(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
螺着部と頭部とからなる雄螺子を管理するための雄螺子管理治具であって、
樹脂パネルに雄螺子の螺着部を挿入するための放射状のスリットが形成され該スリット間に係止爪が設けられた複数の把持手段を備えているとともに、該複数の把持手段に把持された雄螺子の取り付け場所等を表示する表示余白部が設けられており、
該樹脂パネルの裏面側には、該把持手段に挿入された雄螺子の螺着部を弾性保持するための弾性部材が配設されている、
ことを特徴とする雄螺子管理治具。
【請求項２】
該樹脂パネルの裏面には開口部を備えた箱状の弾性部材収容ケースが該開口部を該樹脂パネルの裏面に対向して装着され、該弾性部材収容ケース内に該弾性部材が収容される、請求項１記載の雄螺子管理治具。
【請求項３】
該弾性部材収容ケースの底壁外面には、マグネットシートが装着されている、請求項２記載の雄螺子管理治具。
【請求項４】
該弾性部材は該樹脂パネルの裏面に装着されており、該弾性部材の裏面にマグネットシートが装着されている、請求項１記載の雄螺子管理治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置や研削装置等の加工装置のメンテナンス、修理、部品交換等の作業を実施する際に、取り外した雄螺子を管理するための雄螺子管理治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々の半導体デバイスを製造している。このようにして分割されるウエーハは、ストリートに沿って切断する前に研削装置によって裏面が研削され、所定の厚さに加工される。
【０００３】
上述した切削装置や研削装置等の加工装置は、組み立て精度を容易に調整できる構成が望ましく、このような要求に鑑み、被加工物を保持するテーブルユニット、テーブルユニットに保持された被加工物を切削する切削手段としてのスピンドルユニットおよびアライメントユニットを基板に配設し、その他の付属部品を基板が取り付ける架台に配設するように構成した切削装置が下記特許文献１に開示されている。
【０００４】
切削装置や研削装置等の加工装置は、定期的にメンテナンスを実施したり、修理、部品交換等の作業を実施する必要がある。これらの作業を実施する際には、各部品を取り付けている締結ボルト等の雄螺子を取り外す必要があり、取り外した雄螺子を小物ボックスに収容し、点検調整作業や部品交換を実施した後に小物ケースに収容した雄螺子を用いて部品を組み付ける。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平６−１５５２８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
而して、各部品を取り付けている締結ボルト等の雄螺子は多数の種類があり、部品を再組み付けする際に間違って違う雄螺子を用いてしまうという問題がある。また、作業中に取り外した雄螺子を収容している小物ボックスが転倒して雄螺子が散乱し紛失するという問題もある。
【０００７】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、切削装置や研削装置等の加工装置のメンテナンス、修理、部品交換等の作業を実施する際に、取り外した締結ボルト等の雄螺子を整理して収容することができる雄螺子管理治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、螺着部と頭部とからなる雄螺子を管理するための雄螺子管理治具であって、
樹脂パネルに雄螺子の螺着部を挿入するための放射状のスリットが形成され該スリット間に係止爪が設けられた複数の把持手段を備えているとともに、該複数の把持手段に把持された雄螺子の取り付け場所等を表示する表示余白部が設けられており、
該樹脂パネルの裏面側には、該把持手段に挿入された雄螺子の螺着部を弾性保持するための弾性部材が配設されている、
ことを特徴とする雄螺子管理治具が提供される。
【０００９】
上記樹脂パネルの裏面には開口部を備えた箱状の弾性部材収容ケースが開口部を樹脂パネルの裏面に対向して装着され、該弾性部材収容ケース内に弾性部材が収容される。この弾性部材収容箱の底壁外面には、マグネットシートが装着されている。
また、上記弾性部材は樹脂パネルの裏面に装着されており、弾性部材の裏面にマグネットシートが装着されている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明による雄螺子管理治具は、樹脂パネルに雄螺子の螺着部を挿入するための放射状のスリットが形成され該スリット間に係止爪が設けられた複数の把持部を備えているので、装置から取り外した雄螺子を把持部に挿入することにより確実に保管することができる。また、樹脂パネルには複数の把持部に把持された雄螺子の取り付け場所等を表示する表示余白部が設けられているので、該表示余白部に雄螺子が取り付けられていた場所等を記載して表示することにより、部品を再組み付けする際に間違って違う雄螺子を用いることが防止できる。更に、樹脂パネルの裏面側には、把持手段に挿入された雄螺子の螺着部を弾性保持するための弾性部材が配設されているので、樹脂パネルに形成された放射状のスリットに挿入され各スリット間に形成された係止爪が係合された雄螺子は、弾性変形した弾性部材によって弾性保持されるため、ぐらつくことがない。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に従って構成された雄螺子管理治具の斜視図。
【図２】図１に示す雄螺子管理治具を用いてメンテナンス、修理、部品交換等の作業を実施する切削装置の斜視図。
【図３】図１に示す雄螺子管理治具を構成する樹脂パネルの把持部に雄螺子を挿入した状態を示す断面図。
【図４】図１に示す雄螺子管理治具を構成する樹脂パネルの複数の把持部に複数の雄螺子を挿入した状態を示す正面図。
【図５】本発明に従って構成された雄螺子管理治具の他の実施形態を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明による雄螺子管理治具の好適な実施形態について、添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
【００１３】
図１には、本発明に従って構成された雄螺子管理治具の斜視図が示されている。
図１に示す雄螺子管理治具２は、樹脂パネル３と、該樹脂パネル３の裏面に装着された弾性部材収容ケース４と、該弾性部材収容ケース４内に収容された弾性部材５と、弾性部材収容ケース４に装着されたマグネットシート６とからなっている。樹脂パネル３は、ポリエチレンテレフタレートシート等の弾性を有する樹脂シートによって矩形状に形成され、表面３aから裏面３bに貫通して形成され締結ボルト等の雄螺子の螺着部を挿入するための放射状のスリット３１１が形成された複数の把持手段３１を備えている。なお、図示の実施形態における把持手段３１は、互いに交差する３本のスリット３１１とからなり、各スリット間に係止爪３１２が形成される。また、樹脂パネル３の表面３aには、複数の把持手段３１に把持された雄螺子の取り付け場所や種類等を表示する表示余白部３２が設けられている。上記弾性部材収容ケース４は、適宜の樹脂によって矩形状の開口部４１を備えた箱状に形成され、該開口部４１の周囲には接合フランジ４２が形成されている。このように形成された弾性部材収容ケース４は、開口部４１を樹脂パネル３の裏面３bに対向して配設され、接合フランジ４２を樹脂パネル３の裏面３bに適宜の接着剤によって接合されている。なお、弾性部材収容ケース４と樹脂パネル３との接合方法としては、それぞれの接合部に互いに契合する樹脂ファスナを設け、樹脂ファスナによって接合してもよい。このようにして樹脂パネル３の裏面３bに接合された弾性部材収容ケース４に収容される弾性部材５は、スポンジ等の弾性体からなり、上記樹脂パネル３の把持手段３１に挿入された雄螺子の螺着部を弾性保持する。また、上記マグネットシート６は、弾性部材収容ケース４の底壁外面４３に適宜の接着剤によって装着される。
【００１４】
図１に示す実施形態における雄螺子管理治具２は以上のように構成されており、以下その作用について説明する。
図２には、上述した雄螺子管理治具２を用いてメンテナンス、修理、部品交換等の作業を実施する切削装置が示されている。図２に示す切削装置１０は、略直方体状の装置ハウジング１０１を具備している。この装置ハウジング１０１には、被加工物を保持するためのチャックテーブル１０２と、該チャックテーブル１０２に保持された被加工物を切削するため切削ブレード１０３を備えた切削手段としてのスピンドルユニット１０４と、チャックテーブル１０２上に保持された被加工物の表面を撮像し上記切削ブレード１０３によって切削すべき領域を検出するためのアライメント手段１０５と、該アライメント手段１０５によって撮像された画像を表示する表示手段１０６が配設されている。また、上記装置ハウジング１０１には、被加工物を収容するカセットを載置するカセット載置テーブル１０７と、該カセット載置テーブル１０７に載置され被加工物を収容するカセット１０８と、該カセット１０８に収容される被加工物を仮置きテーブル１０９に搬出するとともに仮置きテーブル１０９に戻された加工後の被加工物をカセット１０８に搬入する搬出・搬入手段１１０と、仮置きテーブル１０９に搬出された被加工物を上記チャックテーブル１０２上に搬送する第１の搬送手段１１１と、チャックテーブル１０２上で切削加工された被加工物を洗浄する洗浄手段１１２と、チャックテーブル１０２上で切削加工された被加工物を洗浄手段１１２へ搬送する第２の搬送手段１１３が配設されている。
【００１５】
上述した切削装置１０のメンテナンス、修理、部品交換等を実施する場合には、図２に示すように装置ハウジング１０１の前パネル１０１aに上記雄螺子管理治具２の弾性部材収容ケース４の底壁外面４２に装着されたマグネットシート６を磁気吸着する。このように装置ハウジング１０１の前パネル１０１aに雄螺子管理治具２をマグネットシート６によって磁気吸着したならば、メンテナンス、修理、部品交換等の作業を実施する。これらの作業においては、切削装置１０を構成する各ユニットを構成する構成部材を分解するために、締結ボルト等の雄螺子を取り外す。この取り外した雄螺子は、装置ハウジング１０１の前パネル１０１aに磁気吸着されている雄螺子管理治具２に一時収容する。以下、取り外した雄螺子を雄螺子管理治具２に収容する作業について、図３を参照して説明する。
【００１６】
図２に示すように、取り外した雄螺子１１は、螺着部１１１と頭部１１２とからなっている。この雄螺子１１の螺着部１１１を樹脂パネル３の表面３a側（図３において右側）から放射状のスリット３１１が形成された把持手段３１に挿入する。この結果、把持手段３１を構成する各スリット３１１間に形成された係止爪３１２が雄螺子１１の挿入方向下流側（図３において左側）に弾性変形し、螺着部１１１に係合する。このように雄螺子１１の螺着部１１１を樹脂パネル３の表面３a側（図３において右側）から放射状のスリット３１１が形成された把持手段３１に挿入すると、樹脂パネル３の裏面３b側（図３において左側）に配設されたスポンジ等の弾性体からなる弾性部材５が局部的に押圧されて弾性変形する。この結果、樹脂パネル３に形成された放射状のスリット３１１に挿入され各スリット３１１間に形成された係止爪３１２が係合された雄螺子１１は、弾性変形した弾性部材５によって弾性保持されるため、ぐらつくことがない。
【００１７】
このようにして、切削装置１０の各ユニットに装着されている雄螺子１１を取り外し、図４に示すようにユニット単位で樹脂パネル３に装着する。そして、ユニット単位で囲って樹脂パネル３の表面に設けられた表示余白部３２に雄螺子が装着されていた場所を示すユニット名等を記入する。なお、表示余白部３２に雄螺子が装着されていたユニット名等を記入する筆記用具は、アルコール等によって容易に消去することができることが望ましい。
【００１８】
このように、切削装置１０の各ユニットに装着されている雄螺子１１を取り外し、ユニット単位で樹脂パネル３に装着することにより、各部品を再組み付けする際に間違って違う雄螺子を用いることが防止できる。
【００１９】
次に、本発明に従って構成された雄螺子管理治具の他の実施形態について、図５を参照して説明する。なお、図５においては上記図１に示す雄螺子管理治具２を構成する各部材と同一部材には同一符号を付して説明する。
図５に示す実施形態における雄螺子管理治具２０は、樹脂パネル３と、該樹脂パネル３の裏面３bに装着された弾性部材５と、弾性部材５の裏面５bに装着されたマグネットシート６とからなっている。樹脂パネル３は、上記図１に示す雄螺子管理治具２における樹脂パネル３と同様にポリエチレンテレフタレートシート等の弾性を有する樹脂シートによって矩形状に形成され、表面３aから裏面３bに貫通して形成され締結ボルト等の雄螺子の螺着部を挿入するための放射状のスリット３１１が形成された複数の把持手段３１を備えている。そして、樹脂パネル３の表面には、複数の把持手段３１に把持された雄螺子の取り付け場所や種類等を表示する表示余白部３２が設けられている。上記弾性部材５は、スポンジ等の弾性体によって樹脂パネル３と対応する大きさに形成されており、表面５a側の外周部が樹脂パネル３の裏面３bに適宜の接着剤によって装着されている。このように樹脂パネル３の裏面３bに装着された弾性部材５の裏面５bにマグネットシート６が適宜の接着剤によって装着される。このように構成された雄螺子管理治具２０も上記図１に示す雄螺子管理治具２と同様に雄螺子を収容することができる。
【符号の説明】
【００２０】
２：雄螺子管理治具
３：樹脂パネル
３１：把持部
３１１：スリット
３１２：係止爪
３２：表示余白部
４：弾性部材収容ケース
５：弾性部材
６：マグネットシート
１０：切削装置
１０１：装置ハウジング
１０２：チャックテーブル
１０３：切削ブレード
１０４：スピンドルユニット
１０５：アライメント手段
【図１】
0005595838.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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