(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体の表面に沿って延設されてかつ、厚さ方向に撓み変形可能であるサスペンションと、前記サスペンションの先端側に、前記記録媒体の表面と対向するように配置されたスライダと、前記スライダを間に挟んで前記記録媒体とは反対側において、前記記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態で、前記スライダを支持する支持部と、前記スライダに接続され、光源から出射された光束を前記スライダに導入する光導波路と、を備え；
前記スライダが、前記光束からスポット光を発生させるスポット光発生素子を備え；
前記スポット光により前記記録媒体に情報を記録させる；
ヘッドジンバルアセンブリであって、
前記光導波路が、前記光源から出射された前記光束を全反射条件で導くコアと、前記コアの屈折率よりも低い屈折率の材料からなり、前記コアに密着して前記コアを封止するクラッドとを有し；
前記支持部と前記スライダとの間に、前記光導波路と前記スライダとの位置決めに用いられる平坦面を有する位置決め部が配置され、
前記位置決め部が、前記クラッドとともに一体形成されている；
ことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項２】
記録媒体の表面に沿って延設されてかつ、厚さ方向に撓み変形可能であるサスペンションと、前記サスペンションの先端側に、前記記録媒体の表面と対向するように配置されたスライダと、前記スライダを間に挟んで前記記録媒体とは反対側において、前記記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態で、前記スライダを支持する支持部と、前記スライダに接続され、光源から出射された光束を前記スライダに導入する光導波路と、を備え；
前記スライダが、前記光束からスポット光を発生させるスポット光発生素子を備え；
前記スポット光により前記記録媒体に情報を記録させる；
ヘッドジンバルアセンブリであって、
前記光導波路の少なくとも一部が、前記光源から出射された前記光束を全反射条件で導くコアと、前記コアの屈折率よりも低い屈折率の材料からなり、前記コアに密着して前記コアを封止するクラッドとを有し；
前記支持部と前記スライダとの間に、前記光導波路と前記スライダとの位置決めに用いられる平坦面を有する位置決め部が配置され、
前記位置決め部は、前記クラッドの外周面に、前記クラッドとは別体で、前記クラッドを覆うように設けられ、
前記光導波路の少なくとも一部が、グレーデッドインデックスファイバを含む
ことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項３】
前記平坦面の少なくとも一部が、前記光導波路に備えられてかつ、前記スライダ及び前記支持部の少なくとも一方に対向していることを特徴とする請求項２に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項４】
前記位置決め部が、前記光導波路を収容するガイド溝を備え；
前記光導波路が、前記ガイド溝内で前記スポット光発生素子まで導かれている；
ことを特徴とする請求項２に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項５】
前記光導波路の少なくとも一部が、その全体で光束を伝搬することを特徴とする請求項２に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項６】
前記コアの、このコアの延出方向に直交する断面における横幅と縦幅とが、互いに異なることを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項７】
前記クラッドに、前記コアの延出方向に沿ってトンネル部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項８】
前記光導波路が、前記コアの延出方向に直交する方向に圧縮応力を付与するための応力付与部を備えていることを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項９】
前記応力付与部が、前記コアの両側を挟むように配置されていることを特徴とする請求項８に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１０】
前記応力付与部が、前記クラッドの表面に配置されていることを特徴とする請求項８に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１１】
前記光導波路の先端面が、前記光導波路内に導入された前記光束を前記スポット光発生素子に向けて反射させるミラー面であることを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１２】
前記光導波路の先端面が、前記光導波路内に導入された前記光束を前記スポット光発生素子に向けて反射させるミラー面であり、
前記位置決め部における前記スライダとの接触面側でかつ、前記ミラー面と前記スポット光発生素子との間に、前記クラッドの外周面が平面状に露出した平坦面が形成されていることを特徴とする請求項２に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１３】
記録媒体の表面に沿って延設されてかつ、厚さ方向に撓み変形可能であるサスペンションと、前記サスペンションの先端側に、前記記録媒体の表面と対向するように配置されたスライダと、前記スライダを間に挟んで前記記録媒体とは反対側において、前記記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態で、前記スライダを支持する支持部と、前記スライダに接続され、光源から出射された光束を前記スライダに導入する光導波路と、を備え；
前記スライダが、前記光束からスポット光を発生させるスポット光発生素子を備え；
前記スポット光により前記記録媒体に情報を記録させる；
ヘッドジンバルアセンブリであって、
前記支持部と前記スライダとの間に、前記光導波路と前記スライダとの位置決めに用いられる平坦面を有する位置決め部が配置され、
前記位置決め部は、平板部であるとともに、前記平板部の側面のうち少なくとも一部分が、前記スライダの側面のうちの少なくとも一部分と面一である
ことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１４】
前記平板部が、前記光導波路の幅よりも広い幅を有することを特徴とする請求項１３に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１５】
記録媒体の表面に沿って延設されてかつ、厚さ方向に撓み変形可能であるサスペンションと、前記サスペンションの先端側に、前記記録媒体の表面と対向するように配置されたスライダと、前記スライダを間に挟んで前記記録媒体とは反対側において、前記記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態で、前記スライダを支持する支持部と、前記スライダに接続され、光源から出射された光束を前記スライダに導入する光導波路と、を備え；
前記スライダが、前記光束からスポット光を発生させるスポット光発生素子を備え；
前記スポット光により前記記録媒体に情報を記録させる；
ヘッドジンバルアセンブリであって、
前記支持部と前記スライダとの間に、前記光導波路と前記スライダとの位置決めに用いられる平坦面を有する位置決め部が配置され、
前記位置決め部は、平板部であり、
前記平板部と前記光導波路とを接続する接続部をさらに備え；
前記接続部が、前記平板部から前記光導波路に向かうにつれて、前記接続部の断面形状が小さくなる；
ことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１６】
請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリと；
一定方向に回転する磁気記録媒体と；
前記磁気記録媒体を加熱するため光束を出射する光源と；
前記磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸と；
前記ピボット軸の周りを回動可能であるとともに、前記ヘッドジンバルアセンブリを支持するアーム部を有するキャリッジと；
を備えていることを特徴とする情報記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光を集光したスポット光を利用して記録媒体に各種の情報を記録再生するヘッドジンバルアセンブリ及びそれを備えた情報記録再生装置に関する。
本願は、２００８年７月２３日に日本に出願された特願２００８−１８９６９２号、及び２００９年１月２６日に日本に出願された特願２００９−０１４４８７号に基づき優先権を主張し、それらの内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータ機器におけるハードディスク等の記録媒体（以下、ディスクという）は、より大量且つ高密度情報の記録再生を行いたい等のニーズを受けて、さらなる高密度化が求められている。そのため、隣り合う磁区同士の影響や、熱揺らぎを最小限に抑えるために、保磁力の強いものがディスクとして採用され始めている。そのため、ディスクに情報を記録することが困難になっていた。【０００３】
そこで、上述した不具合を解消するために、光を集光したスポット光、若しくは、光を集光した近接場光を利用して磁区を局所的に加熱して一時的に保磁力を低下させ、その間にディスクへの書き込みを行うハイブリッド磁気記録方式の情報記録再生装置が提供されている。特に、近接場光を利用する場合には、従来の光学系において限界とされていた光の波長以下となる領域における光学情報を扱うことが可能となる。よって、従来の光情報記録再生装置等を超える記録ビットの高密度化を図ることができる。【０００４】
上述したハイブリッド磁気記録方式による情報記録再生装置としては、各種のものが提供されているが、その１つとして、近接場光の生成を行うための光を近接場光ヘッドに供給することで、微小開口から十分大きな近接場光を生成し、超高分解能の再生記録、高速記録再生、高ＳＮ比化を図ることができる情報記録再生装置が知られている。この情報記録再生装置は、近接場光ヘッドを備えたスライダにディスク上をスキャンさせ、スライダをディスク上の所望する位置に配置する。その後、光源から放射された近接場光とスライダから発生する記録磁界とを協働させることで、ディスクに情報を記録することができる。【０００５】
ここで、近接場光ヘッドに光束を供給する構成としては、例えば特許文献１に示されるように、スライダの基端側に光ファイバ等の光導波路を接続し、この光導波路を介して光源から出射される光束を近接場光ヘッドまで導くような構成が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２９７４６３号公報
【特許文献２】特開２００６−３２３９０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上述した情報記録再生装置では、ディスク面と近接場光ヘッドとの間の距離をより近接させるために、近接場光ヘッドをスライダの先端面（流出端）側に配置するような構成が知られている。しかしながら、この場合、スライダの基端面（流入端）側に光導波路を接続した後、スライダの先端面側まで光導波路を導くことが困難であるという問題がある。つまり、光導波路を導くために、スライダの基端側から先端側まで複雑な加工を施したり導光部材を配置したりする必要があるため、加工工数及び製造コストが増加し、製造効率が低いという問題がある。
このように、光導波路を用いて近接場光ヘッドに光束を導入する場合には、光導波路を近接場光ヘッドまでどのように導くかが問題となる。【０００８】
そこで、例えば特許文献２に示すように、近接場光ヘッドを備えた近接場光素子基板と、ミラー面を有するミラー基板とでスライダを構成する技術が知られている。この場合、光導波路を近接場光ヘッドまで案内する溝等をミラー基板に形成することで、近接場光素子基板に加工を施すことなく、光導波路を近接場光ヘッドまで導くことができるとされている。
ところが、近接場光素子基板に加えてミラー基板を用いることで製造コストが増加するとともに、基板を２枚用いるためスライダの板厚が増加し、スライダが大型化するという問題がある。【０００９】
そこで本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、スライダ内においてスポット光発生素子までの光導波路の配置を容易に行うことで、加工コスト及び製造コストを低減して製造効率を向上させることができるヘッドジンバルアセンブリ及びそれを備えた情報記録再生装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記目的を達成するために、以下の手段を提供する。
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、記録媒体の表面に沿って延設されてかつ、厚さ方向に撓み変形可能であるサスペンションと、前記サスペンションの先端側に、前記記録媒体の表面と対向するように配置されたスライダと、前記スライダを間に挟んで前記記録媒体とは反対側において、前記記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態で、前記スライダを支持する支持部と、前記スライダに接続され、光源から出射された光束を前記スライダに導入する光導波路と、を備え；前記スライダが、前記光束からスポット光を発生させるスポット光発生素子を備え；前記スポット光により前記記録媒体に情報を記録させる；ヘッドジンバルアセンブリであって、前記光導波路が、前記光源から出射された前記光束を全反射条件で導くコアと、前記コアの屈折率よりも低い屈折率の材料からなり、前記コアに密着して前記コアを封止するクラッドとを有し；前記支持部と前記スライダとの間に、前記光導波路と前記スライダとの位置決めに用いられる平坦面を有する位置決め部が配置され、前記位置決め部が、前記クラッドとともに一体形成されている；ことを特徴とするものである。
【００１１】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、平坦面とスライダとを位置合わせした状態で位置決め部をスライダに固定するのみで、光導波路をスライダに固定することができるので、光導波路とスライダとの位置合わせや固定が容易になる。【００１３】
また、位置決め部をクラッドとともに一体形成することで、光導波路の形成時に位置決め部を形成するための工程を新たに設けることがなく、従来と同様の工程において位置決め部を形成することができる。そのため、製造効率を向上させることができる。
【００１４】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、記録媒体の表面に沿って延設されてかつ、厚さ方向に撓み変形可能であるサスペンションと、前記サスペンションの先端側に、前記記録媒体の表面と対向するように配置されたスライダと、前記スライダを間に挟んで前記記録媒体とは反対側において、前記記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態で、前記スライダを支持する支持部と、前記スライダに接続され、光源から出射された光束を前記スライダに導入する光導波路と、を備え；前記スライダが、前記光束からスポット光を発生させるスポット光発生素子を備え；前記スポット光により前記記録媒体に情報を記録させる；ヘッドジンバルアセンブリであって、前記光導波路の少なくとも一部が、前記光源から出射された前記光束を全反射条件で導くコアと、前記コアの屈折率よりも低い屈折率の材料からなり、前記コアに密着して前記コアを封止するクラッドとを有し；前記支持部と前記スライダとの間に、前記光導波路と前記スライダとの位置決めに用いられる平坦面を有する位置決め部が配置され、前記位置決め部は、前記クラッドの外周面に、前記クラッドとは別体で、前記クラッドを覆うように設けられ、前記光導波路の少なくとも一部が、グレーデッドインデックスファイバを含むことを特徴とするものである。
【００１５】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、既存の光導波路に位置決め部を設けるのみの構成であるため、スライダの外形が各種スライダによって異なる場合があっても、位置決め部のみの外形を変更することで、その外形に容易に対応することができる。つまり、各種スライダに対して光導波路を組み付ける際に、各スライダの外形に応じて位置決め部を形成することで、光導波路の形状に依らず光導波路をスライダに固定することができる。したがって、組み付け工数を低減して、容易にスライダに固定することができる。また、光導波路に位置決め部を設けるのみの構成であるため、構造の簡素化を図り、製造コストを低減することができる。
また、グレーデッドインデックスファイバは、中心から外周側に向かうにつれ、連続的に屈折率が減少するため、グレーデッドインデックスファイバの長さを調整することで、光束の出射角を自由に設定することができる。これにより、光束の出射角を調整してスライダへの入射光のスポット形状を最適化することが可能になり、スポット光発生素子においてスポット光を効率よく発生させることができる。
【００１６】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記平坦面の少なくとも一部が、前記光導波路に備えられてかつ、前記スライダ及び前記支持部の少なくとも一方に対向していることを特徴とするものである。【００１７】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、平坦面の一部が光導波路に形成され、この平坦面がスライダ及び支持部の少なくとも一方に対向しているため、この平坦面を用いることでも光導波路を容易に固定することができる。【００１８】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記位置決め部が、前記光導波路を収容するガイド溝を備え；前記光導波路が、前記ガイド溝内で前記スポット光発生素子まで導かれている；ことを特徴とするものである。【００１９】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スライダに位置決め部を配置しておくことで、位置決め部に形成されたガイド溝内に光導波路を配置するのみで、光導波路をスライダに位置決め固定することができるため、光導波路とスライダとの位置合わせや固定が容易になる。また、位置決め部と光導波路とを別体で構成することで、用途に応じて種々の光導波路を固定することができるので、設計の自由度を向上させることができる。【００２２】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記光導波路の少なくとも一部が、その全体で光束を伝搬することを特徴とするものである。【００２３】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、光導波路の全体で光束が伝搬されるため、基端側（流入端）から入射された入射角を維持したまま、光路を延長することができる。そのため、光導波路の光路調整が容易になる。【００２４】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記コアの、このコアの延出方向に直交する断面における横幅と縦幅とが、互いに異なることを特徴とするものである。【００２５】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、コアの横幅と縦幅を異ならせることで、光源から出射された光束の振動面を一定の方向に保つことができるため、直線偏光を維持した状態で光束をスライダへ導くことができる。【００２６】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記クラッドに、前記コアの延出方向に沿ってトンネル部が形成されていることを特徴とするものである。【００２７】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、クラッドにトンネル部を配置することで、光源から出射された光束の振動面を一定の方向に保つことができるため、直線偏光を維持した状態で光束をスライダへ導くことができる。【００２８】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記光導波路が、前記コアの延出方向に直交する方向に圧縮応力を付与するための応力付与部を備えていることを特徴とするものである。【００２９】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、応力付与部を配置することで、コアには圧縮応力が作用することになる。この圧縮応力がコアに複屈折性を生じさせ、光束の振動面を一定の方向に保つことができるため、直線偏光を維持した状態で光束をスライダへ導くことができる。【００３０】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記応力付与部が、前記コアの両側を挟むように配置されていることを特徴とするものである。【００３１】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、コアを挟むように応力付与部を配置することで、コアに均等な圧縮応力が作用することになるので、直線偏光をより維持し易くなる。【００３２】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記応力付与部が、前記クラッドの表面に配置されていることを特徴とするものである。【００３３】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、コアを挟むように応力付与部を配置することで、コアに均等な圧縮応力が作用することになるので、直線偏光をより維持し易くなる。
また、クラッドの表面に応力付与部を配置するのみの簡素な構成であるため、製造効率の増加を防止することもできる。【００３４】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記光導波路の先端面が、前記光導波路内に導入された前記光束を前記スポット光発生素子に向けて反射させるミラー面であることを特徴とするものである。【００３５】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、光導波路内に伝播された光束をミラー面に入射させることで、このミラー面により光束を反射させて光束をスポット光発生素子へと導くことができる。【００３６】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記光導波路の先端面が、前記光導波路内に導入された前記光束を前記スポット光発生素子に向けて反射させるミラー面であり、前記位置決め部における前記スライダとの接触面側でかつ、前記ミラー面と前記スポット光発生素子との間に、前記クラッドの外周面が平面状に露出した平坦面が形成されていることを特徴とするものである。
【００３７】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、クラッドの外周面が平面状に露出した平坦面を形成することで、ミラー面とスポット光発生素子との間の界面が平坦面となる。これにより、平坦面をコリメート光が通過する場合には、屈折せずに直進する。したがって、スライダへの入射光のスポット形状を最適化することが可能になり、スポット光発生素子においてスポット光を効率よく発生させることができる。【００３８】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、記録媒体の表面に沿って延設されてかつ、厚さ方向に撓み変形可能であるサスペンションと、前記サスペンションの先端側に、前記記録媒体の表面と対向するように配置されたスライダと、前記スライダを間に挟んで前記記録媒体とは反対側において、前記記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態で、前記スライダを支持する支持部と、前記スライダに接続され、光源から出射された光束を前記スライダに導入する光導波路と、を備え；前記スライダが、前記光束からスポット光を発生させるスポット光発生素子を備え；前記スポット光により前記記録媒体に情報を記録させる；ヘッドジンバルアセンブリであって、前記支持部と前記スライダとの間に、前記光導波路と前記スライダとの位置決めに用いられる平坦面を有する位置決め部が配置され、前記位置決め部は、平板部であるとともに、前記平板部の側面のうち少なくとも一部分が、前記スライダの側面のうちの少なくとも一部分と面一であることを特徴とするものである。
【００３９】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、位置決め部が光導波路を含む平板部とすることで、平板部をスライダに固定するのみで、光導波路とスライダとを位置合わせした状態で固定することができる。これにより、従来のようにスライダのスライダ基板に複雑な加工を施したり導光部材を配置したりする必要がないため、加工工数及び製造コストを低減して、製造効率を向上させることができる。
また、従来のように２枚の基板（例えば、近接場光素子基板とミラー基板）の間に光導波路を保持することもないので、製造コストを低減することができるとともに、スライダの板厚を抑えることができ、スライダの小型薄型化を実現することができる。【００４０】
ここで、スライダの板厚を抑えることで、スライダの支持部における支持点から、スライダへの光導波路の固定点までの距離が短縮される。これにより、スライダの記録再生動作時において、記録媒体の表面の凹凸やうねり、記録媒体の回転に伴う面ぶれに追従するようにスライダが姿勢変動する場合に、光導波路からスライダに作用する回転モーメントが小さくなる。つまり、光導波路がスライダの姿勢制御の妨げになることを防ぐことができる。そのため、スライダの安定浮上を維持して、浮上量をできるだけ小さくすることができるので、スライダの浮上特性やトラッキングの精度等に与える影響が少ない。
したがって、光の伝搬効率及びスライダの浮上特性の双方を両立させることが可能になるため、スライダのスキャン性能を向上させ、情報の記録再生を正確且つ高密度に行うことができる。【００４２】
また、平板部の少なくとも一の側面とスライダの少なくとも一の側面とが面一になることで、組立時に両者の位置合わせが容易になる。
【００４３】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記平板部が、前記光導波路の幅よりも広い幅を有することを特徴とするものである。【００４４】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、平板部の幅を光導波路の幅よりも広く形成することで、スライダの記録再生動作時において、記録媒体の表面の凹凸やうねり、記録媒体の回転に伴う面ぶれに追従するようにスライダが姿勢変動する場合に、サスペンションからの荷重が平板部を介してスライダに均等に与えることができる。つまり、光導波路がスライダの姿勢制御の妨げになることを防ぐことができる。そのため、スライダの安定浮上を維持して、浮上量をできるだけ小さくすることができるので、スライダの浮上特性やトラッキングの精度等に与える影響が少ない。【００４５】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、記録媒体の表面に沿って延設されてかつ、厚さ方向に撓み変形可能であるサスペンションと、前記サスペンションの先端側に、前記記録媒体の表面と対向するように配置されたスライダと、前記スライダを間に挟んで前記記録媒体とは反対側において、前記記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態で、前記スライダを支持する支持部と、前記スライダに接続され、光源から出射された光束を前記スライダに導入する光導波路と、を備え；前記スライダが、前記光束からスポット光を発生させるスポット光発生素子を備え；前記スポット光により前記記録媒体に情報を記録させる；ヘッドジンバルアセンブリであって、前記支持部と前記スライダとの間に、前記光導波路と前記スライダとの位置決めに用いられる平坦面を有する位置決め部が配置され、前記位置決め部は、平板部であり、前記平板部と前記光導波路とを接続する接続部をさらに備え；前記接続部が、前記平板部から前記光導波路に向かうにつれて、前記接続部の断面形状が小さくなる；ことを特徴とするものである。
【００４６】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、平板部と光導波路との接続部の断面形状が漸次小さくなるように形成されることで、接続部に作用する応力を分散することができる。これにより、使用時におけるスライダの姿勢変動等や製造時に伴う接続部への応力集中によって、接続部が故障することを防ぐことができる。【００４７】
一方、本発明に係る情報記録再生装置は、上記本発明のヘッドジンバルアセンブリと；一定方向に回転する磁気記録媒体と；前記磁気記録媒体を加熱するため光束を出射する光源と；前記磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸と；前記ピボット軸の周りを回動可能であるとともに、前記ヘッドジンバルアセンブリを支持するアーム部を有するキャリッジと；備えていることを特徴とするものである。【００４８】
本発明に係る情報記録再生装置においては、記録媒体を回転させた後、ピボット軸まわりにキャリッジを回動させて、アーム部に支持されたスライダをスキャンさせる。そして、スライダを記録媒体上の所望する位置に配置させる。その後、光源から光導波路内に光束を入射させる。これにより、ヘッドジンバルアセンブリのスライダを利用して、記録媒体に各種の情報の記録再生を行うことができる。
特に、本発明のヘッドジンバルアセンブリを備えているので、情報の記録再生を正確且つ高密度に行うことができ、高品質化を図ることができる。
【発明の効果】
【００４９】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリによれば、スライダ内においてスポット光発生素子までの光導波路の配置を容易に行うことで、加工コスト及び製造コストを低減して製造効率を向上させることができるため、高性能な情報記録再生装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明に係る情報記録再生装置の一実施形態を示す構成図である。
【図２】図１に示すヘッドジンバルアセンブリの斜視図である。
【図３】図２に示すジンバルの平面図である。
【図４】第１実施形態に係る図３のＡ−Ａ’線に沿う断面図である。
【図５】第１実施形態に係るスライダの拡大断面図である。
【図６】図１に示すターミナル基板の平面図である。
【図７】第１実施形態に係る図３のＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。
【図８】第１実施形態に係る図３のＣ−Ｃ’線に沿う断面図である。
【図９】第１実施形態に係る光導波路の先端部分を示す斜視図である。
【図１０】第２実施形態に係るジンバル手段の断面図である。
【図１１】図１０のＦ部拡大図である。
【図１２】第３実施形態に係る光導波路の先端部分を示す斜視図である。
【図１３】図１２のＧ−Ｇ’線に沿う断面図である。
【図１４】第４実施形態に係るジンバル手段の断面図である。
【図１５】第４実施形態に係るスライダの拡大断面図である。
【図１６】第４実施形態に係る図１２のＧ−Ｇ’線に相当する断面図である。
【図１７】第５実施形態に係るスライダの拡大断面図である。
【図１８】第６実施形態に係るジンバル手段の断面図である。
【図１９】第６実施形態に係る光導波路の先端部分を示す斜視図である。
【図２０】第７実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリの斜視図である。
【図２１】第８実施形態における光導波路の先端部分（平板部）示す斜視図である。
【図２２】本発明の第９実施形態を示す図７に相当する断面図である。
【図２３】本発明の他の実施形態を示す図７に相当する断面図である。
【図２４】本発明の第１０実施形態を示す図３のＩ−Ｉ’線に相当する断面図である。
【図２５】本発明の第１１実施形態を示す図３のＩ−Ｉ’線に相当する断面図である。
【図２６】本発明の他の実施形態を示す図３のＩ−Ｉ’線に相当する断面図である。
【図２７】本発明の第１２実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリの先端部分を示す拡大斜視図である。
【図２８】図２７のＩ−Ｉ’線に沿う断面図である。
【図２９】本発明の他の実施形態を示すヘッドジンバルアセンブリの先端部分を示す拡大斜視図である。
【図３０】発明の第１３実施形態における図１４のＨ−Ｈ’線に相当する断面図である。
【図３１】発明の第１４実施形態における図１４のＨ−Ｈ’線に相当する断面図である。
【図３２】発明の第１５実施形態における光導波路の断面図である。
【図３３】発明の第１５実施形態における図１４のＨ−Ｈ’線に相当する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００５１】
（第１実施形態）
（情報記録再生装置）
以下、本発明に係る第１実施形態を、図１から図９を参照して説明する。図１は、本発明に係る情報記録再生装置１の一実施形態を示す構成図である。なお、本実施形態の情報記録再生装置１は、垂直記録層を有するディスク（記録媒体）Ｄに対して、垂直記録方式で書き込みを行う装置である。
【００５２】
本実施形態の情報記録再生装置１は、図１に示すように、キャリッジ１１と、キャリッジ１１の基端側から光電気複合配線３３を介して光束を供給するレーザ光源２０と、キャリッジ１１の先端側に支持されたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）１２と、ヘッドジンバルアセンブリ１２をディスク面Ｄ１（ディスクＤの表面）に平行なＸＹ方向に向けてスキャン移動させるアクチュエータ６と、ディスクＤを所定の方向に向けて回転させるスピンドルモータ７と、情報に応じて変調した電流をヘッドジンバルアセンブリ１２のスライダ２に対して供給する制御部５と、これら各構成品を内部に収容するハウジング９とを備えている。
【００５３】
ハウジング９は、アルミニウム等の金属材料からなる上部開口部を有する箱型形状のものであり、上面視四角形状の底部９ａと、底部９ａの周縁において底部９ａに対して鉛直方向に立設する周壁（不図示）とで構成されている。そして、周壁に囲まれた内側には、上述した各構成品等を収容する凹部が形成される。なお、図１においては、説明を分かりやすくするため、ハウジング９の周囲を取り囲む周壁を省略する。
また、このハウジング９には、ハウジング９の開口を塞ぐように図示しない蓋が着脱可能に固定されるようになっている。底部９ａの略中心には、上述したスピンドルモータ７が取り付けられており、該スピンドルモータ７に中心孔を嵌め込むことでディスクＤが着脱自在に固定される。
【００５４】
ディスクＤの外側、つまり底部９ａの隅角部には、上述したアクチュエータ６が取り付けられている。このアクチュエータ６には、ピボット軸１０を中心にＸＹ方向に対して回動可能なキャリッジ１１が取り付けられている。
このキャリッジ１１は、基端部から先端部に向けてディスク面Ｄ１に沿って延設されたアーム部１４と、基端部を介してアーム部１４を片持ち状に支持する基部１５とが、削り出し加工等により一体形成されたものである。
基部１５は、直方体形状に形成されたものであり、ピボット軸１０まわりを回動可能に支持されている。つまり、基部１５はピボット軸１０を介してアクチュエータ６に連結されており、このピボット軸１０がキャリッジ１１の回転中心となっている。
【００５５】
アーム部１４は、基部１５におけるアクチュエータ６が取り付けられた側面１５ａと反対側の側面（隅角部の反対側の側面）１５ｂにおいて、基部１５の上面の面方向（ＸＹ方向）と平行に延出する平板状のものであり、基部１５の高さ方向（Ｚ方向）に沿って３枚延出している。具体的には、アーム部１４は、基端部から先端部に向かうにつれ先細るテーパ形状に形成されており、各アーム部１４間に、ディスクＤが挟み込まれるように配置されている。つまり、アーム部１４とディスクＤとが、互い違いになるように配されており、アクチュエータ６の駆動によってアーム部１４がディスクＤの表面に平行な方向（ＸＹ方向）に移動可能とされている。なお、キャリッジ１１及びヘッドジンバルアセンブリ１２は、ディスクＤの回転停止時にアクチュエータ６の駆動によって、ディスクＤ上から退避するようになっている。
【００５６】
（ヘッドジンバルアセンブリ）
ヘッドジンバルアセンブリ１２は、後述するスポットサイズ変換器（スポット光発生素子）４０（図５参照）を有する近接場光ヘッドであるスライダ２に、レーザ光源２０からの光束を導いて近接場光（スポット光）を発生させ、該近接場光を利用してディスクＤに各種情報を記録再生させるものである。
【００５７】
図２は、スライダ２を上向きにした状態でサスペンション３をスライダ２側から見た斜視図である。図３は、スライダ２を上向きにした状態でジンバル１７を見た平面図である。図４は図３のＡ−Ａ’線に沿う断面図であり、図５はスライダの拡大断面図である。
図２から図５に示すように、本実施形態のヘッドジンバルアセンブリ１２は、上述したスライダ２をディスクＤから浮上させる機能を有しており、スライダ２と、金属性材料により薄い板状に形成され、ディスク面Ｄ１に平行なＸＹ方向に移動可能なサスペンション３と、スライダ２を、ディスク面Ｄ１に平行で且つ互いに直交する２軸（Ｘ軸、Ｙ軸）回りに回動自在な状態、即ち、２軸を中心として捻れることができるようにサスペンション３の下面に固定させるジンバル手段１６とを備えている。
【００５８】
（スライダ）
スライダ２は、ディスクＤとサスペンション３との間に配置された状態で、サスペンション３の下面に後述するジンバル１７を挟んで支持されている。
図５に示すように、スライダ２は、ディスク面Ｄ１から所定距離だけ浮上した状態でディスクＤ（図１参照）に対向配置され、ディスク面Ｄ１に対向する浮上面２ａを有するスライダ基板６０と、スライダ基板６０の先端面（流出端）６０ｃに固定された記録素子４２と、記録素子４２に隣接して固定された上述したスポットサイズ変換器４０と、スポットサイズ変換器４０を間に挟んで記録素子４２の反対側に固定された再生素子４１と、を備えている。つまり、スライダ基板６０には、その先端面６０ｃに記録素子４２、スポットサイズ変換器４０、及び再生素子４１が並んだ状態で配置されている。ところで、スライダ２の長手方向（Ｙ方向）において、先端側は最もディスク面Ｄ１に近接する。したがって、スライダ基板６０の先端面６０ｃ側に記録素子４２、スポットサイズ変換器４０、及び再生素子４１を配置することで、記録素子４２、スポットサイズ変換器４０、及び再生素子４１を可能な限りディスク面Ｄ１に近づけることができ、ディスクＤの保磁力を低下させることができるため、ディスクＤへの書き込みが容易になる。
【００５９】
スライダ基板６０は、石英ガラス等の光透過性材料や、ＡｌＴｉＣ（アルチック）等のセラミック等によって直方体状に形成されている。このスライダ基板６０は、浮上面２ａをディスクＤ側にした状態で、ジンバル１７（図３参照）を介してサスペンション３（図３参照）の先端にぶら下がるように支持されている。
【００６０】
再生素子４１は、ディスクＤから漏れ出ている磁界の大きさに応じて電気抵抗が変換する磁気抵抗効果膜である。この再生素子４１には、後述する電気配線３１を介して制御部５（図１参照）からバイアス電流が供給されている。これにより制御部５は、ディスクＤから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することでき、この電圧の変化から信号の再生を行うことができるようになっている。
記録素子４２は、スライダ基板６０の先端面６０ｃに固定された副磁極４３と、磁気回路４４を介して副磁極４３に接続され、ディスクＤに対して垂直な記録磁界を副磁極４３との間で発生させる主磁極４５と、磁気回路４４を中心として磁気回路４４の周囲を渦巻状に巻回されたコイル４６とを備えている。両磁極４３，４５及び磁気回路４４は、磁束密度が高い高飽和磁束密度（Ｂｓ）材料（例えば、ＣｏＮｉＦｅ合金、ＣｏＦｅ合金等）により形成されている。また、コイル４６は、ショートしないように、隣り合うコイル線間、磁気回路４４との間、両磁極４３，４５との間に隙間が空くように配置されており、この状態で絶縁体４７によってモールドされている。そして、コイル４６は、情報に応じて変調された電流が制御部５から供給されるようになっている。なお、主磁極４５及び副磁極４３は、ディスクＤに対向する端面がスライダ２（スライダ基板６０）の浮上面２ａと面一となるように設計されている。
【００６１】
スポットサイズ変換器４０は、基端側から導入された光束Ｌからスポット光を生成するとともに、スポット光を先端側から外部に発する略板状の素子であって、ＳＳＣ（スポットサイズコンバータ）コア４８とＳＳＣクラッド４９とから構成されている。このように構成されたスポットサイズ変換器４０は、基端側がスライダ２の上方（Ｚ軸上方）に向くとともに、先端側がディスクＤ側に向いた状態で主磁極４５に隣接して固定されており、主磁極４５の近傍にスポット光を発生させている。
【００６２】
ＳＳＣコア４８は、基端側から先端側に向かう方向に長手方向（Ｚ方向）に直交する断面積が漸次減少するように絞り成形され、基端側から導入された光束Ｌを内部で集光させながら先端側に向けて伝搬させてスポット光を生成するものである。本実施形態では、ＳＳＣコア４８が３つの側面（断面視略三角形状）を有するように形成されており、そのうちの１つの側面が主磁極４５に対向するように配置されるようになっている。また、ＳＳＣコア４８の端面は、スライダ２の浮上面２ａと面一となるように設計されている。
ＳＳＣクラッド４９は、ＳＳＣコア４８の屈折率より低い屈折率の材料からなり、ＳＳＣコア４８に密着してＳＳＣコア４８を封止するものであり、再生素子４１と記録素子４２との間を埋めるように形成されている。そして、後述する光導波路３２から供給された光束Ｌは、ＳＳＣコア４８とＳＳＣクラッド４９との間の屈折率の違いにより全反射条件で先端側の端面まで導かれるようになっている。
【００６３】
なお、ＳＳＣクラッド４９及びＳＳＣコア４８として使用される材料の組み合わせの一例を記載すると、例えば、石英（ＳｉＯ２）でＳＳＣコア４８を形成し、フッ素をドープした石英でＳＳＣクラッド４９を形成する組み合わせが考えられる。この場合には、光束Ｌの波長が４００ｎｍのときに、ＳＳＣコア４８の屈折率が１．４７となり、ＳＳＣクラッド４９の屈折率が１．４７未満となるので好ましい組み合わせである。また、ゲルマニウムをドープした石英でＳＳＣコア４８を形成し、石英（ＳｉＯ２）でＳＳＣクラッド４９を形成する組み合わせも考えられる。この場合には、光束Ｌの波長が４００ｎｍのときに、ＳＳＣコア４８の屈折率が１．４７より大きくなり、ＳＳＣクラッド４９の屈折率が１．４７となるのでやはり好ましい組み合わせである。
特に、ＳＳＣコア４８とＳＳＣクラッド４９との屈折率差が大きいほど、ＳＳＣコア４８内に光束Ｌを閉じ込める力が大きくなるので、ＳＳＣコア４８に酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５：波長が５５０ｎｍのときに屈折率が２．１６）を用い、ＳＳＣクラッド４９に石英等を用いて、両者の屈折率差を大きくすることがより好ましい。また、赤外領域の光束Ｌを利用する場合には、赤外光に対して透明な材料であるシリコン（Ｓｉ：屈折率が約４）でＳＳＣコア４８を形成することも有効である。
【００６４】
また、図２から図５に示すように、スライダ２（スライダ基板６０）の下面は、上述したようにディスク面Ｄ１に対向する浮上面２ａとなっている。この浮上面２ａは、回転するディスクＤによって生じた空気流の粘性から、浮上するための圧力を発生させる面であり、ＡＢＳ（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）と呼ばれている。具体的には、スライダ２をディスク面Ｄ１から離そうとする正圧とスライダ２をディスク面Ｄ１に引き付けようとする負圧とを調整して、スライダ２を最適な状態で浮上させるように設計されている。
スライダ２は、この浮上面２ａによってディスク面Ｄ１から浮上する力を受けているとともに、サスペンション３によってディスクＤ側に押さえ付けられる力を受けている。そしてスライダ２は、この両者の力のバランスによって、ディスク面Ｄ１から浮上するようになっている。
【００６５】
（サスペンション）
図２，３に示すように、上述したサスペンション３は、上面視略四角状に形成されたベースプレート２２と、ベースプレート２２の先端側にヒンジ板２３を介して連結された平面視略三角状のロードビーム２４とで構成されている。
【００６６】
ベースプレート２２は、ステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、基端側には厚さ方向に貫通する開口２２ａが形成されている。そして、この開口２２ａを介してベースプレート２２がアーム部１４の先端に固定されるようになっている。ベースプレート２２の下面には、ステンレス等の金属材料により構成されたシート状のヒンジ板２３が配置されている。このヒンジ板２３は、ベースプレート２２の下面の全面に亘って形成された平板状のものであり、その先端部分はベースプレート２２の先端からベースプレート２２の長手方向に沿って延出する延出部２３ａとして形成されている。延出部２３ａは、ヒンジ板２３の幅方向両端部から２本延出しており、その先端部分にロードビーム２４が連結されている。
ロードビーム２４は、ベースプレート２２と同様にステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、その基端がベースプレート２２の先端との間に間隙を有した状態でヒンジ板２３に連結されている。これにより、サスペンション３はベースプレート２２とロードビーム２４との間を中心に屈曲して、ディスク面Ｄ１に垂直なＺ方向に向けて撓み易くなっている。
【００６７】
サスペンション３上には、フレクシャ２５が設けられている。フレクシャ２５は、ステンレス等の金属材料により構成されたシート状のものであり、シート状に形成されることで厚さ方向に撓み変形可能に構成されている。フレクシャ２５は、ロードビーム２４の先端側に固定され、外形が上面視略五角形状に形成されたジンバル１７と、ジンバル１７より幅狭に形成され、ジンバル１７の基端からサスペンション３上に沿って延在する支持体１８とで構成されている。
【００６８】
ジンバル１７は、中間付近から先端にかけてディスク面Ｄ１に向けて厚さ方向に僅かながら反るように形成されている。そして、この反りが加わった先端側がロードビーム２４に接触しないように、基端側から略中間付近にかけてロードビーム２４に固定されている。
また、この浮いた状態のジンバル１７の先端側には、周囲がコ形状に刳り貫かれた切欠き部２６が形成されており、この切欠き部２６に囲まれた部分には連結部１７ａによって片持ち状に支持されたパッド部（支持部）１７ｂが形成されている。つまり、このパッド部１７ｂは、連結部１７ａによってジンバル１７の先端側から基端側に向けて張出し形成されており、その周囲に切欠き部２６を備えている。これにより、パッド部１７ｂはジンバル１７の厚さ方向に撓みやすくなっており、このパッド部１７ｂのみがサスペンション３の下面と平行になるように角度調整されている。そして、このパッド部１７ｂ上に上述したスライダ２が載置固定されている。つまり、スライダ２は、パッド部１７ｂを介してロードビーム２４にぶら下がった状態となっている。
【００６９】
また、図２から図４に示すように、ロードビーム２４の先端には、パッド部１７ｂ及びスライダ２の略中心に向かって突出する突起部１９が形成されている。この突起部１９の先端は、丸みを帯びた状態となっている。そして突起部１９は、スライダ２がディスクＤから受ける風圧によりロードビーム２４側に浮上したときに、パッド部１７ｂの表面（上面）に点接触するようになっている。つまり、突起部１９は、ジンバル１７のパッド部１７ｂを介して、スライダ２を支持するとともに、ディスク面Ｄ１に向けて（Ｚ方向に向けて）スライダ２に荷重を付与するようになっている。そして、突起部１９とパッド部１７ｂとの接触点（支持点）が、突起部１９によるスライダ２の荷重点Ｆになっている。なお、これら突起部１９とパッド部１７ｂを有するジンバル１７とが、ジンバル手段１６を構成している。
【００７０】
図２に示す支持体１８は、ジンバル１７に一体形成されたシート状のものであり、サスペンション３上をアーム部１４に向かって延設されている。つまり、支持体１８は、サスペンション３が変形した際にサスペンション３の変形に追従するように構成されている。支持体１８は、アーム部１４上から側面に回りこんで、キャリッジ１１の基部１５に至るまで引き回されている。
【００７１】
（光導波路）
図６は、キャリッジ１１の基部１５に取り付けられたターミナル基板３０の平面図である。
図１，６に示すように、キャリッジ１１の基部１５における側面１５ｃには、ターミナル基板３０が配置されている。このターミナル基板３０は、ハウジング９に設けられた制御部５とスライダ２とを電気的に接続する際の中継点となるものであり、その表面には、各種制御回路（不図示）が形成されている。制御部５とターミナル基板３０とは可撓性を有するフラットケーブル４により電気的に接続されている一方、ターミナル基板３０とスライダ２とは、電気配線３１により接続されている。電気配線３１は、各キャリッジ１１毎に設けられたスライダ２の数に対応して３組設けられており、フラットケーブル４を介して制御部５から出力された信号が、電気配線３１を介してスライダ２に出力されるようになっている。
【００７２】
また、ターミナル基板３０上には、スライダ２のスポットサイズ変換器４０に向けて光束を供給する上述したレーザ光源２０が配置されている。レーザ光源２０は、フラットケーブル４を介して制御部５から出力された信号を受信し、この信号に基づいて光束を出射するものであり、各アーム部１４に設けられたスライダ２の数に対応して基部１５の高さ方向（Ｚ方向）に沿って３個配列されている。各レーザ光源２０の出射側には、各レーザ光源２０から出射された光束をスライダ２の集光レンズまで導く光導波路３２が接続されている。
【００７３】
図２，３に示すように、各スライダ２に対応する１個の光導波路３２と１組の電気配線３１とは、レーザ光源２０とスライダ２との間において、その基端側から先端に至るまで一体的に形成された光電気複合配線３３として構成されている。この光電気複合配線３３は、ターミナル基板３０の表面からアーム部１４の側面を通って、アーム部１４上に引き回されている。具体的には、光電気複合配線３３は、アーム部１４及びサスペンション３上において、フレクシャ２５の上述した支持体１８上に配置されており、支持体１８を間に挟んだ状態でサスペンション３の先端まで引き回されている。
【００７４】
また、光電気複合配線３３は、サスペンション３の先端、すなわちジンバル１７の中間位置において電気配線３１と光導波路３２とに分岐している。具体的には、光導波路３２は、光電気複合配線３３の先端側における分岐地点からジンバル１７の長手方向に沿って延在しており、ジンバル１７の切欠き部２６を跨いでスライダ２の基端側に直接接続されている。光導波路３２は、光電気複合配線３３の分岐地点においてジンバル１７の下面から離間されており、分岐地点からスライダ２の基端側に向かうにつれ、パッド部１７ｂとジンバル１７との間を架け渡すように僅かながら浮いた状態で延在している。つまり、ジンバル１７の下面において、光導波路３２は略直線的（曲率半径が略無限大）に延在した状態で、スライダ２の幅方向（Ｘ方向）中央部からスライダ２の基端面２ｂ側に引き回されている。
【００７５】
一方、分岐地点において、電気配線３１はジンバル１７の外周部分に向けて屈曲されており、ジンバル１７の外周部分、つまり切欠き部２６の外側から引き回されている。そして、切欠き部２６の外側から引き回された電気配線３１は、連結部１７ａ上を通ってスライダ２の先端面側に接続されている。すなわち、電気配線３１は、スライダ２の先端面側に設けられた上述した再生素子４１と記録素子４２とのそれぞれに対して、スライダ２の外部から直接接続されている。
【００７６】
図７は、図３のＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。
図７に示すように、光電気複合配線３３を構成する電気配線３１は、アルミニウムや銅等からなり、クラッド３４内にコア３５とともに閉じ込められている。一方、光電気複合配線３３を構成する光導波路３２は、厚さが例えば３〜１０μｍで形成され、レーザ光源２０から出射された光束を全反射条件で導くコア３５と、厚さが例えば数十μｍで形成され、コア３５の屈折率より低い屈折率の材料からなり、コア３５に密着してコア３５を封止するクラッド３４とを有する断面視矩形状のものである。そして、レーザ光源２０から出射された光束はコア３５とクラッド３４との間の屈折率の違いにより全反射条件でスライダ２の集光レンズまで導かれるようになっている。
【００７７】
なお、光導波路３２の構成材料は、上述したＳＳＣコア４８及びＳＳＣクラッド４９（ともに図５参照）と同様の材料を用いることも可能であるが、本実施形態では以下に示すような樹脂材料が好適に用いられている。例えばＰＭＭＡ（メタクリル酸メチル樹脂）により、厚さが３〜１０μｍでコア３５を形成し、フッ素含有重合体により、厚さが数十μｍでクラッド３４を形成する組み合わせが考えられる。また、コア３５及びクラッド３４をともにエポキシ樹脂（例えば、コア屈折率１．５２２〜１．５２３、クラッド屈折率１．５１８〜１．５１９）で構成したり、フッ素化ポリイミドで構成したりすることも可能である。この場合、コア３５とクラッド３４とを構成する樹脂材料の配合等を調整して、両者の屈折率差を大きくすることが好ましい。例えば、フッ素化ポリイミドの場合、フッ素含有量を調整したり、放射光等のエネルギー照射によって、屈折率を制御したりすることができる。このように、光導波路３２の構成材料に樹脂材料を用いることで、光電気複合配線３３を半導体プロセスにより製造することが可能である。
【００７８】
（平板部）
ここで、図８は図３のＣ−Ｃ’線に沿う断面図であり、図９は光導波路の先端部分（平板部）示す斜視図である。
図４，５，８，９に示すように、光導波路３２の先端部分は、光導波路３２の先端部分が幅方向（Ｙ方向）に拡大した平板部（位置決め部）５０が一体形成されている。具体的には、平板部５０は、光導波路３２のうちクラッド３４のみが幅方向（Ｙ方向）に拡大した平面視矩形状のものであり、スライダ２の上面（ＸＹ平面）の外形と同等に形成されている。このように、平板部５０をクラッド３４とともに一体形成することで、光導波路３２の形成時に平板部５０を形成するための工程を新たに設けることがなく、従来と同様の工程において平板部５０を形成することができる。そのため、製造効率を向上させることができる。
【００７９】
そして、平板部５０はパッド部１７ｂ上に接着固定されており、この平板部５０を間に挟んでスライダ２がパッド部１７ｂ上に固定されている。つまり、スライダ２のスライダ基板６０には、光導波路３２を接続するための加工は施されておらず、平板部５０上にスライダ２を接着するのみでスライダ２と光導波路３２とを固定してある。そして、光導波路３２のコア３５は、平板部５０内の幅方向中心部においてスライダ２の基端側から先端側まで延出しており、上述したスポット光変換器４０へと導かれている。
【００８０】
なお、スライダ基板６０と光導波路３２（平板部５０）とが接着固定されている領域のうち、上述した荷重点Ｆから最も離れた点を光導波路３２とスライダ２との固定点Ｔとする。この固定点Ｔは、スライダ２における幅方向（Ｘ方向）中央部で、かつ長手方向（Ｙ方向）基端部、厚さ方向（Ｚ方向）上端部に設定されている。したがって、上述した荷重点Ｆ、すなわちサスペンション３の突起部１９とパッド部１７ｂの上面との接触点から固定点Ｔまでの空間的な距離は、距離ｄに設定されている。
【００８１】
また、光導波路３２の基端面と平板部５０の基端面、及び光導波路３２と平板部５０の両側面とはそれぞれ面一に構成される一方、平板部５０の先端面は光導波路３２の軸方向（延出方向）に対して交差する方向（例えば、４５度程度）に向けて切断されている。そして、この切断面がコア３５内を伝搬された光束Ｌ（図５参照）を導入方向とは異なる方向に反射させるためのミラー面３２ａを構成している。このミラー面３２ａは、光導波路３２によって導入された光束Ｌを、光束Ｌの向きが略９０度変わるように反射させている。これにより、ミラー面３２ａで反射された光束Ｌが、上述したスポットサイズ変換器４０内に導入されるようになっている。なお、ミラー面３２ａは、少なくともコア３５を含む領域にアルミ等からなる反射板を蒸着法等により形成するような構成にしてもよい。
【００８２】
（情報記録再生方法）
次に、このように構成された情報記録再生装置１により、ディスクＤに各種の情報を記録再生する手順について以下に説明する。
まず、スピンドルモータ７を駆動させてディスクＤを所定方向に回転させる。次いで、アクチュエータ６を作動させて、ピボット軸１０を回転中心としてキャリッジ１１を回動させ、キャリッジ１１を介してヘッドジンバルアセンブリ１２をＸＹ方向にスキャンさせる。これにより、ディスクＤ上の所望する位置にスライダ２を位置させることができる。
この際、スライダ２は、サスペンション３によって支持されていると共に所定の力でディスクＤ側に押さえ付けられている。また、これと同時にスライダ２は、浮上面２ａがディスクＤに対向しているので、回転するディスクＤによって生じる風圧の影響を受けて浮上する力を受けている。この両者の力のバランスによって、スライダ２はディスクＤ上から離間した位置に浮遊している状態となっている。
この際スライダ２は、風圧を受けてサスペンション３側に押されるので、スライダ２を固定するジンバル１７のパッド部１７ｂとサスペンション３に形成された突起部１９とが、点接触した状態となる。そして、この浮上する力は、突起部１９を介してサスペンション３に伝わり、該サスペンション３をディスク面Ｄ１に垂直なＺ方向に向けて撓ませるように作用する。これにより、上述したようにスライダ２は浮上する。また、ディスクＤの凹凸やうねり等により、スライダ２にＸＹ方向に向かう風圧が加わったときに、スライダ２及びパッド部１７ｂは、突起部１９を中心としてＸ軸及びＹ軸の２軸回りに捩じれるようになっている。これにより、ディスクＤのうねりによるＺ方向の変位（ディスク面Ｄ１に略直交する方向への変位）を吸収することができ、スライダ２の姿勢が安定するようになっている。
【００８３】
またスライダ２は、ディスクＤのうねりに起因して発生する風圧（ＸＹ方向に向かう風圧）を受けたとしても、ジンバル手段１６、すなわち、突起部１９の先端に点接触したパッド部１７ｂを介してＸＹ軸回りに捩じれるようになっている。そのため、うねりによるＺ方向への変位を吸収することができ、浮上している際のスライダ２の姿勢を安定にすることができる。
【００８４】
ここで、本実施形態の情報記録再生装置１では、パッド部１７ｂとスライダ２との間に、光導波路３２を含む平板部５０を配置する構成とした。この構成によれば、従来のように２枚の基板（例えば、近接場光素子基板とミラー基板）の間に光導波路３２を保持することもないので、スライダ２の板厚（Ｚ方向）を抑えることができる。
スライダ２の板厚を抑えることで、スライダ２と光導波路３２とが固定された固定点Ｔと、スライダ２に荷重を付与する荷重点Ｆ（突起部１９）との間の厚さ方向（Ｚ方向）の距離が短縮される。さらに、スライダ２の幅方向（Ｘ方向）中央部に固定点Ｔを設定することで、固定点Ｔと荷重点Ｆとがスライダ２の幅方向において一致するため、荷重点Ｆから固定点Ｔまでの幅方向（Ｘ方向）の距離も短縮することができる。これにより、固定点Ｔと荷重点Ｆとの空間的な距離ｄが短縮される。
よって、スライダ２の記録再生動作時において、ディスク面Ｄ１の凹凸やうねり、ディスクＤの回転に伴う面ぶれに追従するようにスライダ２が姿勢変動する場合に、光導波路３２からスライダ２に作用する回転モーメントが小さくなる。また、平板部５０がスライダ２の上面（ＸＹ平面）の外形と同等に形成されているので、サスペンション３からの荷重が平板部５０を介してスライダに均等に与えることができる。つまり、光導波路３２がスライダ２の姿勢制御の妨げになることを防ぐことができる。そのため、スライダ２の安定浮上を維持して、浮上量をできるだけ小さくすることができるので、スライダ２の浮上特性やトラッキングの精度等に与える影響が少ない。したがって、光の伝搬効率及びスライダ２の浮上特性の双方を両立させることが可能になるため、スライダ２のスキャン性能を向上させ、情報の記録再生を正確且つ高密度に行うことができる。
【００８５】
ここで、情報の記録を行う場合、制御部５はレーザ光源２０を作動させるとともに、情報に応じて変調した電流をコイル４６に供給して記録素子４２を作動させる。
まず、レーザ光源２０から光束を光導波路３２（光電気複合配線３３）に入射させて、光束Ｌをスライダ２に導く。レーザ光源２０から出射された光束Ｌは、光導波路３２のコア３５内を先端（流出端）側に向かって進み、ミラー面３２ａで反射されてスポットサイズ変換器４０のＳＳＣコア４８内に導入される。ＳＳＣコア４８内に導入された光束Ｌは、ディスクＤ側に位置する他端側に向かってスポットサイズ変換器４０のＳＳＣコア４８とＳＳＣクラッド４９との間で反射を繰り返しながら伝搬する。
この際、ＳＳＣコア４８は、基端側から先端側に向かう長手方向（Ｚ方向）に直交する断面積が漸次減少するように絞り成形されている。そのため、光束はこのスポットサイズ変換器４０を通過する際に、徐々に集光されながらＳＳＣコア４８の内部を伝搬していく。そのため光束Ｌは、ＳＳＣコア４８の先端側に達した時点で絞り込まれてスポットサイズが小さくなる。これにより、スポット光を生成することができ、基端側の端面から外部に発することができる。すると、ディスクＤは、このスポット光によって局所的に加熱されて一時的に保磁力が低下する。
【００８６】
一方、制御部５によってコイル４６に電流が供給されると、電磁石の原理により電流磁界が磁気回路４４内に磁界を発生させるので、主磁極４５と副磁極４３との間にディスクＤに対して垂直方向の記録磁界を発生させることができる。その結果、スポット光と両磁極４３，４５で発生した記録磁界とを協働させたハイブリッド磁気記録方式により情報の記録を行うことができる。しかも垂直記録方式で記録を行うので、熱揺らぎ現象等の影響を受け難く、安定した記録を行うことができる。よって、書き込みの信頼性を高めることができる。しかも、記録磁界が局所的に作用する位置に加熱温度のピーク位置を入れることができるので、ディスクＤの所定の位置の保磁力を低下させることができる。従って、確実に記録を行うことができ、信頼性の向上化を図ることができると共に高密度記録化を図ることができる。
【００８７】
次に、ディスクＤに記録された情報を再生する場合には、スポットサイズ変換器４０に隣接して固定されている再生素子４１が、ディスクＤから漏れ出ている磁界を受けて、その大きさに応じて電気抵抗が変化する。よって、再生素子４１の電圧が変化する。これにより制御部５は、ディスクＤから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することができる。そして制御部５は、この電圧の変化から信号の再生を行うことで、情報の再生を行うことができる。
このように、スライダ２を利用してディスクＤに対して各種の情報を記録再生することができる。
【００８８】
ここで、本実施形態の情報記録再生装置１では、パッド部１７ｂスライダ２との間に、光導波路３２を含む平板部５０を配置する構成とした。
この構成によれば、パッド部１７ｂとスライダ２との間に、光導波路３２を含む平板部５０を配置することで、平板部５０とともに光導波路３２も配置することができるため、光導波路３２をスライダ２のスポット光変換器４０まで容易に導くことができる。
したがって、従来のようにスライダ２のスライダ基板６０に複雑な加工を施したり導光部材を配置したりする必要がないため、加工工数及び製造コストを低減して、製造効率を向上させることができる。また、平板部５０をスライダ２に固定するのみで光導波路３２をスライダ２に固定することができるため、光導波路３２とスライダ２との位置合わせや固定が容易になる。
【００８９】
また、従来のように２枚の基板（例えば、近接場光素子基板とミラー基板）の間に光導波路を保持することもないので、製造コストを低減することができるとともに、スライダの板厚を抑えることができ、スライダの小型薄型化を実現することができる。
このように、本発明の情報記録再生装置１は、上述したヘッドジンバルアセンブリ１２を備えているので、情報の記録再生を正確且つ高密度に行うことができ、高品質化を図ることができる。
【００９０】
（第２実施形態）
次に、図１０，１１に基づいて本発明の第２実施形態について説明する。図１０は、第２実施形態におけるジンバル手段の断面図であり、図１１は、図１０のＦ部拡大図である。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。また、本実施形態ではスライダの構成について上述した第１実施形態と相違している。
図１０，１１に示すように、本実施形態のスライダ１０２は、浮上面１０２ａをディスクＤ（図１参照）と対向させた状態で、パッド部１７ｂを介してサスペンション３の先端にぶら下がるように支持されたスライダ基板１６０を備えている。本実施形態のスライダ基板１６０の先端（流出端）側には、浮上面１０２ａからディスクＤに向けて厚さ方向（Ｚ方向）突出するように形成され、導入された光束Ｌの光軸に対して傾いた四つの側面（例えば、側面７１，７２）を有する多面体７０が形成されている。
【００９１】
多面体７０を構成する先端面側の側面７１上には、ディスクＤから漏れ出た磁界の大きさに応じた電気信号を出力する再生素子７３が形成されている。また、多面体７０を構成する基端面側の側面７２上には記録素子７４と、記録素子７４を構成する主磁極７５と副磁極７６との間に記録磁界を発生させるコイル７７とが形成されている。記録素子７４は、絶縁膜７８を間に挟んで積層された主磁極７５と副磁極７６とから構成されるものであり、本実施形態では、側面７２側から順に、主磁極７５、絶縁膜７８、副磁極７６が積層されている。
【００９２】
主磁極７５は、側面７２上から浮上面１０２ａに亘って、蒸着等によって形成されている。副磁極７６は、主磁極７５と同じ材料により構成され、絶縁膜７８を間に挟んで主磁極７５上に積層されている。また、主磁極７５と副磁極７６とは、磁気回路７９によって接続されている。また、磁気回路７９の周囲には、磁気回路７９を中心として渦巻状に巻回されたコイル７７が、絶縁膜７８にモールドされた状態で設けられている。
また、スライダ１０２の上面には、多面体７０の厚さ方向真上（Ｚ方向）に当たる位置にレンズ８０が形成されている。このレンズ８０は、例えば、グレースケールマスクを用いたエッチングによって形成される非球面のマイクロレンズである。さらに、スライダ１０２の上面とパッド部１７ｂとの間には、上述した光導波路３２の平板部５０が配置されている。そして、光導波路３２のミラー面３２ａがレンズ８０の真上に位置するように取り付け位置が調整されている。
【００９３】
このように、上述の実施形態では、レーザ光源２０（図１参照）から光導波路３２に入射された光束Ｌを先端面（流出端）側まで導き、ミラー面３２ａで反射させて向きを変えた後、レンズ８０に出射することができるようになっている。また、出射された光束Ｌは、レンズ８０によって集束されながらスライダ基板１６０の内部を厚さ方向（Ｚ方向）に沿って進み、多面体７０に導入されるようになっている。そして、集光された光束Ｌが多面体７０の頂部に達した時点で、スポット光となって外部に漏れ出す。したがって、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００９４】
（第３実施形態）
次に、図１２，１３に基づいて本発明の第３実施形態について説明する。図１２は、第３実施形態における光導波路の先端部分における斜視図であり、図１３は図１２のＧ−Ｇ’線に沿う断面図である。なお、本実施形態においては、上述した第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明は省略する。
図１２，１３に示すように、本実施形態の光導波路１３２は、断面視円形状のコア１３５とクラッド１３４とを有する光ファイバ（シングルモード（ＳＭ）ファイバ）を用いている。この光導波路１３２は、上述したＳＳＣコア４８とＳＳＣクラッド４９（ともに図５参照）と同様の構成材料からなり、その先端部分には平板部１５０が設けられている。
【００９５】
この平板部１５０は、樹脂材料や金属材料等からなる平面視矩形状のものであり、光導波路１３２のクラッド１３４を覆うように設けられている。そして、光導波路１３２の先端面と平板部１５０の先端面とは面一に構成されており、その先端面は光導波路１３２の軸方向（延出方向）に対して交差する方向（例えば、４５度程度）に向けて切断されたミラー面１３２ａが構成されている。なお、平板部１５０と光導波路１３２とを組み付けるには、平板部１５０を成型した後に平板部１５０に貫通孔を形成し、この貫通孔内に光導波路１３２を組み付けたり、また平板部１５０の成形時に光導波路１３２の先端部分をモールドしたりすることも可能である。
【００９６】
このように、本実施形態によれば、光ファイバからなる光導波路１３２の先端部分に、光導波路１３２と別体の平板部１５０を設ける構成とした。
この構成によれば、上述した第１実施形態の効果に加え、既存の光導波路１３２に平板部１５０を設けるのみの構成であるため、スライダ２（図３参照）の外形が各種スライダ２によって異なる場合があっても、平板部１５０のみの外形を変更することで、その外形に容易に対応することができる。つまり、各種スライダ２に対して光導波路１３２を組み付ける際に、各スライダ２の外形に応じて平板部１５０を形成することで、光導波路１３２の形状に依らず光導波路１３２をスライダ２に固定することができる。したがって、組み付け工数を低減して、容易にスライダ２に固定することができる。また、光導波路１３２に平板部１５０を設けるのみの構成であるため、構造の簡素化を図り、製造コストを低減することができる。
【００９７】
（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態について説明する。図１４は、第４実施形態におけるジンバル手段の断面図であり、図１５はスライダの拡大断面図である。また、図１６は、図１４のＨ−Ｈ’線に相当する断面である。
図１４，１５に示すように、本実施形態の光導波路２３２は、上述した第３実施形態と同様に光ファイバを用いた光導波路２３２であって、シングルモードファイバ（以下、ＳＭファイバという。）９０と、ＳＭファイバ９０の先端側に接続されたグレーデッドインデックスファイバ（以下、ＧＩファイバという）９１と、ＧＩファイバ９１の先端側に接続されたクラッドなしファイバ９２とを備えている（図１５参照）。
【００９８】
ＳＭファイバ９０は、上述した第３実施形態と同様の構成材料からなり、コア１３５とクラッド１３４とを有している。
ＧＩファイバ９１は、光束Ｌを伝搬するフィールド内において、その中心の屈折率が外周の屈折率より大きくなっており、中心から径方向外側に向かうにつれ、連続的に屈折率が減少する光ファイバである。これにより、ＧＩファイバ９１内において、光束Ｌは正弦波的な光路で伝搬する。つまり、ＧＩファイバ９１の長さを調整することで、ＧＩファイバ９１から出射される光束Ｌの出射角を調整することができる。本実施形態では、ＳＭファイバ９０のコア１３５から出射した光束Ｌが、ＧＩファイバ９１によりコリメート光となって出射するようにＧＩファイバ９１の長さが設定されている。なお、ＧＩファイバ９１やＳＭファイバ９０の代わりに、光束Ｌの振動面を一定の方向に保つための偏波面保存ファイバを用いることも可能である。偏波面保存ファイバは、クラッド内において、コアの両側方からコアに対して応力を付与するための応力付与部材が内装されたものであり、これにより、コア内に特定方向の直線偏光のみを流通させることができる。
【００９９】
クラッドなしファイバ９２は、上述したＳＭファイバ９０を構成するコア１３５と同様の構成材料のみからなり、ＧＩファイバ９１から出射される光束Ｌが長手方向に直交する断面全体で伝搬されるようになっている。これにより、ＧＩファイバ９１から出射されたコリメート光は、平行な状態でクラッドなしファイバ９２の流出端側へ伝搬される。そして、クラッドなしファイバ９２の先端面は、クラッドなしファイバ９２の軸方向（延出方向）に対して交差する方向（例えば、４５度）に向けて切断されており、その切断面がクラッドなしファイバ９２内を伝搬された光束Ｌを導入方向とは異なる方向に反射させるためのミラー面９２ａを構成している。このミラー面９２ａは、クラッドなしファイバ９２内を伝搬された光束Ｌを、光束Ｌの向きが略９０度変わるように反射させるものであり、スポット光変換器４０に向けてコリメート光が入射するようになっている。なお、ミラー面９２ａは、アルミ等からなる反射板を蒸着法等により形成するような構成にしてもよい。
【０１００】
ここで、図１４，１６に示すように、光導波路２３２の先端部分、すなわちスライダ２とパッド部１７ｂとの間には、光導波路２３２を覆うように平板部２５０が設けられている。そして、平板部２５０におけるスライダ基板６０との接着面側（下面側）は、ＳＭファイバ９０のクラッド３４の外周面が平面状に露出した平坦面２５０ａが形成されている。この平坦面２５０ａは、平板部２５０におけるスライダ基板６０との接着面が、クラッド１３４が露出する位置まで厚さ方向に研磨されたものであり、スライダ２の基端側から先端面に至るまで、すなわちＧＩファイバ９１及びクラッドなしファイバ９２に至るまで平坦面２５０ａが形成されている。そして、平坦面２５０ａとスライダ基板６０の接着面とを接着することで、スライダ２と光導波路２３２が固定されている。そして、クラッドなしファイバ９２のミラー面９２ａにより反射された光束Ｌ（コリメート光）は、平坦面２５０ａとスポットサイズ変換器４０との境界部を通った際に屈折することなく透過する。つまり、平坦面２５０ａとスポットサイズ変換器４０との境界部に対して垂直に通る光束Ｌは、境界部を直進してスポットサイズ変換器４０に入射する。
【０１０１】
したがって、本実施形態によれば、上述した第３実施形態と同様の効果を奏することに加え、光導波路２３２にＧＩファイバ９１を採用しているため、ＧＩファイバ９１の長さを調整することで、光束Ｌの出射角を自由に設定することができる。
また、ＧＩファイバ９１の先端にクラッドなしファイバ９２が接続されているため、クラッドなしファイバ９２内では、その全体で光束Ｌが伝搬されるため、ＧＩファイバ９１から入射された入射角を維持したまま、光路を延長することができる。そのため、光導波路２３２の光路調整が容易になる。つまり、ＧＩファイバ９１の長さを設定することで、スポットサイズ変換器４０に入射させる光束Ｌを最適化することができる。
さらに、クラッド３４（光導波路２３２）の外周面が平面状に露出した平坦面２５０ａを形成することで、ミラー面９２ａとスポット光変換器４０との間の界面が平坦面となる。これにより、平坦面２５０ａをコリメート光が通過する場合には、屈折せずに直進する。
したがって、光束Ｌの出射角を調整してスライダ２への入射光のスポット形状を最適化することが可能になり、スポットサイズ変換器４０においてスポット光を効率よく発生させることができる。
【０１０２】
（第５実施形態）
次に、本発明の第５実施形態について説明する。図１７は、第５実施形態におけるスライダの断面図である。なお、以下の説明では、上述した第４実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明は省略する。
図１７に示すように、本実施形態の光導波路３３２は、ＧＩファイバ１９１の長さが第４実施形態におけるＧＩファイバ９１（図１５参照）の長さより長く設定されている。つまり、ＧＩファイバ１９１の先端からクラッドなしファイバ９２に出射される光束Ｌが、集光するようにＧＩファイバ１９１の長さが設定されている。具体的には、ミラー面９２ａにおいて反射した後であって、ヘッド導波路（スポット光発生素子）１４０の導波路コア１４８内で焦点が設定されている。この場合、光束Ｌを集光させるためのレンズやＳＳＣコア４８等をスライダ２に設ける必要がない。つまり、ヘッド導波路１４０の導波路コア１４８は、上述した第１実施形態のＳＳＣコア４８と異なり、基端側から先端側に向かう方向において長手方向（Ｚ方向）に直交する断面積が同一に構成されている。
【０１０３】
したがって、本実施形態によれば、上述した第４実施形態と同様の効果を奏することに加え、光束Ｌが集光するようにＧＩファイバ１９１の長さを設定することで、ＳＳＣコア４８が不要になるため、製造コストを低減することができる。
【０１０４】
（第６実施形態）
次に、本発明の第６実施形態について説明する。図１８は、第６実施形態におけるジンバル手段の断面図であり、図１９は第６実施形態における光導波路の先端部分を示す斜視図である。なお、以下の説明では、上述した第５実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明は省略する。
図１８，１９に示すように、本実施形態では、スポットサイズ変換器（不図示）がスライダ２の長手方向における中途部に配置されている。
この場合、光導波路３３２の先端部分に形成される平板部３５０は、第１平板部３５１と、第１平板部３５１の先端面に配置された第２平板部３５２とで構成されている。第１平板部３５１は、スライダ２とパッド部１７ｂとの間において、スライダ２の基端面から中途部までの領域に配置されており、その先端面は光導波路３３２の軸方向（延出方向）に対して交差する方向（例えば、４５度）に向けて切断されミラー面２９２ａを構成している。つまり、光導波路３３２のミラー面２９２ａがスポットサイズ変換器の真上に位置するように形成されている。ミラー面２９２ａには、蒸着法等によりアルミ等の高反射率の金属材料が成膜されている。
【０１０５】
一方、第２平板部３５２は、第１平板部３５１の先端側、すなわちミラー面２９２ａの先端側に、スライダ２とパッド部１７ｂとの間を埋めるように第１平板部３５１と同様の構成材料が充填されて構成されている。なお、高反射率の金属材料で第２平板部を形成すれば、第１平板部との界面をミラー面とすることができる。
このように、本実施形態によれば、スポットサイズ変換器が、スライダ２の中途部に存在する場合であっても、光導波路３３２の先端側においてスライダ２とパッド部１７ｂとの間に隙間を生じさせることがない。したがって、第４実施形態と同様の効果を奏することができるとともに、スライダ２の先端面側にスポットサイズ変換器が配置されていない場合であっても、スポットサイズ変換器の配置位置に対応して光導波路３３２を容易に導くことができる。
【０１０６】
（第７実施形態）
次に、本発明の第７実施形態について説明する。図２０は、第７実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリの斜視図である。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明は省略する。
図２０に示すように、フレクシャ２５の支持体１１８上には、光導波路１３２を支持する複数の支持部材４００，４０１が設けられている。これら支持部材４００，４０１は、光導波路１３２を遊挿可能な貫通孔が形成された部材であり、スライダ２の動きに対して光導波路１３２を長手方向に移動可能に支持するものである。
複数の支持部材４００，４０１のうち、支持部材４０１は、支持体１１８の長手方向に沿う方向と直交する方向に形成された舌部５２を光導波路１３２の周囲を囲繞するように折曲して形成されている。
【０１０７】
本実施形態では、情報記録再生装置１の動作時のスライダ２及びロードビーム２４の姿勢変動に伴って、光導波路３２も長手方向に沿って移動することができる。したがって、浮上時（動作時）に光導波路３２からの力がスライダ２に作用することがなくなり、スライダ２を安定して浮上させることができる。また、光導波路１３２が軸方向を中心に捻れ方向に力が作用した場合にも、光導波路１３２は支持部材４００，４０１により軸直角方向のみ拘束されているため、光導波路３２からの力がスライダ２に作用することがない。また、フレクシャ２５の支持体１１８に舌部５２を形成し、舌部５２を折曲するだけで、光導波路１３２を支持できるため、簡易な構成で確実に光導波路１３２を支持することができる。
【０１０８】
（第８実施形態）
次に、本発明の第８実施形態について説明する。図２１は、第８実施形態における光導波路の先端部分（平板部）示す斜視図である。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明は省略する。
図２１に示すように、本実施形態の光導波路５３２は、上述した第１実施形態と同様に平板部５５０と一体的に形勢されたものである。そして、この平板部５５０の基端側、すなわち光導波路５３２と平板部５５０との接続部５０１において、平板部５５０の断面形状が基端側に向かうにつれて小さくなるように形成されている。具体的には、平板部５５０の接続部５０１は、基端側にむかうにつれて、幅方向（Ｘ方向）の長さが漸次縮小するように形成されている。そして、接続部５０１の側面は、所定の曲率半径Ｒの曲面を有するようになっている。
【０１０９】
この構成によれば、平板部５５０と光導波路５３２との接続部５０１の断面形状が漸次小さくなるように形成されることで、接続部５０１に作用する応力を分散することができる。これにより、使用時におけるスライダ２の姿勢変動等や製造時に伴う接続部５０１への応力集中によって、接続部５０１が故障することを防ぐことができる。
なお、接続部５０１の形状は、例えば基端側に向けて直線的に先細るテーパ形状に形成する等、適宜設計変更が可能である。また、上述の実施形態では、接続部５０１が、基端側にむかうにつれて、幅方向（Ｘ方向）の長さが漸次縮小するように形成したが、高さ方向（Ｚ方向）の長さが漸次縮小するように形成したり、幅方向及び高さ方向がともに漸次縮小するように形成したりすることも可能である。さらに、上述した第８実施形態では光導波路５３２と平板部５５０とが一体形成されている場合について説明したが、これに限らず、上述した第３実施形態のように光導波路１３２と平板部１５０とが別体で設けられているものについても適用することができる。
【０１１０】
（第９実施形態）
次に、本発明の第９実施形態について説明する。図２２は、本発明の第９実施形態を示す図７に相当する断面図である。なお、以下の説明では上述した第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
図２２に示すように、本実施形態の光導波路６３２は、コア６３５の延出方向に直交する断面（ＹＺ平面）が長方形状に形成されている点で、上述した第１実施形態と相違している。より詳しく説明すると、コア６３５は、ＹＺ平面において長辺と短辺の長さが異なるように設定されており、その長辺方向をＹ方向に一致させるとともに、短辺方向をＺ方向に一致させた状態で形成されている。この場合、コア６３５の長辺の長さは、短辺の長さの１倍を超えていれば本発明の効果を奏するのは勿論であり、１．１倍以上（すなわち、アスペクト比が１．１：１以上）であることがより好ましい。
【０１１１】
このように、コア６３５のＹＺ平面において長辺と短辺の長さを異ならせることで、光束Ｌの振動面を一定の方向に保つことができるため、直線偏光を維持した状態で光束Ｌをスライダ２へ導くことができる（単一偏波面保持）。この場合、本実施形態のコア６３５は、上述した各実施形態のような断面正方形状のコア３５の製造方法と、同一の製造方法により製造することができる。すなわち、光導波路６３２と電気配線３１とを半導体プロセスにて一括して製造する際に、コア６３５の膜厚のみを適宜変更するだけであるので、製造コストの増加及び製造効率の低下を防止することができる。
なお、図２３に示すように、ＹＺ平面において、コア７３５の長辺をＺ方向に一致させるとともに、短辺をＹ方向に一致させるような光導波路７３２を採用してもよい。この構成によっても、上述した効果と同様の効果を奏することができる。また、図示しないが、コアの断面形状は長方形状に限らず、楕円形状等の扁平形状であれば、適宜設計変更が可能である。この場合も、コアの長軸が短軸の１倍以上、より好ましくは長軸と短軸との比が１：１．１以上に設定されていればよい。すなわち、コアは、延出方向（Ｘ方向）に直交する２方向（Ｙ方向、Ｚ方向）の長さがそれぞれ異なるように形成されていればよい。
【０１１２】
（第１０実施形態）
次に、本発明の第１０実施形態について説明する。図２４は、本発明の第１０実施形態を示す図３のＩ−Ｉ’線に相当する断面図である。なお、以下の説明では上述した第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
図２４に示すように、本実施形態の光導波路８３２は、クラッド３４におけるコア３５のＹ方向両側に一対のトンネル部８０１が形成されている。これらトンネル部８０１は、コア３５を両側から挟むように配置された空間であり、コア３５の延出方向と平行に延出している。すなわち、トンネル部８０１は、クラッド３４内に形成された延出方向に直交する断面（ＹＺ平面）が平面視矩形状の空間であり、その内部には空気または適当な気体が充填されている。なお、トンネル部８０１内を真空に保持してもよい。すなわち、トンネル部８０１の屈折率は約１となる。
【０１１３】
したがって、本実施形態によれば、上述した第１実施形態と同様の効果を奏するとともに、コア３５の両側にトンネル部８０１を配置することで、光束Ｌの振動面を一定の方向に保つことができる（単一偏波面保持）。そのため、コア３５内に特定方向の直線偏光のみを流通させることができるので、スライダ２への入射光のスポット形状を最適化することが可能になり、スポットサイズ変換器４０においてスポット光を効率よく発生させることができる。
なお、トンネル部８０１の断面形状は矩形状に限らず、円形等の種々の形状を採用することが可能である。また、トンネル部８０１の数は２つ以上の複数設けてもよい。さらに、トンネル部８０１のレイアウトは、コア３５のＸ方向両側に一対配置したり、コア３５の周囲を囲むように配置したりする等、適宜設計変更が可能である。
【０１１４】
（第１１実施形態）
次に、本発明の第１１実施形態について説明する。図２６は、本発明の第１１実施形態を示す図３のＡ−Ａ’線に相当する断面図である。なお、以下の説明では上述した第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
図２６に示すように、本実施形態の光導波路９３２は、クラッド３４におけるコア３５のＹ方向両側に一対の応力付与部９０１が形成されている。これら応力付与部９０１は、コア３５を両側から挟むように配置された断面矩形状のものであり、コア３５の延出方向と平行に延出している。
【０１１５】
応力付与部９０１の形成材料としては、光導波路９３２を構成する材料と線膨張係数が異なる材料、例えば、アルミニウム、ニッケル等の金属や液晶ポリマー等の合成樹脂等を採用することが可能である。この場合、応力付与部９０１とクラッド３４との相対的な熱膨張・熱収縮によって、コア３５の延出方向に直交する方向に圧縮応力が作用することになる。
したがって、本実施形態によれば、上述した第２実施形態と同様に、コア３５のＹ方向両側に応力付与部９０１を配置することで、コア３５には両側から均等に圧縮応力が作用することになる。この圧縮応力がコア３５に複屈折性を生じさせ、光束Ｌの振動面を一定の方向に保つことができるため、直線偏光を維持した状態で光束Ｌをスライダ２へ導くことができる。
【０１１６】
なお、応力付与部９０１の製造方法としては、上述した方法以外に以下の方法によっても形成することができる。すなわち、クラッド３４の形成材料にシリカガラス等を用い、このクラッド３４の応力付与部９０１の形成領域に対してイオンビームを照射することで、照射領域のみが局所的に高密度になる。これにより、イオンビームの照射領域が応力付与部９０１となり、この応力付与部９０１からコア３５に向けて圧縮応力が作用することになる。この場合、温度変化によって圧縮応力が変化しないため、温度依存性がなく信頼性の高い応力付与部９０１を形成することができる。
【０１１７】
また、上述した第２実施形態のトンネル部８０１と同様に、応力付与部９０１の断面形状は矩形状に限らず、円形等の種々の形状を採用することが可能である。また、応力付与部９０１の数は２つ以上の複数設けてもよい。さらに、応力付与部９０１のレイアウトは、コア３５のＸ方向両側に一対配置したり、コア３５の周囲を囲むように配置したりする等、適宜設計変更が可能である。
【０１１８】
さらに、応力付与部の構成としては、上述した構成の他に以下に示すような構成が可能である。例えば、図２６に示すように、光導波路１０３２は、クラッド３４の表面（ディスク面Ｄ１との対向面）上に配置された応力付与部１００１を備えている。この応力付与部１００１は上述した応力付与部９０１と同様の形成材料により構成され、コア３５の直上に配置されている。この場合、応力付与部１００１からはコア３５の上方からコア３５を圧縮する方向に応力が作用する。これにより、上述した第３実施形態と同様の効果を奏することができる。また、この構成によれば、クラッド３４上に応力付与部１００１を配置するのみの簡素な構成であるため、製造効率の増加を防止することもできる。
【０１１９】
（第１２実施形態）
次に、本発明の第１２実施形態について説明する。図２７は、本発明の第１２実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリの先端部分を示す拡大斜視図であり、図２８は図２７のＩ−Ｉ’線に沿う断面図である。なお、以下の説明では上述した第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。本実施形態では、本発明の位置決め部と光導波路とが分割して構成されている点で、上述した各実施形態と相違している。
図２７，２８に示すように、本実施形態の位置決め部１１００は、スライダ２の裏面２ｃ（スライダ２におけるパッド部１７ｂ（図８参照）との対向面）上に配置されている。具体的に、位置決め部１１００は、スライダ２のＸ方向両側に一対設けられ、それぞれＹ方向に沿って形成された平坦面を有する平板状の部材である。これら一対の位置決め部１１００は、その基端面及び両側面がそれぞれスライダ２の基端面及び両側面と面一に構成される一方、位置決め部１１００の先端面は光導波路２３２の軸方向（延出方向）に対して交差する方向（例えば、４５度程度）に向けて切断されている。すなわち、位置決め部１１００の先端面は、光導波路２３２の先端面（ミラー面９２ａ）と面一に形成されている。
【０１２０】
一対の位置決め部１１００内（各位置決め部１１００の間）には、スライダ２のＸ方向中央部において、スライダ２の先端面から基端面までＹ方向に沿ってガイド溝１１０１が形成されている。そして、このガイド溝１１０１内において、位置決め部１１００間で挟み込まれるようにして上述した光導波路２３２が配置されている。具体的に、光導波路２３２は、例えば上述した第４実施形態と同様にスライダ２との接着面側に平坦面２５０ａを有する光ファイバであり、ガイド溝１１０１の幅方向（Ｘ方向）中央部において、ガイド溝１１０１の延在方向と光導波路２３２との延在方向とを一致した状態でスライダ２の裏面２ｃに接着固定されている。なお、ガイド溝１１０１の幅は、光導波路２３２の直径以上に設定されていればよいが、比較的狭い方が位置決めが容易になり、ガイド溝１１０１内に光導波路２３２をブレなく配置することができる。
【０１２１】
本実施形態において、光導波路２３２をスライダ２に固定するには、まずスライダ２の裏面２ｃにおける両側に、スライダ２の端面と位置決め部１１００の端面とを位置決めした状態で位置決め部１１００をスライダ２に接着固定する。そして、位置決め部１１００間に形成されるガイド溝１１０１内に光導波路２３２を配置するとともに、光導波路２３２のミラー面９２ａと位置決め部１１００の先端面とを位置決めした状態で、光導波路２３２とスライダ２とを接着固定する。これにより、スライダ２に光導波路２３２を位置決め固定することができる。
【０１２２】
本実施形態によれば、上述した実施形態と同様の効果を奏するとともに、スライダ２の裏面２ｃに位置決め部１１００を配置しておくことで、両者間に形成されたガイド溝１１０１内に光導波路２３２を配置するのみで、光導波路２３２をスライダ２に固定することができるため、光導波路２３２とスライダ２との位置合わせや固定が容易になる。また、位置決め部１１００と光導波路２３２とを別体で構成することで、用途に応じて種々の光導波路２３２を固定することができるので、設計の自由度を向上させることができる。
【０１２３】
なお、上述した実施形態では、光導波路として例えば第３実施形態の光ファイバを採用した場合について説明したが、これに限らず、上述した各種光ファイバを採用することが可能である。
また、図２９に示すように、上述した第１実施形態のようにコア３５と、コア３５に密着してコア３５を封止するクラッド３４（ともに図７参照）とを有する断面視矩形状の樹脂導波路１２３２を採用することも可能である。この場合、樹脂導波路１２３２の厚さ（Ｚ方向の厚さ）は、位置決め部１１００の厚さと同等、若しくは樹脂導波路１２３２の方が薄く形成されている必要がある。
【０１２４】
（第１３実施形態）
次に、本発明の第１３実施形態について説明する。図３０は、本発明の第１３実施形態における図１４のＨ−Ｈ’線に相当する断面図である。なお、以下の説明では上述した第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。上述した第１２実施形態では、本発明の位置決め部を一対の位置決め部１１００として分割してスライダ２の裏面２ｃに配置する場合について説明したが、これに限らず、両側の位置決め部が少なくとも一部で連結されていても構わない。
具体的に、図３０に示すように、位置決め部１３００は、スライダ２の裏面２ｃ（図２８参照）の外形と同形状の薄板部１３０１を有し、この薄板部１３０１のＸ方向両側にＺ方向に膨出する膨出部１３０２が形成されている。すなわち、本実施形態の位置決め部１３００は、断面視がＣ字状に形成されたものであり、膨出部１３０２間に形成される溝が光導波路２３２のガイド溝１３０３として機能する。そして、このガイド溝１３０３の底部に光導波路２３２が接着固定されている。
なお、薄板部１３０１が位置決め部１３００のスライダ２側（図３０の下側）に備えられているが、これに限定されずに、薄板部１３０１は位置決め部１３００のスライダ２側とは逆側（図３０の上側）に備えられていてもよい。
【０１２５】
この構成によれば、上述した実施形態と同様の効果を奏することに加え、第１２実施形態のように位置決め部１１００（図２７参照）を分割して構成する場合に比べて、位置決め部１３００の薄板部１３０１の裏面をスライダ２の外形に合わせて配置するだけで、スライダ２と位置決め部１３００とを位置決め固定することができる。これにより、膨出部１３０２間の位置合わせ等を行う必要がないので、より簡単に位置決め部１３００とスライダ２との位置決めを行い、光導波路２３２とスライダ２との位置合わせや固定が容易になる。
【０１２６】
（第１４実施形態）
次に、本発明の第１４実施形態について説明する。図３１は、本発明の第１４実施形態における図１４のＨ−Ｈ’線に相当する断面図である。なお、以下の説明では上述した実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。上述した実施形態では、光導波路２３２の平坦面２５０ａがスライダ２（図１４参照）側に向けて配置されている場合、すなわちガイド溝１３０３の底面と光導波路２３２の平坦面２５０ａが当接している場合について説明した。
これに対して、本実施形態では、図３１に示すように光導波路２３２の平坦面２５０ａが、パッド部１７ｂ（図１４参照）側に向けて配置された状態でガイド溝１３０３内に収容されている。この場合、平坦面２５０ａと膨出部１３０２の表面（パッド部１７ｂ側）とは面一に配置されることになる。
【０１２７】
この構成によれば、上述した第３実施形態と同様に、位置決め部１３００の裏面（薄板部１３０１の裏面）をスライダ２の外形に合わせて配置するだけで、スライダ２と位置決め部１３００とを位置決め固定することができる。
しかも、光導波路２３２の平坦面２５０ａと、膨出部１３０２の表面とが面一に配置されるので、位置決め部１３００及び光導波路２３２とパッド部１７ｂとが面同士で当接することになる。すなわち、位置決め部１３００及び光導波路２３２とパッド部１７ｂとを固定する際に、光導波路２３２の平坦面２５０ａもパッド部１７ｂとの位置決めを行う位置決め部として機能する。そのため、撓み易いパッド部１７ｂに対して光導波路２３２を容易に、かつ確実に固定することができる。
【０１２８】
（第１５実施形態）
次に、本発明の第１５実施形態について説明する。図３２は本発明の第１５実施形態における光導波路の断面図であり、図３３は図１４のＨ−Ｈ’線に相当する断面図である。なお、以下の説明では上述した実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
図３２，３３に示すように、本実施形態の光導波路１４３２は、クラッド１３４の外周面において、周方向で対向する位置（図３２中Ｙ方向）が研磨されてなる平坦面１４３３，１４３４が形成されている。光導波路１４３２は、平坦面１４３３，１４３４が位置決め部１１００の表面及び裏面とそれぞれ面一になるように、ガイド溝１１０１内に収容されている。
【０１２９】
この構成によれば、まずクラッド１３４の外周面に平坦面１４３４を形成することで、上述した第４実施形態（図１４参照）と同様に、ミラー面９２ａとスポット光変換器４０との間の界面が平坦面となる。これにより、光束Ｌの出射角を調整してスライダ２への入射光のスポット形状を最適化することが可能になり、スポットサイズ変換器４０（図１４参照）においてスポット光を効率よく発生させることができる。
また、光導波路１４３２の平坦面１４３３，１４３４と位置決め部１１００の両面とが面一に配置されることになるので、光導波路１４３２の平坦面１４３３，１４３４がスライダ２（図１４参照）及びパッド部１７ｂと、それぞれ面同士で当接することになる。すなわち、位置決め部１１００及び光導波路１４３２をスライダ２に固定した後、パッド部１７ｂに固定する際に、光導波路１４３２の平坦面１４３３もパッド部１７ｂとの位置決めを行う位置決め部として機能する。そのため、撓み易いパッド部１７ｂに対して光導波路１４３３を容易に、かつ確実に固定することができる。
【０１３０】
なお、本発明の技術範囲は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、上述した実施形態で挙げた構成等はほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。例えば、上述した各実施形態を適宜組み合わせて採用することも可能である。
【０１３１】
また、上述の実施形態では、スライダを浮上させた空気浮上タイプの情報記録再生装置を例に挙げて説明したが、この場合に限られず、ディスク面に対向配置されていればディスクとスライダとが接触していても構わない。つまり、本発明のスライダは、コンタクトスライダタイプのスライダであっても構わない。この場合であっても、同様の作用効果を奏することができる。
【０１３２】
また、上述の実施形態では、アーム部の片面側のみにヘッドジンバルアセンブリが設けられている構成について説明したが、各ディスク間に差し入れられるアーム部の両面に、各ディスクに対向するようにそれぞれヘッドジンバルアセンブリを設けるような構成も可能である。この場合、アーム部の両面側に設けられたヘッドジンバルアセンブリの各スライダにより、各スライダに対向するディスク面の情報の記録再生を行うことができる。つまり、１つのアーム部により２枚のディスクの情報を記録再生することができるため、情報記録再生装置の記録容量の増加及び装置の小型化を図ることができる。
さらに、上述した各実施形態では、本発明の位置決め部を、スライダ２の上面（ＸＹ平面）の外形と同等に形成された平板部（例えば、平板部５０）として説明したが、これに限らず、平板部より大きく形成しても、小さく形成してもよい。例えば、平板部の幅と光導波路の幅とを略同一の幅に形成してもよい。すなわち、光導波路の延長線上に、当該光導波路の幅と略同一の平板部が設けられていてもよい。この場合であっても、平板部の上下面（スライダ２及びパッド部１７ｂとの接着面）を平坦面に形成することで、スライダ２に対する光導波路の位置決めが容易になり、製造効率を向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【０１３３】
スライダ内においてスポット光発生素子までの光導波路の配置を容易に行うことで、加工コスト及び製造コストを低減して製造効率を向上させることができる。
【符号の説明】
【０１３４】
Ｄ  ディスク（記録媒体）
Ｄ１  ディスク面（記録媒体の表面）
１  情報記録再生装置
２  スライダ
３  サスペンション
１０  ピボット軸
１１  キャリッジ
１２  ヘッドジンバルアセンブリ
１４  アーム部
１７  ジンバル
１７ｂ  パッド部（支持部）
２０  レーザ光源（光源）
３２，１３２，２３２，３３２，５３２，６３２，７３２，８３２，９３２，１０３２，１４３２  光導波路
３２ａ，１３２ａ，９２ａ，２９２ａ  ミラー面
３４  クラッド
３５，６３５，７３５  コア
５０，１５０，２５０，３５０，５５０  平板部
６０，１６０  スライダ基板
４０  スポットサイズ変換器（スポット光発生素子）
９１  ＧＩファイバ（グレーデッドインデックスファイバ）
９２  クラッドなしファイバ
１４０  ヘッド導波路（スポット光発生素子）
２５０ａ  平坦面
２７０  ミラー基板
５０１  接続部
８０１  トンネル部
９０１，１００１  応力付与部
１１０１，１３０３  ガイド溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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