(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
任意の液体に対して値が温度と共に変化する変数用のセンサ要素の温度依存性を測定する方法であって、
前記液体の前記温度は経時的に変化し、
前記方法は前記液体の３センサ測定に適用され、
前記センサ要素によって生成されたデータを、前記温度の変化と同時に収集し、
その後、前記センサ要素の前記温度依存性の補償アルゴリズムの係数を決定するために、異なる温度において前記センサ要素によって生成されたデータを用いて、前記温度変化と他の測定変数との間に相関を求め、
以下の式を用いて、液体の前記測定変数である相対湿度の前記温度依存性を示すことを特徴とし、
ａｗ＝ｅｘｐ（ａ／Ｔ＋ｂ）
ａｗは前記相対湿度、Ｔは前記温度、ａ及びｂは前記温度の関数として前記相対湿度を示すグラフから導出される定数であり、定数ａは該グラフの勾配から導出され、一方、定数ｂはＴ＝０のときのａｗの値である、方法。  
【請求項２】
任意の液体に対して値が温度と共に変化する変数用のセンサ要素の温度依存性を測定する方法であって、
前記液体の前記温度は経時的に変化し、
前記方法は前記液体の３センサ測定に適用され、
前記センサ要素によって生成されたデータを、前記温度の変化と同時に収集し、
その後、前記センサ要素の前記温度依存性の補償アルゴリズムの係数を決定するために、異なる温度において前記センサ要素によって生成されたデータを用いて、前記温度変化と他の測定変数との間に相関を求め、
以下の式を用いて、或る温度Ｔ１における液体の前記測定変数である相対湿度を示すことを特徴とし、
ａｗ（Ｔ１）＝ｅｘｐ(ａ／Ｔ１ ＋ ｂ)×［ａｗ（Ｔ２）／ｅｘｐ（ａ／Ｔ２＋ｂ）]
ａｗは前記相対湿度、Ｔ２はＴ１と異なる所定温度であり、Ｔ２に対して前記相対湿度の前記値が既知であり、ａ及びｂは前記温度の関数として前記相対湿度を示すグラフから導出される定数であり、定数ａは該グラフの勾配から導出され、一方、定数ｂはＴ＝０のときのａｗの値であり、該式は前記液体の水分含量のみに依存する、方法。
【請求項３】
任意の液体に対して値が温度と共に変化する変数用のセンサ要素の温度依存性を測定する方法であって、
前記液体の前記温度は経時的に変化し、
前記方法は前記液体の３センサ測定に適用され、
前記センサ要素によって生成されたデータを、前記温度の変化と同時に収集し、
その後、前記センサ要素の前記温度依存性の補償アルゴリズムの係数を決定するために、異なる温度において前記センサ要素によって生成されたデータを用いて、前記温度変化と他の測定変数との間に相関を求め、
以下の式を用いて前記センサ要素の静電容量の前記温度依存性を示すことを特徴とし、
Ｃｅｐｓ＝ａ×Ｔ＋Ｃｅｐｓ０ 
Ｃｅｐｓは前記静電容量、Ｔは前記温度、Ｃｅｐｓ０はＴ＝０における前記静電容量の値であり、ａは前記温度の関数として前記静電容量を示すグラフの勾配から導出される定数である、方法。
【請求項４】
任意の液体に対して値が温度と共に変化する変数用のセンサ要素の温度依存性を測定する方法であって、
前記液体の前記温度は経時的に変化し、
前記方法は前記液体の３センサ測定に適用され、
前記センサ要素によって生成されたデータを、前記温度の変化と同時に収集し、
その後、前記センサ要素の前記温度依存性の補償アルゴリズムの係数を決定するために、異なる温度において前記センサ要素によって生成されたデータを用いて、前記温度変化と他の測定変数との間に相関を求め、
以下の式を用いて前記センサ要素の静電容量を示すことを特徴とし、
Ｃｅｐｓ（Ｔｃｏｎｓｔ，ａｗ＝０）＝Ｃｅｐｓ（Ｔｃｏｎｓｔ）−ａ×ａｗ（Ｔｃｏｎｓｔ）  
ａｗは前記相対湿度、Ｃｅｐｓは前記静電容量、Ｔｃｏｎｓｔは所定点における前記測定温度であり、定数ａは前記温度の関数として前記静電容量を示すグラフの勾配から導出される比例係数である、方法。
【請求項５】
現場較正法が適用されることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
前記３センサ測定における３つの前記測定変数は、相対湿度、誘電定数、及び前記温度であることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
前記温度変化を生じさせる加熱又は冷却は、測温抵抗体を用いて実行することができるか、又は別個の加熱／冷却要素を用いて行うことができることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
前記別個の加熱／冷却要素は、測定プローブに取着されるか又は前記液体の容器のケーシング内に取着されることを特徴とする、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記測定変数用のセンサ、該センサを取り囲む前記液体、及び温度センサは、測定点が選択されるときにほぼ同一温度であることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
前記温度変化に起因する測定値の誤差の補償のために用いる、請求項１〜９のいずれか１項に記載の方法の使用法。
【請求項１１】
前記センサ要素の静電容量の変化と、誘電定数との間に以下の相関を得ることができることを特徴とし、
ε（Ｔｃｏｎｓｔ）＝Ｆ（Ｃｅｐｓ（Ｔｃｏｎｓｔ））  
Ｆは相関関数を示し、εは前記誘電定数、Ｃｅｐｓは前記静電容量、及びＴｃｏｎｓｔは所定点における測定温度である、請求項１〜９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１２】
前記センサ要素の前記静電容量の変化と、前記誘電定数との間に以下の相関を得ることができることを特徴とし、
ε（Ｔｃｏｎｓｔ，ａｗ＝０）＝Ｆ（Ｃｅｐｓ（Ｔｃｏｎｓｔ，ａｗ＝０））  
Ｆは相関関数を示し、εは前記誘電定数、Ｃｅｐｓは前記静電容量、ａｗは相対湿度、及びＴｃｏｎｓｔは所定点における前記測定温度である、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記誘電定数ε（Ｔｃｏｎｓｔ，ａｗ＝０）及びε（Ｔｃｏｎｓｔ）が既知である場合、水分含量を計算することができ、これらの式の相違は、水に起因するεの増加分に等しく、
ε（Ｔｃｏｎｓｔ）−ε（Ｔｃｏｎｓｔ，ａｗ＝０）＝ ｄε（ｗａｔｅｒ）  
さらに、
dε（ｗａｔｅｒ）／８０×１０ｅｘｐ６＝ｗａｔｅｒ ｃｏｎｔｅｎｔ（ｉｎ ｐｐｍ）  
であることを特徴とする、請求項１１又は１２に記載の方法。
【請求項１４】
液体の３センサ測定に用いられ、任意の液体に対して値が温度と共に変化する変数用の前記センサの温度依存性を測定し、同時に前記センサによって生成されたデータを収集する装置であって、
変数用のセンサ（３）と、
少なくとも１つのプローブ（１）と、
前記少なくとも１つのプローブ（１）を囲む液体用容器（２）と、を備え、
温度変化手段（４）と、
温度センサ（５）と、
データ収集手段（６）と、
必要な較正係数の計算手段（７）と、
をさらに備え、
前記装置は、前記センサの前記温度依存性の補償アルゴリズムの係数を決定するために、異なる温度において前記センサによって生成されたデータを用いて、前記温度変化と他の測定変数との間に相関を求め、
以下の式を用いて、液体の前記測定変数である相対湿度の前記温度依存性を示すことを特徴とし、
ａｗ＝ｅｘｐ（ａ／Ｔ＋ｂ）
ａｗは前記相対湿度、Ｔは前記温度、ａ及びｂは前記温度の関数として前記相対湿度を示すグラフから導出される定数であり、定数ａは該グラフの勾配から導出され、一方、定数ｂはＴ＝０のときのａｗの値である、装置。
【請求項１５】
２つのプローブ（１）を備え、他方が測定に用いられる間に該プローブの一方は加熱に用いられ、該プローブ（１）には、前記液体用容器（２）が取着されることを特徴とする、請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
１つのプローブ（１）を備え、該プローブは油が充填される前記液体用容器（２）内に位置し、
その後、前記容器（２）は加熱され、測定点が冷却曲線から収集されることを特徴とする、請求項１４に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
［発明の詳細な説明］
本発明は、計器の設置中にセンサの温度依存性の補償アルゴリズムの係数を決定する、請求項１に記載の方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
湿度測定及び較正においては、プローブ及び測定環境の温度が大きな役割を果たす。例を挙げると、環境及びプローブ間の小さな温度差さえ、例えば、センサ表面に凝縮する水に起因して、誤差を発生させ得る。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
センサの温度依存性は、測定される液体に依存する。例えば、水溶液の挙動は、オイルベース液体の挙動と大きく異なる。本発明は、センサによって生成されたデータを収集し、任意の液体に対する任意の選択された変数用のセンサの温度依存性を測定する、新しい方法を提供する。
【０００４】
例えば、相対湿度及び誘電定数の温度依存性は、油質測定の計算に必要とされるため、これらの用途に特化した係数を用いることができると、計算式を非常に向上させることができる。さらに、相対湿度の温度補償により、油質センサを用いて水分含量を決定することが可能となる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、センサ要素によって生成されたデータを収集し、任意の液体に対して値が温度と共に変化する変数用のセンサの温度依存性を測定する方法に関する。本方法において、液温は経時的に変化する。
【０００６】
本方法は、液温を経時的に変化させ、温度の変化と同時にセンサ要素によって生成されたデータを収集すると共に、センサ要素によって異なる温度で生成されたデータを用いてセンサ要素の温度依存性の補償アルゴリズムのための係数を決定することで、温度変化と他の測定変数との間に相関を求めることを特徴とする。
【０００７】
より正確には、本発明の方法は、請求項１の特徴部の記載内容により特徴付けられる。
【０００８】
本発明の装置は、請求項１４の特徴部の記載内容により特徴付けられる。
【０００９】
センサの温度依存性は、測定される液体にも依存するため、本発明の方法により、特に、測定が組み込まれている用途に対しての個々の係数を正確に決定することが可能となる。
【００１０】
本発明の効果には、水分含量を示し温度に依存しない値を、温度補償を用いて相対湿度（ａｗ）から計算できることが含まれる。水分含量（ｐｐｍ）が特定の時点で既知であれば、上述の値を水分含量に変換することができ、それによりｐｐｍ計算を計器に含めることができる。
【００１１】
本発明の方法は、該方法を用いて、センサの温度依存性の補償アルゴリズムの係数を計器の設置中に決定することができる方法に関する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
上記の方法に適した装置は、少なくとも以下の部品、測定プローブ１、液体用容器２、を有する（図１）。
【００１３】
より正確には、装置は以下の部品、変数用のセンサ３、温度変化手段４、温度センサ５、データ収集手段６、必要な較正係数を計算する手段７、を有する。
【００１４】
本発明の典型的な実施形態によると、装置は以下の詳細、コンデンサ８、ａｗ−センサ９、プローブのベース１０、較正用収容部１１、ボールバルブ１２、取付け構造部１３、押下ハンドル１４、ボールバルブハンドル１５、溝１６、クラスプナット（ｃｌａｓｐ  ｎｕｔ）１７、フィルタ１８、をさらに有する（図５及び図６）。
【００１５】
センサ及び装置の温度変化手段は、液体用容器２が取着される少なくとも１つの測定プローブ１に取付けられることが好ましい（図１）。
【００１６】
相対湿度（ａｗ）、誘電定数、又は任意の測定可能変数の温度依存性、並びに少なくとも１つのセンサ要素３に起因する上記の変数への温度依存性は、液体用容器２等のシステムから取得される液温を、任意の温度変化手段４を用いて変化させ、同時に、任意のデータ収集手段６を用いて少なくとも１つのセンサ要素３によって生成されたデータを収集することにより、測定することができる。この結果、温度変化と、他の測定変数との間の相関が、必要な較正係数を計算する任意の手段７を用いて計算することにより得られる。
【００１７】
加熱を、測温抵抗体を用いて実行することができる。又は、加熱／冷却を、別個の加熱／冷却要素を用いて行うことができる。該別個の加熱／冷却要素は、測定プローブ１に取着するか又は液体用容器２のケーシング内に取着することができる。
【００１８】
温度依存性は、図４におけるように、少なくとも１つの変数に対して初期測定を実行し、温度を変化させ、上記の少なくとも１つの変数に対してもう１度測定を実行し、最後に必要な計算／較正を実行することにより決定される。場合に応じて、さらに測定ステップを実行してもよい。
【００１９】
本発明の一実施形態によれば、測定変数は、相対湿度（ａｗ）である。これらの測定では、現場較正法が適用される。サンプルの相対湿度を温度依存性の変数として表すことができる。
【００２０】
温度依存性は、任意の関数ｆ（Ｔ）として以下のように表現することができる。
ａｗ＝f（Ｔ）  （１）
【００２１】
本実施形態では、以下の式が用いられる。
ａｗ＝ｅｘｐ（ａ／Ｔ＋ｂ）  （２）
ここで、ａｗは相対湿度であり、Ｔは温度である。一方、ａ及びｂは定数である。液体の相対湿度の測定された温度依存性の例が、図３ａに示される。定数ａ、ｂは、例えば、図３ａにおけるようなグラフから導出することができ、ａはグラフの勾配から計算され、ｂはＴ＝０のときの相対湿度（ａｗ）の値である。
【００２２】
好ましくは、測定変数のセンサ３、それらを取り囲む液体及び温度センサ５は、測定点が選択された（chosen）とき、ほぼ同一温度である。
【００２３】
上述の式（１）を用いて、比を求めることができ、この比を用いると、異なる温度で異なる水分含量を割当てることができる。それにより、特定温度における相対湿度の関数ａｗ（Ｔｃｏｎｓｔ）が得られる。関数は、水分含量のみに依存する。こうして、用いられる式は、
ａｗ（Ｔ１）＝ｆ（Ｔ１）×［ａｗ（Ｔ２）／ｆ（Ｔ２）］  （３）
であってもよく、すなわちより具体的には、
ａｗ（Ｔ１）＝ｅｘｐ（ａ／Ｔ１＋ｂ）×［ａｗ（Ｔ２）／ｅｘｐ（ａ／Ｔ２＋ｂ）］  （４）
である。ここで、ａｗは相対湿度、Ｔ２はＴ１とは異なる所定の温度であり、Ｔ２に対しては相対湿度値が既知である。ａ及びｂは、温度の関数として相対湿度を示すグラフから導出される定数であり、ａは、グラフの勾配から導出されるのに対して、ｂは、Ｔ＝０のときのａｗ値である。式は、液体の水分含量のみに依存する。
【００２４】
上述の現場較正法を用いて、液温の挙動を示す値を計算することができる。図３ｂでは、異なる水分含量における液体の相対湿度の温度依存性がグラフにより示されている。
【００２５】
さらに、特定の相対湿度及び特定の温度における水分含量が分かっているとき、例３におけるように未知のサンプルの水分含量を計算することができる。液体の水分含量は、温度変化の間、大きく変化しないことが仮定されている。
【００２６】
さらに、本発明の方法では、温度変化が測定装置の設置を考慮して理にかなった時間で生じるように、加熱／冷却能力、液体の体積及び熱伝導は最適化される。
【００２７】
本発明の別の実施形態によると、本発明の方法は、液体の３センサ測定（ｔｒｉｐｌｅ  ｓｅｎｓｏｒ  ｍｅｓｕｒｅｍｅｎｔｓ）に対して適用される。現場較正法がこれらの測定で適用される。測定変数は、上述の実施形態におけるような相対湿度、並びに誘電定数及び温度である。
【００２８】
一定温度における相対湿度ａｗ（Ｔｃｏｎｓｔ）は、式（２）を用いて決定される一方、誘電率センサの温度依存性は、上記と同様な現場較正法を用いて決定される。
【００２９】
上述のように、温度依存性は、以下のような任意の関数ｆ（Ｔ）として表現することができる。
Ｃｅｐｓ＝ｆ（Ｔ）  （５）
【００３０】
本実施形態では、以下の式が用いられる。
Ｃｅｐｓ＝ａ×Ｔ＋Ｃｅｐｓ０  （６）
ここで、Ｔは温度、Ｃｅｐｓは静電容量、Ｃｅｐｓ０はＴ＝０における静電容量の値、ａは静電容量を温度の関数として示したグラフの勾配から導出される定数である。図３ｃには、センサの静電容量の測定された温度依存性の一例が示されている。
【００３１】
図５に示すように、本実施形態の測定に用いられるプローブ１は、通常、電極により形成されて誘電定数を測定するコンデンサ８と、プローブ１のベース１０に位置するａｗセンサ９を有する。プローブ１は、さらに温度変化手段４及び温度センサ５（図５には示されていない）を有していてもよい。
【００３２】
式（６）は、以下の形で表現することもでき、この形では、所定温度Ｔｃｏｎｓｔにおける静電容量が与えられる。
Ｃｅｐｓ（Ｔｃｏｎｓｔ）＝Ｃｅｐｓ（Ｔ）ａ×（ＴＴｃｏｎｓｔ）  （７）
【００３３】
本実施形態では、温度にも水分含量にも依存しないＣｅｐｓの値が決定される。こうして、式（４）は、変数に関する相関関数Ｆ（ａｗ（Ｔｃｏｎｓｔ））を示す、以下の形に書換えられる。
Ｃｅｐｓ（Ｔｃｏｎｓｔ，ａｗ＝０）＝Ｃｅｐｓ（Ｔｃｏｎｓｔ）Ｆ（ａｗ（Ｔｃｏｎｓｔ））  （８）
又は、より一般的には、
Ｃｅｐｓ（Ｔｃｏｎｓｔ，ａｗ＝０）＝ｆ（Ｔｃｏｎｓｔ）  （９）
である。
【００３４】
相関が線形であるとき、比例係数（ａ）が得られる。比例係数は、図３ｃのグラフの勾配のような、線の勾配から計算することができる。こうして、式は以下の形を取る。
Ｃｅｐｓ（Ｔｃｏｎｓｔ，ａｗ＝０）＝Ｃｅｐｓ（Ｔｃｏｎｓｔ）−ａ×ａｗ（Ｔｃｏｎｓｔ） （１０）
ここで、ａｗは相対湿度、Ｃｅｐｓは誘電定数、Ｔｃｏｎｓｔは所定点における測定温度、ａは誘電定数を温度の関数として示したグラフの勾配から導出される比例係数である。
【００３５】
誘電定数の変化は、ゆっくりとした速度で生じるため、Ｆ（ａｗ（Ｔｃｏｎｓｔ））項は、装置の設置後の自己較正を用いるか又は２以上の水分含量において現場較正装置を用いて決定することができる。
【００３６】
例えば、プローブ１は、図６ａ及び図６ｂに示すシステムを用いて較正することができる。これらの図は、通常は油である測定される液体を収容する、通常は管である液体用容器２等の物体に、プローブ１が取着される解決法を示す。較正用収容部１１は、取付け構造部１３内のボールバルブ１２により形成され、プローブ１を、必要があればいつでも容易に較正することができるようにする。較正は、手動の押下ハンドル１４を用いて、プローブ１を下側位置（図６ａ）からボールバルブ１２を通過させて上側位置（図６ｂ）まで持上げるだけで簡単に実行することができる。さらに、ボールバルブ１２を、ボールバルブハンドル１５を用いて操作することができる。センサ１の頭部における溝１６は、センサ１の上側調整限界を示す。プローブ１を容易に摺動させ、且つ取付け構造部１３を安定にするために、クラスプナット１７を締着する必要がある。
【００３７】
構造部１３はさらに、センサ３、５、９を汚染から保護するように取付けられるフィルタ１８を有する。
【００３８】
センサ３の静電容量の変化は、誘電定数が既知のサンプルの静電容量を測定することにより誘電定数に変換することができる。この結果、以下の相関が得られる。
ε（Ｔｃｏｎｓｔ）＝Ｆ（Ｃｅｐｓ（Ｔｃｏｎｓｔ））  （１１）
ε（Ｔｃｏｎｓｔ，ａｗ＝０）＝Ｆ（Ｃｅｐｓ（Ｔｃｏｎｓｔ，ａｗ＝０））  （１２）
【００３９】
静電容量の誘電定数への変換は、このεのデータを用いて、温度依存性が決定されるか又は誘電定数の温度依存性に関する上述の計算が行われる前に既に行うことができる。
【００４０】
水分含量は、誘電定数ε（Ｔｃｏｎｓｔ，ａｗ＝０）及びε（Ｔｃｏｎｓｔ）が既知である場合に、計算することができる。これらの間の相違は、水に起因するεの増加分に等しい。
ε（Ｔｃｏｎｓｔ）−ε（Ｔｃｏｎｓｔ，ａｗ＝０）＝ｄε（ｗａｔｅｒ）  （１３）
そしてさらに、
ｄε（ｗａｔｅｒ）／８０×１０ｅｘｐ６＝ｗａｔｅｒ ｃｏｎｔｅｎｔ （ｉｎ ｐｐｍ）  （１４）
である。
【００４１】
本実施形態の式に対して補正関数を決定することもできる。その際、水分含量が既知のサンプルを用いて、各センサに対してこの関数の係数が計算される。このことは、既知の時間において、既知の少なくとも１点に対して水分含量が分かっているときには、工場較正により実行するか又は現場較正を用いて実行することができる。
【００４２】
上述の実施形態の計算は、温度変化に起因して測定中に生じる可能性のある任意の誤差を修正するのに用いることができる。
【００４３】
本発明は、さらに、任意の液体に対して、値が温度と共に変化する変数用のセンサ３の温度依存性を測定し、同時にセンサ３によって生成されたデータを収集する装置に関する。装置は、少なくとも１つの測定プローブ１及びそれに取着される液体用容器２から成る。
【００４４】
好適な一実施形態によると、装置は、２つのプローブ１から成り、他方が測定のために用いられる間に、それらの一方は加熱のために用いられる。双方のプローブ１は、上述の液体用容器２により囲まれている。
【００４５】
好適な別の実施形態によると、装置は、容器２内に位置する１つのプローブ１のみから成る。１つのプローブが加熱及び測定の両方を実行する。
【００４６】
容器２は油で充填された後、所望の温度まで加熱され、冷却曲線から測定点が選択される。
【実施例１】
【００４７】
測定セットアップ１
本発明の一の測定セットアップでは、２つのプローブが用いられ、他方が測定のために用いられる間に、それらの一方は加熱のために用いられる。該セットアップを、図１ａに示す。図２ａは、上述のセットアップを用いて得られた測定結果を示し、温度及び相対湿度が時間の関数として示されている。
【実施例２】
【００４８】
測定セットアップ２
本発明の別の測定セットアップでは、１つのプローブが用いられ、プローブは油が充填された容器内に位置している。その後、容器がＰｔ１００を用いて加熱され、冷却曲線から測定点が取られる。該セットアップを図１ｂに示す。一方、図２ｂ及び図２ｃは、上述のセットアップを用いて得られた測定結果を示し、温度の関数として、測定された相対湿度及び計算された相対湿度が、比較されている。図２ｂには、加熱が３００秒間継続された状況を示す。一方、図２ｃには、加熱が６００秒間継続された状況を示す。これらの測定における冷却率は、約１．５度／分である。
【実施例３】
【００４９】
未知のサンプルの水分含量の計算
ａｗ＝０．５及びＴ＝３２℃が知られている場合、水分含量は２００ｐｐｍである。この場合、式（２）、ａｗ（Ｔ１）＝ｅｘｐ（ａ／Ｔ１＋ｂ）×［ａｗ（Ｔ２）／ｅｘｐ（ａ／Ｔ２＋ｂ）］を用いて、ａｗ＝０．２２及びＴ＝７２℃の状態に対して以下の計算がなされる。
ｅｘｐ（ａ／（３２＋２７３．１６）＋ ｂ） ×［ａｗ（７２）／ｅｘｐ（ａ ／（７２＋２７３，１６）＋ｂ］] ＝ ０．６５７
そしてさらに、
０．６５７／０．５×２００ ｐｐｍ＝２６２．８ ｐｐｍである。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１ａ】本発明で用いられる測定セットアップのパターンを示す。
【図１ｂ】本発明で用いられる測定セットアップのパターンを示す。
【図２ａ】上述の測定セットアップを用いて得られた測定結果を示し、図２ａのグラフは図１ａのセットアップを用いた測定で得られる。図２ａにおいて、温度（Ｔ）及び相対湿度（ａｗ）は時間の関数として示されている。
【図２ｂ】上述の測定セットアップを用いて得られた測定結果を示し、図２ｂのグラフは図１ｂのセットアップを用いた測定で得られる。図２ｂにおいて、測定された相対湿度及び計算された相対湿度は温度の関数として示されている。
【図２ｃ】上述の測定セットアップを用いて得られた測定結果を示し、図２ｃのグラフは図１ｂのセットアップを用いた測定で得られる。図２ｃにおいて、測定された相対湿度及び計算された相対湿度は温度の関数として示されている。
【図３ａ】相対湿度（ａｗ）及び静電容量（Ｃ）の温度依存性をグラフにより示し、相対湿度が温度の関数として示されている。
【図３ｂ】相対湿度（ａｗ）及び静電容量（Ｃ）の温度依存性をグラフにより示し、相対湿度が温度の関数として異なる水分含量に対して示されている。
【図３ｃ】相対湿度（ａｗ）及び静電容量（Ｃ）の温度依存性をグラフにより示し、静電容量が温度の関数として示されている。
【図４】本発明の方法で必要とされるステップ、すなわち１回目の測定ステップ、温度の変化ステップ、２回目の測定ステップ、及び計算／較正ステップを示すスキームである。
【図５】本発明の典型的な実施形態で用いられるプローブの図である。
【図６ａ】本発明の典型的な実施形態で用いられる測定法を示し、測定中のプローブ位置を示す図である。
【図６ｂ】本発明の典型的な実施形態で用いられる較正法を示し、較正中のプローブ位置を示す図である。
【図１ａ】
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【図１ｂ】
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【図２ａ】
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【図２ｂ】
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【図２ｃ】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図３ｃ】
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【図４】
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【図５】
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【図６ａ】
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【図６ｂ】
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