(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板の一方の面に第１主電極を形成後、前記半導体基板の他方の面に、イオン注入層を形成し、該イオン注入層上に第２主電極を形成する半導体装置の製造方法において、
前記イオン注入層を、
イオン注入時の半導体基板の温度が室温で第１のイオン注入層を形成する第１のイオン注入工程と、該第１のイオン注入工程に続いて、半導体基板の温度を室温より低く液体窒素温度以上の温度でボロンもしくはＢＦ2 をイオン注入して第２のイオン注入層を形成する冷却イオン注入工程によって形成し、
前記冷却イオン注入工程に続いて、３００℃以上５００℃以下で１０分から５時間の範囲でアニールすることにより、前記第１のイオン注入層をフィールドストップ層とし、前記第２のイオン注入層をコレクタ層として形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記第１主電極を、アルミニウムを主成分とする金属膜で形成することを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記第２のイオン注入層のドーズ量を、３×１０13ｃｍ-2以上とすることを特徴とする請求項１または２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記第２のイオン注入層のドーズ量を、１×１０14ｃｍ-2以上、１×１０15ｃｍ-2未満とすることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、この発明は、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ（Ｉｎｓｕｌａｔｅｄ  Ｇａｔｅ  Ｂｉｐｏｌｏｒ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒで、  以下、ＩＧＢＴと称す）などの半導体装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータや通信機器の重要部分には、多数のトランジスタや抵抗等を電気回路を構成するように結びつけて、１チップ上に集積して形成した集積回路（以下、ＩＣと称す）が多用されている。このようなＩＣの中で、電力用半導体素子を含むものはパワーＩＣと呼ばれている。
【０００３】
ＩＧＢＴは、ＭＯＳＦＥＴの高速スイッチィングおよび電圧駆動特性と、バイポーラトランジスタの低オン電圧特性をワンチップに構成した電力用半導体素子である。
ＩＧＢＴは、汎用インバータ、ＡＣサーボや無停電電源（ＵＰＳ）、スイッチング電源などの産業分野をはじめ、電子レンジ、炊飯器、ストロボなどの民生機器分野への応用が拡大してきている。さらに、次世代への開発も進んでおり、新しいチップ構造を用いた、より低オン電圧のものが開発され、応用装置の低損失化や高効率化が図られてきている。
【０００４】
ＩＧＢＴの構造としては、パンチスルー型、ノンパンチスルー型、そしてフィールドストップ型等がある。そして、現在量産されているＩＧＢＴは、一部のオーディオ・パワー・アンプ用のｐチャネル型を除いて、ほぼすべて、ｎチャネル型の縦型二重拡散構造となっている。以下に、ｎチャネル型ＩＧＢＴを例に挙げて、各構造について説明する。
【０００５】
パンチスルー型は、ｐ+ エピタキシャル基板（ｐ+ 基板）とｎ- 層（ｎ活性層）の間にｎ+ 層（ｎバッファ層）を設け、ｎ活性層中の空乏層がｎバッファに到達する構造であり、ＩＧＢＴで主流の基板構造である。例えば、耐圧６００Ｖ系に対しては、ｎ活性層の厚さは１００μｍ程度で十分であるが、ｐ+ 基板部分を含むと総厚さは３００〜４００μｍになる。そこで、エピタキシャル基板を用いずに、安価なＦＺ基板（フローティングゾーン法で製作した半導体基板のこと）を用いて、チップの低コスト化を図った低ドーズ量の浅いｐ+ コレクタ層を形成したノンパンチスルー型やフィールドストップ型が開発されてきている。
【０００６】
図１０は、低ドーズ量の浅いｐ+ コレクタ層を採用したノンパンチスルー（ＮＰＴ）型ＩＧＢＴの断面構造である。低ドーズ量の浅いｐ型コレクタ層５８（低注入のｐ+ コレクタ層）を採用したノンパンチスルー型は、エピタキシャル成長基板のようなｐ+ 基板を使わないので、基板総厚さはパンチスルー型よりも大幅に薄くなる。この構造では、ｐ型コレクタ層５８の濃度で、正孔の注入効率を制御できるので、ライフタイム制御を行わなくても高速スイッチングが可能であるが、オン電圧はｎ活性層（ｐ型ベース層５２とｐ型コレクタ層５８に挟まれたＦＺ−ｎ基板５１）の厚みと比抵抗に依存するのでやや高い値となる。但し、前述のように、高価なｐ+ エピタキシャル基板は用いずに、安価なＦＺ基板を用いているため、チップの低コスト化が可能である。
【０００７】
尚、図中の５３はｎ型エミッタ層、５４はゲート酸化膜、５５はゲート電極、５６は層間絶縁膜、５７はエミッタ電極、５９はコレクタ電極である。
図１１は、フィールドストップ（ＦＳ）型ＩＧＢＴの断面構造である。基本構造は、パンチスルー型ＩＧＢＴと同じあるが、やはりｐ+ エピタキシャル基板は用いずに、ＦＺ−ｎ基板５１を用いて基板の総厚さを１５０μｍ〜２００μｍとしている。パンチスルー型と同じくｎ活性層（ｐ型ベース層５２と、ｎ型フィールドストップ層６０に挟まれたＦＺ−ｎ基板１）は６００Ｖ耐圧に応じて１００μｍ程度にしてあり、空乏化させる。そのため、ｎ活性層下にはｎ+ 層（ｎ型フィールドストップ層６０で、ｎ型バッファ層と同じ働きをする）を設ける。コレクタ側は、低ドーズ量の浅いｐ+ 拡散層を低注入のｐ型コレクタ層５８として用いる。これにより、ノンパンチスルー型の場合と同様にライフタイム制御は不要である。
【０００８】
また、オン電圧の低減を目的として、チップ表面に狭く深い溝を形成し、その側面にチャネルを形成したトレンチＩＧＢＴの構造をノンパンチスルー型ＩＧＢＴやフィールドストップ型ＩＧＢＴを組み合わせた構造のものもある。
【０００９】
図１２は、従来のＮＰＴ−ＩＧＢＴの製造方法であり、同図（ａ）から同図（ｄ）は、主要工程の要部工程断面図である。
（１）ＦＺ−ｎ基板５１ａの表面側にゲート酸化膜５４と多結晶シリコンからなるゲート電極５５を堆積、加工し、その表面に層間絶縁膜５６を堆積、加工し、絶縁ゲート構造が作られる。
（２）ＦＺ−ｎ基板５１ａに、ｐ型ベース層５２を形成した後に、このｐ型ベース層５２内にｎ型エミッタ層５３を形成する。
（３）ｎ型エミッタ層５３に接するようにアルミ・シリコン膜からなるエミッタ電極５７を形成する。アルミ・シリコン膜は、安定した接合性の低抵抗配線を実現するために形成し、その後、熱処理をされる。さらに、図示しないが、エミッタ電極５７を覆うようにポリイミド膜からなる絶縁保護膜を形成する。
（４）次に裏面側より、所望の厚さまでＦＺ−ｎ基板をバックラップする（同図（ａ））。
（５）次に、高濃度のｐ型コレクタ層（ｐ+ の拡散層）を形成するために、裏面６１より、通常のボロンの室温イオン注入７１を行い（同図（ｂ））、その後、熱処理を行なう（同図（ｃ））。
（６）その後、ｐ型コレクタ層５８上に、アルミニウム層、チタン層、ニッケル層および金層の４層からなる裏面電極膜でコレクタ電極５９を形成する（同図（ｄ））。最後に、図示しないが、
（７）エミッタ電極５７の表面上には、アルミワイヤが超音波ワイヤボンディング装置により固着され、もう一方のコレクタ電極５９は、半田層を介して固定部材に接続される。
【００１０】
しかし、これらのＦＺ基板を用いた薄型のＩＧＢＴ構造で所望の特性を得るためには、熱処理、拡散工程が重要な技術となる。
以下、熱処理、拡散工程に関連する上記の（３）のアルミニウム・シリコン膜と（５）の裏面イオン注入、熱処理工程について記載する。
【００１１】
先ず、（３）の工程に関しては、
エミッタ電極５７を形成するアルミニウム・シリコン膜（シリコン含有量が１％以下）は、スパッタ方法により基板温度を１５０℃にして、膜厚を５μｍとして成膜している。その後、熱処理は、電気炉で４２０℃、８０ｍｉｎで実施する。熱処理を５００℃を超える高温ですると、アルミニウム・シリコン中のシリコン原子が層間絶縁膜５６との間に析出し、シリコン析出粒を起点とするワイヤボンディング時の加圧力で、層間絶縁膜５５が破壊して、ゲート電極５５とエミッタ電極５７の間の耐圧劣化が発生したり、また、この耐圧劣化を防ぐために、ワイヤボンディング時の加圧力を弱めると、ワイヤとエミッタ電極５７との接着性が低下したりする不都合が生じる。
【００１２】
図１３は、５００℃を超える高温で熱処理を行なった場合のシリコン析出状態を示す。図中の７５はシリコン析出粒である。
図１４は、図１２の状態でワイヤボンディングを実施し、層間絶縁膜にクラックが発生し、ゲート−エミッタ間の短絡が起こる場合の状態を示している図である。シリコン析出粒７５で、層間絶縁膜５５に局部的にワイヤボンディング時の加圧力が加わり、クラック７６が発生する。
【００１３】
図１５に、シリコン析出粒径と耐圧不良率の関係、図１６に、アルミニウム・シリコン膜の熱処理温度とシリコン析出粒径の関係を示す。シリコン析出粒径をが大きくなると、耐圧不良が増加し、シリコン析出粒径を１μｍ以下とするためには、熱処理温度を５００℃以下にする必要があることがわかる。
【００１４】
次に、（５）の工程に関しては、
ｐ型コレクタ層５８であるｐ型拡散層（ここでは、不純物はボロン）は、正孔を効率良く注入させ、さらに（６）工程で形成するコレクタ電極５９である裏面電極との良好なコンタクトを形成させるために、浅く高濃度である必要がある。ここでは、イオン注入はドーズ量１×１０15ｃｍ-2、加速電圧４５ｋｅＶで注入を実施し、熱処理は、電気炉で４２０℃、１ｈｒで低温拡散を実施している。この温度は、（３）の工程で決まっている。
【００１５】
図１７は、広がり抵抗法により求めたｐ型コレクタ層の濃度分布を示す。４２０℃、１ｈｒの電気炉熱処理（電気炉アニール）では、ピーク濃度も５×１０17ｃｍ-3以下と低く、図示しない、９００℃、３０ｍｉｎで電気炉熱処理（アニール）し充分に活性化した試料（イオン活性化率８０％）と比較して、イオン活性化率は２％と非常に低い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】特開平０２−００７５６９号公報
【特許文献２】特開２００１−０１５５９１号公報
【特許文献３】特開平０７−３２１３０４号公報
【特許文献４】特開２０００−２６０７７８号公報
【特許文献５】特開平０２−０２２８６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
つぎに、前記した従来技術の問題点をまてめて説明する。
（１）アルミニウム・シリコン膜などアルミニウムを主成分として含む膜のアニール温度を、高温（＞５００℃）にすると、シリコン析出粒による耐圧劣化、またはコンタクト抵抗の増加を生じる。
（２）（１）を避けるために５００℃以下の低温アニールすると、裏面拡散層（ここでは、ｐ層）のイオン活性化率は１〜２％程度（ボロンのドーズ量が１×１０15ｃｍ-2注入の場合）に留まって、良好な特性を有するデバイスを得ることができない。
【００１８】
この発明の目的は、前記の課題を解決して、イオン注入層のイオン活性化率を高めて低オン電圧化を図り、耐圧低下とコンタクト抵抗の増加を防止できる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
前記の目的を達成するために、半導体基板の一方の面に第１主電極を形成後、前記半導体基板の他方の面に、イオン注入層を形成し、該イオン注入層上に第２主電極を形成する半導体装置の製造方法において、前記イオン注入層を、イオン注入時の半導体基板の温度が室温で第１のイオン注入層を形成する第１のイオン注入工程と、該第１のイオン注入工程に続いて、半導体基板の温度を室温より低く液体窒素温度以上の温度でボロン（元素記号：Ｂ）もしくはＢＦ2 をイオン注入して第２のイオン注入層を形成する冷却イオン注入工程によって形成し、前記冷却イオン注入工程に続いて、３００℃以上５００℃以下で１０分から５時間の範囲でアニールすることにより、前記第１のイオン注入層をフィールドストップ層とし、前記第２のイオン注入層をコレクタ層として形成する製造方法とする。
【００２０】
また、前記第１主電極を、アルミニウムを主成分とする金属膜で形成するものとする。
また、前記第２のイオン注入層のドーズ量を、３×１０13ｃｍ-2以上とする。
また、前記第２のイオン注入層のドーズ量を、１×１０14ｃｍ-2以上、１×１０15ｃｍ-2未満とする。
【００２１】
前記のように、裏面のイオン注入層の形成に冷却イオン注入を用いて、その後、低温アニールを行なう。冷却イオン注入では、イオン注入時に欠陥の少ない層を形成することができ、そこに低温アニールを施すことにより、シリコン表面側形成層に影響を与えることなく、つまり、ワイヤボンディング時の層間絶縁膜の破壊（ゲート−エミッタ間の短絡）等の問題を生じることなく、裏面拡散層の活性化を図ることができる。
【００２２】
裏面のイオン注入層の形成にボロンもしくはＢＦ2 のイオン注入を用いて、その後、低温アニールを用いて行なう。ボロンのイオン注入では、冷却イオン注入時に連続的な非晶質層を形成することができ、そこに低温アニールを施すことにより、シリコン表面側形成層に影響を与えることなく、裏面拡散層の活性化を図ることができる。
【００２３】
また、質量の大きなＢＦ2 では室温イオン注入でも連続的な非晶質層が形成されるが、冷却イオン注入では、さらに、その非晶質層は、薄く形成される。また、ボロンの場合と比べて、ＢＦ2 の場合は、イオン注入層の厚さは薄く、イオン活性化率も高くできる。
【発明の効果】
【００２４】
この発明によれば、３×１０13ｃｍ-2以上（好ましくは１×１０14ｃｍ-2から１×１０15ｃｍ-2未満）のドーズ量で、ボロン（Ｂ）やＢＦ2 の冷却イオン注入を行うことで、高いイオン活性化率を得ることができる。
【００２５】
高いイオン活性化率により、少ないドーズ量で、低いアニール温度で、ＩＧＢＴのコレクタ層とコレクタ電極のオーミック性が改善できる。
また、冷却イオン注入により、アニール温度を下げることができるできて、エミッタ電極を形成するアルミ・シリコン膜にシリコン析出粒が形成されず、ワイヤボンディング時の層間絶縁膜の破壊やクラック等の発生を防止できる。また、従来と同一のドーズ量とした場合には、高濃度のコレクタ層を形成することができて、コレクタ層からベース層への正孔の注入効率を高め、ＩＧＢＴのオン特性とスイッチング特性のトレードオフを改善することができる。
【００２６】
裏面のイオン注入層の拡散に、冷却イオン注入（と低温アニール）を施すことにより、表面側に影響を与えることなく、正孔を効率良く注入させ、かつ、コレクタ電極（裏面電極）との良好なコンタクタ形成を行なうことができる。これにより、裏面プロセスを必要とする電力用半導体素子を高い生産性で製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】この発明の参考例の半導体装置の製造方法であり、（ａ）から（ｄ）は、主要工程の要部工程断面図
【図２】ボロンのドーズ量が３×１０14ｃｍ-2の場合の濃度分布図
【図３】ボロンの注入ドーズ量に対するピーク濃度の関係を示す図
【図４】ボロンの注入ドーズ量に対するシート抵抗の関係を示す図
【図５】ボロンの注入ドーズ量に対する活性化率の関係を示す図
【図６】この発明の実施例の半導体装置の製造方法であり、（ａ）から（ｃ）は主要工程の要部工程断面図
【図７】ボロンのドーズ量が３×１０14ｃｍ-2の場合のｐ層とｎ層を重ね合わせたときの濃度分布図
【図８】図２の条件で、ＢＦ2 の冷却イオン注入した場合の不純物濃度と拡散深さの関係を示す図
【図９】冷却イオン注入する場合のイオン注入層の様子を示す図で、（ａ）は室温イオン注入の場合、（ｂ）は冷却イオン注入の場合の図
【図１０】低ドーズ量の浅いｐ+ コレクタ層を採用したノンパンチスルー（ＮＰＴ）型ＩＧＢＴの断面構造図
【図１１】フィールドストップ（ＦＳ）型ＩＧＢＴの断面構造図
【図１２】従来のＮＰＴ−ＩＧＢＴの製造方法であり、（ａ）から（ｄ）は、主要工程の要部工程断面図
【図１３】５００℃を超える高温で熱処理を行なった場合のシリコン析出状態図
【図１４】層間絶縁膜にクラックが発生した図
【図１５】シリコン析出粒径と耐圧不良率の関係を示す図
【図１６】アルミニウム・シリコン膜の熱処理温度とシリコン析出粒径の関係を示す図
【図１７】広がり抵抗法により求めたｐ型コレクタ層の濃度分布図
【発明を実施するための形態】
【００２８】
図１は、この発明の参考例の半導体装置の製造方法であり、同図（ａ）から同図（ｄ）は、主要工程の要部工程断面図である。この半導体装置は、ＮＰＴ−ＩＧＢＴである。
（１）バックラップする前の半導体基板（ＦＺ−ｎ基板１ａ）の表面側にゲート酸化膜４（ここでは、ＳｉＯ2 ）と多結晶シリコン（ここでは、Ｐｏｌｙ−Ｓｉ）からなるゲート電極５を堆積、加工し、その表面に層間絶縁膜６（ここでは、ＢＰＳＧ：ボロンリンガラス）を堆積、加工し、絶縁ゲート構造が作られる。
（２）ＦＺ−ｎ基板１ａにｐ型ベース層２（ｐ+ ）を形成した後に、このｐ型ベース層２を形成した後にこのｐ型ベース層２内にｎ型エミッタ層３（ｎ+ ) を形成する。
（３）ｎ型エミッタ層３に接するようにアルミ・シリコン膜からなる表面電極（エミッタ電極７）を形成する。アルミ・シリコン膜は、安定した接合性を低抵抗配線を実現するために、その後、熱処理をされる。さらに、図示しないが、エミッタ電極７を覆うようにポリイミド膜からなる絶縁保護膜を形成する。
（４）次に裏面側より、所望の厚さまでＦＺ−ｎ基板１ａをバックラップする（同図（ａ））。
（５）つぎに、バックラップした半導体基板（ＦＺ−ｎ基板１）の裏面１１より、ボロンの冷却イオン注入１２を行い、イオン注入層１３を形成し（同図（ｂ））、その後で熱処理を行ない、高濃度のｐ型コレクタ層８（ｐ+ の拡散層）を形成する。（同図（ｃ））。
【００２９】
このイオン注入は冷却イオン注入で、半導体基板（ＦＺ−ｎ基板１）の温度を液体窒素温度（−１９６℃）にしてイオン注入し、そのドーズ量は、後述するように、３×１０13以上とする。好ましくは、１×１０14以上で１×１０15ｃｍ-2未満とするとよい。また、熱処理は、後述するように、電気炉アニールを行う。その温度は３００℃から５００℃の範囲で、時間は１０分から５時間の範囲でよく、さらに、好ましくは、温度は４００℃から４５０℃、時間は３０分から１．５時間がよい。
（６）その後、ｐ型コレクタ層８上に、アルミニウム層、チタン層、ニッケル層および金層の４層からなる裏面電極膜であるコレクタ電極９を形成する（同図（ｄ））。
【００３０】
最後に、図示しないが、
（７）表面電極膜（エミッタ電極７）の表面上には、アルミワイヤが超音波ワイヤボンディング装置により固着され、もう一方の裏面電極膜（コレクタ電極８）は、半田層を介して固定部材に接続される。
【００３１】
前記の（１）から（４）の工程と、（６）、（７）の工程は、従来技術で説明した内容と同じあるので説明は省く。前記の（５）の工程が、本発明の製造工程であり、その詳細をつぎに説明する。
【００３２】
イオン注入の工程を、通常の室温での注入で行なうのではなく、冷却状態にて行なう。そして、低温アニールは、電気炉アニール（４２０℃、１ｈｒ）を実施する。
ここでは、その液体窒素温度（−１９６℃：絶対温度＝７７Ｋ）でイオン注入（冷却イオン注入）を実施し、電気炉で４２０℃、１ｈｒアニールした場合と、室温でイオン注入（室温イオン注入）した従来例とを比較して説明する。
【００３３】
冷却イオン注入１２でボロンのイオン注入層１３（ｐ層）をドーズ量３×１０13ｃｍ-2〜１×１０15ｃｍ-2の範囲で、加速電圧４５ｋｅＶの条件で形成し、その後、電気炉アニールを４２０℃で、１ｈｒした試料を作製する。
【００３４】
また、通常のイオン注入（室温イオン注入）でボロンのイオン注入層（ｐ層）をドーズ量１×１０13ｃｍ-2〜１×１０15ｃｍ-2の範囲で、加速電圧４５ｋｅＶの条件で形成し、その後、電気炉アニールを４２０℃で、１ｈｒした試料を作製する。
【００３５】
これらの試料を広がり抵抗法（ＳＲ法）により濃度分布を測定する。ドーズが５×１０13ｃｍ-2以上で、冷却イオン注入の方が室温イオン注入より、ピーク濃度が高くできる。また、拡散深さは、冷却イオン注入の方が室温イオン注入より、浅くできる。
【００３６】
図２は、ボロンのドーズ量が３×１０14ｃｍ-2の場合の濃度分布図である。Ａは冷却イオン注入であり、Ｂは室温イオン注入である。この図は、前記したドーズ量１×１０13ｃｍ-2〜１×１０15ｃｍ-2の範囲の内、代表例として、３×１０14ｃｍ-2の場合を挙げた。Ａのピーク濃度ＣPAの方が、Ｂのピーク濃度ＣPBよりも、高ピーク濃度となり、拡散深さはＡの方が浅くなることが示されている。
【００３７】
図３は、ボロンの注入ドーズ量に対するピーク濃度の関係を示す図である。Ｃは冷却イオン注入であり、Ｄは室温イオン注入である。冷却イオン注入（Ｃ）の方が、室温イオン注入（Ｄ）より、注入ドーズ量３×１０13ｃｍ-2以上でピーク濃度を大きくできる。図４は、ボロンの注入ドーズ量に対するシート抵抗の関係を示す図である。Ｃは冷却イオン注入であり、Ｄは室温イオン注入である。この図は、図３と対応しており、冷却イオン注入（Ｃ）の方が、室温イオン注入（Ｄ）より、注入ドーズ量３×１０13ｃｍ-2以上で低抵抗化が図れる。
【００３８】
図５は、ボロンの注入ドーズ量に対するイオン活性化率の関係を示す図である。Ｃは冷却イオン注入であり、Ｄは室温イオン注入である。冷却イオン注入（Ｃ）の方が、室温イオン注入（Ｄ）より、注入ドーズ量３×１０13ｃｍ-2以上でイオン活性化率を大きくできる。また、冷却イオン注入（Ｃ）において、ドーズ量を１×１０14ｃｍ-2以上で、１×１０15ｃｍ-2未満とすると、イオン活性化率を１５％以上にすることができる。
【００３９】
前記したように、冷却イオン注入法を用いることで、ｐ型コレクタ層８を形成するイオン注入層のイオン活性化率を、ドーズ量３×１０13ｃｍ-2以上で、室温イオン注入法よりも高めることができる。また、ドーズ量１×１０14ｃｍ-2以上で、１×１０15ｃｍ-2未満とすることで、イオン活性化率を１５％以上とすることができる。
【００４０】
このように、ｐ型コレクタ層８の高い活性化により、高いピーク濃度のｐ型コレクタ層８を形成することができる。その結果、ｐ型コレクタ層８からの正孔の注入効率を高めることができて、オン電圧を低下させることができる。
【００４１】
また、冷却イオン注入により、高いイオン活性化率が得られ、そのため、アニール温度を下げることができるできて、エミッタ電極７を形成するアルミ・シリコン膜にシリコン析出粒が形成されず、ワイヤボンディング時の層間絶縁膜６の破壊やクラック等の発生を防止できる。
【００４２】
また、高いイオン活性化率により、少ないドーズ量で、低いアニール温度で、ＩＧＢＴのｐ型コレクタ層８とコレクタ電極９のオーミック性が改善できる。
また、従来と同一のドーズ量とした場合には、高濃度のｐ型コレクタ層８を形成することができて、ｐ型コレクタ層８からベース層（ＦＺ−ｎ基板１）への正孔の注入効率を高め、ＩＧＢＴのオン特性とスイッチング特性のトレードオフを改善することができる。
【００４３】
また、前記した電気炉アニール（熱処理）の温度は、３００℃から５００℃の範囲で、時間は１０分から５時間の間の組み合わせで決めてもよい。５００℃を超えると、コレクタ電極９にシリコン析出粒が発生して好ましくない。また、３００℃未満では、アニール効果が弱く、ｐ型コレクタ層８とコレクタ電極９との接触抵抗が高くなり（オーミック性が良くない）、好ましくない。
【００４４】
この温度と時間は、４００℃から４５０℃、時間は３０分から１．５時間の範囲で決めると、前記した高いイオン活性化率を得る点でさらに好ましい。
図６は、この発明の実施例の半導体装置の製造方法であり、同図（ａ）から同図（ｃ）は主要工程の要部工程断面図である。この半導体装置は、ＦＳ−ＩＧＢＴ（フィールドストップ型ＩＧＢＴ）であり、ここで説明する内容は図１の（５）の工程である。
【００４５】
ＦＺ−ｎ基板１の裏面１１に、室温イオン注入１４で、ｎ型フィールドストップ層１０なるリンのイオン注入層１５を形成し（同図（ａ））、その後、冷却イオン注入１６で、ｐ型コレクタ層８となるボロンのイオン注入層１７を形成し（同図（ｂ））、その後、電気炉アニールして、ｎ型フィールドストップ層１０およびｐ型コレクタ層８を形成する（同図（ｃ））。これにより、ｎ型フィールドストップ層を有するＦＳ−ＩＧＢＴとすることができる。
【００４６】
つぎに、この冷却イオン注入１７の最適なドーズ量をつぎに説明する。
ＦＳ−ＩＧＢＴ（フィールドストップ型ＩＧＢＴ）に適用するために、先ず、ｎ型フィールドストップ層を形成するために、リン（ｎ層）を室温でイオン注入を、ドーズ量１×１０13ｃｍ-2で、加速電圧２４０ｋｅＶ、室温（ＲＴ）で行い、その後、冷却イオン注入で、ｐ型コレクタ層を形成するために、ボロンのイオン注入層（ｐ層）をドーズ量３×１０13ｃｍ-2〜１×１０15ｃｍ-2の範囲で、加速電圧４５ｋｅＶで形成し、その後、電気炉アニールで４２０℃、１ｈｒした試料を製作する。また、同条件でリンを注入した後に、通常の室温イオン注入を実施した場合の試料を製作する。
【００４７】
両者を比較すると、冷却イオン注入の方が、室温イオン注入よりも、３×１０13ｃｍ-2のドーズ量以上でボロン（ｐ層）のピーク濃度を向上させることができ、活性化することできる。
【００４８】
このことから、この実施例の場合も、参考例の場合のドーズ量の範囲が有効である。また、冷却イオン注入温度、低温アニール温度、時間およびｐ型コレクタ層の厚さについても、参考例と同様の範囲が有効である。
【００４９】
図７は、ボロンのドーズ量が３×１０14ｃｍ-2の場合の濃度分布図である。ここでは、前記したドーズ量１×１０13ｃｍ-2〜１×１０15ｃｍ-2の範囲の内、代表例として、３×１０14ｃｍ-2の場合を挙げた。Ｅは冷却イオン注入であり、Ｆは室温イオン注入である。Ｅのピーク濃度ＣPAの方が、Ｆのピーク濃度ＣPBよりも、高ピーク濃度となり、拡散深さはＥの方が浅くなることが示されている。
【００５０】
前記の実施例は、イオン種がボロンの場合について、説明したが、質量の大きいＢＦ2 に代えた場合も、ドーズ量、冷却イオン注入温度、低温アニール温度、時間について、同様の範囲で、同様の効果が期待される。但し、ここではＢＦ2 はボロンより質量数が大きいため、加速エネルギーを６０ｋｅＶとしている。
【００５１】
図８は、図２の条件で、ＢＦ2 の冷却イオン注入した場合の不純物濃度と拡散深さの関係を示す図である。拡散深さは、図２に示すボロンの場合の０．４μｍに対して、０．２μｍと浅くなる。また、不純物濃度もボロンの場合より高くなり、イオン活性化率が高くなる。参考までに、室温イオン注入した場合の不純物プロフィルを点線で示す。
【００５２】
図９は、ボロンをイオン注入する場合のイオン注入層の様子を示す図で、同図（ａ）は室温イオン注入の場合、同図（ｂ）は冷却イオン注入の場合である。
ボロンの室温イオン注入２１では、イオン注入時に点欠陥が多いイオン注入層２２が深い箇所まで形成される。点欠陥が多いために、その後の低温アニールで、数％の極めて低いイオン活性化率で、不純物層が形成される。
【００５３】
一方、冷却イオン注入では、イオン注入時に点欠陥の少ない連続した非晶質層２４を形成することができ、その後の低温アニールで、連続した非晶質層２４が高いイオン活性化率で、不純物層に変化する。
【００５４】
この連続した非晶質層２４は、３×１０13ｃｍ-2以上のドーズ量で得ることができて、特に、１×１０14ｃｍ-2以上のドーズ量で顕著となる。
また、前記の非晶質層２４は、ドーズ量が多くなると、非晶質層２５のように表面層に形成される傾向があり、従って、ドーズ量が多くなるほど、不純物プロフィルの拡散深さは小さくなる。これは室温イオン注入には見られない傾向である。
【００５５】
質量の大きいＢＦ2 の場合は、室温イオン注入でも連続した非晶質層が形成されるが、冷却イオン注入にすると、その非晶質層は表面層に形成され、非晶質層の厚さは、室温の場合より薄くなる。低温アニールでのイオン活性化率もボロンより高く、そのため、ピーク濃度は、ボロンの場合より高くなる。これらのことは、図８に示されている。
【００５６】
前記した実施例についてまとめると、つぎのようになる。
（１）図９で説明したメカニズムによれば、室温より低い温度で、ボロンを冷却イオン注入すると、高いイオン活性化率が得られる。従って、現段階では、液体窒素温度（−１９６℃）で、顕著な効果が出ているが、−３０℃程度以下でも高い活性化率が得られる可能性がある。そのため、冷却イオン注入の温度は、室温より低く、−１９６℃以上の高い温度とする。好ましくは、−３０℃以下で、−１９６℃以上がよい。
（２）電気炉アニールの温度は３００℃以上でアニール効果が現れ、５００℃を超えるとエミッタ電極７のシリコンが析出して、耐圧が低下し始める。そのため、アニール温度は、３００℃以上で、５００℃以下とする。好ましくは、４００℃以上で、４５０℃以下がよい。
（３）アニール時間は、アニール温度が高い程短い時間に設定しないと、やはり析出による耐圧低下が起こる。そのため、アニール温度が３５０℃の場合は５時間以内がよい。また５００℃の場合で１０分未満ではアニール効果が弱く、１０分以上が必要となる。従って、アニール時間は、１０分以上で、５時間以下とする。好ましくは、３０分以上で、１．５時間以下がよい。
（４）（１）から（３）の条件の組み合わせることで、ｐ型コレクタ層８の厚さは、０．３μｍから０．５μｍが得られる。
（５）ＢＦ2 の冷却イオン注入の場合も、ボロンの冷却イオン注入の場合と同様に、（１）項から（３）項の範囲で、同様の効果が期待できる。
【００５７】
さらに、ここでは詳細な説明は省くが、電気炉アニールの代わりに、ＸｅＣｌエキシマレーザー（波長３０８ｎｍ、半値幅４９ｎｓ）、ＸｅＦエキシマレーザー（波長３５１ｎｍ、半値幅１４ｎｓ）、ＫｒＦエキシマレーザー（波長２４８、ＹＡＧの第二高調波を利用したレーザー（波長５３２ｎｍ）、ＹＡＧの第三高調波を利用したレーザー（波長３５５ｎｍ）等を用いることで、活性化率を向上させることができることは勿論である。
【符号の説明】
【００５８】
１    ＦＺ−ｎ基板（バックラップ後）
１ａ    ＦＺ−ｎ基板（バックラップ前）
２    ｐ型ベース層
３    ｎ型エミッタ層
４    ゲート酸化膜
５    ゲート電極
６    層間絶縁膜
７    エミッタ電極
８    ｐ型コレクタ層
９    コレクタ電極
１０    ｎ型フィールドストップ層
１１    裏面
１２    冷却イオン注入
１３    イオン注入層
１４    室温イオン注入（リン）
１５    イオン注入層（リン）
１６    冷却イオン注入（ボロン）
１７    イオン注入層（ボロン）
Ａ、Ｃ、Ｅ  冷却イオン注入品
Ｂ、Ｄ、Ｆ  室温イオン注入品
【図１】
0005445563.tif 000002
【図２】
0005445563.tif 000003
【図３】
0005445563.tif 000004
【図４】
0005445563.tif 000005
【図５】
0005445563.tif 000006
【図６】
0005445563.tif 000007
【図７】
0005445563.tif 000008
【図８】
0005445563.tif 000009
【図９】
0005445563.tif 000010
【図１０】
0005445563.tif 000011
【図１１】
0005445563.tif 000012
【図１２】
0005445563.tif 000013
【図１３】
0005445563.tif 000014
【図１４】
0005445563.tif 000015
【図１５】
0005445563.tif 000016
【図１６】
0005445563.tif 000017
【図１７】
0005445563.tif 000018