(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
通気性シートで粒状吸着剤を挟持した板状ろ材を通気性袋体に収容してなるケミカルフィルタにおいて、
前記通気性袋体は、表面に補強用不織布を有するＨＥＰＡフィルタ用ろ材またはＵＬＰＡフィルタ用ろ材であり、
両面接着テープの一面を前記通気性袋体の表面の少なくとも対向する２辺に貼り、該両面接着テープの一面を該通気性袋体に熱接着し、
両面接着テープの他面は、レチクルケース表面に接着され前記ケミカルフィルタを固定するために使用されることを特徴とするケミカルフィルタ。
【請求項２】
前記通気性袋体は区画壁で仕切られた複数の区画室を備えることを特徴とする請求項１記載のケミカルフィルタ。
【請求項３】
前記両面接着テープの構成材が、シリコーン系樹脂を含まないことを特徴とする請求項１または２記載のケミカルフィルタ。
【請求項４】
前記両面接着テープの熱接着は、通気性シートを熱接着させて前記通気性袋体を形成する際の加熱温度を利用して行われたものであることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のケミカルフィルタ。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れかに記載のケミカルフィルタを密封化シートで脱気密封化したことを特徴とするケミカルフィルタ梱包体。
【請求項６】
請求項１乃至４の何れかに記載のケミカルフィルタをレチクルケースの下方中央部に前記両面接着テープの他面で固定し、使用後の該ケミカルフィルタを取り外し可能としたことを特徴とするレチクルケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着固定方式のケミカルフィルタ及びその梱包体に関する。更には、前記ケミカルフィルタを用いて化学物質を除去する仕組みのレチクルケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
レチクル保管ボックスやレチクル搬送ボックスのようなレチクルケースなどは、化学物質を除去するケミカルフィルタの設置が容易ではない。特に、工程の不具合を防ぐためにケミカルフィルタの材質、形状、設置場所、設置方法が厳しく制約されている。
化学物質を除去する材料は一般に吸着剤等が用いられるが、該吸着剤は発塵の要因となる可能性があるため、HEPAフィルタやULPAフィルタろ材のような通気性シートを成形加工した通気性袋体に封入したケミカルフィルタが用いられている。
一方、レチクルケースに該ケミカルフィルタを設置するためには、枠等の治具を用いた専用の設置スペースを設けるか、或いは、接着等により固定することが必要となる。しかしながら、前者は既工程運用中のレチクルケースには適用することができず、また、後者はケミカルフィルタとの接着強度に難があり、使用後、剥がした際に接着成分がレチクルケース表面に残って汚染源となるといった不具合があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、面方向、幅方向ともに均一で薄手のケミカルフィルタを容易に貼り付けるための仕組みと前記ケミカルフィルタを貼り付け設置したレチクルケースを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明者等は、かかる要望に応えるべく鋭意検討の結果、通気性シートと粒状吸着剤からなるケミカルフィルタに両面接着テープを熱接着することにより両者が強固に固着することを見出し、本発明をなすに至った。
本発明のケミカルフィルタはかかる知見に基づきなされたもので、請求項１記載の通り、通気性シートで粒状吸着剤を挟持した板状ろ材を通気性袋体に収容してなるケミカルフィルタにおいて、前記通気性袋体は、表面に補強用不織布を有するＨＥＰＡフィルタ用ろ材またはＵＬＰＡフィルタ用ろ材であり、両面接着テープの一面を前記通気性袋体の表面の少なくとも対向する２辺に貼り、該両面接着テープの一面を該通気性袋体に熱接着し、両面接着テープの他面は、レチクルケース表面に接着され前記ケミカルフィルタを固定するために使用されることを特徴とする。
また、請求項２記載のケミカルフィルタは、請求項１記載のケミカルフィルタにおいて、前記通気性袋体は区画壁で仕切られた複数の区画室を備えることを特徴とする。
また、請求項３記載のケミカルフィルタは、請求項１または２記載のケミカルフィルタにおいて、前記両面接着テープの構成材が、シリコーン系樹脂を含まないことを特徴とする。
また、請求項４記載のケミカルフィルタは、請求項１乃至３の何れかに記載のケミカルフィルタにおいて、前記両面接着テープの熱接着は、通気性シートを熱接着させて前記通気性袋体を形成する際の加熱温度を利用して行われたものであることを特徴とする。
また、本発明のケミカルフィルタ梱包体は、請求項５に記載の通り、請求項１乃至４の何れかに記載のケミカルフィルタを密封化シートで脱気密封化したことを特徴とする。
また、本発明のレチクルケースは、請求項６に記載の通り、請求項１乃至４の何れかに記載のケミカルフィルタをレチクルケースの下方中央部に前記両面接着テープの他面で固定し、使用後の該ケミカルフィルタを取り外し可能としたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００５】
本発明によれば、ケミカルフィルタに両面接着テープを貼って備え付けたため、レチクルケースに格別の工夫をすることなく貼り付け設置することができる。
また、該ケミカルフィルタと該両面接着テープとを熱接着したため、両者間の接着強度が向上し、使用後、レチクルケースから剥がす際に、接着剤等の剥がし残りがなく除去できる。
また、前記ケミカルフィルタの化学物質除去性能が90%以上であるようにした場合、レチクルケースから発生する化学物質によるレチクルの汚染を防止することができる。
また、特に構成材である剥離ライナーは、通常、ポリエステル樹脂フィルムや紙などの表面にシリコーン系樹脂を塗布して剥離性を高めており、これが接着成分に移行することによって汚染源となるので、例えばオレフィン樹脂等の製膜により、両面接着テープの構成材が有害な汚染要因であるシリコーン系樹脂を含まないようにした場合、剥離性と低アウトガス性の両方を満足させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明ケミカルフィルタをレチクルケースに接着固定した状態を示す平面図
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明の接着式ケミカルフィルタを実施するための最良の形態について説明する。
吸着材を構成する通気性シートとしては、熱可塑性樹脂等の合成繊維からなる不織布が好ましく、例えば、乾式法、湿式法、スパンレース法、スパンボンド法、メルトブロー法等の方法により製造されるもの等が挙げられ、前記通気性シートは起毛を施されたものが特に好ましい。尚、通気性シートを構成する不織布に起毛が施されていると、起毛によって粒状吸着剤の散布時の分散性が向上し、また、粒状吸着剤と不織布の固着強度が増し、粒状吸着剤が空間的に接着され、除去対象となるガスとの接触がよくなるため、粒状吸着剤の除去効率が向上する。尚、前記不織布への粒状吸着剤の固定は粉末状ホットメルト樹脂による固定が好ましいが、不織布を熱融着繊維で構成したり、熱融着繊維を含ませて、この熱融着繊維で固定する等、固定手段は特に限定されるものではない。
【０００８】
これら通気性シートで粒状吸着剤を挟持した吸着材を構成するには、有機ガス除去用粒状活性炭、酸性ガス除去用イオン交換体、アルカリガス除去用イオン交換体等を、前記通気性シートで挟持し、前記球状吸着剤の固定に使用した、粉末状ホットメルト樹脂や熱融着繊維等によって、前記シートを固定して、発生するガス量、ガス種等合わせて適切な大きさに裁断形成すればよい。尚、吸着材の大きさは、例えば、縦110mm×横15mm、厚み1.2mm等任意の大きさに形成することができる。
【０００９】
前記吸着材としては、有機ガス用、酸性ガス用、アルカリ性ガス用のものを用いるのが好ましく、有機ガス用としては、粒状活性炭が挙げられ、特に、形状に制限はないが、水分率5％以下のものが好ましい。酸性ガス用としては、アニオン交換樹脂及びカチオン交換樹脂の併用使用とし、アニオン交換樹脂に対して、カチオン交換樹脂を20〜500質量％としたものが好ましい。アルカリ性ガス用としては、カチオン交換樹脂を用いることが好ましい。ここで、アニオン交換樹脂は粒径300〜1300μｍの重炭酸型陰イオン交換樹脂を、カチオン交換樹脂は粒径300〜1300μｍのＨ型陽イオン交換樹脂が用いられるが、特にこれに限定されるものではない。
【００１０】
前記通気性シートで粒状吸着剤を挟持した吸着材を収容するための通気性袋体を構成するシートとしては、圧損が低く、捕集効率も高く、ボロン、リン等を発生せず、弗酸等の酸性ガスに対する耐性を持ち、しかも長寿命のエアフィルタ用濾材等が挙げられ、ポリテトラフルオロエチレン多孔膜の少なくとも一方の面に補強用支持体層を積層して複合膜としたエアフィルタ用濾材等のHEPA用ろ材、ULPA用ろ材等の多孔膜の使用が好ましい。この場合、多孔膜の密面を外側に、粗面を内側に向けて重ねるようにするのが好ましい。
【００１１】
前記通気性シートを袋体にする方法は特に制限はなく、２枚のシートを重ね合わせ、周囲をヒートシールなどによりシールしてもよく、或いは、１枚のシートを折り返して重ね合わせたものの周囲をヒートシールなどによりシールするようにしてもよい。
前記通気性袋体は、例えば、ヒートシールによって、区画壁で仕切られた複数の区画室を備えるようにしてもよい。
【００１２】
HEPA・ULPA用ろ材の補強用不織布は表面の粗さにより、両面接着テープなどの接着剤との相性がよくないため接着強度が弱くて、そのままレチクルケースの表面などに貼ると、剥すときに接着剤がレチクルケース側に残ってしまう。これを防ぐために、本発明では、両面テープをHEPA・ULPA用ろ材の不織布の表面に貼り、熱接着することにより接着強度を強くした。
【００１３】
両面接着テープは、接着成分としてアクリル樹脂系やゴム系の材料を用い、必要に応じて芯材として不織布やポリエステルフィルムなどを用いて補強し、表裏両面の接着性を達成する。特に、発塵防止を考慮する場合には、繊維素材により発塵汚染源となる不織布を用いず、ポリエステルフィルムを用いるとよい。さらに、接着剤の両面に剥離性の良い剥離ライナーを設けることにより、使用時まで接着性を保護する。この剥離ライナーは、ポリエステルフィルムや不織布などの表面に、剥離性を向上する目的でシリコーン系樹脂膜やオレフィン膜などを設けたものを用いることができる。特に、低アウトガス性を考慮する場合には、接着剤に移行することにより汚染源となるシリコーン系樹脂を用いず、オレフィン系の製膜を施したものを用いるとよい。
【００１４】
両面接着テープの貼る位置と形状は特に限定はないが、接着剤からの発ガスなどを考慮してなるべく使用量は少ないのが好ましい。また、レチクルのロード作業に不具合を起こさない形状が好ましい。従って、例えば、図１に示すように、レチクルケース２０のドア側フロント方向にＨ字型に10mm巾の両面接着テープ１０を貼る態様等が挙げられる。尚、図１中、１はケミカルフィルタを示し、板状ろ材２を収容した通気性袋体３が４つの区画室３ａ，３ａ，３ａ，３ａに区画形成され、各区画室３ａのそれぞれに板状ろ材２が収容されている。図１に示すものは、通気性袋体を形成する際のヒートシールに際しての加熱温度を利用して、前記両面接着テープ１０と前記通気性袋体３を熱接着するようにしたものである。
【実施例】
【００１５】
以下、本発明の具体的な実施例を説明する。本実施例は、本発明のケミカルフィルタをレチクルケースに設置した例を示すものである。
まず、粒状吸着材を有機繊維製不織布からなる通気性シートで挟持して、粉末状ホット
メルト樹脂で通気性シートと有機ガス用粒状吸着剤（粒状活性炭、目付500g/m2）を固定した吸着シートを得て、これを裁断し、縦110mm×横15mm×厚み1.2mmの吸着材を得た。
上記吸着材を、ULPA用ろ材（PET製不織布とPTFE膜を交互積層したもの）からなる袋体に収容した。尚、この袋体は、粗面を内側にして２枚のULPA用ろ材（1枚に難燃剤や可塑剤などアウトガスとなるものを少なくした芯材のないタイプの０．１５ｍｍアクリル接着剤層の両面に０．０７５ｍｍの剥離ライナーを有する０．３０ｍｍの両面接着テープをＨ字型に貼った状態）を重ね合わせ、周囲を加熱温度１８０℃で熱接着するとともに３本の区画壁を設け、４個の区画室を設け、各区画室に前記吸着材を、それぞれ１つ宛収容させてケミカルフィルタを作成した。
本実施例では、前記２枚のULPA用ろ材を袋体にする際の熱接着時に、その加熱温度を利用して前記両面接着テープを前記ULPA用ろ材に熱接着するようにした。
【００１６】
（実施例１）
両面接着テープの通気性袋体への接着は、熱接着で両面接着テープを固定した。このとき、両面接着テープの剥離ライナーは、ポリエステル樹脂フィルムにオレフィン製膜を施した、シリコーン系樹脂を用いないものとした。
【００１７】
（実施例２）
両面接着テープの通気性袋体への接着は、熱接着で両面接着テープを固定した。このとき、両面接着テープの剥離ライナーは、ポリエステル樹脂フィルムにシリコーン系樹脂製膜を施したものとした。
【００１８】
（比較例１）
両面接着テープの通気性袋体への接着は、熱接着せずに両面接着テープを貼り付けた。
【００１９】
（比較例２）
ケミカルフィルタを使用しなかった。
【００２０】
【表１】
0005529455.tif 000002
【００２１】
接着性は、レチクルケースにケミカルフィルタを貼り付けたときの不具合（剥れや浮き）について目視にて確認した。
【００２２】
剥離性は、レチクルケースからケミカルフィルタを剥がしたときに接着剤が該レチクルケースに残るか否かを目視にて確認し、残分がない場合を○とした。
【００２３】
ＴＯＣ除去率は、レチクルケース(内寸：207×196×50mm、容積：２リットル)のドア側にケミカルフィルタを接着設置し本発明の効果を確認した。即ち、ケミカルフィルタの設置前後の有機ガスをテナックス系の捕集剤に吸着凝集し、ガスクロマトグラフ質量分析法を用いて分析した。
具体的には、P&T(日本分析工業製JHS-100A)付のGC-MS(日立製M-9000)を用い、下記の条件で発ガス分析を行った。
＜ガスクロマトグラフ分析条件＞
カラム：J&WキャピラリカラムDB-5MS(長さ30m、内径0.25mm)
カラム温度：40℃、3分ホールド
40〜220℃、20分(昇温速度： 9℃/分)
220〜300℃、8分(昇温速度：10℃/分)
300℃、3分ホールド
注入口温度：250℃
キャリアガス：He  1.5ml/min
スプリット比：1：10
＜質量分析計条件＞
イオン化法：EI(エレクトロンイオン化法)
検出器（3DQ）温度：250℃
フォトマルチプライア：350V
＜P&T条件＞
吸着管パージ温度：230℃
コールドトラップ温度：−60℃
パージガス流量：He  50ml/min
吸着管パージ時間：15分
【００２４】
表から明らかなとおり、本発明品によりレチクルケースから発生したＴＯＣを９０％以上除去できることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
本発明によれば、面方向、幅方向ともに均一で、薄手のシート状に形状付与が容易で、しかも吸着容量の大きなケミカルフィルタ及びその梱包体並びに前記ケミカルフィルタを設置したレチクルケースが得られ、また前記ケミカルフィルタをウェーハを保管するＦＯＵＰ、ＦＯＳＢなどの半導体用密閉容器にも適用でき、産業上の利用可能性がある。
【符号の説明】
【００２６】
１  ケミカルフィルタ
２  板状ろ材
３  通気性袋体
３ａ  区画室
１０  両面接着テープ
２０  レチクルケース
【図１】
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