(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
容積を拡縮動作可能に構成されたポンプ室と、ポンプ室内に開口する吸込口及び吐出口と、吸込口に吸込側逆止弁を介して連通接続された吸込通路と、吐出口に吐出側逆止弁を介して連通接続された吐出通路とを具備して、ポンプ室の容積を拡大することにより吸込通路から吸込側逆止弁及び吸込口を経てポンプ室に給液させる吸込工程とポンプ室の容積を縮小することによりポンプ室から吐出口及び吐出側逆止弁を経て吐出通路に送液させる吐出工程とを交互に連続して行うように構成されたものであって、ポンプ室内で気泡を発生する液体を扱う液体用容積型ポンプにおいて、
ポンプ室の上部領域と吐出通路とを細孔通路により直接に連通接続して、吐出工程においてポンプ室内の液体を当該細孔通路から吐出通路へと微量流出させることにより当該ポンプ室内の気泡を排除すると共に吸込工程において吐出通路内の液体を細孔通路からポンプ室の上部領域へと微量流入させるように構成したことを特徴とする液体用容積型ポンプ。
【請求項２】
細孔通路が、ポンプ室内において、その上部領域に向けて開口するものであることを特徴とする、請求項１に記載する液体用容積型ポンプ。
【請求項３】
吸込口が、ポンプ室内であって少なくともその上部領域に向けて開口するものであることを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載する液体用容積型ポンプ。
【請求項４】
ポンプ室が水平方向に拡縮されるものである場合において、吸込口が、ポンプ室の拡縮方向に直交する方向に放射状に開口する複数の吸込口部分に分岐されていることを特徴とする、請求項３に記載する液体用容積型ポンプ。
【請求項５】
ポンプ室が水平方向に伸縮自在な有底筒状のベローズにより囲繞形成されたものであることを特徴とする、請求項１〜４の何れかに記載する液体用容積型ポンプ。
【請求項６】
ポンプ室が水平方向に伸縮自在な有底筒状のベローズにより囲繞形成されたものであり、ベローズの周壁が断面波形の蛇腹構造をなすものであり、ポンプ室内における細孔通路の開口部が、吸込工程において吐出通路から当該細孔通路に流入した液体をベローズの上部側部分における内周面に向けて噴出するものであることを特徴とする、請求項１〜５の何れかに記載する液体用容積型ポンプ。
【請求項７】
細孔通路がポンプ室内に複数個所で開口するものであり、これらの開口部が、吸込工程の少なくとも最終段階においてベローズの周壁内周面に形成される環状凹部に向けて液体を噴出するように、ベローズの伸縮方向に所定間隔を隔てて並列状に配置されていることを特徴とする、請求項６に記載する液体用容積型ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体，液晶市場等において送液ポンプとして使用されるベローズポンプ等の容積型ポンプであって、特に発泡性を有する液体（例えば、オゾン水，過酸化水素水等の発泡性を有する液体）や気泡を含む液体（例えば、高温，高圧，キャビテーション等に起因して気泡が発生した液体）を扱う液体用容積型ポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の液体用容積型ポンプとして、一般に、伸縮可能なベローズで囲繞形成して容積を拡縮動作可能に構成されたポンプ室と、ポンプ室内に開口する吸込口及び吐出口と、吸込口に吸込側逆止弁を介して連通接続された吸込通路と、吐出口に吐出側逆止弁を介して連通接続された吐出通路とを具備して、ポンプ室の容積を拡大することにより吸込通路から吸込側逆止弁及び吸込口を経てポンプ室に給液させる吸込工程とポンプ室の容積を縮小することによりポンプ室から吐出口及び吐出側逆止弁を経て吐出通路に送液させる吐出工程とを交互に連続して行うように構成されたベローズポンプ等が周知である（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１９６５４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、ベローズポンプ等の容積型ポンプにあっては、送液流体がオゾン水，過酸化水素等のように発泡性を有する液体や高温，高圧，キャビテーション等に起因して気泡を含む液体である場合には、吸込側逆止弁ないし吐出側逆止弁が作動不良となる所謂ガスロック現象が生じて、良好な送液を行い得ないといったトラブルが発生する虞れがある。
【０００５】
すなわち、発泡性を有する液体や気泡を含む液体の送液ポンプないし循環ポンプとしてベローズポンプ等の容積型ポンプを使用した場合、吸込工程時にポンプ室内で発生し又は流入した気泡が吐出工程時にポンプ室から排出されずに、ポンプ室内に滞留する。このような滞留気泡は、容積型ポンプによる吸込工程と吐出工程とが繰り返されることにより、他の滞留気泡や新たにポンプ室内で発生する気泡と合体し、大きな気泡に成長する。一方、吐出側逆止弁は吐出工程におけるポンプ室内の圧力上昇により、また吸込側逆止弁は吸込工程におけるポンプ室内の圧力降下により、弁体がスプリングに抗して開弁位置へと変位せしめられるように構成されたものである。したがって、ポンプ室内に大きな気泡が存在すると、吐出工程においては当該気泡が圧縮されるのみでポンプ室が実質的に縮小されずに、ポンプ室内の圧力上昇が不十分となり吐出側逆止弁が適正に作動せず（弁体が開弁位置へと変位されず）、また吸込工程においては当該気泡が膨張されるのみでポンプ室が実質的に拡大されずにポンプ室内の圧力降下が不十分となり吸込側逆止弁が適正に作動せず（弁体が開弁位置へと変位されず）、所謂ガスロック現象が生じる。なお、１回の工程においてポンプ室内に発生又は滞留する気泡が小さく又は少量であっても、かかる工程が繰り返されることにより気泡が徐々に増加し、巨大化することから、上記のようなガスロック現象が生じる虞れがある。
【０００６】
本発明は、このような点に鑑みて、発泡性を有する液体や気泡を含む液体を扱う場合にも、上記したガスロック現象の発生を未然に防止して、吸込工程及び吐出工程を良好に行いうる液体用容積型ポンプを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、容積を拡縮動作可能に構成されたポンプ室と、ポンプ室内に開口する吸込口及び吐出口と、吸込口に吸込側逆止弁を介して連通接続された吸込通路と、吐出口に吐出側逆止弁を介して連通接続された吐出通路とを具備して、ポンプ室の容積を拡大することにより吸込通路から吸込側逆止弁及び吸込口を経てポンプ室に給液させる吸込工程とポンプ室の容積を縮小することによりポンプ室から吐出口及び吐出側逆止弁を経て吐出通路に送液させる吐出工程とを交互に連続して行うように構成されたものであって、ポンプ室内で気泡を発生する液体を扱う液体用容積型ポンプにおいて、上記の目的を達成すべく、特に、ポンプ室の上部領域と吐出通路とを細孔通路により直接に連通接続して、吐出工程においてポンプ室内の液体を当該細孔通路から吐出通路へと微量流出させることにより当該ポンプ室内の気泡を排除すると共に吸込工程において吐出通路内の液体を細孔通路からポンプ室の上部領域へと微量流入させるように構成しておくことを提案するものである。
【０００８】
かかる液体用容積型ポンプにあっては、細孔通路が、ポンプ室内において、その上部領域に向けて開口するものであることが好ましい。また、吸込口は、ポンプ室内であって少なくともその上部領域に向けて開口するものであることが好ましく、更にポンプ室が水平方向に拡縮されるものである場合において、吸込口が、ポンプ室の拡縮動作方向に直交する方向に放射状に開口する複数の吸込口部分に分岐されていることが好ましい。
【００１０】
また、本発明は、ポンプ室が水平方向に伸縮自在な有底筒状のベローズにより囲繞形成されている液体用容積型ポンプに好適に適用することができるが、細孔通路を常時開放状態とする場合において、ベローズの周壁が断面波形の蛇腹構造をなすものであるときは、ポンプ室内における細孔通路の開口部が、吸込工程において吐出通路から当該細孔通路に流入した液体をベローズの上部側部分における内周面に向けて噴出するものであることが好ましい。更に、細孔通路がポンプ室内に複数個所で開口するものであり、これらの開口部が、吸込工程の少なくとも最終段階においてベローズの周壁内周面に形成される環状凹部に向けて液体を噴出するように、ベローズの伸縮動作方向に所定間隔を隔てて並列状に配置されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の液体用容積型ポンプは、ポンプ室の上部領域と吐出通路とを細孔通路により直接に連通接続して、吐出工程においてポンプ室内の液体を当該細孔通路から吐出通路へと微量流出させ、これにポンプ室内の気泡を同伴させて排除することができるものであるから、工程の繰り返しによってもポンプ室内に大きな気泡が生じることがなく、冒頭で述べたガスロック現象の発生を未然に回避することできる。したがって、本発明によれば、発泡性を有する液体（オゾン水，過酸化水素水等）や気泡を含む液体を扱う場合においても良好なポンプ機能を発揮することができ、極めて実用性に富む液体用容積型ポンプを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は本発明に係る液体用容積型ポンプを装備する送液ポンプの一例を示す縦断側面図である。
【図２】図２は図１と異なる状態を示す図１相当の縦断側面図である。
【図３】図３は図１及び図２と異なる状態を示す図１相当の縦断側面図である。
【図４】図４は図１の要部を拡大して示す詳細図である。
【図５】図５は図１のＶ−Ｖ線に沿う要部の縦断正面図である。
【図６】図６は本発明に係る液体用容積型ポンプを装備する送液ポンプの変形例を示す図１相当の縦断側面図である。
【図７】図７は図６の要部を拡大して示す詳細図である。
【図８】図８は図６のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿う要部の縦断正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明を実施するための形態を、図面に基づいて、具体的に説明する。
【００１４】
図１は本発明に係る液体用容積型ポンプを装備する送液ポンプの一例を示す縦断側面図であり、図２及び図３は、夫々、図１と異なる作用状態を示す図１相当の縦断側面図であり、図４は図１の要部を拡大して示す詳細図であり、図５は図１のＶ−Ｖ線に沿う要部の縦断正面図である。なお、以下の説明において、上下，左右とは、図１〜図３における上下，左右をいうものとする。
【００１５】
図１に示す送液ポンプは、ポンプ内で気泡が滞留し易い液体（例えば、オゾン水，過酸化水素水等のような発泡性を有する液体や高温，高圧，キャビテーション等に起因して気泡を含む液体等）を送液するためのものであり、左右一対の液体用容積型ポンプ（以下、左側のポンプを「第１ポンプ１Ａ」といい、右側のポンプを「第２ポンプ１Ｂ」という）を並列配置してなる多連型ポンプである。
【００１６】
両ポンプＡ，Ｂは、左右対称構造となっている点を除いて同一構造のものであり、各々、図１〜図３に示す如く、ポンプケース２と、ポンプケース２内に配置されてポンプ室３を囲繞形成するベローズ４と、ポンプ室３の容積を拡縮動作させる動作手段５と、ポンプ室３に開口する吸込口６及び吐出口７と、吸込口６に吸込側逆止弁８を介して連通接続された吸込通路９と、吐出口７に吐出側逆止弁１０を介して連通接続された吐出通路１１とを具備して、吸込通路９からポンプ室３へ給液する吸込工程とポンプ室３から吐出通路１１へと送液する吐出工程とを交互に行うように構成されたベローズポンプ（ベローズ型往復動ポンプ）である。
【００１７】
ポンプケース２は、図１〜図３に示す如く、両ポンプ１Ａ，１Ｂのポンプケースとして共通される両端閉塞の円筒構造体であり、その軸線が水平となる状態で設置される。ポンプケース２の内部空間は、軸線方向（左右方向）の中間部に配置した円盤状の通路形成壁２ａで２分割されており、当該内部空間における左側の分割空間部分に第１ポンプ１Ａの構成部材が配置されており、右側の分割空間部分に第２ポンプ１Ｂの構成部材が配置されている。
【００１８】
各ベローズ４は、図１〜図３に示す如く、周壁４ａを断面波型の蛇腹構造となして軸線方向（水平方向）に伸縮可能に構成された有底円筒体である。各ベローズ４の開口端部４ｂは通路形成壁２ａに固着されていて、当該ベローズ４内を通路形成壁２ａで閉塞されたポンプ室３に構成してある。各ポンプ室３の容積の拡縮は、これを囲繞形成するベローズ４を軸線方向に伸縮させることにより行われるが、両ベローズ４，４は、その底壁４ｃ，４ｃに固着した円盤状の可動板１２，１２を連結杆１３で連結することによって、同期して逆方向に伸縮動作されるようになっている。すなわち、連結杆１３は、図１に例示する如く、一方のベローズ４が最縮小状態にあるときは他方のベローズ４が最伸張状態となるように、両ベローズ４，４を連動連結するものであり、一方のベローズ４が縮小動作するときは、これに連動して他方のベローズ４が伸張動作されるようになっている。
【００１９】
各動作手段５は、ベローズ４を伸縮動作させるものであり、ピストン・シリンダ機構やクランク機構等で構成されるが、この例では、図１〜図３に示す如く、エアシリンダ機構に構成されており、ポンプケース２の端部壁２ｂに形成した給排気口５ａからベローズ４及び可動板１２とポンプケース２との間に形成される空間に加圧空気５ｂを給排させることにより、ベローズ４を伸縮動作させるように構成されている。両給排気口５ａ，５ａからの給排気は交互に同期して行われ、一方の給排気口５ａから給気させると同時に他方の給排気口５ａから排気させることにより、両ベローズ４，４の伸縮動作つまり両ポンプ室３，３の拡縮動作を逆方向に同期して行うようになっている。すなわち、第１ポンプ１Ａの吸込工程（又は吐出工程）と第２ポンプ１Ｂの吐出工程（又は吸込工程）とが同期して行われ、両ポンプ１Ａ，１Ｂにおける吸込工程と吐出工程との切換が同時に行われるようになっている。なお、図１は第１ポンプ１Ａの吸込工程及び第２ポンプ１Ｂの吐出工程の終了状態を示しており、図２は第１ポンプ１Ａの吐出工程及び第２ポンプ１Ｂの吸込工程の開始状態を示しており、図３は第１ポンプ１Ａの吐出工程及び第２ポンプ１Ｂの吸込吐出工程の進行途中の状態を示している。
【００２０】
各吸込側逆止弁８は、図１〜図３に示す如く、弁箱８ａ、弁座８ｂ、弁体８ｃ及びスプリング８ｄで構成されている。弁箱８ａは、通路形成壁２ａからポンプ室３内に突出する状態で且つベローズ４に干渉しない状態で、開口端部を通路形成壁２ａに固着した有底円筒状のものである。弁座８ｂは、通路形成壁２ａの弁箱取付部分に形成されており、通路形成壁２ａに形成された吸込通路９の一端部たる下流端部に接続されている。吸込通路９の下流端部は分岐して、両吸込側逆止弁８，８の弁座８ｂ，８ｂに連通している。弁箱８ａには、弁座８ｂに衝合してこれを閉塞する閉弁位置（第１ポンプ１Ａにおける図２及び図３に示す位置又は第２ポンプ１Ｂにおける図１に示す位置）と弁座８ｂから離間してこれを開放する開弁位置（第１ポンプ１Ａにおける図１に示す位置又は第２ポンプ１Ｂにおける図２及び図３に示す位置）とに亘って変位可能な弁体８ｃと、これを閉弁位置へと附勢するスプリング８ｄとが内装されている。弁体８ｃは、吐出工程においては背圧（ポンプ室３の圧力）及びスプリング８ｄの附勢力により閉塞位置に保持され、吸込工程においてはポンプ室３の圧力低下によりスプリング８ｄの附勢力に抗して開弁位置に変位される。
【００２１】
各吸込口６は、図１〜図３に示す如く、弁箱８ａの底壁に形成されてポンプ室３内に開口されており、吸込側逆止弁８を介して吸込通路９の下流端部に連通接続されている。
【００２２】
各吐出側逆止弁１０は、図１〜図３に示す如く、弁箱１０ａ、弁座１０ｂ、弁体１０ｃ及びスプリング１０ｄで構成されている。弁箱１０ａは、通路形成壁２ａからポンプ室３内に突出する状態で且つベローズ４に干渉しない状態で、開口端部を通路形成壁２ａに固着した有底円筒状のものである。弁座１０ｂは、弁箱１０ａの底壁に形成されており、通路形成壁２ａに形成された吐出通路１１の一端部たる上流端部に接続されている。吐出通路１１の上流端部は分岐して、両吐出側逆止弁１０，１０の弁箱１０ａ，１０ａ内に開口され、弁座１０ｂ，１０ｂに連通している。弁箱１０ａには、弁座１０ｂに衝合してこれを閉塞する閉弁位置（第１ポンプ１Ａにおける図１に示す位置又は第２ポンプ１Ｂにおける図２及び図３に示す位置）と弁座１０ｂから離間してこれを開放する開弁位置（第１ポンプ１Ａにおける図２及び図３に示す位置又は第２ポンプ１Ｂにおける図１に示す位置）とに亘って変位可能な弁体１０ｃと、これを閉弁位置へと附勢するスプリング１０ｄとが内装されている。弁体１０ｃは、吸込工程においては背圧（吐出通路１１の圧力）及びスプリング１０ｄの附勢力により閉塞位置に保持され、吐出工程においてはポンプ室３の圧力上昇によりスプリング１０ｄの附勢力に抗して開弁位置に変位される。
【００２３】
各吐出口７は、図１〜図３に示す如く、弁座１０ｂの弁孔としても機能するものであって弁箱１０ａの底壁に形成されてポンプ室３内に開口しており、吐出側逆止弁１０を介して吐出通路１１の上流端部に連通接続されている。
【００２４】
なお、ベローズ４等のポンプ構成部材のうち送液流体と接触するものについては、当該流体の性状等に応じて適宜の材質が選定されるが、この例では、ポリテトラフルオロエチレン等のフッソ樹脂系の耐食材で構成してある。
【００２５】
以上の構成は周知の多連型往復動ポンプと同様であり、第１ポンプ１Ａによる吐出工程と第２ポンプ１Ｂによる吐出工程とが交互に連続して行われ、送液ラインの吸込部分から吐出部分へと連続的に送液させることができるが、上記した第１及び第２ポンプ１Ａ，１Ｂにあっては、本発明に従って、更に次のように構成しておくことによって、各吸込側逆止弁８及び吐出側逆止弁１０の作動不良（ガスロック）を確実に防止して、オゾン水，過酸化水素水等の発泡性を有する液体や高温，高圧，キャビテーション等に起因して気泡を含む液体を良好に送液させうるように工夫されている。
【００２６】
第１に、各ポンプ室３の上部領域と吐出通路１１とを、図１〜図５に示す如く、断面が微小径の円形状をなす細孔通路１４により直接に連通接続して、吐出工程において当該ポンプ室３内の液体を細孔通路１４から吐出通路１１へと微量流出させると共に吸込工程において吐出通路１１内の液体を細孔通路１４から当該ポンプ室３の上部領域へと微量流入させるように構成してある。
【００２７】
すなわち、各細孔通路１４は、図４に示す如く、通路形成壁２ａにこれをベローズ４の軸線方向（水平方向）に貫通する有底筒状の第１部材１５を固着し、この第１部材１５の端部に有底筒状の第２部材１６を嵌合固着し、この第２部材１６に円柱状の第３部材１７の基端部を嵌合固着して、各部材１５，１６，１７に形成した通路孔１５ａ，１６ａ，１７ａを水平方向に連通させることによって形成されている。第１部材１５に形成された通路孔１５ａの一端部は吐出通路１１内に開口されており、当該通路孔１５ａと第３部材１７の通路孔１７ａとは第２部材１６の通路孔１６ａを介して連通されている。
【００２８】
第３部材１７は、ベローズ４の上部側部分に干渉することなくこれに近接した状態で通路形成壁２ａからポンプ室３内の上部領域へと水平に突出している。この第３部材１７の突出量は、図１〜図３に示す如く、当該第３部材１７の先端部がベローズ４の伸縮動作時にその底壁４ｃに干渉しない範囲で可及的に長く設定されている。なお、第１及び第２部材１５，１６の一端面は通路形成壁２ａの端面（ポンプ室側の端面）と面一とされており、吐出通路１１に露出する第１部材１５の端部と通路形成壁２ａとの嵌合部分はＯリング１５ｂでシールされている。
【００２９】
細孔通路１４は、図４に示す如く、ポンプ室３内の上部領域に向けて開口する複数の開口部１４ａを有している。すなわち、第３部材１７の上面部であってポンプ室３内に位置する部分には、通路孔１７ａに連通する複数のノズル孔１４ａが軸線方向に所定間隔を隔てて穿設されている。ノズル孔１４ａの相互間隔は、例えば図１に示す如く、各ノズル孔１４ａの開口が吸込工程の少なくとも最終段階においてベローズ４の周壁内周面に形成される環状凹部４ｄに対向するように設定されている。
【００３０】
したがって、吸込工程においては、吐出口７は吐出側逆止弁１０により閉塞されているが、吐出通路１１内の液体が細孔通路１４からポンプ室３内へと流入する（第１ポンプ１Ａにおける図１及び図４に示す状態又は第２ポンプ１Ｂにおける図２及び図３に示す状態）。このとき、細孔通路１４の開口部つまりノズル孔１４ａがポンプ室３内の上部領域に向けて開口することから、各ノズル孔１４ａからは当該上部領域に向けて液体が噴出されることになる。ところで、吸込工程においてポンプ室３内で発生する気泡はポンプ室３内の上部領域に浮遊し、吸込工程の進行に伴って新たに発生する気泡と合体，成長することになる。しかし、ポンプ室３内の上部領域には上記した如く各ノズル孔１４ａから液体が噴出されることから、その噴出流により気泡の成長は阻止され、また大きな気泡は微細に分裂されることになる。このような気泡の成長阻止ないし分裂作用は、各ノズル孔１４ａの配置をその開口が上記した如く吸込工程の少なくとも最終段階においてベローズ４の周壁内周面に形成される環状凹部４ｄに対向するように設定しておくことにより、より効果的に行われる。
【００３１】
そして、吸込工程から吐出工程に移行すると、ポンプ室３内の液体は、吐出口７から吐出側逆止弁１０を介して吐出流路１１へと吐出されることになるが、同時に、ポンプ室３内の上部領域の液体が各ノズル孔１４ａから細孔通路１４を介して吐出通路１１へと微量流出されることになる（第１ポンプ１Ａにおける図２及び図３に示す状態又は第２ポンプ１Ｂにおける図１及び図４に示す状態）。このとき、ポンプ室３内の上部領域における気泡は、上記した如く吸込工程において各ノズル孔１４ａからの噴出流により成長を阻止され、微細に分裂されているから、細孔通路１４から吐出通路１１への流出液に同伴して、吐出通路１１へと排出されることになる。
【００３２】
したがって、送液流体が発泡性を有する液体や気泡を含む液体である場合にも、吸込工程と吐出工程との繰り返しによってポンプ室３内で気泡が大きく成長するようなことがなく、冒頭で述べたようなガスロック現象の発生はこれが未然に回避され、良好な送液機能を発揮することができる。なお、細孔通路１４の内径は、吸込工程における細孔通路１４からポンプ室３の流入量ないし吐出工程における細孔通路１４から吐出流路１１への流出量が、吸込口６からの吸込量ないし吐出口７からの吐出量に比して極めて微量で当該ポンプ１Ａ，１Ｂによるポンプ機能（定量性等）に影響を及ぼさない範囲で、上記した気泡の成長阻止，分裂機能及び気泡のポンプ室外への排出機能が良好に発揮されるように、ポンプ条件（液体の性状等）に応じて適宜に設定される。
【００３３】
第２に、各吸込口６を、図１〜図３及び図５に示す如く、ポンプ室３内であって少なくともその上部領域に向けて開口するようにして、吸込工程における気泡の成長阻止，分裂作用が更に効果的に行われるように図っている。
【００３４】
すなわち、各吸込口６は、図５に示す如く、ポンプ室３の拡縮方向（ベローズ４の伸縮方向である水平方向）に直交する方向に放射状に開口する複数の吸込口部分６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄに分岐されている。すなわち、各吸込口６のポンプ室３への開口部は、ポンプ室３内の上部領域に向けて開口する吸込口部分６ａを含めて、弁箱８ａの周方向に等間隔（９０度間隔）を隔てた４つの吸込口部分６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄに分岐されている。
【００３５】
したがって、吸込工程においては、吸込口６からポンプ室３内に吸い込まれる液体が、各吸込口部分６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄからポンプ室３の上部領域を含めて４方向に噴出されることになり（第１ポンプ１Ａにおける図１及び図５に示す状態又は第２ポンプ１Ｂにおける図２及び図３に示す状態）、これによりポンプ室３内の液体が攪拌され、気泡の成長，巨大化が阻止され、或いは気泡が微細に分裂される。その結果、吐出工程における細孔通路１４から吐出通路１１への流出液に同伴されることによる気泡の排出が、更に効果的に行われる。
【００３６】
なお、本発明に係る液体用容積型ポンプの構成は上記した形態に限定されるものではなく、本発明の基本原理を逸脱しない範囲において適宜に改良，変更することができる。
【００３７】
例えば、細孔通路は、上記したノズル孔１４ａを有せず、通路形成壁２ａを貫通するだけのものとしておくことも可能である。すなわち、図６〜図８に示すものでは、通路形成壁２ａにこれを水平方向に貫通して吐出通路１１とポンプ室３内の上部領域とを連通する細孔通路１８を形成してある。この細孔通路１８は、断面を前記細孔通路１４と同一径の円形状をなすものである。図６〜図８に示すポンプは、上記した細孔通路１８の構成を除いて図１〜図５に示すものと同一構造をなすものであるから、細孔通路１８以外の構成については図１〜図５と同一符号を付すことによって、その説明は省略する。
【００４６】
また、上記した何れのポンプにおいても、吸込口６を複数の吸込口部分６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄに分岐させるようにしたが、送液流体の性状等によっては、ポンプ室３の少なくとも上部領域に向けて吸込液を吸込口６から噴出させるだけでも、ポンプ室３内の上部領域における攪拌作用により気泡の成長，巨大化を阻止をすることができる。すなわち、吸込口６を上方に開口する吸込口部分６ａのみで構成されるようにしておくことも可能である。さらに、逆止弁２０を設けない場合、送液流体の性状等によっては、吸込工程における細孔通路１４のノズル孔１４ａからの噴出流又は細孔通路１８からの噴出流のみによっても、気泡の成長，巨大化を阻止をすることが可能な場合があり、かかる場合には、細孔通路１４，１８のみを設けて、吸込口６については格別の工夫を行わずともよい。
【００４７】
また、本発明は、単一の液体用容積型ポンプや、ベローズポンプ以外の容積型ポンプ（例えば、ダイヤフラムポンプ等）にも好適に適用することができる。また、上記した如くポンプ室３の拡縮動作方向が水平方向でなく上下方向である各種液体用容積型ポンプにも好適に適用することができる。
【符号の説明】
【００４８】
１Ａ    第１ポンプ（液体用容積型ポンプ）
１Ｂ    第２ポンプ（液体用容積型ポンプ）
３      ポンプ室
４      ベローズ
４ａ    ベローズの周壁
４ｄ    ベローズの周壁内周面に形成される環状凹部
６      吸込口
６ａ    吸込口部分
６ｂ    吸込口部分
６ｃ    吸込口部分
６ｄ    吸込口部分
７      吐出口
８      吸込側逆止弁
９      吸込通路
１０    吐出側逆止弁
１１    吐出通路
１４    細孔通路
１４ａ  ノズル孔（細孔通路の開口部）
１８    細孔通路
１９    細孔通路
２０    逆止弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図６】
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【図４】
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【図５】
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【図７】
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【図８】
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