(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルにそれぞれ対応して設けられた複数の圧電素子と、
各ノズルが１画素に液体を吐出する吐出周期ごとに繰り返される駆動信号であって、各吐出周期の中に複数の選択可能な期間が設けられるとともに、そのうち少なくとも１つが検査期間である駆動信号を生成する駆動信号生成部と、
前記駆動信号を期間毎に選択的に前記複数の圧電素子に印加する選択部と、
検査対象ノズルからの液体の吐出検査を行う吐出検査部と、
を備え、
前記選択部は、前記検査対象ノズルに対して前記検査期間の前の期間および前記検査期間を選択し、
前記吐出検査部は、前記検査期間の前の期間に前記検査対象ノズルに対応する前記圧電素子が前記駆動信号によって駆動された後、前記検査期間に前記検査対象ノズルの吐出検査を行う、
ことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出装置であって、
各画素にドットを形成するか否かを示すデータ信号が、前記駆動信号の駆動波形の選択情報と、前記検査期間の選択情報とを含むように変換される、
ことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項３】
請求項２に記載の液体吐出装置であって、
前記駆動波形毎に前記検査期間がそれぞれ設けられている
ことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項４】
請求項２または３に記載の液体吐出装置であって、
前記駆動波形は、前記ノズルから液体を吐出しない微振動用の波形を含むことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項５】
請求項４に記載の液体吐出装置であって、
前記駆動波形毎に検査基準が異なる、
ことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の液体吐出装置であって、
前記選択部は、
前記複数の圧電素子毎に設けられた複数の第１スイッチであって、各圧電素子の一端への前記駆動信号の印加、非印加を切り替える複数の第１スイッチと、
前記複数の圧電素子に対して共通に設けられた第２スイッチであって、前記複数の圧電素子の他端に所定電圧を印加することと、前記複数の圧電素子の他端の電圧を前記吐出検査部に出力することとを切り替える第２スイッチと、
を有し、
前記検査期間の前の期間では、少なくとも前記検査対象ノズルに対応する前記圧電素子の一端に前記駆動信号が印加されるとともに、前記複数の圧電素子の他端に前記所定電圧が印加され、
前記検査期間では、前記駆動信号は一定であり、且つ、前記検査対象ノズルに対応する前記圧電素子の一端に前記駆動信号が印加されるとともに、非検査対象ノズルに対応する前記圧電素子の一端に前記駆動信号が印加されず、さらに、前記複数の圧電素子の他端の電圧は前記吐出検査部に出力される、
ことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項７】
請求項６に記載の液体吐出装置であって、
前記第２スイッチはトランジスタであり、
前記吐出検査部は、
前記圧電素子を前記駆動信号によって駆動した後の残留振動の交流成分を増幅する交流増幅回路と、
前記交流増幅回路の出力と基準電圧とを比較する比較回路と、
前記第２スイッチの制御電極への制御信号と前記比較回路の出力との論理演算を行う論理回路と、
を有することを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置、及び、吐出検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子（ピエゾ素子）を駆動させてノズルから液体（例えば、インク）を吐出させる液体吐出装置として、プリンターが知られている。このようなプリンターにおいて、圧電素子の残留振動を検出し、その残留振動によって液体の吐出検査を行うようにしたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３７９４４３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このようなプリンターでは、複数の圧電素子の駆動を制御するために、装置本体側からヘッド側に複数の信号を送信する必要がある。このため、装置本体側からヘッド側までの配線数が多くなるおそれがあった。  
そこで本発明は、装置本体側からヘッド側への配線数の軽減を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するための主たる発明は、液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ対応して設けられた複数の圧電素子と、各ノズルが１画素に液体を吐出する吐出周期ごとに繰り返される駆動信号であって、各吐出周期の中に複数の選択可能な期間が設けられるとともに、そのうち少なくとも１つが検査期間である駆動信号を生成する駆動信号生成部と、前記駆動信号を期間毎に選択的に前記複数の圧電素子に印加する選択部と、検査対象ノズルからの液体の吐出検査を行う吐出検査部と、を備え、前記選択部は、前記検査対象ノズルに対して前記検査期間の前の期間および前記検査期間を選択し、前記吐出検査部は、前記検査期間の前の期間に前記検査対象ノズルに対応する前記圧電素子が前記駆動信号によって駆動された後、前記検査期間に前記検査対象ノズルの吐出検査を行う、ことを特徴とする液体噴射装置である。  
本発明の他の特徴については、本明細書及び添付図面の記載により明らかにする。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】プリンター１の全体構成のブロック図である。
【図２】図２Ａは、プリンター１の斜視図であり、図２Ｂは、プリンター１の横断面図である。
【図３】プリンタードライバーによる処理の説明図である。
【図４】駆動信号生成回路の構成を示すブロック図である。
【図５】波形メモリーへのデータ書き込みタイミングを示す図である。
【図６】波形メモリーからのデータの読み出しと、駆動信号ＣＯＭの生成のタイミングを示す図である。
【図７】ヘッドの下面のノズル配置の一例を示す図である。
【図８】ヘッドのノズルの周辺の断面図である。
【図９】圧電式アクチュエータの他の例を示す図である。
【図１０】振動板の残留振動を想定した単振動の計算モデルを示す図である。
【図１１】インクの増粘と残留振動波形の関係の説明図である。
【図１２】気泡混入と残留振動波形の関係の説明図である。
【図１３】残留振動検出回路の構成の一例を示す回路図である。
【図１４】残留振動検出回路の比較器の入力と出力の関係の一例を示す図である。
【図１５】ヘッド制御部ＨＣの構成の説明図である。
【図１６】各信号のタイミングの説明図である。
【図１７】駆動信号ＣＯＭと画素データＳＩとの関係を示す図である。
【図１８】印刷時のノズル検査の適用例を示す図である。
【図１９】フラッシング時のノズル検査の適用例を示す図である。
【図２０】ノズル検査（印刷時）の処理を示すフロー図である。
【図２１】ノズル検査（フラッシング時）の処理を示すフロー図である。
【図２２】各ノズルに対して、それぞれ残留振動検出回路を設けた場合を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
本明細書及び添付図面の記載により、少なくとも、以下の事項が明らかとなる。
【０００８】
液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ対応して設けられた複数の圧電素子と、各ノズルが１画素に液体を吐出する吐出周期ごとに繰り返される駆動信号であって、各吐出周期の中に複数の選択可能な期間が設けられるとともに、そのうち少なくとも１つが検査期間である駆動信号を生成する駆動信号生成部と、前記駆動信号を期間毎に選択的に前記複数の圧電素子に印加する選択部と、検査対象ノズルからの液体の吐出検査を行う吐出検査部と、を備え、前記選択部は、前記検査対象ノズルに対して前記検査期間の前の期間および前記検査期間を選択し、前記吐出検査部は、前記検査期間の前の期間に前記検査対象ノズルに対応する前記圧電素子が前記駆動信号によって駆動された後、前記検査期間に前記検査対象ノズルの吐出検査を行う、ことを特徴とする液体噴射装置が明らかとなる。  
このような液体吐出装置によれば、装置本体側からヘッド側への配線数の軽減を図ることができる。
【０００９】
かかる液体吐出装置であって、各画素にドットを形成するか否かを示すデータ信号が、前記駆動信号の駆動波形の選択情報と、前記検査期間の選択情報とを含むように変換される、ことが望ましい。  
このような液体吐出装置によれば、さらに配線数の軽減を図ることができる。
【００１０】
かかる液体吐出装置であって、前記駆動波形毎に前記検査期間がそれぞれ設けられていることが望ましい。  
このような液体吐出装置によれば、圧電素子を駆動させる期間にかかわらずに吐出検査を行うことができる。
【００１１】
かかる液体吐出装置であって、前記駆動波形は、前記ノズルから液体を吐出しない微振動用の波形を含むことが望ましい。  
このような液体吐出装置によれば、液体を吐出するか否かにかかわらずに吐出検査を行うことができる。
【００１２】
かかる液体吐出装置であって、前記駆動波形毎に検査基準が異なることが望ましい。  
このような液体吐出装置によれば、吐出検査の精度を高めることができる。
【００１３】
かかる液体吐出装置であって、前記選択部は、前記複数の圧電素子毎に設けられた複数の第１スイッチであって、各圧電素子の一端への前記駆動信号の印加、非印加を切り替える複数の第１スイッチと、前記複数の圧電素子に対して共通に設けられた第２スイッチであって、前記複数の圧電素子の他端に所定電圧を印加することと、前記複数の圧電素子の他端の電圧を前記吐出検査部に出力することとを切り替える第２スイッチと、を有し、前記検査期間の前の期間では、少なくとも前記検査対象ノズルに対応する前記圧電素子の一端に前記駆動信号が印加されるとともに、前記複数の圧電素子の他端に前記所定電圧が印加され、前記検査期間では、前記駆動信号は一定であり、且つ、前記検査対象ノズルに対応する前記圧電素子の一端に前記駆動信号が印加されるとともに、非検査対象ノズルに対応する前記圧電素子の一端に前記駆動信号が印加されず、さらに、前記複数の圧電素子の他端の電圧は前記吐出検査部に出力されることが望ましい。  
このような液体吐出装置によれば、複数のノズルに対して吐出検査部が一つでよい。よって簡素な構成にすることができる。
【００１４】
かかる液体吐出装置であって、前記第２スイッチはトランジスタであり、前記吐出検査部は、前記圧電素子を前記駆動信号によって駆動した後の残留振動の交流成分を増幅する交流増幅回路と、前記交流増幅回路の出力と基準電圧とを比較する比較回路と、前記第２スイッチの制御電極への制御信号と前記比較回路の出力との論理演算を行う論理回路と、を有することが望ましい。  
このような液体吐出装置によれば、圧電素子を駆動させた後の残留振動に基づいて吐出検査を行うことができる。
【００１５】
また、液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ対応して設けられた複数の圧電素子と、ノズルからの液体の吐出検査を行う吐出検査部とを備えた液体吐出装置の吐出検査方法であって、各ノズルが１画素に液体を吐出する吐出周期ごとに繰り返される駆動信号であって、各吐出周期の中に複数の選択可能な期間が設けられるとともに、そのうち少なくとも１つが検査期間である駆動信号を生成することと、前記検査期間の前の期間に、前記駆動信号を前記検査対象ノズルに対応する前記圧電素子に印加することと、前記検査期間に、前記駆動信号が印加された後の前記圧電素子に基づいて、前記検査対象のノズルの吐出検査を行うことと、を有することを特徴とする吐出検査方法が明らかとなる。
【００１６】
以下の実施形態では、液体吐出装置としてインクジェトプリンター（以下、プリンター１ともいう）を例に挙げて説明する。
【００１７】
＝＝＝プリンターの構成＝＝＝
図１は、本実施形態のプリンター１の全体構成のブロック図である。また、図２Ａは、プリンター１の斜視図であり、図２Ｂは、プリンター１の横断面図である。以下、本実施形態のプリンター１の基本的な構成について説明する。
【００１８】
本実施形態のプリンター１は、搬送ユニット２０、キャリッジユニット３０、ヘッドユニット４０、検出器群５０、及びコントローラー６０を有する。外部装置であるコンピューター１１０から印刷データを受信したプリンター１は、コントローラー６０によって各ユニット（搬送ユニット２０、キャリッジユニット３０、ヘッドユニット４０）を制御する。コントローラー６０は、コンピューター１１０から受信した印刷データに基づいて、各ユニットを制御し、紙に画像を印刷する。プリンター１内の状況は検出器群５０によって監視されており、検出器群５０は、検出結果をコントローラー６０に出力する。コントローラー６０は、検出器群５０から出力された検出結果に基づいて、各ユニットを制御する。
【００１９】
搬送ユニット２０は、媒体（例えば、紙Ｓなど）を所定の方向（以下、搬送方向という）に搬送させるためのものである。この搬送ユニット２０は、給紙ローラー２１と、搬送モーター２２（ＰＦモーターとも言う）と、搬送ローラー２３と、プラテン２４と、排紙ローラー２５とを有する。給紙ローラー２１は、紙挿入口に挿入された紙をプリンター内に給紙するためのローラーである。搬送ローラー２３は、給紙ローラー２１によって給紙された紙Ｓを印刷可能な領域まで搬送するローラーであり、搬送モーター２２によって駆動される。プラテン２４は、印刷中の紙Ｓを支持する。排紙ローラー２５は、紙Ｓをプリンターの外部に排出するローラーであり、印刷可能な領域に対して搬送方向下流側に設けられている。
【００２０】
キャリッジユニット３０は、ヘッドを所定の方向（以下、移動方向という）に移動（「走査」とも呼ばれる）させるためのものである。キャリッジユニット３０は、キャリッジ３１と、キャリッジモーター３２（ＣＲモーターとも言う）とを有する。キャリッジ３１は、移動方向に往復移動可能であり、キャリッジモーター３２によって駆動される。また、キャリッジ３１は、インクを収容するインクカートリッジを着脱可能に保持している。
【００２１】
ヘッドユニット４０は、紙にインクを吐出するためのものである。ヘッドユニット４０は、複数のノズルを有するヘッド４１とヘッド制御部ＨＣを備えている。ヘッド４１はキャリッジ３１に設けられているため、キャリッジ３１が移動方向に移動すると、ヘッド４１も移動方向に移動する。そして、ヘッド４１が移動方向に移動中にインクを断続的に吐出することによって、移動方向に沿ったドットライン（ラスタライン）が紙に形成される。
【００２２】
ヘッド制御部ＨＣは、ヘッド４１の駆動等を制御するためのものである。ヘッド制御部ＨＣは、コントローラー６０からのヘッド制御信号に応じて、ヘッド４１の各ノズルと対応する圧電式アクチュエータを選択的に駆動させる。これによりヘッド４１のノズルからインクが吐出される。  
なお、ヘッドユニット４０の詳細については後述する。
【００２３】
検出器群５０には、リニア式エンコーダー５１、ロータリー式エンコーダー５２、紙検出センサー５３、光学センサー５４等が含まれる。リニア式エンコーダー５１は、キャリッジ３１の移動方向の位置を検出する。ロータリー式エンコーダー５２は、搬送ローラー２３の回転量を検出する。紙検出センサー５３は、給紙中の紙の先端の位置を検出する。光学センサー５４は、キャリッジ３１に取付けられている発光部と受光部により、紙の有無を検出する。そして、光学センサー５４は、キャリッジ３１によって移動しながら紙の端部の位置を検出し、紙の幅を検出することができる。また、光学センサー５４は、状況に応じて、紙の先端（搬送方向下流側の端部であり、上端ともいう）・後端（搬送方向上流側の端部であり、下端ともいう）も検出できる。
【００２４】
また、本実施形態のプリンター１は、検出器群５０としてノズルの吐出検査（以下、ノズル検査ともいう）を行うための残留振動検出回路５５（吐出検査部に相当する）を備えている。なお、残留振動検出回路５５の詳細については後述する。
【００２５】
コントローラー６０は、プリンターの制御を行うための制御ユニットである。コントローラー６０は、インターフェイス部６１と、ＣＰＵ６２と、メモリー６３と、ユニット制御回路６４と、駆動信号生成回路６５を有する。インターフェイス部６１は、外部装置であるコンピューター１１０とプリンター１との間でデータの送受信を行う。ＣＰＵ６２は、プリンター全体の制御を行うための演算処理装置である。メモリー６３は、ＣＰＵ６２のプログラムを格納する領域や作業領域等を確保するためのものであり、ＲＡＭ、ＥＥＰＲＯＭ等の記憶素子を有する。ＣＰＵ６２は、メモリー６３に格納されているプログラムに従って、ユニット制御回路６４を介して各ユニットを制御する。
【００２６】
駆動信号生成回路６５は、ヘッド４１を駆動させる駆動信号ＣＯＭを生成する。なお、駆動信号生成回路６５の詳細については後述する。  
また、本実施形態のコントローラー６０は、残留振動検出回路５５の検出結果に基づいて、各ノズルの正常、異常を判定する処理も行う（後述する）。  
フレキシブルケーブル７１は、可撓性を有する配線であり、コントローラー６０とヘッドユニット４０との間で各種の信号を伝送する。
【００２７】
＜印刷手順について＞
コントローラー６０は、コンピューター１１０から印刷命令及び印刷データを受信すると、印刷データに含まれる各種コマンドの内容を解析し、各ユニットを用いて、以下の処理を行う。
【００２８】
まず、コントローラー６０は、給紙ローラー２１を回転させ、印刷すべき用紙Ｓを搬送ローラー２３の所まで送る。次に、コントローラー６０は、搬送モーター２２を駆動させることによって搬送ローラー２３を回転させる。搬送ローラー２３が所定の回転量にて回転すると、用紙Ｓは所定の搬送量にて搬送される。
【００２９】
用紙Ｓがヘッドユニット４０の下部まで搬送されると、コントローラー６０は、印刷命令に基づいてキャリッジモーター３２を回転させる。このキャリッジモーター３２の回転に応じて、キャリッジ３１が移動方向に加速→一定速度→減速→反転→加速→一定速度→減速→反転のように往復移動する。また、キャリッジ３１が移動することによって、キャリッジ３１に設けられたヘッドユニット４０も同時に移動方向に移動する。また、ヘッドユニット４０が移動方向に移動している間に、コントローラー６０は、駆動信号生成回路６５に駆動信号ＣＯＭを生成させて、ヘッド４１の圧電式アクチュエータに駆動信号ＣＯＭを印加する。これにより、ヘッドユニット４０が印刷領域で移動方向に移動している間（一定速度の区間）に、ヘッド４１から断続的にインク滴が吐出される。このインク滴が、用紙Ｓにインク滴が着弾することによって、移動方向に複数のドットが並ぶドット列が形成される。なお、移動するヘッド４１からインクを吐出することによるドット形成動作のことをパスという。
【００３０】
また、コントローラー６０は、ヘッドユニット４０が往復移動する合間に搬送モーター２２を駆動させる。搬送モーター２２は、コントローラー６０からの指令された駆動量に応じて回転方向の駆動力を発生する。そして、搬送モーター２２は、この駆動力を用いて搬送ローラー２３を回転させる。搬送ローラー２３が所定の回転量にて回転すると、用紙Ｓは所定の搬送量にて搬送される。つまり、用紙Ｓの搬送量は、搬送ローラー２３の回転量に応じて定まることになる。このように、パスと搬送動作を交互に繰り返して行い、用紙Ｓの各画素にドットを形成していく。こうして用紙Ｓに画像が印刷される。
【００３１】
そして、最後に、コントローラー６０は、搬送ローラー２３と同期して回転する排紙ローラー２５によって印刷が終了した用紙Ｓを排紙する。
【００３２】
＜プリンタードライバーによる処理の概要＞
上記の印刷処理は、前述したように、プリンター１に接続されたコンピューター１１０から印刷データが送信されることにより開始する。当該印刷データは、プリンタードライバーによる処理により生成される。以下、プリンタードライバーによる処理について、図３を参照しながら説明する。図３は、プリンタードライバーによる処理の説明図である。
【００３３】
プリンタードライバーは、アプリケーションプログラムから画像データを受け取り、プリンター１が解釈できる形式の印刷データに変換し、印刷データをプリンターに出力する。アプリケーションプログラムからの画像データを印刷データに変換する際に、プリンタードライバーは、解像度変換処理・色変換処理・ハーフトーン処理・ラスタライズ処理・コマンド付加処理などを行う。 
解像度変換処理は、アプリケーションプログラムから出力された画像データ（テキストデータ、イメージデータなど）を、紙に印刷する際の解像度（印刷解像度）に変換する処理である。例えば、印刷解像度が７２０×７２０ｄｐｉに指定されている場合、アプリケーションプログラムから受け取ったベクター形式の画像データを７２０×７２０ｄｐｉの解像度のビットマップ形式の画像データに変換する。なお、解像度変換処理後の画像データの各画素データは、ＲＧＢ色空間により表される多階調（例えば２５６階調）のＲＧＢデータである。この階調値は、ＲＧＢ画像データに基づいて定められるものであり、以下指令階調値ともいう。
【００３４】
色変換処理は、ＲＧＢデータをＣＭＹＫ色空間のデータに変換する処理である。なお、ＣＭＹＫ色空間の画像データは、プリンターが有するインクの色に対応したデータである。言い換えると、プリンタードライバーは、ＲＧＢデータに基づいて、ＣＭＹＫ平面の画像データを生成する。
【００３５】
この色変換処理は、ＲＧＢデータの階調値とＣＭＹＫデータの階調値とを対応づけたテーブル（色変換ルックアップテーブルＬＵＴ）に基づいて行われる。なお、色変換処理後の画素データは、ＣＭＹＫ色空間により表される２５６階調のＣＭＹＫデータである。
【００３６】
ハーフトーン処理は、高階調数のデータを、プリンターが形成可能な階調数のデータに変換する処理である。このハーフトーン処理により、２５６階調を示すデータが、２階調を示す１ビットデータや４階調を示す２ビットデータに変換される。ハーフトーン処理後の画像データでは、画素ごとに１ビット又は２ビットの画素データが対応しており、この画素データは各画素でのドットの形成状況（ドットの有無）などを示すデータになる。なお、本実施形態では、画素データとして、後述するようにドットの有無とノズル検査の有無とを示す２ビットデータが生成される。その後、各ドットのサイズについてドット生成率が決められた上で、ディザ法・γ補正・誤差拡散法等を利用して、ドットを分散して形成するように画素データが作成される。
【００３７】
ラスタライズ処理は、マトリクス状に並ぶ画素データを、印刷時のドット形成順序に従って並べ替える処理である。例えば、印刷時に数回に分けてドット形成処理が行われる場合、各ドット形成処理に対応する画素データをそれぞれ抽出し、ドット形成処理の順序に従って並べ替える。なお、印刷方式が異なれば印刷時のドット形成順序が異なるので、印刷方式に応じてラスタライズ処理が行われることになる。
【００３８】
コマンド付加処理は、ラスタライズ処理されたデータに、印刷方式に応じたコマンドデータを付加する処理である。コマンドデータとしては、例えば媒体の搬送速度を示す搬送データなどがある。
【００３９】
これらの処理を経て生成された印刷データは、プリンタードライバーによりプリンター１に送信される。
【００４０】
＝＝＝駆動振動生成回路の構成について＝＝＝
図４は、駆動信号生成回路６５の構成を示すブロック図である。駆動信号生成回路６５は、波形メモリー６５１と、第１ラッチ回路６５２と、加算器６５３と、第２ラッチ回路６５４と、Ｄ／Ａ変換器６５５と、電圧増幅部６５６と、電流増幅部６５７とを備えている。
【００４１】
なお、ＣＰＵ６２は、書込みイネーブル信号ＤＥＮと、書込みクロック信号ＷＣＬＫと、書込みアドレスデータＡ０〜Ａ３とを駆動信号生成回路６５に出力し、例えば１６ビットの波形形成用データＤＡＴＡを波形メモリー６５１に書込む。また、ＣＰＵ６２は、この波形メモリー６５１に記憶された波形形成用データＤＡＴＡを読出すための読出しアドレスデータＡ０〜Ａ３、波形メモリー６５１から読出した波形形成用データＤＡＴＡをラッチするタイミングを設定する第１のクロック信号ＡＣＬＫ、ラッチした波形データを加算するためのタイミングを設定する第２のクロック信号ＢＣＬＫ及びラッチデータをクリアするクリア信号ＣＬＥＲを駆動信号生成回路６５に出力する。
【００４２】
波形メモリー６５１は、ＣＰＵ６２から入力される駆動信号生成のための波形形成用データＤＡＴＡを一時的に記憶するものである。  
第１ラッチ回路６５２は、前述した第１のクロック信号ＡＣＬＫによって波形メモリー６５１から必要な波形形成用データＤＡＴＡを読み出して一時的に保持（ラッチ）するものである。  
加算器６５３は、第１ラッチ回路６５２の出力と後述する第２ラッチ回路６５４から出力される波形生成データＷＤＡＴＡとを加算する。  
第２ラッチ回路６５４は、加算器６５３の加算出力を前述した第２のクロック信号ＢＣＬＫによってラッチする。  
Ｄ／Ａ変換器６５５は、第２ラッチ回路６５４から出力される波形生成データＷＤＡＴＡをアナログ信号に変換する。  
電圧増幅部６５６は、Ｄ／Ａ変換器６５５から出力されるアナログ信号を電圧増幅する。  
電流増幅部６５７は、電圧増幅部６５６の出力信号を電流増幅して駆動信号ＣＯＭを出力する。
【００４３】
なお、第１ラッチ回路６５２及び第２ラッチ回路６５４にはＣＰＵ６２から出力されるクリア信号ＣＬＥＲが入力されており、このクリア信号ＣＬＥＲがオフ状態（ローレベル）となったときに、ラッチデータがクリアされる。
【００４４】
図５は、波形メモリー６５１へのデータ書き込みタイミングを示す図である。  
波形メモリー６５１は、図５に示すように、指示したアドレスに夫々数ビットずつのメモリー素子が配列され、アドレスＡ０〜Ａ３と共に波形データＤＡＴＡが記憶される。具体的には、波形メモリー６５１には、ＣＰＵ６２が指示したアドレスＡ０〜Ａ３に対して、クロック信号ＷＣＬＫと共に波形データＤＡＴＡが入力され、書込みイネーブル信号ＤＥＮの入力によってメモリー素子に波形データＤＡＴＡが記憶される。
【００４５】
図６は、波形メモリー６５１からのデータの読み出しと、駆動信号ＣＯＭの生成のタイミングを示す図である。この例では、アドレスＡ０には単位時間当たりの電圧変化量として０となる波形データが書込まれている。同様に、アドレスＡ１には＋ΔＶ１、アドレスＡ２には−ΔＶ２、アドレスＡ３には＋ΔＶ３の波形データが書込まれている。また、クリア信号ＣＬＥＲによって第１ラッチ回路６５２及び第２ラッチ回路６５４の保存データがクリアされる。また、本実施形態では、駆動信号ＣＯＭは、グランド電位から開始することとする。
【００４６】
この状態から、例えば、図５に示すようにアドレスＡ１の波形データが読み出され、且つ、第１クロック信号ＡＣＬＫが入力されると、第１ラッチ回路６５２に＋ΔＶ１のデジタルデータが保存される。保存された＋ΔＶ１のデジタルデータは、加算器６５３を経て第２ラッチ回路６５４に入力され、この第２ラッチ回路６５４では、第２クロック信号ＢＣＬＫの立ち上がりに同期して加算器６５３の出力を保存する。加算器６５３には、第２ラッチ回路６５４の出力も入力されるので、第２ラッチ回路６５４の出力（ＣＯＭ）は、第２クロック信号ＢＣＬＫの立ち上がりのタイミングで＋ΔＶ１ずつ加算される。この例（図６）では、時間幅Ｔ１の間、アドレスＡ１の波形データが読み出され、その結果、＋ΔＶ１のデジタルデータが３倍になるまで加算されている。
【００４７】
同様にして、アドレスＡ０の波形データが読み出され、且つ、第１クロック信号ＡＣＬＫが入力されると第１ラッチ回路６５２に保存されるデジタルデータは０に切替わる。この０のデジタルデータは、前述と同様に、加算器６５３を経て、第２クロック信号ＢＣＬＫの立ち上がりのタイミングで加算されるが、デジタルデータが０であるので、実質的には、それ以前の値が保持される。この例では、時間幅Ｔ０の間、駆動信号ＣＯＭが一定値に保持されている。
【００４８】
次いで、アドレスＡ２の波形データが読み出され、且つ、第１クロック信号ＡＣＬＫが入力されると第１ラッチ回路６５２に保存されるデジタルデータは−ΔＶ２に切替わる。この−ΔＶ２のデジタルデータは、前述と同様に、加算器６５３を経て、第２クロック信号ＢＣＬＫの立ち上がりのタイミングで加算されるが、デジタルデータが−ΔＶ２であるので、実質的には第２クロック信号に合わせて駆動信号ＣＯＭは−ΔＶ２ずつ減算される。この例では、時間幅Ｔ２の間、駆動信号ＣＯＭは、−ΔＶ２のデジタルデータが６倍になるまで減算されている。
【００４９】
再びアドレスＡ０の波形データが読み出され電圧変化量が０になると、それ以前の値が保持される。
【００５０】
このような処理によって駆動信号ＣＯＭが生成される。なお、この駆動信号ＣＯＭのうち上昇部分が、後述するキャビティ４２３の容積を拡大してインクを引き込む段階であり、駆動信号ＣＯＭの下降部分がキャビティ４２３の容積を縮小してインク滴を吐出する段階である。ちなみに、駆動信号の波形は、前述からも容易に推察されるように、アドレスＡ０〜Ａ３に書込まれる波形データ０、＋ΔＶ１、−ΔＶ２、＋ΔＶ３、第１クロック信号ＡＳＣＫ、第２クロック信号ＢＳＣＫによって調整可能である。
【００５１】
＝＝＝ヘッドの構成について＝＝＝
図７はヘッド４１の下面（ノズル面）のノズル配置の一例を示す図である。  
ヘッド４１には、図７に示すように複数のノズルが配列されている。この図７の例では、４色のインク（Ｙ：イエロー、Ｍ：マゼンダ、Ｃ：シアン、Ｋ：ブラック）を用いる場合のノズルの配列パターンを示しており、これらの色の組合せによりフルカラー印刷が可能となる。  
各色についてｎ個（例えば１８０個）のノズルが設けられている。図ではＹ（イエロー）のノズル列の各ノズルに番号（Ｙ（１）〜Ｙ（ｎ））を付している。  
なお、本実施形態のヘッド４１では圧電式アクチュエータ（いわゆるピエゾ方式）を用いており、各ノズルに対応して圧電式アクチュエータが備えられている。
【００５２】
図８は、ヘッド４１のノズルの周辺の断面図である。  
ヘッド４１は、図８に示すように、振動板４２１と、この振動板４２１を変位させる圧電式アクチュエータ４２２と、内部に液体であるインクが充填され且つ振動板４２１の変位により内部の圧力が増減されるキャビティ（圧力室）４２３と、このキャビティ４２３に連通し且つ当該キャビティ４２３内の圧力の増減によりインクを液滴として吐出するノズル４２４と、を少なくとも備えている。
【００５３】
更に詳述すると、ヘッド４１は、ノズル４２４が形成されたノズル基板４２５と、キャビティ基板４２６と、振動板４２１と、複数の圧電素子４２７を積層した積層型の圧電式アクチュエータ４２２とを備えている。キャビティ基板４２６は、図示のように所定形状に形成され、これにより、キャビティ４２３と、これに連通するリザーバ４２８とが形成されている。また、リザーバ４２８は、インク供給チューブ４２９を介してインクカートリッジＣＴに接続されている。圧電式アクチュエータ４２２は、対向して配置される櫛歯状の第１電極４３１、第２電極４３２と、その電極（第１電極４３１、第２電極４３２）の各櫛歯と交互に配置される圧電素子４２７とを有している。また、圧電式アクチュエータ４２２は、その一端側が図８に示すように、中間層４３０を介して振動板４２１と接合されている。
【００５４】
このような構成からなる圧電式アクチュエータ４２２では、第１電極４３１と第２電極４３２との間に駆動信号ＣＯＭが印加されることによって、図８の矢印で示すように上下方向に伸び縮みするモードを利用している。従って、この圧電式アクチュエータ４２２では、駆動信号ＣＯＭが印加されると、振動板４２１に圧電式アクチュエータ４２２の伸縮による変位が生じてキャビティ４２３内の圧力が変化し、ノズル４２４からインク滴が吐出されるようになっている。具体的には、後述するように、キャビティ４２３の容積を拡大してインクを引き込み、次いでキャビティ４２３の容積を縮小してインク滴を吐出する。
【００５５】
図９は、圧電式アクチュエータ４２２の他の例を示す図である。なお、図中の符号は、図８のものを流用している。この図９の圧電式アクチュエータは、一般にユニモルフ型アクチュエータと呼ばれ、圧電素子４２７を二つの電極（第１電極４３１、第２電極４３２）で挟んだ簡単な構造である。この図９の構成の場合では、駆動信号が印加されることによって圧電素子４２７が図の上下方向に撓む。これにより、図８の積層型アクチュエータと同様に、振動板４２１に変位が生じて、インク滴を吐出する。この場合もキャビティ４２３の容積を拡大してインクを引き込み、次いでキャビティ４２３の容積を縮小してノズル４２４からインク滴を吐出する。
【００５６】
このようなヘッド４１を備えたプリンター１では、インク切れ、インクの増粘、気泡の発生、目詰まり（乾燥）などの原因によって、ノズル４２４からインク滴が吐出すべきときに吐出しない（不吐出）というインク滴の吐出異常（所謂ドット抜け現象）を生じることがある。このような異常を検出するため、ノズル検査を行なうことが必要になる。
【００５７】
＝＝＝ノズル検査について＝＝＝
各ノズル４２４に対応する圧電式アクチュエータ４２２に駆動信号ＣＯＭを印加すると、その際の圧力変動後、キャビティ４２３内に残留振動（正確には、図８の振動板４２１の自由振動）が発生する。この残留振動の状態から各ノズル４２４の状態（キャビティ４２３内の状態を含む）を検出することが可能である。  
図１０は、振動板４２１の残留振動を想定した単振動の計算モデルを示す図である。
【００５８】
駆動信号生成回路６５から圧電式アクチュエータ４２２に駆動信号ＣＯＭ（駆動パルス）が印加されると、圧電式アクチュエータ４２２は駆動信号ＣＯＭの電圧に応じて伸縮する。振動板４２１は圧電式アクチュエータ４２２の伸縮に応じて撓み、これによりキャビティ４２３の容積は拡大した後収縮する。このとき、インク室内に発生する圧力により、キャビティ４２３を満たすインクの一部が、ノズル４２４からインク滴として吐出される。この一連の振動板４２１の動作の際に、インク供給口の形状やインク粘度等による流路抵抗ｒと、流路内のインク重量によるイナータンスｍと振動板４２１のコンプライアンスｃによって決定される固有振動周波数で振動板４２１が自由振動を起こす（残留振動）。
【００５９】
この振動板４２１の残留振動の計算モデルは、圧力Ｐと、上述のイナータンスｍ、コンプライアンスＣおよび流路抵抗ｒとで表せる。図１０の回路に圧力Ｐを与えた時のステップ応答を体積速度ｕについて計算すると、次式が得られる。  
0005533238.tif 000002
【００６０】
図１１は、インクの増粘と残留振動波形の関係の説明図である。図の横軸は時間を示し、縦軸は残留振動の大きさを示している。例えばノズル４２４付近のインクが乾燥した場合には、インクの粘性が増加（増粘）する。インクが増粘すると、流路抵抗ｒが増加し振動周期や残留振動の減衰が大きくなる。  
また、図１２は、気泡混入と残留振動波形の関係の説明図である。図の横軸は時間を示し、縦軸は残留振動の大きさを示している。  
例えば、気泡がインクの流路やノズル先端に混入した場合には、ノズル正常時に比べて、気泡が混入した分だけインク重量ｍ（＝イナータンス）が減少する。（２）式よりｍが減少すると角速度ωが大きくなるので振動周期が短くなる（振動周波数が高くなる）。
【００６１】
これらのような場合、典型的にはノズル４２４からインクが吐出されなくなる。このため、用紙Ｓに印刷した画像においてドット抜けが生じる。また、ノズル４２４からインク滴が吐出されたとしても、インク滴の量が少量であったり、そのインク滴の飛行方向（弾道）がずれたりして目的の位置に着弾しない場合もある。本実施形態ではこれらのノズルのことを異常（吐出異常）ノズルと呼ぶ。
【００６２】
上述したように、異常ノズルにおける残留振動は、正常ノズルにおける残留振動とは異なる。そこで、本実施形態のプリンター１では、前述したようなキャビティ４２３内の残留振動を残留振動検出回路５５で検出することに基づいてノズルの検査（吐出異常の検査）を行なっている。
【００６３】
＝＝＝残留振動検出回路について＝＝＝
図１３は、残留振動検出回路５５の構成の一例を示す回路図である。なお、本実施形態の残留振動検出回路５５は、吐出検査部に相当し、本実施形態ではヘッド４１の各ノズル（すなわち各圧電式アクチュエータ４２２）に対して共通に設けられている。
【００６４】
本実施形態の残留振動検出回路５５は、キャビティ４２３内の圧力変化が圧電式アクチュエータ４２２に伝達されることを利用して検出するものであり、具体的には圧電式アクチュエータ４２２の機械的変位によって発生する起電力（起電圧）の変化を検出するものである。この残留振動検出回路５５は、圧電式アクチュエータ４２２のグランド端（ＨＧＮＤ印加側）を接地又は開放するスイッチ（トランジスタＱ）と、圧電式アクチュエータ４２２に駆動信号ＣＯＭのパルスを印加した後にグランド端を開放することで発生する残留振動の交流成分を増幅する交流増幅器５６と、増幅された残留振動ＶａＯＵＴと基準電圧Ｖｒｅｆとを比較する比較器（コンパレータ）５７と、比較器５７の出力及びトランジスタＱのゲート信号ＤＳＥＬが入力され、その論理和を出力する論理和回路ＯＲとを有して構成されている。このうち、交流増幅器５６は、直流成分を除去するコンデンサＣと、基準電圧Ｖｒｅｆの電位を基準として抵抗Ｒ１、Ｒ２で決まる増幅率で反転増幅する演算器ＡＭＰとで構成されている。また、抵抗Ｒ３は、トランジスタＱのオンオフの切り替わり時における急激な電圧変化を抑制するために設けられている。なお、トランジスタＱは第２スイッチに相当する。
【００６５】
以上の構成により、残留振動検出回路５５中のトランジスタＱのゲート電圧（ゲート信号ＤＳＥＬ）がハイレベル（以下、Ｈレベルともいう）になるとトランジスタＱがオンし、圧電式アクチュエータ４２２のグランド端（他端に相当する）が接地された状態になり、駆動信号ＣＯＭが圧電式アクチュエータ４２２に供給される。逆に、各残留振動検出回路５５中のトランジスタＱのゲート電圧（ゲート信号ＤＳＥＬ）がローレベル（以下、Ｌレベルともいう）になるとトランジスタＱがオフし、圧電式アクチュエータ４２２の起電力が残留振動検出回路５５で取出される。そして、残留振動検出回路５５によって残留振動の検出が行われ、その検出結果がパルスＰＯＵＴとして出力される。なお、図中の符号ＨＧＮＤは、圧電式アクチュエータ４２２のグランド端への信号線（接地ライン）である。
【００６６】
図１４は、残留振動検出回路５５の比較器５７の入力と出力の関係の一例を示す図である。  
比較器５７の非反転入力端子（＋端子）には基準電圧Ｖｒｅｆが印加され、反転入力端子（−端子）には残留振動ＶａＯＵＴが印加される。比較器５７は、＋端子の電圧（Ｖｒｅｆ）が−端子の電圧（ＶａＯＵＴ）よりも大きければＨレベルを出力し、＋端子の電圧（Ｖｒｅｆ）が−端子の電圧（ＶａＯＵＴ）よりも小さければＬレベルを出力する。よって、図に示すように残留振動ＶａＯＵＴの振動に応じたパルス（ＣＯＭＰ出力）が出力される。本実施形態では、このパルス出力（ＣＯＭＰ出力）のパルス周期（振動周期Ｔｔ）に基づいて、ノズル４２４の検査を行う。
【００６７】
なお、増粘については、図１１よりパルス周期（振動周期Ｔｔ）は変化しない。そこで、この場合、パルス数を見て検査を行う。例えば、増粘が大きい場合、増粘が小さい場合と比べてパルスの減衰が大きいのでパルス（残留振動検出経路５５で検出されるパルス）の数が少なくなる。よってパルス数に基づいて増粘の検査を行うことができる。
【００６８】
＝＝＝ヘッド制御部の構成について＝＝＝
図１５は、ヘッドユニット４０のヘッド制御部ＨＣの構成の一例の説明図であり、図１６は、各信号のタイミングの説明図である。
【００６９】
図１５に示すヘッド制御部ＨＣは、第１シフトレジスタ８１Ａと、第２シフトレジスタ８１Ｂと、第１ラッチ回路８２Ａと、第２ラッチ回路８２Ｂと、デコーダー８３と、制御ロジック８４と、スイッチ８６（第１スイッチに相当する）を備えている。なお、制御ロジック８４を除いた各部（すなわち、第１シフトレジスタ８１Ａ、第２シフトレジスタ８１Ｂ、第１ラッチ回路８２Ａ、第２ラッチ回路８２Ｂ、デコーダー８３、スイッチ８６）は、それぞれ圧電式アクチュエータ４２２毎（ノズル４２４毎）に設けられている。
【００７０】
なお、本実施形態の残留振動検出回路５５は各ノズル４２４に対して共通に設けられており、残留振動検出回路５５には、各圧電式アクチュエータ４２２のグランド端側への信号線（接地ラインＨＧＮＤ）が入力されている。
【００７１】
本実施形態の場合、フレキシブルケーブル７１中の伝送線には、駆動信号ＣＯＭ、ラッチ信号ＬＡＴ、チャンネル信号ＣＨ、画素データＳＩ、転送用クロックＳＣＫ、及び接地ラインＨＧＮＤの各伝送線がある。そして、ヘッド制御部ＨＣには、コントローラー６０からフレキシブルケーブル７１の各伝送線を介して、駆動信号ＣＯＭ、ラッチ信号ＬＡＴ、チャンネル信号ＣＨ、画素データＳＩ、転送用クロックＳＣＫが送信される。以下、これらの信号について説明する。
【００７２】
ラッチ信号ＬＡＴは、繰り返し周期Ｔ（１画素の区間をヘッド４１が移動する期間）を示す信号である。ラッチ信号ＬＡＴは、リニア式エンコーダー５１の信号に基づいて、コントローラー６０によって生成され、制御ロジック８４とラッチ回路（第１ラッチ回路８２Ａ、第２ラッチ回路８２Ｂ）に入力される。
【００７３】
チャンネル信号ＣＨは、駆動信号ＣＯＭに含まれる駆動パルスを圧電式アクチュエータ４２２に印加する区間を示す信号である。チャンネル信号ＣＨは、リニア式エンコーダー５１の信号に基づいてコントローラー６０によって生成され、制御ロジック８４に入力される。
【００７４】
画素データＳＩ（データ信号に相当する）は、各画素にドットを形成するか否か（すなわちノズル４２４からインクを吐出するか否か）を示す信号である。また、本実施形態では画素データＳＩはノズル４２４の検査期間も示す。この画素データは、１個のノズル４２４に対して２ビットずつで構成されている。例えば、ノズル数が６４個の場合、２ビット×６４の画素データＳＩが繰り返し周期Ｔ毎にコントローラー６０から送られてくることになる。なお、画素データＳＩは、転送用クロックＳＣＫに同期して、第１シフトレジスタ８１Ａ及び第２シフトレジスタ８１Ｂに入力される。
【００７５】
転送用クロックＳＣＫは、コントローラー６０から送られる画素データＳＩやチャンネル信号ＣＨを、制御ロジック８４や各シフトレジスタ（第１シフトレジスタ８１Ａ、第２シフトレジスタ８１Ｂ）にセットする際に用いられる信号である。
【００７６】
本実施形態の駆動信号ＣＯＭは、図１６に示すように、繰り返し周期Ｔの間に駆動期間１、検査期間１、駆動期間２、及び検査期間２の４つの期間が設けられている。このうち、駆動期間１には、インク滴は吐出しないがヘッド４１の圧力室４２３内のインクに微振動を与える波形１（以下、微振動用波形ともいう）が含まれる。また、駆動期間２には、ドットの形成時（インク吐出時）に圧電式アクチュエータ４２２に印加される波形２（以下、吐出用波形ともいう）が含まれる。また、検査期間１及び検査期間２は、ノズル検査を行う期間を示すものであり、それぞれ、駆動期間１、駆動期間２の直後に設けられている。なお、各検査期間では駆動信号ＣＯＭは一定である。
【００７７】
駆動信号ＣＯＭは、圧電式アクチュエータ４２２毎に設けられたスイッチ８６にそれぞれ入力されている。スイッチ８６は、画素データＳＩに基づいて、駆動信号ＣＯＭを圧電式アクチュエータ４２２に印加するか否かのオン／オフ制御を行う。このオン／オフ制御により、駆動信号ＣＯＭの一部分を、選択的に圧電式アクチュエータ４２２へ印加させることができる。なお、駆動信号ＣＯＭの各期間を圧電式アクチュエータ４２２へ印加させるための制御については、後で詳しく説明する。
【００７８】
次に、ヘッド制御部ＨＣで生成される信号について説明する。ヘッド制御部ＨＣでは、選択信号ｑ０〜ｑ３、スイッチ制御信号ＳＷ、印加信号が生成される。  
選択信号ｑ０〜ｑ３は、ラッチ信号ＬＡＴとチャンネル信号ＣＨに基づいて、制御ロジック６４で生成される。そして生成された選択信号ｑ０〜ｑ３は、圧電式アクチュエータ４２２毎に設けられたデコーダー８３にそれぞれ入力される。  
スイッチ制御信号ＳＷは、各ラッチ回路（第１ラッチ回路８２Ａ、第２ラッチ回路８２Ｂ）にラッチされた画素データ（２ビット）に基づいて、選択信号ｑ０〜ｑ３の何れかがデコーダー８３によって選択されたものである。各デコーダー８３で生成されたスイッチ制御信号ＳＷは、対応するスイッチ８６にそれぞれ入力される。  
印加信号は、駆動信号ＣＯＭとスイッチ制御信号ＳＷに基づいてスイッチ８６から出力される。この印加信号は、各スイッチ８６と対応する圧電式アクチュエータ４２２にそれぞれ印加される。
【００７９】
＜ヘッド制御部ＨＣの動作について＞
ヘッド制御部ＨＣは、コントローラー６０からの画素データＳＩに基づき、インクを吐出させるための制御を行う。すなわち、ヘッド制御部ＨＣは、印刷データに基づいてスイッチ８６のオン／オフを制御し、駆動信号ＣＯＭの必要な部分（期間）を選択的に圧電式アクチュエータ４２２へ印加させている。言い換えると、ヘッド制御部ＨＣは、各圧電式アクチュエータ４２２の駆動を制御している。本実施形態では、画素データＳＩが２ビットで構成されている。そして、転送用クロックＳＣＫに同期して、この画素データＳＩがヘッド４１へ送られてくる。さらに、画素データＳＩの上位ビット群が各第１シフトレジスタ８１Ａにセットされ、下位ビット群が各第２シフトレジスタ８１Ｂにセットされる。第１シフトレジスタ８１Ａには第１ラッチ回路８２Ａが電気的に接続され、第２シフトレジスタ８１Ｂには第２ラッチ回路８２Ｂが電気的に接続されている。そして、コントローラー６０からのラッチ信号ＬＡＴがＨレベルになると、各第１ラッチ回路８２Ａは対応する画素データＳＩの上位ビット（ＳＩＨ）をラッチし、各第２ラッチ回路８２Ｂは画素データＳＩの下位ビット（ＳＩＬ）をラッチする。第１ラッチ回路８２Ａ及び第２ラッチ回路８２Ｂでラッチされた画素データＳＩ（上位ビットと下位ビットの組）はそれぞれ、デコーダー８３に入力される。デコーダー８３は、第１ラッチ回路８２Ａ及び第２ラッチ回路８２Ｂにラッチされた画素データＳＩに応じて、制御ロジック８４から出力される選択信号ｑ０〜ｑ３のうちの一つの選択信号（例えば選択信号ｑ１）を選択し、選択された選択信号をスイッチ制御信号ＳＷとして出力する。各スイッチ８６は、スイッチ制御信号ＳＷに応じてオン／オフされて、駆動信号ＣＯＭの必要な部分（期間）を選択的に圧電式アクチュエータ４２２へ印加する。
【００８０】
＜画素データによるドット形成およびノズル検査の関係について＞
図１７は、駆動信号ＣＯＭと画素データＳＩとの関係を示す図である。  
まず、画素データＳＩが［００］の場合について説明する。画素データ［００］がラッチされている場合、スイッチ制御信号ＳＷとして選択信号ｑ０が出力される。これにより、駆動期間１においてスイッチ８６がオン状態（接続）になり、それ以外の期間にはスイッチ８６がオフ状態（未接続）になる。この結果、駆動信号ＣＯＭの波形１が圧電式アクチュエータ４２２へ印加される。この場合、ノズル４２４からはインク滴は吐出されないが、圧電式アクチュエータ４２２の駆動によってインクが微振動し、圧力室内のインクが攪拌される。なお、この場合ノズル検査は行われない。
【００８１】
次に、画素データＳＩが［０１］の場合について説明する。画素データ［０１］がラッチされている場合、スイッチ制御信号ＳＷとして選択信号ｑ１が出力される。これにより、駆動期間１と検査期間１においてスイッチ８６がオン状態になり、それ以外の期間においてスイッチ８６がオフ状態になる。この結果、駆動信号ＣＯＭの波形１が圧電式アクチュエータ４２２へ印加され圧電式アクチュエータ４２２の駆動によってインクが微振動する。また、その後、検査期間１においてノズル検査が行われる。
【００８２】
次に、画素データＳＩが［１０］の場合について説明する。画素データ［１０］がラッチされている場合、スイッチ制御信号ＳＷとして選択信号ｑ２が出力される。これにより、駆動期間２においてスイッチ８６がオン状態になり、それ以外の期間にはスイッチ８６がオフ状態になる。この結果、駆動信号ＣＯＭの波形２が圧電式アクチュエータ４２２へ印加され、ノズル４２４からインク滴が吐出される。なお、この場合、ノズル検査は行われない。
【００８３】
次に、画素データＳＩが［１１］の場合について説明する。画素データ［１１］がラッチされている場合、スイッチ制御信号ＳＷとして選択信号ｑ３が出力される。これにより、駆動期間２と検査期間２においてスイッチ８６がオン状態になり、それ以外の期間においてスイッチ８６がオフ状態になる。この結果、駆動信号ＣＯＭの波形２が圧電式アクチュエータ４２２へ印加されてインクが吐出される。また、その後、検査期間２においてノズル検査が行われる。
【００８４】
また、図１７に示すようにゲート信号ＤＳＥＬ（残留振動検出回路５５のトランジスタＱの制御信号）は、検査期間（検査期間１および検査期間２）のみＬレベルであり、それ以外はＨレベルになっている。すなわち、図１３より、検査期間以外では、残留振動検出回路５５のトランジスタＱがオンになり圧電式アクチュエータ４２２のグランド端が接地された状態になる。一方、検査期間では、残留振動検出回路５５のトランジスタＱがオフになる。なお、検査期間では駆動信号ＣＯＭは一定であり、検査対象ノズルだけが圧電式アクチュエータ４２２の一端に印加される。よって検査対象ノズルに対応する圧電式アクチュエータ４２２の起電力が残留振動検出回路５５で取出される。
【００８５】
さらに、図１３の論理和回路ＯＲの出力（言い換えると残留振動検出回路５５の出力）は、検査期間以外は常にＨレベルであり、検査期間では、比較器１７の出力に応じた信号になる。具体的には、ＣＯＭＰ出力がＨレベルのときはＰＯＵＴもＨレベルになり、ＣＯＭＰ出力がＬレベルのときは。ＰＯＵＴもＬレベルになる。よって、この検査期間での、残留振動検出回路５５の出力（ＰＯＵＴ）より図１４の振動周期Ｔｔを検出することができる。そして、この検出結果に基づいてノズル検査を行うことができる。
【００８６】
このように、本実施形態では、画素データＳＩのデコードによって、ドット形成の有無を示す情報に加えてノズル検査の有無を示す情報が得られる。これにより、ドット形成の有無を示す情報とノズル検査の有無を示す情報とを別々に送信する場合と比べて、コントローラー６０からヘッド制御部ＨＣへの信号線を減らすことができる。
【００８７】
＝＝＝印刷時のノズル検査の適用例＝＝＝
図１８は、印刷時のノズル検査の適用例を示す図である。  
なお、図では説明の簡略化のため、複数のノズル列のうちの一つのノズル列のみを示し、さらにノズル列のノズル４２４（以下、単にノズルともいう）の数を５つにしている。また、図１８のノズルよりも右側の格子状の図は、或るパスにおける印刷データを示しており、各格子は画素と対応している。図において、搬送方向の各列（Ｄ１列〜Ｄ１２列）に並ぶデータ（画素）は、それぞれノズル列のノズルと対応している。なお、図の格子内に数字があるのは、ノズル検査を行うデータを示しており、この数字はノズル番号と対応している。また、図の斜線はインクを吐出しないデータを示し、丸印はインクを吐出するデータを示している。
【００８８】
或るパスにおいて、ヘッド４１の移動が移動方向に移動する際に、各ノズル（ノズル＃１〜＃５）には列（Ｄ１〜Ｄ１２）毎に印刷データ（画素データＳＩ）が設定される。
【００８９】
例えば、Ｄ１列のノズル＃１に対応するデータは、図より、丸印且つノズル番号なので、インクを吐出（ドット形成）するとともにノズル検査を行なうことを示している。よって、ここでは画素データＳＩとして［１１］が設定される。これにより、駆動信号ＣＯＭの駆動期間２で波形２によるインクの吐出動作が行われ、その残留振動に基づいて検査期間２でノズル検査が行われる。
【００９０】
また、Ｄ１列のノズル＃２に対応するデータは、斜線のみなので、インクの吐出およびノズル検査を行わないことを示している。よって、ここでは画素データＳＩとして［００］が設定される。これにより、駆動信号ＣＯＭの駆動期間１で波形１によるインクの微振動のみが行われる。
【００９１】
また、Ｄ１列のノズル＃３に対応するデータは、丸印のみなので、インクの吐出を行うがノズル検査は行わないことを示している。よって、ここでは画素データＳＩとして［１０］が設定される。これにより、駆動信号ＣＯＭの駆動期間２で波形２によるインクの吐出動作のみが行われる。
【００９２】
また、Ｄ２列のノズル＃２に対応するデータは、斜線且つノズル番号なので、インクの吐出は行わないがノズル検査を行なうことを示している。よって、ここでは画素データＳＩとして［０１］が設定される。これにより駆動信号ＣＯＭの駆動期間１で波形１によるインクの微振動が行われた後、その残留振動に基づいて検査期間１でノズル検査が行われる。
【００９３】
このように、図のＤ１列ではノズル＃１のノズル検査（インク吐出後の検査）を行ない、Ｄ２列では、ノズル＃２のノズル検査（微振動後の検査）を行なう。以下、同様にドットの形成とノズル検査との関係に応じて各ノズルに画素データＳＩが設定され、列毎（ノズル列が移動方向に１画素移動する毎）に１ノズルずつノズル検査を行なう。なお、ノズル検査において、ドット形成時には吐出用波形（波形２）による残留振動が検出される。また、ドットを形成しない場合には、微振動用波形（波形１）による残留振動が検出される。よって、波形毎に、残留振動の検査基準を異ならせるのが好ましい。なぜなら、例えば増粘を検査する場合、パルス数を見て減衰の大小を判定するので、吐出用波形印加時と微振動用波形印加時とで、判定の基準が異なってくるからである。こうすることで、より正確なノズル検査を行うことができる。
【００９４】
＝＝＝フラッシング時のノズル検査の適用例＝＝＝
図１９は、フラッシング時のノズル検査の適用例を示す図である。  
なお、フラッシングとは、ノズルの吐出能力を回復させるため。各ノズルから連続的にインクを吐出させる動作のことである。
【００９５】
図１９においても図１８と同様に、説明の簡略化のため複数のノズル列のうちの一つのみを示し、さらにノズル数を５つにしている。また、図１９の記載方法は図１８と同様である。  
つまり、フラッシングでは、図の丸印に示すように全ノズルに対しインクの吐出動作を行う。そして、数字（ノズル番号）のあるところではノズル検査を行う。例えば、Ｄ１列では、ノズル＃１のノズル検査を行ない、Ｄ２列ではノズル＃２のノズル検査を行なう。また、Ｄ３列ではノズル＃３のノズル検査を行なう。
【００９６】
具体的には、Ｄ１列では、ノズル＃２〜＃５の画素データＳＩとして［１０］が設定される。これにより、ノズル＃２〜＃５では駆動信号ＣＯＭの駆動期間２で波形２によるインクの吐出動作のみが行われる。また、Ｄ１列のノズル＃１の画素データＳＩとして［１１］が設定される。これにより、ノズル＃１では駆動信号ＣＯＭの駆動期間２において波形２によるインクの吐出動作が行われ、その後の検査期間２において残留振動に基づいてノズル検査が行われる。
【００９７】
同様にして、列毎に検査対象ノズルを変更していく。例えば、Ｄ２列ではノズル＃２の画素データＳＩのみを［１１］に設定し、ノズル＃２のノズル検査を行なう。また、Ｄ３列ではノズル＃３の画素データＳＩのみを［１１］に設定し、ノズル＃３のノズル検査を行なう。  
図では、各ノズル（＃１〜＃５）の検査が二巡したところで、ノズル検査結果が正常になったとしてフラッシングを停止している。
【００９８】
このように、フラッシングの際にも、各ノズルに共通の残留振動検出回路５５によって、ノズル毎にノズル検査を行うことができる。また、本実施形態では各ノズルについての検査結果が正常であれば、フラッシングの途中であってもフラッシングを終了するようにしている。具体的には、後述する巡回数制限に達する前にフラッシングを終了させている。これによりインクの消費の低減を図ることができる。
【００９９】
＝＝＝ノズル検査の処理について＝＝＝
図２０および図２１は、本実施形態のノズル検査の処理の一例を示すフロー図である。  
なお、図２０は印刷時のフローを示しており、図２１はフラッシング時のフローを示している。
【０１００】
図２０において、まず、ノズル検査を開始する検査開始ノズルを指定する（Ｓ１０１）。この検査開始ノズルに対しては検査期間にノズル検査を行うことを示す画素データＳＩが設定され、他のノズルに対しては検査期間にノズル検査を行わないことを示す画素データＳＩが設定される。例えば、検査開始ノズルからインクを吐出しない場合、検査開始ノズルには画素データＳＩとして［０１］が設定され、それ以外のノズルには画素データＳＩとして［００］または［１０］が設定される。
【０１０１】
ヘッド制御部ＨＣは、画素データＳＩに基づいて、駆動信号ＣＯＭの信号選択を行う（Ｓ１０２）。具体的には、ヘッド制御部ＨＣの各デコーダー８３が、画素データＳＩと選択信号ｑ０〜ｑ３とに基づいて駆動パルス（波形）の選択情報と、検査期間の選択情報とを含むスイッチ信号ＳＷをノズル毎に生成する。
【０１０２】
そして、ヘッド制御部ＨＣは、繰り返し周期Ｔの駆動期間（駆動期間１、駆動期間２）に画素データＳＩに応じたスイッチ信号ＳＷによって対応するスイッチ８６をオンにする。こうして、駆動信号ＣＯＭの波形（波形１または波形２）を選択的に圧電式アクチュエータ４２２に印加する（Ｓ１０３）。
【０１０３】
また、ヘッド制御部ＨＣは、検査期間（検査期間１、検査期間２）においても、スイッチ信号ＳＷ（検査区間の選択情報）によって対応するスイッチ８６をオンオフする。なお、ここでは、検査対象のノズルに対応するスイッチ８６のみをオンとし、検査対象ノズル以外のスイッチ８６をオフとする。こうして、検査対象ノズル以外のノズルについては、圧電式アクチュエータ４２２への駆動信号ＣＯＭの印加を遮断する（Ｓ１０４）
さらに、検査期間において、コントローラー６０は残留振動検出回路５５へのゲート信号ＤＳＥＬをＬレベルとし、残留振動検出回路５５のトランジスタＱをオフにする。これにより、残留振動検出回路５５に圧電式アクチュエータ４２２の起電力が取り込まれ、残留振動検出回路５５から残留振動に応じたパルスＰＯＵＴが出力される。
【０１０４】
そして、コントローラー６０は、残留振動検出回路５５の検出結果（パルスＰＯＵＴ）に基づいてノズルの異常の有無を判断する（Ｓ１０７）。
【０１０５】
ノズル異常がある場合（Ｓ１０７でＹ）、ノズルの異常の原因が気泡であるかを判断する（Ｓ１０８）。すなわち、異常の原因が振動周期Ｔｔに基づくものであるかを判断する。気泡が原因でない場合（Ｓ１０８でＮ）、さらに、ノズルの異常の原因がインクの増粘であるかを判断する（Ｓ１０９）。すなわち、異常の原因がパルス数に基づくものであるかを判断する。インクの増粘が原因である場合（Ｓ１０９でＹ）、増粘フラグを例えばメモリー６３に記憶し（Ｓ１１０）、印刷終了であるかの判断を行う（Ｓ１１３）。また、コントローラー６０は、ステップＳ１０８で気泡が原因と判断した場合（Ｓ１０８でＹ）およびステップＳ１０９で増粘が原因でないと判断した場合（Ｓ１０９でＮ）、印刷を停止し（Ｓ１１１）、回復処理（例えば、クリーニング等）を行う（Ｓ１１２）。
【０１０６】
ステップＳ１１３において、印刷終了でないと判断すると（Ｓ１１３でＮ）、コントローラー６０は、ノズル検査が一巡したか否かの判断を行う（Ｓ１１４）。一巡していない場合（Ｓ１１４でＮ）は、次のノズルを検査対象ノズルとして指定し（Ｓ１１５）、ステップＳ１０２に戻る。一方、ノズル検査が一巡した場合（Ｓ１１４でＹ）、ステップＳ１０１（検査開始ノズル）に戻る。  
また、ステップＳ１１３で印刷終了であると判断した場合（Ｓ１１３でＹ）、増粘フラグが無いかの判断を行う（Ｓ１１６）。  
増粘フラグが無ければ（Ｓ１１６でＹ）、処理を終了する。増粘フラグがあれば（Ｓ１１６でＮ）、図２１に示すフロー（フラッシング）を実行する。
【０１０７】
このフラッシング処理ではまず印字波形の選択を行う（Ｓ２０１）。すなわちフラッシングを波形１（微振動用波形）で行うか波形２（吐出用波形）で行うかを選択する。ここでは波形２（吐出用波形）を選択することにする。そして、媒体（紙）への印刷を行っていない間（紙間）において（Ｓ２０２でＹ）、フラッシング処理を行う。
【０１０８】
なお、フラッシング処理では全てのノズルからインクを吐出する。すなわち、検査開始ノズル（例えばノズル＃１）に対しては画素データＳＩとして検査期間２にノズル検査を行うことを示す［１１］が設定され、他のノズルに対しては画素データＳＩとして検査期間２にノズル検査を行わないことを示す［１０］が設定される。このように画素データＳＩに検査開始ノズルが指定される（Ｓ２０３）。
【０１０９】
これにより、駆動信号ＣＯＭの繰り返し周期Ｔの駆動期間２において、全てのスイッチ８６がオンになる。よって、駆動信号ＣＯＭの波形２が全ての圧電式アクチュエータ４２２に印加される（Ｓ２０４）。すなわち全てのノズルからインクの吐出動作が行われる。
【０１１０】
また、その後の検査期間２では、検査対象のノズルに対応するスイッチ８６のみがオンとなり、検査対象ノズル以外のスイッチ８６がオフとなる。こうして、検査対象ノズル以外のノズルについては、圧電式アクチュエータ４２２への駆動信号ＣＯＭの印加を遮断する（Ｓ２０５）。
【０１１１】
さらにコントローラー６０は、検査期間２において、残留振動検出回路５５へのゲート信号ＤＳＥＬをＬレベルとし、残留振動検出回路５５のトランジスタＱをオフにする（Ｓ２０６）。これにより、残留振動検出回路５５に検査対象ノズルに対応する圧電式アクチュエータ４２２の起電力が取り込まれる。残留振動検出回路５５は、検査対象ノズルの残留振動の検出を行ない（Ｓ２０７）、この検出結果がパルスＰＯＵＴとしてコントローラー６０に出力される。コントローラー６０は、その検出結果を、例えばメモリー６３に保存する（Ｓ２０８）。
【０１１２】
その後、コントローラー６０は、ノズルの検査が一巡したか否かの判断を行う（Ｓ２０９）。一巡していなければ（Ｓ２０９でＮ）、次のノズルを指定し（Ｓ２１０）、ステップＳ２０４に戻る。一方、一巡していれば（Ｓ２０９でＹ）、メモリー６３への保存結果から回復したか否かの判断を行う（Ｓ２１１）。回復していれば（Ｓ２１１でＹ）、処理を終了する。一方、回復していなければ（Ｓ２１１でＮ）、巡回数が制限数（巡回数制限）に達しているかの判断を行う（Ｓ２１２）。巡回数制限に達していなければ（Ｓ２１２でＮ）、ステップＳ２０３に戻り上述した処理を再度実行する。一方、巡回数制限に達していれば（Ｓ２１２でＹ）図２０のステップＳ１１１に戻り、印刷を停止する。そして、他の回復処理（クリーニング等）を行う（Ｓ１１２）。
【０１１３】
なお、本実施形態では、フラッシング時に波形２（吐出用波形）を各圧電式アクチュエータ４２２に印加するようにしているが、波形１（微振動用波形）を印加するようにしてもよい。すなわち、検査対象ノズルについては、画素データＳＩとして駆動期間１と検査期間１とを選択する［１０］を設定し、検査対象ノズル以外には駆動期間１を選択する［００］を設定してもよい。これによりフラッシング時にノズルからインクが吐出されないので、インクの消費の低減を図ることができる。
【０１１４】
以上説明したように、本実施形態では、駆動信号ＣＯＭの繰り返し周期Ｔの中に複数の選択可能な期間を設けるとともに、その中に少なくとも一つの検査期間を設けている。そして、検査対象ノズルについては、検査期間を選択するようにしている。これにより、コントローラー６０からヘッド制御部ＨＣ側にノズル検査の期間を指示するための信号線が不要になるので、配線数の軽減を図ることができる。
【０１１５】
また、本実施形態では画素データＳＩのデコードに基づいて、ドット形成の有無を示す情報に加えてノズル検査の有無を示す情報を取得している。これにより、さらに配線数の軽減を図ることができる。
【０１１６】
また、本実施形態では駆動波形毎に検査期間を設けているので、検査対象ノズルに対応する圧電アクチュエータ４２２を駆動させる期間にかかわらずに吐出検査を行うことができる。
【０１１７】
さらに、本実施形態では圧電アクチュエータ４２２に微振動波形を印加した後にも吐出検査を行うようにしているので、インクを吐出するか否かにかかわらずに吐出検査を行うことができる。なお、この場合、駆動波形毎に検査基準を異ならせることにより、吐出検査の精度を高めることができる。
【０１１８】
＝＝＝その他の実施形態＝＝＝
一実施形態としてのプリンター等を説明したが、上記の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれることは言うまでもない。特に、以下に述べる実施形態であっても、本発明に含まれるものである。
【０１１９】
＜液体吐出装置について＞
前述の実施形態では、液体吐出装置の一例としてインクジェットプリンターが説明されている。但し、液体吐出装置はインクジェットプリンターに限られるものではなく、インク以外の他の流体（液体や、機能材料の粒子が分散されている液状体、ジェルのような流状体）を吐出したりする液体吐出装置に具現化することもできる。例えば、カラーフィルタ製造装置、染色装置、微細加工装置、半導体製造装置、表面加工装置、三次元造形機、気体気化装置、有機ＥＬ製造装置（特に高分子ＥＬ製造装置）、ディスプレイ製造装置、成膜装置、ＤＮＡチップ製造装置などのインクジェット技術を応用した各種の装置に、上述の実施形態と同様の技術を適用してもよい。また、これらの方法や製造方法も応用範囲の範疇である。
【０１２０】
また、前述した実施形態のプリンターは、搬送動作とドット形成動作とを交互に繰り返すプリンター（いわゆるシリアルプリンター）であったが、これには限定されない。例えば、紙幅分の長さのヘッドを備え、搬送中の媒体に向けてヘッドからインクを吐出するプリンター（いわゆるラインプリンター）であっても良い。
【０１２１】
＜インクについて＞
前述の実施形態は、プリンターの実施形態だったので、インクをノズルから吐出しているが、このインクは水性でも良いし、油性でも良い。また、ノズルから吐出する液体は、インクに限られるものではない。例えば、金属材料、有機材料（特に高分子材料）、磁性材料、導電性材料、配線材料、成膜材料、電子インク、加工液、遺伝子溶液などを含む液体（水も含む）をノズルから吐出しても良い。
【０１２２】
＜駆動信号ＣＯＭについて＞
本実施形態では駆動信号ＣＯＭの繰り返し周期Ｔ内に２つの駆動波形（波形１、波形２）と２つの検査期間が設けられていたが、これには限定されない。例えば、繰り返し周期Ｔ内に駆動波形と検査期間がそれぞれ１つでもよいし３つ以上でもよい。なお、検査期間は繰り返し周期Ｔ内に少なくとも１つあればよい。この場合、検査期間は駆動波形の後に設けられていればよい。
【０１２３】
＜プリンタードライバーについて＞
前述の実施形態によれば、コンピューター１１０側のプリンタードライバーが印刷データの生成を行っていたが、これには限られない。例えば、本実施形態の印刷データの生成を行うのに必要な機能を実現するためのプログラムがプリンター１のメモリー等の各種記憶部に格納されているのであれば、プリンター１が前述の処理を行うことが可能である。また、プリンタードライバーでドットの形成の有無を示す印刷データ（１ビットデータ）を生成し、プリンター１側で印刷データに検査対象ノズルを示すデータを割付けして２ビットデータにするようにしてもよい。
【０１２４】
＜残留振動検出回路について＞
本実施形態では複数のノズル（複数の圧電アクチュエータ４２２）に対して、共通の残留振動検出回路５５を設けていたが、これには限らない。
【０１２５】
図２２は、各ノズル（各圧電アクチュエータ４２２）に対して、それぞれ残留振動検出回路５５を設けた場合の一例を示す図である。  
同図では、各圧電アクチュエータ４２２のグランド端に残留振動検出回路５５がそれぞれ設けられている。この場合、各残留振動検出回路５５内のトランジスタＱ（図１３参照）のオンオフの制御（ゲート信号ＤＳＥＬの制御）により、各圧電アクチュエータ４２２のグランド端を接地することと、各圧電式アクチュエータ４２２の起電力を残留振動検出回路５５に取出すことを切り替えることができる。
【０１２６】
例えば検査期間以外は、全ての残留振動検出回路５５へのゲート信号ＤＳＥＬをＨレベルにしておき、検査期間では検査対象ノズルに対応する残留振動検出回路５５へのゲート信号ＤＳＥＬのみをＬレベルに切り替えれば良い。  
このような構成の場合においても、駆動信号ＣＯＭの繰り返し周期Ｔの中に複数の選択可能な期間を設けるとともに、その中に少なくとも一つの検査期間を設け、検査対象ノズルについては、検査期間を選択するようにすることで、コントローラー６０からヘッド制御部ＨＣ側への配線数の軽減を図ることができる。  
さらに、画素データＳＩのデコードに基づいて、ドット形成の有無を示す情報とノズル検査の有無を示す情報を取得することで、さらに配線数の軽減を図ることができる。
【０１２７】
＜ノズル検査について＞
前述の実施形態では、印刷時とフラッシング時にノズル検査を行っているが、これには限られず、何れか一方においてノズル検査を行うようにしてもよい。なお、フラッシング時にノズル検査を行なう場合、本実施形態のように各ノズルについて正常である結果が得られたらフラッシングの途中（すなわち巡回数制限に達する前）でフラッシングを終了するようにすると、フラッシングによるインクの消費の低減を図ることができる。
【符号の説明】
【０１２８】
１  プリンター、
２０  搬送ユニット、２１  給紙ローラー、２２  搬送モーター、
２３  搬送ローラー、２４  プラテン、２５  排紙ローラー、
３０  キャリッジユニット、３１  キャリッジ、
４０  ヘッドユニット、
５０  検出器群、５１  リニア式エンコーダー、５２  ロータリー式エンコーダー、
５３  紙検出センサー、５４  光学センサー、５５  残留振動検出回路、
５６  交流増幅器、５７  比較器、
６０  コントローラー、６１  インターフェイス部、６２  ＣＰＵ、
６３  メモリー、６４  ユニット制御回路、６５  駆動信号生成回路、
７１  フレキシブルケーブル、
８１Ａ  第１シフトレジスタ、８１Ｂ  第２シフトレジスタ、
８２Ａ  第１ラッチ回路、８２Ｂ  第２ラッチ回路、
８３  デコーダー、８４  制御ロジック、８６  スイッチ、
４２１  振動板、４２２  圧電式アクチュエータ、４２３  キャビティ、
４２４  ノズル、４２５  ノズル基板、４２６  キャビティ基板、
４２７  圧電素子、４２８  リザーバ、４２９  インク供給チューブ、
４３０  中間層、４３１  第１電極、４３２  第２電極、
６５１  波形メモリー、６５２  第１ラッチ回路、６５３  加算器、
６５４  第２ラッチ回路、６５５  Ｄ／Ａ変換器、
６５６  電圧増幅部、６５７  電流増幅部
【図１】
0005533238.tif 000003
【図２】
0005533238.tif 000004
【図３】
0005533238.tif 000005
【図４】
0005533238.tif 000006
【図５】
0005533238.tif 000007
【図６】
0005533238.tif 000008
【図７】
0005533238.tif 000009
【図８】
0005533238.tif 000010
【図９】
0005533238.tif 000011
【図１０】
0005533238.tif 000012
【図１１】
0005533238.tif 000013
【図１２】
0005533238.tif 000014
【図１３】
0005533238.tif 000015
【図１４】
0005533238.tif 000016
【図１５】
0005533238.tif 000017
【図１６】
0005533238.tif 000018
【図１７】
0005533238.tif 000019
【図１８】
0005533238.tif 000020
【図１９】
0005533238.tif 000021
【図２０】
0005533238.tif 000022
【図２１】
0005533238.tif 000023
【図２２】
0005533238.tif 000024