(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検者眼角膜に対し超音波ビームを非接触にて送信し，受信するための送受信部を有する超音波探触子と、前記探触子によって受信された角膜反射波の特性に基づいて被検者眼の眼圧を測定する演算部と、を備える非接触式超音波眼圧計において、
前記探触子からの出力信号に基づいて前記超音波ビームの伝搬経路における被検者眼の瞼／睫の有無を検知する第１検知手段と、
被検眼に向けて光を照射する光源と、前記光源による被検眼からの反射光を受光する受光素子と、を有し、前記受光素子からの出力信号に基づいて前記超音波ビームの伝搬経路における被検者眼の瞼／睫の有無を光学的に検知する第２検知手段と、を備えることを特徴とする非接触式超音波眼圧計。
【請求項２】
請求項１の非接触式超音波眼圧計において、前記第１検知手段及び前記第２検知手段による両検知結果に基づいて被検者眼の開瞼状態が測定に十分か判定する開瞼状態判定手段を有し、
第１検知手段及び前記第２検知手段による両検知結果が瞼／睫無しの場合、開瞼状態が十分と判定し、前記第１検知手段及び前記第２検知手段による検知結果の少なくともいずれかにおいて瞼／睫有りの場合、開瞼状態が不十分と判定することを特徴とする非接触式超音波眼圧計。
【請求項３】
請求項２の非接触式超音波眼圧計において、前記演算部は、前記開瞼状態判定手段によって開瞼状態が十分と判定されたときに取得された角膜反射波に基づく眼圧値を測定結果として出力することを特徴とする非接触式超音波眼圧計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波を用いて非接触にて被検者眼の眼圧を測定する非接触式超音波眼圧計に関する。
【背景技術】
【０００２】
超音波を用いて非接触にて被検者眼の眼圧を測定する装置としては、被検者眼（ただし、模型眼）に入射させる超音波を発する振動子と被検者眼で反射された超音波を検出するセンサとを有する探触子を有し、探触子から出力される信号に基づいて眼圧を測定する装置が提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２００８／０７２５２７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記のような非接触式超音波眼圧計において、被検者眼の開瞼状態が十分でない場合（例えば、測定中に瞬きがあった場合）、被検者眼に入射される超音波が瞼（又は睫）によって遮られてしまい、角膜反射波を適正に検出できずに測定エラーとなる可能性がある。
【０００５】
本発明は、上記従来技術を鑑み、被検者眼の眼圧を好適に測定できる非接触式超音波眼圧計を提供することを技術課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とする。
【０００７】
（１）  被検者眼角膜に対し超音波ビームを非接触にて送信し，受信するための送受信部を有する超音波探触子と、前記探触子によって受信された角膜反射波の特性に基づいて被検者眼の眼圧を測定する演算部と、を備える非接触式超音波眼圧計において、
前記探触子からの出力信号に基づいて前記超音波ビームの伝搬経路における被検者眼の瞼／睫の有無を検知する第１検知手段と、
被検眼に向けて光を照射する光源と、前記光源による被検眼からの反射光を受光する受光素子と、を有し、前記受光素子からの出力信号に基づいて前記超音波ビームの伝搬経路における被検者眼の瞼／睫の有無を光学的に検知する第２検知手段と、を備えることを特徴とする。
（２）  （１）の非接触式超音波眼圧計において、前記第１検知手段及び前記第２検知手段による両検知結果に基づいて被検者眼の開瞼状態が測定に十分か判定する開瞼状態判定手段を有し、
第１検知手段及び前記第２検知手段による両検知結果が瞼／睫無しの場合、開瞼状態が十分と判定し、前記第１検知手段及び前記第２検知手段による検知結果の少なくともいずれかにおいて瞼／睫有りの場合、開瞼状態が不十分と判定することを特徴とする。
（３）  （２）の非接触式超音波眼圧計において、前記演算部は、前記開瞼状態判定手段によって開瞼状態が十分と判定されたときに取得された角膜反射波に基づく眼圧値を測定結果として出力することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、被検者眼の眼圧を好適に測定できる。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１は、本実施形態に係る非接触式超音波眼圧計の測定系及び光学系の概略構成図である。なお、以下の測定系及び光学系は、図示無き筐体に内蔵されている。また、その筐体は、周知のアライメント用移動機構により、被検者眼Ｅに対して三次元的に移動されてもよい。また、手持ちタイプ（ハンディタイプ）であってもよい。
【００１０】
超音波探触子１０は、空気を媒体として被検者眼Ｅの角膜Ｅｃに向けて超音波ビーム（パルス波又は連続波）を出射し、また、角膜Ｅｃで反射された超音波ビームを検出する。探触子１０は、超音波の送受信部１１として、角膜Ｅｃに入射させる超音波（入射波）を出射する送信部１２と、角膜Ｅｃで反射された超音波（反射波）を検出する受信部１３と、を有し、被検者眼Ｅの眼圧を非接触で測定するために用いられる。なお、本実施形態の探触子１０は、送信部１２と受信部１３とが別構成となっており、それぞれ異なる位置に配置されている。もちろん、これに限るものではなく、送信部１２と受信部１３とが兼用されていてもよい。
【００１１】
本装置の光学系としては、被検者眼Ｅの前眼部を正面方向から観察するための観察光学系２０と、被検者眼Ｅを固視させるための固視標投影（呈示）光学系３０と、上下左右方向のアライメント状態検出用の第１指標を角膜Ｅｃに投影するための第１指標投影光学系４０と、前後方向である作動距離方向のアライメント状態検出用の第２指標を角膜Ｅｃに投影するための第２指標投影光学系５０と、角膜Ｅｃに投影された第２指標を検出するための指標検出光学系５５と、第３指標投影光学系３８と、が設けられている。
【００１２】
観察光学系２０は、対物レンズ２２と、結像レンズ２４と、二次元撮像素子２６と、を有し、その光軸（観察光軸）Ｌ１が送受信部１１の中心軸と略同軸となるように配置されている。このため、被検者眼Ｅの所定部位（例えば、角膜中心、瞳孔中心）に対して観察光軸Ｌ１がアライメントされると、被検者眼Ｅに対する探触子１０の上下左右方向のアライメントがなされる。
【００１３】
第３指標投影光学系３８によって照明された被検者眼Ｅの前眼部像は、開口部１５を通過し、対物レンズ２２を透過し、ハーフミラー４６を透過し、ダイクロイックミラー３６を透過し、結像レンズ２４によって撮像素子２６に結像する。撮像素子２６によって撮像された前眼部像は、後述するモニタ７２に表示される。
【００１４】
固視標投影光学系３０は、可視光源３２を有し、被検者眼Ｅを固視させるための固視標を被検者眼Ｅに投影する。光源３２からの可視光は、赤外光を透過して可視光を反射するダイクロイックミラー３６で反射され、ハーフミラー４６を透過し、対物レンズ２２を透過して被検者眼Ｅの眼底に投影される。固視標投影光学系３０の光軸Ｌ２は、観察光学系２０の光路（観察光路）中に配置されたダイクロイックミラー３６によって観察光軸Ｌ１と同軸にされている。
【００１５】
第１指標投影光学系４０は、赤外光源４２を有し、上下左右方向のアライメント状態検出用の第１指標である赤外光を正面方向から角膜Ｅｃに投影する。光源４２からの赤外光は、ハーフミラー４６で反射され、対物レンズ２２を透過して角膜Ｅｃに投影される。これにより、光源４２の虚像である指標ｉ１を形成する。第１指標投影光学系４０の光軸Ｌ３は、観察光路（観察光束の光路）中に配置されたハーフミラー４６によって観察光軸Ｌ１と同軸にされている。
【００１６】
観察光学系２０は、第１指標投影光学系４０によって角膜Ｅｃに形成された第１指標像を検出する（角膜Ｅｃで反射された光源４１からの赤外光を受光する）。すなわち、観察光学系２０は、指標検出光学系を兼ねる。撮像素子２６によって撮像された第１指標像は、モニタ７２に表示される（図４の点像ｉ１０参照）。
【００１７】
第２指標投影光学系５０は、赤外光源５１を有し、作動距離方向のアライメント状態検出用の第２指標である赤外光を斜め方向から角膜Ｅｃに投影する。
【００１８】
指標検出光学系５５は、位置検出素子（例えば、ラインＣＣ）５８を有し、第２指標投影光学系５０によって角膜Ｅｃに形成された第２指標像を検出する（角膜Ｅｃで反射された光源５１からの赤外光を受光する）。なお、作動距離方向のアライメント状態の検出は、探触子１０によって行われてもよい（例えば、被検者眼に出射された超音波が探触子１０に戻っているまでの時間が距離に換算される）。
【００１９】
第３指標投影光学系３８は４個の光源３８ａ〜３８ｄを持ち（図１及び図２参照）、探触子１０より外側に配置されている。光源３８ａと３８ｂ及び光源３８ｃと３８ｄは、それぞれ光軸Ｌ１を挟んで同じ高さ距離に配置され、指標の光学的距離を同一にしている。光源３８ａ〜３８ｄは第１指標投影光学系の光源と同じ波長の赤外光を出射する。光源３８ａ、３８ｂからの光は被検眼の角膜周辺に向けて斜め上方向から照射され、光源３８ａ、３８ｂの虚像である指標ｉ２、ｉ３を形成する。また、光源３８ａ、３８ｂは開瞼状態を光学的に検出する（後述する）ための光源を兼ねている。光源３８ｃ、３８ｄからの光は被検眼の角膜周辺に向けて斜め下方向から照射され、光源３８ｃ、３８ｄの虚像である指標ｉ４、ｉ５を形成する。光源３８ａ〜３８ｄは被検眼前眼部を照明する照明用光源を兼ねている。
【００２０】
第３指標投影光学系３８は、複数のアライメント指標を被検眼に対して投影し、少なくとも一つが被検眼角膜中心部より上側に投影されるように（指標ｉ２、指標ｉ３），他のアライメント指標は前記角膜中心部及び／または該中心部より下側に投影されるように（指標ｉ１、指標ｉ４、指標ｉ５）構成される。なお、本実施形態では、指標投影系は、探触子１０による超音波ビームの照射エリアの上方に角膜輝点が少なくとも一つ形成されるように配置されている。
【００２１】
４個の指標ｉ２、ｉ３、ｉ４、ｉ５の光束は、観察光学系２０を介して撮像素子２６に入射し、撮像素子２６上に像を形成する。
【００２２】
図２は、本実施形態に係る探触子１０を正面から見たときの概略構成図である。探触子１０は、その中心部に、観察光路として用いるのに十分な大きさを持つ開口部１５を有し、送受信部１１が開口部１５を囲むように配置されている。
【００２３】
より具体的には、送受信部１１は、開口部１５に対応する内径を持つ貫通孔が形成されたベース部１０ａの被検者眼Ｅ側に配置されており、貫通孔の外側に略円環状に配置されている。また、送信部１２と受信部１３とは、それぞれ異なる位置に同心円状に配置されている。
【００２４】
なお、図２の場合、送信部１２が内側に配置され、受信部１３が外側に配置されているが、受信部１３が内側に配置され、送信部１２が外側に配置されていてもよい。
【００２５】
また、対物レンズ２２は、開口部１５に配置されている。もちろん、開口部１５には他の光学部材（例えば、ガラス板、フィルタ、等）が配置されていてもよいし、また、前述のような光学部材が配置されていなくてもよい。
【００２６】
また、開口部１５は、観察光学系２０による観察範囲が許容できる範囲で確保されるように、観察光学系２０による被検者眼の観察のために十分な大きさを持つ。例えば、開口部１５の大きさ（ベース部１０ａの貫通孔の内径）は、被検者眼に対するアライメントがスムーズに行えるか、前眼部の状態が良好に確認できるか、等を考慮して適宜決定される。また、開口部１５の形状は、正円形に限るものではなく、種々の形状（例えば、矩形、楕円形、等）であってもよい。
【００２７】
また、送受信部１１には、空気中での伝播効率を高めるために、広帯域の周波数成分を持つ超音波ビームを送受信する空気結合型の超音波送受信部（超音波探触子）が用いられることが好ましい。この場合、マイクロアコースティック（Microacoustic）社のBATTM探触子を用いることができる。このような探触子の詳細については、米国特許５２８７３３１号公報、特表２００５−５０６７８３号公報、等を参照されたい。もちろん、これに限るものではなく、ピエゾ型の超音波送受信部（超音波探触子）が用いられてもよい。
【００２８】
図３は、本実施形態に係る装置の制御系の概略ブロック図である。演算制御部（以下、制御部と省略する）７０は、装置全体の制御等を行う。また、探触子１０からの出力信号を処理して被検者眼Ｅの眼圧を求める。探触子１０（送受信部１１）は増幅器８１に接続されており、探触子１０から出力された電気信号は増幅器８１によって増幅され、制御部７０に入力される。また、演算制御部７０には、撮像素子２６、光源３２、光源３８ａ〜３８ｄ、光源４２、光源５１、位置検出素子５８、モニタ７２、メモリ７５、等が接続されている。なお、メモリ７５には、探触子１０を用いて眼圧を測定するための測定プログラム、装置全体の制御を行うための制御プログラム、等が記憶されている。
【００２９】
なお、眼圧測定用の角膜反射波を検出する探触子１０と、探触子１０からの出力信号を得る制御部７０は、超音波ビームの伝搬経路における被検者眼の瞼／睫の有無を検知するセンサとして用いられる。
【００３０】
また、第３指標投影光学系３８と、撮像素子（受光素子）２６を持つ観察光学系２０と、撮像素子２６からの出力信号を得る制御部７０は、超音波ビームの伝搬経路における被検者眼の瞼／睫の有無を光学的に検知するセンサとして用いられる。なお、第３指標投影光学系３８及び観察光学系２０は、超音波ビームに対する瞼／睫の有無を光学的に検知するための検知光学系として用いられる。
【００３１】
そして、上記２つのセンサによる検知結果は、被検眼の開瞼状態の複合的判定に利用される。そして、判定結果は、反射波の適否判定、測定された眼圧値のエラー判定、開瞼状態情報の検者への報知、等に利用される（詳しくは、後述する）。
【００３２】
以上のような構成を備える装置において、被検者眼Ｅの眼圧を測定する場合について説明する。まず、検者は、被検者に固視標を注視させる。また、モニタ７２に表示された前眼部像を観察しながら、被検者眼Ｅに対する探触子１０のアライメントを行う。このとき、演算制御部７０は、図４に示すように、撮像素子２６によって撮像された指標像ｉ１０〜ｉ５０を含む前眼部像と後述するレチクルＬＴ及びインジケータＧとをモニタ７２に表示する。なお、演算制御部７０は、位置検出素子５８からの出力信号に基づいて作動距離方向のアライメント状態を検出し、その検出結果に基づいてインジケータＧの表示を制御する。
【００３３】
検者は、第１指標像ｉ１０がレチクルＬＴ内に入るように、上下左右方向のアライメントを行う。また、インジケータＧが適正な表示状態（例えば、インジゲータが一本の状態）となるように、作動距離方向のアライメントを行う。
【００３４】
上下左右前後方向のアライメントが完了され、所定のトリガ信号が手動で又は自動的に入力されると、制御部７０は、角膜Ｅｃ上の微小領域（例えば、直径０．６ｍｍ）に向けて送信部１２から超音波ビームを連続的に出射し、その角膜Ｅｃで反射された超音波ビームを受信部１３で検出する。
【００３５】
図５は、探触子１０から出力される反射波の検出信号を示す波形図である。制御部７０は、反射波の検出信号に基づいて超音波ビームの伝搬経路における被検者眼の瞼／睫の有無を判定する。
【００３６】
瞼がしっかり開いている場合、被検者眼に照射された超音波は、瞼（睫）によってけられることなく、角膜で反射されるため、眼圧測定に十分な反射波が探触子１０によって検出される。一方、瞼が閉じている又は睫が下がっている場合、被検者眼に照射された超音波は、角膜に到達することなく、瞼（睫）の表面で乱反射されてしまい（瞼（睫）でけられてしまう）、探触子１０には、ごく微量の超音波しか検出されない場合がある。もちろん超音波が睫の隙間を通過する場合も有りうる。
【００３７】
そこで、制御部７０は、音響強度Ｖが所定値Ｖｓ以上か否かより瞼／睫の有無を判定する。音響強度Ｖが所定値Ｖｓ以上であれば、瞼／睫無しと判定される。また、音響強度Ｖが所定値Ｖｓより小さければ、瞼／睫有りと判定される。
【００３８】
また、制御部７０は、上記探触子１０による瞼／睫検知と共に、撮像素子２６から出力される反射光の検出信号に基づいて超音波ビームの伝搬経路における被検者眼の瞼／睫の有無を判定する。
【００３９】
瞼の開き具合が十分でないと、光源３８ａ及び３８ｂから出射した光束は、瞼又は睫の表面で乱反射され、撮像素子２６上で大きく広がって入射する。そこで、制御部７０は、指標像ｉ20又はｉ30の少なくともいずれか一方が所定のエリア内に検出され、かつ、その光量出力が所定値以上か否かにより、瞼／睫の有無を判定する。ここで、前述の条件を満たしていれば、瞼／睫無しと判定され、前述の条件を満たさなければ、瞼／睫有り（又はその可能性が高い）と判定される。
【００４０】
上記のようにして探触子１０及び撮像素子２６による瞼／睫の有無の検知結果が得られたら、制御部７０は、両方の検知結果に基づいて開瞼状態が測定に十分か否かを判定する。制御部７０は、探触子１０及び撮像素子２６による検知結果の少なくともいずれかにおいて瞼／睫有りの場合、開瞼状態が不十分と判定する。一方、両検知結果が瞼／睫無しの場合、開瞼状態が十分と判定する。
【００４１】
そして、制御部７０は、前述のように開瞼状態が十分と判定されたときに取得された角膜反射波に基づく眼圧値を測定結果として出力する。より具体的には、制御部７０は、連続的に取得される各角膜反射波Ｔｂに対し、両検知結果に基づく開瞼状態の適否を判定する。すなわち、開瞼状態が十分と判定された反射波は、適正な眼圧値の算出が可能な反射波として判定される。また、開瞼状態が不十分と判定された反射波は、瞼・睫によってケラレた反射波若しくはケラレた可能性が高い反射波として判定され、測定対象から除外される。
【００４２】
そして、眼圧値の算出が可能な反射波に対し、制御部７０は、その角膜反射波の特性（例えば、振幅、位相、等）に基づいて眼圧値を算出する。そして、測定値が所定数得られると、制御部７０は、測定を終了し、算出された測定値をモニタ７２に出力する（紙出力、外部装置へのデータ出力でもよい）。この場合、各反射波に対応する眼圧値、取得された所定数の眼圧値における平均値・最大値・最小値・中間値等、が出力されるようなことが考えられる。この場合、眼の脈動による眼圧の変動が示された測定結果が表示されるようにしてもよい。
【００４３】
以上示したように、探触子１０及び撮像素子２６の両検知結果を用いて開瞼状態を判定することにより、探触子１０による検知では看過されてしまうケースを撮像素子２６による検知にてチェックできるため、瞬き及び瞼／睫の下垂による測定結果の変動を回避できる。
【００４４】
ここで、探触子１０を用いて超音波ビームに対する瞼／睫の有無が検知されることにより、瞼／睫による超音波のケラレが直接的に検知される。ただし、瞼・睫によってわずかに超音波がケラレたような場合、反射波の出力変動が小さいために、許容範囲内と判定され、得られた測定値が被検眼の眼圧を適正に反映したものにならない可能性がある。
【００４５】
そこで、被検眼の角膜上部に照射された光による反射光を受光する撮像素子２６を用いて超音波ビームに対する瞼／睫の有無が検知されることにより、超音波照射領域より広範囲での瞼／睫の検知が可能となる。よって、前述のように探触子１０による検知では瞼／睫無しとされた場合であっても、実際には、瞼が若干閉じていたり，睫が下がっていて、超音波がケラレている若しくはその可能性が高いような場合、撮像素子２６にてこれを検知できる。
【００４６】
なお、上記構成において、制御部７０は、両検知結果に基づく開瞼状態の適否の判定結果をモニタ７２上に表示してもよい。この場合、例えば、開瞼が不十分と判定された場合、開瞼を行う旨がモニタ７２上で報知される（例えば、「ＯＰＥＮ  ＴＨＥ  ＥＹＥ」、「瞼・睫による超音波のケラレがあり」、等の表示）。なお、音声発生部を設け、開瞼を行う旨が音声によって報知されるようにしてもよい。
【００４７】
この場合、検者は、開瞼状態を適正とするために、被検者に開瞼を促したり、検者の手を使って瞼・睫を上げる、等の動作を行う。ここで、開瞼状態が適正な状態になれば、開瞼を行う旨の報知が終了される。
【００４８】
また、探触子１０及び撮像素子２６による各検知結果がそれぞれ報知される（例えば、モニタ７２上にて表示）されることにより、検者は、被検眼の状態に応じた適切な対応を取ることができる。
【００４９】
例えば、制御部７０は、探触子１０による検知結果が瞼／睫有りの場合、「瞼・睫による超音波のケラレがあり」を表示する。この場合、検者は、微小領域での超音波のケラレの可能性が高いため、被検眼を大きく開いてもらう旨のアドバイスを送ることができる。
【００５０】
また、撮像素子２６による検知結果が瞼／睫有りの場合、制御部７０は、「ＯＰＥＮ  ＴＨＥ  ＥＹＥ」を表示する。この場合、被検者のみでは開瞼できない可能性（例えば、眼瞼下垂の場合）があるので、検者の手で開瞼することが考えられる。
【００５１】
また、制御部７０は、所定の選択信号に基づいて、探触子１０による瞼／睫検知に加えて、撮像素子２６による瞼／睫検知を作動させるか否かを選択できるようにしてもよい。この場合、検者による所定のスイッチ操作、又は自動的に選択が行われるようにしてもよい。例えば、探触子１０による検知のみに設定した場合、測定をスムーズに行うことができる。
【００５２】
なお、以上の説明においては、前眼部像を撮像する撮像素子２６を瞼／睫検知用の受光素子として用いたが、これに限るものではなく、専用の受光素子を設けてもよい。また、角膜指標像に基づく瞼／睫検知の他、被検眼に向けて照射された光による反射光を検出して瞼／睫を検知する構成であればよい。例えば、撮像素子２６上の前眼部像から瞼／睫を画像処理により抽出して瞼／睫検知を行うようにしてもよい。
【００５３】
なお、以上の説明においては、角膜反射波毎に開瞼状態の適否を判定したが、連続的に取得された角膜反射波の集合を所定時間毎に分割し、分割された各反射波群に対して開瞼判定を行うようにしてもよい。
【００５４】
また、上記構成に限るものではなく、制御部７０は、探触子１０及び撮像素子２６による両検知結果に基づいて開瞼十分と判定されたときに、眼圧測定開始のトリガ信号を発生させ、その後に取得された角膜反射波に基づいて眼圧値を得るようにしてもよい。
【００５５】
また、上記構成に限るものではなく、開瞼状態が不十分と判定された反射波に基づく眼圧値をモニタ７２に表示し、同時に、測定エラー又は信頼度が低い旨のメッセージを表示するようにしてもよい。また、エラー表示を行う場合、探触子１０による検知結果に基づくエラーと、撮像素子２６による検知結果に基づくエラーと、が判別して表示されるようにしてもよい。
【００５６】
なお、以上の説明においては、探触子１０及び撮像素子２６からの出力信号に基づいて瞼／睫を検知し、その検知結果を表示したが、以下の手法を用いてもよい。例えば、制御部７０は、撮像素子２６からの撮像信号に基づいて探触子１０による超音波ビーム出射時の前眼部像を静止画としてメモリ７５に記憶しておき、測定終了後、メモリ７５に記憶された前眼部像の静止画をモニタ７２に表示するようにしてもよい。このようにすれば、検者は、眼圧測定時における静止画を見ながら開瞼状態の適否を判断できる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本実施形態に係る非接触式超音波眼圧計の測定系及び光学系の概略構成図である。
【図２】本実施形態に係る探触子１０を正面から見たときの概略構成図である。
【図３】本実施形態に係る装置の制御系の概略ブロック図である。
【図４】本実施形態に係る前眼部観察画面を示す図である。
【図５】探触子から出力される反射波の検出信号を示す波形図である。
【符号の説明】
【００５８】
１０  探触子
２６  撮像素子（受光素子）
３８  第３指標投影光学系
７０  演算制御部
７２  モニタ
【図１】
0005410923.tif 000002
【図２】
0005410923.tif 000003
【図３】
0005410923.tif 000004
【図４】
0005410923.tif 000005
【図５】
0005410923.tif 000006