(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス入口を有する分圧センサを備えた漏れ検出器の機能を検査する方法において、
容積可変のチャンバを備えた検査装置を前記漏れ検出器に接続し、
前記検査装置のチャンバの容積を示す目盛を観察しながら前記チャンバの容積を変更することにより、周囲空気に含まれる試験ガスの分圧が前記分圧センサのガス入口で変化し、前記漏れ検出器が前記分圧の変化を示すか否かを調べることにより、前記漏れ検出器の機能を検査することを特徴とする方法。
【請求項２】
前記検査装置は、注射筒と該注射筒内で移動すべく配置されたピストンとを有する注射器を備えていることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記検査装置は手動で作動されることを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記分圧センサのガス入口は、注射器を気密に接続可能とするアダプタを有していることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス入口を有する分圧センサを備えた漏れ検出器を機能検査する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
漏れ検出器は、ガス流内の試験ガスの存在を検出すべく機能する。前記ガス流は通常、容器からガスを吸い込むことにより生成されるが、拡散のみによって生成される流れも使用され得る。通常はヘリウムである試験ガスが外側から容器に吹きかけられるとき、存在の可能性がある漏れ口により、試験ガスが容器の内部に侵入して、それによって試験ガスが容器から吸い込まれたガス中に検出され得る。更なる方法では、試験ガスが気密性に関して検査されるべき容器に導入される。容器から出る試験ガスを検出するために、容器の外側で吸い込み式漏れ検出器によって吸込みが行われる。
【０００３】
漏れの検出が、排気されるべき容器と真空ポンプ装置とを備えたタイプの真空システムで行われる場合、漏れ検出器は真空ポンプ装置の吸込管に接続される。試験ガスを検出するための複雑な漏れ検出器が質量分析計を備えている一方、技術的コストをあまり必要とせず、比較的軽量の分圧センサが更に知られている。試験ガスとしてヘリウム又は水素を使用すべく設計されたこのような分圧センサは、国際公開第2002／003057号パンフレット（インフィコン(Inficon )）に述べられている。前記分圧センサは、例えばヘリウムに対して選択的な浸透性を有してセンサ室を画定する膜を有するウィンドウを備えており、センサ室の内部に圧力センサを更に備えている。圧力センサは任意の周囲圧力で作動する。
【０００４】
分圧センサの更なる例が独国特許出願公開第102006047856号明細書（インフィコン）に述べられている。このタイプの分圧センサは、商標名であるワイズテクノロジー（Wise Technology ）（登録商標）で知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第2002／003057号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、漏れ検出器を機能検査する方法を提供することを目的とし、前記方法では、機能検査が搬送ポンプ無しで行われ得る。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る方法は、請求項１に定義された特徴によって特徴付けられる。前記方法は、容積可変のチャンバを備えた検査装置を前記漏れ検出器に接続し、前記検査装置のチャンバの容積を示す目盛を観察しながら前記チャンバの容積を変更することにより、周囲空気に含まれる試験ガスの分圧が前記分圧センサの入口で変化し、前記漏れ検出器が前記分圧の変化を示すか否かを調べることにより、前記漏れ検出器の機能を検査することを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る機能検査の方法は、機械で駆動される真空ポンプの使用を不要にし、その代りに可変容積のチャンバを備えた検査装置を利用する。このような検査装置は、便宜的に運ばれ漏れ検出器に接続され得る。好ましくは、検査装置は手動で作動可能であり、従って、モータ又は他の駆動装置を更に必要としない。
【０００９】
前記方法は、容器及び真空ポンプ装置を備えた真空システムで使用されるべきヘリウム漏れ検出器に特に適している。漏れ検出器は、適切な位置で吸込管に接続される。吸込流が真空システムの真空ポンプ装置によって生成されるので、漏れ検出器は自身のポンプを必要としない。このような小型化された漏れ検出器は、一体化されたポンプを備えていないため容易に運ばれるので、特に点検用に適している。保守技術者は、点検作業を行なう前に、場合によっては漏れ検出器の感度の確認を含めて漏れ検出器の機能性を確認することを望んでいる。従って、保守技術者は、欠陥がある漏れ検出器に関するサービスコールで出掛けることを回避することができ、又は欠陥がある漏れ検出器を真空システムに接続することを回避することができる。漏れ検出器が組み込まれたポンプを備えていないので、機能検査が、小型且つ軽量の検査装置を使用することにより行なわれる。
【００１０】
本発明は、例えばヘリウム又は水素のような試験ガスが周囲空気に含まれており、周囲空気中の試験ガスの含有量が比較的一定であるという作用を利用している。検査装置のチャンバを大きくすることにより、分圧センサの入口に作用する圧力を下げることができ、それによって、試験ガスの分圧も対応して下げることができる。従って、漏れ検出器の機能検査が、漏れ検出器が分圧の変化を示すか否かを調べることにより可能になる。更に、漏れ検出器の較正が、周囲空気に存在するヘリウムの含有量に関する分圧の測定された変化量を設定することにより可能になる。
【００１１】
検査装置は、医療用液体を投与するために使用される注射器と同様のタイプの注射器から構成されていることが好ましい。このような注射器は、注射筒と注射筒内で移動すべく配置されたピストンとを有しており、該ピストンはピストンロッドに接続されている。ピストンを引っ込めることにより、注射筒内のチャンバが大きくなる。注射筒の前端部に、注射円錐部が配置されている。注射円錐部は、分圧センサの入口に取り付けられたアダプタに気密に接続され得る。
【００１２】
本発明により、保守技術者は、装置を過度に必要とすることなく任意の所望の位置で漏れ検出器を機能検査して容易に較正することが可能になる。携行する必要があるものは、単に手動式の検査装置だけである。検査装置を注射器として実現する代わりに、検査装置は、ピストンシリンダユニット又は別の可変容積のチャンバであってよい。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】気密容器及び真空ポンプ装置から構成されたシステムにおける分圧センサの使用を示す図である。
【図２】図１に従って作動可能な分圧センサに適用された検査装置の使用を示す略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の例示的な実施形態を、図面を参照して更に詳細に以下に説明する。
【００１５】
図１には、容器10を備えた真空システムが示されており、容器10の内部室が排気される。容器10は、加工品を真空処理するための反応器、例えば、スパッタリング、蒸着、CVD 等のための反応器であってもよい。
【００１６】
真空試験は、ここではヘリウムである試験ガスが、排気された容器10内に外側から漏入しているか否かの検査を含んでいる。ヘリウムの漏れ率がQHe  によって表される。
【００１７】
容器10は、例えばルーツポンプである真空ポンプ11に接続されている。真空ポンプ11の出口が、補助真空ポンプ12の吸込口に接続されている。補助真空ポンプ12の出口13が、大気圧の周囲空気に通じている。
【００１８】
真空ポンプ11の吸込口では、排気速度がSIであり、圧力がPIである。この位置には、漏れ検出器を接続するためのコネクタ14が配置されている。
【００１９】
補助真空ポンプ12の吸込口では、排気速度がSII であり、圧力がPII である。この位置には、漏れ検出器を任意に接続すべく同様に適合されたコネクタ15が配置されている。
【００２０】
補助真空ポンプ12の出口では、圧力がPIIIである。この位置には、漏れ検出器を任意に接続すべく同様に適合されたコネクタ16が配置されている。
【００２１】
図１では、漏れ検出器20がコネクタ15に接続されている。
【００２２】
真空システムの作動中のパラメータQHe 、V 、P 及びS の一般的な範囲は、以下の通りである。
QHe = 10-7…10-4…10-3…10-1mbarl/s(Grob)
V = [0,5l] 0,5m3…80m3
PI = 10-2…15mbar
SI = …800l/s (3000m3/h)
PII = 10-2…0,1…45mbar
SII = 1…350l/s (1260m3/h)
PIII = Atm
【００２３】
図２には、漏れ検出器20の機能検査が図示されている。漏れ検出器20は分圧センサ21を備えており、分圧センサ21は、参照して本出願に組み入れられる独国特許出願公開第10031882号明細書に述べられている方法と同一の方法で構成されている。分圧センサ21は、ウィンドウ23を有する検出室22を備えており、ウィンドウ23は、ヘリウムに対して選択的な浸透性を有しており、分圧センサ21の入口24を構成している。検出室22の内部には、例えば、独国特許出願公開第102004034831号明細書にも述べられているようなペニング（Penning ）圧力センサの形態の圧力センサが配置されている。この圧力センサは、ヘリウム分圧に相当する検出値を評価ユニット25に伝える。
【００２４】
検査装置30を気密に接続可能とするアダプタ26が、入口24に接続されている。ここでは検査装置30は、注射筒31と該注射筒31内で移動すべく配置されたピストン32とを有する注射器から構成されている。ピストン32の前方に、可変容積のチャンバ33が配置されている。ピストン32を手動で移動させることにより、チャンバ33の大きさが変更される。注射器の前端部には、注射円錐部34が配置されており、アダプタ26に気密に接続されている。
【００２５】
分圧センサ21はヘリウム分圧を測定する。分圧センサ21はアダプタ26を介して検査装置30に接続されており、ウィンドウ23とピストン経路の前端部との間の見えない容積は所定の容積であるべきであり、それによって、容積が変更されたときに安定した所定の圧力変化を生じさせることが可能である。
【００２６】
分圧センサ21には、まず1000mbarの気圧及び約5E-3mbarのヘリウム分圧が存在する。注射器のピストン32を使用して、注射筒31に設けられた目盛を観察しながら円筒状のチャンバ33を既知の容積へと大きくするとき、分圧センサ21での気圧及びヘリウム分圧は、見えない容積と注射器の容積とに応じた比率で減少する。注射器は、いわば「ポンプ」として使用される。この圧力低下によって、漏れ検出器に示される漏れ率が変わる。従って、漏れ検出器の機能を調べることができ、ヘリウム分圧が既知である場合、更に漏れ検出器の感度を量的に調べることができる。
【００２７】
本発明は、以下の利点を有する。
・ポンプも、（例えば窒素又はヘリウムのような）更なるガスも必要ではない。
・必要な測定手段が非常に安価であり、移動式注射器が任意の位置で利用可能である。
・何らかの代用値ではなく実際のヘリウム感度が測定される。従って、測定経路全体が調べられる。
・更に量的な結果が得られる。
【図１】
0005575812.tif 000002
【図２】
0005575812.tif 000003