(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波駆動装置と前記駆動装置から延びる管状のアトマイザステムとを含む超音波アトマイザであって、
前記ステムが微粒化面で終端し、かつ前記管状のアトマイザステムが液体を前記微粒化面に向かわせるために軸線に沿って延びる液体通路を提供する超音波アトマイザと、
前記アトマイザステムがノズル本体から軸線方向に延びるように前記超音波アトマイザを収容するキャビティを含むノズル本体であって、さらに第１のガス導入口および第２のガス導入口を含むノズル本体と、
前記ノズル本体の軸線方向前方に取り付けられるエアキャップであって、前記エアキャップがエアチャンバと吐出オリフィスとを含み、前記微粒化面が軸線方向に前記吐出オリフィスの前方に位置するように前記アトマイザステムが前記吐出オリフィスを通して受容され、前記吐出オリフィスおよび前記アトマイザステムが、前記第１のガス導入口と連通する環状の空隙を形成するエアキャップと、
を備え、
前記エアキャップがさらに、互いに衝突するように各々半径方向内側に向けられた対向する第１および第２の噴射オリフィスを含み、前記第１および第２の噴射オリフィスが前記第２のガス導入口と連通し、
それによって、前記第１のガス導入口に導入された前方推進ガス流を、前記環状の吐出オリフィスを介して前記微粒化面に向かわせて、前記微粒化面で超音波により微粒化された液滴を推進させることができ、かつ前記第２のガス導入口に導入された扇成形ガス流を前記第１のおよび第２の噴射オリフィスに向かわせて、前方推進される超音波微粒化液滴に衝突させることができるようにした、エアアシスト式の超音波微粒化ノズル組立体。
【請求項２】
前記前方推進ガス流の圧力および前記扇成形ガス流の圧力が互いに対して調整可能である、請求項１に記載の超音波微粒化ノズル組立体。
【請求項３】
前記第１の導入口と前記吐出オリフィスとの間の連通する内側空隙をさらに備える、請求項１に記載の超音波微粒化ノズル組立体。
【請求項４】
前記第２の導入口と前記第１および第２の噴射オリフィスとの間の連通する外側空隙をさらに備える、請求項３に記載の微粒化ノズル組立体。
【請求項５】
前記ノズル本体と前記エアキャップとの間にほぼ位置するインタスペーサリングをさらに備え、前記アトマイザステムが前記インタスペーサリングを貫通して延び、前記インタスペーサリングが前記内側空隙と前記外側空隙とを分離する、請求項４に記載の超音波微粒化ノズル組立体。
【請求項６】
前記内側空隙が前記アトマイザステムと前記インタスペーサリングとの間に形成され、かつ前記外側空隙が前記ノズル本体と前記インタスペーサリングとの間に形成される、請求項５に記載の超音波微粒化ノズル組立体。
【請求項７】
前記外側空隙が前記内側空隙を包囲する、請求項６に記載の超音波微粒化ノズル組立体。
【請求項８】
前記第１および第２のガス導入口が前記吐出オリフィスならびに前記第１および第２の噴射オリフィスから軸線方向に間隔を置いて配置される、請求項１に記載の超音波微粒化ノズル組立体。
【請求項９】
前記第１および第２のガス導入口が前記ノズル本体内に半径方向に入るように配置される、請求項１に記載の超音波微粒化ノズル組立体。
【請求項１０】
前記エアキャップが第１および第２の半径方向に離れた位置にあり軸線方向に延びる噴射フランジを含み、前記第１および第２の噴射オリフィスがそれぞれ第１および第２の噴射フランジに配置される、請求項１に記載の超音波微粒化ノズル組立体。
【請求項１１】
（i）微粒化面で終端する管状の微粒化ステムを含む超音波アトマイザを用意するステップと、
（ii）前記管状の微粒化ステムによって形成される液体通路を介して液体を前記微粒化面に向かわせるステップと、
（iii）前記微粒化面で液体を超音波で微粒化するステップと、
（iv）前記微粒化面が軸線方向に吐出オリフィスの前方に位置するように前記微粒化ステムが吐出オリフィスを通して受容された構成で、前記微粒化された液体を、吐出オリフィスから吐出する前方推進ガス流によって前記微粒化面の前方に推進するステップと、
（v）前記前方に推進される微粒化液体を扇成形ガス流によって扇形パターンに成形するステップと、
を備える、液体を微粒化し、噴射する方法。
【請求項１２】
前記前方推進ガス流の圧力および前記扇成形ガス流の圧力が互いに対して調整可能である、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記扇成形ガス流が、対向する第１および第２の噴射オリフィスから吐出して、前記吐出された前方推進ガス流と衝突する、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記第１および第２の噴射オリフィスが前記吐出オリフィスの前方に位置する、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
軸線に沿って延び、微粒化面で終端するアトマイザステムを含む超音波アトマイザと、
アトマイザステムを受容する吐出オリフィスを含むエアキャップと、
軸線方向に吐出オリフィスの前方に向けられた第１および第２の半径方向に対向する内向きの噴射オリフィスと、
を備え、
前記第１および第２の噴射オリフィスが前記エアキャップ内に配置され、
前記吐出オリフィスと連通する第１の導入口と、前記第１および第２の噴射オリフィスと連通する第２の導入口とをさらに備え、
前記吐出オリフィスが前記アトマイザステムを中心に環状に形成される噴射ノズル組立体。
【請求項１６】
前記微粒化面が軸線方向に前記吐出オリフィスを越えて位置する、請求項１５に記載の噴射ノズル組立体。
【発明の詳細な説明】
【関連出願の相互参照】
【０００１】
[0001]本特許出願は、２００７年９月２１日に出願した米国特許仮出願第６０／９９４，８１７号の特典を主張し、これは参照により本明細書に組み入れられる。
【発明の背景】
【０００２】
[0002]例えば表面に液体を塗布することを含め、多種多様な用途向けの噴霧を生成するために噴射ノズルを使用することが知られている。一般的に、噴射ノズル塗布用途では、液体は噴射ノズルによって霧状または噴霧状の液滴に微粒化され、それが塗布対象の表面または基板上に付着する。微粒化された液体の実際の液滴の大きさおよびノズルからの噴霧吐出の形状またはパターンは、塗布対象物体の大きさ、および微粒化される液体を含め、種々の要素に応じて選択することができる。
【０００３】
[0003]液体を液滴に微粒化するための１つの公知の技術は、空気のような加圧ガスを液体内に送り込み、それによって液体を機械的に液滴に分解するものである。そのようなガス微粒化技術では、液滴の大きさおよびコンシステンシを制御および／または最小化することが難しい場合がある。別の公知のタイプの噴射ノズルとして、超音波エネルギを利用して、液体をほぼ煙のようなコンシステンシである小さい微細液滴の雲に微粒化する、超音波微粒化ノズル組立体がある。超音波アトマイザ（微粒化器）によって生成される雲内の液滴の分布もまた一様になるという傾向があり、好都合である。しかし、超音波微粒化ノズルから吐出できる噴射パターンの多様性は、一般的に円錐状または円錐形パターンに限定される傾向がある。さらに、液滴は質量が小さいので、噴射ノズルから吐出後まもなく、液滴は漂流または分散することがある。そのような微細液滴から作られる噴射パターンは、成形および制御を行うことが難しいので、多くの産業用途におけるそれらの使用には不利に影響している。
【発明の目的および概要】
【０００４】
[0004]本発明の目的は、表面または基板上に散布するために制御された噴射パターンの小さく微細な均一液滴の液体噴霧を生成することである。
【０００５】
[0005]本発明の別の目的は、噴射パターンの形状の調整およびパターン内の微粒化液滴の分布に対する制御を可能にする、超音波アトマイザを利用する噴射ノズル組立体を提供することである。
【０００６】
[0006]本発明のさらなる目的は、超音波により微粒化された液滴の雲を、ビジュアルモニタ用のスクリーンコーティングのような種々の産業用途に利用可能な扇形噴射パターンに成形するように動作可能な噴射ノズル組立体を提供することである。
【０００７】
[0007]上記の目的は、超音波微粒化を利用して液体を微細液滴の雲に微粒化し、空気またはガスを利用して噴射パターンを例えば扇形噴射パターンに成形し、および／またはパターンを表面またはターゲット上に推進させることもできる、本発明の噴射ノズル組立体によって達成することができる。噴射パターンの形状およびパターン内の液滴の分布はさらに、空気またはガスの圧力の操作によって選択的に調整することができる。
【０００８】
[0008]本明細書に組み込まれその一部を形成する添付の図面は、本発明の幾つかの態様を示し、説明と共に本発明の原理を説明するのに役立つ。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】液滴の成形された噴射パターンを生成するための本発明に係る噴射ノズル組立体の側面図である。
【００１０】
【図２】図１の線Ａ−Ａに沿って切った例示の噴射ノズル組立体の断面図である。
【００１１】
【図３】ノズル組立体に貫通配置されたガス流路を示す、図２の円Ｂ−Ｂによって示された領域の詳細図である。
【００１２】
【図４】超音波アトマイザの微粒化先端および加圧ガスを吐出するための噴射オリフィスを示す、図２の円Ｃ−Ｃによって示された領域の詳細図である。
【００１３】
【図５】図１に示した例示の噴射ノズル組立体の下流端の端面図である。
【００１４】
[0014]本発明を特定の好適な実施形態に関連して説明するが、本発明をこれらの実施形態に限定する意図はない。それどころか、添付する特許請求の範囲に記載する本発明の精神および範囲内に含まれる全ての代替物、変形物、および均等物を含むことを意図している。
【実施形態の詳細な説明】
【００１５】
[0015]ここで図面について説明する。図面では同様の参照符号は同様の特徴を示す。図１に、超音波およびガス微粒化技術の両方を利用する、液体噴霧パターンを生成するためのノズル組立体１００を示す。ノズル組立体１００は段付き円筒形状を有するノズル本体１０２を含み、そこから後方に液体導入管１０４が延び、それによって液体をノズル組立体内に取り込むことができる。ノズル本体１０２の前に前部にエアキャップ（蓋体）１１０を取り付けることができ、そこから液体を粒子または微細液滴の微粒化された噴霧の形で前方に吐出することができる。「前方」および「後方」のような方向を表す用語は、単なる参考目的であって、それ以外にいかなる形でもノズル組立体を限定する意図はないことに留意されたい。エアキャップ１１０をノズル本体１０２に取り付けるために、図示する実施形態では、エアキャップをノズル本体に締結して保持するように、環状の螺子付き保持ナット１０８がノズル本体に螺着される。
【００１６】
[0016]液体を超音波で微粒化するために、図２に示すように、ノズル組立体１００はまた、ノズル本体１０２内に設けられた中心穴１１４内に受容される超音波アトマイザ（微粒化器）１１２をも含む。超音波アトマイザ１１２は超音波駆動装置１１６を含み、そこから前方にロッド状で且つ管状のアトマイザステム（微粒化ステム）１１８が延びる。図示する実施形態では、超音波駆動装置およびアトマイザステムは両方とも筒状の形状とすることができ、超音波駆動装置はアトマイザステムより大きい直径を有する。参考のために、延設された管状のアトマイザステム１１８は、中心に位置する軸線１２０を表すことができる。その軸線方向前方の先端または端部で、アトマイザステム１１８は微粒化表面１２２で終端する。微粒化される液体を微粒化表面１２２に向けるために、管状の微粒化ステム１１８は微粒化面を貫通して配置される液体供給路１２４を形成し、液体出口オリフィス１２６を提供する。液体流路１２４は軸線１２０に沿って延び、ノズル本体１０２の液体導入管１０４と流体連通する。超音波アトマイザはチタンのような適切な材料から構成することができる。
【００１７】
[0017]微粒化面１２２を振動させるための超音波振動を発生させるために、超音波駆動装置１１６は、複数の隣接して積み重ねられた圧電振動子の板またはディスク１２８を含むことができる。振動子ディスク１２８は、ノズル本体１０２の後部から延びる電気通信ポート１３０を介して、電子発生装置に電気的に連結される。さらに振動子ディスク１２８は、各ディスクが直接隣接するディスクとは異極性または逆極性を有するように、電気的に連結することができる。電荷が圧電ディスクの積み重ね１２８に結合されると、ディスクは互いに膨張および収縮し、それによって超音波駆動装置１１６を振動させる。振動はアトマイザステム１１８を介して微粒化面１２２に伝達され、微粒化面に存在する任意の液体を超微細液滴または粒子の雲になるように吐出させる。
【００１８】
[0018]本発明の態様では、超音波アトマイザから吐出する液滴の雲を成形し、推進し、かつ制御するために、複数の加圧空気吐出オリフィスが設けられる。そのために、ノズル本体１０２はまた、加圧ガス源と連通することのできる第１のガス導入口１３２、および同様に別の加圧ガス源と連通することのできる第２のガス導入口１３４をも含む。第１および第２のガス導入口１３２、１３４は直径方向に対向し、ノズル本体１０２の段付き円筒形状の半径方向内向きに配置することができる。ノズル本体１０２内の相互連通流路およびキャビティならびに前方に取り付けられたエアキャップ１１０は、第１および第２のガス導入口１３２、１３４からの加圧ガスの方向を転向させ、ノズル組立体１００から噴射パターンを形成し、推進させる。ノズル組立体が利用される特定の噴射用途に応じて、任意の適切なガスまたは空気を選択することができることは理解されるであろう。
【００１９】
[0019]図２および３に示す通り、第１の導入口１３２からのガスを超音波アトマイザ１１２の微粒化面１２２に転向させるために、第１の空気通路１３６がノズル本体１０２内を前方にエアキャップ１１０に向かって配置される。ノズル本体１０２とエアキャップ１１０との間に、環状のインタスペーサリング（中間リング）１３８を設置することができる。図示する通り、環状のインタスペーサリング１３８は、アトマイザステム１１８が環状のインタスペーサリングの中心を貫通して延びるように、超音波アトマイザ１１２付近に設置される。さらに、環状のインタスペーサリング１３８の内部環状面を超音波アトマイザ１１２から離して配置し、２つの構成部品間に内側空隙１４０を形成する。内側空隙１４０は、第１の空気通路１３６とエアキャップ１１０の後方軸面との間の連通を確立する。
【００２０】
[0020]図２および４を参照すると、エアキャップ１１０の後面を貫通して軸線１２０に沿ってエアチャンバ１４２を配置することができ、このエアチャンバ１４２は、例示する実施形態に示す通り、エアキャップの後面から軸線方向前面１４４まで半径方向内向きにテーパが付けられている。テーパが付けられたエアチャンバ１４２は、１つ以上の軸線方向に中心を合わせた皿穴形成用の加工用具によって形成することができる。エアチャンバ１４２はエアキャップ１１０の軸線方向前面１４４を貫通して配置され、円形で軸線方向に中心にある吐出オリフィス１４８を形成する。エアキャップ１１０がノズル本体１０２に取り付けられたときに、超音波アトマイザ１１２のアトマイザステム１１８は、エアチャンバ１４２および吐出オリフィス１４８を貫通して収容されることができる。したがって、吐出オリフィス１４８は、アトマイザステムを収容するために、アトマイザステム１２２より少し大きくすべきである。微粒化面１２２がエアキャップの軸線方向前面１４４より軸線方向に少し前方に位置するように、アトマイザステム１１８の先端は吐出オリフィス１４８から突出することが好ましい。円筒状のアトマイザステム１１８はより大きい円形の吐出オリフィス１２２を通して受容されるので、吐出オリフィスは環状の形状を有する。したがってガスチャンバ１４２および吐出オリフィス１４８は第１の内側空隙１４０から微粒化面１２２を通って外側に空気を連通させる。
【００２１】
[0021]ノズル本体１０２の第２のガス導入口１３４からのガスをエアキャップ１１０から吐出させるように方向付けるために、図２および４を参照すると、ノズル本体は第２の前方に向かう空気通路１５０を含む。第２の空気通路１５０は、インタスペーサリング１３８とノズル本体１０２の軸線方向後面との間に形成された環状の外側空隙１５２と連通する。環状の外側空隙１５２は環状の内側空隙１４０を略半径方向に包囲することができ、それらの間のガス漏れを防止するために、物理的に分離または密封することが好ましい。
【００２２】
[0022]エアキャップ１１０はまた、エアキャップの軸線方向前面１４４から前方に延びる耳状の第１および第２の噴射フランジ１５４、１５６をも含むことができる。第１および第２の噴射フランジ１５４、１５６は軸線１２０に対して半径方向に離れた位置にあり、軸線を中心に直径方向に互いに対向する。第２の導入口１３４からの加圧ガスを第１および第２の噴射フランジ１５４、１５６を通過するように方向付けるために、各噴射フランジ内にそれぞれ第１および第２の前方に向かう空気流路１６０、１６２が配置される。第１および第２の空気流路１６０、１６２は物理的に分離されるが、それらは通常、環状の外側空隙１５２と連通して、第２のガス導入口１３４から第２の空気通路１５０を介して空気を受け取ることができる。
【００２３】
[0023]第１および第２の噴射フランジ１５４、１５６の遠位端または最前端で、第１および第２の流路１６０、１６２がそれぞれのフランジの半径方向内側に向いた面を貫通して設けられ、直径方向に対向する第１および第２の噴射オリフィス１６６、１６８が形成される。第１および第２の噴射フランジの遠位端に位置するゆえに、噴射オリフィス１６６、１６８は環状の吐出オリフィス１４８の軸線方向前方に位置する。半径方向内側に向けられることに加えて、第１および第２の噴射オリフィス１６６、１６８は、前方に向かう吐出を生成することができるように、軸線１２０に対して角度を付けて配置することもできる。図２から分かるように、第１および第２の噴射オリフィス１６６、１６８は、双方の衝突噴射が軸線１２０の近傍で交差するように配設される。
【００２４】
[0024]動作中に、噴射される液体は液体供給路１２４内に供給され、管状のアトマイザステム１１８を通して微粒化面１２２に送られる。液体を微粒化面１２２に押し込むのを助けるために、液体を重力供給するか、あるいは低圧ポンプによって加圧することができる。液体供給路１２４からの液体は液体出口オリフィス１２６を出て、毛細管のような、またはウィッキング（ろうそく・ランプの芯）のような移動作用によって微粒化面１２２付近に集まることができる。超音波駆動装置１１６は、圧電ディスク１２８が膨張および収縮してアトマイザステム１１８および微粒化面１２２の横振動または半径方向振動を発生させるように、電気的に作動させることができる。微粒化面１２２で生じる振動は約６０キロヘルツ（ｋＨｚ）の周波数とすることができるが、周波数は微粒化される液体または他の要素に応じて調整することができる。横振動または半径方向振動は、液体が小さい微細液滴状態で微粒化面から振り離されまたは分離するように、液体供給路１２４内の液体および微粒化面１２２上に捕集された液体を撹拌させる。液滴の大きさは約５〜６０ミクロン程度とすることができ、約８〜２０ミクロンの間の範囲であることが好ましい。液滴は微粒化面１２２の略近傍に無方向性の雲または水煙を形成する。
【００２５】
[0025]略無方向性の液滴の雲を前方に推進するために、ガスまたは空気の加圧流を第１のガス導入口１３２に向けることができる。この前方推進ガス流は、第１の空気通路１３６およびインタスペーサリング１３８と超音波アトマイザ１１２との間に形成された環状の内側空隙１４０を介して、エアキャップ１１０内に配置されたエアチャンバ１４２に向けられる。加圧された前方推進空気流は、環状の吐出オリフィス１４８を通ってノズル組立体１００から出る。微粒化面付近に存在する液滴の雲は前方推進空気流に同伴され、該空気流によってほぼ軸線１２０に沿って前方に運ばれて、液体噴霧を形成する。このような方法で微粒化液滴の雲に動きを付けることにより、液滴の意図しない分散または漂流も低減されることは理解されるであろう。前方推進空気流の圧力は、超音波により微粒化された液滴の前方移動および速度を制御するために変化させることができる。吐出オリフィス１４８の環状の形状のため、この位置で液滴を同伴する前方推進空気流は一般的に円錐形または円錐形のような噴射パターンを有する。
【００２６】
[0026]液体噴霧を偏平な扇状パターンに成形するために、加圧ガスまたは空気が第２のガス導入口１３４に給送される。この扇成形ガス流は、第２の空気通路１５０、環状の外側空隙１５２、ならびに第１および第２の空気流路１６０、１６２を介して、第１および第２の噴射フランジ１５４、１５６に向けられる。加圧された扇成形ガス流は、直径方向に対向する第１および第２の噴射オリフィス１６６、１６８から吐出して、ほぼ軸線１２０に沿って第１および第２の噴射フランジ１５２、１５４の間に向けられ且つ液滴を搬送する前方推進ガス流に衝突する。図５を参照して、第１および第２の噴射オリフィス１６６、１６８の対向関係のため、扇成形ガス流の衝突噴射は円錐形状の前方推進ガス流を偏平化して、破線で示す略２次元の扇形パターンを形成する。扇形パターンは産業上のスプレー用途に使用される最も有用な噴射パターンの１つである。
【００２７】
[0027]噴射ノズル組立体１００の有利な実施形態では、前方推進ガス流および扇成形ガス流を提供するために給送される加圧ガスは、扇形パターン内の液滴の形状および分布を調整するために操作することができる。例えば扇成形ガス流の圧力に対して前方推進ガス流の圧力を増大させると、扇形パターンの真ん中により多くの液滴が移動する傾向がある。扇成形ガス流の圧力に対して前方推進ガス流の圧力を低減させると、扇形噴射パターンの外縁により多くの液滴が移動する傾向がある。したがって噴射パターンの幅、形状、および液滴分布は、特定のスプレー用途に適合するように調整することができる。
【００２８】
[0028]そのような調整を可能にするために、第１および第２のガス導入口１３２、１３４を別個の加圧ガス源と連通させるか、あるいは適切な圧力調整装置によって制御することが望ましい。前方推進ガス流および扇成形ガス流を供給するために使用される圧力は、１〜３ＰＳＩ程度とすることができる。加えて、第１のガス導入口１３２と前方推進ガス流のための環状の吐出オリフィス１４８との間の流路は、第２のガス導入口１３４と噴射オリフィス１６６、１６８との間の流路から物理的に分離させておき、それらの間の漏洩を最小化させる必要がある。
【００２９】
[0029]出版物、特許出願、および特許を含め、本明細書で引用した全ての参考文献は、あたかも各参考文献が個々にかつ明確に参照によって本明細書に組み入れられると示され、その内容全体が本明細書に記載された場合と同程度に、参照によって本明細書に組み入れられる。
【００３０】
[0030]本発明を記載する文脈における用語「ａ」および「ａｎ」および「ｔｈｅ」ならびに同様の指示物の使用は（特に以下の特許請求の範囲の文脈において）、本明細書で特にそうでないことを指摘しない限り、あるいは文脈において明瞭に否定しない限り、単数および複数の両方を網羅すると解釈されるものとする。用語「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」、「有する（ｈａｖｉｎｇ）」、「含む（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）」、および「包含する（ｃｏｎｔａｉｎｉｎｇ）」は、特にそうでないことを明記しない限り、無制限の用語と解釈されるものとする（すなわち「含むが、それに限定されない」ことを意味する）。本明細書における値の範囲の記載は、そうでないことを本明細書に明記しない限り、範囲内に該当する個別の各値を個々に言及する簡便な方法として役立つように意図しただけであり、個別の各値は、あたかもそれが個別に明記されているかのように本明細書に組み込まれる。本明細書に記載する全ての方法は、本明細書に特に指示しない限り、あるいは文脈によって明確に否定されない限り、任意の適切な順序で実行することができる。本明細書に記載するありとあらゆる実施例または例示的言語（例えば「〜のような」）の使用は、単に本発明をよりよく解説するように意図されたものであって、特に明記しない限り発明の範囲に制限を課すものではない。明細書におけるいかなる言語も、非請求要素を発明の実施に不可欠なものと指摘していると解釈すべきではない。
【００３１】
[0031]本明細書に記載されているのは、発明者らが知る本発明を実施するための最良の態様を含め、本発明の好適な実施形態である。上記の説明を読むと、これらの好適な実施形態の変形が当業者には明らかになるであろう。発明者らは熟練者がそのような変形を適宜使用することを予想しており、発明者らは本明細書に特に記載した以外の仕方で本発明が実施されることを意図している。したがって、本発明は、適用法令によって認められる通り、本明細書に添付する特許請求の範囲に記載する主題の全ての変更物および均等物を含む。さらに、そうでないことを本明細書に明記しない限り、あるいは文脈によって明確に否定されない限り、上記要素の全ての可能な変形のあらゆる組合せは本発明に包含される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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