(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒曲面状のウェブ浮上面を有する搬送ガイドを備え、該ウェブ浮上面に設けられた流体吐出孔から圧力流体を吐出しウェブを浮上させて搬送するウェブ浮上搬送装置であって、
前記搬送ガイドがその軸芯に対し放射状に配列されて円筒曲面状のウェブ浮上面を形成する板状部材の積層集合体からなり、
互いに隣接して配列される前記板状部材の一方又は両方の積層面には、
前記ウェブ浮上面と前記圧力流体が供給される導入流路とを連結して前記流体吐出孔を形成する流体通過路が設けられており、
前記板状部材が、搬送ガイドの軸芯側から前記ウェブ浮上面に向ってその厚みが増すテーパ状部材と、厚みが一定の非テーパ状部材と、からなり、
前記搬送ガイドが、これらテーパ状部材と非テーパ状部材とを、その軸芯に対し放射状に配列させて円筒曲面状のウェブ浮上面を形成する板状部材の積層集合体からなることを特徴とするウェブ浮上搬送装置。
【請求項２】
前記板状部材の間に、その積層面に流体通過路が設けられていない第２板状部材が挟持されていることを特徴とする請求項１に記載のウェブ浮上搬送装置。
【請求項３】
前記流体吐出孔が、前記搬送ガイドの軸芯に対し同一方向に複数個設けられた流体吐出孔列を形成し、隣接する流体吐出孔列同士の流体吐出孔の配置が、搬送ガイドの周方向において同一線上にはないことを特徴とする請求項１又は２に記載のウェブ浮上搬送装置。
【請求項４】
円筒曲面状のウェブ浮上面を有する搬送ガイドを備え、該ウェブ浮上面に設けられた流体吐出孔から圧力流体を吐出しウェブを浮上させて搬送するウェブ浮上搬送装置の製造方法であって、
一方又は両方の積層面に前記ウェブ浮上面と前記圧力流体が供給される導入流路とを連結して前記流体吐出孔を形成する流体通過路が設けられており搬送ガイドの軸芯側から前記ウェブ浮上面に向ってその厚みが増すテーパ状部材からなる板状部材を、前記搬送ガイドの軸芯に対し放射状に配列し積層して、前記搬送ガイドを形成し、
前記板状部材が、一方又は両方の積層面に流体通過路が設けられ搬送ガイドの軸芯側から前記ウェブ浮上面に向ってその厚みが増すテーパ状部材と、積層面に流体通過路が設けられていない厚みが一定の非テーパ状部材とからなり、
前記搬送ガイドが、前記テーパ状部材と前記非テーパ状部材とを、その軸芯に対し放射状に配列し積層することを特徴とするウェブ浮上搬送装置の製造方法。
【請求項５】
円筒曲面状のウェブ浮上面を有する搬送ガイドを備え、該ウェブ浮上面に設けられた流体吐出孔から圧力流体を吐出しウェブを浮上させて搬送するウェブ浮上搬送装置の製造方法であって、
一方又は両方の積層面に前記ウェブ浮上面と前記圧力流体が供給される導入流路とを連結して前記流体吐出孔を形成する流体通過路が設けられており搬送ガイドの軸芯側から前記ウェブ浮上面に向ってその厚みが増すテーパ状部材からなる板状部材を、前記搬送ガイドの軸芯に対し放射状に配列し積層して、前記搬送ガイドを形成し、
前記板状部材が、一方又は両方の積層面に流体通過路が設けられ厚みが一定の非テーパ状部材と、積層面に流体通過路が設けられておらず搬送ガイドの軸芯側から前記ウェブ浮上面に向ってその厚みが増すテーパ状部材とからなり、
前記搬送ガイドが、前記非テーパ状部材と前記テーパ状部材とを、その軸芯に対し放射状に配列し積層することを特徴とするウェブ浮上搬送装置の製造方法。
【請求項６】
前記搬送ガイドの板状部材が伸び５％以下の脆性金属からなり、
前記板状部材を搬送ガイドの軸芯に対し放射状に配列して円筒曲面状のウェブ浮上面を形成するように、板状部材の端面を曲面状に加工処理することを特徴とする請求項４又は５に記載のウェブ浮上搬送装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂フィルムなどのウェブフィルム状の物体（以下ウェブと称する）を流体によって浮上させて搬送するウェブ浮上搬送装置及びこの製造方法、ウェブ搬送方法に関する。特に熱可塑性樹脂フィルム等の熱処理時に軟化する物体のウェブ浮上搬送装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から長尺フィルムをエアなどの流体によって浮上させて搬送する装置は様々なものが提案されている。
例えば、特許文献１（特開２０００−１６６４８号公報）には、物体を流体によって浮揚させつつ搬送する物体浮揚装置であって、外部から供給される流体通路である第１流路孔を備えた複数の薄板によって積層面を形成し、該積層面の近傍に流体の流路が形成させてなる積層型の物体浮揚装置が記載されている。このような方式においては、流路の長さ／断面積の比を大きくとることができ、絞りの管路抵抗を大きくすることで、浮上高さを小さくでき浮上力を大きくすることを実現している。【０００３】
また、特許文献２（特開平１１−１０６１１０号公報）には、長尺シート等の搬送物に接触する外端部、回転駆動される回転軸に所要の接着剤を塗布して取り付ける内端部、及び外端部と内端部を連結する連結部で構成される複数の放射板を回転軸に対し放射状に配列して円筒体を形成してなる組立式ロールであって、互いに隣接する、少なくとも放射板の外端部及び連結部はそれぞれ所定の間隙を設けて配列され、外端部の間隙は外部に開口してなる組立式ロールが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１６６４８号公報
【特許文献２】特開平１１−１０６１１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の積層型の物体浮揚装置では、積層面を形成する複数の薄板が軸方向に積層されているため、流路は薄板ピッチ上にしか配置することができない。
そのため、熱可塑性樹脂フィルムの延伸、乾燥工程へこれらを適用した場合、フィルムはガラス転移温度Ｔｇ以上で著しく軟化するため、このエア吐出口ピッチに沿った形でフィルムが緩やかに変形してしまい、品質を低下させるという問題がある。
さらに、液晶用などに使用される光学フィルムにおいては、これらの変形は外観上のスジ状欠点となり、致命的な欠陥となるという問題がある。【０００６】
また、特許文献２の組立式ロールは、その軸に対して放射状に積層体を配置して内端部、外端部の間隙に流体の流路が形成されているため、サクションロールなどへの適用は可能である。
しかし、浮上搬送装置としては、搬送面に開口した流路が独立していないため、フィルム浮上量が安定せず、搬送面に対してフィルムが傾斜した場合や幅方向で浮上量が増加又は減少した場合に、それらを助長する方向となり、浮上量の調整機能が働かないため、フィルム張力が少ないときにはフィルムの蛇行が発生するという問題がある。【０００７】
さらに、開口部の間隙を小さくし管路抵抗を大きくしたい場合において、幅広の大型ロールでは、薄板の加工や組立て精度に限界があるため、開口部間隙寸法に大小ばらつきが発生し、開口部が局所的に広い箇所やつぶれてしまう箇所が発生するという問題がある。
そのため、熱可塑性樹脂フィルムの延伸や乾燥工程へこの組立式ロールを適用した場合、フィルムの蛇行が生じたり、熱処理時の吐出エア量の不均一に起因するフィルム温度のばらつきから、フィルムの分子配向方向や配向量にばらつきが生じたりして、精密な配向制御ができないという問題がある。
特に、液晶パネル用などに使用される光学フィルムにおいては、光の複屈折に直接影響を与えるなど、この分子配向の制御は重要であった。
また、高温で使用した場合においては、接着剤の耐久性不足や、薄板の熱変形による開口間隙の変化量のばらつきも無視できないなどの問題点が数多くあった。【０００８】
本発明は前記従来の課題を解決するためになされたもので、樹脂フィルムなどのウェブの搬送に際して、流体吐出孔の開口位置の配置やその流量制御の不良に起因して発生するウェブのスジ状欠点やフィルム分子配向などの品質不良を招くことがなく、ウェブの品質保持性や搬送用流体の精密制御性に優れたウェブ浮上搬送装置を提供することを目的とする。
さらに、本発明の他の目的は、高い組立加工精度を実現して、製造が容易で経済性にも優れたウェブ浮上搬送装置の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）本発明のウェブ浮上搬送装置は、
円筒曲面状のウェブ浮上面を有する搬送ガイドを備え、該ウェブ浮上面に設けられた流体吐出孔から圧力流体を吐出しウェブを浮上させて搬送するウェブ浮上搬送装置であって、
前記搬送ガイドがその軸芯に対し放射状に配列されて円筒曲面状のウェブ浮上面を形成する板状部材の積層集合体からなり、
互いに隣接して配列される前記板状部材の一方又は両方の積層面には、
前記ウェブ浮上面と前記圧力流体が供給される導入流路とを連結して前記流体吐出孔を形成する流体通過路が設けられており、
前記板状部材が、搬送ガイドの軸芯側から前記ウェブ浮上面に向ってその厚みが増すテーパ状部材と、厚みが一定の非テーパ状部材と、からなり、
前記搬送ガイドが、これらテーパ状部材と非テーパ状部材とを、その軸芯に対し放射状に配列させて円筒曲面状のウェブ浮上面を形成する板状部材の積層集合体からなることを特徴とする。
（２）本発明のウェブ浮上搬送装置は、前記（１）において、
前記板状部材の間に、その積層面に流体通過路が設けられていない第２板状部材が挟持されていることを特徴とする。
（３）本発明のウェブ浮上搬送装置は、前記（１）又は（２）において、
前記流体吐出孔が、前記搬送ガイドの軸芯に対し同一方向に複数個設けられた流体吐出孔列を形成し、隣接する流体吐出孔列同士の流体吐出孔の配置が、搬送ガイドの周方向において同一線上にはないことを特徴とする。
（４）本発明のウェブ浮上搬送装置の製造方法は、
円筒曲面状のウェブ浮上面を有する搬送ガイドを備え、該ウェブ浮上面に設けられた流体吐出孔から圧力流体を吐出しウェブを浮上させて搬送するウェブ浮上搬送装置の製造方法であって、
一方又は両方の積層面に前記ウェブ浮上面と前記圧力流体が供給される導入流路とを連結して前記流体吐出孔を形成する流体通過路が設けられており搬送ガイドの軸芯側から前記ウェブ浮上面に向ってその厚みが増すテーパ状部材からなる板状部材を、前記搬送ガイドの軸芯に対し放射状に配列し積層して、前記搬送ガイドを形成し、
前記板状部材が、一方又は両方の積層面に流体通過路が設けられ搬送ガイドの軸芯側から前記ウェブ浮上面に向ってその厚みが増すテーパ状部材と、積層面に流体通過路が設けられていない厚みが一定の非テーパ状部材とからなり、
前記搬送ガイドが、前記テーパ状部材と前記非テーパ状部材とを、その軸芯に対し放射状に配列し積層することを特徴とする。
（５）本発明のウェブ浮上搬送装置の製造方法は、
円筒曲面状のウェブ浮上面を有する搬送ガイドを備え、該ウェブ浮上面に設けられた流体吐出孔から圧力流体を吐出しウェブを浮上させて搬送するウェブ浮上搬送装置の製造方法であって、
一方又は両方の積層面に前記ウェブ浮上面と前記圧力流体が供給される導入流路とを連結して前記流体吐出孔を形成する流体通過路が設けられており搬送ガイドの軸芯側から前記ウェブ浮上面に向ってその厚みが増すテーパ状部材からなる板状部材を、前記搬送ガイドの軸芯に対し放射状に配列し積層して、前記搬送ガイドを形成し、
前記板状部材が、一方又は両方の積層面に流体通過路が設けられ厚みが一定の非テーパ状部材と、積層面に流体通過路が設けられておらず搬送ガイドの軸芯側から前記ウェブ浮上面に向ってその厚みが増すテーパ状部材とからなり、
前記搬送ガイドが、前記非テーパ状部材と前記テーパ状部材とを、その軸芯に対し放射状に配列し積層することを特徴とする。
（６）本発明のウェブ浮上搬送装置の製造方法は、前記（４）又は（５）において、
前記搬送ガイドの板状部材が伸び５％以下の脆性金属からなり、
前記板状部材を搬送ガイドの軸芯に対し放射状に配列して円筒曲面状のウェブ浮上面を形成するように、板状部材の端面を曲面状に加工処理することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のウェブ浮上搬送装置によれば、流体通過路を設けた板状部材を搬送ガイドの軸芯に対して放射状に配列して、円筒曲面状のウェブ浮上面を形成し、流体吐出孔列において、流体吐出孔の配置を搬送ガイドの周方向において同一線上には配置しないことで、ウェブ搬送面全体に均一な浮上力を付与することができる。【００１１】
また、搬送面に沿って均一の流体を吐出させウェブ浮上量を安定させることができ、ウェブの蛇行を発生させることなく、ウェブの搬送が可能となる。
さらに、本発明のウェブ浮上搬送装置をフィルムの延伸装置として用いた場合には、熱処理時におけるフィルムの温度分布を均一化させることができ、フィルムの延伸や乾燥工程での精密な分子配向制御ができる。【００１２】
本発明のウェブ浮上搬送装置の製造方法によれば、流体通過路を有する板状部材を積層して円弧面を形成していることから、レーザー加工、ドリル加工等の加工を用いなくとも、流体通過路を装置軸方向（フィルム幅方向）に任意の位置に配置することが可能となる。  レーザー加工、ドリル加工等の穿孔加工に比べると、容易に吐出断面積が小さく、かつ流路抵抗が大きい（流体通過路長／流体吐出口断面積の比が大きい）流体通過路を形成できる。【００１３】
また、本発明のウェブ浮上搬送装置をウェブ搬送に用いれば、前記搬送ガイドのウェブ浮上面からフィルム幅方向に適正条件に制御された圧縮空気や処理ガスなどの気体や、水溶液や処理液、水などの液体からなる流体を吐出して、浮上搬送用流体として吐出させるので、ウェブ浮上面全体に偏りのない均一な流体浮上層を形成することができ、特にフィルムのガラス転移温度Ｔｇ以上での延伸工程や乾燥等の熱処理工程を含むフィルム製造における品質保持性や信頼性に優れている。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施例１におけるウェブ浮上搬送装置の左断面を有した一部省略正面図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】実施例１のウェブ浮上搬送装置におけるウェブ搬送状態を示す断面説明図である。
【図４】実施例１のウェブ浮上搬送装置における、一方の積層面に流体通過路を設けた搬送ガイドを構成する板状部材の斜視図である。
【図５】実施例２におけるウェブ浮上搬送装置において、テーパ状部材と非テーパ状部材とを放射状に組み合わせて積層して搬送ガイドを構成を示す概略側面図である。
【図６】（ａ）は実施例２の搬送ガイドに用いるテーパ状部材を示す斜視図であり、（ｂ）は非テーパ状部材を示す斜視図である。
【図７】実施例２のウェブ浮上搬送装置の製造方法の一例を示す加工前の状態を示す説明図である。
【図８】図７の加工後の状態を示す説明図である。
【図９】実施例２のウェブ浮上搬送装置のウェブ浮上面に設けられた流体吐出孔列の状態を説明する展開図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
実施形態１に係るウェブ浮上搬送装置は、搬送ガイドが、その軸芯（円筒曲面状のウェブ浮上面を形成する円筒の軸芯）から放射状に配列された板状部材の積層集合体からなり、互いに隣接して配列される板状部材の一方又は両方の積層面には、ウェブ浮上面と圧力流体が供給される導入流路とを連結して流体吐出孔を形成する流体通過路が設けられている。
板状部材には搬送ガイドの軸芯側からウェブ浮上面側（外方）に向ってその厚みが増すテーパ状部材（楔状部材）を用いる。
これによって、流体吐出孔から吐出される搬送用流体の吐出条件を適正に設定することができ、搬送ガイドに当接することで生じるウェブのスジ状欠点やフィルム分子配向などの弊害を回避して、品質不良を招くことがなく、ウェブの品質保持性、搬送用流体の精密制御性に優れたウェブ浮上搬送装置とすることができる。
【００１６】
搬送ガイドは、長尺円柱状の形状を有してその上面がいわゆる蒲鉾型の円筒曲面状のウェブ浮上面を備えており、そのウェブ浮上面に所定配置で設けられた多数の流体吐出孔から圧縮空気や処理ガスなどの気体や、水溶液や処理液、水などの液体からなる流体を吐出して、ウェブを浮上させて搬送することができる。
また、搬送ガイドのウェブ浮上面の形状は、板状部材を放射状に組み合わせたときの端面の形状により、ストレートの円筒型とする場合の他、中央部が盛り上がった太鼓型（凸状）とする場合、逆に中央部がへこんで両端が盛り上がった鼓型（凹状）とする場合、など種々の形状が考えられる。太鼓型や鼓型にすると搬送中におけるウェブの皺取り効果が期待できる。
なお、搬送ガイドの下方には、流体吐出孔に圧力流体を供給する流体供給部が設けられている。
【００１７】
板状部材は、長尺円柱状の搬送ガイドの軸芯に対し放射状に配列されて、その上部端面が円筒曲面状のウェブ浮上面を形成する薄肉の長尺板状体である。
【００１８】
板状部材の一方又は両方の積層面には、その流体供給部側（軸芯）からウェブ浮上面側（外方）に向って流体通過路が設けられ、ウェブ浮上面と圧力流体が供給される導入流路とを連結している。流体通過路は、例えば、約０．３〜３ｍｍ×０．０５〜１ｍｍの矩形状断面もしくは半円形状断面を有しており、その他の多角形でも良い。
【００１９】
実施形態２に係るウェブ浮上搬送装置は、板状部材が、搬送ガイドの軸芯側からウェブ浮上面側（外方）に向かってその厚みが増すテーパ状部材（楔状部材）と、厚みが一定の非テーパ状部材と、からなり、搬送ガイドは、これらテーパ状部材と非テーパ状部材とを、搬送ガイドの軸芯に対し放射状に配列させて円筒曲面状のウェブ浮上面が形成されている。
非テーパ状部材とテーパ状部材とを組み合わせて配列してウェブ浮上搬送装置の搬送ガイドを構成できるので、複数の板状部材を積層した後に端面を曲面加工をすることで、ウェブ浮上面の曲面加工が容易となり、加工コストの低減を図ることができる。
【００２０】
非テーパ状部材はその厚みが一定の細長板状の部材であり、テーパ状部材は、その厚みが流体供給部側からウェブ浮上面側に向って増す細長板状の部材であり、その素材としては、ステンレススチール、スチール、鋳鉄などの金属材料が挙げられる。また、高強度耐磨耗性のエンジニアリングプラスチック材などの高強度樹脂材料も挙げられる。
流体通過路はテーパ状部材のみの一方若しくは両方の積層面に用いること、非テーパ状部材のみの一方若しくは両方の積層面に用いること、並びにテーパ状部材及び非テーパ状部材の一方若しくは両方の積層面に設けることができる。
【００２１】
実施形態３に係るウェブ浮上搬送装置は、流体吐出孔が、搬送ガイドの軸芯に対し同一方向に複数個設けられた流体吐出孔列を形成し、隣接する流体吐出孔列同士の流体吐出孔の配置が、搬送ガイドの周方向において同一線上にはないようにすることができる。
これによって、搬送ガイドのウェブ浮上面における流体吐出孔をさらに均一配置し、搬送面に対してフィルムなどのウェブが傾斜して搬送幅方向で浮上量が増加又は減少した場合でも、その浮上量を調整して、フィルム張力が少ないときに発生するフィルムの蛇行を抑制することができる。
なお、流体吐出孔列における流体吐出孔の間隔は、均等間隔の場合の他、搬送ウェブの幅方向の中央部に多数個設けることもできる。この場合、搬送中におけるウェブの皺取り効果が期待できる。
また、板状部材を放射状に配列する場合に、板状部材の間に、その積層面に流体通過路が設けられていない第２板状部材を挟持して配列することもある。これにより、ウェブ浮上面における流体吐出孔をさらに均一配置し、安定してウェブ搬送ができるようになる。
【００２２】
実施形態４に係るウェブ浮上搬送装置は、搬送ガイドの板状部材を伸び５％以下の脆性金属を用いることにより、ウェブ浮上面の円筒状曲面を研削や研磨加工等により円弧状に加工処理する。
これによって、ウェブ浮上面を形成する板状部材の端面を、研削や研磨加工等により曲面加工処理して効率的に形成できるので、組立て精度と耐久性に優れた搬送ガイドを経済的に製造できる。
脆性金属としては、所定量の炭素を含有した鋳鉄（例えばＦＣ２００）などが適用できる。
ここで、板状部材を構成する脆性金属の伸びが５％を超えると、ウェブ浮上搬送装置の搬送ガイドに用いた場合に、円筒状曲面の研削、研磨時に流体吐出口が加工時のかえりの発生により潰れてしまい、その処理工程に時間を要すため、好ましくない。
【００２３】
実施形態５に係るウェブ搬送方法は、搬送ガイドのウェブ浮上面に設けられた流体吐出孔から、圧力流体を吐出しウェブを浮上させて搬送することができる。
これによって、フィル支持面に当接されるウェブを流体吐出孔から吐出される水や圧縮空気などの圧力流体により、安定に支持することができる。
また、ウェブが軟化しやすいガラス転移温度Ｔｇの低いフィルムであっても、このように制御された圧力流体を吐出させることによって、ウェブ浮上面におけるフィルムが傾斜してもその浮上量を安定化させることができ、フィルムの変形を抑制しつつソフトに搬送することができ、
光学フィルムなどのウェブ製品における外観上のスジ状欠陥や変形を防止して品質不良となるのを回避できる。
【００２４】
また、ウェブ浮上搬送装置の搬送ガイドをラインの流れ方向を変更する場合の方向転換部材として用いる場合には、このような搬送ガイドをラインの方向変更箇所毎に複数設ければよい。
【００２５】
また、表面に軸方向に平行配置された流体吐出孔を流体通過路によって形成しているので、特別な精密な穿孔工程などを要せず、鋳鉄のような脆性金属やアルミニウムなどの合金、更には、高強度合成樹脂などでもて容易に製造できる。
以下、本発明の実施例を図面を参照してさらに具体的に説明する。
【実施例１】
【００２６】
図１は実施例１におけるウェブ浮上搬送装置の左断面を有した一部省略正面図であり、図２はその側面図である。図３はウェブ搬送状態の断面説明図である。図４は一方の積層面に流体通過路を設けた搬送ガイドを構成する板状部材の斜視図である。
実施例１のウェブ浮上搬送装置１０は、その上面側に円筒状曲面のウェブ浮上面１ａを有した搬送ガイド１を備え、搬送ガイド１は、その軸芯１ｂから放射状に配列されて円筒曲面状のウェブ浮上面１ａを形成するテーパ状部材２ａを積層した板状部材２の積層集合体から構成され、その左右両端には、これら複数の板状部材２の側部端面を締結して搬送ガイド１とするための段付部５ｂが設けられている。
そして、扇状のホルダー３と軸受部４により、板状部材２の段付部５ｂの左右両端を挟持して固定し、締結して一体化し搬送ガイド１を構成している。
搬送ガイド１は、図４に示すような、板状部材２の一方の積層面に流体通過路５が設けられたテーパ状部材２ａを、軸芯１ｂを中心として放射状に組み立てられることによって、上面がいわゆる蒲鉾型の曲面を呈するウェブ浮上面１ａを形成している。【００２７】
搬送ガイド１の下方には、流体吐出孔１１に圧力流体を供給する導入流路７が設けられており、この中空状の導入流路７へ、軸受部４を通して、図示しないコンプレッサーなどから圧縮空気などの圧力流体が供給されるようになっている。
軸受部４から導入通路７を通って供給されるウェブ浮上用の圧縮空気（圧力流体）は、板状部材２の各テーパ状部材２ａの積層面５ａに設けられた流体通過路５を通過して、ウェブ浮上面１ａ上の流体吐出孔１１から吐出される。
このようにして、図３に示すように、上面が蒲鉾型の搬送ガイド１の上部のウェブ浮上面１ａ上にウェブ浮上用の流体浮上層６を形成し、ウェブを非接触で搬送することができる。【００２８】
ウェブ浮上面１ａに設けられた流体吐出孔１１から吐出させる流体の噴出量は、搬送するウェブのサイズや種別、搬送速度などにより、別途設けられた制御装置により適正条件に制御することができる。
例えば、高い張力でウェブを搬送する場合は、流体吐出孔１１から吐出させる流体の圧力を高くすることにより、ウェブ浮上面１ａ上に形成される流体浮上層６におけるウェブ支持圧を高くし、ウェブの全面にわたって平均したウェブ搬送を実施することができる。
また、搬送ガイド１の幅方向の中心部の流体吐出孔１１から吐出させる流体の圧力を高くすることにより、搬送されるウェブの形状を太鼓形状にすることができ、搬送時のウェブの皺の発生を防止することができる。
【実施例２】
【００２９】
実施例２のウェブ浮上搬送装置は、実施例１のウェブ浮上搬送装置と実質同じであるが、板状部材の組合せにおいて差違がある。
すなわち、実施例２におけるウェブ浮上搬送装置の搬送ガイド１は、図５に示すように、テーパ状部材２ａと、平板の両面に流体通過路５が加工された非テーパ状部材２ｂと、を放射状に組み合わせて交互に積層して搬送ガイド１を構成した。
すなわち、実施例２のウェブ浮上搬送装置の搬送ガイド１は、図６（ａ）のテーパ状部材２ａと、図６（ｂ）の平板の両面に流体通過路５が加工された非テーパ状部材２ｂと、を交互に組み合わせて積層して搬送ガイドを構成したものである。【００３０】
次に、実施例２のウェブ浮上搬送装置の製造方法の一例を、図７、図８によって説明する。
まず、テーパ状部材２ａと、流体通過路５が加工された非テーパ状部材２ｂと、を放射状に積層組み合わせて、その左右両端段付部５ｂを締結する。
この時点では、テーパ状部材２ａと非テーパ状部材２ｂの端面（搬送ガイドのウェブガイドとなる面）は多角形状態であるが、この多角形状態の外周面を、側面を示す図７の一点鎖線で示す円弧形状１３に沿って研削、研磨などの加工をすることで、図８に実線で示す完成状態の円弧形状１３を得ることができる。【００３１】
上記円弧形状に沿って研削、研磨などの加工において、テーパ状部材や非テーパ状部材の材質によっては、加工した微細な流体通過路の流体吐出孔にかえりが発生して吐出孔がつぶれてしまい後処理が別途必要になる場合があるが、本実施例では板状部材の材質に、伸びが１％以下の脆性金属である鋳鉄Ｆ２００を使用することで、かえりの発生を極力防止すると共に、銅ブラシなどによる表面手入れを行なうことで発生したかえりの処理を実行することができる。
なお、テーパ状部材や非テーパ状部材には、防錆処理として無電解ニッケルメッキ処理を施してある。
実施例２の場合においては、流体通過路を非テーパ状部材に設けるので搬送ガイド１の製造が容易であり、製造コストの低減ができる。
【実施例３】
【００３２】
実施例３のウェブ浮上搬送装置は、実施例１のウェブ浮上搬送装置と実質同じであるが、ウェブ浮上面に形成される流体吐出孔の配置において差違がある。
すなわち、図９のウェブ浮上面の展開図に示すように、搬送ガイドの軸方向に複数形成された流体吐出孔１１が流体吐出孔列１１ａを形成しており、隣接する流体吐出孔列１１ａ、１１ｂ、１１ｃの流体吐出孔１１の配置が、搬送ガイド１の周方向（矢印Ｙ）において同一線上にはなく、寸法ｂだけずらして設けられている。
このように、周方向（Ｙ）で、隣接する孔幅ａよりも小さい範囲ｂずらすことにより、搬送されるウェブをより均一な吐出流体で浮上させることができる。特に、ガラス転移温度Ｔｇ以上で高温処理される熱可塑性樹脂フィルム面内の外観、厚み分布、分子配向分布の均一化が可能となる。
なお、図示する流体吐出孔１１の形状は四角形であるが、他の多角形や円等でもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
以上説明したように、本発明のウェブ浮上搬送装置は、円筒曲面状のウェブ浮上面を有する搬送ガイドを備え、ウェブ浮上面に設けられた流体吐出孔から圧力流体を吐出しウェブを浮上させて搬送するに際し、搬送ガイドが、その軸芯に対し放射状に配列されて円筒曲面状のウェブ浮上面を形成する板状部材の積層集合体からなり、互いに隣接して配列される板状部材の一方又は両方の積層面には、ウェブ浮上面と圧力流体が供給される導入流路とを連結して流体吐出孔を形成する流体通過路が設けられていることを要旨とするものであり、これによって、搬送されるウェブの幅方向全面に均一な流体浮上層を形成できる。
また、ガラス転移温度Ｔｇ以上でのウェブの延伸や乾燥等の熱処理工程においても、その品質を損ねることなくウェブの浮上搬送を実行することができ、産業上の利用可能性が極めて高い。
【符号の説明】
【００３４】
１    搬送ガイド
１ａ    ウェブ浮上面
１ｂ    軸芯
２    板状部材
２ａ    テーパ状部材
２ｂ    非テーパ状部材
３    ホルダー
４    軸受部
５    流体通過路
５ａ    積層面
５ｂ    段付部
６    流体浮上層
７    導入流路
１０    ウェブ浮上搬送装置
１１    流体吐出孔
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ  流体吐出孔列
１２    概略円弧形状
１３    円弧形状
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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