(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品が実装された配線基板の外側縁を支持する支持部と、
検査対象となる上記電子部品を撮像する撮像装置と、
上記配線基板の法線方向に拡散して、上記配線基板の法線を含む面に存在する面をなし、検査対象となる上記電子部品について設定された要検査部位を通過する扇状の第１の光線を斜め上方から照射する第１の照射装置と、
上記配線基板の法線方向に拡散して、上記配線基板の法線を含む面に存在する面をなし、上記電子部品の上記要検査部位を通過する扇状の第２の光線を斜め上方から照射する第２の照射装置とを備え、
上記第１の光線と第２の光線とが交叉することにより、上記配線基板の検査ポイントを示し、
上記撮像装置は、上記配線基板の法線方向から撮像する第１のカメラと、上記配線基板に対して斜め上方から撮像する第２のカメラとを備え、
上記第２のカメラの光軸と上記配線基板の法線とがなす面が、上記第１の照射装置方は上記第２の照射装置のいずれかの光線とがなす面と同一平面上に位置する外観検査装置。
【請求項２】
上記第１、第２の照射装置と、上記撮像装置とは、上記第１のカメラの光軸と、上記第１の光線と第２の光線との交線とが一致するように配置されている請求項１記載の外観検査装置。
【請求項３】
上記支持部を上記配線基板の面内方向に移動させる移動部材を備える請求項２記載の外観検査装置。
【請求項４】
上記撮像装置が撮像した画像を写すモニタと、
上記第１の光線と上記第２の光線との交点を上記モニタの中心に合わせて表示するように上記モニタ画像を制御する制御手段とを備える請求項１記載の外観検査装置。
【請求項５】
上記第１の照射装置及び上記第２の照射装置を、上記配線基板の法線方向へ移動させる移動手段を備える請求項１記載の外観検査装置。
【請求項６】
上記第１の照射装置及び上記第２の照射装置を、上記配線基板の面内方向へ移動させる移動手段を備える請求項６記載の外観検査装置。
【請求項７】
上記第１の照射装置及び上記第２の照射装置は、上記第１の光線と上記第２の光線とが直交するように配置されている請求項１記載の外観検査装置。
【請求項８】
上記撮像装置を上記配線基板の面内方向及び上記配線基板の法線方向の全部又は一部に移動させる移動手段を備える請求項１記載の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品が実装されたプリント配線板の実装状態を検査する外観検査装置に関し、特に高密度実装された配線板の外観検査に用いて好適な外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プリント配線板にＩＣやＬＳＩ、抵抗器やコンデンサ等の電子部品を実装するに際しては、近年の電子機器の小型化、高性能化、低コスト化の要請から、表面実装技術が広く用いられている。
【０００３】
プリント配線板に電子部品等を表面実装するに当たっては、先ず、ガラスエポキシ等のリジッドのプリント配線板にクリーム半田印刷や銅箔のエッチング等により配線パターンや電子部品が実装されるパッドが形成される。次いで、スクリーン印刷等によってパッドにクリーム半田が印刷された後、自動部品搭載機等によって所定の位置に表面実装部品を搭載し、リフロー半田付けを行う。製造後、外観検査装置によって実装状況や半田付け状況等の外観検査が行われ、また、回路の導通検査、電気的動作の機能確認が行われる。
【０００４】
ここで、電子部品等が表面実装されたプリント配線板の外観検査では、自動検査装置による検査と目視による検査が併用され、自動検査装置による外観検査によってＮＧとされたプリント配線板について、目視による外観検査を行い、実装不良の態様を確認している。
【０００５】
自動検査装置による外観検査としては、プリント配線板上部から２次元画像を撮像した撮像データと輝度データとを用いた方法、あるいはプリント配線板の３次元表面形状の計測データを用いた方法等が知られている。後者の例としては、半田実装する部品の３次元形状データに基づくマスタパターンと、部品実装後に３次元画像センサによって計測した３次元計測データとの照合を行う外観検査方法や（例えば、特許文献１参照）、クリーム半田を印刷するためのパッドを囲う検査枠を予め設定して記憶させ、部品実装後に３次元計測によって計測した半田の延出部が前記検査枠と交差するか否かによって半田ブリッジを検出する外観検査装置が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
しかし、これら自動検査装置による外観検査はいずれも推定検査であり、また、不良品の流出防止の観点から実装不良と評価する閾値を厳しく設定していることから、ＮＧと評価されたプリント配線板が実際に実装不良を起こしているか、どのような実装不良が起きているかを目視による外観検査を行うことで確認している。目視による外観検査は、外観目視検査装置を用いて行われている。
【０００７】
外観目視検査装置は、自動検査装置において実装不良とされたプリント配線板を支持する支持部と、自動検査装置において実装不良とされた特定の箇所を撮像するカメラと、カメラを実装不良とされた箇所に移動させる移動手段とを備える。カメラが撮像した画像は、外観目視検査装置と接続されたモニタに表示される。なお、カメラは、プリント配線板の法線方向から撮像する正面カメラと、プリント配線板の斜め方向から撮像する斜めカメラとを備えることで、実装不良箇所を詳細に撮像、表示することができる。
【０００８】
外観目視検査装置は、自動検査装置において特定された不良箇所の位置データを用いて予めカメラによって撮像しモニタ表示する検査ポイントを特定し、当該検査ポイントに合わせてカメラを移動させる。これにより、検査者は、モニタに表示された検査ポイントを確認することで、容易に外観検査を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平７−９１９３２号公報
【特許文献２】特開２００４−３１７２９１号公報
【特許文献３】特開２００８−１９１１０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、近年のプリント配線板では高密度実装の観点から基板の両面に表面実装が行われていることも多いことから、外観検査装置は、電子部品が実装されていないプリント配線板の外側縁を支持する必要がある。しかし、プリント配線板の外側縁を支持すると、プリント配線板の自重や、電子部品の重量が加わるために、反りが生じる場合がある。
【００１１】
このように外観検査装置に支持されたプリント配線板に反りが生じると、自動検査装置において特定された不良箇所と、外観目視検査装置において当該不良箇所の位置データを用いて特定された検査ポイントとの間にずれが生じ、本来確認すべき不良箇所と異なる箇所を撮像、表示するおそれがある。
【００１２】
近年のプリント配線板では小型化された電子部品が高密度に表面実装されていることから、カメラで撮像すべき不良箇所も狭小化されているため、不良箇所と検査ポイントとがずれた場合に、実装不良を起こしている電子部品をモニタの表示から特定することは困難である。
【００１３】
そこで、本発明は、プリント配線板に反りが生じた場合にも、検査ポイントを不良箇所に合わせて表示し、確実に外観検査を行うことができる外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上述した課題を解決するために、本発明に係る外観検査装置は、電子部品が実装された配線基板の外側縁を支持する支持部と、検査対象となる上記電子部品を撮像する撮像装置と、上記配線基板の法線方向に拡散して、上記配線基板の法線を含む面に存在する面をなし、検査対象となる上記電子部品について設定された要検査部位を通過する扇状の第１の光線を斜め上方から照射する第１の照射装置と、上記配線基板の法線方向に拡散して、上記配線基板の法線を含む面に存在する面をなし、上記電子部品の上記要検査部位を通過する扇状の第２の光線を斜め上方から照射する第２の照射装置とを備え、上記第１の光線と第２の光線とが交叉することにより、上記配線基板の検査ポイントを示し、上記撮像装置は、上記配線基板の法線方向から撮像する第１のカメラと、上記配線基板に対して斜め上方から撮像する第２のカメラとを備え、上記第２のカメラの光軸と上記配線基板の法線とがなす面が、上記第１の照射装置方は上記第２の照射装置のいずれかの光線とがなす面と同一平面上に位置するものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、第１の光線と第２の光線との交線は、配線基板上において光線の交点として表示され、この交点は、配線基板の反りに応じて要検査部位が昇降しても、配線基板上に映る光線の交点もＺ軸に沿って追従し、常に配線基板の検査ポイントＰとして指し示す。これにより、本発明によれば、照射装置によって照射される光線の交点を撮像装置によって捉えることで、確実に外観検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】外観検査装置を示す斜視図である。
【図２】外観検査装置を示す正面図である。
【図３】支持部を示す斜視図である。
【図４】撮像装置の装置本体の構成を示す図である。
【図５】レーザ照射装置による検査ポイントＰを表示する構成を示す斜視図である。
【図６】要検査部位と検査ポイントＰとの関係を説明するための図である。
【図７】モニタに表示される検査ポイントＰを示す図である。
【図８】検査ポイントＰをモニタの中心に位置するように補正した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明が適用された外観検査装置について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更が可能であることは勿論である。
【００１８】
以下では、本発明を目視検査装置に適用した場合を例に説明する。この外観検査装置１は、ＩＣやＬＳＩ、抵抗器やコンデンサ等の各種電子部品が表面実装されたプリント配線板の実装状態を目視検査するために用いられるものであり、図１、図２に示すように、箱状の外筐体２を備え、図示しないＰＣ等の制御部３によって制御される。また、外観検査装置１は、モニタ４と接続され、撮像した画像をモニタ４に表示し、検査者による目視検査が可能とされている。
【００１９】
［外筐体］
外観検査装置１は、外筐体２内に、プリント配線板５を支持する支持部６と、支持部６に支持されたプリント配線板の検査ポイントを撮像する撮像装置７と、プリント配線板の検査ポイントを示すレーザ照射装置８と、装置全体の動作を制御する制御部３とを備える。
【００２０】
外筐体２は、正面側が開口され、床面１１上に設けられている支持部６にプリント配線板５を出し入れ可能とされている。また、外筐体２は、上側に撮像装置７が配設され、また、側方にレーザ照射装置８が配設されている。さらに、外筐体２は、内部を照明する図示しない照明手段が設けられている。
【００２１】
［支持部］
支持部６は、プリント配線板５の外側縁５ａを支持する支持フレーム１２と、支持フレーム１２を床面１１の面内方向において移動させ、プリント配線板５と撮像装置７との相対位置を移動させるステージ機構１３とを備える。
【００２２】
支持フレーム１２は、図３に示すように、プリント配線板５の長辺を支持する一対の長辺フレーム１２ａ，１２ｂと、長辺フレーム１２ａ，１２ｂの各両端側に設けられたコーナブロック１４とを有する。支持フレーム１２は、２対のコーナブロック１４がそれぞれ連結バー１５で連結されている。また、長辺フレーム１２ａ，１２ｂの背面には長辺プレート１６ａ，１６ｂが配設されている。外筐体２の前面側に設けられた長辺プレート１６ａには、長手方向に沿ってスリット１７が形成され、プリント配線基板５の位置決めを行う固定ピン１８が挿通されている。
【００２３】
長辺フレーム１２ａ，１２ｂは、相対向してプリント配線板５の下面を支持する支持面が張り出し形成され、これによりプリント配線板５の外側縁５ａを支持する。また、支持フレーム１２は、外筐体２の背面側の長辺フレーム１２ｂが、両側のコーナブロックが連結バー１５に沿って前後方向にスライドすることで、外筐体２の前面側の長辺フレーム１２ａに対して近接離間可能とされ、また、固定ピン１８をスリット１７に沿ってスライドさせることによりプリント配線板５を左側のコーナブロック１４に当接させることで、あらゆるサイズのプリント配線板５を支持することができる。
【００２４】
支持フレーム１２は、プリント配線板５の電子部品が実装されていない外側縁５ａを下側から支持することにより、両面実装されたプリント配線板５についても、下面の実装部品に付加をかけることなく支持することができる。
【００２５】
ステージ機構１３は、支持フレーム１２を一体に支持するＸ軸テーブル１３ａと、Ｘ軸テーブルをＹ方向へ移動可能に支持するＹテーブル１３ｂとを備える。Ｘ軸テーブル１３ａおよびＹ軸テーブル１３ｂは、制御信号に基づいて動作するモータを備えており、これらモータを駆動することによりＸ軸テーブル１３ａがＸ方向へ、Ｙ軸テーブル１３ｂがＹ方向へ、支持フレーム１２を一体に移動させる。
【００２６】
［撮像装置］
支持フレーム１２に支持されたプリント配線板５の実装不良箇所を撮像する撮像装置７は、外筐体２の上側で支持されることにより、実装不良箇所を上側から撮像するものである。撮像装置７は、図４に示すように、カメラ光軸を支持フレーム１２に支持されたプリント配線板５の法線方向に向けた正面用カメラ２０と、カメラ光軸をプリント配線板５に対して斜めに傾けた斜め用カメラ２１とを備える。正面用カメラ２０及び斜め用カメラ２１は、それぞれレンズ鏡筒内に所定の撮像レンズ及び撮像素子が組み込まれている。
【００２７】
撮像装置７は、斜め用カメラ２１が正面用カメラ２０を介して反対側に設けられ、これら正面用カメラ２０及び斜め用カメラ２１が装置本体７ａ内で一体化されることによりカメラユニットを構成する。また、撮像装置７は、正面用カメラ２０の光軸α１を中心に回転可能とされ、斜め用カメラ２１によって、あらゆる方角から実装不良箇所を撮像可能とされている。
【００２８】
なお、撮像装置７は、正面用カメラ２０、斜め用カメラ２１にフォーカス機能やズーム機能を備えてもよく、あるいは、これらの機能を備えず、深い被写界深度を実現するための焦点距離と絞りを有し、パンフォーカス撮影が可能なカメラを用いて撮影を行い、制御部３の処理によって適切な画像サイズで表示するようにしてもよい。
【００２９】
撮像装置７は、後述するレーザ照射装置８によって示されたレーザ光の交点を検査ポイントＰとして撮像できるように、レーザ照射装置８によって形成される交線Ｌの延長線上に予め正面用カメラ２０の光軸α１が一致するとともに、斜め用カメラ２１の光軸α２が当該交線Ｌ上を通過するように設計されている。
【００３０】
なお、撮像装置７は、斜め用カメラ２１を複数設けてもよい。例えば、撮像装置７は、高倍率カメラと低倍率カメラとからなる１対の斜め用カメラ２１を設けることにより、検査箇所に応じて使い分けることができる。また、撮像装置７は、複数の斜め用カメラ２１を正面要カメラ２０の光軸α１の光軸周りに、等間隔で配置してもよく又は不等間隔で配置してもよい。
【００３１】
［レーザ照射装置］
次いで、支持フレーム１２に支持されたプリント配線板５の検査ポイントを指し示すレーザ光を照射するレーザ照射装置８について説明する。レーザ照射装置８は、可視光レーザを照射する装置であり、撮像装置７の装置本体７ａ内に、互いに交叉する扇状のレーザ光を斜め上方からプリント配線板５上に照射する第１、第２のレーザ照射装置８ａ，８ｂを備える。第１、第２のレーザ照射装置８ａ，８ｂは、装置本体７ａ内において、照射するレーザ光が互いに直交するように配置されることが好ましい。
【００３２】
第１のレーザ照射装置８ａは、自動検査装置３０で予めプリント配線板５上に設定された要検査部位を通過する第１のレーザ光を照射する。同様に、第２のレーザ照射装置８ｂは、予めプリント配線板５上に設定された要検査部位を通過する第２のレーザ光を照射する。第１、第２のレーザ光は、いずれも支持フレーム１２に支持されたプリント配線板５の法線方向に拡散する扇状の光線であり、互いに交叉することにより、プリント配線板５上に検査ポイントＰを交点として指し示す。
【００３３】
検査ポイントＰは、外観検査装置１による目視検査に先立って行われた自動検査装置３０による検査によって、実装不良が疑われる要検査部位が特定され、この要検査部位の位置データに基づいて、支持フレーム１２に支持されたプリント配線板５上に設定された目視検査が必要な箇所をいう。撮像装置７は、この検査ポイントＰを撮像するように、予め第１、第２のレーザ光の交線Ｌ上に正面用カメラ２０の光軸α１を一致させる位置に設けられ、支持フレーム１２は、要検査部位の位置データを参照して、第１、第２のレーザ光の交線Ｌ上に要検査部位が位置するようにステージ機構１３によって移動される。
【００３４】
ここで、図６（ａ）に示すように、プリント配線板５に反りが生じていなければ、自動検査装置３０によって設定された要検査部位の位置データに基づいてプリント配線板５と撮像装置７との相対位置を設定することで、斜め用カメラ２１で目視検査が必要な検査ポイントＰを捉えることができる。しかし、図６（ｂ）に示すように、支持フレーム１２に支持されたプリント配線板５に下反りが生じた場合、あるいは図６（ｃ）に示すように、支持フレーム１２に支持されたプリント配線板５に上反りが生じた場合、自動検査装置３０において特定された要検査部位と、自動検査装置３０によって設定された要検査部位の位置データに基づいて外観検査装置１において支持フレーム１２に支持されたプリント配線板５と撮像装置７との相対位置を設定すると、モニタ４に表示される斜め用カメラ２１の画像と実際の要検査部位との間にずれが生じる。
【００３５】
図６（ｃ）では、プリント配線基板５が上反りしたために、斜め用カメラ２１の光軸α２は、要検査部位の手前を捉え、図６（ｂ）では、プリント配線基板５が下反りしたために、斜め用カメラ２１の光軸α２は、要検査部位の先を捉えている。このように、自動検査装置３０によって設定された要検査部位のデータに基づいてプリント配線板５と撮像装置７との相対位置を設定したのでは、目視検査が必要な検査ポイントＰを捉えることができず、検査者は、どの表面実装部品のどの位置を目視すればよいのか判らなくなる。特に近年では、表面実装部品として、０６０３チップ等の一辺が１ｍｍに満たない極小のチップ部品が用いられ、これら極小チップが高密度に実装されることから、モニタ上で検査ポイントＰを確認することが困難となる。
【００３６】
そこで、外観検査装置１では、レーザ照射装置８によって、自動検査装置３０によって設定された要検査部位のデータに基づいて設定された当該要検査部位を通過するレーザ光を照射する。このレーザ光は、プリント配線板５の法線方向に拡散する扇状の光線であり、互いに交叉することにより、互いの交線Ｌがプリント配線板５の要検査部位を通過する法線方向のＺ軸を形成する（図５）。
【００３７】
この交線Ｌは、プリント配線板５上においてレーザ光の交点として表示され、この交点は、図７に示すように、プリント配線板５の反りに応じて要検査部位が昇降しても、プリント配線板５上に映るレーザ光の交点もＺ軸に沿って追従し、常にプリント配線板５の検査ポイントＰとして指し示す。これにより、外観検査装置１によれば、レーザ照射装置８によって照射されるレーザ光の交点を撮像装置７によって捉えるようにすることで、確実に検査ポイントＰを撮像し、モニタに表示させることができる。
【００３８】
［制御部］
制御部３は、検査者の操作に応じて外観検査装置１の各部を制御することにより目視検査を実行させるものであり、例えばＰＣ等の情報処理端末を用いて構成することができる。制御部３は、自動検査装置３０より、目視検査の対象となったプリント配線板５の要検査部位の位置データを受け取る。そして、制御部３は、当該位置データに基づき、レーザ照射装置８の第１、第２のレーザ照射装置８ａ，８ｂの各レーザ光の交線上に要検査部位が位置するように、ステージ機構１３を駆動し支持フレーム１２の位置を調整する。
【００３９】
これにより、プリント配線板５に反りが生じ、要検査部位が反りに応じて上下方向に移動した場合にも、第１、第２のレーザ照射装置８ａ，８ｂの各レーザ光の交点は各レーザ光の交線Ｌに沿って、すなわちプリント配線板５の法線方向に沿って移動するため、常にプリント配線板５の要検査部位を検査ポイントＰとして指し示すことができる。
【００４０】
次いで、制御部３は、撮像装置７の正面カメラ２０及び斜め用カメラ２１でプリント配線板５の要検査部位を撮像し、モニタ４に撮像装置７によって撮像された画像を表示する。この画像には、検査ポイントＰとして、第１、第２のレーザ照射装置８ａ，８ｂの各レーザ光の交点が表示されているため、検査者は、この交点を目印に容易に要検査部位の検査を行うことができる。
【００４１】
また、制御部３は、モニタ４の中心に、検査ポイントＰを表示するようにしてもよい。すなわち、プリント配線板５が撓むことにより、要検査部位が上下方向に移動することにより、撮像装置７の撮像画像においても、図７に示すように、要検査部位を示す検査ポイントＰがモニタ４上において中心からずれることがあり、反りが大きい場合などはモニタ４に表示されなくなるおそれもある。
【００４２】
そこで、制御部３は、図８に示すように、第１、第２のレーザ照射装置８ａ，８ｂの各レーザ光の交点をモニタ４の中心にくるように制御することで、目視検査の利便性を向上させることができる。この制御は、例えば、撮像装置７によってパンフォーカス撮影された原画像のトリミング範囲を、第１、第２のレーザ照射装置８ａ，８ｂの各レーザ光の交点を中心に設定し所定の画像サイズでモニタ４表示することにより行うことができる。あるいは、この制御は、撮像装置７の斜め用カメラ２１に、画角の調節機能と、第１、第２のレーザ照射装置８ａ，８ｂの各レーザ光の交点を探索、検知する機能とを与え、当該レーザ光の交点を中心に撮像することにより行うこともできる。
【００４３】
このとき、外観検査装置１は、図４に示すように、斜め用カメラ２１と第１又は第２のレーザ照射装置８ａ，８ｂの一方とを同一方向に向けて、あるいは対向して配置し、斜め用カメラ２１の光軸α２とプリント配線板５の法線とがなす面Ｓ１と、プリント配線板５の法線方向に拡散する第１又は第２のレーザ照射装置８ａ，８ｂの一方のレーザ光がなす面Ｓ２とが同一平面上に位置するようにしてもよい。
【００４４】
これにより、図８に示すように、当該第１又は第２のレーザ照射装置８ａ，８ｂの一方が照射するレーザ光は、モニタ４に表示される斜め用カメラ２１の画像において上下方向に照射されＹ軸を構成する。また、第１又は第２のレーザ照射装置８ａ，８ｂの他方が照射するレーザ光は、モニタ４に表示される斜め用カメラ２１の画像において左右方向に照射されＸ軸を構成する。したがって、検査ポイントＰも当該Ｙ軸上に位置することとなり、モニタ４の中心に検査ポイントＰを位置させるに際しては、Ｙ軸に沿って、斜め用カメラ２１の画像トリミング範囲の調整、あるいは斜め用カメラ２１の画角調整を行うことができ、調整を容易に行うことができる。
【００４５】
［他の構成］
なお、上述した外観検査装置１では、支持部６に支持フレーム１２をＸＹ方向に移動させるステージ機構１３を設けることとしたが、本発明は、撮像装置７にＸ、Ｙ、Ｚ方向の移動機構を設け、プリント配線板５と撮像装置７との相対位置を移動させるようにしてもよい。
【００４６】
また、上述した外観検査装置１では、レーザ照射装置８の第１、第２のレーザ照射装置８ａ，８ｂの各レーザ光の交線と撮像装置７の正面用カメラ２０の光軸とが一致するように予め両者の位置を固定し、支持部６をＸＹ方向に移動させて、要検査部位をレーザ光の交線上に位置させていたが、本発明は、レーザ照射装置８及び撮像装置７が組み込まれた装置本体７ａにＸ、Ｙ、Ｚ方向の移動機構を設けてもよい。
【００４７】
さらに、上述した外観検査装置１では、装置本体７ａ内に撮像装置及びレーザ照射装置８を組み込みユニット化したが、本発明は、撮像装置７とレーザ照射装置８とを別々に構成し外筐体２に組み込んでもよい。
【００４８】
この場合、レーザ照射装置８として、各レーザ光が直交するように第１のレーザ照射装置８ａ及び第２のレーザ照射装置８ｂを配置した場合、一方にＸ方向及びＺ方向の移動機構を設け、他方にＹ方向及びＺ方向の移動機構を設けてもよい。第１のレーザ照射装置８ａ及び第２のレーザ照射装置８ｂは、それぞれＺ方向の移動機構を設けることにより、レーザの照射角度を調整することができる。したがって、要検査部位との間に高さのある電子部品が搭載され、これによりレーザ光が遮光される場合にも、照射位置を上げることによりレーザ光を要検査部位に照射することができる。
【００４９】
また、この場合、斜め用カメラ２１の光軸α２と第１又は第２のレーザ照射装置８ａ，８ｂの一方のレーザ光がなす面Ｓ２とが同一平面上に位置させる配置は、撮像装置７を正面用カメラ２０の光軸を中心に回転させることで容易に構成することができる。
【００５０】
また、上記では本発明に係る外観検査装置を、目視検査装置に適用した場合を例に説明したが、本発明は、自動検査装置に適用してもよい。この場合も、要検査部位を第１、第２のレーザ照射装置８ａ、８ｂの各レーザ光の交点として示し、この交点を検出し斜め用カメラ２１で撮像するように制御することで、確実に要検査部位を捉え、この撮像画像や位置データを目視検査に供することができる。
【符号の説明】
【００５１】
１  外観目視検査装置、２  外筐体、３  制御部、４  モニタ、５  プリント配線板、６  支持部、７  撮像装置、８  レーザ照射装置、１１  床面、１２  支持フレーム、１３  ステージ機構、２０  正面用カメラ、２１  斜め用カメラ、３０  自動検査装置
【図１】
0005427222.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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