(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を収納するコンテナ体と、このコンテナ体の開口部を開閉するドア体とを備え、コンテナ体の周壁の開口部近傍に、コンテナ体の開口部に嵌め合わされたドア体を施錠する施錠手段を設けた収納容器であって、
コンテナ体を、正面の開口したフロントオープンボックスに形成してその側壁前部には切り欠きを形成し、
ドア本体の側壁に、コンテナ体の側壁前部の切り欠きに対応する解錠溝を形成し、この解錠溝の周縁部に、コンテナ体の側壁前部の切り欠きに対応する施錠突片を形成し、
施錠手段は、ドア体の施錠時にはドア体の開閉方向に交わる施錠方向にスライドし、ドア体の解錠時にはドア体の開閉方向に交わる施錠方向とは反対側の解錠方向にスライドする被操作部材と、被操作部材の施錠方向へのスライド時にはコンテナ体の正面に嵌め合わされたドア体の側壁に接触し、被操作部材の解錠方向へのスライド時にはコンテナ体の正面に嵌め合わされたドア体の側壁から離隔する施錠部材と、被操作部材のスライドに伴う駆動力を施錠部材に伝達して動作させるカム機構とを含み、施錠部材に、コンテナ体の切り欠き内に位置する施錠片を形成し、被操作部材の施錠方向へのスライド時には、ドア体の施錠突片に施錠部材の施錠片を引っかけるようにし、被操作部材の解錠方向へのスライド時には、ドア体の施錠突片に対する施錠部材の施錠片の干渉を解錠溝により解除するとともに、この解錠溝を施錠部材により被覆するようにしたことを特徴とする収納容器。
【請求項２】
コンテナ体を、基板を収納可能なフロントオープンボックスに形成し、このコンテナ体の開口した正面にドア体を着脱自在に嵌め合わせるようにした請求項１記載の収納容器。
【請求項３】
施錠手段は、コンテナ体の側壁前部に支持され、ドア体の施錠時には上下いずれかの施錠方向にスライドし、ドア体の解錠時には施錠方向とは反対側の解錠方向にスライドする被操作部材と、被操作部材の施錠方向へのスライド時にはコンテナ体の正面に嵌め合わされたドア体の側壁に接触し、被操作部材の解錠方向へのスライド時にはコンテナ体の正面に嵌め合わされたドア体の側壁から離隔する施錠部材とを含んでなる請求項１又は２記載の収納容器。
【請求項４】
施錠手段は、コンテナ体の側壁前部に支持され、ドア体の施錠時には下方向にスライドし、ドア体の解錠時には上方向にスライドする被操作部材と、コンテナ体の側壁前部と被操作部材との間にスライド可能に介在され、被操作部材の下方向へのスライド時には、コンテナ体の正面に嵌め合わされたドア体の施錠突片に施錠片を接触させ、被操作部材の上方向へのスライド時には、コンテナ体の正面に嵌め合わされたドア体の施錠突片から施錠片を離隔させる施錠部材と、被操作部材と施錠部材とに設けられ、被操作部材のスライドに伴う駆動力を施錠部材に伝達して動作させるカム機構とを含んでなる請求項１、２、又は３記載の収納容器。
【請求項５】
コンテナ体の側壁前部の切り欠きを施錠手段用の収納ブロックにより被覆し、この収納ブロックに、施錠手段の被操作部材を案内するガイド片を設けるとともに、このガイド片には、被操作部材用の位置規制部を形成し、
施錠手段の施錠部材に、収納ブロックを貫通してコンテナ体の切り欠き内に位置する施錠片を形成した請求項１ないし４いずれかに記載の収納容器。
【請求項６】
コンテナ体の収納ブロックと施錠手段の被操作部材のいずれか一方に凸部を形成するとともに、他方には第一、第二の凹部を形成し、
施錠手段の被操作部材が施錠方向にスライドした場合には、凸部と第一の凹部とを嵌め合わせて固定し、被操作部材が解錠方向にスライドした場合には、凸部と第二の凹部とを嵌め合わせて固定するようにした請求項５記載の収納容器。
【請求項７】
コンテナ体の収納ブロックに施錠手段用のスリットを形成し、
施錠手段は、コンテナ体の収納ブロックに収納され、ドア体の施錠時には下方向にスライドし、ドア体の解錠時には上方向にスライドする被操作部材と、コンテナ体の収納ブロックと被操作部材との間に介在され、ドア体の施錠時には下方向にスライドし、ドア体の解錠時には上方向にスライドする施錠部材と、収納ブロック、被操作部材、及び施錠部材に設けられて被操作部材のスライドに伴う駆動力を施錠部材に伝達して動作させるカム機構とを含み、施錠部材に、収納ブロックのスリットを貫通してドア体の施錠時にドア体の施錠突片に干渉可能な施錠片を形成し、カム機構を、収納ブロックに形成される第一カム突起と、施錠部材に形成されて収納ブロックの第一カム突起にスライド可能に嵌合される第一カム溝と、施錠部材に形成される第二カム突起と、被操作部材に形成されて施錠部材の第二カム突起にスライド可能に嵌合される第二カム溝とから構成した請求項５又は６記載の収納容器。
【請求項８】
カム機構の第一カム溝を、施錠プレートの上下方向に形成される垂直溝と、この垂直溝の上端部に形成されて施錠プレートの斜め上方向に伸びる傾斜溝と、この傾斜溝の先端部に形成されて水平方向に伸びる水平溝とから形成し、第二カム溝を、被操作プレートの斜め上方に傾斜しながら水平方向に形成される緩傾斜溝と、この緩傾斜溝の端部に形成されて被操作プレートの水平方向に傾斜しながら上方に形成される急傾斜溝とから形成し、
カム機構は、ドア体の施錠時に施錠部材の第二カム突起と第二カム溝の緩傾斜溝とが接触する場合には、被操作部材と施錠部材との相対位置の変更を規制し、ドア体の施錠時に第一カム突起に第一カム溝の傾斜溝が接触し、施錠部材の第二カム突起が第二カム溝の緩傾斜溝と急傾斜溝との境界付近に接触した場合には、被操作部材と施錠部材とを斜め下方にスライドさせ、ドア体の施錠時に施錠部材の第二カム突起と第二カム溝の急傾斜溝とが接触した場合には、被操作部材を水平方向に移動させながら下方にスライドさせ、施錠部材を第一カム溝の水平溝により水平方向に移動させてドア体の施錠突片に施錠部材の施錠片を干渉させるようにした請求項７記載の収納容器。
【請求項９】
物品を収納するコンテナ体と、このコンテナ体の開口部を開閉するドア体とを備え、コンテナ体の周壁の開口部近傍に、コンテナ体の開口部に嵌め合わされたドア体を施錠する施錠手段を設けた収納容器であって、
コンテナ体を、正面の開口したフロントオープンボックスに形成してその側壁前部には切り欠きを形成し、
ドア本体の側壁に、コンテナ体の側壁前部の切り欠きに対応する解錠溝を形成し、この解錠溝の周縁部に、コンテナ体の側壁前部の切り欠きに対応する施錠突片を形成し、
施錠手段は、ドア体の施錠時には下方向にスライドし、ドア体の解錠時には上方向にスライドする被操作部材と、この被操作部材に支持され、被操作部材の下方向へのスライド時にはコンテナ体の前方向にスライドし、被操作部材の上方向へのスライド時にはコンテナ体の後方向にスライドする連結部材と、この連結部材に回転可能に支持され、連結部材の前方向へのスライド時にはコンテナ体の正面に嵌め合わされたドア体の側壁に接触し、連結部材の後方向へのスライド時にはコンテナ体の正面に嵌め合わされたドア体の側壁から離隔する施錠部材と、被操作部材のスライドに伴う駆動力を連結部材に伝達してスライドさせるカム機構とを含み、施錠部材に、コンテナ体の切り欠き内に位置する施錠片を形成し、被操作部材の施錠方向へのスライド時には、ドア体の施錠突片に施錠部材の施錠片を引っかけるようにし、被操作部材の解錠方向へのスライド時には、ドア体の施錠突片に対する施錠部材の施錠片の干渉を解錠溝により解除するとともに、この解錠溝を施錠部材により被覆するようにしたことを特徴とする収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハからなる基板等の物品を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハに代表される基板を収納する収納容器は、基板の大きさや構成等により幾つかのタイプに分類されるが、下面が開口したボトムオープンボックスタイプと、正面が開口したフロントオープンボックスタイプとが広く知られている。
【０００３】
ボトムオープンボックスタイプの収納容器は、図示しない複数枚の基板を水平方向に整列収納可能な別体のカセットを収納するコンテナ体と、このコンテナ体の開口した下面を開閉する中空のドア体と、コンテナ体の開口した下面に嵌合されたドア体を施錠する施錠機構とを備え、ドア体上にカセットが着脱自在に搭載される。
【０００４】
ドア体は、複数の部品が螺着して組み合わされることにより構成され、定期的に洗浄槽の洗浄水により洗浄される。また、施錠機構は、ドア体と同様、複数の部品が複雑に組み合わされることにより構成され、ドア体開閉装置に外部から操作される。このタイプの収納容器は、ドア体に複数枚の基板を収納した重いカセットが搭載される関係上、ドア体が撓んで好ましくない事態が想定されるので、ドア体の撓みを防止できる技術が提案されている（特許文献１参照）。
【０００５】
これに対し、フロントオープンボックスタイプの収納容器は、図示しない複数枚の基板を直接的に整列収納するコンテナ体と、このコンテナ体の開口した正面を開閉する中空のドア体と、コンテナ体の開口した正面に嵌合されたドア体を施錠する施錠機構とを備え、重いカセットを省略することができる（特許文献２参照）。
【０００６】
この収納容器のドア体は、複数の部品が螺着して組み合わされることにより構成され、定期的に洗浄水で洗浄される。また、施錠機構は、例えばドア体に内蔵されてドア体開閉装置に外部から回転操作される回転プレートと、この回転プレートの回転に伴いドア体の内部上下方向にスライドする複数のスライドプレートと、各スライドプレートのスライドに伴いドア体の周壁の小さい貫通孔から突出してコンテナ体の正面内周の係止穴に係止する出没可能な係止爪とから構成されている。
【０００７】
このように従来の収納容器は、ボトムオープンボックスタイプとフロントオープンボックスタイプとがあるが、いずれのタイプも、ドア体に複雑な構成の施錠機構が内蔵されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特表平４−５０５２３４号公報
【特許文献２】特表２００２−５１４８２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来における収納容器は、以上のように構成され、ドア体の内部に複雑な構成の施錠機構が取り付けられるので、ドア体の施錠・解錠時に施錠機構の複数の部品同士が擦れてパーティクル等の汚染物を発生させ、この汚染物がドア体の内部に蓄積されてしまうという問題がある。また、ドア体内に残存した汚染物がコンテナ体の内部に侵入し、基板を含む全体を汚染させてしまうおそれもある。
【００１０】
また、ドア体の周壁に、施錠機構の係止爪を突出させる貫通孔が小さく単に穿孔されるに止まるので、ドア体の内部洗浄時に洗浄水が残留しやすく、この結果、ドア体の内部洗浄に長時間を要し、ドア体の乾燥作業も遅延することがある。さらに、施錠機構の部品交換等の補修や点検時には、複数本の螺子を取り外してドア体を分解する必要があるが、作業が複雑で煩雑となる。そこで、使用しているドア体自体を新規のドア体に交換することがあるが、これでは、無駄が多く、経済的な損失を招くこととなる。
【００１１】
本発明は上記に鑑みなされたもので、汚染物がドア体内に蓄積したり、コンテナ体の内部に侵入するのを抑制し、ドア体に要する作業の迅速化を図ることができ、しかも、経済性を向上させることのできる収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明においては上記課題を解決するため、物品を収納するコンテナ体と、このコンテナ体の開口部を開閉するドア体とを備え、コンテナ体の周壁の開口部近傍に、コンテナ体の開口部に嵌め合わされたドア体を施錠する施錠手段を設けたものであって、
コンテナ体を、正面の開口したフロントオープンボックスに形成してその側壁前部には切り欠きを形成し、
ドア本体の側壁に、コンテナ体の側壁前部の切り欠きに対応する解錠溝を形成し、この解錠溝の周縁部に、コンテナ体の側壁前部の切り欠きに対応する施錠突片を形成し、
施錠手段は、ドア体の施錠時にはドア体の開閉方向に交わる施錠方向にスライドし、ドア体の解錠時にはドア体の開閉方向に交わる施錠方向とは反対側の解錠方向にスライドする被操作部材と、被操作部材の施錠方向へのスライド時にはコンテナ体の正面に嵌め合わされたドア体の側壁に接触し、被操作部材の解錠方向へのスライド時にはコンテナ体の正面に嵌め合わされたドア体の側壁から離隔する施錠部材と、被操作部材のスライドに伴う駆動力を施錠部材に伝達して動作させるカム機構とを含み、施錠部材に、コンテナ体の切り欠き内に位置する施錠片を形成し、被操作部材の施錠方向へのスライド時には、ドア体の施錠突片に施錠部材の施錠片を引っかけるようにし、被操作部材の解錠方向へのスライド時には、ドア体の施錠突片に対する施錠部材の施錠片の干渉を解錠溝により解除するとともに、この解錠溝を施錠部材により被覆するようにしたことを特徴としている。 
【００１３】
なお、コンテナ体を、基板を収納可能なフロントオープンボックスに形成し、このコンテナ体の開口した正面にドア体を着脱自在に嵌め合わせることができる。
【００１４】
また、施錠手段は、コンテナ体の側壁前部に支持され、ドア体の施錠時には上下いずれかの施錠方向にスライドし、ドア体の解錠時には施錠方向とは反対側の解錠方向にスライドする被操作部材と、被操作部材の施錠方向へのスライド時にはコンテナ体の正面に嵌め合わされたドア体の側壁に接触し、被操作部材の解錠方向へのスライド時にはコンテナ体の正面に嵌め合わされたドア体の側壁から離隔する施錠部材とを含むことができる。
【００１５】
また、施錠手段は、コンテナ体の側壁前部に支持され、ドア体の施錠時には下方向にスライドし、ドア体の解錠時には上方向にスライドする被操作部材と、コンテナ体の側壁前部と被操作部材との間にスライド可能に介在され、被操作部材の下方向へのスライド時には、コンテナ体の正面に嵌め合わされたドア体の施錠突片に施錠片を接触させ、被操作部材の上方向へのスライド時には、コンテナ体の正面に嵌め合わされたドア体の施錠突片から施錠片を離隔させる施錠部材と、被操作部材と施錠部材とに設けられ、被操作部材のスライドに伴う駆動力を施錠部材に伝達して動作させるカム機構とを含むことができる。 
【００１６】
また、コンテナ体の側壁前部の切り欠きを施錠手段用の収納ブロックにより被覆し、この収納ブロックに、施錠手段の被操作部材を案内するガイド片を設けるとともに、このガイド片には、被操作部材用の位置規制部を形成し、
施錠手段の施錠部材に、収納ブロックを貫通してコンテナ体の切り欠き内に位置する施錠片を形成することが可能である。
【００１７】
また、コンテナ体の収納ブロックと施錠手段の被操作部材のいずれか一方に凸部を形成するとともに、他方には第一、第二の凹部を形成し、
施錠手段の被操作部材が施錠方向にスライドした場合には、凸部と第一の凹部とを嵌め合わせて固定し、被操作部材が解錠方向にスライドした場合には、凸部と第二の凹部とを嵌め合わせて固定することが可能である。
【００１８】
また、コンテナ体の収納ブロックに施錠手段用のスリットを形成し、
施錠手段は、コンテナ体の収納ブロックに収納され、ドア体の施錠時には下方向にスライドし、ドア体の解錠時には上方向にスライドする被操作部材と、コンテナ体の収納ブロックと被操作部材との間に介在され、ドア体の施錠時には下方向にスライドし、ドア体の解錠時には上方向にスライドする施錠部材と、収納ブロック、被操作部材、及び施錠部材に設けられて被操作部材のスライドに伴う駆動力を施錠部材に伝達して動作させるカム機構とを含み、施錠部材に、収納ブロックのスリットを貫通してドア体の施錠時にドア体の施錠突片に干渉可能な施錠片を形成し、カム機構を、収納ブロックに形成される第一カム突起と、施錠部材に形成されて収納ブロックの第一カム突起にスライド可能に嵌合される第一カム溝と、施錠部材に形成される第二カム突起と、被操作部材に形成されて施錠部材の第二カム突起にスライド可能に嵌合される第二カム溝とから構成することが可能である。
【００１９】
また、カム機構の第一カム溝を、施錠プレートの上下方向に形成される垂直溝と、この垂直溝の上端部に形成されて施錠プレートの斜め上方向に伸びる傾斜溝と、この傾斜溝の先端部に形成されて水平方向に伸びる水平溝とから形成し、第二カム溝を、被操作プレートの斜め上方に傾斜しながら水平方向に形成される緩傾斜溝と、この緩傾斜溝の端部に形成されて被操作プレートの水平方向に傾斜しながら上方に形成される急傾斜溝とから形成し、
カム機構は、ドア体の施錠時に施錠部材の第二カム突起と第二カム溝の緩傾斜溝とが接触する場合には、被操作部材と施錠部材との相対位置の変更を規制し、ドア体の施錠時に第一カム突起に第一カム溝の傾斜溝が接触し、施錠部材の第二カム突起が第二カム溝の緩傾斜溝と急傾斜溝との境界付近に接触した場合には、被操作部材と施錠部材とを斜め下方にスライドさせ、ドア体の施錠時に施錠部材の第二カム突起と第二カム溝の急傾斜溝とが接触した場合には、被操作部材を水平方向に移動させながら下方にスライドさせ、施錠部材を第一カム溝の水平溝により水平方向に移動させてドア体の施錠突片に施錠部材の施錠片を干渉させることができる。
【００２０】
また、本発明においては上記課題を解決するため、物品を収納するコンテナ体と、このコンテナ体の開口部を開閉するドア体とを備え、コンテナ体の周壁の開口部近傍に、コンテナ体の開口部に嵌め合わされたドア体を施錠する施錠手段を設けたものであって、
コンテナ体を、正面の開口したフロントオープンボックスに形成してその側壁前部には切り欠きを形成し、
ドア本体の側壁に、コンテナ体の側壁前部の切り欠きに対応する解錠溝を形成し、この解錠溝の周縁部に、コンテナ体の側壁前部の切り欠きに対応する施錠突片を形成し、
施錠手段は、ドア体の施錠時には下方向にスライドし、ドア体の解錠時には上方向にスライドする被操作部材と、この被操作部材に支持され、被操作部材の下方向へのスライド時にはコンテナ体の前方向にスライドし、被操作部材の上方向へのスライド時にはコンテナ体の後方向にスライドする連結部材と、この連結部材に回転可能に支持され、連結部材の前方向へのスライド時にはコンテナ体の正面に嵌め合わされたドア体の側壁に接触し、連結部材の後方向へのスライド時にはコンテナ体の正面に嵌め合わされたドア体の側壁から離隔する施錠部材と、被操作部材のスライドに伴う駆動力を連結部材に伝達してスライドさせるカム機構とを含み、施錠部材に、コンテナ体の切り欠き内に位置する施錠片を形成し、被操作部材の施錠方向へのスライド時には、ドア体の施錠突片に施錠部材の施錠片を引っかけるようにし、被操作部材の解錠方向へのスライド時には、ドア体の施錠突片に対する施錠部材の施錠片の干渉を解錠溝により解除するとともに、この解錠溝を施錠部材により被覆するようにしたことを特徴としている。
【００２５】
ここで、特許請求の範囲における物品には、少なくとも各種の基板（例えば、φ２００、３００、４５０ｍｍの半導体ウェーハ、マスクガラス、液晶ガラス等）、電気部品、電子部品、機械部品、建築部品、化学部品等が単数複数含まれる。この物品が基板の場合、基板は、コンテナ体に支持されても良いし、ドア体に支持されても良い。コンテナ体やドア体は、透明、不透明、半透明のいずれでも良い。コンテナ体は、正面の開口したフロントオープンボックスタイプが好ましい。
【００２６】
施錠手段は、ドア体の内部でなければ、コンテナ体の周壁の開口部近傍に設けることができるし、ドア体の周壁に設けることもできる。施錠手段の被操作部材、施錠部材、連結部材は、板状でも良いし、ブロック状や棒状等でも良い。
【００２７】
施錠手段の駆動力伝達機構としては、例えば施錠部材の施錠片に略Ｊ字や略Ｌ字等の軌跡を描かせるカム機構があげられる。このカム機構は、施錠部材に駆動力を直接的に伝達するものでも良いし、連結部材等からなる各種の部材を介して間接的に伝達するものでも良い。 
【００２８】
本発明によれば、収納容器の開口部を覆うドア体を施錠する場合、施錠手段は、被操作部材が施錠方向にスライドして駆動力伝達機構を動作させ、この駆動力伝達機構が施錠部材に駆動力を直接間接に伝達し、この施錠部材がドア体の周壁あるいはコンテナ体の開口部内周に接触して固定する。
【００２９】
これに対し、収納容器の開口部を覆うドア体を解錠する場合、施錠手段は、被操作部材が施錠方向とは反対側の解錠方向にスライドして駆動力伝達機構を動作させ、この駆動力伝達機構が施錠部材に駆動力を直接間接に伝達し、この施錠部材がドア体の周壁あるいはコンテナ体の開口部内周から離れてドア体を取り外し可能とする。
【００３０】
また、フロントオープンボックスタイプの収納容器におけるコンテナ体の正面を覆うドア体を施錠する場合、コンテナ体の側壁前部に設けられた施錠手段は、被操作部材が上方向あるいは下方向の施錠方向にスライドしてカム機構を動作させ、このカム機構が施錠部材に駆動力を直接間接に伝達し、この施錠部材がドア体の周壁に接触して施錠する。
【００３１】
これに対し、コンテナ体の正面を覆うドア体を解錠する場合、施錠手段は、被操作部材が施錠方向とは反対側の解錠方向にスライドしてカム機構を動作させ、このカム機構が施錠部材に駆動力を直接間接に伝達し、この施錠部材がドア体の周壁から離れてドア体を取り外し可能とする。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、汚染物がドア体内に蓄積したり、コンテナ体の内部に侵入するのを抑制し、ドア体に要する作業の迅速化を図ることができるという効果がある。また、施錠機構の補修や点検時等に、使用中のドア体を新たな別のドア体に敢えて交換する必要がないので、無駄を省いて経済性を向上させることができる。また、コンテナ体をフロントオープンボックスに形成してその開口した正面を区画する側壁前部に施錠手段を設けるので、正面を区画する底板前部や天板前部に施錠手段を設ける場合よりも、施錠手段の設置や操作が簡易になり、周辺機器の製造も容易になる。
【００３３】
また、施錠手段に、被操作部材のスライドに伴う駆動力を施錠部材に伝達して動作させるカム機構を含むので、施錠・解錠の再現精度を向上させたり、被操作部材や施錠部材の剛性や信頼性を向上させることができる。また、被操作部材の施錠方向へのスライド時にドア体の施錠突片に施錠部材の施錠片を引っかけるので、ドア体に施錠部材の施錠片を単に接触させて施錠する場合よりも、強固に施錠することが可能になる。
【００３４】
また、被操作部材の解錠方向へのスライド時に、ドア体の施錠突片に対する施錠部材の施錠片の干渉を解錠溝により解除すれば、ドア体から施錠部材の施錠片を円滑、かつ迅速に引き離すことが可能になる。さらに、解錠溝を施錠部材により被覆するので、外部からドア体の解錠溝に汚染物が侵入することが少なく、収納容器内の汚染防止が期待できる。
【００３５】
また、収納ブロックに、施錠手段の被操作部材を案内するガイド片を設ければ、被操作部材のガタツキを防止して施錠方向や解錠方向に円滑に案内することができる。また、ガイド片に、被操作部材用の位置規制部を形成すれば、被操作部材が幅方向等にガタツくのを防止することが可能になる。
【００３６】
また、収納ブロックと施錠手段の被操作部材のいずれか一方に凸部を形成するとともに、他方に第一、第二の凹部を形成すれば、これらの嵌め合わせにより、被操作部材の位置ずれを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明に係る収納容器の実施形態を模式的に示す斜視説明図である。
【図２】本発明に係る収納容器の実施形態を模式的に示す分解斜視説明図である。
【図３】本発明に係る収納容器の実施形態におけるドア体を模式的に示す斜視説明図である。
【図４】本発明に係る収納容器の実施形態におけるドア体と施錠手段との関係を模式的に示す部分断面斜視図である。
【図５】本発明に係る収納容器の実施形態におけるドア体の解錠溝と施錠突片とを模式的に示す部分斜視説明図である。
【図６】本発明に係る収納容器の実施形態における施錠手段の施錠状態を模式的に示す部分断面側面図である。
【図７】本発明に係る収納容器の実施形態における施錠手段の解錠中の状態を模式的に示す側面説明図である。
【図８】本発明に係る収納容器の実施形態におけるドア体開閉装置と施錠手段の解錠状態を模式的に示す側面説明図である。
【図９】本発明に係る収納容器の第２の実施形態を模式的に示す斜視説明図である。
【図１０】本発明に係る収納容器の第２の実施形態を模式的に示す分解斜視説明図である。
【図１１】本発明に係る収納容器の第２の実施形態における施錠手段の被操作プレートとカム機構の一部とを模式的に示す説明図である。
【図１２】本発明に係る収納容器の第２の実施形態における施錠手段の解錠した状態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図１３】本発明に係る収納容器の第２の実施形態における施錠手段の施錠した状態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図１４】本発明に係る収納容器の第３の実施形態における収納ブロックと施錠手段とを模式的に示す分解斜視図である。
【図１５】本発明に係る収納容器の第３の実施形態における施錠手段の施錠作業状態を模式的に示す図で、（ａ）図は施錠の開始段階を示す斜視図、（ｂ）図は次の段階を示す斜視図、（ｃ）図は被操作プレートと施錠プレートとが斜め下方にスライドする段階を示す斜視図、（ｄ）図は施錠の最終段階を示す斜視図である。
【図１６】本発明に係る収納容器の第３の実施形態におけるドア体の施錠突片に対する施錠プレートの動きを模式的に示す図で、（ａ）図はドア体の施錠突片に対する施錠プレートの施錠片の施錠前の状態を示す斜視図、（ｂ）図は（ａ）図の施錠プレートが下方にスライドした状態を示す斜視図、（ｃ）図はドア体の施錠突片に施錠プレートが接近する状態を示す斜視図、（ｄ）図は（ｃ）図の施錠プレートがさらに下方にスライドして施錠した状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明すると、本実施形態における収納容器は、図１ないし図８に示すように、複数枚の基板を内部空間に整列収納する中空のコンテナ体１と、このコンテナ体１の開口部である正面２をシールガスケット３５を介して開閉するドア体３０とを備え、コンテナ体１の周壁の開口部近傍、換言すれば、コンテナ体１の周壁である両側壁８の前部に、コンテナ体１の開口した正面２に嵌合されたドア体３０を施錠する施錠手段４０をそれぞれ配設しており、半導体加工装置に付属のドア体開閉装置２０に搭載される基板収納容器して使用される。
【００３９】
基板は、図示しないが、所定の大きさを有する半導体ウェーハ、具体的には７７５μｍの厚さを有するφ３００ｍｍ、あるいは９２５μｍの厚さを有するφ４５０ｍｍのシリコンウェーハ等からなり、周縁部に位置合わせや識別用のノッチが平面Ｖ字形に切り欠かれており、コンテナ体１に２５枚が整列して収納される。
【００４０】
コンテナ体１とドア体３０とは、所定の樹脂を含有する成形材料により複数の部品がそれぞれ射出成形され、この複数の部品の組み合わせで構成される。この成形材料の所定の樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。
【００４１】
これらの樹脂には、カーボンブラック、炭素繊維、カーボンナノチューブ、金属繊維、金属酸化物、導電性ポリマー等の導電剤やアニオン、カチオン、非イオン系等の各種帯電防止剤を添加することができる。また、ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、ヒンダードアミン系の紫外線吸収剤を添加したり、剛性を向上させるガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
【００４２】
コンテナ体１は、図１や図２に示すように、正面２が横長に開口したフロントオープンボックスタイプに形成され、開口した正面２を水平横方向に向けた状態で半導体加工装置に付属のドア体開閉装置２０上に位置決めして搭載されたり、洗浄槽の洗浄液により洗浄される。このコンテナ体１は、内部両側、換言すれば、両側壁８の内面に、基板を略水平に支持する左右一対の支持片３がそれぞれ対設され、この左右一対の支持片３が上下方向に所定のピッチで配列されており、各支持片３が基板の側部周縁を支持する細長い板形に形成される。
【００４３】
コンテナ体１の底板には別体のボトムプレート４が螺子具を介して水平に螺着され、このボトムプレート４の前部両側と後部中央とには、コンテナ体１を位置決めする位置決め具５がそれぞれ配設される。各位置決め具５は、基本的には平面略楕円形を呈する断面略Ｖ字形に形成されてその一対の斜面を備えた凹部を下方に指向させ、ドア体開閉装置２０の位置決めピン２２に上方から凹部を嵌合・摺接させることにより、コンテナ体１を高精度に位置決めするよう機能する。
【００４４】
コンテナ体１の天板６の中央部には、工場の天井搬送機構に把持される搬送用のトップフランジが着脱自在に装着され、コンテナ体１の正面周縁部には、外方向に張り出すリムフランジ７が保持リブを介し膨出形成されており、このリムフランジ７内に着脱自在のドア体３０がドア体開閉装置２０により圧入して嵌合される。また、コンテナ体１の両側壁８中央部には、補強や変形防止の他、握持用に機能するグリップ部が着脱自在にそれぞれ装着される。
【００４５】
コンテナ体１の正面２を区画する各側壁８の前部、換言すれば、ドア体３０の周壁に対向するリムフランジ７の各側部には図２に示すように、施錠手段４０用の複数の切り欠き９が間隔をおき上下に並べて切り欠かれるとともに、この複数の切り欠き９を被覆する縦長の収納ブロック１０が装着されており、この収納ブロック１０に施錠手段４０が効率的にまとめて収納される。
【００４６】
各収納ブロック１０は、基本的にはコンテナ体１の側壁８以上の長さ（高さ）を有する略コ字形に形成され、略中央部には、施錠手段４０の位置ずれを防止する固定用の凸部１１が突出形成されるとともに、上下部には、コンテナ体１の切り欠き９に対応する施錠手段４０用の貫通溝１２がそれぞれ縦長に穿孔されており、屈曲した短い上下両端部には、施錠手段４０のガタツキを防止して案内するガイド片１３がそれぞれ装着される。
【００４７】
各ガイド片１３は、摺動性に優れるポリアセタール、ポリエチレン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリプロピレン、ポリフェニレンスルフィド、摺動剤の添加された熱可塑性樹脂を含有する成形材料により略Ｌ字形に屈曲形成される。この起立片の両側部には、施錠手段４０を幅方向に規制する位置規制部１４がそれぞれ突出形成される。
【００４８】
ドア体開閉装置２０は、図８に示すように、コンテナ体１を搭載するステージ２１を備え、このステージ２１には、コンテナ体１の複数の位置決め具５にそれぞれ嵌挿する位置決めピン２２が所定の間隔で立設される。このドア体開閉装置２０には、コンテナ体１の各収納ブロック１０の上下に位置する駆動ピン２３が昇降可能に複数設けられ、この複数の駆動ピン２３が選択的に昇降して施錠手段４０にアクセスすることにより、施錠手段４０が動作してドア体３０を施錠したり、解錠する。
【００４９】
ドア体３０は、図１ないし図５に示すように、コンテナ体１のリムフランジ７内に圧入して嵌合されるドア本体３１と、このドア本体３１の開口した正面を被覆する表面プレート３４と、コンテナ体１のリムフランジ７とドア本体３１との間に介在される密封封止用のシールガスケット３５とを備えて構成される。ドア本体３１は、基本的には底の浅い断面略皿形に形成され、内部に補強用や取付用のリブが複数配設されており、基板に対向する対向面である裏面には、基板の前部周縁を弾性片により弾発的に保持するフロントリテーナが装着される。
【００５０】
ドア本体３１の裏面周縁部には、枠形の嵌合溝が凹み形成され、この嵌合溝に、リムフランジ７の内周面に圧接するシールガスケット３５が密嵌される。また、ドア本体３１の周壁である両側壁の外面には、コンテナ体１の切り欠き９に対応する施錠手段４０用の複数の解錠溝３２が間隔をおき上下に並べて一体形成され、各解錠溝３２の周縁には施錠手段４０用の施錠突片３３が一体形成される。各解錠溝３２は、縦長の略矩形に凹み形成され、下部周縁に略Ｌ字形の施錠突片３３が一体形成される。
【００５１】
表面プレート３４は、横長の正面矩形に形成され、補強用や取付用のリブ、螺子孔等が複数配設される。また、シールガスケット３５は、例えば耐熱性や耐候性等に優れるフッ素ゴム、シリコーンゴム、各種の熱可塑性エラストマー（例えば、オレフィン系、ポリエステル系、ポリスチレン系等）等を成形材料として弾性変形可能な枠形に成形される。
【００５２】
施錠手段４０は、図２、図４、図６ないし図８に示すように、コンテナ体１の収納ブロック１０に収納支持されてドア体３０の施錠・解錠時に上下方向にスライドする被操作プレート４１と、コンテナ体１の収納ブロック１０と被操作プレート４１との間に介在され、被操作プレート４１の上下方向へのスライドに応じてコンテナ体１の正面２に嵌合されたドア体３０の側壁に接離するスライド可能な複数の施錠プレート４６と、これら被操作プレート４１と複数の施錠プレート４６とに形成され、被操作プレート４１のスライドに伴う駆動力を施錠プレート４６に伝達する運動特性が良好のカム機構４８とを備えて構成される。
【００５３】
被操作プレート４１は、基本的には所定の材料を使用してコンテナ体１の側壁８と略同じ長さ（高さ）を有する細長い板片に形成され、収納ブロック１０の複数のガイド片１３にスライド可能に支持されており、各ガイド片１３の位置規制部１４に挟持されることによりガタツキや脱落が防止される。この被操作プレート４１の材料としては、例えば剛性に優れるポリカーボネートやポリエーテルエーテルケトン、炭素繊維やガラス繊維で補強された合成樹脂、ＳＵＳやアルミ等の金属等があげられる。
【００５４】
被操作プレート４１は、略中央部に固定用の長孔４２が縦長に穿孔され、この長孔４２に、収納ブロック１０に固定されるカバープレート４３が重ねて遊嵌されることにより収納ブロック１０からの脱落が有効に防止される。この被操作プレート４１の上下両端部は、それぞれ屈曲形成されることにより平坦面を有し、ドア体開閉装置２０の駆動ピン２３に上下方向からアクセスされる。
【００５５】
被操作プレート４１には、収納ブロック１０の凸部１１と噛合する第一、第二の凹部４４・４５が上下方向に間隔をおいて形成され、この第一、第二の凹部４４・４５が収納ブロック１０の凸部１１と選択的に噛合することにより、ドア体３０の施錠・解錠時における被操作プレート４１の不要なスライドや位置ずれが規制される。
【００５６】
具体的には、ドア体３０の施錠時には、収納ブロック１０の凸部１１と被操作プレート４１の上方の第一の凹部４４とが噛合して被操作プレート４１を位置決め固定し、ドア体３０の解錠時には、収納ブロック１０の凸部１１と被操作プレート４１の下方の第二の凹部４５とが噛合して被操作プレート４１を位置決め固定する。このような被操作プレート４１は、屈曲した上下両端部にドア体開閉装置２０の駆動ピン２３がアクセスすることにより、ガイド片１３に案内されつつドア体３０の施錠時には下方向にスライドし、ドア体３０の解錠時には上方向にスライドする。
【００５７】
各施錠プレート４６は、所定の材料を使用して被操作プレート４１よりも短い板形に形成され、少なくともドア体３０側壁の解錠溝３２や施錠突片３３に収納ブロック１０を介して対向しており、収納ブロック１０にスライド可能に支持される。この施錠プレート４６には、収納ブロック１０の貫通溝１２をスライド可能に貫通してコンテナ体１の切り欠き９内に位置する鉤爪形の施錠片４７が突出形成され、この施錠片４７がドア体３０の解錠溝３２に進入して施錠突片３３に干渉係止する。
【００５８】
施錠プレート４６の材料としては、例えば摺動性に優れるポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレン、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリアセタール、ポリエーテルイミド、ポリカーボネート等の合成樹脂にＰＴＦＥ等のフッ素樹脂やシリコーン樹脂からなる摺動性改質剤を添加した材料、各種の熱可塑性エラストマーが該当する。
【００５９】
このような施錠プレート４６は、被操作プレート４１の下方向へのスライド時には、コンテナ体１の開口した正面２に嵌合されたドア体３０の施錠突片３３に施錠片４７を圧接係止し、被操作プレート４１の上方向へのスライド時には、コンテナ体１の正面２に嵌合されたドア体３０の施錠突片３３から施錠片４７を解錠溝３２方向に離隔するよう機能する。
【００６０】
カム機構４８は、被操作プレート４１の上下方向に間隔をおいて形成される複数のカム溝４９と、各施錠プレート４６に突出形成されて被操作プレート４１のカム溝４９に摺動可能に遊嵌する円柱形のカム突起５２とを備え、被操作プレート４１のスライドに伴う駆動力を施錠プレート４６に伝達して上下方向や斜め左右方向に高速で安定してスライドさせるよう機能する。
【００６１】
各カム溝４９は、被操作プレート４１の上下方向に僅かに傾斜しながら伸びる傾斜溝５０と、この傾斜溝５０の下端部から被操作プレート４１の幅方向に屈曲しながら連続的に伸びる屈曲溝５１とから一体形成され、施錠プレート４６の施錠片４７に略倒へ字形あるいは略Ｊ字形の軌跡を描かせる。
【００６２】
上記構成において、収納容器のドア体３０が施錠されている場合について説明すると、この場合の施錠手段４０は、図６に示すように、各被操作プレート４１が下方向にスライドし、収納ブロック１０の凸部１１と被操作プレート４１の第一の凹部４４とが噛合して被操作プレート４１を施錠位置に位置決め固定し、各カム機構４８のカム溝４９とカム突起５２とが干渉、具体的には、カム溝４９の傾斜溝５０の上端部と施錠プレート４６のカム突起５２とが干渉する。
【００６３】
傾斜溝５０の上端部と施錠プレート４６のカム突起５２とが干渉するまで移動すると、その移動の間に施錠プレート４６にもカム溝４９を介して駆動力が伝達されることとなり、施錠プレート４６が下方向にスライドして施錠片４７をドア体３０の解錠溝３２に進入させ、なおかつコンテナ体１の正面２とは反対側の背面壁側奥方向にも移動するので、施錠片４７がドア体３０の施錠突片３３に接近して干渉係止する。
【００６４】
この際、施錠片４７は、他の部材と擦れることなく移動するので、パーティクルの発生を著しく低減することができる。このようなドア体３０の施錠突片３３と施錠プレート４６の施錠片４７との干渉係止により、コンテナ体１の正面２にシール状態に嵌合されたドア体３０が強固に施錠される。
【００６５】
次に、収納容器をドア体開閉装置２０に搭載してドア体３０を解錠する場合には、ドア体開閉装置２０のステージ２１にコンテナ体１が位置決めして搭載された後、施錠手段４０の下方向にスライドしている各被操作プレート４１にドア体開閉装置２０の駆動ピン２３が下方からアクセスして押し上げる。
【００６６】
すると、施錠手段４０は、図７に示すように、各被操作プレート４１が上方向にスライドし、収納ブロック１０の凸部１１と被操作プレート４１の第一の凹部４４との噛合が解除され、傾斜溝５０の上端部から施錠プレート４６のカム突起５２が離れて屈曲溝５１方向に移動する。こうして傾斜溝５０の上端部から施錠プレート４６のカム突起５２が離れて屈曲溝５１に移動すると、施錠プレート４６に駆動力が伝達されることにより、施錠プレート４６の施錠片４７がドア体３０の施錠突片３３から解錠溝３２方向にスライドする。
【００６７】
次いで、施錠手段４０の各被操作プレート４１にドア体開閉装置２０の駆動ピン２３が下方からアクセスしてさらに押し上げると、施錠手段４０は、図８に示すように、各被操作プレート４１が上方向にさらにスライドし、収納ブロック１０の凸部１１と被操作プレート４１の第二の凹部４５とが噛合して被操作プレート４１を解錠位置に位置決め固定し、各カム機構４８のカム溝４９とカム突起５２とが干渉、具体的には、カム溝４９の屈曲溝５１の下端部と施錠プレート４６のカム突起５２とが干渉する。
【００６８】
屈曲溝５１の下端部と施錠プレート４６のカム突起５２とが干渉するまで移動すると、その移動の間に施錠プレート４６にもカム溝４９を介して駆動力が伝達されることとなり、施錠プレート４６がコンテナ体１の正面２方向にスライドし、さらに上方向にスライドして施錠片４７をドア体３０の解錠溝３２に完全に位置させ、コンテナ体１の正面２にシール状態に嵌合されたドア体３０が取り外し可能な状態となる。
【００６９】
この際、ドア体３０の解錠溝３２が施錠プレート４６により被覆されるので、外部からドア体３０の解錠溝３２にパーティクルが侵入することがない。したがって、収納容器、半導体加工装置やドア体開閉装置２０の汚染を防止することができる。また、施錠片４７は、他の部材と擦れることなく移動するので、パーティクルの発生を著しく低減することができる。
【００７０】
上記構成によれば、ドア体３０の内部ではなく、コンテナ体１の側壁８前部に施錠手段４０を配設するので、ドア体３０の施錠・解錠時にパーティクル等の汚染物がドア体３０の内部に蓄積されることがない。また、ドア体３０内に残存した汚染物がコンテナ体１の内部に侵入し、基板を含む全体を汚染させてしまうおそれを有効に排除することができる。
【００７１】
また、ドア体３０の周壁に施錠手段４０用の貫通孔を小さく穿孔する必要もないので、ドア体３０の内部洗浄時に洗浄水が残留するのを防ぎ、ドア体３０の洗浄作業や乾燥作業の円滑化、迅速化、容易化を図ることができる。さらに、施錠手段４０の補修や点検時に、複数本の螺子を取り外してドア体３０を分解する必要がないので、ドア体３０自体を新規のドア体３０に交換する必要性もなく、経済性の向上やコスト削減が大いに期待できる。
【００７２】
次に、図９ないし図１３は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、施錠手段４０を、コンテナ体１の側壁８前部の収納ブロック１０に支持されてドア体３０の施錠・解錠時に上下方向にスライドする被操作プレート４１と、この被操作プレート４１の上下方向へのスライドに伴いコンテナ体１の前後方向にスライドする複数の連結プレート５４と、各連結プレート５４の前後方向へのスライドに応じてコンテナ体１の左右内外方向に揺動（回転）し、コンテナ体１の正面２に嵌合されたドア体３０の施錠突片３３に接離する可能な施錠プレート４６Ａと、被操作プレート４１のスライドに伴う駆動力を各連結プレート５４に伝達するカム機構４８とから構成している。
【００７３】
コンテナ体１は、図９や図１０に示すように、正面２を区画する各側壁８の前部、すなわち、リムフランジ７の各側部に、施錠手段４０用の複数の切り欠き９Ａが間隔をおき上下に並べて切り欠かれ、かつ施錠手段４０を収納する収納ブロック１０が一体形成される。各側壁８の前部には、施錠手段４０の連結プレート５４、施錠プレート４６Ａ、カム機構４８を覆う複数のカバー体５３が上下に並べて着脱自在に装着される。
【００７４】
被操作プレート４１は、図１０や図１１に示すように、基本的には所定の材料を使用してコンテナ体１の側壁８と略同じ長さ（高さ）を有する細長い板片に形成され、収納ブロック１０にスライド可能に支持されており、上下両端部がドア体開閉装置２０の駆動ピン２３にアクセスされる。この被操作プレート４１は、上下両端部にドア体開閉装置２０の駆動ピン２３が上下方向からアクセスすることにより、ドア体３０の施錠時には下方向にスライドし、ドア体３０の解錠時には上方向にスライドする。
【００７５】
各連結プレート５４は、図１０、図１２、図１３に示すように、被操作プレート４１と直交する方向、すなわちコンテナ体１の前後方向に伸びる略板片に形成され、被操作プレート４１の露出する表面にカム機構４８を介して支持される。この連結プレート５４の前部には、断面略Ｕ字形の嵌合支持部５５が膨出形成されてその開口５６をドア体３０の側壁方向に指向させ、この嵌合支持部５５内に施錠プレート４６Ａがスライド可能に支持される。
【００７６】
各施錠プレート４６Ａは、図１０、図１２、図１３に示すように、連結プレート５４よりも小さい略板片に形成され、前部にコンテナ体１の切り欠き９Ａ内に位置する略円柱形の施錠片４７が膨出形成されており、この施錠片４７がドア体３０の施錠突片３３に干渉係止する。この施錠プレート４６Ａの後部には略円柱形の軸部５７が一体形成され、この軸部５７が連結プレート５４の嵌合支持部５５に嵌合支持されてその開口５６から底方向にかけてスライドする。
【００７７】
このような施錠プレート４６Ａは、被操作プレート４１の下方向へのスライド時には、連結プレート５４の前進により、コンテナ体１の開口した正面２に嵌合されたドア体３０の施錠突片３３に施錠片４７を圧接係止し、被操作プレート４１の上方向へのスライド時には、連結プレート５４の後退により、コンテナ体１の正面２に嵌合されたドア体３０の施錠突片３３から施錠片４７を離隔するよう揺動する。
【００７８】
カム機構４８は、図１０ないし図１３に示すように、被操作プレート４１の上下方向に間隔をおいて形成される複数のカム溝４９と、各連結プレート５４に突出形成されて被操作プレート４１のカム溝４９に摺動可能に遊嵌する円柱形のカム突起５２とを備え、被操作プレート４１のスライドに伴う駆動力を連結プレート５４に伝達してコンテナ体１の前後方向にスライドさせるよう機能する。
【００７９】
各カム溝４９は、被操作プレート４１の幅方向に僅かに傾斜しながら伸びる傾斜溝５０と、この傾斜溝５０の上下両端部にそれぞれ一体形成されて連結プレート５４のカム突起５２に密嵌する略円形の第一、第二の嵌合溝５８・５９とから一体形成される。
【００８０】
上記構成において、収納容器をドア体開閉装置２０に搭載してドア体３０を解錠する場合には、ドア体開閉装置２０のステージ２１にコンテナ体１が位置決めして搭載された後、施錠手段４０の下方向にスライドしている各被操作プレート４１にドア体開閉装置２０の駆動ピン２３が下方からアクセスして押し上げる。
【００８１】
すると、施錠手段４０は、図１２に示すように、各被操作プレート４１が上方向にスライドし、被操作プレート４１のカム溝４９の第一の嵌合溝５８から連結プレート５４のカム突起５２が離れて第二の嵌合溝５９に嵌合し、連結プレート５４に駆動力が伝達される。この際、被操作プレート４１の第二の嵌合溝５９と連結プレート５４のカム突起５２とがきつく密嵌するので、被操作プレート４１の下方向へのスライドが有効に防止される。
【００８２】
連結プレート５４に駆動力が伝達されると、連結プレート５４がコンテナ体１の後方向に後退し、連結プレート５４の嵌合支持部５５の底方向から開口５６方向に施錠プレート４６Ａの軸部５７がスライドするとともに、施錠プレート４６Ａが軸部５７を中心に弧を描きながら揺動（回転）して施錠片４７を接触していたドア体３０の施錠突片３３から離隔させ、コンテナ体１の正面２にシール状態に嵌合されたドア体３０が取り外し可能な状態となる。
【００８３】
これに対し、ドア体開閉装置２０に位置決め搭載された収納容器のコンテナ体１にドア体３０が嵌合された後、ドア体３０を施錠する場合には、施錠手段４０の上方向にスライドしている各被操作プレート４１にドア体開閉装置２０の駆動ピン２３が上方からアクセスして押し下げる。
【００８４】
すると、施錠手段４０は、図１３に示すように、各被操作プレート４１が下方向にスライドし、被操作プレート４１のカム溝４９の第二の嵌合溝５９から連結プレート５４のカム突起５２が離れて第一の嵌合溝５８に嵌合し、連結プレート５４に駆動力が伝達される。この際、被操作プレート４１の第一の嵌合溝５８と連結プレート５４のカム突起５２とがきつく密嵌するので、被操作プレート４１の上方向へのスライドが有効に防止される。
【００８５】
連結プレート５４に駆動力が伝達されると、連結プレート５４がコンテナ体１の前方向に前進し、連結プレート５４の嵌合支持部５５の開口５６方向から底方向に施錠プレート４６Ａの軸部５７がスライドするとともに、施錠プレート４６Ａが軸部５７を中心に弧を描きながら揺動して施錠片４７をドア体３０の施錠突片３３に干渉係止させ、コンテナ体１の正面２にシール状態に嵌合されたドア体３０が強固に施錠されることとなる。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
【００８６】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、ドア体３０の施錠突片３３に施錠プレート４６Ａの施錠片４７が接触しながら干渉係止するのではなく、ドア体３０の施錠突片３３に施錠プレート４６Ａの施錠片４７が接触位置ではじめて干渉係止するので、ドア体３０の施錠突片３３と施錠プレート４６Ａの施錠片４７との接触に伴うパーティクル等の汚染物の発生を有効に防止することができるのは明らかである。
【００８７】
次に、図１４ないし図１６は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、コンテナ体１の両側壁８前部に複数の切り欠き９をそれぞれ形成するとともに、各切り欠き９を被覆する施錠手段４０用の収納ブロック１０Ａを装着し、ドア体３０の両側壁に、コンテナ体１の複数の切り欠き９に対応する施錠突片３３をそれぞれ複数形成し、施錠手段４０を、ドア体３０の施錠時には下方向にスライドし、ドア体３０の解錠時には上方向にスライドする被操作プレート４１Ｂと、ドア体３０の施錠時には下方向にスライドし、ドア体３０の解錠時には上方向にスライドする施錠プレート４６Ｂと、収納ブロック１０Ａ、被操作プレート４１Ｂ、及び施錠プレート４６Ｂに配設されて被操作プレート４１Ｂのスライドに伴う駆動力を施錠プレート４６Ｂに伝達して動作させるカム機構４８Ｂとから構成するようにしている。
【００８８】
各収納ブロック１０Ａは、図１４に示すように、断面が略コ字形で正面略矩形の縦板に形成され、上部に施錠手段４０の施錠プレート４６Ｂ用のスリット１５が下方向に向け直線的に切り欠かれており、厚さ方向に膨出した両側部の間に施錠プレート４６Ｂを上下方向にスライド可能に挟持し、かつ施錠プレート４６Ｂの幅方向の動きを規制するよう機能する。
【００８９】
施錠手段４０の被操作プレート４１Ｂは、図１４に示すように、ドア体開閉装置２０の駆動ピン２３にアクセスされる正面略矩形の縦板に形成され、収納ブロック１０Ａの両側部間に上下方向にスライド可能に挟持されて施錠片４７を外側から被覆し、収納ブロック１０Ａの両側部に幅方向の動きが規制される。
【００９０】
施錠プレート４６Ｂは、同図に示すように、正面略矩形の縦板に形成され、収納ブロック１０Ａの表面に対向する裏面の上部に、収納ブロック１０Ａのスリット１５を貫通する略鉤形の施錠片４７が屈曲して突出形成されており、この施錠片４７がドア体３０の施錠時にドア体３０の施錠突片３３に干渉係止する。このような施錠プレート４６Ｂは、ドア体３０を施錠する当初の段階では被操作プレート４１Ｂと共にスライドし、ドア体３０を施錠する最終段階では被操作プレート４１Ｂのスライド方向とは異なる方向にスライドする。
【００９１】
カム機構４８Ｂは、同図に示すように、収納ブロック１０Ａの表面の斜め上下にそれぞれ形成される一対の第一カム突起６０と、施錠プレート４６Ｂに形成されて収納ブロック１０Ａの一対の第一カム突起６０にそれぞれスライド可能に嵌合支持される一対の第一カム溝６１と、施錠プレート４６Ｂの表面の斜め上下にそれぞれ形成される一対の第二カム突起６２と、被操作プレート４１Ｂに形成されて施錠プレート４６Ｂの第二カム突起６２にスライド可能に嵌合支持される一対の第二カム溝６３とを備えて構成される。
【００９２】
各第一カム突起６０と第二カム突起６２とは、円滑な動きを確保し、磨耗を防止する観点からそれぞれ短い円柱形に突出形成される。各第一カム突起６０は施錠プレート４６Ｂを上下方向にスライド可能に支持し、各第二カム突起６２は被操作プレート４１Ｂを上下方向にスライド可能に支持するよう機能する。
【００９３】
各第一カム溝６１は、施錠プレート４６Ｂの上下方向に伸長して穿孔される垂直溝６１ａと、この垂直溝６１ａの上端部に連通形成されて施錠プレート４６Ｂの斜め上方向に伸長する傾斜溝６１ｂと、この傾斜溝６１ｂの先端部に連通形成されて左右水平方向に伸長する水平溝６１ｃとを備えた略逆Ｊ字形に一体形成される。
【００９４】
各第二カム溝６３は、被操作プレート４１Ｂの斜め上方に僅かに傾斜しながら左右水平方向に伸長して穿孔される緩傾斜溝６３ａと、この緩傾斜溝６３ａの端部に連通形成されて被操作プレート４１Ｂの左右水平方向に僅かに傾斜しながら上方に伸長して穿孔される急傾斜溝６３ｂとを備えた略Ｌ字形に一体形成される。
【００９５】
このようなカム機構４８Ｂは、ドア体３０の施錠時に施錠プレート４６Ｂの第二カム突起６２と第二カム溝６３の緩傾斜溝６３ａとが接触する場合には、被操作プレート４１Ｂと施錠プレート４６Ｂとを共に一体的にスライドさせ、ドア体３０の施錠時に第一カム突起６０に第一カム溝６１の傾斜溝６１ｂが接触し、施錠プレート４６Ｂの第二カム突起６２が第二カム溝６３の緩傾斜溝６３ａと急傾斜溝６３ｂとの境界付近に接触した場合には、被操作プレート４１Ｂと施錠プレート４６Ｂとを斜め下方にスライドさせるよう機能する。
【００９６】
そして、ドア体３０の施錠時に施錠プレート４６Ｂの第二カム突起６２と第二カム溝６３の急傾斜溝６３ｂとが接触した場合には、被操作プレート４１Ｂを水平方向に移動させながら下方にスライドさせ、施錠プレート４６Ｂを第一カム溝６１の水平溝６１ｃにより水平方向に移動させてドア体３０の施錠突片３３に施錠プレート４６Ｂの施錠片４７を干渉させる。すなわち、カム機構４８Ｂは、施錠プレート４６の施錠片４７に略倒へ字形あるいは略Ｊ字形の軌跡を描かせる。
【００９７】
上記構成において、収納容器をドア体開閉装置２０に搭載してドア体３０を施錠する場合には、施錠手段４０の各被操作プレート４１Ｂにドア体開閉装置２０の駆動ピン２３がアクセスして押し下げる。すると、収納ブロック１０Ａの第一カム突起６０に案内されながら被操作プレート４１Ｂと施錠プレート４６Ｂとが下方にスライドする。
【００９８】
この際、第二カム突起６２と緩傾斜溝６３ａの先端部とが嵌合して上下方向に対するスライドを規制するので、被操作プレート４１Ｂと施錠プレート４６Ｂとの相対位置に変更の生じることがない（図１５（ａ）参照）。こうして被操作プレート４１Ｂと施錠プレート４６Ｂとは、第一カム突起６０に第一カム溝６１の垂直溝６１ａの上端部が嵌合するまで共に下方にスライドする（図１５（ｂ）参照）。
【００９９】
次いで、第一カム突起６０に第一カム溝６１の傾斜溝６１ｂが嵌合し、第二カム突起６２が緩傾斜溝６３ａと急傾斜溝６３ｂとの境界付近に嵌合すると、被操作プレート４１Ｂと施錠プレート４６Ｂとが斜め下方にスライドする（図１５（ｃ）参照）。この際、施錠プレート４６Ｂの施錠片４７は、図１５の右側に移動しながらスライドする。
【０１００】
被操作プレート４１Ｂがさらに下方にスライドすると、施錠プレート４６Ｂの第二カム突起６２と第二カム溝６３の急傾斜溝６３ｂとが接触し、第二カム突起６２が急傾斜溝６３ｂの端部に移動するまで被操作プレート４１Ｂが図１５の右方向に僅かに移動しつつ下方にスライドする。
【０１０１】
この際、施錠プレート４６Ｂは、下方にスライドすることなく、第一カム溝６１の水平溝６１ｃに沿って図１５の右方向に移動する（図１５（ｄ）参照）。このように施錠の最終段階においては、被操作プレート４１Ｂと施錠プレート４６Ｂとが異なる方向に移動し、ドア体３０の施錠突片３３に施錠プレート４６Ｂの施錠片４７が干渉することにより、収納容器がドア体３０で施錠されることとなる。
【０１０２】
上記施錠動作をドア体３０の施錠突片３３に対する施錠プレート４６Ｂの動きに置き換え、図１６に基づいて説明すると、先ず、施錠プレート４６Ｂは、ドア体３０の施錠前においては、ドア体３０の解錠溝３２の周縁付近に施錠片４７が位置する（図１６（ａ）参照）。この状態で被操作プレート４１Ｂが下方にスライドすると、施錠プレート４６Ｂは、下方にスライド（図１６（ｂ）参照）し、その後、ドア体３０の施錠突片３３に接近するよう僅かに移動する（図１６（ｃ）参照）。
【０１０３】
こうして施錠プレート４６Ｂが接近するよう移動すると、施錠プレート４６Ｂがさらに下方にスライドすることで、ドア体３０の施錠突片３３に施錠片４７が干渉係止して嵌合するまで図１６の右方向に移動し、収納容器がドア体３０で施錠される（図１６（ｄ）参照）。
【０１０４】
なお、収納容器をドア体開閉装置２０に搭載してドア体３０を解錠する場合には、施錠手段４０は、上記動作と逆に動作し、収納容器のドア体３０を解錠する。その他の部分については上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、第１の実施形態における施錠手段４０の構成を簡素化し、部品点数を削減することができるのは明白である。
【０１０５】
なお、上記実施形態では収納容器のコンテナ体１とドア体３０とをそれぞれ樹脂製としたが、何らこれに限定されるものではない。例えば、セラミック、ジュラルミン、チタン合金等の軽量化が可能な金属材料により形成しても良い。
【０１０６】
また、収納容器の内外面、シールガスケット３５のシール面、施錠手段４０の動作部等に、酸素や水分を透過しない気体バリアー性のフィルムを貼着したり、金属コーティング、ダイヤモンドライクコーティング、ＰＥＥＫ樹脂コーティング、フッ素樹脂コーティングを適宜施しても良い。また、二酸化チタン等の光触媒材料をコーティングしても良いし、導電塗料等のコーティングにより、ドア体３０の透明性を維持して導電性を付与することもできる。
【０１０７】
また、コンテナ体１の内部両側に支持片３を一体的に対設するのではなく、支持片３を螺子具や摩擦係合法等により着脱自在に装着しても良い。また、コンテナ体１の背面壁内面に、基板の後部周縁を保持可能なリアリテーナを選択的に形成することもできる。また、コンテナ体１の側壁８前部に別体の収納ブロック１０を装着するのではなく、コンテナ体１の側壁８前部に収納ブロック１０を一体形成することもできる。
【０１０８】
また、収納ブロック１０に第一、第二の凹部４４・４５を形成し、被操作プレート４１に凸部１１を形成することもできる。また、収納ブロック１０に凸部１１を形成するのではなく、カバープレート４３に凸部１１を形成することも可能である。また、施錠手段４０の被操作プレート４１を一定の力で施錠方向に付勢する付勢手段、具体的には各種の磁石やバネ等を採用することも可能である。また、施錠プレート４６・４６Ａの施錠片４７やカム機構４８のカム突起５２に、接触に伴う磨耗で汚染物が発生するのを抑制する回転ローラを自由回転可能に嵌入しても良い。
【０１０９】
この場合、回転ローラは、例えばポリアセタール、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンナフタレート等の摺動性が良好な樹脂、あるいは合成樹脂にＰＴＦＥからなるフッ素樹脂やシリコーン樹脂等の摺動性改質剤を付与した材料により形成することができる。
【０１１０】
また、施錠手段４０の構成を変更し、施錠手段４０を、コンテナ体１の側壁前部に収納ブロック１０を介して支持され、ドア体３０の施錠時には上方向にスライドし、ドア体３０の解錠時には下方向にスライドする被操作プレート４１と、コンテナ体１の側壁前部と被操作プレート４１との間にスライド可能に介在され、被操作プレート４１の上方向へのスライド時にはコンテナ体１の正面２に嵌合されたドア体３０の側壁に接触し、被操作プレート４１の下方向へのスライド時にはコンテナ体１の正面２に嵌合されたドア体３０の側壁から離隔する施錠プレート４６と、被操作プレート４１と施錠プレート４６とにそれぞれ設けられ、被操作プレート４１のスライドに伴う駆動力を施錠プレート４６に伝達して動作させるカム機構４８とから構成することもできる。
【０１１１】
さらに、施錠手段４０の構成を変更し、施錠手段４０を、コンテナ体１の底板前部と天板６前部とに収納ブロック１０を介してそれぞれ支持され、ドア体３０の施錠時には突出位置に水平にスライドして突出し、ドア体３０の解錠時には突出位置から元の基準位置に水平にスライドして後退する被操作プレート４１と、コンテナ体１の底板前部と被操作プレート４１との間、及び天板６前部と被操作プレート４１との間にスライド可能に介在され、被操作プレート４１の突出位置へのスライド時にはコンテナ体１の正面２に嵌合されたドア体３０の周壁に接触し、被操作プレート４１の基準位置へのスライド時にはコンテナ体１の正面２に嵌合されたドア体３０の周壁から離隔する施錠プレート４６と、被操作プレート４１と施錠プレート４６とにそれぞれ設けられ、被操作プレート４１のスライドに伴う駆動力を施錠プレート４６に伝達して動作させるカム機構４８とから構成しても良い。
【産業上の利用可能性】
【０１１２】
本発明に係る収納容器は、半導体、液晶、機械部品、電気電子部品、化学品、建築品等の製造分野で使用することができる。
【符号の説明】
【０１１３】
１        コンテナ体
２        正面（開口部）
７        リムフランジ
８        側壁（周壁）
９        切り欠き
９Ａ      切り欠き
１０      収納ブロック
１０Ａ    収納ブロック
１１      凸部
１３      ガイド片
１４      位置規制部
１５      スリット
２０      ドア体開閉装置
２３      駆動ピン
３０      ドア体
３１      ドア本体
３２      解錠溝
３３      施錠突片
４０      施錠手段
４１      被操作プレート（被操作部材）
４１Ｂ    被操作プレート（被操作部材）
４２      長孔
４４      第一の凹部
４５      第二の凹部
４６      施錠プレート（施錠部材）
４６Ａ    施錠プレート（施錠部材）
４６Ｂ    施錠プレート（施錠部材）
４７      施錠片
４８      カム機構（駆動力伝達機構）
４８Ｂ    カム機構（駆動力伝達機構）
４９      カム溝
５２      カム突起
５４      連結プレート（連結部材）
５５      嵌合支持部
５７      軸部
６０      第一カム突起
６１      第一カム溝
６１ａ    垂直溝
６１ｂ    傾斜溝
６１ｃ    水平溝
６２      第二カム突起
６３      第二カム溝
６３ａ    緩傾斜溝
６３ｂ    急傾斜溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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