(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが第１の方向に複数配置されたヘッド部を備え、
前記ヘッド部と基材とを少なくとも前記第１の方向に相対的に走査させながら、前記基材に向けて前記複数のノズルから機能液滴を吐出して前記基材上に機能液滴のパターンを描画する描画装置であって、
前記液滴吐出ヘッドは、複数のノズルからなるノズル群が前記第１の方向と直交する第２の方向に複数配置されて構成されており、
前記パターンは、ドット又は前記第１の方向に沿ったラインの少なくとも一方が複数配置されて形成されるセルが前記第２の方向に複数配置されたパターンであり、
同一のノズル群に属する複数のノズルから吐出された機能液滴により、１つのセルのパターンの少なくとも一部が描画されることを特徴とする描画装置。
【請求項２】
前記パターンは、同一パターンを有するセルが前記第２の方向に等ピッチａで複数配置されたパターンであり、
前記複数の液滴吐出ヘッドは、ノズル群の位置が互いに相補的になるように最も近い位置にある液滴吐出ヘッド同士が互いに前記第２の方向に前記ピッチａだけずらして配置され、
各液滴吐出ヘッドにおける前記ノズル群のピッチをＬ、液滴吐出ヘッドの数をｎとしたとき、Ｌ＝ａ×ｎを満足することを特徴とする請求項１に記載の描画装置。
【請求項３】
前記ヘッド部を駆動するヘッド駆動回路部を有し、
前記ヘッド駆動回路部は前記パターンの少なくとも１セル分の画像データを記憶する記憶装置を有し、前記画像データを描画開始前に予め受信して一旦前記記憶装置に記憶し、吐出タイミング信号に同期して、前記１セル分の画像データを液滴吐出ヘッドの各ノズル群に対応させて前記液滴吐出ヘッドを駆動して前記パターンを描画することを特徴とする請求項２に記載の描画装置。
【請求項４】
前記パターンは、同一パターンを有するセルが前記第１の方向及び第２の方向にマトリックス状に配置されたパターンであり、
前記吐出タイミング信号に同期して、前記１セル分の画像データを液滴吐出ヘッドの各ノズル群に対応させて前記液滴吐出ヘッドを駆動して前記１セル分の画像データを前記第２の方向に配置されたセルの数分だけ描画する動作を前記第１の方向に複数回繰り返して行うことにより、前記パターンを描画することを特徴とする請求項３に記載の描画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、描画装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェットプリンタなど、インクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）に等ピッチで配列されたノズル列から、インク（機能液滴）を吐出することによりドットを形成する描画装置では、１つのインクジェットヘッドを基材に対して主走査方向及び副走査方向に相対的に移動（走査）することによって、描画を行っている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２７５６３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：薄膜トランジスタ）などの配線パターンを描画する場合において、基材サイズが大きい場合、高速に描画するためには、１回もしくは少ない走査回数で描画する必要があり、多数のヘッドを並べてラインヘッド化したモジュールが必要になる。【０００５】
一方で、ＴＦＴの電極など、セル毎に機能する周期的なパターンをインクジェットで描画することが考えられる。描画装置上に高密度にノズルを配置し、カラーフィルタ基板などの１つのセルに複数のノズルを使用して、単位時間当たりの機能液吐出量をできるだけ増大させ、１回もしくはできるだけ少ない走査回数で描画することが描画プロセスの生産性の観点からは望ましい。【０００６】
例えば、図８に示すような周期的なパターンを基板Ｗに描画しようとした場合、セル３０内での各ライン３３及びドット３４は高精度に描画する必要がある。等ピッチの１列のノズル１３１を有する液滴吐出ヘッド１０８を図に示すように千鳥状配列で複数個並べることで１ラインが構成される場合は、１つのセル３０の各ライン３３及びドット３４はそれぞれ別のヘッドに属するノズルにより描画することになるため、各ヘッドを高精度に位置決めして並べる必要がある。【０００７】
しかしながら、１つのヘッドは、それぞれが独立して完成されたヘッドであるため、全てのヘッドのノズルの位置が合うように、ヘッド毎にそれぞれ位置合わせしながら、一つずつ位置決めして取り付けていかなくてはならず、組み立て作業が困難であるという問題がある。また、各ヘッドを高精度に位置決めするのは容易ではない。【０００８】
本発明は、上記の事情を考慮したもので、１つのセル内の機能液滴のパターンを吐出するノズルの位置精度を容易に確保でき、１つのセル内の機能液滴のパターンを高い位置精度で形成できる描画装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の上記課題は、以下の構成により達成される。【００１０】
１．複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが第１の方向に複数配置されたヘッド部を備え、
前記ヘッド部と基材とを少なくとも前記第１の方向に相対的に走査させながら、前記基材に向けて前記複数のノズルから機能液滴を吐出して前記基材上に機能液滴のパターンを描画する描画装置であって、
前記液滴吐出ヘッドは、複数のノズルからなるノズル群が前記第１の方向と直交する第２の方向に複数配置されて構成されており、
前記パターンは、ドット又は前記第１の方向に沿ったラインの少なくとも一方が複数配置されて形成されるセルが前記第２の方向に複数配置されたパターンであり、
同一のノズル群に属する複数のノズルから吐出された機能液滴により、１つのセルのパターンの少なくとも一部が描画されることを特徴とする描画装置。【００１１】
２．前記パターンは、同一パターンを有するセルが前記第２の方向に等ピッチａで複数配置されたパターンであり、
前記複数の液滴吐出ヘッドは、ノズル群の位置が互いに相補的になるように最も近い位置にある液滴吐出ヘッド同士が互いに前記第２の方向に前記ピッチａだけずらして配置され、
各液滴吐出ヘッドにおける前記ノズル群のピッチをＬ、液滴吐出ヘッドの数をｎとしたとき、Ｌ＝ａ×ｎを満足することを特徴とする前記１に記載の描画装置。【００１２】
３．前記ヘッド部を駆動するヘッド駆動回路部を有し、
前記ヘッド駆動回路部は前記パターンの少なくとも１セル分の画像データを記憶する記憶装置を有し、前記画像データを描画開始前に予め受信して一旦前記記憶装置に記憶し、吐出タイミング信号に同期して、前記１セル分の画像データを液滴吐出ヘッドの各ノズル群に対応させて前記液滴吐出ヘッドを駆動して前記パターンを描画することを特徴とする前記２に記載の描画装置。【００１３】
４．前記パターンは、同一パターンを有するセルが前記第１の方向及び第２の方向にマトリックス状に配置されたパターンであり、
前記吐出タイミング信号に同期して、前記１セル分の画像データを液滴吐出ヘッドの各ノズル群に対応させて前記液滴吐出ヘッドを駆動して前記１セル分の画像データを前記第２の方向に配置されたセルの数分だけ描画する動作を前記第１の方向に複数回繰り返して行うことにより、前記パターンを描画することを特徴とする前記３に記載の描画装置。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の描画装置によれば、１つのセル内の機能液滴のパターンを描画するためのノズル群が１つのヘッド内に形成されているため、１つのセル内の機能液滴のパターンを吐出するノズルの位置精度を容易に確保でき、１つのセル内の機能液滴のパターンを高い位置精度で形成できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態による描画装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】実施形態における液滴吐出ヘッドの各ノズルと基板の各セルのパターンとの対応を示す模式図である。
【図３】ＴＦＴ（１セル）の構成の１例の模式図である。
【図４】図３のＴＦＴの等価回路図である。
【図５】他の実施形態における液滴吐出ヘッドの各ノズルと基板の各セルのパターンとの対応を示す模式図である。
【図６】実施形態におけるヘッド駆動部のブロック図である。
【図７】実施形態におけるヘッド駆動回路のブロック図である。
【図８】比較例における液滴吐出ヘッドの各ノズルと基板の各セルのパターンとの対応を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明の実施形態による描画装置及び方法について詳細に説明する。
【００１７】
図１は、本発明の実施形態による描画装置の概略構成を示すブロック図である。図１に示すように、本実施形態の描画装置１は、機台２上に設置された移動機構としてのＹ軸テーブル３及びＸ軸テーブル４を備える。Ｙ軸テーブル３上には、移動自在にメインキャリッジ５が取り付けられており、このメインキャリッジ５にはヘッド部６が設けられている。尚、詳細は後述するが、ヘッド部６には、サブキャリッジ７を介して、同一種類の機能液滴を吐出するラインヘッドユニットを構成する複数（本実施形態では、３つ）の液滴吐出ヘッド８が搭載されている。また、基材としての基板Ｗは、Ｘ軸テーブル４に搭載されている。
【００１８】
また、描画装置１は、機能液を貯留するタンク１７から複数の液滴吐出ヘッド８の各々に機能液を供給する機能液滴供給機構としての機能液供給装置９を備えると共に、Ｘ軸テーブル４及びＹ軸テーブル３並びに複数の液滴吐出ヘッド８等の駆動を制御する制御手段としての制御装置１８を備えている。
【００１９】
Ｙ軸テーブル３は、モータ１２と、モータ１２によって駆動されるＹ軸スライダ１３とを含んで構成されるＹ軸方向（第２の方向）の駆動系を備え、これに上記のメインキャリッジ５を移動自在に搭載して構成されている。また、Ｘ軸テーブル４は、モータ１４と、モータ１４によって駆動されるＸ軸スライダ１５とを含んで構成されるＸ軸方向（第１の方向）の駆動系を備え、これに吸着テーブル等からなるセットテーブル１６を移動自在に搭載して構成されている。そして、セットテーブル１６上に基板Ｗが位置決めされた状態で保持される。
【００２０】
本実施形態の描画装置１は、Ｘ軸テーブル４の駆動による基板ＷのＸ軸方向（第１の方向）への移動に同期して各液滴吐出ヘッド８を駆動（機能液滴の選択的吐出）するように構成されている。つまり、本実施形態では、各液滴吐出ヘッド８をＹ軸方向（第２の方向）の移動により所定位置に位置決めして停止させた状態で、基板ＷのＸ軸方向への１回の主走査によって基板Ｗの描画領域全面に所定のパターンを描画することができる。そして、上記主走査に同期した各液滴吐出ヘッド８の駆動は、制御装置１８を介して、又は直接にヘッド駆動回路部２２に出力された画像データ（吐出パターンデータ）に基づいて行われる。
【００２１】
尚、本実施形態では、ヘッド部６に対し、基板ＷをＸ軸方向（第１の方向）に移動させて描画するようにしているが、ヘッド部６をＸ軸方向（第１の方向）に移動させる構成であってもよい。
【００２２】
図２は、実施形態における液滴吐出ヘッド８の各ノズルと基板Ｗの各セルのパターンとの対応を示す模式図である。
【００２３】
図２に示すように、基板Ｗは、板状部材の上面に、機能液滴を付着させるべき単位領域を形成するセル３０を複数有している。これらセル３０は、基板Ｗの移動方向であるＸ軸方向（第１の方向）に沿って、かつその移動方向と直交する方向であるＹ軸方向（第２の方向）に沿って、マトリクス状に配列されている。
【００２４】
各セル３０には、複数の機能液滴で形成される所定のパターンが形成される。図２では、ドット３４と基板Ｗの移動方向であるＸ軸方向（第１の方向）に沿って延びるライン３３とが、基板Ｗの移動方向と直交する方向であるＹ軸方向（第２の方向）に所定間隔あけて複数配置されている。
【００２５】
図２に示すように、基板Ｗが移動していく側に、基板Ｗの移動方向であるＸ軸方向（第１の方向）に並設された３つの液滴吐出ヘッド８が設けられている。
【００２６】
液滴吐出ヘッド８の各々に設けられる複数（本実施形態では、９個）のノズル３２は、所定の間隔で配置された３つのノズル３２から構成されるノズル群３１をＹ軸方向（第２の方向）にそって複数配置することによって形成される。尚、液滴吐出ヘッド８の個数やノズル数、さらにセルの配列パターンは任意である。
【００２７】
液滴吐出ヘッド８の各々は、その複数のノズル３２がＸ軸方向（第１の方向）と直交するＹ軸方向（第２の方向）へ延びるように位置設定され、このＸ軸方向（第１の方向）へ平行移動する間に、機能液を複数のノズル３２から選択的に吐出することにより、基板Ｗ内の所定位置に機能液滴を付着させる。
【００２８】
また、液滴吐出ヘッド８の各々は、Ｙ軸方向（第２の方向）に対し相互に位置ずれして配設され、３つの液滴吐出ヘッドの全ノズル３２がＹ軸方向（第２の方向）において連続するようになっている。
【００２９】
各ノズル群３１を構成する３つのノズル３２の間隔は、基板Ｗが液滴吐出ヘッド８の下まで移動してきたときに各ノズル群を構成する３つのノズルと各セル３０の３本のライン３３とが相対向し得るよう、ラインの間隔を考慮して予め定められている。
【００３０】
１つのセル内の３本のラインは、１つの液滴吐出ヘッドの同一のノズル群に属する３つのノズルにより描画されるので、ノズルの位置精度を容易に確保でき、１つのセル内のパターンを高い位置精度で形成できる。
【００３１】
従って、図８に示す比較例のように、１つのセル内の３本のラインを描画する３つのノズルの位置精度を確保するために、３つの液滴吐出ヘッドを高い位置精度で調整する必要がなくなる。
【００３２】
また、上記構成の描画装置において、複数のセル３０が、同一パターンのセル３０がＹ軸方向（第２の方向）に等ピッチａで複数配置されたパターンである場合、各液滴吐出ヘッドにおけるノズル群３１のピッチは次のようにして決定できる。
【００３３】
すなわち、基板ＷのＹ軸方向（第２の方向）のセルのピッチをａ、液滴吐出ヘッドの数をｎとしたとき、複数の液滴吐出ヘッドは、ノズル群の位置が互いに相補的になるように最も近い位置にある液滴吐出ヘッド同士が互いにＹ軸方向（第２の方向）に前記ピッチａだけずらして配置され、各液滴吐出ヘッドにおけるノズル群のピッチＬは、
Ｌ＝ａ×ｎ
を満足することが好ましい。この構成によれば、図２に示すように、複数の液滴吐出ヘッドの全ノズル３２と、各セル３０のライン３３とを相対向させることができるので、ヘッド部６を基板Ｗが１回走査（通過）するだけで基板Ｗの全面に配置されたセル３０のライン３３を描画することができ、生産性に優れた描画装置となる。
【００３４】
ここで、描画装置を用いた基板処理例について説明する。
【００３５】
一般に平板型のディスプレイ装置においては液晶、有機ＥＬ、電気泳動などを利用した素子を用いて表示媒体を形成している。また、こうした表示媒体では画面輝度の均一性や画面書き換え速度などを確保するために、画像駆動素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）により構成されたアクティブ駆動素子を用いる技術が主流になっている。
【００３６】
ここでＴＦＴ素子は、通常、ガラス基板上に主にａ−Ｓｉ（アモルファスシリコン）、ｐ−Ｓｉ（ポリシリコン）、有機半導体材料などの半導体薄膜や、ソース、ドレイン、ゲート電極などの金属薄膜を基板上に順次形成していくことで製造される。
【００３７】
そこで、本実施形態では、上記描画装置を用いて、基材上にマトリクス状に配列される複数のＴＦＴのセルの各々に機能液としての液状電極材料を描画して配線パターンを形成する場合を例に挙げて説明する。
【００３８】
まず、ＴＦＴのセルの構成について説明する。
【００３９】
図３は１つのセル３０のＴＦＴ素子のゲートバスライン５２、ソースバスライン５４、半導体５０の配置の１例であり、ＴＦＴ素子としては、基板Ｗ上にまずゲート電極５３を有し、図示しないゲート絶縁層を介して半導体５０からなるチャネルで連結されたソース電極５５及びドレイン電極５６を有し、基板Ｗ上にそれらがゲートバスライン５２及びソースバスライン５４を介して連結されている。５１はソース電極５５に接続される電源である。電源５１とその上に形成されているソースバスライン５４は図示しない絶縁層により絶縁されている。ドレイン電極５６の一端（図中の○部分）には表示素子５７（図４参照）が接続される。
【００４０】
本実施形態においては、ソースバスライン５４、ソース電極５５及びドレイン電極５６（図３では黒塗りで示したライン）をそれぞれ描画装置１により描画する。描画装置１の機能液供給装置９は、各液滴吐出ヘッド８に機能液としての液状電極材料を送液する。液状電極材料としては、導電性ポリマーの溶液あるいは分散液、導電性微粒子分散液を用いることができる。
【００４１】
図４は図３に示すＴＦＴ素子の等価回路図である。
【００４２】
基材Ｗはマトリクス配置された多数のＴＦＴ素子を有する。５２は各ＴＦＴ素子のゲート電極５３のゲートバスラインであり、５４は各ＴＦＴ素子のソース電極５５のソースバスラインである。５７は表示素子である。
【００４３】
チャネルを構成する半導体材料としては、ａ−Ｓｉ、ｐ−Ｓｉ、有機半導体材料等公知のものが用いられ、好ましくは有機半導体材料である。
【００４４】
図５は、本実施形態における液滴吐出ヘッド８の各ノズル３２と基板の各セル３０のパターンとの対応を示す模式図である。尚、図５は、説明の便宜上、ノズルの個数及びセル３０の個数が少なめに記載されている。
【００４５】
各セル３０には、基板Ｗの移動方向（Ｘ軸方向）に沿って延びる３本のライン電極が所定間隔で形成され、基板Ｗの移動方向と直交する方向（Ｙ軸方向）に沿って延びる３本のライン電極が所定間隔で形成される。
【００４６】
各ノズル群３１を構成する３つのノズル３２の間隔は、基板Ｗが液滴吐出ヘッド８の下まで移動してきたときに各ノズル群３１を構成する３つのノズル３２と各セル３０の基板Ｗの移動方向（Ｘ軸方向）に沿って延びる３本のライン電極とが相対向し得るよう、電極の間隔を予め考慮して定められている。
【００４７】
本実施形態では、図５に示すように、基板Ｗと各液滴吐出ヘッド８との相対位置を変えつつ、基板Ｗの各セル３０に、各液滴吐出ヘッド８から液状電極材料を吐出して、図３における基板Ｗの移動方向（Ｘ軸方向）に沿って延びるライン（図５では黒塗りで示したライン）を描画し、その後、基材Ｗを９０度回転させた後、図３における基板Ｗの移動方向と直交する方向（Ｙ軸方向）に沿って延びるライン（図５では白抜きで示したライン）を描画することになるが、装置構成とその動作についてはノズル配置の異なる別の液滴吐出ヘッド８を用いる以外は上記と同様である。
【００４８】
ソース電極、ドレイン電極のラインの内、半導体が上に塗布される図３における基板Ｗの移動方向（Ｘ軸方向）に沿って延びるラインの相対位置は特に高精度に配置する必要がある。図５に示すように、複数の液滴吐出ヘッド８を備えることにより、１つのＴＦＴセル内の基板Ｗの移動方向（Ｘ軸方向）のラインは、１つのヘッド内に形成された１つのノズル群に属する３つのノズルで描画されるので、所望の高い精度で描画することが可能になる。
【００４９】
図１に戻り、制御装置１８は、当該装置を統括的に制御する。この制御装置１８に、ヘッド駆動回路部２２、Ｙ軸モータドライバ２０、及びＸ軸モータドライバ２１が接続されている。
【００５０】
Ｘ軸モータドライバ２１は、制御装置１８からの制御指令に応じた位置に、セットテーブル１６を移動する。
【００５１】
制御装置１８は、主要な機能として次の（１）〜（３）の手段を有している。
（１）画像データをヘッド駆動回路部２２に転送する手段。
（２）Ｘ軸モータドライバ２１の制御を通じて、液滴吐出ヘッド８の各ノズルと基板Ｗの各セル３０のパターンとの位置関係を演算により求める手段。
（３）上記位置関係の演算に基づき、吐出タイミング信号をヘッド駆動回路部２２に転送する手段。
【００５２】
ヘッド駆動回路部２２は、液滴吐出ヘッド８を駆動する。
【００５３】
ここで、ヘッド駆動部の内部構成について説明する。図６は、本発明の実施形態による描画装置が備えるヘッド駆動部の構成を示すブロック図である。
【００５４】
図６に示すように、ヘッド駆動部は制御装置１８、複数の液滴吐出ヘッド８、液滴吐出ヘッド８の数と同数のヘッド駆動回路１９が設けられたヘッド駆動回路部２２を含んで構成される。
【００５５】
図７は、ヘッド駆動回路１９の内部構成を示すブロック図である。
【００５６】
図７に示すように、ヘッド駆動回路１９は、制御装置１８と情報の授受を行うインターフェース機能を有する通信部７１と、制御部１８から転送された画像データが保存される記憶装置７０と、制御部１８からの吐出タイミング信号に基づいて、記憶装置７０から必要な画像データを読み出して駆動波形生成ブロック７３に転送するデータ制御ブロック７２、１つの液滴吐出ヘッド８に設けられているノズルの数と同数のアナログスイッチを備えると共に液滴吐出ヘッド８を駆動するための駆動波形を生成するための駆動波形生成ブロック７３を含んで構成される。
【００５７】
液滴吐出ヘッド８は、設けられているノズルの数と同数のピエゾ素子等の圧力発生素子とを備えている。
【００５８】
駆動波形生成ブロック７３に設けられた全てのアナログスイッチは、液滴吐出ヘッド８に設けられた圧力発生素子に接続されおり、駆動波形を圧力発生素子に供給するよう構成されている。
【００５９】
また、アナログスイッチの各々には画像データが供給されており、この画像データに応じて開状態及び閉状態が制御される。吐出するか吐出しないかを示す信号、例えば吐出するときを「１」で表し、吐出しないときを「０」で表すデジタルデータ信号を画像データとした場合、例えば、画像データの値として「１」が供給されたアナログスイッチが開状態となり、駆動波形が開状態にあるアナログスイッチを介して圧力発生素子に供給され、これにより圧力発生素子に対応したノズルから機能液滴が吐出される。
【００６０】
上記構成において、描画パターンは同じセルの繰り返しになる場合、制御装置１８から描画する全画像データをヘッド駆動回路１９に転送する必要はない。
【００６１】
本例では、基板Ｗに対する機能液滴の吐出動作を開始する前に、予め１セル分の画像データを制御装置１８から記憶装置７０に転送、保存し、制御装置１８からの吐出タイミング信号に基づいて、データ制御ブロック７２が必要な画像データを読み出して駆動波形生成ブロック７３に転送して駆動波形を生成させ、所定のセルのパターンに吐出できるノズルを選択して、対応する圧力発生素子に駆動波形を出力して機能液滴を吐出させる。
【００６２】
これにより、幾何学的な繰り返し画像データを効率よく出力できる。また、大容量の画像データを少ないメモリー容量で出力できると共に、その画像データを発生する制御装置における画像データの処理を軽減できる。
【００６３】
記憶装置７０は、ヘッド駆動回路基板に実装されたＲＡＭ、フラッシュメモリーでも良いし、着脱可能なメモリー媒体でも良い。
【００６４】
また、画像データは図７のように制御装置１８から転送する方法でも良いし、制御装置１８を介さずに着脱可能なメモリー媒体から直接に転送する方法でも良い。
【００６５】
（その他の実施形態）以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
【００６６】
例えば、吐出させる材料としては、基板等の対象物上に形成するセルの要素に応じて種々選択可能であり、例えば上述してきた電極材料の他にも、インク、ＥＬ発光材料、誘電体材料、又は半導体材料がその１例として挙げられる。また、上記実施形態では、カラーフィルタや液晶に用いるＴＦＴセルの製造装置、を例として説明してきたが、本発明はこれらに限定されることなく、対象物上に微細パターニングを施す工業技術全般に用いることが可能である。例えば、各種半導体素子（薄膜ダイオード等）、各種配線パターン、及び絶縁膜の形成等がその利用範囲の１例として挙げられる。
【符号の説明】
【００６７】
１  描画装置
８  液滴吐出ヘッド
９  機能液供給装置
２２  ヘッド駆動回路部
３０  セル
Ｗ  基板
【図１】
0005445466.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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