(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断する切断機構と、該ワークを載置したワークテーブルを前記切断機構に対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、該切断機構を移動可能に支持する切断機構の移動機構とを備え、該切断機構の移動機構と前記ワークテーブル送り機構とは互いに直交するダイシング装置において、
前記切断機構移動機構は、平面視方形に形成された装置匡体の対角線上に配置され、
前記対角線上に移動する切断機構および切断機構の移動機構に、これらを制御するための束ねられたケーブルが接続されるとともに、
そのケーブルは、切断機構が移動する対角線とは異なる、もう一つの対角線上の略近傍かつ装置筐体の略角部に設けられた旋回する支点部分で束ねられるとともに、
該旋回する支点の略下方に、束ねられたケーブルが旋回しない固定点を有し、
切断機構の移動機構と前記旋回する支点部分の間のケーブルはフレキシブルに湾曲し、
前記切断機構の移動機構が移動する際には、前記固定点を支点として旋回できるように構成したことを特徴とするダイシング装置。
【請求項２】
ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断する切断機構と、該ワークを載置したワークテーブルを前記切断機構に対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、該切断機構を移動可能に支持する切断機構の移動機構とを備え、該切断機構の移動機構と前記ワークテーブル送り機構とは互いに直交するダイシング装置において、
前記切断機構移動機構は、平面視方形に形成された装置匡体の対角線上に配置され、
前記対角線上に移動する切断機構および切断機構の移動機構に、これらを制御するための束ねられたケーブルが接続されるとともに、
そのケーブルは、切断機構が移動する対角線とは異なる、もう一つの対角線上の略近傍かつ装置筐体の略角部に設けられた旋回する支点部分で束ねられるとともに、
該支点部は、切断機構の移動機構が移動すると、該方向に向きを変えるための旋回手段を有し、
該旋回する支点の略下方に、束ねられたケーブルが旋回しない固定点を有し、
切断機構の移動機構と前記旋回する支点部分の間のケーブルはフレキシブルに湾曲するとともに、
前記切断機構の移動機構が移動する際には、
前記固定点を支点として旋回できるように構成したことを特徴とするダイシング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はダイシング装置に関し、 特に、半導体ウェハ等のワークを個々のチップに切断分割するダイシング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、此種ダイシング装置は、ワークが載置されるワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、該ワークをブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備えている。
【０００３】
前記ダイシング装置の構成例を図５に示す。同図に示すように、ダイシング装置１０は装置匡体１を備え、該装置匡体１の右側部にはロードポート２及びワーク洗浄部３が設けられている。又、ワークテーブル５をブレード８，８側に搬送させるワークテーブル送り機構６は、装置匡体１の左右方向（Ｘ軸方向）へ横切るように設けられている。
【０００４】
又、ブレード８，８を回転可能に取り付けたスピンドル９，９は、ガイドレール７を備えたスピンドル移動機構４に移動可能に支持され、該スピンドル移動機構４は、装置匡体１の前後方向（Ｙ軸方向）へ延びるように設けられている。依って、スピンドル移動機構４はワークテーブル送り機構６に対して直角に交差し、この交差部（ワーク切断加工部）にてワークＷが加工される。
【０００５】
加工時、ワークＷを載置したワークテーブル５は、ワークテーブル送り機構６により上記ワーク切断加工部へ搬送され、ここで、ワークテーブル５が左右に移動しながらブレード８，８の高速回転によりワークWが切断される。
【０００６】
この場合、ワークＷは、スピンドル９，９のＹ軸方向へのインデックス送りにより、Ｘ軸方向の切断ラインに沿う切断加工が行われる。そして、Ｘ軸方向のすべての切断ラインの切断加工が終了すると、ワークテーブル５が９０度回転して、前記と同様に加工手順により、Ｙ軸方向の全ての切断ラインに沿う切断加工が行われる。
【０００７】
又、ワークテーブル５及びスピンドル９，９の側方には夫々ケーブル１２，１２が併設され、該ケーブル１２，１２の接続端側の可動部分は、加工時にワークテーブル５又はスピンドル９，９とともに一体的に動作するように構成されている。
【０００８】
図６はケーブル１２の具体例を示す。同図に示すように、ケーブル１２は複数本の電線１３，１３…をバンド１４，１５で束ねて可撓性プレート１６に固定され、図５に示したワークテーブル５又はスピンドル９，９の移動方向（縦方向）に略Ｕ字状に折曲するように形成されている（例えば、特許文献１，２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−２４６６３９号公報
【特許文献２】特開２００３−１２４１５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記従来例に係るケーブルは、複数本の電線を束ねて略Ｕ字状に折曲形成されているの
で、ワークテーブル又はスピンドルの移動距離に対応して長くしなければならず、ケーブルの長さが必要以上に長くなる。そして、ケーブルが長くなると、ケーブルの材料コストが高騰するのみならず、電気抵抗が大きくなって発熱量が増大するとともに、電磁気ノイズが大きくなり、ダイシング加工の精度低下を招くことがあった。
【００１１】
又、ケーブルを略Ｕ字状に折り曲げて形成した場合は、ケーブルの曲率（曲げ半径）が小さくなるために、ケーブル内部に大きな応力負荷が生じて、ケーブルの種類によっては、該ケーブルが変形、損傷又は断線し易くなるという問題があった。
【００１２】
これを防止するには、ケーブルの曲率を大きくすればよいが、この場合は、ケーブルの曲率が大きくなるに伴い、該ケーブルの高さ寸法が大きくなる。その結果、特に、Ｘ−Ｙの２軸方向に直交するガイドレールを備えるダイシング装置においては、装置全体の高さが必要以上に高くなり、ダイシング装置の据え付け安定性が損なわれる。
【００１３】
更に、ケーブルの曲率を大きくした場合は、ケーブルがワークテーブル等とともに往復動作する際に、その動作方向と同一方向に屈曲・伸展（曲げ伸ばし）運動が繰り返されるため、ケーブルの品質低下若しくは老朽化が加速的に進行し、ケーブルの交換時期が短縮する。
【００１４】
又、従来のケーブル配線方式としては、各種の伝達線を束ねて装置匡体の辺縁部に沿って配線し、且つ、該ケーブルを屈曲可能なケーブル案内機構内に収容する配線方式が採用されている。このケーブル案内機構は具体的には、キャタピラー方式の如く、複数の枠体同士をヒンジによって屈曲可能に連結して構成されている。
【００１５】
しかし、この構成によれば、ケーブルが複数の枠体内で屈曲する際に、該枠体内のヒンジがケーブルに対して機械的な障害（抵抗）となるため、ワークテーブル等の滑らかな移動が阻害されるという問題があった。
【００１６】
又、ケーブル同士が束ねられた状態で屈曲する際には、特にケーブル同士が干渉しあって、ケーブルの曲げに対して非常に大きな応力がかかる可能性がある。
【００１７】
そこで、ケーブルの長さを短縮させるとともに該ケーブルの損傷などを防止し、ダイシング装置の据え付け安定性及び加工精度を向上させ、ワークテーブルおよびスピンドル機構等の移動を円滑にし、且つ、メンテナンス作業を容易にするために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１記載の発明は、ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、該ワークを載置したワークテーブルを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備え、該スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とは互いに直交し、且つ、前記スピンドル及び前記ワークテーブルに夫々ケーブルの一端部が接続されたダイシング装置において、前記スピンドル移動機構とワークテーブル送り機構は、平面視方形に形成された装置匡体の対角線上に配置され、該装置匡体の隅部又は辺縁部には支柱が設けられ、該支柱付近に前記ケーブルの中間部が固定されていると共に、該中間部の固定部はスピンドル移動機構およびワークテーブル送り機構の移動に応じて旋回移動するとともに、該旋回する支点(旋回ブロック)の略下方に、非旋回の固定点を有し、該ケーブルにおける旋回する該中間部の固定部と、スピンドル移動機構およびワークテーブル送り機構の間は、下方に湾曲するように懸架され、前記スピンドル又はワークテーブルの対角線方向への移動に追従して、前記ケーブルの湾曲部分が前記旋回する中間部の固定部を支点として旋回できるように構成したことを特徴するダイシング装置を提供する。
【００１９】
この構成によれば、スピンドル又はワークテーブルが装置匡体の対角線に沿って移動すると、これに追従すべくケーブルを固定した旋回ブロック部分は、そのスピンドル又はワークテーブルの向きに応じて旋回する。そして、その旋回ブロックの下にある非旋回部分との間でケーブルは緩やかに捻られる。
【００２０】
この場合、ケーブルの可動部分は、湾曲状態に懸架されたまま旋回する。依って、ケーブルは、スピンドル等の往復可動領域以外の固定部の周りを左右振り分け方式にて追従動作するので、ケーブルの可動部分は、大きな曲率を維持しつつ自然な懸架状態で自在に動作し、従来例のように曲げ伸ばしが強制的に作用して大きな応力負荷を生ずる虞がない。
【００２１】
又、ケーブルの可動部分の曲率が大きくなるので、それに応じてダイシング装置の高さが低くなる。さらに、ケーブルの固定部から接続端部までは最短路で配線されるので、ケーブル全体の長さが短くなる。
【００２２】
更に、スピンドル機構およびワークテーブル送り機構の移動にともなうケーブルの運動は、ケーブルの「屈曲による運動」ではなく、旋回する固定部(旋回ブロック部分)より下の部分でケーブルが緩やかに「捻られる運動」で吸収できる。ケーブルは、その長さにもよるが、屈曲する曲げの負荷よりも、捻りの負荷の方が、耐久性は向上する。
【発明の効果】
【００２３】
請求項１記載の発明は、ケーブルの可動部分は、スピンドル又はワークテーブルの対角線方向への移動に対して自在に追従しながら、自然な懸架状態、すなわち、大きな曲率を常に維持して旋回できる。依って、従来例のように、小さい曲率で曲げ伸ばし動作が繰り返されることがない。斯くして、ケーブルの可動部分に曲げ応力が殆ど作用しないため、曲げ応力によるケーブルの変形、損傷又は断線を防止することができる。
【００２４】
更に、ケーブルの湾曲部分の曲率は極力大きく設定できるので、それに応じて湾曲部分の高さが低くなる。そのため、ダイシング装置全体の高さも低くなり、該ダイシング装置の据え付け安定性を向上させることができる。
【００２５】
更に、旋回する固定支点(旋回ブロック部分)が、スピンドル機構ないしはワークテーブル送り機構が運動するに伴って円弧状に旋回するため、旋回に伴うケーブル同士が干渉することなく、自由にケーブル束の方向を変えることが可能となる。
【００２６】
更に、そのケーブル束は、旋回する固定支点(旋回ブロックとする)と、その下の非旋回部との間で捻りによる緩やかな変形運動のため、ケーブル束が屈曲することに比べて、スムーズに旋回することが可能となり、またケーブルへの負荷も少なくて済む。
【００２７】
又、ケーブルの支柱側固定部からスピンドル又はワークテーブル側接続端部までは最短距離で配線できるので、ケーブル全体の長さが短くなる。その結果、ケーブルの材料コストが低減するのみならず、ケーブルの電気抵抗による発熱量が少なくなるとともに、電磁波ノズルの発生も抑制でき、以て、ダイシング装置の加工精度を向上させることができる。しかも、ケーブルを配線するための面積が縮小するので、装置匡体にケーブルを効率良く引き回すことができる。
【００２８】
本発明は従来例と異なり、ワークテーブル等の近傍に屈曲可能なケーブル案内機構を設ける必要がないので、例えば、ワークテーブルとオイルパンとの間の隙間を広くすることができ、メンテナンス時に、オイルパンの周辺を容易に清掃することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の一実施例を示し、ダイシング装置の各部のレイアウトを説明する配置平面図。
【図２】本実施例に係る装置匡体における支柱の配置例を示す説明図。
【図３】本実施例に係る排水排気機構の配置例を示す説明図。
【図４】本実施例に係るケーブルの懸架状態を示し、（ａ）はケーブルの旋回動作の一端位置における懸架状態の説明図、（ｂ）はケーブルの旋回動作の他端位置における懸架状態の説明図。
【図５】従来例を示し、ダイシング装置の各部のレイアウトを説明する配置平面図。
【図６】従来例に係るケーブルの構成例を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
本発明は、ケーブルの長さを短縮させるとともに該ケーブルの損傷を防止し、ダイシング装置の据え付け安定性及び加工精度を向上させ、ワークテーブル等の移動を円滑にし、且つ、メンテナンス作業を容易にするという目的を達成するために、ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、該ワークを載置したワークテーブルを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備え、該スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とは互いに直交し、且つ、前記スピンドル及び前記ワークテーブルに夫々ケーブルの一端部が接続されたダイシング装置において、前記スピンドル移動機構とワークテーブル送り機構は、平面視方形に形成された装置匡体の対角線上に配置され、該装置匡体の隅部又は辺縁部には支柱が設けられ、該支柱には前記ケーブルの中間部が固定されていると共に、該ケーブルにおける該固定部よりも一端部側部分は下方に湾曲するように懸架され、前記スピンドル又はワークテーブルの対角線方向への移動に追従して、前記ケーブルの湾曲部分が前記固定部を支点として旋回できるように構成したことよって実現した。
【実施例１】
【００３１】
以下、本発明の好適な実施例を図１乃至図４に従って説明する。図１は本実施例に係るダイシング装置２１を示す平面図である。同図に示すように、ダイシング装置２１の本体部である方形匡体２２の平面視形状は方形に形成され、装置匡体（以下、「方形匡体」という。）２２の右前側隅部の直角二等辺三角形部分は切り欠けられ、ダイシング装置２１の前面に対して４５度の角度をなす斜辺縁部が形成されている。該斜辺縁部には開閉カバー付きの開口部２３が設けられ、オペレータＭは、該開口部２３から方形匡体２２上にてワーク交換及びメンテナンス作業を実施できるように構成されている。
【００３２】
又、方形匡体２２上には、ウェハＷが載置される回転可能なワークテーブル２４と、該ウェハＷを切断するブレード２５，２５と、ワークテーブル２４をブレード２５，２５に対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構２６とが設けられている。ワークテーブル送り機構２６は、方形匡体２２の右前側隅部と左後側隅部とを結ぶ第１対角線Ｌ１上に設置されている。
【００３３】
更に、方形匡体２２上にはスピンドル移動機構２８が設置され、該スピンドル移動機構２８はガイドレール２９を備えている。スピンドル移動機構２８は、方形匡体２２の左前側隅部と右後側隅部とを結ぶ第２対角線Ｌ２上に設置されている。このため、スピンドル移動機構２８は、ワークテーブル送り機構２６に対して直交するように配置されている。従って、スピンドル移動機構２８のガイドレール２９は、ワークテーブル送り機構２６によるワーク送り方向に対して直角に交差している。
【００３４】
ガイドレール２９には、２つのスピンドル３０，３０が移動可能に支持され、該スピンドル３０，３０は同一軸線上にて互いに対向して配設されている。各スピンドル３０，３０にはブレード２５，２５が回転可能に取り付けられている。
【００３５】
図２に示すように、スピンドル移動機構２８にはケーブル４１，４１を介して電気が供給され、該ケーブル４１，４１の一端部はスピンドル３０，３０の駆動部に接続されている。前記と同様に、ワークテーブル送り機構２６にはケーブル４２を介して電気が供給され、該ケーブル４２の一端部はワークテーブル２４の駆動部に接続されている。
【００３６】
又、ダイシング装置２１の略中央部、即ち、方形匡体２２におけるスピンドル移動機構２８とワークテーブル送り機構２６とが直交する部分にはワーク切断加工部３２が配設され、該ワーク切断加工部３２においてブレード２５，２５によりウェハＷを切断加工できるように構成されている。
【００３７】
本実施例に係るウェハ切断加工部３２は、ブレード２５，２５を保持するスピンドル３０，３０の移動距離を対角線の長さに応じて長くできるため、大口径のウェハＷであってもこれを効率良く切断することができる。
【００３８】
本実施例では、方形匡体２２の少なくとも３個所の隅部又は辺縁部（その近傍部を含む）には、図２に例示するように、支柱４３，４４，４４，４５が立設されている。特に、門型の支柱４４，４４は、方形匡体２２及びスピンドル移動機構２８用の支持手段を兼用している。これにより、高剛性のスピンドル移動機構２８用の支柱を設ける必要がなく、ダイシング装置２１内にスピンドル移動機構２８及びガイドレール２９を効率良く配置でき、高剛性かつ高精度のダイシング装置２１を実現している。
【００３９】
更に、ダイシング装置２１の右前側部分にはワーク交換部３３が設けられ、該ワーク交換部３３は、方形匡体２２の右前側の開口部２３に近接して配置されている。このワーク交換部３３において、ワークテーブル２４に載置されたウェハＷを容易に交換できる。
【００４０】
図中符号３４は、ワーク切断加工部３２から流れ出る切削水や洗浄水の廃液を受けるオイルパンであり、該オイルパン３４はワークテーブル送り機構２６を包囲するように形成されている。
【００４１】
更に、方形匡体２２における左後側隅部には、図３に示すように、排水口３５を有する排水機構３６と、排気口３７を有する排気機構３８とが配設されている。前記排水口３５は、高速回転するブレード２５，２５でウェハＷを切断する際に、該ブレード２５，２５の回転方向に沿って切削水や洗浄水が飛散する方向の略延長線上に配置されている。また、排気口３７は排水口３５と対応する真上部に形成されている。
【００４２】
次に、本発明に係るケーブル配線方式について詳述する。尚、スピンドル移動機構２８側のケーブル４１とワークテーブル送り機構２６側のケーブル４２とは略同一の配線方式であるので、説明の都合上、スピンドル移動機構２８側のケーブル４１についてのみ説明し、ワークテーブル送り機構２６側のケーブル４２の説明を省略するものとする。
【００４３】
ケーブル４１は、その中間部が支柱４５にバンド（図示せず）等の止着具により固定され、該固定部４６の高さは、図４（ａ）に示すように、スピンドル３０に連結されたケーブル４１の接続端部４７の高さと略同じである。そして、ケーブル４１における固定部４６よりも接続端部４７側の可動部分４８は、装置匡体２２の内壁面に沿ってスピンドル３０に向かって配線されている。
【００４４】
又、支柱側固定部４６とスピンドル側接続端部４７との間の可動部分４８は、下方に垂れるように懸架されている。即ち、ケーブル４１の可動部分４８は、大きな曲率にて下方に湾曲するように懸架されている。
【００４５】
このように構成すると、ケーブル４１の可動部分４８は、スピンドル３０が方形匡体２２の第１対角線に沿って往復移動したとき、これに追従すべく自然な懸架状態でスムーズに動作できる。即ち、方形匡体２２の第１対角線から離間した支柱側固定部４６を支点として、ケーブル４１の可動部分４８が左右に水平振り分け方式にて旋回動作できるように構成されている。従って、旋回時に、ケーブル４１の可動部分４８は下方に湾曲したまま円滑に動作する。
【００４６】
次に、そのケーブル４１は支柱付近に設けられた旋回ブロック４６に取り付けられ、その旋回ブロックはスピンドルの位置に応じて、自由に旋回して、その向きを変えることが可能なようになしてある。
【００４７】
その旋回ブロックには、先のケーブルを緩く固定している。
旋回ブロックとスピンドル機構の間には、ケーブルが緩く湾曲した状態で垂れ下げられている。
【００４８】
旋回ブロックの下にはレールが敷かれてあり、滑らかにスライドする機構としている。
【００４９】
旋回ブロックはスピンドルの移動に伴って、最大振り角90度の範囲で移動できるようにしている。
【００５０】
旋回ブロックの下側には、ケーブルを束ねつつ非旋回の部分が存在し、旋回ブロックと非旋回部分との間でケーブルは緩やかに捻られるようにしている。
【００５１】
一般的に、ケーブルの長さにもよるが、ケーブルに対する負荷は、屈曲する運動よりも、捻られる運動に強い傾向にある。特に束ねられたケーブルにおいて、屈曲する場合、ケーブル同士の干渉によって、ケーブル内で非常に大きい応力が作用する。しかし、捻りの場合は、それほど大きな応力がかからない。
【００５２】
又、こうしたケーブルを束ねる箇所を方形装置の角部に設けることで、ケーブルを収納するスペースを小さくすることができる。
【００５３】
又、メンテナンス時に装置を開けたときに、ケーブルに邪魔をされることなく、装置の間口を広く取ることができる。
【００５４】
更には、
【００５５】
尚、ダイシング装置２１の所定位置には、操作・表示部、撮像手段、モニターテレビ、表示灯及びコントローラ（図示せず）等が設けられている。
【００５６】
次に、上記ダイシング装置２１によるダイシング加工方法について説明する。先ず、スピンドル３０，３０にブレード２５，２５を取り付けるとともに、ワークテーブル２４にウェハＷを載置固定する。次いで、ワークテーブル２４をワークテーブル送り機構２６により、方形匡体２２の第１対角線Ｌ１方向に沿って方形匡体２２の略中央部側に搬送させ、ワーク切断加工部３２にウェハＷを所定の移動速度で搬入させる。
【００５７】
然る後、スピンドル３０，３０はワーク切断加工部３２の中心に向かって移動し、該スピンドル３０，３０に取り付けたブレード２５，２５を高速回転させながら、ウェハＷの切断加工を行う。加工中、スピンドル３０，３０の先端側に設けた切削水用ノズル及び洗浄用ノズル（図示せず）から夫々切削水及び洗浄水をウェハＷの加工ポイントに供給する。
【００５８】
そして、供給された切削水（洗浄水を含む。以下同じ。）は、オイルパン３４により受けられた後、排水口３６側に流れて排水管４０より排出される。又、加工時に、切削水と共にブレード２５，２５の回転方向に沿って飛散したミストは、上昇しつつワーク切断加工部３２から方形匡体２２の左後側隅部に向かって流れて、排気口３７及び排気管４１を通過して排出される。
【００５９】
而して、ウェハＷに対する１つの切断ラインに沿うダイシング加工が終了すると、ブレード２５，２５は、次に加工する隣の切断ラインにインデックス送りされて、前記と同様の加工手順に従いダイシング加工が実施される。
【００６０】
前記ダイシング加工が繰り返されることにより、所定数の切断ラインに沿うダイシング加工が全て終了すると、ワークテーブル２４と共にウェハＷを９０度回転させて、前記と同様の加工手順に従いダイシング加工が行われる。
【００６１】
そして、ウェハＷのダイシング加工が全て完了して多数のチップに切断分割されると、ワークテーブル２４は、ワークテーブル移動機構２６によりワーク交換部３３に搬送され、加工済みのウェハＷを次に加工すべきウェハＷと交換して載置固定し、その後、上記加工手順に従ってダイシング加工が新たに実施される。
【００６２】
本実施例では、スピンドル３０又はワークテーブル２４が第１対角線Ｌ１又は第２対角線Ｌ２上を移動する際、この移動に追従すべく、ケーブル４１又は４２の可動部分３８は下方に湾曲した状態を保持しながら、支柱側固定部４６を支点として旋回する。
【００６３】
図４は、スピンドル３０が第２対角線Ｌ２に沿って移動するときのケーブル４１の懸架状態を示す。同図（ａ）に示すように、スピンドル３０が第２対角線Ｌ２の一端部に位置しているとき、ケーブル４１の可動部分４８は、大きな曲率で湾曲している。
【００６４】
而して、スピンドル３０が前記第２対角線Ｌ２の中央部に向かって接近すると、ケーブル４１の支柱側固定部４６とスピンドル側接続部４７間の離間距離が短くなるが、これに柔軟に対応すべくケーブル４１の可動部分４８が動作する。即ち、前記固定部４６を支点として、ケーブル４１の可動部分４８が水平方向に振り分け方式にて旋回する。
【００６５】
そして、図４（ｂ）に示すように、スピンドル３０が第２対角線Ｌ２の中央位置近傍に
到達すると、ケーブル４１の支柱側固定部４６とスピンドル側接続部４７間の離間距離が最短になり、それに応じてケーブル４１の可動部分４８が湾曲度をフレキシブルに変化させて動作する。
【００６６】
叙上の如く本発明によると、スピンドル又はワークテーブルが方形匡体の対角線に沿って移動すると、ケーブルの可動部分は、これに追従すべく懸架状態のまま支柱側固定部を支点として旋回する。すなわち、ケーブルの可動部分は、方形匡体におけるスピンドル又はワークテーブルの非可動領域に設けた固定部の周りを左右振り分け方式にて追従動作する。
【００６７】
斯くして、ケーブルの可動部分は、大きな曲率を常に維持しつつ自然な懸架状態で円滑に動作し、従来例のように曲げ伸ばしが強制的に惹起されることがない。
【００６８】
また、ケーブルの湾曲部分の曲率が大きくなり、該湾曲部分の高さが低くなるため、それに応じてダイシング装置全体の高さも低くなる。その結果、特に、直交する２つのガイドレールを備えるダイシング装置においては、該ダイシング装置の据え付け安定性が大幅に向上する。
【００６９】
それに応じてダイシング装置の高さ寸法が小さくなる。さらに、ケーブルの固定部からスピンドル又はワークテーブルまでの距離は最短路で配線されるので、ケーブルの長さが短くなる。
【００７０】
スピンドル又はワークテーブルの対角線に沿って移動するとき、ケーブルの可動部分は、自然な懸架状態を常に維持しながら旋回するので、スピンドル又はワークテーブルの可動範囲内にて最小限の自然な曲げによって駆動でき、従来例のように小さい曲率で曲げ伸ばしを繰り返すことがない。
【００７１】
又、ケーブルの可動部分に曲げ応力の負荷が殆ど作用しないため、曲げ応力の負荷によるケーブルの変形、損傷又は断線が防止されるとともに、ケーブルの交換時期が長くなり、且つ、該ケーブルの交換作業を頻繁に行う必要がない。
【００７２】
又、さらにスピンドル移動機構に伴うケーブルの負荷を旋回ブロックしたの捻り部分に持たせることができる。
【００７３】
又、ケーブルを屈曲させる場合のみだと、ケーブル同士が干渉して、ケーブルに大きな負荷がかかるが、旋回ブロックの下に捻りの部分を持たせることでケーブル同士の干渉による負荷はかからない。
【００７４】
更に、ケーブルの湾曲部分の曲率が大きくなることに加えて、該ケーブルの支柱側固定部からスピンドル又はワークテーブルまでの配線の長さが大幅に短縮する。従って、ケーブル全体の長さが短くなり、ケーブルの材料コストの低減化が図れるのみならず、ケーブルの電気抵抗による発熱量が少なくなる。
【００７５】
加えて、ケーブルの短縮化に伴い、電磁波ノズルの発生も効率良く抑制され、以て、ダイシング装置の加工精度の向上も期待できる。また、ケーブルの配線スペースが減少するため、ケーブルをダイシング装置内にて効率良く引き回すことができる。
【００７６】
本発明のケーブル配線方式によれば、従来例のように、ワークテーブルやスピンドルの近傍に屈曲可能なケーブル案内機構を設ける必要がない。そのため、ケーブル案内機構の屈曲部によってケーブルに機械的な抵抗が作用するという問題が解消され、ワークテーブルやスピンドルの移動が一層円滑になる。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
本発明は、ワークをブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、スピンドルを支持するスピンドル移動機構とを備えたダイシング装置であれば全て適用可能である。
【符号の説明】
【００７８】
２１  ダイシング装置
２２  方形匡体（装置匡体）
２３  開口部
２４  ワークテーブル
３５  ブレード
２６  ワークテーブル送り機構
２９  ガイドレール
２８  スピンドル移動機構
３０  スピンドル
３２  ワーク切断加工部
３３  ワーク交換部
３４  オイルパン
４１，４２  ケーブル
４６  固定部
４７  接続端部
４８  可動部分
【図１】
0005404349.tif 000002
【図２】
0005404349.tif 000003
【図３】
0005404349.tif 000004
【図４】
0005404349.tif 000005
【図５】
0005404349.tif 000006
【図６】
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