(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
滴下対象の液体の流路を内部に有する可撓性のチューブと、該チューブの一端に接続され、下端に該液体の滴下口を有するノズルと、該チューブを介して該ノズルに該液体を送液する送液手段とを備え、該滴下口の下方に位置する被加工物に該滴下口から該液体を滴下する液体滴下装置であって、
前記滴下口は、平面視において多数の流路に区画されており、
前記ノズルは、前記チューブが接続された状態で移動可能に配置されており、該ノズルの移動により、該チューブが屈曲してその内部の前記流路が閉塞するようになされている液体滴下装置。
【請求項２】
前記ノズルの移動が上昇又は下降であり、前記チューブは、前記滴下口よりも下方の位置で固定されており、該ノズルの上昇により、該チューブが屈曲してその内部の前記流路が閉塞するようになされている請求項１記載の液体滴下装置。
【請求項３】
前記チューブは、少なくとも一部がシリコン又はフッ素樹脂からなる請求項１又は２記載の液体滴下装置。
【請求項４】
滴下対象の液体の流路を内部に有する可撓性のチューブと、該チューブの一端に接続され、下端に該液体の滴下口を有し、該滴下口が平面視において多数の流路に区画されているノズルと、該チューブを介して該ノズルに該液体を送液する送液手段とを備え、該滴下口の下方に位置する被加工物に該滴下口から該液体を滴下する、液体滴下装置における液垂れ防止方法であって、
前記ノズルを、前記チューブが接続された状態で移動させることにより、該チューブを屈曲させてその内部の前記流路を閉塞する、液体滴下装置における液垂れ防止方法。
【請求項５】
前記ノズルの移動を、前記送液手段の稼働停止よりも前に開始する請求項４記載の液体滴下装置における液垂れ防止方法。
【請求項６】
前記液体の表面張力が１０〜３５ｍＮ／ｍである請求項４又は５記載の液体滴下装置における液垂れ防止方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物に液体を滴下する液体滴下装置に関し、詳しくは、該液体滴下装置において不要な液垂れを防止する液垂れ防止技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
種々の分野において、被加工物に対してノズル下端の滴下口から種々の液体を滴下することにより、被加工物に液体を含浸させたり、被加工物に液体を塗工したり、被加工物を洗浄したり、被加工物に所定の反応を起こさせたりする加工プロセスが存在する。斯かる加工プロセスにおいて、加工工程の終了や予期せぬトラブル等により、液体の滴下を含めた加工ライン全体の稼動を比較的長時間停止したとき、あるいは液体の間欠的な滴下における比較的短時間の滴下停止時に、ノズル内やノズルに接続されたチューブ内に残留した液体が、重力や振動等によりノズル下端の滴下口から不要に垂れ落ちる、いわゆる液垂れが発生する場合がある。液垂れは、製品の品質の低下、装置の汚染、次工程における定量滴下の阻害等の不都合の発生原因となる。
【０００３】
液垂れ防止技術に関し、例えば特許文献１には、液体送給管の一端に接続された液体送給手段により、液体送給管内に所定の液体を充満させた状態で流動させ、液体送給管の他端部に設けられたノズルより吐出させるようにした液体吐出装置において、液体送給管の中の少なくともノズルに近接する部分を、可撓性を備えた弾性管とし、該弾性管を外部から押圧手段により押圧してその押圧箇所における液体の流通を遮断可能にした液体吐出装置が記載されている。特許文献１に記載の液体吐出装置においては、液体吐出動作が行われた後、押圧手段によるノズル近傍の弾性管の押圧と、該押圧の解除が実行されることにより、弾性管は自身の持つ可撓性によって定常状態に復帰し、その内部容積を吐出動作時よりも拡大させる。その結果、押圧箇所からノズルに至る比較的短尺な経路内に負圧が発生し、ノズル付近に位置する液体はその負圧によって内方へと吸引されるため、不要な液垂れの発生が防止される。
【０００４】
また、特許文献２には、ノズルの先端部に該ノズルをループ状に巻回してなる液垂れ防止部と、該ノズルに設けられ該ノズルへの処理液の供給を制御する供給制御弁と、該ノズルから分岐された排液管と、該排液管に設けられ該供給制御弁を閉じて処理液の供給を停止したときに開放されて該ノズル内に残留する処理液を排出する排液制御弁とを具備した、処理液の供給装置が記載されている。特許文献２に記載の供給装置によれば、液垂れ防止部が設けられ、更に処理液の供給停止時に、ノズル内の処理液が排液管から排出されるようになされていることにより、液垂れが防止できるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−１６６０７５号公報
【特許文献２】特開２００３−２１８０８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１及び２に記載の液垂れ防止技術は、液体を滴下するために必要な構成に加えて、更に、弾性管の押圧手段や液体の供給制御弁、排液制御弁等の、液垂れ防止を目的とした比較的大掛かりな構成を必要とするため、装置構成や装置制御の複雑化、大型化を招き、延いては加工コストの高騰に繋がるおそれがある。
【０００７】
従って本発明の課題は、複雑な機構や制御を要せずに液垂れを防止し得る液体滴下装置及び液体滴下装置における液垂れ防止方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、滴下対象の液体の流路を内部に有する可撓性のチューブと、該チューブの一端に接続され、下端に該液体の滴下口を有するノズルと、該チューブを介して該ノズルに該液体を送液する送液手段とを備え、該滴下口の下方に位置する被加工物に該滴下口から該液体を滴下する液体滴下装置であって、前記滴下口は、平面視において多数の流路に区画されており、前記ノズルは、前記チューブが接続された状態で移動可能に配置されており、該ノズルの移動により、該チューブが屈曲してその内部の前記流路が閉塞するようになされている液体滴下装置を提供することにより、前記課題を解決したものである。
【０００９】
また本発明は、滴下対象の液体の流路を内部に有する可撓性のチューブと、該チューブの一端に接続され、下端に該液体の滴下口を有し、該滴下口が平面視において多数の流路に区画されているノズルと、該チューブを介して該ノズルに該液体を送液する送液手段とを備え、該滴下口の下方に位置する被加工物に該滴下口から該液体を滴下する、液体滴下装置における液垂れ防止方法であって、前記ノズルを、前記チューブが接続された状態で移動させることにより、該チューブを屈曲させてその内部の前記流路を閉塞する、液体滴下装置における液垂れ防止方法を提供することにより、前記課題を解決したものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、複雑な機構や制御を要せずに液垂れを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本発明の液体滴下装置の全体構成を示した図である。
【図２】図２（ａ）は、図１に示す装置におけるノズルの流路方向に沿う縦断面図、図２（ｂ）は、ノズルの滴下口の平面図である。
【図３】図３は、図１に示す液体滴下装置において、ノズルの上昇によってチューブが屈曲している状態を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明をその好ましい実施形態に基づき図面を参照して説明する。本実施形態の液体滴下装置１０は、図１に示すように、滴下対象の液体（以下、加工液ともいう）の流路を内部に有する可撓性のチューブ１１と、チューブ１１の長さ方向の一端１１ａに接続され、下端に加工液の滴下口１２ａを有するノズル１２と、チューブ１１を介してノズル１２に加工液を送液する送液手段としてのポンプ２１Ａ，２１Ｂとを備えている。
【００１３】
更に説明すると、液体滴下装置１０は、ノズル１２の滴下口１２ａからその下方に位置する被加工物３０に液体を滴下する。液体滴下装置１０は、被加工物３０を図１中Ｘ方向（ＭＤ）に搬送する搬送手段としての自走式の搬送ベルト１３を備えている。本実施形態では、図１に示すように、搬送ベルト１３上に複数の枚葉の被加工物３０を、その搬送方向Ｘに所定間隔を置いて列をなすように配置して搬送する。
【００１４】
液体滴下装置１０は、複数本（本実施形態では２本）のノズル１２と、ノズル１２と同数本のチューブ１１とを備え、各チューブ１１は、その一端１１ａ及びその近傍（一端部）が各ノズル１２の上端１２ｂ及びその近傍（上端部）に被せられて、各ノズル１２に接続されている。複数本のノズル１２それぞれの上端１２ｂは、上下方向（加工液の滴下方向）において同位置にある。チューブ１１は、図１に示すように、ノズル１２の上端１２ｂの近傍から略Ｕ字状に湾曲し、ノズル１２の滴下口１２ａを超えて更に下方に向かって延びており、その長さ方向の他端１１ｂは、滴下口１２ａよりも下方に位置している。本実施形態では、チューブ１１の他端１１ｂは、滴下口１２ａの下方に位置する搬送ベルト１３よりも更に下方に位置している。
【００１５】
複数本のチューブ１１は、それぞれ、ノズル１２の滴下口１２ａ（ノズル１２の下端）よりも下方の位置で固定されている。後述するように、ノズル１２は上下動可能に配置されているところ、ここでいう、「滴下口よりも下方」とは、滴下口１２ａが最も下方に位置しているときの該位置（加工液滴下位置）よりも下方という意味である。従って、チューブ１１の他端１１ｂ側の固定位置は、常時、滴下口１２ａよりも下方に位置している。本実施形態では、図１に示すように、複数本のチューブ１１それぞれの他端１１ｂ及びその近傍（他端部）が、滴下口１２ａよりも下方の位置で固定部材１４に固定されている。複数本のチューブ１１それぞれの斯かる固定位置は、上下方向（加工液の滴下方向）において同位置にある。固定部材１４は、チューブ１１とは別体の部材で、所定箇所に固定配置されており、チューブ１１が引っ張られても動かない。
【００１６】
ノズル１２は、チューブ１１が接続された状態で移動可能に配置されている。より具体的には、複数本のノズル１２は、支持部材１５によって、搬送ベルト１３の上方で搬送ベルト１３から離間した位置で支持され且つ被加工物３０の搬送方向Ｘに所定間隔を置いて配列されており、支持部材１５は、駆動源１７に上下方向に摺動可能に取り付けられたシャフト１６の下端に取り付けられている。斯かる構成において、駆動源１７を作動させてシャフト１６を上方（図１中Ｙ１方向）に移動させると、支持部材１５が搬送ベルト１３（被加工物３０）から遠ざかるように上昇し、これによって、複数本のノズル１２がチューブ１１を接続した状態で一体的に上昇する。また、駆動源１７を作動させてシャフト１６を下方（図１中Ｙ２方向）に移動させると、支持部材１５が搬送ベルト１３（被加工物３０）に近づくように下降し、これによって、複数本のノズル１２がチューブ１１を接続した状態で一体的に下降する。このように、ノズル１２の移動は上昇又は下降であり、駆動源１７によって自動で行われる。駆動源１７としては、シャフト１６の動作制御が可能であれば特に制限はなく、エアーシリンダ、油圧シリンダ、サーボモーター等を用いることができる。
【００１７】
ノズル１２の滴下口１２ａは、平面視において多数の極細流路２５に区画されており、図２（ｂ）に示すように、多数の極細流路２５を区画形成する、平面視において円環状の隔壁２６を多数有している。本実施形態におけるノズル１２は、図２に示すように、滴下口１２ａのみならず、その内部全体が、隔壁２６によって多数の極細流路２５に区画されている、いわゆるハニカム構造のノズルであり、加工液の流れ方向（図２の上下方向）に貫通する多数の極細流路２５を備えている。極細流路２５の平面視における形状は、特に制限されず、図２（ｂ）に示す如き円形状の他、多角形状等にすることができる。
【００１８】
液体滴下装置１０によって加工液が滴下される被加工物３０は、被酸化性金属及び繊維を含有するシート状物であり、空気中の酸素と該被酸化性金属との酸化反応に伴う発熱を利用した、発熱体の中間体である。被加工物３０に特定組成の加工液を滴下することで、発熱体となる。この発熱体は、人体の腰部や肩などに装着させて全身の血行を促進させるために好適に用いられるものである。
【００１９】
また、本実施形態で用いる加工液は、前記発熱体の構成成分を含むもので、親水性の異なる複数種の流体を混合して調製される。より具体的には、本実施形態で用いる加工液は、親水性の異なる２種の流体を混合して調製され、その２種のうちの一方は、電解質水溶液であり、他方は、メントールを含有する溶剤（メントール油剤）である。電解質水溶液は、前述した、発熱体における空気中の酸素と被酸化性金属との酸化反応の触媒であり、塩化ナトリウム等の電解質及び水を含む。メントールは、主として、発熱体を人体に装着して使用した場合の清涼感を得るために用いられるもので、常温で水に微溶の固体であるため、親水性の低い（親油性の高い）溶剤に分散又は溶解させて用いられる。従って、本実施形態で用いる加工液は、相互に混じり合わない２種の流体を混合（乳化）させてなる、エマルションである。
【００２０】
液体滴下装置１０は、２種の流体を混合して加工液を調製するための設備を備えており、具体的には、図１に示すように、加工液の原料となる２種の流体をそれぞれ独立に貯留する貯槽２０Ａ，２０Ｂと、貯槽２０Ａ，２０Ｂに貯留されている流体を混合して加工液を調製する加工液調製手段２２と、加工液調製手段２２で調製された加工液を複数本のチューブ１１に分配する略Ｙ字状の分配管２３とを備え、貯槽２０Ａ，２０Ｂと加工液調製手段２２との間には、チューブ１１を介してノズル１２に加工液を送液する送液手段としてのポンプ２１Ａ，２１Ｂが配置されている。これら各部は、送液管２４によって接続されている。貯槽２０Ａには前記電解質溶液、貯槽２０Ｂには前記メントール油剤がそれぞれ貯留されている。
【００２１】
ポンプ２１Ａ，２１Ｂとしては、この種の液体を扱う装置において通常用いられるものを特に制限なく用いることができ、例えばプランジャー型定量ポンプを用いることができ、市販品として、株式会社イワキ製の商品名「ハイセラポンプ」が挙げられる。また、加工液調製手段２２としては、２種以上の流体を混合可能な各種手段を用いることができ、例えばスタティックミキサーを用いることができる。スタティックミキサーは、静止型流体混合装置の一つで、公知の混合装置である。スタティックミキサーは、混合管の内部に複数種の流体を混合する多数の固定分割羽根を軸方向に連設してなる構成を有しており、モーター等の動力源無しで、流体の混合・乳化を行うことができる。また、分配管２３及び送液管２４は、液体の流路を形成し得るものであれば良く、チューブ１１と同様に可撓性の管であっても良く、可撓性のない管であっても良い。
【００２２】
このような構成の液体滴下装置１０において、ポンプ２１Ａを作動させて貯槽２０Ａ内の前記電解質溶液を加工液調製手段２２に供給すると共に、ポンプ２１Ｂを作動させて貯槽２０Ｂ内の前記メントール油剤を加工液調製手段２２に供給する。加工液調製手段２２が例えばスタティックミキサーである場合、その内部では、これら２種類の流体を通過させつつ、前記固定分割羽根によって順次分割しながら混合（乳化）を進行してゆくことにより、加工液が速やかに調製される。調製された加工液は、送液管２４を介して分配管２３に供給され、分配管２３によって２本のチューブ１１それぞれの流路に分配された後、速やかにノズル１２に供給され、その滴下口１２ａから被加工物３０に向けて滴下される。
【００２３】
本実施形態においては、図１に示すように、搬送方向Ｘに所定間隔を置いて配置された複数の枚葉の被加工物３０それぞれに対して複数本のノズル１２から加工液を滴下し、搬送方向Ｘに隣接する２枚の被加工物３０，３０間に対しては加工液を滴下しないため、加工液は、ポンプ２１Ａ，２１Ｂの動作制御によってノズル１２から間欠的に滴下される。このような加工液の間欠滴下における滴下停止時間は、加工の種類等によって異なるが、１秒以下あるいは数秒単位の比較的短時間であることが多く、液体滴下装置１０は、滴下、滴下停止を交互に繰り返しながら、被加工物３０に加工液を滴下する。
【００２４】
このような加工液の間欠滴下を実施すると、比較的短時間の滴下停止時に、ノズル１２内やノズル１２に接続されたチューブ１１内に残留した加工液が、重力や振動等によりノズル１２の滴下口１２ａから不要に垂れ落ちる、いわゆる液垂れの発生が懸念されるところ、ノズル１２は、多数の極細流路２５の集合体から構成されたハニカム構造のノズルであり、その滴下口１２ａが平面視において多数の極細流路２５に区画されているため、斯かる液垂れの発生が防止される。滴下口が平面視において多数の流路に区画されているノズル、好ましくはノズル１２の如きハニカム構造のノズルは、毛細管現象によってノズル内の負圧を一定の範囲に維持することが可能であり、滴下口付近に位置する液体をその負圧によって内部に吸引することができるため、液切れが良く、液垂れ防止に有効であり、特に５秒以下、とりわけ１秒以下程度の比較的短時間の滴下停止時の液垂れ防止に有効である。
【００２５】
前述した、滴下口１２ａの構造に起因する液垂れ防止効果を一層確実に奏させ、且つ搬送方向Ｘに所定間隔を置いて配置された複数の枚葉の被加工物３０それぞれに加工液を確実に所定量滴下する為、極細流路２５の内径は、好ましくは２〜３ｍｍ、更に好ましくは０．２〜１ｍｍである。また、ノズル１２における開口率は好ましくは３６．５％以上、更に好ましくは７１％以上が好ましい。ここでいう開口率とは、ノズル１２の滴下口１２ａの内径Ｒ１（図２（ｂ）参照）から算出される、ノズル１２の滴下口１２ａの面積Ｓ１と、滴下口１２ａの平面視における、極細流路２５を区画形成する隔壁２６の総面積を前記Ｓ１から除いた面積Ｓ２との比（Ｓ２／Ｓ１）である。
【００２６】
また、液垂れの発生は、所定の加工の終了や予期せぬ装置トラブル等により、加工液の滴下を含めた加工ライン全体（液体滴下装置１０）の稼動を、数分〜数時間に亘る比較的長時間停止したときにも懸念される。このような比較的長時間の滴下停止時の液垂れを防止するため、本実施形態では、ノズル１２を、チューブ１１が接続された状態で移動させ、チューブ１１を屈曲させてその内部の流路を閉塞する。即ち、図１に示す如き所定の加工液滴下位置にある複数本のノズル１２を、駆動源１７の動作によるシャフト１６の上方（図中Ｙ２方向）への移動によって、図３に示す如き所定の待機位置まで、複数本のチューブ１１の一端１１ａ及びその近傍と共に、一体的に上昇させる。前述したように、チューブ１１は、加工液滴下位置の滴下口１２ａよりも下方の位置で固定部材１４に固定されているため、斯かるノズル１２の上昇によって、チューブ１１における、ノズル１２との接続側の一端１１ａから固定部材１４の固定位置に亘る部分が、上方に引っ張られる。すると、チューブ１１は、チューブ１１の自重あるいは上方に引っ張られるときの張力等により、図３に示すように、前記固定位置よりも上方に位置する部分の一部が屈曲し、その屈曲部１１ｃ内の流路が閉塞する。ノズル１２の前記待機位置（上昇停止位置）は、チューブ１１が屈曲して内部の流路が閉塞する位置に設定される。こうして、加工液の流通が屈曲部１１ｃで遮断されることにより、液垂れの発生が防止される。
【００２７】
チューブ１１の屈曲部１１ｃは、図３に示すように、チューブ１１が接続されているノズル１２の上端１２ｂの近傍、特に上端１２ｂからチューブ１１に沿って３０ｍｍ以内、とりわけ１０ｍｍ以内に形成されることが好ましい。屈曲部１１ｃが斯かる位置に形成されると、屈曲部１１ｃ内の流路の閉塞が一層確実になされ、また、屈曲部１１ｃよりも滴下口１２ａ側に位置するチューブ１１内に残留する加工液の液滴量が比較的少ないため、液垂れが一層発生し難くなり、更に、滴下再開時には、屈曲部１１ｃよりも滴下口１２ａとは反対側（ポンプ２１Ａ，２１Ｂ側）に位置するチューブ１１内に残留する加工液の液滴量が比較的多いため、加工液の滴下口１２ａからの滴下がスムーズに行われる。本実施形態のように、チューブ１１の他端１１ｂを滴下口１２ａよりも下方の位置で固定した状態でノズル１２を上昇させることは、屈曲部１１ｃを上端１２ｂの近傍に形成する点で有利である。
【００２８】
尚、チューブ１１を屈曲させたときに滴下口１２ａ側に液が移行して滴下口１２ａから垂れる場合があるが、前述したように、滴下口１２ａが平面視において多数の流路に区画されていると、毛細管現象によって液がチューブ１１内に吸引されるため、このようなチューブの屈曲に起因する液垂れの発生が効果的に抑制される。
【００２９】
チューブ１１を屈曲させるためのノズル１２の移動（上昇）は、ノズル１２へ加工液を送液するポンプ２１Ａ，２１Ｂの稼働停止（電源オフ）よりも前に開始することが好ましい。特に、ポンプ２１Ａ，２１Ｂの稼働中に、ノズル１２の所定の加工液滴下位置から所定の待機位置への上昇が完了し、チューブ１１に屈曲部１１ｃが形成されていることが好ましい。ノズル１２の上昇をこのように制御し、ポンプ２１Ａ，２１Ｂの稼動停止前にチューブ１１を屈曲させることで、１）ポンプ停止時の慣性の影響（液の流れ、ポンプの回転、２）ノズルの上下動による液の流れの影響、などを防止することができる。尚、ポンプ２１Ａ，２１Ｂの稼働中にノズル１２の上昇を開始した場合、ノズルの上昇開始からポンプの稼働停止までの間は加工液の適正な滴下ができず、その間に加工液が滴下された被加工物３０はＮＧ品となる場合がある。
【００３０】
比較的長時間の加工ライン全体（液体滴下装置１０）の停止を解除して、加工を再開する場合、加工液滴下位置から上昇して所定の待機位置（図３参照）にあるノズル１２を、該待機位置よりも低い位置にある所定の加工液滴下位置（図１参照）に向けて下降させる。ノズル１２の下降により、チューブ１１の屈曲状態が解消されて流路の閉塞がなくなり、加工液の流通が可能になる。
【００３１】
ノズル１２の下降は、ポンプ２１Ａ，２１Ｂの稼働開始（電源オン）よりも後に開始することが好ましい。ノズル１２の下降をこのように制御することで、チューブ１１の屈曲による流路閉塞時の容積減少分に相当する加工液の補充が可能となり、また、エアー抜きがなされ、加工液の滴下がスムーズに行われる。尚、ポンプ２１Ａ，２１Ｂの稼働後にノズル１２の下降を開始した場合、ポンプの稼働開始からノズルの下降完了（所定の加工液滴下位置への移動完了）までの間は加工液の適正な滴下ができないため、その間に加工液が滴下された被加工物３０はＮＧ品となる。
【００３２】
前述したチューブ１１の屈曲による液垂れ防止効果を一層確実に奏させるようにする観点から、装置各部の構成は次のようになされていることが好ましい。
図１に示す如き所定の加工液滴下位置にあるノズル１２の滴下口１２ａと、それよりも下方の位置におけるチューブ１１の固定位置（固定部材１４の固定部分）との間の上下方向の距離Ｌ１（図１参照）は、好ましくは１００〜５００ｍｍ、更に好ましくは２００〜３００ｍｍである。
また、チューブ１１の、一端１１ａ（ノズル１２との接続側の端）からチューブ１１の前記固定位置までの長さ（液排出側長さ）は、好ましくは２００〜８００ｍｍ、更に好ましくは４００〜５００ｍｍである。チューブ１１の液排出側長さが長くなると、チューブ１１を屈曲させ易く、液垂れ防止効果の点で有利である。また、チューブ１の内径は、好ましくは６〜１０ｍｍ、更に好ましくは８〜９ｍｍであり、チューブ１の肉厚は、好ましくは０．５〜５ｍｍ、更に好ましくは２〜３ｍｍである。
【００３３】
また、チューブ１１は、少なくとも一部、特にノズル１２と接続される一端１１ａから３０ｍｍ、とりわけ１０ｍｍに亘る部分が、シリコン又はフッ素樹脂からなることが好ましい。チューブ１１の全体がシリコン又はフッ素樹脂から形成されていても良い。チューブ１１の柔軟性が高いと、屈曲させやすく流路の閉塞が容易になるが、柔軟性が高すぎると、加工液の滴下時の陽圧等でチューブ１１が変形し、滴下の精度を低下させるおそれがある。シリコンやフッ素樹脂は、屈曲容易性と滴下精度とのバランスに優れており、本発明で好ましく用いられる。
【００３４】
本実施形態の液体滴下装置１０によれば、加工液の間欠滴下における滴下停止時などの、比較的短時間（１秒以下あるいは数秒）において懸念される液垂れは、主として、平面視において多数の極細流路２５に区画された滴下口１２ａを有するノズル１２の作用により防止され、また、加工ライン全体（液体滴下装置１０）の稼動を停止したときなどの、比較的長時間（数分〜数時間）に懸念される液垂れは、主として、ノズル１２の移動によるチューブ１１の屈曲に伴う流路の閉塞により防止される。また、比較的長時間に懸念される液垂れの防止効果の発現については、平面視において多数の極細流路２５に区画された滴下口１２ａを有するノズル１２も、少なからず作用している。このように、液体滴下装置１０によれば、複雑な機構や制御を要せずに、既存の液体滴下装置の基本構成を有効に活用することで、液垂れを防止することができる。
【００３５】
本発明に係る滴下対象の液体（加工液）は、特に制限されず、本発明は種々の液体に適用可能であるが、特に、液垂れを発生しやすい液体に有効である。具体的には、本発明は、表面張力が７２ｍＮ／ｍ以下、特に１０〜３５ｍＮ／ｍの液体に特に有効である。表面張力は、公知の懸滴法（ペンダントドロップ法）を用い測定される。懸滴法は、鉛直方向に向けた細管の先端から液体を押し出し、細管の先端にぶら下がった懸滴の形状、液体の量、密度、表面・界面張力などを解析し、その解析結果から該液体の表面張力を算出する方法である。
【００３６】
尚、前記実施形態で用いた加工液は、電解質水溶液とメントール油剤との混合液（乳化液）であり、メントールを含む液体であるところ、メントール濃度が高くなると、該液体の表面張力が低下する傾向がある。本発明によれば、メントール濃度が高く、表面張力が本来よりも低下している液体であっても、液垂れを防止することができる。具体的には、本発明は、メントール濃度が１０質量％以上、特に１６質量％以上の液体に特に有効である。
【００３７】
以上、本発明をその好ましい実施形態に基づき説明したが、本発明は前記実施形態に制限されない。例えば、前記実施形態におけるノズル１２は、その内部全体が平面視において多数の流路に区画されているハニカム構造のノズルであったが、本発明に係るノズルは、吐出口が平面視において多数の流路に区画されていれば良く、例えば、通常のノズル（流路が１つだけのノズル）の滴下口を、多数の貫通孔を有する板状あるいはシート状部材（例えば網）で被覆したものも、本発明で好適に用いられる。その場合、シート状部材における各貫通孔の内径、シート状部材で被覆されたノズルの滴下口の開口率は、それぞれ、前述したノズル１２におけるものと同様にすることができる。
【００３８】
また、前記実施形態では、ノズル１２の移動が、相対的に低い位置から高い位置への移動である上昇又はその逆の下降であったが、要は、チューブ１１の屈曲による内部流路の閉塞が可能な移動であれば良く、ノズル１２の移動は、回転等であっても良い。また、前記実施形態では、２液を混合して滴下液を調製したが、１液をそのまま滴下液として用いても良く、３液以上を混合して滴下液を調製しても良い。また、ノズル１２の本数や配置形態等は前記実施形態に制限されない。
【符号の説明】
【００３９】
１０  液体滴下装置
１１  可撓性のチューブ
１２  ノズル
１２ａ  ノズルの滴下口
１３  搬送ベルト
１４  固定部材
１５  支持部材
１６  シャフト
１７  駆動源
２０Ａ，２０Ｂ  貯槽
２１Ａ，２１Ｂ  ポンプ（送液手段）
２２  加工液調製手段
２３  分配管
２４  送液管
２５  極細流路
２６  隔壁
３０  被加工物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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