(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試験される太陽電池モジュールよりなるパネルを内部に保持するチャンバと、
複数の紫外線ランプよりなる第１の紫外線光源を具え、当該第１の紫外線光源よりの紫外線を含む光を前記パネルの表面に照射する第１の光照射ユニットと、
複数の紫外線ランプよりなる第２の紫外線光源を具え、当該第２の紫外線光源よりの紫外線を含む光を前記パネルの裏面に照射する第２の光照射ユニットと、
第１の光照射ユニットの放射光制御機構と、
第２の光照射ユニットの放射光制御機構とを有してなり、
前記第２の光照射ユニットの放射光制御機構により前記第２の光照射ユニットから放射される光の分光放射分布を調整することができるように構成されていることを特徴とする太陽電池試験用光照射装置。
【請求項２】
前記第２の光照射ユニットにおける第２の紫外線光源は、紫外線ランプＡの複数および当該紫外線ランプＡとは異なる分光放射分布を有する紫外線ランプＢの複数よりなり、
前記第２の光照射ユニットの放射光制御機構は、当該紫外線ランプＡの複数および紫外線ランプＢの複数から選択されたものを点灯させることにより、当該第２の光放射ユニットから放射される光の分光放射分布を調整する機能を有することを特徴とする請求項１に記載の太陽電池試験用光照射装置。
【請求項３】
前記第２の光照射ユニットの放射光制御機構は、前記第２の光照射ユニットに交換可能に設けられた第２の紫外線光源からの光のうちの特定の波長の光を透過する波長選択フィルターを有しており、当該波長選択フィルターとして特定の波長選択性を有するものを用いることにより当該第２の光放射ユニットから放射される光の分光放射分布が調整されることを特徴とする請求項１に記載の太陽電池試験用光照射装置。
【請求項４】
前記第２の光照射ユニットの放射光制御機構は、点灯する紫外線ランプの数および紫外線ランプに供給される電力量の少なくとも一方を制御することにより、パネル裏面における放射照度を調整する機能を有することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一に記載の太陽電池試験用光照射装置。
【請求項５】
前記第２の光照射ユニットの放射光制御機構は、前記第２の光照射ユニットと保持されるパネルとの間に位置される、パネル裏面における放射照度を調整するための透過光調整手段を有していることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一に記載の太陽電池試験用光照射装置。
【請求項６】
前記チャンバの内部空間は、パネルが保持された状態で当該パネルにより各々独立した表面側空間と裏面側空間とに分割され、
前記チャンバには裏面側空間と連通する裏面側循環風路を形成する裏面側循環風路形成部材が設けられており、当該裏面側循環風路には、送風手段、循環風冷却除湿手段、循環風加熱手段および循環風加湿手段が設けられていることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか一に記載の太陽電池試験用光照射装置。
【請求項７】
前記送風手段、循環風冷却除湿手段、循環風加熱手段および循環風加湿手段の少なくとも一つは、選定された条件で作動するよう制御機構によって制御される構成とされていることを特徴とする請求項６に記載の太陽電池試験用光照射装置。
【請求項８】
前記第１の光照射ユニットの放射光制御機構により当該第１の光照射ユニットから放射される光の分光放射分布を調整することができるように構成されていることを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか一に記載の太陽電池試験用光照射装置。
【請求項９】
前記第１の光照射ユニットの放射光制御機構は、パネル表面における放射照度を調整する機能を有することを特徴とする請求項８に記載の太陽電池試験用光照射装置。
【請求項１０】
前記チャンバには、表面側空間と連通する表面側循環風路を形成する表面側循環風路形成部材が設けられており、当該表面側循環風路には、送風手段、循環風冷却除湿手段、循環風加熱手段および循環風加湿手段が設けられていることを特徴とする請求項６に記載の太陽電池試験用光照射装置。
【請求項１１】
試験環境条件設定手段を有し、当該試験環境条件設定手段において、少なくとも前記第２の光照射ユニットから放射される光の分光放射分布が設定されることを特徴とする請求項１〜請求項１０にいずれか一に記載の太陽電池試験用光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池試験用光照射装置に関し、更に詳しくは太陽電池モジュールの寿命加速試験に用いられる、太陽電池モジュールに試験用光を照射する太陽電池試験用光照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
紫外線を含む光を放射する光照射装置は、被照射物（以下、「ワーク」ともいう）の表面改質、露光、成形、硬化、接着および洗浄などの光照射処理プロセス、あるいは光照射試験などの様々な分野で使用されており、太陽電池モジュールの寿命加速試験にも用いられている。
【０００３】
太陽電池モジュールとしては、従来から、図２に示すような太陽電池セルを複数具えてなる結晶系太陽電池モジュールが用いられており、また、近年においては、省資源かつ省エネルギーでの製造が可能であり、低コスト化、量産化および大面積化に有利な構造を有する、例えば図３に示すような共通の透光性基板上に複数の太陽電池セル単位が設けられてなる薄膜系太陽電池モジュールの研究および商品化が進められている。
【０００４】
図２の結晶系太陽電池モジュール１００において、複数の太陽電池セル１０１は、各々、半導体層１０２を具え、この半導体層１０２の表面（図２における上面）に、反射防止膜１０３が設けられており、当該反射防止膜１０３の表面（図２における上面）および半導体層１０２の裏面（図２における下面）の各々に印刷によって電極１０４Ａ，１０４Ｂが形成されてなるものである。これらの複数の太陽電池セル１０１は、同一平面上に並べられてワイヤからなるインターコネクト材１０５によって直列接続された状態において、当該複数の太陽電池セル１０１およびインターコネクト材１０５を覆うように設けられた透光性の封止材よりなる封止部１０７によって封止されている。この封止部１０７の表面（図２における上面）上には、外部からの応力や水蒸気の影響からの保護のための光透過性の高いガラスなどよりなる透光板１０８が設けられ、この透光板１０８によって受光面が形成されている。また、当該封止部１０７の裏面（図２における下面）上には、透光板１０８に対向するように、バックシートと称される水蒸気バリア性を有する保護シート１０９が設けられている。そして、これらの透光板１０８および保護シート１０９の周縁には、透光板１０８および保護シート１０９と共に封止部１０７を固定するためのアルミニウム製のフレーム１１２がシール材１１３を介して設けられている。
ここに、封止部１０７を構成する透光性の封止材としては、例えばエチレン酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）またはシリコーン樹脂などが用いられており、また、保護シート１０９としては、例えばポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）またはポリエチレン（ＰＥ）などよりなる膜が積層されてなる多層膜構造を有するものが用いられている。
【０００５】
図３の薄膜系太陽電池モジュール１２０において、複数の太陽電池セル単位１２１は、各々、受光面を構成するガラスまたはプラスチックよりなる共通の透光性基板１２３上に、透明電極１２４Ａと、半導体層１２２と、裏面電極１２４Ｂとがこの順に積層されてなるものである。これらの複数の太陽電池セル単位１２１は、半導体層１２２の一端側（図３における左端側）の端部が透光性基板１２３に接触すると共に、裏面電極１２４Ｂの一端側（図３における左端側）の端部が隣接する太陽電池セル単位１２１の透明電極１２４Ａに接触するように設けられている。すなわち、互いに隣接する太陽電池セル単位１２１，１２１は、一方の太陽電池セル単位１２１の透明電極１２４Ａおよび他方の太陽電池セル１２１の裏面電極１２４Ｂによって直列接続され、結果的に複数の太陽電池セル単位１２１の全てが直列接続されている。また直列接続された状態の複数の太陽電池セル単位１２１は、複数の太陽電池セル単位１２１を覆うように設けられた透光性の封止材よりなる封止部１２７によって封止されている。この封止部１２７の裏面（図３における下面）上には、透光性基板１２３に対向するように、バックシートと称される水蒸気バリア性を有する保護シート１２９が設けられており、この保護シート１２９および透光性基板１２３の周縁には、保護シート１２９および透光性基板１２３と共に封止部１２７を固定するためのアルミニウム製のフレーム１３２がシール材１３３を介して設けられている。
ここに、封止部１２７を構成する透光性の封止材としては、例えばエチレン酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）またはシリコーン樹脂などが用いられており、また、保護シート１２９としては、例えばポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）またはポリエチレン（ＰＥ）などよりなる膜が積層されてなる多層膜構造を有するものが用いられている。
【０００６】
また、太陽電池モジュールにおいては、長寿命化が要請されており、この太陽電池モジュールの使用寿命には、封止部を構成する封止材および保護シートなどの有機材料よりなる構成部材に紫外線が照射されることに起因して生じる劣化が大きな影響を及ぼすことが知られている。これに対応して、紫外線に対して良好な耐候性を有する構成部材を具えた太陽電池モジュールが提案されている（例えば、特許文献１および特許文献２参照。）。
【０００７】
このような太陽電池モジュールの寿命試験は、疑似太陽光源を用いる手法があり、一般的には紫外線を含む光を放射する光照射装置を用い、すなわち光照射装置の光源である紫外線ランプを疑似太陽光源とし、太陽電池モジュールの光照射面における放射照度が自然太陽光が照射される場合のそれよりも大きくなるように紫外線を照射する寿命加速試験が行われている。
【０００８】
この寿命加速試験は、従来においては太陽電池モジュールを構成する構成部材の各々について個別に行われていたが、太陽電池セルあるいは太陽電池セル単位やその他の構成部材の組合せによっても寿命特性が変化する可能性があることから、近年においては、実際に用いられる状態である太陽電池モジュールの形態で行うことが重視されるようになってきている。
また、寿命加速試験において試験に要する時間のより一層の短縮化を図った場合には、実用環境下では発生しないような故障事故、具体的には破壊が生じることが懸念されることからも、より実用使用条件に則した試験条件で寿命加速試験を行うことが求められている。
【０００９】
太陽電池モジュール自体を試験対象体として寿命加速試験を行うための太陽電池試験用光照射装置としては、図１４に示すように複数の紫外線ランプ１４２からの紫外線を含む光を試験用光とし、試験用光を試験対象体、すなわちワークＷである太陽電池モジュールよりなるパネルの表面（図１４における上面）に向かって照射する構成のものが用いられている。
図１４の太陽電池試験用光照射装置は、ワークＷである太陽電池モジュールが収容される処理室を形成する箱型形状のチャンバ１４５と、試験用光を放射する紫外線ランプ１４２の複数が一方（図１４における下方）に光放射口１４３Ａを開口する箱型形状のランプ用筐体１４３の内部に配設されてなる光照射ユニット１４１とを具え、チャンバ１４５の上方側（図１４における上方側）に形成されている試験用光を導入するための開口１４５Ａの上方に、当該開口１４５Ａを塞ぐようにして光照射ユニット１４１が配置されてなるものである。
この太陽電池試験用光照射装置においては、光照射ユニット１４１から放射される試験用光は、直接、あるいは、チャンバ１４５の周壁部１４５Ｂの内面に設けられた反射板１４７に反射されることにより、ワークＷの表面、すなわち太陽電池モジュールの光照射面とされる受光面を有する表面のみに照射される。
【００１０】
このような太陽電池試験用光照射装置を用いることによって太陽電池モジュール自体に対して寿命加速試験を行うことによれば、紫外線による劣化の影響を受けやすい封止部を構成する封止材および保護シートに対しても、実用環境下と同様に、他の構成部材（具体的には、結晶系太陽電池モジュール１００においては透光板１０８、薄膜系太陽電池モジュール１２０においては透光性基板１２３および太陽電池セル単位１２１における透明電極１２４Ａ）の透過光が照射される、あるいはこの透過光のうちの他の構成部材（具体的には、結晶系太陽電池モジュール１００においては太陽電池セル１０１、薄膜系太陽電池モジュール１２０においては太陽電池セル単位１２１）の間を通過した漏れ光のみが照射されることとなるため、ワークＷの表面における紫外線照度を破壊が生じない程度に大きくすることによって試験に要する時間のより一層の短縮化を図ることが検討されている。
【００１１】
しかしながら、昨今、様々な分野および場所で太陽電池の普及が拡大しており、具体的には、従来においては個別住宅の屋根に太陽電池モジュールを設置することが主流であったが、近年においては、太陽電池モジュールがマンションの屋上あるいは遊休中の土地に設置されたり、更にはメガソーラー発電所において用いられてきていることから、それに伴って、太陽電池モジュール自体を試験対象体とし、太陽電池モジュールの表面のみに試験用光を照射することによっては、実用使用条件に則した試験条件で寿命加速試験を行うことができない、という問題があることが判明した。
以下、この新たに判明した問題について説明する。
【００１２】
太陽電池モジュールを個別住宅の屋根以外の場所に設置する場合においては、一般的に、より高い発電効率を得るために太陽電池モジュールを太陽光の照射角度に対応させることを目的として、太陽電池モジュールは架台上に設置されており、また特にメガソーラー発電所において用いる場合には、より一層高い発電効率を得るために太陽光を効率的に受光させるための太陽追尾装置が搭載された架台が用いられることもある。そして、架台の高さは、設置場所の地面（架台の設置面）からの湿気の影響を低減させることを目的として、太陽電池モジュールの設置場所の地面（架台の設置面）からの離間距離が１ｍ程度となるように設定されている。
【００１３】
このように太陽電池モジュールがある程度の高さを有する架台の上に位置される場合においては、傾斜を有する個別住宅の屋根に設置され、当該屋根に近接して位置される場合とは異なり、設置場所の地面（架台の設置面）によって反射・散乱された太陽光（反射光）が太陽電池モジュールの裏面に設けられている保護シートに照射される。
而して、保護シートに照射されることとなる設置場所の地面（架台の設置面）からの反射光は、太陽からの直接光に比較して放射強度が小さいものではあるが、太陽電池モジュールが設置されるような場所の地面（架台が設置される地面）における太陽光の反射率は、一般的に太陽からの直接光に対して、草地面は３〜４％、コンクリート面は１０％、砂地面は１５％、雪面にいたっては８０〜９０％であることから、この反射光の照射が保護シートの劣化に大きく影響を与えることが判明した。
【００１４】
しかも、上述のように太陽光の反射率が設置場所の地面の状態によって異なることから、保護シートに照射される太陽光（反射光）の放射強度が設置場所に応じて変化することが明らかとなった。
また更に、設置場所の地面（架台の設置面）からの反射光は、その反射面、すなわち設置場所の地面（架台の設置面）において光吸収が生じることに起因して、太陽電池モジュールの表面に照射される太陽光の分光放射分布と異なる分光放射分布を有するものとなり、その上、設置場所の地面の状態によって太陽光の光吸収特性が異なることに起因して、保護シートに照射される太陽光（反射光）の分光放射分布が設置場所に応じて変化することが明らかとなった。
【００１５】
以上のように、太陽電池モジュールがある程度の高さを有する架台の上に設置される場合には、太陽電池モジュールの裏面の保護シートには太陽電池モジュールの設置場所の地面（架台の設置面）からの反射光が照射され、その反射光は、太陽電池モジュールの表面に照射される太陽光とは必ずしも同一の分光放射分布を有するものではなく、しかも当該反射光の放射強度および分光放射分布が設置場所の地面（架台の設置面）の状態に応じて異なるものであることから、実用使用条件に則した試験条件で寿命加速試験を行うためには、太陽電池モジュールの設置場所の地面（架台の設置面）からの反射光が、太陽電池モジュールの裏面の保護シートに及ぼす影響を、当該設置場所に応じて考慮する必要があることが明らかとなった。
更には、設置場所によっては、太陽電池モジュールの表面側と裏面側との温度条件および湿度条件などの雰囲気条件が相違する場合もあり、この太陽電池モジュールの表面側と裏面側とにおいて雰囲気条件が異なる状況が太陽電池モジュールの裏面の保護シートに及ぼす影響を考慮する必要が生じることが明らかとなった。
【００１６】
然るに、従来の太陽電池試験用光照射装置は、試験用光を太陽電池モジュールの表面側から当該太陽電池モジュールの表面のみに対して照射するものであり、太陽電池モジュールの裏面側から当該太陽電池モジュールの裏面に照射される太陽光の影響が考慮された構成のものではないため、実用使用条件に則した試験条件で寿命加速試験を行うことができない。また、当然ながら、太陽電池モジュールの表面側と裏面側とにおける温度条件および湿度条件などの雰囲気条件の影響が考慮された構成のものではない。
【００１７】
また、太陽電池試験用光照射装置においては、太陽電池モジュールとして、結晶系太陽電池モジュールおよび薄膜系太陽電池モジュールなどの種々の構造を有するものが提案されてきており、これらの異なる構造を有する太陽電池モジュールにおいては、その構造によって寿命試験条件が異なるため、試験対象体である太陽電池モジュールの構造に応じた専用の装置を用意する必要がある。
【００１８】
すなわち、太陽電池モジュールにおいては、その構造によって寿命試験のための紫外線照射条件が相違する。具体的には、結晶系太陽電池モジュールの寿命試験の紫外線照射条件は、日本工業規格（ＪＩＳ）番号Ｃ８９９０に定められており、一方、薄膜系太陽電池モジュールの寿命試験の紫外線照射条件は、日本工業規格（ＪＩＳ）番号Ｃ８９９１に定められている。そのため、結晶系太陽電池モジュールの寿命加速試験および薄膜系太陽電池モジュールの寿命加速試験を行う場合においても、それぞれの規格を準拠する必要があることから、結晶系太陽電池モジュールの寿命加速試験および薄膜系太陽電池モジュールの寿命加速試験においては、試験対象である太陽電池モジュールに照射される紫外線の分光放射分布が異なるものとなっている。
【００１９】
然るに、従来の太陽電池試験用光照射装置は、結晶系太陽電池モジュールまたは薄膜系太陽電池モジュールのいずれかに対応した専用のものであり、試験対象とする一種類の太陽電池モジュールのみに対応した紫外線照射条件が設定されたものであることから、他の構造を有する太陽電池モジュールについては、寿命加速試験を行うことができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２０】
【特許文献１】特開２０１１−０１８８７２号公報
【特許文献２】特開２０１１−２２８３８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その第１の目的は、紫外線ランプを擬似太陽光源として使用する太陽電池モジュールの寿命加速試験において、希望する任意の試験条件に応じた試験環境を形成することができ、従って実用使用条件に則して加速度が高められる太陽電池試験用光照射装置を提供することにある。
また、第２の目的は、結晶系太陽電池モジュールおよび薄膜系太陽電池モジュールの双方に対して寿命加速試験を実施することのできる太陽電池試験用光照射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
本発明の太陽電池試験用光照射装置は、試験される太陽電池モジュールよりなるパネルを内部に保持するチャンバと、
複数の紫外線ランプよりなる第１の紫外線光源を具え、当該第１の紫外線光源よりの紫外線を含む光を前記パネルの表面に照射する第１の光照射ユニットと、
複数の紫外線ランプよりなる第２の紫外線光源を具え、当該第２の紫外線光源よりの紫外線を含む光を前記パネルの裏面に照射する第２の光照射ユニットと、
第１の光照射ユニットの放射光制御機構と、
第２の光照射ユニットの放射光制御機構とを有してなり、
前記第２の光照射ユニットの放射光制御機構により前記第２の光照射ユニットから放射される光の分光放射分布を調整することができるように構成されていることを特徴とする。
【００２３】
本発明の太陽電池試験用光照射装置においては、前記第２の光照射ユニットにおける第２の紫外線光源は、紫外線ランプＡの複数および当該紫外線ランプＡとは異なる分光放射分布を有する紫外線ランプＢの複数よりなり、
前記第２の光照射ユニットの放射光制御機構は、当該紫外線ランプＡの複数および紫外線ランプＢの複数から選択されたものを点灯させることにより、当該第２の光放射ユニットから放射される光の分光放射分布を調整する機能を有することが好ましい。
【００２４】
本発明の太陽電池試験用光照射装置においては、前記第２の光照射ユニットの放射光制御機構は、前記第２の光照射ユニットに交換可能に設けられた第２の紫外線光源からの光のうちの特定の波長の光を透過する波長選択フィルターを有しており、当該波長選択フィルターとして特定の波長選択性を有するものを用いることにより当該第２の光放射ユニットから放射される光の分光放射分布が調整されることが好ましい。
【００２５】
本発明の太陽電池試験用光照射装置においては、前記第２の光照射ユニットの放射光制御機構は、点灯する紫外線ランプの数および紫外線ランプに供給される電力量の少なくとも一方を制御することにより、パネル裏面における放射照度を調整する機能を有することが好ましい。
【００２６】
本発明の太陽電池試験用光照射装置においては、前記第２の光照射ユニットの放射光制御機構は、前記第２の光照射ユニットと保持されるパネルとの間に位置される、パネル裏面における放射照度を調整するための透過光調整手段を有していることが好ましい。
【００２７】
本発明の太陽電池試験用光照射装置においては、前記チャンバの内部空間は、パネルが保持された状態で当該パネルにより各々独立した表面側空間と裏面側空間とに分割され、
前記チャンバには裏面側空間と連通する裏面側循環風路を形成する裏面側循環風路形成部材が設けられており、当該裏面側循環風路には、送風手段、循環風冷却除湿手段、循環風加熱手段および循環風加湿手段が設けられていることが好ましい。
また、このような本発明の太陽電池試験用光照射装置においては、前記送風手段、循環風冷却除湿手段、循環風加熱手段および循環風加湿手段の少なくとも一つは、選定された条件で作動するよう制御機構によって制御される構成とされていることが好ましい。
【００２８】
本発明の太陽電池試験用光照射装置においては、前記第１の光照射ユニットの放射光制御機構により当該第１の光照射ユニットから放射される光の分光放射分布を調整することができるように構成されていることが好ましい。
【００２９】
本発明の太陽電池試験用光照射装置においては、前記第１の光照射ユニットの放射光制御機構は、パネル表面における放射照度を調整する機能を有することが好ましい。
【００３０】
本発明の太陽電池試験用光照射装置においては、前記チャンバには、表面側空間と連通する表面側循環風路を形成する表面側循環風路形成部材が設けられており、当該表面側循環風路には、送風手段、循環風冷却除湿手段、循環風加熱手段および循環風加湿手段が設けられていることが好ましい。
【００３１】
本発明の太陽電池試験用光照射装置においては、試験環境条件設定手段を有し、当該試験環境条件設定手段において、少なくとも前記第２の光照射ユニットから放射される光の分光放射分布が設定されることが好ましい。
【発明の効果】
【００３２】
本発明の太陽電池試験用光照射装置においては、試験される太陽電池モジュールよりなるパネルの表面に光を照射するための第１の光照射ユニットと共に、当該太陽電池モジュールよりなるパネルの裏面に光を照射するための第２の光照射ユニットが設けられており、これらの第１の光照射ユニットおよび第２の光照射ユニットの各々が専用の放射光制御機構によって制御され、しかも、第２の光照射ユニットの放射光制御機構によって第２の光照射ユニットから放射される光の分光放射分布を、第１の光照射ユニットから放射される光の分光放射分布とは独立して調整することができる。そのため、太陽電池モジュールよりなるパネルの裏面に対しても光（試験用光）を照射することができ、しかも太陽電池モジュールよりなるパネルの裏面に対しては、当該太陽電池モジュールよりなるパネルの表面に照射される光とは放射強度だけでなく分光放射分布の異なる光を照射することができる。
従って、本発明の太陽電池試験用光照射装置によれば、試験対象体である太陽電池モジュールよりなるパネルの裏面に対しても光を照射することができ、しかも当該パネルの表面および裏面に対して、各々、異なる放射強度および分光放射分布を有する光を照射することができることから、太陽電池モジュールの寿命加速試験において、希望する任意の試験条件に応じた試験環境を形成することができるため、実用使用条件に則した試験条件で試験を行うことができ、よって実用使用条件に則して加速度を高めることができる。
【００３３】
また、本発明の太陽電池試験用光照射装置においては、試験される太陽電池モジュールよりなるパネルが保持された状態のチャンバの内部空間を当該太陽電池モジュールよりなるパネルによって表面側空間と裏面側空間とに分割し、この裏面側空間に連通する裏面側循環風路に送風手段、循環風冷却除湿手段、循環風加熱手段および循環風加湿手段を設けることにより、裏面側空間における温度条件および湿度条件を調整し、この裏面側空間の雰囲気を、表面側空間の雰囲気とは異なる温度および湿度を有するものとできる。そのため、太陽電池モジュールの寿命加速試験において、試験対象体である太陽電池モジュールよりなるパネルの裏面側の雰囲気において必要とされる温度条件および湿度条件が、当該パネルの表面側の雰囲気において必要とされる温度条件および湿度条件と異なる場合であっても、実用使用条件に則した試験条件で試験を行うことができ、よって実用使用条件に則して加速度を高めることができる。
【００３４】
本発明の太陽電池試験用光照射装置においては、第１の光照射ユニットの放射光制御機構によって第１の光照射ユニットから放射される光の分光放射分布を調整することができるような構成とすることにより、太陽電池モジュールよりなるパネルの表面に対して、希望する任意の分光放射分布を有する光を照射することができるため、寿命加速試験における紫外線照射条件（分光放射照度分布条件）の異なる結晶系太陽電池モジュールおよび薄膜系太陽電池モジュールの双方に対して寿命加速試験を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の太陽電池試験用光照射装置の構成の一例を、試験される太陽電池モジュールよりなるパネルと共に示す説明図である。
【図２】本発明の太陽電池試験用光照射装置によって試験される太陽電池モジュールの構成の一例を示す説明図である。
【図３】本発明の太陽電池試験用光照射装置によって試験される太陽電池モジュールの構成の他の例を示す説明図である。
【図４】図１の太陽電池試験用光照射装置を構成する第１の光照射ユニットおよび第２の光照射ユニットの構成を、試験される太陽電池モジュールよりなるパネルと共に示す説明図である。
【図５】図４の第１の光照射ユニットにおける第１の紫外線光源および第２の光照射ユニットにおける第２の紫外線光源を構成する紫外線ランプＡおよび紫外線ランプＢの各々の分光放射分布と、図４の第１の光照射ユニットおよび第２の光放射ユニットにおいて、第１の紫外線光源および第２の紫外線光源を構成するすべての紫外線ランプが点灯された場合に放射される光の分光放射分布を示すグラフである。
【図６】図４の第１の光照射ユニットおよび第２の光照射ユニットにおいて、放射される光の分光放射分布の調整例を示す説明図である。
【図７】本発明の太陽電池試験用光照射装置の他の構成の例の要部の概略を、試験される太陽電池モジュールよりなるパネルと共に示す説明図である。
【図８】図７の第１の光照射ユニットおよび第２の光照射ユニットにおいて、放射される光の放射強度の調整例を示す説明図である。
【図９】本発明の太陽電池試験用光照射装置の更に他の構成の例の要部を、試験される太陽電池モジュールよりなるパネルと共に示す説明図である。
【図１０】図９の太陽電池試験用光照射装置における第１の光照射ユニットおよび第２の光照射ユニットを構成する透過光調整手段の構成の一例において、図９のＢ部を、矢印Ａ方向から透視した状態を示す説明図である。
【図１１】本発明の太陽電池試験用光照射装置のまた更に他の構成の例の要部を、試験される太陽電池モジュールよりなるパネルと共に示す説明図である。
【図１２】図１１の太陽電池試験用光照射装置における第１の光照射ユニットおよび第２の光照射ユニットを構成する透過光調整手段の構成の一例において、図１１のＢ部を、矢印Ａ方向から透視した状態を示す説明図である。
【図１３】図１１の太陽電池試験用光照射装置における第１の光照射ユニットおよび第２の光照射ユニットを構成する透過光調整手段の構成の他の例において、図１１のＢ部を、矢印Ａ方向から透視した状態を示す説明図である。
【図１４】従来の太陽電池試験用光照射装置の構成の一例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【００３７】
〔第１の実施の形態〕
図１は、本発明の太陽電池試験用光照射装置の構成の一例を、試験される太陽電池モジュールよりなるパネルと共に示す説明図である。
第１の実施の形態に係る太陽電池試験用光照射装置（以下、「第１の太陽電池試験用光照射装置」ともいう。）１０は、太陽電池モジュールよりなるパネルを試験対象体、すなわち被照射物（ワーク）Ｗとし、このワークＷの表面および裏面（図１における上面および下面）に紫外線を含む光を照射することにより、ワークＷとしての太陽電池モジュールに対して寿命試験（寿命加速試験）を行うための光照射装置である。
【００３８】
第１の太陽電池試験用光照射装置の試験対象体、すなわちワークＷとされる太陽電池モジュールとしては、表面に受光面を有し、この受光面を構成する構成部材が太陽電池セルまたは太陽電池セル単位が封止されてなる封止部の表面に配設されていると共に、当該封止部の裏面に、受光面に対向するようにして保護シートが配設されており、これらの受光面を構成する構成部材、封止部および保護シートがフレームによって固定されてなるものである。
具体的には、例えば図２に示すような太陽電池セル１０１を複数具えてなる結晶系太陽電池モジュール、あるいは図３に示すような共通の透光性基板上に複数の太陽電池セル単位１２１が設けられてなる薄膜系太陽電池モジュールなどが挙げられる。
【００３９】
ここに、図２の結晶系太陽電池モジュール１００において、複数の太陽電池セル１０１は、各々、例えばシリコン多結晶からなり、Ｐ型半導体層およびＮ型半導体層を有する半導体層１０２を具え、この半導体層１０２の表面（図２における上面）に、例えばシリコン窒化膜（ＳｉＮ膜）などからなる反射防止膜１０３が設けられており、当該反射防止膜１０３の表面（図２における上面）および半導体層１０２の裏面（図２における下面）に印刷によって電極１０４Ａ，１０４Ｂが形成されてなるものである。これらの複数の太陽電池セル１０１は、同一平面上に並べられてワイヤからなるインターコネクト材１０５によって直列接続された状態において、当該複数の太陽電池セル１０１およびインターコネクト材１０５を覆うように設けられた、例えばエチレン酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）およびシリコーン樹脂などの透光性の封止材よりなる封止部１０７によって封止されている。この封止部１０７の表面（図２における上面）上には、外部からの応力や水蒸気の影響からの保護のための光透過性の高いガラスなどよりなる透光板１０８が設けられ、この透光板１０８によって受光面が形成されている。また、封止部１０７の裏面（図２における下面）上には、透光板１０８に対向するように、例えばポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）またはポリエチレン（ＰＥ）などよりなる膜が積層されてなる多層膜構造を有する、バックシートと称される水蒸気バリア性を有する保護シート１０９が設けられている。そしてこれらの透光板１０８および保護シート１０９の周縁には、透光板１０８および保護シート１０９と共に封止部１０７を固定するためのアルミニウム製のフレーム１１２がシール材１１３を介して設けられている。
【００４０】
また、図３の薄膜系太陽電池モジュール１２０において、複数の太陽電池セル単位１２１は、各々、受光面を構成するガラスまたはプラスチックよりなる共通の透光性基板１２３上に、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）および酸化スズ（ＳｎＯ2 ）などからなる透明電極１２４Ａと、Ｐ型半導体層およびＮ型半導体層を有する半導体層１２２と、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ2 ）または銀（Ａｇ）などからなる裏面電極１２４Ｂとがこの順に積層されてなるものである。これらの複数の太陽電池セル単位１２１は、半導体層１２２の一端側（図３における左端側）の端部が透光性基板１２３に接触すると共に、裏面電極１２４Ｂの一端側（図３における左端側）の端部が隣接する太陽電池セル単位１２１の透明電極１２４Ａに接触するように設けられている。すなわち、互いに隣接する太陽電池セル単位１２１，１２１は、一方の太陽電池セル単位１２１の透明電極１２４Ａおよび他方の太陽電池セル１２１の裏面電極１２４Ｂによって直列接続され、結果的に複数の太陽電池セル単位１２１の全てが直列接続されている。また直列接続された状態の複数の太陽電池セル単位１２１は、複数の太陽電池セル単位１２１を覆うように設けられた、例えばエチレン酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）およびシリコーン樹脂などの透光性の封止材よりなる封止部１２７によって封止されている。この封止部１２７の裏面（図３における下面）上には、透光性基板１２３に対向するように、例えばポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）またはポリエチレン（ＰＥ）などよりなる膜が積層されてなる多層膜構造を有する、バックシートと称される水蒸気バリア性を有する保護シート１２９が設けられている。また、この保護シート１２９および透光性基板１２３の周縁には、保護シート１２９および透光性基板１２３と共に封止部１２７を固定するためのアルミニウム製のフレーム１３２がシール材１３３を介して設けられている。
【００４１】
第１の太陽電池試験用光照射装置１０は、内部にワークＷを保持して収容する矩形筒状のチャンバ１１と、このチャンバ１１の上方（図１における上方）の開口を塞ぐようにして設けられた、複数の紫外線ランプ２１よりなる第１の紫外線光源が一方（図１における下方）に光放射口２２Ａを開口する箱型形状のランプ用筐体２２の内部に配設されてなる第１の光照射ユニット２０と、当該チャンバ１１の下方（図１における下方）の開口を塞ぐようにして設けられた、複数の紫外線ランプ２６よりなる第２の紫外線光源が一方（図１における上方）に光放射口２７Ａを開口する箱型形状のランプ用筐体２７の内部に配設されてなる第２の光照射ユニット２５を具えてなるものである。
この第１の太陽電池試験用光照射装置１０においては、チャンバ１１の内部には、当該チャンバ１１の周壁部１１Ａ、第１の光照射ユニット２０および第２の光放射ユニット２５に包囲されてなるワークＷを収容するための空間が形成されている。また、チャンバ１１の外部には、第１の光照射ユニット２０における第１の紫外線光源を構成する複数の紫外線ランプ２１の各々に対して電力を供給するための第１の電源部２４と、第２の光照射ユニット２５における第２の紫外線光源を構成する複数の紫外線ランプ２６の各々に対して電力を供給するための第２の電源部２９とが設けられており、これらの第１の電源部２４および第２の電源部２９は、第１の制御部１８Ａおよび第２の制御部１８Ｂを介して主制御部１９に接続されている。
【００４２】
チャンバ１１には、当該チャンバ１１の内部において、第１の光放射ユニット２０におけるランプ用筐体２２の光放射口２２Ａの開口端面、および第２の光放射ユニット２５におけるランプ用筐体２７の光放射口２７Ａの開口端面からの離間距離が同一となる位置に、これらの開口端面と平行な状態でワークＷを保持するためのワーク支持部１２が設けられている。
ワーク支持部１２は、チャンバ１１の周壁部１１Ａの内周面に設けられたワーク載置用凸部１３と、当該ワーク載置用凸部１３に載置されたワークＷを上方側（図１における上方側）から挟み込むように配置される固定用板部材１４とによって構成されている。
【００４３】
ワーク支持部１２を構成するワーク載置用凸部１３は、チャンバ１１の周壁部１１Ａの内周面の全周にわたって矩形環状に設けられており、当該周壁部１１Ａの内周面に垂直な方向に突起し、その先端部の表面側（図１における上面側）に、当該先端部の厚みが基端部の厚みに比して小さくなるような段差が形成されてなる、その断面形状が階段状のものであり、下段とされる先端部にワークＷとしての太陽電池モジュールの周縁部（具体的にはフレーム）が載置される構成を有している。
このワーク載置用凸部１３において、チャンバ１１における周壁部１１Ａの内周面からの突起高さ（図１における左右方向の寸法）は、ワーク載置用凸部１３の先端によって形成される矩形状の開口（以下、「ワーク支持部間開口」ともいう。）がワークＷとしての太陽電池モジュールの保護シートの表面に適用した内径（開口径）を有するものとなるような寸法とされ、また、先端部の長さ（図１における左右方向の寸法）は、当該先端部にワークＷの周縁部を載置することによってワークＷとしての太陽電池モジュールの保護シートの表面全面がワーク支持部間開口上の領域に位置するような寸法とされている。
この図の例において、ワーク載置用凸部１３の先端部には、ワークＷとしての太陽電池モジュールのフレームの裏面と共に、当該フレームの側面が接触した状態とされている。
【００４４】
そして、ワーク載置用凸部１３は、ワークＷとしての太陽電池モジュールが配置されることにより、太陽電池モジュールの裏面においてフレームのみが当該ワーク載置用凸部１３の先端部の表面に接触した状態とされ、よって当該太陽電池モジュールの保護シートの表面全面が、ワーク支持部間開口を介して第２の光照射ユニット２５側に露出した状態とされる。
【００４５】
また、ワーク支持部１２を構成する固定用板部材１４は、ロ字状の平板体、すなわち中央部に矩形状の開口を有する平板体よりなるものである。この固定用板部材１４を構成する平板体は、チャンバ１１の開口（具体的には上方の開口）に適用した外径を有すると共に、ワークＷとしての太陽電池モジュールの受光面に適用した内径（開口径）を有するものである。
そして、固定用板部材１４は、ワーク載置用凸部１３に載置されたワークＷとしての太陽電池モジュール上に配置されることにより、太陽電池モジュールの表面においてフレームのみが接触した状態とされ、よって当該太陽電池モジュールの受光面全面は、当該固定用板部材１４の開口を介して第１の光放射ユニット２０側に露出した状態とされる。
この図の例において、固定用板部材１４は、ワークＷとしての太陽電池モジュールのフレームの表面と共に、ワーク載置用凸部の基端部の表面に接触した状態とされている。
【００４６】
而して、第１の太陽電池試験用光照射装置１０においては、ワークＷがチャンバ１１の内部においてワーク支持部１２によって保持されることにより、チャンバ１１の内部におけるワークＷを収容するための空間は、各々独立した、ワークＷの表面側（図１における上面側）に位置する表面側空間Ｓ１と、当該ワークＷの裏面側（図１における下面側）に位置する裏面側空間Ｓ２とに分割されることとなる。そして、表面側空間Ｓ１においては、ワークＷとしての太陽電池モジュールの表面における受光面（具体的には、ワークＷとしての太陽電池モジュールが結晶系太陽電池モジュール１００である場合には透光板１０８の表面であり、あるいは薄膜系太陽電池モジュール１２０である場合には透光性基板１２３の表面）が固定用板部材１４の開口から露出された状態とされる。一方、裏面側空間Ｓ２においては、太陽電池モジュールの裏面における保護シートの表面がワーク載置用凸部１３に係るワーク支持部間開口からから露出された状態とされる。
ここに、チャンバ１１内にワークＷが保持されることによって形成される表面側空間Ｓ１は、ワークＷと、チャンバ１１の周壁部１１Ａと、第１の光照射ユニット２０とによって包囲されて閉空間とされており、また、裏面側空間Ｓ２は、ワークＷと、チャンバ１１の周壁部１１Ａと、第２の光照射ユニット２５とによって包囲されて閉空間とされている。
【００４７】
また、第１の太陽電池試験用光照射装置１０においては、チャンバ１１には、周縁部１１Ａにおける表面側空間Ｓ１を包囲する領域に、表面側空間Ｓ１における温度および湿度を調整するための空気よりなる雰囲気調整媒体（以下、「第１の循環空気」ともいう。）を導入する第１の導入用開口１６Ａと、この第１の導入用開口１６Ａから導入された第１の循環空気を排出するための第１の排出用開口１６Ｂとが互いに対向するように形成されている。また、この第１の導入用開口１６Ａおよび第１の排出用開口１６Ｂには、表面側空間Ｓ１と連通し、第１の循環空気を循環させるための表面側循環風路（以下、「第１の循環風路」ともいう。）３０を形成するための表面側循環風路形成部材が設けられている。
この第１の循環風路３０には、第１の循環空気を送出して循環させるための第１の送風手段３１、第１の循環空気の冷却および除湿を行うための第１の循環風冷却除湿手段３２、第１の循環空気の加熱を行うための第１の循環風加熱手段３３および第１の循環空気の加湿を行うための第１の循環風加湿手段３４が、上流側から下流側に向かってこの順に設けられている。そして、これらの第１の送風手段３１、第１の循環風冷却除湿手段３２、第１の循環風加熱手段３３および第１の循環風加湿手段３４は、各々、第１の制御部１８Ａを介して主制御部１９に接続されている。
この図の例においては、第１の循環風路３０における第１の循環空気の循環方向が矢印で示されている。
【００４８】
そして、第１の循環風路３０には、第１の循環風加湿手段３４の下流側に、第１の温度モニタ３５および第１の湿度モニタ３６が、上流側から下流側に向かってこの順に設けられており、これらの第１の温度モニタ３５および第１の湿度モニタ３６は、第１の制御部１８Ａを介して主制御部１９に接続されている。
第１の温度モニタ３５は、第１の循環風路３０を流通する第１の循環空気の温度を測定するものであり、その測定結果は、第１の制御部１８Ａに送信される。
また、第１の湿度モニタ３６は、第１の循環風路３０を流通する第１の循環空気の湿度を測定するものであり、その測定結果は、第１の制御部１８Ａに送信される。
【００４９】
また、チャンバ１１には、周縁部１１Ａにおける裏面側空間Ｓ２を包囲する領域に、裏面側空間Ｓ２における温度および湿度を調整するための空気よりなる雰囲気調整媒体（以下、「第２の循環空気」ともいう。）を導入する第２の導入用開口１７Ａと、この第２の導入用開口１７Ａから導入された第２の循環空気を排出するための第２の排出用開口１７Ｂとが互いに対向するように形成されている。また、この第２の導入用開口１７Ａおよび第２の排出用開口１７Ｂには、裏面側空間Ｓ２と連通し、第２の循環空気を循環させるための裏面側循環風路（以下、「第２の循環風路」ともいう。）４０を形成するための裏面側循環風路形成部材が設けられている。
この第２の循環風路４０には、第２の循環空気を送出して循環させるための第２の送風手段４１、第２の循環空気の冷却および除湿を行うための第２の循環風冷却除湿手段４２、第２の循環空気の加熱を行うための第２の循環風加熱手段４３および第２の循環空気の加湿を行うための第２の循環風加湿手段４４が、上流側から下流側に向かってこの順に設けられている。そして、これらの第２の送風手段４１、第２の循環風冷却除湿手段４２、第２の循環風加熱手段４３および第２の循環風加湿手段４４は、各々、第２の制御部１８Ｂを介して主制御部１９に接続されている。
この図の例においては、第２の循環風路４０における第２の循環空気の循環方向が矢印で示されている。
【００５０】
そして、第２の循環風路４０には、第２の循環風加湿手段４４の下流側に、第２の温度モニタ４５および第２の湿度モニタ４６が、上流側から下流側に向かってこの順に設けられており、これらの第２の温度モニタ４５および第２の湿度モニタ４６は、第２の制御部１８Ｂを介して主制御部１９に接続されている。
第２の温度モニタ４５は、第２の循環風路４０を流通する第２の循環空気の温度を測定するものであり、その測定結果は、第２の制御部１８Ｂに送信される。
また、第２の湿度モニタ４６は、第２の循環風路４０を流通する第２の循環空気の湿度を測定するものであり、その測定結果は、第２の制御部１８Ｂに送信される。
【００５１】
第１の光放射ユニット２０は、光放射口２２Ａを有する略直方体の箱型形状のランプ用筐体２２と、当該ランプ用筐体２２の内部に配置された複数の棒状の紫外線ランプ２１よりなる第１の紫外線光源と、各々の紫外線ランプ２１に電力を供給する第１の電源部２４とよりなるものであり、第１の紫外線光源よりの紫外線を含む光を、ワークＷとしての太陽電池モジュールの表面における受光面に照射するものである。
この第１の光照射ユニット２０においては、第１の紫外線光源を構成する複数の紫外線ランプ２１は、各々の紫外線ランプ２１が、チャンバ１１内においてワーク支持部１２によって支持された状態のワークＷの表面、あるいは当該ワーク支持部１２の表面に対向するように配置されており、よって照射領域が、チャンバ１１内に保持されるワークＷよりも大きくなるよう設定されている。
この図の例において、第１の紫外線光源を構成する複数の紫外線ランプ２１は、各々のランプ中心軸が、ランプ用筐体２２の光放射口２２Ａの開口端面に平行な２つの平面のいずれかに位置されている。そして、２つの平面のうちの光放射口２２Ａ側の一平面内にランプ中心軸が位置する紫外線ランプ２１の複数は、紫外線ランプ２１の外径と同等の間隔で互いに離間して並列に配置され、また、ランプ用筐体２２の底部２２Ｂ側の一平面内にランプ中心軸が位置する紫外線ランプ２１の複数は、紫外線ランプ２１の外径と同等の間隔で互いに離間し、かつ光放射口２２Ａ側に位置されている紫外線ランプ２１の互いに隣接するランプ同士の間隙あるいは端部に位置する紫外線ランプ２１の外方位置に対応する領域に位置するように並列に配置されている。
【００５２】
また、第１の紫外線光源を構成する複数の紫外線ランプ２１は、図４に示すように、分光放射分布の異なる２種類の紫外線ランプ、具体的には図５において曲線（Ａ）で示される分光放射分布を有する紫外線ランプＡと、図５において曲線（Ｂ）で示される分光放射分布を有する紫外線ランプＢとにより構成されている。
これらの紫外線ランプＡおよび紫外線ランプＢは、各々、太陽電池モジュールの寿命加速試験に用いられる擬似太陽光源となるものであればよく、例えば希ガス蛍光ランプなどを用いることができる。
この図の例においては、光放射口２２Ａ側に位置される複数（具体的には１８本）の紫外線ランプ２１として紫外線ランプＡが用いられており、またランプ用筐体２２の底部２２Ｂ側に位置される複数（具体的には１８本）の紫外線ランプ２１として紫外線ランプＢが用いられている。
【００５３】
第２の光放射ユニット２５は、図４に示すように、第１の光照射ユニット２０と同様の構成を有するものであり、光放射口２７Ａを有する略直方体の箱型形状のランプ用筐体２７と、当該ランプ用筐体２７の内部に配置された複数の棒状の紫外線ランプ２６よりなる第２の紫外線光源と、各々の紫外線ランプ２６に電力を供給する第２の電源部２９とよりなるものであり、第２の紫外線光源よりの紫外線を含む光を、ワークＷとしての太陽電池モジュールの裏面における保護シートの表面に照射するものである。
この第２の光照射ユニット２５においては、第２の紫外線光源を構成する複数の紫外線ランプ２６は、各々の紫外線ランプ２６が、チャンバ１１内においてワーク支持部１２によって支持された状態のワークＷの裏面、あるいは当該ワーク支持部１２の裏面に対向するように配置されており、よって照射領域が、チャンバ１１内に保持されるワークＷよりも大きくなるように設定されている。
この図の例において、第２の紫外線光源を構成する複数の紫外線ランプ２６は、各々のランプ中心軸が、ランプ用筐体２７の光放射口２７Ａの開口端面に平行な２つの平面のいずれかに位置される。そして、２つの平面のうちの光放射口２７Ａ側の一平面内にランプ中心軸が位置する紫外線ランプ２６の複数は、紫外線ランプ２６の外径と同等の間隔で互いに離間して並列に配置され、また、ランプ用筐体２７の底部２７Ｂ側の一平面内にランプ中心軸が位置する紫外線ランプ２６の複数は、紫外線ランプ２６の外径と同等の間隔で互いに離間し、光放射口２７Ａ側に位置されている紫外線ランプ２６の互いに隣接するランプ同士の間隙あるいは端部に位置する紫外線ランプ２６の外方位置に対応する領域に位置するように並列に配置されている。
【００５４】
また、第２の紫外線光源を構成する複数の紫外線ランプ２６は、第１の紫外線光源を構成する紫外線ランプ２１と同様に、図４に示すように、分光放射分布の異なる２種類の紫外線ランプ、具体的には図５において曲線（Ａ）で示される分光放射分布を有する紫外線ランプＡと、図５において曲線（Ｂ）で示される分光放射分布を有する紫外線ランプＢとにより構成されている。
この図の例においては、光放射口２７Ａ側に位置される複数（具体的には１８本）の紫外線ランプ２６として紫外線ランプＡが用いられており、またランプ用筐体２７の底部２７Ｂ側に位置される複数（具体的には１８本）の紫外線ランプ２６として紫外線ランプＢが用いられている。
【００５５】
第１の制御部１８Ａは、第１の光照射ユニット２０の放射光制御機構、および第１の温度モニタ３５および第１の湿度モニタ３６の測定結果に基づいて第１の送風手段３１、第１の循環風冷却除湿手段３２、第１の循環風加熱手段３３および第１の循環風加湿手段３４の動作を制御する雰囲気制御機構として作用するものである。
この第１の制御部１８Ａによる第１の光照射ユニット２０の放射光制御機構は、具体的に、下記の（１）〜（３）の点灯制御機能を有するものである。
【００５６】
（１）第１の紫外線光源を構成する複数の紫外線ランプ２１のうちの光放射口２２Ａ側に位置されている紫外線ランプＡの複数（以下、これらをまとめて「第１のランプＡ群」ともいう。）２１Ａ、および当該第１の紫外線光源を構成する複数の紫外線ランプ２１のうちのランプ用筐体２２の底部２２Ｂ側に位置されている紫外線ランプＢの複数（以下、これらをまとめて「第１のランプＢ群」ともいう。）２１Ｂから選択されたものを点灯させ、これにより第１の光放射ユニット２０から放射される光の分光放射分布を調整する機能。
（２）第１の紫外線光源における第１のランプＡ群２１Ａを構成する紫外線ランプＡのうちの点灯する紫外線ランプＡの数、および当該第１の紫外線光源における第１のランプＢ群２１Ｂを構成する紫外線ランプＢのうちの点灯する紫外線ランプＢの数を制御し、これにより、ワークＷの表面における放射照度を調整する、すなわち第１の光放射ユニット２０から放射される光の放射強度を調整する機能。
（３）第１の紫外線光源における第１のランプＡ群２１Ａを構成する紫外線ランプＡおよび第１のランプＢ群２１Ｂを構成する紫外線ランプＢに供給される電力量を制御し、これにより、ワークＷの表面における放射照度を調整する、すなわち第１の光放射ユニット２０から放射される光の放射強度を調整する機能。
【００５７】
第２の制御部１８Ｂは、第２の光照射ユニット２５の放射光制御機構、および第２の温度モニタ４５および第２の湿度モニタ４６の測定結果に基づいて第２の送風手段４１、第２の循環風冷却除湿手段４２、第２の循環風加熱手段４３および第２の循環風加湿手段４４の動作を制御する雰囲気制御機構として作用するものである。
この第２の制御部１８Ｂによる第２の光照射ユニット２５の放射光制御機構は、具体的に、下記の（１）〜（３）の点灯制御機能を有するものである。
【００５８】
（１）第２の紫外線光源を構成する複数の紫外線ランプ２６のうちの光放射口２２Ａ側に位置されている紫外線ランプＡの複数（以下、これらをまとめて「第２のランプＡ群」ともいう。）２６Ａ、および当該第２の紫外線光源を構成する複数の紫外線ランプ２６のうちのランプ用筐体２７の底部２７Ｂ側に位置されている紫外線ランプＢの複数（以下、これらをまとめて「第２のランプＢ群」ともいう。）２６Ｂから選択されたものを点灯させ、これにより第２の光放射ユニット２５から放射される光の分光放射分布を調整する機能。
（２）第２の紫外線光源における第２のランプＡ群２６Ａを構成する紫外線ランプＡのうちの点灯する紫外線ランプＡの数、および当該第２の紫外線光源における第２のランプＢ群２６Ｂを構成する紫外線ランプＢのうちの点灯する紫外線ランプＢの数を制御し、これにより、ワークＷの表面における放射照度を調整する、すなわち第２の光放射ユニット２５から放射される光の放射強度を調整する機能。
（３）第２の紫外線光源における第２のランプＡ群２６Ａを構成する紫外線ランプＡおよび第２のランプＢ群２６Ｂを構成する紫外線ランプＢに供給される電力量を制御し、これにより、ワークＷの表面における放射照度を調整する、すなわち第２の光放射ユニット２５から放射される光の放射強度を調整する機能。
【００５９】
主制御部１９は、試験対象体とされるワークＷとしての太陽電池モジュールの種類および設置場所の情報に基づいて、予め記憶されている太陽電池モジュールの種類および太陽電池モジュールの設置場所に応じた種々の試験条件から適宜のものを選定し、第１の制御部１８Ａおよび第２の制御部１８Ｂによって行われる、第１の光照射ユニット２０および第２の光照射ユニット２５の点灯制御の条件、および第１の循環風路３０および第２の循環風路４０における雰囲気制御の条件を設定するための試験環境設定手段として作用するものである。
【００６０】
このような構成の第１の太陽電池試験用光照射装置１０によれば、チャンバ１１内に、ワーク支持部１２に支持されることよってワークＷとしての太陽電池モジュールが保持されることにより、チャンバ１１の内部空間が表面側空間Ｓ１と裏面側空間Ｓ２とに分割され、当該太陽電池モジュールは、その表面における受光面が表面側空間Ｓ１に露出した状態とされると共に、裏面における保護シートの表面が裏面側空間Ｓ２に露出した状態とされる。そして、第１の光照射ユニット２０および第２の光照射ユニット２５において、第１の紫外線光源を構成する紫外線ランプ２１および第２の紫外線光源を構成する紫外線ランプ２６が点灯されることにより、太陽電池モジュールの表面、具体的には太陽電池モジュールの受光面に対しては、第１の光照射ユニット２０から放射される第１の紫外線光源よりの紫外線を含む光が照射され、一方、太陽電池モジュールの裏面、具体的には太陽電池モジュールの保護シートの表面に対しては、第２の光照射ユニット２５から放射される第２の紫外線光源よりの紫外線を含む光が照射され、これにより、太陽電池モジュールに対する寿命加速試験が実施される。
【００６１】
而して、この第１の太陽電池試験用光照射装置１０においては、太陽電池モジュールが保持されたチャンバ１１の内部空間が裏面側空間Ｓ２と表面側空間Ｓ１とに分割されており、しかも表面側空間Ｓ１には、当該表面側空間Ｓ１に連通する第１の循環風路３０が設けられていると共に、裏面側空間Ｓ２には、当該裏面側空間Ｓ２に連通する第２の循環風路４０が設けられていることから、主制御部１９において適宜選択された試験条件に基づいて第１の制御部１８Ａおよび第２の制御部１８Ｂにより、第１の循環風路３０には第１の循環空気、第２の循環風路４０には第２の循環空気を流通させることにより、表面側空間Ｓ１および裏面側空間Ｓ２における雰囲気を個別に調整することができる。
具体的には、表面側空間Ｓ１においては、第１の制御部１８Ａにより、第１の送風手段３１、第１の循環風冷却除湿手段３２、第１の循環風加熱手段３３および第１の循環風加湿手段３４が、予め定められた所期の選定条件で作動され、しかも第１の温度モニタ３５および第１の湿度モニタ３６の測定結果に基づいてフィードバック制御され、これにより、第１の循環空気の温度および湿度が調整されるため、その雰囲気が調整される。
ここに、第１の循環風路３０では、第１の送風手段３１によって送出された空気が第１の循環風冷却除湿手段３２によって冷却および除湿された後、この第１の循環風冷却除湿手段３２から送出された除湿された乾燥空気が第１の循環風加熱手段３３によって加熱され、更に第１の循環風加熱手段３３から送出される空気に第１の循環風加湿手段３４によって蒸気を注入することにより、第１の循環風路３０およびチャンバ１１における表面側空間Ｓ１を流通する第１の循環空気の温度および湿度が調整される。
また、裏面側空間Ｓ２においては、第２の制御部１８Ｂにより、第２の送風手段４１、第２の循環風冷却除湿手段４２、第２の循環風加熱手段４３および第２の循環風加湿手段４４が、予め定められた所期の選定条件で作動され、しかも第２の温度モニタ４５および第２の湿度モニタ４６の測定結果に基づいてフィードバック制御され、これにより、第２の循環空気の温度および湿度が調整されるため、その雰囲気が調整される。
ここに、第２の循環風路４０では、第２の送風手段４１によって送出された空気が第２の循環風冷却除湿手段４２によって冷却および除湿された後、この第２の循環風冷却除湿手段４２から送出された除湿された乾燥空気が第２の循環風加熱手段４３によって加熱され、更に第２の循環風加熱手段４３から送出される空気に第２の循環風加湿手段４４によって蒸気を注入することにより、第２の循環風路４０およびチャンバ１１における裏面側空間Ｓ２を流通する第２の循環空気の温度および湿度が調整される。
【００６２】
また、第１の太陽電池試験用光照射装置１０においては、ワークＷの表面側には第１の光照射ユニット２０が設けられていると共に、ワークＷの裏面側には第２の光照射ユニット２５が設けられており、しかも第１の光照射ユニット２０および第２の光照射ユニット２５は、第１の紫外線光源および第２の紫外線光源が、異なる分光放射分布を有する２種類の紫外線ランプＡおよび紫外線ランプＢにより構成されていることから、主制御部１９において適宜選択された試験条件に基づいて第１の制御部１８Ａおよび第２の制御部１８Ｂにより、第１の紫外線光源および第２の紫外線光源の各々において、ランプＡ群およびランプＢ群から選択されたものを点灯させることにより、第２の光照射ユニット２５および第１の光放射ユニット２０から放射される光の分光放射分布、すなわちワークＷの表面および裏面における分光放射照度分布を個別に調整することができる。
また、第１の光照射ユニット２０および第２の光照射ユニット２５において、各々、点灯する紫外線ランプＡの数および点灯する紫外線ランプＢの数を制御すること、あるいは紫外線ランプＡおよび紫外線ランプＢに供給される電力量を制御することによれば、分光放射分布の調整と共に、ワークＷの表面および裏面に対して放射される光の放射強度、すなわちワークＷの表面および裏面における放射照度を個別に調整することができる。
【００６３】
ここに、第１の光照射ユニット２０および第２の光照射ユニット２５の各々から放射される光の分光放射分布の調整例を、図６を用いて説明する。
図６においては、第１の光照射ユニット２０に係る紫外線ランプ２１および第２の光照射ユニット２５に係る紫外線ランプ２６のうちの消灯しているものを墨を付して示す。
【００６４】
図６（ａ）に示すように、第１の光照射ユニット２０において、第１の紫外線光源を構成する紫外線ランプ２１のうちの第１のランプ群２１Ａのみを点灯させることを選択し、かつ第１のランプＡ群２１Ａに属する紫外線ランプ２１のすべてを点灯させ、一方、第１のランプＢ群２１Ｂに属する紫外線ランプ２１のすべてを消灯させた場合には、第１の光照射ユニット２０から放射される光は、紫外線ランプＡに係る分光放射分布、具体的には図５において曲線（Ａ）で示される分光放射分布を有するものとなる。また、第２の光照射ユニット２５において、第１の光照射ユニット２０と同様に、第２の紫外線光源を構成する紫外線ランプ２６のうちの第２のランプＡ群２６Ａのみを点灯させることを選択し、かつ第２の紫外線光源を構成する複数の紫外線ランプ２６のうちの第２のランプＡ群２６Ａに属する紫外線ランプ２６のすべてを点灯させ、一方、第２のランプＢ群２６Ｂに属する紫外線ランプ２６のすべてを消灯させた場合には、第２の光照射ユニット２５から放射される光は、紫外線ランプＡに係る分光放射分布、具体的には図５において曲線（Ａ）で示される分光放射分布を有するものとなる。
図６（ｂ）に示すように、第１の光照射ユニット２０において、第１の紫外線光源を構成する複数の紫外線ランプ２１のうちの第１のランプＢ群２１Ｂのみを点灯させることを選択し、かつ第１のランプＢ群２１Ｂに属する紫外線ランプ２１のすべてを点灯させ、一方、第１のランプＡ群２１Ａに属する紫外線ランプ２１のすべてを消灯させた場合には、第１の光照射ユニット２０から放射される光は、紫外線ランプＢに係る分光放射分布、具体的には図５において曲線（Ｂ）で示される分光放射分布を有するものとなる。また、第２の光照射ユニット２５において、第１の光照射ユニット２０と同様に、第２の紫外線光源を構成する紫外線ランプ２６のうちの第２のランプＢ群２６Ｂのみを点灯させることを選択し、かつ第２のランプＢ群２６Ｂに属する紫外線ランプ２６のすべてを点灯させ、一方、第２のランプＡ群２６Ａに属する紫外線ランプ２６のすべてを消灯させた場合には、第２の光照射ユニット２５から放射される光は、紫外線ランプＢに係る分光放射分布、具体的には図５において曲線（Ｂ）で示される分光放射分布を有するものとなる。
また、図６（ｃ）に示すように、第１の光照射ユニット２０において、第１の紫外線光源を構成する第１のランプＡ群２１Ａおよび第１のランプＢ群２１Ｂを共に点灯させることを選択し、かつ第１のランプＡ群２１Ａおよび第１のランプＢ群２１Ｂに属する紫外線ランプ２１のすべてを点灯させると共に、第１のランプＡ群２１Ａに属する紫外線ランプ２１および第１のランプＢ群２１Ｂに属する紫外線ランプ２１の各々に供給する電力を調整した場合には、第１の光照射ユニット２０から放射される光は、図５において曲線（Ｃ）で示される分光放射分布を有し、放射強度が調整されたものとなる。また、第２の光照射ユニット２５において、第１の光照射ユニット２０と同様に、第２の紫外線光源を構成する第２のランプＡ群２６Ａおよび第２のランプＢ群２６Ｂを共に点灯させることを選択し、かつ第２のランプＡ群２６Ａおよび第２のランプＢ群２６Ｂに属する紫外線ランプ２６のすべてを点灯させると共に、第２のランプＡ群２６Ａに属する紫外線ランプ２６および第２のランプＢ群２６Ｂに属する紫外線ランプ２６の各々に供給する電力を調整した場合には、第２の光照射ユニット２５から放射される光は、図５において曲線（Ｃ）で示される分光放射分布を有し、放射強度が調整されたものとなる。
また、図６（ｄ）に示すように、第１の光照射ユニット２０において、第１の紫外線光源を構成する第１のランプＡ群２１Ａおよび第１のランプＢ群２１Ｂを共に点灯させることを選択し、かつ第１のランプＡ群２１Ａおよび第１のランプＢ群２１Ｂに属する紫外線ランプ２１を１本おきに点灯させた場合には、第１の光照射ユニット２０から放射される光は、図５において曲線（Ｃ）で示される分光放射分布を有し、放射強度が調整されたものとなる。また、第２の光照射ユニット２５において、第１の光照射ユニット２０と同様に、第２の紫外線光源を構成する第２のランプＡ群２６Ａおよび第２のランプＢ群２６Ｂを共に点灯させることを選択し、かつ第２のランプＡ群２６Ａおよび第２のランプＢ群２６Ｂに属する紫外線ランプ２６を１本おきに点灯させた場合には、第２の光照射ユニット２５から放射される光は、図５において曲線（Ｃ）で示される分光放射分布を有し、放射強度が調整されたものとなる。
【００６５】
このように第１の太陽電池試験用光照射装置１０によれば、ワークＷとしての太陽電池モジュールの裏面に対しても光を照射することができ、しかも当該太陽電池モジュールの表面および裏面に対して、各々、異なる放射強度および分光放射分布を有する光を照射することができると共に、表面側空間Ｓ１および裏面側空間Ｓ２の温度条件および湿度条件を異なるものとできることから、太陽電池モジュールの寿命加速試験において、太陽電池モジュールの種類および設置場所に応じて必要とされる試験条件が如何なる条件であっても、その必要とされる試験条件に応じた試験環境を形成することができるため、実用使用条件に則した試験条件で試験を行うことができ、よって実用使用条件に則して加速度を高めることができる。
【００６６】
更に、第１の太陽電池試験用光照射装置１０においては、ワークＷとしての太陽電池モジュールの表面に対して、希望する任意の分光放射分布を有する光を照射することができるため、寿命試験における紫外線照射条件（分光放射照度分布条件）の異なる結晶系太陽電池モジュールおよび薄膜系太陽電池モジュールの双方に対して寿命加速試験を実施することができる。
【００６７】
〔第２の実施の形態〕
図７は、本発明の太陽電池試験用光照射装置の他の構成の例の要部の概略を、試験される太陽電池モジュールよりなるパネルと共に示す説明図である。
第２の実施の形態に係る太陽電池試験用光照射装置（以下、「第２の太陽電池試験用光照射装置」ともいう。）は、第１の光照射ユニット５１として、第１の紫外線光源から放射される光のうちの特定の波長の光を透過する第１の波長選択フィルター５２が交換可能に設けられており、第１の紫外線光源を構成する複数の紫外線ランプ２１が１種類の紫外線ランプによって構成されてなるものを用い、また第２の光照射ユニット５４として、第２の紫外線光源から放射される光のうちの特定の波長の光を透過する波長選択フィルター５５が交換可能に設けられており、第２の紫外線光源を構成する複数の紫外線ランプ２６が１種類の紫外線ランプによって構成されてなるものを用い、更に、第１の制御部１８Ａおよび第２の制御部１８Ｂが、第１の紫外線光源および第２の紫外線光源の各々において、ランプＡ群およびランプＢ群から選択されたものを点灯させる機能を有さないものであること以外は、図１に係る第１の太陽電池試験用光照射装置１０と同様の構成を有するものである。
この第２の太陽電池試験用光照射装置においては、第１の波長選択フィルター５２と、第１の制御部１８Ａとによって第１の光照射ユニット５１の放射光制御機構が構成されており、また、第２の波長選択フィルター５５と、第２の制御部１８Ｂとによって第２の光照射ユニット５４の放射光制御機構が構成されている。
【００６８】
この第２の太陽電池試験用光照射装置において、第１の波長選択フィルター５２は、ランプ用筐体２２の光放射口２２Ａを塞ぐように設けられており、また、第２の波長選択フィルター５５は、ランプ用筐体２７の光放射口２７Ａを塞ぐように設けられている。
【００６９】
第１の波長選択フィルター５２および第２の波長選択フィルター５５は、各々、紫外線光源を構成する紫外線ランプの種類（紫外線ランプの有する分光放射分布）および第１の光照射ユニット５１および第２の光照射ユニット５４の各々に必要とされる光放射分布特性に応じて適宜の波長選択特性を有するものが用いられる。よって、第１の波長選択フィルター５２および第２の波長選択フィルター５５は、同一の波長選択特性を有するものであっても、異なる波長選択特性を有するものであってもよい。
【００７０】
このような構成の第２の太陽電池試験用光照射装置においては、ワークＷの表面側には第１の光照射ユニット５１が設けられていると共に、ワークＷの裏面側には第２の光照射ユニット５４が設けられており、しかも第１の光照射ユニット５１および第２の光照射ユニット５４には、第１の波長選択フィルター５２および第２の波長選択フィルター５５が交換可能に設けられていることから、第１の波長選択フィルター５２および第２の波長選択フィルター５５として適宜の波長選択特性を有するものを用いることにより、第１の光照射ユニット５１および第２の光放射ユニット５４から放射される光の分光放射分布、すなわちワークＷの表面および裏面における分光放射照度分布を個別に調整することができる。
また、第１の光照射ユニット５１および第２の光照射ユニット５４において、各々、点灯する紫外線ランプ２１，２６の数を制御すること、あるいは紫外線ランプ２１，２６に供給される電力量を制御することにより、ワークＷの表面および裏面に対して放射される光の放射強度、すなわちワークＷの表面および裏面における放射照度を個別に調整することができる。
【００７１】
ここに、第１の光照射ユニット５１および第２の光照射ユニット５４の各々における放射される光の放射強度は、例えば、図８（ａ）に示すように、第１の光照射ユニット５１および第２の光照射ユニット５４のいずれにおいても、第１の紫外線光源および第２の紫外線光源を構成するすべての紫外線ランプ２１および紫外線ランプ２６を点灯させること、図８（ｂ）に示すように、第１の光照射ユニット５１および第２の光照射ユニット５４のいずれにおいても、第１の紫外線光源および第２の紫外線光源を構成する紫外線ランプ２１および紫外線ランプ２６のうちの２／３を点灯させること、図８（ｃ）に示すように、第１の光照射ユニット５１および第２の光照射ユニット５４のいずれにおいても、第１の紫外線光源および第２の紫外線光源を構成する紫外線ランプ２１および紫外線ランプ２６のうちの１／２を点灯させること、あるいは図８（ｄ）に示すように、第１の光照射ユニット５１および第２の光照射ユニット５４のいずれにおいても、第１の紫外線光源および第２の紫外線光源を構成する紫外線ランプ２１および紫外線ランプ２６のうちの１／３を点灯させることになどよって調整することができる。
このように点灯する紫外線ランプ２１，２６の数を制御することによって放射される光の放射強度を調整する場合においては、ワークＷ上における放射照度分布をできるだけ均一に維持するために、消灯させるランプの位置は、図８（ａ）〜図８（ｄ）に示すようにできるだけワークの中心点に対応する点に関して対称であることが望ましい。
図８においては、消灯している紫外線ランプ２１，２６を墨を付して示している。
【００７２】
第２の太陽電池試験用光照射装置によれば、第１の太陽電池試験用光照射装置１０と同様に、ワークＷとしての太陽電池モジュールの裏面に対しても光を照射することができ、しかも当該太陽電池モジュールの表面および裏面に対して、各々、異なる放射強度および分光放射分布を有する光を照射することができると共に、表面側空間Ｓ１および裏面側空間Ｓ２の温度条件および湿度条件を異なるものとできるため、太陽電池モジュールの寿命加速試験において、太陽電池モジュールの種類および設置場所に応じて必要とされる試験条件が如何なる条件であっても、その必要とされる試験条件に応じた試験環境を形成することができるため、実用使用条件に則した試験条件で試験を行うことができ、よって実用使用条件に則して加速度を高めることができる。
更に、第２の太陽電池試験用光照射装置によれば、太陽電池モジュールよりなるパネルの表面に対して、希望する任意の分光放射分布を有する光を照射することができるため、寿命試験における紫外線照射条件（分光放射照度分布条件）の異なる結晶系太陽電池モジュールおよび薄膜系太陽電池モジュールの双方に対して寿命加速試験を実施することができる。
【００７３】
〔第３の実施の形態〕
図９は、本発明の太陽電池試験用光照射装置の更に他の構成の例の要部を、試験される太陽電池モジュールよりなるパネルと共に示す説明図である。
第３の実施の形態に係る太陽電池試験用光照射装置（以下、「第３の太陽電池試験用光照射装置」ともいう。）は、第１の光照射ユニット６１として、チャンバ１１内に保持されるワークＷとの間に位置される第１の透過光調整手段６２が設けられており、第１の紫外線光源における第１のランプＢ群２１Ｂを構成する紫外線ランプ２１が、ランプ用筐体２２の光放射口２２Ａ側から透視した当該光放射口２２Ａの開口端面に平行な方向の投影面上において、第１のランプＡ群２１Ａを構成する紫外線ランプ２１に一部が重なるように位置されているものを用い、また第２の光照射ユニット６５として、チャンバ１１内に保持されるワークＷとの間に位置される第２の透過光調整手段６６が設けられており、第２の紫外線光源における第２のランプＢ群２６Ｂを構成する紫外線ランプ２６が、ランプ用筐体２７の光放射口２７Ａ側から透視した当該光放射口２７Ａの開口端面に平行な方向の投影面上において、第２のランプＡ群２６Ａを構成する紫外線ランプ２６に一部が重なるように位置されているものを用い、更に第１の制御部１８Ａおよび第２の制御部１８Ｂが、点灯する紫外線ランプ２１，２６の数を制御する機能、および紫外線ランプ２１，２６に供給される電力量を制御する機能を有さず、第１の透過光調整手段６２および第２の透過光調整手段６６の動作を制御する機能を有するものであること以外は、図１に係る第１の太陽電池試験用光照射装置１０と同様の構成を有するものである。
この第３の太陽電池試験用光照射装置においては、第１の透過光調整手段６２と、第１の制御部１８Ａとによって第１の光照射ユニット６１の放射光制御機構が構成されており、また、第２の透過光調整手段６６と、第２の制御部１８Ｂとによって第２の光照射ユニット６５の放射光制御機構が構成されている。
【００７４】
この第３の太陽電池試験用光照射装置において、第１の透過光調整手段６２は、ランプ用筐体２２の光放射口２２Ａを塞ぐように設けられており、また、第２の透過光調整手段６６は、ランプ用筐体２７の光放射口２７Ａを塞ぐように設けられている。
この第１の透過光調整手段６２は、図９および図１０に示すように、ランプ用筐体２２の光放射口２２Ａを塞ぐように設けられた、例えば円形状の開口６３Ａを複数有する開口板（以下、「固定開口板」ともいう。）６３と、この固定開口板６３上に一次元方向（図９および図１０における左右方向）に摺動可能に設けられた、例えば円形状の開口６４Ａを複数有する開口板（以下、「移動開口板」ともいう。）６４と、移動開口板６４を摺動駆動させるための開口板駆動手段（図示省略）とを具えてなるものであり、当該開口板駆動手段は、第１の制御部１８Ａを介して主制御部１９に接続されている。
図の例においては、移動開口板６４は、固定開口板６３上を摺動することのできるように固定開口板６３に比して僅かに小さな外径を有するものである。
【００７５】
第１の透過光調整手段６２を構成する固定開口板６３において、複数の開口６３Ａは、当該固定開口板６３の全面に格子状に配置されている。
また移動開口板６４は、固定開口板６３における複数の開口６３Ａのすべての開口率を調整することのできるものである。具体的には、図１０（ａ）に示すように固定開口板６３における複数の開口６３Ａを一様に全体が開口された状態（塞がれていない状態）とすることができると共に、図１０（ｂ）および図１０（ｃ）に示すように固定開口板６３における複数の開口６３Ａを一様に一部が塞がれた状態とすることができるものである。
この図の例においては、移動開口板６４の複数の開口６４Ａは、固定開口板６３の開口６３Ａと同一の内径（開口径）を有しており、当該開口６３Ａのピッチと同一のピッチで当該移動開口板６４の全面に格子状に配置されている。
また同図において、図１０（ｂ）および図１０（ｃ）には、図１０（ａ）で示される状態に移行するための移動開口板６４の移動方向が矢印によって示されている。
【００７６】
第２の透過光調整手段６６は、第１の透過光調整手段６２と同様の構成を有するものであり、図９および図１０に示すように、ランプ用筐体２７の光放射口２７Ａを塞ぐように設けられた、例えば円形状の開口６７Ａを複数有する開口板（以下、「固定開口板」ともいう。）６７と、この固定開口板６７上に一次元方向（図９および図１０における左右方向）に摺動可能に設けられた、例えば円形状の開口６８Ａを複数有する開口板（以下、「移動開口板」ともいう。）６８と、移動開口板６８を摺動駆動させるための開口板駆動手段（図示省略）とを具えてなるものであり、当該開口板駆動手段は、第２の制御部１８Ｂを介して主制御部１９に接続されている。
図の例においては、移動開口板６８は、固定開口板６７上を摺動することのできるように固定開口板６７に比して僅かに小さな外径を有するものである。
【００７７】
第２の透過光調整手段６６を構成する固定開口板６７において、複数の開口６７Ａは、当該固定開口板６７の全面に格子状に配置されている。
また移動開口板６８は、固定開口板６７における複数の開口６７Ａのすべての開口率を調整することのできるものである。具体的には、図１０（ａ）に示すように固定開口板６７における複数の開口６７Ａを一様に全体が開口された状態（塞がれていない状態）とすることができると共に、図１０（ｂ）および図１０（ｃ）に示すように固定開口板６７における複数の開口６７Ａを一様に一部が塞がれた状態とすることができるものである。
この図の例においては、移動開口板６８の複数の開口６８Ａは、固定開口板６７の開口６７Ａと同一の外径を有しており、当該開口６７Ａのピッチと同一のピッチで当該移動開口板６８の全面に格子状に配置されている。
また同図において、図１０（ｂ）および図１０（ｃ）には、図１０（ａ）で示される状態に移行するための移動開口板６８の移動方向が矢印によって示されている。
【００７８】
このような構成の第３の太陽電池試験用光照射装置においては、ワークＷの表面側には第１の光照射ユニット６１が設けられていると共に、ワークＷの裏面側には第２の光照射ユニット６５が設けられており、しかも第１の光照射ユニット６１および第２の光照射ユニット６５は、第１の紫外線光源および第２の紫外線光源が、異なる分光放射分布を有する２種類の紫外線ランプＡおよび紫外線ランプＢにより構成されていると共に、第１の透過光調整手段６２および第２の透過光調整手段６６が設けられていることから、第１の制御部１８Ａおよび第２の制御部１８Ｂにより、第１の紫外線光源および第２の紫外線光源の各々において、ランプＡ群およびランプＢ群から選択されたものを点灯させることにより、第１の光照射ユニット６１および第２の光放射ユニット６５から放射される光の分光放射分布、すなわちワークＷの表面および裏面における分光放射照度分布を個別に調整することができる。
また、第１の光照射ユニット６１および第２の光照射ユニット６５において、各々、第１の制御部１８Ａおよび第２の制御部１８Ｂにより、移動開口板６４，６８を開口板駆動手段によって摺動駆動させ、これにより、第１の透過光調整手段６２および第１の透過光調整手段６６における開口率を調整することにより、ワークＷの表面および裏面に対して放射される光の放射強度、すなわちワークＷの表面および裏面における放射照度を個別に調整することができる。
なお、第３の太陽電池試験用光照射装置においては、第１の光照射ユニット６１および第２の光照射ユニット６５の各々において、放射される光の分光放射分布がランプＡ群およびランプＢ群の点灯制御によって行われるため、点灯する紫外線ランプＡの数および点灯する紫外線ランプＢの数を制御すること、および紫外線ランプＡおよび紫外線ランプＢに供給される電力量を制御することによってワークＷの表面および裏面に対して放射される光の放射強度が調整されることはない。
【００７９】
第３の太陽電池試験用光照射装置によれば、第１の太陽電池試験用光照射装置１０と同様に、ワークＷとしての太陽電池モジュールの裏面に対しても光を照射することができ、しかも当該太陽電池モジュールの表面および裏面に対して、各々、異なる放射強度および分光放射分布を有する光を照射することができると共に、表面側空間Ｓ１および裏面側空間Ｓ２の温度条件および湿度条件を異なるものとできるため、太陽電池モジュールの寿命加速試験において、太陽電池モジュールの種類および設置場所に応じて必要とされる試験条件が如何なる条件であっても、その必要とされる試験条件に応じた試験環境を形成することができるため、実用使用条件に則した試験条件で試験を行うことができ、よって実用使用条件に則して加速度を高めることができる。
更に、第３の太陽電池試験用光照射装置によれば、太陽電池モジュールよりなるパネルの表面に対して、希望する任意の分光放射分布を有する光を照射することができるため、寿命試験における紫外線照射条件（分光放射照度分布条件）の異なる結晶系太陽電池モジュールおよび薄膜系太陽電池モジュールの双方に対して寿命加速試験を実施することができる。
【００８０】
この第３の太陽電池試験用光照射装置を用いて、砂漠地（砂地面）において、結晶系太陽電池モジュールがある程度の高さを有する架台の上に設置されるシチュエーションに対応した寿命加速試験を行う場合の当該第３の太陽電池試験用光照射装置の動作の具体的な一例を示す。
ここに、第３の太陽電池試験用光照射装置の主制御部１９に予め記憶されている試験条件のテーブルの具体例を表１に示す。
表１は、テーブルを定性的に示した例であり、実際は各条件が数値的に記憶されているものである。
【００８１】
【表１】
0005630457.tif 000002
【００８２】
表１において、「Ａ１」は、結晶系太陽電池モジュール用の分光放射分布の日本工業規格（ＪＩＳ）に準拠した条件であり、また「Ｂ１」は、薄膜系太陽電池モジュール用の分光放射分布の日本工業規格（ＪＩＳ）に準拠した条件である。また、「ａ１」〜「ａ４」は、条件「Ａ１」に基づいて、結晶系太陽電池モジュールの設置場所の地面（架台の設置面）を考慮し、当該設置場所の地面（架台の設置面）に応じて求められた条件であり、また「ｂ１」〜「ｂ４」は、薄膜系太陽電池モジュールの設置場所の地面（架台の設置面）を考慮し、当該設置場所の地面（架台の設置面）に応じて求められた条件である。
また、表１に示すテーブルにおいて、ワークＷとしての太陽電池モジュールの表面側における分光放射分布（第１の光照射ユニット６１から放射される紫外線を含む光の分光放射分布）は、太陽電池モジュールの種類に依存し、太陽電池モジュールの設置場所にかかわらず一定である。すなわち、ワークＷとしての太陽電池モジュールが結晶系太陽電池モジュールである場合には、太陽電池モジュールの表面側における分光放射分布条件は「Ａ１」と記憶されており、一方、太陽電池モジュールが薄膜系太陽電池モジュールである場合には、太陽電池モジュールの表面側における分光放射分布条件は「Ｂ１」と記憶されている。
一方、ワークＷの裏面側の分光放射分布（第２の光照射ユニット６５から放射される紫外線を含む光の分光放射分布）は、太陽電池モジュールの設置場所に依存する。例えば、太陽電池モジュールの設置場所の地面（架台の設置面）がコンクリート面であって、ワークＷとしての太陽電池モジュールの種類が結晶系太陽電池モジュールである場合には、太陽電池モジュールの裏面側における分光放射分布条件は「ａ１」と記憶されているが、設置場所の地面（架台の設置面）が砂地面であって、ワークＷとしての太陽電池モジュールの種類が結晶系太陽電池モジュールである場合には、太陽電池モジュールの裏面側における分光放射分布条件は「ａ２」と記憶されている。
【００８３】
（１）試験実施作業者により、主制御部１９に対して「結晶系太陽電池を砂漠地に設置する」という条件が入力される。
【００８４】
（２）主制御部１９は、予め記憶されているテーブルから、「結晶系太陽電池を砂漠地に設置する」という試験条件に対応するデータを読み込み、第１の制御部１８Ａと第２の制御部１８Ｂの各々に対して駆動指令を発する。
具体的には、第１の制御部１８Ａに対しては、ワークＷの表面に照射される紫外線を含む光の分光放射分布が「Ａ１」、ワークＷの表面側における紫外線を含む光の放射照度が「高」、およびチャンバ１１の表面側空間における温度が「高」であって湿度が「低」とする駆動指令が発せられる。
一方、第２の制御部１８Ｂに対しては、ワークＷの表面に照射される紫外線を含む光の分光放射分布が「ａ２」、ワークＷの表面側における紫外線を含む光の放射照度が「中」、チャンバ１１の裏面側空間Ｓ２における温度が「高」であって湿度が「低」とする駆動指令が発せられる。
【００８５】
（３）先ず、第１の制御部１８Ａおよび第２の制御部１８Ｂは、チャンバの表面側空間Ｓ１および裏面側空間Ｓ２の雰囲気を調整する。
具体的には、第１の制御部１８Ａは、第１の送風手段３１を駆動し、第１の循環風路３０およびチャンバ１１の表面側空間Ｓ１において第１の循環空気が流通するように送風を行う。
その後、第１の循環風路３０およびチャンバ１１の表面側空間Ｓ１を流通する第１の循環空気の温度の測定結果を第１の温度モニタ３５から受信すると共に、第１の循環空気の湿度の測定結果を第１の湿度モニタ３６から受信する。
そして、受信した温度および湿度の測定結果に基づき、第１の循環風冷却除湿手段３２、第１の循環風加熱手段３３、第１の循環風加湿手段３４をフィードバック制御して、チャンバ１１の表面側空間Ｓ１の温度が「高」であって湿度が「低」となるように調整する。
一方、第２の制御部１８Ｂは、第２の送風手段４１を駆動し、第２の循環風路４０およびチャンバ１１の裏面側空間Ｓ２において第２の循環空気が流通するように送風を行う。
その後、第２の循環風路４０およびチャンバ１１の裏面側空間Ｓ２を流通する第２の循環空気の温度の測定結果を第２の温度モニタ４５から受信するとともに、第２の循環空気の湿度の測定結果を第２の湿度モニタ４６から受信する。
そして、受信した温度および湿度の測定結果に基づき、第２の循環風冷却除湿手段４２、第２の循環風加熱手段４３、第２の循環風加湿手段４４をフィードバック制御して、チャンバ１１の裏面側空間Ｓ２の温度が「高」であって湿度が「低」となるように調整する。
【００８６】
（４）次に、第１の制御部１８Ａおよび第２の制御部１８Ｂは、ワークＷに照射される紫外線を含む光の分光放射分布と、ワークＷの表面側および裏面側における光照射面の放射照度とを調整する。
具体的には、第１の制御部１８Ａは、ワークＷの表面に照射される紫外線を含む光の分光放射分布が「Ａ１」となるように第１の電源部２４に指令すると共に、ワークＷの表面側における光照射面の紫外線を含む光の放射照度が「高」となるように、第１の透過光調整手段６２を制御して、当該第１の透過光調整手段６２の移動開口板６４の位置を調整する。
一方、第２の制御部１８Ｂは、ワークＷの裏面に照射される紫外線を含む光の分光放射分布が「ａ２」となるように第２の電源部２９に指令すると共に、ワークＷの裏面側における光照射面の紫外線を含む光の放射照度が「中」となるように、第２の透過光調整手段６６を制御して、当該第２の透過光調整手段６６の移動開口板６８の位置を調整する。
【００８７】
（５）第１の電源部２４および第２の電源部２９は、紫外線ランプ２１，２６の点灯を制御する。
具体的には、第１の電源部２４は、ワークＷの表面に照射される紫外線を含む光の分光放射分布が「Ａ１」となるように、第１のランプＡ群２１Ａおよび第１のランプＢ群２１Ｂの点灯制御を行う。
一方、第２の電源部２９は、ワークＷの裏面に照射される紫外線を含む光の分光放射分布が「ａ２」となるように、第２のランプＡ群および第２のランプＢ群２１Ｂの点灯制御を行う。
【００８８】
〔第４の実施の形態〕
図１１は、本発明の太陽電池試験用光照射装置のまた更に他の構成の例の要部を、試験される太陽電池モジュールよりなるパネルと共に示す説明図である。
第４の実施の形態に係る太陽電池試験用光照射装置（以下、「第４の太陽電池試験用光照射装置」ともいう。）は、第１の光照射ユニット７１として、チャンバ１１内に保持されるワークＷとの間に位置される第１の透過光調整手段７２が設けられており、第１の紫外線光源を構成する複数の紫外線ランプ２１が同一平面上に配置されてなるものを用い、また第２の光照射ユニット７５として、チャンバ１１内に保持されるワークＷとの間に位置される第２の透過光調整手段７６が設けられており、第２の紫外線光源を構成する複数の紫外線ランプ２６が同一平面上に配置されてなるものを用い、更に、第１の制御部１８Ａおよび第２の制御部１８Ｂが、点灯する紫外線ランプ２１，２６の数を制御する機能、および紫外線ランプ２１，２６に供給される電力量を制御する機能を有さず、第１の透過光調整手段７２および第２の透過光調整手段７６の動作を制御する機能を有するものであること以外は、図７に係る第２の太陽電池試験用光照射装置と同様の構成を有するものである。
この第４の太陽電池試験用光照射装置においては、第１の波長選択フィルター５２、第１の透過光調整手段７２および第１の制御部１８Ａによって第１の光照射ユニット７１の放射光制御機構が構成されており、また、第２の波長選択フィルター５５、第２の透過光調整手段７６および第２の制御部１８Ｂによって第２の光照射ユニット７５の放射光制御機構が構成されている。
【００８９】
この第４の太陽電池試験用光照射装置において、第１の透過光調整手段７２および第２の透過光調整手段７６は、第１の波長選択フィルター５２および第２の波長選択フィルター５５の表面（図９におけるワークＷ側の面）に設けられている。
第１の透過光調整手段７２は、固定開口板８１および移動開口板８２，８３が、紫外線ランプ２１のランプ中心軸方向に伸びる帯状の開口の複数が並列に形成されているものであること以外は図９および図１０に係る第３の太陽電池試験用光照射装置を構成する第１の透過光調整手段６２と同様の構成を有するものである。
また、第２の透過光調整手段７６は、固定開口板８４および移動開口板８５，８６が、紫外線ランプ２６のランプ中心軸方向に伸びる帯状の開口の複数が並列に形成されているものであること以外は図９および図１０に係る第３の太陽電池試験用光照射装置を構成する第２の透過光調整手段６６と同様の構成を有するものである。
【００９０】
第１の透過光調整手段７２としては、例えば図１２に示すように固定開口板８１および移動開口板８２が、いずれも矩形状の開口８１Ａ，８２Ａを有する構成のもの、および図１３に示すように矩形状の開口８１Ａを有する固定開口板８１と、略矩形状であって開口縁における２つの長辺のうちの一方（図１３における右方）が鋸歯状である開口８３Ａを有する移動開口板８３とよりなる構成のものなどが挙げられる。
【００９１】
ここに、図１２および図１３の固定開口板８１において、複数の開口８１Ａは、そのすべてが第１の紫外線光源を構成する紫外線ランプ２１に対向するように、すなわち複数の開口８１Ａのすべてが紫外線ランプ２１に対応する領域に位置するように並列に配置されている。具体的には、複数の開口８１Ａは、各々、第１の紫外線光源を構成する紫外線ランプ２１の外径よりも僅かに大きい短辺を有すると共に当該紫外線ランプ２１の全長よりも僅かに大きい長辺を有する矩形状を有しており、紫外線ランプ２１のピッチと同一のピッチで配置されている。
また、図１２の移動開口板８２は、固定開口板８１における複数の開口８１Ａのすべての開口率を調整することのできるものである。具体的には、図１２（ａ）に示すように固定開口板８１における複数の開口８１Ａを一様に全体が開口された状態（塞がれていない状態）とすることができると共に、図１２（ｂ）および図１２（ｃ）に示すように固定開口板８１における複数の開口８１Ａを一様に一部が塞がれた状態とすることができるものである。
この図１２の例においては、移動開口板８２の複数の開口８２Ａは、固定開口板８１の開口８１Ａと同一の内径（開口径）を有しており、当該開口８１Ａのピッチと同一のピッチで配置されている。
また同図において、図１２（ｂ）および図１２（ｃ）には、図１２（ａ）で示される固定開口板８１における複数の開口８１Ａが一様に全体が開口された状態（塞がれていない状態）から当該複数の開口８１Ａが一様に塞がれた状態に移行するための移動開口板８２の移動方向が矢印によって示されている。
また、図１３の移動開口板８３は、複数の開口８３Ａにおける一方（図１３における右方）の長辺が鋸歯状であること、当該移動開口板８３における複数の開口８３Ａの鋸歯状の辺に平行な２つの端辺の一方（図１３の例においては左方）が鋸歯状であること以外は図１２に係る移動開口板８２と同様の構成を有するものであり、図１３（ａ）に示すように固定開口板８１における複数の開口８１Ａを一様に全体が開口された状態（塞がれていない状態）とすることができると共に、図１３（ｂ）および図１３（ｃ）に示すように固定開口板８１における複数の開口８１Ａを一様に一部が塞がれた状態とすることができるものである。
また同図において、図１３（ｂ）および図１３（ｃ）には、図１３（ａ）で示される固定開口板８１における複数の開口８１Ａが一様に全体が開口された状態（塞がれていない状態）から当該複数の開口８１Ａが一様に塞がれた状態に移行するための移動開口板８３の移動方向が矢印によって示されている。
【００９２】
また、第２の透過光調整手段７６は、第１の透過光調整手段７２と同様の構成を有するものであり、例えば図１２に示すように固定開口板８４および移動開口板８５が、いずれも矩形状の開口８４Ａ，８５Ａを有する構成のもの、および図１３に示すように矩形状の開口８４Ａを有する固定開口板８４と、略矩形状であって開口縁における２つの長辺のうちの一方（図１３における右方）が鋸歯状である開口８６Ａを有する移動開口板８６とよりなる構成のものなどが挙げられる。
【００９３】
ここに、図１２および図１３の固定開口板８４において、複数の開口８４Ａは、そのすべてが第２の紫外線光源を構成する紫外線ランプ２６に対向するように、すなわち複数の開口８４Ａのすべてが紫外線ランプ２６に対応する領域に位置するように並列に配置されている。具体的には、複数の開口８４Ａは、各々、第２の紫外線光源を構成する紫外線ランプ２６の外径よりも僅かに大きい短辺を有すると共に当該紫外線ランプ２６の全長よりも僅かに大きい長辺を有する矩形状を有しており、紫外線ランプ２６のピッチと同一のピッチで配置されている。
また、図１２の移動開口板８５は、固定開口板８４における複数の開口８４Ａのすべての開口率を調整することのできるものである。具体的には、図１２（ａ）に示すように固定開口板８４における複数の開口８４Ａを一様に全体が開口された状態（塞がれていない状態）とすることができると共に、図１２（ｂ）および図１２（ｃ）に示すように固定開口板８４における複数の開口８４Ａを一様に一部が塞がれた状態とすることができるものである。
この図１２の例においては、移動開口板８５の複数の開口８５Ａは、固定開口板８４の開口８４Ａと同一の内径（開口径）を有しており、当該開口８４Ａのピッチと同一のピッチで配置されている。
また同図において、図１２（ｂ）および図１２（ｃ）には、図１２（ａ）で示される固定開口板８１における複数の開口８１Ａが一様に全体が開口された状態（塞がれていない状態）から当該複数の開口８１Ａが一様に塞がれた状態に移行するための移動開口板８５の移動方向が矢印によって示されている。
また、図１３の移動開口板８６は、複数の開口８６Ａにおける一方（図１３における右方）の長辺が鋸歯状であること、当該移動開口板８６における複数の開口８６Ａの鋸歯状の辺に平行な２つの端辺の一方（図１３の例においては左方）が鋸歯状であること以外は図１２に係る移動開口板８５と同様の構成を有するものであり、図１３（ａ）に示すように固定開口板８４における複数の開口８４Ａを一様に全体が開口された状態（塞がれていない状態）とすることができると共に、図１３（ｂ）および図１３（ｃ）に示すように固定開口板８４における複数の開口８４Ａを一様に一部が塞がれた状態とすることができるものである。
また同図において、図１３（ｂ）および図１３（ｃ）には、図１３（ａ）で示される固定開口板８１における複数の開口８１Ａが一様に全体が開口された状態（塞がれていない状態）から当該複数の開口８１Ａが一様に塞がれた状態に移行するための移動開口板８５の移動方向が矢印によって示されている。
【００９４】
このような構成の第４の太陽電池試験用光照射装置においては、ワークＷの表面側には第１の光照射ユニット７１が設けられていると共に、ワークＷの裏面側には第２の光照射ユニット７５が設けられており、しかも第１の光照射ユニット７１および第２の光照射ユニット７５は、第１の波長選択フィルター５２および第２の波長選択フィルター５５が交換可能に設けられていると共に、第１の透過光調整手段７２および第２の透過光調整手段７６が設けられていることから、第１の波長選択フィルター５２および第２の波長選択フィルター５５として適宜の波長選択特性を有するものを用いることにより、第１の光照射ユニット７１および第２の光放射ユニット７５から放射される光の分光放射分布、すなわちワークＷの表面および裏面における分光放射照度分布を個別に調整することができる。
また、第１の光照射ユニット７１および第２の光照射ユニット７５において、各々、第１の制御部１８Ａおよび第２の制御部１８Ｂにより、移動開口板８２，８５（８３，８６）を開口板駆動手段によって摺動駆動させ、これにより、第１の透過光調整手段７２および第２の透過光調整手段７６における開口率を調整することにより、ワークＷの表面および裏面に対して放射される光の放射強度、すなわちワークＷの表面および裏面における放射照度を個別に調整することができる。
【００９５】
第４の太陽電池試験用光照射装置によれば、第１の太陽電池試験用光照射装置１０と同様に、ワークＷとしての太陽電池モジュールの裏面に対しても光を照射することができ、しかも当該太陽電池モジュールの表面および裏面に対して、各々、異なる放射強度および分光放射分布を有する光を照射することができると共に、表面側空間Ｓ１および裏面側空間Ｓ２の温度条件および湿度条件を異なるものとできるため、太陽電池モジュールの寿命加速試験において、太陽電池モジュールの種類および設置場所に応じて必要とされる試験条件が如何なる条件であっても、その必要とされる試験条件に応じた試験環境を形成することができるため、実用使用条件に則した試験条件で試験を行うことができ、よって実用使用条件に則して加速度を高めることができる。
更に、第４の太陽電池試験用光照射装置によれば、太陽電池モジュールよりなるパネルの表面に対して、希望する任意の分光放射分布を有する光を照射することができるため、寿命試験における紫外線照射条件（分光放射照度分布条件）の異なる結晶系太陽電池モジュールおよび薄膜系太陽電池モジュールの双方に対して寿命加速試験を実施することができる。
【００９６】
また、第４の太陽電池試験用光照射装置においては、第１の透過光調整手段７２および第２の透過光調整手段７６において、移動開口板として、図１３に示したような構成のもの、すなわち開口が、開口縁における２つの長辺のうちの一方が鋸歯状である構成のものを用いることにより、ワークＷ上における放射照度分布をより均一なものとすることができる。
【００９７】
本発明の太陽電池試験用光照射装置においては、上記の実施の形態に限定されず、種々の変更を加えることが可能である。
例えば、第１の太陽電池試験用光照射装置および第３の太陽電池試験用光照射装置において、第１の光照射ユニットおよび第２の光照射ユニットを構成する２種類の紫外線ランプＡおよび紫外線ランプＢよりなる複数の紫外線ランプは、同一平面上において、紫外線ランプＡと紫外線ランプＢとが交互に並列配置されていてもよい。
また、第１の太陽電池試験用光照射装置および第３の太陽電池試験用光照射装置において、第１の光照射ユニットおよび第２の光照射ユニットを構成する２種類の紫外線ランプＡおよび紫外線ランプＢとしては、図５に示した分光放射分布以外の分光放射分布を有するものであってもよい。
【符号の説明】
【００９８】
１０    太陽電池試験用光照射装置
１１    チャンバ
１１Ａ    周壁部
１２    ワーク支持部
１３    ワーク載置用凸部
１４    固定用板部材
１６Ａ    第１の導入用開口
１６Ｂ    第１の排出用開口
１７Ａ    第２の導入用開口
１７Ｂ    第２の導入用開口
１８Ａ    第１の制御部
１８Ｂ    第２の制御部  
１９    主制御部
２０    第１の光照射ユニット
２１    紫外線ランプ
２１Ａ    第１のランプＡ群
２１Ｂ    第１のランプＢ群
２２    ランプ用筐体
２２Ａ    光放射口
２２Ｂ    底部
２４    第１の電源部
２５    第２の光放射ユニット
２６    紫外線ランプ
２６Ａ    第２のランプＡ群
２６Ｂ    第２のランプＢ群
２７    ランプ用筐体
２７Ａ    光放射口
２７Ｂ    底部
２９    第２の電源部
３０    表面側循環風路（第１の循環風路）
３１    第１の送風手段
３２    第１の循環風冷却除湿手段
３３    第１の循環風加熱手段
３４    第１の循環風加湿手段
３５    第１の温度モニタ
３６    第１の湿度モニタ
４０    裏面側循環風路（第２の循環風路）
４１    第２の送風手段
４２    第２の循環風冷却除湿手段
４３    第２の循環風加熱手段
４４    第２の循環風加湿手段
４５    第２の温度モニタ
４６    第２の湿度モニタ
５１    第１の光照射ユニット
５２    第１の波長選択フィルター
５４    第２の光照射ユニット
５５    第２の波長選択フィルター
６１    第１の光照射ユニット
６２    第１の透過光調整手段
６３    開口板（固定開口板）
６３Ａ    開口
６４    開口板（移動開口板）
６４Ａ    開口
６５    第２の光照射ユニット
６６    第２の透過光調整手段
６７    開口板（固定開口板）
６７Ａ    開口
６８    開口板（移動開口板）
６８Ａ    開口
７１    第１の光照射ユニット
７２    第１の透過光調整手段
７５    第２の光照射ユニット
７６    第２の透過光調整手段
８１    開口板（固定開口板）
８１Ａ    開口
８２    開口板（移動開口板）
８２Ａ    開口
８３    開口板（移動開口板）
８３Ａ    開口
８４    開口板（固定開口板）
８４Ａ    開口
８５    開口板（移動開口板）
８５Ａ    開口
８６    開口板（移動開口板）
８６Ａ    開口
１００    結晶系太陽電池モジュール
１０１    太陽電池セル
１０２    半導体層
１０３    反射防止膜
１０４Ａ,１０４Ｂ    電極    
１０５    インターコネクタ材
１０７    封止部
１０８    透光板
１０９    保護シート
１１２    フレーム
１１３    シール材
１２０    薄膜系太陽電池モジュール
１２１    太陽電池セル単位
１２２    半導体層
１２３    透光性基板
１２４Ａ    透明電極
１２４Ｂ    裏面電極
１２７    封止部
１２９    保護シート
１３２    フレーム
１３３    シール材
１４１    光照射ユニット
１４２    紫外線ランプ
１４３    ランプ用筐体
１４３Ａ    光放射口
１４５    チャンバ
１４５Ａ    開口
１４５Ｂ    周壁部
１４７    反射板
Ｓ１    表面側空間
Ｓ２    裏面側空間
Ｗ    ワーク
【図１】
0005630457.tif 000003
【図２】
0005630457.tif 000004
【図３】
0005630457.tif 000005
【図４】
0005630457.tif 000006
【図５】
0005630457.tif 000007
【図６】
0005630457.tif 000008
【図７】
0005630457.tif 000009
【図８】
0005630457.tif 000010
【図９】
0005630457.tif 000011
【図１０】
0005630457.tif 000012
【図１１】
0005630457.tif 000013
【図１２】
0005630457.tif 000014
【図１３】
0005630457.tif 000015
【図１４】
0005630457.tif 000016