(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品を製造するための複数の製造設備（３００）と、前記複数の製造設備（３００）の設備状態および稼働率をそれぞれ取得する上位ホスト（１００）と、前記上位ホスト（１００）が取得した前記設備状態および稼働率をそれぞれ表示する設備状態表示装置（２００）と、を備えて構成されており、
前記複数の製造設備（３００）は、前記上位ホスト（１００）に報告すべき事項をアラーム文字情報としてそれぞれ出力し、
前記上位ホスト（１００）は、
前記複数の製造設備（３００）から出力されるアラーム文字情報を検出する設備異常検出部（１１０）と、
前記アラーム文字情報に応じた故障状態が前記複数の製造設備（３００）毎に予め登録されており、前記設備異常検出部（１１０）にて検出されたアラーム文字情報とこのアラーム文字情報を出力した製造設備（３００）に対応した故障状態とを比較することにより前記アラーム文字情報を出力した製造設備（３００）の故障状態を特定すると共に、特定した故障状態に基づく当該製造設備（３００）の稼働率を取得し、前記特定した故障状態および前記取得した稼働率を出力する故障定義情報部（１３０）と、
前記故障定義情報部（１３０）にて特定された故障状態に従って前記アラーム文字情報が出力された製造設備（３００）の設備状態を設定すると共に、設定した設備状態と当該製造設備（３００）の稼働率とを含んだ設備状態変更情報を前記設備状態表示装置（２００）に出力する設備状態変更部（１５０）と、を備え、
前記設備状態表示装置（２００）は、前記設備状態変更部（１５０）から通知される設備状態変更情報に基づいて前記複数の製造設備（３００）の設備状態をそれぞれ表示する設備状態表示部（２１０）を備えており、
前記故障定義情報部（１３０）では、前記複数の製造設備（３００）毎に前記登録によってどのアラーム文字情報を故障とするかが定義されており、その定義に従って前記アラーム文字情報を出力した製造設備（３００）を故障扱いとするか否かが判定されることを特徴とする製造ライン監視システム。
【請求項２】
製品を製造するための複数の製造設備（３００）と、前記複数の製造設備（３００）の設備状態および稼働率をそれぞれ取得する上位ホスト（１００）と、前記上位ホスト（１００）が取得した前記設備状態および稼働率をそれぞれ表示する設備状態表示装置（２００）と、を備えて構成されており、
前記複数の製造設備（３００）は、前記上位ホスト（１００）に報告すべき事項をアラーム文字情報としてそれぞれ出力し、
前記上位ホスト（１００）は、
前記複数の製造設備（３００）から出力されるアラーム文字情報を検出する設備異常検出部（１１０）と、
前記アラーム文字情報に応じた故障状態が前記複数の製造設備（３００）毎に予め登録されており、前記設備異常検出部（１１０）にて検出されたアラーム文字情報とこのアラーム文字情報を出力した製造設備（３００）に対応した故障状態とを比較することにより前記アラーム文字情報を出力した製造設備（３００）の故障状態を特定すると共に、特定した故障状態に基づく当該製造設備（３００）の稼働率を取得し、前記特定した故障状態および前記取得した稼働率を出力する故障定義情報部（１３０）と、
前記故障定義情報部（１３０）にて特定された故障状態に従って前記アラーム文字情報が出力された製造設備（３００）の設備状態を設定すると共に、設定した設備状態と当該製造設備（３００）の稼働率とを含んだ設備状態変更情報を前記設備状態表示装置（２００）に出力する設備状態変更部（１５０）と、を備え、
前記設備状態表示装置（２００）は、前記設備状態変更部（１５０）から通知される設備状態変更情報に基づいて前記複数の製造設備（３００）の設備状態をそれぞれ表示する設備状態表示部（２１０）と、前記複数の製造設備（３００）の稼働率をそれぞれ表示する稼働率表示部（２２０）と、を備えており、
前記故障定義情報部（１３０）では、前記複数の製造設備（３００）毎に前記登録によってどのアラーム文字情報を故障とするかが定義されており、その定義に従って前記アラーム文字情報を出力した製造設備（３００）を故障扱いとするか否かが判定されることを特徴とする製造ライン監視システム。
【請求項３】
前記設備状態表示装置（２００）は、１つの画面（２０１）に前記設備状態表示部（２１０）と前記稼働率表示部（２２０）とを並列表示することを特徴とする請求項２に記載の製造ライン監視システム。
【請求項４】
前記稼働率は、現在時刻から過去２４時間において前記製造設備（３００）が実際に稼働していた時間の割合であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【請求項５】
前記設備状態表示装置（２００）は故障情報表示部（２３０）を備えており、前記設備状態変更部（１５０）から製造設備（３００）の設備状態の故障が通知された場合に前記故障情報表示部（２３０）を前記設備状態表示装置（２００）の画面（２０１）にポップアップ表示すると共に前記故障情報表示部（２３０）に故障した製造設備（３００）の情報を表示することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【請求項６】
前記故障情報表示部（２３０）には調整開始ボタン（２３２）が備えられており、この調整開始ボタン（２３２）が操作されると前記故障した製造設備（３００）の設備状態が調整中の状態に変更され、前記故障情報表示部（２３０）は前記設備状態表示装置（２００）の画面（２０１）から消去されると共に少なくとも調整開始時の時刻および故障の内容が前記設備状態表示装置（２００）に記録されるようになっていることを特徴とする請求項５に記載の製造ライン監視システム。
【請求項７】
前記設備状態表示装置（２００）に対して製造設備（３００）の設備状態の故障が複数通知された場合、前記画面（２０１）には前記故障情報表示部（２３０）が複数重複表示されることを特徴とする請求項５または６に記載の製造ライン監視システム。
【請求項８】
前記設備状態表示部（２１０）には、前記複数の製造設備（３００）が一覧表示されていると共に、強調表示として、前記複数の製造設備（３００）のそれぞれの設備状態を示す設備状態表示（２１２）がなされることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【請求項９】
前記設備状態表示部（２１０）には、前記複数の製造設備（３００）が一覧表示されていると共に、強調表示として、ネックとなる製造設備（３００）を示すネック表示（２１３ｄ）がなされることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【請求項１０】
前記設備状態表示部（２１０）には、前記複数の製造設備（３００）が一覧表示されていると共に、強調表示として、前記複数の製造設備（３００）の稼動モードを示す稼動モード表示（２１３ａ）がなされることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【請求項１１】
前記設備状態表示部（２１０）には、前記複数の製造設備（３００）が一覧表示されていると共に、強調表示として、前記複数の製造設備（３００）を所定の製造設備（３００）毎にグループ化したライン（５００）を枠線（２１１ａ）で囲んだライン表示（２１１ｂ）がなされることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【請求項１２】
前記設備状態表示部（２１０）には、前記複数の製造設備（３００）が一覧表示されていると共に、強調表示として、ポートとして使用できない製造設備（３００）を示すポート状態表示（２１３ｂ）がなされることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【請求項１３】
前記設備状態表示部（２１０）には、前記複数の製造設備（３００）が一覧表示されていると共に、強調表示として、チャンバとして使用できない製造設備（３００）を示すチャンバ状態表示（２１３ｃ）がなされることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【請求項１４】
前記稼働率表示部（２２０）では、前記複数の製造設備（３００）の稼働率による並び替え表示がなされていることを特徴とする請求項２ないし１３のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【請求項１５】
前記稼働率表示部（２２０）では、稼働率の目標値を下回っている製造設備（３００）の強調表示がなされていることを特徴とする請求項２ないし１４のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【請求項１６】
前記複数の製造設備（３００）は、前記上位ホスト（１００）の設備異常検出部（１１０）に対して自己の設備状態をそれぞれ報告し、
前記設備状態変更部（１５０）は、前記設備異常検出部（１１０）に対する前記複数の製造設備（３００）のそれぞれの報告に従って前記複数の製造設備（３００）毎に設備状態を変更し、
前記故障定義情報部（１３０）は、前記設備状態変更部（１５０）で生産の目的で使用しない設備状態に変更された製造設備（３００）については、稼働率の計算から外すことを特徴とする請求項１ないし１５のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【請求項１７】
前記設備状態変更部（１５０）は、前記設備異常検出部（１１０）に対して前記複数の製造設備（３００）のうちのいずれかから応答がないことを検出し、前記応答がない製造設備（３００）の設備状態を設備停止に変更することを特徴とする請求項１６に記載の製造ライン監視システム。
【請求項１８】
前記設備状態表示部（２１０）には、前記製造設備（３００）の設備状態を示すシグナルタワー表示（２１４）がなされることを特徴とする請求項１ないし１７のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【請求項１９】
前記設備状態表示装置（２００）は、前記複数の製造設備（３００）毎に複数設けられていると共に、スピーカ（２０３）をそれぞれ備え、
前記複数の製造設備（３００）の１つの集まりをエリア（４００）とすると、前記複数の設備状態表示装置（２００）は前記エリア（４００）毎に異なるブザー音を鳴らすことを特徴とする請求項１ないし１８のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【請求項２０】
前記上位ホスト（１００）は、前記設備異常検出部（１１０）にて検出されたアラーム文字情報の履歴を保存するアラーム記憶データベース（１２０）を備えていることを特徴とする請求項１ないし１９のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【請求項２１】
前記設備状態表示装置（２００）は、前記設備状態表示部（２１０）に表示される製造設備（３００）の表示レイアウトを変更するための設備レイアウト情報部（２４０）を備えていることを特徴とする請求項１ないし２０のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【請求項２２】
前記設備状態表示装置（２００）の画面（２０１）にはマウスのカーソル（２０４）が表示されるようになっており、
前記設備状態表示部（２１０）に表示されている製造設備（３００）を示す表示マークの上に前記カーソル（２０４）が配置されると、少なくとも、前記カーソル（２０４）が配置された製造設備（３００）の正式名称と当該製造設備（３００）の配置位置を示す座標の数値とがポップアップ表示されるようになっていることを特徴とする請求項１ないし２１のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【請求項２３】
前記稼働率表示部（２２０）にはグラフボタン（２２６）が備えられており、このグラフボタン（２２６）が操作されると、前記設備状態表示装置（２００）の画面（２０１）に前記稼働率のグラフが表示されることを特徴とする請求項２ないし２２のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【請求項２４】
前記稼働率のグラフには、前日までの各日においては０時から２３時５９分までに前記製造設備（３００）が実際に稼働していた時間の割合が前記稼働率としてそれぞれ表示され、当日においては前記グラフボタン（２２６）が操作された現在時刻から過去２４時間において前記製造設備（３００）が実際に稼働していた時間の割合が前記稼働率として表示されることを特徴とする請求項２３に記載の製造ライン監視システム。
【請求項２５】
前記上位ホスト（１００）は、前記複数の製造設備（３００）それぞれの稼働率のデータを保存するための稼働率データベース（１４０）を備え、
前記稼働率データベース（１４０）に保存された過去から現在までの稼働率のデータがＣＳＶ形式のデータとしてダウンロード可能であることを特徴とする請求項１ないし２４のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【請求項２６】
前記複数の製造設備（３００）の１つの集まりがエリア（４００）とされ、前記設備状態表示装置（２００）は前記エリア（４００）毎に複数設けられており、
前記設備状態表示部（２１０）はエリア外調整ボタン（２１６）を備え、前記エリア外調整ボタン（２１６）が操作されると、当該設備状態表示部（２１０）を備えた設備状態表示装置（２００）に対応するエリア（４００）とは異なるエリア（４００）に対応する設備状態表示装置（２００）の情報が呼び出されると共に当該異なるエリア（４００）に対応する設備状態表示装置（２００）の操作が可能になることを特徴とする請求項１ないし２５のいずれか１つに記載の製造ライン監視システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、上位ホストにて複数の製造装置を管理する製造ライン監視システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、複数の製造装置から構成される製造ラインを監視するシステムが、例えば特許文献１〜４で提案されている。
【０００３】
特許文献１では、複数の製造設備から情報を受信するＦＡコンピュータと、ＦＡコンピュータから受信した情報に基づいてデータベースを構築し、構築したデータベースに従って管理者に情報を表示するホストコンピュータと、を含んだ監視システムが提案されている。この製造システムでは、故障についてのアラーム発信条件が設定されており、そのアラーム発信条件を満たす場合、ホストコンピュータが故障としてアラームを発生させるようになっている。
【０００４】
特許文献２では、制御工程毎に設けられた各制御装置が互いに接続され、各制御装置は自己の制御状態が正常かまたは異常かを表す情報を他の制御装置に送信するように構成された連続プロセスプラント制御システムが提案されている。このシステムでは、各制御装置は他の制御装置からの送信情報に基づいて制御の続行又は停止を行う。例えば、制御装置に取り付けられたセンサによる位置確認時に許容範囲外の位置異常が検出された場合、当該制御装置は制御を停止し、他の制御装置に「異常情報＝許容範囲外の位置異常」等のテキスト情報を送信している。
【０００５】
特許文献３では、製品ロットの処理前に製造設備の設定条件を受信し、この設定条件を製造基準値と比較することにより、不適合であれば稼働を許可せず、製造設備のメンテナンス等を促す品質管理システムが提案されている。
【０００６】
特許文献４では、表示装置上に製造設備のマップ画像を表示させ、そのマップ画像上に製造設備の稼働率情報を表示する半導体製造プロセス解析システムが提案されている。このシステムでは、マップ画像上のアラームが発生した製造設備にアラームの印が表示される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−１３３６２０号公報
【特許文献２】特開平８−２１４３７７号公報
【特許文献３】特開平８−１９５４０７号公報
【特許文献４】特開２００９−１８８０１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１では、ホストコンピュータはデータベースの構築に際して製造設備の設備状態の変更までは行っておらず、設備状態については製造設備から報告される設備状態を表示するに留まっている。これでは事実上製造設備の故障にも関わらず、アラームだけが発信されるため、製造設備から故障が通知されない場合には製造設備はホストコンピュータにおいて故障扱いとはならないので、製造システムにおいて正しい稼動状態や正しい稼働率を把握することができないという問題があった。
【０００９】
特許文献２では、制御装置から報告されたアラーム文字情報を受け取るが、その文字情報で故障状態にするのかの判定を行うことができない。このため、システム全体の正しい稼動状態や正しい稼働率を把握することができないという問題があった。
【００１０】
特許文献３では、製造設備のメンテナンス等を促すシステムではあるが、製造設備の状態（異常）を直接検出するシステムではない。そのため、製品ロットの処理とは直接関係のない製造設備の異常や稼働状況（稼働率）を把握することができないため、製造設備の軽微な異常停止（チョコ停）への対応時間を減らすことができないという問題があった。
【００１１】
特許文献４では、アラームが発生した製造設備に印が表示されるが、各製造設備の設備状態を画面に表示することができず、またアラームの発生日時も表示されない。このため、複数の製造設備でアラームが報告されたときに、どの製造設備を優先的に対処するべきかを作業者が判断することができないという問題があった。
【００１２】
本発明は上記点に鑑み、各製造設備の正確な稼働率を把握することができる製造ライン監視システムを提供することを第１の目的とする。また、アラームが報告された複数の製造設備に対してどの製造設備を優先処理すべきかを作業者に判断させることができる製造ライン監視システムを提供することを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、製品を製造するための複数の製造設備（３００）と、複数の製造設備（３００）の設備状態および稼働率をそれぞれ取得する上位ホスト（１００）と、上位ホスト（１００）が取得した設備状態および稼働率をそれぞれ表示する設備状態表示装置（２００）と、を備えて構成されている。複数の製造設備（３００）は、上位ホスト（１００）に報告すべき事項をアラーム文字情報としてそれぞれ出力する。
【００１４】
上位ホスト（１００）は、複数の製造設備（３００）から出力されるアラーム文字情報を検出する設備異常検出部（１１０）を備えている。また、アラーム文字情報に応じた故障状態が複数の製造設備（３００）毎に予め登録されており、設備異常検出部（１１０）にて検出されたアラーム文字情報とこのアラーム文字情報を出力した製造設備（３００）に対応した故障状態とを比較することによりアラーム文字情報を出力した製造設備（３００）の故障状態を特定すると共に、特定した故障状態に基づく当該製造設備（３００）の稼働率を取得し、特定した故障状態および取得した稼働率を出力する故障定義情報部（１３０）を備えている。さらに、故障定義情報部（１３０）にて特定された故障状態に従ってアラーム文字情報が出力された製造設備（３００）の設備状態を設定すると共に、設定した設備状態と当該製造設備（３００）の稼働率とを含んだ設備状態変更情報を設備状態表示装置（２００）に出力する設備状態変更部（１５０）を備えている。また、故障定義情報部（１３０）では、複数の製造設備（３００）毎に登録によってどのアラーム文字情報を故障とするかが定義されており、その定義に従ってアラーム文字情報を出力した製造設備（３００）を故障扱いとするか否かが判定される。
【００１５】
そして、設備状態表示装置（２００）は、設備状態変更部（１５０）から通知される設備状態変更情報に基づいて複数の製造設備（３００）の設備状態をそれぞれ表示する設備状態表示部（２１０）を備えていることを特徴とする。
【００１６】
また、請求項２に記載の発明では、上記の構成において、設備状態表示装置（２００）は、設備状態変更部（１５０）から通知される設備状態変更情報に基づいて複数の製造設備（３００）の設備状態をそれぞれ表示する設備状態表示部（２１０）と、複数の製造設備（３００）の稼働率をそれぞれ表示する稼働率表示部（２２０）と、を備えていることを特徴とする。
【００１７】
これによると、上位ホスト（１００）の故障定義情報部（１３０）は各製造設備（３００）から報告されたアラーム文字情報を予め登録された故障状態と照合しているので、製造設備（３００）から報告されたアラーム文字情報が故障ではなくアラームを示すものであっても、その製造設備（３００）を故障扱いとすることができる。このように、故障定義情報部（１３０）が判定した各製造設備（３００）の設備状態に基づく稼働率を算出しているので、各製造設備（３００）の正確な稼働率をそれぞれ把握することができる。
【００１８】
請求項３に記載の発明では、請求項２に記載の発明において、設備状態表示装置（２００）は、１つの画面（２０１）に設備状態表示部（２１０）と稼働率表示部（２２０）とを並列表示することを特徴とする。これによると、製造設備（３００）が故障した際の深刻度が一目でわかるため、製造設備（３００）の故障への作業者の速やかな対応が可能となる。したがって、アラームが報告された複数の製造設備（３００）に対してどの製造設備（３００）を優先的に対処するべきかを作業者に判断させやすくすることができる。
【００１９】
請求項４に記載の発明では、稼働率は、現在時刻から過去２４時間において製造設備（３００）が実際に稼働していた時間の割合であることを特徴とする。これにより、日の変わり目でも正確な稼働率を得ることができる。
【００２０】
請求項５に記載の発明では、設備状態表示装置（２００）は故障情報表示部（２３０）を備えており、設備状態変更部（１５０）から製造設備（３００）の設備状態の故障が通知された場合に故障情報表示部（２３０）を設備状態表示装置（２００）の画面（２０１）にポップアップ表示すると共に故障情報表示部（２３０）に故障した製造設備（３００）の情報を表示することを特徴とする。これにより、故障した製造設備（３００）の情報が作業者に一目でわかるようにすることができる。
【００２１】
請求項６に記載の発明では、請求項５に記載の発明において、故障情報表示部（２３０）には調整開始ボタン（２３２）が備えられており、この調整開始ボタン（２３２）が操作されると故障した製造設備（３００）の設備状態が調整中の状態に変更され、故障情報表示部（２３０）は設備状態表示装置（２００）の画面（２０１）から消去されると共に少なくとも調整開始時の時刻および故障の内容が設備状態表示装置（２００）に記録されるようになっていることを特徴とする。これにより、製造設備（３００）で異常が発生した後、誰かが対応していることが分かるようにすることができる。
【００２２】
請求項７に記載の発明では、請求項５または６に記載の発明において、設備状態表示装置（２００）に対して製造設備（３００）の設備状態の故障が複数通知された場合、画面（２０１）には故障情報表示部（２３０）が複数重複表示されることを特徴とする。これにより、作業者が稼働率や稼働率の目標値を参考にして、どの製造設備（３００）を優先的に対処すべきかを判断させやすくすることができる。
【００２３】
請求項８に記載の発明のように、設備状態表示部（２１０）には、複数の製造設備（３００）が一覧表示されていると共に、強調表示として、複数の製造設備（３００）のそれぞれの設備状態を示す設備状態表示（２１２）を行うことができる。また、強調表示として、請求項９に記載されたネックとなる製造設備（３００）を示すネック表示（２１３ｄ）、請求項１０に記載された複数の製造設備（３００）の稼動モードを示す稼動モード表示（２１３ａ）、請求項１１に記載された複数の製造設備（３００）を所定の製造設備（３００）毎にグループ化したライン（５００）を枠線（２１１ａ）で囲んだライン表示（２１１ｂ）、請求項１２に記載されたポートとして使用できない製造設備（３００）を示すポート状態表示（２１３ｂ）、さらには、請求項１３に記載されたチャンバとして使用できない製造設備（３００）を示すチャンバ状態表示（２１３ｃ）を行うことができる。
【００２４】
また、請求項１４に記載の発明のように、稼働率表示部（２２０）では、複数の製造設備（３００）の稼働率による並び替え表示を行うことや、請求項１５に記載の発明のように稼働率の目標値を下回っている製造設備（３００）の強調表示を行うことができる。
【００２５】
請求項１６に記載の発明では、複数の製造設備（３００）は、上位ホスト（１００）の設備異常検出部（１１０）に対して自己の設備状態をそれぞれ報告する。また、設備状態変更部（１５０）は、設備異常検出部（１１０）に対する複数の製造設備（３００）のそれぞれの報告に従って複数の製造設備（３００）毎に設備状態を変更する。そして、故障定義情報部（１３０）は、設備状態変更部（１５０）で生産の目的で使用しない設備状態に変更された製造設備（３００）については、上位ホスト（１００）にて稼働率の計算から外すので、正確な稼働率を把握することができる。
【００２６】
請求項１７に記載の発明では、請求項１６に記載の発明において、設備状態変更部（１５０）は、設備異常検出部（１１０）に対して複数の製造設備（３００）のうちのいずれかから応答がないことを検出し、応答がない製造設備（３００）の設備状態を設備停止に変更することを特徴とする。
【００２７】
このように、設備状態の報告が不可能となった製造設備（３００）を上位ホスト（１００）側で設備停止すなわち故障であると判定しているので、各製造設備（３００）の正確な稼働率をそれぞれ把握することができる。
【００２８】
請求項１８に記載の発明では、設備状態表示部（２１０）には、製造設備（３００）の設備状態を示すシグナルタワー表示（２１４）がなされることを特徴とする。これにより、設備状態表示装置（２００）にシグナルタワー（２０２）が取り付けられていなくても、設備状態表示部（２１０）にシグナルタワー（２０２）と同じ表示を行うことができる。したがって、作業者は設備状態表示部（２１０）に示されたシグナルタワー表示（２１４）によっても製造設備（３００）の設備状態の変化があったことを確認することができる。
【００２９】
請求項１９に記載の発明では、設備状態表示装置（２００）は、複数の製造設備（３００）毎に複数設けられていると共に、スピーカ（２０３）をそれぞれ備え、複数の製造設備（３００）の１つの集まりをエリア（４００）とすると、複数の設備状態表示装置（２００）はエリア（４００）毎に異なるブザー音を鳴らすことを特徴とする。
【００３０】
これにより、作業者は、どのエリア（４００）の製造設備（３００）に問題が生じたのかをブザー音の違いによって判断することができる。このため、問題が生じた製造設備（３００）を素早く特定することができ、稼働率の向上に繋げることができる。
【００３１】
請求項２０に記載の発明では、上位ホスト（１００）は、設備異常検出部（１１０）にて検出されたアラーム文字情報の履歴を保存するアラーム記憶データベース（１２０）を備えていることを特徴とする。これにより、製造設備（３００）から送られてきたアラームの履歴を残すことができる
請求項２１に記載の発明では、設備状態表示装置（２００）は、設備状態表示部（２１０）に表示される製造設備（３００）の表示レイアウトを変更するための設備レイアウト情報部（２４０）を備えていることを特徴とする。これにより、設備状態表示部（２１０）の表示レイアウトを所望のレイアウトに変更することができる。
【００３２】
請求項２２に記載の発明では、設備状態表示装置（２００）の画面（２０１）にはマウスのカーソル（２０４）が表示されるようになっており、そして、設備状態表示部（２１０）に表示されている製造設備（３００）を示す表示マークの上にカーソル（２０４）が配置されると、少なくとも、カーソル（２０４）が配置された製造設備（３００）の正式名称と当該製造設備（３００）の配置位置を示す座標の数値とがポップアップ表示されるようにすることもできる。これにより、慣れていない作業者でもどの製造設備（３００）であるかを特定でき、また、製造設備（３００）の配置位置を示す座標の数値が表示されるので、製造設備（３００）のレイアウトの修正が容易となる。
【００３３】
請求項２３に記載の発明では、稼働率表示部（２２０）にはグラフボタン（２２６）が備えられており、このグラフボタン（２２６）が操作されると、設備状態表示装置（２００）の画面（２０１）に稼働率のグラフが表示されることを特徴とする。これにより、各製造設備（３００）の稼働率の変化を作業者が視覚的に確認することができる。
【００３４】
請求項２４に記載の発明では、請求項２３に記載の発明において、稼働率のグラフには、前日までの各日においては０時から２３時５９分までに製造設備（３００）が実際に稼働していた時間の割合が稼働率としてそれぞれ表示され、当日においてはグラフボタン（２２６）が操作された現在時刻から過去２４時間において製造設備（３００）が実際に稼働していた時間の割合が稼働率として表示されることを特徴とする。これにより、日の変わり目でも正確な稼働率を表示することができる。
【００３５】
請求項２５に記載の発明では、上位ホスト（１００）は、複数の製造設備（３００）それぞれの稼働率のデータを保存するための稼働率データベース（１４０）を備え、稼働率データベース（１４０）に保存された過去から現在までの稼働率のデータがＣＳＶ形式のデータとしてダウンロード可能であることを特徴とする。これにより、ダウンロードしたデータを稼働率の分析に利用することができる。
【００３６】
請求項２６に記載の発明では、複数の製造設備（３００）の１つの集まりがエリア（４００）とされ、設備状態表示装置（２００）はエリア（４００）毎に複数設けられている。また、設備状態表示部（２１０）はエリア外調整ボタン（２１６）を備え、エリア外調整ボタン（２１６）が操作されると、当該設備状態表示部（２１０）を備えた設備状態表示装置（２００）に対応するエリア（４００）とは異なるエリア（４００）に対応する設備状態表示装置（２００）の情報が呼び出されると共に当該異なるエリア（４００）に対応する設備状態表示装置（２００）の操作が可能になることを特徴とする。
【００３７】
これにより、発生したエリア（４００）に作業者が不在のときに、他のエリア（４００）の作業者が代理をする場合に、発生したエリア（４００）の設備状態表示装置（２００）に行くまでの歩行時間が削減できる。また、作業者が他のエリア（４００）の情報を知りたいときに、作業者がその場から離れなくても他のエリア（４００）の情報を得ることができる。
【００３８】
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の一実施形態に係る製造ライン監視システムの構成図である。
【図２】図１に示される上位ホストおよび設備状態表示装置の具体的な構成図である。
【図３】アラーム文字情報による故障判定の模式図である。
【図４】設備状態表示装置の外観の一例を示した図である。
【図５】設備状態表示部の模式図である。
【図６】製造設備の情報をポップアップ表示した模式図である。
【図７】設備状態変更ウィンドウの模式図である。
【図８】稼働率表示部の模式図である。
【図９】稼働率目標値設定ウィンドウの模式図である。
【図１０】並べ替えウィンドウの模式図である。
【図１１】設備詳細ウィンドウの模式図である。
【図１２】設備検索条件入力ウィンドウの模式図である。
【図１３】コメント入力ウィンドウの模式図である。
【図１４】稼働率グラフウィンドウの模式図である。
【図１５】設備状態表示装置の画面上に設備状態表示部と稼働率表示部とを並列表示した模式図である。
【図１６】故障情報表示部の模式図である。
【図１７】定義ファイルの一例を示した図である。
【図１８】上位ホストが製造設備からアラーム文字情報を受信した場合の処理内容を示したフローチャートである。
【図１９】故障情報表示部の一例として「故障扱いアラーム」のポップアップ表示を示した図である。
【図２０】故障情報表示部の一例として「アラーム」のポップアップ表示を示した図である。
【図２１】製造設備の異常発生から調整開始までの流れを示した図である。
【図２２】設備アラーム一覧ウィンドウの模式図である。
【図２３】製造設備の異常が解除された後の流れを示した図である。
【図２４】製造ライン監視システムの導入前に対して導入３ヶ月後の対応時間の削減効果を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
以下、本発明の一実施形態について図に基づいて説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る製造ライン監視システムの構成図である。この図に示されるように、製造ライン監視システムは、上位ホスト１００と、複数の設備状態表示装置２００と、複数の製造設備３００と、を備えて構成されている。
【００４１】
上位ホスト１００は、複数の製造設備３００を管理する管理装置である。このような上位ホストは、ＣＰＵ、メモリ、ハードディスク、インターフェース等で構成されたサーバなどのコンピュータを用いた情報システムである。上位ホスト１００の大きな役割としては、複数の製造設備３００の設備状態および稼働率をそれぞれ取得することである。
【００４２】
ここで、「設備状態」とは、製造設備３００の状態であり、「稼動中」、「準備中」、「仕掛待ち」、「故障」、「休止中」、「オフライン」、「調整中」、「非生産状態」、「仕掛停止」、「設備停止」の各状態を指す。
【００４３】
「稼動中」とは製造設備３００が製品を処理（加工、測定、検査）している状態のことであり、「準備中」とは製造設備３００のメンテナンスをしている状態のことである。「仕掛待ち」とは製造設備３００が空いている（処理をしていない）状態のことであり、「故障」とは製造設備３００で異常が発生した状態のことである。「休止中」とは長期の故障などで暫く製造設備３００を使用しない状態のことであり、「オフライン」とは製造設備３００が上位ホスト１００と通信していない状態のことである。「調整中」とは製造設備３００で異常が発生した後、作業者が復帰作業をしている状態のことであり、「非生産状態」とは生産では使用していない状態（開発専用機、設備立ち上げ中等）のことである。「仕掛停止」とは製品の仕掛を止めている状態のことであり、「設備停止」とは製造設備３００と上位ホスト１００との通信の中で上位ホスト１００が異常を検知した状態のことである。
【００４４】
また、「稼働率」とは、製造設備３００が起動している時間に対して、製造設備３００が製品の製造のために稼動している時間の割合である。具体的に、稼働率は、製造設備３００が現在時刻から過去２４時間で製品を処理していた時間の割合である。稼働率が高いほど、製造設備３００の生産性が高いことを表している。
【００４５】
設備状態表示装置２００は、上位ホスト１００が取得した設備状態および稼働率をそれぞれ表示する装置である。図１に示されるように、複数の製造設備３００の１つの集まりをエリア４００とすると、設備状態表示装置２００はエリア４００毎に設けられている。
【００４６】
製造設備３００は、製品を製造するための装置である。例えば、製品として半導体チップ等の半導体製品を製造する場合、１台１台が半導体チップを製造するためのいずれかの工程を実施する設備になっている。図１に示されるように、複数の製造設備３００は、所定の製造設備３００毎にグループ化されたライン５００を構成している。
【００４７】
そして、上位ホスト１００、設備状態表示装置２００、および製造設備３００は、それぞれＬＡＮ６００によって接続されており、相互に通信可能になっている。
【００４８】
上記のような製造ライン監視システムの構成において、各部の具体的な機能および作動について、図を参照して説明する。
【００４９】
図２は、上位ホスト１００および設備状態表示装置２００の具体的な構成図である。この図に示されるように、まず、各製造設備３００は、上位ホスト１００に報告すべき事項をアラーム文字情報としてそれぞれ出力する。「報告すべき事項」とは、製造設備３００において生じた何かしらのイベントであり、上位ホスト１００に情報として伝えるべき事項である。したがって、報告すべき事項は、製造設備３００の故障に限られない。このアラーム文字情報は製造設備３００のアラームであり、このアラームが製造設備３００の故障を示すものであるか否かは上位ホスト１００が判定する。この判定については後述する。
【００５０】
また、各製造設備３００は、上位ホスト１００に対して所定のタイミングで自己の設備状態をそれぞれ報告する。所定のタイミングとは、定期的でも良いし、設備状態が変更されたタイミング等の不定期でも良い。
【００５１】
上位ホスト１００は、図２に示されるように、設備異常検出部１１０と、アラーム記憶データベース１２０（図２のアラーム記憶ＤＢ）と、故障定義情報部１３０と、稼働率データベース１４０（図２の稼働率ＤＢ）と、設備状態変更部１５０と、を備えている。
【００５２】
設備異常検出部１１０は、常に上位ホスト１００と製造設備３００との通信状態を監視し、複数の製造設備３００から出力されるアラーム文字情報や設備状態を検出する検出部である。設備異常検出部１１０は製造設備３００からのアラーム文字情報を検出した場合、そのアラーム文字情報を故障定義情報部１３０に通知すると共に、アラーム記憶データベース１２０に保存する。
【００５３】
アラーム記憶データベース１２０は、設備異常検出部１１０にて検出されたアラーム文字情報の履歴を保存する記憶手段である。アラーム記憶データベース１２０に記憶されたアラーム文字情報の履歴は上位ホスト１００からダウンロード可能になっており、チョコ停の改善のために利用できるようになっている。
【００５４】
また、各製造設備３００は、アラーム文字情報だけではなく、上位ホスト１００の設備異常検出部１１０に対して自己の設備状態をそれぞれ報告している。これに伴い、設備異常検出部１１０は、各製造設備３００のそれぞれの設備状態の報告も検出している。
【００５５】
故障定義情報部１３０は、設備異常検出部１１０にて検出されたアラーム文字情報に基づいてアラーム文字情報を出力した製造設備３００の設備状態を特定するものである。このため、故障定義情報部１３０は、アラーム文字情報に応じた故障状態が複数の製造設備３００毎に予め登録されており、それぞれのアラーム文字情報に対して故障状態（故障／アラーム／解除）が定義されている。
【００５６】
例えば、故障定義情報部１３０は、設備異常検出部１１０にて検出されたアラーム文字情報とこのアラーム文字情報を出力した製造設備３００に対応した故障状態とを比較することによりアラーム文字情報を出力した製造設備３００の故障状態を特定する。例えば、あるアラーム文字情報に対する故障状態が「故障」だった場合、故障定義情報部１３０は設備状態変更部１５０に「故障」を通知する。また、あるアラーム文字情報に対する故障状態が「アラーム」だった場合、故障定義情報部１３０は設備状態変更部１５０に「アラーム」を通知する。また、あるアラーム文字情報に対する故障状態が「解除」だった場合、故障定義情報部１３０は設備状態変更部１５０に「解除」を通知する。
【００５７】
図３は、アラーム文字情報による故障判定の模式図である。この図に示されるように、各製造設備３００から上位ホスト１００（設備異常検出部１１０）に報告されるアラーム文字情報を基に、製造設備３００毎に故障定義情報（設備アラーム）が故障定義情報部１３０に設定されている。すなわち、図３に示されるように、「ＥＱＰ−１３」、「ＥＱＰ−２４」、「ＥＱＰ−３６」等の各製造設備３００に対して、それぞれどのアラームを故障扱いとするのかが定義されている。このように、故障定義情報部１３０では、アラーム文字情報を「故障」として扱うアラームが異なり、各製造設備３００に対する定義に従って故障扱いとするか否かが判定される。
【００５８】
そして、アラーム文字情報を出力した製造設備３００の設備状態が故障定義情報部１３０にて故障であると判定されると、その旨が設備状態表示装置２００に出力され、設備状態表示装置２００にその旨が表示される。
【００５９】
また、故障定義情報部１３０は、特定した故障状態に基づく当該製造設備３００の稼働率を取得し、特定した故障状態および取得した稼働率を設備状態変更部１５０に出力する。故障定義情報部１３０は、取得した稼働率を稼働率データベース１４０にも出力する。このように、各製造設備３００の故障状態は、アラーム文字情報に応じて定義された故障状態に従って変更されるので、製造設備３００から報告されたアラーム文字情報が故障ではなくアラームを示すものであっても、その製造設備３００は故障扱いとされる。このため、故障定義情報部１３０では各製造設備３００の設備状態に基づく稼働率が算出され、各製造設備３００の正確な稼働率が得られる。
【００６０】
稼働率データベース１４０は、故障定義情報部１３０で取得された稼働率のデータを保存する記憶手段である。この稼働率データベース１４０には各製造設備３００それぞれの過去から現在までの稼働率のデータが保存されており、ＣＳＶ（comma separate valve）形式のデータとしてダウンロード可能である。また、過去も含めた月単位の稼働率のデータをＣＳＶ形式のデータで保存することも可能であり、ダウンロードしたデータを稼働率の分析に利用することができる。
【００６１】
設備状態変更部１５０は、故障定義情報部１３０にて特定された故障状態に従ってアラーム文字情報が出力された製造設備３００の設備状態を設定するものである。設備状態変更部１５０は、故障定義情報部１３０にて特定された故障状態に従って設定した設備状態と、この設備状態の製造設備３００の稼働率と、を含んだ設備状態変更情報を設備状態表示装置２００に出力する。
【００６２】
例えば、設備状態変更部１５０は、各製造設備３００からアラーム文字情報や設備状態が送られてくるタイミングで、設備状態表示装置２００の設備状態表示部２１０と稼働率表示部２２０とに設備状態および稼働率の変更を通知する。また、設備状態変更部１５０は、故障定義情報部１３０から「故障」が通知されてきたタイミングで設備状態表示装置２００の設備状態表示部２１０と稼働率表示部２２０と故障情報表示部２３０とに設備状態の「故障」を通知する。また、設備状態変更部１５０は、故障定義情報部１３０から「アラーム」が通知されてきたタイミングで設備状態表示装置２００の故障情報表示部２３０に「アラーム」を通知する。さらに、設備状態変更部１５０は、故障定義情報部１３０から「解除」が通知されてきたタイミングで設備状態表示装置２００の設備状態表示部２１０と稼働率表示部２２０と故障情報表示部２３０とに設備状態の「解除」を通知する。
【００６３】
上記のように、設備状態変更部１５０は、設備異常検出部１１０に対する複数の製造設備３００のそれぞれの報告に従って複数の製造設備３００毎に設備状態を変更する。これに伴い、故障定義情報部１３０は、設備状態変更部１５０で変更された設備状態に応じた稼働率を取得することとなる。このため、設備状態が非生産状態等の製造設備３００については、上位ホスト１００において稼働率の計算から外れるので、当該製造設備３００の正確な稼働率を把握することが可能となる。
【００６４】
また、上記では、設備状態変更部１５０は製造設備３００のそれぞれの報告に従って製造設備３００毎に設備状態を変更しているが、設備異常検出部１１０に対して複数の製造設備３００のうちのいずれかから応答がない場合もある。これは、通信設備の異常や、製造設備３００の通信機能に異常が生じた場合等で起こりうる。このような場合、設備状態変更部１５０は、製造設備３００に応答がないことを検出し、応答がない製造設備３００の設備状態を設備停止に変更する。このように、設備状態の報告が不可能となった製造設備３００を上位ホスト１００側で設備停止すなわち故障であると判定することで、報告がない製造設備３００についての正確な稼働率が得られる。
【００６５】
さらに、作業者が意図的に製造設備３００を生産の目的で使用しない設備状態に変更することもある。この場合も、故障定義情報部１３０は、設備状態変更部１５０で生産の目的で使用しない設備状態（非生産状態）に変更された製造設備３００については、稼働率の計算から外すので、正確な稼働率が得られる。
【００６６】
設備状態表示装置２００は、作業者に対して、各製造設備３００の情報をそれぞれ表示する装置である。図４は、設備状態表示装置２００の外観の一例を示した図である。この図に示されるように、工場内には複数の設備状態表示装置２００が存在し、設備状態表示装置２００はエリア４００毎に設けられている。それぞれの設備状態表示装置２００は担当する製造設備３００が異なっている。
【００６７】
また、設備状態表示装置２００は画面２０１を有しており、この画面２０１に各製造設備３００の情報をそれぞれ表示するようになっている。設備状態表示装置２００にはマウスやキーボードが備えられている。そして、設備状態表示装置２００の画面２０１にはマウスのカーソルが表示されるようになっており、作業者がマウスやキーボードを操作することによって各種の設定、変更等を行えるようになっている。
【００６８】
さらに、図４に示されるように、設備状態表示装置２００にはシグナルタワー２０２とスピーカ２０３とが取り付けられている。シグナルタワー２０２は例えば赤点滅信号を表示する。スピーカ２０３から流すブザー音は複数の音色の中から選択することができ、工場内に複数の設備状態表示装置２００が存在してもブザー音によってエリア４００を区別することができる。例えば、設備状態表示装置２００は、スピーカ２０３からのブザー音とシグナルタワー２０２の赤点滅信号とにより作業者（オペレータ）を呼ぶ。
【００６９】
また、上述のように、工場内には複数のエリア４００が設定されているため、複数の設備状態表示装置２００はエリア４００毎に異なるブザー音（メロディ）を鳴らすようになっている。これにより、工場内に複数の設備状態表示装置２００が存在していても、作業者はブザー音によってエリア４００を区別することができる。すなわち、作業者は、どのエリア４００に居ても、どのエリア４００の製造設備３００に問題が生じたのかをブザー音の違いによって判断することが可能となる。このため、問題が生じた製造設備３００の素早い特定が可能となり、当該製造設備３００の稼働率の向上を図ることができる。
【００７０】
上記のような設備状態表示装置２００は、設備状態表示部２１０と、稼働率表示部２２０と、故障情報表示部２３０と、設備レイアウト情報部２４０と、を備えている。これらのうち、設備状態表示部２１０、稼働率表示部２２０、および故障情報表示部２３０は、設備状態表示装置２００の画面２０１に表示されるウィンドウである。
【００７１】
設備状態表示部２１０は、設備状態変更部１５０から通知される設備状態変更情報に基づいて各製造設備３００の設備状態を設備状態表示装置２００の画面２０１に表示するウィンドウである。また、設備状態表示部２１０は、設備状態表示装置２００の画面２０１に複数の製造設備３００を格子状に表示し、設備状態変更部１５０から通知された各々の製造設備３００の設備状態をリアルタイムに更新することで、工場内にある製造設備３００の設備状態を集中監視できるようになっている。
【００７２】
図５は、設備状態表示部２１０の模式図である。この図に示されるように、設備状態表示部２１０には、設備状態表示装置２００が管轄するエリア４００の各製造設備３００が一覧表示されていると共に、各種のボタンが設けられている。この設備状態表示部２１０には、各製造設備３００の関する様々な強調表示がなされている。
【００７３】
まず、設備状態表示装置２００が管轄するエリア４００の複数の製造設備３００において、ライン５００を枠線２１１ａで囲んだライン表示２１１ｂがなされている。１つのエリア４００内に複数の異なるグループに属する製造設備３００が混在している場合に、その製造設備３００のグループ単位であるライン５００を設備状態表示装置２００の画面２０１上で枠線２１１ａで囲み、製造設備３００のグループ名（ライン名、図５では「ライン０１」等）を表示することにより、複数の異なるライン５００が混在していることをライン表示２１１ｂで表現することができる。
【００７４】
また、各製造設備３００のそれぞれの設備状態は設備状態表示２１２によって表現されている。設備状態表示２１２は、作業者が各製造設備３００の設備状態を色で判断できる表示である。なお、図５では色をハッチングで表現している。上述のように、設備状態には、稼動中、準備中、仕掛待ち、故障、休止中、オフライン、調整中、非生産状態、仕掛停止、設備停止があり、各製造設備３００の現在の設備状態と同じ色で表示されている。
【００７５】
すなわち、上述のように、全ての製造設備３００は上位ホスト１００と常に通信をしており、設備状態を上位ホスト１００へ報告している。そして、設備状態表示装置２００は上位ホスト１００より、設備状態表示部２１０にて管理している各製造設備３００の設備状態を画面２０１に表示している。設備状態表示装置２００では各製造設備３００の設備状態をリアルタイムに表示することができる。
【００７６】
また、稼働モードを切り替えることが可能な製造設備３００に関しては、その稼働モードが製造設備３００から上位ホスト１００に通知された場合、設備状態表示装置２００の画面２０１に製造設備３００の稼動モードを示す稼動モード表示２１３ａがなされる。稼動モードとは、製造設備３００をどのように稼動させるかを示すモードであり、フルオート、セミオート、マニュアルの各モードがある。稼動モード表示２１３ａは、例えば製造設備３００を示す表示マークの下辺に引かれたライン（図５ではハッチングで表現している）として表示される。これにより、作業者は、稼動モード表示２１３ａの色によって稼働モードを判断することができる。
【００７７】
搬送機によるフルオート工場の場合、ほとんどの製造設備３００がフルオートであることが多いので、フルオートの場合は稼動モード表示２１３ａを非表示として、稼働モードがセミオートとマニュアルの製造設備３００のみ稼動モード表示２１３ａを行う。
【００７８】
処理すべきロットを置くポートや所定の雰囲気で所定の工程を実施する処理チャンバの各状態が製造設備３００から上位ホスト１００へ通知されることもある。このような場合、上位ホスト１００の設備状態変更部１５０にて設備状態が変更され、その設備状態変更情報が設備状態表示装置２００に通知されると、画面２０１に配置された製造設備３００の表示マークにその情報が表示される。例えば、「ＥＱＰ−４３」の製造設備３００を示す表示マークの上辺にポート状態表示２１３ｂが設けられ、「ＥＱＰ−４３」の製造設備３００を示す表示マークの下辺にチャンバ状態表示２１３ｃが設けられる。通常、ポートや処理チャンバが使用不可な場合（例えば、メンテナンス中や故障中等）のみこれらの表示を行い、使用可能な場合（例えば、稼動中や空き等）では非表示とすることもできる。製造設備３００にポートや処理チャンバが複数ある場合はポート状態表示２１３ｂやチャンバ状態表示２１３ｃが複数表示される。これにより、ポートや処理チャンバの稼働状態も管理することが可能となる。
【００７９】
さらに、処理能力が十分ではなく、常に稼働状況を確認する必要がある等の理由でネックとなる製造設備３００については、当該製造設備３００の表示マークの外枠に沿ってネック表示２１３ｄ（図５では太線で表現している）が設けられる。このネック表示２１３ｄによって製造設備３００がネック設備であることを表示することができる。これにより、ネック設備の製造設備３００について作業者に注意を促すことができる。
【００８０】
なお、稼働モードを示す稼動モード表示２１３ａはネックとなる製造設備３００を示すネック表示２１３ｄのラインより前面に表示することが好ましい。
【００８１】
そして、上述のように、設備状態表示装置２００にはシグナルタワー２０２が設けられているが、設備状態表示部２１０にはこのシグナルタワー２０２が点滅している映像を表示するシグナルタワー表示２１４が設けられている。このようなシグナルタワー表示２１４は、設備状態表示装置２００にシグナルタワー２０２が設けられていない場合でも設備状態表示装置２００の画面２０１にシグナルタワー２０２の映像が表示される。このため、作業者はシグナルタワー表示２１４によっても製造設備３００の異常を知ることが可能となる。
【００８２】
また、設備状態表示部２１０に表示されている製造設備３００を示す表示マークの上にカーソルが配置されると、カーソルが配置された製造設備３００の正式名称と当該製造設備３００の配置位置を示す座標の数値が表示されるようになっている。この模式図を図６に示す。
【００８３】
設備状態表示部２１０の各製造設備３００は通常は「ＥＱＰ−１１」等の設備略称を示す表示マークしか表示されていないが、各製造設備３００の上にカーソル２０４を移動させると、図６に示されるように、その製造設備３００の情報（設備名称、座標、ポート状態、チャンバ状態）がポップアップ表示される。
【００８４】
これにより、製造設備３００の設備名称が設備略称だけではどの製造設備３００なのかを判断しにくい場合に別の画面を出さなくても容易に判断することができる。また、製造設備３００の座標は、製造設備３００のレイアウトを編集するときに、各製造設備３００がどの座標に配置されているかを見やすくするために利用される。さらに、ポート状態およびチャンバ状態は、何番目が使用不可な状態にあるのかが容易に分かるようになっている。このように、カーソル２０４を移動させるだけで各製造設備３００の簡易情報を容易に知ることができる。
【００８５】
続いて、設備状態表示部２１０に設けられたボタンについて説明する。図７は、設備状態変更ウィンドウの模式図である。図５において設備状態表示部２１０に設けられた状態変更ボタン２１５が押されると、図７に示される設備状態変更ウィンドウ２１５ａが設備状態表示装置２００の画面２０１に表示される。設備状態表示装置２００における製造設備３００の設備状態は、製造設備３００から送られてくる稼動状態によって自動で変更されるが、作業者が手動で稼動状態を変更したい場合に使用される。例えば、減産などで製造設備３００を停止する場合、その製造設備３００の稼動状態を手動で“非生産状態”にすることにより、稼働率の計算から外すことができる。
【００８６】
また、図５において設備状態表示部２１０に設けられたエリア外調整ボタン２１６が押されると、当該設備状態表示部２１０を備えた設備状態表示装置２００に対応するエリア４００とは異なるエリア４００に対応する設備状態表示装置２００の情報が呼び出される。これにより、当該異なるエリア４００に対応する設備状態表示装置２００の操作が可能になる。このように、エリア外調整ボタン２１６は、作業者が他のエリア４００の情報を知りたいときや、作業者が現在のエリア４００から離れなくても、他のエリア４００の情報を得ることができるボタンである。
【００８７】
なお、状態変更ボタン２１５やエリア外調整ボタン２１６等のボタンは、マウスのカーソル２０４による操作だけでなく、キーボードのファンクションキーを押すことによっても操作することができる。また、図５において設備状態表示部２１０に設けられた「設備詳細」および「調整開始」の各ボタンについては、後で説明する。
【００８８】
稼働率表示部２２０は、各製造設備３００の稼働率や稼働率の目標値をそれぞれ表示するウィンドウである。設備状態表示装置２００にて管理されているエリア４００の製造設備３００のリアルタイムの稼働率（２４時間の内で処理していた時間）が表示される。それぞれの製造設備３００に目標値を設定することができ、製造設備３００が故障したときの緊急度を表現できる。
【００８９】
図８は、稼働率表示部２２０の模式図である。この図に示されるように、稼働率表示部２２０には、設備状態表示装置２００にて管理されている製造設備３００毎の稼働率に関するリアルタイムの情報（ライン名、設備名称、目標値、稼働率、故障回数、故障時間、設備状態、稼働モード）が表示されている。なお、故障回数は、現在時刻から過去２４時間での故障回数を表しており、故障時間は現在時刻から過去２４時間での故障していた時間の総和を表している。
【００９０】
具体的に、稼働率表示部２２０は、上位ホスト１００の故障定義情報部１３０で計算されると共に設備状態表示装置２００が設備状態変更部１５０から設備状態変更情報として受け取った稼働率を表示している。
【００９１】
通常は設備状態表示装置２００にて管理されている各製造設備３００の稼働率はその数値が悪い順に降順に表示されるようになっており、稼働率が悪い製造設備３００が一目でわかるようになっている。稼働率の並び順に関しては、並び替え機能により、設備名称順、ライン名順、故障回数順、故障時間順、目標値順に昇順または降順を選んで並び替えることができる。
【００９２】
また、設備名称、目標値、稼働率は通常は黒字で表示されているが、稼働率表示部２２０に表示されているリアルタイムの稼働率が目標値を下回る製造設備３００については強調表示が行われる。具体的には、現時点でそれぞれの製造設備３００の稼働率が目標値を達成していなければ製造設備３００の設備名称、目標値、稼働率がそれぞれ赤字に強調表示され、さらに稼働率が目標値よりもＮ％以上（例えば３０％以上といった大幅な値）下回っている製造設備３００については背景が例えばピンク色に強調表示される。これにより、製造設備３００が故障したときの緊急度が表現され、対応すべき製造設備３００の優先度がわかり易くなっている。
【００９３】
そして、稼働率表示部２２０には、設備状態表示部２１０において製造設備３００の現在の設備状態を示す色と同じ色が付されている。また、稼動モード表示２１３ａやネック表示２１３ｄも稼働率表示部２２０に表示されている。
【００９４】
続いて、稼働率表示部２２０に設けられている各ボタンの機能について説明する。まず、図８において稼働率表示部２２０に設けられた目標値ボタン２２１が押されると、図９に示される稼働率目標値設定ウィンドウ２２１ａが設備状態表示装置２００の画面２０１に表示される。この稼働率目標値設定ウィンドウ２２１ａは、稼働率表示部２２０にて管理しているエリア４００の製造設備３００毎の稼働率の目標値を変更するためのウィンドウである。稼働率目標値設定ウィンドウ２２１ａには現状の稼働率の目標値が表示されており、変更したい製造設備３００の目標値を入力することで稼働率の目標値を変更できるようになっている。これにより、それぞれの製造設備３００に対する稼働率の目標値を設定することができる。
【００９５】
また、図８において稼働率表示部２２０に設けられた並べ替えボタン２２２が押されると、図１０に示される並べ替えウィンドウ２２２ａが設備状態表示装置２００の画面２０１に表示される。この並べ替えウィンドウ２２２ａは、稼働率表示部２２０にて表示されている稼働率の一覧表を並べ替えることができるウィンドウである。設備名称順、稼働率順、ライン名順、故障回数順、故障時間順、目標値順で優先順位を決めてそれぞれ昇順、降順を選択することができる。
【００９６】
また、図８において稼働率表示部２２０に設けられた設備詳細ボタン２２３が押されると、図１１に示される設備情報詳細ウィンドウ２２３ａが設備状態表示装置２００の画面２０１に表示される。この設備情報詳細ウィンドウ２２３ａでは、設備状態表示部２１０で示された各製造設備３００の詳細情報を参照することができる。
【００９７】
設備情報詳細ウィンドウ２２３ａでは、エリア名称、ライン名、設備コード、設備名称、設備略称、稼動状態、状態開始時刻、稼働率目標値［％］、稼働率［％］、故障回数[回／日]、コメント、ポート状態、チャンバ状態、の各項目が表示される。なお、状態開始時刻とは、稼動状態が現在の状態に変更されてからの経過時間を表している。
【００９８】
また、図８において稼働率表示部２２０に設けられた設備検索ボタン２２４が押されると、図１２に示される設備検索条件入力ウィンドウ２２４ａが設備状態表示装置２００の画面２０１に表示される。設備検索条件入力ウィンドウ２２４ａでは、ライン名と設備名称から製造設備３００を検索することが可能になっている。稼働率表示部２２０にて管理している製造設備３００の台数が多い場合、稼働率を確認したい製造設備３００がどこにあるかを探すに時間が掛かってしまうが、検索機能をつけることで、製造設備３００を探す時間を短縮することができる。
【００９９】
また、図８において稼働率表示部２２０に設けられたコメント入力ボタン２２５が押されると、図１３に示されるコメント入力ウィンドウ２２５ａが設備状態表示装置２００の画面２０１に表示される。このコメント入力ウィンドウ２２５ａを開き、作業者がキーボードを用いて製造設備３００毎に日毎のコメントを記録することができる。これにより、稼働率が低かった日に何が起こったかを記録に残すことができる。このコメント入力ウィンドウ２２５ａでコメントが入力されると、設備情報詳細ウィンドウ２２３ａのコメント欄にコメントが反映される。
【０１００】
さらに、図８において稼働率表示部２２０に設けられたグラフボタン２２６が押されると、図１４に示される稼働率グラフウィンドウ２２６ａが設備状態表示装置２００の画面２０１に表示される。この稼働率グラフウィンドウ２２６ａでは、設備状態表示部２１０で管理しているエリア４００の製造設備３００について、過去も含めた月単位で日毎の稼働率のトレンドを折れ線グラフで表示することができる。ここでの日毎の稼働率とは、各日において０時０分から２３時５９分までに製造設備３００が実際に稼働していた時間の割合のことを示している。これにより、前日までの各日における各製造設備３００の稼働率の変化を作業者がグラフで確認することができる。
【０１０１】
また、本日（当日）の稼働率を稼働率グラフウィンドウ２２６ａに表示させる場合は、グラフボタン２２６が操作された現在時刻から過去２４時間における稼働率が表示される。これにより、日の変わり目でも正確な稼働率を表示することができる。
【０１０２】
そして、日毎の非稼動要因と時間を積み上げ棒グラフで表示することもできる。非稼動要因積み上げ棒グラフとは、それぞれの製造設備３００の日毎の非稼動要因（準備中、仕掛け待ち、故障、調整中、仕掛停止、設備停止）のそれぞれの時間を積み上げ棒グラフで表したグラフである。この積み上げグラフによって、稼働率が低かった日にどのような非稼動要因があったかが一目で分かるようになっている。
【０１０３】
稼働率グラフウィンドウ２２６ａでは、稼働率表示部２２０にて設定されている稼働率の目標値も表示される。Ｙ軸（稼働率）レンジを変更することができ、例えば６０〜８０％の間の稼働率の変動を細かく確認することができる。条件入力ボタン２２６ｂを操作して各条件を設定することが可能である。描画条件を設定した後にグラフ描画ボタン２２６ｃを操作することにより、描画条件に従ったグラフが稼働率グラフウィンドウ２２６ａに表示される。統計情報として、１ヶ月の平均稼働率、故障回数、総故障時間を確認することができる。
【０１０４】
そして、稼働率グラフウィンドウ２２６ａに表示される稼働率は、上位ホスト１００で取得された最新の稼働率である。過去も含めた月単位の稼働率のデータは、上位ホスト１００の稼働率データベース１４０にＣＳＶ形式のデータで保存されているので、図１４に示されるＣＳＶ出力ボタン２２６ｄを操作することにより稼働率のデータをダウンロードでき、稼働率の分析に利用することができる。
【０１０５】
なお、所望の積み上げ棒グラフをクリックするとコメントを残せる。そして、日付をクリックすると、コメントを閲覧することもできる。また、稼働率表示部２２０に設けられた設備詳細ボタン２２３は、図５に示された設備状態表示部２１０にも設けられている。
【０１０６】
上記の設備状態表示部２１０と稼働率表示部２２０とは、設備状態表示装置２００の１つの画面２０１に並列表示される。図１５は、設備状態表示部２１０と稼働率表示部２２０とを設備状態表示装置２００の１つの画面２０１に並列表示した模式図である。このように、１つの画面２０１に設備状態表示部２１０と稼働率表示部２２０とを同時に表示することにより、稼働率が目標値に達していない製造設備３００をリアルタイムで誰でも簡単に把握できるようにすることができる。このような並列表示により、製造設備３００が故障した際の深刻度が一目でわかるため、製造設備３００の故障への作業者の速やかな対応が可能となる。したがって、複数の製造設備３００から同時期にアラームが報告されたときに、どの製造設備３００を優先的に対処するべきかを作業者が判断することができる。
【０１０７】
そして、図２に示される故障情報表示部２３０は、上位ホスト１００の設備状態変更部１５０から製造設備３００の設備状態の故障もしくはアラームが設備状態表示装置２００に通知された場合に設備状態表示装置２００の画面２０１にポップアップ表示されるウィンドウである。この故障情報表示部２３０には故障した製造設備３００の情報が表示される。したがって、作業者は故障情報表示部２３０によって故障した製造設備３００が一目でわかるようになっている。また、製造設備３００が同時に複数故障し、工場内に作業者が１人しかいなかった場合でも、作業者が画面２０１に表示された稼働率表示部２２０を確認することにより、稼働率が目標値に達していない等の重要な製造設備３００から優先して復旧を行うことが可能となり、生産への影響を軽減することが可能となる。
【０１０８】
図１６は、設備状態表示部２１０の上にポップアップ表示された故障情報表示部２３０の模式図である。この図に示されるように、故障情報表示部２３０には、該当製造設備３００の情報として、製造設備名称、発生日時、アラーム文字情報が表示される。そして、上位ホスト１００の設備状態変更部１５０から設備状態表示装置２００に故障状態として解除が通知された場合、設備状態表示装置２００の画面２０１に該当製造設備３００の故障もしくはアラームを示す故障情報表示部２３０が表示されていれば、当該故障情報表示部２３０は消去される。
【０１０９】
また、図１６に示されるように、故障情報表示部２３０には、閉じるボタン２３１、設備詳細ボタン２２３、および調整開始ボタン２３２が備えられている。閉じるボタン２３１は設備状態表示装置２００の画面２０１から故障情報表示部２３０を消去するボタンであり、設備詳細ボタン２２３は図１１に示される設備情報詳細ウィンドウ２２３ａを開くためのボタンである。
【０１１０】
調整開始ボタン２３２は、製造設備３００の調整開始を選択するためのボタンである。「調整開始」とは、製造設備３００の異常を作業者が発見し、現在対応中であることを示している。作業者が調整開始ボタン２３２を選択すると、故障情報表示部２３０が画面２０１から消え、故障した製造設備３００の設備状態の表示が「調整中」に変更される。この「調整中」とは、製造設備３００で異常が発生した後、作業者が復帰作業をしている状態のことであり、他の作業者が見ても現在誰かが対応していることが分かるようになっている。
【０１１１】
また、調整開始ボタン２３２が選択されたときの調整開始時の時刻、故障の内容、対応している作業者等の情報が設備状態表示装置２００に記録されるようになっている。そして、当該製造設備３００から上位ホスト１００に対して設備状態が調整中に変更されたことも通知される。これにより、当該製造設備３００の設備状態が稼働率の計算に反映され、正確な稼働率が得られる。
【０１１２】
さらに、設備状態表示装置２００が管理するエリア４００の複数の製造設備３００からそれぞれの故障が設備状態表示装置２００に通知された場合や、上位ホスト１００の設備状態変更部１５０から設備状態表示装置２００に対して製造設備３００の設備状態の故障が複数通知された場合には、図示しないが、設備状態表示装置２００の画面２０１には故障情報表示部２３０が複数重複表示される。すなわち、故障を知らせる複数のポップアップ表示が画面２０１に重複表示される。これにより、作業者が稼働率や稼働率の目標値を参考にして、どの製造設備３００を優先的に対処すべきかを判断することができる。
【０１１３】
図２に示される設備レイアウト情報部２４０は、設備状態表示部２１０に表示される各製造設備３００の表示レイアウト（設備選択、配列）を管理するものである。この設備レイアウト情報部２４０には表示レイアウトを示す定義ファイルが格納されている。
【０１１４】
図１７は、定義ファイルの一例を示した図である。この図に示される定義ファイルを編集することで、新規の製造設備３００の追加、不要な製造設備３００の削除、管理対象となる製造設備３００の変更、製造設備３００の移動等を表示に反映させることができる。これにより、設備状態表示部２１０の表示レイアウトを所望のレイアウトに変更することができる。
【０１１５】
以上が、製造ライン監視システムの全体構成である。なお、搬送設備に関しても、上位ホスト１００と常に通信しており、製造設備とみなすことができるため、搬送設備からアラーム文字情報が通知された場合にも製造設備３００と同様に扱うことができる。
【０１１６】
次に、設備状態表示部２１０に登録されている製造設備３００において故障が発生した場合について説明する。図１８は、上位ホスト１００が製造設備３００から故障を示すアラーム文字情報を受信した場合の処理内容を示したフローチャートである。
【０１１７】
まず、上位ホスト１００において製造設備３００から発生アラームの情報が含まれたアラーム文字情報が受信されると（ステップ７０１）、故障定義情報部１３０に当該発生アラームが登録されているか否かが判定される（ステップ７０２）。ここで、発生アラーム自体が故障定義情報部１３０に登録されていない場合は故障に関する事項ではないとして、上位ホスト１００の処理は終了する。
【０１１８】
一方、発生アラームが故障定義情報部１３０に登録されている場合はこの発生アラームが故障扱いとするアラームとして登録されているか否かが判定される（ステップ７０３）。発生アラームが故障扱いとするアラームに登録されている場合、上位ホスト１００の設備状態変更部１５０を介して「故障扱いアラーム」のポップアップを設備状態表示装置２００の画面２０１上に表示する指示が出される（ステップ７０４）。これにより、設備状態表示装置２００の画面２０１には故障を示す故障情報表示部２３０がポップアップ表示される。この様子を図１９に示す。
【０１１９】
図１９には故障扱いアラームのポップアップ例が示されている。この図に示されるように、設備状態表示部２１０には該当する製造設備３００の情報として、エリア名、ライン名、設備名称、設備略称、日時、アラーム内容が表示される。また、故障を示すウィンドウであるので、調整開始ボタン２３２も表示される。そして、設備状態表示装置２００に備え付けられているシグナルタワー２０２とスピーカ２０３によって作業者を呼ぶ。なお、設備状態表示部２１０にもシグナルタワー表示２１４が表示される。
【０１２０】
この後、上位ホスト１００では設備状態変更部１５０において製造設備３００の設備状態が“故障中”に変更される（ステップ７０５）。これにより、その旨が設備状態表示装置２００にて反映される。また、故障定義情報部１３０では変更された設備状態に基づく稼働率の計算が行われる。こうして、上位ホスト１００の処理は終了する。
【０１２１】
また、発生アラームが故障扱いとするアラームに登録されていない場合（ステップ７０３）、上位ホスト１００の設備状態変更部１５０を介して「アラーム」のポップアップを設備状態表示装置２００の画面２０１上に表示する指示が出される（ステップ７０６）。これにより、設備状態表示装置２００の画面２０１にはアラームを示す故障情報表示部２３０がポップアップ表示される。この様子を図２０に示す。なお、図２０では故障情報表示部２３０のみを示している。
【０１２２】
図２０に示されるように、故障情報表示部２３０には図１９と同様に該当する製造設備３００の情報が表示される。また、アラームを示すウィンドウであるので、調整開始ボタン２３２は表示されず、上位ホスト１００の設備状態変更部１５０において製造設備３００の設備状態は変更されない。設備状態表示装置２００に備え付けられているシグナルタワー２０２とスピーカ２０３については動作しないが、動作させても良い。こうして、上位ホスト１００の処理は終了する。
【０１２３】
上記では、各製造設備３００からアラーム文字情報が出力される場合について説明したが、製造設備３００が自ら設備状態を報告する場合についても同じ処理が行われる。
【０１２４】
続いて、製造設備３００に故障が発生した場合の作業者の行動について、図２１を参照して説明する。まず、上記のようにして製造設備３００に異常（故障）が発生すると（ステップ７０７）、設備状態表示装置２００のシグナルタワー２０２とスピーカ２０３が鳴動する（ステップ７０８）。作業者がこれに気づくと（ステップ７０９）、作業者が該当する設備状態表示装置２００の位置まで移動する（ステップ７１０）。
【０１２５】
そして、作業者が故障した製造設備３００とその異常内容を確認し、故障情報表示部２３０の調整開始ボタン２３２を押下する（ステップ７１１）。この後、作業者は製造設備３００の復旧作業を開始する。
【０１２６】
上記のようにして製造設備３００に異常が生じた場合、設備状態表示装置２００にて管理されている製造設備３００で発生した異常の情報（故障、アラーム）と作業者が調整開始した時刻が履歴として当該設備状態表示装置２００に一定期間保存される。この履歴は、図２２に示される設備アラーム一覧ウィンドウ２０５でいつでも表示することができる。これにより、過去の故障やアラームの内容、回数、調整時間等を故障の分析に利用することができる。
【０１２７】
次に、異常（故障）が発生した製造設備３００に対して作業者が調整を行い、当該製造設備３００に生じていた異常が解除された場合について、図２３を参照して説明する。まず、製造設備３００において設備状態の故障が解除される。これにより、製造設備３００から故障が解除されたことを示すアラーム文字情報が出力される。
【０１２８】
上位ホスト１００において製造設備３００から解除アラームの情報が含まれたアラーム文字情報を受信すると（ステップ７１２）、故障定義情報部１３０に当該解除アラームが登録されているか否かが判定される（ステップ７１３）。そして、解除アラーム自体が故障定義情報部１３０に登録されていない場合は上位ホスト１００の処理は終了する。
【０１２９】
一方、解除アラームが故障定義情報部１３０に登録されている場合、上位ホスト１００の設備状態変更部１５０により当該製造設備３００の設備状態が故障中となる前の設備状態に変更される（ステップ７１４）。また、故障定義情報部１３０では変更された設備状態に基づく稼働率の計算が行われ、その計算結果が設備状態表示装置２００に反映される。こうして、上位ホスト１００の処理は終了する。
【０１３０】
発明者らは、上記の製造ライン監視システムを導入する前と導入３ヶ月後とで、製造設備３００に対する対応時間の変化について調べた。その結果を図２４に示す。図２４は、各エリア４００（Ａ〜Ｇ）において、導入前の対応時間を１とした場合の導入前の対応時間と導入３ヶ月後の対応時間との比を示している。ここでのエリア４００とは、工場内で１人または複数の作業者が担当する設備群を表している。また、対応時間とは、製造設備３００で故障または故障扱いアラームが発生してから作業者がアラームを解除するまでの平均時間である。
【０１３１】
図２４のグラフから明白なように、本実施形態に係る製造ライン監視システムを導入することで、導入前よりも対応時間を飛躍的に短縮することができる。また、対応時間の短縮により、製造設備３００の生産停止時間を削減することができ、その稼働率を飛躍的に向上できる。さらに、稼働率の向上は、二酸化炭素等の温室効果ガスの削減に繋がり、地球環境へも貢献できる。
【０１３２】
本発明によれば、製造業の生産工場において、複数の製造設備３００を集中管理することができるようになることから、製造設備３００の生産停止時間削減等の稼働率向上を実現しつつ、省人化も同時に実現することができ、特に自動化工場における導入効果は絶大である。
【０１３３】
以上説明したように、本実施形態では、上位ホスト１００と各製造設備３００とが常に通信しており、上位ホスト１００は各製造設備３００から報告されるアラーム文字情報に対する故障状態を製造設備３００毎に故障定義情報部１３０に登録している。また、上位ホスト１００は、製造設備３００からアラーム文字情報が報告されたタイミングで故障定義情報部１３０に登録された故障状態を基に故障扱いとするか否かを判定し、アラーム文字情報の内容が故障扱いアラームであると判定した場合には製造設備３００からの設備状態の通知が故障でなくても上位ホスト１００側が設備状態を故障扱いとすることが特徴となっている。
【０１３４】
このように、上位ホスト１００の故障定義情報部１３０は各製造設備３００から報告されたアラーム文字情報を予め登録された故障状態と照合しているので、製造設備３００から報告されたアラーム文字情報が故障ではなくアラームを示すものであっても、その製造設備３００を故障扱いとすることができる。また、故障定義情報部１３０が判定した各製造設備３００の設備状態に基づく稼働率を算出しているので、各製造設備３００の正確な稼働率をそれぞれ把握することができる。
【０１３５】
そして、複数の製造設備３００から同時期にアラームが報告されたときに、作業者がどちらの製造設備３００を優先的に対処するべきかの判断ができないという問題に対しては、設備状態表示部２１０と稼働率表示部２２０とを１つの画面２０１に並列表示している。これにより、稼働率が目標値に達していない製造設備３００をリアルタイムに誰でも簡単に把握できるので、製造設備３００が故障した際の深刻度が一目でわかり、製造設備３００の故障への速やかな対応が可能となる。したがって、作業者はどの製造設備３００を優先的に対処するべきかを判断することができる。
【０１３６】
また、各製造設備３００の設備状態をそれぞれ表示し、またアラームの発生日時も表示しているので、複数の製造設備３００でアラームが報告されたときに、どの製造設備３００を優先的に対処するべきかを判断できるようにすることができる。
【０１３７】
さらに、製品ロットの処理とは直接関係のない製造設備３００の異常や稼働状況（稼働率）も把握することをできるようにすることで、チョコ停への対応時間を減らすことができる。
【０１３８】
（他の実施形態）
上記実施形態で示された製造ライン監視システムの構成は一例であり、上記で示した構成に限定されることなく、本発明の特徴を含んだ他の構成とすることもできる。例えば、製造設備３００は半導体（ウエハ）等のデバイスを製造（試作を含む）する場合に限定されるものではなく、他の製品を製造するものでも構わない。したがって、上記の製造ライン監視システムは製造業の生産工場全般に渡り有効である。
【符号の説明】
【０１３９】
１００    上位ホスト
１１０    設備異常検出部
１２０    アラーム記憶データベース
１３０    故障定義情報部
１４０    稼働率データベース
１５０    設備状態変更部
２００    設備状態表示装置
２０１    画面
２１０    設備状態表示部
２２０    稼働率表示部
２３０    故障情報表示部
２４０    設備レイアウト情報部
３００    製造設備
４００    エリア
５００    ライン
【図１】
0005601231.tif 000002
【図２】
0005601231.tif 000003
【図３】
0005601231.tif 000004
【図４】
0005601231.tif 000005
【図５】
0005601231.tif 000006
【図６】
0005601231.tif 000007
【図７】
0005601231.tif 000008
【図８】
0005601231.tif 000009
【図９】
0005601231.tif 000010
【図１０】
0005601231.tif 000011
【図１１】
0005601231.tif 000012
【図１２】
0005601231.tif 000013
【図１３】
0005601231.tif 000014
【図１４】
0005601231.tif 000015
【図１５】
0005601231.tif 000016
【図１６】
0005601231.tif 000017
【図１７】
0005601231.tif 000018
【図１８】
0005601231.tif 000019
【図１９】
0005601231.tif 000020
【図２０】
0005601231.tif 000021
【図２１】
0005601231.tif 000022
【図２２】
0005601231.tif 000023
【図２３】
0005601231.tif 000024
【図２４】
0005601231.tif 000025