(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバ母材の製造方法であって、
ターゲットの周方向の互いに異なる位置に、前記ターゲットの外周面に対して複数のバーナを対向させ、それぞれの前記バーナを前記ターゲットの一方の端部近傍から、他方の端部近傍までの間を往復移動させて、前記バーナによる火炎中で形成したガラス粒子を前記ターゲットに堆積させて光ファイバ母材を製造する際に、
少なくとも一方の側の前記バーナの反転位置が一定ではなく、それぞれの前記バーナの往復サイクルに応じて異なる位置で前記バーナを反転させることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。
【請求項２】
複数の前記バーナは、それぞれ、異なる位置で反転することを特徴とする請求項１記載の光ファイバ母材の製造方法。
【請求項３】
複数の前記バーナの内、最も下方まで移動する最下方バーナの反転位置の変動幅は、他の前記バーナの反転位置の変動幅よりも大きいことを特徴とする請求項２記載の光ファイバ母材の製造方法。
【請求項４】
前記ターゲットの両方の側の端部近傍における前記バーナの反転位置が、前記バーナのそれぞれの往復サイクルに応じて異なり、
それぞれの往復サイクルにおいて、前記バーナのストローク長が略同一となることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の光ファイバ母材の製造方法。
【請求項５】
前記バーナの反転位置を、所定数の往復サイクル毎に変化させることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の光ファイバ母材の製造方法。
【請求項６】
それぞれの前記バーナの往復サイクルにおいて、一方側に向かう際の前記バーナの移動速度と、他方側に向かう際の前記バーナの移動速度とが異なることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の光ファイバ母材の製造方法。
【請求項７】
光ファイバ母材の製造装置であって、
ターゲットの周方向の互いに異なる位置に、前記ターゲットの外周面に対して複数のバーナを対向させ、それぞれの前記バーナを前記ターゲットの一方の端部近傍から、他方の端部近傍までの間を往復移動させて、前記バーナによる火炎中で形成したガラス粒子を前記ターゲットに堆積させることが可能であり、
少なくとも一方の側の前記バーナの反転位置が一定ではなく、それぞれの前記バーナの往復サイクルに応じて異なる位置で前記バーナを反転制御することを特徴とする光ファイバ母材の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多孔質ファイバ母材である光ファイバ母材の製造方法および製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光ファイバ用のガラス微粒子堆積体を製造する方法としてＯＶＤ法（Ｏｕｔｓｉｄｅ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  ｍｅｔｈｏｄ）等がある。ＯＶＤ法は、珪素を含むガラス原料を可燃性ガス、助燃性ガス等の燃焼ガスとともにバーナに導入し、火炎中でガラス原料を加水分解反応又は酸化反応させることにより、ガラス微粒子体及び微粒子体の集合体を生成させ、これを回転する堆積ターゲットとなる心棒の外周に堆積させてガラス微粒子堆積体（光ファイバ母材）を形成する方法である。
【０００３】
このような、光ファイバ母材の製造方法としては、複数のバーナをターゲットの外周に周方向に位置をずらして配置し、所定間隔をあけて、ターゲットの一方の側に向かって走行させて、この間に各バーナの先端の火炎中で形成したガラス微粒子をターゲットの外周に堆積させて多孔質光ファイバ母材の形成を行い、ターゲットの一方側（片端）に達すると、バーナの速度を上げて高速でターゲットの他方の側（反対端）に戻す光ファイバ母材の製造方法がある（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−８１５３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図５は、従来の多孔質光ファイバ母材の製造方法を実施する光ファイバ母材製造装置２０の構成を示したものである。
【０００６】
光ファイバ母材製造装置２０は、コアプリフォームよりなるターゲット５をその軸心の回りに回転させるターゲット支持機構２２を有する。ターゲット支持機構２２はＵ型フレーム２３を有する。Ｕ型フレーム２３の両対向端にはターゲット５を支持するチャック２４ａ、２４ｂが回転自在に支持されている。一方のチャック２４ａはモータ２５で回転されるようになっており、このチャック２４ａの回転によりターゲット５がその軸心の回りに回転する。
【０００７】
このようにして回転するターゲット５の外周には、その周方向に位置をずらして複数のバーナ７ａ、７ｂが一方の側から対向されている。バーナ７ａ、７ｂは、各トラバース機構２７ａ、２７ｂによってターゲット５の長手方向に沿ってそれぞれトラバース（往復移動）される。
【０００８】
トラバース機構２７ａ、２７ｂは、ターゲット５に対して平行する向きでそれぞれ配置されたスクリュー軸２８ａ、２８ｂと、スクリュー軸２８ａ、２８ｂを回転自在に支持するＵ型フレーム２９ａ、２９ｂと、各スクリュー軸２８ａ、２８ｂを回転するモータ３０ａ、３０ｂ等を有している。また、各バーナ７ａ、７ｂには、ガス供給装置３２からフレキシブルなガス供給管を経て原料ガスが供給される。
【０００９】
このような光ファイバ母材製造装置２０では、ターゲット支持機構２２により軸心の回りを回転するターゲット５の外周に、その周方向に位置をずらせて各バーナ７ａ、７ｂを対向させる。バーナ７ａ、７ｂは、相互間に所定の間隔をおいて往復移動する。この際、バーナ７ａ、７ｂの火炎中で形成したガラス微粒子をターゲット５の外周にそれぞれ堆積させることで、多孔質ファイバ母材３が製造される。
【００１０】
このようにして製造される多孔質ファイバ母材３として、従来よりもサイズの大きい母材に対する要求がある。このような大サイズの多孔質ファイバ母材３を図５に示すように横向きにして製造すると、該多孔質光ファイバ母材３はその自重で製造中に下向きに湾曲してしまうおそれがある。
【００１１】
これを避けるためには、図６に示すように、ターゲット５を縦向きにして多孔質ファイバ母材３の製造を行うことが好ましい。図６は、このような光ファイバ母材製造装置１を示す概略図である。光ファイバ母材製造装置１は主に、図示を省略した反応容器内において、複数のバーナ７ａ、７ｂ、７ｃおよびターゲット材５が配置される。ターゲット材５は、たとえば光ファイバコアおよび一部にクラッドを有するロッドである。なお、各バーナ７ａ、７ｂ、７ｃの動作機構は、例えば、光ファイバ母材製造装置２０と同様で良い。
【００１２】
ターゲット材５の両端部は、ターゲット材把持部に固定される。ターゲット材５は、ターゲット材５の軸方向を回転軸として回転可能である（図中矢印Ｂ方向）。また、バーナ７ａ、７ｂ、７ｃは、ターゲット材５の軸方向に相対的にトラバース（往復移動）可能である（図中矢印Ａ方向）。すなわち、ターゲット材５の長手方向に対してバーナ７ａ、７ｂ、７ｃの炎を均一に当てることができる。なお、ターゲット材把持部近傍には、補助バーナ９が設けられる。補助バーナ９は、ターゲット材５の端部近傍においてバーナ７ａ、７ｂ、７ｃによる熱が十分に付与されず、低密度な多孔質ガラスが形成されるものを焼き固めるものである。
【００１３】
バーナ７ａ、７ｂ、７ｃは、ターゲット材５の下方から上方に向かって、所定の移動速度で移動する際に、ターゲット材５の外周にガラス微粒子を堆積させて多孔質ファイバ母材３を製造する。一方、ターゲット材５の上方から下方に向かう際には、バーナ７ａ、７ｂ、７ｃの移動速度を速くする。このようにすることで、バーナ同士がすれ違う際に、当該部位で過剰に加熱が行われることを抑制することができる。
【００１４】
また、それぞれのバーナ７ａ、７ｂ、７ｃは、ターゲット材５の下端および上端において、それぞれ異なる位置で反転する。すなわち、バーナ７ａは、下端反転位置１３ａおよび上端反転位置１１ａで反転し、バーナ７ｂは、下端反転位置１３ｂおよび上端反転位置１１ｂで反転し、バーナ７ｃは、下端反転位置１３ｃおよび上端反転位置１１ｃで反転する。
【００１５】
図７は、上述したようなそれぞれのバーナの移動状態を示す概念図である。図７においては、縦軸が各バーナの位置を示し、横軸が時間を示す。例えば、バーナ７ａは、下端反転位置１３ａから、上方に向かって所定速度（傾き）で上方に向かって移動し、上端反転位置１１ａまで達すると、移動速度を速め（大きな傾きで）下端反転位置１３ａ方向に移動する。
【００１６】
同様に、バーナ７ｂ、７ｃもそれぞれの下端反転位置１３ｂ、１３ｃおよび上端反転位置１１ｂ、１１ｃで繰り返し反転する。なお、製造されたファイバ母材の良品部は、上端反転位置１１ｃと下端反転位置１３ａとの間に設定される。このため、良品部においては、全て一定の条件で製造される。
【００１７】
図８は、このようにして得られたファイバ母材を引き下げ法によってガラス化する工程を示す概念図である。前述の多孔質ファイバ母材３は、炉において下方から順次ガラス化される（図中矢印Ｃ方向）。この場合、ガラス化開始点である下端部は、収縮による変形が平行部よりも大きい。このような密度分布の不均一（以下、単に密度ばらつきと称する）が生じると、密度の大きな端部において、ガラス化に使用するヘリウムガスが特定の場所にトラップされ、拡散を終える前にガラス化が終了する可能性があり、ガラス化時に気泡１５等を生じる恐れがある。
【００１８】
このような気泡１５は、通常、ガラス母材の良品部の両端（外側）に生じるが、延伸等の後工程において、気泡１５が起点となって破断したり、母材全体にクラックが生じる恐れがある。このような気泡１５は、径の大きな（例えばΦ２００ｍｍ以上）の多孔質ファイバ母材に対して、火炎が相対的に小さい場合に生じやすい。しかし、酸水素ガスを増量して火炎を大きくしたのでは、無駄なガスを消費し、また、製品部における密度も変わるため望ましくない。
【００１９】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、特に大きな多孔質ファイバ母材に対し、バーナのガス量を過剰に増加することなく気泡等の発生を抑制することが可能な光ファイバ母材の製造方法等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
前述した目的を達するために第１の発明は、光ファイバ母材の製造方法であって、ターゲットの周方向の互いに異なる位置に、前記ターゲットの外周面に対して複数のバーナを対向させ、それぞれの前記バーナを前記ターゲットの一方の端部近傍から、他方の端部近傍までの間をトラバース（往復移動）させて、前記バーナによる火炎中で形成したガラス粒子を前記ターゲットに堆積させて光ファイバ母材を製造する際に、少なくとも一方の側の前記バーナの反転位置が一定ではなく、それぞれの前記バーナの往復サイクルに応じて異なる位置で前記バーナを反転させることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法である。
【００２１】
複数の前記バーナは、それぞれ、異なる位置で反転することが望ましい。
【００２２】
複数の前記バーナの内、最も下方まで移動する最下方バーナの反転位置の変動幅は、他の前記バーナの反転位置の変動幅よりも大きくしてもよい。
【００２３】
前記ターゲットの両方の側の端部近傍における前記バーナの反転位置が、前記バーナのそれぞれの往復サイクルに応じて異なり、それぞれの往復サイクルにおいて、前記バーナのストローク長（移動距離）が略同一としてもよい。
【００２４】
前記バーナの反転位置を、所定数の往復サイクル毎に変化させてもよい。
【００２５】
それぞれの前記バーナの往復サイクルにおいて、一方側に向かう際の前記バーナの移動速度と、他方側に向かう際の前記バーナの移動速度とが異なることが望ましい。
【００２６】
第１の発明によれば、少なくとも一方の側のバーナの反転位置が一定ではなく、往復サイクルに応じて異なる位置でバーナを反転させるため、特に下端部における長手方向の密度ばらつきを抑制することができる。したがって、ガラス化時の気泡の発生を抑制することができる。
【００２７】
また、全てのバーナの反転位置を異なる位置とすることで、長手方向の端部の同じ位置で、各バーナによって繰り返し高温に加熱されることを抑制することができる。
【００２８】
また、最も下方で反転するバーナは、下端における密度ばらつきの要因となりやすい。このため、最下方のバーナの反転位置の変動量を、他のバーナと比較して大きくすることで、密度ばらつきをより確実に抑制することができる。
【００２９】
また、バーナの反転位置を一方の側（下端）のみではなく、他方の側（上端）も変動することで、バーナのストローク長（移動距離）を各往復サイクルにおいて略一定にすることができる。したがって、バーナ間隔の制御等が容易となる。
【００３０】
また、バーナの反転位置は、１往復サイクルごとに変えてもよいが、所定サイクル数ごとに変えてもよい。例えば、数往復毎に反転位置を変化させてもよい。
【００３１】
また、往復サイクルにおいて、一方の方向に移動する際の移動速度を、他方の方向に移動する際の移動速度と変えることで、例えば、バーナ同士がすれ違う際に、一か所を過剰に加熱することを抑制することができる。
【００３２】
第２の発明は、光ファイバ母材の製造装置であって、ターゲットの周方向の互いに異なる位置に、前記ターゲットの外周面に対して複数のバーナを対向させ、それぞれの前記バーナを前記ターゲットの一方の端部近傍から、他方の端部近傍までの間をトラバース（往復移動）させて、前記バーナによる火炎中で形成したガラス粒子を前記ターゲットに堆積させることが可能であり、少なくとも一方の側の前記バーナの反転位置が一定ではなく、それぞれの前記バーナの往復サイクルに応じて異なる位置で前記バーナを反転制御することを特徴とする光ファイバ母材の製造装置である。
【００３３】
第２の発明によれば、特に大型の光ファイバ母材に対して、下端の密度ばらつきを抑制し、これによってガラス化時の気泡の発生を抑制することができる。
【発明の効果】
【００３４】
本発明によれば、特に大きな多孔質ファイバ母材に対し、バーナのガス量を増加することなく気泡等の発生を抑制することが可能な光ファイバ母材の製造方法等を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】バーナ７ａ、７ｂ、７ｃの移動状態を示す図。
【図２】バーナ７ａ、７ｂ、７ｃの移動状態の他の実施形態を示す図。
【図３】バーナ７ａ、７ｂ、７ｃの移動状態の他の実施形態を示す図。
【図４】バーナ７ａ、７ｂ、７ｃの移動状態の他の実施形態を示す図。
【図５】従来の光ファイバ母材製造装置２０を示す図。
【図６】光ファイバ母材製造装置１を示す図。
【図７】従来のバーナ７ａ、７ｂ、７ｃの移動状態を示す図。
【図８】多孔質ファイバ母材をガラス化する工程を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。なお、本発明は、バーナ７ａ、７ｂ、７ｃの動作以外は、図６に示した光ファイバ母材製造装置１と同一である。したがって、以下の説明においては、バーナ７ａ、７ｂ、７ｃの動作についてのみ説明し、重複する説明を省略する。図１は、第１の実施形態におけるバーナ７ａ、７ｂ、７ｃの動作を示す図である。バーナ７ａ、７ｂ、７ｃは、それぞれ異なる位置で反転する。
【００３７】
すなわち、バーナ７ａは、下端反転位置１３ａから、上方に向かって所定速度（傾き）で上方に向かって移動し、上端反転位置１１ａまで達すると、移動速度を速め（大きな傾きで）下端反転位置１３ａ方向に移動する。同様に、バーナ７ｂ、７ｃもそれぞれの下端反転位置１３ｂ、１３ｃおよび上端反転位置１１ｂ、１１ｃで繰り返し反転する。
【００３８】
また、それぞれのバーナ７ａ、７ｂ、７ｃは、例えば下端反転位置１３ａ、１３ｂ、１３ｃから上端反転位置１１ａ、１１ｂ、１１ｃに向かう際に、速度を落として移動し、逆に、上端反転位置１１ａ、１１ｂ、１１ｃから下端反転位置１３ａ、１３ｂ、１３ｃに向かう際に速度を上げて（例えば１．５倍程度の速度で）移動する。このようにすることで、各バーナがすれ違う部位（図の各バーナの線が交差する点）近傍において、過剰に加熱されることを抑制することができる。
【００３９】
本実施の形態においては、それぞれのバーナ７ａ、７ｂ、７ｃの下端反転位置１３ａ、１３ｂ、１３ｃが、往復サイクル毎に変化する。すなわち、各バーナ７ａ、７ｂ、７ｃは、往復サイクルごとに、異なる位置で反転する。このようにすることで、バーナ７ａ、７ｂ、７ｃの反転位置を全て一定にする場合と比較して、下端の密度分布ばらつきを抑制することができる。
【００４０】
ここで、得られる多孔質ファイバ母材の良品部は、必ず全てのバーナ７ａ、７ｂ、７ｃの移動範囲内とする。すなわち、下端反転位置の内、最も上方に位置する部位と、上端反転位置の内、最も下方に位置する部位との間に良品部が入るように設定する。
【００４１】
なお、図１に示す例では、それぞれのバーナ７ａ、７ｂ、７ｃの下端反転位置１３ａ、１３ｂ、１３ｃが、全て同様に変動する。すなわち、バーナ７ａの往復サイクル（ｍ）と、これに最も近いバーナ７ｂの往復サイクル（ｍ）と、さらにこれと最も近いバーナ７ｃの往復サイクル（ｍ）に対し、それぞれのバーナ７ａ、７ｂ、７ｃの往復サイクル（ｍ＋１）では、下端反転位置１３ａ、１３ｂ、１３ｃが同様に変動する。したがって、図示した様に、下端反転位置１３ａ、１３ｂ、１３ｃは、互いに略平行に変動する。
【００４２】
これに対し、それぞれの下端反転位置１３ａ、１３ｂ、１３ｃは、図において互いに交差するようにしてもよい。この場合、多孔質光ファイバ母材の製造終了までの間に、バーナ７ａ、７ｂ、７ｃのそれぞれのストローク長（移動距離）が、略同一となるように下端反転位置１３ａ、１３ｂ、１３ｃを周期的に変化させればよい。
【００４３】
以上、本実施の形態によれば、多孔質光ファイバ母材の少なくとも下端において、それぞれのバーナ７ａ、７ｂ、７ｃの反転位置が、往復サイクル毎に異なる。したがって、それぞれのバーナを常に一定の場所で反転させる場合と比較して、下端部における密度ばらつきを抑制することができる。
【００４４】
次に、第２の実施形態について説明する。図２は、第２の実施形態にかかるバーナ７ａ、７ｂ、７ｃの動作を示す図である。本実施形態は、前述の実施形態と比較して、上端反転位置１１ａ、１１ｂ、１１ｃも下端反転位置１３ａ、１３ｂ、１３ｃと同様に、往復サイクル毎に変化させたものである。
【００４５】
なお、この場合、例えばバーナ７ａの往復サイクル（ｍ）における下端反転位置１３ａに対して、往復サイクル（ｍ＋１）における下端反転位置１３ａを１０ｍｍ上方にずらした場合には、往復サイクル（ｍ）における上端反転位置１１ａに対して、往復サイクル（ｍ＋１）における上端反転位置１１ａを１０ｍｍ上方に変化させる。すなわち、往復サイクル（ｍ）に対して（ｍ＋１）では、下端反転位置１３ａ、上端反転位置１１ａの変化量を同じにすることが望ましい。このようにすることで、各往復サイクルにおける、バーナ７ａのストローク長（移動距離）を略一定にすることができる。したがって、各往復サイクルにおけるバーナ７ａの移動時間を一定にすることができる。
【００４６】
バーナ７ｂ、７ｃについても、同様である。なお、前述のように、バーナ７ａ、７ｂ、７ｃのそれぞれの上端反転位置１１ａ、１１ｂ、１１ｃおよび下端反転位置１３ａ、１３ｂ、１３ｃの変動は、図において平行でなくてもよく、互いに交差してもよい。すなわち、変動周期をバーナ毎にずらしてもよい。
【００４７】
第２の実施形態によっても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、各往復サイクルにおいて、それぞれのバーナのストローク長（移動距離）が略一定である。このため、バーナの移動制御が容易である。また、両端部における厚み（重量）ばらつきを抑制することができる。
【００４８】
次に、第３の実施の形態について説明する。図３は、第３の実施形態にかかるバーナ７ａ、７ｂ、７ｃの動作を示す図である。第３の実施の形態は、第２の実施の形態と略同一であるが、バーナ７ｃの動作が異なる。バーナ７ｃは、バーナ７ａ、７ｂ、７ｃの内で、最も下方まで移動するバーナである。本実施形態では、最も下方まで移動するバーナ７ｃの往復サイクル毎の下端反転位置１３ｃ、上端反転位置１１ｃの変動幅が、他のバーナ７ａ、７ｂの下端反転位置１３ａ、１３ｂ、上端反転位置１１ａ、１１ｂの変動幅に対して大きい。
【００４９】
例えば、バーナ７ａ、７ｂの往復サイクル（ｍ）における下端反転位置１３ａ、１３ｂおよび上端反転位置１１ａ、１１ｂに対して、往復サイクル（ｍ＋１）における下端反転位置１３ａ、１３ｂおよび上端反転位置１１ａ、１１ｂを１０ｍｍ上方にずらした場合、バーナ７ｃの往復サイクル（ｍ）における下端反転位置１３ｃおよび上端反転位置１１ｃに対して、往復サイクル（ｍ＋１）における下端反転位置１３ｃおよび上端反転位置１１ｃを１２〜１３ｍｍ（例えば他のバーナの変動量の２０〜３０％程度大きく）上方にずらすようにする。
【００５０】
第３の実施の形態によれば、多孔質ファイバ母材の下端における密度ばらつきの要因となりやすい最も下方で反転するバーナの反転位置の変動量を、他のバーナと比較して大きくすることで、密度ばらつきをより確実に抑制することができる。
【００５１】
次に、第４の実施の形態について説明する。図４は、第４の実施形態にかかるバーナ７ａ、７ｂ、７ｃの動作を示す図である。第４の実施の形態は、第２の実施の形態と略同一であるが、バーナ７ａ、７ｂ、７ｃの反転位置を、１往復サイクルごとに変えるのではなく、所定サイクル数ごとに変えるものである。
【００５２】
図４に示す例では、例えば、バーナ７ａの往復サイクル（ｍ）、（ｍ＋１）における下端反転位置１３ａおよび上端反転位置１１ａは、変動せずに一定であるが、往復サイクル（ｍ＋２）へ移行する際に、下端反転位置１３ａおよび上端反転位置１１ａを変動させる。また、往復サイクル（ｍ＋２）、（ｍ＋３）における下端反転位置１３ａおよび上端反転位置１１ａは、変動せずに一定とする。以上をバーナ７ｂ、７ｃについても同様に繰り返す。
【００５３】
このように、本発明は、１サイクル毎に反転位置を変える必要はなく、所定の往復サイクル（例えば２サイクル〜６０サイクル）毎に異なる位置でバーナを反転させればよい。このようにしても、前述の実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、所定往復サイクル数ごとに反転位置を変動させるのではなく、所定時間（例えば１分〜３０分）毎に、反転位置を変動させてもよい。
【実施例】
【００５４】
Φ２００ｍｍ以上であって、良品部が１０００ｍｍ以上となるように多孔質ファイバ母材を製造した。従来のように、それぞれのバーナについて、反転位置を一定にした場合（図７に示す例）においては、下端の反転位置に相当する部位に、皺と呼ばれる表面の荒れが発生した。
【００５５】
これに対し、往復サイクル毎に、バーナ７ａ、７ｂ、７ｃの下端の反転位置を表１のように変化させた。なお、それぞれのバーナは、表１のサイクル（ｍ）〜（ｍ＋３）を繰り返した。なお、表中の数値は、下端反転位置について、装置の下方の基準位置からの距離を示す。
【００５６】
【表１】
0005546579.tif 000002
【００５７】
表１のように、各バーナの反転位置を往復サイクルに応じて変動させることで、下端反転位置近傍における密度分布が滑らかとなり、ガラス化後に皺等の発生は見られなかった。
【００５８】
同様に、バーナ７ａ、７ｂ、７ｃの下端の反転位置を表２のように変化させた。その結果、表１の場合と比較して同様の効果を得ることできた。
【００５９】
【表２】
0005546579.tif 000003
【００６０】
以上、添付図を参照しながら、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の技術的範囲は、前述した実施の形態に左右されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００６１】
例えば、前述した各実施形態は、互いに組み合わせることができる。
【符号の説明】
【００６２】
１………光ファイバ母材製造装置
３………多孔質ファイバ母材
５………ターゲット
７ａ、７ｂ、７ｃ………バーナ
９………補助バーナ
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ………上端反転位置
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ………下端反転位置
１５………気泡
１７………ガラス母材
２０………光ファイバ母材製造装置
２２………ターゲット支持機構
２３………Ｕ字フレーム
２４ａ、２５ｂ………チャック
２５………モータ
２７ａ、２７ｂ………トラバース機構
２８ａ、２８ｂ………スクリュー軸
２９ａ、２９ｂ………Ｕ字フレーム
３０ａ、３０ｂ………モータ
３２………ガス供給装置
【図１】
0005546579.tif 000004
【図２】
0005546579.tif 000005
【図３】
0005546579.tif 000006
【図４】
0005546579.tif 000007
【図５】
0005546579.tif 000008
【図６】
0005546579.tif 000009
【図７】
0005546579.tif 000010
【図８】
0005546579.tif 000011