(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の第１接合面を備える半円筒状の第１部材と、
一対の第２接合面を備える半円筒状の第２部材とが、前記第１接合面と前記第２接合面で接合されて構成された円筒状の管構造体において、
前記第１接合面は、第１部材の内周側に位置する第１基準面と、第１部材の外周側に位置する第１基準面と段違いに形成された第１段差面と、前記第１基準面と前記第１段差面とを連絡する第１連絡面からなり、
前記第２接合面は、第２部材の内周側に位置する第２基準面と、第２部材の外周側に位置する第２基準面と段違いに形成された第２段差面と、前記第２基準面と前記第２段差面とを連絡する第２連絡面からなり、
前記管構造体は、前記第１基準面と前記第２基準面、及び、前記第１連絡面と前記第２連絡面が、それぞれ接着剤を介さずに接し、かつ、前記第１段差面と前記第２段差面が接着剤を介して接してなることを特徴とする光学素子接続部材用管構造体。
【請求項２】
前記管構造体の材質が、セラミックスであることを特徴とする請求項１に記載の光学素子接続部材用管構造体。
【請求項３】
前記セラミックスは、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、アルミナ、ジルコニア、ムライト、ホウ化チタン、及びそれらの複合材から選ばれた一種であることを特徴とする請求項２に記載の光学素子接続部材用管構造体。
【請求項４】
前記管構造体の材質が、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、アルミナ、ジルコニア、ムライト、ホウ化チタン、及びそれらの複合材から選ばれた一種が６０体積％以上含まれる組成である複合セラミックスであることを特徴とする請求項１に記載の光学素子接続部材用管構造体。
【請求項５】
前記管構造体の材質が、超硬であることを特徴とする請求項１に記載の光学素子接続部材用管構造体。
【請求項６】
前記超硬は、ＷＣ粒の平均粒径が０．５〜１０μｍであり、バインダー金属がＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒから少なくとも一種以上選ばれ、バインダー金属の配合量が８〜１５質量％であることを特徴とする請求項５に記載の光学素子接続部材用管構造体。
【請求項７】
前記管構造体の材質が、ハイスであることを特徴とする請求項１に記載の光学素子接続部材用管構造体。
【請求項８】
前記ハイスは、Ｈｖ硬度が２５０以上であることを特徴とする請求項７に記載の光学素子接続部材用管構造体。
【請求項９】
前記管構造体の内径精度が、±３０μｍ以内であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の光学素子接続部材用管構造体。
【請求項１０】
第１部材の内周側に位置する第１基準面と、第１部材の外周側に位置する第１段差面と、前記第１基準面と前記第１段差面を連絡する第１連絡面からなる一対の第１接合面を備える半円筒状の第１部材と、
第２部材の内周側に位置する第２基準面と、第２部材の外周側に位置する第２段差面と、前記第２基準面と前記第２段差面を連絡する第２連絡面からなる一対の第２接合面を備える半円筒状の第２部材を接合して円筒状の管構造体を製造する方法において、
前記第１基準面と前記第２基準面、及び、前記第１連絡面と前記第２連絡面を、それぞれ接着剤を介さずに接触させ、かつ、前記第１段差面と前記第２段差面を接着剤を介して接触させて接合することを特徴とする光学素子接続部材用管構造体の製造方法。
【請求項１１】
前記管構造体の材質が、セラミックスであることを特徴とする請求項１０に記載の光学素子接続部材用管構造体の製造方法。
【請求項１２】
前記セラミックスは、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、アルミナ、ジルコニア、ムライト、ホウ化チタン、及びそれらの複合材からなる群から選ばれた一種であることを特徴とする請求項１１に記載の光学素子接続部材用管構造体の製造方法。
【請求項１３】
前記管構造体の材質が、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、アルミナ、ジルコニア、ムライト、ホウ化チタン、及びそれらの複合材からなる群から選ばれた一種が６０体積％以上含まれる組成である複合セラミックスであることを特徴とする請求項１０に記載の光学素子接続部材用管構造体の製造方法。
【請求項１４】
前記管構造体の材質が、超硬であることを特徴とする請求項１０に記載の光学素子接続部材用管構造体の製造方法。
【請求項１５】
前記超硬は、ＷＣ粒の平均粒径が０．５〜１０μｍでバインダー金属がＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒから少なくとも一種以上選ばれ、配合量として８〜１５質量％であることを特徴とする請求項１４に記載の光学素子接続部材用管構造体の製造方法。
【請求項１６】
前記管構造体の材質が、ハイスであることを特徴とする請求項１０に記載の光学素子接続部材用管構造体の製造方法。
【請求項１７】
前記ハイスは、Ｈｖ硬度が２５０以上であることを特徴とする請求項１６に記載の光学素子接続部材用管構造体の製造方法。
【請求項１８】
前記管構造体の内径精度が、±３０μｍ以内であることを特徴とする請求項１０〜１７のいずれか１項に記載の光学素子接続部材用管構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、極めて高精度な内径加工を具備する難加工材の管構造体及びその製造方法に関し、特に、難切削性のセラミックス、超硬、又は、ハイス等からなる長尺及び／又は小径管の内径精度を従来以上に高められ、さらに、内周側の面粗さを任意に調整できる簡便な光学素子接続部材用管構造体の管加工法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に光学素子接続部材用微細管部品は、光フェルール、メカニカルスプライス用のコネクタに使用されており、産業上、高い有用性がある。近年、特に長尺材で高精度の内径加工が要求される光関連部品においては、微細管部品の市場が拡大している。
【０００３】
微細管部品は、微細孔のある長尺な円筒形状体に研削による機械加工を施し、外径、内径、及び同心度を、μｍオーダー以下の寸法精度で仕上げ製造する。光関連部品では、内周部に高精度に嵌め合わせる部材があるため、機械加工を施す上で、より高精度な長尺の円筒形状体が必要とされ、また簡易で量産化が可能な長尺な円筒形状体の製造方法が要望されている。
【０００４】
長尺の円筒形状体は、その目的用途に応じて、様々な仕様（外径、内径、肉厚、長さ、面粗さ、色・反射率・光沢）、形状（直線、Ｕ字、Ｌ字）、材質（高硬度、耐腐食、高剛性、高強度）で構成される。
【０００５】
一般的に、円筒形状体は、塑性加工が可能な金属材質であれば、所定の板厚の板をスクイズローラと呼ばれる成形用ロールで丸められ、溶接されて、製造される。溶接部の信頼性や内面の真円度から、押出成形やシームレス等の穴あけ加工が施されることも多い。
【０００６】
例えば、特許文献１には、セラミックボールを、管の内周面に接触して管の内部を移動することによって管の内径を調整する管加工法が開示されている。
【０００７】
しかし、難加工性であり押し出し成形不能な高融点材料、例えば、硬質セラミックスや超硬からなる長尺及び／又は細い内径の管の穴あけ加工は、高精度化が困難である。そのため、円研装置の砥石の支持構造や支持材料を改良し、微細管部品を高剛性化するしか方法がなかった。
【０００８】
製品としての微細管は、機械加工では困難とされる長寸で優れた内径精度の微細孔を有し、さらに、光通信部品である光フェルールに代表されるように、内周面の中心軸と外周面の中心軸が極めて高精度に一致した高い同軸度を有することが要求される。
【０００９】
微細管の製造方法として、例えば、金属板を絞る製造方法、高融点材料のように高温下で焼結し円研加工する製造方法、又は、電鋳による製造方法が挙げられる。
【００１０】
優れた寸法精度が要求される光フェルールの製造には、高温下での焼結により円研加工したジルコニアセラミックスが用いられることが多い。しかし、ジルコニアセラミックスは硬質であるので難加工であり、φ数ｍｍ以下の微細孔の研磨加工が必要とされるので、微細管を製造する上で、歩留りの低下を招き、また、生産工程数の増加、生産性の低下、設備コストがかかる等の問題があった。
【００１１】
一方、電鋳による製造方法であり母材芯線の表面に離型処理を施し、該母材芯線を引き抜き又は押し出し除去する方法は、加工性に優れた金属素材にしか使用できないが、この方法は、生産工程数が少ない、生産性が高い、設備コストが低いという利点があり、また、寸法精度においては、機械加工なしでも一定程度の同軸度が得られる（特許文献２参照）。
【００１２】
しかし、この方法は、機械加工が困難な小径、長尺で、高精度な内径加工や内周の面精度が要求される管構造体には対応できず、また、母材芯線除去においての信頼性に欠け、疵が残りやすいため、歩留りの低下を招くという問題が生じていた。
【００１３】
以上のような現状から、高融点材料のため焼結が必要な難加工材の管構造体の製造方法において、かかる問題を解決する技術が必要とされていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００３−１９２４４４号公報
【特許文献２】特開２００６−２９１３４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、かかる実情にかんがみてされたものであり、難切削性のセラミックスや超硬、ハイス等からなる長尺及び／又は小径管の内径精度を従来以上に高められ、内周側の面粗さを任意に調整できる、簡便な光学素子接続部材用管構造体とその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明者らは、難切削性のセラミックスや超硬、ハイス等からなる長尺及び／又は小径の管構造体の製造方法について、鋭意検討した。その結果、円筒管を径方向の断面で分割加工し、接合面に段付き形状を付与し、径方向の内周側と円周方向の合わせ面には接着剤を用いず、径方向の外周側のみで接着固定する製造方法により、内径の加工精度の極めて高い管が製造できることを知見した。
【００１７】
本発明はこのような知見に基づき、さらに検討を進めてなされたものであり、その要旨は以下のとおりである。
【００１８】
（１）一対の第１接合面を備える半円筒状の第１部材と、
一対の第２接合面を備える半円筒状の第２部材とが、前記第１接合面と前記第２接合面で接合されて構成された円筒状の管構造体において、
前記第１接合面は、第１部材の内周側に位置する第１基準面と、第１部材の外周側に位置する第１基準面と段違いに形成された第１段差面と、前記第１基準面と前記第１段差面とを連絡する第１連絡面からなり、
前記第２接合面は、第２部材の内周側に位置する第２基準面と、第２部材の外周側に位置する第２基準面と段違いに形成された第２段差面と、前記第２基準面と前記第２段差面とを連絡する第２連絡面からなり、
前記管構造体は、前記第１基準面と前記第２基準面、及び、前記第１連絡面と前記第２連絡面が、それぞれ接着剤を介さずに接し、かつ、前記第１段差面と前記第２段差面が接着剤を介して接してなることを特徴とする光学素子接続部材用管構造体。
【００１９】
（２）前記管構造体の材質が、セラミックスであることを特徴とする前記（１）の光学素子接続部材用管構造体。
【００２０】
（３）前記セラミックスは、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、アルミナ、ジルコニア、ムライト、ホウ化チタン、及びそれらの複合材から選ばれた一種であることを特徴とする前記（２）の光学素子接続部材用管構造体。
【００２１】
（４）前記管構造体の材質が、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、アルミナ、ジルコニア、ムライト、ホウ化チタン、及びそれらの複合材から選ばれた一種が６０体積％以上含まれる組成である複合セラミックスであることを特徴とする前記（１）の光学素子接続部材用管構造体。
【００２２】
（５）前記管構造体の材質が、超硬であることを特徴とする前記（１）の光学素子接続部材用管構造体。
【００２３】
（６）前記超硬は、ＷＣ粒の平均粒径が０．５〜１０μｍであり、バインダー金属がＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒから少なくとも一種以上選ばれ、バインダー金属の配合量が８〜１５質量％であることを特徴とする前記（５）の光学素子接続部材用管構造体。
【００２４】
（７）前記管構造体の材質が、ハイスであることを特徴とする前記（１）の光学素子接続部材用管構造体。
【００２５】
（８）前記ハイスは、Ｈｖ硬度が２５０以上であることを特徴とする前記（７）の光学素子接続部材用管構造体。
【００２６】
（９）前記管構造体の内径精度が、±３０μｍ以内であることを特徴とする前記（１）〜（８）のいずれかの光学素子接続部材用管構造体。
【００２７】
（１０）第１部材の内周側に位置する第１基準面と、第１部材の外周側に位置する第１段差面と、前記第１基準面と前記第１段差面を連絡する第１連絡面からなる一対の第１接合面を備える半円筒状の第１部材と、
第２部材の内周側に位置する第２基準面と、第２部材の外周側に位置する第２段差面と、前記第２基準面と前記第２段差面を連絡する第２連絡面からなる一対の第２接合面を備える半円筒状の第２部材を接合して円筒状の管構造体を製造する方法において、
前記第１基準面と前記第２基準面、及び、前記第１連絡面と前記第２連絡面を、それぞれ接着剤を介さずに接触させ、かつ、前記第１段差面と前記第２段差面を接着剤を介して接触させて接合することを特徴とする光学素子接続部材用管構造体の製造方法。
【００２８】
（１１）前記管構造体の材質が、セラミックスであることを特徴とする前記（１０）の光学素子接続部材用管構造体の製造方法。
【００２９】
（１２）前記セラミックスは、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、アルミナ、ジルコニア、ムライト、ホウ化チタン、及びそれらの複合材からなる群から選ばれた一種であることを特徴とする前記（１１）の光学素子接続部材用管構造体の製造方法。
【００３０】
（１３）前記管構造体の材質が、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、アルミナ、ジルコニア、ムライト、ホウ化チタン、及びそれらの複合材からなる群から選ばれた一種が６０体積％以上含まれる組成である複合セラミックスであることを特徴とする前記（１０）の光学素子接続部材用管構造体の製造方法。
【００３１】
（１４）前記管構造体の材質が、超硬であることを特徴とする前記（１０）の光学素子接続部材用管構造体の製造方法。
【００３２】
（１５）前記超硬は、ＷＣ粒の平均粒径が０．５〜１０μｍでバインダー金属がＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒから少なくとも一種以上選ばれ、配合量として８〜１５質量％であることを特徴とする前記（１４）の光学素子接続部材用管構造体の製造方法。
【００３３】
（１６）前記管構造体の材質が、ハイスであることを特徴とする前記（１０）の光学素子接続部材用管構造体の製造方法。
【００３４】
（１７）前記ハイスは、Ｈｖ硬度が２５０以上であることを特徴とする前記（１６）の光学素子接続部材用管構造体の製造方法。
【００３５】
（１８）前記管構造体の内径精度が、±３０μｍ以内であることを特徴とする前記（１０）〜（１７）のいずれかの光学素子接続部材用管構造体の製造方法。
【発明の効果】
【００３６】
本発明によれば、難切削性のセラミックスや超硬、ハイス等の長尺及び／又は小径管の内径精度を従来以上に高められ、内周側の面粗さを任意に調整できる管構造体が製造可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明に係る管構造体の一例の概略を示す図である。
【図２】本発明に係る管構造体の他の例の概略を示す図である。
【図３】径方向に分割・接合された本発明に係る管構造体の長手方向の断面の概略を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
本発明は、２つの半円筒状の部材が組み合わせて円筒状の管構造体を形成することによって、内径の高寸法精度化を達成する。以下、図面を参照し、その構成について詳述する。
【００３９】
図１に、本発明による管構造体の概略を示す。管構造体１は、中空の円筒を半割りにした半円筒状の、第１部材１０及び第２部材２０からなる。第１部材１０は、一対の第１接合面１１を備え、第２部材２０は、一対の第２接合面２１を備え、第１接合面１１と第２接合面２１が接して第１部材１０と第２部材２０が接合することで、管構造体１を形成する。
【００４０】
ここで、第１接合面１１は、図１に示すように、階段状となっており、第１基準面１１ａ、該第１基準面１１ａと段違いに形成された第１段差面１１ｂ、該第１基準面１１ａと該第１段差面１１ｂを連絡する第１連絡面１１ｃからなる。同様に、第２接合面１１は、第２基準面２１ａ、第２段差面２１ｂ、第２連絡面２１ｃからなる。
【００４１】
本発明の管構造体は、第１基準面１１ａと第２基準面２１ａ、及び、第１連絡面１１ｃと第２連絡面２１ｃは、内径寸法や真円度の高精度化のために、隙間を設けない構成とすることを特徴とする。そのため、第１接合面１１と第２接合面２１が接するときに、第１基準面１１ａと第２基準面２１ａ、及び、第１連絡面１１ｃと第２連絡面２１ｃは、接着剤等を介することなく、接する。
【００４２】
そして、第１段差面１１ｃと第２段差面２１ｃの間には隙間（接着剤固定部）３１を設け、それぞれの面は接着剤を用いて接着固定される。
【００４３】
このように、半円筒状の部材の内周側に位置する面は隙間を設けない構成として接着材を用いずに接するようにし、外周側に位置する面のみを接着固定することにより、内径の加工精度が極めて高い管を製造することができる。
【００４４】
図１に示した、第１部材１０、第２部材２０は、形状が異なり、接合面が左右線対称であるが、本発明の管構造体は、この構造に限定されない。例えば、図２に示したように、第１部材、第２部材が同じ形状であり、接合面が点対称でもよい。
【００４５】
また、加工精度の面から、一対の第１基準面及び第２基準面は、管構造体の同一の径上にあり、さらに、第１基準面と第１連絡面、第１連絡面と第１段差面、第２基準面と第２連絡面、及び、第２連絡面と第２段差面は、それぞれ互いに垂直であることが好ましい。このようにすることにより、管構造体を上下方向に重ね合わせて、位置合わせをすることが可能である。
【００４６】
第１段差面と第２段差面の間の隙間は、管構造体の強度を保つため、管構造体の径によって変えることが好ましい。管構造体の径が２０ｍｍ以下であれば２０〜１００μｍ、径が２０ｍｍ超１００ｍｍ以下であれば１００〜３００μｍ、径が１００ｍｍ超であれば０．３〜２ｍｍが好ましい。
【００４７】
第１段差面と第２段差面の接着方法や接着剤の種類は、特に限定されず、公知の有機接着剤による接着、活性金属ロウ付け、セラミックスの液相成分を接着層に充填し相互拡散によって浸透接着する方法などが適用可能である。
【００４８】
また、図３に示すように、本発明の管構造体は、嵌め合わせや加工の容易性の観点から、長手方向に平行に分割される。
【００４９】
本発明の管構造体は、材質が難切削性のセラミックスや超硬、ハイス等の難加工性材料で、長尺及び／又は小径であっても±３０μｍ以内にまで内径精度を高めることができるさらに、径が２０ｍｍ以下の比較的小径の管径であれば±５μｍ以内まで内径精度を高めることができる。
【００５０】
本発明の管構造体は、管構造体の材質が難切削性のセラミックスの場合に好適である。また、上記の難切削性のセラミックスが、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、アルミナ、ジルコニア、ムライト、ホウ化チタン、及びそれらの複合材から選ばれた一種である場合に好適である。
【００５１】
さらに、管構造体の材質が、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、アルミナ、ジルコニア、ムライト、ホウ化チタン、及びそれらの複合材から選ばれた一種が６０体積％以上含まれる複合セラミックスである場合に好適である。窒化珪素などが６０体積％未満の複合セラミックスであっても本発明を適用することはできるが、第２相がネットワーク組織を形成するため易加工性になり、本加工以外の加工法でも内径の高寸法精度化が可能になる。
【００５２】
また、管構造体の内面粗さを、長尺でも小径であっても任意に設定することも可能である。例えば、鏡面仕上げを施して面粗さＲａを０．２μｍ以下にすることも、光沢を無くすため面を粗くして、面粗さＲａを数十μｍ以上にすることもできる。面粗さの調整は、全長に渡って行うことも、部分的に行うことも可能である。
【００５３】
接合前に行う各半円筒の内周面の加工には、ダイヤモンド砥粒をメタルボンドした砥石の他、レジン樹脂ボンド方式、電着方式、ロウ付け固定方式などの砥石を用いることができる。
【００５４】
また、本発明の管構造体は、管構造体の材質が超硬の場合にも好適である。超硬としては、ＷＣ粒の平均粒径が０．５〜１０μｍでバインダー金属がＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒから少なくとも一種以上選ばれ、バインダー金属の配合量が８〜１５質量％である例が挙げられる。
【００５５】
さらに、本発明の管構造体は、管構造体の材質がハイスの場合にも好適であり、特に、Ｈｖ硬度が２５０以上のハイスの場合好適である。
【実施例】
【００５６】
以下、本発明の製造方法の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００５７】
まず、難加工材料として、表１に示す計７種の素材（アルミナ、ジルコニア、窒化珪素、炭化珪素、ホウ化チタン、超硬、ハイス）を用いて、管構造体を作製し、加工法の違いによる内径精度を評価、比較した。７種の素材の組成や密度、機械的特性（硬度、強度）を表１に示す。
【００５８】
上記７種の素材について、それぞれ、（１）φ１０ｍｍ、内径７．５±０．０２ｍｍ、長さ５００ｍｍ、及び、（２）φ６ｍｍ、内径４．２±０．０１ｍｍ、長さ８００ｍｍの２種類の管構造体を作製した。
【００５９】
初めに、φ１０×Ｌ５００ｍｍの細長い円柱状の無垢材を２本用意し、縦割りにし、２つの半円筒状の部材（第１部材、第２部材）を、それぞれ別々に１つずつ作製した。次いで、外周面と同心となるよう研磨して半円溝を形成し、最終的に、内径が、それぞれ、７．５±０．０２ｍｍとなるようにした。その後、溝の外側の未加工部分を研磨して階段状の接合面（第１接合面、第２接合面）を形成した。
【００６０】
同様に、φ６×Ｌ８００ｍｍの円柱状の無垢材２本から、２つの半円状の部材（第１部材、第２部材を作成した）。内径は、４．２±０．０１ｍｍとなるようにした。
【００６１】
φ１０×Ｌ５００ｍｍの無垢材から作成した半円筒状の部材の接合面の幅は、基準面が０．６２５ｍｍ（第１基準面、第２基準面とも。以下、同様）、段差面が０．６２５ｍｍ、連絡面が０．５ｍｍとした。また、φ６×Ｌ８００ｍｍの無垢材から作成した半円筒状の部材の接合面の幅は、基準面が０．４５ｍｍ、段差面が０．４５ｍｍ、連絡面が０．４ｍｍとした。２つの半円筒状の部材のうち、一方の連絡面は外側を向き、もう一方の連絡面は内側を向くことは言うまでもない。
【００６２】
２つの半円筒状の部材の内周面の内周は、半円とした。外周面の外周の長さは、部材を組み合わせたときに、φ１０×Ｌ５００ｍｍの無垢材から作成した部材では５０μｍ、φ６×Ｌ８００ｍｍの無垢材から作成した部材では３５μｍの隙間ができる長さとした。
【００６３】
各半円筒の内周面の加工には、ダイヤモンド（＃４００、＃８００メッシュ）をメタルボンドした砥石を用いた。
【００６４】
作製した２つの部材を組み合わせ、第１基準面と第２基準面が接する面、及び、第１連絡面と第２連絡面とが接する面は、接着剤等を用いずに接するようにし、第１段差面と第２段差面が接する面のみ、有機接着剤で固定して接合を行った。表２に、得られた管構造体の内径の加工精度を、表４に、得られた管構造体の面粗さを示す。
【００６５】
（比較例）
表１に示した全７種の素材について、実施例の目的形状と全く同じ形状への加工を、それぞれ内径７ｍｍと内径４ｍｍの下穴付きの筒状素材φ１０内径７ｍｍ×Ｌ５００ｍｍ、φ６内径４ｍｍ×Ｌ８００ｍｍから行った。内面研磨用の治具を用いて、内径が、それぞれ、７．５ｍｍ、４．２ｍｍとなるまで下穴を研磨した。砥石は実施例と同じダイヤモンド（＃４００、＃８００メッシュ）をメタルボンドした砥石を用いた。
【００６６】
表２に本発明の管構造体の内径精度、表３に比較例の内径精度、表４に本発明の内周面の面粗さ、表５に比較例の内周面の面粗さをそれぞれ示す。
【００６７】
【表１】
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【００６８】
【表２】
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【００６９】
【表３】
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【００７０】
【表４】
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【００７１】
【表５】
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【００７２】
表２〜５から分かるように、本発明によれば、いずれの難加工材に関しても、内径精度と面粗さ高精度（高精密）化の両方で優れることが分かった。特に、内径公差に関して、その差は顕著であり、表２に示した実施例は、内径７．５±０．０２と内径４．２±０．０１のいずれも公差も満たすが、表３に示した比較例では、公差を満たすことができなかった。
【００７３】
さらに、内周面粗さを規定する場合、より鏡面に近く仕上げる方が一般的には難しいとされるが、その点でも、本発明の加工方法は、４倍から１８倍優れていることが確認できた。内周面を粗く仕上げる要求に対しても、半割品にサンドブラスト（セラミックス粉末のショット加工）を施すことで、任意に制御でき、下穴から回転砥石で内径を拡大するときに避けられない縞模様（加工痕）を回避することも可能であった。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明によれば、難切削性のセラミックスや超硬、ハイス等の長尺及び／又は小径管の内径精度を従来以上に高められ、内周側の面粗さを任意に調整できる管構造体が製造可能となる。本発明は、光フェルール、メカニカルスプライス用のコネクタ、接続スリーブなどに適用することができ、産業上の利用可能性は大きい。
【符号の説明】
【００７５】
１    管構造体
１０    第１部材
１１    第１接合面
１１ａ    第１基準面
１１ｂ    第１段差面
１１ｃ    第１連絡面
２０    第２部材
２１    第２接合面
２１ａ    第２基準面
２１ｂ    第２段差面
２１ｃ    第２連絡面
３１    隙間（接着剤固定部）
５１    セラミックス、超硬、又は、ハイスの断面
５２    内径側の嵌め合い
【図１】
0005445428.tif 000007
【図２】
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【図３】
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