(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウム（Ａｌ）及び/又はアルミニウムを含む合金からなる複数の粒子と、前記粒子を基板に固定する酸化物とを有する電極配線を具備する電子部品であって、
前記酸化物は、価数が４価以下のバナジウム（Ｖ）を含み、
前記粒子の表面には、バナジウムとアルミニウムを含む化合物層が形成され、
前記化合物層に含まれるバナジウムは、価数が４価以下のバナジウムを含むことを特徴とする電子部品。
【請求項２】
前記化合物層は、アルミニウムと価数が０価のバナジウムとを含む合金相を有していることを特徴とする請求項１に記載の電子部品。
【請求項３】
前記化合物層は、Ａｌ３Ｖ、Ａｌ０．８Ｓｂ１．０Ｖ０．２Ｏ４、Ａｌ０．５Ｓｂ１．０Ｖ０．５Ｏ４、ＡｌＶ２Ｏ４、ＡｌＶＯ３、ＶＯ２・ＡｌＯ２・ＰＯ２、Ａｌ０．０２Ｖ０．９８Ｏ２、Ａｌ０．０７Ｖ１．９３Ｏ４の内の少なくとも１つを有することを特徴とする請求項１に記載の電子部品。
【請求項４】
前記酸化物は、リン（Ｐ）を含むことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の電子部品。
【請求項５】
前記酸化物は、ガラス相を含むことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の電子部品。
【請求項６】
前記粒子は、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、カルシウム（Ｃａ）、マグネシウム（Ｍｇ）、シリコン（Ｓｉ）の内の少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の電子部品。
【請求項７】
前記電極配線の比抵抗が、１×１０−４Ωｃｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の電子部品。
【請求項８】
前記酸化物は、バリウム（Ｂａ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、マンガン（Ｍｎ）、アンチモン（Ｓｂ）、ビスマス（Ｂｉ）、テルル（Ｔｅ）の内の少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の電子部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電極配線を具備する電子部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池セル、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）や、セラミック多層配線基板等の電子部品には、電極配線が形成されている。その電極配線は導電性ペーストを用いて形成されている。導電性ペーストには、金属粒子として、銀（Ａｇ）やアルミニウム（Ａｌ）が用いられている。電極配線は、導電性ペーストを大気中、高温で焼成することによって形成されるが、導電性ペーストは金属粒子の他にもガラス粒子を有しており、導電性ペーストの焼成時には、そのガラス粒子の軟化点以上の温度に加熱されることで、ガラス粒子が軟化流動し、電極配線は緻密になるとともに基板に強固に接着する。
【０００３】
アルミニウムを金属粒子とする導電性ペーストでは、アルミニウムの表面に形成されている酸化皮膜に起因して高抵抗化する場合があり、バナジウム（Ｖ）や酸化バナジウム（Ｖ２Ｏ５）を添加することで、金属粒子の焼結性を改善し、電極配線を低抵抗化させる手法が提案されている（特許文献１等参照）。また、炭素（Ｃ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、スズ（Ｓｎ）、水素化金属化合物及びリン化金属化合物等を添加することで耐酸化性を向上させ、低抵抗化させる手法が提案されている（特許文献２等参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−７３７３１号公報
【特許文献２】特開平５−２９８９１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
アルミニウムを金属粒子とする導電性ペーストでは、低抵抗化が進められ、電子部品の電極配線に用いられることで、例えば、太陽電池セルの電極配線に用いられることで、太陽電池セル（電子部品）の高性能化に寄与した。
【０００６】
一方で、太陽電池セル等の電子部品では、経時的な性能劣化を抑制し、長寿命化させ、高い信頼性を獲得することが求められている。その性能劣化としては、電極配線の性能劣化（高抵抗化）が挙げられる。この原因として、大気中に含まれる水分がアルミニウムの酸化皮膜と反応し、水酸化アルミニウムが生成するためであることがわかった。大気中に含まれる水分がアルミニウムの酸化皮膜に達しないように、アルミニウムの金属粒子を緻密な部材で覆えば、耐水性（耐湿性）が向上し、電極配線の性能劣化を抑制できると考えられる。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、耐水性が高く高信頼性の電極配線を具備する電子部品を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、本発明は、アルミニウム（Ａｌ）及び/又はアルミニウムを含む合金からなる複数の粒子と、前記粒子を基板に固定する酸化物とを有する電極配線を具備する電子部品であって、
前記酸化物は、価数が４価以下のバナジウム（Ｖ）を含み、
前記粒子の表面には、バナジウムとアルミニウムを含む化合物層が形成され、
前記化合物層に含まれるバナジウムは、価数が４価以下のバナジウムを含むことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、耐水性が高く高信頼性の電極配線を具備する電子部品を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】ガラス組成物（酸化物の粉末）のＤＴＡ測定で得られるＤＴＡカーブの１例である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る電子部品が具備する電極配線の断面図の一部である。
【図３】電極配線の比抵抗と、ガラス量（ガラス組成物（酸化物の粉末）のアルミニウム粒子に対する重量分率）との関係を示すグラフである。
【図４Ａ】本発明の第４の実施形態に係る太陽電池セル（電子部品）の平面図である。
【図４Ｂ】本発明の第４の実施形態に係る太陽電池セル（電子部品）の底面図である。
【図４Ｃ】図４ＡのＡ−Ａ′方向の矢視断面図である。
【図５】本発明の第５の実施形態に係るプラズマディスプレイパネル（電子部品）の断面図の一部である。
【図６】本発明の第６の実施形態に係るセラミック多層配線基板（電子部品）の断面図である。
【図７】本発明の第６の実施形態に係るセラミック多層配線基板（電子部品）を焼成する際の温度スケジュールの一例である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
次に、本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し重複した説明を省略する。また、本発明は、ここで取り上げた複数の実施形態の個々に限定されることはなく、適宜組み合わせてもよい。
【００１４】
（第１の実施形態）
［導電性ペーストのガラス組成物（酸化物の粉末）の組成に関する検討］
第１の実施形態では、導電性ペーストのガラス組成物（酸化物の粉末）の組成に関して検討した。
【００１５】
表１に示すように、第１の実施形態では、実施例１〜３０と比較例１〜５の計３５種類の導電性ペーストのガラス組成物（酸化物の粉末）を作製し、それぞれのガラス組成物を使って導電性ペーストを作製し、さらに、それらそれぞれの導電性ペーストを使って電極配線を作製し、各種特性を評価している。ガラス組成物（酸化物の粉末）の作製に当っては、実施例１〜３０と比較例１〜５毎に、ガラス系の組成を変えて製造している。また、評価した特性としては、ガラス組成物（酸化物の粉末）に対して、特性温度測定を行い、電極配線に対して、密着性試験（ピール試験）と、耐水性試験と、比抵抗の計測を行っている。
【表１】
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【００１６】
（１−１、ガラス組成物（酸化物の粉末）の作製）
表１の実施例１〜３０と比較例１〜５に示すガラス系の組成を有するガラス組成物（酸化物の粉末）を作製した。実施例１〜３０と比較例１〜３と比較例５のガラス系の組成には、RoHS指令の禁止物質である鉛（Ｐｂ）を含ませていない。比較例４にのみ、主成分として鉛を含ませている。
【００１７】
実施例１〜３０のガラス系の組成の主成分は、バナジウム（Ｖ）とリン（Ｐ）にしている。さらに、実施例１、実施例１９〜２６と実施例２９では、バナジウムとリンに加え、バリウム（Ｂａ）も主成分としている。
【００１８】
実施例１では、バナジウムとリンとバリウムの主成分以外に添加物は加えていない。
実施例２では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、アンチモン（Ｓｂ）を加えている。
実施例３では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、アンチモンとタングステン（Ｗ）を加えている。
実施例４では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、アンチモンとカリウム（Ｋ）を加えている。
実施例５では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、アンチモンとバリウムを加えている。
実施例６では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、アンチモン、バリウム、亜鉛とタングステンを加えている。
実施例７では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、アンチモン、マンガン（Ｍｎ）、ナトリウム（Ｎａ）、カリウム、バリウムとテルル（Ｔｅ）を加えている。
実施例８では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、マンガン、ナトリウム、カリウム、バリウム、亜鉛とタングステンを加えている。
実施例９では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、マンガン、バリウム、亜鉛とタングステンを加えている。
実施例１０では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、鉄（Ｆｅ）とリチウム（Ｌｉ）を加えている。
実施例１１では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、鉄を加えている。
実施例１２では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、鉄、バリウム、亜鉛とタングステンを加えている。
実施例１３では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、鉄とバリウムを加えている。
実施例１４では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、鉄、タングステンとバリウムを加えている。
実施例１５では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、鉄、亜鉛とバリウムを加えている。
実施例１６では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、ビスマス（Ｂｉ）、バリウム、亜鉛とタングステンを加えている。
実施例１７では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、リチウムを加えている。
実施例１８では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、リチウムとバリウムを加えている。
実施例１９では、バナジウムとリンとバリウムの主成分に対して、添加物として、亜鉛を加えている。
実施例２０では、バナジウムとリンとバリウムの主成分に対して、添加物として、亜鉛とタングステンを加えている。
実施例２１では、バナジウムとリンとバリウムの主成分に対して、添加物として、テルルを加えている。
実施例２２では、バナジウムとリンとバリウムの主成分に対して、添加物として、テルルと銅（Ｃｕ）を加えている。
実施例２３では、バナジウムとリンとバリウムの主成分に対して、添加物として、亜鉛、タングステンとホウ素（Ｂ）を加えている。
実施例２４では、バナジウムとリンとバリウムの主成分に対して、添加物として、タングステン、モリブデン（Ｍｏ）とカリウムを加えている。
実施例２５では、バナジウムとリンとバリウムの主成分に対して、添加物として、タングステンと銅を加えている。
実施例２６では、バナジウムとリンとバリウムの主成分に対して、添加物として、亜鉛、銅とホウ素を加えている。
実施例２７では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、鉄、バリウム、タングステンと銅を加えている。
実施例２８では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、鉄、リチウム、バリウムとタングステンを加えている。
実施例２９では、バナジウムとリンとバリウムの主成分に対して、添加物として、テルル、カリウムとタングステンを加えている。
実施例３０では、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、アンチモン、バリウム、テルル、カリウムとタングステンを加えている。
【００１９】
比較例１〜５では、ガラス系の組成に、バナジウムを加えていない。比較例１〜３ではリンを主成分とし、比較例４では鉛を主成分とし、比較例５ではビスマスを主成分としている。
比較例１では、リンの主成分に対して、添加物として、カリウム、バリウム、亜鉛、タングステンとホウ素を加えている。
比較例２では、リンの主成分に対して、添加物として、カリウム、バリウム、亜鉛、モリブデンとホウ素を加えている。
比較例３では、リンの主成分に対して、添加物として、鉄、カリウム、バリウム、亜鉛、タングステンとホウ素を加えている。
比較例４では、鉛の主成分に対して、添加物として、ホウ素、シリコン（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、亜鉛とアルミニウム（Ａｌ）を加えている。なお、比較例４では、市販の鉛系ガラスを用いた。
比較例５では、ビスマスの主成分に対して、添加物として、ホウ素、シリコン、バリウムと亜鉛を加えている。なお、比較例５では、市販のビスマス系ガラスを用いた。
【００２０】
なお、バナジウム成分の原料化合物としては、五酸化バナジウム（Ｖ２Ｏ５）を用いた。リン成分の原料化合物としては、五酸化リン（Ｐ２Ｏ５）を用いた。バリウム成分の原料化合物としては、炭酸バリウム（ＢａＣＯ３）を用いた。リチウム成分の原料化合物としては、炭酸リチウム（Ｌｉ２ＣＯ３）を用いた。ナトリウム成分の原料化合物としては、炭酸ナトリウム（Ｎａ２ＣＯ３）を用いた。カリウム成分の原料化合物としては、炭酸カリウム（Ｋ２ＣＯ３）を用いた。アンチモン成分の原料化合物としては、三酸化アンチモン（Ｓｂ２Ｏ３）を用いたが、四酸化アンチモン（Ｓｂ２Ｏ４）を用いてもよい。マンガン成分の原料化合物としては、二酸化マンガン（ＭｎＯ２）を用いたが、酸化マンガン（ＭｎＯ）を用いてもよい。鉄成分の原料化合物としては、三酸化二鉄（Ｆｅ２Ｏ３）を用いたが、酸化鉄（ＦｅＯ）や四酸化三鉄（Ｆｅ３Ｏ４）などを用いてもよい。ビスマス成分の原料化合物としては、三酸化ビスマス（Ｂｉ２Ｏ３）を用いた。亜鉛成分の原料化合物としては、酸化亜鉛（ＺｎＯ）を用いた。タングステン成分の原料化合物としては、三酸化タングステン（ＷＯ３）を用いた。テルル成分の原料化合物としては、二酸化テルル（ＴｅＯ２）を用いた。銅成分の原料化合物としては、酸化銅（ＣｕＯ）を用いた。モリブデン成分の原料化合物としては、三酸化モリブデン（ＭｏＯ３）を用いた。ホウ素成分の原料化合物としては、酸化ホウ素（Ｂ２Ｏ３）を用いた。
【００２１】
また、バリウム成分の原料化合物としては、リン酸バリウム（Ｂａ(ＰＯ３)２）を用いてもよく、鉄成分の原料化合物としては、リン酸鉄（ＦｅＰＯ４）を用いてもよい。これらの原料化合物には、リンも含まれているので、ガラス組成物におけるリンの組成比を考慮して、リン成分の原料化合物となる五酸化リン（Ｐ２Ｏ５）の添加量を調整することが望ましい。
【００２２】
そして、ガラス組成物の具体的な作製は、前記の原料化合物を用いて以下の手順で行った。
【００２３】
まず、実施例１〜３０と比較例１〜３毎に、ガラス系の組成が所定の組成になるように、粉末状の原料化合物を配合し混合した。混合した粉末を白金ルツボに入れ、電気炉を用いて加熱し溶融させた。加熱条件としては、５〜１０℃／ｍｉｎの昇温速度で１０００〜１１００℃まで加熱し、その１０００〜１１００℃の加熱温度で２時間保持した。この保持中には、均一なガラス組成物とするために、溶融物が均一になるように攪拌した。
【００２４】
次に、白金ルツボを高温のまま電気炉から取り出し、予め２００〜３００℃に加熱しておいたステンレス板上に溶融物を流し込んだ。溶融物は、急冷されガラス化し、バルク状のガラス組成物となって固形化した。そのバルク状のガラス組成物を、スタンプミルを用い粉砕して、粒径１〜３μｍ程度のガラス組成物の粉末（酸化物の粉末）を作製した。
【００２５】
また、比較例４では、市販の鉛系ガラスを、バルク状のガラス組成物として、スタンプミルを用い粉砕して、ガラス組成物の粉末（酸化物の粉末）を作製した。比較例５では、市販のビスマス系ガラスを、バルク状のガラス組成物として、スタンプミルを用い粉砕して、ガラス組成物の粉末（酸化物の粉末）を作製した。
【００２６】
（１−２、ガラス組成物の特性温度測定）
実施例１〜３０と比較例１〜５のそれぞれで作製したガラス組成物の特性温度の測定を行った。特性温度の測定では、示差熱分析（ＤＴＡ）装置（真空理工株式会社製、型式：ＤＴ−１５００）を用いた。標準試料としてα-アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を用い、標準試料と供試材（実施例１〜３０と比較例１〜５毎のガラス組成物の粉末）の質量を、それぞれ１ｇとした。測定では、大気雰囲気中で標準試料と供試材を昇温し、昇温速度を５℃／ｍｉｎとした。
【００２７】
図１に、ガラス組成物の特性温度の測定（ＤＴＡ測定）で得られたＤＴＡカーブの一例を示す。図１のＤＴＡカーブでは、第１吸熱ピークＰＡと、第２吸熱ピークＰＢと、発熱ピークＰＣが測定された。第１吸熱ピークＰＡの開始温度（接線法による、第１吸熱ピークＰＡの開始前のＤＴＡカーブの接線と、第１吸熱ピークＰＡの前半において降下するＤＴＡカーブの接線とが交わるときの温度）をガラス組成物の転移点と定義した。実施例１〜３０と比較例１〜５毎に、特性温度の測定（ＤＴＡ測定）を行い、測定結果であるＤＴＡカーブからガラス組成物の転移点を求めた。求めた転移点を表１に併記した。温度が転移点以上になると、ガラス組成物の剛性と粘度が低下して軟化し、流動性が増す。耐水性・耐湿性を向上させるために、ガラス組成物で、アルミニウムの金属粒子を緻密に覆うためには、転移点は、できるだけ低いほうがよいと考えられる。
【００２８】
比較例１〜３（リン主成分）では、転移点が５２８℃、５０２℃、４９３℃であり、概ね５００℃であった。実施例１〜３０において、転移点が５００℃以下を達成できたのは、実施例１〜２４、実施例２７〜３０であった。
【００２９】
比較例４（鉛主成分）では、転移点が３７５℃であり、比較例５（ビスマス主成分）では、転移点が４１３℃であった。これらは、流動性の高いガラス組成物として知られているので、高い流動性を確保するためには、転移点として、概ね４００℃以下であればよいと考えられる。実施例１〜３０において、転移点が４００℃以下を達成できたのは、実施例１〜１５、実施例１７〜２０、実施例２７〜３０であった。さらに、転移点が３００℃以下を達成できたのは、実施例２、実施例１０、実施例１１、実施例１７、実施例１８、実施例２８〜３０であった。
【００３０】
なお、第１吸熱ピークＰＡのピーク温度（接線法による、第１吸熱ピークＰＡの前半において降下するＤＴＡカーブの接線と、第１吸熱ピークＰＡの後半において上昇するＤＴＡカーブの接線とが、交わるときの温度）を、図１に示すようにガラス組成物の屈伏点と定義できる。また、第２吸熱ピークＰＢのピーク温度（接線法による、第２吸熱ピークＰＢの前半において降下するＤＴＡカーブの接線と、第２吸熱ピークＰＢの後半において上昇するＤＴＡカーブの接線とが、交わるときの温度）を、図１に示すようにガラス組成物の軟化点と定義することができる。また、発熱ピークＰＣでは、ガラス組成物の結晶化が起こっている。この結晶化では、ガラス組成物のガラス相中に、微結晶の結晶相が分散した状態で生じている。
【００３１】
（１−３、導電性ペーストの作製）
導電性ペーストに含有させる金属粒子として、平均粒径（D50）１μｍの粒子群Ａと、平均粒径（D50）５μｍの粒子群Ｂとの２種類のアルミニウム粒子を用意した。まず、アルミニウムを溶融し、水アトマイズ法にて球状のアルミニウム粒子を形成した。このアルミニウム粒子から、粒径０．５μｍ未満の粒子を篩いによって除去し、粒径１．５μｍ以上の粒子を篩いによって除去して残った粒子群を粒子群Ａとした。粒子群Ａは、平均粒径（D50）が１μｍであり、粒径が０．５μｍ以上１．５μｍ未満の範囲内に約９５％以上の体積分率を有していた。先の篩いによって除去された粒径１．５μｍ以上の粒子から、粒径８μｍ以上の粒子を篩いによって除去して残った粒子群を粒子群Ｂとした。粒子群Ｂは、平均粒径（D50）が５μｍであり、粒径が１．５μｍ以上８μｍ未満の範囲内に約９５％以上の体積分率を有していた。
【００３２】
粒子群Ａのアルミニウム粒子が５０重量％になり、粒子群Ｂのアルミニウム粒子が５０重量％になるように、すなわち、粒子群Ａと粒子群Ｂの混合比率が１：１になるように、粒子群Ａと粒子群Ｂのアルミニウム粒子を配合して使用した。
【００３３】
実施例１〜３０と比較例１〜５毎に、配合したアルミニウム粒子の１００重量部に対して、１０重量部のガラス組成物（酸化物）の粉末を混合し、さらに、この混合物にバインダ樹脂と溶剤とを添加・混合し、混錬した。バインダ樹脂は溶剤に溶け、溶剤に溶けたバインダ樹脂中に、アルミニウム粒子とガラス組成物（酸化物）の粉末とが分散し、導電性ペーストが完成した。なお、バインダ樹脂にはエチルセルロースを用い、溶剤にはα-テルピネオールを用いた。
【００３４】
（１−４、電極配線の形成）
太陽電池セル等の電子部品に用いられる多結晶シリコン基板上に、実施例１〜３０と比較例１〜５毎の導電性ペーストを、スクリーン印刷法にてそれぞれ塗布した。塗布後、大気中において温度１５０℃で数分間加熱し乾燥させた。その後、電気炉にて、大気中で８５０℃の焼成温度で２秒間の熱処理を施して、電極配線を焼成し完成させた。焼成された電極配線の膜厚はどれも、約４０μｍであった。
【００３５】
（１−５、電極配線の特性、比抵抗測定）
実施例１〜３０と比較例１〜５毎に、完成した電極配線の比抵抗を四探針法で測定した。比抵抗測定では、電極配線の電気抵抗と膜厚を測定し、この電気抵抗と膜厚に基づいて比抵抗を算出した。実施例１〜３０の電極配線の比抵抗は、比較例４（鉛系のガラス組成物を使用）と、比較例５（ビスマス系のガラス組成物を使用）の電極配線の比抵抗に比べ、同程度かそれより小さい値であった。
【００３６】
（１−６、電極配線の特性、密着性試験（ピール試験））
実施例１〜３０と比較例１〜５毎に、完成した電極配線の基板に対する接着（密着性）の強さを、ピール試験にて評価した。ピール試験では、市販のセロハンテープを、電極配線に貼り付けた後に引き剥がした。そして、剥がした後に電極配線を観察し評価した。評価基準としては、アルミニウム粒子のほとんど全てが剥がれ電極配線が断線状態となったものを「×」とし、アルミニウム粒子の一部が薄く剥がれたが断線状態にならなかったものを「○」とし、アルミニウム粒子が全く剥がれなかったものを「◎」とする基準を用いた。表１に示すように、ピール試験の結果は、実施例１〜１５と実施例１７〜２０と実施例２７〜３０と比較例４で「◎」であり、実施例１６と実施例２１〜２４と比較例５で「○」であり、実施例２５と実施例２６と比較例１〜３で「×」であった。
表１において、転移点と密着性試験（ピール試験）とを比較すると、転移点が４００℃以下の場合に、「◎」となり、転移点が４００℃を超え概ね５００℃以下の場合に、「○」となり、転移点が概ね５００℃を超えた場合に、「×」となった。転移点が下がる程、焼成時（焼成温度）におけるガラス組成物の軟化流動特性が向上し、ガラス組成物はアルミニウム粒子の表面を容易に覆えるようになる。ガラス組成物によってアルミニウム粒子の表面が覆われると、必然的に、隣接するアルミニウム粒子間にガラス組成物が配置されるので、ガラス組成物が接着剤となり、隣接するアルミニウム粒子を強固に接着させることができる。また、ガラス組成物によってアルミニウム粒子の表面が覆われると、基板と基板に隣接するアルミニウム粒子の間にも、必然的に、ガラス組成物が配置されることになるので、ガラス組成物が接着剤となり、基板に隣接するアルミニウム粒子を、基板に強固に接着させることができる。このため、転移点が低い程、密着性試験（ピール試験）で高い密着性が得られたと考えられる。
【００３７】
（１−７、電極配線の特性、耐水性試験）
実施例１〜３０と比較例１〜５毎の電極配線に対し、耐水性試験として、温度８５℃、湿度８５％の条件の環境下に、１０００時間、放置するという加速試験を行った。評価基準としては、試験後に電極配線が黒色化したものは「×」とし、電極配線の色の変化がわずかにあるものは「○」とし、色がほとんど変わらないものを「◎」とする基準を用いた。表１に示すように、耐水性試験の結果は、実施例１〜５と実施例８〜１１と実施例１３と実施例１７〜２０と実施例２７〜３０で「◎」であった。実施例６と実施例７と実施例１２と実施例１４〜１６と実施例２１〜２６で「○」であった。比較例１〜５で「×」であった。実施例１〜３０の方が、比較例１〜５よりも耐水性に優れていることがわかった。
【００３８】
実施例１〜３０において、密着性試験の結果と、耐水性試験の結果を比較すると、耐水性試験で「◎」であると、密着性試験でも「◎」となることがわかった。逆に、密着性試験で「◎」であると、耐水性試験では「◎」か「○」となることがわかった。このことから、実施例１〜３０においては、耐水性試験の「◎」であることと、密着性試験の「◎」であることとは、密接に関係していると考えられる。
【００３９】
実施例１〜３０において、転移点と、耐水性試験の結果を比較すると、転移点が３８０℃以上だと、耐水性試験で「○」になり、転移点が３８０℃未満だと、耐水性試験で「◎」になることがわかった。このことから、実施例１〜３０においては、転移点と耐水性試験の結果とは密接に関係しており、転移点が低い程、耐水性が向上すると考えられる。
【００４０】
また、ガラス組成物単体の特性としては比較例４（鉛系のガラス）と比較例５（ビスマス系のガラス）よりも耐水性で劣る実施例１〜３０であっても、アルミニウム粒子と混合して導電性ペーストとして焼成し、電極配線を作製すると、実施例１〜３０では、比較例４（鉛系のガラス）と比較例５（ビスマス系のガラス）よりも耐水性に優れた電極配線を作製できることが判明した。このことは、高い耐水性を得るにはアルミニウム粒子を緻密な膜で覆うことが肝要であるが、その緻密な膜は、ガラス組成物単体ではなく、ガラス組成物とアルミニウム粒子との存在によって形成されていることが想起された。
【００４１】
また、実施例２５と実施例２６では、密着性試験は「×」となり、耐水性試験は「○」となった。実施例２５と実施例２６の転移点は５０２℃と５５０℃で、５００℃を超えており、ガラス組成物は、アルミニウム粒子を接着するのに十分なだけ覆ってはいないと考えられる。それにも関わらず、耐水性試験で「○」となったのは、接着に必要な量より少ない量のガラス組成物がアルミニウム粒子を覆うだけでも、そのアルミニウム粒子とガラス組成物によって薄くても緻密な膜がアルミニウム粒子の表面に形成され、耐水性を向上させたからであると考えられた。
【００４２】
図２に、本発明の第１の実施形態に係る電子部品１が具備する電極配線２の断面図の一部を示す。この断面図は、実施例１〜３０、例えば、実施例１０で作製した電極配線２を、走査型電子顕微鏡−エネルギ分散型Ｘ線分析装置（SEM-EDX）を用いて観察した結果に基づいている。
【００４３】
電子部品１は、シリコン基板３と、シリコン基板３上に接着し固定された電極配線２を有している。電極配線２は、アルミニウム（Ａｌ）及び/又はアルミニウムを含む合金からなる複数の、いわゆるアルミニウム粒子４と、アルミニウム粒子４をシリコン基板３に固定させるガラス組成物（酸化物）５とを有している。
【００４４】
複数のアルミニウム粒子４同士は、焼結によってネッキング結合部６にて結合（ネッキング）している。アルミニウム粒子４には、アルミニウムだけでなく、アルミニウムを含む合金からなるアルミニウム粒子４を用いることができる。アルミニウムを含む合金は、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、シリコン（Ｓｉ）、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃａ）のうち少なくとも一種の元素を含んでいる。例えば、銀が添加されることで、合金（Al-Ag）の導電率を高めることができる。また、銅が添加されることで、合金（Al-Cu）の強度を高めることができる。シリコンが添加されることで、合金（Al-Si）の耐磨耗性を高めることができる。マグネシウムやカルシウムが添加されることで、合金（Al-Mg、Al-Ca）の強度や耐食性を高めることができる。
【００４５】
アルミニウム粒子４は、粒径が０．５μｍ以上１．５μｍ未満の範囲内に約９５％の体積分率を有する粒子群Ａ（４Ａ）と、粒径が１．５μｍ以上８μｍ未満の範囲内に約９５％の体積分率を有する粒子群Ｂ（４Ｂ）とから構成されている。粒子群Ａ（４Ａ）の複数の粒子４の総重量と、粒子群Ｂ（４Ｂ）の複数のアルミニウム粒子４の総重量とは、略等しくなっている。これによれば、粒径の大きな粒子群Ｂ（４Ｂ）のアルミニウム粒子４間の隙間に、粒径の小さな粒子群Ａ（４Ａ）の粒子４が入り、アルミニウム粒子４の密度を高めることができるので、緻密な電極配線２を形成することができる。
【００４６】
酸化物（ガラス組成物）５は、アルミニウム粒子４を覆い、アルミニウム粒子４をシリコン基板３に接着している。酸化物（ガラス組成物）５は、表１の実施例１〜３０に示すように、バナジウム（Ｖ）とリン（Ｐ）を含んでいる。酸化物５は、ガラス組成物であるので、ガラス相５ａを有し、ガラス相５ａ内に分散するように結晶相（微結晶）５ｂが形成している。結晶相（微結晶）５ｂの粒径は１０〜６０ｎｍ程度であった。
【００４７】
アルミニウム粒子４の表面には、バナジウムとアルミニウムを含む化合物層７が形成されている。化合物層７のアルミニウム粒子４の側には、アルミニウムの酸化被膜があってもよい。化合物層７は、アルミニウム粒子４の表面上に、均一の厚さで形成されている。化合物層７の厚さは、１０〜１００ｎｍ程度であった。アルミニウム粒子４は、表面を、化合物層７で覆われ、さらに、酸化物（ガラス組成物）５で覆われている。
【００４８】
また、酸化物（ガラス組成物）５と化合物層７のバナジウムの価数状態を、Ｘ線光電子分光分析（ESCA）により分析した。分析は、電極配線２の表面の汚染状態を考慮し、アルゴン（Ａｒ）エッチングを３０秒間、実施してから行った。その分析結果を表２に示す。
【表２】
0005497504.tif 000003
表２に示すように、分析は、実施例５、実施例１０、実施例１９、実施例２０、実施例２７〜３０の電極配線２のアルミニウム粒子４を覆っている酸化物（ガラス組成物）５と化合物層７について行った。これらの実施例は、表１に示したように、転移点は３７５℃以下であり、密着性試験は「◎」であり、耐水性試験も「◎」である。そして、表２に示すように、これらの実施例では、４価以下のバナジウム（Ｖ４＋以下、すなわち、Ｖ４＋、Ｖ３＋、Ｖ２＋、Ｖ１＋、Ｖ０）の原子を個数割合で６０％以上含んでいることがわかった。これに対して、これらの実施例では、５価のバナジウム（Ｖ５＋）の原子を個数割合で４０％以下含んでいることがわかった。そして、耐水性試験は、実施例５、実施例１０、実施例１９、実施例２０、実施例２７〜３０ではみな「◎」であるが、その中でも、４価以下のバナジウム（Ｖ４＋以下）原子の個数割合が増加するほど、すなわち、実施例２０の６０％よりは、実施例１０の８４％や、実施例２７の８９％の方が、電極配線２の耐水性が向上することがわかった。
【００４９】
また、実施例１〜３０の化合物層７についてＸ線回折（XRD）の分析を行った。この分析から、化合物層７には、Ａｌ３Ｖ、Ａｌ０．８Ｓｂ１．０Ｖ０．２Ｏ４、Ａｌ０．５Ｓｂ１．０Ｖ０．５Ｏ４、ＡｌＶ２Ｏ４、ＡｌＶＯ３、ＶＯ２・ＡｌＯ２・ＰＯ２、Ａｌ０．０２Ｖ０．９８Ｏ２、Ａｌ０．０７Ｖ１．９３Ｏ４が形成されていることが確認できた。Ａｌ３Ｖのバナジウムは０価（Ｖ０）を取りうる。Ａｌ０．８Ｓｂ１．０Ｖ０．２Ｏ４のバナジウムは３価（Ｖ＋３）を取りうる。Ａｌ０．５Ｓｂ１．０Ｖ０．５Ｏ４のバナジウムは３価（Ｖ＋３）と４価（Ｖ＋４）を取りうる。ＡｌＶ２Ｏ４のバナジウムは１価（Ｖ＋１）と２価（Ｖ＋２）と３価（Ｖ＋３）と４価（Ｖ＋４）を取りうる。ＡｌＶＯ３のバナジウムは３価（Ｖ＋３）を取りうる。ＶＯ２・ＡｌＯ２・ＰＯ２のバナジウムは４価（Ｖ＋４）を取りうる。Ａｌ０．０２Ｖ０．９８Ｏ２のバナジウムは４価（Ｖ＋４）を取りうる。Ａｌ０．０７Ｖ１．９３Ｏ４のバナジウムは４価（Ｖ＋４）を取りうる。
【００５０】
化合物層７は、アルミニウムとバナジウムを含んでいることがわかった。そして、このバナジウムは、４価以下のバナジウムを含んでいることがわかった。また、実施例１〜３０の電極配線２は、どれも優れた耐水性試験の結果「◎と○」となっており、これと対応するように、アルミニウム粒子４の表面には、アルミニウムとバナジウムを含む化合物層７が形成されていた。そして、この化合物層７のバナジウムは、４価以下のバナジウムを含んでいた。４価以下のバナジウムは、酸化物（ガラス組成物）５にも含まれていた。以上から、耐水性向上の要因としては、酸化物（ガラス組成物）５中の４価以下のバナジウムと、アルミニウム粒子４のアルミニウムとが焼成時に反応し、アルミニウムと４価以下のバナジウムの化合物層７が、緻密にアルミニウム粒子４の表面を覆うように形成されたために、電極配線２の耐水性が向上したものと推察された。
【００５１】
なお、耐水性が向上したのは、アルミニウム粒子４の表面に、化合物層７を形成したためであるので、この化合物層７が形成できるのであれば、前記の製造方法に限らない。例えば、アルミニウム粒子４ではなく、アルミニウム箔やアルミニウム膜といったバルクのアルミニウム表面に、４価以下のバナジウムを含む化合物層７を均一に形成しても、耐水性向上の効果が期待できる。また、４価以下のバナジウムを含む化合物層７を形成する方法も、前記導電性ペーストを熱処理（焼成）する方法以外にも、前記ガラス組成物をターゲットとしたスパッタ法によりアルミニウム表面に化合物層７を成膜してもよい。また、プラズマＣＶＤ法等のアルミニウム表面を化合物層７で被覆できる成膜方法を用いてもよい。
【００５２】
一方、表１に示す比較例４と比較例５で作製した電極配線２も、走査型電子顕微鏡−エネルギ分散型Ｘ線分析装置（SEM-EDX）で観察した。鉛（Ｐｂ）やビスマス（Ｂｉ）といった金属が、アルミニウムの粒子４同士の界面に析出しており、ガラス組成物のガラス成分（鉛、ビスマス）の偏析が観察された。これは、Ｐｂ系ガラスやＢｉ系ガラスによるアルミニウムの粒子４の酸化によって、Ｐｂ系ガラスの鉛やＢｉ系ガラスのビスマスが還元されて析出したものと考えられる。このため、アルミニウム表面に均一な化合物層７はできず、耐水性が向上し難かったと推察された。
また、比較例４と比較例５で作製した電極配線２について、Ｘ線回折（XRD）の分析を行った。分析の結果から、変色した電極配線２からは水酸化アルミニウム（Ａｌ（ＯＨ）３）の生成が確認できた。これが電極変色の原因と推察される。一方で、実施例１〜３０の電極配線２では、水酸化アルミニウムが生成しておらず、替わりに、化合物層７が生成していることがわかった。その化合物層７はいずれも４価以下のバナジウムを含む化合物により形成されていた。
【００５３】
（第２の実施形態）
［導電性ペースト中のガラス組成物（酸化物の粉末）とアルミニウム粒子の重量比に関する検討］
第２の実施形態では、導電性ペーストのガラス組成物（酸化物の粉末）５（図２参照）とアルミニウム粒子４（図２参照）の重量比に関して検討した。
【００５４】
表３に示すように、第２の実施形態では、実施例Ａ１〜Ａ９において、導電性ペーストのガラス組成物（酸化物の粉末）５とアルミニウム粒子４の重量比を変えて、導電性ペーストを作製し、さらに、それらそれぞれの導電性ペーストを使って電極配線２（図２参照）を作製し、各種特性を評価している。評価した特性としては、電極配線２に対して、密着性試験（ピール試験）と、耐水性試験と、比抵抗の計測を行っている。
【表３】
0005497504.tif 000004
【００５５】
（２−１、ガラス組成物（酸化物の粉末）の作製）
ガラス組成物（酸化物の粉末）５としては、表１の実施例１０と同じガラス系の組成を有するガラス組成物（酸化物の粉末）５を作製し使用した。実施例１０のガラス組成物（酸化物の粉末）５には、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、鉄とリチウムが加えられている。
【００５６】
（２−２、導電性ペーストの作製）
導電性ペーストに含有させる金属粒子としては、第１の実施形態と同様に、平均粒径（D50）１μｍの粒子群Ａ（４Ａ、図２参照）と平均粒径（D50）５μｍの粒子群Ｂ（４Ｂ、図２参照）との２種類のアルミニウム粒子４（４Ａ、４Ｂ）を用意し、粒子群Ａ（４Ａ）と粒子群Ｂ（４Ｂ）の混合比率が１：１になるように、粒子群Ａと粒子群Ｂのアルミニウム粒子４（４Ａ、４Ｂ）を配合して使用した。
【００５７】
実施例Ａ１〜Ａ９毎に、配合したアルミニウム粒子４（４Ａ、４Ｂ）と、ガラス組成物（酸化物の粉末）５の重量比を変えて混合し、この混合物にバインダ樹脂と溶剤とを添加・混合し、混錬した。バインダ樹脂は溶剤に溶け、溶剤に溶けたバインダ樹脂中に、アルミニウム粒子４（４Ａ、４Ｂ）とガラス組成物（酸化物）５の粉末とが分散し、導電性ペーストが完成した。なお、バインダ樹脂にはエチルセルロースを用い、溶剤にはブチルカルビトールアセテートを用いた。
【００５８】
表３のアルミニウム量には、実施例Ａ１〜Ａ９毎に、混合したアルミニウム粒子４（４Ａ、４Ｂ）の重量とガラス組成物（酸化物の粉末）５の重量の和に対する、アルミニウム粒子４（４Ａ、４Ｂ）の重量の比を、重量％で記載している。
【００５９】
表３のガラス量には、実施例Ａ１〜Ａ９毎に、混合したアルミニウム粒子４（４Ａ、４Ｂ）の重量とガラス組成物（酸化物の粉末）５の重量の和に対する、ガラス組成物（酸化物の粉末）５の重量の比を、重量％で記載している。よって、どの実施例Ａ１〜Ａ９でも、アルミニウム量とガラス量の和は、１００重量％になる。
【００６０】
表３に示すように、実施例Ａ１では、アルミニウム量を９９．９５重量％とし、ガラス量を０．０５重量％とした。
実施例Ａ２では、アルミニウム量を９９．９重量％とし、ガラス量を０．１重量％とした。
実施例Ａ３では、アルミニウム量を９９．５重量％とし、ガラス量を０．５重量％とした。
実施例Ａ４では、アルミニウム量を９９重量％とし、ガラス量を１重量％とした。
実施例Ａ５では、アルミニウム量を９７重量％とし、ガラス量を３重量％とした。
実施例Ａ６では、アルミニウム量を９５重量％とし、ガラス量を５重量％とした。
実施例Ａ７では、アルミニウム量を９０重量％とし、ガラス量を１０重量％とした。
実施例Ａ８では、アルミニウム量を８５重量％とし、ガラス量を１５重量％とした。
実施例Ａ９では、アルミニウム量を８０重量％とし、ガラス量を２０重量％とした。
【００６１】
（２−３、電極配線の形成）
第１の実施形態と同様に、太陽電池セル等の電子部品１（図２参照）に用いられる多結晶シリコン基板３（図２参照）上に、実施例Ａ１〜Ａ９毎の導電性ペーストを、スクリーン印刷法にてそれぞれ塗布した。塗布後、大気中において温度１５０℃で数分間加熱し乾燥させた。その後、電気炉にて、大気中で８５０℃の焼成温度で２秒間の熱処理を施して、電極配線２（図２参照）を焼成し完成させた。焼成された電極配線２の膜厚はどれも、約４０μｍであった。
【００６２】
（２−４、比抵抗測定）
実施例Ａ１〜Ａ９毎に、完成した電極配線２の比抵抗を四探針法で測定した。比抵抗測定では、電極配線２の電気抵抗と膜厚を測定し、この電気抵抗と膜厚に基づいて比抵抗を算出した。
【００６３】
図３のガラス量に対する比抵抗のグラフに、実施例Ａ１〜Ａ９毎の、電極配線２の比抵抗と、ガラス量（ガラス組成物のアルミニウム粒子に対する重量分率）とに対応する点をプロットしている。図３に示すように、実施例Ａ１〜Ａ６ではどれも、比抵抗は、略２×１０−５Ωｃｍであり、略一定であった。すなわち、ガラス量が、０．０５重量％〜５重量％の範囲では、比抵抗は、略２×１０−５Ωｃｍで略一定であった。
【００６４】
実施例Ａ６〜Ａ９では、ガラス量が増加するほど、比抵抗も大きくなった。すなわち、ガラス量が、５重量％〜２０重量％の範囲では、ガラス量が増加するほど、比抵抗も大きくなった。そして、ガラス量が２０重量％を超えてさらに増加すると、比抵抗もさらに大きくなると考えられた。太陽電池セル等の電子部品１の電極配線２の比抵抗としては、１．０×１０−４Ωｃｍ以下であることが要求されるところ、実施例Ａ９（ガラス量２０重量％）において、比抵抗が１．０×１０−４Ωｃｍになったので、比抵抗を１．０×１０−４Ωｃｍ以下の電極配線２を作製するためには、ガラス量を０．０５重量％〜２０重量％の範囲に設定すればよいことがわかった。
【００６５】
（２−５、密着性試験（ピール試験））
実施例Ａ１〜Ａ９毎に、完成した電極配線２の基板３に対する接着（密着性）の強さを、ピール試験にて評価した。ピール試験は、第１の実施形態と同様な方法と同様の評価基準で行った。表３に示すように、ピール試験の結果は、実施例Ａ５〜Ａ９で「◎（剥がれなし）」であり、実施例Ａ２〜Ａ４で「○（薄剥がれあり）」であり、実施例Ａ１で「×（剥がれる）」であった。
【００６６】
表３において、ガラス量と密着性試験（ピール試験）とを比較すると、ガラス量が０．０５重量％以下の場合に、「×」となり、ガラス量が０．０５重量％を超え、より確実には０．１重量％以上、１重量％以下の場合に、「○」となり、ガラス量が１重量％を超え、より確実には３重量％以上の場合に、「◎」となった。ガラス量が増加する程、基板３に電極配線２を接着させる接着剤となるアルミニウム粒子４（４Ａ、４Ｂ）に対するガラス組成物５の重量比が増えるので、アルミニウム粒子４（４Ａ、４Ｂ）の密着性が向上し、結果として電極配線２の密着性が向上したと考えられる。
【００６７】
（２−６、耐水性試験）
実施例Ａ１〜Ａ９毎の電極配線２に対し、耐水性試験として、第１の実施形態と同様に、温度８５℃、湿度８５％の条件の環境下に、１０００時間、放置するという加速試験を行った。評価基準も、第１の実施形態と同様とした。表３に示すように、耐水性試験の結果は、実施例Ａ１〜Ａ９で「○（変色わずか）」であった。
【００６８】
表３において、密着性試験と耐水性試験を比較すると、両方の試験が「○」以上の評価になるのは、ガラス量が０．１重量％以上の実施例Ａ２〜Ａ９であり、電極配線２としては、ガラス量が０．１重量％以上であることが好ましいことがわかった。
【００６９】
なお、ガラス量が０．０５重量％の実施例１では、密着性試験は「×」であったが、耐水性試験は「○」であった。これは、０．０５重量％のガラス量では、アルミニウム粒子４（４Ａ、４Ｂ）の接着剤の量としては不足しているが、第１の実施形態で説明した薄い化合物層７（図２参照）をアルミニウム粒子４（４Ａ、４Ｂ）の表面に形成するだけなら十分であったからと考えられる。また、アルミニウム粒子４（４Ａ、４Ｂ）は、平均粒径（D50）１μｍの粒子群Ａ（４Ａ）と、平均粒径（D50）５μｍの粒子群Ｂ（４Ｂ）を混合したものであるが、粒径の大きい粒子群Ｂ（４Ｂ）の粒子群Ａ（４Ａ）に対する重量比を大きくした場合には、アルミニウム粒子４間の空隙が増え、アルミニウム粒子４の密度が低下し、アルミニウム粒子４の表面積も減少するため、耐水性試験の「○」の評価が得られるガラス量は、実施例Ａ１の０．０５重量％よりさらに小さくできると考えられる。
【００７０】
（第３の実施形態）
［導電性ペースト中のアルミニウム粒子のアルミニウム合金に関する検討］
第３の実施形態では、導電性ペーストのアルミニウム粒子４の材料とするアルミニウム合金に関して検討した。第３の実施形態では、各種アルミニウム合金で、アルミニウム粒子４を作製し、さらに、導電性ペーストを作製し、それらそれぞれの導電性ペーストを使って電極配線２を作製し、耐水性試験を行っている。
【００７１】
（３−１、アルミニウム合金製のアルミニウム（合金）粒子の作製）
まず、所望の組成となるように、アルミニウム金属（純アルミニウム）と、添加金属の重量を計量した。計量したアルミニウム金属と添加金属を均一に溶解し、これを水アトマイズ法のようなノズル噴霧によってアルミニウム（合金）粒子４を形成した。このアルミニウム（合金）粒子４を乾燥させ、このアルミニウム（合金）粒子４から、篩いを用いて、平均粒径(D50)が、１．５μｍ〜５μｍの範囲に入るように分級したアルミニウム（合金）粒子４を取得した。
【００７２】
アルミニウム合金として、実施例Ｂ１で、銅が９２重量％含有しているアルミニウム合金（Ａｌ−９２重量％Ｃｕ）のアルミニウム（合金）粒子４を作製した。
実施例Ｂ２で、銅が９０重量％含有しているアルミニウム合金（Ａｌ−９０重量％Ｃｕ）のアルミニウム（合金）粒子４を作製した。
実施例Ｂ３で、銅が６６重量％含有しているアルミニウム合金（Ａｌ−６６重量％Ｃｕ）のアルミニウム（合金）粒子４を作製した。
実施例Ｂ４で、銅が３２．５重量％含有しているアルミニウム合金（Ａｌ−３２．５重量％Ｃｕ）のアルミニウム（合金）粒子４を作製した。
実施例Ｂ５で、銅が１０重量％含有しているアルミニウム合金（Ａｌ−１０重量％Ｃｕ）のアルミニウム（合金）粒子４を作製した。
実施例Ｂ６で、銅が３重量％含有しているアルミニウム合金（Ａｌ−３重量％Ｃｕ）のアルミニウム（合金）粒子４を作製した。
実施例Ｂ７で、マグネシウムが３重量％含有しているアルミニウム合金（Ａｌ−３重量％Ｍｇ）のアルミニウム（合金）粒子４を作製した。
実施例Ｂ８で、カルシウムが３重量％含有しているアルミニウム合金（Ａｌ−３重量％Ｃａ）のアルミニウム（合金）粒子４を作製した。
実施例Ｂ９で、シリコンが７重量％含有しているアルミニウム合金（Ａｌ−７重量％Ｓｉ）のアルミニウム（合金）粒子４を作製した。
実施例Ｂ１０で、銀が１０重量％含有しているアルミニウム合金（Ａｌ−１０重量％Ａｇ）のアルミニウム（合金）粒子４を作製した。
【００７３】
（３−２、ガラス組成物（酸化物の粉末）の作製）
ガラス組成物（酸化物の粉末）５としては、表１の実施例１０と同じガラス系の組成を有するガラス組成物（酸化物の粉末）５を作製し使用した。実施例１０のガラス組成物（酸化物の粉末）５には、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、鉄とリチウムが加えられている。
【００７４】
（３−３、導電性ペーストの作製）
実施例Ｂ１〜Ｂ１０毎に、表３の実施例Ａ５と同様に、作製したアルミニウム（合金）粒子４の９７重量部に対して、３重量部のガラス組成物（酸化物）５の粉末を混合し、さらに、この混合物にバインダ樹脂と溶剤とを添加・混合し、混錬した。バインダ樹脂は溶剤に溶け、溶剤に溶けたバインダ樹脂中に、アルミニウム（合金）粒子４とガラス組成物（酸化物）５の粉末とが分散し、導電性ペーストが完成した。なお、バインダ樹脂にはエチルセルロースを用い、溶剤にはブチルカルビトールアセテートを用いた。
【００７５】
（３−４、電極配線の形成）
第１の実施形態と同様に、太陽電池セル等の電子部品１に用いられる多結晶シリコン基板３上に、実施例Ｂ１〜Ｂ１０毎の導電性ペーストを、スクリーン印刷法にてそれぞれ塗布した。塗布後、大気中において温度１５０℃で数分間加熱し乾燥させた。その後、電気炉にて、大気中で８５０℃の焼成温度で２秒間の熱処理を施して、電極配線２を焼成し完成させた。焼成された電極配線２の膜厚はどれも、約４０μｍであった。
【００７６】
（３−５、耐水性試験）
実施例Ｂ１〜Ｂ１０毎の電極配線２に対し、耐水性試験として、第１の実施形態と同様に、温度８５℃、湿度８５％の条件の環境下に、１０００時間、放置するという加速試験を行った。評価基準も、第１の実施形態と同様とした。耐水性試験の結果は、実施例Ｂ１〜Ｂ１０のすべてで「○（変色わずか）」であった。これより、アルミニウム粒子４に、アルミニウム合金を使用した場合にも、第１の実施形態で説明した化合物層７が形成され、耐水性が向上したと考えられた。耐水性の向上に関しては、アルミニウム粒子４は純アルミニウムに限定されるものではなく、アルミニウムを含む、いわゆるアルミニウム合金粒子４であれば耐水性が向上することがわかった。
【００７７】
（第４の実施形態）
［高耐水性の電極配線の太陽電池セルへの適用に関する検討］
図４Ａに、本発明の第４の実施形態に係る太陽電池セル（電子部品）３０（１）の平面図を示し、図４Ｂに、その底面図を示し、図４Ｃに、図４ＡのＡ−Ａ′方向の矢視断面図を示している。第４の実施形態では、本願発明を適用可能な電子部品１として、太陽電池セル３０を例に挙げ説明する。
【００７８】
図４Ｂと図４Ｃに示す太陽電池セル３０（１）の裏面電極３５（２）に、本願発明の電子部品１の電極配線２を適用している。また、ｐ型のシリコン基板からなる半導体基板３１（３）の裏面上に裏面電極３５（２）が形成されている。半導体基板３１（３）が、第１の実施形態の基板３に相当し、裏面電極３５（２）が、第１の実施形態の電極配線２に相当する。
【００７９】
半導体基板３１（３）には、単結晶シリコン基板または多結晶シリコン基板などが使用される。この半導体基板３１（３）は、ホウ素（Ｂ）等を含有しｐ型半導体となっている。図４Ａに示される半導体基板３１（３）の受光面側には、太陽光の反射を抑制するために、エッチング等により凹凸（図示省略）が形成されている。また、図４Ｃに示すように、半導体基板３１（３）の受光面側には、リン（Ｐ）等がドーピングされ、サブミクロンオーダの厚みでｎ型半導体の拡散層３２が形成されている。この拡散層３２のｎ型半導体と、半導体基板３１（３）のｐ型半導体とにより、ｐｎ接合部が形成されている。このｐｎ接合部では、太陽光が吸収されて生成した電子・正孔対が、電子と正孔に分離し、電圧が発生することになる。半導体基板３１（３）の受光面の裏面側には、アルミニウムが高濃度にドーピングされ、サブミクロンオーダの厚みでｐ＋型半導体の合金層（Back Surface Field :BSF層）３７が形成されている。合金層３７が形成されることにより、半導体基板３１（３）内部で発生したキャリアが裏面で再結合するのを防止し、太陽電池セルの性能を向上させることができる。
【００８０】
図４Ａに示すように、半導体基板３１（３）の受光面上には、受光面電極配線３４が設けられている。受光面電極配線３４は、半導体基板３１（３）の受光面を縦断するように平行に配置された太い配線と、この太い配線に対してグリッド状（櫛歯状及び梯子状）に配置された細い配線とを有し、受光面の全面から集電可能になっている。また、半導体基板３１（３）の受光面上には、窒化シリコン（Ｓｉ３Ｎ４）膜等の反射防止層３３が、厚さ１００ｎｍ程度形成されている。受光面電極配線３４は、ガラス粉末と銀粒子とを含む導電性ペーストを焼成して形成されている。
【００８１】
図４Ｂと図４Ｃに示すように、半導体基板３１（３）の受光面の裏面上には、裏面電極３５（２）と出力電極３６が設けられている。裏面電極３５（２）は、半導体基板３１（３）の受光面の裏面の略全面を覆うように配置され、半導体基板３１（３）の受光面の裏面の略全面から集電可能になっている。出力電極３６は、半導体基板３１（３）の受光面の裏面を縦断するように平行に配置され、裏面電極３５（２）から集電可能になっている。出力電力３６は、酸化物の粉末と銀粒子とを含む導電性ペーストを焼成して形成されている。裏面電極３５（２）は、後記で詳述するが、酸化物の粉末とアルミニウム粒子とを含む導電性ペーストを焼成して形成されている。
【００８２】
次に、太陽電池セル３０（１）の製造方法について説明する。
【００８３】
（導電性ペーストの作製）
第４の実施形態では、裏面電極３５（２）用の導電性ペーストとして、表３の実施例Ａ５で使用した導電性ペーストと同じものを作製し使用した。
【００８４】
（太陽電池セルの作製）
半導体基板３１（３）として、ｐ型のシリコン基板を用意した。次に、半導体基板３１（３）、図示は省略したが、光入射効率を向上させるため１％苛性ソーダ（水酸化ナトリウム：ＮａＯＨ）と１０％イソプロピルアルコール（ＣＨ３ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ３）の混合液を用い、半導体基板３１（３）の受光面側をエッチングしてテクスチャを形成した。
【００８５】
半導体基板３１（３）の受光面側に、五酸化リン（Ｐ２Ｏ５）を含む液を塗布し、９００℃で３０分間処理することで、五酸化リンから半導体基板３１（３）へリン（Ｐ）を拡散させ、受光面側にｎ型半導体の拡散層３２を形成した。五酸化リンを除去した後、拡散層３２上に、窒化シリコン膜の反射防止膜３３を一様な厚さに形成した。この窒化シリコン膜は、シラン（ＳｉＨ４）とアンモニア（ＮＨ３）の混合ガスを原料とするプラズマＣＶＤ法等により形成することができる。
【００８６】
次に、受光面電極配線３４を形成するために、受光面電極配線３４の配置されるグリッド状に受光面上の反射防止膜３３を除去する。酸化物の粉末と銀粒子とを含む市販の導電性ペースト（銀ペースト）をスクリーン印刷法により、受光面側に、グリッド状に塗布し、１５０℃に加熱して３０分間乾燥させた。
【００８７】
半導体基板３１（３）の受光面の裏面側には、出力電極３６用に、図４Ｂに示すパターンになるように、酸化物の粉末と銀粒子とを含む市販の導電性ペースト（銀ペースト）をスクリーン印刷法により塗布し、また、裏面電極３５（２）用に、図４Ｂに示すパターンになるように、酸化物の粉末とアルミニウム粒子とを含む、表３の実施例Ａ５で使用したのと同じ導電性ペースト（アルミニウムペースト）をスクリーン印刷法により塗布した。そして、出力電極３６と裏面電極３５（２）を、１５０℃で３０分間加熱して乾燥させた。なお、導電性ペーストの塗布は、受光面側と裏面側のどちらを先に塗布してもかまわない。
【００８８】
次に、トンネル炉を用いて、導電性ペースト（銀ペーストとアルミニウムペースト）を、半導体基板３１（３）ごと、大気中で８５０℃まで加熱し、２秒間保持する焼成を行うことで、受光面電極配線３４と出力電極３６と裏面電極３５（２）を形成し、太陽電池セル３０（１）を完成させた。なお、この焼成により、半導体基板３１（３）の裏面側では、裏面電極３５（２）の下部の半導体基板３１（３）に、裏面電極３５（２）のアルミニウム粒子４（図２参照）からアルミニウムが高濃度に拡散し、ｐ＋型半導体の合金層３７が形成されている。また、この焼成により、半導体基板３１（３）の受光面側では、受光面電極配線３４に含まれる酸化物（ガラス組成物）と反射防止層３３とが反応して、受光面電極配線３４と拡散層３２とがオーミック接続されている。
【００８９】
また、比較として、表１の比較例４で用いた導電性ペーストと同じ導電性ペーストを使用して裏面電極３５（２）を形成した点だけが異なる太陽電池セル３０（１）を作製した。
【００９０】
（太陽電池セルの評価）
前記で作製した本発明と比較のための太陽電池セルに対し、裏面電極３５（２）について、密着性試験（ピール試験）と耐水性試験を行い、また、太陽電池セルの変換効率を計測した。密着性試験（ピール試験）と耐水性試験では、第１の実施形態と同様な方法と同様の評価基準で行った。密着性試験（ピール試験）は、どちらも良好な結果「◎」を示した。また、耐水性試験では、本発明の太陽電池セルは「○」の評価となり、比較ための太陽電池セルは「×」の評価となった。比較ための太陽電池セルの裏面電極３５（２）には、低融点ガラスである鉛系のガラス組成物とを含む導電性ペーストが使用されているため、焼成時に、ガラス組成物中の鉛成分がアルミニウム粒子によって還元され、アルミニウム粒子の粒間などに鉛の金属粒子として析出し、ガラス組成物の転移点が高温化し、結果的に、ガラス組成物によってアルミニウム粒子の表面を被覆し難くなり、裏面電極３５（２）の耐水性が低下していた。本願の太陽電池セルの裏面電極３５（２）では、化合物層７によってアルミニウム粒子の表面を被覆するので、裏面電極３５（２）の耐水性を向上できる。
【００９１】
また、本発明の太陽電池セル３０（１）は、比較のための太陽電池セルよりも変換効率が高効率となることが判明した。これは、裏面電極３５（２）の電気抵抗値を低下できたためと、裏面電極３５（２）のアルミニウム粒子４（図２参照）からアルミニウムが拡散して形成されるｐ＋型半導体の合金層３７が、適切な不純物（アルミニウム）濃度で形成されたためと考えられる。これより、化合物層７は、アルミニウム粒子の耐水性を高めるだけでなく、アルミニウム粒子間の電気伝導を阻害せず、アルミニウム粒子から合金層３７へのアルミニウムの供給も阻害しないことがわかった。以上のことから、本発明の電子部品１の電極配線２（図２参照）は、太陽電池せる３０（１）のｐ型電極３７（２）として適用できることが確認された。なお、前記で説明した太陽電池セル３０（１）の裏面電極３５（２）に適用できることが確認された。裏面電極３５（２）は、ｐ型半導体にオーミック接続する電極配線２であり、太陽電池セル３０（１）以外の、電子部品１のｐ型半導体にオーミック接続する電極配線２にも適用できると考えられる。もちろん、裏面電極３５（２）は、比抵抗が低く、耐水性が高いことから、単に、電極間を接続する電極配線２として用いることもできる。
【００９２】
（第５の実施形態）
［高耐水性の電極配線のプラズマディスプレイパネルへの適用に関する検討］
図５に、本発明の第５の実施形態に係るプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ：電子部品）１１（１）の断面図の一部を示す。第５の実施形態では、本願発明を適用可能な電子部品１として、プラズマディスプレイパネル１１を例に挙げ説明する。プラズマディスプレイパネル１１（１）の表示電極２０とアドレス電極２１に、本願発明の電子部品１の電極配線２を適用いている。プラズマディスプレイパネル１１（１）は、前面板１２（３）と背面板１３（３）とが１００〜１５０μｍの間隙をもって対向させて配置され、前面板１２（３）と背面板１３（３）の間隙は隔壁１４で維持されている。前面板１２（３）と背面板１３（３）との周縁部は封着材料１５で気密に封止され、前面板１２（３）と背面板１３（３）の間隙のパネル内部には希ガスが充填されている。
【００９３】
前面板１２（３）上には表示電極２０（２）が形成されている。前面板１２（３）が、第１の実施形態の基板３に相当し、表示電極２０（２）が、第１の実施形態の電極配線２に相当する。表示電極２０（２）上に誘電体層２３が形成され、誘電体層２３上に放電から表示電極２０（２）等を保護するための保護層２５（例えば、酸化マグネシウム（MgO）の蒸着膜）が形成されている。
【００９４】
背面板１３（３）上にはアドレス電極２１（２）が形成されている。背面板１３（３）が、第１の実施形態の基板３に相当し、アドレス電極２１（２）が、第１の実施形態の電極配線２に相当する。平面視において、アドレス電極２１（２）は、表示電極２０（２）に対して直交するように形成されている。アドレス電極２１（２）上に誘電体層２４が形成され、誘電体層２４上にセル１６を構成するための隔壁１４が設けられている。隔壁１４は、ストライプ状あるいは格子（ボックス）状の構造体になっている。
【００９５】
前面板１２（３）と背面板１３（３）の間の間隙において、隔壁１４により区切られた微小空間はセル１６となる。セル１６には蛍光体１７、１８、１９が充填されている。赤色蛍光体１７が充填されたセル１６と緑色蛍光体１８が充填されたセル１６と青色蛍光体１９が充填されたセル１６の３原色に対応する３個のセル１６で１画素が構成されている。各画素は、表示電極２０（２）とアドレス電極２１（２）に印加される信号に応じて種々の色を発光することができる。
【００９６】
次に、プラズマディスプレイパネル１１（１）の製造方法について説明する。
【００９７】
（導電性ペーストの作製）
まず、アルミニウムを溶融し、水アトマイズ法にて球状のアルミニウム粒子を形成した。このアルミニウム粒子を、有機溶媒中でボールミルで処理し、フレーク状（板状）のアルミニウム粒子を形成した。さらに、このフレーク状のアルミニウム粒子の熱的安定性を向上させるために、還元雰囲気中で温度７００℃のアニール処理を行った。この板状の粒子から、粒径８μｍ以上の粒子を篩いによって除去し、かつ、粒径１．５μｍ未満の粒子も篩いによって除去した。残った粒子は、つまり、篩いによって大きな粒子と小さな粒子を除去した後のアルミニウム粒子は、粒径が１．５μｍ以上８μｍ未満の範囲内に約９５％以上の体積分率を有し、平均粒径（D50）が５μｍであった。
【００９８】
また、ガラス組成物（酸化物の粉末）５としては、表１の実施例１０と同じガラス系の組成を有するガラス組成物（酸化物の粉末）５を作製し使用した。実施例１０のガラス組成物（酸化物の粉末）５には、バナジウムとリンの主成分に対して、添加物として、鉄とリチウムが加えられている。
【００９９】
作製したフレーク状のアルミニウム粒子４の１００重量部に対して、０．１重量部のガラス組成物（酸化物）５の粉末を混合し、さらに、この混合物にバインダ樹脂と溶剤とを添加・混合し、混錬した。バインダ樹脂は溶剤に溶け、溶剤に溶けたバインダ樹脂中に、アルミニウム粒子４とガラス組成物（酸化物）５の粉末とが分散し、導電性ペーストが完成した。なお、バインダ樹脂にはエチルセルロースを用い、溶剤にはα−テルピネオールを用いた。
【０１００】
（プラズマディスプレイパネルの作製）
次に、プラズマディスプレイパネルを作製した。まず、導電性ペーストを、スクリーン印刷法によって、前面板１２（３）と背面板１３（３）の全面に塗布し、大気中１５０℃で乾燥させた。フォトリソグラフィ法とエッチング法によって導電性ペーストの塗布膜の余分な箇所を除去して、表示電極２０（２）とアドレス電極２１（２）のパターニングを行った。その後、大気中、焼成温度６００℃、焼成時間３０分間で焼成して、表示電極２０（２）とアドレス電極２１（２）を完成させた。この焼成では、焼成雰囲気は酸性雰囲気になるのであるが、この焼成によって、表示電極２０（２）とアドレス電極２１（２）とは、特にアルミニウムの金属粒子が化学反応して変色等することはなかった。
【０１０１】
次に、誘電体層２３、２４となる誘電性ペーストを前面板１２（３）と背面板１３（３）のそれぞれに塗布し、大気中、焼成温度６１０℃、焼成時間３０分間で焼成した。なお、この焼成では、焼成雰囲気は酸性雰囲気になり、誘電体層２３は表示電極２０（２）に直接接し、誘電体層２４はアドレス電極２１（２）に直接接するが、この焼成によって、誘電体層２３が、表示電極２０（２）とで化学反応することはなく、誘電体層２４が、アドレス電極２１（２）とで化学反応することはなかった。前面板１２（３）の誘電体層２３の側から保護層２５を蒸着した。
【０１０２】
隔壁１４は、少なくとも粉末状のガラス組成物とフィラーとを含む材料を、ストライプ状あるいは格子状に成形し、この成形した構造体を５００〜６００℃で焼結して作製した。この隔壁１４を、誘電体層２４の上に配置し、セル１６を構成させた。そして、それぞれのセル１６に、三原色に対応する蛍光体用のペーストを充填し４５０〜５００℃で焼成することによって、赤色蛍光体１７と緑色蛍光体１８と青色蛍光体１９を、セル１６内に形成した。
【０１０３】
次に、封着材料１５を、ディスペンサー法や印刷法等により、前面板１２（３）または背面板１３（３）のどちらか一方の周縁部に塗布した。そして、前面板１２（３）と背面板１３（３）を封着した。前面板１２（３）と背面板１３（３）の封着では、前面板１２（３）と背面板１３（３）とを正確に位置合わせしながら対向させて配置し、４２０〜５００℃に加熱した。この加熱時には、セル１６内のガスを排気して替わりに希ガスを封入した。なお、封着材料１５は、蛍光体１７〜１９の形成時の蛍光体用のペーストの焼成と同時に仮焼成してもよい。封着材料１５を仮焼成することによって、封着材料１５内に含まれる気泡を低減できる。なお、図２では、封着材料１５とアドレス電極２１（２）とが直接接しているが、表示電極２０（２）も外部に電極を引き出すために封着材料１５と直接接している。封着材料１５は、仮焼成時とガラス封着時に加熱され、この加熱では焼成雰囲気は酸性雰囲気になるのであるが、この加熱によって、封着材料１５が、表示電極２０（２）およびアドレス電極２１（２）とで化学反応することはなかった。以上で、プラズマディスプレイパネル１１（１）が完成した。
【０１０４】
（プラズマディスプレイパネルの評価）
（外観検査）
表示電極２０（２）とアドレス電極２１（２）の周りの外観検査を行った。表示電極２０（２）と前面板１２（３）との界面部や、表示電極２０（２）と誘電体層２３との界面部には、空隙の発生や変色は認められなかった。また、アドレス電極２１（２）と背面板１３（３）の界面部や、アドレス電極２１（２）と誘電体層２４の界面部には、空隙の発生や変色は認められなかった。外観上良好な状態でプラズマディスプレイパネル１１（１）を作製することができた。
【０１０５】
（点灯実験）
続いて、作製したプラズマディスプレイパネル１１（１）の点灯実験を行った。プラズマディスプレイパネル１１（１）のセル１６を点灯（発光）させるために、点灯させたいセル１６の表示電極２０（２）とアドレス電極２１（２）との間に電圧を印加してセル１６内にアドレス放電を行い、希ガスをプラズマ状態に励起してセル１６内に壁電荷を蓄積させた。次に、表示電極２０（２）の対に一定の電圧を印加することで、壁電荷が蓄積されたセル１６のみに表示放電が起こり紫外線２２を発生させた。そして、この紫外線２２を利用して蛍光体１７〜１９を発光させ、画像（情報）を表示させた。
【０１０６】
この画像情報の表示の前後で、表示電極２０（２）及びアドレス電極２１（２）の比抵抗が増加することはなかった。また、隣接する表示電極２０（２）同士、及び、隣接するアドレス電極２１（２）同士等で、電気的耐圧性が低下することはなく、電圧を昇圧でき、セル１６を点灯することができた。また、銀厚膜の電極配線のようなマイグレーション現象も生じず、その他特に支障があるような点は認められなかった。第５の実施形態のプラズマディスプレイパネル１１（１）の表示電極２０（２）とアドレス電極２１（２）には、高価な銀を使っていないので、コスト低減にも大きく貢献できる。
【０１０７】
（第６の実施形態）
図６に、本発明の第６の実施形態に係るセラミック多層配線基板（電子部品）４１（１）の断面図を示す。第６の実施形態では、本発明に係る電子部品１（図２参照）を多層配線基板へ適用した例について説明する。図６では、多層配線基板の１例として、低温焼成セラミック（LTCC：Low Temperature Co-fired Ceramics）の５層からなる多層配線基板４１（１）を示している。多層配線基板４１（１）のスルーホール電極４３（２）と配線４４（２）に、本願発明の電子部品１の電極配線２を用いている。セラミック基板４２（３）それぞれの上面と下面に配線４４（２）が形成されている。図６では、配線４４（２）は、６層形成されている。各層の配線４４（２）は、スルーホール電極４３（２）で接続されている。スルーホール電極４３（２）は、セラミック基板４２（３）を貫通している。多層配線基板４１（１）では、配線４４（２）とスルーホール電極４３（２）が三次元的に形成されている。セラミック基板４２（３）が、第１の実施形態の基板３に相当し、スルーホール電極４３（２）と配線４４（２）が、第１の実施形態の電極配線２に相当する。
【０１０８】
次に、多層配線基板４１（１）の製造方法について説明する。
【０１０９】
（導電性ペーストの作製）
第６の実施形態では、スルーホール電極４３（２）と配線４４（２）用の導電性ペーストとして、表３の実施例Ａ５で使用した導電性ペーストと同じものを作製し使用した。
【０１１０】
（多層配線基板の作製）
まず、ガラス粉末とセラミックス粉末とバインダとが混練された複数枚のグリーンシートを用意した。グリーンシートは、後記する焼成によって各層のセラミック基板４２（３）となる。次に、グリーンシートの所望の位置に貫通孔を開ける。貫通孔の開いたグリーンシートに対し、実施例Ａ５で使用したものと同じ導電性ペーストを、所望の配線パターンに印刷法で塗布する。このとき、貫通孔にも導電性ペーストが充填される。配線パターンに塗布された導電性ペーストが、後記する焼成によってスルーホール電極４３（２）と配線４４（２）になる。必要に応じて、例えば、図６に示す最下層のグリーンシートの裏面にも導電性ペーストを印刷法にて塗布し配線パターンを形成する。グリーンシートの裏面に塗布する場合には、表面に塗布した導電性ペーストを乾燥させてから行うことになる。
【０１１１】
所定の配線パターンを形成した複数のグリーンシートを積層し、一体で焼成する。図７に、焼成する際の温度スケジュールの一例を示す。図７に示すように、室温から７００℃までの昇温過程は大気中とし、７００℃〜９００℃の温度範囲（６０分間の９００℃での保持時間を含む）の過程は窒素雰囲気中とし、７００℃から室温までの降温過程は再び大気中とした。なお、昇温レートと降温レートとは、５℃／分とした。なお、焼成の温度スケジュールは、図７に限定されるものではない。なお、７００℃〜９００℃の温度範囲で窒素雰囲気中としているのは、導電性ペースト中の粒子４の酸化を抑制するためである。
【０１１２】
（多層配線基板の評価）
配線４４（２）の周りの外観検査を行った。配線４４（２）とセラミック基板４２（３）との界面部には、空隙の発生や変色は認められなかった。外観上良好な状態で多層配線基板４１（１）を作製することができた。配線４４（２）とスルーホール電極４３（２）の比抵抗を測定したところ、表１の実施例２と同様の設計通りの値が得られた。次に、作製した多層配線基板４１（１）の断面観察を行った。その結果、作製した多層配線基板４１（１）は十分緻密に焼成されていた。そのため、比抵抗も良好な設計通りの値となったと思われる。これは、グリーンシートで、７００℃までの昇温過程において、略完全に脱バインダが完了していたためと考えられた。また、グリーンシートのガラス粉末が、スルーホール電極４３（２）と配線４４（２）と化学反応することはなく、互いの界面近傍で空隙も発生していないことが確認された。以上のことから、本発明の電極配線２（図２参照）は、多層配線基板４１（１）の配線４４（２）とスルーホール電極４３（２）として適用できることが確認された。配線４４（２）とスルーホール電極４３（２）として、高価な銀厚膜の電極配線を使用する必要が無いので、コスト低減にも大きく貢献できる
【０１１３】
実施形態では、電子部品１が、太陽電池セル３０、プラズマディスプレイパネル１１とセラミック実装基板４１の場合について説明したが、電子部品１はこれらに限らず、アルミニウムの電極配線２が適用可能な電子部品１に適用範囲を広げることができる。
【符号の説明】
【０１１４】
１      電子部品
２      電極配線
３      基板
４      粒子
４Ａ    粒子群Ａ（第１粒子群）
４Ｂ    粒子群Ｂ（第２粒子群）
５      酸化物
５ａ    ガラス相
５ｂ    結晶相（微結晶）
６      ネッキング結合部
７      化合物層
【図１】
0005497504.tif 000005
【図２】
0005497504.tif 000006
【図３】
0005497504.tif 000007
【図４Ａ】
0005497504.tif 000008
【図４Ｂ】
0005497504.tif 000009
【図４Ｃ】
0005497504.tif 000010
【図５】
0005497504.tif 000011
【図６】
0005497504.tif 000012
【図７】
0005497504.tif 000013