(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
大気圧より低い圧力下の水蒸気雰囲気中で使用される水蒸気バルブであって、
水蒸気が存在する空間を第１空間と第２空間とに仕切るとともに、前記第１空間および前記第２空間を連通させる連通口（５２）が形成された仕切部材（５１）と、
薄板弾性部材から形成されるとともに、前記連通口（５２）を覆うことにより前記連通口（５２）を閉塞可能な弁体（５３）と、
前記連通口（５２）内に配置され、前記弁体（５３）が前記連通口（５２）を閉塞した際に前記弁体（５３）の表面と当接することにより前記弁体（５３）を支持する支持部材（５７）とを備え、
前記仕切部材（５１）における前記弁体（５３）が配置される側の面には、前記弁体（５３）が前記連通口（５２）を閉塞した際に前記仕切部材（５１）と前記弁体（５３）との間をシールするシール部（５６）が、前記連通口（５２）の外周を囲むように設けられており、
前記支持部材（５７）は、前記シール部（５６）に沿った形状の周方向支持部材（５７１）を有しており、
前記周方向支持部材（５７１）は、前記連通口（５２）を流通する前記水蒸気の流れ方向から見たときに、前記連通口（５２）の中心より外周部に近い側のみに配置されており、
前記仕切部材（５１）および前記弁体（５３）は、耐水蒸気性を有し、かつ、前記水蒸気雰囲気中での真空度が維持されるようにアウトガスの発生が少ない材質により構成されていることを特徴とする水蒸気バルブ。
【請求項２】
前記支持部材（５７）は、前記連通口（５２）を流通する前記水蒸気の流れ方向から見たときに、前記連通口（５２）の中心から前記連通口（５２）の外周部に向かって延びる径方向支持部材（５７２）を有していることを特徴とする請求項１に記載の水蒸気バルブ。
【請求項３】
前記径方向支持部材（５７２）は、複数設けられており、
前記連通口（５２）を流通する前記水蒸気の流れ方向から見たときに、隣り合う前記径方向支持部材（５７２）同士の成す角が互いに等しくなっていることを特徴とする請求項２に記載の水蒸気バルブ。
【請求項４】
前記弁体（５３）は、その一部が前記連通口（５２）の周囲部に固定部材（５４）により押さえ付けられて前記仕切部材（５１）に取り付けられており、
前記仕切部材（５１）における前記弁体（５３）の一部が固定された部位と前記連通口（５２）を挟んで反対側の部位は、前記弁体（５３）の一部が固定された部位よりも前記弁体（５３）側に突出していることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の水蒸気バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大気圧より低い圧力下の水蒸気雰囲気中で使用される水蒸気バルブに関するもので、冷媒を吸着または脱離する吸着材を有する吸着式冷凍機用の水蒸気バルブに適用して有効である。
【背景技術】
【０００２】
従来、吸着式冷凍機に用いられる水蒸気バルブとして、連通口前後の差圧に応じて連通口を機械的に開閉するバルブが採用されている。このような水蒸気バルブにおいて、連通口の内側に格子状のリブを設け、これにより閉弁時の弁体の変形を抑制し、シール性を向上させたものが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３８３１９５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、大気圧より低い圧力下の水蒸気雰囲気中で使用される水蒸気バルブは、連通口前後の差圧が１気圧以下と非常に小さいという特徴を有している。したがって、閉弁時に弁体にかかる圧力も小さくなるので、シール性の確保が要求される。また、連通口前後の差圧が非常に小さいことから、連通口を通過する流体の流量を確保する必要があるので、連通口での圧力損失の低減も要求される。
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載の水蒸気バルブでは、格子状のリブが連通口の全域に設けられているため、圧力損失が高くなるという問題がある。
【０００６】
本発明は上記点に鑑みて、シール性の確保と圧力損失の低減との両立を図ることができる水蒸気バルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、大気圧より低い圧力下の水蒸気雰囲気中で使用される水蒸気バルブにおいて、水蒸気が存在する空間を第１空間と第２空間とに仕切るとともに、第１空間および第２空間を連通させる連通口（５２）が形成された仕切部材（５１）と、薄板弾性部材から形成されるとともに、連通口（５２）を覆うことにより連通口（５２）を閉塞可能な弁体（５３）と、連通口（５２）内に配置され、弁体（５３）が連通口（５２）を閉塞した際に弁体（５３）の表面と当接することにより弁体（５３）を支持する支持部材（５７）とを備え、仕切部材（５１）における弁体（５３）が配置される側の面には、弁体（５３）が連通口（５２）を閉塞した際に仕切部材（５１）と弁体（５３）との間をシールするシール部（５６）が、連通口（５２）の外周を囲むように設けられており、支持部材（５７）は、シール部（５６）に沿った形状の周方向支持部材（５７１）を有しており、周方向支持部材（５７１）は、連通口（５２）を流通する水蒸気の流れ方向から見たときに、連通口（５２）の中心より外周部に近い側のみに配置されており、
仕切部材（５１）および弁体（５３）は、耐水蒸気性を有し、かつ、水蒸気雰囲気中での真空度が維持されるようにアウトガスの発生が少ない材質により構成されていることを特徴としている。
【０００８】
これによれば、周方向支持部材（５７１）が連通口（５２）の中心より外周部に近い側に配置されているので、閉塞時に弁体（５３）が変形することを抑制でき、これによりシール性を向上できる。また、周方向支持部材（５７１）が連通口（５２）の中心より外周部に近い側のみに配置され連通口（５２）の中心近傍には配置されていないので、従来技術（連通口全域に格子状のリブを配置したもの）と比較して、連通口（５２）を通過する水蒸気の圧力損失を低減することができる。したがって、シール性の確保と圧力損失の低減との両立を図ることが可能となる。
しかも、請求項１に記載の発明では、仕切部材（５１）および弁体（５３）を、耐水蒸気性を有し、かつ、水蒸気雰囲気中での真空度が維持されるようにアウトガスの発生が少ない材質により構成しているから、水蒸気雰囲気中で使用される水蒸気バルブの耐久寿命を確保できるとともに、仕切部材（５１）および弁体（５３）の表面や内部からのガス（アウトガス）の発生を抑制して、このガス（アウトガス）の発生に起因する真空度の低下といった不具合を抑制できる。
【０００９】
なお、本発明における「連通口（５２）の中心」とは、連通口（５２）が円形状に形成されている場合は、その円形状の中心を意味し、矩形状等の多角形状に形成されている場合は、その多角形状の重心を意味している。
【００１０】
また、本発明における「シール部（５６）に沿った形状」とは、周方向支持部材（５７１）がシール部（５６）と完全に平行になっていることのみを意味するものではない。すなわち、例えば、連通口（５２）を流通する流体の流れ方向から見たときに、シール部（５６）が円形状に形成されている流体バルブにおいて、周方向支持部材（５７１）が多角形状に形成されているものや、シール部（５６）が矩形状に形成されている流体バルブにおいて、周方向支持部材（５７１）が円形状に形成されているもの等を含む意味である。
【００１１】
また、請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の水蒸気バルブにおいて、支持部材（５７）は、連通口（５２）を流通する水蒸気の流れ方向から見たときに、連通口（５２）の中心から連通口（５２）の外周部に向かって延びる径方向支持部材（５７２）を有していることを特徴としている。これによれば、水蒸気バルブの強度を向上できる。
【００１２】
また、請求項３に記載の発明では、請求項２に記載の水蒸気体バルブにおいて、径方向支持部材（５７２）は、複数設けられており、連通口（５２）を流通する水蒸気の流れ方向から見たときに、隣り合う径方向支持部材（５７２）同士の成す角が互いに等しくなっていることを特徴としている。これによれば、径方向支持部材（５７２）をバランスよく配置できるので、連通口（５２）を通過する流体の圧力損失をより低減することができるとともに、水蒸気バルブの強度をより向上できる。
【００１３】
また、請求項４に記載の発明では、請求項１ないし３のいずれか１つに記載の水蒸気バルブにおいて、弁体（５３）は、その一部が連通口（５２）の周囲部に固定部材（５４）により押さえ付けられて仕切部材（５１）に取り付けられており、仕切部材（５１）における弁体（５３）の一部が固定された部位と連通口（５２）を挟んで反対側の部位（自由端側）は、弁体（５３）の一部が固定された部位（固定端側）よりも弁体（５３）側に突出していることを特徴としている。これによれば、弁体（５３）の固定端側が自由端側よりも鉛直方向上方側に配置される水蒸気バルブにおいても、良好なシール性を確保することが可能となる。
【００１４】
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態における吸着式冷凍機を示す全体構成図である。
【図２】第１水蒸気バルブ４１を示す斜視図である。
【図３】第１水蒸気バルブ４１を示す断面図である。
【図４】第１水蒸気バルブ４１の仕切部材５１を示す平面図である。
【図５】第１水蒸気バルブ４１の連通口５２を水蒸気の流れ方向から見た模式図である。
【図６】閉弁時の水蒸気の漏れ量と、連通口５２を流通する水蒸気の圧力損失との関係を示す特性図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係る流体バルブを吸着式冷凍機の水蒸気バルブに適用した一実施形態について、図１〜図６に基づいて説明する。図１は、本実施形態における吸着式冷凍機を示す全体構成図である。
【００１７】
図１に示すように、この吸着式冷凍機は、１個の真空容器１０内に、第１吸着器１１、第２吸着器１２、凝縮器１３および蒸発器１４を配設して構成され、さらにその真空容器１０の外側に熱を授受する部分を有して構成されている。なお、真空容器１０内は全体として大気圧以下の所定の真空度とされており、また真空容器１０内には、冷媒として所要量の水が収容されている。
【００１８】
真空容器１０は略ロの字状に形成されており、その内部は４つの空間に区画されている。真空容器１０内の、図１において上下方向に延びる２つの空間のうち、左側の空間に第１吸着器１１が配設され、右側の空間に第２吸着器１２が配設されている。第１、第２吸着器１１、１２は、共に通気性が確保されたケース内に、多数の粒状の吸着材（例えばシリカゲル、ゼオライト等）を保持して構成されている。また、各吸着器１１、１２のケース内には、それぞれ内部の吸着材を冷却、加熱するための流体（本実施形態ではエンジン冷却水）が流通される伝熱管１１ａ、１２ａが設けられている。吸着材は、冷却状態にあっては気冷媒を高能力で吸着し、加熱状態にあっては吸着した気冷媒を脱離して吸着能力が再生されるという性質を有する。
【００１９】
真空容器１０内の、図１において左右方向に延びる２つの空間のうち、上側の空間に凝縮器１３が配設され、下側の空間に蒸発器１４が配設されている。凝縮器１３は、送風機１３ａにより送風された空気と蒸気冷媒（水蒸気）との間で熱交換を行い、蒸気冷媒を凝縮させる熱交換器である。本実施形態では、凝縮器１３としてフィンチューブ型の熱交換器を用いている。
【００２０】
蒸発器１４は、伝熱管１４ａ内を流通する熱媒体（例えば、水やＬＬＣ）と液相冷媒（水）との間で熱交換を行い、液相冷媒を蒸発させる熱交換器である。また、伝熱管１４ａは、その内部を流通する熱媒体により、液相冷媒が蒸発する際の冷熱を出力するように構成されている。
【００２１】
凝縮器１３と蒸発器１４とは、凝縮器１３で凝縮した凝縮水を蒸発器１４へ供給する凝縮水通路１５により接続されている。凝縮水通路１５の途中部には、所定の通水抵抗を発生させるキャピラリーチューブ１５ａが設けられている。
【００２２】
続いて、各吸着器１１、１２の伝熱管１１ａ、１２ａに冷却流体あるいは加熱流体を供給するための加熱冷却システムについて述べる。なお、伝熱管１１ａ、１２ａは、真空容器１０の外壁部を気密に貫通して外部に導出されるようになっている。本実施例では、冷却流体あるいは加熱流体としてはエンジン冷却水が用いられ、エンジンのシリンダヘッド部２１を熱源として高温の加熱流体が生成され、ラジエータ２２によって冷却されて低温の冷却流体が生成されるようになっている。具体的には、ラジエータ２２においては、エンジン冷却水と送風機２２ａの送風空気との間で熱交換が行われ、エンジン冷却水が冷却されるように構成されている。
【００２３】
また、加熱冷却システムは、２個の四方弁２３、２４を備えるとともに、２個のポンプ２５、２６を備えている。第１吸着器１１の伝熱管１１ａの一端側は、第１四方弁２３の第１出口ポート２３ｂに接続され、当該伝熱管１１ａの他端側は、第２四方弁２４の第２入口ポート２４ｃに接続されている。一方、第２吸着器１２の伝熱管１２ａの一端側は、第１四方弁２３の第２出口ポート２３ｄに接続され、当該伝熱管１２ａの他端側は、第２四方弁２４の第１入口ポート２４ａに接続されている。
【００２４】
また、ラジエータ２２の出口側は、第１ポンプ２５を介して第１四方弁２３の第２入口ポート２３ｃに接続され、ラジエータ２２の入口側は、第２四方弁２４の第１出口ポート２４ｂに接続されている。さらに、シリンダヘッド部２１の出口側は、第２ポンプ２６を介して第１四方弁２３の第１入口ポート２３ａに接続され、シリンダヘッド部２１の入口側は、第２四方弁２４の第２出口ポート２４ｄに接続されている。
【００２５】
図１においては、第１吸着器１１の伝熱管１１ａに加熱流体を供給し（脱離工程）、第２吸着器１２の伝熱管１２ａに冷却流体を供給する（吸着工程）際の四方弁２３、２４における各ポートの接続状態を実線で示している。ここで、第１四方弁２３においては、第１入口ポート２３ａと第１出口ポート２３ｂとが接続され、第２入口ポート２３ｃと第２出口ポート２３ｄとが接続される。第２四方弁２４においては、第１入口ポート２４ａと第１出口ポート２４ｂとが接続され、第２入口ポート２４ｃと第２出口ポート２４ｄとが接続される。
【００２６】
加熱冷却システムは上記のように構成されているので、第１ポンプ２５が駆動することにより、第２吸着器１２の伝熱管１２ａにはラジエータ２２からの低温の冷却流体が供給され、内部の吸着材との熱交換の後、再びラジエータ２２に戻るようになっている。一方、第２ポンプ２６の駆動により、第１吸着器１１の伝熱管１１ａには、シリンダヘッド部２１からの高温の加熱流体が供給され、内部の吸着材との熱交換の後、再びシリンダヘッド部２１に戻るようになっている。
【００２７】
なお、詳しい説明は省略するが、上記とは逆の、第１吸着器１１にて吸着工程を行うとともに、第２吸着器１２にて脱離工程を行う場合においては、第１、第２四方弁２３、２４が図１にて破線で示す状態に切り換えられる。これにより、第１吸着器１１の伝熱管１１ａに冷却流体が供給され、第２吸着器１２の伝熱管１２ａに加熱流体が供給される。
【００２８】
ところで、真空容器１０内には、第１吸着器１１が配置された空間（以下、第１吸着器空間３１という）と凝縮器１３が配置された空間（以下、凝縮器空間３３という）との連通状態を制御する第１水蒸気バルブ４１が設けられている。詳しくは後述するが、この第１水蒸気バルブ４１は、凝縮器空間３３の圧力が、第１吸着器空間３１の圧力よりも低いときに、その圧力差によって凝縮器１３側に開弁するようになっている。なお、第１水蒸気バルブ４１において、第１吸着器空間３１が本発明の第１空間に相当し、凝縮器空間３３が本発明の第２空間に相当している。
【００２９】
また、真空容器１０内には、第２吸着器１２が配置された空間（以下、第２吸着器空間３２という）と凝縮器空間３３との連通状態を制御する第２水蒸気バルブ４２が設けられている。この第２水蒸気バルブ４２も、第１水蒸気バルブ４１と同様、凝縮器空間３３の圧力が、第２吸着器空間３２の圧力よりも低いときに、その圧力差によって凝縮器１３側に開弁するようになっている。
【００３０】
また、真空容器１０内には、第１吸着器空間３１と蒸発器１４が配置された空間（以下、蒸発器空間３４という）との連通状態を制御する第３水蒸気バルブ４３が設けられている。この第３水蒸気バルブ４３は、蒸発器空間３４の圧力が、第１吸着器空間３１の圧力よりも高いときに、その圧力差によって第１吸着器１１側に開弁するようになっている。
【００３１】
また、真空容器１０内には、第２吸着器空間３２と蒸発器空間３４との連通状態を制御する第４水蒸気バルブ４４が設けられている。この第４水蒸気バルブ４４も、第３水蒸気バルブ４３と同様、蒸発器空間３４の圧力が、第２吸着器空間３２の圧力よりも高いときに、その圧力差によって第２吸着器１２側に開弁するようになっている。
【００３２】
図２〜図４は、第１〜第４水蒸気バルブ４１〜４４の構成を、第１水蒸気バルブ４１を代表させて示している。なお、図２が第１水蒸気バルブ４１を示す斜視図、図３が第１水蒸気バルブ４１を示す断面図、図４が第１水蒸気バルブ４１の後述する仕切部材５１を示す平面図である。
【００３３】
図２〜図４に示すように、第１水蒸気バルブ４１は、薄板状に形成され、真空容器１０内を第１吸着器空間３１と凝縮器空間３３とに仕切る仕切部材５１を備えている。この仕切部材５１には、第１吸着器空間３１と蒸発器空間３４を連通させる連通口５２が形成されている。本実施形態では、仕切部材５１は、連通口５２を流通する水蒸気の流れ方向から見て円形状に形成されており、連通口５２は、仕切部材５１の円形状の中心部を中心とした同心円状に形成されている。
【００３４】
第１水蒸気バルブ４１は、薄板弾性部材から形成されるとともに、連通口５２を覆うことにより当該連通口５２を閉塞可能な弁体５３を備えている。この弁体５３は、その一部が連通口５２の周囲部に固定部材５４により押さえ付けられて仕切部材５１に取り付けられている。そして、弁体５３は、固定部材５４により押さえ付けられた部分を支点として開閉動作するようになっている。
【００３５】
弁体５３の外側（連通口５２と反対側）には、弁体５３の開弁時のたわみを規制するガイド部５５が設けられている。ガイド部５５は、弁体５３と同様に、固定部材５４により押さえ付けられて仕切部材５１に取り付けられている。
【００３６】
仕切部材５１における弁体５３が配置される側の面には、弁体５３が連通口５２を閉塞したときに仕切部材５１と当接して当該仕切部材５１と弁体５３との間をシールするシール部５６が形成されている。シール部５６は、連通口５２の周縁部に連通口５２の外周を囲むように設けられている。このため、本実施形態では、シール部５６は、連通口５２の中心部を中心とした円環状（リング形状）に形成されている。また、本実施形態では、シール部５６は、仕切部材５１と一体に形成されている。
【００３７】
また、図３に示すように、仕切部材５１おける弁体５３の一部が固定された部位と連通口５２を挟んで反対側の部位は、弁体５３の一部が固定された部位よりも弁体５３側に突出している。換言すると、支持部材５１における弁体５３の自由端側に対応する部位は、支持部材５１における弁体５３の固定端側に対応する部位よりも弁体５３側に突出している。
【００３８】
図５は、本実施形態に係る第１水蒸気バルブ４１の連通口５２を水蒸気の流れ方向から見た模式図である。図４および図５に示すように、連通口５２の内部には、弁体５３が連通口５２を閉塞した際に弁体５３の表面と当接することにより弁体５３を支持する支持部材５７が設けられている。この支持部材５７は、仕切部材５１と一体に形成されている。また、支持部材５７は、シール部５６に沿った形状の周方向支持部材５７１と、連通口５２を流通する水蒸気の流れ方向から見たときに、連通口５２の中心から連通口５２の外周部に向かって延びる、すなわち連通口５２の径方向に延びる径方向支持部材５７２とを有している。本実施形態では、周方向支持部材５７１は、連通口５２の中心部を中心とした円環状に形成されている。
【００３９】
周方向支持部材５７１は、連通口５２を流通する水蒸気の流れ方向から見たときに、連通口５２の中心より外周部、すなわちシール部５６に近い側に配置されている。換言すると、径方向支持部材５７２における周方向支持部材５７１が接続されている部位を接続部５７３とし、径方向支持部材５７２の全長（連通口５２の中心からシール部５６までの長さ）をＡとし、径方向支持部材５７２における接続部５７３からシール部５６までの長さをａとしたとき、０．５＜ａ／Ａ＜１の関係を満たしている。
【００４０】
ここで、本発明者は、支持部材５７の望ましい形状について検討を行った。具体的には、弁体５３の板厚ｔを０．５ｍｍ、連通口５２の開口径Φを５２ｍｍ、連通口５２前後の差圧を１０ｋＰａとした場合において、周方向支持部材５７１の有無や設置位置、径方向支持部材５７２の本数を変化させたときの、閉弁時の水蒸気の漏れ量、および連通口５２の開口率により算出した損失係数ζをそれぞれ求めた。その検討結果を図６に示す。
【００４１】
図６中、点Ａ、点Ｂ、点Ｃは、周方向支持部材５７１が設けられておらず、径方向支持部材５７２の本数がそれぞれ６本、４本、３本の場合を示している。図６中の実線ｘより明らかなように、径方向支持部材５７２の本数を減らす程、圧力損失を低減できる一方、閉弁時の水蒸気の漏れ量が多くなる、すなわちシール性が低下する。
【００４２】
図６中、点Ｄ、点Ｅ、点Ｆは、径方向支持部材５７２が６本設けられており、周方向支持部材５７１の位置がそれぞれ異なっている。具体的には、点Ｄはａ＝２ｍｍ、点Ｅはａ＝６ｍｍ、点Ｆはａ＝１２ｍｍの場合をそれぞれ示している。
【００４３】
図６中の実線ｙより明らかなように、周方向支持部材５７１を中心に近づける程、圧力損失は低下するが、閉弁時の水蒸気の漏れ量が多くなる、すなわちシール性が低下する。これは、周方向支持部材５７１が閉弁時における弁体５３の変形を抑制できていないことに起因していると考えられる。一方、図６中の実線ｚより明らかなように、周方向支持部材５７１を外周部に近づけ過ぎると、閉弁時の水蒸気の漏れ量が若干多くなる、すなわちシール性が若干低下するとともに、圧力損失が若干大きくなる。
【００４４】
以上のような検討結果を踏まえて、本実施形態では、図６中の点Ｇに示すように、径方向支持部材５７２の本数を３本とするとともに、周方向支持部材５７１の配置位置を、０．２≦ａ／Ａ≦０．２５の関係を満たすようにした。これにより、シール性をより向上できるとともに、圧力損失をより低減することができる。なお、この場合、連通口５２を流通する水蒸気の流れ方向から見たときに、隣り合う径方向支持部材５７２同士の成す角θが互いに等しく（本実施形態では１２０°）になっている。
【００４５】
ここで、仕切部材５１および弁体５３の材質について説明する。水蒸気バルブは、大気圧より低い圧力（真空）下の水蒸気雰囲気中で使用されるので、仕切部材５１および弁体５３の材質としては、耐水蒸気性（耐スチーム性）を有し、かつ、大気圧より低い圧力環境下で材料表面や内部から発生するガス（アウトガス）が極力少ない材質、すなわち大気圧より低い圧力下で揮発する成分を含有していない材質を用いる必要がある。アウトガスの発生量が多いと、真空容器１０内の真空度が低下し、吸着式冷凍機の性能が低下してしまうためである。
【００４６】
弁体５３の材質としては、ゴムが適しているが、上述したアウトガスの面から、可塑剤（軟化剤）を含有していないフッ素ゴムが最適である。可塑剤を含有していると、負圧環境下におけるアウトガスの発生量が多くなるからである。また、フッ素ゴム以外のゴム材料としては、耐水蒸気性を有するシリコーンゴム、ＥＰＤＭ（エチレン・プロピレン・ジエン三元共重合ゴム）、ＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）等を用いてもよい。また、ゴム以外にも、弾性を有する材料であれば、エラストマ、樹脂、金属等を用いることができる。
【００４７】
また、仕切部材５１の材質についても、弁体５３と同様、アウトガスの発生が極力少ないことが要求されるため、アルミナ等のセラミックが最適である。また、セラミック以外に、金属、樹脂等を用いてもよい。
【００４８】
以上説明したように、周方向支持部材５７１を、連通口５２を流通する水蒸気の流れ方向から見たときに、連通口５２の中心より外周部に近い側に配置することで、閉弁時に弁体５３が変形することを抑制し、シール性を向上できる。また、周方向支持部材５７１が連通口５２の中心近傍には配置されていないので、従来技術（連通口全域に格子状のリブを配置したもの）と比較して、連通口５２を通過する水蒸気の圧力損失を低減することができる。したがって、シール性の確保と圧力損失の低減との両立を図ることが可能となる。
【００４９】
また、支持部材５７として、連通口５２を流通する水蒸気の流れ方向から見たときに、連通口５２の中心から連通口５２の外周部に向かって延びる径方向支持部材５７２を設けることにより、水蒸気バルブの強度を向上できる。さらに、隣り合う径方向支持部材５７２同士の成す角θが互いに等しくなるようにすることで、径方向支持部材５７２をバランスよく配置できるので、連通口５２を通過する水蒸気の圧力損失をより低減することができるとともに、水蒸気バルブの強度をより向上できる。
【００５０】
また、仕切部材５１における弁体５３の一部が固定された部位と連通口５２を挟んで反対側の部位（自由端側）を、弁体５３の一部が固定された部位（固定端側）よりも弁体５３側に突出させることで、弁体５３の固定端側が自由端側よりも鉛直方向上方側になるように水蒸気バルブを配置した場合においても、良好なシール性を確保することが可能となる。  
【００５１】
（他の実施形態）
本発明は上述の実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、以下のように種々変形可能である。
【００５２】
（１）上記実施形態では、本発明の流体バルブを、吸着式冷凍機用の水蒸気バルブに適用したが、これに限らず、本発明は大気圧以下の圧力下で使用される流体バルブ一般に広く適用可能であることはもちろんである。
【００５３】
（２）上記実施形態では、水蒸気バルブの仕切部材５１および連通口５２を円形状に形成した例について説明したが、これに限らず、矩形状や、多角形状に形成してもよい。この場合、周方向支持部材５７１を円環状のみならず、矩形環状や多角形環状としてもよい。
【符号の説明】
【００５４】
５１    仕切部材
５２    連通口
５３    弁体
５６    シール部
５７    支持部材
５７１  周方向支持部材
５７２  径方向支持部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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