(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
無機物の表面に、ラジカル反応性を有するカップリング剤、ｐH調整剤、アルコール及び水を含有する処理剤を塗布して、前記処理剤の揮発成分を除去することで、前記処理剤の不揮発成分層を前記無機物上に形成する、処理剤層形成工程と、
前記不揮発成分層上に、インクジェットプリンタによりラジカル硬化型光硬化インクを所定形状に印刷して硬化させることで、前記所定形状の前記ラジカル硬化型光硬化インクの硬化物層を前記不揮発成分層上に形成する、印刷工程と、
前記所定形状に形成された前記硬化物層をマスクとして前記無機物表面をエッチングする、エッチング工程と、
前記無機物を洗浄し前記マスクを剥離させて、凹凸画像を前記無機物の表面に露出させる、洗浄・剥離工程と、
を備えることを特徴とする無機物のエッチング方法。
【請求項２】
前記カップリング剤は、（メタ）アクリロキシ基を有するカップリング剤であることを特徴とする請求項１記載のエッチング方法。
【請求項３】
前記処理剤のｐHは、３〜５であることを特徴とする請求項１又は２記載のエッチング方法。
【請求項４】
前記処理剤を塗布する前に、前記無機物の表面を、研磨剤及び界面活性剤で脱脂する請求項１〜３のいずれか一項に記載のエッチング方法。
【請求項５】
前記ｐH調整剤は酢酸、前記アルコールは炭素数１〜６のアルコールであり、
前記処理剤は、前記カップリング剤を０．１〜１０質量％、前記酢酸を０．１〜１０質量％、前記炭素数１〜６のアルコールを７０〜９５質量％、前記水を１〜２０質量％、含有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のエッチング方法。
【請求項６】
前記ｐH調整剤は酢酸、前記アルコールは炭素数１〜６のアルコールであり、
前記処理剤は、前記カップリング剤を０．５〜２質量％、前記酢酸を０．５〜５質量％、前記炭素数１〜６のアルコールを８０〜９０質量％、前記水を５〜１５質量％、含有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のエッチング方法。
【請求項７】
前記カップリング剤は、アクリロキシプロピルトリメトキシシランであることを特徴とする請求項1〜６のいずれか一項に記載のエッチング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無機物のエッチング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
金属などの無機物表面のエッチング方法としては、特許文献１〜８に示されるような種々の方法が公知である。
【特許文献１】特開平１−１９１７９１号公報
【特許文献２】特開昭６３−２９７００６号公報
【特許文献３】特開昭４９−９５８３４号公報
【特許文献４】特開平４−３４１６７号公報
【特許文献５】特開平８−６７９９２号公報
【特許文献６】特開昭６４−８７７８７号公報
【特許文献７】特開平３−２６３８３３号公報
【特許文献８】特開平６−２０８９８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、公知のエッチング方法は工程数が多く、例えば感光性樹脂組成物としてネガ型フォトレジストを用いたときは、現像工程において未露光部分の感光性樹脂組成物を除去することが必要になり、ｐＨの異なる塩基性溶液を複数使用する必要がある。
【０００４】
したがって、使用する材料が多く、それに伴い廃棄物も増え、工程数の多さに伴ってエッチング完了までの時間が長時間化する問題があった。このような状況は、微細なエッチングが必要になる用途で特に問題となっていた。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、工程数を少なくでき微細な加工も可能な、無機表面エッチング方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、（１）無機物の表面に、ラジカル反応性を有するカップリング剤、ｐH調整剤、アルコール及び水を含有する処理剤を塗布して、処理剤の揮発成分を除去することで、処理剤の不揮発成分層を無機物上に形成する、処理剤層形成工程と、（２）不揮発成分層上に、インクジェットプリンタによりラジカル硬化型光硬化インクを所定形状に印刷して硬化させることで、所定形状のラジカル硬化型光硬化インクの硬化物層を不揮発成分層上に形成する、印刷工程と、（３）所定形状に形成された硬化物層をマスクとして無機物表面をエッチングする、エッチング工程と、（４）無機物を洗浄しマスクを剥離させて、凹凸画像を無機物の表面に露出させる、洗浄・剥離工程と、を備えることを特徴とする無機物のエッチング方法を提供する。
【０００７】
本発明の方法によれば、従来の無機物表面のエッチング方法に比べて、工程数を格段に少なくすることができるとともに、迅速且つ高精度のエッチングが可能になる。例えば、従来公知のエッチング方法であるスクリーンエッチングでは、シルク製版、シルクスクリーン印刷、乾燥（熱硬化、ＵＶ硬化等）、エッチング、洗浄（苛性ソーダ等による）の各工程が必要であり、工程数が多く、特にシルク製版に時間が必要となっていた。これに対し、本発明の方法では、スクリーンエッチングにおける、シルク製版、シルクスクリーン印刷、乾燥に対応する工程が不要になることから、少ない工程数で迅速なエッチングが可能となる。また、インクジェットプリンタでマスクとなる層を印刷することから、スクリーンエッチングに比較して高解像度のマスク形成ができ、そのため高精細のエッチングが可能になる。
【０００８】
無機物表面のエッチング方法としては、従来フォトエッチングも多用されているが、この方法では、感光乳剤塗布、乾燥、フォトマスクによる露光、現像、洗浄、エッチング、再洗浄といった多くの工程が必要となる。また、露光に際して別途フォトマスクが必要となり、洗浄のためには洗浄剤（強塩基性溶液など）を用いるため、工程に必要な材料が多くなり、使用済の洗浄液の廃棄の問題も生じる。これに対して、本発明の方法では、フォトエッチングにおける、感光乳剤塗布、乾燥、フォトマスクによる露光、現像、洗浄に対応する工程が不要になることから、工程数の削減効果が顕著となる。また、フォトマスクや洗浄液を使用しないため、必要となる材料も極僅かで済み、廃棄物の量も低減できる。
【０００９】
本発明の方法によればまた、上記特定組成の処理剤により被着体である無機物の処理が行われていることから、ラジカル硬化型光硬化インクの無機物への密着性が顕著に優れるようになる。よって、微細なエッチング加工も可能になる。さらに、インクジェットプリンタに備え付けられた硬化手段（ＵＶランプなど）を使用して、印刷直後にラジカル硬化型光硬化インクの硬化ができるため、エッチング開始までの時間を大幅に短縮できる。
【００１０】
各種無機被着体への接着性に優れることから、処理剤に含まれるカップリング剤は、（メタ）アクリロキシ基を有するカップリング剤であることが好ましい。また、処理剤のｐHを３〜５とすると、処理剤の保存安定性を向上させることができるため、処理剤の保管期間の長短に依存せずに、ラジカル硬化型光硬化インクの無機物に対する高い密着性を維持できる。
【００１１】
本発明の方法では、処理剤を塗布する前に、無機物の表面を、研磨剤及び界面活性剤で脱脂することが好ましい。このような脱脂を行うことで、ラジカル硬化型光硬化インクの無機物に対する密着性をさらに向上させて、高精細なエッチングが可能になる。
【００１２】
処理剤としては、ｐH調整剤が酢酸であり、アルコールが炭素数１〜６のアルコールであって、以下の（１）又は（２）を満たすものを使用することができる。
（１）カップリング剤を０．１〜１０質量％、酢酸を０．１〜１０質量％、炭素数１〜６のアルコールを７０〜９５質量％、水を１〜２０質量％含有する。
（２）カップリング剤を０．５〜２質量％、酢酸を０．５〜５質量％、炭素数１〜６のアルコールを８０〜９０質量％、水を５〜１５質量％含有する。
【００１３】
なお、処理剤に使用するカップリング剤として特に優れるのは、アクリロキシプロピルトリメトキシシランである。
【００１４】
本発明は、（１）無機物（無機材）の表面に、ラジカル反応性を有するカップリング剤、ｐH調整剤、アルコール及び水を含有する処理剤を塗布して、処理剤の揮発成分を除去することで、処理剤の不揮発成分層を無機物上に形成する、処理剤層形成工程と、（２）不揮発成分層上に、インクジェットプリンタによりラジカル硬化型光硬化インクを所定形状に印刷して硬化させることで、所定形状のラジカル硬化型光硬化インクの硬化物層を不揮発成分層上に形成する、印刷工程と、（３）所定形状に形成された硬化物層をマスクとして無機物（無機材）表面をエッチングする、エッチング工程と、（４）無機物（無機材）を洗浄しマスクを剥離させて、凹凸画像を無機物（無機材）の表面に露出させる、洗浄・剥離工程と、を備えることを特徴とする、エッチングされた無機物（無機材）の製造方法としても把握することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本方法によれば、フォトマスクや現像工程が不要になるため工程数を少なくできる。また、処理剤により被着体である無機物の処理が行われていることから、ラジカル硬化型光硬化インクの無機物への密着性が顕著に優れるようになるため、微細なエッチング加工も可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の無機物のエッチング工程は、上述の処理剤層形成工程と、印刷工程と、エッチング工程を備えるものである。
【００１７】
エッチングの対象物は、ガラスや金属（例えば、ＳＵＳ、アルミニウム、銅）等の無機物からなる被着体である。インクジェットプリンタで印刷することから、無機物被着体の形状は、平板状やフィルム状であることが好ましいが、形状はこれらに限定されない。また、無機物被着体の表面は平滑面であることが好ましいが、表面に凹凸等があってもよい。
【００１８】
このような無機物被着体を処理する処理剤は、ラジカル反応性を有するカップリング剤、ｐH調整剤、アルコール及び水を必須成分として含有するものである。
【００１９】
処理剤に含まれるカップリング剤はラジカル反応性を有するものである。ここで、「カップリング剤がラジカル反応性を有する」とは、「ラジカル反応を生じて重合（高分子量化）に寄与する官能基や結合をカップリング剤が有する」ことを意味する。
【００２０】
このような官能基／結合としては、不飽和結合が典型的であり、炭素−炭素二重結合、炭素−炭素三重結合が例示される。二重結合や三重結合は少なくとも１つあればよく、複数存在する場合は、共鳴構造をとってもよい。なお、メルカプト基等はラジカル反応においてラジカルを生じる場合があるが、連鎖移動を生じて高分子量化に寄与しないため、このような官能基を有するカップリング剤は、本発明でいうラジカル反応性を有するカップリング剤に相当しない。
【００２１】
ラジカル反応性を有するカップリング剤としては、下記一般式（１）で表されるシランカップリング剤を用いることができる。
【００２２】
Ｒ１−Ｒ２−ＳｉＲ３ｎＸ（３−ｎ）  ・・・（１）
【００２３】
ここで、Ｒ１はビニル基又は（メタ）アクリロキシ基、Ｒ２は単結合又は炭素数１〜６のアルキレン基、Ｒ３は炭素数１〜６のアルキル基、Ｘは加水分解性基を表す。
【００２４】
Ｒ１がビニル基であるときは、Ｒ２は単結合が好ましく、Ｒ１が（メタ）アクリロキシ基であるときは、Ｒ２は炭素数１〜６のアルキレン基（さらには炭素数１〜３のアルキレン基）が好ましい。
【００２５】
Ｒ３としては、炭素数１〜３のアルキル基が好適であり、Ｘとしては、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基、アミド基、アミノ基、アミノオキシ基、ケトキシメート基又はヒドリド基が好ましく、中でもアルコキシ基が好ましい。Ｘであるアルコキシ基としては、炭素数１〜３のアルコキシ基が特に好ましい。
【００２６】
ラジカル反応性を有するカップリング剤の具体例としては、ビニルトリクロロシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルトリエトキシシランが例示できる。
【００２７】
処理剤に含まれるｐH調整剤としては、酸（有機酸、無機酸等）又は塩基を用いることができるが、カップリング剤の安定性や反応性の観点から、塩酸、硫酸、硝酸等の無機酸（鉱酸）や、酢酸、クエン酸等の有機酸を用いることが好ましい。保存安定性を確保するために処理剤のｐＨは３〜５が好適であり、強酸ではｐＨの制御が困難になることが想定されるため、酢酸等の弱酸をｐＨ調整剤として用いることが好ましい。
【００２８】
処理剤に含まれるアルコールとしては、炭素数１〜６の低級アルコールが好ましい。アルコールの分子量が大きいと処理剤の乾燥速度が遅くなったり、水に対する溶解性が悪くなる場合がある。アルコールとしては、炭素数１〜３のアルコール、すなわち、メタノール、エタノール、プロパノールが特に好ましい。このようなアルコールは、水への溶解性に優れると共に、ジカル反応性を有するカップリング剤としてアルコキシ基を有するカップリング剤を用いたときに、処理剤中で平衡反応に寄与して、安定性を向上させることができる。
【００２９】
処理剤に含まれる水は、イオン交換水、蒸留水など種々のものが適用できる。
【００３０】
処理剤における、ラジカル反応性を有するカップリング剤の含有量は０．１〜１０質量％（好ましくは０．１〜５質量％、さらには０．５〜２質量％）、ｐＨ調整剤の含有量は０．１〜１０質量％（好ましくは、０．１〜５質量％、さらには０．５〜５質量％）、アルコールの含有量は７０〜９５質量％（好ましくは７５〜９０質量％、さらには８０〜９０質量％）、水の含有量は１〜２０質量％（好ましくは４〜２０質量％、さらには５〜１５質量％）とすることができる。
【００３１】
処理剤は、ラジカル反応性を有するカップリング剤、ｐH調整剤、アルコール及び水以外の添加成分を含有していてもよい。添加成分としては、フィラー、酸化防止剤、着色剤、光増感剤等が挙げられる。
【００３２】
以上説明した処理剤は、インクジェットプリンタでの印刷に先立って、被着体である無機物の表面に塗布される。塗布は、スプレーコート、ロールコート、ディッピング、スピンコート等により行うことができる。なお、処理剤の塗布後、２０〜６０℃で保持することにより処理剤の揮発成分を揮発させると、比較的短時間で、均一な皮膜形成ができる。
【００３３】
このようにして、処理剤の不揮発成分が積層された無機物被着体を得ることができるので、処理剤の不揮発成分の層の上に、ラジカル硬化型光硬化インクを、インクジェットプリンタで所定形状に印刷する。ラジカル硬化型光硬化インクは、光硬化後の厚さが１〜１００μｍ（さらには２〜２０μｍ）になるように印刷されることが好ましい。
【００３４】
ラジカル硬化型光硬化インクは、２５℃における粘度が２５ｍＰａ・ｓ以下のものが好ましく、粘度は、３〜２５Ｐａ・ｓであることがより好ましく、１０〜２５Ｐａ・ｓであることがさらに好ましい。また、インクジェットプリンタは、公知のプリンタ（例えば、株式会社ミマキエンジニアリング社製、ＵＪＦ−６０５Ｃ、ＵＪＦ−６０５ＣＩＩ、ＪＦ−１６３１、ＪＦ−１６１０）を用いることができる。
【００３５】
印刷後、ラジカル硬化型光硬化インクに溶媒などの揮発成分が含まれている場合は、それを除去し、紫外線などの光を印刷面に照射してラジカル硬化型光硬化インクを硬化させる。紫外線の照射強度や時間は用いるラジカル硬化型光硬化インクのタイプや量により適宜決定する。
【００３６】
以上により、無機物被着体上に処理剤の不揮発成分層が積層され、当該不揮発成分層の上にラジカル硬化型光硬化インクの硬化物層が形成される。
【００３７】
処理剤の不揮発成分層には、ラジカル反応性を有するカップリング剤が含まれており、このカップリング剤の加水分解性基は無機物被着体表面に吸着又は反応する（例えば、カップリング剤中のアルコキシ基と、無機物表面の水酸基とが加水分解・縮合反応する）ため、無機物被着体と処理剤の不揮発成分層の密着性（接着性）が向上する。
【００３８】
また、カップリング剤がラジカル反応性を有するため、ラジカル硬化型光硬化インクの硬化時に、その高分子量化反応に組み込まれる。よって処理剤の不揮発成分層との密着性（接着性）が強固になる。したがって、無機物被着体と処理剤の不揮発成分とラジカル硬化型光硬化インクの硬化物層とが強固に接着する。これにより、ラジカル硬化型光硬化インクの無機物への密着性が顕著に優れるようになる。
【００３９】
このようにして形成した硬化物層をマスクとしてエッチングを行うが、エッチングは、ドライエッチングであってもウェットエッチング（ケミカルエッチング）であってもよい。本発明においては、無機物被着体と処理剤の不揮発成分とラジカル硬化型光硬化インクの硬化物層とが強固に接着しているため、ケミカルエッチングでもエッヂの欠けなどがないシャープなエッチングが可能になる。
【００４０】
ケミカルエッチングに用いるエッチング液は、無機物被着体の種類によって適宜選別する。例えば、無機物被着体がＳｉＯ２である場合は、ＨＦ、ＨＮＯ３等を含むエッチング液、無機物被着体がアルミニウムである場合は、ＨＮＯ３、ＣＨ３ＣＯＯＨ、Ｈ３ＰＯ４を含むエッチング液、無機物被着体が銅である場合は、硫酸、過酸化水素を含むエッチング液、無機物被着体がステンレス（ＳＵＳ）である場合は、塩化第二鉄を含むエッチング液が適用できる。
【００４１】
洗浄・剥離工程では、ラジカル硬化型光硬化インクの硬化物層を処理剤層ごと剥離させる。これにより、文字や図柄等の画像が、無機物被着体の表面に凹凸によって表現される。また、色づけ工程では凹凸によって表現された無機物被着体の表面に、処理剤層形成工程と印刷工程とを施して、色づけを行う。これによって、無機物被着体には、凹凸表現と色彩とによって画像が表現される。
【実施例】
【００４２】
以下、実施例及び比較例に基づき本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではない。
＜カップリング剤の評価＞
【００４３】
メタクリロキシ基を有するカップリング剤として、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、アクリロキシ基を有するカップリング剤として、３−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニル基を有するカップリング剤として、ビニルトリエトキシシラン、エポキシ基を有するカップリング剤として、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、アミノ基を有するカップリング剤として、３−トリエトキシシリル−Ｎ−（１，３−ジメチル−ブチリデン）プロピルアミン、メルカプト基を有するカップリング剤として、３−メルカプトプロピルトリメチキシシラン、スルフィド基を有するカップリング剤として、ビス（トリエトキシシリルプロピル）テトラスルフィド、をそれぞれ準備した。
【００４４】
上記カップリング剤のいずれかひとつを用いて、カップリング剤１質量％、酢酸０．５質量％、水９質量％、エタノール８９．５質量％からなる処理剤（７種類）を作成した。なお、メタクリロキシ基を有するカップリング剤、アクリロキシ基を有するカップリング剤、ビニル基を有するカップリング剤、エポキシ基を有するカップリング剤、アミノ基を有するカップリング剤、メルカプト基を有するカップリング剤、スルフィド基を有するカップリング剤を含む処理剤を、それぞれ処理剤Ａ、処理剤Ｂ、処理剤Ｃ、処理剤Ｄ、処理剤Ｅ、処理剤Ｆ、処理剤Ｇと呼ぶ。
【００４５】
次いで、上記処理剤７種類のいずれかひとつ０．５ｇを、ガラス板（ソーダガラス）、ＳＵＳ板（ＳＵＳ３０４）、アルミニウム板又はアクリル板（三菱レイヨン社製、商品名：アクリライト）、ポリプロピレン板（ＰＰ板）、ポリエチレン板（ＰＥ板）の上に塗布して、常温で１０分間放置し、揮発分を揮発させた。なお、ガラス板、ＳＵＳ板、アルミニウム板及びアクリル板は無機物からなる被着体であり、ポリプロピレン板及びポリエチレン板は有機物からなる被着体である。
【００４６】
その後、２５℃における粘度が２５ｍＰａ・ｓ以下のラジカル硬化型光硬化インク（株式会社ミマキエンジニアリング製、商品名：ＵＶインクＳＰＣ−０３７１）をインクジェットプリンタ（株式会社ミマキエンジニアリング製、商品名：ＵＪＦ−６０５Ｃ）を用いて、上記被着体上に１２００ｄｐｉ、コウソク１６Ｐの条件で四角状に印刷し、上記インクジェットプリンタ搭載のＵＶランプでラジカル硬化型光硬化インクを硬化させた。
【００４７】
このようにして得られた印刷物のインク面に、粘着テープ（３Ｍ社製、商品名：スコッチメンディングテープ）を貼り付け、室温で手剥離し、被着体から剥がれるかどうか試験した。その試験の結果を以下の表１に示す。
【表１】
0005394005.tif 000002
【００４８】
これにより、ガラス板、ＳＵＳ板、アルミニウム板、及びアクリル板に対しては、処理剤Ａや処理剤Ｂを使用した場合のインクの接着性が良好なことが確認できた。そのため、粘性の低いインクジェット用のインクを用いても、これら板上に文字や図柄等の繊細な画像を描けるため、エッチング工程のための繊細なマスクパターンを表現できることを確認できた。
＜脱脂効果の評価＞
【００４９】
脱脂剤として、エタノール、５０％酢酸、アニオン界面活性剤（和光純薬社製、ドデシル硫酸ナトリウム）、中性洗剤（ライオン社製、商品名：チャーミークイック）又はクレンザー（花王社製、商品名：ホーミング、研磨剤とアニオン界面活性剤とからなる）を用い、上述した被着体のうちガラス板、ＳＵＳ板、アルミニウム板を脱脂した後、これらの被着体に、上記処理剤Ａを用いて、上記と同様の方法で印刷物を作成し、上記と同様に剥離試験を行った。結果を以下の表２に示す。
【表２】
0005394005.tif 000003
＜処理剤の組成評価＞
【００５０】
カップリング剤として３−アクリロキシプロピルトリメトキシシランを用い、以下の組成の処理剤１〜１４を作成した。
【表３】
0005394005.tif 000004
【００５１】
処理剤１〜１４について、ＪＩＳ−Ｋ６７６８に準拠して、ぬれ張力試験を行ったところ、いずれの処理剤についても、ぬれ張力が４５ｍＮ／ｍ以下であった。また、処理剤１〜１４についてｐＨを測定し、結果を以下の表４に示した。
【００５２】
次いで、処理剤１〜１４のいずれかひとつ０．５ｇを、ＳＵＳ板（ＳＵＳ３０４）上に塗布して、常温で１０分間放置し、揮発分を揮発させた。この揮発の速度（乾燥性）について評価し、結果を以下の表４に示した。表中の○は「乾燥性良好」であることを意味し、×は「乾燥性が悪く、べたつく」ことを意味する。
【００５３】
そして、２５℃における粘度が２５ｍＰａ・ｓ以下のラジカル硬化型光硬化インク（株式会社ミマキエンジニアリング製、商品名：ＵＶインク  ＳＰＣ−０３７）をインクジェットプリンタ（株式会社ミマキエンジニアリング製、商品名：ＵＪＦ−６０５Ｃ）を用いて、上記被着体上に印刷し（１２００ｄｐｉコウソク１６Ｐ）、上記インクジェットプリンタ搭載のＵＶランプでラジカル硬化型光硬化インクを硬化させた。
【００５４】
このようにして得られた印刷物のインク面に、ＪＩＳ  Ｋ５６００−５−６に基づいてクロスカット試験を行い、結果を表４に示した。表中の○は接着性が良好であったことを示し、×は剥離が生じたことを示す。また、△はわずかに剥離が生じたことを示し、＊は、はじいて均一に塗布できなかったことを示す。
【００５５】
なお、処理剤１〜１４を常温で保存し、定期的に処理剤の状態を検査して、保存安定性を評価した。結果を表４に示す。表中の−は未評価を示す。
【表４】
0005394005.tif 000005
＜エッチング＞
【００５６】
ＳＵＳ板（ＳＵＳ３０４）上に処理液７を塗布し硬化して得られた上記サンプルを、塩化第二鉄と塩酸を含むステンレス用エッチング液で処理した。当該処理では、ＳＵＳ板の精細なエッチングが可能であった。
＜洗浄・剥離＞
【００５７】
エッチング工程後、苛性ソーダによってＳＵＳ板を洗浄し、エッチング工程でマスクとして使用したインク層を処理剤層ごとＳＵＳ板表面から剥離させた。これにより、ＳＵＳ板には、文字や図柄等の画像が凹凸によって繊細に表現されることを確認した。なお、ここでは、苛性ソーダを用いたが、インク層を処理剤層ごと剥離させることができるアルカリ溶液であれば、これに限らない。
＜色付け＞
【００５８】
なお、文字や図柄等の画像が凹凸によって繊細に表現されたＳＵＳ板をインクジェットプリンタにセットし、ＳＵＳ板の全面に処理剤を塗布した後に、ＳＵＳ板表面に表現された画像に色付けを行うようにしてもよい。