(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体に対向する媒体対向面と、
前記記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
前記媒体対向面に配置された端面を有し、前記コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって前記情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する主磁極と、
磁性材料よりなり、前記媒体対向面に配置された端面を有する記録シールドと、
非磁性材料よりなり、前記主磁極と前記記録シールドとの間に配置されたギャップ部と、
磁性材料よりなり、前記主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された第１の帰磁路部とを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドであって、
前記記録シールドの端面は、前記主磁極の前記端面に対して前記記録媒体の進行方向の前側に配置された第１の端面部分を含み、
前記第１の帰磁路部は、前記主磁極、ギャップ部、記録シールドおよび第１の帰磁路部によって囲まれた第１の空間が形成されるように、前記主磁極のうちの前記媒体対向面から離れた部分と前記記録シールドとを接続し、
前記コイルは、前記第１の空間を通過するように延びる少なくとも１つの第１のコイル要素を含み、
前記主磁極は、前記記録媒体の進行方向の前側の端に位置する面である上面を有し、
前記主磁極の上面は、前記媒体対向面に近い順に配置された傾斜部と平坦部とを含み、
前記傾斜部は、前記媒体対向面に配置された第１の端部と、その反対側の第２の端部とを有し、
前記傾斜部の第１の端部を通り、前記媒体対向面および前記記録媒体の進行方向に垂直な仮想の平面を想定したとき、
前記傾斜部は、その第２の端部が前記仮想の平面に対して前記記録媒体の進行方向の前側に配置されるように、前記仮想の平面および前記媒体対向面に対して傾斜し、
前記平坦部は、実質的に前記媒体対向面に垂直な方向に延在し、
前記記録シールドは、前記主磁極の上面に向いた傾斜面を有し、
前記傾斜面は、前記媒体対向面に配置された第３の端部と、その反対側の第４の端部とを有し、前記第４の端部が前記第３の端部よりも前記仮想の平面からより遠い位置に配置されるように、前記仮想の平面および前記媒体対向面に対して傾斜し、
前記媒体対向面に対して垂直な方向についての前記傾斜部の長さは、前記媒体対向面に対して垂直な方向についての前記傾斜面の長さよりも小さく、
前記傾斜面は、前記ギャップ部を介して前記傾斜部に対向する第１の部分と、前記第１の部分に連続し、前記第１の部分よりも前記媒体対向面からより遠い位置にある第２の部分とを含み、
前記少なくとも１つの第１のコイル要素は、１つの特定のコイル要素を含み、
前記特定のコイル要素は、前記第４の端部よりも前記媒体対向面により近い位置において、前記平坦部と前記第２の部分との間に位置する部分を含むことを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項２】
前記特定のコイル要素と前記媒体対向面の最短距離は、０．１〜０．１５μｍの範囲内であることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項３】
前記第１の帰磁路部は、前記傾斜面との間に前記特定のコイル要素を挟む位置に配置された柱状部分を含み、
前記柱状部分と前記媒体対向面の最短距離は、０．７〜１．２μｍの範囲内であることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項４】
前記特定のコイル要素と前記主磁極の上面の平坦部との間隔は、５〜１００ｎｍの範囲内であることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項５】
更に、前記特定のコイル要素と前記主磁極の上面の平坦部との間に配置された絶縁層を備え、
前記特定のコイル要素と前記絶縁層は、それぞれ、前記傾斜面に向いた端面を有し、
前記傾斜部と前記絶縁層の端面と前記特定のコイル要素の端面は、同一平面上に位置することを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項６】
前記記録シールドの端面は、前記主磁極の前記端面に対して前記記録媒体の進行方向の後側に配置された第２の端面部分を含み、
垂直磁気記録用磁気ヘッドは、更に、磁性材料よりなり、前記主磁極に対して記録媒体の進行方向の後側に配置された第２の帰磁路部を備え、
前記第２の帰磁路部は、前記主磁極、ギャップ部、記録シールドおよび第２の帰磁路部によって囲まれた第２の空間が形成されるように、前記主磁極のうちの前記媒体対向面から離れた部分と前記記録シールドとを接続し、
前記コイルは、前記第２の空間を通過するように延びる少なくとも１つの第２のコイル要素を含むことを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項７】
前記記録シールドの端面は、更に、第３および第４の端面部分を含み、前記第３および第４の端面部分は、前記主磁極の前記端面に対してトラック幅方向の両側に配置されていることを特徴とする請求項６記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、垂直磁気記録方式によって記録媒体に情報を記録するために用いられる垂直磁気記録用磁気ヘッドに関し、特に、主磁極とシールドを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録再生装置における記録方式には、信号磁化の向きを記録媒体の面内方向（長手方向）とする長手磁気記録方式と、信号磁化の向きを記録媒体の面に対して垂直な方向とする垂直磁気記録方式とがある。垂直磁気記録方式は、長手磁気記録方式に比べて、記録媒体の熱揺らぎの影響を受けにくく、高い線記録密度を実現することが可能であると言われている。
【０００３】
一般的に、垂直磁気記録用の磁気ヘッドとしては、長手磁気記録用の磁気ヘッドと同様に、読み出し用の磁気抵抗効果素子（以下、ＭＲ（Magnetoresistive）素子とも記す。）を有する再生ヘッドと、書き込み用の誘導型電磁変換素子を有する記録ヘッドとを、基板上に積層した構造のものが用いられる。記録ヘッドは、記録媒体の面に対して垂直な方向の磁界を発生する主磁極を備えている。主磁極は、例えば、一端部が記録媒体に対向する媒体対向面に配置されたトラック幅規定部と、このトラック幅規定部の他端部に連結され、トラック幅規定部よりも大きな幅を有する幅広部とを有している。トラック幅規定部は、ほぼ一定の幅を有している。垂直磁気記録方式の記録ヘッドには、高記録密度化のために、トラック幅の縮小と、記録特性、例えば重ね書きの性能を表わすオーバーライト特性の向上が求められる。
【０００４】
ところで、ハードディスク装置等の磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドは、一般的に、スライダに設けられる。スライダは、上記媒体対向面を有している。この媒体対向面は、空気流入端（リーディング端）と空気流出端（トレーリング端）とを有している。そして、空気流入端から媒体対向面と記録媒体との間に流入する空気流によって、スライダは記録媒体の表面からわずかに浮上するようになっている。このスライダにおいて、一般的に、磁気ヘッドは媒体対向面における空気流出端近傍に配置される。磁気ディスク装置において、磁気ヘッドの位置決めは、例えばロータリーアクチュエータによって行なわれる。この場合、磁気ヘッドは、ロータリーアクチュエータの回転中心を中心とした円軌道に沿って記録媒体上を移動する。このような磁気ディスク装置では、磁気ヘッドのトラック横断方向の位置に応じて、スキューと呼ばれる、円形のトラックの接線に対する磁気ヘッドの傾きが生じる。
【０００５】
特に、長手磁気記録方式に比べて記録媒体への書き込み能力が高い垂直磁気記録方式の磁気ディスク装置では、上述のスキューが生じると、あるトラックへの信号の記録時に、記録対象のトラックに隣接する１以上のトラックに記録された信号が消去されたり減衰したりする現象（以下、隣接トラック消去と言う。）が生じる場合がある。高記録密度化のためには、隣接トラック消去の発生を抑制する必要がある。
【０００６】
上述のようなスキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制する技術としては、例えば、特許文献１および特許文献２に記載されているように、媒体対向面における主磁極の端面の幅を、基板の上面に近づくに従って小さくする技術が知られている。また、特許文献１および特許文献２には、媒体対向面の近傍における主磁極の厚みを、媒体対向面に近づくに従って小さくする技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−１３３６１０号公報
【特許文献２】特開２００９−６４５３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、スキューに起因した問題の発生を防止するためには、媒体対向面における主磁極の厚みを小さくすることも効果的である。しかしながら、主磁極全体を薄くすると、磁束の流れる方向に対して垂直な主磁極の断面積が小さくなる。その結果、主磁極は、多くの磁束を媒体対向面まで導くことができなくなり、オーバーライト特性等の記録特性が低下してしまう。
【０００９】
特許文献１および特許文献２に記載されているように、媒体対向面の近傍における主磁極の厚みを、媒体対向面に近づくに従って小さくすることにより、媒体対向面における主磁極の厚みを小さくすることができ、且つ主磁極のうちの媒体対向面から離れた部分の厚みを大きくして、主磁極によって多くの磁束を媒体対向面まで導くことが可能になる。
【００１０】
また、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制すると共に記録密度を向上させるためには、特許文献２に記載されているように、媒体対向面において主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された端面を有する記録シールドを設けることが有効である。
【００１１】
一般的に、記録シールドを備えた磁気ヘッドでは、主磁極のうちの媒体対向面から離れた部分と記録シールドとを接続する帰磁路部が設けられる。記録シールド、帰磁路部および主磁極は、コイルの一部が通過する空間を形成する。記録シールドと帰磁路部は、主磁極の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体に達することを阻止する機能を有している。また、記録シールドと帰磁路部は、主磁極の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束を、主磁極に還流させる機能も有している。
【００１２】
記録媒体に記録される記録ビットの端部の位置は、媒体対向面に配置された主磁極の端面のうち、記録媒体の進行方向の前側に配置された端部の位置によって決まる。そのため、記録ビットの端部の位置を精度よく規定するためには、記録シールドが、媒体対向面において主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された端面を有し、この端面において、主磁極の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込むことが重要である。記録シールドを備えた磁気ヘッドによれば、隣接トラック消去の発生を抑制することが可能になると共に、記録密度のより一層の向上が可能になる。
【００１３】
以上のことから、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制すると共に記録密度を向上させるための磁気ヘッドの構造としては、特許文献２に記載されているように、媒体対向面の近傍における主磁極の上面の一部を、媒体対向面に垂直な方向に対して傾いた傾斜部にすると共に、この主磁極の傾斜部に対向する傾斜面を有する記録シールドを設けた構造が考えられる。
【００１４】
しかし、上記の構造では、広い領域において、主磁極の上面の傾斜部と記録シールドの傾斜面とが小さな間隔で対向していると、主磁極から記録シールドへの磁束の漏れが多くなり、オーバーライト特性等の記録特性が低下してしまうという問題が発生する。
【００１５】
これを防止するために、特許文献２に記載されているように、媒体対向面に垂直な方向についての傾斜部の長さを、媒体対向面に垂直な方向についての傾斜面の長さよりも小さくすることが考えられる。この構成では、傾斜面は、傾斜部に対向する第１の部分と、この第１の部分に連続し、第１の部分よりも媒体対向面からより遠い位置にある第２の部分とを含む。主磁極の上面のうち、傾斜部よりも媒体対向面からより遠い部分と、第２の部分との間隔は、主磁極の上面の傾斜部と第１の部分との間隔よりも大きい。これにより、主磁極から記録シールドへの磁束の漏れを抑制することが可能になる。
【００１６】
ところで、記録密度を高めるために記録信号の周波数が高くなってくると、磁気ヘッドには、主磁極の端面より発生される磁束の方向の変化の速度の向上が求められる。この要求に応えるためには、記録シールド、帰磁路部および主磁極を経由する磁路の長さを短くすることが有効である。しかし、前述の、媒体対向面に垂直な方向についての傾斜部の長さを、媒体対向面に垂直な方向についての傾斜面の長さよりも小さくした構成では、以下のような不具合が生じる。すなわち、この構成では、主磁極の上面のうち、傾斜部よりも媒体対向面からより遠い部分と、傾斜面の第２の部分との間隔が大きくなることにより、記録シールド、帰磁路部および主磁極によって形成されてコイルの一部が通過する空間も大きくなる。その結果、記録シールド、帰磁路部および主磁極を経由する磁路の長さを十分に短くすることができなくなる。
【００１７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、スキューに起因した問題の発生を防止することができ、記録特性を向上させることができ、且つ記録シールド、帰磁路部および主磁極を経由する磁路の長さを短くすることができるようにした垂直磁気記録用磁気ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、記録媒体に対向する媒体対向面と、コイルと、主磁極と、記録シールドと、ギャップ部と、第１の帰磁路部とを備えている。コイルは、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する。主磁極は、媒体対向面に配置された端面を有し、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。記録シールドは、磁性材料よりなり、媒体対向面に配置された端面を有している。ギャップ部は、非磁性材料よりなり、主磁極と記録シールドとの間に配置されている。第１の帰磁路部は、磁性材料よりなり、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されている。
【００１９】
記録シールドの端面は、主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された第１の端面部分を含んでいる。第１の帰磁路部は、主磁極、ギャップ部、記録シールドおよび第１の帰磁路部によって囲まれた第１の空間が形成されるように、主磁極のうちの媒体対向面から離れた部分と記録シールドとを接続している。コイルは、第１の空間を通過するように延びる少なくとも１つの第１のコイル要素を含んでいる。
【００２０】
主磁極は、記録媒体の進行方向の前側の端に位置する面である上面を有している。主磁極の上面は、媒体対向面に近い順に配置された傾斜部と平坦部とを含んでいる。傾斜部は、媒体対向面に配置された第１の端部と、その反対側の第２の端部とを有している。傾斜部の第１の端部を通り、媒体対向面および記録媒体の進行方向に垂直な仮想の平面を想定したとき、傾斜部は、その第２の端部が仮想の平面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されるように、仮想の平面および媒体対向面に対して傾斜している。平坦部は、実質的に媒体対向面に垂直な方向に延在している。
【００２１】
記録シールドは、主磁極の上面に向いた傾斜面を有している。傾斜面は、媒体対向面に配置された第３の端部と、その反対側の第４の端部とを有し、第４の端部が第３の端部よりも仮想の平面からより遠い位置に配置されるように、仮想の平面および媒体対向面に対して傾斜している。媒体対向面に対して垂直な方向についての傾斜部の長さは、媒体対向面に対して垂直な方向についての傾斜面の長さよりも小さい。
【００２２】
傾斜面は、ギャップ部を介して傾斜部に対向する第１の部分と、第１の部分に連続し、第１の部分よりも媒体対向面からより遠い位置にある第２の部分とを含んでいる。少なくとも１つの第１のコイル要素は、１つの特定のコイル要素を含んでいる。特定のコイル要素は、第４の端部よりも媒体対向面により近い位置において、平坦部と第２の部分との間に位置する部分を含んでいる。
【００２３】
本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、特定のコイル要素と媒体対向面の最短距離は、０．１〜０．１５μｍの範囲内であってもよい。
【００２４】
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、第１の帰磁路部は、傾斜面との間に特定のコイル要素を挟む位置に配置された柱状部分を含んでいてもよい。この場合、柱状部分と媒体対向面の最短距離は、０．７〜１．２μｍの範囲内であってもよい。
【００２５】
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、特定のコイル要素と主磁極の上面の平坦部との間隔は、５〜１００ｎｍの範囲内であってもよい。
【００２６】
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、更に、特定のコイル要素と主磁極の上面の平坦部との間に配置された絶縁層を備えていてもよい。この場合、特定のコイル要素と絶縁層は、それぞれ、傾斜面に向いた端面を有し、傾斜部と絶縁層の端面と特定のコイル要素の端面は、同一平面上に位置していてもよい。
【００２７】
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、記録シールドの端面は、主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の後側に配置された第２の端面部分を含んでいてもよい。この場合、磁気ヘッドは、更に、磁性材料よりなり、主磁極に対して記録媒体の進行方向の後側に配置された第２の帰磁路部を備えていてもよい。第２の帰磁路部は、主磁極、ギャップ部、記録シールドおよび第２の帰磁路部によって囲まれた第２の空間が形成されるように、主磁極のうちの媒体対向面から離れた部分と記録シールドとを接続していてもよい。コイルは、第２の空間を通過するように延びる少なくとも１つの第２のコイル要素を含んでいてもよい。
【００２８】
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、記録シールドの端面は、更に、第３および第４の端面部分を含んでいてもよい。この場合、第３および第４の端面部分は、主磁極の端面に対してトラック幅方向の両側に配置されていてもよい。
【発明の効果】
【００２９】
本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドでは、主磁極の上面が傾斜部を有することにより、媒体対向面における主磁極の厚みを小さくし、且つ主磁極のうち、傾斜部よりも媒体対向面からより遠い部分の厚みを大きくすることができる。また、本発明では、媒体対向面に対して垂直な方向についての傾斜部の長さは、媒体対向面に対して垂直な方向についての記録シールドの傾斜面の長さよりも小さい。これにより、傾斜部と傾斜面とが対向する領域の面積を小さくして、主磁極から記録シールドへの磁束の漏れを抑制することが可能になる。これらのことから、本発明によれば、スキューに起因した問題の発生を防止し、且つ記録特性を向上させることが可能になるという効果を奏する。
【００３０】
また、本発明では、コイルの特定のコイル要素は、傾斜面の第４の端部よりも媒体対向面により近い位置において、主磁極の上面の平坦部と傾斜面の第２の部分との間に位置する部分を含んでいる。これにより、本発明によれば、高い空間利用効率で第１の空間内にコイル要素を配置することが可能になる。その結果、本発明によれば、記録シールド、第１の帰磁路部および主磁極を経由する磁路の長さを短くすることが可能になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの要部を示す断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分を示す平面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第１の部分の第１層を示す平面図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第１の部分の第２層を示す平面図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法における一工程を示す断面図である。
【図８】図７に示した工程に続く工程を示す断面図である。
【図９】図８に示した工程に続く工程を示す断面図である。
【図１０】図９に示した工程に続く工程を示す断面図である。
【図１１】本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッドの要部を示す断面図である。
【図１２】本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッドの要部を示す断面図である。
【図１３】本発明の第４の実施の形態に係る磁気ヘッドの要部を示す断面図である。
【図１４】本発明の第４の実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第１の部分を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
［第１の実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、図１ないし図６を参照して、本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの構成について説明する。図１は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの要部を示す断面図である。図２は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図１および図２は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面を示している。図１および図２において記号Ｔで示す矢印は、記録媒体の進行方向を表している。図３は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。図４は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分を示す平面図である。図５は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第１の部分の第１層を示す平面図である。図６は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第１の部分の第２層を示す平面図である。図３ないし図６において記号ＴＷで示す矢印は、トラック幅方向を表している。
【００３３】
図２および図３に示したように、本実施の形態に係る垂直磁気記録用磁気ヘッド（以下、単に磁気ヘッドと記す。）は、アルミニウムオキサイド・チタニウムカーバイド（Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣ）等のセラミック材料よりなり、上面１ａを有する基板１と、この基板１の上面１ａ上に配置されたアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）等の絶縁材料よりなる絶縁層２と、この絶縁層２の上に配置された磁性材料よりなる第１の再生シールド層３と、第１の再生シールド層３を覆うように配置された絶縁膜である第１の再生シールドギャップ膜４と、この第１の再生シールドギャップ膜４の上に配置された再生素子としてのＭＲ（磁気抵抗効果）素子５と、このＭＲ素子５の上に配置された絶縁膜である第２の再生シールドギャップ膜６と、この第２の再生シールドギャップ膜６の上に配置された磁性材料よりなる第２の再生シールド層７とを備えている。
【００３４】
ＭＲ素子５の一端部は、記録媒体に対向する媒体対向面８０に配置されている。ＭＲ素子５には、ＡＭＲ（異方性磁気抵抗効果）素子、ＧＭＲ（巨大磁気抵抗効果）素子あるいはＴＭＲ（トンネル磁気抵抗効果）素子等の磁気抵抗効果を示す感磁膜を用いた素子を用いることができる。ＧＭＲ素子としては、磁気的信号検出用の電流を、ＧＭＲ素子を構成する各層の面に対してほぼ平行な方向に流すＣＩＰ（Current In Plane）タイプでもよいし、磁気的信号検出用の電流を、ＧＭＲ素子を構成する各層の面に対してほぼ垂直な方向に流すＣＰＰ（Current Perpendicular to Plane）タイプでもよい。
【００３５】
第１の再生シールド層３から第２の再生シールド層７までの部分は、再生ヘッド部８を構成する。磁気ヘッドは、更に、非磁性材料よりなり、第２の再生シールド層７の上に配置された非磁性層７１と、非磁性層７１の上に配置された磁性材料よりなる中間シールド層７２と、中間シールド層７２の上に配置された記録ヘッド部９とを備えている。中間シールド層７２は、記録ヘッド部９で発生する磁界からＭＲ素子５をシールドする機能を有している。非磁性層７１は、例えばアルミナによって形成されている。記録ヘッド部９は、コイルと、主磁極１５と、記録シールド１６と、ギャップ部１７とを有している。
【００３６】
コイルは、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する。コイルは、第１の部分２０と第２の部分１０とを含んでいる。第１の部分２０と第２の部分１０は、いずれも、銅等の導電材料によって形成されている。第１の部分２０と第２の部分１０は、直列または並列に接続されている。主磁極１５は、媒体対向面８０に配置された端面を有し、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。図１および図２は、媒体対向面８０に配置された主磁極１５の端面と交差し、媒体対向面８０および基板１の上面１ａに垂直な断面（以下、主断面と言う。）を示している。
【００３７】
記録シールド１６は、媒体対向面８０に配置された端面を有している。記録シールド１６の端面は、第１ないし第４の端面部分１６Ａａ，１６Ｂａ，１６Ｃａ，１６Ｄａを含んでいる。第１の端面部分１６Ａａは、主磁極１５の端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。第２の端面部分１６Ｂａは、主磁極１５の端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。第３および第４の端面部分１６Ｃａ，１６Ｄａは、主磁極１５の端面に対してトラック幅方向ＴＷの両側に配置されている。媒体対向面８０において、第１ないし第４の端面部分１６Ａａ，１６Ｂａ，１６Ｃａ，１６Ｄａは、主磁極１５の端面の周りを囲むように配置されている。
【００３８】
記録シールド１６は、磁性材料によって形成されている。記録シールド１６の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。
【００３９】
記録ヘッド部９は、更に、第１の帰磁路部４０および第２の帰磁路部３０を有している。第１の帰磁路部４０および第２の帰磁路部３０は、いずれも磁性材料によって形成されている。第１の帰磁路部４０および第２の帰磁路部３０の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。第１の帰磁路部４０と第２の帰磁路部３０は、主磁極１５を挟むように基板１の上面１ａに垂直な方向に沿って並んでいる。第１の帰磁路部４０は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されて、主磁極１５のうちの媒体対向面８０から離れた部分と記録シールド１６とを接続し、これにより、主磁極１５と記録シールド１６とを磁気的に連結している。第２の帰磁路部３０は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されて、主磁極１５のうちの媒体対向面８０から離れた部分と記録シールド１６とを接続し、これにより、主磁極１５と記録シールド１６とを磁気的に連結している。
【００４０】
第２の帰磁路部３０は、磁性層３１，３２，３３を含んでいる。磁性層３１は、水平部３１Ａと第１の傾斜部３１Ｂと第２の傾斜部３１Ｃとを含んでいる。水平部３１Ａは、基板１の上面１ａに平行な方向に延在している。第１の傾斜部３１Ｂは、水平部３１Ａの、媒体対向面８０に最も近い端部近傍の部分から、基板１の上面１ａから離れる方向に延びている。第２の傾斜部３１Ｃは、水平部３１Ａの、媒体対向面８０から最も遠い端部近傍の部分から、基板１の上面１ａから離れる方向に延びている。前記主断面において、媒体対向面８０に垂直な方向についての第１の傾斜部３１Ｂと第２の傾斜部３１Ｃとの間隔は、基板１の上面１ａから離れるに従って大きくなっている。図２では、水平部３１Ａと第１の傾斜部３１Ｂの境界と、水平部３１Ａと第２の傾斜部３１Ｃの境界を、それぞれ点線で示している。
【００４１】
磁性層３２は、水平部３１Ａと第２の傾斜部３１Ｃに接し、第１の傾斜部３１Ｂに対しては間隔を開けるように、第１の傾斜部３１Ｂと第２の傾斜部３１Ｃとの間に配置されている。図４に示したように、コイルの第２の部分１０は、第２の傾斜部３１Ｃおよび磁性層３２の周りに約３回巻かれている。
【００４２】
磁気ヘッドは、更に、非磁性材料よりなり、第２の帰磁路部３０の少なくとも一部を収容する収容部５０を備えている。本実施の形態では特に、収容部５０は、磁性層３１，３２を収容している。収容部５０は、中間シールド層７２の上に配置された非磁性層５１と、非磁性膜５２とを有している。非磁性層５１は、その上面から下面にかけて貫通する開口部５１ａを有している。開口部５１ａは、第２の部分１０の最も外側の１ターンの外側に位置する第１の壁面と、第２の部分１０の最も内側の１ターンの内側に位置する第２の壁面とを有している。第１および第２の壁面は、基板１の上面１ａに垂直な方向に対して傾いている。具体的には、前記主断面において、第１の壁面における任意の位置の媒体対向面８０からの距離は、任意の位置が基板１の上面１ａから離れるに従って小さくなっている。また、前記主断面において、第２の壁面における任意の位置の媒体対向面８０からの距離は、任意の位置が基板１の上面１ａから離れるに従って大きくなっている。
【００４３】
磁性層３１，３２と第２の部分１０は、非磁性層５１の開口部５１ａ内に配置されている。非磁性膜５２は、非磁性層５１の上面、開口部５１ａの第１および第２の壁面ならびに中間シールド層７２の上面に沿って配置されている。非磁性層５１および非磁性膜５２は、アルミナ等の無機絶縁材料によって形成されている。
【００４４】
磁気ヘッドは、更に、非磁性金属材料よりなり、非磁性膜５２に沿って配置された電極膜７３を備えている。電極膜７３は、磁性層３１をめっき法で形成する際に電極およびシードとして用いられる。電極膜７３の厚みは、例えば５０〜８０ｎｍの範囲内である。電極膜７３は、例えばＲｕによって形成されている。
【００４５】
磁気ヘッドは、更に、磁性層３１，３２と第２の部分１０との間に介在する絶縁材料よりなる絶縁膜５３と、第２の部分１０の巻線間に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５４とを備えている。第２の部分１０、磁性層３１，３２、絶縁膜５３、絶縁層５４および電極膜７３の上面は平坦化されている。絶縁膜５３および絶縁層５４は、例えばアルミナによって形成されている。
【００４６】
図３に示したように、記録シールド１６は、第１のシールド１６Ａと、第２のシールド１６Ｂと、２つのサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄとを有している。２つのサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄは、主磁極１５のトラック幅方向ＴＷの両側に配置されている。第１のシールド１６Ａは、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。第２のシールド１６Ｂは、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄは、第１のシールド１６Ａと第２のシールド１６Ｂを磁気的に連結している。
【００４７】
図１に示したように、第１のシールド１６Ａは、第１の端面部分１６Ａａと、第１の傾斜面１６Ａｂとを有している。第２のシールド１６Ｂは、第２の端面部分１６Ｂａと、第２の傾斜面１６Ｂｂを含む上面とを有している。第１の傾斜面１６Ａｂと第２の傾斜面１６Ｂｂについては、後で詳しく説明する。図３に示したように、サイドシールド１６Ｃは、第３の端面部分１６Ｃａを有している。サイドシールド１６Ｄは、第４の端面部分１６Ｄａを有している。
【００４８】
第２のシールド１６Ｂは、磁性層３１の第１の傾斜部３１Ｂの上に配置されている。磁性層３３は、磁性層３１の第２の傾斜部３１Ｃおよび磁性層３２の上に配置されている。磁気ヘッドは、更に、絶縁材料よりなる絶縁層５５と、非磁性材料よりなる非磁性層５６とを備えている。絶縁層５５は、第２のシールド１６Ｂおよび磁性層３３の周囲において、第２の部分１０、絶縁膜５３および絶縁層５４の上面の上に配置されている。非磁性層５６は、絶縁層５５および電極膜７３の上に配置されている。絶縁層５５および非磁性層５６は、例えばアルミナによって形成されている。
【００４９】
主磁極１５は、記録媒体の進行方向Ｔの前側の端に位置する面である上面１５Ｔ（図１参照）と、上面１５Ｔとは反対側の下端部１５Ｌ（図１参照）と、トラック幅方向ＴＷの両側に配置された第１および第２の側部（図３参照）とを有している。サイドシールド１６Ｃは、主磁極１５の第１の側部に対向する第１の側壁を有している。サイドシールド１６Ｄは、主磁極１５の第２の側部に対向する第２の側壁を有している。
【００５０】
ギャップ部１７は、主磁極１５と記録シールド１６との間に設けられている。磁気ヘッドは、更に、絶縁材料よりなり、その一部がギャップ部１７の一部を構成する絶縁層１９と、非磁性材料よりなり、その一部がギャップ部１７の他の一部を構成するギャップ層１８とを備えている。絶縁層１９のうち、ギャップ部１７の一部を構成する部分は、主磁極１５と第１のシールド１６Ａとの間に配置されている。ギャップ層１８のうち、ギャップ部１７の他の一部を構成する部分は、主磁極１５と第２のシールド１６Ｂおよびサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄとの間に配置されている。
【００５１】
サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄは、第２のシールド１６Ｂの上に配置され、第２のシールド１６Ｂの上面に接している。ギャップ層１８は、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄの側壁、第２のシールド１６Ｂの上面および非磁性層５６の上面に沿って配置されている。ギャップ層１８を構成する非磁性材料は、絶縁材料でもよいし、非磁性金属材料でもよい。ギャップ層１８を構成する絶縁材料としては、例えばアルミナが用いられる。ギャップ層１８を構成する非磁性金属材料としては、例えばＲｕが用いられる。
【００５２】
主磁極１５は、第２のシールド１６Ｂおよび非磁性層５６の上面と主磁極１５との間にギャップ層１８が介在するように、第２のシールド１６Ｂおよび非磁性層５６の上に配置されている。また、図３に示したように、主磁極１５とサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄとの間にも、ギャップ層１８が介在している。
【００５３】
媒体対向面８０から離れた位置において、主磁極１５の下端部１５Ｌは、磁性層３３の上面に接している。主磁極１５は、金属磁性材料によって形成されている。主磁極１５の材料としては、例えば、ＮｉＦｅ、ＣｏＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。主磁極１５の形状については、後で詳しく説明する。
【００５４】
磁気ヘッドは、更に、主磁極１５およびサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄの周囲に配置された非磁性材料よりなる非磁性層５７を備えている。非磁性層５７は、例えばアルミナによって形成されている。
【００５５】
磁気ヘッドは、更に、媒体対向面８０から離れた位置において主磁極１５の上面１５Ｔの一部の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５８を備えている。絶縁層５８は、例えばアルミナによって形成されている。
【００５６】
第１の帰磁路部４０は、柱状部分４１および磁性層４２を含んでいる。柱状部分４１は、媒体対向面８０から離れた位置において主磁極１５の上に配置されている。
【００５７】
コイルの第１の部分２０は、第１層２１および第２層２２を含んでいる。第１層２１は、絶縁層５８の上に配置されている。また、図５に示したように、第１層２１は、柱状部分４１の周りに１回巻かれている。磁気ヘッドは、更に、第１層２１の上に配置された絶縁層５９を備えている。絶縁層５９は、例えばアルミナによって形成されている。
【００５８】
絶縁層１９は、主磁極１５、第１層２１および絶縁層５８，５９を覆うように配置されている。絶縁層１９は、例えばアルミナによって形成されている。なお、絶縁層５９は、設けられていなくてもよい。この場合には、絶縁層１９が、第１層２１の上面を覆う。
【００５９】
第１のシールド１６Ａは、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄおよび絶縁層１９の上に配置され、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄおよび絶縁層１９の上面に接している。媒体対向面８０において、第１のシールド１６Ａの第１の端面部分１６Ａａの一部は、主磁極１５の端面に対して、絶縁層１９の厚みによる所定の間隔を開けて配置されている。絶縁層１９の厚みは、５〜６０ｎｍの範囲内であることが好ましく、例えば１５〜３０ｎｍの範囲内である。主磁極１５の端面は、絶縁層１９に隣接する辺を有し、この辺はトラック幅を規定している。
【００６０】
絶縁層５８，５９は、それぞれ第１のシールド１６Ａの第１の傾斜面１６Ａｂに向いた端面を有している。絶縁層５８，５９の各々の端面における任意の位置の媒体対向面８０からの距離は、任意の位置が基板１の上面１ａから離れるに従って大きくなっている。
【００６１】
第２層２２は、第１層２１の上方に配置されている。図６に示したように、第２層２２は、柱状部分４１の周りに約１回巻かれている。磁気ヘッドは、更に、絶縁材料よりなる絶縁膜６１と、非磁性材料よりなる非磁性層６２とを備えている。絶縁膜６１は、第１のシールド１６Ａ、絶縁層１９および柱状部分４１と第２層２２との間に介在する。非磁性層６２は、絶縁膜６１、第１層２１、第２層２２、第１のシールド１６Ａおよび柱状部分４１の周囲に配置されている。絶縁膜６１および非磁性層６２は、例えばアルミナによって形成されている。第１のシールド１６Ａ、第２層２２、柱状部分４１、絶縁膜６１および非磁性層６２の上面は平坦化されている。
【００６２】
磁気ヘッドは、更に、第２層２２および絶縁膜６１の上面の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層６３を備えている。絶縁層６３は、例えばアルミナによって形成されている。磁性層４２は、第１のシールド１６Ａ、柱状部分４１および絶縁層６３の上に配置され、第１のシールド１６Ａと柱状部分４１とを接続している。
【００６３】
磁気ヘッドは、更に、非磁性材料よりなり、記録ヘッド部９を覆うように配置された保護層７０を備えている。保護層７０は、例えば、アルミナ等の無機絶縁材料によって形成されている。
【００６４】
以上説明したように、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、記録媒体に対向する媒体対向面８０と再生ヘッド部８と記録ヘッド部９とを備えている。再生ヘッド部８と記録ヘッド部９は、基板１の上に積層されている。再生ヘッド部８は、記録ヘッド部９に対して、記録媒体の進行方向Ｔの後側（リーディング側）に配置されている。
【００６５】
再生ヘッド部８は、再生素子としてのＭＲ素子５と、媒体対向面８０側の一部がＭＲ素子５を挟んで対向するように配置された、ＭＲ素子５をシールドするための第１の再生シールド層３および第２の再生シールド層７と、ＭＲ素子５と第１の再生シールド層３との間に配置された第１の再生シールドギャップ膜４と、ＭＲ素子５と第２の再生シールド層７との間に配置された第２の再生シールドギャップ膜６とを有している。
【００６６】
記録ヘッド部９は、第１の部分２０および第２の部分１０を含むコイルと、主磁極１５と、記録シールド１６と、ギャップ部１７と、第１の帰磁路部４０および第２の帰磁路部３０と、収容部５０とを有している。記録シールド１６は、第１のシールド１６Ａと、第２のシールド１６Ｂと、２つのサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄとを有している。ギャップ部１７は、絶縁層１９の一部およびギャップ層１８の一部によって構成されている。第１の帰磁路部４０と第２の帰磁路部３０は、主磁極１５を挟むように基板１の上面１ａに垂直な方向に沿って並んでいる。
【００６７】
第２の帰磁路部３０は、磁性層３１，３２，３３を含み、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。図２に示したように、第２の帰磁路部３０は、主磁極１５、ギャップ部１７（ギャップ層１８の一部）、記録シールド１６および第２の帰磁路部３０（磁性層３１〜３３）によって囲まれた第２の空間Ｓ２が形成されるように、主磁極１５のうちの媒体対向面８０から離れた部分と記録シールド１６とを接続している。収容部５０は、第２の帰磁路部３０の少なくとも一部を収容する。
【００６８】
第１の帰磁路部４０は、柱状部分４１および磁性層４２を含み、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。第１の帰磁路部４０は、主磁極１５、ギャップ部１７（絶縁層１９の一部）、記録シールド１６および第１の帰磁路部４０（柱状部分４１および磁性層４２）によって囲まれた第１の空間Ｓ１が形成されるように、主磁極１５のうちの媒体対向面８０から離れた部分と記録シールド１６とを接続している。
【００６９】
以下、図１、図４ないし図６を参照して、コイルの第１の部分２０および第２の部分１０について詳しく説明する。図４は、第２の部分１０を示す平面図である。前述のように、第２の部分１０は、第２の傾斜部３１Ｃと磁性層３２の周りに約３回巻かれている。第２の部分１０は、第２の空間Ｓ２を通過するように延びる３つのコイル要素１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを含んでいる。なお、コイル要素とは、コイルの巻線の一部である。コイル要素１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは、媒体対向面８０側からこの順に、媒体対向面８０に垂直な方向に並んでいる。コイル要素１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは、本発明における少なくとも１つの第２のコイル要素に対応する。また、第２の部分１０は、第１の部分２０に電気的に接続されたコイル接続部１０Ｅを有している。
【００７０】
図５は、第１の部分２０の第１層２１を示す平面図である。前述のように、第１層２１は、柱状部分４１の周りに１回巻かれている。第１層２１は、第１の空間Ｓ１内のうち特に第１のシールド１６Ａと柱状部分４１との間を通過するように延びるコイル要素２１Ａを含んでいる。図１に示したように、コイル要素２１Ａは、第１のシールド１６Ａの第１の傾斜面１６Ａｂに向いた端面２１Ａａを有している。コイル要素２１Ａの端面２１Ａａにおける任意の位置の媒体対向面８０からの距離は、任意の位置が基板１の上面１ａから離れるに従って大きくなっている。
【００７１】
また、第１層２１は、第２の部分１０のコイル接続部１０Ｅに電気的に接続されたコイル接続部２１Ｓと、第２層２２に電気的に接続されたコイル接続部２１Ｅとを有している。コイル接続部２１Ｓは、第１層２１と第２の部分１０との間の複数の層を貫通する図示しない柱状の接続層を介してコイル接続部１０Ｅに電気的に接続されている。接続層は、銅等の導電材料によって形成されている。
【００７２】
図６は、第１の部分２０の第２層２２を示す平面図である。前述のように、第２層２２は、柱状部分４１の周りに約１回巻かれている。第２層２２は、第１の空間Ｓ１内のうち特に第１のシールド１６Ａと柱状部分４１との間を通過するように延びるコイル要素２２Ａを含んでいる。また、第２層２２は、絶縁層６３および絶縁膜６４を貫通して第１層２１のコイル接続部２１Ｅに電気的に接続されたコイル接続部２２Ｓを有している。図４ないし図６に示した例では、第１の部分２０と第２の部分１０は、直列に接続されている。
【００７３】
コイル要素２１Ａ，２２Ａは、本発明における少なくとも１つの第１のコイル要素に対応する。少なくとも１つの第１のコイル要素は、１つの特定のコイル要素を含んでいる。本実施の形態では、コイル要素２１Ａが、特定のコイル要素である。
【００７４】
次に、図１、図４ないし図６を参照して、主磁極１５と、第１および第２のシールド１６Ａ，１６Ｂと、コイル要素２１Ａの形状について詳しく説明する。図４ないし図６に示したように、主磁極１５は、媒体対向面８０に配置された端面とその反対側の端部とを有するトラック幅規定部１５Ａと、トラック幅規定部１５Ａの端部に接続された幅広部１５Ｂとを含んでいる。また、図１に示したように、主磁極１５は、記録媒体の進行方向Ｔの前側の端に位置する面である上面１５Ｔと、上面１５Ｔとは反対側の下端部１５Ｌと、第１の側部と、第２の側部とを有している。幅広部１５Ｂにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅は、トラック幅規定部１５Ａにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅よりも大きい。
【００７５】
トラック幅規定部１５Ａにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅は、媒体対向面８０からの距離によらずにほぼ一定である。幅広部１５Ｂにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅は、例えば、トラック幅規定部１５Ａとの境界位置ではトラック幅規定部１５Ａにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅と等しく、媒体対向面８０から離れるに従って、徐々に大きくなった後、一定の大きさになっている。ここで、媒体対向面８０に垂直な方向についてのトラック幅規定部１５Ａの長さをネックハイトと呼ぶ。ネックハイトは、例えば０〜０．３μｍの範囲内である。ネックハイトが０の場合は、トラック幅規定部１５Ａがなく、幅広部１５Ｂの端面が媒体対向面８０に配置される。
【００７６】
上面１５Ｔは、媒体対向面８０に近い順に配置された傾斜部１５Ｔ１と平坦部１５Ｔ２とを含んでいる。傾斜部１５Ｔ１は、媒体対向面８０に配置された第１の端部と、その反対側の第２の端部とを有している。平坦部１５Ｔ２は、傾斜部１５Ｔ１の第２の端部に接続されている。
【００７７】
下端部１５Ｌは、媒体対向面８０に近い順に配置された傾斜部１５Ｌ１と平坦部１５Ｌ２とを含んでいる。傾斜部１５Ｌ１は、媒体対向面８０に配置された第１の端部と、その反対側の第２の端部とを有している。傾斜部１５Ｌ１は、２つの面が交わってできるエッジでもよいし、２つの面を連結する面でもよい。平坦部１５Ｌ２は、傾斜部１５Ｌ１の第２の端部に接続された面である。
【００７８】
ここで、図１に示したように、上面１５Ｔの傾斜部１５Ｔ１の第１の端部を通り、媒体対向面８０および記録媒体の進行方向Ｔに垂直な第１の仮想の平面Ｐ１を想定する。傾斜部１５Ｔ１は、その第２の端部が第１の仮想の平面Ｐ１に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されるように、第１の仮想の平面Ｐ１および媒体対向面８０に対して傾斜している。平坦部１５Ｔ２は、実質的に媒体対向面８０に垂直な方向に延在している。
【００７９】
また、下端部１５Ｌの傾斜部１５Ｌ１の第１の端部を通り、媒体対向面８０および記録媒体の進行方向Ｔに垂直な第２の仮想の平面Ｐ２を想定する。傾斜部１５Ｌ１は、その第２の端部が第２の仮想の平面Ｐ２に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されるように、第２の仮想の平面Ｐ２および媒体対向面８０に対して傾斜している。平坦部１５Ｌ２は、実質的に媒体対向面８０に垂直な方向に延在している。
【００８０】
前述のように、記録シールド１６の第１のシールド１６Ａは、第１の傾斜面１６Ａｂを有している。第１の傾斜面１６Ａｂは、主磁極１５の上面１５Ｔに向いている。第１の傾斜面１６Ａｂは、媒体対向面８０に配置された第３の端部と、その反対側の第４の端部とを有している。第１の傾斜面１６Ａｂは、その第４の端部がその第３の端部よりも第１および第２の仮想の平面Ｐ１，Ｐ２からより遠い位置に配置されるように、第１および第２の仮想の平面Ｐ１，Ｐ２および媒体対向面８０に対して傾斜している。
【００８１】
また、第１の傾斜面１６Ａｂは、ギャップ部１７（絶縁層１９の一部）を介して上面１５Ｔの傾斜部１５Ｔ１に対向する第１の部分１６Ａｂ１と、第１の部分１６Ａｂ１に連続し、第１の部分１６Ａｂ１よりも媒体対向面８０からより遠い位置にある第２の部分１６Ａｂ２とを含んでいる。特定のコイル要素２１Ａは、第１の傾斜面１６Ａｂの第４の端部よりも媒体対向面８０により近い位置において、上面１５Ｔの平坦部１５Ｔ２と第１の傾斜面１６Ａｂの第２の部分１６Ａｂ２との間に位置する部分２１Ａ１を含んでいる。
【００８２】
第１の帰磁路部４０の柱状部分４１は、第１の傾斜面１６Ａｂとの間に特定のコイル要素２１Ａを挟む位置に配置されている。絶縁層５８は、特定のコイル要素２１Ａと上面１５Ｔの平坦部１５Ｔ２との間に配置されている。絶縁層５９は、特定のコイル要素２１Ａの上に配置されている。上面１５Ｔの傾斜部１５Ｔ１と絶縁層５８の端面と特定のコイル要素２１Ａの端面２１Ａａと絶縁層５９の端面は、同一平面上に位置する。
【００８３】
前述のように、記録シールド１６の第２のシールド１６Ｂは、第２の傾斜面１６Ｂｂを含む上面を有している。第２の傾斜面１６Ｂｂは、第１および第２の仮想の平面Ｐ１，Ｐ２および媒体対向面８０に対して傾斜している。第２のシールド１６Ｂの上面は、更に、第２の傾斜面１６Ｂｂよりも媒体対向面８０からより遠く、第２の傾斜面１６Ｂｂよりも基板１の上面１ａにより近い位置に配置された平坦部と、第２の傾斜面１６Ｂｂと平坦部とを接続する接続面とを含んでいる。平坦部は、実質的に媒体対向面８０に垂直な方向に延在している。
【００８４】
ここで、図１に示したように、媒体対向面８０に垂直な方向についての上面１５Ｔの傾斜部１５Ｔ１の長さを記号ＬＡで表し、媒体対向面８０に垂直な方向についての下端部１５Ｌの傾斜部１５Ｌ１の長さを記号ＬＢで表し、媒体対向面８０に垂直な方向についての第１の傾斜面１６Ａｂの長さを記号ＬＣで表す。長さＬＡは、長さＬＣよりも小さい。長さＬＡは、例えば０．０５〜０．１５μｍの範囲内である。長さＬＢは、例えば０．１〜０．５μｍの範囲内である。長さＬＣは、例えば０．１〜０．４μｍの範囲内である。なお、ネックハイトは、上記の長さＬＡ，ＬＢ，ＬＣとは独立して、任意に設定可能である。
【００８５】
また、特定のコイル要素２１Ａと媒体対向面８０の最短距離を記号ＬＤで表し、柱状部分４１と媒体対向面８０の最短距離を記号ＬＥで表す。距離ＬＤは、例えば０．１〜０．１５μｍの範囲内である。距離ＬＥは、例えば０．７〜１．２μｍの範囲内である。主断面において、媒体対向面８０に垂直な方向についてのコイル要素２２Ａの長さは、例えば０．４μｍ程度である。主断面において、媒体対向面８０に垂直な方向についての絶縁膜６１の厚みは、例えば０．１〜０．２μｍの範囲内である。
【００８６】
また、第１の仮想の平面Ｐ１に対する上面１５Ｔの傾斜部１５Ｔ１の傾斜角度を記号θＴ１で表し、第２の仮想の平面Ｐ２に対する下端部１５Ｌの傾斜部１５Ｌ１の傾斜角度を記号θＬ１で表す。傾斜角度θＴ１は、例えば２２°〜３５°の範囲内である。傾斜角度θＬ１は、例えば３０°〜５０°の範囲内である。
【００８７】
また、媒体対向面８０における主磁極１５の厚み、すなわち第１の仮想の平面Ｐ１と第２の仮想の平面Ｐ２との間の距離を記号Ｄ０で表す。また、上面１５Ｔの平坦部１５Ｔ２と第１の仮想の平面Ｐ１との間の距離を記号Ｄ１で表し、下端部１５Ｌの平坦部１５Ｌ２と第２の仮想の平面Ｐ２との間の距離を記号Ｄ２で表す。距離Ｄ０は、例えば０．０５〜０．１μｍの範囲内である。距離Ｄ１は、例えば０．０２〜０．１μｍの範囲内である。距離Ｄ２は、例えば０．１〜０．５μｍの範囲内である。
【００８８】
また、特定のコイル要素２１Ａと主磁極１５の上面１５Ｔの平坦部１５Ｔ２との間隔を記号Ｄ５で表す。本実施の形態では、間隔Ｄ５は、絶縁層５８の厚みと等しい。間隔Ｄ５は、例えば５〜１００ｎｍの範囲内である。また、特定のコイル要素２１Ａの厚みを記号Ｄ６で表し、絶縁層５９の厚みを記号Ｄ７で表す。厚みＤ６は、例えば０．３〜０．７μｍの範囲内である。厚みＤ７は、例えば０〜１００ｎｍの範囲内である。厚みＤ７が０の場合は、絶縁層５９が設けられていない場合である。
【００８９】
また、媒体対向面８０に配置された主磁極１５の端面は、絶縁層１９に隣接する第１の辺と、第１の辺の一端部に接続された第２の辺と、第１の辺の他端部に接続された第３の辺とを有している。第１の辺はトラック幅を規定する。記録媒体に記録される記録ビットの端部の位置は、第１の辺の位置によって決まる。媒体対向面８０に配置された主磁極１５の端面のトラック幅方向ＴＷの幅は、第１の辺から離れるに従って、すなわち第１の仮想の平面Ｐ１から離れるに従って小さくなっている。第２の辺と第３の辺がそれぞれ第１の仮想の平面Ｐ１に垂直な方向に対してなす角度は、例えば７°〜１７°の範囲内であり、１０°〜１５°の範囲内であることが好ましい。第１の辺の長さは、例えば０．０５〜０．２０μｍの範囲内である。
【００９０】
次に、本実施の形態に係る磁気ヘッドの作用および効果について説明する。この磁気ヘッドでは、記録ヘッド部９によって記録媒体に情報を記録し、再生ヘッド部８によって、記録媒体に記録されている情報を再生する。記録ヘッド部９において、第１の部分２０および第２の部分１０を含むコイルは、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する。第１の部分２０によって発生された磁界に対応する磁束は、第１の帰磁路部４０と主磁極１５を通過する。第２の部分１０によって発生された磁界に対応する磁束は、第２の帰磁路部３０と主磁極１５を通過する。従って、主磁極１５は、第１の部分２０によって発生された磁界に対応する磁束と第２の部分１０によって発生された磁界に対応する磁束とを通過させる。
【００９１】
なお、第１の部分２０および第２の部分１０は、直列に接続されていてもよいし、並列に接続されていてもよい。いずれにしても、主磁極１５において、第１の部分２０によって発生された磁界に対応する磁束と第２の部分１０によって発生された磁界に対応する磁束が同じ方向に流れるように、第１の部分２０および第２の部分１０は接続される。
【００９２】
主磁極１５は、上述のようにコイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させて、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。
【００９３】
記録シールド１６は、磁気ヘッドの外部から磁気ヘッドに印加された外乱磁界を取り込む。これにより、外乱磁界が主磁極１５に集中して取り込まれることによって記録媒体に対して誤った記録が行なわれることを防止することができる。また、記録シールド１６は、主磁極１５の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体に達することを阻止する機能を有している。
【００９４】
また、記録シールド１６と第１の帰磁路部４０および第２の帰磁路部３０は、主磁極１５の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束を還流させる機能を有している。具体的に説明すると、主磁極１５の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束の一部は、記録シールド１６と第１の帰磁路部４０を通過して主磁極１５に還流する。また、主磁極１５の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束の他の一部は、記録シールド１６と第２の帰磁路部３０を通過して主磁極１５に還流する。
【００９５】
記録シールド１６は、第１のシールド１６Ａと、第２のシールド１６Ｂと、２つのサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄとを有している。これにより、本実施の形態によれば、主磁極１５の端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側および後側ならびにトラック幅方向ＴＷの両側において、主磁極１５の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体に達することを抑制することができる。その結果、本実施の形態によれば、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。第１および第２のシールド１６Ａ，１６Ｂは、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することに寄与する他に、記録磁界の勾配を大きくすることに寄与する。サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄは、特に隣接トラック消去を抑制することへの寄与が大きい。このような記録シールド１６の機能により、本実施の形態によれば、記録密度を高めることができる。
【００９６】
また、本実施の形態では、図３に示したように、媒体対向面８０において、トラック幅方向ＴＷにおける主磁極１５の第１および第２の側部の間隔すなわち主磁極１５の端面の幅は、第１の仮想の平面Ｐ１から離れるに従って小さくなっている。本実施の形態によれば、この特徴によっても、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。
【００９７】
また、本実施の形態では、媒体対向面８０において、トラック幅方向ＴＷにおけるサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄにおける第１および第２の側壁の間隔は、主磁極１５の第１および第２の側部の間隔と同様に、第１の仮想の平面Ｐ１から離れるに従って小さくなっている。従って、本実施の形態によれば、媒体対向面８０において、第１の側部と第１の側壁との間隔、ならびに第２の側部と第２の側壁との間隔を、小さく、且つ均一にすることが可能になる。これにより、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄによって、主磁極１５の端面より発生されてトラック幅方向ＴＷの両側に広がる磁束を、効果的に取り込むことができる。その結果、本実施の形態によれば、特にサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄの機能を高めることが可能になり、スキューに起因した隣接トラック消去の発生をより効果的に抑制することが可能になる。
【００９８】
ところで、記録シールド１６で取り込んだ磁束を吸収できるような、体積が大きい磁性層が記録シールド１６に磁気的に接続されていないと、記録シールド１６によって多くの磁束を取り込むことはできない。本実施の形態では、記録シールド１６の第１のシールド１６Ａと主磁極１５とを磁気的に連結する第１の帰磁路部４０（柱状部分４１および磁性層４２）と、記録シールド１６の第２のシールド１６Ｂと主磁極１５とを磁気的に連結する第２の帰磁路部３０（磁性層３１〜３３）を備えている。このような構成により、記録シールド１６で取り込んだ磁束は、第１の帰磁路部４０および第２の帰磁路部３０を経由して主磁極１５に流れ込む。本実施の形態では、記録シールド１６に対して、体積が大きい磁性層である第１の帰磁路部４０および第２の帰磁路部３０と主磁極１５が磁気的に接続されている。従って、本実施の形態によれば、記録シールド１６によって多くの磁束を取り込むことが可能になり、その結果、前述の記録シールド１６の効果を効果的に発揮させることができる。
【００９９】
また、本実施の形態では、主磁極１５の上面１５Ｔは、第１の仮想の平面Ｐ１および媒体対向面８０に対して傾斜した傾斜部１５Ｔ１を含み、主磁極１５の下端部１５Ｌは、第２の仮想の平面Ｐ２および媒体対向面８０に対して傾斜した傾斜部１５Ｌ１を含んでいる。これにより、本実施の形態によれば、媒体対向面８０における主磁極１５の厚みを小さくすることができることから、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。また、媒体対向面８０から離れた位置では主磁極１５の厚みを大きくすることができることから、主磁極１５によって多くの磁束を媒体対向面８０まで導くことができ、その結果、オーバーライト特性等の記録特性を向上させることができる。
【０１００】
また、本実施の形態では、媒体対向面８０に垂直な方向についての傾斜部１５Ｔ１の長さＬＡは、媒体対向面８０に垂直な方向についての第１のシールド１６Ａの第１の傾斜面１６Ａｂの長さＬＣよりも小さい。これにより、傾斜部１５Ｔ１と第１の傾斜面１６Ａｂとが対向する領域の面積を小さくして、主磁極１５から記録シールド１６への磁束の漏れを抑制することが可能になる。
【０１０１】
以上説明した主磁極１５の形状の特徴と、主磁極１５と記録シールド１６（第１のシールド１６Ａ）との関係に関する特徴により、本実施の形態によれば、スキューに起因した問題の発生を防止し、且つ記録特性を向上させることが可能になる。
【０１０２】
また、本実施の形態では、コイルの第１層２１は、第１の空間Ｓ１内のうち特に第１のシールド１６Ａと柱状部分４１との間を通過するように延びる特定のコイル要素２１Ａを含んでいる。このコイル要素２１Ａは、上面１５Ｔの平坦部１５Ｔ２と第１の傾斜面１６Ａｂの第２の部分１６Ａｂ２との間に位置する部分２１Ａ１を含んでいる。すなわち、本実施の形態では、上記の主磁極１５と記録シールド１６との関係に関する特徴により生じた、平坦部１５Ｔ２と第２の部分１６Ａｂ２との間に空間に、特定のコイル要素２１Ａの部分２１Ａ１を配置している。これにより、本実施の形態によれば、高い空間利用効率で第１の空間Ｓ１内にコイル要素を配置することが可能になる。その結果、本実施の形態によれば、記録シールド１６、第１の帰磁路部４０および主磁極１５を経由する磁路の長さを短くすることが可能になる。そして、これにより、本実施の形態によれば、主磁極１５の端面より発生される磁束の方向の変化の速度の向上が可能になる。
【０１０３】
次に、本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法について説明する。本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法では、まず、図２および図３に示したように基板１の上に、絶縁層２、第１の再生シールド層３、第１の再生シールドギャップ膜４を順に形成する。次に、第１の再生シールドギャップ膜４の上にＭＲ素子５と、このＭＲ素子５に接続される図示しないリードとを形成する。次に、ＭＲ素子５およびリードを、第２の再生シールドギャップ膜６で覆う。次に、第２の再生シールドギャップ膜６の上に、第２の再生シールド層７、非磁性層７１、中間シールド層７２を順に形成する。
【０１０４】
次に、積層体の上面全体の上に非磁性層５１を形成する。次に、非磁性層５１の上に、図示しないフォトレジストマスクを形成する。このフォトレジストマスクは、フォトレジスト層をパターニングして形成される。なお、これ以降の工程で形成されるフォトレジストマスクも、このフォトレジストマスクと同様の方法で形成される。次に、このフォトレジストマスクをエッチングマスクとして用いて、例えば反応性イオンエッチング（以下、ＲＩＥと記す。）によって、非磁性層５１をテーパーエッチングして、非磁性層５１に開口部５１ａを形成する。中間シールド層７２は、非磁性層５１をＲＩＥによってエッチングする際にエッチングを停止させるエッチングストッパとして機能する。次に、フォトレジストマスクを除去する。
【０１０５】
次に、積層体の上面全体の上に、非磁性膜５２を形成する。非磁性膜５２の材料としてアルミナを用いる場合には、例えば原子層堆積法（以下、ＡＬＤと記す。）によって、非磁性膜５２を形成する。次に、例えばスパッタ法またはイオンビームデポジション法によって、積層体の上面全体の上に電極膜７３を形成する。次に、電極膜７３を電極およびシード層として用いて、フレームめっき法によって、磁性層３１を形成する。磁性層３１の一部は、非磁性層５１の上面の上方に配置される。次に、電極膜７３を電極として用いて、フレームめっき法によって、磁性層３１の上に、磁性層３２を形成する。磁性層３２は、その上面が磁性層３１のうち非磁性層５１の上面の上方に配置された部分よりも上方に配置されるように形成される。
【０１０６】
次に、積層体の上面全体の上に、絶縁膜５３を形成する。絶縁膜５３の材料としてアルミナを用いる場合には、例えばＡＬＤによって絶縁膜５３を形成する。次に、例えばフレームめっき法によって、コイルの第２の部分１０を形成する。第２の部分１０の最も外側の１ターンは、その一部が、絶縁膜５３のうち非磁性層５１の上面の上方に配置された部分に乗り上げるように形成される。第２の部分１０の最も内側の１ターンは、その一部が、絶縁膜５３のうち磁性層３２の上面の上方に配置された部分に乗り上げるように形成される。次に、第２の部分１０の巻線間を埋め、且つ第２の部分１０を覆うように、絶縁層５４を形成する。絶縁層５４の材料としてアルミナを用いる場合には、例えばＡＬＤによって絶縁層５４を形成する。次に、例えば化学機械研磨（以下、ＣＭＰと記す。）によって、電極膜７３が露出するまで第２の部分１０、磁性層３１，３２、絶縁膜５３および絶縁層５４を研磨する。この研磨において、電極膜７３は、研磨を停止させる研磨ストッパとして機能する。
【０１０７】
次に、第２の部分１０、絶縁膜５３および絶縁層５４の上に、絶縁層５５を形成する。次に、電極膜７３を電極として用いて、例えばフレームめっき法によって、磁性層３１の第１の傾斜部３１Ｂおよび電極膜７３上に、第２のシールド１６Ｂを形成し、磁性層３１の第２の傾斜部３１Ｃおよび磁性層３２の上に磁性層３３を形成する。次に、例えばイオンビームエッチング（以下、ＩＢＥと記す。）によって、第２のシールド１６Ｂの一部をエッチングする。このエッチングは、後に形成される第２のシールド１６Ｂの第２の傾斜面１６Ｂｂの、媒体対向面８０に垂直な方向の長さを決めるために行われる。次に、積層体の上面全体の上に、非磁性層５６を形成する。次に、例えばＣＭＰによって、第２のシールド１６Ｂおよび磁性層３３が露出するまで非磁性層５６を研磨する。次に、第２のシールド１６Ｂに第２の傾斜面１６Ｂｂが形成され、磁性層３３の上面の縁に位置する角が面取りされるように、例えばＩＢＥを用いて、第２のシールド１６Ｂの一部と磁性層３３の一部をエッチングする。
【０１０８】
次に、電極膜７３を電極として用いて、例えばフレームめっき法によって、第２のシールド１６Ｂの上に、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄを形成する。次に、第２のシールド１６Ｂおよびサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄを覆うように、ギャップ層１８を形成する。ギャップ層１８の材料としてアルミナを用いる場合には、例えばＡＬＤによって、ギャップ層１８を形成する。ギャップ層１８の材料としてＲｕを用いる場合には、例えば化学的気相成長法によって、ギャップ層１８を形成する。次に、ギャップ層１８を選択的にエッチングして、ギャップ層１８に、磁性層３３の上面を露出させる開口部を形成する。また、コイルの第２の部分１０のコイル接続部１０Ｅ（図４参照）が露出するように、ギャップ層１８、絶縁層５５および非磁性層５６を選択的にエッチングする。
【０１０９】
次に、図７ないし図１０を参照して、上記の工程の後、コイルの第１の部分２０の第２層２２を形成するまでの一連の工程について説明する。図７ないし図１０は、磁気ヘッドの製造過程における積層体を示している。図７ないし図１０において、（ａ）は、それぞれ、媒体対向面８０および基板１の上面１ａに垂直な断面、特に前記主断面を表している。図７ないし図１０において、（ｂ）は、媒体対向面８０が形成される予定の位置の断面を示している。図７ないし図１０の（ａ）において、記号“ＡＢＳ”は、媒体対向面８０が形成される予定の位置を表している。
【０１１０】
図７に示した工程では、まず、例えばフレームめっき法によって、後に主磁極１５となる磁性層１５Ｐと図示しない接続層を形成する。磁性層１５Ｐおよび接続層は、その上面がギャップ層１８のうちサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄの上に配置された部分よりも上方に配置されるように形成される。次に、図示しないが、積層体の上面全体の上に、非磁性層５７を形成する。次に、例えばＣＭＰによって、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄが露出するまで磁性層１５Ｐ、接続層および非磁性層５７を研磨する。
【０１１１】
図８は、次の工程を示す。この工程では、まず、積層体の上面全体の上に、絶縁層５８を形成する。次に、例えばＩＢＥによって、磁性層１５Ｐの上面の一部および接続層の上面が露出するように、絶縁層５８を選択的にエッチングする。例えばフレームめっき法によって、絶縁層５８および接続層の上に、コイルの第１の部分２０の第１層２１を形成する。次に、第１層２１の上に、絶縁層５９を形成する。次に、磁性層１５Ｐ、第１層２１および絶縁層５８，５９の上に、フォトレジストマスク８１を形成する。次に、フォトレジストマスク８１をエッチングマスクとして用いて、例えばＩＢＥによって、磁性層１５Ｐ、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄ、ギャップ層１８、第１層２１の特定のコイル要素２１Ａおよび絶縁層５８，５９のそれぞれの一部をエッチングする。これにより、磁性層１５Ｐは主磁極１５となる。次に、フォトレジストマスク８１を除去する。
【０１１２】
ＩＢＥによって磁性層１５Ｐ、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄ、ギャップ層１８、第１層２１および絶縁層５８，５９のそれぞれの一部をエッチングする場合には、イオンビームの進行方向が基板１の上面１ａに垂直な方向に対してなす角度が４０°〜７５°の範囲内となり、且つ基板１の上面１ａに垂直な方向に見たときにイオンビームの進行方向が回転するようにする。図８（ａ）における矢印は、イオンビームの進行方向を表している。このようなＩＢＥを行うことにより、磁性層１５Ｐの上面には、傾斜部１５Ｔ１および平坦部１５Ｔ２が形成される。また、これにより、上面１５Ｔの傾斜部１５Ｔ１と絶縁層５８の端面と特定のコイル要素２１Ａの端面２１Ａａと絶縁層５９の端面を、同一平面上に形成することができる。
【０１１３】
図９は、次の工程を示す。この工程では、まず、積層体の上面全体の上に、絶縁層１９を形成する。次に、例えばＩＢＥによって、主磁極１５の上面１５Ｔの一部およびサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄの上面の一部が露出するように、絶縁層１９を選択的にエッチングする。また、例えばＩＢＥによって、第１層２１のコイル接続部２１Ｅ（図５参照）が露出するように、絶縁層１９，５９を選択的にエッチングする。次に、例えばフレームめっき法によって、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄおよび絶縁層１９の上に第１のシールド１６Ａを形成し、主磁極１５の上に柱状部分４１を形成する。
【０１１４】
図１０は、次の工程を示す。この工程では、まず、積層体の上面全体の上に、絶縁膜６１を形成する。次に、例えばＩＢＥによって、第１層２１のコイル接続部２１Ｅが露出するように、絶縁膜６１を選択的にエッチングする。次に、例えばフレームめっき法によって、コイルの第１の部分２０の第２層２２を形成する。第２層２２は、その上面が絶縁膜６１のうち第１のシールド１６Ａおよび柱状部分４１の上に配置された部分よりも上方に配置されるように形成される。次に、図示しないが、積層体の上面全体の上に、非磁性層６２を形成する。次に、例えばＣＭＰによって、第１のシールド１６Ａおよび柱状部分４１が露出するまで、第１層２１、絶縁膜６１および非磁性層６２を研磨する。
【０１１５】
以下、図２および図３を参照して、図１０に示した工程の後の工程について説明する。まず、積層体の上面全体の上に、絶縁層６３を形成する。次に、例えばＩＢＥによって、第１のシールド１６Ａおよび柱状部分４１の上面が露出するように、絶縁層６３を選択的にエッチングする。次に、例えばフレームめっき法によって、第１のシールド１６Ａ、柱状部分４１および絶縁層６３の上に、磁性層４２を形成する。
【０１１６】
次に、積層体の上面全体を覆うように保護層７０を形成する。次に、保護層７０の上に配線や端子等を形成し、媒体対向面８０が形成される予定の位置の近傍で基板１を切断し、この切断によって形成された面を研磨して媒体対向面８０を形成し、更に浮上用レールの作製等を行って、磁気ヘッドが完成する。
【０１１７】
［第２の実施の形態］
次に、図１１を参照して、本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図１１は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの要部を示す断面図である。なお、図１１は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面、特に前記主断面を示している。
【０１１８】
本実施の形態に係る磁気ヘッドの構成は、以下の点で第１の実施の形態と異なっている。本実施の形態における主磁極１５の上面１５Ｔは、媒体対向面８０に近い順に、連続するように配置された第１の傾斜部１５Ｔ１、第１の平坦部１５Ｔ２、第２の傾斜部１５Ｔ３および第２の平坦部１５Ｔ４を含んでいる。第１の傾斜部１５Ｔ１は、媒体対向面８０に配置された第１の端部と、その反対側の第２の端部とを有している。第１の平坦部１５Ｔ２は、第１の傾斜部１５Ｔ１の第２の端部に接続されている。第２の傾斜部１５Ｔ３は、第１の平坦部１５Ｔ２に接続された第１の端部と、第１の端部よりも媒体対向面８０からより遠い位置に配置された第２の端部とを有している。第２の平坦部１５Ｔ４は、第２の傾斜部１５Ｔ３の第２の端部に接続されている。
【０１１９】
主磁極１５の下端部１５Ｌは、媒体対向面８０に近い順に、連続するように配置された第１の傾斜部１５Ｌ１、第１の平坦部１５Ｌ２、第２の傾斜部１５Ｌ３および第２の平坦部１５Ｌ４を含んでいる。第１の傾斜部１５Ｌ１は、媒体対向面８０に配置された第１の端部と、その反対側の第２の端部とを有している。第１の平坦部１５Ｌ２は、第１の傾斜部１５Ｌ１の第２の端部に接続されている。第２の傾斜部１５Ｌ３は、第１の平坦部１５Ｌ２に接続された第１の端部と、第１の端部よりも媒体対向面８０からより遠い位置に配置された第２の端部とを有している。第１の傾斜部１５Ｌ１、第１の平坦部１５Ｌ２および第２の傾斜部１５Ｌ３は、２つの面が交わってできるエッジでもよいし、２つの面を連結する面でもよい。第２の平坦部１５Ｌ４は、第２の傾斜部１５Ｌ３の第２の端部に接続された面である。
【０１２０】
ここで、図１１に示したように、上面１５Ｔの第１の傾斜部１５Ｔ１の第１の端部を通り、媒体対向面８０および記録媒体の進行方向Ｔに垂直な第１の仮想の平面Ｐ１を想定する。第１の傾斜部１５Ｔ１は、その第２の端部が第１の仮想の平面Ｐ１に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されるように、第１の仮想の平面Ｐ１および媒体対向面８０に対して傾斜している。第２の傾斜部１５Ｔ３は、その第２の端部がその第１の端部に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されるように、第１の仮想の平面Ｐ１および媒体対向面８０に対して傾斜している。第１および第２の平坦部１５Ｔ２，１５Ｔ４は、実質的に媒体対向面８０に垂直な方向に延在している。
【０１２１】
また、下端部１５Ｌの第１の傾斜部１５Ｌ１の第１の端部を通り、媒体対向面８０および記録媒体の進行方向Ｔに垂直な第２の仮想の平面Ｐ２を想定する。第１の傾斜部１５Ｌ１は、その第２の端部が第２の仮想の平面Ｐ２に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されるように、第２の仮想の平面Ｐ２および媒体対向面８０に対して傾斜している。第２の傾斜部１５Ｌ３は、その第２の端部がその第１の端部に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されるように、第２の仮想の平面Ｐ２および媒体対向面８０に対して傾斜している。第１および第２の平坦部１５Ｌ２，１５Ｌ４は、実質的に媒体対向面８０に垂直な方向に延在している。
【０１２２】
記録シールド１６の第１のシールド１６Ａは、上面１５Ｔの第２の傾斜部１５Ｔ３と媒体対向面８０の間に配置された部分を含んでいる。第２のシールド１６Ｂは、下端部１５Ｌの第２の傾斜部１５Ｌ３と媒体対向面８０の間に配置された部分を含んでいる。
【０１２３】
ここで、図１１に示したように、媒体対向面８０に垂直な方向についての上面１５Ｔの第１の傾斜部１５Ｔ１と第１の平坦部１５Ｔ２の長さをそれぞれ記号ＬＡ１，ＬＡ２で表し、媒体対向面８０に垂直な方向についての下端部１５Ｌの第１の傾斜部１５Ｌ１と第１の平坦部１５Ｌ２の長さをそれぞれ記号ＬＢ１，ＬＢ２で表す。長さＬＡ１は、媒体対向面８０に垂直な方向についての第１のシールド１６Ａの第１の傾斜面１６Ａｂの長さＬＣよりも小さい。長さＬＡ１は、例えば０．０５〜０．１５μｍの範囲内である。長さＬＡ２は、例えば０．２〜０．６μｍの範囲内である。長さＬＢ１は、例えば０．１〜０．５μｍの範囲内である。長さＬＢ２は、例えば０．２〜０．６μｍの範囲内である。
【０１２４】
また、第１の仮想の平面Ｐ１に対する上面１５Ｔの第１の傾斜部１５Ｔ１の傾斜角度を記号θＴ１で表し、第２の仮想の平面Ｐ２に対する下端部１５Ｌの第１の傾斜部１５Ｌ１の傾斜角度を記号θＬ１で表す。傾斜角度θＴ１は、例えば２４°〜３５°の範囲内である。傾斜角度θＬ１は、例えば３０°〜５０°の範囲内である。
【０１２５】
また、上面１５Ｔの第２の傾斜部１５Ｔ３の第１の端部を通り、第１および第２の仮想の平面Ｐ１，Ｐ２に平行な仮想の平面Ｐ３と、下端部１５Ｌの第２の傾斜部１５Ｌ３の第１の端部を通り、第１および第２の仮想の平面Ｐ１，Ｐ２に平行な仮想の平面Ｐ４とを想定する。そして、仮想の平面Ｐ３に対する第２の傾斜部１５Ｔ３の傾斜角度を記号θＴ３で表し、仮想の平面Ｐ４に対する第２の傾斜部１５Ｌ３の傾斜角度を記号θＬ３で表す。傾斜角度θＴ３，θＬ３は、いずれも、例えば２２°〜６０°の範囲内である。
【０１２６】
また、媒体対向面８０における主磁極１５の厚み、すなわち第１の仮想の平面Ｐ１と第２の仮想の平面Ｐ２との間の距離を記号Ｄ０で表す。また、上面１５Ｔの第１の平坦部１５Ｔ２と第１の仮想の平面Ｐ１との間の距離を記号Ｄ１で表し、下端部１５Ｌの第１の平坦部１５Ｌ２と第２の仮想の平面Ｐ２との間の距離を記号Ｄ２で表す。距離Ｄ０は、例えば０．０５〜０．１μｍの範囲内である。距離Ｄ１は、例えば０．０２〜０．１μｍの範囲内である。距離Ｄ２は、例えば０．１〜０．５μｍの範囲内である。
【０１２７】
また、上面１５Ｔの第２の平坦部１５Ｔ４と仮想の平面Ｐ３との間の距離を記号Ｄ３で表し、下端部１５Ｌの第２の平坦部１５Ｌ４と仮想の平面Ｐ４との間の距離を記号Ｄ４で表す。距離Ｄ３は、例えば０．０５〜０．３μｍの範囲内である。距離Ｄ４は、例えば０．１〜０．５μｍの範囲内である。
【０１２８】
本実施の形態では、主磁極１５の上面１５Ｔは、第１および第２の傾斜部１５Ｔ１，１５Ｔ３を含み、主磁極１５の下端部１５Ｌは、第１および第２の傾斜部１５Ｌ１，１５Ｌ３を含んでいる。これにより、本実施の形態によれば、媒体対向面８０における主磁極１５の厚みを小さくし、且つ媒体対向面８０から離れた位置では主磁極１５の厚みを大きくすることができる。また、本実施の形態では、媒体対向面８０に垂直な方向についての上面１５Ｔの第１の傾斜部１５Ｔ１の長さＬＡ１は、媒体対向面８０に垂直な方向についての第１のシールド１６Ａの第１の傾斜面１６Ａｂの長さＬＣよりも小さい。これにより、第１の傾斜部１５Ｔ１と第１の傾斜面１６Ａｂとが対向する領域の面積を小さくして、主磁極１５から記録シールド１６への磁束の漏れを抑制することが可能になる。
【０１２９】
また、本実施の形態では、主磁極１５の上面１５Ｔが第１の平坦部１５Ｔ２を含むことにより、第１の平坦部１５Ｔ２がない場合に比べて、第２の傾斜部１５Ｔ３と第１のシールド１６Ａとの間の距離を大きくすることが可能になる。同様に、本実施の形態では、主磁極１５の下端部１５Ｌが第１の平坦部１５Ｌ２を含むことにより、第１の平坦部１５Ｌ２がない場合に比べて、第２の傾斜部１５Ｌ３と第２のシールド１６Ｂとの間の距離を大きくすることが可能になる。これらのことから、本実施の形態によれば、主磁極１５から記録シールド１６への磁束の漏れによって記録特性が低下することを防止することができる。
【０１３０】
以上説明した主磁極１５の形状の特徴により、本実施の形態によれば、スキューに起因した問題の発生を防止し、且つ記録特性を向上させることが可能になる。
【０１３１】
本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１の実施の形態と同様である。
【０１３２】
［第３の実施の形態］
次に、図１２を参照して、本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図１２は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの要部を示す断面図である。なお、図１２は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面、特に前記主断面を示している。
【０１３３】
本実施の形態に係る磁気ヘッドの構成は、以下の点で第１の実施の形態と異なっている。本実施の形態におけるコイルの第１の部分２０は、第１の実施の形態における第１層２１の代わりに、第１層１２１を含んでいる。第１層１２１は、第１の帰磁路部４０の一部である柱状部分４１の周りに１回巻かれている。
【０１３４】
本実施の形態では、絶縁層１９は、第１層１２１の上面の上方には形成されていない。絶縁層５９は、絶縁層１９および第１層１２１の上面を覆っている。絶縁膜６１は、第１のシールド１６Ａ、柱状部分４１および絶縁層５９と第２層２２との間に介在している。
【０１３５】
図１２に示したように、第１層１２１は、第１の空間Ｓ１内のうち特に第１のシールド１６Ａと柱状部分４１との間を通過するように延びる第１のコイル要素１２１Ａを含んでいる。本実施の形態では、コイル要素１２１Ａが特定のコイル要素である。特定のコイル要素１２１Ａは、第１のシールド１６Ａの第１の傾斜面１６Ａｂの第４の端部よりも媒体対向面８０により近い位置において、上面１５Ｔの平坦部１５Ｔ２と第１の傾斜面１６Ａｂの第２の部分１６Ａｂ２との間に位置する部分１２１Ａ１を含んでいる。
【０１３６】
また、特定のコイル要素１２１Ａは、媒体対向面８０に向いた端面を有している。特定のコイル要素１２１Ａの端面は、第１のシールド１６Ａの第１の傾斜面１６Ａｂに向いた第１の部分と、この第１の部分に連続し、第１の部分よりも基板１の上面１ａからより遠い位置にある第２の部分とを含んでいる。第１の部分における任意の位置の媒体対向面８０からの距離は、任意の位置が基板１の上面１ａから離れるに従って大きくなっている。上面１５Ｔの傾斜部１５Ｔ１と絶縁層５８の端面と上記第１の部分は、同一平面上に位置する。上記第２の部分は、媒体対向面８０に平行である。
【０１３７】
また、第１層１２１は、第２の部分１０のコイル接続部１０Ｅ（図４参照）に電気的に接続された図示しない第１のコイル接続部と、第２層２２のコイル接続部２２Ｓ（図６参照）に電気的に接続された図示しない第２のコイル接続部とを有している。第１のコイル接続部は、第１の実施の形態で説明した接続層を介してコイル接続部１０Ｅに電気的に接続されている。コイル接続部２２Ｓは、絶縁層５９および絶縁膜６１を貫通して第２のコイル接続部に電気的に接続されている。
【０１３８】
なお、本実施の形態における主磁極１５の形状は、第２の実施の形態と同じであってもよい。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１または第２の実施の形態と同様である。
【０１３９】
［第４の実施の形態］
次に、図１３および図１４を参照して、本発明の第４の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図１３は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの要部を示す断面図である。なお、図１３は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面、特に前記主断面を示している。図１４は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分を示す平面図である。
【０１４０】
本実施の形態に係る磁気ヘッドの構成は、以下の点で第３の実施の形態と異なっている。本実施の形態におけるコイルは、第３の実施の形態における第１の部分２０の代わりに、第１の部分１２０を含んでいる。第１の部分１２０は、絶縁層５８の上に配置されている。また、図１４に示したように、第１の部分１２０は、第１の帰磁路部４０の一部である柱状部分４１の周りに約１回巻かれている。
【０１４１】
本実施の形態では、絶縁層１９は、第１層１２１の上面を覆っている。絶縁層５９は、絶縁層１９の一部、第１の部分１２０および絶縁層５８を覆っている。なお、本実施の形態に係る磁気ヘッドでは、絶縁膜６１、非磁性層６２および絶縁層６３が設けられていない。
【０１４２】
図１４に示したように、第１の部分１２０は、第１の空間Ｓ１内のうち特に第１のシールド１６Ａと柱状部分４１との間を通過するように延びる第１のコイル要素１２０Ａを含んでいる。本実施の形態では、コイル要素１２０Ａが特定のコイル要素である。特定のコイル要素１２０Ａの形状および配置は、第３の実施の形態における特定のコイル要素１２１Ａと同様である。すなわち、特定のコイル要素１２０Ａは、第１のシールド１６Ａの第１の傾斜面１６Ａｂの第４の端部よりも媒体対向面８０により近い位置において、上面１５Ｔの平坦部１５Ｔ２と第１の傾斜面１６Ａｂの第２の部分１６Ａｂ２との間に位置する部分１２０Ａ１を含んでいる。また、第１の部分１２０は、第２の部分１０のコイル接続部１０Ｅ（図４参照）に電気的に接続されたコイル接続部１２０Ｓを有している。コイル接続部１２０Ｓは、第１の実施の形態で説明した接続層を介してコイル接続部１０Ｅに電気的に接続されている。
【０１４３】
本実施の形態では、少なくとも１つの第１のコイル要素は、１つのコイル要素１２０Ａである。従って、本実施の形態によれば、コイルが２つ以上の第１のコイル要素を含む場合に比べて、記録シールド１６、第１の帰磁路部４０および主磁極１５を経由する磁路の長さを短くすることが可能になる。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第３の実施の形態と同様である。
【０１４４】
なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されず、種々の変更が可能である。例えば、磁気ヘッドは、第１の帰磁路部４０および第２の帰磁路部３０のうち、第１の帰磁路部４０のみを備えていてもよい。
【符号の説明】
【０１４５】
１５…主磁極、１５Ｔ…上面、１５Ｔ１…傾斜部、１５Ｔ２…平坦部、１６…記録シールド、１６Ａ…第１のシールド、１６Ａｂ…第１の傾斜面、１６Ａｂ１…第１の部分、１６Ａｂ２…第２の部分、１７…ギャップ部、２１Ａ…特定のコイル要素、３０…第２の帰磁路部、４０…第１の帰磁路部、８０…媒体対向面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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