(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外縁側の厚みをそれ以外の領域の厚みより大きくすることで凹部が形成された半導体ウエハにおいて、
前記凹部は、底面と、当該底面から延びる内側起立面とを含み、この内側起立面は、少なくとも第１径部と、当該第１径部よりも開口面側に位置するとともに第１径部よりも縮径された第２径部とからなる突出部を有し、当該突出部は、蛇腹状に傾斜した面により複数形成されることを特徴とする半導体ウエハ。
【請求項２】
外縁側の厚みをそれ以外の領域の厚みより大きくすることで凹部が形成された半導体ウエハにおいて、
前記凹部は、底面と、当該底面から延びる内側起立面とを含み、この内側起立面は、少なくとも第１径部と、当該第１径部よりも開口面側に位置するとともに第１径部よりも縮径された第２径部とからなる突出部を有し、前記第１径部は、断面視円弧状の面の谷部によって形成され、前記第２径部は、前記第１径部から連なる断面視円弧状の面に隣接するとともに、前記底面に直交する面によって形成されていることを特徴とする半導体ウエハ。
【請求項３】
外縁側の厚みをそれ以外の領域の厚みより大きくすることで凹部が形成された半導体ウエハにおいて、
前記凹部は、底面と、当該底面から延びる内側起立面とを含み、この内側起立面は、少なくとも第１径部と、当該第１径部よりも開口面側に位置するとともに第１径部よりも縮径された第２径部とからなる突出部を有し、前記第１径部は、前記底面に直交する面によって形成され、前記第２径部は、前記第１径部から連なる前記底面と平行な面に隣接するとともに、前記底面に直交する面によって形成されていることを特徴とする半導体ウエハ。
【請求項４】
外縁側の厚みをそれ以外の領域の厚みより大きくすることで凹部が形成された半導体ウエハにおいて、
前記凹部は、底面と、当該底面から延びる内側起立面とを含み、この内側起立面は、少なくとも第１径部と、当該第１径部よりも開口面側に位置するとともに第１径部よりも縮径された第２径部とからなる突出部を有し、前記第１径部は、前記底面に平行な面と当該底面に対して鋭角を形成する面との谷部によって形成され、前記第２径部は、前記底面に対して鋭角を形成する面に隣接するとともに、前記底面に直交する面によって形成されていることを特徴とする半導体ウエハ。
【請求項５】
外縁側の厚みをそれ以外の領域の厚みより大きくすることで凹部が形成された半導体ウエハにおいて、
前記凹部は、底面と、当該底面から延びる内側起立面とを含み、前記内側起立面は、その全面が粗い面により形成されていることを特徴とする半導体ウエハ。
【請求項６】
外縁側の厚みをそれ以外の領域の厚みより大きくすることで凹部が形成された半導体ウエハにおいて、
前記凹部は、底面と、当該底面から延びる内側起立面とを含み、この内側起立面は、少なくとも第１径部と、当該第１径部よりも開口面側に位置するとともに第１径部よりも縮径された第２径部とからなる突出部を有し、前記第１径部は、前記底面に対して鈍角を形成する面と当該底面に平行な面との谷部によって形成され、前記第２径部は、前記底面に平行な面に隣接するとともに、前記底面に直交する面によって形成されていることを特徴とする半導体ウエハ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハに係り、更に詳しくは、外縁側の厚みを、それ以外の領域の厚みより相対的に大きく形成した半導体ウエハに関する。
【背景技術】
【０００２】
近時、半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）にあっては、極薄研削が求められる反面、ウエハ直径が大型化する傾向がある。このため、極薄に研削されたウエハの搬送において、ウエハはその自重によって反り返ったような状態で搬送されるため、割れてしまうという不都合がある。ここで、かかる不都合を回避すべく、特許文献１に開示される形態としたウエハが利用されている。同文献では、ウエハの外縁側の厚みが、それ以外の領域の厚みより相対的に大きくなるように研削することにより、凹部を形成してこの外縁が残存円周部とされて補強材の役目をし、ウエハが損傷することを防止できるようになっている。
【０００３】
ウエハの搬送装置として、上述のような反り返りを防止するために、ウエハを全面で吸着保持する構成が知られている（特許文献２参照）。また、他の搬送装置として、ウエハの外周縁複数箇所を把持して搬送する構成も知られている（特許文献３参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１９３７９号公報
【特許文献２】特開２００３−２３４３９２号公報
【特許文献３】特開２０００−２１９５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献２のような搬送装置で特許文献１のような凹部が形成されたウエハを搬送する場合、ウエハを全面吸着する吸着パッドによって、ウエハの凹部内が減圧されることにより、凹部の底を吸い上げてしまってウエハを損傷させてしまう、という不都合がある。
更に、特許文献３のような搬送装置で凹部が形成されたウエハを搬送する場合、ウエハを把持する力が強いと、ウエハを割ってしまう、という不都合がある。
そこで、凹部の内側起立面に複数のチャック部材を押し付けて保持、搬送することが考えられるが、特許文献１のウエハにあっては、内側起立面がウエハの回路面に対して直交する方向に向けられているため、チャック部材の当接面にウエハの脱落を規制するものが何もなく、搬送中にウエハが脱落し易いという不都合がある。また、ウエハの脱落を規制するためにチャック部材の押付力を大きくすると、残存円周部が破損してしまい搬送できなくなってしまうといった相反する不都合がある。
【０００６】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、凹部の内側起立面にチャック部材を押し付けて保持、搬送する場合に、脱落することを防止することができる半導体ウエハを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、外縁側の厚みをそれ以外の領域の厚みより大きくすることで凹部が形成された半導体ウエハにおいて、
前記凹部は、底面と、当該底面から延びる内側起立面とを含み、この内側起立面は、少なくとも第１径部と、当該第１径部よりも開口面側に位置するとともに第１径部よりも縮径された第２径部とからなる突出部を有し、当該突出部は、蛇腹状に傾斜した面により複数形成される、という構成を採っている。
【０００８】
また、本発明は、外縁側の厚みをそれ以外の領域の厚みより大きくすることで凹部が形成された半導体ウエハにおいて、
前記凹部は、底面と、当該底面から延びる内側起立面とを含み、この内側起立面は、少なくとも第１径部と、当該第１径部よりも開口面側に位置するとともに第１径部よりも縮径された第２径部とからなる突出部を有し、前記第１径部は、断面視円弧状の面の谷部によって形成され、前記第２径部は、前記第１径部から連なる断面視円弧状の面隣接するとともに、前記底面に直交する面によって形成されている、という構成を採っている。
【０００９】
更に、本発明は、外縁側の厚みをそれ以外の領域の厚みより大きくすることで凹部が形成された半導体ウエハにおいて、
前記凹部は、底面と、当該底面から延びる内側起立面とを含み、この内側起立面は、少なくとも第１径部と、当該第１径部よりも開口面側に位置するとともに第１径部よりも縮径された第２径部とからなる突出部を有し、前記第１径部は、前記底面に直交する面によって形成され、前記第２径部は、前記第１径部から連なる前記底面と平行な面に隣接するとともに、前記底面に直交する面によって形成されている、という構成を採っている。
【００１０】
また、本発明は、外縁側の厚みをそれ以外の領域の厚みより大きくすることで凹部が形成された半導体ウエハにおいて、
前記凹部は、底面と、当該底面から延びる内側起立面とを含み、この内側起立面は、少なくとも第１径部と、当該第１径部よりも開口面側に位置するとともに第１径部よりも縮径された第２径部とからなる突出部を有し、前記第１径部は、前記底面に平行な面と当該底面に対して鋭角を形成する面との谷部によって形成され、前記第２径部は、前記底面に対して鋭角を形成する面に隣接するとともに、前記底面に直交する面によって形成されている、という構成を採っている。
【００１１】
また、本発明の半導体ウエハは、外縁側の厚みをそれ以外の領域の厚みより大きくすることで凹部が形成された半導体ウエハにおいて、
前記凹部は、底面と、当該底面から延びる内側起立面とを含み、前記内側起立面は、その全面が粗い面により形成される、という構成を採っている。
【００１２】
更に、本発明は、外縁側の厚みをそれ以外の領域の厚みより大きくすることで凹部が形成された半導体ウエハにおいて、
前記凹部は、底面と、当該底面から延びる内側起立面とを含み、この内側起立面は、少なくとも第１径部と、当該第１径部よりも開口面側に位置するとともに第１径部よりも縮径された第２径部とからなる突出部を有し、前記第１径部は、前記底面に対して鈍角を形成する面と当該底面に平行な面との谷部によって形成され、前記第２径部は、前記底面に平行な面に隣接するとともに、前記底面に直交する面によって形成されている、という構成を採っている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、内側起立面に突出部が形成されているため、内側起立面にチャック部材を押し付けて保持、搬送するときに、この突出部がウエハの脱落を規制するものとして機能し、当該ウエハが搬送中に脱落するといった不都合を確実に解消することができる。また、突出部が形成されることで、チャック部材の押付力を大きくすることなく、脱落しないように安定して保持、搬送することが可能となる。
【００１５】
更に、突出部を蛇腹状に傾斜した面により複数形成することで、ウエハの脱落を規制するものが増え、より一層ウエハを安定して保持、搬送することが可能となる。
【００１６】
また、内側起立面を粗い面とした場合、チャック部材の先端面との摩擦抵抗を高めることができ、これによっても、チャック部材を用いた搬送中での脱落を防止することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１８】
［第１実施形態］
図１には、第１実施形態に係るウエハの概略正面断面図が示されている。この図において、ウエハＷは、凹部Ｗ１が形成された開口面Ｆ１（図１中上面）と、回路が形成された回路面Ｆ３（図１中下面）と、開口面Ｆ１と回路面Ｆ３とを繋ぐ外縁としての側面Ｆ２（図１中左右の面）とから構成されている。なお、凹部Ｗ１の外周側が残存円周部Ｗ２となっており、外縁側の厚みが、それ以外の領域の厚みより相対的に大きくなっている。また、回路面Ｆ３には図示省略した表面保護シートが貼付されている。ウエハＷ及び凹部Ｗ１は、平面視で略円形形状に設けられ、残存円周部Ｗ２は、リング状に設けられる。凹部Ｗ１は底面Ｗ１ａと、当該底面Ｗ１ａの外縁から延びる内側起立面Ｗ１ｂとを備え、底面Ｗ１ａの外縁から傾斜角度α（角度αは鋭角）で開口面Ｆ１方向に向けられた傾斜した面Ｐ１が形成されている。これにより、凹部Ｗ１は、第１径部Ｄ１と、当該第１径部Ｄ１よりも開口面Ｆ１側に位置して第１径部Ｄ１よりも縮径された第２径部Ｄ２とからなる突出部Ｃを有するように形成されている。
【００１９】
前記ウエハＷを製造する場合、図２に示されるようなグラインダ２０が用いられる。このグラインダ２０は、モータ２１と、その出力軸２１Ａと、この出力軸２１Ａに連結されて回転可能な砥石２２を備えている。砥石２２は、出力軸２１Ａと同一の軸中心位置となる円錐面２２Ａと、この円錐面２２Ａの下端に連なる底面２２Ｂとを備え、円錐面２２Ａと底面２２Ｂとのなす角度αによって、内側起立面Ｗ１ｂと底面Ｗ１ａとの間の角度αが形成される。なお、グラインダ２０は、ウエハＷの上面（開口面Ｆ１）から砥石２２を回転させながら所定領域内を公転することでウエハＷの上面側が研削され、凹部Ｗ１が形成されるとともに、円錐面２２Ａによって突出部Ｃが形成される。また、砥石２２によってウエハＷの回路面に対して直交する方向に向けられた内側起立面Ｗ１ｂからなる凹部Ｗ１（発明が解決しようとする課題で説明したような従来形状の凹部）を形成しておき、その後、砥石２２の円錐面２２Ａによって突出部Ｃを形成するようにしてもよい。更に、砥石の底面に対して直交する方向に向けられた側面を有する別の砥石を用いて、ウエハＷの回路面に対して直交する方向に向けられた内側起立面Ｗ１ｂからなる凹部Ｗ１を形成しておき、その後、円錐面２２Ａを有する砥石２２によって突出部Ｃを形成するようにしてもよい。
【００２０】
従って、このような第１実施形態によれば、図３に示されるように、Ｌ字状のチャック部材２５の先端を内側起立面Ｗ１ｂに当接させて保持、搬送する場合、突出部ＣによってウエハＷが脱落することはない。特に、チャック部材２５も、前記角度αに形成される先端形状とすることで、脱落防止効果を向上させることができる。つまり、突出部ＣがウエハＷの脱落を規制するものとして機能するとともに、チャック部材２５の押付力を大きくすることなくウエハＷの脱落を確実に防止することができる。
【００２１】
次に、本発明の前記以外の実施形態について説明する。なお、以下の説明において、前
記第１実施形態と同一若しくは同等の構成部分については同一符号を用いるものとし、説
明を省略若しくは簡略にする。
【００２２】
［第２実施形態］
図４には、第２実施形態に係るウエハＷの概略正面断面図が示されている。この第２実施形態の場合、内側起立面Ｗ１ｂは、底面Ｗ１ａの外縁から当該底面Ｗ１ａに直交する方向に向かう面Ｐ２と、この面Ｐ２の上端からウエハＷの中心方向に向かう面Ｐ２ａを介して面Ｐ２と平行な面Ｐ３とが形成されている。これにより、凹部Ｗ１は、第１径部Ｄ１と、当該第１径部Ｄ１よりも開口面Ｆ１側に位置して第１径部Ｄ１よりも縮径された第２径部Ｄ２とからなる突出部Ｃを有するように形成されている。なお、このような突出部Ｃを有する内側起立面Ｗ１ｂを形成する場合は、円周面２２Ｃと、この円周面２２Ｃより突出する突出部２２Ｄとを備えた側面形状を有する砥石２２を用いて第１実施形態と同様に研削すればよい。
このような第２実施形態では、図５に示されるように、Ｌ字状のチャック部材２５を第１径部Ｄ１にその先端を嵌め込ませることで、ウエハＷの脱落を防止して確実に保持、搬送することができる。
【００２３】
［第３実施形態］
図６には、第３実施形態に係るウエハＷの概略正面断面図が示されている。この第３実施形態は、内側起立面Ｗ１ｂを粗い面Ｐ４により形成している。具体的には、粗い面Ｐ４を形成する凹凸を有する砥石を用いて研削を行っている。
このような第３実施形態によれば、内側起立面Ｗ１ｂに当接するチャック部材（図示省略）との摩擦抵抗を大きくすることができ、当該チャック部材による保持力を高めることが可能となる。
【００２４】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２５】
例えば、第２実施形態の突出部Ｃは、種々の変更が可能であり、具体的には、図７〜図１０に示される形態が例示できる。図７及び図８では、突出部Ｃは、底面Ｗ１ａの外縁から傾斜角度α１（角度α１は鋭角）で開口面Ｆ１方向に向けられた傾斜した面Ｐ５によって形成されている。また、図９及び図１０では、突出部Ｃは、断面視で蛇腹状に傾斜した面Ｐ６によって複数形成されている。蛇腹状とは、底面Ｗ１ａの外縁から傾斜角度α２で開口面Ｆ１方向に向けられた傾斜した面Ｐ６ａと、この面Ｐ６ａの上端に連なるとともに、底面Ｗ１ａに平行な仮想直線Ｌに対して線対称に形成された面Ｐ６ｂとからなる２つの面の連続体をいう。
また、図１０に示されるように、チャック部材２５の先端を、蛇腹状に傾斜した面Ｐ６に沿う先端形状としたり、弾性部材により形成してもよい。
【００２６】
更に、前記実施形態では、断面視で直線状の面Ｐ１〜Ｐ６を例示したが、図１１（Ａ）に示されるように、断面視で円弧状の面Ｐ７によって突出部Ｃを形成してもよいし、図１１（Ｂ）及び図１２（Ａ）に示されるように、断面視で直線と円弧状の面Ｐ７との組み合わせによって突出部Ｃ２を形成してもよい。
【００２７】
また、第１実施形態では、傾斜した面Ｐ１の角度αを鋭角傾斜として突出部Ｃを形成したが、図１２（Ｂ）に示されるように、角度α３を鈍角傾斜として突出部Ｃを形成してもよい。
【００２８】
更に、凹部Ｗ１を形成する砥石２２においては、第１、第２径部Ｄ１、Ｄ２に対応した側面形状を備えた単一の砥石以外に、複数の砥石によって第１、第２径部Ｄ１、Ｄ２を形成してもよい。つまり、ウエハＷを荒仕上げ用、精密仕上げ用といった砥石を用いて段階的に研削する工程において、内側起立面Ｗ１ｂのみを研削する砥石を用いて突出部Ｃを形成するようにしてもよい。
【００２９】
また、第１、第２径部Ｄ１、Ｄ２に対応していない側面形状を備えた砥石であっても、公転動作や、上下動作を所定制御することで第１、第２径部Ｄ１、Ｄ２を形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】第１実施形態に係るウエハの概略正面断面図。
【図２】第１実施形態に係るウエハの研削中の概略正面断面図。
【図３】第１実施形態に係るウエハの搬送中の概略正面断面図。
【図４】第２実施形態に係るウエハの研削中の概略正面断面図。
【図５】第２実施形態に係るウエハの搬送中の概略正面断面図。
【図６】第３実施形態に係るウエハの研削中の概略正面断面図。
【図７】第１変形例に係るウエハの研削中の概略正面断面図。
【図８】第１変形例に係るウエハの搬送中の概略正面断面図。
【図９】第２変形例に係るウエハの研削中の概略正面断面図。
【図１０】第２変形例に係るウエハの搬送中の概略正面断面図。
【図１１】（Ａ）及び（Ｂ）は第３変形例に係るウエハの概略正面断面図。
【図１２】（Ａ）及び（Ｂ）は第３変形例に係るウエハの概略正面断面図。
【符号の説明】
【００３１】
Ｃ  突出部
Ｄ１  第１径部
Ｄ２  第２径部
Ｆ１  開口面
Ｆ２  側面（外縁）
Ｐ１〜Ｐ８  面
Ｗ  半導体ウエハ
Ｗ１  凹部
Ｗ１ａ  底面
Ｗ１ｂ  内側起立面
２２  砥石
【図１】
0005394659.tif 000002
【図２】
0005394659.tif 000003
【図３】
0005394659.tif 000004
【図４】
0005394659.tif 000005
【図５】
0005394659.tif 000006
【図６】
0005394659.tif 000007
【図７】
0005394659.tif 000008
【図８】
0005394659.tif 000009
【図９】
0005394659.tif 000010
【図１０】
0005394659.tif 000011
【図１１】
0005394659.tif 000012
【図１２】
0005394659.tif 000013