(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレートと、
少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートの開口が前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートと、
を備え、
前記ノズルプレートは、前記ノズルプレートの機械的な異常を検知するための検知素子が設けられ、
前記検知素子は、前記ノズルプレートの前記流路プレートと接合される第１の面に形成される電気配線、及び前記第１の面の反対側の第２の面に形成される電気配線を含み、
前記第１の面に形成される電気配線の始端と終端とを結ぶ線分の方向と、前記第２の面に形成される電気配線の始端と終端とを結ぶ線分の方向と、は交差することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記流路プレートは、前記ノズルプレートのノズル開口と連通する液室及び前記液室と連通する流路を有し、
前記電気配線は、前記流路の形成方向と交差する方向に沿って形成されることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレートと、
少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートの開口が前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートと、
を備え、
前記ノズルプレートは、前記ノズルプレートの機械的な異常を検知するための検知素子が設けられ、
前記流路プレートは、前記ノズルプレートのノズル開口と連通する液室及び前記液室と連通する流路を有し、
前記検知素子は、前記ノズルプレートの前記流路プレートと接合される第１の面に形成される電気配線、及び前記第１の面の反対側の第２の面に形成される電気配線の少なくともいずれか一方を含み、
前記電気配線は、前記流路の形成方向と交差する方向に沿って形成されることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記電気配線は、最大幅となる部分を含む幅広部、及び前記幅広部の幅未満の幅を有する幅細部を具備する形状を有することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレートと、
少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートの開口が前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートと、
を備え、
前記ノズルプレートは、前記ノズルプレートの機械的な異常を検知するための検知素子が設けられ、
前記検知素子は、前記ノズルプレートの前記流路プレートと接合される第１の面に形成される電気配線、及び前記第１の面の反対側の第２の面に形成される電気配線の少なくともいずれか一方を含み、
前記電気配線は、最大幅となる部分を含む幅広部、及び前記幅広部の幅未満の幅を有する幅細部を具備する形状を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記流路プレートは、前記ノズルプレートのノズル開口と連通する液室及び前記液室と連通する流路を有し、
前記電気配線は、前記流路の形成方向と交差する方向に沿って形成され、最大幅となる部分を含む幅広部、及び前記幅広部の幅未満の幅を有する幅細部を具備する形状を有し、
前記幅細部は、前記流路に対応する位置に形成されることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレートと、
少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートの開口が前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートと、
を備え、
前記ノズルプレートは、前記ノズルプレートの機械的な異常を検知するための検知素子が設けられ、
前記流路プレートは、前記ノズルプレートのノズル開口と連通する液室及び前記液室と連通する流路を有し、
前記検知素子は、前記ノズルプレートの前記流路プレートと接合される第１の面に形成される電気配線、及び前記第１の面の反対側の第２の面に形成される電気配線の少なくともいずれか一方を含み、
前記電気配線は、前記流路の形成方向と交差する方向に沿って形成され、最大幅となる部分を含む幅広部、及び前記幅広部の幅未満の幅を有する幅細部を具備する形状を有し、
前記幅細部は、前記流路に対応する位置に形成されることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項８】
電気的絶縁性能を有し、前記第２の面に形成された電気配線を被覆する第１の絶縁層を備えたことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記ノズルプレートは導電性を有し、
前記ノズルプレートと前記電気配線との間に電気的絶縁性能を有する第２の絶縁層を備えたことを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記ノズルプレートは、前記検知素子から得られた電気信号を伝送する引出配線が接合される電気信号取出部を備えたことを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記電気信号取出部は、前記ノズルプレートの端部の角部が面取りされた傾斜面に形成され、
前記引出配線は、前記ノズルプレートとの接合部分に前記ノズルプレートの傾斜面に対応する形状を有することを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレートと、
少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートの開口が前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートと、
を備え、
前記ノズルプレートは、前記ノズルプレートの機械的な異常を検知するための検知素子が設けられ、前記検知素子から得られた電気信号を伝送する引出配線が接合される電気信号取出部を備え、
前記電気信号取出部は、前記ノズルプレートの端部の角部が面取りされた傾斜面に形成され、
前記引出配線は、前記ノズルプレートとの接合部分に前記ノズルプレートの傾斜面に対応する形状を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記電気信号取出部を被覆するカバー部材を備えたことを特徴とする請求項１０から１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記液体吐出ヘッドは、長手方向について複数のヘッドユニットを一列につなぎ合わせた構造を有し、
前記引出配線は、前記ヘッドユニットごとに前記液体吐出ヘッドの短手方向の端部に接合されることを特徴とする請求項１０から１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
前記液体吐出ヘッドは、長手方向について複数のヘッドユニットを二列の千鳥配置させた構造を有し、
前記引出配線は、前記ヘッドユニットごとに前記液体吐出ヘッドの長手方向の端部、又は短手方向の端部に接合されることを特徴とする請求項１０から１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１６】
前記ノズルプレートの材料は、シリコンであることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項、又は請求項１２から１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１７】
前記ノズルプレートの材料は、金属又は樹脂であることを特徴とする請求項１から１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１８】
液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレート、及び少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートのノズル開口が前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートを具備し、前記ノズルプレートに前記ノズルプレートの機械的な異常を検知するための検知素子が設けられる液体吐出ヘッドと、
前記検知素子から得られた情報に基づいて、前記ノズルプレートの機械的な異常の発生の有無を検知する検知手段と、
を備え、
前記検知素子は、前記ノズルプレートの前記流路プレートと接合される第１の面に形成される電気配線、及び前記第１の面の反対側の第２の面に形成される電気配線を含み、
前記第１の面に形成される電気配線の始端と終端とを結ぶ線分の方向と、前記第２の面に形成される電気配線の始端と終端とを結ぶ線分の方向と、は交差することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１９】
液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレート、及び少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートのノズル開口が前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートを具備し、前記ノズルプレートに前記ノズルプレートの機械的な異常を検知するための検知素子が設けられる液体吐出ヘッドと、
前記検知素子から得られた情報に基づいて、前記ノズルプレートの機械的な異常の発生の有無を検知する検知手段と、
を備え、
前記検知素子は、前記ノズルプレートの前記流路プレートと接合される第１の面に形成される電気配線、及び前記第１の面の反対側の第２の面に形成される電気配線の少なくともいずれか一方を含み、
前記流路プレートは、前記ノズルプレートのノズル開口と連通する液室及び前記液室と連通する流路を有し、
前記電気配線は、前記流路の形成方向と交差する方向に沿って形成されることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２０】
液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレート、及び少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートのノズル開口が前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートを具備し、前記ノズルプレートに前記ノズルプレートの機械的な異常を検知するための検知素子が設けられる液体吐出ヘッドと、
前記検知素子から得られた情報に基づいて、前記ノズルプレートの機械的な異常の発生の有無を検知する検知手段と、
を備え、
前記検知素子は、前記ノズルプレートの前記流路プレートと接合される第１の面に形成される電気配線、及び前記第１の面の反対側の第２の面に形成される電気配線の少なくともいずれか一方を含み、
前記電気配線は、最大幅となる部分を含む幅広部、及び前記幅広部の幅未満の幅を有する幅細部を具備する形状を有することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２１】
液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレート、及び少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートのノズル開口が前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートを具備し、前記ノズルプレートに前記ノズルプレートの機械的な異常を検知するための検知素子が設けられる液体吐出ヘッドと、
前記検知素子から得られた情報に基づいて、前記ノズルプレートの機械的な異常の発生の有無を検知する検知手段と、
を備え、
前記検知素子は、前記ノズルプレートの前記流路プレートと接合される第１の面に形成される電気配線、及び前記第１の面の反対側の第２の面に形成される電気配線の少なくともいずれか一方を含み、
前記流路プレートは、前記ノズルプレートのノズル開口と連通する液室及び前記液室と連通する流路を有し、
前記電気配線は、前記流路の形成方向と交差する方向に沿って形成され、最大幅となる部分を含む幅広部、及び前記幅広部の幅未満の幅を有する幅細部を具備する形状を有し、
前記幅細部は、前記流路に対応する位置に形成されることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２２】
前記検知手段は、前記電気配線の抵抗値を測定する測定部と、
前記測定部により得られた前記電気配線の抵抗値の変化に基づいて、前記ノズルプレートの機械的な異常が発生しているか否かを判断する判断部と、
を備えたこと特徴とする請求項１８から２１のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項２３】
液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレート、及び少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートのノズル開口が前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートを具備し、前記ノズルプレートに前記ノズルプレートの機械的な異常を検知するための検知素子が設けられる液体吐出ヘッドと、
前記検知素子から得られた情報に基づいて、前記ノズルプレートの機械的な異常の発生の有無を検知する検知手段と、
を備え、
前記ノズルプレートは、前記検知素子から得られた電気信号を伝送する引出配線が接合される電気信号取出部を備え、
前記電気信号取出部は、前記ノズルプレートの端部の角部が面取りされた傾斜面に形成され、
前記引出配線は、前記ノズルプレートとの接合部分に前記ノズルプレートの傾斜面に対応する形状を有することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２４】
前記検知手段は、前記液体吐出ヘッドの稼働中に前記検知素子から情報を取得して、前記ノズルプレートの機械的な異常の発生の有無を検知することを特徴とする請求項１８から２３のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項２５】
前記検知手段によって前記ノズルプレートの機械的な異常が発生したと判断されたときに、その旨を報知する報知手段を備えたことを特徴とする請求項１８から２４のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項２６】
前記検知手段は、前記ノズルプレートの機械的な異常が発生した位置を特定する位置特定部を備えたことを特徴とする請求項１８から２５のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項２７】
前記検知手段によって前記ノズルプレートの機械的な異常が発生したと判断されたときに、装置各部に特定のシーケンスを実行させる異常処理手段を備えたことを特徴とする請求項１８から２６のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項２８】
前記液体吐出ヘッドとして、請求項８から１１のいずれか１項、又は請求項１２から１６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とする請求項１８から２７のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項２９】
液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレート、及び少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートが前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートを具備した液体吐出ヘッドの前記ノズルプレートに設けられた検知素子から得られた情報に基づいて、前記ノズルプレートの機械的な異常の発生の有無を検知する液体吐出ヘッドの異常検知方法であって、
前記検知素子は、前記ノズルプレートの前記流路プレートと接合される第１の面に形成される電気配線、及び前記第１の面の反対側の第２の面に形成される電気配線を含み、
前記第１の面に形成される電気配線の始端と終端とを結ぶ線分の方向と、前記第２の面に形成される電気配線の始端と終端とを結ぶ線分の方向と、は交差することを特徴とする液体吐出ヘッドの異常検知方法。
【請求項３０】
液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレート、及び少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートが前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートを具備した液体吐出ヘッドの前記ノズルプレートに設けられた検知素子から得られた情報に基づいて、前記ノズルプレートの機械的な異常の発生の有無を検知する液体吐出ヘッドの異常検知方法であって、
前記検知素子は、前記ノズルプレートの前記流路プレートと接合される第１の面に形成される電気配線、及び前記第１の面の反対側の第２の面に形成される電気配線の少なくともいずれか一方を含み、
前記流路プレートは、前記ノズルプレートのノズル開口と連通する液室及び前記液室と連通する流路を有し、
前記電気配線は、前記流路の形成方向と交差する方向に沿って形成されることを特徴とする液体吐出ヘッドの異常検知方法。
【請求項３１】
液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレート、及び少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートが前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートを具備した液体吐出ヘッドの前記ノズルプレートに設けられた検知素子から得られた情報に基づいて、前記ノズルプレートの機械的な異常の発生の有無を検知する液体吐出ヘッドの異常検知方法であって、
前記検知素子は、前記ノズルプレートの前記流路プレートと接合される第１の面に形成される電気配線、及び前記第１の面の反対側の第２の面に形成される電気配線の少なくともいずれか一方を含み、
前記電気配線は、最大幅となる部分を含む幅広部、及び前記幅広部の幅未満の幅を有する幅細部を具備する形状を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの異常検知方法。
【請求項３２】
液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレート、及び少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートが前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートを具備した液体吐出ヘッドの前記ノズルプレートに設けられた検知素子から得られた情報に基づいて、前記ノズルプレートの機械的な異常の発生の有無を検知する液体吐出ヘッドの異常検知方法であって、
前記検知素子は、前記ノズルプレートの前記流路プレートと接合される第１の面に形成される電気配線、及び前記第１の面の反対側の第２の面に形成される電気配線の少なくともいずれか一方を含み、
前記流路プレートは、前記ノズルプレートのノズル開口と連通する液室及び前記液室と連通する流路を有し、
前記電気配線は、前記流路の形成方向と交差する方向に沿って形成され、最大幅となる部分を含む幅広部、及び前記幅広部の幅未満の幅を有する幅細部を具備する形状を有し、
前記幅細部は、前記流路に対応する位置に形成されることを特徴とする液体吐出ヘッドの異常検知方法。
【請求項３３】
液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレート、及び少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートが前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートを具備した液体吐出ヘッドの前記ノズルプレートに設けられた検知素子から得られた情報に基づいて、前記ノズルプレートの機械的な異常の発生の有無を検知する液体吐出ヘッドの異常検知方法であって、
前記ノズルプレートは、前記検知素子から得られた電気信号を伝送する引出配線が接合される電気信号取出部を備え、
前記電気信号取出部は、前記ノズルプレートの端部の角部が面取りされた傾斜面に形成され、
前記引出配線は、前記ノズルプレートとの接合部分に前記ノズルプレートの傾斜面に対応する形状を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの異常検知方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの異常検知方法に係り、特にノズルプレートの割れや変形などの機械的な異常を検知する液体吐出ヘッドの構造及び検知技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のインクジェット記録装置ではより高解像度の画像形成が要求されている。この要求を実現するために、ノズル開口が形成されるノズルプレートの加工技術に、半導体プロセスが適用され、インクが吐出されるノズル開口がより微細に加工され、より高密度に配置される。
【０００３】
特許文献１は、シリコンのノズルプレートに半導体プロセスを適用してノズル開口を形成する技術を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００８−５０９０２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、一般に、シリコン基板は外的な衝撃や応力を受けると割れやすい。ノズルプレートに割れが発生すると、インク吐出面の反対側に設けられている流路や液室からインク漏れが発生することがあり得る。
【０００６】
一方、金属や樹脂は外的な衝撃や応力を受けると変形が生じやすい。ノズルプレートが変形すると、ノズル開口の形状の変形やノズル開口の向きの変化などが起こり、インクの吐出特性に影響してしまう。
【０００７】
特許文献１は、シリコンのノズルプレートについて開示しているものの、シリコンのノズルプレートの割れという課題を開示していない。また、樹脂や金属のノズルプレートの機械的な異常に関する開示をするものでもない。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ノズルプレートの割れや変形といった機械的な異常を検知し得る、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの異常検知方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明に係る液体吐出ヘッドは、液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレートと、少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートの開口が前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートと、を備え、前記ノズルプレートは、前記ノズルプレートの機械的な異常を検知するための検知素子が設けられ、前記検知素子は、前記ノズルプレートの前記流路プレートと接合される第１の面に形成される電気配線、及び前記第１の面の反対側の第２の面に形成される電気配線を含み、前記第１の面に形成される電気配線の始端と終端とを結ぶ線分の方向と、前記第２の面に形成される電気配線の始端と終端とを結ぶ線分の方向と、は交差している。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ノズルプレートの第１の面及び第２の面に別々に検知用の電気配線を形成し、さらに第１の面の電気配線と第２の面の電気配線とを交差する方向に形成して、ノズルプレートの面方向について発生するノズルプレートの割れや変形などの機械的な異常を検知することで、液体吐出ヘッドの動作停止などの必要な処理を行うことができ、ノズルプレートの機械的な変形による被害を最小限に食い止めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッドの概略構造を示すノズル面の平面図
【図２】図１に示すインクジェットヘッドに具備される１ヘッドモジュール分のノズルプレートの構造を示す平面図
【図３】図１に示すインクジェットヘッドのノズル近傍の立体構造を示す断面図
【図４】図３に示すインクジェットヘッドの他の態様に係る立体構造を示す断面図
【図５】図３に示すインクジェットヘッドのさらに他の態様に係る立体構造を示す断面図
【図６】（ａ）：本発明の第２実施形態に係るインクジェットヘッドのインク吐出面の平面図、（ｂ）：該インクジェットヘッドのノズル近傍の立体構造を示す断面図
【図７】（ａ）：本発明の第３実施形態に係るインクジェットヘッドのインク吐出面の平面図、（ｂ）：図７（ａ）の検知用電気配線に沿う断面図
【図８】検知用電気配線の平面形状の一例を示す説明図
【図９】検知用電気配線の形成手順を示す説明図
【図１０】図９に示す検知用電気配線の形成手順の他の態様を示す説明図
【図１１】検知用電気配線から引き出される引出配線の形成手順を示す説明図
【図１２】図１１に示す引出配線の形成手順の他の態様を示す説明図
【図１３】引出配線（フレキシブル基板）の引出方向を模式的に図示した説明図
【図１４】インクジェットヘッドの立体構造の一例を示す断面図
【図１５】本発明の実施形態に係る液体吐出装置（インクジェット記録装置）の概略構成を示す全体構成図
【図１６】図１５に示す液体吐出ヘッドの制御系の概略構成を示すブロック図
【図１７】図１５に示すインクジェット記録装置に適用されるノズルプレートの割れ検知の制御の流れを示すフローチャート
【図１８】（ａ）：本発明の第４実施形態に係るインクジェットヘッドの立体構造を示す断面図、（ｂ）：該インクジェットヘッドの１ノズル分の平面図透視図
【図１９】本発明の応用例の説明図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面に従って本発明を実施するための形態について詳説する。
【００１３】
〔第１実施形態〕
（インクジェットヘッドの全体構成）
図１は、本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）の概略構造を示すノズル面の平面図である。同図に示すインクジェットヘッド１０は、記録媒体の液体を付着させる領域の全幅（媒体の移動方向と直交する方向の全長）に対応する長さにわたって、複数のノズル開口（図１中不図示、図２に符号１８を付して図示）が配置されたフルライン型ヘッドである。
【００１４】
インクジェットヘッド１０は、最小構成単位であるヘッドユニット１２がインクジェットヘッド１０の長手方向に沿ってつなぎ合わせられた構造を有している。各ヘッドユニット１２のインクジェットヘッド１０の短手方向の両側には、カバー１４Ａ，１４Ｂが取り付けられている。
【００１５】
（ノズルプレートの説明）
図２は、図１に示すインクジェットヘッドに具備される１ヘッドモジュール分のノズルプレートの構造を示す平面図である。図２に示すノズルプレート１６は、複数のノズル開口１８がマトリクス配置されて形成されている。
【００１６】
図２に示すノズルプレート１６は、ヘッドユニット１２（インクジェットヘッド１０）の長手方向（同図における左右方向）におけるノズル開口１８間の配置ピッチＰｎが１００マイクロメートルから１ミリメートル（例えば、５００マイクロメートル）となっている。
【００１７】
ここでいう「マトリクス配置」とは、インクジェットヘッド１０の長手方向に沿う行方向、及び該行方向と直交しない斜めの列方向に沿って複数のノズル開口１８が配置される形態であり、このノズル開口１８をインクジェットヘッド１０の長手方向に並ぶように投影すると、同方向についてすべてのノズル開口１８が等間隔に配置される。
【００１８】
図２に示すように、ノズル開口１８をマトリクス配置することで、同方向の実質的な配置密度が高密度化される。例えば、一列あたりのノズル開口１８の数がｍの場合、同方向における実質的なノズル開口１８間の配置間隔Ｐは、次式（１）で表される。
【００１９】
Ｐ＝Ｐｎ／（ｍ−１）  …（１）
なお、複数のヘッドユニット１２をつなぎ合わせた構造を有するインクジェットヘッド１０では、上記の投影ノズル開口列の両端部近傍はノズル開口１８の配置ピッチが等間隔にならない場合があり、隣接するヘッドユニット１２のノズル開口１８によって補間がされると、ノズル開口１８の配置ピッチが等間隔になる。
【００２０】
また、ノズルプレート１６は、シリコン、樹脂、金属などの材料が適用される。インク吐出面１６Ａに割れや変形などの機械的異常（以下単に「割れ」、「異常」、「機械的異常」と記載することがある）を検知するための電気配線（検知用電気配線）２０，２２が形成されている。
【００２１】
図２に示す検知用電気配線２０は、ノズル開口１８の列方向と略平行方向に沿って形成され、検知用電気配線２２はノズル開口１８の行方向と略平行方向に沿って形成されている。ここで、検知用電気配線２０，２２の形成方向とは、検知用電気配線２０，２２の両端を結ぶ線分に沿う方向である。
【００２２】
検知用電気配線２０，２２は、ノズルプレート１６の端部に設けられる取出端子（取出電極、図１１に符号９２を付して図示）と電気的に接続され、インクジェットヘッド１０に設けられた測定回路（図１６に符号２９３を付して図示）と電気的に接続される（詳細後述）。
【００２３】
本例に示すインクジェットヘッド１０は、検知用電気配線２０，２２の抵抗値の変化に基づいてノズルプレート１６の割れや変形などの機械的な異常を検知することができる。例えば、ノズルプレート１６に割れや変形が発生すると、割れが発生した（変形した）部分を通る検知用電気配線２０，２２に変形又は断線が生じて抵抗値が変化（増加）する。
【００２４】
検知用電気配線２０，２２の抵抗値を監視して、正常な状態における検知用電気配線２０，２２の抵抗値と比較することで、検知用電気配線２０，２２の抵抗値の変化に基づいてノズルプレート１６に割れや変形が発生しているか否かが判断される。
【００２５】
図２に示すように、検知用電気配線２０及び検知用電気配線２２を複数備え、かつ、検知用電気配線２０の形成方向と検知用電気配線２２の形成方向とを交差するように構成することで、ノズルプレート１６の全範囲にわたって割れや変形を検知することができ、割れや変形の位置を特定することも可能となる（詳細後述）。
【００２６】
図２では、行方向に沿う検知用電気配線２０が１本形成され、列方向に沿う検知用電気配線２２が２本形成された態様を例示したが、検知用電気配線２０，２２の本数や検知用電気配線２０，２２が形成される位置は図示の例に限定されない。
【００２７】
また、同図に示す検知用電気配線２０はノズルプレート１６の長手方向の両端に達する長さを有し、検知用電気配線２２はノズルプレート１６の短手方向の両端に達する長さを有しているが、検知用電気配線２０はノズルプレート１６の長手方向の両端に達しない長さでもよいし、検知用電気配線２２はノズルプレート１６の短手方向の両端に達しない長さでもよい。
【００２８】
検知用電気配線２０，２２の材料は、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）などの金属、又はこれらの合金が適用される。また、検知用電気配線２０，２２の幅は５０マイクロメートル程度であり、ノズル開口１８の間隔に応じて決められる。
【００２９】
また、検知用電気配線２０，２２の厚さは０．１マイクロメートル程度であり、抵抗値に応じて決められる。検知用電気配線２０，２２の長さは、数センチメートル程度であり、ノズルプレート１６のサイズ及び抵抗値により決められる。
【００３０】
検知用電気配線２０，２２の長さをＬ（メートル）、断面積をＡ（平方メートル）、電気抵抗率をρ（オーム・メートル）とすると、検知用電気配線２０，２２の抵抗値Ｒは、次式（２）で表される。
【００３１】
Ｒ（オーム）＝ρ×（Ｌ／Ａ）  …（２）
銅及び金の電気抵抗率の値は、それぞれ１．６８×１０−３（オーム・メートル）、２．２１×１０−３（オーム・メートル）である。電気抵抗率がより大きい材料を使用することで、抵抗値の検知感度を向上させることができる。
【００３２】
（検知用配線の構成例）
図３（ａ），（ｂ）は、図１に示すインクジェットヘッドのノズル近傍の立体構造を示す断面図であり、インク吐出方向が上向きに図示されている。図３（ａ），（ｂ）に示すように、ノズルプレート１６のノズル開口１８と、流路プレート２４に形成されるノズル(ノズル流路)２６との位置が合わせられて、ノズルプレート１６のインク吐出面１６Ａと反対側の面１６Ｂに流路プレート２４が接合される。
【００３３】
なお、図３（ａ），（ｂ）では、ノズル２６と連通する液室等の図示は省略されている（図１４（ａ），（ｂ）参照）。また、ノズル２６が省略され、ノズル開口１８と流路プレート２４の流路との位置が合わせられて、ノズルプレート１６と流路プレート２４が接合される態様もありうる。
【００３４】
ここで、流路プレートの「流路」とは、圧力室（液室）やノズル（ノズル流路）２６を含む概念である。
【００３５】
図３（ａ）に示す態様では、インク吐出面１６Ａに検知用電気配線２０，２２が形成されている。一方、図３（ｂ）に示す態様では、ノズルプレート１６のインク吐出面１６Ａと反対側の面（流路プレート２４と接合される面）１６Ｂに検知用電気配線２０，２２が形成されている。
【００３６】
図３（ｂ）に示す態様では、検知用電気配線２０，２２は、ノズルプレート１６と流路プレート２４とを接合する接着剤２８に埋められた形態となる。
【００３７】
図４は、図３に示すインクジェットヘッドの他の態様に係る立体構造を示す断面図であり、インク吐出面１６Ａに形成された検知用電気配線２０，２２が絶縁層３０（第１の絶縁層）により被覆される態様である。なお、図４でもインク吐出方向が上向きに図示されている。
【００３８】
インク吐出面１６Ａは、ノズル開口１８から吐出されたインクが付着することがある。そうすると、インク吐出面１６Ａに検知用電気配線２０，２２が形成されている場合には、検知用電気配線２０，２２を絶縁層３０によって被覆することで、検知用電気配線２０，２２と他の部材との電気的な絶縁性能が確保されるとともに、インクによる検知用電気配線２０，２２やノズルプレート１６の腐食が防止される。
【００３９】
なお、インク吐出面１６Ａには、付着したインクの濡れ広がりを防止する目的で撥液処理が施される。検知用電気配線２０，２２が絶縁層３０により被覆される形態では、絶縁層３０の上に不図示の撥液膜が形成される。
【００４０】
図５は、図３に示すインクジェットヘッドのさらに他の態様に係る立体構造を示す断面図であり、ノズルプレート１６と検知用電気配線２０，２２との間に絶縁層３２（第２の絶縁層）が形成されている。なお、図５（ａ），（ｂ）でもインク吐出方向が上向きに図示されている。
【００４１】
すなわち、ノズルプレート１６にステンレスなどの金属材料（導電性を有する材料）が適用される場合は、ノズルプレート１６と検知用電気配線２０，２２との電気的な絶縁性能を確保するために、ノズルプレート１６と検知用電気配線２０，２２との間に絶縁層３２が形成される。
【００４２】
絶縁層３２の一例として、材質がＳｉＯ２、厚みが０．１マイクロメートルから１マイクロメートルの膜が挙げられる。この膜の絶縁抵抗値は数キロオームから数メガオームとなる。なお、絶縁抵抗値は膜の性質等により異なる。
【００４３】
絶縁層３２の他の例として、ＳＵ８などのエポキシ樹脂材料が挙げられる。絶縁層３２にＳＵ８が適用される場合は、厚みが１マイクロメートルから５マイクロメートルとされる。なお、ＳＵ８の体積抵抗率は１．８×１０１６オーム・センチメートルであり、膜の厚みは要求される絶縁性能により決められる。
【００４４】
上記の如く構成されたインクジェットヘッド１０は、ノズルプレート１６に割れや変形を検知するための検知素子として検知用電気配線２０，２２が形成されるので、検知用電気配線２０，２２の抵抗値に基づいてノズルプレート１６の割れや変形などの機械的な異常を判断することができるので、液体吐出ヘッドの動作停止などの必要な処理を行うことができ、ノズルプレートの機械的な変形による被害を最小限に食い止めることが可能となる。
【００４５】
なお、本例では、複数のヘッドユニット１２を長手方向に沿って一列につなぎ合わせた形態を有するフルライン型のインクジェットヘッド１０を例示したが、複数のヘッドユニット１２が二列の千鳥配置で並べられる形態も可能である（図１３（ｂ）参照）。また、一体構造の（長尺のヘッドユニット１２を１つだけ備えた）フルライン型ヘッドとすることも可能である。
【００４６】
本例では、ノズル開口１８がマトリクス配置される態様を例示したが、ノズル開口１８がインクジェットヘッド１０の長手方向に沿って一列に並べられる態様や、二列の千鳥配置で並べられる態様も可能である。
【００４７】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態に係るインクジェットヘッドについて説明する。以下に説明する第２実施形態に係るインクジェットヘッド４０の構造の中で、第１実施形態に係るインクジェットヘッド１０と共通する部分の説明は省略し、相違する部分について説明することとする。
【００４８】
図６（ａ）は、本発明の第２実施形態に係るノズルプレート４２（インクジェットヘッド４０）のインク吐出面４２Ａの平面図であり、図６（ｂ）は、インクジェットヘッド４０のノズル４６近傍の立体構造を示す断面図である。なお、図６（ｂ）でもインク吐出方向が上向きに図示されている。
【００４９】
図６（ａ）に示すノズルプレート４２は、マトリクス配置された複数のノズル開口４８が形成されるとともに、ノズル開口４８の配置に対応して検知用電気配線５０，５２が形成されている。
【００５０】
すなわち、ノズルプレート４２の長手方向（ノズル開口４８のマトリクス配置における行方向）と略平行方向に沿って複数の検知用電気配線５０が形成され、この検知用電気配線５０が複数のノズルプレート４２の短手方向について配置されている。また、ノズルプレート４２の長手方向及び短手方向と直交しない斜め方向（ノズル開口４８のマトリクス配置における列方向）と略平行方向に沿って複数の検知用電気配線５２が形成され、この検知用電気配線５２が複数のノズルプレート４２の長手方向について配置されている。
【００５１】
図６（ａ）に示すように、検知用電気配線５０，５２を互いに交差する２方向に沿って配置し、かつ、複数本の検知用電気配線５０，５２を配置することで（検知用電気配線５０，５２を網目状に形成することで）、ノズルプレート４２の割れや変形の位置を特定することが可能である。
【００５２】
図６（ｂ）に示すように、行方向の検知用電気配線５０をインク吐出面４２Ａに形成し、列方向の検知用電気配線５２をインク吐出面４２Ａの反対側面（流路プレート５４側の面）４２Ｂに形成することで、検知用電気配線５０，５２の抵抗値を独立に測定することができる。もちろん、行方向の検知用電気配線５０をインク吐出面４２Ａの反対側面４２Ｂに形成し、列方向の検知用電気配線５２をインク吐出面４２Ａに形成してもよい。
【００５３】
例えば、図６（ａ）の上から２番目の検知用電気配線５０の抵抗値が正常値と異なり、同図の左から２番目の検知用電気配線５２の抵抗値が正常値と異なる場合には、これらが交差する位置近傍に割れが発生していると判断することができる。
【００５４】
図６（ａ）に示す態様では、１ノズル行おきに検知用電気配線５０が形成され、１ノズル列おきに検知用電気配線５２が形成されている。もちろん、検知用電気配線５０，５２の配置密度をより密にすることも、疎にすることも可能である。
【００５５】
なお、図６（ｂ）では図示を省略したが、図４に図示した絶縁層３０や、図５（ａ），（ｂ）に図示した絶縁層３２が適宜形成される。また、曲線部などの直線形状以外の形状を含む検知用電気配線５０，５２を形成することも可能である。かかる態様を考慮すると、検知用電気配線５０，５２の形成方向は、両端を結ぶ線分により表される方向となる。
【００５６】
第２実施形態に係るインクジェットヘッドによれば、ノズルプレート４２の割れや変形を検知するための検知用電気配線５０，５２が互いに交差する方向に形成されるとともに、複数本の検知用電気配線５０，５２が形成されることで、ノズルプレート４２の割れや変形が発生した位置を特定することができる。
【００５７】
例えば、一つのヘッドに複数色のインクに対応するノズルが形成される場合には、色ごとに分離した（独立した）流路が形成されているので、ノズルプレート４２の割れ（変形）位置に対応する流路のインク供給を停止することができ、ノズルプレート４２の割れや変形に起因する被害を最小限に食い止めることができる。
【００５８】
本例では、ノズル開口４８の配置における行方向に沿って検知用電気配線５０が形成され、列方向に沿って検知用電気配線５２が形成される態様を例示したが、検知用電気配線５０，５２が形成される方向は互いに交差する方向（非平行）であればよく、ノズルプレート４２の形状や、割れやすい位置が予め把握されている場合には当該割れやすい位置などに対応して、適宜決めることができる。
【００５９】
また、検知用電気配線が形成される方向は二方向に限定されず、互いに交差する三方向以上の方向に沿って検知用電気配線を形成してもよい。
【００６０】
〔第３実施形態〕
次に、本発明の第３実施形態について説明する。以下に説明する第３実施形態に係るインクジェットヘッド６０の構造の中で、第１、第２実施形態に係るインクジェットヘッド１０，４０と共通する部分の説明は省略し、相違する部分について説明することとする。
【００６１】
図７（ａ）は、本発明の第３実施形態に係るインクジェットヘッド６０（ノズルプレート６２）のインク吐出面６２Ａの平面図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）の検知用電気配線７０に沿う断面図であり、共通流路６９が一本だけ図示されている。
【００６２】
図７（ａ）に示すインクジェットヘッド６０は、ノズル開口６８の配置における列方向に沿って共通流路６９（破線により図示）が設けられており、複数の共通流路６９がノズル開口６８の配置における行方向について並べられている。
【００６３】
複数の共通流路６９は、図示しない上流側のインク流路と連通し、該上流側のインク流路はインク供給口を介して、インクジェットヘッド６０の外部のインク流路（不図示）及びインクタンク（不図示）と連通している。
【００６４】
一つの共通流路６９は、同一列に属するノズル開口６８と連通するすべての圧力室（図７（ａ），（ｂ）中不図示、図１４（ａ）に符号２７、図１４（ｂ）に符号２７’を付して図示）と連通し、不図示のインクタンクから送られたインクは、各共通流路６９を介して各共通流路６９と連通している圧力室へ供給される。
【００６５】
ノズルプレート６２に形成される検知用電気配線７０は、少なくとも一本の共通流路６９をまたぐように、共通流路６９の形成方向に対して交差する方向に沿って形成される。
【００６６】
ノズルプレート６２の材料がシリコンの場合、ノズルプレート６２のインク吐出面６２Ａと反対側の面（背面）６２Ｂに共通流路６９があると、共通流路６９の位置が割れやすいので、共通流路６９をまたぐように検知用電気配線７０を形成することで、ノズルプレート６２の割れを検知する確率を向上させることができる。
【００６７】
〔検知用電気配線の形状〕
（平面形状）
次に、検知用電気配線の形状について詳細に説明する。図８（ａ）から（ｄ）は、検知用電気配線の平面形状の一例を示す説明図である。以下の説明では、先に説明した図２の検知用電気配線２０，２２、図６の検知用電気配線５０，５２、図７の検知用電気配線７０をまとめて、符号８０から８６を付して図示する。
【００６８】
図８（ａ）に示す検知用電気配線８０は、均一の幅を有する略直線状であり、略長方形形状の平面形状を有している。略直線状の検知用電気配線８０は形成が容易であり、安定した抵抗値を得ることができる。なお、曲線を含む態様も可能である。
【００６９】
図８（ｂ）に示す検知用電気配線８２は、均一な幅を有する幅広部８２Ａと、幅広部８２Ａ未満の幅を有する幅細部８２Ｂと、を有している。図８（ｂ）に示す幅細部８２Ｂは、幅広部８２Ａが略円弧状に切り欠かれた形状を有している。
【００７０】
図８（ｃ）に示す検知用電気配線８４は、均一な幅を有する幅広部８４Ａと、幅広部８４Ａ未満の幅を有する幅細部８４Ｂと、を有している点で図８（ｂ）に図示した検知用電気配線８２と共通している。一方、図８（ｃ）に示す検知用電気配線８４の幅細部８４Ｂは、幅広部８４Ａが略三角形形状に切り欠かかれた形状を有している。
【００７１】
図８（ｄ）に示す検知用電気配線８６は、複数の略円形状を一部が重なるように一列につなぎ合わせた平面形状を有している。検知用電気配線８６における幅広部８６Ａは、検知用電気配線８６の最大幅となる位置の近傍とし、幅細部８６Ｂは最小幅となる位置の近傍とする。
【００７２】
図８（ｄ）に示す検知用電気配線８６は、金属粒子を含む機能性液体を用いて、インクジェット方式により容易に形成することができる。ドットサイズ（直径）及びドット間ピッチ（隣接するドットの中心間距離）を調整することで、幅広部８６Ａの最大幅や幅細部の最小幅を容易に調整することが可能である。
【００７３】
例えば、ドットサイズの直径を大きくすると幅広部８６Ａの最大幅が大きくなる。ドット間ピッチを大きくすると幅細部８６Ｂの最小幅が小さくなり、ドット間ピッチを小さくすると幅細部８６Ｂの最小幅が大きくなる。
【００７４】
図８（ｂ）から（ｃ）に図示した検知用電気配線８２，８４，８６において、幅広部８２Ａ，８４Ａ、８６Ａの幅の最大値ＤＡと、幅細部８２Ｂ，８４Ｂ，８６Ｂの幅の最小値ＤＢとの関係は、ＤＡ＞ＤＢとなっている。
【００７５】
幅広部８２Ａ，８４Ａ、８６Ａの最大幅ＤＡに対して、幅細部８２Ｂ，８４Ｂ，８６Ｂの最小幅ＤＢがより小さい方が断線しやすくなり、効果（検出感度）が高くなる。一方、幅細部８２Ｂ，８４Ｂ，８６Ｂの最小幅ＤＢをより小さくすると、検知用電気配線８２，８４，８６抵抗値が高くなるために幅細部８２Ｂ，８４Ｂ，８６Ｂをより厚くして、抵抗値が適正範囲に収まるようにしなくてはならない。
【００７６】
一方、幅細部８２Ｂ，８４Ｂ，８６Ｂの最小幅ＤＢを小さくしすぎると、製造ばらつきにより製造時に断線してしまう可能性がある。インクジェット方式を用いて検知用電気配線８２，８４，８６を形成する場合は、液滴量のばらつき（ドットサイズのばらつき）、吐出方向のばらつき（ドット位置のばらつき）により、ドットが線としてつながらなくなる恐れがある。
【００７７】
つまり、幅細部８２Ｂ，８４Ｂ，８６Ｂの最小幅ＤＢは、極端に小さくすることができないので、ＤＡとＤＢとの関係が、０．８×ＤＡ＞ＤＢ＞０．５×ＤＡとなるように、幅広部８２Ａ，８４Ａ、８６Ａ及び幅細部８２Ｂ，８４Ｂ，８６Ｂを形成するとよい。
【００７８】
他の部分よりも幅が細い幅細部８２Ｂ，８４Ｂ，８６Ｂは、断線や変形が生じやすくなるので、ノズルプレートの割れや変形の検知感度を向上させることができる。幅細部８２Ｂ，８４Ｂ，８６Ｂは一か所でもよいし、複数か所でもよい。割れや変形が生じやすい位置が予め把握されている場合は、割れや変形が生じやすい位置に幅細部８２Ｂ，８４Ｂ，８６Ｂを形成するとよい。
【００７９】
例えば、幅細部８２Ｂ，８４Ｂ，８６Ｂを形成する位置として、図７（ａ），（ｂ）に図示した共通流路６９の位置が挙げられる。
【００８０】
（厚み）
次に、検知用電気配線８０（８２，８４，８６）の厚みについて詳述する。複数の検知用電気配線８０を備える態様では、各検知用電気配線８０の抵抗値が均一であることが好ましい。一方、各検知用電気配線８０の抵抗値は、数パーセント程度のばらつきが発生しうる。
【００８１】
検知用電気配線８０の抵抗値のばらつき（誤差）は、検知の精度に影響を与えるので、抵抗値のばらつきは可能な限り抑制されることが好ましい。したがって、同一のノズルプレートに形成される検知用電気配線８０の抵抗値を測定し、所定のばらつきの範囲に収まらないものがあるときは厚みを調整して、抵抗値が所定のばらつきの範囲に収まるようにすることができる。
【００８２】
例えば、抵抗値が所定の範囲を超える場合は、めっき処理等により厚みを厚くすればよい。一方、抵抗値が所定の範囲未満の場合は、研磨等により厚みを薄くすればよい。幅細部８２Ｂ，８４Ｂ，８６Ｂの形状や数によって抵抗値を調整することも可能である。
【００８３】
〔検知用電気配線の形成手順の説明〕
図９及び図１０は、検知用電気配線の形成手順を示す説明図である。図９は、ノズルプレート１６が流路プレート２４に接合された後に、検知用電気配線２０，２２を形成するときの形成手順である。
【００８４】
同図に示すように、ノズルプレート１６（図３（ａ）参照）に流路プレート２４が接合されると（ステップＳ１）、ノズルプレート１６のインク吐出面１６Ａに絶縁層３２（図５（ａ）参照）が生成される（ステップＳ２）。絶縁層３２には、例えば、二酸化シリコン（ＳｉＯ２）が適用可能である。なお、ノズルプレート１６が金属材料でない場合は、ステップＳ２は省略可能である。
【００８５】
次に、絶縁層３２（絶縁層３２が生成されない場合はインク吐出面１６Ａ）に、検知用電気配線２０，２２となる金属層が形成される（ステップＳ３）。金属層の形成手法には、薄膜成膜技術（ゾルゲル法、スパッタ法など）が適用される。
【００８６】
金属層が形成されると、該金属層にパターンニングがされる（ステップＳ４）。金属層のパターンニングは、金属層の全面にフォトレジストを塗布する工程と、フォトレジストを露光、現像してフォトレジストをパターンニングする工程と、パターンニングされたレジストをマスクとしてエッチング処理が施されるエッチング処理工程と、を含む態様がある。
【００８７】
なお、ノズル開口１８が既に空けられている場合にはウエットプロセスを適用することが困難なので、ドライフィルムレジストを用いるとよい。
【００８８】
金属層のパターンニング工程（ステップＳ４）がされ、検知用電気配線２０，２２が形成されると、検知用電気配線２０，２２の抵抗値が測定される（ステップＳ５、検査工程）。検査工程において、検知用電気配線２０，２２の抵抗値が基準範囲を超えている場合は、めっき処理により検知用電気配線２０，２２を成長させて厚みを大きくし、検知用電気配線２０，２２の抵抗値が基準範囲内に収まるようにする。
【００８９】
その後、検知用電気配線２０，２２が絶縁層３０（図４参照）により被覆され（ステップＳ６）、引出配線が接続される（ステップＳ７）。なお、金属層形成工程（ステップＳ３）及びパターンニング工程（ステップＳ４）を統合して、インクジェット方式により検知用電気配線２０，２２を形成することも可能である。
【００９０】
インクジェット方式による検知用電気配線２０，２２の形成では、複数回の重ね打ち（パターンの積層）により所望の厚みを得ることができる。また、検査工程（ステップＳ５）における抵抗値の調整にもインクジェット方式による重ね打ちを適用することができる。
【００９１】
検知用電気配線２０，２２の他の形成方法として、リフトオフを適用してもよい。リフトオフでは、絶縁層形成後にフォトレジストが塗布され、フォトレジストがパターニングされ、その後金属膜が成膜され、フォトレジストが除去されると同時に、フォトレジスト上の金属膜が除去され、検知用電気配線２０，２２が形成される。
【００９２】
図１０は、ノズルプレート１６が流路プレート２４に接合される前に、ノズルプレート１６単体で検知用電気配線２０，２２が形成される場合の形成手順を示している。なお、図１０では、ノズルプレートの裏面（インク吐出面１６Ａと反対側の面）１６Ｂに検知用電気配線２０，２２が形成される場合を示しているが、インク吐出面１６Ａに検知用電気配線２０，２２が形成される場合には、図１０の「裏面１６Ｂ」を「インク吐出面１６Ａ」に読み替えればよい。
【００９３】
また、図１０において図９に図示した工程と同一工程には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００９４】
図１０に示す検知用電気配線２０，２２の形成手順では、ノズルプレート１６の裏面１６Ｂに絶縁層３２（図５（ａ）参照）が生成される（ステップＳ２’）、その後、金属層形成工程（ステップＳ３）、パターンニング工程（ステップＳ４）、検査工程（ステップＳ５）、絶縁層形成工程（ステップＳ６）を経て、裏面１６Ｂに検知用電気配線２０，２２が形成されたノズルプレート１６が作製される。
【００９５】
次に、検知用電気配線２０，２２が形成されたノズルプレート１６に流路プレート２４が接合され（ノズルプレート接合工程、ステップＳ１）、引出配線が接合される（引出配線工程、ステップＳ７）。
【００９６】
なお、ノズルプレート接合工程（ステップＳ１）と引出配線接合工程（ステップＳ７）とを入れ替えて、引出配線が接合されたノズルプレート１６を流路プレート２４に接合するように構成してもよい。
【００９７】
ノズルプレート１６と流路プレート２４とを接合させる前に、ノズルプレート１６に検知用電気配線２０，２２を形成する場合には、インクジェットヘッドの内部流路等にフォトレジストなどが入り込むことがないので、ウエットプロセスを用いて検知用電気配線２０，２２を容易に形成することが可能である。
【００９８】
なお、図９及び図１０には図示を省略したが、インク吐出面１６Ａに撥液膜を形成する工程（撥液膜形成工程）が含まれる。ノズルプレート接合工程における処理温度が、検知用電気配線２０，２２の耐熱温度を超える場合には、図９に図示した手順が適用される。
【００９９】
〔引出配線の説明〕
次に、検知用電気配線から引き出される引出配線について説明する。図１１（ａ）から（ｃ）は、検知用電気配線２０，２２から引き出される引出配線９０の形成手順を示す説明図であり、ワイヤボンディングにより引出配線９０が形成される態様を模式的に図示している。
【０１００】
図１１（ａ）に示すように、ノズルプレート１６のインク吐出面１６Ａ（裏面１６Ｂ）に形成される検知用電気配線２０，２２の両端部には、取出電極９２が形成される。取出電極９２は、ノズルプレート１６の端部に形成される。次に、取出電極９２と引出配線９０が電気的に接合される。この接合には、はんだや導電性接着剤が適用される。
【０１０１】
また、取出電極９２に代わりコネクタ（例えば、レセプタクル）を搭載し、引出電極側に嵌合するコネクタ（例えば、プラグ）を取り付けておき、これらを嵌合させて検知用電気配線２０，２２と引出配線９０とを接続する形態も可能である。
【０１０２】
なお、取出電極９２が形成される部分には、図４に示す絶縁層３０や不図示の撥液膜は形成されない。
【０１０３】
図１１（ｂ）に示すように、引出配線９０と取出電極９２が接合されると、接合部分（取出電極９２）の近傍は、シリコン樹脂やエポキシ樹脂などの被覆部材９４により被覆され、被覆部材９４を加熱により硬化させる。
【０１０４】
さらに、図１１（ｃ）に示すように、被覆部材９４に金属性（もしくは、エポキシなどの樹脂性）のカバー９６が取り付けられる。図１１（ｃ）に示すカバー９６を取り付けることで、インク吐出面１６Ａがワイピングされる際に、被覆部材９４の磨耗、削れ、剥離が防止される。
【０１０５】
図１２は、図１１（ａ）から（ｃ）に示す引出配線の形成手順の他の態様を示す説明図であり、引出配線としてフレキシブル基板９１が適用される。フレキシブル基板９１は、基材（樹脂層）９１Ａに配線パターン（配線層）９１Ｂが形成され構造を有し、配線パターン９１Ｂは不図示の絶縁層により被覆されている。
【０１０６】
図１２（ａ）に示すノズルプレート１６’は、端部の角が面取りされた（斜めにカットされた）傾斜部１７が形成されており、この傾斜面に取出電極９２が形成されている。フレキシブル基板９１の端部は、ノズルプレート１６’の傾斜部１７に対応する傾斜形状とされ、該傾斜形状に配線パターン９１Ｂの端部が露出している。
【０１０７】
ノズルプレート１６’の傾斜部１７にフレキシブル基板９１の傾斜形状がはめ合わされ、ノズルプレート１６’の取出電極９２とフレキシブル基板９１の配線パターン９１Ｂが位置合わせをされ、ノズルプレート１６’にフレキシブル基板９１が接合される。フレキシブル基板９１は、支持部材９５により裏側面（インク吐出面１６Ａ側に露出しない面）を支持される。支持部材９５には、樹脂材料を適用することができる。
【０１０８】
図１２（ａ）に示す態様によれば、ノズルプレート１６’にフレキシブル基板９１を接合した状態で、ノズルプレート１６’のインク吐出面１６Ａからフレキシブル基板９１が出張ることがない。
【０１０９】
また、図１２（ｂ）に図示するように、フレキシブル基板９１を保護するカバー９６を取り付けることで、インク吐出面１６Ａがワイピングされる際のフレキシブル基板９１の磨耗、削れ、剥離が防止される。
【０１１０】
図１３（ａ），（ｂ）は、引出配線９０、フレキシブル基板９１の引出方向を模式的に図示した説明図である。図１３（ａ）は、複数のヘッドユニット１２が一列につなぎ合わせられたインクジェットヘッド１０における引出配線９０（フレキシブル基板９１）の引出方向を示している。
【０１１１】
図１３（ａ）に示すインクジェットヘッド１０は、隣接するヘッドユニット１２間の隙間は数百マイクロメートルであり、ここから引出配線９０（フレキシブル基板９１）を引き出すことができない。したがって、各ヘッドユニット１２（インクジェットヘッド１０）の短手方向の両端から引出配線９０（フレキシブル基板９１）が引き出される。
【０１１２】
かかる態様によれば、引出配線９０（フレキシブル基板９１）に機械的なストレスをかけることなく、引出配線９０（フレキシブル基板９１）を接合することができる。
【０１１３】
図１３（ｂ）に示す、複数のヘッドユニット１２が二列の千鳥配置されたインクジェットヘッド１０’では、各ヘッドユニット１２（インクジェットヘッド１０’）の長手方向の両端から引出配線９０（フレキシブル基板９１）を引き出すことも可能である。
【０１１４】
かかる態様によれば、ヘッドユニット１２間の隙間の有効利用が可能となる。
【０１１５】
〔インクジェットヘッドの立体構造例〕
図１４（ａ），（ｂ）は、インクジェットヘッド１０の立体構造の一例を示す断面図であり、図１４（ａ）は圧電方式が適用される例であり、図１４（ｂ）はサーマル方式が適用される例である。なお、図１４（ａ），（ｂ）でもインク吐出方向が上向きに図示されている。
【０１１６】
図１４（ａ）に示す圧電方式は、圧力室２７の一壁面（天井面）を構成する振動板２９の圧力室２７に対応する位置に圧電素子３１が設けられている。圧電素子３１の不図示の個別電極と共通電極との間に駆動電圧が印加されると、圧電素子３１がたわみ変形して圧力室２７を収縮させる。
【０１１７】
そうすると、ノズル開口１８から圧力室２７の体積減少分に対応する体積のインクが吐出される。圧電素子３１をたわみ変形した状態から元の状態に復帰させると、不図示の供給口を介して共通流路６９（図７（ａ），（ｂ）参照）から圧力室２７へインクが充填される。
【０１１８】
図１４（ｂ）に示すサーマル方式は、ノズル２６と連通する液室２７’の内部にヒータ３１’が設けられる。ヒータ３１’を加熱して膜沸騰現象を発生させると、液室２７’内のインクがノズル開口１８から吐出される。なお、インクの吐出方式は圧電方式及びサーマル方式に限定されず、他の方式を適用することができる。
【０１１９】
なお、図１４（ａ）に図示したインクジェットヘッド１０、及び図４（ｂ）に図示したインクジェットヘッド１０’において、ノズル２６が省略される態様も可能である。
【０１２０】
なお、図８から図１１を用いて説明した検知用電気配線２０，２２の形状、図１２，１３を用いて説明した引出配線、図１４を用いて説明したインクジェットヘッドの立体構造は、第１から第３実施形態のいずれにも適用可能である。
【０１２１】
〔装置構成例〕
次に、先に説明したインクジェットヘッド１０（１０’，４０，６０）を備えたインクジェット記録装置１００について説明する。
【０１２２】
（全体構成）
図１５は、本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置（液体吐出装置）の概略構成を示す全体構成図である。同図に示すインクジェット記録装置１００は、記録媒体１１４を圧胴の外周面に保持して搬送する圧胴搬送方式が適用される。
【０１２３】
また、記録媒体１１４にインクを吐出させるインクジェットヘッド１４８Ｍ，１４８Ｋ，１４８Ｃ，１４８Ｙは、ノズル面が圧胴（描画胴１４４）の外周面の法線に対して直交するように、水平面に対して斜めに傾けられて配置される。インクジェットヘッド１４８Ｍ，１４８Ｋ，１４８Ｃ，１４８Ｙには、先に説明したインクジェットヘッド１０（１０’，４０，６０）が適用される。
【０１２４】
図１５に示すインクジェット記録装置１００は、画像形成前の記録媒体１１４が収納される記録媒体収納部１２０と、記録媒体収納部１２０から送り出された記録媒体１１４に処理液を塗布する処理液塗布部１３０と、処理液が塗布された記録媒体１１４にカラーインクを吐出させて、所望のカラー画像を形成する描画部１４０と、カラー画像が形成された記録媒体１１４を乾燥させる乾燥処理部１５０と、乾燥処理後の記録媒体１１４に対して定着処理を施す定着処理部１６０と、定着処理後の記録媒体１１４を排出させる排出部１７０と、を備えている。
【０１２５】
給紙トレイ１２２を介して渡し胴１３２に受け渡された記録媒体１１４は、処理液胴１３４のグリッパー１８０Ａ，１８０Ｂに先端部を挟持され、処理液胴１３４に支持されて、処理液胴１３４の回転に従って処理液胴１３４の外周面に沿って搬送される。
【０１２６】
処理液胴１３４により回転搬送される記録媒体１１４は、処理液胴１３４の外周面と対向する位置に配置される処理液塗布装置１３６の処理領域に達すると、画像が形成される面に処理液を塗布される。処理液塗布装置１３６により塗布される処理液は、インクジェットヘッド１４８Ｍ，１４８Ｋ，１４８Ｃ，１４８Ｙから吐出されるカラーインクと反応して、カラーインクに含まれる着色剤を凝集又は不溶化させる機能を有している。
【０１２７】
処理液が塗布された記録媒体１１４は、渡し胴１４２を介して描画胴１４４へ受け渡され、描画胴１４４の外周面に保持されて、描画胴１４４の外周面に沿って回転搬送される。
【０１２８】
インクジェットヘッド１４８Ｍ，１４８Ｋ，１４８Ｃ，１４８Ｙの記録媒体搬送方向上流側の直前には用紙押さえローラ１４６が配置されており、インクジェットヘッド１４８Ｍ，１４８Ｋ，１４８Ｃ，１４８Ｙの直下に進入する直前に用紙押さえローラ１４６により記録媒体１１４を描画胴１４４の外周面へ密着させるように構成される。
【０１２９】
描画胴１４４によって回転搬送される記録媒体１１４は、インクジェットヘッド１４８Ｍ，１４８Ｋ，１４８Ｃ，１４８Ｙからカラーインクが吐出され、処理液が塗布された画像形成面にカラー画像が形成される。
【０１３０】
インクジェットヘッド１４８Ｍ，１４８Ｋ，１４８Ｃ，１４８Ｙは、図１や図１３に図示したように、複数のヘッドユニット１２がインクジェットヘッド１４８Ｍ，１４８Ｋ，１４８Ｃ，１４８Ｙの長手方向に沿って一列につなぎ合わせられた構造を有している。
【０１３１】
カラー画像が形成された記録媒体１１４は、渡し胴１５２を介して乾燥胴１５４へ受け渡され、乾燥胴１５４の外周面に支持されて、乾燥胴１５４の回転に従って乾燥胴１５４の外周面に沿って回転搬送される。
【０１３２】
乾燥胴１５４により回転搬送される記録媒体１１４は、乾燥処理装置１５６から乾燥処理が施される。乾燥処理には、ヒータによる加熱、ファンによる乾燥風（加熱風）の吹きつけ、又はこれらの組み合わせが適用される。
【０１３３】
乾燥処理が施された記録媒体１１４は、渡し胴１６２を介して定着胴１６４へ受け渡される。定着胴１６４に受け渡された記録媒体１１４は、乾燥胴１５４の外周面に保持されて、乾燥胴１５４の回転に従って乾燥胴１５４の外周面に沿って回転搬送される。
【０１３４】
乾燥胴１５４により回転搬送される記録媒体１１４上に形成された画像は、ヒータ１６６により加熱処理が施されるとともに、定着ローラ１６８により加圧処理が施される。定着ローラ１６８の記録媒体搬送方向下流側に設けられるインラインセンサ１８２は、加熱及び加圧による定着処理が施された記録媒体１１４（画像）を撮像する手段であり、インラインセンサ１８２の撮像結果に基づいて、インクジェットヘッド１４８Ｍ，１４８Ｋ，１４８Ｃ，１４８Ｙの吐出異常が判断される。
【０１３５】
インラインセンサ１８２による撮像領域を通過した記録媒体１１４は、排出部１７０へ送られる。排出部１７０は、張架ローラ１７２Ａ，１７２Ｂに巻き掛けられたチェーン１７４により記録媒体１１４をストッカー１７６へ搬送するように構成されている。
【０１３６】
（印字部の構成）
描画部１４０に具備されるインクジェットヘッド１４８Ｍ，１４８Ｋ，１４８Ｃ，１４８Ｙは、記録媒体１１４の全幅を超える長さにわたって複数のノズルが配置されたフルライン型のインクジェットヘッドである。また、インクジェットヘッド１４８Ｍ，１４８Ｋ，１４８Ｃ，１４８Ｙは、複数のヘッドモジュールを長手方向につなぎ合わせた構造を有している（図１、１３参照）。
【０１３７】
図１５に示すインクジェットヘッド１４８Ｍ，１４８Ｋ，１４８Ｃ，１４８Ｙは、記録媒体搬送方向の上流側からこの順番で配置されている。フルライン型のインクジェットヘッド１４８Ｍ，１４８Ｋ，１４８Ｃ，１４８Ｙと記録媒体１１４とを相対的に一回だけ移動させるシングルパス方式により、記録媒体１１４の全域にわたって記録画像を記録することができる。
【０１３８】
なお、描画部１４０は上述した形態に限定されない。例えば、ＬＣ（ライトシアン）やＬＭ（ライトマゼンタ）に対応するインクジェットヘッドを具備してもよい。また、インクジェットヘッド１４８Ｍ，１４８Ｋ，１４８Ｃ，１４８Ｙの配置順も適宜変更可能である。
【０１３９】
インクジェットヘッド１４８Ｍ，１４８Ｋ，１４８Ｃ，１４８Ｙは、図１４（ａ）に図示した圧電方式を適用してもよいし、図１４（ｂ）に図示したサーマル方式を適用してもよい。
【０１４０】
（制御系の構成）
図１６は、インクジェット記録装置１００の制御系の概略構成を示すブロック図である。同図に示すように、インクジェット記録装置１００は、通信インターフェース２７０、システム制御部２７２、搬送制御部２７４、画像処理部２７６、ヘッド駆動部２７８を備えるとともに、画像メモリ２８０、ＲＯＭ２８２を備えている。
【０１４１】
また、インクジェットヘッド１４８（図１５に図示したインクジェットヘッド１４８Ｍ，１４８Ｋ，１４８Ｃ，１４８Ｙをまとめて、符号１４８を付して図示）のノズルプレート１６（図２参照）に形成された検知用電気配線２０，２２の抵抗値を測定する抵抗値測定回路２９３と、検知用電気配線２０，２２の基準抵抗値のデータが記憶される抵抗値記憶部２９４と、抵抗値測定回路２９３により測定された検知用電気配線２０，２２の抵抗値のデータに基づいて、ノズルプレート１６の機械的な異常の有無を判断する異常判断部２９５と、ノズルプレート１６に機械的な異常が発生した旨を報知する異常報知部２９６と、を備えている。
【０１４２】
通信インターフェース２７０は、ホストコンピュータ２８４から送られてくるラスター画像データを受信するインターフェース部である。通信インターフェース２７０は、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）などのシリアルインターフェースを適用してもよいし、セントロニクスなどのパラレルインターフェースを適用してもよい。通信インターフェース２７０は、通信を高速化するためのバッファメモリ（不図示）を搭載してもよい。
【０１４３】
システム制御部２７２は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）及びその周辺回路等から構成され、所定のプログラムに従ってインクジェット記録装置１００の全体を制御する制御装置として機能するとともに、各種演算を行う演算装置として機能し、さらに、画像メモリ２８０及びＲＯＭ２８２のメモリコントローラとして機能する。
【０１４４】
すなわち、システム制御部２７２は、通信インターフェース２７０、搬送制御部２７４等の各部を制御し、ホストコンピュータ２８４との間の通信制御、画像メモリ２８０及びＲＯＭ２８２の読み書き制御等を行うとともに、上記の各部を制御する制御信号を生成する。
【０１４５】
ホストコンピュータ２８４から送出された画像データは通信インターフェース２７０を介してインクジェット記録装置１００に取り込まれ、画像処理部２７６によって所定の画像処理が施される。
【０１４６】
画像処理部２７６は、画像データから印字制御用の信号を生成するための各種加工、補正などの処理を行う信号（画像）処理機能を有し、生成した印字データ（ドットデータ）をヘッド駆動部２７８に供給する制御部である。
【０１４７】
画像処理部２７６において所要の信号処理が施されると、該印字データ（ハーフトーン画像データ）に基づいて、ヘッド駆動部２７８を介してインクジェットヘッド１４８の吐出液滴量（打滴量）や吐出タイミングの制御が行われる。なお、ヘッド駆動部２７８は、ヘッドユニット１２ごとに複数のブロックから構成されていてもよい。
【０１４８】
これにより、所望のドットサイズやドット配置が実現される。なお、図１６に示すヘッド駆動部２７８には、インクジェットヘッド１４８の駆動条件を一定に保つためのフィードバック制御系を含んでいてもよい。
【０１４９】
搬送制御部２７４は、画像処理部２７６により生成された印字データに基づいて記録媒体１１４（図１５参照）の搬送タイミング及び搬送速度を制御する。図１６における搬送駆動部１８６は、記録媒体１１４を搬送する圧胴１３４，１４４，１５４，１６４及び渡し胴１３２，１４２，１５２，１６２を駆動するモータが含まれており、搬送制御部２７４は該モータのドライバーとして機能している。
【０１５０】
画像メモリ（一時記憶メモリ）２８０は、通信インターフェース２７０を介して入力された画像データを一旦格納する一時記憶手段としての機能や、ＲＯＭ２８２に記憶されている各種プログラムの展開領域及びＣＰＵの演算作業領域（例えば、画像処理部２７６の作業領域）としての機能を有している。画像メモリ２８０には、逐次読み書きが可能な揮発性メモリ（ＲＡＭ）が用いられる。
【０１５１】
ＲＯＭ２８２は、システム制御部２７２のＣＰＵが実行するプログラムや、装置各部の制御に必要な各種データ、制御パラメータなどが格納されており、システム制御部２７２を通じてデータの読み書きが行われる。ＲＯＭ２８２は、半導体素子からなるメモリに限らず、ハードディスクなど磁気媒体を用いてもよい。また、外部インターフェースを備え、着脱可能な記憶媒体を用いてもよい。
【０１５２】
メンテナンス処理部２８５は、インクジェットヘッド１４８のメンテナンス処理を実行するブロックである。インクジェットヘッド１４８のメンテナンス処理のとして、インク吐出面１６Ａ（図２参照）の洗浄処理、圧電素子３１（図１４（ａ）参照）やヒータ３１’（図１４（ｂ）参照）を動作させて、ノズル２６（図２参照）からインクを排出させるパージ（予備吐出）処理、キャップ（不図示）をインク吐出面１６Ａへ密着させて、ノズル２６からインクを吸引して排出させる吸引処理が挙げられる。
【０１５３】
メンテナンス処理が開始されると、システム制御部２７２から送られる指令信号によって、インクジェットヘッド１４８を描画胴１４４（図１５参照）の外周面に対向する描画位置からメンテナンス位置へ移動させ、インクジェットヘッド１４８に対して上記の処理が施される。
【０１５４】
インクジェットヘッド１４８に対する上記処理が終了すると、インクジェットヘッド１４８をメンテナンス位置から描画位置へ移動させる。インクジェットヘッド１４８のメンテナンスは、ジョブ間のインターバル中やジョブ開始時などに定期的に実行してもよいし、不図示のユーザインターフェイスを用いてオペレータによる入力を受けて実行してもよい。
【０１５５】
バルブ制御部２８７は、システム制御部２７２から送られる指令信号に基づいて、インク等の液体流路や真空流路などの設けられるバルブ２８８の開閉を制御する。なお、図１６のバルブ２８８は、インクジェット記録装置１００に具備される複数のバルブがまとめて図示されている。
【０１５６】
ポンプ制御部２８９は、システム制御部２７２から送られる指令信号に基づいて、インク等の液体流路や真空流路などの設けられるポンプ２９１の動作（オンオフ、流量）を制御する。なお、図１６のポンプ２９１は、インクジェット記録装置１００に具備される複数のポンプがまとめて図示されている。
【０１５７】
パラメータ記憶部２９０は、インクジェット記録装置１００の動作に必要な各種制御パラメータが記憶されている。システム制御部２７２は、制御に必要なパラメータを適宜読み出すとともに、必要に応じて各種パラメータの更新（書換）を実行する。パラメータ記憶部２９０は、検知用電気配線２０，２２の基準抵抗値が記憶されている。
【０１５８】
プログラム格納部２９２は、インクジェット記録装置１００を動作させるための制御プログラムが格納されている記憶手段である。システム制御部２７２（又は装置各部）は、装置各部の制御を実行する際にプログラム格納部２９２から必要な制御プログラムが読み出され、該制御プログラムは適宜実行される。
【０１５９】
抵抗値測定回路２９３は、インクジェットヘッド１４８のノズルプレート１６（図２参照）に形成された検知用電気配線２０，２２の抵抗値を検知する手段である。すなわち、抵抗値測定回路２９３の入力部は、引出配線９０（図１１参照）又はフレキシブル基板９１（図１２参照）を介して検知用電気配線２０，２２と電気的に接続される。
【０１６０】
抵抗値測定回路２９３は、所定のサンプリング周期に応じて、ノズルプレート１６に形成される複数の検知用電気配線２０，２２の抵抗値を個別に測定する。抵抗値測定回路２９３によるノズルプレート１６に形成された検知用電気配線２０，２２の抵抗値の測定は、インクジェットヘッドの稼動中（描画中）、停止中（待機中、メンテナンス中）、装置の稼動開始時、及び終了時など、常時実行される。
【０１６１】
測定結果された検知用電気配線２０，２２ごとの抵抗値のデータは、抵抗値記憶部２９４へ格納される。複数のヘッドユニット１２を備える態様では、複数のヘッドユニット１２の中のどのヘッドユニット１２（ノズルプレート１６）に異常が発生しているかが特定される。
【０１６２】
なお、パラメータ記憶部２９０に記憶されている検知用電気配線２０，２２の基準抵抗値を抵抗値測定回路２９３よって測定された各検知用電気配線２０，２２の抵抗値に定期的に書き換えるように構成してもよい。
【０１６３】
異常判断部２９５は、抵抗値記憶部２９４に格納されている各検知用電気配線２０，２２の抵抗値の測定値と、パラメータ記憶部２９０に記憶されている検知用電気配線２０，２２の基準抵抗値と比較し、各検知用電気配線２０，２２の抵抗値の測定値が検知用電気配線２０，２２の基準抵抗値未満の場合は、ノズルプレート１６の割れや変形などの機械的な異常が発生していると判断し、その判断結果をシステム制御部２７２へ送出する。
【０１６４】
異常判断部２９５によって、割れや変形などの機械的な異常が発生しているノズルプレート１６が発見されると、システム制御部２７２は異常が発生しているノズルプレート１６の情報を異常報知部２９６へ送出する。
【０１６５】
また、第２実施形態（図６）に示す態様では、ノズルプレート４２のどの位置に異常が発生しているかが特定され、異常が発生している位置の情報が合わせてシステム制御部２７２へ送られる。
【０１６６】
異常報知部２９６は、システム制御部２７２からノズルプレート１６の割れや変形などの機械的な異常が発生している旨の情報を取得すると、その旨を報知する。異常報知部２９６による報知の形態には、アラーム音、音声、文字、ランプの点灯（点滅）などが挙げられる。
【０１６７】
例えば、モニタ装置を備える構成では、複数のヘッドユニット１２のいずれに異常が発生しているかの情報を図形や画像により表示することができる。
【０１６８】
異常が発生しているノズルプレート１６が発見されると、システム制御部２７２は以下の処理を実行するために、装置各部へ指令信号を送出する。すなわち、システム制御部２７２は、ノズルプレート１６の機械的な異常が発生した場合に、装置各部の二次的な災害を防止するために、装置各部に特定のシーケンスを実行させる異常処理手段として機能する。
【０１６９】
（１）インクジェットヘッド１４８を上下方向に移動させる上下移動部を動作させて、インクジェットヘッド１４８を上方へ移動させて、記録媒体から離す。
【０１７０】
（２）ヘッド駆動部２７８へ指令信号を送出して、異常と判断されたノズルプレート１６を有するヘッドユニット１２に対する駆動信号を停止させ、当該ヘッドユニット１２からの異常吐出の発生を防止する。
【０１７１】
（３）異常と判断されたノズルプレート１６を有するヘッドユニット１２の電源をオフにし、駆動回路基板（ヘッド駆動部２７８等が搭載される基板）への影響を防止する。
【０１７２】
（４）バルブ制御部２８７へ指令信号を送出して、異常と判断されたノズルプレート１６を有するヘッドユニット１２へのインク供給を遮断し、インクの漏れを防止する。
【０１７３】
（５）メンテナンス処理部２８５へ指令信号を送出して、インクジェットヘッド１４８のメンテナンス中であれば、異常と判断されたノズルプレート１６を有するヘッドユニット１２のメンテナンス処理を実行せず、他のヘッドユニット１２へのダメージを防止する。
【０１７４】
すなわち、ノズルプレート１６の割れによる破片、ゴミなどがノズルプレート１６に付着した状態でインク吐出面１６Ａのワイピングがされると、その破片等がワイピング部材に付着し、他のヘッドユニット１２のインク吐出面１６Ａをワイピングしたときにキズを付けてしまうおそれがある。
【０１７５】
このように、ノズルプレート１６の異常が発見されると、ノズルプレート１６の異常に起因するトラブル（インク漏れ、駆動回路の故障等）を未然に回避すべく、装置各部へ所定の処理を実行するため指令信号が送出される。
【０１７６】
図１７は、上述したノズルプレート１６の異常検知方法の制御の流れを示すフローチャートである。先に説明したように、少なくとも装置が稼動している期間は、抵抗値測定回路２９３によってノズルプレート１６に形成された検知用電気配線２０，２２の抵抗値が所定のサンプリング周期に基づいて測定される（ステップＳ１０）。
【０１７７】
各検知用電気配線２０，２２の抵抗値が基準抵抗値未満であれば（ＮＯ判定）、検知用電気配線２０，２２の測定が継続される（ステップＳ１０）。一方、ステップＳ１２において、各検知用電気配線２０，２２の抵抗値が基準抵抗値以上であると判断されると（ＹＥＳ判定）、異常報知部２９６によりアラームが出され（ステップＳ１４）、異常が発生しているノズルプレート１６を有するヘッドユニット１２の電源がオフにされる（ステップＳ１６）。
【０１７８】
その後、ステップＳ１８に進み、描画中（インクジェットヘッド１４８の稼働中）であるか否かが判断され、描画中であれば（ＹＥＳ判定）、記録媒体（用紙）の搬送が停止され（ステップＳ２０）、該当のヘッドユニット１２へのインク供給が停止される（ステップＳ２２）。
【０１７９】
その後、インクジェットヘッド１４８を描画位置からメンテナンス位置へ移動させ（ステップＳ２４）、インクジェットヘッド１４８メンテナンスを実行するか否かが判断される（ステップＳ２６）。ステップＳ２６において、メンテナンスを実行すると判断されると（ＹＥＳ判定）、異常と判断されたノズルプレート１６を有するヘッドユニット１２以外のヘッドユニット１２のメンテナンス処理が実行され（ステップＳ２８）、インクジェットヘッド１４８を待機状態へ遷移させる（ステップＳ３０）。
【０１８０】
一方、ステップＳ２６において、インクジェットヘッド１４８のメンテナンスを実行しないと判断されると（ＮＯ判定）、インクジェットヘッド１４８を待機状態へ遷移させる（ステップＳ３０）。この状態で、異常と判断されたノズルプレート１６を有するヘッドユニット１２以外のヘッドユニット１２の交換を行うことが可能となる。
【０１８１】
ステップＳ１８において、描画中でないと判断されると（ＮＯ判定）、異常と判断されたノズルプレート１６を有するヘッドユニット１２へインクが供給されているか否かが判断される（ステップＳ３２）。インクが供給されている場合は（ＹＥＳ判定）、ステップＳ２２に進み、インク供給が停止され、ステップＳ２４からステップＳ３０の処理が実行される。
【０１８２】
一方、インク供給がされていない場合は（ＮＯ判定）、ステップＳ３４に進み、インクジェットヘッド１４８の位置が確認され、描画位置であるか、メンテナンス位置であるかが判断される（ステップＳ３６）。ステップＳ３６において、インクジェットヘッド１４８が描画位置であると判断されると（ＮＯ判定）、ステップＳ２４に進み、インクジェットヘッド１４８をメンテナンス位置へ移動させ、ステップＳ２６からステップＳ３０の処理が実行される。
【０１８３】
ステップＳ３６において、インクジェットヘッド１４８の位置がメンテナンス位置であると判断されると（ＹＥＳ判定）、ステップＳ２６に進み、ステップＳ２６からステップＳ３０の処理が実行される。
【０１８４】
かかるノズルプレートの異常検知方法を実行させるプログラムは、図１６のプログラム格納部２９２に格納されている。システム制御部２７２は、プログラム格納部２９２から当該実行プログラムを適宜読み出して、上記したノズルプレートの異常検知方法を実行する。
【０１８５】
上記の如く構成されたインクジェット記録装置１００によれば、インクジェットヘッド１４８に具備されるヘッドユニット１２のノズルプレート１６に検知用電気配線２０，２２が形成され、検知用電気配線２０，２２の抵抗値の変化に基づいて、ノズルプレート１６の割れや変形などの機械的な異常が発生しているか否かが判断される。異常が発生しているノズルプレート１６が発見されると、その旨が報知されるとともに、インクジェットヘッド１４８の退避、インク供給の停止、駆動電圧印加停止等の処理が実行され、ノズルプレート１６の異常に起因する装置各部への影響を最小限に食い止められる。
【０１８６】
また、装置を速やかに停止させて、異常が発生しているノズルプレート１６を有するヘッドユニット１２を交換することができる。
【０１８７】
本装置構成例では、記録媒体を描画胴１４４の外周面に保持して搬送する圧胴搬送方式を例示したが、本発明は記録媒体を直線状に搬送する形態への適用も可能である。なお、圧胴搬送方式では、記録媒体の端部の浮きによるインクジェットヘッド１４８（インク吐出面１６Ａ）への衝突が起こりやすく、インク吐出面１６Ａへ記録媒体１１４が衝突すると、ノズルプレート１６の機械的な異常が発生しやすいといえるので、特に、圧胴搬送方式が適用される構成に対して大きな効果を発揮しうる。
【０１８８】
本例では、主として第１実施形態に係るインクジェットヘッド１０（１０’）と同様の構成を具備するインクジェット記録装置１００について説明したが、第２実施形態に係るインクジェットヘッド４０や、第３実施形態に係るインクジェットヘッド６０を適用することも可能である。
【０１８９】
また、第１〜第３実施形態に係るインクジェットヘッド１０，１０’、４０，６０を適宜組み合わせた態様も好ましい。
【０１９０】
〔第４実施形態〕
次に、本発明第４実施形態について説明する。図１８（ａ）は、本発明の第４実施形態に係るインクジェットヘッドの立体構造を示す断面図であり、図１８（ｂ）は該インクジェットヘッドの１ノズル分の平面図透視図である。
【０１９１】
図１８（ａ），（ｂ）に示すインクジェットヘッド３００は、ノズルプレート３１６の割れや変形等の機械的な異常を検知するための手段として、圧電素子３２０が具備されている。
【０１９２】
圧電素子３２０は、ノズルプレート３１６と流路プレート３２４との間に設けられており、ノズルプレート３１６側の面に第１の電極３２０Ａが形成され、流路プレート３２４側の面に第２の電極３２０Ｂが形成されている。第１の電極３２０Ａ及び第２の電極は、ノズルプレート３１６に形成された配線を介して、ノズルプレート３１６の端部に形成される取出電極（不図示）と電気的に接続される。
【０１９３】
圧電素子３２０、第１の電極３２０Ａ、第２の電極３２０Ｂがノズル３２６内のインクに接触すると性能が劣化してしまうので、樹脂等の保護部材３２８により覆われている。なお、圧電素子３２０を接着する接着剤により被覆して、圧電素子３２０を保護することも可能である。
【０１９４】
ノズルプレート３１６に衝撃が与えられると、圧電素子３２０の第１の電極３２０Ａと第２の電極３２０Ｂとの間に圧電素子３２０に与えられた力に比例した電気信号が発生する。すなわち、圧電素子３２０の電極間に発生した電気信号を常時監視することで、該電気信号の変動によってノズルプレート３１６の機械的な異常が発生したか否かを判断することができる。
【０１９５】
なお、ノズルプレート３１６の機械的な異常を検知する手段として圧電素子３２０を備える態様では、図１６の抵抗値測定回路２９３に代わり、圧電素子３２０の発生電圧を測定する電圧測定回路を備え、抵抗値記憶部２９４に代わり圧電素子の基準電圧を記憶しておく基準電圧記憶部を備え、異常判断部２９５は電圧測定値と基準電圧値を比較して、電圧測定値が基準電圧値以上の場合にノズルプレート３１６に異常が発生したと判断することができる。
【０１９６】
図１８（ａ），（ｂ）には、ノズルプレート３１６のインク吐出面３１６Ａと反対側の面３１６Ｂに圧電素子３２０が配設される態様を例示したが、圧電素子３２０はインク吐出面３１６Ａに配設されてもよい。圧電素子３２０がインク吐出面側に配設される場合には、圧電素子３２０（電極）が露出しないように、保護膜により圧電素子３２０が被覆される。
【０１９７】
圧電素子３２０は、ノズルプレート３１６の全面に設けられていてもよいし、図２等に示す検知用電気配線２０，２２のようにパターンニングされ、ノズルプレート３１６の一部に設けられていてもよい。
【０１９８】
本例では、ノズルプレート３１６に与えられる衝撃を電気信号に変換する機械‐電気変換素子として圧電素子３２０を例示したが、各種振動センサ、歪センサを適用することも可能である。
【０１９９】
〔応用例〕
図１９は、本発明の第４実施形態の応用例の説明図である。図１８（ａ），（ｂ）に示すように、ノズルプレート３１６のインク吐出面３１６Ａと反対側の面３１６Ｂに圧電素子３２０が設けられる態様では、ノズルプレート３１６と流路プレート３２４とを接合する際の加重を圧電素子３２０により測定することができる。
【０２００】
ノズルプレート３１６と流路プレート３２４とを接合する際の加重を測定しながら、ノズルプレート３１６と流路プレート３２４との加重が均一になるように補正することで、ノズルプレート３１６と流路プレート３２４との均一に接合させることができる。
【０２０１】
例えば、図１９に示すように、圧電素子３２０の電極（不図示）に予め外部の測定器３９３を接続すると、外部の測定器３９３による測定値をモニタとして、ノズルプレート３１６と流路プレート３２４との接合時の加重を把握することができる。
【０２０２】
なお、本発明の適用範囲は、記録媒体上にカラー画像を形成するインクジェット記録装置に限定されない。例えば、樹脂粒子や金属粒子を含有する機能性液体により、所定のパターン（マスクパターン、配線パターン）を形成するパターン形成装置なと、インクジェットヘッドを備えた液体吐出装置に広く適用することが可能である。
【０２０３】
〔付記〕
上記に詳述した発明の実施形態についての記載から把握されるとおり、本明細書は少なくとも以下に示す発明を含む多様な技術思想の開示を含んでいる。
【０２０４】
（第１態様）：液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレートと、少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートの開口が前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートと、を備え、前記ノズルプレートは、前記ノズルプレートの機械的な異常を検知するための検知素子が設けられる液体吐出ヘッド。
【０２０５】
第１態様によれば、ノズルプレートの割れや変形などの機械的な異常を検知することで、液体吐出ヘッドの動作停止などの必要な処理を行うことができ、ノズルプレートの機械的な変形による被害を最小限に食い止めることが可能となる。
【０２０６】
「ノズルプレートの機械的な異常」とは、ノズルプレートの割れ、欠け、歪み等のノズルプレートが受ける機械的な衝撃、応力によって起こる損傷である。
【０２０７】
検知素子はノズルプレートの全面に設けられていてもよいし、ノズルプレートの一部に設けられていてもよい。
【０２０８】
「流路」とは、ノズル開口と連通するノズル流路、ノズル流路と連通する圧力室など、液体が通過する構造が含まれる概念である。
【０２０９】
（第２態様）：前記検知素子は、前記ノズルプレートの前記流路プレートと接合される第１の面に形成される電気配線、及び前記第１の面の反対側の第２の面に形成される電気配線の少なくともいずれか一方を含む態様が好ましい。
【０２１０】
かかる態様によれば、電気配線の抵抗値の変化に基づき、ノズルプレートの機械的な異常を把握することができる。
【０２１１】
（第３態様）：前記第１の面に形成される電気配線の始端と終端とを結ぶ線分の方向と、前記第２の面に形成される電気配線の始端と終端とを結ぶ線分の方向と、は交差する態様が好ましい。
【０２１２】
かかる態様によれば、ノズルプレートの第１の面及び第２の面に別々に検知用の電気配線を形成し、さらに第１の面の電気配線と第２の面の電気配線とを交差する方向に形成することで、ノズルプレートの面方向について発生する機械的な異常を把握することができる。
【０２１３】
（第４態様）：電気的絶縁性能を有し、前記第２の面に形成された電気配線を被覆する第１の絶縁層を備える態様が好ましい。
【０２１４】
かかる態様によれば、ノズルプレートに形成されたノズル開口から吐出される液体による電気配線の絶縁不良や腐食を防止することができる。
【０２１５】
（第５態様）：前記ノズルプレートは導電性を有し、前記ノズルプレートと前記電気配線との間に電気的絶縁性能を有する第２の絶縁層を備える態様が好ましい。
【０２１６】
かかる態様によれば、ノズルプレートが導電性部材の場合や、ノズルプレートに他の電気配線が形成される場合にも、ノズルプレートや他の電気配線との電気的絶縁性能が確保される。
【０２１７】
（第６態様）：前記流路プレートは、前記ノズルプレートのノズル開口と連通する液室及び前記液室と連通する流路を有し、前記電気配線は、前記流路の形成方向と交差する方向に沿って形成される態様が好ましい。
【０２１８】
かかる態様によれば、ノズルプレートの背面に流路が形成される場合には、ノズルプレートの流路に対応する位置に割れや変形が生じやく、割れや変形が生じやすい部分に検知用の電気配線を形成することで、ノズルプレートの割れや変形の検知精度を向上させることができる。
【０２１９】
（第７態様）：前記電気配線は、最大幅となる部分を含む幅広部、及び前記幅広部の幅未満の幅を有する幅細部を具備する形状を有する態様が好ましい。
【０２２０】
かかる態様によれば、幅細部は変形や断線が生じやすいので、検知の感度を向上させることができる。
【０２２１】
（第８態様）：前記流路プレートは、前記ノズルプレートのノズル開口と連通する液室及び前記液室と連通する流路を有し、前記電気配線は、前記流路の形成方向と交差する方向に沿って形成され、前記電気配線は、最大幅となる部分を含む幅広部、及び前記幅広部の幅未満の幅を有する幅細部を具備する形状を有し、前記幅細部は、前記流路に対応する位置に形成される態様が好ましい。
【０２２２】
かかる態様によれば、ノズルプレートの割れ等が発生しやすい、背面に流路が形成されている位置に検知感度が高い幅細部を形成することで、より精度が高く、感度が高い検知が可能となる。
【０２２３】
（第９態様）：前記検知素子は、前記ノズルプレートの前記流路プレートと接合される第１の面及び前記第１の面の反対側の第２の面の少なくともいずれか一方に形成される電歪素子を含む態様が好ましい。
【０２２４】
かかる態様によれば、ノズルプレートの機械的な異常に起因して圧電素子に機械的な変形が生じることで、電歪素子から電気信号が発生されるので、かかる電気信号に基づいて、ノズルプレートの機械的な異常が検知される。
【０２２５】
かかる態様における「電歪素子」の一例として、一方の面に第１の電極を備えるとともに、他方の面に第２の電極を備える圧電素子が挙げられる。
【０２２６】
（第１０態様）：前記ノズルプレートは、前記検知素子から得られた電気信号を伝送する引出配線が接合される電気信号取出部を備える態様が好ましい。
【０２２７】
かかる態様において、ノズルプレートには、検知素子と電気信号取出部と電気的に接続させる配線パターンが形成される。
【０２２８】
（第１１態様）：前記電気信号取出部は、前記ノズルプレートの端部の角部が面取りされた傾斜面に形成され、前記引出配線は、前記ノズルプレートとの接合部分に前記ノズルプレートの傾斜面に対応する形状を有する態様が好ましい。
【０２２９】
かかる態様によれば、ノズルプレートの引出配線が取り付けられる面から引き出し配線が出張らない。
【０２３０】
（第１２態様）：前記電気信号取出部を被覆するカバー部材を備える態様が好ましい。
【０２３１】
かかる態様によれば、ノズルプレートのワイピング等による電気信号取出部の破損は防止される。
【０２３２】
（第１３態様）：前記液体吐出ヘッドは、長手方向について複数のヘッドユニットを一列につなぎ合わせた構造を有し、前記引出配線は、前記ヘッドユニットごとに前記液体吐出ヘッドの短手方向の端部に接合される態様が好ましい。
【０２３３】
かかる態様によれば、隣接するヘッドユニットの間隔が狭く、引出配線を接合するスペースがない場合でも、引出配線に機械的なストレスかけることなく接合することが可能である。
【０２３４】
（第１４態様）：前記液体吐出ヘッドは、長手方向について複数のヘッドユニット二列の千鳥配置させた構造を有し、前記引出配線は、前記ヘッドユニットごとに前記液体吐出ヘッドの長手方向の端部、又は短手方向の端部に接合される態様が好ましい。
【０２３５】
かかる態様によれば、ヘッドユニット間の隙間の有効利用が可能である。
【０２３６】
（第１５態様）：前記ノズルプレートの材料は、シリコンである態様が好ましい。
【０２３７】
かかる態様によれば、シリコン製のノズルプレートは、応力や機械的な衝撃によって割れや欠けが発生しやすく、この割れや欠けを把握することができる。
【０２３８】
（第１６態様）：前記ノズルプレートの材料は、金属又は樹脂である態様が好ましい。
【０２３９】
かかる態様によれば、金属製のノズルプレートや樹脂製のノズルプレートは、応力や機械的な衝撃によって変形が発生しやすく、この変形を把握することができる。
【０２４０】
（第１７態様）：液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレート、及び少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートのノズル開口が前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートを具備し、前記ノズルプレートに前記ノズルプレートの機械的な異常を検知するための検知素子が設けられる液体吐出ヘッドと、前記検知素子から得られた情報に基づいて、前記ノズルプレートの機械的な異常の発生の有無を検知する検知手段と、を備えた液体吐出装置。
【０２４１】
液体吐出装置には、インクジェットヘッドからカラーインクを吐出させるインクジェット記録装置が含まれる。
【０２４２】
（第１８態様）：前記検知素子は、前記ノズルプレートの前記流路プレートと接合される第１の面に形成される電気配線、及び前記第１の面の反対側の第２の面に形成される電気配線の少なくともいずれか一方を含み、前記検知手段は、前記電気配線の抵抗値を測定する測定部と、前記測定部により得られた前記電気配線の抵抗値の変化に基づいて、前記ノズルプレートの機械的な異常が発生しているか否かを判断する判断部と、を備える態様が好ましい。
【０２４３】
かかる態様によれば、ノズルプレートに形成された電気配線の抵抗値に変化に基づいて、ノズルプレートの機械的な異常を検知することができる。
【０２４４】
かかる態様において、測定部の測定結果を記憶する記憶部を備える態様が好ましい。
【０２４５】
（第１９態様）：第３態様から第８態様及び第１０態様から第１６態様のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備える態様が好ましい。
【０２４６】
（第２０態様）：第９態様に記載の液体吐出ヘッドを備える態様が好ましい。
【０２４７】
（第２１態様）：前記検知素子は、前記ノズルプレートの前記流路プレートと接合される第１の面又は前記第１の面の反対側の第２の面に形成される圧電素子を含み、前記検知手段は、前記圧電素子から電気信号を取得する電気信号取得部と、前記電気信号取得部により得られた前記電気信号の変化に基づいて、前記ノズルプレートの機械的な異常が発生しているか否かを判断する判断部と、を備える態様が好ましい。
【０２４８】
（第２２態様）：前記検知手段は、前記液体吐出ヘッドの稼働中に前記検知素子から情報を取得して、前記ノズルプレートの機械的な異常の発生の有無を検知する態様が好ましい。
【０２４９】
かかる態様によれば、液体吐出ヘッドの稼働中に発生したノズルプレートの機械的な異常の有無を把握することができる。
【０２５０】
液体吐出ヘッドの稼働中とは、インクジェットヘッドに電源が投入されている状態であり、所定のジョブにおける液体吐出中、ジョブ間のインターバル（待機）中、メンテナンス中などが含まれる。
【０２５１】
（第２３態様）：前記検知手段によって前記ノズルプレートの機械的な異常が発生したと判断されたときに、その旨を報知する報知手段を備える態様が好ましい。
【０２５２】
かかる態様によれば、報知手段による報知によりノズルプレートに機械的な異常は発生したことを把握することが可能となる。
【０２５３】
（第２４態様）：前記検知手段は、前記ノズルプレートの機械的な異常が発生した位置を特定する位置特定部を備える態様が好ましい。
【０２５４】
かかる態様において、第３態様に係る液体吐出ヘッドを備えることが好ましい。
【０２５５】
（第２５態様）：前記検知手段によって前記ノズルプレートの機械的な異常が発生したと判断されたときに、装置各部に特定のシーケンスを実行させる異常処理手段を備える態様も好ましい。
【０２５６】
かかる態様によれば、ノズルプレートの機械的な異常の発生による、装置各部への二次的な災害が防止される。
【０２５７】
（第２６態様）：液体を吐出させるためのノズル開口が形成されるノズルプレート、及び少なくとも、前記ノズル開口と連通する流路が形成され、前記ノズルプレートが前記流路に位置を合わせて接合される流路プレートを具備した液体吐出ヘッドの前記ノズルプレートに設けられた検知素子から得られた情報に基づいて、前記ノズルプレートの機械的な異常の発生の有無を検知する液体吐出ヘッドの異常検知方法。
【符号の説明】
【０２５８】
１０，１０’，４０，６０，１４８，１４８Ｍ，１４８Ｋ，１４８Ｃ，１４８Ｙ…インクジェットヘッド、１２…ヘッドユニット、１６，４２，６２，…ノズルプレート、１８…ノズル、２０，２２，５０，５２，７０…検知用電気配線、２４，５４…流路プレート、３０，３２…絶縁層、９０…引出配線、９１…フレキシブル基板、９２…取出電極、９４…被覆部材、９６…カバー、１００…インクジェット記録装置、２７２…システム制御部、２７８…ヘッド駆動部、２９０…パラメータ記憶部、２９２…プログラム格納部、２９３…抵抗値測定回路、２９４…抵抗値記憶部、２９５…異常判断部、２９６…異常報知部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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