(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基準点が形成された基板上にＮ個の情報層（Ｎは、３以上の整数）、前記情報層を隔てる（Ｎ−１）個の中間層と、第Ｎの前記情報層上に積層された保護層と、を含む情報記録媒体を製造する方法であって、
前記基板上に前記情報層を形成する工程と、
前記情報層上に放射線硬化性樹脂を塗布する工程と、前記放射線硬化性樹脂を介して、第２基準点が形成された転写スタンパを貼り合わせる工程と、前記放射線硬化性樹脂を放射線照射によって硬化する工程と、前記転写スタンパを前記放射線硬化性樹脂との界面で剥離し、前記中間層を形成する工程と、を（Ｎ−１）回繰り返し、（Ｎ−１）個の前記情報層と、（Ｎ−１）個の前記中間層と、を順次形成した後、第Ｎの前記情報層を形成する工程と、
第Ｎの前記情報層上に前記保護層を形成する工程と、を含み、
前記放射線硬化性樹脂を介して前記転写スタンパを貼り合わせる工程において、前記基板の前記第１基準点に対して、前記転写スタンパの前記第２基準点が毎回異なる位置となるように前記転写スタンパが貼り合わせられることを特徴とする情報記録媒体の製造方法。
【請求項２】
（Ｎ−１）個の前記転写スタンパのチルトのパターンは、前記転写スタンパの前記第２基準点が０時の方向として規定されるとき、３時、６時、９時の各方向における相対的なチルト方向が、略同じチルト方向であることを特徴とする請求項１に記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記転写スタンパのチルトのパターンは、前記転写スタンパの前記第２基準点に対するタンジェンシャルチルトの変動パターンで表されることを特徴とする請求項２記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記転写スタンパの前記第２基準点は、前記転写スタンパを製造する転写スタンパ製造装置によって形成されることを特徴とする請求項１乃至３いずれか１項に記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項５】
前記基板の前記第１基準点は、前記基板を製造する基板製造装置によって形成され、
前記放射線硬化性樹脂を介して前記転写スタンパを貼り合わせる工程は、
前記基板の前記第１基準点を読み取る工程と、
前記基板と前記転写スタンパとの貼り合わせ位置において、前記基板の前記第１基準点を所定位置に合わせるように前記基板を回転させる工程とを含むことを特徴とする請求項４記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項６】
前記基板は、前記情報層が積層される第１面と、該第１面と反対側の第２面と、を含み、
前記基板の前記第１基準点を読み取る工程は、前記第２面側から光を照射し、前記基板を通して前記第１面からの反射光を読み取る工程を含むことを特徴とする請求項５記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項７】
前記放射線硬化性樹脂を介して転写スタンパを貼り合わせる工程は、
前記転写スタンパの前記第２基準点を読み取る工程と、
前記基板と前記転写スタンパとの貼り合わせ位置において、前記基板の第１基準点に対する前記転写スタンパの前記第２基準点が毎回異なる位置となるように、前記転写スタンパを回転させる工程と、を含むことを特徴とする請求項５又は６記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項８】
前記放射線硬化性樹脂を介して前記転写スタンパを貼り合わせる工程において、
前記基板の前記第１基準点に対して、前記転写スタンパの前記第２基準点が、１８０／（Ｎ−１）±１０％の範囲でそれぞれずらされるように、前記転写スタンパが前記基板に貼り合わせられることを特徴とする請求項１乃至７いずれか１項に記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項９】
基板と、
該基板上に形成されたＮ個の情報層（Ｎは、３以上の整数）と、
前記情報層を隔てる（Ｎ−１）個の中間層と、
保護層と、を備え、
前記基板には第１基準点が形成され、
前記中間層それぞれには第２基準点が形成され、
前記第１基準点に対する第２基準点の位置が、前記中間層それぞれごとに異なることを特徴とする情報記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層された硬化性樹脂層を含む再生又は記録再生用の情報記録媒体及びその製造方法に関する。より詳しくは、３層以上の情報層を有する情報記録媒体の製造方法及び当該製造方法から製造された情報記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の光学的な情報記録技術の研究の進展の結果、産業用及び民生用の情報記録媒体が広く用いられている。特に、ＣＤやＤＶＤといった高密度に情報を記録することができる光情報記録媒体は、普及している。このような光情報記録媒体は、情報信号を表すピットや記録再生光をトラッキングするための案内溝といった凹凸形状からなる情報面が形成された透明基板と、透明基板上に形成された情報層（例えば、積層された金属薄膜や積層された熱記録可能な薄膜材料）と、情報層を、例えば、大気中の水分から保護するための保護層（例えば、樹脂層や透明基板）とを含む。情報層に照射されたレーザ光の反射光の光量変化の検出により、情報の再生がなされる。
【０００３】
例えば、ＣＤの場合、厚さ約１．１ｍｍの樹脂基板が用意される。樹脂基板の一方の面には、凹凸形状を含む情報面が形成されている。樹脂基板上に金属薄膜又は薄膜材料が積層され、情報層が形成される。その後、紫外線硬化性樹脂といった放射線硬化性樹脂が保護層の形成のためにコーティングされ、ＣＤが作製される。情報信号の再生は、保護層側ではなく、基板側から入射されたレーザ光によりなされる。
【０００４】
ＤＶＤの場合、厚さ約０．６ｍｍの樹脂基板が用意される。樹脂基板には、凹凸形状を含む情報面が形成されている。樹脂基板上に金属薄膜又は薄膜材料が積層され、情報層が形成される。その後、別途用意された厚さ０．６ｍｍの樹脂基板が、紫外線硬化性樹脂といった樹脂を用いて張り合わされ、ＤＶＤが作成される。
【０００５】
上述の光情報記録媒体に対して、大容量化に対する要望が高まっている。このような要望に応えるべく、多層化された情報層を有するＤＶＤが提案されている。このようなＤＶＤは、２層の情報層と、情報層との間に形成された厚さ約数十μｍの中間層と、を備える。
【０００６】
更に、近年のデジタルハイビジョン放送の普及に伴って、ＤＶＤよりも更に高密度で且つ大容量の次世代光情報記録媒体に対するニーズも高まっている。次世代光情報記録媒体として、Ｂｌｕ−ｒａｙディスクといった大容量媒体が提案されている。このような大容量媒体は、凹凸形状を含む情報面を有する厚さ１．１ｍｍの基板と、基板の情報面に、例えば、金属薄膜を積層して形成された情報層と、情報層上に形成された厚さ約０．１ｍｍの保護層と、を含む。Ｂｌｕ−ｒａｙディスクは、ＤＶＤと較べて、狭い情報層のトラックピッチと、小さなピットとを有する。このため、情報の記録再生を行うためのレーザのスポットは、情報層上で小さく絞られる必要がある。Ｂｌｕ−ｒａｙディスクの再生には、短波長の青紫レーザ（波長：４０５ｎｍ）が使用される。また、開口数（ＮＡ）が０．８５の対物レンズを備える光学ヘッドを用いて、レーザ光のスポットが情報層上で小さく絞り込まれる。しかしながら、スポットが小さくなると、ディスクの傾きによる影響は大きくなる。ディスクの小さな傾きは、ビームスポットの収差を発生させる。ビームスポットの収差に起因して、絞り込まれたビームに歪みが生じ、結果として、記録再生できなくなるといった課題を生ずる。そのため、Ｂｌｕ−ｒａｙディスクでは、ディスクのレーザ入射側の保護層の厚さは、非常に薄く（０．１ｍｍ程度に）設定され、上述の欠点が補われる。
【０００７】
Ｂｌｕ−ｒａｙディスクといった大容量の次世代光情報記録媒体においても、ＤＶＤと同様に、情報層の多層化による記憶容量の大容量化が提案されている。
【０００８】
図１３は、２つの情報層を含む２層Ｂｌｕ−ｒａｙディスクの概略的な断面図である。図１３を用いて、２層Ｂｌｕ−ｒａｙディスクが説明される。
【０００９】
成形樹脂基板２０１が用意される。成形樹脂基板２０１の一方の面には、凹凸形状により第１の情報面２０２が形成される。第１の情報面２０２上に金属薄膜又は熱記録可能な薄膜材料が積層され、第１の情報層２０３が形成される。第１の情報層２０３上に記録再生光に対して略透明な樹脂層２０４が形成される。樹脂層２０４上には、凹凸形状によって第２の情報面２０５が形成される。第２の情報面２０５上に、記録再生光に対して半透明な金属薄膜又は熱記録が可能な薄膜材料が積層され、第２の情報層２０６が形成される。そして、第２の情報層２０６を覆うように記録再生光に対して略透明な樹脂がコーティングされ、保護層２０７が形成される。尚、ここでいう「略透明」との用語は、層が記録再生光に対して約９０％以上の透過率を有することを意味する。また、「半透明」との用語は、層が記録再生光に対して１０％以上９０％の透過率を有することを意味する。この２層Ｂｌｕ−ｒａｙディスクの保護層２０７の側からレーザ光が入射される。第１の情報層２０３及び第２の情報層２０６のうち、記録再生を行うための情報層にレーザ光の焦点が合わせられ、信号の記録及び再生といった動作がなされる。尚、成形樹脂基板２０１の厚さは、約１．１ｍｍである。また、樹脂中間層（樹脂層２０４）の厚さは、約２５μｍに設定される。保護層２０７の厚さは、約７５μｍに設定される。
【００１０】
図１４は、情報記録媒体の成形樹脂基板２０１を作成するための金属金型として用いられるスタンパの作成工程を概略的に示す。図１３及び図１４を用いて、上述の２層Ｂｌｕ−ｒａｙディスクの一般的な製造方法が説明される。尚、以下に説明される２層Ｂｌｕ−ｒａｙディスクの製造方法の原理は、３層以上の情報層を備える多層のＢｌｕ−ｒａｙディスクにも適用される。
【００１１】
図１４（ａ）に示される如く、ガラス盤或いはシリコンウェハといった材料から形成された原盤３０１上にフォトレジストといった感光材料が塗布され、感光膜３０２が形成される。その後、感光膜３０２にレーザ光や電子線といった露光ビーム３０３が照射され、ピットや案内溝といったパターンの露光が行われる。また、原盤３０１の識別のために、内周部に文字情報がピット或いは溝の集合体で露光される。
【００１２】
図１４（ｂ）において、感光膜３０２中のハッチング領域は、露光ビーム３０３によって露光された露光部３０４である。図１４（ａ）に関連して説明された感光膜３０２への露光ビーム３０３の照射によって、露光部３０４からなる潜像が形成される。
【００１３】
図１４（ｃ）に示される如く、その後、アルカリ現像液といった現像剤を用いて、露光部３０４が除去される。この結果、原盤３０１と、原盤３０１上で感光材によって形成された凹凸状のパターン３０５とを含む記録原盤３０６が形成される。また、露光された文字情報は、目視で確認できる文字として原盤３０１上に形成される。
【００１４】
図１４（ｄ）に示される如く、その後、スパッタリング法や蒸着法といった薄膜形成技術を用いて、記録原盤３０６の表面に導電性薄膜３０７が形成される。
【００１５】
図１４（ｅ）に示される如く、その後、導電性薄膜３０７を電極として、金属メッキといった手法を用いて、金属板３０８が形成される。
【００１６】
図１４（ｆ）に示される如く、パターン３０５（感光膜３０２）と導電性薄膜３０７との界面で、導電性薄膜３０７と金属板３０８とを含む積層体が剥離される。導電性薄膜３０７の表面に残留する感光材は、例えば、除去材を用いて除去される。その後、積層体に対して、成形機に適合するような内外径を有するディスクに打ち抜き成形が行われ、金属スタンパ３０９が作成される。金属スタンパ３０９は、樹脂基板を成形するための金属金型として、その後、用いられる。
【００１７】
次に、金属スタンパを用いて、射出成形法といった樹脂成形方法により、樹脂基板が成形される。樹脂基板には、金属スタンパ３０９の内周部に形成された文字情報も転写される。典型的には、樹脂基板を成形するための成形機に対する金属スタンパ３０９の位置は、略一定にされる。例えば、金属スタンパ３０９に形成された文字情報が天の位置となるように、金属スタンパ３０９は成形機に取り付けられる。この結果、文字情報の記録位置は、常に、成形機の天の方向を指し示すこととなる。以下の実施形態において、基板の文字情報の開始位置は、基板の第１基準点として例示される。
【００１８】
樹脂基板の材料として、典型的には、ポリカーボネートといった成形性に優れた材料が用いられる。その後、特許文献１に示されるようなスピンコート法といった樹脂層の形成工程を用いて、樹脂層の積層が行われる。
【００１９】
図１５は、スピンコート法に従う樹脂中間層（樹脂層２０４）の作成工程と、保護層２０７の作成工程とからなる２層Ｂｌｕ−ｒａｙディスクの作成工程を示す。図１３乃至図１５を用いて、２層Ｂｌｕ−ｒａｙディスクの作成工程が説明される。
【００２０】
図１４に関連して説明された工程を経て得られた金属スタンパ３０９を用いて、射出成形法といった樹脂成形法によって、厚さ約１．１ｍｍの成形樹脂基板２０１が形成される。上述の如く、成形樹脂基板２０１の一方の面には、凹凸形状からなるピットや案内溝を用いて形成された第１の情報面２０２が形成される。第１の情報面２０２上に金属薄膜や熱記録が可能な薄膜材料を用いて、スパッタリング法や蒸着法によって、第１の情報層２０３が形成される。図１５（ａ）に示される如く、第１の情報層２０３が形成された成形樹脂基板２０１は、真空吸着といった方法により、回転ステージ４０３上に固定される。
【００２１】
図１５（ｂ）に示される如く、回転ステージ４０３に固定された成形樹脂基板２０１上の第１の情報層２０３の所望の半径上に、ディスペンサによって放射線硬化性樹脂Ａ４０４が同心円状に塗布される。
【００２２】
図１５（ｃ）に示される如く、回転ステージ４０３がスピン回転される。この結果、第１の情報層２０３上の放射線硬化性樹脂Ａ４０４は、延伸され、樹脂層４０６となる。樹脂層４０６の厚さは、放射線硬化性樹脂Ａ４０４の粘度、スピン回転の回転数、スピン回転の回転時間やスピン回転させている間の放射線硬化性樹脂Ａ４０４の周囲の雰囲気（例えば、温度や湿度）といった様々なパラメータを用いて、所望の値となるように制御される。スピン回転の停止の後、樹脂層４０６に放射線照射器４０５から放射線が照射される。この結果、樹脂層４０６は硬化する。
【００２３】
第２の情報面２０５を形成するための転写スタンパ４０７が用意される。転写スタンパ４０７は、例えば、図１４（ｆ）に関連して説明された成形樹脂基板２０１を成形するための金属スタンパ３０９を作成するための一連の工程と同様の工程を経て得られた金属スタンパを用いて、射出成形法により成形されてもよい。成形樹脂基板２０１と同様に、転写スタンパ４０７の内周部にも文字情報が記録される。以下に説明される実施形態において、転写スタンパ４０７の文字情報の記録開始位置は、転写スタンパの第２基準点として例示される。
【００２４】
図１５（ｄ）に示される如く、転写スタンパ４０７は、真空吸着といった方法を用いて、回転ステージ４０８上に固定される。回転ステージ４０８上の転写スタンパ４０７の所望の半径上に、ディスペンサによって、放射線硬化性樹脂Ｂ４０９が同心円状に塗布される。
【００２５】
図１５（ｅ）に示される如く、回転ステージ４０８がスピン回転される。この結果、転写スタンパ４０７上の放射線硬化性樹脂Ｂ４０９が延伸され、樹脂層４１１が形成される。樹脂層４１１の厚さは、上述の樹脂層４０６の厚さに対する制御と同様に、様々なパラメータの制御を通じて、所望の寸法となるように制御される。回転ステージ４０８のスピン回転の停止後、樹脂層４１１に放射線照射器４１０から放射線が照射される。この結果、樹脂層４１１は、硬化する。
【００２６】
図１５（ｆ）に示される如く、樹脂層４０６が形成された成形樹脂基板２０１は、回転ステージ４１３上に固定される。また、回転ステージ４１３上の成形樹脂基板２０１上に、放射線硬化性樹脂Ｃ４１２を介して、樹脂層４１１が形成された転写スタンパ４０７が重ねられる。尚、樹脂層４１１が樹脂層４０６に対向するように、転写スタンパ４０７は成形樹脂基板２０１に一体化される。
【００２７】
図１５（ｇ）に示される如く、一体化された成形樹脂基板２０１と転写スタンパ４０７とを支持する回転ステージ４１３がスピン回転される。この結果、放射線硬化性樹脂Ｃ４１２は延伸され、所望の厚さに制御された樹脂層４１４が形成される。その後、放射線照射器４１５は、放射線を照射し、樹脂層４１４を硬化される。この結果、成形樹脂基板２０１と転写スタンパ４０７とが結合される。
【００２８】
図１５（ｈ）に示される如く、放射線硬化性樹脂Ｃ４１２の層の硬化による成形樹脂基板２０１と転写スタンパ４０７との一体化の後、転写スタンパ４０７と樹脂層４１１との界面で、転写スタンパ４０７が剥離される。この結果、成形樹脂基板２０１上に第２の情報面２０５が形成される。樹脂層４１１，４１４，４０６の積層部は、図１３に関連して説明された樹脂層２０４に相当する。
【００２９】
図１５（ｉ）に示される如く、この第２の情報面２０５上に、金属薄膜や熱記録可能な薄膜材料を用いて、スパッタリング法や蒸着法といった薄膜形成技術に従って、第２の情報層２０６が形成される。その後、樹脂層４０６，４１１，４１５の形成手法と同様に、第２の情報層２０６上に放射線硬化性樹脂Ｄがスピンコート法に従って塗布される。放射線硬化性樹脂Ｄが延伸された後、放射線が照射され、硬化した保護層２０７が形成される。必要に応じて、保護層２０７上に、傷や指紋の付着といった保護層２０７の表面の欠陥を予防するためのハードコート層が形成されてもよい。このようにして、２層Ｂｌｕ−ｒａｙディスクが完成する。尚、図１５に関連して説明された放射線硬化性樹脂Ａ４０４は、好ましくは、第１の情報層２０３及び／又は樹脂層４１４との良好な接着性を有する。また、放射線硬化性樹脂Ｂ４０９は、好ましくは、転写スタンパ４０７に対して良好な剥離性を有するとともに樹脂層４１４に対して良好な接着性を有する。更に、放射線硬化性樹脂Ａ４０４，放射線硬化性樹脂Ｂ４０９、放射線硬化性樹脂Ｃ４１２及び放射線硬化性樹脂Ｄは、記録再生光の波長に対して略透明である。図１５に関連して説明された工程において、３種類の放射線硬化性樹脂を用いて樹脂中間層（樹脂層２０４）が形成されている。しかしながら、例えば、転写スタンパ４０７の材料を適切に選定することによって、より少ない種類の放射線硬化性樹脂を用いて、樹脂層２０４からの転写スタンパ４０７の剥離が適切に制御されてもよい。このような簡素化された手法も以下に説明される実施形態に好適に適用される。
【００３０】
特許文献２は、４つの情報層を有する４層構造の情報記録媒体を提案する。４層構造の情報記録媒体の樹脂中間層それぞれは、他の層との干渉を軽減するために、異なる厚さを有する。スピンコート法によって形成された樹脂中間層の厚さは、上述の如く、放射線硬化性樹脂の粘度、スピン回転の回転数、スピン回転の回転時間やスピン回転させている間の周囲の雰囲気（例えば、温度や湿度）が任意に設定されることにより、所望の寸法となるように制御される。従来技術において、４層構造の情報記録媒体のように異なる厚さを有する樹脂層の形成には、一般的にスピンコート法が適用される。
【００３１】
Ｂｌｕ−ｒａｙディスクに対しても、更なる大容量化が求められている。例えば、１００ＧＢの容量を達成する３層の情報層を有するメディアや１２８ＧＢの容量を達成する４層の情報層を有するメディアが提案されている。
【００３２】
２層以上の多層化は、図１５に関連して説明された中間層（樹脂層４１１）の形成から第２の情報層２０６の形成までの工程が、複数回繰り返されることにより達成される。これらの一連の工程が繰り返されることにより、複数の情報層が順次積層される。
【００３３】
図１６は、図１５に関連して説明された中間層（樹脂層４１１）の形成から第２の情報層２０６の形成までの工程を複数回繰り返して得られた多層構造のＢｌｕ−ｒａｙディスクメディアの概略的な断面図である。図１６を用いて、多層構造のメディアが有する課題が説明される。
【００３４】
図１６に示されるメディア５００は、約１．１ｍｍの厚さの基板５０１と、基板５０１に積層された複数の情報層５０２，５０３，５０４，５０５とを含む。図１６において、符号「５０２」は、基板５０１に最も近くに形成された第１の情報層を表す。符号「５０３」は、第１の情報層５０２に樹脂層を介して積層された第２の情報層を表す。符号「５０４」は、第２の情報層５０３に樹脂層を介して積層された第３の情報層を表す。符号「５０５」は、基板５０１から第Ｎ番目の第Ｎの情報層を表す。第１の情報層５０２、第２の情報層５０３、第３の情報層５０４及び第Ｎの情報層５０５は、記録再生光５０６の入射面に向けて順次積層される。メディア５００は、第Ｎの情報層を覆う保護層５０７を更に備える。保護層５０７の表面は、記録再生光５０６の入射面となる。
【００３５】
多層構造のメディア５００中の全ての情報層５０２，５０３，５０４，５０５は、先に述べられた如く、ディスクの傾きによる影響を低減するため、保護層５０７の表面から約０．１ｍｍの厚さ寸法中に形成される。このことは、図１６に示される如く、保護層５０７の表面から、保護層５０７から最も離れた第１の情報層５０２までの距離が約０．１ｍｍに制限されることを意味する。
【００３６】
３層メディアや４層メディアに求められる記憶容量を達成するために、情報層当たりの記憶容量を、従来の２層メディアと比して、高めることが提案されている。従来の２層メディアは、情報層当たり２５ＧＢの容量を有する（即ち、２層合計で、５０ＧＢ）。例えば、３層メディアで１００ＧＢの容量を達成するためには、情報層当たり３３．４ＧＢの容量が要求される。また、４層メディアで１２８ＧＢの容量を達成するためには、情報層当たり、３２ＧＢの容量が要求される。
【００３７】
従来のＢＤメディアに用いられたピックアップやシステムとの互換性の観点から、案内溝のピッチ（トラックピッチ）を変更することは好ましくない。したがって、情報層当たりの容量を高めるために線密度の向上が要求される。
【００３８】
線密度の向上は、信号マークそれぞれの長さの短縮に帰結する。この結果、従来の２層メディア中の情報層当たりの２５ＧＢの密度と較べて、保護層や中間層の厚さの変化に対する記録再生に係る品質の劣化の程度は非常に大きくなる。したがって、多層構造のメディアにおいて、保護層の表面から情報層それぞれまでの厚さに対して、２５ＧＢの密度を有する従来のメディアと比して、非常に高い精度が求められる。
【００３９】
しかしながら、従来の２層構造から、３層、４層或いはそれ以上の数の層への積層される樹脂層の数が増加していくにつれて、図１５に関連して説明された工程に従えば、保護層の表面から情報層それぞれまでの厚さのばらつきが大きくなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４０】
【特許文献１】特開２００２−０９２９６９号公報
【特許文献２】特開２００４−２１３７２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００４１】
本発明は、多層メディアにおいて樹脂層の積層に起因して悪化しがちな保護層の表面から情報層それぞれまでの厚さ寸法のばらつきを低減し、記録再生に係る品質低下を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００４２】
本発明の一局面に係る第１基準点が形成された基板上にＮ個の情報層（Ｎは、３以上の整数）、前記情報層を隔てる（Ｎ−１）個の中間層と、第Ｎの前記情報層上に積層された保護層と、を含む情報記録媒体を製造する方法は、前記基板上に前記情報層を形成する工程と、前記情報層上に放射線硬化性樹脂を塗布する工程と、前記放射線硬化性樹脂を介して、第２基準点が形成された転写スタンパを貼り合わせる工程と、前記放射線硬化性樹脂を放射線照射によって硬化する工程と、前記転写スタンパを前記放射線硬化性樹脂との界面で剥離し、前記中間層を形成する工程と、を（Ｎ−１）回繰り返し、（Ｎ−１）個の前記情報層と、（Ｎ−１）個の前記中間層と、を順次形成した後、第Ｎの前記情報層を形成する工程と、第Ｎの前記情報層上に前記保護層を形成する工程と、を含み、前記放射線硬化性樹脂を介して前記転写スタンパを貼り合わせる工程において、前記基板の前記第１基準点に対して、前記転写スタンパの前記第２基準点が毎回異なる位置となるように前記転写スタンパが貼り合わせられることを特徴とする。
【００４３】
本発明の他の局面に係る情報記録媒体は、基板と、該基板上に形成されたＮ個の情報層（Ｎは、３以上の整数）と、前記情報層を隔てる（Ｎ−１）個の中間層と、保護層と、を備え、前記基板には第１基準点が形成され、前記中間層それぞれには第２基準点が形成され、前記第１基準点に対する第２基準点の位置が、前記中間層それぞれごとに異なることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】一実施形態に係る情報記録媒体として例示される３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスクの概略的な断面図である。
【図２】図１に示される３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスクを製造するための中間層形成工程を概略的に示す。
【図３】基板と転写スタンパのチルト差に起因する中間層の厚さ分布を説明する概略的な断面図である。
【図４】転写スタンパのタンジェンシャルチルトを概略的に説明する図である。
【図５】基板と転写スタンパとの貼り合わせ工程を概略的に示す。
【図６】基板の向きを調整するための方向調整装置の概略的な斜視図である。
【図７】転写スタンパの向きを調整するための方向調整装置の概略的な斜視図である。
【図８】基板の向きを調整するための方向調整装置の概略的な斜視図である。
【図９】転写スタンパの向きを調整するための方向調整装置の概略的な斜視図である。
【図１０】基板に対する転写スタンパの貼り合わせを概略的に説明する図である。
【図１１】転写スタンパのタンジェンシャルチルトを説明するグラフである。
【図１２】厚さばらつきの分布を示すグラフである。
【図１３】２層Ｂｌｕ−ｒａｙディスクの概略的な断面図である。
【図１４】スタンパの作製工程を説明する図である。
【図１５】スピンコート法に従う樹脂中間層の作成工程と、保護層の作成工程とからなる２層Ｂｌｕ−ｒａｙディスクの作成工程を説明する図である。
【図１６】多層情報記録媒体の概略的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４５】
以下、本発明の実施形態に係る情報記録媒体の製造方法及び情報記録媒体が図面を参照して説明される。尚、以下に説明される実施形態において、同様の構成要素に対して同様の符号が付されている。また、説明の明瞭化のため、必要に応じて、重複する説明は省略される。図面に示される構成、配置或いは形状並びに図面に関連する記載は、単に、以下の実施形態の原理を容易に理解させることを目的とするものであり、以下の実施形態を通じて説明される原理は、これらに何ら限定されるものではない。
【００４６】
（情報記録媒体）
図１は、情報記録媒体の概略的な断面図である。本実施形態において、３層の情報層を備える３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスクが、３層情報記録媒体として例示される。代替的に、情報記録媒体は、３層より多い数の情報層を備える多層情報記録媒体であってもよい。以下に説明される３層情報記録媒体の原理は、多層情報記録媒体にも好適に適用可能である。
【００４７】
３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００は、基板６０１を備える。基板６０１は、凹凸形状により形成された第１の情報面６０２を含む。３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００は、第１の情報面６０２上に積層された金属薄膜又は熱記録が可能な薄膜材料を含む第１の情報層６０３を更に備える。本実施形態において、第１の情報面６０２は、第１面として例示される。
【００４８】
３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００は、第１の情報層６０３上に形成された第１の中間層６０４を更に備える。記録再生光に対して略透明な第１の中間層６０４は、凹凸形状からなる第２の情報面６０５を含む。３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００は、第２の情報面６０５上に積層された金属薄膜又は熱記録が可能な薄膜材料を含む第２の情報層６０６を更に備える。
【００４９】
３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００は、第２の情報層６０６上に形成された第２の中間層６０７を更に備える。記録再生光に対して略透明な第２の中間層６０７は、凹凸形状からなる第３の情報面６０８を含む。３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００は、第３の情報面６０８上に積層された金属薄膜又は熱記録が可能な薄膜材料を含む第３の情報層６０９を更に備える。
【００５０】
３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００は、第３情報層６０９を覆う保護層６１０を含む。保護層６１０は、第３の情報層６０９をコーティングする記録再生光に対して略透明な樹脂を含む。上述の如く、本実施形態において、基板６０１上には、３個の情報層（第１の情報層６０３、第２の情報層６０６、第３の情報層６０９）が形成される。代替的に、Ｎ個の情報層（Ｎは、３以上の整数）が、基板６０１上に形成されてもよい。また、本実施形態において、基板６０１上には、３個の情報層（第１の情報層６０３、第２の情報層６０６、第３の情報層６０９）を隔てる２つの中間層（第１の中間層６０４、第２の中間層６０７）が形成される。代替的に、Ｎ個の情報層（Ｎは、３以上の整数）が基板６０１上に形成されるならば、（Ｎ−１）個の中間層が形成される。
【００５１】
上述の「略透明」との用語は、層が記録再生光に対して約９０％以上の透過率を有することを意味する。また、上述の「半透明」との用語は、層が記録再生光に対して１０％以上９０％以下の透過率を有することを意味する。
【００５２】
記録再生光として用いられるレーザ光は、保護層６１０を通じて、３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００内に入射する。３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００内に入射されたレーザ光の焦点は、第１の情報層６０３、第２の情報層６０６、第３の情報層６０９のうちいずれか１つ（記録再生の対象となる情報層）に合わせられる。この結果、焦点を合わせられた情報層（第１の情報層６０３、第２の情報層６０６又は第３の情報層６０９）に対して、信号の記録及び／又は再生がなされる。本実施形態において、基板６０１は、約１．１ｍｍの厚さに設定される。第１の中間層６０４及び第２の中間層６０７は、それぞれ約２５μｍ及び約１８μｍの厚さに設定される。保護層６１０は、約５７μｍの厚さに設定される。代替的に、第１の中間層６０４、第２の中間層６０７及び保護層６１０の厚さは、他の値に設定されてもよい。
【００５３】
基板６０１は、ＣＤやＤＶＤといった光ディスクと形状的な互換性を有するように形成される。基板６０１は、例えば、外径φ１２０ｍｍ、中心孔径φ１５ｍｍ、厚さ１．０ｍｍ〜１．１ｍｍであってもよい。基板６０１は、典型的には、ポリカーボネートやアクリル系樹脂からなる円板であってもよい。
【００５４】
基板６０１は、図１４に関連して説明された金属スタンパ３０９を用いて、射出成形法といった適切な樹脂成形技術によって、形成されてもよい。この結果、金属スタンパ３０９の製造過程で規定されたパターン３０５に従う凹凸で形成された案内溝などを含む第１の情報面６０２が形成される。また、基板６０１の内周部には、視認可能な文字情報が記録される。したがって、基板６０１の固体番号が目視で確認される。本実施形態において、文字情報の開始位置は、基板６０１の第１基準点として例示される。また、本実施形態において、基板６０１は、ポリカーボネートを用いて作成される。
【００５５】
情報記録媒体が、再生専用媒体であるならば、第１の情報層６０３は、少なくとも再生光を反射する特性を有すればよい。第１の情報層６０３は、例えば、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｉ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２といった反射材料を用いて、スパッタリングや蒸着といった方法を用いて形成される。
【００５６】
情報記録媒体が、記録可能媒体であるならば、記録光の照射によって情報が第１の情報層６０３に書き込まれる。したがって、第１の情報層６０３は、少なくとも、記録材料（例えば、ＧｅＳｂＴｅといった相変化材料やフタロシアニンといった有機色素）からなる層を含む。必要に応じて、第１の情報層６０３は、反射層や界面層といった記録再生特性を向上させるための層を含んでもよい。
【００５７】
第２の情報層６０６及び第３の情報層６０９は、第１の情報層６０３と同様に形成される。上述の如く、３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００に対する記録再生は、保護層６１０から情報層（第１の情報層６０３、第２の情報層６０６又は第３の情報層６０９）に入射されたレーザ光によりなされる。したがって、第２の情報層６０６及び第３の情報層６０９は、第１の情報層６０３に対して記録再生を行うための記録再生光の波長に対して高い透過率を有する。同様に、第３の情報層６０９は、第２の情報層６０６に対して記録再生を行うための記録再生光の波長に対しても高い透過率を有する。
【００５８】
第１の中間層６０４及び第２の中間層６０７は、記録再生光に対して略透明に形成される。例えば、アクリルを主成分とした紫外線硬化性樹脂やエポキシ系の紫外線硬化性樹脂といった放射線硬化性樹脂が第１の中間層６０４及び第２の中間層６０７の形成に好適に用いられる。上述の「略透明」との用語は、層が記録再生光の波長に対して９０％以上の透過率を有することを意味する。第１の中間層６０４及び第２の中間層６０７は、好ましくは、９５％以上の透過率を有する材料から形成される。
【００５９】
（情報記録媒体の製造方法）
基板６０１は、上述の如く、図１４に関連して説明された金属スタンパ３０９を用いて、射出成形法といった適切な成形技術に従って成形される。また、第１の情報層６０３は、スパッタリングや蒸着といった適切な層形成技術を用いて形成される。
【００６０】
第１の中間層６０４の作成方法は、スピンコート法といった適切な塗布手法に従って、液状の放射線硬化性樹脂を第１の情報層６０３上に塗布する工程を備える。第１の情報層６０３の厚さは、放射線硬化性樹脂の粘度、スピン回転の回転数、スピン回転の回転時間やスピン回転させている間の放射線硬化性樹脂の周囲の雰囲気（例えば、温度や湿度）といった様々なパラメータを用いて適切に制御される。
【００６１】
第１の中間層６０４の作成方法は、ピットや案内溝などを含む情報面を有する転写スタンパを用いて、第１情報層６０３を形成する放射線硬化性樹脂に情報面を転写する工程を更に含む。転写スタンパの情報面の転写の結果、第２の情報面６０５が形成される。尚、転写スタンパは、図１４に関連して説明された金属スタンパ３０９と同様の工程を経て形成されたスタンパを用いて、射出成形法といった適切な成形技術に従って成形される。第２の中間層６０７は、第１の中間層６０４と略同様の工程を経て形成される。
【００６２】
図２は、第１の中間層６０４への転写スタンパの情報面の転写工程を例示する。尚、図２に関連して説明される原理は、第２の中間層６０７への転写スタンパの情報面の転写工程にも同様に適用可能である。図１及び図２を用いて、第１の中間層６０４への転写スタンパの情報面の転写工程が説明される。
【００６３】
上述の如く、基板６０１の第１の情報面６０２上に形成された第１の情報層６０３上に放射線硬化性樹脂７０３が塗布される。図２（ａ）に示される如く、放射線硬化性樹脂７０３の塗布完了後、基板６０１は、真空チャンバ７０７中に搬送される。また、転写スタンパ７０４も真空チャンバ７０７内に配設される。
【００６４】
転写スタンパ７０４は、放射性硬化樹脂に対する良好な剥離性を有する材料（例えば、ポリオレフィンやポリカーボネート）から形成される。転写スタンパ７０４は、基板６０１よりも薄く形成される。例えば、転写スタンパ７０４は、厚さ０．６ｍｍである。基板６０１との厚さの相違は、転写スタンパ７０４と基板６０１との間の剛性の差に帰結する。厚さ１．１ｍｍの基板６０１から転写スタンパ７０４が剥離されるとき、剛性の差異に起因して、転写スタンパ７０４が反り、剥離が促されることとなる。
【００６５】
転写スタンパ７０４の形成に用いられるポリオレフィンやポリカーボネートといった樹脂材料は、基板６０１と同様に、ピットや案内溝などを含む情報面７４５を形成するのに好適である。金属スタンパを用いて、射出成形法といった方法にしたがって、転写スタンパ７０４の一方の面には、情報面が容易に形成される。
【００６６】
加えて、ポリオレフィンやポリカーボネートといった樹脂材料は、紫外線といった放射線に対する高い透過率を有する。したがって、転写スタンパ７０４を通じて、放射線が照射されると、放射線硬化性樹脂７０３は効率よく硬化する。
【００６７】
転写スタンパ７０４の中心には、中心穴７４１が形成される。基板６０１を支持する支持台７４２は、センターボス７０５を備える。支持台７４２から立設されたセンターボス７０５は、基板６０１の中心孔に挿通され、転写スタンパ７０４に向けて突出する。図２（ａ）及び図２（ｂ）に示される如く、センターボス７０５の先端は、転写スタンパ７０４の中心穴７４１に挿入される。この結果、転写スタンパ７０４は、基板６０１に対して同心となる。
【００６８】
転写スタンパ７０４の内周部にも、基板６０１と同様に、文字情報が記録される。本実施形態において、転写スタンパ７０４の内周部に記録された文字情報の開始位置は、転写スタンパの第２の基準点として例示される。
【００６９】
ロータリーポンプやターボ分子ポンプといった真空ポンプ７０８は、真空チャンバ７０７内の空気を排気する。この結果、真空チャンバ７０７内は、短時間で真空雰囲気となる。本実施形態において、真空チャンバ７０７内の圧力が１００Ｐａ以下の真空度に達したとき、転写スタンパ７０４は、基板６０１に重ね合わせられる（図２（ｂ）参照）。転写スタンパ７０４の上方に設置された加圧プレート７０６は、転写スタンパ７０４を基板６０１に向けて加圧する。この結果、転写スタンパ７０４の情報面７４５が放射線硬化性樹脂７０３に転写される。真空チャンバ７０７内が高い真空雰囲気であるので、放射線硬化性樹脂７０３と転写スタンパ７０４との間に気泡が混入することなく、放射線硬化性樹脂７０３を介した転写スタンパ７０４の貼り合わせがなされることとなる。
【００７０】
図２（ｃ）に示される如く、転写スタンパ７０４が貼り合わせられた基板６０１は、真空チャンバ７０７から取り出される。その後、放射線照射装置７０９によって、転写スタンパ７０４を通じて、放射線が照射される。この結果、放射線硬化性樹脂７０３が硬化する。
【００７１】
図２（ｄ）に示される如く、その後、転写スタンパ７０４は、放射線硬化性樹脂７０３との界面で剥離される。転写スタンパ７０４の剥離は、転写スタンパ７０４と放射線硬化性樹脂７０３との界面に楔を打ち込むことによってなされる。代替的に、転写スタンパ７０４と放射線硬化性樹脂７０３との界面に、圧縮空気が吹き込まれることにより、転写スタンパ７０４が放射線硬化性樹脂７０３から剥離されてもよい。転写スタンパ７０４の剥離の結果、第１の情報層６０３上に積層された第１の中間層６０４が形成される。また、第１の中間層６０４の上面には、第２の情報面６０５が形成される。
【００７２】
上述の如く、第２の情報面６０５上には、スパッタリングや蒸着といった適切な層形成技術に従って、第２の情報層６０６が形成される。第２の情報層６０６上に放射線硬化性樹脂が塗布された後、再度、真空チャンバ内に基板６０１が搬送される。真空チャンバ内が真空雰囲気にされた後、放射線硬化性樹脂に転写スタンパが貼り合わされる。その後、転写スタンパを介して、放射線照射がなされ、第２の情報層６０６上の放射線硬化性樹脂が硬化する。放射線硬化性樹脂の硬化の後、転写スタンパが硬化した放射線硬化性樹脂の層から剥離され、第２の中間層６０７が形成される。第２の中間層６０７の上面には、第３の情報面６０８が形成される。第３の情報面６０８上には、スパッタリングや蒸着といった適切な層形成技術に従って、第３の情報層６０９が形成される。
【００７３】
第２の中間層６０７を形成するのに用いられた転写スタンパの内周部にも、基板６０１や第１の中間層６０４を形成するのに用いられた転写スタンパ７０４と同様に、文字情報が記録される。本実施形態において、第２の中間層６０７を形成するのに用いられた転写スタンパの内周部に記録された文字情報の開始位置も、転写スタンパの第２基準点として例示される。また、第１の中間層６０４及び第２の中間層６０７に転写された文字情報の開始位置も第２基準点として例示される。
【００７４】
上述の如く、３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００の作成において、情報層を形成する工程と、情報層上に放射線硬化性樹脂を塗布する工程と、放射線硬化性樹脂を介して転写スタンパを貼り合わせる工程と、放射線硬化性樹脂を放射線照射によって硬化する工程と、転写スタンパを放射線硬化性樹脂との界面で剥離し、中間層を形成する工程とが２回繰り返され、２個の情報層（第１の情報層６０３、第２の情報層６０６）と、２個の中間層（第１の中間層６０４、第２の中間層６０７）とが順次形成される。その後、第３の情報層６０９が形成される。
【００７５】
Ｎ個の情報層を備えるＮ層Ｂｌｕ−ｒａｙディスクの作成においては、上述の一連の工程が（Ｎ−１）回繰り返され、（Ｎ−１）個の情報層と、（Ｎ−１）個の中間層とが、順次形成されることとなる。その後、第Ｎの情報層が形成される。（Ｎ−１）個の中間層を形成するのに用いられる転写スタンパそれぞれの内周部には、文字情報が記録される。したがって、（Ｎ−１）個の中間層それぞれには、転写スタンパそれぞれの文字情報が記録される。
【００７６】
図１を再度用いて、保護層６１０並びに保護層６１０の作成方法が説明される。
【００７７】
保護層６１０は、記録再生光に対して略透明な材料（例えば、アクリルを主成分とする紫外線硬化性樹脂やエポキシ系の紫外線硬化性樹脂といった放射線硬化性樹脂）から形成される。上述の「略透明」との用語は、層が記録再生光の波長に対して９０％の透過率を有することを意味する。好ましくは、９５％以上の透過率を有する材料が保護層６１０の形成に用いられる。
【００７８】
第３の情報層６０９の形成の後、保護層６１０が形成される。保護層６１０の形成方法として、スピンコート法、スクリーン印刷法、グラビア印刷法やインクジェット法といった様々な工法が例示される。代替的に、放射線硬化性樹脂の塗布に代えて、シート状材料が接着剤を介して、第３の情報層６０９に貼り合わされてもよい。シート状材料は、例えば、ポリカーボネート樹脂やアクリル樹脂から形成されてもよい。
【００７９】
本実施形態に係る３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００に対する記録再生には、波長４０５ｎｍの青紫レーザが用いられる。保護層６１０から入射する青紫レーザは、開口数（ＮＡ）が０．８５の対物レンズを用いて、第１の情報層６０３、第２の情報層６０６及び第３の情報層６０９から選択された１つの情報層に絞り込まれる。３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００の傾きの影響の軽減のため、保護層６１０の表面から第１の情報層６０３までの厚さは、約０．１ｍｍに設定される。代替的に、保護層６１０の表面から第１の情報層６０３までの厚さは、他の寸法値に設定されてもよい。保護層６１０の表面から第１の情報層６０３までの厚さに拘わらず、本実施形態の原理は、好適に適用される。
【００８０】
上述の説明は、多層情報記録媒体として例示される３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００の構成並びに３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００の製造方法の全体的な概要である。本実施形態は、中間層（第１の中間層６０４、第２の中間層６０７）の形成に特徴づけられる。したがって、以下に詳細に説明される中間層の形成を除く、多層情報記録媒体の構成及び多層情報記録媒体の製造方法に関連する説明は、本実施形態の原理を何ら限定するものではない。
【００８１】
（中間層の作製方法）
以下に、多層情報記録媒体の製造方法に関連して、中間層の作製方法が主に説明される。
【００８２】
図３は、基板及び基板に貼り合わされた転写スタンパの概略的な断面図である。図２及び図３を用いて、図２に関連して説明された基板と転写スタンパとの貼り合わせ工程が内包する課題が説明される。
【００８３】
図３に示される如く、基板８０１上に放射線硬化性樹脂８０２が塗布されている。転写スタンパ８０３は、図２に関連して説明された如く、真空チャンバ７０７内で貼り合わされる。図３は、真空チャンバ７０７から取り出された基板８０１、放射線硬化性樹脂８０２及び転写スタンパ８０３の概略的な断面を例示する。
【００８４】
説明の明瞭化のために、図３は、略反りのない基板８０１（基板８０１の反り（チルト）は、略０度である）と、反りを有する転写スタンパ８０３とを示す。図３に示される転写スタンパ８０３の外周は、基板８０１から遠ざかるように沿っている。
【００８５】
図２に関連して説明された加圧プレート７０６は、真空チャンバ７０７内で、放射線硬化性樹脂８０２を介して基板８０１に貼り合わされた転写スタンパ８０３を加圧する。この結果、真空チャンバ７０７内において、転写スタンパ８０３は、ある程度、基板８０１に対して平行になる。しかしながら、加圧プレート７０６の加圧が解除されると、基板８０１及び転写スタンパ８０３の剛性に起因して、基板８０１及び転写スタンパ８０３に復元力が作用する。
【００８６】
図３に示される如く、基板８０１と転写スタンパ８０３との間で反りに差異が存するならば、基板８０１及び転写スタンパ８０３に作用する復元力に起因して、基板８０１と転写スタンパ８０３との間の放射線硬化性樹脂８０２の層の厚さが変化する。転写スタンパ８０３の外周に近づくにつれて、転写スタンパ８０３は基板８０１から遠ざかるように反っている。したがって、放射線硬化性樹脂８０２の層は、転写スタンパ８０３の外周に近づくにつれて厚くなる。
【００８７】
図３は、半径方向のチルト（ラジアルチルト）の差に起因する放射線硬化性樹脂８０２の厚さに対する影響を示している。図３に関連して説明された放射線硬化性樹脂８０２の厚さに対する影響は、基板８０１と転写スタンパ８０３との間で周方向のチルト（タンジェンシャルチルト）に差が存するときも同様に現れる。
【００８８】
図３に示される如く、基板８０１と転写スタンパ８０３との間のチルトの関係によって、基板８０１と転写スタンパ８０３との貼り合わせによって形成される中間層（放射線硬化性樹脂８０２の層）の厚さ分布が変動する。
【００８９】
図１に関連して説明された３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００は、第１の中間層６０４と、第１の中間層６０４上で積層された第２の中間層６０７とを備える。第１の中間層６０４の厚さ分布と第２の中間層６０７の厚さ分布の重なり方によって、保護層６１０の表面から、第１の情報層６０３、第２の情報層６０６及び第３の情報層６０９それぞれまでの厚さが大きく変化する。理想的には、基板８０１と転写スタンパ８０３とを貼り合わせる工程において、基板８０１と転写スタンパ８０３とが貼り合わされるときの基板８０１の貼り合わせ面と転写スタンパ８０３の貼り合わせ面とができる限り平行であることが好ましい。
【００９０】
しかしながら、射出成形によって成形された基板８０１及び／又は転写スタンパ８０３の形状特性は、これらを製造する成形機に依存する。したがって、成形機によって定められる条件（例えば、金型の冷却水路の構造）や成形条件（金型の温度設定や成形タクト）によって、基板８０１及び／又は転写スタンパ８０３のチルトが発生する。かくして、基板８０１及び転写スタンパ８０３それぞれの貼り合わせ面が平行となるように、これらの形状を制御することは、非常に困難である。一方で、同一の成形機を用いて、同一成形条件の下、基板８０１及び／又は転写スタンパ８０３が製造されるならば、これらは、成形機及び成形条件に依存する特定のチルトパターンを有することとなる。
【００９１】
上述の如く、基板８０１及び／又は転写スタンパ８０３のチルトのパターンは、これらの内周から外周に向かって半径方向に反るラジアルチルトと、これらの周方向に反るタンジェントチルトとを含む。ラジアルチルトは、成形機の金型温度の調整により、ある程度、コントロール可能である。したがって、転写スタンパ８０３が貼り合わされる基板８０１のラジアルチルトに合わせて、転写スタンパ８０３を製造する成形機の金型温度が調整されてもよい。転写スタンパ８０３を製造する成型機の金型温度の調整を通じて、基板８０１の貼り合わせ面と転写スタンパ８０３の貼り合わせ面とが略平行となるように、転写スタンパ８０３のラジアルチルトが調整される。かくして、ラジアルチルトに起因する中間層の厚さの変動は、成形機の金型温度の調整によって改善される。
【００９２】
しかしながら、金型温度の調整のみによって、タンジェンシャルチルトを制御することは困難である。したがって、基板８０１の形状に適合するように転写スタンパ８０３の形状を制御することは、現実的ではない。加えて、転写スタンパ８０３は、中間層との剥離を促すため、基板８０１と較べて薄く形成される（例えば、基板８０１の厚さが１．１ｍｍであるのに対して、転写スタンパ８０３の厚さは０．６ｍｍに設定される）。薄い転写スタンパ８０３ほどタンジェンシャルチルトは生じやすくなる。かくして、基板８０１に対して平行となるように形状制御された転写スタンパ８０３を成形することは困難である。
【００９３】
したがって、転写スタンパ８０３の反り形状は、金型温度の調整を通じてコントロールされたラジアルチルトに重畳された特定のタンジェンシャルチルトのパターン（成形機の構造に依存する条件や転写スタンパ８０３の成形パラメータによって定まる特定のタンジェンシャルチルトのパターン）を有する。
【００９４】
図４は、タンジェントチルトのパターンを例示する。図４（ａ）は、タンジェントチルトのパターンに従って反った円板の概略的な斜視図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）に示される円板のタンジェントチルトを表すグラフである。図４を用いて、タンジェントチルトのパターンが説明される。
【００９５】
図４（ａ）の円板Ｅには、基準点が設けられている。円板Ｅ中の基準点の位置は、「０時の方向」として定義される。円板Ｅの基準点から９０°だけ角変位された位置は、「３時の方向」として定義される。円板Ｅの基準点から１８０°だけ角変位された位置は、「６時の方向」として定義される。円板Ｅの基準点から２７０°だけ角変位された位置は、「９時の方向」として定義される。
【００９６】
図４（ａ）の円板Ｅ上には、時計周りに周回する矢印Ａが示されている。矢印Ａの進行方向に進むにつれて、円板Ｅの上面が下方に傾斜しているならば、円板Ｅのタンジェントチルトは「マイナス方向のタンジェントチルト」として定義される。矢印Ａの進行方向に進むにつれて、円板Ｅの上面が上方に傾斜しているならば、円板Ｅのタンジェントチルトは「プラス方向のタンジェントチルト」として定義される。尚、円板Ｅは、図１に関連して説明された３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００を作製するために用いられる転写スタンパと同様に６０ｍｍの半径を有する。
【００９７】
図４（ｂ）は、上述の定義に従って描かれた円板Ｅのタンジェントチルトのグラフである。図４（ｂ）のグラフは、円板Ｅの外縁に沿って測定された円板Ｅのチルトの変動を示している。
【００９８】
「０時の方向」から「３時の方向」の間の円板Ｅの上面は、下方に傾斜している。したがって、図４（ｂ）に示されるグラフは、「０時の方向」から「３時の方向」の間で「マイナス方向のタンジェントチルト」を示している。円板Ｅの「３時の方向」において、円板Ｅの上面の傾斜は、矢印Ａの方向に進むに従って、「下方」から「上方」へと変化している。したがって、図４（ｂ）に示されるグラフは、「３時の方向」において、「０」の値を示している。
【００９９】
「３時の方向」から「６時の方向」の間の円板Ｅの上面は、上方に傾斜している。したがって、図４（ｂ）に示されるグラフは、「３時の方向」から「６時の方向」の間で「プラス方向のタンジェントチルト」を示している。円板Ｅの「６時の方向」において、円板Ｅの上面の傾斜は、矢印Ａの方向に進むに従って、「上方」から「下方」へと変化している。したがって、図４（ｂ）に示されるグラフは、「６時の方向」において、「０」の値を示している。
【０１００】
「６時の方向」から「９時の方向」の間の円板Ｅは、「０時の方向」から「３時の方向」の間の円板Ｅのタンジェントチルトと同様のタンジェントチルトを有する。また、「９時の方向」から「０時の方向」の間の円板Ｅは、「３時の方向」から「６時の方向」の間の円板Ｅのタンジェントチルトと同様のタンジェントチルトを有する。
【０１０１】
図４（ｂ）のグラフは、２つの山と２つの谷とを有する略サインカーブを描く。本実施形態の原理は、他の形状の曲線で表現されるタンジェントチルトのパターンを有する転写スタンパにも適用される。したがって、本実施形態の原理が適用可能なタンジェントチルトのパターンは、「０時の方向」、「３時の方向」、「６時の方向」及び／又は「９時の方向」において、「０度」とならなくともよい。転写スタンパを製造するための成形機及び成形機に適用される成形条件によっては、タンジェントチルトのパターンを表すカーブの山と谷の位置がずれることもある。しかしながら、同一の成形機を用いて、同一の成形条件下で、転写スタンパが製造されるならば、基準点に対するタンジェントチルトのパターンの山の位置並びに谷の位置は、略一定である。同一の成形機を用いて、同一の成形条件下で成形された転写スタンパに記録された文字情報の開始位置が「０時の方向」として定義されるとき、「０時の方向」、「３時の方向」（「０時の方向」から９０度だけ角変位された位置）、「９時の方向」（「０時の方向」から１８０度だけ角変位された位置）、「６時の方向」（「０時の方向」から１８０度だけ角変位された位置）、「９時の方向」（「０時の方向」から１８０度だけ角変位された位置）におけるタンジェントチルトは、転写スタンパ間で略一定である。
【０１０２】
図３に関連して説明された如く、基板８０１（厚さ１．１ｍｍ）は、転写スタンパ８０３と較べて厚い。したがって、転写スタンパ８０３のタンジェンシャルチルトの変動と較べて、基板８０１のタンジェントチルトの変動は小さい。基板８０１と転写スタンパ８０３とが貼り合わされたとき、基板８０１と転写スタンパ８０３との間の放射線硬化性樹脂８０２から形成される中間層には、基板８０１と転写スタンパ８０３との間のタンジェントチルトの差に応じた厚さ分布が現れることとなる。
【０１０３】
図１に関連して説明された３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００は、基板６０１上に積層された第１の中間層６０４、第２の中間層６０７及び保護層６１０を備える。基板６０１と転写スタンパ７０４との間のタンジェントチルトの差に起因する厚さ分布は、第１の中間層６０４及び第２の中間層６０７に現れる。第１の中間層６０４の比較的厚い部位が第２の中間層６０７の比較的厚い部位に重ねられるとともに第１の中間層６０４の比較的薄い部位が第２の中間層６０７の比較的薄い部位に重ねられるならば、第１の中間層６０４と第２の中間層６０７とを含む中間層には、より強調された厚さ分布が現れることとなる。この結果、３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００の保護層６１０の表面から第１の情報層６０３及び第２の情報層６０６それぞれまでの厚さは大きく変動することとなる。特に、保護層６１０の表面から最も離れた第１の情報層６０３までの厚さの変動が大きくなる。
【０１０４】
本実施形態において、第１の中間層６０４の比較的厚い部位が第２の中間層６０７の比較的厚い部位に重ならないように、且つ、第１の中間層６０４の比較的薄い部位が第２の中間層６０７の比較的薄い部位に重ならないように、基板６０１に貼り合わされるときの転写スタンパ７０４の向きが制御される。
【０１０５】
図５は、基板６０１と転写スタンパ７０４との貼り合わせ工程を概略的に示す。図１、図２及び図５を用いて、基板６０１と転写スタンパ７０４との貼り合わせ工程が説明される。
【０１０６】
上述の如く、基板６０１は、成形機（図示せず）を用いて、射出成形される。成形機は、基板６０１の内周部に文字情報を記録する。したがって、基板６０１に形成された文字情報の開始位置は、成形機によって規定される。本実施形態において、基板６０１を成形する成形機は、基板製造装置として例示される。また、文字情報は、第１基準位置情報として例示される。
【０１０７】
基板６０１が転写スタンパ７０４と貼り合わされる前に、基板６０１は、成膜装置（図示せず）に投入され、第１の情報層６０３が形成される。図５には、第１の情報層６０３が形成された後の基板６０１が示されている。
【０１０８】
図５には、図２に関連して説明された真空チャンバ７０７に加えて、真空チャンバ７０７に向けて基板６０１を搬送する第１搬送装置７２０と、真空チャンバ７０７に向けて移動する基板６０１の向きを調整する基板６０１用の方向調整装置７２５とが示されている。上述の如く、第１の情報層６０３が形成された後、基板６０１は第１搬送装置７２０によって、真空チャンバ７０７へ搬送される。上述の如く、第１の情報層６０３は、スパッタ装置を用いて、成膜される。また第１の情報層６０３上に放射線硬化性樹脂７０４がスピンコート法などを用いて塗布される。したがって、基板６０１は、第１の情報層６０３が形成される間、および、放射線硬化性樹脂７０４が塗布される間、回転される。この結果、方向調整装置７２５を通過する前において、基板６０１の向き（基板６０１の中心点から基板６０１に記録された文字情報の開始位置に向かう方向）は、一定ではない。
【０１０９】
図６は、基板６０１用の方向調整装置７２５を概略的に示す。図１、図２、図５及び図６を用いて、基板６０１の方向調整が説明される。
【０１１０】
方向調整装置７２５は、第１搬送装置７２０によって搬送された基板６０１を支持する支持部材７２６と、支持部材７２６を回転させる回転シャフト７２７とを備える。図６に示される如く、基板６０１の内縁６２１の近傍の内周部に文字情報Ｃ１が記録されている。回転シャフト７２７の回転方向において先頭に位置する文字情報Ｃ１の端部は、文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１となる。支持部材７２６は、文字情報Ｃ１よりも基板６０１の中心領域を支持する。回転シャフト７２７は、基板６０１と略同心回転する。本実施形態において、文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１は、第１基準点として例示される。
【０１１１】
方向調整装置７２５は、文字情報Ｃ１の回転軌跡の下方に配設される光学顕微鏡７２８を更に備える。基板６０１は、第１の情報層６０３が積層された面と反対側の面６２２を含む。光学顕微鏡７２８は、面６２２を介して、文字情報Ｃ１を読み取る。本実施形態において、面６２２は、第１の情報面６０２と反対側の第２面として例示される。
【０１１２】
第１の情報層６０３には、面６２２から入射された光を反射する反射膜が形成される。したがって、光学顕微鏡７２８は、面６２２に照射された光に対する反射膜からの反射光を通じて、文字情報Ｃ１を容易に読み取ることができる。文字情報Ｃ１の読取によって、文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１が識別される。回転シャフト７２７は、識別された文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１が所定の位置に移動するように回転する。この結果、方向調整装置７２５から排出された基板６０１の文字情報Ｃ１の位置は、略一定に位置決めされる。文字情報Ｃ１の位置が一定となるように位置調整された基板６０１は、その後、真空チャンバ７０７内で転写スタンパ７０４と貼り合わせられる。本実施形態において、真空チャンバ７０７は、貼り合わせ位置として例示される。
【０１１３】
図５には、真空チャンバ７０７、第１搬送装置７２０及び方向調整装置７２５に加えて、第１の中間層６０４を形成するための転写スタンパ７０４を搬送する第２搬送装置７３０及び転写スタンパ７０４用の方向調整装置７３５が示されている。
【０１１４】
転写スタンパ７０４は、成形機（図示せず）を用いて、射出成形される。成形機は、転写スタンパ７０４の内周部に文字情報を記録する。したがって、転写スタンパ７０４に形成された文字情報の開始位置は、成形機によって規定される。本実施形態において、転写スタンパ７０４を成形する成形機は、転写スタンパ製造装置として例示される。また、転写スタンパ７０４に記録された文字情報は、第２基準位置情報として例示される。
【０１１５】
成形機によって成形された転写スタンパ７０４は第２搬送装置７３０によって、真空チャンバ７０７へ搬送される。方向調整装置７３５は、第２搬送装置７３０によって搬送される転写スタンパ７０４の向き（転写スタンパ７０４の中心点から転写スタンパ７０４に記録された文字情報の開始位置に向かう方向）を調整する。
【０１１６】
図７は、転写スタンパ７０４用の方向調整装置７３５を概略的に示す。図１、図２、図５乃至図７を用いて、転写スタンパ７０４の方向調整が説明される。
【０１１７】
方向調整装置７３５は、第２搬送装置７３０によって搬送された転写スタンパ７０４を支持する支持部材７３６と、支持部材７３６を回転させる回転シャフト７３７とを備える。図７に示される如く、転写スタンパ７０４の内縁７２１の近傍の内周部に文字情報Ｃ２が記録されている。回転シャフト７３７の回転方向において先頭に位置する文字情報Ｃ２の端部は、文字情報Ｃ２の開始位置Ｒ２となる。支持部材７３６は、文字情報Ｃ２よりも転写スタンパ７０４の中心領域を支持する。回転シャフト７３７は、転写スタンパ７０４と略同心回転する。本実施形態において、文字情報Ｃ２の開始位置Ｒ２は、第２基準点として例示される。
【０１１８】
方向調整装置７３５は、光学顕微鏡７３８を更に備える。転写スタンパ７０４は、基板６０１と異なり、反射膜を備えない。したがって、文字情報Ｃ２を読み取るために、転写スタンパ７０４の面に対して、斜めから単色光を照射する光源７３９と、転写スタンパ７０４の直上から文字情報Ｃ２を読み取る光学顕微鏡７３８とが用意される。光源７３９から照射された単色光によって、光学顕微鏡７３８は、比較的高い精度で文字情報Ｃ２を読み取ることができる。本実施形態において、光学顕微鏡７３８は、転写スタンパ７０４の表面に対する凹凸形状で表現された文字情報に斜めから照射された単色光を利用して、文字情報Ｌ２を読み取る。代替的に、転写スタンパ７０４に記録された文字情報Ｌ２を読取可能な他の手法が用いられてもよい。
【０１１９】
文字情報Ｃ２の読取によって、文字情報Ｃ２の開始位置Ｒ２が識別される。回転シャフト７３７は、識別された文字情報Ｃ２の開始位置Ｒ２が所定の位置に移動するように回転する。この結果、方向調整装置７３５から排出された転写スタンパ７０４の文字情報Ｃ２の位置は、略一定に位置決めされる。文字情報Ｃ２の位置が一定となるように位置調整された転写スタンパ７０４は、その後、真空チャンバ７０７内で基板６０１と貼り合わせられる。
【０１２０】
基板６０１と転写スタンパ７０４との貼り合わせは、図２に関連して説明された工程に従う。基板６０１と転写スタンパ７０４との貼り合わせの後、第１搬送装置７２０は、真空チャンバ７０７から基板６０１を排出する。図２に関連して説明された如く、その後、転写スタンパ７０４は、基板６０１から剥離され、第１の中間層６０４が形成される。第１の中間層６０４が形成された後、基板６０１は、成膜装置（図示せず）に投入され、第２の情報層６０６が形成される。
【０１２１】
図８は、第２の情報層６０６が形成された後の基板６０１に対して方向調整を行う方向調整装置７５５を概略的に示す。図１、図２、図５、図６及び図８を用いて、基板６０１に対する方向調整が説明される。
【０１２２】
第１搬送装置７２０は、第２の情報層６０６の形成の後、放射線硬化性樹脂が塗布された後、基板６０１を方向調整装置７５５へ搬送する。方向調整装置７５５は、図６に関連して説明された方向調整装置７２５と略同様の構造を有する。
【０１２３】
方向調整装置７５５は、第１搬送装置７２０によって搬送された基板６０１を支持する支持部材７５６と、支持部材７５６を回転させる回転シャフト７５７と、文字情報Ｃ１を読み取るための光学顕微鏡７５８とを備える。光学顕微鏡７５８は、図６に関連して説明された光学顕微鏡７２８と同様に、文字情報Ｃ１の回転軌跡の下方に配設される。
【０１２４】
上述の如く、第１の情報層６０３には、面６２２から入射された光を反射する反射膜が形成される。したがって、光学顕微鏡７５８は、面６２２に照射された光に対する反射膜からの反射光を通じて、文字情報Ｃ１を容易に読み取ることができる。即ち、第１の情報層６０３は、第２の情報層６０６や第３の情報層６０９に比べ高い反射率を有しているため、面６２２側から文字情報を読み取ることによって文字情報Ｃ１だけが光学顕微鏡７５８で観測される。第１の中間層６０４及び第２の情報層６０６よりも光学顕微鏡７５８の近くに位置する第１の情報層６０３からの反射光に基づき、文字情報Ｃ１が読み取られるので、第１の情報層６０３上に積層された第１の中間層６０４及び第２の情報層６０６は、文字情報Ｃ１の読取にはほとんど影響しない。
【０１２５】
図９は、第１の中間層６０４を形成するために用いられる転写スタンパ７０４の方向調整と、第２の中間層６０７を形成するために用いられる転写スタンパの方向調整との差異を示す。図９（ａ）は、図７に関連して説明された方向調整装置７３５を示す。図９（ｂ）は、第２の中間層６０７を形成するために用いられる転写スタンパの方向調整を行う方向調整装置を示す。図１、図２、図５、図７及び図９を用いて、第１の中間層６０４を形成するために用いられる転写スタンパ７０４の方向調整と、第２の中間層６０７を形成するために用いられる転写スタンパの方向調整との差異が説明される。
【０１２６】
第２の中間層６０７を形成するために用いられる転写スタンパ７７４は、上述の如く、第２の情報層６０６上に塗布された放射線硬化性樹脂の層を介して、基板６０１に貼り合わされる。図９（ｂ）に示される方向調整装置７７５は、基板６０１に貼り合わされる前の転写スタンパ７７４の向き（転写スタンパ７７４の中心点から転写スタンパ７７４に記録された文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３に向かう方向）を調整する。
【０１２７】
方向調整装置７７５は、図７に関連して説明された方向調整装置７３５と略同様の構造を備える。方向調整装置７７５は、転写スタンパ７７４を支持する支持部材７７６と、支持部材７７６を回転させる回転シャフト７７７と、転写スタンパ７７４の内縁７７１の近傍の内周部に記録された文字情報Ｃ３を読み取る光学顕微鏡７７８と、転写スタンパ７７４に形成された文字情報Ｃ３の読み取りを補助するように単色光を転写スタンパ７７４の面に対して斜めから照射する光源７７９とを備える。回転シャフト７７７の回転方向において先頭に位置する文字情報Ｃ３の端部は、文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３となる。支持部材７７６は、文字情報Ｃ３よりも転写スタンパ７７４の中心領域を支持する。回転シャフト７７７は、転写スタンパ７７４と略同心回転する。本実施形態において、文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３は、第２基準点として例示される。
【０１２８】
光学顕微鏡７７８は、図７に関連して説明された方向調整装置７３５の光学顕微鏡７３８と同様に、転写スタンパ７７４の表面に対する凹凸形状で表現された文字情報に斜めから照射された単色光を利用して、文字情報Ｃ３を読み取る。
【０１２９】
図９に示される如く、方向調整装置７７５の回転シャフト７７７に対する光学顕微鏡７７８の位置関係（図９（ｂ）参照）は、方向調整装置７３５の回転シャフト７３７に対する光学顕微鏡７３８の位置関係（図９（ａ）参照）と略等しい。図９（ａ）に示される如く、方向調整装置７３５の回転シャフト７３７は、転写スタンパ７０４上の文字情報Ｃ２の開始位置Ｒ２を識別した後、角度αだけ回転し、その後、停止する。図９（ｂ）に示される如く、方向調整装置７７５の回転シャフト７７７は、転写スタンパ７７４上の文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３を識別した後、角度βだけ回転し、その後、停止する。
【０１３０】
図１０は、中間層作製工程における基板６０１と、転写スタンパ７０４，７７４との貼り合わせを概略的に示す。図１０（ａ）は、第１の中間層６０４の作製時における基板６０１と転写スタンパ７０４との貼り合わせを示す。図１０（ｂ）は、第２の中間層６０７の作製時における基板６０１と転写スタンパ７７４との貼り合わせを示す。図１、図６、図８乃至図１０を用いて、基板６０１と転写スタンパ７０４，７７４との貼り合わせが説明される。
【０１３１】
図６及び図８に関連して説明された方向調整装置７２５，７５５それぞれは、文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１が「０時の方向」に配設されるように基板６０１の向きを調整する。図９（ａ）に示された転写スタンパ７０４上に記録された文字情報Ｃ２の開始位置Ｒ２が検出されてから、角度αだけ、回転したとき、文字情報Ｃ２の開始位置Ｒ２は、「０時の方向」に配設される。したがって、転写スタンパ７０４上の文字情報Ｃ２の開始位置Ｒ２は、基板６０１上の文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１に重なり合う。
【０１３２】
本実施形態において、図９に関連して説明された方向調整装置７７５の回転シャフト７７７の回転の角度βは、方向調整装置７３５の回転シャフト７３７の回転の角度αより９０度だけ大きい。したがって、転写スタンパ７７４が基板６０１に貼り付けられるとき、転写スタンパ７７４上の文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３は、基板６０１の文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１に対して、９０度だけ角変位した位置（３時の方向）となる。この結果、第１の中間層６０４の比較的厚い部位が第２の中間層６０７の比較的厚い部位に重ねられることが好適に抑制される。また、第１の中間層６０４の比較的薄い部位が第２の中間層６０７の比較的薄い部位に重ねられることも好適に抑制される。かくして、保護層６１０の表面から第１の情報層６０３までの厚さのばらつきが大きくなることが抑制される。
【０１３３】
上述の如く、３層の情報層（第１の情報層６０３，第２の情報層６０６，第３の情報層６０９）を有する３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００中において、基板６０１に記録された文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１に対する第１の中間層６０４の文字情報Ｃ２の開始位置Ｒ２の向きは、基板６０１に記録された文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１に対する第２の中間層６０７の文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３の向きと異なる。Ｎ層の情報層を有する多層情報記録媒体の製造においては、中間層を形成する転写スタンパの方向調整工程を通じて、転写スタンパが中間層の形成ごとに異なる向きに設定される。
【０１３４】
以下に示される表１は、第２の中間層６０７が作製されるときの基板６０１に対する転写スタンパ７７４の貼り合わせ方向の影響を示す。図１０に示される如く、第１の中間層６０４が作製されるときの基板６０１に対する転写スタンパ７０４の貼り合わせ方向は、転写スタンパ７０４上の文字情報Ｃ２の開始位置Ｒ２が、基板６０１上の文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１に重なり合うように定められた。以下の説明において、第１の中間層６０４の作製に用いられる転写スタンパ７０４は、第１の転写スタンパ７０４と称される。また、第２の中間層６０７の作製に用いられる転写スタンパ７７４は、第２の転写スタンパ７７４と称される。
【０１３５】
３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００中の第１の中間層６０４の厚さは、約２５μｍとなるように設計された。３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００中の第２の中間層６０７の厚さは、約１８μｍとなるように設計された。３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００中の保護層６１０の厚さは、約５７μｍとなるように設計された。
【０１３６】
半径２３ｍｍから半径２４ｍｍの範囲における保護層６１０の表面から第１の情報層６０３までの厚さの平均値は、「厚さ基準」として定義された。半径２４ｍｍから３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００の外周縁に相当する半径５８．２ｍｍまでの範囲において、保護層６１０の表面から第１の情報層６０３までの厚さが測定された。測定された厚さ寸法のうち、厚さ基準に対して最もずれている数値が表１にしめされる「厚さばらつき」として記録された。
【０１３７】
図１１は、中間層（第１の中間層６０４、第２の中間層６０７）の作製に用いられた転写スタンパ（第１の転写スタンパ７０４、第２の転写スタンパ７７４）のタンジェントチルトの分布を示す。図１１に示されるタンジェントチルトの分布は、半径５８ｍｍの位置において測定されたタンジェントチルトの値に基づき作製された。
【０１３８】
転写スタンパ（第１の転写スタンパ７０４、第２の転写スタンパ７７４）の文字情報Ｃ１，Ｃ２の開始位置Ｒ１，Ｒ２がタンジェントチルトの測定の基準点とされた。転写スタンパ（第１の転写スタンパ７０４、第２の転写スタンパ７７４）の文字情報Ｃ１，Ｃ２の開始位置Ｒ１，Ｒ２は、図１１に示されるグラフ中、「０時の方向」として示されている。
【０１３９】
図１１に示されるように、タンジェントチルトの分布は、１周の測定において、２つの山と２つの谷とを示す。「−０．１８度」から「０．１９度」のタンジェントチルトの分布範囲を示す転写スタンパ（第１の転写スタンパ７０４、第２の転写スタンパ７７４）が、表１に示されるデータをサンプリングするために用いられた。また、表１に示されるデータをサンプリングするために用いられた転写スタンパ（第１の転写スタンパ７０４、第２の転写スタンパ７７４）のラジアルチルトは、転写スタンパ（第１の転写スタンパ７０４、第２の転写スタンパ７７４）が基板６０１に対してできるだけ平行となるように調整された。
【０１４０】
３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００といった１００ＧＢ容量の３層構造の媒体の場合、情報層当たりの記憶容量は、２層構造の媒体と較べて、増加される。したがって、厚さの変動に起因する球面収差の影響は、記録再生に係る品質に大きな影響を与える。記録再生システムとして問題とならない厚さ変動は、厚さ基準に対して２．５μｍ以下であることが予め確認された。したがって、２．５μｍの厚さ変動が、表１に示される判定の基準とされた。尚、表１中の「厚さばらつき」の欄は、１０枚の３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００から得られた厚さばらつきの値の範囲を示している。表１中の「第２の転写スタンパの貼り合わせ方向」の欄は、基板６０１の文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１の向き（０時の方向）に対する第２の転写スタンパ７７４の文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３の向きの角度差を示している。
【０１４１】
【表１】
0005485287.tif 000002
【０１４２】
表１の結果の通り、第２の転写スタンパ７７４の文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３が基板６０１の文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１に略一致しているとき（「第２の転写スタンパの貼り合わせ方向」の欄において、「０度」）、或いは、基板６０１の文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１の向き（０時の方向）に対して、第２の転写スタンパ７７４の文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３の向きが１８０度ずれているとき、第１の中間層６０４の比較的厚い部位と、第２の中間層６０７の比較的厚い部位とが重なり合うとともに第１の中間層６０４の比較的薄い部位と、第２の中間層６０７の比較的薄い部位とが重なり合った。したがって、保護層６１０の表面から第１の情報層６０３までの厚さばらつきは大きくなった。この結果、厚さばらつきは、２．６μｍ以上となり、目標とする厚さばらつき「２．５μｍ」は達成されなかった。
【０１４３】
基板６０１の文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１の向き（０時の方向）に対して、第２の転写スタンパ７７４の文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３の向きが４５度ずれているとき、厚さばらつきは改善された。しかしながら、測定された厚さばらつきは、判定の基準値（２．５μｍ）近くに分布した。一部の３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００からのデータは、基準値（２．５μｍ）を越える厚さばらつきを示したが、略判定基準を達成できる水準のデータが確認された。
【０１４４】
基板６０１の文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１の向き（０時の方向）に対して、第２の転写スタンパ７７４の文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３の向きが９０度ずれているとき、厚さばらつきは大幅改善された。測定に用いられた３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００全てが判定基準（２．５μｍ）を下回る厚さばらつきを示した。
【０１４５】
上述の如く、基板６０１の文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１の向き（０時の方向）に対して、第２の転写スタンパ７７４の文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３の向きが９０度ずれているとき、厚さばらつきは大幅改善された。本試験において、基板６０１の文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１の向き（０時の方向）に対して、９０度ずらされた第２の転写スタンパ７７４の文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３を更に細かく変更し、「厚さばらつき」が測定された。
【０１４６】
表２は、「厚さばらつき」の測定結果を示す。表２中の「厚さばらつき」の欄は、１０枚の３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００から得られた厚さばらつきの値の範囲を示している。表２中の「第２の転写スタンパの貼り合わせ方向」の欄は、基板６０１の文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１の向き（０時の方向）に対する第２の転写スタンパ７７４の文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３の向きの角度差を示している。表２中で示される判定に対する基準値は、表１に関連して説明された試験と同様に「２．５μｍ」である。表２中の「９０度からの変更割合」の欄は、基板６０１に対して９０度ずらされた第２の転写スタンパ７７４の位置から変更された角度の割合をパーセンテージで示している。
【０１４７】
【表２】
0005485287.tif 000003
【０１４８】
表２に示される如く、基板６０１に対して９０度ずらされた第２の転写スタンパ７７４の位置から変更された角度が大きくなるにつれて、厚さばらつきは増大した。基板６０１の文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１の向き（０時の方向）に対する第２の転写スタンパ７７４の文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３の向きの角度差が「８１度」（即ち、変更割合が「−１０％」）であるときは、試験された３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００全ての厚さばらつきは、判定基準とされた２．５μｍを下回った。しかしながら、基板６０１の文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１の向き（０時の方向）に対する第２の転写スタンパ７７４の文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３の向きの角度差が「８１度」を下回ると、一部の３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００の厚さばらつきは、判定基準とされた２．５μｍを上回った。
【０１４９】
基板６０１の文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１の向き（０時の方向）に対する第２の転写スタンパ７７４の文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３の向きの角度差が「９９度」（即ち、変更割合が「１０％」）であるときは、試験された３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００全ての厚さばらつきは、判定基準とされた２．５μｍを下回った。しかしながら、基板６０１の文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１の向き（０時の方向）に対する第２の転写スタンパ７７４の文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３の向きの角度差が「９９度」を上回ると、一部の３層Ｂｌｕ−ｒａｙディスク６００の厚さばらつきは、判定基準とされた２．５μｍを上回った。
【０１５０】
したがって、基板６０１の文字情報Ｃ１の開始位置Ｒ１の向き（０時の方向）に対する第２の転写スタンパ７７４の文字情報Ｃ３の開始位置Ｒ３の向きの角度差が９０度±１０％であるとき、記録再生にほとんど影響を与えない厚みばらつきが得られる。
【０１５１】
４つの情報層を備える４層情報記録媒体に対して、上述の試験と同様の試験がなされた。
【０１５２】
４層情報記録媒体中の第１の中間層の厚さは、約１５．５μｍとなるように設計された。４層情報記録媒体中の第２の中間層の厚さは、約１９．５μｍとなるように設計された。４層情報記録媒体中の第３の中間層の厚さは、約１１．５μｍとなるように設計された。４層情報記録媒体中の保護層の厚さは、約５３．５μｍとなるように設計された。
【０１５３】
半径２３ｍｍから半径２４ｍｍの範囲における保護層の表面から第１の情報層までの厚さの平均値は、「厚さ基準」として定義された。半径２４ｍｍから４層情報記録媒体の外周縁に相当する半径５８．２ｍｍまでの範囲において、保護層の表面から第１の情報層までの厚さが測定された。測定された厚さ寸法のうち、厚さ基準に対して最もずれている数値が表３に示される「厚さばらつき」として記録された。
【０１５４】
第１の中間層が作製されるときの転写スタンパ（以下、第１の転写スタンパと称される）上の文字情報の開始位置が、基板上の文字情報の開始位置に重なり合うように、第１の転写スタンパの貼り合わせ方向が設定されるとき、第２の中間層が作製されるときの転写スタンパ（以下、第２の転写スタンパと称される）上の文字情報の開始位置が、基板上の文字情報の開始位置に重なり合うように、第２の転写スタンパの貼り合わせ方向が設定され、且つ、第３の中間層が作製されるときの転写スタンパ（以下、第３の転写スタンパと称される）上の文字情報の開始位置が、基板上の文字情報の開始位置に重なり合うように第３転写スタンパの貼り合わせ方向が設定された。
【０１５５】
他の４層情報記憶媒体のサンプルにおいて、第２の転写スタンパ上の文字情報の開始位置が、第１転写スタンパ上の文字情報の開始位置に対して、「３０度」ずらされるように、第２の転写スタンパの貼り合わせ方向が設定され、且つ、第３の転写スタンパ上の文字情報の開始位置が、第２の転写スタンパ上の文字情報の開始位置に対して、「３０度」ずらされるように第３の転写スタンパの貼り合わせ方向が設定された。
【０１５６】
更に他の４層情報記憶媒体のサンプルにおいて、第２の転写スタンパ上の文字情報の開始位置が、第１転写スタンパ上の文字情報の開始位置に対して、「６０度」ずらされるように、第２の転写スタンパの貼り合わせ方向が設定され、且つ、第３の転写スタンパ上の文字情報の開始位置が、第２の転写スタンパ上の文字情報の開始位置に対して、「６０度」ずらされるように第３の転写スタンパの貼り合わせ方向が設定された。
【０１５７】
更に他の４層情報記憶媒体のサンプルにおいて、第２の転写スタンパ上の文字情報の開始位置が、第１転写スタンパ上の文字情報の開始位置に対して、「９０度」ずらされるように、第２の転写スタンパの貼り合わせ方向が設定され、且つ、第３の転写スタンパ上の文字情報の開始位置が、第２の転写スタンパ上の文字情報の開始位置に対して、「９０度」ずらされるように第３の転写スタンパの貼り合わせ方向が設定された。
【０１５８】
４層情報記録媒体中の第１の中間層、第２の中間層及び第３の中間層は、図１１に関連して説明されたタンジェントチルトの分布を有する第１の転写スタンパ、第２の転写スタンパ及び第３の転写スタンパを用いてそれぞれ作製された。第１の転写スタンパ、第２の転写スタンパ及び第３の転写スタンパそれぞれのタンジェントチルトの分布範囲は、上述の試験と同様に、「−０．１８度」から「０．１９度」であった。上述の試験と同様に、第１の転写スタンパ、第２の転写スタンパ及び第３の転写スタンパそれぞれのラジアルチルトは、基板に対してできるだけ平行となるように調整された。
【０１５９】
以下に示される表３中の「第２の転写スタンパの貼り合わせ方向」の欄は、第１の転写スタンパの文字情報の開始位置の向きに対する第２の転写スタンパの文字情報の開始位置の向きの角度差を示す。表３中の「第３の転写スタンパの貼り合わせ方向」の欄は、第２の転写スタンパの文字情報の開始位置の向きに対する第３の転写スタンパの文字情報の開始位置の向きの角度差を示す。
【０１６０】
２．５μｍの厚さ変動が、同様に、判定の基準とされた。表３中の「厚さばらつき」の欄は、１０枚の４層情報記録媒体から得られた厚さばらつきの値の範囲を示している。
【０１６１】
【表３】
0005485287.tif 000004
【０１６２】
表３に示される如く、第１の転写スタンパ、第２の転写スタンパ及び第３の転写スタンパそれぞれの文字情報の開始位置が重なり合うとき、保護層表面から第１の情報層までの厚み変動は非常に大きくなった。同様に、第１の転写スタンパ、第２の転写スタンパ及び第３の転写スタンパそれぞれの文字情報の開始位置が３０度ピッチでずれているときも、保護層表面から第１の情報層までの厚み変動は非常に大きくなった。これらの条件下では、測定された厚さばらつきは、目標とされた「２．５μｍ」を大幅に上回った。
【０１６３】
第１の転写スタンパ、第２の転写スタンパ及び第３の転写スタンパそれぞれの文字情報の開始位置が９０度ピッチでずれているときは、厚さばらつきは改善されたが、一部の４層情報記録媒体の厚さばらつきは、目標とされた「２．５μｍ」を上回った。
【０１６４】
第１の転写スタンパ、第２の転写スタンパ及び第３の転写スタンパそれぞれの文字情報の開始位置が６０度ピッチでずれているときは、厚さばらつきは大幅に改善された。全ての４層情報記録媒体の厚さばらつきは、目標とされた「２．５μｍ」を下回った。かくして、基板、第１の転写スタンパ、第２の転写スタンパ及び第３の転写スタンパそれぞれの文字情報の開始位置が６０度ピッチでずれているとき、目標が達成された。
【０１６５】
上述の一連の試験から、転写スタンパ間の文字情報の最適なずれ角θは、以下の数式１で示される。尚、以下の数式中の変数「Ｎ」は、情報層の数である。
【０１６６】
【数１】
θ＝１８０／（Ｎ−１）
【０１６７】
上記の数式に従うと、情報層の数が「３」であるとき、上述の試験に関連して説明された最適なずれ角である「９０度」が算出される。情報層の数が「４」であるとき、上述の試験に関連して説明された最適なずれ角である「６０度」が算出される。
【０１６８】
４層情報記憶媒体において、最適なずれ角θである「６０度」を中心にずれ角θが細かく変更され、上記の試験と同様に厚さばらつきが調査される。
【０１６９】
図１２は、厚さばらつきの分布を示すグラフである。図１２の左側の縦軸は、４層情報記憶媒体の保護層の表面から第１の情報層までの厚さのばらつきを示す。図１２の横軸は、基板の文字情報の開始位置に対して、第３の転写スタンパの文字情報の開始位置の角度差を示す。本試験において、基板の文字情報の開始位置に対する第３の転写スタンパの文字情報の開始位置の角度差が、１０８度、１１４度、１２０度、１２６度、１３２度に設定されたときの保護層の表面から第１の情報層までの厚さのばらつきが測定された。これらの角度は、４層情報記憶媒体の最適なずれ角θとなる６０度に対して、０％、±１０％、±２０％だけ変更した角度に相当する。図１２の右側の縦軸には、プロットされた点と対応する角度が示されている。本試験において、基板の文字情報の開始位置に対する第２の転写スタンパの文字情報の開始位置の角度差が、４８度、５４度、６０度、６６度、７２度に設定されたときの保護層の表面から第１の情報層までの厚さのばらつきが測定された。これらの角度は、４層情報記憶媒体の最適なずれ角θとなる６０度に対して、０％、±１０％、±２０％だけ変更した角度に相当する。尚、本試験において、第１の転写スタンパの文字情報の開始位置は、基板の文字情報の開始位置に重ね合わせられた。
【０１７０】
図１２中のプロット点は、各条件において、最も悪い（厚さばらつきが最も大きい）データを表す。図１２中の水平線Ｈは、上述の一連の試験において判断基準として用いられた「２．５μｍ」の厚さばらつきを表す。
【０１７１】
図１２のグラフから、基板の文字情報の開始位置に対する第２の転写スタンパの文字情報の開始位置の角度差が６０度±１０％であり、且つ、基板の文字情報の開始位置に対する第３の転写スタンパの文字情報の開始位置の角度差が１２０度を中心に６０度の±１０％範囲内であるとき、目標とする「２．５μｍ」未満の厚さばらつきが達成される。
【０１７２】
上記の一連の試験から、上記の数式１に基づいて算出されたずれ角を用いて、転写スタンパの向きが設定されることにより、好適な厚さばらつきが得られる。また、転写スタンパの向きに対する設定値に対する±１０％のずれ範囲内において、好適な厚さばらつきが維持される。
【０１７３】
上述の如く、中間層の積層回数に応じて、転写スタンパの向きを基板に対して変更することによって、厚さばらつきが低減される。３層情報記憶媒体の場合、中間層の積層回数は２回である。したがって、上記の数式によって算出される最適なずれ角θは「９０度」である。かくして、中間層の積層のたびに転写スタンパの向きが９０度ずつ変更されると、良好な厚さばらつきが達成される。４層情報記憶媒体の場合、中間層の積層回数は３回である。したがって、上記の数式によって算出される最適なずれ角θは「６０度」である。かくして、中間層の積層のたびに転写スタンパの向きが６０度ずつ変更されると、良好な厚さばらつきが達成される。４層を越える数の情報層を備える多層情報記憶媒体においても、上述の原理は好適に適用される。Ｎ層情報記憶媒体では、中間層の積層のたびに転写スタンパの向きが１８０／（Ｎ−１）度ずつ変更されると良好な厚さばらつきが達成される。
【０１７４】
上述された実施形態は、以下の構成を主に備える。
【０１７５】
上述の実施形態の一局面に係る第１基準点が形成された基板上にＮ個の情報層（Ｎは、３以上の整数）、前記情報層を隔てる（Ｎ−１）個の中間層と、第Ｎの前記情報層上に積層された保護層と、を含む情報記録媒体を製造する方法は、前記基板上に前記情報層を形成する工程と、前記情報層上に放射線硬化性樹脂を塗布する工程と、前記放射線硬化性樹脂を介して、第２基準点が形成された転写スタンパを貼り合わせる工程と、前記放射線硬化性樹脂を放射線照射によって硬化する工程と、前記転写スタンパを前記放射線硬化性樹脂との界面で剥離し、前記中間層を形成する工程と、を（Ｎ−１）回繰り返し、（Ｎ−１）個の前記情報層と、（Ｎ−１）個の前記中間層と、を順次形成した後、第Ｎの前記情報層を形成する工程と、第Ｎの前記情報層上に前記保護層を形成する工程と、を含み、前記放射線硬化性樹脂を介して前記転写スタンパを貼り合わせる工程において、前記基板の前記第１基準点に対して、前記転写スタンパの前記第２基準点が毎回異なる位置となるように前記転写スタンパが貼り合わせられることを特徴とする。
【０１７６】
上記構成によれば、第１基準点が形成された基板上に情報層を形成する工程と、情報層上に放射線硬化性樹脂を塗布する工程と、放射線硬化性樹脂を介して転写スタンパを貼り合わせる工程と、放射線硬化性樹脂を放射線照射によって硬化する工程と、転写スタンパを放射線硬化性樹脂との界面で剥離し、中間層を形成する工程とが（Ｎ−１）回繰り返される。この結果、（Ｎ−１）個の前記情報層と、（Ｎ−１）個の中間層とが順次形成される。その後、第Ｎの前記情報層が形成される。第Ｎの情報層上には、保護層が形成される。放射線硬化性樹脂を介して前記転写スタンパを貼り合わせる工程において、基板の第１基準点に対して、転写スタンパの第２基準点が毎回異なる位置となるように、転写スタンパが貼り合わせられる。したがって、転写スタンパのチルトに起因する中間層の厚さ分布の広がりが抑制される。加えて、積層される複数の樹脂層の厚み変動の悪化点の重畳が抑制される。かくして、保護層の表面から各情報層までの厚さの変動が低減され、記録再生に係る品質低下が抑制される。この結果、１層当たりの記録容量が高くなった多層メディアにおいても記録再生に係る品質低下が抑制された高精度なメディアが提供される。
【０１７７】
上記構成において、（Ｎ−１）個の前記転写スタンパのチルトのパターンは、前記転写スタンパの前記第２基準点が０時の方向として規定されるとき、３時、６時、９時の各方向における相対的なチルト方向が、略同じチルト方向であることが好ましい。
【０１７８】
上記構成によれば、（Ｎ−１）個の転写スタンパのチルトのパターンは、転写スタンパの第２基準点を０時の方向として規定されるとき、３時、６時、９時の各方向における相対的なチルト方向が、略同じチルト方向である。放射線硬化性樹脂を介して前記転写スタンパを貼り合わせる工程において、基板の第１基準点に対して、転写スタンパの第２基準点が毎回異なる位置となるように、転写スタンパが貼り合わせられる結果、転写スタンパのチルトに起因する中間層の厚さ分布の広がりが抑制される。加えて、積層される複数の樹脂層の厚み変動の悪化点の重畳が抑制される。かくして、保護層の表面から各情報層までの厚さの変動が低減され、記録再生に係る品質低下が抑制される。
【０１７９】
上記構成において、前記転写スタンパのチルトのパターンは、前記転写スタンパの前記第２基準点に対するタンジェンシャルチルトの変動パターンで表されることが好ましい。
【０１８０】
上記構成によれば、タンジェンシャルチルトの変動パターンで、転写スタンパのチルトのパターンが変動しても、放射線硬化性樹脂を介して前記転写スタンパを貼り合わせる工程において、基板の第１基準点に対して、転写スタンパの第２基準点が毎回異なる位置となるように、転写スタンパが貼り合わせられる結果、転写スタンパのチルトに起因する中間層の厚さ分布の広がりが抑制される。加えて、積層される複数の樹脂層の厚み変動の悪化点の重畳が抑制される。かくして、保護層の表面から各情報層までの厚さの変動が低減され、記録再生に係る品質低下が抑制される。
【０１８１】
上記構成において、前記転写スタンパの前記第２基準点は、前記転写スタンパを製造する転写スタンパ製造装置によって形成されることが好ましい。
【０１８２】
上記構成によれば、転写スタンパの第２基準点は、転写スタンパを製造する転写スタンパ製造装置によって規定される。したがって、転写スタンパ製造装置によって規定される転写スタンパのチルトのパターンに対して、略一定の位置に転写スタンパの第２基準点が設けられる。この結果、放射線硬化性樹脂を介して前記転写スタンパを貼り合わせる工程において、基板の第１基準点に対して、転写スタンパの第２基準点が毎回異なる位置となるように、転写スタンパが貼り合わせられると、転写スタンパのチルトに起因する中間層の厚さ分布の広がりが抑制される。加えて、積層される複数の樹脂層の厚み変動の悪化点の重畳が抑制される。かくして、保護層の表面から各情報層までの厚さの変動が低減され、記録再生に係る品質低下が抑制される。
【０１８３】
上記構成において、前記基板の前記第１基準点は、前記基板を製造する基板製造装置によって形成され、前記放射線硬化性樹脂を介して前記転写スタンパを貼り合わせる工程は、前記基板の前記第１基準点を読み取る工程と、前記基板と前記転写スタンパとの貼り合わせ位置において、前記基板の前記第１基準点を所定位置に合わせるように前記基板を回転させる工程とを含むことが好ましい。
【０１８４】
上記構成によれば、基板の第１基準点は、基板を製造する基板製造装置によって形成される。放射線硬化性樹脂を介して転写スタンパを貼り合わせる工程は、基板の第１基準点を読み取る工程と、基板と前記転写スタンパとの貼り合わせ位置において、基板の第１基準点を所定位置に合わせるように、基板を回転させる工程とを含む。基板の第１基準点は、基板と前記転写スタンパとの貼り合わせ位置において、略一定となるので、製造される情報記録媒体の品質が安定することとなる。
【０１８５】
上記構成において、前記基板は、前記情報層が積層される第１面と、該第１面と反対側の第２面と、を含み、前記基板の前記第１基準点を読み取る工程は、前記第２面側から光を照射し、前記基板を通して前記第１面からの反射光を読み取る工程を含むことが好ましい。
【０１８６】
上記構成によれば、基板は、情報層が積層される第１面と、第１面と反対側の第２面と、を含む。基板の第１基準点を読み取る工程において、第２面側から光が照射される。基板を通して第１面からの反射光を用いて、第１基準点が適切に読み取られる。
【０１８７】
上記構成において、前記放射線硬化性樹脂を介して転写スタンパを貼り合わせる工程は、前記転写スタンパの前記第２基準点を読み取る工程と、前記基板と前記転写スタンパとの貼り合わせ位置において、前記基板の第１基準点に対する前記転写スタンパの前記第２基準点が毎回異なる位置となるように、前記転写スタンパを回転させる工程と、を含むことが好ましい。
【０１８８】
上記構成によれば、放射線硬化性樹脂を介して転写スタンパを貼り合わせる工程において、転写スタンパの第２基準点が読み取られる。その後、基板と転写スタンパとの貼り合わせ位置において、基板の第１基準点に対して、転写スタンパの第２基準点が毎回異なる向きとなるように、転写スタンパが回転される。この結果、転写スタンパのチルトに起因する中間層の厚さ分布の広がりが抑制される。加えて、積層される複数の樹脂層の厚み変動の悪化点の重畳が抑制される。かくして、保護層の表面から各情報層までの厚さの変動が低減され、記録再生に係る品質低下が抑制される。
【０１８９】
上記構成において、前記放射線硬化性樹脂を介して前記転写スタンパを貼り合わせる工程において、前記基板の前記第１基準点に対して、前記転写スタンパの前記第２基準点が、１８０／（Ｎ−１）±１０％の範囲でそれぞれずらされるように、前記転写スタンパが前記基板に貼り合わせられることが好ましい。
【０１９０】
上記構成によれば、基板の第１基準点に対して、転写スタンパの第２基準点が、１８０／（Ｎ−１）±１０％の範囲でそれぞれずらされて、転写スタンパが基板に貼り合わせられる。したがって、転写スタンパのチルトに起因する中間層の厚さ分布の広がりが抑制される。加えて、積層される複数の樹脂層の厚み変動の悪化点の重畳が抑制される。かくして、保護層の表面から各情報層までの厚さの変動が低減され、記録再生に係る品質低下が抑制される。
【０１９１】
上述の実施形態の他の局面に係る情報記録媒体は、基板と、該基板上に形成されたＮ個の情報層（Ｎは、３以上の整数）と、前記情報層を隔てる（Ｎ−１）個の中間層と、保護層と、を備え、前記基板には第１基準点が形成され、前記中間層それぞれには第２基準点が形成され、前記第１基準点に対する第２基準点の位置が、前記中間層それぞれごとに異なることを特徴とする。
【０１９２】
上記構成によれば、基板上には、Ｎ個の情報層と、情報層を隔てる（Ｎ−１）個の中間層と、保護層とが形成される。基板には第１基準点が形成される。中間層それぞれには、第２基準点が形成される。第１基準点に対する第２基準点の位置が、中間層それぞれごとに異なるので、情報記録媒体内における中間層の厚さ分布の広がりが抑制される。加えて、積層される中間層の厚み変動の悪化点の重畳が抑制される。かくして、保護層の表面から各情報層までの厚さの変動が低減され、記録再生に係る品質低下が抑制される。この結果、１層当たりの記録容量が高くなった多層メディアにおいても記録再生に係る品質低下が抑制された高精度なメディアが提供される。
【産業上の利用可能性】
【０１９３】
上述された実施形態の原理は、多層情報記憶媒体の中間層の厚さを高い精度で制御するために好適に用いられる。上述された実施形態の原理は、特に、１００ＧＢの容量を有する３層情報記憶媒体といった多層大容量媒体並びにその製造方法に好適に適用される。
【図１】
0005485287.tif 000005
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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