(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示領域の外側に額縁領域が設けられたアクティブマトリクス基板であって、
該アクティブマトリクス基板は、該額縁領域に第１、第２及び第３のトランジスタ、フローティング配線、スイッチング配線、信号供給幹配線、及び、該信号供給幹配線と電気的に接続された信号供給枝配線が配置され、
該フローティング配線及び信号供給枝配線は、それぞれ第１及び第２のトランジスタを電気的に接続し、該スイッチング配線と交差する交差部分を有し、該交差部分に第３のトランジスタが設けられ、
該第３のトランジスタは、そのゲート電極がスイッチング配線からなり、そのソース電極及びドレイン電極のいずれか一方が信号供給枝配線、他方がフローティング配線からなる
ことを特徴とするアクティブマトリクス基板。
【請求項２】
前記第３のトランジスタは、スイッチング配線の主線上に設けられたものであることを特徴とする請求項１に記載のアクティブマトリクス基板。
【請求項３】
前記スイッチング配線は、一定周期でパルス信号が入力されるものであることを特徴とする請求項１又は２に記載のアクティブマトリクス基板。
【請求項４】
前記フローティング配線及び／又は信号供給枝配線は、基板主面を平面視したときに、スイッチング配線と交差する境界部分において迂回構造を有する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のアクティブマトリクス基板。
【請求項５】
前記スイッチング配線は、突出部が設けられ、前記第３のトランジスタは、当該突出部上に設けられるとともに、そのソース電極が信号供給枝配線の突出部に接続され、そのドレイン電極がフローティング配線の突出部に接続され、
該フローティング配線及び信号供給枝配線は、その突出部の幅がそれぞれスイッチング配線の突出部の長さの１／２以下である
ことを特徴とする請求項１、３又は４に記載のアクティブマトリクス基板。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板を備えることを特徴とする表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクティブマトリクス基板及び表示装置に関する。より詳しくは、モノリシック型のアクティブマトリクス基板及び表示装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年の高度情報化に伴い、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、無機エレクトロルミネセンス（無機ＥＬ）ディスプレイ、有機エレクトロルミネセンス（有機ＥＬ）ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの市場は拡大しており、盛んに開発が行われている。【０００３】
これらのフラットパネルディスプレイが実装される、携帯電話、ＰＤＡ等の携帯型の電子機器においては、より一層の小型化及び軽量化が要求され、これに伴い、表示領域周辺の小型化、すなわち、狭額縁化を図っていく傾向がある。
また、従来の表示装置では、表示パネルの外側に駆動回路等を実装する形態をとっていたが、近年になって、コスト削減、薄型化等を図るため、基板上に、ドライバ回路等の駆動に必要な周辺回路を設けたフルモノリシック型の回路基板を実装した表示装置について開発が進められるようになっている。【０００４】
そして、種々の効果が発揮されることを期待して、回路基板の構成について工夫がなされた液晶表示装置が開示されている（例えば、特許文献１〜３参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−８３７０３号公報
【特許文献２】特開２００７−１９３３４０号公報
【特許文献３】特開２００５−５２７８５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１及び特許文献２に記載の液晶表示装置においては、フローティング配線を特定の電位にリセットするための回路部分であるトランジスタＴ６と初期化信号（ＩＮＴ）の配線とが駆動回路の外側に配置されている。このため、フローティング配線を特定の電位にリセットする構造を設ける際に、追加の引き出し線を設けることになり（例えば、図１１に示した引き出し線１５）、配線領域をより縮小化したり、隣接配線間のギャップを大きくして歩留まりを向上したりするという点で工夫の余地があった。特に、アモルファスシリコン（ａ−Ｓｉ）を用いたトランジスタの場合は、トランジスタの大きさが大きくなるため、レイアウト上の制限を小さくするための工夫の余地があった。【０００７】
本発明は、上記現状に鑑みてなされたものであり、狭額縁化したり、隣接配線間のギャップを大きくして歩留まりを向上したりすることができるアクティブマトリクス基板を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、狭額縁化したり、隣接配線間のギャップを大きくして歩留まりを向上したりすることができるアクティブマトリクス基板について種々検討したところ、駆動回路内におけるスイッチング配線及び第３のトランジスタの配置に着目した。そして、上述した液晶表示装置においては、追加の引き出し線を設けることになることを見いだすとともに、フローティング配線及び信号供給枝配線が、それぞれ駆動回路部内の２つのトランジスタを電気的に接続し、該スイッチング配線と交差する交差部分を有し、該交差部分に第３のトランジスタが設けられることにより、上記追加の引き出し線を設けなくてもよくなり、狭額縁化したり、隣接配線間のギャップを大きくして歩留まりを向上したりすることを達成できることを見いだし、上記課題をみごとに解決することができることに想到し、本発明に到達したものである。【０００９】
すなわち、本発明は、表示領域の外側に額縁領域が設けられたアクティブマトリクス基板であって、上記アクティブマトリクス基板は、該額縁領域に第１、第２及び第３のトランジスタ、フローティング配線、スイッチング配線、信号供給幹配線、及び、該信号供給幹配線と電気的に接続された信号供給枝配線が配置され、上記フローティング配線及び信号供給枝配線は、それぞれ第１及び第２のトランジスタを電気的に接続し、該スイッチング配線と交差する交差部分を有し、該交差部分に第３のトランジスタが設けられ、上記第３のトランジスタは、そのゲート電極がスイッチング配線からなり、そのソース電極及びドレイン電極のいずれか一方が信号供給枝配線、他方がフローティング配線からなるアクティブマトリクス基板である。【００１０】
上記フローティング配線とは、トランジスタを介することによってのみ信号配線に電気的に接続可能な配線をいう。このようなフローティング配線は、信号配線と直接又は導電体を介して接続されていないものであり、トランジスタのスイッチング作用に起因して、信号配線と電気的に接続されているときと電気的に接続されていないときとがある。【００１１】
なお、第３のトランジスタのゲート電極は、スイッチング配線からなる。該ゲート電極は、通常、信号供給枝配線には接続されていない。また、第３のトランジスタのソース電極及びドレイン電極のいずれか一方が信号供給枝配線からなり、他方がフローティング配線からなる。【００１２】
このような形態とすることにより、上述した引き出し線を設けることなく第３のトランジスタのソース電極及びドレイン電極のいずれか一方をフローティング配線からなるものとすることができ、本発明のアクティブマトリクス基板において、狭額縁化したり、隣接配線間のギャップを大きくして歩留まりを向上したりすることを達成することができる。【００１３】
本発明のアクティブマトリクス基板の構成としては、このような構成要素を必須として形成されるものである限り、その他の構成要素により特に限定されるものではない。
本発明のアクティブマトリクス基板における好ましい形態について以下に詳しく説明する。【００１４】
本発明のアクティブマトリクス基板の好ましい形態の一つとして、上記第３のトランジスタが、スイッチング配線の主線上に設けられたものである形態が挙げられる。この形態により、配線の交差部分（クロス部ともいう。）の面積を小さくしたり、配線領域（配線の突出部上にトランジスタが設けられている場合は、当該突出部を含む）を狭くしたり、寄生容量の変動を小さくしたりすることが可能である。なお、上記主線とは、配線の突出部でない箇所をいう。【００１５】
本発明のアクティブマトリクス基板の好ましい形態の一つとして、上記スイッチング配線は、一定周期でパルス信号が入力されるものである形態が挙げられる。この形態により、フローティング配線１１の電位を周期的に特定電位にリセットするための回路部分を縮小したり、隣接配線間のギャップを大きくして歩留まりを向上したりすることができる。【００１６】
本発明のアクティブマトリクス基板の好ましい形態の一つとして、上記フローティング配線及び／又は信号供給枝配線は、基板主面を平面視したときに、スイッチング配線と交差する境界部分において迂回構造を有する形態が挙げられる。この形態により、表示パネルの歩留まりを向上することができる。すなわち、フォトリソグラフィ工程で配線を形成した場合は、段差部（基板主面を平面視したときの、スイッチング配線部分とスイッチング配線が形成されていない部分との境界部）でのフォトレジストが厚くなるため、残存したレジスト及び／又はパターン不良によりフローティング配線と信号供給枝配線とが短絡するおそれがある。この短絡を防止する目的においては、当該段差部において、フローティング配線が信号供給枝配線から離れるように当該段差部の前後で曲がる形態、及び／又は、信号供給枝配線がフローティング配線から離れるように当該段差部の前後で曲がる形態が好ましい。【００１７】
また、迂回構造をとらない場合は、同じ負荷、抵抗であってもスイッチング配線を細く形成したり、迂回が不要な分、フローティング配線及び／又は信号供給枝配線の抵抗を小さくしたりすることが可能である。【００１８】
なお、トランジスタの大きさは、生成するゲート信号及び／又は半導体層の特性によって適宜調整すればよく、例えば、上記スイッチング配線においては、上記フローティング配線及び信号供給枝配線との交差部分で切欠部及び／又は突出部を適宜設けることができる。【００１９】
本発明のアクティブマトリクス基板の好ましい形態の一つとして、上記スイッチング配線は、突出部が設けられ、上記第３のトランジスタは、当該突出部上に設けられるとともに、そのソース電極が信号供給枝配線の突出部に接続され、そのドレイン電極がフローティング配線の突出部に接続され、上記フローティング配線及び信号供給枝配線は、その突出部の幅がそれぞれスイッチング配線の突出部の長さの１／２以下である形態が挙げられる。この形態により、フォトリソグラフィ工程において、スイッチング配線に対して、フローティング配線及び／又は信号供給枝配線がずれて形成された場合であっても、寄生容量の変動を小さくすることができる。【００２０】
上記フローティング配線及び信号供給枝配線は、その突出部の幅がそれぞれスイッチング配線の突出部の長さに対して１／３以下であることが好ましい。なお、下限は、例えば１／４以上であることが好ましい。
また、上記フローティング配線及び信号供給枝配線は、その突出部の長さがそれぞれスイッチング配線の突出部の幅に対して１／２以上であることが好ましい。より好ましくは、２／３以上であり、更に好ましくは、３／４以上であり、１以上でも構わない。なお上限は３以下が好ましい。【００２１】
本発明はまた、本発明のアクティブマトリクス基板を備える表示装置でもある。
本発明の表示パネルと同様に、より狭額縁化したり、隣接配線間のギャップを大きくして歩留まりを向上したりすることができる表示装置を得ることができる。【００２２】
上述した各形態は、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜組み合わされてもよい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明のアクティブマトリクス基板によれば、より狭額縁化したり、隣接配線間のギャップを大きくして歩留まりを向上したりすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施形態１のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す模式図である。
【図２】実施形態１の変形例のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す模式図である。
【図３】実施形態１のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す部分拡大図である。
【図４】実施形態２のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す部分拡大図である。
【図５】実施形態２の変形例のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す部分拡大図である。
【図６】実施形態２の変形例のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す部分拡大図である。
【図７】実施形態２の変形例のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す部分拡大図である。
【図８】実施形態２の変形例のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す部分拡大図である。
【図９】実施形態３のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す部分拡大図である。
【図１０】実施形態３の変形例のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す部分拡大図である。
【図１１】従来のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す模式図である。
【図１２】従来のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本明細書において、額縁領域とは、アクティブマトリクス基板及び表示装置における表示面以外の領域（表示面の周囲領域）をいう。配線は、配線の主線から突出部が設けられている場合は、該突出部を含むものである。第１、第２のトランジスタは、第３のトランジスタ１個に対して、１個設けられるものであってもよく、２個設けられるものであってもよい。
【００２６】
以下に実施形態を掲げ、本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施形態のみに限定されるものではない。
【００２７】
（実施形態１）
図１は、実施形態１のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す模式図である。
実施形態１のアクティブマトリクス基板は、表示領域、及び、表示領域の外側の駆動回路領域を備える。
駆動回路領域は、少なくとも１つの駆動回路を含む。駆動回路は、図１に示した第１部分３１、及び、第２部分３２を含む。駆動回路の第１部分３１は、フローティング配線１１に接続された第１のトランジスタ及び信号供給枝配線１２に接続された第１のトランジスタを含む。また、第１の駆動回路の第２部分３２もまた、フローティング配線１１に接続された第２のトランジスタ及び信号供給枝配線１２に接続された第２のトランジスタを含む。言い換えれば、フローティング配線１１は、第１部分３１内のフローティング配線１１に接続された第１のトランジスタ、及び、第２部分３２内のフローティング配線１１に接続された第２のトランジスタと電気的に接続されている。また、信号供給枝配線１２は、第１部分３１内の信号供給枝配線１２に接続された第１のトランジスタ、及び、第２部分３２内の信号供給枝配線１２に接続された第２のトランジスタと電気的に接続されている。図１に示すように、第１部分３１内のフローティング配線１１に接続された第１のトランジスタと第１部分３１内の信号供給枝配線１２に接続された第１のトランジスタとが同一の第１のトランジスタ２２であり、かつ／又は、第２部分３２内のフローティング配線１１に接続された第２のトランジスタと第２部分３２内の信号供給枝配線１２に接続された第２のトランジスタとが同一の第２のトランジスタ２３であってもよい。
【００２８】
図２は、実施形態１の変形例のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す模式図である。図２に示した駆動回路では、第１部分３１内に、フローティング配線１１に接続された第１のトランジスタ１２２と第１部分３１内の信号供給枝配線１２に接続された第１のトランジスタ１２３とを含む。また、第２部分３２内のフローティング配線１１に接続された第２のトランジスタ１２４と第２部分３２内の信号供給枝配線１２に接続された第２のトランジスタ１２５とを含む。それ以外は、実施形態１の変形例の構成は、上述した実施形態１の構成と同様である。なお、図２においては、図１で示したクロック幹配線２及びスイッチング素子２４が省略されている。また、第１のトランジスタ１２２と第２のトランジスタ１２３との間の配線、及び／又は、第４のトランジスタ１２４と第５のトランジスタ１２５との間の配線がない形態であってもよい。
【００２９】
更に、スイッチング配線１３が、第１部分３１と第２部分３２とに挟まれて配置され、フローティング配線１１及び信号供給枝配線１２と交差する。更に、駆動回路は、第３のトランジスタ２１を含み、この第３のトランジスタ２１は、スイッチング配線１３上で形成され、そのゲート電極がスイッチング配線１３からなるとともに、そのソース電極が信号供給枝配線１２からなり、そのドレイン電極がフローティング配線１１からなる。
【００３０】
表示領域の外側の駆動回路領域には、信号供給幹配線１４が更に備えられており、信号供給枝配線１２が、信号供給幹配線１４と接続されている。なお、図１では信号供給枝配線１２の上側にフローティング配線１１が配置されているが、信号供給枝配線１２の下側にフローティング配線１１が配置されている形態であってもよい。
実施形態１では、信号供給幹配線１４は、表示領域から遠い側（第２部分３２の外側）に配置され、表示領域のトランジスタにオフ電位を供給する信号が入力される。また、スイッチング配線１３には、パルス信号が入力される。
【００３１】
駆動回路は複数のトランジスタと、それらに接続する複数の配線で構成されている。配線には、信号供給配線（信号供給幹配線１４、信号供給枝配線１２等）の他に、信号供給配線と直接的に又は導電体を介して接続されない電気的にフローティング状態にある配線（フローティング配線１１）もある。
例えば、表示領域の走査線に信号を供給する配線に接続されたトランジスタ（スイッチング素子２４）のゲートオン／オフ電位を生成する配線がフローティング配線１１であり、走査線の信号を安定させるために、フローティング配線１１の電位を周期的に特定電位にリセットすることになる。
【００３２】
なお、該トランジスタ（スイッチング素子２４）のゲート電極は、フローティング配線１１に電気的に接続されている。また、該トランジスタ（スイッチング素子２４）のソース電極及びドレイン電極は、一方がクロック幹配線２と電気的に接続され、他方が表示領域の走査線と電気的に接続されている。図１では、クロック幹配線２はクロック幹配線２とコンタクトホール６を介してクロック枝配線４に接続され、クロック枝配線４が該トランジスタ（スイッチング素子２４）のソース電極及びドレイン電極の一方と接続されている。クロック幹配線２は、信号供給枝配線１２との交差領域の両側で切欠部が設けられた形態であることが好ましい。
【００３３】
上記電位リセットには、例えば、ゲートオフ電位を供給する配線（信号供給幹配線１４）を第３のトランジスタ２１等を介して接続する構成が用いられ、そのスイッチング配線１３が設けられる。
本実施形態では、スイッチング配線１３は、信号供給幹配線１４と同様に、パネル外部から信号を供給することになる。信号供給のためのＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  ｐｒｉｎｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔｓ；フレキシブルプリント基板）等を共用化するために、信号供給幹配線１４と同じ方向に向かって延伸して（すなわち平行に）配線される。
なお、スイッチング配線１３の信号供給は上記の手段に限られない。例えば、基板上に回路を設けてもよい。
【００３４】
また信号供給幹配線１４と第３のトランジスタ２１との接続には、信号供給枝配線１２が用いられる。信号供給枝配線１２は、信号供給幹配線１４のゲートオフ電位を、第３のトランジスタを含む他のトランジスタを介して、駆動回路内のトランジスタ（スイッチング素子２４）に供給するための配線である。
【００３５】
フローティング配線１１、信号供給枝配線１２、スイッチング配線１３、第３のトランジスタ２１は、追加の引き出し線が必要とならないように、近接して配置することが望ましい。
フローティング配線１１、信号供給枝配線１２は、表示領域の走査線の本数に応じて、複数段形成されるため、スイッチング配線１３は、フローティング配線１１、信号供給枝配線１２と交差するように配線し、その交差領域近傍に第３のトランジスタ２１を配置することが好ましい。
【００３６】
なお、「近接して配置」、「交差領域近傍に配置」とは、本発明の各効果を奏する程度に配線同士の交差領域とトランジスタの半導体層形成領域とが近い位置に配置されていればよいが、具体的には、配線同士の交差領域の全部又は一部が、基板主面を平面視したときに、トランジスタの半導体層形成領域に重畳して配置されることが好ましい。
【００３７】
すなわち、フローティング配線１１と接続されるトランジスタ２２が含まれる第１の駆動回路の第１部分３１と、フローティング配線１１と接続されるトランジスタ２３が含まれる第１の駆動回路の第２部分３２とに割って入る位置に、スイッチング配線１３と第３のトランジスタ２１が配置されることが好ましい。
【００３８】
図３は、実施形態１のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す部分拡大図である。第３のトランジスタ２１を図３に示した第３のトランジスタ２１のように構成する形態が好ましい。
図１２に示した従来例のように、スイッチング配線１３と第３のトランジスタ２１とを、スイッチング配線１３の主線とフローティング配線１１及び信号供給枝配線１２との交差領域とは別の箇所に形成する構成を本発明（第１の駆動回路の第１部分３１と、第１の駆動回路の第２部分３２とに割って入る位置に、スイッチング配線１３と第３のトランジスタ２１を配置する構成）に適用した場合、配線交差部が増加し、またレイアウト面積も広くなってしまう。
本実施形態のように、スイッチング配線１３の主線上、すなわちスイッチング配線１３の突出部でない箇所に第３のトランジスタ２１を形成することが好ましい。
【００３９】
スイッチング配線１３が、同じ配線抵抗となるように設計し、図１２に示した従来例のトランジスタを本発明に適用した場合、スイッチング配線１３の主線の幅（３５μｍ）に比べて、本発明におけるスイッチング配線１３の主線の幅は太くなる（５０μｍ）。一方、下記の（１）〜（３）の少なくとも１つのメリットがある。
（１）交差領域（クロス部）の面積が小さく、負荷が軽い（上記従来例より３０％低い。）。
（２）トランジスタの突起部を含む配線領域（５０μｍ）が、従来例の配線領域（６０μｍ）と比べて狭く、狭額縁化に有利である。
（３）フォトリソ工程の際に、スイッチング配線１３に対して、フローティング配線１１、信号供給枝配線１２がずれて形成されたとしても、寄生容量の変動が小さく、ゲート信号の出力波形のバラツキを小さくすることができる。
【００４０】
本実施形態の効果は、追加の引き出し線が不要であり、フローティング配線１１をリセットするための構成部材が最小限のものとできることである。
特に、本実施形態の第３のトランジスタ２１を用いると、スイッチング配線１３の配線領域が狭くて済み、近接するトランジスタとの間隔を広く取ることができる。
【００４１】
（実施形態２）
図４は、実施形態２のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す部分拡大図である。
実施形態１と同サイズのトランジスタを形成する際の切欠部は、特に限定されない。
例えば、図４のように、スイッチング配線１３の両側を切り欠いて、スイッチング配線１３とフローティング配線１１及び信号供給枝配線１２との交差領域の両側で切欠部が設けられた形態が好ましい。切欠部を設けることにより、クロス容量を低減することができる。
なお、実施形態１や実施形態２において、スイッチング配線１３と交差するフローティング配線１１、信号供給枝配線１２が、スイッチング配線１３への乗り上げ部、すなわち、基板主面を平面視したときに、フローティング配線１１及び信号供給枝配線１２とスイッチング配線１３とが交差する境界部分（境界部分６１等）で迂回しているが、これは、配線間の短絡を防いで歩留まりを向上させるためである。
本実施形態においては、スイッチング配線１３はゲート層で形成し、その上層にゲート絶縁膜を形成し、さらにその上層に半導体層とフローティング配線１１及び信号供給枝配線１２を形成している。フォトリソグラフィ工程においては、段差部でのフォトレジストが厚くなるため、レジスト残りや、パターン不良が発生しやすい。フローティング配線１１と信号供給枝配線１２との短絡を低減する目的においては、この迂回構造を取ることが好ましい。
【００４２】
また、実施形態２のように、スイッチング配線１３の両側が切欠部を有する形態とすると、トランジスタ周りの遮光性が良くなる。すなわち、バックライト光が回り込んで、半導体層に入射することによる特性シフトを軽減できるため、高輝度のバックライトを使用する際には有効である。
【００４３】
図５〜８は、実施形態２の変形例のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す部分拡大図である。
図５に示した実施形態２の変形例のように、迂回構造を取らない場合は、同じ負荷、抵抗であっても、スイッチング配線１３を細く形成したり、迂回が不要な分、フローティング配線１１と信号供給枝配線１２の抵抗も小さく形成したりすることが可能となり、これらの点で好ましい形態である。
なお、トランジスタの大きさは、生成するゲート信号や半導体層の特性によって変わる。そのため、スイッチング配線１３は、必ずしも切欠部を備えるとは限らない。図６に示した突出部を備える構成、図７に示した切欠部又は突出部のいずれも備えない構成も可能である。
【００４４】
図８に示した形態においては、第３のトランジスタは櫛歯状電極を有するものである。このような形態によっても、上述した本実施形態の効果を発揮することができる。
【００４５】
（実施形態３）
図９は、実施形態３のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す部分拡大図である。
実施形態３のアクティブマトリクス基板は、第３のトランジスタ２１について、実施形態１、実施形態２及びその変形例とは異なる構成を有する。スイッチング配線１３は、突出部が設けられ、第３のトランジスタ２１は、突出部上に設けられるとともに、そのソース電極が信号供給枝配線１２の突出部に接続され、そのドレイン電極がフローティング配線１１の突出部に接続され、フローティング配線１１及び信号供給枝配線１２は、その突出部の幅がそれぞれスイッチング配線１３の突出部の長さの１／２以下である。
フォトリソグラフィ工程の際に、スイッチング配線１３に対して、フローティング配線１１、信号供給枝配線１２がずれて形成された場合の、寄生容量の変動が小さい点で、好ましい形態である。すなわち、本実施形態では、上記フローティング配線１１及び信号供給枝配線１２の突出部の幅（乗り上げ幅ともいう。）が小さく、図９の上下方向でアライメントずれが生じた場合でも、容量変動が小さい。
【００４６】
図１０は、実施形態３の変形例のアクティブマトリクス基板における表示領域の外側の駆動回路を示す部分拡大図である。
図１０に示したフローティング配線及び信号供給枝配線は、その突出部の長さ（１２μｍ）がそれぞれスイッチング配線の突出部の幅（４μｍ）に対して比率が３である。このような形態においても、スイッチング配線１３に対して、フローティング配線１１、信号供給枝配線１２がずれて形成された場合に、寄生容量の変動を小さくすることができ、好ましい形態である。
その他、第３のトランジスタの形状は、他の形状であってもよく、例えばソース電極及びドレイン電極の一方が、コの字型やＵ字型であってもよいし、櫛歯状電極を組み合わせた形状であってもよい。
なお、本実施形態においても、フローティング配線１１の電位をリセットするために追加の引き出し線は不要であり、回路構成が最小限で済む。
【００４７】
上述した実施形態における各形態は、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜組み合わされてもよい。
【００４８】
なお、本願は、２００９年１２月１日に出願された日本国特許出願２００９−２７３５２６号を基礎として、パリ条約ないし移行する国における法規に基づく優先権を主張するものである。該出願の内容は、その全体が本願中に参照として組み込まれている。
【符号の説明】
【００４９】
２：クロック幹配線
４：クロック枝配線
６：コンタクトホール
１１：フローティング配線
１２：信号供給枝配線
１３：スイッチング配線
１４：信号供給幹配線
１５：引き出し線
２１：第３のトランジスタ
２２：第１のトランジスタ
２３：第２のトランジスタ
２４：スイッチング素子
３１：駆動回路の第１部分
３２：駆動回路の第２部分
４１：表示領域の走査線と接続される配線
５１、５７：フローティング配線及び信号供給枝配線とスイッチング配線との交差部分
５０、５２、５３、５４、５５、５６、５８、５９、１５０：半導体層形成領域
６１：フローティング配線及び信号供給枝配線とスイッチング配線とが交差する境界部分
７１：乗り上げ幅
１２２：フローティング配線に接続された第１のトランジスタ
１２３：信号供給枝配線に接続された第１のトランジスタ
１２４：フローティング配線に接続された第２のトランジスタ
１２５：信号供給枝配線に接続された第２のトランジスタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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