(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板厚方向に貫通する貫通孔がそれぞれ形成され、前記貫通孔が互いに連通して液体流路となるように互いに積層された複数のプレートと、
液体を濾過するフィルタと、
前記複数のプレートのうちの最も外側の第１のプレートの表面に開口し、前記フィルタを介して液体が供給される供給口と、
前記液体流路が、前記供給口から前記複数のプレートの積層方向に向かって延びた１本の流路と、前記第１のプレートとは異なる第２のプレートにおいて前記１本の流路から分岐し前記積層方向に向かって延びた複数の分岐流路とを含んでおり、
前記分岐流路は、
前記積層方向から見て前記１本の流路の外形と外形の一部が重なり合った部分と、前記積層方向から見て前記１本の流路の範囲内で前記重なり合った部分から凸形状に突出した突出部分とを有し、前記第１のプレートから離隔したプレートに形成されている部分ほど、前記積層方向に直交する断面の面積が小さく、
前記分岐流路同士は、前記第１のプレートから離隔したプレートほど前記積層方向に直交する方向に離隔しており、
前記重なり合った部分は、前記第１のプレートから前記積層方向に向かって複数の前記プレートに跨って延びており、
前記突出部分は、前記第１のプレートから離隔したプレートに形成されている部分ほど、前記積層方向に直交する断面の面積が小さいことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記分岐流路のうちのいずれかの前記突出部分と前記分岐流路のうちの他のいずれかの前記突出部分とが互いに対向していることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第２のプレートが前記第１のプレートに接合されていることを特徴とする請求項１又は２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記積層方向に直交する方向に延びる別の液体流路が前記プレートに形成されており、
前記分岐流路が、前記供給口とは反対側の端部において、前記別の液体流路の前記積層方向に直交する方向に関する端部と接続されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
板厚方向に貫通する貫通孔が互いに連通して、圧力室を介してノズルに至る複数の個別液体流路及び当該複数の個別液体流路と連通する共通液体流路となるように互いに積層された複数の前記プレートを備え、
前記別の液体流路が前記共通液体流路であり、
互いに隣接する前記分岐流路が、前記供給口と反対側の開口において、前記分岐流路同士の離隔する方向に沿って延びる前記共通液体流路の一端部とそれぞれ連通し、
前記共通液体流路の一端部同士が、前記第１のプレートから離隔した前記プレートほど、前記分岐流路同士が離隔する方向に離隔していることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板厚方向に貫通する貫通孔が形成されたプレートを積層することで液体流路が形成された液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
フィルタを介してインク等の液体を液体流路内に流入させる際、特許文献１のように、１本の流路に広く液体を流入させてから複数の流路に分岐させるものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３１３４２８号公報（図６）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のように１本の流路に広く液体を流入させることにより、液体の流路幅を大きく取ることができ、フィルタを通過する際の液体流の圧力損失を低減できる。
【０００５】
一方、複数のプレートを積層して液体流路を形成する場合、例えば、積層体において最も外側のプレートの表面を押圧し、プレート同士を接合する。しかし、最も外側のプレートの表面において液体流路が開口した領域には、接合のための押圧力を直接印加することができない。このため、他のプレート同士において開口と対向する領域が十分に押圧されず、接合が不十分になるおそれがある。
【０００６】
特許文献１では、流路を分岐させるため流路内に仕切り壁が形成されており、最も外側のプレートを押圧した際に、この仕切り壁を通じてプレートに押圧力を伝達することができる。しかし、この文献に示されているような薄い壁では十分にプレート同士を押圧できないおそれがある。一方で、このような仕切り壁全体を厚くするとプレート同士を確実に接合させるのには適しているが、仕切り壁が液体の円滑な流通を阻害するおそれがある。
【０００７】
本発明の目的は、プレート同士の接合を確実にすると共に液体を円滑に流通させることが可能な液体吐出ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体吐出ヘッドは、板厚方向に貫通する貫通孔がそれぞれ形成され、前記貫通孔が互いに連通して液体流路となるように互いに積層された複数のプレートと、液体を濾過するフィルタと、前記複数のプレートのうちの最も外側の第１のプレートの表面に開口し、前記フィルタを介して液体が供給される供給口と、前記液体流路が、前記供給口から前記複数のプレートの積層方向に向かって延びた１本の流路と、前記第１のプレートとは異なる第２のプレートにおいて前記１本の流路から分岐し前記積層方向に向かって延びた複数の分岐流路とを含んでおり、前記分岐流路は、前記積層方向から見て前記１本の流路の外形と外形の一部が重なり合った部分と、前記積層方向から見て前記１本の流路の範囲内で前記重なり合った部分から凸形状に突出した突出部分とを有し、前記第１のプレートから離隔したプレートに形成されている部分ほど、前記積層方向に直交する断面の面積が小さく、前記分岐流路同士は、前記第１のプレートから離隔したプレートほど前記積層方向に直交する方向に離隔しており、前記重なり合った部分は、前記第１のプレートから前記積層方向に向かって複数の前記プレートに跨って延びており、前記突出部分は、前記第１のプレートから離隔したプレートに形成されている部分ほど、前記積層方向に直交する断面の面積が小さい。
【０００９】
本発明の液体吐出ヘッドによると、第１のプレートから離隔したプレートほど分岐流路同士が離隔している。つまり、第１のプレートに近い部分では分岐流路同士が近接しているため、液体が円滑に分岐する。一方、第１のプレートから離れるにつれて分岐流路同士が離隔するため、分岐流路同士の間に形成される壁部が広くなり、プレート同士の接合の際に押圧力を伝達させる領域をかせぐことができる。したがって、液体の円滑な流通を阻害することなく、接合の際に押圧力を伝達する領域を確保することができる。
【００１０】
また、分岐流路の断面積が第１のプレートから離隔するほど小さくなるので、分岐流路の下流において流速が上がる。これにより、分岐流路の下流に気泡が滞留するのを抑制できる。
【００１１】
また、突出部分が第１のプレートから離隔するほど小さくなるので、上記の重なり合った部分へと突出部分を介して液体を円滑に導入できる。
【００１２】
また、本発明においては、前記分岐流路のうちのいずれかの前記突出部分と前記分岐流路のうちの他のいずれかの前記突出部分とが互いに対向していてもよい。
【００１３】
【００１４】
また、本発明においては、前記第２のプレートが前記第１のプレートに接合されていることが好ましい。これによると、最も外側のプレートのすぐ次のプレートから流路が分岐しているため、接合のために押圧力を印加する領域を確保しやすい。
【００１５】
また、本発明においては、前記積層方向に直交する方向に延びる別の液体流路が前記プレートに形成されており、前記分岐流路が、前記供給口とは反対側の端部において、前記別の液体流路の前記積層方向に直交する方向に関する端部と接続されていることが好ましい。これによると、積層方向に直交する方向に延びる別の液体流路の端部に分岐流路が接続されている。分岐流路は積層方向に延びているため、分岐流路から上記別の液体流路に流れ込んだ液体はこの別の液体流路の端部で淀み、気泡が残留しやすくなる。このような構成に液体の流通を円滑にする本発明が適用されることにより、気泡の残留を回避しやすくなる。
【００１６】
また、本発明においては、板厚方向に貫通する貫通孔が互いに連通して、圧力室を介してノズルに至る複数の個別液体流路及び当該複数の個別液体流路と連通する共通液体流路となるように互いに積層された複数の前記プレートを備え、前記別の液体流路が前記共通液体流路であり、互いに隣接する前記分岐流路が、前記供給口と反対側の開口において、前記分岐流路同士の離隔する方向に沿って延びる前記共通液体流路の一端部とそれぞれ連通し、前記共通液体流路の一端部同士が、前記第１のプレートから離隔した前記プレートほど、前記分岐流路同士が離隔する方向に離隔していることが好ましい。これによると、分岐流路から流入する液体が、一端部同士の離隔によって、滑らかに流れ込み、気泡が残留しやすい淀みが無くなる。
【発明の効果】
【００１７】
第１のプレートから離隔したプレートほど分岐流路同士が離隔している。つまり、第１のプレートに近い部分では分岐流路同士が近接しているため、液体が円滑に分岐する。一方、第１のプレートから離れるにつれて分岐流路同士が離隔するため、分岐流路同士の間に形成される壁部が広くなり、プレート同士の接合の際に押圧力を伝達させる領域をかせぐことができる。したがって、液体の円滑な流通を阻害することなく、接合の際に押圧力を伝達する領域を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施の形態に係るインクジェットプリンタの内部構成を概略的に示す模式図である。
【図２】図１のヘッド本体の平面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図を含む流路ユニットのインク供給口周辺の斜視図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ線断面におけるインク供給口周辺図である。
【図５】流路ユニットを構成する各プレートのインク供給口周辺の平面図である。
【図６】ヘッド本体の縦断面であって、副マニホールド流路から吐出口までのインク流路に沿った断面を示した図である。
【図７】分岐流路の一変形例を構成する各貫通孔の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２０】
図１は、本発明の一実施の形態に係るインクジェットヘッドを含むインクジェットプリンタの内部構成を示す模式図である。図１に示すように、インクジェットプリンタ１０１は直方体形状の筐体１０１ａを有している。筐体１０１ａ内には、マゼンタ、シアン、イエロー、ブラックのインクをそれぞれ吐出する４つのインクジェットヘッド１（液体吐出ヘッド；以下、ヘッド１とする）、及び、搬送機構１６が配置されている。また、筐体１０１ａの天板内面には、ヘッド１や搬送機構１６等の動作を制御する制御部１００が取り付けられている。天板の上部には、排紙部１５が設けられており、画像が形成された用紙Ｐが排出される。搬送機構１６の下方には、筐体１０１ａに対して着脱可能な給紙ユニット１０１ｂが配置されている。給紙ユニット１０１ｂの下方には、筐体１０１ａに対して着脱可能なインクタンクユニット１０１ｃが配置されている。
【００２１】
インクジェットプリンタ１０１の内部には、図１に示す太矢印に沿って用紙搬送経路が形成されており、用紙Ｐが給紙ユニット１０１ｂから排紙部１５に向けて搬送される。給紙ユニット１０１ｂは、給紙トレイ１１と、給紙ローラ１２とを有している。給紙トレイ１１は、上方に向かって開口した箱形状を有しており、複数枚の用紙Ｐが積層された状態で収納される。給紙ローラ１２は、給紙トレイ１１の最も上方にある用紙Ｐを送り出す。送り出された用紙Ｐは、ガイド１３ａ、１３ｂによりガイドされ且つ送りローラ対１４によって挟持されつつ搬送機構１６へと送られる。
【００２２】
搬送機構１６は、２つのベルトローラ６、７と、搬送ベルト８と、テンションローラ１０と、プラテン１８とを有している。搬送ベルト８は、両ローラ６、７の間に架け渡されるように巻回されたエンドレスのベルトである。テンションローラ１０は、搬送ベルト８の下側ループにおいて、その内周面に接触しつつ下方に付勢されており、搬送ベルト８にテンションを付加している。プラテン１８は、搬送ベルト８の内側領域に配置され、ヘッド１と対向する位置において、搬送ベルト８が下方に撓まないように搬送ベルト８を支持している。ベルトローラ７は、駆動ローラであって、その軸に搬送モータ１９から駆動力が与えられることで、図１中時計回りに回転する。ベルトローラ６は、従動ローラであって、ベルトローラ７の回転により搬送ベルト８が走行することによって、図１中時計回りに回転する。なお、搬送モータ１９の駆動力は、複数のギアを介してベルトローラ７に伝達される。
【００２３】
搬送ベルト８の外周面８ａは、シリコーン処理が施されることによって粘着性を有している。ベルトローラ６と対向する位置には、ニップローラ４が配置されている。ニップローラ４は、給紙ユニット１０１ｂから送り出された用紙Ｐを搬送ベルト８の外周面８ａに押さえ付ける。用紙Ｐは、その粘着力によって外周面８ａ上に保持されながら用紙搬送方向（図１中右方であって副走査方向）へと搬送される。
【００２４】
ベルトローラ７と対向する位置には、剥離プレート５が設けられている。剥離プレート５は、用紙Ｐを外周面８ａから剥離する。剥離された用紙Ｐは、ガイド２９ａ、２９ｂによりガイドされ、且つ二組の送りローラ対２８によって挟持されつつ搬送される。そして用紙Ｐは、筐体１０１ａの上部に形成された排出口２２から、筐体１０１ａの天板上面に設けられた排紙凹部（排紙部）１５へと排出される。
【００２５】
４つのヘッド１は、主走査方向に長尺な略直方体形状を有している。これらのヘッド１は、用紙Ｐの搬送方向に沿って配列されて固定されている。つまり、このプリンタ１０１はライン式のプリンタであり、搬送方向と主走査方向とは互いに直交する関係にある。
【００２６】
各ヘッド１は、インクを吐出する複数の吐出口１０８（図６参照）が形成されたヘッド本体２と、ヘッド本体２の上面に積層されたインクリザーバ３とを有している。インクリザーバ３はインクタンク１７とそれぞれ接続されている。４つのインクタンク１７には互いに異なる色のインクが貯留されている。インクタンク１７からインクリザーバ３へと、マゼンタ、シアン、イエロー、ブラックのインクが供給される。インクリザーバ３に供給されたインクはヘッド本体２へと流入する。
【００２７】
吐出口１０８は、ヘッド本体２の下面である吐出面２ａに開口しており、インクリザーバ３からのインクが到達する。搬送される用紙Ｐが４つのヘッド１のすぐ下方を通過する際に、用紙Ｐの上面に向けて吐出口１０８から各色のインクが順に吐出される。これにより、用紙Ｐの上面、すなわち、印刷面に所望のカラー画像が形成される。
【００２８】
ヘッド本体２は、図２に示すように、流路ユニット９、及び、流路ユニット９の上面９ａに固定された４つのアクチュエータユニット２１を含んでいる。流路ユニット９の内部にはインク流路が形成されている。アクチュエータユニット２１は台形の平面形状を有している。アクチュエータユニット２１は、流路ユニット９内のインクに吐出エネルギーを付与し、吐出口１０８から吐出させる。
【００２９】
流路ユニット９の上面には、インクリザーバ３からのインクが流入するインク供給口１５１及び１５２が開口している。インク供給口１５１は、流路ユニット９の副走査方向に関して両端付近に２つずつ形成されており、インク供給口１５２は主走査方向に関して流路ユニット９の両端付近にそれぞれ形成されている。
【００３０】
インク供給口１５１及び１５２は、流路ユニット９の内部に形成されたマニホールド流路１０５（共通液体流路）に連通している。１つのインク供給口１５２は１本のマニホールド流路１０５と連通している一方で、１つのインク供給口１５１は２本のマニホールド流路１０５と連通している。１つのインク供給口１５１と連通した２本のマニホールド流路１０５は、平面視において主走査方向に関して互いに反対方向にそれぞれ延び、そこから湾曲して、アクチュエータユニット２１の台形の斜辺に沿って延びている。
【００３１】
マニホールド流路１０５は、アクチュエータユニット２１の下方においてそれぞれ４本の副マニホールド流路１０５ａに分岐している。これらの副マニホールド流路１０５ａは、アクチュエータユニット２１の一方の斜辺側においてマニホールド流路１０５から分岐し、主走査方向に沿って延び、他方の斜辺側において別のマニホールド流路１０５と合流している。
【００３２】
以下、インク供給口１５１及び１５２周辺の構成について、図２〜図５を参照しつつより詳細に説明する。図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図を含む流路ユニット９のインク供給口１５１周辺の斜視図である。図４は、図２のＩＶ−ＩＶ線断面におけるインク供給口１５１周辺図であり、フィルタ１４１及びインクリザーバ３の断面も含んでいる。図５は、流路ユニット９を構成する各プレートのインク供給口１５１周辺の平面図である。
【００３３】
流路ユニット９の上面においてインク供給口１５１及び１５２が開口した領域にはフィルタ１４１及び１４２が貼り付けられている。フィルタ１４１及び１４２は、それぞれインク供給口１５１及び１５２の平面形状よりわずかに大きいメッシュ部１４１ａ及び１４２ａを有している。メッシュ部１４１ａ及び１４２ａにはそれぞれ、インク中の異物を除去しつつインクを通過させる多数のフィルタ孔が形成されている。メッシュ部１４１ａ及び１４２ａは、インクリザーバ３側のインク流路３ａとインク供給口１５１及び１５２との間に配置されており（図４参照）、インクを濾過しつつインク流路３ａからインク供給口１５１及び１５２へとインクを通過させる。
【００３４】
図３及び図４に示すように、流路ユニット９は９枚のステンレス鋼からなる金属製のプレート１２２〜１３０から構成されている。プレート１２２〜１３０には複数の貫通孔や凹部が形成されており、これらの貫通孔や凹部が互いに連通してインク流路を形成するようにプレートが互いに積層されている。プレート１２２〜１３０は互いに接着剤を介して積層されており、それぞれの接着面に接着剤を塗布しプレート同士を積層させた後、上下から押圧することで接着されている。マニホールド流路１０５は、プレート１２６〜１２８に形成された貫通孔１２６ａ〜１２８ａや、貫通孔１２６ｂ〜１２８ｂから構成されている。
【００３５】
インク供給口１５１及び１５２はプレート１２２（第１のプレート）に形成された貫通孔１２２ａの開口である。インク供給口１５１は主走査方向に長尺な角が丸い長方形の平面形状を有しており、インク供給口１５２は角が丸いほぼ正方形の平面形状を有している。
【００３６】
インク供給口１５１及び１５２からは、下方のマニホールド流路１０５に向かってインク流路が形成されている。インク供給口１５２からは鉛直下方に向かって１本のインク流路が延びており、その下端においてマニホールド流路１０５と接続されている。図４に示すように、インク供給口１５１からも鉛直下方に向かって１本のインク流路が延びている。このインク流路はプレート１２２に形成された貫通孔１２２ａから構成されている。なお、これらのように、フィルタ１４１を通過したインクを１本の流路に広く流入させる構成により、インクの流路幅を大きく取ることができ、フィルタ１４１を通過する際の液体流の圧力損失を低減できる。
【００３７】
インク供給口１５１から下方へ向かうインク流路は、図４に示すように、下方のマニホールド流路１０５に向かう途中で２本に分岐している。一方の分岐流路１５３は、プレート１２３（第２のプレート）〜１２５に形成された貫通孔１２３ａ〜１２５ａから構成されており、貫通孔１２５ａの下端の開口において、貫通孔１２６ａ〜１２８ａからなる一方のマニホールド流路１０５と連通している。他方の分岐流路１５４は、プレート１２３〜１２５に形成された貫通孔１２３ｂ〜１２５ｂから構成されており、貫通孔１２５ｂの下端の開口において、貫通孔１２６ｂ〜１２８ｂからなる他方のマニホールド流路１０５と連通している。
【００３８】
一方のマニホールド流路１０５は、主走査方向に関して端部（図４において右端付近）で分岐流路１５３と連通している。この端部は、図４に示すように階段状に形成されている。つまり、貫通孔１２７ａの一端は貫通孔１２６ａの一端より図中左方（貫通孔１２７ｂから離隔する方向）に配置され、貫通孔１２８ａの一端は貫通孔１２７ａの一端よりさらに左方（貫通孔１２８ｂから離隔する方向）に配置されている。これにより、分岐流路１５３からマニホールド流路１０５へと流入したインクが階段状の端部に沿って滑らかに流れ込むため、この端部で淀みが生じにくく、気泡が残留しにくくなる。
【００３９】
また、他方のマニホールド流路１０５は、主走査方向に関して端部（図４において左端付近）で上記の分岐流路と連通しており、この端部も、図４に示すように階段状に形成されている。つまり、貫通孔１２７ｂの一端は貫通孔１２６ｂの一端より図中右方（貫通孔１２７ａから離隔する方向）に配置され、貫通孔１２８ｂの一端は貫通孔１２７ｂの一端よりさらに右方（貫通孔１２８ａから離隔する方向）に配置されている。これにより、分岐流路１５４からマニホールド流路１０５へと流入したインクが階段状の端部に沿って滑らかに流れ込むため、この端部で淀みが生じにくく、気泡が残留しにくくなる。
【００４０】
分岐流路１５３及び１５４の構成についてより詳細に説明する。図５においてＢ−Ｂ線は、貫通孔１２２ａの長手方向に延び、平面視において、貫通孔１２２ａの短手方向について中央を通る直線を示す。Ｃ−Ｃ線は、Ｂ−Ｂ線と直交し、平面視において、貫通孔１２２ａの長手方向について中央を通る直線を示している。分岐流路１５３及び１５４を構成する貫通孔１２３ａ〜１２５ａ及び１２３ｂ〜１２５ｂは、それぞれＢ−Ｂ線に関して対称な平面形状を有している。
【００４１】
貫通孔１２３ａ〜１２５ａは、図５に示すように、平面視において外形がほぼ貫通孔１２２ａと重なる領域Ａと、領域Ａから貫通孔１２３ｂ〜１２５ｂに向かって凸形状に突出した突出部分１２３ｃ〜１２５ｃとからそれぞれ構成されている。突出部分１２３ｃ〜１２５ｃは、下方に配置されているものほど小さく形成されており、下方のものほどＢ−Ｂ線方向及びＣ−Ｃ線方向のいずれの方向に関する幅も小さくなっている。また、いずれも平面視において貫通孔１２２ａの範囲内に形成されている。貫通孔１２３ｂ〜１２５ｂは、Ｃ−Ｃ線に関して貫通孔１２３ａ〜１２５ａと対称な形状に形成されており、貫通孔１２２ａと外形がほぼ重なる領域Ａと、領域Ａから突出する突出部分１２３ｄ〜１２５ｄとから構成されている。
【００４２】
プレート１２２に加え、プレート１２３〜１２５を重ねると、表面にインク供給口１５１を有し、内部にインク流路とこれから分岐する２つの分岐流路１５３、１５４が形成された積層体ができる。このとき、分岐流路１５３、１５４は、突出部分１２３ｃ〜１５３ｃ、１２３ｄ〜１５３ｄのサイズが積層方向に沿って小さくなることから、積層体の内部に向かって先細りである。ここで、積層方向に関して領域Ａは互いに重なる。一方、突出部分１２３ｃ〜１５３ｃ、１２３ｄ〜１５３ｄは、積層方向と直交する方向に関して互いに離隔する方向に順に小さくなる。そのため、インク供給口１５１から流入したインクは、２つの分岐流路によって、積層体の内部に向かうにつれインクの分流同士が互いに反対の方向に方向付けられつつ、流速が増す。各分流は、このように増速されてマニホールド流露１０５に流入することになる。
【００４３】
図６は、ヘッド本体２の縦断面であって、副マニホールド流路１０５ａから吐出口１０８までのインク流路に沿った断面を示した図である。プレート１２２〜１３０には、副マニホールド流路１０５ａ、アパーチャ１１２、圧力室１１０、及び、これらを互いに連通させる複数の連通孔が形成されている。プレート１２２〜１３０が位置合わせされつつ積層されることによって、流路ユニット９内に、副マニホールド流路１０５ａからアパーチャ１１２及び圧力室１１０を経て吐出口１０８に至る、多数の個別インク流路１３２が形成されている。圧力室１１０はプレート１２２の上面に開口しており、その開口を跨ぐようにプレート１２２の上面にアクチュエータユニット２１が貼り付けられている。アクチュエータユニット２１は、圧力室１１０内のインクに個別に圧力を印加できるよう、各圧力室１１０に対向する位置に個別のアクチュエータを有している。
【００４４】
アクチュエータユニット２１が作動すると圧力室１１０内のインクに圧力が印加され、その圧力が吐出口１０８へと伝播し、これによって吐出口１０８からインクが吐出される。吐出された分のインクは、副マニホールド流路１０５ａから個別インク流路１３２へと補充される。なお、本実施形態のアクチュエータとしては、いわゆる圧電方式のものを用いてもよいし、静電方式や抵抗加熱による方式のものも適用可能である。
【００４５】
以上説明した実施形態によると、インク供給口１５１から鉛直下方に延びた１本のインク流路（貫通孔１２２ａ）が、分岐流路１５３及び１５４の２本に分岐している。そして、分岐流路１５３及び１５４は、下方のプレートに形成された部分ほどプレートに沿った方向に関して互いに離隔している。
【００４６】
これによって、（１）分岐流路１５３及び１５４を仕切る壁部（図４の二点鎖線で囲まれた部分）が上方に向かって先細りの概略形状を有することとなるため、インク供給口１５１から貫通孔１２２ａ内へと流入したインクが、分岐流路１５３及び１５４の２方向へと円滑に分岐すると共に、（２）分岐流路１５３及び１５４を仕切る壁部が一律に薄くなっている場合と比べて壁部においてプレート同士の接合面を確保できるため、プレート同士を確実に接合しやすく、確実に接着しやすい。
【００４７】
また、突出部分１２３ｃ〜１２５ｃや１２３ｄ〜１２５ｄが、下方のプレートに形成されているものほど小さくなっている。このため、インク供給口１５１の中央付近から流入したインクが、突出部分１２３ｃ〜１２５ｃや１２３ｄ〜１２５ｄを介して、図５の領域Ａの部分へと円滑に導入される。
【００４８】
また、分岐流路１５３及び１５４のそれぞれにおいて、下方のプレートに形成されている部分ほど水平方向の断面積が小さくなっているため、各分岐流路の下流において流速が上がる。これにより、分岐流路１５３及び１５４の下流、つまりマニホールド流路１０５の端部において、気泡が滞留するのを抑制できる。
【００４９】
また、分岐流路１５３及び１５４が、インク供給口１５１が形成されたプレート１２２の次のプレートであるプレート１２３において分岐している。このため、プレート１２４や１２５などのプレート１２３よりも下方のプレートにおいて分岐している場合と比べて、分岐流路１５３及び１５４を仕切る壁部において多くの接合面を確保することができる。したがって、プレート同士をより確実に接着させることができる。
【００５０】
以下、本実施形態の変形例について図７を参照しつつ説明する。図７は、上述の分岐流路１５３及び１５４の代わりにプレート１２２〜１２５に形成される分岐流路２５３及び２５４を構成する、貫通孔２２３ａ〜２２５ａ及び２２３ｂ〜２２５ｂの平面図である。貫通孔２２３ａ〜２２５ａは、上述の貫通孔１２３ａ〜１２５ａの変形例に対応し、貫通孔２２３ｂ〜２２５ｂは、上述の貫通孔１２３ｂ〜１２５ｂの変形例に対応する。図７においてＢ−Ｂ線は、貫通孔１２２ａの長手方向に延び、平面視において、貫通孔１２２ａの短手方向について中央を通る直線を示す。Ｃ−Ｃ線は、Ｂ−Ｂ線と直交し、平面視において、貫通孔１２２ａの長手方向について中央を通る直線を示している。
【００５１】
貫通孔２２３ａ〜２２５ａはいずれも、平面視において、図７中右端縁を除く外形が貫通孔１２２ａの外形と重なっている。貫通孔２２３ａ〜２２５ａの右端縁はＣ−Ｃ線に沿って形成されており、下方のプレートに形成されているものほどＣ−Ｃ線から離隔している。貫通孔２２３ｂ〜２２５ｂは、Ｃ−Ｃ線に関して貫通孔２２３ａ〜２２５ａと対称な形状を有している。
【００５２】
このような変形例によると、上述の実施形態と同様、分岐流路２５３及び２５４が下方のプレートに形成された部分ほどプレートに沿った方向に関して互いに離隔している。したがって、インクが円滑に分岐すると共に、分岐流路２５３及び２５４同士の間の壁部においてプレート同士の接着面を確保できるため、プレート同士を確実に接着しやすい。
【００５３】
また、分岐流路２５３及び２５４がそれぞれ全体として先細りに形成されている。このため、より円滑にインクをマニホールド流路１０５へと導入できる。また、下方のプレートほど断面積が小さいため、分岐流路２５３及び２５４のそれぞれの下流においてインクの流速が上がるので、マニホールド流路１０５の端部において気泡が滞留するのを抑制できる。
【００５４】
＜その他の変形例＞
以上は、本発明の好適な実施形態についての説明であるが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、課題を解決するための手段に記載された範囲の限りにおいて様々な変更が可能なものである。
【００５５】
例えば、上述の実施形態では、インク供給口１５１が形成されたプレート１２２の次のプレートであるプレート１２３においてインク流路が分岐し始めているが、プレート１２３より下方のプレート１２４や１２５においてインク流路が分岐し始めていてもよい。
【００５６】
また、上述の実施形態では、プレート１２３〜１２５のそれぞれにおける分岐流路１５３等の外形が平面視において貫通孔１２２ａの外形と一部重なり合っている。しかし、いずれかのプレートにおいて分岐流路の外形が貫通孔１２２ａと重なっていなくてもよいし、全てのプレートにおいて外形が重なっていなくてもよい。
【００５７】
また、上述の実施形態ではインク供給口１５１から延びる１本のインク流路（貫通孔１２２ａ）が分岐流路１５３及び１５４の２本に分岐しているが、３本以上に分岐していてもよい。この場合、分岐流路同士の間に形成される壁部が下方のプレートに形成された部分ほど大きくなるよう、分岐流路が下方のプレートに形成された部分ほどプレートに沿った方向に関して互いに離隔するように形成されていればよい。
【００５８】
また、上述の実施形態では、マニホールド流路１０５において分岐流路１５３等が接続された端部が階段状に形成されているが、このように形成されていなくてもよい。例えば、図４において、貫通孔１２６ａ〜１２８ａの端部全体が左下へと斜めに傾斜するように形成されていてもよい。また、端部が鉛直方向に平行な平面に沿って形成されていてもよい。この場合には、マニホールド流路１０５の端部と底部の間に形成される角部にインクが淀みやすくなる。このような構成においても、分岐流路においてインクを円滑に分岐させ、円滑に流通させる本発明を適用することにより、インクの淀みを生じにくくできる。特に、上述の実施形態では分岐流路１５３等の下流においてインクの流速が大きくなるため、インクの淀みをより確実に抑制できる。
【００５９】
また、上述の実施形態は、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用した一例であるが、本発明を適用可能な対象はこのようなインクジェットヘッドに限られない。例えば、導電ペーストを吐出して基板上に微細な配線パターンを形成したり、あるいは、有機発光体を基板に吐出して高精細ディスプレイを形成したり、さらには、光学樹脂を基板に吐出して光導波路等の微小電子デバイスを形成するための、液滴吐出ヘッドに適用することができる。
【符号の説明】
【００６０】
１        インクジェットヘッド（ヘッド）
１０１    インクジェットプリンタ（プリンタ）
１０５    マニホールド流路
１０８    吐出口
１３２    個別インク流路
１４１，１４２  フィルタ
１５１，１５２  インク供給口
１５３、１５４、２５３，２５４  分岐流路
１２２-１３０  プレート 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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