(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転中心回りに回転する載置台を有しており、該載置台に載置された基板の位置合わせを行う基板位置決め装置と、
前記基板位置決め装置との間で前記基板の受渡を行う複数のロボットと、
前記ロボットごとにそれぞれ設けられ、当該ロボットの動作制御を行うロボット制御装置と
を備え、
第１のロボットおよび前記基板位置決め装置が接続される第１のロボット制御装置は、
少なくとも前記回転中心と位置決めが完了した前記基板の中心位置との絶対的なずれ量を前記基板位置決め装置から取得する取得部と、
前記取得部によって取得された前記絶対的なずれ量に基づく補正情報を、第２のロボットが接続され、前記基板位置決め装置とは接続されていない第２のロボット制御装置に対して送信する送信部と
を備え、
前記第２のロボット制御装置は、
前記第１のロボット制御装置から受信した前記補正情報に基づいて前記第２のロボットが前記位置決め装置へアクセスする場合の教示データを補正し、補正された前記教示データに基づいて動作させる動作指示部
を備えることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記第１のロボット制御装置は、
前記取得部によって取得された前記絶対的なずれ量を、前記第２のロボット制御装置に接続される第２のロボットからみた相対的なずれ量へ補正する補正部
を備え、
前記送信部は、
前記補正部によって補正された前記相対的なずれ量を前記補正情報として前記第２のロボット制御装置へ送信すること
を特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記第１のロボット制御装置は、
前記基板位置決め装置と前記第２のロボットとの相対位置に関する位置情報を記憶する記憶部
を備え、
前記補正部は、
前記位置情報に基づいて前記絶対的なずれ量を前記相対的なずれ量へ補正すること
を特徴とする請求項２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記取得部は、
前記絶対的なずれ量として、前記回転中心および前記中心位置間の距離と、前記回転中心および前記中心位置を結ぶ直線が所定の基準軸となす角度とを取得すること
を特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
開示の実施形態は、搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハや液晶パネルといった薄板状ワークを搬送するロボットや薄板状ワークの方向性を検知して整える（アライメントする）アライナ装置が知られている。以下では、かかるアライナ装置を「基板位置決め装置」と記載する。
【０００３】
局所クリーン化された搬送室内には、スループット向上のために複数のロボットが設置されることがある。また、かかる搬送室内には、ロボットが複数台設置されていても基板位置決め装置は１台のみ設置されることが多い。
【０００４】
このような構成の搬送室を管理し、ロボットの動作制御を行うロボット制御装置によって、複数台のロボットを制御する技術が提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−２４９７２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記した従来の搬送システムでは、１台のロボット制御装置によって複数台のロボットの制御を行うため、ロボット制御装置に負荷がかかりすぎてしまうという問題があった。
【０００７】
また、ロボットや基板位置決め装置を増設した場合には、ロボット制御装置の制御手法について変更する必要があるため、システム構成ごとにカスタマイズしなければならなかった。
【０００８】
開示の技術は、上記に鑑みてなされたものであって、システム構成の変更に容易に対応することができる搬送システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
実施形態の一態様に係る搬送システムは、基板位置決め装置と、複数のロボットと、ロボット制御装置とを備える。前記基板位置決め装置は、回転中心回りに回転する載置台を有しており、該載置台に載置された基板の位置合わせを行う。前記複数のロボットは、前記基板位置決め装置との間で前記基板の受渡を行う。前記ロボット制御装置は、前記ロボットごとにそれぞれ設けられ、当該ロボットの動作制御を行う。また、第１のロボットおよび前記基板位置決め装置が接続される第１のロボット制御装置は、取得部と、送信部とを備える。前記取得部は、前記回転中心と位置決めが完了した前記基板の中心位置との絶対的なずれ量を前記基板位置決め装置から取得する。そして、前記送信部は、前記取得部によって取得された前記絶対的なずれ量に基づく補正情報を、第２のロボットが接続され、前記基板位置決め装置とは接続されていない第２のロボット制御装置に対して送信する。前記第２のロボット制御装置は、前記第１のロボット制御装置から受信した前記補正情報に基づいて前記第２のロボットが前記位置決め装置へアクセスする場合の教示データを補正し、補正された前記教示データに基づいて動作させる動作指示部を備える。
【発明の効果】
【００１０】
実施形態の一態様によれば、システム構成の変更に容易に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本実施形態に係る搬送システムの模式上面図である。
【図２】図２は、本実施形態に係るロボットの模式斜視図である。
【図３】図３は、本実施形態に係る搬送システムのブロック図である。
【図４】図４は、基板位置決め装置の模式上面図である。
【図５】図５は、ティーチング位置を示す図である。
【図６】図６は、中心位置のずれ量を示す図である。
【図７】図７は、補正処理の処理手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本願の開示する搬送システムの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１３】
また、以下では、ロボットを用いて半導体ウェハといった薄板状ワークを搬送する搬送システムを例に挙げて説明することとし、かかる「薄板状ワーク」を「ウェハ」と記載する。また、ウェハを保持するロボットの「ロボットハンド」については、「ハンド」と記載する。
【００１４】
まず、本実施形態に係る搬送システム１について図１を用いて説明する。図１は、本実施形態に係る搬送システム１の模式上面図である。
【００１５】
ここで、従来の搬送システムでは、１台のロボット制御装置によって複数台のロボットや基板位置決め装置の制御を行っていた。このため、ロボット制御装置に負荷がかかりすぎてしまうという問題があった。また、ロボットや基板位置決め装置を増設した場合には、ロボット制御装置の制御手法について変更する必要があるため、システム構成ごとにカスタマイズしなければならなかった。
【００１６】
そこで、本実施形態に係る搬送システム１では、図１に示すように各ロボット１０、２０にそれぞれロボット制御装置３０、４０を設け、各ロボット１０、２０の動作制御をそれぞれのロボット制御装置３０、４０でコントロールすることとし、かつ第１のロボット制御装置３０は、基板位置決め装置５０の動作制御も同時に行う。そして、第１のロボット制御装置は、基板位置決め装置からの情報を、他のロボット制御装置へ送出可能とした。
【００１７】
図１に示すように、本実施形態に係る搬送システム１は、上位装置６０と、第１のロボット制御装置３０と、第２のロボット制御装置４０と、第１のロボット１０と、第２のロボット２０と、基板位置決め装置５０とを備える。
【００１８】
上位装置６０には、第１のロボット制御装置３０および第２のロボット制御装置４０が接続されており、互いに通信可能である。第１のロボット制御装置３０には、第１のロボット１０および基板位置決め装置５０が接続されており、また、第２のロボット制御装置４０には、第２のロボット２０が接続されており、それぞれ互いに通信可能である。さらに、第１のロボット制御装置３０には、第２のロボット制御装置４０が接続されており、かかる２台の装置もまた互いに通信可能である。
【００１９】
上位装置６０は、搬送システム１の全体制御や管理を行う装置である。たとえば、上位装置６０は、基板位置決め装置５０に載置されたウェハ３を搬出し、搬送室２に並設される処理室６へ移載するよう第１のロボット制御装置３０を介して第１のロボット１０へ指示する。
【００２０】
第１のロボット制御装置３０は、第１のロボット１０の動作制御を行うコントローラであり、第２のロボット制御装置４０は、第２のロボット２０の動作制御を行うコントローラである。また、第１のロボット制御装置３０は、ウェハ３の位置決めを行う基板位置決め装置５０の動作制御も同時に行う。
【００２１】
搬送室２には、ウェハ３を搬送する２台の第１のロボット１０、第２のロボット２０と、基板位置決め装置５０とが配設される。なお、搬送室２は、ＥＦＥＭ（Equipment  Front  End  Module）と呼ばれるクリーンルームのことである。
【００２２】
かかる搬送室２は、気体を浄化するフィルタ（図示せず）を上部に備え、このフィルタにより浄化されてダウンフローされる清浄気流によって搬送室２内が局所クリーン化される。なお、第１のロボット制御装置３０および第２のロボット制御装置４０は、搬送室２内に配設されてもよい。
【００２３】
各ロボット１０、２０は、それぞれのロボット１０、２０に接続されるロボット制御装置３０、４０からの搬送指示に従い、搬送室２に並設される収納容器５からウェハ３を取り出して基板位置決め装置５０へ載置したり、ウェハ３を目的の位置へと搬送する。
【００２４】
ここでは、かかる収納容器５は、複数のウェハ３を高さ方向に多段に収納することができる箱状の容器であり、具体的には、ＳＥＭＩ規格に既定されているＦＯＵＰ（Front-Opening  Unified  Pod）と呼ばれる装置のことである。
【００２５】
搬送室２に配設される基板位置決め装置５０は、回転中心回りに回転する載置台を有しており、ウェハ３が載置された際、ウェハ３の位置決めを行うとともに、位置決めが完了したウェハ３の中心位置を検出し、第１のロボット制御装置３０へ送信する。なお、基板位置決め装置５０の詳細については、図４を用いて後述する。
【００２６】
一方、第１のロボット制御装置３０は、基板位置決め装置５０から受信した位置決めが完了したウェハ３の中心位置と載置台の回転中心との絶対的なずれ量に基づく補正情報を算出し、算出した補正情報に基づいてウェハ３の搬出位置を補正する。
【００２７】
そして、第１のロボット１０によって基板位置決め装置５０に載置されたウェハ３を搬出させる際に、第１のロボット制御装置３０は、補正したウェハ３の搬出位置へ第１のロボット１０を動作させる。
【００２８】
一方、第２のロボット２０によって基板位置決め装置５０に載置されたウェハ３を搬出させる際には、搬送システム１は、以下に示すように補正したウェハ３の搬出位置へ第２のロボット２０を動作させる。
【００２９】
ここで、基板位置決め装置５０は、第１のロボット制御装置３０にしか接続されていない。したがって、第１のロボット制御装置３０は、第１のロボット１０に対する第２のロボット２０の相対位置を予め記憶させておく。
【００３０】
そして、第１のロボット制御装置３０は、基板位置決め装置５０から受信した位置決めが完了したウェハ３の中心位置と載置台の回転中心との絶対的なずれ量に基づく補正情報を算出する。
【００３１】
つづいて、第１のロボット制御装置３０は、かかる相対位置と算出した補正情報とに基づいて第２のロボット２０に対するウェハ３の搬出位置を補正し、補正した搬出位置を第２のロボット制御装置４０へ送信する。一方、第２のロボット制御装置４０では、受信した第２のロボット２０に対するウェハ３の搬出位置へ第２のロボット２０を動作させる。
【００３２】
これにより、第２のロボット制御装置４０は、基板位置決め装置５０と接続されていなくとも、位置決めが完了したウェハ３の中心位置と載置台の回転中心とのずれ量を加味した正確な位置へ第２のロボット２０を動作させることができる。
【００３３】
このように、本実施形態に係る搬送システムでは、ロボット制御装置は、ロボットごとにそれぞれ設けられ、各ロボット制御装置がそれぞれに接続されるロボットの動作制御を行うこととした。また、第１のロボットおよび基板位置決め装置が接続される第１のロボット制御装置は、回転中心と位置決めが完了した基板の中心位置との絶対的なずれ量を基板位置決め装置から取得する。そして、第１のロボット制御装置は、取得された絶対的なずれ量に基づく補正情報を第２のロボットが接続される第２のロボット制御装置に対して送信する。第２のロボット制御装置は、受信した補正情報に基づいてウェハの搬出位置を補正し、補正したウェハの搬出位置へ第２のロボットを動作させる。
【００３４】
これにより、本実施形態に係る搬送システムは、ロボット制御装置の負荷を分散する事により、各ロボット制御装置にかかる負荷を軽減することができる。また、本実施形態に係る搬送システムは、ロボットや基板位置決め装置を増設した場合であってもシステム構成ごとにカスタマイズする必要がないので、システム構成の変更に容易に対応することができる。
【００３５】
なお、ここでは、２台のロボットが１台の基板位置決め装置を共有するシステム構成としたが、これに限定されるものではなく、たとえば、３台以上のロボットが１台の基板位置決め装置を共有する構成としてもよい。
【００３６】
次に、本実施形態に係る第１のロボット１０の詳細について図２を用いて説明する。図２は、本実施形態に係る第１のロボット１０の模式斜視図である。なお、同図では説明を容易にするために一部の形状を単純化して示す。また、第２のロボット２０についても同じ構成とするので、第２のロボット２０の説明は省略する。
【００３７】
図２に示すように、第１のロボット１０は、鉛直な軸を中心として水平方向に旋回する２つのアームを備える水平多関節ロボットである。具体的には、第１のロボット１０は、本体部１２と、アーム部１３とを備える。
【００３８】
アーム部１３は、第１アーム部１４と、第２アーム部１５と、被搬送物であるウェハ３を保持可能なハンド１６とを備える。また、アーム部１３は、昇降機構を備える本体部１２の上部で水平方向に回転可能に支持される。
【００３９】
具体的には、本体部１２の上部には、第１アーム部１４の基端部が回転可能に連結され、第１アーム部１４の先端部の上部には、第２アーム部１５の基端部が回転可能に連結される。そして、第２アーム部１５の先端部には、ハンド１６が回転可能に連結される。
【００４０】
これらは互いに回転自在であり、モータや減速機等からなる機構を用いて回転する。なお、減速機やモータといった機構は、本体部１２に備えることとしてもよいし、アーム部１３に収納されてもよい。
【００４１】
第１のロボット１０は、第１アーム部１４、第２アーム部１５およびハンド１６を回転動作させることによって、ハンド１６を目的の位置へと移動させる。また、第１のロボット１０は、第１アーム部１４と第２アーム部１５とを同期的に動作させることで、ハンド１６を直線的に移動させることができる。
【００４２】
本体部１２に備える昇降機構は、直動ガイド、ボールネジおよびモータを含んで構成され、モータの回転運動を直線運動へ変換することによってアーム部１３を鉛直方向に沿って昇降させる。なお、昇降機構は、鉛直方向に沿って設けられるベルトによってアーム部１３を昇降させてもよい。
【００４３】
かかる構成により、第１のロボット１０は、アーム部１３を昇降させたり、回転させたりしながら、基板位置決め装置５０からウェハ３を搬出および搬送し、所定の処理室６へ移載したり、ウェハ３を目的の位置へと搬送することができる。
【００４４】
処理室６とは、搬送室２に併設され、たとえば、ＣＶＤ（Chemical  Vapor  Deposition）、露光、エッチング、アッシングといった所定の処理をウェハ３に対して行う装置が設置される部屋である。
【００４５】
なお、ここでは、アーム部１３が１本である第１のロボット１０について説明したが、アーム部１３が２本である双腕ロボットでもよいし、アーム部１３が３本以上設けられる構成としてもよい。双腕ロボットの場合、一方のアーム部１３を用いて所定の搬送位置からウェハ３を取り出しつつ、他方のアーム部１３を用いてかかる搬送位置へ新たなウェハ３を搬入する等、２つの作業を同時並行で行うことができる。
【００４６】
また、第１のロボット１０は、１本の第２アーム部１５に、２本またはそれ以上のハンド１６が設けられる構成であってもよい。この場合、２本以上のハンド１６は同軸で互いに自由に回転可能に設けられる。
【００４７】
次に、本実施形態に係る搬送システム１の構成について図３を用いて説明する。
図３は、本実施形態に係る搬送システム１のブロック図である。
【００４８】
図３に示すように、搬送システム１は、上位装置６０と、第１のロボット制御装置３０と、第２のロボット制御装置４０と、第１のロボット１０と、第２のロボット２０と、基板位置決め装置５０とを備える。上位装置６０は、搬送システム１の全体制御や管理を行う装置である。
【００４９】
基板位置決め装置５０は、ウェハ３が載置された際、ウェハ３の位置決めを行う。ここで、基板位置決め装置５０が行うウェハ３の位置決めについて、図４を用いて説明しておく。図４は、基板位置決め装置５０の模式上面図である。なお、同図では説明を容易にするために一部の形状を単純化して示す。以下では同図右上に示すような座標軸を適宜用いて説明を行うこととする。
【００５０】
図４に示すように、基板位置決め装置５０は、載置台５１と、センサ部５２とを備える。載置台５１は、載置されたウェハ３とともに、回転中心Ｃ回りに回転する（同図の矢印参照）。なお、載置台５１は、モータや減速機等からなる機構を用いて回転する。
【００５１】
なお、図示していないが、基板位置決め装置５０は、載置台５１にウェハ３を吸着する吸着部を備えることとしたうえで、ウェハ３を所定の保持力（すなわち、吸着力）をもって保持し、遠心力によるずれを防いで位置決めの精度を高めることとしてもよい。また、基板位置決め装置５０は、ウェハ３の周縁部を把持し、ウェハ３を回転させる、いわゆるエッジグリップ式の構成としてもよい。
【００５２】
センサ部５２は、たとえば、ウェハ３の周縁に設けられた切り欠き（以下、「ノッチ４」と記載する）などを検出する検出部である。具体的には、本実施形態では、光学式センサを用いてセンサ部５２を構成した場合を例に挙げて説明する。
【００５３】
センサ部５２は、投光部（図示せず）と受光部（図示せず）とを備え、投光部と受光部とは、ウェハ３の周縁部が通過する間隙をおいてＺ軸方向に対向配置され、投光部から照射される光を受光部で受光する。
【００５４】
そして、センサ部５２は、投光部から照射される光を遮りつつウェハ３が回転する際の受光部で受光する光量の変化に基づいてノッチ４を検出する。なお、ここでは、光学式センサを用いる場合について説明したが、ウェハ３を撮像し、かかる撮像画像に基づいてもよい。
【００５５】
なお、基板位置決め装置５０からウェハ３を搬出および搬送し、所定の処理室６へ移載する際、ウェハ３の結晶軸方向を揃える必要がある。このため、基板位置決め装置５０は、ウェハ３を搬出するロボット１０、２０ごとに所定の方向へウェハ３のノッチ４を向けておく必要がある。
【００５６】
したがって、基板位置決め装置５０は、センサ部５２によってノッチ４を検出したならば、載置台５１に載置されたウェハ３を搬出するロボット１０、２０に対して最適な位置へ検出したノッチ４を移動させる。以下では、この動作を「ノッチ位置合わせ」と記載する。
【００５７】
さらに、基板位置決め装置５０は、ノッチ位置合わせが完了したウェハ３の中心位置を検出し、検出したウェハ３の中心位置を第１のロボット制御装置３０へ送信する。このように、基板位置決め装置５０は、ウェハ３の位置決め処理を行う。
【００５８】
図３の説明に戻り、搬送システム１の構成についての説明を続ける。第１のロボット制御装置３０は、位置取得部３１と、補正部３２と、搬出位置送信部３３と、記憶部３４とを備え、第１のロボット１０およびウェハ３の位置決めを行う基板位置決め装置５０の動作制御を行う。
【００５９】
記憶部３４は、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）および不揮発性メモリといった記憶デバイスで構成される記憶部である。また、この記憶部３４は、位置情報３４ａを記憶する。
【００６０】
位置情報３４ａは、第１のロボット１０に対する第２のロボット２０の相対位置を示す情報であり、たとえば、第１のロボット１０から第２のロボット２０までの距離および角度を位置情報３４ａとする。
【００６１】
位置取得部３１は、ノッチ位置合わせが完了したウェハ３の中心位置を基板位置決め装置５０から受信し、補正部３２へ渡す処理を行う。
【００６２】
補正部３２は、位置取得部３１から受け付けたノッチ位置合わせが完了したウェハ３の中心位置と、載置台５１の回転中心Ｃとの絶対的なずれ量に基づく補正情報を算出する。そして、補正部３２は、第１のロボット１０によって基板位置決め装置５０に載置されたウェハ３を搬出させる際には、算出した補正情報に基づいて第１のロボット１０に対するウェハ３の搬出位置を補正する。その後、第１のロボット制御装置３０は、補正したウェハ３の搬出位置に基づいて第１のロボット１０を動作させ、基板位置決め装置５０に載置されたウェハ３を搬出させる。
【００６３】
ここで、中心位置のずれ量について図５および図６を用いて説明しておく。図５は、ティーチング位置を示す図であり、図６は、中心位置のずれ量を示す図である。
【００６４】
搬送システム１では、ロボット１０、２０を制御する各ロボット制御装置３０、４０に予めティーチングされる教示データを記憶させる。教示データには、ウェハ３を搬送する目的の位置を示す情報がティーチング位置として記憶される。たとえば、教示データは、第１のロボット１０から収納容器５までのティーチング位置や、第２のロボット２０から処理室６までのティーチング位置等を含む。
【００６５】
第１のロボット制御装置３０に記憶される教示データには、第１のロボット１０から基板位置決め装置５０までのティーチング位置が含まれる。
【００６６】
具体的には、かかるティーチング位置は、図５に示すように、第１のロボット１０の所定の基準点Ｐから載置台５１の回転中心Ｃに対してアクセスする方向であり、距離Ｌ１および角度θ１で示すベクトルＰＣとする。なお、ここでは、ＸＹ座標の原点を載置台５１の回転中心Ｃとし、角度θ１は正方向側のＹ軸からの角度とした。
【００６７】
また、第２のロボット制御装置４０に記憶される教示データには、第２のロボット２０から基板位置決め装置５０までのティーチング位置が含まれる。かかるティーチング位置は、図５に示すように、第２のロボット２０の所定の基準点Ｑから載置台５１の回転中心Ｃに対してアクセスする方向であり、距離Ｌ２および角度θ２で示すベクトルＱＣとする。
【００６８】
基板位置決め装置５０に載置されるウェハ３の中心が載置台５１の回転中心Ｃと一致している場合には、各ロボット制御装置３０、４０は、それぞれの装置に記憶されるティーチング位置に基づいて動作させる。
【００６９】
しかし、図６に示すように、ウェハ３の中心Ｃ０が載置台５１の回転中心Ｃからずれて載置された場合、基板位置決め装置５０によってノッチ位置合わせが完了しても、ウェハ３の中心Ｃ０と載置台５１の回転中心Ｃとはずれが生じる。なお、破線で示したウェハ３ａは、ティーチング位置に載置されるウェハを示す。
【００７０】
載置台５１の回転中心Ｃと、実際に載置されるウェハ３の中心Ｃ０とのずれ量に基づく補正情報は、距離Ｌ０および角度θ０で示すベクトルＣＣ０となる。そして、補正部３２は、かかる補正情報（Ｌ０、θ０）に基づいて第１のロボット１０に対するティーチング位置（ベクトルＰＣ）を補正し、搬出位置（ベクトルＰＣ０）を算出する。
【００７１】
その後、第１のロボット制御装置３０は、補正部３２によって補正された搬出位置（ベクトルＰＣ０）へ第１のロボット１０を動作させることによって、基板位置決め装置５０に載置されるウェハ３を搬出および搬送する。
【００７２】
なお、ウェハ３の中心Ｃ０がティーチング位置の中心Ｃとずれている場合、ノッチ位置合わせされたノッチ４の方向によって最終的なウエハ３の中心位置が変化する。具体的には、ティーチング位置に載置されるウエハ３ａをノッチ位置４ａから角度θ１だけずらして位置決めする場合においては、中心位置がティーチング位置の中心Ｃとずれたウエハ３において、中心位置が、距離Ｌ０、角度θ０だけずれた位置Ｃ０となる。したがって、補正部３２では、かかる角度差θ１を加味してティーチング位置を補正することとなる。
【００７３】
図３の説明に戻り、搬送システム１の構成についての説明を続ける。補正部３２は、第２のロボット２０によって基板位置決め装置５０に載置されたウェハ３を搬出させる際には、以下のように第２のロボット２０に対するウェハ３の搬出位置を補正する。
【００７４】
まず、補正部３２は、第１のロボット１０に対する際と同様に、基板位置決め装置５０から受信した位置決めが完了したウェハ３の中心位置と載置台５１の回転中心Ｃとの絶対的なずれ量に基づく補正情報（Ｌ０、θ０）を算出する。
【００７５】
そして、補正部３２は、算出した補正情報（Ｌ０、θ０）と位置情報３４ａとに基づいて第２のロボット２０に対するウェハ３の搬出位置（ベクトルＱＣ）を補正し、搬出位置（ベクトルＱＣ０）を算出する。なお、位置情報３４ａは、第１のロボット１０に対する第２のロボット２０の相対位置を示す。また、補正部３２は、算出した搬出位置（ベクトルＱＣ０）を搬出位置送信部３３へ渡す処理を併せて行う。
【００７６】
搬出位置送信部３３は、補正部３２から受け付けた第２のロボット２０に対するウェハ３の搬出位置（ベクトルＱＣ０）を、第２のロボット制御装置４０の搬出位置受信部４１へ送信する。
【００７７】
第２のロボット制御装置４０は、搬出位置受信部４１と、動作指示部４２とを備え、第２のロボット２０の動作制御を行う。搬出位置受信部４１は、搬出位置送信部３３から第２のロボット２０に対するウェハ３の搬出位置（ベクトルＱＣ０）を受信する。
【００７８】
動作指示部４２は、搬出位置受信部４１によって受信した第２のロボット２０に対するウェハ３の搬出位置（ベクトルＱＣ０）に基づいて第２のロボット２０を動作させ、基板位置決め装置５０に載置されるウェハ３を搬出させる。
【００７９】
なお、ロボット制御装置３０、４０によってロボット１０、２０を動作させる際、搬送位置やティーチング位置を、ＸＹ平面上の位置のみについて説明した。しかし、実際には、高さ方向（Ｚ軸方向）へもロボット１０、２０を動作させるが、ここでは、高さ方向については説明を省略した。
【００８０】
次に、第１のロボット制御装置３０が実行する補正処理の詳細について、図７を用いて説明する。図７は、補正処理の処理手順を示すフローチャートである。
【００８１】
図７に示すように、第１のロボット制御装置３０は、基板位置決め装置５０へノッチ４の検出をするよう指示する（ステップＳ１０１）。また、第１のロボット制御装置３０では、基板位置決め装置５０に載置されたウェハ３を搬出させるロボットが第２のロボット２０であるか否かを判定する（ステップＳ１０２）。
【００８２】
そして、ウェハ３を搬出させるロボットが第２のロボット２０である場合（ステップＳ１０２，Ｙｅｓ）、第１のロボット制御装置３０は、基板位置決め装置５０へ第２のロボット２０に対するノッチ位置合わせをするよう指示する（ステップＳ１０３）。
【００８３】
そして、位置取得部３１は、基板位置決め装置５０からノッチ位置合わせが完了したウェハ３の中心位置Ｃ０を取得する（ステップＳ１０４）。また、補正部３２は、位置取得部３１によって取得されたウェハ３の中心位置Ｃ０と載置台５１の回転中心Ｃとの絶対的なずれ量に基づく補正情報（Ｌ０、θ０）を算出する（ステップＳ１０５）。
【００８４】
その後、補正部３２は、算出した補正情報（Ｌ０、θ０）と、位置情報３４ａとに基づいて第２のロボット２０に対するウェハ３の搬出位置（ベクトルＱＣ）を補正し（ステップＳ１０６）、搬出位置（ベクトルＱＣ０）を算出する。
【００８５】
そして、搬出位置送信部３３は、補正部３２によって補正された第２のロボット２０に対するウェハ３の搬出位置（ベクトルＱＣ０）を、第２のロボット制御装置４０の搬出位置受信部４１へ送信し（ステップＳ１０７）、一連の処理を終了する。
【００８６】
一方、ウェハ３を搬出させるロボットが第２のロボット２０ではない場合（ステップＳ１０２，Ｎｏ）、第１のロボット制御装置３０は、基板位置決め装置５０へ第１のロボット１０に対するノッチ位置合わせをするよう指示する（ステップＳ１０８）。
【００８７】
そして、位置取得部３１は、基板位置決め装置５０からノッチ位置合わせが完了したウェハ３の中心位置Ｃ０を取得する（ステップＳ１０９）。また、補正部３２は、位置取得部３１によって取得されたウェハ３の中心位置Ｃ０と載置台５１の回転中心Ｃとの絶対的なずれ量に基づく補正情報（Ｌ０、θ０）を算出する（ステップＳ１１０）。
【００８８】
その後、補正部３２は、算出した補正情報（Ｌ０、θ０）と、位置情報３４ａとに基づいて第１のロボット１０に対するウェハ３の搬出位置（ベクトルＰＣ）を補正し（ステップＳ１１１）、搬出位置（ベクトルＰＣ０）を算出する。
【００８９】
そして、第１のロボット制御装置３０は、補正部３２によって補正された搬出位置（ベクトルＰＣ０）へウェハ３を搬出させるよう第１のロボット１０に指示することによって、基板位置決め装置５０に載置されたウェハ３を搬出させる（ステップＳ１１２）。その後、第１のロボット制御装置３０は、一連の処理を終了する。
【００９０】
なお、ここでは、ノッチ４の検出、ノッチ位置合わせおよびウェハ３の搬出を第１のロボット制御装置３０が指示することとしたが、これらの指示を上位装置６０で行うこととしてもよい。
【００９１】
なお、本実施形態に係る搬送システム１では、第１のロボット制御装置３０が、第２のロボット２０に対するウェハ３の搬送位置（ベクトルＱＣ）を補正することとした。しかし、これに限定されるものではなく、たとえば、第１のロボット制御装置３０は、算出した補正情報（Ｌ０、θ０）を第２のロボット制御装置４０へ送信する。
【００９２】
一方、第２のロボット制御装置４０は、第１のロボット制御装置３０から受信した補正情報（Ｌ０、θ０）に基づいて第２のロボット２０に対するウェハ３の搬送位置（ベクトルＱＣ０）を補正してもよい。これにより、第１のロボット制御装置３０は、第１のロボット１０に対する第２のロボット２０の相対位置を示す位置情報３４ａを記憶する必要がない。
【００９３】
上述したように、本実施形態に係る搬送システムは、複数のロボットにそれぞれロボット制御装置を設け、各ロボットの動作制御をそれぞれのロボット制御装置でコントロールすることとした。また、所定のロボット制御装置は、基板位置決め装置の動作制御も同時に行う。
【００９４】
このようにすることによって、本実施形態に係る搬送システムは、ロボット制御装置の負荷を分散する事により、各ロボット制御装置にかかる負荷を軽減することができる。また、本実施形態に係る搬送システムは、ロボットや基板位置決め装置を増設した場合であってもシステム構成ごとにカスタマイズする必要がないので、システム構成の変更に容易に対応することができる。
【００９５】
さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。
【符号の説明】
【００９６】
１      搬送システム
２      搬送室
３、３ａ  ウェハ
４、４ａ  ノッチ
５      収納容器
６      処理室
１０    第１のロボット
１２    本体部
１３    アーム部
１４    第１アーム部
１５    第２アーム部
１６    ハンド
２０    第２のロボット
３０    第１のロボット制御装置
３１    位置取得部
３２    補正部
３３    搬出位置送信部
３４    記憶部
３４ａ  位置情報
４０    第２のロボット制御装置
４１    搬出位置受信部
４２    動作指示部
５０    基板位置決め装置
６０    上位装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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