(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓部と、
前記可撓部を支持する支持部と、
前記可撓部と結合し前記可撓部とともに運動する錘部と、
直交する複数の励振方向に前記錘部を振動させる励振手段と、
コリオリ力に対応する検出方向における前記錘部の振動を検出する検出手段と、
切り換え前の励振方向に前記錘部を振動させる駆動信号の印加終了後から切り換え前と別の励振方向に前記錘部を振動させる駆動信号を印加するまでの切り換え期間中に、切り換え前の前記錘部の振動に関連する信号に基づいて生成した静定信号を、前記切換期間終了まで所定時間を残して前記励振手段に印加するとともに、前記静定信号の印加後に前記錘部の振動を自然減衰させる静定制御手段と、
を備える振動型角速度センサ。
【請求項２】
前記静定制御手段は、切り換え前に前記励振手段に印加されていた信号の位相を反転した信号を、前記励振手段に印加する、請求項１に記載の振動型角速度センサ。
【請求項３】
前記静定制御手段は、前記検出手段によって検出された前記検出信号の位相を反転した信号を、前記励振手段に印加する、請求項１に記載の振動型角速度センサ。
【請求項４】
前記静定制御手段は、前記検出手段によって検出された前記検出信号と同じ振幅であって、切り換え前に前記励振手段に印加されていた駆動信号と位相が反転した信号を、前記励振手段に印加する、請求項１に記載の振動型角速度センサ。
【請求項５】
前記静定制御手段は、前記励振手段および前記検出手段の等価回路を用いて、切り換え前の励振方向の振動に対する静定信号をシミュレートし、前記シミュレートすることによって得られる静定信号を、前記励振手段に印加する、請求項１に記載の振動型角速度センサ。
【請求項６】
前記励振手段および前記検出手段は圧電素子である、  請求項１から５のいずれか一項に記載の振動型角速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、本発明はＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）による振動型角速度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、角速度センサに関して、複数の軸まわりの角速度を、励振方向を順に切り換えて、角軸まわりの角速度を時分割的に検出する手法が知られている（例えば、特許文献１，３）。また、検出された振動を示す信号の逆位相の信号を用いて、角速度が加わっていない状態での不要振動を除去する手段を有するジャイロスコープが知られている（例えば、特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３１７４６２号公報
【特許文献２】特開平８−１２２０８０号公報
【特許文献３】特開平６−３００５６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
時分割的に複数の軸まわりの角速度を検出する手法では、切り換え後の励振方向に対応する軸まわりのコリオリ力を精度よく検出するためには、切り換え前の励振方向の振動が静定している必要がある。したがって、切り換え前の励振方向の振動を早く減衰できることが望まれる。
本発明は、時分割駆動方式の角速度センサにおいて、励振方向を切り換える際に切り換え前の励振方向の振動を早く減衰させることを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  （１）上記目的を達成するための振動型角速度センサは、可撓部と、前記可撓部を支持する支持部と、前記可撓部と結合し前記可撓部とともに運動する錘部と、直交する複数の励振方向に前記錘部を振動させる励振手段と、コリオリ力に対応する検出方向における前記錘部の振動を検出する検出手段と、切り換え前の励振方向に前記錘部を振動させる駆動信号の印加終了後から切り換え前と別の励振方向に前記錘部を振動させる駆動信号を印加するまでの切り換え期間中に、切り換え前の前記錘部の振動に関連する信号に基づいて生成した静定信号を、前記励振手段に印加する静定制御手段と、を備える。  本発明によると、静定振動を加えない場合と比較して、切り換え前の励振方向の振動を早く減衰させることができる。励振方向の振動を早く減衰させることによって、時分割の動作周波数を高くすることができる。【０００６】  （２）上記目的を達成するための振動型角速度センサにおいて、前記静定制御手段は、切り換え前に前記励振手段に印加されていた信号の位相を反転した信号を、前記励振手段に印加してもよい。  この場合、低コストな回路構成で静定信号を生成し、印加することができる。【０００７】  （３）上記目的を達成するための振動型角速度センサにおいて、前記静定制御手段は、前記検出手段によって検出された前記検出信号の位相を反転した信号を、前記励振手段に印加してもよい。  検出手段によって検出された錘部の振動を示す検出信号に基づいて、その逆位相の信号（振幅や周波数は同じ）を励振手段に印加することにより、錘部の振動を確実に減衰させることができる。【０００８】  （４）上記目的を達成するための振動型角速度センサにおいて、前記静定制御手段は、前記検出手段によって検出された前記検出信号と同じ振幅であって、切り換え前に前記励振手段によって印加されていた駆動信号と位相が反転した信号を、前記励振手段に印加してもよい。  検出手段により検出した振動の振幅で、位相は、駆動手段によって与えられていた励振振動の逆位相の振動を静定振動として与えることで、静定振動を加えない場合と比較して、錘部の切り換え前の励振方向の振動を早く減衰させることができる。【０００９】  （５）上記目的を達成するための振動型角速度センサにおいて、前記静定制御手段は、前記励振手段および前記検出手段の等価回路を用いて、切り換え前の励振方向の振動に対する静定信号をシミュレートし、前記シミュレートすることによって得られる静定信号を、前記励振手段に印加してもよい。この場合、シミュレーションによって得られる、切り換え前の励振方向の振動を減衰するために効果的な静定信号を、励振手段に印加することができる。その結果、当該静定信号を印加しない場合と比較すると錘部の振動を早く減衰させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】（１Ａ）は第一実施形態にかかる振動型角速度センサの上面図、（１Ｂ）および（１Ｃ）は断面図。
【図２】（２Ａ）は第一実施形態にかかる振動型角速度センサのブロック図、（２Ｂ）は圧電素子に印加する信号を説明する図。
【図３】（３Ａ）は第二実施形態にかかる振動型角速度センサのブロック図、（３Ｂ）は圧電素子に印加する信号を説明する図。
【図４】（４Ａ）は第三実施形態にかかる振動型角速度センサのブロック図、（４Ｂ）は圧電素子に印加する信号を説明する図、（４Ｃ）は等価回路を示す回路図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を、添付図面を参照しながら以下の順に説明する。尚、各図において対応する構成要素には同一の符号が付され、重複する説明は省略される。
【００１２】
１．第一実施形態
図１は本発明による振動型角速度センサの第一実施形態を示している。説明の便宜のために図１に示すように直交するｘｙｚ軸を定める。振動型角速度センサ１は、ＭＥＭＳとして構成され、単結晶珪素、酸化珪素、白金、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などの半導体デバイス材料からなる積層構造体である。振動型角速度センサ１は図示しないパッケージに収容される。振動型角速度センサ１は、支持部１０、錘部１５、梁部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、駆動用圧電素子１３、検出用圧電素子１４などが形成されているダイ１ａと駆動用圧電素子１３および検出用圧電素子１４に接続される後述する駆動検出回路とを備えている。駆動検出回路はダイ１ａに形成しても良いし、ダイ１ａとともに１つのパッケージに収容される別のダイに形成しても良いし、ダイ１ａのパッケージとは別パッケージに収容される１つ以上のダイに形成しても良い。
【００１３】
ダイ１ａを構成する各層の界面は図１Ｂおよび図１Ｃにおいて破線によって示されている。基層１００は例えば厚さ６２５μｍの単結晶珪素からなる。基層１００は他の層に比べて突出して厚い層である。基層１００は支持部１０および錘部１５の大部分を構成している。梁部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄは、ばね層１０４と絶縁層１０６から構成されている。ばね層１０４と絶縁層１０６とは支持部１０および錘部１５の上層部をも構成しており、支持部１０、梁部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄおよび錘部１５にわたって連続している。これにより支持部１０、梁部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄおよび錘部１５が一体に連結されている。ばね層１０４は例えば厚さ１０μｍの単結晶珪素からなる。絶縁層１０６は例えば厚さ０．５μｍの酸化珪素からなる。基層１００とばね層１０４との間には製造時にエッチングストッパとして機能するストッパ層１０２が形成されている。ストッパ層１０２は例えば厚さ１μｍの酸化珪素からなる。駆動用圧電素子１３、検出用圧電素子１４および図示しない配線要素（導線、ボンディングパッド等）は圧電層１１０とこれを両側から挟み込んでいる電極層１０８、１１２とからなる。電極層１０８、１１２は例えば厚さ０．１μｍの白金からなる。圧電層１１０は例えば厚さ３μｍのＰＺＴからなる。
【００１４】
支持部１０は矩形枠の形態を有する。支持部１０は梁部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄに比べて十分厚くパッケージに固定されるため実質的に剛体として振る舞う。支持部１０は内側に梁部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄおよび錘部１５が収まる空間を形成し実質的に剛体として振る舞う形態であればどのような形態であっても良い。
【００１５】
可撓性を有する４つの梁部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄは、いずれも一端が支持部１０に他端が錘部１５に結合している。すなわち４つの梁部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄは支持部１０の内側において錘部１５を支持している。４つの梁部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄは、支持部１０の内側に十字形に配置され、ｘｙ平面と平行に整列している。梁部１２ａ、１２ｃの対は、ｙ軸方向に整列し、それぞれｙ軸方向に延びている。梁部１２ｂ、１２ｄの対は、ｘ軸方向に整列し、それぞれｘ軸方向に延びている。４つの梁部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄは、錘部１５と支持部１０とを構成している複数の層のうち突出して厚い基層１００を含まないため、錘部１５と支持部１０に対して十分ｚ方向に薄い扁平な板形である。したがって４つの梁部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄは、それぞれ一端が支持部１０に固定され他端が支持部１０に対して変位する弾性梁として振る舞う。扁平な梁部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄがｚ軸方向に撓むことによって錘部１５は支持部１０に対してｘ、ｙ、ｚ軸のそれぞれの方向に振動可能である。
【００１６】
錘部１５は４つの梁部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄと結合している中央部と、隣り合う梁部１２の間に中央部から突出する４つの周辺部とが結合した形態を有する。錘部１５は支持部１０を構成している複数の層のうち突出して厚い基層１００を含むため、支持部１０に対して３次元運動する剛体として振る舞う。中央部は梁部１２を構成している層を含む支持部１０と同一の積層構造を有し、周辺部は梁部１２を構成している層を含まない。ｚ軸方向において梁部１２よりも厚い錘部１５のｚ軸方向の端部に梁部１２が結合しているため、錘部１５の重心は梁部１２を含む平面からｚ軸方向に離間している。したがって、錘部１５にｘ軸方向またはｙ軸方向の慣性力が作用すると、錘部１５の重心の運動はｘ軸またはｙ軸周りの回転を伴う運動となる。錘部１５の重心のｘ軸方向の振動には梁部１２ｂ、１２ｄの撓み振動が伴う。錘部１５の重心のｙ軸方向の振動には梁部１２ａ、１２ｃの撓み振動が伴う。錘部１５の重心のｚ軸方向の振動には梁部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄの撓み振動が伴う。
【００１７】
梁部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄのそれぞれの表面の支持部１０との境界近傍に励振部として駆動用圧電素子１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄが設けられる。錘部１５のｙ軸方向の励振は、ｙ軸方向に整列している駆動用圧電素子１３ａ、１３ｃに極性が互いに逆の励振信号を印加することによって行われる。すなわち駆動用圧電素子１３ａ、１３ｃはｙ軸励振部として機能する。錘部１５のｚ軸方向の励振は、ｘ軸方向に整列している駆動用圧電素子１３ｂ、１３ｄに極性が一致した励振信号を印加することによって行われる。すなわち駆動用圧電素子１３ｂ、１３ｄはｚ軸励振部として機能する。
【００１８】
それぞれの梁部１２の表面の錘部１５との境界近傍に検出手段として検出用圧電素子１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄが設けられる。支持部１０に対して錘部１５の重心がｘ軸方向に変位するとき、ｘ軸方向に整列している梁部１２ｂ、１２ｄの表面の支持部１０との境界近傍領域は一方が延びて他方が縮む。したがって、梁部１２ｂ、１２ｄの表面の支持部１０との境界近傍に設けられている検出用圧電素子１４ｂ、１４ｄの対は、支持部１０に対する錘部１５のｘ軸方向の振動を検出するｘ軸検出部として機能する。支持部１０に対して錘部１５の重心がｙ軸方向に変位するとき、ｙ軸方向に整列している梁部１２ａ、１２ｃの表面の支持部１０との境界近傍領域は一方が延びて他方が縮む。したがって、梁部１２ａ、１２ｃの表面の支持部１０との境界近傍に設けられている検出用圧電素子１４ａ、１４ｃの対は、支持部１０に対する錘部１５のｙ軸方向の振動を検出するｙ軸検出部として機能する。
【００１９】
ダイ１ａがｘ軸周りに回転するとｚ軸方向に進行する錘部１５の重心に対してｙ軸と平行なコリオリ力が作用する。錘部１５がｚ軸方向に振動している場合、ｘ軸周りの回転に伴うｙ軸と平行なコリオリ力も振動するため、ダイ１ａがｘ軸周りに回転すると錘部１５の重心はｚ軸の参照振動と同じ振動数においてｙ軸と平行に振動する。すなわちｘ軸周りの角速度は錘部１５の重心のｙ軸方向の振動に基づいて導出される。
【００２０】
ダイ１ａがｙ軸周りに回転するとｚ軸方向に進行する錘部１５の重心に対してｘ軸と平行なコリオリ力が作用する。錘部１５がｚ軸方向に振動している場合、ｙ軸周りの回転に伴うｘ軸と平行なコリオリ力も振動するため、ダイ１ａがｙ軸周りに回転すると錘部１５の重心はｚ軸の参照振動と同じ振動数においてｘ軸と平行に振動する。すなわちｙ軸周りの角速度は錘部１５の重心のｘ軸方向の振動に基づいて導出される。
【００２１】
ダイ１ａがｚ軸周りに回転するとｙ軸方向に進行する錘部１５の重心に対してｘ軸と平行なコリオリ力が作用する。錘部１５がｙ軸方向に振動している場合、ｚ軸周りの回転に伴うｘ軸と平行なコリオリ力も振動するため、ダイ１ａがｚ軸周りに回転すると錘部１５の重心はｙ軸の参照振動と同じ振動数においてｘ軸と平行に振動する。すなわちｚ軸周りの角速度は錘部１５の重心のｘ軸方向の振動に基づいて導出される。
【００２２】
図２Ａは振動型角速度センサ１の回路構成を示すブロック図である。図２Ｂは駆動用圧電素子１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄに印加される信号のタイミングや位相を説明する図である（励振期間中あるいは反転期間中に駆動用圧電素子に印加される信号の波数は例示でありこれに限定されない）。駆動信号生成回路２１、時分割制御回路２３、反転回路２２は上述の駆動検出回路を構成する一部である。振動部２４には、梁部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄに形成された駆動用圧電素子１３と検出用圧電素子１４が含まれる。駆動信号生成回路２１は、駆動用圧電素子１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄに印加するための励振信号Ｄｙ１、Ｄｙ２、Ｄｚ１、Ｄｚ２を生成する回路である。駆動信号生成回路２１から出力される励振信号Ｄｙ１、Ｄｙ２、Ｄｚ１、Ｄｚ２は、時分割制御回路２３が生成するタイミングに基づいて、ｙ軸方向の励振信号の出力とｚ軸方向の励振信号の出力とを切り換えて、駆動用圧電素子に印加される。駆動用圧電素子１３ａ、１３ｃに印加される励振信号Ｄｙ１、Ｄｙ２は駆動用圧電素子１３ａ、１３ｃが設けられている梁部１２ａ、１２ｃが整列しているｙ軸方向に錘部１５の重心を振動させる信号である。励振信号Ｄｙ１、Ｄｙ２は、同一の振動数および振幅で振動し、πだけ位相が相互にずれている。駆動用圧電素子１３ｂ、１３ｄに印加される励振信号Ｄｚ１、Ｄｚ２は錘部１５の重心をｚ軸方向に振動させる信号である。励振信号Ｄｚ１、Ｄｚ２は、振動数、振幅、位相が互いに一致している。
【００２３】
ｙ軸方向に整列している検出用圧電素子１４ａ、１４ｃからそれぞれ出力される信号に基づいて錘部１５の重心のｙ軸方向の振動を表す信号が得られる。具体的には、上述したように、支持部１０に対して錘部１５の重心がｙ軸方向に変位するとき、ｙ軸方向に整列している梁部１２ａ、１２ｃの表面の支持部１０との境界近傍領域は一方が延びて他方が縮むため、梁部１２ａ、１２ｃの表面に設けられた検出用圧電素子１４ａ、１４ｃからそれぞれ出力される信号の極性は互いに逆になる。したがって検出用圧電素子１４ａ、１４ｃから出力された信号の差分を取ることによって錘部１５の重心のｙ軸方向の振動を表す信号ｙを得ることができる。
【００２４】
ｘ軸方向に整列している検出用圧電素子１４ｂ、１４ｄからそれぞれ出力される信号に基づいて、錘部１５の重心のｘ軸方向の振動を表す信号が得られる。具体的には、上述したように、支持部１０に対して錘部１５の重心がｘ軸方向に変位するとき、ｘ軸方向に整列している梁部１２ｂ、１２ｄの表面の支持部１０との境界近傍領域は一方が延びて他方が縮むため、梁部１２ｂ、１２ｄの表面に設けられた検出用圧電素子１４ｂ、１４ｄから出力される信号の極性は互いに逆になる。したがってそれらの信号の差分を取ることによって錘部１５の重心のｘ軸方向の振動を表す信号ｘが得られる。
【００２５】
支持部１０に対して錘部１５の重心がｚ軸方向に変位するとき、ｘ軸方向に整列している梁部１２ｂ、１２ｄの表面の支持部１０との境界近傍領域は一方が延びるとき他方も延び一方が縮むとき他方も縮むため、梁部１２ｂ、１２ｄの表面に設けられた検出用圧電素子１４ｂ、１４ｄから出力される信号の極性は一致する。したがって、検出用圧電素子１４ｂ、１４ｄから出力された信号の和分を取ることによって錘部１５の重心のｚ軸方向の振動を表す信号ｚが得られる。
【００２６】
駆動信号生成回路２１は、ｙ軸方向に錘部１５を振動させるための励振信号Ｄｙ１、Ｄｙ２と、ｚ軸方向に錘部１５を振動させるための励振信号Ｄｚ１、Ｄｚ２を時分割制御回路２３の生成するタイミングａ１にしたがって時分割して出力する。ｙ軸方向に錘部１５を振動させるための励振信号Ｄｙ１、Ｄｙ２を印加しているｙ軸励振期間においては、錘部１５の重心のｙ軸方向の参照振動を表す信号として信号ｙを扱い、ｙ軸方向の参照振動に対してｚ軸周りの角速度に伴って作用するコリオリ力を表す信号として信号ｘを扱う。ｚ軸方向に錘部１５を振動させるための励振信号Ｄｚ１、Ｄｚ２を印加しているｚ軸励振期間においては、錘部１５の重心のｚ軸方向の参照振動を表す信号として信号ｚを扱い、ｚ軸方向の参照振動に対してｙ軸周りの角速度にともなって発生するコリオリ力を表す信号として信号ｘを扱うとともに、ｚ軸方向の参照振動に対してｘ軸周りの角速度にともなって発生するコリオリ力を表す信号として信号ｙを扱う。
【００２７】
本実施形態では、ｙ軸励振期間とｚ軸励振期間との間の切り換え期間に、切り換え前の励振振動を静定するための信号を印加する。具体的には、時分割制御回路２３が生成するタイミングａ２に基づいて、反転回路２２によって励振信号の位相が反転された信号が駆動用圧電素子に印加される。その結果、励振と同じ振幅および周波数で位相が反転した信号を駆動用圧電素子１３に印加することができ、切り換え期間の直前まで印加されていた励振信号による振動を静定することができる。ただし、次の軸方向の励振期間の開始直前まで上述の逆位相の信号を印加するのではなく、次の軸方向の励振期間開始までに所定時間を残して印加を終了する。すなわち、静定振動を起こすための信号の印加を終了してから次の軸方向の励振のための信号を印加するまでの間、自然な減衰に任せる期間を設ける。
なお、本実施形態によると、低コストで静定信号を生成し印加することができる。
【００２８】
２．第二実施形態
図３Ａは、第二実施形態にかかる振動型角速度センサの回路構成を示すブロック図である。図３Ｂは、駆動用圧電素子１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄに印加される信号のタイミングや位相を説明する図である。振動型角速度センサの機械的構成は第一実施形態と共通であるため説明を省略する。
【００２９】
本実施形態では、励振方向を切り換える前に、検出用圧電素子１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄによって検出された信号に基づいて生成した静定信号を駆動用圧電素子１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄに印加する。具体的には、検出用圧電素子１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄによって検出された信号が示す振動と振幅・周波数が同じで位相が反転した振動を加えるための信号を、フィードバック制御回路２５において静定信号として生成し、駆動用圧電素子１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄに印加する。なお、フィードバック制御回路２５によって静定信号が印加されている期間は、駆動信号生成回路２１から励振信号は出力されない。以上のように、本実施形態では、検出用圧電素子１４によって検出された振動を示す検出信号の振幅・周波数・位相に基づいて生成された静定信号を駆動用圧電素子１３に加えることにより、振動を確実に減衰させることができる。
【００３０】
なお、その他の実施形態として、フィードバック制御回路２５は、検出用圧電素子１４によって検出された振動と同じ振幅の振動であって、直前に駆動用圧電素子１３によって加えられていた振動と位相が反転した振動を起こすための信号を、駆動用圧電素子１３に加えてもよい。すなわち、振幅のみフィードバックし、位相は駆動用圧電素子１３に直前まで印加していた振動の位相と逆位相となる信号を静定信号として印加してもよい。なお、この場合、第一実施形態と同様に、静定信号の印加を終了してから切り換え後の軸方向の励振のための信号を印加するまでの間、自然な減衰に任せる期間を設けるようにしてもよい。
【００３１】
３．第三実施形態
図４Ａは、第三実施形態にかかる振動型角速度センサの回路構成を示すブロック図である。図４Ｂは、駆動用圧電素子１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄに印加される信号のタイミングや位相を説明する図である。機械的構成は第一実施形態と共通であるため説明を省略する。本実施形態では、振動部の等価回路を用いて、切り換え前の励振方向の振動を減衰するために効果的な静定信号をシミュレートし、シミュレートによって得られた最適な静定信号を静定信号生成回路２６によって生成し、駆動用圧電素子１３に印加する。なお、静定信号生成回路２６によって静定信号が印加されている期間は、駆動信号生成回路２１から励振信号は出力されない。図４Ｃは駆動部と振動部と検出部の等価回路を示している。本実施形態によると、シミュレートにより効果的な静定信号を導くことができるため、確実に切り換え前の振動を静定することができる。
【００３２】
４．他の実施形態
尚、本発明の技術的範囲は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上記実施形態で示した材質や寸法や形状はあくまで例示である。
【符号の説明】
【００３３】
１：振動型角速度センサ、１ａ：ダイ、１０：支持部、１２（１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ）：梁部、１３（１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ）：駆動用圧電素子、１４（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ）：検出用圧電素子、１５：錘部、２１：駆動信号生成回路、２２：反転回路、２３：時分割制御回路、２４：振動部、２５：フィードバック制御回路、１００：基層、１０２：ストッパ層、１０４：ばね層、１０６：絶縁層、１０８：電極層、１１０：圧電層、１１２：電極層。
【図１】
0005397171.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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