(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリア搬送手段により搬送されるキャリアが載置されるロードポートに対して設けられるキャリア移載促進装置であって、
キャリアを仮置きするための仮置台と、
前記ロードポートの載置台および前記仮置台の上方を水平方向に走行し且つキャリアを昇降させて当該載置台と当該仮置台との間でキャリアの移載を行うキャリア移載台車と、
前記仮置台および前記キャリア移載台車を支持する支持部材と、
前記載置台または前記仮置台と前記キャリア搬送手段との間でのキャリアの受け渡し中において、前記キャリア移載台車とキャリアとの接触を回避するように前記キャリア移載台車の動作を制御する移載台車制御部と、
を備え、
前記キャリア搬送手段は、前記キャリア移載台車よりも上方を走行する搬送手段であり、
前記移載台車制御部は、前記受け渡し中において、前記載置台または前記仮置台の上方位置を避けた位置に前記キャリア移載台車を退避させるものであり、
前記キャリア搬送手段により保持されているキャリアの下端部が、前記キャリア移載台車の上端部よりも高い、
ことを特徴とするキャリア移載促進装置。
【請求項２】
請求項１に記載のキャリア移載促進装置において、
前記キャリア搬送手段は、キャリアを一方向に搬送する搬送手段であり、
前記仮置台は、前記載置台よりもキャリアの搬送方向下流側に配置され、
前記移載台車制御部は、
キャリアの処理が完了したとき、前記載置台の上の処理済キャリアを前記仮置台の上へただちに移載するものであることを特徴とする、キャリア移載促進装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のキャリア移載促進装置において、
前記キャリア移載台車によりキャリアを持ち上げたときの当該キャリアの底面レベルが、前記載置台および前記仮置台の上に置かれた状態のキャリアの上面レベルよりも高くされていることを特徴とする、キャリア移載促進装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載のキャリア移載促進装置において、
前記ロードポートと前記仮置台とが隣り合って配置され、
前記キャリア移載台車によりキャリアを持ち上げたときの当該キャリアの底面レベルが、前記載置台および前記仮置台の上に置かれた状態のキャリアの上面レベルよりも低くされていることを特徴とする、キャリア移載促進装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載のキャリア移載促進装置において、
前記支持部材は、
水平方向に配置され前記キャリア移載台車が走行する走行レールと、
前記走行レールから下方に延在するように設けられた少なくとも２本の脚部材と、
前記脚部材の下端に取り付けられたキャスターと、
を具備してなることを特徴とする、キャリア移載促進装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロードポートへのキャリアの搬送待ち時間を短縮するためのキャリア移載促進装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の技術に関しては、例えば特許文献１に記載されたものがある。特許文献１に記載された搬送システムは、ロードポートと、ロードポートに対して隣接配置された中継ユニットと、ロードポートおよび中継ユニットに組み込まれたキャリア移載装置とを具備してなる。キャリア移載装置は、ロードポートおよび中継ユニットの載置台の下方に設置されたキャリアの移動装置と昇降装置とを有する。なお、ロードポート（ロードポート群）へのキャリアの搬送は、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer 天井走行式無人搬送車）などの搬送車により行われる。この搬送システムによると、１回のＯＨＴの移動で、キャリアのプレース（キャリアの載置）およびピック（キャリアの受け取り）が可能となり、ロードポート数の多い装置を採用することなくキャリアの搬送待ち時間を短縮することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２４４４１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された搬送システムでは、ロードポートおよび中継ユニット自体（内部）にキャリア移載装置を組み込んでいるため、既存のロードポート（キャリア移載装置を具備しないロードポート）への当該搬送システムの適用にあたり、既存のロードポートをそのまま使用できない。すなわち、既存のロードポートの改造あるいはロードポート一式の更新（取替）が必要となってしまうという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、既存のロードポートの更新などの必要のないキャリア移載促進装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、キャリア搬送手段により搬送されるキャリアが載置されるロードポートに対して設けられるキャリア移載促進装置であって、キャリアを仮置きするための仮置台と、前記ロードポートの載置台および前記仮置台の上方を水平方向に走行し且つキャリアを昇降させて当該載置台と当該仮置台との間でキャリアの移載を行うキャリア移載台車と、前記仮置台および前記キャリア移載台車を支持する支持部材と、前記載置台または前記仮置台と前記キャリア搬送手段との間でのキャリアの受け渡し中において、前記キャリア移載台車とキャリアとの接触を回避するように前記キャリア移載台車の動作を制御する移載台車制御部と、を備え、前記キャリア搬送手段は、前記キャリア移載台車よりも上方を走行する搬送手段であり、前記移載台車制御部は、前記受け渡し中において、前記載置台または前記仮置台の上方位置を避けた位置に前記キャリア移載台車を退避させるものであり、前記キャリア搬送手段により保持されているキャリアの下端部が、前記キャリア移載台車の上端部よりも高い、ことを特徴とするキャリア移載促進装置である。
【０００７】
本発明では、ロードポートの載置台の上方を水平方向にキャリア移載台車を走行させて、ロードポートの載置台と仮置台との間でキャリアの移載を行わせている。また、仮置台およびキャリア移載台車は支持部材で支持されている。さらに、移載台車制御部により、ロードポートの載置台または仮置台とキャリア搬送手段との間でのキャリアの受け渡し中において、キャリア移載台車とキャリアとの接触を回避するようにキャリア移載台車の動作を制御する構成とされている。
【０００８】
これにより、ロードポートの載置台の上方空間を利用してキャリアの移載を行うことができる。その結果、従来技術のように、ロードポート自体（内部）にキャリア移載装置を組み込む必要がなくなり、キャリア移載促進装置（キャリア移載装置）の後付け（既存のロードポートに対する付け加え）が可能となる。すなわち、既存のロードポートをそのまま使用することができる。
【０００９】
また本発明において、前記キャリア搬送手段は、前記キャリア移載台車よりも上方を走行する搬送手段であり、前記移載台車制御部は、前記受け渡し中において、前記載置台または前記仮置台の上方位置を避けた位置に前記キャリア移載台車を退避させるものであることが好ましい。さらには、キャリア移載台車の退避位置は、次の作業がすぐにできる位置が好ましい。
【００１０】
この構成によると、キャリア移載台車およびキャリア搬送手段のいずれもがロードポートの載置台の上方を走行する。これにより、載置台の上方空間をより有効利用することができ、キャリア搬送システム全体の省スペース化を図ることができる。
【００１１】
さらに本発明において、前記キャリア搬送手段は、キャリアを一方向に搬送する搬送手段であり、前記仮置台は、前記載置台よりもキャリアの搬送方向下流側に配置され、前記移載台車制御部は、キャリアの処理が完了したとき、前記載置台の上の処理済キャリアを前記仮置台の上へただちに移載するものであることが好ましい。
【００１２】
この構成によると、ロードポートの載置台上に処理済キャリアが残っている時間を短縮できる。その結果、ロードポートへのキャリアの搬送待ち時間をより短縮することができる。
【００１３】
さらに本発明において、前記キャリア移載台車によりキャリアを持ち上げたときの当該キャリアの底面レベルが、前記載置台および前記仮置台の上に置かれた状態のキャリアの上面レベルよりも高くされていることが好ましい。
【００１４】
この構成によると、ロードポートの載置台上または仮置台上に位置する別のキャリアの上を越えて、キャリアを横移動させることができる。その結果、既存の複数のロードポートが隣り合って配置されていたとしても、すべてのロードポートと仮置台との間でキャリアの移載を行うことができ、ロードポートへのキャリアの搬送待ち時間をより短縮することができる。
【００１５】
さらに本発明において、前記ロードポートと前記仮置台とが隣り合って配置され、前記キャリア移載台車によりキャリアを持ち上げたときの当該キャリアの底面レベルが、前記載置台および前記仮置台の上に置かれた状態のキャリアの上面レベルよりも低くされていることが好ましい。
【００１６】
この構成によると、キャリア移載台車が走行する高さを極力低く抑えることができる。その結果、キャリア移載促進装置の高さを全体的に低く抑えることができ、コンパクトなキャリア移載促進装置とすることができる。また、キャリアの昇降量が少ないため、キャリア移載台車の動作時間を短縮でき、結果として、ロードポートへのキャリアの搬送待ち時間をより短縮できる。
【００１７】
さらに本発明において、前記支持部材は、水平方向に配置され前記キャリア移載台車が走行する走行レールと、前記走行レールから下方に延在するように設けられた少なくとも２本の脚部材と、前記脚部材の下端に取り付けられたキャスターと、を具備してなることが好ましい。
【００１８】
この構成によると、走行可能な自立式のキャリア移載促進装置となり、既存のロードポートへの適用がより容易となる。その結果、キャリア移載促進装置の設置作業時間を短縮でき、既存工場設備の停止時間を短くできる。また、他のプロセス装置用への移設（キャリア移載促進装置の移設）もより容易となる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によると、ロードポートの載置台の上方空間を利用してキャリアの移載を行うことができ、その結果、キャリア移載促進装置（キャリア移載装置）の後付けが可能となる。これにより、既存のロードポートの更新などの必要のないキャリア移載促進装置を提供できる。さらには、他のプロセス装置用への移設（キャリア移載促進装置の移設）もできるので拡張性に優れる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態に係るキャリア移載促進装置を示す概略の正面図である。
【図２】図１に示すキャリア移載促進装置の概略の平面図（Ａ−Ａ矢視図）である。
【図３】フープの搬送フローを示す図である。
【図４】フープの搬送フローを示す図である。
【図５】フープの搬送フローを示す図である。
【図６】フープの搬送フローを示す図である。
【図７】第１実施形態に係るキャリア移載促進装置の変形例を示す概略の斜視図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係るキャリア移載促進装置を示す概略の正面図である。
【図９】本発明の第３実施形態に係るキャリア移載促進装置を示す概略の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。
【００２２】
（キャリア搬送システム）
キャリア搬送システム５０およびキャリア移載促進装置１の構成について、図１、２を参照しつつ説明する。図１に示すように、キャリア搬送システム５０は、工場内の天井側を走行するＯＨＴ７（Overhead Hoist Transfer天井走行式無人搬送車）と、ＯＨＴ７が走行するレール９（軌道）と、レール９の下方に設置されたロードポート６と、ロードポート６に対して設けられたキャリア移載促進装置１とを備えている。
【００２３】
（ＯＨＴ）
ＯＨＴ７は、後述するキャリア移載台車３よりも上方を走行するキャリア搬送手段であり、ベルト駆動で上下するホイスト部７１を有する。ＯＨＴ７は、ホイスト部７１によりフープ３８（８）（FOUP（Front Opening Unified Pod））を吊り上げて一方向に走行しフープ３８（８）を搬送する。キャリアの一例としてフープ（FOUP）で説明する。
【００２４】
なお、キャリア搬送手段は、ＯＨＴ７ではなく、ＯＨＳ（Over Head Shuttle 天井走行式シャトル）、ＲＧＶ（Rail Guided Vehicle 有軌道式無人搬送車）、ＡＧＶ（Automated Guided Vehicle 無人搬送車）などであってもよい。ＲＧＶおよびＡＧＶは、工場内の床面側を走行するキャリア搬送手段である。
【００２５】
フープ３８（８）は、本体８１と、本体８１の上面に取り付けられたフランジ部８２とを有する。例えば半導体基板が本体８１内に複数枚収納される。フープ３８（８）は、そのフランジ部８２でＯＨＴ７に吊り上げられて搬送される。フープ３８（８）は、本発明におけるキャリアに相当する。なお、キャリアは、フープ３８（８）に限られることはない。
【００２６】
（レール（軌道））
レール９は、工場の天井から吊り下げるなどして設置される。キャリア搬送手段がＲＧＶの場合は、レール（軌道）は、工場の床などに設置される。
【００２７】
（ロードポート）
ロードポート６は、その載置台６１の上に載置されたフープ８の蓋８３（図２参照）を開閉するための装置である。ロードポート６の前面側に載置台６１が設けられている。ロードポート６の後面側には、半導体基板などを処理するためのプロセス装置（不図示）が配置される。
【００２８】
（第１実施形態のキャリア移載促進装置）
キャリア移載促進装置１は、仮置台２と、キャリア移載台車３と、仮置台２およびキャリア移載台車３を支持する支持部材４と、キャリア移載台車３の動作を制御するコントローラ５（移載台車制御手段）とを具備してなる。
【００２９】
（仮置台）
仮置台２は、その上にフープ８が仮置きされる台である。仮置台２は、支持部材４の脚部材４２の側面に取り付けられるブラケット２１と、ブラケット２１の上面に固定された台座２２とを具備してなる。本実施形態において、仮置台２は、載置台６１（ロードポート６）よりもフープ８の搬送方向下流側に配置されている。
【００３０】
（キャリア移載台車）
キャリア移載台車３は、ロードポート６の載置台６１および仮置台２の上方を水平方向に走行し且つフープ８を昇降させて載置台６１と仮置台２との間でフープ８の移載を行うためのものである。
【００３１】
キャリア移載台車３は、車輪が取り付けられた台車３１と、台車３１に取り付けられたリフト装置３２とを具備してなる。リフト装置３２は、例えばベルト駆動とされる。キャリア移載台車３は、台車３１により、ロードポート６の載置台６１および仮置台２の上方を水平方向に走行し、リフト装置３２により、フープ８を昇降させる。キャリア移載台車３は、複数台あってもよい。
【００３２】
（支持部材）
支持部材４は、水平方向に配置されその上面をキャリア移載台車３が走行する走行レール４１と、走行レール４１の端から鉛直下向きに延在するように設けられた４本の脚部材４２とを具備してなる。図２に示したように、走行レール４１は、並行して配置された２本のレール部材４１ａと、レール部材４１ａ同士を連結する２本の連結部材４１ｂとで構成される。２本のレール部材４１ａ同士の間隔は、レール部材４１ａ同士の間を昇降するフープ８がレール部材４１ａに干渉しない寸法とされる。同様に、フープ８の昇降中においてフープ８と連結部材４１ｂとが接触しないように、連結部材４１ｂの位置は、フープ８の鉛直上方を避けた位置とされる。
【００３３】
本実施形態において、支持部材４は、その４本の脚部材４２により工場内の床面に対して立設され、ロードポート６に対しては接触していない。なお、ロードポート６にブラケット（不図示、支持部材の一構成部材）などを取り付け、ロードポート６から支持をとる形態の支持部材としてもよい。また、プロセス装置側のレール部材４１ａを、プロセス装置に取り付けておいてもよい。
【００３４】
（コントローラ）
コントローラ５は、載置台６１または仮置台２とＯＨＴ７との間でのフープ８の受け渡し中において、キャリア移載台車３とフープ８との接触を回避するようにキャリア移載台車３の動作を制御する移載台車制御部を内部に有するものである。ここで、移載台車制御部とは、例えば、コントローラに組み込まれたマイコンのプログラム部のことをいう。コントローラ５は、仮置台２の下方空間に配置され、支持部材４の脚部材４２の側面に取り付けられている。
【００３５】
（キャリア移載促進装置の動作）
次に、図３〜図６に基づき、キャリア移載促進装置１を利用したフープ８の搬送フローの一例について説明しつつ、コントローラ５（移載台車制御部）によるキャリア移載台車３の制御について説明する。なお、以下に説明するキャリア移載台車３の動きが、コントローラ５に組み込まれた移載台車制御部により実現される。
【００３６】
（キャリア移載台車の退避）
ロードポート６の載置台６１の上にＯＨＴ７がフープ８を載置しようとする場合、コントローラ５からの信号により、キャリア移載台車３は、載置台６１の上方位置を避けた位置に退避する（ステップ（１））。本実施形態では、仮置台２の上方位置にキャリア移載台車３を退避させている。
【００３７】
なお、図３中に想像線（二点鎖線）で示したように、仮置台２よりも搬送方向下流側に走行レール４１を延長させてもよい。そして、仮置台２が下方にない位置までキャリア移載台車３を退避させてもよい。（ステップ（１）−２）。これによると、仮置台２と別のＯＨＴとの間でのフープの受け渡しをキャリア移載台車３が妨げることはない。
【００３８】
また、ロードポート６の載置台６１の上にＯＨＴ７がフープ８を載置しようとする場合に、載置台６１の上方位置にキャリア移載台車３が位置しない場合は、コントローラ５により、載置台６１の上方位置にキャリア移載台車３が位置しないことを確認することになる。
【００３９】
（ＯＨＴによるフープの載置）
フープ８を保持した状態のＯＨＴ７が、ロードポート６の載置台６１の上方位置まで走行してくる（ステップ（２））。ロードポート６の載置台６１の上方位置にＯＨＴ７が到着すると、ＯＨＴ７は載置台６１の上にフープ８を降ろす（ステップ（３））。
【００４０】
（ＯＨＴによる別のフープの受け取り）
次に、図４に示したように、ＯＨＴ７は、そのホイスト部７１を引き上げた後、仮置台２の上方位置まで走行を開始する（ステップ（４））。一方、ＯＨＴ７が走行を開始したこと、または載置台６１の上方のキャリア移載台車３の走行空間にホイスト部７１がないことを条件に、キャリア移載台車３は、コントローラ５により制御され、仮置台２の上方位置から載置台６１の上方位置へ向かって移動する（ステップ（５））。
【００４１】
なお、図４などに示したように、仮置台２の上には、ロードポート６の後面側に配置されたプロセス装置（不図示）により処理された半導体基板などを収納した処理済のフープ１８が仮置きされているものとする（当該フープ１８は、キャリア移載台車３により載置台６１から仮置台２へ移載されたものである）。
【００４２】
このとき、図５に示したように、フープ８を保持していない空のＯＨＴ７が、仮置台２の上方位置に到着すると、ＯＨＴ７は仮置台２の上の処理済のフープ１８を引き上げる（ステップ（６））。その後、ＯＨＴ７はフープ１８を所定位置まで搬送する（ステップ（７））。
【００４３】
この搬送システム５０によると、ＯＨＴ７による一方向搬送で、フープのプレース（フープの載置（ステップ（３）））およびピック（フープの受け取り（ステップ（６）））（プレース＆ピック）が可能となり、ロードポート数の多い装置を採用することなくフープの搬送待ち時間を短縮することができる。換言すれば、キャリア搬送システム５０の搬送効率を向上させることができる。
【００４４】
（キャリア移載台車によるフープの移載）
キャリア移載台車３が載置台６１の上方位置に到着すると、プロセス装置などにより半導体基板などが処理されて処理済の半導体基板などを収納した状態のフープ８（処理済のフープ８）となるまで、コントローラ５によりキャリア移載台車３は載置台６１の上方位置で待機する。
【００４５】
ここで、コントローラ５は、フープ８の処理が完了したとき、載置台６１上の処理済のフープ８を仮置台２の上へただちに移載するようにキャリア移載台車３を制御する。具体的には、図６に示したように、載置台６１上のフープ８が処理済の半導体基板を収納した状態になると、キャリア移載台車３は、すぐに、フープ８を吊り上げ（ステップ（８））、横移動させ（ステップ（９））、そして仮置台２の上にフープ８を降ろす（ステップ（１０））。
【００４６】
載置台６１（ロードポート６）よりもフープ８の搬送方向下流側に仮置台２を配置して、上記した制御を行うことにより、ロードポート６の載置台６１上に処理済のフープが残っている時間を短縮できる。その結果、ロードポート６へのフープの搬送待ち時間をより短縮することができる。なお、フープ８の処理が完了したときとは、プロセス装置などにより半導体基板などが処理されて処理済の半導体基板などをフープ８がその本体８１内に収納した状態となったときのことをいう。
【００４７】
なお、本実施形態においては、キャリア移載台車３によりフープ８を持ち上げたときのフープ８（フープ８の本体８１）の底面レベルＨ１が、載置台６１および仮置台２の上に置かれた状態のフープ８（フープ８のフランジ部８２）の上面レベルｈ１よりも低くされている。
【００４８】
なお、複数のロードポート６（載置台６１）、複数の仮置台２がある場合がある。ここで、フープ８を持ち上げたときのフープ８の底面レベルＨ１が、載置台６１および仮置台２の上に置かれた状態のフープ８の上面レベルｈ１よりも低くされている、とは、それぞれの載置台６１および仮置台２の上に置かれた状態のフープ８の上面レベルｈ１のうち最も高いレベルの上面レベルｈ１よりも前記底面レベルＨ１が低くされていることをいう。
【００４９】
走行レール４１の設置レベル、キャリア移載台車３のリフト装置３２のリフト量などにより、フープ８を持ち上げたときのフープ８の底面レベルＨ１が決まる。
【００５０】
なお、本実施形態では、載置台６１の上面レベルと仮置台２の上面レベルとは等しいが、載置台６１の上面レベルと仮置台２の上面レベルとが異なる場合もあり得る。
【００５１】
また、図６に示したように、載置台６１（または仮置台２）からのフープ８の持ち上げ高さ（キャリア移載台車３によりフープ８を持ち上げたときの、載置台６１（または仮置台２）の上面とフープ８の底面との距離）は、極力小さくすることが好ましい。
【００５２】
以上説明したように、キャリア移載促進装置１によると、ロードポート６の載置台６１の上方空間を利用してフープ８の移載を行うことができる。その結果、従来技術のように、ロードポート自体（内部）にキャリア移載装置を組み込む必要がなくなり、キャリア移載促進装置（キャリア移載装置）の後付けが可能となる。すなわち、既存のロードポートをそのまま使用することができる。
【００５３】
ここで、特許文献１に記載されたＯＨＴによる一方向搬送の搬送システムでは、１つのロードポートと１つの中継ユニットとが隣接配置されている。一方、ロードポートおよび中継ユニットは、前面側（キャリアの載置される側）が決まっている。そのため、１組の搬送システム（１つのロードポート、１つの中継ユニット、および１つのキャリア移載装置からなるもの）には左右勝手があった。
【００５４】
しかしながら、前記したように、キャリア移載促進装置１は、既存のロードポートに対して後付けできる。すなわち、ＯＨＴによる一方向搬送の搬送システムにおいて、既存のロードポートの上流側にも下流側にもキャリア移載促進装置１の仮置台２を適宜、配置することができ（移設が容易）、左右勝手という問題はない（拡張性に優れる）。
【００５５】
なお、上記実施形態では、まずＯＨＴ７により、ロードポート６の載置台６１の上に未処理のフープ８を載置して、その後、処理済のフープ８を載置台６１から仮置台２の上へキャリア移載台車３により移載する例を示したが、まずＯＨＴ７により、仮置台２の上に未処理のフープ８を仮置きし、その後、未処理のフープ８を仮置台２から載置台６１の上へキャリア移載台車３により移載してもよい。
【００５６】
この場合、仮置台２の上にＯＨＴ７がフープ８を載置しようとするとき、コントローラ５からの信号により、キャリア移載台車３は、仮置台２の上方位置を避けた位置（上記実施形態では、載置台６１の上方位置）に退避することになる。なお、未処理のフープ８とは、未処理の半導体基板などを収納した状態のフープ８のことをいう。
【００５７】
また、上記実施形態では、載置台６１（ロードポート６）よりもフープ８の搬送方向下流側に仮置台２を配置した例を示したが、載置台６１（ロードポート６）よりもフープ８の搬送方向上流側に仮置台２を配置してもよい。
【００５８】
この場合も、まずＯＨＴ７により、仮置台２の上に未処理のフープ８を仮置きし、その後、未処理のフープ８を仮置台２から載置台６１の上へキャリア移載台車３により移載してもよいし、逆に、まずＯＨＴ７により、ロードポート６の載置台６１の上に未処理のフープ８を載置して、その後、処理済のフープ８を載置台６１から仮置台２の上へキャリア移載台車３により移載してもよい。
【００５９】
共通するのは、コントローラ５により、載置台６１または仮置台２とＯＨＴ７との間でのフープの受け渡し中において、載置台６１または仮置台２の上方位置を避けた位置にキャリア移載台車３を退避させるようにキャリア移載台車３の動作を制御して、キャリア移載台車３とフープとの接触を回避することである。
【００６０】
（キャリア移載促進装置の変形例）
図７を参照しつつ、第１実施形態に係るキャリア移載促進装置１の変形例について説明する。なお、本変形例に係るキャリア移載促進装置１０１の説明においては、第１実施形態に係るキャリア移載促進装置１との相違について主に説明する。また、図７において、仮置台２およびコントローラ５の図示を省略している。
【００６１】
図７に示すように、本変形例に係るキャリア移載促進装置１０１は、キャスター４３およびエリアセンサー４４をさらに具備してなる。
【００６２】
本変形例では、４つのキャスター４３が、それぞれ、４本の脚部材４２の下端に取り付けられている。また、ロードポート６に対してセットされた状態においてフープの搬送方向に対向する２本の脚部材４２にエリアセンサー４４が取り付けられている。
【００６３】
脚部材４２の下端にキャスター４３を取り付けることで、走行可能な自立式のキャリア移載促進装置１０１となり、既存のロードポートへの適用がより容易となる。また、エリアセンサー４４を設けることで、ＯＨＴ７によるフープの昇降やキャリア移載台車３によるフープの横移動が行われるキャリア移載促進装置１０１の内側空間への作業者の侵入を検知でき、作業者が負傷するなどの事故を未然に防止できる。また、支持部材４を筐体構造とすることで、エリアセンサー４４が取り付けやすくなっている。なお、特許文献１に記載されたキャリア移載装置では、キャリア移載装置の端から端まで到達するビームを発するエリアセンサーの取り付けが困難であったという問題があった。
【００６４】
（第２実施形態）
次に、図８を参照しつつ、第２実施形態に係るキャリア移載促進装置２０１について説明する。なお、本実施形態の説明においては、第１実施形態との相違について主に説明する。
【００６５】
図８に示すように、本実施形態に係るキャリア移載促進装置２０１は、隣り合う２つのロードポート６ａ・６ｂの両側に、それぞれ、仮置台２ａ・２ｂが位置するように構成されている。また、仮置台２ａおよび仮置台２ｂは、それぞれ、ロードポート６ａおよびロードポート６ｂに隣り合うように配置されている。なお、第１実施形態に係るキャリア移載促進装置１と同様に、キャリア移載台車３によりフープ８を持ち上げたときのフープ８（フープ８の本体）の底面レベルが、ロードポート６の載置台および仮置台２の上に置かれた状態のフープ８（フープ８のフランジ部）の上面レベルよりも低くなるように構成されている。
【００６６】
以下に、キャリア移載促進装置２０１を利用したフープ８の搬送フローの一例についてその概要を説明する。
【００６７】
まず、仮置台２ａの上にＯＨＴ７がフープ８を仮置きして（ステップ（１））、搬送方向下流側に移動する（ステップ（２））（搬送方向下流側の隣り合うロードポート６ａの載置台の上方に移動する）。ここで、ロードポート６ａの載置台の上には処理済の別のフープ１８が既に載置している状態にあるものとする。
【００６８】
なお、仮置台２ａの上にＯＨＴ７がフープ８を仮置きしようとする場合、コントローラ５からの信号により、キャリア移載台車３は、仮置台２ａの上方位置を避けた位置に退避させられる。本実施形態では、ロードポート６ｂの載置台の上方位置にキャリア移載台車３は退避させられている。
【００６９】
次に、ロードポート６ａの載置台の上方に移動したＯＨＴ７は、載置台の上のフープ１８を引き上げ、その後、フープ１８を所定位置まで搬送する（ステップ（３））。この例においても、１回のＯＨＴ７の移動で、フープのプレース（フープの載置（ステップ（１）））およびピック（フープの受け取り（ステップ（３）））が可能となり、ロードポート数の多い装置を採用することなくフープの搬送待ち時間を短縮することができている（後述する第３実施形態においても同様）。
【００７０】
一方、コントローラ５は、仮置台２ａ上の未処理のフープ８をロードポート６ａの載置台上へ移載するようにキャリア移載台車３を制御する（ステップ（４））。これにより、フープ８の移載が行われる。
【００７１】
本実施形態に係るキャリア移載促進装置２０１によると、キャリア移載台車３が走行する高さ（換言すれば、走行レール４１の高さ）を低く抑えることができる。その結果、キャリア移載促進装置２０１の高さを全体的に低く抑えることができ、コンパクトなキャリア移載促進装置とすることができる。また、フープの昇降量が少ないため、キャリア移載台車３の動作時間を短縮でき、結果として、ロードポート６へのフープの搬送待ち時間をより短縮できる。
【００７２】
（第３実施形態）
次に、図９を参照しつつ、第３実施形態に係るキャリア移載促進装置３０１について説明する。なお、本実施形態の説明においては、第１実施形態との相違について主に説明する。
【００７３】
図９に示すように、本実施形態に係るキャリア移載促進装置３０１は、相互に隣り合って配置された複数の（５つの）ロードポート６ａ〜６ｅをすべて囲うようにして設けられるものである。フープ８が仮置きされる仮置台２は、最下流側のロードポート６ｅに対して隣り合うように当該ロードポート６ｅの下流側に位置するように配置されている。
【００７４】
なお、ロードポート６ａ〜６ｅのうちのいずれかのロードポート同士の間に仮置台２が配置されてもよいし（ロードポート間に仮置台があってもよいし）、最上流側のロードポート６ａに対して隣り合うように当該ロードポート６ａの上流側に位置するように仮置台２が配置されてもよい。
【００７５】
第１実施形態に係るキャリア移載促進装置１と本実施形態に係るキャリア移載促進装置３０１との相違点は、ロードポート数の相違に起因する走行レール４１の長さだけではなく、キャリア移載台車３によるフープ８の持上げ高さにある。本実施形態においては、キャリア移載台車３によりフープ８を持ち上げたときのフープ８（フープ８の本体８１）の底面レベルＨ２が、ロードポート６の載置台および仮置台２の上に置かれた状態のフープ８（フープ８のフランジ部８２）の上面レベルｈ１よりも高くされている。
【００７６】
さらには、フープ８を持ち上げたときのフープ８の底面レベルＨ２が、ロードポート６の載置台および仮置台２の上に置かれた状態のフープ８の上面レベルｈ１よりも高くされている、とは、各ロードポート６ａ〜６ｅの載置台および仮置台２の上に置かれた状態のフープ８の上面レベルｈ１のうち最も高いレベルの上面レベルｈ１よりも前記底面レベルＨ２が高くされていることをいう。なお、本実施形態では、各ロードポート６ａ〜６ｅの載置台の上面レベルと仮置台２の上面レベルとは等しい。
【００７７】
なお、走行レール４１の設置レベル、キャリア移載台車３のリフト装置３２のリフト量などにより、フープ８を持ち上げたときのフープ８の底面レベルＨ１が決まる。
【００７８】
本実施形態に係るキャリア移載促進装置３０１によると、ロードポート６の載置台上に位置する別のフープの上を越えて、フープ８を横移動させることができる。その結果、既存の複数のロードポートが隣り合って配置されていたとしても、すべてのロードポートと仮置台との間でキャリアの移載を行うことができ、ロードポートへのキャリアの搬送待ち時間をより短縮することができる。また、本実施形態に係るキャリア移載促進装置３０１は、フープ８を持ち上げたときのフープ８の底面レベルＨ２が、置かれた状態のフープ８の上面レベルｈ１よりも高くされていることにより、隣接配置された既存のロードポート群へ適用し易い。
【００７９】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々に変更して実施することが可能なものである。
【符号の説明】
【００８０】
１：キャリア移載促進装置
２：仮置台
３：キャリア移載台車
４：支持部材
５：コントローラ
６：ロードポート
７：ＯＨＴ（キャリア搬送手段）
８：フープ（キャリア）
６１：載置台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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