(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多孔質材と塗布対象物とが当接して前記塗布対象物に塗布液を塗布する装置であって、
一端から塗布液が供給され、他端から前記塗布液を塗布対象物に塗布する多孔質材と、
前記塗布対象物と前記多孔質材とを相対的に移動させる搬送機と、
前記多孔質材の一端に前記塗布液を供給する液供給ノズルと
を有し、他端側領域の前記多孔質材の気泡径は一端領域の前記多孔質材の気泡径より大きいことを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記液供給ノズルは、前記塗布対象物の塗布面の幅と平行な方向に配列される複数の孔から前記塗布液を供給することを特徴とする請求項１記載の塗布装置。
【請求項３】
前記液供給ノズルは、前記塗布対象物の塗布面の幅と平行な方向に繋がるスリットから前記塗布液を供給することを特徴とする請求項１記載の塗布装置。
【請求項４】
前記多孔質材が前記液供給ノズルと面する第１の多孔質材と、前記塗布対象物に当接し、前記第１の多孔質材と異なる材質の第２の多孔質材からなることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の塗布装置。
【請求項５】
前記多孔質材を挟み込む一対の金属プレートをさらに備え、
前記多孔質材のうち前記一端側領域は前記金属プレートにより圧縮されることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の塗布装置。
【請求項６】
前記多孔質材の前記塗布対象物に当接する部分の先端形状が、先細り形状であることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載の塗布装置。
【請求項７】
塗布液が供給される領域の気泡径より、塗布対象に当接する領域の気泡径の方が大きい多孔質材を用いて前記塗布対象に前記塗布液を塗布する塗布方法であって、
前記多孔質材を前記塗布対象に当接する際に、前記塗布対象の塗布面に対して前記多孔質材を所定の角度傾けることを特徴とする塗布方法。
【請求項８】
塗布液が供給される領域の気泡径より、塗布対象に当接する領域の気泡径の方が大きい多孔質材を用いて前記塗布対象に前記塗布液を塗布する塗布方法であって、
前記多孔質材を前記塗布対象に当接する際に、前記塗布対象と前記多孔質材とを相対的に移動させながら前記多孔質材を前記塗布対象に当接させて塗布することを特徴とする塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池用ガラス基板などの基材へ、反射防止膜などの材料を塗布する塗布装置および塗布方法に関する内容である。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池やディスプレイパネル、照明などを対象に、反射防止膜や特定の波長光を遮る波長調整膜など機能性膜を大面積に塗布する塗布技術が開発されている。
例えば、基板に塗布薄膜を形成する方法として先行文献１に開示されるようなダイコート法がある。図１３は従来のダイコート法について説明する概略図である。幅方向に一定以上の大きさのある基板１１３に機能性膜を塗布する際には、塗布幅方向に長い金型であるダイ１１１から、ダイ１１１の長手方向に形成されたスリットを介して機能性膜材料である塗布液１１２を基板１１３上に塗布していた。さらに詳しくは、ダイ１１１と基板１１３間のギャップ１１４を維持しながら、ダイ１１１と基板１１３と相対的に移動させることで塗布していた。
【０００３】
また、溶液を染み込ませた多孔質材を介して基板に塗布する場合もある。例えば、特許文献２，特許文献３に多孔質材を用いる塗布装置あるいはプリンターの印字方法が例示されている。
【０００４】
図１４は従来の多孔質部材を用いた塗布装置の構造を示す概略図であり、特許文献２に開示された塗布装置の構造を示す図である。この塗布装置は、ディスペンサから供給される塗布液１１５を多孔質材１１６に浸透させ、その多孔質材をチップ１１７に押し付けることにより多孔質材がつぶされ、多孔質材に浸透していた塗布液を押し出すことによりチップ１１７上に塗布液１１５を塗布するものである。
【０００５】
図１５は従来の２層構造多孔質部材を用いた塗布方法を示す概略図であり、特許文献３に開示されたプリンターの印字方法を説明する図である。この塗布装置は、多孔質材が上層多孔質材１１８と下層多孔質材１１９の２層構造になっており、上層多孔質材１１８の気泡径は下層多孔質材１１９の気泡径より大きい構造をしている。そして上層多孔質１１８に予め塗布液を含侵させておき、上層多孔質１１８から下層多孔質１１９へ液が伝わる構造である。そして下層多孔質１１９を基材１１３に押し付けることで塗布液１１２を印字するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−２６０３９８号公報
【特許文献２】特開昭６３−２２９１６６号公報
【特許文献３】特開昭６３−３９３５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来のダイコート法では、均一に塗布を行うために、一般的にダイ先端と基板とのクリアランスである塗布ＧＡＰ距離を数十μｍから３００μｍ程度に維持する必要がある。しかしながら、太陽電池に使用するカバーガラス基板は、表裏の形状が非対称であり、さらに表面の急冷による強化処理が施されている場合もあり、基板の反りやうねりが０．１ｍｍ〜数ｍｍと非常に大きい。そのため、上記塗布Ｇａｐ距離を維持することが実質不可能であるという課題があった。
【０００８】
しかしながら、従来の液を染み込ませた多孔質材を介して基板に塗布する方法では、広い幅方向にわたって高精度に均一な塗布液の塗布が困難なため、大面積の連続塗布に適応しないという課題があった。
【０００９】
例えば、先行文献２に記載の方法を用いて大面積の基板を連続塗布するには、多孔質材１１６の塗布幅を広くし、連続的に塗布液１１５を安定して押し出す必要がある。しかし、従来の塗布装置では幅方向に均一して塗布液１１５を連続的に供給することは困難であるため、高精度に均一な塗布液の塗布が困難である。また、塗布液が数ｍＰａ・ｓなどの低粘度溶液の場合、多孔質材に吸収された液が重力で垂れて塗布の均一性を損なうという課題がある。
【００１０】
また、先行文献３に記載の方法を大面積塗布に適応させるには、上層多孔質層１１８に塗布液１１２を連続して供給しても、幅方向に均一に広がらず、上層多孔質層１１８を通過して下層多孔質層１１９へ浸透し、さらに下層多孔質層１１９の一部に塗布液が溜まり、幅広く均一に塗布することができない、もしくは、塗布液が溜まった部分から重力により塗布液が落下してしまう課題が発生する。
【００１１】
そこで本発明は、反りやうねりがある基板にも容易に均一に膜を塗布することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明の塗布装置は、多孔質材と塗布対象物とが当接して前記塗布対象物に塗布液を塗布する装置であって、一端から塗布液が供給され、他端から前記塗布液を塗布対象物に塗布する多孔質材と、前記塗布対象物と前記多孔質材とを相対的に移動させる搬送機と、前記多孔質材の一端に前記塗布液を供給する液供給ノズルとを有し、他端側領域の前記多孔質材の気泡径は一端領域の前記多孔質材の気泡径より大きいことを特徴とする。
【００１３】
また、前記液供給ノズルは、前記塗布対象物の塗布面の幅と平行な方向に配列される複数の孔から前記塗布液を供給しても良い。
また、前記液供給ノズルは、前記塗布対象物の塗布面の幅と平行な方向に繋がるスリットから前記塗布液を供給しても良い。
【００１４】
また、前記多孔質材が前記液供給ノズルと面する第１の多孔質材と、前記塗布対象物に当接し、前記第１の多孔質材と異なる材質の第２の多孔質材からなっても良い。
また、前記多孔質材を挟み込む一対の金属プレートをさらに備え、前記多孔質材のうち前記一端側領域は前記金属プレートにより圧縮されても良い。
【００１５】
また、前記多孔質材の前記塗布対象物に当接する部分の先端形状が、先細り形状であることが好ましい。
さらに、本発明の塗布方法は、塗布液が供給される領域の気泡径より、塗布対象に当接する領域の気泡径の方が大きい多孔質材を用いて前記塗布対象に前記塗布液を塗布する塗布方法であって、前記多孔質材を前記塗布対象に当接する際に、前記塗布対象の塗布面に対して前記多孔質材を所定の角度傾けることを特徴とする。
【００１６】
また、塗布液が供給される領域の気泡径より、塗布対象に当接する領域の気泡径の方が大きい多孔質材を用いて前記塗布対象に前記塗布液を塗布する塗布方法であって、前記多孔質材を前記塗布対象に当接する際に、前記塗布対象と前記多孔質材とを相対的に移動させながら前記多孔質材を前記塗布対象に当接させて塗布することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように、多孔質材の塗布液が供給される領域の気泡径を、基板と当接する領域の気泡径よりも小さくすると共に、多孔質材の幅方向にわたり均一に塗布液を供給することにより、反りやうねりが存在する基板であっても、容易にかつ均一に膜を塗布することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の塗布装置の基本構成を示す概略図
【図２】実施例１における塗布液の浸透状態を示す図
【図３】実施例２における多孔質材の形状を例示する図
【図４】実施例２における金属プレートの形状を例示する図
【図５】多孔質材の先端を基板に当接させた時の不具合について説明する図
【図６】実施例３における多孔質材先端を対象物に当接させる方法を例示する図
【図７】実施例３における多孔質材先端を対象物に当接させる方法を例示する図
【図８】実施例３における多孔質材先端を対象物に当接させる方法を例示する図
【図９】実施例４におけるヘッド部の固定機構の構造を示す図
【図１０】実施例４における多孔質材先端の乾燥防止カバーの構造を示す図
【図１１】実施例５におけるヘッド部および液供給ノズルの構造を例示する図
【図１２】実施例５における液供給ノズルの構造を例示する図
【図１３】従来のダイコート法について説明する概略図
【図１４】従来の多孔質部材を用いた塗布装置の構造を示す概略図
【図１５】従来の２層構造多孔質部材を用いた塗布方法を示す概略図
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の塗布装置の構成について、図１を用いて説明する。
図１は本発明の塗布装置の基本構成を示す概略図であり、透視的に断面を可視化させた斜視図である。その基本構成に必要な要素は、塗布液を精度よく定量に送る液供給機構と、塗布液を多孔質へ供給する液吐出機構、その液供給機構付近に位置する多孔質材料である。
【００２０】
以下に、詳細に説明する。本発明の塗布装置は、まず塗布幅以上の幅を有する２枚のＳＵＳやＡｌ等の金属プレート１の間に少なくとも塗布幅に相当する幅を有する多孔質材２が挟まれ、多孔質材２の下に多孔質材３が設けられる。また、ポンプ４により所定の速度で塗布液６を液供給ノズル５へ供給し、液供給ノズル５を介して塗布液６が前記２枚の金属プレート１間の前記多孔質材２上面に供給される機構を有している。また、多孔質材２に供給された塗布液６は、多孔質材２の基板７側に設けられる多孔質材３まで浸透し、基板７等の塗布対象物に多孔質材３が接することにより、基板７上に塗布膜８を形成する。また、ここで多孔質材は多孔質材２，３の２層構造であり、液供給ノズル５側を多孔質材２、基板７に接触する側を多孔質材３とする。特許文献３に記載の多孔質材では、上層多孔質材で塗布液を保持し、基板と接する下層多孔質材に塗布液を供給する構造であるため、気泡径は下層多孔質材より上層多孔質材の方が大きく形成されているが、本発明では逆に、多孔質材２の気泡径は、多孔質材３の気泡径より小さいことを特徴とする。多孔質材２の気泡径を多孔質材３の気泡径より小さくすることにより、幅方向への毛細管力を促進させ、幅方向に均一に塗布液６を供給でき、大面積の基板に対しても塗布を行うことができる。この多孔質材２、多孔質材３の気泡径を変化させる手段は特に限られたものではないが、例えば、同材質で発泡程度が異なる多孔質材を用いてもよいし、異なる材質で発泡程度が異なる多孔質を用いてもよい。この場合には金属プレート１は特に必要なく、任意の手段で多孔質材を保持していれば良い。また、多孔質材２、３は同材質・同発泡程度の同一材質を用い、金属プレート１に挟み込む圧縮度合い（つぶし量）を変化させることで気泡径を変化させることも可能である。ただしここで用いる多孔質材２，３は、連続的に気泡を有する材質であり、かつ使用する塗布液に対して耐性を有する材質を選定することが必要である。また、基板７に接する多孔質材３は、耐摩耗性に優れた材質が望ましい。また、液供給ノズル５は、多孔質材２の塗布幅方向に均一に塗布液を供給できる構成であることが好ましい。例えば、複数個の液吐出口が塗布幅方向に分かれて配置されて多孔質材２に塗布液を供給することが望ましく、さらにその液供給ノズルが塗布幅方向に揺動する機構を追加することも有効である。また、液吐出口が塗布幅方向に長いスリット状であってもかまわない。
【００２１】
このように、気泡が内在される多孔質材３を塗布面に当接させて塗布する構成とすることにより、当接の際に気泡や多孔質材自体がつぶれて基板７のうねり等を吸収でき、ＧＡＰ距離を一定に保つことができる。それと共に、多孔質材２の気泡径を多孔質材３の気泡径より小さくすることにより、多孔質材２に供給された塗布液６が多孔質材３に広がる前に多孔質材２全体に広がるため、多孔質材の幅方向に均一に塗布液６が供給され、容易に均一に塗布することができ、特にサブミクロンオーダーの薄膜を容易かつ均一に塗布することができる。また、先端部分となる多孔質材３の気泡径が大きいため、塗布液６を保持することができ、塗布液のたれを抑制することもできる。
【００２２】
次に、基板７へ薄膜を塗布する工程順について、図１を用いて説明する。
まず、基板７へ塗布する前の準備内容について述べる。例えば、チューブポンプやＣＴポンプのような一定量を安定して吐出できるポンプ４を用いて塗布液６を液供給ノズル５へ液送し、液供給ノズル５から２枚の金属プレート１間に存在する多孔質材２の上面へ連続もしくは断続的に塗布液６を供給する。そして、供給された塗布液６は多孔質材２に浸透し下方方向（図１内では多孔質材３の方向）に浸透しつつ塗布幅方向に広がる。ここで、多孔質材２と多孔質材３の気泡径が異なることが、幅方向への広がり易さに重要な影響があり、詳細については後述する。
【００２３】
次に、多孔質材２内の幅方向に広がった塗布液６は徐々に多孔質材３へ浸透し、多孔質材３全体に液が浸透する。ここで、多孔質材３材で保持できる許容液量を超えると液だれが発生するため、その直前で液供給ノズル５からの塗布液６の供給を停止する。
【００２４】
次に、基板７に塗布液６を塗布する方法を説明する。基板７を多孔質材３先端近傍に搬送させ、基板７もしくはヘッド部（ここでヘッド部とは、多孔質材２、３および多孔質材２、３を保持する金属プレート１を含めたユニット全体を示す。）を相対的に近づける方向に移動させることで、多孔質材３の先端部を基板７に当接させる。そして、当接させたまま、基板７もしくはヘッド部を相対的に横方向に移動させることで多孔質材３に浸透した塗布液６を基板７上に塗布していく。
【００２５】
ここで多孔質材３の先端がつぶれることにより、基板７に反りやうねりが存在しても、多孔質材３先端のつぶれ量が基板７の反りやうねり量以上ならば、基本的に基板７全体に塗布することが可能となる。しかし、実際には塗布膜厚分布を均一にする観点から、多孔質材３先端のつぶれ量は、基板７の反りやうねり量の２倍以上が望ましい。
【００２６】
さらに具体的な説明を、実施例として、図面を用いて説明する。
（実施例１）
例えば、本発明の塗布装置として、多孔質材２、３として発泡樹脂（メラミンフォームやウレタンフォームなど）を使用し、多孔質材３の気泡径が約５０〜２００μｍ、多孔質材２の気泡径が約１〜５０μｍとし、塗布液としてＩＰＡやエタノールなどを主成分とした数〜数十ｍＰａ・ｓの塗布液を使用することができる。
【００２７】
まず、本発明の塗布装置を用いて塗布を行った場合の塗布液の状態について図２を用いて説明する。図２は実施例１における塗布液の浸透状態を示す図である。
本実施例の塗布装置においては、図２（ａ）のように、多孔質材２および多孔質材３にはそれぞれ気泡径が異なる気泡９が存在する。塗布に際しては、まず、図２（ｂ）のように、塗布液６を多孔質材２の上面に供給することにより、多孔質材２の気泡９内に塗布液６が浸透していき、気泡９に塗布液が満たされて液だまり１１になる。さらに塗布液６を供給すると、多孔質材２の気泡径が多孔質材３の気泡径より小さく、毛細管力で気泡径が小さい方向へ液体が広がり易い現象（毛細管現象）を利用することで、多孔質材３へ塗布液６が浸透する前に多孔質材２の塗布幅方向に塗布液６を広げることが可能になる。そのため、多孔質材３の幅方向に均一に塗布液６を供給することができる。
【００２８】
さらに塗布液６を供給すると、図２（ｃ）のように多孔質材２の気泡９が保持できる液量限界を超えると多孔質材３へ塗布液６が浸透していき、次第に多孔質材３全体に塗布液６が浸透する。そのため、多孔質材３の幅方向に均一に塗布液６を供給でき、基板の幅方向において、均一に塗布液６を塗布することができる。
【００２９】
次に、多孔質材３の先端を基板７に当接させることで、図２（ｄ）のように、多孔質材３の先端が若干つぶれ、多孔質材３の先端に保持された塗布液６が染み出し、多孔質材３の先端と基板７との間の接触部において塗布幅方向に塗布液６が広がる。そして塗布幅方向の線状に塗布液６が満たされた状態である安定ビード状態になる。次に、図２（ｅ）のように、上記安定ビード状態を維持しながら基板７もしくは多孔質材３が相対的に横方向に移動することで、基板７上に塗布膜８を形成することができる。この時、多孔質材３の幅方向に均一に安定して塗布液６が供給されているため、基板７の幅方向において、均一に塗布液６を塗布することができる。また、ここで塗布する距離が長いとしても、徐々に多孔質材２および多孔質材３に浸透していた塗布液６が多孔質材３の先端へ浸透していくことにより、安定ビード状態を維持させることができる。ここで、基板７上に塗布膜８として残る液量と多孔質材２から多孔質材３の先端へ浸透する液量のバランス管理が重要であり、多孔質材２，３から多孔質材３の先端へ浸透する液量が少なくならないように、塗布中、連続もしくは断続的に塗布液６を多孔質材２の上面から供給することが必要である。塗布液６の供給が少なければ塗布かすれや塗布膜厚が薄くなるという問題が生じる。逆に塗布液６の供給量を増やすと塗布膜厚が厚くなる傾向がある。これに対応して、基板７上に形成された塗布膜８が部分的に薄いもしくはかすれた場合に、ポンプより供給される塗布液６の量を増加させることで、膜厚均一性を向上させることができる。そのために、塗布中に塗布液６の量を調整できるように、ポンプに、ポンプの吐出量を塗布中に可変できる調整機能を設けることが望ましい。また、この塗布液６の供給量と塗布速度（基板移動速度）で塗布膜厚を制御することが可能である。ここで、塗布液６の供給量が同じ条件で、基板７の相対的移動速度を早くすると塗布膜８の厚みは薄く調整できるが、かすれや気泡が混入する問題が発生する。逆に基板７の相対的移動速度を遅くすると、塗布膜８の厚みは厚くすることができるが、塗布タクトが長くなる問題が発生する。そのため、塗布膜８の厚みおよび品質、タクトなどベストな条件を設定するために、塗布液６の供給量、つまりポンプの吐出速度および基板７の相対移動速度を個別に調整できる機能があると望ましい。また最終的には、塗布液の溶媒と固形成分（膜形成成分）の比率、塗布液の粘度を変更することでも塗布膜厚は変化するため、固形成分の比率、粘度の微調整も必要である。例えば、塗布液の溶媒の粘度を低くすれば、基板７と塗布液６との馴染みが良くなり、上述したカスレや気泡の混入を低減することができる。また、溶媒と固形成分の比率を増減させることで、塗布膜８の厚みは同じでも、乾燥・焼成後にでき上る機能性膜の膜厚を増減させることができる。そのため、上述した塗布液６の量、基板７の相対移動速度、溶媒粘度の調整で塗布膜８の品質・タクトを満足する条件を設定した後、乾燥・焼成後にでき上る機能性膜の膜厚を調整するのに、溶媒と固形成分の比率を微調整する方法も可能である（図２（ｆ））。
【００３０】
さらにここで、多孔質材３の先端の形状を、先端に行く程断面積が小さくなるクサビ形状にすることにより、多孔質材２から多孔質材３に浸透した塗布液が徐々に多孔質材３の先端つまりクサビ形状の先端部に集まりながら浸透するため、上記安定ビード状態を維持する効果がある。同時に、多孔質材３の先端がつぶれ易くなり、ＧＡＰ距離を一定の間隔に維持して、基板のうねりの影響を克服して、均一な塗布を実現することができる。
（実施例２）
次に、多孔質材の構成について説明する。多孔質材は、実施例１に示すように、気泡径の小さな多孔質材２の下に、異なる材質で、気泡径の大きな多孔質材３を接続する構成としても良いが、１つの材質の多孔質材において、上部と下部とで気泡径を異ならせる構成としても良い。実施例１における多孔質材２および多孔質材３として同一材質の多孔質材１２を用い、多孔質材１２の上部と先端部を含む下部との気泡径を変化させる一例について図３を用いて説明する。図３は実施例２における多孔質材の形状を例示する図であり、図１における金属プレート１で挟む多孔質材の断面形状例を示す図である。
【００３１】
図３（ａ），図３（ｂ），図３（ｃ）に示すように、多孔質材１２の断面形状において、下端の厚みより上端の厚みを厚くした形状、例えば断面形状が三角形（図３（ａ））や台形等の多孔質材１２を、多孔質材１２の下端部分を露出するように金属プレート１で挟み（図の状態）、その後、金属プレート１間隔を狭める方向に金属プレート１を移動させて多孔質材１２に圧力を加えるにより、上端の圧縮量と下端の圧縮量を異ならせることができ、多孔質材１２の上端と下端で気泡径を異ならせることが可能になる。本実施例では、多孔質材１２の上端のみを加圧しているので、多孔質材１２の上部は気泡径が小さくなり、多孔質材１２の先端を含む下部の気泡径が大きくなる。
【００３２】
また、図４は実施例２における金属プレートの形状を例示する図であり、多孔質材を挟む金属プレートの形状例についての一例である。図４（ａ），図４（ｂ）に示すように、所定の形状の多孔質材１２に対して２枚の金属プレート１を固定する角度を変えながら圧縮することにより（図の状態）、上記圧縮量を変化させる効果が発揮できる。また、図４（ｃ）に示すように、金属プレート１３の一部に突起１４を形成し、その突起物で多孔質材１２を圧縮することにより、上記圧縮量を変化させて（図の状態）、多孔質材１２における気泡径を変化させることが可能である。具体的に説明すると、多孔質材１２は所定の気泡径を内部に有した構造をしており、圧縮をかけることにより、より強く圧縮した部分の気泡が押しつぶされ気泡径が小さな構造になる。そのため、圧縮量を調整することにより、気泡径の微調整をすることができ、結果実施例１で述べた毛細管現象による塗布液の幅方向への広がり方を調整することが可能になる。
【００３３】
また、図４（ａ）に示すように、塗布液が供給される領域から先端に近づくほど、金属プレート１３間の距離を近づけることにより、塗布液が供給される領域の方が気泡が大きくなり、多孔質材１２の上部で塗布液を保持することができる。逆に、図４（ｂ）に示すように、塗布液が供給される領域から先端に近づくほど、金属プレート１３間の距離を広げることにより、供給した塗布液を効率的に幅方向に行き渡らせることができる。さらに、図４（ｃ）に示すように、金属プレート１３に突起１４を設けることにより、より容易に多孔質材１２を選択的に圧縮することができる。
（実施例３）
次に多孔質材３の先端を基板７に当接させる際の詳細動作について図５〜図８を用いて説明する。図５は多孔質材の先端を基板に当接させた時の不具合について説明する図である。特に多孔質材３の先端がクサビ形状である場合、基板７に対して垂直に当接させると、図５（ａ）に示すように基板７の進行方向（図の矢印の方向）に多孔質材３の先端がつぶれる場合と、図５（ｂ）に示すように基板７の進行方向とは逆方向に多孔質材３の先端がつぶれる場合があり、塗布幅方向で図５（ａ），図５（ｂ）の状態が局所的に混在する。このような状態で、多孔質材３を基板に当接させながら基板７を搬送するため、図５（ｂ）の状態から図５（ａ）の状態に多孔質材３の先端つぶれ方向が変化することがある。その場合、塗布膜にスジムラが発生したり、部分的に膜厚が厚くなるなど塗布ムラが発生する不具合が生じる。
【００３４】
そこで、このような問題を解決する方法について図６〜図８を用いて説明する。図６は実施例３における多孔質材先端を対象物に当接させる方法を例示する図である。図６（ａ）に示すように、多孔質材３の先端を基板の進行方向と逆向きに約１０〜４５°傾かせた状態で塗布装置に固定し（固定機構は図示せず）、その角度を維持した状態で基板７に多孔質材３を当接させることにより、図６（ｂ）に示すように多孔質材３の先端のつぶれる方向が一定となり、上記問題を解決できる。その後、基板７を移動させる。
【００３５】
また、図７は実施例３における多孔質材先端を対象物に当接させる方法を例示する図である。図７（ａ）に示すように、多孔質材３を基板の進行方向と逆向きに約１０〜４５°傾かせた状態で塗布装置に固定し（固定機構は図示せず）、その固定機構が角度を可変できるような機構にしても良い。そして、多孔質材３を傾けた状態で基板７に当接させ、その後、多孔質材３を基板７に対して所定の角度に起こし、その後、基板７を移動させる（図７（ｂ））。これにより、多孔質材３の先端は安定して基板７の進行方向へつぶすことが可能となり、上記問題を解決できる。
【００３６】
また、図８は実施例３における多孔質材先端を対象物に当接させる方法を例示する図である。図８（ａ）のように、多孔質材３が基板７に接する直前に基板７を進行方向へ一定速度で移動させておく。次に、図８（ｂ）のように基板７が移動しながら多孔質材３の先端を基板７に接触させることにより、図８（ｃ）のように多孔質材３の先端は安定して基板の進行方向へつぶすことが可能である。
（実施例４）
次に、上記ヘッド部の固定方法について図９，図１０を用いて説明する。図９は実施例４におけるヘッド部の固定機構の構造を示す図である。
【００３７】
ヘッド部１０を構成する２枚の金属プレート１間はオープン状態であり、揮発性の高い溶液を塗布する場合、多孔質材２の上面から塗布液が蒸発してしまうことが懸念される。またヘッド部１０を構成する多孔質材２，３は連続的に塗布を続けると、処理を重ねることにより、多孔質材３の磨耗や欠けなどの問題が発生し、交換する必要があるため、容易に交換できる構造が必要である。
【００３８】
ヘッド部１０を形成する際には、まず、図９（ａ）に示すように、塗布処理を行っていない状態において、例えばビス１５で多孔質材２、３を挟んだ金属プレート１を固定することでヘッド部を予め組立てておく。次に、図９（ｂ）に示すように、固定部１６内の空洞１７へ上記ヘッド部１０を差し込んで固定することにより、容易に閉ざされた雰囲気内にヘッド部１０を固定することが可能となる。そして、ヘッド部１０の交換を短時間で容易にできるとともに、ヘッド部１０からの塗布液の乾燥を防ぐことができる。また、固定部１６内に、押さえローラ１８を配置することで、ヘッド部１０の位置決め固定をすることが可能であり、さらに押さえローラ１８の押し圧を可変することにより多孔質材の圧縮量を調整することが可能である。
【００３９】
また、多孔質材３の先端は、常にオープン状態になるため、多孔質材３の先端からの塗布液乾燥を防止する必要がある。図１０は実施例４における多孔質材先端の乾燥防止カバーの構造を示す図であり、図１０に示すように、塗布していない待機時間中は乾燥防止カバー１９が多孔質材３の先端を覆う機構を設置することも有効である。
（実施例５）
次に、上記ヘッド部および液供給ノズルの構造について、別の実施例を図１１、図１２を用いて説明する。
【００４０】
図１１は実施例５におけるヘッド部および液供給ノズルの構造を例示する図である。図１２は実施例５における液供給ノズルの構造を例示する図であり、液供給ノズルの断面図である。
【００４１】
ここでは多孔質材２および多孔質材３は金属プレート１で挟んだ構造であり、その金属プレート１の間に液供給ノズル５が挟まれた構造である。ここで、液供給ノズル５の液投入口２０へポンプ（図示せず）から供給された塗布液が投入され、マニホールド２１内に塗布液が充填されることで、塗布幅方向に液が広がる。その後、液吐出口２２から液が吐出し、多孔質材２の上面に塗布液を供給する構造である。ここで、液吐出口２２は多孔質材２の上面に接触するほど近傍に位置することが望ましい。そのことにより、液吐出口２２から吐出された塗布液が安定して多孔質材２の上面へ供給できるとともに、液の乾燥を防ぐ効果があるからである。
【００４２】
またここで、液吐出口２２は、図１２（ａ）に示すように、一定間隔ごとにφ０．１〜０．５ｍｍの微小な孔２３が複数形成される構造とすること可能である。この孔２３を形成する間隔を狭いピッチにすることにより、より均一に塗布幅方向に塗布液を供給することが可能であり、塗布後の膜厚均一性を向上させることができる。しかしこの微小な孔２３を用いた構造は、異物や塗布液が変性し固形物化したものが詰まる心配があるため、図１２（ｂ）に示すように、図１２（ａ）の微小な孔２３に替わり、液吐出口２２として塗布幅方向に３０〜３００μｍのスリット２４を設けた構造とすることも有効的である。この構造にすることで、異物がスリットに挟まっても、実質上塗布膜厚に影響がでない程度に安定して塗布幅方向に液を供給することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明は、反りやうねりが存在する基板であっても、容易にかつ均一に膜を塗布することができ、太陽電池用ガラス基板などの基材へ、反射防止膜などの材料を塗布する塗布装置および塗布方法等に有用である。
【符号の説明】
【００４４】
１：金属プレート
２：多孔質材
３：多孔質材
４：ポンプ
５：液供給ノズル
６：塗布液
７：基板
８：塗布膜
９：気泡
１０：ヘッド部
１１：液だまり
１２：多孔質材
１３：金属プレート
１４：突起
１５：ビス
１６：固定部
１７：空洞
１８：押さえローラ
１９：乾燥防止カバー
２０：液投入口
２１：マニホールド
２２：液吐出口
２３：孔
２４：スリット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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