(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を間に挟む第１の部材と第２の部材とを備えた試験用キャリアであって、
前記第１の部材は、前記第１の部材の主面に対して平行な方向に沿って予め形成された第１の導電路を有し、
前記第１の部材又は前記第２の部材の一方は、前記第１の導電路と電気的に接続される第２の導電路が前記第１又は前記第２の部材の主面に対して平行な方向に沿って形成されるべく第１の印刷領域を有し、
前記第１の導電路は、導体層をエッチングすることで形成され、
前記第２の導電路は、インクジェット印刷又はレーザ印刷によって形成されていることを特徴とする試験用キャリア。
【請求項２】
請求項１記載の試験用キャリアであって、
前記第１の部材は、第１のフィルムを有し、
前記第２の部材は、前記第１のフィルムに対向する第２のフィルムを有し、
前記第１の印刷領域は、前記第１のフィルム又は前記第２のフィルムの一方に設けられており、
前記第１のフィルムと前記第２のフィルムとの間に前記電子部品を介在させることを特徴とする試験用キャリア。
【請求項３】
電子部品を間に挟む第１の部材と第２の部材とを備えた試験用キャリアであって、
前記第１の部材は、予め形成された第１の導電路を有し、
前記第１の部材又は前記第２の部材の一方は、前記第１の導電路と電気的に接続される第２の導電路が印刷によって形成されるべく第１の印刷領域を有し、
前記第１の部材は、第１のフィルムを有し、
前記第２の部材は、前記第１のフィルムに対向する第２のフィルムを有し、
前記第１の印刷領域は、前記第１のフィルム又は前記第２のフィルムの一方に設けられており、
前記第１のフィルムと前記第２のフィルムとの間に前記電子部品を介在させ、
前記第２の部材は、中央に第２の開口が形成されていると共に、前記第２のフィルムが貼り付けられる第２のフレームをさらに有することを特徴とする試験用キャリア。
【請求項４】
請求項２又は３記載の試験用キャリアであって、
前記第１の導電路は、前記第１のフィルムに設けられた外部端子に接続されていることを特徴とする試験用キャリア。
【請求項５】
請求項２又は３記載の試験用キャリアであって、
前記第１の部材は、中央に第１の開口が形成されていると共に、前記第１のフィルムが貼り付けられた第１のフレームをさらに有しており、
前記第１の導電路は、前記第１のフレームに設けられた外部端子に接続されていることを特徴とする試験用キャリア。
【請求項６】
請求項１記載の試験用キャリアであって、
前記第１の部材は、平板状のリジッド板を有し、
前記第２の部材は、前記リジッド板に対向するフィルムを有し、
前記第１の印刷領域は、前記リジッド板又は前記フィルムの一方に設けられており、
前記リジッド板と前記フィルムとの間に前記電子部品を介在させることを特徴とする試験用キャリア。
【請求項７】
請求項６記載の試験用キャリアであって、
前記第１の導電路は、前記リジッド板に設けられた外部端子に接続されていることを特徴とする試験用キャリア。
【請求項８】
電子部品を間に挟む第１の部材と第２の部材とを備えた試験用キャリアであって、
前記第１の部材は、予め形成された第１の導電路を有し、
前記第１の部材又は前記第２の部材の一方は、前記第１の導電路と電気的に接続される第２の導電路が印刷によって形成されるべく第１の印刷領域を有し、
前記第１の部材は、平板状のリジッド板を有し、
前記第２の部材は、前記リジッド板に対向するフィルムを有し、
前記第１の印刷領域は、前記リジッド板又は前記フィルムの一方に設けられており、
前記リジッド板と前記フィルムとの間に前記電子部品を介在させ、
前記第２の部材は、中央に開口が形成されていると共に、前記フィルムが貼り付けられるフレームをさらに有することを特徴とする試験用キャリア。
【請求項９】
電子部品を間に挟む第１の部材と第２の部材とを備えた試験用キャリアであって、
前記第１の部材は、予め形成された第１の導電路を有し、
前記第１の部材又は前記第２の部材の一方は、前記第１の導電路と電気的に接続される第２の導電路が印刷によって形成されるべく第１の印刷領域を有し、
前記第１の部材は、フィルムを有し、
前記第２の部材は、前記フィルムに対向する平板状のリジッド板を有し、
前記第１の印刷領域は、前記フィルム又は前記リジッド板の一方に設けられており、
前記フィルムと前記リジッド板との間に前記電子部品を介在させることを特徴とする試験用キャリア。
【請求項１０】
請求項９記載の試験用キャリアであって、
前記第１の導電路は、前記フィルムに設けられた外部端子に接続されていることを特徴とする試験用キャリア。
【請求項１１】
請求項９記載の試験用キャリアであって、
前記第１の部材は、中央に開口が形成されていると共に、前記フィルムが貼り付けられたフレームをさらに有しており、
前記第１の導電路は、前記フレームに設けられた外部端子に接続されていることを特徴とする試験用キャリア。
【請求項１２】
電子部品を間に挟む第１の部材と第２の部材とを備えた試験用キャリアであって、
前記第１の部材は、予め形成された第１の導電路を有し、
前記第１の部材又は前記第２の部材の一方は、前記第１の導電路と電気的に接続される第２の導電路が印刷によって形成されるべく第１の印刷領域を有し、
前記第１の部材は、前記第１の印刷領域を有し、
前記第２の部材は、
予め形成された第３の導電路と、
前記第３の導電路と電気的に接続される第４の導電路が印刷によって形成されるべく第２の印刷領域と、を有することを特徴とする試験用キャリア。
【請求項１３】
請求項１〜１２の何れかに記載の試験用キャリアであって、
前記第１の部材又は前記第２の部材の一方は、
前記第２の導電路と、
前記第２の導電路において前記電子部品の輪郭に対応する部分の上に形成された絶縁層と、を有することを特徴とする試験用キャリア。
【請求項１４】
電子部品を間に挟む第１の部材と第２の部材とを備えた試験用キャリアであって、
前記第１の部材は、予め形成された第１の導電路を有し、
前記第１の部材又は前記第２の部材の一方は、前記第１の導電路と電気的に接続される第２の導電路が印刷によって形成されるべく第１の印刷領域を有し、
前記第１の部材又は前記第２の部材の一方は、
前記第２の導電路と、
前記第２の導電路において前記電子部品の輪郭に対応する部分の上に形成された絶縁層と、を有し、
前記第２の導電路は、前記電子部品の電極と接触するパッドを有することを特徴とする試験用キャリア。
【請求項１５】
請求項１〜１４の何れかに記載の試験用キャリアであって、
前記電子部品は、半導体ウェハからダイシングされたダイであることを特徴とする試験用キャリア。
【請求項１６】
請求項１〜１５の何れかに記載の試験用キャリアであって、
前記第１の部材と前記第２の部材との間に形成され、前記電子部品を収容する収容空間は、外気に比して減圧されていることを特徴とする試験用キャリア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイチップに形成された集積回路素子等の電子回路素子を試験するために、当該ダイチップが一時的に実装される試験用キャリアに関する。
【背景技術】
【０００２】
ベアチップ状態の半導体チップが一時的に実装される試験用キャリアとして、外気に比して減圧した雰囲気で蓋体と基体との間に半導体チップを挟み込むものが知られている（例えば特許文献１参照）。【０００３】
この試験用キャリアの蓋体には、半導体チップの電極に対応した配線パターンが形成されており、この配線パターンを介して半導体チップが外部の試験装置と接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−２６３５０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
銅箔をエッチングすることで配線パターンを形成すると、ひとつの試験用キャリアで多品種の半導体チップに対応することは難しい。一方、インクジェット印刷によって配線パターンをリアルタイムに形成することで、ひとつの試験用キャリアで多品種の半導体チップに対応することができる。しかしながら、配線パターンをインクジェット印刷で形成すると、試験用キャリアの生産性が低くなるという問題があった。【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、多品種の電子部品に対応可能であると共に、生産性に優れた試験用キャリアを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
［１］本発明に係る試験用キャリアは、電子部品を間に挟む第１の部材と第２の部材とを備えた試験用キャリアであって、前記第１の部材は、前記第１の部材の主面に対して平行な方向に沿って予め形成された第１の導電路を有し、前記第１の部材又は前記第２の部材の一方は、前記第１の導電路と電気的に接続される第２の導電路が前記第１又は前記第２の部材の主面に対して平行な方向に沿って形成されるべく第１の印刷領域を有し、前記第１の導電路は、導体層をエッチングすることで形成され、前記第２の導電路は、インクジェット印刷又はレーザ印刷によって形成されていることを特徴とする。
【０００８】
［２］上記発明において、前記第１の部材は、第１のフィルムを有し、前記第２の部材は、前記第１のフィルムに対向する第２のフィルムを有し、前記第１の印刷領域は、前記第１のフィルム又は前記第２のフィルムの一方に設けられており、前記第１のフィルムと前記第２のフィルムとの間に前記電子部品を介在させてもよい。【０００９】
［３］本発明に係る試験用キャリアは、電子部品を間に挟む第１の部材と第２の部材とを備えた試験用キャリアであって、前記第１の部材は、予め形成された第１の導電路を有し、前記第１の部材又は前記第２の部材の一方は、前記第１の導電路と電気的に接続される第２の導電路が印刷によって形成されるべく第１の印刷領域を有し、前記第１の部材は、第１のフィルムを有し、前記第２の部材は、前記第１のフィルムに対向する第２のフィルムを有し、前記第１の印刷領域は、前記第１のフィルム又は前記第２のフィルムの一方に設けられており、前記第１のフィルムと前記第２のフィルムとの間に前記電子部品を介在させ、前記第２の部材は、中央に第２の開口が形成されていると共に、前記第２のフィルムが貼り付けられる第２のフレームをさらに有することを特徴とする。
［４］上記発明において、前記第１の導電路は、前記第１のフィルムに設けられた外部端子に接続されていてもよい。
【００１０】
［５］上記発明において、前記第１の部材は、中央に第１の開口が形成されていると共に、前記第１のフィルムが貼り付けられた第１のフレームをさらに有しており、前記第１の導電路は、前記第１のフレームに設けられた外部端子に接続されていてもよい。
【００１２】
［６］上記発明において、前記第１の部材は、平板状のリジッド板を有し、前記第２の部材は、前記リジッド板に対向するフィルムを有し、前記第１の印刷領域は、前記リジッド板又は前記フィルムの一方に設けられており、前記リジッド板と前記フィルムとの間に前記電子部品を介在させてもよい。【００１３】
［７］上記発明において、前記第１の導電路は、前記リジッド板に設けられた外部端子に接続されていてもよい。【００１４】
［８］本発明に係る試験用キャリアは、電子部品を間に挟む第１の部材と第２の部材とを備えた試験用キャリアであって、前記第１の部材は、予め形成された第１の導電路を有し、前記第１の部材又は前記第２の部材の一方は、前記第１の導電路と電気的に接続される第２の導電路が印刷によって形成されるべく第１の印刷領域を有し、前記第１の部材は、平板状のリジッド板を有し、前記第２の部材は、前記リジッド板に対向するフィルムを有し、前記第１の印刷領域は、前記リジッド板又は前記フィルムの一方に設けられており、前記リジッド板と前記フィルムとの間に前記電子部品を介在させ、前記第２の部材は、中央に開口が形成されていると共に、前記フィルムが貼り付けられるフレームをさらに有することを特徴とする。
【００１５】
［９］本発明に係る試験用キャリアは、電子部品を間に挟む第１の部材と第２の部材とを備えた試験用キャリアであって、前記第１の部材は、予め形成された第１の導電路を有し、前記第１の部材又は前記第２の部材の一方は、前記第１の導電路と電気的に接続される第２の導電路が印刷によって形成されるべく第１の印刷領域を有し、前記第１の部材は、フィルムを有し、前記第２の部材は、前記フィルムに対向する平板状のリジッド板を有し、前記第１の印刷領域は、前記フィルム又は前記リジッド板の一方に設けられており、前記フィルムと前記リジッド板との間に前記電子部品を介在させることを特徴とする。
【００１６】
［１０］上記発明において、前記第１の導電路は、前記フィルムに設けられた外部端子に接続されていてもよい。【００１７】
［１１］上記発明において、前記第１の部材は、中央に開口が形成されていると共に、前記フィルムが貼り付けられたフレームをさらに有しており、前記第１の導電路は、前記フレームに設けられた外部端子に接続されていてもよい。【００１８】
［１２］本発明に係る試験用キャリアは、電子部品を間に挟む第１の部材と第２の部材とを備えた試験用キャリアであって、前記第１の部材は、予め形成された第１の導電路を有し、前記第１の部材又は前記第２の部材の一方は、前記第１の導電路と電気的に接続される第２の導電路が印刷によって形成されるべく第１の印刷領域を有し、前記第１の部材は、前記第１の印刷領域を有し、前記第２の部材は、予め形成された第３の導電路と、前記第３の導電路と電気的に接続される第４の導電路が印刷によって形成されるべく第２の印刷領域と、を有することを特徴とする。
【００１９】
［１３］上記発明において、記第１の部材又は前記第２の部材の一方は、前記第２の導電路と、前記第２の導電路において前記電子部品の輪郭に対応する部分の上に形成された絶縁層と、を有してもよい。【００２０】
［１４］本発明に係る試験用キャリアは、電子部品を間に挟む第１の部材と第２の部材とを備えた試験用キャリアであって、前記第１の部材は、予め形成された第１の導電路を有し、前記第１の部材又は前記第２の部材の一方は、前記第１の導電路と電気的に接続される第２の導電路が印刷によって形成されるべく第１の印刷領域を有し、前記第１の部材又は前記第２の部材の一方は、前記第２の導電路と、前記第２の導電路において前記電子部品の輪郭に対応する部分の上に形成された絶縁層と、を有し、前記第２の導電路は、前記電子部品の電極と接触するパッドを有することを特徴とする。
【００２１】
［１５］上記発明において、前記電子部品は、半導体ウェハからダイシングされたダイであってもよい。【００２２】
［１６］上記発明において、前記第１の部材と前記第２の部材との間に形成され、前記電子部品を収容する収容空間は、外気に比して減圧されていてもよい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明では、第１の印刷領域に第２の導電路を印刷するので、ひとつの試験用キャリアで多品種の電子部品に対応することができる。【００２４】
また、本発明では、第１の導電路を予め形成しておくことで第２の導電路を短くしているので、第２の導電路の印刷時間を短縮することができ、試験用キャリアの生産性向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１は、本発明の第１実施形態におけるデバイス製造工程の一部を示すフローチャートである。
【図２】図２は、本発明の第１実施形態における試験用キャリアの分解斜視図である。
【図３】図３は、本発明の第１実施形態における試験用キャリアの断面図である。
【図４】図４は、本発明の第１実施形態における試験用キャリアの分解断面図である。
【図５】図５は、図４のV部の拡大図である。
【図６】図６は、本発明の第１実施形態における試験用キャリアのベース部材を示す平面図である。
【図７】図７は、本発明の第１実施形態における試験用キャリアの第１変形例を示す分解斜視図である。
【図８】図８は、本発明の第１実施形態における試験用キャリアの第２変形例を示す分解斜視図である。
【図９】図９は、本発明の第１実施形態における試験用キャリアの第３変形例を示す分解斜視図である。
【図１０】図１０は、本発明の第１実施形態における試験用キャリアの第４変形例を示す分解斜視図である。
【図１１】図１１は、本発明の第１実施形態における試験用キャリアの第５変形例を示す分解斜視図である。
【図１２】図１２は、本発明の第１実施形態における試験用キャリアの第６変形例を示す分解斜視図である。
【図１３】図１３は、本発明の第２実施形態における試験用キャリアを示す断面図である。
【図１４】図１４は、本発明の第３実施形態における試験用キャリアを示す断面図である。
【図１５】図１５は、本発明の第４実施形態における試験用キャリアを示す断面図である。
【図１６】図１６は、本発明の第５実施形態における試験用キャリアを示す断面図である。
【図１７】図１７は、本発明の第６実施形態における試験用キャリアを示す断面図である。
【図１８】図１８は、本発明の第７実施形態における試験用キャリアを示す断面図である。
【図１９】図１９は、本発明の第８実施形態における試験用キャリアを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２７】
図１は本発明の第１実施形態におけるデバイス製造工程の一部を示すフローチャートである。
【００２８】
本実施形態では、半導体ウェハのダイシングの後（図１のステップＳ１０の後）であって最終パッケージングの前（ステップＳ５０の前）に、ダイ９０に造り込まれた集積回路素子等の電子回路素子の試験を行う（ステップＳ２０〜Ｓ４０）。
【００２９】
本実施形態では、先ず、ダイ９０を試験用キャリア１０に一時的に実装する（ステップＳ２０）。次いで、この試験用キャリア１０を介してダイ９０を試験装置（不図示）と電気的に接続することで、ダイ９０に形成された電子回路素子の試験を実行する（ステップＳ３０）。そして、この試験が終了したら、試験用キャリア１０を分解して当該キャリア１０からダイ９０を取り出し（ステップＳ４０）、このダイ９０を本パッケージングすることで、デバイスが最終製品として完成する。
【００３０】
以下に、本実施形態においてダイ９０が一時的に実装（仮パッケージング）される試験用キャリア１０について説明する。
【００３１】
図２〜図５は本実施形態における試験用キャリアを示す図であり、図６はその試験用キャリアのベース部材を示す図、図７〜図１２は本実施形態における試験用キャリアの変形例を示す断面図である。
【００３２】
本実施形態における試験用キャリア１０は、図２〜図４に示すように、ダイ９０が載置されるベース部材２０Ａと、このベース部材２０Ａに被せられるカバー部材５０Ａと、を備えている。この試験用キャリア１０は、大気圧よりも減圧した状態でベース部材２０Ａとカバー部材５０Ａとの間にダイ９０を挟み込むことで、ダイ９０を保持する。
【００３３】
ベース部材２０Ａは、ベースフレーム３０と、ベースフィルム４０と、を備えている。
【００３４】
ベースフレーム３０は、高い剛性（少なくともベースフィルム４０やカバーフィルム７０よりも高い剛性）を有し、中央に開口３１が形成されたリジッド板である。このベースフレーム３０は、例えば、ポリアミドイミド樹脂、セラミックス、ガラス等から構成されている。
【００３５】
ベースフィルム４０は、可撓性を有するフィルムであり、中央開口３１を含めたベースフレーム３０の全面に接着剤（不図示）を介して貼り付けられている。本実施形態では、可撓性を有するベースフィルム４０に、剛性の高いベースフレーム３０が貼り付けられているので、ベース部材２０Ａのハンドリング性の向上が図られている。
【００３６】
図５に示すように、このベースフィルム４０は、第１の配線パターン４１が形成されたベース層４２と、このベース層４２を被覆するカバー層４３と、を有している。ベースフィルム４０のベース層４２及びカバー層４３は何れもポリイミドフィルム等で構成されている。
【００３７】
第１の配線パターン４１は、例えば、ベース層４２上に積層された銅箔をエッチングすることで予め形成されている。一方、カバー層４３の表面には、インクジェット印刷によって第２の配線パターン４４が形成されている。この第２の配線パターン４４は、ダイ９０をベース部材２０Ａに実装する直前に、配線形成装置（不図示）によってリアルタイムに印刷される。
【００３８】
なお、インクジェット印刷に代えて、例えばレーザ印刷によって第２の配線パターン４４を形成してもよい。また、本実施形態における第１の配線パターン４１が本発明における第１の導電路の一例に相当し、本実施形態における第２の配線パターン４４が本発明における第２の導電路の一例に相当する。
【００３９】
図５及び図６に示すように、第１の配線パターン４１の一端は、カバー層４３のスルーホール４３１を介して外部端子４５に接続されている。この外部端子４５には、ダイ９０の電子回路素子を試験する際に、試験装置のコンタクトピンが接触することとなる。
【００４０】
一方、第１の導電パターン４１の他端は、カバー層４３のスルーホール４３２を介して第２の配線パターン４４の一端に接続されている。第２の配線パターン４４は、パッド４４を他端に有している。このパッド４４１には、ダイ９０の電極９１が接続される。
【００４１】
また、本実施形態では、図５及び図６に示すように、ベースフィルム４０上においてダイ９０のエッジ（輪郭）に対応する部分に絶縁層４７が形成されている。この絶縁層４７は、例えばソルダレジスト等から構成されており、電気絶縁性を有している。第２の配線パターン４４においてダイ９０のエッジに対応する部分の上に絶縁層４７を形成することで、ダイ９０のエッジによって第２の配線パターン４４が短絡するのを防止することができる。
【００４２】
以上のように、本実施形態では、ダイ９０の電極９１の配置に応じて第２の配線パターン４４をインクジェット印刷によってリアルタイムに形成することが出来るので、ひとつの試験用キャリア１０で多品種のダイ９０に対応することができる。
【００４３】
また、本実施形態では、図５及び図６に示すように、ベース部材２０Ａが、第１の配線パターン４１が予め形成されている第１の領域２１と、第２の配線パターン４４がインクジェット印刷によってリアルタイムに形成される第２の領域２２と、を有している。このような構成を採用することにより、インクジェット印刷の範囲が小さくなるので、第２の配線パターン４４の印刷時間の短縮化を図ることができ、試験用キャリア１０の生産性向上を図ることができる。なお、本実施形態における第２の領域２２が本発明における第１の印刷領域の一例に相当する。
【００４４】
なお、パッドの位置や外部端子の位置は特に限定されず、以下に説明する図７〜図１１に示すような構成であってもよいし、これらを組み合わせた構成であってもよい。
【００４５】
例えば、図７に示す第１変形例のように、パッド４４１を含む第２の配線パターン４４をベースフィルム４０上にインクジェット印刷によって形成し、第２の配線パターン４４と外部端子３２とを接続する導電路４６を、ベースフィルム４０とベースフレーム３０に予め形成してもよい。
【００４６】
なお、本例における導電路４６は、ベースフィルム４０に予め形成された第１の配線パターン４１と、ベースフレーム３０に予め形成されたスルーホール３３と、を含む。また、スルーホール３３は、第１の配線パターン４１と外部端子３２とを電気的に接続する。因みに、この第１変形例では、第２の配線パターン４４が本発明における第２の導電路の一例に相当し、導電路４６が本発明における第１の導電路の一例に相当する。
【００４７】
また、図８に示す第２変形例のように、パッド４４１をベースフィルム４０の上面に形成し、外部端子４５をベースフィルム４０の下面に形成してもよい。
【００４８】
また、図９に示す第３変形例のように、パッド７４１を含む第２の配線パターン７４をカバーフィルム７０上にインクジェット印刷によって形成し、第２の配線パターン７４と外部端子６２とを接続する導電路７６を、カバーフィルム７０とカバーフレーム６０に予め形成してもよい。
【００４９】
なお、本例における導電路７６は、カバーフィルム７０に予め形成された第１の配線パターン７１と、カバーフレーム６０に予め形成されたスルーホール６３と、を含む。また、スルーホール６３は、第１の配線パターン７１と外部端子６２とを電気的に接続する。因みに、この第３変形例では、第２の配線パターン７４が本発明における第２の導電路の一例に相当し、導電路７６が本発明における第１の導電路の一例に相当する。
【００５０】
また、図１０に示す第４変形例のように、第２の配線パターン７４をカバーフィルム７０の下面にインクジェット印刷によって形成し、第２の配線パターン７４と外部端子３２とを接続する導電路４６を、ベースフィルム４０とベースフレーム３０に予め形成してもよい。
【００５１】
なお、本例における導電路４６は、ベースフィルム４０に予め形成された第１の配線パターン４１と、ベースフレーム３０に予め形成されたスルーホール３３と、を含む。また、スルーホール３３は、第１の配線パターン４１と外部端子３２とを電気的に接続する。因みに、この第４変形例では、第２の配線パターン７４が本発明における第２の導電路の一例に相当し、導電路４６が本発明における第１の導電路の一例に相当する。
【００５２】
なお、図１０に示す例において、インクジェット印刷によってベースフィルム４０上に形成され、第１の配線パターン４１と第２の配線パターン７４とを接続する配線パターンをさらに備えてもよい。
【００５３】
さらに、ダイ９０が上面及び下面に電極９１を有する場合には、図１１に示す第５変形例のように、パッド４４１，７４１をベースフィルム４０及びカバーフィルム７０の両方に形成すると共に、外部端子３２，６２をベースフレーム３０及びカバーフレーム６０の両方に形成してもよい。
【００５４】
図２〜図４に戻り、カバー部材５０Ａは、カバーフレーム６０と、カバーフィルム７０と、を備えている。
【００５５】
カバーフレーム６０は、高い剛性（少なくともベースフィルム４０やカバーフィルム７０よりも高い剛性）を有し、中央に開口６１が形成されたリジッド基板である。このカバーフレーム６０は、例えば、ポリアミドイミド樹脂、セラミックス、ガラス等から構成されている。
【００５６】
カバーフィルム７０は、可撓性を有するフィルムであり、中央開口６１を含めたカバーフレーム６０の全面に接着剤（不図示）を介して貼り付けられている。このカバーフィルム７０は、例えば、ポリイミドフィルム等から構成されている。このように、本実施形態では、可撓性を有するカバーフィルム７０に、剛性の高いカバーフィルム６０が貼り付けられているので、カバー部材５０Ａのハンドリング性の向上が図られている。
【００５７】
以上に説明した試験用キャリア１０は、次のように組み立てられる。
【００５８】
すなわち、先ず、電極９１をパッド４４１に合わせた状態で、ダイ９０をベース部材２０Ａのベースフィルム４０上に載置する。
【００５９】
次いで、大気圧と比較して減圧した環境下で、ベース部材２０Ａの上にカバー部材５０Ａを重ねて、ベース部材２０Ａとカバー部材５０Ａとの間にダイ９０を挟み込む。この際、ベースフィルム４０とカバーフィルム７０とが直接接触するように、ベース部材２０Ａ上にカバー部材５０Ａを重ねる。
【００６０】
次いで、ベース部材２０Ａとカバー部材５０Ａとの間にダイ９０を挟み込んだ状態のまま、試験用キャリア１０を大気圧環境に戻すことで、ベース部材２０Ａとカバー部材５０Ａとの間に形成された収容空間１１（図３参照）内にダイ９０が保持される。
【００６１】
なお、ダイ９０の電極９１とベースフィルム４０のパッド４４１とは、半田等で固定されていない。本実施形態では、収容空間１１が外気と比して減圧されているので、ベースフィルム４０とカバーフィルム７０によってダイ９０が押圧されて、ダイ９０の電極９１とベースフィルム４０のパッド４４１とが相互に接触している。
【００６２】
図３に示すように、収容空間１１の気密性を維持するために、ベース部材２０Ａとカバー部材５０Ａとは接着部８０で相互に固定されている。この接着部８０を構成する接着剤８１としては、例えば紫外線硬化型接着剤を例示することができる。
【００６３】
この接着剤８１は、図２、図４、図５及び図６に示すように、ベース部材２０Ａにおいてカバー部材５０Ａの外周部に対向する位置に塗布されている。そして、ベース部材２０Ａをカバー部材５０Ａに被せた後に、接着剤８１に向かって紫外線を照射して、当該接着剤８１を硬化させることで、接着部８０が形成される。なお、減圧のみでベース部材２０Ａとカバー部材５０Ａの密着を確保できる場合には、接着剤を用いなくてもよい。
【００６４】
なお、ダイ９０が比較的厚い場合には、図１２に示す第６変形例のように、ベースフレーム３０とカバーフレーム６０とが直接接触するように、ベース部材２０Ａ上にカバー部材５０Ａを重ねてもよい。
【００６５】
＜第２実施形態＞
図１３は本発明の第２実施形態における試験用キャリアを示す図である。
【００６６】
本実施形態では、ベース部材の構成が第１実施形態（図３参照）と相違するが、それ以外の構成は第１実施形態と同様である。以下に、第２実施形態における試験用キャリアについて第１実施形態との相違点について説明し、第１実施形態と同様の構成である部分については同一の符号を付して説明を省略する。
【００６７】
図１３に示すように、本実施形態におけるベース部材２０Ｂは、高い剛性（少なくともカバーフィルム７０よりも高い剛性）を有するが、中央開口を有しない平板状のリジッド板のみから構成されている。このベース部材２０Ｂは、例えば、ポリアミドイミド樹脂やセラミックス、ガラス等から構成されている。
【００６８】
本実施形態では、特に図示しないが、このベース部材２０Ｂに第１の配線パターンが予め形成されていると共に、このベース部材２０Ｂ上に第２の配線パターンがインクジェット印刷によってリアルタイムに形成されている。なお、ベース部材２０Ｂを例えば単層或いは多層のプリント配線基板で構成することで、ベース部材２０Ｂに第１の配線パターンを形成することができる。
【００６９】
本実施形態では、このベース部材２０Ｂ上に、インクジェット印刷によって第２の配線パターンをリアルタイムに形成するので、ひとつの試験用キャリアで多品種のダイに対応することができる。
【００７０】
また、本実施形態では、ベース部材２０Ｂが、予め形成された第１の配線パターンを有しているので、インクジェット印刷の範囲を小さくすることができ、第２の配線パターンの印刷時間の短縮化を図ることができ、試験用キャリアの生産性向上を図ることができる。
【００７１】
なお、図１３に示す例では、カバーフィルム７０とベース部材２０Ｂとが直接接触するように、ベース部材２０Ｂにカバー部材５０Ａを重ねているが、特にこれに限定されない。例えば、ダイ９０が比較的厚い場合には、特に図示しないが、カバーフレーム６０とベース部材２０Ｂとが直接接触するように、ベース部材２０Ｂにカバー部材５０Ａを重ねてもよい。
【００７２】
＜第３実施形態＞
図１４は本発明の第３実施形態における試験用キャリアを示す図である。
【００７３】
本実施形態では、カバー部材の構成が第１実施形態（図３参照）と相違するが、それ以外の構成は第１実施形態と同様である。以下に、第２実施形態における試験用キャリアについて第１実施形態との相違点について説明し、第１実施形態と同様の構成である部分については同一の符号を付して説明を省略する。
【００７４】
図１４に示すように、本実施形態におけるカバー部材５０Ｂは、高い剛性（少なくともベースフィルム４０よりも高い剛性）を有するが、中央開口を有しない平板状のリジッド板のみから構成されている。このカバー部材５０Ｂは、例えば、ポリアミドイミド樹脂、セラミックス、ガラス等から構成されている。
【００７５】
本実施形態では、ベース部材２０Ａ上に、インクジェット印刷によって第２の配線パターン４４をリアルタイムに形成するので、ひとつの試験用キャリアで多品種のダイに対応することができる。
【００７６】
また、本実施形態では、ベース部材２０Ａが、予め形成された第１の配線パターン４１を有しているので、インクジェット印刷の範囲を小さくすることができ、第２の配線パターンの印刷時間の短縮化を図ることができ、試験用キャリアの生産性向上を図ることができる。
【００７７】
なお、図１４に示す例では、ベースフィルム４０とカバー部材５０Ｂとが直接接触するように、ベース部材２０Ａにカバー部材５０Ｂを重ねているが、特にこれに限定されない。例えば、ダイ９０が比較的厚い場合には、特に図示しないが、ベースフレーム３０とカバー部材５０Ｂとが直接接触するように、ベース部材２０Ａにカバー部材５０Ｂを重ねてもよい。
【００７８】
＜第４実施形態＞
図１５は本発明の第４実施形態における試験用キャリアを示す図である。
【００７９】
本実施形態では、カバー部材の構成が第１実施形態（図３参照）と相違するが、それ以外の構成は第１実施形態と同様である。以下に、第４実施形態における試験用キャリアについて第１実施形態との相違点についてのみ説明し、第１実施形態と同様の構成である部分については同一の符号を付して説明を省略する。
【００８０】
図１５に示すように、本実施形態におけるカバー部材５０Ｃは、可撓性を有するフィルムのみから構成されている。このカバー部材５０Ｃは、例えばポリイミドフィルム等から構成されている。
【００８１】
本実施形態では、ベース部材２０Ａ上に、インクジェット印刷によって第２の配線パターン４４をリアルタイムに形成するので、ひとつの試験用キャリアで多品種のダイに対応することができる。
【００８２】
また、本実施形態では、ベース部材２０Ａが、予め形成された第１の配線パターン４１を有しているので、インクジェット印刷の範囲を小さくすることができ、第２の配線パターンの印刷時間の短縮化を図ることができ、試験用キャリアの生産性向上を図ることができる。
【００８３】
なお、図１５に示す例では、ベースフィルム４０とカバー部材５０Ｃとが直接接触するように、ベース部材２０Ａにカバー部材５０Ｃを重ねているが、特にこれに限定されない。例えば、ダイ９０が比較的厚い場合には、特に図示しないが、ベースフレーム３０とカバー部材５０Ｃとが直接接触するように、ベース部材２０Ａにカバー部材５０Ｃを重ねてもよい。
【００８４】
＜第５実施形態＞
図１６は本発明の第５実施形態における試験用キャリアを示す図である。
【００８５】
本実施形態では、ベース部材の構成が第１実施形態（図３参照）と相違するが、それ以外の構成は第１実施形態と同様である。以下に、第５実施形態における試験用キャリアについて第１実施形態との相違点についてのみ説明し、第１実施形態と同様の構成である部分については同一の符号を付して説明を省略する。
【００８６】
図１６に示すように、本実施形態におけるベース部材２０Ｃは、可撓性を有するフィルムのみから構成されている。このベース部材２０Ｃは、例えばポリイミドフィルム等から構成されている。
【００８７】
本実施形態では、特に図示しないが、このベース部材２０Ｃに第１の配線パターンが予め形成されていると共に、このベース部材２０Ｃ上に第２の配線パターンがインクジェット印刷によってリアルタイムに形成されている。
【００８８】
本実施形態では、このベース部材２０Ｃ上に、インクジェット印刷によって第２の配線パターンをリアルタイムに形成するので、ひとつの試験用キャリアで多品種のダイに対応することができる。
【００８９】
また、本実施形態では、ベース部材２０Ｃが、予め形成された第１の配線パターンを有しているので、インクジェット印刷の範囲を小さくすることができ、第２の配線パターンの印刷時間の短縮化を図ることができ、試験用キャリアの生産性向上を図ることができる。
【００９０】
なお、図１６に示す例では、ベース部材２０Ｃとカバーフィルム７０とが直接接触するように、ベース部材２０Ｃにカバー部材５０Ａを重ねているが、特にこれに限定されない。例えば、ダイ９０が比較的厚い場合には、特に図示しないが、ベース部材２０Ｃとカバーフレーム６０とが直接接触するように、ベース部材２０Ｃにカバー部材５０Ａを重ねてもよい。
【００９１】
＜第６実施形態＞
図１７は本発明の第６実施形態における試験用キャリアを示す図である。
【００９２】
本実施形態では、カバー部材の構成が第２実施形態（図１３参照）と相違するが、それ以外の構成は第２実施形態と同様である。以下に、第６実施形態における試験用キャリアについて第２実施形態との相違点についてのみ説明し、第２実施形態と同様の構成である部分については同一の符号を付して説明を省略する。
【００９３】
図１７に示すように、本実施形態におけるカバー部材５０Ｃは、可撓性を有するフィルムのみから構成されている。このカバー部材５０Ｃは、例えばポリイミドフィルム等から構成されている。
【００９４】
本実施形態では、このベース部材２０Ｂ上に、インクジェット印刷によって第２の配線パターンをリアルタイムに形成するので、一つの試験用キャリアで多品種のダイに対応することができる。
【００９５】
また、本実施形態では、ベース部材２０Ｂが、予め形成された第１の配線パターンを有しているので、インクジェット印刷の範囲を小さくすることができ、第２の配線パターンの印刷時間の短縮化を図ることができ、試験用キャリアの生産性向上を図ることができる。
【００９６】
＜第７実施形態＞
図１８は本発明の第７実施形態における試験用キャリアを示す図である。
【００９７】
本実施形態では、カバー部材の構成が第５実施形態（図１６参照）と相違するが、それ以外の構成は第５実施形態と同様である。以下に、第７実施形態における試験用キャリアについて第５実施形態との相違点についてのみ説明し、第５実施形態と同様の構成である部分については同一の符号を付して説明を省略する。
【００９８】
図１８に示すように、本実施形態におけるカバー部材５０Ｂは、高い剛性（少なくともベース部材２０Ｃよりも高い剛性）を有するが、中央開口を有しない平板状のリジッド板のみから構成されている。このカバー部材５０Ｂは、例えば、ポリアミドイミド樹脂、セラミックス、ガラス等から構成されている。
【００９９】
本実施形態では、このベース部材２０Ｃ上に、インクジェット印刷によって第２の配線パターンをリアルタイムに形成するので、一つの試験用キャリアで多品種のダイに対応することができる。
【０１００】
また、本実施形態では、ベース部材２０Ｃが、予め形成された第１の配線パターンを有しているので、インクジェット印刷の範囲を小さくすることができ、第２の配線パターンの印刷時間の短縮化を図ることができ、試験用キャリアの生産性向上を図ることができる。
【０１０１】
＜第８実施形態＞
図１９は本発明の第８実施形態における試験用キャリアを示す図である。
【０１０２】
本実施形態では、カバー部材の構成が第５実施形態（図１６参照）と相違するが、それ以外の構成は第５実施形態と同様である。以下に、第８実施形態における試験用キャリアについて第５実施形態との相違点についてのみ説明し、第５実施形態と同様の構成である部分については同一の符号を付して説明を省略する。
【０１０３】
図１９に示すように、本実施形態におけるカバー部材５０Ｃは、可撓性を有するフィルムのみから構成されている。このカバー部材５０Ｃは、例えばポリイミドフィルム等から構成されている。
【０１０４】
本実施形態では、このベース部材２０Ｃ上に、インクジェット印刷によって第２の配線パターンをリアルタイムに形成するので、ひとつの試験用キャリアで多品種のダイに対応することができる。
【０１０５】
また、本実施形態では、ベース部材２０Ｃが、予め形成された第１の配線パターンを有しているので、インクジェット印刷の範囲を小さくすることができ、第２の配線パターンの印刷時間の短縮化を図ることができ、試験用キャリアの生産性向上を図ることができる。
【０１０６】
以上に説明した第１〜第８の実施形態におけるベース部材２０Ａ〜２０Ｃが、本発明における第１の部材又は第２の部材の一方の一例に相当し、第１〜第８実施形態におけるカバー部材５０Ａ〜５０Ｃが、本発明における第２の部材又は第１の部材の他方の一例に相当する。
【０１０７】
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【０１０８】
例えば、図１３〜図１９に示す第２〜第８の実施形態において、図７〜図１１に示すような導電路を採用してもよい。
【符号の説明】
【０１０９】
１０…試験用キャリア
１１…収容空間
２０Ａ〜２０Ｃ…ベース部材
２１…第１の領域
２２…第２の領域
３０…ベースフレーム
３１…中央開口
４０…ベースフィルム
４１…第１の配線パターン
４２…ベース層
４３…カバー層
４４…第２の配線パターン
４４１…パッド
４５…外部端子
４６…導電路
４７…絶縁層
５０Ａ〜５０Ｃ…カバー部材
６０…カバーフレーム
６１…中央開口
７０…カバーフィルム
８０…接着部
８１…接着剤
９０…ダイ
９１…電極
【図１】
0005529154.tif 000002
【図２】
0005529154.tif 000003
【図３】
0005529154.tif 000004
【図４】
0005529154.tif 000005
【図５】
0005529154.tif 000006
【図６】
0005529154.tif 000007
【図７】
0005529154.tif 000008
【図８】
0005529154.tif 000009
【図９】
0005529154.tif 000010
【図１０】
0005529154.tif 000011
【図１１】
0005529154.tif 000012
【図１２】
0005529154.tif 000013
【図１３】
0005529154.tif 000014
【図１４】
0005529154.tif 000015
【図１５】
0005529154.tif 000016
【図１６】
0005529154.tif 000017
【図１７】
0005529154.tif 000018
【図１８】
0005529154.tif 000019
【図１９】
0005529154.tif 000020