(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（１１１）方位の単結晶シリコンである下地基板の上に、前記下地基板の基板面に対し（０００１）結晶面が略平行となるようにIII族窒化物層群を形成してなる、半導体素子用のエピタキシャル基板であって、
前記下地基板の上に形成された、ＡｌＮからなる第１のIII族窒化物層と、
前記第１のIII族窒化物層の上に形成され、ＩｎｘｘＡｌｙｙＧａｚｚＮ（ｘｘ＋ｙｙ＋ｚｚ＝１、０≦ｘｘ＜１、０≦ｙｙ＜１、０＜ｚｚ≦１）からなる第２のIII族窒化物層と、
前記第２のIII族窒化物層の上にエピタキシャル形成された少なくとも１つの第３のIII族窒化物層と、
を備え、
前記第１のIII族窒化物層が、柱状あるいは粒状の結晶もしくはドメインの少なくとも一種から構成される多結晶欠陥含有性層であって、（０００２）面のＸ線ロッキングカーブ半値幅が０．５度以上１．１度以下であり、（１０−１０）面のＸ線ロッキングカーブ半値幅が０．８度以上１．１度以下であり、
前記第１のIII族窒化物層と前記第２のIII族窒化物層との界面が３次元的凹凸面である、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項２】
請求項１に記載のエピタキシャル基板であって、
前記下地基板と前記第１のIII族窒化物層との間に、アモルファスの界面層が形成されてなることを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項３】
請求項２に記載のエピタキシャル基板であって、
前記界面層がＳｉＡｌｘＯｙＮｚからなることを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項４】
請求項３に記載のエピタキシャル基板であって、
前記第１のIII族窒化物層の（０００２）面のＸ線ロッキングカーブ半値幅が０．５度以上０．８度以下である、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のエピタキシャル基板であって、
計測対象面について原子間力顕微鏡により計測した５μｍ×５μｍ領域についての平均粗さを表面粗さと定義するとき、前記第２のIII族窒化物層と前記少なくとも１つの第３のIII族窒化物層との界面の表面粗さが、４ｎｍ以上１２ｎｍ以下である、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のエピタキシャル基板であって、
前記第２のIII族窒化物層がＡｌｙｙＧａｚｚＮ（ｙｙ＋ｚｚ＝１、０≦ｙｙ＜１、０＜ｚｚ≦１）からなることを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれかに記載のエピタキシャル基板であって、
前記第１のIII族窒化物層の凸部の密度が５×１０９／ｃｍ２以上５×１０１０／ｃｍ２以下であることを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれかに記載のエピタキシャル基板であって、
前記第１のIII族窒化物層の凸部の平均間隔が４５ｎｍ以上１４０ｎｍ以下であることを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれかに記載のエピタキシャル基板であって、
前記少なくとも１つの第３のIII族窒化物層が半導体素子の機能層を含むことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のいずれかに記載のエピタキシャル基板であって、
前記少なくとも１つの第３のIII族窒化物層が、相異なる組成の２種類以上のIII族窒化物層を前記第２のIII族窒化物層の直上に周期的に積層した超格子構造層を含む、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項１０のいずれかに記載のエピタキシャル基板を用いて作製した半導体素子。
【請求項１２】
（１１１）方位の単結晶シリコンである下地基板の上に、前記下地基板の基板面に対し（０００１）結晶面が略平行なIII族窒化物層群を形成してなる半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法であって、
前記下地基板の上にＡｌＮからなる第１のIII族窒化物層を形成する第１形成工程と、
前記第１のIII族窒化物層の上にＩｎｘｘＡｌｙｙＧａｚｚＮ（ｘｘ＋ｙｙ＋ｚｚ＝１、０≦ｘｘ＜１、０≦ｙｙ＜１、０＜ｚｚ≦１）からなる第２のIII族窒化物層を形成する第２形成工程と、
前記第２のIII族窒化物層の上に少なくとも１つの第３のIII族窒化物層をエピタキシャル形成する第３形成工程と、
を備え、
前記第１形成工程においては、成膜速度を２０ｎｍ／ｍｉｎ．以上とし、前記第１のIII族窒化物層を、柱状あるいは粒状の結晶もしくはドメインの少なくとも一種から構成され、表面が三次元的凹凸面であり、平均膜厚が２００ｎｍ以下の多結晶欠陥含有性層として形成する、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載のエピタキシャル基板の製造方法であって、
前記下地基板と前記第１のIII族窒化物層との間に、アモルファスの界面層を形成する界面層形成工程、
をさらに備えることを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載のエピタキシャル基板の製造方法であって、
前記界面層がＳｉＡｌｘＯｙＮｚからなることを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法。
【請求項１５】
請求項１２ないし請求項１４のいずれかに記載のエピタキシャル基板の製造方法であって、
計測対象面について原子間力顕微鏡により計測した５μｍ×５μｍ領域についての平均粗さを表面粗さと定義するとき、前記第２形成工程においては、表面粗さが４ｎｍ以上１２ｎｍ以下の前記第２のIII族窒化物層を形成することを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法。
【請求項１６】
請求項１２ないし請求項１５のいずれかに記載のエピタキシャル基板の製造方法であって、
前記第２形成工程においては、ＡｌｙｙＧａｚｚＮ（ｙｙ＋ｚｚ＝１、０≦ｙｙ＜１、０＜ｚｚ≦１）からなる前記第２のIII族窒化物層を形成することを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法。
【請求項１７】
請求項１２ないし請求項１６のいずれかに記載のエピタキシャル基板の製造方法であって、
前記第３形成工程が半導体素子の機能層を形成する工程を含むことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法。
【請求項１８】
請求項１２ないし請求項１７のいずれかに記載のエピタキシャル基板の製造方法であって、
前記第３形成工程が相異なる組成の２種類以上のIII族窒化物層を前記第２のIII族窒化物層の直上に周期的に積層する工程を含む、ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法。
【請求項１９】
請求項１２ないし請求項１８のいずれかに記載のエピタキシャル基板の製造方法を用いて作製した半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項２０】
請求項１２ないし請求項１８のいずれかに記載のエピタキシャル基板の製造方法を用いて作製した半導体素子用エピタキシャル基板を備える半導体素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子用のエピタキシャル基板に関し、特にIII族窒化物を用いて構成されるエピタキシャル基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
窒化物半導体は、直接遷移型の広いバンドギャップを有し、高い絶縁破壊電界および高い飽和電子速度を有することから、ＬＥＤやＬＤなどの発光デバイスや、ＨＥＭＴなど高周波／ハイパワーの電子デバイス用半導体材料として注目されている（例えば、"Highly Reliable 250W GaN High Electron Mobility Transistor Power Amplifier" Toshihide Kikkawa, Jpn. J. Appl. Phys. 44, (2005), 4896.（非特許文献１）参照）。【０００３】
エピタキシャル基板の低コスト化、さらにはシリコン系回路デバイスとの集積化などを目的として、上記のような窒化物デバイスを作製するにあたって単結晶シリコンを下地基板として用いる研究・開発が行われている（例えば、特開平１０−１６３５２８号公報（特許文献１）、特開２００４−３４９３８７号公報（特許文献２）、および特開２００５−３５０３２１号公報（特許文献３）参照）。【０００４】
しかしながら、サファイア基板やＳｉＣ基板を用いる場合に比較して、シリコン基板上に良質な窒化物膜を形成することは、以下のような理由で非常に困難であることが知られている。【０００５】
まず、シリコンと窒化物材料とでは、格子定数の値に大きな差異がある。このことは、シリコン基板と成長膜の界面にてミスフィット転位を発生させたり、核形成から成長に至るタイミングで３次元的な成長モードを促進させる要因となる。換言すれば、転位密度が少なく表面が平坦である良好な窒化物エピタキシャル膜の形成を阻害する要因となっている。【０００６】
また、シリコンに比べると窒化物材料の熱膨張係数の値は大きいため、シリコン基板上に高温で窒化物膜をエピタキシャル成長させた後、室温付近に降温させる過程において、窒化物膜内には引張応力が働く。その結果として、膜表面においてクラックが発生しやすくなるとともに、基板に大きな反りが発生しやすくなる。【０００７】
このほか、気相成長における窒化物材料の原料ガスであるトリメチルガリウム（ＴＭＧ）は、シリコンと液相化合物を形成しやすく、エピタキシャル成長を妨げる要因となることも知られている。【０００８】
こうした理由により、シリコン基板上に窒化物材料を成膜するにあたっては、膜表面の平坦性を確保しつつ、膜中の転位やクラックを抑制し、さらには応力により発生するウェハーの反りを低減すること、などが大きな技術課題となっている。【０００９】
特開平１０−１６３５２８号公報、特開２００４−３４９３８７号公報、特開２００５−３５０３２１号公報、およびKikkawaに開示された従来技術を用いた場合、シリコン基板上にＧａＮ膜をエピタキシャル成長することは可能である。しかしながら、得られたＧａＮ膜の結晶品質は、ＳｉＣやサファイアを下地基板として用いた場合と比べると決して良好なものではない。そのため、従来技術を用いて例えばＨＥＭＴのような電子デバイスを作製した場合には、電子移動度が低かったり、オフ時のリーク電流や耐圧が低くなったりするという問題があった。
【発明の概要】
【００１０】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、単結晶シリコンを下地基板とし、品質および特性の優れた窒化物エピタキシャル基板を提供することを目的とする。
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明の第１の態様では、（１１１）方位の単結晶シリコンである下地基板の上に、前記下地基板の基板面に対し（０００１）結晶面が略平行となるようにIII族窒化物層群を形成してなる、半導体素子用のエピタキシャル基板が、前記下地基板の上に形成された、ＡｌＮからなる第１のIII族窒化物層と、前記第１のIII族窒化物層の上に形成され、ＩｎｘｘＡｌｙｙＧａｚｚＮ（ｘｘ＋ｙｙ＋ｚｚ＝１、０≦ｘｘ＜１、０≦ｙｙ＜１、０＜ｚｚ≦１）からなる第２のIII族窒化物層と、前記第２のIII族窒化物層の上にエピタキシャル形成された少なくとも１つの第３のIII族窒化物層と、を備え、前記第１のIII族窒化物層が、柱状あるいは粒状の結晶もしくはドメインの少なくとも一種から構成される多結晶欠陥含有性層であって、（０００２）面のＸ線ロッキングカーブ半値幅が０．５度以上１．１度以下であり、（１０−１０）面のＸ線ロッキングカーブ半値幅が０．８度以上１．１度以下であり、前記第１のIII族窒化物層と前記第２のIII族窒化物層との界面が３次元的凹凸面であるようにした。
【００１３】
本発明の第２の態様では、第１の態様に係るエピタキシャル基板において、前記下地基板と前記第１のIII族窒化物層との間に、アモルファスの界面層が形成されてなるようにした。
【００１４】
本発明の第３の態様では、第２の態様に係るエピタキシャル基板において、前記界面層がＳｉＡｌｘＯｙＮｚからなるようにした。
【００１５】
本発明の第４の態様では、第３の態様に係る記載のエピタキシャル基板において、前記第１のIII族窒化物層の（０００２）面のＸ線ロッキングカーブ半値幅が０．５度以上０．８度以下であるようにした。
【００１６】
本発明の第５の態様では、第１ないし第４の態様のいずれかに係るエピタキシャル基板において、計測対象面について原子間力顕微鏡により計測した５μｍ×５μｍ領域についての平均粗さを表面粗さと定義するとき、前記第２のIII族窒化物層と前記少なくとも１つの第３のIII族窒化物層との界面の表面粗さが、４ｎｍ以上１２ｎｍ以下であるようにした。
【００１７】
本発明の第６の態様では、第１ないし第５の態様のいずれかに係るエピタキシャル基板において、前記第２のIII族窒化物層がＡｌｙｙＧａｚｚＮ（ｙｙ＋ｚｚ＝１、０≦ｙｙ＜１、０＜ｚｚ≦１）からなるようにした。
【００１８】
本発明の第７の態様では、第１ないし第６の態様のいずれかに係るエピタキシャル基板において、前記第１のIII族窒化物層の凸部の密度が５×１０９／ｃｍ２以上５×１０１０／ｃｍ２以下であるようにした。
【００１９】
本発明の第８の態様では、第１ないし第７の態様のいずれかに係るエピタキシャル基板において、前記第１のIII族窒化物層の凸部の平均間隔が４５ｎｍ以上１４０ｎｍ以下であるようにした。
【００２０】
本発明の第９の態様では、第１ないし第８の態様のいずれかに係るエピタキシャル基板において、前記少なくとも１つの第３のIII族窒化物層が半導体素子の機能層を含むようにした。
【００２１】
本発明の第１０の態様では、第１ないし第９の態様のいずれかに係るエピタキシャル基板において、前記少なくとも１つの第３のIII族窒化物層が、相異なる組成の２種類以上のIII族窒化物層を前記第２のIII族窒化物層の直上に周期的に積層した超格子構造層を含むようにした。
【００２２】
本発明の第１１の態様では、半導体素子を、第１ないし第１０の態様に係るエピタキシャル基板を用いて作製した。
【００２３】
本発明の第１２の態様では、（１１１）方位の単結晶シリコンである下地基板の上に、前記下地基板の基板面に対し（０００１）結晶面が略平行なIII族窒化物層群を形成してなる半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法が、前記下地基板の上にＡｌＮからなる第１のIII族窒化物層を形成する第１形成工程と、前記第１のIII族窒化物層の上にＩｎｘｘＡｌｙｙＧａｚｚＮ（ｘｘ＋ｙｙ＋ｚｚ＝１、０≦ｘｘ＜１、０≦ｙｙ＜１、０＜ｚｚ≦１）からなる第２のIII族窒化物層を形成する第２形成工程と、前記第２のIII族窒化物層の上に少なくとも１つの第３のIII族窒化物層をエピタキシャル形成する第３形成工程と、を備え、前記第１形成工程においては、成膜速度を２０ｎｍ／ｍｉｎ．以上とし、前記第１のIII族窒化物層を、柱状あるいは粒状の結晶もしくはドメインの少なくとも一種から構成され、表面が三次元的凹凸面であり、平均膜厚が２００ｎｍ以下の多欠陥含有性層として形成するようにした。
【００２５】
本発明の第１３の態様では、第１２の態様に係るエピタキシャル基板の製造方法において、前記下地基板と前記第１のIII族窒化物層との間に、アモルファスの界面層を形成する界面層形成工程、をさらに備えるようにした。
【００２６】
本発明の第１４の態様では、第１３の態様に係るエピタキシャル基板の製造方法において、前記界面層がＳｉＡｌｘＯｙＮｚからなるようにした。
【００２７】
本発明の第１５の態様では、第１２ないし第１４の態様のいずれかに係るエピタキシャル基板の製造方法の前記第２形成工程において、計測対象面について原子間力顕微鏡により計測した５μｍ×５μｍ領域についての平均粗さを表面粗さと定義するとき、表面粗さが４ｎｍ以上１２ｎｍ以下の前記第２のIII族窒化物層を形成するようにした。
【００２８】
本発明の第１６の態様では、第１２ないし第１５の態様のいずれかに係るエピタキシャル基板の製造方法の前記第２形成工程において、ＡｌｙｙＧａｚｚＮ（ｙｙ＋ｚｚ＝１、０≦ｙｙ＜１、０＜ｚｚ≦１）からなる前記第２のIII族窒化物層を形成するようにした。
【００２９】
本発明の第１７の態様では、第１２ないし第１６の態様のいずれかに係るエピタキシャル基板の製造方法において、前記第３形成工程が半導体素子の機能層を形成する工程を含むようにした。
【００３０】
本発明の第１８の態様では、第１２ないし第１７の態様のいずれかに係るエピタキシャル基板の製造方法において、前記第３形成工程が相異なる組成の２種類以上のIII族窒化物層を前記第２のIII族窒化物層の直上に周期的に積層する工程を含むようにした。
【００３１】
本発明の第１９の態様では、半導体素子用エピタキシャル基板を、第１２ないし第１８の態様のいずれかに係るエピタキシャル基板の製造方法を用いて作製した。
【００３２】
本発明の第２０の態様では、半導体素子が、第１２ないし第１８の態様のいずれかに係るエピタキシャル基板の製造方法を用いて作製した半導体素子用エピタキシャル基板を備えるようにした。
【００３３】
本発明の第１ないし第２０の態様によれば、第１のIII族窒化物層を結晶性の劣った多結晶欠陥含有性層として設けることによって、下地基板と第２のIII族窒化物層との格子ミスフィットが緩和される。また、第１のIII族窒化物層と第２のIII族窒化物層との界面を三次元的凹凸面とすることによって、第１のIII族窒化物層で発生した転位は当該界面で屈曲されて第２のIII族窒化物層において合体消失することになる。これらにより、単結晶シリコン基板を下地基板として用いた場合であっても、サファイア基板またはＳｉＣ基板を用いた場合と同程度の品質および特性を有するIII族窒化物機能層を備えたエピタキシャル基板を実現することができる。係るエピタキシャル基板を用いることで、例えばＨＥＭＴのような半導体素子をサファイア基板またはＳｉＣ基板を用いた場合よりも低コストで提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施の形態に係るエピタキシャル基板１０の構成を概略的に示す模式断面と、エピタキシャル基板１０のＴＥＭ観察像とを対比的に示す図である。
【図２】エピタキシャル基板１０のＨＡＡＤＦ（高角散乱電子）像を示す図である。
【図３】エピタキシャル基板１０における転位の消失の様子を模式的に示す図である。
【図４】実施例１、実施例２、および比較例１に係るエピタキシャル基板についての、ＡｌＮ層形成条件、および種々の評価結果を示す図である。
【図５】実施例３、実施例４、および比較例２に係るエピタキシャル基板についての、中間層の形成膜厚、および機能層についての評価結果を示す図である。
【図６】実施例５および実施例６に係るエピタキシャル基板についての、中間層の組成、および機能層についての評価結果を示す図である。
【図７】実施例７ないし実施例１０、および比較例４に係るエピタキシャル基板についての、層構成、および種々の評価結果を示す図である。
【図８】実施例１１ないし実施例１４、および比較例５に係るエピタキシャル基板についての、層構成および種々の評価結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
＜エピタキシャル基板の概略構成＞
図１は、本発明の実施の形態に係るエピタキシャル基板１０の構成を概略的に示す模式断面と、エピタキシャル基板１０のＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）による観察像とを対比的に示す図である。
【００３６】
エピタキシャル基板１０は、下地基板１と、初期層３と、中間層４と、機能層５とを主として備える。また、エピタキシャル基板１０は、図１に示すように、下地基板１と初期層３の間に界面層２を備える態様や、中間層４と機能層５の間に超格子構造層６を備える態様であってもよい。界面層２および超格子構造層６については後述する。
【００３７】
下地基板１は、（１１１）面の単結晶シリコンウェハーである。下地基板１の厚みに特段の制限はないが、取り扱いの便宜上、数百μｍから数ｍｍの厚みを有する下地基板１を用いるのが好ましい。
【００３８】
初期層３と、中間層４と、機能層５と、超格子構造層６とは、それぞれ、ウルツ鉱型のIII族窒化物を（０００１）結晶面が下地基板１の基板面に対し略平行となるように、エピタキシャル成長手法によって形成した層である。これらの層の形成は、有機金属化学気相成長法（ＭＯＣＶＤ法）により行うのが好適な一例である。
【００３９】
初期層３は、ＡｌＮからなる層（第１のIII族窒化物層）である。初期層３は、図１のＴＥＭ像からもわかるように、下地基板１の基板面に略垂直な方向（成膜方向）に成長した多数の微細な柱状結晶等（柱状結晶、粒状結晶、柱状ドメインあるいは粒状ドメインの少なくとも一種）から構成される層である。換言すれば、初期層３は、エピタキシャル基板１０の積層方向への一軸配向はしてなるものの、積層方向に沿った多数の結晶粒界もしくは転位を含有する、結晶性の劣った多欠陥含有性層である。なお、本実施の形態においては、便宜上、ドメイン粒界あるいは転位も含めて、結晶粒界と称することがある。初期層３における結晶粒界の間隔は大きくても数十ｎｍ程度である。
【００４０】
係る構成を有する初期層３は、ｃ軸傾き成分についてのモザイク性の大小もしくはらせん転位の多少の指標となる（０００２）面のＸ線ロッキングカーブ半値幅が、０．５度以上１．１度以下となるように、かつ、ｃ軸を回転軸とした結晶の回転成分についてのモザイク性の大小もしくは刃状転位の多少の指標となる（１０−１０）面のＸ線ロッキングカーブ半値幅が０．８度以上１．１度以下となるように、形成される。
【００４１】
一方、中間層４は、初期層３の上に形成された、ＩｎxxＡｌyyＧａzzＮ（ｘｘ＋ｙｙ＋ｚｚ＝１、０≦ｘｘ＜１、０≦ｙｙ＜１、０＜ｚｚ≦１）なる組成のIII族窒化物からなる層（第２のIII族窒化物層）である。好ましくは、中間層４は、ＡｌyyＧａzzＮ（ｙｙ＋ｚｚ＝１、０≦ｙｙ＜１、０＜ｚｚ≦１）なる組成のIII族窒化物からなる。
【００４２】
機能層５は、III族窒化物により形成される少なくとも１つの層であり、エピタキシャル基板１０の上にさらに所定の半導体層や電極などを形成することで半導体素子を構成する場合において、所定の機能を発現する層である。それゆえ、機能層５は、当該機能に応じた組成および厚みを有する１または複数の層にて形成される。
【００４３】
＜初期層と中間層の詳細構成とその効果＞
初期層３と中間層４との界面Ｉ１（初期層３の表面）は、初期層３を構成する柱状結晶等の外形形状を反映した三次元的凹凸面となっている。界面Ｉ１がこのような形状を有することは、図２に例示する、エピタキシャル基板１０のＨＡＡＤＦ（高角散乱電子）像において、明瞭に確認される。なお、ＨＡＡＤＦ像とは、走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）によって得られる、高角度に非弾性散乱された電子の積分強度のマッピング像である。ＨＡＡＤＦ像においては、像強度は原子番号の二乗に比例し、原子番号が大きい原子が存在する箇所ほど明るく（白く）観察される。
【００４４】
エピタキシャル基板１０においては、初期層３はＡｌＮからなるのに対して、中間層４は、上記の組成式が示すように、少なくともＧａを含むとともにＡｌＮとは異なる組成を有し、さらにはＩｎをも含み得る層である。ＧａおよびＩｎの方がＡｌよりも原子番号が大きいので、図２においては、中間層４が相対的に明るく、初期層３が相対的に暗く観察される。これにより、図２からは、両者の界面Ｉ１が、三次元的凹凸面となっていることが容易に認識される。
【００４５】
なお、図１の模式断面においては、初期層３の凸部３ａが略等間隔に位置するように示されているが、これは図示の都合にすぎず、実際には必ずしも等間隔に凸部３ａが位置するわけではない。好ましくは、初期層３は、凸部３ａの密度が５×１０9／ｃｍ2以上５×１０10／ｃｍ2以下であり、凸部３ａの平均間隔が４５ｎｍ以上１４０ｎｍ以下であるように形成される。これらの範囲をみたす場合、特に結晶品質の優れた機能層５の形成が可能となる。なお、本実施の形態において、初期層３の凸部３ａとは、表面（界面Ｉ１）において上に凸の箇所の略頂点位置のことを指し示すものとする。なお、本発明の発明者の実験および観察の結果、凸部３ａの側壁を形成しているのは、ＡｌＮの（１０−１１）面もしくは（１０−１２）面であることが確認されている。
【００４６】
初期層３の表面に上記の密度および平均間隔を満たす凸部３ａが形成されるには、平均膜厚が４０ｎｍ以上２００ｎｍ以下となるように初期層３を形成することが好ましい。平均膜厚が４０ｎｍより小さい場合には、上述のような凸部３ａを形成しつつＡｌＮが基板表面を覆い尽くす状態を実現することが難しくなる。一方、平均膜厚を２００ｎｍより大きくしようとすると、ＡｌＮ表面の平坦化が進行し始めるために上述のような凸部３ａを形成することが難しくなる。
【００４７】
なお、初期層３の形成は、所定のエピタキシャル成長条件のもとで実現されるが、初期層３をＡｌＮにて形成することは、シリコンと液相化合物を形成するＧａを含まないという点、および、横方向成長が比較的進みにくいので界面Ｉ１が三次元的凹凸面として形成されやすいという点において好適である。
【００４８】
エピタキシャル基板１０においては、下地基板１と中間層４との間に、上述のような態様にて結晶粒界を内在する多欠陥含有性層である初期層３を介在させることにより、下地基板１と中間層４あるいはさらにその上部に備わる機能層５との間の格子ミスフィットが緩和され、係る格子ミスフィットに起因する歪みエネルギーの蓄積が抑制されている。上述した初期層３についての（０００２）面および（１０−１０）面のＸ線ロッキングカーブ半値幅の範囲は、この結晶粒界による歪みエネルギーの蓄積が好適に抑制される範囲として定まるものである。
【００４９】
ただし、係る初期層３が介在することで、中間層４には、初期層３の柱状結晶等の結晶粒界が起点となった非常に多数の転位が伝播する。本実施の形態においては、初期層３と中間層４との界面Ｉ１を上述のように三次元的凹凸面とすることで、係る転位を効果的に低減させてなる。図３は、エピタキシャル基板１０における転位の消失の様子を模式的に示す図である。なお、図３においては後述する界面層２を省略している。
【００５０】
初期層３と中間層４との界面Ｉ１が三次元的凹凸面として形成されていることにより、初期層３で発生した転位ｄのほとんどは、図３に示すように、初期層３から中間層４へと伝播する（貫通する）際に、界面Ｉ１で屈曲される。より具体的には、界面Ｉ１のうち下地基板１に略平行な箇所を伝播する転位ｄ（ｄ０）については中間層４の上方にまで達しうるが、界面Ｉ１のうち下地基板１に対して傾斜している箇所を伝播する転位ｄ（ｄ１）は、中間層４の内部において合体消失する。結果として、初期層３を起点とする転位のうち、中間層４を貫通する転位はごく一部となる。
【００５１】
また、図３にその様子を模式的に示すように、中間層４は、好ましくは、その成長初期こそ初期層３の表面形状に沿って形成されるものの、成長が進むにつれて徐々にその表面が平坦化されていき、最終的には、１０ｎｍ以下の表面粗さを有するように形成される。なお、本実施の形態において、表面粗さは、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）により計測した５μｍ×５μｍ領域についての平均粗さｒａで表すものとする。ちなみに、中間層４が、横方向成長が比較的進みやすい、少なくともＧａを含む組成のIII族窒化物にて形成されることは、中間層４の表面平坦性を良好なものとするうえで好適である。
【００５２】
また、中間層４の平均厚みは、４０ｎｍ以上とするのが好適である。これは、４０ｎｍより薄く形成した場合には、初期層３に由来する凹凸が十分に平坦化しきれないことや、中間層４に伝播した転位の相互合体による消失が十分に起こらない、などの問題が生じるからである。尚、平均厚みが４０ｎｍ以上となるように形成した場合には、転位密度の低減や表面の平坦化が効果的になされるので、中間層４の厚みの上限については特に技術上の制限はないが、生産性の観点からは数μｍ以下程度の厚みに形成するのが好ましい。
【００５３】
上述のような態様にて形成されてなることで、中間層４は、少なくとも表面近傍において（すなわち機能層５あるいは超格子構造層６との界面近傍において）、転位密度が好適に低減されてなるとともに良好な結晶品質を有する。これにより、機能層５においても良好な結晶品質が得られる。あるいは、中間層４および機能層５の組成や形成条件によっては、機能層５を中間層４よりも低転位に形成することもできる。例えば、転位密度が６×１０9／ｃｍ2以下（うち、らせん転位の密度は２×１０9／ｃｍ2以下）であり、（０００２）面、（１０−１０）面のＸ線ロッキングカーブ半値幅がともに１０００ｓｅｃ以下であるという、優れた結晶品質の機能層５を形成することができる。すなわち、機能層５は、低転位でかつ非常に良好な結晶性を有するとともに、初期層３に比べてモザイク度が非常に小さい層として形成される。
【００５４】
ＭＯＣＶＤ法によりサファイア基板またはＳｉＣ基板上に低温ＧａＮバッファ層などを介して同じ総膜厚のIII族窒化物層群を形成した場合の転位密度の値は、おおよそ５×１０8〜１×１０10／ｃｍ2の範囲であるので、上述の結果は、サファイア基板を用いた場合と同等の品質を有するエピタキシャル基板が、サファイア基板よりも安価な単結晶シリコンウェハーを下地基板１として用いて実現されたことを意味している。
【００５５】
＜界面層＞
上述のように、エピタキシャル基板１０は、下地基板１と初期層３の間に界面層２を備える態様であってもよい。界面層２は、数ｎｍ程度の厚みを有し、アモルファスのＳｉＡｌxＯyＮzからなるのが好適な一例である。
【００５６】
下地基板１と初期層３との間に界面層２を備える場合、下地基板１と中間層４などとの格子ミスフィットがより効果的に緩和され、中間層４および機能層５の結晶品質がさらに向上する。すなわち、界面層２を備える場合には、初期層３であるＡｌＮ層が、界面層２を備えない場合と同様の凹凸形状を有しかつ界面層２を備えない場合よりも内在する結晶粒界が少なくなるように形成される。特に（０００２）面でのＸ線ロッキングカーブ半値幅の値が改善された初期層３が得られる。これは、下地基板１の上に直接に初期層３を形成する場合に比して、界面層２の上に初期層３を形成する場合の方が初期層３となるＡｌＮの核形成が進みにくく、結果的に、界面層２が無い場合に比べて横方向成長が促進されることによる。なお、界面層２の膜厚は５ｎｍを超えない程度で形成される。このような界面層２を備えた場合、初期層３を、（０００２）面のＸ線ロッキングカーブ半値幅が、０．５度以上０．８度以下の範囲となるように形成することができる。この場合、（０００２）面のＸ線ロッキングカーブ半値幅が８００ｓｅｃ以下であり、らせん転位密度が１×１０9／ｃｍ2以下であるという、さらに結晶品質の優れた機能層５を形成することができる。
【００５７】
なお、初期層３の形成時に、Ｓｉ原子とＯ原子の少なくとも一方が初期層３に拡散固溶してなる態様や、Ｎ原子とＯ原子の少なくとも一方が下地基板１に拡散固溶してなる態様であってもよい。
【００５８】
＜超格子構造層＞
上述のように、エピタキシャル基板１０は、中間層４と機能層５の間に超格子構造層６を備える態様であってもよい。図１に示す例であれば、超格子構造層６は、中間層４の上に、相異なる組成の２種類のIII族窒化物層である第１単位層６ａと第２単位層６ｂとを繰り返し交互に積層することにより形成されてなる。ここで、１つの第１単位層６ａと１つの第２単位層６ｂとの組をペア層とも称する。
【００５９】
エピタキシャル基板１０においては、下地基板１である単結晶シリコンウェハーとIII族窒化物との間に熱膨張係数の値に大きな差異があることに起因して、中間層４の面内方向に歪が生じているが、超格子構造層６は、係る歪みを緩和して機能層５への歪の伝播を抑制する作用を有している。
【００６０】
超格子構造層６は、エピタキシャル基板１０において必須の構成要素ではないが、超格子構造層６を備えることで、エピタキシャル基板１０におけるIII族窒化物層群の総膜厚が増加し、結果として、半導体素子における耐電圧が向上するという効果が得られる。なお、中間層４と機能層５の間に超格子構造層６を介在させたとしても、形成条件が好適に設定されていれば、機能層５の結晶品質は十分良好な程度に（超格子構造層６を有さない場合と同程度に）確保される。
【００６１】
図１に示すＨＥＭＴ素子用のエピタキシャル基板１０の場合であれば、超格子構造層６は、第１単位層６ａをＧａＮにて数十ｎｍ程度の厚みに形成し、第２単位層６ｂをＡｌＮにて数ｎｍ程度の厚みに形成するのが好適な一例である。なお、図１においては、ペア層を１５回繰り返し形成した場合を例示している。
【００６２】
中間層４に内在する歪が十分に開放される程度にペア層の形成を繰り返したうえで、機能層５を形成することで、下地基板１とIII族窒化物層群との熱膨張係数の差に起因するクラックや反りの発生が好適に抑制された、エピタキシャル基板１０が実現される。換言すれば、超格子構造層６は、エピタキシャル基板１０において、機能層５に対する歪の伝播を緩和する歪緩和能を有してなるといえる。
【００６３】
＜機能層の具体的態様＞
図１においては、エピタキシャル基板１０がＨＥＭＴ素子の基板として用いられる場合を想定して、機能層５として、高抵抗のＧａＮからなるチャネル層５ａと、ＡｌＮからなるスペーサ層５ｂと、ＡｌＧａＮやＩｎＡｌＮなどからなる障壁層５ｃとが形成される場合を例示している。チャネル層５ａは数μｍ程度の厚みに形成されるのが好適である。スペーサ層５ｂは１ｎｍ程度の厚みに形成されるのが好適である。ただし、ＨＥＭＴ素子を構成するにあたってスペーサ層５ｂは必須の構成要素ではない。障壁層５ｃは、数十ｎｍ程度の厚みに形成されるのが好適である。係る層構成を有することにより、チャネル層５ａの障壁層５ｃ（あるいはスペーサ層５ｂ）とのヘテロ接合界面近傍には、自発分極効果やピエゾ分極効果などによって二次元電子ガス領域が形成される。
【００６４】
あるいは、エピタキシャル基板１０がショットキーダイオードの基板として用いられる場合であれば、機能層５として、１つのIII族窒化物層（例えばＧａＮ層）が形成される。
【００６５】
さらに、エピタキシャル基板１０が発光ダイオードの基板として用いられる場合であれば、機能層５として、ｎ型窒化物層（例えばＧａＮ層）、目標とする発光波長に応じた組成比で構成されるＩｎＡｌＧａＮ混晶からなる発光層、ｐ型窒化物層（例えばＧａＮ層）などが形成される。
【００６６】
以上のような構成を有するエピタキシャル基板１０を用いることで、サファイア基板またはＳｉＣ基板の上にIII族窒化物層群を形成した半導体素子（例えばショットキーダイオードやＨＥＭＴ素子など）と同程度の特性を有する半導体素子が、より安価に実現される。
【００６７】
例えば、機能層５をＧａＮにて形成したエピタキシャル基板１０の上にアノードとカソードとを配置した同心円型ショットキーダイオードにおいては、小さいリーク電流と高い耐電圧とが実現される。
【００６８】
あるいは、ＨＥＭＴ素子に適用しうるように機能層５をＡｌＧａＮ／ＧａＮ積層構造として構成した場合であれば、結晶品質に優れ、電子移動度が高い機能層５が得られる。
【００６９】
＜エピタキシャル基板の製造方法＞
次に、ＭＯＣＶＤ法を用いる場合を例として、エピタキシャル基板１０を製造する方法について概説する。
【００７０】
まず、下地基板１として（１１１）面の単結晶シリコンウェハーを用意し、希フッ酸洗浄により自然酸化膜を除去し、さらにその後、ＳＰＭ洗浄を施してウェハー表面に厚さ数Å程度の酸化膜が形成された状態とする。これをＭＯＣＶＤ装置のリアクタ内にセットする。
【００７１】
そして所定の加熱条件とガス雰囲気のもとで各層を形成する。まず、ＡｌＮからなる初期層３は、基板温度を８００℃以上、１２００℃以下の所定の初期層形成温度に保ち、リアクタ内圧力を０．１ｋＰａ〜３０ｋＰａ程度とした状態で、アルミニウム原料であるＴＭＡ（トリメチルアルミニウム）バブリングガスとＮＨ3ガスとを適宜のモル流量比にてリアクタ内に導入し、成膜速度を２０ｎｍ／ｍｉｎ以上、目標膜厚を２００ｎｍ以下、とすることによって、形成させることができる。
【００７２】
なお、シリコンウェハーが初期層形成温度に達した後、初期層３の形成に先立って、ＴＭＡバブリングガスのみをリアクタ内に導入し、ウェハーをＴＭＡバブリングガス雰囲気に晒すようにした場合には、ＳｉＡｌxＯyＮzからなる界面層２が形成される。
【００７３】
中間層４の形成は、初期層３の形成後、基板温度を８００℃以上１２００℃以下の所定の中間層形成温度に保ち、リアクタ内圧力を０．１ｋＰａ〜１００ｋＰａとした状態で、ガリウム原料であるＴＭＧ（トリメチルガリウム）バブリングガスとＮＨ3ガスとを、あるいはさらに、インジウム原料であるＴＭＩ（トリメチルインジウム）バブリングガスあるいはＴＭＡバブリングガスを、作製しようとする中間層４の組成に応じた所定の流量比にてリアクタ内に導入し、ＮＨ3とＴＭＩ、ＴＭＡ、およびＴＭＧの少なくとも１つを反応させることにより実現される。
【００７４】
超格子構造層６を形成する場合は、中間層４の形成後、基板温度を８００℃以上１２００℃以下の所定の超格子構造層形成温度に保ち、リアクタ内圧力を０．１ｋＰａ〜１００ｋＰａとした状態で、第１単位層６ａと第２単位層６ｂの組成および膜厚に応じてリアクタ内に導入するＮＨ3ガスとIII族窒化物原料ガス（ＴＭＩ、ＴＭＡ、ＴＭＧのバブリングガス）との流量比を交互に変化させるようにすればよい。
【００７５】
機能層５の形成は、中間層４または超格子構造層６の形成後、基板温度を８００℃以上１２００℃以下の所定の機能層形成温度に保ち、リアクタ内圧力を０．１ｋＰａ〜１００ｋＰａとした状態で、ＴＭＩバブリングガス、ＴＭＡバブリングガス、あるいはＴＭＧバブリングガスの少なくとも１つとＮＨ3ガスとを、作製しようとする機能層５の組成に応じた流量比にてリアクタ内に導入し、ＮＨ3とＴＭＩ，ＴＭＡ、およびＴＭＧの少なくとも１つとを反応させることにより実現される。図１のように、機能層５を組成の異なる複数の層から構成する場合は、それぞれの層組成に応じた作製条件が適用される。
【実施例】
【００７６】
（実施例１）
本実施例では、初期層３の形成条件を違えた４種のエピタキシャル基板１０（試料名ａ−１〜ａ−４）を作製した。ただし、界面層２および超格子構造層６の形成は省略した。図４に、実施例１に係るエピタキシャル基板１０について、ＡｌＮ層（初期層）形成条件および種々の評価結果を示している。【００７７】
まず、下地基板１として（１１１）面の単結晶シリコンウェハー（以下、シリコンウェハー）を用意した。用意したシリコンウェハーに、フッ化水素酸／純水＝１／１０（体積比）なる組成の希フッ酸による希フッ酸洗浄と硫酸／過酸化水素水＝１／１（体積比）なる組成の洗浄液によるＳＰＭ洗浄とを施して、ウェハー表面に厚さ数Åの酸化膜が形成された状態とし、これをＭＯＣＶＤ装置のリアクタ内にセットした。次いで、リアクタ内を水素・窒素混合雰囲気とし、基板温度が初期層形成温度である１０５０℃となるまで加熱した。【００７８】
基板温度が１０５０℃に達すると、リアクタ内にＮＨ3ガスを導入し、１分間、基板表面をＮＨ3ガス雰囲気に晒した。【００７９】
その後、リアクタ内圧力を１０ｋＰａとし、ＴＭＡバブリングガスを所定の流量比にてリアクタ内に導入し、ＮＨ3とＴＭＡを反応させることによって表面が三次元的凹凸形状を有する初期層３を形成した。その際、初期層３の成長速度（成膜速度）は２０ｎｍ／ｍｉｎまたは５０ｎｍ／ｍｉｎとし、初期層３の目標平均膜厚は４０ｎｍ、１００ｎｍまたは２００ｎｍとした。【００８０】
初期層３が形成されると、続いて、基板温度を１０５０℃とし、リアクタ内圧力を２０ｋＰａとして、ＴＭＧバブリングガスをリアクタ内にさらに導入し、ＮＨ3とＴＭＡならびにＴＭＧとの反応により、中間層４としてのＡｌ0.3Ｇａ0.7Ｎ層を平均膜厚が５０ｎｍ程度となるように形成した。【００８１】
なお、以上の工程までを行った試料についてＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）およびＨＡＡＤＦ（高角散乱電子）像による構造分析を行った結果、初期層３たるＡｌＮ層が三次元的な表面凹凸形状を有する態様にて堆積されていることが確認された。また、図４に示すように、凸部３ａの密度が５×１０9／ｃｍ2以上５×１０10／ｃｍ2以下という範囲にあり、凸部３ａの平均間隔が４５ｎｍ以上１４０ｎｍ以下であることが確認された。なお、ＡｌＮ層のＸ線ロッキングカーブの半値幅を測定したところ、（０００２）面、（１０−１０）面ともに０．８度（２８７０ｓｅｃ）以上という値が得られた。【００８２】
また、Ａｌ0.3Ｇａ0.7Ｎ層の転位密度を評価したところ、層全体の平均値としては約１×１０11／ｃｍ2程度（らせん転位は１×１０10／ｃｍ2程度）であったが、Ａｌ0.3Ｇａ0.7Ｎ層表面においては、１×１０10／ｃｍ2程度（らせん転位は約２×１０9／ｃｍ2程度）となっていた。すなわち、多くの転位がＡｌＧａＮ膜の成長過程において合体、消失していることが確認された。【００８３】
次いで、基板温度を１０５０℃とし、リアクタ内圧力を３０ｋＰａとして、ＴＭＧとＮＨ3を反応させて機能層５としてのＧａＮ層を８００ｎｍの厚さで形成した。これによりエピタキシャル基板１０が得られた。なお、得られたエピタキシャル基板１０において、シリコンウェハー上に形成されたIII族窒化物層群の総膜厚は９５０ｎｍであった。また、エピタキシャル基板１０にクラックは確認されなかった。【００８４】
得られたエピタキシャル基板１０のＧａＮ層について、転位密度を測定した。図４に示すように、転位密度は最大でも５．７×１０9／ｃｍ2（その場合のらせん転位の密度は１．８×１０9／ｃｍ2）であり、いずれの試料においても、ＧａＮ層の方がＡｌ0.3Ｇａ0.7Ｎ層よりも転位が少ないことが確認された。また、ＧａＮ層のＸ線ロッキングカーブの半値幅を測定したところ、（０００２）面、（１０−１０）面ともに９８５ｓｅｃ以下という値が得られた。【００８５】
（比較例１）
初期層３の形成条件を、２０ｎｍ／ｍｉｎ以上という成膜速度と２００ｎｍ以下という目標膜厚との少なくとも一方をみたさないように定めた他は、実施例１と同様の条件での４種のエピタキシャル基板（試料名ｂ−１〜ｂ−４）を作製した。比較例１についても、図４に、係るエピタキシャル基板１０について、ＡｌＮ層形成条件および種々の評価結果を示している。【００８６】
（実施例１と比較例１との対比）
図４に示すように、実施例１では全ての試料において初期層３が三次元的凹凸を有するように形成されているのに対して、比較例１において初期層が三次元的凹凸を有するように形成されたのはｂ−２の試料のみである。特に、ｂ−４の試料については、（０００２）面の半値幅が極めて小さく、モザイク度が小さくなっていた。また、ｂ−２についても、実施例１に比べると十分な三次元的凹凸は得られなかった。【００８７】
また、ＧａＮ層について比較すると、実施例１ではどの試料においてもクラックは見られなかったのに対して、比較例１のｂ−２およびｂ−４の試料ではクラックが発生していた。また、クラックが確認されなかった試料について転位密度およびＸ線ロッキングカーブ半値幅を比較すると、実施例１の全ての試料において比較例１のｂ−２およびｂ−４の試料よりも転位密度が小さく、かつロッキングカーブ半値幅が小さくなっている。【００８８】
以上の結果は、シリコン基板を下地基板としてIII族窒化物半導体機能層を形成する場合、所定の三次元的凹凸を有する初期層を下地基板上に形成しておくことが、機能層の結晶品質の向上に対して有効であることを示している。【００８９】
（実施例２）
界面層２を設けるようにした他は、実施例１と同様の条件および手順で４種のエピタキシャル基板１０（試料名ａ−５〜ａ−８）を作製した。実施例２についても、図４に、係るエピタキシャル基板１０について、ＡｌＮ層形成条件および種々の評価結果を示している。【００９０】
具体的には、基板温度が初期層形成温度である１０５０℃に達した地点で、リアクタ内にＮＨ3ガスを導入して、１分間、基板表面をＮＨ3ガス雰囲気に晒した後、実施例１とは異なり、ＮＨ3ガス供給をいったん停止し、代わってＴＭＡバブリングガスをリアクタ内に導入し１分間ＴＭＡバブリングガス雰囲気に晒すようにした。その後、ＮＨ3ガスを再びリアクタ内に導入し、以降、実施例１と同様に初期層３、中間層４、および機能層５を形成した。【００９１】
初期層３までを形成した試料について、ＴＥＭおよびＨＡＡＤＦ像による構造分析、さらにＳＩＭＳ(二次イオン質量分析)、およびＥＤＳ（エネルギー分散型Ｘ線分光装置）による組成分析を行った結果、ＡｌＮ／Ｓｉ界面に３ｎｍ程度の膜厚でＳｉＡｌxＯyＮz（単にＳｉＡｌＯＮとも記す）からなるアモルファス状の界面層２が形成されていること、該界面層２の上に初期層３たるＡｌＮ層が三次元的な表面凹凸形状を有する態様にて堆積されていること、シリコンウェハー中にＮ、Ｏが拡散固溶していること、およびＡｌＮ層中にＳｉ、Ｏが拡散固溶していることが確認された。【００９２】
また、Ａｌ0.3Ｇａ0.7Ｎ層の転位密度を評価したところ、層全体の平均値としては約１×１０11／ｃｍ2程度（らせん転位は1×１０10／ｃｍ2程度）であったが、Ａｌ0.3Ｇａ0.7Ｎ層表面においては、１×１０10／ｃｍ2程度（らせん転位は約２×１０9／ｃｍ2程度）となっていた。すなわち、実施例２においても、多くの転位がＡｌＧａＮ膜の成長過程において合体、消失していることが確認された。【００９３】
（実施例１と実施例２との対比）
界面層２を設けた実施例２においては、凸部の様子は実施例１と同じであるものの、ＡｌＮ層の（０００２）面のＸ線ロッキングカーブ半値幅が実施例１よりも小さくなっている。また、ＧａＮ層についてみると、（０００２）面のＸ線ロッキングカーブ半値幅のみならず、転位密度についても実施例１より小さくなっている。【００９４】
以上の結果は、界面層を設けることにより、三次元的凹凸形状を保ちつつ結晶品質が改善された初期層が形成され、このことにより、機能層の結晶品質がさらに向上することを示している。【００９５】
（実施例３、実施例４、および比較例２）
実施例３として、中間層であるＡｌ0.3Ｇａ0.7Ｎ層の平均膜厚を４０ｎｍ以上の範囲で種々に違えた他は、実施例１と同様の手順で、５種のエピタキシャル基板１０（試料名ａ−９〜ａ−１３）を作製した。なお、ａ−１０は実施例１のａ−２と同一である。【００９６】
また、実施例４として、界面層２を設けるようにした他は実施例３と同様の手順で、５種のエピタキシャル基板１０（試料名ａ−１４〜ａ−１８）を作製した。なお、ａ−１５は実施例２のａ−６と同一である。【００９７】
さらには、比較例２として、中間層であるＡｌ0.3Ｇａ0.7Ｎ層の平均膜厚を４０ｎｍ未満の範囲で種々に違えた他は、実施例１と同様の手順で、３種のエピタキシャル基板（試料名ｂ−５〜ｂ−７）を作製した。【００９８】
図５に、実施例３、実施例４、および比較例２に係るエピタキシャル基板について、中間層４の形成膜厚および機能層５であるＧａＮ層についての評価結果を示した。  【００９９】
図５に示す実施例３の結果と比較例２の結果とを対比すると、中間層４の形成膜厚を４０ｎｍ以上とすることが機能層５の結晶品質を向上させるうえで効果があることが確認される。また、実施例３と実施例４とを対比すると、実施例１と実施例２との関係と同様に、界面層２を備える実施例４の試料の方が、（０００２）面のＸ線ロッキングカーブ半値幅と転位密度が小さくなっている。係る結果は、界面層２を設けることで実施例２と同様の効果が得られていることを指し示すものである。【０１００】
（実施例５および実施例６）
実施例５として、中間層４の組成を種々に違えた他は実施例１と同様の手順で、４種のエピタキシャル基板１０（試料名ａ−１９〜ａ−２２）を作製した。なお、ａ−２０は実施例１のａ−２と同一である。【０１０１】
また、実施例６として、界面層２を設けるようにした他は実施例５と同様の手順で、４種のエピタキシャル基板１０（試料名ａ−２３〜ａ−２６）を作製した。なお、ａ−２４は実施例２のａ−６と同一である。【０１０２】
図６に、実施例５および実施例６に係るエピタキシャル基板１０について、中間層の組成および機能層であるＧａＮ層についての評価結果を示した。【０１０３】
図６に示す実施例５および実施例６の結果は、エピタキシャル基板１０における機能層５の結晶品質の向上の効果は、中間層４の組成によらず得られることを示している。また、実施例５と実施例６を対比した場合においても、界面層２を備える実施例６の試料の方が、（０００２）面のＸ線ロッキングカーブ半値幅と転位密度が小さくなっている。係る結果からも、界面層２を設けることの効果が確認される。【０１０４】
（比較例３）
本比較例では、下地基板としてサファイア基板を用いたエピタキシャル基板を作製した。【０１０５】
まず、下地基板としてＣ面の単結晶サファイアウェハー（以下、サファイアウェハー）を用意した。用意したサファイアウェハーをＭＯＣＶＤ装置のリアクタ内にセットした。次いで、リアクタ内を水素・窒素混合雰囲気とし、基板温度がサーマルクリーニング温度である１２００℃となるまで加熱し、その後１０分間保持した後、５００℃まで基板温度を下げた。【０１０６】
基板温度が５００℃に達すると、リアクタ内にＮＨ3ガスとＴＭＧバブリングガスを導入し、いわゆる低温ＧａＮバッファ層として、厚さ３０ｎｍ程度のＧａＮ層を形成した。【０１０７】
低温バッファ層が形成されると、次いで基板温度を１０５０℃とし、リアクタ内圧力を３０ｋＰａとして、ＴＭＧとＮＨ3を反応させて機能層５に相当するＧａＮ層を１μｍの厚さで形成した。これによりエピタキシャル基板が得られた。エピタキシャル基板にクラックは確認されなかった。【０１０８】
得られたエピタキシャル基板１０のＧａＮ層について、転位密度を測定した。転位密度は２．５×１０9／ｃｍ2（らせん転位の密度は２×１０8／ｃｍ2）であった。【０１０９】
（実施例１〜実施例６と比較例３との対比）
図４ないし図６に示した、実施例１ないし実施例６に係るエピタキシャル基板１０における機能層の全転位密度を、比較例３に係るエピタキシャル基板の全転位密度と比較すると、実施例１ないし実施例６の方が値は大きいが、オーダーとしては同じである。特に、界面層２を備える実施例２、実施例４、および実施例６に係るエピタキシャル基板１０においては、比較例３との差が最大でも２割程度と非常に小さくなっている。また、らせん転位密度についても、実施例１ないし実施例６に係るエピタキシャル基板１０の値は比較例３に係るエピタキシャル基板の値のせいぜい数倍程度に収まっている。【０１１０】
係る結果は、サファイア基板に比して安価なシリコン基板を下地基板として用いた場合であっても、サファイア基板を用いた場合と遜色のない結晶品質を有するIII族窒化物機能層が形成可能であることを示している。【０１１１】
（実施例７ないし実施例１０、および比較例４）
実施例７ないし実施例１０として、エピタキシャル基板１０を用いた半導体素子として、ショットキーダイオードを作製した。また、比較例４として、サファイアウェハーを下地基板とするエピタキシャル基板を用いたショットキーダイオードの作成を行った。図７に、実施例７ないし実施例１０、および比較例４に係るエピタキシャル基板について、層構成および種々の評価結果を示している。【０１１２】
実施例７においては、実施例１の試料ａ−２と同様の条件および手順で形成したエピタキシャル基板１０を用意した。【０１１３】
実施例８においては、界面層２を備えるエピタキシャル基板１０として、実施例２の試料ａ−６と同様の条件および手順で形成したエピタキシャル基板１０を用意した。【０１１４】
実施例９においては、超格子構造層６を備えるエピタキシャル基板１０を用意した。具体的には、Ａｌ0.3Ｇａ0.7Ｎ層の形成までは実施例１の試料ａ−２と同様に行った後、続いて、第１単位層６ａをＧａＮ層とし、第２単位層６ｂをＡｌＮ層とするペア層を４０周期分形成することにより、超格子構造層６を形成した。その際、ＡｌＮ層の目標膜厚を５ｎｍ、ＧａＮの目標膜厚を２０ｎｍとした。得られたペア層の厚みは、１μｍであった。そして、得られたペア層の上に、機能層５としてのＧａＮ層を１．５μｍの厚みに形成した。なお、シリコンウェハー上に形成された上記各層の総膜厚は約２．６５μｍであった。【０１１５】
実施例１０においては、界面層２と超格子構造層６とをともに備えるエピタキシャル基板１０を用意した。具体的には、Ａｌ0.3Ｇａ0.7Ｎ層の形成までは実施例２の試料ａ−６と同様に行った後、続いて、実施例９と同様に、超格子構造層６と機能層５としてのＧａＮ層とを形成した。なお、シリコンウェハー上に形成された上記各層の総膜厚は約２．６５μｍであった。【０１１６】
また、比較例４においては、比較例３と同様の条件および手順で形成した、サファイアウェハーを下地基板とするエピタキシャル基板を用意した。【０１１７】
得られたそれぞれのエピタキシャル基板のＧａＮ層について、転位密度を測定した。図７に示すように、各実施例についての転位密度は、比較例４についての転位密度とオーダーしては同じであり、最大でも試料ａ−２と同程度の５×１０9／ｃｍ2であった。なお、いずれの実施例においても、実施例１と同様に、ＧａＮ層の方がＡｌ0.3Ｇａ0.7Ｎ層よりも転位が少ないことが確認されている。【０１１８】
エピタキシャル基板を用意した後、実施例７ないし実施例１０、および比較例４のいずれにおいても、ＧａＮ層の上に、フォトリソグラフィープロセスにより、アノード電極としてＰｔ電極を形成するとともにカソード電極としてＴｉ／Ａｌオーミック電極を形成し、電極間隔１０μｍの同心円型ショットキーダイオードを得た。【０１１９】
実施例７ないし実施例１０に係るショットキーダイオードについて、シリコンウェハーとカソード電極とをともに接地した状態で、逆方向電流−電圧特性として、印加電圧１００Ｖ時のリーク電流と、ダイオード素子が破壊に至る電圧である耐電圧とを評価した。また、比較例４に係るショットダイオードについては、カソード電極を設置した状態で、逆方向電流−電圧特性を評価した。【０１２０】
その結果、図７に示すように、実施例７については、リーク電流と耐電圧の両方において、比較例４と同程度の値であったが、他の実施例については、リーク電流もしくは耐電圧の少なくとも一方の点で比較例４よりも優れているという結果が得られた。係る結果は、シリコンウェハーを用いた場合でも、サファイアウェハーを用いた場合と同程度以上の特性を有するショットキーダイオードを作成可能であることを示している。【０１２１】
より詳細には、エピタキシャル基板１０が界面層２を備える場合にリーク電流が比較例４よりも低減されてなる。係る結果は、シリコンウェハーを下地基板とするエピタキシャル基板を用いてショットキーダイオードを作製する場合には、下地基板と初期層との間に界面層を設けることで、サファイアウェハーを用いて作製したものと同程度の耐電圧を有し、かつリーク電流がより低減されたショットキーダイオードが実現できることを指し示している。【０１２２】
さらに、図７に示す結果によれば、エピタキシャル基板１０が超格子構造層６を備えた、実施例９および実施例１０に係るショットキーダイオードにおいて、比較例４よりも高い耐電圧が得られている。この結果は、シリコンウェハーを下地基板とするエピタキシャル基板を用いてショットキーダイオードを作製する場合には、超格子構造層の形成が、耐電圧を向上させる効果があることを示している。【０１２３】
（実施例１１ないし実施例１４および比較例５）
実施例１１ないし実施例１４として、ＨＥＭＴ素子用のエピタキシャル基板１０を作製した。また、比較例５として、サファイアウェハーを下地基板とする、ＨＥＭＴ素子用のエピタキシャル基板を作製した。図８に、実施例１１ないし実施例１４、および比較例５に係るエピタキシャル基板について、層構成および種々の評価結果を示している。【０１２４】
実施例１１においては、実施例１の試料ａ−２と同様の条件および手順で機能層５（チャネル層５ａ）となるＧａＮ層の形成までを行った後、続いて、基板温度を１０５０℃とし、リアクタ内圧力を１０ｋＰａとして、ＴＭＡ、ＴＭＧ、ＮＨ3をリアクタ内に導入して機能層５（障壁層５ｃ）としてのＡｌ0.2Ｇａ0.8Ｎ層を２５ｎｍの厚みに形成した。【０１２５】
実施例１２においては、界面層２を備えるエピタキシャル基板を用意した。具体的には、実施例２の試料ａ−６と同様の条件および手順で機能層５（チャネル層５ａ）となるＧａＮ層の形成までを行った後、続いて、実施例１１と同様に、Ａｌ0.2Ｇａ0.8Ｎ層を形成した。【０１２６】
実施例１３においては、超格子構造層６を備えるエピタキシャル基板を用意した。具体的には、実施例９と同様の手順で機能層５（チャネル層５ａ）となるＧａＮ層の形成までを行った後、実施例１１と同様に、機能層５（障壁層５ｃ）としてのＡｌ0.2Ｇａ0.8Ｎ層を形成した。【０１２７】
実施例１４においては、界面層２と超格子構造層６とをともに備えるエピタキシャル基板１０を用意した。具体的には、Ａｌ0.3Ｇａ0.7Ｎ層の形成までは実施例２の試料ａ−６と同様に行った後、続いて、実施例９と同様に、超格子構造層６と機能層５（チャネル層５ａ）となるＧａＮ層の形成までを行い、さらに、実施例１１と同様に、機能層５（障壁層５ｃ）としてのＡｌ0.2Ｇａ0.8Ｎ層を形成した。【０１２８】
また、比較例５においては、サファイアウェハーを下地基板として用意し、機能層５（チャネル層５ａ）に相当するＧａＮ層の形成までを比較例３と同様の条件および手順で行った後、実施例１１と同様に、機能層５（障壁層５ｃ）としてのＡｌ0.2Ｇａ0.8Ｎ層を形成することによって、ＨＥＭＴ素子用のエピタキシャル基板を得た。【０１２９】
以上の手順により作製された実施例１１ないし実施例１４、および比較例５に係るエピタキシャル基板のＡｌＧａＮ／ＧａＮ積層構造について、電子移動度と２次元電子密度とを測定した。【０１３０】
図８に示すように、実施例１１および実施例１３の電子移動度が、比較例５の電子移動度よりも小さい値として得られた以外は、それぞれの実施例と比較例との間にほとんど差異はみられなかった。しかも、実施例１１および実施例１３と比較例５との電子移動度の差異も、たかだか数パーセント程度に留まっている。以上の結果は、シリコンウェハーを用いた場合でも、サファイアウェハーを用いた場合と同程度の特性を有するＨＥＭＴ素子を作成可能であることを示している。【０１３１】
特に、エピタキシャル基板に界面層を設けた実施例１２と実施例１４においては比較例５と同程度の特性が得られている。係る結果は、シリコンウェハーを下地基板とするエピタキシャル基板を用いてＨＥＭＴ素子を作製する場合には、下地基板と初期層との間に界面層を設けることで、サファイアウェハーを用いた場合と同程度の特性を有するＨＥＭＴ素子を作成できることを指し示している。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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