(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下片面又は上下両面に保護フィルムが貼着された板状部材より前記保護フィルム端縁部の一部又は全部を剥離させた切掛け部を形成する端部剥離機構と、該端部剥離機構の板状部材移送方向下流側に配置され、前記切掛け部を基点に前記保護フィルム全体を順次剥離させる本剥離機構とを備え、
該本剥離機構は、前記板状部材を移送する板状部材移送手段と、前記切掛け部を基点に剥離させた保護フィルムと板状部材表面との間に向けて気体を噴射する気体噴射ユニットを有する剥離手段と、剥離させた保護フィルムを移送するフィルム除去手段とを備え、前記板状部材移送手段により前記板状部材を移送させつつ、前記切掛け部を基点に剥離させた保護フィルムと前記板状部材との間に前記気体噴射ユニットより気体を噴射させることにより前記保護フィルム全体を順次剥離させるようにしてなるフィルム剥離装置において、
前記剥離手段は、前記移送される板状部材の上面側及び／又は下面側に前記気体噴射ユニット及び前記フィルム除去手段を配置するとともに、前記板状部材の前記気体噴射ユニットとは反対面側であって前記フィルム除去手段より下流に前記板状部材の気体噴射を受ける部分の反対面を支持する板状部材支持部を備え、該板状部材支持部に支持されて前記板状部材が前記噴射された気体による圧力に対抗するようにしたことを特徴としてなるフィルム剥離装置。
【請求項２】
前記剥離手段は、前記気体噴射ユニットを板状部材上面側に配置するとともに前記板状部材支持部を板状部材下面側に配置した上面側用剥離手段と、前記気体噴射ユニットを板状部材下面側に配置するとともに前記板状部材支持部を板状部材上面側に配置した下面側用剥離手段とをもって構成され、前記上面側用剥離手段と前記下面側用剥離手段とが板状部材移送方向で互いに間隔を置いて配置された請求項１に記載のフィルム剥離装置。
【請求項３】
前記板状部材支持部は、回転軸を板状部材幅方向に向けた複数の受けローラーを板状部材移送方向で互いに平行配置に備えてなる請求項１又は２に記載のフィルム剥離装置。
【請求項４】
隣り合う前記各受けローラーは、互いに同期して回転するようにしてなる請求項３に記載のフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線基板、液晶パネル、半導体ウエハー等の板状部材の製造過程において基板等の板状部材の片面又は両面に貼着された保護フィルムを板状部材より剥離させるためのフィルム剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線基板の製造では、絶縁性の基板本体の片面又は両面に積層させた銅箔等からなる導電層の上面に感光性を有するフォトレジスト層を形成した後、フォトレジスト層の表面に保護フィルムを貼着し、露光前のフォトレジスト層を保護するようにしている。
【０００３】
そして、この保護フィルムは、露光されたフォトレジスト層を現像してエッチング処理用のマスクパターンを形成する際に不要であるため、配線パターン像をフォトレジスト層に所定時間露光した後に剥離されるようになっている。
【０００４】
この保護フィルムを基板より剥離させる作業には、フィルム剥離装置が使用され、このフィルム剥離装置としては、例えば図９に示すように、基板の片面又は両面に貼着された保護フィルムの端縁部を基板より剥離させる端部剥離機構を備え、この端部剥離機構により剥離された保護フィルムの端縁部を切掛けとして本剥離機構で順次保護フィルム全体を基板より剥離させるようにしたものが知られている（例えば、特許文献１）。
【０００５】
従来の本剥離機構２０６には、端部剥離機構２００により保護フィルムの端縁部を剥離させた基板を板状部材移送機構２０７により順次移送させつつ、基板の上下面側に配置された気体噴射ユニット２０８，２０８より剥離させた保護フィルム端縁部と基板表面との間に向けて圧縮空気を噴射し、そのエアナイフ効果により保護フィルムを剥離させ、保護フィルムの剥離させた部分を互いに対向配置の一対の無端ベルト２０９，２０９間に巻き込み持ち上げることにより保護フィルム全体を基板表面より剥離させるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭６２−８３９７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述の如き従来の技術では、基板表面部に向けて圧縮空気を噴射するため薄い基板では噴射された圧縮空気に押圧されて基板ごと捲れ上がってしまう等して上下方向に歪みが生じ、このような基板の変形が装置の停止や故障の原因となる虞があった。
【０００８】
そこで本発明は、このような従来の問題に鑑み、基板等の板状部材が薄いものであっても板状部材を変形させずに、板状部材の片面又は両面に貼着された保護フィルムを好適に剥離させることができるフィルム剥離装置の提供を目的としてなされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の如き従来の問題を解決し、所期の目的を達成するための請求項1に記載の発明の特徴は、上下片面又は上下両面に保護フィルムが貼着された板状部材より前記保護フィルム端縁部の一部又は全部を剥離させた切掛け部を形成する端部剥離機構と、該端部剥離機構の板状部材移送方向下流側に配置され、前記切掛け部を基点に前記保護フィルム全体を順次剥離させる本剥離機構とを備え、該本剥離機構は、前記板状部材を移送する板状部材移送手段と、前記切掛け部を基点に剥離させた保護フィルムと板状部材表面との間に向けて気体を噴射する気体噴射ユニットを有する剥離手段と、剥離させた保護フィルムを移送するフィルム除去手段とを備え、前記板状部材移送手段により前記板状部材を移送させつつ、前記切掛け部を基点に剥離させた保護フィルムと前記板状部材との間に前記気体噴射ユニットより気体を噴射させることにより前記保護フィルム全体を順次剥離させるようにしてなるフィルム剥離装置において、前記剥離手段は、前記移送される板状部材の上面側及び／又は下面側に前記気体噴射ユニット及び前記フィルム除去手段を配置するとともに、前記板状部材の前記気体噴射ユニットとは反対面側であって前記フィルム除去手段より下流に前記板状部材の気体噴射を受ける部分の反対面を支持する板状部材支持部を備え、該板状部材支持部に支持されて前記板状部材が前記噴射された気体による圧力に対抗するようにしたフィルム剥離装置にあります。
【００１０】
請求項２に記載の発明の特徴は、請求項１の構成に加え、前記剥離手段は、前記気体噴射ユニットを板状部材上面側に配置するとともに前記板状部材支持部を板状部材下面側に配置した上面側用剥離手段と、前記気体噴射ユニットを板状部材下面側に配置するとともに前記板状部材支持部を板状部材上面側に配置した下面側用剥離手段とをもって構成され、前記上面側用剥離手段と前記下面側用剥離手段とが板状部材移送方向で互いに間隔を置いて配置されたことにある。
【００１１】
請求項３に記載の発明の特徴は、請求項１又は２の構成に加え、前記板状部材支持部は、回転軸を板状部材幅方向に向けた複数の受けローラーを板状部材移送方向で互いに平行配置に備えてなることにある。
【００１２】
請求項４に記載の発明の特徴は、請求項３の構成に加え、隣り合う前記各受けローラーは、互いに同期して回転するようにしてなることにある。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るフィルム剥離装置は、上述したように、上下片面又は上下両面に保護フィルムが貼着された板状部材より前記保護フィルム端縁部の一部又は全部を剥離させた切掛け部を形成する端部剥離機構と、該端部剥離機構の板状部材移送方向下流側に配置され、前記切掛け部を基点に前記保護フィルム全体を順次剥離させる本剥離機構とを備え、該本剥離機構は、前記板状部材を移送する板状部材移送手段と、前記切掛け部を基点に剥離させた保護フィルムと板状部材表面との間に向けて気体を噴射する気体噴射ユニットを有する剥離手段と、剥離させた保護フィルムを移送するフィルム除去手段とを備え、前記板状部材移送手段により前記板状部材を移送させつつ、前記切掛け部を基点に剥離させた保護フィルムと前記板状部材との間に前記気体噴射ユニットより気体を噴射させることにより前記保護フィルム全体を順次剥離させるようにしてなるフィルム剥離装置において、前記剥離手段は、前記移送される板状部材の上面側及び／又は下面側に前記気体噴射ユニット及び前記フィルム除去手段を配置するとともに、前記板状部材の前記気体噴射ユニットとは反対面側であって前記フィルム除去手段より下流に前記板状部材の気体噴射を受ける部分の反対面を支持する板状部材支持部を備え、該板状部材支持部に支持されて前記板状部材が前記噴射された気体による圧力に対抗するようにしたことにより、基板等の薄い板状部材であっても気体噴射による板状部材の変形を抑え、好適に保護フィルムを板状部材より剥離させることができる。
【００１４】
また、本発明において、前記剥離手段は、前記気体噴射ユニットを板状部材上面側に配置するとともに前記板状部材支持部を板状部材下面側に配置した上面側用剥離手段と、前記気体噴射ユニットを板状部材下面側に配置するとともに前記板状部材支持部を板状部材上面側に配置した下面側用剥離手段とをもって構成され、前記上面側用剥離手段と前記下面側用剥離手段とが板状部材移送方向で互いに間隔を置いて配置されたことにより、板状部材の変形を抑制しつつ板状部材の上下両面に貼着された保護フィルムを剥離させることができる。
【００１５】
更に本発明において、前記板状部材支持部は、回転軸を板状部材幅方向に向けた複数の受けローラーを板状部材移送方向で互いに平行配置に備えてなることにより、基板等の板状部材の変形を抑えつつ、板状部材を好適に移送させることができる。
【００１６】
更にまた本発明において、隣り合う前記各受けローラーは、互いに同期して回転するようにしてなることにより、基板等の板状部材を好適に支持することができ、板状部材の変形を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係るフィルム剥離装置の一例の概略示す側面図である。
【図２】図１中の端部剥離機構の一例の概略を示す部分拡大側面図である。
【図３】同上のフィルム端部剥離手段の概略を示す正面図である。
【図４】図１中の本剥離機構における上面側保護フィルムの本剥離動作の状態を示す部分拡大側面図である。
【図５】同上の下面側保護フィルムの本剥離動作の状態を示す部分拡大側面図である。
【図６】本発明に係るフィルム剥離装置の他の一例の概略を示す側面図である。
【図７】図５中の本剥離機構における上面側保護フィルムの本剥離動作の状態を示す部分拡大側面図である。
【図８】同上の下面側保護フィルムの本剥離動作の状態を示す部分拡大側面図である。
【図９】従来のフィルム剥離装置の一例の概略を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
次に、本発明に係るフィルム剥離装置の実施の態様を図１〜図５に示した実施例に基づいて説明する。尚、図中符号Ａは板状部材である基板、符号１はフィルム剥離装置である。
【００１９】
また、ここで板状部材移送方向とは、図1中の右側より左側に向けた板状部材である基板Ａを移送させる方向を言い、板状部材幅方向とは、板状部材移送方向と水平方向で交差する方向を言うものとする。
【００２０】
基板Ａは、絶縁性の基板本体の両面に積層させた銅箔等からなる導電層の表面に感光性を有するフォトレジスト層が形成され、さらにフォトレジスト層の表面に保護フィルムＢが貼着されている。
【００２１】
フィルム剥離装置１は、基板Ａを移送する板状部材移送機構２を備えるとともに、その板状部材移送方向の上流側に端部剥離機構３を、下流側に本剥離機構４をそれぞれ備え、板状部材移送機構２、端部剥離機構３及び本剥離機構４が図示しない制御ユニットによる命令に基づきシーケンス制御され、同期して動作するようになっている。
【００２２】
板状部材移送機構２は、回転軸を板状部材幅方向に向けた複数の案内ローラー５，５...を板状部材移送方向に間隔を置いた配置に備え、この案内ローラー５を図示しないモーター等からなる駆動手段により回転させるようになっている。
【００２３】
また、板状部材移送機構２は、装置フレーム６にエアシリンダ７を介して上下動可能に支持された支持枠８と、支持枠８に回転自在に支持されたピンチローラー９とを備え、エアシリンダ７を動作させてピンチローラー９を基板Ａ表面に圧接させ、案内ローラー５とピンチローラー９との間に基板Ａを挟むことにより案内ローラー５による動力が基板Ａに伝達され、基板Ａが板状部材移送方向に向けて移送されるようになっている。
【００２４】
このフィルム剥離装置１では、板状部材移送機構２により基板Ａの移送方向前端部を端部剥離機構３に送られ、この端部剥離機構３により基板Ａの片面又は両面に貼着された保護フィルムＢの端縁部Ｂａの一部又は全部を剥離させて切掛け部を形成し、その切掛け部を基点に本剥離機構４で保護フィルムＢ全体を順次剥離させるようになっている。
【００２５】
端部剥離機構３は、図２、図３に示すように、基板Ａを所定の位置に固定するための板状部材固定手段１０と、保護フィルムＢの端縁部Ｂａを基板Ａより剥離させるフィルム端部剥離手段１１とを備え、板状部材移送機構２により送り込まれた基板Ａの端部を板状部材固定手段１０により固定し、その状態で保護フィルムＢ端縁部Ｂａをフィルム端部剥離手段１１により剥離させるようになっている。
【００２６】
フィルム端部剥離手段１１は、例えば、回転軸を板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー１５及び回転軸を板状部材幅方向に傾けた傾斜圧接ローラー１６を板状部材幅方向に並べて支持させた上下一対の支持部材２０，２１を有し、上下両支持部材２０，２１が両圧接ローラー１５，１６を基板Ａ表面に圧接させる位置と離反させた位置との間で相対移動するようにしてなるローラーユニット１７を備え、両圧接ローラー１５，１６を基板Ａ表面に圧接させた状態でローラーユニット１７を板状部材幅方向で移動させることにより、保護フィルム端縁部Ｂａに方向の異なる力が作用して基板Ａより剥離させるようになっている。
【００２７】
そして、端部剥離機構３で保護フィルム端縁部Ｂａの一部又は全部を剥離させて切掛け部が形成された基板Ａは、板状部材移送機構２により下流側の本剥離機構４に移送される。
【００２８】
本剥離機構４は、基板Ａを移送する板状部材移送手段４０と、切掛け部、即ち保護フィルム端縁部Ｂａを基点にして保護フィルムＢ全体を順次剥離させる剥離手段４１と、剥離手段４１により剥離させた保護フィルムＢを移送して装置より除去するフィルム除去手段４２，４３とを備え、板状部材移送手段４０により基板Ａを移送させつつ剥離手段４１により保護フィルムＢ全体を順次剥離させるようになっている。
【００２９】
板状部材移送手段４０は、板状部材移送機構２の一部を担い、回転軸を板状部材幅方向に向けた複数の案内ローラー５，５...が板状部材移送方向に間隔を置いた平行配置に備えられ、案内ローラー５，５...を図示しないモーター等からなる駆動手段により回転させることにより板状部材移送方向に向けて基板Ａを順次移送させるようになっている。
【００３０】
剥離手段４１は、板状部材上面側の保護フィルムＢを剥離させる上面側用剥離手段４４と、板状部材下面側の保護フィルムを剥離させる下面側用剥離手段４５とをもって構成され、この上面側用剥離手段４４と下面側用剥離手段４５とは互いに板状部材移送方向に間隔をおいて配置され、本実施例においては上面側用剥離手段４４が板状部材移送方向上流側に下面側用剥離手段４５が下流側にそれぞれ配置されている。
【００３１】
上面側用剥離手段４４は、図１、図４、図５に示すように、板状部材上面側、即ち、基板Ａの上面側に配置された上面剥離用気体噴射ユニット４６と、板状部材下面側（基板Ａの下面側）、且つ上面剥離用気体噴射ユニット４６の噴射方向側に配置された上面剥離用板状部材支持部４７とを備え、この上面側用剥離手段４４に基板Ａを板状部材移送方向に向けて通すことにより、板状部材上面側の保護フィルムＢを板状部材移送方向先端側より順次剥離させるようになっている。
【００３２】
上面剥離用気体噴射ユニット４６は、長手方向を板状部材幅方向に向けた円筒状の筒状部材４８を備え、筒状部材４８の板状部材幅方向に間隔をおいて複数の噴射口４９が配置されている。
【００３３】
各エア噴射口４９，４９...は、板状部材移送方向上流側且つ斜め下側に向けて配置され、基板Ａと切掛け部を基点にして基板Ａより剥離された保護フィルム端縁部Ｂａとの間であって、基板Ａ表面より剥離された部分と貼着された部分との境界部分に向けて圧縮空気が噴射されるようになっている。
【００３４】
尚、筒状部材４８には、図示しないエアコンプレッサー等の気体供給ユニットより供給ホース４８ａを通して圧縮空気が供給されるようになっている。
【００３５】
また、筒状部材４８には、板状部材幅方向に間隔を置いて複数のローラー５０が回転自在に備えられている。
【００３６】
上面剥離用板状部材支持部４７は、回転軸を板状部材幅方向に向けた複数の受けローラー５１，５１...を備え、各受けローラー５１，５１...が板状部材移送方向で互いに平行配置且つ上端部が板状部材移送方向で水平面上に並べて配置され、隣り合う各受けローラー５１，５１...は、互いに当接した配置に備えられ、互いに同期して回転するようになっている。
【００３７】
この上面剥離用板状部材支持部４７は、上面剥離用気体噴射ユニット４６からの気体噴射圧力が影響する範囲に亘って板状部材である基板の下面を支持し、この上面剥離用板状部材支持部４７に反力をとって基板Ａが気体噴射による圧力に対抗するようになっている。それによって、基板Ａが上面側用剥離手段４４を通過する際に、薄い基板Ａであっても噴射された気体の圧力による変形、即ち基板Ａが捲り上がるのを防止することができる。
【００３８】
一方、この上面側用剥離手段４４の板状部材移送方向上流側には、上面側フィルム除去手段４２が配置され、上面側用剥離手段４４により剥離させた保護フィルムＢを除去するようになっている。
【００３９】
この上面側フィルム除去手段４２は、図１に示すように、上面剥離用気体噴射ユニット４６の上流側部に基板上面と近接するように配置された導入上流側プーリー５２と、導入上流側プーリー５２の板状部材移送方向下流側上方に導入上流側プーリー５２と互いに近接するように配置された導入下流側プーリー５３と、導入上流側プーリー５２の板状部材移送方向上流側上方に配置された排出上流側プーリー５４と、排出上流側プーリー５４と上下方向で互いに近接し、且つ導入下流側プーリー５３の板状部材移送方向後端側上方に配置された排出下流側プーリー５５とを備え、この導入上流プーリー５２と排出上流側プーリー５４との間に上流側無端ベルト５６が、導入下流側プーリー５３と排出下流側プーリー５５との間に下流側無端ベルト５７がそれぞれ斜め方向に向けて掛け回されている。
【００４０】
導入下流側プーリー５３は、タイミングベルト５８を介してモーター５９の回転力が伝達され、図中反時計回りに回転し、上部無端ベルト５７を図１中矢印の方向に動作させるようになっている。
【００４１】
一方、上流側無端ベルト５６は、上流側プーリー５２，５４が下流側プーリー５３，５５と互いに近接して配置されたことにより、下流側無端ベルト５７と互いに対向且つ密接し、下流側無端ベルト５７の動作に同調して動作するようになっている。
【００４２】
そして、このように構成された上面側フィルム除去手段４２では、導入上流側プーリー５２と導入下流側プーリー５３との間より剥離させた保護フィルムＢを両無端ベルト５６，５７間に導入し、その導入された保護フィルムＢを無端ベルト５６，５７間に挟持した状態で順次搬送し、上面側用剥離手段４１により板状部材移送方向先端側より順次剥離させた保護フィルムＢを導入側より排出側に向けて除去するようになっている。
【００４３】
尚、図中符号６０は、剥離させた保護フィルム端部を導入上流側プーリー５２と導入下流側プーリー５３との間に導く為のエアノズルであって、このエアノズル６０より圧縮空気を剥離された保護フィルムＢの下面側に吹き付けることにより保護フィルムＢの端部を導入上流側プーリー５２と導入下流側プーリー５３との間に導くようになっている。
【００４４】
一方、下面側用剥離手段４５は、板状部材下面側に配置される下面側気体噴射ユニット７０と、板状部材上面側に配置された下面剥離用板状部材支持部７１とを備え、この下面側用剥離手段４５に基板Ａを板状部材移送方向に向けて通すことにより板状部材下面側の保護フィルムＢ全体を板状部材移送方向先端側より順次剥離させるようになっている。
【００４５】
下面側気体噴射ユニット７０は、長手方向を板状部材幅方向に向けた円筒状の筒状部材７２を備え、筒状部材７２の板状部材幅方向に間隔をおいて複数のエア噴射口７３が配置されている。
【００４６】
各エア噴射口７３，７３...は、板状部材移送方向上流側且つ斜め上側に向けて形成され、基板Ａ下面表面と剥離された保護フィルム端縁部Ｂａとの間であって、保護フィルムの剥離された部分と貼着されている部分との境界部分に圧縮空気が噴射されるようになっている。
【００４７】
尚、筒状部材７２には、図示しないエアコンプレッサー等の気体供給ユニットより供給ホース７２ａを通して圧縮空気が供給されるようになっている。
【００４８】
また、筒状部材７２には、板状部材幅方向に間隔を置いて複数のローラー７４が回転自在に備えられている。
【００４９】
下面剥離用板状部材支持部７１は、回転軸を板状部材幅方向に向けた一対の受けローラー７５，７５を備え、両受けローラー７５，７５が板状部材移送方向で互いに平行配置に備えられている。
【００５０】
隣り合う両受けローラー７５，７５は、互いに当接した配置に備えられ、互いに同期して回転するようになっている。
【００５１】
この下面剥離用板状部材支持部７１は、下面剥離用気体噴射ユニット７０からの気体噴射圧力が影響する範囲に亘って板状部材である基板の上面を支持し、基板Ａがこの下面剥離用板状部材支持部７１に反力をとって気体噴射による圧力に対抗するようになっている。それによって、基板Ａが下面側用剥離手段４５を通過した際に、薄い基板Ａであっても噴射された気体から受ける圧力による変形、即ち基板が捲り上がるのを防止することができる。
【００５２】
また、この下面側用剥離手段４５の板状部材移送方向上流側には、下面側フィルム除去手段４３が配置され、下面側用剥離手段４５により剥離させた保護フィルムＢを除去するようになっている。
【００５３】
この下面側フィルム除去手段４３は、図１に示すように、下面剥離用噴射ユニット７０の板状部材移送方向上流側部に基板下面と近接するように配置された導入上流側プーリー７６と、導入上流側プーリー７６の板状部材移送方向下流側斜め下方に導入上流側プーリー７６と互いに近接するように配置された導入下流側プーリー７７と、導入上流側プーリー７６の下方に配置された排出上流側プーリー７８と、排出上流側プーリー７８と板状部材移送方向下流側斜め下方に互いに近接して配置された排出下流側プーリー７９とを備え、この導入上流側プーリー７６と排出上流側プーリー７８との間に上流側無端ベルト８０が、導入下流側プーリー７７と排出下流側プーリー７９との間に下流側無端ベルト８１がそれぞれ上下方向に向けて掛け回されている。
【００５４】
導入下流側プーリー７７は、タイミングベルト５８を介してモーター５９の回転力が伝達され、図中反時計回りに回転し、下流側無端ベルト８１を図中矢印の方向に動作させるようになっている。
【００５５】
一方、上流側無端ベルト８０は、上流側プーリー７６，７８が下流側プーリー７７，７９と互いに近接して配置されたことにより、下流側無端ベルト８１と互いに対向且つ密接し、下流側無端ベルト８１の動作に同調して動作するようになっている。
【００５６】
そして、このように構成された下面側フィルム除去手段４３では、導入上流側プーリー７６と導入下流側プーリー７７との間より剥離させた保護フィルムＢを両無端ベルト８０，８１間に導入し、その導入された保護フィルムＢを無端ベルト８０，８１間に挟持した状態で順次搬送し、下面側用剥離手段４５により板状部材移送方向先端側より順次剥離させた保護フィルムＢを導入側より排出側に向けて除去するようになっている。
【００５７】
尚、図中符号８２は、剥離させた保護フィルムＢ端部を導入上流側プーリー７６と導入下流側プーリー７７との間に導く為のエアノズルであって、このエアノズル８２より圧縮空気を剥離された保護フィルムの下面側に吹き付けることにより保護フィルムの端部を導入上流側プーリー７６と導入下流側プーリー７７との間に導くようになっている。
【００５８】
尚、本発明に係るフィルム剥離装置の形態は上述の実施例の如き構成に限定されるものではなく、例えば、図６〜図８に示す如き構造であってもよい。尚、上述の実施例と同様の部分には同一符号を付して説明を省略する。
【００５９】
このフィルム剥離装置９０では、上述の上面側用剥離手段４４及び下面側用剥離手段４５に代えて上面側用剥離手段９１及び下側剥離手段９２を備え、下側剥離手段９２を板状部材移送方向上流側に、上面側用剥離手段９１を下流側にそれぞれ配置した構成になっている。
【００６０】
この下面側用剥離手段９２は、板状部材下面側に配置される下面剥離用気体噴射ユニット７０と、板状部材上面側に配置された下面剥離用板状部材支持部９３とを備え、下面剥離用板状部材支持部９３は、図７に示すように、上面側フィルム除去手段４２を構成する導入上流側プーリー５２を受けローラーとして使用し、基板Ａがこの導入上流側プーリー５２に反力を取って下面剥離用気体噴射ユニット７０から噴射される圧縮空気の圧力に対抗するようになっている。
【００６１】
一方、上面側用剥離手段９１は、板状部材上面側に配置される上面剥離用気体噴射ユニット４６と、板状部材下面側に配置された上面剥離用板状部材支持部９４とを備え、この上面側用剥離手段９１に基板Ａを板状部材移送方向に向けて通すことにより板状部材上面側の保護フィルム全体を板状部材移送方向先端側より順次剥離させるようになっている。
【００６２】
上面剥離用板状部材支持部９４は、図８に示すように、板状部材移送機構２を構成する複数の案内ローラー５，５...を受けローラーとして使用し、基板Ａがこの案内ローラー５，５...に反力を取って気体噴射ユニット４６から噴射される圧縮空気の圧力に対抗するようになっている。
【００６３】
尚、上述の各実施例では、剥離手段を上面側用剥離手段及び下面側用剥離手段をもって構成し、両剥離手段を板状部材移送方向で間隔を置いて配置した例について説明したが、上面側用剥離手段又は下面側用剥離手段の何れか一方のみを備えたものであってもよい。
【００６４】
また、板状部材支持部の形態は、上述の実施例に示したものに限定されず、例えば、平板状の部材等をもって構成したものであってもよい。
【００６５】
更に、板状部材は、上述した基板に限定されるものではなく、本願装置は、液晶パネルや半導体ウエハー等の板状部材の片面又は両面に保護フィルムを貼着させたものにも対応させることができる。
【符号の説明】
【００６６】
Ａ  基板
Ｂ  保護フィルム
１  フィルム剥離装置
２  板状部材移送機構
３  端部剥離機構
４  本剥離機構４
５  案内ローラー
６  フレーム
７  エアシリンダ
８  支持枠
９  ピンチローラー
１０  板状部材固定手段
１１  フィルム端部剥離手段
１５  標準圧接ローラー
１６  傾斜圧接ローラー
１７  ローラーユニット
２０  上側支持部材
２１  下側支持部材
４０  板状部材移送手段
４１  剥離手段
４２  上面側フィルム除去手段
４３  下面側フィルム除去手段
４４  上面側用剥離手段
４５  下面側用剥離手段
４６  上面剥離用気体噴射ユニット
４７  上面剥離用板状部材支持部
４８  筒状部材
４９  噴射口
５０  ローラー
５１  支持ローラー
５２  導入上流側プーリー
５３  導入下流側プーリー
５４  排出上流側プーリー
５５  排出下流側プーリー
５６  上流側無端ベルト
５７  下流側無端ベルト
５８  タイミングベルト
５９  モーター
６０  エアノズル
７０  下面側気体噴射ユニット
７１  下面剥離用板状部材支持部
７２  筒状部材
７３  噴射口
７４  ローラー
７５  支持ローラー
７６  導入上流側プーリー
７７  導入下流側プーリー
７８  排出上流側プーリー
７９  排出下流側プーリー
８０  上流側無端ベルト
８１  下流側無端ベルト
８２  エアノズル
９０  フィルム剥離装置
９１  上面側用剥離手段
９２  下面側用剥離手段
９３  下面剥離用板状部材支持部
９４  上面剥離用板状部材支持部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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