(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の電極が内部に対向配置された、外面形状が略球形状または略楕円球形状の発光管部および当該発光管部の両端の各々に連続する封止部を有する放電容器を備え、当該一対の電極の少なくとも一方の電極が電極軸部の先端部に易電子放射物質を含有するコイル部が形成されてなるショートアーク型放電ランプにおいて、
前記発光管部の前記一方の電極の周囲を囲繞する内面は、前記放電容器の管軸に沿った断面において、少なくともアーク形成領域の周囲を囲繞する内面領域を構成する、発光管部の外表面に沿った略球面状または略楕円球面状の外方に凸の第１の湾曲部およびこの第１の湾曲部に連続する内方に凸の第２の湾曲部を有しており、当該第２の湾曲部は、前記第１の湾曲部が延長された仮想球面または仮想楕円球面より外方に位置されており、前記第１の湾曲部と前記第２の湾曲部の境界位置である第１の変曲点が、前記コイル部の周囲を囲繞する内面領域内に位置されており、
前記発光管部における前記一方の電極の周囲を囲繞する内面は、前記電極軸部の軸方向に沿った断面において、前記第２の湾曲部に連続する外方に凸の第３の湾曲部をさらに有しており、前記第２の湾曲部と前記第３の湾曲部の境界位置である第２の変曲点が、前記コイル部の周囲を囲繞する内面領域より前記封止部側に位置されていることを特徴とするショートアーク型放電ランプ。
【請求項２】
前記発光管部の前記第２の変曲点の位置における内径が、前記コイル部の後端の外径より大きく、前記第２の変曲点の位置と、前記発光管部の内面が前記電極軸部の外周面に最接近する最内縁位置との間の軸方向長さが、前記第１の変曲点の位置と、前記第２の変曲点の位置と間の軸方向長さより小さいことを特徴とする請求項１に記載のショートアーク型放電ランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ショートアーク型放電ランプに関し、特に、紫外線を利用した半導体検査装置用光源、プロジェクタ装置用光源、あるいは、露光装置用光源として好適に用いられるショートアーク型放電ランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ショートアーク型放電ランプは、高輝度が得られる、点光源を形成することができると共に小型であるなどの利点を有するものであることから、例えば、半導体検査装置用光源、プロジェクタ装置用光源、あるいは、露光装置用光源として好適に用いられている。
このようなショートアーク型放電ランプにおいては、一層の小型化が求められており、例えば特許文献１の特開平０８−２８７８６７号公報には、顕微鏡などの検査装置用の光源として用いられる、放電容器における発光管部の内容積が例えば３００ｍｍ3 程度とされた小型のショートアーク型放電ランプが開示されており、また、特許文献２の特開２００７−１２３１４０号公報には、プロジェクタ装置用の光源として用いられる、放電容器における発光管部の内容積が例えば２１４ｍｍ3 とされた小型のショートアーク型放電ランプが開示されている。
【０００３】
図４は、従来のショートアーク型放電ランプの一例における構成の概略を示す説明図、図５は、図４における破線で囲まれた領域の拡大断面図である。
このショートアーク型放電ランプ４０は、内部に放電空間を形成する略球形状または略楕円球形状の発光管部４２と、この発光管部４２の両端の各々に連続する封止部４３とを有する、例えば石英ガラスよりなる放電容器４１を備えており、発光管部４２の内部には、陰極２１および陽極２５が互いに対向して配置されていると共に、発光物質としての水銀と、バッファガスとしての希ガスと、ハロゲンサイクルを行なうためのハロゲンとが封入されている。
陰極２１は、先端が概略円錐形とされたロッド状の電極軸部２２と、この電極軸部２２の先端側部分に設けられた、易電子放射物質を含有するコイル部２３とにより構成されており、封止部４３に気密に埋設された金属箔２８を介して封止部４３の外端より軸方向外方に突出して延びる外部リード２７に電気的に接続されている。
陽極２５は、先端が概略円錐形とされたロッド状のものであって、封止部４３に気密に埋設された金属箔２８を介して封止部４３の外端より軸方向外方に突出して延びる外部リード２７に電気的に接続されている。
【０００４】
このようなショートアーク型放電ランプ４０においては、通常、ランプ点灯用電源（図示せず）からの通電により陰極２１が加熱されることに伴ってコイル部２３に含有された易電子放射物質が加熱され、これにより放射される電子の作用によってグロー放電からアーク放電への移行が速やかに行われて、高いランプ始動性を得ることができるものとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０８−２８７８６７号公報
【特許文献２】特開２００７−１２３１４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、放電容器４１における発光管部４２の内容積が例えば３００ｍｍ3 以下とされた小型のショートアーク型放電ランプ４０においては、陰極２１におけるコイル部２３の軸方向後端部の外周面と発光管部４２の内面とが近接するようになり、ランプ始動時において、通電により加熱されるコイル部２３の熱が温度の低い（冷えた）状態にある発光管部４２に奪われて易電子放射物質の昇温が阻害されるので、易電子放射物質からの電子の放射効率が低下して十分なランプ始動性が得られないことがある、という問題が生ずる。
【０００７】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、十分に高いランプ始動性が得られると共に長い使用寿命が得られる小型のショートアーク型放電ランプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のショートアーク型放電ランプは、一対の電極が内部に対向配置された、外面形状が略球形状または略楕円球形状の発光管部および当該発光管部の両端の各々に連続する封止部を有する放電容器を備え、当該一対の電極の少なくとも一方の電極が電極軸部の先端部に易電子放射物質を含有するコイル部が形成されてなるショートアーク型放電ランプにおいて、
前記発光管部の前記一方の電極の周囲を囲繞する内面は、前記放電容器の管軸に沿った断面において、少なくともアーク形成領域の周囲を囲繞する内面領域を構成する、発光管部の外表面に沿った略球面状または略楕円球面状の外方に凸の第１の湾曲部およびこの第１の湾曲部に連続する内方に凸の第２の湾曲部を有しており、当該第２の湾曲部は、前記第１の湾曲部が延長された仮想球面または仮想楕円球面より外方に位置されており、前記第１の湾曲部と前記第２の湾曲部の境界位置である第１の変曲点が、前記コイル部の周囲を囲繞する内面領域内に位置されており、
前記発光管部における前記一方の電極の周囲を囲繞する内面は、前記電極軸部の軸方向に沿った断面において、前記第２の湾曲部に連続する外方に凸の第３の湾曲部をさらに有しており、前記第２の湾曲部と前記第３の湾曲部の境界位置である第２の変曲点が、前記コイル部の周囲を囲繞する内面領域より前記封止部側に位置されていることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明のショートアーク型放電ランプにおいては、前記発光管部の前記第２の変曲点の位置における内径が、前記コイル部の後端の外径より大きく、前記第２の変曲点の位置と、前記発光管部の内面が前記電極軸部の外周面に最接近する最内縁位置との間の軸方向長さが、前記第１の変曲点の位置と、前記第２の変曲点の位置と間の軸方向長さより小さい構成とされていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のショートアーク型放電ランプによれば、一方の電極におけるコイル部の外周面と、発光管部の内面との間に十分な大きさの離間距離が確保されるので、ランプ始動時において、コイル部の熱が発光管部に伝熱されてコイル部の昇温が阻害されることが防止される結果、コイル部に含有された易電子放射物質からの電子の放出が良好に行われて当該易電子放射物質による所期の始動補助効果が確実に得られ、従って、優れたランプ始動性が得られる。しかも、コイル部の構成部材が蒸発して発光管部の内面に付着することによる放電容器の黒化が生ずることが抑制される。
【００１２】
また、発光管部の内面がコイル部の外周面との間に十分な大きさの離間距離が確保される形状でありながら、発光管部内に封入された水銀が未蒸発な状態で溜まってしまうような微小空間が形成されることがないので、所期の発光管部内の圧力（水銀蒸気圧）を得ることができてランプを安定して確実に点灯させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明のショートアーク型放電ランプの一例における構成の概略を示す説明図である。
【図２】図１における破線で囲まれた領域の拡大断面図である。
【図３】本発明のショートアーク型放電ランプの他の例における構成の概略を示す拡大断面図である。
【図４】従来のショートアーク型放電ランプの一例における構成の概略を示す説明図である。
【図５】図４における破線で囲まれた領域の拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、本発明のショートアーク型放電ランプの一例における構成の概略を示す説明図、図２は、図１における破線で囲まれた領域の拡大断面図である。
この実施の形態に係るショートアーク型放電ランプ１０は、直流点灯式のものであって、内部に放電空間を形成する外面形状が略球形状または略楕円球形状の発光管部１２と、この発光管部１２の両端の各々に連続する封止部１３Ａ，１３Ｂとを有する、例えば石英ガラスよりなる放電容器１１を備えており、発光管部１２の内部には、陰極２１および陽極２５が互いに対向して配置されている。ここに、陰極２１および陽極２５の電極間距離は、２．０ｍｍ以下であって、例えば０．５〜２．０ｍｍである。図１において、２９は、放電容器１１における封止部１３Ａ，１３Ｂの一部を受容した状態で装着されたベースである。
このショートアーク型放電ランプ１０は、例えば陰極２１が上方に位置される姿勢で垂直点灯される。
【００１５】
陰極２１は、例えばタングステンよりなり、先端が概略円錐形とされたロッド状の電極軸部２２と、この電極軸部２２の先端側部分に設けられた、易電子放射物質（以下、「エミッタ」という。）を含有するコイル部２３とにより構成されており、電極軸部２２の基端部が封止部１３Ａに気密に埋設された例えばモリブデンよりなる金属箔２８の先端側部分に接合され、これにより、先端部が金属箔２８の後端側部分に接合されて封止部１３Ａの外端より軸方向外方に突出して延びる外部リード２７に金属箔２８を介して電気的に接続されている。
コイル部２３は、例えば、酸化トリウム（ＴｈＯ2 ）、酸化ランタン（Ｌａ2 Ｏ3 ）などのエミッタが含有されたタングステン、または、トリウムタングステン（トリウムの含有量が例えば２ｗｔ％程度）よりなる線材が電極軸部２２の外周面に、例えば軸方向に均一な外径で、軸方向に沿って延びるよう巻回されて形成されている。エミッタの含有量は、例えば０．１〜３．０ｗｔ％であることが好ましい。
【００１６】
陽極２５は、例えばタングステンよりなり、先端が概略円錐形とされたロッド状のものであって、基端部が封止部１３Ｂに気密に埋設された例えばモリブデンよりなる金属箔２８の先端側部分に接合され、これにより、先端部が金属箔２８の後端側部分に接合されて封止部１３Ｂの外端より軸方向外方に突出して延びる外部リード２７に金属箔２８を介して電気的に接続されている。
【００１７】
また、発光管部１２の内部には、発光物質としての水銀と、バッファガスとしての希ガスと、ハロゲンサイクルを行なうためのハロゲンとが封入されている。
水銀の封入量は、０．２０ｍｇ／ｍｍ3 以下であって、例えば０．１０ｍｇ／ｍｍ3 である。
希ガスは、例えばアルゴンガスであり、その封入量は例えば１３ｋＰａである。
ハロゲンは、例えば臭素であって、その封入量は、２．０×１０−4 μｍｏｌ／ｍｍ3 〜７．０×１０-3μｍｏｌ／ｍｍ3 の範囲であって、例えば３．０×１０−4 μｍｏｌ／ｍｍ3 である。なお、ハロゲンの封入量は前記範囲に限定されるものではない。
【００１８】
而して、上記のショートアーク型放電ランプ１０においては、放電容器１１における発光管部１２の内面が次のような形状を有する。
すなわち、発光管部１２における陰極２１の周囲を囲繞する内面Ｒ１は、図２に示すように、放電容器１１の管軸方向に沿った断面において、少なくともアーク形成領域（電極間領域）の周囲を囲繞する内面領域を構成する外方に凸の第１の湾曲部１５と、この第１の湾曲部１５に連続する内方に凸の第２の湾曲部１６と、この第２の湾曲部１６に連続する外方に凸の第３の湾曲部１７と、この第３の湾曲部１７に連続する内方に凸の屈曲部１８とを有している。そして、第１の湾曲部１５と第２の湾曲部１６との境界位置である第１の変曲点Ｐ１がコイル部２３の周囲を囲繞する内面領域内に位置されると共に、第２の湾曲部１６と第３の湾曲部１７との境界位置である第２の変曲点Ｐ２がコイル部２３の周囲を囲繞する内面領域より封止部１３Ａ側に位置されている。
また、発光管部１２における陽極２５の周囲を囲繞する内面Ｒ２は、陰極２１の周囲を囲繞する内面を構成する第１の湾曲部１５により構成されている。
【００１９】
第１の湾曲部１５は、例えば発光管部１２の外表面に沿った略球面状または略楕円球面状とされており、第２の湾曲部１６は、例えば略球面状または略楕円球面状とされている。ここに、第１の湾曲部１５の曲率半径および第２の湾曲部１６の曲率半径は、互いに同一の大きさであっても、異なる同大きさであっても、いずれであってもよい。
また、第３の湾曲部１７は、例えば第１の湾曲部１５および第２の湾曲部１６より曲率半径の小さい略球面状または略楕円球面状とされている。
【００２０】
第１の変曲点Ｐ１の位置は、コイル部２３の先端縁より１．０〜２．０ｍｍの範囲内の箇所の周囲を囲繞する内面領域内に位置されていることが好ましい。これにより、陰極２１におけるコイル部２３の外周面と、発光管部１２の内面との間に十分な大きさの離間距離を確実に確保することができる。
【００２１】
発光管部１２の内面における第２の変曲点Ｐ２の位置においては、陰極２１におけるコイル部２３の後端の外径より大きい内径を有しており、これにより、コイル部２３の後端より軸方向後方側において電極軸部２２の周りに略環状空間Ｇが形成されてコイル部２３後端の外周面と発光管部１２の内周面との間に十分な大きさの離間距離が確保された状態とされている。
【００２２】
また、第２の変曲点Ｐ２と、発光管部１２の内面が電極軸部２２の外周面に最接近する軸方向における最内縁位置Ｑとの間の軸方向長さＸ１が、第１の変曲点Ｐ１と第２の変曲点Ｐ２との間の軸方向長さ（第２の湾曲部１６の軸方向長さ）Ｘ２より小さい状態とされている。このような構成とされていることにより、コイル部２３の後端より軸方向後方側において、発光管部１２の内面と電極軸部２２の外面との間に、未蒸発の水銀が溜まるような微小空間が形成されることが抑制される。
【００２３】
上記のショートアーク型放電ランプ１０の構成例を示すと、例えば、発光管部１２の内容積が３００ｍｍ3 以下、例えば１５０〜２００ｍｍ3 、発光管部１２の最大外径がφ８〜φ１１ｍｍ、発光管部１２の最大内径がφ５〜φ８ｍｍ、第１の変曲点Ｐ１の位置における内径がφ４〜φ７ｍｍ（＜発光管部１２の最大内径）、第２の変曲点Ｐ２の位置における内径がφ３〜φ６ｍｍ（コイル部の最大外径＜第２の変曲点Ｐ２における内径＜第１の変曲点Ｐ１における内径）、陰極２１における電極軸部２２の外径がφ０．５〜φ０．９ｍｍ、陰極２１におけるコイル部２３の軸方向長さが２〜５ｍｍ、最大外径がφ１．２〜φ１．８ｍｍ、第１の変曲点Ｐ１と第２の変曲点Ｐ２との軸方向長さ（Ｘ２）が２〜４ｍｍ、第２の変曲点Ｐ２と、発光管部１２の内面が陰極２１における電極軸部２２の外周面に最接近する最内縁位置Ｑとの間の軸方向長さ（Ｘ１）が１〜３ｍｍ（＜Ｘ２）、定格電力が９５〜１０５Ｗである。
【００２４】
而して、上記構成のショートアーク型放電ランプ１０によれば、発光管部１２の陰極２１の周囲を囲繞する内面Ｒ１が、放電容器１１の管軸に沿った断面において、少なくともアーク形成領域の周囲を囲繞する内面領域を構成する外方に凸の第１の湾曲部１５と、この第１の湾曲部１５に連続する内方に凸の第２の湾曲部１６と、この第２の湾曲部１６に連続する外方に凸の第３の湾曲部１７とを有し、第１の変曲点Ｐ１が、陰極２１におけるコイル部２３の周囲を囲繞する内面領域内に位置されると共に、第２の変曲点Ｐ２が、コイル部２３の周囲を囲繞する内面領域より陰極２１に係る封止部１３Ａ側に位置された形状とされていることにより、第２の湾曲部１６が放電容器１１の管軸と略平行に延びるよう形成された状態となり、陰極２１におけるコイル部２３の外周面と、発光管部１２の内面との間に十分な大きさの離間距離が確保される。これにより、ランプ始動時において、通電により陰極２１が加熱されることにより加熱されるコイル部２３の熱が発光管部１２に伝熱されてコイル部２３の昇温が阻害されることを防止することができる結果、コイル部２３に含有されたエミッタからの電子の放出が良好に行われて当該エミッタによる所期の始動補助効果を確実に得ることができ、従って、高いランプ始動性を有するものとなる。しかも、コイル部２３の構成部材が蒸発して発光管部１２の内面に付着することによる放電容器１１の黒化が生ずることを確実に抑制することができるので、所期の照度を長時間の間にわたって維持することができて長い使用寿命を有するものとなる。
【００２５】
また、発光管部１２における第２の変曲点Ｐ２の位置の内径が、コイル部２３の後端における外径より大きく、第２の変曲点Ｐ２と、発光管部１２の内面が陰極２１における電極軸部２２の外周面に最接近する最内縁位置Ｑとの間の軸方向長さＸ１が、第１の変曲点Ｐ１と第２の変曲点Ｐ２との軸方向長さＸ２より小さい構成とされていることにより、発光管部１２の内面がコイル部２３の外周面との間に十分な大きさの離間距離が確保される形状でありながら、発光管部１２内に封入された水銀が未蒸発な状態で溜まってしまうような微小空間が形成されることがないので、所期の発光管部１２内の圧力（水銀蒸気圧）を得ることができてショートアーク型放電ランプ１０を安定して確実に点灯させることができる。
【００２６】
以上においては、直流点灯方式のショートアーク型放電ランプについて説明したが、本発明は、交流点灯方式のものにおいても適用することができる。
図３は、本発明のショートアーク型放電ランプの他の例における構成の概略を示す拡大断面図である。
この実施の形態に係るショートアーク型放電ランプにおいては、放電容器１１における発光管部１２の内部に互いに対向して配置される一対の電極３１，３１の各々が、先端が概略円錐形とされたロッド状の電極軸部３２と、この電極軸部３２の先端側部分に設けられた、エミッタを含有するコイル部３３とにより構成されており、発光管部１２の内面が次のような形状を有することの他は、図１および図２に示すショートアーク型放電ランプ１０と同一の構成を有する。
発光管部１２における各々の電極３１，３１の周囲領域Ｒ１の内面は、放電容器１１の管軸方向に沿った断面において、少なくともアーク形成領域の周囲を囲繞する内面領域を構成する外方に凸の第１の湾曲部１５と、この第１の湾曲部１５の後端に連続する内方に凸の第２の湾曲部１６と、この第２の湾曲部１６の後端に連続する外方に凸の第３の湾曲部１７と、この第３の湾曲部１７の後端に連続する内方に凸の屈曲部１８とを有し、第１の変曲点Ｐ１がコイル部２３の周囲を囲繞する内面領域内に位置されると共に、第２の変曲点Ｐ２がコイル部２３の周囲を囲繞する内面領域より封止部１３側に位置された形状を有する。
【００２７】
この実施形態に係るショートアーク型放電ランプにおいても、図１および図２に示すショートアーク型放電ランプ１０と同様の効果を得ることができる。
【００２８】
以下、本発明の効果を確認するために行った実験例について説明する。
＜実験例１＞
図１および図２に示す構成に従って、本発明に係るショートアーク型放電ランプ（以下、単に「ランプ」という。）を５０本作製した。各々のランプの仕様は次に示す通りである。なお、放電容器の内面における第１の変曲点の位置および第２の変曲点の位置は、電極にフォーカスを当てた状態のＸ線写真を撮影し、これにより得られた写真における発光管部の内面形状を観察することにより確認した。
〔ランプ仕様〕
放電容器：材質；石英ガラス、発光管部の最大外径；φ１０ｍｍ、発光管部の最大内径；φ６ｍｍ、第１の湾曲部の曲率半径；Ｒ１２ｍｍ、第２の湾曲部の曲率半径；Ｒ１０ｍｍ、第３の湾曲部の曲率半径；Ｒ４ｍｍ、第１の変曲点の位置における発光管部の内径がφ５ｍｍ、第２の変曲点の位置における発光管部の内径がφ４ｍｍ、放電容器の軸方向中心位置から第１の変曲点の位置までの軸方向距離：５．０ｍｍ、放電容器の軸方向中心位置から第２の変曲点の位置までの軸方向距離；７．０ｍｍ、第１の変曲点の位置と第２の変曲点の位置との間の軸方向長さ（Ｘ２）；２．０ｍｍ、第２の変曲点の位置と、屈曲部の陰極における電極軸部の外周面に対する最近接位置との間の軸方向長さ（Ｘ１）；１．０ｍｍ、発光管部の内容積；１８０ｍｍ3 、
陰極（２１）：電極軸部の材質；タングステン、外径；φ１，０ｍｍ、コイル部；線径がφ０．４ｍｍであるトリウムタングステン（トリウムの含有量；２ｗｔ％）よりなる線材が巻回されて構成、コイル部の軸方向長さ；５．０ｍｍ、コイル部の後端の外径：φ１．６ｍｍ、放電容器の中心からコイル部の先端縁までの軸方向距離；３．０ｍｍ、
陽極（２５）：材質；タングステン、最大外径；φ３．０ｍｍ、
電極間距離：２．０ｍｍ、
水銀の封入量：０．１０ｍｇ／ｍｍ3 、アルゴン（希ガス）の封入量：１３ｋＰａ、臭素（ハロゲン）の封入量：３．０×１０-4μｍｏｌ／ｍｍ3 、
【００２９】
また、上記において作製した本発明に係るランプにおいて、放電容器として、発光管部の内面が発光管部の外面に沿った略楕円球面状とされている（第１の湾曲部、第２の湾曲部および第３の湾曲部を有さない）ことの他は、上記の本発明に係るランプと同一の構成を有する比較用のランプを５０本作製した。
【００３０】
本発明に係るランプおよび比較用のランプの各々について、ランプ点灯時間が０時間である状態（初期状態）、ランプ点灯開始から１００時間が経過した状態、ランプ点灯開始から３００時間が経過した状態での、ランプの点灯始動時の絶縁破壊電圧を測定した。結果を下記表１に示す。ここに、ランプの点灯条件は、次に示す通りであり、表１中の絶縁破壊電圧の数値は、ランプ５０本の平均値である。
〔ランプ点灯条件〕
入力電力：１００Ｗ、ランプ電圧：２０Ｖ、ランプ電流：５Ａ、垂直点灯（陰極が上方）、
【００３１】
【表１】
0005397401.tif 000002
【００３２】
以上の結果から明らかなように、本発明に係るランプの絶縁破壊電圧の平均値は、比較用のランプの絶縁破壊電圧の平均値より低く、優れたランプ始動性が得られることが確認された。この理由は、ランプ点灯始動時において、陰極におけるコイル部に含有されたエミッタの加熱を良好に行うことができたためであると考えられる。
【００３３】
＜実験例２＞
上記実験例１において作製したものと同一の仕様を有する本発明に係るランプおよび比較用のランプをそれぞれ５０本作製し、各々のランプについて、ランプ点灯時間が０時間である状態（初期状態）、ランプ点灯開始から１００時間が経過した状態、ランプ点灯開始から３００時間が経過した状態での、照度を測定し、初期状態の照度を基準として照度維持率を算出した。結果を下記表２に示す。ここに、ランプの点灯条件は、実験例１における点灯条件と同一であり、表２中の照度維持率の数値は、ランプ５０本の平均値である。
【００３４】
【表２】
0005397401.tif 000003
【００３５】
以上の結果から明らかなように、本発明に係るランプの照度維持率の平均値は、比較用のランプの照度維持率の平均値より高いことが確認された。この理由としては、本発明に係るランプにおいては、陰極におけるコイル部の構成部材が蒸発して発光管部の内面に付着して黒化が生じるような不具合を抑制できたためであると考えられる。
【符号の説明】
【００３６】
１０  ショートアーク型放電ランプ
１１  放電容器
１２  発光管部
１３，１３Ａ，１３Ｂ  封止部
１５  第１の湾曲部
１６  第２の湾曲部
１７  第３の湾曲部
１８  屈曲部
Ｐ１  第１の変曲点
Ｐ２  第２の変曲点
２１  陰極
２２  電極軸部
２３  コイル部
２５  陽極
２７  外部リード
２８  金属箔
２９  ベース
３１  電極
３２  電極軸部
３３  コイル部
４０  ショートアーク型放電ランプ
４１  放電容器
４２  発光管部
４３  封止部
【図１】
0005397401.tif 000004
【図２】
0005397401.tif 000005
【図３】
0005397401.tif 000006
【図４】
0005397401.tif 000007
【図５】
0005397401.tif 000008