(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
主軸を回転自在に支持する静圧気体軸受と、前記主軸にモータロータを固定してなり主軸を回転駆動するモータとを備え、前記主軸の一端部を被回転体を取り付けるための被回転体設置部とした静圧気体軸受スピンドルにおいて、
前記主軸の被回転体設置部の材料として、前記主軸の前記被回転体設置部を除く主軸本体部よりも熱伝導率の低いセラミックスを用い、前記主軸の前記被回転体設置部を除く主軸本体部が金属製であり、被回転体設置部の中心に軸方向に貫通する貫通孔を設け、前記主軸本体部と前記被回転体設置部に取り付けられる金属製被回転体とを前記貫通孔に配線した導電線で電気的に接続したことを特徴とする静圧気体軸受スピンドル。
【請求項２】
主軸を回転自在に支持する静圧気体軸受と、前記主軸にモータロータを固定してなり主軸を回転駆動するモータとを備え、前記主軸の一端部を被回転体を取り付けるための被回転体設置部とした静圧気体軸受スピンドルにおいて、
前記主軸の被回転体設置部の材料として、前記主軸の前記被回転体設置部を除く主軸本体部よりも熱伝導率の低いセラミックスを用い、前記主軸の前記被回転体設置部を除く主軸本体部の材料がアルミナセラミックスであり、主軸の被回転体設置部および前記主軸本体部の中心に互いに連通し軸方向に貫通する貫通孔を設けると共に、主軸の被回転体設置部と軸方向反対側の端部に前記モータの金属製回転軸を前記貫通孔と同軸に設け、このモータ回転軸と前記被回転体設置部に取り付けられる金属製被回転体とを前記貫通孔に配線した導電線で電気的に接続したことを特徴とする静圧気体軸受スピンドル。
【請求項３】
主軸を回転自在に支持する静圧気体軸受と、前記主軸にモータロータを固定してなり主軸を回転駆動するモータとを備え、前記主軸の一端部を被回転体を取り付けるための被回転体設置部とした静圧気体軸受スピンドルにおいて、
前記主軸の被回転体設置部の材料として、前記主軸の前記被回転体設置部を除く主軸本体部よりも熱伝導率の低いセラミックスを用い、前記主軸の前記被回転体設置部を除く主軸本体部の材料がアルミナセラミックスであり、主軸の被回転体設置部および前記主軸本体部の中心に互いに連通し軸方向に貫通する貫通孔を設けると共に、主軸の被回転体設置部と軸方向反対側の端部に前記モータの金属製回転軸を前記貫通孔と同軸に設け、主軸本体部の貫通孔の内周面およびモータ回転軸に接する端面に導電性のメッキ層を形成し、このメッキ層と前記被回転体設置部に取り付けられる金属製被回転体とを被回転体設置部の貫通孔に配線した導電線で電気的に接続したことを特徴とする静圧気体軸受スピンドル。
【請求項４】
請求項２または請求項３において、前記モータの金属製回転軸に導電性材料からなる円板を固定すると共に、この円板の表面に微小隙間を介して対向する平面を有する導電性アース部材を、静圧気体軸受スピンドルのハウジングに固定された導電性保持部材で保持した静圧気体軸受スピンドル。
【請求項５】
請求項２または請求項３において、前記モータの金属製回転軸に導電性材料からなる円板を固定すると共に、この円板の表面に接触する導電性繊維状部材を有する導電性アース部材を、静圧気体軸受スピンドルのハウジングに固定された導電性保持部材で保持した静圧気体軸受スピンドル。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか１項において、前記主軸の被回転体設置部の材料がジルコニアセラミックスである静圧気体軸受スピンドル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、磁気ディスクや光ディスク等の製造工程，検査工程等で使用される高精度な静圧気体軸受スピンドルに関する。
【背景技術】
【０００２】
静圧気体軸受スピンドルは、主軸を静圧気体軸受により非接触で支持するため、回転精度が高く、精密加工機や精密検査装置のワークスピンドルまたは工具スピンドルなどに使用される。このようなスピンドルでは外乱の侵入を防ぎ制御性を高めるために、ベルト等を使用せず主軸にモータのロータを直接取り付けて駆動する場合が多い。
特に、磁気ディスクや光ディスク等の製造工程，検査工程等の用途ではディスクの記録密度を向上させるため、データ信号を高密度に書き込む必要があり、ディスクと記録ユニットまたは再生ヘッド等との高い位置決め精度や、スピンドルの高い回転精度が要求される。このような用途に使用される静圧気体軸受スピンドルでは、モータロータに永久磁石を使用した同期型サーボモータとロータリーエンコーダを主軸に直接取り付けて、フィードバック制御を行うことが多い。例えば、上記同期型サーボモータとして、コア付きサーボモータとコアレスサーボモータを使用した静圧気体軸受スピンドルが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−８４２７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記静圧気体軸受スピンドルを用いたディスク原盤製造装置においては、スピンドルの主軸上端に取り付けた回転テーブル上にディスク原盤を搭載する。そして、このディス原盤を回転させた状態で、原盤表面に塗布されたレジストに、収束された電子ビームまたは集光されたレーザービームを照射しつつ、回転テーブルの主面に平行に前記ビームを相対移動させることで、記録情報をディスク原盤上に露光または描画する。
【０００５】
しかし、このようなディスク原盤製造装置においては、スピンドルのモータ等で発生した熱が主軸を通じてディスク原盤に伝わると、上記レジストの反応速度の不安定や反応むらの原因となる。また、熱によって主軸が膨張すると、上記ビームの照射部と原盤表面との間に相対的な位置変化が発生する。その結果、高精度な情報の記録が阻害される。
このような理由から、上記したディスク原盤製造装置に使用される静圧気体軸受スピンドルには、高い回転精度に加えて、熱の発生や熱の伝達を低減することが求められている。
【０００６】
この発明の目的は、熱の発生や熱の伝達を効果的に低減できる静圧気体軸受スピンドルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の第１の構成にかかる静圧気体軸受スピンドルは、主軸を回転自在に支持する静圧気体軸受と、前記主軸にモータロータを固定してなり主軸を回転駆動するモータとを備え、前記主軸の一端部を被回転体を取り付けるための被回転体設置部とした静圧気体軸受スピンドルにおいて、前記主軸の被回転体設置部の材料として、前記主軸の前記被回転体設置部を除く主軸本体部よりも熱伝導率の低いセラミックスを用いたことを特徴とする。この場合のセラミックスとしては、セラミックスの中でも熱伝導率の低い材質が好ましく、例えばジルコニアセラミックスが好適である。
この構成によると、被回転体として振れ精度測定装置のターゲット部材や回転テーブルが取り付けられる主軸の被回転体設置部の材料として、主軸の被回転体設置部を除く主軸本体部よりも熱伝導率の低いセラミックスを用いているので、主軸側で発生する熱が被回転体設置部を介して被回転体に伝導するのを効果的に低減できる。主軸の被回転体設置部のみを熱伝導率の低いセラミックスとするため、主軸本体部の材質は、金属材料など、加工性、コスト、その他に主軸として要求される各種の要求に応じて自由に選定することができる。
ジルコニアセラミックスは、セラミックスの中でも熱伝導率が低く、主軸側で発生する熱が被回転体に伝導することをより効果的に低減することができる。ジルコニアセラミックスは、この他に高強度、耐食性等の機能を有する点からも、被回転体設置部の材料として優れる。
この静圧気体軸受スピンドルを例えばディスク原盤製造装置に用いる場合、前記被回転体設置部にディスク原盤を搭載する回転テーブルを被回転体として取り付けるが、主軸で発生する熱がディス原盤に伝達されるのを低減できるので、熱に起因するレジストの反応速度の不安定や反応むら、主軸の熱膨張に起因するビームの照射部と原盤表面との間の相対的位置変化を抑え、高精度な情報の記録が可能となる。
【０００８】
前記主軸の前記被回転体設置部を除く主軸本体部が金属製であり、被回転体設置部の中心に軸方向に貫通する貫通孔を設け、前記主軸本体部と前記被回転体設置部に取り付けられる金属製被回転体とを前記貫通孔に配線した導電線で電気的に接続したものである。
この静圧気体軸受スピンドルを用いたディスク原盤製造装置では、主軸の回転振れ精度を測定する振れ精度測定装置による測定結果と、ロータリエンコーダによる主軸の回転位置検出結果とを、回転テーブル上のディスク原盤にビームを照射するビーム照射部の回転精度演算装置に取り込み、ディスク原盤を高精度に露光できるように、露光時にディスク原盤表面上の電子ビーム収束スポット位置を制御修正する。あるいは、ビーム収束スポット位置を制御修正せずに、精度保証等のために、回転精度だけを測定する場合もある。これらの場合には、振れ精度測定装置のターゲット部材が主軸の被回転体設置部に取り付けられ、また通常測定精度や取り付けの容易さの点から、振れ精度測定装置として静電容量式の変位センサーが使用される。
この静電容量式変位センサーによって測定する場合には、その測定原理上、ターゲット部材における交流電流成分のアースを取る必要があり、ターゲット部材とグラウンド間を直接接地するか、ターゲット部材とグラウンド間に所要の面積において微小なギャップを介して対峙する部分を設け、静電容量の大きなコンデンサー部を形成してアースを取る。
この静圧気体軸受スピンドルでは、主軸の被回転体設置部の材料として被回転体設置部を除く主軸本体部よりも熱伝導率の低いセラミックスを用いているものの、上記構成のアース経路により、振れ精度測定装置のターゲット部材のアースを確実に取ることができる。
【０００９】
この発明における他の構成にかかる静圧気体軸受スピンドルは、前記第１の構成において、前記主軸の前記被回転体設置部を除く主軸本体部の材料がアルミナセラミックスであり、主軸の被回転体設置部および前記主軸本体部の中心に互いに連通し軸方向に貫通する貫通孔を設けると共に、主軸の被回転体設置部と軸方向反対側の端部に前記モータの金属製回転軸を前記貫通孔と同軸に設け、このモータ回転軸と前記被回転体設置部に取り付けられる金属製被回転体とを前記貫通孔に配線した導電線で電気的に接続したことを特徴とする。
この構成の場合、主軸の被回転体設置部の材料としてジルコニアセラミックスを、主軸本体部の材料として金属に比べて熱膨張係数の小さいアルミナセラミックスを用いているので、主軸の被回転体設置部と主軸本体部との接合部で、熱膨張係数の差に起因して生じる熱変形を防止できる。また、主軸の被回転体設置部の材料としてジルコニアセラミックスを、主軸本体部の材料としてアルミナセラミックスを用いていても、この被回転体設置部に取り付けられるターゲット部材などの金属製被回転体が、前記貫通孔に配線した導電線でモータ回転軸に電気低的に接続されるので、被回転体を外部に容易にアースできる。
【００１０】
この発明におけるさらに他の構成にかかる静圧気体軸受スピンドルは、前記第１の構成において、前記主軸の前記被回転体設置部を除く主軸本体部の材料がアルミナセラミックスであり、主軸の被回転体設置部および前記主軸本体部の中心に互いに連通し軸方向に貫通する貫通孔を設けると共に、主軸の被回転体設置部と軸方向反対側の端部に前記モータの金属製回転軸を前記貫通孔と同軸に設け、主軸本体部の貫通孔の内周面およびモータ回転軸に接する端面に導電性のメッキ層を形成し、このメッキ層と前記被回転体設置部に取り付けられる金属製被回転体とを被回転体設置部の貫通孔に配線した導電線で電気的に接続したことを特徴とする。
この構成の場合、主軸の被回転体設置部の材料としてジルコニアセラミックスを、主軸本体部の材料としてアルミナセラミックスを用いていても、この被回転体設置部に取り付けられるターゲット部材などの金属製被回転体が、主軸の被回転体設置部の貫通孔に配線した導電線、主軸本体部の貫通孔内周面およびモータ回転軸に接する端面に形成した導電性メッキ層を介してモータ回転軸に電気的に接続されるので、被回転体を外部に容易にアースできる。
【００１１】
この発明において、前記モータの金属製回転軸に導電性材料からなる円板を固定すると共に、この円板の表面に微小隙間を介して対向する平面を有する導電性アース部材を、静圧気体軸受スピンドルのハウジングに固定された導電性保持部材で保持しても良い。
この構成の場合、円板と導電性アース部材間の微小隙間で形成されるコンデンサーの作用によって、交流電流の成分が、モータ回転軸から円板、導電性アース部材、導電性保持部材を介してハウジングに電気的に接続 されるので、主軸の被回転体設置部に取り付けられるターゲット部材などの金属製被回転体を確実に外部にアースできる。
【００１２】
この発明において、前記モータの金属製回転軸に導電性材料からなる円板を固定すると共に、この円板の表面に接触する導電性繊維状部材を有する導電性アース部材を、静圧気体軸受スピンドルのハウジングに固定された導電性保持部材で保持しても良い。前記導電性繊維状部材の繊維状とは、単に繊維のように細いだけでなく、その多数の繊維が空間を介して存在する形態を言う。
この構成の場合、円板と導電性アース部材とが導電性繊維状部材を介して緩く接触するので、放電によらず両部材間を通電でき、主軸の被回転体設置部に取り付けられるターゲット部材などの金属製被回転体を確実に外部にアースできる。また、導電性繊維状部材の存在が主軸の回転を阻害することもない。
【００１３】
参考提案例の構成にかかる静圧気体軸受スピンドルは、主軸を回転自在に支持する静圧気体軸受と、前記主軸を回転駆動するコア付きモータとを備える静圧気体軸受スピンドルにおいて、前記コア付きモータが、前記主軸の一端部に固定したモータロータと、このモータロータの外周側に配置されモータロータと所定の隙間を介して対峙するモータコアと、このモータコアに巻回された励磁コイルと、静圧気体軸受スピンドルのハウジングに設けられ前記モータロータ、モータコアおよび励磁コイルを覆い、かつ前記モータコアを保持するモータケースとを有し、前記モータケースの壁に前記モータコアの周囲を囲む冷却水通路と、この冷却水通路に外部から冷却水を供給する給水口と、冷却水通路の冷却水を外部に排水する排水口とを設けると共に、外部から導いた圧縮空気を低温の冷気に変換する低温圧縮空気発生装置と、前記モータケースに開口し前記低温圧縮空気発生装置で発生した冷気を前記励磁コイルに向けてモータケース内に流入させる冷気給気口と、前記モータケースに開口し流入した前記冷気を前記励磁コイルを経てモータケース外に排気させる冷気排気口とを設けたことを特徴とする。
この構成によると、モータケースに、モータコアの周囲を囲む冷却水通路を設け、この冷却水通路に外部から冷却水を供給するようにしているので、モータケース、モータコア、および励磁コイルの冷却が可能となり、コア付きモータでの発熱を低減できる。また、超低温空気発生器で発生した冷気を励磁コイルに向けて流すようにしているので、コア付きモータでの発熱をさらに低減できる。このように、コア付きモータでの発熱を低減することにより、主軸の熱膨張を微小化できる。この静圧気体軸受スピンドルが用いられるディスク原盤製造装置では、熱によって主軸が熱膨張すると、ビーム照射部とディスク原盤表面との相対的な位置変化が発生し、高精度な情報の記録が阻害されるが、上記したようにコア付きモータでの発熱を低減できることから、熱に起因する情報記録の精度低下を防止することができる。
【００１４】
参考提案例の他の構成にかかる静圧気体軸受スピンドルは、主軸を回転自在に支持する静圧気体軸受と、前記主軸を回転駆動するコアレスモータとを備える静圧気体軸受スピンドルにおいて、前記コアレスモータが、前記主軸の一端部に固定したモータロータと、前記主軸の一端部に固定されて前記モータロータの外周側に配置されモータロータと所定の間隔を介して対峙するロータヨークと、このロータヨークおよび前記モータロータの間にこれら両部材と非接触となるように配置した励磁コイルと、静圧気体軸受スピンドルのハウジングに設けられ前記モータロータ、ロータヨーク、および励磁コイルを覆い、かつ前記励磁コイルを保持するモータケースとを有し、外部から導いた圧縮空気を超低温の冷気に変換する超低温空気発生器と、前記モータケースに開口し前記超低温空気発生器で発生した冷気を前記モータロータに向けてモータケース内に流入させる冷気給気口と、前記モータケースに開口し流入した前記冷気を前記励磁コイルの内周側から外周側を経てモータケース外に排気させる冷気排気口とを設けたことを特徴とする。
この構成によると、超低温空気発生器で発生した冷気をモータケースの冷気給気口からモータロータに向けてモータケース内に流入させ、流入した冷気をモータロータの回転による遠心力で励磁コイルを経てモータケースの冷気排気口からモータケース外に排気させるようにしているので、超低温空気発生器で発生した噴出圧力の低い冷気であっても、
モータロータ、励磁コイルおよびロータヨークを空冷でき、コアレスモータでの発熱を低減できる。この静圧気体軸受スピンドルが用いられるディスク原盤製造装置では、熱によって主軸が熱膨張すると、ビーム照射部とディスク原盤表面との相対的な位置変化が発生し、高精度な情報の記録が阻害されるが、上記したようにコアレスモータでの発熱を低減できることから、熱に起因する情報記録の精度低下を防止することができる。
【００１５】
参考提案例のさらに他の構成にかかる静圧気体軸受スピンドルは、主軸を回転自在に支持する静圧気体軸受と、前記主軸を回転駆動するコアレスモータとを備える静圧気体軸受スピンドルにおいて、前記コアレスモータが、前記主軸の一端部に固定したモータロータと、前記主軸の一端部に固定されて前記モータロータの外周側に配置されモータロータと所定の間隔を介して対峙するロータヨークと、このロータヨークおよび前記モータロータの間にこれら両部材と非接触となるように配置した励磁コイルと、静圧気体軸受スピンドルのハウジングに設けられ前記モータロータ、ロータヨーク、および励磁コイルを覆い、かつ前記励磁コイルを保持するモータケースとを有し、前記モータケースに保持されて、前記励磁コイル、モータロータ、およびロータヨークのいずれにも非接触の状態で励磁コイルを密閉状態に覆う非磁性でかつ電気絶縁性を有する材料からなるコイルカバー部材を設け、このコイルカバー部材で覆われる密閉空間に外部から冷却水を供給する給水口と、前記密閉空間内の冷却水を外部に排水する排水口とを前記モータケースに設けたことを特徴とする。
この構成によると、コイルカバー部材で覆った完全に密閉された空間内に冷却水が漏れることなく満たされた状態で励磁コイルが冷却されるので、励磁コイルを十分に冷却することができ、コアレスモータでの発熱を効果的に低減できる。この静圧気体軸受スピンドルが用いられるディスク原盤製造装置では、静圧気体軸受スピンドルにおけるコアレスモータでの発熱を上記したように低減できることから、熱に起因する情報記録の精度低下を防止することができる。
【００１６】
前記コイルカバー部材の材料がセラミックスであっても良い。また、前記冷却水がフッ素系不活性液体であっても良い。
【００１７】
前記励磁コイルにペルチエ素子を貼り付け、このペルチエ素子を外部から制御することにより励磁コイルを冷却するものとしても良い。
【００１８】
静圧気体軸受スピンドルのハウジングの壁にこのハウジングを冷却する冷却水通路と、この冷却水通路に外部から冷却水を供給する給水口と、冷却水通路の冷却水を外部に排水する排水口とを設けると共に、その排水口と前記モータケースの給水口とを連通させる通水チュ−ブを設け、前記冷却水通路の冷却水を励磁コイルの冷却に兼用するものとしても良い。
この構成の場合、励磁コイルの水冷系とは別に、ハウジングの水冷系を設け、これらの両水冷系を通水チューブで連通させることにより、冷却水をハウジングの冷却と励磁コイルの冷却に兼用するようにしているので、静圧気体軸受スピンドルの移動に伴って引きずられる通水チューブの本数を少なくしてスピンドルの移動時における速度むらへの悪影響を抑えつつ、主軸の熱変形を効果的に低減できる。
【００１９】
前記いずかの静圧気体軸受スピンドルにおいて、ディスク原盤の表面に塗布されたレジストに電子ビームまたはレーザービームを照射して記録情報を露光または描画するディスク原盤製造装置における静圧気体軸受スピンドルであって、前記被回転体が、前記ディスク原盤を搭載する回転テーブルであっても良い。
このようにディスク原盤製造装置に適用した場合、主軸で発生する熱がディス原盤に伝達されるのを低減できるので、熱に起因するレジストの反応速度の不安定や反応むら、主軸の熱膨張に起因するビームの照射部と原盤表面との間の相対的位置変化を抑え、高精度な情報の記録が可能となる。
【発明の効果】
【００２０】
この発明の静圧気体軸受スピンドルは、主軸を回転自在に支持する静圧気体軸受と、前記主軸にモータロータを固定してなり主軸を回転駆動するモータとを備え、前記主軸の一端部を被回転体を取り付けるための被回転体設置部とした静圧気体軸受スピンドルにおいて、前記主軸の被回転体設置部の材料として、前記主軸の前記被回転体設置部を除く主軸本体部よりも熱伝導率の低いセラミックスを用い（第１の構成）、前記主軸の前記被回転体設置部を除く主軸本体部が金属製であり、被回転体設置部の中心に軸方向に貫通する貫通孔を設け、前記主軸本体部と前記被回転体設置部に取り付けられる金属製被回転体とを前記貫通孔に配線した導電線で電気的に接続したため、主軸での熱伝導を効果的に低減でき、この静圧気体軸受スピンドルを例えばディスク原盤製造装置に用いた場合、高精度な情報の記録が可能となる。
この発明における他の発明の静圧気体軸受スピンドルは、前記第１の構成において、前記主軸の前記被回転体設置部を除く主軸本体部の材料がアルミナセラミックスであり、主軸の被回転体設置部および前記主軸本体部の中心に互いに連通し軸方向に貫通する貫通孔を設けると共に、主軸の被回転体設置部と軸方向反対側の端部に前記モータの金属製回転軸を前記貫通孔と同軸に設け、このモータ回転軸と前記被回転体設置部に取り付けられる金属製被回転体とを前記貫通孔に配線した導電線で電気的に接続したため、主軸での熱伝導を効果的に低減でき、この静圧気体軸受スピンドルを例えばディスク原盤製造装置に用いた場合、高精度な情報の記録が可能となる。
この発明におけるさらに他の発明の静圧気体軸受スピンドルは、前記第１の構成において、前記主軸の前記被回転体設置部を除く主軸本体部の材料がアルミナセラミックスであり、主軸の被回転体設置部および前記主軸本体部の中心に互いに連通し軸方向に貫通する貫通孔を設けると共に、主軸の被回転体設置部と軸方向反対側の端部に前記モータの金属製回転軸を前記貫通孔と同軸に設け、主軸本体部の貫通孔の内周面およびモータ回転軸に接する端面に導電性のメッキ層を形成し、このメッキ層と前記被回転体設置部に取り付けられる金属製被回転体とを被回転体設置部の貫通孔に配線した導電線で電気的に接続したため、主軸での熱伝導を効果的に低減でき、この静圧気体軸受スピンドルを例えばディスク原盤製造装置に用いた場合、高精度な情報の記録が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】この発明の第１の実施形態に係る静圧気体軸受スピンドルの断面図である。
【図２】この発明の他の実施形態に係る静圧気体軸受スピンドルの断面図である。
【図３】同静圧気体軸受スピンドルの変形例を示す部分断面図である。
【図４】この発明のさらに他の実施形態に係る静圧気体軸受スピンドルの断面図である。
【図５】参考提案例に係る静圧気体軸受スピンドルの断面図である。
【図６】他の参考提案例に係る静圧気体軸受スピンドルの断面図である。
【図７】さらに他の参考提案例に係る静圧気体軸受スピンドルの断面図である。
【図８】同静圧気体軸受スピンドルの変形例を示す部分断面図である。
【図９】さらに他の参考提案例に係る静圧気体軸受スピンドルの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
この発明の第１の実施形態を図１と共に説明する。この静圧気体軸受スピンドルＡは、ハウジング２内において、主軸１を静圧気体軸受３により非接触で支持し、モータ６によって主軸１を回転駆動するものである。ここでは、静圧気体軸受スピンドルＡがディスク原盤製造装置の一部として構成される。静圧気体軸受３は、ハウジング２の内周部を構成するスリーブ５ａ，５ｂに設けられている。静圧気体軸受３は、静圧気体ジャーナル軸受３ａおよび静圧気体スラスト軸受３ｂからなる。これら静圧気体ジャーナル３ａおよび静圧気体スラスト軸受３ｂは、それぞれハウジング２のスリーブ５ａ，５ｂと主軸１との間の半径方向および軸方向の軸受隙間（数μｍ〜十数μｍ）にハウジング２内のノズル４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄから圧縮気体を噴出することにより、非接触で主軸１を支持するものである。主軸１は上部の外周にフランジ１ｂａを有していて、静圧気体スラスト軸受３ｂは、このフランジ１ｂａの両面の軸受空間に圧縮気体を噴出するものとされている。各ノズル４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄは、前記ハウジング２およびスリーブ５ａ，５ｂに形成された給気路１１を介して外部の圧縮気体供給源（図示せず）に接続されている。ハウジング２は、主軸１の前記フランジ１ｂａを含む上部側を覆う上部ハウジング２ａと、主軸１の前記フランジ１ｂａより下部側を覆う下部ハウジング２ｂとでなる。上部ハウジング２ａの内周部となる一方のスリーブ５ａが主軸フランジ１ｂａの上面に対向して配置され、下部ハウジング２ｂの内周部となる他方のスリーブ５ｂが主軸フランジ１ｂａの下面およびフランジ１ｂａより下側の主軸外周面に対向して配置される。
【００２６】
モータ６は、前記主軸１の下端にこれと同軸に設けられた金属製の回転軸７と、この回転軸７に設けられた永久磁石からなるモータロータ８と、このモータロータ８の外周側に配置されたモータステータ９と、これらモータロータ８およびモータステータ９を覆うモータケース１０等により構成されたコア付きの同期型サーボモータとされている。モータケース１０は前記下部ハウジング２ｂの下端に固定される。モータステータ９は、モータケース１０に支持されてモータロータ８の外周側にこれと所定隙間を隔てて配置されるモータコア９ａと、このモータコア９ａに巻回された励磁コイル９ｂとでなる。
【００２７】
モータ回転軸７の先端部にはロータリエンコーダ１２の回転板（図示せず）が取り付けられ、モータケース１０の下端にはロータリエンコーダ１２のヘッド部（図示せず）が取り付けられる。このロータリエンコーダ１２から出力される回転位置信号を、モータ６の駆動部（図示せず）にフィードバックすることにより、静圧気体軸受スピンドルＡの回転むらや回転変動が低減される。
【００２８】
主軸１の上端部は上部ハウジング２ａよりも上方に突出して、振れ精度測定装置１３のターゲット部材１３ｂおよび回転テーブル１４を設置するための被回転体設置部１ａを構成している。つまり、被回転体である前記ターゲット部材１３ｂや回転テーブル１４が被回転体設置部１ａにこれと同軸に取り付けられて、主軸１と共に回転駆動される。振れ精度測定装置１３は、前記ターゲット部材１３ｂのほか、このターゲット部材１３ｂをターゲットとして主軸１の回転振れ精度を検出する静電容量式変位計１３ａを有し、この変位計１３ａが上部ハウジング２ａの上端にターゲット部材１３ｂと径方向に対峙して設置される。これにより、主軸１の回転時には、振れ精度測定装置１３によって主軸１における被回転体設置部１ａの回転精度を測定できる。振れ精度測定装置１３のターゲット部材１３ｂは金属製部材であり、ここではこのターゲット部材１３ｂが主軸１の被回転体設置部１ａに直接取り付けられる。回転テーブル１４はディスクを搭載する被回転体であって、これも金属製部材からなり、ここでは前記ターゲット部材１３ｂの上に設置される。ターゲット部材１３ｂが取り付けられない場合には、被回転体設置部１ａに回転テーブル１４が直接取り付けられる。
【００２９】
主軸１の被回転体設置部１ａの材料は、主軸１の前記被回転体設置部１ａを除く主軸本体部１ｂよりも熱伝導率が低いセラミックスが用いられる。この実施形態ではジルコニアセラミックスが用いられている。ジルコニアセラミックスは熱伝導率が約３Ｗ（ｍ．ｋ）と低い。これに対して、主軸本体部１ｂは金属製とされている。被回転体設置部１ａの材料として用いるジルコニアセラミックスは、純粋なジルコニアに限らず、安定化材等となる各種の混ぜ物、例えば酸化マグネシウム（ＭｇＯ）や、酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸化イットリウム（Ｙ2 Ｏ3 ）等の希土類酸化物等を添加したものであっても良い。ジルコニアは、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2 ）のことである。
【００３０】
被回転体設置部１ａの中心には軸方向に貫通する貫通孔１５が設けられ、この貫通孔１５内に配線した導電線１６を介して、共に金属製であるターゲット部材１３ｂと主軸本体部１ｂとが電気的に接続されている。これにより、主軸１の被回転体設置部１ａの材料としてジルコニアセラミックスを用いていても、この被回転体設置部１ａに取り付けられるターゲット部材１３ｂを、導電線１６、金属製主軸本体１ｂ、およびハウジング２を介して外部にアースできる。なお、このアース経路において、金属製主軸本体１ｂとハウジング２のスリーブ５ａ，５ｂの間の軸受隙間は数μｍ〜十数μｍであるため、静電容量の大きなコンデンサーを形成し、交流電流成分を容易にアースできる。
【００３１】
この静圧気体軸受スピンドルを用いたディスク原盤製造装置では、振れ精度測定装置１３による検出結果と、ロータリエンコーダ１２による回転位置検出結果とを、回転テーブル１４上のディスク原盤にビームを照射するビーム照射部の回転精度演算装置（図示せず）に取り込み、ディスク原盤を高精度に露光できるように、露光時にディスク原盤表面上の電子ビーム収束スポット位置を制御修正する。あるいは、ビーム収束スポット位置を制御修正せずに、精度保証等のために、回転精度だけを測定する場合もある。これらの場合には、振れ精度測定装置１３として静電容量式変位計を使用しているため、このターゲット部材１３ｂのアースを取る必要がある。
この静圧気体軸受スピンドルＡでは、主軸１の被回転体設置部１ａの材料としてジルコニアセラミックスを用いているものの、上記したアース経路の構成により、振れ精度測定装置１３のターゲット部材１３ｂのアースを確実に取ることができる。
【００３２】
このように、この静圧気体軸受スピンドルＡでは、被回転体として振れ精度測定装置１３のターゲット部材１３ｂや回転テーブル１４が取り付けられる主軸１の被回転体設置部１ａの材料として、熱伝導率の低いジルコニアセラミックスを用いているので、主軸１側で発生する熱が回転テーブル１４からこれに搭載されるディスク原盤に伝導するのを防止できる。これにより、ディスク原盤の表面に塗布されたレジストの反応速度が熱で不安定になったり反応むらが生じるのを防止でき、高い精度で記録情報を露光または描画できる。このジルコニアセラミックス製の被回転体設置部１ａは、主軸１の主軸本体１ｂとは別に設けられて主軸本体１ｂに取付けられているため、主軸本体１ｂには、鋼材や他の金属材等の主軸１として適した材料を用いることができる。
【００３３】
図２は、この発明の他の実施形態を示す。この静圧気体軸受スピンドルＡは、図１の実施形態において、主軸本体部１ｂを金属製とする代わりに、その材料としてアルミナセラミックスを用いている。また、被回転体設置部１ａだけでなく主軸本体部１ｂの中心にも、被回転体設置部１ａと同様に軸方向に貫通する貫通孔１７を、被回転体設置部１ａの貫通孔１５と互いに連通するように設けている。主軸本体部１ｂの下端にこれと同軸に金属製のモータ回転軸７を設けることは図１の実施形態の場合と同様である。そして、これら両貫通孔１５，１７内に配線した導電線１６を介して、共に金属製であるターゲット部材１３ｂとモータ回転軸７とが電気的に接続されている。さらに、モータ回転軸７の先端部には導電性材料かならる円板１８を固定すると共に、この円板１８の表面に微小隙間を介して対向する平面を有する導電性アース部材１９を、モータケース１０の下端に固定されたＬ字状の導電性保持部材２０で保持している。つまり、導電性保持部材２０は、モータケース１０を介してハウジング２に固定されている。円板１８は金属製とされる。
【００３４】
これにより、主軸１の被回転体設置部１ａの材料としてジルコニアセラミックスを、主軸本体部１ｂの材料としてアルミナセラミックスを用いていても、この被回転体設置部１ａに取り付けられるターゲット部材１３ｂを、導電線１６、モータ回転軸７、円板１８、導電性アース部材１９、導電性保持部材２０、モータケース１０、およびハウジング２を介して外部にアースできる。導電性保持部材２０における水平部分である前記導電性アース部材支持部２０ａの前記円板１８と対向する表面には、円板状とした導電性アース部材１９を昇降可能に収容する円形の凹部２０ｂが円板１８と同心に形成されている。また、導電性アース部材支持部２０ａには、その円形の凹部２０ｂに貫通する３つのねじ孔２１が、円形凹部２０ｂの周方向に等配して設けられ、これらのねじ孔２１に螺合したセットねじ２２の上に導電性アース部材１９がセットされる。さらに、導電性アース部材支持部２０ａには、前記凹部２０ｂの中心位置に貫通するねじ挿通孔２３が設けられ、導電性アース部材１９には前記ねじ挿通孔２３に対向する中心部にねじ孔２４が設けられる。導電性アース部材１９は、導電性アース部材支持部２０ａの下側からそのねじ挿通孔２３に挿通したボルト２５を、導電性アース部材１９のねじ孔２４に螺合させることにより、前記凹部２０ｂ内に固定される。これにより、前記セットねじ２２およびボルト２５を用いて、導電性アース部材１９を円板１８と平行で、これら両部材間の隙間が数μｍ〜十数μｍの最適隙間となるように高さ調整可能となる。この場合の最適隙間は、円板１８と導電性アース部材１９との間で静電容量の大きいコンデンサーが形成され、容易に交流電流のアースを取る事が出来る隙間である。その他の構成は、図１の実施形態の場合と同様である。
【００３５】
特に、この実施形態では、主軸１における被回転体設置部１ａの材料をジルコニアセラミックスとし、被回転体設置部１ａを除く主軸本体部１ｂの材料を金属に比べて熱膨張係数の小さいアルミナセラミックスとしているので、被回転体設置部１ａと主軸本体部１ｂとの接合部において熱膨張係数の差に起因する熱変形が生じるのを防止できる。この静圧気体軸受スピンドルＡが用いられるディスク原盤製造装置では、主軸１が熱変形すると、ビーム照射部とディスク原盤表面との間に相対的な位置変化が発生し、高精度な情報の記録が阻害されるが、上記したように主軸１の熱変形を防止できることから、熱変形に起因する情報記録の精度低下を防止することができる。
【００３６】
図３は、前記円板１８と導電性アース部材１９の間のアース経路の他の構成例を示す。この構成例では、導電性アース部材１９の円板１８と対向する表面に、円板１８の表面に緩く接触する導電性繊維状部材１９ａをブラシ状に設けている。この場合には、円板１８と導電性アース部材１９とが導電性繊維状部材１９ａを介して電気的に接続されるので、直接通電できる。また、導電性繊維状部材１９ａは円板１８の表面に緩く接触するので、主軸１の回転を阻害することもない。
【００３７】
図４は、この発明のさらに他の実施形態を示す。この静圧気体軸受スピンドルＡは、図２の実施形態において、主軸本体部１ｂの貫通孔１７の内周面、およびモータ回転軸７に接する主軸本体部１ｂの下端面に導電性のメッキ層２６ａ，２６ｂを形成し、主軸１の被回転体設置部１ａに取り付けられる金属製のターゲット部材１３ｂと前記メッキ層２６ａ，２６ｂとを、被回転体設置部１ａの貫通孔１５内に配線した導電線１６で電気的に接続している。メッキ層２６ａ，２６ｂは、導電性を有する無電解ニッケルメッキまたは金メッキの単一層であっても、これらを積層した複数層のものであっても良い。ここでは、主軸本体部１ｂの貫通孔１７に導電性中継部材２７を嵌合させ、この導電性中継部材２７を介して導電線１６をメッキ層２６ａに接続しているが、中継部材２７を省略して導電線１６を直接メッキ層２６ａに接続しても良い。その他の構成は図２の実施形態の場合と同様である。
【００３８】
これにより、主軸１の被回転体設置部１ａの材料としてジルコニアセラミックスを、主軸本体部１ｂの材料としてアルミナセラミックスを用いていても、この被回転体設置部１ａに取り付けられるターゲット部材１３ｂを、導電線１６、導電性中継部材２７、メッキ層２６ａ，２６ｂ、モータ回転軸７、円板１８、導電性アース部材１９、導電性保持部材２０、モータケース１０、およびハウジング２を介して外部にアースできる。また、主軸本体部１ｂの長い貫通孔１７に配線する導電線が不要になり、主軸１の組み付けが簡単になる。
なお、上記各実施形態ではモータ６がコア付きの場合につき説明したが、モータ６がコアレスの場合であっても同様に適用できる。
【００３９】
図５は、参考提案例を示す。この静圧気体軸受スピンドルＡでは、図１の実施形態において、前記モータケース１０の周壁１０ａの外周側に外壁１０ｂを設け二重壁とし、これら両壁の間にモータコア９ａの周囲を囲む冷却水通路２８を形成している。また、モータケース１０の外壁１０ｂには、外部から前記冷却水通路２８に冷却水を供給する給水口２９と、冷却水通路２８の冷却水を外部に排水する排水口３０とを設けている。さらに、外部から導いた圧縮空気を０℃以下の低温の冷気に変換する低温圧縮空気発生装置３１を設けると共に、モータケース１０の周壁１０ａの下端には、低温圧縮空気発生装置３１で発生した冷気をモータステータ９の励磁コイル９ｂに向けてモータケース１０内に流入させる冷気給気口３２を設け、モータケース１０の周壁１０ａと外壁１０ｂが重なる部分に、流入した冷気を励磁コイル９ｂを経てモータケース１０の外に排気させる冷気排気口３３を設けている。その他の構成は図１の実施形態の場合と同様である。
【００４０】
この静圧気体軸受スピンドルＡでは、モータケース１０に、モータコア９ａの周囲を囲む冷却水通路２８を設け、この冷却水通路２８に外部から冷却水を供給するようにしているので、モータケース１０、モータコア９ａおよび励磁コイル９ｂの冷却が可能となり、モータ６での発熱を低減できる。また、低温圧縮空気発生装置３１で発生した冷気をモータケース１０の冷気給気口３２から励磁コイル９ｂに向けてモータケース１０内に流入させ、流入した冷気を励磁コイル９ｂを経てモータケース１０の冷気排気口３３からモータケース１０外に排気させるようにしているので、モータコア９ａをその内外から同時に冷却でき、モータ６での発熱を極めて小さなものに低減できる。すなわち、モータ６がコア付きモータの場合、コア９ａがモータケース１０に接触し、モータケース１０を水冷すれば、コア９ａ及び励磁コイル９ｂが冷却できるため、この冷却と、低温圧縮空気発生装置３１からの低温の圧縮空気を吹き付け、モータロータ８も冷却し、両者を併用して冷却効果を高めた構成としている。
このように、モータ６での発熱を低減することにより、主軸１の熱膨張を微小化できる。この静圧気体軸受スピンドルＡが用いられるディスク原盤製造装置では、熱によって主軸１が熱膨張すると、ビーム照射部とディスク原盤表面との相対的な位置変化が発生し、高精度な情報の記録が阻害されるが、上記したようにモータ６での発熱を極めて小さなものに低減できることから、熱に起因する情報記録の精度低下を防止することができる。
【００４１】
図６は、他の参考提案例を示す。この静圧気体軸受スピンドルＡでは、図１の実施形態において、モータ６を、コア付きの同期型サーボモータに代えて、コアレスの同期型サーボモータとしている。すなわち、この場合のコアレスモータ６は、主軸１の下端部に一体に形成されるモータ回転軸１ｂｄと、このモータ回転軸１ｂｄに固定される永久磁石からなるモータロータ８と、このモータロータ８の外周側に配置されモータロータ８と所定の間隔を介して対峙するロータヨーク３４と、励磁コイル３５と、モータケース１０とを有する。ロータヨーク３４は、主軸１における前記モータ回転軸１ｂｄの基部に一体形成されたフランジ状のヨーク支持部１ｂｃに固定される。励磁コイル３５は、ロータヨーク３４とモータロータ８の間に、これら両部材と非接触となるように配置される。モータケース１０は、下部ハウジング２ｂの下端に固定されて、モータロータ８、ロータヨーク３４および励磁コイル３５を覆い、かつ励磁コイル３５を樹脂等のコイルベース３６を介して保持する。
【００４２】
また、外部から導いた圧縮空気を−３０〜−４０℃程度の超低温の冷気に変換する超低温空気発生器４４を設けると共に、モータケース１０の下端には、超低温空気発生器４４で発生した冷気をモータロータ８の下端の主軸１の近傍に向けてモータケース１０内に流入させる冷気給気口３２を設け、モータケース１０の周壁に、流入した冷気を励磁コイル３５の内周側から外周側を経てモータケース１０の外に排気させる冷気排気口３３を設けている。ここでは、図１の実施形態の場合のように、主軸１の被回転体設置部１ａに取り付ける振れ精度測定装置１３のターゲット部材１３ｂや回転テーブル１４を図示していないが、その他の構成は図１の実施形態の場合と同様である。
【００４３】
モータ６が上記したようなコアレスモータであると、コギングトルクが小さいため主軸１の高い回転精度が得られ易いという利点がある。しかし、励磁コイル３５は樹脂等のコイルベース３６を介してモータケース１０に保持されているのみであり、コア付きモータの場合のようにモータケース１０に接した状態で配置される金属製のコア部を持たない。このため、回転中に励磁コイル３５に発生した熱はコア部を経てモータケース１０側に伝達できず、樹脂製のコイルベース３６を通してモータケース１０側へ伝達されるのみとなり、励磁コイル３５を効率的に冷却できない。
この静圧気体軸受スピンドルＡでは、上記したように、超低温空気発生器４４で発生した冷気をモータケース１０の冷気給気口３２からモータロータ８に向けてモータケース１０内に流入させ、流入した冷気を励磁コイル３５の内周側から外周側を経てモータケース１０の冷気排気口３３からモータケース１０外に排気させるようにしているので、励磁コイル３５を空冷により効率的に冷却できる。超低温空気発生器４４からの冷気は−３０〜−４０℃程度の超低温であるが、その装置の構造上から冷気の噴出圧力は高圧になり難い。しかし、この実施形態では、回転するモータロータ８の下端の主軸１の近傍に向けて冷気を流入させるようにしているので、流入した冷気はモータロータ８の遠心力によってその外周へと導かれ、モータロータ８の外周および励磁コイル３５の内周を通り、励磁コイル３５の外周およびロータヨーク３４を冷却して、モータケース１０の冷気排気口３３へと円滑に流れて排気され、効率良くモータ６を冷却することができる。このようにモータ６がコアレスモータの場合、ロータ８の端面のモータ軸近傍に、超低温空気発生器４４からの超低温の空気を吹き付けて冷却する。この構造によって、超低温空気発生器４４から噴出する空気の圧力が弱くても、ロータ８の遠心力でこの冷気がロータ８の外周に導かれ、外部に排出されることにより、モータ６が冷却される。このため、例えば上記図５で示したような大型で高価な他の圧縮空気冷却装置によらず、コンパクトで安価な超低温空気発生器４４で十分な冷却効果を得ることができる。
【００４４】
図７は、さらに他の参考提案例を示す。この静圧気体軸受スピンドルＡでは、図６の参考提案例において、コアレスモータ６の励磁コイル３５をコイルカバー部材３７で密閉状態に覆っている。コイルカバー部材３７は非磁性でかつ電気絶縁性および耐食性を有するたとえはセラミックスなどの材料からなり、モータケース１０の下端に保持される。また、モータケース１０の下端には、コイルカバー部材３７で覆われる密閉空間５０に外部から冷却水を供給する給水口２９と、前記密閉空間５０の冷却水を外部に排水する排水口３０とを設けている。すなわち、この参考提案例では、図６の参考提案例の場合の空冷機構に代えて、上記した水冷機構を採用している。この場合の冷却水としては、優れた電気絶縁性を有し、熱的・化学的に安定性が高く、不活性、不燃性等の性質を有するフッ素系不活性液体が望ましい。この冷却水は、図示しないが、モータ６から排出後チラーに戻し、ここで所定の温度に冷却してから、再度モータ６に供給して循環させる。
【００４５】
この参考提案例では、コイルカバー部材３７で覆った完全に密閉された空間５０内に冷却水が漏れることなく満たされた状態で励磁コイル３５を冷却するので、励磁コイル３５を十分に冷却することができる。
【００４６】
図８は、励磁コイル３５の冷却機構の他の構成例を示す。この構成例では、励磁コイル３５にペルチエ素子３８の低温側を貼り付け、このペルチエ素子３８を外部から制御することにより、励磁コイル３５を冷却液とペルチエ素子３８とで冷却するようにしている。これにより、励磁コイル３５の冷却効果をさらに高めることができる。
【００４７】
図９は、さらに他の参考提案例を示す。この静圧気体軸受スピンドルＡでは、図７の参考提案例において、ハウジング２の壁にこのハウジング２を冷却する冷却水通路３９Ａ，３９Ｂと、これら冷却水通路３９Ａ，３９Ｂに冷却水を外部から供給する給水口４０Ａ，４０Ｂと、これら冷却水通路３９Ａ，３９Ｂの冷却水を外部に排水する排水口４１Ａ，４１Ｂとを設けている。１つの冷却水通路３９Ａは上部ハウジング２ａの上端壁に断面矩形状に設けたものであり、他の１つの冷却水通路３９Ｂは下部ハウジング２ｂの周壁に断面矩形状に設けたものである。上部ハウジング２ａの冷却水通路３９Ａに開口する排水口４１Ａは、第１の通水チューブ４２を介して下部ハウジング２ｂの冷却水通路３９Ｂに開口する給水口４０Ｂに連通させてある。また、下部ハウジング２ｂの冷却水通路３９Ｂに開口する排水口４１Ｂは第２の通水チューブ４３を介してモータケース１０の下端の励磁コイル冷却用の給水口２９に連通させてあり、これにより冷却水をハウジング２の冷却水通路３９Ａ，３９Ｂから励磁コイル３５を覆う密閉空間５０に循環供給するようにしている。その他の構成は図７の参考提案例の場合と同様である。
【００４８】
このように、この参考提案例では、励磁コイル３５の水冷系とは別に、ハウジング２の水冷系を設け、これらの両水冷系を通水チューブ４２，４３で連通させることにより、冷却水をハウジング２の冷却と励磁コイル３５の冷却に兼用するようにしているので、静圧気体軸受スピンドルＡの移動に伴って引きずられる通水チューブ４２，４３の本数を少なくして、主軸１の熱変形を効果的に低減できる。
【００４９】
なお、この参考提案例では、冷却水通路３９Ａから冷却水通路３９Ｂへ流れる冷却水、および冷却水通路３９Ｂから励起コイル３５の密閉空間５０へ流れる冷却水を、通水チューブ４２，４３により導く構成例について示したが、これに限らず、これら通水チューブ４２，４３に代わる配管や流通路をハウジング２やモータケース１０に設けても良い。
【００５０】
また、図５や図７の参考提案例では図示しないが、これらの参考提案例においてモータ６の水冷系と併用する形で、図９の実施形態の場合と同様の冷却水通路３９Ａ，３９Ｂをハウジング２に形成しても良い。
【００５１】
また、上記した各実施形態および参考提案例では、静圧気体軸受３として多数給気型のものを用いた場合を例示したが、静圧気体軸受３として多孔質給気方式のものを用いても同様の効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００５２】
１…主軸
１ａ…被回転体設置部
１ｂ…主軸本体部
２…ハウジング
３…静圧気体軸受
６…モータ
７…モータ回転軸
８…モータロータ
９ａ…モータコア
９ｂ…励磁コイル
１０…モータケース
１３…振れ精度測定装置
１３ｂ…振れ精度測定装置のターゲット部材（被回転体）
１５…被回転体設置部の貫通孔
１６…導電線
１７…主軸本体部の貫通孔
１８…円板
１９…導電性アース部材
２０…導電性保持部材
２６ａ，２６ｂ…メッキ層
２８…冷却水通路
２９…給水口
３０…排水口
３１…低温圧縮空気発生装置
３２…冷気給気口
３３…冷気排気口
３４…ロータヨーク
３５…励磁コイル
３７…コイルカバー部材
３８…ペルチエ素子
３９Ａ，３９Ｂ…冷却水通路
４０Ａ，４０Ｂ…給水口
４１Ａ，４１Ｂ…排水口
４２，４３…通水チューブ
４４…超低温空気発生器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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