(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
遅延時間τの関数である被測定レーザ光のコヒーレンス関数γ(τ)を測定するレーザ光コヒーレンス測定方法であって、
被測定レーザ光の周波数を線形に掃引し、
前記周波数掃引されたレーザ光を２系統に分岐し、
分岐された一方のレーザ光を光ファイバに入射して当該光ファイバで生じたレイリー散乱光を取り込み、
前記レイリー散乱光と前記分岐された他方のレーザ光とを合波し、
前記合波によって生じる光電流を検出し、
前記検出された光電流の電流値をフーリエ変換してそのパワースペクトルを算出し、
前記光電流の検出ならびにそのパワースペクトルの解析を複数回繰り返し行うことにより前記パワースペクトルのアンサンブル平均を遅延τの関数として求め、
前記パワースペクトルのアンサンブル平均の遅延τにおける標準偏差を算出し、
この標準偏差が遅延τにおけるコヒーレンス関数の絶対値に比例することを利用してコヒーレンス関数の絶対値を求めることを特徴とする光レーザコヒーレンス測定方法。
【請求項２】
前記コヒーレンス関数の絶対値が1/eになる遅延τをもってコヒーレンス時間を求めることを特徴とする請求項１に記載のレーザ光コヒーレンス測定方法。
【請求項３】
遅延時間τの関数である被測定レーザ光のコヒーレンス関数γ(τ)を測定するレーザ光コヒーレンス測定装置であって、
前記被測定レーザ光の周波数を線形に掃引する周波数掃引手段と、
前記周波数掃引されたレーザ光を２系統に分岐する光分岐手段と、
前記分岐された一方のレーザ光を光ファイバに入射し当該光ファイバに生じるレイリー散乱光を取り込むレイリー散乱光取得手段と、
前記光ファイバで生じたレイリー散乱光と前記光分岐手段で分岐された他方のレーザ光とを合波する光合波手段と、
前記合波によって生じる光電流を検出する光電流検出手段と、
前記検出された光電流の電流値をフーリエ変換してそのパワースペクトルを算出するパワースペクトル算出手段と、
前記光電流検出手段及びパワースペクトル算出手段それぞれの検出結果及び算出結果に基づいて前記レーザ光のコヒーレンス関数の絶対値を求める解析手段と
を具備し、
前記解析手段は、前記光電流の検出ならびにそのパワースペクトルの解析を複数回繰り返し行うことにより前記パワースペクトルのアンサンブル平均を遅延τの関数として求め、前記パワースペクトルのアンサンブル平均の遅延τにおける標準偏差を算出し、この標準偏差が遅延τにおけるコヒーレンス関数の絶対値に比例することを利用して前記コヒーレンス関数の絶対値を求めることを特徴とする光レーザコヒーレンス測定装置。
【請求項４】
前記解析手段は、前記コヒーレンス関数の絶対値が1/eになる遅延τをもってコヒーレンス時間を求めることを特徴とする請求項３に記載のレーザ光コヒーレンス測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光のコヒーレンス長を測定するレーザ光コヒーレンス長測定方法及び測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のレーザ光のコヒーレンス長測定方法としては、非特許文献１に記載のレーザ光のスペクトル測定法が知られている。この方法では、被測定レーザを２分岐し、一方を用意した十分な長さの光ファイバによって伝送させ、もう一方を音響光学素子などに通して周波数を一定量だけシフトさせる。その後両者を合波し、受光素子により受光して、その受光信号のビートスペクトル幅を測定する。このビートスペクトル幅の１／√２が、レーザ光の発振スペクトル線幅（以下、レーザ光スペクトル線幅）であることが知られており、測定したビートスペクトル幅からレーザ光スペクトル線幅を測定することができる。尚、このレーザ光スペクトル線幅をΔνとすると、レーザ光のコヒーレンス時間は１／Δνとなる。また、このコヒーレンス時間に光速度定数を乗算すればコヒーレンス長が得られる。
【０００３】
但し、上記の方法では、分岐されたレーザ光の一方を十分に長い光ファイバに通して十分な時間遅延を与えてからもう一方と合波する必要があり、被測定レーザ光のコヒーレンス長よりも十分に長い遅延が要求される。このため、測定時には不明であるレーザ光のコヒーレンス長よりも長い遅延が得られていることを前提条件となっている。したがって、測定結果は、レーザ光スペクトル線幅の一定の推測を可能にするものの、その測定結果は不確実性を含んだものにならざるを得なかった。この懸念は、特にスペクトル線幅が狭い（コヒーレンス時間が長い）レーザ光を測定する場合に顕著であり、近年においてファイバレーザなどの数ＫＨz程度のスペクトル線幅を有するレーザが商用化されている状況では、その測定のあいまいさが問題となっている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】T. Okoshi, K. Kikuchi, and A. Nakayama, “Novel method for high resolution measurement of laser output spectrum,” Electronics Letters, Vol. 16, No. 16, pp. 630-631, 1980
【非特許文献２】Y. Koshikiya, X. Fan, and F. Ito, “Long range and cm-level spatial resolution measurement using coherent optical frequency domain reflectmetry with SSB-SC modulator and narrow linewidth fiber laser”, IEEE/OSA J. Lightwave Technol. Vol. 26, No. 18, pp. 3287-3294, 2008
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
以上述べたように、従来のレーザ光のコヒーレンス長測定技術では、レーザ光のコヒーレンス長よりも長い遅延が得られていることが前提条件となっているため、レーザ光スペクトル幅の推測は可能であるものの、その測定結果に不確実性が含まれている。
本発明は、上記の事情に着目してなされたもので、レーザ光のスペクトル線幅が狭く、コヒーレンス時間が長いレーザ光のコヒーレンス時間をより正確に測定することのできるレーザ光コヒーレンス長測定方法及び測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るレーザ光コヒーレンス測定方法は、以下のような態様の構成とする。
（１）遅延時間τの関数である被測定レーザ光のコヒーレンス関数γ(τ)を測定するレーザ光コヒーレンス測定方法であって、被測定レーザ光の周波数を線形に掃引し、前記周波数掃引されたレーザ光を２系統に分岐し、分岐された一方のレーザ光を光ファイバに入射して当該光ファイバで生じたレイリー散乱光を取り込み、前記レイリー散乱光と前記分岐された他方のレーザ光とを合波し、前記合波によって生じる光電流を検出し、前記検出された光電流の電流値をフーリエ変換してそのパワースペクトルを算出し、前記光電流の検出ならびにそのパワースペクトルの解析を複数回繰り返し行うことにより前記パワースペクトルのアンサンブル平均を遅延τの関数として求め、前記パワースペクトルのアンサンブル平均の遅延τにおける標準偏差を算出し、この標準偏差が遅延τにおけるコヒーレンス関数の絶対値に比例することを利用してコヒーレンス関数の絶対値を求める態様とする。
【０００７】
（２）（１）の方法において、前記コヒーレンス関数の絶対値が1/eになる遅延τをもってコヒーレンス時間を求める態様とする。
本発明に係るレーザ光コヒーレンス測定装置は、以下のような態様の構成とする。
（３）遅延時間τの関数である被測定レーザ光のコヒーレンス関数γ(τ)を測定するレーザ光コヒーレンス測定装置であって、前記被測定レーザ光の周波数を線形に掃引する周波数掃引手段と、前記周波数掃引されたレーザ光を２系統に分岐する光分岐手段と、前記分岐された一方のレーザ光を光ファイバに入射し当該光ファイバに生じるレイリー散乱光を取り込むレイリー散乱光取得手段と、前記光ファイバで生じたレイリー散乱光と前記光分岐手段で分岐された他方のレーザ光とを合波する光合波手段と、前記合波によって生じる光電流を検出する光電流検出手段と、前記検出された光電流の電流値をフーリエ変換してそのパワースペクトルを算出するパワースペクトル算出手段と、前記光電流検出手段及びパワースペクトル算出手段それぞれの検出結果及び算出結果に基づいて前記レーザ光のコヒーレンス関数の絶対値を求める解析手段とを具備し、前記解析手段は、前記光電流の検出ならびにそのパワースペクトルの解析を複数回繰り返し行うことにより前記パワースペクトルのアンサンブル平均を遅延τの関数として求め、前記パワースペクトルのアンサンブル平均の遅延τにおける標準偏差を算出し、この標準偏差が遅延τにおけるコヒーレンス関数の絶対値に比例することを利用して前記コヒーレンス関数の絶対値を求める態様とする。
【０００８】
（４）（３）の装置において、前記解析手段は、前記コヒーレンス関数の絶対値が1/eになる遅延τをもってコヒーレンス時間を求める態様とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のように、本発明は、測定値に対して統計処理を行うことにより、従来よりも信頼性を向上させることを特徴とする。具体的には、C-OFDRを応用して周波数掃引された被測定レーザ光のレイリー散乱強度を測定し、これによって得られたレイリー散乱強度の絶対値の標準偏差を算出し、τ（コヒーレンス時間）におけるコヒーレンス関数の絶対値を求める。このように、本発明によれば、用意した光ファイバの全長の光の往復時間よりもτが小さい場合であっても、コヒーレンス関数の絶対値を求めることが可能となる。さらに、その値が1/eに減ずるτを求めることにより、レーザ光のコヒーレンス時間を求めることも可能となる。
【００１０】
本発明によるレーザ光コヒーレンス測定では、従来技術に対して以下の優位性を持つ。
第１に、本発明によれば、コヒーレンス時間と同程度の光ファイバ長により測定が可能な上、仮にコヒーレンス時間がそれよりもはるかに長かった場合には、そのこと自体が測定により明らかにされるので、より長い光ファイバに置き換えて測定をやり直すなどの処置を取ることができる。よって、本発明は、従来技術よりも信頼性に優れた測定結果を提供するといえる。
【００１１】
第２に、本発明によれば、単にコヒーレンス時間が測定されるだけでなく、そのコヒーレンス関数の絶対値の全容が遅延時間τの関数として掌握される。これにより、レーザ光の性質をより詳しく調査することができる。
したがって、本発明によれば、レーザ光のスペクトル線幅が狭く、コヒーレンス時間が長いレーザ光のコヒーレンス時間をより正確に測定することのできるレーザ光コヒーレンス長測定方法及び測定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施形態に係るレーザ光コヒーレンス測定方法を適用した測定装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図１に示す測定装置の周波数掃引装置によって与えられる周波数変調の波形を表す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
添付の図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。以下に説明する実施の形態は本発明の構成の例であり、本発明は、以下の実施の形態に制限されるものではない。
図１は本実施形態のレーザ光コヒーレンス測定装置の構成を示すブロック図である。図１において、１は被測定レーザ光源であり、ここで発生された被測定レーザ光は周波数掃引装置２により、図２に示すように所定の期間内で規定幅の周波数掃引を受けた後、光分岐器３−１によって２系統に分岐される。分岐された一方の系統の伝送光は光サーキュレータ４によって光ファイバ５に導かれ、他方の系統の伝送光は光合波器３−２に導かれる。続いて、上記光ファイバ５内で生じた後方レイリー散乱光は光サーキュレータ４を経て光合波器３−２に導かれ、他方の伝送光と合波された後、バランス型受光素子６に受光される。
【００１４】
上記バランス型受光素子６で得られた受光信号はデータ取得装置７によって所定のサンプリング周期でデータ化された後、パワースペクトル解析装置８によってビートスペクトル幅が解析されて順次メモリ装置９に蓄積される。コヒーレンス関数解析装置１０は、所定の周期でメモリ装置９に蓄積されたビートスペクトル幅のデータを読み込んで被測定レーザ光のコヒーレンス関数を解析し、その解析結果からレーザ光のコヒーレンス長を求める。上記周波数掃引装置２の掃引期間及びデータ取得装置７のデータ取得期間は、いずれも制御装置１１から出される指示に従って決定される。
【００１５】
上記構成において、以下にその測定方法とその手順について説明する。
まず、被測定レーザ光源１が発する時間長Ｔのレーザ光の電界振幅E’(t)を以下のように表すこととする。  
【００１６】
【数１】
0005470320.tif 000002
ここで、  
【００１７】
【数２】
0005470320.tif 000003
すなわち、式（１）はレーザ１から取り出される電界振幅のｉ番目のアンサンブルを意味している。以下に説明する本発明の実施形態において測定されるレーザ光のコヒーレンス関数γ(τ)は、  
【００１８】
【数３】
0005470320.tif 000004
で与えられる量である。かっこ記号の＜  ＞はアンサンブル平均を意味し、多くのアンサンブルに対する平均を表す。尚、＊は位相共役を意味する。
ここで、式（２）で表される量が持つ意味を考察しておく。もともとのレーザ光の電界は式（１）で表わされるが、これは中心周波数ωiを中心として位相揺らぎθi(t)を持っている。しかるに、式（２）においては、中心周波数ωiは現われておらず、位相揺らぎθi(t)のみに関係する量であることがわかる。すなわち、電界振幅のいくつかのアンサンブルを集めたときに、仮にそのアンサンブル間で中心周波数ωiが変化（ドリフト）していたとしても、その効果は式（２）には現れず、１つのアンサンブルの中で観測される位相揺らぎθi(t)（すなわち発振周波数の揺らぎ）が測定されることになる。よって本発明で測量されるものは、レーザ光が一定時間Ｔだけ発振した時の位相もしくは周波数の揺らぎ幅を意味しており、これはレーザ光のスペクトルの広がりを評価する際には極めて有用な尺度になると考えられる。
【００１９】
被測定レーザ光源１から発せられた光は、周波数掃引装置２によって、図２に示すように、その周波数が時間に対してＴ秒間線形に掃引される。周波数掃引幅をΔＦで表す。周波数掃引装置２としては、例えば非特許文献２に記載の単一側波帯変調器を用いることにより実現することができる。すなわち、周波数掃引装置２により周波数掃引された光波の電界振幅は、式（４）で表される。
【００２０】
【数４】
0005470320.tif 000005
周波数掃引されたレーザ光は、光分岐器３−１により２分岐され、一方は光サーキュレータ４を介して光ファイバに入射される。光ファイバ５内ではレイリー散乱と呼ばれる光散乱が生じ、その散乱光は光ファイバを逆方向に伝搬してサーキュレータ４に戻り、光合波器３−２に向かって進行する。分岐されたもう一方のレーザ光は、そのまま光合波器３−２に向かって進行する。光合波器３−２ではこれらのレーザ光が合波される。
【００２１】
本構成は、同じく非特許文献２に説明されているコヒーレント光周波数領域反射計（Coherent Optical Frequency Domain Reflectometry：以下C-OFDR）と呼ばれる反射分布測定装置の構成を応用したものであり、光ファイバ内の１つの反射点zmまでの光の往復時間をτｍとすると、ｉ番目の光電界のアンサンブルE”i(t)がこの反射点からの散乱されることによってバランス受光素子６に生じる光電流は、式（５）により表される。
【００２２】
【数５】
0005470320.tif 000006
ここで複素数rmは反射点zmのレイリー反射係数であり、ランダムな値をとる確率変数である。
式（２）より、  
【００２３】
【数６】
0005470320.tif 000007
実際の光電流は反射点zmの近傍の多数の反射点からの散乱光の和によって生じるから、観測される光電流の大きさは、  
【００２４】
【数７】
0005470320.tif 000008
と表される。データ取得装置７は、式（７）で表される光電流を数値化して取得し、データとして格納する。
C-OFDRでは、光ファイバの距離zmからの散乱光の強度は、式（７）で表現される光電流のパワースペクトルにより算出される。C-OFDRの距離分解能は、遅延時間τmに換算して1/ΔFであり、典型値として例えばΔF＝10GHzと仮定すると、距離分解能に相当する遅延時間差は100psとなり、これは今考えているレーザのコヒーレンス時間（典型的には１μsまたはそれ以上）と比べて非常に小さいものである。C-OFDRが観測する距離zmにおける散乱光強度は、式（７）において、この距離分解能に相当する遅延時間差1/ΔFにわたる範囲で、ｍについて和を取ったものである。
【００２５】
パワースペクトル解析装置８は、上記光電流のパワースペクトルを算出する。すなわち、  
【００２６】
【数８】
0005470320.tif 000009
とすると、  
【００２７】
【数９】
0005470320.tif 000010
式（７）の光電流のパワースペクトルは、式（１０）で表される。  
【００２８】
【数１０】
0005470320.tif 000011
制御装置１１により、上記の一連の測定は繰り返し行われる。この繰り返し測定の目的は、上記のパワースペクトルを多数取得することによって、そのアンサンブル平均  
【００２９】
【数１１】
0005470320.tif 000012
を求めることにある。よって繰り返しの回数は大きければ大きいほど精度よくアンサンブル平均を求めることができるが、現実的には測定回数には限度があり、許容される測定時間等の制約から決定されるものである。メモリ装置９には繰り返し測定されたパワースペクトラムが格納される。
【００３０】
ここで、上記において求められたパワースペクトルのアンサンブル平均と、本発明で測定される光源のコヒーレンス関数との関係を考察する。
まず式（９）より、  
【００３１】
【数１２】
0005470320.tif 000013
であることがわかる。よって、それらのアンサンブル平均は、適当な比例係数を除きお互いに等しい。すなわち、  
【００３２】
【数１３】
0005470320.tif 000014
Ｋは適当な比例係数であるが、以下の説明には影響しないため、以後１とおくことにする。このことより、光電流のアンサンブル平均は式（１３）のように表すことができる。
【００３３】
【数１４】
0005470320.tif 000015
ここで、ni,mはそのアンサンブル平均（ｉについての平均）が０であるような、相関をもたない複素数、すなわち  
【００３４】
【数１５】
0005470320.tif 000016
である。
一方、γ(τm)はｉには依存しない、すなわち繰り返し測定の間で一定の値をとる複素数である。式（１３）を式（１１）に代入し、Ａの値は何であっても以下の説明に影響しないため、Ａを１とおくと、  
【００３５】
【数１６】
0005470320.tif 000017
となる。そして、式（１４）より、  
【００３６】
【数１７】
0005470320.tif 000018
であるから  
【００３７】
【数１８】
0005470320.tif 000019
考えているτmの範囲ではコヒーレンス関数の絶対値はほとんど変化しないので、  
【００３８】
【数１９】
0005470320.tif 000020
となる。したがって、  
【００３９】
【数２０】
0005470320.tif 000021
である。これを式（１５）に代入すると、  
【００４０】
【数２１】
0005470320.tif 000022
となる。
次に、遅延τm＝０、すなわち距離０におけるパワースペクトルを計算する。遅延０においては完全にコヒーレントであるので、繰り返し測定の間に観測されるパワースペクトルは常に同じでｉには依存しない。従って、この場合はｉによらず、  
【００４１】
【数２２】
0005470320.tif 000023
とおいてよい。したがって、式（１１）より、  
【００４２】
【数２３】
0005470320.tif 000024
となる。
ここで式（１６）と式（１８）により求められた<ai(τm)>と<ai(0)>を比較する。これらのパワースペクトルは、ランダムな確率変数であるレイリー散乱係数rmの関数である。すなわち、光ファイバの観測点近傍の複数のランダムな反射の干渉によって与えられ、その結果このパワースペクトルは遅延τmによりランダムに変動する。この変動は、いわゆるスペックルと呼ばれて知られている現象であり、式（１８）における右辺はこの変動を含むパワースペクトルを与えている。
【００４３】
次に、式（１６）をみると、第１項  
【００４４】
【数２４】
0005470320.tif 000025
は、式（１８）に類似していることがわかる。相違点は、まず全体が|γ(τm)|2倍になっている。次に括弧｛  ｝内の第２項にexp(jφmn)が付加されているが、これはrmがもともとランダムな確率変数であるから、変動の統計量を変えるものではない。
【００４５】
また、式（１６）の第２項  
【００４６】
【数２５】
0005470320.tif 000026
については、完全にインコヒーレントな成分であり、干渉によるスペックルを生じることはなく、τmには依存しない均一なパワースペクトルを与えるだけである。
以上のことから、式（１６）の変動の振幅を見る限り、式（１８）の|γ(τm)|2倍になっていることがわかる。よって、両者の標準偏差を、σ0とστとすると、  
【００４７】
【数２６】
0005470320.tif 000027
または  
【００４８】
【数２７】
0005470320.tif 000028
の関係があることがわかる。
以上の考察により、コヒーレンス関数解析装置１０は、遅延０の近傍のパワースペクトルの標準偏差と遅延τの付近での標準偏差とを解析する。これより式（１９）または式（２０）を用いて、任意の遅延τにおけるコヒーレンス関数の絶対値|γ(τ)|を求めることができる。さらに、その値が1/eに減ずるτを求めることにより、レーザ光のコヒーレンス時間を求めることも可能となる。
【００４９】
以上のように、本発明によるコヒーレンス関数並びにコヒーレンス時間測定方法は、従来技術に対して以下の優位性を持つ。
第１に、コヒーレンス時間と同程度の光ファイバ長により測定が可能な上、仮にコヒーレンス時間がそれよりもはるかに長かった場合には、そのこと自体が測定により明らかにされるので、より長い光ファイバに置き換えて測定をやり直すなどの処置を取ることができる。よって、本発明は、従来技術よりも信頼性に優れた測定結果を提供することができる。
【００５０】
第２に、単にコヒーレンス時間が測定されるだけでなく、そのコヒーレンス関数の絶対値の全容が遅延時間τの関数として掌握される。これにより、レーザ光の性質をより詳しく調査することができる。
尚、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成を削除してもよい。さらに、異なる実施形態例に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００５１】
１…被測定レーザ光源、２…周波数掃引装置、３−１…光分岐器、３−２…光合波器、４…光サーキュレータ、５…光ファイバ、６…バランス型受光素子、７…データ取得装置、８…パワースペクトル解析装置、９…メモリ装置、１０…コヒーレンス関数解析装置、１１…制御装置。
【図１】
0005470320.tif 000029
【図２】
0005470320.tif 000030