(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
静止部材に嵌合固定される静止側軌道輪、回転部材に嵌合固定される回転側軌道輪、及び、前記静止側軌道輪の静止側軌道及び前記回転側軌道輪の回転側軌道間に転動自在に配置された複数の転動体を備える軸受と、
前記回転側軌道輪又は前記回転側軌道輪と共に回転する回転側間座の外周面に設けられた被検出面の特性が円周方向に交互に変化することによって構成されたエンコーダ、及び、該エンコーダの前記被検出面に対向配置されて前記被検出面の前記特性の変化を検出するセンサからなるセンサユニットと、を備える軸受装置におけるエンコーダの加工方法であって、
前記回転側軌道輪又は前記回転側間座を回転体に取り付ける工程と、
前記回転側軌道輪又は前記回転側間座を前記回転体とともに回転させながら、前記回転体の回転軸方向に直交して配置された工具を、前記回転軸方向に移動させ、前記回転側軌道輪又は前記回転側間座の外周面に溝を加工する工程と、を有し、
前記エンコーダの被検出面には、該加工された溝によって、円周方向に関して変化する前記特性のピッチが軸方向に関して連続的に変化する部分が軸方向に単列で構成されることを特徴とする軸受装置におけるエンコーダの加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軸受装置におけるエンコーダの加工方法に関し、より詳細には、工作機械の主軸等の回転軸に作用するアキシャル荷重を測定可能な荷重センサ付き軸受装置におけるエンコーダの加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
工作機械において、スピンドル軸に作用するアキシャル荷重を測定することは、大きなメリットを有する。即ち、工作機械のスピンドル軸に働くアキシャル荷重は、加工精度、加工効率、工具寿命等に与える影響が大きい重要なパラメータである。従って、アキシャル荷重を知ることにより適正な加工条件の選定が可能となる。例えば、加工条件は、一般的に工具の回転数や、送り速度によって決められているが、摩擦や、加工によって発生する熱等の制御し難い要因の影響も受けるので、回転数や送り速度を一定に設定しても、常に同じ加工精度が得られることはない。加工面の変化に対応する切削荷重（即ち、スピンドル軸のアキシャル荷重）を新たなパラメータとして考慮することで、より厳密な加工条件の選定が可能となり、加工精度の向上が期待される。
【０００３】
具体的には、切り屑排出量が同じであれば、切削荷重の小さい加工条件の方が効率的な加工条件であり、省エネルギ、工具寿命の延長に有利となる。また、切削荷重の増加から、工具の切削性（切れ味）の低下や、刃先摩耗等の発生を推測することができ、工具寿命や、工具交換時期を知ることが可能となる。更に、切削荷重の変化の履歴を管理することによって、無理な切削加工条件や工具とワークとの衝突（衝撃荷重）等の軸受損傷要因を推定することができ、また把握した工具の寿命特性から工具の改良、改善が可能となる。
【０００４】
アキシャル荷重を測定できる従来の装置としては、車両を支持するための転がり軸受ユニットに組み込まれたアキシャル荷重を測定する為の荷重測定装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の荷重測定装置では、ハブの軸方向中間部で複数の内輪軌道同士の間部分に、図１２に示すエンコーダ２８４を外嵌固定している。このエンコーダ２８４は、外周面に第１検出部である凸部２９３と、第２検出部である凹部２９４とが、円周方向に交互に且つ等間隔で形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−３１７４２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、図１３に示すように、特許文献１に記載のエンコーダ２８４では、ミーリング加工機等の工具２０１を、エンコーダの中心軸Ｏ（図中のＸ軸方向）に垂直（図中のＺ軸方向に平行）となるように当接させ、ＸＹ軸２軸方向に移動させることによって、エンコーダ２８４の外周面に凹部２９４が形成されている。
【０００７】
しかしながら、図１４に示すように、工具２０１のＸＹ軸２軸送りにより凹部２９４を加工すると、そのＹ軸方向中間部（仮想線ｐ）からＹ軸方向に切削加工するに従って、凹部２９４の深さは、仮想線ｐ地点でΔｌ１、仮想線ｑ，ｑ´地点でΔｌ２、仮想線ｒ，ｒ´地点でΔｌ３、と次第に浅くなる（Δｌ１＞Δｌ２＞Δｌ３）。このように、凹部２９４の溝深さが異なることによって、センサによる変位の検出に誤差が発生し、分解能が悪くなる問題点があった。
特に、凹部２９４のＹ軸方向距離が長いとき、溝深さの相違は大きくなるため、この問題が顕在化しがちであった。
【０００８】
本発明は、前述した課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、精度よく荷重測定ができるように、エンコーダの被検出面を構成する溝を形成する、軸受装置におけるエンコーダの加工方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
（１）  静止部材に嵌合固定される静止側軌道輪、回転部材に嵌合固定される回転側軌道輪、及び、前記静止側軌道輪の静止側軌道及び前記回転側軌道輪の回転側軌道間に転動自在に配置された複数の転動体を備える軸受と、
前記回転側軌道輪又は前記回転側軌道輪と共に回転する回転側間座の外周面に設けられた被検出面の特性が円周方向に交互に変化することによって構成されたエンコーダ、及び、該エンコーダの前記被検出面に対向配置されて前記被検出面の前記特性の変化を検出するセンサからなるセンサユニットと、を備える軸受装置におけるエンコーダの加工方法であって、
前記回転側軌道輪又は前記回転側間座を回転体に取り付ける工程と、
前記回転側軌道輪又は前記回転側間座を前記回転体とともに回転させながら、前記回転体の回転軸方向に直交して配置された工具を、前記回転軸方向に移動させ、前記回転側軌道輪又は前記回転側間座の外周面に溝を加工する工程と、を有し、
前記エンコーダの被検出面に、該加工された溝によって、円周方向に関して変化する特性のピッチが軸方向に関して連続的に変化する部分が軸方向に単列で構成されることを特徴とする軸受装置におけるエンコーダの加工方法。
（２）  静止部材に嵌合固定される静止側軌道輪、回転部材に嵌合固定される回転側軌道輪、及び、前記静止側軌道輪の静止側軌道及び前記回転側軌道輪の回転側軌道間に転動自在に配置された複数の転動体を備える軸受と、
前記回転側軌道輪又は前記回転側軌道輪と共に回転する回転側間座の外周面に設けられた被検出面の特性が円周方向に交互に変化することによって構成されたエンコーダ、及び、該エンコーダの前記被検出面に対向配置されて前記被検出面の前記特性の変化を検出するセンサからなるセンサユニットと、を備える軸受装置におけるエンコーダであって、
該エンコーダは、（１）に記載のエンコーダの加工方法によって製造され、
前記エンコーダの被検出面には、深さが均一な溝によって、円周方向に関して変化する特性のピッチが軸方向に関して連続的に変化する部分が軸方向に単列で構成されることを特徴とする軸受装置におけるエンコーダ。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の軸受装置におけるエンコーダの加工方法によれば、回転側軌道輪又は回転側間座を回転体とともに回転させながら、回転体の回転軸方向に直交して配置された工具を、回転軸方向に移動させ、回転側軌道輪又は回転側間座の外周面に溝を加工するため、エンコーダの被検出面を構成する溝を、均一な深さで設けることができ、精度のよい変位測定が可能となる。
【００１１】
また、エンコーダの被検出面は、該加工された溝によって、円周方向に関して変化する特性のピッチが軸方向に関して連続的に変化する部分を軸方向に単列で構成されるため、センサを１つの磁気センサのみによって構成することができる。これにより、センサユニットのコスト低減が図られると共に、センサ、及びエンコーダを構成する回転側軌道輪又は回転側間座の軸方向幅を狭くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１実施形態に係るエンコーダの加工方法を用いて加工されたエンコーダが採用された工作機械の主軸装置の断面図である。
【図２】図１の主軸装置の要部断面図である。
【図３】第１実施形態に係るエンコーダの加工方法を説明する図であり、（ａ）はエンコーダの正面側から見た図であり、（ｂ）はその側面側から見た図である。
【図４】第１実施形態に係るエンコーダの加工方法を用いて加工されたエンコーダの斜視図である。
【図５】（ａ）は図４のエンコーダを展開して外周側から見た図であり、（ｂ）はそのエンコーダの要部側面図であり、（ｃ）は正面図である。
【図６】第１実施形態に係るエンコーダの加工方法を用いて加工された、他の形態のエンコーダの斜視図である。
【図７】第１実施形態に係るエンコーダの加工方法を用いて加工された、さらに他の形態のエンコーダの斜視図である。
【図８】第２実施形態に係るエンコーダの加工方法を用いて加工されたエンコーダが採用された荷重センサ付き軸受装置の要部断面図である。
【図９】（ａ）は第２実施形態に係るエンコーダの加工方法を用いて加工されたエンコーダの正面図であり、（ｂ）はその斜視図である。
【図１０】第２実施形態に係るエンコーダの加工方法を用いて加工された、他の形態のエンコーダの斜視図である。
【図１１】第２実施形態に係るエンコーダの加工方法を用いて加工された、さらに他の形態のエンコーダの斜視図である。
【図１２】特許文献１に記載のエンコーダの斜視図である。
【図１３】従来のエンコーダの加工方法を説明する図であり、（ａ）はエンコーダの正面側から見た図であり、（ｂ）はその側面側から見た図である。
【図１４】（ａ）は図１２のエンコーダを展開して外周側から見た図であり、（ｂ）はそのエンコーダの要部側面図であり、（ｃ）は正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて詳細に説明する。
【００１４】
（第１実施形態）
図１及び図２に示すように、第１実施形態に係るエンコーダの加工方法を用いて加工されたエンコーダ８４は、例えば、工作機械の主軸装置１０に採用される。
【００１５】
主軸装置１０は、モータビルトイン方式であり、その中心部には、回転部材である中空状の回転軸（スピンドル軸）１１が設けられている。回転軸１１の軸方向端部（図１において左側）には、不図示の工具が保持されている。
【００１６】
回転軸１１は、その工具側を支承する一対の前側軸受２０，３０と、反工具側を支承する後側軸受４０とによって、静止部材であるハウジング５０に回転自在に支持されている。前側軸受２０，３０と後側軸受４０間における回転軸１１の外周面には、ロータ５１が外嵌されている。また、ロータ５１の周囲に配置されるステータ５２は、ハウジング５０に固定されており、ステータ５２に電力を供給することで、ロータ５１に回転力を発生させて、回転軸１１を回転させる。尚、ハウジング５０は、前側軸受３０とステータ５２との間で軸方向に２分割されたハウジング５０ａとハウジング５０ｂとから構成されている。
【００１７】
前側軸受２０，３０は、背面組み合わせとなるように配置された略同一寸法の一対のアンギュラ玉軸受であり、静止側軌道輪である外輪２１，３１と、回転側軌道輪である内輪２２，３２と、静止側軌道である外輪軌道溝及び回転側軌道である内輪軌道溝間に、接触角を持って配置された転動体としての複数の玉２３，３３と、を備える。
【００１８】
前側軸受２０，３０の外輪２１，３１は、ハウジング５０に内嵌され、ハウジング５０にボルト締結された前側軸受外輪押え５３によって静止側間座である外輪間座５４を介してハウジング５０に固定されている。
【００１９】
また、前側軸受２０，３０の内輪２２，３２は、回転軸１１に外嵌され、回転軸１１に締結されたナット５５によって回転側間座である内輪間座８１を介して回転軸１１に固定されている。前側軸受２０，３０は、ナット５５によって定位置予圧が負荷されており、前側軸受２０，３０によって回転軸１１の軸方向位置が位置決めされる。
【００２０】
後側軸受４０は、円筒ころ軸受であり、外輪４１と、内輪４２と、転動体としての複数の円筒ころ４３と、を有する。後側軸受４０の外輪４１はハウジング５０に内嵌され、ハウジング５０にボルト締結された後側軸受外輪押え５６によって外輪間座４４を介してハウジング５０に固定されている。後側軸受４０の内輪４２は、回転軸１１に締結された他のナット５７によって内輪間座４５を介して回転軸１１に固定されている。
【００２１】
軸方向において前側軸受２０，３０、及びステータ５２に対応するハウジング５０の外周面には、円環状の冷却油溝５８、５９が形成されている。この冷却油溝５８、５９は、Ｏリング６２、６３が装着されてハウジング５０に外嵌するリング状の冷却ジャケット６０、６１によって覆われている。そして、この冷却油溝５８，５９に供給された冷却油によって前側軸受２０，３０、及びステータ５２が冷却される。
【００２２】
また、ハウジング５０及び外輪間座５４には、それぞれセンサ取付穴６８及び貫通孔５４ａが径方向に連続して形成されている。センサ取付穴６８には、センサユニット８０を構成するセンサ８２が配設される。
【００２３】
第１配索穴７０は、ハウジング５０ａの反工具側から加工されており、ハウジング５０の外周面から傾斜して径方向に設けられた傾斜穴７１、及び第１配索穴７０と平行に反工具側に延設する第２配索穴７２に連通している。このように第１配索穴７０、傾斜穴７１、及び第２配索穴７２を屈曲形成することにより、センサ８２の配線８３をステータ５２と干渉することなく配索可能としている。第１配索穴７０の反工具側端部には、栓７４が挿入されて閉鎖されており、モータ側からの異物侵入が阻止される。
【００２４】
尚、第１配索穴７０、傾斜穴７１、及び第２配索穴７２に対する配線８３の挿通作業は、上記したように一度に挿通することが困難な場合には、第１配索穴７０、及び傾斜穴７１に挿通した配線８３を一旦傾斜穴７１から外に出した後、再び傾斜穴７１から第２配索穴７２に挿通するようにしてもよい。また、配線８３挿通後に、傾斜穴７１の開口部に栓（図示せず）を挿入して閉鎖し、異物の侵入を阻止することもできる。このように配索された配線８３の一端は、演算装置１５０に接続されてセンサ８２で検出された出力信号が入力される。
【００２５】
センサ８２は、Ｏリング９１ａ、９１ｂを装着し、センサ８２の配線８３を第１配索穴７０、傾斜穴７１、及び第２配索穴７２に挿通させ、ハウジング５０のセンサ取付穴６８、及び外輪間座５４の貫通孔５４ａに挿入することで組み付けられる。
【００２６】
そして、固定治具８８をハウジング５０に嵌合させて、雄ねじ８９をハウジング５０に螺合させて固定する。これにより、センサ８２の先端に設けられた磁気センサ９０は、所定の位置に位置決めされて、内輪間座８１の外周面に形成されたエンコーダ８４の被検出面に対向して配置される。
【００２７】
図３は、本実施形態のエンコーダ８４の加工方法を示しており、図４，５は、その加工方法を用いて加工されたエンコーダを示している。以下、これらの図を用いて、エンコーダ８４の加工方法を詳細に説明する。
なお、図中におけるＸ，Ｙ，Ｚ軸はそれぞれ、後述の回転体２の回転軸Ｃと平行な軸，回転軸Ｃと垂直且つ回転体２の径方向と垂直な軸，回転体２の該径方向と平行な軸，である。
【００２８】
まず、磁性金属材からなる内輪間座８１を、工作機械の回転体２の外周面に取り付ける。このとき、内輪間座８１の中心軸は、回転体２の回転軸Ｃと略一致する。そして、内輪間座８１を、回転体２とともに回転軸Ｃ周りに回転させる。
【００２９】
次に、エンドミルなどの工具１を、回転軸Ｃと直交させ（Ｚ軸と平行となる）、内輪間座８１の外周面におけるＸ軸方向一方部８１ａに当接させて、Ｚ軸方向に所定の深さまで移動させた後、回転軸Ｃ方向（Ｘ軸方向）に所定長さに渡って、Ｘ軸方向他方部８１ｂまで移動させることにより個性化部分８６が凹設される。
その後、工具１を、一旦、内輪間座８１の外周面から離間させ、再び、この外周面におけるＸ軸方向他方部８１ｂ´に当接させて、Ｚ軸方向に所定の深さまで移動させた後、−Ｘ軸方向に所定長さに渡って、Ｘ軸方向一方部８１ａ´まで移動させることにより、先述の個性化部分８６とは特性の異なる個性化部分８６が凹設される。
このように、特性の異なる１対の個性化部分８６、８６が形成され、被検出用組み合わせ部８５が構成される。
【００３０】
そして、内輪間座８１の外周面に、円周方向に渡り等間隔で、上記の工程を繰り返すことによって、複数の被検出用組み合わせ部８５が設けられ、エンコーダ８４が形成される。
【００３１】
なお、各被検出用組み合わせ部８５、８５を構成する１対ずつの個性化部分８６、８６同士の円周方向に関する間隔は、総ての被検出用組み合わせ部８５、８５で軸方向に関して同じ方向に連続的に変化している。即ち、各被検出用組み合わせ部８５、８５を構成する１対ずつの個性化部分８６、８６同士の円周方向に関する間隔が、エンコーダ８４の軸方向一端（図４の右上端）程小さくなり、円周方向に隣り合う各被検出用組み合わせ部８５、８５を構成する個性化部分８６、８６同士の円周方向に関する間隔が、エンコーダ８４の軸方向他端（図４の左下端）程小さくなる方向に傾斜している。このエンコーダ８４は、センサ８２と共にセンサユニット８０を構成する。
【００３２】
ここで、図５を参照して、本実施形態のエンコーダの加工方法によって加工されたエンコーダ８４について、より具体的に説明する。なお、図５中、仮想線Ｓ，Ｔ，Ｔ´は全てＸ軸に平行な線であり、仮想線Ｓは、個性化部分８６のＹ軸方向中間部を通り、仮想線Ｔ，Ｔ´はそれぞれ、個性化部分８６のＹ軸方向一方側端部，Ｙ軸方向他方側端部と接する。
【００３３】
本実施形態のエンコーダの加工方法によれば、内輪間座８１を、回転体２とともに回転軸Ｃ周りに回転させながら、工具１を回転軸Ｃ方向に移動させることによって、内輪間座８１の外周面を加工したため、仮想線Ｓ，Ｔ，Ｔ´における、個性化部分８６の外周面までのＺ軸方向深さΔＬ１，ΔＬ２，ΔＬ２，は等しくなる。即ち、エンコーダ８４の被検出面を構成する個性化部分８６を、均一な深さで設けることができ、センサによって精度よく変位測定することが可能となる。
【００３４】
特に、個性化部分８６のＹ軸方向距離が長い場合であっても、従来の加工方法のようにＺ軸方向深さのバラつきが大きくなることが防止でき、深さを均一に設けることができるため、変位検出の分解能に悪影響を及ぼすことがない。
【００３５】
また、本実施形態では、エンコーダ８４の被検出面は、円周方向に関して変化する特性のピッチが、軸方向に関して連続的に変化する部分を軸方向に単列で構成しており、センサ８２を一つの磁気センサ９０のみによって構成することができる。これにより、センサユニットのコスト低減が図られると共に、センサ８２、及びエンコーダ８４を構成する内輪間座８１の軸方向幅も狭くすることができる。これにより、主軸装置１０の軸方向長さも短くすることができる。特に、５軸加工機などでスピンドル軸が旋回する（例えば、±１２０°前後で旋回）方式の場合、スピンドル軸長が短くなれば、旋回半径を小さくすることができ、工作機械全体の省スペース化や加工スペースを確保でき、３次元加工を行う場合など、主軸装置１０の動作が容易となり、加工プログラム作成の容易性や加工性が向上できるメリットがある。
【００３６】
なお、個性化部分８６は、内輪間座８１の外周面のＸ軸方向両端側に個性化部分８６よりもＺ軸方向深さが大きい環状溝を設けることで、これら環状溝に開口する形状であってもよい。その場合、個性化部分８６は、工具１をＸ軸方向にこれら環状溝の間を切り通すことによって形成することができ、工具１をＺ軸方向に移動させる必要がなくなる。
また、工具１が個性化部分８６を切り通す際に、その軸方向端面近傍にバリが発生した場合であっても、バリが内輪２２，３２と当接する内輪間座８１の軸方向端面に影響を及ぼすことがないので、内輪間座８１端面の平行度が向上する。これによって、内輪２２，３２と内輪間座８１を精度良く組み立てることが可能となる。
【００３７】
なお、本実施形態のエンコーダの加工方法は、他の形態のエンコーダにも適用可能である。
【００３８】
例えば、図６に示すエンコーダ８４は、磁性金属材からなる内輪間座８１の外周面に、互いに異なる特性を有する第１被検出部である凸部９３と第２被検出部である凹部９４とが円周方向に関して交互に且つ等間隔に形成されている。凸部９３及び凹部９４は、台形若しくは倒立台形に形成されており、凸部９３の幅は、軸方向一端（図６の下端）側程広く、凹部９４の幅は、軸方向他端（図６の上端）側程広い。
【００３９】
このエンコーダ８４は、内輪間座８１の外周面に、工具１を用いて凹部９４を凹設することによって形成されている。その際に、本実施形態のエンコーダの加工方法を適用し、内輪間座８１を回転体２とともに回転軸Ｃ周りに回転させながら、工具１で切削加工を行うことによって、均一な深さの凹部９４を設けることが可能となる。
【００４０】
また、本実施形態のエンコーダの加工方法は、例えば、図７に示すような、さらに他の形態のエンコーダ８４にも同様に適用可能である。
このエンコーダ８４は、その外周面に形成した凸部９３、９３と凹部９４、９４との形状を工夫する事により、磁気センサ９０の出力信号を安定させるものである。即ち、本実施形態の場合には、各凸部９３、９３及び凹部９４、９４の軸方向両端部を、それぞれエンコーダ８４の円周方向に関する幅寸法がこのエンコーダ８４の軸方向に関して変化しない、平行部９３ａ，９３ｂ、９４ａ，９４ｂとしている。従って、エンコーダ８４の被検出面である外周面の特性が円周方向に関して変化するピッチは、この外周面の軸方向中間部では、軸方向位置により変動するが、軸方向両端部では軸方向位置に拘らず変動しない。
【００４１】
なお、このエンコーダ８４の場合、各平行部９３ａ、９３ｂ、９４ａ、９４ｂを設ける事で、センサ８２の出力信号を安定させられる理由は、次の通りである。
エンコーダ８４の被検出面の特性変化のピッチを短くすべく、凹部と凸部との間隔を短くすると、センサの検出部がエンコーダの被検出面の幅方向両端部（軸方向両端部）近傍に対向する状態で、これら検出部と被検出面との間を流れる磁束の流れが不安定になり、上記センサの出力が不安定になり易い。例えば、図６に示したエンコーダ８４で、凸部９３、９３と凹部９４、９４とのピッチを短くした場合、円周方向に隣り合う台形の凸部９３、９３の底辺同士が近接する。特に、エンコーダ８４とセンサ８２とが軸方向に大きくずれた場合でも回転軸１１の回転速度検出を可能とすべく、これらエンコーダ８４とセンサ８２との間で許容される軸方向に関する相対変位量を確保する為に、台形形状の高さ寸法を大きくした場合に、上述の様に円周方向に隣り合う台形の凸部９３、９３の底辺同士が近接する傾向が著しくなる。
【００４２】
これに対して図７のエンコーダ８４の場合には、各平行部９３ａ、９３ｂ、９４ａ、９４ｂを設ける事に伴って、円周方向に隣り合う台形の凸部９３、９３の底辺同士が過度に近接する事を防止できる。そして、センサ８２の検出部がエンコーダ８４の外周面の軸方向端部で凸部９３、９３の底辺に対応する部分に対向した場合でも、センサ８２の検出部とエンコーダ８４の被検出面との間を流れる磁束の流れを安定させて、センサ８２の出力を安定させる事ができる。また、エンコーダ８４とセンサ８２との軸方向の変位量が多少大きくなっても、センサ８２による、回転軸１１の回転速度検出を行なえる。
【００４３】
なお、各平行部９３ａ、９３ｂ、９４ａ、９４ｂの円周方向両側縁の形状は、直線としているが、この部分の形状は必ずしも直線でなくても良い。例えば、センサ８２の感度や感受範囲（スポット径）によって、軸方向に対し多少傾斜させたり、曲率半径の大きな円弧状にする事もできる。
【００４４】
なお、凹部９４は、内輪間座８１の外周面のＸ軸方向両端側に凹部９４よりもＺ軸方向深さが大きい環状溝を設けることで、これら環状溝に開口する形状であってもよい。その場合、凹部９４は、工具１をＸ軸方向にこれら環状溝の間を切り通すことによって形成することができ、工具１をＺ軸方向に移動させる必要がなくなる。
また、工具１が凹部９４を切り通す際に、その軸方向端面近傍にバリが発生した場合であっても、バリが内輪２２，３２と当接する内輪間座８１の軸方向端面に影響を及ぼすことがないので、内輪間座８１端面の平行度が向上する。これによって、内輪２２，３２と内輪間座８１を精度良く組み立てることが可能となる。
【００４５】
（第２実施形態）
図８に示すように、第２実施形態に係るエンコーダの加工方法を用いて加工されたエンコーダは、例えば、荷重センサ付き軸受装置１１０に採用される。
荷重センサ付き軸受装置１１０は、静止側軌道輪である外輪１１１と、回転側軌道輪である内輪１１２と、静止側軌道である外輪軌道溝１１１ａ及び回転側軌道である内輪軌道溝１１２ａ間に接触角を持って配置され、保持器１１４によって回動自在に保持された転動体としての複数の玉１１３と、を備えるアンギュラ玉軸受１２０を有する。アンギュラ玉軸受１２０の外輪１１１は、静止部材であるハウジング（図示せず）に内嵌・固定され、内輪１１２は回転部材である回転軸（図示せず）に嵌合固定される。
【００４６】
アンギュラ玉軸受１２０の軸方向一端側（図８において右側）には、エンコーダ１３１及びセンサ１３２を備えたセンサユニット１３０が配置されている。即ち、エンコーダ１３１が、内輪１１２の一端側の外周面にリング状に形成され、センサ１３２が、エンコーダ１３１に対向して外輪１１１に形成されたセンサ取付穴１１５に取り付けられている。
【００４７】
センサ１３２は、検出部である磁気センサ１３６を内蔵しており、その検出信号を演算装置（不図示）に出力する信号線１３７が、センサ１３２の側面から導出されている。
【００４８】
これにより、センサ１３２の先端に設けられた磁気センサ１３６は、内輪１１２に設けられたエンコーダ１３１の被検出面に対向して、所定の位置に位置決めされる。即ち、エンコーダ１３１とセンサ１３２とは、磁気センサ１３６が被検出面の軸方向中間部Ｐ（図９参照）に位置する。
【００４９】
本実施形態のエンコーダ１３１は、第１実施形態のエンコーダの加工方法と同様の方法により、加工される。
即ち、磁性金属部材である内輪１１２を、回転体２の外周面に取り付け、回転体２とともに回転軸Ｃ周りに回転させる。そして、工具１を、回転軸Ｃと直交するように内輪１１２の外周面に当接させ、回転軸Ｃ方向に移動させることによって、内輪１１２の外周面に、円周方向に等間隔に、各被検出用組み合わせ部１３３、１３３を構成する１対ずつの個性化部分１３４、１３４が凹設され、エンコーダ１３１が形成される。
【００５０】
このエンコーダの加工方法によれば、エンコーダ１３１の被検出面を構成する個性化部分１３４を、均一な深さで設けることができ、センサによって精度よく変位測定することが可能となる。
特に、個性化部分１３４の円周方向距離が長い場合であっても、従来の加工方法のように深さのバラつきが大きくなることが防止でき、深さを均一に設けることができるため、変位検出の分解能に悪影響を及ぼすことがない。
【００５１】
また、本実施形態では、エンコーダ１３１の被検出面は、円周方向に関して変化する特性のピッチが、軸方向に関して連続的に変化する部分を軸方向に単列で構成しており、センサ１３２を一つの磁気センサ１３６のみによって構成することができる。これにより、センサユニットのコスト低減が図られると共に、センサ１３２、及びエンコーダ１３１を構成する内輪１１２の軸方向幅も狭くすることができる。これにより、軸受装置１１０の軸方向長さも短くすることができ、軸受装置１１０を工作機械用主軸装置に適用した場合の主軸装置の軸長を短くすることができる。特に、５軸加工機などでスピンドル軸が旋回する（例えば、±１２０°前後で旋回）方式の場合、スピンドル軸長が短くなれば、旋回半径を小さくすることができ、工作機械全体の省スペース化や加工スペースを確保でき、３次元加工を行う場合など、軸受装置１１０の動作が容易となり、加工プログラム作成の容易性や加工性が向上できるメリットがある。
【００５２】
また、本実施形態のエンコーダの加工方法は、図１０に示すように、内輪１１２に凸部１９３及び均一な深さを有する凹部１９４を設けることによって、エンコーダ１３１を構成する場合や、図１１に示すように、内輪１１２に平行部１９３ａ，１９３ｂを持った凸部１９３、及び平行部１９４ａ，１９４ｂを持ち、均一な深さを有する凹部１９４を設けることによって、エンコーダ１３１を構成する場合にも、適用可能である。
【００５３】
なお、本発明は、前述した各実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。
工具１としてエンドミルを例示したが、切削加工可能な工具であれば良く、例えば放電加工機などを用いても良い。
【００５４】
また、本実施形態では、内輪間座８１又は内輪１１２を、回転体２とともに回転軸Ｃ周りに回転させながら、工具１を回転軸Ｃ方向（Ｘ軸１軸方向）に移動させることによって、内輪間座８１又は内輪１１２の外周面を加工するとした。
しかしながら、他のエンコーダの加工方法として、内輪間座８１又は内輪１１２は回転させず、工具１を、内輪間座８１又は内輪１１２の外周面の曲率に合わせて、エンコーダの被検出面を構成する溝のＺ軸方向深さが均一となるように制御しながら、ＸＹＺ軸３軸方向に移動させる加工方法を採用しても良い。
【符号の説明】
【００５５】
１        工具
２        回転体
Ｃ        回転軸
２１      外輪（静止側軌道輪）
２２      内輪（回転側軌道輪）
２３      玉（転動体）
３０      アンギュラ玉軸受（前側軸受）
３１      外輪（静止側軌道論）
３２      内輪（回転側軌道論）
３３      玉（転動体）
５０      ハウジング（静止部材）
８０      センサユニット
８１      内輪間座（回転側間座）
８２      センサ
８４      エンコーダ
８６      個性化部分（溝）
９４      凹部（溝）
１１１    外輪（静止側軌道輪）
１１２    内輪（回転側軌道輪）
１１３    玉（転動体）
１２０    アンギュラ玉軸受（軸受）
１３０    センサユニット
１３１    エンコーダ
１３２    センサ
１３４    個性化部分（溝）
１９４    凹部（溝）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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