(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸方向に沿って外周面の一部に切り欠き部を有して円柱状に形成される回転可能なコアと、前記コアに外装されコイルが巻回されるボビンを有する励磁コイルと、前記コアに外装されるとともに前記励磁コイルを間にして配設される第１の検出コイル及び第２の検出コイルと、前記励磁コイルと前記第１の検出コイルとの間に配設されて前記コアの中心軸に対して同心に形成されるとともに前記コアの中心軸に対して１２０°の円弧角度で形成された第１の弧面と前記第１の弧面から外周に広がる扇形状の第１の胴体部とを備える第１のヨークと、前記励磁コイルと前記第２の検出コイルとの間に配設されて前記コアの中心軸に対して同心に形成されるとともに前記コアの中心軸に対して１２０°の円弧角度で形成された第２の弧面と前記第２の弧面から外周に広がる扇形状の第２の胴体部とを備える第２のヨークと、前記コアと前記励磁コイルと前記第１の検出コイルと前記第２の検出コイルとが収納されるパイプ部材と、前記パイプ部材の前記第１の検出コイル側で前記パイプ部材に嵌合される第１の支持キャップと、前記パイプ部材の前記第２の検出コイル側で前記パイプ部材に嵌合される第２の支持キャップと、を備え、
前記第１のヨークと前記第２のヨークとが所定角度の位相差を有して配設されるとともに前記コアが回転することにより、前記第１の検出コイルの出力電圧と前記第２の検出コイルの出力電圧との差電圧に基づいて前記コアの回転角度を検出する差動トランス型角度センサであって、
前記コアと同心になるように配置された前記パイプ部材の内周面と、前記励磁コイルの前記ボビンの外周端面とを当接させることで、前記励磁コイルの前記ボビンが、前記コアと同心になるように規制されて配設され、
前記第１のヨークと前記第２のヨークとが、前記励磁コイルのボビンを基準として位置決め手段により前記コアに対して所定角度の位相差を有して、組み付けられていることを特徴とする差動トランス型角度センサ。
【請求項２】
前記位置決め手段として、
前記励磁コイルの前記ボビンの前記第１のヨークとの対向面には、第１の係合部が設けられ、前記励磁コイルの前記ボビンの前記第２のヨークとの対向面には、第２の係合部が設けられ、
前記第１のヨークの前記励磁コイルとの対向面には、前記励磁コイルの前記第１の係合部と係合する第１の被係合部が設けられ、前記第２のヨークの前記励磁コイルとの対向面には、前記励磁コイルの前記第２の係合部と係合する第２の被係合部が設けられ、
前記励磁コイルの前記第１の係合部と、前記第１のヨークの前記第１の被係合部とが、係合されるとともに、前記励磁コイルの第２の係合部と、前記第２のヨークの前記第２の被係合部と、が係合されていることを特徴とする請求項１記載の差動トランス型角度センサ。
【請求項３】
前記位置決め手段として、
前記励磁コイルの前記ボビンの前記第１のヨークとの対向面には、第１の凹部が設けられ、前記励磁コイルの前記ボビンの前記第２のヨークとの対向面には、第２の凹部が設けられ、
前記第１のヨークの前記励磁コイルとの対向面には、前記励磁コイルの第１の凹部に対応する位置に第３の凹部が設けられ、前記第２のヨークの前記励磁コイルとの対向面には、前記励磁コイルの前記第２の凹部に対応する位置に第４の凹部が設けられ、
前記第１の凹部と、前記第３の凹部とが、第１の連結ピンで連結され、前記第２の凹部と、前記第４の凹部とが、前記第２の連結ピンで連結されていることを特徴とする請求項１記載の差動トランス型角度センサ。
【請求項４】
前記位置決め手段として、
前記励磁コイルのボビンの前記第１のヨークとの対向面には、少なくとも二つの第１のストッパ部が設けられ、前記励磁コイルのボビンの前記第２のヨークとの対向面には、少なくとも二つの第２のストッパ部が設けられ、
前記パイプ部材の内周面と、前記第１のヨーク及び前記第２のヨークの外周端面と、を当接させるとともに、前記励磁コイルの第１のストッパ部と、前記第１のヨークの前記第１の弧面と外周端面とを連結する一対の端面と、が係合され、前記励磁コイルの第２のストッパ部と、前記第２のヨークの前記第２の弧面と外周端面とを連結する一対の端面と、が係合されていることを特徴とする請求項１記載の差動トランス型角度センサ。
【請求項５】
前記位置決め手段として、
前記励磁コイルの前記ボビンの前記第１のヨークと対向する対向面には、前記第１のヨークと係合する円環状の第１の溝部が前記コアと同心に形成され、
前記励磁コイルの前記ボビンの前記第２のヨークと対向する対向面には、前記第２のヨークと係合する円環状の第２の溝部が前記コアと同心に形成され、
前記第１のヨークの前記励磁コイルと対向する対向面には、前記励磁コイル側に向かって突出して第１の溝部内を摺動可能な第１の凸部が形成され、
前記第２のヨークの前記励磁コイルと対向する対向面には、前記励磁コイル側に向かって突出して第２の溝部内を摺動可能な第２の凸部が形成され、
前記励磁コイルの前記第１の溝部に前記第１のヨークの前記第１の凸部を挿入するとともに、前記励磁コイルの前記第２の溝部に前記第２のヨークの第２の凸部を挿入することで、前記第１のヨーク及び前記第２のヨークと前記コアとが同心になるように規制し、
前記第１のヨークと前記第２のヨークとを、測定した特性グラフに沿って前記第１のヨーク及び前記第２のヨークを回転させ、現合作業で位置決めすることを特徴とする請求項１記載の差動トランス型角度センサ。
【請求項６】
前記コアと、前記第１のヨーク及び前記第２のヨークとの間に円筒状のスペーサーが、前記コアの中心軸に沿って配設されていることを特徴とする請求項１，２，３，４又は５記載の差動トランス型角度センサ。
【請求項７】
前記第１のヨーク及び前記第２のヨークが、前記励磁コイルのボビンの外周端面に沿って前記胴体部から延設され合成樹脂で形成されたＣ字形状の補助部を有し、円環状に形成されていることを特徴とする請求項１，２，３，４，５又は６記載の差動トランス型角度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コアの角度を差動トランスの作用により検出するための差動トランス型角度センサに関し、さらに詳しくは、回転するコアとコアに対向するように配置する第１、第２のヨークとの組付の際の芯出し精度を向上できる差動トランス型角度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の差動トランス型角度センサは、特許文献１によって開示されている。特許文献１による差動トランス型角度センサは、回転するコアと、コアに外装される励磁コイルと、励磁コイルを挟んで一対配置された第１、第２の検出コイルとを備えている。励磁コイルと第１検出コイルとの間には第１のヨークが挟持され、励磁コイルと第２の検出コイルとの間には第２のヨークが挟持されている。第１の検出コイルの出力電圧と第２の検出コイルの出力電圧との差電圧に基づいて、コアの回転角度を検出するものである。この際、第１のヨークと第２のヨークとを１２０°の位相差を有して組付け、コアと第１、第２のヨークとの芯出し精度を上げるために、励磁コイル、第１、第２の検出コイル及び第１、第２のヨークを、Ｏリングを介して樹脂製のボビンに組付けるように構成している。そのため、樹脂製のボビンとコアとの間で正確なセンタリングに対する芯出しが得られ、差動トランス型角度センサの測定精度を向上することができるようになった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２４０３７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、近年、各種の機械の高精度化が求められてくると、差動トランス型角度センサを含めて各種の測定器も測定精度を向上できるように要望されてきた。特許文献１の差動トランス型角度センサの場合、コアと第１、第２のヨークとの組み付け精度を向上するために樹脂製ボビンにＯリングを介してセンタリングに対する芯出しを行っていたものの、Ｏリング自体が弾性を有しているから、芯出しの不安定さがあった。つまり、弾性状のＯリングではボビンへの安定した固定が期待されず第１のヨークと第２のヨークとのコアとヨークとのセンタリング精度の向上を維持することが難しくなっていた。
【０００５】
本発明は、上述の課題を解決するものであり、組付の際におけるコアとヨークとのセンタリング精度を向上させた差動トランス型角度センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１記載の発明では、コアと同心になるように形成されたパイプ部材の内周面と、励磁コイルのボビンの外周端面とを当接させることで、励磁コイルのボビンが、コアと同心になるように規制されて配設されているので、励磁コイルのボビンが、コアと同心に配設されることになりセンタリングされる。
【０００７】
また、コアと同心に配設された励磁コイルのボビンを基準にして、位置決め手段により第１のヨーク及び第２のヨークの位置決めすることにより、コアと第１のヨーク及び第２のヨークとのセンタリング精度が向上し、第１のヨークと第２のヨークとの角度位置を精度良く位置決めすることができる。
【０００８】
請求項２記載の発明では、励磁コイルのボビンの第１のヨークとの対向面に、第１の係合部を設け、励磁コイルのボビンの第２のヨークとの対向面に、第２の係合部を設け、第１のヨークの励磁コイルとの対向面に、励磁コイルの第１の係合部と係合する第１の被係合部を設け、第２のヨークの励磁コイルとの対向面に、励磁コイルの第２の係合部と係合する第２の被係合部を設け、励磁コイルの第１の係合部と、第１のヨークの第１の被係合部とを、係合するとともに、励磁コイルの第２の係合部と、第２のヨークの第２の被係合部と、を係合している。
【０００９】
コアと同心に配設された励磁コイルの第１の係合部及び第２の係合部を基準にして、第１のヨーク及び第２のヨークが位置決めされるので、第１のヨークと第２のヨークとの角度位置を精度良く位置決めすることができるとともに、組み付け作業の迅速化を図ることができる。
【００１０】
請求項３記載の発明のように、励磁コイルのボビンの第１のヨークとの対向面に、第１の凹部を設け、励磁コイルのボビンの第２のヨークとの対向面に、第２の凹部を設け、第１のヨークの励磁コイルとの対向面に、励磁コイルの第１の凹部に対応する位置に第３の凹部を設け、第２のヨークの励磁コイルとの対向面に、励磁コイルの第２の凹部に対応する位置に第４の凹部を設け、第１の凹部と、第３の凹部とを、第１の連結ピンで連結して、第２の凹部と、第４の凹部とを、第２の連結ピンで連結することによっても、第１のヨークと第２のヨークとの角度位置を精度良く位置決めすることができるとともに、組み付け作業の迅速化を図ることができる。
【００１１】
請求項４記載の発明のように、励磁コイルのボビンの第１のヨークとの対向面に、少なくとも二つの第１のストッパ部を設け、励磁コイルのボビンの第２のヨークとの対向面に、少なくとも二つの第２のストッパ部を設け、パイプ部材の内周面と、第１のヨーク及び第２のヨークの外周端面と、を当接させるとともに、励磁コイルの第１のストッパ部と、第１のヨークの第１の弧面と外周端面とを連結する一対の端面とを係合して、励磁コイルの第２のストッパ部と、第２のヨークの第２の弧面と外周端面とを連結する一対の端面とを係合することによっても、第１のヨークと第２のヨークとの角度位置を精度良く位置決めすることができるとともに、組み付け作業の迅速化を図ることができる。
【００１２】
また、請求項５記載の発明では、励磁コイルのボビンの第１のヨークと対向する対向面に、第１のヨークと係合する円環状の第１の溝部をコアと同心に形成して、励磁コイルのボビンの第２のヨークと対向する対向面に、第２のヨークと係合する円環状の第２の溝部をコアと同心に形成して、第１のヨークの前記励磁コイルと対向する対向面に、励磁コイル側に向かって突出して第１の溝部内を摺動可能な第１の凸部を形成して、第２のヨークの励磁コイルと対向する対向面に、励磁コイル側に向かって突出して第２の溝部内を摺動可能な第２の凸部を形成して、励磁コイルの第１の溝部に第１のヨークの第１の凸部を挿入するとともに、励磁コイルの第２の溝部に第２のヨークの第２の凸部を挿入することで、第１のヨーク及び第２のヨークとコアとが同心になるように規制している。
【００１３】
そして、第１のヨークと第２のヨークとを、測定した特性グラフに沿って第１のヨーク又は第２のヨークを回転させ現合作業で位置決めすれば、部品の加工精度により加工寸法に誤差が生じる場合であっても、第１のヨークと第２のヨークとの角度位置を精度良く位置決めすることができることができる。
【００１４】
請求項６記載の発明のように、コアと、第１のヨーク及び第２のヨークとの間に円筒状のスペーサーを、コアの中心軸に沿って配設すれば、コアが第１のヨークの第１の弧面と第２のヨークの第２の弧面内を回転する際、外部的な衝撃が加わっても、コアの外周面と、第１のヨークの第１の弧面及び第２のヨークの第２の弧面とのギャップを均一にすることができ、コアの角度測定の精度を安定させることができる。
【００１５】
また、請求項７記載の発明のように、第１のヨーク及び第２のヨークを、励磁コイルのボビンの外周端面に沿って胴体部から延設され合成樹脂で形成されたＣ字形状の補助部を有するようにして、円環状に形成すれば、パイプ部材に収納する際に扱いやすくなり、組み付け作業の迅速化を図ることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明では、コアとヨークとのセンタリング精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施形態による角度センサを示す断面図である。
【図２】コアと一対のヨークとの配置関係を示す斜視図である。
【図３】図２を図１における下方向から見た図である。
【図４】ボビンとヨークの分解斜視図である。
【図５】１サイクルにおけるコアとヨークとの関係を示す簡略図である。
【図６】角度センサの理想的な特性グラフを示すグラフである。
【図７】本発明の第２の実施形態における角度センサのボビンとヨークとの関係を示す斜視図である。
【図８】本発明の第３の実施形態における角度センサのボビンと、ヨークと、パイプ部材との関係を示す斜視図である。
【図９】本発明の第４の実施形態における角度センサのボビンとヨークとの関係を示す斜視図である。
【図１０】本発明の第４の実施形態における第１の現合調整を示す簡略斜視図である。
【図１１】本発明の第４の実施形態における第２の現合調整を示す簡略斜視図である。
【図１２】本発明の第４の実施形態における第３の現合調整を示す簡略斜視図である。
【図１３】ヨークの変形例を示す斜視図である。
【図１４】ヨークとボビンの変形例を示す斜視図である。
【図１５】コアとヨークとの間にスペーサーを配設させた状態の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の差動トランス型角度センサ（以下、角度センサという。）の第１の実施形態を図面に基づいて説明する。以下の説明では、図１における上下を上下方向とする。
【００１９】
角度センサ１０は、図１に示すように、磁性体で回転可能に形成されるコア１１と、コア１１に同心に外装されて交流電圧が印加される励磁コイル１２と、コア１１に同心に外装されて励磁コイル１２を間にして、上側に配置される第１の検出コイル１３と、下側に配置される第２の検出コイル１４と、を有している。励磁コイル１２と第１の検出コイル１３との間には磁性体で形成される第１のヨーク１５が配設され、励磁コイル１２と第２の検出コイル１４との間には磁性体で形成される第２のヨーク１６が配設されている。第１のヨーク１５と第２のヨーク１６とが、励磁コイル１２の後述するボビン１２ｂを基準として位置決め手段によりコア１１に対して所定角度の位相差を有して、組み付けられている。
【００２０】
コア１１は、円柱状に形成されるとともに、第１のヨーク１５及び第２のヨーク１６と対向する中央部位には、切り欠き部１１１が形成されている。切り欠き部１１１は、コア１１の上端面１１３と平行に形成された切り欠き上端面１１１ａと、切り欠き下端面１１１ｂと、コア１１の軸心方向に沿って平面状に形成された切り欠き側端面１１１ｃと、を有している。コア１１の下端部には、下側に向かって延びて角度を測定する機材と連結される連結部１１４が形成されている（図２、図１５においては、図示していない。）。コア１１の上部及び下部の外側に軸受１７が嵌め込まれている。
【００２１】
軸受１７の外側には、第１のヨーク１５、第２のヨーク１６を軸方向の内方に押える金属製の第１の支持キャップ１８、金属製の第２の支持キャップ１９がそれぞれ嵌め込まれている。第２の支持キャップ１９には、角度センサ１０を測定したい場所に取付けるための取付けフランジ２０が装着されている。
【００２２】
励磁コイル１２は、図１に示すように、コイル１２ａと、コイル１２ａが巻回されるボビン１２ｂと、を備えている。
【００２３】
励磁コイル１２のボビン１２ｂは、コア１１の中心軸Ｏに沿って延びる円筒部１２ｃと、第１の検出コイル１３側に位置する第１のつば部１２ｄと、第２の検出コイル１４側に位置する第２のつば部１２ｅと、を有している。
【００２４】
第１のつば部１２ｄの第１のヨーク１５と対向する対向面１２ｆには、図２、図３、図４に示すように、上側に向かって突出して後述する第１のヨーク１５と係合する第１の係合部１２ｇが二つ形成されている。第１の係合部１２ｇは、コア１１と、第１のヨーク１５と、が軸方向の芯出しされるとともに、第１のヨーク１５と、第２のヨーク１６とが、相互に１２０°の位相差が形成できる位置に配置されている。第１のつば部１２ｄの外周縁の径方向外側の外周端面１２ｊは、後述するパイプ部材２１の内周面２１１と当接するように形成されている。
【００２５】
第２のつば部１２ｅの第２のヨーク１６と対向する対向面１２ｈには、下側に突出して後述する第２のヨーク１６と係合する第２の係合部１２ｉが形成されている。第２の係合部１２ｉは、コア１１と、第２のヨーク１６とが軸方向の芯出しされるとともに、第１のヨーク１５と、第２のヨーク１６と、が相互に１２０°の位相差が形成できる位置に配置されている。第２のつば部１２ｅの外周縁の径方向外側の外周端面１２ｋは、後述するパイプ部材２１の内周面２１１と当接するように形成されている。
【００２６】
第１のつば部１２ｄ及び第２のつば部１２ｅの上下方向からみた外周縁は、図２、図３に示すように、コア１１と同心になるように形成されている。
【００２７】
第１の検出コイル１３は、図１に示すように、コイル１３ａと、コイル１３ａが巻回されるボビン１３ｂと、を備えている。
【００２８】
第１の検出コイル１３のボビン１３ｂは、コア１１の中心軸Ｏに沿って延びる円筒部１３ｃと、励磁コイル１２側に位置する第１のつば部１３ｄと、その反対側に位置する第２のつば部１３ｅと、を有している。
【００２９】
第１のつば部１３ｄ及び第２のつば部１３ｅの上下方向からみた外周縁は、励磁コイル１２と同様に、コア１１と同心になるように形成されている。
【００３０】
第２の検出コイル１４は、図１に示すように、コイル１４ａと、コイル１４ａが巻回されるボビン１４ｂと、を備えている。第２の検出コイル１４のボビン１４ｂは、コア１１の中心軸Ｏに沿って延びる円筒部１４ｃと、励磁コイル１２側に位置する第１のつば部１４ｄと、その反対側に位置する第２のつば部１４ｅと、を有している。
【００３１】
第１のつば部１４ｄ及び第２のつば部１４ｅの上下方向から見た外周縁は、励磁コイル１２と同様に、コア１１と同心になるように形成されているとともに、上下方向から見て後述するパイプ部材２１の内周面２１１と同一形状に形成されている。
【００３２】
第１のヨーク１５は、図２〜４に示すように、円弧帯状に形成され、コア１１の外周面１１２に対向するとともにコア１１と同心に形成され、軸方向から見て円弧角度がコア１１の中心軸Ｏに対して１２０°に形成される第１の弧面１５ａを有し、第１の弧面１５ａから径方向外側に広がる扇形状の第１の胴体部１５ｂと、を備えている。
【００３３】
第１のヨーク１５の励磁コイル１２との対向面１５ｃには、励磁コイル１２の第１の係合部１２ｇと係合する第１の被係合部１５ｄが二つ設けられている。第１の被係合部１５ｄは、第１の係合部１２ｇに対応する形状に対向面１５ｃの下側に開口する有底孔として形成されている。第１の被係合部１５ｄは、第１のヨーク１５と、第２のヨーク１６とが、相互に１２０°の位相差が形成できる位置に配置されている。
【００３４】
第２のヨーク１６は、図２〜４に示すように、第１のヨーク１５と同一な円弧帯状に形成され、コア１１の外周面１１２に対向するとともにコア１１と同心に形成され、軸方向から見て円弧角度がコア１１の中心軸Ｏに対して１２０°に形成される第２の弧面１６ａを有し、第２の弧面１６ａから径方向外側に広がる扇形状の第２の胴体部１６ｂと、を備えている。
【００３５】
第２のヨーク１６の励磁コイル１２との対向面１６ｃには、励磁コイル１２の第２の係合部１２ｉと係合する第２の被係合部１６ｄが二つ設けられている。第２の被係合部１６ｄは、第２の係合部１２ｉに対応する形状に対向面１６ｃの上側に開口する有底孔として形成されている。第２の被係合部１６ｄは、第１のヨーク１５と、第２のヨーク１６とが、相互に１２０°の位相差が形成できる位置に配置されている。
【００３６】
第１のヨーク１５及び第２のヨーク１６は、励磁コイル１２の第１の係合部１２ｇと、第１のヨーク１５の第１の被係合部１５ｄとが、係合されるとともに、励磁コイル１２の第２の係合部１２ｉと、第２のヨーク１６の第２の被係合部１６ｄと、が係合されて、図３に示すように、コア１１に対して所定角度（本実施形態では１２０°）の位相差を有して、組み付けられている。
【００３７】
軸受１７は、円環状に形成され内周面及び外周面がコア１１と同心になるように形成されている。
【００３８】
第１の検出コイル１３の上側には第１の支持キャップ１８が配置されている。第１の支持キャップ１８は、大径部１８１と小径部１８２とを有する段付き円筒状に形成されるとともに、下端面１８３は第１の検出コイル１３の上側の端面と当接するように配置されている。第１の支持キャップ１８の内周面１８４はコア１１と同心になるように形成され、軸受１７の外側に嵌め込まれている。小径部１８２の外周面１８５はコア１１と同心になるように形成され、後述するパイプ部材２１の内周面２１１に嵌め込まれている。
【００３９】
第２の検出コイル１４の下側には第２の支持キャップ１９が配置されている。第２の支持キャップ１９は、大径部１９１とその上端部に配置される中径部１９２、下端部に配置される小径部１９３と、を有する段付き円筒状に形成されるとともに、上端面１９４は、第２のヨーク１６の下側の端面と当接するように配置されている。第２の支持キャップ１９の内周面１９５はコア１１と同心になるように形成され、軸受１７の外側に嵌め込まれている。中径部１９２の外周面１９６は、コア１１と同心になるように形成され、後述するパイプ部材２１の内周面２１１に嵌め込まれている。小径部１９３の外周面１９７に、取付けフランジ２０が装着されている。
【００４０】
第１の支持キャップ１８と第２の支持キャップ１９との間には、第１の支持キャップ１８と第２の支持キャップ１９とを連結する金属製のパイプ部材２１が配置されている。パイプ部材２１は、円筒状に形成され、内周面２１１が、コア１１と同心になるように形成されている。
【００４１】
角度センサ１０の位置決め手段は、上述した、第１の係合部１２ｇと、第２の係合部１２ｉと、第１の被係合部１５ｄと、第２の被係合部１６ｄと、からなる。
【００４２】
コア１１と第１のヨーク１５、第２のヨーク１６との配置関係を詳細に説明する。なお、図２において、コア１１と、第１のヨーク１５及び第２のヨーク１６を実線で示し、励磁コイル１２のボビン１２ｂを二点鎖線で示している。
【００４３】
図２、図３に示すように、第１のヨーク１５、第２のヨーク１６はコア１１の周りに配置され軸心方向から見て１２０°の位相差を有して配置されている。コア１１と第１のヨーク１５、第２のヨーク１６とは同心の位置に配置され、第１のヨーク１５の第１の弧面１５ａは、コア１１と同心円状に配置されている。また、第１のヨーク１５の第１の弧面１５ａ、第２のヨーク１６の第２の弧面１６ａは、コア１１が第１の弧面１５ａ及び第２の弧面１６ａ内で回転するために、コア１１の外周面１１２より径方向外側に僅かに大きく形成され、コア１１の外周面１１２との間にギャップＧを形成している。
【００４４】
第１のヨーク１５と第２のヨーク１６とは、図２、図４に示すように、励磁コイル１２の第１の係合部１２ｇと、第１のヨーク１５の第１の被係合部１５ｄとが、係合されるとともに、励磁コイル１２の第２の係合部１２ｉと、第２のヨーク１６の第２の被係合部１６ｄと、を係合させることによって位置決めされている。
【００４５】
次に上述のように構成された角度センサ１０の組付手順について説明する。
【００４６】
まず、励磁コイル１２の第１の係合部１２ｇと、第１のヨーク１５の第１の被係合部１５ｄとを、係合するとともに、励磁コイル１２の第２の係合部１２ｉと、第２のヨーク１６の第２の被係合部１６ｄと、を係合させパイプ部材２１内に収納する。
【００４７】
次に、第１のヨーク１５側に第１の検出コイル１３が、第２のヨーク１６側に第２の検出コイル１４が、配置されるようにパイプ部材２１内に入れる。
【００４８】
さらに、第１の支持キャップ１８の内周面１８４に軸受１７を嵌め込み、小径部１８２の外周面１８５を、パイプ部材２１の内周面２１１に挿入するとともに、第２の支持キャップ１９の内周面１９５に軸受１７を嵌め込み、中径部１９２の外周面１９６を、パイプ部材２１の内周面２１１に挿入する。
【００４９】
最後にコア１１を第１の支持キャップ１８、第２の支持キャップ１９内の軸受１７内を挿通して切り欠き部１１１と、に第１のヨーク１５の第１の弧面１５ａ及び第２のヨーク１６の第２の弧面１６ａと、が対向するように配置されていることを確認して角度センサ１０が組付けられる。
【００５０】
軸受１７と、第１の支持キャップ１８、第２の支持キャップ１９と、パイプ部材２１と、がコア１１と同心になるように形成されているので、それぞれの部材が相互に軸方向に沿って芯出しされることになる。
【００５１】
また、第１のつば部１４ｄ及び第２のつば部１４ｅに上下方向から見た外周縁は、励磁コイル１２と同様に、コア１１と同心円状になるように形成されているとともに、上下方向から見て後述するパイプ部材２１の内周面２１１と同一形状に形成されているので、パイプ部材２１を介して励磁コイル１２のボビン１２ｂが、軸方向に沿って芯出しされることになる。
【００５２】
第１のヨーク１５、第２のヨーク１６には、予め、１２０°の位相差が形成できるように、励磁コイル１２には、第１の係合部１２ｇ及び第２の係合部１２ｉが、第１のヨーク１５には、第１の被係合部１５ｄが、第２のヨーク１６には、第２の被係合部１６ｄが形成されている。これにより、第１のヨーク１５と第２のヨーク１６との中心軸Ｏに対する角度位置を精度良く位置決めすることができる。
【００５３】
次に、上述のように組みつけられた角度センサ１０の動作について説明する。以下の説明において、第１のヨーク１５と第２のヨーク１６に関しては１２０°の位相差を有しているものの、磁路断面積の説明は同様であることから、第１のヨーク１５とコア１１との関係で説明し、第２のヨーク１６については、図６に示すようにその合成された出力電圧で説明する。
【００５４】
図５（ａ）に示すように、コア１１の切り欠き部１１１の切り欠き側端面１１１Ｃが第１のヨーク１５の第１の弧面１５ａに対して対向する状態にあるときをコア１１の０°位置として、順にコア１１を矢印方向に沿って回転させる。図５（ａ）のように、コア１１が第１のヨーク１５の第１の弧面１５ａに対してギャップが大きい場合に、コア１１と第１のヨーク１５は離隔して磁気的な結合が弱くなる。したがって、第１のヨーク１５とコア１１との間において、磁路断面積は最小となり、言い換えれば、磁気抵抗は最大値となる。
【００５５】
第１の検出コイル１３（図１参照）の出力電圧は、励磁コイル１２（図１参照）の発生磁束から第１のヨーク１５に漏れる磁束を減算した磁束に比例するため、上記のように第１のヨーク１５とコア１１との間の磁気抵抗が最大であるとき、第１の検出コイル１３の電圧は最大となる（図５（ａ）位置）。
【００５６】
その後、コア１１が図５における矢印方向へ回転して、図５（ｂ）の位置（コア１１の６０°）に達すると、第１のヨーク１５とコア１１との間の磁路断面積は増大していくため、第１の検出コイル１３（図１参照）の出力電圧は減少する。図５（ｃ）に示すようにコア１１が１２０°回転したとき、第１のヨーク１５とコア１との間の磁路断面積は最大値となり、このため、第１の検出コイル１３の出力電圧は最小値となる。
【００５７】
その後、コア１１が矢印方向へさらに回転して、図５（ｃ）の位置から、コア１１がさらに１２０°（コア１１の２４０°位置）、つまり、図５（ｅ）に示す位置に回転するまでの間においては、第１のヨーク１５とコア１１との間の磁路断面積は最大値に維持されるため、第１の検出コイル１３（図１参照）の出力電圧は最小値に維持される。
【００５８】
その後、コア１がさらに回転して、図５（ｆ）の位置に達すると第１のヨーク１５とコア１１との間に磁路断面積は、今度は減少するため、第１の検出コイル１３の出力電圧は増大し、コア１１がさらに１２０°回転したとき、図５（ａ）と同じ状態となり、第１のヨーク１５とコア１１との間の磁路断面積は最小値となる。このため、第１の検出コイル１３（図１参照）の出力電圧は最大値となる。
【００５９】
上記のように、第１のヨーク１５と第２のヨーク１６とは、互いに１２０°の位相差を持って配置されている。このため、コア１１の角度位置に対する第１の検出コイル１３の出力電圧を図６（Ａ）の波形Ｘで表したとき、第２の検出コイル１４の出力電圧は、波形Ｙで表すことができる。したがって第１の検出コイル１３の出力電圧と第２の検出コイル１４との差電圧は、図６（Ｂ）で表すことができる。これによると、コア１１の２４０°の回転範囲内で直線性を有するため、この回転範囲においてコア１１の角度位置を第１の検出コイル１３と第２の検出コイル１４との差電圧で検出することができる。
【００６０】
角度センサ１０では、軸受１７は、内周面及び外周面がコア１１と同心になるように配置され、第１の支持キャップ１８の内周面１８４はコア１１と同心になるように配置され、第１の支持キャップ１８の小径部１８２の外周面１８５はコア１１と同心になるように配置され、第２の支持キャップ１９の内周面１９５はコア１１と同心になるように配置され、第２の支持キャップ１９の中径部１９２の外周面１９６は、コア１１と同心になるように配置されることによって、パイプ部材２１の内周面２１１は、コア１１と同心になるように配置されている。
【００６１】
コア１１と同心になるように配置されたパイプ部材２１の内周面２１１と、励磁コイル１２のボビン１２ｂの、第１のつば部１２ｄの外周端面１２ｊ及び第２のつば部１２ｅの外周端面１２ｋを当接させることで、励磁コイル１２のボビン１２ｂが、コア１１と同心になるように規制されて配設されてセンタリングされる。
【００６２】
また、コア１１と同心に配設された励磁コイル１２のボビン１２ｂを基準にして位置決め手段により、第１のヨーク１５及び第２のヨーク１６を位置決めすることにより、第１のヨーク１５と第２のヨーク１６との角度位置を精度良く行うことができる。
【００６３】
また、コア１１が第１のヨーク１５の第１の弧面１５ａ及び第２のヨーク１６の第２の弧面１６ａ内を回転する際、コア１１の外周面１１２と第１のヨーク１５の第１の弧面１５ａ及び第２のヨーク１６の第２の弧面１６ａとのギャップＧを均一にすることができコア１１の角度測定の精度を向上することができる。
【００６４】
さらに、励磁コイル１２のボビン１２ｂの第１のヨーク１５との対向面１２ｆに、第１の係合部１２ｇを設け、励磁コイル１２のボビン１２ｂの第２のヨーク１６との対向面１２ｈに、第２の係合部１２ｉを設けている。
【００６５】
それとともに、第１のヨーク１５の励磁コイル１２との対向面１５ｃに、励磁コイル１２の第１の係合部１２ｇと係合する第１の被係合部１５ｄを設け、第２のヨーク１６の励磁コイル１２との対向面１６ｃに、励磁コイル１２の第２の係合部１２ｉと係合する第２の被係合部１６ｄを設けている。
【００６６】
そして、励磁コイル１２の第１の係合部１２ｇと、第１のヨーク１５の第１の被係合部１５ｄとを、係合するとともに、励磁コイル１２の第２の係合部１２ｉと、第２のヨーク１６の第２の被係合部１６ｄと、を係合している。
【００６７】
コア１１と同心に配設された励磁コイル１２のボビン１２ｂの第１の係合部１２ｇ及び第２の係合部１２ｉを基準にして、第１のヨーク１５及び第２のヨーク１６を位置決めすることにより、第１のヨーク１５及び第２のヨーク１６と、コア１１と、の軸方向の芯出し及び第１のヨーク１５と第２のヨーク１６との角度位置を精度良く位置決めすることができるとともに、組み付け作業の迅速化を図ることができる。
【００６８】
次に第２の実施形態の角度センサ３０について図７に基づいて説明する。なお、以下の説明において、第１の実施形態と同じ構成については、同じ符号を付し説明を省略する。
【００６９】
角度センサ３０は、図７に示すように、第１のつば部１２ｄの第１のヨーク１５と対向する対向面１２ｆには、上側に開口する有底孔として形成され、第１のヨーク１５と係合する第１の凹部３２ａが二つ形成されている
第２のつば部１２ｅの第２のヨーク１６と対向する対向面１２ｈには、下側に開口する有底孔として形成され、第２のヨーク１６と係合する第２の凹部３２ｂが二つ形成されている。
【００７０】
第１のヨーク１５の励磁コイル１２との対向面１５ｃには、励磁コイル１２の第１の凹部３２ａと、後述する第１の連結ピン３３ａを介して係合する第３の凹部３５が二つ設けられている。第３の凹部３５は、第１の凹部３２ａに対応する位置に対向面１５ｃの下側に開口する有底孔として形成されている。
【００７１】
第２のヨーク１６の励磁コイル１２との対向面１６ｃには、励磁コイル１２の第２の凹部３２ｂと、後述する第２の連結ピン３３ｂを介して係合する第４の凹部３６が二つ設けられている。第４の凹部３６は、第２の凹部３２ｂに対応する位置に対向面１６ｃ上側に開口する有底孔として形成されている。
【００７２】
第１の連結ピン３３ａ及び第２の連結ピン３３ｂは、円柱状で第１の凹部３２ａ、第２の凹部３２ｂ、第３の凹部３５、第４の凹部３６に挿入可能に形成されている。
【００７３】
角度センサ３０の位置決め手段は、上述した、第１の凹部３２ａと、第２の凹部３２ｂと、第３の凹部３５と、第４の凹部３６と、第１の連結ピン３３ａと、第２の連結ピン３３ｂと、からなる。
【００７４】
対応する一対の第１の凹部３２ａと、第３の凹部３５と、に第１の連結ピン３３ａをそれぞれ挿入するとともに、対応する一対の第２の凹部３２ｂと、第４の凹部３６と、に第２の連結ピン３３ｂをそれぞれ挿入して連結することで、励磁コイル１２と、第１のヨーク１５とが、連結されるとともに、励磁コイル１２と、第２のヨーク１６と、が連結されている。
【００７５】
上記の構成によっても、第１のヨーク１５及び第２のヨーク１６と、コア１１と、の軸方向の芯出し及び第１のヨーク１５と第２のヨーク１６との角度位置を精度良く位置決めすることができるとともに、組み付け作業の迅速化を図ることができる。
【００７６】
次に第３の実施形態の角度センサ５０について図８に基づいて説明する。なお、以下の説明において、第１の実施形態と同じ構成については、同じ符号を付し説明を省略する。
【００７７】
角度センサ５０は、励磁コイル１２のボビン１２ｂの第１のヨーク１５との対向面１２ｆに、上側に向かって突出する第１のストッパ部５２ａが二つ設けられている。励磁コイル１２のボビン１２ｂの第２のヨーク１６との対向面１２ｈには、下側に向かって突出する第２のストッパ部５２ｂが二つ設けられている。
【００７８】
第１のヨーク１５は、第１の弧面１５ａと、外周端面５５ｂとを連結する一対の端面５５ａにおいて第１のストッパ部５２ａと当接可能に形成されている。
【００７９】
第１のヨーク１５では、外周端面５５ｂが、コア１１と同心になるように形成されているとともに、上下方向から見て後述するパイプ部材２１の内周面２１１と当接可能に形成されている。
【００８０】
第２のヨーク１６は、第２の弧面１６ａと、外周端面５６ｂとを連結する一対の端面５６ａにおいて第２のストッパ部５２ｂと当接可能に形成されている。
【００８１】
第２のヨーク１６では、外周端面５６ｂが、コア１１と同心になるように形成されているとともに、上下方向から見て後述するパイプ部材２１の内周面２１１と当接可能に形成されている。
【００８２】
角度センサ５０の位置決め手段は、上述した、第１のストッパ部５２ａと、第２のストッパ部５２ｂと、一対の端面５５ａと、一対の端面５６ａと、からなる。
【００８３】
パイプ部材２１の内周面２１１と、第１のヨーク１５の径方向外側の外周端面５５ｂと及び第２のヨーク１６の径方向外側の外周端面５６ｂと、を当接させるとともに、励磁コイル１２の第１のストッパ部５２ａと、第１のヨーク１５の一対の端面５５ａとが、係合され、励磁コイル１２の第２のストッパ部５２ｂと、第２のヨーク１６の一対の端面５６ａと、が係合されている。
【００８４】
このような構成によっても、第１のヨーク１５及び第２のヨーク１６と、コア１１と、の軸方向の芯出し及び第１のヨーク１５と第２のヨーク１６との角度位置を精度良く行うことができるとともに、組み付け作業の迅速化を図ることができる。
【００８５】
次に第４の実施形態の角度センサ７０について図９に基づいて説明する。なお、以下の説明において、第１の実施形態と同じ構成については、同じ符号を付し説明を省略する。
【００８６】
部品の加工精度により加工寸法に誤差が生じる場合であっても、以下に説明する形態にすれば、第１のヨーク１５と第２のヨーク１６との角度位置を調整可能とすることができる。
【００８７】
角度センサ７０は、励磁コイル１２のボビン１２ｂの第１のつば部１２ｄの第１のヨーク１５と対向する対向面１２ｆには、第１のヨーク１５と係合する第１の溝部７２ａが形成されている。第１の溝部７２ａは、対向面１２ｆから下側に向かう円環状の有底溝として形成されている。
【００８８】
第２のつば部１２ｅの第２のヨーク１６と対向する対向面１２ｈには、第２のヨーク１６と係合する第２の溝部７２ｂが形成されている。第２の溝部７２ｂは、対向面１２ｈから上側に向かう円環状の有底溝として形成されている。
【００８９】
第１のヨーク１５は、外周端面７５ａが、コア１１と同心になるように形成されているとともに、図８に参照するように、上下方向から見て後述するパイプ部材２１の内周面２１１と当接可能に形成されている。第１のヨーク１５の第１のつば部１２ｄと対向する対向面１５ｃには、下側に向かって突出して第１の溝部７２ａ内を摺動可能な第１の凸部７５ｂが形成されている。
【００９０】
第２のヨーク１６は、外周端面７６ａが、コア１１と同心になるように形成されているとともに、図８に参照するように、上下方向から見て後述するパイプ部材２１の内周面２１１と当接可能に形成されている。第２のヨーク１６の第２のつば部１２ｅと対向する対向面１６ｃには、上側に向かって突出して第２の溝部７２ｂ内を摺動可能な第１の凸部７５ｂが形成されている。
【００９１】
このような構成によっても、第１のヨーク１５及び第２のヨーク１６と、コア１１と、の軸方向の芯出しを精度良く行うことができる。
【００９２】
なお、角度センサ７０では、第１のヨーク１５及び第２のヨーク１６が、ボビン１２ｂに対して摺動可能に形成されているため、コア１１に対して第１のヨーク１５と第２のヨーク１６との１２０°の位相差で組付ける際、部品の加工精度により加工寸法に誤差が生じる場合であっても、第１のヨーク１５と、第２のヨーク１６を現合で位置調整をすることが可能である。
【００９３】
現合調整は、図６（Ｂ）に示すグラフにおいて２４０°の範囲で示す斜め線が直線を形成するように調整する。この現合調整は、第１のヨーク１５または第２のヨーク１６を、図６（Ｂ）における直線を形成しながら微小角度移動できるものであれば、下記第１〜第３の現合調整で述べるとおり、種々の方法を採り得る。
【００９４】
第１の現合調整では、図１０に示すように、パイプ部材２１の外周面２１２から、現合調整により位置決めされた第１のヨーク１５の外周端面７５ａを通り、第１のヨーク１５の第１の胴体部１５ｂに至るように設けるとともに、パイプ部材２１の外周面２１２から、現合調整により位置決めされた第２のヨーク１６の外周端面７６ａを通り、第２のヨーク１６の第２の胴体部１６ｂに至るように取付孔２２を設ける。取付孔２２にねじ２３を挿入してパイプ部材２１と、第１のヨーク１５及び第２のヨーク１６と、を取り付け、固定する。
【００９５】
この場合、取付孔２２と、ねじ２３と、で位置決め手段が構成される。
【００９６】
また、図１１は、第２の現合調整における構成を現わし、第１のヨーク１５の外周端面７５ａから径方向外側に向かって突出する第１の調整凸部７５ｃを設け、パイプ部材２１の第１の調整凸部７５ｃに対応する位置に第１の長孔２１３を設けている。第２のヨーク１６の外周端面７６ａから径方向外側に向かって突出する第２の調整凸部７６ｃを設け、第２の調整凸部７６ｃに対応する位置に第２の長孔２１４を設けている。
【００９７】
そして、第１の長孔２１３に第１の調整凸部７５ｃを、第２の長孔２１４に第２の調整凸部７６ｃを、それぞれ挿通して、第１の長孔２１３及び第２の長孔２１４内で微小移動させて第１のヨーク１５と第２のヨーク１６の角度位置を調整してから、第１のヨーク１５及び第２のヨーク１６を固定している。
【００９８】
この場合、第１の調整凸部７５ｃと、第２の調整凸部７６ｃと、第１の長孔２１３、第２の長孔２１４と、で位置決め手段が構成される。このような構成にして現合調整するようにしてもよい。
【００９９】
また、図１２は、第３の現合調整における構成を現わし、第１のヨーク１５には、後述する調整ボルト２４と当接する当接部７５ｄが設けられている。当接部７５ｄは、第１の弧面１５ａと外周端面７５ａとを連結する一対の端面であって、調整ボルト２４と当接可能に形成されている。
【０１００】
第２のヨーク１６には、後述する調整ボルト２４と当接する当接部７６ｄが設けられ、当接部７６ｄは、第２の弧面１６ａと外周端面７６ｂとを連結する一対の端面であって、調整ボルト２４と当接可能に形成されている。
【０１０１】
パイプ部材２１には、外周面２１２から当接部７５ｄ及び当接部７６ｄに向かってねじが形成された貫通孔２１５が合計四つ設けられ、調整ボルト２４が貫通孔２１５を挿通して配設されている。
【０１０２】
調整ボルト２４の先端部分を当接部７５ｄ及び当接部７６ｄに当接させるとともに、パイプ部材２１内への出入り量を調整して現合調整を行なう。
【０１０３】
この場合、調整ボルト２４と、当接部７５ｄと、当接部７６ｄと、貫通孔２１５と、で位置決め手段が構成される。
【０１０４】
また、第１のヨーク１５及び第２のヨーク１６の変形例として、図１３に示すように、第１のヨーク１５及び第２のヨーク１６の、第１の胴体部１５ｂ、第２の胴体部１６ｂから延設され、励磁コイル１２のボビン１２ｂの外周端面１２ｊ、１２ｋ又は／及びパイプ部材２１の内周面２１１に対応するように沿ってＣ字形状の補助部２５が形成されている。補助部２５は、合成樹脂で形成され、補助部２５と第１の胴体部１５ｂ、補助部２５と第２の胴体部１６ｂで円環形状をなしている。
【０１０５】
外環部２３の上下方向から見た外周縁は、図３に参照するように、励磁コイル１２と同様に、コア１１と同心円状になるように形成されているとともに、上下方向から見て後述するパイプ部材２１の内周面２１１と同一形状に形成されている。
【０１０６】
このような構成にすれば、第１のヨーク１５及び第２のヨーク１６が、円環状の部材となりパイプ部材２１に収納する際に扱いやすくなり、組み付け作業の迅速化を図ることができる。
【０１０７】
第１の実施形態における、第１のヨーク１５、第２のヨーク１６、ボビン１２ｂの変形例を以下に説明する。
【０１０８】
変形例においては、第１のつば部１２ｄの第１のヨーク１５と対向する対向面１２ｆには、図１４に示すように、第１のヨーク１５と係合する第１の係合部１２Ｇが二つ形成されている。第１の係合部１２Ｇは、後述する第１の被係合部１５Ｄに対応する形状に対向面１２ｆの上側に開口する有底孔として形成されている。
【０１０９】
第２のつば部１２ｅの第２のヨーク１６と対向する対向面１２ｈには、第２のヨーク１６と係合する第２の係合部１２Ｉが形成されている。第２の係合部１２Ｉは、第１の係合部１２Ｇに対応する形状に対向面１２ｈの下側に開口する有底孔として形成されている。
【０１１０】
第１のヨーク１５の励磁コイル１２との対向面１５ｃには、下側に向かって突出して励磁コイル１２の第１の係合部１２Ｇと係合する第１の被係合部１５Ｄが二つ形成されている。
【０１１１】
第２のヨーク１６の励磁コイル１２との対向面１６ｃには、上側に向かって突出して励磁コイル１２の第２の係合部１２Ｉと係合する第２の被係合部１６Ｄが二つ形成されている。
【０１１２】
この場合、第１の係合部１２Ｇと、第２の係合部１２Ｉと、第１の被係合部１５Ｄと、第２の被係合部１６Ｄと、で位置決め手段が構成される。
【０１１３】
このような構成においても、第１のヨーク１５及び第２のヨーク１６と、コア１１と、の軸方向の芯出し及び第１のヨーク１５と第２のヨーク１６との角度位置を精度良く行うことができるとともに、組み付け作業の迅速化を図ることができる。
【０１１４】
なお、第４の実施形態においても上記の変形例と同様に、励磁コイル１２と、第１のヨーク１５及び第２のヨーク１６との凹凸の逆にしてもよい。
【０１１５】
また、図１５においては、コア１１の外周面１１２と、第１のヨーク１５の第１の弧面１５ａ及び第２のヨーク１６の第２の弧面１６ａとの間に合成樹脂製の円筒状のスペーサー２６が、コア１１の中心軸Ｏに沿って配設されている。これにより、コア１１が第１のヨーク１５と第２のヨーク１６の弧面（１５ａ、１６ａ）内を回転する際、外部的な衝撃が加わっても、コア１１の外周面１１２と第１のヨーク１５と第２のヨーク１６の弧面（１５ａ、１６ａ）とのギャップＧを均一にすることができ、コア１１の角度測定の精度を安定させることができる。
【符号の説明】
【０１１６】
１０、３０、５０、７０（差動トランス型）角度センサ
１１  コア
１１１  切り欠き部
１２  励磁コイル
１２ａ  コイル
１２ｂ  ボビン
１２ｆ  対向面
１２ｇ  第１の係合部
１２ｈ  対向面
１２ｉ  第２の係合部
１３  第１の検出コイル
１４  第２の検出コイル
１５  第１のヨーク
１５ａ  第１の弧面
１５ｂ  第１の胴体部
１５ｃ  対向面
１５ｄ  第１の被係合部
１６  第２のヨーク
１６ａ  第２の弧面
１６ｂ  第２の胴体部
１６ｃ  対向面
１６ｄ  第２の被係合部
１７  軸受
１８  第１の支持キャップ
１９  第２の支持キャップ
２１  パイプ部材
２１１  内周面
２６  スペーサー
３２ａ  第１の凹部
３２ｂ  第２の凹部
３３  連結ピン
３３ａ  第１の連結ピン
３３ｂ  第２の連結ピン
３５  第３の凹部
３６  第４の凹部
５２ａ  第１のストッパ部
５２ｂ  第２のストッパ部
５５ａ  端面
５５ｂ  外周端面
５６ａ  端面
５６ｂ  外周端面
７２ａ  第１の溝部
７２ｂ  第２の溝部
７５ａ  外周端面
７５ｂ  第１の凸部
７５ｄ  当接部
７６ａ  外周端面
７６ｂ  第２の凸部
７６ｄ  当接部
【図１】
0005410460.tif 000002
【図２】
0005410460.tif 000003
【図３】
0005410460.tif 000004
【図４】
0005410460.tif 000005
【図５】
0005410460.tif 000006
【図６】
0005410460.tif 000007
【図７】
0005410460.tif 000008
【図８】
0005410460.tif 000009
【図９】
0005410460.tif 000010
【図１０】
0005410460.tif 000011
【図１１】
0005410460.tif 000012
【図１２】
0005410460.tif 000013
【図１３】
0005410460.tif 000014
【図１４】
0005410460.tif 000015
【図１５】
0005410460.tif 000016