(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
室内を清浄な空気環境に維持する製造設備と、
前記製造設備の一部として前記室内に配され、前記空気環境を悪化させる汚染空気の発生源となり得る機械駆動部と、
前記機械駆動部を囲繞して前記室内の空間から隔離する機械駆動部隔離箱と、
前記機械駆動部隔離箱の一部に形成され、前記機械駆動部隔離箱の内部空間と前記室内の空間とを空気流動可能に連通する開口部と、
前記機械駆動部隔離箱内の空気を前記製造設備の室外に排出するための排気ダクトと
を備え、
前記開口部の端部には、前記端部から前記機械駆動部隔離箱の内方に向かう曲面が前記開口部の長手方向に沿って形成されるとともに、前記曲面の基端部から該曲面に沿って流れる薄層状の圧縮空気を吐出するスリット部が配設されていることを特徴とする汚染空気の拡散防止装置。
【請求項２】
室内を清浄な空気環境に維持する製造設備と、
前記製造設備の一部として前記室内に配され、前記空気環境を悪化させる汚染空気の発生源となり得る機械駆動部と、
前記機械駆動部を囲繞して前記室内の空間から隔離する機械駆動部隔離箱と、
前記機械駆動部隔離箱の一部に形成され、前記機械駆動部隔離箱の内部空間と前記室内の空間とを空気流動可能に連通する開口部と、
前記機械駆動部隔離箱内の空気を前記製造設備の室外に排出するための排気ダクトと
を備え、
前記開口部の端部外側には、前記開口部の長手方向に沿って中空円筒部材が配設されるとともに、前記中空円筒部材の周面に沿って流れる薄層状の圧縮空気を吐出するスリット部が配設されていることを特徴とする汚染空気の拡散防止装置。
【請求項３】
室内を清浄な空気環境に維持する製造設備と、
前記製造設備の一部として前記室内に配され、前記空気環境を悪化させる汚染空気の発生源となり得る機械駆動部と、
前記機械駆動部から離間して前記室内に配されたワーク作業部と、
前記ワーク作業部を囲繞して前記機械駆動部から隔離するワーク作業部隔離箱と、
前記ワーク作業部隔離箱の一部に形成され、前記ワーク作業部隔離箱の内部空間と前記機械駆動部が配された前記室内の空間とを空気流動可能に連通する開口部と、
前記ワーク作業部隔離箱内に清浄な空気を供給するための供給ダクトと
を備え、
前記開口部の端部には、前記端部から前記ワーク作業部隔離箱の外方に向かう曲面が前記開口部の長手方向に沿って形成されるとともに、前記曲面の基端部から該曲面に沿って流れる薄層状の圧縮空気を吐出するスリット部が配設されていることを特徴とする汚染空気の拡散防止装置。
【請求項４】
室内を清浄な空気環境に維持する製造設備と、
前記製造設備の一部として前記室内に配され、前記空気環境を悪化させる汚染空気の発生源となり得る機械駆動部と、
前記機械駆動部から離間して前記室内に配されたワーク作業部と、
前記ワーク作業部を囲繞して前記機械駆動部から隔離するワーク作業部隔離箱と、
前記ワーク作業部隔離箱の一部に形成され、前記ワーク作業部隔離箱の内部空間と前記機械駆動部が配された前記室内の空間とを空気流動可能に連通する開口部と、
前記ワーク作業部隔離箱内に清浄な空気を供給するための供給ダクトと
を備え、
前記開口部の端部内側には、前記開口部の長手方向に沿って中空円筒部材が配設されるとともに、前記中空円筒部材の周面に沿って流れる薄層状の圧縮空気を吐出するスリット部が配設されていることを特徴とする汚染空気の拡散防止装置。
【請求項５】
前記中空円筒部材は、着脱可能に設けられている請求項２または４に記載の汚染空気の拡散防止装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体や薄膜トランジスタなどの製造設備において、空気洗浄度の高い環境を維持するために、同環境下に配された機械駆動部などから生じる汚染空気の拡散を防止する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や薄膜トランジスタの製造工程においては、空気中に浮遊する微粒子や塵埃がワーク表面に付着した場合、それが原因で成膜不良やパターン露光時の不良に陥る可能性があり、その結果、パターン欠陥などの不具合が生じてしまうという問題があった。そのため、従来より、これらの製造工程は、空気の清浄化を図ったクリーンルームなどの製造設備内で行われていた。
【０００３】
ところで、この種の製造設備内には、機械駆動部やケーブル摺動部が配備されている必要があるが、これらの機構において、塵埃や異物などのパーティクルの発生を完全に防止することは困難であった。そこで、このような製造設備では、塵埃や異物などを含有する汚染空気の発生源を隔離箱などによって周囲空間と隔離する、あるいは、ワーク処理部を隔離箱などによって周囲空間と隔離し、このワーク処理部の空間にフィルターを介して清浄化された空気を流すことにより、ワーク周辺における高い空気清浄度を維持するようにした手段が提案されていた（例えば、特許文献１）。
【０００４】
一方、汚染空気の発生源とワークとを隔離箱などによって完全に隔離することが不可能な製造設備では、汚染空気の発生源をワークより低い位置に配すとともに、ワークの上方にファンで駆動されるＨＥＰＡフィルタを配置し、製造設備内に清浄な空気の下降気流を起こして、ワーク周辺の空気清浄度を維持するようにした手段が提案されていた（例えば、特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平７−２６０２０５公報
【特許文献２】特開２００６−２３９４９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、近年、特に薄膜トランジスタ液晶などの製造工程においては、生産効率の改善を目的として、ガラス基板のサイズが拡大化される傾向にあり、上述した後者のような汚染空気の発生源をワークより下方に配置する手段を採用した場合、製造設備の全体サイズが大きくなりすぎてしまい、設置スペースを確保するのが困難になるなどの問題があった。そこで、このような製造設備の大型化を回避する対策として、清浄な空気環境が必要なワークの上方に汚染空気の発生源を配置するとともに、それらを隔離箱で囲い、該隔離箱内の空気をポンプを介して吸引して製造設備の外部へ吐き出すようにした汚染空気の拡散防止装置が提案されている。この汚染空気の拡散防止装置を具備した製造設備では、隔離箱内の気圧がワーク周辺の気圧よりも低く保たれるので、汚染空気が隔離箱の開口部などからワーク周辺に拡散するのを防止することができる。
【０００７】
しかしながら、このような汚染空気の拡散防止装置を具備した製造設備内で大型の薄膜トランジスタ液晶の基板を全面に亘って走査するような場合、隔離箱の開口部は、その走査面の長手方向に沿った長尺形状に形成される必要があるが、このような長尺形状の開口部を有する隔離箱の内部を負圧に保つには、その開口部の全面に対して十分な空気の流量を確保しなければならなかった。したがって、上述した空気吸引用ポンプとして、非常に大量の空気を吸引可能な大型のファンを具備したものが必要となり、その結果、製造設備の小型化および低コスト化が阻害されるとともに、その運用に大量の電力を要するので省エネ化を図ることができない、という問題があった。
【０００８】
また、上述したような長尺状の開口部の全面において空気の流速を一定に保つのは非常に困難であり、そのためには隔離箱を深い奥行きを有する台形のようなダクトに形成しなければならなかった。したがって、このような形状の制約に起因して、製造設備内の部材配置および形状に関する設計自由度が損なわれてしまう、という問題もあった。
【０００９】
さらに、一般的な隔離箱の形状では、開口部を動き回るような機械駆動部があった場合に、その開口部の全面において層状の空気の流れを保つのは非常に困難であった。このようなケースでは、製造設備の運用後に生じた空気汚染への対応が大掛かりになってしまい、長期間の運用停止と改造が必要となり、場合によっては実質的には対応が不可能であった。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、清浄な空気環境を必要とする製造設備内において、汚染空気を生じる可能性のある部分と清浄な空気環境を要する空間とを隔離箱によって隔離するとともに、その隔離箱に形成された開口部を介して汚染空気が清浄な空気環境を要する空間に漏れ出さないように改善された汚染空気の拡散防止装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の上記目的は、室内を清浄な空気環境に維持する製造設備と、前記製造設備の一部として前記室内に配され、前記空気環境を悪化させる汚染空気の発生源となり得る機械駆動部と、前記機械駆動部を囲繞して前記室内の空間から隔離する機械駆動部隔離箱と、前記機械駆動部隔離箱の一部に形成され、前記機械駆動部隔離箱の内部空間と前記室内の空間とを空気流動可能に連通する開口部と、前記機械駆動部隔離箱内の空気を前記製造設備の室外に排出するための排気ダクトとを備え、前記開口部の端部には、前記端部から前記機械駆動部隔離箱の内方に向かう曲面が前記開口部の長手方向に沿って形成されるとともに、前記曲面の基端部から該曲面に沿って流れる薄層状の圧縮空気を吐出するスリット部が配設されていることを特徴とする汚染空気の拡散防止装置により、達成される。
【００１２】
また、本発明の上記目的は、室内を清浄な空気環境に維持する製造設備と、前記製造設備の一部として前記室内に配され、前記空気環境を悪化させる汚染空気の発生源となり得る機械駆動部と、前記機械駆動部を囲繞して前記室内の空間から隔離する機械駆動部隔離箱と、前記機械駆動部隔離箱の一部に形成され、前記機械駆動部隔離箱の内部空間と前記室内の空間とを空気流動可能に連通する開口部と、前記機械駆動部隔離箱内の空気を前記製造設備の室外に排出するための排気ダクトとを備え、前記開口部の端部外側には、前記開口部の長手方向に沿って中空円筒部材が配設されるとともに、前記中空円筒部材の周面に沿って流れる薄層状の圧縮空気を吐出するスリット部が配設されていることを特徴とする汚染空気の拡散防止装置により、達成される。
【００１３】
また、本発明の上記目的は、室内を清浄な空気環境に維持する製造設備と、前記製造設備の一部として前記室内に配され、前記空気環境を悪化させる汚染空気の発生源となり得る機械駆動部と、前記機械駆動部から離間して前記室内に配されたワーク作業部と、前記ワーク作業部を囲繞して前記機械駆動部から隔離するワーク作業部隔離箱と、前記ワーク作業部隔離箱の一部に形成され、前記ワーク作業部隔離箱の内部空間と前記機械駆動部が配された前記室内の空間とを空気流動可能に連通する開口部と、前記ワーク作業部隔離箱内に清浄な空気を供給するための供給ダクトとを備え、前記開口部の端部には、前記端部から前記ワーク作業部隔離箱の外方に向かう曲面が前記開口部の長手方向に沿って形成されるとともに、前記曲面の基端部から該曲面に沿って流れる薄層状の圧縮空気を吐出するスリット部が配設されていることを特徴とする汚染空気の拡散防止装置により、達成される。
【００１４】
また、本発明の上記目的は、室内を清浄な空気環境に維持する製造設備と、前記製造設備の一部として前記室内に配され、前記空気環境を悪化させる汚染空気の発生源となり得る機械駆動部と、前記機械駆動部から離間して前記室内に配されたワーク作業部と、前記ワーク作業部を囲繞して前記機械駆動部から隔離するワーク作業部隔離箱と、前記ワーク作業部隔離箱の一部に形成され、前記ワーク作業部隔離箱の内部空間と前記機械駆動部が配された前記室内の空間とを空気流動可能に連通する開口部と、前記ワーク作業部隔離箱内に清浄な空気を供給するための供給ダクトとを備え、前記開口部の端部内側には、前記開口部の長手方向に沿って中空円筒部材が配設されるとともに、前記中空円筒部材の周面に沿って流れる薄層状の圧縮空気を吐出するスリット部が配設されていることを特徴とする汚染空気の拡散防止装置により、達成される。
【００１５】
さらに、本発明の上記目的は、前記中空円筒部材は、着脱可能に設けられていることにより、効果的に達成される。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る汚染空気の拡散防止装置によれば、開口部の端部に配設されたスリット部から吐出される圧縮空気によって、開口部の端部に形成された曲面、あるいは開口部の端部に配設された中空円筒部材の周面に沿って一次空気層流を発生させるようになっている。この一次空気層流により、開口部の内外には圧力差が生じて二次空気層流が引き起こされるので、機械駆動部で発生した汚染空気が清浄な空気環境を要する空間に流入するのを防止することができる。
【００１７】
また、本発明に係る汚染空気の拡散防止装置では、この二次空気層流を引き起こすための一次空気層流を、少量の高圧空気によって容易に発生させることができるので、製造設備全体の小型化と設計自由度の向上を図ることができ、かつ、運用に必要なエネルギ量を削減して低コスト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置を示す概略図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置の要部を示す概略断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置を示す概略図である。
【図４】本発明の第３実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置を示す概略図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置の要部を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明に係る汚染空気の拡散防止装置は、汚染空気を生じる可能性のある部分と清浄な空気環境を要する空間とを隔離箱によって隔離するとともに、その隔離箱に形成された開口部を介して汚染空気が清浄な空気環境を要する空間に漏れ出さないようにするものである。以下、本発明に係る汚染空気の拡散防止装置の実施形態について、図面を参照にしながら説明する。
【００２０】
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置を示す概略図である。同図において、本実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置１は、室内を清浄な空気に維持する製造設備、例えば半導体や薄膜トランジスタの製造工程などに利用されるクリーンルーム２内に配備される。このようなクリーンルーム２内には、製造設備の一部として半導体や薄膜トランジスタの製造工程において使用される機械駆動部（直動ベアリングガイド等）３が配設されている。
【００２１】
この機械駆動部３は、塵埃や異物などのパーティクルの発生源であるが、これらを含有した汚染空気がクリーンルーム２内に拡散し、半導体や薄膜トランジスタに付着すると、それらの品質を低下させてしまう。すなわち、この汚染空気は、クリーンルーム２内の空気環境を悪化させる可能性がある。そこで、本実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置１は、この機械駆動部３を囲繞してクリーンルーム２内の空間から隔離する機械駆動部隔離箱４を備えている。この機械駆動部隔離箱４は、該機械駆動部隔離箱４の内部空間とクリーンルーム２の空間とを空気流動可能に連通する開口部５と、機械駆動部隔離箱４内の空気を製造設備の室外、すなわちクリーンルーム２の外部に排出するための排気ダクト６とを具備している。
【００２２】
開口部５は、機械駆動部隔離箱４の一側面にその長手方向、すなわち直動ベアリングガイドの可動方向に沿って略矩形状に形成されている。この開口部５の下辺端部には、該端部から機械駆動部隔離箱４の内方に向かって延びる曲面７が開口部５の長手方向に沿って形成されるとともに、曲面７の基端部から該曲面７に沿って流れる薄層状の圧縮空気を吐出するスリット部８が配設されている。
【００２３】
図２は、本実施形態に係る機械駆動部隔離箱の開口部の下辺端部を示す概略断面図である。同図において、曲面７は、機械駆動部隔離箱４の一側面を形成する壁部材４ａを開口部５の下辺端部から延設したものであり、その断面は同図中の点Ｏ１を中心点とした円弧状に形成され、その先端部は機械駆動部隔離箱４の内部空間（同図左側）に向かって延びている。また、スリット部８は、曲面７の基端部下側の壁部材４ａに長手方向に沿って形成された線状の隙間９と、該隙間９を壁部材４ａの外側から被覆するように取り付けられた上部開口で断面Ｌ字状の外側カバー部材１０と、隙間９を壁部材４ａの内側から被覆するように取り付けられた断面コ字状の内側カバー部材１１と、該内側カバー部材１１の長手方向に沿って所定の間隔毎に配設され、内側カバー部材１１の内部空間を介して隙間９と空気流動可能に連結された供給パイプ１２と、該各供給パイプ１２に圧縮空気を供給する供給ポンプ１３とを有している。なお、この供給ポンプ１３は、例えば製造設備が配されている工場内の圧縮空気配管を供給パイプ１２に接続することにより省略可能である。
【００２４】
このような構成からなる曲面７およびスリット部８では、供給ポンプ１３から供給された圧縮空気が、供給パイプ１２および内側カバー部材１１の内部空間を介して隙間９に送られ、該隙間９から吐出された圧縮空気が、その進行方向を外側カバー部材１０によって上方に方向転換され、曲面７に沿って開口部５に送出される。この曲面７に沿って流れる一次的な空気流動（図２中の実線矢印）により、開口部５の内側と外側との間で圧力差が生じ、これにより、開口部５の全域において、クリーンルーム２の空気が機械駆動部隔離箱４内に流入するという二次的な空気流動（図１および図２中の点線矢印）が生じるようになっている。
【００２５】
以上のように、本実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置１によれば、開口部５の下端に設けられた曲面７に沿ってスリット部８から圧縮空気を吐出することにより、機械駆動部隔離箱４の開口部５における空気の流れがその全面に亘って外側から内側に規制されるので、機械駆動部３で発生した汚染空気が清浄な空気環境を要するクリーンルーム２の空間に流入するのを防止することできる。
【００２６】
また、本実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置１によれば、上述した開口部５における空気の流れは、少量の圧縮空気で容易に引き起こすことができるので、供給ポンプ１３や排気ダクト６に接続されるポンプは、従来のものよりも小型なものでも十分に実現可能である。この結果、製造設備全体の小型化と設計自由度の向上を図ることができ、かつ、運用に必要なエネルギ量を削減して低コスト化を図ることができる。
【００２７】
［第２実施形態］
図３は、本発明の第２実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置を示す概略図である。同図において、上述した第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、ここではその説明を省略する。
【００２８】
同図において、この第２実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置１Ａは、第１実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置１では、機械駆動部隔離箱４の開口部５の下辺端部に形成されていた曲面７の代わりに、機械駆動部隔離箱４Ａの開口部５の下辺端部外側に中空円筒部材１４が配設されている点で、上述した第１実施形態とは相違している。この中空円筒部材１４は、その軸方向が開口部５の長手方向と平行になるように配され、その長手方向の寸法は、開口部５の下辺端部と略一致している。
【００２９】
また、中空円筒部材１４の一端面には、圧縮空気を供給する供給ポンプ１３に接続された供給パイプ１２が連結されている。この供給パイプ１２を介して中空円筒部材１５内に供給された圧縮空気は、中空円筒部材１４の周面に長手方向に沿って所定の間隔で穿設された吐出孔１５から吐き出される。この中空円筒部材１４の外側近傍には、吐出孔１５を被覆するように長手方向に沿って延びる断面Ｌ字状のカバー部材１６が設けられている。このカバー部材１６は、一平面が中空円筒部材１４の下方周面（図３の下側）に当接する一方で、他平面が中空円筒部材１４の外側周面（図３中の右側）には当接しないように配されている。
【００３０】
この中空円筒部材１４を含むスリット部８Ａの構成により、中空円筒部材１４の吐出孔１５から吐き出された圧縮空気は、中空円筒部材１４とカバー部材１６との間の隙間を通って、中空円筒部材１４の外側上方周面に沿って開口部５に送出される。この中空円筒部材１４の外側上方周面に沿って流れる一次的な空気流動（図３中の実線矢印）により、上述した第１実施形態と同様に、開口部５の内側と外側との間で圧力差が生じ、これにより、開口部５の全域において、クリーンルーム２の空気が機械駆動部隔離箱４Ａ内に流入するという二次的な空気流動（図１および図２中の点線矢印）が生じるようになっている。
【００３１】
以上のように、本実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置１Ａによれば、上述した第１実施形態と同様の作用効果が得られることはもとより、第１実施形態の曲面７の代わりに中空円筒部材１４を代用することによって、開口部５に一次的な空気流動を発生させるためのユニットを、それ自体で強度を確保したもので実現することができるので、このユニットを標準化することで様々な製造設備への適用が可能となる。
【００３２】
また、本実施形態に係る拡散防止装置１Ａでは、中空円筒部材１４を着脱可能に設けられていることにより、装置運用後の清浄度測定の結果などに応じて、容易に中空円筒部材１４に改良を施することができる。
【００３３】
［第３実施形態］
図４は、本発明の第３実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置を示す概略図であり、図５は、その要部を示す概略断面図である。同図において、上述した第１実施形態および第２実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、ここではその説明を省略する。
【００３４】
上述した第１実施形態および第２実施形態では、クリーンルーム２内の空気環境を悪化させる汚染空気の発生源となり得る機械駆動部３が機械駆動部隔離箱４，４Ａによって囲繞されていたが、本実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置１Ｂでは、図４に示すように、清浄な空気環境を要するワーク作業部１７がワーク作業部隔離箱４Ｂによって囲繞され、このワーク作業部隔離箱４Ｂの外側に機械駆動部３が配設されている。
【００３５】
ワーク作業部隔離箱４Ｂの一側面には、ワークの長手方向寸法に応じて形成された開口部５が設けられ、ワーク作業部隔離箱４Ｂの他側面には、ワーク作業部隔離箱４Ｂ内に清浄な空気を流入するための吸気ダクト１８が設けられている。本実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置１Ｂは、ワーク作業部１７において大型ワークを製造する場合に適用され、このようなワーク作業部１７で製造されるワークは、例えば平板形状であり、加工が終了したワークは、コンベアやロボットアームなどによって、ワーク作業部隔離箱４Ｂから開口部５を介してクリーンルーム２内の一般空気環境に搬出される。
【００３６】
従来、このような開口部５には開閉扉が設けられ、開口部５からワーク作業部隔離箱４Ｂ内に汚染空気が侵入しないように、ワークの搬送時以外は開口部５がその開閉扉によって閉塞されるようになっていた。しかしながら、本実施形態では、開口部５の下辺端部に上述した第１実施形態の曲面７とは逆向き、すなわち該端部からワーク隔離箱４Ｂの外方に向かう曲面７Ｂが開口部５の長手方向に沿って形成されるとともに、該曲面７Ｂの基端部から該曲面７Ｂに沿って流れる薄層状の圧縮空気を吐出するスリット部８Ｂが配設され、従来のように開口部５を閉塞するための開閉扉などは設けられていない。
【００３７】
図５は、本実施形態に係るワーク隔離箱の開口部の下辺端部を示す概略断面図である。同図において、曲面７Ｂは、ワーク隔離箱４Ｂの一側面を形成する壁部材４Ｂａを開口部５の下辺端部から延設したものであり、その断面は同図中の点Ｏ２を中心点とした円弧状に形成され、その先端部はワーク隔離箱４Ｂの外部空間（同図右側）に向かって延びている。また、スリット部８Ｂは、曲面７Ｂの基端部下方にあたる壁部材４Ｂａの内側に長手方向に沿って設けられた上部開口で断面Ｌ字状の内側カバー部材１１Ｂと、該内側カバー部材１１Ｂの長手方向に沿って所定の間隔毎に配設され、内側カバー部材１１の上部開口と空気流動可能に連結された供給パイプ１２と、該各供給パイプ１２に圧縮空気を供給する供給ポンプ１３とを有している。
【００３８】
このような構成からなる曲面７Ｂおよびスリット部８Ｂでは、供給ポンプ１３から供給された圧縮空気が、供給パイプ１２を介して内側カバー部材１１Ｂの上部開口に送られ、該上部開口から吐出された圧縮空気が、曲面７Ｂに沿って開口部５から外部空間に送出される。この曲面７Ｂに沿って流れる一次的な空気流動（図５中の実線矢印）により、開口部５の内側と外側との間で圧力差が生じ、これにより、開口部５の全域において、ワーク隔離箱４Ｂ内の空気が、その外部空間であるクリーンルーム２に流出するという二次的な空気流動（図４および図５中の点線矢印）が生じるようになっている。
【００３９】
以上のように、本実施形態に係る汚染空気の拡散防止装置１Ｂによれば、開口部５の下端に設けられた曲面７Ｂに沿ってスリット部８Ｂから圧縮空気を吐出することにより、外部の汚染空気が開口部５を介してワーク隔離箱４Ｂ内へ流入するのを防止することができるので、従来のような開口部５を閉塞するための開閉扉などの設置が不要となる。また、これにより、開閉扉の開閉動作に要する時間に起因していたオーバーヘッドを短縮化することができるので、作業効率の向上を図ることができる。
【００４０】
なお、本実施形態に係る曲面７Ｂおよびスリット部８Ｂの代わりに、上述した第２実施形態のような中空円筒部材１４を代用することによって、本実施形態と同様な作業効果を得ることができる。
【００４１】
以上、本発明の実施形態について具体的に説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【符号の説明】
【００４２】
１，１Ａ，１Ｂ・・・汚染空気の拡散防止装置
２・・・クリーンルーム
３・・・機械駆動部
４，４Ａ・・・機械駆動部隔離箱
４Ｂ・・・ワーク作業部隔離箱
５・・・開口部
６・・・排気ダクト
７，７Ｂ・・・曲面
８，８Ａ，８Ｂ・・・スリット部
１４・・・中空円筒部材
１７・・・ワーク作業部
１８・・・吸気ダクト
【図１】
0005498283.tif 000002
【図２】
0005498283.tif 000003
【図３】
0005498283.tif 000004
【図４】
0005498283.tif 000005
【図５】
0005498283.tif 000006