(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外縁の一部に一方の傾斜と他方の傾斜とを備えたＶ形状のノッチが形成されるとともに表面に接着シートが貼付された半導体ウェハの外縁に沿ってカッタ刃を相対移動させて当該接着シートを切断するシート切断方法であって、
前記ノッチの一方の傾斜に沿って前記接着シートを切断する第１傾斜切断工程と、
前記ノッチの他方の傾斜に沿って前記接着シートを切断する第２傾斜切断工程と、
前記半導体ウェハの外縁に沿って前記接着シートを切断する外縁切断工程とを備え、
前記第１傾斜切断工程および第２傾斜切断工程において、前記カッタ刃の刃先を前記ノッチの傾斜に沿わせて前記接着シートを切断し、
前記第１傾斜切断工程および第２傾斜切断工程の少なくとも一方において、前記半導体ウェハの面交差方向から前記カッタ刃を前記接着シートに差し込む動作のみによって当該接着シートを切断することを特徴とするシート切断方法。
【請求項２】
外縁の一部に一方の傾斜と他方の傾斜とを備えたＶ形状のノッチが形成されるとともに表面に接着シートが貼付された半導体ウェハの外縁に沿ってカッタ刃を相対移動させて当該接着シートを切断するシート切断方法であって、
前記ノッチは、前記一方および他方の傾斜同士を結ぶ谷部を備え、
前記ノッチの一方の傾斜に沿って前記接着シートを切断する第１傾斜切断工程と、
前記ノッチの他方の傾斜に沿って前記接着シートを切断する第２傾斜切断工程と、
前記半導体ウェハの外縁に沿って前記接着シートを切断する外縁切断工程とを備え、
前記半導体ウェハの径方向外側から内側に前記カッタ刃の刃先を向けて前記第１傾斜切断工程を実施し、
この第１傾斜切断工程に続いて前記カッタ刃を回転させ、前記半導体ウェハの径方向外側から内側に前記刃先を向けて前記第２傾斜切断工程を実施し、
前記第１傾斜切断工程および第２傾斜切断工程の少なくとも一方の工程に続いて、前記カッタ刃を回転させ、前記谷部に沿うように前記刃先の向きを変更させながら前記接着シートを切断するとともに、前記第２傾斜切断工程の前の段階および前記外縁切断工程の前の段階で、一旦、前記カッタ刃を前記接着シートから隔離させる工程を実施することを特徴とするシート切断方法。
【請求項３】
外縁の一部に一方の傾斜と他方の傾斜とを備えたＶ形状のノッチが形成されるとともに表面に接着シートが貼付された半導体ウェハの外縁に沿ってカッタ刃を相対移動させて当該接着シートを切断するシート切断装置であって、
請求項１または請求項２に記載のシート切断方法によって前記接着シートを切断することを特徴とするシート切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハに貼付された接着シートを切断するシート切断方法およびシート切断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、被着体としての半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）の表面に保護テープ等の接着シートを貼付するとともに、貼付した接着シートをウェハの外縁に沿ってカッタ刃で切断する切断装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。この切断装置は、アライメントのために外縁の一部にＶ形状のノッチが形成された半導体ウェハを対象とし、その外縁に沿って接着シートを切断するとともにノッチに沿った部分の接着シートも切断するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１２５８７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された切断装置では、ノッチ部においてカッタ刃がノッチの傾斜に沿わずに移動して接着シートを切断するため、ノッチの谷部近傍に接着シートが残ってしまうことになる。このため、接着シートを貼付したウェハの裏面研削工程等において、ノッチ部に残った接着シートがウェハと研削刃（砥石）との間に挟まり、ウェハを破損させてしまう可能性がある。さらに、ノッチ部に残った接着シート部分を切っ掛けとして当該接着シートがウェハから剥がれてしまい、裏面研削工程等において使用される洗浄水がウェハ表面側に入り込むことによって、ウェハ表面の回路を破損させてしまう。
【０００５】
本発明の目的は、ノッチを有したウェハに貼付した接着シートにおけるノッチ部の切り残しを抑制することができるシート切断方法およびシート切断装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明のシート切断方法は、外縁の一部に一方の傾斜と他方の傾斜とを備えたＶ形状のノッチが形成されるとともに表面に接着シートが貼付された半導体ウェハの外縁に沿ってカッタ刃を相対移動させて当該接着シートを切断するシート切断方法であって、前記ノッチの一方の傾斜に沿って前記接着シートを切断する第１傾斜切断工程と、前記ノッチの他方の傾斜に沿って前記接着シートを切断する第２傾斜切断工程と、前記半導体ウェハの外縁に沿って前記接着シートを切断する外縁切断工程とを備え、前記第１傾斜切断工程および第２傾斜切断工程において、前記カッタ刃の刃先を前記ノッチの傾斜に沿わせて前記接着シートを切断し、前記第１傾斜切断工程および第２傾斜切断工程の少なくとも一方において、前記半導体ウェハの面交差方向から前記カッタ刃を前記接着シートに差し込む動作のみによって当該接着シートを切断する、という構成を採用している。
【０００７】
また、前記目的を達成するために、本発明の他のシート切断方法は、外縁の一部に一方の傾斜と他方の傾斜とを備えたＶ形状のノッチが形成されるとともに表面に接着シートが貼付された半導体ウェハの外縁に沿ってカッタ刃を相対移動させて当該接着シートを切断するシート切断方法であって、前記ノッチは、前記一方および他方の傾斜同士を結ぶ谷部を備え、前記ノッチの一方の傾斜に沿って前記接着シートを切断する第１傾斜切断工程と、前記ノッチの他方の傾斜に沿って前記接着シートを切断する第２傾斜切断工程と、前記半導体ウェハの外縁に沿って前記接着シートを切断する外縁切断工程とを備え、前記半導体ウェハの径方向外側から内側に前記カッタ刃の刃先を向けて前記第１傾斜切断工程を実施し、この第１傾斜切断工程に続いて前記カッタ刃を回転させ、前記半導体ウェハの径方向外側から内側に前記刃先を向けて前記第２傾斜切断工程を実施し、前記第１傾斜切断工程および第２傾斜切断工程の少なくとも一方の工程に続いて、前記カッタ刃を回転させ、前記谷部に沿うように前記刃先の向きを変更させながら前記接着シートを切断するとともに、前記第２傾斜切断工程の前の段階および前記外縁切断工程の前の段階で、一旦、前記カッタ刃を前記接着シートから隔離させる工程を実施する、という構成を採用している。
【０００９】
一方、本発明のシート切断装置は、外縁の一部に一方の傾斜と他方の傾斜とを備えたＶ形状のノッチが形成されるとともに表面に接着シートが貼付された半導体ウェハの外縁に沿ってカッタ刃を相対移動させて当該接着シートを切断するシート切断装置であって、前記いずれかのシート切断方法によって前記接着シートを切断することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
以上のような本発明によれば、第１傾斜切断工程および第２傾斜切断工程において、カッタ刃の刃先をノッチの傾斜に沿わせて接着シートを切断することで、ノッチ部分に接着シートが残ることがなく、ウェハの裏面研削工程等において、接着シートがウェハと研削刃との間に挟まってウェハを破損させてしまう事態を回避することができる。さらに、ノッチ部分に接着シートが残らないことから、その部分を切っ掛けとした接着シートの剥離を防止することができ、裏面研削工程等において、洗浄水等の浸入によるウェハの回路破損を防止することができる。
また、第１傾斜切断工程や第２傾斜切断工程において、カッタ刃を差し込む動作のみによって接着シートを切断するようにすれば、半導体ウェハの面に沿った方向へのカッタ刃の移動を省略することができ、カッタ刃の移動制御を簡略化することができる。
さらに、第１傾斜切断工程や第２傾斜切断工程に続いて、ノッチの谷部に沿って刃先を移動させて接着シートを切断するようにすれば、ノッチの谷部に接着シートが残ることを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明のシート切断装置を備えるシート貼付装置の全体図。
【図２】図１のシート切断装置の動作説明図。
【図３】図１のシート切断装置の図２とは異なる動作説明図。
【図４】図１のシート切断装置の図２、図３とは異なる動作説明図。
【図５】図１のシート切断装置の図２〜図４とは異なる動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態では、特に明示しない限り、「上」、「下」、「左」、「右」といった方位を示す用語は、図１を基準として用いる。
図１において、シート貼付装置１は、一方の面である表面ＷＡと他方の面である裏面ＷＢとを有した被着体としてのウェハＷに対し、回路が形成された表面ＷＡに接着シートＳを貼付するとともに、貼付した接着シートＳをウェハＷの外縁ＷＣに沿って切断する装置である。ここで、ウェハＷの外縁ＷＣの一部には、当該ウェハＷの結晶方位を示すためのＶ形状のノッチＫ（図２〜図５参照）が形成されており、このノッチＫは、外縁ＷＣから当該ウェハＷの径方向内側に向かう一方の傾斜としての傾斜Ｋ１と、他方の傾斜としての傾斜Ｋ２と、これらの傾斜Ｋ１，Ｋ２同士を結ぶ谷部Ｋ３とを有して形成されている。
【００１３】
シート貼付装置１は、裏面ＷＢ側からウェハＷを支持する支持手段２と、ウェハＷの表面ＷＡに対向させて帯状の接着シートＳを供給する供給手段５と、供給された接着シートＳを外周テーブル３２およびウェハＷの表面ＷＡに押圧して貼付する押圧手段６と、ウェハＷに貼付された接着シートＳを当該ウェハＷの外縁ＷＣに沿って切断するシート切断装置７と、各部の動作を制御する制御手段８とを備えて構成されている。
【００１４】
支持手段２は、図示しない吸引口を介して裏面ＷＢ側からウェハＷを吸着保持するとともに、ウェハＷの外縁ＷＣと略同一の外形でかつ平坦な支持面２２を有する円盤形状のテーブル２１と、平面視方形の形状に設けられ、内部に円形の穴３４が形成されるとともに、テーブル２１の支持面２２と平行でかつ平坦な平坦面３３が形成された外周テーブル３２と、穴３４の底面部３１上に固定されるとともに、出力軸４２がテーブル２１下面に固定された駆動機器としての直動モータ４１とを備えている。なお、平坦面３３には、貼付された接着シートＳを剥離可能なように、フッ素樹脂等が積層されて不接着処理が施されている。
【００１５】
供給手段５は、支持手段２に対して左側である接着シートＳの供給側に設けられる供給側フレーム５Ａと、支持手段２に対して右側である回収側に設けられる回収側フレーム５Ｂと、図示しないリニアモータなどの駆動機器で駆動されて左右方向に移動自在に設けられる移動フレーム５Ｃとを備えて構成されている。
【００１６】
供給側フレーム５Ａには、基材ＢＳに接着剤ＡＤが積層され、ロール状に巻回された接着シートＳを支持する支持ローラ５１と、支持ローラ５１から引き出された接着シートＳを案内するガイドローラ５２と、駆動機器としてのモータ５３Ａで駆動されて接着シートＳを送り出す駆動ローラ５３と、この駆動ローラ５３との間に接着シートＳを挟み込むピンチローラ５４とが設けられている。回収側フレーム５Ｂには、図示しないモータ等の駆動機器で駆動されて接着シートＳの不要部分を巻き取って回収する回収ローラ５５と、接着シートＳの不要部分を案内する２つのガイドローラ５６とが設けられている。移動フレーム５Ｃには、駆動機器としてのモータ５７Ａで駆動される駆動ローラ５７と、この駆動ローラ５７との間に接着シートＳを挟み込むピンチローラ５８とが設けられている。
【００１７】
押圧手段６は、図示しないリニアモータなどの駆動機器で駆動されて左右方向に移動自在に設けられるフレーム６１と、このフレーム６１に支持されて接着シートＳの基材ＢＳ側に当接可能な押圧ローラ６２と、フレーム６１を上下動させる図示しない直動モータ等の駆動機器とを備えて構成されている。なお、押圧ローラ６２は、ゴムや樹脂等で構成された弾性変形可能な部材によって形成されている。
【００１８】
シート切断装置７は、支持手段２よりも図１中紙面奥側に設けられた駆動機器としての多関節ロボット７１と、この多関節ロボット７１の先端部に設けられるカッタ刃７２とを備えて構成されている。多関節ロボット７１は、ベース７３と、このベース７３に対して鉛直軸ＰＡ（上下方向の軸）を中心として回転可能に軸支された第１アーム７１１と、この第１アーム７１１に対して鉛直軸ＰＡに直交する水平軸（図１では紙面直交方向の軸）を中心として回転可能に軸支された第２アーム７１２と、この第２アーム７１２に対して水平軸を中心として回転可能に軸支された第３アーム７１３と、この第３アーム７１３の延出軸ＥＡを中心として回転可能に軸支された第４アーム７１４と、この第４アーム７１４に対して延出軸ＥＡに直交する軸（図１では紙面直交方向の軸）を中心として回転可能に軸支された第５アーム７１５と、この第５アーム７１５の延出軸ＣＡを中心として回転可能に軸支された第６アーム７１６とを備え、第６アーム７１６に設けられた図示しないチャック機構によって、カッタ刃７２が取り付けられたカッターツール７８を支持可能に設けられている。
【００１９】
制御手段８は、ＣＰＵなどの演算手段やメモリなどの記憶手段を有したコンピュータからなる制御装置８１と、オペレータの操作や適宜な検出手段に基づいてウェハＷや接着シートＳ等に関する各種情報を制御装置８１に入力する入力手段８２とを備えて構成されている。ここで、各種情報としては、ウェハＷの径寸法や厚み寸法、ノッチＫの形状に関する寸法、位置情報、接着シートＳの厚み寸法などが例示できる。なお、それら情報は、入力手段８２から制御装置８１に入力してもよいし、図示しないセンサ等の検出手段によって自動で制御装置８１に入力してもよいし、予め制御装置８１のメモリに記憶されていてもよい。制御装置８１は、各種情報に応じて、外縁ＷＣに沿った接着シートＳの切断経路や、ノッチＫ部分の切断手順、接着シートＳへのカッタ刃７２の差し込み深さなどの制御指令をシート切断装置７等の駆動機器に出力する。
【００２０】
以下、シート貼付装置１の動作を説明する。
先ず、各種情報を入力手段８２から制御装置８１に入力してシート貼付装置１をスタンバイ状態としておく。その後、ウェハＷがテーブル２１の支持面２２に載置されると、供給手段５は、駆動ローラ５７を停止したままで移動フレーム５Ｃを支持手段２の左側から右方向に移動し、この移動に同期して支持ローラ５１から接着シートＳの未使用部分を繰り出すとともに、回収ローラ５５で接着シートＳの不要部分を巻き取る。これにより、ウェハＷの表面ＷＡの上方に接着シートＳの接着剤ＡＤ側を対向させて供給する。次に、制御装置８１からの指令を受けた直動モータ４１は、ウェハＷの表面ＷＡと外周テーブル３２の平坦面３３とが同一平面内に位置するように、テーブル２１を上昇または下降させる。次に、押圧手段６は、図示しない直動モータを駆動して押圧ローラ６２を下降させ、この押圧ローラ６２で接着シートＳを押し下げ、接着剤ＡＤ面を平坦面３３に押圧する。さらに、押圧手段６は、押圧ローラ６２を押圧したままで図示しないリニアモータを駆動し、押圧ローラ６２を左方向に移動させて接着シートＳ上を転動させ、平坦面３３およびウェハＷの表面ＷＡに順次接着剤ＡＤ面を押圧して貼付する。
【００２１】
以上のようにして平坦面３３およびウェハＷの表面ＷＡに接着シートＳを貼付した後、シート切断装置７は、多関節ロボット７１を駆動して制御手段８に入力されたウェハＷの径寸法の情報を基にしてウェハＷの外縁ＷＣに沿ってカッタ刃７２で接着シートＳを切断する。この際、制御装置８１は、多関節ロボット７１やカッターツール７８の動作を制御し、ノッチＫの形状に応じてカッタ刃７２の移動経路や刃先７２Ａの向きを適宜に変更しつつ接着シートＳを切断する。
【００２２】
具体的には、多関節ロボット７１の動作によりカッタ刃７２を回転させ、ウェハＷの径方向内側に刃先７２Ａを向け、刃先７２Ａを形成する刃の左側面７２Ｂを傾斜Ｋ１と平行となるようにする。次に、図２(Ａ)に示すように、カッタ刃７２を傾斜Ｋ１におけるウェハＷの径方向外側に下降させ、当該カッタ刃７２を接着シートＳに突き刺す。次いで、カッタ刃７２を傾斜Ｋ１に沿ってウェハＷの径方向内側に移動させる（第１傾斜切断工程）。その後、カッタ刃７２を回転させ、谷部Ｋ３に沿うように刃先７２Ａの向きを変更させながらカッタ刃７２をノッチＫの谷部Ｋ３の形状に沿って移動させることで、谷部Ｋ３の一部又は全部に沿って接着シートＳを切断し、第１切断部Ｃ１を形成する（図２(Ｂ)参照）。
そして、一旦、カッタ刃７２を接着シートＳから離隔させてから、カッタ刃７２を回転させ、ウェハＷの径方向内側に刃先７２Ａを向け、刃先７２Ａを形成する刃の右側面７２Ｃを傾斜Ｋ２と平行となるようにする。次に、図２(Ｂ)に示すように、カッタ刃７２を傾斜Ｋ２におけるウェハＷの径方向外側に下降させ、当該カッタ刃７２を接着シートＳに突き刺す。次いで、カッタ刃７２を傾斜Ｋ２に沿ってウェハＷの径方向内側に移動させる（第２傾斜切断工程）。その後、カッタ刃７２を回転させ、谷部Ｋ３に沿うように刃先７２Ａの向きを変更させながらカッタ刃７２をノッチＫの谷部Ｋ３の形状に沿って移動させることで、谷部Ｋ３に沿って接着シートＳを切断し、第１切断部Ｃ１と連なる第２切断部Ｃ２を形成する（図２(Ｃ)参照）。
その後、再度、カッタ刃７２を接着シートＳから離隔させてから、カッタ刃７２を回転させ、ウェハＷの円周方向に刃先７２Ａを向け、刃の左側面７２ＢがウェハＷの接線方向（刃先７２Ａが位置するウェハＷの外縁における接線方向であって、以降「円周切断方向」という）に向くようにする（図２（Ｃ）参照）。次に、図２(Ｃ)に示すように、第２切断部Ｃ２のウェハＷの径方向外側に連なるようにカッタ刃７２を接着シートＳに突き刺し、カッタ刃７２を回転させ、ウェハＷの外縁ＷＣに沿うように刃先７２Ａを向けるとともに、ウェハＷの外縁ＷＣに沿うように刃先７２Ａの向きを変更させながら、カッタ刃７２をウェハＷの外縁ＷＣの形状に沿って移動させる。そして、外縁ＷＣに沿って切断された切断部が、第１切断部Ｃ１に連なることで、ウェハＷの全周に沿って接着シートＳが切断される（外縁切断工程）。
【００２３】
以上のようにして接着シートＳを切断したら、シート切断装置７がウェハＷ上から退避するとともに押圧ローラ６２が上昇し、接着シートＳが貼付されたウェハＷは、適宜な搬送装置によって搬出されて裏面研削などの後工程に送られる。その後、供給手段５は、移動フレーム５Ｃを左方向に移動させることで、ウェハＷの外縁ＷＣに沿って切断され、平坦面３３上に貼付されている接着シートＳの不要部分を駆動ローラ５７で剥離する。そして、次のウェハＷが支持手段２に支持されると、以降上述と同様の動作が繰り返される。
【００２４】
なお、シート切断装置７による接着シートＳの切断手順としては、図２で説明したものに限らず、図３〜図５に示す各手順によって接着シートＳを切断してもよい。
図３に示す切断手順では、先ず、カッタ刃７２を回転させ、ウェハＷの径方向内側に刃先７２Ａを向け、刃の左側面７２Ｂを傾斜Ｋ１と平行となるようにする。次に、図３(Ａ)に示すように、カッタ刃７２を傾斜Ｋ１におけるウェハＷの径方向外側に下降させ、当該カッタ刃７２を接着シートＳに突き刺す。次いで、カッタ刃７２を傾斜Ｋ１に沿ってウェハＷの径方向内側に移動させることで、切断部Ｃ３が形成される（図３(Ｂ)参照）（第１傾斜切断工程）。その後、カッタ刃７２を回転させ、谷部Ｋ３に沿うように刃先７２Ａの向きを変更させながらカッタ刃７２をノッチＫの谷部Ｋ３の形状に沿って移動させることで、図３(Ｂ)に示すように、谷部Ｋ３に沿って接着シートＳを切断する。そして、カッタ刃７２を接着シートＳから離隔させることなく、カッタ刃７２を回転させ、ウェハＷの径方向外側に刃先７２Ａを向け、刃の左側面７２Ｂを傾斜Ｋ２と平行となるようにする。次いで、傾斜Ｋ２に沿ってカッタ刃７２をウェハＷの径方向外側に移動させる（第２傾斜切断工程）。その後、カッタ刃７２を接着シートＳから離隔させることなく、図３(Ｃ)に示すように、カッタ刃７２を回転させ、刃先７２Ａを円周切断方向に向ける。次いで、カッタ刃７２を回転させ、ウェハＷの外縁ＷＣに沿うように刃先７２Ａを向けるとともに、ウェハＷの外縁ＷＣに沿うように刃先７２Ａの向きを変更させながら、カッタ刃７２をウェハＷの外縁ＷＣの形状に沿って移動させる。そして、外縁ＷＣに沿って切断された切断部が、先に切断した切断部Ｃ３に連なることで、ウェハＷの全周に沿って接着シートＳが切断される（外縁切断工程）。
なお、図４に示す切断手順のように、ウェハＷの外縁ＷＣの所定位置における接着シートＳにカッタ刃７２を突き刺して切断部Ｃ４を形成してから、図３で示した切断手順を行うようにしてもよい。
【００２５】
図５に示す切断手順では、先ず、カッタ刃７２を回転させウェハＷの径方向内側に刃先７２Ａを向け、刃の左側面７２Ｂを傾斜Ｋ１と平行となるようにする。次に、図５(Ａ)に示すように、カッタ刃７２を傾斜Ｋ１におけるウェハＷの径方向外側に下降させ、ウェハＷの面交差方向からカッタ刃７２を接着シートＳに突き刺す。次いで、カッタ刃７２を傾斜Ｋ１に沿って移動させることなく、図５(Ｂ)に示すように、カッタ刃７２を深く差し込むことによって、カッタ刃７２の切断方向の幅によって傾斜Ｋ１に沿った接着シートＳの切断部Ｃ５を形成する（図５(Ｃ)参照）（第１傾斜切断工程）。なお、ノッチＫの傾斜Ｋ１、Ｋ２の長さは０．５mm〜３mm程度であり、カッタ刃７２の切断方向の幅は１０mmに設定されている。そして、一旦、カッタ刃７２を接着シートＳから離隔させてから、カッタ刃７２を回転させ、ウェハＷの径方向内側に刃先７２Ａを向け、刃の右側面７２Ｃを傾斜Ｋ２と平行となるようにする。次に、図５(Ｃ)に示すように、カッタ刃７２を傾斜Ｋ２におけるウェハＷの径方向外側に下降させ、当該カッタ刃７２を接着シートＳに突き刺す。その後、カッタ刃７２を傾斜Ｋ２に沿って移動させることなく、図５(Ｄ)に示すように、カッタ刃７２を深く差し込むことによって、カッタ刃７２の切断方向の幅によって傾斜Ｋ２に沿った接着シートＳの切断部Ｃ６を形成する（図５(Ｅ)参照）（第２傾斜切断工程）。その後、図５(Ｅ)に示すように、カッタ刃７２を上方に移動させてカッタ刃７２の差し込み深さを浅くし、カッタ刃７２を回転させ、谷部Ｋ３に沿うように刃先７２Ａの向きを変更させながらカッタ刃７２をノッチＫの谷部Ｋ３の形状に沿って移動させることで、谷部Ｋ３に沿って接着シートＳを切断し、切断部Ｃ６が切断部Ｃ５と連なる。次いで、再度、カッタ刃７２を接着シートＳから離隔させてから、カッタ刃７２を回転させ、円周切断方向に刃先７２Ａを向ける。次に、第６切断部Ｃ６のウェハＷの径方向外側に連なるように、カッタ刃７２を接着シートＳに突き刺し、カッタ刃７２を回転させ、ウェハＷの外縁ＷＣに沿うように刃先７２Ａを向けるとともに、ウェハＷの外縁ＷＣに沿うように刃先７２Ａの向きを変更させながら、カッタ刃７２をウェハＷの外縁ＷＣの形状に沿って移動させる。そして、切断部が切断部Ｃ５に連なることで、ウェハＷの全周に沿って接着シートＳが切断される（外縁切断工程）。
【００２６】
以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、ノッチＫの傾斜Ｋ１，Ｋ２および谷部Ｋ３に刃先が沿うようにカッタ刃７２を回転させ、切断方向に刃先７２Ａを向けて接着シートＳを切断することで、ノッチＫ部分に接着シートＳの切り残しが存在しない、あるいは最小限の切り残ししか存在しないようにでき、後工程であるウェハＷの裏面研削工程等において、接着シートＳの切り残しがウェハＷと研削刃との間に挟まってウェハＷを破損させたり、切り残しの部分が剥離して洗浄水が入り込んだりすることが防止できる。
【００２７】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２８】
例えば、本発明における半導体ウェハとしては、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示できる。また、接着シートＳは、マウント用シートや、保護シート、ダイシングテープ、ダイボンディングテープなど、半導体ウェハに貼付される各種シートやテープ、フィルムであってもよい。
また、前記実施形態では、シート貼付装置１の一部にシート切断装置７を設けた構成を説明したが、本発明のシート切断装置は、シート貼付装置とは別に設けられてよいし、シート貼付装置以外の装置の一部として設けられるものであってもよい。
また、前記実施形態では、シート切断装置７が多関節ロボット７１を有して構成されていたが、これに限らず、前述の切断手順を実施できる程度にカッタ刃の動作を制御可能なものであればよい。
さらに、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００２９】
７          シート切断装置
７２        カッタ刃
７２Ａ      刃先
Ｋ          ノッチ
Ｋ１，Ｋ２  傾斜
Ｋ３        谷部
Ｓ          接着シート
Ｗ          ウェハ
ＷＡ        表面
ＷＢ        裏面
ＷＣ        外縁
【図１】
0005554100.tif 000002
【図２】
0005554100.tif 000003
【図３】
0005554100.tif 000004
【図４】
0005554100.tif 000005
【図５】
0005554100.tif 000006