(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を遮蔽する中空状の筐体として形成されるとともに、少なくとも対向する二つの側面における中途部に開口部が形成され、該開口部を介してその内部に帯状の被計測物が挿通される、検査装置本体と、
前記開口部により二分割された前記検査装置本体の内部の一側に収納され、前記開口部から挿通された被計測物に対してＸ線を照射する、Ｘ線発生器と、
前記検査装置本体の内部の他側に収納され、前記Ｘ線発生器が照射して前記被計測物を透過したＸ線を検出する、検出器と、
前記開口部における前記Ｘ線発生器の側において、前記開口部よりも前記Ｘ線発生器の側の部分を塞ぐように配設され、Ｘ線発生器から照射されたＸ線を遮蔽可能な板状の第一遮蔽部材と、
前記開口部における前記検出器の側において、前記開口部よりも前記検出器の側の部分を塞ぐように配設され、Ｘ線発生器から照射されたＸ線を遮蔽可能な板状の第二遮蔽部材と、を備え、
前記第一遮蔽部材及び前記第二遮蔽部材は、両者の間を搬送される前記被計測物が接触しない程度の隙間を空けた状態に配置され、
前記第一遮蔽部材及び前記第二遮蔽部材のそれぞれには、前記Ｘ線発生器から照射されたＸ線を透過可能なＸ線通路孔が開口され、
前記第一遮蔽部材及び前記第二遮蔽部材の間を連続して搬送され、前記検査装置本体の開口部に挿通される前記被計測物に対して、前記Ｘ線発生器からＸ線を照射し、前記被計測物を透過したＸ線を前記検出器が検出することにより、前記被計測物の品質検査を行う、
ことを特徴とする、検査装置。
【請求項２】
前記遮蔽部材は板状であり、互いに対向する側から順に質量が大きくなっていく素材が配置された多層複合構造に構成される、
ことを特徴とする、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記遮蔽部材は、前記開口部から前記検査装置本体の外側に延出して配設される、
ことを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記開口部は、前記検査装置本体の三つの側面における中途部に連続して形成され、
前記検査装置本体は、基台部の上方に載置されるとともに、前記開口部が形成された側面のうち対向する二つと直交する方向に、前記基台部においてスライド可能に構成される、
ことを特徴とする、請求項１から請求項３の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項５】
前記Ｘ線発生器及び前記検出器は、前記検査装置本体の内部における位置を可変に構成されるとともに、
前記遮蔽部材に開口される前記Ｘ線通路孔の大きさは、前記Ｘ線発生器から前記被計測物までの距離に応じて調節可能に構成される、
ことを特徴とする、請求項１から請求項４の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項６】
Ｘ線を遮蔽する中空状の筐体として形成されるとともに、少なくとも対向する二つの側面における中途部に開口部が形成され、該開口部を介してその内部に帯状の被計測物が挿通される、検査装置本体と、前記開口部により二分割された前記検査装置本体の内部の一側に収納され、前記開口部から挿通された被計測物に対してＸ線を照射する、Ｘ線発生器と、前記検査装置本体の内部の他側に収納され、前記Ｘ線発生器が照射して前記被計測物を透過したＸ線を検出する、検出器と、前記開口部における前記Ｘ線発生器の側において、前記開口部よりも前記Ｘ線発生器の側の部分を塞ぐように配設され、Ｘ線発生器から照射されたＸ線を遮蔽可能な板状の第一遮蔽部材と、前記開口部における前記検出器の側において、前記開口部よりも前記検出器の側の部分を塞ぐように配設され、Ｘ線発生器から照射されたＸ線を遮蔽可能な板状の第二遮蔽部材と、を備え、前記第一遮蔽部材及び前記第二遮蔽部材は、両者の間を搬送される前記被計測物が接触しない程度の隙間を空けた状態に配置され、前記第一遮蔽部材及び前記第二遮蔽部材のそれぞれには、前記Ｘ線発生器から照射されたＸ線を透過可能なＸ線通路孔が開口された検査装置において前記被計測物の品質検査を行う、検査方法であって、
前記第一遮蔽部材及び前記第二遮蔽部材の間を連続して搬送され、前記検査装置本体の開口部に挿通される前記被計測物に対して、前記Ｘ線発生器からＸ線を照射し、前記被計測物を透過したＸ線を前記検出器が検出することにより、前記被計測物の品質検査を行う、
ことを特徴とする、検査方法。
【請求項７】
前記遮蔽部材は板状であり、互いに対向する側から順に質量が大きくなっていく素材が配置された多層複合構造に構成される、
ことを特徴とする、請求項６に記載の検査方法。
【請求項８】
前記遮蔽部材は、前記開口部から前記検査装置本体の外側に延出して配設される、
ことを特徴とする、請求項６又は請求項７に記載の検査方法。
【請求項９】
前記開口部は、前記検査装置本体の三つの側面における中途部に連続して形成され、
前記検査装置本体は、基台部の上方に載置されるとともに、前記開口部が形成された側面のうち対向する二つと直交する方向に、前記基台部においてスライド可能に構成される、
ことを特徴とする、請求項６から請求項８の何れか１項に記載の検査方法。
【請求項１０】
前記Ｘ線発生器及び前記検出器は、前記検査装置本体の内部における位置を可変に構成されるとともに、
前記遮蔽部材に開口される前記Ｘ線通路孔の大きさは、前記Ｘ線発生器から前記被計測物までの距離に応じて調節可能に構成される、
ことを特徴とする、請求項６から請求項９の何れか１項に記載の検査方法。
【請求項１１】
前記被計測物は電池の電極シートであり、
請求項６から請求項１０の何れか１項に記載の検査方法を用いて、前記電極シートの品質検査を行う、検査工程を備える、
ことを特徴とする、電池の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置、検査方法、及び、電池の製造方法に関し、詳しくは、帯状の被計測物にＸ線を透過して不純物や欠陥を検出する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
リチウムイオン二次電池等の電池の製造工程において、電池部品である電極シートに不純物が付着したり、欠陥が発生したりする場合がある。このような場合は電池の品質不良の原因となるため、従来、電極シートにＸ線を照射することで不純物や欠陥を検出する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、Ｘ線を用いて検査を行う場合は、Ｘ線検査装置からＸ線が漏出して作業者に影響を与えることを防ぐ必要がある。このため、鉛ゴム製等の幕部材をＸ線遮蔽部材としてＸ線検査装置における被検体の入口及び出口に設置して、Ｘ線が装置外部に漏出しないように構成したＸ線検査装置が用いられている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１７９４２４号公報
【特許文献２】特開２００６−５８２３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、前記特許文献１に記載の技術では、Ｘ線の漏出を防止するための構成が開示されていない。このため、前記技術を用いて電池を製造する場合は、Ｘ線を遮蔽するための構造物を設けてその中で検査を行う必要があり、装置構成が大掛かりとなる。
【０００６】
一方、前記特許文献２に記載の技術を電池の製造工程に適用しようとすると、Ｘ線遮蔽部材が搬送される電極シートに接触してしまい、電極シートの表面性状の剥離やしわ・すじの原因となる。また、電極シートは連続した長尺シートであるため、Ｘ線検査装置における電極シートの入口及び出口を開閉可能に構成して、前記出入口の開閉作業を繰り返してＸ線を遮蔽することが不可能である。このように、Ｘ線検査装置による電極シートの不純物検査については実用化に際して課題があった。
【０００７】
そこで本発明は、Ｘ線の漏出を防止しつつ、装置構成をコンパクト化して、非接触で電極シートの不純物や欠陥を検出することが可能となる、検査装置、検査方法、及び、電池の製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００９】
即ち、請求項１においては、Ｘ線を遮蔽する中空状の筐体として形成されるとともに、少なくとも対向する二つの側面における中途部に開口部が形成され、該開口部を介してその内部に帯状の被計測物が挿通される、検査装置本体と、前記開口部により二分割された前記検査装置本体の内部の一側に収納され、前記開口部から挿通された被計測物に対してＸ線を照射する、Ｘ線発生器と、前記検査装置本体の内部の他側に収納され、前記Ｘ線発生器が照射して前記被計測物を透過したＸ線を検出する、検出器と、前記開口部における前記Ｘ線発生器の側において、前記開口部よりも前記Ｘ線発生器の側の部分を塞ぐように配設され、Ｘ線発生器から照射されたＸ線を遮蔽可能な板状の第一遮蔽部材と、前記開口部における前記検出器の側において、前記開口部よりも前記検出器の側の部分を塞ぐように配設され、Ｘ線発生器から照射されたＸ線を遮蔽可能な板状の第二遮蔽部材と、を備え、前記第一遮蔽部材及び前記第二遮蔽部材は、両者の間を搬送される前記被計測物が接触しない程度の隙間を空けた状態に配置され、前記第一遮蔽部材及び前記第二遮蔽部材のそれぞれには、前記Ｘ線発生器から照射されたＸ線を透過可能なＸ線通路孔が開口され、前記第一遮蔽部材及び前記第二遮蔽部材の間を連続して搬送され、前記検査装置本体の開口部に挿通される前記被計測物に対して、前記Ｘ線発生器からＸ線を照射し、前記被計測物を透過したＸ線を前記検出器が検出することにより、前記被計測物の品質検査を行うものである。
【００１０】
請求項２においては、前記遮蔽部材は板状であり、互いに対向する側から順に質量が大きくなっていく素材が配置された多層複合構造に構成されるものである。
【００１１】
請求項３においては、前記遮蔽部材は、前記開口部から前記検査装置本体の外側に延出して配設されるものである。
【００１２】
請求項４においては、前記開口部は、前記検査装置本体の三つの側面における中途部に連続して形成され、前記検査装置本体は、基台部の上方に載置されるとともに、前記開口部が形成された側面のうち対向する二つと直交する方向に、前記基台部においてスライド可能に構成されるものである。
【００１３】
請求項５においては、前記Ｘ線発生器及び前記検出器は、前記検査装置本体の内部における位置を可変に構成されるとともに、前記遮蔽部材に開口される前記Ｘ線通路孔の大きさは、前記Ｘ線発生器から前記被計測物までの距離に応じて調節可能に構成されるものである。
【００１４】
請求項６においては、Ｘ線を遮蔽する中空状の筐体として形成されるとともに、少なくとも対向する二つの側面における中途部に開口部が形成され、該開口部を介してその内部に帯状の被計測物が挿通される、検査装置本体と、前記開口部により二分割された前記検査装置本体の内部の一側に収納され、前記開口部から挿通された被計測物に対してＸ線を照射する、Ｘ線発生器と、前記検査装置本体の内部の他側に収納され、前記Ｘ線発生器が照射して前記被計測物を透過したＸ線を検出する、検出器と、前記開口部における前記Ｘ線発生器の側において、前記開口部よりも前記Ｘ線発生器の側の部分を塞ぐように配設され、Ｘ線発生器から照射されたＸ線を遮蔽可能な板状の第一遮蔽部材と、前記開口部における前記検出器の側において、前記開口部よりも前記検出器の側の部分を塞ぐように配設され、Ｘ線発生器から照射されたＸ線を遮蔽可能な板状の第二遮蔽部材と、を備え、前記第一遮蔽部材及び前記第二遮蔽部材は、両者の間を搬送される前記被計測物が接触しない程度の隙間を空けた状態に配置され、前記第一遮蔽部材及び前記第二遮蔽部材のそれぞれには、前記Ｘ線発生器から照射されたＸ線を透過可能なＸ線通路孔が開口された検査装置において前記被計測物の品質検査を行う、検査方法であって、前記第一遮蔽部材及び前記第二遮蔽部材の間を連続して搬送され、前記検査装置本体の開口部に挿通される前記被計測物に対して、前記Ｘ線発生器からＸ線を照射し、前記被計測物を透過したＸ線を前記検出器が検出することにより、前記被計測物の品質検査を行うものである。
【００１５】
請求項７においては、前記遮蔽部材は板状であり、互いに対向する側から順に質量が大きくなっていく素材が配置された多層複合構造に構成されるものである。
【００１６】
請求項８においては、前記遮蔽部材は、前記開口部から前記検査装置本体の外側に延出して配設されるものである。
【００１７】
請求項９においては、前記開口部は、前記検査装置本体の三つの側面における中途部に連続して形成され、前記検査装置本体は、基台部の上方に載置されるとともに、前記開口部が形成された側面のうち対向する二つと直交する方向に、前記基台部においてスライド可能に構成されるものである。
【００１８】
請求項１０においては、前記Ｘ線発生器及び前記検出器は、前記検査装置本体の内部における位置を可変に構成されるとともに、前記遮蔽部材に開口される前記Ｘ線通路孔の大きさは、前記Ｘ線発生器から前記被計測物までの距離に応じて調節可能に構成されるものである。
【００１９】
請求項１１においては、前記被計測物は電池の電極シートであり、請求項６から請求項１０の何れか１項に記載の検査方法を用いて、前記電極シートの品質検査を行う、検査工程を備えるものである。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００２１】
本発明により、Ｘ線を用いた検査装置、検査方法、及び、電池の製造方法において、Ｘ線の漏出を防止しつつ、装置構成をコンパクト化して、非接触で電極シートの不純物や欠陥を検出することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ第一実施形態に係る検査装置の正面図及び右側面図。
【図２】図１（ｂ）におけるＡ−Ａ線断面図。
【図３】（ａ）は第一実施形態に係る検査装置の遮蔽板を示した平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ線拡大断面図。
【図４】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、遮蔽板の配置、Ｘ線通路孔の内径、及び、遮蔽板の延長長さと、Ｘ線漏出量との関係を示した図。
【図５】（ａ）は遮蔽板の間隔とＸ線漏出量との関係を示した図、（ｂ１）は遮蔽板の間隔が広い場合に散乱Ｘ線が進行する状態を示した図、（ｂ２）は遮蔽板の間隔が狭い場合に散乱Ｘ線が進行する状態を示した図。
【図６】（ａ）は第二実施形態に係る検査装置の遮蔽板を示した平面図、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ第二実施形態に係る検査装置において検査装置本体の内部構造を示した図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
次に、発明の実施の形態を説明する。
なお、本発明の技術的範囲は以下の実施例に限定されるものではなく、本明細書及び図面に記載した事項から明らかになる本発明が真に意図する技術的思想の範囲全体に、広く及ぶものである。
【００２４】
［第一実施形態］
まず始めに、本発明の第一実施形態に係る検査装置１０について、図１から図５を用いて説明する。なお、本明細書においては説明の便宜上、図１（ａ）における矢印に示す如く、上側を上方、下側を下方とし、同じく右側を右側方、左側を左側方とする。また、図１（ａ）における紙面手前側を前方、紙面奥行側を後方とする。即ち、図１（ｂ）は検査装置１０の右側面図である。
【００２５】
本実施形態に係る検査装置１０は、リチウムイオン二次電池等の電池の製造工程において用いられる。具体的には、電池部品である帯状の電極シートＳにＸ線を照射することで、電極シートＳに存在する不純物や欠陥を検出し、電池の品質不良を防止するのである。つまり、電極シートＳは本実施形態における被計測物である。
【００２６】
本実施形態に係る検査装置１０は、図１（ａ）及び（ｂ）に示す如く、検査装置本体１１と、検査装置本体１１が載置された基台部１２と、検査装置本体１１の内部に収納されたＸ線発生器１５及び検出器１７と、検査装置本体１１に形成される開口部１１ａに配設された遮蔽部材である第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１と、を備える。
【００２７】
検査装置本体１１は、Ｘ線を遮蔽する素材（例えば、鉛複合板等）を用いた中空状の筐体として形成される。本実施形態においては、検査装置本体１１は長手方向を上下方向に向けた直方体形状に構成されている。
また、検査装置本体１１の上下方向における略中途部には、前面から左右の両側面にかけて、水平方向に連続する開口部１１ａがスリット状に形成されている。換言すると、開口部１１ａは、検査装置本体１１の三つの側面である前面及び左右側面における上下方向中途部に、連続して（平面視において略Ｕ字状に）形成されているのである。
【００２８】
電極シートＳは図１（ａ）中の矢印ｆに示すように、開口部１１ａを介して検査装置本体１１の内部に挿通される。つまり、開口部１１ａは電極シートＳの搬送方向における一部分が検査装置本体１１の内部に挿入可能な構成であればよく、少なくとも対向する二つの側面（例えば、左右両側面）における中途部に形成される構成とすることも可能である。
【００２９】
本実施形態における被計測物である電極シートＳは、リチウムイオン二次電池の部品である正極電極板である。詳細には、電極シートＳは電子伝導性の集電箔（例えばアルミニウム等の金属箔）の表面の一部に正極活物質を含む合材を塗布して形成される、長尺帯状の薄膜部品である。
【００３０】
そして、図１（ａ）中の矢印ｆに示す如く、電極シートＳは、検査装置１０よりも左側の上工程から、本実施形態に係る検査装置１０における検査工程を経て、検査装置１０よりも右側の下工程へと連続的に水平に搬送される。換言すれば、正極活物質を含む合材を塗布して形成された電極シートＳの搬送方向における一部分を、連続的に検査装置１０の内部に挿通し、電極シートＳにＸ線を照射することで、電極シートＳの品質検査を行うのである。詳しくは、本実施形態に係る検査装置１０で行われる電極シートＳの品質検査は、電池の製造工程のうち、正極活物質を含む合材が集電箔に塗布された後の一つの工程として行われるのである。
【００３１】
Ｘ線発生器１５及び検出器１７はＸ線検査において一般的に用いられる装置である。
Ｘ線発生器１５は、開口部１１ａにより上下に二分割された検査装置本体１１の内部の一側（本実施形態においては下側）に、Ｘ線照射部１５ａを他側（本実施形態においては上方）に向けて収納される。そして、Ｘ線発生器１５は前記の如く開口部１１ａから挿通された電極シートＳに対して、図１（ａ）（ｂ）及び図２に示す如く、Ｘ線照射部１５ａからＸ線ｒ１を照射するのである。本実施形態においては、Ｘ線発生器１５によるＸ線ｒ１は、エネルギーが１０〜５０ｋｅＶ（例えば、３０ｋｅＶ）の軟Ｘ線領域で照射される。
【００３２】
検出器１７は検査装置本体１１の内部における上下他側（本実施形態においては上側）に、つまり、Ｘ線発生器１５と対向する側に、入力面１７ａを上下一側（本実施形態においては下方）に向けて収納される。そして、Ｘ線発生器１５が照射したＸ線ｒ１は電極シートＳを透過して入力面１７ａに入射し、検出器１７によって検出される。
【００３３】
そして、検出器１７に入射したＸ線ｒ１の量を検出器１７が電気信号に変換する。さらに、この電気信号を検出器１７と電気的に接続されている図示しない画像処理装置に送信し、画像処理装置は電気信号を画像データに変換する。電極シートＳに不純物や欠陥が存在している場合は、画像処理装置が生成した画像データにおけるＸ線ｒ１の濃淡が変化する。即ち、画像データにおけるＸ線ｒ１の濃淡を検知することにより、電極シートＳに存在する不純物や欠陥を検出するのである。
【００３４】
上記の如く、本実施形態に係る検査装置１０において行う検査方法では、連続して搬送され、検査装置本体１１に挿通される電極シートＳに対して、Ｘ線発生器１５からＸ線ｒ１を照射し、電極シートＳを透過したＸ線ｒ１を検出器１７が検出することにより、電極シートＳの品質検査を行うのである。
【００３５】
また、検査装置１０は、図１（ａ）（ｂ）及び図２に示す如く、開口部１１ａにおける検出器１７の側である上側とＸ線発生器１５の側である下側とのそれぞれに配設され、Ｘ線発生器１５から照射されるＸ線ｒ１を遮蔽可能な遮蔽部材である、第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１を備える。具体的には、検査装置本体１１のうち、開口部１１ａよりも上側の部分を塞ぐように第一遮蔽板２１が開口部１１ａの上端部に配設され、開口部１１ａよりも下側の部分を塞ぐように第二遮蔽板３１が開口部１１ａの下端部に配設されるのである。
第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１は、電極シートＳが挿通する際に接触しない程度に、間隔を近づけて配設されている。即ち、第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１は、両者間を搬送される電極シートＳが接触しない程度の隙間を空けた状態に配置されている。
【００３６】
第一遮蔽板２１の略中央部分には、図２及び図３（ａ）に示す如く、Ｘ線発生器１５によって照射されたＸ線ｒ１が透過可能なＸ線通路孔２２が開口されている。また、第一遮蔽板２１において、Ｘ線通路孔２２の開口部の周辺部分は、鉄板で形成された中央部２３として構成され、中央部２３の周辺部分は、後述するように鉄板等の複合板で形成された外縁部２５として構成されている。
【００３７】
そして、第一遮蔽板２１は、Ｘ線通路孔２２以外の部分に照射されるＸ線を遮蔽する。具体的には、検査装置本体１１の内部ではＸ線ｒ１が検査装置本体１１の内壁面にて繰り返し反射しているため、第一遮蔽板２１はこのように反射して散乱したＸ線を透過しないように遮蔽している。
【００３８】
また、第二遮蔽板３１の略中央部にも、図２及び図３（ａ）に示す如く、Ｘ線発生器１５によって照射されたＸ線ｒ１が通過するＸ線通路孔３２が開口されている。図２に示すように、Ｘ線ｒ１はＸ線発生器１５によって放射状に（検出器１７の方向に向かって拡径するように）照射されるため、Ｘ線通路孔３２はＸ線通路孔２２よりも内径が少し小さく形成されている。第二遮蔽板３１におけるその他の構成は第一遮蔽板２１と略同一のため、説明を省略する。
【００３９】
本実施形態においては上記の如く構成することにより、検査装置本体１１の内部で繰り返し反射しているＸ線が、検査装置本体１１の外部に漏出し難くなるように構成している。つまり、検査装置本体１１の内部で繰り返し反射しているＸ線のうち多くは、第一遮蔽板２１の上面又は第二遮蔽板３１の下面によって遮蔽されるため、第一遮蔽板２１と第二遮蔽板３１との間を通って外部に漏出するＸ線（以下、散乱Ｘ線と記載する）ｒ２を、作業者に影響を与えない程度にまで低減させることができるのである。
また、第一遮蔽板２１のＸ線通路孔２２及び第二遮蔽板３１のＸ線通路孔３２から、第一遮蔽板２１と第二遮蔽板３１との間に漏出した散乱Ｘ線ｒ２は、外部へ漏出するまでの間に第一遮蔽板２１と第二遮蔽板３１との間で繰り返し反射して減衰するため、外部に漏出する散乱Ｘ線ｒ２はさらに低減される。
【００４０】
図４（ａ）は、本願出願人が行った実験における、遮蔽板２１・３１の配置とＸ線漏出量との関係を示した図である。図４（ａ）に示す如く、遮蔽板２１・３１を配置しなかった場合のＸ線漏出量を１００％とした場合に対して、上側の第一遮蔽板２１のみを配置した場合はＸ線漏出量を２０％弱に低減させることができた。また、上下両側に第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１の双方を配置した場合は数％に低減させることができた。即ち、開口部１１ａに第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１を設けることにより、Ｘ線を検査装置本体１１の外部に漏出し難くすることができたのである。
【００４１】
また、本実施形態においては、上記の如くＸ線の多くを検査装置１０の内部に留めておくことができるため、Ｘ線を遮蔽するための構造物を検査装置１０の外部に別途設ける必要がなく、装置構成をコンパクトにすることが可能となる。
【００４２】
加えて、第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１は電極シートＳと接触しない程度に間隔を近づけて配設されているため、遮蔽部材と接触することによる電極シートＳの表面性状の剥離やしわ・すじの発生を防止することができる。また、第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１による開閉作業を繰り返してＸ線を遮蔽する構成ではないため、長尺シートである電極シートＳを連続的に検査することができるのである。
即ち、本実施形態に係る検査装置１０によれば、Ｘ線の漏出を防止しつつ、装置構成をコンパクト化して、非接触で電極シートＳの不純物や欠陥を検出することが可能となるのである。
【００４３】
また、本実施形態においては、第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１は、互いに対向する側から順に、質量が大きくなっていく素材が多層に配置された多層複合構造に構成されている。
具体的には図３（ｂ）に示す如く、第一遮蔽板２１の外縁部２５は、第二遮蔽板３１と対向する側（下側）から順に、塩化ビニル製板２５ａ、アルミニウム板２５ｂ、パンチ孔が開口されたステンレス鋼板２５ｃ、鉄板２５ｄ、の順に４層複合構造で構成されているのである。つまり、下側から上側に向かって、軽元素の素材から重元素の素材となるように構成されているのである。第二遮蔽板３１の外縁部３５についても、第一遮蔽板２１に対して上下対称となり同様の構造であるため、説明を省略する。
【００４４】
本実施形態においては上記の如く構成することにより、散乱Ｘ線ｒ２が第一遮蔽板２１と第二遮蔽板３１との間を通って、検査装置本体１１の外部に漏出する量をより低減させることができる。具体的には図３（ｂ）に示す如く、散乱Ｘ線ｒ２が第一遮蔽板２１と第二遮蔽板３１との間に入った場合は、塩化ビニル板３５ａ、アルミニウム板３５ｂ、ステンレス鋼板３５ｃ、鉄板３５ｄのそれぞれの表面で反射し、Ｘ線ｒ２１〜ｒ２４となる。さらに、それぞれのＸ線ｒ２１〜ｒ２４は各層の境界で反射し、その度に散乱Ｘ線ｒ２は減衰していくのである。つまり、散乱Ｘ線ｒ２は第一遮蔽板２１と第二遮蔽板３１との間で反射を繰り返すごとに減衰していくこととなり、外部に漏出する量が低減することとなるのである。
【００４５】
なお、本実施形態において第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１は平板として形成しているが、互いに対向する面に突起を設けたり、互いに対向する面を曲面状に構成したりすることも可能である。これにより、散乱Ｘ線ｒ２の反射する方向を検査装置本体１１の内側に向けることができ、散乱Ｘ線ｒ２が検査装置本体１１の外部に漏出する量をより低減させることができる。
【００４６】
また、第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１は他の多層複合構造とすることも可能である。例えば、塩化ビニル板とアルミニウム板との間にカーボン板を配設する構成とすることも可能である。
但し、本実施形態における第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１における上記多層複合構造は、本願出願人による複数のパターンにおける実験結果から、最もＸ線の漏出が少なかったものである。即ち、第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１は、Ｘ線の漏出防止の観点からは、本実施形態の如く互いに対向する側から順に質量が大きくなっていく素材を多層に積層して構成することが望ましい。
【００４７】
図４（ｂ）は、本願出願人が行った実験における、遮蔽板２１・３１におけるＸ線通路孔２２・３２の内径の大きさとＸ線漏出量との関係を示した図である。図４（ｂ）に示す如く、実験においてＸ線通路孔２２・３２の内径を所定の大きさとした場合のＸ線漏出量を１００％とした場合に対して、Ｘ線通路孔２２・３２の内径を小さくすることによってＸ線漏出量を漸減させることができた。即ち、Ｘ線通路孔２２・３２の内径は可能な限り小さくすることが望ましいことが実験結果より明らかとなった。本実施形態においては、図２に示すように、Ｘ線通路孔２２・３２の内径は、Ｘ線ｒ１がＸ線発生器１５によって放射状に照射される形状にあわせて、その大きさが定められている。即ち、Ｘ線通路孔２２・３２の内径はＸ線ｒ１が通過する部分の径よりも少し大きくなるように形成されているのである。このように、Ｘ線通路孔２２・３２の内径を可能な限り小さくすることにより、Ｘ線漏出量を低減する構成としているのである。
【００４８】
また、本実施形態においては、第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１は、開口部１１ａから検査装置本体１１の外側に延出して配設される。具体的には図２に示す如く、第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１は、検査装置本体１１の左右側面から延長長さＬだけ延出する大きさに形成され、開口部１１ａに配設されているのである。また、第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１は検査装置本体１１の前面からも同様に延出して配設されている（図１（ｂ）参照）。
【００４９】
本実施形態においては上記の如く構成することにより、散乱Ｘ線ｒ２が第一遮蔽板２１と第二遮蔽板３１との間を通って、検査装置本体１１の外部に漏出する量をより低減させることができる。具体的には、第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１の長さが長くなることにより、散乱Ｘ線ｒ２が第一遮蔽板２１と第二遮蔽板３１との間で反射する回数が多くなるため、散乱Ｘ線ｒ２の減衰量を増やすことができるのである。つまり、散乱Ｘ線ｒ２が第一遮蔽板２１と第二遮蔽板３１との間で繰り返す反射の回数を増加させることにより、散乱Ｘ線ｒ２をより減衰させることができるため、散乱Ｘ線ｒ２が外部に漏出する量を低減させることが可能となるのである。
【００５０】
図４（ｃ）は、本願出願人が行った実験における、遮蔽板２１・３１の延長長さＬとＸ線漏出量との関係を示した図である。図４（ｃ）に示す如く、遮蔽板２１・３１を延長しなかった場合（延長長さＬを０とした場合）のＸ線漏出量を１００％とした場合に対して、延長長さＬを大きくすることによってＸ線漏出量を漸減させることができた。即ち、遮蔽板２１・３１の延長長さＬは可能な限り大きくすることが望ましいことが実験結果より明らかとなった。即ち、本実施形態においては、第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１を開口部１１ａから検査装置本体１１の外側に延出して配設することにより、散乱Ｘ線ｒ２を検査装置本体１１の外部により漏出し難くしているのである。
【００５１】
図５（ａ）は、本願出願人が行った実験における、遮蔽板２１・３１の間隔とＸ線漏出量との関係を示した図である。図５（ａ）に示す如く、実験において遮蔽板２１・３１の間隔を所定の大きさとした場合のＸ線漏出量を１００％とした場合に対して、遮蔽板２１・３１の間隔を小さくすることによってＸ線漏出量を漸減させることができた。これは、図５（ｂ１）に示す遮蔽板８１・９１の間隔ｄ１が広い場合における所定長さで散乱Ｘ線ｒ２が繰り返す反射の回数は、図５（ｂ２）に示す遮蔽板２１・３１の間隔ｄ２が狭い場合に比べて少なくなることが原因であると考えられる。
【００５２】
つまり、遮蔽板２１・３１の間隔を狭くすることで、散乱Ｘ線ｒ２が第一遮蔽板２１と第二遮蔽板３１との間で繰り返す反射の回数を増加させるのである。これにより、図５（ｂ２）に示す如く、散乱Ｘ線ｒ２は減衰Ｘ線ｒ３として遮蔽板２１・３１に吸収される。即ち、散乱Ｘ線ｒ２をより減衰させることができるため、散乱Ｘ線ｒ２が外部に漏出する量を低減させることが可能となるのである。本実施形態においては、図２に示すように、第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１を電極シートＳと接触しない程度に間隔を近づけて配設することにより、Ｘ線漏出量を低減する構成としているのである。
【００５３】
また、本実施形態においては図１に示す如く、検査装置本体１１は基台部１２の上面に載置される。具体的には、基台部１２の上面には前後方向に向けたレール１３・１３が二本配設されており、検査装置本体１１はレール１３・１３の上を前後方向（図１（ｂ）中に示す矢印αの方向）にスライド可能に配設される。より詳細には、検査装置本体１１はモータ、油圧シリンダ又は電動シリンダ等の図示せぬアクチュエータを介してレール１３・１３と連結され、このアクチュエータを駆動させることによって、レール１３・１３の上のスライドするように構成されているのである。つまり、検査装置本体１１は基台部１２の上面において、開口部１１ａが形成された側面のうち対向する二つである、左右両側面と直交する方向（前後方向）にスライド可能に構成されているのである。また、開口部１１ａは、検査装置本体１１の前面及び左右側面に連続して形成されている。
【００５４】
本実施形態においては上記の如く構成することにより、検査装置本体１１を前側の検査位置及び後側の待機位置の、二つの位置に配置することができる。即ち、検査装置１０を用いてＸ線検査を行う場合は検査装置本体１１を前側に移動させ、電極シートＳを開口部１１ａに挿通して検査位置とする。そして、Ｘ線検査を行わない場合は検査装置本体１１を後側に移動させ、電極シートＳを開口部１１ａから抜出して待機位置とするのである。
【００５５】
これにより、検査装置１０の作業性を向上させることが可能となる。つまり、検査装置本体１１を開くことなく電極シートＳを挿通したり、抜出したりできるため、検査装置本体１１を開くことによるＸ線の漏出を防止することができるのである。検査装置本体１１は法律によりＸ線の取扱に関する資格を有する技術者（Ｘ線技術者）にのみ開けることが許されている。即ち、本実施形態に係る検査装置１０によれば、Ｘ線技術者が不在であっても電極シートＳを挿通したり、抜出したりすることが可能となるのである。
また、検査装置本体１１を待機位置に移動させることにより、電極シートＳの張替えや検査作業を中断して検査装置本体１１のメンテナンスや清掃を行うことが容易となり、Ｘ線検査の作業性を向上させることが可能となるのである。
【００５６】
検査装置１０は電池部品である電極シートＳに限らず、その他の長尺部品についてＸ線検査を行う場合に適用することが可能である。但し、Ｘ線の漏出を防止しつつ、装置構成をコンパクト化して、非接触で被検査物における不純物や欠陥を検出することが可能となる点に関しては、電極シートＳにおけるＸ線検査に適用する場合において好適である。
【００５７】
［第二実施形態］
次に、本発明の第二実施形態に係る検査装置について、図６（ａ）から（ｃ）を用いて説明する。なお、本実施形態で説明する検査装置について、前記第一実施形態と共通する部分に関しては同符号を付し、詳細な説明を省略するものとする。
【００５８】
図６（ｂ）及び（ｃ）に示す如く、本実施形態に係る検査装置において、Ｘ線発生器１１５及び検出器１１７は、検査装置本体１１の内部における位置を上下に可変に構成されている。具体的には、それぞれが図示しないアクチュエータにより、上下にスライド可能に配設されている。これにより、Ｘ線発生器１１５から電極シートＳまでの距離に対する、Ｘ線発生器１１５から検出器１１７までの距離の比率を変更して、Ｘ線検査における画像の拡大率（分解能）を可変にしているのである。
【００５９】
つまり、図６（ｂ）に示す如く、Ｘ線発生器１１５から電極シートＳまでの距離に対して、Ｘ線発生器１１５から検出器１１７までの距離を小さくした場合は、画像の拡大率（分解能）は相対的に小さくなる。一方、図６（ｃ）に示す如く、Ｘ線発生器１１５から電極シートＳまでの距離に対して、Ｘ線発生器１１５から検出器１１７までの距離を大きくした場合は、画像の拡大率（分解能）も相対的に大きくすることができるのである。
【００６０】
また、図６（ａ）に示す如く、遮蔽部材である第一遮蔽板１２１に開口されるＸ線通路孔１２２の大きさも可変に構成されている。具体的には、第一遮蔽板１２１の中央部に、複数の鉄板１２３・１２３・・・が回転可能に重ね合わせて配設されている。そして、この鉄板１２３・１２３・・・の回転角度を調節することにより、Ｘ線通路孔１２２の大きさを調節するのである。つまり、Ｘ線通路孔１２２はカメラの絞りの如く、その大きさを変更することができるように構成されているのである。第二遮蔽板１３１についても第一遮蔽板１２１同様に構成されているため、その説明は省略する。
【００６１】
そして、第一遮蔽板１２１及び第二遮蔽板１３１におけるＸ線通路孔１２２・１２３の大きさは、Ｘ線発生器１１５から電極シートＳまでの距離に応じて調節可能に構成されている。つまり、図６（ｂ）に示す如く、Ｘ線発生器１１５から電極シートＳまでの距離が大きい場合は、Ｘ線通路孔１２２・１２３を大きく形成し、図６（ｃ）に示す如く、Ｘ線発生器１１５から電極シートＳまでの距離が小さい場合は、Ｘ線通路孔１２２・１２３を小さく形成するのである。
【００６２】
ここで、Ｘ線の線量は距離の２乗で減衰することが知られている。このため、画像の拡大率を大きくするために、Ｘ線発生器１１５から電極シートＳまでの距離を小さくした場合は、Ｘ線発生器１１５から電極シートＳまでの距離を大きくした場合よりもＸ線の線量の減衰量が比較的少なくなり、強いＸ線が漏出する可能性がある。
【００６３】
しかし、本実施形態においては上記の如く構成することにより、散乱Ｘ線ｒ２が第一遮蔽板１２１と第二遮蔽板１３１との間を通って、検査装置本体１１の外部に漏出する量をより低減させる構成としている。つまり、図４（ｂ）に示す如く、Ｘ線通路孔の内径が小さい方がＸ線漏出量を低減させることができる。このため、Ｘ線発生器１１５から電極シートＳまでの距離を小さくした場合には、Ｘ線通路孔１２２・１２３の開口面積を小さく形成することにより、散乱Ｘ線ｒ２が検査装置本体１１の外部に漏出する量をより低減させているのである。
【００６４】
このように、本実施形態においては、画像の拡大率を大きくするために、Ｘ線発生器１１５から電極シートＳまでの距離を小さくした場合であっても、第一遮蔽板１２１及び第二遮蔽板１３１におけるＸ線通路孔１２２・１２３の大きさを調節することにより、散乱Ｘ線ｒ２が検査装置本体１１の外部に漏出する量を低減させているのである。
【符号の説明】
【００６５】
１０    検査装置
１１    検査装置本体
１１ａ  開口部
１２    基台部
１５    Ｘ線発生器
１７    検出器
２１    第一遮蔽板
３１    第二遮蔽板
Ｓ    電極シート
【図１】
0005542275.tif 000002
【図２】
0005542275.tif 000003
【図３】
0005542275.tif 000004
【図４】
0005542275.tif 000005
【図５】
0005542275.tif 000006
【図６】
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