(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ベース部と、
前記第１ベース部に取り囲まれる第２ベース部と、
前記第１ベース部と前記第２ベース部とを接続し、且つ前記第２ベース部を他の方向に沿った軸を中心軸として回転させるような弾性を有する第１弾性部と、
回転可能な被駆動部と、
前記第２ベース部と前記被駆動部とを接続し、且つ前記被駆動部を前記他の方向とは異なる一の方向に沿った軸を中心軸として回転させるような弾性を有する第２弾性部と、
前記被駆動部及び前記第２弾性部により定まる共振周波数で前記被駆動部が前記一の方向に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように前記被駆動部を回転させるための加振力を前記第２ベース部に加える印加部と
を備え、
前記印加部は、前記他の方向に沿って前記第２ベース部が変形振動し且つ当該変形振動が共振となるように前記加振力を加え、
前記第２ベース部が共振する共振周波数は、前記被駆動部の共振周波数に基づいて決定され、
前記第２ベース部の前記他の方向に沿った曲げ剛性が前記第２ベース部の前記一の方向に沿った曲げ剛性よりも低くなることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記第２ベース部の一部の箇所の剛性が前記第２ベース部の他の一部の箇所の剛性よりも高くなることで、前記第２ベース部の前記他の方向に沿った曲げ剛性が前記第２ベース部の前記一の方向に沿った曲げ剛性よりも低くなることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記第２ベース部の一部の箇所の質量が前記第２ベース部の他の一部の箇所の質量よりも大きくなることで、前記第２ベース部の前記他の方向に沿った曲げ剛性が前記第２ベース部の前記一の方向に沿った曲げ剛性よりも低くなることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記被駆動部は、前記弾性部を介して、前記第２ベース部の変形振動における節に対応する箇所に接続されており、
前記第２ベース部の変形振動における節に対応する箇所の剛性が、前記第２ベース部の変形振動における節以外の箇所の剛性よりも高いことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記被駆動部は、前記弾性部を介して、前記第２ベース部の変形振動における節に対応する箇所に接続されており、
前記第２ベース部の変形振動における節に対応する箇所の質量が、前記第２ベース部の変形振動における節以外の箇所の質量よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばミラー等の被駆動物を回転させるＭＥＭＳスキャナ等の駆動装置の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ディスプレイ、プリンティング装置、精密測定、精密加工、情報記録再生などの多様な技術分野において、半導体工程技術によって製造されるＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ）デバイスについての研究が活発に進められている。このようなＭＥＭＳデバイスとして、例えば、光源から入射された光を所定の画面領域に対して走査して画像を具現するディスプレイ分野、または所定の画面領域に対して光を走査して反射された光を受光して画像情報を読み込むスキャニング分野では、微小構造のミラー駆動装置（光スキャナないしはＭＥＭＳスキャナ）が注目されている。【０００３】
ミラー駆動装置は、一般的には、ベースとなる固定された本体と、所定の中心軸の周りに回転可能なミラーと、本体とミラーとを接続する又は接合するトーションバー（ねじれ部材）とを備える構成が知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００７−５２２５２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような構成を有するミラー駆動装置では、コイルと磁石を用いてミラーを駆動する構成が一般的である。このような構成では、例えばミラーにコイルを直接貼り付ける構成が一例としてあげられる。この場合、コイルに電流を流すことで生ずる磁界と磁石の磁界との間の相互作用によってミラーに対して回転方向の力が加えられ、その結果、ミラーが回転させられる。一方で、ミラーにコイルを直接貼り付けることに代えて、当該ミラーを指示するベースにコイルを貼り付ける構成も想定される。また、コイルと磁石を用いて（つまり、電磁力）ミラーを駆動する構成以外にも、例えば圧電素子による圧電力や電極による静電力を用いてミラーを駆動する構成も想定される。【０００６】
このような従来のミラー駆動装置に対して、本発明は、例えば、ミラーを回転させる際の感度（つまり、電磁力や圧電力や静電力等を発生させるための単位電力に対する、ミラーの回転の大きさ若しくは振幅）を相対的に増大させることで、省電力化を図ることが可能な駆動装置（つまり、ＭＥＭＳスキャナ）を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、駆動装置は、第１ベース部と、前記第１ベース部に取り囲まれる第２ベース部と、前記第１ベース部と前記第２ベース部とを接続し、且つ前記第２ベース部を他の方向に沿った軸を中心軸として回転させるような弾性を有する第１弾性部と、回転可能な被駆動部と、前記第２ベース部と前記被駆動部とを接続し、且つ前記被駆動部を前記他の方向とは異なる一の方向に沿った軸を中心軸として回転させるような弾性を有する第２弾性部と、前記被駆動部及び前記第２弾性部により定まる共振周波数で前記被駆動部が前記一の方向に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように前記被駆動部を回転させるための加振力を前記第２ベース部に加える印加部とを備え、前記印加部は、前記他の方向に沿って前記第２ベース部が定常波状に変形振動し且つ当該変形振動が共振となるように前記加振力を加え、前記第２ベース部が共振する共振周波数は、前記被駆動部の共振周波数と同一である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１実施例のＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。
【図２】第２ベースの裏側（具体的には、図１に示した第２ベースの反対側）の構成を示す平面斜視図である。
【図３】第１実施例のＭＥＭＳスキャナによる動作の態様を概念的に示す平面図である。
【図４】駆動源部から加えられる微振動に起因した方向性のない力について説明するための平面図である。
【図５】第２ベースの変形振動の態様を、ミラーの回転の態様と関連付けて示す側面図である。
【図６】第２ベースの変形振動の態様を、ミラーの回転の態様と関連付けて示す側面図である。
【図７】第２実施例のＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。
【図８】第３実施例のＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、駆動装置の実施形態について順に説明する。【００１０】
本実施形態の駆動装置は、第１ベース部と、前記第１ベース部に取り囲まれる第２ベース部と、前記第１ベース部と前記第２ベース部とを接続し、且つ前記第２ベース部を他の方向に沿った軸を中心軸として回転させるような弾性を有する第１弾性部と、回転可能な被駆動部と、前記第２ベース部と前記被駆動部とを接続し、且つ前記被駆動部を前記他の方向とは異なる一の方向に沿った軸を中心軸として回転させるような弾性を有する第２弾性部と、前記被駆動部及び前記第２弾性部により定まる共振周波数で前記被駆動部が前記一の方向に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように前記被駆動部を回転させるための加振力を前記第２ベース部に加える印加部とを備え、前記印加部は、前記他の方向に沿って前記第２ベース部が定常波状に変形振動し且つ当該変形振動が共振となるように前記加振力を加え、前記第２ベース部が共振する共振周波数は、前記被駆動部の共振周波数と同一である。【００１１】
本実施形態の駆動装置によれば、基礎となる第１ベース部と当該第１ベース部に取り囲まれる第２ベース部とが、弾性を有する第１弾性部（例えば、後述するトーションバー等）によって直接的に又は間接的に接続されている。更に、第２ベース部と回転可能に配置される被駆動部（例えば、後述するミラー等）とが、弾性を有する第２弾性部（例えば、後述するトーションバー等）によって直接的に又は間接的に接続されている。第２ベース部は、第１弾性部の弾性（例えば、第２ベース部を他の方向に沿った軸を中心軸として回転させることができるという弾性）によって、他の方向に沿った軸を中心軸として回転駆動される。被駆動部は、第２弾性部の弾性（例えば、被駆動部を一の方向に沿った軸を中心軸として回転させることができるという弾性）によって、一の方向に沿った軸を中心軸として回転駆動される。【００１２】
本実施形態の駆動装置では特に、印加部の動作により、被駆動部及び第２弾性部により定まる共振周波数で被駆動部が一の方向に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するような加振力が加えられる。より具体的には、印加部は、被駆動部の一の方向に沿った軸周り（つまり、被駆動部の回転軸周り）の慣性モーメント及び第２弾性部のねじりばね定数により定まる共振周波数で被駆動部が一の方向に沿った軸を中心軸として回転するような加振力を加える。【００１３】
加えて、本実施形態の駆動装置では、第２ベース部は、第１弾性部の弾性（例えば、第２ベース部を他の方向に沿った軸を中心軸として回転させることができるという弾性）によって、他の方向に沿った軸を中心軸として回転駆動される。従って、第２ベース部と第２弾性部を介して接続されている被駆動部もまた、他の方向に沿った軸を中心軸として回転駆動される。つまり、本実施形態の駆動装置は、被駆動部の２軸回転駆動を実現することができる。但し、２軸以上の多軸回転駆動を行ってもよいことは言うまでもない。【００１４】
更に、本実施形態の駆動装置では、微振動が加えられる第２ベース部は、他の方向に沿って定常波状に（つまり、定常波の波形状に）変形振動する。加えて、第２ベース部の変形振動は、共振となる。つまり、第２ベース部は、そのある一部分が変形振動の腹となり且つその他の一部分が変形振動の節となるように、その外観を変形させる。このような第２ベース部の変形振動によって、他の方向に沿って腹及び節が現れる。第２ベース部の変形振動は、いわゆる定常波の波形に従って行われるため、その腹及び節の位置は実質的には固定されている。【００１５】
更に、本実施形態の駆動装置では、第２ベース部が共振する共振周波数（つまり、第２ベース部の変形振動の周波数）は、前記被駆動部の共振周波数と同一となる。尚、ここでいう「同一」とは、文字どおりの同一のみならず、実質的には同一と同視し得る程度のマージンをも加味した状態を含む広い趣旨を意味することが好ましい。このため、第２ベース部の変形振動の周期と被駆動部の回転の周期との間の同期をとりやすくなる。従って、第２ベース部の変形振動の周期と被駆動部の回転の周期との間の同期を適切に図ることで、第２ベース部を変形振動させない場合と比較して、被駆動部をより多く回転させることができる。より具体的には、例えば、第２ベース部を変形振動させない場合には、被駆動部の回転量は、被駆動部自身の回転量のみに依存することになる。一方で、例えば、第２ベース部を変形振動させる場合には、被駆動部の回転量は、被駆動部自身の回転量のみならず第２ベース部の変形振動による振動量にも依存することになる。従って、本実施形態の駆動装置によれば、同一の電力を用いて微振動が印加された場合には、第２ベース部を変形振動させない場合の被駆動部の回転量と比較して、被駆動部の回転量を増大させることができる。つまり、単位電力当たりの被駆動部の振幅（回転振幅であり、実質的には感度）を増大させることができる。【００１６】
尚、後に図面を用いて詳細に説明するように、第２ベース部の変形振動の位相と被駆動部の位相とは、同相になってもよいし逆相になってもよい。【００１７】
本実施形態の駆動装置の一の態様では、前記第２ベース部の一部の箇所の剛性が、前記第２ベース部の他の一部の箇所の剛性よりも高い。【００１８】
この態様によれば、第２ベース部の剛性が調整されるため、第２ベース部を他の方向に沿って定常波状に変形振動させやすくすることができる。【００１９】
第２ベース部の一部の箇所の剛性が第２ベース部の他の一部の箇所の剛性よりも高くなる駆動装置の態様では、前記第２ベース部の一部の箇所の剛性が前記第２ベース部の他の一部の箇所の剛性よりも高くなることで、前記第２ベース部の前記他の方向に沿った曲げ剛性が前記第２ベース部の前記一の方向に沿った曲げ剛性よりも低くなるように構成してもよい。言い換えれば、前記第２ベース部の前記他の方向に沿った曲げ剛性が前記第２ベース部の前記一の方向に沿った曲げ剛性よりも低くなるように、前記第２ベース部の一部の箇所の剛性が前記第２ベース部の他の一部の箇所の剛性よりも高くしてもよい。【００２０】
このように構成すれば、第２ベース部の剛性が調整されることで、第２ベース部の一の方向に沿った曲げ剛性及び他の方向に沿った曲げ剛性が調整される。具体的には、第２ベース部の他の方向に沿った曲げ剛性が、第２ベース部の一の方向に沿った曲げ剛性よりも低くなる。従って、第２ベース部は、他の方向に沿っては相対的に曲がりやすくなる一方で、一の方向に沿っては相対的に曲がりにくくなる。このため、第２ベース部を他の方向に沿って定常波状に変形振動させやすくすることができる。【００２１】
本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記第２ベース部の一部の箇所の質量が、前記第２ベース部の他の一部の箇所の剛性よりも高い。【００２２】
この態様によれば、第２ベース部の質量が調整されるため、第２ベース部を他の方向に沿って定常波状に変形振動させやすくすることができる。【００２３】
第２ベース部の一部の箇所の質量が第２ベース部の他の一部の箇所の質量よりも高くなる駆動装置の態様では、前記第２ベース部の一部の箇所の質量が前記第２ベース部の他の一部の箇所の質量よりも高くなることで、前記第２ベース部の前記他の方向に沿った曲げ剛性が前記第２ベース部の前記一の方向に沿った曲げ剛性よりも低くなるように構成してもよい。言い換えれば、前記第２ベース部の前記他の方向に沿った曲げ剛性が前記第２ベース部の前記一の方向に沿った曲げ剛性よりも低くなるように、前記第２ベース部の一部の箇所の質量が前記第２ベース部の他の一部の箇所の質量よりも高くしてもよい。【００２４】
このように構成すれば、第２ベース部の質量が調整されることで、第２ベース部の一の方向に沿った曲げ剛性及び他の方向に沿った曲げ剛性が調整される。具体的には、第２ベース部の他の方向に沿った曲げ剛性が、第２ベース部の一の方向に沿った曲げ剛性よりも低くなる。従って、第２ベース部は、他の方向に沿っては相対的に曲がりやすくなる一方で、一の方向に沿っては相対的に曲がりにくくなる。このため、第２ベース部を他の方向に沿って定常波状に変形振動させやすくすることができる。【００２５】
本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記被駆動部は、前記弾性部を介して、前記第２ベース部の変形振動における節に対応する箇所に接続されている。【００２６】
この態様によれば、第２ベース部の変形振動における節に対応する箇所に被駆動部の夫々が接続されている。このため、被駆動部の上下方向（具体的には、一の方向及び他の方向の夫々に直交する方向であって、第２ベース部の表面に対して垂直な方向）の移動を防ぎつつ、第２ベース部を変形振動させない場合と比較して、被駆動部の回転量を増大させることができる。【００２７】
本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記第２ベース部の変形振動における節に対応する箇所の剛性が、前記第２ベース部の変形振動における節以外の箇所の剛性よりも高い。【００２８】
この態様によれば、上述したように、第２ベース部の剛性を調整することで、第２ベース部を他の方向に沿って定常波状に変形振動させやすくすることができる。【００２９】
本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記第２ベース部の変形振動における節に対応する箇所の質量が、前記第２ベース部の変形振動における節以外の箇所の質量よりも小さい。【００３０】
この態様によれば、上述したように、第２ベース部の質量を調整することで、第２ベース部を他の方向に沿って定常波状に変形振動させやすくすることができる。【００３１】
本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記加振力は、無方向性振動エネルギーとしての無方向性微振動又は異方性微振動である。【００３２】
この態様によれば、印加部は、第２ベース部という構造体内を微振動が伝搬するように、微振動を第２ベース部に対して加える。つまり、印加部は、第２ベース部そのものを直接ねじれさせる力を加えることに代えて、構造体内を伝搬する微振動を、被駆動部を回転させるための加振エネルギー（言い換えれば、波動エネルギー）として加える。言い換えれば、印加部は、構造体内をエネルギーとして（言い換えれば、「振動」という力を振動に変えることなく、当該力を発現させるエネルギーとして）伝搬する微振動を、被駆動部を回転させるための波動エネルギーとして加える。このような微振動（言い換えれば、構造体内を伝搬する波動エネルギー）は、少なくとも構造体内を伝搬している段階では、方向性を有していない力となる。言い換えれば、微振動として第２ベース部内を伝搬する波動エネルギーは、第２ベース部内を任意の方向に向かって伝搬する。その結果、この微振動は、波動エネルギーとして、例えば第２ベース部等の構造体から第２弾性部へと（更には、第２ベース部から第２弾性部を介して被駆動部へと）伝わる。その後、構造体内を伝搬してきた微振動（言い換えれば、波動エネルギー）が、第２弾性部自身の弾性に応じた方向に向かって第２弾性部を振動させたり、第２弾性部の弾性に応じた方向に向かって被駆動部を回転させたりする。言い換えれば、この波動エネルギーは、微振動の方向を限定することなくあらゆる方向の振動として取り出すことができる。つまり、第２ベース部内を伝搬した波動エネルギーは、振動（より具体的には、共振）という形で外部に取り出すことができ、その結果、被駆動部を回転させることができる。【００３３】
ここで、いわゆる方向性を有する力を加えることで被駆動部の回転駆動を行う場合（例えば、第２ベース部そのものを被駆動部の回転方向に向かって大きくねじれさせ、そのねじれを第２弾性部や被駆動部に直接加えることで被駆動部の回転駆動を行う場合）には、被駆動部を一の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力（つまり、第２ベース部等の構造体を一の方向に沿った軸を中心軸とする回転方向に向けてねじれさせる方向性を有する力）を印加部から加える必要がある。このため、このような方向性を有する力を加えることができるように、印加部の配置位置を適切に設定しなければならない。つまり、方向性を有する力を加える場合には、当該力を作用させる方向に依存して印加部の配置位置が限定されてしまう。【００３４】
しかるに、本実施形態では、微振動に起因した方向性のない力を加えているがゆえに、印加部の配置位置が限定されてしまうことはなくなる。言い換えれば、微振動に起因した方向性のない力を加えているがゆえに、被駆動部の回転の方向に依存して印加部の配置位置が限定されてしまうことはなくなる。つまり、印加部の配置位置がどのような位置に設定されたとしても、印加部から加えられる微振動（つまり、方向性のない力）は、第２弾性部の弾性を利用して、被駆動部を一の方向に沿った軸を中心軸として回転させることができる。これにより、駆動装置の設計の自由度を相対的に増加させることができる。【００３５】
この態様によれば、無方向性微振動又は異方性微振動として第２ベース部内を伝搬する波動エネルギーを、第２ベース部内を任意の方向に向かって伝搬させることができる。尚、「無方向性微振動」又は「異方性微振動」は、例えば、被駆動部の回転方向に対して無相関な方向の微振動であってもよい。その結果、この波動エネルギーは、微振動の方向を限定することなくあらゆる方向の振動として取り出すことができる。つまり、第２ベース部内を伝搬した波動エネルギーは、振動（より具体的には、共振）という形で外部に取り出すことができ、その結果、被駆動部を回転させることができる。【００３６】
加振力が無方向性振動エネルギーとしての無方向性微振動又は異方性微振動である駆動装置の態様では、前記印加部は、前記一の方向に沿った軸を中心軸とする回転方向とは異なる方向に作用する力によって生ずる前記微振動を加えるように構成してもよい。【００３７】
このように構成すれば、印加部は、微振動を加える際には、まず、一の方向に沿った軸を中心軸とする回転方向（つまり、被駆動部の回転方向）とは異なる方向に作用する力を発生させる。この力は、後に図面を用いて詳細に説明するように、微振動（言い換えれば、波動エネルギー）となって第２ベース部に加えられる。つまり、一の方向に沿った軸を中心軸とする回転方向とは異なる方向に作用する力によって生ずる微振動（言い換えれば、当該力が変換されて生ずる微振動ないしは波動エネルギー）を加えることができる。従って、上述した各種効果を好適に享受することができる。【００３８】
加振力が無方向性振動エネルギーとしての無方向性微振動又は異方性微振動である駆動装置の態様では、前記印加部は、静止時の前記被駆動部の表面に沿った方向に作用する力によって生ずる前記微振動を加えるように構成してもよい。【００３９】
このように構成すれば、印加部は、微振動を加える際には、まず、静止時の（言い換えれば、初期配置時の）被駆動部の表面に沿った方向（つまり、面内方向）に作用する力を発生させる。この力は、後に図面を用いて詳細に説明するように、微振動（言い換えれば、波動エネルギー）となって第２ベース部に加えられる。つまり、静止時の被駆動部の表面に沿った方向に作用する力によって生ずる微振動（言い換えれば、当該力が変換されて生ずる微振動ないしは波動エネルギー）を加えることができる。従って、上述した各種効果を好適に享受することができる。【００４０】
加振力が無方向性振動エネルギーとしての無方向性微振動又は異方性微振動である駆動装置の態様では、前記印加部は、前記第２ベース部を前記他の方向に沿った軸を中心軸として回転させるための前記加振力であって且つ前記被駆動部及び前記第２弾性部により定まる共振周波数で前記被駆動部が前記一の方向に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように前記被駆動部を回転させるための前記加振力を前記第２ベース部に加えるように構成してもよい。【００４１】
このように構成すれば、印加部の動作により、第２ベース部（言い換えれば、第２ベース部により支持される被駆動部）が他の方向に沿った軸を中心軸として回転するような微振動が加えられる。同時に、この微振動は、被駆動部及び第２弾性部第２弾性部により定まる共振周波数で、被駆動部を、一の方向に沿った軸を中心軸として共振しながら回転させる。つまり、この態様では、同一の印加部（言い換えれば、単一の印加部）から、被駆動部の２軸回転駆動を行うための微振動が加えられる。【００４２】
ここで、いわゆる方向性を有する力を加えることで被駆動部の２軸回転駆動を行う場合（例えば、第１ベース部や第２ベース部そのものを被駆動部の回転方向に向かって大きくねじれさせ、そのねじれを第１弾性部や第２弾性部や被駆動部に直接加えることで被駆動部の２軸回転駆動を行う場合）には、被駆動部を一の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力（つまり、第２ベース部等の構造体を一の方向に沿った軸を中心軸とする回転方向に向けてねじれさせる方向性を有する力）を一の印加部から加えると共に、被駆動部を他の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力（つまり、第１ベース部や第２ベース部等の構造体を他の方向に沿った軸を中心軸とする回転方向に向けてねじれさせる方向性を有する力）を他の印加部から加える必要がある。つまり、方向性を有する力を加えることで被駆動部の２軸回転駆動を行う場合には、通常は、２つ以上の印加部（つまりは、２つ以上の駆動源）を駆動装置が備えていなければならない。言い換えれば、方向性を有する力を加えることで被駆動部の２軸回転駆動を行う場合には、１つの印加部からは１つの方向に向かって作用する力しか加えることができないため、２つ以上の印加部（つまりは、２つ以上の駆動源）を駆動装置が備えていなければならない。【００４３】
しかるに、この態様では、微振動に起因した方向性のない力を加えることで、被駆動部の２軸回転駆動を行うことができる。ここで、微振動に起因した方向性のない力を加えているがゆえに、１つの印加部から加えられた微振動は、第１弾性部及び第２弾性部の弾性（つまり、被駆動部を一の方向に沿った軸を中心軸として回転させる弾性及び被駆動部を他の方向に沿った軸を中心軸として回転させる弾性）を利用して、被駆動部を一の方向に沿った軸を中心軸として回転させると共に被駆動部を他の方向に沿った軸を中心軸として回転させることができる。つまり、この態様では、被駆動部の２軸回転駆動を行う場合であっても、２つの印加部を備える必要は必ずしもない。このため、単一の印加部（言い換えれば、単一の駆動源）を用いて、被駆動部の２軸回転駆動を行うための微振動を加えることができる。【００４４】
加えて、仮に１つの印加部から２つの方向に向かって作用する力を加えることができたとしても、方向性を有する力を加えることで被駆動部の２軸回転駆動を行う場合には、結局のところ、２つの方向に作用する成分（つまり、被駆動部を一の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力の成分と、被駆動部を他の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力の成分）を有する力を加える必要がある。しかるに、この態様では、微振動に起因した方向性のない力を加振エネルギーとして加えているため、力が作用する方向を考慮した上で当該力を加える必要がなくなるという利点も有している。【００４５】
本実施形態のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施例から明らかにされる。【００４６】
以上説明したように、本実施形態の駆動装置によれば、第１ベース部と、第２ベース部と、第１弾性部と、被駆動部と、第２弾性部と、印加部とを備え、印加部は、他の方向に沿って第２ベース部が定常波状に変形振動し且つ当該変形振動が共振となるように微振動を加え、第２ベース部が共振する共振周波数が被駆動部の共振周波数と同一である。従って、被駆動部を好適に回転させることができる。
【実施例】
【００４７】
以下、図面を参照しながら、駆動装置の実施例について説明する。尚、以下では、駆動装置をＭＥＭＳスキャナに適用した例について説明する。【００４８】
（１）第１実施例
初めに、図１から図６を参照して、ＭＥＭＳスキャナの第１実施例について説明する。【００４９】
（１−１）基本構成
初めに、図１を参照して、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００の基本構成について説明する。ここに、図１は、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００の基本構成を概念的に示す平面図である。【００５０】
図１に示すように、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００は、第１ベース１１０−１と、第１トーションバー１２０ａ−１及び１２０ｂ−１と、第２ベース１１０−２と、第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２と、ミラー１３０と、駆動源部１６０とを備えている。【００５１】
第１ベース１１０−１は、内部に空隙を備える枠形状を有している。つまり、第１ベース１１０−１は、図１中のＹ軸方向に延伸する２つの辺と図１中のＸ軸方向（つまり、Ｙ軸に直交する軸方向）に延伸する２つの辺とを有すると共に、Ｙ軸方向に延伸する２つの辺とＸ軸方向に延伸する２つの辺とによって取り囲まれた空隙を有する枠形状を有している。図１に示す例では、第１ベース１１０−１は、正方形の形状を有しているが、これに限定されることはなく、例えばその他の形状（例えば、長方形等の矩形の形状や円形の形状等）を有していてもよい。また、第１ベース１１０−１は、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００の基礎となる構造体であって、不図示の基板ないしは支持部材に対して固定されている（言い換えれば、ＭＥＭＳスキャナ１００という系の内部においては固定されている）ことが好ましい。【００５２】
尚、図１では、第１ベース１１０−１が枠形状を有している例を示しているが、その他の形状を有していてもよいことは言うまでもない。例えば、第１ベース１１０−１は、その一部の辺が開口となるコの字型形状を有していてもよい。或いは、例えば、第１ベース１１０−１は、内部に空隙を備える箱型形状を有していてもよい。つまり、第１ベース１１０−１は、Ｘ軸及びＹ軸によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｘ軸及び不図示のＺ軸（つまり、Ｘ軸及びＹ軸の双方に直交する軸）によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｙ軸及び不図示のＺ軸によって規定される平面上に分布する２つの面とを有すると共に、これらの６つの面によって取り囲まれた空隙を有する箱形状を有していてもよい。或いは、ミラー１３０が配置される態様に応じて適宜第１ベース１１０−１の形状を任意に代えてもよい。【００５３】
第１トーションバー１２０ａ−１は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第１トーションバー１２０ａ−１は、図１中Ｘ軸の方向に延伸するように配置される。言い換えれば、第１トーションバー１２０ａ−１は、Ｘ軸の方向に延伸する長手を有すると共にＹ軸の方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、第１トーションバー１２０ａ−１は、Ｘ軸の方向に延伸する短手を有すると共にＹ軸の方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。第１トーションバー１２０ａ−１の一方の端部１２１ａ−１は、第１ベース１１０−１の内側の辺１１５−１に接続される。第１トーションバー１２０ａ−１の他方の端部１２２ａ−１は、Ｘ軸の方向に沿って第１ベース１１０−１の内側の辺１１５−１に対向する第２ベース１１０−２の外側の辺１１７−２に接続される。【００５４】
第１トーションバー１２０ｂ−１は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第１トーションバー１２０ｂ−１は、図１中Ｘ軸の方向に延伸するように配置される。言い換えれば、第１トーションバー１２０ｂ−１は、Ｘ軸の方向に延伸する長手を有すると共にＹ軸の方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、第１トーションバー１２０ｂ−１は、Ｘ軸の方向に延伸する短手を有すると共にＹ軸の方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。第１トーションバー１２０ｂ−１の一方の端部１２１ｂ−１は、Ｘ軸の方向に沿って第１ベース１１０−１の内側の辺（言い換えれば、領域部分）１１５−１（つまり、第１トーションバー１２０ａ−１の一方の端部１２１ａ−１が接続される第１ベース１１０−１の内側の辺１１５−１）に対向する第１ベース１１０−１の内側の辺１１６−１に接続される。第１トーションバー１２０ｂ−１の他方の端部１２２ｂ−１は、Ｘ軸の方向に沿って第１ベース１１０−１の内側の辺１１６−１に対向する第２ベース１１０−２の外側の辺１１８−２に接続される。【００５５】
第２ベース１１０−２は、内部に空隙を備える枠形状を有している。つまり、第２ベース１１０−２は、図１中のＹ軸方向に延伸する２つの辺と図１中のＸ軸方向（つまり、Ｙ軸に直交する軸方向）に延伸する２つの辺とを有すると共に、Ｙ軸方向に延伸する２つの辺とＸ軸方向に延伸する２つの辺とによって取り囲まれた空隙を有する枠形状を有している。図１に示す例では、第２ベース１１０−２は、正方形の形状を有しているが、これに限定されることはなく、例えばその他の形状（例えば、長方形等の矩形の形状や円形の形状等）を有していてもよい。【００５６】
第２ベース１１０−２は、第１ベース１１０−１の内部の空隙に、第１トーションバー１２０ａ−１及び１２０ｂ−１によって吊り下げられる又は支持されるように配置される。第２ベース１１０−２は、第１トーションバー１２０ａ−１及び１２０ｂ−１の弾性によって、Ｘ軸の方向を中心軸として回転するように構成されている。【００５７】
尚、図１では、第２ベース１１０−２が枠形状を有している例を示しているが、その他の形状を有していてもよいことは言うまでもない。例えば、第２ベース１１０−２は、その一部の辺が開口となるコの字型形状を有していてもよい。或いは、例えば、第２ベース１１０−２は、内部に空隙を備える箱型形状を有していてもよい。つまり、第２ベース１１０−２は、Ｘ軸及びＹ軸によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｘ軸及び不図示のＺ軸（つまり、Ｘ軸及びＹ軸の双方に直交する軸）によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｙ軸及び不図示のＺ軸によって規定される平面上に分布する２つの面とを有すると共に、これらの６つの面によって取り囲まれた空隙を有する箱形状を有していてもよい。或いは、ミラー１３０が配置される態様に応じて適宜第２ベース１１０−２の形状を任意に代えてもよい。【００５８】
第２トーションバー１２０ａ−２は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第２トーションバー１２０ａ−２は、図１中Ｙ軸の方向に延伸するように配置される。言い換えれば、第２トーションバー１２０ａ−２は、Ｙ軸の方向に延伸する長手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、第２トーションバー１２０ａ−２は、Ｙ軸の方向に延伸する短手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。第２トーションバー１２０ａ−２の一方の端部１２１ａ−２は、第２ベース１１０−２の内側の辺１１１−２に接続される。第２トーションバー１２０ａ−２の他方の端部１２２ａ−２は、Ｙ軸の方向に沿って第２ベース１１０−２の内側の辺１１１−２に対向するミラー１３０の一方の辺１３１に接続される。【００５９】
第２トーションバー１２０ｂ−２は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第２トーションバー１２０ｂ−２は、図１中Ｙ軸の方向に延伸するように配置される。言い換えれば、第２トーションバー１２０ｂ−２は、Ｙ軸の方向に延伸する長手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、第２トーションバー１２０ｂ−１は、Ｙ軸の方向に延伸する短手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。第２トーションバー１２０ｂ−２の一方の端部１２１ｂ−２は、Ｙ軸の方向に沿って第２ベース１１０−２の内側の辺１１１−２（つまり、第２トーションバー１２０ａ−２の一方の端部１２１ａ−２が接続される第２ベース１１０−２の内側の辺１１１−２）に対向する第２ベース１１０−２の内側の辺１１２−２に接続される。第２トーションバー１２０ｂ−２の他方の端部１２２ｂ−２は、Ｙ軸の方向に沿って第２ベース１１０−２の内側の辺１１２−２に対向するミラー１３０の他方の辺１３２に接続される。【００６０】
ミラー１３０は、第２ベース１１０−２の内部の空隙に、第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２によって吊り下げられる又は支持されるように配置される。ミラー１３０は、第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２の弾性によって、Ｙ軸の方向を中心軸として回転するように構成されている。【００６１】
駆動源部１６０は、ミラー１３０をＹ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させるために必要な微振動を第２ベース１１０−２に対して加える。尚、駆動源部１６０が微振動を第２ベース１１０−２に加えることができる限りは、その配置態様は任意に定めてもよい。また、第２ベース１１０−２に対して力を加えることに限らず、その他の位置（例えば、第１ベース１１０−１）に対して力を加えることができるように構成されてもよい。【００６２】
より具体的には、駆動源部１６０は、電磁力に起因した力を加える駆動源部であって、第２ベース１１０−２の枠形状に沿って配置されるコイル１６１と、第１ベース１１０−１に固定される磁極１６２ａ及び１６２ｂとを備える。この場合、コイル１６１には、不図示の駆動源部制御回路から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。コイル１６１への電圧の印加によって電流が流れ、コイル１６１と磁極１６２ａ及び１６２ｂとの間に電磁相互作用が生ずる。その結果、電磁相互作用による電磁力が発生する。この電磁力は微振動として第２ベース１１０−２に伝えられる。【００６３】
続いて、図２を参照して、第２ベース１１０−２の裏側（具体的には、図１に示した第２ベース１１０−２の反対側）の構成について説明する。図２は、第２ベース１１０−２の裏側（具体的には、図１に示した第２ベース１１０−２の反対側）の構成を示す平面斜視図である。【００６４】
図２に示すように、第２ベース１１０−２の枠形状のうちの一部の領域１１０ａには、第２ベース１１０−２の表面から突き出るリブ１１９が形成されている。リブ１１９は、第２ベース１１０−２と一体的に形成されていてもよいし、第２ベース１１０−２が形成された後に付加的に配置されていてもよい。一方で、第２ベース１１０−２の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂには、リブ１１９が形成されていない。【００６５】
図２に示すリブ１１９により、第２ベース１１０−２の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの剛性は、第２ベース１１０−２の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの剛性よりも高くなる。言い換えれば、リブ１１９は、第２ベース１１０−２の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの剛性が、第２ベース１１０−２の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの剛性よりも高くなる状態を実現することができるように、第２ベース１１０−２に形成されることが好ましい。つまり、第２ベース１１０−２の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの剛性が、第２ベース１１０−２の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの剛性よりも高くなる状態を実現することができるように、リブ１１９の形成位置や、大きさや、質量や、剛性や、密度等が適宜決定されることが好ましい。【００６６】
或いは、図２に示すリブ１１９により、第２ベース１１０−２の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの質量（或いは、第２ベース１１０−２の枠方向に沿った単位長当たりの質量）は、第２ベース１１０−２の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの質量（或いは、第２ベース１１０−２の枠方向に沿った単位長当たりの質量）よりも大きくなる。或いは、リブ１１９は、第２ベース１１０−２の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの質量が、第２ベース１１０−２の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの質量よりも大きくなる状態を実現することができるように、第２ベース１１０−２に形成されることが好ましい。つまり、第２ベース１１０−２の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの質量が、第２ベース１１０−２の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの質量よりも大きくなる状態を実現することができるように、リブ１１９の形成位置や、大きさや、質量や、剛性や、密度等が適宜決定されることが好ましい。【００６７】
尚、リブ１１９が形成される領域１１０ａとリブ１１９が形成されない領域１１０ｂは、ミラー１３０の回転軸（つまり、Ｙ軸）に直交する方向（つまり、Ｘ軸に沿った方向）に沿って並ぶ（或いは、交互に並ぶ）ことが好ましい。【００６８】
尚、図２は、リブ１１９が第２ベース１１０−２の裏側に形成される例を示している。しかしながら、リブ１１９は、第２ベース１１０−２の表側に形成されてもよいし、第２ベース１１０−２の側面に形成されてもよいし、第２ベース１１０−２の内面に形成されてもよい。或いは、リブ１１９以外の構成を用いて、第２ベース１１０−２の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの剛性が、第２ベース１１０−２の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの剛性よりも高くなる状態を実現してもよい。或いは、リブ１１９以外の構成を用いて、第２ベース１１０−２の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの質量が、第２ベース１１０−２の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの質量よりも大きくなる状態を実現してもよい。例えば、第２ベース１１０−２の密度や材質等を領域１１０ａと領域１１０ｂとで異ならしめることで、上述の状態を実現してもよい。【００６９】
（１−２）ＭＥＭＳスキャナの動作
続いて、図３を参照して、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００の動作の態様（具体的には、ミラー１３０を回転させる動作の態様）について説明する。ここに、図３は、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００による動作の態様を概念的に示す平面図である。【００７０】
第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００の動作時には、コイル１６１には、不図示の駆動源部制御回路から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。コイル１６１への電圧の印加によって電流が流れ、コイル１６１と磁極１６２ａ及び１６２ｂとの間に電磁相互作用が生ずる。その結果、電磁相互作用による電磁力が発生する。この電磁力は微振動（ないしは、波動エネルギー）として第２ベース１１０−２に伝えられる。【００７１】
ここで、コイル１６１と磁極１６２ａとの間の電磁相互作用による電磁力の方向は、図３中奥側（紙面奥側）から手前側（紙面手前側）方向である。コイル１６１と磁極１６２ｂとの間の電磁相互作用による電磁力の方向は、図３中手前側から奥側方向である。その結果、図３に示すように、この電磁力は、第１トーションバー１２０ａ−１及び１２０ｂ−１自身の弾性に応じた方向に向かって第１トーションバー１２０ａ−１及び１２０ｂ−１を回転させたり、第２ベース１１０−２を回転させたりする。その結果、図３に示すように、第２ベース１１０−２が、Ｘ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転する。【００７２】
尚、第２ベース１１０−２は、後述するミラー１３０の共振周波数と同じ周波数、又は当該共振周波数よりも低い若しくは高い周波数での回転動作を所定の角度の範囲内で繰り返してもよい。例えば、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００をディスプレイ（或いは、ヘッドマウントディスプレイ）に適用する場合には、第２ベース１１０−２は、例えばディスプレイの走査周期又はフレームレートに応じた周波数（例えば、６０Ｈｚ）での回転動作を繰り返してもよい。【００７３】
或いは、第２ベース１１０−２は、第２ベース１１０−２を含む被懸架部並びに第１トーションバー１２０ａ−１及び１２０ｂ−１により定まる共振周波数での回転動作を所定の角度の範囲内で繰り返してもよい。具体的には、第２ベース１１０−２は、第２ベース１１０−２を含む被懸架部（言い換えれば、第１トーションバー１２０ａ−１及び１２０ｂ−１により懸架される第２ベース１１０−２を含む被懸架部）並びに第１トーションバー１２０ａ−１及び１２０ｂ−１に応じて定まる共振周波数で共振するように回転してもよい。例えば、第２ベース１１０−２を含む被懸架部のＸ軸に沿った軸回りの慣性モーメント（より具体的には、第２ベース１１０−２内に備えられる第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２並びにミラー１３０の夫々の質量をも加味した第２ベース１１０−２という系全体からなる被懸架設部のＸ軸に沿った軸回りの慣性モーメント）がＩ１であり且つ第１トーションバー１２０ａ−１及び１２０ｂ−１を１本のバネとみなした場合のねじりバネ定数がｋ１であるとすれば、第２ベース１１０−２は、（１／（２π））×√（ｋ１／Ｉ１）にて特定される共振周波数（或いは、（１／（２π））×√（ｋ１／Ｉ１）のＮ倍若しくはＮ分の１倍（但し、Ｎは１以上の整数）の共振周波数）で共振するように、Ｘ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転してもよい。【００７４】
更に、駆動源部１６０から加えられる電磁力そのものは、ミラー１３０の回転方向（つまり、Ｙ軸に沿った方向を中心軸とする回転方向）とは異なる。一方で、この電磁力は、微振動として第２ベース１１０−２に伝わる。より具体的には、駆動源部１６０は、第２ベース１１０−２に対して、第２ベース１１０−２そのものの回転方向のねじれをなくしつつも第２ベース１１０−２内を伝搬する微振動を、波動エネルギーとして加える。言い換えれば、駆動源部１６０は、第２ベース１１０−２そのものに回転方向のねじれを与える力を加えることに代えて、第２ベース１１０−２内をエネルギーとして（言い換えれば、力を発現させる波動エネルギーとして）伝搬する微振動を加える。このような微振動は、第２ベース１１０−２内を伝搬している時点では、方向性を有していない力となる。言い換えれば、微振動として第２ベース１１０−２内を伝搬する波動エネルギーは、第２ベース１１０−２内を任意の方向に向かって伝搬する。また、このような微振動が加えられた第２ベース１１０−２は、第２ベース１１０−２そのものが振動する物体となるというよりは、微振動（言い換えれば、波動エネルギー）を伝搬する媒体となる。【００７５】
その結果、駆動源部１６０から第２ベース１１０−２に対して加えられる微振動は、第２ベース１１０−１から第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２へと伝わる。その後、図３に示すように、第２ベース１１０−２内を伝搬してきた微振動（言い換えれば、波動エネルギー）が、第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２自身の弾性に応じた方向に向かって第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２を回転させたり、ミラー１３０を回転させたりする。言い換えれば、第２ベース１１０−２内を伝搬してきた微振動は、第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２の回転やミラー１３０の回転という形で発現する。言い換えれば、この波動エネルギーは、微振動の方向を限定することなくあらゆる方向の振動として取り出すことができる。つまり、第２ベース１１０−２内を伝搬した波動エネルギーは、振動（より具体的には、共振）という形で外部に取り出すことができ、その結果、ミラー１３０を回転させることができる。その結果、図３に示すように、ミラー１３０が、Ｙ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転する。より具体的には、ミラー１３０は、共振周波数での回転動作を所定の角度の範囲内で繰り返す（言い換えれば、所定の角度の範囲内での回転の往復運動を繰り返す）。【００７６】
このとき、ミラー１３０は、ミラー１３０並びに第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２に応じて定まる共振周波数で共振するように回転する。より具体的には、ミラー１３０は、ミラー１３０（より具体的には、ミラー１３０を含む被懸架部であり、第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２によって吊り下げられる構造物）のＹ軸に沿った軸周り慣性モーメント並びに第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２のねじりバネ定数に応じて定まる共振周波数で共振するように回転する。例えば、ミラー１３０のＹ軸に沿った軸回りの慣性モーメントがＩａであり且つ第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２を１本のバネとみなした場合のねじりバネ定数がｋａであるとすれば、ミラー１３０は、（１／（２π））×√（ｋａ／Ｉａ）にて特定される共振周波数（或いは、（１／（２π））×√（ｋａ／Ｉａ）のＮ倍若しくはＮ分の１倍（但し、Ｎは１以上の整数）の共振周波数）で共振するように、Ｙ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転する。このため、駆動源部１６０は、ミラー１３０が上述の共振周波数で共振するように、上記共振周波数に同期した態様で微振動を加える。【００７７】
また、ミラー１３０の共振周波数は、厳密に言えば、ミラー１３０という回転体を含む回転系を支える土台の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）によって変化しかねない。例えば、ミラー１３０ａの共振周波数は、ミラー１３０という回転体を含む回転系を支える第１ベース１１０−１や第１トーションバー１２０ａ−１及び１２０ｂ−１や第２ベース１１０−２等の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）によって変化しかねない。このため、ミラー１３０を支える土台の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）を考慮した上で、（１／（２π））×√（ｋａ／Ｉａ）という数式（或いは、当該数式を特定するパラメータであるｋａ及びＩａ）に対して所定の補正演算を施した結果得られる共振周波数を、実際のミラー１３０の共振周波数として取り扱ってもよい。【００７８】
ここで、図４を参照して、駆動源部１６０から加えられる微振動に起因した方向性のない力について更に説明する。ここに、図４は、駆動源部１６０から加えられる微振動に起因した方向性のない力について説明するための平面図である。尚、以下の説明では、説明を分かりやすくするために、図１に示す駆動源部１６０とは異なる構成を有する駆動源部１６０を用いて説明を進める。但し、図１に示す駆動源部１６０から加えられる微振動としての電磁力と図４に示す駆動源部１６０から加えられる微振動としての電磁力とは、実際上は同一の力（つまり、方向性のない力）である。【００７９】
図４に示すように、駆動源部１６０は、伝達枝１６０ｂと、伝達枝１６０ｂを介して第１ベース１１０−１に接続される第１支持板１６０−１ｃであって且つＹ軸の方向に沿って相対向する第１枝１６０−１ｘ及び１６０−１ｙを備える第１支持板１６０−１ｃと、伝達枝１６０ｂを介して第１ベース１１０−２に接続される第２支持板１６０−２ｃであって且つＹ軸の方向に沿って相対向する第２枝１６０−２ｘ及び１６０−２ｙを備える第２支持板１６０−２ｃと、第１枝１６０−１ｘ及び１６０−１ｙの夫々に巻かれた第１コイル１６０−１ｚと、第２枝１６０−２ｘ及び１６０−２ｙの夫々に巻かれた第２コイル１６０−２ｚとを備えている。また、第１枝１６０−１ｘ及び１６０−１ｙ並びに第２枝１６０−２ｘ及び１６０−２ｙの形状及び特性は同一であるとし、第１枝１６０−１ｘに巻かれたコイル１６０−１ｚの特性（例えば、巻き数等）及び第１枝１６０−１ｙに巻かれたコイル１６０−１ｚの特性（例えば、巻き数等）は同一であるとし、第２枝１６０−２ｘに巻かれたコイル１６０−２ｚの特性（例えば、巻き数等）及び第２枝１６０−２ｙに巻かれたコイル１６０−２ｚの特性（例えば、巻き数等）は同一であるものとする。【００８０】
ここで、第１枝１６０−１ｘ及び１６０−１ｙ並びに第２枝１６０−２ｘ及び１６０−２ｙの夫々に巻かれたコイル１６０−１ｚ及び１６０−２ｚに電流を流すと、電磁相互作用により、第１枝１６０−１ｘ及び第２枝１６０−２ｘに対して第１枝１６０−１ｙ及び第２枝１６０−２ｙの方向に向かって引っ張られる力（つまり、Ｙ軸の負の方向であって図４中下側に向かう方向に作用する力）が発生する場合には、第１枝１６０−１ｙ及び第２枝１６０−２ｙに対しても、第１枝１６０−１ｘ及び第２枝１６０−２ｘの方向に向かって引っ張られる力（つまり、Ｙ軸の正の方向であって図４中上側に向かう方向に作用する力）が発生する。この力は、互いに逆向きで同じ大きさであるため、それらが外部に加速度を生じさせたり、それら自身に加速度を発生させることもなく、第１枝１６０−１ｘと第１枝１６０−１ｙとが接合する点Ｐ１（言い換えれば、伝達枝１６０ｂ上の点Ｐ１）及び第２枝１６０−２ｘと第２枝１６０−２ｙとが接合する点Ｐ２（言い換えれば、伝達枝１６０ｂ上の点Ｐ２）には微振動のみが伝達される。その結果、点Ｐ１及びＰ２における力には方向性がないことになる。同様に、電磁相互作用により、第１枝１６０−１ｘ及び第２枝１６０−２ｘに対して第１枝１６０−１ｙ及び第２枝１６０−２ｙから引き離される力（つまり、Ｙ軸の正の方向であって図４中上側に向かう方向に作用する力）が発生する場合には、第１枝１６０−１ｙ及び第２枝１６０−２ｙに対しても第１枝１６０−１ｘ及び第２枝１６０−２ｘから引き離される力（つまり、Ｙ軸の負の方向であって図４中下側に向かう方向に作用する力）が発生する。この力は、互いに逆向きで同じ大きさであるため、それらが外部に加速度を生じさせたり、それら自身に加速度を発生させることもなく、第１枝１６０−１ｘと第１枝１６０−１ｙとが接合する点Ｐ１及び第２枝１６０−２ｘと第２枝１６０−２ｙとが接合する点Ｐ２には微振動のみが伝達される。その結果、点Ｐ１及びＰ２における力には方向性がないことになる。【００８１】
しかしながら、本願発明者の実験によれば、上記構成によって第１ベース１１０−１並びに第１トーションバー１２０ａ−１及び１２０ｂ−１を介して伝わる微振動（つまり、波動エネルギーであって、方向性のない力）が第２ベース１１０−２内を伝搬し、その結果、ミラー１３０がＹ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転することが判明している。つまり、駆動源部１６０により加えられる微振動が上述した方向性のない力（言い換えれば、波動エネルギー）として第２ベース１１０−２内を伝搬することで、ミラー１３０がＹ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転することが判明している。【００８２】
このように、第１実施例においては、ミラー１３０がミラー１３０並びに第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２に応じて定まる共振周波数で共振するように、Ｙ軸の方向に沿った軸を中心軸としてミラー１３０を回転させることができる。加えて、第１実施例においては、Ｘ軸の方向に沿った軸を中心軸として第２ベース１１０−２を回転させることができる。ここで、ミラー１３０が第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２を介して第２ベース１１０−２に接続されていることを考慮すれば、Ｘ軸の方向に沿った軸を中心軸とする第２ベース１１０−２の回転に合わせて、ミラー１３０もまたＸ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転する。その結果、ミラー１３０がＸ軸及びＹ軸の夫々を中心軸として共振するようにミラー１３０を回転させることができる。つまり、第２実施例においては、ミラー１３０はＸ軸を中心軸として回転駆動すると共に、Ｙ軸を中心軸として自励共振する。【００８３】
ここで、「共振」とは、無限小の力の繰り返しにより無限大の変位が生じる現象である。このため、ミラー１３０を回転させるために加えられる力を小さくしても、ミラー１３０の回転範囲（言い換えれば、回転方向の振幅）を大きくとることができる。つまり、ミラー１３０が回転するために必要な力を相対的に小さくすることができる。このため、ミラー１３０の回転に必要な力を加えるために必要な電力量をも少なくすることができる。従って、より効率的にミラー１３０を移動させることができ、その結果、ＭＥＭＳスキャナ１００の低消費電力化を実現することができる。【００８４】
加えて、第１実施例では、方向性を有していない力を加えている。【００８５】
ここで、比較例として、いわゆる方向性を有する力を加えることでミラー１３０の２軸回転駆動を行う構成（例えば、第２ベース１１０−２そのものをミラー１３０の回転方向に向かって大きくねじれさせ、そのねじれを第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２やミラー１３０に直接加えることでミラー１３０の２軸回転駆動を行う構成）を例にあげて説明する。この場合、ミラー１３０をＸ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力（例えば、第１ベース１１０−１を、Ｘ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させるようにねじれさせる力）をある駆動源部１６０から加えると共に、ミラー１３０をＹ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力（例えば、第２ベース１１０−２を、Ｙ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させるようにねじれさせる力）を他の駆動源部１６０から加える必要がある。つまり、方向性を有する力を加えることでミラー１３０の２軸回転駆動を行う場合には、通常は、２つ以上の駆動源部１６０をＭＥＭＳスキャナが備えていなければならない。言い換えれば、方向性を有する力を加えることでミラー１３０の２軸回転駆動を行う場合には、１つの駆動源部１６０からは１つの方向に向かって作用する力しか加えることができないため、２つ以上の駆動源部１６０をＭＥＭＳスキャナが備えていなければならない。【００８６】
しかるに、第１実施例では、微振動に起因した方向性のない力を加えることで、ミラー１３０の２軸回転駆動を行うことができる。ここで、微振動に起因した方向性のない力を加えているがゆえに、１つの駆動源部１６０から加えられた微振動（つまり、方向性のない力）は、第１トーションバー１２０ａ−１及び１２０ｂ−１の弾性（つまり、ミラー１３０を支持する第２ベース１１０−２をＸ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させる弾性）並びに第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２の弾性（つまり、ミラー１３０をＹ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させる弾性）を利用して、ミラー１３０をＸ軸及びＹ軸の夫々の方向に沿った軸を中心軸として回転させることができる。つまり、第１実施例では、ミラー１３０の２軸回転駆動を行う場合であっても、２つの駆動源部１６０を備える必要は必ずしもない。このため、単一の駆動源部１６０を用いて、ミラー１３０の２軸回転駆動を行うための微振動に起因した方向性のない力を加えることができる。【００８７】
加えて、仮に１つの駆動源部から２つの方向に向かって作用する力を加えることができたとしても、方向性を有する力を加えることでミラー１３０の２軸回転駆動を行う場合には、結局のところ、２つの方向に作用する成分（つまり、ミラー１３０をＸ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力の成分と、ミラー１３０をＹ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力の成分）を有する力を加える必要がある。しかるに、第１実施例では、微振動に起因した方向性のない力を波動エネルギーとして加えているため、力が作用する方向を考慮した上で当該力を加える必要がなくなるという利点も有している。【００８８】
加えて、微振動に起因した方向性のない力を加えているがゆえに、駆動源部１６０の配置位置が限定されてしまうことはなくなる。言い換えれば、微振動に起因した方向性のない力を加えているがゆえに、ミラー１３０の回転の方向に依存して駆動源部１６０の配置位置が限定されてしまうことはなくなる。つまり、駆動源部１６０の配置位置がどのような位置に設定されたとしても、駆動源部１６０から加えられる微振動（つまり、方向性のない力）は、第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２の弾性を利用して、ミラー１３０をＹ軸の夫々の方向に沿った軸を中心軸として回転させることができる。これにより、ＭＥＭＳスキャナ１００の設計の自由度を相対的に増加させることができる。これは、各構成要件のサイズ的な又は設計的な制約が大きいＭＥＭＳスキャナにとって実践上非常に有利である。【００８９】
更に第１実施例では、第２ベース１１０−２の裏側にリブ１１９が形成されているため、駆動源部１６０から加えられる微振動によって、第２ベース１１０−２そのものが波打つように変形振動する。以下、図５及び図６を参照して、第２ベース１１０−２の変形振動の態様について説明する。図５及び図６の夫々は、第２ベース１１０−２の変形振動の態様を、ミラー１３０の回転の態様と関連付けて示す側面図である。尚、図５及び図６は、図３に示す矢印「ＩＩＩ」の方向から第２ベース１１０−２及びミラー１３０を観察した場合の側面図を示す。【００９０】
図５（ａ）に示すように、駆動源部１６０から第２ベース１１０−２に対して微振動が加えられていない状態では、第２ベース１１０−２は変形振動しておらず、ミラー１３０も回転していない。【００９１】
図５（ｂ）に示すように、駆動源部１６０から第２ベース１１０−２に対して微振動が加えられると、リブ１１９が形成されている領域１１０ａは、剛性が相対的に高いため、微振動によって屈曲しにくい一方で、リブ１１９が形成されていない領域１１０ｂは、剛性が相対的に低いため、微振動によって屈曲しやすい。その結果、第２ベース１１０−２は、リブが形成されている領域１１０ａを節とし且つリブ１１９が形成されていない領域１１０ｂを腹にして、Ｘ軸の方向に沿って波打つように変形振動する。より具体的には、第２ベース１１０−２は、リブ１１９が形成されている部分を節とし且つリブ１１９が形成されていない部分を腹にする定常波のようにその外観を変形させながら振動する。尚、図５（ｂ）に示す例では、第２ベース１１０−２は、その中心から折れ曲がるように変形振動する。但し、第２ベース１１０−２は、他の変形モード（例えば、更に多くの節を有する変形モード）で変形振動してもよい。【００９２】
尚、第１実施例における第２ベース１１０−２の変形振動は、リブ１１９が適切な箇所に形成されることによって実現されている。従って、上述したリブ１１９は、リブが形成されている領域１１０ａを節とし且つリブ１１９が形成されていない領域１１０ｂを腹にして第２ベース１１０−２がＸ軸の方向に沿って変形振動するように、第２ベース１１０−２上の適切な箇所に形成されることが好ましい。このとき、第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２が接続されている箇所が領域１１０ａに対応することが好ましい。例えば、上述したリブ１１９は、Ｘ軸の方向に沿った曲げ剛性が相対的に高い部分とＸ軸の方向に沿った曲げ剛性が相対的に低い部分とがＸ軸の方向に沿って順に現れるように、第２ベース１１０−２上の適切な箇所に形成されることが好ましい。或いは、例えば、上述したリブ１１９は、Ｘ軸の方向に沿った曲げ剛性が相対的に高い部分とＸ軸の方向に沿った曲げ剛性が相対的に低い部分とがＸ軸の方向に沿って順に現れると共に、第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２が接続されている箇所並びに第２ベース１１０−２のＸ軸方向における両端部分の夫々が領域１１０ａになり且つその他の箇所が領域１１０ｂになるように、第２ベース１１０−２上の適切な箇所に形成されることが好ましい。【００９３】
このとき、駆動源部１６０から加えられる微振動の周期によっては、第２ベース１１０−２は、共振するように変形振動する。ここで、第１実施例では、第２ベース１１０−２の変形振動における共振周波数は、ミラー１３０の共振周波数と同一であることが好ましい。言い換えれば、ミラー１３０の共振周波数と同一の共振周波数で第２ベース１１０−２が変形振動するように、第２ベース１１０−２の特性が定められることが好ましい。例えば、ミラー１３０の共振周波数と同一の共振周波数で変形振動するように、第２ベース１１０−２の裏側に形成されるリブ１１９の特性（例えば、形成位置や、大きさや、質量や、剛性や、密度等）が定められることが好ましい。【００９４】
尚、第２ベース１１０−２の変形振動における共振周波数は、第２ベース１１０−２及びリブ１１９を含む構造物を一つのバネ系としてみなし、当該バネ系に付加されている質量をＭとし且つ当該バネ系のバネ定数をｋとした場合には、（１／（２π））×√（ｋ／Ｍ）にて特定される。但し、当該バネ系が一つのバネに一つの質量構造物が接続された（言い換えれば、固有振動数が１個であり且つ固有振動モードが１個である）１自由度のバネ系であれば、（１／（２π））×√（ｋ／Ｍ）という共振周波数を採用することができる。一方で、当該バネ系が一つのバネに２つの質量構造物が接続された２自由度以上のバネ系であれば、（１／（２π））×√（ｋ／Ｍ）という共振周波数における「ｋ」及び「Ｍ」等を補正することが好ましい。尚、第２ベース１１０−２及びリブ１１９を含む構造物を一つのバネ系とみなした場合、当該バネ系に付加されている質量Ｍ及び当該バネ系のバネ定数ｋは、第２ベース１１０−２の剛性及び質量に応じて定まる。第１実施例では、第２ベース１１０−２の剛性及び質量をリブ１１９によって調整している。このため、第２ベース１１０−２の共振周波数は、実質的には、上述したリブ１１９の特性によって定められる。【００９５】
また、第２ベース１１０−２の変形振動における共振周波数は、厳密に言えば、第２ベース１１０−２という変形振動体を含む振動系を支える土台の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）によって変化しかねない。例えば、第２ベース１１０−２の変形振動における共振周波数は、第２ベース１１０−２という変形振動体を含む振動系を支える第１ベース１１０−１や第１トーションバー１２０ａ−１及び１２０ｂ−１等の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）によって変化しかねない。このため、第２ベース１１０−２を支える土台の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）を考慮した上で、（１／（２π））×√（ｋ／Ｍ）という数式（或いは、当該数式を特定するパラメータであるｋ及びＭ）に対して所定の補正演算を施した結果得られる共振周波数を、実際の第２ベース１１０−２の変形振動における共振周波数として取り扱ってもよい。【００９６】
また、第２ベース１１０−２の変形振動における共振は、第２ベース１１０−２の変形振動に係るバネ系を一つのバネに２つの質量構造物が接続された２自由度のバネ系とみなすことによって規定することに代えて、第２ベース１１０−２という板状の部材の高次の共振モードとみなすことによって規定してもよい。【００９７】
ここで、上述したように、駆動源部１６０からはミラー１３０が上述の共振周波数で共振するように当該共振周波数に同期した態様で微振動が加えられている。従って、このような微振動の印加により、第２ベース１１０−２は、共振するように変形振動する。つまり、図５（ａ）から図５（ｇ）に時系列的に示すように、第２ベース１１０−２は、両端が固定された定常波（より具体的には、第２ベース１１０−２の両端及び中間部が節となる定常波）の如き外観を有するように変形振動する。つまり、第２ベース１１０−２は、ミラー１３０の回転軸に直交する方向（つまり、Ｘ軸の方向）に沿って定常波が現れるような外観を有する。【００９８】
尚、図５（ａ）から図５（ｇ）は、第２ベース１１０−２の変形振動の位相とミラー１３０の回転の位相とが同相となる例を示している。本願発明者等の実験によれば、第２ベース１１０−２の変形振動の共振周波数及びミラー１３０の共振周波数の夫々を３９ｋＨｚに設定した場合に、第２ベース１１０−２の変形振動の位相とミラー１３０の回転の位相とが同相になっている。具体的には、図５（ａ）から図５（ｃ）に示す状態は、第２ベース１１０−２が時計回りに回転するような変形振動をしており、且つ、ミラー１３０が時計回りに回転する状態である。同様に、図５（ｃ）から図５（ｇ）に示す状態は、第２ベース１１０−２が反時計回りに回転するような変形振動をしており、且つ、ミラー１３０が反時計回りに回転する例を示している。尚、図５（ｇ）に示す状態の第２ベース１１０−２及びミラー１３０は、その後、図５（ｆ）に示す状態を経てから図５（ａ）に示す状態に遷移する。以降、第２ベース１１０−２及びミラー１３０は、図５（ａ）から図５（ｇ）に示す時系列に従って変形振動ないしは回転を続ける。【００９９】
他方で、図６（ａ）から図６（ｇ）は、第２ベース１１０−２の変形振動の位相とミラー１３０の回転の位相とが逆相となる例を示している。本願発明者等の実験によれば、第２ベース１１０−２の変形振動の共振周波数及びミラー１３０の共振周波数の夫々を５３ｋＨｚに設定した場合に、第２ベース１１０−２の変形振動の位相とミラー１３０の回転の位相とが逆相になっている。具体的には、図６（ａ）から図６（ｃ）に示す状態は、第２ベース１１０−２が時計回りに回転するような変形振動をしており、且つ、ミラー１３０が反時計回りに回転する状態である。同様に、図６（ｃ）から図６（ｇ）に示す状態は、第２ベース１１０−２が反時計回りに回転するような変形振動をしており、且つ、ミラー１３０が時計回りに回転する例を示している。尚、図６（ｇ）に示す状態の第２ベース１１０−２及びミラー１３０は、その後、図６（ｆ）に示す状態を経てから図６（ａ）に示す状態に遷移する。以降、第２ベース１１０−２及びミラー１３０は、図６（ａ）から図６（ｇ）に示す時系列に従って変形振動ないしは回転を続ける。【０１００】
このような態様で第２ベース１１０−２が変形振動しているため、ミラー１３０の回転量は、ミラー１３０そのものの回転量に加えて第２ベース１１０−２の変形振動量にも依存することになる。例えば、第２ベース１１０−２が変形振動しない比較例のＭＥＭＳスキャナに対してある電圧量Ｖ１に応じて発生する微振動を加えた場合に、ミラー１３０が角度θ１だけ回転したとする。この場合、第２ベース１１０−２が変形振動する第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００に対して同じ電圧量Ｖに応じて発生する微振動を加える場合、ミラー１３０が角度θ１だけ回転すると共に、第２ベース１１０−２もまた角度θ２だけ回転するように変形振動する。つまり、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００によれば、電圧量Ｖに応じて発生する微振動を加えた場合のミラー１３０の回転量（回転角度）がθ１＋θ２になる。従って、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００によれば、同一の電圧量Ｖに応じて発生する微振動を加えた場合に、比較例のＭＥＭＳスキャナと比較して、ミラー１３０の回転量（回転角度）を増大させることができる。従って、同一の微振動（ないしは、同一の微振動を発生させるための同一の電圧量或いは電流量）に対するミラー１３０の回転量（言い換えれば、ミラー１３０の回転の感度）を相対的に大きくすることができる。【０１０１】
加えて、第２ベース１１０−２の変形振動は、リブ１１９を形成することによって比較的容易に実現することができる。従って、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００を比較的容易に実現することができる。【０１０２】
尚、上述した第１実施例では、ミラー１３０を回転させるための力（つまり、駆動源部から加えられる）として、微振動を用いる例について説明している。しかしながら、ミラー１３０を回転させるための力として、微振動以外の任意の力を用いてもよい。例えば、ミラー１３０を回転させるための力として、例えば、特開２００７−５２２５２９号公報に記載されているように、ミラー１３０を直接的に回転させる方向（つまり、ミラー１３０の回転方向）に直接的に作用する方向性のある力を用いてもよい。或いは、例えば、ミラー１３０を回転させるための力として、例えば、特開２００７−５２２５２９号公報に記載されているように、ミラー１３０を間接的に回転させる方向に作用する方向性のある力（例えば、圧電素子の伸縮を伝搬させることでトーションバーのねじれ振動を生み出し、結果、当該トーションバーのねじれ振動に応じてミラー１３０を回転させる力）を用いてもよい。言い換えれば、例えば、ミラー１３０を回転させるための力として、第１トーションバー１２０ａ−１及び１２０ｂ−１並びに第２トーションバー１２０ａ−１から１２０ｄ−１を直接的に又は間接的にねじれさせる方向に作用する方向性のある力を用いてもよい。以下の第２実施例から第３実施例においても同様である。【０１０３】
（２）第２実施例
続いて、図７を参照して、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１について説明する。図７は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１の基本構成を概念的に示す平面図である。尚、上述の第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００と同一の構成については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。【０１０４】
図７に示すように、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００と同様に、第１ベース１１０−１と、第１トーションバー１２０ａ−１及び１２０ｂ−１と、第２ベース１１０−２と、第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２と、ミラー１３０とを備えている。第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２は、電磁力に起因した力（微振動）を加える駆動源部１６０に代えて、圧電効果に起因した力（微振動）を加える駆動源部１４０を備えている。【０１０５】
駆動源部１４０は、第１圧電素子１４０−１ａと、第２圧電素子１４０−２ａと、伝達枝１４０ｂと、第１空隙１４０−１ｄを有すると共に伝達枝１４０ｂを介して第１ベース１１０−１に固定される第１支持板１４０−１ｃと、第２空隙１４０−２ｄを有すると共に伝達枝１４０ｂを介して第１ベース１１０−１に固定される第２支持板１４０−２ｃとを備えている。第１支持板１４０−１ｃ上では、第１空隙１４０−１ｄによって規定される相対向する第１枝１４０−１ｅ及び１４０−１ｆによって、第１圧電素子１４０−１ａが挟持される。第２支持板１４０−２ｃ上では、第２空隙１４０−２ｄによって規定される相対向する第２枝１４０−２ｅ及び１４０−２ｆによって、第２圧電素子１４０−２ａが挟持される。不図示の電極を介して第１圧電素子１４０−１ａに電圧を印加することで、第１圧電素子１４０−１ａはその形状を変化させる。この第１圧電素子１４０−１ａの形状の変化は、第１枝１４０−１ｅ及び１４０−１ｆの形状の変化を引き起こす。その結果、第１枝１４０−１ｅ及び１４０−１ｆの形状の変化は、後に詳述するように微振動（ないしは、波動エネルギー）として伝達枝１４０ｂを介して第１ベース１１０−１に伝えられる。同様に、不図示の電極を介して第２圧電素子１４０−２ａに電圧を印加することで、第２圧電素子１４０−２ａはその形状を変化させる。この第２圧電素子１４０−２ａの形状の変化は、第２枝１４０−２ｅ及び１４０−２ｆの形状の変化を引き起こす。その結果、第２枝１４０−２ｅ及び１４０−２ｆの形状の変化は、後に詳述するように微振動（ないしは、波動エネルギー）として伝達枝１４０ｂを介して第１ベース１１０−１に伝えられる。【０１０６】
このような駆動源部１４０から加えられる微振動は、図４を用いて説明した方向性のない力となる。従って、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１によれば、上述した第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１００が享受する各種効果と同様の効果を好適に享受することができる。【０１０７】
（３）第３実施例
続いて、図８を参照して、第３実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２について説明する。図８は、第３実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２の基本構成を概念的に示す平面図である。尚、上述の第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００と同一の構成については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。【０１０８】
図８に示すように、第３実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２は、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００と同様に、第１ベース１１０−１と、第１トーションバー１２０ａ−１及び１２０ｂ−１と、第２ベース１１０−２と、第２トーションバー１２０ａ−２及び１２０ｂ−２と、ミラー１３０とを備えている。第３実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２は、電磁力に起因した力（微振動）を加える駆動源部１６０に代えて、静電力に起因した力（微振動）を加える駆動源部１５０を備えている。【０１０９】
駆動源部１５０（１５０ａから１５０ｃ）は、第２ベース１１０−２の外側の辺に沿って配置される櫛歯状の第１電極１５１ａ及び１５１ｂと、第１ベース１１０−１の内側の辺に固定されると共に第１電極１５１ａ及び１５１ｂの間に分布する櫛歯状の第２電極１５２ａ及び１５２ｂとを備える。尚、第１電極１５１ａ及び第２電極１５２ａは、上述した磁極１６２ａと同様の位置に配置される。第１電極１５１ｂ及び第２電極１５２ｂは、上述した磁極１６２ｂと同様の位置に配置される。【０１１０】
この場合、第１電極１５１ａ及び１５１ｂ（又は、第２電極１５２ａ及び１５２ｂ）には、不図示の駆動源部制御回路から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。第１電極と第２電極との間の電位差に起因して、第１電極１５１ａ及び１５１ｂと第２電極１５２ａ及び１５２ｂとの間には静電力（言い換えれば、クーロン力）が生ずる。その結果、静電力が発生する。この静電力は微振動として第２ベース１１０−２に伝えられる。【０１１１】
このような駆動源部１５０から加えられる微振動は、図４を用いて説明した方向性のない力となる。従って、第３実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２によれば、上述した第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００が享受する各種効果と同様の効果を好適に享受することができる。【０１１２】
尚、上述した第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００から第３実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２は、例えば、ヘッドアップディスプレイや、ヘッドマウントディスプレイや、レーザスキャナや、レーザプリンタや、走査型駆動装置等の各種電子機器に対して適用することができる。従って、これらの電子機器もまた、本発明の範囲に含まれるものである。【０１１３】
また、本発明は、請求の範囲及び明細書全体から読み取るこのできる発明の要旨又は思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う駆動装置もまた本発明の技術思想に含まれる。
【符号の説明】
【０１１４】
１００〜１０２  ＭＥＭＳスキャナ
１１０−１  第１ベース
１１０−２  第２ベース
１２０−１  第１トーションバー
１２０−２  第２トーションバー
１３０  ミラー
１４０、１５０、１６０  駆動源部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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