(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路基板に検査用信号を供給して行う検査において当該検査用信号の供給に伴う放電の発生を検出する放電検出回路の動作確認に用いられる擬似放電を発生させる擬似放電発生器であって、
一対の入力用端子に対する前記検査用信号の供給によって当該各入力用端子の間に生じる端子間電圧が参照電圧以上のときに第１信号を出力する比較器と、当該比較器から前記第１信号が出力されたときに予め決められた時間長の第２信号を生成して出力する信号生成回路と、前記各入力用端子に接続される負荷回路と、前記第２信号を入力して前記時間長だけ前記負荷回路と前記各入力用端子とを接続させて当該各入力用端子の間に前記擬似放電を発生させるスイッチ回路とを備えて構成されている擬似放電発生器。
【請求項２】
前記負荷回路は、抵抗、定電圧ダイオード、定電流ダイオードの少なくとも１つを備えて構成されている請求項１記載の擬似放電発生器。
【請求項３】
前記参照電圧の値を任意に設定可能に構成されている請求項１または２記載の擬似放電発生器。
【請求項４】
前記時間長を任意に設定可能に構成されている請求項１から３のいずれかに記載の擬似放電発生器。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の擬似放電発生器と、検査用信号を生成する信号生成回路と、前記検査用信号を検査対象の回路基板に供給したときに生じる物理量に基づいて当該回路基板を検査する検査部と、前記回路基板に対する前記検査用信号の供給に伴う放電の発生を検出する放電検出回路と、前記放電の発生が検出されたときに前記回路基板を不良と判定すると共に前記擬似放電発生器によって発生させられた擬似放電によって前記放電検出回路の動作確認の処理を行う処理部とを備えて構成されている回路基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板に対する検査において放電の発生を検出する放電検出回路の動作確認に用いられる擬似放電を発生させる擬似放電発生器、およびその擬似放電発生器を備えた回路基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の回路基板検査装置として、特許第３５４６０４６号公報に開示された絶縁検査装置が知られている。この絶縁検査装置は、可変電圧源、電圧計、制御部およびスパーク検出回路などを備えて構成され、回路基板における配線パターン間の絶縁状態の良否を判定し、絶縁状態が不良な配線パターンが存在するときにはその回路基板が不良品であると判定する。また、この絶縁検査装置は、絶縁検査中に配線パターン間で発生するスパークをスパーク検出回路が検出し、スパークを検出したときにも、その回路基板が不良品であると判定する。この場合、可変電圧源から出力される直流電圧の印加によってスパークが発生すると、可変電圧源の出力電圧が急変動（急低下）する。このため、スパーク検出回路がこの変動する電圧を検出することにより、スパークの発生が検出される。スパーク検出回路は、例えば、サンプルホールド回路や比較器等で構成され、電圧計から出力される電圧信号を所定の周期でサンプリングして電圧を比較し、電圧が基準値以上に変動した（立ち下がったこと）を検出したときに、スパーク発生信号を出力する。また、制御部は、スパーク検出回路からスパーク発生信号が出力されたときに、回路基板が不良品であると判定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３５４６０４６号公報（第５−６頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記した絶縁検査装置を含む従来のこの種の回路基板検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、従来の回路基板検査装置は、スパーク（放電）の発生を検出するスパーク検出回路が正常に動作するか否かを検査するため、擬似放電器を備えている。この場合、従来の回路基板検査装置では、一般的に、擬似放電器としてサージアブソーバ（アレスタ）が採用されている。サージアブソーバは、供給される電圧が予め決められた規定値よりも低い状態では高い抵抗を有し、供給される電圧が規定値以上となったときに抵抗が急激に低下する特性を有している。このため、サージアブソーバに直流電圧を供給することで、擬似放電を発生させることができる。しかしながら、サージアブソーバで発生する放電は、回路基板の配線パターンに直流電圧を供給したときに実際に発生する放電とは特性が異なることがある。例えば、回路基板において実際に発生する放電では、放電に伴う発熱によって配線パターンが瞬時に焼損して放電が瞬時に（１０ｎｓ〜１０ｍｓ程度の時間で）終了するのに対して、サージアブソーバで発生する放電では、直流電圧の供給が継続している限り放電状態も断続的に継続する。このため、サージアブソーバで発生する擬似的な放電によってスパーク検出回路が動作することを確認したとしても、実際に発生する放電を確実に検出することができるか否かについてまで確認することは困難である。したがって、従来の回路基板検査装置には、放電検出回路の動作確認を正確に行うのが困難であるという問題点が存在する。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、放電の発生を検出する放電検出回路の動作確認を正確に行い得る擬似放電発生器および回路基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の擬似放電発生器は、回路基板に検査用信号を供給して行う検査において当該検査用信号の供給に伴う放電の発生を検出する放電検出回路の動作確認に用いられる擬似放電を発生させる擬似放電発生器であって、一対の入力用端子に対する前記検査用信号の供給によって当該各入力用端子の間に生じる端子間電圧が参照電圧以上のときに第１信号を出力する比較器と、当該比較器から前記第１信号が出力されたときに予め決められた時間長の第２信号を生成して出力する信号生成回路と、前記各入力用端子に接続される負荷回路と、前記第２信号を入力して前記時間長だけ前記負荷回路と前記各入力用端子とを接続させて当該各入力用端子の間に前記擬似放電を発生させるスイッチ回路とを備えて構成されている。
【０００７】
また、請求項２記載の擬似放電発生器は、請求項１記載の擬似放電発生器において、前記負荷回路は、抵抗、定電圧ダイオード、定電流ダイオードの少なくとも１つを備えて構成されている。
【０００８】
また、請求項３記載の擬似放電発生器は、請求項１または２記載の擬似放電発生器において、前記参照電圧の値を任意に設定可能に構成されている。
【０００９】
また、請求項４記載の擬似放電発生器は、請求項１から３のいずれかに記載の擬似放電発生器において、前記時間長を任意に設定可能に構成されている。
【００１０】
また、請求項５記載の回路基板検査装置は、請求項１から４のいずれかに記載の擬似放電発生器と、検査用信号を生成する信号生成回路と、前記検査用信号を検査対象の回路基板に供給したときに生じる物理量に基づいて当該回路基板を検査する検査部と、前記回路基板に対する前記検査用信号の供給に伴う放電の発生を検出する放電検出回路と、前記放電の発生が検出されたときに前記回路基板を不良と判定すると共に前記擬似放電発生器によって発生させられた擬似放電によって前記放電検出回路の動作確認の処理を行う処理部とを備えて構成されている。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の擬似放電発生器、および請求項５記載の回路基板検査装置によれば、一対の入力用端子の間に生じる端子間電圧が参照電圧以上のときに第１信号を出力する比較器と、比較器から第１信号が出力されたときに予め決められた時間長の第２信号を生成して出力する信号生成回路と、第２信号の時間長だけ負荷回路と各入力用端子とを接続させて各入力用端子の間に擬似放電を発生させるスイッチ回路とを備えたことにより、第２信号の時間長だけ擬似放電状態を継続させ、時間長の経過後には負荷回路と入力用端子との接続を解除させて擬似放電を終了させることができる。このため、この擬似放電発生器および回路基板検査装置によれば、放電状態が断続的に長い時間継続するサージアブソーバとは異なり、検査用信号の供給に伴って回路基板に実際に発生する放電と同様の擬似放電を再現することができる。したがって、この擬似放電発生器および回路基板検査装置によれば、放電検出部の動作確認を十分正確に行うことができる。
【００１２】
また、請求項２記載の擬似放電発生器、および請求項５記載の回路基板検査装置によれば、抵抗、定電圧ダイオード、定電流ダイオードの少なくとも１つを備えて負荷回路を構成したことにより、例えば、これらの少なくとも１つを交換したり、これらを組み合わせて用いることで、擬似放電を発生させる際の電圧の立ち下がり速度や、電圧の変動量（降下量）などの負荷特性（インピーダンス特性）を設定することができるため、擬似放電を実際に発生する放電にさらに近付けることができる。
【００１３】
また、請求項３記載の擬似放電発生器、および請求項５記載の回路基板検査装置によれば、比較器によって端子間電圧と比較される参照電圧の値を任意に設定可能に構成したことにより、放電検出部に対して設定されている基準値（放電検出部が作動する電圧値）に応じて参照電圧を設定することができるため、基準値が異なる複数種類の放電検出部の動作確認を正確に行うことが可能となっている。
【００１４】
また、請求項４記載の擬似放電発生器、および請求項５記載の回路基板検査装置によれば、信号生成回路によって出力される第２信号の時間長を任意に設定可能に構成したことにより、回路基板に実際に発生する放電の継続時間に合わせて時間長を設定することで、擬似放電を実際に発生する放電に一層近付けることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】回路基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】インピーダンス回路６３の構成を示す構成図である。
【図３】入力用端子６５ａ，６５ｂの間に生じる端子間電圧Ｖｍの電圧変化を示す波形図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、擬似放電発生器および回路基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１７】
最初に、回路基板検査装置の一例としての回路基板検査装置１の構成について説明する。図１に示す回路基板検査装置１は、例えば、電子部品が実装されていない回路基板（ベアボード）１００における導体パターン１０１の間の絶縁状態を検査可能に構成されている。具体的には、回路基板検査装置１は、同図に示すように、信号生成回路２、電圧検出部３、電流検出部４、放電検出部５、擬似放電発生器６および制御部７を備えて構成されている。
【００１８】
信号生成回路２は、制御部７の制御に従い、電圧が５０Ｖ〜２００Ｖ程度の範囲内に規定された検査用信号（一例として、直流電圧信号）Ｖｅを生成して出力する。
【００１９】
電圧検出部３は、図１に示すように、電圧検出回路３１およびＡ／Ｄコンバータ３２を備えて構成されている。電圧検出回路３１は、ローパスフィルタおよびレンジ回路を備えて構成され、回路基板１００の導体パターン１０１に対して検査用信号Ｖｅを供給したときに生じる物理量としての導体パターン１０１の間の電圧の低周波成分を検出する。Ａ／Ｄコンバータ３２は、電圧検出回路３１によって検出された電圧の低周波成分のサンプリングデータＤ１を出力する。
【００２０】
電流検出部４は、図１に示すように、電流検出回路４１およびＡ／Ｄコンバータ４２を備えて構成されている。電流検出回路４１は、ローパスフィルタおよびレンジ回路を備えて構成され、回路基板１００の導体パターン１０１に対して検査用信号Ｖｅを供給したときに生じる物理量としての導体パターン１０１の間に流れる電流の低周波成分を検出する。Ａ／Ｄコンバータ４２は、電流検出回路４１によって検出された電流の低周波成分のサンプリングデータＤ２を出力する。
【００２１】
放電検出部５は、放電検出回路の一例であって、導体パターン１０１の間の絶縁状態の検査において、検査用信号Ｖｅの供給に伴う放電の発生を検出する。具体的には、放電検出部５は、図１に示すように、電圧検出回路５１およびコンパレータ５２を備えて構成されている。電圧検出回路５１は、ハイパスフィルタおよびレンジ回路を備えて構成され、回路基板１００の導体パターン１０１に対して検査用信号Ｖｅを供給したときに生じる物理量としての導体パターン１０１の間の電圧の高周波成分を検出する。コンパレータ５２は、電圧検出回路５１によって検出された変動する電圧の高周波成分の値が基準値Ｎ以上のときに検出信号Ｓｄを出力する。
【００２２】
擬似放電発生器６は、放電検出部５の動作確認に用いられる擬似放電を発生可能に構成されている。具体的には、擬似放電発生器６は、図１に示すように、コンパレータ６１、ワンショット回路６２、インピーダンス回路６３、スイッチ回路６４および一対の入力用端子６５ａ，６５ｂを備えて構成されている。この場合、後述するように、放電検出部５の動作確認を行う際に、入力用端子６５ａ，６５ｂに対してプローブ２００，２００が接触（プロービング）させられる。
【００２３】
コンパレータ６１は、比較器の一例であって、検査用信号Ｖｅの供給によって入力用端子６５ａ，６５ｂの間に生じる端子間電圧Ｖｍと参照電圧Ｖｒとを比較し、端子間電圧Ｖｍの値が参照電圧Ｖｒの値以上のときに第１信号Ｓ１を出力する。また、コンパレータ６１は、図１に示すように、参照電圧Ｖｒを規定するための可変電源６１ａを備えて構成され、後述するように、参照電圧Ｖｒを任意に設定することが可能となっている。ワンショット回路６２は、信号生成の一例であって、コンパレータ６１から第１信号Ｓ１が出力されたときに、予め決められた時間長ｔの動作信号（例えば、パルス信号）Ｓ２を出力する。また、ワンショット回路６２は、同図に示すように、時間長ｔを設定するための可変抵抗６２ａを備えて構成され、後述するように、時間長ｔを任意に設定することが可能となっている。
【００２４】
インピーダンス回路６３は、負荷回路の一例であって、後述する回路部品で入力用端子６５ａ，６５ｂ間を接続（つまり短絡）することにより、供給されている検査用信号Ｖｅを利用して疑似放電を発生させる。このインピーダンス回路６３は、図１に示すように、スイッチ回路６４を介して入力用端子６５ａ，６５ｂに接続される。つまり、インピーダンス回路６３およびスイッチ回路６４の直列回路が、入力用端子６５ａ，６５ｂ間に接続されている。この場合、インピーダンス回路６３は、一例として、図２に示すように、抵抗７１、定電圧ダイオード（ツェナーダイオード）７２、定電流ダイオード７３、およびこれらを接続するための複数のスイッチ７４を備え、スイッチ７４の切り替えにより、抵抗７１、定電圧ダイオード７２および定電流ダイオード７３のいずれか１つ、またはこれらのうちの複数の組み合わせ（具体的には、抵抗７１、定電圧ダイオード７２および定電流ダイオード７３のいずれか１つ、または定電圧ダイオード７２および定電流ダイオード７３のいずれか１つと抵抗７１との組み合わせ）を選択することで、擬似放電を発生させた際の電圧の立ち下がりや電圧の最小値などのインピーダンス特性を変更することが可能に構成されている。
【００２５】
スイッチ回路６４は、一例として、ＦＥＴスイッチで構成されている。この場合、スイッチ回路６４は、ワンショット回路６２から出力された第２信号Ｓ２の時間長ｔだけインピーダンス回路６３と入力用端子６５ａ，６５ｂとを接続させて、入力用端子６５ａ，６５ｂの間に擬似放電を発生させる。
【００２６】
制御部７は、信号生成回路２による検査用信号Ｖｅの出力を制御する。また、制御部７は、検査部として機能し、電圧検出部３によって出力されるサンプリングデータＤ１から特定した電圧、および電流検出部４によって出力されるサンプリングデータＤ２から特定した電流に基づき、回路基板１００における導体パターン１０１の間の抵抗値を算出し、この抵抗値に基づいて導体パターン１０１の間の絶縁状態を検査する。
【００２７】
また、制御部７は、処理部として機能し、擬似放電発生器６が発生させた擬似放電によって放電検出部５の動作確認の処理を行う。また、制御部７は、回路基板１００の導体パターン１０１に対する検査用信号Ｖｅの供給に伴う放電の発生の有無を判定する。この場合、制御部７は、放電検出部５から検出信号Ｓｄが出力されたときに放電が発生したと判定する。
【００２８】
次に、回路基板検査装置１を用いて回路基板１００における導体パターン１０１の間の絶縁状態を検査する検査方法、およびその際の回路基板検査装置１の動作について、図面を参照して説明する。
【００２９】
検査に先立ち、放電検出部５の動作確認を行う。この動作確認では、まず、擬似放電発生器６に対する各種の設定を行う。具体的には、コンパレータ６１についての参照電圧Ｖｒの値を設定する。参照電圧Ｖｒの値を小さい値に設定することで、端子間電圧Ｖｍの値が小さいときに擬似放電を発生させることができ、参照電圧Ｖｒの値を大きい値に設定することで、端子間電圧Ｖｍの値が大きいときに擬似放電を発生させることができる。
【００３０】
また、ワンショット回路６２によって出力される第２信号Ｓ２の時間長ｔを設定する。時間長ｔを長い時間に設定することで、放電の時間を長くすることができ、時間長ｔを短い時間に設定することで、放電の時間を短くすることができる。この場合、一例として、時間長ｔを１ｍｓに設定したものとする。また、インピーダンス回路６３のスイッチ７４を切り替えて、抵抗７１、定電圧ダイオード７２および定電流ダイオード７３のうちの１つ以上を接続させることにより、擬似放電を発生させる際の電圧の立ち下がり速度および電圧の変動量（降下量）などのインピーダンス特性を設定する。この場合、電圧の変動量が基準値Ｎ以上となるように設定を行う。
【００３１】
次いで、回路基板検査装置１に対して放電検出部５の動作確認の実行を指示する。これに応じて、制御部７が、図外のプロービング機構を制御して、プローブ２００を擬似放電発生器６の入力用端子６５ａ，６５ｂに接触させる。続いて、制御部７が信号生成回路２を制御して検査用信号Ｖｅの出力を開始させ、これにより、入力用端子６５ａ，６５ｂの間に検査用信号Ｖｅが供給される。また、検査用信号Ｖｅの供給によって入力用端子６５ａ，６５ｂの間に検査用信号Ｖｅと等しい電圧値の端子間電圧Ｖｍが発生する。
【００３２】
一方、擬似放電発生器６では、コンパレータ６１が検査用信号Ｖｅの供給によって入力用端子６５ａ，６５ｂの間に生じた端子間電圧Ｖｍと参照電圧Ｖｒとを比較し、図３に示すように、端子間電圧Ｖｍの値が参照電圧Ｖｒの値以上となったときに第１信号Ｓ１を出力する。次いで、ワンショット回路６２が、コンパレータ６１からの第１信号Ｓ１の出力によって作動し、時間長ｔの第２信号Ｓ２を出力する。
【００３３】
続いて、スイッチ回路６４が、ワンショット回路６２から出力された第２信号Ｓ２を入力し、第２信号Ｓ２の時間長（パルス長）ｔだけインピーダンス回路６３と入力用端子６５ａ，６５ｂとを接続させる。この際に、インピーダンス回路６３の立ち上がり特性に応じた大きな電流が流れ、図３に示すように、入力用端子６５ａ，６５ｂの間の端子間電圧Ｖｍがインピーダンス回路６３のインピーダンス特性に応じて急激に変動（降下）して、入力用端子６５ａ，６５ｂの間に擬似放電が発生する。
【００３４】
この際に、放電検出部５の電圧検出回路５１が急激に変動する電圧を検出する。この場合、電圧の変動量が基準値Ｎ以上となるようにインピーダンス回路６３のインピーダンス特性が設定されているため、擬似放電の発生によって電圧の変動量が基準値Ｎ以上となる結果、放電検出部５のコンパレータ５２が検出信号Ｓｄを出力する。次いで、制御部７が、放電検出部５からの検出信号Ｓｄの出力を判別し、放電が発生した（つまり、放電検出部５が正常に作動した）と判定する。続いて、制御部７は、放電検出部５が正常に作動した旨を図外の表示部に表示させる。以上により、放電検出部５の動作確認が終了する。
【００３５】
この場合、この擬似放電発生器６では、スイッチ回路６４が、ワンショット回路６２から出力された第２信号Ｓ２の時間長ｔ（この例では、１ｍｓ）だけ作動するため、擬似放電状態が１ｍｓだけ継続し、１ｍｓ経過後にはインピーダンス回路６３と入力用端子６５ａ，６５ｂとの接続が解除されて擬似放電が終了する。このため、この擬似放電発生器６では、放電状態が断続的に長い時間継続するサージアブソーバとは異なり、検査用信号Ｖｅの供給に伴って導体パターン１０１の間に実際に発生する放電と同様の擬似放電を再現することが可能となっている。したがって、この擬似放電発生器６では、放電検出部５の動作確認を正確に行うことが可能となっている。
【００３６】
また、この擬似放電発生器６では、コンパレータ６１によって端子間電圧Ｖｍと比較される参照電圧Ｖｒの値を任意に設定することが可能となっているため、放電検出部５に対して設定されている基準値Ｎに応じて参照電圧Ｖｒを設定することができる結果、基準値Ｎが異なる複数種類の放電検出部５の動作確認を正確に行うことが可能となっている。また、ワンショット回路６２によって出力される第２信号Ｓ２の時間長ｔを任意に設定することが可能となっているため、導体パターン１０１の間に実際に発生する放電の継続時間に合わせて時間長ｔを設定することで、実際に発生する放電に擬似放電を一層近付けることが可能となっている。
【００３７】
次に、検査対象の回路基板１００に対する検査を回路基板検査装置１に実行させる。この検査では、制御部７が、図外のプロービング機構を制御して、プローブ２００を回路基板１００の導体パターン１０１に接触させる。次いで、制御部７は、信号生成回路２を制御して検査用信号Ｖｅの出力を開始させる。これにより、導体パターン１０１に検出信号Ｓｄが供給される。
【００３８】
続いて、電圧検出部３の電圧検出回路３１が、導体パターン１０１の間の電圧を検出し、Ａ／Ｄコンバータ３２が、電圧検出回路３１によって検出された電圧のサンプリングデータＤ１を出力する。また、電流検出部４の電流検出回路４１が、導体パターン１０１の間に流れる電流を検出し、Ａ／Ｄコンバータ４２が、電流検出回路４１によって検出された電流のサンプリングデータＤ２を出力する。
【００３９】
また、制御部７は、放電が発生したか否かを判定する判定処理を実行する。この判定処理では、制御部７は、放電検出部５から検出信号Ｓｄが出力されたか否かを判別する。
【００４０】
ここで、導体パターン１０１に短絡や近接などの欠陥が存在して、検査用信号Ｖｅの供給によって放電が発生し、これに伴って導体パターン１０１の間の電圧が急激に降下したときには、放電検出部５の電圧検出回路５１によって変動する電圧が検出される。この場合、電圧の変動量が基準値Ｎ以上のときには、コンパレータ５２が検出信号Ｓｄを出力する。この際には、制御部７が、放電検出部５からの検出信号Ｓｄの出力を判別し、放電が発生したと判定して、その旨を図外の表示部に表示させる。
【００４１】
この場合、回路基板検査装置１では、擬似放電発生器６を備えており、回路基板１００に対する検査に先立って擬似放電発生器６を用いた放電検出部５の動作確認を行うことが可能となっているため、放電検出部５の非作動や誤作動に起因する放電検出の誤判定を防止することが可能となっている。このため、この回路基板検査装置１では、放電検出の精度を十分に向上させることが可能となっている。
【００４２】
一方、導体パターン１０１に欠陥が存在せず、検査用信号Ｖｅの供給による放電の発生がないときには、導体パターン１０１の間の電圧の急激な変動がなく、放電検出部５からの検出信号Ｓｄの出力がないため、制御部７は、放電が発生しないと判定する。次いで、制御部７は、電圧検出部３によって出力されるサンプリングデータＤ１から特定した電圧、および電流検出部４によって出力されるサンプリングデータＤ２から特定した電流に基づき、導体パターン１０１の間の抵抗値を算出する。続いて、制御部７は、算出した抵抗値が基準値以上であるか否かを判定し、基準値以上であるときには導体パターン１０１の間の絶縁状態が良好であると判定し、基準値未満であるときには、絶縁状態が不良であると判定して、その判定結果を図外の表示部に表示して、回路基板１００に対する検査を終了する。
【００４３】
このように、この擬似放電発生器６および回路基板検査装置１によれば、入力用端子６５ａ，６５ｂの間の端子間電圧Ｖｍが参照電圧Ｖｒ以上のときに第１信号Ｓ１を出力するコンパレータ６１と、コンパレータ６１から第１信号Ｓ１が出力されたときに時間長ｔの第２信号Ｓ２を出力するワンショット回路６２と、時間長ｔだけインピーダンス回路６３と入力用端子６５ａ，６５ｂとを接続させて入力用端子６５ａ，６５ｂの間に擬似放電を発生させるスイッチ回路６４とを備えたことにより、第２信号Ｓ２の時間長ｔだけ擬似放電状態を継続させ、時間長ｔの経過後にはインピーダンス回路６３と入力用端子６５ａ，６５ｂとの接続を解除させて擬似放電を終了させることができる。このため、この擬似放電発生器６および回路基板検査装置１によれば、放電状態が断続的に長い時間継続するサージアブソーバとは異なり、検査用信号Ｖｅの供給に伴って導体パターン１０１の間に実際に発生する放電と同様の擬似放電を再現することができる。したがって、この擬似放電発生器６および回路基板検査装置１によれば、放電検出部５の動作確認を十分正確に行うことができる。
【００４４】
また、この擬似放電発生器６および回路基板検査装置１によれば、抵抗、定電圧ダイオード、定電流ダイオードの少なくとも１つを備えてインピーダンス回路６３を構成したことにより、例えば、これらの少なくとも１つを交換したり、これらを組み合わせて用いることで、擬似放電を発生させる際の電圧の立ち下がり速度や、電圧の変動量（降下量）などのインピーダンス特性を設定することができるため、擬似放電を実際に発生する放電にさらに近付けることができる。
【００４５】
また、この擬似放電発生器６および回路基板検査装置１によれば、コンパレータ６１によって端子間電圧Ｖｍと比較される参照電圧Ｖｒの値を任意に設定可能に構成したことにより、放電検出部５に対して設定されている基準値Ｎに応じて参照電圧Ｖｒを設定することができるため、基準値Ｎが異なる複数種類の放電検出部５の動作確認を正確に行うことが可能となっている。
【００４６】
また、この擬似放電発生器６および回路基板検査装置１によれば、ワンショット回路６２によって出力される第２信号Ｓ２の時間長ｔを任意に設定可能に構成したことにより、導体パターン１０１の間に実際に発生する放電の継続時間に合わせて時間長ｔを設定することで、擬似放電を実際に発生する放電に一層近付けることができる。
【００４７】
なお、抵抗７１、定電圧ダイオード７２および定電流ダイオード７３を備えてインピーダンス回路６３を構成した例について上記したが、これらの少なくとも１つを備えている限り、インピーダンス回路６３の構成は任意に変更することができる。また、参照電圧Ｖｒ、時間長ｔを任意に変更可能に構成した例について上記したが、これらの一方または双方が予め決められた値に設定（固定）されている構成を採用することもできる。また、放電検出部５の構成は上記の構成に限定されず、例えば、電流の変化量や変化率に基づいて放電の発生を検出する構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００４８】
１  回路基板検査装置
２  信号生成回路
５  放電検出部
６  擬似放電発生器
７  制御部
６１  コンパレータ
６２  ワンショット回路
６３  インピーダンス回路
６４  スイッチ回路
６５ａ，６５ｂ  入力用端子
７１  抵抗
７２  定電圧ダイオード
７３  定電流ダイオード
１００  回路基板
１０１  導体パターン
Ｓ１  第１信号
Ｓ２  第２信号
ｔ  時間長
Ｖｅ  検査用信号
Ｖｍ  端子間電圧
Ｖｒ  参照電圧
【図１】
0005474685.tif 000002
【図２】
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【図３】
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