(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱媒体が流通する熱媒体流路（３０）を有する流路管（３）を備え、
前記流路管（３）内には、前記熱媒体流路（３０）を複数の細流路（３３３）に分割するとともに、前記熱媒体と前記流路管（３）との伝熱面積を増大させるインナーフィン（３３）が複数積層されており、
レイノルズ数が１０００以下の層流域で前記熱媒体が前記細流路（３３３）を流通する熱交換器であって、
前記インナーフィン（３３）は、前記流路管（３）の長手方向に延びる板部（３３１）と、隣り合う前記板部（３３１）間を繋ぐ頂部（３３２）とを有し、前記長手方向に直交する断面形状が波状となるとともに、前記インナーフィン（３３）の積層方向から見た際に前記板部（３３１）が前記長手方向に波形に屈折するウェーブフィンであり、
前記流路管（３）の長手方向および前記インナーフィン（３３）の積層方向に対してともに直交する方向を、流路管幅方向とし、
前記インナーフィン（３３）の、前記積層方向に直交し、かつ、前記細流路（３３３）における前記積層方向の中心部を通る断面において、前記板部（３３１）の波形状のピッチをウェーブピッチＷＰ［ｍｍ］、前記板部（３３１）の波形状の振幅方向の寸法をウェーブ深さＷＤ［ｍｍ］、隣り合う前記板部（３３１）間の前記流路管幅方向における距離を流路幅Ｈ［ｍｍ］としたとき、前記ウェーブピッチＷＰおよび前記ウェーブ深さＷＤは、次の数式１および数式２
（数１）
２．２≦ＷＰ／ＷＤ≦４．２８
（数２）
０．５≦ＷＤ／Ｈ≦１．８
にて示される関係を満たすように設定されていることを特徴とする熱交換器。
【請求項２】
前記ウェーブピッチＷＰおよび前記ウェーブ深さＷＤは、次の数式３および数式４
（数３）
２．２≦ＷＰ／ＷＤ≦３
（数４）
０．５≦ＷＤ／Ｈ≦１．８
にて示される関係を満たすように設定されていることを特徴とする請求項１に記載の熱交換器。
【請求項３】
前記細流路（３３３）を流通する前記熱媒体のレイノルズ数が５００以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の熱交換器。
【請求項４】
前記流路管（３）は、複数設けられており、
前記複数の流路管（３）は、連通部材（４）により連通されており、
前記複数の流路管（３）の外側には、前記熱媒体と熱交換する熱交換対象物（２）が配置されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の熱交換器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱媒体が流通する流路管を備え、流路管外の熱交換対象物と熱媒体とを熱交換させる熱交換器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体素子を内蔵した半導体モジュール等の発熱体の放熱を行うために、発熱体を両面から挟持するように流路管を配設して構成される熱交換器が知られている。このような熱交換器では、発熱体と流路管とが交互に積層された構成となっており、積層された複数の流路管は、連通部材によって連通され、冷却媒体が各流路管に流通するよう構成されている。
【０００３】
この種の熱交換器において、熱交換性能を向上させるために、流路管内に仕切部材を配設して１つの流路管内に熱媒体流路を流路管の厚み方向に２段形成するとともに、２段に形成された熱媒体流路のそれぞれにインナーフィンを配置したものが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
ところで、この種の熱交換器では、連通部材から各流路管に熱媒体が分配される構成になっているため、流路管内の熱媒体の流速が遅くなる。このような流路管内の微小流量域における熱交換性能の向上を図るために、インナーフィンとして、流路管内の熱媒体の混合促進機能を有するウェーブフィンを用い、当該ウェーブフィンを流路管の厚み方向に複数段積層したものが開示されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
また、インナーフィンによる熱伝達率を向上させるために、インナーフィンとしてオフセットフィンを採用する、インナーフィンの側面に突出部やスリットを形成する等、乱流促進を図る手法も一般的に用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−１９１５２７号公報
【特許文献２】特開２０１０−１０４１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、インナーフィンによる乱流促進は、流路管内の熱媒体の流速が速い、すなわちレイノルズ数が１０００より大きく、熱媒体流れが遷移域または乱流域となる場合に効果を発揮する。また、熱媒体が高速であれば乱流促進効果が高まり高性能化を果たせるが、熱媒体の流通抵抗が非常に大きくなる。
【０００８】
また、熱交換器をハイブリッド自動車のインバータを冷却するために用いた場合において、インバータ冷却回路内に熱媒体を循環するためのポンプの小型化・低流量化あるいは熱媒体流路の並列化を図ると、熱交換器の流路管を流通する熱媒体流量が小さくなる。
【０００９】
そして、熱媒体流量が小さい場合、上述した乱流促進効果を利用することができない。具体的には、例えばインナーフィンとしてオフセットフィンを用いたとき、熱媒体流れがフィンの壁面に衝突して乱流促進を図るはずが、衝突する壁面をすり抜けて熱媒体が流れるので、期待される性能向上効果（Ｒ／ΔＰ）を得ることはできない。
【００１０】
すなわち、乱流促進を図るためにはこのオフセットフィンやピンフィン等を用いると効果的であることが一般的に知られているが、これらのフィンを用いたとしても、流路管内の熱媒体流量が微少流量域の場合、流通抵抗の上昇を打ち消すことができるほどの大きな性能向上効果を得ることはできない。
【００１１】
本発明は上記点に鑑みて、レイノルズ数が１０００以下の層流域で熱媒体が流通する熱交換器において、熱交換量を確保することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、熱媒体が流通する熱媒体流路（３０）を有する流路管（３）を備え、流路管（３）内には、熱媒体流路（３０）を複数の細流路（３３３）に分割するとともに、熱媒体と流路管（３）との伝熱面積を増大させるインナーフィン（３３）が複数積層されており、レイノルズ数が１０００以下の層流域で熱媒体が細流路（３３３）を流通する熱交換器において、インナーフィン（３３）は、流路管（３）の長手方向に延びる板部（３３１）と、隣り合う板部（３３１）間を繋ぐ頂部（３３２）とを有し、長手方向に直交する断面形状が波状となるとともに、インナーフィン（３３）の積層方向から見た際に板部（３３１）が長手方向に波形に屈折するウェーブフィンであり、流路管（３）の長手方向およびインナーフィン（３３）の積層方向に対してともに直交する方向を、流路管幅方向とし、インナーフィン（３３）の、積層方向に直交し、かつ、細流路（３３３）における積層方向の中心部を通る断面において、板部（３３１）の波形状のピッチをウェーブピッチＷＰ［ｍｍ］、板部（３３１）の波形状の振幅方向の寸法をウェーブ深さＷＤ［ｍｍ］、隣り合う板部（３３１）間の流路管幅方向における距離を流路幅Ｈ［ｍｍ］としたとき、ウェーブピッチＷＰおよびウェーブ深さＷＤは、次の数式１および数式２
（数１）
２．２≦ＷＰ／ＷＤ≦４．２８
（数２）
０．５≦ＷＤ／Ｈ≦１．８
にて示される関係を満たすように設定されていることを特徴としている。
【００１３】
このように、流路管（３）内の熱媒体流量が微少流量域である、すなわち流路管（３）内の熱媒体流れがレイノルズ数１０００以下の層流域になる熱交換器において、ウェーブピッチＷＰおよびウェーブ深さＷＤを上記数式１および数式２にて示される関係を満たすように設定することで、流路管（３）内の熱媒体の混合促進効果を高めることができる。このため、熱交換器における熱交換量を確保することが可能となる。さらには、インナーフィン（３３）の加工性を確保するとともに、流路管（３）内の目詰まりを抑制することもできる。
【００１４】
また、請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の熱交換器において、ウェーブピッチＷＰおよびウェーブ深さＷＤは、次の数式３および数式４
（数３）
２．２≦ＷＰ／ＷＤ≦３
（数４）
０．５≦ＷＤ／Ｈ≦１．８
にて示される関係を満たすように設定されていることを特徴とする。
【００１５】
これによれば、流路管（３）内の熱媒体の熱媒体混合促進効果をより確実に高めることができるので、熱交換器における熱交換量をより確実に確保することが可能となる。
【００１６】
ところで、レイノルズ数が５００〜１０００の領域では、熱媒体の特性等により熱媒体流れ遷移域になる場合もある。
【００１７】
これに対し、請求項３に記載の発明では、請求項１または２に記載の熱交換器において、細流路（３３３）を流通する熱媒体のレイノルズ数が５００以下であることを特徴とする。これにより、細流路（３３３）を流通する熱媒体の流れを確実に層流とすることができる。
【００１８】
また、請求項４に記載の発明のように、請求項１ないし３のいずれか１つに記載の熱交換器において、流路管（３）は、複数設けられており、複数の流路管（３）は、連通部材（４）により連通されており、複数の流路管（３）の外側には、熱媒体と熱交換する熱交換対象物（２）が配置されていてもよい。
【００１９】
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態に係る熱交換器１を示す正面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】（ａ）はインナーフィン３３の流路管長手方向に直交する断面形状を示す断面図、（ｂ）はインナーフィン３３を流路管積層方向から見た平面図である。
【図４】図３（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図５】Ｒｅ≧１５００の場合におけるウェーブフィンの熱交換性能を示す説明図である。
【図６】Ｒｅ≦５００の場合におけるウェーブフィンの熱交換性能を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の一実施形態について図１〜図６に基づいて説明する。図１は、本実施形態に係る熱交換器１を示す正面図である。
【００２２】
図１に示すように、本実施形態の熱交換器１は、熱媒体と熱交換する熱交換対象物としての複数の電子部品２を両面から冷却する積層型の熱交換器である。本実施形態の電子部品２は、両面から放熱が行われる両面放熱構造になっている。
【００２３】
熱交換器１は、熱媒体を流通させる熱媒体流路３０（図２参照）を有する扁平形状の複数の流路管３と、複数の流路管３を連通する連通部材４とを備えている。複数の流路管３は、電子部品２を両面から挟持できるように複数個積層配置されている。
【００２４】
本実施形態では、電子部品２として、ＩＧＢＴ等の半導体素子とダイオードとを内蔵した半導体モジュールを用いている。当該半導体モジュールは、自動車用インバータ、産業機器のモータ駆動インバータ、ビル空調用のエアコンインバータ等に用いるものとすることができる。なお、電子部品２としては、上記半導体モジュール以外にも、例えば、パワートランジスタ、パワーＦＥＴ、ＩＧＢＴ等を用いることもできる。
【００２５】
図２は図１のＡ−Ａ断面図である。図２に示すように、本実施形態の流路管３は、いわゆるドロンカップ構造となっている。すなわち、流路管３は、一対の外殻プレート３１を有して構成されており、一対の外殻プレート３１の間に熱媒体流路３０が形成されている。
【００２６】
流路管３内には、熱媒体流路３０を複数の細流路３３３に分割し、熱媒体と流路管３との伝熱面積を増大させるインナーフィン３３が設けられている。本実施形態では、インナーフィン３３は、一対の外殻プレート３１間、すなわち熱媒体流路３０内に、流路管３の積層方向（以下、流路管積層方向という）に３段重ねて配置されている。このインナーフィン３３の詳細については後述する。
【００２７】
なお、インナーフィン３３は、熱媒体流路３０において流路管積層方向に３段積層配置されているので、流路管積層方向はインナーフィン３３の積層方向と一致している。
【００２８】
図１に戻り、電子部品２は、流路管３の一対の外殻プレート３１それぞれに対して２個ずつ設けられている。各外殻プレート３１に設けられた２つの電子部品２は、それぞれ熱媒体の流れ方向に直列に配置されている。
【００２９】
また、流路管３の外殻プレート３１における長手方向両端部には、外側、すなわち隣り合う他の流路管３側に突出する略円筒状のフランジ部３００が形成されている。そして、隣り合う流路管３のフランジ部３００同士をろう付けにより接合することにより、複数の流路管３を連通する連通部材４が形成されている。
【００３０】
複数の流路管３のうち積層方向最外側に配置される流路管３を外側流路管３ａとしたとき、２つの外側流路管３ａのうち一方の外側流路管３ａの長手方向両端部には、熱媒体を熱交換器１に導入するための熱媒体導入口４０１と、熱媒体を熱交換器１から排出するための熱媒体排出口４０２とがそれぞれ接続されている。熱媒体導入口４０１および熱媒体排出口４０２は、ろう付けにより一方の外側流路管３ａに接合されている。なお、本実施形態の流路管３、連通部材４、熱媒体導入口４０１および熱媒体排出口４０２は、アルミニウム製である。
【００３１】
熱媒体導入口４０１から導入された熱媒体は、連通部材４を通って長手方向における一方の端部から各流路管３に流入し、それぞれの熱媒体流路３０内を他方の端部に向かって流れる。そして、熱媒体は、連通部材４を通って熱媒体排出口４０２から排出される。このように、熱媒体が熱媒体流路３０を流通する間に、電子部品２との間で熱交換を行って、電子部品２を冷却するようになっている。
【００３２】
本実施形態の熱交換器１は、レイノルズ数が１０００以下の層流域で熱媒体が細流路３３３を流通するようになっている。なお、熱媒体として、本実施形態ではエチレングリコール系の不凍液が混入した水を用いている。
【００３３】
ところで、熱媒体の特性等によっては、レイノルズ数が５００〜１０００の領域で熱媒体流れが遷移域になる場合がある。このため、細流路３３３を流通する熱媒体のレイノルズ数が５００以下であることが望ましい。これにより、細流路３３３を流通する熱媒体の流れを確実に層流とすることができる。
【００３４】
図３は本実施形態に係る熱交換器１のインナーフィン３３を示しており、（ａ）が流路管３の長手方向（以下、流路管長手方向という）に直交する断面形状を示す断面図、（ｂ）が流路管積層方向から見た平面図である。
【００３５】
図３に示すように、１つの流路管３内に積層配置された３段のインナーフィン３３として、ウェーブフィンがそれぞれ用いられている。具体的には、インナーフィン３３は、流路管長手方向に延びるとともに細流路３３３を分割する板部３３１と、隣り合う板部３３１間を繋ぐ頂部３３２とを有し、流路管長手方向に直交する断面形状が台形波状に形成されるとともに、流路管積層方向から見た際に板部３３１が流路管長手方向に三角波形に屈折するように形成されている。
【００３６】
図４は図３（ａ）のＢ−Ｂ断面図、すなわちインナーフィン３３の、流路管積層方向に直交し、かつ、細流路３３における流路管積層方向の中心部を通る断面図である。ここで、流路管長手方向および流路管積層方向に対してともに直交する方向を、流路管幅方向とする。
【００３７】
また、インナーフィン３３の、流路管積層方向に直交し、かつ、細流路３３における流路管積層方向の中心部を通る断面（以下、中心断面ともいう）において、板部３３１の三角波形状の屈折角度をウェーブ角度α［°］とする。すなわち、ウェーブ角度αは、中心断面において、１つの板部３３１における流路管長手方向に隣り合う直線部分３３１ａ同士が成す角度ともいえる。
【００３８】
また、中心断面において、板部３３１の三角波形状の振幅方向の寸法をウェーブ深さＷＤ［ｍｍ］とする。すなわち、ウェーブ深さＷＤは、中心断面において、１つの板部３３１における隣り合う頂点部３３１ｂ間の流路管幅方向の距離ともいえる。
【００３９】
また、中心断面において、板部３３１の波形状のピッチをウェーブピッチＷＰ［ｍｍ］とする。また、中心断面において、流路管幅方向に隣り合う板部３３１間の流路管幅方向における距離を流路幅Ｈ［ｍｍ］とする。
【００４０】
ところで、本実施形態のように、電子部品２を熱媒体により冷却する積層型の熱交換器１においては、電子部品２からの距離が遠いほど流路管３内の熱媒体の温度が低くなり、インナーフィン３３による熱交換効率が低下する。ここで、熱交換器１の熱交換性能は伝熱面積に比例するが、熱交換効率が低下すれば、インナーフィン３３による伝熱面積拡大効果分の性能向上効果が得られなくなる。
【００４１】
これに対し、熱交換媒体の流量が大きければ、乱流促進効果にて性能向上を図ることができるが、レイノルズ数が１０００以下である微小流量域では、熱媒体が障害物（インナーフィン３３の板部３３１）に衝突することなく通り抜けてしまうので、所望の熱交換性能が得られない。
【００４２】
この問題を改善するためには、流路管３内の熱媒体を強制的に動かす事が有効であり、微小流量域では、インナーフィン３３としてウェーブフィンを用いることが最適であることが、本発明者の実験検討により明らかとなった。
【００４３】
しかしながら、ウェーブフィンの最適仕様について言及した文献は非常に少ない。また、ウェーブフィンは、本来は乱流促進の手段として用いられるため、レイノルズ数が１５００以上である遷移域〜乱流域においての最適仕様については研究がなされているが（伝熱工学資料（改訂第４版）（日本機械学会）参照）、微少流量域（Ｒｅ≦１０００）においての最適仕様については言及がされていない。
【００４４】
図５は、Ｒｅ≧１５００の場合におけるウェーブフィンの熱交換性能を示す説明図である。図５の横軸はＷＰ／ＷＤを示しており、図５の縦軸はＲ（熱抵抗）／ΔＰ（流路管３内の圧力損失）を示している。なお、Ｒ／ΔＰが小さい程、熱交換性能は高くなる。
【００４５】
ここで、流路管３内に流入する熱媒体の温度をＴｉｎ［℃］、電子部品２の表面、すなわち流路管３の外面と接触する面の温度をＴ１［℃］、電子部品２の発熱量をＱ［Ｗ］としたとき、熱抵抗Ｒ［℃／Ｗ］は次の数式Ｆ１で示すことができる。
【００４６】
Ｒ＝（Ｔ１−Ｔｉｎ）／Ｑ…（Ｆ１）
図５に示すように、Ｒｅ≧１５００の場合、ウェーブフィンによる流れ剥離や熱媒体の流通抵抗増加に起因して、Ｒ／ΔＰはある極小値を有する。すなわち、ＷＰ／ＷＤが小さくなる程、熱媒体の流通抵抗は小さくなるが、ウェーブフィンによる熱交換性能向上効果が低くなる。一方、ＷＰ／ＷＤが大きくなる程、ウェーブフィンによる熱交換性能向上効果が高くなるが、熱媒体の流通抵抗が大きくなる。そして、この極小値（最適仕様）は、上記伝熱工学資料によれば、ＷＤ／Ｈが０．２５、ＷＰ／ＷＤが４．２８のときに得られるとされている。
【００４７】
これに対し、本実施形態のように、流路管３内の熱媒体流れが微少流量域（Ｒｅ≦１０００）の場合は、板部３３１の壁面に沿って熱媒体が流れるので、流路管３内の圧力損失（ΔＰ）の変動は少なくなる。また、流路管３内で熱媒体を動かす頻度が高いほど、熱媒体の混合が促進され、流路管３内の熱媒体の温度差が小さくなる。
【００４８】
したがって、微小流量域では、熱媒体の混合の頻度を増やすために、ウェーブピッチＷＰを限りなく小さくすることが望ましい。このため、ウェーブピッチＷＰは、現状での加工限界を考慮して２．２ｍｍ以上に設定されている。
【００４９】
ところで、流路幅Ｈに対してインナーフィン３３のウェーブ深さＷＤを大きくする程、流路管３内の熱媒体の移動が激しくなる、すなわち混合促進効果が高くなるので、流路幅Ｈに対してウェーブ深さＷＤをできる限り大きくすることが望ましい。しかしながら、ウェーブピッチＷＰを上述した最小値（２．２ｍｍ）に近づけた場合にウェーブ深さＷＤを流路幅Ｈの１．８倍より大きくすると、ウェーブの成形時に材料である金属板が破れる虞がある。このため、ウェーブ深さＷＤは流路幅Ｈの１．８倍以下に設定する必要がある。      
【００５０】
また、流路幅Ｈは、目詰まり性を考慮して０．９ｍｍ以上に設定する必要がある。したがって、熱媒体の混合促進効果と耐目詰まり性とを両立させるには、ウェーブ深さＷＤを１ｍｍとすることが望ましい。
【００５１】
そして、ウェーブピッチＷＰが２．２ｍｍ、ウェーブ深さＷＤが１ｍｍである場合、ＷＰ／ＷＤ≒２．２となるため、本実施形態ではＷＰ／ＷＤは２．２以上に設定されている。
【００５２】
一方、ウェーブピッチＷＰが４ｍｍを超えると、ウェーブ深さＷＤを０．９ｍｍとした場合にウェーブ曲げ角度αは最大で約２０°となるため、微小流量域での混合促進効果が著しく低下する。ここで、ウェーブピッチＷＰを４ｍｍとし、ウェーブ深さＷＤを０．９ｍｍ〜１ｍｍとした場合、ＷＰ／ＷＤ＝４〜４．４となる。このため、本実施形態では、ＷＰ／ＷＤは、上記伝熱工学資料に開示された値である４．２８以下に設定されている。
【００５３】
図６は、Ｒｅ≦５００の場合におけるウェーブフィンの熱交換性能を示す説明図である。図６の横軸はＷＰ／ＷＤを示しており、図６の縦軸はＲ／ΔＰを示している。
【００５４】
図６に示すように、ウェーブピッチＷＰおよびウェーブ深さＷＤは、次の数式１にて示される関係を満たすように設定されている。
【００５５】
（数１）
２．２≦ＷＰ／ＷＤ≦４．２８
なお、本発明者の実験によると、ＷＰ／ＷＤが３以下の場合に、特に混合促進効果が高くなることが明らかになった。したがって、ＷＰ／ＷＤを２．４以上、３以下の範囲に設定することが望ましい。
【００５６】
ところで、上述したように、インナーフィン３３のウェーブ深さＷＤを大きくする程、流路管３内の熱媒体の混合促進効果が高くなるので、ウェーブ深さＷＤをできる限り大きくすることが望ましい。このため、本実施形態では、ウェーブ深さＷＤは流路幅の１／２以上に設定されている。一方、上述したように、ウェーブピッチＷＰを上述した最小値（２．２ｍｍ）に近づけた場合にウェーブ深さＷＤを流路幅Ｈの１．８倍より大きくすると成形時に金属板が破れる虞があるので、本実施形態では、ウェーブ深さＷＤは流路幅Ｈの１．８倍以下に設定されている。
【００５７】
すなわち、ウェーブ深さＷＤは、次の数式２にて示される関係を満たすように設定されている
（数２）
０．５≦ＷＤ／Ｈ≦１．８
従来の熱交換器、すなわちインナーフィンとしてストレートフィンやオフセットフィンを用いる場合は、乱流促進効果によりインナーフィンの熱交換性能の向上を図っていた。
【００５８】
これに対し、本実施形態では、インナーフィン３３としてウェーブフィンを用いることで、インナーフィン３３における熱媒体との伝熱面積の拡大を図っている。
【００５９】
さらに、本実施形態では、熱媒体流れが遅い層流域にインナーフィン（ウェーブフィン）３３を配置するとともに、ウェーブピッチＷＤおよびウェーブ深さＷＤを上記数式１および数式２で示される関係に規定することで、流路管３内の熱媒体の混合を促進し、流路管３内の電子部品２と対応する部位に低温の熱媒体が供給され易くしている。
【００６０】
つまり、本実施形態では、インナーフィン３３による乱流促進効果ではなく、熱媒体の混合促進効果により、熱交換器１としての熱交換量を確保している。
【００６１】
したがって、流路管３内の熱媒体流量が微少流量域、すなわちレイノルズ数が１０００以下の層流域で熱媒体が流路管３の細流路３３３を流通する熱交換器おいて、ウェーブピッチＷＰおよびウェーブ深さＷＤを上記数式１および数式２にて示される関係を満たすように設定することで、インナーフィン３３（ウェーブフィン）の加工性を確保しつつ、流路管３内の目詰まりを抑制するとともに、流路管３内の熱媒体の混合促進効果を高めることにより熱交換量を確保することが可能となる。
【００６２】
（他の実施形態）
本発明は上述の実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、以下のように種々変形可能である。
【００６３】
（１）上述の実施形態では、１つの流路管３内にインナーフィン３３を３段積層配置した例について説明したが、これに限らず、１つの流路管３内にインナーフィン３３を２段積層配置してもよい。
【００６４】
（２）上述の実施形態では、熱交換対象物として、両面から放熱が行われる両面放熱構造の電子部品２を採用した例について説明したが、これに限らず、片面のみから放熱が行われる片面放熱構造の電子部品を採用してもよい。
【符号の説明】
【００６５】
２      電子部品（熱交換対象物）
３      流路管
４      連通部材
３３    インナーフィン
３３１  板部
３３２  頂部
３３３  細流路
【図１】
0005545260.tif 000002
【図２】
0005545260.tif 000003
【図３】
0005545260.tif 000004
【図４】
0005545260.tif 000005
【図５】
0005545260.tif 000006
【図６】
0005545260.tif 000007