(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平坦な半極性III族窒化物エピタキシャル膜を成長させる方法であって、ハイドライド気相成長法（ＨＶＰＥ）を使用して半極性｛１１−２２｝面III族窒化物をｍ−サファイア基板上で成長させるステップを含み、
前記基板の前処理ステップと、
前記前処理ステップ後に、前記基板上で中間層を成長させるステップと、
前記中間層上で前記半極性｛１１−２２｝面III族窒化物を成長させるステップとを含む
ことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記半極性｛１１−２２｝面III族窒化物が半極性面窒化ガリウム（ＧａＮ）を含む、
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記中間層が、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）層又は窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層を含む、
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記半極性｛１１−２２｝面III族窒化物が平坦なエピタキシャル層である、
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
〔関連出願との相互参照〕
本出願は、２００８年７月１６日に出願された米国仮特許出願第６１／０８１，１４５号の利益を主張するものである。
【０００２】
本発明は、ハイドライド気相成長法（ＨＶＰＥ）による平坦な非極性｛１−１００｝及び半極性｛１１−２２｝窒化ガリウム（ＧａＮ）の成長に関する。
【背景技術】
【０００３】
窒化ガリウム（ＧａＮ）及びこの関連化合物は、高度可視紫外線高出力及び高性能光電子デバイス及び電子デバイスを作製するための最有力候補である。通常、これらのデバイスは、分子線エピタキシー法（ＭＢＥ）、有機金属化学気相成長法（ＭＯＣＶＤ）又はハイドライド気相成長法（ＨＶＰＥ）を含む成長技術によりエピタキシャルに成長する。
【０００４】
ＧａＮの所望の成長方位を実現するためには、基板の選択が非常に重要である。Ｍ−Ｎ成長に最も広く使用されている基板の一部として、ＳｉＣ、Ａｌ２Ｏ３及びＬｉＡｌＯ２が挙げられる。様々な結晶方位のこれらの基板が市販されている。
【０００５】
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、六方晶ウルツ鉱型ＧａＮの結晶細胞における結晶学的方向及び関心面の概略図である。詳細には、これらの概略図は、六方晶ウルツ鉱型ＧａＮ構造における異なる結晶学的成長方向及び関心面を示すものであり、図１（ａ）は、結晶学的方向ａ１、ａ２、ａ３、ｃ、＜１０−１０＞及び＜１１−２０＞を示しており、図１（ｂ）は、面ａ（１１−２０）、ｍ（１０−１０）及びｒ（１０−１２）を示している。図１（ｂ）の塗りつぶしパターンは、関心面を示すことを意図するものであり、構造の物質を表すものではない。
【０００６】
平坦なｃ面ＧａＮを成長させることは、成長安定領域が大きいため比較的容易である。従って、ほとんどすべてのＧａＮベースのデバイスは、極性ｃ面と平行に成長する。しかしながら、ｃ面成長の結果、自発分極に起因して、個々の物質層に電子の分離及び層の反対面に至る正孔が生じる。さらに、隣接する層間の界面における歪みが圧電分極を生じ、さらなる電荷分離を引き起こす。
【０００７】
分極の結果として２つの障壁に挟まれた量子井戸におけるバンド曲がり及び電子正孔分離の概略図である図２（ａ）及び図２（ｂ）はこの効果を示すものであり、図２（ａ）は、エネルギ（ｅＶ）対深さ（ｕｍ）のグラフであり、ｃ面の量子井戸を表しているのに対し、図２（ｂ）は、エネルギ（ｅＶ）深さ（ｕｍ）のグラフであり、非極性の量子井戸を表している。
【０００８】
このような分極効果は、電子と正孔が再結合する可能性を低下させ、最終的なデバイスが十分に機能しなくなる。ＧａＮ光電子デバイスにおける圧電分極効果を最小化又は除去するための１つの考えられる方法は、［１１−２２］面などの半極性の結晶面又はＧａＮのａ−｛１１−２０｝及びｍ−｛１−１００｝面群などの非極性の結晶面上でデバイスを成長させることである。このような面は、Ｇａ原子及びＮ原子を同じ数だけ含み、電荷中性である。
【発明の概要】
【０００９】
ＨＶＰＥ法及びＭＢＥ法により平坦な｛１−１００｝ｍ面ＧａＮ成長が展開されてきたが、ｍ面ＧａＮ基板上でしか成功していない。しかしながら、本明細書で説明する発明よりも前に、サファイア上における平坦な半極性及び非極性ＧａＮ成長がＨＶＰＥによって達成されたことはない。
【００１０】
参照する図面では、全体を通じて同じ参照番号が対応する部分を表す。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１（ａ）】六方晶ＧａＮにおける結晶学的方向の概略図である。
【図１（ｂ）】六方晶ＧａＮにおける関心面の概略図である。
【図２（ａ）】分極の結果としてのバンド曲がり及び電子正孔分離の概略図である。
【図２（ｂ）】分極の結果としてのバンド曲がり及び電子正孔分離の概略図である。
【図３（ａ）】ｍ面上における半極性の平坦なＧａＮのＸ線回折よる構造特性を示す図である。
【図３（ｂ）】ｍ面上における半極性の平坦なＧａＮのＸ線回折よる構造特性を示す図である。
【図３（ｃ）】ｍ面上における半極性の平坦なＧａＮのＸ線回折よる構造特性を示す図である。
【図４】表面粗さ値ｒｍｓが３．７５ｎｍの（サイズ）原子間力顕微鏡法（ＡＦＭ）表面画像である。
【図５】本発明の好ましい実施形態による、ＨＶＰＥを使用して平坦な半極性III族窒化物を成長させるための処理ステップを示すフローチャートである。
【図６】本発明の好ましい実施形態による、図５の処理ステップの結果をさらに示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の一般的な目的は、ＨＶＰＥを使用して平坦な半極性｛１１−２２｝面ＧａＮ材料を成長させることである。本方法は、基板をアンモニア及びアルゴンの環境内で上昇温度でインサイチュ前処理し、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）又は窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）などの中間層を焼鈍基板上で成長させ、ＨＶＰＥを使用して非極性ｍ面III族窒化物エピタキシャル層を中間層上で成長させることを含む。
【００１３】
本発明は、ｍ面ＧａＮの半極性性質を利用して分極場を大幅に減少させ、成長中の半極性ＧａＮの安定性という強みを利用して、温度、圧力及び前駆体フローなどの成長変数の柔軟性を上げる。
【００１４】
以下の好ましい実施形態についての説明では、本明細書の一部を成すとともに本発明を実施できる特定の実施形態を一例として示す添付図面を参照する。なお、本発明の範囲から逸脱することなく、他の実施形態を利用することができ、また構造を変化させることもできると理解されたい。
【００１５】
概要
（Ｇａ、Ｉｎ、Ａｌ、Ｂ）Ｎ材料が極性［０００１］ｃ方向に成長すると、分極場が一次伝導方向に沿って電荷分離を引き起こすため、光学デバイスの性能が低下する。従って、最近の研究は、このような効果を排除してデバイス性能を大幅に改善するために、これらの材料のａ−［１１−２０］及びｍ−［１−１００］方向に沿った半極性及び非極性方向成長に焦点を当てて行われてきた。ＨＶＰＥ及びＭＢＥによりＧａＮのａ面及びｍ面成長の両方が模索されてきたが、非常に狭く非常に高価なｍ面ＧａＮ基板上でしか成功に至っていない。ｍ面及び半極性成長では、広い範囲の基板利用性が、ＨＶＰＥ成長中に安定している市販のｍ−サファイア基板の出現に関する問題点であったが、これが本発明を可能にした。本発明は、ｍ−サファイア上における半極性｛１１−２２｝及び｛１０−１３｝面ＧａＮの成長をＨＶＰＥにより初めて成功させるものである。
【００１６】
技術的説明
ｍ面サファイア基板を、アンモニア及び塩化水素の環境内で焼き鈍しする。成長前に、ＧａＮ膜成長よりも先にＡｌＮ又はＡｌＧａＮ層を中間層として形成する。最後に、ＨＶＰＥによりＧａＮ層を成長させる。図１（ａ）及び図１（ｂ）は、ウルツ鉱型結晶構成にある関心対象の半極性ＧａＮ（１１−２２）結晶面を示している。
【００１７】
半極性ＧａＮ成長を成し遂げるために、６〜１５のV／III比及び９００〜１０５０の温度シリーズをＡｌＮ、ＡｌＧａＮ及びＧａＮ層にそれぞれ試験した。成長は大気圧で行った。ＡｌＮ、ＡｌＧａＮ及びＧａＮの半極性面は、広い範囲の温度、リアクタ圧及び前駆体フローにわたって安定していた。
【００１８】
中間層の厚みが１００ｎｍ未満の場合、最高品質のＧａＮ膜をもたらす最適なＡｌＧａＮ中間層は、９００℃を超える温度、及び１５〜２５のV／III比で実現された。ＧａＮ層のエピタキシーでは、最も好ましい状態は、大気圧近く、９００〜１０５０℃の範囲の温度、及び１５未満のV／III比で実現された。
【００１９】
結果として生じる半極性ＧａＮ材料の２μｍ×２μｍの原子間力顕微鏡法（ＡＦＭ）表面画像を図４に示す。表面粗さ値（２乗平均平方根）は、（サイズ）スキャンで３．７５ｎｍである。
【００２０】
図３（ｃ）は、Ｘ線回折の振動曲線を示すオメガ（度）対総数／秒のグラフであり、１８μｍ厚（１１−２２）半極性ＧａＮ層では、軸上（１１−２２）半値全幅（ＦＷＨＭ）値が４０２秒ほどの低さで測定されている。以下の表１から分かるように、３３μｍ厚ＧａＮの軸上（１１−２２）ＦＷＨＭ値は２９３秒ほどの低さで測定され、軸外（１１−１０）反射でのＦＷＨＭ値は２５０秒である。これらの粗さ及びＦＷＨＭ値は、核形成層及びエピタキシャルＧａＮ膜自体の成長条件を変更することにより大きく変化するものでは
ないことが分かった。
【００２１】
【表１】
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【００２２】
処理ステップ
図５は、本発明の好ましい実施形態による、ＨＶＰＥを使用して平坦な半極性III族窒化物エピタキシャル膜を成長させるための処理ステップを示すフローチャートであり、平坦な半極性III族窒化物エピタキシャル膜が、平坦な半極性｛１１−２２｝又は（１０．３）ＧａＮエピタキシャル層を含むことができる。図６は、図５の処理ステップの各々の結果をさらに示している。
【００２３】
ブロック６００は、適当な基板（７００）を表す。基板（７００）は、ｍ−サファイア又は半極性面III族窒化物の成長に適したいずれかの基板を含むことができる。
【００２４】
ブロック６０２は、成長ステップの前に、例えばアルゴン及びアンモニア環境内で基板（７００）をインサイチュ前処理することを表す。
【００２５】
ブロック６０４は、基板（７００）上で中間層（７０４）を成長させることを表す。通常、中間層（７０４）は、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）層又は窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）層を有するが、半極性面III族窒化物の成長に適した他のいずれの中間層（７０４）を含むこともできる。さらに、基板の前処理後、及び半極性面III族窒化物の成長前に中間層（７０４）を成長させることもできる。
【００２６】
ブロック６０６は、ＨＶＰＥを使用して半極性面III族窒化物エピタキシャル層（７０６）を成長させることを表す。通常、半極性面III族窒化物エピタキシャル層（７０６）は、非極性（１１−２２）面ＧａＮエピタキシャル層を有するが、同様に（１０−１３）などの他の半極性面III族窒化物エピタキシャル層含むこともできる。さらに、半極性面III族窒化物エピタキシャル層（７０６）を中間層（７０４）上で成長させることができる。最終的には、半極性面III族窒化物の平坦なエピタキシャル層を有するデバイス、又は独立ウェハ、又は基板、又はテンプレートが得られることが好ましい。
【００２７】
考えられる修正及び変化
好ましい実施形態では、ＡｌＮ又はＡｌＧａＮ中間層を使用してｍ−サファイア上で半極性ＧａＮをＨＶＰＥ成長させることについて説明しているが、半極性面III族窒化物エピタキシャル膜を上部に形成できる別の適当な基板として、以下に限定されるわけではないが、６Ｈ又は４Ｈｍ面ＳｉＣ、独立ｍ−ＧａＮ、ＬｉＧａＯ２及びＬｉＡｌＯ２が挙げられる。
【００２８】
成長前に、適当な基板をインサイチュ又はエクスサイチュで多くの異なる方法で処理してもよく、或いは全く処理しなくてもよい。
【００２９】
ＧａＮ又はＡｌＮ、或いは様々な条件及び方法で成長させたＡｌＧａＮなどの異なる核形成層上で、又は裸基板上で半極性エピタキシャル膜を核形成して成長させることができる。
【００３０】
エピタキシャル膜は、以下に限定されるわけではないが、様々な厚みのＧａＮ、ＡｌＮ、ＡｌＧａＮ及びＩｎＧａＮを含むいずれの半極性面III族窒化物材料であってもよい。
【００３１】
半極性面III族窒化物材料の成長に必要な成長パラメータは、リアクタによって変化することができる。
【００３２】
最終的には、処理ステップを望む通りに省略、追加又は再構成することができると理解されたい。
【００３３】
このような変化により、基本的に本発明の一般的な実施が変更を受けることはない。
【００３４】
利点及び改善点
非極性｛１−１００｝面ＧａＮの成長は、ＨＶＰＥ及びＭＢＥによって十分に実証されてきたが、ｍ面ＧａＮ基板上でしか成功していなかった。しかしながら、本発明は、ＨＶＰＥによる高品質な平坦な半極性｛１１−２２｝及び｛１０−１３｝面ＧａＮ成長の実証に初めて成功した。
【００３５】
平坦な半極性ＧａＮの成長には、その安定性とともに広い成長領域という点から見て、ＨＶＰＥによる平坦なａ−｛１１−２０｝ＧａＮの成長に優る利点がある。このことは、ＡｌＮ（ＡｌＧａＮ）中間層及びＧａＮエピタキシャル膜の温度、V／III比、前駆体フローなどの成長変数が変化したときに示された。
【００３６】
最適な品質の半極性（１１−２２）ＧａＮ成長を成し遂げるために、６〜１５のV／III比及び９００℃〜１０５０℃の温度シリーズと、１５〜２５のV／III比及び９００℃〜１０５０℃の温度シリーズとをＡｌＮ（ＡｌＧａＮ）中間層及びＧａＮ層にそれぞれ試験した。結晶及び表面の品質が成長条件の変化の影響を極めて受けやすく、狭い成長領域に制約される平坦な非極性ａ面ＧａＮ膜とは異なり、このような条件の変更が、結晶及び表面の品質に著しく影響することはなかった。
【００３７】
成長安定性の利点をＧａＮの半極性性質と組み合わせることにより、III族窒化物非極性デバイスの研究に新たな可能性がもたらされる。
【００３８】
結論
これにより、本発明の好ましい実施形態についての説明を終了する。上述の本発明の１又はそれ以上の実施形態についての説明は、例示及び説明のために示したものである。上述の説明は、包括的であること又は本発明を開示した厳密な形に限定することを意図するものではない。基本的に本発明の本質から逸脱することなく、上記教示に照らして、本明細書で説明した処理に対する追加の調整などの多くの修正及び変更が可能である。本発明の範囲はこの詳細な説明により限定されるものではなく、むしろ本明細書に添付する特許請求の範囲により限定されることが意図される。
【図１（ａ）】
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【図１（ｂ）】
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【図２（ａ）】
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【図２（ｂ）】
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【図３（ａ）】
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【図３（ｂ）】
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【図３（ｃ）】
0005526129.tif 000009
【図４】
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【図５】
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【図６】
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