(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚のガラス基板が同軸となるように上下方向に積層されたガラス基板積層体を保持するガラス基板積層体用ワークホルダにおいて、
前記ガラス基板積層体を前記複数枚のガラス基板を上下方向に積層された状態に支持する下側保持部と、
前記ガラス基板積層体の上端を保持する上側保持部と、
前記下側保持部と前記上側保持部との間に介在し、当該ガラス基板積層体用ワークホルダの内部に挿入される前記ガラス基板の外周に当接して前記ガラス基板積層体の外周端面を保持する外周側受け部と、
該外周側受け部に対向して前記ガラス基板積層体の外周に当接して前記ガラス基板積層体を保持する外周側保持部と、を有し、
前記外周側保持部及び前記外周側受け部は、前記ガラス基板積層体の外周の位置を基準に前記ガラス基板積層体を同軸上に位置決めすることを特徴とするガラス基板積層体用ワークホルダ。
【請求項２】
前記外周側保持部及び前記外周側受け部は、少なくとも前記ガラス基板積層体の外周に接触する内周面が樹脂により形成されていることを特徴とする請求項１記載のガラス基板積層体用ワークホルダ。
【請求項３】
前記外周側保持部及び前記外周側受け部は、それぞれ樹脂により成型されたことを特徴とする請求項１または２記載のガラス基板積層体用ワークホルダ。
【請求項４】
前記外周側受け部は、前記ガラス基板積層体を側方から出し入れ可能とする開口を有し、
前記外周側保持部は、回動支点となる上下方向に延在する回動軸により回動可能に支持され、前記開口を開または閉とすることを特徴とする請求項１または２に記載のガラス基板積層体用ワークホルダ。
【請求項５】
前記樹脂は、水分を吸収しにくい吸水率の小さい材質であることを特徴とする請求項２乃至４の何れかに記載のガラス基板積層体用ワークホルダ。
【請求項６】
前記上側保持部は、上下方向に起立した前記外周側保持部の上端に結合され、前記ガラス基板積層体の上端に当接する上側当接部を介して前記ガラス基板積層体を押圧することを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載のガラス基板積層体用ワークホルダ。
【請求項７】
中央孔を有する円盤状のガラス基板の製造方法において、
前記ガラス基板を形成する工程と、
前記ガラス基板の主平面を研削する工程と、
前記複数枚のガラス基板を外周側受け部に当接させながら積層してガラス基板積層体を形成する工程と、
前記ガラス基板積層体の外周端面に外周側保持部を当接させ、前記ガラス基板積層体の外周端面を保持するように前記外周側保持部を固定する工程と、
ワークホルダを研磨装置のテーブルに取付ける工程と、
前記ガラス基板積層体の中央孔に研磨ブラシを挿入して前記中央孔の内周端面を研磨する工程と、
前記ガラス基板の主平面を研磨する工程と、
前記ガラス基板を洗浄する工程と、
を有し、
前記ガラス基板積層体の前記中央孔の内周端面を研磨する工程は、前記請求項１乃至６何れかに記載のワークホルダを用いて前記ガラス基板積層体を保持した状態で前記ガラス基板の中央孔の内周端面を研磨することを特徴とするガラス基板の製造方法。
【請求項８】
前記請求項７記載のガラス基板の製造方法で製造された磁気記録媒体用ガラス基板であって、
前記中央孔の最内周端面とガラス基板の最外周端面との同芯度が５μｍ以下であることを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板。
【請求項９】
前記請求項７記載のガラス基板の製造方法で製造された磁気記録媒体用ガラス基板であって、
前記中央孔の最内周端面の真円度が５μｍ以下であることを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は複数のガラス基板が積層されたガラス基板積層体の径方向の端面を研磨する際のガラス基板積層体を安定的に保持するガラス基板積層体用ワークホルダ、及びこのワークホルダを用いたガラス基板の製造方法、及びこの製造方法で製造された磁気記録媒体用ガラス基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、円盤状のガラス基板を製造する製造工程においては、ガラス基板の平面及び端面（内外周面）に研削、研磨などの加工を施す加工工程があり、例えば、ガラス基板の端面の研磨効率を高める手法として複数枚（例えば、数百枚程度）のガラス基板を面方向に重ね合わせたガラス基板積層体を形成し、多数のガラス基板の端面を同時に研磨する方法が用いられている。
【０００３】
このガラス基板積層体の端面の研磨加工を行う工程においては、例えば、１００枚のガラス基板を同軸上に積層した積層体を形成し、当該積層体をガラス基板積層体ワークホルダによって位置決めした状態でガラス基板積層体の内周に棒状の研磨ブラシを挿入して端面の研磨加工を行う方法が用いられている（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００４】
ガラス基板積層体を保持するワークホルダとしては、特許文献１、２にみられるように、研磨装置のテーブル上に固定される下側支持部と、下側支持部の上面に下方から螺入されたボルトにより固定された複数（３〜４本）の支柱と、支柱の上端に連結される上枠と、上枠にボルトにより固定される上側支持部と、上側支持部の上面に取付けられると共にガラス基板積層体の最上段のガラス基板を下方に押圧する位置決め部材とから構成されている。また、複数のガラス基板は、中心孔をセンタリングシャフトに嵌合させることで順次積層され、所定枚数まで積層されるとセンタリングシャフトと共にワークホルダの下側支持部の上面に載置される。
【０００５】
下側支持部の中央には、センタリングシャフトの下端が嵌合する貫通孔が設けられている。そして、ガラス基板積層体の取付位置は、センタリングシャフトが下側支持部の貫通孔に嵌合することによって位置決めされる。
【０００６】
ここで、上記従来のワークホルダを用いた研磨工程の作業手順について説明する。
（手順１）センタリングシャフトに複数のガラス基板を積層してガラス基板積層体を形成する。
（手順２）ガラス基板積層体をセンタリングシャフトとともに下側支持部に載置する。
（手順３）下側支持部に起立する各支柱の上端に取付けられた上枠に上側支持部を載置し、上側支持部を上枠にねじ止めする。
（手順４）位置決め部材を上側支持部の上面に取付け、上方から複数のボルトを螺入させて位置決め部材を固定する。
（手順５）下側支持部を架台に載置して位置決め部により上側支持部を下方に押圧する。
（手順６）位置決め部材を外した後、センタリングシャフトを下方から抜き取る。
（手順７）ガラス基板積層体が保持されたワークホルダを研磨装置に装着する。
（手順８）研磨ブラシを上方からガラス基板積層体の中央孔に挿入し、研磨ブラシの回転及び軸方向の往復動によりガラス基板の内周端部を研磨する。
（手順９）研磨終了後、研磨ブラシを抜き取り、ワークホルダを研磨装置から分離させる。
（手順１０）ワークホルダの上側支持部を支柱の上枠から分離させた後、ガラス基板積層体をワークホルダから取り出す。
【０００７】
以上の手順１〜１０によりガラス基板積層体の内周端部を研磨による内外周の同芯度及び内周の真円度が確保される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−５９７２７号公報
【特許文献２】特開２００８−５９７２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来のワークホルダは、ガラス基板の中央孔をセンタリングシャフトに嵌合させ、センタリングシャフトを基準として複数のガラス基板を積層してガラス基板積層体を形成していた。そのため、従来は、センタリングシャフトとガラス基板が接触するガラス基板の内周端面にキズが発生するおそれがあった。このような、ガラス基板の内周端面のキズは、内周端面研磨により除去されるものであるが、内周端面研磨の研磨量より深いキズは、内周端面研磨で除去されず、ガラス基板の内周端面にキズが残留し、ガラス基板の強度を低下させるおそれがあった。
【００１０】
そこで、本発明は上記事情に鑑み、上記課題を解決したガラス基板積層体用ワークホルダ及びこのワークホルダを用いたガラス基板の製造方法及びこの製造方法で製造された磁気記録媒体用ガラス基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明は以下のような手段を有する。
（１）本発明は、複数枚のガラス基板が同軸となるように上下方向に積層されたガラス基板積層体を保持するガラス基板積層体用ワークホルダにおいて、
前記ガラス基板積層体を前記複数枚のガラス基板を上下方向に積層された状態に支持する下側保持部と、
前記ガラス基板積層体の上端を保持する上側保持部と、
前記下側保持部と前記上側保持部との間に介在し、当該ガラス基板積層体用ワークホルダの内部に挿入される前記ガラス基板の外周に当接して前記ガラス基板積層体の外周端面を保持する外周側受け部と、
該外周側受け部の開口側に対向して前記ガラス基板積層体の外周に当接して側方から前記ガラス基板積層体を保持する外周側保持部と、を有し、
前記外周側保持部及び前記外周側受け部は、前記ガラス基板積層体の外周の位置を基準に前記ガラス基板積層体を同軸上に位置決めすることを特徴とする。
（２）本発明の前記外周側保持部及び前記外周側受け部は、少なくとも前記ガラス基板積層体の外周に接触する内周面が樹脂により形成されていることを特徴とする。
（３）本発明の前記外周側保持部及び前記外周側受け部は、それぞれ樹脂により成型されたことを特徴とする。
（４）本発明の前記外周側受け部は、前記外周側受け部は、前記ガラス基板積層体を側方から出し入れ可能とする開口を有し、
前記外周側保持部は、回動支点となる上下方向に延在する回動軸により回動可能に支持され、前記開口を開または閉とすることを特徴とする。
（５）本発明の前記樹脂は、水分を吸収しにくい吸水率の小さい材質であることを特徴とする。
（６）本発明の前記上側保持部は、前記外周側保持部の上端に結合され、前記ガラス基板積層体の上端に当接する上側当接部を介して前記ガラス基板積層体を押圧することを特徴とする。
（７）本発明は、中央孔を有する円盤状のガラス基板の製造方法において、
前記ガラス基板を形成する工程と、
前記ガラス基板の主平面を研削する工程と、
前記複数枚のガラス基板を外周側受け部に当接させながら積層してガラス基板積層体を形成する工程と、
前記ガラス基板積層体の外周端面に外周側保持部を当接させ、前記ガラス基板積層体の外周端面を保持するように前記外周側保持部を固定する工程と、
ワークホルダを研磨装置のテーブルに取付ける工程と、
前記ガラス基板の中央孔に研磨ブラシを挿入して前記中央孔の内周端面を研磨する工程と、
前記ガラス基板の主平面を研磨する工程と、
前記ガラス基板を洗浄する工程と、
を有し、
前記ガラス基板積層体の前記中央孔の内周端面を研磨する工程は、前記（１）乃至（６）何れかに記載のワークホルダを用いて前記ガラス基板積層体を保持した状態で前記ガラス基板の中央孔の内周端面を研磨することを特徴とする。
（８）本発明は、前記（７）記載のガラス基板の製造方法で製造された磁気記録媒体用ガラス基板であって、
前記中央孔の最内周端面とガラス基板の最外周端面との同芯度が５μｍ以下であることを特徴とする。
（９）本発明は、前記（７）記載のガラス基板の製造方法で製造された磁気記録媒体用ガラス基板であって、
前記中央孔の最内周端面の真円度が５μｍ以下であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、外周側受け部と外周側保持部との間でガラス基板積層体の外周端面を保持すると共に、ガラス基板積層体の外周の位置を基準にガラス基板積層体を同軸上に位置決めするため、ガラス基板の積層枚数が増加した場合でもガラス基板積層体の中央孔の内周端面を研磨する際のガラス基板積層体の同芯度を高精度に位置決めすることができると共に、ガラス基板積層体を同軸上に位置決めする基準となるセンタリングシャフトとガラス基板との接触がないため、ガラス基板の内周端面にキズを発生させることなく、破壊強度に優れるガラス基板を得ることができる。さらに、研磨工程におけるガラス基板積層体の形成作業及び位置合わせの作業を効率良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明によるガラス基板積層体ワークホルダの実施例１を示す斜視図である。
【図２】実施例１のワークホルダの分解斜視図である。
【図３】実施例１のワークホルダの縦断面図である。
【図４】ガラス基板の製造工程の手順Ａ１〜手順Ａ１３を示す図である。
【図５Ａ】手順Ａ３のワークホルダの状態を模式的に示す縦断面図である。
【図５Ｂ】手順Ａ３のワークホルダにガラス基板積層体を収納させた状態を模式的に示す縦断面図である。
【図５Ｃ】手順Ａ４のワークホルダの状態を模式的に示す縦断面図である。
【図５Ｄ】手順Ａ６のワークホルダの状態を模式的に示す縦断面図である。
【図５Ｅ】手順Ａ８〜Ａ１０のワークホルダの状態を模式的に示す縦断面図である。
【図６】実施例２のワークホルダを示す斜視図である。
【図７Ａ】実施例２の第１、第２外周側保持部材の結合状態を示す縦断面図である。
【図７Ｂ】実施例２の第１外周側保持部材の縦断面図である。
【図８】実施例２の第１外周側保持部材を示す正面図である。
【図９】実施例２の第２外周側保持部材を示す背面図である。
【図１０】実施例３のワークホルダを示す斜視図である。
【図１１】実施例３の第２外周側保持部が閉じた状態を示す縦断面図である。
【図１２】実施例３の第２外周側保持部材を開いた状態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
【実施例１】
【００１５】
図１は本発明によるガラス基板積層体ワークホルダの実施例１を示す斜視図である。図２は実施例１のワークホルダの分解斜視図である。図３は実施例１のワークホルダの縦断面図である。
【００１６】
図１乃至図３に示されるように、ガラス基板積層体ワークホルダ（以下「ワークホルダ」という）１０は、ガラス基板の中央孔の内周端面を研磨する研磨装置に取り付けられ、１００枚〜２６０枚のガラス基板を同軸上に位置決めしてガラス基板積層体として保持する治具である。本実施例におけるガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板に用いられるガラス基板であって、中央孔の内周端面及び主平面が研磨された後に、洗浄工程を行なって主平面に磁気記録再生のための磁性層が薄膜形成される。尚、以下の説明では、磁気記録媒体用ガラス基板を「ガラス基板」と称する。
【００１７】
ワークホルダ１０は、ホルダ本体５０と、上側保持部６０とを有する。ホルダ本体５０は、下側保持部２０の上部に円筒状保持部４０を起立させるように組み合わせてなる。下側保持部２０及び円筒状保持部４０は、夫々ステンレス等の金属により形成されており、複数のボルト２３、８０により締結される。
【００１８】
また、円筒状保持部４０は、第１、第２外周保持部材４０Ａ、４０Ｂを組み合わせて円筒形状を形成するように構成されている。第１、第２外周保持部材４０Ａ、４０Ｂは、内周面にガラス基板積層体の外周に当接する樹脂層３０（３０Ａ、３０Ｂ）が形成されており、内部空間がガラス基板積層体の収納室となる。
【００１９】
各樹脂層３０Ａ、３０Ｂは、ガラス基板積層体の外周を保護するためのものであり、低摩擦且つ吸水率の低い樹脂材（例えば、４フッ化エチレン樹脂やポリエチレン樹脂等）がコーティングされている。
【００２０】
上側保持部６０は、円筒状保持部４０の上部に取付けられ、円筒状保持部４０の内部に収納されたガラス基板積層体を上方から押圧して保持するための保持部材である。
【００２１】
図２に示されるように、円筒状保持部４０は、第１外周側保持部材４０Ａと、第２外周側保持部材４０Ｂとに半径方向に２分割可能に構成されている。第１、第２外周側保持部材４０Ａ、４０Ｂは、夫々上方からみた形状が半円弧形状に形成されており、分割された端面同士を突き合わせて結合することで、円筒形状に組み合わされる。
【００２２】
第１外周側保持部材４０Ａは、円筒状保持部４０の内部にガラス基板積層体を形成する際にガラス基板を受け止める外周側受け部である。また、第２外周側保持部材４０Ｂは、円筒状保持部４０の内部にガラス基板積層体が形成された後に第１外周側保持部材４０Ａにボルト８０により締結されると共にガラス基板積層体の外周に当接して側方からガラス基板積層体を保持する外周側保持部である。
【００２３】
また、円筒状保持部４０の内部空間に収納されたガラス基板積層体は、第１外周側保持部材４０Ａと、第２外周側保持部材４０Ｂとが結合されることにより、ガラス基板の外周を基準として位置決めされ、各ガラス基板の中央孔の中心が同軸上に保持される。
【００２４】
下側保持部２０のフランジ２２には、取付孔２９が４個所に９０度間隔で設けられている。取付孔２９は、ボルト挿通用の大径部とボルト係止用の小径部とが連続した鍵穴形状に形成されている。
【００２５】
第１外周側保持部材４０Ａの周方向の両端には、外側に突出する締結部４２Ａ、４３Ａが設けられている。締結部４２Ａ、４３Ａは、それぞれボルト８０が螺入される雌ねじ４４Ａが３箇所ずつ設けられている。
【００２６】
図１に示されるように、また、他方の第２外周側保持部材４０Ｂも、上記第１外周側保持部材４０Ａと同様に、周方向の両端には、外側に突出する締結部４２Ｂ、４３Ｂが設けられている。締結部４２Ｂ、４３Ｂは、ボルト８０が挿通されるボルト挿通孔（図１中、ボルト８０の頭部に隠れている）が３箇所ずつ設けられている。
【００２７】
ガラス基板積層体の形成前の段階では、第１外周側保持部材４０Ａのみが、下側保持部２０の上部の嵌合部２４に嵌合した状態で複数（３箇所）のボルト２３により下側保持部２０に固定される。そのため、第１外周側保持部材４０Ａの内周側の樹脂層３０Ａは、ガラス基板積層体を収納するための内部空間を形成するように露出された状態となる。尚、第１、第２外周側保持部材４０Ａ、４０Ｂの下端には、ボルト２３を挿通するためのボルト取付孔（図１、図２中、ボルト２３の頭部に隠れている）が半径方向に貫通している。
【００２８】
また、ガラス基板積層体が収納された後、第１外周側保持部材４０Ａの締結部４２Ａ、４３Ａに第２外周側保持部材４０Ｂの締結部４２Ｂ、４３Ｂが結合される。その後、第１、第２外周側保持部材４０Ａ、４０Ｂの上端に設けられたフランジ４５（４５Ａ、４５Ｂ）には、上側保持部６０がボルト６８により固定される。上側保持部６０は、ボルト６８の締付けトルクによりガラス基板積層体１３０の上端を下方に押圧する。
【００２９】
下側保持部２０は、底部に研磨装置のテーブルに固定されるフランジ２２を有し、上部外周に第１、第２外周側保持部材４０Ａ、４０Ｂの下端内側が嵌合する嵌合部２４が設けられている。嵌合部２４の外周には、側方からボルト２３が中心に向けて螺入される雌ねじ２５が４箇所に設けられている。
【００３０】
下側保持部２０の中央には、軸方向（上下方向）に貫通する貫通孔２６が設けられている。この貫通孔２６は、後述する研磨ブラシを挿通する際の逃げ孔として作用する。
【００３１】
貫通孔２６の下側開口には、研磨装置のテーブル側に設けられた凹部に嵌合するベースプレート９０が取り付けられる凹部２８が設けられている。
【００３２】
第１外周側保持部材４０Ａの内周には、ガラス基板の外周端面との摩擦を軽減するため、樹脂層３０Ａがコーティングされている。また、第１外周側保持部材４０Ａの内周面は、ガラス基板積層体の位置決めを行うガイド面となる。
【００３３】
さらに、下側保持部２０の嵌合部２４に嵌合する第１外周側保持部材４０Ａ及び第１内周側保持部３０Ａの下端内側には、ボルト２３を挿通するためのボルト取付孔が周方向の所定間隔の３箇所に設けられている。
【００３４】
また、第１外周側保持部材４０Ａの上端には、外側（半径方向）に突出するフランジ４５Ａが設けられている。フランジ４５Ａは、ボルト６８が螺入される２個のねじ孔４８が鉛直方向に延在するように設けられている。
【００３５】
第１外周側保持部材４０Ａの締結部４２Ａ、４３Ａは、側方に突出する段差形状であり、第２外周側保持部材４０Ｂと結合させる際の位置合わせ作業が容易に行えるように形成されている。
【００３６】
また、第１外周側保持部材４０Ａの締結部４２Ａ、４３Ａには、異なる高さ位置の３箇所に雌ねじ４４Ａが設けられている。
【００３７】
第２外周側保持部材４０Ｂの内周には、第１外周側保持部材４０Ａと同様に、ガラス基板の外周端面との摩擦を軽減するため、樹脂層３０Ｂがコーティングされている。また、第２外周側保持部材４０Ｂの内周面は、第１外周側保持部材４０Ａの内周に積層されたガラス基板積層体の外周を側方より当接して位置決めする当接面となる。
【００３８】
さらに、下側保持部２０の嵌合部２４に嵌合する第２外周側保持部材４０Ｂの下端内周には、ボルト２３を挿通するためのボルト挿通孔が１箇所設けられている。
【００３９】
また、第２外周側保持部材４０Ｂの上端には、外側（半径方向）に突出するフランジ４５Ｂが設けられている。フランジ４５Ｂは、ボルト６８が螺入される２個のねじ孔４８が設けられている。
【００４０】
第２外周側保持部材４０Ｂの締結部４２Ｂ、４３Ｂは、第１外周側保持部材４０Ａの締結部４２Ａ、４３Ａに対応して、端部よりも水平方向に凹んだ形状に形成されており、第１外周側保持部材４０Ａの締結部４２Ａ、４３Ａと結合させる際の位置合わせ作業が容易に行えるように形成されている。
【００４１】
締結部４２Ｂ、４３Ｂには、第１外周側保持部材４０Ａの締結部４２Ａ、４３Ａに設けられた各雌ねじ４４Ａに対向する高さ位置のボルト８０を外周側から挿通させるためのボルト取付孔（図１中、ボルト８０の頭部に隠れている）が設けられている。
【００４２】
第２外周側保持部材４０Ｂの締結部４２Ｂ、４３Ｂは、後述するように、第１外周側保持部材４０Ａの内部空間にガラス基板積層体１３０を収納させた後、第１外周側保持部材４０Ａの締結部４２Ａ、４３Ａに当接させる。その際、第１外周側保持部材４０Ａの締結部４２Ａ、４３Ａは、水平方向に突出する段差形状に形成されており、第２外周側保持部材４０Ｂの締結部４２Ｂ、４３Ｂは、水平方向に凹んだ形状に段差形状に形成されているので、互いに嵌合して突き合わせた位置から側方にずれにくく、組み付け作業が容易に行える。また、締結部４２Ａ、４３Ａと締結部４２Ｂ、４３Ｂとを当接させた状態では、雌ねじ４４Ａとボルト挿通孔（図１中、ボルト８０の頭部に隠れている）とが連通する位置に相対しており、６本のボルト８０を各ボルト挿通孔から雌ねじ４４Ａに螺入させる。
【００４３】
上記のように締結部４２Ａ、４３Ａと締結部４２Ｂ、４３Ｂとが結合されると、第１、第２外周側保持部材４０Ａ、４０Ｂの半円弧状のフランジ４５Ａ、４５Ｂは、環状のフランジ４５を形成する。また、フランジ４５の上面は、上側保持部６０が取り付けられる取付面となる。
【００４４】
ワークホルダ１０は、締結部４２Ａ、４３Ａと締結部４２Ｂ、４３Ｂとをボルト８０により締結された後、第２外周側保持部材４０Ｂの下端のボルト取付孔にボルト２３を挿通させて下側保持部２０の嵌合部２４の外周に設けられた雌ねじ２５に螺入させる。これで、第２外周側保持部材４０Ｂの下端が下側保持部２０の嵌合部２４に固定される。
【００４５】
この後、上側保持部６０がフランジ４５の上面に載置され、ボルト６８を締付けることで上側保持部６０がフランジ４５に固定されると共に、ガラス基板積層体１３０の上端を下方に押圧する。
【００４６】
上側保持部６０は、例えば、ステンレス等の金属により円盤状に形成されており、中心に中央孔６２が軸方向に貫通している。また、中央孔６２の周囲には、取付用孔６６が４個所に９０度間隔で軸方向に貫通して設けられている。取付用孔６６は、前述したフランジ４５のねじ孔４８と対向する位置に配されている。また、取付用孔６６は、ボルト挿通用の大径部とボルト係止用の小径部とが連続した鍵穴形状に形成されている。
【００４７】
さらに、上側保持部６０の下面には、ガラス基板積層体１３０の上部を押圧する環状突部（上側当接部）６９が突出している。
【００４８】
ここで、上記上側保持部６０をホルダ本体５０に取り付ける作業工程について説明する。
【００４９】
図２に示されるように、第１、第２外周側保持部材４０Ａ、４０Ｂの上端のフランジ４５Ａ，４５Ｂのねじ孔４８に固定ボルト６８を螺入する。尚、固定ボルト６８は、頭部とフランジ上面との間隔が上側保持部６０の厚さよりも若干大きくなる位置に螺入された状態に起立させる。
【００５０】
上側保持部６０は、第１外周側保持部材４０Ａの内部空間にガラス基板積層体が収納されて、第２外周側保持部材４０Ｂが第１外周側保持部材４０Ａに結合された後、フランジ４５の上面に取り付けられる。すなわち、上側保持部６０は、取付用孔６６の大径部を固定ボルト６８の頭部に嵌合させてフランジ４５上に載置された後、円周方向に所定角度回動されると、取付用孔６６の小径部が固定ボルト６８の軸部に嵌合して締付け可能な位置に係止される。この上側保持部６０の取付状態では、上側保持部６０とフランジ４５の上面との間には、隙間Ｓがあり、この隙間Ｓが固定ボルト６８による締め代となる。
【００５１】
この後、４本の固定ボルト６８を対角位置の順に締付けて徐々に上側保持部６０を第１、第２外周側保持部材４０Ａ、４０Ｂのフランジ４５に当接させる。これにより、上側保持部６０は、上記隙間Ｓが狭くなると共に、ガラス基板積層体１３０の上端を下方に押圧してガラス基板積層体１３０を保持することが可能になる。
【００５２】
ここで、ガラス基板の研磨工程を説明する前に、本発明のガラス基板が磁気記録媒体用ガラス基板に適用される場合の磁気ディスクの製造工程について説明する。
【００５３】
一般に、磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気ディスクの製造方法は、以下の（工程１）〜（工程６）を含む。
（工程１）フロート法、フュージョン法、またはプレス成形法で成形されたガラス素基板を、円盤形状に加工した後、内周側面と外周側面に面取り加工を行うことでガラス基板を得る。
（工程２）工程１で得られたガラス基板の上下主平面に研削加工を行う。
（工程３）ガラス基板の内周、外周側面部と面取り部に端面研磨を行う。
（工程４）ガラス基板の上下主平面に研磨を行う。上下主平面の研磨工程では、１次研磨のみでも良く、１次研磨と２次研磨（１次研磨より目の細かい粒度を用いる研磨）を行っても良く、２次研磨の後に３次研磨（２次研磨より目の細かい粒度を用いる研磨）を行っても良い。
（工程５）ガラス基板の精密洗浄を行い、磁気記録媒体用ガラス基板を得る。
（工程６）磁気記録媒体用ガラス基板の上に磁性層などの薄膜を形成し、磁気ディスクが完成する。
【００５４】
なお、上記磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気ディスクの製造工程において、各工程間にガラス基板洗浄（工程間洗浄）やガラス基板表面のエッチング（工程間エッチング）を実施してもよい。
【００５５】
さらに、磁気記録媒体用ガラス基板に高い機械的強度が求められる場合、ガラス基板の表層に強化層を形成する強化工程（例えば、化学強化工程）を研磨工程前、または研磨工程後、あるいは研磨工程間で実施してもよい。
【００５６】
本発明において、磁気記録媒体用ガラス基板は、アモルファスガラスでもよく、結晶化ガラスでもよく、ガラス基板の表層に強化層を有する強化ガラス（例えば、化学強化ガラス）でもよい。また、本発明のガラス基板のガラス素基板は、フロート法で造られたものでも良く、フュージョン法で造られたものでもよく、プレス成形法で造られたものでもよい。
【００５７】
本発明のガラス基板積層体用ワークホルダを用いたガラス基板の製造方法は、磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気ディスクの製造工程の端面研磨工程（工程３）に係るものである。
【００５８】
本発明の磁気記録媒体用ガラス基板は、同芯度が５μｍ以下、真円度が５μｍ以下と、磁気記録媒体用ガラス基板の形状に優れるため、大容量の情報を磁気ディスクに対し高速で記録または再生するため、磁気ディスクの回転速度を高速化しても、磁気ヘッドが磁気ディスクに接触するといった問題が発生しない。
【００５９】
次に、上記のように製造される磁気記録媒体用ガラス基板の製造工程の手順について説明する。
【００６０】
図４はガラス基板の製造工程の手順Ａ１〜手順Ａ１３を示す図である。図４に示されるように、手順Ａ１で内径、外径を所定寸法とされたガラス基板を形成する。
【００６１】
手順Ａ２では、ガラス基板の主平面を研削加工して主平面の厚さ寸法を規定寸法に加工する。続いて、ガラス基板の内周側面及び外周側面の面取り加工を粒度が＃３００〜＃６００の砥石により行う。
【００６２】
手順Ａ３では、下側保持部２０の上面に下側当接部１２２を載置する（図５Ａ参照）。そして、ガラス基板１２０を１枚ずつ第１外周側保持部材４０Ａの樹脂層３０Ａの内周面に当接させながら積層する。例えば、ガラス基板１２０が２００枚程度積層されたガラス基板積層体１３０を形成する。さらに、ガラス基板積層体１３０上に上側当接部１２４を積層させる（図５Ｂ参照）。このとき、上側当接部１２４の上面は、第１外周側保持部材４０Ａの上端に形成されたフランジ４５Ａよりも低い位置にある。
【００６３】
尚、複数のガラス基板１２０を積層する際は、ガラス基板１２０同士を直接積層しても良いし、内径、外径がガラス基板とほぼ同径のシート状に形成されている樹脂製のスペーサをガラス基板間に挿入してガラス基板１２０と樹脂製のスペーサが交互となるように積層しても良い。
【００６４】
尚、下側当接部１２２、上側当接部１２４は、ワークホルダ１０の上側保持部６０、下側保持部２０と直接接触するため、内径、外径がガラス基板とほぼ同径の樹脂材（例えば、ポリオキシメチレンなど）を所定の厚さに切断して用いる。
【００６５】
手順Ａ４では、上記のように第１外周側保持部材４０Ａの内部空間にガラス基板積層体１３０を収納させた後、第２外周側保持部材４０Ｂの締結部４２Ｂ、４３Ｂを第１外周側保持部材４０Ａの締結部４２Ａ、４３Ａに当接させる（図５Ｃ参照）。さらに、締結部４２Ａ、４３Ａと締結部４２Ｂ、４３Ｂとを当接させた状態で６本のボルト８０を各ボルト挿通孔から雌ねじ４４Ａに螺入させる。
【００６６】
尚、第１、第２外周側保持部材４０Ａ、４０Ｂの内周面とガラス基板１２０の外周側端面の最外周の全周の間には、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍのクリアランスがある。
【００６７】
手順Ａ５では、ガラス基板積層体１３０を収納させたワークホルダ１０の下側保持部２０をワークセットテーブルに取り付ける。
【００６８】
手順Ａ６では、第１、第２外周側保持部材４０Ａ、４０Ｂの上端のフランジ４５（４５Ａ，４５Ｂ）に上側保持部６０を取付ける（図３及び図５Ｄ参照）。上側保持部６０は、取付用孔６６の大径部に固定ボルト６８の頭部を嵌合させてフランジ４５に載置された後、円周方向に所定角度回動されると、取付用孔６６の小径部が固定ボルト６８の軸部に嵌合する。この上側保持部６０の取付状態では、上側保持部６０の環状突部６９が上側当接部１２４の上面に当接すると共に、上側保持部６０とフランジ４５の上面との間に、隙間Ｓ（図３参照）が存在する。そのため、固定ボルト６８を締付けることで上側保持部６０とフランジ４５の上面との間の隙間Ｓが狭くなると共に、上側保持部６０の環状突部６９が上側当接部１２４を下方に押圧することが可能になる。
【００６９】
従って、４本の固定ボルト６８を対角位置の順に締付けて徐々に上側保持部６０が下方に押圧すると共に、上側保持部６０の環状突部６９がガラス基板積層体１３０の上部に積層された上側当接部１２４を下方に押圧する。これにより、上側保持部６０は、ガラス基板積層体１３０を上方から押圧保持する。尚、４本の固定ボルト６８の締付けトルクは、トルクレンチにより測定しており、例えば、各固定ボルト６８の締付けトルクが均等（例えば、１本あたりの締付けトルク＝２Ｎｍ）になるように調整する。
【００７０】
手順Ａ７では、ワークホルダ１０の下側保持部２０をワークセットテーブルから外す。ワークホルダ１０の内部には、第１、第２外周側保持部材４０Ａ、４０Ｂの内周面によって同軸上に積層されたガラス基板積層体１３０が保持されている。
【００７１】
手順Ａ８では、ワークホルダ１０の下側保持部２０のフランジ２２を研磨装置のテーブル１００に取り付ける（図５Ｅ参照）。
【００７２】
手順Ａ９では、ガラス基板積層体１３０の中央孔１３２に上方から研磨ブラシ１４０を挿入する（図５Ｅ参照）。
【００７３】
手順Ａ１０では、ガラス基板積層体１３０の上方からスラリー（研磨剤）を供給し、且つテーブル１００を回転させながら研磨ブラシ１４０を軸方向に往復動させてガラス基板積層体１３０の中央孔１３２の内周端面を研磨する（図５Ｅ参照）。
【００７４】
この中央孔１３２の内周端面の研磨工程では、例えば内周端面の研磨量は、研磨時間によって管理している。研磨終了後、研磨ブラシ１４０を抜き取る。
【００７５】
内周端面の研磨工程により、ガラス基板１２０の内周端面の傷が殆ど除去されてガラス基板１２０の強度をより高められる。特にガラス基板１２０が磁気ディスクとして用いられる場合には、ガラス基板１２０の内周端面にモータ回転軸が連結されるため、モータ回転数の高速化に伴って内周端面のガラス基板１２０の内周強度の向上が要望されている。
【００７６】
手順Ａ１１では、ワークホルダ１０の下側保持部２０のフランジ２２を研磨装置のテーブル１００から外す。さらに、上側保持部６０をフランジ４５から外し、さらに各ボルト８０を緩めて第２外周側保持部材４０Ｂの締結部４２Ｂ、４３Ｂを第１外周側保持部材４０Ａの締結部４２Ａ、４３Ａから分離させる。これにより、ワークホルダ１０に収納されていたガラス基板積層体１３０が露出され、各ガラス基板１２０を取出すことが可能になる。
【００７７】
続いて、ガラス基板１２０の外周端面を研磨した後、ガラス基板積層体１３０からガラス基板１２０を一枚ずつ分離させる。ガラス基板積層体１３０を形成する際に各ガラス基板１２０の主平面間に薄い樹脂シートからなるスペーサを介在させている場合には、各ガラス基板１２０を一枚ずつ取出す際にスペーサも外す。
【００７８】
なお、ガラス基板１２０の外周端面の研磨は、中央孔１３２の内周端面の研磨工程の前に実施してもよい。また、内周端面研磨をしたガラス基板の内周側面部と面取り部はエッチングしてもよい。
【００７９】
手順Ａ１２では、ガラス基板積層体１３０から分離したガラス基板１２０の主平面を研磨する。
【００８０】
手順Ａ１３では、ガラス基板１２０の表面を洗浄し、乾燥する。
【００８１】
上記手順によりガラス基板１２０は、中央孔の最内周端面とガラス基板の最外周端面との同芯度が５μｍ以下に仕上げられる。また、ガラス基板１２０は、中央孔の最内周端面の真円度が５μｍ以下に仕上げられる。
【実施例２】
【００８２】
図６は実施例２のワークホルダを示す斜視図である。尚、上記実施例１と同一部分には、同一符合を付してその説明を省略する。
【００８３】
図６に示されるように、実施例２のワークホルダ２００は、ホルダ本体２５０と、上側保持部６０とを有する。ホルダ本体２５０は、下側保持部２０の上部に円筒状保持部２４０を起立させるように組み合わせるように構成されている。
【００８４】
また、円筒状保持部２４０は、第１、第２外周保持部材２４０Ａ、２４０Ｂを組み合わせて円筒形状を形成するように構成されている。第１、第２外周保持部材２４０Ａ、２４０Ｂは、例えば、耐摩耗性、摩擦係数が小さく、且つ耐薬品性にも優れたポリアセタール樹脂により一体成型されている。また、第１、第２外周保持部材２４０Ａ、２４０Ｂは、複数のボルト８０により締結されることで円筒形状に結合され、内部空間がガラス基板積層体１３０の収納室となる。
【００８５】
図７Ａは実施例２の第１、第２外周側保持部材の結合状態を示す縦断面図である。図７Ｂは実施例２の第１外周側保持部材の縦断面図である。図８は実施例２の第１外周側保持部材を示す正面図である。
【００８６】
図７Ａ及び図７Ｂ、図８に示されるように、第１外周側保持部材（外周側受け部）２４０Ａは、半円形の円弧状断面を有する基板受け部２４１Ａを有する。この樹脂材により形成された基板受け部２４１Ａの内周面（樹脂層）は、ガラス基板積層体１３０を積層する際の受け面となる。
【００８７】
また、第１外周側保持部材２４０Ａの上端のフランジ面２４３Ａには、ボルト６８が螺入される雌ねじ有するステンレス製のヘリサート８１が２箇所に埋設されている。
【００８８】
第１外周側保持部材２４０Ａは、ボルト８０により締結される３箇所の大径部２４２Ａと、大径部２４２Ａ間に形成された大径部２４２Ａより小径とされた括れ部２４４Ａとを有する。大径部２４２Ａの端面には、ボルト８０が螺入される雌ねじを有するステンレス製のヘリサート８２が基板受け部２４１Ａの接線方向（水平方向）に埋設されている。
【００８９】
また、第１外周側保持部材２４０Ａの下端には、外周側から中心（軸心）に向かって螺入されるボルト２３が挿通されるステンレス製の円筒部材８４が３箇所に埋設されている。
【００９０】
上側保持部６０の下面と第１、第２外周側保持部材２４０Ａ、２４０Ｂの上面との間には、隙間Ｓが介在している。そして、上側保持部６０に挿通され、且つ第１、第２外周側保持部材２４０Ａ、２４０Ｂの上端に螺入された固定ボルト６８が締付けられると、上記隙間Ｓが狭くなると共に、上側保持部６０の環状突部６９がガラス基板積層体１３０の上端を下方に押圧して保持する。
【００９１】
図９は実施例２の第２外周側保持部材を示す背面図である。図９に示されるように、第２外周側保持部材２４０Ｂ（外周側保持部）は、半円形の円弧状断面を有する基板受け部２４１Ｂを有する。この樹脂材により形成された基板受け部２４１Ｂの内周面（樹脂層）は、ガラス基板積層体１３０を積層した際に最大外径の外周側端面に当接する保持面となる。
【００９２】
また、第２外周側保持部材２４０Ｂの上端のフランジ面２４３Ｂには、ボルト６８が螺入される雌ねじ有するステンレス製のヘリサート８１が２箇所に埋設されている。
【００９３】
第２外周側保持部材２４０Ｂは、第１外周側保持部材２４０Ａと同様に、ボルト８０により締結される３箇所の大径部２４２Ｂと、大径部２４２Ｂ間に形成された大径部２４２Ａより小径とされた括れ部２４４Ｂとを有する。
【００９４】
大径部２４２Ｂには、ボルト８０を挿通するための円筒部材８３が基板受け部２４１Ｂの接線方向（水平方向）に埋設されている。また、第２外周側保持部材２４０Ｂの下端中央部分にも、外周側から中心（軸心）に向かって螺入されるボルト２３を挿通するためのステンレス製の円筒部材８４が埋設されている。
【００９５】
このように、第１、第２外周保持部材２４０Ａ、２４０Ｂは、樹脂材により一体成型されており、且つボルト８０によって締結される部分を除いて括れ部２４４Ａ、２４４Ｂが設けられているので、大幅な軽量化が図られている。
【００９６】
また、ボルト２３、８０が挿通される箇所及び螺入される箇所には、ステンレス製の円筒部材８３、ステンレス製のヘリサート８１、８２が設けられているので、機械的強度及び耐久性が確保されている。
【００９７】
第１、第２外周保持部材２４０Ａ、２４０Ｂは、互いに端面に形成された締結部２４６Ａ、２４６Ｂを突き合わせた状態でボルト８０を円筒部材８３の挿通孔８３ａからヘリサート８２に螺入させる。
【００９８】
これにより、第１、第２外周保持部材２４０Ａ、２４０Ｂは、内部に基板積層体１３０が収納された状態で一体的に結合されると共に、基板積層体１３０の外周を保持する。このように、結合された第１、第２外周側保持部材２４０Ａ、２４０Ｂの内周面と基板積層体１３０外周側端面の最外周の全周の間には、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍのクリアランスが形成される。
【００９９】
尚、実施例２において、ガラス基板の製造工程の手順は、前述した実施例１の場合の手順Ａ１〜Ａ１３と同様であるので、その説明は省略する。従って、実施例２のワークホルダ２００を用いて内周端面を研磨した場合も、ガラス基板１２０は、中央孔の最内周端面とガラス基板の最外周端面との同芯度が５μｍ以下に仕上げられる。また、ガラス基板１２０は、中央孔の最内周端面の真円度が５μｍ以下に仕上げられる。
【実施例３】
【０１００】
図１０は実施例３のワークホルダを示す斜視図である。尚、実施例３において、上記実施例１、２と同一部分には、同一符合を付してその説明を省略する。
【０１０１】
図１０に示されるように、実施例３のワークホルダ３００は、下側保持部２０と、上側保持部６０と、ガラス基板積層体１３０の外周に当接してガラス基板積層体１３０の外周端面を側方から受ける第１外周側保持部材（外周側受け部）３１０と、第１外周側保持部材３１０に対向してガラス基板積層体１３０の外周に当接して側方からガラス基板積層体１３０を保持する第２外周側保持部材（外周側保持部）３２０と、上側リング３３０とを有する。
【０１０２】
上側リング３３０は、第１外周側保持部材３１０の上端及び第２外周側保持部材３２０の上端に取り付けられる。また、上側リング３３０の上端には、上側保持部６０が取付けられる。尚、上側リング３３０の上面には、上方から上側保持部６０に挿通されるボルト６８が螺入されるねじ孔（隠れて見えない）が設けられている。
【０１０３】
第２外周側保持部材３２０は、上端の回動軸３２５（図１２を参照）が上側リング３３０により外周方向に回動可能に支持され、下端が下側保持部２０により回動可能に支持されている。すなわち、第２外周側保持部材３２０は、第１外周側保持部材３１０に対向するガラス基板を保持する保持位置、あるいは第２外周側保持部材３２０が第１外周側保持部材３１０から離間するガラス基板の出し入れを可能にする開放位置に回動可能に取り付けられている。
【０１０４】
また、ガラス基板積層体１３０は、第１外周側保持部材３１０の内側に収納されると、ガラス基板積層体１３０の外周を保持する保持位置に回動された後、上側保持部材６０が上側リング３３０の上端に取付けられることで、保持位置に固定される。
【０１０５】
第１外周側保持部材３１０及び上側リング３３０は、例えば、ステンレス等の金属材料によって形成されており、第２外周側保持部材３２０は樹脂により成型されている。また、第１外周側保持部材３１０の内周面３１２には、ガラス基板積層体１３０を保護するため、摩擦係数の小さい４フッ化エチレン樹脂等による樹脂層がコーティングされている。
【０１０６】
第１外周側保持部材３１０は、下端が下側保持部２０の嵌合部２４に固定され、上端が上側リング３３０に固定されている。第１外周側保持部材３１０は、内周面３１２が周方向に１５０度の範囲に形成されており、それ以外の周方向の２１０度の範囲が開口３４０になっている。
【０１０７】
また、第２外周側保持部材３２０の内周面３２２は、第１外周側保持部材３１０の開口３４０に対して周方向の幅が狭く、およそ４０〜６０度の範囲を覆うように形成されている。そして、第２外周側保持部材３２０は、下側保持部２０と上側リング３３０との間で回動可能に支持されているので、ガラス基板積層体１３０を出し入れする際には、第１外周側保持部材３１０の開口３４０の一部分を開放し、または収納されたガラス基板積層体１３０の中央孔を研磨する際は、第１外周保持部材３１０の開口３４０を閉とする位置に固定される。
【０１０８】
図１１は実施例３の第２外周側保持部が閉じた状態を示す縦断面図である。図１１に示されるように、第２外周側保持部材３２０は、第１外周側保持部材３１０の内周面３１２に当接されて位置決めされたガラス基板積層体１３０が積層された後、第１外周側保持部材３１０の反対側からガラス基板積層体１３０の外周端面に当接する保持位置に回動される。そのため、ガラス基板積層体１３０は、外周端面が第１外周側保持部材３１０の内周面３１２と第２外周側保持部材３２０の内周面（樹脂層）３２２との間で保持される。
【０１０９】
第１外周側保持部材３１０は、下端外周の３箇所にボルト２３を挿通させるための挿通孔３１４が半径方向に貫通している。また、第２外周側保持部材３２０は、下端外周の１箇所にボルト２３を挿通させるための挿通孔３２４が半径方向に貫通している。そのため、第２外周側保持部材３２０は、ボルト２３の螺入により、上記保持位置に固定される。
【０１１０】
第１外周側保持部材３１０の上端及び第２外周側保持部３２０の上端は、上側リング３３０を固定するための固定ボルト３５０が螺入されるヘリサート８１が圧入されている。また、固定ボルト３５０は、上記ヘリサート８１に螺入されることで上側リング３３０を第１、第２外周側保持部材３１０、３２０の上端に固定する。尚、第２外周側保持部材３２０は、ガラス基板積層体１３０が積層された後、第２外周側保持部３２０がガラス基板積層体１３０を保持する位置に回動されると、固定ボルト３５０が螺入されて上側リング３３０に固定される。
【０１１１】
また、上側リング３３０の上面に上側保持部６０が取り付けられると、上側保持部６０の下方に突出する環状突部６９が上側リング３３０の中央孔３３１に上方から挿通される。このとき、上側保持部６０の下面と上側リング３３０の上面との間には、隙間Ｓが介在している。そして、上側保持部６０に挿通され、且つ上側リング３３０の上端に螺入された固定ボルト６８が締付けられると、上記隙間Ｓが狭くなると共に、上側保持部６０の環状突部６９がガラス基板積層体１３０の上端を下方に押圧して保持する。
【０１１２】
図１２は実施例３の第２外周側保持部材を開いた状態を示す平面図である。図１２に示されるように、第１外周側保持部材３１０は、下側保持部２０に固定されており、内周面３１２がガラス基板積層体１３０を形成する際の一方の位置決め部となる。
【０１１３】
第１外周側保持部材３１０の内周面３１２、及び第２外周側保持部材３２０の内周面３２２は、ガラス基板１２０の外径と同じ曲率半径を有する曲面に形成されている。
【０１１４】
第２外周側保持部材３２０は、上端及び下端に回動支点となる回動軸３２５が圧入される取付孔（隠れて見えない）が設けられており、第２外周側保持部材３２０の下端は下側保持部２０と、第２外周側保持部材３２０の上端は上側リング３３０とそれぞれ結合されている。
【０１１５】
第２外周側保持部材３２０は、上端及び下端に突出する回動軸３２５が上側リング３３０、下側保持部２０に回動可能に支持されることで水平方向に開閉動作することができる。例えば、図１２において、第２外周側保持部材３２０は、位置Ａ（保持位置）で内周面３２２がガラス基板積層体１３０の外周端面に当接し、位置Ｂに回動すると内周面３２２がガラス基板積層体１３０の外周端面から離間し、位置Ｃ（開放位置）に回動するとガラス基板積層体１３０の取出し、あるいはガラス基板１２０の積層操作を可能とする。
【０１１６】
従って、第２外周側保持部材３２０が開口３４０を開放する位置（図１２に示す位置Ｃ）に回動された状態で、第１外周側保持部材３１０の内周面３１２にガラス基板１２０の外周端面を当接させながら積層してガラス基板積層体１３０が形成される。そして、ガラス基板積層体１３０が形成されると、第２外周側保持部材３２０は、ガラス基板積層体１３０の外周端面の反対側を中心側に押圧するように回動される（図１２に示す位置Ｃから位置Ａへ回動）。この後、外周側から第２外周側保持部材３２０の挿通孔３２４にボルト２３を挿通させて下側保持部２０の嵌合部２４に固定させる。そのため、ガラス基板積層体１３０は、外周端面が第１外周側保持部材３１０の内周面３１２と第２外周側保持部材３２０の内周面３２２との間で保持される。
【０１１７】
さらに、図１１に示されるように、上側リング３３０の上面に、上側保持部６０が取り付けられ、下面側の環状突部６９が上側リング３３０の中央孔３３１の下方に挿通される。そして、上側保持部６０が第１外周側保持部材３１０の上端に螺入された固定ボルト６８により締結されると、環状突部６９がガラス基板積層体１３０の上端を下方に押圧してガラス基板積層体１３０を安定した積層状態に保持することができる。
【０１１８】
このようにワークホルダ３００により保持されたガラス基板積層体１３０は、ワークホルダ３００と共に、研磨装置のテーブルに装着され、回転されながら前述した研磨ブラシ１４０を中央孔に挿通されて内周端面を研磨される。
【０１１９】
また、本実施例のワークホルダ３００では、第２外周側保持部材３２０が回動可能に支持される構成であるので、研磨終了後に、第２外周側保持部材３２０を位置Ａ（保持位置）から位置Ｃ（開放位置）に回動させることで容易にガラス基板積層体１３０を取り出すことが可能になり、製造工程の作業効率をより高められる。
【０１２０】
尚、実施例３において、ガラス基板の製造工程の手順は、前述した実施例１の場合の手順Ａ１〜Ａ１３と同様であるので、その説明は省略する。従って、実施例３のワークホルダ３００を用いて内周端面を研磨した場合も、ガラス基板１２０は、中央孔の最内周端面とガラス基板の最外周端面との同芯度が５μｍ以下に仕上げられる。また、ガラス基板１２０は、中央孔の最内周端面の真円度が５μｍ以下に仕上げられる。
【産業上の利用可能性】
【０１２１】
上記実施例では、ガラス基板積層体の内周端面を研磨する場合に使用されるワークホルダを一例として挙げたが、これに限らず、他の加工工程にも適用できるのは勿論である。
【符号の説明】
【０１２２】
１０、２００、３００  ワークホルダ
２０  下側保持部
２２  フランジ
２３、８０  ボルト
２４  環状溝
２６  貫通孔
２８  凹部
２９  ボルト挿通孔
３０Ａ、３０Ｂ  樹脂層
４０  円筒状保持部
４０Ａ  第１外周側保持部
４０Ｂ  第２外周側保持部
４２Ａ、４３Ａ、４２Ｂ、４３Ｂ  締結部
４５、４５Ａ、４５Ｂ  フランジ
４８  取付孔
５０、２５０  ホルダ本体
６０  上側保持部
６２  中央孔
６６  取付用孔
６８、３５０  固定ボルト
８１、８２  ヘリサート
８３、８４  円筒部材
１００  テーブル
１２０  ガラス基板
１２２  下側当接部
１２４  上側当接部
１３０  ガラス基板積層体
１３２  中央孔
１４０  研磨ブラシ
２４０  円筒状保持部
２４０Ａ  第１外周保持部材
２４０Ｂ  第２外周保持部材
２４１Ａ、２４１Ｂ  基板受け部
２４３Ａ、２４３Ｂ  フランジ面
２４２Ａ、２４２Ｂ  大径部
２４４Ａ、２４４Ｂ  括れ部
２４６Ａ、２４６Ｂ  締結部
２４８  挿通孔
３１０  第１外周側保持部材
３１２  内周面
３１４  挿通孔
３２０  第２外周側保持部材
３２２  内周面
３２５  回動軸
３３０  上側リング
３３１  中央孔
３４０  開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図５Ｄ】
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【図５Ｅ】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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