(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板の表面より上に位置する絶縁膜に孔を形成する工程と、
反応室内に搬入された前記半導体基板を３３０℃以上４００℃以下に加熱し、かつＢ2Ｈ6ガス及びＳｉＨ4ガスの少なくとも一方並びにタングステン含有ガス、及びキャリアガスを前記反応室内に導入することにより、前記孔の内部に第１のタングステン膜を成膜する工程と、
前記反応室内にＨ2ガス及び不活性ガスの一方又は両方からなるガスを導入し、かつ３０秒以上の時間をかけて前記半導体基板を３７０℃以上４１０℃以下に昇温する工程と、
タングステン含有ガス、Ｈ２ガス、及びキャリアガスを前記反応室内に導入することにより、前記第１のタングステン膜上に第２のタングステン膜を成膜する工程と、
を備え、
前記半導体基板を昇温する工程において、前記孔の内部に成膜を行わない
半導体装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第１のタングステン膜を成膜する工程において、前記半導体基板を３３０℃以上３６０℃以下に加熱する半導体装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体基板を昇温する工程における昇温速度は０．５℃／秒以上２．５℃／秒以下である半導体装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体基板を昇温する工程において、４０秒以上の時間をかけて前記半導体基板を昇温する半導体装置の製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第１のタングステン膜を成膜する工程及び前記第２のタングステン膜を成膜する工程において、前記第１のタングステン膜及び前記第２のタングステン膜は前記絶縁膜の表面の上方にも成膜され、
前記第２のタングステン膜を成膜する工程の後に、前記絶縁膜の表面の上方に位置する前記第１のタングステン膜及び前記第２のタングステン膜を除去する工程を備える半導体装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第１のタングステン膜を成膜する工程において、ＳｉＨ4ガス、タングステン含有ガス、及びキャリアガスを前記反応室内に導入する半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、絶縁膜に形成された孔の内部にタングステン膜を成膜する工程を有する半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
トランジスタを上層の配線層に接続するときや、配線層間を接続するときには接続プラグが用いられることが多い。接続プラグは、例えば特許文献１〜４に記載するように、層間絶縁膜に形成された孔の中にタングステン膜を成膜することにより形成される。
【０００３】
上記した特許文献に記載の技術のうち、特許文献１に記載の技術は、タングステン膜を孔内に選択的に成長させるために、第１タングステン膜を２００℃〜２６０℃で成膜し、その後第２タングステン膜を２８０℃〜３４０℃で成膜するものである。特許文献１によれば、この温度より高い温度になると抵抗が大きくなり、かつ選択成長ができないと記載されている。
【０００４】
また、特許文献３に記載の技術は、タングステン膜の成膜を、核生成ステップとバルク堆積ステップに分けて行う際に、核生成ステップとバルク堆積ステップの間に圧力増加ステップを設けるものである。圧力増加ステップでは、プロセスガス中にはタングステン含有ソースが含まれていない。なお、特許文献３に記載の技術において基板温度は３２５℃〜４５０℃に設定されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−８７２６８号公報
【特許文献２】特開２００７−９２９８号公報
【特許文献３】特表２００１−５２５４９１号公報
【特許文献４】米国特許第６３０９９６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
接続プラグの信頼性を維持しつつ抵抗を下げるためには、絶縁膜に形成された孔に対するタングステン膜の埋め込み性を向上させ、かつタングステン膜の結晶粒を大きくすることが有効である。一方、半導体装置の製造工程において生産性を向上させることは重要である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、半導体基板の表面より上に位置する絶縁膜に孔を形成する工程と、
反応室内に搬入された前記半導体基板を３３０℃以上４００℃以下に加熱し、かつＢ2Ｈ6ガス及びＳｉＨ4ガスの少なくとも一方並びにタングステン含有ガスを前記反応室内に導入することにより、前記孔の内部に第１のタングステン膜を成膜する工程と、
前記反応室内にＨ2ガス及び不活性ガスの少なくとも一方を導入し、かつ３０秒以上の時間をかけて前記半導体基板を３７０℃以上４１０℃以下に昇温する工程と、
タングステン含有ガスを前記反応室内に導入することにより、
前記第１のタングステン膜上に第２のタングステン膜を成膜する工程と、
を備える半導体装置の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、絶縁膜に形成された孔に対するタングステン膜の埋め込み性を向上させ、かつタングステン膜の結晶粒を大きくすることができる。また、半導体装置の生産性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１０】
図１は、実施の形態における半導体装置の製造方法を説明するためのフローチャートである。この半導体装置の製造方法では、まず半導体基板の表面より上に位置する絶縁膜に孔を成膜する（Ｓ１０）。次いで、反応室内に搬入された半導体基板を３３０℃以上４００℃以下に加熱する（Ｓ２０）。次いで、Ｂ2Ｈ6ガス及びＳｉＨ4ガスの少なくとも一方、並びにタングステン含有ガスを反応室内に導入することにより、孔の内部に第１のタングステン膜を成膜する（Ｓ３０）。次いで、反応室内にＨ2ガス及び不活性ガスの少なくとも一方を導入し、かつ３０秒以上の時間をかけて半導体基板を３７０℃以上４１０℃以下に昇温する（Ｓ４０）。次いで、タングステン含有ガスを反応室内に導入することにより、第１のタングステン膜上に第２のタングステン膜を成膜する（Ｓ５０）。
【００１１】
次に、図２〜図５に示す断面図を用いて、本実施形態にかかる半導体装置の製造方法の一例を具体的に説明する。
【００１２】
まず図２に示すように、例えばシリコン基板などの半導体基板１００に、素子分離膜１０２及びトランジスタ１２０，１４０を形成する。トランジスタ１２０，１４０は、ゲート電極の表層にシリサイド層１２２，１４２を有し、ソース及びドレインとなる拡散層の表層にシリサイド層１２４，１２６，１４４，１４６を有する。シリサイド層１２６を有する拡散層は、トランジスタ１２０の構成要素であるとともに、トランジスタ１２０の隣に位置するトランジスタ１４０の構成要素でもある。次いで、トランジスタ１２０，１４０上及び素子分離膜１０２上に層間絶縁膜２００を形成する。本図に示す例において、層間絶縁膜２００は多層構造を有している。
【００１３】
次いで、層間絶縁膜２００を、例えばマスクパターン及びエッチングを用いて選択的に除去することにより、層間絶縁膜２００に孔２２１，２２２，２２３，２２４，２２５を形成する。孔２２１は、トランジスタ１４０の拡散層上のシリサイド層１４４及びゲート電極上のシリサイド層１４２に共通の接続プラグを形成するための孔である。孔２２２は、トランジスタ１４０の拡散層上のシリサイド層１４４上に接続プラグを形成するための孔である。孔２２３は、シリサイド層１２６上に接続プラグを形成するための孔である。孔２２４は、トランジスタ１２０のゲート電極上のシリサイド層１２２上に接続プラグを形成するための孔である。孔２２５は、トランジスタ１２０の拡散層上のシリサイド層１２４上に接続プラグを形成するための孔である。孔２２１〜２２５の直径は、例えば５０ｎｍ以上１３０ｎｍ以下である。
【００１４】
次いで、半導体基板１００を反応室内に搬入する。次いで、孔２２１〜２２５の底面及び側壁、並びに層間絶縁膜２００上にバリア膜２３０を形成する。バリア膜２３０は、タングステンの拡散を抑制するための膜であり、例えばＴｉ膜及びＴｉＮ膜をこの順に積層した膜、又はＴｉＮ膜である。
【００１５】
次いで図３に示すように、反応室内に搬入された半導体基板を３３０℃以上４００℃以下、好ましくは３３０℃以上３６０℃以下に加熱する。次いで、Ｂ2Ｈ6ガス及びＳｉＨ4ガスの少なくとも一方、タングステン含有ガス、及びキャリアガスを反応室内に導入する。これにより、バリア膜２３０上に第１のタングステン膜２４２が成膜される。このとき、層間絶縁膜２００の表面の上方にも第１のタングステン膜２４２が成膜される。第１のタングステン膜２４２の厚さは、例えば２ｎｍ以上１０ｎｍ以下である。第１のタングステン膜２４２は、孔２２１〜２２５内に位置するバリア膜２３０上にも形成される。タングステン含有ガスは、例えばＷＦ6である。キャリアガスは、例えばＡｒであるが、Ｎ2を含んでいても良い。Ｂ2Ｈ6ガス及びＳｉＨ4ガスの少なくとも一方並びにタングステン含有ガスは、同時に反応室内に導入されてもよいし、交互に導入されてもよい。前者は、例えばＡＬＤ（Atomic layer Deposition）である。後者の場合、Ｂ2Ｈ6ガス及びＳｉＨ4ガスの少なくとも一方を導入する工程と、タングステン含有ガスを導入する工程の間にパージガス（例えばキャリアガスと同じガス）を流す工程を有するのが好ましい。
【００１６】
次いで、反応室内にＨ2ガス及び不活性ガスの少なくとも一方を導入し、かつ３０秒以上の時間をかけて半導体基板１００を３７０℃以上４１０℃以下に昇温する。不活性ガスは、たとえばＡｒなどの希ガス及びＮ2である。ここで導入されるガスは、後述する第２のタングステン膜２４０を形成する工程において反応室内に導入されるガスからタングステン含有ガスを省いたガスであっても良い。昇温レートは、０．５℃／秒以上２．５℃／秒以下であるのが好ましい。また、昇温に要する時間は４０秒以上であるのが好ましい。
【００１７】
次いで図４に示すように、タングステン含有ガス、Ｈ2ガス、及びキャリアガスを反応室内に導入する。これにより、第１のタングステン膜２４２上には第２のタングステン膜２４０が成膜される。このとき、層間絶縁膜２００の表面の上方にも第２のタングステン膜２４０が成膜される。第２のタングステン膜２４０の厚さは、例えば１００ｎｍ以上４００ｎｍ以下である。第２のタングステン膜２４０は、孔２２１〜２２５内に位置する第１のタングステン膜２４２上にも形成される。ここでタングステン含有ガスは、例えばＷＦ6である。キャリアガスは、例えばＡｒであるが、Ｎ2を含んでいても良い。Ｎ2を含んでいる場合、第２のタングステン膜２４０の表面が滑らかになる。
【００１８】
その後、図５に示すように、層間絶縁膜２００の上方に位置する第１のタングステン膜２４２及び第２のタングステン膜２４０を除去する。この除去工程は、例えばエッチバッグ又はＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）を行う工程である。これにより、孔２２１〜２２５内には、第１のタングステン膜２４２及び第２のタングステン膜２４０からなる接続プラグが埋め込まれる。なおこの工程において、層間絶縁膜２００上に位置するバリア膜２３０も除去してもよい。
【００１９】
次に、本実施形態の作用効果について説明する。まず第１のタングステン膜２４２を成膜するときの基板温度は３３０℃以上４００℃以下、好ましくは３３０℃以上３６０℃以下である。このため、孔２２１〜２２５に対する第１のタングステン膜２４２のステップカバレッジがよくなり、これにより第２のタングステン膜２４０の埋設性が良くなって接続プラグの信頼性が高くなる。なお、基板温度をこれより高くすると、第１のタングステン膜２４２のステップカバレッジが悪くなり、これにより第２のタングステン膜２４０の埋設性が悪くなる。
【００２０】
また、第２のタングステン膜２４０を成膜するときの基板温度は、第１のタングステン膜２４２を成膜するときの基板温度より高く、３７０℃以上４１０℃以下である。
【００２１】
図６は、第２のタングステン膜２４０の成膜速度の基板温度依存性の一例を示すグラフである。このグラフによれば、基板温度が３３０℃のときの第２のタングステン膜２４０の成膜速度は５０ｎｍ／分である。これに対して基板温度が４１０℃、４５０℃のときの第２のタングステン膜２４０の成膜速度は、それぞれ２８５ｎｍ／分、５００ｎｍ／分である。このことから、第２のタングステン膜２４０を成膜するときに基板温度を上げると、成膜速度が向上し、半導体装置の生産性が向上することが明らかである。
【００２２】
また、第１のタングステン膜２４２を成膜した後、第２のタングステン膜２４０を成膜する前に、反応室内にＨ2ガス及び不活性ガスの少なくとも一方を導入し、かつ３０秒以上の時間をかけて半導体基板を３７０℃以上４１０℃以下に昇温している。これにより、第１のタングステン膜２４２に吸着しているガスが除去されるため、第２のタングステン膜２４０の結晶粒が大きくなり、接続プラグの抵抗が低くなる。この効果は、第１のタングステン膜２４２を形成する工程においてＢ2Ｈ6ガスではなくＳｉＨ4ガスを用いた場合に、特に顕著になる。
【００２３】
このように、本実施形態によれば、第１のタングステン膜２４２を成膜するときの基板温度は３３０℃以上４００℃以下にして、第２のタングステン膜２４０を成膜するときの基板温度を３７０℃以上４１０℃以下にして、かつ第１のタングステン膜２４２を成膜した後、第２のタングステン膜２４０を性膜する前に、反応室内にＨ2ガス及び不活性ガスの少なくとも一方を導入し、かつ３０秒以上の時間をかけて昇温している。これにより、接続プラグの信頼性を高くしつつ抵抗を下げることができ、かつ半導体装置の生産性を向上させることができる。
【００２４】
なお、図２〜図５に示した例において、接続プラグは第１層目の層間絶縁膜に埋め込まれているが、第２層目以上の層間絶縁膜に埋め込まれる接続プラグを形成するときにも、上記した実施形態に示した技術を用いることができる。
【実施例】
【００２５】
上記した実施形態に示した方法で、実施例１〜３にかかる試料を作製した。各実施例において、第１のタングステン膜２４２を成膜するときには、ＳｉＨ4ガス、ＷＦ6ガス、及びＡｒガスを反応室内に導入して、基板温度を３５０℃に設定した。この工程において、ＳｉＨ4ガス及びＷＦ6ガスを、交互に計６回ずつ導入した。第２のタングステン膜２４０を成膜するときには、Ｈ2ガス、ＷＦ6ガス、Ｎ2ガス、及びＡｒガスを反応室内に導入して、基板温度を３９０℃に設定した。また、第１のタングステン膜２４２を形成してから第２のタングステン膜２４０を形成する間に基板を昇温したが、その昇温時間は、実施例１では３０秒、実施例２では４０秒、実施例３では５０秒とした。
【００２６】
また、比較例１及び２にかかる試料を作製した。比較例１，２の作製条件は、昇温時間がそれぞれ８秒及び２０秒である点を除いて、実施例１〜３の作製条件と同じである。
【００２７】
図７は、比較例１，２及び実施例１〜３にかかる試料の断面ＳＥＭ像である。これらの写真は、層間絶縁膜上に形成された第１のタングステン膜２４２及び第２のタングステン膜２４０を示している。図７（ａ）及び（ｂ）と、図７（ｃ）〜（ｅ）を比較すると、実施例１〜３における第２のタングステン膜２４０の結晶粒は、比較例１，２における第２のタングステン膜２４０の結晶粒より大きいことがわかる。この傾向は、実施例２及び３、すなわち昇温時間が４０秒以上になると顕著になる。
【００２８】
表１は、実施例１〜３及び比較例１，２の作製条件、シート抵抗、膜厚、及び比抵抗を示す表である。
【００２９】
【表１】
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【００３０】
比較例１，２にかかる試料は、シート抵抗がそれぞれ０．５３８Ω／□、０．５２９Ω／□であった。これに対して実施例１〜３にかかる試料は、シート抵抗がそれぞれ０．４８４Ω／□、０．４５９Ω／□、０．４５２Ω／□であった。これより、実施例にかかる試料は比較例にかかる試料よりシート抵抗が０．０４Ω／□以上低いことが示された。
【００３１】
また、比較例１，２にかかる試料は、比抵抗がそれぞれ１５．６μΩ・ｃｍ、１３．９μΩ・ｃｍであった。これに対して実施例１〜３にかかる試料は、比抵抗がそれぞれ１２．９μΩ・ｃｍ、１１．７μΩ・ｃｍ、１１．４μΩ・ｃｍであった。これより、実施例にかかる試料は比較例にかかる試料より比抵抗が１μΩ・ｃｍ以上低いことが示された。
【００３２】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】実施の形態における半導体装置の製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図２】実施形態にかかる半導体装置の製造方法の一例を具体的に説明するための断面図である。
【図３】図２の次の工程を説明するための断面図である。
【図４】図３の次の工程を説明するための断面図である。
【図５】図４の次の工程を説明するための断面図である。
【図６】第２のタングステン膜の成膜速度の基板温度依存性の一例を示すグラフである。
【図７】比較例１，２及び実施例１〜３にかかる試料の断面ＳＥＭ像である。
【符号の説明】
【００３４】
１００ 半導体基板
１０２ 素子分離膜
１２０ トランジスタ
１２２  シリサイド層
１２４  シリサイド層
１２６ シリサイド層
１４０ トランジスタ
１４２ シリサイド層
１４４  シリサイド層
１４６ シリサイド層
２００ 層間絶縁膜
２２１ 孔
２２２ 孔
２２３ 孔
２２４ 孔
２２５ 孔
２３０ バリア膜
２４０ 第２のタングステン膜
２４２ 第１のタングステン膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0005547380.tif 000008
【図７】
0005547380.tif 000009