(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する板バネを含む荷重曲げ部と、前記板バネを介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に固着されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記ロードビーム部は、サスペンション幅方向に沿ったロードビーム部曲げ線で曲げられており、
前記板バネは、基端側曲げ線及び前記基端側曲げ線より先端側に位置する先端側曲げ線で曲げられ、前記両曲げ線での曲げ部によって発生される荷重の合力によって前記押し付け荷重が画され、
前記支持部の先端エッジから前記ロードビーム部の基端部までの前記板バネのサスペンション長手方向距離をＬ、前記支持部の先端エッジから前記基端側曲げ線までのサスペンション長手方向距離をＬ１、前記支持部の先端エッジから前記先端側曲げ線までのサスペンションの長手方向距離をＬ２とした場合に、Ｌ１≦０．３×Ｌ且つ０．６×Ｌ≦Ｌ２を満たしており、
前記板バネは、サスペンション幅方向中央に間隙を存しつつ前記幅方向両側に配設され且つ平面視においてサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称とされた一対の第１及び第２板バネ部を有し、
前記基端側曲げ線は、サスペンション幅方向に沿った状態で前記第１板バネ部に設けられた第１基端側曲げ線と、平面視において前記中心線を基準にして前記第１基端側曲げ線と対称となるように前記第２板バネ部に設けられた第２基端側曲げ線とを含み、
前記先端側曲げ線は、サスペンション幅方向に対して傾斜された状態で前記第１板バネ部に設けられた第１先端側曲げ線と、平面視において前記中心線を基準にして前記第１先端側曲げ線と対称となるように前記第２板バネ部に設けられた第２先端側曲げ線とを含むことを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記第１及び第２先端側曲げ線は、サスペンション幅方向内方から外方へ行くに従ってサスペンション長手方向先端側に位置するように傾斜されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
Ｌ１≦０．１５×Ｌとされていることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記基端側曲げ線での基端側曲げ部及び前記先端側曲げ線での先端側曲げ部は共に前記磁気ヘッドサスペンションの先端側が前記ディスク面に近接するように前記ディスク面とは反対側に凸状を形成しており、
前記先端側曲げ部の曲げ角度θ２が前記基端側曲げ部の曲げ角度θ１より大きいことを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と、前記本体部のサスペンション幅方向両端部から前記ディスク面とは反対側へ延びる一対のフランジ部とを有し、
前記本体部のサスペンション幅方向両端部は、基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線に近接するように略直線状に傾斜されていることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
請求項１から５の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンションを製造する方法であって、
前記板バネのうち前記先端側曲げ線に相当する位置よりも基端側の領域を狭圧することで先端側基準領域とした状態で前記先端側曲げ線より先端側を前記先端側基準領域に対して所定角度で折り曲げて前記先端側曲げ線での先端側曲げ部を形成する先端側曲げ工程と、前記先端側曲げ部が形成された板バネのうち前記基端側曲げ線に相当する位置よりも基端側の領域を狭圧することで基端側基準領域とした状態で前記基端側曲げ線より先端側で且つ前記先端側曲げ線より基端側の領域を前記基端側基準領域に対して所定角度で折り曲げて前記基端側曲げ線での基端側曲げ部を形成する基端側曲げ工程とを含むことを特徴とする磁気ヘッドサスペンションの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンション及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションには、前記磁気ヘッドスライダを目的トラックの中心に高速に且つ高精度に位置させることが要求される。
【０００３】
即ち、前記磁気ヘッドサスペンションは、ボイスコイルモータ等のアクチュエータによって基端側が直接又は間接的に揺動中心回りに揺動されることで、先端側において支持する前記磁気ヘッドスライダをディスク面に平行なシーク方向に沿って目的トラックへ向けて移動させる。
【０００４】
従って、前記磁気ヘッドスライダを目的トラックに高速に且つ正確に位置させる為には、前記アクチュエータの駆動信号の周波数を高めた場合であっても前記磁気ヘッドスライダの振動を可及的に低減し得るように、前記磁気ヘッドサスペンションを構成する必要がある。
【０００５】
ところで、前記アクチュエータによって前記磁気ヘッドサスペンションを揺動させると前記磁気ヘッドサスペンションには種々の振動モードの振動が生じるが、この振動は前記磁気ヘッドスライダの目的トラックに対する正確な位置決めを阻害する。
特に、前記磁気ヘッドサスペンションに生じ得る種々の振動モードのうち、捩れ１次モード、捩れ２次モード、捩れ３次モード及びＳＷＡＹモード（首振りモード）の共振周波数は低周波数帯域に存在する為、これらの振動モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの目的トラックからの位置ズレを可及的に防止することが重要となる。
【０００６】
この点に関し、捩れ１次〜３次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダの目的トラックからの位置ズレ量（ゲイン）は、前記磁気ヘッドサスペンションのロードビーム部の中間部に設けられる曲げ部の曲げ角度及び／又は曲げ位置の調整、並びに、前記磁気ヘッドサスペンションの荷重曲げ部に設けられる曲げ部の曲げ位置の調整によって、可及的に低減され得る。
【０００７】
即ち、前記ロードビーム部における曲げ部の曲げ角度及び／又は曲げ位置、並びに、前記荷重曲げ部における曲げ部の曲げ位置を最適値に設定することによって、前記磁気ヘッドサスペンションに捩れ１次〜３次モードの何れの振動が生じたとしても、この振動に起因する前記磁気ヘッドスライダの目的トラックからの位置ズレを最小化することができる。
【０００８】
例えば、下記特許文献１には、前記荷重曲げ部に２つの曲げ部を設けると共に、この２つの曲げ部の曲げ角度を同一とすることによって、前記磁気ヘッドサスペンションの共振時における前記磁気ヘッドスライダのゲインの低減を図った磁気ヘッドサスペンションが開示されている。
【０００９】
これに対し、ＳＷＡＹモードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダの目的トラックからの位置ズレ量（ゲイン）を、前記ロードビーム部における曲げ部の曲げ角度及び／又は曲げ位置の調整、並びに、前記荷重曲げ部における曲げ部の曲げ位置の調整によって低減させることはできない。
【００１０】
従って、ＳＷＡＹモードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダの目的トラックからの位置ズレを防止又は低減する為には、前記磁気ヘッドサスペンションをＳＷＡＹモードの振動が生じ難いように構成する必要がある。つまり、前記磁気ヘッドサスペンションのＳＷＡＹモードの共振周波数を可及的に高めることで、前記アクチュエータの駆動信号の周波数を高めたとしても、前記磁気ヘッドサスペンションにＳＷＡＹモードの共振が生じることを可及的に防止する必要がある。
【００１１】
ＳＷＡＹモードの共振周波数を高める一般的な方法としては、前記磁気ヘッドサスペンションの幅方向の剛性を高めるべく、前記ロードビーム部の基端側を幅広とすることが考えられる。
【００１２】
しかしながら、前記磁気ヘッドサスペンションには、前記磁気ヘッドスライダをディスク面に押し付ける為の荷重を発生させる為の弱剛性の前記荷重曲げ部が必要である。従って、前記ロードビーム部のサスペンション幅方向剛性を高めたとしても、前記荷重曲げ部の存在によって、前記磁気ヘッドサスペンションの全体のサスペンション幅方向剛性はそれ程上昇されない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開平１１−００７７４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、捩れモードの振動時における磁気ヘッドスライダのゲインの低減を図り得るようにロードビーム部及び荷重曲げ部に曲げ部が設けられた磁気ヘッドサスペンションにおいて、ＳＷＡＹモード及び捩れモードの共振周波数を有効に上昇させ得る磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。
又、本発明は、前記磁気ヘッドサスペンションを効率的に製造し得る製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、前記目的を達成する為に、アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する板バネを含む荷重曲げ部と、前記板バネを介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に固着されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記ロードビーム部は、サスペンション幅方向に沿ったロードビーム部曲げ線で曲げられており、前記板バネは、基端側曲げ線及び前記基端側曲げ線より先端側に位置する先端側曲げ線で曲げられ、前記両曲げ線での曲げ部によって発生される荷重の合力によって前記押し付け荷重が画され、前記支持部の先端エッジから前記ロードビーム部の基端部までの前記板バネのサスペンション長手方向距離をＬ、前記支持部の先端エッジから前記基端側曲げ線までのサスペンション長手方向距離をＬ１、前記支持部の先端エッジから前記先端側曲げ線までのサスペンションの長手方向距離をＬ２とした場合に、Ｌ１≦０．３×Ｌ且つ０．６×Ｌ≦Ｌ２を満たしており、前記板バネは、サスペンション幅方向中央に間隙を存しつつ前記幅方向両側に配設され且つ平面視においてサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称とされた一対の第１及び第２板バネ部を有し、前記基端側曲げ線は、サスペンション幅方向に沿った状態で前記第１板バネ部に設けられた第１基端側曲げ線と、平面視において前記中心線を基準にして前記第１基端側曲げ線と対称となるように前記第２板バネ部に設けられた第２基端側曲げ線とを含み、前記先端側曲げ線は、サスペンション幅方向に対して傾斜された状態で前記第１板バネ部に設けられた第１先端側曲げ線と、平面視において前記中心線を基準にして前記第１先端側曲げ線と対称となるように前記第２板バネ部に設けられた第２先端側曲げ線とを含む磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００１６】
好ましくは、前記第１及び第２先端側曲げ線は、サスペンション幅方向内方から外方へ行くに従ってサスペンション長手方向先端側に位置するように傾斜される。
【００１７】
好ましくは、Ｌ１≦０．１５×Ｌとされる。
【００１８】
好ましくは、前記基端側曲げ線での基端側曲げ部及び前記先端側曲げ線での先端側曲げ部は共に前記磁気ヘッドサスペンションの先端側が前記ディスク面に近接するように前記ディスク面とは反対側に凸状を形成しており、前記先端側曲げ部の曲げ角度θ２が前記基端側曲げ部の曲げ角度θ１より大きいものとされる。
【００１９】
前記種々の構成において、前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と、前記本体部のサスペンション幅方向両端部から前記ディスク面とは反対側へ延びる一対のフランジ部とを有し得る。
好ましくは、前記本体部のサスペンション幅方向両端部は、基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線に近接するように略直線状に傾斜される。
【００２０】
又、本発明は、前記磁気ヘッドサスペンションを製造する方法であって、前記板バネのうち前記先端側曲げ線に相当する位置よりも基端側の領域を狭圧することで先端側基準領域とした状態で前記先端側曲げ線より先端側を前記先端側基準領域に対して所定角度で折り曲げて前記先端側曲げ線での先端側曲げ部を形成する先端側曲げ工程と、前記先端側曲げ部が形成された板バネのうち前記基端側曲げ線に相当する位置よりも基端側の領域を狭圧することで基端側基準領域とした状態で前記基端側曲げ線より先端側で且つ前記先端側曲げ線より基端側の領域を前記基端側基準領域に対して所定角度で折り曲げて前記基端側曲げ線での基端側曲げ部を形成する基端側曲げ工程とを含む磁気ヘッドサスペンションの製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、ロードビーム部がサスペンション幅方向に沿ったロードビーム部曲げ線で曲げられ、荷重曲げ部を形成する板バネが基端側曲げ線及び前記基端側曲げ線より先端側に位置する先端側曲げ線で曲げられて前記両曲げ線での曲げ部によって発生される荷重の合力によって押し付け荷重を画するように構成されているので、前記基端側曲げ線での基端側曲げ部及び前記先端側曲げ線での先端側曲げ部の何れか一方の曲げ角度によって前記押し付け荷重の設定を可能としつつ、前記各曲げ線の位置、前記ロードビーム部曲げ線での曲げ部の曲げ角度並びに前記基端側曲げ部及び前記先端側曲げ部のうち押し付け荷重の設定に用いられない曲げ部の曲げ角度を捩れ１次モード〜捩れ３次モードの捩れ中心線を変位させるパラメータとして利用することができ、捩れモードの振動時における磁気ヘッドスライダのゲインを有効低減できる。従って、捩れモードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの目的トラックからの位置ズレを有効に防止できる。
【００２２】
さらに、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、支持部の先端エッジから前記ロードビーム部の基端部までの前記板バネのサスペンション長手方向距離をＬ、前記支持部の先端エッジから前記基端側曲げ線までのサスペンション長手方向距離をＬ１、前記支持部の先端エッジから前記先端側曲げ線までのサスペンションの長手方向距離をＬ２とした場合に、Ｌ１≦０．３×Ｌ且つ０．６×Ｌ≦Ｌ２を満たすように構成したので、捩れモードの共振周波数を低下させることなく、ＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させることができる。従って、ＳＷＡＹモードの振動を有効に防止して、ＳＷＡＹモードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの目的トラックからの位置ズレを有効に防止できる。
【００２３】
さらに、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、前記板バネがサスペンション幅方向中央に間隙を存しつつ幅方向両側に配設され且つ平面視においてサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称とされた一対の第１及び第２板バネ部を有するものとし、前記基端側曲げ線が、サスペンション幅方向に沿った状態で前記第１板バネ部に設けられた第１基端側曲げ線と、平面視において前記中心線を基準にして前記第１基端側曲げ線と対称となるように前記第２板バネ部に設けられた第２基端側曲げ線とを含み、前記先端側曲げ線が、サスペンション幅方向に対して傾斜された状態で前記第１板バネ部に設けられた第１先端側曲げ線と、平面視において前記中心線を基準にして前記第１先端側曲げ線と対称となるように前記第２板バネ部に設けられた第２先端側曲げ線とを含むものとしたので、前記第１及び第２先端側曲げ線での曲げに応じて前記ロードビーム部の基端側がディスク面に直交するｚ方向に凸状となる。
【００２４】
従って、前記ロードビーム部のシーク方向の剛性及びサスペンション長手方向中心線に沿った捩れ中心線回りの剛性を上昇させて、ＳＷＡＹモード及び捩れモードの共振周波数の上昇を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１は、参考例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図２】図２は、図１におけるII-II線に沿った断面図である。
【図３】図３は、前記参考例に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。
【図４】図４は、前記参考例に係る磁気ヘッドサスペンションの側面図である。
【図５】図５は、基端側曲げ線の位置と捩れ１次モード及び捩れ２次モードの共振周波数との関係に関する解析結果を示すグラフである。
【図６】図６は、基端側曲げ線の位置とＳＷＡＹモードの共振周波数との関係に関する解析結果を示すグラフである。
【図７】図７は、先端側曲げ線の位置と捩れ１次モード及び捩れ２次モードの共振周波数との関係に関する解析結果を示すグラフである。
【図８】図８は、先端側曲げ線の位置とＳＷＡＹモードの共振周波数との関係に関する解析結果を示すグラフである。
【図９】図９は、先端側曲げ線の位置及び基端側曲げ線の位置の相対比とＳＷＡＹモードの共振周波数との関係に関する解析結果を示すグラフである。
【図１０】図１０(a)〜図１０(d)は、前記参考例に係る磁気ヘッドサスペンションの製造工程を示すフロー図である。
【図１１】図１１は、本発明の実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１２】図１２は、他の参考例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１に参考例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から視た平面図）を、図２に図１におけるII-II線に沿った断面図を示す。
さらに、図３及び図４に、それぞれ、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの下面図（前記ディスク面から視た底面図）及び側面図を示す。なお、図３中の○は溶接点を示している。
【００２７】
前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、図１〜図４に示すように、ボイスコイルモータ等のアクチュエータ（図示せず）によって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部１０と、磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように基端部が前記支持部１０に連結された板バネ２１Ａを含む荷重曲げ部２０と、前記板バネ２１Ａを介して前記支持部１０に支持され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達するロードビーム部３０と、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に支持されるフレクシャ部４０とを備えている。
【００２８】
前記支持部１０は、前記アクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で前記板バネ２１Ａを介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
【００２９】
前記参考例においては、図１、図３及び図４に示すように、前記支持部１０は、前記アクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
当然ながら、前記支持部１０として、基端部が前記アクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。
【００３０】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記板バネ２０Ａによって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
【００３１】
図１〜図３に示すように、前記ロードビーム部３０は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部３１と、前記本体部３１のサスペンション幅方向両端部からディスク面とは反対側に延びる左右一対のフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を向上させている。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００３２】
図１及び図３に示すように、前記本体部３１には、先端側に、所謂ディンプルと呼ばれる突起３３が形成されている。
前記突起３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３３は、前記フレクシャ部４０における下記ヘッド搭載領域４１５の上面（前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面）に接触して、この突起３３を介して前記荷重を前記フレクシャ部４０の前記ヘッド搭載領域４１５に伝達するようになっている。
【００３３】
前記参考例においては、図１〜図３に示すように、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記アクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面と直交するｚ方向に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。
【００３４】
前記参考例においては、図１及び図３に示すように、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１のサスペンション幅方向両端部は、サスペンション長手方向基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように略直線状に傾斜されている。
【００３５】
斯かる構成によれば、前記ロードビーム部３０の先端側における前記中心線ＣＬ回りの慣性モーメントを低減でき、捩れモード及びＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させることができる。
【００３６】
図１及び図３に示すように、前記参考例においては、前記ロードビーム部３０は、サスペンション幅方向に沿ったロードビーム部曲げ線ＢＬ回りに曲げられたロードビーム曲げ部を有している。
前記ロードビーム曲げ部は、望まれる性能又は仕様に応じて、先端側を前記ディスク面から離間させる方向への曲げ又は先端側を前記ディスク面に近接させる方向への曲げとされる。
【００３７】
前記板バネ２１Ａは、板面が前記ディスク面に対向する状態で基端部が前記支持部１０の先端側に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０の基端部に連結されている。
前記板バネは曲げ部を有しており、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａがハードディスク装置に組み込まれる前のフリー状態においては前記曲げ部の保有弾性がゼロの通常姿勢をとっている。
【００３８】
一方、前記磁気ヘッドサスペンションが前記ハードディスク装置に組み込まれた際には、前記磁気ヘッドスライダが前記ハードディスク装置における前記ディスク面上に位置するように前記曲げ部が曲げ戻し方向へ弾性変形される。
【００３９】
さらに、前記ハードディスク装置が作動状態となって前記ディスク面が回転されると、前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面の回転に伴う空気圧を受けて前記ディスク面から離間する方向へ浮上し、この磁気ヘッドスライダの浮上動作に応じて前記曲げ部がさらに弾性変形する。
【００４０】
即ち、前記磁気ヘッドサスペンションを前記ハードディスク装置へ組み込む際の前記板バネの弾性変形及び前記ディスク面の回転に伴う前記磁気ヘッドスライダの浮上動作による前記板バネの弾性変形によって前記板バネは保有弾性を有する状態となり、この保有弾性が前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面に押し付ける押し付け荷重として作用する。
【００４１】
前記参考例においては、図１及び図３に示すように、前記板バネ２１Ａは、前記曲げ部として、基端側曲げ線回りＢＬ１に曲げられた基端側曲げ部と前記基端側曲げ線ＢＬ１より先端側に位置する先端側曲げ線ＢＬ２回りに曲げられた先端側曲げ部とを有している。
前記基端側曲げ部及び前記先端側曲げ部は共に、例えば、先端側が前記ディスク面に近接する方向への曲げとされる。
【００４２】
このように前記基端側曲げ部及び前記先端側曲げ部を有する前記板バネ２１Ａにおいては、前記磁気ヘッドサスペンションを前記ハードディスク装置へ組み込む際及び前記ディスク面の回転に伴って前記磁気ヘッドスライダが浮上動作する際に、前記基端側曲げ部及び前記先端側曲げ部の双方が曲げ戻し方向に弾性変形されて保有弾性を有する状態となり、前記基端側曲げ部が発生する荷重と前記先端側曲げ線が発生する荷重との合力によって前記押し付け荷重が画されることになる。
従って、前記基端側曲げ部及び前記先端側曲げ部の何れか一方の曲げ角度を調整することによって、前記押し付け荷重を所望値に設定することができる。
【００４３】
さらに、前記参考例におけるように、前記ロードビーム部３０が前記ロードビーム曲げ線ＢＬでの前記ロードビーム曲げ部を有し、前記板バネ２１Ａが前記基端側曲げ線ＢＬ１及び前記先端側曲げ線ＢＬ２での前記基端側曲げ部及び前記先端側曲げ部を有する場合には、これらの曲げ線の位置及び前記曲げ部の曲げ角度を調整することによって、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが捩れモードで振動した際における前記磁気ヘッドスライダ５０の目的トラックから位置ズレ量（ゲイン）の低減を図ることができる。
【００４４】
即ち、前記アクチュエータの駆動信号を上昇させていくと、ある周波数（第１共振周波数）に達した時点で、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａに捩れ１次モードの共振が生じる。
【００４５】
この捩れ１次モードの共振とは、前記支持部１０の先端エッジの位置及び前記ロードビーム部３０の前記ディンプル３３の位置が前記ディスク面に直交するｚ方向に関し変位ゼロ（即ち、節）とされた状態で前記２つの節の間のサスペンション長手方向略中央部分がｚ方向変位最大（即ち、腹）となるように主として前記ロードビーム部３０のみがサスペンション長手方向中心線ＣＬに沿った捩れ１次モード中心線回りに捩れる振動形態である。
【００４６】
そして、前記駆動信号の周波数を前記第１共振周波数からさらに高めていくと、ある周波数（第２共振周波数）に達した時点で、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａには捩れ２次モードの共振が生じる。
【００４７】
前記捩れ２次モードの共振とは、前記支持部１０のうちｚ方向に関し強固に固定される位置（前記支持部１０がベースプレートの場合には、前記アクチュエータに連結されたキャリッジアームにかしめを介して固定される前記ボス部１５の位置、以下、支持部固定位置という）と前記ディンプル３３の位置と前記支持部固定位置及び前記ディンプル位置の間のサスペンション長手方向略中央に位置するロードビーム部３０の中途位置との３箇所が節とされた状態で、前記支持部固定位置及び前記ロードビーム部３０の中途位置の間のサスペンション長手方向略中央部分と前記ロードビーム部３０の中途位置及び前記ディンプル３３の位置の間のサスペンション長手方向略中央部分との２箇所が腹となるように、前記支持部固定位置及び前記中途位置の間の第１部分がサスペンション長手方向中心線ＣＬに沿った捩れ２次モード中心線回り一方側の第１方向にねじれ、前記中途位置及び前記ディンプル３３の間の第２部分が前記捩れ中心線回り他方側の第２方向にねじれる振動形態である。
【００４８】
そして、前記駆動信号の周波数を前記第２共振周波数からさらに高めていくと、ある周波数（第３共振周波数）に達した時点で、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａには捩れ３次モードの共振が生じる。
【００４９】
前記捩れ３次モードの共振とは、前記支持部固定位置と前記荷重曲げ部２０の位置と前記ディンプル３３の位置と前記荷重曲げ部２０の位置及び前記ディンプル位置の間のサスペンション長手方向略中央に位置するロードビーム部３０の中途位置との４箇所が節とされた状態で、前記支持部固定位置及び前記荷重曲げ部２０の位置の間に位置する第１部分がサスペンション長手方向中心線ＣＬに沿った捩れ３次モード中心線回り一方側の第１方向にねじれ、前記荷重曲げ部２０の位置及び前記ロードビーム部３０の中途位置の間に位置する第２部分が前記捩れ３次モード中心線回り他方側の第２方向にねじれ、前記ロードビーム部３０の中途位置及び前記ディンプル位置の間の第３部分が前記捩れ３次モード中心線回りに前記第１方向に捩れる形態の振動形態である。
【００５０】
ここで、前記捩れ１次モード中心線、前記捩れ２次モード中心線及び前記捩れ３次モード中心線を前記ディンプルの頂点に可及的に近接させれば、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａに捩れ１次モード〜捩れ３次モードの振動が生じても、この振動に起因する前記磁気ヘッドスライダのゲインを低減させることができる。
【００５１】
そして、前記捩れ１次モード中心線、前記捩れ２次モード中心線及び前記捩れ３次モード中心線は、前記曲げ線の位置ＢＬ、ＢＬ１、ＢＬ２及び前記曲げ部の曲げ角度を調整することによって変位させることができる。
【００５２】
なお、前記基端側曲げ部及び前記先端側曲げ部の何れか一方の曲げ角度の調整は前記押し付け荷重の設定に利用される。
従って、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬの位置、前記ロードビーム曲げ部の曲げ角度、前記基端側曲げ線ＢＬ１及び前記先端側曲げ線ＢＬ２の位置、並びに、前記基端側曲げ部及び前記先端側曲げ部の他方の曲げ角度が、前記捩れ１次モード中心線、前記捩れ２次モード捩れ中心線及び前記捩れ３次モード中心線の位を設定する為のパラメータとして利用される。
【００５３】
即ち、前記３つの中心線の全てが前記ディンプルの頂点に近接するように前記のパラメータを設定すれば、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａに捩れ１次〜３次モードの振動が生じたとしても前記磁気ヘッドスライダ５０が目的トラックから変位することを可及的に防止することができる。
【００５４】
なお、前記参考例においては、図１及び図３に示すように、前記板バネ２１Ａは、サスペンション幅方向中央に間隙を存しつつ前記幅方向両側に配設された一対の第１及び第２板バネ部２１Ａ（１）、２１Ａ（２）であって、平面視においてサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称とされた一対の第１及び第２板バネ部２１Ａ（１）、２１Ａ（２）を有している。
【００５５】
この場合には、前記基端側曲げ線ＢＬ１は、前記第１板バネ部２１Ａ（１）に設けられた第１基端側曲げ線ＢＬ１（１）と前記第２板バネ部２１Ａ（２）に設けられた第２基端側曲げ線ＢＬ１（２）とを含み、前記第１及び第２基端側曲げ線ＢＬ１（１）、ＢＬ１（２）は、平面視において前記中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称とされている。
【００５６】
同様に、前記先端側曲げ線ＢＬ２は、前記第１板バネ部２１Ａ（１）に設けられた第１先端側曲げ線ＢＬ２（１）と前記第２板バネ部２１Ａ（２）に設けられた第２先端側曲げ線ＢＬ２（２）とを含み、前記第１及び第２先端側曲げ線ＢＬ２（１）、ＢＬ２（２）は、平面視において前記中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称とされている。
【００５７】
前記板バネ２１Ａは、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
なお、前記参考例においては、前記板バネ２１Ａは前記ロードビーム部３０を形成するロードビーム形成部材３００に一体形成されている。
【００５８】
詳しくは、前記参考例においては、図１及び図３に示すように、前記ロードビーム部形成部材３００は、前記ロードビーム部３０を形成するロードビーム形成領域３０１と、前記ロードビーム形成領域３０１から基端側へ延びる板バネ形成領域３０５とを一体的に有しており、前記板バネ形成領域３０５はサスペンション幅方向中央に間隙が設けられることで前記一対の第１及び第２板バネ部２１Ａ（１）、２１Ａ（２）を形成している。
【００５９】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に溶接等によって固着される。
【００６０】
詳しくは、前記フレクシャ部４０はフレクシャ基板４１０を有している。
前記フレクシャ基板４１０は、図３に示すように、前記支持部１０に溶接等によって固着される支持部固着領域４１１と、前記ロードビーム部３０に溶接等によって固着されるロードビーム部固着領域４１２と、前記支持部固着領域４１１及び前記ロードビーム部固着領域４１２の間に延びて、サスペンション長手方向に関し前記荷重曲げ部２０を通過する荷重曲げ部対応領域４１８と、前記ロードビーム部固着領域４１２の先端部におけるサスペンション幅方向両側からサスペンション長手方向先端側へ延びる一対の支持片４１３と、前記一対の支持片４１３によって支持された前記ヘッド搭載領域４１５とを有している。
【００６１】
前記ヘッド搭載領域４１５は、図４に示すように、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダ５０を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４１５の上面には前記突起３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４１５は前記突起３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
【００６２】
前記フレクシャ基板４１０は、前記ヘッド搭載領域４１５がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ基板４１０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス等の金属材料によって好適に形成される。
【００６３】
好ましくは、前記フレクシャ部４０には、図３に示すように、前記磁気ヘッドスライダ５０を外部部材に電気的に接続する為の配線構造体４２０が一体的に備えられる。
【００６４】
詳しくは、前記配線構造体４２０は、前記フレクシャ基板４１０における前記ディスク面と対向する下面に積層される絶縁層と前記絶縁層における前記ディスク面と対向する面に積層される信号配線とを含み得る。
好ましくは、前記配線構造体は、前記信号配線を囲繞する絶縁性のカバー層を有し得る。
【００６５】
図１に示すように、前記参考例に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、さらに、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１における前記ディスク面とは反対側の上面に固着された制振材６０を有している。
【００６６】
前記制振材６０は、前記本体部３１のディスク面とは反対側の上面に固着される粘弾性材からなる第１層と前記第１層のディスク面とは反対側の上面に固着される第２層とを有し得る。
【００６７】
前記第１層としては、例えば、アクリルポリマーやシリコンが好適に使用される。
前記第２層としては、例えば、ステンレスやアルミニウム等の金属材料、若しくは、ポリエチレン・テレフタレート等の樹脂材料が好適に使用される。
【００６８】
前述の通り、前記参考例に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬの位置、前記ロードビーム曲げ部の曲げ角度、前記基端側曲げ線ＢＬ１の位置、前記先端側曲げ線ＢＬ２の位置並びに前記基端側曲げ部及び前記先端側曲げ部の何れか一方の曲げ角度をパラメータとして調整することによって、捩れ１次モード〜捩れ３次モードの振動時における前記磁気ヘッドスライダ５０のゲインの低減を図り得るようになっているが、これらの調整によってＳＷＡＹモードの振動時における前記磁気ヘッドスライダ５０のゲインを低減させることはできない。
【００６９】
従って、ＳＷＡＹモードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ５０の目的トラックからの位置ズレを可及的に防止する為には、前記磁気ヘッドサスペンション１ＡにＳＷＡＹモードの振動自体が生じ難くする必要がある。
【００７０】
この点に関し、本願発明者は、前記基端側曲げ線ＢＬ１及び前記先端側曲げ線ＢＬ２の位置とＳＷＡＹモードの共振周波数とに何らかの関係が存在するのではないかという仮説を立て、有限要素法を用いて下記解析を行った。
【００７１】
本解析に用いた磁気ヘッドサスペンションの基本寸法は下記の通りである。
前記ロードビーム部３０を０．０２５ｍｍのＳＵＳとし、前記フランジ部３２の高さＨ（図２参照）及び角度θ（図２参照）を０．２７５ｍｍ及び７０degとした。
前記支持部１０における前記ボス部１５の中心から前記ディンプル３３までのサスペンション長手方向距離Ｄ１（図１参照）を１１ｍｍ、前記支持部１０の先端エッジから前記ディンプル３３までのサスペンション長手方向距離Ｄ２（図１参照）を６．２ｍｍとし、且つ、前記板バネ２１Ａのサスペンション長手方向距離Ｌ（図１参照）を０．６６４ｍｍ（＝０．１１×Ｄ２）とした。
【００７２】
斯かる基本寸法の磁気ヘッドサスペンションにおいて、前記支持部１０の先端エッジから前記基端側曲げ線ＢＬ１までのサスペンション長手方向距離Ｌ１（図１参照）及び前記支持部１０の先端エッジから前記先端側曲げ線ＢＬ２までのサスペンションの長手方向距離Ｌ２（図１参照）と捩れモード及びＳＷＡＹモードの共振周波数との関係を有限要素法を用いて解析した。
【００７３】
まず、前記基端側曲げ線ＢＬ１の位置に関して行った第１の解析について説明する。
第１の解析として、Ｌ２を０．６０×Ｌ（＝０．４０ｍｍ）で一定に固定した状態で、Ｌ１を、それぞれ、０（ゼロ）、０．１５×Ｌ（＝０．１ｍｍ）、０．３０×Ｌ（＝０．２ｍｍ）、０．４５×Ｌ（＝０．３ｍｍ）、０．６０×Ｌ（＝０．４ｍｍ）とした複数の磁気ヘッドサスペンション１ａ〜１ｅを用意した。
なお、前記基端側曲げ線ＢＬ１での前記基端側曲げ部及び前記先端側曲げ線ＢＬ２での前記先端側曲げ部は共に、先端側が前記ディスク面に近接する方向への曲げとした。
【００７４】
Ｌ１＝０（前記磁気ヘッドサスペンション１ａ）は、前記基端側曲げ線ＢＬ１が前記支持部１０の先端エッジと同一位置に位置されていることを意味し、Ｌ１がＬ２と同じ０．６０×Ｌであること（前記磁気ヘッドサスペンション１ｅ）は、前記基端側曲げ線ＢＬ１が前記先端側曲げ線ＢＬ２と同一位置に位置されていること、即ち、前記支持部１０の先端エッジから０．６０×Ｌだけ離間された位置に１本の曲げ線だけが設けられていることを意味する。
【００７５】
前記複数の磁気ヘッドサスペンション１ａ〜１ｅにおいては、前記先端側曲げ部の曲げ角度θ２を５degに固定し且つ前記磁気ヘッドスライダ５０の下面（ディスク対向面）と前記支持部固定位置の上面との間のディスク面に直交するｚ方向の距離（ハードディスク組み付け高さであり、以下、「設定高さ」という）ＺＨ（図２参照）を０．５７ｍｍとした状態で、前記先端側曲げ部によって発生される荷重及び前記基端側曲げ部によって発生される荷重の合力によって画される前記押し付け荷重が２．５gfとなるように前記基端側曲げ部の曲げ角度θ１を調整した。
【００７６】
前記磁気ヘッドサスペンション１ａ〜１ｅのそれぞれにおいて、捩れ１次モード、捩れ２次モード及びＳＷＡＹモードの共振周波数を有限要素法に基づいて求めた。
その結果を図５及び図６に示す。
【００７７】
図５から、前記基端側曲げ線ＢＬ１の位置を変化させても、捩れ１次モード及び捩れ２次モードの共振周波数に大きな変化が生じないことが確認される。
【００７８】
一方、Ｓｗａｙモードの共振周波数は、図６に示されるように、前記基端側曲げ線ＢＬ１が前記先端側曲げ線ＢＬ２と同一位置に位置されている構成（即ち、前記板バネ２１Ａに単一の曲げ線のみが設けられている構成（前記磁気ヘッドサスペンション１ｅ））の共振周波数を基準周波数とすると、前記基端側曲げ線ＢＬ１をサスペンション長手方向基端側へ移動させるに従って前記基準周波数から減少し、Ｌ１＝０．４５×Ｌ近傍で最小値となる。
【００７９】
ＳＷＡＹモードの共振周波数が最小値となる位置から前記基端側曲げ線ＢＬ１をサスペンション長手方向基端側へ移動させるに従って、ＳＷＡＹモードの共振周波数は上昇してＬ１＝０．３×Ｌ近傍で前記基準周波数と略一致し、Ｌ１＝０．１５×Ｌ近傍で最高値に達する。
【００８０】
このことから、前記基端側曲げ線ＢＬ１をＬ１≦０．３×Ｌ、より好ましくは、Ｌ１≦０．１５×Ｌとすることにより、捩れ１次モード及び捩れ２次モードの共振周波数を低下させることなく、ＳＷＡＹモードの共振周波数を高め得ることが理解される。
【００８１】
次に、前記先端側曲げ線ＢＬ２の位置に関して行った第２の解析について説明する。
第２の解析として、Ｌ１を０．１５×Ｌ（＝０．１０ｍｍ）で一定に固定した状態で、Ｌ２を、それぞれ、０．１５×Ｌ（＝０．１ｍｍ）、０．４５×Ｌ（＝０．３ｍｍ）、０．６０×Ｌ（＝０．４ｍｍ）、０．７５×Ｌ（＝０．５ｍｍ）、０．８５×Ｌ（＝０．５６ｍｍ）及び０．９６×Ｌ（＝０．６４ｍｍ）とした複数の磁気ヘッドサスペンション１ｆ〜１ｋを用意した。
なお、前記基端側曲げ線ＢＬ１での前記基端側曲げ部及び前記先端側曲げ線ＢＬ２での前記先端側曲げ部は共に、先端側が前記ディスク面に近接する方向への曲げとした。
【００８２】
Ｌ２がＬ１と同じ０．１５×Ｌであること（前記磁気ヘッドサスペンション１ｆ）は、前記先端側曲げ線ＢＬ２が前記基端側曲げ線ＢＬ１と同一位置に位置されていること、即ち、前記支持部１０の先端エッジから０．１５×Ｌだけ離間された位置に１本の曲げ線だけが設けられていることを意味する。
【００８３】
前記複数の磁気ヘッドサスペンション１ｆ〜１ｋにおいては、前記先端側曲げ部の曲げ角度θ２を５degに固定し且つ前記磁気ヘッドスライダ５０の設定高さＺＨ（図２参照）を０．５７ｍｍとした状態で、前記先端側曲げ部によって発生される荷重及び前記基端側曲げ部によって発生される荷重の合力によって画される前記押し付け荷重が２．５gfとなるように前記基端側曲げ部の曲げ角度θ１を調整した。
【００８４】
前記磁気ヘッドサスペンション１ａ〜１ｅのそれぞれにおいて、捩れ１次モード、捩れ２次モード及びＳＷＡＹモードの共振周波数を有限要素法に基づいて求めた。
その結果を図７及び図８に示す。
【００８５】
図７から、捩れ１次モードの共振周波数は前記先端側曲げ線ＢＬ２の位置に拘わらず略一定であるのに対し、捩れ２次モードの共振周波数は、前記先端側曲げ線ＢＬ２が前記基端側曲げ線ＢＬ１と同一位置に位置されている構成（即ち、前記板バネ２１Ａに単一の曲げ線のみが設けられている構成（前記磁気ヘッドサスペンション１ｆ））の共振周波数を基準周波数とすると、前記先端側曲げ線ＢＬ２をサスペンション長手方向先端側へ移動させるに従って前記基準周波数から上昇してＬ２＝０．６×Ｌ近傍で最高値となることが理解される。
【００８６】
又、図８から、Ｌ２≧０．６×Ｌとすれば、ＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させ得ることが理解される。
【００８７】
以上の点から、前記ロードビーム部３０が前記ロードビーム部曲げ線ＢＬで曲げられ、前記荷重曲げ部２０を形成する前記板バネ２１Ａが前記基端側曲げ線ＢＬ１及び前記先端側曲げ線ＢＬ２で曲げられている磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、前記曲げ線ＢＬ、ＢＬ１、ＢＬ２の位置及び前記曲げ線ＢＬ、ＢＬ１、ＢＬ２での曲げ部の曲げ角度を調整することによって捩れモードの振動における磁気ヘッドスライダ５０のゲインを有効に低減させることができ、さらに、前記板バネ２１Ａのサスペンション長手方向長さをＬ、前記支持部１０の先端エッジから前記基端側曲げ線ＢＬ１までのサスペンション長手方向距離をＬ１及び前記支持部１０の先端エッジから前記先端側曲げ線ＢＬ２までのサスペンション長手方向距離をＬ２とした場合に、Ｌ１≦０．３×Ｌ（より好ましくはＬ１≦０．１５×Ｌ）で且つＬ２≧０．６×Ｌとすれば、捩れモードの共振周波数の低下を防止しつつＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させることが理解される。
【００８８】
さらに、本願発明者は、前記基端側曲げ部の曲げ角度θ１及び前記先端側曲げ部の曲げ角度θ２の相対比とＳＷＡＹモードの共振周波数とに何らかの関係が存在するのではないかという仮説を立て、有限要素法を用いて下記第３の解析を行った。
【００８９】
この第３の解析においては、前記基本寸法を有し、且つ、Ｌ１＝０．１５×Ｌ（＝０．１ｍｍ）、Ｌ２＝０．８５×Ｌ（＝０．５６ｍｍ）とされた複数の磁気ヘッドサスペンション１ｍ〜１ｑであって、前記先端側曲げ部の曲げ角度θ２がそれぞれ１．０deg、３．０deg、５．０deg、７．０deg、９．０degとされた複数の磁気ヘッドサスペンション１ｍ〜１ｑを用意した。
【００９０】
前記複数の磁気ヘッドサスペンション１ｍ〜１ｑにおいて、設定高さＺＨ（図２参照）が０．５７ｍｍで、且つ、前記先端側曲げ部によって発生される荷重及び前記基端側曲げ部によって発生される荷重の合力によって画される前記押し付け荷重が２．５gfとなるように前記基端側曲げ部の曲げ角度θ１を調整した。
なお、前記基端側曲げ線ＢＬ１での前記基端側曲げ部及び前記先端側曲げ線ＢＬ２での前記先端側曲げ部は共に、先端側が前記ディスク面に近接する方向への曲げとした。
【００９１】
前記複数の磁気ヘッドサスペンション１ｍ〜１ｑにおいて、前記曲げ角度θ１は、それぞれ、７．９deg、６．１deg、４．３deg、２．４deg、０．６degであり、θ２／θ１は、それぞれ、０．１３、０．４９、１．１８、２．８８、１４．７であった。
【００９２】
この磁気ヘッドサスペンション１ｍ〜１ｑのそれぞれにおいて、ＳＷＡＹモードの共振周波数を有限要素法に基づいて求めた。
その結果を図９に示す。
【００９３】
図９から、前記先端側曲げ部の曲げ角度θ２を前記基端側曲げ部の曲げ角度θ１より大きくすれば、ＳＷＡＹモードの共振周波数を有効に上昇させ得ることが理解される。
【００９４】
前記板バネ２１Ａに前記基端側曲げ部及び前記先端側曲げ部の２ヶ所の曲げ部が設けられている前記参考例に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、例えば、前記板バネ２１Ａのうち前記先端側曲げ線ＢＬ２に相当する位置ＢＬ２’よりも基端側の領域を狭圧することで先端側基準領域２５とした状態で前記位置ＢＬ２’より先端側の領域を前記先端側基準領域２５に対して所定角度で折り曲げて前記先端側曲げ部を形成する先端側曲げ工程（図１０(a)参照）と、前記先端側曲げ部が形成された板バネ２１Ａのうち前記基端側曲げ線ＢＬ１に相当する位置ＢＬ１’よりも基端側の領域を狭圧することで基端側基準領域２７とした状態で前記位置ＢＬ１’より先端側で且つ前記先端側曲げ線ＢＬ２より基端側の領域を前記基端側基準領域２７に対して所定角度で折り曲げて前記基端側曲げ部を形成する基端側曲げ工程（図１０(c)参照）とを含む方法によって好適に形成される。
【００９５】
このように、前記先端側曲げ部を先に形成し、その後に、前記基端側曲げ部を形成することによって、前記先端側基準領域２５を水平とさせた状態で前記先端側曲げ部を形成でき、且つ、前記基端側基準領域２７を水平とさせた状態で前記基端側曲げ部を形成できる。
従って、前記先端側曲げ部及び前記基端側曲げ部の曲げ角度の精度を向上させることができる。
【００９６】
なお、図１０に示すように、前記先端側曲げ部を先に形成し、その後に、前記基端側曲げ部を形成する場合には、前記先端側曲げ部が発生する荷重及び前記基端側曲げ部が発生する荷重の合力によって画される前記押し付け荷重の調整は、前記基端側曲げ部の曲げ角度によって行われる。
【００９７】
図１０に示す方法においては、前記先端側曲げ工程は前記板バネ２１Ａを挟んで互いに対向配置される先端側金型２１０及び先端側パンチ２２０を用いて行われている。
【００９８】
前記先端側金型２１０は、前記先端側基準領域２５に対応した先端側水平面２１１と、前記水平面２１１より先端側に位置し且つ前記水平面に対して所定角度で傾斜された先端側傾斜面２１２とを一体的に有している。
【００９９】
前記先端側パンチ２２０は、前記先端側水平面２１１と共働して前記先端側基準領域２５を狭持する先端側水平押圧面２２１を有する先端側第１パンチ２２０（１）と、前記先端側傾斜面２１２と共働して前記板バネ２１Ａのうち前記先端側曲げ線ＢＬ２より先端側に位置する部分を狭持する先端側傾斜押圧面２２２を有する先端側第２パンチ２２０（２）とを含んでいる。
当然ながら、前記先端側水平面２１１を有する部材と前記先端側傾斜面２１２を有する部材とを別体とすることも可能である。
【０１００】
又、図１０に示す方法においては、前記基端側曲げ工程は前記板バネ２１Ａを挟んで互いに対向配置される基端側金型２３０及び基端側パンチ２４０を用いて行われている。
【０１０１】
前記基端側金型２３０は、前記基端側基準領域２７に対応した基端側水平面２３１と、前記水平面２３１より先端側に位置し且つ前記水平面２３１に対して所定角度で傾斜された基端側傾斜面２３２とを一体的に有している。
【０１０２】
前記基端側パンチ２４０は、前記基端側水平面２３１と共働して前記基端側基準領域２７を狭持する基端側水平押圧面２４１を有する基端側第１パンチ２４０（１）と、前記基端側傾斜面２３２と共働して前記板バネ２１Ａのうち前記基端側曲げ線ＢＬ１より先端側で且つ前記先端側曲げ線ＢＬ２より基端側に位置する部分を狭持する基端側傾斜押圧面２４２を有する基端側第２パンチ２４０（２）とを含んでいる。
当然ながら、前記基端側水平面２３１を有する部材と前記基端側傾斜面２３２を有する部材とを別体とすることも可能である。
【０１０３】
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１１に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）を示す。
なお、図中、前記参考例における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１０４】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、平面視における前記先端側曲げ線ＢＬ２の向きが変更されている点においてのみ、前記参考例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。
【０１０５】
詳しくは、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、前記参考例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａに比して、前記板バネ２１Ａの代わりに板バネ２１Ｂを有している。
【０１０６】
前記参考例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの前記板バネ２１Ａにおいては、図１及び図３に示すように、前記基端側曲げ線ＢＬ１及び前記先端側曲げ線ＢＬ２の双方共にサスペンション幅方向に沿っている。
【０１０７】
これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂの前記板バネ２１Ｂにおいては、図１１に示すように、前記基端側曲げ線ＢＬ１はサスペンション幅方向に沿っているものの、前記先端側曲げ線ＢＬ２はサスペンション幅方向に対して傾斜されている。
【０１０８】
詳しくは、前記板バネ２１Ｂは、前記参考例におけると同様に、サスペンション幅方向中央に間隙を存しつつ前記幅方向両側に配設され且つ平面視においてサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称とされた一対の第１及び第２板バネ部２１（１）、２１Ｂ（２）を有している。
【０１０９】
前記基端側曲げ線ＢＬ１は、前述の通り、サスペンション幅方向に沿っている。
前記板バネ２１Ｂが前記一対の第１及び第２板バネ部２１（１）、２１Ｂ（２）を有している本実施の形態においては、前記基端側曲げ線ＢＬ１は、サスペンション幅方向に沿った状態で前記第１板バネ部２１Ｂ（１）に設けられた第１基端側曲げ線ＢＬ１（１）と、平面視において前記中心線ＣＬを基準にして前記第１基端側曲げ線ＢＬ（１）と対称となるように前記第２板バネ部２１Ｂ（２）に設けられた第２基端側曲げ線ＢＬ１（２）とを含んでいる。
【０１１０】
一方、前記先端側曲げ線ＢＬ２は、図１１に示すように、サスペンション幅方向に対して傾斜された状態で前記第１板バネ部２１Ｂ（１）に設けられた第１先端側曲げ線ＢＬ２（１）と、平面視において前記中心線ＣＬを基準にして前記第１先端側曲げ線ＢＬ２（１）と対称となるように前記第２板バネ部２１Ｂ（２）に設けられた第２先端側曲げ線ＢＬ２（２）とを含んでいる。
【０１１１】
サスペンション幅方向に対して傾斜され且つ互いに対して前記中心線ＣＬを基準にして対称に配置された前記第１及び第２先端側曲げ線ＢＬ２（１）、ＢＬ２（２）回りに曲げることにより、前記ロードビーム部３０の本体部３１の基端側が前記ディスク面に直交するｚ方向に凸状となる。
【０１１２】
従って、前記参考例における効果を得つつ、前記ロードビーム部３０の本体部３１のシーク方向の剛性及びサスペンション長手方向中心線ＣＬに沿った捩れ中心線回りの剛性を上昇させて、ＳＷＡＹモード及び捩れモードの共振周波数の上昇を図ることができる。
【０１１３】
なお、本実施の形態においては、図１１に示すように、前記第１及び第２先端側曲げ線ＢＬ２（１）、ＢＬ（２）は、サスペンション幅方向内方から外方へ行くに従ってサスペンション長手方向先端側に位置するように傾斜されている。
【０１１４】
又、前記押し付け荷重は、前記基端側曲げ線ＢＬ１での前記基端側曲げ部及び前記先端側曲げ線ＢＬ２での前記先端側曲げ部によって発生される荷重の合力によって画される。
前記基端側曲げ線ＢＬ１（前記第１及び第２基端側曲げ線ＢＬ１（１）、ＢＬ１（２））はサスペンション幅方向に沿っており、前記基端側曲げ線ＢＬ１での前記基端側曲げ部の曲げ角度は比較的容易に調整できる。
【０１１５】
従って、前記押し付け荷重の所定値への調整は、サスペンション幅方向に沿っている前記基端側曲げ線ＢＬ１（前記第１及び第２基端側曲げ線ＢＬ１（１）、ＢＬ１（２））での前記基端側曲げ部の曲げ角度の調整によって正確に行うことができる。
【０１１６】
以下、他の参考例に係る磁気ヘッドサスペンションについて、添付図面を参照しつつ説明する。
図１２に、他の参考例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）を示す。
なお、図中、前記参考例及び前記実施の形態における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１１７】
他の参考例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃは、前記板バネ２１Ａ、２１Ｂが板バネ２１Ｃに変更されている点において、前記参考例及び前記実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａ、１Ｂと相違している。
【０１１８】
前述の通り、前記参考例及び前記実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａ、１Ｂにおいては、前記板バネ２１Ａ（２１Ｂ）は前記一対の第１及び第２板バネ部２１Ａ（１）、２１Ａ（２）（２１Ｂ（１）、２１Ｂ（２））を有している。
【０１１９】
これに対し、他の参考例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃにおいては、図１２に示すように、前記板バネ２１Ｃは、前記支持部１０の先端エッジから前記ロードビーム部３０の本体部３１の基端部のサスペンション幅方向略全域に亘って延びる単一の板状部材によって形成されている。
【０１２０】
そして、図１２に示すように、単一の板状部材によって形成される前記板バネ２１Ｃには、前記フレクシャ基板の前記荷重曲げ部対応領域４１８（図３参照）と重合し且つ前記基端側曲げ線ＢＬ１及び前記先端側曲げ線ＢＬ２がそれぞれ位置する領域に開口２８が設けられている。
【０１２１】
斯かる構成の磁気ヘッドサスペンション１Ｃによれば、前記参考例における効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
【０１２２】
即ち、単一の板状部材によって形成される前記板バネ２１Ｃは、サスペンション幅方向中央に間隙を存しつつ前記幅方向両側に配設された前記一対の第１及び第２板バネ部２１Ａ（１）、２１Ａ（２）（２１Ｂ（１）、２１Ｂ（２））を有する前記板バネ２１Ａ（２１Ｂ））に比して、シーク方向及び捩れ方向に関する剛性を高めることができる。従って、前記参考例及び前記実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａ、１Ｂに比して、ＳＷＡＹモード及び捩れモードの共振周波数を上昇させることができる。
【０１２３】
さらに、前記開口２８によって、前記基端側曲げ線ＢＬ１及び前記先端側曲げ線ＢＬ２での曲げ加工の容易化を図ることができると共に、前記基端側曲げ線ＢＬ１及び前記先端側曲げ線ＢＬ２での曲げによる前記フレクシャ基板４１０へのストレスを有効に低減させることができる。
【符号の説明】
【０１２４】
１Ａ〜１Ｃ        磁気ヘッドサスペンション
１０              支持部
２０              荷重曲げ部
２１Ａ〜２１Ｃ    板バネ
２１Ａ（１）、２１Ｂ（１）  第１板バネ部
２１Ａ（２）、２１Ｂ（２）  第２板バネ部
２５              先端側基準領域
２７              基端側基準領域
３０              ロードビーム部
３１              本体部
３２              フランジ部
４０              フレクシャ部
５０              磁気ヘッドスライダ
４１０            フレクシャ基板
４１１            支持部固着領域
４１２            ロードビーム部固着領域
４１８            荷重曲げ部対応領域
ＢＬ              ロードビーム部曲げ線
ＢＬ１            基端側曲げ線
ＢＬ１（１）      第１基端側曲げ線
ＢＬ１（２）      第２基端側曲げ線
ＢＬ２            先端側曲げ線
ＢＬ２（１）      第１先端側曲げ線
ＢＬ２（２）      第２先端側曲げ線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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