(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物を載置面の外周よりも内側に載置するステージと、
前記検査対象物と前記載置面との間に設置された金属板と、
前記検査対象物および前記金属板に照明光を照射する照明装置と、
前記照明光の反射光を受光する受光素子と、
前記受光素子の出力信号から、前記検査対象物の外形を検出する検出部と、
を備え、
前記金属板は、前記金属板の外周よりも内側に前記検査対象物を載置するように設置され、
前記金属板は、前記載置面に貼り付けるための粘着層を有する金属箔テープであり、
前記ステージの前記載置面には溝が形成され、前記金属箔テープによって前記溝の一部が塞がれた外形検出装置。
【請求項２】
金属板は、接地されたことを特徴とする請求項１記載の外形検出装置。
【請求項３】
ステージは導電性樹脂製であって、前記ステージと金属板とは電気的に接続され、前記ステージは接地されたことを特徴とする請求項１記載の外形検出装置。
【請求項４】
載置面上に金属板が設置されたステージに、検査対象物を載置面の外周よりも内側に載置する載置工程と、
前記検査対象物および前記金属板に照明光を照射する照射工程と、
前記照明光の反射光を受光する受光工程と、
前記受光工程で得られた光情報から、前記検査対象物の外形を検出する検出工程と、
を備え、
前記載置工程では、前記検査対象物を、前記金属板上の前記金属板の外周よりも内側に載置し、
前記受光工程では、前記検査対象物の前記照明光が照射される面と前記金属板の前記照明光が照射される面からの前記反射光を受光し、
前記金属板は、前記載置面に貼り付けるための粘着層を有する金属箔テープであり、
前記ステージの前記載置面には溝が形成され、前記金属箔テープによって前記溝の一部が塞がれた外形検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、検査対象物の外形を検出する装置および方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の外形検出装置では、検査対象物であるウエハが、ウエハの径よりも小さい径の載置台上に、ウエハの外周部分が載置台の外側にはみ出して載置され、載置台の外側にはみ出したウエハの外周部分に隣接してウエハの下側にミラーが設置されていた。この構成によれば、ウエハの上側から照射された落射照明光のうち、ウエハの外周部分近傍を通過した光が、このミラーによって反射されてウエハの上側へ戻るため、ウエハの上側からウエハ周辺部を撮影すると、ウエハの外周部分とウエハの外側との明暗のコントラストが良い画像を得ることができる。そして、この得られた画像から画像処理によってウエハの外形を検出していた。（例えば、特許文献１参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−３０２６７６号公報（第２〜４頁、図１〜図２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような外形検出装置にあっては、載置台の径が検査対象物であるウエハの径よりも小さいため、ウエハを載置台に載せる際に、載置台の縁からウエハに応力がかかってしまい、その結果、ウエハが損傷してしまうことがあった。載置台の大きさをウエハの径よりも大きくすると、載置する際にウエハにかかる応力は軽減できるものの、ウエハの外周部分近傍を通過する光が載置台に遮られるため、ミラーによって反射させることができず、ウエハ周辺部を撮影した画像はコントラストが悪いものとなり、外形の検出精度が悪くなってしまうという問題点があった。
【０００５】
この発明は、上述のような問題を解決するためになされたもので、検査対象物の外形の検出精度を悪化させることなく、載置台から検査対象物にかかる応力を軽減できる外形検出装置および外形検出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係る外形検出装置は、検査対象物を載置面の外周よりも内側に載置する、即ち、検査対象物を載置面からはみ出さないように載置することができ、かつ検査対象物を載置面からはみ出さないように載置した状態で、載置面が検査対象物を載置していない部分を有するステージと、検査対象物と載置面との間に設置された金属板と、検査対象物および金属板に照明光を照射する照明装置と、照明光の反射光を受光する受光素子と、受光素子の出力信号から、検査対象物の外形を検出する検出部と、を備え、載置面上に設置された金属板が、前記金属板の外周よりも内側に前記検査対象物を載置するように設置され、かつ、金属板が、載置面に貼り付けるための粘着層を有する金属箔テープであり、ステージの載置面には溝が形成され、金属箔テープによって溝の一部が塞がれたものである。
【０００７】
また、この発明に係る外形検出方法は、載置面上に金属板が設置されたステージに、検査対象物を載置面の外周よりも内側に、即ち、検査対象物を載置面からはみ出さないように、かつ載置面が検査対象物を載置していない部分を有するように載置する載置工程と、検査対象物および金属板に照明光を照射する照射工程と、照明光の反射光を受光する受光工程と、受光工程で得られた光情報から、検査対象物の外形を検出する検出工程と、を備え、載置工程では、検査対象物を、金属板上の金属板の外周よりも内側に載置し、受光工程では、検査対象物の照明光が照射される面と金属板の照明光が照射される面からの反射光を受光し、金属板は、載置面に貼り付けるための粘着層を有する金属箔テープであり、ステージの載置面には溝が形成され、金属箔テープによって溝の一部が塞がれたものである。
【発明の効果】
【０００８】
この発明に係る外形検出装置によれば、検査対象物を載置面の外周よりも内側に載置するステージと、載置面上に設置された金属板と、を備え、載置面上に設置された金属板が、検査対象物の照明光が照射される面と金属板の照明光が照射される面とが、照明光が出射する側から見て光学的に連続するように設置されたことにより、検査対象物の外形の検出精度を悪化させることなく、ステージから検査対象物にかかる応力を軽減できる。
【０００９】
また、この発明に係る外形検出方法によれば、載置面上に金属板が設置されたステージに、検査対象物を載置面の外周よりも内側に載置する載置工程と、検査対象物および金属板に照射された照明光の反射光を受光する受光工程と、を備え、載置工程では、検査対象物を、検査対象物の照明光が照射される面と金属板の照明光が照射される面とが、照明光が出射する側から見て光学的に連続するように載置し、受光工程では、照射光が出射する側から見て光学的に連続する検査対象物の照明光が照射される面と金属板の照明光が照射される面からの反射光を受光することにより、検査対象物の外形の検出精度を悪化させることなく、ステージから検査対象物にかかる応力を軽減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】この発明の実施の形態１における外形検出装置を示す構成図である。
【図２】この発明の実施の形態１における太陽電池セルを載置したステージを示す上面図である。
【図３】この発明の実施の形態１における金属箔テープを示す側面図である。
【図４】この発明の実施の形態１における外形検出方法を示すフローチャートである。
【図５】この発明の実施の形態１における画像処理方法を示すフローチャートである。
【図６】この発明の実施の形態１における画像処理方法の各工程を示す図である。
【図７】この発明の実施の形態２における太陽電池セルを載置したステージを示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図である。
【図８】この発明の実施の形態３におけるステージを示す斜視図である。
【図９】この発明の実施の形態３における太陽電池セルを載置したステージを示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
実施の形態１．
まず、この発明の実施の形態１における外形検出装置１の構成を説明する。図１は、この発明の実施の形態１における外形検出装置１を示す構成図である。
【００１２】
図１において、ステージ２ａの載置面３ａ上に金属箔テープ６が設置されており、金属箔テープ６上に検査対象物である太陽電池セル７が載置されている。ステージ２ａの上方には、ステージ２ａ、金属箔テープ６および太陽電池セル７に照明光８を照射する同軸落射照明装置１１が設置され、照明光８の反射光９が、同軸落射照明装置１１の上方に設置されたＣＣＤカメラ１２によって受光されるようになっている。そして、ＣＣＤカメラ１２には、画像処理装置１３およびディスプレイ１６が接続されている。
【００１３】
次に、ステージ２ａについて説明する。ステージ２ａは、例えば炭素素材などを含む導電性樹脂製であって、接地されている。弾性の強い樹脂を用いることによって、太陽電池セル７を載置する際の衝撃を緩和することができる。炭素素材を含む場合は、ステージ２ａの表面における光の反射率は低くなる。
【００１４】
図２は、この発明の実施の形態１における太陽電池セル７を載置したステージ２ａを示す上面図である。ステージ２ａは、図２に示すように、検査対象物である太陽電池セル７を載置するために充分広い載置面３ａを有するものであって、太陽電池セル７を載置面３ａの外周１７よりも内側に載置することができる。つまり、載置面３ａの大きさは、太陽電池セル７を載置面３ａからはみ出さないように載置することができ、かつ、太陽電池セル７を載置面３ａからはみ出さないように載置した状態で、載置面３ａが太陽電池セル７を載置していない部分を有するような大きさである。
【００１５】
次に、金属箔テープ６について説明する。図３は、この発明の実施の形態１における金属箔テープ６を示す側面図である。金属箔テープ６は、例えば銅、アルミニウム、金、銀などのように光の反射率が高い金属で形成された金属箔１８と、ステージ２ａの載置面３ａに貼り付けるための粘着層２１とを備えている。
【００１６】
粘着層２１は、例えば導電性粒子を含む樹脂によって形成された異方性導電膜のような導電性を有するものである。よって、金属箔テープ６をステージ２ａの載置面３ａに貼り付けたとき、金属箔テープ６の表側である金属箔１８の表面とステージ２ａとは電気的に接続された状態となる。
【００１７】
金属箔１８および粘着層２１の厚さは、特に限定されないが、粘着層２１については、検査対象物である太陽電池セル７を載置する際の衝撃を緩和するため、ある程度の厚さを持つ方が好ましい。また、金属箔テープ６の大きさについても特に限定されず、１枚で所望の範囲全てをカバーできるような大きさのものでもよいし、幅の細いものを並べて設置することによって所望の範囲をカバーしてもよい。使用する金属箔テープ６の一例としては、金属箔１８の厚さが２０〜４０μｍ程度、粘着層２１の厚さが３０〜６０μｍ程度であり、幅が２０ｍｍ程度のものが挙げられる。
【００１８】
図１に示すように、検査対象物である太陽電池セル７はステージ２ａの載置面３ａ上に設置された金属箔テープ６上に載置されている。つまり、金属箔テープ６は、太陽電池セル７と載置面３ａとの間に設置されている。そして、図２に示すように、金属箔テープ６は太陽電池セル７を載置するために充分広い範囲に設置され、金属箔テープ６の外周２２よりも内側に太陽電池セル７を載置できるようになっている。言い換えると、図２を見て分かるように、金属箔テープ６は、太陽電池セル７の外側にはみ出しおり、太陽電池セル７の照明光８が照射される面２３と金属箔テープ６の照明光８が照射される面２６とが、照明光８が出射する側から見て光学的に連続するように設置されている。
【００１９】
次に、同軸落射照明装置１１について説明する。図１に示すように、同軸落射照明装置１１は、光源２７およびハーフミラー２８を有する。光源２７から出射した光がハーフミラー２８で反射され、ステージ２ａ、金属箔テープ６および太陽電池セル７に照射される照明光８となる。そして、同軸落射照明装置１１の上方には、ＣＣＤカメラ１２が設置されており、照明光８の反射光９が、ハーフミラー２８を透過してＣＣＤカメラ１２によって受光できるようになっている。
【００２０】
ＣＣＤカメラ１２には画像処理装置１３が接続され、ＣＣＤカメラ１２によって撮影した画像を画像処理装置１３に取り込んで画像処理を行うことにより、太陽電池セル７の外形を検出できるようになっている。また、ＣＣＤカメラ１２にはディスプレイ１６が接続されており、ＣＣＤカメラ１２によって撮影した画像をディスプレイ１６に表示することができる。
【００２１】
尚、ここで、同軸落射照明装置１１は、太陽電池セル７および金属箔テープ６の全体に照明光８を一度に照射できるものとする。また、ＣＣＤカメラ１２についても同様で、太陽電池セル７および金属箔テープ６の全体を一度に撮影できるものとする。
【００２２】
次に、検査対象物である太陽電池セル７について説明する。太陽電池セル７は、非常に脆く衝撃に弱いため、ステージ２ａに載置する際には衝撃対策が必要である。また、静電気の影響によって破壊されることがあるため、静電気対策も必要である。太陽電池セル７の受光面は、太陽光を効率良く取り込むために反射防止膜で覆われており、受光面を上側に向けてステージ２ａに載置されるため、受光面が、照明光８が照射される面２３となる。
【００２３】
太陽電池セル７の寸法および形状は、例えば４０ｍｍ×７０ｍｍ程度の長方形である。この場合、ステージ２ａの載置面３ａは、例えば９０ｍｍ×１４０ｍｍ程度の長方形であることが好ましい。また、金属箔テープ６は、例えば６０ｍｍ×１１０ｍｍ程度の長方形で、載置面３ａと中心を一致させて設置されることが好ましい。
【００２４】
次に、この発明の実施の形態１における外形検出装置１を用いて、太陽電池セル７の外形を検出する方法について説明する。図４は、この発明の実施の形態１における外形検出方法を示すフローチャートである。
【００２５】
まず、載置工程について説明する。載置面３ａ上に金属箔テープ６が設置されたステージ２ａに、太陽電池セル７を載置面３ａの外周１７よりも内側に載置する。ここで、太陽電池セル７は、載置面３ａ上に設置された金属箔テープ６上に、金属箔テープ６の外周２２よりも内側に載置される。つまり、金属箔テープ６は、太陽電池セル７と載置面３ａとの間に設置され、太陽電池セル７の照明光８が照射される面２３と金属箔テープ６の照明光８が照射される面２６とが、照明光８が出射する側から見て光学的に連続するように設置されることとなる（Ｓ１）。ここで、金属箔テープ６には、ステージ２ａの載置面３ａに設けられたエア吸引用の穴に合わせて穴が設けられており、この穴を介してエア吸引によって太陽電池セル７が吸引固定される。
【００２６】
次に、照射工程について説明する。同軸落射照明装置１１によって、太陽電池セル７および金属箔テープ６の全体に照明光８を照射する（Ｓ２）。
【００２７】
次に、受光工程について説明する。同軸落射照明装置１１の上方に設置されたＣＣＤカメラ１２によって、照明光８の反射光９を受光する。ここで、ＣＣＤカメラ１２は、照明光８が出射する側から見て光学的に連続する太陽電池セル７の照明光８が照射される面２３と金属箔テープ６の照明光８が照射される面２６からの反射光を受光することとなる。（Ｓ３）
【００２８】
次に、検出工程について説明する。受光工程においてＣＣＤカメラ１２によって得られた光情報は、濃淡画像としてディスプレイ１６に表示される一方で、画像処理装置１３へ出力される。画像処理装置１３では画像処理が行われ、太陽電池セル７の外形が検出される（Ｓ４）。また、画像処理後の画像もディスプレイ１６に表示される。
【００２９】
ここで、検出工程における画像処理方法について説明する。図５は、この発明の実施の形態１における画像処理方法を示すフローチャートである。また、図６は、この発明の実施の形態１における画像処理方法の各工程を示す図である。尚、ここでは、太陽電池セル７の外形検出を行った後に、得られた外形情報から、ステージ２ａの載置面３ａと平行な面内における太陽電池セル７の位置および回転角θを求めるところまで説明する。
【００３０】
まず、２値化工程について説明する。受光工程においてＣＣＤカメラ１２によって得られた濃淡画像は、反射防止膜で覆われた太陽電池セル７が暗く、照明光８に対する反射率が高い金属箔テープ６が明るく、炭素素材を含む導電性樹脂製であるステージ２ａの載置面３ａが暗い画像となる。まず、図６（ａ）に示すように、画像処理装置１３において、この得られた濃淡画像に白黒２値化を行う（Ｓ１０）。ＣＣＤカメラ１２で得られる濃淡画像のコントラストが良いほど、２値化の精度が良くなり外形検出の精度が良くなる。ここでは、照明光８に対する反射率が低い太陽電池セル７とステージ２ａに対して、反射率が高い金属箔テープ６を配置したことによって、コントラストが良い濃淡画像を得ることができる。
【００３１】
次に、エッジ検出工程について説明する。図６（ｂ）に示すように、２値化工程において得られた２値化画像から、エッジ検出を行い、太陽電池セル７の各辺のエッジ点を抽出する（Ｓ１１）。できるだけ多くのエッジ点を抽出することにより、太陽電池セル７の外形を求めることができる。ここで、太陽電池セル７の各辺が直線にならない場合、太陽電池セル７に欠けなどの異常があることを見つけることができる。尚、この工程において、太陽電池セル７に異常を発見したときは、不良品と見なして次の工程に進まずに終了してもよい。
【００３２】
次に、位置および回転角検出工程について説明する。まず、図６（ｃ）に示すように、エッジ検出工程で求めたエッジ点から、太陽電池セル７の各辺の直線の方程式を求める（Ｓ１２）。原点ＯとＸ軸およびＹ軸は適宜決定すればよいが、ここでは、原点Ｏはステージ２ａの載置面３ａの中心とし、Ｘ軸およびＹ軸はステージ２ａの載置面３ａの外周１７の２辺と平行に設定している。
【００３３】
次に、図６（ｄ）に示すように、太陽電池セル７のいずれか１辺の直線の方程式から太陽電池セル７の回転角θを求める（Ｓ１３）。さらに、４辺の交点を求め、いずれか１辺の中点Ｍから、太陽電池セル７の位置を求める（Ｓ１４）。これにより、太陽電池セル７の位置および回転角θを求めることができ、ステージ２ａを移動させることによって、太陽電池セル７を所望の位置および回転角θに補正することができる。
【００３４】
尚、エッジ検出工程で得られた太陽電池セル７の外形を示す画像や、求めた太陽電池セル７の位置や回転角θは、適宜ディスプレイ１６に表示され、作業員が確認できるようになっている。また、太陽電池セル７の位置および回転角θを補正する場合は、作業員がディスプレイ１６を見ながら手動でステージ２ａを移動させて補正してもよいし、位置および回転角θの情報から自動でステージ２ａを制御して補正してもよい。
【００３５】
この発明の実施の形態１では、以上のような構成としたことにより、ステージ２ａの載置面３ａの大きさを、太陽電池セル７を載置面３ａの外周１７よりも内側に載置できるような大きさとしたにも関わらず、太陽電池セル７および金属箔テープ６を撮影した際にコントラストが良い濃淡画像を得ることができる。よって、太陽電池セル７の外形の検出精度を悪化させることなく、太陽電池セル７を載置する際にステージ２ａから太陽電池セル７にかかる応力を軽減できるという効果がある。
【００３６】
また、載置面３ａ上に設置された金属箔テープ６上に太陽電池セル７を載置した、即ち、太陽電池セル７と載置面３ａとの間に金属箔テープ６を設置したことにより、載置工程で太陽電池セル７を載置する位置に多少の位置ずれが生じても、太陽電池セル７の照明光８が照射される面２３と金属箔テープ６の照明光８が照射される面２６とが、照明光８が出射する側から見て光学的に連続するようになるため、載置工程が容易になる。
【００３７】
さらに、太陽電池セル７が金属箔テープ６の外側にはみ出さないように充分広い範囲に金属箔テープ６を設置したことにより、載置工程で許容される位置ずれがさらに大きくなるため載置工程がさらに容易になる。また、太陽電池セル７の外周を取り囲むように金属箔テープ６が存在することとなるため、一度に全外形を検出することができる。
【００３８】
加えて、照明光８を反射する部材として粘着層２１を有する金属箔テープ６を使用したことにより、金属箔テープ６の載置面３ａへの固定が容易であり、金属箔テープ６が損傷や汚れなどのよって劣化したときの交換が容易である。また、粘着層２１が厚いものを用いることによって、太陽電池セル７を金属箔テープ６上に載置する際の衝撃を緩和することができる。
【００３９】
粘着層２１が導電性を有するものを用いることにより、金属箔テープ６の太陽電池セル７を載置する側である金属箔１８の表面とステージ２ａとは電気的に接続された状態となる。よって、導電性のステージ２ａを接地することにより、金属箔テープ６上に載置する太陽電池セル７を静電気から守ることができる。
【００４０】
さらに、ステージ２ａを樹脂製としたことにより、太陽電池セル７を金属箔テープ６上に載置する際の衝撃を緩和することができる。また、炭素素材などを含む導電性樹脂製とすることにより、樹脂製であっても静電気対策を行うことができる。
【００４１】
尚、この発明の実施の形態１では、照明光８を反射する部材として金属箔テープ６を用いた。しかし、これに限ることはなく、金属板や、粘着層２１を有さない金属箔１８のみのもの、金属ブロックなどでもよい。この場合は、金属板などを載置面３ａに固定する手段を別途設けることが好ましい。
【００４２】
また、この発明の実施の形態１では、太陽電池セル７が金属箔テープ６の外側にはみ出さないように充分広い範囲に金属箔テープ６を設置し、太陽電池セル７の外周の全てを取り囲むように金属箔テープ６が存在するようにした。しかし、太陽電池セル７の外形を検出したい部分のみに、太陽電池セル７の照明光８が照射される面２３と金属箔テープ６の照明光８が照射される面２６とが、照明光８が出射する側から見て光学的に連続するように金属箔テープ６を設置してもよい。
【００４３】
尚、位置および回転角検出工程では、ステージ２ａの載置面３ａの中心を原点として、太陽電池セル７の各辺の直線の方程式を求めた。しかし、４辺全ての直線の方程式を求める必要はなく、さらに、載置面３ａの中心以外を原点としてもよい。太陽電池セル７の回転角θを求める場合は、最低１辺の直線の方程式を求めれば足りる。太陽電池セル７の位置をいずれか１辺の中点から求める場合は、最低３辺の直線の方程式を求めれば足りる。また、太陽電池セル７の位置は、いずれか１辺の中点から求める必要もなく、太陽電池セル７のいずれか１つの頂点や、中心から求めてもよい。いずれか１つの頂点を用いる場合は、最低２辺の直線の方程式を求めれば足りる。
【００４４】
金属箔テープ６の設置範囲については、上記の外形を検出したい部分や、位置および回転角検出工程を考慮して、太陽電池セル７のいずれの部分と金属箔テープ６の照明光８が照射される面２６とが照明光８が出射する側から見て光学的に連続するように金属箔テープ６を設置すればよいかを決定することが好ましい。
【００４５】
この発明の実施の形態１では、金属箔テープ６の粘着層２１が導電性を有するものとした。しかし、導電性がない粘着層２１であっても、別途配線を設けて金属箔テープ６の金属箔１８とステージ２ａとを電気的に接続すればよい。また、金属箔１８自体を接地すれば金属箔１８とステージ２ａとを電気的に接続する必要もなくなり、この場合、ステージ２ａが導電性である必要もなくなる。
【００４６】
また、この発明の実施の形態１では、照明装置として同軸落射照明装置１１を用いた。しかし、これに限ることはなく、ステージ２ａの載置面３ａと垂直な方向から所定の角度を持って照明光８を照射し、照明光８の正反射光を受光できるようにＣＣＤカメラ１２を設置してもよい。
【００４７】
加えて、この発明の実施の形態１では、照明光８を太陽電池セル７の全体に一度に照射できるようにしたが、検査したい部分にのみ照明光８を照射してもよい。また、ライン照明やスポット照明を用いる場合でも、照明光８を走査したり、ステージ２ａを移動させたりすれば太陽電池セル７の全体を検査することができる。
【００４８】
さらに、この発明の実施の形態１では、検出工程において、画像処理によって太陽電池セル７の外形を検出した。しかし、ディスプレイ１６に表示された濃淡画像を作業員が目視することによって、太陽電池セル７の外形を確認してもよい。
【００４９】
尚、この発明の実施の形態１では、検査対象物である太陽電池セル７の形状を長方形とした。しかし、長方形に限ることはなく、多角形全般、円形、その他の形状において同様の方法により外形検出を行うことができる。また、位置および回転角θの検出についても、多角形や直線部分を有する形状である場合は、同様の方法により検出が可能である。円形である場合は、円の中心を求めることにより位置検出が可能である。
【００５０】
また、検査対象物は太陽電池セル７に限ることはなく、例えばシリコンウエハなどの外形検出や、位置および回転角θの検出を行うことができる。シリコンウエハの場合は、エッジ部分がテーパ状になっているため、エッジ部分に照射される照明光８は斜めに反射され、反射光は同軸落射照明装置１１の上方に設置されたＣＣＤカメラ１２では受光できない。よって、シリコンウエハは照明光８の反射率が高いので、エッジ部分だけが暗く、他の部分は明るい、といった濃淡画像がコントラストよく得られる。その後の検出工程は同様である。位置検出はシリコンウエハの中心を求めて行い、回転角θの検出はシリコンウエハのオリエンテーションフラットの位置またはオリエンテーションフラットの直線の方程式を求めて行う。
【００５１】
さらに、この発明の実施の形態１では、照明光８の反射率が低い太陽電池セル７に対して、反射率が高い例えば銅、アルミニウム、金、銀などの金属箔テープ６を用いた。しかし、逆に、検査対象物が反射率の高いものであって、シリコンウエハのようなエッジ部分を持たないものである場合は、例えば鉛などのような反射率の低い金属箔テープ６用いるとコントラストがよい濃淡画像を得ることができる。
【００５２】
実施の形態２．
図７は、この発明の実施の形態２における太陽電池セル７を載置したステージ２ａを示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図である。図７において、図１および図２と同じ符号を付けたものは、同一または相当の構成を示しており、その説明を省略する。この発明の実施の形態１とは、金属箔テープ６を太陽電池セル７と載置面３ａとの間に設置せずに、太陽電池セル７を直接載置面３ａに載置し、金属箔テープ６を太陽電池セル７の外周３１に隣接して設置した構成が相違している。
【００５３】
ただし、図２を見て分かるように、金属箔テープ６が、太陽電池セル７の照明光８が照射される面２３と金属箔テープ６の照明光８が照射される面２６とが、照明光８が出射する側から見て光学的に連続するように設置されていることは、この発明の実施の形態１と同様である。
【００５４】
この発明の実施の形態２では、以上のような構成としたことにより、金属箔テープ６の使用量を減らすことができ、コストを削減できるという効果がある。
【００５５】
実施の形態３．
図８は、この発明の実施の形態３におけるステージ２ｂを示す斜視図であり、図９は、この発明の実施の形態３における太陽電池セル７を載置したステージ２ｂを示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図である。図８および図９において、図１および図２と同じ符号を付けたものは、同一または相当の構成を示しており、その説明を省略する。この発明の実施の形態１とは、ステージ２ｂの載置面３ｂに溝３２を形成した構成が相違している。
【００５６】
図８に示すように、溝３２は、載置面３ｂの互いに向かい合う一方の辺から他方の辺までに達するように、載置面３ｂに所定間隔で形成されている。溝３２の間隔、幅および深さは１ｍｍ程度であることが好ましい。
【００５７】
また、図９（ａ）および（ｂ）に示すように、載置面３ｂに溝３２を形成したため、金属箔テープ６は、載置面３ｂ上に溝３２を塞ぐように設置されることとなる。ここで、金属箔テープ６は、１本の溝３２の一部を塞ぐように設置されている。
【００５８】
この発明の実施の形態３では、以上のような構成としたことにより、金属箔テープ６を載置面３ｂに貼り付ける際に、空気が溝３２から外へ出ていくため、金属箔テープ６と載置面３ｂとの間にとどまった空気によって気泡が生じることがなくなり、金属箔テープ６を容易に貼り付けることができるという効果がある。さらに、金属箔テープ６の粘着層２１と載置面３ｂとの接触面積が小さくなるため、金属箔テープ６を交換する際に、金属箔テープ６を剥がし易くなる。
【００５９】
また、金属箔テープ６の溝３２を塞いでいる部分に切り込みを入れておくと、金属箔テープ６上に載った異物が溝３２へ落ちるので、太陽電池セル７を金属箔テープ６上に載置する際に太陽電池セル７が異物に接触して破損することや、異物が外形検出の妨げになることを防ぐことができる。
【００６０】
尚、この発明の実施の形態３では、溝３２を載置面３ｂの互いに向かい合う一方の辺から他方の辺までに達するように形成した。しかし、溝３２の形成の仕方は、これに限ることはなく、溝３２の両端が載置面３ｂの向かい合わない辺同士に達するようにしてもよいし、溝３２の一端のみが載置面３ｂの外周１７に達するようにしてもよいし、溝３２の両端ともに載置面３ｂの外周１７に達しないように形成してもよい。また、溝３２の形状も特に限定しない。さらに、溝３２を形成する間隔についても一定でなくてもよく、載置面３ｂの全面に形成してもよいし、一部でもよい。
【００６１】
また、溝３２の一端が載置面３ｂの外周１７に達するように形成されている場合は、載置面３ｂの外周１７の部分から空気が逃げるため、１本の溝３２の全部を塞ぐように金属箔テープ６を設置してもよい。逆に、溝３２の両端ともに載置面３ｂの外周１７に達しないように形成されている場合は、１本の溝３２の一部を塞ぐように金属箔テープ６を設置することが好ましい。
【００６２】
以上、この発明の実施の形態１〜３について説明した。これらの、この発明の実施の形態１〜３で説明した構成は互いに組合せることができる。
【符号の説明】
【００６３】
１  外形検出装置
２ａ、２ｂ  ステージ
３ａ、３ｂ  ステージの載置面
６  金属箔テープ
７  太陽電池セル
８  照明光
９  反射光
１１  同軸落射照明装置
１２  ＣＣＤカメラ
１３  画像処理装置
１７  ステージの載置面の外周
１８  金属箔
２１  粘着層
２２  金属箔テープの外周
２３  太陽電池セルの照明光が照射される面
２６  金属箔テープの照明光が照射される面
３１  太陽電池セルの外周
３２  溝
【図１】
0005533086.tif 000002
【図２】
0005533086.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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