(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウムとマグネシウムの合金からなり、アルミニウムを８０．５％以上含有する芯材と、
前記芯材を焼きなましすることで前記芯材の外周面を被覆するように形成され、少なくとも前記アルミニウムと前記マグネシウムの酸化物からなる酸化層とを備え、
前記酸化層の厚さを０．３μｍ以下に加工した蒸着用線材。
【請求項２】
誘電体フィルム上に金属蒸着電極が形成された金属化フィルムを一対とし、前記一対の金属化フィルムに形成されたそれぞれの金属蒸着電極が誘電体フィルムを介して対向するように重ね合わせて巻回または積層した素子と、
前記素子の両端面に形成された一対のメタリコン電極とを備え、
前記金属蒸着電極は、
アルミニウムとマグネシウムの合金からなり、アルミニウムを８０．５％以上含有する芯材と、
前記芯材を焼きなましすることで前記芯材の外周面を被覆するように形成され、少なくとも前記アルミニウムと前記マグネシウムの酸化物からなる酸化層とを備え、
前記酸化層の厚さを０．３μｍ以下に加工した蒸着用線材を用いて形成された金属化フィルムコンデンサ。
【請求項３】
前記金属蒸着電極にマージンにより分割された分割電極を設け、前記分割電極をヒューズで接続することにより構成される自己保安機能を設けた請求項２に記載の金属化フィルムコンデンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は金属化フィルムコンデンサの金属蒸着電極を形成する際に用いられる蒸着用線材と、これを用いて形成され、各種電子機器、電気機器、産業機器、車両等に使用される金属化フィルムコンデンサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、環境保護の観点から、あらゆる電気機器がインバータ回路で制御され、省エネルギー化、高効率化が進められている。中でも自動車業界においては、電気モータとエンジンで走行するハイブリッド車（以下、ＨＥＶと呼ぶ）が市場導入される等、地球環境に優しく、省エネルギー化、高効率化に関する技術の開発が活発化している。
【０００３】
このようなＨＥＶ用の電気モータは使用電圧領域が数百ボルトと高いため、この電気モータに使用されるコンデンサとして、高耐電圧で低損失の電気特性を有する金属化フィルムコンデンサが注目されている。さらに、市場におけるメンテナンスフリー化の要望からも極めて寿命が長い金属化フィルムコンデンサを採用する傾向が目立っている。
【０００４】
そして、このような金属化フィルムコンデンサは、一般に金属箔を電極に用いるものと、誘電体フィルム上に設けた蒸着金属を電極に用いるものとに大別される。中でも、蒸着金属を電極（以下、金属蒸着電極と呼ぶ）とする金属化フィルムコンデンサは、金属箔のものに比べて電極の占める体積が小さく小型軽量化が図れることと、金属蒸着電極特有の自己回復機能（絶縁欠陥部で短絡が生じた場合に、短絡のエネルギーで欠陥部周辺の金属蒸着電極が蒸発・飛散して絶縁化し、コンデンサの機能が回復する性能）により絶縁破壊に対する信頼性が高いことから、従来から広く用いられているものである。
【０００５】
一般に、このような金属蒸着電極は、蒸着材料となる金属にて形成された蒸着用線材を用いて真空蒸着法にて形成される。
【０００６】
すなわち、真空条件下においてこの蒸着用線材を抵抗加熱等の手段により蒸着材料の蒸発温度以上に加熱、蒸発させ、微粒子として浮遊させることで蒸着材料を誘電体フィルムの表面へと付着させ、金属蒸着電極を形成する。
【０００７】
ところが、この真空蒸着法は化学蒸着やスパッタリング法に比べ、金属蒸着電極の形成の速度においては優れているものの、蒸着用線材を加熱することによりスプラッシュと呼ばれる金属塊の飛散が発生することがある。スプラッシュが発生した場合、飛散した金属塊が誘電体フィルムに付着、あるいは誘電体フィルムを傷つけることによって完成品としての金属化フィルムコンデンサの品質を著しく低下させてしまう恐れがあった。
【０００８】
このような課題に対して、特許文献１に記載の技術では珪素、アルミニウム、ジルコニウム、マグネシウム等の金属にて形成された蒸着用線材にさらに酸化チタンを含有させることで解決を図っていた。
【０００９】
すなわち、特許文献１は、蒸着用線材に酸化チタンを含有させることでスプラッシュの発生の可能性を低減させ、信頼性の高い金属化フィルムコンデンサを提供しようとするものであった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平１１−３１５３６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
確かに特許文献１の方法によるとある程度スプラッシュの可能性を低減させ、信頼性の高い金属化フィルムコンデンサを提供することが可能であった。
【００１２】
しかしながら、合金にて形成された蒸着用線材を用いた場合、新たな原因によりスプラッシュが発生し、金属化フィルムコンデンサの品質を低下させてしまうことがあった。
【００１３】
例えばアルミニウムとマグネシウム等の金属の合金で形成された蒸着用線材では、蒸着の際の供給管による加熱容器への供給を滞りなく行うために、予め蒸着用線材を軟化させておく必要がある。このため、蒸着用線材は真空蒸着の前に一般に「焼きなまし」と呼ばれる熱処理が行われることがある。この焼きなましとは、蒸着用線材は適当な温度に加熱された後、長時間かけてゆっくりと冷却するものであるが、このように長時間かけて冷却させているうちに蒸着用線材の表面にはアルミニウムやマグネシウムの酸化物が発生し、蒸着用線材の外周表面はこれら酸化物によって覆われた酸化層が発生する。
【００１４】
あるいは、焼きなましの熱処理を行わない場合であっても、マグネシウムは酸化され易い性質を有しているため、マグネシウムを含んだ合金にて形成された蒸着用線材の外周表面には酸化層が発生し易い。
【００１５】
このようにして発生した酸化層が原因となり、スプラッシュが発生するのである。
【００１６】
以下にこの酸化層によりスプラッシュが発生するメカニズムを図５（ａ）および図５（ｂ）を用いて簡単に説明する。ここで、図５（ａ）はアルミニウムとマグネシウム等の金属の合金で形成された従来の蒸着用線材の断面図、図５（ｂ）はこの従来の蒸着用線材を加熱した状態の断面図である。
【００１７】
図５（ａ）において示されるように、従来の蒸着用線材１０１はアルミニウムとマグネシウムの合金で形成された芯材１０２と、この芯材の外表面を被覆する酸化層１０３とで構成される。酸化層１０３は上述の通り、焼きなましによって発生したアルミニウムやマグネシウムの酸化物にて構成されている。
【００１８】
この蒸着用線材１０１を用いて蒸着を行い加熱容器にて加熱すると、まず酸化層１０３と、この酸化層１０３を介して芯材１０２に熱が伝わり始める。
【００１９】
ここで、酸化アルミニウムと酸化マグネシウムの蒸発温度はそれぞれアルミニウムとマグネシウムの単体の蒸発温度よりも高いため、図５（ｂ）で示されるように酸化層１０３よりも芯材１０２が先に溶融し始める。
【００２０】
芯材１０２にさらに熱が伝わり、アルミニウムおよびマグネシウムの蒸発温度を上回ると、溶融されたアルミニウムおよびマグネシウムが気化し始める。しかしながら、酸化アルミニウムや酸化マグネシウムの蒸発温度はこれらアルミニウムとマグネシウムの単体の蒸発温度よりも高いため、アルミニウムやマグネシウムの酸化物にて構成された酸化層１０３は溶融することなく、初期の形状（筒状）を保っていることがある。
【００２１】
さらに、蒸着用線材１０１の端部が溶融した場合、気化した芯材１０２の外部との連通部分が閉じられてしまい、図５（ｂ）の矢印で模式的に示すように酸化層１０３の内圧が高まり、酸化層１０３が破裂してしまうことがあった。
【００２２】
そして、酸化層１０３が飛散し（スプラッシュが発生し）、誘電体フィルムに付着したり、あるいは誘電体フィルムを傷つけてしまうのである。
【００２３】
あるいは、溶融した芯材１０２の安定した蒸発状態が崩れ、突然沸騰したような状態となることがある。これは一般的に「突沸」と呼ばれる現象であるが、この突沸とともに芯材１０２の湯面より溶融しきれなかった酸化層１０３が飛散し、誘電体フィルムに付着したり、傷つけたりすることがあった。
【００２４】
そこで、本発明はこのような課題に鑑み、真空蒸着時のスプラッシュの発生を抑制することが可能な蒸着用線材を提供し、さらには信頼性の高い金属化フィルムコンデンサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
そして、この課題を解決するために本発明の蒸着用線材は、アルミニウムとマグネシウムの合金からなり、アルミニウムを８０．５％以上含有する芯材と、前記芯材を焼きなましすることで前記芯材の外周面を被覆するように形成され、少なくとも前記アルミニウムと前記マグネシウムの酸化物からなる酸化層とを備え、前記酸化層の厚さを０．３μｍ以下に加工した構成とした。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の蒸着用線材によると真空蒸着時のスプラッシュの発生を抑制することができる。そしてこの結果、信頼性の高い金属化フィルムコンデンサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】実施例１における蒸着用線材の断面斜視図
【図２】実施例１における真空蒸着法に用いる蒸着装置を示す概略図
【図３】実施例１における金属化フィルムコンデンサの断面図
【図４】（ａ）および（ｂ）は同金属化フィルムコンデンサに使用される一対の金属化フィルムの平面図
【図５】従来の蒸着用線材の断面図
【発明を実施するための形態】
【００２８】
（実施例１）
以下、本実施例における蒸着用線材１の構成について図１を用いて説明する。ここで、図１は本実施例における蒸着用線材１の断面斜視図である。
【００２９】
図１に示されるように、本実施例の蒸着用線材１は線状の形状を有しており、断面形状が円形の芯材２とこの芯材２を覆う酸化層３とで構成される。
【００３０】
芯材２はアルミニウムとマグネシウムからなる合金であり、特にアルミニウムを主成分としている。ここで「主成分」とは芯材２を占める成分のうち、最も重量比率が多い成分とする。また、本実施例においてマグネシウムの重量比率は３．０ｗｔ％としたが、特にこれに限定されることはなく、重量比率が２．０ｗｔ％以上４５．０ｗｔ％以下の間であればよい。なお、アルミニウムとマグネシウム以外にも不純物として鉄、珪素、亜鉛などが含まれることもあり得る。本実施例ではこれら不純物の重量比率は０．１ｗｔ％程度のものである。
【００３１】
芯材２の径は特に限定されるものではないが、蒸着時の実用性を鑑みて１ｍｍから２ｍｍ程度であることが好ましい。
【００３２】
なお、本実施例では芯材２の形状を断面が円形のものとしたが、これ以外にも例えば断面が扁平状やあるいは矩形状のものであっても構わない。
【００３３】
この芯材２の外周表面は酸化層３にて覆われた状態となっている。酸化層３は芯材２を構成するアルミニウムとマグネシウムの酸化物から構成される。すなわち、酸化層３はアルミニウムの酸化物であるＡｌ2Ｏ3およびマグネシウムの酸化物であるＭｇＯを少なくとも含有する。また、酸化層３には上記不純物である鉄、珪素、亜鉛などの酸化物も含まれる。
【００３４】
この酸化層３の厚みを０．３μｍ以下とすることにより、本実施例の蒸着用線材１は蒸着時のスプラッシュを抑制するという効果を奏する。この理由や効果等の詳細については後述する。なお、このスプラッシュの発生を防ぐためには酸化層３をなくす、すなわち酸化層３の厚みを０μｍとすることが理想であるが、蒸着用線材１を作製するにあたって行われる加工、処理を鑑みたとき酸化層３を完全になくすことは可能ではあるが極めて難しいことを注記する。
【００３５】
次に、この蒸着用線材１を用いた真空蒸着法について図２を用いて説明する。図２は、この真空蒸着法に用いる蒸着装置４を示す概略図である。
【００３６】
なお、本実施例では以下に示すごとく抵抗加熱によって蒸着用線材１を蒸着させる方法を用いているが、加熱の方法としてはこれ以外にもレーザー加熱や高周波誘導加熱、あるいは電子線加熱を用いても本発明の効果を得ることができる。また、真空系内に活性ガスとして酸素ガスや不活性ガスとしてアルゴンガス等を導入してもよい。
【００３７】
本実施例における蒸着装置４はロールから引き出された基材１３に対して連続的に真空蒸着を行う装置であり、図２に示すように真空槽５と、この真空槽５内に設けられた巻き出しロール６、巻き取りロール７、３つの搬送ローラ８ａ、８ｂ、８ｃ、冷却ローラ９、隔壁板１０、加熱容器１１、供給管１２とで構成される。基材１３は、蒸着が行われる誘電体フィルムであり、特に本実施例ではポリプロピレンフィルムを用いている。なお、基材１３の電極を形成しない部分には予めオイル転写を行い、蒸着を防いでいる。この非蒸着部分については後に図３を用いて説明する。
【００３８】
蒸着用装置４において蒸着を行うにあたっては、まず真空排気ポンプ（図示せず）を用いて真空槽５を真空引きし、真空槽５内を０．０１〜０．１Ｐａの真空状態に調整する。ここで、上述したようにガス管（図示せず）により活性ガスや不活性ガスを導入してもよい。
【００３９】
次に、巻き出しロール６に保持された蒸着前の基材１３をゆっくりと矢印の向きに搬送する。巻き出しロール６から巻き出された基材１３は搬送ローラ８ａを経由して冷却ローラ９へと搬送される。
【００４０】
冷却ローラ９は隔壁板１０の開口部に配置されており、蒸着はこの冷却ローラ９の下部に密着した状態で搬送された基材１３に対して行われる。すなわち、隔壁板１０は蒸着領域（基材１３の表面に蒸着用線材１からの微粒子が付着する所定の領域）に対応して開口しており、蒸着領域から外れた領域の基材１３や巻き出しロール６、巻き取りロール７に微粒子が付着することを防いでいる。
【００４１】
冷却ローラ９に沿って搬送される基材１３の下方には蒸発源となる加熱容器１１が配設されている。加熱容器１１は窒化ホウ素やアルミナ、タングステン等の抵抗加熱材料からなり、正負の電極に接続され、抵抗加熱によって蒸着材料であるアルミニウム、マグネシウムの真空中の蒸発温度以上に加熱される。本実施例においてはこの加熱の温度は６００℃以上１５００℃以下の範囲としている。より好ましくは６５０℃以上１１００℃以下の範囲である。
【００４２】
ここで、この加熱容器１１には上述した線状の蒸着用線材１が供給管１２から供給されており、供給された蒸着用線材１は加熱容器１１で加熱される。このように加熱容器１１にて蒸着用線材１が加熱されると蒸着用線材１が溶融し微粒子となって蒸発する。そして、その蒸発流が基材１３に向かうことで蒸着が行われる。なお、冷却ローラ９の下方には、加熱容器１１から基材１３に向かう蒸発流の入射角度を制御するマスク等を配置しても良い。また、冷却ローラ９によって蒸着中の基材１３の温度を制御しているものである。
【００４３】
冷却ローラ９にて蒸着が行われた基材１３はさらに搬送され、搬送ローラ８ｂ、次に搬送ローラ８ｃを経由して巻き取りロール７に到達する。そして、この巻き取りロール７にてロール状に巻き取られ、金属化フィルムが完成する。
【００４４】
次に完成した金属化フィルムを用いた金属化フィルムコンデンサ１４について図３、図４（ａ）および図４（ｂ）を用いて説明する。
【００４５】
図３は金属化フィルムコンデンサ１４の構成を示した断面図であり、図４（ａ）、図４（ｂ）は金属化フィルムコンデンサ１４に用いるために上記方法にて形成した一対の金属化フィルムの平面図である。
【００４６】
図３において、第１の金属化フィルム１５はＰ極用、第２の金属化フィルム１６はＮ極用の金属化フィルムである。そしてこれら第１の金属化フィルム１５および第２の金属化フィルム１６を一対として重ね合わせ、これを複数ターン巻回したものを素子として金属化フィルムコンデンサ１４を形成している。あるいは、これら第１の金属化フィルム１５および第２の金属化フィルム１６を積層したものを素子として金属化フィルムコンデンサ１４を形成してもよい。
【００４７】
図３に示されるように、第１の金属化フィルム１５は誘電体となるポリプロピレンフィルム１７の片面上に一端の絶縁マージン１８を除いて金属蒸着電極１９が形成されている。この金属蒸着電極１９は端面に形成されたメタリコン２０と接続されて電極を引き出すようにしている。金属蒸着電極１９は、容量を形成する有効電極部（幅Ｗ）略中央部から絶縁マージン１８に向かう側に、上記製造方法においてオイル転写により形成された金属蒸着電極を有しない非蒸着の縦マージン２１ａおよび横マージン２１ｂにより複数の分割電極２２にそれぞれ区分されている。
【００４８】
この分割電極２２は図４（ａ）に示されるように、金属蒸着電極１９とヒューズ２３にて電気的に接続されている。ここで、金属蒸着電極１９は図４（ａ）に示されるように、ポリプロピレンフィルム１７の片面に有効電極部の幅Ｗの略中央部からメタリコン２０にかけて形成されている。分割電極２２の幅は有効電極部の幅Ｗの約１/２で、ポリプロピレンフィルム１７の片面に有効電極部の幅Ｗの略中央部から絶縁マージン１８にかけて形成されており、金属蒸着電極１９とヒューズ２３にて並列接続されている。実使用時において分割電極２２の不具合により金属蒸着電極１９に大量の電流が流れた場合、ヒューズ２３が飛散することで不具合の生じている部分の分割電極２２の電気的接続が切断され、金属化フィルムコンデンサ１４の電流は正常な状態に戻る。このように金属化フィルムコンデンサ１４は自己保安機能を有している。
【００４９】
第１の金属化フィルム１５と同様、第２の金属化フィルム１６も図３に示されるように、誘電体となるポリプロピレンフィルム２４の片面上に一端の絶縁マージン２５を除いて金属蒸着電極２６が形成されている。ただし、第２の金属化フィルム１６と第１の金属化フィルム１５とではメタリコン２７に接続される方向が異なり、第２の金属化フィルム１６は、第１の金属化フィルム１５が接続されたメタリコン２０と対向して配置されたメタリコン２７に接続されている。また、金属蒸着電極２６は、容量を形成する有効電極部（幅Ｗ）略中央部から絶縁マージン２５に向かう側に、金属蒸着電極を有しない非蒸着の縦マージン２８ａおよび横マージン２８ｂにより複数の分割電極２９にそれぞれ区分されている。
【００５０】
この分割電極２９は、図４（ｂ）に示されるように第１の金属化フィルム１５の分割電極２２と同様の構成となっており、金属蒸着電極２６とヒューズ３０にて並列接続されている。分割電極２９、ヒューズ３０を備えることによる効果も第１の金属化フィルム１５と同様である。
【００５１】
以下、本実施例の蒸着用線材１の効果について説明する。
【００５２】
本実施例の蒸着用線材１によると、蒸着時のスプラッシュの発生を抑制することができる。
【００５３】
上述したように従来の蒸着用線材１０１であれば、芯材１０２がアルミニウムやマグネシウム等の金属の合金から形成されている場合、蒸着時に芯材１０２の周りの酸化層１０３が溶融せずその内圧が高まることで破裂し、飛散することがあった。あるいは芯材１０２の突沸を原因として、酸化層１０３が飛散することがあった。一方、本実施例の蒸着用線材１では酸化層３の厚みを従来の蒸着用線材１０１と比較して薄くしているため、蒸着時の加熱により酸化層３は溶融し易く、スプラッシュの発生を抑制することができる。
【００５４】
酸化層３の厚みを薄くする加工方法としては、限定されるものではなく機械的処理方法や化学的処理方法が挙げられる。ただし、酸あるいはアルカリを用いる化学的エッチング手法より、機械的に研磨等を施す手法の方が環境面から望ましい。
【００５５】
そして、この酸化層３の厚みとしては、０．３μｍ以下とすることが望ましい。下記の（表１）に、酸化層３の厚みによる効果の違いについて評価した結果を示す。
【００５６】
（表１）に示される評価では、様々な厚さの酸化層を有する蒸着用線材（発明品１〜４および比較例１〜３）を用意し、各蒸着用線材を用いて形成された金属蒸着電極の表面のスプラッシュの痕跡について検証した。
【００５７】
ここで、スプラッシュの痕跡の検出については金属化フィルムの電流測定法を用いた。電流測定法とは、連続して成膜される金属化フィルムの所定の面積部分に所定の電圧を印加し、その時の電流値の変動を確認するものである。すなわち、金属化フィルム上にスプラッシュによる異常があると電流値が高くなり、これを逐次検出することで発生したスプラッシュの個数を測定する方法である。
【００５８】
また、酸化層３の厚みの測定方法としてはＥＳＣＡ（Ｘ線光電子分光）、オージェ電子分光法、あるいはＳＥＭ分析等の手法を用いることができる。本実施例ではＳＥＭ分析により酸化層３の厚みを測定した。
【００５９】
【表１】
0005526931.tif 000002
【００６０】
この（表１）の発明品１〜発明品３より明らかなように、酸化層３の厚みが０．３μｍ以下である場合は金属化フィルムにスプラッシュの痕跡が見受けられなかった。さらに、アルミニウム含有量を発明品１〜発明品３に比べ少量とした発明品４においてもスプラッシュは見受けられなかった。このことより、スプラッシュの発生は酸化層の厚みに依存していることがわかる。一方、酸化層の厚みを０．３μｍよりも大きくした比較例１〜比較例３においてはスプラッシュの痕跡が多数検出された。
【００６１】
さらに、（表１）に示されるように、この検証においては各蒸着用線材を用いて金属化フィルムを作製し、そしてこの金属化フィルムを用いた金属化フィルムコンデンサの耐電圧について試験を行った。この耐電圧試験では、まず金属化フィルムコンデンサへの印加電圧を５００Ｖより５０Ｖ間隔で上昇させ、各電圧（５００Ｖ、５５０Ｖ、６００Ｖ、・・・）を１０分間保持し、その後のコンデンサ容量を測定する。次に、測定されたコンデンサ容量の初期容量に対する容量減少度合い（％）を求める。このようにして求められた各電圧におけるコンデンサ容量の容量減少度合いを基に、容量減少度合いが１０％となる電圧を推定し、この電圧を耐電圧とした。
【００６２】
（表１）に示されるように、発明品１〜４では上記耐電圧は１４３０Ｖ以上の値となっているが、比較例１〜３では作製された金属化フィルムがスプラッシュにより特性を劣化させられているため、１１００Ｖ以下の値となっている。
【００６３】
これらのことから、酸化層３の厚みを０．３μｍ以下とした本実施例における蒸着用線材１は、蒸着時のスプラッシュの発生を抑制することができ、誘電体フィルムへのダメージを低減することができることがわかる。さらに耐電圧試験から明らかなように、本実施例における蒸着用線材１によって作製された金属化フィルムコンデンサの耐電圧は高く、信頼性に優れたものとなっている。
【００６４】
また、蒸着用線材１の芯材２においてマグネシウムの重量比率を２．０ｗｔ％以上４５．０ｗｔ％以下とすることが好ましい。
【００６５】
これは、マグネシウムの重量比率が４５．０ｗｔ％を超えた場合、蒸着が困難となるためである。また、一般にアルミニウムとマグネシウムの合金を用いて形成された金属蒸着電極からなる金属化フィルムコンデンサは優れた耐湿性を発揮することが可能なものであるが、マグネシウムの重量比率を少なくし過ぎるとこの効果を得ることができない。したがって、マグネシウムの重量比率は２．０ｗｔ％以上であることが好ましく、これらのことから芯材２中のマグネシウムの重量比率は２．０ｗｔ％以上４５．０％以下の範囲が適している。
【００６６】
さらに、蒸着用線材１を大気中に自然放置した際の耐候性を考慮したとき、マグネシウムの重量比率は２．０ｗｔ％以上２５．０％以下とすることが特に好ましい。
【００６７】
また、図３、図４（ａ）、図４（ｂ）に示されるような、本実施例の蒸着用線材１を用いて形成された金属蒸着電極１９および金属蒸着電極２６は、蒸着時にスプラッシュの発生が抑制された状態で形成されるため、誘電体フィルムであるポリプロピレンフィルム１７およびポリプロピレンフィルム２４上に組成や膜圧が均一に形成されている。また、ポリプロピレンフィルム１７およびポリプロピレンフィルム２４は蒸着時にスプラッシュによるダメージを受けることがない。したがって、本実施例の蒸着用線材１を用いて形成された金属蒸着電極１９および金属蒸着電極２６を有する金属化フィルムコンデンサ１４はコンデンサとして優れた特性を有する。
【００６８】
特に、金属化フィルムコンデンサ１４のように縦マージン２１ａおよび横マージン２１ｂ等のマージンにて複数の分割電極２２に分割された第１の金属化フィルム１５を有した構成の場合、この縦マージン２１ａおよび横マージン２１ｂを形成するには蒸着時にオイル転写を用いることが多い。この場合、蒸着時にスプラッシュが発生し、オイル転写を行った箇所に蒸着用線材１の破片が付着すると、この破片を介して分割電極２２どうしが導通してしまい、分割電極２２として機能しなくなってしまう。あるいは、スプラッシュが発生した場合は、飛散した蒸着用線材１の破片によって転写したオイルが剥がれ、非蒸着部分の形成が行われない可能性がある。
【００６９】
したがって、本実施例の蒸着用線材１は複数の分割電極に分割された金属蒸着電極を有する金属化フィルムコンデンサの形成に特に有用である。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明の蒸着用線材によると、蒸着時のスプラッシュの発生を抑制することができ、信頼性の高い金属化フィルムコンデンサを提供することができる。したがって、本発明の蒸着用線材によって形成された金属化フィルムコンデンサは自動車を初めとする各種電子機器、電気機器、産業機器に用いられるキャパシタに好適に採用し得る。
【符号の説明】
【００７１】
１  蒸着用線材
２  芯材
３  酸化層
４  蒸着装置
５  真空槽
６  巻き出しロール
７  巻き取りロール
８ａ、８ｂ、８ｃ  搬送ローラ
９  冷却ローラ
１０  隔壁板
１１  加熱容器
１２  供給管
１３  基材
１４  金属化フィルムコンデンサ
１５  第１の金属化フィルム
１６  第２の金属化フィルム
１７  ポリプロピレンフィルム
１８  絶縁マージン
１９  金属蒸着電極
２０  メタリコン
２１ａ  縦マージン
２１ｂ  横マージン
２２  分割電極
２３  ヒューズ
２４  ポリプロピレンフィルム
２５  絶縁マージン
２６  金属蒸着電極
２７  メタリコン
２８ａ  縦マージン
２８ｂ  横マージン
２９  分割電極
３０  ヒューズ
【図１】
0005526931.tif 000003
【図２】
0005526931.tif 000004
【図３】
0005526931.tif 000005
【図４】
0005526931.tif 000006
【図５】
0005526931.tif 000007