(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一電気接点（２）と、少なくとも一つの第二電気接点（３）と、接続要素（４）と、を有する導電部材（１）であって、
この接続要素は、前記第一電気接点（２）と少なくとも一つの前記第二電気接点（３）を電気的に接続し、且つ少なくとも一つのプレート状の領域（４１）を有しており、
前記各プレート状の領域（４１）は、少なくとも一つの第一のピボット（４５２，４５２' ，４５２''）及び少なくとも一つの第二のピボット（４６２，４６２' ，４６２''）を備えた、少なくとも一つの撓み手段（４４）を有し、
各前記撓み手段（４４）の、前記第一のピボット（４５２，４５２' ，４５２''）及び前記第二のピボット（４６２，４６２' ，４６２''）は、各前記第二電気接点（３）が、剪断力を生ずることなく、撓み方向（４３）に前記第一電気接点（２）に対して移動可能であるように構成され、
少なくとも一つの電流経路（５）が、前記第一電気接点（２）から、少なくとも一つの前記第一のピボット（４５２，４５２' ，４５２''）及び少なくとも一つの前記第二のピボット（４６２，４６２' ，４６２''）を通って、前記少なくとも一つの第二電気接点（３，３１，３２）まで形成される、
導電部材において、
各前記撓み手段（４４）の前記第一のピボット（４５２，４５２' ，４５２''）及び前記第二のピボット（４６２，４６２' ，４６２''）が、少なくとも一つの接続線（４８，４８' ，４８''）の上に配置され、この接続線が、前記撓み方向（４３）に対して垂直に配置され、
各前記撓み手段（４４）は、少なくとも一つの第一のセクション（４５）と、少なくとも一つの第二のセクション（４６）と、前記第一のセクション（４５）と前記第二のセクション（４６）の間に配置された、少なくとも一つの第三のセクション（４７，４７' ）と、を有していて、
前記第一のセクション（４５）は、前記第一のピボット（４５２，４５２' ，４５２''）を有する第一のヒンジとして振舞う第一の接続部（４５４，４５４' ，４５４''）を除いて、前記第三のセクション（４７，４７' ）から分離され、
前記第二のセクション（４６）は、前記第二のピボット（４６２，４６２' ，４６２''）を有する第二のヒンジとして振舞う第二の接続部（４６４，４６４' ，４６４''）を除いて、前記第三のセクション（４７，４７' ）から分離され、
少なくとも一つの前記電流経路（５）が、前記第一電気接点（２）から、前記第一のセクション（４５）、前記第一の接続部（４５４，４５４' ，４５４''）、前記第三のセクション（４７，４７' ）、前記第二の接続部（４６４，４６４' ，４６４''）、前記第二のセクション（４６）を通って、前記第二電気接点（３）まで形成されること、
を特徴とする導電部材。
【請求項２】
下記特徴を有する請求項１に記載の導電部材（１）：
各少なくとも一つの前記プレート状の領域（４１）は、一つの平面内に配置され、且つ、
各前記撓み手段（４４）の前記第一のピボット（４５２，４５２' ，４５２''）及び前記第二のピボット（４６２，４６２' ，４６２''）は、前記第一電気接点（２）が、前記平面の中にある前記撓み方向（４３）に、各前記第二電気接点（３）に対して移動可能であるように構成されている。
【請求項３】
下記特徴を有する請求項１または２に記載の導電部材（１）：
少なくとも一つの前記プレート状の領域（４１）が、少なくとも一つの湾曲部分を有している。
【請求項４】
下記特徴を有する請求項１に記載の導電部材（１）：
前記第一のセクション（４５）は、少なくとも一つの第一のカット部（４５１，４５１' ，４５１''）によって、前記第三のセクション（４７，４７' ）から分離され、および／または、
前記第二のセクション（４６）は、少なくとも一つの第二のカット部（４６１，４６１' ，４６１''）によって、前記第三のセクション（４７，４７' ）から分離されている。
【請求項５】
下記特徴を有する請求項１または４に記載の導電部材（１）：
少なくとも一つの前記第三のセクション（４７）は、少なくとも二つの第一のサブ・セクション（４７１，４７１' ）及び第二のサブ・セクション（４７２，４７２' ）を有し、
前記第一のセクション（４５）は、前記第一の接続部（４５４）を除いて、少なくとも一つの前記第三のセクション（４７）の前記第一のサブ・セクション（４７１）から分離され、
この第一のサブ・セクション（４７１）は、前記第二のピボット（４６２）を有する第二のヒンジとして振舞う前記第二の接続部（４６４）を除いて、少なくとも一つの前記第二のカット部（４６１）によって、前記第二のサブ・セクション（４７２）から分離され、
この第二のサブ・セクション（４７２）は、前記第一のサブ・セクション（４７１' ）のもう一つと一体的に形成され、
このもう一つの第一のサブ・セクションは、前記第一のピボット（４５２' ）を有する第一のヒンジとして振舞う前記第一の接続部（４５４' ）を除いて、少なくとも一つの前記第一のカット部（４５１' ）によって、前記第二のサブ・セクション（４７２' ）のもう一つから分離され、
このもう一つの第二のサブ・セクション（４７２' ）は、前記第二の接続部（４６４' ）を除いて、前記第二のカット部（４６１' ）により、前記第二のセクション（４６）から分離されている。
【請求項６】
下記特徴を有する請求項１、４または５の何れか１項に記載の導電部材（１）：
前記少なくとも一つの前記第二電気接点（３）は、第一の第二電気接点（３１）及び第二の第二電気接点（３２）を有し、
前記第一の第二電気接点（３１）は、剪断力を生ずることなく、一つの平面内で、第一の撓み方向（４３１）に前記第一電気接点（２）に対して移動可能であり、
前記第二の第二電気接点（３２）は、剪断力を生ずることなく、一つの平面内で、第二の撓み方向（４３２）に前記第一電気接点（２）に対して移動可能であり、
前記第一の撓み方向（４３１）は、前記第二の撓み方向（４３２）と同一であり、あるいは、前記第一の撓み方向（４３１）は、前記第二の撓み方向（４３２）と異なる。
【請求項７】
下記特徴を有する請求項１、または４から６の何れか１項に記載の導電部材（１）：
第一の電流経路（５１）及び第二の電流経路（５２）を有する、少なくとも二つの電流経路（５）は、少なくとも一つの前記第二電気接点（３）まで形成され、
前記第一の電流経路（５１）の第一のカット部（４５１）は、前記第二の電流経路（５２）の第二のカット部（４６１）を少なくとも部分的に形成する。
【請求項８】
下記特徴を有する請求項１、または４から７の何れか１項に記載の導電部材（１）：
前記少なくとも一つの前記第二電気接点（３）は、前記第一の第二電気接点（３１）及び前記第二の第二電気接点（３２）を有し、
前記第一の第二電気接点（３１）への電流経路（５）の第一のカット部（４５１' ）は、前記第二の第二電気接点（３２）への電流経路（５）の第一のカット部（４５１''）と連続するカット部を形成し、および／または、
前記第一の第二電気接点（３１）及び前記第二の第二電気接点（３２）への前記電流経路（５）の前記第二のセクション（４６）は、連続するセクションを形成する。
【請求項９】
下記特徴を有する請求項１、または４から８の何れか１項に記載の導電部材（１）：
少なくとも一つの前記第一のカット部（４５１）および／または前記第二のカット部（４６１）は、最大で、前記プレート状の領域（４１）の厚さの１．５倍に対応する幅を有している。
【請求項１０】
下記特徴を有する請求項１、または４から９の何れか１項に記載の導電部材（１）：
前記導電部材（１）は、一つの前記第二電気接点（３）への、または、少なくとも二つの前記第二電気接点（３）への、少なくとも二つの電流経路（５）を有し、
少なくとも一つの前記第一のカット部（４５１）及び前記第二のカット部（４６１）、及び少なくとも一つの前記第一の接続部（４５４）及び前記第二の接続部（４６４）は、前記少なくとも二つの電流経路（５）が同一の電気抵抗を有するように形成されている。
【請求項１１】
下記特徴を有する請求項１、または４から１０の何れか１項に記載の導電部材（１）：
前記導電部材（１）は、一つの前記第二電気接点（３）への、または、少なくとも二つの前記第二電気接点（３）への、少なくとも二つの電流経路（５）を有し、
少なくとも一つの電流経路（５）は、もう一方の電流経路（５）より長く、このより長い電流経路（５）は、その第三のセクション（４７）で、より短い電流経路（５）の少なくとも一つの、その第三のセクション（４７）での断面と比べて、より大きな断面を有している。
【請求項１２】
下記特徴を有する請求項１、または４から１１の何れか１項に記載の導電部材（１）：
電流経路（５）の前記第三のセクション（４７）の最大の断面積は、前記電流経路（５）の前記第一の接続部（４５４）および／または前記第二の接続部（４６４）の断面積と比べて、少なくとも３倍大きい。
【請求項１３】
下記特徴を有する請求項１、または４から１２の何れか１項に記載の導電部材（１）：
前記第一のカット部（４５１）および／または第二のカット部（４６１）の長さは、当該カット部の幅と比べて、少なくとも３倍長い。
【請求項１４】
半導体モジュールの外側の電気接点を提供するための電気端子であって、当該電気端子が、請求項１から１３の何れか１項に記載の導電部材（１）を有している端子。
【請求項１５】
請求項１４に記載の電気端子、または、請求項１から１３の何れか１項に記載の内側の電気的接続部のための導電部材（１）を備えた半導体モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パワー・エレクトロニクスの分野に係り、特に、請求項１の前書き部分に基づく導電部材（electrical conductor）、請求項１５に基づく電気端子、そのような導電部材または電気端子を備えた半導体モジュール、及び、請求項６に基づく半導体モジュールに係る。
【背景技術】
【０００２】
ＩＧＢＴ（絶縁バイポーラ・ゲート・トランジスタ）パワー・モジュールのような、半導体パワー・モジュールのための電気端子は、数キロ・アンペアまでの電流の入り切りに使用される。モジュールの外側の接点からチップまでの電気的接続部は、ターミナルと呼ばれる金属導電部材により設けられ、このターミナルは、ハウジングに固定された外側の接点のための一つの電気接点を有している。図１は、従来の電気端子を示している。この電気端子１０は、第一電気接点２、第二電気接点３、及び第一電気接点２と第二電気接点３を電気的に接続する接続要素４を有している。
【０００３】
この接続要素４は、一つの平面内に配置され、且つ、撓み手段４４を備えたプレート状の領域４１を有している。この撓み手段４４は、第一のセクション４５、第二のセクション４６、及び第一のセクション４５と第二のセクション４６との間に配置された第三のセクション４７を有している。第一のセクション４５は、第一のピボット４５２を有する第一のヒンジ４５３として振舞う第一の接続部４５４を除いて、第一のカット部４５１によって、第三のセクション４７から分離されている。これに対応して、第二のセクション４６は、第二のピボット４６２を有する第二のヒンジ４６３として振舞う第二の接続部４６４を除いて、第二のカット部４６１によって、第三のセクション４７から分離されている。
【０００４】
ピボット４５２，４６２の曲げ能力を改善するため、第一の接続部４５４及び第二の接続部４６４は、これらの接続部４５４，４６４の間の第三のセクション４７と比較して、小さな断面を有している。この配置によって、電流経路５（図１の中の破線）が、第一電気接点２から、第一のセクション４５、第一の接続部４５４、第三のセクション４７、第二の接続部４６４、第二のセクション４６を通って、第二電気接点３まで、形成される。ターミナル１０の頂点部分は、第一電気接点２がハウジングから突き出るように、モジュールのハウジングに固定される。
【０００５】
第二電気接点３は、半導体モジュールの中に配置され、半導体チップに接続するために、メタライズされたセラミック基板にハンダ付けされている。複数の並列に接続されたＩＧＢＴを備えたモジュールの場合には、そのようなターミナル１０は、二つのそのような第二電気接点３（第一の第二電気接点３１及び第二の第二電気接点３２）を有していて、それらの第二電気接点は、共通の第一のセクション４５により、及び、第一の接続部４５４、第三のセクション４７、第二の接続部４６４、第二のセクション４６、及び対応する第一の第二電気接点３１または第二の第二電気接点３２の鏡面対称の配置により、第一電気接点２に電気的に接続されている。
【０００６】
パワー・モジュールの運転の間、当該パワー・モジュールは、電流に起因する温度変化に曝され、そのような温度変化は、ターミナルの自己発熱をもたらし、それは、特に大電流または急速な電流変動の際に生じ、特に、スイッチング・プロセスの間に生ずる。これは、モジュールのハウジングの周期的な膨張をもたらす。それ故に、第一電気接点２は、第二電気接点３に対して変位され、力がターミナル１０に加えられ、その力が、撓み手段４４の膨張または収縮をもたらす。この動きを実現するために、ターミナルが、第一のピボット４５２及び第二のピボット４６２で曲がり、それにより、第二電気接点の上で、法線力ＦＮ（図１の中で矢印により示されている）及び剪断力ＦＳを作り出す。これらの剪断力ＦＳは、第二電気接点と基板の間の接触部でのハンダの変形をもたらし、そして最終的に、モジュール故障をもたらす。
【０００７】
ターミナル１０の温度上昇を低く抑えるために、プレート状の領域４１の電気抵抗が低くなければならなず、それは、典型的には、大きな断面を備えたプレートにより実現される。他方、モジュールが温度変化により膨張されたときに、大きな力を生じさせないために、ターミナルに、高い機械的なフレキシビリティが要求され、そのようなフレキシビリティは、典型的に、狭い幅（即ち小さな断面）を備えたプレートにより実現される。
【０００８】
図２は、二つの第二電気接点３１，３２を備えた電気端子１０を示している。その内の何れにおいても、剪断力ＦＳが作り出される。そのような複数の第二電気接点は、複数のチップを並列に接続するために使用される。
【発明の概要】
【０００９】
本発明の目的は、改善された機械的なフレキシビリティ及び低い電気抵抗を備えた導電部材を提供することにあり、この導電部材において、温度変化の場合のハンダの変形が、減少されまたは取り除かれ、それにより、デバイスの寿命が増大される。
【００１０】
この目的は、請求項１に基づく導電部材により、請求項１５に基づく電気端子により、そして、請求項１６に基づくそのような導電部材またはターミナルを備えた半導体モジュールにより、実現される。
【００１１】
本発明の導電部材は、第一電気接点と、少なくとも一つの第二電気接点と、接続要素と、を有していて、この接続要素は、第一の第二電気接点及び前記少なくとも一つの第二電気接点を電気的に接続し、且つ、少なくとも一つのプレート状の領域を有している。各プレート状の領域は、少なくとも一つの第一のピボット及び少なくとも一つの第二のピボットを備えた、少なくとも一つの撓み手段を有していて、ここで、各撓み手段の第一のピボット及び第二のピボットは、撓み方向の動きの場合に、各第二電気接点が、剪断力を生ずることなく、撓み方向に第一電気接点に対して移動可能であるように構成されている。
【００１２】
撓み手段の中でのピボットの本発明の配置によって、剪断力が、第二電気接点に加えられることがなく、且つ、半導体モジュールの内側の基板の上のハンダ層に加えられることがない。そのような剪断力は、運転中に、ハンダ層の中に亀裂を生じさせる可能性があり、または、電気的接続部の分離さえも生じさせる可能性がある。
【００１３】
剪断力が作り出されることが無いような、ピボットの配置のために、全ての断面が、特に、ピボットの及びピボットの間の領域が、大きな断面で作られることが可能になり、それによって、導電部材の機械的なフレキシビリティを減少させることなく、電気抵抗を低下させることになる。
【００１４】
導電部材は、第一電気接点と第二電気接点の間に、二つ以上の電流経路が作り出されるように構成されることが可能であり、それによって、電気抵抗が引き下げられ、電流経路のそれぞれの中で作り出される熱が少なくなり、それと同時に、導電部材は、依然として、良好な機械的なフレキシビリティを有することになる。第一電気接点と、複数の第二電気接点の内の何れかとの間に、剪断力が作り出されることがなく、特に、これらの電流経路の内の何れの中にも、剪断力が作り出されることがない。
【００１５】
また、複数の第二電気接点が、一つの導電部材の中に作られることが可能であり、これらの第二電気接点は、同一の方向にまたは異なる方向に、配置されても良く、それ故に、ハウジングの中でのチップの配置の幾何学的な可能性を改善する。
【００１６】
たとえ一つの電流経路の中であっても、複数の撓み手段が交互に配置されることが可能であり、それによって、直列配置が実現され、その結果、電気抵抗を低く抑えながら、機械的なフレキシビリティを改善する。
【００１７】
更にまた、もし、複数の電流経路が、一つまたはそれ以上の第二電気接点につながる場合には、それらの電流経路が同一の電気抵抗を有するように、電流経路を形成することが可能であり、それによって、パワー・モジュールの中の電流分布の均衡が更に改善されることになる。
【００１８】
そのような本発明の導電部材は、半導体モジュールの中で、二つの電気的要素の間に電気的接続部を作り出すために、または、外側の電気接点を作り出すために、使用されることが可能である。
【００１９】
更に好ましい変形形態及び実施形態が、従属請求項の中に開示されている。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、一つの第二電気接点及び一つの撓み手段を備えた、従来技術の導電部材を示す。
【図２】図２は、二つの第二電気接点を備えた、他の従来技術の導電部材を示す。
【図３】図３は、一つの第二電気接点を備えた、本発明に基づく導電部材の第一の実施形態を示す。
【図４】図４は、一つの第二電気接点及びサブ・セクションを備えた、本発明に基づく導電部材の他の実施形態を示す。
【図５】図５は、第一電気接点に対して同一の方向に移動可能な二つの第二電気接点を備えた、本発明に基づく導電部材の他の実施形態を示す。
【図６】図６は、第一電気接点に対して異なる方向に移動可能な二つの第二電気接点を備えた、本発明に基づく導電部材の他の実施形態を示す。
【図７】図７は、それぞれ二つの電流経路を有する、二つの第二電気接点を備えた、本発明に基づく導電部材の他の実施形態を示す。
【図８】図８は、二つの第二電気接点及び非対称的に配置された第一電気接点を備えた、本発明に基づく導電部材の他の実施形態を示す。
【図９】図９は、非対称的に配置された第一電気接点、二つの第二電気接点、及び適合された電気抵抗の電流経路を備えた、本発明に基づく導電部材の他の実施形態を示す。
【図１０】図１０は、非対称的に配置された第一電気接点、一つの第二電気接点、及び適合された電気抵抗の二つの電流経路を備えた、本発明に基づく導電部材の他の実施形態を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の主題が、添付図面を参照しながら、以下のテキストにおいて、より詳細に説明される。  
これらの図の中で使用されている参照符号及びそれらの意味は、参照符号のリストの中にまとめられている。一般的に、同様なまたは同様に機能する部分には、同一の参照符号が付与されている。ここに記載された実施形態は、例として意図されたものであって、本発明の範囲を限定するものではない。
【００２２】
図３は、第一電気接点２、第二電気接点３、及び接続要素４を有する本発明の導電部材１を示している、この接続要素は、第一電気接点２と第二電気接点３を電気的に接続し、且つ、少なくとも一つのプレート状の領域４１を有している。このプレート状の領域４１は、第一のピボット４５２及び第二のピボット４６２を備えた撓み手段４４を有していて（図３の中でピボットの周りの円により強調されている）、この撓み手段は、第二電気接点３が、剪断力を生ずることなく、撓み方向４３に第一電気接点２に対して移動可能であるように構成されている。剪断力は、撓み方向に対して垂直な方向の力である。
【００２３】
導電部材１が第一のピボット４５２及び第二のピボット４６２で曲げられることで、導電部材１が、圧縮または伸張されることが可能である。図３において、導電部材１は、プレート状の領域４１を有していて、このプレート状の領域は、一つの平面内に配置されている。撓み手段４４の第一のピボット４５２及び第二のピボット４６２は、第二電気接点３が、前記平面の中にある撓み方向４３に第一電気接点２に対して移動可能であるように構成されている。撓み手段４４の第一のピボット４５２及び第二のピボット４６２は、仮想的な接続線４８（図３の中で破線で示されている）の上に配置され、この接続線は、撓み方向４３に対して垂直方向にある。
【００２４】
プレート状の領域４１が一つの平面内に配置される代りに、プレート状の領域４１が、一つまたはそれ以上の湾曲部分を有することも可能であり、この湾曲部分は、撓み手段４４の中にあることが可能であり、それによって、第一の、第二のおよび／または第三のセクション４５，４６，４７が曲げられ、または、この湾曲部分が、プレート状の領域４１の何れか他の部分に配置されることが可能である。
【００２５】
大半の用途に対して、導電部材１の電気接点２，３は、プレート状の領域４１に対して垂直な方向に曲げられ、それによって、電気接点２，３が、撓み方向４３に対して、及びプレート状の領域４１が配置されている平面に対して、垂直方向にあることになる。更に、電気接点２，３が、導電部材に対して電気に接触するために準備され、これらの導電部材は、互いに平行な二つの平面の中に配置される。
【００２６】
撓み手段４４は、第一のセクション４５、第二のセクション４６、及び第三のセクション４７を有していて、この第三のセクションは、第一のセクション４５と第二のセクション４６の間に配置されている。第一のセクション４５は、第一のセクション４５と第三のセクション４７の間の第一のヒンジとして振舞う第一の接続部４５４を除いて、第一のカット部４５１によって第三のセクション４７から分離されている。第一のヒンジは、第一のピボット４５２の回りで移動されることが可能である（図３の中で円により強調されている）。第二のセクション４６は、第二のピボット４６２を有する第二のヒンジとして振舞う第二の接続部４６４を除いて、対応する第二のカット部４６１によって、第三のセクション４７から分離されている。電流経路５は、第一電気接点２から、第一のセクション４５、第一の接続部４５４、第三のセクション４７、第二の接続部４６２及び第二のセクション４６を通って、第二電気接点３まで、形成される。上記のカット部は、スタンピング（stamping：打抜）、ジェット・カッティング、エッチング、エローディング（eroding：侵食）またはフライス加工（milling）などの、何れか適当な方法で作られることが可能である。
【００２７】
第一のセクション４５、第二のセクション４６及び第三のセクション４７は、堅く、特に、第一の、第二の及び第三のセクション４５，４６，４７は、第一の接続部４５４及び第二の接続部４６４と比べて非常に堅い。このようにして、撓み手段４４のフレキシビリティが、接続部により実現される。
【００２８】
好ましい実施形態において、電流経路５の第三のセクション４７の最大の断面積は、少なくとも二倍であり、特に、前記電流経路５の第一のおよび／または第二の接続部４５２，４５４，４６２，４６４の断面積の３倍以上大きい。そのような幾何学的なデザインによって、フレキシビリティを失うこと無く、電気抵抗が低くされることが可能になる。
【００２９】
第一のカット部４５１および／または第二のカット部４６１の幅は、好ましくは、最大でプレート状の領域４１の厚さの１．５倍に対応し、好ましくは、プレート状の領域４１の厚さを上回ることがない。そのような幅によって、撓み手段が、温度膨張を調整するための高いフレキシビリティを有することになる。第一のカット部４５１および／または第二のカット部４６１の長さは、他の好ましい実施形態において、カット部の幅の、少なくとも２倍であり、特に、３倍より長い。
【００３０】
好ましい実施形態において、撓み手段４４が、一体的に形成され、その結果、第一のセクション４５、第一の接続部４５４、第三のセクション４７、第二の接続部４６４及び第二のセクション４６が、互いに一体的に形成されることになる。
【００３１】
図４から図１０の中に、更なる実施形態が示されている。撓み手段の剛性、フレキシビリティ及び寸法に関する上述の特徴、及び、第一のセクション、第二のセクション、第三のセクション、第一の接続部及び第二の接続部などのような、その構成要素は、更なる実施形態に適用されることも可能である。
【００３２】
図４は、二組のピボットを備えた本発明の導電部材１の他の実施形態を示していて、これらのピボットは、直列に配置され、二つのピボット４５２，４６２，４５２' ，４６２' の各組は、仮想的な接続線４８，４８' の上に配置され、これらの接続線４８，４８' は、互いに並列に配置されている。この実施形態において、第三のセクション４７は、第一のサブ・セクション４７１，４７１' 及び第二のサブ・セクション４７２，４７２' を有している。
【００３３】
導電部材１は、図４に示されているように、第一のセクション４５を有していて、この第一のセクションは、第一の接続部４５４を除いて、第一のカット部４５１によって、第三のセクション４７の第一のサブ・セクション４７１から分離されている。この第一のサブ・セクション４７１は、第二のヒンジとして振舞う第二のピボット４６２を有する第二の接続部４６４を除いて、第二のカット部４６１によって、第二のサブ・セクション４７２から分離されている。この第二のサブ・セクション４７２は、もう一つの第一のサブ・セクション４７１' と一体的に形成され、このもう一つの第一のサブ・セクションは、また、第一のヒンジとして振舞う第一のピボット４５２' を有する第一の接続部４５４' を除いて、第一のカット部４５１' によって、もう一つの第二のサブ・セクション４７２' から分離されている。このもう一つ第二のサブ・セクション４７２' は、もう一つの第二のピボット４６２' を有するもう一つの第二のヒンジとして振舞うもう一つの第二の接続部４６４' を除いて、もう一つの第二のカット部４６１' によって、第二のセクション４６から分離されている。
【００３４】
第一のピボット４５２及び第二のピボット４６２は、仮想的な接続線４８の上に配置され、他方の第一のピボット４５２' 及び第二のピボット４６２' は、もう一つの接続線４８' の上に配置され、これらの接続線４８，４８' は互いに並列に配置されている。他の実施形態（図に示されていない）において、二つの接続線４８，４８'の間に角度がある。この角度は、何れか適当な角度であることが可能であるが、好ましくは、接続線４８，４８' の間の角度は小さく、それらは、撓み方向４３に対して約９０度である。
【００３５】
図５は、二つの第二電気接点を備えた本発明の導電部材１の他の実施形態を示している。この図には、第一の第二電気接点３１及び第二の第二電気接点３２が示されている。第一の第二電気接点３１は、剪断力を生ずることなく、第一のピボット４５２及び第二のピボット４６２によって、第一の平面の中で、第一の撓み方向４３１に第一電気接点２に対して移動可能である。それに加えて、第二の第二電気接点３２は、剪断力を生ずることなく、第二の平面の中で、第二の撓み方向４３２に第一電気接点２に対して移動可能である。図５に示されているように、導電部材１の中で、第一の撓み方向４３１は、第二の撓み方向４３２と同一であり、即ち、第一の平面と第二の平面は、同一であるが、その代わりにまた、第一の平面と第二の平面の間に角度があっても良い。
【００３６】
図６は、代替的な実施形態を示していて、この実施形態において、導電部材１は、図５に対して説明されたように、第一の第二電気接点３１及び第二の第二電気接点３２を有していて、各第二電気接点は、第一の接続部４５２，４６２及び第二の接続部４５２''，４６２''を、それぞれ有している。接続部の各対は、接続線４８，４８''の上に配置され、これに対して、接続線４８，４８''は、互いに対して垂直な方向にある。９０度の角度が、可能な角度の例として示されているが、接続線４８，４８''が、互いに対して何れか他の角度で配置されても良い。
【００３７】
図７は、二つの第二電気接点３１，３２を備えた本発明の導電部材１の他の変形形態を示していて、各第二電気接点は、第一の電流経路５１及び第二の電流経路５２を有し、これらの電流経路は、第一の第二電気接点３１及び第二の第二電気接点３２まで形成されている。第一の第二電気接点３１を形成する第二の電流経路５２の第一のカット部４５１' は、少なくとも部分的に、同一の（第一の）第二電気接点３１への第一の電流経路５１の第二のカット部４６１を形成する。なお、図７は、二つの第二電気接点３１，３２を示しているが、導電部材１は、唯一の第二電気接点３を有することも可能であり、二つの電流経路５１，５２が、一つの第二電気接点３につながり、第二の電流経路５２の第一のカット部４５１'が、少なくとも部分的に、第一の電流経路５１の第二のカット部４６１を形成する（例えば、図７の右側部分）。
【００３８】
図８は、二つの第二電気接点３１，３２を備えた本発明の導電部材１の他の変形形態、及び、第一の電流経路５１と第二の電流経路５２、第一のカット部４５１，４５１''と第二のカット部４６１，４６１''、及びピボット４５２，４５２''，４６２，４６２''の鏡面対称の配置を示している。この実施形態において、第一電気接点２は、接続要素４の一方の側に非対称的に配置されている。そのような配置は、幾何学的な理由のために好ましいことがあり得る。それは、例えば、もし、複数の導電部材が、複数の半導体チップに接触するために且つモジュールの中でターミナルの間の絶縁のために、一つの半導体モジュールの中に配置されなければならない場合などである。
【００３９】
二つの電流経路５１，５２の第一のカット部４５１，４５１''は、一つの連続するカット部であるが、当然ながら、別個のカット部を有していることもまた可能である。図８に示されているような、鏡面対称であって、従ってカット部の対称的なデザインは、カット部の最も容易な幾何学的な配置である。第二のセクション４６，４６'が、一つの共通の、連続するセクションではあるが、二つの第二電気接点３１，３２につながることもまた、可能である。
【００４０】
しかしながら、もし、第一電気接点２が接続要素４の一方の側に配置される場合には、第一の電流経路５１及び第二の電流経路５２は、異なる長さ及び異なる電気抵抗を有している。大電流が生ずる用途に対しては、一つまたはそれ以上の第二電気接点３１，３２への、幾つかの電流経路を有していることが、好ましいことがあリ、それらの電流経路の全てが、同一のまたは少なくとも同様な電気抵抗を有し、それによって、パワー・モジュールの中で各部分の間で、電流分布の均衡が取られることになる。
【００４１】
図９の中に、二つの第二電気接点３１，３２を備えた本発明の導電部材１が示されている。接続要素４の左側での第一電気接点２の非対称的な配置のために、第一の電流経路５１は、第二の電流経路５２より長い。電流経路５１，５２の電気抵抗を等しくするために、または、少なくともそれらを互いに対して適合させるために、第一の電流経路５１は、より短い第二の電流経路５２のその第三のセクション４７''における断面と比べて、その第三のセクション４７においてより大きな断面を有している。
【００４２】
図１０の中に、他の好ましい実施形態が示され、ここでは、導電部材１が一つの第二電気接点３を有している。この第二電気接点に、第一及び第二の電流経路５１，５２がつながり、第一の電流経路５１は、第二の電流経路５２より長く、第一の電流経路５１の第三のセクション４７は、図９に基づく導電部材に対して既に説明されているように、第二の電流経路５２の第三のセクション４７''と比べて、大きい断面積を有している。両方の電流経路５１，５２は、一つの共通の、連続する第二のセクション４６，４６' を有していて、この第二のセクションが、第二電気接点３につながっている。
【００４３】
本発明の導電部材１は、外側の電気接点を提供するための、半導体パワー・モジュールの中の電気端子として、即ち、外側の電気接点への、モジュールの中のチップの間の電気的接続部として、使用されることが可能である。代替的な実施形態において、そのような導電部材は、半導体モジュールの中での内側の電気的な接続部のために使用されることが可能である。もし、半導体モジュールが複数の半導体チップを有している場合には、その半導体モジュールは、一つまたはそれ以上のそのような本発明の電気端子および／または内側の導電部材を有していることが可能である。  
以下に、本件出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。 
［付記１］
第一電気接点（２）と、少なくとも一つの第二電気接点（３）と、接続要素（４）と、を有する導電部材（１）であって、
この接続要素は、第一の電気接点（２）と前記少なくとも一つの第二電気接点（３）を電気的に接続し、且つ少なくとも一つのプレート状の領域（４１）を有しており、
各プレート状の領域（４１）は、少なくとも一つの第一のピボット（４５２，４５２' ，４５２''）及び少なくとも一つの第二のピボット（４６２，４６２' ，４６２''）を備えた、少なくとも一つの撓み手段（４４）を有し、
各撓み手段（４４）の、第一のピボット（４５２，４５２' ，４５２''）及び第二のピボット（４６２，４６２' ，４６２''）は、各第二電気接点（３）が、剪断力を生ずることなく、撓み方向（４３）に第一電気接点（２）に対して移動可能であるように構成され、
少なくとも一つの電流経路（５）が、第一電気接点（２）から、前記少なくとも一つの第一のピボット（４５２，４５２' ，４５２''）及び前記少なくとも一つの第二のピボット（４６２，４６２' ，４６２''）を通って、前記少なくとも一つの第二電気接点（３，３１，３２）まで形成される、
導電部材において、
各撓み手段（４４）の第一のピボット（４５２，４５２' ，４５２''）及び第二のピボット（４６２，４６２' ，４６２''）が、少なくとも一つの接続線（４８，４８' ，４８''）の上に配置され、この接続線が、撓み方向（４３）に対して垂直に配置されていること、
を特徴とする導電部材。
［付記２］
下記特徴を有する付記１に記載の導電部材（１）：
各少なくとも一つのプレート状の領域（４１）は、一つの平面内に配置され、且つ、
各撓み手段（４４）の第一のピボット（４５２，４５２' ，４５２''）及び第二のピボット（４６２，４６２' ，４６２''）は、第一電気接点（２）が、前記平面の中にある撓み方向（４３）に、各第二電気接点（３）に対して移動可能であるように構成されている。
［付記３］
下記特徴を有する付記１または２に記載の導電部材（１）：
少なくとも一つのプレート状の領域（４１）が、少なくとも一つの湾曲部分を有している。
［付記４］
下記特徴を有する付記１から３の何れか１項に記載の導電部材（１）：
各撓み手段（４４）は、少なくとも一つの第一のセクション（４５）と、少なくとも一つの第二のセクション（４６）と、第一のセクション（４５）と第二のセクション（４６）の間に配置された、少なくとも一つの第三のセクション（４７，４７' ）と、を有していて、
第一のセクション（４５）は、第一のピボット（４５２，４５２' ，４５２''）を有する第一のヒンジとして振舞う第一の接続部（４５４，４５４' ，４５４''）を除いて、第三のセクション（４７，４７' ）から分離され、
第二のセクション（４６）は、第二のピボット（４６２，４６２' ，４６２''）を有する第二のヒンジとして振舞う第二の接続部（４６４，４６４' ，４６４''）を除いて、第三のセクション（４７，４７' ）から分離され、
少なくとも一つの電流経路（５）が、第一電気接点（２）から、第一のセクション（４５）、第一の接続部（４５４，４５４' ，４５４''）、第三のセクション（４７，４７' ）、第二の接続部（４６２，４６２' ，４６２''）、第二のセクション（４６）を通って、第二電気接点（３）まで形成される。
［付記５］
下記特徴を有する付記４に記載の導電部材（１）：
第一のセクション（４５）は、少なくとも一つの第一のカット部（４５１，４５１' ，４５１''）によって、第三のセクション（４７，４７' ）から分離され、および／または、
第二のセクション（４６）は、少なくとも一つの第二のカット部（４６１，４６１' ，４６１''）によって、第三のセクション（４７，４７' ）から分離されている。
［付記６］
下記特徴を有する付記４または５に記載の導電部材（１）：
少なくとも一つの第三のセクション（４７）は、少なくとも二つの第一サブ・セクション（４７１，４７１' ）及び第二のサブ・セクション（４７２，４７２' ）を有し、
第一のセクション（４５）は、第一の接続部（４５４）を除いて、前記少なくとも一つの第三のセクション（４７）の第一のサブ・セクション（４７１）から分離され、
この第一のサブ・セクション（４７１）は、第二のピボット（４６２）を有する第二のヒンジとして振舞う第二の接続部（４６４）を除いて、少なくとも一つの第二のカット部（４６１）によって、第二のサブ・セクション（４７２）から分離され、
この第二のサブ・セクション（４７２）は、もう一つの第一のサブ・セクション（４７１' ）と一体的に形成され、
このもう一つの第一のサブ・セクションは、第一のピボット（４５２' ）を有する第一のヒンジとして振舞う第一の接続部（４５４' ）を除いて、少なくとも一つの第一のカット部（４５１' ）によって、もう一つの第二のサブ・セクション（４７２' ）から分離され、
このもう一つの第二のサブ・セクション（４７２' ）は、第二の接続部（４６４' ）を除いて、第二のカット部（４６１' ）により、第二のセクション（４６）から分離されている。
［付記７］
下記特徴を有する付記４から６の何れか１項に記載の導電部材（１）：
前記少なくとも一つの第二電気接点（３）は、第一の第二電気接点（３１）及び第二の第二電気接点（３２）を有し、
第一の第二電気接点（３１）は、剪断力を生ずることなく、一つの平面内で、第一の撓み方向（４３１）に第一電気接点（２）に対して移動可能であり、
第二の第二電気接点（３２）は、剪断力を生ずることなく、一つの平面内で、第二の撓み方向（４３２）に第一電気接点（２）に対して移動可能であり、
第一の撓み方向（４３１）は、第二の撓み方向（４３２）と同一であり、あるいは、第一の撓み方向（４３１）は、第二の撓み方向（４３２）と異なる。
［付記８］
下記特徴を有する付記４から７の何れか１項に記載の導電部材（１）：
第一の電流経路（５１）及び第二の電流経路（５２）を有する、少なくとも二つの電流経路（５）は、前記少なくとも一つの第二の電気接点（３）まで形成され、
第一の電流経路（５１）の第一のカット部（４５１）は、第二の電流経路（５２）の第二のカット部（４６１）を少なくとも部分的に形成する。
［付記９］
下記特徴を有する付記４から８の何れか１項に記載の導電部材（１）：
前記少なくとも一つの第二電気接点（３）は、第一の第二電気接点（３１）及び第二の第二電気接点（３２）を有し、
第一の第二電気接点（３１）への電流経路（５）の第一のカット部（４５１' ）は、第二の第二電気接点（３２）への電流経路（５）の第一のカット部（４５１''）と連続するカット部を形成し、および／または、
第一の第二電気接点（３１）及び第二の第二電気接点（３２）への前記電流経路（５）の第二のセクション（４６）は、連続するセクションを形成する。
［付記１０］
下記特徴を有する付記４から９の何れか１項に記載の導電部材（１）：
前記少なくとも一つの第一のカット部（４５１）および／または第二のカット部（４６１）は、最大で、プレート状の領域（４１）の厚さの１．５倍に対応する幅、特に、最大で、プレート状の領域（４１）の厚さに対応する幅を有している。
［付記１１］
下記特徴を有する付記４から１０の何れか１項に記載の導電部材（１）：
前記導電部材（１）は、一つの第二電気接点（３）への、および／または、少なくとも二つの第二電気接点（３）への、少なくとも二つの電流経路（５）を有し、
前記少なくとも一つの第一のカット部（４５１）及び第二のカット部（４６１）、及び前記少なくとも一つの第一の接続部（４５４）及び第二の接続部（４６４）は、前記少なくとも二つの電流経路（５）が同一の電気抵抗を有するように形成されている。
［付記１２］
下記特徴を有する付記４から１１の何れか１項に記載の導電部材（１）：
前記導電部材（１）は、一つの第二電気接点（３）への、および／または、少なくとも二つの第二電気接点（３）への、少なくとも二つの電流経路（５）を有し、
少なくとも一つの電流経路（３）は、もう一方の電流経路（３）より長く、このより長い電流経路（３）は、その第三のセクション（４７）で、より短い電流経路（５）の少なくとも一つの、その第三のセクション（４７）での断面と比べて、より大きな断面を有している。
［付記１３］
下記特徴を有する付記４から１２の何れか１項に記載の導電部材（１）：
電流経路（５）の第三のセクション（４７）の最大の断面積は、前記電流経路（５）の第一の接続部（４５４）および／または第二の接続部（４６４）の断面積と比べて、少なくとも３倍大きい。
［付記１４］
下記特徴を有する付記４から１３の何れか１項に記載の導電部材（１）：
第一のカット部（４５１）および／または第二のカット部（４６１）の長さは、当該カット部の幅と比べて、少なくとも３倍長い。
［付記１５］
半導体モジュールの外側の電気接点を提供するための電気端子であって、当該電気端子が、付記１から１４の何れか１項に記載の導電部材（１）を有している端子。
［付記１６］
付記１５に記載の電気端子、または、付記１から１４の何れか１項に記載の内側の電気的接続部のための導電部材（１）を備えた半導体モジュール。
【符号の説明】
【００４４】
１・・・電気的要素、１０・・・電気端子、２・・・第一電気接点、３・・・少なくとも一つの第二電気接点、３１・・・第一の第二電気接点、３２・・・第二の第二電気接点、４・・・接続要素、４１・・・少なくとも一つのプレート状の領域、４３・・・撓み方向、４３１・・・第一の撓み方向、４３２・・・第二の撓み方向、４４・・・撓み手段、４５・・・少なくとも一つの第一のセクション、４５１，４５１' ，４５１''・・・第一のカット部、４５２，４５２' ，４５２''・・・第一のピボット、４５４，４５４' ，４５４''・・・第一の接続部、４６・・・少なくとも一つの第二のセクション、４６１，４６１' ，４６１''・・・第二のカット部、４６２，４６２' ，４６２''・・・第二のピボット、４６４，４６４' ，４６４''・・・第二の接続部、４７，４７' ・・・少なくとも一つの第三のセクション、４７１，４７１' ・・・第一のサブ・セクション、４７２，４７２' ・・・第二のサブ・セクション、４８，４８' ，４８''・・・接続線、５・・・少なくとも一つの電流経路、５１・・・第一の電流経路、５２・・・第二の電流経路。
【図１】
0005410502.tif 000002
【図２】
0005410502.tif 000003
【図３】
0005410502.tif 000004
【図４】
0005410502.tif 000005
【図５】
0005410502.tif 000006
【図６】
0005410502.tif 000007
【図７】
0005410502.tif 000008
【図８】
0005410502.tif 000009
【図９】
0005410502.tif 000010
【図１０】
0005410502.tif 000011