(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
交互に極性が異なるように複数の永久磁石を直線状に並べて配置した界磁と、
前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して平行に対向配置されると共に複数個のコイル列を並べて平板状に成形したコアレス型の電機子コイルを有する電機子とを備え、
前記界磁と前記電機子の何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁と前記電機子を所定の進行方向に沿って走行するコアレスリニアモータであって、
前記界磁は、前記永久磁石の磁石列を２列対向させるように構成してあり、
前記コアレス型の電機子は、電機子ベースと、前記電機子ベースに取り付けられると共に、前記複数個のコイル列同士の絶縁を行うための基板と、を有しており、
前記複数個のコイル列は、
前記進行方向に沿った径方向寸法と厚さ方向寸法とが互いに同一である複数の第１コイルを、２つの第１コイルを１組として少なくとも１組備えた第１コイル列と、
前記基板を挟んで前記第１コイル列と反対側に設けられ、前記第１コイルと異なる前記径方向寸法及び前記厚さ方向寸法を備えた第２コイルを各組の前記２つの第１コイルに対応して１つずつ設けた、第２コイル列と、
を含む
ことを特徴とするコアレスリニアモータ。
【請求項２】
請求項１記載のコアレスリニアモータにおいて、
前記第２コイル列の前記第２コイルは、
前記第１コイルより大きい前記径方向寸法と、前記第１コイルより小さい前記厚さ方向寸法とを備えている
ことを特徴とするコアレスリニアモータ。
【請求項３】
請求項２記載のコアレスリニアモータにおいて、
前記第１コイルの前記径方向寸法をｗ１、前記厚さ方向寸法をｔ１、
前記第２コイルの前記径方向寸法をｗ２、前記厚さ方向寸法をｔ２、としたとき、
ｗ２＞ｗ１  かつ  ０．６×ｔ１≦ｔ２＜ｔ１
となるように構成した
ことを特徴とするコアレスリニアモータ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載のコアレスリニアモータにおいて
前記固定子は、
前記界磁を構成する磁石列を設けた界磁ヨークを備えており、
前記可動子は、
前記コアレス型の電機子である
ことを特徴とするコアレスリニアモータ。
【請求項５】
請求項４記載のコアレスリニアモータにおいて、
前記第２コイルは、
コイル巻線の巻き始め位置及び巻き終わり位置の前記進行方向に沿った前後関係が、対応する前記１組の第１コイルのいずれか１つと逆になるように、反転して配置されている
ことを特徴とするコアレスリニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体製造装置や工作機などの分野において、一定速送りや高速位置決め送り等を実行するために用いられる、コアレスリニアモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のコアレスリニアモータの一例として、例えば、特許文献１に記載のものがある（以下適宜、第１従来技術という）。この第１従来技術のコアレスリニアモータは、界磁ヨークに複数の永久磁石が直線的に配置され、固定子が構成される。また、３相で構成されるコイル列を少なくとも２個並べて平板状に成形してなるコアレス型の電機子コイルを有する電機子により、可動子が構成される。このとき、コイル列は上記複数の永久磁石と磁気的空隙を介し対向しており、電機子コイルに対し電機子の位置に応じた所定の電流が流されることにより、電機子コイルと永久磁石との電磁作用によって電機子が直線移動する。
【０００３】
一方、このようなコアレスリニアモータにおいて、３相のうち２相のコイルを基板を挟んで一方側のコイル列に配置し、残り１相のコイルの巻き始め・巻き終わり位置を反転させて基板を挟んで他方側のコイル列に配置した構成も、従来、既に知られている（以下適宜、第２従来技術という）。このような構成とすることにより、上記第１従来技術の構成に比べ、可動子の長さを２／３とすることができるので、ストローク長を増やすことができる。
【０００４】
図７は、上記第２従来技術によるコアレスリニアモータを、可動子の進行方向（後述）から見た横断面図であり、図８は、上記従来のコアレスリニアモータを電機子ベース（後述）を取り外した状態で上から見た平面図である。なお、図７は図８中Ｃ−Ｃ断面による横断面図に相当している。
【０００５】
これら図７及び図８において、コアレスリニアモータ１００は、固定子１０１と、可動子１０２とを有している。
【０００６】
固定子１０１は、少なくとも１つ（この例では２つ）の界磁ヨーク１１，１２と、複数の永久磁石１３からなる磁石列１４Ａ，１４Ｂとを備えている。界磁ヨーク１１，１２は、界磁ヨーク固定板１５を介し、互いに対向するように固定されている。磁石列１４Ａ，１４Ｂではそれぞれ、複数個の上記永久磁石１３が、交互に極性が異なるように、可動子１０２の進行方向（図８中左右方向）に沿って界磁ヨーク１１，１２の内側に直線的に配置されている。またこのとき、永久磁石１３は、隣り合う磁石同士が所定のピッチＰｍごとに配置されると共に、可動子１０２を挟んで対向する磁石の極性が異極になるように配置されている。
【０００７】
可動子１０２は、コアレス型の電機子１２０を有している。電機子１２０は、電機子１２０の上端に設けられた電機子ベース２１と、複数個（この例では２列）のコイル列１２２Ａ，１２２Ｂと、基板２３とを備えている。
【０００８】
コイル列１２２Ａ，１２２Ｂは、いわゆる集中巻きに構成されており、樹脂モールド（図示省略）により複数個（この例では３個）のコイル１３０がまとめて固定されて平板状に成形され、電機子コイル１４０を構成している。
【０００９】
また、上記コイル列１２２Ａ，１２２Ｂのうち一方のコイル列１２２Ａは、上記磁石列１４Ａと磁気的空隙を介して対向するように上記進行方向に沿って配置された少なくとも１つ（この例では２個）のコイル１３０を備えている。他方のコイル列１２２Ｂは、上記磁石列１４Ｂと磁気的空隙を介して対向するように上記進行方向に沿って配置された少なくとも１つ（この例では１個）のコイル１３０を備えている。
【００１０】
基板２３は、隣接するコイル列１２２Ａ，１２２Ｂどうしの間に介在して配置され、コイル列１２２Ａ，１２２Ｂに備えられるコイル１３０どうしの絶縁や結線を行う。
【００１１】
電機子ベース２１は、図示しない負荷を載置するためのテーブルを固定することができる。
【００１２】
図９は、図７中のＡ−Ａ断面を側面から見た、電機子１２０のコイル列の詳細構造を表す側断面図であり、図１０は、図７中のＢ−Ｂ断面を真下から見た場合に相当する横断面図である。
【００１３】
図９及び図１０や、上記図７に示すように、コイル列１２２Ａは、電機子ベース２１の一方側（図７中左側、図１０中上側）部分に固定され、コイル列１２２Ｂは、電機子ベース２１の他方側（図７中右側、図１０中下側）部分に固定される。そして、各コイル１３０は、すべて、同一の径方向寸法ｗと、同一の厚さ方向寸法ｔとを備えている。
【００１４】
そして、上記構成のコアレスリニアモータ１００は、電機子コイル１４０に電機子１２０の位置に応じた所定の電流を流すことにより、電機子コイル１４０と永久磁石１３との電磁作用により、可動子１０２が上記進行方向に沿って直線移動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】特開２００１−１９７７１８号公報（段落０００６、図４）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
上記構成のコアレスリニアモータ１００において、走行時におけるコイル１３０からの発熱は、電機子ベース２１に伝達された後、電機子ベース２１によって外部へ放熱される。このとき、上記第２従来技術では、コイル列１２２Ａのコイル１３０とコイル列１２２Ｂのコイル１３０とが、互いに同一の径方向寸法ｗ及び厚さ方向寸法ｔを備えるよう、寸法が画一的に設定されている。このため、コイル列１２２Ａのコイル１３０からの発熱を電機子ベース２１へ伝達するときの伝熱面積Ｓ（図１０参照）も、コイル列１２２Ｂのコイル１３０からの発熱を電機子ベース２１へ伝達するときの伝熱面積Ｓ（図１０参照）も、比較的小さい値にとどまる。この結果、それら伝熱時の熱抵抗が大きくなり、モータ内の温度が上昇する傾向となる。また、電機子１２０内にコイル１３０が存在しない領域ＡＲ（図８、図１０参照）が残存し、結果としてモータ内の導体の占有率が低下し効率が低くなるため、これによってもモータ内の温度が上昇する傾向となる。このように、画一的なコイル寸法の設定により電機子１２０の発熱による温度上昇を招く結果、モータ内を所望の態様に温度調整するのが困難であった。
【００１７】
本発明の目的は、コイルの発熱によるモータ内の温度変化の態様を所望に調整可能な、コアレスリニアモータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的を達成するために、本発明は、交互に極性が異なるように複数の永久磁石を直線状に並べて配置した界磁と、前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して平行に対向配置されると共に複数個のコイル列を並べて平板状に成形したコアレス型の電機子コイルを有する電機子とを備え、前記界磁と前記電機子の何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁と前記電機子を所定の進行方向に沿って走行するコアレスリニアモータであって、前記界磁は、前記永久磁石の磁石列を２列対向させるように構成してあり、前記コアレス型の電機子は、電機子ベースと、前記電機子ベースに取り付けられると共に、前記複数個のコイル列同士の絶縁を行うための基板と、を有しており、前記複数個のコイル列は、前記進行方向に沿った径方向寸法と厚さ方向寸法とが互いに同一である複数の第１コイルを、２つの第１コイルを１組として少なくとも１組備えた第１コイル列と、前記基板を挟んで前記第１コイル列と反対側に設けられ、前記第１コイルと異なる前記径方向寸法及び前記厚さ方向寸法を備えた第２コイルを各組の前記２つの第１コイルに対応して１つずつ設けた、第２コイル列と、を含む。
【００１９】
本発明においては、２列の磁石列が界磁に設けられている。各磁石列においては、複数の永久磁石が、極性が交互に異なるようにしつつ直線的に並べられている。一方、コアレス型の電機子には、電機子ベースに取り付けられた複数個のコイル列を並べて平板状に成形した電機子コイルが備えられており、電機子コイルにおいて複数個のコイル列同士は基板によって絶縁されている。また、電機子は、上記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して対向配置されている。そして、電機子コイルに対し、位置に応じた所定の電流を流すことにより、コイルと永久磁石との電磁作用により、可動子（電機子と界磁のうちの一方）が、固定子（電機子と界磁のうちの他方）に対して走行する。このときのコイルからの発熱は、電機子ベースに伝達された後、電機子ベースによって外部へ放熱される。
【００２０】
そして、本発明においては、電機子コイルに備えられた複数個のコイル列は、基板を挟んで互いに反対側に設けられた、第１コイル列と第２コイル列とを含む。第１コイル列には、同一の径方向及び同一の厚さ方向寸法を備え、２つずつ１組とした第１コイルが、少なくとも１組設けられている。第２コイル列は、上記各組の２つの第１コイルに対応して１つずつ、第２コイルを備えている。すなわち、２つ１組の第１コイルに対応するように、基板を挟んで反対側に、１つの第２コイルが設けられている。
【００２１】
このとき、本発明では、従来構造とは異なり、第１コイル及び第２コイルの径方向寸法を互いに異なるようにし、また第１コイルと第２コイルの厚さ方向寸法も互いに異なるようにしている。第１コイルや第２コイルの径方向寸法を変えることで、上記第１及び第２コイルからの発熱を電機子ベースへ伝達するときの伝熱面積が変わる。これによって電機子ベースからの放熱量が変わるので、結果として第１コイル及び第２コイルの発熱による温度変化時の態様を調整可能となる。また、径方向寸法と併せて第１コイル及び第２コイルの厚さ方向寸法を変えることで、モータ内の導体の占有率が変わることにより効率が増減し、これによっても温度変化の態様を調整可能となる。
【００２２】
以上のように、本発明においては、第１コイル及び第２コイルの径方向寸法及び厚さ方向寸法を互いに異なるようにすることにより、第１コイル及び第２コイルの発熱によってモータ内の温度が変化するときの態様を所望に調整することができる。
【００２３】
好ましくは、前記第２コイル列の前記第２コイルは、前記第１コイルより大きい前記径方向寸法と、前記第１コイルより小さい前記厚さ方向寸法とを備えている。
【００２４】
これにより、径方向寸法及び厚さ方向寸法が第１コイルと同一であった従来構造に比べて、第２コイルから電機子ベースへの伝熱面積を増大して熱抵抗を低減し、放熱を促進することができる。また、第１コイル２つに対応して１つ設けられる第２コイルを大径化することで、モータ内の導体の占有率を増加させ、効率を向上することもできる。この結果、モータ内の温度上昇を抑制することができる。これにより、小型かつ高効率なリニアモータを実現することができるので、半導体や液晶製造装置の小型化や高精度化を図ることもできる。
【００２５】
また好ましくは、前記第１コイルの前記径方向寸法をｗ１、前記厚さ方向寸法をｔ１、前記第２コイルの前記径方向寸法をｗ２、前記厚さ方向寸法をｔ２、としたとき、ｗ２＞ｗ１  かつ  ０．６×ｔ１≦ｔ２＜ｔ１となるように構成する。
【００２６】
これにより、第２コイルからの発熱の電機子ベースを介した放熱を、確実に促進できると共に、モータ内の導体の占有率を確実に増加させ、効率を向上することができる。
【００２７】
また好ましくは、前記固定子は、前記界磁を構成する磁石列を設けた界磁ヨークを備えており、前記可動子は、前記コアレス型の電機子である。
【００２８】
これにより、コアレス型の電機子が界磁ヨークや磁石列に対し所定の進行方向に沿って走行する構成において、第１コイル及び第２コイルの発熱によって温度が変化するときの態様を所望に調整することができる。
【００２９】
また好ましくは、前記第２コイルは、コイル巻線の巻き始め位置及び巻き終わり位置の前記進行方向に沿った前後関係が、対応する前記１組の第１コイルのいずれか１つと逆になるように、反転して配置されている。
【００３０】
これにより、電機子を短くしてストローク長を増やすためにコイルの巻き始め・巻き終わり位置を第１コイルと反転させて第２コイルとした構成において、第１コイル及び第２コイルの発熱によって温度が変化するときの態様を所望に調整することができる。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によれば、コイルの発熱によるモータ内の温度変化の態様を所望に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一実施形態によるコアレスリニアモータを可動子の進行方向から見た横断面図である。
【図２】図１のコアレスリニアモータを電機子ベースを取り外した状態で上から見た平面図である。
【図３】図１中のＡ−Ａ断面を側面から見た、電機子のコイル列の詳細構造を表す側断面図である。
【図４】図１中のＢ−Ｂ断面を真下から見た場合に相当する横断面図である。
【図５】電機子コイルの径方向寸法及び厚さ方向寸法の関係を概念的に説明する説明図である。
【図６】図１のコアレスリニアモータによる損失低減効果を表すグラフである。
【図７】従来のコアレスリニアモータを可動子の進行方向から見た横断面図である。
【図８】図７のコアレスリニアモータを電機子ベースを取り外した状態で上から見た平面図である。
【図９】図７中のＡ−Ａ断面を側面から見た、電機子のコイル列の詳細構造を表す側断面図である。
【図１０】図７中のＢ−Ｂ断面を真下から見た場合に相当する横断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しつつ説明する。なお、上記図７及び図８において説明した従来技術と同等の部分には同一の符号を付し、適宜、説明を省略又は簡略化する。
【００３４】
図１は、本発明の一実施形態によるコアレスリニアモータを可動子の進行方向（後述）から見た横断面図であり、上記図７に対応する図である。また、図２は、図１のコアレスリニアモータを電機子ベースを取り外した状態で上から見た平面図であり、上記図８に対応する図である。なお、図１は図２中Ｃ−Ｃ断面による横断面図に相当している。
【００３５】
これら図１及び図２において、本実施形態のコアレスリニアモータ１は、固定子５１と、可動子５２とを有している。
【００３６】
固定子５１は、上記従来技術の固定子１０１と同様、界磁ヨーク１１，１２と、複数の永久磁石１３からなる２列の磁石列１４Ａ，１４Ｂとを備えている。前述と同様、永久磁石１３は、隣り合う磁石同士が所定のピッチ（磁極間距離）Ｐｍごとに配置されると共に、可動子５２を挟んで対向する磁石の極性が異極になるように配置されている。
【００３７】
可動子５２は、コアレス型の電機子２０を有している。電機子２０は、上記同様の電機子ベース２１及び基板２３と、複数個（この例では２列）のコイル列２２Ａ，２２Ｂとを備えている。
【００３８】
コイル列２２Ａ，２２Ｂは、上記コイル列１２２Ａ，１２２Ｂ同様の集中巻きに構成され、複数個（この例では３個）のコイル３０Ａ，３０Ｂがまとめて固定されて平板状に成形され、電機子コイル４０を構成している。一方のコイル列２２Ａは、上記磁石列１４Ａと磁気的空隙を介して対向するように上記進行方向に沿って配置された複数（この例では２個）のコイル３０Ａを備えている。他方のコイル列２２Ｂは、上記磁石列１４Ｂと磁気的空隙を介して対向するように上記進行方向に沿って配置された少なくとも１つ（この例では１個）のコイル３０Ｂを備えており、基板２３を挟んでコイル列２２Ａと反対側に設けられている。なお、コイル３０Ａが各請求項記載の第１コイルを構成し、コイル列２２Ａが第１コイル列を構成する。またコイル３０Ｂが各請求項記載の第２コイルを構成し、コイル列２２Ｂが第２コイル列を構成する。
【００３９】
図３は、図１中のＡ−Ａ断面を側面から見た、電機子２０のコイル列の詳細構造を表す側断面図であり、上記図９に対応する図である。図４は、図１中のＢ−Ｂ断面を真下から見た場合に相当する横断面図であり、上記図１０に対応する図である。
【００４０】
図３、図４、及び上記図１に示すように、コイル列２２Ａは、電機子ベース２１の一方側（図１中左側、図４中上側）部分に固定され、コイル列２２Ｂは、電機子ベース２１の他方側（図１中右側、図４中下側）部分に固定される。
【００４１】
本実施形態の特徴として、コイル列２２Ａには、２つのコイル３０Ａを１組として、少なくとも１組（この例では１組）が設けられると共に、コイル列２２Ｂには、各組のコイル３０Ａ，３０Ａに対応して１つずつ（この例では１つのみ）のコイル３０Ｂが設けられている。そして、コイル列２２Ａのコイル３０Ａは、径方向寸法ｗ１及び厚さ方向寸法ｔ１を備えている。コイル列２２Ｂのコイル３０Ｂは、上記ｗ１とは異なる径方向寸法ｗ２と、上記ｔ１とは異なる厚さ方向寸法ｔ２とを備えている。
【００４２】
この例では、コイル３０Ｂの径方向寸法ｗ２は上記ｗ１よりも大きく、また厚さ方向寸法ｔ２は上記ｔ１よりも小さくなっている。具体的には、図５に概念的に示すように、ｗ２＞ｗ１  かつ  ０．６×ｔ１≦ｔ２＜ｔ１となるように、設定されている。この結果、コイル列２２Ｂのコイル３０Ｂからの発熱を電機子ベース２１へ伝達するときの伝熱面積Ｓ２（図４参照）は、コイル列２２Ａのコイル３０Ａからの発熱を電機子ベース２１へ伝達するときの伝熱面積Ｓ１（図４参照）よりも、大きくなっている。
【００４３】
なお、各コイル列２２Ａ，２２Ｂの相帯についての詳細な図示は省略するが、コイル３０Ｂのコイル巻線の巻き始め位置及び巻き終わり位置は、対応する１組のコイル３０Ａ，３０Ａのいずれか１つにおけるコイル巻線の巻き始め位置及び巻き終わり位置と、上記進行方向に沿った前後関係が逆になるように（いわゆる巻き方向が逆になるように）、反転して配置されている。
【００４４】
以上のように構成した本実施形態のコアレスリニアモータ１においては、前述の図７〜図１０に示したコアレスリニアモータ１００と同様、コイル３０Ａ，３０Ｂに電機子２０の位置に応じた所定の電流を流すことにより、コイル３０Ａ，３０Ｂと永久磁石１３との電磁作用により、可動子５２が上記進行方向に沿って直線移動する。このときのコイル３０Ａ，３０Ｂからの発熱は、電機子ベース２１に伝達された後、電機子ベース２１によって外部へ放熱される。
【００４５】
このとき、本実施形態では、前述の従来構造とは異なり、コイル３０Ａの径方向寸法ｗ１とコイル３０Ｂの径方向寸法ｗ２とが異なる。このようにコイルの径方向寸法を互いに変えた結果、コイル３０Ａからの発熱を電機子ベース２１へ伝達する伝熱面積Ｓ１と、コイル３０Ｂからの発熱を電機子ベース２１へ伝達する伝熱面積Ｓ２とを、互いに異なる値とすることができる。このようなコイル３０Ａ，３０Ｂのコイル径方向寸法の大小の設定により、コイル３０Ａ及びコイル３０Ｂの発熱によるモータ内の温度変化の態様を、適宜に調整可能となる。また、本実施形態では、コイル３０Ｂの厚さ方向寸法ｔ１とコイル３０Ｂの厚さ方向寸法ｔ２も、互いに異なる値となっている。上記コイル径方向寸法の設定と併せ、このようにコイル３０Ａ及びコイル３０Ｂの厚さ方向寸法ｔ１，ｔ２を互いに異ならせることで、モータ内の導体の占有率が変わることにより効率を増減でき、これによっても温度変化の態様を調整可能となる。
【００４６】
以上のようにして、本実施形態においては、コイル３０Ａ及びコイル３０Ｂの可動子進行方向に沿った径方向寸法ｗ１，ｗ２及び厚さ方向寸法ｔ１，ｔ２を互いに異なるようにすることにより、コイルの発熱によってモータ内の温度が変化するときの態様を所望に調整することができる。特に、この例では、コイル３０Ｂの径方向寸法ｗ２をコイル３０Ａの径方向寸法ｗ１よりも大きくすると共に、コイル３０Ｂの厚さ方向寸法ｔ２をコイル３０Ａの厚さ方向寸法ｔ１よりも小さくしている。これにより、径方向寸法ｗ及び厚さ方向寸法ｔがすべてのコイル３０で同一であった従来構造における当該コイル３０から電機子ベース２１への伝熱面積Ｓに比べ、コイル３０Ｂから電機子ベース２１への伝熱面積Ｓ２を増大して熱抵抗を低減し、放熱を促進することができる（なお、本実施形態の例ではコイル３０Ａから電機子ベース２１への伝熱面積Ｓ１も、上記伝熱面積Ｓより大きくなっている）。また、２つのコイル３０Ａに対応して、大径化したコイル３０Ｂを１つ設けることで、モータ内の導体の占有率を増加させ、効率を向上することもできる。この結果、モータ内の温度上昇を抑制することができる。したがって、小型かつ高効率なリニアモータを実現することができるので、半導体や液晶製造装置の小型化や高精度化を図ることもできる。
【００４７】
また、本実施形態では特に、前述のコイル３０Ａ及びコイル３０Ｂの径方向寸法ｗ１，ｗ２及び厚さ方向寸法ｔ１，ｔ２に関し、ｗ２＞ｗ１  かつ  ０．６×ｔ１≦ｔ２＜ｔ１となるように構成している。これにより、コイル３０Ｂからの発熱の電機子ベース２１を介した放熱を、確実に促進できると共に、モータ内の導体の占有率を確実に増加させ、効率を向上することができる。このことを、図６を用いて詳細に説明する。
【００４８】
図６は、横軸にコイル３０Ｂの厚さ方向寸法ｔ２の、コイル３０Ａの厚さ方向寸法ｔ１に対する比率をとり、縦軸に損失をとって表したグラフである。なお、損失は、前述の従来構造にほぼ相当する比較例（ｔ２がｔ１よりわずかに大きい、ほぼ等しい構造）における損失値との相対値で表している。
【００４９】
図６に示す曲線は、コイル３０Ａ及びコイル３０Ｂの径方向寸法ｗ１，ｗ２を同一の値として固定した条件で、コイル３０Ａ及びコイル３０Ｂの厚さ方向寸法ｔ１，ｔ２を種々に変更して設定した場合の損失値を、本出願人が検討して得た結果である。図示より明らかなように、０．６×ｔ１≦ｔ２＜ｔ１の範囲とすることで、損失値の値を上記比較例の場合の９４％〜９６％となっており、損失値が低下（言い換えれば効率が向上）している。この曲線は、前述のようにｗ１＝ｗ２の条件の下での検討結果であることから、ｗ２＞ｗ１である本実施形態においては、さらに確実に効率を向上できることがわかる。
【００５０】
また、本実施形態では特に、コイル３０Ｂのコイル巻線の巻き始め位置及び巻き終わり位置を、対応する１つのコイル３０Ａと逆にし、コイル３０Ａとコイルの巻き方向が逆になるように反転して配置している。これにより、電機子２０を短くしてストローク長を増やすことができる。
【００５１】
なお、以上においては、磁石列１４Ａ，１４Ｂを設けた界磁ヨーク１１，１２を固定子とし、コアレス型の電機子２０が可動子となって走行する場合を例にとって説明したが、これに限られない。逆に、コアレス型の電機子２０を固定子とし、磁石列１４Ａ，１４Ｂを設けた界磁ヨーク１１，１２が可動子となって走行する構造としてもよい。この場合も、上記同様の効果を得ることができる。
【００５２】
また、以上既に述べた以外にも、上記実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用しても良い。
【００５３】
その他、一々例示はしないが、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明によれば、小型かつ高効率なリニアモータを実現することができ、半導体や液晶製造装置の小型化や高精度化を図ることができる。
【符号の説明】
【００５５】
１              コアレスリニアモータ
１１，１２      界磁ヨーク
１３            永久磁石
１４Ａ，１４Ｂ  磁石列
２０            電機子
２１            電機子ベース
２２Ａ          コイル列（第１コイル列）
２２Ｂ          コイル列（第２コイル列）
２３            基板
３０Ａ          コイル（第１コイル）
３０Ｂ          コイル（第２コイル）
４０            電機子コイル
５１            固定子
５２            可動子
ｔ              厚さ方向寸法
ｔ２            厚さ方向寸法
ｗ              径方向寸法
ｗ２            径方向寸法
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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