(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともフッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質と水とア
ルコールと界面活性剤、またはフッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分
とする物質と水と界面活性剤を含む撥水撥油防汚処理剤を用いて受光面側最表面に撥水撥
油防汚性の複合膜を形成する工程において、さらに前記撥水撥油防汚処理剤にアルコキシシリル基を主成分とする物質が添加されており、前記フッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質としてＣＦ3−（ＣＦ2）ｎ−（ＣＨ２）２−Ｓｉ（ＯＡ）3または［ＣＦ3−（ＣＦ2）ｎ−（ＣＨ２）２］２−Ｓｉ（ＯＡ）２、［ＣＦ3−（ＣＦ2）ｎ−（ＣＨ２）２］３−ＳｉＯＡ、ＣＦ3−（ＣＦ2）ｎ−（ＣＨ２）２−ＳｉＡ（ＯＡ）２（ｎは０又は１６以下の整数、Ａはアルキル基）を用い、前記アルコキシシリル基を主成分とする物質としてＳｉ（ＯＡ）４、または（ＡＯ）３Ｓｉ（ＯＳｉ（ＯＡ）２）ｎＯＳｉ（ＯＡ）３（ｎは、０または１、２の整数、Ａはアルキル基）を用い、さらにフッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質とアルコキシシリル基を主成分とする物質の組成が１：３〜３：１であり、総濃度を０．０１〜０．０００１ｍｏｌ／Ｌに調製しておくことを特徴とする太陽エネルギー利用装置の製造方法。
【請求項２】
アルコールとして、エタノール、プロピルアルコール、ブタノール、エチレングリコール
、および界面活性剤として下記化学式（化１）で表されるテトラアルキルアンモニウム塩
を用いることを特徴とする請求項１に記載の太陽エネルギー利用装置
の製造方法。
【化１】
0005463558.tif 000007
【請求項３】
撥水撥油防汚処理剤のｐＨが５乃至１１であることを特徴とする請求項１または２に記載の太陽エネルギー利用装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽エネルギー利用装置の製造方法に関するものである。さらに詳しくは、水系溶媒を用いて受光面側最表面に化学結合した撥水撥油防汚膜を形成する太陽エネルギー利用装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般にフッ化炭素基含有クロロシラン系の吸着剤と非水系の有機溶媒よりなる化学吸着液を用い、液相で化学吸着して単分子膜状の撥水撥油防汚性化学吸着膜を形成できることはすでによく知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
このような溶液中での化学吸着単分子膜の製造原理は、基材表面の水酸基などの活性水素とクロロシラン系の吸着剤のクロロシリル基との脱塩酸反応を用いて単分子膜を形成することにある。
【特許文献１】特開平０５−１９３０５６号  公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のクロロシラン系の撥水撥油防汚化学吸着剤を用いた撥水処理方法は、非水系の有機溶媒しか利用できなかったため、処理液が高価であり且つ環境面でも負荷が大きく推奨できるものではなかった。
【０００５】
また、製膜に基材表面の活性水素基とクロロシリル基の脱塩酸反応を用いているため塩酸が発生して、大気中で使用できないという大きな欠点があった。
【０００６】
本発明は、従来のような非水系の有機溶媒を用いることなく耐摩耗性や耐水性に優れた撥水撥油防汚膜の形成が可能な太陽エネルギー利用装置の製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
また、被膜形成時に塩酸ガスの発生が無く、通常の空気雰囲気中での製膜が可能な太陽エネルギー利用装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するため、具体的に提供される第１の発明は、少なくともフッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質と水とアルコール及び／または界面活性剤を含む撥水撥油防汚処理剤を用いて受光面側最表面に撥水撥油防汚膜を形成することを特徴とする太陽エネルギー利用装置の製造方法である。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明において、フッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質と水とアルコール及び／または界面活性剤に、さらにアルコキシシリル基を主成分とする物質が添加されていることを特徴とする太陽エネルギー利用装置の製造方法である。
【００１０】
第３の発明は、第１および２の発明において、アルコールとして、エタノール、プロピルアルコール、ブタノール、エチレングリコール、および界面活性剤として下記化学式（化１）で表されるテトラアルキルアンモニウム塩を用いることを特徴とする太陽エネルギー利用装置の製造方法である。
【化１】
0005463558.tif 000002
【００１１】
第４の発明は、第１乃至第３の発明に於いて、フッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質としてＣＦ3−（ＣＦ2）ｎ−（ＣＨ２）２−Ｓｉ（ＯＡ）3または［ＣＦ3−（ＣＦ2）ｎ−（ＣＨ２）２］２−Ｓｉ（ＯＡ）２、［ＣＦ3−（ＣＦ2）ｎ−（ＣＨ２）２］３−ＳｉＯＡ、ＣＦ3−（ＣＦ2）ｎ−（ＣＨ２）２−ＳｉＡ（ＯＡ）２（ｎは０又は１６以下の整数、Ａはアルキル基）を用いることを特徴とする太陽エネルギー利用装置の製造方法である。
【００１２】
第５の発明は、第２乃至第３の発明に於いて、アルコキシシリル基を主成分とする物質としてＳｉ（ＯＡ）４、または（ＡＯ）３Ｓｉ（ＯＳｉ（ＯＡ）２）ｎＯＳｉ（ＯＡ）３（ｎは、０または１、２の整数、Ａはアルキル基）を用いることを特徴とする太陽エネルギー利用装置の製造方法である。
【００１３】
第６の発明は、第１乃至第５の発明に於いて、処理液のｐＨが５乃至１１であることを特徴とする太陽エネルギー利用装置の製造方法である。
【００１４】
さらに、具体的に説明すると、本発明は、少なくとも、フッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質と水とアルコール及び／または界面活性剤を含む撥水撥油防汚処理剤を用いて、受光面側最表面に化学結合した撥水撥油防汚膜を形成する太陽エネルギー利用装置の製造方法を提供するものである。
【００１５】
ここで、アルコールとしては、いわゆるアルコール類なら全て可能であるが、特に、エタノール、プロピルアルコール、ブタノール、エチレングリコールがフッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質やアルコキシシリル基を主成分とする物質を水中に効率よく分散できて好ましい。
一方、界面活性剤としては、下記化学式（化１）で表されるテトラアルキルアンモニウム塩を用いると、フッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質やアルコキシシリル基を主成分とする物質を水中に効率よく分散できて都合がよい。
【００１６】
【化１】
0005463558.tif 000003
【００１７】
また、フッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質としてＣＦ3−（ＣＦ2）ｎ−（ＣＨ２）２−Ｓｉ（ＯＡ）3または［ＣＦ3−（ＣＦ2）ｎ−（ＣＨ２）２］２−Ｓｉ（ＯＡ）２、［ＣＦ3−（ＣＦ2）ｎ−（ＣＨ２）２］３−ＳｉＯＡ、ＣＦ3−（ＣＦ2）ｎ−（ＣＨ２）２−ＳｉＡ（ＯＡ）２（ｎは０又は１６以下の整数、Ａはアルキル基）を用いると、撥水撥油防汚効果を向上する上で都合がよい。
【００１８】
一方、アルコキシシリル基を主成分とする物質としてＳｉ（ＯＡ）４、または（ＡＯ）３Ｓｉ（ＯＳｉ（ＯＡ）２）ｎＯＳｉ（ＯＡ）３（ｎは、０または１、２の整数、Ａはアルキル基）を用いると、撥水撥油防汚膜の耐摩耗性等の耐久性を向上できて都合がよい。
【００１９】
また、処理液のｐＨを５乃至１１に制御しておくと、被膜を高密度に形成する上で都合がよい。
【発明の効果】
【００２０】
以上に説明したように、本発明によれば、有機溶媒を用いないで、受光面側最表面に化学結合した耐摩耗性や耐水性に優れた撥水撥油防汚性膜を形成した太陽エネルギー利用装置を製造提供できる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明では、少なくともフッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質と水とアルコール及び／または界面活性剤を含む撥水撥油防汚処理剤を用いて、固液界面反応で受光面側最表面に化学結合した耐摩耗性や耐水性に優れた撥水撥油防汚性膜が形成された太陽エネルギー利用装置の製造方法を提供する。
【００２２】
したがって、被膜形成時に塩酸ガスの発生が無く、通常の空気雰囲気中で太陽エネルギー利用装置を製造できる作用がある。また、有機溶媒を用いないため、製造時の地球環境負荷を低減できる作用がある。
【００２３】
以下、本発明の具体的な実施例を説明するが、以下の実施例においては、とくに記載していない限り分子組成比はモル比を意味する。また、特に記載のない％は重量％を意味する。なお、本願発明はこれら実施例によって何ら限定されるものではない。
【実施例１】
【００２４】
まず、あらかじめ図１に示したような太陽エネルギー利用装置の代表例である太陽電池の光入射側透明基材となるガラス板１を用意し、裏面に印刷法を用いてITO透明電極２、銀ペースト櫛形電極３、ｎ型アモルファスSi層４とｐ型アモルファスSi層５を順に形成し、さらにその上に反射膜を兼ねたアルミニウムのバック電極６を蒸着形成して太陽電池セル７を形成した。
一方、フッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質として、例えば、ＣＦ3（ＣＦ2 ）7（ＣＨ2 ）2Ｓｉ（Ｓｉ（ＯＣＨ３）3）とアルコキシシリル基を主成分とする物質としてＳｉ（ＯＣＨ３）４を分子組成比で２：１になるように秤量し、体積比で１０％のエタノールを含む水溶媒に０．０１mol／Ｌなるように混合し、ホモジナイザー（いわゆる超音波分散機を用いてもよい。）で１０分間程度処理すると、それぞれの−Ｓｉ（ＯＣＨ３）3基の一部が加水分解され−Ｓｉ（ＯＨ）3基、＝Ｓｉ（ＯＨ）２基、あるいは≡ＳｉＯＨ基に変換された物質を含む完全に透明な複合膜形成溶液を作成した。
【００２５】
なお、ここで、スターラーによる単なる撹拌では、多少濁った液が得られのみで、放置するとフッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質がすぐに分離してしまい、安定した処理液は得られなかった。
【００２６】
次に、よく洗浄して乾燥した太陽電池セル７を用意し、受光面側最表面に、この複合膜形成溶液を、空気中で（相対湿度５７％、別の実験では７０％でも問題なかった。）前記太陽電池セル表面に塗布し、１時間程度放置した。このとき、水−アルコール溶媒は大部分蒸発するが、太陽電池セル表面は水酸基が多数含まれているので、前記フッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質やアルコキシシリル基を主成分とする物質の≡ＳｉＯＨ基に変換した部分と前記太陽電池セル表面の水酸基が脱水反応して、太陽電池セル表面全面に亘り表面と化学結合したフッ化炭素基と炭化水素基とシリル基を主成分とする物質８とシロキサン基を主成分とする物質９を含む複合膜１０を太陽電池セル７の受光面側最表面に形成できる。（図１（ａ））
【００２７】
そこで引き続いて、表面に残った複合膜形成溶液の水エタノール溶媒が完全に蒸発してしまう前、すなわち被膜が完全に硬化してしまう前にエタノールで未反応の余分なフッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質やアルコキシシリル基を主成分とする物質を洗浄除去すると、略５ｎｍ程度の厚みのフッ化炭素基と炭化水素基とシリル基を主成分とする物質２とシロキサン基を主成分とする物質９を含む複合膜が前記太陽電池セル表面に形成できた。なお、エタノールを含むウエスでふき取った場合には、略１０〜２０ｎｍ厚みとなった。
【００２８】
このとき、複合膜形成溶液中のフッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質やアルコキシシリル基を主成分とする物質は、水とアルコールの混合溶媒中でアルコキシシリル基の一部が加水分解して−Ｓｉ（ＯＨ）3基に変換されており、太陽電池セル７の表面は水酸基すなわち活性水素を多数含むので、前記−Ｓｉ（ＯＨ）3基と太陽電池セル７の表面の水酸基が脱水反応して、フッ化炭素基と炭化水素基とシリル基を主成分とする物質８と、シロキサン基を主成分とする物質９が混合した状態で−ＳｉＯ−結合を介して太陽電池セル７の表面に結合する。
【００２９】
しかしながら、この状態では、−ＳｉＯＨ基の一部１１が脱水反応せずに膜中にのこる。（図１（ａ））そこで、さらに複合膜が形成された太陽電池セル７を空気中で１２０〜３００℃３０分程度の加熱処理を行うと、未反応の−ＳｉＯＨ基が完全に脱水反応して、ポリシロキサン結合を形成し網目状のシリカ膜１２に変化して、耐摩耗性、且つ離水性（滑水性ともいう）に優れたフッ化炭素基と炭化水素基とシリル基を主成分とする物質８とシロキサン基を主成分とする物質９よりなる水滴接触角が１１６度の撥水撥油防汚性の複合膜１３で被われた太陽電池パネル１４を製造できた。（図１（ｂ））
【００３０】
なお、ここで、不活性ガスである窒素ガス雰囲気中で３００〜４００℃３０分程度の加熱処理を行うと、被膜が酸化されることもなく、さらに耐摩耗製に優れた撥水撥油防汚性の複合膜で被われた太陽電池パネルを製造できた。
【実施例２】
【００３１】
実施例１に於いて、未反応の余分なフッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質やアルコキシシリル基を主成分とする物質を洗浄除去する、あるいはふき取り除去する工程を省くと、表面の水滴接触角が略１１３度で膜厚が数十ナノメートルの被膜が得られた。なお、この条件でも、透明度はそれほど損なわれず、下地が太陽電池セルのような太陽エネルギー利用装置でも、実用上全く問題なかった。
【００３２】
なお、実施例１および２に於いて、フッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質とアルコキシシシリル基を主成分とする物質の分子組成比を、好ましくは１：１０〜１：０（より好ましくは１：３〜３：１）にしておくと、被膜の表面エネルギーを２０〜５ｍＮ／ｍの間で制御できた。
【００３３】
また、このときの防汚性太陽電池セルの水滴接触角は、物質２と物質３の組成に依存するので、例えば、組成を１：１０〜１：０の範囲で変えれば、臨界表面エネルギーを２０〜至５ｍＮ/ｍに制御できて、水滴接触角は１０５±１３度の範囲で制御できた。また、１：３〜３：１の場合、０．０２ｍｏｌ／Ｌの水滴に対する転落角は２５〜１２度に制御でき、洗浄時の水切りが良くなった。
さらにまた、フッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基を主成分とする物質とアルコキシシリル基を主成分とする物質の総濃度が０．０５ｍｏｌ／Ｌでも同様の被膜が得られたが、０．０１〜０．０００１ｍｏｌ／Ｌになるように調製しておくと、処理液のゲル化を防止でき、寿命を１ヶ月程度まで確保できた。
【実施例３】
【００３４】
実施例１において、アルコキシシリル基を主成分とする物質Ｓｉ（ＯＣＨ３）４を除き同様の条件で撥水撥油防汚太陽電池セルを試作した。この場合に得られた被膜の基本性能である水に対する接触角を測定すると、１１８度であった。また、水切り特性能や高耐久性は、実施例１に比べてやや劣るが、その他の物性値は、実施例１とほぼ同等であり、実用に供し得る防汚性の太陽電池パネルを製造できた。
【実施例４】
【００３５】
一方、実施例１に於いて、水−アルコール溶媒を陽イオン界面活性剤である下記化学式（化２）で表されるテトラアルキルアンモニウム塩が０．０００５ｍｏｌ／Ｌになるように調製された水−界面活性剤溶媒に代えて同様の実験を行ってみたが、ほぼ同様に実用に供し得る防汚性の太陽電池パネルを製造できた。
【００３６】
【化２】
0005463558.tif 000004
【実施例５】
【００３７】
さらに、実施例１に於いて、水−アルコール溶媒にさらに陽イオン界面活性剤である下記化学式（化２）で表されるテトラアルキルアンモニウム塩が０．００５ｍｏｌ／Ｌになるように添加して同様の実験を行ってみたが、ほぼ同様に実用に供し得る防汚性の太陽電池パネルを製造できた。
【００３８】
【化２】
0005463558.tif 000005
【００３９】
なお、実施例１、２、３、５に於いて、アルコールには、いわゆるアルコール類が全て使用できたが、エタノール、プロピルアルコール、ブタノール、エチレングリコールで好結果が得られた。
【００４０】
また、界面活性剤としては、中性乃至弱アルカリ性の界面活性剤であれば使用できるが、中でも調合処理液のｐＨが５乃至１１になるものでないと高性能の被膜を形成できなかった。ｐＨが５未満の場合、密度の高い被膜が形成できなかった。一方、ｐＨが１２を超えると、被膜の一部が破壊された。  
なお、下記化学式（化１）で表されるテトラアルキルアンモニウム塩の内、特に好ましいものは、Ｒ１の炭素数が１２〜１６であった。
【化１】
0005463558.tif 000006
【００４１】
さらにまた、フッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基のみを主成分とする物質として、一般には、以下のような物質が挙げられる。
ＣＦ3−（ＣＦ2）n−（Ｒ）mＳｉＸp（ＯＡ）3-p
（但し、ｎは０または１６以下の整数、Ｒはアルキル基、フェニル基、ビニル基、エチニル基、シリコン若しくは酸素原子を含む置換基、ｍは０又は１、ＸはＨ，アルキル基，アルコキシ基，含フッ素アルキル基又は含フッ素アルコキシ基の置換基、ｐは０、１または２、Ａは、ＣＨ３、Ｃ２Ｈ５、Ｃ３Ｈ７等のアルキル基）
【００４２】
具体的には、一般式ＣＦ3−（ＣＦ2）ｎ−（ＣＨ２）２−Ｓｉ（ＯＡ）3または［ＣＦ3−（ＣＦ2）ｎ−（ＣＨ２）２］２−Ｓｉ（ＯＡ）２、［ＣＦ3−（ＣＦ2）ｎ−（ＣＨ２）２］３−ＳｉＯＡ（ｎは０又は１６以下の整数、Ａはアルキル基）で表される物質が挙げられる。
【００４３】
さらに、具体的には、以下に示す物質(１)-(２０)が挙げられる。
(１) ＣＦ3ＣＨ2Ｏ（ＣＨ2）15Ｓｉ（ＯＣＨ３）3
(２) ＣＦ3（ＣＨ2）2Ｓｉ（ＣＨ3）2（ＣＨ2 ）15Ｓｉ（ＯＣＨ３）3
(３) ＣＦ3（ＣＨ2）6Ｓｉ（ＣＨ3）2（ＣＨ2 ）9 Ｓｉ（ＯＣＨ３）3
(４) ＣＦ3ＣＯＯ（ＣＨ2）15Ｓｉ（ＯＣＨ３）3
(５) ＣＦ3（ＣＦ2）7（ＣＨ2）2Ｓｉ（ＯＣＨ３）3
(６) ＣＦ3（ＣＦ2）３（ＣＨ2）2Ｓｉ（ＯＣＨ３）3
(７) ＣＦ3（ＣＦ2）7Ｃ6Ｈ4Ｓｉ（ＯＣＨ３）3
(８) ＣＦ3ＣＨ2Ｏ（ＣＨ2）15Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）3
(９) ＣＦ3（ＣＨ2）2Ｓｉ（ＣＨ3）2（ＣＨ2 ）15Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）3
(１０) ＣＦ3（ＣＨ2）6Ｓｉ（ＣＨ3）2（ＣＨ2 ）9 Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）3
(１１) ＣＦ3ＣＯＯ（ＣＨ2）15Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）3
(１２) ＣＦ3（ＣＦ2）7（ＣＨ2）2Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）3
(１３) ＣＦ3（ＣＦ2）5（ＣＨ2）2Ｓｉ（ＯＣＨ３）3
(１４) ＣＦ3（ＣＦ2）7Ｃ6Ｈ4Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）3
(１５)［ＣＦ3（ＣＦ2）３（ＣＨ2）2］２Ｓｉ（ＯＣＨ３）２
(１６)［ＣＦ3（ＣＦ2）３（ＣＨ2）2］３ＳｉＯＣＨ３
(１７)［ＣＦ3（ＣＦ2）３（ＣＨ2）2］２Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）２
(１８)［ＣＦ3（ＣＦ2）３（ＣＨ2）2］３ＳｉＯＣ２Ｈ５
(１９) ＣＦ3（ＣＦ2）7（ＣＨ2）2ＳｉＣＨ３（ＯＣＨ３）２
(２０) ＣＦ3（ＣＦ2）7（ＣＨ2）2ＳｉＣ２Ｈ５（ＯＣＨ３）２
また、アルコキシシリル基のみを主成分とする物質として、一般には、Ｓｉ（ＯＡ）４、または（ＡＯ）３Ｓｉ（ＯＳｉ（ＯＡ）２）ｎＯＳｉ（ＯＡ）３（ｎは、０または１、２の整数、Ａはアルキル基）表される物質が挙げられる。
【００４４】
さらに、具体的には、以下に示す物質(1)-(８)が挙げられる。
（１）Ｓｉ（ＯＣＨ３）４
（２）ＳｉＨ（ＯＣＨ３）3
（３）ＳｉＨ2（ＯＣＨ３）2
（４）（ＣＨ３Ｏ）3ＳｉＯＳｉ（ＯＣＨ３）2ＯＣＨ３
（５）Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）４
（６）ＳｉＨ（ＯＣ２Ｈ５）3
（７）ＳｉＨ2（ＯＣ２Ｈ５）2
（８）（Ｈ５Ｃ２Ｏ）3ＳｉＯＳｉ（ＯＣ２Ｈ５）2ＯＣ２Ｈ５
【産業上の利用可能性】
【００４５】
なお、本願発明は、太陽エネルギー利用装置であればどのような物にでも適用可能である。具体的には、太陽電池パネルの他、太陽熱温水器や温室等がある。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の撥水撥油防汚性太陽電池セルの製造工程を示したものであり、(a)は実施例１における複合被膜形成後の太陽電池セル、(b)は実施例１における焼成後の複合膜が形成された防汚性太陽電池セルをそれぞれ分子レベルまで拡大した断面概念図。
【符号の説明】
【００４７】
１  太陽電池の光入射側透明基材となるガラス板
２  ITO透明電極
３  銀ペースト櫛形電極
４  ｎ型アモルファスSi層
５  ｐ型アモルファスSi層
６  アルミニウムのバック電極
７  太陽電池セル
８  フッ化炭素基と炭化水素基とシリル基を主成分とする物質
９  シロキサン基を主成分とする物質
１０  水酸基を多数含む複合膜
１１  水酸基
１２  網目状のシリカ膜
１３  撥水撥油防汚性の複合膜
１４  撥水撥油防汚性太陽電池パネル
【図１】
0005463558.tif 000008