１１ａ及びｂは、特徴データがどのように事象のパラメータの直接表示に使用できるかについて示す。図１１ａは、測定前に必要な初期設定を示す。工程３４０において、予期された放電からの距離が設定される。多くの場合、半導体装置を操作する自動化の道具内のようにどこで放電が起こるかは既知である。工程３４２において、選択された距離による相関係数、適切な変換式、あるいは参照表は決定される。工程３４２において、選択された距離による相関係数、適切な変換式、あるいは参照表は決定される。工程３４４において、静電放電事象測定装置が１つ以上の放電モデルを測定するのに予期される場合、このモデルは同様に設定されるべきである。工程３４６において、選択された放電による相関係数、適切な変換式、あるいは参照表は決定される。一旦これらのパラメータが設定されると、読取値に対する適切な調節は可能である。装置の構造に応じて、このような調節は、ゲイン変更のようなアナログ形式、あるいは演算式を変更するあるいは参照表のパラメータを変更することによるデジタル形式で行なわれる。
【００３９】
図１１ｂは、距離及び放電モデルが一度設定された、本発明による装置の操作の方法３５０を示している。工程２５２において出力が測定されると、その測定値は工程３５４において特定の距離及び特定の放電モデルに対する補正係数に従って再計算される。再計算は、装置の任意の特徴データについてさらに考慮することができる。再計算は、装置の任意の特徴データについてさらに考慮することができる。一度再計算されると、工程３５６においてデータが表示され、かつ／又は工程３５８においてデータ収集システムに送られる。
【００４０】
図１２ａは、この方法を使用していて、本発明による装置４００の別の実施態様の一例を示している。静電放電事象計４００は、アンテナ４０２、表示器４０４、及び制御キー４０６を備える。図１２ｂは、セットアップ中の図１２ａの装置のスクリーンショットを示していて、そこでは放電４１０からの距離はキー４１２を使用して設定される。放電４１４のモデルはキー４１６を使用して設定される。この特定のスクリーンはＣＤＭ放電モードを示している。図１２ｃは、ＨＢＭ放電モデル選択中の図１２ａの装置のスクリーンショットを示している。図１２ｄは、セットアップ後測定結果を示している図１２ａの装置のスクリーンショットを示している。この特定の場合は、上側の列４２０は放電強度の２００Ｖ（ＣＤＭモデル）を示している。下側の列４２２は放電の総数を示している。ハンドヘルド計器の代わりに、提案されている発明の制約条件の範囲内で基本的に同じ機能を実行する定置型の、あるいは携帯型のモニタが使用され、さらに表示は増大されかつ／又は多くの利用可能な手段を介してデータ収集システムに対する出力によって置換されることは当業者にとって自明であろう。
【００４１】
図１３ａは、本発明による装置の別の実施態様の一例を示している。この実施態様では、距離の手動設定の代わりに、距離測定の自動手段が装置に組み込まれている。自動距離測定装置４０２は図１３ａに示されている。装置４０２は、超音波の、光に基づく、機械的（延伸ロッド）な、あるいは任意の他の手段を使用するなどの種々の手段によって距離を測定して、距離を求めることができる。光に基づく距離測定ユニットは、赤外線型の距離測定ユニットのように光エネルギーを使用して距離を測定することができる任意のユニットである。図１３ｂは本発明の測定５００の方法を示している。この方法において、もしモニタが定置型であり、距離が頻繁に変化しないということでなければ、工程５０２及び５０４において、入力信号及び距離は、好ましくは同時に測定される。工程５０６において、測定された値は、測定された距離、及び工程５０８において表示画面に呈示される、かつ／又は工程５１０においてデータ収集システムに送られる結果データに基づいて再計算される。静電放電事象測定はこの方法により利点を得られるだけでなく、静電圧測定のように他の距離依存型の測定もこの方法により利点が得られることに留意すべきである。現在、静電電圧計は、測定面（典型的には、２．５ｃｍ（１インチ）からの固定距離に位置する必要がある。この方法及びこのような装置を使用して、任意の適切な距離で精度のよい測定は行なわれる。
【００４２】
本発明によると、発生した放電のタイプを決定する装置／回路を備えることは、多くの場合必要であり、そのタイプは荷電デバイスモデル（ＣＤＭ）、機械モデル（ＭＭ）、あるいは人体モデル（ＨＢＭ）を含む。図１４ａは、放電のタイプを決定する本発明による回路９９０の実施態様を示していて、そして図１４ｂ、１４ｃ及び１４ｄは、ＣＤＭ、ＭＭ、及びＨＢＭ放電の典型的な波形をそれぞれ示している。図１４ｂに示されているように、荷電デバイスモデルの放電は、最短の放電で典型的には数ナノ秒間継続する。一方、機械モデル（ＭＭ）の放電は、典型的には２０ナノ秒（図１４ｃ）間継続し、そして人体モデル（ＨＢＭ）放電は１００ナノ秒間、あるいは図１４ｄに示されるよりさらに長い時間継続する。
【００４３】
図１４ａにおいて明らかなように、アンテナ３０は、微弱信号を増幅するオプションの高周波前置増幅器１０００の入力部に接続される。前置増幅器１０００の出力は比較器１００２の第１入力部に接続される。比較器の第２入力が、種々の周知の方法で実施される電圧基準１００４に接続される。比較器からの信号出力が欠落するとカウンタが効果的に無効にされる方法で、比較器の出力は、カウンタ１００８の可能入力に接続される。放電が起きると、比較器１００２の第１入力部の信号は電圧基準レベル（Ｖｒｅｆ）を上回り、そして比較器はその出力部で信号を発生する。この信号がカウンタ１００８を有効にし、カウンタはカウンタのカウント／クロック入力部に接続されている発信器１０１０からのパルスのカウントを開始する。入力信号は、比較器１００２の閾値より下がると、カウントは停止する。カウンタ１００８の出力はデジタル比較器１０１２の入力部に接続され、パルス数に基づいてパルスの比較器は放電のタイプの決定を行う。パルス数は、図１４ｂ〜１４ｄに示されるように入力信号パルスの継続時間に対応していて、その際、長い継続時間のパルス（図１４ｄ）によって結果として多数のパルスが生じる。したがって、デジタル比較器は入力信号の継続時間中に発生させられたパルス数を比較して、それからその数を各放電タイプのパルスの格納数と比較して放電のタイプを決定する。決定処理が完了すると、カウンタがリセットされる（図示せず）。この実施態様において、経済的な方法で共通の部品を使用して、回路９９０が実行される。デジタル比較器１０１２の機能が、代わりにマイクロプロセッサによって実行されることに留意する必要がある。
【００４４】
図１５ａは、同じ要素が同じ参照番号を有していて、他に記載がなければ同様な機能を実行する回路９９０の別の実施態様を示している。回路９９０のこの実施態様では、カウンタ１００８がシフトレジスタ１０２０と置換される。その際、入力信号の継続中にシフトレジスタ１０２０が一連の「１」を発生し、そして「１」レジスタの出力部の「１」の数に基づいて放電のタイプの決定がデジタル比較器１０１２により実行される。その比較器の機能がマイクロプロセッサにより実行される（図示せず）。図１５ｂ〜ｄは、図１４ｂ〜ｄの波形に実質的に同様な波形を示している。
【００４５】
図１６ａは、エンベロープ検出器１０３０を付加した図１４ａあるいは１５ａの回路９９０を示している。エンベロープ検出器１０３０は、放電（図１６ｂに示されているような波形）の複雑な波形をより平易な波形に変換して図１６ｃに示されている波形を管理する。このエンベロープ検出器は任意の適合タイプになるが、エンベロープ検出器は周知であるのでその特定の構造は詳細に本明細書では論じない。
【００４６】
図１７ａは、エンベロープ検出器１０３０を有する、図１４ａあるいは１５ａの回路９９０の別の実施態様を示している。この回路９９０では、図１７ａのアンテナ３０はオプションの前置増幅器１０００に接続され、さらにオプションのエンベロープ検出器１０３０に接続されている。エンベロープ検出器１０３０の出力は高速Ａ／Ｄ変換器１０５０に接続されている。この変換器は、この信号をマイクロプロセッサ１０５２に引き渡すデジタル形式に変換する。
【００４７】
図１７ｂは図１７ａに示されている回路の動作を示している。工程１１００及び１１０２において、第１読取値は測定され、マイクロプロセッサ（マイクロプロセッサにより実行される組み込まれたソフトウェアに基づいて）は事象の開始を決定する。工程１１０４において、事象の開始が一度決定（入力信号における鋭い変化）されると、第１サンプルの大きさはマイクロプロセッサに関係する記憶装置に格納される。そのマイクロプロセッサは、レジスタあるいは別個の記憶装置のことがある。工程１１０６において、第１読取後に別の測定は非常に短時間で実行され、それから工程１１０８において格納される。工程１１１０において、第２表示が第１読取と同じか、あるいはより高水準である場合、事象は非静電放電事象であると考えて、工程１１１２において、第２表示を廃棄する。第２表示が第１表示より低水準の場合、記憶装置の第１表示は第２表示と置換されて、工程１１１４において、その次の表示値は測定され格納される。その後、全ての連続的サンプルは、前のサンプルと比較される。連続的サンプルの大きさが前のサンプルに同じかあるいは高い場合、事象は静電放電事象ではなく、工程１１１８において廃棄される。入力信号がゼロに達するかあるいはゼロ近くにまで達するまで、連続的サンプルは、前のサンプルより振幅が低水準である場合、工程１１２０において全体の事象は静電放電事象であると考えられる。工程１１２２において、信号の減衰率はマイクロプロセッサのソフトウェアにより分析され、工程１１２４において、事象のタイプは決定される。信号の絶対振幅を考慮する場合は、この決定の精度は向上する。
【００４８】
図１８ａは、エンベロープ検出器１０３０を備える、図１４ａあるいは図１５ａの回路９９０の別の実施態様を示している。回路９９０には、図１８ａのアンテナがオプションの前置増幅器１０００に接続され、さらにオプションのエンベロープ検出器１０３０に接続されている。この実施態様では、図１７ａのより高価なＡ／Ｄ変換器１０５０の代わりに、ピークホールド検出器１０６０が使用されることがある。ピークホールド検出器１０６０は任意の適切な構造上に設置可能であり、クロック信号源１０６２を備え、エンベロープ検出器１０３０からの出力である信号の最も高水準を維持可能であり、さらにクロックパルスによってリセットされることが可能である。そこで、ピーク検出器からの出力は、エンベロープ検出器（あるいは前置増幅器及びエンベロープ検出器が使用されない場合はアンテナからの信号）の出力信号と比較器１０６４により比較される。比較器１０６４からの出力はマイクロプロセッサ１０６６に供給される。このマイクロプロセッサは図１７ａに示されているマイクロプロセッサと同じ方法で動作し、さらに同じ機能を有する。
【００４９】
図１８ｂは、図１８ａに示されている回路９９０の動作を示している。この回路は、高価で電力消費型のＡ／Ｄ変換器を必要としないことを除いて、図１７ａの回路の動作と同様である。図１７ｂの方法と比較して、この方法の欠点は、信号の大きさの絶対値は測定できないことである。工程１１３０において、入力信号の最大信号レベルは、ピークホールド検出器により捕捉され、そしてその方法が待機工程１１３２を経由する。工程１１３４において、入力信号の現在値は、比較器１０６４によりピークホールド検出器に格納された信号レベルと比較される。工程１１３６において、マイクロプロセッサのソフトウェアは、演算増幅器１０６４の出力に基づいて、新規の信号が格納された信号より低いか否かを決定する。工程１１３８において、新規信号は格納信号より大きいかあるいは等しい場合、入力信号は静電放電事象からの信号ではない。しかしながら、新規信号が格納信号より低い場合、工程１１４０において、新規信号はピークホールド検出器に格納される。工程１１４２において、マイクロプロセッサのソフトウェアは、信号をゼロにするサイクル数をカウントして、工程１１４４においてカウントされたサイクル数に基づいて放電のタイプを決定する。
【００５０】
以上で、本発明を特定の実施態様を参照したが、当業者には、本実施態様における変更は、本発明の原理及び趣旨、特許請求の範囲により規定される本発明の範囲から逸脱することなく、行なえ得ることが理解されよう。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１ａ】静電放電事象の代表的な波形。
【図１ｂ】他の過渡信号の代表的な波形。
【図１ｃ】演算増幅器を用いて作製された増幅器。
【図２】２つの異なる入力信号に基づいた図１の増幅器の動作。
【図３】静電気放電事象が起こった時の、本発明による静電気放電事象測定装置用の装置。
【図４】非静電気の放電事象が起こった時の図３の装置。
【図５】本発明による装置の好ましい実施態様の例。
【図５ａ】図５に示される演算増幅器Ｕ１Ａの異なる実施態様。
【図５ｂ】付加的な演算増幅器を使用した、本発明による装置の別の実施態様。
【図６】図５に示される装置に接続されるマイクロプロセッサベースの回路。
【図７ａ】ワイヤ結合工具信号事象。
【図７ｂ】共にグループ化された複数の事象。
【図７ｃ】共にグループ化された別の複数の事象。
【図８ａ】パターン認識を使用して本発明の非静電放電事象を受け付けない方法。
【図８ｂ】静電放電事象と非静電放電事象を区分する図８ａの方法。
【図９ａ】本発明の一実施態様によるハンドヘルド装置。
【図９ｂ】本発明の別の実施態様によるハンドヘルド装置。
【図９ｃ】本発明の別の実施態様によるハンドヘルド装置。
【図１０】静電放電事象の特徴チャート。
【図１１ａ】本発明による初期設定用の方法。
【図１１ｂ】本発明による装置の操作用の方法。
【図１２ａ】本発明による装置の別の実施態様の一例。
【図１２ｂ】セットアップ中の図１２ａの装置のスクリーンショット。
【図１２ｃ】ＨＢＭ放電モデル選択中の図１２ａの装置のスクリーンショット。
【図１２ｄ】測定結果を示している図１２ａの装置のスクリーンショット。
【図１３ａ】本発明による装置の別の実施態様の一例。
【図１３ｂ】本発明による測定の方法。
【図１４ａ】放電のタイプ及び放電波形例をそれぞれ決定するための、本発明による回路の実施態様。
【図１４ｂ】放電のタイプ及び放電波形例をそれぞれ決定するための、本発明による回路の実施態様。
【図１４ｃ】放電のタイプ及び放電波形例をそれぞれ決定するための、本発明による回路の実施態様。
【図１４ｄ】放電のタイプ及び放電波形例をそれぞれ決定するための、本発明による回路の実施態様。
【図１５ａ】放電のタイプ及び放電波形例をそれぞれ決定するための、本発明による回路の別の実施態様。
【図１５ｂ】放電のタイプ及び放電波形例をそれぞれ決定するための、本発明による回路の別の実施態様。
【図１５ｃ】放電のタイプ及び放電波形例をそれぞれ決定するための、本発明による回路の別の実施態様。
【図１５ｄ】放電のタイプ及び放電波形例をそれぞれ決定するための、本発明による回路の別の実施態様。
【図１６ａ】エンベロープ検出器を使用して、放電のタイプ及び放電波形例をそれぞれ決定するための、本発明による回路の別の実施態様。
【図１６ｂ】エンベロープ検出器を使用して、放電のタイプ及び放電波形例をそれぞれ決定するための、本発明による回路の別の実施態様。
【図１６ｃ】エンベロープ検出器を使用して、放電のタイプ及び放電波形例をそれぞれ決定するための、本発明による回路の別の実施態様。
【図１７ａ】放電のタイプ及び操作方法をそれぞれ決定するための回路の別の実施態様。
【図１７ｂ】放電のタイプ及び操作方法をそれぞれ決定するための回路の別の実施態様。
【図１８ａ】放電のタイプ及び操作方法をそれぞれ決定するための回路の別の実施態様。
【図１８ｂ】放電のタイプ及び操作方法をそれぞれ決定するための回路の別の実施態様。
【図１ａ】
0005595659.tif 000002
【図１ｂ】
0005595659.tif 000003
【図１ｃ】
0005595659.tif 000004
【図２】
0005595659.tif 000005
【図３】
0005595659.tif 000006
【図４】
0005595659.tif 000007
【図５】
0005595659.tif 000008
【図５ａ】
0005595659.tif 000009
【図５ｂ】
0005595659.tif 000010
【図６】
0005595659.tif 000011
【図７ａ】
0005595659.tif 000012
【図７ｂ】
0005595659.tif 000013
【図７ｃ】
0005595659.tif 000014
【図８ａ】
0005595659.tif 000015
【図８ｂ】
0005595659.tif 000016
【図９ａ】
0005595659.tif 000017
【図９ｂ】
0005595659.tif 000018
【図９ｃ】
0005595659.tif 000019
【図１０】
0005595659.tif 000020
【図１１ａ】
0005595659.tif 000021
【図１１ｂ】
0005595659.tif 000022
【図１２ａ】
0005595659.tif 000023
【図１２ｂ】
0005595659.tif 000024
【図１２ｃ】
0005595659.tif 000025
【図１２ｄ】
0005595659.tif 000026
【図１３ａ】
0005595659.tif 000027
【図１３ｂ】
0005595659.tif 000028
【図１４ａ】
0005595659.tif 000029
【図１４ｂ】
0005595659.tif 000030
【図１４ｃ】
0005595659.tif 000031
【図１４ｄ】
0005595659.tif 000032
【図１５ａ】
0005595659.tif 000033
【図１５ｂ】
0005595659.tif 000034
【図１５ｃ】
0005595659.tif 000035
【図１５ｄ】
0005595659.tif 000036
【図１６ａ】
0005595659.tif 000037
【図１６ｂ】
0005595659.tif 000038
【図１６ｃ】
0005595659.tif 000039
【図１７ａ】
0005595659.tif 000040
【図１７ｂ】
0005595659.tif 000041
【図１８ａ】
0005595659.tif 000042
【図１８ｂ】
0005595659.tif 000043