(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納した複数の基板搬送容器を載置可能な容器載置部と、この容器載置部に載置された基板搬送容器に対して基板の受け渡しを行う受け渡し機構と、を含む基板搬入ブロックと、
この基板搬入ブロックから搬入された基板に対して同種の処理を行うため複数の処理ユニットと、前記基板搬入ブロックと各処理ユニットとの間で基板を搬送する基板搬送部とを含む処理ブロックと、
他の基板よりも処理を優先する優先基板が基板搬送容器により前記容器載置部に搬送されたときに、前記複数の処理ユニットの一部が割り振られた優先処理ユニットのうち、次の基板の搬入が可能になった優先処理ユニットに、他の基板に優先して優先基板を搬入して処理を行うと共に、前記優先処理ユニット以外の処理ユニットでは、前記他の基板を搬入して処理を並行して行うように制御信号を出力する制御部と、
前記優先基板の処理の優先度と優先処理ユニットの数とを対応付けるためのデータを記憶する記憶部と、を備え、
前記優先処理ユニットの割り振りは、前記容器載置部に優先基板を含む基板搬送容器が載置された後に行われ、
優先基板には前記優先度が割り当てられ、
前記制御部は、基板搬送容器内の優先基板の優先度に応じて優先処理ユニットの数を変更することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記優先処理ユニットの数は、優先基板の枚数に応じて変更されることを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
基板を収納した複数の基板搬送容器を載置可能な容器載置部と、この容器載置部に載置された基板搬送容器に対して基板の受け渡しを行う受け渡し機構と、を含む基板搬入ブロックと、
この基板搬入ブロックから搬入された基板に対して同種の処理を行うため複数の処理ユニットと、前記基板搬入ブロックと各処理ユニットとの間で基板を搬送する基板搬送部とを含む処理ブロックと、
他の基板よりも処理を優先する優先基板が基板搬送容器により前記容器載置部に搬送されたときに、前記複数の処理ユニットの一部が割り振られた優先処理ユニットのうち、次の基板の搬入が可能になった優先処理ユニットに、他の基板に優先して優先基板を搬入して処理を行うと共に、前記優先処理ユニット以外の処理ユニットでは、前記他の基板を搬入して処理を並行して行うように制御信号を出力する制御部と、を備え、
前記優先処理ユニットの割り振りは、前記容器載置部に優先基板を含む基板搬送容器が載置された後に行われ、
優先基板には処理に許容される許容処理時間が決められ、
前記制御部は、優先基板の許容処理時間を取得し、実際の処理時間が前記許容処理時間に近くなるように、優先処理ユニットの台数に対応させて記憶した優先基板の推定処理時間に基づいて優先処理ユニットに割り振る処理ユニットの数を決定することを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
前記優先処理ユニットの数は、優先基板の枚数に応じて変更されることを特徴とする請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記優先基板の処理の優先度と優先処理ユニットの数とを対応付けるためのデータを記憶する記憶部を有し、
優先基板には前記優先度が割り当てられ、
前記制御部は、基板搬送容器内の優先基板の優先度に応じて優先処理ユニットの数を変更することを特徴とする請求項３または４に記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数個の処理ユニットを用いて例えば半導体ウエハなどの基板に液処理や表面処理などの同種の処理を実行する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスなどの製造工程には、半導体ウエハ（以下、ウエハという）などの基板の表面に薬液や純水などの処理液を供給して基板に付着したパーティクルや汚染物質の除去を行う液処理などの処理工程がある。
【０００３】
こうした液処理を行う液処理装置の一つに、スピンチャック上に基板を一枚ずつ載置し、基板を回転させながら当該基板の表面に処理液を供給して液処理を実行する液処理装置がある。この種の液処理装置には例えば同種の液処理を実行可能な複数の液処理ユニットに対して共通の基板搬送機構を用いて基板を搬送することにより、複数の液処理ユニットにて並行して液処理を実行しながら連続的に基板を入れ替え、単位時間当たりの基板の処理枚数（スループット）を向上させたものがある（特許文献１）。
【０００４】
こうした複数の液処理ユニットを備えた液処理装置では、例えばＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）などの基板搬送容器に格納されて工場内を搬送されてきた複数枚のウエハを順番に取り出し、これらのウエハを液処理装置内の各液処理ユニットへと予め定められた順序で搬入することにより、所定の液処理が実行される。ここで１個のＦＯＵＰ内に格納されているウエハを１ロットとすると、通常の運転状態においては、液処理装置は予め定められたスケジュールに基づいてウエハをロット毎に処理していく。
【０００５】
ところが、例えば製品の納入先からの要請や生産調整、プロセスの試験などの理由により、スケジュールには含まれていない他のＦＯＵＰ内のウエハを緊急的に処理する必要が生じる場合がある。従来、このような緊急的なウエハの処理は、例えば現在実行中のロットに対する液処理が終了するのを待ってから、次のロットの処理を開始する前に、緊急に処理するウエハのロット（以下、優先ロットという）の処理を優先して開始したり、また現在実行中のロットの処理を一旦すべて停止してから優先ロットの処理を開始したりするなどしていた。
【０００６】
こうした従来法によれば、実行中のロットの処理が終了するのを待つ場合には、優先ロットの処理を開始する時期が後回しになってしまい緊急の処理が必要との要請に十分に応えることができない。また、現在実行中のロットの処理を一旦停止して優先ロットの処理を割り込ませる場合には、現行ロットの停止操作や優先ロット終了後の復帰操作など、普段は行わない操作が発生するため、これらの操作に失敗して不良品が発生するおそれもある。
【０００７】
特許文献２には、例えばウエハに対してレジスト膜などの塗布処理や現像処理などの一連の処理を行う基板処理装置において、処理のフローが異なる優先ロットを割り込ませる場合にも、ロットの切り替えの際に発生するスループットの低下を抑える技術が記載されている。しかしながら当該技術においても実行中の処理を一旦停止する必要がある点については上述の液処理装置と共通しており、現行ロットの処理の停止操作や再開操作に係る既述の問題を解決することはできない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−３４４９０号公報：００２０段落、図１
【特許文献２】特開平８−１５３７６５号公報：段落０１４６〜段落０１６８、図２０〜図２８
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、他の基板に優先して処理開始すべき基板と、通常のスケジュールで処理される基板とを並行して処理することが可能な基板処理装置、基板処理方法及びこの方法を記憶した記憶媒体を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る基板処理装置は、  基板を収納した複数の基板搬送容器を載置可能な容器載置部と、この容器載置部に載置された基板搬送容器に対して基板の受け渡しを行う受け渡し機構と、を含む基板搬入ブロックと、
この基板搬入ブロックから搬入された基板に対して同種の処理を行うため複数の処理ユニットと、前記基板搬入ブロックと各処理ユニットとの間で基板を搬送する基板搬送部とを含む処理ブロックと、
他の基板よりも処理を優先する優先基板が基板搬送容器により前記容器載置部に搬送されたときに、前記複数の処理ユニットの一部が割り振られた優先処理ユニットのうち、次の基板の搬入が可能になった優先処理ユニットに、他の基板に優先して優先基板を搬入して処理を行うと共に、前記優先処理ユニット以外の処理ユニットでは、前記他の基板を搬入して処理を並行して行うように制御信号を出力する制御部と、
前記優先基板の処理の優先度と優先処理ユニットの数とを対応付けるためのデータを記憶する記憶部と、を備え、
前記優先処理ユニットの割り振りは、前記容器載置部に優先基板を含む基板搬送容器が載置された後に行われ、
優先基板には前記優先度が割り当てられ、
前記制御部は、基板搬送容器内の優先基板の優先度に応じて優先処理ユニットの数を変更することを特徴とする。
ここで、前記優先処理ユニットの数は、優先基板の枚数に応じて変更されてもよい。
【００１１】
また、他の発明に係る基板処理装置は、基板を収納した複数の基板搬送容器を載置可能な容器載置部と、この容器載置部に載置された基板搬送容器に対して基板の受け渡しを行う受け渡し機構と、を含む基板搬入ブロックと、
この基板搬入ブロックから搬入された基板に対して同種の処理を行うため複数の処理ユニットと、前記基板搬入ブロックと各処理ユニットとの間で基板を搬送する基板搬送部とを含む処理ブロックと、
他の基板よりも処理を優先する優先基板が基板搬送容器により前記容器載置部に搬送されたときに、前記複数の処理ユニットの一部が割り振られた優先処理ユニットのうち、次の基板の搬入が可能になった優先処理ユニットに、他の基板に優先して優先基板を搬入して処理を行うと共に、前記優先処理ユニット以外の処理ユニットでは、前記他の基板を搬入して処理を並行して行うように制御信号を出力する制御部と、を備え、
前記優先処理ユニットの割り振りは、前記容器載置部に優先基板を含む基板搬送容器が載置された後に行われ、
優先基板には処理に許容される許容処理時間が決められ、
前記制御部は、優先基板の許容処理時間を取得し、実際の処理時間が前記許容処理時間に近くなるように、優先処理ユニットの台数に対応させて記憶した優先基板の推定処理時間に基づいて優先処理ユニットに割り振る処理ユニットの数を決定することを特徴とする。
上記基板処理装置は、以下の特徴を備えていてもよい。
（ａ）前記優先処理ユニットの数は、優先基板の枚数に応じて変更されること。
（ｂ）前記優先基板の処理の優先度と優先処理ユニットの数とを対応付けるためのデータを記憶する記憶部を有し、優先基板には前記優先度が割り当てられ、前記制御部は、基板搬送容器内の優先基板の優先度に応じて優先処理ユニットの数を変更すること。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、同種の処理を並行して行うことが可能な複数の処理ユニットのうち、一部の処理ユニットを優先処理ユニットに割り振って他の基板に優先して処理を開始すべき優先基板を処理し、他の処理ユニットにて優先基板以外の基板の処理を並行して行うことができる。このため、一方の処理が終わるまで他方の処理の開始を待ったり、優先基板の処理を実行するために他の基板の処理を停止、再開したりする特別な操作を必要とせず、必要なときに迅速に優先基板の処理を開始することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態に係る液処理装置の横断平面図である。
【図２】前記液処理装置の縦断側面図である。
【図３】前記液処理装置の内部構成を示す斜視図である。
【図４】前記液処理装置に搭載されている液処理ユニットの構成を示す説明図である。
【図５】前記液処理装置の電気的構成を示す説明図である。
【図６】優先処理ユニットの割り振り台数を決定する手法を説明する第１の説明図である。
【図７】優先処理ユニットの割り振り台数を決定する手法を説明する第２の説明図である。
【図８】優先処理ユニットへ割り振られる処理ユニットの順序を示す説明図である。
【図９】前記液処理装置にて優先基板の処理を行う動作の流れを示すフロー図である。
【図１０】前記液処理装置の動作を示す第１の説明図である。
【図１１】前記液処理装置の動作を示す第２の説明図である。
【図１２】前記液処理装置の動作を示す第３の説明図である。
【図１３】前記液処理装置の動作を示す第４の説明図である。
【図１４】前記液処理装置の動作を示す第５の説明図である。
【図１５】前記液処理装置の動作を示す第６の説明図である。
【図１６】前記液処理装置の動作を示す第７の説明図である。
【図１７】前記液処理装置の動作を示す第８の説明図である。
【図１８】前記液処理装置の動作を示す第９の説明図である。
【図１９】前記液処理装置の動作を示す第１０の説明図である。
【図２０】前記液処理装置の動作を示す第１１の説明図である。
【図２１】前記液処理装置の動作を示す第１２の説明図である。
【図２２】他の例に係る液処理装置の動作を示す第１の説明図である。
【図２３】他の例に係る液処理装置の動作を示す第２の説明図である。
【図２４】さらに他の例に係る液処理装置の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の基板処理装置に係る実施の形態として、基板であるウエハＷに処理液である薬液を供給して基板に付着したパーティクルや汚染物質を除去する液処理を行う液処理装置１の構成について図１〜図５を参照しながら説明する。図１は液処理装置１の全体構成を示す横断平面図、図２は縦断側面図であり、これらの図に向かって左側を前方とすると、液処理装置１は複数枚のウエハＷを収納した基板搬送容器であり、例えば最大で２５枚のウエハＷを搬送可能なＦＯＵＰ６が載置されるＦＯＵＰ載置部１１と、このＦＯＵＰ６からウエハＷを取り出して液処理装置１内に搬入する搬送部１２と、搬送部１２にて取り出されたウエハＷを後段の液処理ブロック１４ａ、１４ｂに受け渡すための受け渡し部１３と、受け渡し部１３から受け渡されたウエハＷを液処理ユニット２に搬入して液処理を実行する液処理ブロック１４ａ、１４ｂと、を前方からこの順番に接続した構造となっている。また本実施の形態に係る液処理装置１は、上下に積層された２つの液処理ブロック１４ａ、１４ｂを備えている。
【００１６】
ＦＯＵＰ載置部１１は、例えば４個のＦＯＵＰ６を載置可能な載置台として構成され、載置台上に載置された各ＦＯＵＰ６を固定して搬送部１２に接続する容器載置部としての役割を果たす。搬送部１２は、各ＦＯＵＰ６との接続面に設けられた開閉扉を開閉する不図示の開閉機構と、ＦＯＵＰ６と受け渡し部１３との間でのウエハＷの受け渡しを行う受け渡し機構である搬入出アーム１２１とを共通の筐体内に設けた構造となっている。
【００１７】
搬入出アーム１２１は例えば前後方向に進退自在、左右方向に移動自在及び、回動、昇降自在に構成された搬送アーム及びその駆動部から構成されており、搬送部１２と受け渡し部１３とを区画する区画壁に設けられた第１の開口部１２３を介して、受け渡し部１３との間でウエハＷの受け渡しを行う役割を果たす。
【００１８】
受け渡し部１３は、前後を搬送部１２及び液処理ブロック１４ａ、１４ｂに挟まれた位置に設けられた筐体内の空間であり、例えば搬送部１２側の第１の開口部１２３に接続された第１の受け渡し棚１３３と、この第１の受け渡し棚１３３の上方位置及び下方位置に各々設けられ、当該第１の受け渡し棚１３３と各液処理ブロック１４ａ、１４ｂ側の区画壁に設けられた第２の開口部１３２ａ、１３２ｂとの間で、液処理前後のウエハＷの受け渡しを行うための第２の受け渡し棚１３１ａ、１３１ｂと、を設けた構造となっている。各第２の受け渡し棚１３１ａ、１３１ｂは例えば８枚のウエハＷを載置可能である。
【００１９】
また図１に示すように、受け渡し部１３内には、上下方向に昇降自在、前後方向に進退自在に構成された昇降搬送機構１３４が設けられている。この昇降搬送機構１３４は、第１の受け渡し棚１３３と第２の受け渡し棚１３１ａ、１３１ｂとの間でウエハＷの搬送を行う役割を果たす。  
以上に説明したＦＯＵＰ載置部１１、搬送部１２、受け渡し部１３は、本実施の形態の基板搬入ブロックを構成している。
【００２０】
受け渡し部１３の後段には、当該受け渡し部１３に隣接して２つの液処理ブロック１４ａ、１４ｂが上下に積層して配置されている。これらの液処理ブロック１４ａ、１４ｂは、互いにほぼ同様の構成を備えており、ウエハＷに対する液処理が実行される複数個、例えば１０台の液処理ユニット２を筐体内に配置した構造となっている。各液処理ブロック１４ａ、１４ｂには、前後方向に伸びる、ウエハＷの搬送路１４２ａ、１４２ｂが設けられており、この搬送路１４２ａ、１４２ｂを挟んで左右に各々５台の液処理ユニット２が互いに対向するように列設されている。
【００２１】
図１〜図３に示すように各搬送路１４２ａ、１４２ｂ内には、搬送路１４２ａ、１４２ｂに沿って移動可能、搬送路１４２ａ、１４２ｂの左右に設けられた各液処理ユニット２に向けて進退可能、そして鉛直軸回りに回転可能、昇降可能に構成され、各々本実施の形態の基板搬送部に相当するプロセスアーム１４１ａ、１４１ｂが設けられており、各々の液処理ブロック１４ａ、１４ｂに対応する受け渡し部１３側の第２の受け渡し棚１３１ａ、１３１ｂと各液処理ユニット２との間でウエハＷを搬送することができる。ここで図１〜図３には各液処理ブロック１４ａ、１４ｂに１台のプロセスアーム１４１ａ、１４１ｂを設けた例を示したが、液処理ユニット２の台数などに応じて２台以上のプロセスアーム１４１ａ、１４１ｂを設けてもよい。
【００２２】
次に図４を参照しながら各液処理ブロック１４ａ、１４ｂに設けられた液処理ユニット２の構成について説明する。液処理ユニット２は、ウエハＷに対する液処理、リンス洗浄、振切乾燥の各処理が実行される密閉された処理空間を形成するアウターチャンバー２１と、このアウターチャンバー２１内に設けられ、ウエハＷをほぼ水平に保持した状態で回転させるウエハ保持機構２３と、ウエハ保持機構２３に保持されたウエハＷの上面側に薬液を供給するノズルアーム２４と、ウエハ保持機構２３を取り囲むようにアウターチャンバー２１内に設けられ、回転するウエハＷから周囲に飛散した薬液を受けるためのインナーカップ２２とを備えている。
【００２３】
アウターチャンバー２１は、図１〜図３に示すように互いに隣り合う他の液処理ユニット２とは区画された筐体内に設けられており、不図示のウエハ搬入口を介してプロセスアーム１４１ａ、１４１ｂによりウエハＷが搬入出される。アウターチャンバー２１の底面に設けられた２６は、アウターチャンバー２１の底面に溜まったＤＩＷなどの排水を排出するための排水ライン、２７はアウターチャンバー２１内の雰囲気を排気するための排気ラインである。またウエハ保持機構２３の内部には薬液供給路２３１が形成されており、回転するウエハＷの下面に当該薬液供給路２３１を介して薬液を供給することができる。
【００２４】
ノズルアーム２４は、先端部に薬液供給用のノズルを備えており、不図示の駆動機構によってウエハ保持機構２３に保持されたウエハＷ中央側の上方位置と、例えばアウターチャンバー２１の外部に設けられた待機位置との間で前記ノズルを移動させることができる。インナーカップ２２は、ウエハ保持機構２３に保持されたウエハＷを取り囲む処理位置と、この処理位置の下方へ退避した退避位置との間を昇降し、回転するウエハＷ表面に供給された各種の薬液を受け止めて、インナーカップ２２の底面に設けられた排液ライン２５を介してこれらの薬液を液処理ユニット２外へと排出する役割を果たす。
【００２５】  次に各液処理ユニット２への薬液の供給機構について説明すると、ノズルアーム２４に設けられたノズルは上面側供給ライン４７に接続されており、この上面側供給ライン４７はＩＰＡ供給ライン４１１と薬液供給中間ライン４４とに分岐している。ＩＰＡ供給ライン４１１はＩＰＡ供給部３１に接続されており、このＩＰＡ供給部３１は高い揮発性を利用してウエハＷを乾燥させるためのＩＰＡをウエハＷの上面側に供給する役割を果たす。ＩＰＡ供給ライン４１１にはマスフローコントローラ４２が介設されており、所定量のＩＰＡをノズルアーム２４に供給することができる。
【００２６】
上面側供給ライン４７から分岐したもう一方側の薬液供給中間ライン４４は、切替弁４３を介して３系統の薬液供給ライン４１２、４１３、４１４に接続されている。これらのうち、ＤＩＷ供給ライン４１２の上流には、薬液処理後のウエハＷに残存するＤＨＦ液やＳＣ１液を除去するリンス液であるＤＩＷ（DeIonized Water）を供給するためのＤＩＷ供給部３２が設けられている。ＳＣ１供給ライン４１３の上流側にはウエハＷ表面のパーティクルや有機性の汚染物質を除去する薬液であるＳＣ１液（アンモニアと過酸化水素水との混合液）を供給するＳＣ１供給部３３が設けられている。そして残るＤＨＦ供給ライン４１４の上流側にはウエハＷ表面の自然酸化膜を除去する酸性薬液である希フッ酸水溶液（以下、ＤＨＦ（Diluted HydroFluoric acid）液という）を供給するＤＨＦ供給部３４が設けられている。
【００２７】
またこれらのＤＩＷ供給部３２、ＳＣ１供給部３３、ＤＨＦ供給部３４が接続された薬液供給中間ライン４４は、ウエハＷの下面に薬液を供給する薬液供給路２３１とも下面側供給ライン４８を介して接続されている。図４中、４５、４６は、各々ノズルアーム２４側、ウエハ保持機構２３側への薬液供給量を調整するマスフローコントローラである。
【００２８】
また液処理装置１には、例えば図１に示すように制御部５が接続されている。制御部５は例えばＣＰＵと記憶部とを備えたコンピュータからなり、記憶部には当該液処理装置１の作用、即ち各液処理ブロック１４ａ、１４ｂの液処理ユニット２にウエハＷを搬入して液処理を行った後、液処理後のウエハＷをＦＯＵＰ６に格納するまでの動作に係わる制御についてのステップ（命令）群が組まれたプログラムが記録されている。このプログラムは、例えばハードディスク、コンパクトディスク、マグネットオプティカルディスク、メモリーカード等の記憶媒体に格納され、そこからコンピュータにインストールされる。
【００２９】
以上に説明した構成を備えた液処理装置１は、例えば他のロットに優先して緊急に処理する必要がある優先ロットが発生した場合に、直ちに優先ロットのウエハＷ（以下、優先ウエハＷＰという）の処理を開始すると共に、先行して処理を行っているロット内のウエハＷについても並行して液処理を継続することができる構成となっている。以下、当該機能に係る詳細な構成について説明する。
【００３０】
図５は液処理装置１の電気的構成を示すブロック図を示しており、各液処理ユニット２やプロセスアーム１４１ａ、１４１ｂ、搬入出アーム１２１は、既述の制御部５（例えばＣＰＵ５１と記憶部５２とから構成されている）に接続されている。
【００３１】
また制御部５には、ロット情報取得部５３が接続されており、優先ロットのＦＯＵＰ６内の優先ウエハＷＰの枚数やその優先度を表す情報、また優先ロットの処理を終えるまでに許容される処理時間に関する情報を取得することができる。ロット情報取得部５３は、例えば液処理装置１のオペレータがこれらの情報を直接入力するタッチパネルなどのデータ入力部として構成してもよいし、例えばＦＯＵＰ６に取り付けられたＩＣタグやＦＯＵＰ６の外面に印刷されたバーコードなどの情報を読み取るデータ読取部として構成してもよい。また、液処理装置１の外部から、通信手段を用いてこれらの情報を取得するデータ受信部として構成してもよいし、これ以外の方法で上述の各情報を取得してもよい。
【００３２】
また例えば制御部５の記憶部５２には、液処理ブロック１４ａ、１４ｂに合計２０台設けられている液処理ユニット２の一部または全部を、優先ウエハＷＰの処理を行うための優先処理ユニット２Ｐに割り振り、各処理ユニット２、２Ｐにて優先ウエハＷＰと通常のウエハＷとに対して並行して液処理を実行するための優先処理プログラム５２１が記憶されている。
【００３３】  本実施の形態において、既述のロット情報取得部５３においては、例えば全ての優先ロットについて優先ウエハＷＰの枚数に関する情報が取得される一方、優先度や許容処理時間に関する情報は入力側の必要に応じていずれか一方の情報を取得することができるようになっている。また記憶部５２には、例えば割り振り台数設定テーブル５２２や優先度設定テーブル５２３、処理時間推定テーブル５２４が記憶されている。そして優先度、許容処理時間のいずれの情報も取得しなかった場合、または優先度に関する情報を取得した場合には、割り振り台数設定テーブル５２２及び優先度設定テーブル５２３を用いて優先処理ユニット２Ｐに割り振る処理ユニット２の台数が決定される。一方、許容処理時間に関する情報を取得した場合には、処理時間推定テーブル５２４を用いて優先処理ユニット２Ｐに割り振る台数を決定するようになっている。
【００３４】  図６は、割り振り台数設定テーブル５２２、優先度設定テーブル５２３及びこれらのテーブル５２２、５２３を用いて優先処理ユニット２Ｐへの割り振り台数を決定する手法を示した説明図である。割り振り台数設定テーブル５２２には、優先ロットのＦＯＵＰ６内に収納された優先ウエハＷＰの枚数に応じて選択される優先処理ユニット２Ｐの基準の割り振り台数が記憶されている。本例に係る割り振り台数設定テーブル５２２では、優先ウエハＷＰが１枚〜９枚のときには優先ウエハＷＰと同数の優先処理ユニット２Ｐが割り振られ、優先ウエハＷＰが１０枚以上のときには１０台の優先処理ユニット２Ｐが割り振られるようになっている。
【００３５】
一方、優先度設定テーブル５２３には、優先度の高さを表す「低、中、高、最高」の４つの情報に関連付けて、前記割り振り台数設定テーブル５２２にて選択された基準割り振り台数に乗算される係数が記憶されている。例えば優先ロットのＦＯＵＰ６に最大収納可能枚数である２５枚の優先ウエハＷＰが収容されていた場合には、優先処理ユニット２Ｐの基準割り振り台数は「１０台」となる。そして優先度、許容処理時間に関する情報のいずれも取得しなかった場合（デフォルト状態）、または優先度が「中」であった場合には、前記基準割り振り台数に係数「１．０」が乗算されて優先処理ユニット２Ｐの割り振り台数は１０台となる（ケース１）。そして、優先度が「低、高、最高」の場合には基準割り振り台数「１０台」に係数「０．６、１．４、２．０」が各々乗算されて割り振り台数は「６台、１４台、２０台」となる（ケース２〜ケース３）。
【００３６】
一方、ＦＯＵＰ６内の優先ウエハＷＰの枚数が例えば５枚の場合には、デフォルト、または優先度「中」で５台、優先度「低」にて３台の優先処理ユニット２Ｐが割り振られるが（ケース４、ケース５）、例えば優先度が「高」の場合には計算上７台の優先処理ユニット２Ｐが割り振られることになる（優先度が最高の場合も同様）。しかし、ＦＯＵＰ６に収容されている枚数を超える優先処理ユニット２Ｐを割り振っても、６台目以降の優先処理ユニット２Ｐには搬入する優先ウエハＷＰが存在しないので、この場合には優先ウエハＷＰと同数の優先処理ユニット２Ｐが割り振られる（ケース６）。
【００３７】
このように、本例では優先ウエハＷＰの枚数が多いほど、またその優先度が高いほど、優先処理ユニット２Ｐの割り振り台数を増やすように構成されている。また、優先度設定テーブル５２３で選択された係数を乗じた値が端数となる場合には、例えば乗算結果を四捨五入したり繰り上げたりして実際の割り振り台数を決定するとよい。
【００３８】  次にロット情報取得部５３にて取得した許容処理時間に基づいて優先処理ユニット２Ｐの割り振り台数を決定する手法について図７を参照しながら説明する。図７は、処理時間推定テーブル５２４の一例を示しており、表の左右方向の列は優先処理ユニット２Ｐの割り振り台数を表しており、上下方向の行は優先ウエハＷＰの枚数が記載されている。そしてこれら各行と列とが交差するセル内には、その優先処理ユニット２Ｐの割り振り台数にて対象枚数の優先ウエハＷＰを処理したときに、要する概略の推定処理時間が記憶されている。例えば、４枚の優先ウエハＷＰを３台の優先処理ユニット２Ｐを用いて液処理を行った場合には、処理を終えるまでの概略の推定処理時間は「Ｔ０４０３」であることが分かる。
【００３９】
このように、処理時間推定テーブル５２４には、優先ウエハ２５枚、優先処理ユニット２０台までの各場合における処理時間が記憶されている。但し、図６の（ケース６）でも説明したように、ＦＯＵＰ６に収容されている枚数を超える優先処理ユニット２Ｐを割り振る場合は考慮せず、この場合は図７中には「-」で表示してある。
【００４０】
そして優先処理プログラム５２１は、許容処理時間に関する情報を取得すると、ＦＯＵＰ６内の優先ウエハＷＰの枚数に応じて、処理時間推定テーブル５２４に記載された推定処理時間の中から、例えば許容処理時間に最も近い推定処理時間を探索し、その推定処理時間に対応する台数を優先処理ユニット２Ｐに割り振るようにプログラムされている。このとき例えば許容処理時間を超えない範囲で当該許容処理時間に最も近い処理時間を探索するようにしてもよい。また、例えば取得した許容処理時間を満足する処理時間が処理時間推定テーブル５２４に記憶されていない場合には、例えば液処理装置１に設けられた表示部にエラー表示を行い、オペレータに許容処理時間の修正を促したり、許容処理時間に替えて優先度の情報を受け付けたりするように構成してもよい。
【００４１】
以上に説明した割り振り台数設定テーブル５２２、優先度設定テーブル５２３及び処理時間推定テーブル５２４を用いて優先処理ユニット２Ｐへの割り振り台数が決定されたら、例えば図８に模式的に示した各液処理ユニット２に付した数字の小さい順に、各液処理ユニット２が優先処理ユニット２Ｐに割り振られる。例えば１０台の液処理ユニット２が優先処理ユニット２Ｐに割り振られた場合には、「１〜１０」までの液処理ユニット２が優先処理ユニットとなる。
【００４２】  ここで図８に示した模式図において図８に向かって上から２行のカラム（ＦＯＵＰ載置部１１に接続した状態で示してある）が下段側の液処理ブロック１４ｂ内の液処理ユニット２（１〜１０）を示し、その下の２行のカラムが上段側の液処理ブロック１４ｂ内の液処理ユニット２（１１〜２０）を示している。また当図では、搬送部１２や受け渡し部１３、プロセスアーム１４１ａ、１４１ｂなどの記載は省略してある。当該模式図の構成については、後述する図１０〜図２４においても同様である。
【００４３】  以上に説明した構成を備えた液処理装置１の作用について説明する。液処理装置１にて処理を開始すると、搬入出アーム１２１はＦＯＵＰ載置部１１に載置されたＦＯＵＰ６からウエハＷを取り出し、第１の受け渡し棚１３３内にウエハＷを載置する。昇降搬送機構１３４は、当該第１の受け渡し棚１３３からウエハＷを取り出して、各液処理ブロック１４ａ、１４ｂに対応する第２の受け渡し棚１３１ａ、１３１ｂにウエハＷを順次載置する。
【００４４】
各液処理ブロック１４ａ、１４ｂではプロセスアーム１４１ａ、１４１ｂが第２の受け渡し棚１３１ａ、１３１ｂからウエハＷを受け取り、液処理ユニット２の一つに進入して、当該ウエハＷをウエハ保持機構２３に受け渡す。ウエハＷが保持されたらノズルアーム２４をウエハＷ中央側の上方位置まで移動させ、インナーカップ２２を処理位置まで上昇させて、ウエハ保持機構２３によりウエハＷを回転させながらウエハ保持機構２３側のノズル及びウエハ保持機構２３側の薬液供給路２３１よりウエハＷの上下面両側にＳＣ１液を供給する。これによりウエハＷに薬液の液膜が形成されてアルカリ性薬液洗浄が行われる。
【００４５】
アルカリ性薬液洗浄が終了すると、インナーカップ２２が退避位置に移動し、またインナーカップ２２及びウエハ保持機構２３の薬液供給路２３１へＤＩＷを供給することによりウエハＷ表面のＳＣ１液を除去するリンス洗浄が実行される。
【００４６】
リンス洗浄を終えたら振切乾燥実行し、しかる後、再びインナーカップ２２を処理位置まで上昇させ、ウエハＷを回転させながら、ノズルアーム２４及びウエハ保持機構２３の薬液供給路２３１より、ウエハＷの上下面にＤＨＦ液を供給する。これによりこれらの面にＤＨＦ液の液膜が形成され、酸性薬液洗浄が行われる。そして所定時間の経過後、インナーカップ２２を退避位置まで降下させ、薬液の供給系統を純水に切り替えて再びリンス洗浄を行う。
【００４７】
リンス洗浄の後、インナーカップ２２を処理位置まで上昇させ、液処理ユニット２の上面にＩＰＡを供給しながらウエハＷを回転させ、ＩＰＡの揮発性を利用したＩＰＡ乾燥を実行する。これによりウエハＷ表面に残存するリンス後の純水が完全に除去される。しかる後、インナーカップ２２を退避位置まで退避させ、不図示の搬入出口を開き、液処理ユニット２内にプロセスアーム１４１ａ、１４１ｂを進入させて処理後のウエハＷを搬出する。
【００４８】  液処理を終えたウエハＷは搬入時とは逆の経路で第２の受け渡し棚１３１ａ、１３１ｂ、昇降搬送機構１３４、第１の受け渡し棚１３３、搬入出アーム１２１へと受け渡され、ＦＯＵＰ載置部１１のＦＯＵＰ６内に格納される。
【００４９】
液処理装置１は、以上に説明した動作を連続的に行うことにより、上下２段に設けられた液処理ブロック１４ａ、１４ｂ内の合計２０台の液処理ユニット２を並行して稼動させてウエハＷの洗浄、乾燥を行うことができる。次に、図９のフロー図及び図１０〜図１７を参照しながら、これら２０台の液処理ユニット２にウエハＷを搬入し、液処理を実行する手順、及び液処理ユニット２の一部または全部を優先処理ユニット２Ｐに割り振って、優先ウエハＷＰの処理を実行し、その処理を終えたら通常のウエハＷの処理を再開する手順の一例について説明する。以下に説明する図１０〜図２３の各図では、ＦＯＵＰ載置部１１に載置されるＦＯＵＰ６には「Ａ、Ｂ、Ｃ、…」の符号を付し、これらのＦＯＵＰ６に収納されているウエハＷには、搬送される順に「Ａ１〜Ａ２５、Ｂ１〜Ｂ２５、Ｃ１〜Ｃ２５、…」の符号を付して各ＦＯＵＰ６及びウエハＷを区別してある。また各液処理ユニットは、図８に示したものと同様の「１〜２０」の符号を付して区別する。また、各ＦＯＵＰ６には最大枚数の２５枚のウエハＷが収納されているものとして説明を行う。
【００５０】  図９のフロー図に示すように、液処理装置１の稼動を開始すると（スタート）、通常のスケジュールに基づいてＦＯＵＰ載置部１１に載置されたＦＯＵＰ６からウエハＷを搬出し、各ウエハＷについての液処理を実行する。本例に係る液処理装置１では、例えば図１０（ａ）に示すように、ＦＯＵＰ載置部１１に１番目のＦＯＵＰ６（Ａ）が載置されると、ここから１番目のウエハＷ（Ａ-１）が取り出され、例えば下段側の液処理ブロック１４ｂの前方側から見て左手、最奥位置の液処理ユニット２（１）に搬入されて液処理が開始される。
【００５１】
次いで、２枚目のウエハＷ（Ａ-２）は、上段側の液処理ブロック１４ａの前方側から見て左手、最奥位置の液処理ユニット２（１１）に搬入されて液処理が開始され（図１０（ｂ））、３枚目のウエハＷ（Ａ-３）は、下段側の液処理ブロック１４ｂの左手、奥から２番目の液処理ユニット２（３）に搬入されて液処理が開始される（図１１（ａ））。
【００５２】
こうして、上段側、下段側の液処理ブロック１４ａ、１４ｂに交互に、左手の液処理ユニット２列の奥手側から手前側へ向けて各液処理ユニット２内にウエハＷを搬入し、次いで手前側から見て右手の液処理ユニット２列についても、上下段交互に、奥手側から手前側へ向けてウエハＷを搬入する。この結果、液処理装置１内では、図１１（ｂ）に示すように「Ａ-１〜Ａ-２０」までのウエハＷに対して、搬入された順に液処理が実行されることになる。
【００５３】
ここで例えば各ウエハＷについて液処理ユニット２内で実行される液処理に要する処理時間が等しいとすると、１番目にウエハＷを搬入した液処理ユニット２（１）において最初にウエハＷ（Ａ-１）に対する液処理が終了することになる。ウエハＷ（Ａ-１）の液処理が終了すると、図１２（ａ）に示すように、当該ウエハＷと入れ替えて、次のウエハＷ（Ａ-２１）を搬入して液処理を開始し、このように液処理を終えた各液処理ユニット２順にウエハＷの入れ替えが行われる。液処理装置１では、優先ロットの処理を介する要求がない限り、上述の搬送スケジュールに基づいて液処理が実行されることになる（図９のフロー図のステップＳ１０１〜ステップＳ１０２；ＮＯ）。
【００５４】
ここで図１２（ａ）に示したように、上段側液処理ブロック１４ａの液処理ユニット２（１１）にてウエハＷ（Ａ-２２）の搬入を終えたところで、図１２（ｂ）に示すようにＦＯＵＰ載置部１１上に優先ロットのＦＯＵＰ６（Ｂ）が載置された場合について考える（図９のステップＳ１０２；ＹＥＳ）。ここで以下、優先ロットのＦＯＵＰ６及び優先ウエハＷＰには、右上向きの斜線のハッチを付して通常のロットと区別することにする。
【００５５】
ＦＯＵＰ載置部１１に優先ロットのＦＯＵＰ６（Ｂ）が載置されると、ロット情報取得部５３では当該優先ロットの優先ウエハＷＰの枚数や優先度、許容される処理時間などの情報を取得し（ステップＳ１０３）、図６や図７を用いて説明した手法により優先処理ユニット２Ｐに割り振る液処理ユニット２の台数を決定する（ステップＳ１０４）。優先処理ユニット２Ｐの台数が決まったら、図８に示した数字の小さい順に各液処理ユニット２を優先処理ユニット２Ｐとして選択する（ステップＳ１０５）。
【００５６】
例えば１０台の液処理ユニット２を優先処理ユニット２Ｐに割り振る場合について説明すると、図１２（ｂ）に太い線で囲んで示した下段側の液処理ブロック１４ｂの液処理ユニット２（１〜１０）が優先処理ユニット２Ｐに割り振られる。そして通常のスケジュールに基づけば、次にウエハＷを搬入可能となる液処理ユニット２（３）にはウエハＷ（Ａ-２３）が搬入されるところ、当該ユニットは優先処理ユニット２Ｐ（３）のであるので、通常のウエハＷ（Ａ-２２）に優先して優先ウエハＷＰ（Ｂ-１）が搬入される（図１２（ｂ））。
【００５７】
次いで、ウエハＷを搬入可能となるのは上段側の処理ユニット２（１３）であり、こちらは優先処理ユニット２Ｐではないので通常のウエハＷ（Ａ-２３）の搬入、処理が行われる（図１３（ａ））。このようにして、下段側の優先処理ユニット２Ｐには優先ウエハＷＰが優先して搬入され（例えば図１３（ｂ）では優先処理ユニット２Ｐ（５）に優先ウエハＷＰ（Ｂ−２）が搬入されている）、下段側の液処理ユニット２には通常のウエハＷが搬入されていく（例えば図１４（ａ）では液処理ユニット２（１５）に、通常のウエハＷ（Ａ-２４）が搬入されている）（図９のフロー図のステップＳ１０６）。
【００５８】
図１４（ｂ）は、下段側の全ての優先処理ユニット２Ｐにて、先行して処理されていた通常のウエハＷが優先ウエハＷＰに入れ替えられた直後の状態を示している。このとき、上段側の液処理ユニット２では、優先ロットのＦＯＵＰ６（Ｂ）の次にＦＯＵＰ載置部１１に載置された通常ロットのＦＯＵＰ６（Ｃ）内のウエハＷについての処理が開始されている。優先ロットのＦＯＵＰ６（Ｂ）内に未処理の優先ウエハＷＰが残っている限り、優先処理ユニット２Ｐと通常の液処理ユニット２に振り分けて優先ウエハＷＰまたはウエハＷを搬送する動作が継続される（図９のフロー図のステップＳ１０７；ＮＯ）。
【００５９】
次に、優先ウエハＷＰの処理を終了する手順について説明すると、図１５（ａ）は、優先処理ユニット２Ｐ（２）に２５枚目の最後の優先ウエハＷＰ（Ｂ−２５）が搬入され、次いで上段側の液処理ユニット２（１２）に通常のウエハＷ（Ｃ−２２）が搬入され直後の状態を示している。この後、優先ウエハＷＰが残っている場合には、優先処理ユニット２Ｐ（４）には次の優先ウエハＷＰが搬入されることになるが、この例では次に搬入する未処理の優先ウエハＷＰが存在しないので、当該優先処理ユニット２Ｐには通常のウエハＷ（Ｃ-２３）が搬入される（図１５（ｂ））。
【００６０】
この後、上段側の液処理ユニット２（４）、下段側の優先処理ユニット２Ｐ（６）に、順次、通常のウエハＷが搬入され（図１６（ａ）、図１６（ｂ））、こうして優先処理ユニットＷＰが通常のウエハＷに置き替えられる。図１７（ａ）は最後の優先ウエハＷＰ（Ｂ-２５）が優先処理ユニット２Ｐ（２）から搬出される直前の状態を示しており、このとき液処理装置１には次の通常ロットのＦＯＵＰ６（Ｄ）についてのウエハＷ（Ｄ-１〜Ｄ２５）の搬入が開始されている。
【００６１】
そして優先処理ユニット２Ｐ（２）から当該優先ウエハＷＰ（Ｂ-２５）が搬出されて、通常のウエハＷ（Ｄ-１６）が搬入されると、ＦＯＵＰ６（Ｂ）内の優先ウエハＷＰ（Ｂ-１〜Ｂ-２５）の処理が終了し（図９のフロー図のステップＳ１０７；ＹＥＳ）、「１〜１０」までの液処理ユニット２が優先処理ユニット２Ｐに割り振られた状態が解除されて、通常のスケジュールに基づいてウエハＷの搬送、液処理が実行されることになる（ステップＳ１０１）。
【００６２】
ここで例えば「Ｃ」のＦＯＵＰ６も緊急ロットである場合には、例えば連続して搬送される複数の優先ロット内の全ての優先ウエハＷについて一括して枚数情報と優先度や許容処理時間の情報を取得して、優先処理ユニット２Ｐの割り振りを行ってもよい。また例えば、「Ｂ、Ｄ」と間欠的に優先ロットのＦＯＵＰ６が搬送されてくる場合もあるので、例えば先頭のＦＯＵＰ６「Ｂ」について優先処理ユニット２の割り振りの判断を行い、ＦＯＵＰ６「Ｄ」からの優先ウエハＷＰの搬出時に、先に実行された優先処理ユニット２Ｐの割り振り状態が解除されていない場合には、その状態を維持してＦＯＵＰ６「Ｄ」の優先ウエハＷＰの処理を行うようにしてもよい。
【００６３】
以上、図１２（ｂ）〜図１７（ａ）では、１０台の液処理ユニット２を優先処理ユニット２Ｐに割り振って優先ウエハＷＰの液処理を行う例について説明したが、例えば図６に示した（ケース２）のように優先処理ユニット２Ｐの割り振り台数が６台の場合には、例えば図８に示した順番に基づいて優先処理ユニット２Ｐに割り振られる液処理ユニット２を決定する。そして図１２（ａ）の状態の次の動作としては、図１８（ａ）に示すように優先処理ユニット２Ｐ（３）に優先ウエハＷＰ（Ｂ-１）を搬入し、こうして下段側の６台の優先処理ユニット２Ｐ（１〜６）では優先ウエハＷＰの液処理を実行し、残る液処理ユニット２（７〜２０）では通常のウエハＷの処理が並行して実行されることになる（図１８（ｂ））。
【００６４】
また図１９（ａ）〜図２１は、例えば１４台の液処理ユニット２（１〜１４）を優先処理ユニット２Ｐに割り振った場合における優先ウエハＷＰの搬入順序の例を示している。この例では、図１２（ａ）の状態の次の動作としては、下段側の優先処理ユニット２Ｐ（３）に優先ウエハＷＰ（Ｂ-１）が搬入され（図１９（ａ））、続く上段側の処理ユニット２についても優先処理ユニット２Ｐ（１３）に割り振られているので、優先ウエハＷＰ（Ｂ-２）が搬入される（図１９（ｂ））。
【００６５】
そして続く下段側の優先処理ユニット２Ｐ（５）には優先ウエハＷＰ（Ｂ-３）が搬入されるが（図２０（ａ））、この次の液処理ユニット２（１５）は優先処理ユニット２Ｐに割り振られていないので通常のウエハＷ（Ａ-２３）が搬入される（図２０（ｂ））。このようにして各液処理ユニット２、２ＰにウエハＷ、ＷＰが搬入され、図２１に示すように下段側の全てと上段側の最奥位置から数えて手前側２番目までとの合計１４台の優先処理ユニット２Ｐ（１〜１４）にて優先ウエハＷＰの液処理が実行され、残る液処理ユニット（１５〜１９）では通常のウエハＷの液処理が並行して行われる。
【００６６】
また図示は省略するが、図６の（ケース４）に示したように２０台の全ての液処理ユニット２が優先処理ユニット２Ｐに割り振られる場合もある。この場合には、ＦＯＵＰ６「Ａ」の通常のウエハＷについての液処理が一旦停止される。そして全優先処理ユニット２ＰがＦＯＵＰ６（Ｂ）の優先ウエハＷＰに置き替えられ、こうして優先ロットの処理を終えた後、再びＦＯＵＰ６（Ａ）のウエハＷの液処理を開始する動作が自動的に実行される。
【００６７】
本実施の形態に係る液処理装置１によれば以下の効果がある。同種の液処理を並行して行うことが可能な複数の液処理ユニット２のうち、一部または全部の処理ユニットを優先処理ユニット２Ｐに割り振って、通常のウエハＷに優先して処理を開始すべき優先ウエハＷＰの液処理を行い、他の液処理ユニット２が残されている場合には、当該液処理ユニット２にて優先ウエハＷＰ以外の通常のウエハＷの処理を並行して行うことができる。このため、一方の液処理が終わるまで他方の液処理の開始を待ったり、優先ウエハＷＰの液処理を実行するために他のウエハＷの処理を停止、再開したりする特別な操作を必要とせず、必要なときに迅速に優先ウエハＷの液処理を開始することができる。
【００６８】
ここで優先処理ユニット２Ｐに割り振られる液処理ユニット２を特定する手法は、例えば図８に示したように各液処理ユニット２の割り振り順序を予め決定しておく場合に限定されない。例えば図９のステップＳ１０４にて優先処理ユニット２Ｐの割り振り台数を決定した後、例えば図２２（ａ）〜図２３に示すように、次のウエハＷが搬送される位置の液処理ユニット２から、決定された台数分だけ、液処理の終了する順（言い替えるとウエハＷが搬入される順）に優先処理ユニット２Ｐに割り振るようにしてもよい。
【００６９】
図２２（ａ）〜図２３の例は上述の割り振り例を示しており、図１２（ａ）の状態の次の動作として、６台の優先処理ユニット２Ｐ（３、５、７、１３、１５、１７）が割り振られ、先行する液処理の終わる優先処理ユニット２Ｐから「３→１３」の順番で優先ウエハＷＰ（Ｂ-１、Ｂ-２）が搬入された状態（図２２（ａ）、図２２（ｂ））と、さらに「５→１５→７→１７」の順番で優先ウエハＷ（Ｂ-３〜Ｂ-６）が搬入された後、後段の通常ロットのＦＯＵＰ６（Ｃ）についての液処理が開始された状態（図２３）と、を示している。
【００７０】
優先処理ユニット２Ｐに割り振る液処理ユニット２の増減単位は、図８に例示したように、１台ごとに増減する場合に限定されない。例えば搬送路１４２ａ、１４２ｂを挟んで対向する２台の液処理ユニット（例えば液処理ユニット２の「１と２、１１と１２」）からなる液処理ユニット群を増減単位としてもよいし、搬送路１４２ａ、１４２ｂに沿って並ぶ５台の液処理ユニット（例えば液処理ユニット２の「１、３、５、７、９」、「１１、１３、１５、１７、１９」）からなる液処理ユニット群を増減単位としてもよい。
【００７１】
また図６に示した例では、優先ロット内の優先ウエハＷＰの枚数に応じて選択される優先処理ユニット２Ｐの基準の割り振り台数に、当該優先ウエハＷＰの処理の優先度に応じて選択される係数を乗じた値を優先処理ユニット２Ｐの実際の割り振り台数とする例を示したが、優先度に応じて優先処理ユニット２Ｐの台数を変更する手法はこれに限定されない。例えば優先度と対応付けて優先処理ユニット２Ｐへの割り振り台数を設定して記憶部５２に記憶しておき、優先度についての情報を取得したら、これに対応する割り振り台数を読み出して、優先処理ユニット２Ｐの台数を決定するようにしてもよい。
【００７２】
さらに上述の各例では、例えば優先処理ユニット２Ｐに割り振られていない液処理ユニット２に優先ウエハＷＰを搬入するケースは含まれていないが、これを否定するものではない。例えば図１４（ｂ）に示すように通常ロットのＦＯＵＰ６（Ａ）についての液処理を終えた後、通常ロットのＦＯＵＰ６（Ｃ）がＦＯＵＰ載置部１１に搬送されて来ていない場合には、例えば図１４（ｂ）に示した処理ユニット２（１９、１２、１４、１６、１８、２０）に優先ウエハＷを搬入して液処理を実行してもよい。
【００７３】
さらに上述の各例では、例えば通常のウエハＷ及び優先ウエハＷＰの液処理に要する時間が同じ場合について説明したが、これらの処理時間は例えばロット毎やウエハＷ、ＷＰ毎に異なっていてもよい。この場合は、図１０（ａ）〜図１７（ｂ）に示した上下段交互に、奥手側から手前側へ向けて並んだ液処理ユニット２（優先処理ユニット２Ｐ）に順番にウエハＷ（優先ウエハＷＰ）が搬送される例とは異なり、次にウエハＷを搬入可能となる液処理ユニット２（優先処理ユニット２Ｐ）の順番がずれてくる。この場合においても、次にウエハＷ（優先ウエハＷＰ）を搬入可能となるユニットが液処理ユニット２であるか優先処理ユニット２Ｐであるかを把握し、そのユニットに応じて搬入するウエハＷ（優先ウエハＷＰ）を選択することで通常のウエハＷ及び優先ウエハＷＰの液処理を並行して実行することが可能である。また、処理の内容によって液処理の時間が異なる場合には、記憶部５２にはこの処理の種類に対応した数の処理時間推定テーブル５２４が記憶されている。
【００７４】
また液処理装置１が同種の液処理を実行可能な複数の液処理ユニット２を備えている場合には、例えば配管制約などの問題から、既述のＤＨＦ、ＳＣ１液に加え、一部の液処理ユニット２のみについて金属不純物の除去を行うＳＣ２液（塩酸と過酸化水素水との混合液）の供給が可能な構成となっている場合などがある。図２４には、このような特別な処理が可能な液処理ユニット２（１〜１０）を左上向きの斜線のハッチで塗りつぶして示してある。このとき、優先ロットの優先ウエハＷＰが前記の特別な処理を必要な場合には、優先処理ユニット２Ｐを割り振りは当該特別な処理を必要な液処理ユニット２（１〜１０）の範囲内で行われる（図２４の例では例えば優先処理ユニット２Ｐ（１〜６））。そして通常のウエハＷの液処理については、当該通常のウエハＷについても特別な処理を必要とする場合には、特別な処理の可能な残る液処理ユニット２（図２４では液処理ユニット２（７〜９））で処理が行われ、特別な処理が必要でない場合には、残る全ての液処理ユニット２（７〜２０）で通常の液処理が行われる。
【００７５】  このほか上述の例では、ウエハＷの枚数や優先度、許容処理時間に応じて優先処理ユニット２Ｐに割り振る例について説明したが、優先処理ユニット２Ｐの台数や位置は変更しなくてもよい。例えば図８に示した下段側の１０台の液処理ユニット２（１〜１０）については、優先ロットが搬送されてきた場合には常に優先処理ユニット２Ｐに割り振るように固定してもよい。    さらには、上述の液処理装置１においては、各々１０台の液処理ユニット２を備える液処理ブロック１４ａ、１４ｂが上下に２段積み重ねられた例を用いて説明したが、各液処理ブロック１４ａ、１４ｂに設けられる液処理ユニット２の台数、液処理ブロック１４ａ、１４ｂの数を適宜増減してもよいことは勿論である。
【００７６】
また流体を使う処理は上述の液処理に限られるものではなく、例えばウエハＷにＨＭＤＳ（ヘキサメチルジシラザン）などの蒸気を供給してウエハＷの表面を疎水化する処理装置などにも適用することができる。
【符号の説明】
【００７７】
Ｗ          ウエハ
ＷＰ        優先ウエハ
１          液処理装置
１１        ＦＯＵＰ載置部
１２        搬送部
１２１      搬入出アーム
１３        受け渡し部
１４ａ、１４ｂ
液処理ブロック
１４１ａ、１４１ｂ
プロセスアーム
２          液処理ユニット
２Ｐ        優先処理ユニット
５          制御部
【図１】
0005445006.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0005445006.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0005445006.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
0005445006.tif 000013
【図１３】
0005445006.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
0005445006.tif 000020
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
0005445006.tif 000023
【図２３】
0005445006.tif 000024
【図２４】
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