(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローバ室の上端開口を開閉するように上記上端開口の後端部に設けられた回転軸に取り付けられたヘッドプレートと、上記ヘッドプレートの開閉時の負荷を軽減するために上記プローバ室の左右の側壁に沿って設けられた一対の伸縮機構と、上記ヘッドプレートを所定の開放位置で保持するように構成された屈伸可能な開閉ロック機構と、を備え、
上記伸縮機構は、一端が上記ヘッドプレートの左右両端部に揺動自在に連結され、他端が上記プローバ室の左右の側壁近傍に揺動自在に連結されており、また、
上記開閉ロック機構は、一端が上記ヘッドプレートに揺動自在に連結された第１の部材と、一端側が上記第１の部材の他端部とピンを介して結合され且つ他端が上記プローバ室に揺動自在に連結された第２の部材と、を備え、上記第１の部材は、上記ピンから上記ヘッドプレート側に偏倚して設けられた軸を有し、上記第２の部材は、一端に形成されて上記軸と係合する鉤部を有し、上記第１、第２の部材は、直線状に伸びて上記軸と上記鉤部が係合し、上記ヘッドプレートを所定の開放位置に保持することを特徴とするヘッドプレートの開閉軽減機構。
【請求項２】
上記伸縮機構がガススプリングによって構成されていることを特徴とする請求項１に記載のヘッドプレートの開閉軽減機構。
【請求項３】
少なくとも上記第１の部材の他端側は上記ピンによって所定の隙間を空けて結合された一対のプレートを有し、上記第２の部材が上記一対のプレートを出入するように上記第１の部材とピン結合していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のヘッドプレートの開閉軽減機構。
【請求項４】
上記第２の部材は上記ピン結合部より他端側に屈曲部と、上記屈曲部の両端から互いに反対方向に平行に延びる第１、第２直線部と、を有することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のヘッドプレートの開閉軽減機構。
【請求項５】
プローバ室の上端開口を開閉するように上記開口の後端部に設けられた回転軸に取り付けられたヘッドプレートを、所定の開放位置に保持するように構成された屈伸可能な開閉ロック機構であって、上記開閉ロック機構は、一端が上記ヘッドプレートに揺動自在に連結された第１の部材と、一端側が上記第１の部材の他端部とピンを介して結合され且つ他端が上記プローバ室に揺動自在に連結された第２の部材と、を備え、上記第１の部材は、上記ピンから上記ヘッドプレート側に偏倚して設けられた軸を有し、上記第第２の部材は、一端に形成されて上記軸と係合する鉤部を有し、上記第１、第２の部材は、直線状に伸びて上記軸と上記鉤部が係合し、上記ヘッドプレートを所定の開放位置に保持することを特徴とする開閉ロック機構。
【請求項６】
少なくとも上記第１の部材の他端側は上記ピンによって所定の隙間を空けて結合された一対のプレートを有し、上記第２の部材が上記一対のプレートを出入するように上記第１の部材とピン結合していることを特徴とする請求項５に記載の開閉ロック機構。
【請求項７】
上記第２の部材は上記ピン結合部より他端側に屈曲部を有し、上記屈曲部の両端から互いに反対方向に平行に延びる第１、第２直線部と、を有することを特徴とする請求項５または請求項６に記載の開閉ロック機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブ装置に用いられるヘッドプレートの開閉軽減機構及び開閉ロック機構に関し、更に詳しくは、ヘッドプレートの開閉軽減機構の構造を簡素化して低コスト化を進めると共にメンテナンス性を高めることができるヘッドプレートの開閉軽減機構及び開閉ロック機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
プローブ装置は、通常、被検査体である半導体ウエハを搬送するローダ室と、半導体ウエハの電気的特性検査を行うプローバ室と、を備えている。ローダ室には半導体ウエハの搬送機構及びプリアライメント機構が配設され、ローダ室において搬送機構を介して半導体ウエハを搬送する間に半導体ウエハのプリアライメントを行い、プリアライメント後の半導体ウエハをプローバ室へ引き渡す。プローバ室には半導体ウエハの載置台、アライメント機構及びプローブカードが配設され、半導体ウエハを載置した載置台がＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動し、この間にアライメント機構を介して半導体ウエハのアライメントを行い、アライメント後には載置台を介して半導体ウエハとプローブカードのプローブ針とを正確に電気的に接触させ、半導体ウエハの電気的特性検査を行う。
【０００３】
プローバ室の上端開口にはヘッドプレートが開閉可能に設けられ、このヘッドプレートを開閉してプローバ室内のメンテナンス等を行う。このヘッドプレートにはプローブカードが装着され、検査時にはヘッドプレートにプローブカードから大きな荷重が作用する。このような荷重に耐えるように、ヘッドプレートは機械的強度を高めるため、重く、ヘッドプレート１を開く時に大きな力を要するため、プローバ室にはヘッドプレートの開閉する時の力を軽減するヘッドプレートの開閉軽減機構（以下、単に「開閉軽減機構」と称す。）が設けられている。
【０００４】
従来のヘッドプレートは、例えば図３の（ａ）（ｂ）に示すように、開閉可能なヘッドプレート１(図３の（ａ）では太線で囲まれた領域)と、ヘッドプレート１の周囲に形成されたサブヘッドプレート２とで形成されている。ヘッドプレート１はサブヘッドプレート２に設けられた開閉軽減機構３によって開閉される。
【０００５】
そこで、従来の開閉軽減機構３について説明する。従来の開閉軽減機構３は、図３の（ａ）、（ｂ）に示すように、ヘッドプレート１の開閉時の荷重（以下、「開閉荷重」と称す。）を軽減するガススプリング３Ａと、ヘッドプレート１を所定の開放位置に保持するラチェット機構３Ｂと、ラチェット機構３Ｂを操作するラチェット操作機構３Ｃと、を有する。
【０００６】
サブヘッドプレート２は、図３の（ａ）、（ｂ）に示すように矩形状の枠体として形成され、この枠体の背面側縁部（同図の右側縁部）のやや内方にヘッドプレート１の回転軸１Ａが設けられている。この回転軸１Ａはサブヘッドプレート２の左右縁部（同図の上下縁部）間に架設されており、その左右両端にガススプリング３Ａが屈曲レバー３Ａ１を介して連結されている。ガススプリング３Ａは、シリンダ側が屈曲レバー３Ａ１に連結され、ロッドがプローバ室の背面側上部に連結されている。従って、作業員がヘッドプレート１を開く時に、ガススプリング３Ａがロッドを伸ばし、屈曲レバー３Ａ１を介してヘッドプレート１を同図の（ｂ）に示すように所定の角度まで開き、ラチェット機構３Ｂによって所定の開位置を保持する。
【０００７】
ヘッドプレート１の開放保持位置は二段階あり、それぞれの位置をラチェット機構３Ｂによって保持する。即ち、ラチェット機構３Ｂは、図３の（ａ）、（ｂ）及び図４に示すように、回転軸１Ａの端部に固定された反時計へ傾斜する二枚の歯を有するラチェット歯車３Ｂ１と、ラチェット歯車３Ｂ１と噛み合う回転爪３Ｂ２と、を有し、回転爪３Ｂ２が図４に示す二枚の歯の間に入り込む位置とその反時計方向の外側の位置で反時計方向へのヘッドプレート１の回転を後述のように止めてそれぞれの開放位置で保持する。
【０００８】
ラチェット操作機構３Ｃは、図３の（ａ）、（ｂ）に示すように、ラチェット機構３Ｂを操作する操作部材３Ｃ１と、操作部材３Ｃ１と回転爪３Ｂ２を繋ぐワイヤ３Ｃ２と、回転爪３Ｂ２に時計方向の回転力を付与するスプリング３Ｃ３と、を有している。従って、ヘッドプレート１が開いて図３の（ｂ）に仮想線で示す位置にある時は、ヘッドプレート１が自重により反時計方向へ回転しようとしてもラチェット歯車３Ｂ１に噛み込む回転爪３Ｂ２の時計方向への回転が操作部材３Ｃ１によって規制されるため、ヘッドプレート１は閉じることなく所定の開放位置に保たれる。ヘッドプレート１と閉じる時には、操作部材３Ｃ１を引っ張って回転爪３Ｂ２をラチェット歯車３Ｂ１から外すことによって閉じることができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、図３に示す従来の開閉軽減機構３は、ヘッドプレート１を小さな力で開くことができるが、プローバ室の天面がヘッドプレート１とサブヘッドプレート２によって構成され、ヘッドプレート１の下方は各種の機器が設置されているため、開閉軽減機構３をサブヘッドプレート２側に設置せざるを得ない。開閉軽減機構３をサブヘッドプレート２に設けると、開閉軽減機構３はサブヘッドプレート２側からヘッドプレート１を開閉するため、開閉軽減機構３のガススプリング３Ａ、屈曲レバー３Ａ１、ラチェット機構３Ｂ及びラチェット操作機構３Ｃ等の多数の部材からなり、構造が複雑になるため、開閉軽減機構３の製造コストが高く、しかもその取り付け作業や交換作業等のメンテナンス作業が煩雑になってメンテナンスコストが高くなる。
【００１０】
尚、本出願人は、特許文献１、２においてもヘッドプレートの開閉軽減機構を提案しているが、いずれも構造的に複雑であった。
【００１１】
【特許文献１】特開平１０−１２５７４４
【特許文献２】特開２００１−０５３１１９
【００１２】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、サブヘッドプレートをなくして一枚のヘッドプレートによって形成して開閉軽減機構を簡素化し、プローブ装置のメンテナンス性を高め、延いては製造コスト及びメンテナンスコストを低減することができるヘッドプレートの開閉軽減機構及び開閉ロック機構を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の請求項１に記載のヘッドプレートの開閉軽減機構は、プローバ室の上端開口を開閉するように上記上端開口の後端部に設けられた回転軸に取り付けられたヘッドプレートと、上記ヘッドプレートの開閉時の負荷を軽減するために上記プローバ室の左右の側壁に沿って設けられた一対の伸縮機構と、上記ヘッドプレートを所定の開放位置で保持するように構成された屈伸可能な開閉ロック機構と、を備え、上記伸縮機構は、一端が上記ヘッドプレートの左右両端部に揺動自在に連結され、他端が上記プローバ室の左右の側壁近傍に揺動自在に連結されており、また、上記開閉ロック機構は、一端が上記ヘッドプレートに揺動自在に連結された第１の部材と、一端側が上記第１の部材の他端部とピンを介して結合され且つ他端が上記プローバ室に揺動自在に連結された第２の部材と、を備え、上記第１の部材は、上記ピンから上記ヘッドプレート側に偏倚して設けられた軸を有し、上記第２の部材は、一端に形成されて上記軸と係合する鉤部を有し、上記第１、第２の部材は、直線状に伸びて上記軸と上記鉤部が係合し、上記ヘッドプレートを所定の開放位置に保持することを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明の請求項２に記載のヘッドプレートの開閉軽減機構は、請求項１に記載の発明において、上記伸縮機構がガススプリングによって構成されていることを特徴とするものである。
【００１６】
また、本発明の請求項３に記載のヘッドプレートの開閉軽減機構は、請求項１または請求項２に記載の発明において、少なくとも上記第１の部材の他端側は上記ピンによって所定の隙間を空けて結合された一対のプレートを有し、上記第２の部材が上記一対のプレートを出入するように上記第１の部材とピン結合していることを特徴とするものである。
【００１７】
また、本発明の請求項４に記載のヘッドプレートの開閉軽減機構は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明において、上記第２の部材は上記ピン結合部より他端側に屈曲部と、上記屈曲部の両端から互いに反対方向に平行に延びる第１、第２直線部と、を有することを特徴とするものである。
【００１８】
また、本発明の請求項５に記載の開閉ロック機構は、プローバ室の上端開口を開閉するように上記上端開口の後端部に設けられた回転軸に取り付けられたヘッドプレートを、所定の開放位置に保持するように構成された屈伸可能な開閉ロック機構であって、上記開閉ロック機構は、一端が上記ヘッドプレートに揺動自在に連結された第１の部材と、一端側が上記第１の部材の他端部とピンを介して結合され且つ他端が上記プローバ室に揺動自在に連結された第２の部材と、を備え、上記第１の部材は、上記ピンから上記ヘッドプレート側に偏倚して設けられた軸を有し、上記第第２の部材は、一端に形成されて上記軸と係合する鉤部を有し、上記第１、第２の部材は、上記軸直線状に伸びて上記軸と上記鉤部が係合し、上記ヘッドプレートを所定の開放位置に保持することを特徴とするものである。
【００１９】
また、本発明の請求項６に記載の開閉ロック機構は、請求項５に記載の発明において、少なくとも上記第１の部材の他端側は上記ピンによって所定の隙間を空けて結合された一対のプレートを有し、上記第２の部材が上記一対のプレートを出入するように上記第１の部材とピン結合していることを特徴とするものである。
【００２０】
また、本発明の請求項７に記載の開閉ロック機構は、請求項５または請求項６に記載の発明において、上記第２の部材は上記ピン結合部より他端側に屈曲部を有し、上記屈曲部の両端から互いに反対方向に平行に延びる第１、第２直線部と、を有することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、サブヘッドプレートをなくして一枚のヘッドプレートによって形成して開閉軽減機構を簡素化すると共に、簡単な操作でヘッドプレートを所定の開放位置に保持してプローブ装置のメンテナンス性を高め、延いては製造コスト及びメンテナンスコストを低減することができるヘッドプレートの開閉軽減機構及び開閉ロック機構を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明のヘッドプレートの開閉軽減機構及び開閉ロック機構の一実施形態が適用されたプローブ装置を示す図で、（ａ）はヘッドプレートを開いた時の側面図、（ｂ）はヘッドプレートを閉じた時の側面図である。
【図２】図１に示す開閉ロック機構の要部を示す斜視図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）は従来のヘッドプレートの開閉軽減機構が適用されたプローブ装置の要部を示す図で、（ａ）はヘッドプレートの下面を示す平面図、（ｂ）はヘッドプレートの開閉軽減機構を示す側面図である。
【図４】図３に示すヘッドプレートの開閉軽減機構の要部を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図１及び図２に基づいて本発明の一実施形態について説明する。本実施形態のヘッドプレートの開閉軽減機構（以下、単に「開閉軽減機構」と称す。）１０は、例えば図１の（ａ）、（ｂ）に示すプローブ装置５０のプローバ室５１に適用されている。ローダ室は、従来のものに準じて構成されている。プローバ室５１には半導体ウエハを載置する移動可能な載置台５２と、載置台５２の上方に配置されたプローブカード（図示せず）と、プローブカードが装着されたヘッドプレート５３と、半導体ウエハの電極パッドとプローブカードのプローブとの位置合わせを行うアライメント機構（図示せず）と、を備え、半導体ウエハとプローブカードの位置合わせを行った後、載置台５２を介して半導体ウエハとプローブカードとを電気的に接触させて半導体ウエハの電気的特性検査を行う。
【００２４】
ヘッドプレート５３は、図１の（ａ）、（ｂ）に示すようにプローバ室５１の背面側（同図の左側）に架設された回転軸５４に取り付けられ、回転軸５４を中心に閉鎖位置と所定の開放位置の間で旋回してプローバ室５１の上端開口を開閉するように矩形状に形成されている。このヘッドプレート５３は、ネジ部材（図示せず）によってプローバ室５１の開口上端の四隅に固定されている。本実施形態の開閉軽減機構１０は、ヘッドプレート５３を開閉する時にヘッドプレート５３に作用して作業員の負荷を軽減すると共に、ヘッドプレート５３を所定の開放位置を保つように構成されている。
【００２５】
而して、開閉軽減機構１０は、図１の（ａ）、（ｂ）に示すように、ヘッドプレート５３を開閉する時に作業員の負荷を軽減する伸縮機構（例えば、ガススプリング）１１と、ヘッドプレート５３が所定の開放位置に達した時にヘッドプレート５３をその位置に保持する開閉ロック機構１２と、を備えている。
【００２６】
ガススプリング１１は、同図に示すように、ロッド１１Ａの先端がヘッドプレート５３の左右両端部の背面側に偏倚させて揺動自在に連結され、シリンダ１１Ｂの下端がプローバ室５１内の左右両側面の下部に揺動自在に連結されている。ガススプリング１１をプローバ室５１に取り付ける時には、開閉ロック機構１２によってヘッドプレート５３を開いて所定の開放位置を保持した状態で、ロッド１１Ａの先端をヘッドプレート５３の所定位置に連結し、シリンダ１１Ｂの下端をプローバ室５１の所定位置に連結するだけで簡単に取り付け、交換することができる。
【００２７】
開閉ロック機構１２は、図１の（ａ）（ｂ）に示すように、一端（図１の（ａ）では上端）がヘッドプレート５３の左側端部の前方に揺動自在に連結された第１の部材１２Ａと、上端側が第１の部材１２Ａの他端部（図１の（ａ）では下端部）とピン１２Ｂを介して結合され、下端がプローバ室５１の左側面の上端前方に揺動自在に連結された第２の部材１２Ｃと、を備え、プローバ室５１の少なくとも一方の側面側に取り付けられている。
【００２８】
第１の部材１２Ａは、例えば図２に示すように断面が矩形状の筒状に形成され、下端側が上下両面が除去された一対の細長形状のプレート部１２Ａ１によって形成されている。一対のプレート部の下端部間にピン１２Ｂが設けられ、このピン１２Ｂに第２の部材１２Ｃが屈伸自在にピン結合されている。また、第２の部材１２Ｃは、図１の（ａ）に示すように、第１直線部１２Ｃ１、第２直線部１２Ｃ２及び第１、第２直線部１２Ｃ１、１２Ｃ２を繋ぐ屈曲部１２Ｃ３からなり、第１直線部１２Ｃ１と第２直線部１２Ｃ２は屈曲部１２Ｃ３の両端から互いに反対方向へ平行に延びている。そして、第１の部材１２Ａと第２の部材の１２Ｃがピン１２Ｂを介して直線状に伸びて、図１の（ａ）に示すように第２の部材１２Ｃの第１直線部１２Ｃ１が第１の部材１２Ａの下端側の一対のプレート部１２Ａ１内に納まるようになっている。
【００２９】
図１の（ａ）、（ｂ）及び図２に示すように、第１の部材１２Ａの一対のプレート部１２Ａ１間にはロック用の軸１２Ｄがピン１２Ｂから上方へ偏倚して設けられ、また、第２の部材１２Ｃの先端には軸１２Ｄに対して係合するロック用の鉤部１２Ｃ４が形成されている。ヘッドプレート５３を開いた時には第１、第２の部材１２Ａ、１２Ｃが図１の（ａ）に示すように直線状に伸び、鉤部１２Ｃ４が軸１２Ｄと係合して第１、第２の部材１２Ａ、１２Ｃの直線状態を維持し、ヘッドプレート５３を閉じた時には第１、第２の部材１２Ａ、１２Ｃが同図に（ｂ）に示すようにピン１２Ｂを介して１８０°折り曲げられ、第１の部材１２Ａと第２の部材１２Ｃの第１直線部１２Ｃ１がヘッドプレート５３内に隠れ、第２の部材１２Ｃの上側に第１の部材１２Ａが重なるようになっている。
【００３０】
また、図２に示すように、第１の部材１２Ａの一対のプレート部１２Ａ１にはそれぞれ互いに対応する長孔１２Ａ２が軸方向に形成されている。一対のプレート部１２Ａ１には断面矩形状の三面を被覆する摺動体１２Ｅが摺動可能に被覆されている。この摺動体１２Ｅの両側面には長孔１２Ａに沿って延びる一対のプレート部１２Ｅ１が形成され、これらのプレート部１２Ｅ１の下端に長孔１２Ａ２から第１の部材１２Ａのプレート部１２Ａ１を横切るロック用の軸１２Ｄが架設されている。
【００３１】
次に、動作について説明する。プローブ装置５０のプローバ室５１をメンテナンスする時にはヘッドプレート５３の四隅にあるネジ部材を取り外した後、テストヘッド５３を開いて所定の開放位置に保持する。ヘッドプレート５３を開く時には作業員がヘッドプレート５３の前端を持ち上げて開放するが、この時、ヘッドプレート５３には開閉軽減機構１０のガススプリング１１が作用しているため、ヘッドプレート５３に大きな力を加えることなく簡単にヘッドプレート５３を開放することができる。
【００３２】
ヘッドプレート５３を開く時には開閉ロック機構１２の第１、第２の部材１２Ａ、１２Ｃがピン１２Ｂを介して延び、ヘッドプレート５３が所定の開放位置に達し、第１の部材１２Ａの一対のプレート部１２Ａ１内に第２の部材１２Ｃの第１直線部１２Ｃ１が納まって第１、第２の部材１２Ａ、１２Ｃが直線状になると共に、第１の部材１２Ｃの鉤部１２Ｃ4が一対のプレート部１２Ａ１内にある軸１２Ｄと係合して第１、第２の部材１２Ａ、１２Ｃをロックし、ヘッドプレート５３を開放位置に保持する。
【００３３】
ヘッドプレート５３を所定の開放位置に保持した状態でプローバ室５１内のメンテナンスを行う。例えば、ガススプリング１１を交換する時にはガススプリング１１のみを交換するだけで済み、伸縮機構としてのコストも安く、作業も短時間で簡単に行うことができる。また、開閉ロック機構１２は、第１、第２の部材１２Ａ、１２Ｃをピン結合した簡単な構造であるため、それ自体のコストも安く、取り付け作業も短時間で簡単に行うことができる。また、開閉ロック機構１２Ｂを交換する時には第１、第２の部材１２Ａ、１２Ｃが直線状に伸びた長さに相当する支持棒（図示せず）を開閉ロック機構１２Ｂの代替として使用してヘッドプレート５３とプローバ室５１の上端に挟み込むことによってヘッドプレート５３を開放位置に保持することができる。
【００３４】
また、本実施形態ではサブヘッドプレートが省略されているため、ヘッドプレート５３の中央にプローブカードを取り付けられているため、プローブカードからの荷重をヘッドプレート５３の中央で受けて、荷重によるヘッドプレート５３の歪みをヘッドプレート５３の中央部を基準に前後左右対称に分散し、プローブカードと半導体ウエハの接触圧のバランスをとることができ、プローブカードと半導体ウエハの接触を安定させ、検査の信頼性を高めることができる。従来のプローブ装置は、プローブカードが必ずしもヘッドプレートの中央にあるわけでなく、ヘッドプレートに不均一な歪みが生じていた。
【００３５】
以上説明したように本実施形態によれば、開閉軽減機構１０は、プローバ室５１の左右の側壁に沿って設けられた一対のガススプリング１１と、ヘッドプレート５３を所定の開放位置で保持するように構成された屈伸可能な開閉ロック機構１２と、備え、ガススプリング１１は、上端がヘッドプレート５３の左右両端部に揺動自在に連結され、下端がプローバ室５１の左右の側壁近傍に揺動自在に連結されているため、伸縮機構がガススプリング１１のみからなり、構造が簡単でコストが安く、取り付け作業も短時間で簡単に行うことができ、交換コストを低減することができる。
【００３６】
また、開閉ロック機構１２は、第１、第２の部材１２Ａ、１３Ｃがピン１２Ｂを介して結合された簡単な構造であり、第１の部材１２Ａがピン１２Ｂからヘッドプレート５３側に偏倚して設けられた軸１２Ｄを有し、第２の部材が上端に形成されて軸１２Ｄと係合する鉤部１２Ｃ４を有るため、鉤部１２Ｃ４と軸１２Ｄが係合するだけでヘッドプレート５３を所定の開放位置にロックすることができ、しかもコストが安く、取り付け作業も短時間で簡単に行うことができ、交換コストを低減することができる。また、第１の部材１２Ａの下端側はピン１３Ｂによって所定の隙間を空けて結合された一対のプレート１２Ａ１を有すると共に、第２の部材１２Ｃはピン結合部より下端側に屈曲部１３Ｃ３を有し、屈曲部１３Ｃ４より上端側の第１直線部１３Ｃ１と屈曲部１３Ｃ３より下端側の第２直線部１３Ｃ２が互いに平行して形成されているため、開閉ロック機構１２をヘッドプレート５３に対してコンパクトに収納することができる。
【００３７】
尚、本発明は、上記実施形態の何等制限されるものではなく、必要に応じて各構成要素を適宜設計変更することができる。
【符号の説明】
【００３８】
１０    開閉軽減機構
１１    ガススプリング（伸縮機構）
１２    開閉ロック機構
１２Ａ  第１の部材
１２Ａ１  プレート部
１２Ｂ  ピン
１２Ｃ    第２の部材
１２Ｃ１  第１直線部
１２Ｃ２  第２直線部
１２Ｃ３  屈曲部
１２Ｃ４  鉤部
１２Ｄ    軸
５０    プローブ装置
５１    プローバ室
５２    載置台
５３    ヘッドプレート
【図１】
0005554581.tif 000002
【図２】
0005554581.tif 000003
【図３】
0005554581.tif 000004
【図４】
0005554581.tif 000005