(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工材を密閉する真空チャンバと、該真空チャンバ内で前記被加工材を上下方向に加圧焼結または接合する上下一対の電極と、回転軸上部に設けられ、周辺部が前記上下一対の電極間を水平に回転通過するターンテーブルとを備えた放電焼結装置において、前記ターンテーブル周辺部に前記上下一対の電極の一方の下部電極が通過自在の貫通孔を円周方向に所定の間隔をおいて設けると共に、該貫通孔上部に導電性の下部スペーサを昇降可能に保持する下部スペーサ保持部を設け、該下部スペーサ保持部に保持された前記下部スペーサに被加工材位置決め部材を着脱可能に設け、前記ターンテーブル上に前記被加工材位置決め部材を離隔して包囲する保温カバーを設け、前記上下一対の電極間に位置決めされた前記被加工材を加圧焼結または接合することを特徴とする放電焼結装置。
【請求項２】
前記被加工材位置決め部材と前記保温カバーとに前記被加工材からの輻射熱を前記真空チャンバの外部の計測器へ通過させる計測用覗き穴を設けたことを特徴とする請求項１記載の放電焼結装置。
【請求項３】
前記計測用覗き穴が上下方向に延伸する長穴であることを特徴とする請求項２記載の放電焼結装置。
【請求項４】
前記保温カバーを縦方向に２分割可能に設けると共に、前記被加工材位置決め部材上から下までの縦方向のスリットを設けたことを特徴とする請求項３記載の放電焼結装置。
【請求項５】
前記回転軸の下方から上端部へ連通する冷却水供給路と冷却水排水路とを設け、前記冷却水供給路下部から流入して前記貫通孔の周囲に設けた冷却水循環路を経由して前記冷却水排水路下部から流出することを特徴とする請求項１に記載の放電焼結装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は放電焼結装置に関する。さらに詳細には、複数個のワークを載置可能なターンテーブルを真空チャンバー内に設けた放電焼結装置において、より高熱効率かつ高精度な接合または焼結ができる放電焼結装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
本願発明に関連する技術として、特許文献１に記載の如きロータリテーブルを真空チャンバー内に設けた通電加圧焼結装置がある。
【０００３】
上記特許文献１に記載の通電加圧焼結装置（１）は、それぞれ真空に保たれた予熱室、焼結室および冷却室を直線的に設けた従来のトンネル形の連続焼結装置を改良したものであり、一つの真空チャンバー（２）内で予熱、焼結および冷却の工程を行うことにより装置の構造を簡単にしたことを特徴とするものである。
【０００４】
より詳細には、前記通電加圧焼結装置（１）におけるロータリテーブル（５）上に配置される焼結型（８０）は、中空円筒状のモールド（８１）と、このモールド（８１）の円筒部分に嵌合する上下一対のダイス（８２、８３）からなり、前記モールド（８１）と上下一対のダイス（８２、８３）とで形成する中空部分に、焼結材である銅、ニッケル、アルミナ（Al２O３）等の粉末をを充填した後に、上下加圧電極（２６、２７）で圧縮すると共に通電焼結するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１０５５０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の通電加圧焼結装置においては、焼結時に高温度になったモールド（８１）からの輻射熱で真空チャンバ（２）の温度が上昇するという問題がある。
【０００７】
また、前記モールドからの輻射熱は、焼結時における熱エネルギが前記真空チャンバから外部へ散逸させて熱効率を低下させる。
【０００８】
また、高温になった前記モールドの熱が焼結型保持部（６０）から前記ロータリテーブルへ熱伝導により伝わり、ロータリテーブルおよびロータリテーブルの軸（６）が熱変形し精度の高い焼結または接合ができないという問題もある。
【０００９】
本発明は上述の如き問題を解決するために成されたものであり、本発明の課題は、複数個のワークを載置可能なターンテーブルを真空チャンバー内に備えた放電焼結装置において、より高熱効率かつ高精度な焼結または接合ができる放電焼結装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述の課題を解決する手段として請求項１に記載の放電焼結装置は、被加工材を密閉する真空チャンバと、該真空チャンバ内で前記被加工材を上下方向に加圧焼結または接合する上下一対の電極と、回転軸上部に設けられ、周辺部が前記上下一対の電極間を水平に回転通過するターンテーブルとを備えた放電焼結装置において、前記ターンテーブル周辺部に前記上下一対の電極の一方の下部電極が通過自在の貫通孔を円周方向に所定の間隔をおいて設けると共に、該貫通孔上部に導電性の下部スペーサを昇降可能に保持する下部スペーサ保持部を設け、該下部スペーサ保持部に保持された前記下部スペーサに被加工材位置決め部材を着脱可能に設け、前記ターンテーブル上に前記被加工材位置決め部材を離隔して包囲する保温カバーを設け、前記上下一対の電極間に位置決めされた前記被加工材を加圧焼結または接合することを特徴とするものである。
【００１１】
請求項２に記載の放電焼結装置は、請求項１記載の放電焼結装置において、前記被加工材位置決め部材と前記保温カバーとに前記被加工材からの輻射熱を前記真空チャンバの外部の計測器へ通過させる計測用覗き穴を設けたことを特徴とするものである。
【００１２】
請求項３に記載の放電焼結装置は、請求項２記載の放電焼結装置において、前記計測用覗き穴が上下方向に延伸する長穴であることを特徴とするものである。
【００１３】
請求項４に記載の放電焼結装置は、請求項３記載の放電焼結装置において、前記保温カバーを縦方向に２分割可能に設けると共に、前記被加工材位置決め部材上から下までの縦方向のスリットを設けたことを特徴とするものである。
【００１４】
請求項５に記載の放電焼結装置は、請求項１記載の放電焼結装置において、前記回転軸の下方から上端部へ連通する冷却水供給路と冷却水排水路とを設け、前記冷却水供給路下部から流入して前記貫通孔の周囲に設けた冷却水循環路を経由して前記冷却水排水路下部から流出することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、被加工材保持体の周囲に被加工材を保温するための保温カバーを設けたので、被加工材からの輻射熱で温度が上昇した保温カバーの輻射熱を被加工材に戻すことができるため、被加工材の加熱に要するエネルギと加熱時間を短縮することができる。
【００１６】
また、被加工材を充填する筒状の被加工材位置決め部材をターンテーブルに設けた下部スペーサに着脱可能に嵌合装着するので、複数の被加工材を接合するする際においても高精度で接合することができる。また、前記被加工材位置決め部材に縦方向のスリットを設けたので、被加工材が熱膨張しても被加工材位置決め部材が破損することが無い。
【００１７】
また、被加工材保持体の周囲に保温カバーを設けたことにより、真空チャンバへの輻射熱が減少して真空チャンバの温度上昇を抑制することができる。これにより真空チャンバの冷却効率が上昇する。さらに、被加工材位置決め部材と前記保温カバーに前記被加工材からの輻射熱を前記真空チャンバの外部から検出可能な計測用覗き穴を設けたので、真空チャンバの外部から被加工材の温度を計測することができる。
【００１８】
被加工材位置決め部材の周囲に配置した保温カバーは、縦方向に２分割可能に設けてあるので、狭い真空チャンバ内におけるターンテーブル上への設置を容易に行うことができる。
【００１９】
また、ターンテーブルの回転軸下部からターンテーブルへ流入してターンテーブルに設けた冷却水循環路を経由して前記回転軸下部から流出するターンテーブル冷却水路を設けた構成であるので、ターンテーブルと回転軸の両方を効率的に同時冷却することができ、焼結または接合加工時におけるターンテーブルの熱歪みを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本願発明に係る放電焼結装置の正面図。
【図２】図１の側面図で一部を破断して示した図。
【図３】図２におけるＡ−Ａ断面図。
【図４】図２におけるＢ−Ｂ断面図。
【図５】図３におけるＣ−Ｃ断面図。
【図６】図３におけるＤ−Ｄ断面図。
【図７】図６の上面図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を図面によって説明する。
【００２２】
本願発明の実施の形態を図面に基いて説明する。図１、図２には本願発明の放電焼結装置１の正面図と側面図であり、図２は焼結または接合を行う真空チャンバ３の概略説明図である。
【００２３】
図１、図２に示すように、放電焼結装置１は前記真空チャンバ３を備える放電焼結装置本体５と放電焼結用の電源装置７とを備えている。前記真空チャンバ３は前記放電焼結装置本体５に例えば溶接等の適宜な結合手段により一体的に固定してある。
【００２４】
図３を合わせて参照するに、前記真空チャンバ３は水平方向に延伸した円筒状の密閉容器であり、この真空チャンバ３の側壁は、内壁９と外壁１１を有する二重構造になっていて、この、内壁９と外壁１１の間を冷却水１３を循環させることによりほぼ常温程度に冷却できるように設けてある。
【００２５】
前記真空チャンバ３は、この真空チャンバ３の下方において、例えば溶接により前記放電焼結装置本体５に一体的に設けた真空チャンバ支持板１４に固定してある。
【００２６】
前記真空チャンバ３の上部には、前記真空チャンバ３内部へ上下方向に貫通した上部電極ガイド１５が設けてあり、この上部電極ガイド１５に上部電極１７が昇降可能に嵌合してある。なお、上部電極ガイド１５と上部電極１７との間はシール部材により気密に設けてある。また、前記上部電極１５の下面には黒鉛からなる上部スペーサ１８が適宜な手段により装着してある。
【００２７】
前記真空チャンバ３外部の上方には、前記真空チャンバ支持板１４から立設した複数の支持ロッド１９に固定したシリンダ支持部材２１が設けてある。そして、このシリンダ支持部材２１には、下方向へ出没自在のピストンロッドを有する上部油圧シリンダ２３が設けてあり、この上部油圧シリンダ２３のピストンロッドに前記上部電極１７の上端部が連結してある。
【００２８】
上記構成において、前記上部油圧シリンダ２３を作動させることにより、前記上部電極１７を前記真空チャンバ３内の適宜な位置へ昇降させることができる。
【００２９】
一方、前記上部電極１７の下方には、この上部電極１７に対向する下部電極２５が下部油圧シリンダ２７により昇降可能に設けてある。この下部電極２５は上部電極１７と同様に、前記真空チャンバ３内部へ上下方向に貫通した下部電極ガイド（図示省略）に昇降可能にかつ気密に設けてある。
【００３０】
なお前記下部油圧シリンダ２７は、前記真空チャンバ支持板１４から下方向に伸ばした支持ロッド２９に固定したシリンダ支持部材３１に設けてある。
【００３１】
上記構成において、前記下部油圧シリンダ２７を作動させることにより、前記下部電極２５を前記真空チャンバ３内の適宜な位置へ昇降させることができる。
【００３２】
図２、図３を合わせて参照するに、前記真空チャンバ３の下部には軸受け支持ブロック３３が一体的に設けてある。この軸受け支持ブロック３３には、前記真空チャンバ３の内部で水平に回転する円形のターンテーブル３５の回転軸３７を軸支する軸受けハウジング３９が取り付けてある。
【００３３】
前記軸受けハウジング３９には、前記回転軸３７より少し大径の貫通孔４１を有し、この貫通孔４１の上部には貫通孔４１より大径の段付き穴４３が設けてある。この段付き穴４３に前記回転軸３７が回転可能に係合する鍔付きブッシュ４５ｕを嵌合してある。
【００３４】
前記回転軸３７の上部は、前記鍔付きブッシュ４５ｕとの係合部より若干大径に形成してある。また、前記回転軸３７の上端部のフランジ３７ｆに前記ターンテーブル３５が複数のボルト３２により取り付けてある。なお、ターンテーブル３５とフランジ３７ｆの間には位置決めキー４０が係合させてあり、前記回転軸３７とターンテーブル３５の相対的回転が規制されている。
【００３５】
前記前記鍔付きブッシュ４５ｕの上には、前記回転軸３７の下方向のスラスト荷重を受けるスラスト軸受け４７ｕが設けてあり、このスラスト軸受け４７ｕに前記回転軸３７の大径部の下面が当接係合している。
【００３６】
また、前記鍔付きブッシュ４５ｕとスラスト軸受け４７ｕは、環状の軸受け押さえ４９により前記軸受けハウジング３９の上部に固定してある。なお、前記軸受け押さえ４９と前記回転軸３７との間はシール部材により気密に設けてある。
【００３７】
前記軸受けハウジング３９の下部には、記軸受けハウジング３９の上部と同様に、前記回転軸３７に係合する鍔付きブッシュ４５ｌとスラスト軸受け４７ｌとが押さえナット５１により、前記軸受け支持ブロック３３に固定してある。
【００３８】
上記構成において、前記回転軸３７は前記鍔付きブッシュ４５（ｕ、ｌ）により回転自在に軸支されると共に、回転軸３７にかかる下方向のスラスト荷重は前記スラスト軸受け４７ｕと鍔付きブッシュ４５ｕ介して前記軸受け支持ブロック３３により支持される。
【００３９】
図３に示すように、前記回転軸３７は軸受け支持ブロック３３より下方向に延長して設けてあり、この回転軸３７の下端部は、公知のカップリング５３とトルクリミッタ５５を介してギアードモータ５７の出力軸５８に適宜な伝導機構を介して連結してある。なお、ギアードモータ５７は前記シリンダ支持部材３１に適宜な位置に取付けてある。
【００４０】
前記軸受けハウジング３９の下部には、前記回転軸３７が挿通可能なカバー５９が設けてある。そして、このカバー５９の下面には、前記回転軸３７が回転可能に嵌合する環状の冷却水排水口６１と冷却水供給口６３とが固定板６５を介してカバー５９に重ねて取り付けてある。
【００４１】
前記ターンテーブル３５は、ターンテーブル基台３６上に環状の保温カバーベース３８を一体的に接合した構成となっている。ターンテーブル３５の周辺部のターンテーブル基台３６と前記保温カバーベース３８のそれぞれには、前記下部電極２５が通過自在の同軸の貫通孔６７ａと６７ｂとが円周方向に所定の間隔で設けてある。なお、実施例では、円周を４等配するように、すなわち９０度毎の間隔で設けてある。
【００４２】
前記ターンテーブル３５の保温カバーベース３８に設けた貫通孔６７ｂの上部には、下部スペーサ９３を昇降可能に保持する係合穴９５が下部スペーサ保持部として設けてある。この下部スペーサ９３は前記下部電極２５と被加工材Ｗとの間に配置するものであり、その材質は導電性と耐熱製を備えている必要がある。なお実施例では黒鉛が使用されているが黒鉛に限定されるものではない。
【００４３】
前記下部スペーサ９３上に複数の被加工材Ｗを載置して接合加工をする場合には、接合位置を正確にするために筒状の被加工材位置決め部材９７を使用する。この被加工材位置決め部材９７は、被加工材Ｗの輪郭に係合する筒状をしており、複数の被加工材Ｗを挿入することにより、例えば、図３に示す如く複数の被加工材Ｗ１、Ｗ２およびＷ３を同軸に整列することができるものである。また、焼結加工の場合には、前記被加工材位置決め部材９７の中のＷ１の部分に上パンチ、Ｗ２部分には焼結する粉末が入った型部、Ｗ３の部分に下パンチが入る。また、Ｗ（１、２、３）をセットしたものを２組、３組と被加工材位置決め部材９７に入れて、シリーズで同時焼結することもできる。
【００４４】
前記下部スペーサ９３には、被加工材Ｗを挿入した状態の前記被加工材位置決め部材９７の底部に係合する位置決め穴９８が設けてある。この位置決め穴９８は前記上下電極（１７、２５）と同軸に設けてある。
【００４５】
図６、７を参照するに、前記被加工材位置決め部材９７には上から下までの縦方向のスリット９９と、長穴からなる計測用覗き穴１０１が設けてある。なお、前記被加工材位置決め部材９７の材質には耐熱製の高い黒鉛が適している。前記スリットを設けたことにより、接合加工時に被加工材Ｗが膨張しても加工材位置決め部材９７が割れることがない。
【００４６】
前記被加工材位置決め部材９７を離隔して包囲する縦方向に半円に２分割可能な円筒状の保温カバー６９（ａ、ｂ）を載置する保温カバー受け皿７１が前記保温カバーベース３８にボルト７３により固定してある。また、前記保温カバー６９には、前記加工材位置決め部材９７の計測用覗き穴１０１と同じ高さに同一の長穴からなる計測用覗き穴１０２が設けてある。なお保温カバー６９と保温カバー受け皿７１の材質は共に耐熱製の高い材質である黒鉛を使用しているがセラミックスでもよい。
【００４７】
前記ターンテーブル３５と前記回転軸３７との間を電気的に絶縁するために、前記ターンテーブル基台３６と回転軸３７のフランジ３７ｆ間に絶縁シート７９を入れると共に、ターンテーブル３５を回転軸３７に固定するボルト３２とターンテーブル３５の間にも絶縁体が入れてある。
【００４８】
前記保温カバー６９とターンテーブル３５の間を電気的に絶縁するために、保温カバー６９とボルト７３の間、並びに保温カバー受け皿７１と保温カバーベース３８の間にセラミックス製のワッシャ７５を挿入すると共に、前記ボルト７３と保温カバー受け皿７１の間の間にセラミックス製のブッシュ７７が入れてある。
【００４９】
前記被加工材位置決め部材９７は被加工材Ｗ（１，２，３）と接触するが、接触圧は弱いので両者間の電気抵抗は高い。また、前記被加工材位置決め部材９７は下部スペーサ９３と接触しているが、前記電極１７からの圧力を受けていないので、その接触抵抗も大きい。したがって、電極１７から入った電流は被加工材Ｗ（１，２，３）を通って下部スペーサ９３に流れ、被加工材位置決め部材９７を通る電流は無視できるほど小さいものである。
【００５０】
上述の如き電気的絶縁手段によって、万一前記保温カバー６９が前記上部電極１７に接触しても前記回転軸３７を介して前記ギアードモータ５７へ電流が流れることを防止することができる。
【００５１】
前記黒鉛製の保温カバー６９の保温効果について説明する。物体はすべてその表面から熱エネルギーを放射しており、その熱量は物体の温度が高くなるにつれて急激に増加する。その放射される熱量は、シュテファン＝ボルツマンの法則と呼ばれる次式で与えられる。
（数１）
Ｑ＝４．８８・ε・（Ｔ／１００）４・・・（１）
ここに、Ｑ：固体表面の単位面積から放射される熱量（Ｋｃａｌ）、Ｔ：絶対温度、ε：物体の種類と表面状態に起因する補正係数で黒体が最も高くほぼ１である。
【００５２】
（１）式から分かるように、輻射熱のエネルギーは温度の４乗に比例して放出される。この熱量を前記真空チャンバ３に与え、系外に捨てることはエネルギーの無駄である。被加工材Ｗから放射される熱エネルギーは、先ず前記被加工材位置決め部材９７に吸収される。高温になった被加工材位置決め部材９７は、内側の被加工材Ｗと、外側の保温カバー６９（ａ、ｂ）に熱を放射する。そして、保温カバー６９（ａ、ｂ）の温度が上昇すると、保温カバー６９（ａ、ｂ）は内側と外側に輻射熱を放出する。
【００５３】
本願発明の実施例では、輻射効率が最も高い黒鉛製の被加工材位置決め部材９７と保温カバー６９（ａ、ｂ）を用いている。実際の加工時において、被加工材Ｗの温度を１８００°Ｃにした時、前記保温カバー６９（ａ、ｂ）の温度は約５００°Ｃであった。すなわち、輻射熱の量は絶対温度Ｔの４乗に比例するのであるから（Ｔ／３．６）４となり、約１７０分の１と小さくなった。
【００５４】
次に、前記ターンテーブル３５の冷却手段について説明する。
【００５５】
前記回転軸３７には、下方から上端部へ連通する冷却水供給路８１（ａ,ｂ）と冷却水排水路８３（ａ,ｂ）とが設けてある。前記冷却水供給路８１（ａ,ｂ）の下端部は回転軸３７の側方へ開放した受水口８４が設けてあり、冷却水排水路８３（ａ,ｂ）の下端部には回転軸３７の側方へ開放した排水口８６が設けてある。
【００５６】
前記保温カバーベース３８の前記貫通孔６７ｂの周囲には前記冷却水供給路８１（ａ,ｂ）と冷却水排水路８３（ａ,ｂ）に連通する冷却水循環路６８が設けてある。なお、上述の受水用開口と排水用開口の位置に合わせて前記冷却水供給口６３と冷却水排水口６１が配置してある。また、受水用開口と排水用開口の位置は互いに連通しないように上下方向に離隔する位置に、かつ直交する方向に設けてある。
【００５７】
前記冷却水供給口６３と冷却水排水口６１の内周には、前記回転軸３７に対して開放する環状の環状溝が設けてあり、図示しないポンプから供給される冷却水は、前記回転軸３７が回転しても常に冷却水供給路８１（ａ,ｂ）に供給される。同様に、冷却水排水路８３（ａ,ｂ）からの排水も回転軸３７が回転しても常に排出することができる。
【００５８】
前記カバー５９は前記軸受け支持ブロック３３に設けたキー８５により、前記回転軸３７に対する相対的な回転を規制してある。したがって、前記回転軸３７が回転しても、前記カバー５９に固定された前記冷却水供給口６３と冷却水排水口６１および前記固定板６５は不動である。
【００５９】
前記ターンテーブル３５の回転位置を検出する手段として、例えば、外周に歯車状の溝を設けた円板状の被検出体８７を前記回転軸３７に設け、この被検出体８７の回転角を検出する非接触の位置検出センサ８９が前記固定板６５に固定したブラケット９１に設けてある。
【００６０】
上記構成において、制御装置（図示省略）の制御の下にギアードモータ５７を適宜回転駆動させることにより、前記ターンテーブル３５を所望の位置に回転位置決めすることができる。また、トルクリミッタ５５によりギアードモータ５７への過負荷を防止することができる。
【００６１】
図４を参照するに、前記真空チャンバ３の左側面（図４において上側）には、被加工材Ｗの有無および温度測定用の覗き窓１０３が設けてある。また、真空チャンバ３の右側面（図４では下側）には、前記覗き窓１０３に対向する位置に被加工材Ｗの有無を検出するための光検出器１０５が設けてある。
【００６２】
前記覗き窓１０３には投光器１０７が取り付けてある。この投光器１０７の取付位置は、投光された光線１０９が前記上部電極１７と下部電極２５の軸心Ｏ（加工中心）を通過し、かつ、ターンテーブル３５上の被加工材位置決め部材９７と保温カバー６９ａに設けた計測用覗き穴（１０１、１０２）を通過可能な位置になるように設定してある。
【００６３】
したがって、前記光検出器１０５から投光された光線１０９を光検出器１０５が検出するか否かで被加工材Ｗの存在の有無が判明する。また、前記投光器１０５に代えて、光温度計１１１を設置すれば被加工材Ｗの温度を計測することができる。
【００６４】
また、前記真空チャンバ３の前側（図４において左側）の扉１１３に、前記加工中心にある保温カバー６９ａが見渡せる位置に肉眼での確認用の覗き窓１１５が設けてある。これにより、被加工材Ｗの存在の有無を肉眼でも確認できる。
【００６５】
次に、図１〜図３を参照しながら、複数の被加工材Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３を接合加工する場合を説明する。
【００６６】
前記真空チャンバ３の前側（図２では左側）に設けた前記前扉１１３を開放して、ターンテーブル３５に下部スペーサ９３をセットし、この下部スペーサ９３に接合する被加工材Ｗ（実施例では、３個の被加工材（Ｗ１〜Ｗ３））を装填した被加工材位置決め部材９７を装着する。次いで、被加工材位置決め部材９７の周囲に保温カバー６９（ａ、ｂ）をセットする。
【００６７】
次いで、真空チャンバ３の前扉１１３を閉めて真空チャンバ３内の空気を排気して設定された真空度にする。
【００６８】
上部電極１７が被加工材Ｗより上方の上限位置に、下部電極２５がターンテーブル３５よＲ下方の下限位置にある状態において、ターンテーブル３５を回転駆動させて、セットした被加工材Ｗを加工位置に位置決めする。
【００６９】
次いで、下部電極２５を上昇させて、下部スペーサ９３がターンテーブル３５から離隔した加工位置まで上昇させると共に、上部電極１７を下降させて被加工材Ｗを下部電極２５との間に適宜な圧力で挟持した状態において、電源装置７を起動して接合加工を開始する。
【００７０】
上述の接合加工時においては、前記ターンテーブル３５と回転軸３７は図示省略の冷却水供給手段からの冷却水が循環して冷却されるため、ターンテーブル３５が熱変形することがない。
【００７１】
接合加工が終了したら、上部電極１７を上昇させると共に下部電極２５を下降さ、ターンテーブル３５を順次回転させて次の接合加工を上述の工程で行う。接合加工が終了した製品は、冷却後に前記前扉１１３を開放して取り出す。
【符号の説明】
【００７２】
１  放電焼結装置
３  真空チャンバ
５  放電焼結装置本体
７  電源装置
９  内壁
１１  外壁
１３  冷却水
１４  真空チャンバ支持板
１５  上部電極ガイド
１７  上部電極
１８  上部スペーサ
１９  支持ロッド
２１  シリンダ支持部材
２３  上部油圧シリンダ
２５  下部電極
２７  下部油圧シリンダ
２９  支持ロッド
３１  シリンダ支持部材
３２、７３  ボルト
３３  軸受け支持ブロック
３５  ターンテーブル
３６  ターンテーブル基台
３７  回転軸
３７ｆ  フランジ
３８  保温カバーベース
３９  軸受けハウジング
４０  位置決めキー
４１  貫通孔
４３  段付き穴
４５（ｕ、ｌ）  鍔付きブッシュ
４７（ｕ、ｌ）  スラスト軸受け
４９  軸受け押さえ
５１  押さえナット
５３  カップリング
５５  トルクリミッタ
５７  ギアードモータ
５８  出力軸
５９  カバー
６１  冷却水排水口
６３  冷却水供給口
６５  固定板
６７（ａ、ｂ）  貫通孔
６８  冷却水循環路
６９（ａ、ｂ）  保温カバー
７１  保温カバー受け皿
７５  ワッシャ
７７  ブッシュ
７９  絶縁シート
８１（ａ,ｂ）  冷却水供給路
８３（ａ,ｂ）  冷却水排水路
８４  受水口
８５  キー
８６  排水口
８７  被検出体
８９  位置検出センサ
９１  ブラケット
９３  下部スペーサ
９５  係合穴
９７  被加工材位置決め部材
９８  位置決め穴
９９  スリット
１０１、１０２  計測用覗き穴
１０３、１１５  覗き窓
１０５  光検出器
１０７  投光器
１０９  光線
１１１  光温度計
１１３  扉
Ｗ  被加工材
【図１】
0005584881.tif 000002
【図２】
0005584881.tif 000003
【図３】
0005584881.tif 000004
【図４】
0005584881.tif 000005
【図５】
0005584881.tif 000006
【図６】
0005584881.tif 000007
【図７】
0005584881.tif 000008