(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素電極と、
該複数の画素電極間に配置され、各画素電極に対応した開口部を有するバンクと、
該開口部内に配置された有機発光層と、
前記バンク及び前記有機発光層の上方に配置された上部電極と
を具備し、
前記開口部の輪郭線の全体形状が、対向する２つの直線部と、該直線部の端部同士を連結する２つの略湾曲部とを含む略長円形状、若しくは対向する２組、計４つの直線部と、該直線部の端部同士を連結する４つの略湾曲部とを含む略矩形状であって、
前記略湾曲部の形状が、前記開口部の内方へ膨らんだ複数の曲線と、隣接する前記曲線の接続点である尖点とを含む形状である、
有機ＥＬ素子。
【請求項２】
前記複数の曲線の各々が、円弧または楕円弧である、
請求項１に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項３】
前記尖点の数が、６〜１０００である、
請求項１に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項４】
前記尖点において２つの曲線の接線がなす角度である接続角が、９０度以上である、
請求項１に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項５】
前記有機発光層が、インクを硬化させて形成されたものである、
請求項１に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項６】
前記有機ＥＬ素子は、さらに、
突起部が設けられた封止層を具備し、
該突起部が、前記バンクの頂部に対応する部分に当接している、
請求項１に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項７】
複数の画素電極を形成する工程と、
該複数の画素電極間に、各画素電極に対応した開口部を有するバンクを形成する工程と、
該開口部内に有機発光層を形成する工程と、
前記バンク及び前記有機発光層の上方に上部電極を形成する工程と
を含み、
前記バンクを形成する工程において、前記開口部の輪郭線の全体形状が、対向する２つの直線部と、該直線部の端部同士を連結する２つの略湾曲部とを含む略長円形状、若しくは対向する２組、計４つの直線部と、該直線部の端部同士を連結する４つの略湾曲部とを含む略矩形状であって、前記略湾曲部の形状が、前記開口部の内方へ膨らんだ複数の曲線と、隣接する前記曲線の接続点である尖点とを含む形状となるように形成する、
有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項８】
前記バンクを形成する工程において、ネガ型感光材料を用いたフォトリソグラフィー法を使用する、
請求項７に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項９】
前記有機発光層を形成する工程において、インクを硬化させて前記有機発光層を形成する、
請求項７に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項１０】
前記インクの粘度が、２０〜３０ｃｐｓである、
請求項９に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機エレクトロルミネセンス（以下、「有機ＥＬ」という）素子およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ表示装置は、有機化合物の電界発光現象を利用した発光表示装置であり、携帯電話機などに用いられる小型の表示装置として実用化されている。
【０００３】
有機ＥＬ表示装置は、画素ごとに独立に発光制御可能な複数の有機ＥＬ素子を基板上に配列して構成される。典型的な有機ＥＬ表示装置は、基板上に、駆動回路、陽極、発光機能層、陰極を積層することで作製される。発光機能層には、有機化合物からなる有機発光層とともに、電子注入層、電子輸送層、正孔輸送層、正孔注入層などの複数の機能層のうちの１つ以上が積層される。
【０００４】
このような構成において、陽極および陰極から正孔輸送層などを介して有機発光層へ電荷が注入され、注入された電荷が有機発光層内で再結合することによって、発光が生じる。
【０００５】
有機ＥＬ表示装置における画素ごとの有機ＥＬ素子は、一例として、基板上に、画素ごとに分離された複数の画素電極（例えば陽極）を設け、各画素電極に対応した開口部を有する絶縁性材料からなるバンクを配置し、前記バンクの開口部に発光機能層を形成することにより構成される。
【０００６】
発光機能層（特に、有機発光層）は、電界発光機能を持つ有機化合物を含む機能液（インク）をバンクの開口部に塗布し硬化させることで形成することができる。
【０００７】
バンクの開口部にインクを塗布し硬化させる方法で発光機能層を形成する場合、機能膜となるインクを開口部の隅々まで十分に行き渡らせる（言い換えれば、充填する）ことが重要である。
【０００８】
インクが開口部の隅々まで十分に行き渡らなければ、出来上がった機能膜に厚さの不均一や途切れが生じることで、有機ＥＬ素子においては、発光むらや短絡不良といった不具合が生じるからである。
【０００９】
そこで、インクの充填性を高める方策の一例として、有機ＥＬ表示装置において、インクが塗布されるバンクの開口部の輪郭を、隅部が面取りされた形状にする技術が知られている（例えば、特許文献１）。
【００１０】
バンクの開口部の輪郭を、隅部が面取りされた形状にすることで、発光層となるインクが開口部の隅々まで行き渡り易くなる結果、発光層がバンクの開口部の全体に所望の厚さで形成され、発光むらや短絡不良の発生が軽減される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００６−１１９２７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、有機ＥＬ表示装置は、有機ＥＬ素子が設けられた本体基板を、封止基板にて封止して完成される。封止基板は、本体基板上のバンクに対応する位置に、フォトスペーサと呼ばれる微小な突起部を有しており、フォトスペーサを本体基板のバンクに対応する位置に当接することで、本体基板との間に所望の距離を保って固定される。
【００１３】
そのような構成において本体基板に設けられるバンクは、フォトスペーサが立つ足場として必要な機械的強度を確保したいという要求がある。
【００１４】
しかしながら、インクの充填性を確保するために開口部の隅部が面取りされた形状では、バンクの機械的強度を確保したいという要求に対して必ずしも十分でないという問題がある。
【００１５】
バンクの機械的強度を確保するためには、バンク幅を広げるなどして、バンクの設置面積を増大させるという方法も考えられるが、この方法では、バンクの設置面積を増大させた分だけ、画素の開口率が低下してしまうという問題が生じてしまう。
【００１６】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、バンクの開口部にインクを塗布し硬化して形成される有機発光層を有する有機ＥＬ素子において、従来技術と同程度の開口部全面へのインクの充填性、及びに従来技術と同程度に高い画素開口率を確保しつつ、従来技術よりも機械的強度が向上されたバンクの形状を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上述した課題を解決するために、本発明の有機ＥＬ素子は、複数の画素電極と、該複数の画素電極間に配置され、各画素電極に対応した開口部を有するバンクと、該開口部内に配置された有機発光層と、前記バンク及び前記有機発光層の上方に配置された上部電極とを具備し、前記開口部の輪郭線の全体形状が、対向する２つの直線部と、該直線部の端部同士を連結する２つの略湾曲部とを含む略長円形状、若しくは対向する２組、計４つの直線部と、該直線部の端部同士を連結する４つの略湾曲部とを含む略矩形状であって、前記略湾曲部の形状が、前記開口部の内方へ膨らんだ複数の曲線と、隣接する前記曲線の接続点である尖点とを含む形状である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明においては、開口部の輪郭線の一部を開口部の内方へ膨らんだ複数の曲線、及び隣接する曲線どうしの接続点である尖点を含む形状とするので、従来の面取り形状と比べて、バンクの機械的強度（特に、潰れ強度）が高くなり、バンクをフォトスペーサの足場として用いる場合において特に好適である。
【００１９】
また、本発明における開口部全面へのインクの充填性は、従来の面取り形状と同程度に良好であり、画素開口率については、従来の面取り形状と同程度に高い開口率を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、実施の形態における有機ＥＬ素子の構造の一例を示す平面図である。
【図２】図２は、実施の形態における有機ＥＬ素子の構造の一例を示す断面図である。
【図３】図３は、実施の形態における画素開口部の形状の一例を示す平面図である。
【図４】図４は、実施の形態における画素開口部の形状の他の一例を示す平面図である。
【図５】図５は、実施の形態及び従来技術における画素開口部の一部の形状を比較して示した平面図である。
【図６】図６（Ａ）〜図６（Ｆ）は、実施の形態における有機ＥＬ素子の製造工程を示す断面図である。
【図７】図７は、有機ＥＬ表示装置を利用したテレビジョンセットの外観図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明に係る有機ＥＬ素子は、１つの態様において、複数の画素電極と、該複数の画素電極間に配置され、各画素電極に対応した開口部を有するバンクと、該開口部内に配置された有機発光層と、前記バンク及び前記有機発光層の上方に配置された上部電極とを具備し、前記開口部の輪郭線の全体形状が、対向する２つの直線部と、該直線部の端部同士を連結する２つの略湾曲部とを含む略長円形状、若しくは対向する２組、計４つの直線部と、該直線部の端部同士を連結する４つの略湾曲部とを含む略矩形状であって、前記略湾曲部の形状が、前記開口部の内方へ膨らんだ複数の曲線と、隣接する前記曲線の接続点である尖点とを含む形状である。
【００２２】
本発明は、インクが塗布されるバンクの開口部が、開口部の内方へ膨らんだ複数の曲線と、隣接する前記曲線の接続点である尖点とを含む輪郭線で規定される形状であることを特徴とする。開口部のこのような輪郭形状は、後ほど詳述するように、バンクの機械的強度（特に、潰れ強度）を高めることができる。また、本発明における開口部のこのような輪郭形状は、インクの充填性及び画素開口率に関して、従来の面取り形状と同程度に良好な特性を発揮することができる。
【００２４】
また、本発明の有機ＥＬ素子の１つの態様では、前記複数の曲線の各々が、円弧または楕円弧であってもよく、前記尖点の数が、６〜１０００であってもよい。より好ましい前記尖点の数は、３０〜１０００である。この態様によれば、より多くの尖点を設けることにより、インクの充填性を制御することができる。
【００２５】
また、本発明の有機ＥＬ素子の１つの態様では、前記尖点において２つの曲線の接線がなす角度である接続角が、９０度以上であるのが好ましい。この接続角は、用いる曲線の曲率を変更することでも制御することができる。
【００２６】
また、本発明の有機ＥＬ素子の１つの態様では、前記有機発光層が、インクを硬化させて形成されたものであってもよい。
【００２７】
この態様によれば、前記有機発光層がインクを硬化させることで形成されるので、大型の有機ＥＬ表示装置を製造するために好適である。
【００２８】
また、本発明の有機ＥＬ素子の１つの態様では、前記有機ＥＬ素子は、さらに、突起部が設けられた封止層を含み、該突起部が、上記バンクの頂部に対応する部分に当接していてもよい。
【００２９】
本発明においては、バンクの機械的強度が高められているので、この態様とした場合に、本発明の効果を特に有効に発揮することができる。
【００３０】
なお、本発明は、このような有機ＥＬ素子として実現することができるだけでなく、有機ＥＬ素子の製造方法、および有機ＥＬ素子を配列してなる有機ＥＬ表示装置として実現することもできる。
【００３１】
以下、本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ素子および有機ＥＬ表示装置について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００３２】
（有機ＥＬ表示装置）
図１は、本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ表示装置１００の構造の一例を示す平面図である。図１には、有機ＥＬ表示装置１００の、３つの有機ＥＬ素子１を含む部分が示されている。このような構成が、有機ＥＬ表示装置１００の全体にわたって、図面の左右、上下方向に繰り返して設けられる。
【００３３】
図２は、図１に示されるＡＡ’線に沿った有機ＥＬ表示装置１００の切断面を示す断面図である。図２には、１つの有機ＥＬ素子の断面構造が示されている。
【００３４】
図１および図２において、同じ構成要素は同じ柄のハッチングで表されており、図１には、図２に示されている主要な構成要素の平面的な配置が示されている。
【００３５】
なお、図１、図２は説明のための模式図であり、各部の大きさの比は不同に描かれている。
【００３６】
有機ＥＬ表示装置１００は、大まかには、有機ＥＬ素子１が形成された本体基板９１を、封止基板９２で封止して構成される。封止基板９２の下面若しくは上面には、カラーフィルターが設けられていてもよいし、設けられていなくてもよい。
【００３７】
本体基板９１は、基板１０、基板１０の上面に個々の有機ＥＬ素子１に対応して設けられ陽極として用いられる画素電極２１、画素電極２１とは分離して形成され、上部電極６２への電源供給を補助する補助電極２２、正孔輸送性を持つ材料からなる正孔注入層３０、感光性樹脂などの電気絶縁性の材料からなり画素を区画するバンク４０、電界発光機能を有する有機材料からなる有機発光層５０、電子輸送性を持つ材料からなる電子輸送層６１、および導電性の材料からなり陰極として用いられる上部電極６２から構成される。
【００３８】
図２に見られるように、バンク４０には、画素電極２１および補助電極２２の上にそれぞれ開口部が設けられる。便宜上、画素電極２１上の開口部を画素開口部Ｐと呼び、補助電極２２上の開口部を接続開口部Ｃと呼ぶ。画素開口部Ｐ内に有機発光層５０が形成され、接続開口部Ｃにおいて電子輸送層６１を介して補助電極２２と上部電極６２とが電気的に接続される。電子輸送層６１および上部電極６２は、画素ごとに分離されないべた膜として形成されてもよい。
【００３９】
封止基板９２は、本体基板９１とは別体に製作された後に、本体基板９１と貼り合わされるものであり、基板７０、基板７０上に画素開口部Ｐの対応領域を除外して設けられた遮光膜７１、遮光膜７１の除外部分に設けられたカラーフィルター膜７２、および遮光膜７１上のバンク４０に対応する位置に設けられたフォトスペーサ８０から構成される。
【００４０】
封止基板９２は、フォトスペーサ８０を、本体基板９１の対応するバンク４０の頂部に当接することで、本体基板９１との間に所望の距離を保って固定される。
【００４１】
なお、説明の便宜上、フォトスペーサ８０が図面の横方向に隣接する画素開口部Ｐの間に設けられるとして、図２の断面にフォトスペーサ８０を示しているが、フォトスペーサ８０の配置はバンク４０上で任意である。例えば、図面の縦方向に隣接する図外の画素開口部Ｐの間のバンク４０の頂部に設けてもよい。
【００４２】
（バンクに設けられる開口部の形状の詳細）
バンク４０に設けられる画素開口部Ｐの形状について、詳細な説明を続ける。
【００４３】
図３、図４は、バンク４０の画素開口部Ｐの形状の一例を、略湾曲部を含む端部の拡大図とともに示す拡大平面図である。なお、図３、図４には、接続開口部Ｃの図示は省略されている。
【００４４】
図３、図４に示されるように、本発明におけるバンク４０の画素開口部Ｐは、その輪郭線の一部の形状が、平面視において、開口部の内方へ膨らんだ複数の曲線と、隣接する前記曲線の接続点である尖点とを含む形状となるように形成される。個々の曲線は、円弧または楕円弧であるのが好ましい。
【００４５】
また、画素開口部Ｐの輪郭線の全体形状は、図３、図４に示されるように、略長円形状であるのが好ましい。ここでいう略長円形状とは、図３、図４に示したような、対向する２つの直線部と、該直線部の端部同士を連結する２つの略湾曲部とを含む形状のことをいう。画素開口部Ｐの輪郭線の全体形状を、略長円形状とした場合、直線部の端部同士を連結する２つの略湾曲部の形状を、開口部の内方へ膨らんだ複数の曲線と、隣接する前記曲線の接続点である尖点とを含む形状で構成する。図４から明らかなように、この態様における略湾曲部は、尖点の数が比較的多くなると、概略の形状として一つの円弧形状に見えるが、この略湾曲部を拡大して見てみると、開口部の内方へ膨らんだ曲線と、隣接する前記曲線の接続点である尖点とを複数含む形状で構成されていることが分かる。
【００４６】
また、画素開口部Ｐの輪郭線の全体形状は、略矩形状とすることもできる。ここでいう略矩形状とは、対向する２組、計４つの直線部と、該直線部の端部同士を連結する４つの略湾曲部とを含む形状のことをいう。画素開口部Ｐの輪郭線の全体形状を、略矩形状とした場合、直線部の端部同士を連結する４つの略湾曲部の形状を、開口部の内方へ膨らんだ複数の曲線と、隣接する前記曲線の接続点である尖点とを含む形状で構成する。
【００４７】
図３に示される例では、画素開口部Ｐの輪郭線のうち、開口部の内方へ膨らんだ複数の曲線と、隣接する前記曲線の接続点である尖点とを含む形状で構成される略湾曲部は、正１２角形の半分を構成する６辺のそれぞれが、開口部の内方へ膨らんだ円弧で置き換えられた形状で構成されている。
【００４８】
図４に示される例では、画素開口部Ｐの輪郭線のうち、開口部の内方へ膨らんだ複数の曲線と、隣接する前記曲線の接続点である尖点とを含む形状で構成される略湾曲部は、正３６角形の半分を構成する１８辺のそれぞれが、開口部の内方へ膨らんだ円弧で置き換えられた形状で構成されている。
【００４９】
いずれの例においても、本発明のバンク開口部の形状は、従来のインクの充填性を向上させるための単純なバンク開口部の角部の面取り形状と比べて、バンクの機械的強度（特に潰れ強度）が向上されている。
【００５０】
本発明においては、図５で実線に示したように、画素開口部Ｐの輪郭線の一部が、開口部の内方へ膨らんだ複数の曲線と、隣接する前記曲線の接続点である尖点とを含む、本発明に特有な形状で構成されている。
【００５１】
図５からも明らかなように、この本発明に特有の形状は、開口部の内方へ膨らんだ曲線を複数含んでいるので、これら曲線の各々の長さの総和は、図５で破線で示したような、従来の単純な円弧で形成される開口部の一部分の長さと比較して、長くなる。
【００５２】
本発明では、画素開口部Ｐの輪郭線が、従来の開口部の輪郭線よりも長くなるので、バンクにかかる封止基板等の重量が、輪郭線が長くなった割合に応じて分散され、結果として、バンクの機械的強度、とりわけ潰れ強度が向上されることとなる。また、例えば従来の単純な円弧で形成される開口の場合、力点からみた輪郭線が近似直線となるため、中央部と端で力点からの距離が変わり、局所的な力が発生することになる。本発明では、力点からみた輪郭線が円弧形状になる為、力点からの距離がほぼ等しくなる。つまり、局所的な力が発生せず均等に分散され、結果として潰れ強度が向上させることになる。
【００５３】
本発明に特有の形状は、曲線の数や曲線の曲率を適宜調整することにより、従来の単純な円弧で形成される開口部の形状と同程度の開口面積とすることができ、従来と同程度の画素開口率とすることができる。
【００５４】
すなわち、本発明では、画素開口率を、従来の技術と同程度に維持しつつ、バンクの機械的強度を向上させることができる。
【００５５】
さらに、本発明では、設ける尖点の数および用いる曲線の曲率を変更することで、尖点において２つの曲線の接線がなす角度である接続角を適宜調整することにより、インクの充填性を制御することができる。接続角は、インクの粘度に応じて調整されるべき事項であるが、例えば、インクの粘度が２０〜３０ｃｐｓの場合において、従来からインクの充填性のために矩形の開口部の隅（９０度）を面取りすることを考慮して、接続角は９０度よりも大きいことが望ましい。また、例えば、従来の矩形の端部の隅を直線で面取りした形状における隣接する２辺がなす角度が１３５度であることを考慮して、接続角は１３５度以上としてもよい。
【００５６】
このように、本発明では、尖点において２つの曲線の接線がなす角度である接続角を適宜調整することにより、インクを開口部の隅々まで行き渡らせることができ、従来の単純な円弧で形成された開口部の形状の場合と同程度に、良好なインクの充填性を確保することができる。
【００５７】
以上説明したように、本発明においては、インクの充填性及び画素開口率を、従来技術と同程度に維持しつつも、バンクの機械的強度を向上させることができる。
【００５８】
（表示装置の製造方法）
次に、本発明に係る表示装置の製造方法について説明する。本発明に係る表示装置の製造方法は、上述したような形状の画素開口部を持つバンクを形成する工程を含むことによって特徴付けられる。
【００５９】
以下、本発明の実施の形態に係る表示装置の製造方法について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００６０】
図６は、本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ表示装置１００の製造方法の一例を説明する工程断面図である。
【００６１】
なお、以下で説明する各工程は周知のプロセス技術を用いて実施できるため、プロセス条件などの詳細な説明は適宜省略する。また、以下で示す材料およびプロセスは１つの典型例であって、本発明の表示装置およびその製造方法を限定するものではない。適性が知られている他の材料およびプロセスを代用した場合も本発明に含まれる。
【００６２】
まず、基板１０上に、例えば真空蒸着法やスパッタリング法を用いて、アルミニウム系金属膜（以下、Ａｌ膜という）を全面に形成する。そして、フォトリソグラフィー法を用いて、Ａｌ膜をエッチングして、所定の位置に画素電極２１と、画素電極２１と電気的に絶縁された位置に補助電極２２とを形成する。
【００６３】
このとき、画素電極２１は、有機ＥＬ素子ごとに分離して形成され、補助電極２２は、２次元のマトリクス状に配列された有機ＥＬ素子の、例えば行または列に沿って、１次元的に配置して形成される。
【００６４】
なお、基板１０には、例えば薄膜トランジスタとコンデンサなどで構成された駆動回路（図示せず）があらかじめ形成されていてもよい。駆動回路などによる凹凸を解消するために、必要に応じて、平坦化層を設け、その上に画素電極２１と補助電極２２とを形成してもよい。
【００６５】
次に、バンク４０となるネガ型のフォトレジスト４０Ａを全面に塗布する。
【００６６】
次に、ネガ型のフォトレジスト４０Ａの上に、画素開口部Ｐおよび接続開口部Ｃの対応位置に遮光部を有するマスク４０Ｍを位置合わせして載置する。そして、このマスク４０Ｍを介して、フォトリソグラフィー法を用いてフォトレジスト４０Ａを露光する。マスク４０Ｍには、バンク４０の画素開口部Ｐを形成するための前述した特徴的な形状が用いられる。
【００６７】
ここまでの工程によって、図６（Ａ）に示す構造が作製される。
【００６８】
次に、マスク４０Ｍを取り外し、現像処理をして、画素開口部Ｐと接続開口部Ｃとを有するバンク４０を形成する。
【００６９】
ここまでの工程によって、図６（Ｂ）に示す構造が作製される。次に、画素開口部Ｐ内に、正孔注入層３０となる、例えばＰＥＤＯＴ（ポリエチレンジオキシチオフェン）などを、例えばインクジェット法などを用いて成膜する。さらに、例えばインクジェット法などを用いて、有機発光層５０となるインク５０Ａを塗布する。このとき、インク５０Ａは、画素開口部Ｐから表面張力により盛り上がった状態で塗布され、画素開口部Ｐに充填される。インク５０Ａの粘度は、一例として、２０〜３０ｃｐｓである。
【００７０】
ここまでの工程によって、図６（Ｃ）に示す構造が作製される。
【００７１】
次に、インク５０Ａを、例えば、８０℃で３０分程度乾燥させて、インク５０Ａの溶剤成分を揮発、硬化させて有機発光層５０を形成する。なお、図１に示した有機ＥＬ素子１が、赤、緑、青などの発光色が異なるサブ画素にそれぞれ設けられる場合、それぞれの有機ＥＬ素子１の画素開口部Ｐに、異なる発光色に対応する有機発光材料を含むインクを塗布し、硬化させる処理を繰り返すことにより、サブ画素ごとに異なる発光色の有機発光層を形成した有機ＥＬ素子１が形成される。
【００７２】
ここまでの工程によって、図６（Ｄ）に示す構造が作製される。
【００７３】
次に、少なくとも画素開口部Ｐおよび接続開口部Ｃを被覆するように、例えば真空蒸着法を用いて、電子輸送層６１を全面に形成する。そして、電子輸送層６１の上に、例えばインジウムスズ酸化物などを、スパッタリング法を用いて成膜し、上部電極６２を全面に形成する。これにより、上部電極６２と補助電極２２とが、接続開口部Ｃにおいて、電子輸送層６１を介して電気的に接続される。
【００７４】
ここまでの工程によって、図６（Ｅ）に示す本体基板９１が完成する。
【００７５】
これらの工程とは独立して、封止基板９２を作製する。
【００７６】
まず、基板７０上に、例えばインクジェット法などを用いて、画素開口部Ｐの対応領域以外の領域に遮光膜７１を成膜する。
【００７７】
次に、基板７０上の遮光膜７１が形成されていない領域を覆うように、例えばフォトリソグラフィー法などを用いて、カラーフィルター膜７２を成膜する。
【００７８】
次に、ネガ型のフォトレジストを全面に塗布し、フォトリソグラフィー法を用いて、バンク４０の対応位置にフォトスペーサ８０を形成する。
【００７９】
このようにして作製された封止基板９２を、フォトスペーサ８０が本体基板９１の対応するバンク４０に当接するように位置合わせをして、本体基板９１と貼り合わせる。
【００８０】
以上の工程を経て、図６（Ｆ）に示す有機ＥＬ表示装置１００が完成する。
【００８１】
（有機ＥＬ表示装置の利用例）
有機ＥＬ表示装置１００は、例えばテレビジョンセットなどの表示装置に利用される。
【００８２】
図７は、有機ＥＬ表示装置１００を利用した表示装置の一例としてのテレビジョンセットの外観図である。
【００８３】
有機ＥＬ表示装置１００は、このようなテレビジョンセット以外にも、携帯電話機、パーソナルコンピュータなどのあらゆる表示装置に利用できる。
【００８４】
以上、本発明の有機ＥＬ素子および有機ＥＬ素子を用いた有機ＥＬ表示装置について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものも本発明の範囲内に含まれる。
【００８５】
例えば、実施の形態では、画素電極２１を陽極として用い、上部電極６２を陰極として用いる構成を例示したが、画素電極２１を陰極として用い、上部電極６２を陽極として用いても構わない。その場合、電子輸送層６１が有機発光層５０よりも下部に配置され、正孔注入層３０が有機発光層５０よりも上部に配置される。
【００８６】
また、実施の形態では、発光機能層として、正孔注入層３０、有機発光層５０、および電子輸送層６１の積層構造体を例示したが、発光機能層はこのような構成に限られない。例えば、正孔注入層、正孔輸送層、有機発光層、電子輸送層、および電子注入層の５つの層からなる周知の積層構造体を発光機能層として用いても構わない。なお、有機発光層以外の４つの層は、有機ＥＬ素子における良好な発光性能を達成するために適宜設けられるものであり、省略してもよい。すなわち、正孔注入層３０および電子輸送層６１のいずれか一方またはその両方を設けない構成もあり得る。
【産業上の利用可能性】
【００８７】
本発明の表示装置は、テレビジョンセット、携帯電話機、パーソナルコンピュータなどのあらゆる表示装置として利用できる。
【符号の説明】
【００８８】
１    有機ＥＬ素子
１０    基板
２１    画素電極
２２    補助電極
３０    正孔注入層
４０    バンク
４０Ａ  フォトレジスト
４０Ｍ  マスク
５０    有機発光層
５０Ａ  インク
６１    電子輸送層
６２    上部電極
７０    基板
７１    遮光膜
７２    カラーフィルター膜
８０    フォトスペーサ
９１    本体基板
９２    封止基板
１００    有機ＥＬ表示装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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