(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送するコロを清掃指示するシステムであって、
少なくとも、
工程内の検査装置によって検出された前記基板の欠陥に係る最新の欠陥情報を順次登録して管理する欠陥情報管理手段と、
工程内の基板を扱う装置にて前記基板と前記コロが接触する部位（接触部位）に係る接触位置情報を管理する接触位置情報管理手段と、
前記工程内の基板を扱う装置に対する作業履歴に係る情報を管理する設備情報管理手段と、
前記工程内の基板を扱う装置を制御する工程制御手段と、
欠陥監視手段と、
を備え、
前記欠陥監視手段は
１）最新の欠陥情報を前記欠陥情報管理手段から読み出し、
２）前記接触部位に関する情報を前記接触位置情報管理手段から読み出し、前記接触部位ごとの欠陥数を集計し、
３）予め設定した接触部位と予め設定した汚染状況判定方法で、前記欠陥数に対して汚染状況を判定し、
４）汚染されていると判定した前記接触部位を有する装置へ清掃指示を通知し、
５）清掃完了後に清掃した前記工程内の基板を扱う装置名と接触部位からなる清掃完了報告を前記工程内の基板を扱う装置から工程制御手段を介して受け取って作業履歴管理手段に登録し、
６）前記登録された前記工程内の基板を扱う装置の接触部位の設定を変更することを特徴とする基板搬送用コロの清掃指示システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、設備清掃に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、カラーフィルタ（ＣＦ）製造の各工程は、各工程毎に、カラーフィルタの欠陥を検出する検査装置を備えている。この検査装置の欠陥検査結果に応じて、カラーフィルタ基板は、良品或いは不良品の判定を受ける。この際、検査結果情報は、ファイルまたはデータベ−スに保存され、検査結果情報を履歴として参照できるツール等を利用して生産時の品質情報の閲覧或いは解析を行い、工程改善に活用される。
【０００３】
また、検査結果情報は、工程内作業者により定期的に確認され、その際の欠陥発生状況、発生箇所に異常があると判断した場合には、ただちに異常原因の調査、対応が行われている。
【０００４】
また、工程内における基板のワレカケ発生時のワレカケ起点座標や、基板内の欠陥発生座標から、どの装置のどの部位が起因なのかを調査するために、工程内装置における、基板と接触する装置内の部位についてリストアップを行っており、その情報をワレカケ起因装置、欠陥発生起因装置の調査等に役立てている。
【０００５】
また、工程内の各処理装置間の基板搬送、装置内基板搬送にはコロ搬送を採用している。
【０００６】
基板の搬送にコロ搬送を採用している場合、搬送コロへ経時的に微小埃が堆積して行き、基板搬送中に基板の裏面へと搬送コロに堆積した埃が転写することがある。この転写された埃は、工程内の欠陥検査装置により検出され、大量に転写されている場合、検査装置での欠陥検出上限値を超えるオーバーフローによる工程の停止、滞留を発生させてしまうことがある。
【０００７】
そして工程停止後、停止原因となった基板の裏面汚れが発生した装置を、接触位置情報を利用して調査を行うため、裏面汚れ発生から対応までの時間がかかってしまう。
【０００８】
これに対処する方法として、予め処理装置毎に搬送コロの配置位置を装置座標上に登録し、予め配置位置の座標をガラス基板上の基板座標上に変換して登録し、パターン形成ガラス基板から検出した欠陥の特異点を抽出してコロによる基板の裏面汚れ（コロ裏面汚れ）の欠陥と判定し、コロ裏面汚れの欠陥座標と登録した搬送コロの基板座標上の位置座標とを照合して、座標値の一致とコロ裏面汚れの欠陥特徴により、コロ裏面汚れの欠陥起因となる処理装置および搬送コロを特定することが知られている（特許文献１参照）。
【０００９】
しかしながら、この方法では、工程内に基板座標上の位置座標が同じ搬送コロを有する処理装置が複数存在する場合、コロ裏面汚れの欠陥起因となるとして特定された複数の処理装置および搬送コロから、実際にコロ裏面汚れの欠陥起因となった処理装置および搬送コロを特定するために、一処理装置ずつ確認する必要があり、結局時間がかかるという問題がある。
【００１０】
また、対処を行った装置については、コロ裏面汚れの発生に規則性を見つけることが難しいため、どのタイミングで清掃を行ったら良いのかが分からず、装置の清掃カレンダーになかなか落とし込めないという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００８−２６７９９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は斯かる背景技術に鑑みてなされたもので、搬送コロを最適なタイミングで効率良く清掃できることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明において上記課題を解決するために、まず請求項１の発明では、基板を搬送するコロを清掃指示するシステムであって、
少なくとも、
工程内の検査装置によって検出された前記基板の欠陥に係る最新の欠陥情報を順次登録して管理する欠陥情報管理手段と、
工程内の基板を扱う装置にて前記基板と前記コロが接触する部位（接触部位）に係る接触位置情報を管理する接触位置情報管理手段と、
前記工程内の基板を扱う装置に対する作業履歴に係る情報を管理する設備情報管理手段と、
前記工程内の基板を扱う装置を制御する工程制御手段と、
欠陥監視手段と、
を備え、
前記欠陥監視手段は
１）最新の欠陥情報を前記欠陥情報管理手段から読み出し、
２）前記接触部位に関する情報を前記接触位置情報管理手段から読み出し、前記接触部位ごとの欠陥数を集計し、
３）予め設定した接触部位と予め設定した汚染状況判定方法で、前記欠陥数に対して汚染状況を判定し、
４）汚染されていると判定した前記接触部位を有する装置へ清掃指示を通知し、
５）清掃完了後に清掃した前記工程内の基板を扱う装置名と接触部位からなる清掃完了報告を前記工程内の基板を扱う装置から工程制御手段を介して受け取って作業履歴管理手段に登録し、
６）前記登録された前記工程内の基板を扱う装置の接触部位の設定を変更することを特徴とする基板搬送用コロの清掃指示システムとしたものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、工程内の各装置からの清掃完了報告を作業履歴として管理することにより、判定対象とする装置と基板との接触部位を絞り込み、最適なタイミングで清掃を行えるように、判定条件を設定し直すことができるという効果がある。
【００１７】
従って、本発明は、搬送コロを最適なタイミングで効率良く清掃できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の設備清掃システムの構成を示す図。
【図２】清掃作業処理の流れを示すフローチャート。
【図３】搬送コロによる搬送装置の上面図。
【図４】搬送コロによる搬送装置の裏面図。
【図５】搬送コロによる搬送装置の側面図。
【図６】搬送コロによる搬送装置の正面図。
【図７】コロ清掃ユニットの斜視図。
【図８】コロ清掃ユニットへの清掃布の配置を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に、本発明の一実施形態を説明する。
【００２０】
１．カラーフィルタ製造の各工程
本発明が適用されるカラーフィルタ製造の各工程は、各プロセス装置と、プロセス装置間の基板搬送をコロ搬送により行う少なくとも１台以上の搬送装置と、工程回収前に基板の欠陥検査を行う検査装置とを備える。プロセス装置、検査装置も、装置内基板搬送にコロ搬送を行うものであっても良い。
【００２１】
２．構成
本発明の設備清掃システムは、図１に示すように、構成要素として、検査結果管理ＤＢ（データベース）と、接触位置管理ＤＢ（データベース）と、設備情報管理ＤＢ（データベース）と、欠陥監視ＰＣ（パソコン）と、工程制御システムと、各工程内の装置１〜Ｎとを備え、各構成要素間は、Ｅｔｈｅｒｎｅｔ（登録商標）（イーサーネット）、ＣＣＬｉｎｋ（シーシーリンク）、光ケーブル等のネットワークにより接続されており、相互に通信可能である。各工程内の検査装置１〜Ｍは、各工程内の装置１〜Ｎの何れかに該当する。
【００２２】
３．検査結果管理ＤＢ
検査結果管理ＤＢは、製造現場の各工程内の検査装置によって検査された基板に対する検査結果情報を管理しているデータベースであり、検出された欠陥情報を管理するテーブルとして、少なくとも以下の表１に示すような欠陥情報管理テーブルを有する。
【００２３】
【表１】
0005573058.tif 000002
【００２４】
そして、検査結果管理ＤＢは、製造現場の各工程内の検査装置から、常時、最新の欠陥情報を受け取って、欠陥情報管理テーブルに登録する。
【００２５】
４．基板接触位置管理ＤＢ
基板接触位置管理ＤＢは、製造現場の全工程の全装置に対して、各装置の基板と接触する部位について、基板との接触位置や接触方法の情報を管理しているデータベースであって、装置と基板との接触部位に係る接触位置情報を管理するテーブルとして、少なくとも以下の表２に示す接触位置管理テーブルを有する。
【００２６】
【表２】
0005573058.tif 000003
【００２７】
５．設備情報管理ＤＢ
設備情報管理ＤＢは、製造現場におけるメンテナンス記録等を管理しているデータベースであって、各設備に設置されている各装置に対する作業履歴を管理するテーブルとして、少なくとも以下の表３に示す作業履歴管理テーブルを有する。
【００２８】
【表３】
0005573058.tif 000004
【００２９】
６、欠陥監視ＰＣ
欠陥監視ＰＣは、最新の欠陥位置情報を検査結果管理ＤＢから読み出し、最新の欠陥位置情報で示される欠陥の起因となった装置の基板との接触部位に係る接触位置情報を基板接触位置管理ＤＢから読み出し、これら欠陥情報と接触位置情報とから、予め設定された判定条件に従って、判定対象の各装置の基板との各接触部位の汚染状況を判定し、汚染していると判定した場合、汚染された基板との接触部位を有する各装置への清掃指示を工程制御システムを介して通知し、各装置から清掃完了報告を工程制御システムを介して受け取って作業履歴として設備情報管理ＤＢに登録するパソコンである。
【００３０】
７．工程制御システム
工程制御システムは、各工程内の基板管理、搬送制御を行っているシステムであり、各工程内の各装置と直接通信を行うことができ、各工程内の各装置は、工程制御システムからの指示を受け、この指示に対応できるようになっている。
【００３１】
８．本発明の設備清掃システムによる清掃作業処理
以下に、本発明の設備清掃システムによる清掃作業処理を、図２のフローチャートに従って説明する。
【００３２】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１；
欠陥監視ＰＣは、検査結果管理ＤＢを常時監視しており、検査装置１〜Ｍの何れかから、検査結果管理ＤＢの欠陥情報管理テーブルに、最新の基板検査の欠陥情報が登録される度に、欠陥情報管理テーブルから、最新の基板検査の欠陥情報を読み出す。
【００３３】
Ｓ（ＳＴＥＰ）２；
欠陥監視ＰＣは、接触部位に係る接触位置情報を、基板接触位置管理ＤＢの接触位置管理テーブルから読み出して、接触部位毎に欠陥数を集計し、以下の表４に示す接触部位毎欠陥数情報を取得する。
【００３４】
【表４】
0005573058.tif 000005
【００３５】
Ｓ（ＳＴＥＰ）３；
欠陥監視ＰＣは、取得した接触部位毎欠陥数情報を基に、以下の表５に示す判定条件に従って、判定対象の各装置の基板との各接触部位の汚染状況を判定する。
【００３６】
【表５】
0005573058.tif 000006
【００３７】
判定の結果、判定対象とする装置内の検査基板との接触部位に、汚染されているものがあれば、ＳＴＥＰ４に進み、
他方、汚染されているものがなければ、ＳＴＥＰ１に戻る。
【００３８】
Ｓ（ＳＴＥＰ）４；
欠陥監視ＰＣは、汚染されていると判定した接触部位を有する装置を、検査基板の裏面汚れ起因装置とし、以下の表６に示す通知内容の情報を工程制御システムへ通知する。
【００３９】
【表６】
0005573058.tif 000007
【００４０】
Ｓ（ＳＴＥＰ）５；
工程制御システムは、欠陥監視ＰＣにより通知された情報を、工程制御システム参照画面に表示すると共に、起因装置にも、起因部位名、対象座標、清掃指示の通知を行う。
【００４１】
Ｓ（ＳＴＥＰ）６；
工程制御システムより通知を受けた起因装置は、通知内容を装置のタッチパネル上に表示すると共に、アラーム発報を行って、オペレータに通知する。
【００４２】
Ｓ（ＳＴＥＰ）７；
アラーム発報後、起因装置の清掃を行う。その際、自動で清掃可能な装置については自動コロ清掃コードで装置自らが清掃を実行し、自動対応不可装置についてはオペレータ作業による清掃を実行する。
【００４３】
Ｓ（ＳＴＥＰ）８；
自動または手動での清掃完了後は、起因装置から工程制御システムへ、起因装置の清掃が完了した旨を報告する。自動清掃可能な装置の場合、自動コロ清掃モード完了後に、自動で工程制御システムへ清掃完了の報告を行う。手動で清掃実行の場合には、装置のオペレータが操作可能な画面（タッチパネル等）でボタンを押すことにより工程制御システムへ清掃完了の報告を行う。
【００４４】
Ｓ（ＳＴＥＰ）９；
工程制御システムは、起因装置からの清掃完了報告を受け、欠陥監視ＰＣへ起因装置の清掃完了の報告を行う。報告内容は、装置名、清掃完了、清掃モード（自動／手動）である。
【００４５】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１０；
欠陥監視ＰＣは、工程制御システムからの清掃完了報告を受け、報告をした起因装置に対する接触部位毎欠陥数情報のリセット（初期化）を行う。
【００４６】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１１；
リセットと共に、欠陥監視ＰＣは、検査基板の裏面汚れ起因装置の清掃完了報告を基にして、清掃作業情報を、設備情報管理ＤＢの作業履歴管理テーブルへ登録し、ＳＴＥＰ１に戻る。
【００４７】
尚、検査基板の裏面汚れ起因装置の清掃作業情報は、設備情報管理ＤＢの作業履歴管理テーブルへ登録後、判定条件の設定見直しに利用される。
【００４８】
９．自動清掃機能付搬送装置
以下に、自動で搬送コロ清掃可能な搬送装置の例を説明する。
【００４９】
本搬送装置は、それぞれ図３〜６に示す上面図、裏面図、側面図、正面図から明らかなように、基板搬送用の搬送コロ１と、搬送コロ１を清掃するためのコロ清掃ユニット２とを備える。またコロ清掃ユニット２は、搬送装置のフレーム３の内側に設置されている。
【００５０】
コロ清掃ユニット２は、図７に示すように、搬送装置の各搬送コロ１を清掃可能にするために、搬送装置内を水平に移動するための水平移動軸７、８と、上下に移動するために上下移動軸５、６と、上下移動軸５、６の間に清掃布設置部４を有し、図８に示すように、清掃布設置部４に、コロ清掃に使用する清掃布９を設置するものである。清掃布９は、搬送コロ１と接触しても傷をつけない素材の布（例えば、純水を含んだアンチコン等）を使用する。また、各移動軸５、６、７、８は、移動による発塵が極力少ない材質で構成される。
【００５１】
以下のＳＴＥＰ１〜５の順に、本搬送装置によるコロ清掃の動作を説明する。
【００５２】
ＳＴＥＰ１；
本搬送装置は、清掃対象のコロの情報（起因部位名、対象座標）を、工程制御システムから或いは手動の指令により受け取る。
【００５３】
ＳＴＥＰ２；
本搬送装置は、受け取った清掃対象コロの情報を基に、清掃対象コロの下まで水平移動軸を使用して清掃布を移動させる。
【００５４】
ＳＴＥＰ３；
清掃対象コロの下まで移動後、本搬送装置は、上下軸により清掃対象コロと接触するまで清掃布を上昇させる。
【００５５】
ＳＴＥＰ４；
清掃対象コロと接触するまで上昇後、本搬送装置は、搬送コロを回転させる。搬送コロを回転させることで、搬送コロと接触している清掃布で搬送コロの汚れを拭き取る。尚、搬送コロの回転は、設定された時間分、行われる。
【００５６】
ＳＴＥＰ５；
搬送コロの清掃終了後、本搬送装置は、清掃布を下降させ、水平移動軸内の原点ポジションまで水平移動させる。
【符号の説明】
【００５７】
１…搬送コロ
２…コロ清掃ユニット
３…フレーム
４…清掃布設置部
５…上下移動軸
６…上下移動軸
７…水平移動軸
８…水平移動軸
９…清掃布
【図１】
0005573058.tif 000008
【図２】
0005573058.tif 000009
【図３】
0005573058.tif 000010
【図４】
0005573058.tif 000011
【図５】
0005573058.tif 000012
【図６】
0005573058.tif 000013
【図７】
0005573058.tif 000014
【図８】
0005573058.tif 000015