(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
配列された複数のロッドレンズと、これらロッドレンズを挟持するフレームと、を備えたロッドレンズアレイの製造方法であって、
配列された複数のロッドレンズをフレームで挟持した複数のレンズ組立体を形成する工程と、
ロッドレンズのレンズ長決定方法により、製造ロット毎に所定数の前記レンズ組立体のロッドレンズ長を算出する工程と、
製造ロット単位で、複数の前記レンズ組立体のレンズ長を、前記ロッドレンズ長に加工する工程と、を備え、
前記ロッドレンズのレンズ長決定方法が、
基準位置を挟んで互いに等距離離間した対称な位置に、それぞれ画像とこの画像からの光を受光する受光装置とを配置すると共に、前記画像から前記受光装置に向く光軸方向とロッドレンズの長手方向が一致するように前記基準位置にロッドレンズを配置する配置工程と、
前記画像と前記受光装置とを、前記基準位置から前記光軸方向に沿って互いに反対方向に等距離ずつ移動させることにより、ロッドレンズの設計上の共役長の前後にわたって前記画像と前記受光装置との間の測定距離を変化させ、各測定距離においてロッドレンズの光学特性を測定する測定工程と、
この測定結果から、ロッドレンズの最適な光学特性を示す測定距離である最適距離を選択する選択工程と、
この選択された最適距離と設計上の共役長に基づいて、前記選択工程で選択される最適距離が設計上の共役長と一致するようなロッドレンズのレンズ長を算出する算出工程と、を備えた、ことを特徴とするロッドレンズアレイの製造方法。
【請求項２】
前記測定工程では、ロッドレンズの光学特性としてＭＴＦを測定し、
前記配置工程では、前記基準位置を挟んで互いに等間隔離間した対称な位置にＭＴＦ測定装置のＭＴＦ測定用の格子とＭＴＦ測定装置の受光装置とを配置すると共に、前記格子から前記受光装置に向く光軸方向とロッドレンズの長手方向が一致するように前記基準位置にロッドレンズを配置することを特徴とする請求項１に記載のロッドレンズアレイの製造方法。
【請求項３】
前記測定工程では、異なる２つの波長について、それぞれＭＴＦを測定し、
前記選択工程では、前記異なる２つに波長についてのＭＴＦが一致する測定距離を最適距離として選択することを特徴とする請求項２に記載のロッドレンズアレイの製造方法。
【請求項４】
前記算出工程では、前記選択された最適距離と設計上の共役長との差に、ロッドレンズに応じて設定された補正係数を乗算することにより、レンズ長の補正長さを算出することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のロッドレンズアレイの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロッドレンズのレンズ長決定方法を用いたロッドレンズアレイの製造方法に係り、特に良好なＭＴＦを有するロッドレンズアレイを製造するためのロッドレンズのレンズ長決定方法を用いたロッドレンズアレイの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ロッドレンズアレイは、半径方向に屈折率分布を有する屈折率分布型ロッドレンズを、２枚のフレームの間に多数配列した構造を有し、１対１結像光学系として機能する。このようなロッドレンズアレイは、プリンタ，複写機等における光学部品として広く用いられており、ロッドレンズアレイの光学性能はこれらの機器の品質性能に大きな影響を及ぼす。
【０００３】
このような、ロッドレンズアレイは、これに含まれるロッドレンズが所定のレンズ長Ｚ0となるように形成され、これにより要求を満たす共役長Ｔｃ，光学性能が得られるように製造される（例えば、特許文献１参照）。具体的には、ロッドレンズが要求されるレンズ長Ｚ0となるようにロッドレンズアレイを製造し、要求される共役長ＴｃでのＭＴＦを測定する。そして、測定されたＭＴＦが要求値以上であれば、このロッドレンズアレイは、要求品質を満たしている良品とされる。
上記特許文献１では、製造条件の変動に起因するロッドレンズの共役長の変動量を所定量以下とすることで、製品間のＭＴＦの変動も少なくして、歩留まりを高めている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３４１５１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の方法では、ＭＴＦが要求値以上の製品が製造される場合はよいが、例えばあるロットについて、ＭＴＦが要求値に満たない製品の割合が高くなってしまった場合には、このロットについては、歩留まりが低くなってしまうという問題があった。
【０００６】
本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、ロッドレンズのレンズ長を補正することにより、ＭＴＦが要求値に満たないロッドレンズを、レンズ長を変えることで該ロッドレンズのＭＴＦ値を要求値とし、ロッドレンズアレイの歩留まりを高めることが可能なロッドレンズのレンズ長決定方法を用いたロッドレンズアレイの製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、本発明のロッドレンズアレイの製造方法は、配列された複数のロッドレンズと、これらロッドレンズを挟持するフレームと、を備えたロッドレンズアレイの製造方法であって、配列された複数のロッドレンズをフレームで挟持した複数のレンズ組立体を形成する工程と、下記ロッドレンズのレンズ長決定方法により、製造ロット毎に所定数のレンズ組立体のロッドレンズ長を算出する工程と、製造ロット単位で、複数のレンズ組立体のレンズ長を、ロッドレンズ長に加工する工程と、を備えたことを特徴としている。
本発明のロッドレンズのレンズ長決定方法は、基準位置を挟んで互いに等距離離間した対称な位置に、それぞれ画像とこの画像からの光を受光する受光装置とを配置すると共に、前記画像から前記受光装置に向く光軸方向とロッドレンズの長手方向が一致するように前記基準位置にロッドレンズを配置する配置工程と、
前記画像と前記受光装置とを、前記基準位置から前記光軸方向に沿って互いに反対方向に等距離ずつ移動させることにより、ロッドレンズの設計上の共役長の前後にわたって前記画像と前記受光装置との間の測定距離を変化させ、各測定距離においてロッドレンズの光学特性を測定する測定工程と、
この測定結果から、ロッドレンズの最適な光学特性を示す測定距離である最適距離を選択する選択工程と、
この選択された最適距離と設計上の共役長に基づいて、前記選択工程で選択される最適距離が設計上の共役長と一致するようなロッドレンズのレンズ長を算出する算出工程と、を備えたことを特徴としている。
【０００８】
このように構成された本発明によれば、ロッドレンズの長さを上記レンズ長決定方法で算出したレンズ長とすることで、製造されるロッドレンズアレイの設計上の共役長における光学性能を向上させ、高い歩留まりを達成することが可能となる。
また、このように構成された本発明によれば、ロッドレンズの設計上の共役長の前後にわたって光学特性を測定し、その結果、最適な光学特性が得られる測定距離が設計上の共役長からずれている場合に、最適な光学特性が得られる測定距離が設計上の共役長と一致するようなレンズ長を算出する。
【０００９】
これにより、算出したレンズ長を有するようにロッドレンズのレンズ長を変更することで、要求される共役長での光学特性を向上させることができる。したがって、レンズ長を変更する前のロッドレンズでは、共役長において、要求される光学特性を発揮できない場合であっても、レンズ長を変更することで、共役長において、要求される光学特性を発揮できる場合が生じる。このようなレンズ長の変更をロット単位で行うことにより、各ロットにおいて、光学特性が向上され、高い歩留まりの製品を製造することが可能となる。
【００１０】
また、本発明において好ましくは、測定工程では、ロッドレンズの光学特性としてＭＴＦを測定し、配置工程では、基準位置を挟んで互いに等間隔離間した対称な位置にＭＴＦ測定装置のＭＴＦ測定用の格子とＭＴＦ測定装置の受光装置とを配置すると共に、格子から受光装置に向く光軸方向とロッドレンズの長手方向が一致するように基準位置にロッドレンズを配置する。
【００１１】
また、本発明において好ましくは、測定工程では、異なる２つの波長について、それぞれＭＴＦを測定し、選択工程では、異なる２つに波長についてのＭＴＦが一致する測定距離を最適距離として選択する。
【００１２】
また、本発明において好ましくは、算出工程では、選択された最適距離と設計上の共役長との差に、ロッドレンズに応じて設定された補正係数を乗算することにより、レンズ長の補正長さを算出する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のロッドレンズのレンズ長決定方法を用いたロッドレンズアレイの製造方法によれば、ロッドレンズのレンズ長を補正することにより、ロッドレンズアレイの歩留まりを高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態におけるＭＴＦ測定装置の概略構成図である。
【図２】本発明の実施形態におけるロッドレンズアレイの斜視図である。
【図３】本発明の実施形態における格子の説明図である。
【図４】本発明の実施形態における光量レベルの時間変化を表すグラフである。
【図５】本発明の実施形態における配置工程の説明図である。
【図６】本発明の実施形態における測定工程の説明図である。
【図７】本発明の実施形態における測定工程で得られるＭＴＦ特性を示すグラフである。
【図８】本発明の実施形態における補正レンズ長のロッドレンズアレイのＭＴＦ特性を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図１はＭＴＦ測定装置の概略構成図、図２はロッドレンズアレイの斜視図、図３は格子の説明図、図４は光量レベルの時間変化を表すグラフ、図５は配置工程の説明図、図６は測定工程の説明図、図７は測定工程で得られるＭＴＦ特性を示すグラフ、図８は補正レンズ長のロッドレンズアレイのＭＴＦ特性を示すグラフである。
【００１８】
本実施形態では、図１に示すようなＭＴＦ測定装置Ｍを用いて、ロッドレンズアレイ１の光学特性であるＭＴＦ（Modulation Transfer Function）を測定する。このＭＴＦ測定装置Ｍは、照明装置１０と、ＭＴＦ測定用の格子１４と、検査対象のロッドレンズアレイ１を載置し所定方向に移動させる移動装置１５と、受光装置１８と、これらを制御するコントローラ１９を備えている。照明装置１０，格子１４，ロッドレンズアレイ１，受光装置１８は、光軸７上に配列されている。
【００１９】
図２に示すように、測定対象であるロッドレンズアレイ１は、半径方向に屈折率分布を有する多数の屈折率分布型ロッドレンズ１ａと、これらを挟持する矩形状の２枚のフレーム１ｂとを備えている。複数のロッドレンズ１ａは、同一のレンズ長を有しており、軸方向が互いに平行となるように配列されている。
このロッドレンズアレイ１は、所定の共役長を有するように設定されている。共役長とは、ロッドレンズを挟んで位置した画像面とその画像の等倍結像面との間の距離である。
【００２０】
本実施形態の照明装置１０は、白色光を発光する光源（ハロゲンランプ）１１と、発光された白色光を受けて、所定の特定波長の光のみを透過させる波長選択機構１２と、波長選択機構１２から出力される測定光を拡散させて格子１４側に出力する拡散板１３とを備えている。拡散板１３は、測定光に指向性が残る可能性をなくすために設けられている。
【００２１】
波長選択機構１２は、２枚の異なる波長選択性を有する光学フィルタ１２ａ，１２ｂと、これらを選択的に切替える切替部１２ｃを備えている。切替部１２ｃは、エアシリンダ等から構成されたアクチュエータで構成することができる。この光学フィルタ１２ａ，１２ｂは、それぞれ特定波長の青色光、赤色光のみを透過させるように選択されている。
【００２２】
格子１４は、特定の空間周波数を有する格子であり、受光装置１８に白黒交互の格子状の画像を提供する。図３に示すように、格子１４は、同じ幅を有する透光部分（白色部分）と遮光部分（黒色部分）とが交互に配列されて構成されている。透光部分と遮光部分の組み合わせからなる格子パターンの周期が空間周波数で表される。空間周波数は、透光部分と遮光部分の組み合わせを１ラインペア（幅ｌ）とし、このラインペアが１ｍｍの幅Ｌの間に何組設けてあるかを示すものであり、単位を「Ｌｐ／ｍｍ」で表す。本実施形態では、１２、６、または４（Ｌｐ／ｍｍ）の格子１４を用いる。なお、図３及び図４は、理解の容易のため、４ラインペアの例を示している。
【００２３】
移動装置１５は、ロッドレンズアレイ１を載置するテーブル１６と、このテーブル１６を光軸７と直交する方向に連続的に移動させるモータや減速機構等から構成された駆動部１７とを備えている。
ロッドレンズアレイ１は、ロッドレンズ１ａの長手方向（軸方向）が光軸７と平行になり、照明装置１０側からの測定光がロッドレンズ１ａを通過するようにテーブル１６に載置される。駆動部１７によってテーブル１６が移動することにより、測定光が各ロッドレンズ１ａを順次に通過する。
【００２４】
受光装置１８は、光センサ（受光素子）からなる。光センサは、ＣＣＤセンサやＣＭＯＳセンサから構成され、ロッドレンズアレイ１からの検査光の強度を検出し、コントローラ１９に出力するように構成されている。
【００２５】
コントローラ１９は、ＣＰＵ，制御プログラム等を記憶したメモリ等からなるマイクロコンピュータで構成されており、波長選択機構１２の切替部１２ｃ，移動装置１５の駆動部１７，受光装置１８等に接続されている。
コントローラ１９は、制御プログラムに応じて、切替部１２ｃを駆動して所望の光学フィルタ１２ａ，１２ｂに選択的に切替える。また、コントローラ１９は、駆動部１７を駆動して、所定速度でテーブル１６を移動させる。
【００２６】
また、コントローラ１９は、受光装置１８からの検出信号に基づいて、光量レベルの時間変化（図４参照）を図示しない表示装置に表示すると共に、光量レベルの時間変化からＭＴＦを算出する。
コントローラ１９は、光量レベルの最大値（又は極大値）ｉｍａｘと、最小値（又は極小値）ｉｍｉｎとを検出し、これから次式に基づいて、コントラスト再現率であるＭＴＦを算出する。
【００２７】
0005618048.tif 000002
【００２８】
このＭＴＦは、値が高い程レンズの性能が良好であることを示す。
コントローラ１９は、ロッドレンズアレイ１の各移動部位に対してＭＴＦを算出し、これらＭＴＦ値からロッドレンズアレイ１の代表的なＭＴＦ値を算出する。代表的なＭＴＦ値としては、各部位のＭＴＦ値の平均値，ＭＴＦ値の最低値，特定部位のＭＴＦ値等であってよい。
【００２９】
次に、本実施形態のロッドレンズアレイの製造方法について説明する。
本実施形態では、まず、同じロットで製造された所定長さのロッドレンズを２枚のフレームで挟持し、レンズ長が設計上のレンズ長Ｚ0となるように加工して、１つ又は複数のテスト用のロッドレンズアレイ２を形成する。
【００３０】
したがって、使用されるロッドレンズは、設計上のレンズ長Ｚ0よりもわずかに長いものが用意され、これを用いてフレームにより挟持してレンズ組立体を製作し、レンズ長がＺ0となるように、切削及び研磨加工を施すことにより、ロッドレンズアレイ２が製造される。
このロッドレンズアレイ２は、上述のようにレンズ長が設計上のレンズ長Ｚ0に設定されており、設計上は共役長がＴｃとなり、この共役長Ｔｃで最大のＭＴＦが得られることが期待される。本実施形態では、レンズ長Ｚ0が４．４ｍｍ，共役長Ｔｃが１０．０ｍｍに設定されている。
【００３１】
そして、後述のレンズ長決定方法により、ロッドレンズアレイ１が有するロッドレンズ１ａの最終的なレンズ長Ｚ0Cを算出する。このレンズ長決定方法では、１つ又は複数のテスト用のロッドレンズアレイ２に基づいて、ロッドレンズのレンズ長（軸方向長さ）の最終長さＺ0Cを算出する。
【００３２】
同じロットで製作されたレンズ組立体については、ロッドレンズアレイ１に含まれるロッドレンズ１ａが、算出した最終長さＺ0Cとなるように端面が切削および研磨されて、ロッドレンズアレイ１が製造される。
【００３３】
本実施形態のレンズ長決定方法では、まず、図５に示すように、格子１４と受光装置１８の受光位置Ｑとを、ロッドレンズアレイ１の設計上の共役長Ｔｃだけ離間させた状態で、ロッドレンズアレイ２を移動装置１５のテーブル１６上に載置する。このとき、ロッドレンズアレイ２のロッドレンズの軸方向を光軸７と平行に配置する。
したがって、格子１４の位置Ｐと受光装置１８の位置Ｑの中間位置を基準位置Ｏとすると、位置Ｐ及び位置Ｑは、光軸７上で基準位置Ｏを挟んで互いに等距離離間した対称な位置に位置する。ここでは、位置Ｐ及び位置Ｑは、それぞれ光軸７方向において基準位置ＯからＴｃ／２だけ離間した対称な位置となる（ＯＰ＝ＯＱ）。図中、符号８は、基準位置Ｏを通り光軸７と直交する線を表しており、ロッドレンズアレイは、この線８に沿って移動装置１５によって移動する。
【００３４】
ロッドレンズアレイ２は、ロッドレンズの長手方向の中央位置Ｎが、基準位置Ｏと一致するように配置しなければならない。図中、符号９は、中央位置Ｎを通り光軸７と直交し、且つ、線８と平行な線を表している。
しかしながら、図５に示すように、ロッドレンズアレイ２の載置された位置Ｎが、格子１４側又は受光装置１８側のどちらかに僅かにずれる場合がある。図５では、ロッドレンズアレイ２は、受光装置１８側にΔｄ（Δｄ＝ＮＯ＞０）だけずれている。
【００３５】
本実施形態では、このずれΔｄを補正するため、格子１４及び受光装置１８を固定した状態で、ロッドレンズアレイ２を図５において左右に少しずつ移動させる。そして、移動させた複数の位置の各々で、ロッドレンズアレイ２を光軸７と直交する方向に移動させてＭＴＦを測定する。例えば、左右で１ｍｍの範囲を１０μｍずつ移動させて、各移動位置でＭＴＦを測定する。
【００３６】
このようにしてＭＴＦを測定した場合、ロッドレンズアレイ２の中央位置Ｎが、格子１４と受光装置１８の中央位置である基準位置Ｏと一致したときに、最大のＭＴＦが観測される。したがって、測定の結果、最大のＭＴＦを示した移動位置にロッドレンズアレイ２をセットする。これにより、ロッドレンズアレイ２は、基準位置Ｏに配置される。
【００３７】
次いで、図６に示すように、ロッドレンズアレイ２を基準位置Ｏに保持して左右方向位置を固定した状態で、格子１４および受光装置１８が計測距離Ｄだけ離間し、且つ、基準位置Ｏ（すなわちロッドレンズアレイ２の中央位置Ｎ）から等距離（Ｄ／２）となるようにして、計測距離Ｄを格子１４と受光装置１８とを共役長の前後にわたって変化させる。すなわち、格子１４および受光装置１８を光軸７に沿って、互いに反対方向に等距離ずつ移動させる。これにより、格子１４および受光装置１８は、ロッドレンズアレイ２に対して対称な位置を保持した状態で、光軸７の方向において、ロッドレンズアレイ２を中心として互いに近づき又は離れる。この場合、例えば、図６において、左右方向に１ｍｍの範囲を１０μｍずつ移動させることができる（すなわち、Ｔｃ−１．０ｍｍ≦Ｄ≦Ｔｃ＋１．０ｍｍ）。本実施形態では、測定距離Ｄは、９．０ｍｍ〜１１．０ｍｍの範囲である。
【００３８】
そして、各計測距離Ｄだけ離間した状態で、ロッドレンズアレイ２を光軸７と直交する方向に移動させて、ロッドレンズアレイ２のＭＴＦを測定する。
この場合、照明装置１０の波長選択機構１２において、光学フィルタ１２ａ，１２ｂを切替えて、２種類の特定波長（本実施形態では、青色光と赤色光）についてＭＴＦを測定する。
【００３９】
図７に、このようにして測定されたＭＴＦと測定距離Ｄとの関係を示す。グラフ中、曲線Ａ，Ｂは、それぞれ青色光，赤色光で測定したＭＴＦを示している。
図７から分かるように、ＭＴＦ曲線Ａ，Ｂはそれぞれ測定距離ＤA，ＤBで最大値（極大値）をとるような凸状の山形形状となる。すなわち、各測定波長において、測定距離ＤA，ＤBで最良の光学特性（ＭＴＦ）が得られ、この測定距離から離れるにしたがって、光学特性は低下していく。
【００４０】
このように、ＭＴＦ曲線Ａ，Ｂは共に最大値をとるが、最大値となる測定距離は一致しない。図７の例では、計測距離ＤAは設計上の共役長Ｔｃよりも小さく、計測距離ＤBは設計上の共役長Ｔｃよりも大きい。また、ＭＴＦ曲線Ａ，Ｂは、測定距離ＤC（＞Ｔｃ）で交差している。
【００４１】
図７の例では、ＭＴＦの許容値がａ（例えば、６０％）に設定されている。好ましくは、ＭＴＦ曲線Ａ，Ｂが共役長Ｔｃで交差し、この交差点のＭＴＦが許容値ａ以上であれば、当該ロッドレンズアレイ２は良品となる。
【００４２】
しかしながら、図７の例におけるテスト用のロッドレンズアレイ２では、共役長Ｔｃにおいて、ＭＴＦ曲線Ａは許容値ａを上回っているが、ＭＴＦ曲線Ｂは許容値ａを下回っている。したがって、このロッドレンズアレイ２は、赤色光についてＭＴＦの設計上の要求を満たしていないため、従来では不良品として廃棄されることになる。
【００４３】
本実施形態では、青色光及び赤色光に有利な測定距離を、測定の結果得られた図７のＭＴＦ曲線Ａ，Ｂに基づいて選択する。図７のロッドレンズアレイ２では、測定距離ＤCでＭＴＦ曲線Ａ，Ｂが交差し、ＭＴＦ曲線Ａ，Ｂが共に同一のＭＴＦ値を有すると共に、このＭＴＦ値が許容値ａを上回っている。したがって、ロッドレンズの性能を最大に引き出す最適な光学特性を示す最適距離として、ＭＴＦ曲線Ａ，Ｂの交点の測定距離ＤCを選択する。
【００４４】
本実施形態では、レンズ長を変更したときにＭＴＦ曲線Ａ，Ｂが交差する測定距離が共役長Ｔｃと一致するようなレンズ長Ｚ0Cを算出する。すなわち、図７の例では、最適距離が、設計共役長Ｔｃと一致せず、共役長Ｔｃからわずかにずれている。このため、本実施形態では、このずれをなくすようなレンズ長Ｚ0Cを算出する。
本実施形態では、選択した測定波長ＤC，設計上の共役長Ｔｃおよび設計上のレンズ長Zoに基づいて、次式から新たなレンズ長Ｚ0Cを算出する。なお、式中Ｃは補正係数である。補正定数ＣはＴｃが０．１ｍｍ変化した際のＺｏの変化量を示したものである。
Ｚ0C＝（ＤC−Ｔｃ）×Ｃ＋Ｚ0
ここで、補正係数Ｃは、ロッドレンズの材料，屈折率分布等に応じて算出されたものであり、例えばＣ＝１３／１００である。Ｃの算出は以下のようにして行う。
Ｔｃ＝Ｚｏ＋２Ｌｏ
Ｌｏ＝−１／ｎ０ｇ・tanＺｏπ／Ｐ
Ｐ＝２π／ｇ
（ｎ０：中心屈折率、ｇ：屈折率分布定数、Ｚｏ：素子長、Ｐ：１周期長）
ここで、上記式より
Ｔｃ＝Ｚｏ＋２〔−１／ｎ０ｇ・tan（Ｚｏｇ／２）〕
ｎ０及びｇは定数なので、ｎ０＝１．４９７及びｇ＝０．８４とし、上記式に代入する。これにより、式はＴｃ及びＺｏを変数とする式に変形でき、補正定数が算出可能となる。
また、式中、（ＤC−Ｔｃ）×Ｃは、レンズ長の補正量に相当する。
【００４５】
例えば、設計上のレンズ長Ｚ0が４．４ｍｍ，設計上の共役長Ｔｃが１０．０ｍｍ、選択された測定距離ＤCが１０．２ｍｍであった場合、補正後のレンズ長Ｚ0Cは、４．４２６ｍｍとなる。
このように、新たなレンズ長Ｚ0Cの算出を、テスト用の複数のロッドレンズアレイ２について行い、これらを平均等して、最終的な加工寸法であるレンズ長Ｚ0Cを算出してもよい。
【００４６】
次いで、同じロットで得られたロッドレンズで製作したレンズ組立体（ロッドレンズアレイ）のレンズ端面を切削及び研磨加工して、レンズ長を、算出した補正後のレンズ長Ｚ0Cに形成して、ロッドレンズアレイ１を製造する。したがって、この場合、まず、設計上のレンズ長Ｚ0（４．４ｍｍ）よりも、長めのロッドレンズを用いてロッドレンズアレイを製作し、次いで、このロッドレンズアレイを切削及び研磨加工して、最終製品であるロッドレンズアレイ１を製造する。
【００４７】
図８に、このようにして製造されたロッドレンズアレイ１のＭＴＦ曲線Ａ’，Ｂ’を示す。図８に示すように、ＭＴＦ曲線Ａ，Ｂは、測定距離ＤA’，ＤB’で最大値をとり、設計上の共役長Ｔｃで交差する（Ｔｃ＝Ｄｃ’）。共役長ＴｃでのＭＴＦ値は、共に許容値ａを超えている。
【００４８】
したがって、当該ロットで製造されたロッドレンズを設計上のレンズ長Ｚ0（この場合、４．４ｍｍ）としてロッドレンズアレイ１を製造した場合には、相当数のロッドレンズアレイ１で、赤色検査光について、共役長ＴｃにおけるＭＴＦ値が許容値ａを下回り、歩留まりが低下する。
しかしながら、レンズ長をＺ0Cに補正してロッドレンズアレイ１を製造した場合には、ほとんどのロッドレンズアレイ１で共役長ＴｃにおけるＭＴＦ値が許容値ａを上回り、歩留まりを高めることができる。
【００４９】
このように、設計上の共役長Ｔｃを有するロッドレンズアレイ１の製造において、予め各ロットに対して最適なレンズ長Ｚ0Cを求め、レンズ長をこのレンズ長Ｚ0Cに補正することにより、歩留まりの高い製品を得ることが可能となる。
【００５０】
なお、上記実施形態では、一旦、ロッドレンズアレイ２を製作して、これを用いてＭＴＦを測定し、新たなレンズ長Ｚ0Cを算出していたが、これに限らず、レンズ長Ｚ0を有する単体のロッドレンズを用いてＭＴＦを測定し、新たなレンズ長Ｚ0Cを算出するように構成してもよい。
【符号の説明】
【００５１】
１    ロッドレンズアレイ
１ａ  ロッドレンズ
１ｂ  フレーム
２    ロッドレンズアレイ
７    光軸
１０    照明装置
１１    光源
１２    波長選択機構
１２ａ，１２ｂ  光学フィルタ
１２ｃ  切替部
１３    拡散板
１４    格子
１５    移動装置
１６    テーブル
１７    駆動部
１８    受光装置
１９    コントローラ
Ｍ    測定装置
【図１】
0005618048.tif 000003
【図２】
0005618048.tif 000004
【図３】
0005618048.tif 000005
【図４】
0005618048.tif 000006
【図５】
0005618048.tif 000007
【図６】
0005618048.tif 000008
【図７】
0005618048.tif 000009
【図８】
0005618048.tif 000010