(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
格子状の天井フレームによって形成される天井裏の複数の開口部を、所定位置に配置されるブランクパネルとファンフィルタユニットとで塞ぐようにしたクリーンルームの天井施工方法であって、
前記クリーンルームの前記天井裏に、前記複数の開口部を前記ブランクパネルのみで塞いだ作業エリアを形成し、その後、前記作業エリアにおいて前記天井裏の清掃や配線などの天井裏作業を実施し、前記天井裏作業の終了後に、前記ファンフィルタユニットが設置される位置に仮に取付けられた前記ブランクパネルを取外し、該ブランクパネルが取外された開口部に前記ファンフィルタユニットを設置する、ことを特徴とするクリーンルームの天井施工方法。
【請求項２】
前記天井裏に前記作業エリアを複数形成し、すべての作業エリアにおいて前記天井裏作業が終了した後に、前記ファンフィルタユニットが設置される位置に仮に取付けられた前記ブランクパネルを取外し、該ブランクパネルが取外された開口部に前記ファンフィルタユニットを設置する、ことを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの天井施工方法。
【請求項３】
前記作業エリアの外縁部側に、前記天井裏作業を行う作業者が前記天井裏の前記作業エリア以外に立ち入るのを禁止する立入禁止手段を設置して前記天井裏作業を行う、ことを特徴とする請求項１または２に記載のクリーンルームの天井施工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、クリーンルームの天井部に形成された複数の開口部にブランクパネルおよびファンフィルタユニット（以下、「ＦＦＵ」という。）を設置するためのクリーンルームの天井施工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルームは、限られた空間内の清浄度が高度に保持され、室温や湿度が一定に保持されたものである。クリーンルームでは、例えば、建屋空間内を上層空間（天井部、天井裏）、中層空間（クリーンルーム）、下層空間（床下）の３層に区画し、天井部または床下に設置したＦＦＵや空調機などの設備によって中層空間の清浄度などを適切に管理することが行われている。クリーンルームの天井部には、格子状の天井フレームが設置され、形成された複数の開口部には所定数のＦＦＵが設置され、ＦＦＵが設置されない開口部にはブランクパネルが設置される。
【０００３】
クリーンルーム構築に関する技術として、必要な時に必要な領域だけを清浄雰囲気に保持することができ、また、ＦＦＵの台数を削減してＦＦＵの稼働コストを削減するためのクリーンルームに関する技術（例えば、特許文献１参照。）や、フィルタユニット設置に際して従来の天井フレームでは作業量、負荷が大で、ユニット設置又は移設に長期を要し、また天井下部の作業スペースにおいてストックヤードを分散せざるを得ず他工事の妨害になっていたのでこれを改良するクリーンルームにおけるＦＦＵ設置用天井フレーム及びフィルタユニットの設置機構に関する技術（例えば、特許文献２参照。）が知られている。
【０００４】
また、クリーンルームにくわえて清浄度の異なるクリーンルームないしは非クリーンルームをモジュール化することによって、クリーンルームを構成する各部材との共用化を図るクリーンルームの施工方法に関する技術（例えば、特許文献３参照。）や、クリーンルームの施工期間を大幅に短縮するためのクリーンルームの施工方法に関する技術（例えば、特許文献４参照。）が知られている。
【０００５】
図１２は、クリーンルームの天井裏にブランクパネルおよびＦＦＵを設置する従来の天井施工方法の一例を示している。図１２に示すように、まずクリーンルームの天井部に天井フレーム１１を設置し、天井フレーム１１によって形成された開口部のうち、ＦＦＵを設置する位置以外の開口部にブランクパネル１３を設置する。つぎに、ＦＦＵを設置する位置の開口部をベニヤ板１００などで塞いで養生した上で、作業エリアＷにおける開口部の周囲に立入禁止柵１１０を設置し、作業員が開口部へ立ち入るのを禁止するため立入禁止表示をする。そして、この状態で天井裏に作業員が立入り、天井裏の埃などを除去するクリーン清掃や配線作業などの天井裏作業を行っていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平０８−００５１１７号公報
【特許文献２】特開平１０−２４６４８１号公報
【特許文献３】特開平１０−２０５１５３号公報
【特許文献４】特許第３０８２６６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、図１２に示す天井施工方法においては、作業エリアＷの中に立入禁止エリアＡが不規則に配置されているので、作業者は安全のために周囲を十分に確認しながら作業する必要があり、作業効率が悪くなるという問題がある。また、開口部を塞ぐためのベニヤ板１００などを養生材として使用することから、天井裏作業後には、ベニヤ板１００などの産業廃棄物が大量に発生するという問題がある。
【０００８】
この発明は、前記の課題を解決し、養生材を使用せず、安全に天井裏作業を行うことができる天井施工方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記の課題を解決するために、請求項１の発明は、格子状の天井フレームによって形成される天井裏の複数の開口部を、所定位置に配置されるブランクパネルとファンフィルタユニットとで塞ぐようにしたクリーンルームの天井施工方法であって、クリーンルームの天井裏に、複数の開口部をブランクパネルのみで塞いだ作業エリアを形成し、その後、作業エリアにおいて天井裏の清掃や配線などの天井裏作業を実施し、天井裏作業の終了後に、ファンフィルタユニットが設置される位置に仮に取付けられたブランクパネルを取外し、該ブランクパネルが取外された開口部にファンフィルタユニットを設置する、ことを特徴とする。
【００１０】
この発明によれば、クリーンルームの天井裏には、複数の開口部をブランクパネルのみで塞いだ作業エリアが形成され、この作業エリアでの天井裏の清掃や配線などの天井裏作業が可能となる。
【００１１】
請求項２の発明は、請求項１に記載のクリーンルームの天井施工方法において、天井裏に作業エリアを複数形成し、すべての作業エリアにおいて天井裏作業が終了した後に、ファンフィルタユニットが設置される位置に仮に取付けられたブランクパネルを取外し、該ブランクパネルが取外された開口部にファンフィルタユニットを設置する、ことを特徴とする。
【００１２】
請求項３の発明は、請求項１または２に記載のクリーンルームの天井施工方法において、作業エリアの外縁部側に、天井裏作業を行う作業者が天井裏の作業エリア以外に立ち入るのを禁止する立入禁止手段を設置して天井裏作業を行う、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１に記載の発明によれば、複数の開口部をブランクパネルのみで塞いだ作業エリアで天井裏作業を行うことができるので、天井裏作業における安全性を確保することができる。また、作業者は作業エリアで開口部に注意を払う必要がなくなり、天井裏作業における作業効率を高めることができる。さらに、開口部を塞ぐベニヤ板などの養生材が不要になるので、大量の産業廃棄物の発生を防止することができる。
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、天井裏に作業エリアを複数形成するようにしているので、クリーンルームの天井裏の作業面積が大きい場合でも、作業エリアを効率よく形成することができ、クリーンルームの天井施工をより効率的に行うことができる。
【００１５】
請求項３に記載の発明によれば、立入禁止手段によって作業者が作業エリア外に立ち入ることを確実に阻止することができ、天井裏作業における作業者の安全を確保することができる。また、立入禁止手段によって作業者に注意を喚起することができるので、天井裏作業の安全性をさらに高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態に係るクリーンルームの天井施工方法が適用されるクリーンルームの透視斜視図である。
【図２】図１のクリーンルームの天井裏の構造を示す斜視図である。
【図３】図１のクリーンルームの天井部に設置されるブランクパネルの斜視図である。
【図４】図２のブランクパネルの天井フレームへの設置状態を示す断面図である。
【図５】図１のクリーンルームの天井部に設置されるＦＦＵの斜視図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るクリーンルームの天井施工方法によって天井裏の一方に作業エリアを形成した状態を示す平面図である。
【図７】本発明の実施の形態に係るクリーンルームの天井施工方法によって天井裏の他方に作業エリアを形成した状態を示す平面図である。
【図８】本発明の実施の形態に係るクリーンルームの天井施工方法によって天井裏に複数の開口部を形成した状態を示す平面図である。
【図９】本発明の実施の形態に係るクリーンルームの天井施工方法によって天井裏の複数の開口部にＦＦＵを配置した状態を示す平面図である。
【図１０】本発明の実施の形態２に係るクリーンルームの天井施工方法が適用されるクリーンルームの天井裏の平面図である。
【図１１】本発明の実施の形態３に係るクリーンルームの天井施工方法が適用されるクリーンルームの天井裏の平面図である。
【図１２】クリーンルームにおける従来の天井施工方法を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、この発明を図示の実施の形態に基づいて説明する。
【００１８】
（実施の形態１）
図１ないし図９は、この発明の実施の形態を示している。図１に示すように、例えば、精密機器や医薬品などの工場の建物Ｒは、天井裏（プレナムチャンバ）１、クリーンルーム２、床下（レターンプレナム）３の３層から構成されている。
【００１９】
プレナムチャンバ１は、建物Ｒの天井スラブＣ１とクリーンルーム２の天井部Ｃ２との間に位置している。レターンプレナム３は、建物Ｒの床スラブＦ１とクリーンルーム２の床部Ｆ２との間に位置している。レターンプレナム３には、空調機などが設置され、建物Ｒ外から外気を取り込むとともに、空気を建物Ｒ外へ排出している。また、空調機は加湿及び除湿の機能を有し、クリーンルーム２を所定の湿度に調節可能となっている。レターンプレナム３とプレナムチャンバ１は、不図示のレターンダクトを介して連通し、調和空気の循環路をともに形成している。
【００２０】
クリーンルーム２は、プレナムチャンバ１とレターンプレナム３との間に位置している。クリーンルーム２は、間仕切壁Ｐが形成されており、間仕切壁Ｐによって、例えば、精密機器の組み立てを行う生産エリア２Ａ、通路２Ｂなどの複数のエリアに区画されている。生産エリア２Ａには、例えば精密機器の製造装置などが設置されている。クリーンルーム２の床部Ｆ２は、床スラブＦ１から所定距離だけ上方に位置しており、調和空気を通過させために、グレーチング材などの多孔材を水平方向に張り渡して形成されている。
【００２１】
クリーンルーム２の天井部Ｃ２は、天井スラブＣ１から所定距離だけ下方に位置しており、水平方向に張り渡された天井フレーム１１を有している。後述するように、天井フレーム１１の開口部１２は、所定の位置に配置されたブランクパネル１３とＦＦＵ１４とで塞がれるようになっている。
【００２２】
天井フレーム１１は、図２に示すように、格子状に形成されており、天井フレーム１１の格子角部１１ａには吊り金具１５ａが取付けられている。プレナムチャンバ１内には、屋根側の鉄骨材（図示略）から下方向に延びる多数の吊材１５ｃが延びており、吊材１５ｃの下端部がターンバックル１５ｂを介して吊り金具１５ａと連結されている。これによって、天井フレーム１１は多数の吊材１５ｃを介して屋根側の鉄骨材に吊下げられている。また、ターンバックル１５ｂによって、天井部Ｃ２が水平となるように屋根側の鉄骨材からの距離が調整可能となっている。
【００２３】
また、天井フレーム１１の格子角部１１ａは、斜め方向に延びる筋交い１５ｄによって屋根の頂部側と連結され、天井部Ｃ２の耐震性が補強されている。さらに、クリーンルーム２の稼動時には、クリーンルーム２内の圧力はプレナムチャンバ１の圧力より高くなるので、天井フレーム１１に載置されるブランクパネル１３などの部材は、ＦＦＵ１４の吸引力によって浮上しないように、質量や固定方法が考慮された構造となっている。この格子状の天井フレーム１１によって、天井部Ｃ２には複数の開口部１２が形成されている。
【００２４】
天井部Ｃ２の開口部１２は、長さｌ、幅ｗを有する同一の長方形状に形成されており、すべての開口部１２には、ブランクパネル１３、ＦＦＵ１４のいずれかが取付けられるようになっている。この実施の形態においては、１５台のＦＦＵ１４が採用されており、図８に示すように、最終的にはＦＦＵ１４の台数と同じ１５個の開口部１２ａが形成されるようになっている。図６においては、開口部１２の数が合計２０個あるが、実際に設置されるＦＦＵ１４は１５台であるので、その差についてのブランクパネル１３は、例えば図８の直前の配置かえ工程でクリーン保管庫（図示略）から搬入し、開口部１２に設置するようにしている。
【００２５】
この実施の形態においては、クリーンルーム２の天井裏に、複数の開口部１２をブランクパネル１３のみで塞いだ作業エリアＷを形成し、その後、作業エリアＷにおいて天井裏の清掃や配線などの天井裏作業を実施し、作業エリアＷをブランクパネル１３の配置かえにより位置替えして施工すべき作業エリアＷ全域の天井裏作業の終了後に、ＦＦＵ１４が設置される位置に仮に取付けられたブランクパネル１３を取外し、ブランクパネル１３が取外された開口部１２ａにＦＦＵ１４を設置するようにしている。
【００２６】
天井フレーム１１は，下面がクリーンルーム２内に露出している。図４に示すように、天井フレーム１１の下面には、クリーンルーム２内を照明する照明器具２０が取付けられている。照明器具２０は、天井フレーム１１の長手方向に沿って延びている。
【００２７】
ブランクパネル１３は、鋼板の表面に合成樹脂の薄膜を形成した平板状のラミネート鋼板から構成されている。ブランクパネル１３は、図３に示すように、開口部１２を塞ぐように長さｌ、幅ｗ、板厚ｄが設定されている。このブランクパネル１３の周縁部は、取付け状態では、図４に示すように、天井フレーム１１によって支持されている。つまり、ブランクパネル１３は、天井フレーム１１に密着させた状態で、天井フレーム１１の逆Ｔ字状の底面部によって受け止められ、ブランクパネル１３の上面１３ａ側から押え板１１ｂとボルト１１ｃによって固定されている。
【００２８】
このように、ブランクパネル１３は、周縁部が天井フレーム１１および押え板１１ｂ、ボルト１１ｃによって支持され、外力が作用しても位置ずれしないように強固に固定されている。この実施の形態におけるブランクパネル１３は、板厚１０ｍｍのラミネート鋼板で構成されているが、折り曲げ加工などにより強度が十分に高められた構造であれば、板厚ｄが１０ｍｍよりも薄い鋼板を使用することも可能である。また、このブランクパネル１３は、天井フレーム１１に設置されることで、プレナムチャンバ１とクリーンルーム２との隙間を塞ぎ、清浄化されていない空気がクリーンルーム２内等に侵入することを防ぐようになっている。
【００２９】
ＦＦＵ１４は、天井フレーム１１の開口部１２を塞ぐ大きさに設定され、取付け状態では、天井フレーム１１に密着させた状態で、天井フレーム１１の逆Ｔ字状の底面部によって受け止められるようになっている。このＦＦＵ１４は、図５に示すように、略直方体形状のケーシング１４１内に、ファン、ファンを駆動させるモータ、高性能フィルタが内蔵されている。
【００３０】
また、ケーシング１４１上面には、モータに電気を供給する電源部１４２が配設されている。このＦＦＵ１４は、プレナムチャンバ１内の空気をケーシング１４１内に取り入れ、塵芥等を高性能フィルタによって除去し清浄化した空気を、クリーンルーム２内に供給する機能を有している。また、ＦＦＵ１４の設置台数および配置位置は、クリーンルーム２の清浄度によって決定される。例えば、生産エリア２Ａのように高度な清浄度のクリーンルーム２には多数のＦＦＵ１４を設置し、通路２Ｂなど清浄度が低いクリーンルーム２には少数のＦＦＵ１４を設置する。
【００３１】
立入禁止手段としての立入禁止表示１６は、遮断テープや遮断棒と、それらを支持する支柱と、立入禁止の旨が表示された表示板などから構成されている。この立入禁止表示１６は、ブランクパネル１３が敷き詰められた天井部Ｃ２上の作業エリアＷの外縁部側に設置され、プレナムチャンバ１の清掃や配線などの天井裏作業を行う作業者が、作業エリアＷ以外に立ち入るのを禁止するためのものである。また、立入禁止表示１６は、作業エリアＷの外縁部側に位置する吊材１５ｃに、遮断テープを巻付け、作業エリアＷの外縁部側のブランクパネル１３と天井スラブＣ１との間に設置される。ここで、作業エリアＷは、クリーンルーム２のプレナムチャンバ１の複数の開口部１２をブランクパネル１３のみで塞いで形成されたエリアであり、作業者は作業エリアＷにおいて天井裏作業を行う。ブランクパネル１３の配置かえやＦＦＵ１４の天井フレーム１１への設置や前述の清掃、配線などの作業は、作業者がブランクパネル１３に乗って行う。また、開放エリアＡは、クリーンルーム２のプレナムチャンバ１の複数の開口部１２のみで形成されたエリアである。
【００３２】
このような構成の建物Ｒでは、プレナムチャンバ１に設置された複数のＦＦＵ１４によって清浄化された空気が、クリーンルーム２内に供給される。そして、クリーンルーム２内の空気は、床部Ｆ２を通過してレターンプレナム３へ排出される。さらに、レターンプレナム３に排出された空気は、レターンダクトを経てプレナムチャンバ１へ送出され、再びＦＦＵ１４によって清浄化されて、クリーンルーム２内へ供給される。このように、建物Ｒ内の空気は所定の清浄度を維持したまま、プレナムチャンバ１、クリーンルーム２、レターンプレナム３を一方向に循環するようになっている。
【００３３】
図６および図７に示すように、立入禁止表示１６は、ブランクパネル１３が取付けられていない開口部１２の端部からブランクパネル１３のほぼ２列分だけ離れた位置に設置されている。ここで、ブランクパネル１３の列とは、天井フレーム１１に沿って複数のブランクパネル１３が直線状に並ぶ配置を意味し、ここでは施工上短手方向のそれを「列」としている。立入禁止表示１６は、開口部１２の端部に対して著しく接近した状態で設置すると、それだけ作業者が開口部１２に接近することが可能となり、落下の危険性が高まるとともに、資材などを落下させたりするおそれがある。したがって、立入禁止表示１６は、開口部１２の端部から１〜２列程度の余裕をもたせて設置するのが望ましい。
【００３４】
次に、このような構成のクリーンルーム２の天井施工方法について説明する。
【００３５】
まず、クリーンルーム２の形成に際しては、建物Ｒの天井スラブＣ１から所定距離下方に天井フレーム１１が張り渡される。つぎに、ブランクパネル１３および取付けに使用する部材や工具などがプレナムチャンバ１内に搬入される。ブランクパネル１３のプレナムチャンバ１内への搬入は、クリーンルーム２の床と天井との間の距離が比較的短い場合は、クリーンルーム２側から作業台などを使用して行ってもよいし、作業性によっては天井内から行ってもよい。そして、図６に示すように、例えば、天井フレーム１１の一端部側の２列の開口部１２を残して、すべての開口部１２にブランクパネル１３を取付けることにより、天井裏であるプレナムチャンバ１の一方に作業エリアＷが形成される。すなわち、ＦＦＵ１４が設置される予定の図６の開口部１２の多くにも仮にブランクパネル１３が取付けられる。ここで、作業エリアＷの形成に使用しないブランクパネル１３は、天井裏作業の妨げとならない位置に仮置きする。さらに、作業エリアＷの外縁部側に立入禁止表示１６が設置される。そして、作業者は、作業エリアＷにおいて埃などを除去するクリーン清掃や配線作業などの天井裏作業を行う。この配線作業では、ＦＦＵ１４や照明器具２０用の配線、すなわち機器の設置位置までの動力線、通信線の延伸作業が行われる。クリーンルーム２の建込時においては、空気が清浄化されていないので、天井裏作業の清掃によってすべての発塵源を断つようにする。
【００３６】
そして、プレナムチャンバ１の一方に形成された作業エリアＷにおける天井裏作業が終了すると、図７に示すように、天井フレーム１１の他端部側の２列の開口部１２を残して、すべての開口部１２にブランクパネル１３を取付けることにより、天井裏であるプレナムチャンバ１の他方に作業エリアＷが形成される。さらに、作業エリアＷの外縁部側に立入禁止表示１６が設置される。そして、作業者は、上述と同様に移動した作業エリアＷ（図６において未清掃、未配線であったブランクパネル１３の列、即ち立入禁止表示１６より右側に位置するブランクパネル１３の列）において埃などを除去するクリーン清掃、配線作業、ＦＦＵ１４の結線などの諸作業を含む天井裏作業を行う。
【００３７】
つぎに、すべての作業エリアＷにおいて天井裏作業が終了した後、図８に示すように、ＦＦＵ１４が設置される位置の開口部１２ａに仮に取付けられたブランクパネル１３が取外される。ＦＦＵ１４が設置される位置以外でブランクパネル１３が取付けられていない開口部１２ｂには、ブランクパネル１３が取付けられ、天井フレーム１１に固定される。そして、ＦＦＵ１４の設置位置以外のすべての開口部１２ｂが、ブランクパネル１３によって塞がれる。また、クリーンルーム２に搬入されたＦＦＵ１４は、クリーンルーム２に搬入されているテーブルリフタなどの揚重装置（図示略）によって開口部１２に向かって持ち上げられる。そして、ＦＦＵ１４は、プレナムチャンバ１の作業員によって天井フレーム１１に固定され、結線、試運転が行われる。このようにして、開口部１２ａはＦＦＵ１４によって塞がれる。
【００３８】
このようにして、図９に示すように、クリーンルーム２の天井部Ｃ２には所定の位置にブランクパネル１３、ＦＦＵ１４が設置され、クリーンルーム２の天井部Ｃ２の施工が完了する。
【００３９】
以上のように、この実施の形態１に係る発明によれば、複数の開口部１２をブランクパネル１３のみで塞いだ作業エリアＷで天井裏作業を行うことができるので、天井裏作業における安全性を確保することができる。また、作業者は開口部１２に注意を払う必要がなくなり、天井裏作業における作業効率を高めることができる。さらに、開口部１２を塞ぐベニヤ板などの養生材が不要になるので、大量の産業廃棄物の発生を防止することができる。
【００４０】
また、天井裏であるプレナムチャンバ１に作業エリアＷを複数形成するようにしているので、クリーンルーム２のプレナムチャンバ１の作業面積が大きい場合でも、作業エリアＷを効率よく形成することができ、クリーンルーム２の天井施工をより効率的に行うことができる。
【００４１】
また、立入禁止手段１６によって作業者が作業エリアＷ外に立ち入ることを確実に阻止することができ、天井裏作業における作業者の安全を確保することができる。さらに、立入禁止手段１６によって作業者に注意を喚起することができるので、天井裏作業の安全性をさらに高めることができる。
【００４２】
（実施の形態２）
図１０は、この発明の実施の形態２を示している。上記の実施の形態１では、作業エリアＷは、天井フレーム１１の両側端部に順次形成したが、この実施の形態では、作業エリアＷを、天井フレーム１１の略中央部の１か所のみに形成する点が実施の形態１と異なる。その他の部分は実施の形態１に準じるので、準じる部分に実施の形態１と同一の符号を付すことにより、準じる部分の説明を省略する。後述する実施の形態３においても同様とする。
【００４３】
実施の形態２においては、図１０に示すように、まず天井フレーム１１の略中央部を残して、ブランクパネル１３が仮に取付けられ、つぎに略中央部の開口部１２、つまり、開放エリアＡの周囲に立入禁止表示１６が設置され、作業エリアＷが形成される。そして、作業者が作業エリアＷで天井裏作業を行った後、ＦＦＵ１４が設置される位置に仮に取付けられているブランクパネル１３が取り外され、このブランクパネル１３が取り外された位置の開口部１２にＦＦＵ１４が取付けられる。また、ＦＦＵ１４が設置される位置以外でブランクパネル１３が取付けられていない開口部１２には、ブランクパネル１３が取付けられ、天井フレーム１１に固定される。
【００４４】
この実施の形態においては、作業エリアＷは略中央部に一度形成されるだけなので、作業エリアＷの移動のためのブランクパネル１３の仮取付け、取り外しが不要であり、天井施工に要する手間と時間を削減できる。
【００４５】
（実施の形態３）
図１１は、この発明の実施の形態３を示している。この実施の形態３では、作業エリアＷの形成時に仮に取付けられるブランクパネル１３の数は、クリーンルーム２の天井の施工後に取付けられるブランクパネル１３と同じ枚数に設定されている。つまり、開放エリアＡの面積は、当該クリーンルーム２に設置されるＦＦＵ１４が設置される開口部１２の面積と一致するように設定されている。
【００４６】
この実施の形態３においては、作業エリアＷの形成時に使用するブランクパネル１３の数は天井の施工後と変わらず、ブランクパネル１３の数が変化しないため、天井裏作業時にブランクパネル１３を仮置きする必要がなく、プレナムチャンバ１内のスペースを有効利用することができる。
【００４７】
以上、この発明の実施の形態について説明したが、具体的な構成は、上記の実施の形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても、この発明に含まれる。例えば、上記の実施の形態では、作業エリアＷと開放エリアＡとを形成するようにして説明したが、天井裏作業時に天井フレーム１１のすべての開口部１２にブランクパネル１３を仮に取付け、天井裏作業後にＦＦＵ１４を設置する位置に仮に取付けられているブランクパネル１３を取り外して、ＦＦＵ１４を設置するようにしてもよい。
【００４８】
また、上記の実施の形態においては、クリーンルーム２内の照明に用いられる照明器具２０は、図４に示すように、クリーンルーム２内に露出する天井フレーム１１の下面を利用して取付ける構成としているが、比較的大きな面光源を有する照明パネルをクリーンルーム２に採用する場合は、ＦＦＵ１４と同様に開口部１２を利用して設置する構成としてもよい。この場合はブランクパネル１３の数は例えば、天井フレームの開口空間の数からＦＦＵと照明パネルの数とすることができる。
【符号の説明】
【００４９】
１              プレナムチャンバ（天井裏）
２              クリーンルーム
３              レターンプレナム（床下）
１１            天井フレーム
１２            開口部
１３            ブランクパネル
１６            立入禁止表示（立入禁止手段）
Ｗ              作業エリア
Ａ              開放エリア
Ｒ              建物
Ｃ１            天井スラブ
Ｃ２            天井部
Ｆ１            床スラブ
Ｆ２            床部
【図１】
0005517859.tif 000002
【図２】
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【図３】
0005517859.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0005517859.tif 000008
【図８】
0005517859.tif 000009
【図９】
0005517859.tif 000010
【図１０】
0005517859.tif 000011
【図１１】
0005517859.tif 000012
【図１２】
0005517859.tif 000013