(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面上の直交する二方向と回転方向へ精密駆動可能にトッププレートを備えてなる版用アライメントステージを版テーブル上に設けて、ガイドレールに沿いブランケットロールの直下を走行させ、該版用アライメントステージのトッププレート上に保持した版にブランケットロールを上方から所要の印圧で接触させて転写工程を行う間に、上記版用アライメントステージのトッププレート上に保持された状態で上記ブランケットロールより印圧の荷重を受ける版の位置と角度姿勢を検出し、該検出された版の位置と角度姿勢が所定の目標位置及び角度姿勢と一致するように、上記版用アライメントステージによりトッププレートと共に版の位置及び角度姿勢を補正するようにし、更に、平面上の直交する二方向と回転方向へ精密駆動可能にトッププレートを備えてなる印刷対象用アライメントステージを印刷対象テーブル上に設けて、ガイドレールに沿いブランケットロールの直下を走行させ、該印刷対象用アライメントステージのトッププレート上に保持した印刷対象にブランケットロールを上方から所要の印圧で接触させて再転写工程を行う間に、上記印刷対象用アライメントステージのトッププレート上に保持された状態で上記ブランケットロールより印圧の荷重を受ける印刷対象の位置と角度姿勢を検出し、該検出された印刷対象の位置と角度姿勢が所定の目標位置及び角度姿勢と一致するように、上記印刷対象用アライメントステージによりトッププレートと共に印刷対象の位置及び角度姿勢を補正するようにすることを特徴とする印刷位置誤差補正方法。
【請求項２】
版用アライメントステージのトッププレート上に保持された状態でブランケットロールより印圧の荷重を受ける版の位置と角度姿勢を、該版用アライメントステージのトッププレートに設けたＸ軸バーミラーとＹ軸バーミラーのうちのいずれか一方のバーミラーの長手方向所要間隔の２個所及びいずれか他方のバーミラーの１個所について検出した位置と、上記版用アライメントステージのトッププレートにおける上記Ｘ軸バーミラー及びＹ軸バーミラーの設置個所と版の保持個所との相対的な配置の情報を基に検出するようにし、且つ印刷対象用アライメントステージのトッププレート上に保持された状態でブランケットロールより印圧の荷重を受ける印刷対象の位置と角度姿勢を、該印刷対象用アライメントステージのトッププレートに設けたＸ軸バーミラーとＹ軸バーミラーのうちのいずれか一方のバーミラーの長手方向所要間隔の２個所及びいずれか他方のバーミラーの１個所について検出した位置と、上記印刷対象用アライメントステージのトッププレートにおける上記Ｘ軸バーミラー及びＹ軸バーミラーの設置個所と印刷対象の保持個所との相対的な配置の情報を基に検出するようにする請求項１記載の印刷位置誤差補正方法。
【請求項３】
ブランケットロールの下方に配設してあるガイドレールに沿って走行する版テーブルに、トッププレートを平面上の直交する二方向と回転方向へ精密駆動可能に備えてなる版用アライメントステージを設けて、該版用アライメントステージのトッププレート上に版を保持できるようにすると共に、上記ガイドレールに沿って走行する印刷対象テーブルに、トッププレートを平面上の直交する二方向と回転方向へ精密駆動可能に備えてなる印刷対象用アライメントステージを設けて、該印刷対象用アライメントステージのトッププレート上に印刷対象を保持できるようにし、且つ上記ブランケットロールの直下を走行する版テーブルに版用アライメントステージを介して保持された版が上方より接触する上記ブランケットロールより印圧の荷重を受ける転写工程の間に該版の位置及び角度姿勢を検出するための手段と、上記ブランケットロールの直下位置を走行する印刷対象テーブルに印刷対象用アライメントステージを介して保持された印刷対象が上方より接触する上記ブランケットロールより印圧の荷重を受ける再転写工程の間に該印刷対象の位置及び角度姿勢を検出するための手段を備え、更に、上記転写工程の間に版テーブルが上記ブランケットロールの直下を走行するときに検出される上記版の位置及び角度姿勢を所定の目標位置及び角度姿勢と一致させるための位置及び角度の補正指令を、上記版テーブルの版用アライメントステージへ与える機能と、上記再転写工程の間に印刷対象テーブルが上記ブランケットロールの直下を走行するときに検出される上記印刷対象の位置及び角度姿勢を所定の目標位置及び角度姿勢と一致させるための位置及び角度の補正指令を、上記印刷対象テーブルの印刷対象用アライメントステージへ与える機能を有する制御器を備えてなる構成を有することを特徴とする印刷位置誤差補正装置。
【請求項４】
ブランケットロールの直下を走行する版テーブルに版用アライメントステージを介して保持された状態で上記ブランケットロールより印圧の荷重を受ける版の位置及び角度姿勢を検出する手段として、上記版用アライメントステージのトッププレートにＸ軸バーミラーとＹ軸バーミラーを設けると共に、該版用アライメントステージのトッププレートに設けた各バーミラーのうちのいずれか一方のバーミラーの長手方向所要間隔の２個所といずれか他方のバーミラーの１個所までの距離をそれぞれのバーミラーの長手方向に直交する方向から計測するための距離センサを備え、且つブランケットロールの直下を走行する印刷対象テーブルに印刷対象用アライメントステージを介して保持された状態で上記ブランケットロールより印圧の荷重を受ける印刷対象の位置及び角度姿勢を検出する手段として、上記印刷対象用アライメントステージのトッププレートにＸ軸バーミラーとＹ軸バーミラーを設けると共に、該印刷対象用アライメントステージのトッププレートに設けた各バーミラーのうちのいずれか一方のバーミラーの長手方向所要間隔の２個所及びいずれか他方のバーミラーの１個所までの距離をそれぞれのバーミラーの長手方向に直交する方向から計測するための距離センサを備えてなる構成とした請求項３記載の印刷位置誤差補正装置。
【請求項５】
版用アライメントステージと印刷対象用アライメントステージの各トッププレートに設ける各Ｘ軸バーミラーと各Ｙ軸バーミラーを、それぞれガイドレール長手方向とそれに直交する方向に沿うように配置し、且つブランケットロールの直下位置近傍でガイドレールの片側の外方となる個所に、距離センサを、上記ガイドレールの長手方向と直交する方向に沿って内向きに設けて、該距離センサにより、上記ブランケットロールの直下を走行する版テーブル上の版用アライメントステージのトッププレートに設けたＸ軸バーミラーまでの距離と、上記ブランケットロールの直下を走行する印刷対象テーブル上の印刷対象用アライメントステージのトッププレートに設けたＸ軸バーミラーまでの距離を共に計測できるようにした請求項４記載の印刷位置誤差補正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷装置にて印刷するときの印刷位置の誤差を補正するために用いる印刷位置誤差補正方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
印刷技術の１つとしてオフセット印刷があり、このうち、凹版を用いたオフセット印刷は、インキングされた凹版より転動するブランケットロールへインクを一旦転写（受理）した後、該ブランケットロールより印刷対象へインクの再転写（印刷）を行うことで、該印刷対象の表面に、上記凹版の印刷パターンを再現性よく印刷することができる手法として知られている。
【０００３】
ところで、近年、液晶ディスプレイ等の電極パターン（導電パターン）を所要の基板上に形成する手法として、金属蒸着膜のエッチング等による微細加工に代えて、導電性ペーストを印刷インクとして用いた印刷技術、たとえば、凹版オフセット印刷技術を用いて基板上に電極パターンを印刷して形成する手法が提案されてきている。
【０００４】
上記液晶ディスプレイ等の電極パターンを基板に形成する場合は、電極幅として、たとえば、１０μｍ程度と微細なものが要求されることがある。更に、基板上に複数の電極パターンを重ね合わせて形成することがあり、この場合は版を代えて電極パターンの重ね刷りを行うことになるが、印刷位置がずれると電極パターンが崩れてしまうことから、対象によって要求精度は多少異なるが、上記電極幅を１０μｍ程度とするような微細な電極パターンでは、重ね合わせる印刷位置の位置ずれを数μｍあるいはそれ以下に抑えることが必要とされることもある。
【０００５】
そのため、上記基板上に電極パターンを印刷により形成する場合は、紙等に文字や画像を印刷する従来の一般的なオフセット印刷に比して非常に高い印刷精度が要求される。このように、印刷対象に高い印刷精度のオフセット印刷を行う場合のオフセット印刷装置としては、版として印刷対象と同様の平板状の版を用いる形式の平板印刷装置とすることが有利とされている。
【０００６】
そこで、オフセット印刷の印刷精度の向上を図ることができるようにするための印刷装置としては、たとえば、図８にその一例の概要を示す如き印刷装置が従来提案されている。すなわち、平らな版１が載置される版定盤（図示せず）を支持する版台車（版テーブル）２と、印刷対象（被印刷物）となるガラス基板３が載置される印刷定盤（図示せず）を支持する印刷台車（印刷対象テーブル）４の下側に、ガイドブロック（スライダ）５と６を、それぞれ同一寸法、同一配置で固着させて設け、同一のガイドレール（レール）７に、上記版台車２と印刷台車４を、それぞれのガイドブロック５と６を介して走行（往復動）できるように取り付け、更に、上記ガイドレール７を跨ぐようにブランケットロール（ブランケット胴）８を設置した構成としてある。
【０００７】
かかる構成としてある印刷装置によれば、上記ブランケットロール８の直下で上記ガイドレール７の真直度が低下していて、当該位置で上記版台車２及び印刷台車４の姿勢が傾いたとしても、双方の台車２と４が同一の傾きとなることで、該各台車２と４上にそれぞれ支持された版１とガラス基板３との姿勢誤差が抑制され、上記版１からブランケットロール８へのインクの転写（樹脂転移、受理）と、上記ブランケットロール８からガラス基板３へのインクの再転写（絵柄転写、印刷）の各工程が同一位置で行われることで、印刷精度を高めることができるとされている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００８】
なお、オフセット印刷を行う際における印刷位置の位置ずれの発生を防止するための手法としては、たとえば、ブランケットロール（転写ドラム）の下方を走行する台車上に、ＸＹθの３方向の位置合わせが可能なＸＹθテーブルを設けて、該ＸＹθテーブル上に印刷対象となる基板を保持させるようにし、且つ上記台車上における上記ＸＹθテーブルと台車走行方向に並ぶ個所に印刷版を載置してなる構成を備えた印刷装置において、上記印刷版よりブランケットロールへインクを転写（受理）する工程と、該ブランケットロールより上記ＸＹθテーブル上に保持した基板へインクを再転写（印刷）する工程を順次実施することで基板に対するオフセット印刷処理を行なった時点で、上記ＸＹθテーブル上に保持されている印刷処理済みの基板に印刷された印刷パターンの所定個所をＣＣＤカメラにより撮像して、該ＣＣＤカメラの出力を基に印刷パターンの位置ずれ量を検出する。次いで、上記ＸＹθテーブル上の上記印刷処理済みの基板を取外してから、該ＸＹθテーブル上に次に印刷処理するための新たな基板を取り付けた時点で、印刷処理を開始する前に、上記ＸＹθテーブルにより、該新たな基板の位置を、前回印刷処理した基板の印刷パターンについて検出された位置ずれ量を参考に決定された補正量で位置補正するようにし、これにより、上記新たな基板に対して印刷される印刷パターンの位置ずれの発生を防止させるようにする手法が従来提案されている（たとえば、特許文献２参照）。
【０００９】
又、別の手法としては、上記と同様の構成としてある印刷装置において、印刷版よりブランケットロールへインクを転写（受理）する工程と、該ブランケットロールよりＸＹθテーブル上に保持した基板へインクを再転写（印刷）する工程を順次実施することで上記基板に対するオフセット印刷処理を行う際に、上記転写（受理）工程が終了した時点で、上記ブランケットロールの表面における上記印刷版より転写されたインクの位置をＣＣＤカメラにより撮像する一方、上記ＸＹθテーブル上の基板の表面に予め設けられている位置合わせマークを別のＣＣＤカメラにより撮像して、両ＣＣＤカメラの出力を基に上記ＸＹθテーブルを駆動して基板の位置補正を行い、しかる後、該位置補正された基板に対して上記ブランケットロールからのインクの再転写（印刷）を行う再転写工程を実施させるようにすることで、基板に対し印刷される印刷パターンの位置ずれの発生を防止させるようにする手法も従来提案されている（たとえば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００８−１２９３６２号公報
【特許文献２】特開平５−５５７９９号公報
【特許文献３】特開平５−５５７９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところが、一般に、オフセット印刷処理を実施する場合、転写（受理）工程では、転動するブランケットロールを、その下方を移動する版に対して所要の印圧（接触圧力）で押し付けるようにして接触させるようにしてあり、同様に、再転写（印刷）工程では、転動するブランケットロールを、その下方を移動する基板等の印刷対象に対して所要の印圧（接触圧力）で押し付けるようにして接触させるようにしてあるため、上記版や印刷対象が上記ブランケットロールからの印圧による荷重を受けることで該版や印刷対象を保持している構造体に歪みが生じてしまい、そのために上記版や印刷対象には微小な位置ずれが生じているというのが実状である。
【００１２】
しかし、前述した基板上に液晶ディスプレイ等の電極パターンを印刷により形成する場合のように、印刷位置の位置ずれを数μｍあるいはそれ以下に抑えることが必要とされるような精密な印刷を実施する場合には、上記オフセット印刷処理時にブランケットロールより印圧の荷重を受ける版や印刷対象に生じる微小な位置ずれであっても、この版や印刷対象の微細な位置ずれに起因して印刷位置の誤差、すなわち、印刷パターンの再現性の低下が生じると、必要とされる印刷精度を満足させることができなくなる可能性がある。
【００１３】
なお、上記特許文献１に示されたものは、オフセット印刷に用いる版１及びガラス基板３について、それぞれ対応する版台車２及び印刷台車４に保持させた後に位置補正する機構は備えていない。よって、オフセット印刷処理時にブランケットロール８より印圧の荷重を受ける上記版１や印刷対象となるガラス基板３に生じる微小な位置ずれを補正することができるものではない。
【００１４】
上記特許文献２及び特許文献３には、オフセット印刷処理を行うための印刷装置において、台車上のＸＹθテーブル上に保持した状態の基板を、該ＸＹθテーブルを用いて位置補正を行う考えは示されているが、このＸＹθテーブルを用いた基板の位置補正は、特許文献２に示されたものでは、或る基板に対するオフセット印刷処理を行った後、次の基板に対するオフセット印刷処理を開始する前に行うようにしてあり、又、特許文献３に示されたものでは、或る基板に対する転写（受理）工程を行った後、該基板に対する再転写（印刷）工程を開始する前に行うようにしてあるため、上記オフセット印刷処理時にブランケットロールより印圧の荷重を受ける上記基板に生じる微小な位置ずれを位置補正することができるものではない。
【００１５】
しかも、上記特許文献２及び特許文献３に示されたものでは、台車上に一旦載置した印刷版について位置補正する機構は備えていないため、オフセット印刷処理時にブランケットロールより印圧の荷重を受ける上記印刷版に生じる微小な位置ずれを補正することはできない。
【００１６】
そこで、本発明は、オフセット印刷処理を行う際に、ブランケットロールより印圧の荷重を受ける版や印刷対象に微小な位置ずれが生じても、その位置ずれを補正できて、印刷位置の誤差が生じる虞を未然に防止でき、よって、精密印刷を高精度に行うことが可能な印刷位置誤差補正方法及び装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は、上記課題を解決するために、請求項１に対応して、平面上の直交する二方向と回転方向へ精密駆動可能にトッププレートを備えてなる版用アライメントステージを版テーブル上に設けて、ガイドレールに沿いブランケットロールの直下を走行させ、該版用アライメントステージのトッププレート上に保持した版にブランケットロールを上方から所要の印圧で接触させて転写工程を行う間に、上記版用アライメントステージのトッププレート上に保持された状態で上記ブランケットロールより印圧の荷重を受ける版の位置と角度姿勢を検出し、該検出された版の位置と角度姿勢が所定の目標位置及び角度姿勢と一致するように、上記版用アライメントステージによりトッププレートと共に版の位置及び角度姿勢を補正するようにし、更に、平面上の直交する二方向と回転方向へ精密駆動可能にトッププレートを備えてなる印刷対象用アライメントステージを印刷対象テーブル上に設けて、ガイドレールに沿いブランケットロールの直下を走行させ、該印刷対象用アライメントステージのトッププレート上に保持した印刷対象にブランケットロールを上方から所要の印圧で接触させて再転写工程を行う間に、上記印刷対象用アライメントステージのトッププレート上に保持された状態で上記ブランケットロールより印圧の荷重を受ける印刷対象の位置と角度姿勢を検出し、該検出された印刷対象の位置と角度姿勢が所定の目標位置及び角度姿勢と一致するように、上記印刷対象用アライメントステージによりトッププレートと共に印刷対象の位置及び角度姿勢を補正するようにする印刷位置誤差補正方法とする。
【００１８】
更に、上記構成において、版用アライメントステージのトッププレート上に保持された状態でブランケットロールより印圧の荷重を受ける版の位置と角度姿勢を、該版用アライメントステージのトッププレートに設けたＸ軸バーミラーとＹ軸バーミラーのうちのいずれか一方のバーミラーの長手方向所要間隔の２個所及びいずれか他方のバーミラーの１個所について検出した位置と、上記版用アライメントステージのトッププレートにおける上記Ｘ軸バーミラー及びＹ軸バーミラーの設置個所と版の保持個所との相対的な配置の情報を基に検出するようにし、且つ印刷対象用アライメントステージのトッププレート上に保持された状態でブランケットロールより印圧の荷重を受ける印刷対象の位置と角度姿勢を、該印刷対象用アライメントステージのトッププレートに設けたＸ軸バーミラーとＹ軸バーミラーのうちのいずれか一方のバーミラーの長手方向所要間隔の２個所及びいずれか他方のバーミラーの１個所について検出した位置と、上記印刷対象用アライメントステージのトッププレートにおける上記Ｘ軸バーミラー及びＹ軸バーミラーの設置個所と印刷対象の保持個所との相対的な配置の情報を基に検出するようにする。
【００１９】
又、請求項３に対応して、ブランケットロールの下方に配設してあるガイドレールに沿って走行する版テーブルに、トッププレートを平面上の直交する二方向と回転方向へ精密駆動可能に備えてなる版用アライメントステージを設けて、該版用アライメントステージのトッププレート上に版を保持できるようにすると共に、上記ガイドレールに沿って走行する印刷対象テーブルに、トッププレートを平面上の直交する二方向と回転方向へ精密駆動可能に備えてなる印刷対象用アライメントステージを設けて、該印刷対象用アライメントステージのトッププレート上に印刷対象を保持できるようにし、且つ上記ブランケットロールの直下を走行する版テーブルに版用アライメントステージを介して保持された版が上方より接触する上記ブランケットロールより印圧の荷重を受ける転写工程の間に該版の位置及び角度姿勢を検出するための手段と、上記ブランケットロールの直下位置を走行する印刷対象テーブルに印刷対象用アライメントステージを介して保持された印刷対象が上方より接触する上記ブランケットロールより印圧の荷重を受ける再転写工程の間に該印刷対象の位置及び角度姿勢を検出するための手段を備え、更に、上記転写工程の間に版テーブルが上記ブランケットロールの直下を走行するときに検出される上記版の位置及び角度姿勢を所定の目標位置及び角度姿勢と一致させるための位置及び角度の補正指令を、上記版テーブルの版用アライメントステージへ与える機能と、上記再転写工程の間に印刷対象テーブルが上記ブランケットロールの直下を走行するときに検出される上記印刷対象の位置及び角度姿勢を所定の目標位置及び角度姿勢と一致させるための位置及び角度の補正指令を、上記印刷対象テーブルの印刷対象用アライメントステージへ与える機能を有する制御器を備えてなる構成を有する印刷位置誤差補正装置とする。
【００２０】
更に、上記構成において、ブランケットロールの直下を走行する版テーブルに版用アライメントステージを介して保持された状態で上記ブランケットロールより印圧の荷重を受ける版の位置及び角度姿勢を検出する手段として、上記版用アライメントステージのトッププレートにＸ軸バーミラーとＹ軸バーミラーを設けると共に、該版用アライメントステージのトッププレートに設けた各バーミラーのうちのいずれか一方のバーミラーの長手方向所要間隔の２個所といずれか他方のバーミラーの１個所までの距離をそれぞれのバーミラーの長手方向に直交する方向から計測するための距離センサを備え、且つブランケットロールの直下を走行する印刷対象テーブルに印刷対象用アライメントステージを介して保持された状態で上記ブランケットロールより印圧の荷重を受ける印刷対象の位置及び角度姿勢を検出する手段として、上記印刷対象用アライメントステージのトッププレートにＸ軸バーミラーとＹ軸バーミラーを設けると共に、該印刷対象用アライメントステージのトッププレートに設けた各バーミラーのうちのいずれか一方のバーミラーの長手方向所要間隔の２個所及びいずれか他方のバーミラーの１個所までの距離をそれぞれのバーミラーの長手方向に直交する方向から計測するための距離センサを備えてなる構成とする。
【００２１】
更に又、上記構成において、版用アライメントステージと印刷対象用アライメントステージの各トッププレートに設ける各Ｘ軸バーミラーと各Ｙ軸バーミラーを、それぞれガイドレール長手方向とそれに直交する方向に沿うように配置し、且つブランケットロールの直下位置近傍でガイドレールの片側の外方となる個所に、距離センサを、上記ガイドレールの長手方向と直交する方向に沿って内向きに設けて、該距離センサにより、上記ブランケットロールの直下を走行する版テーブル上の版用アライメントステージのトッププレートに設けたＸ軸バーミラーまでの距離と、上記ブランケットロールの直下を走行する印刷対象テーブル上の印刷対象用アライメントステージのトッププレートに設けたＸ軸バーミラーまでの距離を共に計測できるようにした構成とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、以下のような優れた効果を発揮する。
（１）平面上の直交する二方向と回転方向へ精密駆動可能にトッププレートを備えてなる版用アライメントステージを版テーブル上に設けて、ガイドレールに沿いブランケットロールの直下を走行させ、該版用アライメントステージのトッププレート上に保持した版にブランケットロールを上方から所要の印圧で接触させて転写工程を行う間に、上記版用アライメントステージのトッププレート上に保持された状態で上記ブランケットロールより印圧の荷重を受ける版の位置と角度姿勢を検出し、該検出された版の位置と角度姿勢が所定の目標位置及び角度姿勢と一致するように、上記版用アライメントステージによりトッププレートと共に版の位置及び角度姿勢を補正するようにし、更に、平面上の直交する二方向と回転方向へ精密駆動可能にトッププレートを備えてなる印刷対象用アライメントステージを印刷対象テーブル上に設けて、ガイドレールに沿いブランケットロールの直下を走行させ、該印刷対象用アライメントステージのトッププレート上に保持した印刷対象にブランケットロールを上方から所要の印圧で接触させて再転写工程を行う間に、上記印刷対象用アライメントステージのトッププレート上に保持された状態で上記ブランケットロールより印圧の荷重を受ける印刷対象の位置と角度姿勢を検出し、該検出された印刷対象の位置と角度姿勢が所定の目標位置及び角度姿勢と一致するように、上記印刷対象用アライメントステージによりトッププレートと共に印刷対象の位置及び角度姿勢を補正するようにする印刷位置誤差補正方法及び装置としてあるので、版テーブルに版用アライメントステージを介して保持した版よりブランケットロールへインクの転写（受理）を行う転写工程の間に、ブランケットロールより印圧の荷重を受ける版に所定の目標位置及び角度姿勢からの微小な位置ずれが生じても、上記版用アライメントステージの精密駆動により該版に生じた位置ずれを直ちに補正することができるため、版よりブランケットロールへ転写（受理）される印刷パターンに位置ずれが生じる虞を未然に防止できる。又、印刷対象テーブル上に印刷対象用アライメントステージを介して保持された印刷対象へ上記ブランケットロールよりインクの再転写（印刷）を行う再転写工程の間に、ブランケットロールより印圧の荷重を受ける印刷対象に所定の目標位置及び角度姿勢からの微小な位置ずれが生じても、上記印刷対象用アライメントステージの精密駆動により該印刷対象に生じた位置ずれを直ちに補正することができるため、上記ブランケットロールより印刷対象へ再転写（印刷）される印刷パターンに位置ずれが生じる虞を未然に防止できる。
（２）よって、印刷位置に誤差が生じる虞を防止して印刷パターンの再現性を高めることができて、印刷精度の向上化を図ることができることから、印刷対象となる基板上に液晶ディスプレイ等の電極パターンを印刷により形成する場合のように、印刷位置の位置ずれを数μｍあるいはそれ以下に抑えることが必要とされるような精密印刷を高精度に行うことが可能になる。
（３）版用アライメントステージのトッププレート上に保持された状態でブランケットロールより印圧の荷重を受ける版の位置と角度姿勢を、該版用アライメントステージのトッププレートに設けたＸ軸バーミラーとＹ軸バーミラーのうちのいずれか一方のバーミラーの長手方向所要間隔の２個所及びいずれか他方のバーミラーの１個所について検出した位置と、上記版用アライメントステージのトッププレートにおける上記Ｘ軸バーミラー及びＹ軸バーミラーの設置個所と版の保持個所との相対的な配置の情報を基に検出するようにし、且つ印刷対象用アライメントステージのトッププレート上に保持された状態でブランケットロールより印圧の荷重を受ける印刷対象の位置と角度姿勢を、該印刷対象用アライメントステージのトッププレートに設けたＸ軸バーミラーとＹ軸バーミラーのうちのいずれか一方のバーミラーの長手方向所要間隔の２個所及びいずれか他方のバーミラーの１個所について検出した位置と、上記印刷対象用アライメントステージのトッププレートにおける上記Ｘ軸バーミラー及びＹ軸バーミラーの設置個所と印刷対象の保持個所との相対的な配置の情報を基に検出するようにすることにより、版テーブルの版用アライメントステージのトッププレートに設けたＸ軸バーミラー及びＹ軸バーミラーの位置と、いずれか一方のバーミラーの角度姿勢の検出を基にして該トッププレート上に保持された版の位置及び角度姿勢を容易に且つ確実に検出できると共に、印刷対象テーブルの印刷対象用アライメントステージのトッププレートに設けたＸ軸バーミラー及びＹ軸バーミラーの位置と、いずれか一方のバーミラーの角度姿勢の検出を基にして該トッププレート上に保持された印刷対象の位置及び角度姿勢を容易に且つ確実に検出することができる。よって、ブランケットロールより印圧の荷重を受ける版や印刷対象に生じる所定の目標位置及び角度姿勢からの微小な位置ずれを精度よく検出することができるため、上記版テーブル上に版用アライメントステージを介して保持された版と、印刷対象テーブル上に印刷対象用アライメントステージを介して保持された印刷対象の微小な位置ずれを補正できて、印刷精度の更なる向上化を計ることができる。
（４）ブランケットロールの直下を走行する版テーブルに版用アライメントステージを介して保持された状態で上記ブランケットロールより印圧の荷重を受ける版の位置及び角度姿勢を検出する手段として、上記版用アライメントステージのトッププレートにＸ軸バーミラーとＹ軸バーミラーを設けると共に、該版用アライメントステージのトッププレートに設けた各バーミラーのうちのいずれか一方のバーミラーの長手方向所要間隔の２個所といずれか他方のバーミラーの１個所までの距離をそれぞれのバーミラーの長手方向に直交する方向から計測するための距離センサを備え、且つブランケットロールの直下を走行する印刷対象テーブルに印刷対象用アライメントステージを介して保持された状態で上記ブランケットロールより印圧の荷重を受ける印刷対象の位置及び角度姿勢を検出する手段として、上記印刷対象用アライメントステージのトッププレートにＸ軸バーミラーとＹ軸バーミラーを設けると共に、該印刷対象用アライメントステージのトッププレートに設けた各バーミラーのうちのいずれか一方のバーミラーの長手方向所要間隔の２個所及びいずれか他方のバーミラーの１個所までの距離をそれぞれのバーミラーの長手方向に直交する方向から計測するための距離センサを備えてなる構成とすることにより、上記各距離センサによる対応するバーミラーまでの距離の計測結果と、装置構成上明らかな該各距離センサの設置位置情報を基に該各バーミラーの位置及び角度姿勢を検出でき、該検出された各バーミラーの位置及び角度姿勢と、装置構成上明らかな版用及び印刷対象用の各アライメントステージのトッププレートにおける各バーミラーの設置個所と版及び印刷対象の保持個所との相対的な配置の情報とを基に、該版及び印刷対象の位置及び角度姿勢を検出できるため、上記（３）の効果を得るための装置構成を容易に実現できる。
（５）版用アライメントステージと印刷対象用アライメントステージの各トッププレートに設ける各Ｘ軸バーミラーと各Ｙ軸バーミラーを、それぞれガイドレール長手方向とそれに直交する方向に沿うように配置し、且つブランケットロールの直下位置近傍でガイドレールの片側の外方となる個所に、距離センサを、上記ガイドレールの長手方向と直交する方向に沿って内向きに設けて、該距離センサにより、上記ブランケットロールの直下を走行する版テーブル上の版用アライメントステージのトッププレートに設けたＸ軸バーミラーまでの距離と、上記ブランケットロールの直下を走行する印刷対象テーブル上の印刷対象用アライメントステージのトッププレートに設けたＸ軸バーミラーまでの距離を共に計測できるようにした構成とすることにより、上記（４）の構成を実現するために必要となる距離センサの数を削減することが可能になるため、装置構成をシンプルなものとすることができると共に、コストの削減効果が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の印刷位置誤差補正方法及び装置の実施の一形態を示す概略平面図である。
【図２】図１の印刷位置誤差補正装置の概略側面図である。
【図３】本発明を適用するオフセット印刷装置の全体構成の概要を示す側面図である。
【図４】図１の印刷位置誤差補正装置の再転写工程での使用状態を示す概略平面図である。
【図５】図１の印刷位置誤差補正装置の再転写工程での使用状態を示す概略側面図である。
【図６】本発明の実施の他の形態を示す概略平面図である。
【図７】本発明の実施の更に他の形態を示す概略平面図である。
【図８】オフセット印刷の印刷精度を高めるために従来提案されている手法の一例を示す概要図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明を実施するための形態を図面を参照して説明する。
【００２５】
図１乃至図５は本発明の印刷位置誤差補正方法及び装置の実施の一形態として、図３に示す如きオフセット印刷装置に適用する場合の例を示すもので、以下のようにしてある。
【００２６】
ここで、先ず、図３に示したオフセット印刷装置の基本構成について概説すると、該オフセット印刷装置は、水平な架台９の上側に、一方向（Ｘ軸方向）に延びるガイドレール１０を、たとえば、２本一組で設ける。上記ガイドレール１０には、平板状の版１１と基板等の平板状の印刷対象１２を上面部に保持させるための移動テーブルとして、たとえば、版１１と印刷対象１２をそれぞれ個別に保持できるようにした版テーブル１３と印刷対象テーブル１４とを、ガイドレール１０の長手方向一端側（図３における左側）より順に並べて配置した状態で、それぞれ個別のガイドブロック１５を介して移動可能に取り付ける。且つ上記各テーブル１３，１４には、図示しないリニアモータ等の個別の駆動装置を備えて、上記ガイドレール１０に沿って独立して往復動（走行）できるようにすると共に、上記架台９上の所要個所に上記ガイドレール１０に沿って設けた図示しないリニアスケールにより、上記版テーブル１３と印刷対象テーブル１４のガイドレール１０の長手方向に沿う位置、すなわち、Ｘ軸方向の所要の点を基準とする絶対位置（座標）の検出を行うことができるようにする。
【００２７】
更に、上記ガイドレール１０の長手方向における上記版テーブル１３及び印刷対象テーブル１４が共に走行可能な途中位置、たとえば、上記ガイドレール１０の長手方向中間位置と対応する上記架台９上の所要個所に、上記ガイドレール１０の所要寸法上方位置に該ガイドレール１０の長手方向と直交する方向（Ｙ軸方向）に配置したブランケットロール１７と、該ブランケットロール１７を回転駆動するためのモータ等の回転用駆動機構１８と、上記ブランケットロール１７を昇降させるためのボールねじ機構等の昇降用駆動機構１９を備えた転写機構部１６を設けてなる構成とする。これにより、上記転写機構部１６のブランケットロール１７を、上記回転用駆動機構１８により転動させた状態で、上記昇降用駆動機構１９により昇降させて、上記ガイドレール１０上を走行する版テーブル１３上に保持させたインキング済みの版１１に上方より接触させ、次いで、上記ブランケットロール１７を、上記ガイドレール１０上を走行する印刷対象テーブル１４上に保持させた印刷対象１２に上方より接触させることで、上記版１１からブランケットロール１７へのインクの転写（受理）工程と、該ブランケットロール１７から印刷対象１２へのインクの再転写（印刷）工程による印刷処理を行わせることができるようにしてある。
【００２８】
更に、上記ガイドレール１０の長手方向における上記版テーブル１３が走行可能な別の途中位置、たとえば、上記転写機構部１６よりもガイドレール１０の長手方向一端側へ所要寸法離れた位置となる上記架台９上の所要個所に、上記版テーブル１３に保持される版１１に対してインキングを行うためのインキング装置２０を設けた構成としてある。
【００２９】
更に又、上記架台９上におけるガイドレール１０の長手方向一端部と対応する個所には、ガイドレール１０の長手方向一端部まで版テーブル１３を移動させて待機させるための版テーブル待機エリア２１を備え、上記架台９上におけるガイドレール１０の長手方向他端部と対応する個所に、ガイドレール１０の長手方向他端部まで印刷対象テーブル１４を移動させて待機させた状態で、該印刷対象テーブル１４に対して新たな印刷対象１２の取り付けと印刷後の印刷対象１２の取外しを行うための印刷対象設置エリア２２を備えた構成としてある。
【００３０】
上記構成としてあるオフセット印刷装置に適用する本発明の印刷位置誤差補正装置は、図１及び図２に示す如き構成としてある。
【００３１】
すなわち、３軸又は４軸の図示しない駆動ユニットを具備したアライメント駆動機構２５の上側にトッププレート２４を取り付けてなる構成として、該トッププレート２４を上記アライメント駆動機構２５により、平面上の直交する二方向と回転方向、具体的には、上記ガイドレール１０の長手方向（Ｘ軸方向）及びそれに直交する方向（Ｙ軸方向）への水平移動と、ガイドレール１０の長手方向に対するヨー角度（θ）の回転について精密駆動できるようにしてなる版用のアライメントステージ２３を、上記版テーブル１３の上部に設けて、該版テーブル１３上にて、上記版用アライメントステージ２３の上記トッププレート２４の上側に、版１１を保持できるようにする。
【００３２】
更に、上記版用アライメントステージ２３のトッププレート２４におけるガイドレール１０の長手方向一端側（図１、図２における左側）に臨む端縁部の上側に、Ｙ軸方向に沿って延びるＹ軸バーミラー２６を設けると共に、上記トッププレート２４のＹ軸方向一端側の端縁部の上側に、Ｘ軸方向に沿って延びるＸ軸バーミラー２７を設ける。
【００３３】
なお、上記Ｙ軸バーミラー２６及びＸ軸バーミラー２７は、その高さ寸法が、上記トッププレート２４上に保持した状態の版１１の上面の高さ位置よりも所要量低くなるように設定してあり、これにより、上記転写機構部１６でブランケットロール１７を上記版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に保持した版１１の上面に対して所要の印圧を印加した状態で接触させるときにも、該ブランケットロール１７が、上記Ｙ軸バーミラー２６及びＸ軸バーミラー２７に接触しないようにしてある。
【００３４】
又、上記版用アライメントステージ２３と同様に、３軸又は４軸の図示しない駆動ユニットを具備したアライメント駆動機構３０の上側にトッププレート２９を取り付けてなる構成として、該トッププレート２９を上記アライメント駆動機構３０により上記ガイドレール１０の長手方向（Ｘ軸方向）及びそれに直交する方向（Ｙ軸方向）への水平移動と、ガイドレール１０の長手方向に対するヨー角度（θ）の回転について精密駆動できるようにしてなる印刷対象用のアライメントステージ２８を、上記印刷対象テーブル１４の上部に設けて、該印刷対象テーブル１４上にて、上記印刷対象用アライメントステージ２８の上記トッププレート２９の上側に、印刷対象１２を保持できるようにする。
【００３５】
更に、上記印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９におけるガイドレール１０の長手方向他端側（図１、図２における右側）に臨む端縁部の上側に、Ｙ軸方向に沿って延びるＹ軸バーミラー３１を設けると共に、上記トッププレート２９のＹ軸方向の一端側端縁部の上側に、Ｘ軸方向に沿って延びるＸ軸バーミラー３２を設ける。
【００３６】
なお、上記Ｙ軸バーミラー３１及びＸ軸バーミラー３２は、その高さ寸法が、上記トッププレート２９上に保持した状態の印刷対象１２の上面の高さ位置よりも所要量低くなるように設定してあり、これにより、上記転写機構部１６でブランケットロール１７を上記印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に保持した印刷対象１２の上面に対して所要の印圧を印加した状態で接触させるときにも、該ブランケットロール１７が、上記Ｙ軸バーミラー３１及びＸ軸バーミラー３２に接触しないようにしてある。
【００３７】
更に、上記版テーブル１３及び印刷対象テーブル１４が、転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置をそれぞれ走行するときに、該各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２８の各トッププレート２４，２９上に設けてあるＹ軸バーミラー２６，３１とＸ軸バーミラー２７，３２について、該Ｙ軸バーミラー２６，３１の１個所とＸ軸バーミラー２７，３２の長手方向（Ｘ軸方向）所要間隔の２個所、又は、該Ｙ軸バーミラー２６，３１の長手方向（Ｙ軸方向）所要間隔の２個所とＸ軸バーミラー２７，３２の１個所までの距離を、それぞれ個別に計測するための距離センサを備えると共に、該各距離センサより入力される信号を基に、上記版テーブル１３及び印刷対象テーブル１４の各アライメント駆動機構２５，３０へ補正指令を与える制御器３３を備えた構成とする。
【００３８】
具体的には、上記架台９の長手方向一端側の外部における上記版テーブル１３上の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に設けたＹ軸バーミラー２６の長手方向中間部と対応するＹ軸方向所要個所で、且つ該Ｙ軸バーミラー２６と対応する高さとなる位置に、距離センサとしてのレーザ測長器３４を、上記Ｙ軸バーミラー２６と対面するようＸ軸方向に沿って内向きに配置して、図示しない取付手段により所要の固定部に取り付ける。これにより、転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を版テーブル１３が走行するときに、上記レーザ測長器３４により、該版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に設けてあるＹ軸バーミラー２６の長手方向中間部の１個所までのＸ軸方向に沿う距離を計測することができるようにしてある。
【００３９】
又、上記架台９の長手方向他端側の外部における上記印刷対象テーブル１４上の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に設けたＹ軸バーミラー３１の長手方向中間部と対応するＹ軸方向所要個所で、且つ該Ｙ軸バーミラー３１と対応する高さとなる位置に、距離センサとしてのレーザ測長器３５を、上記Ｙ軸バーミラー３１と対面するようＸ軸方向に沿って内向きに配置し、図示しない取付手段により所要の固定部に取り付ける。これにより、転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を印刷対象テーブル１４が走行するときに、上記レーザ測長器３５により、該印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に設けてあるＹ軸バーミラー３１の長手方向中間部の１個所までのＸ軸方向に沿う距離を計測できるようにしてある。
【００４０】
更に、上記架台９のＹ軸方向一端側の外部における上記転写機構部１６のブランケットロール１７の軸心に沿う直線の直下位置よりＸ軸方向の両側へそれぞれ所要寸法離れた２個所で、且つ上記版テーブル１３及び印刷対象テーブル１４の各アライメントステージ２３，２８の各トッププレート２４，２９上に設けてある各Ｘ軸バーミラー２７，３２と対応する高さとなる位置に、距離センサとしての静電容量式変位計３６ａと３６ｂを、それぞれＹ軸方向に沿う内向きに配置して、図示しない取付手段により所要の固定部に取り付ける。これにより、上記版テーブル１３及び印刷対象テーブル１４が上記転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を走行するときに、該各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２８のトッププレート２４，２９上にそれぞれ設けてあるＸ軸バーミラー２７，３２が、上記各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂの前方近傍位置を該各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂに対面した状態で通過するようにしてあり、その際、上記各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂにより、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２８の各トッププレート２４，２９上に設けてある各Ｘ軸バーミラー２７，３２における該各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂの前方に位置する２個所までのＹ軸方向に沿う距離を、個別に計測できるようにしてある。
【００４１】
上記制御器３３は、上記各レーザ測長器３４，３５、及び、各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂについて各々の設置位置（Ｘ軸方向及びＹ軸方向に関する位置）の情報、並びに、版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上におけるＹ軸バーミラー２６及びＸ軸バーミラー２７と版１１の保持個所との相対的な配置の情報と、印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上におけるＹ軸バーミラー３１及びＸ軸バーミラー３２と印刷対象１２の保持個所との相対的な配置の情報を予め格納（蓄積）して備えるようにしてある。
【００４２】
又、上記制御器３３は、上記版テーブル１３が転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を走行するときに、上記レーザ測長器３４より版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に設けてあるＹ軸バーミラー２６の長手方向中間部の１個所までのＸ軸方向に沿う距離の計測信号が入力されると、該計測されたＸ軸方向の距離と、予め格納してある上記レーザ測長器３４の設置位置情報とを基に、上記版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に設けてあるＹ軸バーミラー２６のＸ軸方向の位置を検出し、更に、予め格納してある上記トッププレート２４上における該Ｙ軸バーミラー２６の設置個所と版１１の保持個所との相対的な配置の情報を基に、版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に保持された版１１のＸ軸方向位置をリアルタイムに検出する機能を備えるようにしてある。
【００４３】
更に、上記制御器３３は、上記版テーブル１３が転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を走行するときに、上記各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂより版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に設けてあるＸ軸バーミラー２７における該各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂの前方に位置する２個所までのＹ軸方向に沿う距離の計測信号がそれぞれ入力されると、該各計測されたＹ軸方向の距離と、予め格納してある上記各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂの設置位置情報とを基に、上記版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に設けてあるＸ軸バーミラー２７の長手方向（Ｘ軸方向）の２個所についてＹ軸方向の位置を検出すると共に、該検出された各個所についてのＹ軸方向位置の差と、上記Ｘ軸バーミラー２７における上記各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂによる計測対象とした２個所のＸ軸方向間隔とから、上記Ｘ軸バーミラー２７のＸ軸方向に対する角度姿勢を検出し、更に、予め格納してある上記トッププレート２４上における該Ｘ軸バーミラー２７の設置個所と版１１の保持個所との相対的な配置の情報を基に、版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に保持された版１１のＹ軸方向位置と、該版１１のＸ軸方向に対する角度姿勢をリアルタイムに検出する機能を備えるようにしてある。
【００４４】
更に又、上記制御器３３は、上記版テーブル１３が転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を走行する際、上記のようにして版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に保持された版１１のＸ軸方向位置及びＹ軸方向位置と、該版１１のＸ軸方向に対する角度姿勢がリアルタイムに検出されると、該検出された版１１のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置と角度姿勢を、上記版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に保持された版１１が版テーブル１３のガイドレール１０に沿う走行に伴ってその時点で位置させられているべき本来のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置とＸ軸方向に沿う角度姿勢である目標位置及び角度姿勢に一致させるために必要となるＸ軸方向及びＹ軸方向に関する位置補正量と角度補正量とを逐次求める機能を備え、且つ該求められた位置補正量及び角度補正量に応じた補正指令を、上記版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のアライメント駆動機構２５へ順次与える機能を備えるようにしてある。
【００４５】
なお、上記において、制御器３３にて版１１のＸ軸方向に関する位置補正量を求めるための目標位置となる上記版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に保持された版１１が版テーブル１３のガイドレール１０に沿う走行に伴って位置させられているべき本来のＸ軸方向の位置は、上記制御器３３に、架台９上に設けてある図示しないリニアスケールより上記版テーブル１３のＸ軸方向の位置の検出信号が入力されるようにしておくことで、該制御器３３により版テーブル１３のＸ軸方向位置をリアルタイムに検出し、該検出された版テーブル１３のＸ軸方向位置と、版テーブル１３における版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上の版１１の保持個所の相対的な配置とを基に求めるようにしてあるものとする。
【００４６】
一方、上記印刷対象テーブル１４が転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を走行するときには、上記制御器３３は、上記レーザ測長器３５より入力される印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２４上に設けてあるＹ軸バーミラー３１の長手方向中間部の１個所までのＸ軸方向に沿う距離の計測信号と、予め格納してある上記レーザ測長器３５の設置位置情報とを基に、上記印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に設けてあるＹ軸バーミラー３１のＸ軸方向の位置を検出した後、予め格納してある上記トッププレート２９上における該Ｙ軸バーミラー３１の設置個所と印刷対象１２の保持個所との相対的な配置の情報を基に、印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に保持された印刷対象１２のＸ軸方向位置をリアルタイムに検出する機能を備えるようにしてある。
【００４７】
更に、上記制御器３３は、上記印刷対象テーブル１４が転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を走行するときに、上記各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂより印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に設けてあるＸ軸バーミラー３２における該各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂの前方に位置する２個所までのＹ軸方向に沿う距離の計測信号がそれぞれ入力されると、該各計測されたＹ軸方向の距離と、予め格納してある上記各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂの設置位置情報とを基に、上記印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に設けてあるＸ軸バーミラー３２の長手方向（Ｘ軸方向）の２個所についてＹ軸方向の位置を検出すると共に、該検出された各個所についてのＹ軸方向位置の差と、上記Ｘ軸バーミラー３２における上記各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂによる計測対象とした２個所のＸ軸方向間隔とから、上記Ｘ軸バーミラー３２のＸ軸方向に対する角度姿勢を検出し、更に、予め格納してある上記トッププレート２９上における該Ｘ軸バーミラー３２の設置個所と印刷対象１２の保持個所との相対的な配置の情報を基に、印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に保持された印刷対象１２のＹ軸方向位置と、該印刷対象１２のＸ軸方向に対する角度姿勢をリアルタイムに検出する機能を備えるようにしてある。
【００４８】
更に又、上記制御器３３は、上記印刷対象テーブル１４が転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を走行する際、上記のようにして印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に保持された印刷対象１２のＸ軸方向位置及びＹ軸方向位置と、該印刷対象１２のＸ軸方向に対する角度姿勢がリアルタイムに検出されると、該検出された印刷対象１２のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置と角度姿勢を、上記印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に保持された印刷対象１２が印刷対象テーブル１４の走行に伴ってその時点で位置させられているべき本来のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置とＸ軸方向に沿う角度姿勢である目標位置及び角度姿勢に一致させるために必要となるＸ軸方向及びＹ軸方向に関する位置補正量と角度補正量とを逐次求める機能を備え、且つ該求められた位置補正量及び角度補正量に応じた補正指令を、上記印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のアライメント駆動機構３０へ順次与える機能を備えるようにしてある。
【００４９】
なお、上記において、制御器３３にて印刷対象１２のＸ軸方向に関する位置補正量を求めるための目標位置となる上記印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に保持された印刷対象１２が印刷対象テーブル１４のガイドレール１０に沿う走行に伴って位置させられているべき本来のＸ軸方向の位置は、上記制御器３３に、架台９上に設けてある図示しないリニアスケールより上記印刷対象テーブル１４のＸ軸方向の位置の検出信号が入力されるようにしておくことで、該制御器３３により印刷対象テーブル１４のＸ軸方向位置をリアルタイムに検出し、該検出された印刷対象テーブル１４のＸ軸方向位置と、印刷対象テーブル１４における印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上の印刷対象１２の保持個所の相対的な配置とを基に求めるようにしてあるものとする。
【００５０】
以上の構成としてある本発明の印刷位置誤差補正装置を備えたオフセット印刷装置により印刷作業を実施する場合は、予め版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上側に版１１を保持した版テーブル１３をインキング装置２０へ送って上記版１１に適正量のインクをインキングさせる。
【００５１】
次に、上記インキングされた版１１を保持した版テーブル１３を、図１、図２に示すように、転写機構部１６へ移動させて、回転用駆動機構１８（図３参照）により転動させるブランケットロール１７の周速と同期した移動速度で、該ブランケットロール１７の直下位置をブランケットロール１７の回転方向に沿う方向（図１、図２における左方向）へ走行させると共に、該版テーブル１３上に保持した版１１に対して上記ブランケットロール１７を上側から所要の印圧で接触させて、転写（受理）工程を行う。
【００５２】
この際、上記版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に設けてあるＸ軸バーミラー２７が、版テーブル１３の走行に伴って上記各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂの前方まで進行すると、該各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂにより上記Ｘ軸バーミラー２７のそれぞれの前方に位置する個所までのＹ軸方向の距離が計測されるようになる。又、レーザ測長器３４により上記版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に設けてあるＹ軸バーミラー２６までの距離が計測されるようになる。
【００５３】
したがって、上記レーザ測長器３４と各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂよりそれぞれの計測信号が入力される上記制御器３３では、版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に設けてあるＹ軸バーミラー２６のＸ軸方向の位置と、Ｘ軸バーミラー２７の上記各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂの前方に位置する２個所についてのＹ軸方向位置及び該Ｘ軸バーミラー２７のＸ軸方向に対する角度姿勢がリアルタイムに検出され、この検出結果を基に、上記版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に保持された版１１のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置と、該版１１のＸ軸方向に対する角度姿勢がリアルタイムに検出されるようになる。
【００５４】
上記転写（受理）工程の間に、上記転動するブランケットロール１７より印圧の荷重を受ける版１１の支持構造である版用アライメントステージ２３や、版テーブル１３や、該版テーブル１３をガイドレール１０上で支持するガイドブロック１５の少なくとも１つに歪みが生じ、該歪みに起因して、上記版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４と一緒に該トッププレート２４上に保持してある版１１に、Ｘ軸方向とＹ軸方向と回転方向のいずれか１つ又は複数が複合した微小な位置ずれが生じると、上記制御器３３では、上記トッププレート２４上に保持された版１１について上記微小な位置ずれを内包した状態でリアルタイムに検出されるＸ軸方向及びＹ軸方向の位置と、該版１１のＸ軸方向に対する角度姿勢を、その時点でトッププレート２４上に保持された版１１が位置させられているべき本来のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置とＸ軸方向に沿う角度姿勢である目標位置及び角度姿勢に一致させるために必要なＸ軸方向及びＹ軸方向に関する位置補正量と角度補正量が直ちに求められ、該求められた位置補正量及び角度補正量に応じた補正指令が、上記制御器３３より上記版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のアライメント駆動機構２５へ与えられるようになる。
【００５５】
よって、上記版テーブル１３上では、上記版用アライメントステージ２３のアライメント駆動機構２５によるトッププレート２４のＸ軸方向及びＹ軸方向と、回転方向への精密駆動により、該トッププレート２４上に保持された版１１が、上記目標位置及び角度姿勢、すなわち、本来のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置とＸ軸方向に沿う角度姿勢に一致するように位置ずれが補正されるようになる。
【００５６】
したがって、上記転写（受理）工程においては、上記ブランケットロール１７より印圧の荷重を受ける版１１に微小な位置ずれが生じても、その位置ずれが直ちに補正されることで、版１１より上記ブランケットロール１７へ転写（受理）される印刷パターンに位置ずれが生じる虞が未然に防止されるようになる。
【００５７】
上記のようにして転写（受理）工程が終了した後は、印刷対象１２を保持した印刷対象テーブル１４を、図４、図５に示すように、転写機構部１６へ移動させて、上記版テーブル１３の場合と同様に、該印刷対象テーブル１４を、回転用駆動機構１８（図３参照）により転動させるブランケットロール１７の周速と同期した移動速度で、該ブランケットロール１７の直下位置を、ブランケットロール１７の回転方向に沿う方向（図４、図５における左方向）へ走行させると共に、該印刷対象テーブル１４上に保持した印刷対象１２に対し、上記ブランケットロール１７を、上記版１１に接触させたときと同様の位相で上側から所要の印圧で接触させて、再転写（印刷）工程を行う。
【００５８】
この際、上記印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に設けてあるＸ軸バーミラー３２が、印刷対象テーブル１４の走行に伴って上記各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂの前方まで進行すると、該各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂにより上記Ｘ軸バーミラー３２のそれぞれの前方に位置する個所までのＹ軸方向の距離が計測されるようになる。又、レーザ測長器３５により上記印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に設けてあるＹ軸バーミラー３１までの距離が計測されるようになる。
【００５９】
したがって、上記レーザ測長器３５と各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂよりそれぞれの計測信号が入力される上記制御器３３では、印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に設けてあるＹ軸バーミラー３１のＸ軸方向の位置と、Ｘ軸バーミラー３２の上記各静電容量式変位計３６ａ，３６ｂの前方に位置する２個所についてのＹ軸方向位置及び該Ｘ軸バーミラー３２のＸ軸方向に対する角度姿勢がリアルタイムに検出され、この検出結果を基に、上記印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に保持された印刷対象１２のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置と、該印刷対象１２のＸ軸方向に対する角度姿勢がリアルタイムに検出されるようになる。
【００６０】
上記再転写（印刷）工程の間に、上記転動するブランケットロール１７より印圧の荷重を受ける印刷対象１２の支持構造である印刷対象用アライメントステージ２８や、印刷対象テーブル１４や、該印刷対象テーブル１４をガイドレール１０上で支持するガイドブロック１５の少なくとも１つに歪みが生じ、該歪みに起因して、上記印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９と一緒に該トッププレート２９上に保持してある印刷対象１２に、Ｘ軸方向とＹ軸方向と回転方向のいずれか１つ又は複数が複合した微小な位置ずれが生じると、上記制御器３３では、上記トッププレート２９上に保持された印刷対象１２について上記微小な位置ずれを内包した状態でリアルタイムに検出されるＸ軸方向及びＹ軸方向の位置と、該印刷対象１２のＸ軸方向に対する角度姿勢を、その時点でトッププレート２９上に保持された印刷対象１２が位置させられているべき本来のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置とＸ軸方向に沿う角度姿勢である目標位置及び角度姿勢に一致させるために必要なＸ軸方向及びＹ軸方向に関する位置補正量と角度補正量が直ちに求められ、該求められた位置補正量及び角度補正量に応じた補正指令が、上記制御器３３より上記印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のアライメント駆動機構３０へ与えられるようになる。
【００６１】
よって、上記印刷対象テーブル１４上では、上記印刷対象用アライメントステージ２８のアライメント駆動機構３０によるトッププレート２９のＸ軸方向及びＹ軸方向と、回転方向への精密駆動により、該トッププレート２９上に保持された印刷対象１２が、上記目標位置及び角度姿勢、すなわち、本来のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置とＸ軸方向に沿う角度姿勢に一致するように位置ずれが補正されるようになる。
【００６２】
したがって、上記再転写（印刷）工程においては、上記ブランケットロール１７より印圧の荷重を受ける印刷対象１２に微小な位置ずれが生じても、その位置ずれが直ちに補正されることで、上記ブランケットロール１７より上記印刷対象１２へ再転写（印刷）される印刷パターンに位置ずれが生じる虞が未然に防止されるようになる。
【００６３】
このように、本発明の印刷位置誤差補正方法及び装置によれば、オフセット印刷処理を行う際に、ブランケットロール１７より印圧の荷重を受ける版１１や印刷対象１２に微小な位置ずれが生じても、その位置ずれを直ちに補正できるため、転写（受理）工程にて版１１からブランケットロール１７へ転写（受理）した後、再転写（印刷）工程にて上記ブランケットロール１７より印刷対象１２へ再転写（印刷）する印刷パターンに位置ずれが生じる虞を未然に防止できることから、印刷位置に誤差が生じる虞を防止して印刷パターンの再現性を高めることができる。
【００６４】
したがって、印刷対象１２となる基板上に液晶ディスプレイ等の電極パターンを印刷により形成する場合のように、印刷位置の位置ずれを数μｍあるいはそれ以下に抑えることが必要とされるような精密印刷を高精度に行うことが可能になる。
【００６５】
次に、図６は本発明の実施の他の形態として、図１乃至図５の実施の形態の応用例を示すもので、図１及び図５に示したと同様の構成において、版テーブル１３及び印刷対象テーブル１４が転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置をそれぞれ走行するときに、該各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２８の各トッププレート２４，２９上に設けてあるＸ軸バーミラー２７，３２の長手方向（Ｘ軸方向）所要間隔の２個所までの距離を個別に計測するための距離センサとして、２つの静電容量式変位計３６ａ，３６ｂを用いる構成に代えて、２つのレーザ測長器３７，３８を用いる構成としたものである。
【００６６】
詳述すると、上記２つの距離センサとしてのレーザ測長器３７，３８は、架台９のＹ軸方向一端側の外部で且つ該架台９のＸ軸方向両端よりも外方となる位置に、上記版テーブル１３及び印刷対象テーブル１４の各アライメントステージ２３，２８の各トッププレート２４，２９上に設けてある各Ｘ軸バーミラー２７，３２と対応する高さでそれぞれＸ軸方向に沿ってブランケットロール１７の軸心に沿う直線の直下位置に向くように対向配置して、図示しない取付手段により所要の固定部に取り付けてある。
【００６７】
上記架台９のＹ軸方向一端側の外部における上記転写機構部１６のブランケットロール１７の軸心に沿う直線の直下位置よりＸ軸方向の両側へそれぞれ所要寸法離れた２個所で、且つ上記版テーブル１３及び印刷対象テーブル１４の各アライメントステージ２３，２８の各トッププレート２４，２９上の各Ｘ軸バーミラー２７，３２と対応する高さとなる位置には、上記各レーザ測長器３７及び３８に個別に対応する反射ミラー３９及び４０をそれぞれ設けて、各レーザ測長器３７及び３８よりＸ軸方向に沿って出射させるレーザ光を、それぞれ対応する反射ミラー３９及び４０によりＹ軸方向に沿う方向へ反射させて、上記転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を走行する版テーブル１３及び印刷対象テーブル１４の各アライメントステージ２３，２８の各トッププレート２４，２９上の各Ｘ軸バーミラー２７，３２における長手方向（Ｘ軸方向）所要間隔の２個所に照射させることで、該各個所までの距離を個別に計測できるようにしてある。
【００６８】
更に、上記したように、図１乃至図５の実施の形態で用いた２つの静電容量式変位計３６ａ，３６ｂに代えて、上記各レーザ測長器３７，３８を用いる構成とすることに鑑みて、本実施の形態の制御器３３は、上記版テーブル１３及び印刷対象テーブル１４が転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を走行するときに、上記各レーザ測長器３７，３８より、各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２８の各トッププレート２４，２９上に設けてある各Ｘ軸バーミラー２７，３２における長手方向（Ｘ軸方向）所要間隔の２個所までの距離の計測信号がそれぞれ入力されると、該各計測された距離と、該制御器３３に予め格納するものとした上記各レーザ測長器３７，３８及び上記各反射ミラー３９，４０の設置位置情報とを基に、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２８の各トッププレート２４，２９上に設けてある各Ｘ軸バーミラー２７，３２の長手方向（Ｘ軸方向）の２個所についてＹ軸方向の位置を検出し、該Ｙ軸方向位置が検出された各個所同士におけるＹ軸方向位置の差と、該各Ｙ軸方向位置が検出された２個所のＸ軸方向の間隔とから、上記各Ｘ軸バーミラー２７，３２のＸ軸方向に対する角度姿勢を検出し、更に、上記各トッププレート２４と２９上における各Ｘ軸バーミラー２７と３２の設置個所と、該各トッププレート２４と２９上における版１１と印刷対象１２の保持個所との相対的な配置の情報とを基に、版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に保持された版１１、及び、印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に保持された印刷対象１２について、そのＹ軸方向位置と、Ｘ軸方向に対する角度姿勢をリアルタイムに検出する機能を備えてなるものとしてある。
【００６９】
その他の構成は図１乃至図５に示したものと同様であり、同一のものには同一の符号が付してある。
【００７０】
本実施の形態によっても、図１乃至図５の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００７１】
更に、転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を走行する版テーブル１３及び印刷対象テーブル１４の各アライメントステージ２３，２８の各トッププレート２４，２９上に設けてあるＸ軸バーミラー２７，３２の長手方向（Ｘ軸方向）所要間隔の２個所までの距離を個別に計測するために用いる２つのレーザ測長器３７，３８の配設個所の自由度が高まるため、設計をより容易なものとする効果が期待できる。
【００７２】
次いで、図７は本発明の実施の更に他の形態として、図１乃至図５の実施の形態の変形例を示すもので、図１及び図５に示したと同様の構成において、版テーブル１３及び印刷対象テーブル１４が転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置をそれぞれ走行するときに、該各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２８の各トッププレート２４，２９上に設けてある各Ｙ軸バーミラー２６，３１及び各Ｘ軸バーミラー２７，３２のうち、上記各Ｙ軸バーミラー２６，３１については、その長手方向中間部の１個所を計測対象として該個所までのＸ軸方向に沿う距離を個別の距離センサとしての各レーザ測長器３４，３５でそれぞれ計測すると共に、上記各Ｘ軸バーミラー２７，３２については、その長手方向（Ｘ軸方向）所要間隔の２個所を計測対象として該各個所までのＹ軸方向に沿う距離を距離センサとして２つの静電容量式変位計３６ａ，３６ｂで計測するようにした構成に代えて、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２８の各トッププレート２４，２９上に設けてある各Ｙ軸バーミラー２６，３１及び各Ｘ軸バーミラー２７，３２のうち、上記各Ｙ軸バーミラー２６と３１について、その長手方向（Ｙ軸方向）所要間隔の２個所を計測対象として該各個所までのＸ軸方向に沿う距離を、それぞれ２個の距離センサとしてのレーザ測長器４１ａ，４１ｂと４２ａ，４２ｂで計測すると共に、上記各Ｘ軸バーミラー２７，３２について、その長手方向の１個所を計測対象として該個所までのＹ軸方向に沿う距離を、距離センサとして１つの静電容量式変位計４３で計測する構成としたものである。
【００７３】
詳述すると、架台９の長手方向一端側の外部における版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に設けたＹ軸バーミラー２６の長手方向（Ｙ軸方向）所要間隔の２個所と対応するＹ軸方向の２個所で、且つ該Ｙ軸バーミラー２６と対応する高さとなる位置に、距離センサとしてのレーザ測長器４１ａと４１ｂを、上記Ｙ軸バーミラー２６と対面するようＸ軸方向に沿って内向きに配置して、図示しない取付手段により所要の固定部に取り付ける。これにより、転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を上記版テーブル１３が走行するときに、上記各レーザ測長器４１ａと４１ｂにより、該版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に設けてあるＹ軸バーミラー２６の長手方向における該各レーザ測長器４１ａと４１ｂのそれぞれ前方に位置する２個所までのＸ軸方向に沿う距離を個別に計測することができるようにしてある。
【００７４】
又、上記架台９の長手方向他端側の外部における印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に設けたＹ軸バーミラー３１の長手方向（Ｙ軸方向）所要間隔の２個所と対応するＹ軸方向の２個所で、且つ該Ｙ軸バーミラー３１と対応する高さとなる位置に、距離センサとしてのレーザ測長器４２ａと４２ｂを、上記Ｙ軸バーミラー３１と対面するようＸ軸方向に沿って内向きに配置して、図示しない取付手段により所要の固定部に取り付ける。これにより、転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を上記印刷対象テーブル１４が走行するときに、上記各レーザ測長器４２ａと４２ｂにより、該印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に設けてあるＹ軸バーミラー３１の長手方向における該各レーザ測長器４２ａと４２ｂのそれぞれ前方に位置する２個所までのＸ軸方向に沿う距離を個別に計測できるようにしてある。
【００７５】
更に、上記架台９のＹ軸方向一端側の外部における上記転写機構部１６のブランケットロール１７の軸心に沿う直線の直下位置又はその付近、たとえば、上記ブランケットロール１７の軸心に沿う直線の直下位置よりガイドレール１０の長手方向一端側へ少しずれた個所で、且つ上記版テーブル１３及び印刷対象テーブル１４の各アライメントステージ２３，２８の各トッププレート２４，２９上に設けてある各Ｘ軸バーミラー２７，３２と対応する高さとなる位置に、距離センサとしての１つの静電容量式変位計４３を、Ｙ軸方向に沿い内向き（架台９上のガイドレール１０設置個所に向けた方向）に配置して、図示しない取付手段により所要の固定部に取り付ける。これにより、上記版テーブル１３及び印刷対象テーブル１４が上記転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を走行するときに、該各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２８のトッププレート２４，２９上にそれぞれ設けてあるＸ軸バーミラー２７，３２が、上記静電容量式変位計４３の前方近傍位置を該静電容量式変位計４３に対面した状態で通過するようにしてあり、その際、上記静電容量式変位計４３により、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２８の各トッププレート２４，２９上に設けてある各Ｘ軸バーミラー２７，３２における該静電容量式変位計４３の前方に位置する個所までのＹ軸方向に沿う距離を計測できるようにしてある。
【００７６】
更に又、上記したように、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２８の各トッププレート２４，２９上に設けてある各Ｙ軸バーミラー２６，３１に対応して２個ずつのレーザ測長器４１ａ，４１ｂと４２ａ，４２ｂを備え、且つ各Ｘ軸バーミラー２７，３２に対応して１つの静電容量式変位計４３を備えた構成とすることに鑑みて、本実施の形態では、制御器３３ａに、図１乃至図５の実施の形態における制御器３３と同様の、版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上におけるＹ軸バーミラー２６及びＸ軸バーミラー２７と版１１の保持個所との相対的な配置の情報と、印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上におけるＹ軸バーミラー３１及びＸ軸バーミラー３２と印刷対象１２の保持個所との相対的な配置の情報の他に、上記各レーザ測長器４１ａ，４１ｂと４２ａ，４２ｂ、及び、上記静電容量式変位計４３について各々の設置位置（Ｘ軸方向及びＹ軸方向に関する位置）の情報を予め格納（蓄積）して備えるようにしてあると共に、該制御器３３ａを以下の機能を備えた構成としてある。
【００７７】
すなわち、上記制御器３３ａは、上記版テーブル１３が転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を走行するときに、上記各レーザ測長器４１ａ，４１ｂより版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に設けてあるＹ軸バーミラー２６の長手方向における該各レーザ測長器４１ａ，４１ｂのそれぞれ前方に位置するＹ軸方向所要間隔の２個所までのＸ軸方向に沿う距離の計測信号がそれぞれ入力されると、該各計測されたＸ軸方向の距離と、予め格納してある上記各レーザ測長器４１ａ，４１ｂの設置位置情報とを基に、上記版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に設けてあるＹ軸バーミラー２６の長手方向（Ｙ軸方向）の２個所についてＸ軸方向の位置を検出すると共に、該検出された各個所についてのＸ軸方向位置の差と、上記Ｙ軸バーミラー２６における上記各レーザ測長器４１ａ，４１ｂによる計測対象とした２個所のＹ軸方向間隔とから、上記Ｙ軸バーミラー２６のＹ軸方向に対する角度姿勢を検出し、更に、予め格納してある上記トッププレート２４上における該Ｙ軸バーミラー２６の設置個所と版１１の保持個所との相対的な配置の情報を基に、版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に保持された版１１のＸ軸方向位置と、該版１１のＹ軸方向に対する角度姿勢より導かれるＸ軸方向に対する角度姿勢をリアルタイムに検出する機能を備えるようにしてある。
【００７８】
更に、上記制御器３３ａは、上記版テーブル１３が転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を走行するときに、上記静電容量式変位計４３より版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に設けてあるＸ軸バーミラー２７における該静電容量式変位計４３の前方に位置する個所までのＹ軸方向に沿う距離の計測信号が入力されると、該計測されたＹ軸方向の距離と、予め格納してある上記静電容量式変位計４３の設置位置情報とを基に、上記版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に設けてあるＸ軸バーミラー２７のＹ軸方向の位置を検出し、更に、予め格納してある上記トッププレート２４上における該Ｘ軸バーミラー２７の設置個所と版１１の保持個所との相対的な配置の情報を基に、版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に保持された版１１のＹ軸方向位置をリアルタイムに検出する機能を備えるようにしてある。
【００７９】
更に又、上記制御器３３ａは、上記版テーブル１３が転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を走行する際、上記のようにして版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に保持された版１１のＸ軸方向位置及びＹ軸方向位置と、該版１１のＸ軸方向に対する角度姿勢がリアルタイムに検出されると、図１乃至図５の実施の形態の制御器３３と同様の処理で上記トッププレート２４上に保持された版１１のＸ軸方向及びＹ軸方向に関する位置補正量と角度補正量とを逐次求める機能と、該求められた位置補正量及び角度補正量に応じた補正指令を、上記版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のアライメント駆動機構２５へ順次与える機能を備えるようにしてある。
【００８０】
一方、上記印刷対象テーブル１４が転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を走行するときには、上記制御器３３ａは、上記各レーザ測長器４２ａ，４２ｂより入力される印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２４上に設けてあるＹ軸バーミラー３１の長手方向における該各レーザ測長器４２ａ，４２ｂのそれぞれ前方に位置するＹ軸方向所要間隔の２個所までのＸ軸方向に沿う距離の計測信号と、予め格納してある上記各レーザ測長器４１ａ，４１ｂの設置位置情報とを基に、上記印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に設けてあるＹ軸バーミラー３１の長手方向（Ｙ軸方向）の２個所についてＸ軸方向の位置を検出すると共に、該検出された各個所についてのＸ軸方向位置の差と、上記Ｙ軸バーミラー３１における上記各レーザ測長器４２ａ，４２ｂによる計測対象とした２個所のＹ軸方向間隔とから、上記Ｙ軸バーミラー３１のＹ軸方向に対する角度姿勢を検出し、更に、予め格納してある上記トッププレート２９上における該Ｙ軸バーミラー３１の設置個所と印刷対象１２の保持個所との相対的な配置の情報を基に、印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に保持された印刷対象１２のＸ軸方向位置と、該印刷対象１２のＹ軸方向に対する角度姿勢より導かれるＸ軸方向に対する角度姿勢をリアルタイムに検出する機能を備えるようにしてある。
【００８１】
更に、上記制御器３３ａは、上記印刷対象テーブル１４が転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を走行するときに、上記静電容量式変位計４３より印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に設けてあるＸ軸バーミラー３２における該静電容量式変位計４３の前方に位置する個所までのＹ軸方向に沿う距離の計測信号が入力されると、該計測されたＹ軸方向の距離と、予め格納してある上記静電容量式変位計４３の設置位置情報とを基に、上記印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に設けてあるＸ軸バーミラー３２のＹ軸方向の位置を検出し、更に、予め格納してある上記トッププレート２９上における該Ｘ軸バーミラー３２の設置個所と印刷対象１２の保持個所との相対的な配置の情報を基に、印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に保持された印刷対象１２のＹ軸方向位置をリアルタイムに検出する機能を備えるようにしてある。
【００８２】
更に又、上記制御器３３ａは、上記印刷対象テーブル１４が転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を走行する際、上記のようにして印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に保持された印刷対象１２のＸ軸方向位置及びＹ軸方向位置と、該印刷対象１２のＸ軸方向に対する角度姿勢がリアルタイムに検出されると、図１乃至図５の実施の形態の制御器３３と同様の処理で上記トッププレート２９上に保持された印刷対象１２のＸ軸方向及びＹ軸方向に関する位置補正量と角度補正量とを逐次求める機能と、該求められた位置補正量及び角度補正量に応じた補正指令を、上記印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のアライメント駆動機構３０へ順次与える機能を備えるようにしてある。
【００８３】
その他の構成は図１乃至図５に示したものと同様であり、同一のものには同一の符号が付してある。
【００８４】
以上の構成としてある本実施の形態の印刷位置誤差補正装置によっても、該印刷位置誤差補正装置を備えたオフセット印刷装置により印刷作業を実施すると、予めインキングされた版１１を保持した版テーブル１３を、転写機構部１６へ移動させて、転動させるブランケットロール１７の周速と同期した移動速度で、該ブランケットロール１７の直下位置をブランケットロール１７の回転方向に沿う方向（図７における左方向）へ走行させると共に、該版テーブル１３上に保持した版１１に対して上記ブランケットロール１７を上側から所要の印圧で接触させて転写（受理）工程を行うと、各レーザ測長器４１ａ，４１ｂ及び静電容量式変位計４３より入力される信号を基に、制御器３３ａにより上記版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に保持された版１１のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置と、該版１１のＸ軸方向に対する角度姿勢がリアルタイムに検出されるようになり、この転写（受理）工程の間に、上記転動するブランケットロール１７より印圧の荷重を受ける版１１に上記トッププレート２４と一緒にＸ軸方向とＹ軸方向と回転方向のいずれか１つ又は複数が複合した微小な位置ずれが生じると、図１乃至図５の実施の形態と同様に、上記版用アライメントステージ２３のアライメント駆動機構２５によるトッププレート２４の精密駆動により上記位置ずれが直ちに補正されるようになる。よって、上記版１１より上記ブランケットロール１７へ転写（受理）される印刷パターンに位置ずれが生じる虞が未然に防止されるようになる。
【００８５】
その後、印刷対象１２を保持した印刷対象テーブル１４を、転写機構部１６へ移動させて、上記版テーブル１３の場合と同様に、該印刷対象テーブル１４を、転動させるブランケットロール１７の周速と同期した移動速度で、該ブランケットロール１７の直下位置を、ブランケットロール１７の回転方向に沿う方向（図７における左方向）へ走行させると共に、該印刷対象テーブル１４上に保持した印刷対象１２に対し、上記ブランケットロール１７を、上記版１１に接触させたときと同様の位相で上側から所要の印圧で接触させて、再転写（印刷）工程を行うと、各レーザ測長器４２ａ，４２ｂ及び静電容量式変位計４３より入力される信号を基に、制御器３３ａにより上記印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に保持された印刷対象１２のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置と、該印刷対象１２のＸ軸方向に対する角度姿勢がリアルタイムに検出されるようになり、この再転写（印刷）工程の間に、上記転動するブランケットロール１７より印圧の荷重を受ける印刷対象１２に上記トッププレート２９と一緒にＸ軸方向とＹ軸方向と回転方向のいずれか１つ又は複数が複合した微小な位置ずれが生じると、図１乃至図５の実施の形態と同様に、上記印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のアライメント駆動機構３０によるトッププレート２９の精密駆動により上記位置ずれが補正されるようになる。よって、上記ブランケットロール１７より上記印刷対象１２へ再転写（印刷）される印刷パターンに位置ずれが生じる虞が未然に防止されるようになる。
【００８６】
したがって、本実施の形態によっても、図１乃至図５の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００８７】
なお、本発明は上記実施の形態のみに限定されるものではなく、版１１を保持するトッププレート２４にＹ軸バーミラー２６とＸ軸バーミラー２７を設け、且つ該トッププレート２４をアライメント駆動機構２５によりＸ軸方向及びＹ軸方向と回転方向へ精密駆動可能としてなる版用アライメントステージ２３と、印刷対象１２を保持するトッププレート２９にＹ軸バーミラー３１とＸ軸バーミラー３２を設け、且つ該トッププレート２９をアライメント駆動機構３０によりＸ軸方向及びＹ軸方向と、回転方向へ精密駆動可能としてなる印刷対象用アライメントステージ２８とを備えて、該版用及び印刷対象用の各アライメントステージ２３及び２８を、転写機構部１６のブランケットロール１７の直下位置を順次移動させることができるようにしてあれば、上記版用と印刷対象用の各アライメントステージ２３と２８を、上記ブランケットロール１７の下方を走行する共通の移動テーブルの上にＸ軸方向に並べて設けた構成としてもよい。
【００８８】
版用及び印刷対象用の各アライメントステージ２３，２８における各アライメント駆動機構２５，３０は、版１１や印刷対象１２を保持させる各トッププレート２４，２９をＸ軸方向及びＹ軸方向と、回転方向へ精密駆動できるようにしてあれば、該各トッププレート２４，２９を駆動する３軸又は４軸の図示しない駆動ユニットとして、いかなる形式の駆動ユニットを備えたものであってもよい。
【００８９】
オフセット印刷装置として、架台９の所要個所にアライメントエリアを設けて、印刷処理を開始する前に、該アライメントエリアで、版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に保持した版１１と、印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に保持した印刷対象１２について、該版１１や印刷対象１２に予め設けたアライメントマークの位置を、取り替える版１１同士及び印刷対象１２同士でそれぞれ揃えるか、又は、版１１と各印刷対象１２で揃えるように、上記各アライメントステージ２３，２８のアライメント駆動機構２５，３０によりトッププレート２４と一緒に版１１や印刷対象１２の位置を修正する初期アライメントを取るようにする形式のオフセット印刷装置に適用してもよい。この場合、上記版１１や印刷対象１２の初期アライメントを取ることに伴って、版テーブル１３に対する版用アライメントステージ２３のトッププレート２４の相対的なＸ軸方向及びＹ軸方向の位置と角度姿勢、並びに、印刷対象テーブル１４に対する印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９の相対的なＸ軸方向及びＹ軸方向の位置と角度姿勢にはばらつきが生じるようになる。そのため、制御器３３，３３ａでは、上記版１１の初期アライメントを取った直後の時点で、版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上に設けてあるＹ軸バーミラー２６とＸ軸バーミラー２７の版テーブル１３に対する相対的なＸ軸方向及びＹ軸方向の位置と角度姿勢を記憶すると共に、上記印刷対象１２初期アライメントをとった直後の時点で、印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上に設けてあるＹ軸バーミラー３１とＸ軸バーミラー３２の印刷対象テーブル１４に対する相対的なＸ軸方向及びＹ軸方向の位置と角度姿勢を記憶するようにしておき、その後、転写（受理）工程において版１１の位置ずれの検出を行う場合は、制御器３３，３３ａで、リアルタイムに検出される上記版用アライメントステージ２３のトッププレート２４上のＹ軸バーミラー２６とＸ軸バーミラー２７のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置と角度姿勢を、ガイドレール１０上における版テーブル１３の位置を考慮した上で、上記記憶してある版１１の初期アライメントを取った直後の時点での版テーブル１３に対する相対的な配置と比較することで検出するようにすればよい。
【００９０】
又、再転写（印刷）工程において印刷対象１２の位置ずれの検出を行う場合は、制御器３３，３３ａで、リアルタイムに検出される上記印刷対象用アライメントステージ２８のトッププレート２９上のＹ軸バーミラー３１とＸ軸バーミラー３２のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置と角度姿勢を、ガイドレール１０上における印刷対象テーブル１４の位置を考慮した上で、上記記憶してある版１１の初期アライメントを取った直後の時点での印刷対象テーブル１４に対する相対的な配置と比較することで検出するようにすればよい。
【００９１】
本発明を適用するオフセット印刷装置は、ブランケットロール１７を、その直下を移動する版１１や印刷対象１２に所要の印圧で接触させて印刷処理を行うことができるようにしてあれば、転写機構部１６におけるブランケットロール１７の回転用駆動機構１８や昇降用駆動機構１９、インキング装置２０を図示した以外のいかなる形式としたオフセット印刷装置に本発明を適用してもよい。又、上記架台９上のガイドレール１０に沿って走行する版テーブル１３や印刷対象テーブル１４のＸ軸方向の所要の点を基準とする絶対位置（座標）を検出できるようにしてあれば、該各テーブル１３，１４の位置検出手段として、レーザ測長器等、リニアスケール以外のいかなる形式の位置検出手段を備えたオフセット印刷装置に適用してもよい。
【００９２】
オフセット印刷装置の印刷対象１２は基板以外のものであってもよい。
【００９３】
図７の実施の形態において、版テーブル１３と印刷対象テーブル１４の各アライメントステージ２３，２８の各トッププレート２４，２９上に設けてある各Ｘ軸バーミラー２７，３２を検出するための距離センサとして、静電容量式変位計４３に代えてレーザ測長器を用いるようにしてもよい。
【００９４】
更に、各実施の形態において、版テーブル１３と印刷対象テーブル１４の各アライメントステージ２３，２８の各トッププレート２４，２９上に設けてある各Ｙ軸バーミラー２６，３１及び各Ｘ軸バーミラー２７，３２について、それぞれの所定個所までのＸ軸方向又はＹ軸方向の距離を計測するために用いる各距離センサは、それぞれの設置個所より、各々対応する計測対象個所までの距離を、版１１や印刷対象１２について補正することが所望される微小な位置ずれの量よりも細かい分解能で計測することができるようにしてあれば、静電容量式変位計やレーザ測長器以外のいかなる形式の距離センサを用いるようにしてもよい。
【００９５】
版テーブル１３と印刷対象テーブル１４の各アライメントステージ２３，２８の各トッププレート２４，２９上に設ける各Ｙ軸バーミラー２６，３１及び各Ｘ軸バーミラー２７，３２は、版テーブル１３と印刷対象テーブル１４がブランケットロール１７の直下位置を走行するときに、それぞれ所定の個所を対応する距離センサで検出することができるようにしてあれば、上記各トッププレート２４，２９上における配置や、大きさを適宜変更してもよい。更には、上記各トッププレート２４，２９の側面や下面に取り付けるようにしてもよい。
【００９６】
更に本発明は、印刷ロールとしての版胴を、その下方を走行する移動テーブルに設けたアライメントステージ上に保持させた印刷対象に所要の印圧で接触させて印刷処理を行う形式の印刷装置にて、上記印圧の荷重を受ける印刷対象に生じる微小な位置ずれを補正する場合に応用することも可能である。
【００９７】
その他本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得ることは勿論である。
【符号の説明】
【００９８】
１０  ガイドレール
１１  版
１２  印刷対象
１３  版テーブル
１４  印刷対象テーブル
１７  ブランケットロール
２３  版用アライメントステージ
２４  トッププレート
２６  Ｙ軸バーミラー
２７  Ｘ軸バーミラー
２８  印刷対象用アライメントステージ
２９  トッププレート
３１  Ｙ軸バーミラー
３２  Ｘ軸バーミラー
３３，３３ａ  制御器
３４  レーザ測長器（距離センサ）
３５  レーザ測長器（距離センサ）
３６ａ，３６ｂ  静電容量式変位計（距離センサ）
３７  レーザ測長器（距離センサ）
３８  レーザ測長器（距離センサ）
４１ａ，４１ｂ  レーザ測長器（距離センサ）
４２ａ，４２ｂ  レーザ測長器（距離センサ）
４３  静電容量式変位計（距離センサ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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