(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
底部外側に移動用のキャスターを取り付けた方形状のインナーケースを、該インナーケースのキャスター取り付け領域ではない前記底部の外側にて載せ、保持固定して梱包する形態を採り、且つ、一側面側において前記インナーケースを出し入れする方式の方形状の飛行機搬送用のアウターケースであって、底面内側に、前記インナーケースの底部を載せて保持固定するための搭載部と搬送用のフォークリフトのフォーク差し込み口部とを兼ね、該フォーク差し込み口部を前記一側面と直交する面側に配し、且つ、フォーク差し込み方向において取り外しができるパレットを備え、底面内側の前記パレットの領域および前記インナーケースを出し入れする際に前記キャスターの通る領域と重ならない位置に、前記インナーケ−スを支持して上下移動するためのジャッキを備え、前記一側面側に、前記インナーケースを出し入れする側面扉を備え、上面側に、上部の側面全周を覆うようにして上面側全体を塞ぎ、上下に移動でき、且つ、上側に移動した際には、前記側面扉の開閉を可能とし、前記側面扉を閉じて下側に移動した際には、前記側面扉の開閉ができないように、前記側面扉の外側上部を塞ぐ、上蓋部を備えていることを特徴とする飛行機搬送用のアウターケース。
【請求項２】
請求項１に記載の飛行機搬送用のアウターケースであって、前記インナーケースは、内部に製品としての液晶パネルのカラーフィルタ基板形成用の大型のフォトマスクを立てた状態で収納して保持固定するものであることを特徴とする飛行機搬送用のアウターケース。
【請求項３】
請求項１ないし２のいずれか１項に記載の飛行機搬送用のアウターケースであって、前記アウターケースは、前記パレットとこれを支持する部分にはステンレス材を用い、側面部や上蓋部の面部には、樹脂を主材とするものを用いていることを特徴とする飛行機搬送用のアウターケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、飛行機搬送における梱包用のケースに関し、特に、ディスプレイ装置の表示パネルの製造に用いられる、大型のフォトマスクを飛行機搬送するための、梱包用のアウターケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ディスプレイ装置の表示パネルとしては、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルが広く用いられている。
液晶パネルは、例えば、ＩＰＳ方式の液晶表示装置の場合、図９（ａ）に示すように、カラ−フィルタ基板１００とＴＦＴ基板２０１との間に液晶２７０を挟んだ構造をしており、カラ−フィルタ基板１００とＴＦＴ基板２０１とを、それぞれ別に、形成した後に、両基板間に液晶を挟み込むことにより作製されている。
カラ−フィルタ基板の作製は、通常、大型のガラス基板をベース基板として、該ベース基板に単位のカラーフィルタ基板を複数個、面付した状態で形成し、その後に、個片化しております。
ここでの単位のカラーフィルタ基板複数個分の各色の着色層のベース基板上への形成は、ベース基板上へ感光性着色層を塗膜した後、１２２０ｍｍ×１４００ｍｍ×１３ｍｍサイズ（第８世代対応）等の大型のフォトマスクを用いて、近接露光（プロキシミティー露光とも言う）にて、複数個分を一括で露光して、現像する、フォトリソ法によりパターンニングする方式が採られております。
また、ＴＦＴ基板の作製においても、上記のような大型のフォトマスクを用いてパターンニングされている。
【０００３】
上記大型のフォトマスクは、通常、クロム系の遮光膜をＱｚのガラス基板の一面に形成した大型の遮光膜付き基板（ブランクスとも言う）を用いて、洗浄後、図８に示すような処理工程（Ｓ１２〜Ｓ１５）を経て形成されていた。
即ち、遮光膜上にレジストを塗布して（Ｓ１２）、フォト描画装置（レーザ描画装置）にて、目的とする絵柄形状に合わせて選択的に露光描画した（Ｓ１３）後、現像して（Ｓ１４）、レジストの開口から露出している遮光膜をエッチングする（Ｓ１５）ことにより、遮光膜の絵柄形成がなされ、更にレジスト除去、洗浄等の処理を経て形成されております。
尚、遮光膜としては、例えば、ガラス基板側からＣｒ、ＣｒｘＯｙの２層膜が挙げられるが、これには限定されない。
【０００４】
このような中、最近では、ディスプレイ装置の表示パネルの需要、特に液晶表示パネルの需要はめざましく、表示パネルの製造も世界的に広く行なわれるようになってきて、パネル製造に用いられる大型のフォトマスクの需要も広く世界的になってきてた。
これに伴い、日本国内の大型のフォトマスクのメーカーにおいては、各国から早かな大型のフォトマスクの供給が求められるようになってきており、飛行機搬送による大型のフォトマスクの搬送が行なわれるようになってきた。
大型のフォトマスクを搬送する場合には、フォトマスク品質を維持できるように、清浄度の高い容器（ケースとも言う）内に入れて立てた状態で搬送するのが一般的であるが、飛行機搬送する場合には、気温、湿度等の環境変化が大きいため、該環境変化に対応できるように、従来、図５に示すように、搬送用のフォークリフトのフォークの差込口であるフォーク差込口部５３を底面側に設け、且つ、該フォーク差込口部５３の上面側に固定したインナーケース搭載用の搭載部５４を設けて、該搭載部５４上にフォトマスクを入れたインナーケース本体６１の下部を載せる梱包形態を採っていた。
この従来の梱包形態の場合、インナーケース本体６１のアウターケース５０からの出し入れは、図６に示すように、その一側面側において、側面扉（図示していない）を開けて、前記搭載部５４の上部の所定の高さに合わせた、スロープ台５５を用いて行なわれていた。
例えば、アウターケース５０からの取り出し作業は、図６の状態から、油圧ジャッキ（図示していない）により、図７に示すように、インナーケース本体６１の底部外側に固定された搬送用のキャスター（車輪とも言う）６２の下部が、スロープ台５５の上部位置になるようにして、搬送用のキャスター６２にてインナーケース本体６１をスロープ台５５に載せて斜めの状態で取り出していた。
図５、図６において、上蓋部５２は、アウターケース５０の側面部５１の上部の側面全周を覆うようにして上面側全体を塞ぎ、上下に移動でき、且つ、上側に移動した際には、前記一側面扉の開閉を可能とするものであり、前記側面扉を閉じて下側に移動した際には、前記側面扉の開閉ができないように、前記側面扉の外側上部を塞ぐものである。
尚、上記の図５〜図７は、インナーケース本体６１、キャスター６２搭載部５４等が明示されるように正面から透視して見た概略透視図である。
一方、気温、湿度等の環境変化や清浄度維持を考慮する必要のない大型の板ガラス素材等は、種々の梱包方法により搬送されている。（特許文献１〜特許文献３参照）
【０００５】
しかし、前記大型のフォトマスクのサイズは大きく、それを搬送するためのアウターケースのサイズも大きくなってしまい、Ｇ７．５（第７．５世代）、Ｇ８（第８世代）に対応するサイズの液晶パネル用基板の作製に用いられる大型のフォトマスクの場合、従来のアウターケースに梱包した梱包形態では、サイズが大きくなりすぎ、飛行機の貨物便では搬送できるが、飛行機の旅客便では、サイズ制限により搬送できないという問題があり、この対応が求められていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】２０００−２７２６８４号公報
【特許文献２】２０００−２０３６７９号公報
【特許文献３】２００７−１５３３９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のように、最近では、特に液晶表示パネルの需要はめざましく、表示パネルの製造も世界的に広く行なわれるようになってきて、パネル製造に用いられる大型のフォトマスクの需要も広く世界的になってきて、これに伴い、日本国内の大型のフォトマスクのメーカーにおいては、各国から早かな大型のフォトマスクの供給が求められるようになってきており、飛行機搬送による大型のフォトマスクの搬送が行なわれるようになってきたが、Ｇ７．５（第７．５世代）、Ｇ８（第８世代）に対応するサイズの液晶パネル用基板の作製に用いられる大型のフォトマスクの場合、従来のアウターケースに梱包した梱包形態では、サイズが大きくなりすぎ、飛行機搬送の貨物便にて搬送できるが、飛行機搬送の旅客便では、サイズ制限により搬送できず、この対応が求められていた。
本発明は、これらに対応するもので、飛行機搬送用のアウターケースによる梱包形態のサイズを従来の梱包形態よりも小さくできるアウターケースの梱包形態を提供しようとするもので、特に、Ｇ７．５（第７．５世代）、Ｇ８（第８世代）に対応するサイズの液晶パネル用基板の作製に用いられる大型のフォトマスクの場合において、飛行機搬送の旅客便でも搬送できるサイズのアウターケースによる梱包形態を提供しようとするものです。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の飛行機搬送用のアウターケースは、底部外側に移動用のキャスターを取り付けた方形状のインナーケースを、該インナーケースのキャスター取り付け領域ではない前記底部の外側にて載せ、保持固定して梱包する形態を採り、且つ、一側面側において前記インナーケースを出し入れする方式の方形状の飛行機搬送用のアウターケースであって、底面内側に、前記インナーケースの底部を載せて保持固定するための搭載部と搬送用のフォークリフトのフォーク差し込み口部とを兼ね、該フォーク差し込み口部を前記一側面と直交する面側に配し、且つ、フォーク差し込み方向において取り外しができるパレットを備え、底面内側の前記パレットの領域および前記インナーケースを出し入れする際に前記キャスターの通る領域と重ならない位置に、前記インナーケ−スを支持して上下移動するためのジャッキを備え、前記一側面側に、前記インナーケースを出し入れする側面扉を備え、上面側に、上部の側面全周を覆うようにして上面側全体を塞ぎ、上下に移動でき、且つ、上側に移動した際には、前記側面扉の開閉を可能とし、前記側面扉を閉じて下側に移動した際には、前記側面扉の開閉ができないように、前記側面扉の外側上部を塞ぐ、上蓋部を備えていることを特徴とするものである。
そして、上記の飛行機搬送用のアウターケースであって、前記インナーケースは、内部に製品としての液晶パネルのカラーフィルタ基板形成用の大型のフォトマスクを立てた状態で収納して保持固定するものであることを特徴とするものである。
そしてまた、上記いずれかの飛行機搬送用のアウターケースであって、前記アウターケースは、前記パレットとこれを支持する部分にはステンレス材を用い、側面部や上蓋部の面部には、樹脂を主材とするものを用いていることを特徴とするものである。
【０００９】
（作用）
本発明の飛行機搬送用のアウターケースは、このような構成にすることにより、飛行機搬送用のアウターケースによる梱包形態のサイズを従来の梱包形態よりも小さくできるアウターケースの梱包形態の提供を可能としている。
具体的には、底面内側に、前記インナーケースの底部を載せて保持固定するための搭載部と搬送用のフォークリフトのフォーク差し込み口部とを兼ね、該フォーク差し込み口部を前記一側面と直交する面側に配し、且つ、フォーク差し込み方向において取り外しができるパレットを備え、底面内側の前記パレットの領域および前記インナーケースを出し入れする際に前記キャスターの通る領域と重ならない位置に、前記インナーケ−スを支持して上下移動するためのジャッキを備え、前記一側面側に、前記インナーケースを出し入れする側面扉を備え、上面側に、上部の側面全周を覆うようにして上面側全体を塞ぎ、上下に移動でき、且つ、上側に移動した際には、前記側面扉の開閉を可能とし、前記側面扉を閉じて下側に移動した際には、前記側面扉の開閉ができないように、前記側面扉の外側上部を塞ぐ、上蓋部を備えていることにより、これを達成している。
特に、前記インナーケースとして、内部に製品としての液晶パネルのカラーフィルタ基板形成用の大型のフォトマスクを立てた状態で収納して保持固定する形態とすることにより、Ｇ７．５（第７．５世代）、Ｇ８（第８世代）に対応するサイズの液晶パネル用基板の作製に用いられる大型のフォトマスクの場合においても、飛行機搬送の旅客便で搬送できるサイズのアウターケースによる梱包形態の提供を可能としている。
飛行機搬送と梱包の強度面等から、上記のいずれかの飛行機搬送用アウターケースで、前記パレットとこれを支持する強度を必要とする部分にはステンレス材を用い、それほど強度を必要としない他の側面部や上蓋部の面部には、樹脂を主材とするものを用いる形態が挙げられる。
尚、通常は、飛行機搬送と強度面等から、前記インナーケースは、フレーム部にアルミ材を用い、他の部分には、樹脂を主材とするものを用いる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、このように、飛行機搬送用のアウターケースによる梱包形態のサイズを従来の梱包形態よりも小さくできるアウターケースの梱包形態の提供を可能とし、特に、Ｇ７．５（第７．５世代）、Ｇ８（第８世代）に対応するサイズの液晶パネル用基板の作製にに用いられる大型のフォトマスクの場合においても、液晶パネルのカラーフィルタ基板形成用の大型のフォトマスクを立てた状態でインナーケースに収納して、飛行機搬送の旅客便でも、サイズ的に搬送できるアウターケースによる梱包形態の提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の飛行機搬送用のアウターケースの実施の形態の１例を示した正面概略透視図である。
【図２】図２（ａ）は図１に示す飛行機搬送用のアウターケースの取り扱い動作を概略的を示した概略図であり、図２（ｂ）は、パレット部の取り出し動作を説明するための概略図である。
【図３】図３（ａ）、図３（ｂ）は、それぞれ、図１に示す飛行機搬送用のアウターケースにおけるインナーケースの取り出し動作の一部を示した概略透視図である。
【図４】図４（ｃ）、図４（ｄ）は、それぞれ、図１に示す飛行機搬送用のアウターケースにおけるインナーケースの取り出し動作の一部を示した概略透視図である。
【図５】従来の飛行機搬送用のアウターケースの１例を示した正面概略透視図である。
【図６】図５に示す従来のアウターケースにおけるインナーケースの取り出し動作の一部を示した概略透視図である。
【図７】図５に示す従来のアウターケースにおけるインナーケースの取り出し動作の一部を示した概略透視図である。
【図８】液晶パネル用のカラーフィルター基板形成用の大型のフォトマスクを作製する製造工程を示したフロー図である。
【図９】図９（ａ）はＩＰＳ方式の液晶表示パネルを示した断面図で、図９（ｂ）はカラ−フィルタ基板を示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
先ず、本発明の飛行機搬送用のアウターケースの実施形態の１例を、図１に基づいて説明する。
尚、図１は、インナーケース２０が明示されるように正面から透視して見た概略透視図である。
本例の飛行機搬送用のアウターケース１０は、底部外側に搬送用のキャスター２２を取り付けた方形状のインナーケース２０を、該インナーケース２０のキャスター取り付け領域ではない前記底部の外側にて載せ、保持固定して梱包する形態を採り、且つ、一側面側において前記インナーケース２０を出し入れする方式の方形状の飛行機搬送用のアウターケースで、前記インナーケース２０は、内部に製品としての液晶パネルのカラーフィルタ基板作製用の大型のフォトマスクを立てた状態で収納して保持固定するものである。
本例においては、底面内側に、前記インナーケース２０の底部２１ａを載せて保持固定するための搭載部と搬送用のフォークリフトのフォーク差し込み口部とを兼ね、該フォーク差し込み口部を前記一側面と直交する面側に配し、且つ、フォーク差し込み方向において取り外しができるパレット（ベース部とも言う）１３を備えている。
また、底面内側の前記パレット１３の領域および前記インナーケース２０を出し入れする際に前記キャスター２２の通る領域と重ならない位置に、前記インナーケ−ス２０を持ち上げるためのジャッキ１５（図２（ｂ）等参照）を備えている。
そしてまた、前記一側面側に、前記インナーケースを出し入れする側面扉１４（図３（ａ）等参照）を備え、上面側に、上部の側面全周を覆うようにして上面側全体を塞ぎ、上下に移動でき、且つ、上側に移動した際には、前記側面扉の開閉を可能とし、前記側面扉を閉じて下側に移動した際には、前記側面扉１４の開閉ができないように、前記側面扉１４の外側上部を塞ぐ、上蓋部１２を備えている。
本例においては、飛行機搬送と梱包の強度面等から、パレット１３とこれを支持する強度を必要とする部分にはステンレス材を用い、それほど強度を必要としない他の側面部１１や上蓋部１２の面部には、樹脂を主材とするものを用いている。
ここで、飛行機搬送と強度面等から、インナーケース２０は、フレーム部にアルミ材を用い、他の部分には、樹脂を主材とするものを用いている。
パレット１３上側には緩衝材１３ｂを設けて、この上にインナーケース２０の底部２１ａを載せる。
【００１３】
本例の場合、従来の図５に示す、インナーケース本体６１の底部６１ａを載せて保持固定するための搭載部５４と、搬送用のフォークリフトのフォーク差し込み口部５３とを、パレット１３にて代用させ、且つ、パレット１３を取り出し可能として、パレット１３を取り出した状態で、インナーケース２０の出し入れを行なう形態とすることにより、飛行機搬送用のアウターケースによる梱包形態のサイズを従来の梱包形態よりも小さくできるアウターケースの梱包形態の提供を可能としている。
本例においては、パレット１３はネジ止め等によりアウターケース１０の底面側に固定されており、取り出しは、アウターケース１０の底面側に固定されたジャッキ１５（図２、図３、図４参照）により、インナーケース２０をパネルより高い状態に持ち上げた状態でネジ止め等の固定をはずして、搬送用のフォークリフトのフォーク差し込み方向に取り出す。
特に、Ｇ７．５（第７．５世代）、Ｇ８（第８世代）に対応するサイズの液晶パネル用基板の作製に用いられる大型のフォトマスクを製品としてインナーケースの内部に該大型のフォトマスクを立てた状態で収納して保持固定して搬送する場合、従来の図５に示すアウターケースの場合においては、高さＨ1 （図５参照）が１７８０ｍｍとなったが、本例のアウターケースを用いると、高さＨ０（図１参照）を１５５０ｍｍにすることができた。
尚、インナーケースの高さ（図１のｈ0 に相当）は１５３０ｍｍであった。
このため、従来の図５に示すアウターケースの場合においては、旅客便にて搬送することが、その高さサイズ規定からできなかったが、本例の本例飛行機搬送用のアウターケースを用いた場合は、旅客便でも、その高さサイズから、液晶パネルのＧ８（第８世代）のカラーフィルタ基板形成用の大型のフォトマスクを製品としてインナーケースの内部に該大型のフォトマスクを立てた状態で収納して保持固定して飛行機搬送できるようになった。
【００１４】
尚、本例においては、飛行機搬送と梱包の強度等から、インナーケースは、アルミを主材とし、パレットは、ステンレスを主材としている。
【００１５】
本例の本例飛行機搬送用のアウターケース１０からのインナーケース２０の出し入れ方法を、図２に基づいて概念的に説明する。
図２（ａ）に示すように、パレット１３をアウターケース本体１０Ａからはずした状態で、インナーケース２０をアウターケース本体１０Ａの一側面側から出し入れを行なう。  インナーケース２０をアウターケース本体１０Ａから取り出す場合、図２（ｂ）に示すように、インナーケースの底部２１ａをアウターケースの底面内側に固定されたジャッキ１５にてパレット１３から浮かせた状態で、パレット１３をアウターケース本体１０Ａからはずし、この後、インナーケース２０の底部外側に取り付けたキャスター２２の下部が底部に達するように（ここでは床面３０Ａとほぼ同じ位置）ジャッキを下げてから、キャスター２２にてインナーケースを移動させて取り出す。
また、インナーケース２０をアウターケース本体１０Ａに取り入れて梱包する場合には、上記取り出しの場合と逆の動作により行なう。
即ち、パレット１３が取り外され、ジャッキ１５が下げられた状態で、キャスター２２にてインナーケース２０を移動させてアウターケース本体１０Ａ内に取り入れ、ジャッキ１５を上げてインナーケース２０を所定位置まで上げてから、パレット１３をアウターケース本体１０Ａに取り付け、ジャッキ１５を下げて、パレット１３にインナーケース２０を搭載する。
このようにして、アウターケース１０からのインナーケース２０の出し入れを行なう。    
【００１６】
更に、図３〜図４に基づいて、アウターケース１０からのインナーケース２０の出し入れを、具体的に、説明しておく。
尚、図３、図４も、インナーケース２０が明示されるように正面から透視して見た概略透視図である。
はじめに、図１に示す梱包状態の本例の本例飛行機搬送用のアウターケース１０からインナーケース２０を取り出す方法を説明する。
先ず、上蓋部１２を上側に上げて、側面側の側面扉１４を開いた状態とする。（図３（ａ））  次いで、ジャッキ１５にてインナーケース２０の底部２１ａを上げて（図３（ｂ））、パレット１３をアウターケース本体から取りはずす。（図４（ｃ））
この状態で、ジャッキ１５にてインナーケース２０の底部２１ａを下げて、インナーケース２０の底部外側に取り付けたキャスター２２の下部が底部に達するように（ここでは床面３０Ａとほぼ同じ位置）して、キャスター２２にて矢印の方向にインナーケース２０を移動させて取り出す。（図４（ｄ））
このようにして取り出しが行なわれる。
次に、アウターケース１０へインナーケース２０を取り入れして梱包する方法を説明する。
取り入れ作業は、上記取り出し作業とは逆に行なう。
先ず、上記のようにして取り出し、アウターケース１０の中にはインナーケース２０がない状態から、図４（ｄ）の矢印の反対方向に、インナーケース２０をキャスター２２にて移動してアウターケース２０内に入れる。（図４（ｄ）参照）
次いで、ジャッキ１５にてインナーケース２０の底部２１ａを上げて、あいたスペースにパレット１３を差し込み取り付け、ジャッキ１５にてインナーケース２０の底部２１ａを下げてパレット１３の上部の緩衝材１３ｂ上にインナーケースを載せる。（図３（ａ）参照）
次いで、側面扉１４を閉じ、上蓋部１２を下げて梱包を完了する。（図１参照）
このようにして、梱包が行なわれる。
【００１７】
尚、インナーケース２０は、通常、大型のフォトマスク１枚入りの内部の清浄度が良いケースで、フォトマスクを、立てた状態で、その端面および端部の両面にて保持固定して、収納する。
また、図では明示していないが、インナーケース２０は、その外側を緩衝材にて挟むようにして固定して、アウターケース１０内に梱包される。
【００１８】
ここでは、液晶パネルのカラーフィルタ基板作製用の大型のフォトマスクを搬送する製品としておりますが、これに限定はされず、液晶パネルのＴＦＴ基板作製用の大型のフォトマスクも同様の形態で搬送することができる。
【符号の説明】
【００１９】
１０            アウターケース
１０Ａ          アウターケース本体部
１１            側面部
１２            上蓋部
１３            パレット
１３ａ          差し込み口部
１３ｂ          緩衝材
１５            ジャッキ
１５ａ          支持台部
２０            インナーケース
２１            インナーケース本体部
２１ａ          底部
２２            キャスター（車輪とも言う）
３０            床部
３０Ａ          床面
５０            アウターケース
５１            側面部
５２            上蓋部
５３            フォーク差し込み口部
５４            搭載部
５５            スロープ台
６１            インナーケース本体部
６１ａ          底部
６２            キャスター（車輪とも言う）
７０            床部
１００            カラーフィルタ基板
１１０            透明基板
１２０            着色層
１２１            第１の着色層
１２２            第２の着色層
１２３            第３の着色層
１２４            樹脂ブラックマトリクス（第４の着色層とも言う）
１３０            オーバーコート層（保護層とも言う）
２００            液晶表示パネル
２０１            ＴＦＴ基板
２１０            透明基板
２２０            共通電極
２３０            画素電極
２４０            絶縁層
２５０            保護層
２６０、２６５    配向膜
２７０            液晶
２８０、２８５    偏光板
２９０            電界
【図１】
0005533489.tif 000002
【図２】
0005533489.tif 000003
【図３】
0005533489.tif 000004
【図４】
0005533489.tif 000005
【図５】
0005533489.tif 000006
【図６】
0005533489.tif 000007
【図７】
0005533489.tif 000008
【図８】
0005533489.tif 000009
【図９】
0005533489.tif 000010