(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
標的物体の領域のイメージデータを提供するコンピュータで実行される方法であって、
前記標的物体の前記領域の第１のサブ領域の少なくとも１つの特徴を示す第１の中間的な物体関数を推定するステップと、
前記標的物体の前記領域の第２のサブ領域の少なくとも１つの特徴を示す第２の中間的な物体関数を推定するステップと、
前記標的物体の前記領域の各サブ領域は、前記標的物体の複数の選択されたエリアに関連する情報を含み、前記第１の中間的な物体関数、及び前記第２の中間的な物体関数は、少なくとも部分的に並列して推定され、
前記第１及び第２の中間的な物体関数を組み合わせて、前記標的物体の前記領域の少なくとも１つの特徴を示す組み合わされた物体関数を形成するステップと、
によって特徴付けられたことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記標的物体の前記エリアは、前記標的物体に対する入射放射線又は開口部のうちの一方を再配置することによって選択されることを特徴とする請求項１に記載のコンピュータで実行される方法。
【請求項３】
前記標的物体の前記選択されたエリアを前記サブ領域に割り当てるステップを含む請求項１又は２に記載のコンピュータで実行される方法。
【請求項４】
前記標的物体の前記エリアは、各サブ領域が等しい数のエリアを含むように、前記サブ領域に割り当てられることを特徴とする請求項３に記載のコンピュータで実行される方法。
【請求項５】
前記標的物体の前記エリアを前記サブ領域に再度割り当てるステップを含む請求項３又は４に記載のコンピュータで実行される方法。
【請求項６】
各中間的な物体関数の前記推定を、それぞれの計算ユニットに割り当てるステップを含む請求項１乃至５のいずれかに記載のコンピュータで実行される方法。
【請求項７】
計算ユニットの間で少なくとも一つの中間的な物体関数を転送して、少なくとも１つの他の中間的な物体関数に組み合わせるステップを含む請求項１乃至６のいずれかに記載のコンピュータで実行される方法。
【請求項８】
各々が前記標的物体のさらなるサブ領域に関連するさらなる中間的な物体関数を推定するステップを含み、
前記さらなる中間的な物体関数は、前記第１及び第２の物体関数と組み合わせられて、前記組み合わされた物体関数を形成することを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のコンピュータで実行される方法。
【請求項９】
中間的な物体関数の数は予め定められていることを特徴とする請求項８に記載のコンピュータで実行される方法。
【請求項１０】
標的物体の領域に関連するイメージデータを提供する装置であって、
前記標的物体の前記領域の第１のサブ領域の少なくとも１つの特徴を示す第１の中間的な物体関数を推定するように配置された第１の計算ユニットと
前記標的物体の前記領域の第２のサブ領域の少なくとも１つの特徴を示す第２の中間的な物体関数を推定するように配置された第２の計算ユニットと、によって特徴付けられ、
前記標的物体の前記領域の各サブ領域は、前記標的物体の複数の選択されたエリアに関連する情報を含み、前記第１の計算ユニット、及び第２の計算ユニットは、前記第１の中間的な物体関数、及び前記第２の中間的な物体関数を、少なくとも部分的に並列して推定するように配置され、
計算ユニットは、前記第１及び第２の中間的な物体関数を組み合わせて、前記標的物体の前記領域の少なくとも１つの特徴を示す組み合わされた物体関数を形成するよう配置されていることを特徴とする装置。
【請求項１１】
第１及び第２の計算ユニットはそれぞれのプロセッサ又は１つ以上のマルチコアプロセッサのコアであることを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記計算ユニットのうちの１つは、前記標的物体の前記選択されたエリアを前記サブ領域に割り当てるよう配置されていることを特徴とする請求項１０、又は１１に記載の装置。
【請求項１３】
コンピュータ可読データ記憶媒体であって、
前記コンピュータ可読データ記憶媒体は、自身に記憶された命令を有し、
前記命令は、コンピュータによって実行されると、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の方法を実行することを特徴するコンピュータ可読データ記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、標的物体のイメージが生成され得るイメージデータを提供する改善された方法及び装置に関する。
【０００２】
あらゆる目的で参照することにより本明細書に組み込まれるＷＯ２００５／１０６５３１は、標的物体の領域の高解像イメージを作成する方法及び装置を開示している。当該開示された装置及び方法において、入射放射線は、標的物体を照射するために、生じせしめられ、それが標的物体を通過すると散乱されて、入射放射線の波動関数は振幅及び位相の双方が、標的物体の前側における入射放射線の波動関数に対して、変更される。ＣＣＤ検出装置等の検出装置のアレイは、標的物体から適切な距離において配置されており、回折パターンが回折面に対する伝播によって形成される。１つの実施形態において、開口部が、標的物体のエリアを選択するように物体の後側に配置されている。別の実施形態では、低焦点レンズが、物体のエリアを照らすのに用いられる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
形成され且つ検出装置のアレイによって測定された回折パターン及び開口部又は低焦点レンズによって形成されたプローブ関数の認識を入力データとして用いて、アルゴリズムは、二次元複素関数の形態における物体関数を標的物体に対して判定するのに利用される。アルゴリズムは、ＷＯ２００５／１０６５３１において、特にそのドキュメントの図７ａ，７ｂに関して説明されている。以下から十分に分かるように、所定の事象が生ずるまで、アルゴリズムは繰り返された反復を必要とする。例えば、反復は、１０００回繰り返され得るし、又は、誤差二乗和（SSE:sum squared error）が十分小さくなるまで繰り返され得る。アルゴリズムの繰り返しは、比較的高速プロセッサでさえも相当の処理時間を要するかなりの処理要求を意味する。例えば、インテル「Ｃｏｒｅ２  ２ＧＨｚ」中央演算処理装置（CPU:central processing unit）を有するＰＣを用いたテストによれば、方法の単一の反復は、６４個の１０００×１０００のピクセルの回折パターンの１セットに８５秒要することを示している。通常、方法の１０回の反復が、高解像度のイメージを作成するのに要求され、それは約１４分要する。この問題を克服し又は少なくとも低減させることが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本願発明の実施形態の目的は、より短時間にてイメージデータの生成を可能にすることである。当該イメージデータから、高解像イメージを含むイメージが任意に作成され得る。
【０００５】
本願発明の実施形態の目的は、比較的短い期間で波長制限されたイメージデータを作成する方法及び装置を提供することを目的とする。
【０００６】
本発明の第１の態様によれば、標的物体の領域のイメージデータを提供するコンピュータで実行される方法を提供する。当該方法は、標的物体の領域の第１のサブ領域の少なくとも１つの特徴を示す第１の中間的な物体関数を推定するステップと、標的物体の領域の第２のサブ領域の少なくとも１つの特徴を示す第２の中間的な物体関数を推定するステップと、第１及び第２の中間的な物体関数を組み合わせて、標的物体の領域の少なくとも１つの特徴を示す組み合わされた物体関数を形成するステップと、を含む。
【０００７】
本発明の第２の態様によれば、標的物体に対する入射放射線又は標的物体の後側の開口部を高分解能で配置することなく、標的物体の領域のイメージデータを提供するコンピュータで実行される方法を提供する。当該方法は、線源からの標的物体における入射放射線を与えるステップと、少なくとも１つの検出装置を介して、標的物体によって散乱させられる放射線の強度を検出するステップと、当該検出された強度に応じて、標的物体の領域の第１のサブ領域及び第２のサブ領域のそれぞれの少なくとも１つの特徴を示す第１及び第２の中間的な物体関数を推定するステップと、第１及び第２の中間的な物体関数を組み合わせて、標的物体の領域の少なくとも１つの特徴を示す組み合わされた物体関数を形成するステップと、を含む。
【０００８】
本発明の第３の態様によれば、標的物体の領域に関するイメージデータを与える装置を提供する。当該装置は、標的物体の領域の第１のサブ領域の少なくとも１つの特徴を示す第１の中間的な物体関数を推定するように配置された第１の計算ユニットと、標的物体の領域の第２のサブ領域の少なくとも１つの特徴を示す第２の中間的な物体関数を推定する第２の計算ユニットと、を含む。計算ユニットは、第１及び第２の中間的な物体関数を組み合わせて、組み合わされた物体関数を形成するように配置されている。当該組み合わされた物体関数は、標的物体の領域の少なくとも１つの特徴を示す。
【０００９】
本発明の第４の態様によれば、標的物体の領域のイメージを作成するイメージデータを提供する装置を提供する。当該装置は、標的物体を所定位置に配置する配置手段と、入射放射線を配置手段によって配置された標的物体に与える線源と、標的物体によって散乱させられる放射線の強度を検出する少なくとも１つの検出デバイスと、標的物体の後側に配置された入射放射線又は開口部を、標的物体に関する１つ以上の位置に配置する放射線配置手段と、放射線配置手段によって選択された１つ以上のエリアを含む標的物体のサブ領域からの散乱された放射線の検出強度に応じて、第１の中間的な物体関数を決定する第１の処理手段と、放射線配置手段によって選択された１つ以上のエリアを含む標的物体のサブ領域からの散乱された放射線の検出強度に応じて、第２の中間的な物体関数を決定する第２の処理手段と、を含む。第１又は第２の処理手段のうちの一方又は第３の処理手段は、第１及び第２の中間的な物体関数を組み合わせて、組み合わされた物体関数を形成するように配置されている。当該組み合わされた物体関数は、標的物体の領域の少なくとも１つの特徴を示す。
【００１０】
本願発明の実施形態は、並列処理を使うことによって、物体関数の計算時間を減少させる。２以上の計算ユニットの各々は、中間的な物体関数を計算するのに用いられる。中間的な物体関数の計算後、計算ユニットは、中間的な物体関数を結合させて、その反復のために物体関数の推定を形成する。次の反復において、２つ以上の処理ユニットが、物体関数の以前の推定を利用して、計算ユニットによって組み合わせられる中間的な物体関数を再度計算するために、物体関数の次の反復の推定を形成する。このように、中間的な物体関数の並列処理が用いられる。しかしながら、個々の領域に対して推定された物体関数の間のディスパリティは生じないし、又は、中間的な物体関数の推定の頻繁な結合によって少なくとも最小化される。
【００１１】
本発明の実施形態について、添付図面を参照して、例示を目的としてのみ説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、従来から知られている移動開口部の配置を示す図である。
【図２】図２は、従来から知られている標的物体の後側の開口部を移動させる例示を示す図である。
【図３】図３は、従来の位相検索アルゴリズムを示す図である。
【図４】図４は、本発明に係る第１実施形態の方法の例示を示す図である。
【図５】図５は、４つの開口部の位置を概略的に示す図である。
【図６】図６は、本願発明の実施形態の計算ユニットの配置を概略的に示す図である。
【図７ａ】図７ａは、本発明に係る第２実施形態の方法の例示を示す図である。
【図７ｂ】図７ｂは、本発明に係る第２実施形態の方法の例示を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図面において、同様の参照符号を同様の要素に付してある。本発明の実施形態について説明する前に、ＷＯ２００５／１０６５３１において開示された従来の装置、方法、及びアルゴリズムについての簡単に紹介する。ＷＯ２００５／１０６５３１は、あらゆる目的で参照することにより本明細書に全体として組み込まれている。前述の先行技術の実施形態は、ＷＯ２００５／１０６５３１において開示されるように、移動開口部の配置である。しかしながら、低焦点レンズを移動させる従来の方法も知られていること、及び、本願発明の実施形態も低焦点レンズの配置等のともに使用され得ることが十分理解されるであろう。さらに、また、本願発明の実施形態は、物体のエリアを照らすために標的物体の前側の開口部を用いて使用され得る。
【００１４】
図１を参照すると、従来の配置が示されている。当該配置において、入射放射線３０が、標的物体３１を照らすために、生じせしめられる。
【００１５】
標的物体という用語は、入射放射線の経路に設けられ且つその放射線の散乱を生じせしめるあらゆる試験体又は品目を意味していることがさらに理解されるであろう。標的物体は、入射放射線に対して少なくとも部分的に透明であるべきであることがさらに理解されるであろう。標的物体は、何らかの反復性を有する構造体を有し得るし又は有し得ない。
【００１６】
放射線という用語は、線源からのエネルギーとして広く解釈されるべきであると理解されるべきである。これは、Ｘ線、電子等の放射粒子及び／又は音波を含む電磁気放射線を含むであろう。かかる放射線は、波動関数Ψ（ｒ）によって表され得る。当業者によって理解されるであろうが、この波動関数は、実数部及び虚数部を含む。これは、波動関数の係数及び位相によって表され得る。Ψ（ｒ）*は、Ψ（ｒ）とΨ（ｒ）の複素共役であり、Ψ（ｒ）*＝｜Ψ（ｒ）｜2であり、｜Ψ（ｒ）｜2は、波動関数に対して測定され得る強度である。
【００１７】
入射放射線３０は、標的物体３１を通過すると散乱される。入射放射線のかかる波動関数は、入射放射線が標的物体３１から出る際に、標的物体３１の前側における入射放射線の波動関数に関して振幅及び位相の双方が変更されるであろう。生ずる散乱は、フーリエ回折、屈折及び／又はフレネル回折並びに標的物体３１の後に伝播することの結果として入射放射線の特性が変更される散乱に関する他のあらゆる形態を含み得る。ＣＣＤ検出装置等の検出装置のアレイが標的物体から長距離にて配置される場合、回折パターンが回折面３３において形成される。ＣＣＤ検出装置３２が標的物体３１から距離Ｄにて配置される場合、フーリエ回折パターンが形成するだろう。ここで、Ｄは、点源から有効に形成されるべき回折パターンに対して、十分長い。回折面が、検出装置の近傍に配置されることによって、標的物体３１がより近傍に形成される場合、フレネル回折パターンが形成されるだろう。開口部３４は、調査を目的するとする標的物体の領域を選択するように標的物体の後側に配置されている。開口部は、マスクで形成されるので、開口部は「サポート」を画定する。サポートは、関数のエリアである。当該エリアにおいて、その関数はゼロでない。言い換えると、サポートの外側では、関数がゼロである。サポートの外側では、マスクは放射線の透過を妨げる。本願発明を用いて使用するための開口部は、有限である必要はなく、かつ、明確に画定される必要はない。それらは、可動であってもよく、自身の端部においてゆるやかに変化し得る。このようにゆるやかに変化するイルミネーション関数又は透過は高空間周波数から構成されない。言い換えると、それはバンド幅が制限された関数である。いかなるレンズをも使用されていないので、大なる視野が検出装置３２によって測定され得る。開口部という用語は、放射線の局在化された透過関数をいう。これは、０から１までの係数値を有する２次元の複素変数によって表され得る。実施例は、様々な透過率を有する物理的開口部領域を有するマスクである。
【００１８】
図２は、図１の配置を介した波の伝播を概略的に図示している。入射放射線３０は、標的物体３１の上流側を照らし、それが透過する際に標的物体３１によって散乱される。標的物体波Ｏ（ｒ）は、標的物体３１との相互作用の後における放射線の出口波動関数である。このように、Ｏ（ｒ）は、二次元複素関数を表しているので、ｒが二次元座標であるＯ（ｒ）の各ポイントは、複素数をそれに関連づけている。Ｏ（ｒ）は、平面波によって照らされる標的物体３１から発する出口波を物理的に表している。例えば、電子散乱の場合、Ｏ（ｒ）は、対象となる標的物体３１を通過する結果として、入射波に導入された位相及び振幅の変化を表しているであろう。開口部３４は、分析のための物体の出口波動関数の一部を選択するプローブ関数Ｐ（ｒ）（又はフィルタ関数）を提供する。開口部を選択するというよりも、透過グレーティング又はフィルタ関数等の他のものが、物体関数の下流に配置され得ることがさらに理解されるであろう。プローブ関数Ｐ（ｒ−Ｒ）は、開口部伝播関数である。当該開口部伝播関数において、開口部が位置Ｒに存在する。プローブ関数は、係数及び位相によって与えられた複素数を有する複素関数として表され得る。当該係数及び位相は、それに入射する完全な平面波に対してプローブによって導入された係数及び位相の変化を表している。
【００１９】
出口波動関数Ψ（ｒ，Ｒ）４３は、それが開口部から出る際の放射線の出口波動関数である。この出口波Ψ（ｒ，Ｒ）４３は、回折面３３において回折パターンΨ（ｋ，Ｒ）４４を形成する。ここで、ｒは実空間におけるベクトル座標であり、ｋは回折空間におけるベクトル座標である。
【００２０】
図３は、物体の波動関数を取得して、イメージデータを取得する従来技術のアルゴリズムを示している。当該イメージデータは、物体の高解像度なイメージを作成するのに後に使用され得る。図３は、図１及び２に図示された配置を使用し、かつ、回折パターンを測定した後の第１の位置から第２の位置まで開口部を移動させる方法を図示している。当該第２の位置において、第２のそれぞれの回折パターンが測定され得る。
【００２１】
上述したように、Ｏ（ｒ）及びＰ（ｒ）は、二次元複素関数を表している。すなわち、ｒが二次元座標であるＯ（ｒ）又はＰ（ｒ）の各ポイントは、複素数をそれに関連づけている。以下において、Ｏ（ｒ）は、平面波によって証明される標的物体から発する出口波を物理的に表している。例えば、電子散乱の場合、Ｏ（ｒ）は、入射波に導入された位相及び振幅の変化を表しているであろう。
【００２２】
以下において、Ｐ（ｒ）は、例えば、レンズ若しくは他の光学要素によって形成されたコーステック分布又は照度分布によって形成された照射関数、又は、物体関数の下流においてマウントされた開口部若しくは伝播グレーティング等のフィルタリング関数を表している。
【００２３】
以下において、Ｏ（ｒ）又はＰ（ｒ）は、様々な距離Ｒにより、互いに移動され得ることが想定され得る。我々はＰ（ｒ）に対してＯ（ｒ）を同等に移動させることができるものの、採用された用語は、Ｐ（ｒ）を移動させることに関して記載されている。双方の状況において、Ｏ（ｒ）の複素値は、Ｐ（ｒ−Ｒ）とＯ（ｒ）の積を形成することによって、変更されて、以下の式（１）のΨ（ｒ）の全出口波動関数を与える。
【００２４】
【数１】
0005575776.tif 000002
【００２５】
アルゴリズムは、複素関数Ψ（ｒ，Ｒ）の位相及び強度を見出すように動作する。アルゴリズムは、関数Ｐ（ｒ−Ｒ）に関する入力知識として必要とし、標的物体３１を含むそれとは異なる平面における波動関数の強度についての１つ以上（望ましくはいくつか）の測定値を必要とする。フーリエ変換によって試験体の面に関連する回折面を利用することは、有益である。この場合、測定された入力データは、１つ以上のプローブ／開口部の位置における回折パターンの強度である。しかしながら、試験体／開口部の出口表面から所定の距離において測定された１セットの非焦点イメージに基づいて、アルゴリズムを駆動することも可能である。この状況において、自由空間の伝播関数がフーリエ変換に置換される。アルゴリズムは、これらの２つの変換の使用に制限されない。他の有効的な変換が、情報に関する一方の面から他方の面まで移行するのに使用され得る。以下において、一般的な変換Ｔは、波動関数を、平面１と称される第１の平面から、平面２と称される第２の平面に変換する変換を意味する。
【００２６】
アルゴリズムは、図３を参照して、以下のように動作する。
【００２７】
１．ステップＳ７００において、物体関数Ｏg,n（ｒ）における推定から、開始する。ここで、添字ｇ、ｎは、アルゴリズムのｎ番目の反復において推定された波を表している。これら関数は、平面１内にある（フーリエ変換が使用される場合には実空間平面である）。Ｏg,n（ｒ）の第１の推定は、すべてのポイントｒにおいて均一であり得る。これは、存在しない試験体に対応する。あるいは、Ｏg,n（ｒ）は各ポイントにおいてランダムに設定され得る。
【００２８】
２．位置と特性に関する周知の開口部がステップＳ７０１で選択される。これは、プローブ関数Ｐ（ｒ−Ｒ）を提供する。ステップＳ７０２において、物体関数における現行の推定は、現在の位置Ｒにおける開口部又はプローブ、Ｐ（ｒ−Ｒ）で掛けられる。これは、以下の式（２）によって表せられる位置Ｒに対して推定された（平面１における）出口波動関数を作成する。
【００２９】
【数２】
0005575776.tif 000003
【００３０】
３．次に、ステップＳ７０３において、（フーリエ変換が使用される場合には回折空間平面であるだろう）平面２内の対応する波動関数を取得するためのΨg,n（ｒ，Ｒ）の変換が、その位置Ｒに対して行われる。ここで、Ｔは、多くの場合フーリエ変換である何らかの一般的な変換を表すのに使用されているが、フレネル型の自由空間の伝播関数又はアルゴリズムの特定の適用に合致する他の変換でもあり得る。
【００３１】
【数３】
0005575776.tif 000004
【００３２】
ｋは、平面２におけるベクトル座標である。(フーリエ変換において、ｋは、通常の逆格子空間座標であろう。プロパゲータに対しては、ｋは、非焦点面内のｘｙ座標であるだろう）。Ψg,n（ｋ，Ｒ）は、推定された物体関数Ｏg,n（ｒ）によって作成されているので、Ψg,n（ｋ，Ｒ）は、平面２における現実の波動関数の「推定された」バージョンであることに留意することが重要である。アルゴリズムの連続した反復によって、Ψg,n（ｋ，Ｒ）のさらに正確なバージョンが作成されるだろう。
【００３３】
尚、Ψg,n（ｋ，Ｒ）は、以下の式（４）によって表され得る。
【００３４】
【数４】
0005575776.tif 000005
【００３５】
ここで、｜Ψg,n（ｋ，Ｒ）｜は、（推定された）波動関数の振幅であり、θg,n（ｋ，Ｒ）は、位置Ｒに対する反復ｎにおける（推定された）位相である。
【００３６】
検出器アレイ３２等の周知の技術によって回折パターンの強度を測定することによって、実際に変換された出口波動関数に関する情報が知られる。開口部が第１の位置に存在して測定された回折パターンの強度は、回折パターンの複素波動関数の推定の基準を形成する。しかしながら、測定された強度は波動関数の位相に関する情報を提供しない。むしろ、測定された強度はΨ（ｒ）の二乗係数、すなわち、｜Ψ（ｒ）｜2に対応し得る。平面２における回折パターンの放射強度がステップＳ７０４において一旦知られると、以下のステップが実行され得る。
【００３７】
４．ステップＳ７０５において、推定された平面２の波動関数の強度を周知の値に修正する。
【００３８】
【数５】
0005575776.tif 000006
【００３９】
ここで、｜Ψ（ｋ，Ｒ）｜は、既知の平面２の係数である。それは、イメージ面における測定された強度の平方根である。
【００４０】
５．（平面１の）出口波動関数における新規であり且つ改善された推定を取得するための実空間への逆変換Ｓ７０６（Ｔ-1は、以前に使用された変換Ｔの逆を表している）
【００４１】
【数６】
0005575776.tif 000007
【００４２】
６．以下の式（７）の更新関数を使用して、ステップＳ７０７を介して、開口部又はプローブによってカバーされたエリアにおいて推定された物体波動関数を更新する。
【００４３】
【数７】
0005575776.tif 000008
【００４４】
ここで、パラメータβ、δ、及びｌが適切に選択され、｜Ｐmax（ｒ−Ｒ）｜は、Ｐ（ｒ）の振幅の最大値である。結果は、物体関数（Ｓ７０８）の新規な推定である。
【００４５】
更新関数は、生じ得る有効なデコンボリューションを作成するのに有益であり、物体関数が最も強固に更新されることを生じせしめる重み付け因子を導入する。物体関数が最も強固に更新される場合において、プローブ関数が最大振幅を有する。選択可能な定数ｌは、１に設定され得る。それは、０〜３の範囲の任意の値として選択されてもよくて、整数値である必要はない。ノイズが大きいときに、ｌ＞１に設定することは有益である。散乱の幾何学の故に、検出された強度が、ガボールホログラム又は同様の形態であるときには、ｌは、ｌ＜１に選択され得る。｜Ｐ（ｒ−Ｒ）｜＝０である場合、値δが、０で割られることを防止するのに使用される。δは、ウィーナーフィルタ（Ｗｅｉｎｅｒ  Ｆｉｌｔｅｒｓ）に普通に適用されるような小さな実数であり、通常、Ｐmaxより小さく（必ずしも小さくはない）、記録データに存在するノイズが小なる場合には、より小であり得る。一定のβはアルゴリズムにおいてフィードバック量を制御し、約０．１と１の間において有利に変化され得る。βが０．５未満であるとき、物体の以前の推定は、新規の推定よりも重要であると考慮される。中間の値は、２つの推定に関する相対的重要度を変化させる。βは、解にどれくらい高速に達しているかを判定する。
【００４６】
δは、固定値で設定され又は変動し得るパラメータである。それは、記録されたデータがどの程度のノイズを有するのかを示しており、更新がこれらの事情に応じてどのように行われるかを減衰させるのに使用される。良好な条件が、データ収集のために、すなわち、低いショット雑音を意味する高いビーム電流（高流束）を用いて、存在する場合、推測された推定を更新するために集められた結果を使用することは、より安全である。その結果、δの値は、Ｐmaxの小なる部分（例えば、１／１０未満）であり得る。
【００４７】
以下の式（８）は、｜Ｐ（ｒ―Ｒ）｜が大である領域の更新効果を最大化する。
【００４８】
【数８】
0005575776.tif 000009
【００４９】
これは、有益である。なぜならば、それが、入射放射線の最高量を受信しており、比較的高いＳＮ比を有する情報を含むそれら領域であるからである。この情報は、非常に小なる放射が入射する領域からものよりも明確に有益であり、且つ、ノイズにより大きく影響される領域からのものよりも明確に有益である。
【００５０】
β＝１、ｌ＝０であり、かつ、δ＝０であり、関数Ｐ（ｒ−Ｒ）が、その値が単一である領域によって表され得るか又は関数をサポートする領域によって表され得るマスクである状況に対して、アルゴリズムは周知のＦｉｅｎｕｐアルゴリズムといくつかの点で類似している。この状況において、１つの位置Ｒだけが使用される場合、アルゴリズムは基本的なＦｉｅｎｕｐアルゴリズムと数学的に同じになすよう低減する。１つより多い位置Ｒが使用される場合、アルゴリズムは、周知の方法に対して注目に値すべき利点を有する。当該利点は、一意性の問題を受けないという事実及びより広範な視野が撮像され得るという事実を含む。
【００５１】
推測の駆動推定を更新するステップに続いて、図７ａ，７ｂに示されたアルゴリズムは、新規な位置Ｒを選択するステップに進む。当該新規な位置Ｒは、以前の位置と少なくとも部分的に重複する。重複は、望ましくは２０％より大であるべきであり、望ましくは、５０％以上である。これは、開口部を矢印の向きに移動させることによって、達成され得る。図１において、所定の量によって、又は、物体を照らす放射線を標的の異なる領域に照射せしめることによって、示されている。標的物体の１つの位置に対するイメージデータが、開口部又は入射放射線の位置のいかなる変化をも伴うことなく、提供されることが理解されるであろう。かかる実施形態において、ステップＳ７０８の後に、アルゴリズムは、ステップＳ７０２に戻る。物体関数Ｏ（ｒ）の初期の推定がロードされる代わりに、ステップＳ７０８のＯ（ｒ）に対する新規な推定がロードされる。各反復において、入射放射線の既知の強度及び既知の振幅の要素に関する情報が、推定の精度を向上せしめるのに付加されるにつれて、各反復において、物体関数の新規な推定が、現実の物体関数により近似するであろう。
【００５２】
それにもかかわらず、より好ましい方法は、図３に示されているように、以前の位置と部分的に重複する新規な位置Ｒを移動させることである。
【００５３】
第２の位置における周知のプローブ関数Ｐ（ｒ−Ｒ2）は、ステップＳ７０９において特定されて、上述したステップが繰り替えされるので、ステップＳ７０８で作成された新規な推定は、ステップＳ７０９で特定された新規の周知のプローブ関数と掛けられる。これは、ステップＳ７１０に図示されている。関連する実施形態に依存して、事実上、これは、試験体の後側又は開口部の後側において出口波動関数を作成する。得られた出口波動関数が、ステップＳ７１１において伝播されて、その位置において検出されるべき散乱パターンの推定を提供する。回折パターンは、ステップＳ７１２において測定される。当該ステップＳ７１２は、強度情報及び変換された波動関数に関する強度情報を提供する。強度情報は、変換された波動関数の振幅を補正するのに使用され、一方、位相情報は、ステップＳ７１３において保持される。この補正された波動関数は、（イメージが遠方の領域において形成されるとき、）フーリエ変換を介して、イメージが、フレネル回折がしないしている位置において形成されるときにはフレネル型変換を介して、又は、いかなる他の適切な変換によって、逆に伝播され得る。これは、ステップＳ７１４において図示されている。そして、ステップＳ７１５に上に示されていた更新関数に従って、Ｏ（ｒ）の駆動推定は補正され、結果が、ステップＳ７１６において図示された物体関数の新規な推測となる。
【００５４】
この段階において、照射位置又は開口部の更なる移動が、第３の位置又は他の位置に対してなされ得る。以前に照らされた位置の間においていくつかの重複が生じる位置が、好ましい。このように、すべての標的物体が任意にマップされ得る。あるいは、ステップＳ７１６で作成された新規な推測は、既知の回折パターン結果を知ることなく、繰り返され得る。図３において、反復方法は、ステップＳ７０２に戻ることによって繰り返されるものとして、図示されている。当該ステップＳ７０２において、ステップＳ７１６で作成された新規推測は、ステップＳ７００で供給された物体関数の初期の推定よりも、むしろ乗法ステージに入力される。
【００５５】
反復方法は、所定の事象が生ずるまで、繰り返され得る。例えば、反復は、所定の回数、例えば、１０００回繰り返され得るし、又は、誤差二乗和（ＳＳＥ：ｓｕｍ  ｓｑｕａｒｅｄ  ｅｒｒｏｒ）が十分小さくなるまで繰り返され得る。ＳＳＥは、以下の式（９）のように、平面２内において測定される、
【００５６】
【数９】
0005575776.tif 000010
【００５７】
ここで、Ｎは、波動関数を表すアレイにおけるピクセル数である。
【００５８】
反復処理の間、物体関数に関する最新の推測は、その物体関数に対して駆動推定を提供する。所定の事象の発生によって判定される際に、反復処理が完了されたとき、物体関数の駆動推定は、入射放射線に照らされ又は標的物体の後側の開口部の位置によって選択される位置におけるイメージデータを提供する。このイメージデータは、振幅及び位相の情報を含む。当該振幅及び位相の情報は、標的物体の選択された領域に関する高解像度画像を作成するのに後に使用され得る。
【００５９】
しかしながら、上述したように、上記アルゴリズムを多くの回数、例えば、１０００回駆動することは、相当の計算時間を要する大きな計算負荷を意味している。物体関数のより速い計算を可能にする方法及びアルゴリズムについて、説明する。
【００６０】
本発明に係るアルゴリズムの実施形態は、異なるｎの位置Ｒ1…Ｒnにおける開口部により形成された回折パターンに影響する。ここで、ｎは２以上である。アルゴリズムの実施形態が、入射放射線を標的物体３１の異なる領域に照射することによって形成された回折パターンにも利用され得ることが明確に理解されるであろう。上述したように、各開口部の位置は、以前の開口部の位置と少なくとも部分的に、望ましくは少なくとも２０％以上、さらに望ましくは少なくとも５０％だけ重複するべきである。
【００６１】
図４に示すように、方法はステップ４０１において開始する。
【００６２】
ステップ４０２において、ｎ個の開口部位置Ｒ1…Ｒnが、ｍの領域Ｓ1…Ｓmに分割され、又はｍの領域Ｓ1…Ｓmに配置される。ｍ個の領域を分割する必要はないので、各々が、同じ数の開口部の位置を含む。そのようにすることは、全計算時間が最速となるであろう。いくつかの実施形態においては、ｍ個の領域は、各開口部の位置を厳密に１回含み得る。すなわち、ｍ個の領域のすべてが、厳密に、Ｒ1…Ｒnである。
【００６３】
本願発明の実施形態について図示するため、４つの異なる開口部位置Ｒ1…Ｒ4を用いる１つの例について説明する。４つの異なる開口部位置Ｒ1…Ｒ4は、２つの領域Ｓ1、Ｓ2にグループ化される。したがって、当該一例において、ｎ＝４であり、かつ、ｍ＝２である。図５は、４つの領域５０１−５０４の例示を示している。ここで、Ｒ1＝５０１、Ｒ2＝５０２、Ｒ3＝５０３、及びＲ4＝５０４である。尚、４つの領域の形状及び配置は、単なる一例であって、それらの重複の度合いは、単に例示のために示されている。ステップ４０２において、４つの開口部位置Ｒ1…Ｒ4は、２つの領域Ｓ1、Ｓ2に分割されているので、Ｓ1は、Ｒ1及びＲ3を含み、Ｓ2は、開口部の位置Ｒ2及びＲ4を含む。尚、開口部の位置は、領域に任意に割り当てられている。例えば、Ｓ1は開口位置のＲ1とＲ4を含むであろうし、領域と開口部の位置との位置関係等の相互関係は全く必要とされない。
【００６４】
ステップ４０３において、異なる開口部位置におけるプローブ関数に関係する重み関数ｗN（ｒ−Ｒ）は、各開口部の位置に対して計算される。各々の領域に対する重み関数ｗs（ｒ，Ｓm）は、計算される。重み付けの目的は、物体関数が最も強固に更新されることを生じせしめることである。物体関数が最も強固に更新される際に、プローブ関数は、最大振幅を有する、すなわち、より多くの情報を伝送する。
【００６５】
更に詳細に説明すると、すべての開口部の位置に対する全重みは、式（１０）に従って計算される。
【００６６】
【数１０】
0005575776.tif 000011
【００６７】
ここで、ｎ個の異なる開口部の位置が存在し、ｗ（ｒ−Ｒ）は、特定の開口部の位置Ｒに対する個々の重み付け因子であり、式（１１）によって与えられる。
【００６８】
【数１１】
0005575776.tif 000012
【００６９】
この重み付け因子は、定義及び意味において、従来技術において見出されたものと同一であり、重み付け因子は、スカラー変数ではなく、物体関数が最も強固に更新されることを生じせしめる。物体関数が最も強固に更新される際には、プローブ関数は、最大振幅を有する。重み付け因子は、先に示したように、本質的には、β及びｌによって修正されたプローブ関数の規格化されたバージョンである。
【００７０】
すべての開口部の位置における規格化され且つ重み付けされたプローブ関数は、式（１２）によって計算される。
【００７１】
【数１２】
0005575776.tif 000013
【００７２】
ｗN（ｒ−Ｒ）の条件付きの割り当ての目的は、０で割られることを防止することであり、これは、Ｗt（ｒ）＝０である場合に生ずる。
ｍ領域の各々に対して、重み関数は、以下の式（１３）よって計算される。
【００７３】
【数１３】
0005575776.tif 000014
【００７４】
ここで、Ｓmは、ｍ番目の領域である。
したがって、実施例に対して、領域Ｓ1の重み付けは、以下の式（１４）によって与えられる。
【００７５】
【数１４】
0005575776.tif 000015
【００７６】
一方、領域Ｓ2の重み付けは、以下の式（１５）によって与えられる。
【００７７】
【数１５】
0005575776.tif 000016
【００７８】
いくつかの実施形態においては、開口位置重み関数を計算するのに用いられる式（１０）−（１２）は、先見的に予め計算され得る。すなわち、重み関数は、アルゴリズムが開始することが望まれる前に、予め判定され得るので、計算時間が節約される。第１の実施形態において、式（１３）−（１５）は、前もって計算され得る。これは、領域間における開口部の位置の割り当ては、アルゴリズムの反復中、変化しないからである。
【００７９】
ステップ４０４において、各領域に対する中間的な物体関数の計算は、２つ以上の計算ユニットの中から選択された計算ユニットに割り当てられる。アルゴリズムの繰り返して行われる反復中に、各領域に対する中間的な物体関数は繰り返して計算されるだろう。中間的な物体関数の計算を、繰り返し行われた反復を介して、特定の計算ユニットに割り当てることが便利である。アルゴリズムは、このように抑制されない。すなわち、第１の計算ユニットは、第１の反復中に、領域Ｓ1に対する中間的な物体関数を計算し得るし、第１の反復中の領域Ｓ1に対する中間的な物体関数の当該計算は、第２の計算ユニットによって実行され得る。
【００８０】
計算ユニットという用語は、独立した計算を実行することが可能であるユニットを意味していると、理解される。例えば、個々のプロセッサが、計算ユニットを代表し得る。しかしながら、マルチコアプロセッサのコアは、計算ユニットをも代表し得る。マルチコアプロセッサのコア又は個々のプロセッサのアーキテクチャの組み合わせも、使用され得る。その上、計算ユニットは、互いにローカルであってもよい、すなわち、バス相互接続され得るし、又は、遠隔的に設けられ得るし、例えば、ＬＡＮ又はＷＡＮネットワーク等のネットワークの有線の若しくは無線の通信媒体によって共に接続され得る。
【００８１】
１つの実施形態において、各計算ユニットは、各領域に対する中間的な物体関数を計算する。しかしながら、他の実施形態において、１つ以上の計算ユニットは、これら計算ユニットの実行速度に依存して、１つ以上の領域に対する中間的な物体関数を計算し得る。各計算ユニットが、それが他の計算ユニットとほぼ同時に割り当てられた１つ以上の領域に対する中間的な物体関数を計算するステップを終了するように、計算ユニットの計算負荷のバランスをとることが望ましいであろうことがさらに理解されるであろう。これにより、異なる実行速度を有する計算ユニットは、組み合わせて使用されることが可能となる。
【００８２】
実施例として、中央計算ユニット及び２つのスレーブ計算ユニット６０２、６０３を含む図６に、配置が示されている。当該実施例において、中央計算ユニットは、図４に図示された方法のステップ４０２−４０４を実行することを含み、スレーブ計算ユニット６０２、６０３の各々は、説明した実施例の各領域Ｓ1、Ｓ2に対する中間的な物体関数を平行して計算する。「中央の」及び「スレーブ」という表示は、中央計算ユニット６０１に対するスレーブ計算ユニット６０２、６０３のすべての機能的な相互依存性、又は、計算ユニット間のあらゆる性能階層構造を意味していない。例えば、中央計算ユニット６０１は、スレーブ計算ユニット６０２、６０３と同一であり得る。その上、例示的配置は、ｍ領域の各々に対して２つの領域Ｓ1、Ｓ2に関する例示を目的として用いられており、当該ｍ領域の各々に対して、中間的な物体関数が、それぞれのスレーブ計算ユニット６０２、６０３と、中央計算ユニット６０１によって使用される中間的な物体関数とによって計算されて、各領域に対する中間的な物体関数又は組み合わされた物体関数を計算するだろう。中央計算ユニット６０１は、１つの領域に対する中間的な物体関数を計算して、スレーブ計算ユニット６０２の１つによって他方の領域に対して計算された中間的な物体関数を使用して、組み合わされた物体関数を計算して、必要とされるスレーブ計算ユニットの数を低減せしめることが十分理解されるであろう。
【００８３】
ステップ４０５において、計算ユニットは、すべての領域に対する中間的な物体関数の推定を平行して計算する。
【００８４】
各領域に対して、ＷＯ２００５／１０６５３１のアルゴリズムが利用される。当該ＷＯ２００５／１０６５３１のアルゴリズムは、物体関数の推測及び周知のプローブ関数から開始し、２を掛けて、第１の平面内の推定された出口波動関数を形成し、その出口波動関数を変換して、第２の平面内の出口波動関数を形成するステップを含む。当該第２の平面内の出口波動関数は、当該関数を逆変換する前に、第２の平面における波動関数の測定強度に対して補正されて、特にステップ７００−７０６に関して説明したように、第１の平面内の出口波動関数の改良された推定が、取得される。より詳しくは、図３及びＷＯ２００５／１０６５３１を参照されたい。
【００８５】
ＷＯ２００５／１０６５３１は、ｊ＋１番目の反復に対する物体関数を更新するのに使用される式（１６）を与えている。
【００８６】
【数１６】
0005575776.tif 000017
【００８７】
これは、以下の式（１７）により書き換えられえる。
【００８８】
【数１７】
0005575776.tif 000018
【００８９】
一般性を損失することなく、我々は、ｎ個の開口部の位置があるときの書き換えられた式（１７）の適用を考慮し、我々は、ｉ回の反復に取り組むことを希望する。
【００９０】
本発明の実施形態において、ｍ番目の領域
【００９１】
【数１８】
0005575776.tif 000019
【００９２】
における開口部の位置に対するｊのステップ後の中間的な物体関数の推定が、ｍ番目の領域における開口部の位置に対して、図３に示されたように計算され得る。各領域に対する中間的な物体関数を計算するためには、以前の反復
【００９３】
【数１９】
0005575776.tif 000020
【００９４】
からの物体関数の結果が、利用される。アルゴリズムの第１の反復に対して、物体関数は、すべてのポイントｒにおいて均一であり得るし、又は、各ポイントにおいてランダムに選択され得る。また、他の初期値が使用され得る。さらに、各領域に対する初期の物体関数は、その値が異なり得ることに留意すべきである。したがって、中間的な物体関数
【００９５】
【数２０】
0005575776.tif 000021
【００９６】
が、式（１８）を用いてｍ番目の領域に対して更新される。
【００９７】
【数２１】
0005575776.tif 000022
【００９８】
ここで、
【００９９】
【数２２】
0005575776.tif 000023
【０１００】
であり、ｆ（ｊ）＝ｍｏｄ（ｊ，ｎ）であり、ｍｏｄは、ｎで割った整数後のｊの係数（残余）を表している。
【０１０１】
ｎ／ｍが整数でない場合、ｊの最大値は適切に選択され得る。例えば、２つの領域と５つの開口位置（ｍ＝２，ｎ＝５）を含む例示的実施形態において、１つの領域は、３つの開口部の位置を含むものの、他方の領域は、２つの開口部の位置を含む。３つの開口部の位置を含む領域に対して、ｊは、１、２、及び３の値を推定するのに必要であろうが、他の領域ｊは、１及び２の値を推定するのに必要であろう。したがって、各領域に対するｊの最大値は適切に選択され得る。
【０１０２】
ステップ４０５の結果、すべての領域に対する中間的な物体関数の推定が、計算された。したがって、当該実施例に対して、第１のステップｊ＝１の後に、領域１の中間的な物体関数の推測である
【０１０３】
【数２３】
0005575776.tif 000024
【０１０４】
と、領域２の中間的な物体関数の推測である
【０１０５】
【数２４】
0005575776.tif 000025
【０１０６】
とが計算されている。
【０１０７】
ステップ４０６において、中間的な物体関数の推定は、反復ｉに対する物体関数の推定Ｏg,iを作成するために結合される。
【０１０８】
中間的な物体関数の推定の組み合わせは、以下の式（１９）によって達成され得る。
【０１０９】
【数２５】
0005575776.tif 000026
【０１１０】
ここで、ｍａｘ（Ｗt（ｒ））は、ｒにわたるWt(r)の最大値である。
【０１１１】
ステップ４０７において、アルゴリズムが十分な回数繰り返されたかどうかが判定される。アルゴリズムは、所定数の反復回数、例えば、１０００回、行われ得るし、又は、誤差二乗和（ＳＳＥ）が十分小さいときに終了され得る。
【０１１２】
ＳＳＥは、以下の式（２０）により計算され得る。
【０１１３】
【数２６】
0005575776.tif 000027
【０１１４】
式（２０）において、ＮはＯにおけるピクセル数である。
【０１１５】
テストは、インテル（ＲＴＭ）Ｃｏｒｅ２ＰＣを使用するとき、本願発明のある実施形態を使用して、１回の反復あたり５秒まで、１回の反復あたり８５秒を必要とする上記従来技術の解法が低減されたことを示している。
【０１１６】
本発明の第２の実施形態について説明する。当該本発明の第２の実施形態において、領域の間における開口部の位置の区分化は、頻繁に変更され得る。
【０１１７】
第２の実施形態において、図７ａ，７ｂに示されるように、開口部の位置は、物体関数の計算の反復の間、領域の間において割り当てられる。開口部の位置の割り当ては、アルゴリズムのすべての反復において固定されている必要はない。例えば、開口部の位置の割り当ては、反復の５０％が実行された後に又は反復の１０％又は２５％毎の後に、変更され得る。より好ましくは、開口部の位置は、アルゴリズムの反復毎に、領域の間において割り当てられ得る。領域に対する開口部の位置の割り当ては、所定の方法により又は無作為に実行され得る。
【０１１８】
方法はステップ７０１において開始する。ステップ７０２において、各開口部の位置に対する重み関数が計算される。各開口部に対する重み関数は、前述したように、予め計算され得る。ステップ７０３において、複数の領域の間における開口部の位置の初期の区分化が、実行される。初期の区分化は、予め決められ得る。その場合、それは、各領域に対する初期の重み関数の計算が、予め計算されることを可能にするだろう。ステップ７０５において、中間的な物体関数の計算は、第１の実施形態のステップ４０４のように、計算ユニットの間に割り当てられる。ステップ７０６において、中間的な物体関数の第１の計算は、各々の領域に対して並列して実行される。中間的な物体関数は、ステップ７０７において結合されて、第１の反復のための物体関数を形成する。ステップ７０７において、開口部の位置は、領域において配置転換される。したがって、先に述べた実施例において、領域Ｓ１は第１の反復において開口部の位置Ｒ1及びＲ3を含み得る。そして、当該領域Ｓ1は、ステップ７０８では、第２の反復において開口部の位置Ｒ１及びＲ4を含むように、変更され得る。開口部の位置の再配置に起因して、領域の重み関数はステップ７０９で再計算される。領域に対する開口部の位置の所定の配置転換が、利用される場合、配置転換された重み関数は、予め計算されて、ステップ７０９において使用するためにメモリに記憶され得る。ステップ７１０において、中間的な物体関数は、各々の領域に対して計算される。当該中間的な物体関数は、ステップ７１１において組み合わせられて、その反復のために物体関数の推定を形成する。ステップ７１２において、第１の実施形態のステップ４０７と同様の手法によって、十分な反復が実行されたか否かが判定される。図７ａ，７ｂは、開口部の位置が反復毎の領域間で配置転換されていることを示しているものの、第２の実施形態は、このように抑制されないし、配置転換は、所望に応じて実行され得る。
【０１１９】
その反復のために物体関数を作成するために結合される各領域に対する中間的な物体関数の計算に関する利点は、現実の物体における領域間の現実の相互依存性を反映して、中間的な物体関数と、組み合わされた物体関数との間の相互依存性のレベルが導入されることである。例えば、各領域に対する中間的な物体関数が、式（１８）について１０００回反復して計算された場合、例えば、各領域に対する物体関数の間の大なる差に見られるように、最終的な物体関数、ディスパリティを生成するために結合された各領域に対する中間的な物体関数が、存在し得る。しかしながら、結合された物体関数を生成するための中間的な物体関数の頻繁な結合は、かかる差を低減する。すなわち、中間的な物体関数が結合されて、当該結合が、各中間的な物体関数を計算するための次の反復の際に使用されるので、各中間的な物体関数が孤立に作成されることが防止される。
【０１２０】
本願発明の実施形態が、ハードウェア、ソフトウェア、ハードウェア及びソフトウェアの組み合わせの形態において、実現され得ることは、十分理解されるだろう。かかるソフトウェアのいずれもが、消去可能であるか若しくは書き換え可能であるかにかかわらず、例えば、ＲＯＭ等の記憶装置等の揮発性記憶装置又は不揮発性記憶装置の形態において記憶され得るし、又は、例えば、ＲＡＭ、メモリチップ、デバイス又は集積回路等のメモリの形態において記憶され得るし、例えば、ＣＤ、ＤＶＤ、磁気ディスク若しくは磁気テープ等の光学可読媒体又は磁気可読媒体において記憶され得る。記憶装置及び記憶媒体は、プログラム又は複数のプログラムを記憶するのに適した機械可読記憶装置の実施形態であることが十分理解されるだろう。当該プログラムが実行されると、本発明の実施形態を実装する。従って、実施形態は、先のいずれかの請求項に記載されたシステム又は方法を実装するコードを含むプログラムを提供し、かかるプログラムを記憶する機械読込可能な記憶装置を提供する。さらに、本願発明の実施形態は、有線接続若しくは無線接続において伝達される通信信号等のいずれの媒体を介して電子的に伝達され得る。実施形態は同一のものを適切に包含し得る。
【０１２１】
（添付した特許請求の範囲、要約、及び図面のすべてを含む）本明細書において開示された特徴のすべて、及び／又は、開示されたあらゆる方法及び処理のステップのすべてが、かかる特徴及び／又はステップのうち少なくともいくつかが互いに排他的である組み合わせを除いて、あらゆる組み合わせによって組み合わされ得る。
【０１２２】
（添付した特許請求の範囲、要約、及び図面のすべてを含む）本明細書において開示された各々の特徴が、明白に述べられていない限り、同一であり同等の目的若しくは類似の目的に有益である代替的特徴によって置換され得る。したがって、明白に述べられていない限り、開示された各特徴は、包括的な一連の均等な若しくは類似の特徴の一例である。
【０１２３】
本発明は、前述のいかなる実施形態の詳細にも限定されない。本発明は、（添付した特許請求の範囲、要約、及び図面のすべてを含む）本明細書において開示された特徴のあらゆる新規なもの又はあらゆる新規な組合せに、又は、開示されたあらゆる方法及び処理のステップのあらゆる新規なもの又はあらゆる新規な組合せに及ぶ。特許請求の範囲は、上記の実施形態のみに及ぶだけでなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内にあるいかなる実施形態においても及ぶものと、解釈されるべきである。
【図１】
0005575776.tif 000028
【図２】
0005575776.tif 000029
【図３】
0005575776.tif 000030
【図４】
0005575776.tif 000031
【図５】
0005575776.tif 000032
【図６】
0005575776.tif 000033
【図７ａ】
0005575776.tif 000034
【図７ｂ】
0005575776.tif 000035