(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬出入するための前側開口が備えられ、該前側開口を区画する要素としての左右一対の各側壁の内面に支持部材が、互いに対向しつつ、前後方向に延びるようにそれぞれ設けられ、前記両支持部材に、基板を支えて該基板の撓みを抑制するサポート治具が着脱可能に保持され、前記前側開口の後方領域に、前記サポート治具の所定位置以上の後方動を規制する進入規制部が設けられている基板収納容器において、
前記各支持部材に、板面を上下方向に向けつつ前後方向に延びる板状の支承部と、該支承部に少なくとも1箇所設けられて該支承部の一方の板面との間に該支承部の肉厚方向外方に向けて起立する段差面を形成する段部と、が備えられ、
前記サポート治具に、前記各支持部材に沿って互いに対向しつつ該各支持部材の延び方向にそれぞれ延びる一対の係合支持板部と、該一対の係合支持板部の後端部同士を連結する連結板部と、が備えられ、
前記各係合支持板部の外側面部に、第１係合片部と、該第１係合片部に対して該各係合支持板部の肉厚方向及び延び方向にずれた状態で配置されると共に該各係合支持板部の肉厚方向に撓み可能とされる第２係合片部と、がそれぞれ少なくとも1箇所備えられ、
前記第１係合片部は、前記支承部の他方の板面に当接され、
前記第２係合片部は、前記サポート治具が前記進入規制部により移動規制を受けた状態の下で、前記段差面に当接しつつ前記支承部の一方の板面に当接されていることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記第２係合片部が、前記係合支持板部の延び方向に間隔をあけて複数設けられ、
前記複数の第２係合片部のうちの少なくとも１つの第２係合片部が前記段差面に当接され、
前記第１係合片部が、前後方向において隣り合う前記第２係合片部間に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記段差面が、前記前側開口から内方に向けて遠のくに従って前記支持部材の幅方向内面から該支持部材の幅方向外面に近づくように延び、
前記第２係合片部に、前記段差面に沿って当接するための係合面が形成され、
前記サポート治具が、拡縮可能とされていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項４】
基板を搬出入するための前側開口が備えられ、該前側開口を区画する要素としての左右一対の各側壁の内面に支持部材が、互いに対向しつつ、前後方向に延びるようにそれぞれ設けられ、該各支持部材が、板面を上下方向に向けつつ前後方向に延びる板状の支承部と、該支承部に少なくとも1箇所設けられ該支承部の一方の板面との間に該支承部の肉厚方向外方に向けて起立する段差面を形成する段部と、を備え、前記前側開口の後方領域に進入規制部が設けられている基板収納容器において用いられるサポート治具であって、
間隔をあけた状態で、肉厚面同士を互いに対向させつつ延びる板状の一対の係合支持板部と、
前記一対の係合支持板部の端部同士を連結する連結板部と、が備えられ、
前記各係合支持板部の外側面部に、前記支承部の他方の板面に当接されるための第１係合片部と、該第１係合片部に対して該各係合支持板部の肉厚方向及び該各係合支持板部の延び方向にずれた状態で配置されると共に、該係合支持板部の肉厚方向に撓み可能とされて、前記段差面に当接した状態で前記支承部の一方の板面に当接される第２係合片部と、がそれぞれ備えられていることを特徴とするサポート治具。
【請求項５】
前記第２係合片部が、前記係合支持板部の延び方向に間隔をあけて複数設けられ、
前記複数の第２係合片部のうちの少なくとも１つの第２係合片部が、前記段差面に当接されるためのものとして設定され、
前記第１係合片部が、前記係合支持板部の延び方向において隣り合う前記第２係合片部間に配置されていることを特徴とする請求項４に記載のサポート治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば半導体ウェーハ、ガラスウェーハ、マスクガラス等のような精密加工基板を収納して、輸送、搬送、保管に使用する基板収納容器、及びその基板収納容器に用いられるサポート治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ等のような基板を基板収納容器内に収納し、その基板収納容器を輸送、搬送、保管に使用することは広く知られている。この基板収納容器は、一般に、基板を搬出入するための前側開口を備える容器本体と、その前側開口を閉鎖し得る蓋体とからなり、その容器本体は、複数の基板を上下に整列した状態で収納すべく、前側開口を区画する要素である左右一対の側壁に支持手段をそれぞれ設け、その両支持手段によって基板を直接、支持している。
【０００３】
ところで、半導体業界では、現在多く使われている直径２００ｍｍ厚さ７２５μｍのシリコンウェーハや、直径３００ｍｍ厚さ７７５μｍのシリコンウェーハの表面に電子回路を形成した後、その裏面を研削し、そのシリコンウェーハの肉厚を半導体部品として使用させるものとすることがある。その肉厚は、例えば通常の肉厚の半分以下となる１０μｍ〜３００μｍまで薄く加工されることがある。また、ＣＣＤセンサー、ＣＭＯＳセンサー、光学フィルター等に使用されるガラスウェーハとしては、直径３００ｍｍで、厚さが３５０μｍ〜５００μｍ程度の薄いものが使用されることがある。こうした薄板状基板は、自重での撓みが大きいため、支持手段から外れ易くなるばかりか、上下に隣り合う薄板状基板同士の接触により薄板状基板が損傷等するおそれがある。
【０００４】
このような問題点に対する対策として、容器本体における両側壁内面の支持手段に別部材としてのサポート治具を支持させて、そのサポート治具により薄板状基板を支えることによりその薄板状基板の撓みを抑制するものが提案されている。例えば、特許文献１には、支持手段として、容器本体における左右両側壁の内面にそれぞれ受け溝を形成し、その両受け溝に板状のサポート治具の両側部を前側開口から挿入して、そのサポート治具により薄板状基板を受け止めるようにしたものが示されている。特許文献２には、支持手段として、容器本体における左右両側壁の内面にそれぞれ凹部を形成し、その各凹部にサポート治具の各側部を押し込むことにより凹部とサポート治具の両側部とを摩擦係合させ、そのサポート治具により薄板状基板を受け止めるようにしたものが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開2000-91400号公報
【特許文献２】特開2004-529493号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１においては、単に、サポート治具の両側部を容器本体における側壁の受け溝にその前側開口から挿入したにすぎないことから、サポート治具は容器本体の前方にスライド可能となり、サポート治具の位置は、前後方向において位置ずれしてしまうおそれがある。このため、そのような場合には、サポート治具を精度良く位置決めすることができず、それに伴い、基板も精度良く位置決めることができない。
特許文献２においては、容器本体側壁における凹部にサポート治具の両側部を押し込んで摩擦係合させる構成であることから、サポート治具を所定位置まで比較的大きな押し込み力をもって押し込む必要があるばかりか、支持部材を直接、通常の基板支持に用いるべく、そのサポート治具を取り外そうとする場合には、サポート治具を引き出すために比較的大きな引っ張り力が必要となって、容易に取り外すことはできない。しかも、サポート治具の保持を、凹部とサポート治具との摩擦係合に委ねていることから、長期に亘って安定した保持機能を維持するという耐久性の観点からは好ましくはない。
【０００７】
本発明は上記問題点に鑑みなされたもので、その第１の目的は、長期に亘って、サポート治具の着脱を容易に行えると共に、サポート治具を取付けた場合には、そのサポート治具を高い位置精度をもって保持できる基板収納容器を提供することにある。
第２の目的は、上記基板収納装置に用いられるサポート治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記第１の目的は、下記（１）〜（５）の本発明により達成される。
【０００９】
（１）基板を搬出入するための前側開口が備えられ、該前側開口を区画する要素としての左右一対の各側壁の内面に支持部材が、互いに対向しつつ、前後方向に延びるようにそれぞれ設けられ、前記両支持部材に、基板を支えて該基板の撓みを抑制するサポート治具が着脱可能に保持され、前記前側開口の後方領域に、前記サポート治具の所定位置以上の後方動を規制する進入規制部が設けられている基板収納容器において、
前記各支持部材に、板面を上下方向に向けつつ前後方向に延びる板状の支承部と、該支承部に少なくとも1箇所設けられて該支承部の一方の板面との間に該支承部の肉厚方向外方に向けて起立する段差面を形成する段部と、が備えられ、
前記サポート治具に、前記各支持部材に沿って互いに対向しつつ該各支持部材の延び方向にそれぞれ延びる一対の係合支持板部と、該一対の係合支持板部の後端部同士を連結する連結板部と、が備えられ、
前記各係合支持板部の外側面部に、第１係合片部と、該第１係合片部に対して該各係合支持板部の肉厚方向及び延び方向にずれた状態で配置されると共に該各係合支持板部の肉厚方向に撓み可能とされる第２係合片部と、がそれぞれ少なくとも1箇所備えられ、
前記第１係合片部は、前記支承部の他方の板面に当接され、
前記第２係合片部は、前記サポート治具が前記進入規制部により移動規制を受けた状態の下で、前記段差面に当接しつつ前記支承部の一方の板面に当接されていることを特徴とする基板収納容器。
【００１０】
（２）前記第２係合片部が、前記係合支持板部の延び方向に間隔をあけて複数設けられ、
前記複数の第２係合片部のうちの少なくとも１つの第２係合片部が前記段差面に当接され、
前記第１係合片部が、前後方向において隣り合う前記第２係合片部間に配置されていることを特徴とする（１）に記載の基板収納容器。
上記構成によれば、第１係合片部と複数の第２係合片部とにより、支持部材に対するサポート治具（係合支持板部）の保持を的確に行うことができることになる。
【００１１】
（３）前記段差面が、前記前側開口から内方に向けて遠のくに従って前記支持板部の幅方向内面から該支持板部の幅方向外面に近づくように延び、
前記第２係合片部に、前記段差面に沿って当接するための係合面が形成され、
前記サポート治具が、拡縮可能とされていることを特徴とする（１）に記載の基板収納容器。
上記構成によれば、段差面と係合面との当接関係によりサポート治具の前方動を規制できる一方（位置決め精度確保）、サポート治具を縮径させることにより、一対の係合支持板部を互いに近づかせ、段差面と係合面との当接関係を円滑に解除できる。
【００１２】
（４）基板を搬出入するための前側開口が備えられ、該前側開口を区画する要素としての左右一対の各側壁の内面に支持部材が、互いに対向しつつ、前後方向に延びるようにそれぞれ設けられ、前記両支持部材に、基板を支えて該基板の撓みを抑制するサポート治具が着脱可能に保持され、前記前側開口の後方領域に、前記サポート治具の所定位置以上の後方動を規制する進入規制部が設けられている基板収納容器において、
前記支持部材が、前記各側壁内面において、上下方向に所定間隔毎に複数設けられ、
前記所定間隔が、基板の撓み量を超える長さに設定されていることを特徴とする基板収納容器。
【００１３】
（５）前記所定間隔が、基板の撓み量の２倍以上とされていることを特徴とする（４）に記載の基板収納容器。
上記構成によれば、基板を持ち上げるに際し、具体的に、周囲部材との干渉を避けることができる。
【００１４】
上記第２の目的は、下記（６）〜（７）の本発明により達成される。
（６）基板を搬出入するための前側開口が備えられ、該前側開口を区画する要素としての左右一対の各側壁の内面に支持部材が、互いに対向しつつ、前後方向に延びるようにそれぞれ設けられ、該各支持部材が、板面を上下方向に向けつつ前後方向に延びる板状の支承部と、該支承部に少なくとも1箇所設けられ該支承部の一方の板面との間に該支承部の肉厚方向外方に向けて起立する段差面を形成する段部と、を備え、前記前側開口の後方領域に進入規制部が設けられている基板収納容器において用いられるサポート治具であって、
間隔をあけた状態で、肉厚面同士を互いに対向させつつ延びる板状の一対の係合支持板部と、
前記一対の係合支持板部の端部同士を連結する連結板部と、が備えられ、
前記各係合支持板部の外側面部に、前記支承部の他方の板面に当接されるための第１係合片部と、該第１係合片部に対して該各係合支持板部の肉厚方向及び該各係合支持板部の延び方向にずれた状態で配置されると共に、該係合支持板部の肉厚方向に撓み可能とされて、前記段差面に当接した状態で前記支承部の一方の板面に当接される第２係合片部と、がそれぞれ備えられていることを特徴とするサポート治具。
【００１５】
（７）前記第２係合片部が、前記係合支持板部の延び方向に間隔をあけて複数設けられ、
前記複数の第２係合片部のうちの少なくとも１つの第２係合片部が、前記段差面に当接されるためのものとして設定され、
前記第１係合片部が、前記係合支持板部の延び方向において隣り合う前記第２係合片部間に配置されていることを特徴とする（６）に記載のサポート治具。
上記構成によれば、前記（２）に記載の基板収納容器に用いられるサポート治具を提供できる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明（請求項１に係る発明）によれば、各側壁の支持部材を第１、第２係合片部が上下に挟持することになり、サポート治具は、上下方向の移動が規制される。一方、サポート治具の後方動については、該サポート治具が所定位置にあるとき、該サポート治具と進入規制部との当接関係により規制され、サポート治具の前方動については、該サポート治具が所定位置にあるとき、支持部材の段差面と第２係合片部とが当接して、サポート治具の前方動が規制される。このため、サポート治具は、所定位置において、上下方向及び前後方向に移動することが規制され、サポート治具を高い位置精度をもって保持できる。
また、サポート治具の支持部材に対する取付けに関しては、第２係合片部の撓み性を利用して、第１係合片部を支承部の他方の板面に当接させた状態の下で、第２係合片部を、段部を乗り越えて支承部の一方の板面に当接させるだけでよく、必要とする押し込み力もいつでも比較的小さなもので足り、全体を通して大きな押し込み力が要求されることはない。しかも、作業者は、第２係合片部の撓み性に基づき取付け時に節度感を感じることになり、サポート治具の確実な取付けを認識できる。サポート治具の支持部材からの取り外しに関しては、第２係合片部の撓み性を利用して、該第２係合片部と段差面との当接関係を解除できることは勿論、把持し易い一対の係合支持板部を互いに近づくようにサポート治具を縮径させるだけで、第２係合片部と段差面との当接関係を解除できることになり、サポート治具を支持部材からいつでも簡単に取り外すことができる。このため、長期に亘って、サポート治具の着脱を容易に行うことができる。
本発明（請求項４に係る発明）によれば、基板の撓み量を考慮し、周囲部材との干渉を避けつつ、その基板を持ち上げることができ、基板の取り出しを確実に行うことができる。
本発明（請求項６に係る発明）によれば、前記請求項１に記載の基板収納容器に用いられるサポート治具を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施形態の基板収納容器を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態の基板収納容器の構造を説明する分解斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態の基板収納容器において、サポート治具が取付けられた状態を示す斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態の基板収納容器において、サポート治具の取付けを説明する説明図である。
【図５】本発明の第１実施形態の基板収納容器において、サポート治具が取付けられた状態を示す一部破断斜視図である。
【図６】図５の部分拡大斜視図である。
【図７】図３の基板収納容器の内部を示す横断面図である。
【図８】図６のＸ８−Ｘ８線断面図である。
【図９】ロボットアームによる容器本体内からの薄板状基板の取り出しを説明する正面図である。
【図１０】図９の要部拡大図である。
【図１１】ＳＥＭＩ規格準拠の一般的な基板収納容器内からのロボットアームによる基板の取り出しを説明する正面図である。
【図１２】ＳＥＭＩ規格準拠の一般的な基板収納容器内での薄板状基板と支持部材との干渉を説明する拡大説明図である。
【図１３】第２実施形態に係るサポート治具を示す一部拡大平面図。
【図１４】容器本体内に第２実施形態に係るサポート治具が組み込まれたときにおける弾性片の作動を説明する説明図である。
【図１５】図１４のＸ１５−Ｘ１５線拡大断面図である。
【図１６】第３実施形態に係るサポート治具を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、実施形態という。）について詳細に説明する。
【００１９】
図１〜図１０は第１実施形態を示す。その図１，図２において、符号１は、半導体ウェーハ等の基板２を収納する基板収納容器である。この基板収納容器１は、前側に開口３を有するいわゆるフロントオープンボックスタイプの容器本体４と、この容器本体４の前側開口３を閉鎖し得る蓋体５と、を備えている。
【００２０】
前記容器本体４は、上記フロントオープンボックスタイプに成形すべく、図１〜図５に示すように、基板２よりも大きい底壁６と、この底壁６の上方に位置されて該底壁６に対向される上壁７と、これら上壁７と底壁６との後部間を上下に連結する背面壁８と、底壁６と上壁７の左右両側部間を上下に連結する左右一対の側壁９と、を備えるように成形されており、左右一対の側壁９と上壁７と底壁６とは、前記前側開口３を正面視横長形状に区画している。この容器本体４における左右一対の側壁９の間隔は、前後方向（図２中、Ｘ）中間位置よりもやや後方位置部分を基準として、後側領域が前側領域よりも短くされており、その両者間領域における各側壁９は、後方に向かうに従って左右の両側壁９の間隔が徐々に狭まるように傾斜されている。この側壁９部分は、開口３の後方領域に臨んで基板２等の進入規制壁１０を構成している。
尚、容器本体４の底壁６には容器本体４を加工装置に位置決めするためのボトムプレート１１と位置決め部材が設けられ、容器本体４の上壁７には、搬送用のロボティックフランジ１２が取り付けられている。
【００２１】
前記蓋体５は、図１、図２に示すように、皿状の蓋体本体１３と、この蓋体本体１３の開口部を閉鎖するように取り付けられる表面プレート１４と、を有し、その内部には、蓋体５を容器本体４に係止する施錠機構１５が備えられている。この施錠機構１５は、回転部材１６と、この回転部材１６の回転によって長手方向に移動がなされる連結バー１７と、この連結バー１７の先端に設けられる係止部１８と、によって構成されている。表面プレート１４には、前記回転部材１６と対向する部分において操作孔１９が形成されており、その操作孔１９を介して施錠機構１５を操作することができることになっている。また、蓋体本体１３の側面全周にはガスケット部材２０が備えられており、そのガスケット部材２０は、蓋体５が開口３を閉鎖する際、容器本体４の開口３周縁部との間のシール性を確保する。
【００２２】
前記蓋体５の裏面には、図２に示すように、リテーナ２１が設けられている。リテーナ２１は、矩形状の枠体２２と、この枠体２２から短冊状に分岐されて基板２側に張り出す弾性片２３とを備えて構成されている。弾性片２３には基板２と接触する断面がＶあるいはＵ字状をした保持溝２４が形成されている。
【００２３】
前記容器本体４の両側壁９の内面には、図２、図４〜図８に示すように、複数組（本実施形態においては１３組）の一対の支持部材２５がそれぞれ設けられている。この各組の支持部材２５は、開口３からやや容器本体４内に入った位置から前記進入規制壁１０までの範囲で、互いに横方向（図２中、Ｙ）内方に向けて水平に張り出しつつ、前後方向Ｘに延びており、そのような各組における支持部材２５は、上下方向に所定間隔Ｌ（図１０参照）毎に配置されている。この所定間隔Ｌとしては、薄板状の基板２（例えば直径３００ｍｍ、厚さ１０μｍ〜３００μｍ）の撓み量（通常は数ｍｍ〜１０ｍｍ前後）を超える長さ、具体的には、薄板状基板２の撓み量の２倍以上とするのが好ましく、本実施形態においては、１２ｍｍないしは１２ｍｍを超える近傍値に設定されている。
【００２４】
前記各支持部材２５には、図４〜図８に示すように、支承部２６と、段部２７とが一体的に備えられている。支承部２６は、板状とされて、その板面を上下方向に向けつつ前後方向Ｘに延ばされている。この支承部２６は、選択により、図２に示すように、通常の基板２（例えば、直径３００ｍｍ、厚さ７７５μｍ）の一部周縁部を支持する機能を有している。このため、この支承部２６の上面には、通常の基板２と支承部２６上面との接触を極力、少なくすべく、前後方向Ｘに間隔をあけて、２つの突条２８ａ，２８ｂが突設されている。この各突条２８ａ（２８ｂ）は、支承部２６の上面を幅方向（横方向Ｙ）に横切るようにそれぞれ延びており、その両突条２８ａ，２８ｂは、平行な配置関係とされている。勿論、この突条２８ａ，２８ｂについては、省いて、支承部２６上面に直接、通常の基板２を支持してもよい。
【００２５】
前記段部２７は、図４〜図８に示すように、支承部２６の前端部上に設けられて、支承部２６の上面から上方（支承部２６の肉厚方向外方）に多少、突出した状態となっている。このため、段部の上面は支承部２６の上面よりも高くなり、段部２７の上面と支承部２６の上面との間には、段差面２９が形成（起立）されている。この段差面２９は、本実施形態においては、後方に向うに従って支持部材２５の幅方向内面から該支持板部の幅方向外面に近づくように円弧状に延びており、この段差面２９は、通常の基板２を支承部２６に直接支持する場合には、その通常の基板２を案内する案内壁及びその通常の基板２の前方への移動を規制するガイド壁として機能することになる。このとき、通常の基板２の後方移動は、前述の進入規制壁１０により規制される。
【００２６】
前記各組の一対の支持部材２５には、図３〜図８に示すように、選択により、サポート治具３０が着脱可能に保持される。サポート治具３０は、板材を用いて、平面視略馬蹄形状に形成されている。このため、サポート治具３０は、間隔（例えば２００ｍｍ以上）をあけた状態で、肉厚面を互いに対向させつつ、ほぼ直線状に延びる左右一対の係合支持板部３１と、これらの係合支持板部３１を連結する連結板部としての湾曲板部３２とを有しており、これらは、平面視において、略一定幅を維持するように設定されている。これにより、サポート治具３０は、通常の基板２よりも撓み傾向が強い薄板状の基板２（例えば直径３００ｍｍ、厚さ１０μｍ〜３００μｍ）を支えて、その撓みを抑制する。
【００２７】
前記一対の各係合支持板部３１の外側面部には、図４〜図８に示すように、板状の第１、第２係合片部３３，３４が設けられている。前記第１係合片部３３は、その板面を上下方向に向けつつ、係合支持板部３１における外側面部の肉厚方向（図８中、上下方向）一方側部分（下側部分）からその係合支持板部３１の幅方向（横方向Ｙ）外方に向けて張り出されており、その第１係合片部３３の上面は、前記支承部２６の下面に、その前後方向Ｘ略中間位置において当接されている。これにより、サポート治具３０は、上方に移動することが規制されている。
【００２８】
前記第２係合片部３４は、２つの第２係合片部３４ａ，３４ｂを有している。第２係合片部３４ａは、第１係合片部３３よりも湾曲板部に近い側において、係合支持板部３１における外側面部の肉厚方向他方側部分（図８中、上側部分）からその係合支持板部３１の幅方向外方に向けて張り出されており、その第２係合片部３４ａの下面は、前記支承部２６の上面に当接されている。これにより、サポート部材は、下方に移動することが規制されている。このとき、本実施形態においては、第２係合片部３４ａは、前記突条２８ｂを利用してその前側に当接されており、第２係合片部３４（サポート治具３０）は、後方動することが規制されている。
【００２９】
第２係合片部３４ｂは、前記第１係合片部３３よりも前方側に位置されている。この第２係合片部３４ｂは、第２係合片部３４ａの幅よりも細幅とされた状態をもって係合支持板部３１における外側面部の肉厚方向他方側部分（図８中、上側部分）からその係合支持板部３１の幅方向外方に向けて張り出されており、その先端面３４ｂｔは、前記支持部材２５における段差面２９の湾曲形状に対応すべく、第２係合片部３４ａ側に向かうに従って、外側に凸となる湾曲状態を保ちつつ張出し長さが長くなる傾斜面とされている。この第２係合片部３４ｂは、その幅（図８中、前後方向Ｘ長さ）が肉厚（図８中、上下方向長さ）よりもかなり長くされており、上下方向の曲げに対する曲げ断面の断面係数が前後方向Ｘの曲げ断面の断面係数よりも小さくなっている。このため、第２係合片部３４ｂは、後述の材質及び片持ち形状と相まって、上下方向に撓み可能とされ、その一方で、前後方向Ｘの撓みが抑制されている。この第２係合片部３４ｂの下面は、前記第２係合片部３４ａの下面と同一高さ面となっている。その両第２係合片部３４ａ，３４ｂ下面と前記第１係合片部３３の上面とは、上下方向（係合支持板部３１の肉厚方向）において、所定の間隔Ｔがあけられており、その所定の間隔Ｔは前記支承部２６の肉厚ｔよりも若干、長くなっている。この第２係合片部３４ｂは、その下面が前記支承部２６の上面に当接されていると共に、その先端面３４ｂｔが支持部材２５の段差面２９に当接されている。このため、これらの関係により、サポート治具３０は、下方及び前方に移動することが規制されることになっている。
【００３０】
本実施形態においては、各係合支持板部３１に、図８に示すように、受け部３５と先端段部３６とが設けられている。受け部３５は、支持部材２５の先端側に設けられ、その上面は、前記第１係合片部３３の上面と同一高さ面をなして、支持部材２５の先端部（段部）を下側から支えることになっている。先端段部３６は、受け部３５の前側において、肉厚を受け部３５よりも厚くすることにより形成されており、その先端段部３６と受け部３５との間には、段差面３７が形成されている。この段差面３７には、支持部材２５（段部２７）の先端面が当接されており、この当接関係によりサポート治具３０は、後方動することが規制されている。
【００３１】
このようなサポート治具３０は、支持部材２５（容器本体４）に次のようにして取付けられる。
先ず、サポート治具３０を手に持ち、そのサポート治具３０を、その湾曲板部３２側から前側開口３を介して容器本体４内に入れ込む。そして、サポート治具３０の湾曲板３２側を係合支持板部３１側よりやや上方位置となるように傾けた状態で、そのサポート治具３０の両第２係合片部３４ａを容器本体４の両支持部材２５上に載せ、サポート治具３０を後方にスライドさせる。このスライドにより、サポート治具３０の各第１係合片部３３が各支持部材２５の下方域に至ると、サポート治具３０の係合支持板部３１側を持ち上げ、各第１係合片部３３の上面を各支持部材２５の下面に当接させ、さらにサポート治具３０をスライドさせ、両第２係合片部３４ｂを両支持部材２５の段部２７上に乗り上げさせる。このとき、両第２係合片部３４は、上方に撓むことになり、その両第２係合片部３４ｂには、下方への復元力が生じることになる。
【００３２】
両第２係合片部３４ｂが両支持部材２５の段部２７上に乗り上げると、さらにサポート治具３０をスライドさせる。これにより、各第２係合片部３４ｂが各段部２７上面を通り過ぎると、その各第２係合片部３４の復元力に基づき、その各第２係合片部３４ｂは各支承部２６上面に降下し、その各下面が各支承部２６の上面に当接すると共に、その各先端面３４ｂｔが各段差面に当接する。このとき同時に、進入規制壁１０にサポート治具３０の湾曲板部３２が当接すると共に、第２係合片部３４ａが突条２８ｂに当接し、さらには、各支持部材２５の先端部がサポート治具３０の各受け部３５上に載ると共に、その支持部材２５の先端が段差面３７に当接する。これにより、各第１係合片部３３と各第２係合片部３４ａ，３４ｂとが支承部２６を上下に挟持することになり、サポート治具３０は、上下方向に移動規制された状態で保持される。また、進入規制壁部１０と湾曲板部３２との当接関係、突条２８ｂと第２係合片部３４ａとの当接関係、及び段差面３７と支持部材２５先端面との当接関係により、サポート治具３０の後方動が規制され、段差面２９と第２係合片部３４の先端面３４ｂｔとの当接関係により、サポート治具３０は、前方への移動が規制される。このため、サポート治具３０は、容器本体４内の所定位置で前後方向Ｘの移動が規制されて、その正確な位置決めが行われる。このとき、サポート治具３０の上面が支持部材２５の上面よりも多少、高く位置することになり、そのサポート治具３０の上面は、薄板状の基板２を、撓みを抑制しつつ支持できることになる。
【００３３】
一方、サポート治具３０を支持部材２５から取り外すに際しては、サポート治具３０における両係合支持板部３１の先端部を把持し、サポート治具３０を、その両係合支持板部３１の両先端部が近づくように縮径させつつ、開口３外方に向けて引き出すようにする。これにより、サポート治具３０の各第２係合片部３４ｂの先端面は、各段差面２９に案内されて、互いに近づくように移動することになり、各段差面２９と各第２係合片部３４ｂの先端面３４ｂｔとの当接関係が解除されると、サポート治具３０は、前方にスライドして容器本体４（両支持部材２５）から取り外される。このように、サポート治具３０の取り外しも、さほど引出し力も必要とせず、簡単に行うことができる。これにより、サポート治具３０の取り外しを簡単に行って、両支持部材２５の支承部２６を、通常の基板２を直接、支持するために利用できる。
【００３４】
上述のようなサポート治具３０が取付けられた容器本体４においては、使用に際して、各組の一対の支持部材２５にサポート治具３０が支持され、そのサポート治具３０の略一定幅の上面により薄板状基板２が支持される。このため、薄板状基板２は、その径方向内方部分が下方に撓むことが抑制され、各薄板状基板２は、その下側の薄板状基板２に接触することはない（図９の最上段の薄板状基板２以外の薄板状基板２を参照）。
【００３５】
また、容器本体４内の薄板状基板２を取り出すに際しては、図７、図９、図１０に示すように、取り出すべき薄板状基板２を先ず一対の支持部材２５から上方に離間させるべく、その薄板状基板２の下側にロボットアーム３８が進入されて、そのロボットアーム３８によりその薄板状基板２は持ち上げられる。この際、薄板状基板２は、そのロボットアーム３８に支持される横方向中間部分を中心として横方向両側が下方に向けて大きく撓むことになる。しかし、容器本体４の各組の支持部材２５の所定間隔Ｌ（図１０参照）が、薄板状基板２の撓み量の２倍以上（本実施形態においては１２ｍｍないしは１２ｍｍを超える近傍値に設定）に設定されていることから、薄板状基板２全体を、撓みながらも、その上側の薄板状基板２に干渉することなく一対の支持部材２５から離間させることができ、その後、その薄板状基板２を容器本体４内から引き出すことにより、その薄板状基板２は的確に取り出される。
【００３６】
これに対して、ＳＥＭＩ規格準拠の一般的な基板収納容器を薄板状基板に用いる場合には、薄板状基板２の撓み量が上下に隣り合う支持部材間の間隔よりも大きくなることから、その薄板状基板２を取り出すべくロボットアームにより持ち上げようとしても、その薄板状基板２の上側の薄板状基板との干渉回避を考慮する必要があることから、その薄板状基板を、支持されていた支持部材から離間させることはできない。仮に、図１１、図１２に示すように、ＳＥＭＩ規格準拠の一般的な基板収納容器１´において、一つ置きにサポート治具３０を支持部材２５に取付けて、その各サポート治具３０に薄板状基板２を支持させるとしても、薄板状基板２をロボットアーム３８により持ち上げる際、上側配置の薄板状基板２との干渉については回避できるものの、直上側の支持部材２５’（サポート治具３０及び薄板状基板２の支持に用いられないもの）に干渉するという問題が生じることになる。
【００３７】
基板収納容器１を通常の基板２に用いる場合には、前述の通り、各組の一対の支持部材２５からサポート治具３０を取り外し、その各組の一対の支持部材２５における支承部２６に通常の基板２を載置することになる。このとき、突条２８ａ，２８ｂは、支承部２６と通常の基板２との接触面積を減らす。勿論、この突条２８ａ，２８ｂについては省略してもよい。
【００３８】
このようなサポート治具３０は、弾性や滑り性を備えたポリアセタール、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトンなどの合成樹脂や、ポリエステル系、ポリオレフィン系など各種の熱可塑性エラストマーから形成することができる。また、これらの合成樹脂や熱可塑性エラストマーには、カーボン繊維やカーボンパウダー、カーボンナノチューブなどを適量添加して導電性を付与することができるし、ガラス繊維を添加して剛性を向上させたり、ふっ素系樹脂やマイカなどを添加して摺動性を向上させたりすることもできる。
【００３９】
また、サポート治具３０の一部又は全部を、熱可塑性エラストマーなどの弾性のある材料から形成すると、輸送時の振動を緩和できるという効果が得られる。レール部の裏面に吸振性を備えたシートを貼り付けることでも同様の効果が得られる。さらに、サポート治具３０の表面に、導電性や耐擦傷性を付与するためのπ電子共役結合を有するポリチオフェンやポリピロールなどの導電性ポリマーやダイヤモンドライクコーティングなどのコーティングをすることもできる。
【００４０】
したがって、このような基板収納容器１においては、サポート治具３０の取付けも、取り外しも容易となり、通常の基板２を収納する使用態様も、薄板状基板２を収納する使用態様も、簡単に取り得る。
また、サポート治具３０を容器本体４（支持部材２５）に取付けた場合には、サポート治具３０は、上下方向だけでなく前後方向Ｘの移動が規制されることになり、サポート治具３０を高い位置精度をもって保持できる。これに伴い、サポート治具３０に支持される薄板状基板２の位置精度も高まることになる。
【００４１】
図１３〜図１５は第２実施形態を示すものである。この第２実施形態において、第１実施形態と同じ部材については、同符号を付する。
【００４２】
第２実施形態は、容器本体４内において、サポート治具３０が横方向にがたつくことを抑制する内容を示す。
具体的には、図１３に示すように、サポート治具３０における両係合支持板部３１の外側端面に片持ち状の弾性片３９がそれぞれ設けられ、その各弾性片３９は、図１４、図１５に示すように、サポート治具３０が支持部材２５に取付けられる際、支持部材２５の張出し端面２５ａにより係合支持板部３１側に向けて撓められる。このため、弾性片３９は、反発力を生じることになり、サポート治具３０は、容器本体４内において、横方向にがたつくことが抑制される。
【００４３】
図１６は第３実施形態を示すものである。この第３実施形態においても、第１実施形態と同じ部材については、同符号を付する。
【００４４】
第３実施形態は、サポート治具３０の軽量化を図った内容を示す。
具体的には、図１６に示すように、サポート治具３０における係合支持板部３１及び湾曲板部３２に多数の抜き穴４０が形成されており、その多数の抜き穴４０によりサポート治具３０の軽量化が図られている。勿論この場合、サポート治具３０の所望の強度は確保されている。
【００４５】
上記各実施形態においては、段部２７の段差面２９と第２係合片部３４ｂとの当接関係により、サポート治具３０の前方動を規制しているが、支承部２６上に、間隔をあけて複数の段部２７（段差面２９）を設けると共に、それに対応する複数の第２係合片部３４をサポート治具３０に設けて、各段差面２９と各第２係合片部３４との当接関係により、サポート治具３０の前方動を規制してもよい。
【００４６】
以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。またその様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００４７】
１                            基板収納容器
２                            基板
３                            前側開口
４                            容器本体
９                            側壁
１０                          進入規制壁（進入規制部）
２５                          支持部材
２６                          支承部
２７                          段部
２８ｂ                        突条（進入規制部）
２９                          段差面
３０                          サポート治具
３１                          係合支持板部
３２                          湾曲板部（連結板部）
３３                          第１係合片部
３４                          第２係合片部
３４ｂ                        第２係合片部
３４ｂｔ                      第２係合片部の先端面（係合面）
３６                          先端段部（進入規制部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0005601647.tif 000008
【図８】
0005601647.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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