(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下に対向する搬送ローラからなる搬送ローラ対がワーク搬送方向に所定間隔をおいて、複数配設された搬送ローラ装置を、ワーク搬送経路の幅方向の両側に備え、前記各搬送ローラ対のローラ軸芯を、上方から見て、上記幅方向の内方側が搬送方向側にくるように傾斜させ、上記両搬送ローラ装置により、矩形状のワークの幅方向の両端部を上下から把持し、ワークを水平状態で搬送する表面処理槽のワーク搬送方法において、
前記ワーク搬送経路の幅方向の両側のうち、少なくとも一方に、ワーク搬送経路と平行に延びる搬送ガイドが敷設され、
前記一対の搬送ローラ装置のうち、前記搬送ガイドが配置されている側の搬送ローラ装置のローラ挟持圧を、他方の搬送ローラ装置のローラ挟持圧よりも高く設定し、
上記ローラ挟持圧の差によって、ワークを搬送ガイド側に引き寄せると共に、前記搬送ガイドに押し当て、搬送方向にガイドし、
前記ワークの幅方向の両端部を、ワークの搬送方向の全長に亘って搬送用治具により上下から挟持し、
前記各搬送用治具をそれぞれ対応する側の搬送ローラ装置の搬送ローラ対で上下から挟持し、
前記各搬送ローラ対の回転により、幅方向両側の前記両搬送用治具を介してワークを幅方向の外方に引っ張りつつ、搬送することを特徴する表面処理槽のワーク搬送方法。
【請求項２】
水平姿勢に配置された矩形状のワークの幅方向の両端部を上下から挟持する搬送用治具であって、
上側治具部材と下側治具部材とを備え、
両治具部材は、ワークの幅方向の端部の上下面にそれぞれ当接する摩擦係数の高い挟持面を有し、
一方の治具部材には、ワーク搬送方向に間隔を置いて配置された突起部が形成され、他方の治具部材には、上記突起部が嵌合する嵌合孔が形成され、
上記各突起部は、ワークの幅方向の端縁に当接して前記端縁を搬送方向と平行に位置決めすることを特徴とする搬送用治具。
【請求項３】
請求項２に記載の搬送用治具において、
前記突起は円柱状に形成され、前記嵌合孔は円形に形成されている搬送用治具。
【請求項４】
水平姿勢に配置された矩形状のワークの幅方向の両端部を上下から挟持する搬送用治具であって、
上側治具部材と下側治具部材とを備え、
両治具部材は、ワークの幅方向の端部の上下面にそれぞれ当接する摩擦係数の高い挟持面を有し、
一方の治具部材には、該治具部材のワーク搬送方向の全長に亘って延びる筋状の段部が形成され、他方の治具部材には、上記段部が嵌合する嵌合溝が形成され、
上記段部は、ワークの幅方向の端縁に当接して前記端縁を搬送方向と平行に位置決めすることを特徴とする搬送用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄槽あるいはめっき処理槽等の表面処理槽内で、プリント基板等のワークを、略水平状態で搬送するワーク搬送方法及びその搬送に用いる搬送用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器に用いられているプリント基板等のワークの製造過程では、各種洗浄槽あるいはめっき槽等の表面処理槽が用いられており、ワークは、各表面処理槽内において、各種薬液、洗浄液あるいは水等により、表面処理される。
【０００３】
上記表面処理槽内でワークを搬送する方法として、上下の搬送ローラで構成される搬送ローラ対により、ワークの幅方向の両端部を挟持し、搬送ローラの回転により、ワークを水平状態で搬送する方法が採用されている。すなわち、ワークを表面処理槽内で水平搬送し、搬送中に、上下のノズルから洗浄液、薬液あるいは水を噴射したり、貯留されているめっき液中を通過させたりする（特許文献１及び２等参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２８５３２３号公報
【特許文献２】特開２００８−８５１１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
電子機器に用いられる昨今のプリント基板等は、極薄化及びフレキシブル化が進んでいるため、ワークの幅方向の両端部を、単に、搬送ローラにより挟持して搬送方向に水平搬送する方法では、噴射される処理液の勢いや、処理液の重みにより、ワークに弛みが生じ、処理液が均一にワーク全面に行き渡らず、表面処理の品質が低下したり、また、左右の搬送ローラ対の挟持圧あるいは摩擦力のばらつきにより、ワークが蛇行し、これによっても、品質が低下するおそれがあった。
【０００６】
これに対し、前記各先行技術文献に開示された技術では、搬送ローラの軸芯を、搬送方向と直角な幅方向に対して傾斜させることにより、搬送中のワークに対して幅方向の外方への引張力を付与し、これにより、ワークの弛み等を防止するようにしている。
【０００７】
ところが、前記いずれの先行文献の技術においても、ワークの弛み及びワークの蛇行を確実に阻止することは不可能であった。また、搬送ローラ対とワークとの接触面を増加させるために、搬送ローラ対の配置密度を増加させることが考えられるが、部品点数が増えると共に、コストが高くなる。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みて為されたものであり、ワークを、弛みが生じることなく、かつ、蛇行することなく、平面状態で搬送方向に沿って水平搬送することができるようにすることを目的としている。さらに、極薄でフレキシブルなワークであっても、搬送ローラ対の数を増やすことなく、水平搬送できるようにすることも目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明は、上下に対向する搬送ローラからなる搬送ローラ対がワーク搬送方向に所定間隔をおいて、複数配設された搬送ローラ装置を、ワーク搬送経路の幅方向の両側に備え、前記各搬送ローラ対のローラ軸芯を、上方から見て、上記幅方向の内方側が搬送方向側にくるように傾斜させ、上記両搬送ローラ装置により、矩形状のワークの幅方向の両端部を上下から把持し、ワークを水平状態で搬送する表面処理槽のワーク搬送方法において、前記ワーク搬送経路の幅方向の両側のうち、少なくとも一方に、ワーク搬送経路と平行に延びる搬送ガイドが敷設され、前記一対の搬送ローラ装置のうち、前記搬送ガイドが配置されている側の搬送ローラ装置のローラ挟持圧を、他方の搬送ローラ装置のローラ挟持圧よりも高く設定し、上記ローラ挟持圧の差によって、ワークを搬送ガイド側に引き寄せると共に、前記搬送ガイドに押し当て、搬送方向にガイドし、
前記ワークの幅方向の両端部を、ワークの搬送方向の全長に亘って搬送用治具により上下から挟持し、前記各搬送用治具をそれぞれ対応する側の搬送ローラ装置の搬送ローラ対で上下から挟持し、前記各搬送ローラ対の回転により、幅方向両側の前記両搬送用治具を介してワークを幅方向の外方に引っ張りつつ、搬送する。
【００１１】
また、本発明は、上記搬送方法に用いる搬送用治具を提供するものである。この搬送用治具は、水平姿勢に配置された矩形状のワークの幅方向の両端部を上下から挟持する搬送用治具であって、上側治具部材と下側治具部材とを備え、両治具部材は、ワークの幅方向の端部の上下面にそれぞれ当接する摩擦係数の高い挟持面を有し、一方の治具部材には、ワーク搬送方向に間隔を置いて配置された突起部が形成され、他方の治具部材には、上記突起部が嵌合する嵌合孔が形成され、上記各突起部は、ワークの幅方向の端縁に当接して前記端縁を搬送方向と平行に位置決めする。
【００１２】
上記搬送用治具において、好ましくは、前記突起は円柱状に形成され、前記嵌合孔は円形に形成されている。
【００１３】
また、別の搬送用治具として、水平姿勢に配置された矩形状のワークの幅方向の両端部を上下から挟持する搬送用治具であって、上側治具部材と下側治具部材とを備え、両治具部材は、ワークの幅方向の端部の上下面にそれぞれ当接する摩擦係数の高い挟持面を有し、一方の治具部材には、該治具部材のワーク搬送方向の全長に亘って延びる筋状の段部が形成され、他方の治具部材には、上記段部が嵌合する嵌合溝が形成され、上記段部は、ワークの幅方向の端縁に当接して前記端縁を搬送方向と平行に位置決めすることを特徴とする搬送用治具を提供する。
【発明の効果】
【００１４】
（１）本発明による搬送方法によると、ワークの幅方向の両端部を、傾斜姿勢の搬送ローラにより上下から挟持し、かつ、両搬送ローラ装置のローラ挟持圧に差を持たせることにより、ワークを、幅方向の外方に引っ張りつつ、ローラ挟持圧の高い搬送ローラ装置側に引き寄せ、搬送ガイドに押し当てて搬送するので、ワークを、弛みが生じることなく、かつ、蛇行することなく、平面状態で、確実に搬送方向に沿って搬送することができ、搬送が円滑に行える。これにより、ワーク全面を均一に表面処理することができると共に、ワークの表面処理の品質を向上させることができる。
【００１５】
（２）ワークの幅方向の両端部を、ワークの搬送方向の略全長に亘る搬送用治具で上下から挟持して、搬送することにより、極薄のワークであっても、搬送ローラ対の数を多く設置しなくとも、ワークの弛みを確実に防止し、平面状態で搬送することができる。
【００１６】
（３）搬送用治具は、好ましくは、突起と嵌合孔とで相互に位置決めされる上側治具部材と下側治具部材を備え、上記突起を利用して、ワークの端縁の位置決めを行う構造としていると、簡単な構造で、所定の固定位置に、確実にワークを位置決めすることができる。
【００１７】
（４）また、搬送用治具は、ワークに対して着脱自在に装着することが可能であるので、繰り返して利用することができ、コストの低減に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係る搬送方法が実施される表面処理槽（洗浄槽）の概略断面図である。
【図２】図１のII-II断面拡大図である。
【図３】図２のIII-III断面拡大図である。
【図４】図１の矢印IV部分の拡大断面図である。
【図５】図４のV-V断面図である。
【図６】搬送ローラ装置の軸受の分解斜視図である。
【図７】搬送用治具の分解斜視図である。
【図８】図７の搬送用治具の正面図である。
【図９】搬送ローラ装置の変形例を示す平面図である。
【図１０】本発明に係るワーク搬送方法における各工程を示す斜視図である。
【図１１】搬送用治具の変形例を示す分解斜視図である。
【図１２】図１１の搬送用治具の正面図である。
【図１３】搬送ローラ装置の変形例を示す平面図である。
【図１４】本発明に係る別の搬送方法が実施される表面処理槽の図２と同様の断面拡大図、
【図１５】本発明の実験例に用いる搬送ローラ装置の平面略図、
【図１６】図１５の装置に基づく実験結果を表すグラフ、
【図１７】本発明の別の実験例に用いる搬送ローラ装置の断面拡大略図、
【図１８】図１７の装置に基づく実験結果を表すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図１乃至図８は、本発明に係るワーク搬送方法を実施するための表面処理槽と、ワーク搬送用治具であり、まず、これらの図面に基づいて表面処理装置の一例を説明する。
【００２０】
図１は表面処理槽全体の縦断面略図であり、表面処理槽として、プリント基板等の薄物ワークを連続的に洗浄する洗浄槽１を備えている。矢印Ｆがワーク搬送方向であり、また、説明の都合上、ワーク搬送方向と直交する水平方向を、「幅方向」あるいは「左右方向」と称し、以下説明する。
【００２１】
洗浄槽１のワーク搬送方向Ｆの後端と前端には、ワーク入口２とワーク出口３とが設けられると共に、ローディング槽４とアンローディング槽５が接続されており、ローディング槽４内とアンローディング槽５内には、それぞれワークＷを水平状態で搬入及び搬出するための搬送ローラ６，７が配置されている。
【００２２】
洗浄槽１内には、複数の搬送ローラ対１０を有するワーク搬送装置１１と、複数の上側洗浄液ノズル１２と、複数の下側洗浄液ノズル１３と、が配置されている。前記搬送ローラ対１０は、搬送方向Ｆに所定間隔を置いて配置されると共に、上下方向に対向する上側搬送ローラ１５と下側搬送ローラ１６から構成されており、両搬送ローラ１５，１６間で、ワークＷが水平姿勢で通過するワーク搬送経路Ａを構成している。ワーク搬送装置１１の搬送速度は、たとえば、毎分０．５ｍ〜２ｍである。なお、図１では、記載スペースの都合上、複数の搬送ローラ対１０及び複数の洗浄液ノズル１２，１３の一部のみ符号を附し、残りは符号を省略している。
【００２３】
各洗浄液ノズル１２，１３は、図示しないが複数の配管を介して洗浄液供給部に連通し、搬送経路Ａ内を水平搬送されるワークＷに対し、上側と下側から洗浄液を噴射し、ワークＷの両面を洗浄するようになっている。洗浄槽１の下端部には、噴射された洗浄液がレベルＬ１まで溜まっている。
【００２４】
図２は、図１のII-II断面拡大図、図３は図２のIII-III断面図であり、図３においては、前記図１と同様に、記載スペースの都合上、多数記載されている搬送ローラ１５等に対し、一部のみに符号を附し、残りは符号を省略している。図２において、搬送ローラ装置１１は、搬送方向Ｆと直交する幅方向（左右方向）の両側に配置されており、各搬送装置１１は、ワークＷの左右両端部を、搬送用治具１８を介して上下の搬送ローラ１５，１６間で上下から挟持し、搬送するように構成されている。搬送ローラ１５，１６の材質は、たとえばゴムであり、エストラマ又は天然ゴムでも可能である。耐薬液性を有していることが好ましいので、金属あるいはテフロン樹脂（登録商標）でも可能である。
【００２５】
搬送ローラ装置１１の支持構造及び駆動構造を説明する。洗浄槽１内には、左右方向に間隔を置いて一対の内側支持壁４１が立設されると共に、各内側支持壁４１からそれぞれ左右方向の外方に間隔を置いた位置に、外側支持壁４２が立設されている。前記各搬送ローラ１５，１６のローラ軸２１，２２は、前記内外の両支持壁４１，４２に、内外の軸受４３，４４を介して回転自在に支持されている。前記内側支持壁４１には、上下の搬送ローラ１５，１６間のすき間（ローラ挟持圧）を調節するための隙間調節機構（ローラ圧調節機構）４５が設けられている。
【００２６】
各上側搬送ローラ軸２１とこれに対応する各下側搬送ローラ軸２２とは、それぞれ平ギヤ２３、２４を介して連動連結されている。
【００２７】
各下側搬送ローラ軸２２の下方には、左右の支持壁４１，４２に亘って動力伝達軸３４が回転自在に架設されており、該動力伝達軸３４の左右両端部近傍に設けられた複数の平ギヤ２５に、各下側搬送ローラ軸２２の平ギヤ２４が噛み合っている。
【００２８】
図３において、洗浄槽１内の左右方向の一端部、たとえば図３の左端部には、搬送方向Ｆと平行に延びる駆動軸３１が配置されており、この駆動軸３１の長さ方向の一端部は、動力伝達機構（図示せず）を介して駆動モータ等の駆動源に連結している。前記駆動軸３１の途中には、搬送方向Ｆに等間隔を置いて各搬送ローラ対１０に略対応する位置にベベルギヤ３２が固着されており、各ベベルギヤ３２は、前記各動力伝達軸３４の左端部に固着されたベベルギヤ３３に噛み合っている。
【００２９】
すなわち、駆動モータ等により回転する駆動軸３１の回転は、各ベベルギヤ３２，３３を介して動力伝達軸３４に伝達され、該動力伝達軸３４の左右両端部から、図２に示す平ギヤ２４及び２５を介して、下側搬送ローラ軸２２及び上側搬送ローラ軸２１にそれぞれ伝達され、各搬送ローラ１５，１６を、互いに反対方向に回転する。
【００３０】
図３において、左右の上側搬送ローラ軸２１の軸芯は、搬送方向Ｆと直角な幅方向（左右方向）に対して、左右方向の内方側が搬送方向Ｆ側にくるように、所定角度θ１でもって傾斜している。図２に示す各下側搬送ローラ軸２２の軸芯も、前記上側搬送ローラ軸２１と同じ角度θ１で持って、幅方向（左右方向）に対して傾斜している。
【００３１】
搬送ローラ軸２１，２２を上記のように傾けた状態に支持するために、各軸受４３，４４に形成される軸受孔の中心線も、幅方向（左右方向）に対して前記所定角度θ１で傾斜しており、かつ、各外側軸受４４に対し、各内側軸受４３は、搬送方向Ｆ側にずれた位置に配置されている。
【００３２】
また、各搬送ローラ軸２１、２２の途中には、外側軸受４４の左右方向の内面に当接可能なストッパー４６が固着されており、これにより、搬送ローラ軸２１，２２がローラ軸芯方向に移動するのを防止している。
【００３３】
図４は、図１の矢印IV部分の拡大断面図であり、前記隙間調節機構４５の構造を示している。内側軸受４３には、下側搬送ローラ軸２２用の円形の軸受孔４７と、上側搬送ローラ軸２１用の上下方向に長い軸受孔４８とが形成されており、下側搬送ローラ軸２２は径方向に移動不能に下側の軸受孔４７に支持されているが、上側搬送ローラ軸２１は、上下方向移動可能に上側の軸受孔４８に支持されている。
【００３４】
隙間調節機構４５は、内側支持壁４１の上面に取付ボルト５５により固定されたケース５１と、該ケース５１の下壁を貫通して前記上側軸受孔４８に上下方向移動可能に突入する押さえロッド５２と、該押さえロッド５２の上端面に連結されたコイルばね５３と、該コイルばね５３の上端に連結すると共にケース５１の上壁のめねじ孔に螺挿された調節ねじ５４と、を備えている。
【００３５】
押えロッド５２の下端は円弧形凹面に形成され、上側搬送ローラ軸２１の上面に当接可能となっている。前記調節ねじ５４の締め込み量を変更することにより、押えロッド５２の上下方向の位置を調節し、これにより、上下の搬送ローラ１５，１６の隙間（ローラ挟持圧）を調節できるようになっている。
【００３６】
図５は図４のV-V端面図であり、左右の搬送ローラ装置１１は、それぞれローラ隙間調節機構４５を備えているが、ローラ挟持圧を異なる値に設定している。該実施の形態では、左側の搬送ローラ装置１１の上下の搬送ローラ１５，１６間の隙間が、右側の搬送ローラ装置１１の上下の搬送ローラ１５，１６間の隙間よりも小さくなるように、調節されている。すなわち、左側の搬送ローラ装置１１のローラ挟持圧が右側搬送ローラ装置１１のローラ挟持圧よりも大きくなるように、左右の前記隙間が設定されている。
【００３７】
上記のように、左側の搬送ローラ装置１１のローラ挟持圧を高く設定している場合において、左側の内側軸受４３の右端面には、搬送ガイドとして、摩擦係数の小さい、滑らかな面を有するガイドテープ６０が貼付されている。すなわち、ローラ挟持圧を高く設定している側の内側軸受４３の端面に、ガイドテープ６０を貼り付けている。このガイドテープ６０は、搬送経路Ａを含む高さに配置されている。
【００３８】
図６は、内側軸受４３の分解斜視図であり、内側支持壁４１には、上下方向に長く、上端が開口した軸受取付孔７０が形成され、内側軸受４３のワーク搬送方向Ｆの両端面には、前記軸受取付孔７０の内周面に嵌合可能な溝７１が形成されている。内側軸受４３を上方から軸受取付孔７０に嵌合し、図４のように、内側軸受４３の上端面を、前記隙間調節機構４５のケース５１の下端面により、押さえ付けている。
【００３９】
図７及び図８により、ワークＷを保持するための搬送用治具１８の構造を説明する。図７は搬送用治具１８の分解斜視図であり、搬送用治具１８は、ワーク搬送方向Ｆに細長い上側治具部材７２と下側治具部材７３とから構成されており、各治具部材７２，７３の長さは、ワークＷの搬送方向の長さに略等しく設定されている。各治具部材７２，７３の材質は、たとえば、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）又はポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）等の樹脂であり、耐薬品性及び耐久性があるものが好ましい。
【００４０】
下側治具部材７３の上面には、下側治具部材７３の長さ方向（ワーク搬送方向）に等間隔を置いて複数の円柱突起７４が形成されている。各円柱突起７４は、同一の形状及び同位置の大きさに形成されると共に、それらの中心が下側治具部材７３の長さ方向と平行な一直線上に揃うように、下側治具部材７３の幅方向の中央に配置されている。これにより、総ての円柱突起７４の右端縁と左端縁とは、それぞれ下側治具部材７３の長さ方向と平行な一直線上に位置している。各円柱突起７４の左右の端縁と下側治具部材７３の左右の端縁との間には、摩擦係数の大きい滑り止めテープ（摩擦テープ）７５がそれぞれ貼り付けられている。滑り止めテープ７５の幅は、ワークＷの挟持幅となるものであり、ワークＷの幅が４００ｍｍ程度であれば、十分な挟持状態を維持するためには、滑り止めテープ７５の幅（挟持幅）は、たとえば５ｍｍ〜１０ｍｍ程度が必要である。この滑り止めテープ７５の材質は、たとえば、軟質ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）シリコンゴム又はゴム等の樹脂であり、耐薬品性及び耐久性に優れたものが好ましい。
【００４１】
上側治具部材７２には、前記下側治具部材７３の各円柱突起７４が嵌合する複数の嵌合孔７６が、上側治具部材７２の長さ方向（ワーク搬送方向）に等間隔を置いて形成されている。また、上側治具部材７２の下面の左右両端部には、前記下側治具部材７３の滑り止めテープ７５と同様の滑り止めテープ７７が貼り付けられている。
【００４２】
なお、図示しないが、上下の治具部材７２，７３の四隅には、Ｒ面が形成されている。
【００４３】
図９は、搬送ローラ装置１１の変形例を示しており、駆動系を少し簡略化し、ワーク搬送方向Ｆにおけるローラ間隔を狭めると共に、動力伝達軸の数を減らしている。すなわち、前記図３の構造と比較して、左右の搬送ローラ装置１１間を連結する動力伝達軸３４を、一つ置きに間引くと共に、ワーク搬送方向Ｆに隣り合う下側搬送ローラ軸２２（図９でな上側ローラ軸２１の下側に隠れている）間を、一対のギヤ６８，６８及び中間ギヤ６９により連結した構造である。その他の構造は、前記図１乃至図９の構造と同じである。
【００４４】
［表面処理作業の全体の流れ］
図１において、プリント基板等の矩形状のワークＷは、自動ローディング機構により、あるいは手動により、ローディング槽４の搬送ローラ６上に水平状態に供給され、該搬送ローラ６により、入口２を通って洗浄槽１内に搬送される。
【００４５】
洗浄槽１内において、ワークＷは、左右の搬送ローラ装置１１により搬送方向Ｆに搬送され、上下の洗浄液ノズル１２，１３から噴射される洗浄液により洗浄され、出口３を通過してアンローディング槽５に排出される。アンローディング槽５では、ワークＷは、自動アンローディング機構により、あるいは手動により、取り出され、たとえば次の工程に供給される。
【００４６】
［ワーク搬送方法の一具体例及びその効果］
上記のような表面処理作業における具体的なワーク搬送方法を、図１０等により説明する。なお、図１０は、前記変形例で説明した搬送装置１１を備えている場合の搬送過程を示している。
【００４７】
（１）ローディング作業の前工程として、図１０の右上端に示すように、矩形状ワークＷの左右両端部を、それぞれ搬送用治具１８により上下から挟持する。この挟持作業は、自動ローディング機構に付設される自動取付機構により自動で行うことも、手動で行うことも可能である。この挟持作業において、図８に示すように、ワークＷの左右の端縁を下側治具部材７３の円柱突起７４に当接させることにより、ワークＷと搬送用治具１８との相対的な位置決めを行う。そして、円柱突起７４を嵌合孔７６に嵌合すると共に、上側治具部材７２を下側治具部材７３に重ね合わせることにより、上下の滑り止めテープ７７，７５間でワークＷの左右の端部を挟持する。
【００４８】
（２）図１０に戻り、搬送用治具１８により左右端部が挟持されたワークＷは、ローディング槽４から洗浄槽１内に搬入され、左右の搬送用治具１８が上下の搬送ローラ１５，１６間に挟持され、搬送ローラ１５，１６の回転により搬送方向Ｆに搬送される。この搬送過程において、図３のように、左右の搬送ローラ対１０の軸芯は、左右方向の内方側が搬送方向Ｆ側にくるように所定角度θ１で傾斜しているので、ワークＷは、左右の搬送用治具１８を介して左右方向の外方に張力を受けた状態で搬送される。
【００４９】
これにより、ワークＷは、水平な平面状態を保ちながら搬送され、上下から洗浄液が勢いよく衝突しても、ワークが弛んだり、皺になったり、外れたりすることがない。また、水平な平面状態に維持されることにより、洗浄液が略均一にワーク全面に行き渡り、高品質の洗浄性能を得ることができる。
【００５０】
特に、ワークＷの左右両端部を、ワークの搬送方向Ｆの略全長に亘って搬送用治具１８で挟持し、この搬送用治具１８を上下の搬送ローラ１５，１６で挟持して搬送するので、各搬送ローラ装置１１内での各搬送ローラ対１０のローラ挟持圧に、若干のばらつきがあても、ワークＷの搬送方向の全長を、均一に挟持することができ、これによって、ワークＷの皺の発生、脱落及び蛇行を防止できる。
【００５１】
（３）図５において、該実施の形態では、左側の搬送ローラ装置１１のローラ挟持圧を、右側の搬送ローラ装置１１のローラ挟持圧よりも大きくし、かつ、左側の内側軸受４３の右端面に、摩擦係数の小さいガイドテープ６０を貼り付けているので、ワーク搬送中、ワークＷは、ローラ挟持圧の強い左側に引き寄せられ、ワークＷの左側の搬送用治具１８がガイドテープ６０に当接した状態が維持される。すなわち、ワークＷはガイドテープ６０により正確に搬送方向Ｆにガイドされ、斜行することなく、正確に搬送経路Ａ中を搬送される。
【００５２】
また、該実施の形態では、内側軸受部材４３毎にガイドテープ６０を貼り付けているが、搬送治具１８の四隅にＲ面を形成しているので、搬送用治具１８が、一つの内側軸受４３から次の内側軸受４３に移行する時に該次の内側軸受４３の端縁に当接しても、前記Ｒ面により、円滑に通過することができ、引っ掛かることがない。
【００５３】
（４）図１０において、洗浄後のワークＷは、出口３からアンローディング槽５に排出され、排出されたワークＷから搬送用治具１８が外される。この搬送用治具１８は、繰り返し、ワークＷの搬送に利用される。
【００５４】
［その他の実施の形態］
（１）図１１及び図１２は搬送用治具１８の変形例である。前記図７及び図８に示す構造と同様に、細長い上側治具部材７２と細長い下側治具部材７３とから構成され、下側治具部材７３には複数の円柱突起７４が形成され、上側治具部材７２には複数の円形の嵌合孔７６が形成されており、これらの構成に加え、下側治具部材７３の上面には左右幅の中央部に治具部材長さ方向に直線状に延びる筋状の段部８０が形成され、上側治具部材７２の下面には、前記段部８０が嵌合する直線状の嵌合溝８１が形成されている。また、段部８０の左右両側方と嵌合溝８１に左右両側方には、摩擦係数の高い滑り止めテープ７５，７７が貼り付けられている。
【００５５】
前記円柱突起７４及び嵌合孔７６は、それぞれ段部８０の上面と嵌合溝８１の底面に形成されている。
【００５６】
該変形例の搬送用治具１８でワークＷを挟持する場合には、図１２に示すように、段部８０の左右方向の一方の端面にワークＷの左右の端縁を当接させることにより、ワークＷと搬送用治具１８との相対的な位置決めを行う。また、上下の治具部材７２，７３間の位置決めは、円柱突起７４と嵌合孔７６との嵌合構造に加え、段部８０と嵌合溝８１との嵌合によっても実施され、上下の治具部材７２，９３は強固に結合される。
【００５７】
（２）前記図１等の例では、表面処理槽として、洗浄液ノズル１２，１３を有する洗浄槽を用いているが、無電解めっき用あるいは電気めっき用のめっき液が貯留されためっき槽、エッチング、剥離あるいは現像に利用する薬液が貯留された薬液槽におけるワーク搬送にも適用できる。
【００５８】
（３）ワークの種類としては、主としてプリント基板が適用されるが、本発明は、特に、フレキシブル基板や厚さ０．０６ｍｍ以下の極薄板等の表面処理の搬送に適している。
【００５９】
（４）図１３は、搬送ローラ対１０の支持構造の変形例であり、前記図３の構造と比較して、内側軸受４３（図３）を省略し、内側支持壁４１に搬送ローラ軸２１，２２を直接支持する構造となっている。
【００６０】
（５）搬送ガイドとして、内側軸受４３の左右方向に内面にガイドテープ６０を貼る構造の他に、搬送経路の略全長に亘る一本のガイド板を配置することも可能である。勿論このガイド板は、摩擦係数の低い、表面が滑らかな部材であって、耐久性及び耐薬品性の高い部材が使用される。なお、ガイドテープ６０やガイド板を設けず、内側軸受４３自体を搬送ガイドとすることも可能である。
【００６１】
（６）図７及び図８のように、搬送用治具１８の各治具部材７２，７３の挟持面に、摩擦係数の高い滑り止めテープ７５，７７を貼る代わりに、各治具部材７２，７３の表面に、細かい凹凸を設けたり、多数の微粒子を付着させたり、あるいは、面粗度を高く（粗く）することにより、滑り止め機能を発揮させることもできる。
【００６２】
（７）図１４は、搬送治具を用いない搬送方法を示しており、前記図２と同様の断面拡大図であり、図２と同じ部品には同じ符号を附してある。この図１４に示す搬送方法は、ワークＷの幅方向の両端部を、直接、上下の搬送ローラ１５，１６で挟持し、搬送する。搬送治具を用いないこと以外は、前記図１乃至図１３の方法と同様であり、同様の効果がある。この方法は、厚みが、たとえば５００μｍ以上の剛性の高いワークＷを搬送する場合に適している。
【００６３】
（８）前記図１等の例では、上下の搬送ローラ１５，１６の総てに挟持圧が設定されているが、一部の搬送ローラ１５，１６だけに前記挟持圧の設定を適用することもできる。たとえば、挟持圧が設定される搬送ローラ対１０が、搬送治具又はワークに少なくとも２対ずつ常に接するようにすることもできる。
【００６４】
［実験例］
本願発明による効果を立証するために、次の実験１及び２を行った。
（実験１）
図１５は実験１の実験装置の平面略図を示し、図１６は図１５の実験装置を使用した実験結果を示している。この実験１は、左右の搬送ローラ装置１１の挟持圧に差を付けることにより、ワークＷが一方の搬送ガイド６０側に引き寄せられることを実証する実験である。具体的には、左右の搬送ローラ装置１１の挟持圧差と、ワークＷの幅方向の移動量との関係を、実験により求めたものである。
【００６５】
図１５において、実験装置は、基本的には、前記図１乃至図１３と同様な構造の左右一対の傾斜状の搬送ローラ装置１１を備えており、図１乃至図１３と同じ部品には同じ符号を附している。また、搬送ローラ対１０の数は一対のみ表示し、残りは省略してある。
【００６６】
図１５において、実験条件は、以下の通りである。
（１）左側の搬送ローラ装置１１の挟持圧を、５０Ｎに固定し、右搬の送ローラ装置１１の挟持圧を、左側の搬送ローラ装置１１の挟持圧よりも低く、２５Ｎ〜４７Ｎの間で５段階に変化させる。
【００６７】
（２）ワークＷのローディング位置（ＬＰ）において、左側の搬送ガイド（ガイドテープ）６０から左側搬送治具７２（７３）の左端までの距離Ｂ１を、６ｍｍにセットする。
【００６８】
（３）ワークＷの搬送距離Ａを３ｍとする。
【００６９】
（４）ワークＷの厚みを、５０μｍとする。
【００７０】
（５）ローディング位置ＬＰからアンローディング位置ＵＬＰまでの上記距離Ａを搬送後、ワークＷが左側に移動した量（距離）Ｂ２を測定する。
【００７１】
（６）上記搬送実験を５回ずつ繰り返し、その平均値を図１６の表にプロットする。
【００７２】
（実験２）
図１７は実験２の実験装置の断面略図を示し、図１８は図１７の実験装置を使用した実験結果を示している。この実験２は、ワーク搬送中、ワークＷの表裏両面にシャワー水を当て、ワークＷの幅方向の中央の撓み量δを測定する実験である。
【００７３】
図１７において、実験条件は、以下の通りである。
（１）左側の搬送ローラ装置１１の挟持圧を、５０Ｎに固定し、右側の搬送ローラ装置１１の挟持圧を、左側の搬送ローラ装置１１の挟持圧よりも低く、２５Ｎ〜４７Ｎの間で５段階に変化させる。
【００７４】
（２）ワーク搬送中、１２メガパスカルのシャワー水をワークＷの表裏全面に吹き付ける。
【００７５】
（３）ワークＷの搬送距離Ａを３ｍとする（図１５参照）。
【００７６】
（４）ワークＷの厚みを、５０μｍとする。
【００７７】
（５）前記図１５のローディング位置ＬＰからアンローディング位置ＵＬＰまでの距離Ａを搬送後、図１７のように、ワークＷの幅方向の中央部の撓み量δを測定する。
【００７８】
（６）上記搬送実験を５回ずつ繰り返し、その平均値を図１８の表にプロットする。
【００７９】
（実験１及び２の実験結果に基づく結論）
（１）図１６に示すように、片方（右側）のローラ挟持圧を低くする程、搬送距離当たりのワークＷの幅方向の移動量Ｂ２は大きくなるが、一方、図１８に示すように、ワークＷの中央部の撓み量δも大きくなることが分かる。
【００８０】
（２）前記実験１及び２の結果を考慮すると、左右の搬送ローラ装置１１のローラ挟持圧（Ｎ）の比が、左側：右側＝１：０．９〜１：０．４程度であるのが好適であり、この範囲においては、ワークＷの幅方向の移動が速やかに行われ、かつ、ワークＷの中央部の撓み量δも小さく保つことができる。
【００８１】
（３）なお、左右の搬送ローラ装置１１のローラ挟持圧、ワークの厚み、ワークの外径寸法、ワークの性質、シャワー圧、搬送治具の有無等の要因を考慮して、ワークが押し潰されず、なおかつ、ワークが搬送ローラ１５，１６から滑落しない程度の範囲で設定される。
【符号の説明】
【００８２】
１  洗浄槽（表面処理槽の一例）
１０  搬送ローラ対
１１  搬送ローラ装置
１５  上側搬送ローラ
１６  下側搬送ローラ
１８  搬送用治具
４５  隙間調節機構
６０  ガイドテープ（搬送ガイド）
７２  上側治具部材
７３  下側治具部材
７４  円柱突起
７５，７７  滑り止めテープ
７６  嵌合孔
８０  段部
８１  嵌合溝
Ｗ  ワーク
【図１】
0005441515.tif 000002
【図２】
0005441515.tif 000003
【図３】
0005441515.tif 000004
【図４】
0005441515.tif 000005
【図５】
0005441515.tif 000006
【図６】
0005441515.tif 000007
【図７】
0005441515.tif 000008
【図８】
0005441515.tif 000009
【図９】
0005441515.tif 000010
【図１０】
0005441515.tif 000011
【図１１】
0005441515.tif 000012
【図１２】
0005441515.tif 000013
【図１３】
0005441515.tif 000014
【図１４】
0005441515.tif 000015
【図１５】
0005441515.tif 000016
【図１６】
0005441515.tif 000017
【図１７】
0005441515.tif 000018
【図１８】
0005441515.tif 000019