(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査手順データに従って検査対象基板を電気的に検査する基板検査装置と、前記検査手順データを作成するための手順データ作成用プログラムおよび当該検査手順データを記憶する記憶部を備えると共に通信ネットワークに接続された管理装置とを備え、
前記管理装置は、前記通信ネットワークを介して接続されたクライアント端末による前記手順データ作成用プログラムの実行環境を提供するアプリケーションサーバとして機能すると共に、当該手順データ作成用プログラムの実行によって作成された前記検査手順データを前記基板検査装置および前記クライアント端末による読み出しが可能に前記記憶部に記憶させて保持するファイルサーバとして機能するように構成され、
前記基板検査装置は、前記通信ネットワークに接続可能に構成されると共に当該通信ネットワークを介して前記管理装置から読み出した前記検査手順データに従って前記検査対象基板を電気的に検査する基板検査システム。
【請求項２】
前記基板検査装置は、前記検査対象基板の検査結果を特定可能な検査結果データを生成すると共に、前記通信ネットワークを介して当該検査結果データを前記管理装置に送信可能に構成され、
前記管理装置は、前記基板検査装置から送信された前記検査結果データを前記クライアント端末による読み出しが可能に前記記憶部に記憶させて保持する請求項１記載の基板検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査手順データに従って検査対象基板を電気的に検査する基板検査装置を備えた基板検査システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板検査システムとして、ＣＡＤシステム、検査用データ作成手段（以下、「データ作成手段」ともいう）、および複数の検査装置を備えて構成された電子回路基板検査システム（以下、「基板検査システム」ともいう）が特開２００５−１９１３００号公報に開示されている。この場合、ＣＡＤシステムは、各検査装置の検査対象となる電子回路基板を設計するためのアプリケーションプログラムがインストールされたコンピュータ装置で構成されている。また、この基板検査システムでは、ＣＡＤシステムを構成している上記のコンピュータ装置を兼用してデータ作成手段が構成されている。この場合、データ作成手段としてのコンピュータ装置には、各検査装置によって電子回路基板を電気的に検査するための検査用データを含んだ統合データファイルを作成するための検査用データ作成プログラムがインストールされている。
【０００３】
この基板検査システムによって電子回路基板を検査する際には、まず、データ作成手段としてのコンピュータ装置において検査用データ作成プログラムを実行することにより、ＣＡＤシステムとしてのコンピュータ装置によって作成したＣＡＤデータに基づいて統合データファイルを作成する。次いで、作成した統合データファイルをフレキシブルディスクやＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体に保存する。続いて、統合データファイルを保存した記録媒体を検査装置のフレキシブルディスクドライブまたはＣＤ−ＲＯＭドライブにセットして、統合データファイルを記録媒体から読み出させる。この際に、検査装置では、読み出した統合データファイルから検査用データを抽出して、抽出した検査用データに基づく各種の電気検査を実行する。これにより、各検査装置の外部（この例では、ＣＡＤシステムおよびデータ作成手段としてのコンピュータ装置）において作成した検査用データに基づき、電子回路基板が電気的に検査される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１９１３００号公報（第４−１２頁、第１−１８図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、従来の基板検査システムには、以下の問題点が存在する。すなわち、従来の基板検査システムでは、コンピュータ装置において検査用データ作成プログラムを実行して検査用データを含む統合データファイルを作成して記録媒体に記録すると共に、検査装置において記録媒体から統合データファイル（検査用データ）を読み出して検査用データに基づく電気的検査を実行する構成が採用されている。一方、この種の基板検査システムの利用形態としては、１種類の検査用データに基づいて検査可能な複数枚の電子回路基板（複数枚の同種の電子回路基板）を各検査装置によって並行して検査する利用形態だけでなく、互いに相違する検査用データを必要とする複数種類の電子回路基板を各検査装置によって並行して検査する（または、順番に検査する）利用形態が存在する。
【０００６】
この場合、従来の基板検査システムでは、ＣＡＤシステムとしてのコンピュータ装置を操作して電子回路基板を設計しているとき、およびデータ作成手段としてのコンピュータ装置を操作して統合データファイルを作成しているときに、そのコンピュータ装置において、他の電子回路基板を検査するための検査用データを作成することができない。したがって、従来の基板検査システムの利用に際しては、複数種類の電子回路基板を検査するための複数種類の検査用データを効率よく作成可能とするために、検査用データ作成プログラムを実行可能なコンピュータ装置を複数台用意するのが好ましい。
【０００７】
このため、従来の基板検査システムには、必要数のコンピュータ装置に検査用データ作成プログラムをそれぞれインストールする作業が必要となる結果、このインストール作業が非常に煩雑であるという問題点が存在する。また、この種の基板検査システムにおいては、検査装置の仕様変更や、新たな検査装置の導入などに応じて、検査用データを作成するためのプログラムを新たなプログラムに更新する必要が生じることがある。この場合、従来の基板検査システムでは、検査用データ作成プログラムが各コンピュータ装置に個別にインストールされるため、この検査用データ作成プログラムの更新作業に関しても、各コンピュータ装置毎に個別に実施する必要がある。このため、従来の基板検査システムには、各コンピュータ装置毎の検査用データ作成プログラムの更新作業も非常に煩雑であるという問題点が存在する。
【０００８】
また、従来の基板検査システムでは、各検査装置が記録媒体から統合データファイルを読み出して検査用データを抽出することによって、検査用データに基づく電気的な検査を実行する構成が採用されている。このため、１種類の検査用データに基づいて検査可能な複数枚の電子回路基板を各検査装置によって並行して検査する際には、統合データファイルが記録された記録媒体を各検査装置に対して順次セットして統合データファイルを読み出させるか、或いは、統合データファイルを記録した記録媒体を複数枚複製して各検査装置にそれぞれセットして統合データファイルを読み出させる作業が必要となる。したがって、従来の基板検査システムには、各検査装置によって電子回路基板を電気的に検査する前の準備作業が非常に煩雑であるという問題点が存在する。
【０００９】
さらに、この種の基板検査システムでは、検査装置による電気的検査の結果に応じて、検査用データの修正や、新たな検査項目の追加などの各種の変更を加える必要が生じることがある。この場合、従来の基板検査システムにおいて検査用データに変更を加えるときには、いずれかのコンピュータ装置において検査用データ作成プログラムを実行して検査用データを変更した後に、変更後の検査用データを含む統合データファイルを記録媒体に記録して各検査装置に対して順次セットするか、或いは、変更後の検査用データを含む統合データファイルを記録した記録媒体を複数枚複製して各検査装置にそれぞれセットする必要がある。したがって、従来の基板検査システムには、検査用データの変更作業も非常に煩雑であるという問題点が存在する。
【００１０】
この場合、上記の先行技術文献には、検査用データ作成手段（コンピュータ装置）と各検査装置との間のデータのやり取り（検査用データ作成手段において作成した検査用データに基づく検査条件を各検査装置に設定するための構成）に関し、フレキシブルディスクやＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体を用いて行なう構成に代えて、有線または無線通信網を介した通信によって行なう構成を採用することができると開示されている。しかしながら、記録媒体を使用した上記の構成に代えて、通信によって検査用データ作成手段から各検査装置に統合データファイルを送信する構成を採用したとしても、検査用データ作成手段から統合データファイルを送信する作業を検査装置の台数分実行する必要があることには変わりがない。このため、そのような構成を採用したとしても、検査前の準備作業や、検査用データの変更作業などが依然として煩雑となっている。
【００１１】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、検査手順データを作成するための手順データ作成用プログラムのインストール作業や更新作業にかかる負担、および基板検査装置による検査前の準備作業や検査手順データの更新作業にかかる負担を十分に軽減し得る基板検査システムを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成すべく請求項１記載の基板検査システムは、検査手順データに従って検査対象基板を電気的に検査する基板検査装置と、前記検査手順データを作成するための手順データ作成用プログラムおよび当該検査手順データを記憶する記憶部を備えると共に通信ネットワークに接続された管理装置とを備え、前記管理装置は、前記通信ネットワークを介して接続されたクライアント端末による前記手順データ作成用プログラムの実行環境を提供するアプリケーションサーバとして機能すると共に、当該手順データ作成用プログラムの実行によって作成された前記検査手順データを前記基板検査装置および前記クライアント端末による読み出しが可能に前記記憶部に記憶させて保持するファイルサーバとして機能するように構成され、前記基板検査装置は、前記通信ネットワークに接続可能に構成されると共に当該通信ネットワークを介して前記管理装置から読み出した前記検査手順データに従って前記検査対象基板を電気的に検査する。
【００１３】
また、請求項２記載の基板検査システムは、請求項１記載の基板検査システムにおいて、前記基板検査装置は、前記検査対象基板の検査結果を特定可能な検査結果データを生成すると共に、前記通信ネットワークを介して当該検査結果データを前記管理装置に送信可能に構成され、前記管理装置は、前記基板検査装置から送信された前記検査結果データを前記クライアント端末による読み出しが可能に前記記憶部に記憶させて保持する。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１記載の基板検査システムによれば、通信ネットワークを介して接続されたクライアント端末による手順データ作成用プログラムの実行環境を提供するアプリケーションサーバとして機能すると共に、手順データ作成用プログラムの実行によって作成された検査手順データを基板検査装置およびクライアント端末による読み出しが可能に記憶部に記憶させて保持するファイルサーバとして機能するように構成された管理装置と、通信ネットワークを介して管理装置から読み出した検査手順データに従って検査対象基板を電気的に検査する基板検査装置とを備えたことにより、各クライアント端末に手順データ作成用プログラムをインストールすることなく、通信ネットワークを介してアプリケーションサーバとしての管理装置に接続することでクライアント端末において手順データ作成用プログラムを実行することができるため、手順データ作成用プログラムのインストール作業や更新作業にかかる負担を十分に低減することができるだけでなく、手順データ作成用プログラムの実行によって生成された検査手順データが管理装置の記憶部に記憶されると共に、各基板検査装置が管理装置にアクセスしてこの検査手順データを読み出して電気的検査を実行するため、各基板検査装置による検査前の準備作業や検査手順データの更新作業にかかる負担も十分に軽減することができる。
【００１５】
また、請求項２記載の基板検査システムによれば、検査対象基板の検査結果を特定可能な検査結果データを生成すると共に、通信ネットワークを介して検査結果データを管理装置に送信可能に基板検査装置を構成すると共に、基板検査装置から送信された検査結果データをクライアント端末による読み出しが可能に記憶部に記憶させて保持するように管理装置を構成したことにより、手順データ作成用プログラムや検査手順データだけでなく、検査手順データに基づいて実行された検査に関する検査結果データについても管理装置において一元管理することができると共に、各クライアント端末において管理装置から読み出した検査結果データを参照しつつ検査手順データを変更する作業を容易に実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】基板検査システム１の構成、および基板検査システム１の利用に際して使用するクライアント端末Ｐｃと基板検査システム１との接続形態の一例を示す構成図である。
【図２】基板検査装置２の構成の一例を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、基板検査システムの実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１８】
図１に示す基板検査システム１は、一例として、複数の基板検査装置２、および１つの管理装置３を備えて構成され、各基板検査装置２および管理装置３が通信ネットワークＮを介して相互に接続されている。この場合、通信ネットワークＮは、特に限定されるものではないが、一例として、ＬＡＮ、ＭＡＮおよびＷＡＮ等の既設のネットワークを利用することができる。本例では、一例として、基板検査システム１が設置されている施設内のＬＡＮに基板検査装置２および管理装置３が接続されると共に、この通信ネットワークＮには、複数台のクライアント端末Ｐｃが接続されているものとする。この場合、各クライアント端末Ｐｃには、Ｗｅｂブラウザソフトがインストールされている。
【００１９】
一方、各基板検査装置２については、同一種類の検査装置であってもよいし、種類が相違する検査装置であってもよいが、本例では、発明についての理解を容易とするために、各基板検査装置２が同一種類の検査装置で構成されているものとし、これらを区別することなく、基板検査装置２として以下に説明する。この基板検査装置２は、図２に示すように、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構１１、検査用プローブ１２、検査部１３、通信部１４、制御部１５および記憶部１６を備え、図示しない検査対象基板を電気的に検査可能に構成されている。Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構１１は、制御部１５の制御に従って検査用プローブ１２を検査対象基板上の任意の検査位置にプロービングさせる。検査用プローブ１２は、一例として、接触型のピンプローブで構成されて検査部１３に接続されている。検査部１３は、制御部１５の制御に従って検査対象基板を電気的に検査する。
【００２０】
通信部１４は、通信ネットワークＮに接続可能に構成されると共に、後述するように、制御部１５の制御下で管理装置３との間において各種データの送受信を実行する。制御部１５は、通信部１４を介して管理装置３から検査手順データＤ２を読み出すと共に、読み出した検査手順データＤ２に基づいて、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構１１および検査部１３を制御して検査対象基板を電気的に検査させる。また、制御部１５は、検査部１３による電気的検査の結果に基づいて検査結果データＤ３を生成し、生成した検査結果データＤ３を通信部１４を介して管理装置３に送信する。記憶部１６は、管理装置３から読み出した検査手順データＤ２、制御部１５によって生成された検査結果データＤ３、および制御部１５の動作プログラムなどを記憶する。
【００２１】
また、管理装置３は、アプリケーションサーバおよびファイルサーバとして機能させることができるサーバ端末で構成されている。具体的には、図１に示すように、管理装置３は、通信部２１、ハードディスクドライブ２２、制御部２３および記憶部２４を備えている。通信部２１は、通信ネットワークＮに接続可能に構成されると共に、後述するように、制御部２３の制御下で各基板検査装置２や各クライアント端末Ｐｃとの間において各種データの送受信を実行する。ハードディスクドライブ２２は、「記憶部」の一例であって、基板設計データＤ０、手順データ作成用プログラムＤ１、検査手順データＤ２および検査結果データＤ３を記憶する。
【００２２】
この場合、基板設計データＤ０は、検査対象基板の設計時に作成されたＣＡＤデータ等に基づいて作成されたデータであって、検査対象基板上の導体パターンやスルーホール等の位置（Ｘ−Ｙ−Ｚ座標）を特定可能な情報で構成されている。また、手順データ作成用プログラムＤ１は、検査手順データＤ２を生成するためのプログラムデータであって、具体的には、後述するようにして、各クライアント端末Ｐｃからの要求に応じ制御部２３によって記憶部２４内に展開されると共に、各クライアント端末Ｐｃに対して、Ｗｅｂブラウザ画面内において手順データ作成用プログラムを実行させるプログラム実行環境を提供可能なプログラムデータ（各クライアント端末Ｐｃに対してプログラム実行用データＤ１ａを送信可能なプログラムデータ）で構成されている。さらに、検査手順データＤ２は、各基板検査装置２による検査対象基板の電気的検査に関する検査手順が記録されたデータであって、上記の手順データ作成用プログラムＤ１の実行によって作成される。また、検査結果データＤ３は、基板検査装置２による検査対象基板の検査結果に基づいて基板検査装置２の制御部１５によって生成される。
【００２３】
制御部２３は、管理装置３を総括的に制御する。具体的には、制御部２３は、いずれかのクライアント端末Ｐｃから手順データ作成用プログラムの実行開始を要求する要求信号が出力されたときに、ハードディスクドライブ２２から手順データ作成用プログラムＤ１を読み出して記憶部２４内に展開すると共に、実行開始を要求したクライアント端末Ｐｃに対してプログラム実行用データＤ１ａを送信する（アプリケーションサーバとしての機能）。また、制御部２３は、クライアント端末Ｐｃから送信された検査手順データＤ２を、各基板検査装置２による読み出しが可能にハードディスクドライブ２２に記憶させる（ファイルサーバとしての機能）。さらに、制御部２３は、基板検査装置２から送信された検査結果データＤ３を、各クライアント端末Ｐｃによる読み出しが可能にハードディスクドライブ２２に記憶させる（ファイルサーバとしての他の機能）。記憶部２４は、制御部２３の動作プログラムを記憶する。また、記憶部２４は、上記したように手順データ作成用プログラムＤ１の展開領域として使用される。
【００２４】
この基板検査システム１によって検査対象基板を電気的に検査する際には、まず、管理装置３のハードディスクドライブ２２に、基板設計データＤ０および手順データ作成用プログラムＤ１を記憶させる。次に、各クライアント端末Ｐｃを操作して検査手順データＤ２を作成する。具体的には、通信ネットワークＮに接続されているクライアント端末Ｐｃを操作してＷｅｂブラウザを起動させた後に、管理装置３のネットワークアドレスを入力操作することにより、そのクライアント端末Ｐｃを管理装置３に接続する。この際には、管理装置３の制御部２３が、図示しない「クライアント端末用初期画面」を表示させるためのデータをクライアント端末Ｐｃに送信する。これにより、クライアント端末Ｐｃの表示部に「クライアント端末用初期画面」が表示される。
【００２５】
次いで、クライアント端末Ｐｃの操作部を操作して「手順データ作成用プログラムの実行」を選択する。この際には、クライアント端末Ｐｃからの要求信号に応じて、管理装置３の制御部２３がハードディスクドライブ２２から手順データ作成用プログラムＤ１を読み出して記憶部２４内に展開する。また、制御部２３は、展開した手順データ作成用プログラムＤ１からプログラム実行用データＤ１ａを抽出し、抽出したプログラム実行用データＤ１ａを、プログラムの実行を要求したクライアント端末Ｐｃに送信する（手順データ作成用プログラムの実行環境の提供）。この場合、プログラム実行用データＤ１ａは、クライアント端末Ｐｃの表示部に「クライアント端末用操作画面」を表示させる画面データ、および、クライアント端末Ｐｃに対する操作によって指定された条件に基づいて検査手順データＤ２を生成するためのプログラムデータで構成されている。これにより、クライアント端末Ｐｃの表示部に、「クライアント端末用初期画面」に代わって「クライアント端末用操作画面」が表示される。
【００２６】
続いて、「クライアント端末用操作画面」を参照しつつ、クライアント端末Ｐｃの操作部を操作して検査ポイント（基板検査装置２による検査時に検査用プローブ１２をプロービングさせる位置）等を指定する。この場合、この基板検査システム１では、管理装置３のハードディスクドライブ２２に基板設計データＤ０が記憶されているため、オペレータは、必要に応じてこの基板設計データＤ０を管理装置３から読み出すことにより、読み出した基板設計データＤ０を参照しつつ、検査ポイントを指定することが可能となっている。次いで、すべての検査ポイントの指定が完了したときに、上記のクライアント端末用操作画面における「設定完了ボタン」を操作すると、上記の指定した検査ポイントに基づいて検査手順データＤ２が生成され、この検査手順データＤ２が通信ネットワークＮを介して管理装置３に送信される。この際に、管理装置３では、制御部２３が、クライアント端末Ｐｃから送信された検査手順データＤ２をハードディスクドライブ２２に記憶させる。これにより、各基板検査装置２による検査対象基板の検査の準備作業が完了する。
【００２７】
一方、基板検査装置２による検査対象基板の検査に際しては、基板検査装置２の図示しない操作部を操作して、その基板検査装置２を管理装置３に接続する。この際には、管理装置３の制御部２３が、図示しない「検査装置用初期画面」を表示させるためのデータを基板検査装置２に送信する。これにより、基板検査装置２の図示しない表示部に「検査装置用初期画面」が表示される。この「検査装置用初期画面」には、一例として、ハードディスクドライブ２２に検査手順データＤ２が記憶されている検査対象基板の型番等（検査手順データＤ２の作成作業が完了している検査対象基板の型番等）が一覧表示される。次いで、図示しない操作部を操作して、検査を実行しようとしている検査対象基板の型番を選択する。
【００２８】
この際に、管理装置３では、制御部２３が、基板検査装置２によって選択された型番に対応する検査手順データＤ２をハードディスクドライブ２２から読み出して、通信ネットワークＮを介して基板検査装置２に送信する。これに応じて、基板検査装置２では、制御部１５が、送信された検査手順データＤ２を記憶部１６に記憶させる。この後、操作部の検査開始スイッチが操作されたときに、制御部１５は、記憶部１６に記憶させた検査手順データＤ２に応じてＸ−Ｙ−Ｚ移動機構１１および検査部１３を制御して、検査対象基板を電気的に検査する。なお、検査対象基板の電気的検査については公知のため、その詳細な説明を省略する。また、制御部１５は、検査部１３による検査結果に応じて検査結果データＤ３を生成し、生成した検査結果データＤ３を、通信ネットワークＮを介して管理装置３に送信する。これに応じて、管理装置３では、制御部２３が、送信された検査結果データＤ３をハードディスクドライブ２２に記憶させる。これにより、検査対象基板の電気的検査が完了する。
【００２９】
この場合、この基板検査システム１では、上記の検査ポイントの指定の誤りに起因して、良品の検査対象基板が不良品であると誤って検査されたり、不良品の検査対象基板が良品であると誤って検査されたりするときに、検査結果を参照しつつ、検査手順データＤ２を修正することが可能となっている。この際には、まず、各クライアント端末Ｐｃのうちのいずれかを操作して管理装置３に接続することにより、上記の「クライアント端末用操作画面」を表示させる。次いで、上記の「手順データ作成用プログラムの実行」を選択すると共に、修正すべき検査手順データＤ２と、その基板検査装置２に基づいて検査された検査対象基板についての検査結果データＤ３とを管理装置３から読み出す。
【００３０】
続いて、読み出した検査結果データＤ３を参照しつつ、修正すべき事項を特定し、その検査結果データＤ３と共に管理装置３から読み出した検査手順データＤ２を適宜修正する。この後、「設定完了ボタン」を操作する。この際には、修正後の検査手順データＤ２が通信ネットワークＮを介して管理装置３に送信される。また、管理装置３では、制御部２３が、クライアント端末Ｐｃから送信された修正後の検査手順データＤ２をハードディスクドライブ２２に記憶させる。これにより、以後の検査処理において各基板検査装置２が修正後の検査手順データＤ２を管理装置３から読み出して一連の検査を実行することとなる。
【００３１】
また、この基板検査システム１では、基板検査装置２の仕様変更や、新たな機種の基板検査装置２の導入時などの検査環境の変化に応じて、新たな手順データ作成用プログラムを各クライアント端末Ｐｃに実行させることが可能となっている。具体的には、更新された新たな手順データ作成用プログラムＤ１をハードディスクドライブ２２に記憶させることにより、以後、クライアント端末Ｐｃから「手順データ作成用プログラムの実行」が要求されたときに、更新された新たな手順データ作成用プログラムＤ１に基づくプログラム実行用データＤ１ａがクライアント端末Ｐｃに送信されることとなる。
【００３２】
このように、この基板検査システム１によれば、通信ネットワークＮを介して接続されたクライアント端末Ｐｃによる手順データ作成用プログラムの実行環境を提供するアプリケーションサーバとして機能すると共に、手順データ作成用プログラムの実行によって作成された検査手順データＤ２を基板検査装置２およびクライアント端末Ｐｃによる読み出しが可能にハードディスクドライブ２２に記憶させて保持するファイルサーバとして機能するように構成された管理装置３と、通信ネットワークＮを介して管理装置３から読み出した検査手順データＤ２に従って検査対象基板を電気的に検査する基板検査装置２とを備えたことにより、各クライアント端末Ｐｃに手順データ作成用プログラムをインストールすることなく、通信ネットワークＮを介してアプリケーションサーバとしての管理装置３に接続することでクライアント端末Ｐｃにおいて手順データ作成用プログラムを実行することができるため、手順データ作成用プログラムのインストール作業や更新作業にかかる負担を十分に低減することができるだけでなく、手順データ作成用プログラムの実行によって生成された検査手順データＤ２が管理装置３のハードディスクドライブ２２に記憶されると共に、各基板検査装置２が管理装置３にアクセスしてこの検査手順データＤ２を読み出して電気的検査を実行するため、各基板検査装置２による検査前の準備作業や検査手順データＤ２の更新作業にかかる負担も十分に軽減することができる。
【００３３】
また、この基板検査システム１によれば、検査対象基板の検査結果を特定可能な検査結果データＤ３を生成すると共に、通信ネットワークＮを介して検査結果データＤ３を管理装置３に送信可能に基板検査装置２を構成すると共に、基板検査装置２から送信された検査結果データＤ３をクライアント端末Ｐｃによる読み出しが可能にハードディスクドライブ２２に記憶させて保持するように管理装置３を構成したことにより、手順データ作成用プログラムＤ１や検査手順データＤ２だけでなく、検査手順データＤ２に基づいて実行された検査に関する検査結果データＤ３についても管理装置３において一元管理することができると共に、各クライアント端末Ｐｃにおいて管理装置３から読み出した検査結果データＤ３を参照しつつ検査手順データＤ２を変更する作業を容易に実行することができる。
【００３４】
なお、基板検査システムの構成は、上記の構成に限定されない。例えば、「アプリケーションサーバとしての管理装置」と「ファイルサーバとしての管理装置」とを１つの管理装置３で構成した例について説明したが、両サーバを別個独立して構成する（複数のサーバによって管理装置を構成する）こともできる。このような構成を採用した場合においても、上記の基板検査システム１と同様の効果を奏することができる。
【符号の説明】
【００３５】
１  基板検査システム
２  基板検査装置
３  管理装置
１１  Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構
１２  検査用プローブ
１３  検査部
１４，２１  通信部
１５，２３  制御部
１６，２４  記憶部
２２  ハードディスクドライブ
Ｄ０  基板設計データ
Ｄ１  手順データ作成用プログラム
Ｄ１ａ  プログラム実行用データ
Ｄ２  検査手順データ
Ｄ３  検査結果データ
Ｎ  通信ネットワーク
Ｐｃ  クライアント端末
【図１】
0005456574.tif 000002
【図２】
0005456574.tif 000003