(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭化タングステン基超硬合金製工具基体の表面に、０．２〜２μｍの平均層厚のＴｉＳｉＮ層からなる硬質被覆層を物理蒸着した表面被覆切削工具において、
上記ＴｉＳｉＮ層は、上記平均層厚と等しい高さを有し、かつ、上記工具基体表面に対して直立方向に成長した縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒からなり、
さらに、上記ＴｉＳｉＮ層の表面から０．１μｍの深さの水平断面における結晶粒組織を透過型電子顕微鏡で観察した場合、短辺が５〜１００ｎｍであって、アスペクト比が３以上である上記縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒が存在し、かつ、該水平断面において縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒が占める面積の合計は、全断面積の３０％以上であることを特徴とする表面被覆切削工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、硬質被覆層が、工具基体表面に対して直立方向に成長した縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒で構成されることにより、断続重切削加工という厳しい切削条件下で用いられた場合にも、すぐれた耐欠損性を発揮し、切削工具の長寿命化が可能となる炭化タングステン（以下、ＷＣで示す）基超硬合金製表面被覆切削工具（以下、被覆工具という）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、被覆工具には、各種の鋼や鋳鉄などの被削材の旋削加工にバイトの先端部に着脱自在に取り付けて用いられるインサートや、前記インサートを着脱自在に取り付けて、面削加工や溝加工、さらに肩加工などに用いられるソリッドタイプのエンドミルと同様に切削加工を行うインサート式エンドミルなどが知られている。
【０００３】
また、例えば、特許文献１に示されるように、炭化タングステン（以下、ＷＣで示す）基超硬合金焼結体で構成された工具本体の表面に、ＴｉとＳｉの複合窒化物（以下、ＴｉＳｉＮで示す）層からなる硬質被覆層を物理蒸着してなる被覆工具が広く知られており、各種の鋼や鋳鉄などの連続切削や断続切削加工に用いられている。
また、例えば、特許文献２に示されるように、工具本体の表面に、ＴｉＳｉＮ層からなる硬質被覆層を物理蒸着してなる被覆工具において、硬質被覆層を結晶質相と非晶質層の混合組織として形成し、かつ、結晶質相の結晶粒径を０．５ｎｍ以上２０ｎｍ未満と定めることにより、高硬度を維持したままで耐酸化性、靭性の向上を図った被覆工具も知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３４５４４２８号明細書
【特許文献２】特許第４１１２２９６号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年の切削加工装置のＦＡ化はめざましく、加えて切削加工に対する省力化、省エネ化、低コスト化さらに効率化の要求も強く、これに伴い、高送り、高切り込みなどより高効率の重切削加工が要求される傾向にあるが、上記の従来被覆工具においては、各種の鋼や鋳鉄を通常条件下で切削加工した場合に特段の問題は生じないが、切刃に対して大きな断続的・衝撃的負荷がかかる断続重切削加工に用いた場合には、切刃部に欠損を生じやすく、これが原因で、比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、断続重切削加工に用いられた場合にも優れた耐欠損性を示し被覆工具の長寿命化を図るべく、硬質被覆層をＴｉＳｉＮ層で構成するとともに、該ＴｉＳｉＮ層の結晶粒組織に着目し鋭意研究を行った結果、次のような知見を得た。
【０００７】
（ａ）従来、ＷＣ超硬合金からなる工具基体表面に、硬質被覆層としてのＴｉＳｉＮ層を成膜する場合、物理蒸着装置の１種であるアークイオンプレーティング（ＡＩＰ）装置に上記の工具基体を装着し、例えば、
装置内加熱温度：３９０〜４５０℃、
工具基体に印加する直流バイアス電圧：−２０〜−５０Ｖ、
カソード電極：Ｔｉ−Ｓｉ合金、
アーク放電電流：９０〜１２０Ａ、
装置内ガス流量：窒素（Ｎ２）ガス＋アルゴン（Ａｒ）ガス、
装置内窒素ガス圧力：１〜５Ｐａ、
の条件の条件で、ＴｉＳｉＮ層（以下、従来ＴｉＳｉＮ層という）が成膜される。    
【０００８】
（ｂ）しかるに、前記ＴｉＳｉＮ層の形成を、例えば図１の概略説明図に示される物理蒸着装置の１種である圧力勾配型Ａｒプラズマガスを利用したイオンプレーティング装置に上記の工具基体を装着し、
工具基体温度：３６０〜４５０  ℃、
蒸発源：金属Ｔｉおよび金属Ｓｉ、
プラズマガン放電電力：８〜１５  ｋＷ、
反応ガス流量：窒素（Ｎ２）ガス  １００〜１２０  ｓｃｃｍ、
放電ガス：アルゴン（Ａｒ）ガス  ３０〜６０  ｓｃｃｍ、
工具基体に印加する直流バイアス電圧：＋３〜＋５  Ｖ、
ハースと工具基体間の距離：９５０〜１０５０  ｍｍ、
という特定の条件でＴｉＳｉＮ層を蒸着形成した場合、この結果形成されたＴｉＳｉＮ層（以下、改質ＴｉＳｉＮ層という）を硬質被覆層とする被覆工具は、前記従来ＴｉＳｉＮ層を形成した被覆工具に比して、高切り込み、高送りの断続重切削加工条件において、すぐれた耐欠損性を示すことを見出した。
【０００９】
（ｃ）上記改質ＴｉＳｉＮ層の断面組織を透過型電子顕微鏡で観察したところ、図２の断面斜視図に示すように、層厚方向の縦断面においては、工具基体表面に対して直立方向に成長した縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒が形成され、また、改質ＴｉＳｉＮ層の表面から０．１μｍの深さの水平断面においては、短辺が５〜１００ｎｍであって、アスペクト比が３以上である上記縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒が所定の面積割合で形成されていることを確認した。
【００１０】
（ｄ）そして、表面被覆切削工具の硬質被覆層を、上記結晶粒組織の改質ＴｉＳｉＮ層で構成すると、層の曲げ抵抗が大になり耐塑性変形性が向上するとともに、結晶粒界が複雑に入り組んで形成されていることから、硬質被覆層にクラックが発生した場合でも、クラックの進展に対する抵抗性が増し、その結果、切刃に対して大きな断続的・衝撃的負荷がかかる高送り、高切り込みの断続重切削加工に用いた場合であっても、チッピング、欠損の発生が抑制され、長期の使用に亘ってすぐれた切削性能を発揮することを見出したのである。
【００１１】
この発明は、上記の知見に基づいてなされたものであって、
「  炭化タングステン基超硬合金製工具基体の表面に、０．２〜２μｍの平均層厚のＴｉＳｉＮ層からなる硬質被覆層を物理蒸着した表面被覆切削工具において、
上記ＴｉＳｉＮ層は、上記平均層厚と等しい高さを有し、かつ、上記工具基体表面に対して直立方向に成長した縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒からなり、
さらに、上記ＴｉＳｉＮ層の表面から０．１μｍの深さの水平断面における結晶粒組織を透過型電子顕微鏡で観察した場合、短辺が５〜１００ｎｍであって、アスペクト比が３以上である上記縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒が存在し、かつ、該水平断面において縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒が占める面積の合計は、全断面積の３０％以上であることを特徴とする表面被覆切削工具。」
に特徴を有するものである。
【００１２】
本発明について、以下に説明する。
【００１３】
この発明の被覆工具の硬質被覆層を構成する改質ＴｉＳｉＮ層において、Ｔｉ成分は高温強度を向上させ、Ｓｉ成分は耐熱性を向上させ、また、Ｎ成分には層の強度を向上させる作用があるため、改質ＴｉＳｉＮ層は、高い硬さとすぐれた耐熱性、強度を具備するようになり、被覆工具の耐摩耗性向上と工具の長寿命化に寄与する。
そして、本発明者等は、ＴｉＳｉＮ層を蒸着形成するための数多くの試験を行った結果、図１に示される圧力勾配型Ａｒプラズマガンを利用したイオンプレーティングにより、工具基体上にＴｉＳｉＮ層を形成する条件を、例えば、
工具基体温度：３９０〜４５０  ℃、
蒸発源：金属Ｔｉおよび金属Ｓｉ、
プラズマガン放電電力：８〜１５  ｋＷ、
反応ガス流量：窒素（Ｎ２）ガス  １００〜１２０  ｓｃｃｍ、
放電ガス：アルゴン（Ａｒ）ガス  ３０〜６０  ｓｃｃｍ、
工具基体に印加する直流バイアス電圧：＋３〜＋５  Ｖ、
ハースと工具基体間の距離：９５０〜１０５０  ｍｍ、
蒸着時間：  ３０〜１５０  ｍｉｎ、
という特定の条件に調整して蒸着すると、工具基体表面に対して直立方向に成長した縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒からなる改質ＴｉＳｉＮ層が形成されることを見出した。
【００１４】
なお、この発明の改質ＴｉＳｉＮ層におけるＳｉ成分の含有割合がＴｉ成分との合量に占める原子比で０．０１未満（即ち、０．０１＞Ｓｉ／（Ｔｉ＋Ｓｉ））では所望の耐熱性向上効果を期待することはできず、一方その含有割合が同じく０．３を越える（即ち、Ｓｉ／（Ｔｉ＋Ｓｉ）＞０．３）と、相対的にＴｉ成分の含有割合が少なくなり過ぎて、所望の高温強度が得られなくなることから、Ｓｉ成分の含有割合は、原子比で０．０１〜０．３とすることが望ましい。
【００１５】
改質ＴｉＳｉＮ層の組織をより詳細に透過型電子顕微鏡で観察すると、図２の断面斜視図に示すように、改質ＴｉＳｉＮ層の層厚方向の縦断面においては、上記縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒の高さが、改質ＴｉＳｉＮ層の層厚を構成している。
また、工具基体表面に平行で、改質ＴｉＳｉＮ層の表面から０．１μｍの深さにある水平断面（即ち、改質ＴｉＳｉＮ層表面から０．１μｍの深さにあり、層厚方向に直交する平面）においては、短辺が５〜１００ｎｍであって、アスペクト比が３以上である矩形状のＴｉＳｉＮ結晶粒が存在する。
しかも、上記水平断面において、上記矩形状のＴｉＳｉＮ結晶粒の面積の合計が占める面積割合は、水平断面の全面積の３０％以上となっている。
【００１６】
この改質ＴｉＳｉＮ層の平均層厚（上記縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒の高さと同じ）は成膜時間によって大きく影響され、成膜時間が短いため（例えば、３０分未満）に上記ＴｉＳｉＮ結晶粒の高さが０．２μｍに満たないような場合は、耐摩耗性に劣り長期の使用に亘ってすぐれた切削性能を発揮することはできず、一方、成膜時間が長くなり（例えば、１５０分を超える）、上記ＴｉＳｉＮ結晶粒の高さが２μｍを超えるような場合は、ＴｉＳｉＮ結晶粒が粗大化し、表面平滑性が失われ、チッピングが生じ易くなる。
したがって、改質ＴｉＳｉＮ層の平均層厚（＝上記縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒の高さ）は、０．２〜２μｍと定める。
【００１７】
また、この改質ＴｉＳｉＮ層の表面から０．１μｍの深さにある水平断面に存在する矩形状のＴｉＳｉＮ結晶粒の短辺が５ｎｍ未満では、結晶粒単体で十分な強度を維持することはできず、一方、短辺が１００ｎｍを超えると、結晶粒が粗大になりチッピングを生じ易くなることから、上記矩形状のＴｉＳｉＮ結晶粒の短辺は５〜１００ｎｍと定める。
なお、この発明でいう「短辺」とは、改質ＴｉＳｉＮ層の表面から０．１μｍの深さにある水平断面に存在する個々のＴｉＳｉＮ結晶粒について、そのサイズを透過型電子顕微鏡により測定し、個々の結晶粒の測定された最大径を示す線分を長辺とした場合に、長辺方向に対して垂直な方向における最大幅をいう。
【００１８】
また、この改質ＴｉＳｉＮ層の表面から０．１μｍの深さにある水平断面に存在する矩形状のＴｉＳｉＮ結晶粒のアスペクト比が３未満では、層の曲げ抗力が小さくなり所望の耐塑性変形性が得られないことから、上記矩形状のＴｉＳｉＮ結晶粒のアスペクト比は３以上と定める。
なお、ここでいう「アスペクト比」とは、前記個々の結晶粒の測定された最大径を示す線分である長辺の値を、前記短辺の値で除した値である。
【００１９】
また、この改質ＴｉＳｉＮ層の表面から０．１μｍの深さにある水平断面に存在する矩形状のＴｉＳｉＮ結晶粒の面積割合が、測定した水平断面の全面積の３０％未満であるような場合は、クラックの進展経路が複雑でなくなりクラックの進展に対する抵抗力が十分に得られずチッピングを生じやすくなることから、上記矩形状のＴｉＳｉＮ結晶粒面積割合は３０％以上とする。
【００２０】
改質ＴｉＳｉＮ層の表面から０．１μｍの深さにある水平断面に存在する矩形状のＴｉＳｉＮ結晶粒の短辺の値、アスペクト比の値および面積割合は、改質ＴｉＳｉＮ層の蒸着条件の内のそれぞれ、成膜時間、成膜温度および印加する直流バイアス電圧、成膜温度および印加する直流バイアス電圧によって影響を受けるので、矩形状のＴｉＳｉＮ結晶粒の短辺の値、アスペクト比の値および面積割合を所定の数値範囲に維持するためには、前記蒸着条件のうち、特に、成膜時間、成膜温度、印加する直流バイアス電圧については厳密に調整しなければならない。
【発明の効果】
【００２１】
この発明の被覆工具は、硬質被覆層を構成する改質ＴｉＳｉＮ層が、工具基体表面に対して直立方向に成長した縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒からなり、さらに、上記改質ＴｉＳｉＮ層の表面から０．１μｍの深さの水平断面において、短辺が５〜１００ｎｍであって、アスペクト比が３以上である上記縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒が存在し、かつ、該縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒が占める面積の合計は、全断面積の３０％以上である結晶粒組織を備えることから、改質ＴｉＳｉＮ層の曲げ抵抗が大になり耐塑性変形性が向上するとともに、切刃に対して断続的・衝撃的負荷が作用する高送り、高切り込みの断続重切削加工において硬質被覆層にクラックが発生した場合でも、結晶粒界が複雑に入り組み形成されていることから、クラックの進展に対する抵抗性が増し、その結果、すぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度に加えて耐欠損性が改善され、長期の使用に亘ってすぐれた切削性能を発揮し、工具寿命の延命化が図られるのである。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】この発明の表面被覆切削工具の硬質被覆層（改質ＴｉＳｉＮ層）を蒸着形成するため圧力勾配型Ａｒプラズマガンを利用したイオンプレーティング装置の概略図を示し、（ａ）は概略正面図、（ｂ）は概略平面図を示す。
【図２】この発明の表面被覆切削工具の改質ＴｉＳｉＮ層からなる硬質被覆層の断面斜視図を示す。
【図３】本発明インサート１の改質ＴｉＳｉＮ層の表面から０．１μｍの深さの水平断面におけるＴｉＳｉＮ結晶粒の組織写真を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
つぎに、この発明の被覆工具を実施例により具体的に説明する。
なお、ここでは被覆インサートを中心にして説明するが、被覆インサートに限らず、被覆エンドミル、被覆ドリル等の各種の被覆工具に適用できるものである。
【実施例１】
【００２４】
原料粉末として、いずれも１〜３μｍの平均粒径を有するＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＶＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、Ｃｒ3 Ｃ2 粉末、およびＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を、表１に示される配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａ の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を６Ｐａの真空中、温度：１４００℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にＲ：０．０３のホーニング加工を施してＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４１２のインサート形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体１〜１０を形成した。
【００２５】
【表１】
0005397690.tif 000002
【００２６】
ついで、上記の工具基体１〜１０を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、図１に示される圧力勾配型Ａｒプラズマガンを利用したイオンプレーティング装置に装着し、蒸発源として、金属Ｔｉおよび金属Ｓｉを装着し、まず、装置内を排気して１．０×１０−３Ｐａ以下の真空に保持しながらヒーターで装置内を３９０〜４５０℃に加熱した後、Ａｒガスを導入して２．３×１０−２Ｐａとしたのち、圧力勾配型プラズマガンの放電電力を２ｋＷとし、装置内にＡｒイオンを発生させて、工具基体に−２００Ｖのバイアス電圧を印加することによって、前記工具基体を１０分間Ａｒボンバード処理し、ついで、装置内を一旦１×１０−３Ｐａ程度の真空にした後、圧力勾配型Ａｒプラズマガンの放電電力を１２ｋＷとし、Ａｒガスを４５ｓｃｃｍ，窒素ガスを１００ｓｃｃｍ流しながら、炉内の圧力を３×１０−２〜６×１０−２Ｐａに保ち、蒸発源にプラズマビームを入射し金属Ｔｉおよび金属Ｓｉの蒸気を発生させるとともにプラズマビームでイオン化して、蒸発源の上部１０００ｍｍに固定された工具基体表面に、表３に示される目標層厚の改質ＴｉＳｉＮ層を硬質被覆層として蒸着形成することにより、本発明被覆工具としての本発明表面被覆インサート（以下、本発明インサートという）１〜１０を製造した。
なお、表２に、本発明インサート１〜１０の改質ＴｉＳｉＮ層の形成条件である圧力勾配型Ａｒプラズマガンを利用したイオンプレーティングの各種条件を一覧で示す。
【００２７】
比較のため、上記の工具基体Ａ１〜Ａ１０について、通常のアークイオンプレーティング（ＡＩＰ）法によって、以下の条件で、表５に示される目標層厚の従来ＴｉＳｉＮ層を蒸着形成することにより、比較例表面被覆インサート（以下、比較例インサートという）１〜１０を製造した。
装置内加熱温度：３９０〜４５０℃、
工具基体に印加する直流バイアス電圧：−２０〜−５０Ｖ、
カソード電極：Ｔｉ−Ｓｉ合金、
アーク放電電流：１００〜１２０Ａ、
装置内ガス：窒素（Ｎ２）ガス、
装置内窒素ガス圧力：１〜５Ｐａ、
なお、表４に、比較例インサート１〜１０の従来ＴｉＳｉＮ層の形成条件であるアークイオンプレーティング（ＡＩＰ）の各種条件を一覧で示す。
【００２８】
ついで、本発明インサート１〜１０および比較例インサート１〜１０の各硬質被覆層について、透過型電子顕微鏡を用いて結晶粒組織の状態を観察した。
表３，５に、その観察結果を示す。
表３によれば、本発明インサート１〜１０では、改質ＴｉＳｉＮ層の平均層厚と等しい高さの縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒が、工具基体表面に対して直立方向に成長しており、ＴｉＳｉＮ層の表面から０．１μｍの深さの水平断面について透過型電子顕微鏡を用いて観察・測定したところ、短辺が５〜１００ｎｍ、アスペクト比が３以上であり、かつ、該水平断面における合計面積が、全断面積の３０％以上である縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒が存在することが確認された。
図３に、一例として、本発明インサート１の改質ＴｉＳｉＮ層の表面から０．１μｍの深さの水平断面におけるＴｉＳｉＮ結晶粒の組織写真を示す。
【００２９】
これに対して、表５から、ＴｉＳｉＮ層を通常のアークイオンプレーティング法により成膜した比較例インサート１〜１０においては、従来ＴｉＳｉＮ層の平均層厚と等しい高さの柱状のＴｉＳｉＮ結晶粒が工具基体表面に対して直立方向に成長しており、ＴｉＳｉＮ層の表面から０．１μｍの高さの水平断面につて透過型電子顕微鏡を用いて観察・測定したところ、観測面の大部分をアスペクト比が２未満の粒により構成されており、アスペクト比が３以上の粒子の存在は確認されないことが分かる。
【００３０】
【表２】
0005397690.tif 000003
【００３１】
【表３】
0005397690.tif 000004
【００３２】
【表４】
0005397690.tif 000005
【００３３】
【表５】
0005397690.tif 000006
【００３４】
つぎに、上記本発明インサート１〜１０および比較例インサート１〜１０について、これを工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状態で、
被削材：ＪＩＳ・ＳＣＭｎＨ２の長さ方向等間隔４本縦溝入り丸棒、
切削速度：  １５０  ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み：  ３．０  ｍｍ、
送り：  ０．４  ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間：  ２  分、
の条件（切削条件１という）での高マンガン鋼の乾式断続重切削加工試験（通常の切り込み及び送りは、それぞれ、３ｍｍ、０．３ｍｍ／ｒｅｖ．）、
被削材：ＪＩＳ・Ｓ４５Ｃの長さ方向等間隔４本縦溝入り丸棒、
切削速度：  ２００  ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み：  ３  ｍｍ、
送り：  ０．４０  ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間：  ２  分、
の条件（切削条件２という）での炭素鋼の乾式断続重切削加工試験（通常の切り込み及び送りは、それぞれ、３ｍｍ、０．２０ｍｍ／ｒｅｖ．）、
を行い、
いずれの切削加工試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。
この測定結果を表７に示した。
【００３５】
【表６】
0005397690.tif 000007
【００３６】
表３，５，６に示される結果から、本発明インサート１〜１０は、いずれも硬質被覆層を構成する改質ＴｉＳｉＮ層が０．２〜２μｍの平均層厚を有するとともに、工具基体表面に対して直立方向に平均層厚と同じ高さの縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒組織が形成されており、さらに、上記改質ＴｉＳｉＮ層の表面から０．１μｍの深さの水平断面において、短辺が５〜１００ｎｍであって、アスペクト比が３以上である上記縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒が存在し、かつ、該縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒が占める面積の合計は、全断面積の３０％以上である結晶粒組織を備えることから、改質ＴｉＳｉＮ層の曲げ抵抗性が増し、耐塑性変形性が向上するとともに、切刃に対して断続的・衝撃的負荷が作用する高送り、高切り込みの断続重切削加工において硬質被覆層にクラックが発生した場合でも、結晶粒界が複雑に入り組み形成されていることから、クラックの進展に対する抵抗性が増し、その結果、すぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度に加えて耐欠損性が改善され、長期の使用に亘ってすぐれた切削性能を発揮し、工具寿命の延命化が図られているのである。
【００３７】
これに対して、比較例インサート１〜１０においては、従来ＴｉＳｉＮ層における結晶粒はアスペクト比が低く、結晶粒界が複雑に入り組んで形成されておらず、クラックの進展に対する抵抗力が弱いため、断続切削加工においては、欠損等により比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
上述のように、この発明の被覆工具は、硬質被覆層（改質ＴｉＳｉＮ層）が、特定の短径、アスペクト比、面積割合を有する縦長平板状のＴｉＳｉＮ結晶粒組織として形成されていることから、優れた耐欠損性を備えており、そして、この優れた切削性能は、実施例において示した被覆インサートばかりでなく、被覆エンドミル、被覆ドリル等の各種被覆工具においても、長期の使用に亘って発揮されるものである。
【図１】
0005397690.tif 000008
【図２】
0005397690.tif 000009
【図３】
0005397690.tif 000010