(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を保持する電子部品保持装置の保持手段の移動方法であって、
前記電子部品保持装置は、
前記電子部品を保持するための位置に待機する複数の保持手段と、
前記位置に待機した保持手段を進出及び後退させるロッドと、
前記ロッドを推力により支持するボイスコイルモータと、
前記保持手段に対して、前記ロッドと前記ボイスコイルモータとを介して推力を与えて、前記保持手段を前記電子部品に到達させる前記ロッドと前記ボイスコイルモータとは別体の進退駆動用モータと、
を備え、
保持手段の到達地点を予め測定し、当該到達地点に基づく到達地点情報を記憶する測定ステップと、
前記電子部品保持装置を稼動させて、前記測定ステップで測定された到達地点に基づく到達地点情報を用いて、前記保持手段の移動を行う移動制御ステップと、
を含み、
前記測定ステップでは、
前記電子部品へ未達の状態で、前記進退駆動用モータが前記保持手段に推進力を与えることにより前記ロッドが前記ボイスコイルモータに沈みこもうとする力を、前記ボイスコイルモータによる対抗推力で阻止し、
前記保持手段の前記電子部品への到達によって生じる前記ロッドのボイスコイルモータへの沈み込みを、前記ロッドの前記ボイスコイルモータに対する相対的な浮き上がりとして検出し、
前記相対的な浮き上がりを検出した地点を到達地点とし、前記保持手段ごとの到達地点に関する位置情報を到達地点情報として個別に記憶し、
前記移動制御ステップでは、
前記個別に記憶した保持手段ごとの到達地点情報に基づいて前記保持手段を個別に移動させること、
を特徴とする保持手段の移動方法。
【請求項２】
前記電子部品保持装置には、前記保持手段の電子部品と当接する部分に弾性部材を更に設けておくこと、
を特徴とする請求項１に記載の保持手段の移動方法。
【請求項３】
計測手段により、前記保持手段の現在位置を計測し、
この現在位置に関する現在位置情報と前記到達地点情報とを逐次比較し、
前記保持手段を移動開始させ、前記現在位置情報と前記到達地点情報とが一致であると、前記保持手段を停止させること、
を特徴とする請求項１または請求項２に記載の保持手段の移動方法。
【請求項４】
前記進退駆動用モータの当初の移動速度に関する当初速度情報と、次の速度情報に関する次速度情報とを予め記憶し、
前記到達地点情報に基づき、変異点までの移動距離に関する変異点情報を生成し、
前記計測手段が計測した前記現在位置情報を、前記変異点情報及び前記到達地点情報とそれぞれを逐次比較し、
前記保持手段を当初速度情報に基づく速度で移動開始させ、一方、前記現在位置情報と前記変異点情報とが一致であると前記次速度情報に基づく速度に変更し、前記現在位置情報と前記到達地点情報とが一致であると前記保持手段を停止させること、
を特徴とする請求項３に記載の保持手段の移動方法。
【請求項５】
複数の前記保持手段が配置されるテーブルと、
前記テーブルを所定角度ごと間欠的に回転させる搬送用モータと、を備え、
前記保持手段は、前記進退駆動用モータが設けられる停止位置に停止し、
前記到達地点情報は、各保持手段を識別する情報と関連づけて記憶されること、
を特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の保持手段の移動方法。
【請求項６】
前記停止位置には、電子部品を受け渡しする他の装置が有する保持手段が、前記保持手段に向かい合うように一機ずつ位置し、
前記到達地点情報は、向かい合わせになる保持手段と他の保持手段の組み合わせを識別する情報、及び前記移動位置を示す情報と関連づけて記憶されること、
を特徴とする請求項５のいずれか１項に記載の保持手段の移動方法。
【請求項７】
前記当初速度情報及び次速度情報は、進退駆動用モータの回転数を示す回転速度情報であり、
前記到達地点情報、前記現在位置情報、及び前記変異点情報は、進退駆動用モータの回転量を示す回転量情報であること、
を特徴とする請求項４〜６のいずれか１項に記載の保持手段の移動方法。
【請求項８】
前記回転速度情報は、進退駆動用モータに与えられるパルス周波数であり、
前記回転量情報は、進退駆動用モータに与えられるパルス数であることを特徴とする請求項７に記載の保持手段の移動方法。
【請求項９】
電子部品を保持する保持手段を備えた電子部品保持装置であって、
前記電子部品を保持するための位置に待機する複数の保持手段と、
前記位置に待機した保持手段を進出及び後退させるロッドと、
前記ロッドを推力により支持し、前記保持手段が前記電子部品へ未達の状態で、前記進退駆動用モータが保持手段に推進力を与えることにより前記ロッドが沈みこもうとする力を、対抗推力で阻止するボイスコイルモータと、
前記保持手段に対して、前記ロッドと前記ボイスコイルモータとを介して推進力を与えて、前記保持手段を前記電子部品に到達させる前記ロッドと前記ボイスコイルモータとは別体の進退駆動用モータと、
入力部からの入力に基づいて、保持手段の到達地点を測定する到達地点測定モードと、測定した到達地点に基づいて保持手段の移動を行う移動制御モードとの切替えを行うモード切替部と、
前記保持手段の前記電子部品への到達によって生じる前記ロッドのボイスコイルモータへの沈み込みを、前記ロッドの前記ボイスコイルモータに対する相対的な浮き上がりとして検出する検出手段と、
前記相対的な浮き上がりを検出した到達地点とし、前記保持手段ごとの到達地点に関する位置情報を到達地点情報として個別に記憶する到達地点情報記憶手段と、
前記個別に記憶した保持手段ごとの到達地点情報に基づいて前記進退駆動用モータを稼動するモータ制御部と、
を備えることを特徴とする電子部品保持装置。
【請求項１０】
前記電子部品保持装置には、前記保持手段の電子部品と当接する部分に弾性部材を更に設けておくこと、
を特徴とする請求項９に記載の電子部品保持装置。
【請求項１１】
前記保持手段の現在位置を計測する計測手段と、
この現在位置に関する現在位置情報と前記到達地点情報とを逐次比較する比較手段とを備え、
前記モータ制御部は、前記現在位置情報と前記到達地点情報とが一致であると、前記進退駆動用モータを停止させること、
を特徴とする請求項９または請求項１０に記載の電子部品保持装置。
【請求項１２】
前記進退駆動用モータの当初の移動速度に関する当初速度情報と、次の速度情報に関する次速度情報とを予め記憶する速度情報記憶手段と、
前記到達地点情報に基づき、変異点までの移動距離に関する変異点情報を生成する生成手段と、
を備え、
前記モータ制御部は、前記保持手段を当初速度情報に基づく速度で移動開始させる一方、前記比較手段により前記現在位置情報と前記変異点情報が一致であると前記次速度情報に基づく速度に変更し、前記比較手段により前記現在位置情報と前記到達地点情報と一致であると停止させること、
を特徴とする請求項１１に記載の電子部品保持装置。
【請求項１３】
前記当初速度情報及び次速度情報は、進退駆動用モータモータの回転数を示す回転速度情報であり、
前記到達地点情報、前記現在位置情報、及び前記変異点情報は、進退駆動用モータモータの回転量を示す回転量情報であること、
を特徴とする請求項１２に記載の電子部品保持装置。
【請求項１４】
複数の前記保持手段が配置されるテーブルと、
前記テーブルを所定角度ごと間欠的に回転させる搬送用モータと、を備え、
前記保持手段は、前記進退駆動用モータが設けられる停止位置に停止し、
前記到達地点情報は、各保持手段を識別する情報と関連づけて記憶されること、
を特徴とする請求項９〜１３のいずれか１項に記載の電子部品保持装置。
【請求項１５】
前記停止位置には、電子部品を受け渡しする他の装置が有する保持手段が、前記保持手段に向かい合うように一機ずつ位置し、
前記到達地点情報は、向かい合わせになる保持手段と他の保持手段の組み合わせを識別する情報、及び前記移動位置を示す情報と関連づけて記憶されること、
を特徴とする請求項１４のいずれか１項に記載の電子部品保持装置。
【請求項１６】
電子部品を搬送経路に沿って搬送する電子部品搬送装置であって、
前記保持手段を前記搬送経路に沿って周回させるとともに、前記保持手段を前記工程処理ユニットの受渡箇所上方に停止させる搬送用モータと、
前記受渡箇所上方に停止し、外力によって昇降可能な複数の保持手段と、
前記受渡箇所上方に停止した保持手段を昇降させるロッドと、
前記ロッドを推力により支持し、前記保持手段が前記電子部品へ未達の状態で、前記進退駆動用モータが保持手段に推進力を与えることにより前記ロッドが沈みこもうとする力を、対抗推力で阻止するボイスコイルモータと、
前記保持手段に対して、前記ロッドと前記ボイスコイルモータとを介して推進力を与えて、前記保持手段を前記電子部品に到達させる前記ロッドと前記ボイスコイルモータとは別体の進退駆動用モータと、
入力部からの入力に基づいて、保持手段の到達地点を測定する到達地点測定モードと、測定した到達地点に基づいて保持手段の移動を行う移動制御モードとの切替えを行うモード切替部と、
前記保持手段の前記電子部品への到達によって生じる前記ロッドのボイスコイルモータへの沈み込みを、前記ロッドの前記ボイスコイルモータに対する相対的な浮き上がりとして検出する検出手段と、
前記相対的な浮き上がりを検出した到達地点とし、前記保持手段ごとの到達地点に関する位置情報を到達地点情報として個別に記憶する到達地点情報記憶手段と、
前記個別に記憶した保持手段ごとの到達地点情報に基づいて前記進退駆動用モータを稼動するモータ制御部と、
を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項１７】
電子部品を搬送経路に沿って搬送する電子部品搬送装置であって、
前記電子部品の一面を先端で保持及び離脱させる保持手段と、
前記保持手段を回転軸周りに複数配置し、前記先端が常に外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる第１のロータリーテーブルと、
前記保持手段を回転軸周りに複数配置し、前記先端が常に外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる第２のロータリーテーブルと、
を備え、
前記第１及び第２のロータリーテーブルは、
互いに重ならないように、前記回転軸を平行にして同一平面上に隣接配置され、
双方が有する前記保持手段の先端が互いに向かい合う共通の停止位置を有し、その停止位置を受け渡し地点として、前記電子部品を受け渡し、
前記第１のロータリーテーブルは、
一方の収容体から取り出した前記電子部品の一面を保持させて前記受け渡し地点まで搬送し、
前記第２のロータリーテーブルは、
前記受け渡し地点で前記電子部品の反対面を保持させて他方の収容体へ離脱させ、
前記第１若しくは第２のロータリーテーブルの何れか一方には、
前記停止位置に停止した保持手段の上方に昇降可能に設けられ、前記保持手段と当接して、前記進退駆動用モータが発生させた前記推進力を前記保持手段へ伝達するロッドと、
前記停止位置に停止した保持手段を進出及び後退させるロッドと、
前記ロッドを推力により支持し、前記保持手段が前記電子部品へ未達の状態で、前記進退駆動用モータが保持手段に推進力を与えることにより前記ロッドが沈みこもうとする力を、対抗推力で阻止するボイスコイルモータと、
前記保持手段に対して、前記ロッドと前記ボイスコイルモータとを介して推進力を与えて、前記保持手段を前記電子部品に到達させる前記ロッドと前記ボイスコイルモータとは別体の進退駆動用モータと、
入力部からの入力に基づいて、保持手段の到達地点を測定する到達地点測定モードと、測定した到達地点に基づいて保持手段の移動を行う移動制御モードとの切替えを行うモード切替部と、
前記保持手段の前記電子部品への到達によって生じる前記ロッドのボイスコイルモータへの沈み込みを、前記ロッドの前記ボイスコイルモータに対する相対的な浮き上がりとして検出する検出手段と、
前記相対的な浮き上がりを検出した到達地点とし、前記保持手段ごとの到達地点に関する位置情報を到達地点情報として個別に記憶する到達地点情報記憶手段と、
前記個別に記憶した保持手段ごとの到達地点情報に基づいて前記進退駆動用モータを稼動するモータ制御部と、
を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項１８】
電子部品を搬送経路に沿って搬送する電子部品搬送装置であって、
前記電子部品の一面を先端で保持及び離脱させる保持手段と、
前記保持手段を前記搬送経路に沿って複数配置し、その保持手段の延び方向が回転軸と平行となるように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させるターンテーブルと、
前記保持手段を回転軸周りに複数配置し、前記先端が常に外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させるロータリーテーブルと、
を備え、
前記ターンテーブルと前記ロータリーテーブルとが有する前記保持手段の先端が互いに向かい合う共通の停止位置を有し、その停止位置を受け渡し地点として、前記電子部品を受け渡し、
前記ターンテーブルと、前記ロータリーテーブルのいずれか一方には、
前記停止位置に停止した保持手段を進出及び後退させるロッドと、
前記ロッドを推力により支持し、前記保持手段が前記電子部品へ未達の状態で、前記進退駆動用モータが保持手段に推進力を与えることにより前記ロッドが沈みこもうとする力を、対抗推力で阻止するボイスコイルモータと、
前記保持手段に対して、前記ロッドと前記ボイスコイルモータとを介して推進力を与えて、前記保持手段を前記電子部品に到達させる前記ロッドと前記ボイスコイルモータとは別体の進退駆動用モータと、
入力部からの入力に基づいて、保持手段の到達地点を測定する到達地点測定モードと、測定した到達地点に基づいて保持手段の移動を行う移動制御モードとの切替えを行うモード切替部と、
前記保持手段の前記電子部品への到達によって生じる前記ロッドのボイスコイルモータへの沈み込みを、前記ロッドの前記ボイスコイルモータに対する相対的な浮き上がりとして検出する検出手段と、
前記相対的な浮き上がりを検出した到達地点とし、前記保持手段ごとの到達地点に関する位置情報を到達地点情報として個別に記憶する到達地点情報記憶手段と、
前記個別に記憶した保持手段ごとの到達地点情報に基づいて前記進退駆動用モータを稼動するモータ制御部と、
を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項１９】
前記保持手段の電子部品と当接する部分に弾性部材を更に設けておくこと、
を特徴とする請求項１６、１７、または１８に記載の電子部品搬送装置。
【請求項２０】
前記保持手段の現在の移動距離に関する現在位置情報を計測する計測手段と、
前記計測手段が計測した前記現在位置情報を前記到達地点情報とを、それぞれを逐次比較する比較手段とを備え、
前記モータ制御部は、前記現在位置情報と前記到達地点情報とが一致であると、前記進退駆動用モータを停止させること、
を特徴とする請求項１６〜１９のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、電子部品を受け渡す保持手段の移動方法、その方法を利用した電子部品保持装置、及びこれを備えた電子部品搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  電子部品は、電気製品に使用される部品であり、半導体素子が含まれる。半導体素子としては、トランジスタやＬＥＤや集積回路が挙げられ、電子部品としては、抵抗やコンデンサ等が挙げられる。この電子部品は、一般的に、搬送経路上を保持手段に保持されつつ搬送される。搬送経路上には、工程処理を施す各種の工程処理装置が並んでおり、保持手段は、それぞれが備えるステージに下降し、電子部品をステージに離脱させ、工程処理が終了するとステージから電子部品をピックアップして、次の工程処理へ搬送する。工程処理としては、ダイシング、マウンティング、ボンディング、及びシーリング等の前工程の処理、デバイスの電気特性測定、分類、マーキング、外観検査、梱包等の後工程の処理が挙げられる。また、これら各工程処理のための位置決め処理も工程処理に含まれる。【０００３】  各工程処理装置は、電子部品を載置するステージを有する。工程処理を電子部品に対して施すためには、保持手段のステージやステージに載置された電子部品に対する下降位置を、精度良く定めることが必要である。【０００４】  例えば特許文献１では、保持手段の電子部品に対する下降位置を次のようにして測定している。すなわち、真空吸引回路を介して吸着ノズルに負圧を与えながら当該吸着ノズルを計測テーブルや基板に向けて降下させていき、その真空吸引回路内を流れる空気流量に基づき吸着ノズルがステージやステージに載置された電子部品に当接することを判定して高さ位置情報を求めている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３８４６２６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  下降位置を求める際に、実際にノズルを降下させてノズルの先端と電子部品とが実際に当接を確認する場合、ノズルの先端と電子部品との当接により、ノズルの先端部から電子部品に対して圧力が加わる。一方、ノズルの先端部に対しては、電子部品からの反作用の力が加わる。外力の影響を受けやすい電子部品の場合、ノズルの先端部から大きな外力が加わることで、変形やクラックの発生などの問題点があった。【０００７】  本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたもので、電子部品の受け渡しを行う保持手段の移動方法、その方法を利用した電子部品保持装置、及びこれを備えた電子部品搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記のような課題を解決するために本発明は、電子部品を保持する電子部品保持装置の保持手段の移動方法であって、前記電子部品保持装置は、前記電子部品を保持するための位置に待機する複数の保持手段と、前記位置に待機した保持手段を進出及び後退させるロッドと、前記ロッドを推力により支持するボイスコイルモータと、前記保持手段に対して、前記ロッドと前記ボイスコイルモータとを介して推力を与えて、前記保持手段を前記電子部品に到達させる前記ロッドと前記ボイスコイルモータとは別体の進退駆動用モータと、を備え、保持手段の到達地点を予め測定し、当該到達地点に基づく到達地点情報を記憶する測定ステップと、前記電子部品保持装置を稼動させて、前記測定ステップで測定された到達地点に基づく到達地点情報を用いて、前記保持手段の移動を行う移動制御ステップと、を含み、前記測定ステップでは、前記電子部品へ未達の状態で、前記進退駆動用モータが前記保持手段に推進力を与えることにより前記ロッドが前記ボイスコイルモータに沈みこもうとする力を、前記ボイスコイルモータによる対抗推力で阻止し、前記保持手段の前記電子部品への到達によって生じる前記ロッドのボイスコイルモータへの沈み込みを、前記ロッドの前記ボイスコイルモータに対する相対的な浮き上がりとして検出し、前記相対的な浮き上がりを検出した地点を到達地点とし、前記保持手段ごとの到達地点に関する位置情報を到達地点情報として個別に記憶し、前記移動制御ステップでは、前記個別に記憶した保持手段ごとの到達地点情報に基づいて前記保持手段を個別に移動させること、を特徴とする。
【０００９】
前記電子部品保持装置には、前記保持手段の電子部品と当接する部分に弾性部材を更に設けても良い。
【００１０】  計測手段により、前記保持手段の現在位置を計測し、この現在位置に関する現在位置情報と前記到達地点情報とを逐次比較し、前記保持手段を移動開始させ、前記現在位置情報と前記到達地点情報とが一致であると、前記保持手段を停止させても良い。【００１１】  前記進退駆動用モータの当初の移動速度に関する当初速度情報と、次の速度情報に関する次速度情報とを予め記憶し、前記到達地点情報に基づき、変異点までの移動距離に関する変異点情報を生成し、前記計測手段が計測した前記現在位置情報を、前記変異点情報及び前記到達地点情報とそれぞれを逐次比較し、前記保持手段を当初速度情報に基づく速度で移動開始させ、一方、前記現在位置情報と前記変異点情報とが一致であると前記次速度情報に基づく速度に変更し、前記現在位置情報と前記到達地点情報とが一致であると前記保持手段を停止させることもできる。【００１２】  一または複数の前記保持手段が配置されるテーブルと、前記テーブルを所定角度ごと間欠的に回転させる搬送用モータと、を備え、前記保持手段は、前記進退駆動用モータが設けられる停止位置に停止し、前記到達地点情報は、各保持手段を識別する情報と関連づけて記憶させることもできる。【００１３】  前記移動位置には、電子部品を受け渡しする他の装置が有するので保持手段が、前記保持手段に向かい合うように一機ずつ位置し、前記到達地点情報は、向かい合わせになる保持手段と他の保持手段の組み合わせを識別する情報、及び前記移動位置を示す情報と関連づけて記憶させることもできる。【００１４】  前記当初速度情報及び次速度情報は、進退駆動用モータの回転数を示す回転速度情報であり、前記到達地点情報、前記現在位置情報、及び前記変異点情報は、進退駆動用モータの回転量を示す回転量情報とすることもできる。【００１５】  前記回転速度情報は、進退駆動用モータに与えられるパルス周波数であり、前記回転量情報は、進退駆動用モータに与えられるパルス数とすることもできる。【００１６】  また、上記保持手段の移動方法を利用した電子部品保持装置、及びこれを備えた電子部品搬送装置も本発明の一態様である。
【発明の効果】
【００１７】  本発明によれば、外力の影響を受けやすい電子部品に対してノズルを当接させる場合においても、保持手段の到達地点情報を測定することができ、その測定量に基づいて保持手段の移動を行うことで、電子部品の搬送を正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施形態に係る電子部品搬送装置の全体構成を示す上面図である。
【図２】本実施形態に係る電子部品搬送装置の全体構成を示す側面図である。
【図３】本実施形態に係る電子部品保持装置の全体構成を示す側面図である。
【図４】保持装置の先端部分の構成を示す断面図である。
【図５】ボイスコイルモータの内部構成を示す側面図である。
【図６】電子部品保持装置が備える検出部の外部構成を示す拡大側面図である。
【図７】検出部の全体構成を示す図である。
【図８】検出部の全体構成を示す図である。
【図９】電子部品保持装置の制御部を示すブロック図である。
【図１０】電子部品保持装置の制御部の制御動作を示すフローチャートである。
【図１１】通常時の電子部品保持装置の各部に掛かる力を示す側面図である。
【図１２】通常時の検出部の状態を示す側面図である。
【図１３】保持手段が電子部品に接触した時の電子部品保持装置の各部に掛かる力を示す側面図である。
【図１４】保持手段が電子部品に接触した時の検出部の状態を示す側面図である。
【図１５】電子部品保持装置の制御部の制御動作を示すフローチャートである。
【図１６】第２の実施形態における電子部品搬送装置の全体構成を示す側面図である。
【図１７】電子部品搬送装置の制御部を示すブロック図である。
【図１８】第３の実施形態における電子部品搬送装置の全体構成を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】［第１の実施形態］  以下、本発明に係る電子部品搬送装置の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００２０】（電子部品搬送装置１）  図１，２に示すように、電子部品搬送装置１は、電子部品Ｄの搬送経路１１を形成し、その搬送経路１１に沿って並べられた各工程処理ユニット１４に対して順番に電子部品Ｄを搬送する。この搬送経路１１は、ターンテーブル１２と電子部品保持装置２とにより形成されている。ターンテーブル１２は、中心が搬送用モータ１３の回転軸で支持されており、搬送用モータ１３の駆動に従って間欠的に所定角度回転する。搬送用モータ１３は、例えばダイレクトドライブモータである。
【００２１】  電子部品保持装置２は、電子部品Ｄを工程処理ユニット１４に受け渡す装置であり、電子部品Ｄを保持する吸着ノズル３０を備えている。吸着ノズル３０は、このターンテーブル１２の外周縁に円周等配位置となるように複数設置されている。具体的には、ターンテーブル１２の外周縁に固定されたアーム３１に支持されている。吸着ノズル３０は、ターンテーブル１２が間欠回転することにより、ターンテーブル１２の外周に沿って平行移動する。吸着ノズル３０の配置間隔は、ターンテーブル１２の１ピッチの回転角度と等しい。換言すると、搬送用モータ１３は、吸着ノズル３０の配置間隔と同一のピッチでターンテーブル１２を間欠回転させる。
【００２２】  この吸着ノズル３０は、ターンテーブル１２の外周に沿った平行移動の他、ターンテーブル１２が拡がる平面と直交するように昇降する。すなわち、電子部品保持装置２は、吸着ノズル３０に対して昇降方向の推進力を付与する進退駆動部４を更に備えている。その設置位置は、吸着ノズル３０の停止位置直上であり、進退駆動部４は不動のブロックに設置されている。進退駆動部４は、吸着ノズル３０を直上から押圧する押圧体４０と、その押圧体４０を摺動可能に支持するリニアガイド４１とを備える。リニアガイド４１は、吸着ノズル３０の停止位置直上に固定される。押圧体４０は、リニアガイド４１に支持されることにより、ターンテーブル１２の上方に位置する。
【００２３】  このような電子部品搬送装置１において、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル３０は、ターンテーブル１２の間欠回転に従って、順に円周等配位置に設定された停止位置に移動する。吸着ノズル３０が停止位置に位置すると、吸着ノズル３０の上方に存在する進退駆動部４は、押圧ブロック４０で吸着ノズル３０を押圧することで、吸着ノズル３０を到達地点まで下降させる。吸着ノズル３０の下降先には、工程処理ユニット１４が存在する。工程処理ユニット１４は、例えば、位置補正ユニット１４ａである。
【００２４】  （電子部品保持装置２）  図３は、このような電子部品搬送装置１に設けられた電子部品保持装置２の全体構成を示す側面図である。図３に示す電子部品保持装置２は、電子部品Ｄを工程処理ユニット１４に受け渡す装置である。本実施形態では、工程処理ユニット１４として、位置補正ユニット１４ａを例示する。
【００２５】  この電子部品保持装置２は、吸着ノズル３０の下降動作を予め定められたタイミングで終了させる。この下降動作終了のタイミングは、吸着ノズル３０と位置補正ユニット１４ａのステージ１５とに挟まれる電子部品Ｄに適切な荷重がかかるタイミングである。適切な荷重とは、例えば概略ゼロニュートンである。電子部品Ｄに過度な圧力を与えて破壊を誘因しないため、また、電子部品Ｄの位置がずれを防止するためである。そのため、この電子部品保持装置２は、吸着ノズル３０が到達地点へ達したことを示す到達地点情報を予め計測しておき、その到達地点情報に基づいて、吸着ノズル３０が到達地点に達したタイミングで下降動作が終了するように駆動する。
【００２６】（吸着ノズル３０）  吸着ノズル３０は、外力により進退開始位置から到達地点まで摺動可能に構成される。進退開始位置は、外力が加わらない場合の吸着ノズル３０の位置である。到達地点は、吸着ノズル３０の摺動方向に一定の外力を加えた場合の吸着ノズル３０の位置である。
【００２７】  吸着ノズル３０は、ステージ１５上の電子部品Ｄの載置位置に対する高さが固定されたアーム３１に支持され、ステージ１５の上方の進退開始位置に位置している。アーム３１は、ステージ１５に対して略平行に延びており、先端にステージ１５に対して垂直な軸受け３２が貫設されている。吸着ノズル３０は、開口が設けられた先端をステージ１５に向けて軸受け３２に挿入され、進退開始位置から到達地点まで摺動可能にアーム３１に支持されている。
【００２８】  アーム３１の軸受け３２上縁には、圧縮バネ３３が設けられている。圧縮バネ３３は、吸着ノズル３０の突出部分に挿入されている。吸着ノズル３０の突出部分は、軸受け３２の上縁から突出した部分である。吸着ノズル３０の後端側には、フランジ３４が設けられており、圧縮バネ３３は、このフランジ３４を介して吸着ノズル３０をステージ１５から離反させる方向に付勢している。吸着ノズル３０に対するステージ１５に向かう外力が解除されると、吸着ノズル３０は、ステージ１５から離反し、進退開始位置まで移動する。
【００２９】  吸着ノズル３０は、内部が中空のパイプであり、先端に開口を有する。吸着ノズル３０の後端に接続された継手３５を介してパイプ内部と空気圧回路とが連通しており、真空の発生により電子部品Ｄを先端で吸着し、真空破壊により電子部品Ｄを離脱させる。大気解放により電子部品Ｄを離脱させてもよいし、真空破壊と大気解放を順次切り替えて電子部品Ｄを離脱させるようにしてもよい。
【００３０】  この吸着ノズル３０の先端部には、図４の様なラバーコレット３６を先端部分に設けることができる。このラバーコレット３６は、吸着ノズル３０の延び方向の圧力により、撓みを生じるように弾性力を有する。ラバーコレット３６は、この弾性力より電子部品Ｄと接触した際の接触による力を吸収するものである。
【００３１】  図４に示すように、ラバーコレット３６は、円筒型の筐体部３７と、略円錐の接触部３８とを一体的に構成したものである。接触部３８は、筐体部３７の電子部品Ｄと対向する側に設けられる。接触部３８の頂点部分は、平坦部３９が設けられる。吸着ノズル３０が電子部品Ｄを保持する場合は、広い面積で電子部品Ｄと接触する。
【００３２】  ラバーコレット３６内部は、吸着ノズル３０の空気圧回路と連通しており、真空の発生により電子部品Ｄを先端で吸着し、真空破壊により電子部品Ｄを離脱させる。ラバーコレット３６は、接触部分から空気が漏れないように、吸着ノズル３０と密着して設けられる。例えば、ラバーコレット３６内部に凹部が設けられる。この凹部が、吸着ノズル３０の先端部分に設けられた凸部分と組み合わさることにより、ラバーコレット３６と吸着ノズル３０とは密着する。より密着させるために、吸着ノズル３０の凸部分の径は、ラバーコレット３６の凹部径よりも若干大きくしても良い。
【００３３】（進退駆動部４）  進退駆動部４は、押圧体４０と進退駆動用モータ５０で構成されている。押圧体４０は、主に進退駆動用モータ５０が発生させた推進力を吸着ノズル３０に伝達する。
【００３４】  押圧体４０は、吸着ノズル３０を押し下げる方向に摺動可能にリニアガイド４１に支持されている。リニアガイド４１のレール部分は、ステージ１５と垂直な方向に延び、高さは固定されている。押圧体４０の下端には、ロッド４２が延設されている。ロッド４２は、吸着ノズル３０の後端に向かい合わせて配置され、吸着ノズル３０と軸線が共通する。
【００３５】  この押圧体４０は、略コの字形状のフレーム４３を有する。押圧体４０は、フレーム４３の背の部分でリニアガイド４１に支持され、フレーム４３の下腕４３ａにロッド４２を備えている。フレーム４３の下腕４３ａは、ステージ１５の載置面に対して水平に延び、その先端と吸着ノズル３０の軸線とが交わる部分にロッド４２が取り付けられる。ロッド４２は、下腕４３ａの延び方向と直交して取り付けられ、下腕４３ａの上下から先端及び後端が突出している。
【００３６】  フレーム４３の上腕４３ｂには、その上面にカムフォロア４４が設置されている。このカムフォロア４４は、進退駆動用モータ５０の回転力を伝達し、押圧体４０を押し下げるために設置されている。進退駆動用モータ５０は、例えばサーボモータである。進退駆動用モータ５０の回転軸には、円筒カム５１が固定されている。円筒カム５１とカムフォロア４４とは当接しており、カムフォロア４４は、円筒カム５１のカム面に沿って従動する。
【００３７】  押圧体４０は、吸着ノズル３０が移動することによる電子部品Ｄとの接触を感知する検出機構を更に備えている。この検出機構は、ロッド４２の摺動機構、ロッド４２に推進力を与えるボイスコイルモータ４７、及びロッド４２のボイスコイルモータ４７に対する相対的な浮き上がりを検出する検出部４８である。尚、ボイスコイルモータ４７に対する相対的な浮き上がりは、言い換えると、ボイスコイルモータ４７へのロッド４２の埋入である。
【００３８】  具体的には、フレーム４３の下腕４３ａには、ステージ１５の載置面に対して垂直な軸受け４５が貫設されている。ロッド４２は、この軸受け４５に挿入されており、ロッド４２の軸線方向に摺動可能となっている。尚、フレーム４３の下腕４３ａの下面には、ロッド４２をボイスコイルモータ４７から進出させる付勢力を有する圧縮バネ４６が設けられており、ボイスコイルモータ４７の推進力を補助している。
【００３９】  ボイスコイルモータ４７は、フレーム４３の上腕４３ｂの下面に固定されている。このボイスコイルモータ４７は、ロッド４２の後端側を支持し、ロッド４２を進出及び後退させる。ボイスコイルモータ４７は、電流と推進力とが比例関係にあるリニアモータであり、図５に示すように、磁石４７ａ及び環状コイル４７ｂを有する。
【００４０】  検出部４８は、パイプ４８ｃ内の空気圧の変化を直接検出することにより、ロッド４２が浮き上がったことを検出する。図６に示すように、蓋部４８ｂはパイプの一部であり、ロッド４２が浮き上がる前は、蓋がされることでパイプ４８ｃ内の密閉状態を保つ。例えば、図７に示すように、このパイプ４８ｃには、内部の圧力を検出する圧力計４８ｄが設けられ、内部の圧力を監視する。ロッド４２が浮き上がると、ロッド４２に設けられた蓋部４８ｂも浮き上がり、パイプ４８ｃ内の密閉状態が解放され、内部の圧力が変化する。圧力計４８ｄでは、この圧力の変化を検出する。
【００４１】  また、検出部４８は、パイプ４８ｃ内の圧力を直接検出することで、ロッド４２の浮き上がりを検出するだけでなく、空気の流入または流出を検出することにより、ロッド４２の浮き上がりを検出することも可能である。例えば、図８に示すように、パイプ４８ｃ内部には流量計４８ｆが設けられる。流量計４８ｆとしては、例えば、パイプ４８ｃ内に突出するオリフィス４８ｇと、オリフィス４８ｇが区切る２つの領域の差圧を検出する差圧検出部である。
【００４２】  進退駆動用モータ５０は、後述する、制御部６からの、回転速度、回転量及びトルクの指示に基づいて、吸着ノズル３０への推進力を発生させ、また吸着ノズル３０の進退終点及び進退速度を制御している。
【００４３】（制御部６）  図９は、このような構成を有する電子部品保持装置２の制御部６の構成を示すブロック図である。制御部６は、モード切替部６０と、モータ制御部６１と、速度情報記憶手段６２と、ＶＣＭ制御部６３と、接触判定部６４と、到達地点情報記憶手段６５と、生成手段６６と、変異点情報記憶手段６７と、計測手段６８と、比較手段６９と、速度記憶手段７０と、を備える。
【００４４】  モード切替部６０は、入力部６０ａからの入力に基づいて、吸着ノズル３０の到達地点を測定する到達地点測定モードと、測定した到達地点の位置に関する情報である到達地点情報に基づいて吸着ノズル３０の移動の制御を行う移動制御モードとの切替えを行う。入力部６０ａは、ユーザからの入力を受け付けるインターフェースであり、キーボード、マウス、タッチパネル、液晶端末など種々の入力装置を利用する。
【００４５】  モータ制御部６１は、進退駆動用モータ５０の回転速度、回転量及びトルクを制御する。回転速度は回転角の速度、回転量は回転角度である。この際、指示したトルク、回転速度、及び回転量と、進退駆動用モータ５０のエンコーダやトルク検出器からの検出した回転速度、回転量及びトルクとを比較しフィードバック制御を行うこともできる。
【００４６】  速度情報記憶手段６２は、モータ制御部６１にて進退駆動用モータ５０の駆動を行う際の当初の移動速度に関する当初速度情報と、次の速度情報に関する次速度情報とを記憶する。当初の移動速度とは、吸着ノズル３０が進退開始位置から移動する際の進退駆動用モータ５０の駆動速度である。次の速度情報とは、吸着ノズル３０が進退開始位置から所定量移動した後の進退駆動用モータ５０の駆動速度である。この速度情報は、モータの回転速度、または、パルス周波数で表わされる。
【００４７】  ＶＣＭ制御部６３は、ボイスコイルモータ４７の推力を制御する。接触判定部６４は、検出部４８からの信号を入力し、電子部品Ｄと吸着ノズル３０との接触を判定する。
【００４８】  到達地点情報記憶手段６５は、到達地点の位置情報に関する到達地点情報を記憶する。到達地点情報記憶手段６５としては、不揮発性のメモリなどの記憶手段を用いる。到達地点情報は、進退駆動用モータ５０の回転数で表させる。この回転量は、吸着ノズル３０が進退開始位置時から移動し、ロッドの浮き上がりが発生するまでに進退駆動用モータ５０が何回転したかを示す値である。
【００４９】  生成手段６６は、到達地点情報に基づいて、変異点情報を生成する。変異点情報は、吸着ノズル３０の移動速度を変化させる変異点の位置情報である。変異点は、進退開始位置と、到達地点との間に設けられる。変異点は、吸着ノズル３０が電子部品Ｄと当接する直前で、移動速度を遅くすることで、吸着ノズル３０の移動時間に対する影響が少ない範囲で、当接時の衝撃を緩和する。このため、変異点は、到達地点の間近に設けることが望ましい。この変異点の位置情報は、到達地点情報として記憶する回転量から、所定の回転量の差分をとった回転量で表される。変異点情報記憶手段６７は、生成手段６６で生成した変異点情報を記憶する。
【００５０】  計測手段６８は、前記吸着ノズル３０の現在位置情報を計測する。現在位置情報は、吸着ノズル３０が、現在、どの地点に存在するかを示す位置情報である。現在位置情報は、吸着ノズル３０が進退開始位置時から現在位置まで移動するために、駆動用モータ５０が何回転したかを示す値で表される。
【００５１】  比較手段６９は、現在位置情報と、到達地点情報または変異点情報とを逐次比較する。現在位置情報と、到達地点情報または変異点情報との比較は、現在位置情報と到達地点情報との差分、現在位置情報と変異点情報との差分をとることで行う。
【００５２】  尚、この制御部６は、電子部品搬送装置１の制御部の一部として設けられていてもよいし、電子部品保持装置２の構成の一部として設けられていてもよい。
【００５３】（作用）  この様な構成を備える電子部品保持装置２の作用を図１０〜図１６を参照して説明する。電子部品保持装置２においては、（１）吸着ノズル３０と電子部品Ｄとが当接する到達地点の測定と、（２）吸着ノズル３０を進退開始位置から到達地点までの移動させる制御とを行う。
【００５４】（１）吸着ノズル３０と電子部品Ｄとが当接する到達地点の測定方法  図１０は、吸着ノズル３０と電子部品Ｄとが当接する到達地点の測定方法を示すフローチャートであり、以下、制御部６の制御動作とともに電子部品保持装置２の状態を説明する。
【００５５】  初めに、入力部６０ａからの入力に基づいて、モード切替部６０は、到達地点測定モードを設定する（ステップＳ０１）。到達地点測定モードが設定されると、ターンテーブル１２が回転し、停止位置に吸着ノズル３０が配置される。位置補正ユニット１４ａのステージ１５には、搬送対象となる電子部品Ｄを載置しておく。到達地点測定モードでは、停止位置に停止した吸着ノズル３０を、ステージ１５に載置した電子部品Ｄに対して移動させ、吸着ノズル３０と電子部品Ｄとが当接する到達地点を測定する。
【００５６】  次に、吸着ノズル３０の移動段階では、ステップＳ０２において、モータ制御部６１は、進退駆動用モータ５０の駆動を開始させる。モータ制御部６１は、吸着ノズル３０がロッド４２と一緒に当該ロッド４２を介して下降する力を進退駆動用モータ５０に発生させる。
【００５７】  この進退駆動用モータ５０の駆動により、円筒カム５１は回転し、円筒カム５１のカム面に当接しているカムフォロア４４は、ステージ１５に向かう推進力を受ける。ステージ１５に向かう推進力は、吸着ノズル３０へ向かう押圧体４０の推進力となり、押圧体４０は、リニアガイド４１に沿って下降する。押圧体４０が下降すると、ロッド４２が吸着ノズル３０の後端に当接する。モータ制御部６１が進退駆動用モータ５０を更に駆動させることにより、押圧体４０は、吸着ノズル３０を押し下げる。吸着ノズル３０は、圧縮バネ３３の押し上げ付勢力に抗して下降を開始する。
【００５８】  このとき、図１１に示すように、吸着ノズル３０はロッド４２から下降力Ｆｒを受けており、ロッド４２は、その反作用力Ｆｃｒを受けることとなる。この反作用力Ｆｃｒは、吸着ノズル３０を押し上げる圧縮バネ３３が設けられている場合には、伸び方向に付勢された圧縮バネ３３の弾性力に対する抗力に等しい。また、ロッド４２を押し下げる圧縮バネ４６が設けられている場合には、ロッド４２が受ける反作用力Ｆｃｒは、この圧縮バネ４６の弾性力を吸着ノズル３０の圧縮バネ３３の弾性力から差し引いた力に対する抗力に等しい。
【００５９】  また、吸着ノズル３０の下降段階では、ステップＳ０３において、ＶＣＭ制御部６２は、ボイスコイルモータ４７の駆動を開始させ、ロッド４２に反作用力Ｆｃｒと同等の対抗推力Ｆｏｐｐを発生させる。このボイスコイルモータ４７の駆動開始は、進退駆動用モータ５０の推力発生と同時、若しくは、ロッド４２が吸着ノズル３０に当接する直前である。反作用力Ｆｃｒと同等の対抗推力Ｆｏｐｐは、反作用力Ｆｃｒと力の大きさは同じであるが、向きが反対の推力である。厳密には、圧縮バネ３３が圧縮されるに従って、反作用力Ｆｃｒは増大するが、ＶＣＭ制御部６２により、対抗推力Ｆｏｐｐを反作用力Ｆｃｒに比例して増大するように制御してもよい。
【００６０】  このとき、図１２に示すように、ロッド４２は、反作用力Ｆｃｒを受けているが、ボイスコイルモータ４７から対抗推力Ｆｏｐｐを受けているため、ロッド４２に作用する力は釣り合い、ロッド４２は平衡状態を維持し、ボイスコイルモータ４７に対して進退しない。また、図１２に示すように、ロッド４２の平衡状態が維持されている場合には、蓋部４８ｂは空気口４８ａに被さっており、空気口４８ａからは空気の流入又は流出はない。
【００６１】  次に、接触判定段階では、ステップＳ０４において、接触判定部６４は、検出部４８がロッド４２の浮き上がりを検出したかを判定する。
【００６２】  吸着ノズル３０が電子部品Ｄに未達の場合、ロッド４２が平衡状態を維持している。つまり、ロッド４２によるボイスコイルモータ４７に対する相対的な浮き上がりはないため、蓋部４８ｂは空気口４８ａに被さったままである。そのため、圧力計４８ｄの値に変化はなく、検出部４８は不変値を接触判定部６４に出力する。接触判定部６４は、予め記憶している閾値と検出部４８の出力値とを比較することで、当該出力値が不変値であることを確認し、当該確認を以てロッド４２の浮き上がりが検出されていないこととする。
【００６３】  一方、図１３に示すように、吸着ノズル３０が下降し、ステージ１５に載置された電子部品Ｄと接触すると、ロッド４２には吸着ノズル３０を介して抵抗力Ｆｄが掛かる。抵抗力Ｆｄは、電子部品Ｄと接触した際に、ロッド４２が受ける吸着ノズル３０自体の重量やロッド４２が動く際に生じる摩擦などの力である。つまり、この力は、吸着ノズル３０はロッド４２から下降力Ｆｒと比較すると、極めて弱い力である。そのため、電子部品Ｄとの接触により、電子部品Ｄには、過大な荷重がかかることを防止することができる。
【００６４】  ボイスコイルモータ４７は、ロッド４２に対して｜Ｆｃｒ｜＝｜Ｆｏｐｐ｜となる対抗推力Ｆｏｐｐのみを与えているため、｜Ｆｏｐｐ｜＜｜Ｆｃｒ＋Ｆｄ｜となり、ロッド４２に対して浮き上がり力Ｆｆが発生し、平衡状態は崩れる。そのため、ロッド４２は、ボイスコイルモータ４７に対して相対的に浮き上がり、ステージ１５とは逆の方向に移動する。
【００６５】  図１４に示すように、ロッド４２が浮き上がると、空気口４８ａを被覆していた蓋部４８ｂは、空気口４８ａから離れる。蓋部４８ｂから開放された空気口４８ａには、空気が流入又は流出し、圧力計４８ｄの値は変化する。接触判定部６４は、閾値と検出部４８の出力値とを比較することで、当該出力値が変化値であることを確認し、当該確認を以てロッド４２の浮き上がりが検出されたこととする。
【００６６】  ロッド４２の浮き上がりが検出されなければ（ステップＳ０４，Ｎｏ）、モータ制御部６１は、ロッド４２が浮き上がるまで、吸着ノズル３０の下降を続ける。吸着ノズル３０の降下中に、ロッド４２の浮き上がりが検出されれば（ステップＳ０４，Ｙｅｓ）、それは、吸着ノズル３０が電子部品Ｄと接触していることを示す。ロッド４２の浮き上がりが検出された場合には、進退駆動用モータ５０の駆動を停止する（ステップＳ０５）。これにより、過度に電子部品Ｄに荷重をかけることを防止する。
【００６７】  また、ロッド４２の浮き上がりが検出された場合には、モータ制御部６１は、駆動用モータ５０の回転量を到達地点情報記憶手段６５に対して送信する。到達地点情報記憶手段６５では、受信した回転量を到達地点情報として記憶する。（ステップＳ０６）。
【００６８】（２）吸着ノズル３０を進退開始位置から到達地点までの移動させる制御  図１５は、到達地点情報記憶手段６５に記憶された到達地点に関する到達地点情報を参照し、吸着ノズル３０を到達位置まで移動する移動制御モードを示すフローチャートである。
【００６９】  移動制御モードでは、初めに、入力部６０ａからの入力に基づいて、モード切替部６０は、到達地点測定モードを設定する（ステップＳ１１）。停止位置に配置される吸着ノズル３０に対して、進退駆動用モータ５０の推進力を加え、吸着ノズル３０が保持する電子部品Ｄをステージ１５に対して降下させる。この時、モータ制御部６１は、当初速度情報に基づいて進退駆動用モータ５０を駆動する（ステップＳ１２）。当初速度情報は、速度情報記憶手段６２に記憶されており、モータ制御部が速度情報記憶手段６２を参照する形で呼び出す。
【００７０】
ステップＳ１３では、比較手段６９により、吸着ノズル３０の現在位置情報が変異点位置情報と一致するかを判定する。吸着ノズル３０の現在位置情報を、計測手段８４により計測する。比較手段６９は、吸着ノズル３０の現在位置情報と、変異点位置情報とを比較し、一致するかを判定する。一致しない場合には、進退駆動用モータ５０の駆動を当初速度で続ける（ステップＳ１３のＮＯ）。
【００７１】  吸着ノズル３０の現在位置情報と到達地点情報とが、一致する場合には、進退駆動用モータ５０の駆動速度を次速度に変更する（ステップＳ１４）。次速度は、速度情報記憶手段６２に記憶されており、モータ制御部が速度情報記憶手段６２を参照する形で呼び出す。
【００７２】
ステップＳ１５では、比較手段６９により、吸着ノズル３０の現在位置情報が到達地点位置情報と一致するかを判定する。吸着ノズル３０の現在位置情報は、計測手段８４により計測し、比較手段６９に出力する。比較手段６９は、吸着ノズル３０の現在位置情報と、到達地点位置情報とを比較し、一致するかを判定する。一致しない場合には、進退駆動用モータ５０の駆動を次速度で続ける（ステップＳ１５のＮＯ）。
【００７３】  吸着ノズル３０の現在位置情報と到達地点情報とが、一致する場合には、進退駆動用モータ５０を停止する（ステップＳ１６）。
【００７４】  （効果）  以上、説明したように、本実施形態では、到達地点測定モードにおいて、吸着ノズル３０と電子部品Ｄとが当接する到達地点を測定し、到達地点情報を記憶する。移動制御モードでは、その到達地点情報に基づいて、吸着ノズル３０が進退開始位置から到達地点まで達したタイミングで移動を終了させる。これにより、以下の効果を奏することができる。
【００７５】（１）到達地点測定モードでは、ボイスコイルモータ４７を吸着ノズル３０と電子部品Ｄとの接触検出の一構成として機能させている。ロッド４２が受ける反作用力Ｆｃｒと同等な対抗推力Ｆｏｐｐをロッド４２に掛けることで、ロッド４２に掛かる総合的な荷重を０ニュートンとする。これにより、吸着ノズル３０と電子部品Ｄの接触に際し生じる抵抗力Ｆｄを感知している。
【００７６】  抵抗力Ｆｄは、吸着ノズル３０はロッド４２から下降力Ｆｒと比較すると、極めて弱い力である。ロッド４２に掛かる総合的な荷重を０ニュートンとすることで、この抵抗力Ｆｄを感知することができる。そのため、ロッド４２と電子部品Ｄとの接触時の荷重を低荷重とすることができ、電子部品Ｄに過度な圧力を与えて破壊を誘因しない。また、電子部品Ｄの位置がずれを防止することができる。
【００７７】  この抵抗力Ｆｄを感知した時の吸着ノズル３０の到達地点情報を記憶しておく。吸着ノズル３０の到達地点情報は、進退駆動用モータ５０の回転量などの数値で表すことができるため、人間の感覚などに頼らずにすみ、ノズルの移動量の測定を簡易化することができる。
【００７８】  また、電子部品搬送装置１がターンテーブル１２に複数の吸着ノズル３０を備える場合などは、それぞれの吸着ノズル３０ごとの到達地点情報を到達地点情報記憶手段６２に記憶し、管理する。これにより、各ノズルの長さに誤差がある場合など、それぞれの吸着ノズル３０で移動量が異なる場合にでも、予めその吸着ノズル３０の到達地点情報を記憶しておく。その到達地点情報に基づいて、吸着ノズル３０が進退開始位置から到達地点まで達したタイミングで移動を終了させる。これにより、電子部品搬送装置１に複数の吸着ノズル３０がある場合にでも、吸着ノズル３０ごとの移動量を個別に記憶、管理することができる。
【００７９】  製品ごとに吸着ノズル３０やチャックの種類を変更する場合には、交換後の各吸着ノズル３０やチャックの到達地点情報の測定し、新たな到達地点情報として記憶する。吸着ノズル３０やチャックの種類の変更にも対応することができる。
【００８０】（２）移動制御モードでは、到達地点情報に基づいて、吸着ノズル３０が進退開始位置から到達地点まで達したタイミングで移動を終了させる。この時、到達地点に達した吸着ノズル３０と電子部品Ｄとの間にクリアランスがあると、電子部品Ｄを吸着する際の衝撃が吸着ノズル３０に加わる。この衝撃が吸着ノズル３０の先端を摩耗させる原因となっていた。また、到達地点に達した吸着ノズル３０と電子部品Ｄとの間にクリアランスが０でも、吸着ノズル３０と電子部品Ｄとの間に大きな力が加わると、この力により吸着ノズル３０の先端を摩耗する。吸着ノズル３０が到達地点まで達したタイミングでは、吸着ノズル３０と電子部品Ｄとのクリアランスは０であり、また、吸着ノズル３０には、電子部品Ｄに対してきわめて弱い力である抵抗力Ｆｄの大きさの力しかかからない。そのため、吸着ノズル３０の先端の摩耗が生じなくなる。
【００８１】（３）また、吸着ノズル３０と電子部品Ｄとの当接時の影響を低減するために、吸着ノズル３０の先端にラバーコレット３６を設けた場合は、当接時にラバーコレット３６に対して電子部品Ｄからの力が加わり、ラバーコレット３６が変形していた。このため、吸着ノズルの到達地点の測定においては、ラバーコレット３６の変形により、正確な吸着ノズルの到達地点を測定することは困難であった。
【００８２】  本実施形態で、吸着ノズルの先端にラバーコレット３６を設けた場合には、抵抗力Ｆｄを、ラバーコレット３６が、撓む力未満の大きさとするこができる。そのため、ラバーコレット３６が撓むことなく、到達地点を測定することが可能であり、その到達地点の情報に基づいて吸着ノズル３０の下降動作を予め定められたタイミングで終了させる。これにより、ラバーコレット３６の撓みを勘案してノズルの移動量の調整をする必要もなくなる。従来であれば、ラバーコレット３６の変形具合を目視で確認し、ノズルの移動量を測定していた。しかしながら、本実施形態では、熟練した作業員でも調整に時間がかかる目視での確認のような人力による調整を必要とせず、正確に吸着ノズル３０の到達地点を測定することが可能となる。
【００８３】  さらに、多品種少量生産において、電子部品Ｄの品種交換は、頻繁に行われる。特に、小ロットの品種の切り替えが頻発すると、吸着ノズルの調整に時間がとられて、電子部品保持装置の稼働時間が低下する。本実施形態では、ラバーコレット３６を用いた場合でも、正確に到達地点を測定することが可能となる。そのため、電子部品Ｄの品種の切り替えが頻繁に発生しても、その都度の調整を短時間で行うことができ、電子部品保持装置の稼働時間の低下を抑制することができる。
【００８４】（４）電子部品保持装置を長時間運用すると、吸着ノズル３０の先端の先端が摩耗する。これにより、それまでの到達地点まで移動したタイミングでは、吸着ノズル３０と、電子部品Ｄとが当接しなくなる。この場合、メンテナンス時に、到達地点の測定を改めて行い、新たな到達地点の位置情報を到達地点情報として更新する。移動制御モードでは、新たな到達地点に基づいて、進退駆動用モータ５０の制御を行い、吸着ノズル３０を新たな到達地点まで移動させる。
【００８５】  また、搬送対象となる電子部品Ｄの種類の変更を行った場合は、新たな電子部品Ｄに合わせて到達地点の測定を行う必要がある。この場合にも、到達地点の測定を改めて行う。移動制御モードでは、新たな到達地点情報に基づいて、進退駆動用モータ５０の制御を行い、吸着ノズル３０を新たな電子部品Ｄに合わせて移動させる。これにより、搬送対象となる電子部品Ｄの種類が変更された場合においても、到達地点の計測を行うことで、吸着ノズル３０を正確に移動することができる。
【００８６】  本実施形態では、吸着ノズル３０の到達地点を極めて簡単且つ精度よく検出することができるので、メンテナンスや電子部品Ｄの種類の変更を行った際にも、短時間で吸着ノズルの移動量を決定することができる。
【００８７】（５）さらに、吸着ノズル３０が進退開始位置から変異点まで移動するタイミングで、移動速度を変更することも可能である。すなわち、吸着ノズル３０の進退開始位置からの当初速度で移動し、変異点において、次速度に変更する。
【００８８】  変異点の位置情報は、到達地点の測定が行わるごとに、変異点情報記憶手段６７に記憶される。この変異点は、到達地点から所定の距離、吸着ノズル３０の進退開始位置に近い側に設けられるものである。そのため、到達地点が測定され到達地点情報が更新されるたびに変異点の位置情報も更新される。
【００８９】  予め、次速度を当初速度より低速に設定する。進退開始位置から吸着ノズル３０を高速で移動させることで、吸着ノズル３０が電子部品Ｄに近づく時間を短縮することができる。一方、変異点において、吸着ノズル３０の移動速度を低速に変更することで電子部品Ｄとの接触の影響を低減することができる。
【００９０】（６）本実施形態では、変異点を１つ設け、その変異点で吸着ノズルの移動速度を変更したが、変異点は１つに限らず、複数設けることもできる。例えば、２つの変異点Ａ，Ｂを設ける場合に、１つ目の変異点Ａまでは、吸着ノズル３０を一定の加速度で加速させる。１つ目の変異点Ａを過ぎるタイミングで、吸着ノズル３０を一定の加速度で減速させる。その後、２つ目の変異点Ｂを過ぎるタイミングで、吸着ノズル３０を等速で移動させる。
【００９１】  このようにすることで、加速、減速、等速のタイミングを組み合わせることにより、吸着ノズル３０と電子部品Ｄの当接時には、吸着ノズル３０を等速で運動させることを前提に、吸着ノズル３０をより短時間で電子部品Ｄに接近させることができる。等速で吸着ノズル３０と電子部品Ｄを接触させることができるので、等速時にはロッド４２にかかる力が一定であるため、精度高くロッド４２の浮き上がりを検出することができる。
【００９２】（７）また、その他の工程処理ユニット１４における工程処理において適切な荷重を電子部品Ｄに与えることに利用されていたボイスコイルモータ４７を転用又は併用でき、特別な機械的構成は必要としない。
【００９３】［第２の実施形態］  以下、本発明の第２の実施形態に係る電子部品搬送装置について図１６を参照しつつ詳細に説明する。本実施形態は、第１の実施形態の電子部品搬送装置１に電子部品の受け渡し手段であるロータリーテーブル８０が配置されたものである。ロータリーテーブル８０は、ピックアップ地点Ｂでウェハ９１から電子部品Ｄを取り出す。その後、受け渡し地点Ａで電子部品搬送装置１のターンテーブル１２の吸着ノズル３０に電子部品を渡す。これにより、電子部品搬送装置１の搬送経路に電子部品Ｄが流れることになる。すなわち、ロータリーテーブル８０は、ウェハ９１から電子部品搬送装置１に電子部品Ｄを載せ替える受け渡し手段である。
【００９４】  ターンテーブル１２の吸着ノズル３０には、それぞれシリアルナンバーが付される。ターンテーブル１２に８つの吸着ノズルが設けられる場合、吸着ノズルにはＴ００１〜Ｔ００８のシリアルナンバーが付与される。同様に、ロータリーテーブル８０に８つの吸着ノズルが設けられる場合、吸着ノズルにはＲ８０１〜Ｒ８０８のシリアルナンバーが付与される。
【００９５】  すなわち、ロータリーテーブル８０は、電子部品Ｄを先端で保持及び離脱させる複数の吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８を備えている。この吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８は、同一円周上に円周等配位置で設置され、その円周中心から半径方向に沿って延びている。吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８は、先端を外方に向けて配置されている。ロータリーテーブル８０は、電子部品を保持した吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８を、その円周中心を通って該半径方向と直交する軸を回転中心として所定角度ずつ回転させる。
【００９６】  このロータリーテーブル８０は、垂直方向に回転を行う。つまり、ロータリーテーブル８０の回転軸は、水平方向に延びる。ロータリーテーブル８０は、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８に保持した電子部品Ｄを垂直方向に移動させる。
【００９７】  ロータリーテーブル８０の間欠回転により、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８は、少なくともテーブルの頂点で、停止するように調整されている。この頂点では、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８は、電子部品搬送装置１のターンテーブル１２の吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８の停止位置の１か所の直下に位置する。この停止位置では、吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８と、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８とが互いに先端を向き合わせて停止する。この停止位置で、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８が保持する電子部品Ｄを吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８に渡す。すなわち、この停止位置が、受け渡し地点Ａとなる。
【００９８】  受け渡し地点Ａでは、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８は、その先端で電子部品Ｄの一面を保持している。つまり、電子部品Ｄの反対面を、受け渡し地点Ａで対向する吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８に向けている。受け取り側の吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８は、その反対面を先端で保持する。その後、ターンテーブル１２が回転することにより、ターンテーブル１２の他の停止位置まで電子部品Ｄを保持し搬送する。
【００９９】  ウェハ９１は、ロータリーテーブル８０の下降点の一か所に配置されている。ステージ装置９は、電子部品が取り出されるウェハ９１に電子部品Ｄを載せながらＸＹ方向に平行移動することで、各電子部品Ｄを一つずつピックアップ地点Ｂに位置させる。
【０１００】  ピックアップ地点Ｂは、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８のウェハ９１の最寄り停止位置である。本実施形態では、ターンテーブル１２とロータリーテーブル８０が上下に配置され、ロータリーテーブル８０の上部が受け渡し位置Ａ、直下がピックアップ地点Ｂとなっている。
【０１０１】  （進退駆動部４）  押圧体４０と進退駆動用モータ５０とからなる進退駆動部４は、ターンテーブル１２の停止位置の受け渡し地点Ａと、ロータリーテーブル８０の停止位置のピックアップ地点Ｂに設置されている。
【０１０２】  受け渡し地点Ａにおいては、ターンテーブル１２側にのみ進退駆動部４が設けられる。すなわち、受け渡し地点Ａにおい吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８が、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８へ向かって電子部品の受け渡しのために迎えに行く構成となる。
【０１０３】  ピックアップ地点Ｂにおいては、ロータリーテーブル８０に進退駆動部４が設けられる。すなわち、ピックアップ地点Ｂにおいては、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８が、ウェハ９１に対して電子部品を迎えに行く構成となる。
【０１０４】（制御部６）  本実施形態の制御部では、図１７に示すように、第１の実施形態の制御部６の構成に加えて、ノズル識別部７０が設けられる。
【０１０５】  ノズル識別部７０は、受け渡し地点Ａに停止する吸着ノズルを識別する。ターンテーブル１２の吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８と、ロータリーテーブル８０の吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８に夫々の異なる位置に、切り欠き部を設けておく。ノズル識別部７０は、光センサ４９を備え、吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８と吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８との切り欠き部分の有無を検出し、予め記憶してある切り欠き部分と対応付ける。
【０１０６】  光センサ４９は、発光部から光を照射し、受光部でその光を受けとるセンサである。発光部としては、ＬＥＤ、受光部としては、フォトトランジスタやフォトダイオードを利用する。この光センサ４９の発光部と受光部を、吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８の停止位置を挟んで配置する。
【０１０７】  この時、発光部と受光部との間に、吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８の切り欠き部が配置されるようにする。ノズル識別部７０は、光センサ４９により、切り欠き部分の有無を検出し、予め記憶してある切り欠き部分と対応付ける。これにより、吸着ノズル識別部７０は、受け渡し地点Ａに停止する吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８を識別する。同様のノズル識別部７０をロータリーテーブル８０に設けることで、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８を識別する。
【０１０８】  吸着ノズルＴ００１が、吸着ノズルＲ８０１に対して到達地点の測定を行った場合には、Ｔ００１−Ｒ８０１の組み合わせにおける到達地点として、到達地点情報を到達地点情報記憶手段６５に記憶する。
【０１０９】  変異点情報記憶手段６７は、生成手段６６で生成した変異点情報を記憶する。生成手段６６は、到達地点情報に基づいて、変異点に関する変異点情報を生成する。変異点情報の生成は、到達地点情報記憶手段６５に記憶した到達地点情報ごとに行われる。吸着ノズルＴ００１が、吸着ノズルＲ８０１に対して到達地点の測定を行った場合には、吸着ノズルの組み合わせＴ００１−Ｒ８０１の変異点情報を生成し、記憶する。
【０１１０】（１）吸着ノズルと電子部品Ｄとが当接する到達地点の測定  受け渡し地点Ａにおける吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８と、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８が保持する電子部品Ｄとが当接する到達地点の測定方法では、第１の実施形態の電子部品搬送装置１での到達地点の測定と同様に行う。
【０１１１】  設定モードが設定されると、ターンテーブル１２とロータリーテーブル８０とに設置されたシリアルナンバーが若い吸着ノズル３０が受け渡し地点Ａに配置される（Ｔ００１−Ｒ８０１）。このとき吸着ノズルＲ８０１は、受け渡し対象となる電子部品Ｄを保持している。そして、進退駆動用モータ５０を駆動し吸着ノズルＴ００１の移動を開始する。吸着ノズルＴ００１が吸着ノズルＲ８０１の保持する電子部品Ｄと当接することで、ロッド４２の浮き上がりを検出する。これにより、吸着ノズルＴ００１の吸着ノズルＲ８０１が保持する電子部品Ｄに対する到達地点の測定を行う。
【０１１２】  次に、ターンテーブル１２を回転し、吸着ノズルＴ００２を受け渡し地点Ａに配置する。同様に、吸着ノズルＴ００２を吸着ノズルＲ８０１の保持する電子部品Ｄに対して移動させ、吸着ノズルＴ００２の到達地点の測定を行う。このように、到達地点の測定終了ごとに、ターンテーブル１２を回転し、受け渡し地点Ａに吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８を配置する。吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８の吸着ノズルＲ８０１の保持する電子部品Ｄに対する測定が終了した後、ロータリーテーブル８０を回転させ、受け渡し地点ＡにＲ８０２を配置する。このように、吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８の吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８が保持する電子部品Ｄに対する測定を行う。その後、測定結果を到達地点情報記憶手段６５に記憶し、到達地点測定モードが終了する。
【０１１３】（２）吸着ノズルを進退開始位置から到達地点までの移動させる制御  吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８を進退開始位置から到達地点までの移動させる制御では、第１の実施形態と同様に、到達地点情報記憶手段６５に記憶された到達地点情報を参照し、行う。
【０１１４】  受け渡し地点Ａに、吸着ノズルＴ００１と吸着ノズルＲ８０１とが配置される場合、到達地点情報記憶手段６５から、Ｔ００１−Ｒ８０１の組み合わせにおける吸着ノズルＴ００１の到達地点情報を呼び出す。その到達地点情報に基づいて進退駆動用モータ５０の駆動を開始する。比較手段６９は、Ｔ００１−Ｒ８０１における吸着ノズルＴ００１の到達地点情報と、吸着ノズルＴ００１の現在位置情報との比較を行う。そして、一致する場合には、進退駆動用モータを停止する。
【０１１５】（効果）  以上説明したように、本実施形態では、特に、電子部品搬送装置１に電子部品の受け渡し手段であるロータリーテーブル８０が配置された場合、受け渡し地点Ａでは、吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８の移動距離を、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８との組み合わせと関連付けて記憶する。そのため、測定モードでは、吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８と吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８との組み合わせごとに到達地点が異なる場合においても、組み合わせごとに適正な到達地点の測定が可能となる。これにより、第１の実施形態の効果に加えて、以下の効果を奏することができる。
【０１１６】（１）移動制御モードでは、吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８と吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８との組み合わせごとの適正な到達地点に基づいて、吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８の移動を行う。そのため、受け渡し地点Ａにどの組み合わせの吸着ノズルが配置されようとも、吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８を適正な位置まで移動することができる。これにより、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８が保持する電子部品Ｄに対して、大きな荷重をかけず、電子部品Ｄの脱落を防止する。また、本実施形態では、受け渡し地点Ａにおいては、ターンテーブル１２側に進退駆動部４が設けたが、ロータリーテーブル８０側に進退駆動部４を設けることもできる。この場合、電子部品Ｄを保持するＲ８０１〜Ｒ８０８を移動する構成としても良い。
【０１１７】  また、本実施形態においても、吸着ノズル３０の先端にラバーコレット３６を設けることができる。特に、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８の先端にラバーコレット３６を設けた場合には、吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８の到達地点の測定の際には、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８は電子部品Ｄを保持している。そのため、従来のように、目視での確認のような人力による調整では、ラバーコレットの変形具合が、吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８との接触によるものなのか、電子部品Ｄの自重によるものなのか判断がつきにくい。しかしながら、本実施形態では、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８に保持された電子部品Ｄと、吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８の接触を、ラバーコレット３６が撓む力未満の大きさの抵抗力Ｆｄにより検知することができる。正確に吸着ノズルＴ００１〜Ｔ００８の到達地点を測定することが可能となる。
【０１１８】  以上では、受け取り位置Ａにおける位置測定モードと、移動制御モードについて述べたが、ピックアップ地点Ｂにおける吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８の到達地点の測定にも応用することが可能である。
【０１１９】（２）本実施形態においても前記第１の実施形態と同様に、吸着ノズル３０の移動の制御を行うことも可能である。
【０１２０】（３）受け渡し位置Ａまたは、ピックアップ地点Ｂにおける吸着ノズル３０の移動の制御を、記憶部６に記憶された到達地点情報を参照し、決定する。吸着ノズル３０の移動の制御では、吸着ノズル３０の移動速度を進退開始位置から移動開始時と、電子部品Ｄの接触前で変更することも可能である。
【０１２１】  これにより、進退開始位置から吸着ノズル３０を高速で移動させることで、吸着ノズル３０が電子部品Ｄに近づく時間を短縮することができる。一方、到達地点の手前で、吸着ノズル３０を低速で移動させることで、電子部品Ｄとの接触の影響を低減することができる。
【０１２２】［第３の実施形態］  以下、本発明の第３の実施形態に係る電子部品搬送装置１について図面を参照しつつ詳細に説明する。本実施形態は、第１実施形態の電子部品搬送装置１の搬送経路を形成するターンテーブル１２を、２つのロータリーテーブル８０，８１に変更したものである。
【０１２３】  ロータリーテーブル８０は、ピックアップ地点Ｂでトレイ９２から電子部品Ｄを取り出す。その後、受け渡し地点Ａでロータリーテーブル８１の吸着ノズル３０に電子部品Ｄを渡す。電子部品Ｄを受け取ったロータリーテーブル８１は、離脱地点Ｃで他方のトレイ９２に位置させる。これにより、トレイ９２から他方のトレイ９２まで、電子部品Ｄが搬送されることになる。また、２連のロータリーテーブル８０，８１は、一方のトレイ９２から他方のトレイ９２までの一連の搬送路であるとともに、電子部品Ｄの表裏反転機構ともなっている。
【０１２４】  ロータリーテーブル８０，８１の吸着ノズル３０には、それぞれＲ８０１〜Ｒ８０８、Ｒ８１１〜Ｒ８１８のシリアルナンバーが付される。吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８と、吸着ノズルＲ８１１〜Ｒ８１８とが互いに先端を向き合わせて停止し、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８が保持する電子部品Ｄを吸着ノズルＲ８１１〜Ｒ８１８に渡す。すなわち、この停止位置が、受け渡し地点Ａとなる。
【０１２５】  受け渡し地点Ａにおいては、ロータリーテーブル８１側にのみ進退駆動部４が設けられる。すなわち、受け渡し地点Ａにおい吸着ノズルＲ８１１〜Ｒ８１８が、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８へ向かって電子部品Ｄの受け渡しのために迎えに行く構成となる。
【０１２６】  本実施形態では、搬送経路として２つのロータリーテーブル８０，８１が設けられた場合、受け渡し地点Ａでは、吸着ノズルＲ８１１〜Ｒ８１８の移動距離を、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８との組み合わせと関連付けて記憶する。そのため、測定モードでは、吸着ノズルＲ８１１〜Ｒ８１８と吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８との組み合わせごとに到達地点が異なる場合においても、組み合わせごとに適正な到達地点の測定が可能となる。また、吸着ノズルＲ８１１〜Ｒ８１８を進退開始位置から到達地点までの移動させる制御では、第１，２の実施形態と同様に、到達地点情報記憶手段６５に記憶された到達地点情報を参照し、行う。これにより、第１，２の実施形態の効果に加えて、以下の効果を奏することができる。
【０１２７】（１）移動制御モードでは、吸着ノズルＲ８１１〜Ｒ８１８と吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８との組み合わせごとの適正な到達地点に基づいて、吸着ノズルＲ８１１〜Ｒ８１８の移動を行う。そのため、受け渡し地点Ａにどの吸着ノズルが配置されようとも、吸着ノズルＲ８１１〜Ｒ８１８を適正な位置まで移動することができる。これにより、吸着ノズルＲ８０１〜Ｒ８０８が保持する電子部品Ｄに対して、大きな荷重をかけず、電子部品Ｄの脱落を防止する。また、本実施形態では、受け渡し地点Ａにおいては、ロータリーテーブル８１側にのみ進退駆動部４が設けたが、ロータリーテーブル８０側に進退駆動部を設けることもできる。この場合、電子部品Ｄを保持するＲ８０１〜Ｒ８０８を移動する構成としても良い。
【０１２８】（２）本実施形態においては、１つの搬送路で同時に複数の品種を搬送することもできる。例えば、品種Ａについては、偶数番目の吸着ノズル３０を使用し、品種Ｂについては、奇数番目の吸着ノズル３０を使用することで、同時に２種類の品種を搬送することができる。この場合、品種Ａ，Ｂを保持した吸着ノズルに対して、もう一方の吸着ノズルを移動させ、各ノズルの到達地点を各ノズルの組み合わせと関連付けて、記憶する。これにより、２つの品種の電子部品Ｄを同時に１つの搬送路で搬送することができる。
【０１２９】  また、品種Ａのみを搬送する場合に、偶数番目のみの吸着ノズルを使用し、ロータリーテーブルを２ピッチずつ移動させる。一方、奇数番目の吸着ノズルを使用し、ロータリーテーブルを２ピッチずつ移動させる。これにより、電子部品Ｄを吸着する吸着ノズルを選択することで、ノズルの移動距離の調整を行うことなく、搬送する電子部品の品種の切り替えを可能とした電子部品搬送装置として機能する。
【０１３０】［他の実施形態］  以上のように本発明の実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【０１３１】（１）各実施形態では、位置補正ユニット１４ａのステージ１５上に電子部品Ｄを載置し、到達地点測定モードにおいて、吸着ノズル３０をステージ１５に載置した電子部品Ｄに対して移動させ、吸着ノズル３０と電子部品Ｄとが当接する到達地点を測定した。これだけでなく、吸着ノズル３０に電子部品Ｄを保持させ、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル３０をステージ１５に対して移動させ、吸着ノズル３０が保持する電子部品Ｄとステージ１５との当接する到達地点を測定しても良い。
【０１３２】  これにより、ステージ１５に載置した電子部品Ｄに対する吸着ノズルの到達地点だけでなく、保持した電子部品Ｄをステージ１５に載置する際の、吸着ノズル３０の到達地点を測定することができる。
【０１３３】（２）また、各実施形態では、進退駆動用モータ５０としてサーボモータを用いる場合を例に説明したが、モータとしては、ステッピングモータ等公知であれば何れも適用が可能である。
【０１３４】（３）到達地点情報として、吸着ノズル３０が進退開始位置時から移動し、ロッド４２の浮き上がりが発生するまでに進退駆動用モータ５０が何回転したかを示す回転量としたが、到達地点情報としては、他の情報を利用することもできる。例えば、吸着ノズル３０が進退開始位置時から、ロッド４２の浮き上がりが発生するまでの進退駆動用モータ５０の回転速度を駆動時間で積分したものを、到達地点情報としても良い。
【０１３５】（４）吸着ノズル３０として吸着ノズルを例に採り説明したが、吸着ノズル以外に替えて、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品Ｄを機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。
【０１３６】（５）吸着ノズルの先端にラバーコレット３６を設ける例に採り説明したが、ラバーコレット３６としては、ゴム製のラバーコレット以外にも、弾性部材であれば種々のコレットを使用することもできる。
【０１３７】（６）圧縮バネ３３、３６の両方を備えることも、何れか一方を備えることも、両方を備えないものであってもよく、その態様に応じてロッド４２が受ける反作用力Ｆｃｒと同等な対抗推力Ｆｏｐｐを発生させればよい。すなわち、推進力Ｆｒとは、圧縮バネ３３、３６のない吸着ノズル３０のみを移動させる力、圧縮バネ３３に抗して吸着ノズル３０のみを移動させる力、又は圧縮バネ３３、３６の弾性力の差分に抗して吸着ノズル３０のみを移動させる力を含み、反作用力Ｆｃｒは、その推進力Ｆｒに対応する意である。
【０１３８】（７）ノズル識別部７０は光センサ４９を備える例を採り説明したが、停止位置に停止した吸着ノズル３０のシリアルナンバーを識別することができる方法であれば、他の方法と代替可能である。例えば、各吸着ノズルは、ID情報を埋め込んだRFタグを設け、停止位置に停止した吸着ノズル３０のRFタグからの情報を無線通信により読み出すことで、吸着ノズル３０のシリアルナンバーを識別することも可能である。また、各吸着ノズル３０にシリアルナンバーを示すバーコードを付し、停止位置に停止した吸着ノズル３０のバーコードを読み出すことも可能である。
【０１３９】  さらに、ノズル識別部７０は機械的に外部よりノズルを識別するものだけでなく、プログラムを用いてソフト的に識別して良い。例えば、ノズル識別部７０は、ＣＰＵを含んで構成されるノズル位置とノズルの停止位置とを対応づけたデータベースを更新するものであり、ターンテーブル１２の一回転ごとにデータベース上の停止位置情報を、次の位置情報に更新しているものである。
【０１４０】（８）回転速度情報として進退駆動用モータ４０の回転数、回転量情報として進退駆動用モータ４０の回転量を挙げたが、この他にも、進退駆動用モータの回転速度情報、回転量情報を表すことができる情報であれば、種々のパラメータを利用することができる。例えば、回転量情報は、進退駆動用モータに与えられるパルス数であり、前記回転速度情報は、進退駆動用モータに与えられるパルス周波数である。
【０１４１】（９）電子部品保持装置２の検出部４８は、パイプ内の空気圧の変化や、空気口４８ａを通じた空気の流入又は流出を検出することにより、ロッド４２がボイスコイルモータ４７に対して相対的に浮き上がったことを検出したが、他の方法によりロッド４２の浮き上がりを検出することも可能である。
【０１４２】（１０）工程処理ユニット１４として、位置補正ユニット１４ａの例を挙げたが、その他の工程処理ユニット１４としては、パーツフィーダ、位置補正ユニット、テストコンタクト装置、マーキングユニット、外観検査装置、分類ソート機構、不良品排出装置等のうちの一又は複数種類が選択的である。
【０１４３】（１１）一つのターンテーブル１２に各種の工程処理ユニット１４を配置する場合を例に挙げたが、搬送機構としては、直線搬送方式であってもよく、また複数のターンテーブル１２で一の搬送経路１１を構成するようにしてもよい。各種の工程処理ユニット１４は、上記した種類に限られず、各種の工程処理ユニット１４と置き換えることが可能であり、配置順序も適宜変更可能である。
【符号の説明】
【０１４４】  １…電子部品搬送装置１１…搬送経路１２…ターンテーブル１３…搬送用モータ１４…工程処理ユニット１４ａ…位置補正ユニット１５…ステージ  ２…電子部品保持装置３０…吸着ノズル３１…アーム３２…軸受け３３…圧縮バネ３４…フランジ３５…継手３６…ラバーコレット３７…筐体部３８…接触部３９…平坦部  ４…進退駆動部４０…押圧体４１…リニアガイド４２…ロッド４３…フレーム４３ａ…下腕４３ｂ…上腕４４…カムフォロア４５…軸受け４６…圧縮バネ４７…ボイスコイルモータ４７ａ…磁石４７ｂ…環状コイル４８…検出部４８ａ…空気口４８ｂ…蓋部４８ｃ…パイプ４８ｄ…圧力計４８ｅ…空気圧回路４８ｆ…流量計４９ｆ…オリフィス４９…光センサ５０…進退駆動用モータ５１…円筒カム  ６…制御部６０…モード切替部６０ａ…入力部６１…モータ制御部６２…速度情報記憶手段６３…ＶＣＭ制御部６４…接触判定部６５…到達地点位置記憶手段６６…生成手段６７…変異点情報記憶手段６８…計測手段６９…比較手段７０…ノズル識別部８０，８１…ロータリーテーブル９…ステージ装置９１…ウェハ９２…トレイ１００…撮影光学系
【要約】本発明は、電子部品をユニットに対して受け渡す際の吸着ノズルの移動量測定方法、その方法を利用した電子部品保持装置、及びこれを備えた電子部品搬送装置に関する。進退駆動用モータ（５０）が回転することによって、ロッド（４２）を介して吸着ノズル（３０）に推進力を作用させる。ボイスコイルモータ（４７）によって、吸着ノズル（３０）の推進力に対するロッド（４２）が受ける抗力と同等な対抗推力をロッド（３７）に付与し、受け渡し対象の電子部品（Ｄ）と吸着ノズル（３０）との接触によって生じるボイスコイルモータ（４７）の挙動変化を検出する。ボイスコイルモータ（４７）の挙動変化を検出するまでの吸着ノズル（３０）の移動量を測定する。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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