(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
積み重ねられた第１および第２パッケージを具備するマルチパッケージモジュールであって、前記第１および第２パッケージのそれぞれは、第１および第２の基板のそれぞれに取り付けられたダイスを有し、前記第１および第２の基板は、ワイヤボンディングにより相互接続され、前記第１パッケージは、上向きダイス構成のフリップチップを有するフリップチップボールグリッドアレイパッケージを具備することを特徴とするマルチパッケージモジュール。
【請求項２】
第１パッケージ基板を有する上向きダイスフリップチップ第１パッケージを供給し、
ダイスおよび第２パッケージ基板を有する第２パッケージを供給し、前記第１パッケージ上に前記第２パッケージを積み重ね、
前記第１パッケージ基板と第２パッケージ基板とをワイヤボンド接続することにより、前記第１および第２パッケージを電気的に相互接続することを特徴とするマルチパッケージモジュールの形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体パッケージングに関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話、携帯コンピュータ機器、および様々な商品のような携帯電子製品は、限られた上面スペースおよび最小の厚さならびに重さにおけるより高い半導体機能および能力を最も低コストで必要とする。このことは、産業界において個々の半導体チップにおける集積の増大をもたらす。
【０００３】
最近、産業界においては、「ｚ軸」上の集積化、つまり、チップの積み重ねの実現化が始まっており、１つのパッケージに５つのチップを積み重ねたものまで用いられている。これにより、５×５ｍｍから４０×４０ｍｍの範囲内の１チップのパッケージ上面スペースを有する密なチップ構造がもたらされ、厚みも２．３ｍｍから０．５ｍｍとだんだん薄くなってきている。積み重ねられたダイスのパッケージのコストは、単一のダイスのパッケージのコストより増分だけ増大するだけであり、アセンブリ品は、個々のパッケージにおけるダイスのパッケージのパッケージングに比較して競争力のある最終的なコストを確約する程度に十分高い。
【０００４】
積み重ねられたダイスのパッケージに積み重ねられるチップの数の基本的な有用の制限は、積み重ねられたダイスのパッケージの低い最終歩留まりである。パッケージのダイスによっては、大きさの欠点が避けられない場合があり、それゆえ、最終パッケージテスト歩留まりは、不可避のダイステスト歩留まりの製品となり、それぞれのテスト歩留まりがつねに１００％より低い。このことは、例え、２つのダイスのみがパッケージ内に積み重ねられる場合であっても特に問題となるものである。設計の複雑化または技術によりそれらのいくつかは低いものを有している。
【０００５】
他の制限は、パッケージにおける低い電力消費である。熱が１つのダイスから他のダイスへと伝えられ、マザーボードにはんだボールを通じたものほど重要ではない。
【０００６】
さらなる制限は、積み重ねられたダイス間、特に、ＲＦとデジタルダイスとの間の電磁干渉であり、互いのダイスにおいて電気遮蔽されていないからである。
【０００７】
「ｚ軸」上の集積化についての他のアプローチは、ダイスのパッケージを積み重ねてマルチパッケージモジュールを形成することである。積み重ねられたパッケージは、積み重ねられたダイスのパッケージに比較して多数の利点がある。
【０００８】
例えば、ダイスを備えたそれぞれのパッケージは、電気的にテスト可能であり、満足のいく性能が表れない限り、パッケージがつ身重ねられる前に不合格とすることができる。この結果、最終の積み重ねられたマルチパッケージモジュール品は、最大化する。
【０００９】
積み重ねられたパッケージ間にモジュールの頂部におけるものと同様のヒートスプレッダが挿入されることによって、より効果的な冷却法が積み重ねられたパッケージに提供される。
【００１０】
パッケージの積み重ねは、ＲＦダイスの電磁遮蔽を許容し、モジュール内の他のダイスへの干渉を避ける。
【００１１】
ダイスすなわち１より多いダイスのそれぞれは、ワイヤボンディングやフリップチップのようなチップ形式および配列のための最も効果的な第一級の相互接続技術を用いて、積み重ね内のそれぞれのパッケージ内でパッケージ可能である。これにより、性能を最大化し、コストを最小化する。
【００１２】
積み重ねられたマルチパッケージモジュール内のパッケージ間のｚ軸相互接続は、製造能力、設計自由度およびコストの見地から決定的な技術である。提案されているｚ相互接続は、周辺のはんだボール接続およびボトムパッケージの頂部を折り曲げられたフレキシブル基板を有している。積み重ねられたマルチパッケージモジュールにおけるｚ相互接続における周辺はんだボールの使用は、設計自由度の高さを決めそして制限する接続の数が制限され、より厚くより高いコストのパッケージとなってしまう。フレキシブル折り曲げ基板の使用は、設計自由度の原理において提供されるけれども、折り曲げ工程の製造設備は確立していない。さらに、フレキシブル折り曲げ基板は、２つの金属レイヤフレックス基板を必要とし、これらは非常に高価である。さらに、折り曲げられたフレキシブル基板の接近は、２つの金属レイヤ基板の回路構成の径路設計が制限されるため、低いピンカウントアプリケーションの制約を受ける。
【００１３】
様々なｚ軸相互接続構造は、図１−４を参照してより詳細に説明される。
図１は積み重ねられたマルチパッケージモジュール（「ＭＰＭ」）のボトムパッケージとして用いることができ、産業界でよく確立された標準的なボールグリッドアレイ（「ＢＧＡ」）パッケージの構造を例示する断面図である。ＢＧＡは、一般的に１０のように示され、少なくとも１つの金属レイヤを有する基板１２の上に取り付けられたダイス１４を有している。様々な基板形式のいずれかが用いられ、例えば、１−２の金属レイヤをラミネートしたもの、４−８の金属レイヤを有する基板構造、１−２の金属レイヤを有するフレキシブルポリイミドテープまたはセラミックマルチレイヤ基板が含まれる。図１の例によって示された基板１２は、２つの金属レイヤ１２１，１２３を有し、適当な回路構成を提供すべくパターンがそれぞれ形成され、バイアス１２２を経由して互いに接続されている。ダイスは、所定の箇所で基板表面に図１の１３で示されるダイス接着エポキシとして一般的に参照される接着剤を用いて取り付けられる。そして、図１の構成において、例え、ダイス接着表面が使用時において特定の方位が必要でなくても、ダイスが取り付けられた基板上の表面は、「上側」表面として参照され、当該表面上のの金属レイヤは、「上側」金属レイヤとして参照される。
【００１４】
図１のＢＧＡにおいて、ダイスは、基板の上側金属レイヤ上のワイヤボンド面にワイヤボンドされ、電気的接続を確立する。ダイス１４およびワイヤボンド１６は、モールドコンパウンド１７によりカプセル化される。これは、周囲および機械的ストレスから保護することにより、取り扱いの容易さを促すこととなる。また、識別のためのマーキングのための表面を提供することとなる。はんだボール１８は、基板の下側金属レイヤのボンディングパッド上をリフローして、コンピュータのような最終製品のマザーボード（図示せず）に相互接続される。はんだマスク１２５，１２７は、金属レイヤ１２１，１２３上にパターン化され、電気的接続のためにボンディング面に下の金属が露出される。例えば、ワイヤボンド面およびボンディングワイヤボンド１６のためのボンディングパッドおよびはんだボール１８の電気的接続のためである。
【００１５】
図２は、２つ積み重ねられたＭＰＭの例による構造を例示する断面図である。一般的に２０として、積み重ねられたパッケージ間のｚ軸相互接続は、はんだボールにより形成される。このＭＰＭにおいて、第１パッケージ（「ボトム」パッケージとして参照される）は、図１に示される標準的なＢＧＡと同様である（そして、同様の参照符号は、図１および２においてボトムパッケージについて同様の特徴を示す箇所に採用される）。第２パッケージ（「トップ」パッケージとして参照される）は、ボトムパッケージ上に積み重ねられ、ボトムＢＧＡのカプセル化に干渉しないｚ軸相互接続に有効であるように、トップパッケージにおけるはんだボールがトップパッケージ基板の周辺部に配置されることを除いて、ボトムパッケージの構造と同様である。特に、図２のトップパッケージは、少なくとも１つの金属レイヤを有する基板２２上に取り付けられたダイス２４を備えている。図２の例によって示されるトップパッケージ基板２２は、２つの金属レイヤ２２１，２２３を有し、適当な回路構成を提供するようにそれぞれパターン化され、バイアス２２２を介して接続される。ダイスは、図２の２３で示されるダイス接着エポキシとして一般的に参照される接着剤を用いて基板の表面（「上側」表面）の所定箇所に取り付けられる。
【００１６】
図２のＭＰＭにおけるトップパッケージにおいて、ボトムパッケージにおけるのと同様に、ダイスは、基板の上側金属レイヤのワイヤボンド面上にワイヤボンドされ、電気的接続を確立する。トップパッケージダイス２４およびワイヤボンド２６は、トップパッケージモールドコンパウンド２７によりカプセル化される。はんだボール２８は、トップパッケージ基板の下側金属レイヤにおける周辺の縁部に配置されたボンディングパッド上にリフローされ、ボトムパッケージとｚ軸相互接続を形成する。はんだマスク２２５，２２７は、金属レイヤ２２１，２２３上にパターン化され、電気的接続のためにボンディング面に下の金属が露出される。例えば、ワイヤボンド面およびボンディングワイヤボンド２６のためのボンディングパッドおよびはんだボール２８の電気的接続のためである。
【００１７】
図２のＭＰＭにおけるｚ軸相互接続は、ボトムＢＧＡの上側金属レイヤ上の周辺のボンディングパッドに取り付けられたはんだボール２８のリフローによって達成される。この構成において、トップパッケージとボトムパッケージとの間の距離ｈは、少なくともボトムパッケージのカプセル化された高さと同じだけなければならず、だいたい０．３ｍｍかそれ以上必要で、一般的には、０．５ｍｍから１．５ｍｍの間の範囲である。したがって、はんだボール２８は、それらがリフローしたときに、ボトムＢＧＡのボンディングパッドに良好に接触するように、十分に大きい直径でなければならない。つまり、はんだボール２８の直径は、カプセル化された高さより大きくなければならない。より大きいボール直径は、より大きいボールピッチを要求する。これにより、今度は、取り付け可能なスペースに取り付けるボールの数が制限される。さらに、はんだボールの周辺の配置は、ボトムＢＧＡを標準的なＢＧＡのダイスキャップより十分に大きくさせる。小さいＢＧＡにおいて、チップスケールパッケージ（「ＣＳＰ」）として通常参照されるパッケージのボディサイズは、ダイスより１．７ｍｍ大きい。標準的なＢＧＡにおいて、そのボディサイズは、ダイスキャップより大体２ｍｍ大きい。この構成において、トップパッケージ基板は、電気的な接続を促進するために、少なくとも２つの金属レイヤを有しなければならない。
【００１８】
図３は、一般的に３０で示される既知の２つ積み重ねられたフリップチップＭＰＭの例による構造を例示する断面図である。この構成において、ボトムＢＧＡフリップチップパッケージは、パターン化された金属レイヤ３１を有する基板３２を備える。金属レイヤ３１上には、ダイス３４が、はんだ隆起部、金スタッド隆起部または異方性のある伝導フィルムもしくはペーストのようなフリップチップ隆起部３６により接続される。フリップチップ隆起部３６は、ダイスの活動表面上の隆起部パッドのパターン化された配列に貼り付けられる。そのような配置の基板のパターン化された金属レイヤの情報面に対してダイス面下方の活動表面は、「下向きダイス」フリップチップパッケージとして参照される。ダイスおよび基板間のポリマアンダーフィル３３は、周囲から保護し、構造の機械的な整合性を付加する。基板が上側表面のみ金属レイヤを有する、このようなフリップチップパッケージは、はんだバイアス３５を通じて金属レイヤに接続されたはんだボール３８により下方の回路構成（図示しないが例えば、マザーボードのような）に接続される。
【００１９】
この構成におけるトップＢＧＡは、トップＢＧＡがトップ基板の周辺にのみ金属レイヤ３３１に（トップ基板のはんだバイアス３３５を通じて）接続されるｚ軸相互接続のはんだボール３３８を有することを除いて、ボトムＢＧＡと同様である。はんだボール３３８は、ボトム基板の金属レイヤ３１上にリフローされ、ｚ軸相互接続を形成する。特に、この構成のトップＢＧＡは、トップＢＧＡがフリップチップ隆起部３３６に接続されるようにパターン化された金属レイヤ３３１を有する基板３３２を備える。トップＢＧＡのダイスと基板との間は、ポリマアンダーフィル３３である。図３のような構造は、高い電気的性能にとってはより好適であるが図２に示される形式の構成と同様の制限を有している。ここで、図２の構成を改良したものを示す。すなわち、ボトムＢＧＡはモールド箇所がなく、パッケージ間の接続のためにトップのＢＧＡの周辺により小さい直径（ｈ）のはんだボールを使用可能とするものである。
【００２０】
図４は、一般的に４０のように示される既知の２つ積み重ねられた折り畳みフレキシブル基板ＭＰＭの例による構造を示す断面図である。図４の構成におけるボトムパッケージは、ダイスが小さいビームを介して基板の第１金属レイヤに接続された。２つの金属レイヤフレキシブル基板を有する。ボトムパッケージ基板の第２金属レイヤは、マザーボード（図示せず）のような下の回路構成に接続するためのはんだボールを有している。基板は、パッケージの頂部を超えて折り曲げるのに十分大きく、トップパッケージのはんだボールの配列によってトップパッケージに接続可能なように電気的相互接続線が上向きになる（以下に例示する）。ダイス周辺のスペースおよびダイスと折り曲げた基板との間は、カプセル化され、保護および整合される。
【００２１】
図４に示すように、２金属レイヤボトムパッケージ基板４２は、第１金属レイヤ１４１および第２金属レイヤ１４３を有し、適当な回路構成を有するべくパターン化され、バイアス１４３により接続されている。ボトム基板の一部を越える部分である第１金属レイヤの一部は、ボトムパッケージのダイス４４の活動表面に相互接続パッドの配列に一致するように配置されたカンチレバービームまたはタブ４６の配列が表れるように処理される（例えば、パンチの配列が用いられる）。「ダイス取付部」として参照される基板４２の当該部分上において、第１金属レイヤ１４１の面は上を向く。ダイスは、基板のダイス取付部上の活動表面下向きに整列され、カンチレバーおよび一致する相互接続パッドは、接続される。一般的には、例えば、圧力、熱、および超音波エネルギーを組み合わせて使用した「熱音波」処理により電気的接続を完全にしている。ダイス４４は、フレキシブル基板４２のダイス取付部上に、一般的にダイス接着エポキシである接着剤４３を用いて貼り付けられる。ボトムパッケージ基板４２の第２金属レイヤ１４３の面は、当該基板のダイス取付部に対して下を向く。はんだボール４８は、第２金属レイヤ１４３の下向き部上の配列上に配置されたボンディングパッド上にリフローされ、下の回路構成（図示せず）にＭＰＭを相互接続させる。はんだマスク１４７は、第２金属レイヤ１４３上にパターン化され、電気的接続のためのボンディング面として下の金属が露出される。この電気的接続には、後述するように、はんだボール４８による下の回路構成との接続のためのボンドパッドおよび、はんだボール１８によるトップパッケージとの接続のためのボンドパッドも含まれる。
【００２２】
ボトムパッケージ基板４２の他の部分、すなわち、ダイス取付部に隣接して延長される部分は、ボトムパッケージダイス４４上に折り曲げられる。フレキシブル基板４２のこの折り曲げられた部分において、第１金属レイヤ１４３の面は上を向く。図４の構成において、トップパッケージは、通常、図２のＢＧＡと同様であり、そのダイスは、基板の上側金属レイヤのワイヤボンド面上にワイヤボンドされ、電気的接続が確立されるものである。特に、トップパッケージダイス１４は、（この例において）適当な回路構成を提供すべくそれぞれパターン化され、バイアス１２２より互いが接続された２つの金属レイヤ１２１，１２３を有する基板１２上に取り付けられる。ダイスは、一般的にダイス接着エポキシである接着剤１３を用いてトップパッケージ基板の上側表面に一般的に取り付けられる。ダイス１４およびワイヤボンド１６は、モールドコンパウンド１７によりカプセル化され、周囲からおよび機械的ストレスから保護し、取り扱いの容易さを促すとともに、識別のためのマーキングのための表面を提供する。はんだボール１８は、上に折り曲げられたボトムパッケージ基板の上向き面の金属レイヤ上のボンディングパッド１４３上にリフローされ、トップパッケージおよびボトムパッケージ間のｚ軸相互接続を形成する。
【００２３】
図４に示すような構造の利点は、上に折り曲げられたき晩が上に折り曲げられたボトムパッケージ基板の上向き表面における十分な領域を提供し、トップパッケージにおけるはんだボールの十分な配列に適応すること、および、２つのパッケージ間のより複雑な相互接続に適応することである。小さいパッケージの上面スペースの確保も利点である。本構成の根本的な欠点は、基板についての高いコストおよび折り曲げ技術および装置が利用できないことである。
【００２４】
これらすべての積み重ねられたパッケージ構成に共通する課題は、それぞれのパッケージにおいて予めテスト可能であり、製品ＭＰＭの最終テスト歩留まりをより高くすることである。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明は、積み重ねられたパッケージを有するマルチパッケージモジュールを提供することを目的とする。本発明によれば、ＭＰＭの積み重ねられたパッケージ間のｚ軸相互接続は、ワイヤボンドがベースとなる。一般的に、本発明は、様々な積み重ねられたパッケージにおける様々な構成、およびワイヤボンディングベースのｚ軸相互接続による様々なパッケージにおける積み重ね方法ならびに相互接続方法により特徴付けられる。本発明に係るマルチパッケージモジュールにおいて、パッケージの積み重ねは、様々なＢＧＡパッケージのいずれかおよび／または様々なランドグリッドアレイ（ＬＧＡ）パッケージのいずれかを含むことができる。すなわち、パッケージの積み重ねは、ワイヤボンドおよび／またはフリップチップパッケージを含むとしてもよいし、積み重ね内または上における１またはそれ以上のヒートスプレッダにより可能となる熱促進の特徴を含むとしてもよいし、トップまたはボトムのＢＧＡまたはＬＧＡのいずれかにボンドされたフリップチップダイスを有する１またはそれ以上のパッケージを含むとしてもよいし、積み重ねられまたは並んだパッケージにおいて１より多いダイスを有する１またはそれ以上のＢＧＡおよび／またはＬＧＡを含むとしてもよいし、１またはそれ以上のパッケージの電磁遮蔽を含むとしてもよいし、ラミネート、ビルドアップ、フレキシブルまたはセラミックのような、ｚ軸相互接続パッドがパッケージの周辺にボンディング可能であるいずれの基板を含むとしてもよい。
【００２６】
全体的な一態様において、本発明は、積み重ねられた下側および上側パッケージを有するマルチパッケージモジュールであることを特徴とし、それぞれのパッケージは、基板に取り付けられるダイスを有し、上側および下側基板は、ワイヤボンディングにより相互接続される。
【００２７】
本発明は、優れた加工性、高い設計自由度、および低コストにより、低い高さおよび小さい上面スペースを有する積み重ねられたパッケージモジュールを製造することを提供する。ワイヤボンドｚ軸相互接続は、産業界でよく確立されており、最小のコストの相互接続技術であり、大きく変更することなく本発明の積み重ねられたマルチパッケージモジュールに直接的に応用可能である。これはまた、ワイヤ長さによりブリッジされるＬＧＡに対するＢＧＡの相対サイズのための設計自由度を提供する。利用可能な技術および装置を用いることにより、ワイヤボンドにおけるワイヤは、短いもので０．５ｍｍ、長いもので５ｍｍである。ｚ軸相互接続パッドは、ＢＧＡおよびＬＧＡのいずれかまたは両方の基板設計を通じて実現可能である。さらに、本発明に係るワイヤボンドを用いることにより、ｚ軸相互接続は、産業界で現在用いられている、いわゆる「不連続ボンディング」を採用することにより、お互いに正確に配列されないパッド間で形成される。ワイヤボンディングピッチは、産業界における最も微細に利用可能技術で現在５０ミクロンであり、２５ミクロンにすべく計画されている。これにより、より多くのｚ軸相互接続が可能となる。加工性および設計自由度は、いずれもＭＰＭの低コスト化に貢献する。
【００２８】
一般的なＢＧＡまたはＬＧＡの最小限の上面スペースは、ダイスのサイズに対し１．７ｍｍ大きい。本発明に係るｚ軸相互接続ボンドパッドの付加は、ＢＧＡサイズを最小で０．８ｍｍ増大させる。典型的なＢＧＡの厚さは、１．０ｍｍであり、ＬＧＡの厚さは、０．８ｍｍである典型的な接着剤の厚さは、０．０２５ｍｍから０．１００ｍｍの範囲である。本発明に係る積み重ねられたパッケージＭＰＭの上面スペースおよび厚さは、いずれも大部分の応用に受け入れられる範囲内に落ち着いている。
【００２９】
実施形態によって、マルチパッケージモジュールは、３またはそれ以上のパッケージを有し、連続的に固定されて、積み重ねを形成する。
【００３０】
他の態様において、本発明は、積み重ねられた第１（「ボトム」）および第２（「トップ」）パッケージを有し、それぞれのパッケージは、基板に取り付けられ、基板にワイヤボンディングにより接続されたダイスを有し、トップパッケージ基板およびボトムパッケージ基板は、ワイヤボンディングにより相互接続されることを特徴とする。実施形態によっては、それぞれのパッケージは、モールド物質により十分にカプセル化される。他の実施形態においては、少なくとも１つのパッケージは、後の処理およびテストの間、ダイスおよび基板の間のワイヤボンドを保護するために十分な範囲のみカプセル化される。実施形態によっては、第２パッケージは、ＬＧＡパッケージであり、そのような実施形態においてはさらに、当該ＬＧＡパッケージ基板は、単一金属レイヤ基板であってもよい。
【００３１】
他の態様において、本発明は、積み重ねられた第１（「ボトム」）および第２（「トップ」）パッケージを有するマルチパッケージモジュールであって、ボトムパッケージは、ＢＧＡパッケージであり、それぞれのパッケージは、基板に取り付けられたダイスを有し、トップパッケージ基板および前記ＢＧＡパッケージ基板は、ワイヤボンディングにより相互接続されることを特徴とする。
【００３２】
また、他の態様において、本発明は、積み重ねられたパッケージを有するマルチパッケージモジュールであって、少なくとも１つのパッケージは、電気遮蔽材を備えていることを特徴とする。このような構成においては、電気遮蔽材は、ヒートスプレッダにより付加的に構成することとしてもよい。実施形態によっては、電気遮蔽材を備えるパッケージは、ＲＦダイスを有し、当該電気遮蔽材は、マルチパッケージモジュールにおけるＲＦダイスと他のダイスとの間の電磁干渉を制限するのに用いられる。実施形態によって、ボトムパッケージは、電気遮蔽材を備えている。
【００３３】
他の態様において、本発明は、積み重ねられた第１（「ボトム」）および第２（「トップ」）パッケージを有するマルチパッケージモジュールであって、ボトムパッケージは、上向きダイス構成のフリップチップＢＧＡパッケージであり、トップ基板およびボトムパッケージは、ワイヤボンディングにより相互接続されることを特徴とする。実施形態によっては、トップパッケージは、積み重ねられたダイスのパッケージであり、実施形態によっては、積み重ねられるダイスのパッケージにおいて隣接して積み重ねられるダイスは、スペーサにより分離可能とされる。また、実施形態によっては、ボトムパッケージ上のフリップチップダイスは、電気遮蔽材を備えている。実施形態によっては、ボトムパッケージ基板は、接地面に設けられ、当該接地面は、熱の散逸のためおよび電気遮蔽材としても構成される。
【００３４】
他の態様において、本発明は、積み重ねられた第１（「ボトム」）および第２（「トップ」）パッケージを有するマルチパッケージモジュールであって、ボトムパッケージは、下向きダイス構成のフリップチップを有するフリップチップＢＧＡであり、トップ基板およびボトムパッケージは、ワイヤボンディングにより相互接続されることを特徴とする。実施形態によっては、ボトムパッケージ上のフリップチップダイスは、電気遮蔽材を備えている。
【００３５】
他の態様において、本発明は、積み重ねされる第１（「ボトム」）および第２（「トップ」）パッケージを有するマルチパッケージモジュールであって、それぞれのパッケージは、基板に取り付けられ、ワイヤボンディングにより基板に接続されたダイスを有し、トップパッケージ基板およびボトムパッケージ基板は、ワイヤボンディングにより相互接続され、ボトムパッケージおよびトップパッケージの少なくとも１つは、積み重ねられたダイスのパッケージであることを特徴とする。実施形態によっては、トップパッケージおよびボトムパッケージの両方ともが積み重ねられたダイスのパッケージである。
【００３６】
他の全体的な態様において、本発明は、マルチパッケージモジュールを形成する方法であって、第１（ボトム）パッケージ基板上に少なくとも１つのダイスを有する第１（ボトム）パッケージを形成し、第１パッケージの上に第２（トップ）パッケージ基板の上に少なくとも１つのダイスを有する第２（トップ）パッケージを配置し、そして、第１および第２（トップおよびボトム）基板間においてワイヤボンドｚ軸相互接続を形成することを特徴とする。有益なことに、これらパッケージは、アッセンブル前にテスト可能であり、「合格」としてテストされた第１パッケージおよび第２パッケージのみがアッセンブルされたモジュールに好適に用いられるように、要求される性能または信頼性に適合しないパッケージは、排除することができる。
【００３７】
一態様において、本発明は、ＢＧＡパッケージ上に積み重ねられたＬＧＡパッケージを有するマルチパッケージモジュールの形成方法であって、トップおよびボトムパッケージは、ワイヤボンディングにより電気的に相互接続される。本態様によれば、ＢＧＡパッケージは、通常、モールドされたＢＧＡパッケージにおける個片化されていないストリップに備えられる。好ましくは、ストリップ内のＢＧＡパッケージは、性能および信頼性についてテストされ、「合格」と判明したパッケージは、後の処理に供される。接着剤は、「合格」したＢＧＡパッケージ上のダイスの上側表面に塗布される。個片化してモールドされたランドグリッドアレイパッケージを具備し、好ましくは、ＬＧＡパッケージは、テストして、「合格」と判明したものであり、「合格」したＬＧＡパッケージは、「合格」したＢＧＡパッケージのダイス上の接着剤上に配置して、接着剤を硬化させる。選択的および好ましくは、ＭＰＭダイスの形成の後に、プラズマクリーン処理が実施されてもよい。さらなるステップは、モジュールの下側に第２次相互接続はんだボールの取り付けを有し、テストおよびストリップから完成したモジュールの個片化、例えば、のこぎり個片化またはパンチ個片化を行い、さらなる使用のためにパッケージングする。
【００３８】
実施形態によっては、ＬＧＡ（トップ）パッケージは、十分にモールドされ、略平面であるＬＧＡパッケージの上側表面を具備し、他の実施形態によっては、ＬＧＡパッケージのダイス表面全体ではないワイヤボンドは、モールドされ、ＬＧＡのダイスは、モールドコンパウンドをダイスおよびＬＧＡパッケージ基板の周辺部周りに塗布されることによって実現される。
【００３９】
他の態様において、本発明は、ＢＧＡパッケージ上にＬＧＡパッケージを積み重ねられたマルチパッケージモジュールを形成する方法であって、トップおよびボトムパッケージをワイヤボンディングにより電気的に接続し、ボトムパッケージは、電磁遮蔽されることを特徴とする。この態様によれば、ボールグリッドアレイパッケージ、一般的に個片化していないＢＧＡパッケージが適用される。ＢＧＡパッケージは、ダイス上に固定された遮蔽材が適用される。好ましくは、ストリップのＢＧＡパッケージは、性能および信頼性のテストを受け、「合格」と認められ、以降の工程に提出されたパッケージが採用される。接着剤は、「合格」したＢＧＡパッケージの遮蔽材の上側表面上に塗布される。そして、個片化してモールドされたランドグリッドアレイパッケージが適用される。好ましくは、ＬＧＡパッケージは、テストされ、「合格」と認められたものである。「合格」したＬＧＡパッケージは、遮蔽材上の接着剤上に取り付けられ、接着剤を硬化させる。付加的におよびより好ましく、プラズマクリーン処理は、積み重ねられたトップＬＧＡおよびボトムＢＧＡ間のワイヤボンドによるｚ軸相互接続の形成後に行われる。付加的におよびより好ましく、追加のプラズマクリーンがＭＰＭモールドの形成後に施されてもよい。さらなるステップとして、モジュールの下側に第２次相互接続はんだボールを取り付ける。テストし、ストリップから完成されたモジュールを例えば、のこぎり個片化またはパンチ個片化により、個片化する。そして、さらなる使用のためにパッケージングする。
【００４０】
実施形態によっては、本方法は、ヒートスプレッダをマルチパッケージモジュールに供給するステップを有する。本発明のこの態様において、「ドロップイン」モールド処理により支持されたヒートスプレッダを中間挿入する、または、付加的なステップにより同様の工程が施される。
単に平面のヒートスプレッダをドロップインモールド処理したり、トップパッケージダイスの上側表面またはトップパッケージ上のスペーサの上側表面に接着剤を適用し、当該接着剤の上に平面のヒートスプレッダを取り付けたりすることにより挿入する。
【００４１】
他の態様において、本発明は、下向きダイスフリップチップＢＧＡボトムパッケージ上に積み重ねられたトップパッケージを有するマルチパッケージモジュールの形成方法であって、トップおよびボトムパッケージは、ワイヤボンディングにより電気的に接続されルことを特徴とする。本態様によれば、下向きダイスフリップチップＢＧＡボトムパッケージ、付加的にモールドされたものであり、一般的に、下向きダイスフリップチップボールグリッドアレイボトムパッケージの個片化されていないストリップが適用される。好ましくはストリップのＢＧＡパッケージは、性能および信頼性のテストを受け、「合格」と認められたパッケージが以降の処理に供される。接着剤は、「合格」のＢＧＡパッケージのダイスの上側表面（裏面）に塗布される。個片化されたトップパッケージ（例えば、ランドグリッドアレイパッケージ）は、付加的にモールドされたものであり、好ましくは、ＬＧＡパッケージは、テストされ、「合格」と認められたものである。「合格」のＬＧＡパッケージは、遮蔽材を超えて接着剤の上に配置され、接着剤が硬化する。付加的にまたは好ましくは、プラズマクリーン処理は、積み重ねられたトップＬＧＡおよびボトムＢＧＡパッケージの間のワイヤボンドによるｚ軸相互接続の形成の後に施される。付加的にまたは好ましくは、追加のプラズマクリーンがＭＰＭモールドの形成の後に施されてもよい。さらなるステップとして、モジュールの下側に第２次相互接続はんだボールを取り付ける。テストし、ストリップから完成されたモジュールを例えば、のこぎり個片化またはパンチ個片化により、個片化する。そして、さらなる使用のためにパッケージングする。
【００４２】
他の態様において、本発明は、下向きダイスフリップチップＢＧＡボトムパッケージ上に積み重ねられたトップパッケージを有するマルチパッケージモジュールの形成方法であって、トップおよびボトムパッケージは、ワイヤボンディングにより電気的に接続され、ボトムパッケージは、電気遮蔽が施されることを特徴とする。この態様によれば、遮蔽されていないボトムフリップチップボトムパッケージにおいて、ボトムパッケージフリップチップダイス上に遮蔽材を中間挿入する付加的なステップにより、上述したのと同様の性能が得られる。下向きダイスフリップチップＢＧＡボトムパッケージは、付加的にモールドされたものであり、一般的に下向きダイスフリップチップボールグリッドアレイボトムパッケージの個片化されていないストリップが適用される。好ましくは、ストリップのＢＧＡパッケージは、性能および信頼性のテストを受け、「合格」と認められたパッケージが以降の処理に供される。電気遮蔽材は、「合格」のボトムＢＧＡパッケージ上のダイス上に取り付けられる。接着剤は、「合格」のＢＧＡパッケージのダイスの上側表面（裏面）に塗布される。個片化されたトップパッケージ（例えば、ランドグリッドアレイパッケージ）は、付加的にモールドされたものであり、好ましくは、ＬＧＡパッケージは、テストされ、「合格」と認められたものである。「合格」のＬＧＡパッケージは、遮蔽材を超えて接着剤の上に配置され、接着剤が硬化する。付加的にまたは好ましくは、プラズマクリーン処理は、積み重ねられたトップＬＧＡおよびボトムＢＧＡパッケージの間のワイヤボンドによるｚ軸相互接続の形成の後に施される。付加的にまたは好ましくは、追加のプラズマクリーンがＭＰＭモールドの形成の後に施されてもよい。さらなるステップとして、モジュールの下側に第２次相互接続はんだボールを取り付ける。テストし、ストリップから完成されたモジュールを例えば、のこぎり個片化またはパンチ個片化により、個片化する。そして、さらなる使用のためにパッケージングする。
【００４３】
他の態様において、本発明は、上向きダイスフリップチップＢＧＡボトムパッケージ上に積み重ねられたトップパッケージを有するマルチパッケージモジュールの形成方法であって、トップおよびボトムパッケージは、ワイヤボンディングにより電気的に相互接続されることを特徴とする。本態様によれば、上向きダイスフリップチップボールグリッドアレイパッケージは、通常モールドされたものではなく、通常、上向きダイスフリップチップボールグリッドアレイパッケージの個片化されていないストリップとして適用される。好ましくは、ストリップのＢＧＡパッケージは、性能および信頼性のテストを受け、「合格」と認められたパッケージが以降の処理に供される。接着剤は、「合格」のＢＧＡパッケージのダイスの上側表面（裏面）に塗布される。そして、第２パッケージが適用される。これは、実施形態によっては、積み重ねられたダイスのパッケージであり、付加的および一般にモールドされたものである。好ましくは、ＬＧＡパッケージであり、テストされ、「合格」と認められたものである。「合格」のＬＧＡパッケージは、接着剤の上に配置され、接着剤が硬化する。付加的にまたは好ましくは、プラズマクリーン処理は、積み重ねられたトップＬＧＡおよびボトムＢＧＡパッケージの間のワイヤボンドによるｚ軸相互接続の形成の後に施される。付加的にまたは好ましくは、追加のプラズマクリーンがＭＰＭモールドの形成の後に施されてもよい。さらなるステップとして、モジュールの下側に第２次相互接続はんだボールを取り付ける。テストし、ストリップから完成されたモジュールを例えば、のこぎり個片化またはパンチ個片化により、個片化する。そして、さらなる使用のためにパッケージングする。
【００４４】
他の態様において、本発明は、積み重ねられたダイスボトムパッケージ上に積み重ねられたトップパッケージを有するマルチパッケージモジュールの形成方法であって、トップおよびボトムパッケージは、ワイヤボンディングにより電気的に相互接続されることを特徴とする。この態様によれば、積み重ねられたダイスＢＧＡパッケージは、一般的にモールドされたものが適用され、積み重ねられたダイスボールグリッドアレイパッケージの個片化されていないストリップが一般的に適用される。好ましくは、ストリップのＢＧＡパッケージは、性能および信頼性のテストを受け、「合格」と認められたパッケージが以降の処理に供される。接着剤は、「合格」の積み重ねられたダイスＢＧＡパッケージの上側表面、一般的にはパッケージダイスの平面である上側表面に、塗布される。そして、個片化された第２パッケージは、一般的にモールドされたものが適用される。付加的には、積み重ねられたダイスのパッケージである。好ましくは、第２パッケージは、テストされ、「合格」と認められたものである。「合格」のＬＧＡパッケージは、接着剤の上に配置され、接着剤が硬化する。付加的にまたは好ましくは、プラズマクリーン処理は、積み重ねられたトップＬＧＡおよびボトムＢＧＡパッケージの間のワイヤボンドによるｚ軸相互接続の形成の後に施される。付加的にまたは好ましくは、追加のプラズマクリーンがＭＰＭモールドの形成の後に施されてもよい。さらなるステップとして、モジュールの下側に第２次相互接続はんだボールを取り付ける。テストし、ストリップから完成されたモジュールを例えば、のこぎり個片化またはパンチ個片化により、個片化する。そして、さらなる使用のためにパッケージングする。
【００４５】
本方法の実施形態によっては、２またはそれ以上の第１モールドされたパッケージが個片化されていないストリップに備えられ、２またはそれ以上のモジュールのアッセンブリは、ストリップにおいて進められ、２またはそれ以上のモジュールの個片化がアッセンブリの完了後行われる。
【００４６】
本発明に係るマルチパッケージモジュールの形成方法において、積み重ねられたパッケージ間の電気的接続は、既知のワイヤボンディングを採用し、積み重ねの上側および下側パッケージ基板間のｚ軸相互接続を形成する。特別な利点は、確立された製造設備の使用、低生産コスト、設計自由度、およびパッケージ製品の薄型化にある。ｚ軸相互接続ワイヤボンディングは、様々なパッケージおよびモジュール構成において、第２パッケージ基板上の伝導パッドに形成された隆起部から第１パッケージ基板上の伝導パッドへのワイヤの線引きまたは第１パッケージ基板上の伝導パッドに形成された隆起部から第２パッケージ基板上の伝導パッドへのワイヤの線引きにより実現される。
【００４７】
本発明は、薄く、最小限の上面スペースパッケージ内で、最小コストで最大の最終テスト歩留まりを達成する１以上の半導体アッセンブリを提供する。さらに、本発明の積み重ね構成によっては、デジタル機器のＲＦ構成における高い熱性能、高い電気性能または電気絶縁を可能にする。他の積み重ね構成は、手のひらサイズまたは消費者用機器のために用いられる非常に薄い構造を提供する。アッセンブリのための方法が提供するすべてのことは、積み重ねられたパッケージについて個々のテストが可能であり、モジュールの最終品を最大限多くすることができる。
【００４８】
追加工程のステップを採用して本発明に係るマルチパッケージモジュールを完成させるだろう。例えば、積み重ねの最下層の接続のために、ＭＰＭの個片化前の最後のステップまでマザーボードにはんだボールを取り付けないことが好ましい。また例えば、接着剤の硬化の後およびカプセル化の前、およびｚ軸相互接続ワイヤボンディングの前および／または後のように、プラズマクリーンは、工程の様々な箇所で施されてもよい。
【００４９】
有利なことに、個々のパッケージは、製造の際における取り扱いの容易さのために列をなした、いくつかのパッケージを有するストリップとして提供され、マルチパッケージモジュールは、処理ステップの終了の後、個片化される。本発明に係る方法において、パッケージの積み重ねは、選択された形式の個片化されていない第１パッケージのストリップ上に個片化された第２パッケージを取り付け、モジュールの形成工程が終了するまでにワイヤボンドされたｚ軸相互接続が形成され、そして、モジュールを個片化することにより形成される。
【００５０】
本発明に係るＭＰＭは、コンピュータ、通信機器、および消費者向けまたは産業用電子デバイスの構築に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】従来のボールグリッドアレイ半導体パッケージの断面図である。
【図２】積み重ねられたボールグリッドアレイ半導体パッケージ間のはんだボールｚ軸相互接続を有する従来のマルチパッケージモジュールの断面図である。
【図３】積み重ねられたフリップチップ半導体パッケージ間のはんだボールｚ軸相互接続を有する従来のマルチパッケージモジュールの断面図である。
【図４】折り曲げられたフレキシブル基板および積み重ねられた半導体パッケージ間のはんだボールｚ軸相互接続を有する従来のマルチパッケージモジュールの断面図である。
【図５Ａ】本発明の一態様に係る積み重ねられたＢＧＡおよびＬＧＡ半導体パッケージ間のワイヤボンドｚ軸相互接続を有するマルチパッケージモジュールの一実施形態を示す断面図である。
【図５Ｂ】図５Ａに示す本発明の一実施形態に係る使用のための好ましい配置におけるｚ軸相互接続ボンドパッドを有するボトムＢＧＡ基板を示す平面図である。
【図５Ｃ】図５Ａに示す本発明の一実施形態に係る使用のための好ましい配置におけるｚ軸相互接続ボンドパッドを有するトップＬＧＡ基板を示す平面図である。
【図５Ｄ】本発明の一態様に係る積み重ねられたＢＧＡおよびＬＧＡ半導体パッケージ間のワイヤボンドｚ軸相互接続を有し、トップパッケージの上側表面に取り付けられたヒートスプレッダを有するマルチパッケージモジュールの一実施形態を示す断面図である。
【図５Ｅ】ＢＧＡおよびＬＧＡ半導体パッケージ間のワイヤボンドｚ軸相互接続を有し、本発明の他の態様に係るヒートスプレッダを有するマルチパッケージモジュールの一実施形態を示す断面図である。
【図６Ａ】本発明の一態様に係る積み重ねられたＢＧＡおよびＬＧＡ半導体パッケージ間のワイヤボンドｚ軸相互接続を有し、トップパッケージが周辺だけモールドされたマルチパッケージモジュールの他の実施形態を示す断面図である。
【図６Ｂ】本発明の一態様に係る積み重ねられたＢＧＡおよびＬＧＡ半導体パッケージ間のワイヤボンドｚ軸相互接続を有し、トップパッケージが周辺だけモールドされ、モジュールはヒートスプレッダを有するマルチパッケージモジュールの他の実施形態を示す断面図である。
【図７】本発明の一態様に係る積み重ねられたＢＧＡおよびＬＧＡ半導体パッケージ間のワイヤボンドｚ軸相互接続を有し、トップパッケージ基板は１つの金属レイヤ基板を有するマルチパッケージモジュールの他の実施形態を示す断面図である。
【図８Ａ】本発明のさらなる態様に係る積み重ねられたＢＧＡおよびＬＧＡ半導体パッケージ間のワイヤボンドｚ軸相互接続を有し、ボトムパッケージに電気遮蔽材を有するマルチパッケージモジュールの一実施形態を示す断面図である。
【図８Ｂ】本発明の一態様に係る積み重ねられたＢＧＡおよびＬＧＡ半導体パッケージ間のワイヤボンドｚ軸相互接続を有し、ボトムパッケージに電気遮蔽材を有し、モジュールがヒートスプレッダを有するマルチパッケージモジュールの他の実施形態を示す断面図である。
【図８Ｃ】本発明の一態様に係る積み重ねられたＢＧＡおよびＬＧＡ半導体パッケージ間のワイヤボンドｚ軸相互接続を有し、ボトムパッケージに電気遮蔽材を有し、モジュールがトップパッケージの上側表面に取り付けられたヒートスプレッダを有するマルチパッケージモジュールの他の実施形態を示す断面図である。
【図９Ａ】本発明のさらなる態様に係る積み重ねられたフリップチップＢＧＡ（下向きダイス）およびＬＧＡ半導体パッケージ間のワイヤボンドｚ軸相互接続を有するマルチパッケージモジュールの断面図である。
【図９Ｂ】本発明のさらなる態様に係る積み重ねられたフリップチップＢＧＡ（下向きダイス）およびＬＧＡ半導体パッケージ間のワイヤボンドｚ軸相互接続を有し、ボトムパッケージに電気遮蔽材を有するマルチパッケージモジュールの断面図である。
【図９Ｃ】本発明のさらなる態様に係る積み重ねられたフリップチップＢＧＡ（下向きダイス）およびＬＧＡ半導体パッケージ間のワイヤボンドｚ軸相互接続を有し、ボトムパッケージに電気遮蔽材を有し、モジュールがヒートスプレッダを有するマルチパッケージモジュールの断面図である。
【図１０Ａ】本発明のさらなる態様に係る積み重ねられたフリップチップＢＧＡ（上向きダイス）およびダイスＬＧＡ半導体パッケージ間のワイヤボンドｚ軸相互接続を有し、第２パッケージに隣接して積み重ねられたダイスがスペーサによって分離されたマルチパッケージモジュールの断面図である。
【図１０Ｂ】本発明のさらなる態様に係る積み重ねられたフリップチップＢＧＡ（上向きダイス）およびダイスＬＧＡ半導体パッケージ間のワイヤボンドｚ軸相互接続を有し、第２パッケージに隣接して積み重ねられたダイスが異なるサイズを有するマルチパッケージモジュールの断面図である。
【図１０Ｃ】本発明のさらなる態様に係る積み重ねられたフリップチップＢＧＡ（上向きダイス）およびダイスＬＧＡ半導体パッケージ間のワイヤボンドｚ軸相互接続を有し、ボトムパッケージに電気遮蔽材を有するマルチパッケージモジュールの断面図である。
【図１０Ｄ】本発明のさらなる態様に係る積み重ねられたフリップチップＢＧＡ（上向きダイス）およびダイスＬＧＡ半導体パッケージ間のワイヤボンドｚ軸相互接続を有し、ボトムパッケージに電気遮蔽材を有し、トップパッケージの上側表面取り付けられたヒートスプレッダを有するマルチパッケージモジュールの断面図である。
【図１０Ｅ】本発明のさらなる態様に係る積み重ねられたフリップチップＢＧＡ（上向きダイス）およびダイスＬＧＡ半導体パッケージ間のワイヤボンドｚ軸相互接続を有し、ボトムパッケージに電気遮蔽材を有し、本発明の他の態様に係るヒートスプレッダを有するマルチパッケージモジュールの断面図である。
【図１１】本発明のさらなる態様に係る積み重ねられたＢＧＡ（積み重ねられたダイス）およびＬＧＡ（積み重ねられたダイス）半導体パッケージ間のワイヤボンドｚ軸相互接続を有するマルチパッケージモジュールの断面図である。
【図１２】図５Ａまたは図７に例示されるマルチパッケージモジュールのアッセンブリのための工程を示すフローチャートである。
【図１３】図６Ａに例示されるマルチパッケージモジュールのアッセンブリのための工程を示すフローチャートである。
【図１４Ａ】図８Ａに例示されるマルチパッケージモジュールのアッセンブリのための工程を示すフローチャートである。
【図１４Ｂ】図８Ｂに例示されるマルチパッケージモジュールのアッセンブリのための工程を示すフローチャートである。
【図１４Ｃ】図８Ｃに例示されるマルチパッケージモジュールのアッセンブリのための工程を示すフローチャートである。
【図１５】図９Ａに例示されるマルチパッケージモジュールのアッセンブリのための工程を示すフローチャートである。
【図１６】図９Ｂに例示されるマルチパッケージモジュールのアッセンブリのための工程を示すフローチャートである。
【図１７】図１０Ａまたは図１０Ｂに例示されるマルチパッケージモジュールのアッセンブリのための工程を示すフローチャートである。
【図１８】図１１に例示されるマルチパッケージモジュールのアッセンブリのための工程を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００５２】
本発明は、本発明の実施形態を例示した参照図によって、より詳細に説明される。なお、各図面は、本発明の特徴を明示し他の特徴や構成との関係を明示するため、誇張した図となっている。また、各図において同一の要素については、再度符号を付すことはしない。
【００５３】
図５Ａにおいて、積み重ねられた第１（「ボトム」）および第２（「トップ」）パッケージを備えている本発明の形態に応じたマルチパッケージモジュールの実施形態が、断面図において５０で概して示されている。その中で、積み重ねられたパッケージはワイヤボンドにより相互接続されている。図５Ａにおいて示された形態において、ボトムパッケージ４００は図１で示すような従来のＢＧＡパッケージである。それに応じて、この形態において、ボトムパッケージ４００は少なくとも１つの金属レイヤを有しているボトムパッケージ基板４１２の上に取り付けられたダイス４１４を備える。様々な基板タイプのいずれも使われ得る。例えば、２から６つの金属レイヤを有するラミネート、または４から８つの金属レイヤを有する基板、あるいは１または２つの金属レイヤを有する柔軟なポリイミドテープ、またはセラミックの積レイヤ基板も含まれる。図５Ａに例示されているボトムパッケージ基板４１２は、２つの金属レイヤ４２１，４２３を有し、それぞれの金属レイヤ４２１，４２３は特殊な電気回路を供給するように形成され、バイアス４２２によって互いに接続されている。ダイスは、通常、一般にダイス接着エポキシと称され、図５Ａにおいて４１３で示される接着剤を使って基板の表面に接着される。そして、図５Ａの構成において、ダイスが接着される基板の表面は、「上側」表面と称することができ、その表面上の金属レイヤは「上側」金属レイヤと称することができる。しかし、ダイス取り付け面は、使用においていかなる特定の方向性も有する必要がない。
【００５４】
図５ＡのボトムＢＧＡパッケージにおいて、ダイスは、電気的な接続を形成するために基板の上側金属レイヤのワイヤボンドサイトの上にワイヤボンドされる。ダイス４１４とワイヤボンド４１６とは、処理操作を促進するために、周囲および機械的なストレスからの保護を提供するモールディングコンパウンド４１７でカプセル化される。そして、第２（「トップ」）のパッケージが積み重ねられ得るボトムパッケージ上側表面４１９を提供する。はんだボール４１８は、例えば、コンピュータのような最終製品のマザーボード（図示しない）の基礎的な電気回路との相互接続を提供するため、基板の下側の金属レイヤ上の成形パッドの上にリフローされる。はんだマスク４１５，４２７は、電気的な接続のための接続位置で基礎的な金属を露出するように金属レイヤ４２１，４２３上で形成される。例えば、ワイヤボンドサイトと接続パッドとはワイヤボンド４１６とはんだボール４１８とを接続するためのものである。
【００５５】
図５Ａに示す形態において、トップパッケージ５００は、ランドグリッドアレイ（「ＬＧＡ」）パッケージであり、図１に例示するＢＧＡパッケージに似ている。しかし、基板の下側表面の接続パッドに設置されるはんだボールを有しない。この例では、特にトップパッケージ５００は、少なくとも１レイヤの金属レイヤを有するトップパッケージ基板５１２の上に取り付けられるダイス５１４を備える。様々な基板タイプのいずれもが使われ得る。図５Ａに例示されているトップパッケージ基板５１２は、２レイヤの金属レイヤ５２１，５２３を有し、それぞれは特殊な電気回路を供給するように形成され、バイアス５２２によって互いに接続されている。ダイスは、通常、一般にダイス接着エポキシと称され、図５Ａにおいて５１３で示される接着剤を使って基板の表面に接着される。そして、図５Ａの構成において、ダイスが接着される基板の表面は、「上側」表面と称され、その表面上の金属レイヤは「上側」金属レイヤと称される。しかし、ダイス取り付け面は、使用においていかなる特定の方向性も有する必要がない。
【００５６】
図５Ａに示すトップＬＧＡパッケージにおいては、ダイスは、電気的接続を形成するために基板の上側金属レイヤ上のワイヤボンドサイトの上にワイヤボンドされている。ダイス５１４とワイヤボンド５１６とは、処理操作を促進するために周囲や機械的なストレスに対して保護を供給するモールディングコンパウンド５１７によってカプセル化される。そして、モールディングコンパウンドは、トップパッケージ上側表面５１９を備える。トップパッケージ５００は、ボトムパッケージ４００の上に積み重ねられ、接着剤５０３を用いて接着される。はんだマスク５１５，５２７は、電気的接続のための接続位置で基礎的な金属を露出するように、金属レイヤ５２１，５２３の上に形成される。例えば、ワイヤボンドサイトはワイヤボンド５１６を接続するためのものである。
【００５７】
ボトムパッケージ４００の上に積み重ねられたトップパッケージ５００とボトムパッケージ４００との間のｚ軸相互接続は、それぞれのパッケージ基板の上側の金属レイヤに接続しているワイヤボンド５１８によって形成される。それぞれのワイヤボンド５１８の一端は、トップパッケージ基板５１２の上側金属レイヤ５２１のパッド上側表面に電気的に接続されている。そして、それぞれのワイヤボンドの他端は、ボトムパッケージ基板４１２の上側金属レイヤ４２１のパッド上側表面に接続されている。ワイヤボンドは、いかなるワイヤボンド技術によって形成してもよいが、例えば、ここで参照するU.S.5,226,582に記載されているような公知技術によって形成してもよい。パッケージ相互間のｚ軸相互接続ワイヤボンドは、トップ基板の上側金属レイヤ上のパッド上側表面に溶着または圧着し、そしてそこから下方に向けてワイヤを引き、ボトム基板の上側金属レイヤ上のパッド上に溶融することにより形成しているものとして図５Ａに例として示されている。好ましくは、ワイヤボンドは逆の方向に形成することができる。即ち、ボトム基板の上側金属レイヤ上のパッド上側表面に溶着または圧着し、そしてそこから上方に向けてワイヤを引き、トップ基板の上側金属レイヤ上のパッド上に溶融させることにより形成することができる。好ましくは、パッケージ相互間のｚ軸相互接続のワイヤボンドの構成の選択は、積み重ねられた基板の縁部とそれらの接続面との幾何学的な配置に従って決定される。
【００５８】
図５Ａの積み重ねられたパッケージの形態において、それぞれのパッケージ基板のｚ軸相互接続パッドは、パッケージ基板の縁部近くの上側金属レイヤに配置されている。ｚ軸相互接続パッドの位置と配列とは、パッケージが積み重ねられた際に、トップパッケージ基板のｚ軸相互接続パッドが、ボトムパッケージの対応するｚ軸相互接続パッドの上に横たえるように概ね配置されている。好ましくは、トップパッケージ５００は、基板の金属レイヤの縁部に電気的にショートしないようにワイヤボンドにクリアランスを取るため、ボトムパッケージ４００の基板上側表面スペースよりも小さい基板上側表面スペースを備える。一度、ｚ軸相互接続ワイヤボンドが形成されると、モジュールのカプセル体が形成され、ｚ軸相互接続ワイヤボンドが囲まれて保護され、完成したモジュールに機械的な完全性が提供される。
【００５９】
トップとボトムパッケージ基板のｚ軸相互接続パッドの配置は、それぞれ図５Ｂおよび５Ｃに例示されている５００および４００に概ね示されている。図５Ｂに示すように、トップパッケージのｚ軸相互接続パッド５２４は、トップパッケージ基板５１２の上側表面５２５の縁部５０１に配置される上側金属レイヤの部分にパターン付すことにより形成される。縁部５０１は、上側表面５１９を備えるトップパッケージカプセル体の縁部５２６を越えて延びている。図５Ｃに示すように、ボトムパッケージのｚ軸相互接続パッド４２４は、トップパッケージ基板４１２の上側表面４２５の縁部４０１に配置される上側金属レイヤの部分にパターン付すことにより形成される。縁部４０１は、積み重ねられ横たわっているトップパッケージ基板５１２の上側表面スペース５１１を越えて延びており、そして、上側表面４１９を備えるボトムパッケージカプセル材料の縁部４２６をさらに越えて延びている。
【００６０】
図５Ａ，５Ｂ，５Ｃから明白なように、本発明に係るトップパッケージとボトムパッケージとの間のｚ軸相互接続は、トップパッケージ基板の縁部５０１のトップパッケージ相互接続パッド５２４とボトムパッケージ基板の縁部４０１のボトムパッケージ相互接続パッド４２４との間（上側接続、または、下側接続のいずれか一方）のワイヤボンドによって形成される。マルチパッケージモジュールの構成は、モジュールカプセル体５０７の構造により保護され、そして、はんだボール４１８は、マザーボード（図示しない）のような基礎的な電気回路との接続のため、ボトムパッケージ基板の下側の金属レイヤに露出されているはんだボールパッドの上にリフローされる。
【００６１】
上述のことから認められるように、本発明に係る構成は、マルチパッケージモジュールの組み立て前に、ＢＧＡおよびＬＧＡの両方のプレテストをすることができ、また、組み立てより先に適合しないパッケージの廃棄を可能にする。そして、それによって、高い最終モジュールテストの歩留まりを確実にすることができる。
【００６２】
マルチパッケージモジュールからの熱放散を改良するために、ヒートスプレッダがトップパッケージ上に設けられる。トップヒートスプレッダは、熱伝導性の物質から形成され、その上側表面の少なくともより中心領域が、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするために、ＭＰＭの上側表面で周囲に向けて露出している。トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（銅などの）であり、それはモールディング材料硬化処理プロセスの間にＭＰＭカプセル体に添付される。または、ヒートスプレッダは、トップパッケージの上に略平面な部分と、ボトムパッケージ基板の上側表面、またはその近くに配置される周辺の支持部または支持部材を有している。
【００６３】
一例として、図５Ｅは、本発明の別の形態によるＢＧＡ＋ＬＧＡのＭＰＭ５４を示す断面図である。その中で、「トップ」ヒートスプレッダはＭＰＭの上側表面に設けられている。ＭＰＭ５４における積み重ねられたパッケージの構成は、一般に図５ＡにおけるＭＰＭ５０の構成と同様であり、同様な構成は各図中の参照符号によって同一視される。この例におけるトップヒートスプレッダは、熱伝導性物質から形成され、トップパッケージの上に位置する略平面な中央部分５４４と、ボトムパッケージ基板４１２の上側表面に向けて延びている周辺の支持部５４６を有している。平面部分５４４の上側表面は、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするために、ＭＰＭ上側表面で周囲に向けて露出している。トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（銅などの）から、例えば打ち抜きすることによって形成される。支持部５４６は、任意で、接着剤（図示しない）を使って、ボトムパッケージ基板の上側表面に取り付けられ得る。マルチパッケージモジュールの構成は、モジュールカプセル体５０７の構成によって保護されて、ヒートスプレッダ支持部は、モールディング材料硬化処理の間にＭＰＭカプセル体５０７に封入される。図５Ｅに示すように、凹入部５４５のようなステップは、ヒートスプレッダの上側の平面部分５４４の周辺に供給されるため、モールディングコンパウンドからレイヤ割れするのを減少させて構造についてのより機械的な完全性を得ることができる。本実施形態では、ヒートスプレッダ５４４の下側表面とＬＧＡモールド９１７の上側表面との間の隙間は、ＭＰＭモールドの薄いレイヤによって満たされている。
【００６４】
あるいは、図５Ｄの断面図に示すように、トップヒートスプレッダはＬＧＡモールドの上側表面に取り付けられ得る。ＭＰＭ５２で積み重ねられたパッケージの構成は、一般に図５ＡにおけるＭＰＭ５０の構成と同様であり、同じ構成は各図中の参照符号によって識別される。図５Ｄにおけるトップヒートスプレッダ５０４は、図５Ｅにおけるように、その上側表面の少なくともより中心領域が、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするために周囲に露出している熱伝導性の物質で略平面なものである。トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（銅のような）である。しかし、ここでは、トップヒートスプレッダ５０４は、接着剤５０６を使用して上側のパッケージカプセル体５１７の上側表面５１９に取り付けられる。接着剤５０６は、改良された熱放散を提供するため、熱伝導性の接着剤である。通常、トップヒートスプレッダは、トップパッケージモールドが少なくとも部分的に硬化処理された後で、モールディング材料がＭＰＭカプセル体５０７に注入される前に、トップパッケージモールドに取り付けられる。トップヒートスプレッダの周囲は、ＭＰＭモールディング材料によってカプセル化される。図５Ｄの形態において、凹入部５０５のようなステップは、ヒートスプレッダ５０４の外形に供給され、モールディングコンパウンドからレイヤ割れするのを減少させて構造についてのより機械的な完全性を得ることができる。
【００６５】
さらなる代案として、図５Ａ中のようなＭＰＭは、支持部を有さず単に平面のヒートスプレッダを供給し得る。それはトップパッケージモールドの上側表面に取り付けられない。このような形態においては、図５Ｄの形態のように、トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（例えば銅）のような熱伝導性の材料からなる略平面なものである。そして、少なくとも平面のヒートスプレッダの上側表面のより中央の領域は、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするため周囲に向けて露出している。ここでは、単に平面のヒートスプレッダの下側表面とＬＧＡモールド５１７の上側表面５１９との間の隙間は、ＭＰＭモールドの薄いレイヤによって満たされている。そして、そのような単に平面のヒートスプレッダは、モールディング材料硬化処理の間にＭＰＭカプセル体５０７に取り付けられる。そのように取り付けられない単に平面のトップヒートスプレッダの周囲は、外周上に凹入部５０５のようなステップを与えられるため、図５Ｄの取り付けられた平面のヒートスプレッダのように、ＭＰＭモールディング材料によってカプセル化されることができ、そして、モールディングコンパウンドからレイヤ割れするのを減少させて構造におけるより機械的な完全性を得ることができる。
【００６６】
図５Ｄおよび５Ｅに示すように、ヒートスプレッダを有しているＭＰＭ構造は、改良された熱性能を供給する。
【００６７】
図６Ａには、本発明の形態に係るマルチパッケージモジュールの積み重ねられたパッケージが断面図に示されており、ＢＧＡボトムパッケージの上にＬＧＡトップパッケージが積み重ねられている。その中で、トップパッケージＬＧＡは、部分的にカプセル化されている。トップＬＧＡパッケージのモールディング材料は、制限された範囲と制限された量で適用され、後の処理において、特に後の動作テストにおいてワイヤボンドを保護するには十分である。他の事項について図６Ａの構成は、図５Ａに示されている。従って、この形態において、ボトムパッケージ４００は、図５Ａに詳述されているように構成され、トップパッケージ６００は、トップパッケージカプセル体の違いを除いて、図５Ａに詳述されているように概ね構成される。特に、ボトムパッケージ６００は、少なくとも１つの金属レイヤを有するトップパッケージ基板６１２の上に取り付けられるダイス６１４を備える。なお、様々な基板タイプのいずれもが使われ得る。図６Ａに例示されているトップパッケージ基板６１２は、２レイヤの金属レイヤ６２１，６２３を有し、それぞれは特殊な電気回路を供給するように形成され、バイアス６２２によって互いに接続されている。ダイスは、通常、図６Ａにおいて６１３で示されている一般にダイス接着エポキシと称される接着剤を使って、基板の表面に接着される。そして、図６Ａの構成において、ダイスが接着される基板の表面は、「上側」表面と称することができ、それに応じて、この基板の上の金属レイヤは「上側」または「トップ」金属レイヤと称することができる。しかし、ダイス取り付け面は、使用においていかなる特定の方向性も有する必要がない。
【００６８】
図６Ａに示すトップＬＧＡパッケージにおいては、ダイスは、電気的接続を形成するために基板の上側金属レイヤ上のワイヤボンドサイトの上にワイヤボンドされている。ダイス６１４とワイヤボンド６１６とは、処理操作を促進するために周囲や機械的なストレスに対しての保護を供給するモールディングコンパウンド６１７によってカプセル化される。本実施形態でのカプセル体６１７は、ダイス６１４の上側表面の多くがカプセル体にカバーされないように、例えば、ワイヤボンド、トップパッケージ基板およびトップパッケージダイスのそれぞれの接続箇所だけを包むように形成される。トップパッケージ６００は、ボトムパッケージ４００の上に載せられ、接着剤を用いて接着される。はんだマスク６１５，６２７は、電気接続のための接続位置で基礎となる金属を接触させるように、金属レイヤ６２１，６２３上に形成されている。例えば、ワイヤボンドサイトはワイヤボンド６１６を接続するためのものである。
【００６９】
積み重ねられたトップパッケージ６００とボトムパッケージ４００との間のｚ軸相互接続は、それぞれのパッケージ基板の上側の金属レイヤに接続しているワイヤボンド６１８によって形成される。マルチパッケージモジュールの構成は、モジュールカプセル体６０７の構造により保護され、そして、はんだボール４１８は、マザーボード（図示しない）のような基礎的な電気回路と接続するため、ボトムパッケージ基板の下側の金属レイヤに露出しているはんだボールパッドの上にリフローされる。
【００７０】
この構成の利点は、コストが削減されることである。部分的カプセル化は、ラインにおいてワイヤボンド工程と共に実行され（例えば、細いノズルを通しての分配、中空の針を通して注射器から分配）、その結果、より高いスループットが供給され、カプセル材料の使用量は減少する。部分的カプセル化の後、トップＬＧＡパッケージは、トップパッケージワイヤボンドを傷つけないようにするための特別な処理を使うことなくテストすることができる。
【００７１】
図６Ａに例示すようなマルチパッケージモジュールから熱放散を改良させるために、ヒートスプレッダは、トップパッケージの上に供給される。トップヒートスプレッダは、熱伝導性の物質から形成され、その上側表面の少なくともより中心領域が、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするために、ＭＰＭの上側表面で周囲に向けて露出している。トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（銅などの）であり、それはモールディング材料硬化処理の間にＭＰＭカプセル体に添付される。または、ヒートスプレッダは、トップパッケージの上に略平面な部分と、ボトムパッケージ基板の上側表面上、またはその近くに配置されている周辺の支持部または支持部材を有している。
【００７２】
一例として、図６Ｂは、本発明の他の実施形態によるＢＧＡ＋ＬＧＡのＭＰＭ６２を示す断面図である。その中で、「トップ」ヒートスプレッダはＭＰＭの上側表面に設けられている。ＭＰＭ６２で積み重ねられたパッケージの構成は、一般に図６ＡにおけるＭＰＭ６０の構成に類似していて、同様な構成は各図中の参照符号によって識別される。この例におけるトップヒートスプレッダは、熱伝導性の物質から形成され、トップパッケージの上に位置する略平面な中央部分６４４と、ボトムパッケージ基板４１２の上側表面に向けて延びている周辺の支持部６４６を有している。平面部分６４４の上側表面は、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするために、ＭＰＭ上側表面で周囲に向けて露出している。トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（銅などの）から形成され、例えば打ち抜きを行うことによって形成される。支持部６４６は、任意で、接着剤（図示しない）を使って、ボトムパッケージ基板の上側表面に取り付けられ得る。マルチパッケージモジュールの構成は、モジュールカプセル体６０７の構成によって保護されて、ヒートスプレッダ支持部は、モールディング材料硬化処理プロセスの間にＭＰＭカプセル体６０７に封入される。図６Ｂの形態において、凹入部６４５のようなステップは、ヒートスプレッダの上側の平面部分６４４の外周に供給され、モールディングコンパウンドからレイヤ割れするのを減少させて構造についてのより機械的な完全性を得ることができる。この形態では、ヒートスプレッダ６４４の下側表面とダイス６１４の上側表面との間のスペースは、ＭＰＭモールドのレイヤにより満たされる。そして、そのレイヤは十分に薄いので、ヒートスプレッダ６４４は、ＬＧＡモールド６１７の周辺に干渉しない。
【００７３】
また、図６Ａの形態におけるようなＭＰＭは、支持部を有さず単に平面のヒートスプレッダを提供され得る。それはトップパッケージモールドの上側表面に取り付けられない。このような形態においては、図５Ｄの形態のように、トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（例えば銅）のような熱伝導性の材料からなる略平面なものである。そして、少なくとも平面のヒートスプレッダの上側表面のより中央の領域は、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするため周囲に向けて露出している。ここでは、図６Ｂの形態において、平面のヒートスプレッダの下側表面とダイス６１４の上側表面との間の隙間は、ＭＰＭモールドのレイヤによって満たされている。そして、それは十分に薄いので、ヒートスプレッダ６４４は、ＬＧＡモールド６１７の周辺に干渉しない。そしてここでは、図６Ｂの形態のように、そのような単に平面のヒートスプレッダは、モールディング材料硬化処理プロセスの間にＭＰＭカプセル体６０７に取り付けられる。そのような取り付けられない単に平面のトップヒートスプレッダの周囲は、図５Ｄの取り付けられた平面のヒートスプレッダのように、外周上に凹入部のようなステップを与えられてもよく、これにより、ＭＰＭモールディング材料によってカプセル化することができ、また、モールディングコンパウンドからレイヤ割れするのを減少させて構造についてのより機械的完全性を得ることができる。
【００７４】
更に代案として、図６Ａに示すような形態において、単に平面のヒートスプレッダのトップパッケージ６００への接続を許容するために、単に平面のトップヒートスプレッダの下側表面とダイス６１４の上側表面との間にスペーサが設けられる。スペーサは、ダイスとヒートスプレッダとに接着剤を用いて添付される。または、スペーサは、ヒートスプレッダの全体やスペーサ部として形成される。そのような形態においては、ヒートスプレッダのスペーサ部の下側表面は、ダイスの上側表面に接着剤を用いて取り付けられる。スペーサは、熱伝導性材料であるのが好ましく、そして、接着剤は、改良された熱放散を供給するため、熱伝導性接着剤であるのがよい。そのような形態では、トップヒートスプレッダは、トップパッケージモールドが少なくとも部分的に硬化処理された後で、モールディング材料がＭＰＭカプセル体６０７に注入される前に、トップパッケージモールドに取り付けられる。トップヒートスプレッダの外形は、ＭＰＭモールディング材料でカプセル化される。図５Ｄの形態のように、凹入部のようなステップは、単に平面のヒートスプレッダの外周に供給され、モールディングコンパウンドからレイヤ割れするのを減少させて構造についてのより機械的な完全性を得ることができる。
【００７５】
図６Ｂに例示するように、ヒートスプレッダを有しているＭＰＭ構造は改良された熱性能を供給することができる。
【００７６】
図７は、本発明の別の形態による積み重ねられたマルチパッケージモジュールを示す断面図である。図７では、トップＬＧＡパッケージはＢＧＡボトムパッケージの上に積み重ねられており、単一の金属レイヤである基板がトップＬＧＡパッケージとして用いられている。その他の点について、図７に示されている構成は、実質的に図５Ａに示されている。したがって、この形態では、ボトムパッケージ４００は、図５Ａに詳述されているように構成され、トップパッケージ７００は、トップパッケージ基板の構成の違いを除いて、図５Ａに詳述されているように概ね構成される。特に、トップパッケージ７００は、単一金属レイヤ７２１を有するトップパッケージ基板７１２の上に取り付けられるダイス７１４を備えており、特殊な電気回路を供給するように形成されている。ダイスは、通常、一般にダイス接着エポキシと称され、図７において７１３で示される接着剤を使って基板の表面に接着される。そして、図７の構成において、ダイスが接着される基板の表面は、「上側」表面と称され、その表面上の金属レイヤは「上側」金属レイヤまたは「トップ」金属レイヤと称される。しかし、ダイス取り付け面は、使用においていかなる特定の方向性も有する必要がない。
【００７７】
図７の形態に示すトップＬＧＡパッケージにおいては、ダイスは電気的接続を形成するために基板の上側金属レイヤ上のワイヤボンドサイトの上にワイヤボンドされている。ダイス７１４とワイヤボンド７１６とは、処理操作を促進するために周囲や機械的なストレスに対して保護を供給するモールディングコンパウンド７１７によってカプセル化される。図７に示す形態におけるカプセル体７１７は、ダイスだけでなくワイヤボンドおよびそれらの接続部もカバーし、カプセル体はダイス全体と相互接続との上に表面７１９を有するように図５Ａの形態のように形成される。好適には、このカプセル体は代わりに図６Ａの形態に示すように形成されてもよい。即ち、それは、ワイヤボンド、トップパッケージ基板およびトップパッケージダイスのそれぞれの接続箇所のみを包むように形成されることとしてもよい。これにより、ダイスの上側表面の多くは、カプセル体によってカバーされない。トップパッケージ７００は、ボトムパッケージ４００の上に積み重ねられ、符号７０３で示される接着剤を用いて接着される。はんだマスク７１５は、電気接続するための接続位置で基礎となる金属を露出するように、金属レイヤ７２１上に形成されている。例えば、ワイヤボンドサイトはワイヤボンド７１６を接続するためのものである。
【００７８】
積み重ねられたトップパッケージ７００とボトムパッケージ４００との間のｚ軸相互接続は、それぞれのパッケージ基板の上側の金属レイヤに接続しているワイヤボンド７１８によって形成される。マルチパッケージモジュールの構成は、モジュールカプセル体７０７の構造により保護され、そして、はんだボール４１８は、マザーボード（図示しない）のような基礎的な電気回路と接続するため、ボトムパッケージ基板の下側の金属レイヤに露出しているはんだボールパッドの上にリフローされる。
【００７９】
この構成の利点は、トップＬＧＡパッケージに２つの金属レイヤからなる基板を有している構成の場合に比して、１つの金属レイヤからなる基板による低コストのため、コストが削減されることである。さらに、この構成は、単一金属レイヤからなる基板が２つまたはそれ以上の金属レイヤを有している基板より薄いので、低いパッケージ外形を供給する。
【００８０】
図８は、本発明の他の実施形態によるＢＧＡ＋ＬＧＡのＭＰＭ８０を示す断面図である。その中で、ヒートスプレッダと電気遮蔽材とはボトムパッケージに設けられている。図８に例示される形態では、ボトムボールグリッドアレイ「ＢＧＡ」パッケージ４０２の上に積み重ねられたトップランドグリッドアレイ（「ＬＧＡ」）パッケージ８００を備える。その中で、トップＬＧＡパッケージは、一般に、図５Ａに示すトップＬＧＡパッケージのように構成される。好ましくは、図６Ａに詳述されているようなただ単一金属レイヤを有するＬＧＡが、図８Ａの形態におけるトップＬＧＡに代わりに用いられ得る。図８Ａにおいて、トップパッケージ８００は、図１に例示するＢＧＡパッケージに似ている。しかし、基板の下側表面の接続パッドに設置されるはんだボールを有しない。特に、この例では、トップパッケージ８００は、少なくとも１つの金属レイヤを有するトップパッケージ基板８１２に取り付けられるダイス８１４を備える。なお、様々な基板タイプのいずれもが使われ得る。図８Ａに例示されているトップパッケージ基板８１２は、２つの金属レイヤ８２１，８２３を有し、それぞれは特殊な電気回路を供給するように形成され、バイアス８２２によって互いに接続されている。ダイスは、通常、一般にダイス接着エポキシと称され、図８Ａにおいて８１３で示される接着剤を使って基板の表面に接着される。そして、図８Ａの構成において、ダイスが接着される基板の表面は、「上側」表面と称され、その表面上の金属レイヤは「上側」または「トップ」金属レイヤと称される。しかし、ダイス取り付け面は、使用においていかなる特定の方向性も有する必要がない。
【００８１】
図８Ａの形態に示すトップＬＧＡパッケージにおいては、ダイスは電気的接続を形成するために基板の上側金属レイヤ上のワイヤボンドサイトの上にワイヤボンドされている。ダイス８１４とワイヤボンド８１６とは、処理操作を促進するために周囲や機械的なストレスに対して保護を供給するモールディングコンパウンド８１７によってカプセル化される。はんだマスク８１５，８２７は、電気接続するための接続位置で基礎となる金属を露出するように、金属レイヤ８２１，８２３上に形成されている。例えば、ワイヤボンドサイトはワイヤボンド８１６を接続するためのものである。
【００８２】
図８Ａの形態において、ボトムＢＧＡパッケージ４０２は、後述するように、図８ＡのボトムＢＧＡパッケージがモールディングコンパウンドによってカプセル化されず、その代わりに電気遮蔽材としてさらに機能し得るヒートスプレッダによって供給されることを除いて、図１で示すような従来のＢＧＡパッケージである。従って、この形態では、ボトムパッケージ４０２は、少なくとも１つの金属レイヤを有するボトムパッケージ基板４１２の上に取り付けられるダイス４１４を備える。なお、様々な基板タイプのいずれもが使われ得る。例えば、２から６つの金属レイヤを有するラミネート、または４から８つの金属レイヤを有する基板、あるいは１または２つの金属レイヤを有する柔軟なポリイミドテープ、またはセラミックのマルチレイヤ基板も含まれる。図８Ａに例示されているボトムパッケージ基板４１２は、２つの金属レイヤ４２１，４２３を有し、それぞれは特殊な電気回路を供給するように形成され、バイアス４２２によって互いに接続されている。ダイスは、通常、図８Ａにおいて４１３で示されている一般にダイス接着エポキシと称される接着剤を使って、基板の表面に接着される。そして、図８Ａの構成において、ダイスが接着される基板の表面は、「上側」表面と称され、その表面の金属レイヤは「上側」金属レイヤと称される。しかし、ダイス取り付け面は、使用においていかなる特定の方向性も有する必要がない。
【００８３】
図８Ａに示すボトムＢＧＡパッケージにおいては、ダイスは、電気的接続を形成するために基板の上側金属レイヤ上のワイヤボンドサイトにワイヤボンドされている。はんだボール４１８は、例えば、コンピュータのような最終製品のマザーボード（図示しない）の基礎的な電気回路との相互接続を提供するため、基板の下側の金属レイヤ上のモールディングパッドの上にリフローされる。はんだマスク４１５，４２７は、電気的な接続のための接続位置で基礎的な金属を露出するように金属レイヤ４２１，４２３上で形成される。例えば、ワイヤボンドサイトと接続パッドとはワイヤボンド４１６とはんだボール４１８とを接続するためのものである。
【００８４】
マルチパッケージモジュール８０のボトムＢＧＡパッケージ４０２は、金属製の（例えば、銅）ヒートスプレッダを備えている。それは、下側のＢＧＡのダイスからの電磁放射線を電気で抑制するための電気遮蔽材としてさらに機能する。その結果、上側パッケージのダイスとの干渉を予防する。ヒートスプレッダ４０６の「トップ」平面部は、基板４１２上のダイス４１４上に、脚または側壁４０７によって支えられる。接着剤のスポットまたはライン４０８は、ボトム基板の上側表面にヒートスプレッダサポート４０７を取り付ける役目をする。接着剤は、導電性の接着剤とすることができ、そして、基板４１２の上側の金属レイヤ４２１に、特に、回路の接地層に電気的に接続されることができる。その結果、電気遮蔽材としてのヒートスプレッダを形成する。または、接着剤は、導電性を有しない接着剤とすることができ、そのような構成では、ヒートスプレッダは熱拡散装置としてのみ機能する。ヒートスプレッダ４０６の支持部と上面部とは、ダイス４１４とワイヤボンド４１６とを囲み、そして、処理操作を促進するために周囲や機械的なストレスから、特に、ＭＰＭ組み立て前のテストの間で、これらの構造を保護する役目をする。
【００８５】
マルチパッケージモジュール８０のトップパッケージ８００は、ヒートスプレッダ／遮蔽材４０６の平面上のボトムパッケージ４０２上に積み重ねられて、接着剤８０３を使って取り付けられる。熱放散を改善するために、接着剤８０３は熱伝導性である。そして、ＬＧＡパッケージ基板の下側の金属レイヤにヒートスプレッダ４０６の電気接続を形成するために、接着剤８０３は導電性とすることができる。または、電気的に絶縁しているため、電気接続を防止し得る。
【００８６】
本発明によるトップパッケージ８００とボトムパッケージ４０２との間のｚ軸相互接続は、トップパッケージ基板８１２の縁部のトップパッケージ相互接続パッドとボトムパッケージ基板４０２の縁部のボトムパッケージ相互接続パッドとの間でワイヤボンド８１８によって形成される。ワイヤボンドはアップ接続またはダウン接続のどちらかで形成される。マルチパッケージモジュールの構成は、モジュールカプセル体８０７の構造により保護される。隙間は、カプセル封入の間に囲まれたスペースを埋めるためのＭＰＭモールディング材料を与えるために、ヒートスプレッダの支持部４０７によって形成される。
【００８７】
はんだボール４１８は、マザーボード（図示しない）のような基礎的な電気回路と接続するため、ボトムパッケージ基板の下側の金属レイヤに露出しているはんだボールパッドの上にリフローされる。
【００８８】
上述のように、本発明の構成は、マルチパッケージモジュールの組み立て前に、ＢＧＡとＬＧＡの両方のプレテストをすることができ、また、組み立てより先に適合しないパッケージの廃棄を可能にする。そして、それによって、高い最終モジュールテストの歩留まりを確実にすることができる。
【００８９】
マルチパッケージモジュールからの熱放散を改良するために、ヒートスプレッダはトップパッケージ上に設けることができる。トップヒートスプレッダは、熱伝導性の物質から形成され、その上側表面の少なくともより中心領域が、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするために、ＭＰＭの上側表面で周囲に向けて露出している。トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（銅などの）であり、それはモールディング材料硬化処理プロセスの間にＭＰＭカプセル体に添付される。または、ヒートスプレッダは、トップパッケージの上に略平面な部分と、ボトムパッケージ基板の上側表面上、またはその近くに配置されている周辺の支持部または支持部材を有している。
【００９０】
一例として、図８Ｂは、本発明の別の形態によるＢＧＡ＋ＬＧＡのＭＰＭ８２を示す断面図である。その中で、「トップ」ヒートスプレッダはＭＰＭの上側表面に設けられている。ＭＰＭ８２で積み重ねられたパッケージの構成は、一般に図８ＡにおけるＭＰＭ８０の構成に類似していて、同様な構成は各図中の参照符号によって同一視される。この例におけるトップヒートスプレッダは、熱伝導性の物質から形成され、トップパッケージの上に位置する略平面な中央部分８０４と、ボトムパッケージ基板４１２の上側表面に向けて延びている周辺の支持部８０６を有している。平面部分８０４の上側表面は、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするために、ＭＰＭ上側表面で周囲に向けて露出している。トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（銅などの）から形成され、例えば打ち抜きすることによって形成される。支持部８０６は、任意で、接着剤（図示しない）を使ってボトムパッケージ基板の上側表面に取り付けられ得る。マルチパッケージモジュールの構成は、モジュールカプセル体８０７の構成によって保護されて、ヒートスプレッダ支持部は、モールディング材料硬化処理の間にＭＰＭカプセル体８０７に封入される。図８Ｂの形態において、凹入部８０５のようなステップは、ヒートスプレッダの上側の平面部分８０４の外周に供給され、モールディングコンパウンドからレイヤ割れするのを減少させて構造についてのより機械的な完全性を得ることができる。この形態において、ヒートスプレッダ８０４の下側表面とＬＧＡモールド８１７の上側表面８１９との間のスペースは、ＭＰＭモールドの薄いレイヤにより満たされる。
【００９１】
代わりに、トップヒートスプレッダは、支持部を有さず、例えば、金属板（銅などの）などの熱伝導性の材料の概ね平面のものとしてもよい。平面のヒートスプレッダの上側表面の少なくともより中心領域は、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするために周囲に露出している。そのような単に平面のヒートスプレッダは、ヒートスプレッダがトップパッケージモールドの上側表面に取り付けられる場合に、図８Ｃにおいて８４４で示される。しかし、図８Ｂでは、ヒートスプレッダは、トップパッケージモールドの上側表面に接続されない。その代わりに、単に平面のヒートスプレッダの下側表面とＬＧＡモールド８１７の上側表面８１９との間のスペースは、ＭＰＭモールドの薄いレイヤによって満たされており、そのような単に平面のヒートスプレッダは、モールディング材料硬化処理の間にＭＰＭカプセル体８０７に取り付けられる。単に平面のトップヒートスプレッダの外形は、図８Ｂのような形態において、ＭＰＭモールディング材料でカプセル化され得る。そして、モールディングコンパウンドからレイヤ割れするのを減少させて構造についてのより機械的な完全性を得るため、外周に凹入部のようなステップ（図８Ｃに示す単に平面のトップヒートスプレッダ８４４における凹入部８４５参照）を備える。
【００９２】
あるいは、図８Ｃの断面図に示すように、トップヒートスプレッダはＬＧＡモールドの上側表面に取り付けられ得る。ＭＰＭ８４で積み重ねられたパッケージの構成は、一般に図８ＡにおけるＭＰＭ８０の構成に類似していて、同様な構成は各図中の参照符号によって識別される。図８Ｃにおけるトップヒートスプレッダ８４４は、図８Ｂにおけるように、その上側表面の少なくともより中心領域が、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするために周囲に露出している熱伝導性の物質で略平面なものである。トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（銅のような）である。しかし、ここでは、トップヒートスプレッダ８０４は、接着剤８４６を使用して上側のパッケージカプセル体８１７の上側表面８１９に取り付けられる。接着剤８４６は、改良された熱放散を提供するため、熱伝導性の接着剤である。通常、トップヒートスプレッダは、トップパッケージモールドが少なくとも部分的に硬化処理された後で、モールディング材料がＭＰＭカプセル体８４７に注入される前に、トップパッケージモールドに取り付けられる。トップヒートスプレッダの周囲は、ＭＰＭモールディング材料によってカプセル化される。図８Ｃの形態において、凹入部８４５のようなステップが、ヒートスプレッダ８４４の外形に供給され、モールディングコンパウンドからレイヤ割れするのを減少させて構造についてのより機械的な完全性を得ることができる。
【００９３】
図８Ａ，８Ｂ，８Ｃに示すような構成の利点は、有効な熱性能であり、そして、任意のボトムパッケージでの電気遮蔽である。そして、それは特に重大な危機となり得る。例えば、ＭＰＭにおいて、それはＲＦとデジタルチップとを接続する。全てのアプリケーションについてボトムパッケージヒートスプレッダとトップヒートスプレッダとの両方を備える必要はない。いずれか一方または他方が、最終製品のニーズに応じて用いられる。
【００９４】
図９Ａは、本発明の他の実施形態に係るマルチパッケージモジュールを示している断面図である。本図において、下向きダイスであるフリップチップＢＧＡはＬＧＡを積み重ねられている。下側のＢＧＡにおいて、ダイスは基板と接続されたフリップチップであり、ダイスと基板の間のスペースはアンダーフィルされる。このＢＧＡはＭＰＭに組み込まれる前にテストされ得る。ダイスの裏面は、接着剤によってトップＬＧＡを取り付け可能である。ワイヤボンドによってモジュール基板へのトップＬＧＡのｚ軸相互接続がされ、ＭＰＭは形成される。この構成の主要な利点は、ＢＧＡの上のフリップチップ接続が高い電気的性能を備えることである。
【００９５】
図９Ａに関して、ボトムＢＧＡフリップチップパッケージは、パターン付けられた金属レイヤ３２１を有している基板３１２を備える。そして、その上に、はんだ隆起部、金のスタッド隆起部、または異方的に案内するフィルムまたはペーストなどのフリップチップ隆起部３１６によってダイス３１４が接続される。なお、様々な基板タイプのいずれもが使われ得る。図９Ａに例示されたボトムパッケージ基板３１２は、２つの金属レイヤ３２１，３２３を有しており、それぞれは適切な電気回路を提供するために形成されて、バイアス３２２によって接続されている。フリップチップ隆起部は、ダイスの機能面が、基板の上向きに面してパターン付けられた金属レイヤに関連して下向きに面するように、ダイスの機能面上の隆起パッドのパターン付けられた配列に取り付けられる。そのような配置は、下向きダイスフリップチップパッケージと称することができる。ダイスと基板との間のポリマーアンダーフィル３１３は、周囲からの保護を提供し、そして構造についての機械的な完全性を付加する。
【００９６】
マルチパッケージモジュール９０のトップＬＧＡパッケージ９００は、一般に、図７に示すマルチパッケージモジュール７０のトップＬＧＡパッケージ７００に類似して構成される。特に、トップパッケージ９００は、適切な電気回路を提供するためにパターン付けられている単一金属レイヤ９２１を有しているトップパッケージ基板９１２の上に取り付けられているダイス９１４を備える。ダイスは、通常、図９Ａにおいて９１３で示されている一般にダイス接着エポキシと称される接着剤を使って、基板の表面に接着される。そして、図９Ａの構成において、ダイスが接着される基板の表面は、「上側」表面と称することができ、それに応じて、この基板の上の金属レイヤは「上側」金属レイヤまたは「トップ」金属レイヤと称することができる。しかし、ダイス取り付け面は、使用においていかなる特定の方向性も有する必要がない。
【００９７】
図９Ａの形態におけるトップＬＧＡパッケージにおいて、ダイスは、電気的接続を形成するために基板の上側金属レイヤ上のワイヤボンドサイトにワイヤボンドされている。ダイス９１４とワイヤボンド９１６は、処理操作を促進するために、周囲および機械的なストレスからの保護を提供するモールディングコンパウンド９１７でカプセル化される。図９Ａに示す形態におけるカプセル体９１７は、ダイスだけでなくワイヤボンドとそれらの接続部もカバーし、カプセル体はダイス全体と相互接続との上に表面９１９を有している。好ましくは、このカプセル体の代わりに図６Ａの形態に示すように形成されてもよい。即ち、それは、ワイヤボンド、トップパッケージ基板およびトップパッケージダイスのそれぞれの接続部のみを包むように形成されてもよい。したがって、ダイスの上側表面の多くは、カプセル体によってカバーされていなくてもよい。トップパッケージ９００は、ボトムパッケージ３００上に積み重ねられて、９０３で示される接着剤を使って取り付けられる。はんだマスク９１５は、電気的接続のための接続位置、例えば、ワイヤボンド９１６を接続するためのワイヤボンドサイトで、基礎となる金属を露出するように金属レイヤ９２１上に形成される。
【００９８】
積み重ねられたトップパッケージ９００およびボトムパッケージ３００間のｚ軸相互接続は、それぞれのパッケージ基板のトップ金属レイヤを接続しているワイヤボンド９１８を介して形成される。マルチパッケージモジュールの構成は、モジュールカプセル体９０７の構成によって保護される。はんだボール３１８は、コンピュータなどの最終製品のマザーボード（図示しない）などの基礎的な電気回路との接続のため、ボトムパッケージ基板の下側の金属レイヤの露出されたはんだボールパッドの上にリフローされる。はんだマスク３１５，３２７は、電気的な接続のための接続位置で基礎的な金属を露出するように金属レイヤ３２１，３２３上で形成される。例えば、ワイヤボンドサイトと接続パッドはワイヤボンド９１８とはんだボール３１８とを接続するためのものである。
【００９９】
図９Ａに例として詳述されている下向きダイスの状態のフリップチップＢＧＡの上に積み重ねられたＬＧＡを有している構成は、図８Ｂまたは８Ｃに示すようにヒートスプレッダ／電気遮蔽材によって概ね組み立てられ得る。したがって、図９Ｂは、本発明の他の実施形態に係るマルチパッケージモジュールを示している断面図である。それにおいて、下向きダイスの状態のフリップチップＢＧＡは、図９Ａの形態のように、ＬＧＡを積み重ねられて、そして、下側のＢＧＡにヒートスプレッダ／遮蔽材が供給される。
【０１００】
特に、図９Ｂに示すように、マルチパッケージモジュール９２のボトムＢＧＡパッケージ３００には、金属（例えば銅）ヒートスプレッダが提供される。それは、下側のＢＧＡにおいてダイスからのいかなる電磁放射線であっても電気的に抑制するための電気遮蔽材としてさらに機能する。その結果、上側のパッケージにおいてダイスとの干渉を防止する。ヒートスプレッダ９０６の「トップ」の平面部は、基板３１２の上であって、ダイス３１４の上にある脚または側壁９０９によって支持される。接着剤のスポットまたはライン９０８は、ヒートスプレッダ支持部９０９を底の基板の上側表面に取り付ける役目を有する。接着剤は導電性の接着剤とすることができ、基板３１２のトップの金属レイヤ３２１、特に、回路の接地面に電気的に接続され得る。従って、電気遮蔽材としてヒートスプレッダを確立することができる。または、接着剤は非導電性とすることができ、そのような構成の場合、ヒートスプレッダは、熱拡散装置としてのみ作用する。ヒートスプレッダ９０６の支持部および上部は、ダイス３１４を取り囲んでおり、処理操作を促進するため、特に、ＭＰＭを組み立てる前のテストの間で、周囲や機械的なストレスから保護するために役立つ。
【０１０１】
マルチパッケージモジュール９２のトップパッケージ９００は、ボトムパッケージ３００上でヒートスプレッダ／シールド９０６の平面上に積み重ねられて、接着剤９０３を使って取り付けられる。接着剤９０３は、熱放散を改善するために熱伝導性とすることができる。また、接着剤９０３は、ＬＧＡパッケージ基板の下側の金属レイヤとヒートスプレッダ９０６との電気的な接続を形成するために、導電性とすることができる。または、電気的に絶縁している状態とすることができ、その結果、電気的な接続を防止することができる。
【０１０２】
本発明によるトップパッケージ９００とボトムパッケージ３００との間のｚ軸相互接続は、トップパッケージ基板９１２の縁部のトップパッケージ相互接続パッドとボトムパッケージ基板３００の縁部のボトムパッケージ相互接続パッドとの間でワイヤボンド９１８によって形成される。ワイヤボンドは、上側接続または下側接続のどちらかの方法で成形されてもよい。マルチパッケージモジュールの構成は、モジュールカプセル体９０７の構成によって保護される。隙間は、カプセル化の間にＭＰＭモールディング材料に囲まれたスペースを埋めさせるために、ヒートスプレッダの支持部９０７によって提供される。
【０１０３】
はんだボール３１８は、マザーボード（図示しない）などの基礎的な電気回路との接続のため、ボトムパッケージ基板３００の下側の金属レイヤ上の露出されたはんだボールパッドの上にリフローされる。
【０１０４】
好ましいことに、本発明による構成は、マルチパッケージモジュールへ組み込む前にＢＧＡとＬＧＡ両方のプレテストを可能とし、組み立てに先がけて適合しないパッケージの廃棄をすることが可能となる。その結果、高い最終的なモジュールテスト歩留まりを確実にすることができる。
【０１０５】
本実施形態によるフリップチップボトムパッケージのプロセッサチップは、例えば、ＡＳＩＣ、ＧＰＵ、ＣＰＵであり、ＡＳＩＣがよく用いられる。そして、トップパッケージは、メモリパッケージまたはＡＳＩＣパッケージである。トップパッケージがメモリパッケージである場合には、それは積み重ねられたダイスメモリパッケージであってもよい。シールドされたフリップチップ下向きダイスボトムパッケージは、より高速のアプリケーション、特に、モバイル通信アプリケーションと同様のＲＦ周波数処理に特に適している。
【０１０６】
付加的に、（図９Ａまたは９Ｂに示されているように）下向きダイス構成のフリップチップボトムパッケージを有しているＭＰＭは、ヒートスプレッダを与えられる。
【０１０７】
図９Ａまたは９Ｂに例示するように、マルチパッケージモジュールから改善された熱放散のために、ヒートスプレッダはトップパッケージの上に与えられる。トップヒートスプレッダは、熱伝導性の物質から形成され、その上側表面の少なくともより中心領域が、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするために、ＭＰＭの上側表面で周囲に向けて露出している。トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（銅などの）であり、それはモールディング材料硬化処理の間にＭＰＭカプセル体に取り付けられる。または、ヒートスプレッダは、トップパッケージの上に略平面な部分と、ボトムパッケージ基板の上側表面上、またはその近くに配置されている周辺の支持部または支持部材を有している。
【０１０８】
例として示す図９Ｃは、本発明の他の実施形態に係るＢＧＡとＬＧＡとが積み重ねられたＭＰＭ９４を示している断面図である。それにおいて、トップヒートスプレッダはＭＰＭの上側表面に与えられている。ＭＰＭ９４における積み重ねられたパッケージの構成は、一般に図９ＢにおけるＭＰＭ９２の構成に類似していて、同様な構成は各図中の参照符号によって同一視される。この例におけるトップヒートスプレッダは、熱伝導性の物質から形成され、トップパッケージの上に位置する略平面な部分９４４と、ボトムパッケージ基板３１２の上側表面に向けて延びている周辺の支持部９４６を有している。平面部９４４の上側表面は、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするためにＭＰＭの上側表面で周囲に向けて露出する。トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（銅などの）から、例えば打ち抜きすることによって形成される。支持部９４６は、任意で、接着剤（図示しない）を使って、ボトムパッケージ基板の上側表面に取り付けられ得る。マルチパッケージモジュールの構成は、モジュールカプセル体９０７の構成によって保護されて、ヒートスプレッダの支持部はモールディング材料硬化処理プロセスの間にＭＰＭカプセル体９０７に嵌め込まれる。図９Ｃにおいて、凹入部９４５のようなステップがヒートスプレッダの上部平面９４４の外周に供給され、モールディングコンパウンドからレイヤ割れするのを減少させて構造についてのより機械的な完全性を得ることができる。本実施形態において、ヒートスプレッダ９４４の下側表面とダイス９１４の上側表面との間のスペースは、ＭＰＭモールドのレイヤにより満たされている。そして、ヒートスプレッダ９４４は周辺のＬＧＡモールド９１７と干渉しない程度に十分な厚さである。
【０１０９】
代わりに、図９Ａまたは９Ｂに示すようなＭＰＭは、支持部を有さず、単に平面のヒートスプレッダを提供され得る。そのような単に平面のヒートスプレッダは、トップパッケージモールド５１７の上側表面５１９に、接着剤を使って取り付けられる。または、その代わりに、図９Ａまたは９Ｂに示すＭＰＭは、トップパッケージモールドの上側表面に取り付けられない単に平面のヒートスプレッダを提供され得る。そのような形態において、図５Ｄに示すように、トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（銅などの）などのような熱伝導性の物質で略平面なものとすることができる。そして、平面状のヒートスプレッダの上側表面の少なくともより中心領域が、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするために、ＭＰＭの上側表面で周囲に向けて露出されている。ここで、図９Ｃに示すように、平面状のヒートスプレッダの下側表面とトップパッケージ９００の間のスペースは、ＭＰＭのレイヤによって満たされる。そして、ここで、図９Ｃに示すように、そのような単に平面状のヒートスプレッダは、モールディング材料硬化処理プロセスの間にＭＰＭカプセル体９０７に取り付けられる。そのような接続されていない単に平面状のトップヒートスプレッダの周囲は、図５Ｄに示す接続された平面状のヒートスプレッダの場合のように、ＭＰＭモールディング材料によってカプセル化され得る。そして、その周囲には、凹入部のようなステップが設けられ、モールディングコンパウンドからレイヤ割れするのを減少させて構造についてのより機械的な完全性を得ることができる。
【０１１０】
図９Ｃに例示するようなヒートスプレッダを有するＭＰＭの構成は、改善された熱性能を提供することができる。
【０１１１】
本発明によるＭＰＭのボトムパッケージは、上向きダイス構成でフリップチップパッケージとすることができる。この場合、ボトムパッケージダイスはボトムパッケージ基板の下側表面に配置される。普通、そのような構成のボトムパッケージダイス取り付け領域は、基板のほぼ中央の領域に位置され、そして、第２次相互接続ボールは、基板の縁部のうち２つまたは４つ（一般にはそれ以上）の近くに周辺的に配置される。上向きダイスフリップチップとそのフリップチップ相互接続構成は、第２次相互接続構成のスタンドオフ高さ範囲内に位置していて、それに応じて、そのような構成におけるボトムパッケージダイスは、ＭＰＭの全厚さに何も寄与しない。さらに、上向きダイス構成は、一般に下向きダイス構成の結果として生じるネットリストが逆になる効果を避けることができる。
【０１１２】
特に、例として、図１０Ａは、本発明の別の形態に従ったマルチパッケージモジュール１０１を示している断面図ある。この場合、ダイスが積み重ねられたランドグリッドアレイパッケージ１０００は、上向きダイス構成３０２のフリップチップＢＧＡの上に積み重ねられて、積み重ねられたパッケージはワイヤボンドによって相互接続される。ボトムＢＧＡパッケージ３０２では、ダイス３４４はＢＧＡ基板３４２の下側に取り付けられる。
【０１１３】
図に示すように、ボトムパッケージダイスは、ボトムパッケージの下側の、周辺に配置されたはんだボールの間の領域にあるので、この構成はより薄いＭＰＭを提供する。そのような構成は、それがフリップチップ接続を備えるからだけでなく、より短い金属トレースを備え、そしてダイスとはんだボールとの間の接続のためのバイアス（図９Ａまたは９Ｂにおいて、構成に必要とされているように）を必要とせずに、ダイスのはんだボールへのより直接的な電気的接続を提供するので、より高い電気的性能を有することができる。さらに、いくつかのアプリケーションで要求される場合には、上向きダイス構成は、このパッケージにおけるワイヤボンディングにネットリスト互換性を可能にする。ネットリストとは、ダイスおよびはんだボール間のすべての接続対の合計である。ダイスが「下向きダイス」で上向きに面している場合には、それは、ダイスが「上向きダイス」で下向きに面している場合のように、同じダイスでの鏡像パターンである接続パターンを有している。
【０１１４】
図１０Ａに示すような構成において、トップＬＧＡパッケージは、ＢＧＡの上側に接着剤で取り付けられ、それから、ワイヤボンドされモールドされる。図１０Ａから１０Ｅに例示する形態において、１つ以上のダイス（２つまたは、それ以上）が、トップパッケージに積み重ねられる。積み重ねられたダイスパッケージは、パッケージの中に５つまで積み重ねられたダイスを有するバージョンとして産業においてよく設置される。ダイスは様々なサイズを有し、そして、積み重ねられたダイスパッケージのダイスは、同じまたは相対的に違うサイズを有する。ダイスは、一般に正方形または長方形であり、様々な寸法の長方形または正方形のダイスは、積み重ねられたダイスパッケージにおいて積み重ねられる。ダイスが長方形であるか、または様々な寸法を有している場合には、ダイスは、積み重ねた下側のダイスの縁部が、その上に積み重ねられた上側のダイスの縁部を越えるようにして積み重ねられる。図１０Ａで示すように、積み重ねた２つのダイスは、同じ大きさである。そのような形態、または積み重ねた上側のダイスが下側のダイスより大きい場合においては、スペーサは、すべてのダイスのＬＧＡ基板へのワイヤボンドを可能にするようにダイスの間で組み立てられる。図１０Ｂは、積み重ねた上側のダイスが下側のダイスより小さいか、または、その代わりに、ダイスが積み重ねた上側の縁部が積み重ねた下側の縁部を越えるように積み重ねられる例を示している。図１０Ｂのような形態において、スペーサは必要ではない。なぜなら、下側のダイスの投影している縁部のワイヤボンドサイトは、その上に積み重ねられるダイスからの干渉がない状態で、ワイヤボンドすることができるからである。
【０１１５】
図１０Ａに示すように、ボトムフリップチップＢＧＡパッケージ３０２は、ダイス３４４が、はんだ隆起部、金のスタッド隆起部、または異方的に案内するフィルムまたはペーストなどのフリップチップ隆起部３４６によって接続される部分にパターン付けられた金属レイヤ３５３を有している基板３４２を備える。様々な基板タイプのいずれも用いられ得る。図１０Ａに例として示されたボトムパッケージ基板３４２は、２つの金属レイヤ３５１、３５３を有しており、それぞれは適切な電気回路を提供するために形成されている。ボトムパッケージ基板３４２は、さらに、誘電性のレイヤ３５４、３５６の間にはさまれた金属レイヤ３５５を有する。金属レイヤ３５５は、金属レイヤ３５１，３５３のバイアスでの接続を可能とするために、所定の位置に空所を有している。その結果、それに応じて、パターン付けられた金属レイヤ３５１，３５３の所定の部分は、基板のレイヤ３５４，３５６を通して、そしてはさまれた金属レイヤ３５５の空所を通してバイアスによって接続される。パターン付けられた金属レイヤ３５３の所定の部分は、挟まれた金属レイヤ３５５に基板のレイヤ３５６を通してバイアスによって接続される。
【０１１６】
フリップチップ隆起部３４６は、ダイスの機能面上の隆起パッドの形成された配列に取り付けられ、そして、ダイスの機能面が、基板の下向きに面してパターン付けられた金属レイヤに関連して上向きに面する場合に、そのような配置は、「上向きダイス」フリップチップパッケージと称される。ダイスと基板のダイス取り付け領域との間のポリマーアンダーフィル３４３は、周囲からの保護を提供し、機械的な完全性を構成に追加する。
【０１１７】
上記のように、金属レイヤ３５１，３５３は、適切な電気回路を提供するためにパターン付けられて、挟まれた金属レイヤ３５５は、上側と下側の金属レイヤ３５１，３５３の所定のトレースの間で相互接続（挟まれた金属レイヤ３５５との接触のない）を可能とするために、所定の位置に空所を有する。特に、例えば、下側の金属レイヤは、チップ相互接続隆起部３５３に取り付け位置を提供するために、ダイス取り付け領域にパターン付けられる。そして、例えば、下側の金属レイヤは、第２次相互接続はんだボール３４８に取り付け位置を提供するために、ボトムパッケージ基板３４２の縁部のより近くにパターン付けられる。それによって、完成したＭＰＭは、基礎的な電気回路（図示しない）に、ソルダーリフローによって取り付けられる。そして特に、例えば、上側金属レイヤは、トップパッケージをボトムパッケージと接続しているワイヤボンドに取り付け位置を提供するように、ボトムパッケージ基板３４２の縁部の近くにパターン付けられる。金属レイヤ３５３の電気回路の接地ラインは、挟まれた金属レイヤ３５５にバイアスを通して接続される。そして、はんだボール３４８のうち所定のものは、グランドボールである。それは、ＭＰＭが取り付けられる時に、基礎的な電気回路の接地ラインに取り付けられる。したがって、挟まれた金属レイヤ３５５は、ＭＰＭのために接地面として役立つ。はんだボール３４８のうち所定の他のものは、インプット／アウトプットボールまたはパワーボールである。それに応じて、これらは金属レイヤ３５３の電気回路の中で、それぞれインプット／アウトプットまたはパワーライン上のはんだボール位置に取り付けられる。
【０１１８】
図１０Ａに示すように、トップパッケージ１０００は、積み重ねられたダイスランドグリッドアレイパッケージである。そして、それは、スペーサ１０１５によって分離され、トップパッケージ基板の上に積み重ねられているダイス１０１４，１０２４を有している。トップパッケージ基板は、上側の基板の表面に金属レイヤを有する誘電性のレイヤ１０１２を備え、そして、例えば１０３１のように、積み重ねられたダイスを有するトップパッケージ基板のワイヤボンド相互接続と、ボトムパッケージ基板を有するトップパッケージのワイヤボンド相互接続とに、取り付け位置を与えられたトレースを提供するようにパターン付けられている。下側のダイス１０１４は、ダイス接着エポキシなどの接着剤１０１３を使ってトップパッケージ基板のダイス取り付け領域に取り付けられる。ダイス１０１４は、ダイスの機能面上のワイヤボンドサイトを所定のトレース１０１１上のワイヤボンドサイトと接続しているワイヤボンド１０１６によってトップ基板と電気的に接続される。スペーサ１０１５は、接着剤（図示しない）を使って、下側のダイス１０１４の上側表面に添付される。そして、上側のダイス１０２４は、接着剤（図示しない）を使って、スペーサ１０１５の上側表面に添付される。スペーサは、上側のダイス１０２４の張り出している縁部がワイヤボンド１０１６に衝突しないように、クリアランスを提供するために十分に厚くなるように選ばれる。ダイス１０２４は、ダイスの機能面上のワイヤボンドサイトを所定のトレース１０１１上のワイヤボンドサイトと接続しているワイヤボンド１０２６によってトップ基板と電気的に接続される。トップパッケージ基板の上に積み重ねられたダイスとワイヤボンドのアセンブリは、トップパッケージの上側表面１０１９を提供していて、相互接続トレース１０１１の周縁部を露出したままにしておくモールディング材料１０１７でカプセル化される。トップパッケージ１０００は、この時点でテストされる。それから、ボトムパッケージ基板の上側表面のダイス取り付け領域の上に積み重ねられて、接着剤１００３を使って、添付される。トップとボトムパッケージの電気的な相互接続は、ボトムパッケージ基板の上側の金属レイヤのトレース３５１の上のワイヤボンドサイトと、トップパッケージ基板のトレース１０１１の上の露出されたワイヤボンドサイトとを接続しているワイヤボンド１０１８によってもたらされる。それから、ＭＰＭアセンブリは、パッケージとパッケージとを結合するワイヤボンドを保護するため、そして完成したＭＰＭ１０１において機械的な完全性を提供するためにモールド１００７でカプセル化される。
【０１１９】
上述されるように、本実施形態における上向きダイスフリップチップＢＧＡパッケージの上に積み重ねられたダイストップパッケージは、例えば、積み重ねたダイスの数に、そしてダイスの寸法に依存して、様々な構成を有する。例えば、図１０Ｂは、その断面図において、代わりのＭＰＭの構成１０３を示している。その中では、少なくとも、ＬＧＡは、２つの積み重ねられたダイスを有しており、上側のダイス１０４４は、下側のダイス１０３４より小さな寸法を有する。そのような構成の中には、下側のダイスの縁部のワイヤボンド接続サイトの上に上側のダイスの周縁部の突出がなく、したがって、スペーサを有することは不要である。図１０ＢのＭＰＭ１０３におけるボトムパッケージ３０２は、図１０ＡのＭＰＭ１０１におけるボトムパッケージに実質的に類似していて、対応する部分は同様に各図において識別される。ＭＰＭ１０３におけるトップパッケージ１０３０は、積み重ねられたダイスのランドグリッドアレイパッケージであり、トップパッケージ基板の上に積み重ねられているダイス１０３４，１０４４を備える。トップパッケージ基板は、上側の基板の表面に金属レイヤを有している誘電性のレイヤ１０１２を備える。そして、積み重ねられたダイスを有するトップパッケージ基板のワイヤボンド相互接続と、ボトムパッケージ基板を有するトップパッケージのワイヤボンド相互接続とに、接続位置を与えられるトレース、例えば１０３１を提供するようにパターン付けられている。下側のダイス１０３４は、ダイス接続エポキシなどの接着剤１０３３を使ってトップパッケージ基板のダイス接続領域に取り付けられる。ダイス１０３４は、所定のトレース１０３１上にワイヤボンドサイトとダイスの機能面の上のワイヤボンドサイトとを接続しているワイヤボンド１０３６によって、トップ基板と電気的に接続される。上側のダイス１０４４は、接着剤１０３５を使って、下側のダイス１０３４の上側表面に添付される。ダイス１０４４は、所定のトレース１０３１上にワイヤボンドサイトとダイスの機能面の上のワイヤボンドサイトとを接続しているワイヤボンド１０４６によって、トップ基板と電気的に接続される。トップパッケージ基板の上の、積み重ねられたダイスとワイヤボンドのアセンブリは、トップパッケージ上側表面１０３９を提供しているモールディング材料１０３７でカプセル化され、相互接続トレース１０３１の周辺の部分を露出したままにしている。トップパッケージ１０３０は、この時点でテストされ、それから、ボトムパッケージ基板の上側表面のダイス接続領域の上に積み重ねられて、接着剤１００３を使って取り付けられる。トップパッケージとボトムパッケージの電気的な相互接続は、ボトムパッケージ基板の上側の金属レイヤのトレース３５１上にワイヤボンドサイトとトップパッケージ基板のトレース１０３１上で露出されたワイヤボンドサイトとを接続しているワイヤボンド１０１８によってもたらされる。ＭＰＭアセンブリは、その時、パッケージ間を接続するワイヤボンドを保護するため、および完成したＭＰＭ１０３において機械的な完全性を提供するためにモールド１００７によってカプセル化される。
【０１２０】
本発明のこの形態に応じたフリップチップボトムパッケージの中のプロセッサチップは、例えば、ＡＳＩＣ、ＧＰＵ、またはＣＰＵとすることができる。そして、トップパッケージは、メモリパッケージとすることができ、例えば特に、図１０Ａ、１０Ｂにおいて説明されているように、積み重ねられたダイスメモリパッケージである。ボトムパッケージのためのフリップチップ上向きダイス構成は、非常に薄いモジュールを提供することができ、そして特に、モバイル通信などのより高速なアプリケーションに適当である。
【０１２１】
好ましいのは、ＭＰＭ１０１または１０３などの形態におけるボトムパッケージ基板の接地面３５５は、さらに、ＢＧＡダイスと横たえるＬＧＡダイスとの間の干渉をかなり減らすように電磁遮蔽材として役立ち、そして、そのようなＭＰＭは、ボトムパッケージダイスが高周波（例えば、無線周波数）ダイスである場合のアプリケーションにおいて特に有益である。
【０１２２】
いくつかのアプリケーションにおいて、ＭＰＭが接続される基礎的な電気回路からボトムパッケージのＢＧＡダイスをシールドすることもまた好ましい。図１０Ｃは、マルチパッケージモジュール１０５の例を示し、その中において、積み重ねらたダイスランドグリッドアレイパッケージ１０００は、上向きダイス構成３０２のフリップチップＢＧＡ上で積み重ねられている。そして、その中で、積み重ねられたパッケージは、ワイヤボンドによって相互接続されており、また、電磁シールドは、基礎的な電気回路（図示しない）に向けての下方への放射線を制限するためにフリップチップＢＧＡダイスで提供される。
【０１２３】
図１０ＣのＭＰＭ１０５において、トップパッケージ１０００とボトムパッケージ３０２は、大体、図１０ＡのＭＰＭ１０１のように構成されて、対応する機能は各図において対応して識別される。ＭＰＭ１０５のボトムパッケージ３０２は、下側のＢＧＡのダイスからの電磁放射線を電気的に抑えるように、金属（例えば銅）エレクトリカルシールドを与えられる。従って、取り付けられたＭＰＭの下にある電気回路との干渉を防止する。シールド３０４の下側の平面部は、脚または側壁３０５によって支持される。接着剤のスポットまたはライン３０６は、ヒートスプレッダ支持部３０５をボトム基板の下側表面に取り付けることに役立つ。接着剤は導電性の接着剤とすることができ、基板の下側の金属レイヤのトレースに、特に回路の接地トレースに電気的に接続され得る。シールドの支持部および下側の平面部は、ダイス３４４を取り囲み、完成された機器の下側のダイスを遮蔽することに加えて、処理操作を促進するため、および、特に、ＭＰＭのアセンブル前または設置前のテストの間で、周囲や機械的なストレスから下側のダイスを保護することに役立ち得る。
【０１２４】
その代わりに、好ましいものとして、図１０Ｃに説明されるようなシールドは、他の積み重ねられたダイストップパッケージ構成を有しているＭＰＭにおいて上向きダイスフリップチップボトムパッケージ３０２をシールドするために使用され得る。図１０Ｂに１０３０で概ね示されるように、積み重ねられたダイストップパッケージは、例えば、隣接したダイスの間にスペーサを全く有しない。
【０１２５】
そして、代わりに、図１０Ｃに説明されるようなシールドは、積み重ねられたダイストップパッケージ以外のトップパッケージを有しているＭＰＭの上向きダイスフリップチップボトムパッケージ３０２をシールドするために使用されてもよい。トップパッケージは、例えば、図５Ａに５００として概ね示されたＬＧＡトップパッケージなどのような、例えば、ランドグリッドアレイパッケージである。
【０１２６】
さらに、図１０Ａに概略的に記されたマルチパッケージモジュールから改善された熱放散のために、ヒートスプレッダは、トップパッケージの上に提供される。トップヒートスプレッダは、熱伝導性の物質から形成され、その上側表面の少なくともより中心領域が、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするために、ＭＰＭの上側表面で周囲に露出している。トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（銅などの）であり、そして、モールディング材料硬化処理の間にＭＰＭカプセル体に取り付けられる。または、ヒートスプレッダは、トップパッケージの上に略平面な部分と、ボトムパッケージ基板の上側表面、またはその近くに配置される周辺の支持部または支持部材を有している。
【０１２７】
例として、図１０Ｅは、上向きダイスフリップチップボトムＢＧＡの上で積み重ねられたダイストップパッケージを備えるＭＰＭ１０９を示している断面図である。これにおいて、「トップ」ヒートスプレッダは、ＭＰＭの上側表面で提供される。ＭＰＭ１０９におけるトップパッケージとボトムパッケージの構成は、一般に図１０ＣにおけるＭＰＭ１０５の場合に類似していて、同様な構成は各図中の参照符号によって識別される。この例におけるトップヒートスプレッダは、トップパッケージ１０００上に配置された略平面の中心的な部分１０４４と、ボトムパッケージ基板３４２の上側表面に延びている周辺の支持部１０４６を有する熱伝導性の材料から形成される。平面の部分１０４４の上側表面は、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするためにＭＰＭ上側表面で周囲に露出される。トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（銅などの）から、例えば打ち抜きすることによって形成される。支持部１０４６は、任意で、接着剤（図示しない）を使って、ボトムパッケージ基板の上側表面に添付され得る。マルチパッケージモジュールの構成は、モジュールカプセル体１００７の構成によって保護される。そして、ヒートスプレッダ支持部はモールディング材料硬化処理プロセスの間にＭＰＭカプセル体１００７に封入される。図１０Ｅにおいて、凹入部１０４５のようなステップは、ヒートスプレッダの上側の平面部分１０４４の外周に供給され、モールディングコンパウンドからレイヤ割れするのを減少させて構造についてのより機械的な完全性を得ることができる。この形態では、ヒートスプレッダ１０４４の下側表面とＬＧＡモールド１０１７の上側表面１０１９との間のスペースは、ＭＰＭモールドの薄いレイヤにより満たされる。
【０１２８】
代わりに、トップヒートスプレッダは、支持部を有さず、例えば、金属板（銅などの）などの熱伝導性の原料の略平面のものとし得る。平面のヒートスプレッダの上側表面の少なくともより中心領域は、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするために周囲に露出している。そのような単に平面のヒートスプレッダは、ヒートスプレッダがトップパッケージモールドの上側表面に取り付けられる場合に、図１０Ｄにおいて１００４で示される。ＭＰＭ１０７における積み重ねられたパッケージの構成は、概略図６ＥにおけるＭＰＭ１０９のと同様であり、同様な構成は各図中の参照符号によって識別される。図１０Ｄにおけるトップヒートスプレッダ１００４は、図１０Ｅにおけるように、その上側表面の少なくともより中心領域が、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするために周囲に露出している熱伝導性の物質で略平面なものである。トップヒートスプレッダは、例えば金属板（銅などの）である。しかし、ここで、トップヒートスプレッダ１００４は、接着剤１００６を使って上側パッケージカプセル体１０１７の上側表面１０１９に取り付けられる。接着剤１００６は、改善された熱放散を提供するために、熱伝導性の接着剤である。通常、トップヒートスプレッダは、トップパッケージモールドが少なくとも部分的に硬化処理された後で、モールディング材料がＭＰＭカプセル体１００７に注入される前に、トップパッケージモールドに取り付けられる。トップヒートスプレッダの周囲は、ＭＰＭモールディング材料によってカプセル化される。図１０Ｄにおいて、凹入部１００５のようなステップは、ヒートスプレッダ１００４の外周に供給され、モールディングコンパウンドからレイヤ割れするのを減少させて構造についてのより機械的な完全性を得ることができる。
【０１２９】
図１０Ｄにおける１００４などの単に平面のヒートスプレッダは、トップパッケージモールドの上側表面に取り付けられることは必要でない。代わりに、単に平面のヒートスプレッダの下側表面と、ＬＧＡモールド１０１７の上側表面１０１９との間のスペースは、ＭＰＭモールドの薄いレイヤによって満たされており、そのような単に平面のヒートスプレッダは、モールディング材料硬化処理プロセスの間にＭＰＭカプセル体１００７に取り付けられる。そのような形態において、単に平面のトップヒートスプレッダの外周は、ＭＰＭモールディング材料によってカプセル化されてもよく、そして、モールディングコンパウンドからレイヤ割れするのを減少させて構造のより機械的な完全性を得るため、外周（図１０Ｄに示す、単に平面のヒートスプレッダ１００４の凹入する機能１００５を参照）上に凹入部１００５のようなステップが与えられる。
【０１３０】
図１０Ｄ，１０Ｅにおけるような構成の利点は、改善された熱性能である。すべてのアプリケーションにボトムパッケージシールドとトップヒートスプレッダの両方を備えることは必要でない。交互に一方または他方が、最終製品のニーズに依存していると適正である。
【０１３１】
断面図のうち図１１は、１１０として概ね本発明に係るＭＰＭの別の形態を示す。その中で、積み重ねられたダイスＬＧＡトップパッケージ１０００は、積み重ねられたダイスＢＧＡボトムパッケージ４０８上に積み重ねられて、そして、トップパッケージとボトムパッケージは、ワイヤボンドによって相互接続される。図１１で説明された形態において、ボトムＢＧＡパッケージ４０８は積み重ねて２つのダイスを備え、そしてトップＬＧＡパッケージは積み重ねて２つのダイスを備える。
【０１３２】
この構成を有する構造は、例えば、固定された上側表面スペースに高いメモリ密度を必要とするアプリケーションに特に好ましい。積み重ねられたダイスは、同じタイプか、または、フラッシュ、ＳＲＡＭ、ＰＳＲＡＭなどを備えているメモリといった異なるタイプとすることができる。
【０１３３】
図１１に示すように、トップパッケージ１０００は、図１０Ａのトップパッケージ１０００に実質的には同様に構成され、そして、同様な機能は同様な参照符号によって識別される。特に、トップパッケージ１０００は、積み重ねられたダイスランドグリッドアレイパッケージであり、ダイス１０１４，１０２４はスペーサ１０１５によって分離されていて、トップパッケージ基板の上で積み重ねられている。トップパッケージ基板は、上側の基板の表面に金属レイヤを有している誘電性のレイヤ１０１２を備える。そして、積み重ねられたダイスを有するトップパッケージ基板のワイヤボンド相互接続と、ボトムパッケージ基板を有するトップパッケージのワイヤボンド相互接続とに接続位置を提供するトレース、例えば１０１１、を提供するためにパターン付けられている。下側のダイス１０１４は、ダイス接着エポキシなどの接着剤１０１３を使って、トップパッケージ基板のダイス取り付け領域に取り付けられる。ダイス１０１４は、ダイスの機能面上のワイヤボンドサイトと、所定のトレース１０１１上のワイヤボンドサイトとを接続しているワイヤボンド１０１６によってトップ基板と電気的に接続される。スペーサ１０１５は、接着剤（図示しない）を使って、下側のダイス１０１４の上側表面に取り付けられ、そして、上側のダイス１０２４は、接着剤（図示しない）を使って、スペーサ１０１５の上側表面に取り付けられる。上側のダイス１０２４の張り出している縁部が、ワイヤボンド１０１６に衝突しないように、スペーサは、クリアランスを提供するように十分に厚くなるように選ばれる。ダイス１０２４は、ダイスの機能面上のワイヤボンドサイトと所定のトレース１０１１上のワイヤボンドサイトとを接続しているワイヤボンド１０２６によってトップ基板と電気的に接続される。トップパッケージ基板の上の積み重ねられたダイスとワイヤボンドとのアセンブリは、トップパッケージ上側表面１０１９を提供しているモールディング材料１０１７でカプセル化され、相互接続トレース１０１１の周辺の部分を露出したままにしている。後述するように、トップパッケージ１０００は、この時点でテストされて、それからボトムパッケージ４０８上に積み重ねられる。
【０１３４】
ＭＰＭ１１０のボトムパッケージ４０８は、トップパッケージ１０００と同様に構成される。特に、ボトムパッケージ４０８は、積み重ねられたダイスランドグリッドアレイパッケージである。そして、スペーサによって分離され、ボトムパッケージ基板の上に積み重ねられているダイス４４４，４５４を備えている。ボトムパッケージ基板は、完成したＭＰＭにおいて相互接続基板として役立ち、それは、例えば、図５ＡのＭＰＭ５０のボトムパッケージ４００の底の基板４１２と同様の方法で構成され得る。特に、この形態において、ボトムパッケージ４０８は、少なくとも１つの金属レイヤを備えるボトムパッケージ基板４４２を有する。様々な基板タイプのいずれも使われ得る。例えば、２から６つの金属レイヤを有するラミネート、または４から８つの金属レイヤを有する基板、または１または２つの金属レイヤを有する柔軟なポリイミドテープ、またはセラミックの積層基板も含まれる。図１１に例示されたボトムパッケージ基板４４２は、２つの金属レイヤ４５１，４５３を有し、それぞれは、適切な電気回路を提供するためにパターン付けられて、バイアス４５２によって接続される。下側のダイス４４４は、通常、図１１において４４３で示されている一般にダイス接着エポキシと称される接着剤を使って、基板の「上側」表面に接着される。下側のダイスは、所定のトレース４５１上のワイヤボンドサイトとダイス４４４の機能面上のワイヤボンドサイトとを接続しているワイヤボンド４４６によって、底の基板と電気的に接続される。スペーサは、接着剤（図示しない）を使って、下側のダイス４４４の上側表面に取り付けられ、上側のダイス４５４は、積み重ねられて、接着剤（図示しない）を使ってスペーサの上側表面に取り付けられる。スペーサは、上側のダイス４５４の張り出している縁部がワイヤボンド４４６に衝突しないようなクリアランスを提供するために十分な厚さとなるように選ばれる。上側のダイス４５４は、所定のトレース４５１上のワイヤボンドサイトと、ダイス４５４の機能面上のワイヤボンドサイトとを接続しているワイヤボンド４５６によって底の基板と電気的に接続される。ボトムパッケージの下側のダイス４４４と上側のダイス４５４とワイヤボンド４４６，４５６とは、処理操作を促進するために周囲および機械的なストレスから保護を提供し一番上の積み重ねられたダイスパッケージ１０００が積み重ねられ得るボトムパッケージの上側表面を提供するモールディングコンパウンド９１７でカプセル化される。はんだボール３１８は、例えば、最終製品のマザーボード（図示しない）などの基礎的な電気回路との相互接続を提供するため、基板の下側の金属レイヤ上の接続パッドの上にリフローされる。はんだマスク４５５、４５７は、電気的な接続のために接続位置で基礎的な金属を露出するために金属レイヤ４５１，４５３上でパターン付けられる。例えば、ワイヤボンドサイトとボンディングパッドは、ワイヤボンドとはんだボール４１８とを接続する。
【０１３５】
トップパッケージ１０００は、テストされ、ボトムパッケージ基板の上側表面のダイス取り付け領域に積み重ねられて、接着剤１１０３を使って取り付けられる。トップパッケージとボトムパッケージとの電気的な相互接続は、ボトムパッケージ基板の上側の金属レイヤのトレース４５１上のワイヤボンドサイトとトップパッケージ基板のトレース１０１１上の露出されたワイヤボンドサイトとを接続しているワイヤボンド１１１８によってもたらされる。それからＭＰＭアセンブリ体は、パッケージ間のワイヤボンドを保護し、完成したＭＰＭ１１０において機械的な完全性を提供するために、モールド１１０７でカプセル化される。
【０１３６】
トップパッケージまたはボトムパッケージまたはトップパッケージとボトムパッケージとの両方において積み重ねられたダイスを有するＭＰＭは、特に、大容量メモリの小さな上側表面スペースアプリケーションとすることができる。図１１のマルチパッケージモジュールは、例えば、積み重ねられたＡＳＩＣボトムパッケージの上に積み重ねられたダイスメモリトップパッケージを備え得る。または、トップパッケージとボトムパッケージとの両方は、高密度メモリモジュールを形成する積み重ねられたダイスメモリパッケージとすることができる。
【０１３７】
他の積み重ねられたダイスパッケージの構成は、本発明のこの形態に従って、例えば、積み重ねたダイスの数および積み重ねたダイスの寸法に依存して、ＭＰＭにおけるボトムまたはトップの積み重ねられたダイスパッケージに使用され得る。例えば、ボトムパッケージの積み重ねた上側のダイスは、下側のダイスより小さな寸法を有する。そのような構成においては、下側のダイスの縁部のワイヤボンド接続サイト上に上側のダイスの周縁部の突出が全くなく、したがって、積み重ねている隣接したダイス間にスペーサを備えることは不要である。
【０１３８】
他のトップパッケージの構成は、本発明のこの形態に従って、積み重ねられたダイスボトムパッケージの上に積み重ねられ得る。ＢＧＡトップパッケージは、図５Ａの形態において例示されるように、積み重ねられたダイスボトムパッケージの上に積み重ねられる。
【０１３９】
図１１において説明されるように、積み重ねられたダイスボトムパッケージを有するマルチパッケージモジュールから改善された熱放散のために、ヒートスプレッダはトップパッケージの上に提供される。トップヒートスプレッダは、その上側表面の少なくともより中心領域を、ＭＰＭの上側表面で、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするために周囲に露出させている熱伝導性の物質から形成される。トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（銅などの）であり、それはモールディング材料硬化処理の間にＭＰＭカプセル体に取り付けられる。または、ヒートスプレッダは、トップパッケージの上に略平面な部分と、ボトムパッケージ基板の上側表面、またはその近くに配置されている周辺の支持部または支持部材を有している。
【０１４０】
積み重ねられたダイスボトムパッケージを有している（または積み重ねられたダイスボトムとトップパッケージを有する）ＭＰＭのトップＭＰＭヒートスプレッダのみならず、図５Ｄおよび５Ｅに例として説明されるようなトップヒートスプレッダも同様に適切である。
【０１４１】
図１１のＭＰＭの構成と図５Ｅのヒートスプレッダに関して、例えば、トップヒートスプレッダは、トップパッケージの上に配置される概ね平面の中心部分５４４とボトムパッケージ基板４４２の上側表面に延びている周辺の支持部５４６とを有している熱伝導性の材料から形成され得る。平面部分５４４の上側表面は、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするために、ＭＰＭ上側表面で周囲に露出する。トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（銅などの）から形成され、例えば打ち抜きすることによって形成される。支持部５４６は、任意で、接着剤を使ってボトムパッケージ基板の上側表面に取り付けられ得る。マルチパッケージモジュールの構成は、モジュールカプセル体１１０７の構成によって保護され、ヒートスプレッダ支持部は、モールディング材料硬化処理プロセスの間にＭＰＭカプセル体１１０７に封入される。凹入部１０４５のようなステップは、ヒートスプレッダの上側の平面部分１０４４の外周に供給され、モールディングコンパウンドからレイヤ割れするのを減少させて構造についてのより機械的な完全性を得ることができる。この形態において、ヒートスプレッダ５４４の下側表面と、トップパッケージモールド１０１７の上側表面１０１９との間のスペースは、ＭＰＭモールドの薄いレイヤにより満たされる。
【０１４２】
代わりに、トップヒートスプレッダは、トップパッケージモールドの上側表面に取り付けられ得る。図１１のＭＰＭの構成と図５Ｄのヒートスプレッダに関して、例えば、トップヒートスプレッダ５０４は、その上側表面の少なくともより中心領域が、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするために周囲に向けて露出している熱伝導性の物質で略平面なものである。トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（銅など）である。しかし、ここで、トップヒートスプレッダ５０４は、接着剤を使って上側のパッケージカプセル体１０１７の上側表面１０１９上に取り付けられる。接着剤は、改善された熱放散を提供するために、熱伝導性の接着剤である。通常、トップヒートスプレッダは、トップパッケージモールドが少なくとも部分的に硬化処理された後であるが、モールディング材料がＭＰＭカプセル体１１０７として注入される前に、トップパッケージモールドに取り付けられる。トップヒートスプレッダの周囲は、ＭＰＭモールディング材料によってカプセル化される。凹入部５０５のようなステップは、ヒートスプレッダ５０４の外周に供給され、モールディングコンパウンドからレイヤ割れするのを減少させて構造についてのより機械的な完全性を得ることができる。
【０１４３】
さらなる代案として、図１１中のようなＭＰＭは、支持部を有さず、つまり、トップパッケージモールドの上側表面に取り付けず、単に平面のヒートスプレッダを提供され得る。そのような形態において、トップヒートスプレッダは、例えば、金属板（銅などの）などのような熱伝導性の物質で略平面なものとすることができる。そして、平面のヒートスプレッダの上側表面の少なくともより中心領域が、ＭＰＭから離れて効率的な熱交換をするために周囲に露出している。ここで、単に平面のヒートスプレッダの下側表面と、ＬＧＡモールド１０１７の上側表面１０１９との間のスペースは、ＭＰＭモールドの薄いレイヤにより満たされる。そして、そのような単に平面のヒートスプレッダは、モールディング材料硬化処理プロセスの間にＭＰＭカプセル体１１０７に取り付けられる。そのような取り付られていない単に平面のトップヒートスプレッダの周囲は、図５Ｄの取り付けられた平面のヒートスプレッダのように、ＭＰＭモールディング材料によってカプセル化されてもよく、そして、モールディングコンパウンドからレイヤ割れするのを減少させて構造についてのより機械的な完全性を得るため、外周上に凹入部５０５のようなステップを与えられてもよい。
【０１４４】
以上の記述により好適なものとして、すべての様々な形態において、本発明は、積み重ねられたパッケージの間でｚ軸相互接続方法としてのワイヤボンド接続を特徴とする。一般に、下側のＢＧＡの上に積み重ねられたすべてのＬＧＡは、周囲にワイヤボンドのスペースを得るためにＢＧＡより小さく（ｘ−ｙ平面の少なくとも１次元において）なければならない。ワイヤの直径は、主として０．０２５ｍｍ（０．０５０から０．０１０ｍｍの範囲）のオーダである。ＬＧＡ基板エッジまでのワイヤの長さは、様々な形態において異なり得るが、ワイヤの直径より短くはない。ＢＧＡとＬＧＡの相対的なサイズは、主としてそれぞれの最大のダイスのサイズによって決定される。ダイスの厚さとモールドキャップの厚さは、主として、いくつのダイスが１つのパッケージに積み重ねられ得るかで決定する。
【０１４５】
本発明における使用のためにＢＧＡパッケージとＬＧＡパッケージを製造するプロセスは、ワイヤボンド接続とパッケージのフリップチップタイプとの両方の産業においてよく確立される。
【０１４６】
ＢＧＡのテストは、産業においてよく設けられており、主として、はんだボールパッドにアクセスコンタクトすることによってなされる。ＬＧＡは、２つの方法のどちらかにおいてテストされ得る。すなわち、基板のＬＧＡの下側表面にあるＢＧＡのはんだボールパッドと同様にＬＧＡパッドに接近することによって、または、基板の上側表面のｚ軸相互接続パッドに接近することによってテストされ得る。完成されたＭＰＭアッセンブリ体は、ＢＧＡをテストする場合と同じようにテストされ得る。
【０１４７】
ＭＰＭ組立工程は、本発明の様々な形態に従った構成と同様である。一般に、プロセスは、第１パッケージ基板および第１パッケージ基板に取り付けられた少なくとも１つのダイスを備えている第１モールドパッケージを提供するステップと、第１モールドパッケージの上側表面に接着剤を塗布するステップと、第２基板の下側表面が接着の間に第１パッケージの上側表面の接着剤に接触するように、第２パッケージ基板および少なくとも１つのダイスを備えている第２モールドパッケージを配置するステップと、そして第１および第２基板の間でｚ軸相互接続を形成するステップとを備える。有益なことに、パッケージは組み立てに先がけてテストされることができ、第１パッケージおよび第２パッケージがテストされ「合格」と判定されたものが組み立てモジュールにおいて使用されるように、性能のための要件または信頼性を満たさないパッケージは処分され得る。
【０１４８】
図１２は、図５Ａまたは７に例示されるようなマルチパッケージモジュールの組み立ての工程を示しているフローチャートである。ステップ１２０２において、ボールグリッドアレイパッケージの個片化されていないストリップが供給される。ボールグリッドアレイパッケージのダイスおよびワイヤボンドの構成は、モールドによって保護される。ストリップ状のＢＧＡパッケージは、好ましくは、それらが次の処理に入る前に、性能および信頼性についてテストされる（図中＊印によって示される）。「合格」と認定されたパッケージだけが後処置を受ける。ステップ１２０４において、接着剤が、「合格」のＢＧＡパッケージの上のモールドの上側表面に塗布される。ステップ１２０６において、個片化されたランドグリッドアレイパッケージが供給される。個片化されたＬＧＡパッケージは、モールドによって保護され、好ましくは、テストされて（＊）、「合格」と認定される。ステップ１２０８において、ピック・アンド・プレイスの処理は、「合格」のＢＧＡパッケージのモールドの上の接着剤に「合格」のＬＧＡパッケージを配置するために実行される。ステップ１２１０において、接着剤が硬化処理される。ステップ１２１２において、プラズマクリーン処理はステップ１２１４の準備として実行される。そして、ステップ１２１４において、積み重ねられたトップＬＧＡとボトムＢＧＡパッケージとの間でワイヤボンドｚ軸相互接続が形成される。ステップ１２１６において、追加のプラズマクリーンは、ステップ１２１８でのＭＰＭモールドの形成に付随して実行される。ステップ１２２０において、第２次相互接続はんだボールは、モジュールの下側に取り付けられる。ステップ１２２２において、完成したモジュールはテストされて（＊）、例えばのこぎり個片化またはパンチ個片化によってストリップから個片化されて、さらなる使用のためにパッケージされる。
【０１４９】
図１３は、例えば図６Ａに示すようなマルチパッケージモジュールの組み立てのプロセスを示しているフローチャートである。ステップ１３０２において、ボールグリッドアレイパッケージの個片化されていないストリップが供給される。ボールグリッドアレイパッケージのダイスとワイヤボンドの構成とは、モールドによって保護される。ストリップ状のＢＧＡパッケージは、好ましくは、それらが次の処理に入る前に、性能および信頼性についてテストされる（図中で＊印によって示されるように）。「合格」と認定されたパッケージだけが後処置を受ける。ステップ１３０４において、接着剤は「合格」のＢＧＡパッケージのモールドの上側表面の上に塗布される。ステップ１３０６において、個片化されたランドグリッドアレイパッケージが供給される。個片化されたＬＧＡパッケージは、ワイヤボンドを保護している周辺のモールドによって保護されて、好ましくは、テストされて（＊）、「合格」と認定される。ステップ１３０８において、ピック・アンド・プレイスの処理は、「合格」のＢＧＡパッケージのモールド上の接着剤に「合格」のＬＧＡパッケージを配置するために実行される。ステップ１３１０において、接着剤が硬化処理される。ステップ１３１２において、プラズマクリーン処理は、ステップ１３１４の準備として実行される。そして、ステップ１３１４においてワイヤボンドｚ軸相互接続は、積み重ねられたトップＬＧＡとボトムＢＧＡパッケージとの間で形成される。ステップ１３１６において、追加のプラズマクリーンは、ステップ１３１８でのＭＰＭモールドの形成に付随して実行される。ステップ１３２０において、第２レベルの相互接続はんだボールは、モジュールの下側に取り付けられる。ステップ１３２２において、完成したモジュールはテストされて（＊）、例えば、のこぎり個片化またはパンチ個片化によってストリップから個片化されて、さらなる使用のためにパッケージされる。
【０１５０】
図１４Ａは、例えば図８Ａに示すようなマルチパッケージモジュールの組み立てのプロセスを示しているフローチャートである。ステップ１４０２において、ボールグリッドアレイパッケージの個片化されていないストリップが供給される。ＢＧＡパッケージは、ダイスの上に取り付けられたシールドを備える。シールドは、ボールグリッドアレイパッケージ上のダイスとワイヤボンドの構成とを保護し、それに応じて、いかなるパッケージモールドも必要とされていない。ストリップ状のＢＧＡパッケージは、好ましくは、それらが次の処理に入る前に、性能および信頼性についてテストされる（図中で＊印によって示される）。「合格」と認定されたパッケージだけが後処置を受ける。ステップ１４０４において、接着剤は「合格」のＢＧＡパッケージのシールド上側表面の上に塗布される。ステップ１４０６において、個片化されたランドグリッドアレイパッケージが供給される。個片化されたＬＧＡパッケージは、モールドによって保護されて、好ましくは、テストされて（＊）、「合格」と認定される。ステップ１４０８において、ピック・アンド・プレイスの処理は、「合格」のＢＧＡパッケージのシールド上の接着剤に「合格」のＬＧＡパッケージを配置するために実行される。ステップ１４１０において、接着剤は硬化処理される。ステップ１４１２において、プラズマクリーン処理は、ステップ１４１４の準備として実行される。そして、ステップ１４１４において、ワイヤボンドｚ軸相互接続は、積み重ねられたトップＬＧＡおよびＢＧＡパッケージ間で形成される。ステップ１４１６において、追加のプラズマクリーンは、ステップ１４１８でのＭＰＭモールドの形成に付随して実行される。ステップ１４２０において、デフラッシュ処理は、不適当な基本的要素を分解し、取り除くために実行される。デフラッシュは、レーザによってまたは化学薬品またはプラズマクリーンによって実行される。ステップ１４２２において、第２次相互接続はんだボールは、モジュールの下側に取り付けられる。ステップ１４２４において、完成したモジュールはテストされて（＊）、例えば、のこぎり個片化またはパンチ個片化によってストリップから個片化されて、さらなる使用のためにパッケージされる。
【０１５１】
図１４Ｂは、例えば図８Ｂに示すようなマルチパッケージモジュールの組み立てのプロセスを示しているフローチャートである。このプロセスは、図１４Ａに示されるものと同様に、「ドロップイン」成形モールド処理によってヒートスプレッダの取り付けの間に挿入される追加の工程を有している。処理における同様な工程は、各図における同様な参照符号によって識別される。ステップ１４０２において、ボールグリッドアレイパッケージの個片化されていないストリップが供給される。ＢＧＡパッケージはダイスの上に取り付けられたシールドを備える。シールドは、ボールグリッドアレイパッケージのダイスとワイヤボンドの構成とを保護し、それに応じて、いかなるパッケージモールドも必要とされていない。ストリップ状のＢＧＡパッケージは、好ましくは、それらが次の処理に入る前に、性能および信頼性についてテストされる（図中で＊印によって示されるように）。「合格」と認定されたパッケージだけが後処置を受ける。ステップ１４０４において、接着剤は「合格」のＢＧＡパッケージのシールド上側表面の上に塗布される。ステップ１４０６において、個片化されたランドグリッドアレイパッケージが供給される。個片化されたＬＧＡパッケージは、モールドによって保護され、好ましくは、テストされて（＊）、「合格」と認定される。ステップ１４０８において、ピック・アンド・プレイスの処理は、「合格」のＢＧＡパッケージのシールド上の接着剤に「合格」のＬＧＡパッケージを配置するために実行される。ステップ１４１０において、接着剤は硬化処理される。ステップ１４１２において、プラズマクリーン処理は、ステップ１４１４の準備として実行される。そして、ステップ１４１４において、ワイヤボンドｚ軸相互接続は、積み重ねられたトップＬＧＡとボトムＢＧＡパッケージとの間で形成される。ステップ１４１６において、追加のプラズマクリーンは実行される。ステップ１４１５において、ヒートスプレッダは雌型モールド装置による各モールド雌型の中に落とされる。ステップ１４１７において、ステップ１４１６によるクリーンパッケージスタックは、ヒートスプレッダの上のモールド雌型の中に落とされる。ステップ１４１９において、カプセル化材料は、モールド雌型に注入されて、ＭＰＭモールドを形成するために硬化処理される。ステップ１４２１において、デフラッシュ処理は、不適当な基本的要素を分解し、取り除くために実行される。デフラッシュは、レーザによってまたは化学薬品またはプラズマクリーンによって実行される。ステップ１４２２において、第２次相互接続はんだボールは、モジュールの下側に取り付けられる。ステップ１４２４において、完成したモジュールはテストされて（＊）、例えばのこぎり個片化またはパンチ個片化によってストリップから個片化されて、さらなる使用のためにパッケージされる。
【０１５２】
図１４Ｃは、例えば図８Ｃに示すようなマルチパッケージモジュールの組み立てのプロセスを示しているフローチャートである。このプロセスは、図１４Ａに示されるものと同様であり、トップパッケージの上のアタッチメントによって平面のヒートスプレッダを取り付ける間に挿入される追加のステップを有する。プロセスにおける同様なステップは、各図における同様な参照符号によって識別される。ステップ１４０２において、ボールグリッドアレイパッケージの個片化されていないストリップが供給される。ＢＧＡパッケージは、ダイスの上に取り付けられたシールドを備える。シールドは、ボールグリッドアレイパッケージのダイスとワイヤボンドの構成とを保護し、それに応じて、いかなるパッケージモールドも必要とされていない。ストリップ状のＢＧＡパッケージは、好ましくは、それらが次の処理に入る前に、性能および信頼性についてテストされる（図中で＊印によって示される）。「合格」と認定されたパッケージだけが後処置を受ける。ステップ１４０４において、接着剤は「合格」のＢＧＡパッケージのシールドの上側表面に塗布される。ステップ１４０６において、個片化されたランドグリッドアレイパッケージが供給される。個片化されたＬＧＡパッケージは、モールドによって保護されて、好ましくは、テストされて（＊）、「合格」と認定される。ステップ１４０８において、ピック・アンド・プレイスの処理は、「合格」のＢＧＡパッケージのシールド上の接着剤に「合格」のＬＧＡパッケージを配置するために実行される。ステップ１４１０において、接着剤は硬化処理される。ステップ１４１２において、プラズマクリーン処理は、ステップ１４１４の準備として実行される。そして、ステップ１４１４において、ワイヤボンドｚ軸相互接続は、積み重ねられたトップＬＧＡとボトムＢＧＡパッケージとの間で形成される。その後、追加のプラズマクリーンが実行される。ステップ１４３１において、接着剤はトップＬＧＡパッケージモールドの上側表面に塗布されて、ステップ１４３３において、ピック・アンド・プレイスの処理は、トップパッケージモールドの接着剤の上に平面のヒートスプレッダを配置するために実行される。ステップ１４３５において、接着剤は硬化処理される。ステップ１４１６において、追加のプラズマクリーンは実行されて、そしてステップ１４１８において、ＭＰＭモールドは形成される。ステップ１４２０において、デフラッシュ処理は、不適当な基本的要素を分解し、取り除くために実行される。デフラッシュは、レーザによってまたは化学薬品またはプラズマクリーンによって実行される。ステップ１４２２において、第２レベルの相互接続はんだボールは、モジュールの下側に取り付けられる。ステップ１４２４において、完成したモジュールはテストされて（＊）、例えばのこぎり個片化またはパンチ個片化によってストリップから個片化されて、さらなる使用のためにパッケージされる。
【０１５３】
図１５は、例えば図９Ａに示すようなマルチパッケージモジュールの組み立てのプロセスを示しているフローチャートである。ステップ１５０２において、下向きダイスフリップチップボールグリッドアレイボトムパッケージの個片化されていないストリップが供給される。ＢＧＡパッケージは、モールドを与えられまたは与えられず、そして第２次相互接続はんだボールを備えないで供給される。ストリップのＢＧＡパッケージは、好ましくは、それらが次の処理に入る前に、性能および信頼性についてテストされる（図中で＊印によって示される）。「合格」と認定されたパッケージだけが後処置を受ける。ステップ１５０４において、接着剤は「合格」のＢＧＡパッケージ上のダイスの上側表面（裏側）に塗布される。ステップ１５０６において、個片化されたランドグリッドアレイパッケージが供給される。個片化されたＬＧＡパッケージは、モールドによって保護されて、好ましくは、テストされて（＊）、「合格」と認定される。ステップ１５０８において、ピック・アンド・プレイスの処理は、「合格」のＢＧＡパッケージのダイス上の接着剤に「合格」のＬＧＡパッケージを配置するために実行される。ステップ１５１０において、接着剤は硬化処理される。ステップ１５１２において、プラズマクリーン処理は、ステップ１５１４の準備として実行される。そして、ステップ１５１４において、ワイヤボンドｚ軸相互接続は、積み重ねられたトップＬＧＡとボトムＢＧＡパッケージとの間で形成される。ステップ１５１６において、追加のプラズマクリーンは、ステップ１５１８においてＭＰＭモールドの形成に付随して実行される。ステップ１５２０において、第２次相互接続はんだボールは、モジュールの下側に取り付けられる。ステップ１５２２において、完成したモジュールはテストされて（＊）、例えばのこぎり個片化またはパンチ個片化によってストリップから個片化されて、さらなる使用のためにパッケージされる。
【０１５４】
図１６は、例えば図９Ｂに示すようなマルチパッケージモジュールの組み立てのプロセスを示しているフローチャートである。このプロセスは、図１５で示されたものと同様であり、ボトムパッケージフリップチップダイスの上のシールドの取り付けの間に挿入される追加のステップを有する。プロセスにおける同様なステップは、各図における同様な参照符号によって識別される。ステップ１６０２において、下向きダイスフリップチップボールグリッドアレイボトムパッケージの個片化されていないストリップが供給される。ＢＧＡパッケージは、モールドを与えられまたは与えられず、そして第２次相互接続はんだボールを備えないで供給される。ストリップ状のＢＧＡパッケージは、好ましくは、それらが次の処理に入る前に、性能および信頼性についてテストされる（図中で＊印によって示される）。「合格」と認定されたパッケージだけが後処置を受ける。ステップ１６０３において、電気遮蔽材は、「合格」のボトムＢＧＡパッケージのダイス上に取り付けられる。ステップ１６０４において、接着剤は「合格」のＢＧＡパッケージのシールドの上側表面に塗布される。ステップ１６０６において、個片化されたランドグリッドアレイパッケージが供給される。個片化されたＬＧＡパッケージは、モールドによって保護されて、好ましくは、テストされて（＊）、「合格」と認定される。ステップ１６０８において、ピック・アンド・プレイスの処理は、「合格」のＢＧＡパッケージのシールド上の接着剤に「合格」のＬＧＡパッケージを配置するために実行される。ステップ１６１０において、接着剤は硬化処理される。ステップ１６１２において、プラズマクリーン処理は、ステップ１６１４の準備として実行される。そして、ステップ１６１４において、ワイヤボンドｚ軸相互接続が、積み重ねられたトップＬＧＡとボトムＢＧＡパッケージとの間で形成される。ステップ１６１６において、追加のプラズマクリーンは、ステップ１６１８でのＭＰＭモールドの形成に付随して実行される。ステップ１６２０において、第２レベルの相互接続はんだボールは、モジュールの下側に取り付けられる。ステップ１６２２において、完成したモジュールはテストされて（＊）、例えばのこぎり個片化またはパンチ個片化によってストリップから個片化されて、さらなる使用のためにパッケージされる。
【０１５５】
図１７は、例えば図１０Ａまたは図１０Ｂに示すようなマルチパッケージモジュールの組み立てのプロセスを示しているフローチャートである。ステップ１７０２において、上向きダイスフリップチップボールグリッドアレイパッケージの個片化されていないストリップが供給される。フリップチップ相互接続は、ダイスとボトム基板のダイス取り付け面との間のアンダーフィルまたはモールドによって保護される。したがって、いかなる余分なモールドも必要とされていない。ストリップ状のＢＧＡパッケージは、好ましくは、それらが次の処理に入る前に、性能および信頼性についてテストされる（図中で＊印によって示される）。「合格」と認定されたパッケージだけが後処置を受ける。ステップ１７０４において、接着剤は「合格」のＢＧＡパッケージの基板の上側表面の上に塗布される。ステップ１７０６において、個片化された第２のパッケージが供給される。それは、図１０Ａと１０Ｂに例示するように、積み重ねられたダイスパッケージである。個片化された第２のパッケージは、モールドによって保護されて、好ましくは、テストされて（＊）、「合格」と認定される。ステップ１７０８において、ピック・アンド・プレイスの処理は、「合格」ＢＧＡパッケージの基板上の接着剤に「合格」の第２パッケージを配置するために実行される。ステップ１７１０において、接着剤は硬化処理される。ステップ１７１２において、プラズマクリーン処理は、ステップ１７１４の準備として実行される。そして、ステップ１７１４において、ワイヤボンドｚ軸相互接続は、積み重ねられたトップ（積み重ねられたダイス）とボトム上向きダイスフリップチップＢＧＡパッケージとの間で形成される。ステップ１７１６において、追加のプラズマクリーンは、ステップ１７１８でのＭＰＭモールドの形成に付随して実行される。ステップ１７２０において、第２次相互接続はんだボールは、モジュールの下側に取り付けられる。ステップ１７２２において、完成したモジュールはテストされて（＊）、例えばのこぎり個片化またはパンチ個片化によってストリップから個片化されて、さらなる使用のためにパッケージされる。
【０１５６】
図１８は、図１１中で例示されるようなマルチパッケージモジュールの組み立てのプロセスを示しているフローチャートである。ステップ１８０２において、積み重ねられたダイスボールグリッドアレイパッケージの個片化されていないストリップが供給される。積み重ねられたダイスＢＧＡパッケージが形成され、上側のパッケージ表面を供給している。ストリップ状のＢＧＡパッケージは、好ましくは、それらが次の処理に入る前に、性能および信頼性についてテストされる（図中で＊印によって示される）。「合格」と認定されたパッケージだけが後処置を受ける。ステップ１８０４において、接着剤は「合格」の積み重ねられたダイスＢＧＡパッケージの基板の上側表面に塗布される。ステップ１８０６において、個片化された第２パッケージが供給される。それが、図１１に例示するように、積み重ねられたダイスパッケージである。個片化された第２パッケージは、モールドによって保護されて、好ましくは、テストされて（＊）、「合格」と認定される。ステップ１８０８において、ピック・アンド・プレイスの処理は、「合格」のＢＧＡパッケージの基板上の接着剤に「合格」の第２パッケージを配置するために実行される。ステップ１８１０において、接着剤は硬化処理される。ステップ１８１２において、プラズマクリーン処理は、ステップ１８１４の準備として実行される。そして、ステップ１８１４において、ワイヤボンドｚ軸相互接続は、積み重ねられたトップ（積み重ねられたダイス）とボトム上向きダイスフリップチップＢＧＡパッケージとの間で形成される。ステップ１８１６において、追加のプラズマは、ステップ１８１８でのＭＰＭモールドの形成に付随して実行される。ステップ１８２０において、第２レベルの相互接続はんだボールは、モジュールの下側に取り付けられる。ステップ１８２２において、完成したモジュールはテストされて（＊）、例えばのこぎり個片化またはパンチ個片化によってストリップから個片化されて、さらなる使用のためにパッケージされる。
【０１５７】
好適なことに、本発明に係るプロセスの様々なステップの個々のものは、これまでに説明されている方法のような従来の組立て設備の直接的な修正を伴う実質的に従来の技術を使用して、これまでに詳述されている方法に従って実行され得る。従来の技術と従来の組立て設備の必要とされるような修正とのそのようなバリエーションは、過度の実験をせずこれまでの説明を用いて成し得る。
【０１５８】
他の実施形態は、特許請求の範囲内で実施可能である。
【符号の説明】
【０１５９】
５０  マルチパッケージモジュール、４００  ボトムパッケージ、４０１  縁部、４１２  トップパッケージ基板、４１３  接着剤、４１４  ダイス、４１５，４２７  はんだマスク、４１６  ワイヤボンド、４１７  モールディングコンパウンド、４１８  はんだボール、４１９  ボトムパッケージ上側表面、４２１，４２３  金属レイヤ、４２２  バイアス、４２４  ボトムパッケージｚ軸相互接続パッド、４２６  カプセル体の縁部、５００  トップパッケージ、５０１  縁部、５０３，５１３  接着剤、５０７  モジュールカプセル体、５１２  トップパッケージ基板、５１４  ダイス、５１５，５２７  はんだマスク、５１６，５１８  ワイヤボンド、５１７  モールディングコンパウンド、５１９  トップパッケージ上側表面、５２１，５２３  金属レイヤ、５２２  バイアス、５２４  トップパッケージｚ軸相互接続パッド、５２５  上側表面、５２６  カプセル体の縁部。
【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
0005602685.tif 000003
【図１２】
0005602685.tif 000004
【図１３】
0005602685.tif 000005
【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
0005602685.tif 000007
【図１４Ｃ】
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【図１５】
0005602685.tif 000009
【図１６】
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【図１７】
0005602685.tif 000011
【図１８】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
0005602685.tif 000017
【図５Ｄ】
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【図５Ｅ】
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【図６Ａ】
0005602685.tif 000020
【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８Ａ】
0005602685.tif 000023
【図８Ｂ】
0005602685.tif 000024
【図８Ｃ】
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【図９Ａ】
0005602685.tif 000026
【図９Ｂ】
0005602685.tif 000027
【図９Ｃ】
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【図１０Ａ】
0005602685.tif 000029
【図１０Ｂ】
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【図１０Ｃ】
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【図１０Ｄ】
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【図１０Ｅ】
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【図１１】
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