(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の合金で形成された部品（１０）の表面（１８）の開口（１４）を閉鎖する方法であって、
前記部品（１０）の表面（１８）の開口（１４）を少なくとも部分的に囲むチャネル（２２）を前記部品（１０）の表面（１８）に形成するステップと、
前記第１の合金よりも良好な溶接性を有する第２の合金を前記チャネル（２２）内に堆積させて、前記チャネル（２２）内に割れのない堆積物（２８）を形成するステップと、
前記チャネル（２２）内の堆積物（２８）の一部を除去することによって、前記開口（１４）と交差しかつ前記堆積物（２８）内に少なくとも部分的に形成された段部であって、前記堆積物（２８）の周辺部分によって少なくとも部分的に囲まれた凹部（３２）にして前記部品（１０）の表面（１８）に凹設されかつ前記堆積物（２８）によって少なくとも部分的に画成される機械加工表面（３２Ａ）を有する凹部（３２）を画成する段部を機械加工するステップと、
前記凹部（３２）内にキャップ（３０）を配置して前記部品（１０）の表面（１８）の開口（１４）を覆うステップと、
前記キャップ（３０）を前記堆積物（２８）の周辺部分に溶接して、前記開口（１４）を完全に閉鎖した溶接接合部（２０）であって、前記キャップ（３０）の表面によって部分的に形成された表面と前記キャップ（３０）を囲む溶接物（３４）と前記堆積物（２８）の周辺部分とを有する溶接接合部（２０）を形成するステップと、
前記溶接接合部（２０）の表面を機械加工して、前記部品（１０）の表面（１８）とほぼ同一面になった機械加工表面（３６）を形成するステップと
を含む方法。
【請求項２】
前記チャネル（２２）が、前記開口（１４）を完全に囲むように形成される、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記部品（１０）の表面（１８）にリップ（２６）を形成して前記リップ（２６）が前記部品（１０）の表面（１８）内で前記開口（１４）から前記チャネル（２２）を分離するように、前記チャネル（２２）が形成される、請求項１又は請求項２記載の方法。
【請求項４】
前記チャネル（２２）が、前記開口（１４）を完全に囲むように形成され、また前記リップ（２６）が、前記部品（１０）の表面（１８）内で前記開口（１４）から前記チャネル（２２）を完全に分離する、請求項３記載の方法。
【請求項５】
前記堆積物（２８）が前記開口（１４）を完全に囲むように前記第２の合金が堆積される、請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の方法。
【請求項６】
前記段部が前記開口（１４）を完全に囲むように機械加工され、また前記開口（１４）の全周囲（２４）が前記段部と交差する、請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載の方法。
【請求項７】
前記堆積物（２８）の周辺部分が前記凹部（３２）を完全に囲むように前記段部が機械加工される、請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載の方法。
【請求項８】
前記キャップ（３０）が、前記堆積物（２８）の周辺部分に対してのみ溶接される、請求項１乃至請求項７のいずれか１項記載の方法。
【請求項９】
前記第２の合金が、５重量％未満のアルミニウム及びチタンの合計量を含有するニッケル基超合金である、請求項１乃至請求項８のいずれか１項記載の方法。
【請求項１０】
前記部品（１０）が、ガスタービンの鋳造高温ガス通路部品である、請求項１乃至請求項９のいずれか１項記載の方法によって形成された機械加工表面（３６）を有する、部品（１０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスタービンバケットの先端に設置された孔のような高温度で作動する部品の孔を閉鎖する方法に関する。より具体的には、本発明は、そのような孔を従来通りの溶接技術によって充填しようとした時に歪み時効割れを生じ易い合金で形成された鋳造品における該孔を充填する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
バケット（ブレード）、ノズル（ベーン）及びその他の高温ガス通路部品のようなガスタービンの部品は一般的に、タービン作動温度及び条件について望ましい機械的及び環境的特性を備えたニッケル基、コバルト基又は鉄基超合金で形成される。ガスタービンの効率は、その作動温度によって決まるので、益々増大する高温度に耐えることができる部品、特にタービンバケット及びノズルが必要とされている。超合金部品の最高局所温度がその超合金の溶融温度に近づいた時、強制的空気冷却が必要となる。このような理由で、ガスタービンバケット及びノズルの翼形部は、多くの場合に、該翼形部内の内部冷却通路を通して強制的に空気を送り、次に該翼形部の表面における冷却孔を通して空気を放出する複雑な冷却体系を必要とする。
【０００３】
鋳造法によって形成されるバケット及びノズルは、内部冷却通路を形成する中子を必要とする。鋳造プロセスの間に、中子の移動は、石英棒又は同様な手段を使用して該中子を鋳型内で支持することによって防止され、これらの石英棒又は同様な手段は、多くの場合にバケット先端の領域において鋳造品内に開口（貫通孔）を生じさせる。これらの開口は、該開口を通しての冷却空気の損失を防止しまた鋳造品の意図した内部冷却孔を通しての適正な空気流量レベルを保証するために確実に閉鎖又は閉塞しなくてはならない。これらの開口を充填する（塞ぐ）ために様々な方法が使用されてきたが、それらの方法には、ろう付け法及び溶接法が含まれ、後者の溶接法には、タングステン不活性ガス（ＴＩＧ）溶接法、電子ビーム溶接法及びレーザビーム溶接法が含まれる。一例を挙げると、開口は、鋳造後作業の間に溶接又はろう付け法によりカバープレートで密閉されてきた。幾つかのケースでは、コスト、材料の低い融接性又は部品の形状に起因した制約のために、溶接法は、孔を閉鎖又は充填するのには実際的でない。さらに、溶接法は、局所熱エネルギーの印加を伴っており、このことが、溶離及び歪み時効割れを生じ易い溶融部及び母材熱影響部（ＨＡＺ）を生じさせる。
【０００４】
ガスタービンバケットに広く使用されている特に注目すべき合金としては、ガンマプライム強化（主としてＮｉ3（Ａｌ，Ｔｉ））ニッケル基合金ＧＴＤ−１１１（登録商標）及びＲｅｎｅ  Ｎ５が挙げられ、これらは、ガスタービン用途のための一方向凝固（ＤＳ）及び単結晶（ＳＸ）鋳造品として製作されることが多い高強度かつ耐酸化性超合金である。ＧＴＤ−１１１（登録商標）は、重量％で約１４．０％のＣｒ、約９．５％のＣｏ、約３．０％のＡｌ、約４．９％のＴｉ、約１．５％のＭｏ、約３．８％のＷ、約２．８％のＴａ、約０．０１０％のＣ、残部のニッケル及び不可避不純物という公称組成を有し、またＮ５は、重量％で約７．５％のＣｏ、約７．０％のＣｒ、約６．５％のＴａ、約６．２％のＡｌ、約５．０％のＷ、約３．０％のＲｅ、約１．５％のＭｏ、約０．１５％のＨｆ、約０．０５％のＣ、約０．００４％のＢ、約０．０１％のＹ、残部のニッケル及び不可避不純物という公称組成を有する。これらの合金で製作したバケットは、それらの化学組成並びにそれらの合金内のチタン及びアルミニウムの合計量（５重量％よりも多いＴｉ＋Ａｌ）に起因した特にそれらの高いガンマプライムの体積分率のために、特に割れを生じ易いということが判明した。当技術分野において公知なように、析出硬化合金で製作した部品を溶接した場合には、溶接部内に又は溶接部付近において、ガンマプライム（γ’）及びガンマダブルプライム（γ”）相が溶解する。そのような部品が後で十分に高い温度を受けた場合には、これらの強化相は、溶接プロセスにより残留している残留応力の緩和よりも急速に再析出する可能性がある。従って、溶接部及びその周囲の区域は、残留応力を解放するのに必要な歪みに適応することができず、その結果、溶接部及び／又は熱影響部が割れを生じる可能性がある。
【０００５】
溶接割れ発生の傾向を軽減又は排除する１つの方法は、一般的には溶接しようとするバケット合金よりも小さいチタン及びアルミニウムの合計量、例えば５重量％未満のＴｉ＋Ａｌを含有する結果として一層良好な溶接性を示すカバー材料を選択することである。そのような超合金の注目すべき実例は、重量％で約２２．５％のＣｒ、約１９．０％のＣｏ、約２．３％のＴｉ、約１．２％のＡｌ（約３．５％のＴｉ＋Ａｌ）、約２．０％のＷ、約０．８％のＮｂ、約１．０％のＴａ、約０．０１％のＺｒ、約０．０１％のＢ、約０．１％のＣ、残部のニッケル及び不可避不純物という公称組成を有するガンマプライム強化ニッケル基超合金ＧＴＤ−２２２（登録商標）である。ＧＴＤ−２２２（登録商標）は、バケット先端開口を閉鎖するための溶接性要件は満たすが、ＧＴＤ−１１１（登録商標）と比べてより低い機械的特性を有する。さらに、ＧＴＤ−２２２（登録商標）のような溶接可能な超合金を使用する先行技術の溶接法は、歪み時効割れの発生を完全には回避しなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】米国特許第６４２８６３７号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、その注目すべき実例として、ガスタービンのバケット、ノズル及びその他の高温ガス通路部品のような高温度超合金部品を含む部品の表面における開口を閉鎖する方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様によると、本方法は、部品の表面内にチャネルを、該チャネルが該部品の表面における開口を少なくとも部分的に囲むように形成するステップを伴う。次に、チャネル内に合金を堆積させて、該チャネル内に割れのない堆積物を形成する。好ましい態様によると、堆積させた合金は、例えばより低いＴｉ＋Ａｌ含有量を有する結果として、部品を形成している合金よりも良好な溶接性を有する。次に、開口と交差しかつ堆積物内に少なくとも部分的に形成された段部を機械加工する。段部は、堆積物の周辺部分によって少なくとも部分的に囲まれかつ部品の表面内に凹設された表面を有する凹部を形成する。次に、キャップを凹部内に配置し、次にキャップを堆積物の周辺部分に対して溶接して、開口を完全に閉鎖した溶接接合部を形成する。溶接接合部は、キャップの表面によって部分的に形成された表面、該キャップを囲む溶接物及び堆積物の周辺部分を有する。次に、溶接接合部の表面を機械加工して、部品の表面とほぼ同一面になった機械加工表面を形成する。
【０００９】
本発明の別の態様は、上記した方法によって形成された部品である。
【００１０】
本発明の特徴は、そうでなければ溶接するのが困難である超合金で形成された部品を溶接可能にしまたその部品の表面における開口を溶接法によって閉鎖して本質的に割れのない溶接部を生成するのを可能にすることができることである。
【００１１】
本発明のその他の態様及び利点は、以下の詳細な説明から一層良好に理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】閉鎖及び密閉することを必要とする先端開口を示す、ガスタービンバケットの先端の斜視図。
【図２Ａ】切断線２Ａ−２Ａに沿って取った、図１のバケット先端における開口の１つの断面図。
【図２Ｂ】本発明の実施形態による、図２Ａのバケット先端開口を閉鎖するために行なうステップを表す図。
【図２Ｃ】本発明の実施形態による、図２Ａのバケット先端開口を閉鎖するために行なうステップを表す図。
【図２Ｄ】本発明の実施形態による、図２Ａのバケット先端開口を閉鎖するために行なうステップを表す図。
【図２Ｅ】本発明の実施形態による、図２Ａのバケット先端開口を閉鎖するために行なうステップを表す図。
【図２Ｆ】本発明の実施形態による、図２Ａのバケット先端開口を閉鎖するために行なうステップを表す図。
【図２Ｇ】本発明の実施形態による、図２Ａのバケット先端開口を閉鎖するために行なうステップを表す図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１は、ガスタービンのバケット、ノズル又はその他の高温ガス通路部品のような部品１０の先端領域１２の斜視図を表している。そのような部品１０は、注目すべき実例としてＲｅｎｅＮ４、ＲｅｎｅＮ５、Ｒｅｎｅ１０８、ＧＤＴ−１１１（登録商標）、ＧＤＴ−４４４（登録商標）及びＩＮ−７３８のようなニッケル基超合金を含んだ高温度（耐熱）材料で形成された一方向凝固又は単結晶鋳造品であるのが好ましい。ＲｅｎｅＮ４、ＲｅｎｅＮ５、Ｒｅｎｅ１０８、ＧＤＴ−１１１（登録商標）及びＧＤＴ−４４４（登録商標）は、ガンマプライム強化ニッケル基超合金であり、それらの組成は、米国特許第４８１０４６７号、第５１５４８８４号、第５３９９３１３号、第６０７４６０２号、第６４１６５９６号、第６４２８６３７号及びその他を含む様々な文献中に報告されている。ＩＮ−７３８の公称組成は、重量％で約１６％のクロム、８．５％のコバルト、１．７５％のモリブデン、２．６％のタングステン、１．７５％のタンタル、０．９％のニオビウム、３．４％のアルミニウム、３．４％のチタン、０．１０％のジルコニウム、０．０１％のホウ素、０．１７％の炭素、残部のニッケル及び不純物として報告されている。特に、これらのニッケル基材料の各々は、公称では５重量％よりも大きい、また一般的には６重量％よりも大きいＴｉ＋Ａｌ含有量を有しており、一般的にこのＴｉ＋Ａｌ含有量により、これらの合金は歪み時効割れが生じ易くなっている。しかしながら、部品１０は、溶接による割れを生じ易いその他の材料、例えば公称組成が重量％で約２９．５％のクロム、１０．５％のニッケル、７％のタングステン、最大２％までの鉄、０．２５％の炭素、０．０１２％のホウ素及び残部のコバルト及び不可避不純物であるＦＳＸ−４１４のようなコバルト基超合金で鋳造することができることが予測できる。これらの合金は、特に溶接の間又は溶接後に割れ発生を生じ易いことが知られており、本発明はまた、その他の合金にも適用可能である。
【００１４】
前述したように、鋳造によって形成したバケット、ノズル及びその他の高温ガス通路部品は、多くの場合に内部冷却通路を必要とし、そのことは、鋳造プロセスの間に中子を使用して通路を形成すること、また鋳造の間に中子を支持しかつその移動を防止するロッド又はその他の適当な手段を使用することを必要とする。図２Ａは、図１の部品１０の先端領域１２に設置されたものとして示す３つの開口１４の１つを断面で表している。開口１４は、鋳造作業の間に中子を支持しかつその移動を防止するために使用したロッドによって鋳造品壁１６内に形成されることになる貫通孔を表しているが、ブラインド孔及び空洞を含むその他の目的の孔及びその他のタイプの孔もまた、本発明の技術的範囲内にある。殆どの状況では、開口１４は、部品１０をガスタービン内に据付けた後には該開口１４を通しての冷却空気の損失を防止するために、鋳造作業後に確実に閉鎖する必要がある。この目的のために、図２Ｂ〜図２Ｇは、部品１０内の開口１４を充填しかつ閉鎖するための方法におけるステップを表している。本発明の好ましい態様によると、開口１４は、従来通りのガスタービンバケット及びノズルの先端領域の形状寸法に適合しかつ所望の機械的特性を有する溶接接合部を形成することができる溶接法及び溶接接合部構成を用いて閉鎖される。より具体的には、本発明は、開口１４を溶接接合部（図２Ｇにおける参照符号２０）で閉鎖し、この溶接接合部２０は、該溶接接合部２０が潜在的に割れを生じ易い材料（例えば、ＧＤＴ−１１１（登録商標）又はＲｅｎｅＮ５）で形成された部品１０における開口１４をより溶接性がありかつ耐割れ性がある材料（例えば、ＧＤＴ−２２２（登録商標））で閉鎖することを可能にする複数溶接領域及び材料を含む。そうするために、溶接接合部２０は、より溶接性がありかつ耐割れ性がある材料（例えば、ＧＴＤ−２２２（登録商標））で形成された溶接接合部２０の冶金学的接合領域間に溶接物３４（図２Ｆ）を含むように形成される。そうすることで、本方法は、溶離及び歪み時効現象による割れを完全に排除する可能性を有する。
【００１５】
図２Ｂは、部品１０の表面１８内に形成されかつ開口１４を囲むような溝又はチャネル２２を示している。チャネル２２は、開口１４の周辺端縁部２４に直接隣接するが、端縁部２４から僅かに間隔を置いて配置されて、開口１４を囲む残存リップ２６を形成する。チャネル２２及びリップ２６は、開口１４を完全に囲んでいるのが好ましく、この場合、図２Ｂ〜図２Ｇに示すチャネル２２の２つの部分は、実際には同一のチャネル２２の部分であるが、開口１４によって分離されていることを理解されたい。しかしながら、幾つかの状況では、チャネル２２が開口１４の一部のみを囲むことも実施可能であることを理解されたい。チャネル２２は、幾分Ｕ字形状の断面を有するものとして示しているが、開口１４から最も遠いチャネル２２の壁２２Ａは、開口１４に最も近くかつリップ２６によって形成された壁２２Ｂよりも一層緩やかな傾斜を有して、涙滴形状の半分として記述することができるような形状を形成している。図２Ｆから明らかなように、リップ２６に隣接したチャネル２２のより大きい深さは、その後の溶接物３４の位置と一致している。しかしながら、溶接物３４のために十分な深さが得られる限り、その他の断面形状を使用することができる。チャネル２２に適した幅及び深さは、それぞれ約２．０〜約８．０ｍｍ及び約３．０〜約８．０ｍｍであるが、それよりも小さい及び大きい寸法も考えられる。様々な機械加工法を使用して、チャネル２２及びその好ましい断面形状を制御自在に製作することが可能であり、そのような機械加工法の実例には、旋盤、ドリル及びフライス盤の使用並びに手工具による機械加工が含まれる。
【００１６】
図２Ｃから明らかなように、チャネル２２は、堆積物２８のためのリザーバとして働くよう意図されており、この堆積物２８は、図２Ｅ〜図２Ｇでは開口１４を閉鎖するキャップ３０を固定しているのを見ることができる。本発明の好ましい態様によると、堆積物２８は、一つには部品１０を形成した合金よりも溶接性がありかつ歪み時効割れを生じ難いことを基準にして選んだ材料で形成される。堆積物２８のためのその他の望ましい特性には、部品１０の合金に対する化学的及び冶金学的適合性、疲労強度、耐酸化性及び機械加工性が含まれる。堆積物２８に特に適した材料は、部品１０を形成している超合金よりも低いガンマプライム含有量を有するニッケル基合金、つまり一般的にはより低いＴｉ＋Ａｌ含有量、例えば５重量％よりも小さいＴｉ＋Ａｌ含有量により得られるニッケル基合金である。そのような合金の非限定的な実例は、前述したＧＴＤ−２２２（登録商標）超合金であり、その組成は、重量比で約２２．２〜２２．８％のクロム、約１８．５〜１９．５％のコバルト、約２．２〜２．４％のチタン、約１．１〜１．３％のアルミニウム（約３．２〜３．８％のチタン＋アルミニウム）、約１．８〜２．２％のタングステン、約０．７〜０．９％のニオビウム（コロンビウム）、約０．９〜１．１％のタンタルム、約０．００５〜０．０２０％のジルコニウム、約０．００５〜０．０１５％のホウ素、約０．８〜０．１２％の炭素、残部のニッケル及び付随的不純物である。
【００１７】
チャネル２２内に材料を堆積させるために様々な方法を採用することができ、その注目すべき実例は、レーザ粉末堆積法であるが、プラズマ粉末堆積法などを含むその他の堆積法も使用すうことができる。高いエネルギー密度を有するレーザ粉末堆積法及びその他の融接法は、より低い応力状態を有する堆積物２８を構築して、割れのない堆積物２８を促進するそれらの能力の故に、好ましいと思われる。そのような堆積法は、当技術分野においてよく知られており、従ってここでは詳述しない。図２Ｃで分かるように、チャネル２２は、堆積物２８で完全に充填されかつ僅かに盛上った状態で充填することができる。その結果、形成された堆積物２８は、開口１４を完全に囲むが、チャネル２２の機械加工の間に形成されたリップ２６によって開口１４から分離される。
【００１８】
図２Ｄに示すように、開口１４を囲むリップ２６及び堆積物２８内に段部を機械加工して、その段部が、開口１４と交差し、堆積物２８内に少なくとも部分的に形成され、かつ堆積物２８の周辺部分によって囲まれた凹部３２を形成するようにする。特に、凹部３２の深さは、チャネル２２内の堆積物２８よりも下方には延びず、また凹部３２の幅も、横方向にチャネル２２内の堆積物２８を越えて延びない。その結果、凹部３２の下部表面３２Ａの大部分及び全側壁表面３２Ｂが、堆積物２８の機械加工表面によって形成されるのが好ましく、図２Ｄから明らかなようにリップ２６の全てではないが幾らかが除去された結果、開口１４に最も近い下部表面３２Ａの一部分のみが、部品１０の元の壁１６の機械加工表面３２Ｃによって形成される。凹部３２の幅及び深さは、開口１４を確実に閉鎖するのに十分な幅及び厚さを有するキャップ３０（図２Ｅ〜図２Ｇ）に適合することに基づいて選ばれる。凹部３２に適した幅及び深さは、それぞれ約１．０〜約４．０ｍｍ及び約１．０〜約４．０ｍｍであると考えられるが、それよりも小さい及び大きい寸法も考えられる。図２Ｄ及び２Ｅには、凹部３２の下部表面３２Ａは、部品１０の表面１８とほぼ平行であるとして表しており、その結果キャップ３０は、ほぼ一様な厚さを有することができるが、下部表面３２Ａは、開口１４に向かって又は開口１４から離れる方向に傾斜したものとがすることできると考えられる。
【００１９】
図２Ｅは、凹部３２内にキャップ３０を配置した結果を示しており、また図２Ｆは、凹部３２を囲んでいる堆積物２８の周辺部分にキャップ３０を溶接した結果を示している。特に、キャップ３０は、凹部３２の側壁３２Ｂに溶接され、部品壁１６（開口１４を囲むリップ２６を機械加工することによって形成された機械加工表面３２Ｃ）を形成している合金に対しては接触しているが直接溶接されない。その結果、前述した溶接接合部２０及びその溶接物３４が形成され、これらが溶接物３４によって囲まれたキャップ３０を含む開口１４のための閉鎖体を形成し、また溶接物３４が堆積物２８の周辺部分によって囲まれる。キャップ３０が、図２Ｆに示すように堆積物２８に対してのみ溶接される場合には、キャップ３０に適した材料は、主として堆積物２８の合金との適合性に基づいて選ぶことができるが、熱膨張率（ＣＴＥ）並びにその他の物理的、機械的及び冶金学的特性が部品１０との適当な適合性を達成するために関係があることを理解されたい。多くのケースで、キャップ３０のための材料は、堆積物２８の合金材料と全く同じもの、例えばＧＴＤ−２２２（登録商標）とすることができる。
【００２０】
好適な溶接法には、レーザ溶接法及び電子ビーム溶接法のような高エネルギービーム法或いは別の融接法が含まれる。そのような溶接法は、当技術分野においてはよく知られており、従ってここでは詳述しない。得られた溶接物３４は、キャップ３０を堆積物２８に対して冶金学的に接合することに限定されまたキャップ３０を部品１０の材料に対して直接接合しないので、歪み時効割れの危険性は、上記したように堆積物２８及びキャップ３０の材料を適切に選択することによって大きく減少させまた場合によっては排除することができる。
【００２１】
最後に、図２Ｇは、溶接接合部２０の表面を機械加工して、部品１０の周囲の表面１８とほぼ同一面になった機械加工表面３６を形成した結果を示している。この目的に適した機械加工法並びに機械加工表面３６に対して実施することができるその他の表面処理ステップは、当技術分野においてはよく知られており、従ってここでは詳述しない。
【００２２】
特定の実施形態に関して本発明を説明してきたが、当業者がその他の形態も採用することができることは明らかである。従って、本発明の技術的範囲は、提出した特許請求の範囲によってのみ限定されることになる。
【符号の説明】
【００２３】
１０  部品
１２  領域
１４  開口
１６  壁
１８  表面
２０  溶接接合部
２２  チャネル
２２Ａ  壁
２２Ｂ  壁
２４  端縁部
２６  リップ
２８  堆積物
３０  キャップ
３２  凹部
３２Ａ  表面
３２Ｂ  表面
３２Ｃ  表面
３４  溶接物
３６  表面
【図１】
0005638302.tif 000002
【図２Ａ】
0005638302.tif 000003
【図２Ｂ】
0005638302.tif 000004
【図２Ｃ】
0005638302.tif 000005
【図２Ｄ】
0005638302.tif 000006
【図２Ｅ】
0005638302.tif 000007
【図２Ｆ】
0005638302.tif 000008
【図２Ｇ】
0005638302.tif 000009