(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面増強発光のための発光強化装置であって、
基板と、
複数の可撓性柱構造であって、前記複数の可撓性柱構造の各可撓性柱構造が、
前記基板に結合された可撓性柱と、
前記可撓性柱の頂点に結合された金属キャップと
を含む、複数の可撓性柱構造と
を含み、
前記複数の可撓性柱構造のうちの少なくとも第１の可撓性柱構造及び第２の可撓性柱構造は、前記第１の可撓性柱構造の第１の金属キャップ及び前記第２の可撓性柱構造の第２の金属キャップに近接する位置まで分子を運ぶために設けられた流体キャリアの除去により誘発される微細毛管力の作用によって、前記第１の可撓性柱構造の第１の可撓性柱と、前記第２の可撓性柱構造の第２の可撓性柱とが、互いの方に曲がり、少なくとも１つの分子が、前記第１の金属キャップと前記第２の金属キャップの間に配置されるように構成される、発光強化装置。
【請求項２】
複数の金属キャップのうちの少なくとも１つの金属キャップは、前記金属キャップに非常に近接して配置された分子からの発光を強化するように構成される、請求項１に記載の発光強化装置。
【請求項３】
前記複数の金属キャップのうちの少なくとも１つの金属キャップは、銅、銀、アルミニウム、及び金、又は銅、銀、アルミニウム及び金の任意の組み合わせからなる一群の中から選択された１つの構成要素から構成される、請求項１に記載の発光強化装置。
【請求項４】
前記複数の可撓性柱構造の可撓性柱は、高度架橋紫外線硬化性ポリマー、高度架橋熱硬化性ポリマー、高度架橋紫外線硬化性プラスチック、高度架橋熱硬化性プラスチック、ポリシロキサン化合物、ケイ素、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、ダイヤモンド、ダイヤモンド・ライク・カーボン、スピンオンガラス、ゾルゲル材料、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、サファイア、及び二酸化チタンからなる一群の中から選択された１つの可撓性材料をさらに含む、請求項１〜３の何れか一項に記載の発光強化装置。
【請求項５】
前記複数の可撓性柱構造の金属キャップは、前記金属キャップに非常に近接して配置された分子と結合するように構成される、請求項１〜４の何れか一項に記載の発光強化装置。
【請求項６】
前記第１の金属キャップと前記第２の金属キャップの間に前記少なくとも１つの分子が配置されたときの、前記第１の金属キャップと前記第２の金属キャップの間隔は、前記少なくとも１つの分子と前記第１の金属キャップ及び前記第２の金属キャップとの間における結合力と、前記少なくとも１つの分子の方へ向かう前記第１の可撓性柱及び前記第２の可撓性柱の変位に起因して、前記第１の可撓性柱及び前記第２の可撓性柱により発揮される復元力とのバランスによって決定される、請求項１〜５の何れか一項に記載の発光強化装置。
【請求項７】
前記複数の可撓性柱構造の可撓性柱は、ナノコーン、ナノピラミッド、ナノロッド、ナノバー、ナノポール、及びナノグラスからなる一群の中から選択された形状を有する、請求項１〜６の何れか一項に記載の発光強化装置。
【請求項８】
前記複数の可撓性柱構造の金属キャップは、ナノスフェア、扁長ナノスフェロイド、扁平ナノスフェロイド、ナノディスク、及びナノプレートからなる一群の中から選択された形状を有する、請求項１〜７の何れか一項に記載の発光強化装置。
【請求項９】
表面増強発光のための発光強化装置を製造する方法であって、
基板を用意するステップと、
前記基板上に複数の可撓性柱を生成するステップと、
前記複数の可撓性柱の複数の頂点の上に複数の金属キャップを作成するステップと
を含み、前記複数の可撓性柱は、前記複数の可撓性柱のうちの少なくとも第１の可撓性及び第２の可撓性柱が、前記第１の可撓性柱上の第１の金属キャップ及び前記第２の可撓性柱上の第２の金属キャップに近接する位置まで分子を運ぶために設けられた流体キャリアの除去により誘発される微細毛管力の作用によって、前記第１の金属キャップと前記第２の金属キャップの間に少なくとも１つの分子が配置された状態で、
互いの方に曲がることを可能にする材料から構成され、前記第１の金属キャップ及び前記第２の金属キャップは、前記少なくとも１つの分子が前記第１及び第２の金属キャップのうちの少なくとも一方に近接して配置されたときに、前記少なくとも１つの分子の発光を強化する材料から構成される、方法。
【請求項１０】
前記基板上に複数の可撓性柱を生成するステップは、前記基板上にナノワイヤを成長させること、前記基板をエッチングすること、前記基板上のコーティングをホットナノエンボス加工すること、及び前記基板上のコーティングをナノインプリントすることからなる一群の中から選択された１つのプロセスからなる、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記複数の金属キャップを作成するステップは、金属キャップを蒸着すること、金属キャップを電気めっきすること、金属ナノ粒子のコロイド状ナ懸濁液から金属キャップを析出すること、堆積された金属層の種々の部分をリフトオフし、金属キャップを形成すること、及びエネルギー粒子の照射によって、吸収される有機金属化合物を低減し、金属キャップを形成することからなる一群の中から選択された１つのプロセスからなる、請求項９又は請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記複数の金属キャップを作成するステップは、前記基板の表面に対し約３０°の角度で、前記複数の可撓性柱の複数の頂点の上に金属を蒸着することを含む、請求項９又は請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
前記複数の可撓性柱は、ナノコーン、ナノピラミッド、ナノロッド、ナノバー、ナノポール、及びナノグラスからなる一群の中から選択された形状を有する、請求項９〜１２の何れか一項に記載の方法。
【請求項１４】
前記複数の金属キャップは、ナノスフェア、扁長ナノスフェロイド、扁平ナノスフェロイド、ナノディスク、及びナノプレートからなる一群の中から選択された形状を有する、請求項９〜１３の何れか一項に記載の方法。
【請求項１５】
光学装置であって、
請求項１〜８の何れか一項に記載の表面増強発光のための発光強化装置を含む光学部品と、
前記少なくとも１つの分子の表面増強ラマン分光法を実施するために前記光学部品を受け入れるように構成された分光計と
を含む、光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、２０１０年４月２０日にZhiyong Li他により出願され、本願の譲受人に譲渡された「MULTI-PILLAR STRUCTURE FOR MOLECULAR ANALYSIS」と題する、代理人整理番号２００９０４８１０−１を有する米国特許出願第 号に関連する。
【０００２】
本発明の種々の実施形態は、概して、表面増強発光のための装置に関する。
【背景技術】
【０００３】
表面増強ラマン分光法（ＳＥＲＳ）のような表面増強発光技術は、無機材料、及び複雑な有機分子の構造の分析のための最先端技術として出現した。例えば、ＳＥＲＳにおいて、ラマン発光の応用に従事する科学者らは、後に分子が吸収されることになる表面を、薄い金属の層で装飾することによって、その金属の層において、表面プラズモンが、そのような分子を励起させるために使用される電磁波の範囲における周波数を有し、及び、その金属の層において、表面プラズモンが、そのような分子により放射される電磁波の範囲における周波数を有することとなり、そのような分子のラマンスペクトルの強度を強化することが可能であることを発見した。
【０００４】
また、分子構造の分析のために分光技術を使用している分光学者らは、そうした分光技術の感度を向上させることに、興味を持ち続けた。感度の向上が望ましいのは、分析時間が短縮されるからだけでなく、感度の向上により、以前は達成できなかった結果を得ることができるからである。例えば、感度の向上は、以前は検出できなかった分子成分についての検出能力下限に直接関連する。従って、表面増強発光技術の応用に従事する科学者らは、種々の分子、及びそれらの分子における種々の部分の分光的特徴の検出のために、例えばＳＥＲＳのような表面増強発光技術の感度を向上させることに意欲を示している。
【０００５】
添付の図面は、本明細書の一部に援用され、本明細書の一部を形成し、本発明の種々の実施形態を例示し、説明とともに、本発明の種々の実施形態を説明する働きをする。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明の一実施形態による、自己配列型発光強化装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の種々の実施形態による、複数の分子を含む流体キャリアに接触している自己配列型発光強化装置を、図１のライン２−２’に沿って切断して見たときの、横断立面図である。
【図３】本発明の種々の実施形態に従って、可撓性柱構造が最密構成を成して自己配列し、その際、種々の分子が、可撓性柱構造の金属キャップ間に配置されることを示す、自己配列型発光強化装置を示す横断立面図である。
【図４】本発明の種々の実施形態に従って、可撓性柱構造が最密構成を成して自己配列し、その際、種々の分子が、金属キャップ間に配置された後の、図１の自己配列型発光強化装置を示す他の横断立面図である。
【図５】本発明の種々の実施形態による、図１の表面増強発光のための自己配列型発光強化装置を含む光学部品を含む光学的装置を示す概略図であり、金属キャップ間に配置された種々の分子の表面増強ラマン分光法（ＳＥＲＳ）のための例示的構成を示している。
【図６Ａ】本発明の種々の実施形態による、製造時に使用される加工処理を示す、図１の自己配列型発光強化装置の製造時における一工程を示す横断立面図である。
【図６Ｂ】本発明の種々の実施形態による、製造時に使用される加工処理を示す、図１の自己配列型発光強化装置の製造時における一工程を示す横断立面図である。
【図６Ｃ】本発明の種々の実施形態による、製造時に使用される加工処理を示す、図１の自己配列型発光強化装置の製造時における一工程を示す横断立面図である。
【図７】本発明の種々の実施形態による、自己配列型発光強化装置を製造する方法を示すフロー図である。
【０００７】
特に断りがない限り、この説明において参照される図面が、実際の寸法どおりに描かれているものと解釈してはならない。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
[実施形態の説明]
次に、本発明の種々の代替実施形態を詳細に参照する。本発明は、代替実施形態に関連して説明されるが、それらは、本発明をそれらの実施形態に制限することを意図するものではない。反対に、本発明は、代替、修正、及び均等をカバーすることを意図しており、それらも、添付の特許請求の範囲により規定される本発明の思想及び範囲に含まれる場合がある。
【０００９】
また、本発明の種々の実施形態に関する下記の説明においては、本発明を完全に理解してもらうために、多数の具体的詳細について説明をする。しかしながら、本発明の種々の実施形態は、それらの具体的詳細なしに実施される場合があることに留意しなければならない。他の例では、周知の方法、手順、及び構成要素については、本発明の種々の実施形態を不必要に不明瞭にしないために、詳細には説明されない。全図面を通じて、類似の構成要素は、類似の符号によって示され、説明を明確にするために、重複する説明は、必要が無ければ省略される。
【００１０】
本発明の種々の実施形態は、表面増強発光のための自己配列型発光強化装置を含む。表面増強発光のための自己配列型発光強化装置は、基板、及び複数の可撓性柱構造を含む。複数のうちの１つの可撓性柱構造は、可撓性柱と、その可撓性柱の頂点に結合された金属キャップとを含む。少なくともその可撓性柱構造及び第２の可撓性柱構造は、最密構成を成して自己配列するように構成され、その際、少なくとも１つの分子が、少なくとも前記可撓性柱構造及び第２の可撓性柱構造のそれぞれの前記金属キャップと前記第２の金属キャップの間に配置される。
【００１１】
次に、図１を参照すると、本発明の種々の実施形態による、自己配列型発光強化装置１０１の斜視図１００が示されている。表面増強発光のための自己配列型発光強化装置１０１は、基板１１０と、例えば可撓性柱構造１２０−１、１２０−２、１２０−３、１２０−４及び１２０−５のような複数１２０の可撓性柱構造とを含む。複数１２０のうちの１つの可撓性柱構造１２０−１は、可撓性柱１２０−１Ａと、金属キャップ１２０−１Ｂとを含む。同様に、例えば、複数１２０のうちの可撓性柱構造１２０−２、１２０−３、１２０−４及び１２０−５のような他の可撓性柱構造は、例えば可撓性柱１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａのような可撓性柱をそれぞれ含み、及び、例えば金属キャップ１２０−２Ｂ、１２０−３Ｂ、１２０−４Ｂ及び１２０−５Ｂのような金属キャップをそれぞれ含む。図１に示されているように、一行の可撓性柱構造は、限定はしないが例えば、可撓性柱構造１２０−１、１２０−２、１２０−３、１２０−４及び１２０−５を含み、可撓性柱構造のアレイは、限定はしないが例えば、複数の行を含む。従って、本発明の一実施形態によれば、複数１２０の可撓性柱構造は、可撓性柱構造の複数の行を含む可撓性柱構造のアレイを含む。ただし、図１に示されているものほど整然としていない可撓性柱の他の構成もまた、本発明の実施形態の思想及び範囲内である。図１に示されている構成は、例示的なものであり、トップダウン製造手順において製造される場合がある自己配列型発光強化装置１０１における複数１２０の可撓性柱構造の構成の一例である。トップダウン製造手順は、フォトリソグラフィプロセスにおいて網状マスクを使用するものであるが、他の製造方法もまた、この後に説明される本発明の種々の実施形態の思想及び範囲内である。
【００１２】
図１をさらに参照すると、本発明の種々の実施形態によれば、複数１２０の柱構造の例えば可撓性柱構造１２０−１のような可撓性柱構造は、マッシュルームの形を有する場合がある。そのため、発明者らは、可撓性柱構造のための比喩的な用語「マッシュルーム構造」を作り出した。ただし、本発明の種々の実施形態によれば、可撓性柱構造が、マッシュルームの形を有するものに限定されることはなく、他の形もまた、本発明の種々の実施形態の思想及び範囲内である。また、本発明の種々の実施形態によれば、可撓性柱は、限定はしないが例えば、図１及び図４に示されているように、ナノコーンの形を有する場合があり、より一般的には、可撓性柱は、限定はしないが、ナノコーン、ナノピラミッド、ナノロッド、ナノバー、ナノポール、及びナノグラスからなる一群の中から選択される場合がある。本明細書において、技術用語「ナノコーン、ナノピラミッド、ナノロッド、ナノバー、ナノポール、及びナノグラス」は、実質的に円錐形の、ピラミッド形の、ロッド状の、棒状の、ポール状の、及び草状の構造をそれぞれ意味し、それらは、数十ナノメートル（ｎｍ）程度の高さ、及び数ナノメートルの直径又は幅といったナノ寸法を有する。例えば、可撓性柱は、次のような寸法を有する場合がある：５０ｎｍから５００ｎｍの直径、５０ｎｍから２マイクロメートル（μｍ）の高さ、及び２０ｎｍから５００ｎｍの可撓性柱間ギャップ。実質的に円錐形の、実質的にピラミッド形の、実質的にロッド状の、実質的に棒状の、実質的にポール状の、及び実質的に草状の、といった技術用語は、ナノ技術を用いた製造の制限内において概ね、円錐、ピラミッド、ロッド、バー、ポール、及び草状の凹凸の形を有する構造をそれぞれ意味する。さらに、本発明の種々の実施形態によれば、金属キャップは、限定はしないが例えば、図１及び図４に示されているような扁平ナノスフェロイドの形を有する場合がある。ただし、より一般的には、金属キャップは、限定はしないが、ナノスフェア、扁長ナノスフェロイド、扁平ナノスフェロイド、ナノディスク及びナノプレートからなる一群の中から選択される場合がある。本明細書において、技術用語「ナノスフェア、扁長ナノスフェロイド、扁平ナノスフェロイド、ナノディスク及びナノプレート」とは、実質的に球形の、扁長回転楕円体形の、扁平回転楕円体形の、ディスク状の、及びプレート状の構造をそれぞれ意味し、それらは、数ナノメートルのサイズ（高さ、直径又は幅）のナノ寸法を有する。例えば、本発明の種々の実施形態によれば、金属キャップの直径は、２０ｎｍから５００ｎｍ程度である。さらに、実質的に球形の、実質的に扁長回転楕円体形の、実質的に扁平回転楕円体形の、実質的にディスク状の、及び実質的にプレート状の、といった技術用語は、ナノ技術を用いた製造の制限内において概ね、球形の、扁長回転楕円体形の、扁平回転楕円体形の、ディスク状の、及びプレート状の形を有する構造をそれぞれ意味する。
【００１３】
図１をさらに参照すると、本発明の種々の実施形態によれば、金属キャップ１２０−１Ｂは、可撓性柱１２０−１Ａの頂点１２０−１Ｃ（図１には示されていないが、図６Ｂ及び図６Ｃを参照）に結合される。同様に、例えば金属キャップ１２０−２Ｂ、１２０−３Ｂ、１２０−４Ｂ及び１２０−５Ｂのような他の金属キャップは、例えば可撓性柱１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａのような可撓性柱の、例えば頂点１２０−２Ｃ、１２０−３Ｃ、１２０−４Ｃ及び１２０−５Ｃのような頂点に、それぞれ結合される（図１には示されていないが、図６Ｂ及び図６Ｃを参照）。図１に示されているように、複数１２０の可撓性柱構造の間には、複数の隙間が設けられる。例えば、金属キャップ１２０−１Ｂと金属キャップ１２０−２Ｂの間には、小さな隙間１３０がある。さらに別の例として、４つの金属キャップ１２０−８Ｂ、１２０−９Ｂ、１２０−１３Ｂ及び１２０−１４Ｂの間には、異なる種類の隙間、すなわち大きな隙間１３２がある。こうした隙間は、表面増強発光の目的のために、分子（図示されていないが、図２を参照）を受け取るように構成される。本明細書において、技術用語「表面増強発光」もまた、その意味の範囲内に、表面増強ラマン分光法（ＳＥＲＳ）におけるような表面増強ラマン放射、及び表面増強蛍光を含む。本発明の種々の実施形態によれば、複数１２０のうちの少なくとも可撓性柱構造１２０−１及び第２の可撓性柱構造１２０−２は、最密構成を成して自己配列するように構成され、その際、ライン２−２に沿った断面図の助けを借りて次に説明されるように、例えば小さな隙間１３０の位置において、少なくとも１つの分子２２０−１（図示されていないが、図２を参照）が、少なくとも可撓性柱構造１２０−１及び第２の可撓性柱構造１２０−２のそれぞれの金属キャップ１２０−１Ｂと第２の金属キャップ１２０−２Ｂの間に配置される。
【００１４】
次に、図２を参照すると、図１のライン２−２に沿って切断して見たときの、本発明の種々の実施形態による自己配列型発光強化装置１０１の横断立面図が示されている。図２は、一行の可撓性柱構造１２０−１、１２０−２、１２０−３、１２０−４及び１２０−５を横から示している。可撓性柱構造１２０−１、１２０−２、１２０−３、１２０−４及び１２０−５は、可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａ、並びに金属キャップ１２０−１Ｂ、１２０−２Ｂ、１２０−３Ｂ、１２０−４Ｂ及び１２０−５Ｂをそれぞれ含む。図２に示されているように、可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａの各々の可撓性の範囲は、可撓性柱１２０−３Ａの上に重ねて描かれた例示的な両矢印によって示されている。図２にさらに示されているように、自己配列型発光強化装置１０１の可撓性柱構造１２０−１、１２０−２、１２０−３、１２０−４及び１２０−５の行は、例えば分子２２０−１及び２２０−２のような複数２２０の分子を含む流体キャリア２１２と接触するように構成される。図２に示されているように、限定はしないが例えば、流体キャリアは、フローベクトルによって示されているように、運動している場合があり、フローベクトル２１２−１は、そのようなフローベクトルの一例である。そのような構成は、疑わしい分子が存在する場合に、自己配列型発光強化装置１０１を使用して環境をサンプリングすることに適する場合がある。あるいは、自己配列型発光強化装置１０１を、検体を含む溶液であって、流体キャリア、及び検体を構成する分子を含む溶液に浸漬する場合のように、流体キャリアは、運動していない静的なものである場合がある。本発明の種々の実施形態によれば、技術用語「流体」は一般的な意味で使用され、従って、流体は、液体であってもよいし、又は代替的に気体であってもよい。従って、自己配列型発光強化装置１０１は、ＳＥＲＳ、表面増強蛍光分光法、又は他の表面増強発光アプリケーションのような分光分析のために、検体の分子を受け取るように構成される。
【００１５】
図２をさらに参照すると、本発明の種々の実施形態によれば、検体分子２２０−１は、例えば金属キャップ１２０−１Ｂ及び１２０−２Ｂのような近接する金属キャップが距離２４０によって隔離された場所である例えば隙間１３０のような隙間の部位に近づく場合がある。本発明の一実施形態によれば、複数１２０の可撓性柱構造の例えば金属キャップ１２０−１Ｂのような金属キャップは、金属キャップ１２０−１Ｂに非常に近接して配置された分子２２０−１と結合するように構成される。例えば、そのような結合は、限定はしないが、金属キャップ１２０−１Ｂと分子２２０−１との間のファンデルワールス力によって生じる場合がある。あるいは、そのような結合は、限定はしないが、金属キャップ１２０−１Ｂによる分子の表面物理吸着又は表面化学吸着のような他のタイプの結合力によって生じる場合がある。本発明の一実施形態によれば、分子が例えば金属キャップ１２０−１Ｂのような金属キャップにいったん結合されると、複数６３０（図６Ｃを参照）の金属キャップのうちの例えば金属キャップ１２０−１Ｂのような少なくとも１つの金属キャップは、金属キャップ１２０−１Ｂに非常に近接して配置された分子２２０−１からの発光を強化するように構成される。さらに、本発明の他の実施形態によれば、複数６３０（図６Ｃを参照）の金属キャップのうちの例えば金属キャップ１２０−１Ｂのような少なくとも１つの金属キャップは、銅、銀、アルミニウム及び金からなる一群の中から選択された材料、又は銅、銀、アルミニウム及び金の任意の組み合わせのような、表面発光を強化する構成要素から構成される場合がある。さらに、本発明の他の実施形態によれば、複数１２０の可撓性柱構造１２０−１、１２０−２、１２０−３、１２０−４及び１２０−５の可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａは、高度架橋紫外線硬化性又は熱硬化性ポリマー、高度架橋紫外線硬化性又は熱硬化性プラスチック、ポリシロキサン化合物、ケイ素、二酸化ケイ素、スピンオンガラス、ゾルゲル材料、窒化ケイ素、ダイヤモンド、ダイヤモンド・ライク・カーボン、酸化アルミニウム、サファイア、酸化亜鉛、及び二酸化チタンからなる、誘電体材料と非誘電体材料の両方を含む一群の中から選択された可撓性材料をさらに含む。その目的については、次に説明される。
【００１６】
次に、図３を参照すると、図１のライン２−２に沿って切断して見たときの、本発明の種々の実施形態による、自己配列型発光強化装置１０１の横断立面図３００が示されている。図３は、最密構成を成して自己配列している可撓性柱構造１２０−１、１２０−２、１２０−３及び１２０−４を示している。その際、例えば、分子２２０−１のような分子は、可撓性柱構造１２０−１及び１２０−２のそれぞれの金属キャップ１２０−１Ｂと１２０−２Ｂの間に配置され、分子２２０−２のような分子は、可撓性柱構造１２０−３及び１２０−４のそれぞれの金属キャップ１２０−３Ｂと１２０−４Ｂの間に配置されている。本発明の一実施形態によれば、複数１２０の可撓性柱構造の可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ及び１２０−４Ａは、上に記載したような可撓性又は柔軟性の材料を含むので、少なくとも１つの可撓性柱１２０−１Ａは、少なくとも第２の可撓性柱１２０−２Ａに向けて曲がるように構成され、分子２２０−１を、第２の可撓性柱１２０−２Ａ上の少なくとも第２の金属キャップ１２０−２Ｂに非常に近接して配置するように構成される。流体キャリアが液体を含む場合、例えば液体プール３２０及び３３０のような少量の液体が、例えば、可撓性柱１２０−１Ａと１２０−２Ａの間、及び可撓性柱１２０−３Ａと１２０−４Ａの間のような、可撓性柱の間にそれぞれ捕捉された状態に留まる場合があり、それらは、可撓性柱に印加される微細毛管力を生じさせる場合がある。この微細毛管力は、液体が蒸発する際に、例えば、可撓性柱１２０−１Ａと１２０−２Ａ、及び可撓性柱１２０−３Ａと１２０−４Ａのような可撓性柱を、１つに引き寄せる働きをする。それによって、可撓性柱構造１２０−１及び１２０−２を、最密構成を成して自己配列させることが可能となり、その際、少なくとも１つの分子２２０−１が、少なくとも可撓性柱構造１２０−１及び可撓性柱構造１２０−２のそれぞれの金属キャップ１２０−１Ｂと第２の金属キャップ１２０−２Ｂの間に配置される。
【００１７】
従って、図３をさらに参照すると、本発明の種々の実施形態によれば、流体キャリアが液体を含む場合、可撓性柱１２０−１Ａは、流体キャリア２１０の除去、すなわち、分子２２０−１を金属キャップ１２０−１Ｂ及び第２の金属キャップ１２０−２Ｂに近接する位置まで運ぶために設けられた液体の除去により誘発される微細毛管力の作用によって、第２の可撓性柱１２０−２Ａの方へ曲がるように構成される。本発明の他の実施形態によれば、金属キャップ１２０−１Ｂと第２の金属キャップ１２０−２Ｂの間に分子２２０−１が配置されるときの金属キャップ１２０−１Ｂと第２の金属キャップ１２０−２Ｂの間の最密構成の間隔３４０は、分子２２０−１と、金属キャップ１２０−１Ｂ及び第２の金属キャップ１２０−２Ｂとの間の結合力と、可撓性柱１２０−１Ａ及び第２の可撓性柱１２０−２Ａの分子２２０−１へ向かう方向への変位に起因して、可撓性柱１２０−１Ａ及び第２の可撓性柱１２０−２Ａにより発揮される復元力とのバランスによって決定される。従って、本発明の一実施形態によれば、間隔３４０は、分子２２０−１のサイズによって決まる限界に近づく。分子２２０−１のサイズは、０．５ｎｍ程度の大きさである場合がある。間隔３４０は、金属キャップ１２０−１Ｂと１２０−２Ｂの間における可能な限り小さな分離の物理的限界に近づく。従って、それらの金属キャップは、２つのアンテナとして機能し、表面増強発光のためのそのような少なくとも２つのアンテナ間において可能な場合がある最大結合に近づく。さらに、２以上のアンテナの結合の効果もまた、本発明の実施形態の思想及び範囲内であり、次に説明される。
【００１８】
次に、図４を参照し、図１及び図３をさらに参照すると、本発明の種々の実施形態による図１の自己配列型発光強化装置１０１の他の斜視図４００が示されている。図４に示されているように、複数１２０のうちの大半の柱構造は、最密構成を成して自己配列し、その際、例えば分子２２０−１、２２０−２及び４１０のような分子が、例えば金属キャップ１２０−１Ｂと１２０−２Ｂの間、金属キャップ１２０−３Ｂと１２０−４Ｂの間、及び金属キャップ１２０−８Ｂ、１２０−９Ｂ、１２０−１３Ｂ、１２０−１４Ｂの間にそれぞれ配置されている。本発明の種々の実施形態によれば、これらの金属キャップに結合された対応する可撓性柱は、流体キャリア２１０の除去により誘発される微細毛管力の作用によって発生しうるように、隣りの可撓性柱へ向けて曲げられている。流体キャリア２１０は、この例では液体である。例えば、隙間１３０に類似した小さな隙間は、例えば分子２２０−１及び２２０−２のような比較的小さな分子を捕捉するように構成され、隙間１３２に類似した大きな隙間は、例えば分子４１０のような比較的大きな分子を捕捉するように構成される。本発明の種々の実施形態によれば、捕捉される分子のサイズは、分子２２０−１が金属キャップ１２０−１Ｂと第２の金属キャップ１２０−２Ｂの間に配置されるときの金属キャップ１２０−１Ｂと第２の金属キャップ１２０−２Ｂの間の最密構成の隙間３４０のような、金属キャップ間の自己配列間隔によって決定される。例えば、本発明の種々の実施形態によれば、自己配列間隔のサイズは、限定はしないが、２ｎｍ程度である場合がある。従って、本発明の種々の実施形態によれば、自己配列型発光強化装置１０１は、少なくとも１つの特定の分子種の検体を含む溶液から種々のサイズの分子を捕捉するための基板を備えるように構成される場合がある。例えば、自己配列型発光強化装置１０１は、その後、検体の捕捉された分子のＳＥＲＳ分析に使用される場合があり、次にこれを詳細に説明する。
【００１９】
次に、図５を参照し、図１、図３及び図４をさらに参照すると、本発明の他の実施形態による光学装置５０１の概略図５００が示されている。図１に示されているように、光学装置５０１は、図１の表面増強発光のための自己配列型発光強化装置１０１を含む光学部品５０２を含む。例えば、本発明の一実施形態によれば、限定はしないが、自己配列型発光強化装置１０１の金属キャップ間に配置された種々の分子のＳＥＲＳのための１つの例示的構成が示される。本発明の種々の実施形態によれば、表面増強発光のための自己配列型発光強化装置１０１は、基板１１０、及び複数１２０の可撓性柱構造を含む。本発明の種々の実施形態によれば、複数１２０のうちの１つの可撓性柱構造１２０−１は、可撓性柱１２０−１Ａ、及びその可撓性柱１２０−１Ａの頂点１２０−１Ｃに結合された金属キャップ１２０−１Ｂを含む。本発明の種々の実施形態によれば、少なくとも可撓性柱構造１２０−１及び第２の可撓性柱構造１２０−２は、最密構成を成して自己配列するように構成され、その際、少なくとも１つの分子２２０−１が、少なくとも可撓性柱構造１２０−１及び可撓性柱構造１２０−２の金属キャップ１２０−１Ｂと第２の金属キャップ１２０−２Ｂの間に配置されるように構成される。従って、先に説明した自己配列型発光強化装置１０１についての本発明の種々の実施形態は、限定はしないが、光学部品５０２及び光学装置５０１の環境の中に組み込まれる場合がある。さらに、本発明の種々の実施形態によれば、光学部品５０２は、ミラー、格子、導波路、及び分析セルからなる一群の中から選択される場合がある。
【００２０】
図５をさらに参照すると、本発明の種々の実施形態によれば、光学装置５０１は、限定はしないが例えば、ラマン分光計のような分光計を含む場合がある。図５は、例えば分子２２０−１、分子２２０−２、又は分子４１０のような少なくとも１つの分子の例えばＳＥＲＳのような分光法を実施するために光学部品５０２を受け入れるように構成された分光計を含む光学装置５０１の構成を示している。分光計は、例えば分子４１０のような少なくとも１つの分子を励起させるために使用される励起電磁波源５１０を含む。励起電磁波源５１０は、レーザー（図示せず）であってもよい。励起電磁波源５１０の光子のエネルギーは、プランク定数に、ｈνｌａｓｅｒによって与えられるレーザー光源の周波数を乗じることによって得られる。さらに、分光計は、放射された電磁波５２０を分析し、検出するために使用される分析器（図示せず）及び検出器（図示せず）を含む。励起レーザー光源に応答し、分子４１０から散乱電磁波５２０が放出される。例えば、ＳＥＲＳの場合、分子４１０から放射される電磁波５２０の光子のエネルギーは、プランク定数に、ｈνＳＥＲＳ＝ｈν０±ｈΔによって与えられる分子源の周波数を乗じることによって得られる。ここで、ν０は、入射レーザー場の周波数であり、Δはラマンシフトである。例えば複数の可撓性柱構造の金属キャップ１２０−１Ｂ及び１２０−２Ｂ、金属キャップ１２０−３Ｂ及び１２０−４Ｂ、並びに金属キャップ１２０−８Ｂ、１２０−９Ｂ、１２０−１３Ｂ及び１２０−１４Ｂのような複数の金属キャップにおいて励起される表面プラズモンとの相互作用により、例えば分子２２０−１、分子２２０−２又は分子４１０のような個々の分子における局部電界Ｅｍｏｌｅｃｕｌｅの大きさは、入射電界Ｅ０に比べて強化される。
【００２１】
図５をさらに参照すると、本発明の種々の実施形態によれば、金属キャップの組成は、金属キャップにおいて励起される表面プラズモンが、励起電磁波５１０、及び分子４１０から放射される電磁波の波長範囲内となるような組成である。こうした波長範囲は、近紫外線から近赤外線まで及ぶ場合がある。従って、本発明の種々の実施形態によれば、複数の金属キャップは、貴金属構成要素から構成される場合があり、あるいは代替的に、複数の金属キャップは、銅、銀及び金からなる一群の構成要素の中から選択された構成要素から構成される場合がある。本発明の一実施形態によれば、放射された電磁波５２０に関連する信号は、配置された分子に近接する金属キャップの数を増加させることによって増幅される。本発明の種々の実施形態は、複数６３０（図６Ｃ参照）の金属キャップがその上に配置される複数６１０（図６Ｂ参照）の可撓性柱を含む複数１２０の可撓性柱構造を採用することによって、例えば分子４１０のような分子に近接する例えば金属キャップ１２０−８Ｂ、１２０−９Ｂ、１２０−１３Ｂ及び１２０−１４Ｂのような金属キャップの数を増加させる。従って、本発明の種々の実施形態によれば、金属キャップの数の増加により、分子４１０に近接する表面プラズモンの励起が増加され、ＳＥＲＳにおいて分子４１０からの信号が強化されることが期待される。従って、本発明の種々の実施形態によれば、限定はしないが例えばＳＥＲＳのための、表面増強発光のための自己配列型発光強化装置１０１が得られる。
【００２２】
図６Ａ、図６Ｂ及び図６Ｃを参照すると、本発明のさらに別の実施形態による、自己配列型発光強化装置１０１の種々の製造工程における図１の自己配列型発光強化装置１０１を示す、横断立面図がそれぞれ示されている。図６、図６Ｂ及び図６Ｃは、自己配列型発光強化装置１０１の製造に使用される一連の加工処理を示している。図６Ａは、その上に自己配列型発光強化装置１０１の構造の残りの部分が作成される基板１１０を示している。本発明の種々の実施形態によれば、基板は、ケイ素、ガラス、石英、窒化ケイ素、サファイア、酸化アルミニウム、ダイヤモンド、ダイヤモンド・ライク・カーボン、１以上のプラスチック、及び１以上の金属、並びに金属合金からなる一群の中から選択された材料である場合がある。本発明の種々の実施形態によれば、基板は、シート、ウェーハ、薄膜、及びウェブからなる一群の中から選択された形態を有する場合がある。例えば、基板がウェブの形を有している場合、基板は、ロール・トゥ・ロール製造プロセスにおける材料のロールのように、供給原料として使用される場合がある。さらに別の例として、基板は、ポリイミド、ポリエチレン、ポリプロピレン、又は何らかの他の適当なポリマー・プラスチックのようなプラスチック材料からなる可撓性ポリマー薄膜の形を有する場合がある。従って、本発明の種々の実施形態によれば、基板は、半導体ウェーハのように剛性であってもよいし、ウェブのように可撓性であってもよい。
【００２３】
次に、図６Ｂ及び図１をさらに参照すると、本発明の種々の実施形態による、製造の中間工程における、図１の自己配列型発光強化装置１０１を示す、横断立面図６００Ｂが示されている。図６Ｂは、基板１１０上の例えば可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａのような複数６１０の可撓性柱を示している。可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａのような複数６１０の可撓性柱のそれぞれは、例えば頂点１２０−１Ｃ、１２０−２Ｃ、１２０−３Ｃ、１２０−４Ｃ及び１２０−５Ｃのような複数６２０の頂点のうちの１つの頂点を有する。本発明の種々の実施形態によれば、複数６１０の可撓性柱は、基板１１０上にナノワイヤを成長させること、基板１１０をエッチングすること、基板１１０上のコーティングをナノインプリントすること、及び基板１１０上のコーティングをホットナノエンボス加工することからなる一群の中から選択されたプロセスを使用して、生成される場合がある。例えば、可撓性柱を生成するためにナノワイヤを成長させる場合、ナノワイヤシードが、例えばケイ素のような基板１１０上に堆積される。そして、ナノワイヤは、化学気相蒸着の間に、シランから成長させられる。他の例として、可撓性柱を生成するために基板をエッチングする場合、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）プロセスを例えばケイ素のような基板１１０に適用し、気体状の窒素、アルゴン又は酸素が存在する状況下において、フッ素、塩素、臭素、又はハロゲンのような反応性ガス種の作用により基板１１０から材料を除去することによって、限定はしないが例えば、ナノワイヤの形をした可撓性柱が生成される。さらに別の例として、可撓性柱を生成するために基板をナノインプリントする場合、例えば高度架橋ポリマーのような高い粘性を有する薄膜を、例えばウェブの形をした基板１１０に付着させ、ウェブ上にコーティングを生成する。そして、そのウェブを一対のロールの間を通過させることにより、限定はしないが例えばナノポールの形をした可撓性柱が生成される。一対のロールの一方は、ウェブの高い粘着性を有する薄膜コーティングに押圧されるレリーフパターンを有するダイであり、複数のナノポールの形をしたダイのレリーフパターンのネガパターンを、ウェブ基板１１０上に残す。さらに別の例として、基板１１０上のコーティングをホットナノエンボス加工する場合、基板１１０上にコーティングを生成するために、ポリマー又はプラスチックを基板１１０に付着させる。そして、そのコーティングを、基板１１０をコーティングしているポリマー又はプラスチックに押圧されるレリーフパターンを有するダイを用いてホットエンボス加工することによって、複数のナノポールの形をしたダイのレリーフパターンのネガパターンが、基板１１０上に残り、限定はしないが例えば、ナノポールの形をした可撓性柱が生成される。
【００２４】
図６Ｃ及び図１をさらに参照すると、本発明の種々の実施形態による、製造のほぼ最終工程付近における図１の自己配列型発光強化装置１０１を示す横断立面図が示されている。図６Ｃは、基板１１０上の例えば可撓性柱構造１２０−１、１２０−２、１２０−３、１２０−４及び１２０−５のような複数１２０の可撓性構造を示している。例えば可撓性柱構造１２０−１、１２０−２、１２０−３、１２０−４及び１２０−５のような可撓性柱構造はそれぞれ、例えば可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａのような複数６１０の可撓性柱のうちの１つの可撓性柱、及び、例えば金属キャップ１２０−１Ｂ、１２０−２Ｂ、１２０−３Ｂ、１２０−４Ｂ及び１２０−５Ｂのような複数６３０の金属キャップのうちの１つの金属キャップを含み、各金属キャップは、例えば頂点１２０−１Ｃ、１２０−２Ｃ、１２０−３Ｃ、１２０−４Ｃ及び１２０−５Ｃのような複数６２０の頂点のうちの１つの頂点の上にそれぞれ配置される。本発明の種々の実施形態によれば、複数１２０の可撓性柱構造は、例えば金属キャップ１２０−１Ｂのような金属キャップを蒸着すること、金属キャップを電気めっきすること、金属ナノ粒子のコロイド状懸濁液から金属キャップを析出させること、堆積された金属層の種々の部分をリフトオフし、金属キャップを形成すること、及びエネルギー粒子の照射によって、吸収される有機金属化合物を低減し、金属キャップを形成することからなる一群の中から選択されたプロセスを使用して生成される場合がある。
【００２５】
例えば、図６Ｃ及び図１をさらに参照すると、本発明の種々の実施形態によれば、金属キャップを生成するために蒸着をする場合、薄膜真空蒸着技術を使用して金属蒸気の流れを生成し、複数６１０の可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａの複数６２０の頂点の上に金属を堆積する。複数６１０の可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａの複数６２０の頂点１２０−１Ｃ、１２０−２Ｃ、１２０−３Ｃ、１２０−４Ｃ及び１２０−５Ｃの上に金属を堆積させる金属蒸気によって、複数６３０の金属キャップ１２０−１Ｂ、１２０−２Ｂ、１２０−３Ｂ、１２０−４Ｂ及び１２０−５Ｂが成長される。本発明の種々の実施形態によれば、複数６３０の金属キャップを作成することは、基板１１０の表面に対し約３０°の角度６５０で、複数６１０の可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａの複数６２０の頂点１２０−１Ｃ、１２０−２Ｃ、１２０−３Ｃ、１２０−４Ｃ及び１２０−５Ｃの上に、金属を蒸着することを含む場合がある。また、本発明の種々の実施形態によれば、金属キャップ１２０−１Ｂ、１２０−２Ｂ、１２０−３Ｂ、１２０−４Ｂ及び１２０−５Ｂのサイズ、及び最終的には間隔は、蒸着プロセスにおいて金属蒸気から堆積される材料の量を制限することによって、調節することができる。
【００２６】
他の例として、図６Ｃ及び図１をさらに参照すると、本発明の種々の実施形態によれば、金属キャップを電気めっきする場合、可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａを含む基板１１０は、金属陽イオンを含むめっき溶液に浸漬される。可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａを含む基板１１０に電圧が印加され、その結果、例えば可撓性柱１２０−１Ａのような可撓性柱の例えば頂点１２０−１Ｃのような頂点に、強化された電界が発生する。この強化された電界は、金属陽イオンを例えば可撓性柱１２０−１Ａのような可撓性柱の例えば頂点１２０−１Ｃのような頂点に誘引し、そこで、金属陽イオンの化学的還元が発生し、金属が堆積され、例えば金属キャップ１２０−１Ｂのような金属キャップが成長される。
【００２７】
同様に、他の例として、図６Ｃ及び図１をさらに参照すると、本発明の種々の実施形態によれば、金属ナノ粒子のコロイド状懸濁液から金属キャップを析出する場合、可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａを含む基板１１０は、金属ナノ粒子のコロイド状懸濁液に浸漬される。そして、可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａを含む基板１１０に電位が加えられ、その結果、例えば可撓性柱１２０−１Ａのような可撓性柱の例えば頂点１２０−１Ｃのような頂点に、強化された電界が発生する。この強化された電界は、コロイド状懸濁液から金属陽イオンを例えば可撓性柱１２０−１Ａのような可撓性柱の例えば頂点１２０−１Ｃのような頂点に誘引し、そこに、金属ナノ粒子が堆積され、例えば金属キャップ１２０−１Ｂのような金属キャップが成長される。
【００２８】
さらに別の例として、図６Ｃ及び図１をさらに参照すると、本発明の種々の実施形態によれば、金属キャップを生成するために、堆積された金属層の種々の部分をリフトオフするリフトプロセスを実施する場合、可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａを含む基板１１０に、フォトレジストの層を付着させる。柱の側面に隣接するフォトレジストにアンダーカット構造を生成し、可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａの頂点１２０−１Ｃ、１２０−２Ｃ、１２０−３Ｃ、１２０−４Ｃ及び１２０−５Ｃからフォトレジストをエッチングにより除去する。金属蒸気６４０の流れが、例えば、スパッタリング又は蒸着のような薄膜蒸着技術を使用して、複数６１０の可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａの複数６２０の頂点１２０−１Ｃ、１２０−２Ｃ、１２０−３Ｃ、１２０−４Ｃ及び１２０−５Ｃの上に堆積される。フォトレジストと部分的に作成された自己配列型発光強化装置１０１とを結合したものの表面上に、薄膜が堆積される。その後、フォトレジストと、可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａの間においてフォトレジストに粘着する金属層の部分とが除去され、複数６１０の可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａの複数６２０の頂点１２０−１Ｃ、１２０−２Ｃ、１２０−３Ｃ、１２０−４Ｃ及び１２０−５Ｃに粘着する複数６３０の金属キャップ１２０−１Ｂ、１２０−２Ｂ、１２０−３Ｂ、１２０−４Ｂ及び１２０−５Ｂが残される。
【００２９】
さらに別の例として、図６Ｃ及び図１をさらに参照すると、本発明の種々の実施形態によれば、金属キャップ１２０−１Ｂ、１２０−２Ｂ、１２０−３Ｂ、１２０−４Ｂ及び１２０−５Ｂを生成するために、エネルギー粒子の照射によって、吸収される有機金属化合物を低減する場合、可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａを含む基板１１０を、例えば化学気相蒸着（ＣＶＤ）において使用されるような有機金属化合物のような金属部分を有する化合物の蒸気にさらす。例えば、有機金属化合物は、限定はしないが、集束イオンビーム（ＦＩＢ）装置の真空チャンバ、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、又はレーザー・アブレーション・システムのターゲット・チャンバのような真空チャンバに入れられた気体の形で与えられる場合がある。例えば有機金属化合物のような金属部分を有する化学蒸気を提供するために、真空チャンバに結合された適当なガス圧入システム（ＧＩＳ）が使用される場合がある。有機金属化合物の気体状の蒸気は、可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａの頂点１２０−１Ｃ、１２０−２Ｃ、１２０−３Ｃ、１２０−４Ｃ及び１２０−５Ｃを含む基板１１０の表面に吸収される。限定はしないが例えば、イオン、電子、又は光子のような粒子のエネルギービームが、可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａの頂点１２０−１Ｃ、１２０−２Ｃ、１２０−３Ｃ、１２０−４Ｃ及び１２０−５Ｃに照射される。限定はしないが例えば、イオン、電子、又は光子のような粒子のそのようなエネルギービームは、限定はしないが例えば、ＦＩＢ装置のイオン銃、ＳＥＭの電子銃、又はレーザー・アブレーション・システムのレーザーによって生成される場合がある。限定はしないが例えば、イオン、電子、又は光子のような粒子のエネルギービームは、吸収される有機金属化合物の気体状の蒸気を低減し、複数６１０の可撓性柱１２０−１Ａ、１２０−２Ａ、１２０−３Ａ、１２０−４Ａ及び１２０−５Ａの複数６２０の頂点１２０−１Ｃ、１２０−２Ｃ、１２０−３Ｃ、１２０−４Ｃ及び１２０−５Ｃの上に、複数６３０の金属キャップ１２０−１Ｂ、１２０−２Ｂ、１２０−３Ｂ、１２０−４Ｂ及び１２０−５Ｂを成長させる。
【００３０】
図７を参照すると、本発明の種々の実施形態による、表面増強発光のための自己配列型発光強化装置を製造する方法のフロー図７００が示されている。表面増強発光のための自己配列型発光強化装置を製造する方法は、下記を含む。７１０において、基板が用意される。７２０において、複数の可撓性柱が基板上に生成される。本発明の種々の実施形態によれば、複数の可撓性柱を基板上に生成することは、先に説明したように、基板上にナノワイヤを成長させること、基板をエッチングすること、前記基板上のコーティングをホットナノエンボス加工すること、基板上のコーティングをナノインプリントすることからなる一群の中から選択されたプロセスを含む場合がある。７３０において、複数の金属キャップが、複数の可撓性柱の複数の頂点の上に作成される。その際、複数の可撓性柱は、ある分子が少なくとも１つの金属キャップ及び第２の金属キャップに近接して配置されたときに、複数の可撓性柱のうちの少なくとも１つの可撓性柱及び第２の可撓性柱を、その分子を有する最密構成を成して自己配列させることが可能な材料から構成され、前記金属キャップ及び第２の金属キャップは、ある分子が少なくとも１つの金属キャップに近接して配置されたときに、その分子の発光を強化する材料から構成される。さらに、本発明の種々の実施形態によれば、複数の金属キャップを作成することは、先に説明したように、金属キャップを蒸着すること、金属キャップを電気めっきすること、金属ナノ粒子のコロイド状懸濁液から金属キャップを析出させること、堆積された金属層の種々の部分をリフトオフし、金属キャップを形成すること、及びエネルギー粒子の照射によって、吸収される有機金属化合物を低減し、金属キャップを形成することからなる一群の中から選択されたプロセスを含む場合がある。また、本発明の種々の実施形態によれば、複数の金属キャップを作成することは、先に説明したように、基板の表面に対し約３０°の角度６５０で、複数の可撓性柱の複数の頂点の上に金属を蒸着することを含む場合がある。
【００３１】
本発明の種々の実施形態は、表面増強発光における分子の存在についての向上された感度を提供することが可能な自己配列型発光強化装置１０１を含む。また、本発明の種々の実施形態は、溶液中の分子に関連する検体の表面増強発光について比較的低い検出能力制限を提供する。例えば、本発明の種々の実施形態は、分子のＳＥＲＳ分析における比較的低い検出能力制限を提供する。従って、本発明の種々の実施形態により得られる分子検出のための向上された感度、及び検出能力制限により、発明者らは、限定はしないが、少なくとも医療、環境、化学、及び生物学の技術における本発明の種々の実施形態の新たな応用を期待している。
【００３２】
本発明の特定の幾つかの実施形態に関する上記の説明は、例示及び説明の目的で提示したものである。それらは、本発明を網羅的に記載することを意図するものでも、本発明を開示した形態に厳密に制限することを意図するものでなく、上記教示に鑑みて、多数の修正及び変形が可能である。本明細書に記載した種々の実施形態は、本発明の原理及びその実際の応用形態を最もよく説明し、それによって当業者が、意図する特定の用途に適合するように種々の変更を加えて本発明及び種々の実施形態を最も良好に使用することができるように選択された。本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲及びその均等によって規定されることが意図される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７】
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