(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学的な画像が生成される画像面を有する画像形成素子を保持する保持部材と、
上記画像形成素子から入射する光または上記画像形成素子へ入射する光が透過する多角形状をした板状の光透過部と、当該多角形状の光透過部の少なくとも１つの一辺から所定の角度だけ各々が接触しないように傾斜して延出した板状の側壁部と、を有する防塵部材と、
上記少なくとも１つの板状の側壁部に固定されていて、上記光透過部の面に垂直な振動振幅を付与する加振部材と、
を具備し、
上記光透過部及び上記側壁部は、同一の部材を用いて略均一な厚みとなるように形成され、
上記板状の光透過部は、上記画像形成素子の前面に位置し、
上記側壁部の内、加振部材が配置された側壁部は、上記加振部材が固定されている部位以外の部位で、上記保持部材に固定されることを特徴とする振動装置。
【請求項２】
上記板状の光透過部と上記保持部材との間に弾性部材が配置されており、
上記側壁部が延出しない光透過部の一辺は、自由端となっていることを特徴とする請求項１に記載の振動装置。
【請求項３】
上記側壁部は、上記板状の光透過部の一辺と当該板状の光透過部の一辺より短い辺とからなる矩形状をしていることを特徴とする請求項１または２に記載の振動装置。
【請求項４】
上記加振部材は、矩形状をしており、
当該加振部材は、上記側壁部内に収まるように配置されることを特徴とする請求項３に記載の振動装置。
【請求項５】
上記加振部材は、その長手方向の一辺が上記板状の光透過部の一辺と略平行に配置されていて、
当該加振部材の長手方向の一辺の中間点と当該板状の光透過部の一辺の中間点とを結ぶ第１の仮想線と、当該板状の光透過部の振動中心と当該板状の光透過部の一辺の中間点を結ぶ第２の仮想線と、が一致することを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の振動装置。
【請求項６】
上記光透過部は、矩形状をしていて、
上記側壁部は、対向する一辺から延出し、
上記防塵部材は、全体としてコの字状をしていることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の振動装置。
【請求項７】
上記側壁部と上記光透過部とのなす角度は、９０°以上１３５°以下であることを特徴とする請求項１乃至６の何れかに記載の振動装置。
【請求項８】
光学的な画像が生成される画像面を有する画像形成素子と、
上記画像形成素子を保持する保持部材と、
上記画像形成素子から入射する光または上記画像形成素子へ入射する光が透過する多角形状をした板状の光透過部と、当該多角形状の光透過部の少なくとも１つの一辺から所定の角度だけ各々が接触しないように傾斜して延出した板状の側壁部と、を有する防塵部材と、
上記少なくとも１つの板状の側壁部に固定されていて、上記光透過部の面に垂直な振動振幅を付与する加振部材と、
を具備し、
上記光透過部及び上記側壁部は、同一の部材を用いて略均一な厚みとなるように形成され、
上記板状の光透過部は、上記画像形成素子の前面に位置し、
上記側壁部の内、加振部材が配置された側壁部は、上記加振部材が固定されている部位以外の部位で、上記保持部材に固定されることを特徴とする画像機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自己の光電変換面上に照射された光に対応した画像信号を得る撮像素子を備える撮像装置や、スクリーンに投影する画像を表示する表示素子を備える画像投影装置等の、画像形成素子を備える画像機器、及び、そのような画像機器において画像形成素子の前面に配される防塵部材を振動させる振動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、撮像素子を用いた撮像装置や液晶等の表示素子を用いた画像投影装置のような、画像形成素子を用いた画像機器において、画質の向上は著しい。そのため、撮像素子や表示素子といった画像形成素子の表面またはその前面に位置する透明部材（光学素子）の表面に塵埃が付着することで、生成する画像に塵埃の影を画像に生じさせてしまうことが、大きな問題となっている。
【０００３】
例えば、カメラ本体に対して撮影光学系を着脱自在となるように構成し、ユーザが所望するとき所望の撮影光学系を任意に着脱し交換することで、単一のカメラ本体において複数種類の撮影光学系を選択的に使用し得るように構成した所謂「レンズ交換可能な」形態のデジタルカメラが、一般に実用化されている。このようなレンズ交換可能なデジタルカメラにおいては、当該撮影光学系をカメラ本体から取り外した際にカメラが置かれた周囲環境に浮遊する塵埃がカメラ本体内に侵入し、あるいは、カメラ本体内部には例えばシャッタ・絞り機構等の機械的に動作する各種の機構が配されていることから、これら各種の機構等からその動作中にゴミ等が発生し、撮像素子の表面やその前面に位置するレンズやカバーガラス等の透明部材（光学素子）の表面に塵埃が付着してしまう場合がある。
【０００４】
また、ＣＲＴ、液晶等の表示素子に表示した画像を、光源と投影光学系とを用いてスクリーン上に拡大投影し、画像を観賞するといったプロジェクタも実用化されており、そのようなプロジェクタにおいても、表示素子の表面やその前面に位置するレンズやカバーガラス等の透明部材（光学素子）の表面に塵埃が付着して、塵埃の影がスクリーンに拡大投影されてしまうことが発生することもあった。
【０００５】
そこで、そのような画像機器内部の画像形成素子表面やその前面に位置するレンズやカバーガラス等の透明部材（光学素子）の表面に付着した塵埃を除去する機構が各種開発されている。
【０００６】
例えば、特許文献１は、第１群から第３群の光学部材（４１１〜４１３）によって構成されている光学ローパスフィルタ４１０、圧電素子４３０、撮像素子３３等がユニット化された撮像ユニット４００において、そのうちの第１群の光学部材４１１の上辺には、断面が略Ｌ字形状の振動伝達部材４３１が接着固定され、その対向する下辺には、断面が略Ｌ字形状の付勢力伝達部材４４１が接着固定されている。
【０００７】
また、ローパスフィルタ４１０を保持するローパスフィルタ保持部材４２０の枠部４２０ａの上辺には、圧電素子４３０を収納するための収納部４２１が形成され、圧電素子４３０は、その一端面が枠部４２０ａに接着等により固定され、電圧の印加による伸縮方向が撮影光軸に対して直交方向（カメラ上下方向）となるように保持されている。
【０００８】
そして、防塵部材としての第１群の光学部材４１１に、圧電素子４３０によって撮影光軸に対して直交方向の振動が与えられて、その表面に付着した塵埃等の異物が除去されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００８−０２８６７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記特許文献１に開示の振動装置では、防塵部材としての第１群の光学部材４１１は、断面が略Ｌ字形状の振動伝達部材４３１が接着固定されているため、この第１群の光学部材４１１は全体としてもL字状の形状をしている。
【００１１】
しかしながら、別部材同士を接着してL字状の形状としているので、圧電素子４３０からの振動はその部位で変換されてしまう。そのため、第１群の光学部材４１１に発生する振動波形を設計する際、接着剤や振動伝達部材４３１の形状をも考慮して振動の節を狙った保持構造や、適切な保持力量としなければならない。また、接着剤や振動伝達部材４３１を取り付けるため構造が複雑となり、その分、振動装置が大型化し、ひいてはそのような振動装置を用いた画像機器も大型化することとなる。
【００１２】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、小型の振動装置、及び、そのような振動装置を用いた画像機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の振動装置の一態様は、
光学的な画像が生成される画像面を有する画像形成素子を保持する保持部材と、
上記画像形成素子から入射する光または上記画像形成素子へ入射する光が透過する多角形状をした板状の光透過部と、当該多角形状の光透過部の少なくとも１つの一辺から所定の角度だけ各々が接触しないように傾斜して延出した板状の側壁部と、を有する防塵部材と、
上記少なくとも１つの板状の側壁部に固定されていて、上記光透過部の面に垂直な振動振幅を付与する加振部材と、
を具備し、
上記光透過部及び上記側壁部は、同一の部材を用いて略均一な厚みとなるように形成され、
上記板状の光透過部は、上記画像形成素子の前面に位置し、
上記側壁部の内、加振部材が配置された側壁部は、上記加振部材が固定されている部位以外の部位で、上記保持部材に固定されることを特徴とする。  
また、本発明の画像機器の一態様は、
光学的な画像が生成される画像面を有する画像形成素子と、
上記画像形成素子を保持する保持部材と、
上記画像形成素子から入射する光または上記画像形成素子へ入射する光が透過する多角形状をした板状の光透過部と、当該多角形状の光透過部の少なくとも１つの一辺から所定の角度だけ各々が接触しないように傾斜して延出した板状の側壁部と、を有する防塵部材と、
上記少なくとも１つの板状の側壁部に固定されていて、上記光透過部の面に垂直な振動振幅を付与する加振部材と、
を具備し、
上記光透過部及び上記側壁部は、同一の部材を用いて略均一な厚みとなるように形成され、
上記板状の光透過部は、上記画像形成素子の前面に位置し、
上記側壁部の内、加振部材が配置された側壁部は、上記加振部材が固定されている部位以外の部位で、上記保持部材に固定されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、防塵部材の光透過部と側壁部を同一の部材を用いて強度を強くして形成し、当該側壁部に加振部材を配置するとともに当該加振部材が固定されている部位以外の部位で当該側壁部を保持部材に固定したので、防塵部材の光透過部に固定用の領域を設ける必要が無くなり、当該光透過部の面積を同じにしても、固定用の領域が減るので防塵部材自体の面積（投影面積）を小さくすることができる、小型の振動装置、及び、そのような振動装置を用いた画像機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本発明の画像機器の第１実施形態としてのデジタルカメラの主に電気的なシステム構成例を概略的に示すブロック図である。
【図２】図２は、デジタルカメラの塵埃除去機構を含む撮像素子ユニットの縦断側面図である。
【図３】図３は、塵埃除去機構をレンズ側から見た正面図である。
【図４】図４（Ａ）は、塵埃除去機構を構成する主要部の斜視図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＢＢ線断面図であり、図４（Ｃ）は、図４（Ａ）のＣＣ線断面図である。
【図５】図５（Ａ）は、防塵フィルタに発生する振動の様子を説明するための防塵フィルタの正面図であり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）のＢＢ線断面図であり、図５（Ｃ）は、図５（Ａ）のＣＣ線断面図である。
【図６】図６（Ａ）は、防塵フィルタに発生する異なる振動の様子を説明するための防塵フィルタの正面図であり、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）のＢＢ線断面図であり、図６（Ｃ）は、図６（Ａ）のＣＣ線断面図である。
【図７】図７（Ａ）は、塵埃フィルタの異なる形態を示す斜視図であり、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）のＢＢ線断面図であり、図７（Ｃ）は、図７（Ａ）のＣＣ線断面図である。
【図８】図８は、防塵フィルタに発生する定在波を説明するための防塵フィルタの概念図である。
【図９】図９は、防塵フィルタ制御回路の構成を概略的に示す回路図である。
【図１０】図１０は、防塵フィルタ制御回路における各構成部材から出力される各信号を説明するためのタイムチャートを示す図である。
【図１１】図１１は、第１実施形態におけるデジタルカメラのＢｕｃｏｍが行なうカメラシーケンス（メインルーチン）の手順を例示するフローチャートを示す図である。
【図１２】図１２（Ａ）は、図１１中のサブルーチン「無音加振動作」の動作手順を表わすフローチャートを示す図であり、図１２（Ｂ）乃至（Ｄ）はそれぞれ、図１２（Ａ）のサブルーチン「無音加振動作」の各タイミングにて並行して実行される「表示動作」の動作手順を表わすフローチャートを示す図である。
【図１３】図１３は、無音加振動作において、加振部材へ連続的に供給される共振周波数の波形を表わす図である。
【図１４】図１４は、本発明の画像機器の第２実施形態としてのデジタルカメラにおけるサブルーチン「無音加振動作」の動作手順を表わすフローチャートを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための形態を図面を参照して説明する。
［第１実施形態］
以下に具体的に例示する本発明の画像機器は、光電変換によって画像信号を得る撮像素子ユニットの塵埃除去機構を有するものであり、ここでは一例として電子カメラ（以下「カメラ」と略称する）の塵埃除去機能に係わる改良技術として説明する。特に、本第１実施形態では、レンズ交換可能な電子カメラ（デジタルカメラ）に関して、図１乃至図３を参照して説明する。尚、図１は、本発明の画像機器の第１実施形態としてのデジタルカメラの主に電気的なシステム構成例を概略的に示すブロック図である。また、図２は、該デジタルカメラの塵埃除去機構を含む撮像素子ユニットの縦断側面図（図３でのＡＡ線断面図）であり、図３は、塵埃除去機構をレンズ側から見た正面図である。
【００１７】
まず、図１を参照して本実施形態におけるデジタルカメラ１０のシステム構成例について説明する。
【００１８】
このデジタルカメラ１０は、カメラ本体としてのボディユニット１００と、アクセサリ装置の一つである交換レンズとしてのレンズユニット２００とによりシステム構成されている。
【００１９】
レンズユニット２００は、ボディユニット１００の前面に設けられた図示しないレンズマウントを介して着脱自在である。レンズユニット２００の制御は、自身が有するレンズ制御用マイクロコンピュータ（以下、“Ｌｕｃｏｍ”と称する）２０１が行う。ボディユニット１００の制御は、ボディ制御用マイクロコンピュータ（以下、“Ｂｕｃｏｍ”と称する）１０１が行う。これらＬｕｃｏｍ２０１とＢｕｃｏｍ１０１とは、ボディユニット１００にレンズユニット２００を装着した状態において通信コネクタ１０２を介して互いに通信可能に電気的に接続される。そして、カメラシステムとして、Ｌｕｃｏｍ２０１がＢｕｃｏｍ１０１に従属的に協働しながら稼動するように構成されている。
【００２０】
レンズユニット２００は、撮影レンズ２０２と絞り２０３を備える。撮影レンズ２０２は、レンズ駆動機構２０４内に設けられた図示しないステッピングモータによって駆動される。絞り２０３は、絞り駆動機構２０５内に設けられた図示しないステッピングモータによって駆動される。Ｌｕｃｏｍ２０１は、Ｂｕｃｏｍ１０１の指令に基づいてこれら各モータを制御する。
【００２１】
ボディユニット１００内には、以下のような構成部材が図示の如く配設されている。例えば、撮影光軸上にフォーカルプレーン式のシャッタ１０８が設けられている。
【００２２】
また、シャッタ１０８の先幕と後幕を駆動するばねをチャージするシャッタチャージ機構１１２と、これら先幕と後幕の動きを制御するシャッタ制御回路１１３が設けられている。
【００２３】
撮影光軸上には、上述の光学系を通過した被写体像を光電変換するための撮像ユニット１１６が設けられている。撮像ユニット１１６は、光学的な画像が生成される画像面を有する画像形成素子としての撮像素子であるＣＣＤ１１７とその前面に配設された光学ローパスフィルタ（ＬＰＦ）１１８とを含む画像形成ユニットと、防塵部材である防塵フィルタ１１９とを、ホルダ１４５を介してユニットとして一体化してなるものである。ここで、光学ローパスフィルタ（ＬＰＦ）１１８は水晶等からなる光学素子であり、防塵フィルタ１１９は水晶、ガラス等の光学素子や透明なプラスチックであっても良い。防塵フィルタ１１９は、例えば断面Ｌ字型等の詳細は後述するような形態を形成し得、振動させることができる透明な部材であれば良い。
【００２４】
上記防塵フィルタ１１９の周縁部の一側には、圧電素子１２０が取り付けられている。圧電素子１２０は、２つの電極を有しており、圧電素子１２０を駆動手段である防塵フィルタ制御回路１２１によって、防塵フィルタ１１９の寸法や材質によって定まる所定の周波数で振動させることで、防塵フィルタ１１９に所定の振動を発生させ、フィルタ表面に付着した塵埃を除去し得るように構成されている。また、撮像ユニット１１６に対しては、手ブレ補正用の防振ユニットが付加されている。
【００２５】
また、本実施形態におけるデジタルカメラ１０は、ＣＣＤ１１７に接続したＣＣＤインターフェース回路１２２と、液晶モニタ１２３と、記憶領域として機能するＳＤＲＡＭ１２４やＦｌａｓｈ  ＲＯＭ１２５などを利用して画像処理する画像処理コントローラ１２６とを備え、電子撮像機能とともに電子記録表示機能を提供できるように構成されている。また、電子撮像機能には、ＣＣＤ１１７で撮影された画像を動画として液晶モニタ１２３に同時に表示してファインダとして用いるいわゆるスルー画表示機能、動画を記録する動画記録機能を持っている。ファインダ機能については光学式の一眼レフファインダ等を設けても良い。ここで、記録メディア１２７は、各種のメモリカードや外付けのＨＤＤ等の外部記録媒体であり、通信コネクタを介してボディユニット１００と通信可能且つ交換可能に装着される。そして、この記録メディア１２７に撮影により得られた画像データが記録される。
【００２６】
その他の記憶領域としては、カメラ制御に必要な所定の制御パラメータを記憶する、例えばＥＥＰＲＯＭからなる不揮発性メモリ１２８がＢｕｃｏｍ１０１からアクセス可能に設けられている。
【００２７】
Ｂｕｃｏｍ１０１には、当該デジタルカメラ１０の動作状態を表示出力によってユーザへ告知するための動作表示用ＬＣＤ１２９及び動作表示用ＬＥＤ１３０と、カメラ操作ＳＷ１３１と、ストロボ１３２を駆動するストロボ制御回路１３３と、が接続されている。ここで、動作表示用ＬＣＤ１２９あるいは動作表示用ＬＥＤ１３０には、防塵フィルタ制御回路１２１が動作している期間、防塵フィルタ１１９の振動動作を表示する表示部が設けられている。カメラ操作ＳＷ１３１は、例えばレリーズＳＷ、モード変更ＳＷ及びパワーＳＷなど、当該デジタルカメラ１０を操作するために必要な操作釦を含むスイッチ群である。さらに、該ボディユニット１００内には、電源としての電池１３４と、該電池１３４の電圧を、当該デジタルカメラ１０を構成する各回路ユニットが必要とする電圧に変換して供給する電源回路１３５が設けられ、また、外部電源から不図示のジャックを介して電流が供給されたときの電圧変化を検知する電圧検出回路（図示せず）も設けられている。
【００２８】
上述のように構成されたデジタルカメラ１０の各部は、概略的には以下のように稼動する。まず、画像処理コントローラ１２６は、Ｂｕｃｏｍ１０１の指令に従ってＣＣＤインターフェース回路１２２を制御してＣＣＤ１１７から画像データを取り込む。この画像データは画像処理コントローラ１２６でビデオ信号に変換され、液晶モニタ１２３で出力表示される。ユーザは、この液晶モニタ１２３の表示画像から、ファインダ画像あるいは撮影画像を確認できる。
【００２９】
ＳＤＲＡＭ１２４は、画像データの一時的保管用メモリであり、画像データが変換される際のワークエリアなどに使用される。また、画像データは、ＪＰＥＧデータに変換された後、記録メディア１２７に保管される。ここで、画像データが動画である場合はＭＰＥＧデータ等に変換される。
【００３０】
撮影レンズ２０２の焦点合わせは、撮影レンズ２０２の位置を順次変更しながら撮像し、撮像画像の最もコントラストの高い位置をＢｕｃｏｍ１０１で演算し、通信コネクタ１０２を通してＬｕｃｏｍ２０１に伝達し、Ｌｕｃｏｍ２０１が撮影レンズ２０２を位置制御することにより行われる。測光も撮像画像から検出された光量に基づき周知の測光処理が行われる。
【００３１】
次に、図２及び図３を参照してＣＣＤ１１７を含む撮像ユニット１１６について説明する。
【００３２】
撮像ユニット１１６は、撮影光学系を透過し自己の光電変換面上に照射された光に対応した画像信号を得る撮像素子としてのＣＣＤ１１７と、ＣＣＤ１１７の光電変換面側に配設され、撮影光学系を透過して照射される被写体光束から高周波成分を取り除く光学ＬＰＦ１１８と、この光学ＬＰＦ１１８の前面側において所定間隔をあけて対向配置された防塵部材である断面Ｌ字型の防塵フィルタ１１９と、この防塵フィルタ１１９の側壁部に配設されて防塵フィルタ１１９に対して所定の振動を与えるための加振部材である圧電素子１２０と、を備える。
【００３３】
ここで、ＣＣＤ１１７のＣＣＤチップ１３６は、固定板１３７上に配設されたフレキシブル基板１３８上に直接実装され、このフレキシブル基板１３８の両端から出た接続部１３９ａ，１３９ｂが、主回路基板１４０に設けられたコネクタ１４１ａ，１４１ｂを介して主回路基板１４０側と接続されている。また、ＣＣＤ１１７が有する保護ガラス１４２は、スペーサ１４３を介してフレキシブル基板１３８上に固着されている。
【００３４】
また、ＣＣＤ１１７と光学ＬＰＦ１１８との間には、弾性部材等からなるフィルタ受け部材１４４が配設されている。このフィルタ受け部材１４４は、ＣＣＤ１１７の前面側周縁部で光電変換面の有効範囲を避ける位置に配設され、且つ、光学ＬＰＦ１１８の背面側周縁部の近傍に当接することで、ＣＣＤ１１７と光学ＬＰＦ１１８との間を略気密性が保持されるように構成されている。そして、ＣＣＤ１１７と光学ＬＰＦ１１８とを気密的に覆うホルダ１４５が配設されている。このホルダ１４５は、撮影光軸周りの略中央部分に矩形状の開口１４６を有し、この開口１４６の防塵フィルタ１１９側の内周縁部には断面が略Ｌ字形状の段部１４７が形成され、開口１４６に対してその後方側から光学ＬＰＦ１１８及びＣＣＤ１１７が配設されることで、ＣＣＤ１１７を保持する保持部材となる。ここで、光学ＬＰＦ１１８の前面側周縁部を段部１４７に対して略気密的に接触させるように配置することで、光学ＬＰＦ１１８は段部１４７によって撮影光軸方向における位置規制がなされ、ホルダ１４５の内部から前面側に対する抜け止めがなされる。なお、ＣＣＤ１１７と光学ＬＰＦ１１８との気密状態は、塵埃の侵入によって撮影画像に塵埃が写り込み、当該画像に塵埃の影響の出ることを防止可能なレベルであれば良く、必ずしも気体の侵入を完全に防止するレベルでなくても良い。
【００３５】
一方、ホルダ１４５の前面側には、結像光線通過エリア１４９となる開口部が設けられており、該開口部を囲んでホルダ１４５の前面側に環状に受け部材１５０が形成されている。この受け部材１５０は、防塵フィルタ１１９を光学ＬＰＦ１１８の前面に所定間隔あけて保持するためのものであり、ゴムや樹脂等の振動減衰性のある弾性部材からなる。断面Ｌ字型の防塵フィルタ１１９は、上記ＣＣＤ１１７へ入射する光が透過する多角形状をした板状の光透過部である底面部１１９ａと、当該多角形状の底面部１１９ａの１つの一辺から所定の角度（ここでは、ほぼ９０°）だけ各々が接触しないように傾斜して延出した板状の側壁部１１９ｂと、を有し、底面部１１９ａが上記受け部材１５０にて保持される。側壁部１１９ｂは、ネジ等の締結部材１５１により、ホルダ１４５の上記開口部の周縁部に固定されている。この場合、上記底面部１１９ａが所定の押圧状態で上記受け部材１５０に支持されるように、固定される。上記側壁部１１９ｂが延出しない上記底面部１１９ａの一辺は、自由端となっている。
【００３６】
受け部材１５０は、ゴムや樹脂等の振動減性のある弾性部材で形成されているので、防塵フィルタ１１９の振動を阻害することはなく、また、防塵フィルタ１１９とＬＰＦ１１８が形成する空間は、防塵フィルタ１１９の振動状態に応じて受け部材１５０が変形するので、塵埃に対して封止されており、外部からこの空間に画像に写ってしまうような塵埃が入り込むことはない。撮像ユニット１１６は、このようにして、画像形成素子としてのＣＣＤ１１７と防塵フィルタ１１９とが対向して形成される領域を当該ＣＣＤ１１７及び当該防塵フィルタ１１９の周縁部で封止するように構成された封止構造（本実施形態では、ＣＣＤ１１７を搭載する所望の大きさに形成されたホルダ１４５と受け部材１５０、ＣＣＤ１１７と光学ＬＰＦとの間を気密にするフィルタ受け部材１４４）によって、気密構造に構成されている。なお、防塵フィルタ１１９と受け部材１５０との気密状態は、塵埃の侵入によって撮影画像に塵埃が写り込み、当該画像に塵埃の影響の出ることを防止可能なレベルであれば良く、必ずしも気体の侵入を完全に防止するレベルでなくても良い。
【００３７】
さらに、加振部材である圧電素子１２０には、フレキシブルプリント基板であるフレキ１５７が端部に電気接続され、防塵フィルタ制御回路１２１からの後に述べる所定の電気信号を圧電素子１２０に入力し、圧電素子１２０に所定の振動を発生させている。フレキ１５７は、樹脂と銅箔等で作製されて柔軟性があることから圧電素子１２０の振動を減衰させることが少ない。また、振動振幅の小さいところ（後に述べる振動の節位置）に設けることで、より振動の減衰を抑えることができる。一方、以下に述べるような手ブレ補正機構を持つ場合、圧電素子１２０はボディユニット１００に対して相対的に移動するので、防塵フィルタ制御回路１２１がボディユニット１００と一体の固定部材にある場合には手ブレ補正機構の動作に従って、フレキ１５７は変形し、変位する。この場合、フレキ１５７は柔軟性があり薄いため、有効であり、本実施形態の場合にはフレキ１５７は１ヶ所からの引き出しで簡単な構成であるので、手ブレ補正機構をもつカメラには最適である。
【００３８】
防塵フィルタ１１９でその表面から離脱した塵埃は後に述べるように、その振動の慣性力と、重力の作用により、ボディユニット１００の下側に落下する。そこで、本実施形態では、防塵フィルタ１１９の下側直近に設けた台１５８に、粘着材、粘着テープ等で形成された保持材１５９を配設し、落下した塵埃を確実に保持し、再び防塵フィルタ１１９の表面に戻らないようにしてある。
【００３９】
次に、簡単に手ブレ補正機能について説明する。この手ブレ補正機構は、図１に示すように、Ｘ軸ジャイロ１６０、Ｙ軸ジャイロ１６１、防振制御回路１６２、Ｘ軸アクチュエータ１６３、Ｙ軸アクチュエータ１６４、Ｘ枠１６５、Ｙ枠１６６（ホルダ１４５）、フレーム１６７、位置検出センサ１６８及びアクチュエータ駆動回路１６９から構成され、カメラのＸ軸回りの手ブレの角速度を検出するＸ軸ジャイロ１６０とカメラのＹ軸周りの手ブレの角速度を検出するＹ軸ジャイロ１６１とからの角速度信号から、防振制御回路１６２により手ブレ補償量を演算し、撮影光軸の方向をＺ軸方向とした場合、撮影光軸に直交するＸＹ平面内で直交する第１の方向であるＸ軸方向及び第２の方向であるＹ軸方向に、撮像素子であるＣＣＤ１１７を、ブレを補償するように変位移動させるものである。即ち、アクチュエータ駆動回路１６９から所定の駆動信号を入力するとＸ軸方向にＣＣＤ１１７を駆動するＸ軸アクチュエータ１６３と、同じく、所定の駆動信号を入力するとＹ軸方向にＣＣＤ１１７を駆動するＹ軸アクチュエータ１６４を駆動源として用い、Ｘ枠１６５と撮像ユニット１１６中のＣＣＤ１１７を搭載したＹ枠１６６（ホルダ１４５）とをフレーム１６７に対して移動する移動対象物として構成される。ここで、Ｘ軸アクチュエータ１６３及びＹ軸アクチュエータ１６４は、電磁回転モータとネジ送り機構等を組み合わせたものや、ボイスコイルモータを用いた直進電磁モータや、直進圧電モータ等が用いられている。尚、位置検出センサ１６８は、Ｘ枠１６５及びＹ枠１６６の位置を検出するものであり、防振制御回路１６２は該位置検出センサ１６８での検出結果に基づいて、変位移動可能な範囲を超えてＸ軸アクチュエータ１６３及びＹ軸アクチュエータ１６４を駆動しないように、アクチュエータ駆動回路１６９を制御する。
【００４０】
ここで、第１実施形態の塵埃除去機構について図４乃至図８を参照してさらに詳しく説明する。図４（Ａ）は、塵埃除去機構を構成する主要部（振動子）の斜視図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＢＢ線断面図である。図５は、防塵フィルタ１１９に発生する振動の様子を説明するための図で、特に図５（Ａ）は防塵フィルタ１１９の正面図、図５（Ｂ）は図５（Ａ）のＢＢ線断面図、図５（Ｃ）は図５（Ａ）のＣＣ線断面図である。図６は、防塵フィルタ１１９に発生する図５とは異なる振動の様子を説明するための図で、特に図６（Ａ）は防塵フィルタの正面図、図６（Ｂ）は図６（Ａ）のＢＢ線断面図、図６（Ｃ）は図６（Ａ）のＣＣ線断面図である。図７は、防塵フィルタの異なる形態を示す図である。図８は、防塵フィルタ１１９に発生する定在波を説明するための防塵フィルタ１１９の概念図である。
【００４１】
防塵フィルタ１１９は、図４に示すように、断面Ｌ字型をなし、底面部１１９ａは、円を含む曲線で囲まれた形状、あるいは全体として多角形の板状（本実施形態は四角形）を成し、少なくとも、最大の振動振幅が得られる位置から放射方向に所定の広がりを持つ領域が、光透過部を構成している。尚、防塵フィルタ１１９の底面部１１９ａは、全体として円形を成し、その円の一部を直線状にカットして一辺を持つＤ形状であっても良いし、四角形の両辺を円弧状に形成し、上下二辺を持つ小判形状としたもののように曲線と直線を組み合わせた形状でも構わない。また、防塵フィルタ１１９は、底面部１１９ａの少なくとも１つの一辺、図４では１つの一辺の端面部から上記ＣＣＤ１１７の方向へ所定の角度だけ各々が接触しないように傾斜して延出する側壁部１１９ｂを有している。上記側壁部１１９ｂは、上記板状の底面部１１９ａの一辺と当該板状の底面部１１９ａの一辺より短い辺とからなる矩形状をしている。そして、上述した締結部材１５１により、上記側壁部１１９ｂが上記ホルダ１４５に固定されることで、この防塵フィルタ１１９の光透過部が光学ＬＰＦ１１８の前面側に所定の間隔をもって対向配置されている。ここで、断面Ｌ字型の防塵フィルタ１１９の上記底面部１１９ａと側壁部１１９ｂは、同一の部材を用いて略均一な厚みとなるように形成されている。
【００４２】
また、防塵フィルタ１１９の上記側壁部１１９ｂには、当該防塵フィルタ１１９の光透過部となる底面部１１９ａの面に垂直な振動振幅を付与する加振部材である圧電素子１２０が、例えば接着剤による貼着等の手段により固定されている。なお、上記圧電素子１２０は、矩形状をしており、当該圧電素子１２０は、上記側壁部１１９ｂ内に収まるように配置される。そして、上記側壁部１１９ｂは、この圧電素子１２０が固定されている部位以外の部位で、上述した締結部材１５１により上記ホルダ１４５に固定される。このように防塵フィルタ１１９に圧電素子１２０を配設することで振動子１７０が形成され、該振動子１７０は、圧電素子１２０に所定の周波電圧を印加すると共振振動し、図５に示すような底面部１１９ａに垂直な屈曲振動を大きな振幅で発生する。
【００４３】
ここで、防塵フィルタ１１９を構成する側壁部１１９ｂと光透過部となる底面部１１９ａのなす角度は、側壁部１１９ｂと底面部１１９ａを一体成形することを考えると、９０°以上が好ましく、また、その投影面積の拡大と剛性を考えると１３５°程度以下にするのが良い。また、底面部１１９ａと側壁部１１９ｂをつなぐ面は、図４に示すように円筒面に近似した面で構成すると、防塵フィルタ１１９の剛性はより高いものになり、小型化することができる。
【００４４】
即ち、側壁部１１９ｂは、光軸方向に剛性が高く変形を起こさないが、光透過部となる底面部１１９ａは片持ちの梁として自由に屈曲できる。このことから、防塵フィルタ１１９及び圧電素子１２０の取付け構造が簡単で、当該取付け構造を簡単にしても性能を損なわず、所望の振動波形を防塵フィルタ１１９に発生可能な小型の振動子１７０を提供することができる。
【００４５】
図４に示すように、圧電素子１２０には、信号電極１７１と、該信号電極１７１に対向した裏面に設けられ、側壁部を通して上記信号電極１７１のある側の面に引き回された信号電極１７２とが形成されている。そして、信号電極１７１と信号電極１７２に、上記導電性パターンを持つフレキ１５７が電気的に接続されている。夫々の電極１７１，１７２には、フレキ１５７を介して接続された防塵フィルタ制御回路１２１によって所定周期を有する駆動電圧を印加することで、防塵フィルタ１１９に図５に示す２次元の定在波屈曲振動を発生させることができる。防塵フィルタ１１９の底面部１１９ａの寸法は、長辺の長さがＬＡ、それに直交する短辺の長さがＬＢである（。図５に示す屈曲振動は定在波振動を示し、図５（Ａ）で振動の節エリア（振動振幅の小さいエリア）１７３を示す黒い線状のエリアは、黒が濃いほど振動振幅が小さくなっている。尚、図５（Ａ）中に示すメッシュは、有限要素法での分割メッシュである。
【００４６】
振動速度が大きい場合、図５（Ａ）に示すように節エリア１７３の間隔が小さいと、節エリア１７３には大きな面内振動が発生し、節エリア１７３にある塵埃には面内振動方向に大きな慣性力が発生する（後述する図８の質点Ｙ２の動きを参照。節を中心にＹ２とＹ２’の間を円弧振動する）。塵埃の付着面に沿った力が作用するように防塵フィルタ１１９面を重力に対して平行になる方向に傾けると、慣性力と重力が作用して節エリア１７３に付着した塵埃も除去することができる。
【００４７】
また、図５（Ａ）での白色のエリアは、振動振幅が大きなエリアを示し、この白色エリアに付着した塵埃は、振動により与えられる慣性力により除去される。振動の節エリア１７３に付着した塵埃は、異なる周波数の電気信号を圧電素子１２０に入力し、節エリア１７３に振幅をもつ別の振動モード（例えば図６に示す振動モード）で加振することによっても除去することができる。
【００４８】
図５に示す屈曲の振動モードは、Ｘ方向の屈曲振動と、Ｙ方向の屈曲振動との合成で形成され、圧電素子を１つの辺に沿って配置しても、振動振幅が非常に大きくなる振動モードとなる（従来の円形の防塵フィルタと同じレベルの振動振幅が発生する）。図５の振動モードでき、防塵フィルタ１１９の重心１１９ｃを通る第１の仮想線ＶＬ１に対して対称な１つの辺から当該１つの辺に対向して配置されている他方の辺側へ向かって、略同心円状に連続的に位置する振動振幅の山の稜線が形成され、Ｘ方向の辺からの反射波と、Ｙ方向の辺からの反射波を効率良く、合成して定在波が作られる。ここで、圧電素子１２０は、該圧電素子１２０の重心が上記第１の仮想線ＶＬ１にあるように、その長手方向の一辺が上記防塵フィルタ１１９の光透過部となる底面部１１９ａの一辺と略平行に配置している。また、最も大きな振動速度、振動振幅を持つ中心振動領域１７５の重心１７５ａと、防塵フィルタ１１９の重心１１９ｃとは、同様に上記第１の仮想線ＶＬ１上にある。即ち、圧電素子１２０の長手方向の一辺の中間点と当該結像光線通過エリア１４９に対応する板状の光透過部となる底面部１１９ａの一辺の中間点（防塵フィルタ１１９の重心１１９ｃ）とを結ぶ第１の仮想線ＶＬ１と、当該板状の光透過部となる底面部１１９ａの振動中心（中心振動領域１７５の重心１７５ａ）と当該板状の底面部１１９ａの一辺の中間点（防塵フィルタ１１９の重心１１９ｃ）を結ぶ第２の仮想線ＶＬ２と、が一致する。但し、圧電素子１２０を１つのみ配置するため、この中心振動領域１７５の重心１７５ａは、防塵フィルタ１１９の重心１１９ｃから、上記圧電素子１２０が配置されている辺側へずれる。
【００４９】
ここで、圧電素子１２０の重心は駆動電圧を印加しても伸縮しないので、圧電素子１２０はその重心が節エリアに位置するように取り付けることが望ましい。一方、防塵フィルタ１１９の側壁部１１９ｂは、発生される振動の振幅方向に延びているため、底面部１１９ａと側壁部１１９ｂの上記第１の仮想線ＶＬ１上の境界部分は振動せずに、節エリア１７３となる。そこで、圧電素子１２０は、その重心が上記第１の仮想線ＶＬ１上の上記境界部分に配置している。この場合、圧電素子１２０を防塵フィルタ１１９の底面部１１９ａに配置すると、圧電素子１２０の短辺方向にはある程度の寸法があるため、上記境界部分に長辺を沿って配置したとしても、重心の位置は振動振幅のある程度大きな位置となってしまう。これに対して、圧電素子１２０を防塵フィルタ１１９の側壁部１１９ｂに配置すると、圧電素子１２０の厚み方向の寸法は小さいため、重心の位置はほぼ上記境界部分となるので、好ましい。
【００５０】
なお、図５に示す振動子１７０の防塵フィルタ１１９は、２５．０ｍｍ（Ｘ方向：ＬＡ、ＬＦ）×２４．２ｍｍ（Ｙ方向：ＬＢ）×４．２ｍｍ（Ｚ方向：Ｈ）、底面部１１９ａ及び側壁部１１９ｂは均一な肉厚０．２ｍｍのガラス板（光学素子）である。圧電素子１２０は、１６．６ｍｍ（Ｘ方向）×２．４ｍｍ（Ｙ方向）×０．６．ｍｍ（厚さ）のチタン酸ジルコン酸鉛のセラミックで作られ、防塵フィルタ１１９の下側の側壁部１１９ｂに沿って、Ｘ方向、Ｚ方向は防塵フィルタ１１９の側壁部中心を通るＸ軸に平行な軸及びＺ軸に平行な軸に対して軸対称となるように、エポキシ系の接着剤で接着固定されている。このとき、図５で示される振動モードの共振周波数は９０ｋＨｚ付近であり、防塵フィルタ１１９中央位置に、四角形の防塵フィルタ１１９が内接する大きさの円形に防塵フィルタを構成した場合にほぼ匹敵する最も大きな振動速度、振動振幅を持つ中心振動領域１７５が得られる。
【００５１】
また、図６の振動モードは、図５の防塵フィルタ１１９の加振用周波数を変える（たとえば７８ｋＨｚ付近）ことにより発生するモードである。
【００５２】
図７は、振動子１７０の更に別の変形例を示す図であり、防塵フィルタ１１９の矩形状の光透過部となる底面部１１９ａの対向する一辺からそれぞれ側壁部１１９ｂが延出して、防塵フィルタ１１９を、全体として断面コの字状に形成したものである。そして、圧電素子１２０は、その２つの側壁部１１９ｂの内の一方に設けられている。上記側壁部１１９ｂが延出しない上記底面部１１９ａの他の一辺はそれぞれ自由端となっている。このように、光透過部となる底面部１１９ａは両持ちの梁として自由に屈曲できるので、防塵フィルタ１１９及び圧電素子１２０の取付け構造が簡単で、当該取付け構造を簡単にしても性能を損なわず、所望の振動波形を防塵フィルタ１１９に発生可能な小型の振動子１７０を提供することができる。また、このような構成では、ホルダ１４５に対して対向する箇所で締結部材１５１にて防塵フィルタ１１９を固定するので、断面Ｌ字型の防塵フィルタ１１９よりも略気密性が高い。
【００５３】
なお、防塵フィルタ１１９の材質は、透明なガラスとして説明したが、メタクリル酸メチル樹脂、ポリカーボネート樹脂等の樹脂でも良い。成形が可能な樹脂、ガラス材料が最適である。
【００５４】
次に、図８を用いて塵埃の除去について詳しく説明する。
【００５５】
図８に矢印１７７で示す方向に分極された圧電素子１２０に所定の周波電圧が印加された場合は、振動子１７０がある時点ｔ０で実線に示した状態となる。振動子１７０表面の任意の位置ｙにある質点Ｙの任意の時刻ｔでのＺ方向の振動ｚは、振動の角速度ω、Ｚ方向の振幅Ａ、Ｙ＝２πｙ／λ（λ：屈曲振動の波長）として、下記の（１）式の通りに表される。
【００５６】
ｚ＝Ａｓｉｎ（Ｙ）・ｃｏｓ（ωｔ）                          …（１）
【００５７】
この式は、定在波振動を表す。即ち、ｙ＝ｓ・λ／２の時（ここで、ｓは整数）にＹ＝ｓπとなり、ｓｉｎ（Ｙ）は零になる。従って、時間に関係なくＺ方向の振動振幅が零になる節１７８をλ／２ごとに持つことになり、これは定在波振動である。図８において破線で示した状態は、時間ｔ０の状態に対して振動が逆相となるｔ＝ｋπ／ωでの状態を示す（ここで、ｋは奇数）。
【００５８】
次に、防塵フィルタ１１９上の点Ｙ１の振動は、屈曲定在波の振動の腹１７９の位置になるので、振動振幅はＡとなり、Ｚ方向の点Ｙ１の位置ｚ（Ｙ１）は、
ｚ（Ｙ１）＝Ａｃｏｓ（ωｔ）                                …（２）
となる。
【００５９】
Ｙ１の振動速度Ｖｚ（Ｙ１）は、振動の周波数をｆとすると、ω＝２πｆであるので、上記（２）式を時間で微分して、
Ｖｚ（Ｙ１）＝ｄ（ｚ（Ｙ１））／ｄｔ
＝−２πｆ・Ａｓｉｎ（ωｔ）                    …（３）
となる。Ｙ１の振動加速度αｚ（Ｙ１）は、上記（３）式をさらに時間で微分して、
αｚ（Ｙ１）＝ｄ（Ｖｚ（Ｙ１））／ｄｔ
＝−４π２ｆ２・Ａｃｏｓ（ωｔ）                  …（４）
となり、Ｙ１に付着している塵埃１８０は、上記（４）式の加速度を受けることとなる。
【００６０】
この時、塵埃１８０の受ける慣性力Ｆｋは、塵埃１８０の質量をＭとして、
Ｆｋ＝αｚ（Ｙ１）・Ｍ
＝−４π２ｆ２・Ａｃｏｓ（ωｔ）・Ｍ                      …（５）
となる。
【００６１】
上記（５）式から、慣性力Ｆｋは、周波数ｆを上げると、ｆの２乗に比例して大きくなるので効果的なことが判るが、その時の振動振幅Ａが小さいと、いくら周波数を上げたからと言って、慣性力を上げることは出来ない。一般的には、加振の振動エネルギーを発生させる圧電素子１２０の大きさを一定とすると、所定の振動エネルギーしか発生することができない。従って、同じ振動モードで周波数を上げると振動振幅Ａは周波数ｆの２乗に逆比例し、共振周波数を上げて高次の共振モードにすると、振動振幅は低下し、振動速度が上がらず、振動加速度も上がらない（むしろ、周波数が高くなると、理想的に共振させることが難しく、振動エネルギー損失が大きくなり、振動加速度は下がる）。即ち、単に共振モードで振動を発生させることでは大きな振幅を持つモードにはならず、塵埃除去の効果が著しく悪化してしまう。
【００６２】
防塵フィルタ１１９が矩形であるにも関わらず、図５及び図６に示す本実施形態の振動モードは、振動振幅の山の稜線が辺の中心を取り囲む曲線を構成し、Ｘ方向の辺からの反射波と、Ｙ方向の辺からの反射波を効率良く合成して定在波を作っている。このような振動では、防塵フィルタ１１９が円盤状の形状の場合に発生する同心円状の振動の振幅と同等の振動振幅が発生できる。単に辺に平行な振動振幅を発生する振動モードでは、本実施形態の数分の１から１０分の１程度の振動加速度しか得ることが出来ない。
【００６３】
また、このような振動では、振動子１７０の中心が最も振動振幅が大きく、周辺の取り囲む曲線ほど振動振幅は小さくなる。これによって、画像の中心ほど塵埃除去の能力が高くなり、振動子１７０の中心を光軸に合わせることにより、中心の画質が高いところほど塵埃１８０が写り込まなくなると言った利点もある。
【００６４】
さらに、結像光線通過エリア１４９内の振動振幅の小さいエリアである節エリア１７３は圧電素子１２０に与える駆動周波数を変えることで異なる振動モードで共振させることにより、節１７８位置を変化させて塵埃１８０を除去できることは勿論である。
【００６５】
また、圧電素子１２０を振動させる上記所定の周波数は、振動子１７０を構成する防塵フィルタ１１９の形状寸法と圧電素子１２０の形状寸法、それらの材質や支持の状態によって決まるものであるが、通常、温度は振動子１７０の弾性係数に影響し、その固有振動数を変化させる要因の１つとなっている。そのため、運用時にその温度を計測して、その固有振動数の変化を考慮するのが好ましい。この場合、温度測定回路（不図示）に接続された温度センサ（不図示）がデジタルカメラ１０内に設けられており、温度センサの計測温度から予め決められた振動子１７０の振動周波数の補正値を不揮発性メモリ１２８に記憶させ、計測温度と補正値をＢｕｃｏｍ１０１に読み込み、駆動周波数を演算して防塵フィルタ制御回路１２１の駆動周波数とすることによって、温度変化に対しても効率の良い振動を発生することができる。
【００６６】
次に、本実施形態におけるデジタルカメラ１０の防塵フィルタ制御回路１２１について、以下に説明する。
【００６７】
図９は、デジタルカメラ１０のボディユニット１００における防塵フィルタ制御回路１２１の構成を概略的に示す回路図である。図１０は、図９の防塵フィルタ制御回路１２１における各構成部材から出力される各信号形態を示すタイムチャートである。
【００６８】
ここに例示した防塵フィルタ制御回路１２１は、図９に示す如くの回路構成を有し、その各部において、図１０のタイムチャートで表わす波形の信号（Ｓｉｇ１〜Ｓｉｇ４）が生成され、それらの信号に基づいて次のように制御される。
【００６９】
防塵フィルタ制御回路１２１は、図９に例示の如く、Ｎ進カウンタ１８３、１／２分周回路１８４、インバータ１８５、複数のＭＯＳトランジスタＱ００，Ｑ０１，Ｑ０２、トランス１８６及び抵抗Ｒ００から構成されている。
【００７０】
上記トランス１８６の１次側に接続されたＭＯＳトランジスタＱ０１及びＭＯＳトランジスタＱ０２のＯＮ／ＯＦＦ切替え動作によって、そのトランス１８６の２次側に所定周期の信号（Ｓｉｇ４）が発生するように構成されており、この所定周期の信号に基づき圧電素子１２０を駆動させ、防塵フィルタ１１９を固着した振動子１７０に共振定在波を発生させるようになっている。
【００７１】
Ｂｕｃｏｍ１０１は、制御ポートとして設けられた２つのＩＯポートＰ＿ＰｗＣｏｎｔ及びＩＯポートＤ＿ＮＣｎｔと、このＢｕｃｏｍ１０１内部に存在するクロックジェネレータ１８７を介して防塵フィルタ制御回路１２１を次のように制御する。クロックジェネレータ１８７は、圧電素子１２０へ印加する信号周波数より充分に早い周波数でパルス信号（基本クロック信号）をＮ進カウンタ１８３へ出力する。この出力信号が、図１０中のタイムチャートが表わす波形の信号Ｓｉｇ１である。そしてこの基本クロック信号はＮ進カウンタ１８３へ入力される。
【００７２】
Ｎ進カウンタ１８３は、当該パルス信号をカウントし所定の値“Ｎ”に達する毎にカウント終了パルス信号を出力する。即ち、基本クロック信号を１／Ｎに分周することになる。この出力信号が、図１０中のタイムチャートが表わす波形の信号Ｓｉｇ２である。
【００７３】
この分周されたパルス信号はＨｉｇｈとＬｏｗのデューティ比が１：１ではない。そこで、１／２分周回路１８４を通してデューティ比を１：１へ変換する。尚、この変換されたパルス信号は、図１０中のタイムチャートが表わす波形の信号Ｓｉｇ３に対応する。
【００７４】
この変換されたパルス信号のＨｉｇｈ状態において、この信号が入力されたＭＯＳトランジスタＱ０１がＯＮする。一方、ＭＯＳトランジスタＱ０２へはインバータ１８５を経由してこのパルス信号が印加される。従って、パルス信号のＬｏｗ状態において、この信号が入力されたＭＯＳトランジスタＱ０２がＯＮする。トランス１８６の１次側に接続されたＭＯＳトランジスタＱ０１とＭＯＳトランジスタＱ０２が交互にＯＮすると、２次側には図１０中の信号Ｓｉｇ４の如き周期の信号が発生する。
【００７５】
トランス１８６の巻き線比は、電源回路１３５のユニットの出力電圧と圧電素子１２０の駆動に必要な電圧とから決定される。尚、抵抗Ｒ００はトランス１８６に過大な電流が流れることを制限するために設けられている。
【００７６】
圧電素子１２０を駆動するに際しては、ＭＯＳトランジスタＱ００がＯＮ状態にあり、且つ、電源回路１３５からトランス１８６のセンタータップに電圧が印加されていなければならない。そして、この場合において、ＭＯＳトランジスタＱ００のＯＮ／ＯＦＦ制御は、Ｂｕｃｏｍ１０１のＩＯポートＰ＿ＰｗＣｏｎｔを介して行われるようになっている。Ｎ進カウンタ１８３の設定値“Ｎ”は、Ｂｕｃｏｍ１０１のＩＯポートＤ＿ＮＣｎｔから設定でき、よって、Ｂｕｃｏｍ１０１は、設定値“Ｎ”を適宜に制御することで、圧電素子１２０の駆動周波数を任意に変更可能である。
【００７７】
このとき、次の（６）式によって周波数は算出可能である。即ち、
ｆｄｒｖ＝ｆｐｌｓ／２Ｎ                                      …（６）
但し、ＮはＮ進カウンタ１８３への設定値、ｆｐｌｓはクロックジェネレータ１８７の出力パルスの周波数、ｆｄｒｖは圧電素子１２０に印加される信号の周波数である。
【００７８】
尚、この（６）式に基づいた演算は、Ｂｕｃｏｍ１０１のＣＰＵ（制御手段）で行われる。
【００７９】
さらに、このデジタルカメラ１０は、超音波域（２０ｋＨｚ以上の周波数）の周波数で防塵フィルタ１１９を振動させる場合に、デジタルカメラ１０の操作者に防塵フィルタ１１９の動作を告知する表示部を、動作表示用ＬＣＤ１２９あるいは動作表示用ＬＥＤ１３０に設けている。つまり、上記ＣＣＤ１１７の前面に配置され振動可能な透光性をもつ被振動部材（防塵フィルタ１１９）に対して、加振部材（圧電素子１２０）で振動を与えるとき、加振部材の駆動回路（防塵フィルタ制御回路１２１）の動作と連動してデジタルカメラ１０の表示部を動作させ、防塵フィルタ１１９の動作を告知することも実施する（詳細は後述する）。
【００８０】
上述の特徴を詳しく説明する為、Ｂｕｃｏｍ１０１が行なう制御について、図１１及び図１２を参照しながら具体的な制御動作について説明する。
【００８１】
図１１には、本実施形態のデジタルカメラ１０の動作制御をフローチャートで表わしており、このＢｕｃｏｍ１０１が行なうカメラシーケンス（メインルーチン）の手順を例示している。
【００８２】
Ｂｕｃｏｍ１０１で稼動可能な図１１に示すフローチャートに係わる制御プログラムはカメラのボディユニット１００の電源ＳＷ（不図示）がＯＮ操作されると、その稼動を開始する。
【００８３】
最初に、当該デジタルカメラ１０を起動するための処理が実行される（ステップＳ１０１）。即ち、電源回路１３５を制御して当該デジタルカメラ１０を構成する各回路ユニットへ電力を供給する。また、各回路の初期設定を行なう。
【００８４】
次に、後述するサブルーチン「無音加振動作」をコールすることで、無音（即ち可聴範囲外）で防塵フィルタ１１９を振動させる（ステップＳ１０２）。尚、ここで云う可聴範囲は、一般人の聴力を基準にして約２０Ｈｚ〜２００００Ｈｚの範囲内とする。
【００８５】
続くステップＳ１０３からステップＳ１２４までは、周期的に実行されるステップ群である。即ち、まず、当該デジタルカメラ１０に対するアクセサリの着脱を検出する（ステップＳ１０３）。これは、例えば、アクセサリの１つであるレンズユニット２００が、ボディユニット１００に装着されたことを検出する。その着脱検出動作は、Ｌｕｃｏｍ２０１と通信を行なうことでレンズユニット２００の着脱状態を調べる。
【００８６】
もし、所定のアクセサリがボディユニット１００に装着されたことが検出されたならば（ステップＳ１０４）、サブルーチン「無音加振動作」をコールすることで、無音で防塵フィルタ１１９を振動させる（ステップＳ１０５）。
【００８７】
このように、カメラ本体であるボディユニット１００にアクセサリの特にレンズユニット２００が装着されていない期間には特に、各レンズや防塵フィルタ１１９等に塵埃が付着する可能性が高いので、上述の如くレンズユニット２００の装着を検出したタイミングで塵埃を払う動作を実行することは有効である。また、レンズ交換時にボディユニット１００内部に外気が循環し塵埃が進入して付着する可能性が高いので、このレンズ交換時に塵埃除去することは有意義である。そして、撮影直前とみなし、ステップＳ１０６へ移行する。
【００８８】
一方、上記ステップＳ１０４で、レンズユニット２００がボディユニット１００から外された状態であることを検出した場合は、そのまま次のステップＳ１０６へ移行する。
【００８９】
そして、ステップＳ１０６では、当該デジタルカメラ１０が有する所定の操作スイッチの状態検出が行なわれる。
【００９０】
ここで、レリーズＳＷを成す１ｓｔ．レリーズＳＷ（不図示）が操作されたか否かを、当該ＳＷのＯＮ／ＯＦＦ状態で判定する（ステップＳ１０７）。その状態を読み出し、もし１ｓｔ．レリーズＳＷが所定時間以上ＯＮ操作されない場合には、電源ＳＷの状態を判別する（ステップＳ１０８）。そして、電源ＳＷがＯＮされていれば上記ステップＳ１０３に戻り、ＯＦＦされていれば終了処理（スリープ等）となる。
【００９１】
一方、上記ステップＳ１０７にて１ｓｔ．レリーズＳＷがＯＮ操作されたと判別した場合には、画像処理コントローラ１２６からの撮像画像から被写体の輝度情報を入手し、この情報から撮像ユニット１１６の露光時間（Ｔｖ値）とレンズユニット２００の絞り設定値（Ａｖ値）を算出する（ステップＳ１０９）。
【００９２】
その後、同じく撮像画像のコントラストを検出する（ステップＳ１１０）。そして、その検出されたコントラストが許可された範囲内にあるか否かを判定し（ステップＳ１１１）、否の場合は撮影レンズ２０２の駆動制御を行って（ステップＳ１１２）、上記ステップＳ１０３へ戻る。
【００９３】
一方、許可された範囲内にコントラストが在る場合は、サブルーチン「無音加振動作」をコールして無音で防塵フィルタ１１９の振動を開始させる（ステップＳ１１３）。
【００９４】
さらに、レリーズＳＷを成す２ｎｄ．レリーズＳＷ（不図示）がＯＮ操作されたか否かを判定する（ステップＳ１１４）。この２ｎｄ．レリーズＳＷがＯＮ状態のときは、続くステップＳ１１５へ移行して所定の撮影動作（詳細後述）を開始するが、ＯＦＦ状態のときは上記ステップＳ１０８へ移行する。
【００９５】
尚、撮像動作中では、通常の如く、露出の為に予め設定された秒時（露出秒時）に対応した時間の電子撮像動作を制御する。
【００９６】
上記撮影動作として、ステップＳ１１５からステップＳ１２１までは、所定の順序にて被写体の撮像が行われる。まずＬｕｃｏｍ２０１へＡｖ値を送信して、絞り２０３の駆動を指令する（ステップＳ１１５）。そして、シャッタ１０８の先幕走行を開始させてＯＰＥＮ制御し（ステップＳ１１７）、画像処理コントローラ１２６に対して「撮像動作」の実行を指令する（ステップＳ１１８）。Ｔｖ値で示された時間だけのＣＣＤ１１７への露光（撮像）が終了すると、シャッタ１０８の後幕走行を開始させてＣＬＯＳＥ制御する（ステップＳ１１９）。そして、シャッタ１０８のチャージ動作を行なう（ステップＳ１２０）。
【００９７】
その後、Ｌｕｃｏｍ２０１に対して絞り２０３を開放位置へ復帰させるように指令して（ステップＳ１２１）、一連の撮像動作を終了する。
【００９８】
続いて、記録メディア１２７がボディユニット１００に装着されているか否かを検出し（ステップＳ１２２）、否の場合は、警告表示をする（ステップＳ１２３）。そして再び上記ステップＳ１０３へ移行して、同様な一連の処理を繰り返す。
【００９９】
一方、記録メディア１２７が装着されていれば、画像処理コントローラ１２６に対し撮影した画像データを記録メディア１２７へ記録するように指令する（ステップＳ１２４）。その画像データの記録動作が終了すると、再び、上記ステップＳ１０３へ移行して、同様な一連の処理を繰り返す。
【０１００】
以下、詳しい振動形態と表示の関係について、上述した３つのステップ（Ｓ１０２，Ｓ１０５，Ｓ１１３）でコールされる「無音加振動作」サブルーチンの制御手順を図１２に基づき説明する。尚、この「振動形態」とは、加振部材である圧電素子１２０によって引き起こされる振動の形態である。
【０１０１】
図１２（Ａ）は、上記サブルーチン「無音加振動作」の動作手順を表わすフローチャートを示す図であり、図１２（Ｂ）乃至（Ｄ）はそれぞれ、図１２（Ａ）のサブルーチン「無音加振動作」の各タイミングにて並行して実行される「表示動作」の動作手順を表わすフローチャートを示す図である。この無音加振動作において、加振部材へ連続的に供給される共振周波数の波形を表わすグラフが図１３に示されている。
【０１０２】
図１２のサブルーチン「無音加振動作」と「表示動作」は、防塵フィルタ１１９の塵埃除去の為にだけの加振動作を目的とするルーチンであるので、振動周波数ｆ０は、その防塵フィルタ１１９の共振周波数付近の所定の周波数に設定されている。例えば図５の振動モードの場合は、９０ｋＨｚであり、少なくとも２０ｋＨｚ以上の振動である故に、ユーザにとっては無音である。
【０１０３】
まず、防塵フィルタ１１９を振動させるための駆動時間（Ｔｏｓｃｆ０）と駆動周波数（共振周波数：Ｎｏｓｃｆ０）に関するデータを、不揮発性メモリ１２８の所定領域に記憶されている中から読み出す（ステップＳ２０１）。このタイミングで、動作表示用ＬＣＤ１２９あるいは動作表示用ＬＥＤ１３０に設けた表示部への加振モードの表示をＯＮする（ステップＳ３０１）。そして、所定時間が経過したかを判定し（ステップＳ３０２）、所定時間が経過していないときは加振モードの表示を継続し、所定時間経過後は加振モード表示をＯＦＦする（ステップＳ３０３）。
【０１０４】
次に、Ｂｕｃｏｍ１０１の出力ポートＤ＿ＮＣｎｔから、駆動周波数Ｎｏｓｃｆ０を、防塵フィルタ制御回路１２１のＮ進カウンタ１８３へ出力する（ステップＳ２０２）。
【０１０５】
続くステップＳ２０３〜ステップＳ２０５では、次のように塵埃除去動作が行なわれる。即ち、まず塵埃除去動作を開始させ実行する。一方、この時の表示は、出力ポートＰ＿ＰｗＣｏｎｔをＨｉｇｈのタイミングで加振動作表示を開始させ（ステップＳ３１１）、次に所定時間が経過したかを判定し（ステップＳ３１２）、所定時間が経過していないときは加振動作の表示を継続し、所定時間経過後は加振動作表示を終了する（ステップＳ３１３）。この時の加振動作表示は時間経過、あるいは塵埃除去経過に応じて変化する表示をする（不図示）。この場合の所定時間は、後に述べる加振動作の継続時間であるＴｏｓｃｆ０に略等しい。また、塵埃除去のために出力ポートＰ＿ＰｗＣｏｎｔをＨｉｇｈに設定すると（ステップＳ２０３）、圧電素子１２０は所定の駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ０）で防塵フィルタ１１９を加振し、防塵フィルタ１１９面に付着した塵埃１８０を振り払う。この塵埃除去動作で防塵フィルタ１１９面に付着した塵埃１８０が振り払われるとき、同時に、空気振動が起こり、超音波が発生する。（但し、駆動周波数Ｎｏｓｃｆ０で駆動されても、一般人の可聴範囲内の音にはならず、聞こえない）。
【０１０６】
所定駆動時間（Ｔｏｓｃｆ０）、防塵フィルタ１１９を振動させた状態で待機し（ステップＳ２０４）、その所定駆動時間（Ｔｏｓｃｆ０）経過後、出力ポートＰ＿ＰｗＣｏｎｔをＬｏｗに設定することで、加振終了表示をＯＮする（ステップＳ３２１）とともに、塵埃除去動作を停止させる（ステップＳ２０５）。加振終了表示は、所定時間経過後（ステップＳ３２２）に、ＯＦＦされて表示を終了する（ステップＳ３２３）。そして、コールされたステップの次のステップへリターンする。
【０１０７】
このサブルーチンで適用される振動周波数ｆ０（共振周波数（Ｎｏｓｃｆ０））と駆動時間（Ｔｏｓｃｆ０）は、図１３にグラフで表わした如くの波形を示す。即ち、一定の振動（ｆ０＝９０ｋＨｚ）が、塵埃除去に充分な時間（Ｔｏｓｃｆ０）だけ続く連続的な波形となる。
【０１０８】
つまり、この振動形態が、加振部材に供給する共振周波数を調整して制御するものである。
【０１０９】
［第２実施形態］
図１４は、本発明の画像機器の第２実施形態としてのデジタルカメラにおけるＢｕｃｏｍが行なうカメラシーケンス（メインルーチン）においてコールされるサブルーチン「無音加振動作」の動作手順を表わすフローチャートを示す図である。
【０１１０】
これは、上記第１実施形態における図１２に示すサブルーチン「無音加振動作」の動作を変更したものであり、本第２実施形態は、防塵フィルタ１１９の動作が、上記第１実施形態と異なる。即ち、上記第１実施形態では、防塵フィルタ１１９の駆動周波数はｆ０と言う固定値にして定在波が発生する形態としていたが、本第２実施形態は、駆動周波数を順次変更して加えることで、厳密に駆動周波数を制御しなくても、共振周波数を含む、振動振幅の大きな振動を発生するようにしたものである。
【０１１１】
また、防塵フィルタ１１９では、縦横比が製造バラツキで変化した場合に振動モードが大きく変化する（振動速度比が急激に減少する）縦横比が存在し、そのような縦横比の防塵フィルタ１１９とした場合には、製品ごとに正確に共振周波数を設定して圧電素子１２０を駆動する必要がある（共振周波数ではない周波数で駆動すると振動速度がさらに下がる）。本第２実施形態のような周波数制御方法を適用すれば、非常に簡単な制御回路で、正確な共振周波数での駆動が可能となり、製造バラツキによる共振周波数のバラツキがあったとしても適正な制御が可能となる。
【０１１２】
まず、防塵フィルタ１１９を振動させるための駆動時間（Ｔｏｓｃｆ０）と駆動開始周波数（Ｎｏｓｃｆｓ）と周波数変移量（Δｆ）と駆動終了周波数（Ｎｏｓｃｆｔ）に関するデータを、不揮発性メモリ１２８の所定領域に記憶されている中から読み出す（ステップＳ２１１）。このタイミングで、図１２（Ｂ）に示したような加振モードの表示を行うことは上記第１実施形態と同様である。
【０１１３】
次に、駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）に駆動開始周波数（Ｎｏｓｃｆｓ）を設定する（ステップＳ２１２）。また、Ｂｕｃｏｍ１０１のＩＯポートＤ＿ＮＣｎｔから、駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）を、防塵フィルタ制御回路１２１のＮ進カウンタ１８３へ出力する（ステップＳ２１３）。
【０１１４】
続くステップＳ２０３以降では、次のように塵埃除去動作が行なわれる。即ち、まず塵埃除去動作を開始させ実行する。また、このとき、図１２（Ｃ）に示したような加振動作表示を行うことは上記第１実施形態と同様である。
【０１１５】
まず、塵埃除去のために出力ポートＰ＿ＰｗＣｏｎｔをＨｉｇｈに設定すると（ステップＳ２１４）、圧電素子１２０は所定の駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）で防塵フィルタ１１９を加振し、防塵フィルタ１１９に振動振幅の小さな定在波振動を生じさせる。防塵フィルタ１１９面に付着した塵埃１８０は振動振幅が小さいと、除去することができない。駆動時間（Ｔｏｓｃｆ０）の間、この振動は継続される（ステップＳ２１５）。次に、駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）が駆動終了周波数（Ｎｏｓｃｆｔ）であるかを比較判定し（ステップＳ２１６）、一致していなければ（ＮＯの判定）、駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）に周波数変移量（Δｆ）を加算して、再び駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）に設定し（ステップＳ２１７）、上記ステップＳ２１２の動作から上記ステップＳ２１６までの動作を繰り返す。
【０１１６】
そして、上記ステップＳ２１６で駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）が駆動終了周波数（Ｎｏｓｃｆｔ）に一致したとき（ＹＥＳ）には、Ｐ＿ＰｗＣｏｎｔをＬｏｗに設定し、圧電素子１２０の加振動作が終了して（ステップＳ２１８）、一連の「無音加振動作」が終了する。また、このとき、図１２（Ｄ）に示したような加振終了表示を行うことは上記第１実施形態と同様である。
【０１１７】
このように周波数を変更していった場合に、定在波振動の振幅が増大していく。そこで、定在波の共振周波数を通過するように駆動開始周波数（Ｎｏｓｃｆｓ）と周波数変移量（Δｆ）と駆動終了周波数（Ｎｏｓｃｆｔ）を設定すれば、防塵フィルタ１１９に振動振幅の小さな定在波振動がまず発生し、次第に定在波振動の振幅が増大していき、共振振動になった後、定在波振動振幅が小さくなるといった制御をすることができる。そして、所定以上の振動振幅（振動速度）があれは、塵埃１８０は除去することが出来るので、ある所定の周波数範囲に渡って塵埃１８０を除去することが可能であり、本実施形態の場合は共振時の振動振幅が大きいことからその周波数範囲も広くなる。
【０１１８】
また、駆動開始周波数（Ｎｏｓｃｆｓ）と駆動終了周波数（Ｎｏｓｃｆｔ）の間をある程度広くとれば、振動子１７０の温度や製造バラツキによる共振周波数の変化を吸収することが可能で、極めて簡単な回路構成で確実に防塵フィルタ１１９に付着した塵埃１８０を振り払うことが可能となる。
【０１１９】
以上、実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形や応用が可能なことは勿論である。
【０１２０】
例えば、上記の加振部材による塵埃除去機構の他に、空気流によって防塵フィルタ１１９の塵埃１８０を除去する方式、あるいはワイパーにより防塵フィルタ１１９の塵埃１８０を除去するような機構を組み合わせて用いても良い。
【０１２１】
また、上述した実施形態では、ファインダは液晶モニタを利用したものとなっているが、一眼レフ式の光学ファインダをもつカメラでも勿論良い。
【０１２２】
さらに、上述した実施形態では、撮像素子としてＣＣＤ１１７を例に挙げているが、もちろん、ＣＭＯＳやその他の撮像素子であっても構わない。また、上述した実施形態では、加振部材は圧電素子１２０としていたが、電歪材料でも、超磁歪材でも勿論良い。
【０１２３】
また、振動の際、加振する対象部材に付着している塵埃１８０をより効率よく振り落とせるよう、その表面に、例えば、透明導電膜であるＩＴＯ（酸化インジウム・錫）膜、インジウム亜鉛膜、ポリ３，４エチレンジオキシチオフェン膜、吸湿型静電気防止膜である界面活性剤膜、シロキサン系膜、等をコーティング処理しても良い。但し、振動に係わる周波数や駆動時間などは上記膜の部材に対応した値に設定する。
【０１２４】
また、本願の一実施形態として記載した光学ＬＰＦ１１８を、複屈折性を有する複数枚の光学ＬＰＦとして構成しても良い。そして、それら複数枚に構成した光学ＬＰＦのうちの最も被写体側に配置された光学ＬＰＦを、図２に記載した防塵フィルタ１１９の代わりに防塵部材（加振対象）として使用しても良い。
【０１２５】
また、本願の一実施形態として図２に記載した光学ＬＰＦ１１８を有さないカメラとし、防塵フィルタ１１９を、例えば、光学ＬＰＦ、赤外カットフィルタ、偏向フィルタ、ハーフミラー等の何れかの光学素子として使用するようにしても良い。
【０１２６】
さらに、上記光学ＬＰＦ１１８を有さないだけでなく、防塵フィルタ１１９を、図２記載の保護ガラス１４２に代用させる構成としても良い。この場合、保護ガラス１４２とＣＣＤチップ１３６との防塵・防湿状態を維持するようにすると共に、保護ガラス１４２を支持しつつ振動させる構成として、図２記載の防塵フィルタ１１９を支持しつつ振動させる構成を利用すれば良い。なお、保護ガラス１４２を、光学ＬＰＦ、赤外カットフィルタ、偏向フィルタ、ハーフミラー等の何れかの光学素子として使用するようにしても良いのはいうまでもない。
【０１２７】
尚、本発明を適用する画像機器としては、例示した撮像装置（デジタルカメラ）に限らず、塵埃除去機能を必要とする装置であれば良く、必要に応じて変形実施することで実用化され得る。より、具体的には液晶等の表示素子を用いた画像投影装置における表示素子と光源の間、あるいは表示素子と投影レンズとの間に、本発明の塵埃除去機構を設けても良い。
【符号の説明】
【０１２８】
１０…デジタルカメラ、  １００…ボディユニット、  １０１…ボディ制御用マイクロコンピュータ（Ｂｕｃｏｍ）、  １０８…シャッタ、  １１６…撮像ユニット、  １１７…ＣＣＤ、  １１８…光学ローパスフィルタ（ＬＰＦ）、  １１９…防塵フィルタ、  １１９ａ…底面部、  １１９ｂ…側壁部、  １１９ｃ…防塵フィルタの重心、  １２０…圧電素子、  １２１…防塵フィルタ制御回路、  １２２…ＣＣＤインターフェース回路、  １２８…不揮発性メモリ、  １２９…動作表示用ＬＣＤ、  １３０…動作表示用ＬＥＤ、  １３１…カメラ操作ＳＷ、  １３４…電池、  １３５…電源回路、  １３６…ＣＣＤチップ、  １３７…固定板、  １３８…フレキシブル基板、  １３９ａ，１３９ｂ…接続部、  １４０…主回路基板、  １４１ａ，１４１ｂ…コネクタ、  １４２…保護ガラス、  １４３…スペーサ、  １４４…フィルタ受け部材、  １４５…ホルダ、  １４６…開口、  １４７…段部、  １４９…結像光線通過エリア、  １５０…受け部材、  １５１…締結部材、  １５７…フレキ、  １５８…台、  １５９…保持材、  １７０…振動子、  １７１，１７２…信号電極、  １７３…節エリア、  １７５…中心振動領域、  １７５ａ…中心振動領域の重心、  １７７…分極方向を示す矢印、  １７８…節、  １７９…振動の腹、  １８０…塵埃、  １８３…Ｎ進カウンタ、  １８４…１／２分周回路、  １８５…インバータ、  １８６…トランス、  １８７…クロックジェネレータ、  ２００…レンズユニット、  ２０１…レンズ制御用マイクロコンピュータ（Ｌｕｃｏｍ）、  ２０２…撮影レンズ、  ２０３…絞り。
【図１】
0005616774.tif 000002
【図２】
0005616774.tif 000003
【図３】
0005616774.tif 000004
【図４】
0005616774.tif 000005
【図５】
0005616774.tif 000006
【図６】
0005616774.tif 000007
【図７】
0005616774.tif 000008
【図８】
0005616774.tif 000009
【図９】
0005616774.tif 000010
【図１０】
0005616774.tif 000011
【図１１】
0005616774.tif 000012
【図１２】
0005616774.tif 000013
【図１３】
0005616774.tif 000014
【図１４】
0005616774.tif 000015