(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
両端が開口する筒状の回転軸、前記回転軸に固定されたロータ及び前記ロータの外側に配置されたステータを有するモータ部と、
前記回転軸の一端に固定されたボールネジナット及び前記ボールネジナットと螺合して一部が前記回転軸内を延びるボールネジからなるボールネジ機構と、
前記回転軸の軸線方向の一方側に位置して前記ボールネジが前記軸線方向に移動するのを許容するように構成された第１のエンドブラケットと、前記軸線方向の他方側に位置して前記回転軸の他端が回転可能に突出するのを許容するように構成された第２のエンドブラケットとを備えて、前記モータ部及び前記ボールネジ機構のためのケーシングを構成するケーシング構造体と、
前記回転軸の前記他端に隣接して前記回転軸に固定された回転ブレーキディスクと、前記回転ブレーキディスクに接触して前記回転軸の回転を停止させる固定ブレーキディスクと、通電されると前記回転ブレーキディスクと前記固定ブレーキディスクとを接触させるか又は引き離す電磁力を発生する電磁コイルとを備え、固定部品が前記第２のエンドブラケットに固定された電磁ブレーキ装置と、
前記第２のエンドブラケットに固定されて前記電磁ブレーキ装置を覆うブレーキカバーとを備え、
前記電磁ブレーキ装置は、前記回転軸の前記他端が貫通するように中空構造を有しており、
前記電磁ブレーキ装置を貫通した前記回転軸の前記他端には、前記回転軸の径方向に延びる環状のフランジ部が設けられており、
前記ブレーキカバーの内壁部には、前記フランジ部を収容し且つ前記フランジ部の外周面との間にラビリンス構造の第１の隙間を形成する筒部が一体に設けられていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
前記ブレーキカバーの前記内壁部には、前記回転軸の前記他端において前記軸線方向に開口する開口部内に入り、前記回転軸の内壁面との間にラビリンス構造の第２の隙間を形成する突出部が一体に設けられている請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項３】
前記ブレーキカバーには前記回転軸の他端が貫通する貫通孔が形成されており、
前記ボールネジは、前記ブレーキカバーを貫通する前記回転軸の前記他端において前記軸線方向に開口する開口部から延び出る長さを有している請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転運動を直線運動に変換するリニアアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特開２００９−１１８７３２号公報の図１には、モータの回転運動により回転する中空状の回転軸３０３と、回転軸３０３の長手方向の一端３０３Ａに固定されたボールネジナット３１５と、このボールネジナット３１５に螺合するボールネジ３１７とを備え、回転軸３０３の回転運動によりボールネジナット３１５が回転するのに伴って、回転軸３０３の軸線方向にボールネジ３１７が直線運動する従来のリニアアクチュエータが開示されている。このリニアアクチュエータには、回転軸３０３の軸線方向の他端３０３Ｂが閉じられており、この回転軸３０３の他端３０３Ｂに電磁ブレーキ装置３４５のディスク３４７が設けられている（図９参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１１８７３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のリニアアクチュエータでは、電磁ブレーキ装置３４５のディスク３４７が回転軸３０３の閉じられた他端３０３Ｂに取り付けられている構造を有するため、ボールネジ３１７が電磁ブレーキ装置３４５の内部を貫通して移動することはできなかった。すなわち、ボールネジ３１７は、電磁ブレーキ装置３４５が設けられた回転軸３０３の他端３０３Ｂまでしか移動することができなかった。そのため、従来のリニアアクチュエータでは、出力軸としてのボールネジ３１７の移動距離が制限されていた（図９参照）。
【０００５】
本発明の目的は、出力軸としてボールネジの移動距離を長くすることができるリニアアクチュエータを提供することにある。
【０００６】
本発明の他の目的は、出力軸の移動距離を長くしても、油分等の不純物が電磁ブレーキ装置内部へ侵入するのを阻止することができるリニアアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のリニアアクチュエータは、モータ部、ボールネジ機構、ケーシング構造体、電磁ブレーキ装置およびブレーキカバーを備える。モータ部は、両端が開口する筒状の回転軸と回転軸に固定されたロータとロータの外側に配置されたステータとを有する構造になっている。モータ部には、ステッピングモータまたはサーボモータ等の公知のモータを用いることができる。
【０００８】
ボールネジ機構は、ボールネジナットとボールネジとから構成されている。ボールネジナットは、回転軸の一端に固定されている。ボールネジは、一部が回転軸内を延びるようにボールネジナットと螺合している。
【０００９】
ケーシング構造体は、回転軸の軸線方向の一方側に位置してボールネジが軸線方向に移動するのを許容するように構成された第１のエンドブラケットと、軸線方向の他方側に位置して回転軸の他端が回転可能に突出するのを許容するように構成された第２のエンドブラケットとを備えており、モータ部及びボールネジ機構のためのケーシングを構成する。
【００１０】
電磁ブレーキ装置は、回転ブレーキディスクと、固定ブレーキディスクと、電磁コイルとを備えて、固定部品が第２のエンドブラケットに固定されている。回転ブレーキディスクは、回転軸の他端に隣接して回転軸に固定されている。固定ブレーキディスクは、回転ブレーキディスクに接触して、摩擦力により回転軸の回転を停止させるようになっている。電磁コイルは、通電されると回転ブレーキディスクと固定ブレーキディスクとを接触させるか又は引き離す電磁力を発生するようになっている。なお、固定ブレーキディスク及び電磁コイルは、固定部品の一部を構成している。
【００１１】
ブレーキカバーは、電磁ブレーキ装置を覆うように第２のエンドブラケットに固定されている。そして、本発明では、電磁ブレーキ装置が、回転軸の他端が貫通するように中空構造を有している。電磁ブレーキ装置の内部が、このような中空構造となっているため、ボールネジが電磁ブレーキ装置の内部まで移動することができる。そのため、本発明のリニアアクチュエータでは、出力軸の移動距離を長くすることができる。
【００１２】
なお、電磁ブレーキ装置の内部を回転軸が移動できる構成にすると、ボールネジが移動する回転軸の内部で発生した油分またはダスト等の不純物が回転軸の他端から電磁ブレーキ装置内に侵入して電磁ブレーキ装置の制動力を低下させるおそれがある。そこで、電磁ブレーキ装置を貫通した回転軸の他端に、回転軸の径方向に延びる環状のフランジ部を設ける。さらにブレーキカバーの内壁部に、フランジ部を収容し且つフランジ部の外周面との間にラビリンス構造の第１の隙間を形成する筒部を、ブレーキカバーの内壁部と一体に設ける。このようにブレーキカバーの内壁部と回転軸の他端のフランジ部との間にラビリンス構造を構成すると、回転軸の内部で発生した油分またはダスト等が電磁ブレーキ装置内に侵入するのを防ぐことができる。
【００１３】
ラビリンス構造の設け方は任意である。例えば、ブレーキカバーの内壁部に、回転軸の他端において軸線方向に開口する開口部内に入り、回転軸の内壁面との間にラビリンス構造の第２の隙間を形成する突出部を、ブレーキカバーの内壁部と一体に設けてもよい。このような突出部をブレーキカバーの内壁部に設けると、複数のラビリンス構造によって、回転軸の内部で発生した油分等が回転軸の他端から電磁ブレーキ装置内に侵入するのを確実に防ぐことができる。
【００１４】
また、本発明のリニアアクチュエータでは、ブレーキカバーに回転軸の他端が貫通する貫通孔を形成し、ボールネジの長さを、ブレーキカバーを貫通する回転軸の他端において軸線方向に開口する開口部から延び出る長さにすることができる。このように回転軸がブレーキカバーを貫通し、さらにボールネジが回転軸の他端の開口部から外部に延び出る構成にすると、ボールネジが、ブレーキカバーを貫通することができ、さらにブレーキカバーを貫通する回転軸の他端の外部まで移動することができる。すなわち、ボールネジの移動距離を回転軸の長さよりも長くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明のリニアアクチュエータの第１の実施の形態の断面図である。
【図２】図１の第１の実施の形態の一部（電磁ブレーキ装置とブレーキカバーが設けられた部分）を拡大した図である。
【図３】図２におけるブレーキカバーの一部を切り欠いて示した一部切欠斜視図である。
【図４】本発明のリニアアクチュエータの第２の実施の形態の断面図である。
【図５】図４の第２の実施の形態の一部（電磁ブレーキ装置とブレーキカバーが設けられた部分）を拡大した図である。
【図６】本発明のリニアアクチュエータの第３の実施の形態の断面図である。
【図７】図６の第３の実施の形態の一部（電磁ブレーキ装置とブレーキカバーが設けられた部分）を拡大した図である。
【図８】図７におけるブレーキカバーの一部を切り欠いて示した一部切欠斜視図である。
【図９】従来のリニアアクチュエータの構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明のリニアアクチュエータの実施の形態について説明する。図１は、本発明の第１の実施の形態の断面図である。なお、図１では、回転軸、ロータ部、ロックナット、ボールネジナット等は、半部断面図として示してある。図１において符号１は、ステッピングモータからなるモータ部を示している。モータ部１は、回転軸３とロータ５とステータ７とを備える。回転軸３は、両端（一端３Ａ及び他端３Ｂ）が開口する開口部３Ｃ及び３Ｄを備える筒形状を有する。回転軸３は、回転中心ＲＣを有し、後述するボールネジ１７が軸線に沿って内部を往復移動できる内径寸法を有している。また回転軸３の外周部３Ｅには、ロータ５を固定するための小径部３Ｆと、小径部３Ｆの径寸法よりも大きい径寸法を有しかつ後述のボールネジナット１５のナット本体１５Ａが嵌合される大径部３Ｇとを備えている。回転軸３の外周部３Ｅにはロータ５が固定されている。そして、ロータ５の径方向外側にはステータ７が配置されている。本例では、モータ部１として、公知のハイブリッド型ステッピングモータが用いられている。ハイブリッド型ステッピングモータは、外周に所定の角度のピッチで複数の小歯５０及び５２が形成された２つのロータスタック５Ａ及び５Ｂと、２つのロータスタック５Ａ及び５Ｂの間に配置される永久磁石６とから構成される。永久磁石６は、複数の小歯５０及び５２に異なる極性の磁極が現れるように厚み方向に着磁されている。そして、ステータ７は、ヨーク８Ａの内周に等間隔で配置された複数の磁極部８Ｂを有するステータコア８の各磁極部８Ｂに巻線部Ｗを備えたボビンＢが実装された構造を有している。複数の磁極部８Ｂの磁極面には、図示しない複数の小歯が形成されている。
【００１７】
回転軸３の一端３Ａの大径部３Ｇの外周部には、第１のベアリング部として環状のスラストベアリング９の内輪９Ａが固定されている。このスラストベアリング９の外輪９Ｂは、後述のケーシング２７の一部を構成する第１のエンドブラケット２９に嵌合されている。そしてネジ１０により第１のエンドブラケット２９に固定されたリング部材１２により、スラストベアリング９の抜け止めが図られている。スラストベアリング９は、回転軸３が軸線方向（スラスト方向）に移動しないように回転軸３の一端３Ａを回転自在に支持する。
【００１８】
回転軸３の他端３Ｂの小径部３Ｆの外周部３Ｅには、第２のベアリング部としてボールベアリング１１が設けられている。このボールベアリング１１の外輪１１Ａは、第２のエンドブラケット３１に嵌合されており、内輪１１Ｂは回転軸３の他端３Ｂに嵌合されている。回転軸３の他端３Ｂには、ベアリング位置決め用の段部３Ｈが形成されている。
【００１９】
スラストベアリング９より軸線方向に延び出る回転軸３の一端３Ａの延長部分上には、ロックナット１３が螺合されている。具体的には、回転軸３の一端３Ａの大径部３Ｇの外周部には、図示しない雄ネジ部が形成されている。また、ロックナット１３の内周部１３Ａには、図示しない雌ネジ部が形成されている。そして、回転軸３の雄ネジ部とロックナット１３の雌ネジ部とが螺合することにより、ロックナット１３が回転軸３に螺合する。さらにロックナット１３は、回転軸３に螺合された状態で、ロックナット１３に形成された貫通孔に嵌合されかつ回転軸３の大径部３Ｇの外周部に設けられた、図示しないネジ孔に螺合される図示しない２本のネジにより、回転軸３に対して固定されている。ロックナット１３は、スラストベアリング９（第１のベアリング部）の内輪９Ａと当接してスラストベアリング９の内輪９Ａが軸線方向へ移動するのを阻止している。
【００２０】
回転軸３の一端３Ａには、ボールネジナット１５が固定されている。ボールネジナット１５は、回転軸３の開口部３Ｃ内に嵌合されるナット本体１５Ａ及びナット本体１５Ａと一体に設けられて開口部３Ｃの外側に位置するフランジ部１５Ｂを備えている。ボールネジナット１５は、フランジ部１５Ｂがロックナット１３に当接した状態で、周方向に間隔を開けて配置された４本のネジ２５（ネジ部材）を用いてロックナット１３にネジ止めされている。４本のネジ２５は、ボールネジナット１５のフランジ部１５Ｂに等間隔に設けられた貫通孔１５Ｃ及び貫通孔１５Ｃに対応してロックナット１３に等間隔に設けられたネジ孔１３Ｂに螺合して、ボールネジナット１５をロックナット１３に固定している。回転軸３の他端３Ｂ側に位置するボールネジ１７の端部には、ボールネジ１７が移動した際にボールネジナット１５からボールネジ１７が抜け出るのを防止するためのストッパ１８が取り付けられている。ストッパ１８は、ボールネジ１７が螺合するボールネジナット１５のネジ孔の径寸法よりも大きく且つ回転軸３の内径寸法よりも小さい外形寸法を有している。ボールネジナット１５には、一部が回転軸３内を延びるようにボールネジ１７が螺合している。これらボールネジナット１５とボールネジ１７とによりボールネジ機構１９が構成されている。第１のエンドブラケット２９には、ロックナット１３，ボールネジナット１５及びボールネジ１７の一部を覆うエンドカバー２８が固定されている。エンドカバー２８は、ボールネジ機構１９を囲むように回転軸３の軸線方向の一方側（回転軸３の一端３Ａ側）に位置して、ボールネジ１７が軸線方向に移動するのを許容する貫通孔２８Ａを備える。そして、エンドカバー２８は、第１のエンドブラケット２９の四隅に４本のネジ３０を用いて固定されている。本例のリニアアクチュエータでは、モータ部１及びボールネジ機構１９が、ケーシング構造体（ケーシング２７）に収納されている。このケーシング構造体は、エンドカバー２８、第１のエンドブラケット２９、第２のエンドブラケット３１、リング部材１２およびステータ７のステータコア８により構成されている。
【００２１】
また、第２のエンドブラケット３１には、第２のベアリング部を構成するボールベアリング１１が嵌合されている。具体的には、第２のエンドブラケット３１の内壁部３１Ａに一体に形成された円筒部３１Ｂ内にボールベアリング１１が嵌合されている。なお第２のエンドブラケット３１の側壁部３１Ｄには、モータ部１に接続してモータ部１に電力を供給するリード線１Ａを外部に引き出すことができる、図示しない貫通孔が形成されている。
【００２２】
第２のエンドブラケット３１には、電磁ブレーキ装置４５が固定されている。電磁ブレーキ装置４５は、回転軸３の他端３Ｂに隣接して回転軸３に固定された回転ブレーキディスク４７と、第２のエンドブラケット３１の外壁部３１Ｃに固定されて主要部が固定ブレーキディスク５１及び電磁コイル５３を含む固定部品４９とを備えている。電磁コイル５３は、絶縁樹脂製の環状のボビン５４に捲装されて構成されている。固定ブレーキディスク５１は、電磁コイル５３が発生する電磁力によって回転軸３に沿って軸線方向に移動して、回転ブレーキディスク４７と接触する。固定ブレーキディスク５１とボビン５４との間には、電磁コイル５３の励磁が解除されたときに、固定ブレーキディスク５１を原点位置に復帰させる図示しない復帰バネ機構が配置されている。固定ブレーキディスク５１が回転ブレーキディスク４７に接触すると、摩擦力により回転軸３の回転を停止させるようになっている。電磁コイル５３は、通電されると回転ブレーキディスク４７と固定ブレーキディスク５１とを接触させるか又は引き離す電磁力を発生するようになっている。本実施の形態で用いる電磁ブレーキ装置４５は、給電が停止されているときに回転軸３が外力で回転するのを防止するためにブレーキ状態になるように使用する。したがって前述の復帰バネ機構は、電磁コイル５３が非励磁状態になっているときに、固定ブレーキディスク５１を回転ブレーキディスク４７に押し付ける力を発生するように構成されている。すなわち、給電が停止されているときに回転軸３が外力で回転するのを防止するために、電磁ブレーキ装置４５は、給電がないときすなわち電磁力が発生していないときに固定ブレーキディスク５１と回転ブレーキディスク４７とを接触させるように構成されている。なお回転している回転軸３を停止させるためにブレーキ動作をする目的で電磁ブレーキ装置４５を使用する場合、復帰バネ機構は電磁コイル５３が非励磁状態にあるときには、固定ブレーキディスク５１を回転ブレーキディスク４７から離す方向の力を発生するように構成される。なお本実施の形態では、ボビン５４及び固定ブレーキディスク５１の内周面と回転軸３の外周面との間には、回転軸３が軸線方向に移動するように許容する隙間が形成されている。第２のエンドブラケット３１の外壁部３１Ｃには、さらに電磁ブレーキ装置４５を覆うようにブレーキカバー５５が固定されている。
【００２３】
前述の構成により、電磁ブレーキ装置４５は、電磁ブレーキ装置４５の内部を回転軸３の他端３Ｂが貫通する貫通孔４５Ａが形成された中空構造となっている。電磁ブレーキ装置４５を中空構造として、回転軸３の長さをその他端３Ｂが貫通孔４５Ａ内を貫通する長さにすると、ボールネジ１７の可動範囲を拡げることができる。すなわち出力軸としてのボールネジ１７の移動距離を、従来よりも長くすることができる。
【００２４】
図２は、図１に示す第１の実施の形態において電磁ブレーキ装置４５とブレーキカバー５５が設けられた部分を拡大した図である。図２に示すように、本実施の形態では、電磁ブレーキ装置４５の貫通孔４５Ａを貫通した回転軸３の他端３Ｂの末端に、回転軸３の径方向に延びる環状のフランジ部５７が回転ブレーキディスク４７に隣接して固定されている。
【００２５】
ブレーキカバー５５の内壁部５５Ａには、図３に示すように、筒部５５Ｂがブレーキカバー５５と一体に形成されている。この筒部５５Ｂは、フランジ部５７を収容し且つフランジ部５７の外周面５７Ａとの間に間隙５９（第１の隙間）を形成する。この間隙５９は、筒部５５Ｂの内周面５５Ｃ（図３参照）とフランジ部５７の外周面５７Ａとの間にラビリンス構造を構成する。なお、第２のエンドブラケット３１に隣接するブレーキカバー５５の内壁部５５Ａの一部には、電磁ブレーキ装置４５に接続して電磁ブレーキ装置４５に電力を供給するリード線４６を外部に引き出すための貫通孔５５Ｄが形成されている。
【００２６】
本発明の第１の実施の形態では、ブレーキカバー５５と回転軸３の他端３Ｂとの間に間隙５９を形成して、ラビリンス構造を構成したため、回転軸３の内部に位置するボールネジ１７等に付着している油分またはダスト等が電磁ブレーキ装置４５内に侵入するのを防ぐことができる。その結果、本例のように、電磁ブレーキ装置４５の内部を回転軸３が移動できる構成を採用しても、電磁ブレーキ装置４５の制動力を低下させる油等の侵入のリスクを軽減することができる。
【００２７】
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。図４は本発明の第２の実施の形態の断面図であり、図５は図４に示した電磁ブレーキ装置１４５とブレーキカバー１５５が設けられた部分を拡大した図である。これらの図においても、図１及び図２と同様に、回転軸１０３等の回転部品は半部断面図として示してある。なお、図４及び図５に示す第２の実施の形態において、図１及び図２に示す第１の実施の形態の構成と同様の部分については、図１及び図２に付した符号の数に１００の数を加えた数の符号を付して説明を省略する。
【００２８】
第２の実施の形態では、ブレーキカバー１５５の内壁部１５５Ａに、円柱状の突出部１５５Ｅが一体に形成されている（図３〜図５参照）。この突出部１５５Ｅは、回転軸１０３の他端１０３Ｂにおいて軸線方向に開口する開口部１０３Ｄ内に入り、回転軸１０３の内周面１０３Ｊとの間に間隙１６１（第２の隙間）を形成する。この間隙１６１は、突出部１５５Ｅの外周面１５５Ｆ（図３〜図５参照）と回転軸１０３の内周面１０３Ｊとの間にラビリンス構造を構成する。本実施の形態では、間隙１５９に加えて間隙１６１を設けることにより複数のラビリンス構造が形成されるため、回転軸１０３の内部で発生した油分等の不純物が回転軸１０３の他端１０３Ｂから電磁ブレーキ装置１４５内に侵入するのを確実に防ぐことができる。
【００２９】
次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。図６は第３の実施の形態の断面図であり、図７は図６において電磁ブレーキ装置２４５とブレーキカバー２５５が設けられた部分を拡大した図である。これらの図においても、図１及び図２と同様に、回転軸２０３等の回転部品は半部断面図として示してある。なお、図６及び図７に示す第３の実施の形態において、図１及び図２に示す第１の実施の形態の構成と同様の部分については、図１及び図２に付した符号の数に２００の数を加えた数の符号を付して説明を省略する。本実施の形態では、ブレーキカバー２５５に回転軸２０３の他端２０３Ｂが貫通する貫通孔２５５Ｆが形成されている（図７及び図８参照）。この貫通孔２５５Ｆの径寸法は、回転軸２０３の他端２０３Ｂが貫通孔２５５Ｆ内で回転できるように、回転軸２０３の他端２０３Ｂの外形寸法よりも大きくなっている。そして、ボールネジ２１７の長さが、ブレーキカバー２５５を貫通する回転軸２０３の他端２０３Ｂにおいて軸線方向に開口する開口部２０３Ｄから延び出る長さになっている。このように回転軸２０３がブレーキカバー２５５を貫通し、さらにボールネジ２１７が回転軸２０３の他端２０３Ｂの開口部２０３Ｄから外部に延び出る構造にすると、ボールネジ２１７が、ブレーキカバー２５５を貫通することができる上に、ブレーキカバー２５５を貫通する回転軸２０３の他端２０３Ｂの外部まで移動することができる。すなわち、ボールネジ２１７の移動距離を回転軸２０３の長さよりも長くすることができるため、従来のリニアアクチュエータに比べて出力軸の移動距離を大幅に長くすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明によれば、電磁ブレーキ装置が、回転軸の他端が貫通するように中空構造になっているため、回転軸内に配置されて回転軸の軸線方向に移動するボールネジが電磁ブレーキ装置の内部まで移動することができ、出力軸の移動距離を長くすることができる。
【符号の説明】
【００３１】
１  モータ部
３，１０３，２０３  回転軸
３Ａ  一端
３Ｂ，１０３Ｂ，２０３Ｂ  他端
３Ｄ，１０３Ｄ，２０３Ｄ  開口部
１０３Ｊ  内壁面
５  ロータ
７  ステータ
１５  ボールネジナット
１７，１１７，２１７  ボールネジ
１９  ボールネジ機構
２７  ケーシング（ケーシング構造体）
２８  エンドカバー
２９  第１のエンドブラケット
３１  第２のエンドブラケット
４５  電磁ブレーキ装置
４７  回転ブレーキディスク
４９  固定部品
５１  固定ブレーキディスク
５３  電磁コイル
５５，１５５，２５５  ブレーキカバー
５５Ａ，１５５Ａ，２５５Ａ  内壁部
５５Ｂ，１５５Ｂ，２５５Ｂ  筒部
１５５Ｅ  突出部
２５５Ｆ  貫通孔
５７  フランジ部
５７Ａ，１５７Ａ，２５７Ａ  外周面
５９，１５９，２５９  間隙（第１の隙間）
１６１  間隙（第２の隙間）
【図１】
0005485121.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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