(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気中に含まれる各種複数のガス成分のうちの所定の対象ガスを除去するガス除去装置の除去効率を測定する除去効率測定方法において、
前記除去効率測定方法が、前記対象ガスと同一の試験用ガスと、前記ガス除去装置に除去されずにそれを通過するトレーサーガスと、空気中に含まれる前記試験用ガスおよび前記トレーサーガスの濃度を測定するガス濃度測定装置とを利用し、所定量の前記試験用ガスと前記トレーサーガスとを前記ガス除去装置の入口側から該ガス除去装置に同時に供給するガス供給プロセスと、前記ガス除去装置の入口に流入する空気に含まれる前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの濃度を、前記ガス濃度測定装置を利用して測定するガス濃度第１測定プロセスと、前記ガス除去装置を通ってその出口から流出した空気に含まれる前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの濃度を、前記ガス濃度測定装置を利用して測定するガス濃度第２測定プロセスとを実行することを特徴とする除去効率測定方法。
【請求項２】
前記除去効率測定方法が、前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの供給を停止した後、前記ガス除去装置から飛散してその出口から流出した空気に含まれる前記試験用ガスの濃度を、前記ガス濃度測定装置を利用して測定するガス濃度第３測定プロセスを含む請求項１に記載の除去効率測定方法。
【請求項３】
前記除去効率測定方法が、前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの供給を停止した後、前記ガス除去装置の入口に流入する空気に含まれる前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの濃度を、前記ガス濃度測定装置を利用して測定するガス濃度第４測定プロセスを含む請求項２に記載の除去効率測定方法。
【請求項４】
前記除去効率測定方法が、前記ガス除去装置の対象ガスに対する使用可能な限界効率に対応させて該ガス除去装置の入口側から供給する前記試験用ガスの空気に対する濃度の倍率を決定する濃度倍率決定プロセスを含む請求項１ないし請求項３いずれかに記載の除去効率測定方法。
【請求項５】
前記ガス供給プロセスでは、前記ガス除去装置の入口側から供給する前記試験用ガスの濃度が前記ガス濃度測定装置の検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高く、前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの供給時間が同一である請求項１ないし請求項４いずれかに記載の除去効率測定方法。
【請求項６】
前記ガス供給プロセスにおける前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの前記ガス除去装置の入口側への供給時では、前記ガス除去装置の周囲の空気の風量または風速が不均一である請求項１ないし請求項５いずれかに記載の除去効率測定方法。
【請求項７】
前記除去効率測定方法では、前記対象ガスを除去する使用中の状態にある前記ガス除去装置の除去効率を測定する請求項１ないし請求項６いずれかに記載の除去効率測定方法。
【請求項８】
前記ガス濃度測定装置が、複数種類のガスの濃度を連続して同時に測定することが可能な光音響ガスモニタである請求項１ないし請求項７いずれかに記載の除去効率測定方法。
【請求項９】
前記ガス除去装置が、空気中の前記対象ガスを吸着するガス除去エアフィルタである請求項１ないし請求項８いずれかに記載の除去効率測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気中に含まれる各種複数のガス成分のうちの所定の対象ガスを除去するガス除去装置の除去効率を測定する除去効率測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
原子力施設から放出される排気ガスに含まれる放射性ヨウ素をヨウ素吸着材によって除去するヨウ素フィルタの漏れを試験するリーク試験方法がある（特許文献１参照）。このリーク試験方法は、空気の組成を変化させる所定のガス成分を含ませた試験空気をヨウ素フィルタに流入させ、その試験空気がヨウ素フィルタの入口から出口に達したときの時間を検出することでヨウ素フィルタにおけるヨウ素の漏れの可能性を試験する。
【０００３】
このリーク試験方法では、正常にヨウ素吸着材が設置されたヨウ素フィルタのガス成分の通過時間がガス成分の種類や濃度（流量）、ヨウ素吸着材の量（層厚）に依存することに着目し、空気の組成を変化させるガス成分を含ませた試験空気の正常なヨウ素フィルタにおける比較通過時間をあらかじめ事前の試験によって求めておく。ヨウ素フィルタにおける大気中のガス成分のリークがあると、そのガス成分がヨウ素吸着剤と吸着・脱着反応を起こさずにヨウ素フィルタ中を通過し、リークがない場合と比較して試験空気が早くヨウ素フィルタから出てしまう。ゆえに、リークがある場合のヨウ素フィルタにおける試験空気の通過時間はリークがない場合のヨウ素フィルタにおける試験空気の通過時間よりも早い。したがって、正常なヨウ素フィルタにおいてあらかじめ求めた試験空気の比較通過時間と試験対象のヨウ素フィルタにおける試験空気の通過時間とを比較することで、そのヨウ素フィルタにおけるリークの有無を判定することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１４８４１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記特許文献１に開示のリーク試験方法は、ヨウ素とは異なるガス成分を含む試験空気をヨウ素フィルタにおけるヨウ素のリーク有無の試験に利用し、その試験空気がヨウ素フィルタの入口から出口に達したときの時間を検出することでヨウ素フィルタにおけるヨウ素のリークの有無を推定する。ゆえに、ヨウ素そのものを利用してヨウ素フィルタにおけるヨウ素のリークを試験するものではないから、そのヨウ素フィルタにおいてヨウ素そのもののリークがあるかの確証を得ることが難しく、試験結果に高い信頼性や信憑性を求めることはできない。また、このリーク試験方法は、ヨウ素フィルタの入口側に空気導入装置を設置し、ヨウ素フィルタの出口側にガス測定装置を設置するとともに、それら装置とヨウ素フィルタとの間を密閉する密閉機構を取り付け、試験空気の漏れを防止しつつ、試験空気の流速や流量を一定に保持する必要があり、試験に手間と時間とを要するのみならず、試験空気の流速や流量を一定に保持することができない環境下で使用されている使用中のヨウ素フィルタでは試験を行うことができない。
【０００６】
本発明の目的は、対象ガスを直接利用してガス除去装置におけるその対象ガスの除去効率を測定することができ、信頼性や信憑性の高い除去効率を測定することができる除去効率測定方法を提供することにある。本発明の他の目的は、使用中にあるガス除去装置の除去効率を測定することができる除去効率測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するための本発明の前提は、空気中に含まれる各種複数のガス成分のうちの所定の対象ガスを除去するガス除去装置の除去効率を測定する除去効率測定方法である。
【０００８】
前記前提における本発明の特徴としては、除去効率測定方法が、対象ガスと同一の試験用ガスと、ガス除去装置に除去されずにそれを通過するトレーサーガスと、空気中に含まれる試験用ガスおよびトレーサーガスの濃度を測定するガス濃度測定装置とを利用し、所定量の試験用ガスとトレーサーガスとをガス除去装置の入口側からガス除去装置に同時に供給するガス供給プロセスと、ガス除去装置の入口に流入する空気に含まれる試験用ガスとトレーサーガスとの濃度をガス濃度測定装置を利用して測定するガス濃度第１測定プロセスと、ガス除去装置を通ってその出口から流出した空気に含まれる試験用ガスとトレーサーガスとの濃度をガス濃度測定装置を利用して測定するガス濃度第２測定プロセスとを実行することにある。
【０００９】
本発明の一例として除去効率測定方法は、試験用ガスとトレーサーガスとの供給を停止した後、ガス除去装置から飛散してその出口から流出した空気に含まれる試験用ガスの濃度をガス濃度測定装置を利用して測定するガス濃度第３測定プロセスを含む。
【００１０】
本発明の他の一例として除去効率測定方法は、試験用ガスとトレーサーガスとの供給を停止した後、ガス除去装置の入口に流入する空気に含まれる試験用ガスとトレーサーガスとの濃度をガス濃度測定装置を利用して測定するガス濃度第４測定プロセスを含む。
【００１１】
本発明の他の一例として除去効率測定方法は、ガス除去装置の対象ガスに対する使用可能な限界効率に対応させてガス除去装置の入口側から供給する試験用ガスの空気に対する濃度の倍率を決定する濃度倍率決定プロセスを含む。
【００１２】
本発明の他の一例として、ガス供給プロセスでは、ガス除去装置の入口側から供給する試験用ガスの濃度がガス濃度測定装置の検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高く、試験用ガスとトレーサーガスとの供給時間が同一である。
【００１３】
本発明の他の一例として、ガス供給プロセスにおける試験用ガスとトレーサーガスとのガス除去装置の入口側への供給時では、ガス除去装置の周囲の空気の風量または風速が不均一である。
【００１４】
本発明の他の一例として、除去効率測定方法では、対象ガスを除去する使用中の状態にあるガス除去装置の除去効率を測定する。
【００１５】
本発明の他の一例としては、ガス濃度測定装置が複数種類のガスの濃度を連続して同時に測定することが可能な光音響ガスモニタである。
【００１６】
本発明の他の一例としては、ガス除去装置が空気中の前記対象ガスを吸着するガス除去エアフィルタである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明にかかる除去効率測定方法によれば、所定量の試験用ガスとトレーサーガスとをガス除去装置の入口側から同時に供給し、ガス除去装置の入口に流入する空気に含まれる試験用ガスおよびトレーサーガスの濃度をガス濃度測定装置を利用して測定するとともに、ガス除去装置を通ってその出口から流出した空気に含まれる試験用ガスおよびトレーサーガスの濃度を、ガス濃度測定装置を利用して測定するから、その測定中にトレーサーガスがガス除去装置の出入口側においてガス濃度測定装置に検出された場合、試験用ガスがガス除去装置に確実に流入したことが実証され、逆に、その測定中にトレーサーガスがガス除去装置の出入口側においてガス濃度測定装置に検出されない場合、試験用ガスもガス除去装置に流入していないことが実証される。ゆえに、ガス除去装置の出入口側においてトレーサーガスが検出されることでその測定中における試験用ガスのガス除去装置への流入を認定することができ、試験用ガスを使用してガス除去装置が設置された環境下の空気に含まれる対象ガスに対するガス除去装置の除去効率を確実に測定することができる。除去効率測定方法は、対象ガスと同一の試験用ガスを利用してガス除去装置における除去効率を測定するから、対象ガスに対するガス除去装置の除去効率を測定したものとみなすことができ、対象ガスに対するガス除去装置の除去効率を高い精度で測定することができるとともに、対象ガスに対するガス除去装置の信頼性や信憑性の高い除去効率を測定することができる。除去効率測定方法は、ガス除去装置の出口側においてトレーサーガスとともに所定濃度の試験用ガスがガス濃度測定装置に検出された場合、そのガス除去装置にリーク等の構造的な欠陥があることやガス除去装置の性能が低下したことを知ることができる。また、それによってそのガス除去装置の使用限界を知ることができるから、ガス除去装置を交換する時期を判断することができる。この除去効率測定方法は、それを実施することでガス除去装置を適時に交換することができ、空気に対象ガスが含まれたとしても、ガス除去装置を利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。
【００１８】
試験用ガスとトレーサーガスとの供給を停止した後、ガス除去装置から飛散してその出口から流出した空気に含まれる試験用ガスの濃度を、ガス濃度測定装置を利用して測定する除去効率測定方法は、試験用ガスとトレーサーガスとの供給を停止した後、所定濃度の試験用ガスがガス濃度測定装置に検出された場合、そのガス除去装置にリーク等の構造的な欠陥以外の化学的な欠陥等の他の欠陥があることを知ることができる。また、それによってそのガス除去装置の使用限界を知ることができるから、ガス除去装置を交換する時期を判断することができる。この除去効率測定方法は、ガス除去装置を適時に交換することができ、空気に対象ガスが含まれたとしても、ガス除去装置を利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。
【００１９】
試験用ガスとトレーサーガスとの供給を停止した後、ガス除去装置の入口に流入する空気に含まれる試験用ガスとトレーサーガスとの濃度をガス濃度測定装置を利用して測定する除去効率測定方法は、試験用ガスとトレーサーガスとの供給を停止した後、ガス除去装置の入口側において所定濃度の試験用ガスやトレーサーガスが濃度測定装置に検出されない場合、それらガスの供給が確実に停止したことが実証される。この場合、ガス除去装置の出口側において所定濃度の試験用ガスがガス濃度測定装置に検出された場合、そのガス除去装置に物理的な欠陥以外の化学的な欠陥等の他の欠陥があることを知ることができる。また、それによってそのガス除去装置の使用限界を知ることができるから、ガス除去装置を交換する時期を判断することができる。この除去効率測定方法は、ガス除去装置を適時に交換することができ、空気に対象ガスが含まれたとしても、ガス除去装置を利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。
【００２０】
ガス除去装置の対象ガスに対する使用可能な限界効率に対応させて該ガス除去装置の入口側から供給する試験用ガスの空気に対する濃度の倍率を決定する除去効率測定方法は、ガス除去装置の使用環境を考慮しつつ、ガス除去装置の交換の指標となる限界効率に応じて試験用ガスの空気に対する濃度の倍率を自由に決定することができる。この除去効率測定方法は、ガス除去装置の限界効率に応じた倍率の濃度の試験用ガスがガス濃度測定装置に検出された場合、そのガス除去装置の使用限界を知ることができ、ガス除去装置を交換する時期を判断することができる。この除去効率測定方法は、ガス除去装置の限界効率を考慮しつつガス除去装置を適時に交換することができ、空気に対象ガスが含まれたとしても、ガス除去装置を利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。
【００２１】
ガス除去装置の入口側から供給する試験用ガスの濃度がガス濃度測定装置の検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高く、試験用ガスとトレーサーガスとの供給時間が同一である除去効率測定方法は、必要以上に高い濃度の試験用ガスを供給すると、試験用ガスによってガス除去装置の性能を低下させることになるが、トレーサーガスを利用して試験用ガスのガス除去装置への流入を実証することができるから、ガス濃度測定装置の検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高い濃度の試験用ガスを除去効率の測定に使用することができるとともに、試験用ガスの供給時間を短くすることができ、ガス除去装置の性能を低下させることなく、そのガス除去装置の除去効率を確実に測定することができる。除去効率測定方法は、ガス濃度測定装置の検出限界濃度にあわせて試験用ガスの濃度を自由に設定することができる。この除去効率測定方法は、試験用ガスとトレーサーガスとの供給時間が同一であるから、その測定中にトレーサーガスがガス濃度測定装置に検出された場合、試験用ガスがガス除去装置に流入したことが確実に実証され、逆に、その測定中にトレーサーガスがガス濃度測定装置に検出されない場合、試験用ガスもガス除去装置に流入していないことが確実に実証される。ゆえに、ガス除去装置の出口側においてトレーサーガスが検出されることでその測定中における試験用ガスのガス除去装置への流入を確証することができ、試験用ガスを使用してガス除去装置が設置された環境下の空気に含まれる対象ガスに対するガス除去装置の除去効率を確実に測定することができる。
【００２２】
試験用ガスとトレーサーガスとのガス除去装置の入口側への供給時ではガス除去装置の周囲の空気の風量または風速が不均一である除去効率測定方法は、ガス除去装置の実際の使用環境では空気の風量または風速が不均一であり、そのような環境下でガス除去装置の除去効率を測定することで、ガス除去装置の実際の使用環境に応じた除去効率を測定することができ、ガス除去装置の現実的な使用限界を知ることができるとともに、ガス除去装置を交換する時期を具体的に判断することができる。この除去効率測定方法は、ガス除去装置の実際の使用環境を考慮しつつガス除去装置を適時に交換することができ、空気に対象ガスが含まれたとしても、ガス除去装置を利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。
【００２３】
対象ガスを除去する使用中の状態にあるガス除去装置の除去効率を測定する除去効率測定方法は、実際に設置された使用中のガス除去装置の除去効率を測定することで、その使用中のガス除去装置の欠陥の有無を知ることができ、それによってそのガス除去装置の使用限界を知ることができるとともに、ガス除去装置を交換する時期を具体的に判断することができる。この除去効率測定方法は、ガス除去装置の実際の使用環境においてガス除去装置を適時に交換することができ、空気に対象ガスが含まれたとしても、ガス除去装置を利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。
【００２４】
ガス濃度測定装置が複数種類のガスの濃度を連続して同時に測定することが可能な光音響ガスモニタである除去効率測定方法は、複数種類のガスの濃度を連続かつ同時に測定する光音響ガスモニタを使用することで、試験用ガスとトレーサーガスとを所定時間連続してガス除去装置に流入させたとしても、それらガスの濃度が光音響ガスモニタによって測定されるから、ガス除去装置の除去効率を高い精度で測定することができ、対象ガスに対するガス除去装置の信頼性や信憑性の高い除去効率を測定することができる。
【００２５】
ガス除去装置が空気中の対象ガスを除去するガス除去エアフィルタである除去効率測定方法は、ガス除去エアフィルタの出口側においてトレーサーガスが検出されることで、その測定中における試験用ガスのガス除去エアフィルタへの流入を確証することができ、試験用ガスを使用してガス除去エアフィルタが設置された環境下の空気に含まれる対象ガスに対するガス除去エアフィルタの除去効率を確実に測定することができる。除去効率測定方法は、対象ガスと同一の試験用ガスを利用してガス除去エアフィルタにおける除去効率を測定するから、対象ガスに対するエアフィルタの除去効率を測定したものとみなすことができ、対象ガスに対するエアフィルタの除去効率を高い精度で測定することができるとともに、対象ガスに対するエアフィルタの信頼性や信憑性の高い除去効率を測定することができる。除去効率測定方法は、ガス除去エアフィルタの出口側においてトレーサーガスとともに所定濃度の試験用ガスがガス濃度測定装置に検出された場合、そのエアフィルタに欠陥があることを知ることができる。また、それによってそのガス除去エアフィルタの使用限界を知ることができるから、エアフィルタを交換する時期を判断することができる。この除去効率測定方法は、ガス除去エアフィルタを適時に交換することができ、空気に対象ガスが含まれたとしても、エアフィルタを利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】一例として示す除去効率測定システムの構成図。
【図２】一例として示すガス除去エアフィルタの斜視図。
【図３】ディスプレイに表示された初期画面の一例を示す図。
【図４】濃度倍率設定画面の一例を示す図。
【図５】条件設定画面の一例を示す図。
【図６】システムによって実行される除去効率測定方法のフローチャート。
【図７】図６から続くフローチャート。
【図８】濃度測定データ表示画面の一例を示す図。
【図９】ガス供給停止後サンプリングにおける条件設定画面の一例を示す図。
【図１０】他の一例として示す図６から続くフローチャート。
【図１１】図１０から続くフローチャート。
【図１２】濃度測定データ表示画面の他の一例を示す図。
【図１３】他の一例として示す除去効率測定システムの構成図。
【図１４】光音響ガスモニタによるガス測定を説明する図。
【図１５】システムによって実行される除去効率測定方法のフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
一例として示す除去効率測定システムの構成図である図１等の添付の図面を参照し、本発明にかかる除去効率測定方法の詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図２は、一例として示すガス除去エアフィルタ１１の斜視図である。除去効率測定システム１０Ａは、所定の除去対象ガスが発生するおそれがある環境下に設置されたガス除去エアフィルタ１１の対象ガスの除去効率を測定する除去効率測定方法を実行する。
【００２８】
除去効率測定システム１０Ａは、ガス除去エアフィルタ１１（ガス除去装置）と、ガス供給ユニット１２と、第１サンプリングユニット１３と、第２空気サンプリングユニット１４と、光音響ガスモニタ１５，１６（ガス濃度測定装置）と、コントローラ１７とから形成されている。本実施の形態ではガス除去装置としてガス除去エアフィルタ１１を例示しているが、ガス除去装置をガス除去エアフィルタ１１に限定するものではなく、他のすべてのガス除去装置を用いて本発明にかかる除去効率測定方法を実行することができる。また、ガス濃度測定装置として光音響ガスモニタ１５，１６を例示しているが、ガス濃度測定装置を光音響ガスモニタ１５，１６に限定するものではなく、他のすべてのガス濃度測定装置を用いて本発明にかかる除去効率測定方法を実行することができる。
【００２９】
ガス除去エアフィルタ１１は、主に原子力施設や半導体製造施設、液晶製造施設において使用される。ガス除去エアフィルタ１１にはセパレータ型エアフィルタやミニプリーツ型エアフィルタ等があり、その除去対象ガスには酸性ガスや有機ガス、塩基性ガス等があり、二酸化炭素や酸素も含まれる。ガス除去エアフィルタ１１は、ガラス繊維や炭素繊維、合成樹脂繊維、除去剤（化学薬品）を濾材とし、図２に示すように、フィルタ収納カートリッジ１８（収納枠）に収納して使用される。ガス除去エアフィルタ１１は、蛇腹に折り畳まれた四角柱状の立体構造を有する。なお、ガス除去エアフィルタ１１には、立体構造を有するそれの他に、略扁平のそれも含まれ、さらに、円柱状や多角柱状のものも含まれる。
【００３０】
ガス除去エアフィルタ１１は、図１に示すように、ダクト１９に着脱可能かつ気密に設置され、ダクト１９を通る空気に含まれる除去対象ガスを除去し、清浄空気を施設内または施設外に放出する。ダクト１９には、図示はしていないが、その上流側と下流側との少なくとも一方に給気ファンや排気ファンが取り付けられている。それらファンは、施設内の空気をダクト１９内に強制的に流入させる。ガス除去エアフィルタ１１は実際に使用中のそれであり、このシステム１０Ａ（除去効率測定方法）では除去対象ガスを除去する使用中の状態にある中古品のガス除去エアフィルタ１１の除去効率が測定される。なお、このシステム１０Ａ（除去効率測定方法）では、使用中のガス除去エアフィルタ１１に限らず、使用する以前の新品のガス除去エアフィルタ１１の除去効率の測定に使用される場合もある。
【００３１】
他のガス除去装置として、たとえば脱臭・有毒ガスを除去する活性炭フィルタを例示することができる。活性炭フィルタは、空調用フィルタや空気清浄用フィルタ、排気処理用フィルタ、車両用エアフィルタとして使用される。活性炭フィルタの除去対象ガスには、アンモニアやアセトアルデヒド、トルエン、スチレン、キシレン、メチルメルカプタン、硫化水素、硫化メチル、二硫化メチル、トリメチルアミン、イソブタノール、酢酸エチル、メチルイソブチルケトン、プロピオン酸、ノルマル酸等がある。
【００３２】
ガス供給ユニット１２は、ダクト１９の空気取り入れ口２０（ガス除去エアフィルタ１１の上流）からダクト１９内に所定量のガスを所定時間供給する。ガス供給ユニット１２は、ガス除去エアフィルタ１１の除去対象ガスと同一の試験用ガス２１をダクト１９に供給する試験ガス供給機構２２と、ガス除去エアフィルタ１１に除去されずにそれを通過するトレーサーガス２３をダクト１９に供給するトレーサーガス供給機構２４とから形成されている。試験ガス供給機構２２やトレーサーガス供給機構２４は、ダクト１９の空気取り入れ口２０に着脱可能に設置される。
【００３３】
試験ガス供給機構２２は、圧縮された試験用ガス２１を貯蔵した試験ガス用ボンベ２５と、定風量装置２６と、切替バルブ２７と、吹出口２８とから形成されている。ボンベ２５や定風量装置２６、切替バルブ２７、吹出口２８は通気管路２９を介して接続されている。試験ガス供給機構２２では、ガス除去エアフィルタ１１に向かってボンベ２５、定風量装置２６、切替バルブ２７、吹出口２８の順に並んでいる。
【００３４】
切替バルブ２７は、その弁機構を開閉することで、試験用ガス２１の通気管路２９における流通をＯＮ／ＯＦＦするとともに、ダクト１９への試験用ガス２１の供給量を調節する。定流量装置２６は、通気管路２９を通る試験用ガス２１を一定量に保持し、試験ガス用ボンベ２５内の試験用ガス２１の一定量を切替バルブ２７に向かって流入させる。
【００３５】
トレーサーガス供給機構２４は、圧縮されたトレーサーガス２３を貯蔵したトレーサーガス用ボンベ３０と、定風量装置３１と、切替バルブ３２と、吹出口３３とから形成されている。ボンベ３０や定風量装置３１、切替バルブ３２、吹出口３３は通気管路３４を介して接続されている。トレーサーガス供給機構２４では、ガス除去エアフィルタ１１に向かってボンベ３０、定風量装置３１、切替バルブ３２、吹出口３３の順に並んでいる。
【００３６】
切替バルブ３２は、その弁機構を開閉することで、トレーサーガス２３の通気管路３４における流通をＯＮ／ＯＦＦするとともに、ダクト１９へのトレーサーガス２３の供給量を調節する。定流量装置３１は、通気管路３４を通るトレーサーガス２３を一定量に保持し、トレーサーガス用ボンベ３０内のトレーサーガス２３の一定量を切替バルブ３２に向かって流入させる。
【００３７】
第１空気サンプリングユニット１３は、ガス除去エアフィルタ１１の上流側におけるダクト１９（ダクト１９の空気取り入れ口２０とガス除去エアフィルタ１１の入口との間に延びるダクト１９）に着脱可能に設置される。第１空気サンプリングユニット１３は、ダクト１９を通る空気を採集する採集口３５と、採集した空気をダクト１９に戻す放出口３６と、吸引ポンプ３７と、流量計付き調節バルブ３８および切替バルブ３９，４０とから形成されている。採集口３５や放出口３６は、ダクト１９内に設置されている。採集口３５や放出口３６、吸引ポンプ３７、流量計付き調節弁３８、切替バルブ３９，４０は通気管路４１を介して接続されている。第１空気サンプリングユニット１３では、ダクト１９の空気取り入れ口２０の側から採集口３５、吸引ポンプ３７、流量計付き調節弁３８、切替バルブ３９，４０、放出口３６の順に並んでいる。
【００３８】
第２空気サンプリングユニット１４は、ガス除去エアフィルタ１１の下流側におけるダクト１９（ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト１９の空気排出口４２との間に延びるダクト１９）に着脱可能に設置される。第２空気サンプリングユニット１４は、ダクト１９を通る空気を収集する採集口４３と、採集した空気をダクト１９に戻す放出口４４と、吸引ポンプ４５と、流量計付き調節バルブ４６および切替バルブ４７，４８とから形成されている。採集口４３や放出口４４は、ダクト１９内に設置されている。採集口４３や放出口４４、吸引ポンプ４５、流量計付き調節弁４６、切替バルブ４７，４８は通気管路４９を介して接続されている。第２空気サンプリングユニット１４では、ガス除去エアフィルタ１１の出口側から採集口４３、吸引ポンプ４５、流量計付き調節弁４６、切替バルブ４７，４８、放出口４４の順に並んでいる。
【００３９】
吸引ポンプ３７，４５は、その出力が一定に保持され、ダクト１９を流れる空気を採集口３５，４３から通気管路４１，４９に強制的に流入させる。流量計付き調節弁３８，４６は、通気管路４１，４９を通るサンプル空気を一定量に保持し、吸引ポンプ３７，４５が吸引したサンプル空気の一定量を各切替バルブ３９，４０，４７，４８に向かって流入させる。切替バルブ３９，４０，４７，４８は、その弁機構を開閉することで、サンプル空気の通気管路４１，４９における流通をＯＮ／ＯＦＦする。切替バルブ３９，４７は、光音響ガスモニタ１５，１６に流入させるサンプル空気のサンプリング量を調節する。
【００４０】
それら光音響ガスモニタ１５，１６は、通気管路４１，４９に流れるサンプル空気に含まれる各種複数のガス（ガス成分）の濃度を複数同時に測定するとともに、それらガスの濃度を連続的に測定し、測定したガス濃度をコントローラ１７に出力する。光音響ガスモニタ１５，１６は、その接続端子が通気管路４１，４９に接続されている。コントローラ１７は、中央処理部（ＣＰＵまたはＭＰＵ）とメモリと大容量ハードディスクとを有するコンピュータである。コントローラ１７には、キーボード５０やマウス５１、ディスプレイ５２、プリンタ（図示せず）等の入出力装置（図示せず）がインターフェイスを介して接続されている。コントローラ１７には、試験ガス供給機構２２の切替バルブ２７とトレーサーガス供給機構２４の切替バルブ３２とがインターフェイス５３を介して接続されている。コントローラ１７には、第１および第２空気サンプリングユニット１３，１４の各切替バルブ３９，４０，４７，４８がインターフェイス５３を介して接続され、それら光音響ガスモニタ１５，１６がインターフェイス５３を介して接続されている。
【００４１】
コントローラ１７のメモリには、後記する各種手段をコントローラ１７やそれら光音響ガスモニタ１５，１６に実行させるためのアプリケーションが格納されている。コントローラ１７のハードディスクには、切替バルブ２７の弁機構の開閉時間、切替バルブ２７の弁機構の開度と切替バルブ２７を通過する試験用ガス２１の量との相関関係、試験用ガス２１の供給量とが格納されている。コントローラ１７は、切替バルブ２７の弁機構を開け、弁機構の開度を調節し、定流量装置２２から切替バルブ２７に達した試験用ガス２１の一定量（供給量）を吹出口２８から所定時間ダクト１９内に供給する。コントローラ１７は、所定時間経過後に切替バルブ２７の弁機構を閉じ、試験用ガス２１のダクト１９内への供給を停止する。
【００４２】
コントローラ１７のハードディスクには、切替バルブ３２の弁機構の開閉時間、切替バルブ３２の弁機構の開度と切替バルブ３２を通過するトレーサーガス２３の量との相関関係、トレーサーガス２３の供給量とが格納されている。コントローラ１７は、切替バルブ３２の弁機構を開け、弁機構の開度を調節し、定流量装置３１から切替バルブ３２に達したトレーサーガ２３スの一定量（供給量）を吹出口３３から所定時間ダクト１９内に供給する。コントローラ１７は、所定時間経過後に切替バルブ３２の弁機構を閉じ、トレーサーガス２３のダクト１９内への供給を停止する。なお、コントローラ１７は、試験用ガス２１とトレーサーガス２３とを同一時間同期してダクト１９内に供給する。
【００４３】
コントローラ１７のハードディスクには、サンプリング時間、切替バルブ３９，４７の弁機構の開度と切替バルブ３９，４７を通過するサンプル空気のサンプリング量との相関関係、サンプル空気のサンプリング量とが格納される。コントローラ１７は、切替バルブ４０，４８の弁機構を閉じるとともに、切替バルブ３９，４７の弁機構の開度を調節し、流量計付き調節弁３８，４６から切替バルブ３９，４７に達したサンプル空気の一定量をそれら光音響ガスモニタ１５，１６に流入させる。コントローラ１７は、一定量のサンプル空気が所定時間光音響ガスモニタ１５，１６に流入すると、切替バルブ３９，４７の弁機構を閉じるとともに、切替バルブ４０，４８の弁機構を開け、サンプル空気のそれら光音響ガスモニタ１５，１６への流入を停止しつつ、採集したサンプル空気を放出口４４からダクト１９内に放出する。
【００４４】
コントローラ１７の中央処理部は、オペレーティングシステムによる制御に基づいて、メモリからアプリケーションを起動し、起動したアプリケーションに従って、以下の各手段を実行する。コントローラ１７の中央処理部は、ガス除去エアフィルタ１１の除去対象ガスに対する使用可能な限界効率に対応させてガス除去エアフィルタ１１に供給する試験用ガス２１のダクト１９内の空気に対する濃度の倍率を決定する濃度倍率決定手段（濃度倍率決定プロセス）を実行し、決定した濃度倍率をハードディスクに格納する濃度倍率格納手段（濃度倍率格納プロセス）を実行する。なお、コントローラ１７の中央処理部は、濃度倍率決定手段（濃度倍率決定プロセス）を実行することなく、あらかじめ入力された濃度倍率をハードディスクに格納する濃度倍率格納手段（濃度倍率格納プロセス）を実行し、入力された濃度の試験用ガス２１をガス除去エアフィルタ１１に供給する場合もある。
【００４５】
コントローラ１７の中央処理部は、選択された除去対象ガスをハードディスクに格納する除去対象ガス格納手段（除去対象ガス格納プロセス）を実行し、選択されたトレーサーガス２３をハードディスクに格納するトレーサーガス格納手段（トレーサーガス格納プロセス）を実行するとともに、それらガスの供給時間をハードディスクに格納する供給時間格納手段（供給時間格納プロセス）を実行する。コントローラ１７の中央処理部は、トレーサーガス濃度倍率をハードディスクに格納するトレーサーガス濃度倍率格納手段（トレーサーガス濃度倍率格納プロセス）を実行し、サンプリング時間をハードディスクに格納するサンプリング時間格納手段（サンプリング時間格納プロセス）を実行するとともに、サンプリング量をハードディスクに格納するサンプリング量格納手段（サンプリング量格納プロセス）を実行する。
【００４６】
コントローラ１７の中央処理部は、ダクト１９の空気取り入れ口２０（ガス除去エアフィルタ１１の入口側）からガス除去エアフィルタ１１に向かって所定量の試験用ガス２１とトレーサーガス２３とを同時に供給するガス供給手段（ガス供給プロセス）を実行する。ガス供給手段（ガス供給プロセス）では、ガス除去エアフィルタ１１に供給する試験用ガス２１の濃度が光音響ガスモニタ１５の検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高い場合、または、ガス除去エアフィルタ１１に供給する試験用ガス２１の濃度が光音響ガスモニタ１５の検出限界濃度よりも高い場合がある。
【００４７】
ガス供給手段では、試験用ガス２１とトレーサーガス２３との供給時間が同一である。ガス供給手段における試験用ガス２１とトレーサーガス２３とのガス除去エアフィルタ１１への供給時では、ダクト１９の空気取り入れ口２０から取り入れられた空気の風量や風速が一定ではなく、ガス除去エアフィルタ１１の周囲の空気の風量または風速が不均一である。
【００４８】
コントローラ１７の中央処理部は、ガス供給手段（ガス供給プロセス）の実行前に、ダクト１９の空気取り入れ口２０とガス除去エアフィルタ１１の入口との間のダクト１９を流れる空気（ガス除去エアフィルタ１１の入口側を流れる空気）の一部を第１空気サンプリングユニット１３にサンプリングさせるバックグラウンド第１サンプリング手段（バックグラウンド第１サンプリングプロセス）を実行する。コントローラ１７の中央処理部は、バックグラウンド第１サンプリング手段によってサンプル空気をサンプリングした後、そのサンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度を、光音響ガスモニタ１５を利用して測定するバックグラウンドガス濃度第１測定手段（バックグラウンドガス濃度第１測定プロセス）を実行する。コントローラ１７の中央処理部は、バックグラウンドガス濃度第１測定手段（バックグラウンドガス濃度第１測定プロセス）によって測定した除去対象ガスやトレーサーガスの濃度をハードディスクに格納するバックグラウンドガス濃度第１格納手段（バックグラウンドガス濃度第１格納プロセス）を実行する。
【００４９】
コントローラ１７の中央処理部は、ガス供給手段（ガス供給プロセス）の実行前に、ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト１９の空気排出口４２との間のダクト１９を流れる空気（ガス除去エアフィルタ１１の出口側を流れる空気）の一部を第２空気サンプリングユニット１４にサンプリングさせるバックグラウンド第２サンプリング手段（バックグラウンド第２サンプリングプロセス）を実行する。コントローラ１７の中央処理部は、バックグラウンド第２サンプリング手段によってサンプル空気をサンプリングした後、そのサンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度を、光音響ガスモニタ１６を利用して測定するバックグラウンドガス濃度第２測定手段（バックグラウンドガス濃度第２測定プロセス）を実行する。コントローラ１７の中央処理部は、バックグラウンドガス濃度第２測定手段（バックグラウンドガス濃度第２測定プロセス）によって測定した除去対象ガスやトレーサーガスの濃度をハードディスクに格納するバックグラウンドガス濃度第２格納手段（バックグラウンドガス濃度第２格納プロセス）を実行する。
【００５０】
コントローラ１７の中央処理部は、ガス供給手段（ガス供給プロセス）の実行中に、ダクト１９の空気取り入れ口２０とガス除去エアフィルタ１１の入口との間のダクト１９を流れる空気（ガス除去エアフィルタ１１の入口側を流れる空気）の一部を第１空気サンプリングユニット１３にサンプリングさせる第１サンプリング手段（第１サンプリングプロセス）を実行する。コントローラ１７の中央処理部は、第１サンプリング手段によってサンプル空気をサンプリングした後、そのサンプル空気に含まれる試験用ガス２１およびトレーサーガス２３の濃度を光音響ガスモニタ１５を利用して測定するガス濃度第１測定手段（ガス濃度第１測定プロセス）を実行する。コントローラ１７の中央処理部は、ガス濃度第１測定手段（ガス濃度第１測定プロセス）によって測定した試験用ガス２１およびトレーサーガス２３の濃度をハードディスクに格納するガス濃度第１格納手段（ガス濃度第１格納プロセス）を実行する。
【００５１】
コントローラ１７の中央処理部は、ガス供給手段（ガス供給プロセス）の実行中に、ガス除去エアフィルタ１１を通ってダクト１９を流れる空気（ガス除去エアフィルタ１１を通ってその出口から流出した空気）の一部を第２空気サンプリングユニット１４にサンプリングさせる第２サンプリング手段（第２サンプリングプロセス）を実行する。コントローラ１７の中央処理部は、第２サンプリング手段によってサンプル空気をサンプリングした後、そのサンプル空気に含まれる試験用ガス２１とトレーサーガス２３との濃度を、光音響ガスモニタ１６を利用して測定するガス濃度第２測定手段（ガス濃度第２測定プロセス）を実行する。コントローラ１７の中央処理部は、ガス濃度第２測定手段（ガス濃度第２測定プロセス）によって測定した試験用ガス２１およびトレーサーガス２３の濃度をハードディスクに格納するガス濃度第２格納手段（ガス濃度第２格納プロセス）を実行する。
【００５２】
コントローラ１７の中央処理部は、試験用ガス２１とトレーサーガス２３との供給を停止した後（ガス供給手段を停止した後）、ガス除去エアフィルタ１１を通ってダクト１９を流れる空気（ガス除去エアフィルタ１１を通ってその出口から流出した空気）の一部を第２空気サンプリングユニット１４にサンプリングさせる第３サンプリング手段（第３サンプリングプロセス）を実行する。コントローラ１７の中央処理部は、第３サンプリング手段によってサンプル空気をサンプリングした後、そのサンプル空気に含まれる試験用ガス２１の濃度を光音響ガスモニタ１６を利用して測定するガス濃度第３測定手段（ガス濃度第３測定プロセス）を実行する。コントローラ１７の中央処理部は、ガス濃度第３測定手段（ガス濃度第３測定プロセス）によって測定した試験用ガス２１の濃度をハードディスクに格納するガス濃度第３格納手段（ガス濃度第３格納プロセス）を実行する。
【００５３】
コントローラ１７の中央処理部は、試験用ガス２１とトレーサーガス２３との供給を停止した後（ガス供給手段を停止した後）、ダクト１９の空気取り入れ口２０とガス除去エアフィルタ１１の入口との間のダクト１９を流れる空気（ガス除去エアフィルタ１１の入口側を流れる空気）の一部を第１空気サンプリングユニット１３にサンプリングさせる第４サンプリング手段（第４サンプリングプロセス）を実行する。コントローラ１７の中央処理部は、第４サンプリング手段によってサンプル空気をサンプリングした後、そのサンプル空気に含まれる試験用ガス２１およびトレーサーガス２３の濃度を光音響ガスモニタ１５を利用して測定するガス濃度第４測定手段（ガス濃度第４測定プロセス）を実行する。コントローラ１７の中央処理部は、ガス濃度第４測定手段（ガス濃度第４測定プロセス）によって測定した試験用ガス２１およびトレーサーガス２３の濃度をハードディスクに格納するガス濃度第４格納手段（ガス濃度第４格納プロセス）を実行する。コントローラ１７の中央処理部は、各種の濃度測定データを出力する（濃度測定データ出力手段、濃度測定データ出力プロセス）を実行する。
【００５４】
図３は、ディスプレイ５２に表示された初期画面の一例を示す図であり、図４は、濃度倍率設定画面の一例を示す図である。図５は、ガス供給中サンプリングにおける条件設定画面の一例を示す図であり、図６は、このシステム１０Ａによって実行される除去効率測定方法のフローチャートである。図７は、図６から続くフローチャートであり、図８は、濃度測定データ表示画面の一例を示す図である。図３〜図５、図８では、各入力エリアや表示エリアに表示されるデータの図示を省略している。
【００５５】
システム１０Ａを起動すると、ガス供給ユニット１２、第１空気サンプリングユニット１３、第２空気サンプリングユニット１４、光音響ガスモニタ１５，１６、コントローラ１７が稼動する。さらに、ダクト１９に設置された給気ファンや排気ファンを別途起動させる。給気ファンや排気ファンを起動させると、図１に矢印Ｌ１で示すように、施設内の空気がダクト１９の空気取り入れ口２０からダクト１９内に進入し、その空気がガス除去エアフィルタ１１を通ってダクト１９の空気排出口４２から排出される。ダクト１９に進入した空気に除去対象ガスが含まれている場合、その除去対象ガスがガス除去エアフィルタ１１によって除去される。
【００５６】
システム１０Ａを起動すると、コントローラ１７は、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。初期画面には、濃度倍率設定ボタンＡ１、条件設定ボタンＡ２、バックグラウンドサンプリングボタンＡ３、ガス供給中サンプリングボタンＡ４、ガス供給停止後サンプリングボタンＡ５、ログアウトボタンＡ６、濃度測定データ表示ボタンＡ７が表示される。ログアウトボタンＡ６をクリックすると、システム１０Ａを閉じる。濃度倍率設定ボタンＡ１をクリックすると、コントローラ１７は、図４の濃度倍率設定画面をディスプレイ５２に表示する。濃度倍率設定画面には、測定対象フィルタ名入力エリアＢ１、限界効率入力エリアＢ２、除去対象ガス濃度倍率入力エリアＢ３、実行ボタンＢ４、キャンセルボタンＢ５、クリアボタンＢ６が表示される。
【００５７】
キーボード５０やマウス５１等の入力装置を利用して測定対象フィルタ名入力エリアＢ１に測定対象フィルタを特定する名称（仮称を含む）を入力（測定対象フィルタ名入力エリアＢ１のプルダウンリストから測定対象フィルタの名称を選択）する。限界効率入力エリアＢ２にガス除去エアフィルタ１１の除去対象ガスに対する使用可能な限界効率を入力（限界効率入力エリアＢ２のプルダウンリストから限界効率を選択）する。または、限界効率を入力せずに、除去対象ガス濃度倍率入力エリアＢ３に除去対象ガスの濃度倍率を入力（除去対象ガス濃度倍率入力エＢ３のプルダウンリストから濃度倍率を選択）する。キャンセルボタンＢ５をクリックすると、図３の初期画面に戻る。クリアボタンＢ６をクリックすると、入力エリアＢ１〜Ｂ３に入力された名称や限界効率、濃度倍率の各データが消去され、入力エリアＢ１〜Ｂ３に各データを再入力する。
【００５８】
フィルタ名を入力するとともに限界効率を入力した後、実行ボタンＢ４をクリックすると、コントローラ１７は、限界効率入力エリアＢ１に入力された限界効率に基づいて、ガス除去エアフィルタ１１に供給する試験用ガス２１のダクト１９内の空気に対する濃度倍率を決定し（濃度倍率決定手段、濃度倍率決定プロセス）（Ｓ−１０）、図示はしていないが、濃度倍率確認画面をディスプレイ５２に表示する。また、フィルタ名を入力するとともに濃度倍率を入力した後、実行ボタンＢ４をクリックすると、コントローラ１７は、図示はしていないが、濃度倍率確認画面をディスプレイ５２に表示する。
【００５９】
コントローラ１７は、たとえば、ガス除去エアフィルタ１１の限界効率が９０％の場合、試験用ガス２１のダクト１９内の空気に対する濃度の倍率を１０倍（ダクト１９内の空気を１とした場合、試験用ガス２１は１０）に決定する。また、ガス除去エアフィルタ１１の限界効率が９９％の場合、試験用ガス２１のダクト１９内の空気に対する濃度の倍率を１００倍（ダクト１９内の空気を１とした場合、試験用ガス２１は１００）に決定する。
【００６０】
濃度倍率確認画面には、濃度倍率表示エリア、濃度倍率確認ボタン、濃度倍率変更ボタンが表示される。濃度倍率表示エリアには、除去対象ガス（試験用ガス２１）の決定した濃度倍率が表示される。濃度倍率に変更があれば、濃度倍率変更ボタンをクリックする。濃度倍率変更ボタンをクリックすると、図４の濃度倍率入力画面に戻り、名称や限界効率、濃度倍率の各データを再入力する。濃度倍率に変更がなければ、濃度倍率確認ボタンをクリックする。濃度倍率確認ボタンをクリックすると、コントローラ１７は、測定対象フィルタ名入力エリアＢ１に入力された測定対象フィルタを特定するフィルタ識別子を生成し、濃度倍率（測定対象フィルタ名、格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（濃度倍率格納手段、濃度倍率格納プロセス）。コントローラ１７は、濃度倍率を格納すると、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。
【００６１】
初期画面において条件設定ボタンＡ２をクリックすると、コントローラ１７は、図示はしていないが、ガス供給中サンプリングにおける条件設定とガス供給停止後サンプリングにおける条件設定のいずれかを選択する選択画面をディスプレイ５２に表示する。選択画面には、ガス供給中サンプリング条件設定ボタン、ガス供給停止後サンプリング条件設定ボタンが表示される。ガス供給中サンプリング条件設定ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、図５の条件設定画面をディスプレイ５２に表示する。条件設定画面には、除去対象ガス入力エリアＣ１、トレーサーガス入力エリアＣ２、供給時間入力エリアＣ３、トレーサーガス濃度倍率入力画面Ｃ４、サンプリング時間入力エリアＣ５、サンプリング量入力エリアＣ６、実行ボタンＣ７、キャンセルボタンＣ８、クリアボタンＣ９が表示される。
【００６２】
除去対象ガス入力エリアＣ１に除去対象ガスを入力（除去対象ガス入力エリアＣ１のプルダウンリストから除去対象ガスを選択）し、トレーサーガス入力エリアＣ２にトレーサーガス２３を入力（トレーサーガス入力エリアＣ２のプルダウンリストからトレーサーガス２３を選択）するとともに、供給時間入力エリアＣ３にそれらガスの供給時間を入力（供給時間入力エリアＣ３のプルダウンリストから供給時間を選択）する。
【００６３】
さらに、トレーサーガス濃度倍率入力エリアＣ４にトレーサーガス２３の濃度倍率を入力（トレーサーガス濃度倍率入力エリアＣ４のプルダウンリストからトレーサーガス濃度倍率を選択）し、サンプリング時間入力エリアＣ５にサンプリング時間を入力（サンプリング時間入力エリアＣ５のプルダウンリストからサンプリング時間を選択）するとともに、サンプリング量入力エリアＣ６にサンプリング量を入力（サンプリング量入力エリアＣ６のプルダウンリストからサンプリング量を選択）する。キャンセルボタンＣ８をクリックすると、図３の初期画面に戻る。クリアボタンＣ９をクリックすると、入力エリアＣ１〜Ｃ６に入力されたデータが消去され、入力エリアＣ１〜Ｃ６に各データを再入力する。
【００６４】
それら入力エリアＣ１〜Ｃ６に各データを入力した後、実行ボタンＣ７をクリックすると、コントローラ１７は、図示はしていないが、条件設定確認画面をディスプレイ５２に表示する。条件設定確認画面では、各入力エリアにデータが表示されるとともに、条件確認ボタン、条件変更ボタンが表示される。除去対象ガスやトレーサーガス、供給時間、トレーサーガス濃度倍率、サンプリング時間、サンプリング量に変更があれば、条件変更ボタンをクリックする。条件変更ボタンをクリックすると、図５の条件設定画面に戻り、それら入力エリアＣ１〜Ｃ６に各データを再入力する。除去対象ガスやトレーサーガス、供給時間、トレーサーガス濃度倍率、サンプリング時間、サンプリング量に変更がなければ、条件確認ボタンをクリックする。
【００６５】
条件確認ボタンをクリックすると、コントローラ１７は、入力（選択）された除去対象ガス（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（除去対象ガス格納手段、除去対象ガス格納プロセス）、入力（選択）されたトレーサーガス（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納するとともに（トレーサーガス格納手段、トレーサーガス格納プロセス）、供給時間（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（供給時間格納手段、供給時間格納プロセス）。
【００６６】
さらに、コントローラ１７は、入力（選択）されたトレーサーガス濃度倍率（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（トレーサーガス農簿倍率格納手段、トレーサーガス農簿倍率格納プロセス）、サンプリング時間（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納するとともに（サンプリング時間格納手段、サンプリング時間格納プロセス）、サンプリング量（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（サンプリング量格納手段、サンプリング量格納プロセス）（Ｓ−１１）。
【００６７】
コントローラ１７は、除去対象ガスやトレーサーガス、供給時間、トレーサーガス濃度倍率、サンプリング時間、サンプリング量を格納すると、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。濃度倍率設定やガス供給中における条件設定が完了した後、図３の初期画面において、バックグラウンドサンプリングボタンＡ３をクリックする。バックグラウンドサンプリングボタンＡ３をクリックすると、コントローラ１７は、第１空気サンプリングユニット１３を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の上流側に延びるダクト１９（ダクト１９の空気取り入れ口２０とガス除去エアフィルタ１１の入口との間に延びるダクト１９）からサンプル空気をサンプリングする（バックグラウンド第１サンプリング手段、バックグラウンド第１サンプリングプロセス）。さらに、第２空気サンプリングユニット１４を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の下流側に延びるダクト１９（ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト１９の空気排出口４２との間に延びるダクト１９）からサンプル空気をサンプリングする（バックグラウンド第２サンプリング手段、バックグラウンド第２サンプリングプロセス）（Ｓ−１２）。
【００６８】
コントローラ１７は、図示はしていないが、バックグラウンドサンプリング中メッセージをディスプレイ５２に表示する。なお、ダクト１９には図示しない給気ファンや排気ファンを介して施設内の空気が強制的に流入している。コントローラ１７は、切替バルブ４０，４８の弁機構を閉め、切替バルブ３９，４７の弁機構を開け、所要量（サンプリング量）のサンプル空気がそれら光音響ガスモニタ１５，１６に流入するように弁機構の開度を調節しつつ、吸引ポンプ３７，４５を稼動させる。
【００６９】
ガス除去エアフィルタ１１の入口側の空気（ダクト１９の空気取り入れ口２０とガス除去エアフィルタ１１の入口との間に延びるダクト１９を流動する空気）は、その一部（サンプル空気）が採集口３５からポンプ３７に進入し、通気管路４１を通って光音響ガスモニタ１５に流入する。ガス除去エアフィルタ１１を通過した空気（ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト１９の空気排出口４２との間に延びるダクト１９を流動する空気）は、その一部（サンプル空気）が採集口４３からポンプ４５に進入し、通気管路４９を通って光音響ガスモニタ１６に流入する。
【００７０】
コントローラ１７は、第１空気サンプリングユニット１３がサンプリングしたサンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度測定を光音響ガスモニタ１５に指示する。光音響ガスモニタ１５は、コントローラ１７の指示によって流入したサンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度を測定する（バックグラウンドガス濃度第１測定手段、バックグラウンドガス濃度第１測定プロセス）（Ｓ−１３）。なお、サンプル空気は、光音響ガスモニタ１５から通気管路４１を通って放出口３６からダクト１９内に放出される。
【００７１】
コントローラ１７は、第２空気サンプリングユニット１４がサンプリングしたサンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度測定を光音響ガスモニタ１６に指示する。光音響ガスモニタ１６は、コントローラ１７の指示によって流入したサンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度を測定する（バックグラウンドガス濃度第２測定手段、バックグラウンドガス濃度第２測定プロセス）（Ｓ−１３）。なお、サンプル空気は、光音響ガスモニタ１６から通気管路４９を通って放出口４４からダクト１９内に放出される。
【００７２】
コントローラ１７は、バックグラウンドのサンプリング時間が経過したかを判断する（Ｓ−１４）。サンプリング時間が経過していない場合、コントローラ１７は、引き続きサンプル空気をそれら光音響ガスモニタ１５，１６に流入させ、サンプル空気に含まれる除去対象ガスの濃度を光音響ガスモニタ１５，１６に測定させる。
【００７３】
サンプル空気がそれら光音響ガスモニタ１５，１６に流入してから所定時間が経過し、サンプリング時間が経過した場合、コントローラ１７は、切替バルブ３９，４７の弁機構を閉じ、サンプル空気の光音響ガスモニタ１５，１６への流入を停止し、切替バルブ４０，４８の弁機構を開け、サンプル空気を放出口３６，４４からダクト１９内に放出する。次に、切替バルブ４０，４８の弁機構を閉じ、ポンプ３７，４５を停止してサンプル空気のサンプリングを停止する（Ｓ−１５）。
【００７４】
サンプル空気のサンプリングを停止した後（バックグラウンド第１および第２サンプリング手段を完了した後）、コントローラ１７は、図示はしていないが、バックグラウンドサンプリング完了メッセージ、バックグラウンドガス濃度測定終了ボタンをディスプレイ５２に表示する。バックグラウンドガス濃度測定終了ボタンをクリックすると、コントローラ１７は、バックグラウンドサンプリングが終了したと判断し、それら光音響ガスモニタ１５，１６に濃度測定データの送信を指示する。
【００７５】
光音響ガスモニタ１５は、サンプル空気の除去対象ガスバックグラウンド濃度とトレーサーガスバックグラウンド濃度とをコントローラ１７に出力する（Ｓ−１６）。コントローラ１７は、光音響ガスモニタ１５から出力されたバックグラウンド濃度測定第１データ（除去対象ガスバックグラウンド濃度、トレーサーガスバックグラウンド濃度、サンプリング日時、光音響ガスモニタ１５を特定するモニタ識別子）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（バックグラウンドガス濃度第１格納手段、バックグラウンドガス濃度第１格納プロセス）（Ｓ−１７）。
【００７６】
光音響ガスモニタ１６は、サンプル空気の除去対象ガスバックグラウンド濃度とトレーサーガスバックグラウンド濃度とをコントローラ１７に出力する（Ｓ−１６）。コントローラ１７は、光音響ガスモニタ１６から出力されたバックグラウンド濃度測定第２データ（除去対象ガスバックグラウンド濃度、トレーサーガスバックグラウンド濃度、サンプリング日時、光音響ガスモニタ１６を特定するモニタ識別子）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（バックグラウンドガス濃度第２格納手段、バックグラウンドガス濃度第２格納プロセス）（Ｓ−１７）。コントローラ１７は、図示はしていないが、バックグラウンド完了メッセージとバックグラウンド完了確認ボタンとをディスプレイ５２に表示する。バックグラウンド完了確認ボタンをクリックすると、コントローラ１７は、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。
【００７７】
バックグラウンドガス濃度測定やバックグラウンドガス濃度格納が完了した後、図３の初期画面のガス供給中サンプリングボタンＡ４をクリックする。ガス供給中サンプリングボタンＡ４をクリックすると、コントローラ１７は、指定した除去対象ガスと同一の試験用ガス２１およびトレーサーガス２３をダクト１９内に供給する（ガス供給手段、ガス供給プロセス）（Ｓ−１８）。コントローラ１７は、第１空気サンプリングユニット１３を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の上流側に延びるダクト１９（ダクト１９の空気取り入れ口２０とガス除去エアフィルタ１１の入口との間に延びるダクト１９）からサンプル空気をサンプリングするとともに（第１サンプリング手段、第１サンプリングプロセス）、第２空気サンプリングユニット１６を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の下流側に延びるダクト１９（ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト１９の空気排出口４２との間に延びるダクト１９）からサンプル空気をサンプリングする（第２サンプリング手段、第２サンプリングプロセス）（Ｓ−１９）。
【００７８】
コントローラ１７は、図示はしていないが、ガス供給中メッセージおよび空気サンプリング中メッセージをディスプレイ５２に表示する。なお、ダクト１９には図示しない給気ファンや排気ファンを介して施設内の空気が強制的に流入しており、ガス除去エアフィルタ１１の周囲の空気の風量や風速が均一ではない。コントローラ１７は、切替バルブ２７，３２の弁機構を開けるとともに、弁機構の開度を調節し、ダクト１９を流れる空気に対して試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度があらかじめ設定された濃度倍率になるように、所定量の試験用ガス２１やトレーサーガス２３を通気管路２９，３４に流入させ、所定量の試験用ガス２１やトレーサーガス２３をガス供給機構２２，２４の吹出口２８，３３からダクト１９内に流入させる。
【００７９】
コントローラ１７は、あらかじめ設定された供給時間の間、それらガス２１，２３をダクト１９に供給し、供給時間が経過すると、切替バルブ２７，３２の弁機構を閉じ、それらガス２１，２３の供給を停止する。コントローラ１７は、それらガス２１，２３の供給と供給停止とを同期して行い、それらガス２１，２３を同一時間ダクト１９に供給する。
【００８０】
コントローラ１７は、試験用ガス２１やトレーサーガス２３の供給を開始してから所定時間経過後に切替バルブ４０，４８の弁機構を閉め、切替バルブ３９，４７の弁機構を開け、所要量（サンプリング量）のサンプル空気がそれら光音響ガスモニタ１５，１６に流入するように弁機構の開度を調節しつつ、吸引ポンプ３７，４５を稼動させる。ガス除去エアフィルタ１１の入口側の空気（ダクト１９の空気取り入れ口２０とガス除去エアフィルタ１１の入口との間に延びるダクト１９を流動する空気）は、その一部（サンプル空気）が採集口３５からポンプ３７に進入し、通気管路４１を通って光音響ガスモニタ１５に流入する。ガス除去エアフィルタ１１を通過した空気（ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト１９の空気排出口４２との間に延びるダクト１９を流動する空気）は、その一部（サンプル空気）が採集口４３からポンプ４５に進入し、通気管路４９を通って光音響ガスモニタ１６に流入する。
【００８１】
コントローラ１７は、第１空気サンプリングユニット１３がサンプリングしたサンプル空気に含まれる試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度測定を光音響ガスモニタ１５に指示する。光音響ガスモニタ１５は、コントローラ１７の指示によってサンプル空気に含まれる試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度を測定する（ガス濃度第１測定手段、ガス濃度第１測定プロセス）（Ｓ−２０）。サンプル空気は、光音響ガスモニタ１５から通気管路４１を通って放出口３６からダクト１９内に放出される。
【００８２】
なお、光音響ガスモニタ１５は、バックグラウンドガス濃度第１測定手段（バックグラウンドガス濃度第１測定プロセス）によって測定した除去対象ガスの濃度を参照し、ガス濃度第１測定手段（ガス濃度第１測定プロセス）によって測定した試験用ガス２１の濃度を補正する。さらに、光音響ガスモニタ１５は、バックグラウンドガス濃度第１測定手段（バックグラウンドガス濃度第１測定プロセス）によって測定したトレーサーガスの濃度を参照し、ガス濃度第１測定手段（ガス濃度第１測定プロセス）によって測定したトレーサーガス２３の濃度を補正する。
【００８３】
コントローラ１７は、第２空気サンプリングユニット１４がサンプリングしたサンプル空気に含まれる試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度測定を光音響ガスモニタ１６に指示する。光音響ガスモニタ１６は、コントローラ１７の指示によってサンプル空気に含まれる試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度を測定する（ガス濃度第２測定手段、ガス濃度第２測定プロセス）（Ｓ−２０）。サンプル空気は、光音響ガスモニタ１６から通気管路４９を通って放出口４４からダクト１９内に放出される。
【００８４】
なお、光音響ガスモニタ１６は、バックグラウンドガス濃度第２測定手段（バックグラウンドガス濃度第２測定プロセス）によって測定した除去対象ガスの濃度を参照し、ガス濃度第２測定手段（ガス濃度第２測定プロセス）によって測定した試験用ガス２１の濃度を補正する。さらに、光音響ガスモニタ１６は、バックグラウンドガス濃度第２測定手段（バックグラウンドガス濃度第２測定プロセス）によって測定したトレーサーガスの濃度を参照し、ガス濃度第２測定手段（ガス濃度第２測定プロセス）によって測定したトレーサーガス２３の濃度を補正する。
【００８５】
コントローラ１７は、サンプリング時間が経過したかを判断する（Ｓ−２１）。サンプリング時間が経過していない場合、コントローラ１７は、引き続きサンプル空気をそれら光音響ガスモニタ１５，１６に流入させ、サンプル空気に含まれる試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度を光音響ガスモニタ１５，１６に測定させる。
【００８６】
サンプル空気がそれら光音響ガスモニタ１５，１６に流入してから所定時間が経過し、サンプリング時間が経過した場合、コントローラ１７は、切替バルブ３９，４７の弁機構を閉じ、サンプル空気の光音響ガスモニタ１５，１６への流入を停止し、切替バルブ４０，４８の弁機構を開け、サンプル空気を放出口３６，４４からダクト１９内に放出する。次に、切替バルブ４０，４８の弁機構を閉じ、ポンプ３７，４５を停止してサンプル空気のサンプリングを停止する（Ｓ−２２）。さらに、コントローラ１７は、切替バルブ２７，３２の弁機構を閉じ、試験用ガス２１やトレーサーガス２３のダクト１９内への供給を停止する。
【００８７】
サンプル空気のサンプリングを停止した後（第１および第２サンプリング手段を完了した後）、コントローラ１７は、図示はしていないが、ガス供給中サンプリング完了メッセージ、ガス供給停止メッセージ、ガス濃度測定終了ボタン、ガス濃度測定継続ボタンをディスプレイ５２に表示する。ガス濃度測定終了ボタンをクリックすると、コントローラ１７は、ガス供給中サンプリングが終了したと判断し（Ｓ−２３）、それら光音響ガスモニタ１５，１６に濃度測定データの送信を指示する。
【００８８】
光音響ガスモニタ１５は、サンプル空気の試験用ガス実測濃度（補正した試験用ガス実測濃度）とトレーサーガス実測濃度（補正したトレーサーガス実測濃度）とをコントローラ１７に出力する（Ｓ−２４）。コントローラ１７は、光音響ガスモニタ１５から出力された濃度測定第１データ（試験用ガス実測濃度、トレーサーガス実測濃度、サンプリング日時、光音響ガスモニタ１５を特定するモニタ識別子）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第１格納手段、ガス濃度第１格納プロセス）（Ｓ−２５）。
【００８９】
光音響ガスモニタ１６は、サンプル空気の試験用ガス実測濃度（補正した試験用ガス実測濃度）とトレーサーガス実測濃度（補正したトレーサーガス実測濃度）とをコントローラ１７に出力する（Ｓ−２４）。コントローラ１７は、光音響ガスモニタ１６から出力された濃度測定第２データ（試験用ガス実測濃度、トレーサーガス実測濃度、サンプリング日時、光音響ガスモニタ１６を特定するモニタ識別子）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第２格納手段、ガス濃度第２格納プロセス）（Ｓ−２５）。コントローラ１７は、図示はしていないが、ガス供給中ガス濃度測定完了メッセージとガス供給中ガス濃度測定完了確認ボタンとをディスプレイ５２に表示する。ガス供給中ガス濃度測定完了確認ボタンをクリックすると、コントローラ１７は、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。
【００９０】
同じガス除去エアフィルタ１１においてサンプル空気の試験用ガス２１とトレーサーガス２３との濃度測定を２回以上行う場合、ガス濃度測定継続ボタンをクリックする。ガス濃度測定継続ボタンをクリックすると、コントローラ１７は、ガス供給中サンプリングが終了していないと判断するとともに（Ｓ−２３）、それら光音響ガスモニタ１５，１６に濃度測定データの送信を指示する。それら光音響ガスモニタ１５，１６は、サンプル空気の試験用ガス実測濃度（補正した試験用ガス実測濃度）とトレーサーガス実測濃度とをコントローラ１７に出力する（Ｓ−２６）。
【００９１】
コントローラ１７は、それら光音響ガスモニタ１５，１６から出力された濃度測定第１データ（試験用ガス実測濃度、トレーサーガス実測濃度、サンプリング日時、モニタ識別子）や濃度測定第２データ（試験用ガス実測濃度、トレーサーガス実測濃度、サンプリング日時、モニタ識別子）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第１格納手段、ガス濃度第１格納プロセス、ガス濃度第２格納手段、ガス濃度第２格納プロセス）（Ｓ−２７）。コントローラ１７は、濃度測定第１データや濃度測定第２データを格納すると、図４の濃度倍率設定画面をディスプレイ５２に表示し、ステップ１０（Ｓ−１０）からの手順を繰り返す。その場合、濃度倍率や条件設定を従前と同一としつつ、バックグラウンドサンプリングを省略した状態でステップ１８（Ｓ−１８）以降の手順を実施することができる。
【００９２】
試験用ガス２１やトレーサーガス２３の測定が完了した後、図３の初期画面において濃度測定データ表示ボタンＡ７をクリックすると、コントローラ１７は、図８の濃度測定データ表示画面をディスプレイ５２に表示する（濃度測定データ出力手段、濃度測定データ出力プロセス）（Ｓ−２８）。濃度測定データは、プリンタを介して出力することができる（濃度測定データ出力手段、濃度測定データ出力プロセス）（Ｓ−２８）。
【００９３】
濃度測定データ表示画面には、測定対象フィルタ名表示エリアＤ１、サンプリング日時表示エリアＤ２、除去対象ガス表示エリアＤ３、除去対象ガス濃度倍率表示エリアＤ４、トレーサーガス表示エリアＤ５、トレーサーガス濃度倍率表示エリアＤ６、供給時間表示エリアＤ７、サンプリング時間表示エリアＤ８、サンプリング量表示エリアＤ９、フィルタ入口側試験用ガス実測濃度表示エリアＤ１０、フィルタ入口側トレーサーガス実測濃度表示エリアＤ１１、フィルタ出口側試験用ガス実測濃度表示エリアＤ１２、フィルタ出口側トレーサーガス実測濃度表示エリアＤ１３、印刷ボタンＤ１４、閉じるボタンＤ１５が表示される。
【００９４】
測定対象フィルタ名表示エリアＤ１には、図４の濃度倍率設定画面で指定した測定対象フィルタ名が表示され、サンプリング日時表示エリアＤ２には、その測定対象フィルタのサンプル空気のサンプリング日時が表示されるとともに、除去対象ガス表示エリアＤ３には、図５の条件設定画面において指定した除去対象ガスが表示される。除去対象ガス濃度倍率表示エリアＤ４には、除去対象ガスの濃度倍率が表示され、トレーサーガス表示エリアＤ５には、図５の条件設定画面において指定したトレーサーガス２３が表示されるとともに、トレーサーガス濃度倍率表示エリアＤ６には、トレーサーガス２３の濃度倍率が表示される。供給時間表示エリアＤ７には、それらガス２１，２３の供給時間が表示され、サンプリング時間表示エリアＤ８には、サンプリング時間が表示されるとともに、サンプリング量表示エリアＤ９には、サンプリング量が表示される。
【００９５】
フィルタ入口側試験用ガス実測濃度表示エリアＤ１０には、試験用ガス２１やトレーサーガス２３の供給中におけるフィルタ１１入口側の試験用ガス２１（第１サンプリングユニット１３にサンプリングされたサンプル空気に含まれる試験用ガス２１）の実測濃度が表示される。フィルタ入口側トレーサーガス実測濃度表示エリアＤ１１には、試験用ガス２１やトレーサーガス２３の供給中におけるフィルタ１１入口側のトレーサーガス２３（第１サンプリングユニット１３にサンプリングされたサンプル空気に含まれるトレーサーガス２３）の実測濃度が表示される。
【００９６】
フィルタ出口側試験用ガス実測濃度表示エリアＤ１２には、試験用ガス２１やトレーサーガス２３の供給中におけるフィルタ１１出口側の試験用ガス（第２サンプリングユニット１４にサンプリングされたサンプル空気に含まれる試験用ガス２１）の実測濃度が表示される。フィルタ出口側トレーサーガス実測濃度表示エリアＤ１３には、試験用ガス２１やトレーサーガス２３の供給中におけるフィルタ１１出口側のトレーサーガス２３（第２サンプリングユニット１４にサンプリングされたサンプル空気に含まれるトレーサーガス２３）の実測濃度が表示される。
【００９７】
図６，７のフローチャートで説明した除去効率測定方法は、所定量の試験用ガス２１とトレーサーガス２３とをダクト１９に同時に供給し、ガス除去エアフィルタ１１（ガス除去装置）の入口に流入する空気に含まれる試験用ガス２１およびトレーサーガス２３の濃度を光音響ガスモニタ１５（ガス濃度測定装置）を利用して測定するとともに、ガス除去エアフィルタ１１を通ってその出口から流出したサンプル空気に含まれる試験用ガス２１およびトレーサーガス２３の濃度を光音響ガスモニタ１６を利用して測定するから、その測定中にトレーサーガス２３がエアフィルタ１１の出入口側においてそれら光音響ガスモニタ１５，１６に検出された場合、試験用ガス２１がガス除去エアフィルタ１１に確実に流入したことが実証され、逆に、その測定中にトレーサーガス２３がエアフィルタ１１の出入口側においてそれら光音響ガスモニタ１５，１６に検出されない場合、試験用ガス２１もガス除去エアフィルタ１１に流入していないことが実証される。ゆえに、ガス除去エアフィルタ１１の出入口側においてトレーサーガス２３が検出されることで、その測定中における試験用ガス２１のガス除去エアフィルタ１１への流入を認定することができ、試験用ガス２１を使用してガス除去エアフィルタ１１が設置された環境下の空気に含まれる対象ガスに対するガス除去エアフィルタ１１の除去効率を確実に測定することができる。
【００９８】
除去効率測定方法は、除去対象ガスと同一の試験用ガス２１を利用してガス除去エアフィルタ１１における除去効率を測定するから、対象ガスに対するガス除去エアフィルタ１１の除去効率を測定したものとみなすことができ、対象ガスに対するガス除去エアフィルタ１１の除去効率を高い精度で測定することができるとともに、対象ガスに対するガス除去エアフィルタ１１の信頼性や信憑性の高い除去効率を測定することができる。
【００９９】
除去効率測定方法は、実際に設置された使用中のガス除去エアフィルタ１１の出口側においてトレーサーガス２３とともに所定濃度の試験用ガス２１が光音響ガスモニタ１６に検出された場合、その使用中のガス除去エアフィルタ１１にリーク等の構造的な欠陥があることやガス除去エアフィルタ１１の性能が低下したことを知ることができる。また、それによってそのガス除去エアフィルタ１１の使用限界を知ることができるから、ガス除去エアフィルタ１１を交換する時期を具体的に判断することができる。除去効率測定方法は、ガス除去エアフィルタ１１の実際の使用環境においてガス除去エアフィルタ１１を適時に交換することができ、空気に除去対象ガスが含まれたとしても、ガス除去エアフィルタ１１を利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。
【０１００】
除去効率測定方法は、ガス除去エアフィルタ１１の除去対象ガスに対する使用可能な限界効率に対応させてガス除去エアフィルタ１１の入口側から供給する試験用ガス２１の空気に対する濃度の倍率を決定するから、ガス除去エアフィルタ１１の使用環境を考慮しつつ、ガス除去エアフィルタ１１の交換の指標となる限界効率に応じて試験用ガス２１の空気に対する濃度の倍率を自由に決定することができる。除去効率測定方法は、ガス除去エアフィルタ１１の限界効率に応じた倍率の濃度の試験用ガス２１が光音響ガスモニタ１６に検出された場合、そのガス除去エアフィルタ１１の使用限界を知ることができ、ガス除去エアフィルタ１１を交換する時期を正確に判断することができる。
【０１０１】
除去効率測定方法は、ガス除去エアフィルタ１１の入口側から供給する試験用ガス２１の濃度が光音響ガスモニタ１５の検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高い場合、必要以上に高い濃度の試験用ガス２１を使用するとガス除去エアフィルタ１１の性能を低下させることになるが、レーサーガス２３を利用して試験用ガス２１のガス除去エアフィルタ１１への流入を実証することで、光音響ガスモニタ１５の検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高い濃度の試験用ガス２１を除去効率の測定に使用することができるとともに、試験用ガス２１の供給時間を短くすることができ、ガス除去エアフィルタ１１の性能を低下させることなく、そのガス除去エアフィルタ１１の除去効率を確実に測定することができる。除去効率測定方法は、光音響ガスモニタ１５の検出限界濃度にあわせて試験用ガス２１の濃度を自由に設定することができる。
【０１０２】
図９は、ガス供給停止後サンプリングにおける条件設定画面の一例を示す図であり、図１０は、他の一例として示す図６から続く除去効率測定方法のフローチャートである。図１１は、図１０から続くフローチャートであり、図１２は、濃度測定データ表示画面の他の一例を示す図である。図９，図１２では、各入力エリアや各表示エリアに表示されるデータの図示を省略している。なお、以下の説明では、バックグラウンドサンプリングを示す図６を援用する。システム１０Ａを起動し、図３の初期画面において濃度倍率設定ボタンＡ１をクリックすると、コントローラ１７は、図４の濃度倍率設定画面をディスプレイ５２に表示する。図４の濃度倍率設定画面の各入力エリアＢ１〜Ｂ３に名称や限界効率、濃度倍率の各データを入力する。
【０１０３】
フィルタ名を入力するとともに限界効率を入力した後、実行ボタンＢ４をクリックすると、コントローラ１７は、限界効率入力エリアＢ２に入力された限界効率に基づいて、ガス除去エアフィルタ１１に供給する試験用ガス２１のダクト１９内の空気に対する濃度の倍率を決定する（濃度倍率決定手段、濃度倍率決定プロセス）（Ｓ−１０）。また、フィルタ名を入力するとともに濃度倍率を入力した後、実行ボタンＢ４をクリックする。コントローラ１７は、測定対象フィルタ名入力エリアＢ１に入力された測定対象フィルタを特定するフィルタ識別子を生成し、濃度倍率（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（濃度倍率格納手段、濃度倍率格納プロセス）。コントローラ１７は、濃度倍率を格納すると、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。
【０１０４】
初期画面において条件設定ボタンＡ２をクリックすると、コントローラ１７は、ガス供給中サンプリング条件設定ボタンとガス供給停止後サンプリング条件設定ボタンとが表示された選択画面をディスプレイ５２に表示する（図示せず）。ガス供給中サンプリング条件設定ボタンをクリックすると、コントローラ１７は、図５のガス供給中サンプリング条件設定画面をディスプレイ５２に表示する。図５の条件設定画面の各入力エリアＣ１〜Ｃ６に除去対象ガス、トレーサーガス、供給時間、トレーサーガスの濃度倍率、サンプリング時間、サンプリング量を入力する。
【０１０５】
コントローラ１７は、入力（選択）された除去対象ガス（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（除去対象ガス格納手段、除去対象ガス格納プロセス）、入力（選択）されたトレーサーガス（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納するとともに（トレーサーガス格納手段、トレーサーガス格納プロセス）、供給時間（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（供給時間格納手段、供給時間格納プロセス）。
【０１０６】
さらに、コントローラ１７は、入力（選択）されたトレーサーガス濃度倍率（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（トレーサーガス農簿倍率格納手段、トレーサーガス農簿倍率格納プロセス）、サンプリング時間（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納するとともに（サンプリング時間格納手段、サンプリング時間格納プロセス）、サンプリング量（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（サンプリング量格納手段、サンプリング量格納プロセス）（Ｓ−１１）。
【０１０７】
コントローラ１７は、除去対象ガスやトレーサーガス、供給時間、トレーサーガス濃度倍率、サンプリング時間、サンプリング量を格納すると、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。濃度倍率設定やガス供給中における条件設定が完了した後、バックグラウンドガス濃度第１測定手段（バックグラウンドガス濃度第１測定プロセス）やバックグラウンドガス濃度第２測定手段（バックグラウンドガス濃度第２測定プロセス）、バックグラウンドガス濃度第１格納手段（バックグラウンドガス濃度第１格納プロセス）、バックグラウンドガス濃度第２格納手段（バックグラウンドガス濃度第２格納プロセス）を実行する。なお、バックグラウンドガス濃度測定やバックグラウンドガス濃度格納における各手順は、図６のフローチャートのステップ１２（Ｓ−１２）〜ステップ１７（Ｓ−１７）のとおりであるから、上述した図６の説明を援用することで、その詳細な説明は省略する。
【０１０８】
バックグラウンドガス濃度測定やバックグラウンドガス濃度格納が完了した後、図３の初期画面のガス供給中サンプリングボタンＡ４をクリックする。ガス供給中サンプリングボタンＡ４をクリックすると、コントローラ１７は、指定した除去対象ガスと同一の試験用ガス２１およびトレーサーガス２３をダクト１９内に供給する（ガス供給手段、ガス供給プロセス）（Ｓ−３０）。コントローラ１７は、第１空気サンプリングユニット１３を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の上流側に延びるダクト１９（ダクト１９の空気取り入れ口２０とガス除去エアフィルタ１１の入口との間に延びるダクト１９）からサンプル空気をサンプリングするとともに（第１サンプリング手段、第１サンプリングプロセス）、第２空気サンプリングユニット１４を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の下流側に延びるダクト１９（ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト１９の空気排出口４２との間に延びるダクト１９）からサンプル空気をサンプリングする（第２サンプリング手段、第２サンプリングプロセス）（Ｓ−３１）。
【０１０９】
コントローラ１７は、ガス供給中メッセージおよび空気サンプリング中メッセージをディスプレイ５２に表示する（図示せず）。なお、ダクト１９には図示しない給気ファンや排気ファンを介して施設内の空気が強制的に流入しており、ガス除去エアフィルタ１１の周囲の空気の風量や風速が均一ではない。コントローラ１７は、ダクト１９を流れる空気に対して試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度があらかじめ設定された濃度倍率になるように、所定量の試験用ガス２１やトレーサーガス２３を通気管路２９，３４に流入させ、試験用ガス２１やトレーサーガス２３をガス供給機構２２，２４の吹出口２８，３３からダクト１９内に流入させる。
【０１１０】
コントローラ１７は、あらかじめ設定された供給時間の間、それらガス２１，２３をダクト１９に供給し、供給時間が経過すると、それらガス２１，２３の供給を停止する。コントローラ１７は、それらガス２１，２３の供給と供給停止とを同期して行い、それらガス２１，２３を同一時間ダクト１９に供給する。ガス除去エアフィルタ１１の入口側の空気（ダクト１９の空気取り入れ口２０とガス除去エアフィルタ１１の入口との間に延びるダクト１９を流動する空気）は、その一部（サンプル空気）が通気管路４１を通って光音響ガスモニタ１５に流入する。ガス除去エアフィルタ１１を通過した空気（ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト１９の空気排出口４２との間に延びるダクト１９を流動する空気）は、その一部（サンプル空気）が通気管路４９を通って光音響ガスモニタ１６に流入する。
【０１１１】
コントローラ１７は、第１空気サンプリングユニット１３がサンプリングしたサンプル空気に含まれる試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度測定を光音響ガスモニタ１５に指示する。光音響ガスモニタ１５は、コントローラ１７の指示によってサンプル空気に含まれる試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度を測定する（ガス濃度第１測定手段、ガス濃度第１測定プロセス）（Ｓ−３２）。サンプル空気は、光音響ガスモニタ１５から通気管路４１を通って放出口３６からダクト１９内に放出される。
【０１１２】
なお、光音響ガスモニタ１５は、バックグラウンドガス濃度第１測定手段（バックグラウンドガス濃度第１測定プロセス）によって測定した除去対象ガスの濃度を参照し、ガス濃度第１測定手段（ガス濃度第１測定プロセス）によって測定した試験用ガス２１の濃度を補正する。さらに、光音響ガスモニタ１５は、バックグラウンドガス濃度第１測定手段（バックグラウンドガス濃度第１測定プロセス）によって測定したトレーサーガスの濃度を参照し、ガス濃度第１測定手段（ガス濃度第１測定プロセス）によって測定したトレーサーガス２３の濃度を補正する。
【０１１３】
コントローラ１７は、第２空気サンプリングユニット１４がサンプリングしたサンプル空気に含まれる試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度測定を光音響ガスモニタ１６に指示する。光音響ガスモニタ１６は、コントローラ１７の指示によってサンプル空気に含まれる試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度を測定する（ガス濃度第２測定手段、ガス濃度第２測定プロセス）（Ｓ−３２）。サンプル空気は、光音響ガスモニタ１６から通気管路４９を通って放出口４４からダクト１９内に放出される。
【０１１４】
なお、光音響ガスモニタ１６は、バックグラウンドガス濃度第２測定手段（バックグラウンドガス濃度第２測定プロセス）によって測定した除去対象ガスの濃度を参照し、ガス濃度第２測定手段（ガス濃度第２測定プロセス）によって測定した試験用ガス２１の濃度を補正する。さらに、光音響ガスモニタ１６は、バックグラウンドガス濃度第２測定手段（バックグラウンドガス濃度第２測定プロセス）によって測定したトレーサーガスの濃度を参照し、ガス濃度第２測定手段（ガス濃度第２測定プロセス）によって測定したトレーサーガス２３の濃度を補正する。
【０１１５】
コントローラ１７は、サンプリング時間が経過したかを判断する（Ｓ−３３）。サンプル空気がそれら光音響ガスモニタ１５，１６に流入してから所定時間が経過し、サンプリング時間が経過した場合、コントローラ１７は、サンプリングを停止し（Ｓ−３４）、試験用ガス２１やトレーサーガス２３のダクト１９内への供給を停止する。
【０１１６】
サンプル空気のサンプリングを停止した後（第１および第２サンプリング手段を完了した後）、コントローラ１７は、ガス供給中サンプリング完了メッセージ、ガス供給停止メッセージ、ガス濃度測定終了ボタン、ガス濃度測定継続ボタンをディスプレイ５２に表示する（図示せず）。ガス濃度測定終了ボタンをクリックすると、コントローラ１７は、ガス供給中サンプリングが終了したと判断し（Ｓ−３５）、それら光音響ガスモニタ１５，１６に濃度測定データの送信を指示する。
【０１１７】
光音響ガスモニタ１５は、サンプル空気の試験用ガス実測濃度（補正した試験用ガス実測濃度）とトレーサーガス実測濃度（補正したトレーサーガス実測濃度）とをコントローラ１７に出力する（Ｓ−３６）。コントローラ１７は、光音響ガスモニタ１５から出力された濃度測定第１データ（試験用ガス実測濃度、トレーサーガス実測濃度、サンプリング日時、光音響ガスモニタ１５を特定するモニタ識別子）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第１格納手段、ガス濃度第１格納プロセス）（Ｓ−３７）。
【０１１８】
光音響ガスモニタ１６は、サンプル空気の試験用ガス実測濃度（補正した試験用ガス実測濃度）とトレーサーガス実測濃度（補正したトレーサーガス実測濃度）とをコントローラ１７に出力する（Ｓ−３６）。コントローラ１７は、光音響ガスモニタ１６から出力された濃度測定第２データ（試験用ガス実測濃度、トレーサーガス実測濃度、サンプリング日時、光音響ガスモニタ１６を特定するモニタ識別子）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第２格納手段、ガス濃度第２格納プロセス）（Ｓ−３７）。コントローラ１７は、ガス供給中ガス濃度測定完了メッセージとガス供給中ガス濃度測定完了確認ボタンとをディスプレイ５２に表示する（図示せず）。ガス供給中ガス濃度測定完了確認ボタンをクリックすると、コントローラ１７は、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。
【０１１９】
同じガス除去エアフィルタ１１においてサンプル空気の試験用ガス２１とトレーサーガス２３との濃度測定を２回以上行う場合、ガス濃度測定継続ボタンをクリックする。ガス濃度測定継続ボタンをクリックすると、コントローラ１７は、ガス供給中サンプリングが終了していないと判断するとともに（Ｓ−３５）、それら光音響ガスモニタ１５，１６に濃度測定データの送信を指示する。それら光音響ガスモニタ１５，１６は、サンプル空気の試験用ガス実測濃度（補正した試験用ガス実測濃度）とトレーサーガス実測濃度とをコントローラ１７に出力する（Ｓ−３８）。
【０１２０】
コントローラ１７は、それら光音響ガスモニタ１５，１６から出力された濃度測定第１データ（試験用ガス実測濃度、トレーサーガス実測濃度、サンプリング日時、モニタ識別子）や濃度測定第２データ（試験用ガス実測濃度、トレーサーガス実測濃度、サンプリング日時、モニタ識別子）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第１格納手段、ガス濃度第１格納プロセス、ガス濃度第２格納手段、ガス濃度第２格納プロセス）（Ｓ−３９）。コントローラ１７は、濃度測定第１データや濃度測定第２データを格納すると、図４の濃度倍率設定画面をディスプレイ５２に表示し、ステップ１０（Ｓ−１０）からの手順を繰り返す。その場合、濃度倍率や条件設定を従前と同一としつつ、バックグラウンドサンプリングを省略した状態でステップ１８（Ｓ−１８）以降の手順を実施することができる。
【０１２１】
ガス供給中サンプリングが完了した後、ガス供給停止後サンプリングを行うには、図３の初期画面において条件設定ボタンＡ２をクリックする。条件設定ボタンＡ２をクリックすると、コントローラ１７は、ガス供給中サンプリング条件設定ボタンとガス供給停止後サンプリング条件設定ボタンとが表示された選択画面をディスプレイ５２に表示する（図示せず）。ガス供給停止後サンプリング条件設定ボタンをクリックすると、コントローラ１７は、図９のガス供給停止後条件設定画面をディスプレイ５２に表示する。図９の条件設定画面には、測定対象フィルタ名入力エリアＤ１、サンプリング時間入力エリアＤ２、サンプリング量入力エリアＤ３、実行ボタンＤ４、キャンセルボタンＤ５、クリアボタンＤ６が表示される。
【０１２２】
測定対象フィルタ名入力エリアＤ１に測定対象フィルタの名称を入力（測定対象フィルタ名入力エリアＤ１のプルダウンリストから測定対象フィルタ名を選択）し、サンプリング時間入力エリアＤ２にサンプリング時間を入力（サンプリング時間入力エリアＤ２のプルダウンリストからサンプリング時間を選択）するとともに、サンプリング量入力エリアＤ３にサンプリング量を入力（サンプリング量入力エリアＤ３のプルダウンリストからサンプリング量を選択）する。キャンセルボタンＤ５をクリックすると、図３の初期画面に戻る。クリアボタンＤ６をクリックすると、入力エリアＤ１〜Ｄ３に入力されたデータが消去され、入力エリアＤ１〜Ｄ３に各データを再入力する。
【０１２３】
それら入力エリアＤ１〜Ｄ３に各データを入力した後、実行ボタンＤ４をクリックすると、コントローラ１７は、図示はしていないが、条件設定確認画面をディスプレイ５２に表示する。条件設定確認画面では、各入力エリアにデータが表示されるとともに、条件確認ボタン、条件変更ボタンが表示される。測定対象フィルタ名やサンプリング時間、サンプリング量に変更があれば、条件変更ボタンをクリックする。条件変更ボタンをクリックすると、図９の条件設定画面に戻り、それら入力エリアＤ１〜Ｄ３に各データを再入力する。測定対象フィルタ名やサンプリング時間、サンプリング量に変更がなければ、条件確認ボタンをクリックする。
【０１２４】
条件確認ボタンをクリックすると、コントローラ１７は、入力（選択）された測定対象フィルタ名（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し、サンプリング時間（格納日時を含む）フィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納するとともに（サンプリング時間格納手段、サンプリング時間格納プロセス）、サンプリング量（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（サンプリング量格納手段、サンプリング量格納プロセス）（Ｓ−４０）。
【０１２５】
コントローラ１７は、測定対象フィルタ名やサンプリング時間、サンプリング量を格納すると、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。ガス供給停止後サンプリングにおける条件設定が完了した後、図３の初期画面において、ガス供給停止後サンプリングボタンＡ５をクリックする。ガス供給停止後サンプリングボタンＡ５をクリックすると、コントローラ１７は、第１空気サンプリングユニット１３を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の上流側に延びるダクト１９からサンプル空気をサンプリングするとともに（第４サンプリング手段、第４サンプリングプロセス）、第２空気サンプリングユニット１４を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の下流側に延びるダクト１９からサンプル空気をサンプリングする（第３サンプリング手段、第３サンプリングプロセス）（Ｓ−４１）。
【０１２６】
コントローラ１７は、図示はしていないが、ガス供給停止中メッセージおよび空気サンプリング中メッセージをディスプレイ５２に表示する。なお、ガス供給停止後サンプリング手段の実行中では、試験用ガス２１やトレーサーガス２３のダクト１９内への供給が停止している。また、ダクト１９には図示しない給気ファンや排気ファンを介して施設内の空気が強制的に流入しており、ガス除去エアフィルタ１１の周囲の空気の風量や風速が均一ではない。
【０１２７】
コントローラ１７は、切替バルブ４０，４８の弁機構を閉め、切替バルブ３９，４７の弁機構を開け、所要量（サンプリング量）のサンプル空気がそれら光音響ガスモニタ１５，１６に流入するように弁機構の開度を調節しつつ、吸引ポンプ３７，４５を稼動させる。ガス除去エアフィルタ１１の入口側の空気（ダクト１９の空気取り入れ口２０とガス除去エアフィルタ１１の入口との間に延びるダクト１９を流動する空気）は、その一部（サンプル空気）が採集口３５からポンプ３７に進入し、通気管路４１を通って光音響ガスモニタ１５に流入する。ガス除去エアフィルタ１１を通過した空気（ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト１９の空気排出口４２との間に延びるダクト１９を流動する空気）は、その一部（サンプル空気）が採集口４３からポンプ４５に進入し、通気管路４９を通って光音響ガスモニタ１６に流入する。
【０１２８】
コントローラ１７は、第１空気サンプリングユニット１３がサンプリングしたサンプル空気に含まれる試験用ガス２１とトレーサーガス２３との濃度測定を光音響ガスモニタ１５に指示する。光音響ガスモニタ１５は、コントローラ１７の指示によってサンプル空気に含まれる試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度を測定する（ガス濃度第４測定手段、ガス濃度第４測定プロセス）（Ｓ−４２）。サンプル空気は、光音響ガスモニタ１５から通気管路４１を通って放出口３６からダクト１９内に放出される。
【０１２９】
なお、光音響ガスモニタ１５は、バックグラウンドガス濃度第１測定手段（バックグラウンドガス濃度第１測定プロセス）によって測定した除去対象ガスの濃度を参照し、ガス濃度第４測定手段（ガス濃度第４測定プロセス）によって測定した試験用ガス２１の濃度を補正する。さらに、光音響ガスモニタ１５は、バックグラウンドガス濃度第１測定手段（バックグラウンドガス濃度第１測定プロセス）によって測定したトレーサーガスの濃度を参照し、ガス濃度第４測定手段（ガス濃度第４測定プロセス）によって測定したトレーサーガス２３の濃度を補正する。
【０１３０】
コントローラ１７は、第２空気サンプリングユニット１４がサンプリングしたサンプル空気に含まれる試験用ガス２１の濃度測定を光音響ガスモニタ１６に指示する。光音響ガスモニタ１６は、コントローラの指示によってサンプル空気に含まれる試験用ガス２１の濃度を測定する（ガス濃度第３測定手段、ガス濃度第３測定プロセス）（Ｓ−４２）。サンプル空気は、光音響ガスモニタ１６から通気管路４９を通って放出口４４からダクト１９内に放出される。なお、光音響ガスモニタ１５は、バックグラウンドガス濃度第１測定手段（バックグラウンドガス濃度第１測定プロセス）によって測定した除去対象ガスの濃度を参照し、ガス濃度第３測定手段（ガス濃度第３測定プロセス）によって測定した試験用ガス２１の濃度を補正する。
【０１３１】
コントローラ１７は、サンプリング時間が経過したかを判断する（Ｓ−４３）。サンプリング時間が経過していない場合、コントローラ１７は、引き続きサンプル空気を光音響ガスモニタ１５，１６に流入させ、サンプル空気に含まれる試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度を光音響ガスモニタ１５に測定させ、サンプル空気に含まれる試験用ガス２１の濃度を光音響ガスモニタ１６に測定させる。
【０１３２】
サンプル空気が光音響ガスモニタ１５，１６に流入してから所定時間が経過し、サンプリング時間が経過した場合、コントローラ１７は、切替バルブ３９，４７の弁機構を閉じ、サンプル空気の光音響ガスモニタ１５，１６への流入を停止し、切替バルブ４０，４８の弁機構を開け、サンプル空気を放出口３６，４４からダクト１９内に放出する。次に、切替バルブ４０，４８の弁機構を閉じ、ポンプ３７，４５を停止してサンプル空気のサンプリングを停止する（Ｓ−４４）。
【０１３３】
サンプル空気のサンプリングを停止した後（第３および第４サンプリング手段を完了した後）、コントローラ１７は、図示はしていないが、サンプリング完了メッセージ、ガス濃度測定終了ボタン、ガス濃度測定継続ボタンをディスプレイ５２に表示する。ガス濃度測定終了ボタンをクリックすると、コントローラ１７は、サンプリングが終了したと判断し（Ｓ−４５）、光音響ガスモニタ１５，１６に濃度測定データの送信を指示する。
【０１３４】
光音響ガスモニタ１５は、サンプル空気の試験用ガス実測濃度（補正した試験用ガス実測濃度）とトレーサーガス実測濃度（補正したトレーサーガス実測濃度）とをコントローラ１７に出力する（Ｓ−４６）。コントローラ１７は、光音響ガスモニタ１５から出力された濃度測定第３データ（試験用ガス実測濃度、トレーサーガス実測濃度、サンプリング日時、光音響ガスモニタ１５を特定するモニタ識別子）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第４格納手段、ガス濃度第４格納プロセス）（Ｓ−４７）。
【０１３５】
光音響ガスモニタ１６は、サンプル空気の試験用ガス実測濃度（補正した試験用ガス実測濃度）をコントローラ１７に出力する（Ｓ−４６）。コントローラ１７は、光音響ガスモニタ１６から出力された濃度測定第４データ（試験用ガス実測濃度、サンプリング日時、光音響ガスモニタ１６を特定するモニタ識別子）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第３格納手段、ガス濃度第３格納プロセス）（Ｓ−４７）。コントローラ１７は、図示はしていないが、ガス供給停止後ガス濃度測定完了メッセージとガス供給停止後ガス濃度測定完了確認ボタンとをディスプレイ５２に表示する。ガス供給停止後ガス濃度測定完了確認ボタンをクリックすると、コントローラ１７は、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。
【０１３６】
同じガス除去エアフィルタ１１においてサンプル空気の試験用ガス２１とトレーサーガス２３との濃度測定を２回以上行う場合、ガス濃度測定継続ボタンをクリックする。ガス濃度測定継続ボタンをクリックすると、コントローラ１７は、ガス供給停止後サンプリングが終了していないと判断するとともに（Ｓ−４５）、それら光音響ガスモニタ１５，１６に濃度測定データの送信を指示する。それら光音響ガスモニタ１５，１６は、サンプル空気の試験用ガス実測濃度とトレーサーガス実測濃度とをコントローラ１７に出力する（Ｓ−４８）。
【０１３７】
コントローラ１７は、それら光音響ガスモニタ１５，１６から出力された濃度測定第３データ（試験用ガス実測濃度、トレーサーガス実測濃度、サンプリング日時、モニタ識別子）や濃度測定第４データ（試験用ガス実測濃度、サンプリング日時、モニタ識別子）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第３格納手段、ガス濃度第３格納プロセス、ガス濃度第４格納手段、ガス濃度第４格納プロセス）（Ｓ−４９）。コントローラ１７は、濃度測定第３データや濃度測定第４データを格納すると、図９の条件設定画面をディスプレイ５２に表示し、ステップ４０（Ｓ−４０）からの手順を繰り返す。
【０１３８】
ガス供給停止後の試験用ガス濃度測定やトレーサーガス濃度測定が完了した後、図３の初期画面において濃度測定データ表示ボタンＡ７をクリックすると、コントローラ１７は、図１２の濃度測定データ表示画面をディスプレイ５２に表示する（濃度測定データ出力手段、濃度測定データ出力プロセス）（Ｓ−５０）。濃度測定データは、プリンタを介して出力することができる（濃度測定データ出力手段、濃度測定データ出力プロセス）（Ｓ−５０）。
【０１３９】
濃度測定データ表示画面には、ガス供給中サンプリングのガス濃度測定データとして、測定対象フィルタ名表示エリアＥ１、サンプリング日時表示エリアＥ２、除去対象ガス表示エリアＥ３、除去対象ガス濃度倍率表示エリアＥ４、トレーサーガス表示エリアＥ５、トレーサーガス濃度倍率表示エリアＥ６、供給時間表示エリアＥ７、サンプリング時間表示エリアＥ８、サンプリング量表示エリアＥ９、フィルタ入口側試験用ガス実測濃度表示エリアＥ１０、フィルタ入口側トレーサーガス実測濃度表示エリアＥ１１、フィルタ出口側試験用ガス実測濃度表示エリアＥ１２、フィルタ出口側トレーサーガス実測濃度表示エリアＥ１３が表示される。ガス供給停止後サンプリングの濃度測定データとして、測定対象フィルタ名表示エリアＥ１４、サンプリング日時表示エリアＥ１５、サンプリング時間表示エリアＥ１６、サンプリング量表示エリアＥ１７、フィルタ入口側試験用ガス実測濃度表示エリアＥ１８、フィルタ入口側トレーサーガス実測濃度表示エリアＥ１９、フィルタ出口側試験用ガス実測濃度表示エリアＥ２０が表示される。さらに、印刷ボタンＥ２１、閉じるボタンＥ２２が表示される。
【０１４０】
測定対象フィルタ名表示エリアＥ１には、図４の濃度倍率設定画面で指定した測定対象フィルタ名が表示され、サンプリング日時表示エリアＥ２には、その測定対象フィルタのサンプル空気のサンプリング日時が表示されるとともに、除去対象ガス表示エリアＥ３には、図５の条件設定画面において指定した除去対象ガスが表示される。除去対象ガス濃度倍率表示エリアＥ４には、除去対象ガスの濃度倍率が表示され、トレーサーガス表示エリアＥ５には、図５の条件設定画面において指定したトレーサーガス２３が表示されるとともに、トレーサーガス濃度倍率表示エリアＥ６には、トレーサーガス２３の濃度倍率が表示される。供給時間表示エリアＥ７には、それらガス２１，２３の供給時間が表示され、サンプリング時間表示エリアＥ８には、サンプリング時間が表示されるとともに、サンプリング量表示エリアＥ９には、サンプリング量が表示される。
【０１４１】
フィルタ入口側試験用ガス実測濃度表示エリアＥ１０には、試験用ガス２１やトレーサーガス２３の供給中におけるフィルタ１１入口側の試験用ガス２１（第１サンプリングユニット１３にサンプリングされたサンプル空気に含まれる試験用ガス２１）の実測濃度が表示される。フィルタ入口側トレーサーガス実測濃度表示エリアＥ１１には、試験用ガス２１やトレーサーガス２３の供給中におけるフィルタ１１入口側のトレーサーガス２３（第１サンプリングユニット１３にサンプリングされたサンプル空気に含まれるトレーサーガス２３）の実測濃度が表示される。
【０１４２】
フィルタ出口側試験用ガス実測濃度表示エリアＥ１２には、試験用ガス２１やトレーサーガス２３の供給中におけるフィルタ１１出口側の試験用ガス（第２サンプリングユニット１４にサンプリングされたサンプル空気に含まれる試験用ガス２１）の実測濃度が表示される。フィルタ出口側トレーサーガス実測濃度表示エリアＥ１３には、試験用ガス２１やトレーサーガス２３の供給中におけるフィルタ１１出口側のトレーサーガス２３（第２サンプリングユニット１４にサンプリングされたサンプル空気に含まれるトレーサーガス２３）の実測濃度が表示される。
【０１４３】
測定対象フィルタ名表示エリアＥ１４には、図４の濃度倍率設定画面や図９の条件設定画面で指定した測定対象フィルタ名が表示され、サンプリング日時表示エリアＥ１５には、その測定対象フィルタのサンプル空気のサンプリング日時が表示される。サンプリング時間表示エリアＥ１６には、サンプリング時間が表示され、サンプリング量表示エリアＥ１７には、サンプリング量が表示される。
【０１４４】
フィルタ入口側試験用ガス実測濃度表示エリアＥ１８には、試験用ガス２１やトレーサーガス２３の供給停止後におけるフィルタ１１入口側の試験用ガス２１（第１サンプリングユニット１３にサンプリングされたサンプル空気に含まれる試験用ガス２１）の実測濃度が表示される。フィルタ入口側トレーサーガス実測濃度表示エリアＥ１９には、試験用ガス２１やトレーサーガス２３の供給停止後におけるフィルタ１１入口側のトレーサーガス２３（第１サンプリングユニット１３にサンプリングされたサンプル空気に含まれるトレーサーガス２３）の実測濃度が表示される。フィルタ出口側試験用ガス実測濃度表示エリアＥ２０には、試験用ガス２１やトレーサーガス２３の供給停止後におけるフィルタ１１出口側の試験用ガス２１（第２サンプリングユニット１４にサンプリングされたサンプル空気に含まれる試験用ガス２１）の実測濃度が表示される。
【０１４５】
図１０，１１のフローチャート（図６のフローチャートを含む）で説明した除去効率測定方法は、図６，７のフローチャートで説明した除去効率測定方法が有する効果に加え、以下の効果を有する。図１０，１１のフローチャートで説明した除去効率測定方法は、試験用ガス２１とトレーサーガス２３との供給を停止した後、ガス除去エアフィルタ１１の入口に流入する空気に含まれる試験用ガス２１とトレーサーガス２３との濃度を光音響ガスモニタ１５，１６を利用して測定するから、ガス除去エアフィルタ１１の入口側において所定濃度の試験用ガス２１やトレーサーガス２３が光音響ガスモニタ１５に検出されない場合、それらガス２１，２３の供給が確実に停止したことが実証される。また、除去効率測定方法は、試験用ガス２１とトレーサーガス２３との供給を停止した後、ガス除去エアフィルタ１１から飛散してその出口から流出したサンプル空気に含まれる試験用ガス２１の濃度を光音響ガスモニタ１６を利用して測定するから、所定濃度の試験用ガス２１が光音響ガスモニタ１６に検出された場合、実際に設置された使用中のガス除去エアフィルタ１１にリーク等の構造的な欠陥以外の化学的な欠陥等の他の欠陥があることを知ることができる。また、それによってそのガス除去エアフィルタ１１の使用限界を知ることができるから、ガス除去エアフィルタ１１を交換する時期を具体的に判断することができる。除去効率測定方法は、ガス除去エアフィルタ１１の実際の使用環境においてガス除去エアフィルタ１１を適時に交換することができ、空気に除去対象ガスが含まれたとしても、ガス除去エアフィルタ１１を利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。
【０１４６】
図１３は、他の一例として示す除去効率測定システム１０Ｂの構成図である。このシステム１０Ｂが図１のそれと異なるところはサンプル空気をテドラーバック５５，５６（サンプル空気採集具）によってサンプリングする点にあり、その他の構成は図１のシステム１０Ａのそれらと同一であるから、図１と同一の符号を付すとともに、図１の説明を援用することで、このシステム１０Ｂのその他の構成の説明は省略する。除去効率測定システム１０Ｂは、ガス除去エアフィルタ１１（ガス除去装置）と、ガス供給ユニット１２と、第１サンプリングユニット１３と、第２空気サンプリングユニット１４と、光音響ガスモニタ５４（ガス濃度測定装置）と、コントローラ１７とから形成され、光音響ガスモニタ５４を１台のみ使用する。
【０１４７】
第１空気サンプリングユニット１３の通気管路４１の接続端子（図示せず）には、３個のテドラーバック５５Ａ〜５５Ｃが接続されている。管路４１に設置された切替バルブ３９Ａ〜３９Ｃは、インターフェイス５３を介してコントローラ１７に接続されている。第２空気サンプリングユニット１４の通気管路４９の接続端子（図示せず）には、３個のテドラーバック５６Ａ〜５６Ｃが接続されている。管路４９に設置された切替バルブ４７Ａ〜４７Ｃは、インターフェイス５３を介してコントローラ１７に接続されている。
【０１４８】
それらテドラーバック５５，５６は、合成樹脂フィルムから作られ、サンプル空気を気密に貯蔵する。サンプル空気を貯蔵した後、テドラーバック５５，５６は通気管路４１，４９から取り外される。なお、テドラーバック５５，５６の個数に特に限定はなく、３個未満のテドラーバック５５，５６を使用することもでき、４個以上のテドラーバック５５，５６を使用することもできる。光音響ガスモニタ５４は、テドラーバック５５，５６に収納されたサンプル空気に含まれる各種複数のガス（ガス成分）の濃度を複数同時に測定するとともに、それらガスの濃度を連続的に測定し、測定したガス濃度をコントローラ１７に出力する。
【０１４９】
図１４は、光音響ガスモニタによるガス測定を説明する図であり、図１５は、このシステム１０Ｂによって実行される除去効率測定方法のフローチャートである。ステップ５０（Ｓ−５０）の濃度倍率決定手段（濃度倍率決定プロセス）や濃度倍率格納手段（濃度倍率格納プロセス）における手順は、上述した図６のステップ１０（Ｓ−１０）とおりであるから、それらの説明は省略する。ステップ５１（Ｓ−５１）の除去対象ガス格納手段（除去対象ガス格納プロセス）やレーサーガス格納手段（トレーサーガス格納プロセス）、供給時間格納手段（供給時間格納プロセス）、トレーサーガス農簿倍率格納手段（トレーサーガス農簿倍率格納プロセス）、サンプリング時間格納手段（サンプリング時間格納プロセス）、サンプリング量格納手段（サンプリング量格納プロセス）における手順は、上述した図６のステップ１１（Ｓ−１１）とおりであるから、それらの説明は省略する。
【０１５０】
コントローラ１７は、除去対象ガスやトレーサーガス、供給時間、トレーサーガス濃度倍率、サンプリング時間、サンプリング量を格納すると、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。濃度倍率設定やガス供給中における条件設定が完了した後、図３の初期画面において、バックグラウンドサンプリングボタンＡ３をクリックする。バックグラウンドサンプリングボタンＡ３をクリックすると、コントローラ１７は、第１空気サンプリングユニット１３を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の上流側に延びるダクト１９からサンプル空気をサンプリングする（バックグラウンド第１サンプリング手段、バックグラウンド第１サンプリングプロセス）。さらに、第２空気サンプリングユニット１４を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の下流側に延びるダクト１９からサンプル空気をサンプリングする（バックグラウンド第２サンプリング手段、バックグラウンド第２サンプリングプロセス）（Ｓ−５２）。
【０１５１】
コントローラ１７は、切替バルブ３９Ｂ，３９Ｃ，４０，４７Ｂ，４７Ｃ，４８の弁機構を閉め、切替バルブ３９Ａ，４７Ａの弁機構を開け、所要量（サンプリング量）のサンプル空気がテドラーバック５５Ａ，５６Ａに流入するように弁機構の開度を調節しつつ、吸引ポンプ３７，４５を稼動させる。ガス除去エアフィルタ１１の入口側の空気は、その一部（サンプル空気）が採集口３５からポンプ３７に進入し、通気管路４１を通ってテドラーバック５５Ａに収容される。ガス除去エアフィルタ１１を通過した空気は、その一部（サンプル空気）が採集口４３からポンプ４５に進入し、通気管路４９を通ってテドラーバック５６Ａに収容される。
【０１５２】
コントローラ１７は、所定量のサンプル空気がテドラーバック５５Ａ，５６Ａに収容されると、切替バルブ３９Ａ，４７Ａの弁機構を閉じ、切替バルブ４０，４８の弁機構を開け、サンプル空気を放出口３６，４４からダクト１９内に放出する。次に、切替バルブ４０，４８の弁機構を閉じ、ポンプ３７，４５を停止してサンプル空気のサンプリングを停止する。
【０１５３】
サンプル空気のサンプリングが停止した後、通気管路４１，４９の接続端子からテドラーバック５５Ａ，５６Ａを取り外し、図１４に示すように、それらテドラーバック５５Ａ，５６Ａを光音響ガスモニタ５４の接続端子に順番に接続する。コントローラ１７は、テドラーバック５５Ａ，５６Ａに収容されたサンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度測定を光音響ガスモニタ５４に指示する。光音響ガスモニタ５４は、コントローラ１７の指示によってサンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度を測定する（バックグラウンドガス濃度第１測定手段、バックグラウンドガス濃度第１測定プロセス、バックグラウンドガス濃度第２測定手段、バックグラウンドガス濃度第２測定プロセス）（Ｓ−５３）。
【０１５４】
光音響ガスモニタ５４は、サンプル空気の除去対象ガスバックグラウンド濃度とトレーサーガスバックグラウンド濃度とをコントローラ１７に出力する（Ｓ−５４）。コントローラ１７は、光音響ガスモニタ５４から出力された除去対象ガスバックグラウンド濃度やトレーサーガスバックグラウンド濃度（サンプリング日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（バックグラウンドガス濃度第１格納手段、バックグラウンドガス濃度第１格納プロセス、バックグラウンドガス濃度第２格納手段、バックグラウンドガス濃度第２格納プロセス）（Ｓ−５５）。コントローラ１７は、それらバックグラウンド濃度を格納すると、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。
【０１５５】
次に、図３の初期画面のガス供給中サンプリングボタンＡ４をクリックする。ガス供給中サンプリングボタンＡ４をクリックすると、コントローラ１７は、指定した除去対象ガスと同一の試験用ガス２１およびトレーサーガス２３をダクト１９内に供給する（ガス供給手段、ガス供給プロセス）（Ｓ−５６）。コントローラ１７は、ダクト１９を流れる空気に対して試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度があらかじめ設定された濃度倍率になるように、所定量の試験用ガス２１やトレーサーガス２３を通気管路２９，３４に流入させ、試験用ガス２１やトレーサーガス２３をガス供給機構２２，２４の吹出口２８，３３からダクト１９内に流入させる。
【０１５６】
コントローラ１７は、第１空気サンプリングユニット１３を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の上流側に延びるダクト１９からサンプル空気をサンプリングするとともに（第１サンプリング手段、第１サンプリングプロセス）、第２空気サンプリングユニット１４を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の下流側に延びるダクト１９からサンプル空気をサンプリングする（第２サンプリング手段、第２サンプリングプロセス）（Ｓ−５７）。
【０１５７】
コントローラ１７は、切替バルブ３９Ａ，３９Ｃ，４０，４７Ａ，４７Ｃ，４８の弁機構を閉め、切替バルブ３９Ｂ，４７Ｂの弁機構を開け、所要量（サンプリング量）のサンプル空気がテドラーバック５５Ｂ，５６Ｂに流入するように弁機構の開度を調節しつつ、吸引ポンプ３７，４５を稼動させる。ガス除去エアフィルタ１１の入口側の空気は、その一部（サンプル空気）が採集口３５からポンプ３７に進入し、通気管路４１を通ってテドラーバック５５Ｂに収容される。ガス除去エアフィルタ１１を通過した空気は、その一部（サンプル空気）が採集口４３からポンプ４５に進入し、通気管路４９を通ってテドラーバック５６Ｂに収容される。
【０１５８】
コントローラ１７は、所定量のサンプル空気がテドラーバック５５Ｂ，５６Ｂに収容されると、切替バルブ３９Ｂ，４７Ｂの弁機構を閉じ、切替バルブ４０，４８の弁機構を開け、サンプル空気を放出口３６，４４からダクト１９内に放出する。次に、切替バルブ４０，４８の弁機構を閉じ、ポンプ３７，４５を停止してサンプル空気のサンプリングを停止する。さらに、コントローラ１７は、切替バルブ２７，３２の弁機構を閉じ、試験用ガス２１やトレーサーガス２３のダクト１９内への供給を停止する。
【０１５９】
サンプル空気のサンプリングが停止した後、通気管路４１，４９の接続端子からテドラーバック５５Ｂ，５６Ｂを取り外し、それらテドラーバック５５Ｂ，５６Ｂを光音響ガスモニタ５４の接続端子に順番に接続する（図１４参照）。コントローラ１７は、テドラーバック５５Ｂ，５６Ｂに収容されたサンプル空気に含まれる試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度測定を光音響ガスモニタ５４に指示する。光音響ガスモニタ５４は、コントローラ１７の指示によってサンプル空気に含まれる試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度を測定する（ガス濃度第１測定手段、ガス濃度第１測定プロセス、ガス濃度第２測定手段、ガス濃度第２測定プロセス）（Ｓ−５８）。なお、光音響ガスモニタ５４は、バックグラウンドガス濃度測定手段（バックグラウンドガス濃度測定プロセス）によって測定した除去対象ガスやトレーサーガスの濃度を参照し、ガス濃度第１測定手段（ガス濃度第１測定プロセス）やガス濃度第２測定手段（ガス濃度第２測定プロセス）によって測定した試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度を補正する。
【０１６０】
光音響ガスモニタ５４は、サンプル空気の試験用ガス実測濃度（補正した試験用ガス実測濃度）とトレーサーガス実測濃度（補正したトレーサーガス実測濃度）とをコントローラ１７に出力する（Ｓ−５９）。コントローラ１７は、光音響ガスモニタ５４から出力された試験用ガス実測濃度やトレーサーガス実測濃度（サンプリング日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第１格納手段、ガス濃度第１格納プロセス、ガス濃度第２格納手段、ガス濃度第２格納プロセス）（Ｓ−６０）。コントローラ１７は、試験用ガス実測濃度とトレーサーガス実測濃度とを格納すると、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。
【０１６１】
ガス供給中サンプリングが完了した後、ガス供給停止後サンプリングを行うには、図３の初期画面において条件設定ボタンＡ２をクリックする。ステップ６１（Ｓ−６１）のサンプリング時間格納手段（サンプリング時間格納プロセス）やサンプリング量格納手段（サンプリング量格納プロセス）における手順は、上述した図９や図１１のステップ４０（Ｓ−４０）とおりであるから、それらの説明は省略する。
【０１６２】
次に、図３の初期画面のガス供給停止後サンプリングボタンＡ５をクリックする。ガス供給停止後サンプリングボタンＡ５をクリックすると、コントローラ１７は、第１空気サンプリングユニット１３を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の上流側に延びるダクト１９からサンプル空気をサンプリングするとともに（第４サンプリング手段、第４サンプリングプロセス）、第２空気サンプリングユニット１４を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の下流側に延びるダクト１９からサンプル空気をサンプリングする（第３サンプリング手段、第３サンプリングプロセス）（Ｓ−６２）。
【０１６３】
コントローラ１７は、切替バルブ３９Ａ，３９Ｂ，４０，４７Ａ，４７Ｂ，４８の弁機構を閉め、切替バルブ３９Ｃ，４７Ｃの弁機構を開け、所要量（サンプリング量）のサンプル空気がテドラーバック５５Ｃ，５６Ｃに流入するように弁機構の開度を調節しつつ、吸引ポンプ３７，４５を稼動させる。ガス除去エアフィルタ１１の入口側の空気は、その一部（サンプル空気）が採集口３５からポンプ３７に進入し、通気管路４１を通ってテドラーバック５５Ｃに収容される。ガス除去エアフィルタ１１を通過した空気は、その一部（サンプル空気）が採集口４３からポンプ４５に進入し、通気管路４９を通ってテドラーバック５６Ｃに収容される。
【０１６４】
コントローラ１７は、所定量のサンプル空気がテドラーバック５５Ｃ，５６Ｃに収容されると、切替バルブ３９Ｃ，４７Ｃの弁機構を閉じ、切替バルブ４０，４８の弁機構を開け、サンプル空気を放出口３６，４４からダクト１９内に放出する。次に、切替バルブ４０，４８の弁機構を閉じ、ポンプ３７，４５を停止してサンプル空気のサンプリングを停止する。
【０１６５】
サンプル空気のサンプリングが停止した後、通気管路４１，４９の接続端子からテドラーバック５５Ｃ，５６Ｃを取り外し、それらテドラーバック５５Ｃ，５６Ｃを光音響ガスモニタ５４の接続端子に順番に接続する（図１４参照）。コントローラ１７は、テドラーバック５５Ｃ，５６Ｃに収容されたサンプル空気に含まれる試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度測定を光音響ガスモニタ５４に指示する。光音響ガスモニタ５４は、コントローラ１７の指示によってサンプル空気に含まれる試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度を測定する（ガス濃度第３測定手段、ガス濃度第３測定プロセス、ガス濃度第４測定手段、ガス濃度第４測定プロセス）（Ｓ−６３）。なお、光音響ガスモニタ５４は、バックグラウンドガス濃度測定手段（バックグラウンドガス濃度測定プロセス）によって測定した除去対象ガスやトレーサーガスの濃度を参照し、ガス濃度第３測定手段（ガス濃度第３測定プロセス）やガス濃度第４測定手段（ガス濃度第４測定プロセス）によって測定した試験用ガス２１やトレーサーガス２３の濃度を補正する。
【０１６６】
光音響ガスモニタ５４は、サンプル空気の試験用ガス実測濃度（補正した試験用ガス実測濃度）とトレーサーガス実測濃度（補正したトレーサーガス実測濃度）とをコントローラ１７に出力する（Ｓ−６４）。コントローラ１７は、光音響ガスモニタ５４から出力された試験用ガス実測濃度やトレーサーガス実測濃度（サンプリング日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第３格納手段、ガス濃度第３格納プロセス、ガス濃度第４格納手段、ガス濃度第４格納プロセス）（Ｓ−６５）。コントローラ１７は、試験用ガス実測濃度とトレーサーガス実測濃度とを格納すると、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。
【０１６７】
ガス供給停止後の試験用ガス濃度測定やトレーサーガス濃度測定が完了した後、図３の初期画面において濃度測定データ表示ボタンＡ７をクリックすると、コントローラ１７は、図１２の濃度測定データ表示画面をディスプレイ５２に表示する（濃度測定データ出力手段、濃度測定データ出力プロセス）（Ｓ−６６）。濃度測定データは、プリンタを介して出力することができる（濃度測定データ出力手段、濃度測定データ出力プロセス）（Ｓ−６６）。
【０１６８】
図１５のフローチャートで説明した除去効率測定方法は、図６，７のフローチャートで説明した除去効率測定方法が有する効果に加え、以下の効果を有する。図１５のフローチャートで説明した除去効率測定方法は、試験用ガス２１とトレーサーガス２３との供給を停止した後、ガス除去エアフィルタ１１の入口に流入する空気に含まれる試験用ガス２１とトレーサーガス２３との濃度を光音響ガスモニタ１５，１６を利用して測定するから、ガス除去エアフィルタ１１の入口側において所定濃度の試験用ガス２１やトレーサーガス２３が光音響ガスモニタ１５に検出されない場合、それらガス２１，２３の供給が確実に停止したことが実証される。また、除去効率測定方法は、試験用ガス２１とトレーサーガス２３との供給を停止した後、ガス除去エアフィルタ１１から飛散してその出口から流出したサンプル空気に含まれる試験用ガス２１の濃度を光音響ガスモニタ１６を利用して測定するから、所定濃度の試験用ガス２１が光音響ガスモニタ１６に検出された場合、実際に設置された使用中のガス除去エアフィルタ１１にリーク等の構造的な欠陥以外の化学的な欠陥等の他の欠陥があることを知ることができる。また、それによってそのガス除去エアフィルタ１１の使用限界を知ることができるから、ガス除去エアフィルタ１１を交換する時期を具体的に判断することができる。除去効率測定方法は、ガス除去エアフィルタ１１の実際の使用環境においてガス除去エアフィルタ１１を適時に交換することができ、空気に除去対象ガスが含まれたとしても、ガス除去エアフィルタ１１を利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。
【符号の説明】
【０１６９】
１０Ａ  除去効率測定システム
１０Ｂ  除去効率測定システム
１１    ガス除去エアフィルタ（ガス除去装置）
１２    ガス供給ユニット
１３    第１サンプリングユニット
１４    第２サンプリングユニット
１５    光音響ガスモニタ（ガス検出装置）
１６    光音響ガスモニタ（ガス検出装置）
１７    コントローラ
２１    試験用ガス
２２    試験用ガス供給機構
２３    トレーサーガス
２４    トレーサーガス供給機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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