(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸に取り付けられ軸方向と垂直な一方向に磁化された円板状またはリング状の永久磁石と、前記永久磁石と空隙を介して設けられた複数の磁界検出素子と、前記複数の磁界検出素子の検出信号を伝え回転角度演算処理を行う回路基板とを備え、前記回路基板が前記磁界検出素子の上方に配置された磁気式エンコーダにおいて、
前記複数の磁界検出素子は前記回転軸を挟んで対向する位置に配置され、
前記磁界検出素子は感磁面と平行な平面状に伸びた直線状の端子引出部を有し、前記端子引出部を介して前記回路基板に接続され、
前記回転軸を挟んで対向する位置に配置されて対となる磁界検出素子は出力正端子同士および出力負端子同士が接続され、
前記対となる磁界検出素子のうちの一方の磁界検出素子の電源正端子と他方の磁界検出素子の電源負端子とが接続されることを特徴とする磁気式エンコーダ。
【請求項２】
前記複数の磁界検出素子は、機械角で９０度おきに順に配置された第１磁界検出素子、第２磁界検出素子、第３磁界検出素子、および、第４磁界検出素子からなることを特徴とする請求項１記載の磁気式エンコーダ。
【請求項３】
前記第１磁界検出素子および前記第３磁界検出素子の出力正端子が第１の差動増幅器の一方の入力端子に接続され、
前記第１磁界検出素子および前記第３磁界検出素子の出力負端子が前記第１の差動増幅器の他方の入力端子に接続され、
前記第２磁界検出素子および前記第４磁界検出素子の出力正端子が第２の差動増幅器の一方の入力端子に接続され、
前記第２磁界検出素子および前記第４磁界検出素子の出力負端子が前記第２の差動増幅器の他方の入力端子に接続され、
前記第１の差動増幅器および前記第２の差動増幅器の出力信号から回転角度を演算することを特徴とする請求項２記載の磁気式エンコーダ。
【請求項４】
前記回路基板は、前記複数の磁界検出素子の検出信号を伝送する複数層の導線パターンを有し、
前記対となる磁界検出素子は、出力正端子同士、および、出力負端子同士が前記回転軸を中心として同心円状に形成された前記回路基板の前記導線パターンで結線されることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項記載の磁気式エンコーダ。
【請求項５】
前記対となる磁界検出素子の出力正端子同士を結線した前記導線パターンと、該対となる磁界検出素子の出力負端子同士を結線した前記導線パターンとを、前記複数層の導線パターンの別々の層で、前記回転軸を中心として同一径で同心円状に重なるように形成したことを特徴とする請求項４記載の磁気式エンコーダ。
【請求項６】
前記磁界検出素子がホール素子であることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項記載の磁気式エンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータなどの回転体の回転位置や回転速度を検出する磁気式エンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の角度検出装置あるいは磁気式エンコーダの検出部は、検出対象の回転磁界中にあるため、検出部の導線から信号処理部に至る回路ループにより発生する誘起電圧が検出信号に重畳し、角度検出の誤差になるという問題があった。この対策として、図１５に示すように基台１８０に固定された磁気検出素子１３０、１３１と、基台１８０の外周に円筒上の回転体１２０と、回転体１２０に固定された永久磁石１２２、１２４とで構成された回転角度検出装置において、回転体の角度を検出する磁気検出素子１３０、１３１の導線と制御手段ＥＣＵ１８２との間で形成する回路ループに発生する誘起電圧の位相を、それぞれの磁気検出素子の検出信号と同相になるようにし、また検出信号となる、９０度位相の異なるＡ相信号、Ｂ相信号に重畳される誘起電圧が同程度になるように引出部と配線部からなる導線の配線を工夫することによって誘起電圧の影響を小さくし精度高めた回転角度検出装置が開示されている（例えば特許文献1参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２１８５９２号公報（第１０頁、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記従来例では、検出信号と誘起電圧を全く同位相とするには、磁気検出素子の感磁面と前記配線部の面を正確に平行に合わせる必要があり、この平衡度が崩れると検出信号に対して誘起電圧の位相ズレがでる。位相の異なる誘起電圧が検出信号に重畳すると、振幅と併せて位相の変化も検出信号に出るため角度演算処理で誤差になるという問題があった。
【０００５】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、磁気検出部から信号処理部までの配線用導体が磁束中にある場合においても、検出信号に重畳した誘起電圧の影響を受けず、角度誤差を生じない高精度の磁気式エンコーダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したものである。
本発明は、回転軸に取り付けられ軸方向と垂直な一方向に磁化された円板状またはリング状の永久磁石と、前記永久磁石と空隙を介して設けられたリング状の固定体と、前記固定体内側に配置された複数の磁界検出素子と、前記複数の磁界検出素子の信号を伝え回転角度演算処理を行う回路基板を備え、前記回路基板が前記固定体の上方に固定配置された磁気式エンコーダにおいて、前記複数の磁界検出素子は機械角で９０度おきに順に配置された第１、第２．第３、第４の磁界検出素子からなり、前記磁界検出素子は感磁面と平行な平面状に伸びた直線状の端子引出部を有し、前記端子引出部を介して前記回路基板に接続され、前記回転軸に対して対向する位置に取り付けられて対となる磁界検出素子は出力正端子同士および出力負端子同士を接続し、対となる一方の電源正端子と他方の電源負端子を接続することを特徴とするものである。
また、本発明は、前記第１磁界検出素子の電源正端子と前記第３磁界検出素子の電源負端子、前記第２磁界検出素子の電源正端子と前記第４磁界検出素子の電源負端子を接続し、前記第１磁界検出素子の電源負端子と前記第３の磁界検出素子の電源正端子、前記第２磁界検出素子の電源負端子と前記第４磁界検出素子の電源正端子を接続し、
前記第１磁界検出素子の出力正端子と第３磁界検出素子の出力正端子を接続し、第１の差動増幅器の一方の入力端子に接続し、前記第１磁界検出素子の出力負端子と前記第３の磁界検出素子の出力負端子を接続し、第１の差動増幅器の他方の入力端子に接続し、前記第２磁界検出素子の出力正端子と前記第４磁界検出素子の出力正端子を接続し、第２の差動増幅器の一方の入力端子に接続し、第２磁界検出素子の出力負端子と第４の磁界検出素子の出力負端子を接続し、第２の差動増幅器の他方の入力端子に接続し、前記第１、第２の差動増幅器出力信号から回転角度を演算することを特徴とするものである。
また、本発明は、回転軸に取り付けられ軸方向と垂直な一方向に磁化された円板状またはリング状の永久磁石と、前記永久磁石と空隙を介して設けられたリング状の固定体と、前記固定体内側に配置された複数の磁界検出素子と、前記固定体の上方に設けられ、前記複数の磁気検出素子の検出信号を伝送する複数層の導線パターンを有する回路基板と、前記複数の磁気検出素子の検出信号から回転角度位置を検出する磁気式エンコーダにおいて、前記複数の磁界検出素子は機械角で９０度おきに順に配置された第１、第２．第３、第４の磁界検出素子からなり、対となる対向した前記磁気検出素子の出力正端子同士、および出力負端子同士を回転軸を中心として同心円状に形成した前記回路基板の導線パターンで結線したことを特徴とするものである。
また、本発明は、前記回路基板の対となる導線パターンを、前記回路基板の別々の層で、回転軸を中心として同一径で同心円状に重なるように形成したことを特徴とするものである。
また、本発明は、前記磁界検出素子がホール素子であることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によると、回転軸に対して対向する位置に取り付けられて対となる磁界検出素子の出力信号は同相で、各々の磁界検出素子の引出部に発生する誘起電圧は逆相とすることで検出信号の誘起電圧の重畳による振幅変化と位相変化をなくすことができ、検出信号から高精度な回転角度を得ることができる。
また、本発明によると、回路基板の導線パターンを回転軸を中心として同心円状に形成することで、円板状の永久磁石からの漏れ磁束による検出信号の導線パターンに重畳する誘起電圧を相殺することができるので、高精度な回転角度を得ることができる。
また、本発明によると、磁気検出素子の対となる信号線を前記回路基板の別々の層で回転軸を中心として同一径で円状に重なるように形成したことで、外部磁界の回転軸方向成分により検出信号の導線パターンに重畳する誘起電圧を相殺することができるので、高精度な回転角度を得ることができる。
また、本発明によると、磁気検出素子としてホール素子を用いるため、比較的安価に容易に構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１実施例の構成を示す正面図
【図２】本発明の第１実施例の構成を示す側面図
【図３】本発明の第１実施例の対をなすホール素子形状図
【図４】本発明の第１実施例の結線図
【図５】本発明の第１実施例の磁界方向を示す正面図
【図６】本発明の第１実施例の磁界方向を示す側面図
【図７】本発明の第１実施例の磁界方向と信号方向を示す模式図
【図８】本発明の第２実施例の構成を示す斜視図
【図９】本発明の第２実施例の回路基板の導線パターンを示す斜視図
【図１０】本発明の第２実施例の磁気検出素子の検出信号接続を示す図
【図１１】本発明の第２実施例の動作を示す模式図
【図１２】本発明の第３実施例の回路基板の導線パターンを示す斜視図
【図１３】本発明の第３実施例の動作を示す模式図
【図１４】磁気式エンコーダ基板の漏れ磁束を示す模式図
【図１５】従来の磁気式エンコーダ構成を示す図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例１】
【００１０】
図１は、本発明の第１実施例の構成を示す正面図、図２は、本発明の第１実施例の構成を示す側面図である。図において、回転軸１１はモータなどのシャフトに取り付けられておりモータと一緒に回転する。永久磁石１２は回転軸１１に固定されている。永久磁石１２から空隙を介して外周にリング状の固定体１３がある。固定体１３は、磁性体でも非磁性体でも構わないが、ホール素子の検出信号を大きくとるため磁性体の方が望ましい。磁性体である固定体１３の内側には、永久磁石１２の発生磁界を検出する磁界検出素子であるホール素子４１、４２、４３、４４が配置されている。ホール素子４１と４３および４２と４４はそれぞれ回転軸に対して対向し、さらにホール素子４１と４３の対はホール素子４２と４４の対と回転軸を中心に機械角９０°ずらして配置されている。回路基板１５は固定体１３の上方にここでは図示しない支持体により固定され、ホール素子４１，４２，４３，４４のそれぞれの電源端子および出力端子が接続されており、ホール素子からの検出信号から回転角度検出の信号処理を行う。
図３は、対向位置に配置したホール素子４２、４４の形状を示す。パッケージの中心部に垂直方向の磁界を検出する感磁部９０、９１があり、端子（１）は電源正端子、端子（３）は電源負端子、端子（２）は出力正端子、端子（４）は出力負端子である。各々の端子よりパッケージと平行方向に信号を引出す引出部８１〜８４と８５〜８８がある。
この引出部を介してホール素子４１，４２，４３，４４は前記回路基板１５に接続されている。
【００１１】
図４は、本発明の第１実施例によるホール素子４２、４４の結線図を示す。ホール素子４２の端子（１）は＋電源、端子（３）は−電源につながる。図２の永久磁石１２の位置とホール素子４２、４４の関係で考えると、永久磁石１２のＮ極側のホール素子４２の出力正端子（２）は＋出力となり、引出部８２を介して回路基板１５上の導線６１へ繋がる。またホール素子４２の出力負端子（４）は−出力となり、引出部８４を介しては回路基板１５上の導線６２と繋がる。導線６１と６２は回路基板１５上の第１の差動増幅器１００へと繋がる。
次に、ホール素子４２と回転軸１１に対して対向するホール素子４４の電源負端子（３）は＋電源、電源正端子（１）は−電源につながる。永久磁石１２のＮ極側のホール素子４４の出力負端子（４）は−出力となり、引出部８８を介して回路基板１５上の導線６４へ繋がる。またホール素子４４の出力正端子（２）は＋出力となり、引出部８６を介して回路基板上の導線６３と繋がる。導線６４と６３は回路基板１５上の第１の差動増幅器１００へと繋がる。ホール素子４２、ホール素子４４のそれぞれの出力正端子（２）同士、およびそれぞれの出力負端子（４）同士は結線され第１の差動増幅器に繋がれ、第１の差動増幅器の出力には回転角度に対して正弦波信号が得られる。ホール素子４１、４３の対についても前記ホール素子４２，４４と同様に構成、結線され第２の差動増幅器につながれ余弦波関数の出力信号を得る。
【００１２】
次に本発明のホール素子の検出信号に重畳する誘起電圧を相殺する原理について述べる。
回転軸１１が回転すると永久磁石１２の半径方向磁界の変化を受けて各ホール素子には回転角度位置に応じた信号が検出される。
図５は本発明の第１実施例のある回転角度での磁界方向を示す正面図である。
図６は本発明の第１実施例のある回転角度での磁界方向を示す側面図である。
図７は本発明の第１実施例のある回転角度での磁界方向と信号方向を示す模式図であり、ホール素子４２、４４の感磁方向はいずれも紙面上向きである。
図７によるとホール素子４２の感磁部付近の磁界方向は紙面上方向、ホール素子４４の感磁部付近の磁界方向は紙面下方向である。このときホール素子４２の出力負端子（４）は−電位、出力正端子（２）は＋電位となり、ホール素子４４の出力負端子（４）は−電位、出力正端子（２）は＋電位となる。
【００１３】
ところが、図６によると永久磁石１２と磁性体である固定体１３とで構成される磁気回路中にはホール素子４２、４４だけでなく、引出部８１〜８４、８５〜８８があり、引出部〜導線部で構成される回路ループには誘起電圧が発生する。なおここでは、電源端子８１、８３、８５、８７は図示していない。特に引出部に鎖交する磁束は、ホール素子で検出する磁束密度と同等の大きさであるので、ファラデーの法則から回路に鎖交する磁束の時間変化で表される誘起電圧が検出信号に重畳してしまう。
本発明構成の図６および図７によると、ホール素子４２の引き出し部〜導線部で構成される回路ループの誘起電圧は引出部８４側が＋電位となり、ホール素子４４の引出部〜導線部で構成される回路ループの誘起電圧は引出部８６側が＋電位となる。
【００１４】
ここでホール素子４２の検出信号の電圧を＋Ｖａ１、ホール素子４４検出信号の電圧を+Ｖａ２とすると、ホール素子４２の引出部〜導線部で構成される回路ループの誘起電圧は −ｖｅ１、ホール素子４４の引出部〜導線部で構成される回路ループの誘起電圧は ＋ｖｅ２となる。
誘起電圧の重畳したホール素子４２、４４の検出信号は第１の差動増幅器１００の入力前での＋入力と−入力間での信号で考えると差動増幅器１００の増幅前信号Ｖａは、
Ｖａ＝｛（Ｖａ１−vｅ１）＋（Ｖａ２＋vｅ２）｝／２
このとき、誘起電圧の絶対値| vｅ１|  、| vｅ２|は、ホール素子４２、４４の引出部８２、８４と引出部８６、８８で形成する鎖交面積が同一となるため等しくなる。
すなわち第１の差動増幅器１００の出力信号Ｖａoutは増幅率を１とすれば
Ｖａout＝（Ｖａ１+Ｖａ２）／２  
【００１５】
つまり本発明では、回転軸に対して対向する対のホール素子信号経路に発生する誘起電圧の絶対値が等しく、検出信号に重畳する誘起電圧を相殺することができる。
ホール素子４２，４４に対して９０度離れた位置にあるホール素子４１、４３のペアについても前記同様の構成とし、ホール素子４２、４４の検出信号の差動増幅器の出力をＶａout、ホール素子４１、４３の検出信号の差動増幅器の出力をＶｂout、永久磁石の回転角度θとすると
Ｖａout＝  Ｖ０  ｃｏｓθ
Ｖｂout＝  Ｖ０  ｓｉｎθ
となり、誘起電圧成分を含まず、したがって
θ＝ａｒｃｔａｎ（Ｖｂout／Ｖａout）
の演算をすることで、引出部〜導線部の回路ループで発生する誘起電圧の重畳をなくした高精度な角度θを得ることができる。
【００１６】
このように、回転軸に対して対向するホール素子の出力を並列に配線し、それぞれのホール素子の引出部をホール素子の感磁面と平行とすることで、ホール素子信号経路に発生する誘起電圧を相殺することができ、信号振幅と位相が変化することもなく、角度演算処理で検出誤差の少ない角度を得ることができる。
【００１７】
なお、本実施例において、シャフトに貫通した中空円筒状の磁石の例を示したが、検出部近傍の磁束がその引出部と同一方向となる条件のもとでは、磁石の形状は、中実の円盤状磁石であっても、中空の円筒状磁石であってもかまわない。また、磁石を固定するシャフトも中実の形状であっても、中空の形状であってもかまわない。
【実施例２】
【００１８】
前述の図６に対して、図１４に示すように、磁気検出素子としてのホール素子の近傍以外でも漏れ磁束が発生し、これらの磁束が回路基板１５を貫く場合には、磁気検出素子と回路基板上の信号処理部からなる回路ループにより同様に誘起電圧が発生し、この誘起電圧が検出信号に重畳することで検出誤差が生じる恐れがある。本発明の第２実施例はこのような状況で発生する誘起電圧の影響を軽減するためのものである。
図８は、本発明の第２実施例の構成を示す斜視図である。  図において、１１は回転軸で図示していないモータなどのシャフトに取り付けられ、モータなどのシャフトと一緒に回転する。１２は永久磁石で前記回転軸１１に固定されている。１３はモータなどの固定子に固定されるリング状の形状をした固定体で、前記永久磁石１２から空隙を介して外周に配置される。なお前記固定体１３は、磁性体でも非磁性体でも構わないが、検出信号を大きくとるため本実施例では磁性体とする。前記固定体１３の内側には、前記永久磁石１２からの磁界を検出するホール素子４１、４２、４３、４４が配置されている。ホール素子４１と４３および４２と４４はそれぞれ回転軸に対して対向し、さらにホール素子４１と４３の対はホール素子４２と４４の対に対して回転軸を中心に機械角９０°ずらして配置している。以上は第１実施例の構成と同じである。
１５はガラスエポキシ基板材等からなる複数の層で構成される回路基板で、前記ホール素子４１、４２、４３、４４への電源供給や検出信号を伝送する導線パターン、さらには検出信号から回転角度位置を検出する検出信号処理回路が搭載されている。前記回路基板１５は、前記固定体１３の上方に配置され、固定体１３に固定されている。前記回転軸１１が回転すると前記回転軸１１と一緒に回転する前記永久磁石１２の磁界変化を受けて前記ホール素子４１、４２、４３、４４には回転角度位置に応じた信号が検出される。
【００１９】
図９は、本発明の第２実施例の回路基板１５に形成した導線パターンを示す斜視図である。
図において、回路基板１５は４層基板で、図の表面から順に第１層、第２層、第３層、第４層としている。第１層の導線パターンは実線で、第２層、第３層、第４層の導線パターンは破線で示す。なお、本図ではホール素子４２と４４の対の検出信号の導線パターンだけを示している。
前記回路基板１５に設けた導線パターン６１と６２および６３と６４は、図１０の接続図に示すようにホール素子４２と４４の（＋）信号出力端子同士と、（−）信号出力端子同士をそれぞれ接続し、径方向に導線パターンが形成されている。導線６１と６２はそれぞれ基板の第２層、第３層に導線パターンが形成され、回転軸方向にほぼ同位置で重ねている。導線６３と６４はそれぞれ基板の第３層、第２層に導線パターンが形成され回転軸方向にほぼ同位置で重ねている。
【００２０】
さらに回転軸を中心として同心円状に異なる半径の導線パターン６５と６６が形成されている。前記導線パターン６５と６６はそれぞれ基板の第１層と第４層に形成されている。前記導線パターン６１と６４はスルーホールで導線パターン６５に接続され、前記導線パターン６２と６３はスルーホールで導線パターン６６に接続されている。なお、パターンを形成する層は特に第１層と第４層でなくても良い。前記同心円状の導線パターン６５と６６は検出信号処理回路１８の増幅器の差動入力として接続されている。
【００２１】
次に本発明の基板導線パターン線上の誘起電圧が検出信号に重畳しない動作について述べる。
図１１は、本発明の第２実施例の動作を示す模式図であり、図１１（ａ）は前記永久磁石１２の磁極が水平方向になった場合、図１１（ｂ）は前記永久磁石の磁極が垂直方向になった場合をそれぞれ示している。この図では前記永久磁石１２の径方向の磁界と一緒に回路基板１５を貫く漏れ磁束の回転軸方向成分の動きを示している。図において、５０１は磁石の磁極が水平方向の場合の前記回路基板１５を貫く紙面上向きの漏れ磁束を、５０２は磁石の磁極が水平方向の場合の前記回路基板１５を貫く紙面下向きの漏れ磁束を、５０３は磁石の磁極が垂直方向の場合の前記回路基板１５を貫く紙面上向きの漏れ磁束を、５０４は磁石の磁極が垂直方向の場合の前記回路基板１５を貫く紙面下向きの漏れ磁束を示している。ファラデーの電磁誘導の法則から、誘起電圧は導線で囲まれる面に鎖交する磁束の時間変化で発生するため、図１１（ａ）に示す前記漏れ磁束５０１と５０２は導線パターン６５に同じ大きさの誘起電圧を発生する。しかし導線パターン６５は回転軸を中心として同心円状の導線パターンにしているため、前記漏れ磁束５０１と５０２による誘起電圧は逆の符号となり相殺することができる。同様に前記漏れ磁束５０３と５０４による誘起電圧も同様に相殺することができる。
【００２２】
以上のように誘起電圧の重畳を無くした検出信号において、ホール素子４２と４４の検出信号をＶａ、ホール素子４１と４３の検出信号Ｖｂ、永久磁石の回転角度をθとすると、Ｖａ＝  Ｖ０  ｃｏｓθ、Ｖｂ＝  Ｖ０  ｓｉｎθとなり、前記検出信号処理回路１８で演算することにより、誘起電圧の重畳をなくした高精度な角度θを得ることができる。
【００２３】
なお、前記回路基板１５の構成は本発明の要件を満たすならば、両面基板でも利用できる。また、前記永久磁石１２を中実としているがリング状の永久磁石を利用して中空としてもよく、前記回路基板１５も中空でなく中実としてもよい。
【００２４】
本発明が第１実施例と異なる部分は、対となる磁気検出素子の＋信号出力端子同士、および−信号出力端子同士を回転軸を中心として同心円状に形成した前記回路基板の導線パターンで結線したことである。これにより永久磁石の漏れ磁束が前記回路基板を貫くことにより発生する誘起電圧の影響を相殺することができ磁気式エンコーダの精度向上を図ることができる。
【実施例３】
【００２５】
図１２は、本発明の第３実施例の回路基板１５に形成した回路基板の導線パターンを示す斜視図である。本実施例が第２実施例と異なる点は、回路基板の異なる層に回転軸を中心として同心円状に導線パターンを重なるように形成したことで、回転軸に対して非対称な外部磁界の影響を軽減するものである。図において、回転軸を中心として同心円状に導線パターン６５と６６が形成され、前記導線パターン６５と６６はそれぞれ基板の第１層と第４層に形成され回転軸方向に対して同位置で重なっており、その他の構成および磁気検出素子の接続は第２実施例と同じであるので説明は省略する。
【００２６】
次に回路基板１５に対して垂直方向の外部磁界が貫いても導線パターンに発生する誘起電圧が相殺される動作について述べる。図１３は、本発明の第３実施例の動作を示す模式図である。図において、前記回路基板１５の導線パターン６５と導線６６はそれぞれ基板の別々の層に形成され、回転軸方向に対して同位置で重なるようにしている。その一部に破線で示す外部磁界が垂直方向に鎖交した場合、導線パターン６５と６６にはそれぞれ誘起電圧が発生するが、それぞれの誘起電圧は同振幅の逆相となるため相殺され、磁気式エンコーダの精度向上を更に図ることができる。
【符号の説明】
【００２７】
１１  回転軸
１２  永久磁石
１３  固定体
１５  回路基板
１８  検出信号処理回路
４１、４２、４３、４４  ホール素子  （磁気検出素子）
６１、６２、６３、６４、６５、６６  導線パターン
７１、７２、７３、７４、７５、７６  導線パターン
８１〜８４、８５〜８８  引出部
９０、９１  ホール素子感磁部
１００ 第１(第２)の差動増幅器
１２０  回転体
１２２，１２４  永久磁石
１３０，１３１  磁気検出素子
１８０  基台
１８２  ＥＣＵ
【図１】
0005573042.tif 000002
【図２】
0005573042.tif 000003
【図３】
0005573042.tif 000004
【図４】
0005573042.tif 000005
【図５】
0005573042.tif 000006
【図６】
0005573042.tif 000007
【図７】
0005573042.tif 000008
【図８】
0005573042.tif 000009
【図９】
0005573042.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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