(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一面に外部から供給を受けたエアが満たされる溝状のエアチャンバ（１３）が形成された下板（１０）と、
前記下板（１０）の上部に具備され、前記エアチャンバ（１３）からエアの供給を受けて分岐させるエアロード（２１）が複数形成されたエア分岐板（２０）と、
前記エア分岐板（２０）の上部に具備され、前記エアロード（２１）からエアの供給を受けて上側に噴出するエア孔（３３）が形成された上板（３０）とを含み、
前記エアロード（２１）は、エアが速く流動されるように狭い隙間を形成してなる急速ロード（２１ａ）、及び該急速ロード（２１ａ）に対して相対的に遅い速度でエアが流動されるように抵抗要素を有する遅延ロード（２１ｂ）で構成され、被運搬体（ｐ）の中心部側には遅延ロード（２１ｂ）が配置され、前記被運搬体（ｐ）の外郭部側には前記急速ロード（２１ａ）が配置されるように構成されたことを特徴とする大面積パネル用の搬送プレート。
【請求項２】
外部からエアと真空圧とがそれぞれ供給されるエアポート（ａ１）及び真空ポート（ｖ１）が具備され、上面には前記真空ポート（ｖ１）に連結されて真空圧が作用する溝状の真空チャンバ（１４）が形成された下板（１０）と、
前記下板（１０）の上部に具備され、下面にエアポート（ａ１）から供給を受けたエアが満たされる溝状のエアチャンバ（３４）及び上側にエア噴出及び真空圧が作用するようにエア孔（３３）及び真空孔（３７）が形成された上板（３０）と、
前記下板（１０）と上板（３０）との間に具備され、前記真空チャンバ（１４）に連結されて真空圧を前記真空孔（３７）に伝達する真空ロード（４１）が形成された真空分岐板（４０）と、
前記真空チャンバ（１４）の上側または下側に具備され、前記エアチャンバ（３４）に連結されて供給を受けたエアを分岐させて前記エア孔（３３）に供給するエアロード（２１）が形成されたエア分岐板（２０）とを含み、
前記エアロード（２１）は、エアが速く流動されるように狭い隙間を形成してなる急速ロード（２１ａ）、及び該遅延ロード（２１ｂ）に対して相対的に遅い速度でエアが流動されるように抵抗要素を有する遅延ロード（２１ｂ）からなることをさらに含んで構成され、被運搬体（ｐ）の中心部側には遅延ロード（２１ｂ）が配置され、前記被運搬体（ｐ）の外郭部側には前記急速ロード（２１ａ）が配置されるように構成されたことを特徴とする大面積パネル用の搬送プレート。
【請求項３】
前記エアロード（２１）は、
前記急速ロード（２１ａ）と遅延ロード（２１ｂ）とが互いに連結されてエアの供給を受けて分岐されるように具備されるか、
または、前記急速ロード（２１ａ）と遅延ロード（２１ｂ）とがそれぞれ独立してエアの供給を受けるように具備されることを特徴とする請求項１または２に記載の大面積パネル用の搬送プレート。
【請求項４】
前記遅延ロード（２１ｂ）は、前記急速ロード（２１ａ）に対してエアに流動抵抗を発生させて噴出速度が遅くなるように屈曲状を有する区間を形成してなる抵抗要素、
または、前記遅延ロード（２１ｂ）は、前記急速ロード（２１ａ）に対して相対的にさらに長い流動距離を形成してエアの噴出速度が遅くなるようにした抵抗要素のいずれか一つまたは一つ以上を組み合わせて含むことを特徴とする請求項１または２に記載の大面積パネル用の搬送プレート。
【請求項５】
前記急速ロード（２１ａ）と前記遅延ロード（２１ｂ）とは、それぞれ一側末端部に半円弧状の吐出部（２１ｃ）が形成され、該吐出部（２１ｃ）は、前記エア孔（３３）の内部直径に対して減少された直径の大きさを有するように形成されることを特徴とする請求項１または２に記載の大面積パネル用の搬送プレート。
【請求項６】
前記エア孔（３３）は、
流入されたエアが通過しながら旋風状の推進回転力を有するように誘導する渦流発生部（３３ａ）と、
前記渦流発生部（３３ａ）の上部に位置し、渦流が直進性を有して噴出されるように誘導する垂直面からなる直進誘導部（３３ｂ）と、
を含んで構成されることを特徴とする請求項１または２に記載の大面積パネル用の搬送プレート。
【請求項７】
前記渦流発生部は、
前記エア孔（３３）の全体長さを基準として５０〜８０％の範囲に具備され、外面にヘリカル螺旋溝が形成された金属材からなる渦流ピン（３３ａｐ）が挟み込みで組み立てられて形成されるか、
または、前記エア孔（３３）の全体長さを基準として５０〜８０％の範囲を有する区間の内周面にヘリカル螺旋溝（３５ａｈ）を形成するか、
または、前記エア孔（３３）の内周面にヘリカル螺旋溝を形成し、円柱状のピン（３３ａｐ）を挟み込みで挿入して形成されることを特徴とする請求項６に記載の大面積パネル用の搬送プレート。
【請求項８】
前記真空ロード（４１）は、
前記真空チャンバ（１４）に連結されて真空圧が作用するように孔を長く形成してなる急速スリット（４１ａ）と、
前記急速スリット（４１ａ）に対して相対的に遅い速度で真空圧が作用するように屈曲状を有する区間を形成するか、または、前記急速スリット（４１ａ）に比べてさらに長い流動距離を有するように形成した抵抗要素を含む遅延スリット（４１ｂ）と、
前記急速スリット（４１ａ）と遅延スリット（４１ｂ）との各一側端に形成されて前記真空孔（３７）に連結される吸込部（４１ｃ）と、
を含んで構成されることを特徴とする請求項２に記載の大面積パネル用の搬送プレート。
【請求項９】
前記エア分岐板（２０）は、前記真空孔（３７）と一致する位置に形成される第１真空ポート（ｖ２）及び前記下板（１０）のエアポート（ａ１）に連結される貫通孔である第２エアポート（ａ３）が具備され、
前記真空分岐板（４０）は、前記第２エアポート（ａ３）と前記エアポート（ａ１）とを連結する貫通孔である第１エアポート（ａ２）が形成されることを特徴とする請求項２に記載の大面積パネル用の搬送プレート。
【請求項１０】
外部からエアと真空圧とをそれぞれ供給を受けて上面に形成されたエアチャンバと真空チャンバとで圧が作用するようになっている下板と、
前記下板の上部に具備され、前記エアチャンバと真空チャンバとに連結されてエア噴出及び真空圧が作用するエア孔及び真空孔が貫通形成された上板と、
前記下板と上板との間に具備され、前記真空チャンバに連結されて真空圧を前記真空孔に伝達する真空ロードが形成された真空分岐板と、
前記真空分岐板の上側または下側に具備され、前記エアチャンバからエアの供給を受けて分岐させて前記エア孔に供給するエアロードが形成されたエア分岐板とを含み、
前記エアロードは、エアが速く流動されるように狭い隙間を形成してなる急速ロード、及び該急速ロードに対して相対的に遅い速度でエアが流動されるように抵抗要素を有する遅延ロードからなることをさらに含んで構成され、被運搬体の中心部側には遅延ロードが配置され、前記被運搬体の外郭部側には前記急速ロードが配置されるように構成されたことを特徴とする大面積パネル用の搬送プレート。
【請求項１１】
前記遅延ロードは、前記急速ロードに対してエアに流動抵抗を発生させて噴出速度が遅くなるように屈曲状を有する区間を形成してなる抵抗要素、
または、前記遅延ロードは、前記急速ロードに対して相対的にさらに長い流動距離を形成してエアの噴出速度が遅くなるようにした抵抗要素のいずれか一つまたは一つ以上組み合わせて含むことを特徴とする請求項１０に記載の大面積パネル用の搬送プレート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気の浮上力を利用して各種のディスプレイパネルを含む大面積の薄板パネルを非接触で移送させる搬送プレートに関し、さらに詳しくは、大面積パネルの搬送時に揺れを抑えて移送安定性を高め、特に、縁部の垂れ下がり現象を抑えて平坦度を維持することができる大面積パネル用の搬送プレートに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、インライン検査装置（Ｉｎ−Ｌｉｎｅ  ＦＰＤ  Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ）は、ＴＦＴ  ＬＣＤパネルやＰＤＰ、カラーフィルタなどのディスプレイパネル（ｄｉｓｐｌａｙ  ｐａｎｅｌ）等を案内しながら、光学レンズとＣＣＤ  カメラを使用して検査対象物のイメージをキャプチャした後、イメージプロセッシングアルゴリズムを適用して使用者が探し出そうとする各種の欠陷を検出する装置である。
【０００３】
このようなインライン検査装置は、大きく分けると、不良を検出するスキャンセクション（ｓｃａｎ  ｓｅｃｔｉｏｎ）、レビューセクション（ｒｅｖｉｅｗ  ｓｅｃｔｉｏｎ）及びアンロードセクション（ｕｎｌａｏｄ  ｓｅｃｔｉｏｎ）と分割される。このような検査装置は、検査システムとしての役割を果たすためには、検出した欠陷の位置と大きさを正確に知ることも重要であるが、スキャンセクション（ｓｃａｎ  ｓｅｃｔｉｏｎ）からアンロードセクション（ｕｎｌａｏｄ  ｓｅｃｔｉｏｎ）まで被運搬体（検査対象物）を案内する搬送手段の役割も重要な要素として作用する。
【０００４】
従来の搬送手段としては、ローラー（ｒｏｌｌｅｒ）の回転力によって被運搬体を搬送する接触式搬送手段が開示されているが、これは、ローラーの回転力によって搬送が行われるので、被運搬体にスクラッチ及びローラーの回転によるムラが発生するだけでなく、摩擦力が小さいか回転力が弱ければ、被運搬体が滑るため、円滑な搬送が難しいという問題点があった。
【０００５】
前述した問題点を解決するために、最近では、微細な多数のエア孔に圧縮エアを供給し、エア孔から噴出されるエアで被運搬体を浮上搬送する非接触式搬送手段が利用されている。このような非接触式搬送プレートの中でもエアが噴出されるエア孔の内部に任意の微細隙間を形成して噴出させるようにしたもので、大韓民国特許登録第６５０２９０号（２００６年１１月２７日公告）及び大韓民国特許登録第８８６９６８号（２００９年０３月０９日公告）が開示された。
【０００６】
先ず、特許第６５０２９０号は、図１に示すように、搬送プレートの上板１１０に形成されるエア孔ａ１の内部にボルト１１２が締結され、このボルト１１２に微細隙間が形成されたワシャー１１３を共に装着してワシャー１１３とボルト１１２との螺旋でエアが噴出されるようにする構成を有する。
【０００７】
一方、特許第８８６９６８号は、図２に示すように、搬送プレートの上板２２０に形成されるエア孔２２１の内部にバネピン２２２が挿入され、ピン部２２３がエア孔２２１の内側に挿入されながら一定の微細隙間を形成させた構成を有する。
【０００８】
ここで、特許第６５０２９０号は、抵抗手段であるボルト１１２とワシャー１１３とがあり、低流量のエアが噴出されるようにしたが、エア孔１１１上に形成された雌ネジとボルト１１２に形成された雄ネジとが常に一定規格で提供されるものではないため、エア孔１１１で噴出されるエアが均一でないという問題点があった。即ち、雌ネジは、人為的な加工（タップ加工）によって形成させるため一定規格を有するが、ボルトは、雌ネジに締結されることができるサイズを別途の加工なしに既成製品を使用するため、螺旋間に抜け出すエアの量がエア孔毎に大きな差を見せながら噴出される。このように、エアの噴出がエア孔毎に大きな格差があると、搬送プレート上に浮上した被浮上体が平坦度を維持し難くなり、激しい振動を起こして検査の信頼度が落ちる。
【０００９】
一方、大韓民国特許第８８６９６８号は、一定規格を有するエア孔２２１と、このエア孔２２１に一定規格を有するピン部２２３を挿入させて、全区間で均一な分布でエア噴出を誘導したが、固定の役割を担当するバネ部２２４が常に垂直に固定されておらず、ピン部２２３が傾いて挿入される場合があり、かつ、ピン部２２３の直進性にも影響があり、エア孔２２１の隙間を全て均一に合わせられないという問題点があった。このような問題点を解決するために、本出願人は、大韓民国特許登録第１０−０９３８３５５号（２０１０年０１月２２日公告）を通じて、「ヘリカル螺旋を通じて均一でかつ高い圧力を有するようにエアが噴出される非接触式搬送プレート」を提案した。
【００１０】
本出願人が提案した非接触式搬送プレートは、外部のエアが流入されて上部面上に形成されたエアチャンバにエアが満たされる中板と、前記中板の上部に結合されて前記エアチャンバ内のエアを上部面上に噴出させるように、前記エアチャンバと連通される多数のエア孔が形成された上板とを含む非接触式搬送プレートにおいて、前記エア孔の内部下側には、前記エア孔より広い直径を有する拡張部が形成され、前記拡張部内には、ピッチ（ｐｉｔｃｈ）の大きいヘリカル螺旋が形成され、前記ヘリカル螺旋には、所定の摩擦力を有するようにピンが挿入される構成であって、このような構成の非接触式搬送プレートは、エア孔の内部にピンとヘリカル螺旋溝との間の隙間にエアが流れるようにして、それぞれのエア孔から噴出される流量の偏差を最小化し、各エア孔のエア圧と噴出量とを均一に維持することができる。
【００１１】
しかし、本出願人が提案した非接触式搬送プレートは、エア孔の内面にヘリカル螺旋を加工しなければならないので、加工性が非常に困難であり、量産性及び歩留まりが大きく落ちるという短所があった。また、エア孔を通じて噴出されるエアの推進回転力は、従来技術に比べてその性能が良好であるが、依然として被運搬体を安定して支持した状態で運搬することには多くの制約があるという問題点があった。
【００１２】
前記の問題点を解決するために、本出願人は、大韓民国特許登録第１０−１０９１５６１号（２０１１年１２月１３日公告）を通じて、「非接触式搬送プレート」を提案した。
【００１３】
本出願人が提案した非接触式搬送プレートは、外部からエアの供給を受けるエアポートが形成された下板と、前記下板の上部に具備され、前記エアポートに対応する貫通孔及びエアを分岐させるエアロードが形成されたエア分岐板と、前記エア分岐板の上部に具備され、被運搬体を浮上移送させるエアを噴出する要素として、前記貫通孔を通じて流入されたエアをエアロードに伝達するエアチャンバ、及び前記エアロードに連結されて流入される空気が通過しながら旋風状の推進回転力を有するように螺旋溝を形成してなる渦流発生部、及びこの渦流発生部の上部に位置し、渦流が直進性を有して噴出されるように垂直面を形成してなる直進誘導部からなるエア孔を含む上板からなる構成であり、このような構成の非接触式搬送プレートは、エア孔の構造を改良して、旋風状の推進回転力を有した状態で直進性を維持させることで、被運搬体に対する安定してかつ振動のない移送が可能である。
【００１４】
しかし、前記本出願人が提案した非接触式搬送プレートは、ヘリカル螺旋溝を形成した渦流ピンをエア孔内に無理に挟み込んで組み立てなければならないが、渦流ピンの加工性が相当難解で生産性が低いだけでなく、組立性も、高い精度が要求されることにより均一な量産品質の維持が困難であり、製造原価が高いという短所があった。
【００１５】
また、最近のディスプレイパネル及び太陽電池パネルなどを含む各種パネルは、大型化の傾向により、平坦度を維持した状態での安定した移送が次第に困難になり、特に、図３に示すように、ディスプレイの大面積化によって、移送方向を基準として左右側の縁部分の垂れ下がり現象が激しくなることにより、工程不良に繋がるという深刻な問題点を引き起こしている実情である。
【００１６】
即ち、図３を参照すると、被運搬体ｐの下部中心側に位置したエア孔を通じて噴出されるエア圧は、外部に抜け出せず停滞する滞留気流ａを形成し、前記被運搬体ｐの縁側に位置したエア孔から噴出されるエア圧は、外気と接した状態であるため、噴出されたエアが前記滞留気流ａ側に流動できず、外側に急速に抜ける排気気流ｂを形成することにより、結果として、前記被運搬体ｐは、図面から分かるように、中心部分が凸状になるなど、平坦度が不良になるという問題点が発生する。
【００１７】
また、最近、親環境エネルギー源として脚光を浴びているソーラーパネルの場合、大面積かつ重量物のガラス基板（Ｂｏｒｏｓｉｌｉｃａｔｅ及びＳｏｄａｌｉｍｅ系列）を搬送しながら蒸着などの工程を進行することにより、局部的な荷重作用による平坦度の管理が困難であり、結果として、低い量産の歩留まりによる経済的な製造が難しいという問題点があった。
【００１８】
前記特許文献１は、ヘリカル螺旋を通じて均一でかつ高い圧力を有するようにエアが噴出される非接触式搬送プレートに関し、その請求項１には、外部のエアが流入されて上部面上に形成されたエアチャンバにエアが満たされる中板と、前記中板の上部に結合され、前記エアチャンバ内のエアを上部面上に噴出させるように、前記エアチャンバと連通される多数のエア孔が形成された上板とを含む非接触式搬送プレートにおいて、前記エア孔の内部下側には、前記エア孔より広い直径を有する拡張部が形成され、前記拡張部内には、ピッチ（ｐｉｔｃｈ）の大きいヘリカル螺旋が形成され、前記ヘリカル螺旋には、所定の摩擦力を有するようにピンが挿入されることを特徴とする非接触式搬送プレートが開示されている。
【００１９】
前記特許文献２は、非接触式搬送プレートに関し、その請求項１には、外部からエアの供給を受けるエアポートが形成された下板と、前記下板の上部に具備され、前記エアポートに対応する貫通孔及びエアを分岐させるエアロードが形成された分岐板と、前記分岐板の上部に具備され、被運搬体を浮上移送させるエアを噴出する要素として、前記貫通孔を通じて流入されたエアをエアロードに伝達するエアチャンバ、及び前記エアロードに連結されて流入される空気が通過しながら旋風状の推進回転力を有するように誘導する渦流発生部を形成する上板を含む非接触式搬送プレートにおいて、前記上板は、前記渦流発生部の上部に位置し、渦流が直進性を有して噴出されるように垂直面を形成してなる直進誘導部からなるエア孔を形成し、このエア孔は、円筒状の直管で形成され、前記渦流発生部は、前記エア孔の全体長さを基準として５０〜８０％の範囲で具備され、外面にヘリカル螺旋溝が形成された金属材からなる渦流ピンが前記エア孔の内部に無理に挟み込んで組み立てられて形成され、前記直進誘導部は、前記上板の上面と直角を有するように形成され、前記渦流ピンと分岐板とは、金属材で成形されてディスプレイパネルから発生する静電気を、渦流ピンを通じて分岐板に誘導し、前記上板と分岐板と下板は、相互対応する位置にネジ締結のために形成されたネジ孔に前記分岐板に誘導された静電気を外部に対流放電させるように金属材からなるネジ部材が締結されることをさらに含んで構成されることを特徴とする非接触式搬送プレートが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２０】
【特許文献１】大韓民国登録特許公報第１０−０９３８３５５号、２頁、請求項１、図面３。
【００２１】
【特許文献２】大韓民国登録特許公報第１０−１０９１５６１号、２頁、請求項１、図面４。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
本発明は、前記のような従来技術の問題点を解決するために創出されたもので、本発明の目的は、薄板でかつ大面積のパネル及び各種のディスプレイパネルからなる被運搬体の移送時にパネルの局部の垂れ下がり現象を抑えて、平坦度が維持された状態での移送を保障することができる大面積パネル用の搬送プレートを提供することにある。
【００２３】
即ち、本発明は、被運搬体の移送時に、移送方向に対して両側に位置したエア噴出圧が中心に位置したエア噴出圧に対して高い圧力を維持させることで、被運搬体の両側の縁部分の垂れ下がり現象を抑えて移送平坦度を精密に規制し、安定した移送を保障することができる大面積パネル用の搬送プレートを提供することにある。
【００２４】
また、本発明は、ソーラーパネルに使用されるガラス基板などのように、大面積でかつ重量物の製品の工程移送時にも、局部の荷重を補償して平坦度を精密に管理することができることにより、生産歩留まりの向上と経済的な製造を可能にする効果が期待できる。
【００２５】
本発明の他の目的は、噴出されるエアが旋風状の推進回転力を維持させて、被運搬体に対する振動のない移送を保障することができる大面積パネル用の搬送プレートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２６】
前記の目的を実現するための本発明の好ましい実施例による大面積パネル用の搬送プレートは、一面に外部から供給を受けたエアが満たされる溝状のエアチャンバが形成された下板と、  前記下板の上部に具備され、前記エアチャンバからエアの供給を受けて分岐させるエアロードが複数形成されたエア分岐板と、前記エア分岐板の上部に具備され、前記エアロードからエアの供給を受けて上側に噴出するエア孔が形成された上板とを含み、前記エアロードは、エアが速く流動されるように狭い隙間を形成してなる急速ロード、及び該遅延ロードに対して相対的に遅い速度でエアが流動されるように抵抗要素を有する遅延ロードで構成されたことをその特徴とする。
【００２７】
本発明の好ましい他の実施例による大面積パネル用の搬送プレートは、外部からエアと真空圧とがそれぞれ供給されるエアポート及び真空ポートが具備され、上面には前記真空ポートに連結されて真空圧が作用する溝状の真空チャンバが形成された下板と、前記下板の上部に具備され、下面にエアポートから供給を受けたエアが満たされる溝状のエアチャンバ及び上側にエア噴出及び真空圧が作用するようにエア孔及び真空孔が形成された上板と、前記下板と上板との間に具備され、前記真空チャンバに連結されて真空圧を前記真空孔に伝達する真空ロードが形成された真空分岐板と、前記真空チャンバの上側または下側に具備され、前記エアチャンバに連結されて供給を受けたエアを分岐させて前記エア孔に供給するエアロードが形成されたエア分岐板とを含み、前記エアロードは、エアが速く流動されるように狭い隙間を形成してなる急速ロード、及び該遅延ロードに対して相対的に遅い速度でエアが流動されるように抵抗要素を有する遅延ロードからなることをさらに含んで構成されたことをその特徴とする。
【００２８】
本発明の好ましいまた他の実施例による大面積パネル用の搬送プレートは、外部からエアと真空圧とをそれぞれ供給を受けて上面に形成されたエアチャンバと真空チャンバとで圧が作用するようになっている下板と、前記下板の上部に具備され、前記エアチャンバと真空チャンバとに連結されてエア噴出及び真空圧が作用するエア孔及び真空孔が貫通形成された上板と、前記下板と上板との間に具備され、前記真空チャンバに連結されて真空圧を前記真空孔に伝達する真空ロードが形成された真空分岐板と、前記真空分岐板の上側または下側に具備され、前記エアチャンバからエアの供給を受けて分岐させて前記エア孔に供給するエアロードが形成されたエア分岐板とを含み、前記エアロードは、エアが速く流動されるように狭い隙間を形成してなる急速ロード、及び該急速ロードに対して相対的に遅い速度でエアが流動されるように抵抗要素を有する遅延ロードからなることをさらに含んで構成されることをその特徴とする。
【００２９】
本発明の好ましい一特徴として、前記エアロードは、前記急速ロードと遅延ロードに連結されてエアの供給を受けて分岐されるように具備されるか、または、前記急速ロードと遅延ロードとがそれぞれ独立してエアの供給を受けるように具備されることにある。
【００３０】
本発明の好ましい他の特徴として、前記エアロードは、前記被運搬体の中心部側には遅延ロードが配置され、前記被運搬体の外郭部側には前記急速ロードが配置されるように構成されることにある。
【００３１】
本発明の好ましいまた他の特徴として、前記遅延ロードは、前記急速ロードに対してエアに流動抵抗を発生させて噴出速度が遅くなるように屈曲状を有する区間を形成してなる抵抗要素、または、前記遅延ロードは、前記急速ロードに対して相対的にさらに長い流動距離を形成してエアの噴出速度が遅くなるようにした抵抗要素、または、前記遅延ロードは、前記急速ロードに対してエアの全体通過量が減少される大きさを有するようにした抵抗要素のいずれか一つまたは一つ以上組み合わせて含むことにある。
【００３２】
本発明の好ましいまた他の特徴として、前記急速ロードと前記遅延ロードとは、それぞれ一側末端部に半円弧状の吐出部が形成され、該吐出部は、前記エア孔の内部直径に対して減少された直径の大きさを有するように形成されることにある。
【００３３】
本発明の好ましいまた他の特徴として、前記エア孔は、流入されたエアが通過しながら旋風状の推進回転力を有するように誘導する渦流発生部と、前記渦流発生部の上部に位置し、渦流が直進性を有して噴出されるように誘導する垂直面からなる直進誘導部とを含んで構成されることにある。
【００３４】
本発明の好ましいまた他の特徴として、前記渦流発生部は、前記エア孔の全体長さを基準として５０〜８０％の範囲に具備され、外面にヘリカル螺旋溝が形成された金属材からなる渦流ピンが挟み込みで組み立てられて形成されるか、または、前記エア孔の全体長さを基準として５０〜８０％の範囲を有する区間の内周面にヘリカル螺旋溝を形成するか、または、前記エア孔の内周面にヘリカル螺旋溝を形成し、円柱状のピンを挟み込みで挿入して形成されることにある。
【００３５】
本発明の好ましいまた他の特徴として、前記真空ロードは、前記真空チャンバに連結されて真空圧が作用するように孔を長く形成してなる急速スリットと、前記急速スリットに対して相対的に遅い速度で真空圧が作用するように屈曲状を有する区間を形成するか、または、前記急速スリットに比べてさらに長い流動距離を有するように形成するか、または、前記急速スリットに比べて真空圧が作用する容積が減少される大きさを有するように形成した抵抗要素を含む遅延スリットと、前記急速スリットと遅延スリットとの各一側端に形成されて前記真空孔に連結される吸込部とを含んで構成されることにある。
【発明の効果】
【００３６】
本発明による大面積パネル用の搬送プレートは、薄板でかつ大面積のパネル、または各種ディスプレイパネルを含む各種の被運搬体の移送時に局部の垂れ下がり現象を効果的に抑えて、平坦な状態での安定した移送を保障することができるという利点がある。
【００３７】
特に、噴出されるエアが旋風状の上昇気流を形成することによって、高い直進性を維持することができるだけでなく、中心部の圧が周辺に比べて相対的に低いので、被運搬体を浮上させながら圧の低い中心部では引き寄せる作用が起こるので、結果として、被運搬体の移送時に発生する振動による揺れ発生を最小化することができるだけでなく、被運搬体の浮上平坦度を良好に維持することができるという効果がある。
【００３８】
また、本発明は、製造過程で被運搬体の面積と移送速度を考慮して、各エア孔の噴出圧を異なるように決定して、合わせた形で製造が可能であるので、結果として、被運搬体に最適化した浮上圧を有する大面積パネル用の搬送プレートの提供が可能であるという利点がある。
【００３９】
また、本発明は、エアが分岐される分岐スリット孔が形成された中板と、前記分岐スリット孔に連結されるエア孔及びチャンバを形成した上・下板とで具備される簡素な構造からなることより、製作が容易でかつ経済的な製造が可能であり、以前の製品に比べて、厚さと重さを画期的に減少させることができるので、設置の制約による自由度を解消することができる、産業上非常に有用な効果が期待される。
【００４０】
本発明の特徴及び利点は、添付図面に基づいた次の詳しい説明によってさらに明らかになるであろう。また、上記の本明細書及び請求の範囲に用いられた用語や単語は、通常かつ辞書的な意味で解釈されてはならず、発明者が自分の発明を最善の方法で説明するために、用語の概念を適切に定義することができるという原則に基づいて、本発明の技術的思想に符合する意味と概念で解釈されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】従来技術による搬送プレートを示した図面である。
【図２】従来技術による搬送プレートを示した図面である。
【図３】従来技術による被運搬体の移送状態を説明するための図面である。
【図４】本発明による大面積パネル用の搬送プレートを示した斜視図である。
【図５】本発明による大面積パネル用の搬送プレートを示した分解斜視図である。
【図６】本発明による大面積パネル用の搬送プレートを下側から見た斜視図である。
【図７】本発明による大面積パネル用の搬送プレートでエア分岐板を示した平面図である。
【図８】図７のＡ−Ａ線を示した断面図である。
【図９】図７のＢ−Ｂ線を示した断面図である。
【図１０】図９の他の実施例を示した断面図である。
【図１１】本発明の他の実施例による大面積パネル用の搬送プレートを示した斜視図である。
【図１２】図１１の構成を説明するための分解斜視図である。
【図１３】図１１を説明するための平面例示図である。
【発明を実施するための形態】
【００４２】
以下、添付した図面を参照して、本発明による大面積パネル用の搬送プレートを説明すると、以下の通りである。先ず、図面のうち同一の構成要素または部品は、可能な限り同一の参照符号で示していることに留意すべきである。本発明を説明するにあたって、関連した公知の機能あるいは構成に対する具体的な説明は、本発明の要旨を曖昧にしないように省略する。
【００４３】
図４は、本発明の一実施例による大面積パネル用の搬送プレートを示した斜視図である。
【００４４】
図面には、薄い金属板材からなるエア分岐板２０を挟んで、上側には、複数のエア孔３３が具備された上板３０が配置され、前記エア分岐板２０の下側には、下板１０が配置される構成の大面積パネル用の搬送プレート１が示されている。
【００４５】
図５は、本発明の一実施例による大面積パネル用の搬送プレートを示した分解斜視図である。
【００４６】
図面には、複数のネジ部材ｓによって一体でネジ締結される下板１０と、エア分岐板２０と上板３０とからなる大面積パネル用の搬送プレート１が示されており、前記下板１０は、外部からエアの供給を受けることで上面にエアチャンバ１３が形成され、前記エア分岐板２０は、前記エアチャンバ１３からエアの供給を受けて分岐案内するエアロード２１が形成された、前記下板１０の上部面に密着する薄い金属板材で提供され、前記上板３０は、前記エア分岐板２０から供給を受けたエアが回転推進力を有するように噴出させるエア孔３３が形成される構成である。
【００４７】
図６は、本発明の一実施例による大面積パネル用の搬送プレートを下側から見た斜視図である。
【００４８】
図面には、エアの供給を受けるためのエアポートａ１が形成された下板１０と、この下板１０のエアポートａ１に接続することでエアを供給するラインであるエア供給ラインａｐとが示されている。
【００４９】
図７は、本発明による大面積パネル用の搬送プレートでエア分岐板を示した平面図である。
【００５０】
図面には、上板３０と下板１０との間に密着具備される薄い金属板材からなり、前記下板１０のエアチャンバ１３に連結されてエアの供給を受けて分岐させるエアロード２１が形成されたエア分岐板２０が示されている。ここで、前記エアロード２１は、供給を受けたエアを速い速度で噴出させる急速ロード２１ａと、この急速ロード２１ａに対して遅い速度でエアを噴出させる遅延ロード２１ｂとで構成される。
【００５１】
図８は、図７のＡ−Ａ線を示した断面図である。図面には、ネジ部材ｓによって一体で結合される大面積パネル用の搬送プレート１が示されており、構成要素の一つである下板１０には、エアの供給を受けるためのエアポートａ１が貫通形成され、このエアポートａ１を介して流入されるエアは、下板１０の上面に形成されたエアチャンバ１３に満たされる構成が示されている。
【００５２】
図９は、図７のＢ−Ｂ線を示した断面図である。
【００５３】
図面には、下板１０のエアチャンバ１３に満たされたエアは、エア分岐板２０に形成される複数のエアロード２１を経由して、上板３０の提供されるエア孔３３を通じて上側に噴出されるように構成された大面積パネル用の搬送プレート１が示されている。
【００５４】
ここで、前記上板３０に形成されたエア孔３３は、噴出されるエアが旋風状の推進回転力を起こすように誘導する渦流発生部３３ａ、及びこの渦流発生部３３ａの上部に垂直面を形成してエアが直進性を有するように誘導する直進誘導部３３ｂからなる構成である。
【００５５】
図１０は、図９の他の実施例を示した断面図である。
【００５６】
図面には、外周面にヘリカル螺旋溝を形成した渦流ピン３３ａｐが挟み込みで組み立てられた渦流発生部３３ａを有する上板３０が示されている。
【００５７】
以上の図面を参照して、本発明の構成を詳しくみると、以下の通りである。
【００５８】
本実施例による大面積パネル用の搬送プレート１は、大きく、下部に配置される下板１０と、この下板１０の上部に密着具備される薄い金属板材からなるエア分岐板２０、そしてこのエア分岐板２０の上部に密着具備されることで、前記下板１０とエア分岐板２０と共に一体で結合される上板３０で構成される。
【００５９】
下板１０は、外部からエアの供給を受けることができるようにエアポートａ１が貫通形成され、上面には、前記エアポートａ１を通じて供給されたエアが満たされるようにエアチャンバ１３が形成され、前記エアポートａ１及びエアチャンバ１３と位置干渉しない位置にネジ部材ｓが挿通するように第１締結孔ｈ１が貫通形成される。
【００６０】
ここで、前記エアチャンバ１３は、下板１０の上部面に長さ方向に長く窪んだ溝状で形成され、被運搬体ｐを浮上させるために必要なエア圧を考慮して、その設置位置と溝の深さや広さなどが決められる。
【００６１】
また、前記エアポートａ１は、外部路から高圧の空気の供給を受けるための連結要素であるエア供給ラインａｐが連結される構成である。
【００６２】
このような構成の下板１０は、前記エア供給ラインａｐを通じて外部からエアが供給されれば、前記エアポートａ１を経由してエアチャンバ１３に満たされる。
【００６３】
エア分岐板２０は、前記下板１０と後述する上板３０との間に具備される薄い金属板材で提供され、前記エアチャンバ１３に連結されてエアの供給を受けて分岐させることができるように、レーザー加工を通じて細長い孔状を有するエアロード２１が形成される。このような構成のエア分岐板２０は、前記第１締結孔ｈ１と対応する位置に第２締結孔ｈ２が貫通形成される。
【００６４】
上板３０は、前記エア分岐板２０の上部に積層具備される板材型の部材であり、下面には、前記エア分岐板２０のエアロード２１を経由したエアが上側に噴出されることができるように円筒状の直管の形態を有する複数のエア孔３３が形成され、前記エア孔３３は、流入されたエアが通過しながら旋風状の推進回転力を有するように誘導する渦流発生部３３ａと、この渦流発生部３３ａの上部に位置し、生成した渦流が直進性を維持した状態で噴出されることができるように誘導する垂直面からなる直進誘導部３３ｂとからなる。
【００６５】
前記渦流発生部３３ａは、ヘリカル螺旋を利用して流入される空気が旋風状の強い推進回転力を有するように誘導する要素であり、本発明では、図９に示すように、エア孔３３の内面にヘリカル螺旋溝３５ａｈを形成するか、または、前記エア孔３３の内周面に形成されたヘリカル螺旋溝３５ａｈに円柱状のピン３３ａｐを挟み込みで挿入して形成する。
【００６６】
その他にも、図１０に示すように、前記渦流発生部３３ａは、前記エア孔３３の全体長さを基準として５０〜８０％の範囲で具備され、外面にヘリカル螺旋溝が形成された金属材からなる渦流ピン３３ａｐが挟み込みで組み立てることで形成される。この時、前記渦流発生部３３ａは、前記エア孔３３の全体長さを基準として５０％〜８０％の範囲を有する区間を有するように形成されることが好ましく、これは、渦流発生部３３ａが５０％未満の区間に形成される場合は、推進回転力を有する渦流の形成が困難であり、相対的に直進誘導部３３ｂの区間が大きくなることによってエアが有する渦流性質が喪失されながら推進性が低下することで、結果として、エアの円滑な噴出が困難であり、被運搬体ｐに対する浮上が不可能だからである。
【００６７】
前記直進誘導部３３ｂは、前記渦流発生部３３ａを通過したエアが直進性を維持した状態で噴出されることができるように、前記渦流発生部３３ａの上部側に垂直面を形成し、好ましくは、前記上板３０の上面と直角をなすように形成される。
【００６８】
一方、このような構成の上板３０は、前記第１締結孔ｈ１及び第２締結孔ｈ２と対応する位置に第３締結孔ｈ３が貫通形成され、ネジ部材ｓによって前記下板１０及びエア分岐板２０と一体で結合される構成である。
【００６９】
前記のように構成される大面積パネル用の搬送プレート１の構成は、以前の搬送プレートの構成と類似している。但し、本発明では、前記上板３０に形成されたエア孔３３にエアを分岐供給するためのエアロード２１を提供するにあたって、各エア孔に供給されるエアの噴出圧を異ならせて、被運搬体ｐの局部の垂れ下がり現象を抑えて平坦度の維持性能を高めるように、急速ロード２１ａと遅延ロード２１ｂとを構成することをその技術的特徴とする。
【００７０】
即ち、本発明のエアロード２１は、エアが速く流動されるように直線の区間または緩い曲線区間を有する急速ロード２１ａと、この急速ロード２１ａに対して相対的にエアが遅い速度で流動されるように抵抗要素を有する遅延ロード２１ｂとで構成される。
【００７１】
このようなエアロード２１は、多様な形態と模様で具備されてもよく、本発明の図面に示すように、前記急速ロード２１ａと遅延ロード２１ｂとが互いに連結されることで、前記下板１０のエアチャンバ１３からエアの供給を受けて分岐させる構造で提供されるか、または、示していないが、前記急速ロード２１ａと遅延ロード２１ｂとが互いに連結されずに断絶された形態で具備され、独立してエアの供給を受けるように構成されてもよい。
【００７２】
また、本発明における前記エアロード２１を構成する急速ロード２１ａと遅延ロード２１ｂとは、局部の垂れ下がりを防止するための役割をするので、被運搬体ｐで垂れ下がり現象が発生する可能性が高い所には、急速ロード２１ａを配置して、エア圧が速く噴出されることで浮上させ、相対的に局部の垂れ下がり現象が発生しない所には、遅延ロード２１ｂを配置する。
【００７３】
本発明では、図９に示すように、被運搬体ｐを基準として中心部側に位置したエア孔３３には、遅延ロード２１ｂがエアを供給するように配置し、前記被運搬体ｐの外郭側に位置したエア孔には、急速ロード２１ａがエアを供給するように配置した。これは、前記被運搬体ｐの中心部側に供給されるエアは、被運搬体ｐの外部に迅速に流動されずに閉じ込められる現象、即ち、滞留して一定の浮上力が保存されるので、前記急速ロード２１ａに比べてエアの噴出速度が遅い遅延ロード２１ｂを配置させ、前記被運搬体ｐの外郭部側に供給されるエアは外部に速く流失されるので、遅延ロード２１ｂに対してエアの噴出速度が速い急速ロード２１ａを配置させた。
【００７４】
一方、本発明における急速ロード２１ａと遅延ロード２１ｂとは、相対的にエアの噴出速度が異なって設定されたことを特徴としており、このため、本発明は、前記遅延ロード２１ｂを経由するエアが抵抗によってその速度が遅くなるように誘導する抵抗要素を付加することを提案する。
【００７５】
このような抵抗要素は、多様に実施されてもよく、本発明は、大きく三つの方法を提案する。
【００７６】
第一、前記遅延ロード２１ｂは、前記急速ロード２１ａに対してエアに流動抵抗を発生させて相対的なエアの噴出速度が遅くなるように屈曲状を有する区間を含む。
【００７７】
即ち、前記急速ロード２１ａは、直線区間を形成するかまたは緩い曲線区間を有する細長い孔状を有するようにし、前記遅延ロード２１ｂは、図面に示すように、屈曲状、即ち波状の区間を有する細長い孔状で形成する。このような構成により、前記急速ロード２１ａを経由するエアは、速く流動してエア孔３３側に流動されるが、前記遅延ロード２１ｂを経由するエアは、波状の抵抗要素によって前記急速ロード２１ａに比べて遅延流動してエア孔側に流動される。
【００７８】
第二、前記遅延ロード２１ｂは、前記急速ロード２１ａに対して相対的にさらに長い流動距離を形成してエアの噴出速度が遅くなるようにすることができる。
【００７９】
即ち、前記急速ロード２１ａと遅延ロード２１ｂとは、前記エアチャンバ１３から供給を受ける供給位置を基準としてそれぞれのエア孔に供給するための経路を形成するにあたって、前記急速ロード２１ａに比べて前記遅延ロード２１ｂがさらに長い距離を有するように形成することで、結果として、前記急速ロード２１ａに比べて遅延ロード２１ｂを経由するエアの噴出速度が遅くなるように誘導する。
【００８０】
第三、前記遅延ロード２１ｂは、前記急速ロード２１ａに対してエアの全体通過量が減少される大きさを有するように形成される。
【００８１】
即ち、前記急速ロード２１ａは、前記遅延ロード２１ｂに対して孔の大きさ（幅または深さ）をさらに大きく形成することで、結果として、前記急速ロード２１ａに比べて遅延ロード２１ｂを経由するエアの噴出速度が遅くなるように誘導する。
【００８２】
一方、前記急速ロード２１ａと遅延ロード２１ｂとは、それぞれ一側末端部に半円弧状の吐出部２１ｃが一体で形成され、前記吐出部２１ｃは、前記エア孔３３の内部直径に対して減少した直径の大きさを有するように形成される。
【００８３】
ここで、前記吐出部２１ｃは、好ましくは、前記エア孔３３の渦流発生部３３ａを形成するヘリカル螺旋を基準として螺糸山と螺子溝との中間部分に位置する直径を有するように形成されることが好ましく、このような構成により、前記吐出部２１ｃを通じて吐出されるエアは、ヘリカル螺旋に沿って円滑に上側に流動される。
【００８４】
前記のように構成される本発明による大面積パネル用の搬送プレートの作用を説明すると、以下の通りである。
【００８５】
先ず、下板１０のエアポートａ１を通じて流入されるエアは、エアチャンバ１３を経由してその上側に具備された前記エア分岐板２０のエアロード２１に沿って分岐流動された後、上板３０が形成されたエア孔３３を通じてその上部側に噴出される。
【００８６】
この時、前記エアロード２１は、エアが速く流動される急速ロード２１ａと、この急速ロード２１ａに比べて相対的に遅い速度で流動される遅延ロード２１ｂとからなり、前記急速ロード２１ａは、被運搬体ｐの外郭側に配置したエア孔に連結され、前記遅延ロード２１ｂは、被運搬体ｐの中心部側に配置したエア孔に連結されているので、結果として、前記被運搬体ｐの垂れ下がり現象を抑えて、平坦な状態での浮上を可能にする。
【００８７】
図１１は、本発明の他の実施例による大面積パネル用の搬送プレートを示した斜視図であり、図１２は、図１１の構成を説明するための分解斜視図であり、図１３は、図１１を説明するための平面例示図である。
【００８８】
図面に示すように、本実施例における大面積パネル用の搬送プレート１は、大きく、下部に配置される下板１０と、この下板１０の上部に密着具備される薄い金属板材からなる真空分岐板４０と、この真空分岐板４０の上部に密着具備されるエア分岐板２０、そして最上部に位置する上板３０で構成される。
【００８９】
下板１０は、外部からエアと真空圧とがそれぞれ供給されるエアポートａ１及び真空ポートｖ１が位置干渉しないようにそれぞれ具備され、上面には、前記真空ポートｖ１に連結されて真空圧が作用する溝状の真空チャンバ１４が形成される。このような構成の下板１０は、前述した一実施例の構成と類似しているが、但し、真空圧が作用する真空ポートｖ１がさらに具備されるという違いがある。
【００９０】
上板３０は、前記下板１０の上部に具備され、下面に前記エアポートａ１から供給を受けたエアが満たされる溝状のエアチャンバ１３が形成され、上側にエアが噴出されるエア孔３３  及び真空圧が作用する真空孔３７が互いに位置干渉しないように形成される。このような構成の上板３０は、上記で説明した一実施例の構成と大同小異であり、但し、底面にエアチャンバ３４が形成されるという違いがある。
【００９１】
真空分岐板４０は、前記下板１０と上板３０との間に具備される薄板の金属板材であり、前記真空チャンバ１４に連結されて真空圧を前記真空孔３７に伝達するための複数の真空ロード４１が形成され、この時の前記真空ロード４１は、レーザー加工を通じて形成され、細長いスリット（ｓｌｉｔ）状の孔で提供される。
【００９２】
エア分岐板２０は、前記真空チャンバ１４の上側または下側に具備され、前記エアチャンバ１３に連結されて供給を受けたエアを分岐させて前記エア孔３３に供給するエアロード２１が形成される。この時の前記エアロード２１は、エアが速く流動されるように狭い隙間を形成してなる急速ロード２１ａ、及びこの遅延ロード２１ｂに対して相対的に遅い速度でエアが流動されるように抵抗要素を有する遅延ロード２１ｂからなる。
【００９３】
一方、前記エア分岐板２０は、前記真空孔３７と一致する位置に第１真空ポートｖ２が形成され、前記下板１０のエアポートａ１に連結される貫通孔である第２エアポートａ３が形成される。そして、前記真空分岐板４０は、前記第２エアポートａ３と前記エアポートａ１とを連結する貫通孔である第１エアポートａ２が形成される。
【００９４】
このような構成の本実施例の大面積パネル用の搬送プレート１は、上記で説明した一実施例の構成と基本的に類似しているが、前記上板３０の上部にエア圧と真空圧とを同時に作用するという違いがある。
【００９５】
本実施例における大面積パネル用の搬送プレート１の技術的特徴部は、エアロード２１と真空ロード４１とがそれぞれ異なる圧を作用する構成で具備されることである。
【００９６】
本実施例におけるエアロード２１は、エアが速く流動されるように直線の区間または緩い曲線区間を有する急速ロード２１ａと、この急速ロード２１ａに対して相対的にエアが遅い速度で流動されるように抵抗要素を有する遅延ロード２１ｂとからなり、この時の前記急速ロード２１ａと遅延ロード２１ｂとは、上記で説明した一実施例と同一に実施されるので、詳しい説明は省略する。
【００９７】
本実施例における真空ロード４１は、真空圧が作用するように孔を長く形成してなる急速スリット４１ａと、前記急速スリット４１ａに対して相対的に遅い速度で真空圧が作用するように屈曲状を有する区間を形成するか、または、前記急速スリット４１ａに比べてさらに長い流動距離を有するように形成するか、または、前記急速スリット４１ａに比べて真空圧が作用する容積が減少する大きさを有するように形成した抵抗要素を含む遅延スリット４１ｂ、そして前記急速スリット４１ａと遅延スリット４１ｂとの各一側端には、前記真空孔３７に連結される貫通した孔状の吸込部４１ｃからなる。
【００９８】
この時の前記真空ロード４１は、上記で説明した一実施例のエアロード２１と同様に、真空圧の大きさを異ならせて作用するようにし、基本的な構成及び形態は、前述したエアロード２１と同一に実施されても構わないので、詳しい説明は省略する。
【００９９】
一方、図面に示していないが、本発明は、エアロードまたは真空ロードが有する技術的特徴を含めば、下板と上板との構造は多様に変形実施されてもよい。
【０１００】
一例として、エアと真空圧との供給を受けるそれぞれのポートを設け、上面には、それぞれのポートを通じて供給される圧が作用するエアチャンバと真空チャンバとを形成した下板と、この下板の上側に向かい合うように配置され、前記エアチャンバと真空チャンバとにそれぞれ連結されてエアを噴出するエア孔及び真空圧が作用する真空孔が形成された上板とを具備し、これらの下板と上板との間にそれぞれ真空圧を分岐させる真空ロードが形成された真空分岐板、そしてエアを分岐させるエアロードが形成されたエア分岐板を積層構成し、前記エア分岐板と真空分岐板とは、垂直した方向にエアまたは真空圧が伝達される経路を形成する貫通した孔状を含む大面積パネル用の搬送プレートも可能であろう。
【０１０１】
前記のように構成される本発明の他の実施例による大面積パネル用の搬送プレートの作用を説明すると、下記の通りである。
【０１０２】
先ず、下板１０のエアポートａ１を通じて流入されるエアは、エアチャンバ１３を経由してその上側に具備された前記エア分岐板２０のエアロード２１に沿って分岐流動された後、上板３０のエア孔３３を通じて噴出され、この時、前記エアロード２１を構成する急速ロード２１ａは、被運搬体ｐの外郭側に配置したエア孔に連結され、前記遅延ロード２１ｂは、被運搬体ｐの中心部側に配置したエア孔に連結され、前記被運搬体ｐを全体的に垂れ下がり現象なしに安定して浮上させる。
【０１０３】
また、前記下板１０のエアポートａ１の一側に提供される真空ポートｖ１に作用する真空圧は、真空チャンバ１４を経由して真空分岐板４０の真空ロード４１を通じて前記上板３０の真空孔３７に作用し、この時、前記真空ロード４１は、前記エアロード２１と同様に互いに真空圧を異ならせる急速スリット４１ａと遅延スリット４１ｂとからなり、被運搬体ｐに対する局部的な真空圧を異ならせることで、平坦性を精密に維持管理することができる。
【０１０４】
一方、本発明は、記載された実施例に限らず、適用部位を変更して使用することが可能であり、本発明の思想及び範囲を逸脱せず多様に修正及び変形できることは、この技術分野で通常の知識を持った者には自明である。従って、そのような変形例または修正例は、本発明の特許請求の範囲に属するというべきである。
【符号の説明】
【０１０５】
１：大面積パネル用の搬送プレート
１０：下板
１３、３４：エアチャンバ
２０：エア分岐板
２１：エアロード
２１ａ：急速ロード
２１ｂ：遅延ロード
３０：上板
３３：エア孔
３３ａ：渦流発生部
３３ｂ：直進誘導部
４０：真空分岐板
ａ１：エアポート
ｖ１：真空ポート
【図１】
0005601345.tif 000002
【図２】
0005601345.tif 000003
【図３】
0005601345.tif 000004
【図４】
0005601345.tif 000005
【図５】
0005601345.tif 000006
【図６】
0005601345.tif 000007
【図７】
0005601345.tif 000008
【図８】
0005601345.tif 000009
【図９】
0005601345.tif 000010
【図１０】
0005601345.tif 000011
【図１１】
0005601345.tif 000012
【図１２】
0005601345.tif 000013
【図１３】
0005601345.tif 000014