(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線状に配列された３つ以上５つ以下のワーク収納室と、これらワーク収納室に隣接する搬送室と、この搬送室に対し、上記ワーク収納室とは反対側に隣接するワーク処理室と、上記ワーク収納室と上記ワーク処理室との間でワークを搬送するために上記搬送室に配置された２台の第１および第２のワーク搬送用ロボットと、を備え、
上記第１および第２のワーク搬送用ロボットは、上記ワーク収納室の配列方向について上記ワーク処理室を挟むように離間し、かつ、上記ワーク収納室の配列方向における中央から一方に偏倚した第１のワーク収納室と、上記ワーク収納室の配列方向における中央から他方に偏倚した第２のワーク収納室とに対応して配置され、
上記第１のワーク搬送用ロボットは、上記第１のワーク収納室と、この第１のワーク収納室に対して上記ワーク収納室の配列方向中央側に隣接するワーク収納室と、上記ワーク処理室と、に対してワークの搬送が可能であり、
上記第２のワーク搬送用ロボットは、上記第２のワーク収納室と、この第２のワーク収納室に対して上記ワーク収納室の配列方向中央側に隣接するワーク収納室と、上記ワーク処理室と、に対してワークの搬送が可能であり、
上記搬送室には、この搬送室内の空間を、上記第１のワーク収納室に対応する第１のロボット周辺領域と、この第１のロボット周辺領域に対して上記ワーク収納室の配列方向中央側に隣接する中央領域とに分離可能な第１の空間分離手段、および上記第２のワーク収納室に対応する第２のロボット周辺領域と上記中央領域とに分離可能な第２の空間分離手段が設けられていることを特徴とする、ワーク搬送システム。
【請求項２】
上記第１および第２のロボット周辺領域には、それぞれ、クリーン環境を形成するためのクリーン環境形成手段が設けられている、請求項１に記載のワーク搬送システム。
【請求項３】
上記クリーン環境形成手段は、上記搬送室の上部から当該搬送室内に清浄空気を供給する清浄空気供給部と、上記搬送室の下部を通じて当該搬送室内の気体を外部に排出する排気部と、を備える、請求項２に記載のワーク搬送システム。
【請求項４】
上記搬送室は、上記ワーク収納室と上記ワーク処理室とが離間する方向において対向する第１および第２の側壁と、上記ワーク収納室の配列方向において対向する第３および第４の側壁とを有する略直方体形状とされており、
上記第１および第２の空間分離手段は、それぞれ、上記第１および第２の側壁に設けられ、上下方向に延びる一対のガイドレールと、上記ガイドレールの上端近傍に設けられた巻取り軸と、上記巻取り軸に巻回されるとともにこの巻取り軸の回転により上記ガイドレールに沿って上下にスライド移動させられる遮蔽部材と、上記巻取り軸を回転駆動させる駆動部と、を備える、請求項１ないし３のいずれかに記載のワーク搬送システム。
【請求項５】
上記第１および第２の空間分離手段は、上記ガイドレールと上記遮蔽部材との間を密閉するシール部をさらに備える、請求項４に記載のワーク搬送システム。
【請求項６】
上記搬送室の上記第３および第４の側壁には、それぞれ、開閉可能なドアが設けられている、請求項４または５に記載のワーク搬送システム。
【請求項７】
上記各ワーク搬送用ロボットは、上記搬送室に対して固定される固定ベースと、昇降ベースと、この昇降ベースを上記固定ベースに対して昇降させる昇降機構と、一端が上記昇降ベースに対して第１の垂直軸周りに回動可能に支持された第１のアームと、上記第１のアームを上記第１の垂直軸周りに回動させる第１アーム駆動機構と、一端がこの第１のアームの他端に対して第２の垂直軸周りに回動可能に支持された第２のアームと、この第２のアームを上記第２の垂直軸周りに回動させる第２アーム駆動機構と、端部が上記第２のアームの他端に対して第３の垂直軸周りに回動可能に支持されたハンドと、このハンドを上記第３の垂直軸周りに回動させるハンド駆動機構と、を備える、請求項１ないし６のいずれかに記載のワーク搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造等においてウエハ等の薄板状のワークを搬送するためのワーク搬送システムに関し、より詳しくは、ワーク収納室とワーク処理室との間でワーク搬送用ロボットによりワークの搬送を行うように構成されたワーク搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造の分野において、ウエハ等のワークを搬送する際に搬送用のロボットが用いられており、たとえば、ウエハが収納された容器（ワーク収納室）と、プロセスチャンバ（ワーク処理室）との間でワーク搬送用ロボットによりワークの搬送を行うように構成されたワーク搬送システムが知られている。
【０００３】
図１９に従来のワーク搬送システムの一例を示す。同図に示されたワーク搬送システムＢは、２つのワーク収納室９１と、搬送室９２と、ワーク処理室９３と、ワーク搬送用ロボット９４とを備えている。ワーク収納室９１は、たとえば、複数のワークＷを保持したカセットを収容可能に構成されており、直線状に配列される。搬送室９２は、複数のワーク収納室９１に隣接して設けられており、この搬送室９２内に１台のワーク搬送用ロボット９４が配置される。ワーク搬送用ロボット９４は、たとえば２段のアームおよびワーク保持用のハンドが互いに水平面内で回動自在に連結された水平多関節ロボットにより構成される。ワーク処理室９３は、搬送室９２に対してワーク収納室９１とは反対側に隣接して設けられている。ワーク処理室９３においては、加熱処理、加工処理、あるいは検査処理などの処理がワークＷに対してなされる。ワーク搬送用ロボット９４は、すべてのワーク収納室９１およびワーク処理室９３に対して、ワークＷの搬出入が可能とされている。
【０００４】
図１９に示されたワーク搬送システムＢにおけるワーク搬送処理の一例について説明する。まず、２つ並んだワーク処理室９１のうちの一方のワーク収納室９１から処理前のワークＷを搬出し（図２０参照）、当該ワークＷをワーク処理室９３に搬入する。図２１は、ワーク処理室９３においてワークＷの受け渡しがなされる状態を示す。ワーク処理室９３ではワークＷに対して適宜処理がなされる。次いで、処理後のワークＷをワーク処理室９３から搬出し、他方のワーク収納室９１に搬入する。このようなワークＷの搬送が繰り返される。上記構成のワーク搬送システムＢは、クリーン環境下で使用されることが多い。
【０００５】
ワーク搬送用ロボット９４は、ワーク搬送時の搬送経路が短くなるように、ワーク収納室９１およびワーク処理室９３の中間に配置されている。すなわち、ワーク搬送用ロボット９４は、ワーク処理室９３に対しては正対し、ワーク収納室９１に対してはこれらの配列方向Ｘ１−Ｘ２における中央に位置するように配置される。搬送室９２は、ワーク搬送用ロボット９４との干渉を防止するために、ワーク収納室９１とワーク処理室９３とが離間する方向Ｙ１−Ｙ２の寸法が比較的に大きくされている。ワーク搬送用ロボット９４は、方向Ｙ１−Ｙ２において対向する側壁９２ａ，９２ｂから所定の距離を隔てられ、当該方向Ｙ１−Ｙ２における中央に位置している。なお、ワーク収納室９１の数が図１９に示された２つの場合、あるいは３つの場合、ワーク搬送用ロボット９４は、上記のようにワーク収納室９１およびワーク処理室９３の中間に配置されるが、ワーク収納室９１の数が４つ以上の場合、ワーク搬送用ロボット９４は、たとえばワーク収納室９１の配列方向Ｘ１−Ｘ２（搬送室９２の長手方向）に沿ってスライド移動可能に設けられる。
【０００６】
半導体製造においては、生産効率の改善が要請されている。上記のようなワーク搬送システムＢにおいては、ワーク搬送経路が短くなるように、搬送室、ワーク処理室、ワーク収納室、およびワーク搬送用ロボットの配置が工夫されている。ワーク搬送経路が短縮されると、ワークの単位数量あたりの搬送処理に係る時間が短縮され、その結果、生産効率を改善することができる。
【０００７】
しかしながら、従来のワーク搬送システムＢにおいては、予測が困難な部品故障などに起因してワーク搬送用ロボット９４が停止した場合、ワーク搬送システムＢの稼働率が低下することになり、生産効率の低下を招いてしまう。また、ワーク搬送用ロボット９４が故障した場合、ロボットの交換等の復旧作業が必要となるが、ワーク搬送システムＢがクリーン環境下で使用される場合には、ロボット９４の復旧作業の際に搬送室９２等のクリーン度を一旦低下させ、その後に再びクリーン環境に戻す作業も必要になる。このことは、結果として、ワーク搬送システムＢの稼働率低下を助長することになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−１８８２３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、ワーク収納室とワーク処理室との間でワーク搬送用ロボットによりワークの搬送を行うように構成されたワーク搬送システムにおいて、クリーン環境下で用いられる場合にもシステム全体を効率よく稼働させることをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を採用した。
【００１１】
本発明によって提供されるワーク搬送システムは、直線状に配列された３つ以上５つ以下のワーク収納室と、これらワーク収納室に隣接する搬送室と、この搬送室に対し、上記ワーク収納室とは反対側に隣接するワーク処理室と、上記ワーク収納室と上記ワーク処理室との間でワークを搬送するために上記搬送室に配置された２台の第１および第２のワーク搬送用ロボットと、を備え、上記第１および第２のワーク搬送用ロボットは、上記ワーク収納室の配列方向について上記ワーク処理室を挟むように離間し、かつ、上記ワーク収納室の配列方向における中央から一方に偏倚した第１のワーク収納室と、上記ワーク収納室の配列方向における中央から他方に偏倚した第２のワーク収納室とに対応して配置され、上記第１のワーク搬送用ロボットは、上記第１のワーク収納室と、この第１のワーク収納室に対して上記ワーク収納室の配列方向中央側に隣接するワーク収納室と、上記ワーク処理室と、に対してワークの搬送が可能であり、上記第２のワーク搬送用ロボットは、上記第２のワーク収納室と、この第２のワーク収納室に対して上記ワーク収納室の配列方向中央側に隣接するワーク収納室と、上記ワーク処理室と、に対してワークの搬送が可能であり、上記搬送室には、この搬送室内の空間を、上記第１のワーク収納室に対応する第１のロボット周辺領域と、この第１のロボット周辺領域に対して上記ワーク収納室の配列方向中央側に隣接する中央領域とに分離可能な第１の空間分離手段、および上記第２のワーク収納室に対応する第２のロボット周辺領域と上記中央領域とに分離可能な第２の空間分離手段が設けられていることを特徴としている。
【００１２】
好ましい実施の形態においては、上記第１および第２のロボット周辺領域には、それぞれ、クリーン環境を形成するためのクリーン環境形成手段が設けられている。
【００１３】
好ましい実施の形態においては、上記クリーン環境形成手段は、上記搬送室の上部から当該搬送室内に清浄空気を供給する清浄空気供給部と、上記搬送室の下部を通じて当該搬送室内の気体を外部に排出する排気部と、を備える。
【００１４】
好ましい実施の形態においては、上記搬送室は、上記ワーク収納室と上記ワーク処理室とが離間する方向において対向する第１および第２の側壁と、上記ワーク収納室の配列方向において対向する第３および第４の側壁とを有する略直方体形状とされており、上記第１および第２の空間分離手段は、それぞれ、上記第１および第２の側壁に設けられ、上下方向に延びる一対のガイドレールと、上記ガイドレールの上端近傍に設けられた巻取り軸と、上記巻取り軸に巻回されるとともにこの巻取り軸の回転により上記ガイドレールに沿って上下にスライド移動させられる遮蔽部材と、上記巻取り軸を回転駆動させる駆動部と、を備える。
【００１５】
好ましい実施の形態においては、上記第１および第２の空間分離手段は、上記ガイドレールと上記遮蔽部材との間を密閉するシール部をさらに備える。
【００１６】
好ましい実施の形態においては、上記搬送室の上記第３および第４の側壁には、それぞれ、開閉可能なドアが設けられている。
【００１７】
好ましい実施の形態においては、上記各ワーク搬送用ロボットは、上記搬送室に対して固定される固定ベースと、昇降ベースと、この昇降ベースを上記固定ベースに対して昇降させる昇降機構と、一端が上記昇降ベースに対して第１の垂直軸周りに回動可能に支持された第１のアームと、上記第１のアームを上記第１の垂直軸周りに回動させる第１アーム駆動機構と、一端がこの第１のアームの他端に対して第２の垂直軸周りに回動可能に支持された第２のアームと、この第２のアームを上記第２の垂直軸周りに回動させる第２アーム駆動機構と、端部が上記第２のアームの他端に対して第３の垂直軸周りに回動可能に支持されたハンドと、このハンドを上記第３の垂直軸周りに回動させるハンド駆動機構と、を備える。
【００１８】
本発明に係るワーク搬送システムによれば、２台のワーク搬送用ロボットを備え、これらワーク搬送用ロボットにより、ワーク収納室とワーク処理室との間で、並行して２系統でのワークの搬送処理を行うことができる。したがって、上記構成のワーク搬送システムによれば、より高いスループットを実現することができ、本システム全体を効率よく稼働させることができる。
【００１９】
また、上記構成のワーク搬送システムにおいては、搬送室内の空間を分離する第１および第２の空間分離手段を備える。このため、本システムの稼働中に第１の搬送用ロボットが故障した場合には、第１の空間分離手段を機能させることにより、第１のロボット周辺領域と中央領域とを分離することができる。また、第２の搬送用ロボットが故障した場合には、第２の空間分離手段を機能させることにより、第２のロボット周辺領域と中央領域とを分離することができる。したがって、本システムをクリーン環境下で使用する場合、２台のうち一方のワーク搬送用ロボットが故障しても、これに対応するように搬送室内の空間を分離することにより、他方のワーク搬送用ロボットによるクリーン環境下でのワークの搬送処理を継続しつつ、故障したワーク搬送用ロボットの交換等を行うことができる。このことは、本システム全体を効率よく稼働するのに資する。
【００２０】
本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係るワーク搬送システムの全体構成を示す平面図である。
【図２】図１に示すワーク搬送システムの縦断面図である。
【図３】ワーク搬送用ロボットの側面図である。
【図４】ワーク搬送用ロボットの制御系の概略構成例を示すブロック図である。
【図５】空間分離手段の部分拡大横断面図である。
【図６】ワーク搬送用ロボットの動作を説明するための平面図である。
【図７】ワーク搬送用ロボットの動作を説明するための平面図である。
【図８】ワーク搬送用ロボットの動作を説明するための平面図である。
【図９】ワーク搬送用ロボットの動作を説明するための平面図である。
【図１０】ワーク搬送用ロボットの動作を説明するための平面図である。
【図１１】図１に示すワーク搬送システムによるワーク搬送の手順を説明するための平面図である。
【図１２】図１に示すワーク搬送システムによるワーク搬送の手順を説明するための平面図である。
【図１３】ワーク搬送用ロボットの復旧作業の手順を説明するための平面図である。
【図１４】ワーク搬送用ロボットの復旧作業の手順を説明するための平面図である。
【図１５】ワーク搬送用ロボットの復旧作業の手順を説明するための縦断面図である。
【図１６】ワーク搬送用ロボットの復旧作業の手順を説明するための縦断面図である。
【図１７】本発明に係るワーク搬送システムの他の例を示す平面図である。
【図１８】本発明に係るワーク搬送システムの他の例を示す平面図である。
【図１９】従来のワーク搬送システムの一例を示す平面図である。
【図２０】従来のワーク搬送システムの一例を示す平面図である。
【図２１】従来のワーク搬送システムの一例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の好ましい実施形態につき、図面を参照しつつ具体的に説明する。
【００２３】
図１は、本発明に係るワーク搬送システムの一例を示している。本実施形態のワーク搬送システムＡ１は、３つのワーク収納室１（以下、適宜、ワーク収納室１Ａ，１Ｂ，１Ｃという）と、搬送室２と、ワーク処理室３と、２台の搬送用ロボット４（以下、適宜、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂという）と、これら搬送用ロボット４の動作を制御するコントローラ５（図示略）と、空間分離手段６Ａ，６Ｂとを備え、たとえばウエハ等の薄板状のワークＷの搬送を行うように構成されたものである。本実施形態では、ワーク搬送システムＡ１は、たとえばクラス１〜クラス１００程度のクリーン環境下で使用される。
【００２４】
ワーク収納室１は、たとえば複数のワークＷを保持したカセットを収納可能に構成されており、一定ピッチで直線状に配列されている。ワーク収納室１の適所には、上記カセットの入れ替え時に使用する開閉式のシャッタ（図示略）が設けられている。また、ワーク収納室１と搬送室２との間には、開閉式のシャッタ（図示略）が設けられている。当該シャッタは、上記カセットの入れ替え時、あるいは搬送用ロボット４によるワークＷの搬出入が行われない時には、閉止される。
【００２５】
搬送室２は、上記３つのワーク収納室１に隣接して設けられている。搬送室２は、ワーク収納室１とワーク処理室３とが離間する方向Ｙ１−Ｙ２において対向する側壁２ａ，２ｂと、ワーク収納室１の配列方向Ｘ１−Ｘ２において対向する側壁２ｃ，２ｄとを有し、上記配列方向Ｘ１−Ｘ２において長手状の略直方体形状とされている。側壁２ｃ，２ｄには、開閉可能なドア２ｅ，２ｆが設けられている。
【００２６】
図１および図２に表れているように、搬送室２の天井には、３つのファンフィルタユニット２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃが設けられている。ファンフィルタユニット２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃは、清浄空気を搬送室２内に供給するためのものであり、図中右側のファンフィルタユニット２０Ａは、右側のワーク収納室１Ａに対応して位置し、図中中央のファンフィルタユニット２０Ｂは、中央のワーク収納室１Ｂに対応して位置し、図中左側のファンフィルタユニット２０Ｃは、左側のワーク収納室１Ｃに対応して位置している。ファンフィルタユニット２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃは、それぞれ、独立して電源のオン−オフ切換および風量調節が可能とされている。
【００２７】
搬送室２の床は、多数の貫通孔２１ａが床面に形成された通気床２１（排気部）とされている。通気床２１は、搬送室２の床全域に設けられている。また、搬送室２の下方には、ダクト２２が設けられており、ファンフィルタユニット２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃから清浄空気が供給されると、搬送室２内ではダウンフローが生じ、搬送室２内の空気は、通気床２１およびダクト２２を通じて外部に排出される。
【００２８】
ワーク処理室３は、加熱処理、加工処理あるいは検査処理などの処理をワークＷに対して行うためのものである。ワーク処理室３は、搬送室２に対して、ワーク収納室１とは反対側に隣接して設けられている。ワーク処理室３は、ワーク収納室１の配列方向Ｘ１−Ｘ２における中央位置に設けられている。なお、ワーク処理室３と搬送室２との間には、必要に応じて開閉式のシャッタ（図示略）が設けられる。
【００２９】
搬送用ロボット４は、ワーク収納室１とワーク処理室３との間でワークＷの搬送を行うためのものであり、搬送室２内に配置されている。図１および図３に表れているように、搬送用ロボット４は、搬送室２の下部に対して台座を介して固定される固定ベース４０と、昇降ベース４１と、長手状の下段アーム４２および上段アーム４３と、ハンド４４とを備えている。
【００３０】
昇降ベース４１は、固定ベース４０に対して昇降可能に支持されている。具体的には、たとえば、固定ベース４０の内部に図示しない上下方向の直線ガイドレールが設けられ、昇降ベース４１に設けられた図示しないスライダが上記ガイドレールに対して上下方向にスライド移動可能に支持されている。また、固定ベース４０の内部には図示しないネジ軸が回転自在に支持され、昇降ベース４１には、上記ネジ軸に螺合するナットが設けられている。固定ベース４０の下部には図示しない昇降用のサーボモータが設けられ、この昇降用モータの出力軸に設けられた出力プーリと、上記ネジ軸に設けられたプーリとの間にベルトが掛け回されている。かかる構成により、上記昇降用モータが駆動すると、上記ネジ軸が回転させられ、当該ネジ軸の回転により、昇降ベース４１が昇降させられる。このようにして、昇降ベース４１を固定ベース４０に対して昇降させる昇降機構が構成される。
【００３１】
下段アーム４２は、たとえば中空状の略四角柱形状とされており、長手方向が水平となる姿勢で昇降ベース４１に支持されている。たとえば、下段アーム４２の基端４２ａには、図示しない垂直下向きの軸部が設けられており、当該軸部が昇降ベース４１の上部に形成された孔に嵌挿された状態で垂直軸Ｏ１周りに回動可能に支持されている。また、昇降ベース４１には図示しない下段アーム駆動用のサーボモータが設けられ、この下段アーム用モータの出力軸に設けられた出力プーリと、下段アーム４２の上記軸部に設けられた従動プーリとの間にベルトが掛け回されている。かかる構成により、上記下段アーム用モータが駆動すると、下段アーム４２は、垂直軸Ｏ１周りに回動させられる。このようにして、下段アーム４２を垂直軸Ｏ１周りに回動させる下段アーム駆動機構が構成される。なお、本実施形態では、垂直軸Ｏ１は、固定ベース４０の中心に対して所定の距離Ｌ１だけ偏倚した位置に設定される。
【００３２】
上段アーム４３は、たとえば中空状の略四角柱形状とされており、長手方向が水平となる姿勢で下段アーム４２に支持されている。たとえば、上段アーム４３の基端４３ａには、図示しない垂直下向きの軸部が設けられており、当該軸部が下段アーム４２の先端上部に形成された孔に嵌挿された状態で垂直軸Ｏ２周りに回動可能に支持されている。また、昇降ベース４１には図示しない上段アーム駆動用のサーボモータ（上段アーム用モータ）が設けられ、下段アーム４２の軸部に対して相対回転可能に上段アーム用中継軸が設けられている。そして、上段アーム用モータの出力軸に設けられた出力プーリと上段アーム用中継軸の下端に設けられた下位中継プーリとの間、および上段アーム用中継軸の上端に設けられた上位中継プーリと上段アーム４３の上記軸部に設けられた従動プーリとの間、にそれぞれベルトが掛け回されている。かかる構成により、上段アーム用モータが駆動すると、上段アーム４３は、垂直軸Ｏ２周りに回動させられる。このようにして、上段アーム４３を垂直軸Ｏ２周りに回動させる上段アーム駆動機構が構成される。
【００３３】
ハンド４４は、先端部が二股のフォーク状とされており、中心線が水平となる姿勢で上段アーム４３に支持されている。ハンド４４には、たとえばウエハなどの所定サイズの円形のワークＷを載置保持するための部分円状の凹段部４４ｂが形成されている。たとえば、ハンド４４の基端４４ａには、図示しない垂直下向きの軸部が設けられており、当該軸部が上段アーム４３の先端上部に形成された孔に嵌挿された状態で垂直軸Ｏ３周りに回動可能に支持されている。また、昇降ベース４１には図示しないハンド駆動用のサーボモータ（ハンド用モータ）が設けられ、下段アーム４２の軸部に対して相対回転可能に第１中継軸が設けられ、上段アーム４３の軸部に対して相対回転可能に第２中継軸が設けられている。そして、ハンド用モータの出力軸に設けられた出力プーリと第１中継軸の下端に設けられた下位第１中継プーリとの間、第１中継軸の上端に設けられた上位第１中継プーリと第２中継軸の下端に設けられた下位第２中継プーリとの間、および第２中継軸の上端に設けられた上位第２中継プーリとハンド４４の上記軸部に設けられた従動プーリとの間、にそれぞれベルトが掛け回されている。かかる構成により、ハンド用モータが駆動すると、ハンド４４は、垂直軸Ｏ３周りに回動させられる。このようにして、ハンド４４を垂直軸Ｏ３周りに回動させるハンド駆動機構が構成される。
【００３４】
昇降ベース４１、アーム４２，４３、およびハンド４４の支持構造、ならびに昇降機構、各アーム駆動機構、およびハンド駆動機構については、詳細な図示説明は省略したが、たとえば特開２００３−１８８２３１号公報記載の構造と同様の構造によって実現することができる。なお、各アーム駆動機構、およびハンド駆動機構の一例として、昇降ベース４１にそれぞれの駆動用モータを設け、プーリ、中継軸、およびベルトの連係によりアーム４２，４３、およびハンド４４が回動させられる場合について説明したが、これに代えて、アーム４２，４３、およびハンド４４の軸部に駆動用モータの出力軸を直接つなげてもよい。
【００３５】
なお、固定ベース４０と昇降ベース４１との間、昇降ベース４１と下段アーム４２との間、下段アーム４２と上段アーム４３との間、および上段アーム４３とハンド４４との間には、それぞれ、必要に応じて図示しないシール部材が介装される。これにより、搬送用ロボット４の内部空間は外部に対して気密シールされ、たとえば搬送用ロボット４内部のパーティクルが搬送室２へ拡散することは防止される。
【００３６】
図１に表れているように、上記構成の２台の搬送用ロボット４は、ワーク収納室１の配列方向Ｘ１−Ｘ２についてワーク処理室３を挟むように離間し、かつ左右のワーク収納室１Ａ，１Ｃに対応する位置に配置され、たとえば上記配列方向Ｘ１−Ｘ２における中央位置から互いに同じ距離の位置に配置されている。ここで、「同じ距離」とは、設計上において、上記中央位置から図中右側の搬送用ロボット４Ａまでの距離と、上記中央位置から図中左側の搬送用ロボット４Ｂまでの距離とを等しくしておくことを意味する。本実施形態では、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂは、左右のワーク収納室１Ａ，１Ｃに正対して位置し、かつ搬送室２のうちワーク処理室３に面した側壁２ａに近接して位置する。
【００３７】
また、詳細な図示説明は省略するが、搬送用ロボット４は、たとえば精密な位置調整が可能な治具を介して搬送室２に固定される。搬送室２に対する搬送用ロボット４の固定については、たとえば、てこの原理を利用するなどのボルト締結以外の手法を採用することができる。
【００３８】
固定ベース４０の下部側面には、上記各モータに対する給電や制御信号の伝送を行うためのコネクタ（図示略）が設けられている。
【００３９】
図４は、搬送用ロボットの制御系の概略構成例を示すブロック図である。図４に示すように、２台の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂは、コントローラ５に接続されている。コントローラ５は、メイン制御部５０と、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂにそれぞれ設けられたサーボモータを制御するサーボ制御部５１Ａ，５１Ｂとを有している。
【００４０】
メイン制御部５０には、たとえば、ロボットの制御プログラム等を実行し演算処理を行うＣＰＵ、各種プログラムや設定データ等を格納したＲＯＭ、データ等の一時的な記憶に用いられるＲＡＭ等が組み込まれており、これらがバスラインを介して接続されている。また、メイン制御部５０には、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂに対するティーチング作業や手動操作（原点調整や手動入力操作）を行うためのティーチペンダント５２が接続されている。
【００４１】
メイン制御部５０には、サーボ制御部５１Ａ，５１Ｂが接続されており、サーボ制御部５１Ａ，５１Ｂは、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂに接続されている。サーボ制御部５１Ａ，５１Ｂは、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂにそれぞれ設けられたサーボモータの駆動制御を行うとともにサーボモータの各軸の位置情報をエンコーダからのフィードバック信号として受ける。また、メイン制御部５０は、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂとの電気的接続状態を検出しており、たとえば搬送用ロボット４Ａ，４Ｂのいずれかとの電気的接続が断たれると、接続異常を検出する。なお、サーボ制御部５１Ａ，５１Ｂには電源装置５３が接続されており、電源装置５３からの駆動電流は、サーボ制御部５１Ａ，５１Ｂを介して搬送用ロボット４Ａ，４Ｂのサーボモータへ供給される。
【００４２】
電源装置５３とサーボ制御部５１Ａ，５１Ｂとの間には、スイッチ装置５４が設けられている。スイッチ装置５４は、メイン制御部５０に接続されている。メイン制御部５０は、たとえば、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂのいずれかから、サーボモータの駆動状態について、あらかじめ設定された適正範囲を超えた信号を受けると、当該搬送用ロボットが故障であると判定し、電源装置５３から当該搬送用ロボットへの通電を遮断するようにスイッチ装置５４を制御する。また、メイン制御部５０は、いずれかの搬送用ロボットの故障を検出すると、当該搬送用ロボットとの電気的接続状態の検出を無効にする。このように、本実施形態では、コントローラ５（メイン制御部５０）は、２台の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂの駆動を統括的に制御している。
【００４３】
上記構成の搬送用ロボット４においては、上記した下段アーム用モータ、上段アーム用モータ、およびハンド用モータをそれぞれ独立して駆動制御することが可能であり、下段アーム４２、上段アーム４３、およびハンド４４を垂直軸Ｏ１，Ｏ２，Ｏ３周りに回動させることができる。したがって、下段アーム４２、上段アーム４３、およびハンド４４のそれぞれの回動を適宜制御することにより、これらが垂直軸Ｏ１，Ｏ２，Ｏ３周りに回動し得る範囲でハンド４４を所望の位置に移動させることができる。また、上記した昇降用モータを一方向に回転させることにより、昇降ベース４１を上昇させることができ、昇降用モータを他方向に回転させることにより、昇降ベース４１を下降させることができる。これにより、ハンド４４を所定範囲内で所望の高さに上下移動させることができる。
【００４４】
空間分離手段６Ａ，６Ａは、搬送室２内の空間を分離するためのものである。図１に表れているように、右側の空間分離手段６Ａは、ワーク収納室１の配列方向Ｘ１−Ｘ２において右側のワーク収納室１Ａと中央のワーク収納室１Ｂとの間に設けられ、左側の空間分離手段６Ｂは、上記配列方向Ｘ１−Ｘ２において左側のワーク収納室１Ｃと中央のワーク収納室１Ｂとの間に設けられている。
【００４５】
図１または図２に表れているように、空間分離手段６Ａ，６Ｂは、それぞれ、一対のガイドレール６０と、巻取り軸６１と、ロールカーテン６２（遮蔽部材）と、フィン６３と、を備えている。一対のガイドレール６０は、搬送室２の側壁２ａ，２ｂに設けられており、上下方向に沿って延びている。巻取り軸６１は、一対のガイドレール６０の上端近傍において、上記方向Ｙ１−Ｙ２に沿う回転軸Ｏ４周り回転可能に設けられている。巻取り軸６１の端部には、図示しない駆動モータ（駆動部）の出力軸が連結されており、当該駆動モータの駆動により巻取り軸６１が回転させられる。
【００４６】
ロールカーテン６２は、端部が巻取り軸６１に連結されるとともに巻取り軸６１に巻回されている。ロールカーテン６２の素材としては、発塵しにくいものが好適であり、またロールカーテン６２の表面には、好ましくは、たとえばパーティクルの付着を防止するための帯電防止加工が施される。ロールカーテン６２は、巻取り軸６１の回転により、ガイドレール６０に沿って上下にスライド移動させられる。ロールカーテン６２の下部には、重り６２ａが設けられている。
【００４７】
フィン６３は、ガイドレール６０とロールカーテン６２との間を，密閉するためのものであり、図５（ａ）に表れているように、各ガイドレール６０のレール部を挟んで両側に設けられている。各フィン６３は、たとえばガイドレール６０の全長に略対応する上下方向長さを有しており、ガイドレール６０の長手方向に沿う回動軸Ｏ５周りに回動可能に支持されている。  フィン６３の先端内側面には、たとえばゴム材６３ａが設けられており、図５（ｂ）に示すように、フィン６３が矢印Ｎ１方向に回動させられると、ロールカーテン６２は、このロールカーテン６２を挟んで両側のフィン６３により挟持される。また、フィン６３の外側面およびガイドレール６０の外側面には、たとえばこれらを跨いで覆うゴムシート６３ｂが貼着されている。上記構成のフィン６３は、たとえば図示しないフィン用モータにより回動させられる。
【００４８】
空間分離手段６Ａ，６Ｂにおいて、巻取り軸６１の回転によりロールカーテン６２が繰り出され、フィン６３が図５（ｂ）に示すように回動されると、搬送室２内の空間が分離される。このとき、空間分離手段６Ａ，６Ｂが機能した状態にある。より具体的には、図１および図２を参照すると理解できるように、右側の空間分離手段６Ａによれば、右側のワーク収納室１Ａに対応する右側の搬送用ロボット４Ａの周辺領域（ロボット周辺領域２３Ａ）と、このロボット周辺領域２３Ａに対して上記配列方向Ｘ１−Ｘ２中央側に隣接する中央領域２３Ｂとに分離される。左側の空間分離手段６Ｂによれば、左側のワーク収納室１Ｃに対応する左側の搬送用ロボット４Ｂの周辺領域（ロボット周辺領域２３Ｃ）と、上記中央領域２３Ｂとに分離される。なお、本実施形態では、空間を分離するための遮蔽部材としてロールカーテン６２を用いる場合を例示したが、これに代えて、たとえばシャッタなどの他の遮蔽部材を用いてもよい。
【００４９】
本実施形態においては、２台の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂのうち、図１における右側の搬送用ロボット４Ａは、右側と中央の２つのワーク収納室１Ａ，１Ｂに対してワークＷの搬出入を行い、左側の搬送用ロボット４Ｂは、左側と中央の２つのワーク収納室１Ｃ，１Ｂに対してワークＷの搬出入を行う。
【００５０】
図６〜図１０は、右側の搬送用ロボット４Ａについて、ワーク収納室１Ａ，１Ｂおよびワーク処理室３に対してワークＷを搬出入するときの状態変化を示す。図６は、ハンド４４がワーク収納室１Ａの前に位置する状態である。
【００５１】
図７は、ハンド４４がワーク収納室１Ａ内に進入して、ワークＷの受け渡しを行う状態を示す。ハンド４４は、図６に示す状態から図７に示す状態まで、略同じ姿勢を維持したまま略直線状に移動させられる。
【００５２】
図８は、ハンド４４がワーク処理室３の前に位置する状態である。ハンド４４は、図６に示す状態から図８に示す状態まで、平面視において時計回りに約９０°回動する姿勢変更をともないつつ移動させられる。
【００５３】
図９は、ハンド４４がワーク処理室３内に進入して、ワークＷの受け渡しを行う状態を示す。ハンド４４は、図８に示す状態から図９に示す状態まで、時計回りに９０°回動する姿勢変更をともないつつ略直線状に移動させられる。ここで、搬送用ロボット４Ａは、ワーク処理室３に正対する位置から配列方向Ｘ１−Ｘ２に偏倚した位置に配置されている。このため、搬送用ロボット４Ａを搬送室２のうちワーク処理室３に面した側壁２ａに近接させても、搬送用ロボット４Ａと側壁２ａとは干渉しない。
【００５４】
図１０は、ハンド４４がワーク収納室１Ｂ内に進入して、ワークＷの受け渡しを行う状態を示す。ハンド４４は、図８に示す状態から図１０に示す状態まで、反時計回りに９０°回動する姿勢変更をともないつつ略直線状に移動させられる。
【００５５】
なお、ワーク収納室１Ａ，１Ｂおよびワーク処理室３内でのワークＷの受け渡しは、昇降ベース４１を適宜昇降させ、ハンド４４を上下動させることにより行う。
【００５６】
本実施形態では、下段アーム４２、上段アーム４３、およびハンド４４がそれぞれ独立して回動可能であるため、 図６〜図１０を参照して上述したように、ハンド４４に多様な動作を行わせることができる。
【００５７】
次に、ワーク搬送システムＡ１において、２台の搬送用ロボット４Ａ，４ＢによりワークＷを搬送する際の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂの動作手順の一例について、図１１および図１２を参照して説明する。
【００５８】
また、２台の搬送用ロボット４Ａ，４ＢによりワークＷを搬送する際には、搬送室２の内部全体は、ファンフィルタユニット２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの駆動により、たとえばクラス１〜クラス１００程度のクリーン環境に維持される。このとき、空間分離手段６Ａ，６Ｂにおいて、いずれもロールカーテン６２が巻き取られており、ロボット周辺領域２３Ａ、中央領域２３Ｂ、およびロボット周辺領域２３Ｃは、互いに開放されている。したがって、空間分離手段６Ａ，６Ｂは、機能していない状態にある。
【００５９】
図１１および図１２に示す例では、右側と左側のワーク収納室１Ａ，１Ｃは、処理前のワークＷを収納するためのものであり、ワーク収納室１Ａ，１Ｃ内のワークＷが１枚ずつワーク処理室３へ搬送される。中央のワーク収納室１Ｂは、処理済のワークＷを収納するためのものであり、ワーク処理室３にて処理されたワークＷがワーク収納室１Ｂへ搬送される。
【００６０】
図１１（ａ）では、右側の搬送用ロボット４Ａによりワーク処理室３内の処理済みのワークＷが受け取られ、左側の搬送用ロボット４Ｂにより左側のワーク収納室１Ｃ内の処理前のワークＷが受け取られる。
【００６１】
図１１（ｂ）では、右側の搬送用ロボット４Ａによりワーク処理室３から処理済のワークＷが搬出され、左側の搬送用ロボット４Ｂによりワーク収納室１Ｃから処理前のワークＷが搬出される。
【００６２】
図１１（ｃ）では、右側の搬送用ロボット４Ａにより処理済のワークＷが中央のワーク収納室１Ｂに搬入され、左側の搬送用ロボット４Ｂにより処理前のワークＷがワーク処理室３の前に移動させられる。ここで、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂどうしの衝突を防止するために、これらロボット４Ａ，４Ｂのアーム４２，４３ないしハンド４４の高さが異ならせられている。このような搬送用ロボット４Ａ，４Ｂの衝突防止は、図１１（ｄ）および図１２（ｈ）、（ｉ）に示すときにもなされる。
【００６３】
図１１（ｄ）では、右側の搬送用ロボット４Ａにおいては、中央のワーク収納室１Ｂからハンド４４が退避させられ、左側の搬送用ロボット４ＢによりワークＷがワーク処理室３内に搬入される。
【００６４】
図１１（ｅ）では、右側の搬送用ロボット４Ａにおいては、右側のワーク収納室４Ａの前にハンド４４が移動させられ、左側の搬送用ロボット４Ｂにおいては、ワーク処理室３からハンド４４が退避させられる。ここで、ワーク処理室３内では、ワークＷに対して適宜処理が行われる。
【００６５】
詳細な説明は省略するが、図１２（ｆ）〜（ｊ）において、図１１（ａ）〜（ｅ）に対して左右が入れ替わった動作が行われる。右側の搬送用ロボット４Ａについては、図１１（ａ）〜（ｅ）における左側の搬送用ロボット４Ｂと同様の動作が行われ、左側の搬送用ロボット４Ｂについては、図１１（ａ）〜（ｅ）における右側の搬送用ロボット４Ａと同様の動作が行われる。
【００６６】
そして、２台の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂについて、図１１（ａ）〜（ｅ）および図１２（ｆ）〜（ｊ）の動作を繰り返すことにより、右側の搬送用ロボット４Ａによるワーク収納室１Ａ，１Ｂおよびワーク処理室３の間でのワークＷの搬送と、左側の搬送用ロボット４Ｂによるワーク収納室１Ｂ，１Ｃおよびワーク処理室３の間でのワークＷの搬送とが、タイミングをずらしつつ並行して行われる。すなわち、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂにより、２系統でのワークＷの搬送処理が並行して行われる。
【００６７】
なお、本実施形態では、左右のワーク収納室１Ａ，１Ｃに処理前のワークＷを収納し、中央のワーク収納室１Ｂに処理済のワークＷを収納するようにワーク収納室１Ａ，１Ｂ，１Ｃを割り当てたが、ワーク収納室１Ａ，１Ｂ，１Ｃの割り当ては、これに限定されない。また、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂの具体的な動作手順についても、図１１（ａ）〜（ｅ）および図１２（ｆ）〜（ｊ）を参照して上述したものに限定されない。
【００６８】
次に、いずれかの搬送用ロボット４Ａ，４Ｂが故障した場合において、当該故障したロボット４Ａ，４Ｂの交換等の復旧作業の一例について説明する。図１３〜図１６を参照して、右側の搬送用ロボット４Ａが故障した場合の作業手順について説明する。
【００６９】
まず、搬送用ロボット４Ａが部品故障などにより適正に動作しなくなると、当該故障した搬送用ロボット４Ａへの通電が遮断され、当該ロボット４Ａが停止する。次いで、ティーチペンダント５２を用いた手動操作により、図１３に表れているように、搬送用ロボット４Ａのハンド４４がワーク収納室１Ａの前に位置する状態とする。
【００７０】
次に、右側の空間分離手段６Ａを機能させる。すなわち、図５（ｂ）に示すように、ロールカーテン６２を繰り出し、フィン６３を回動させてロールカーテン６２に密着した状態とする。これにより、搬送用ロボット４Ａの周辺領域２３Ａと、中央領域２３Ｂとが分離される（図１４参照）。
【００７１】
次に、図１５に表れているように、右側のファンフィルタユニット２０Ａを停止させる。そして、搬送室２の側壁２ｃに設けられたドア２ｅを通じてロボット周辺領域２３Ａに作業者が入り、搬送用ロボット４Ａの交換等の作業を行う。ここで、ロボット周辺領域２３Ａにおいては、無数のパーティクルが侵入し、クリーン度が著しく低下する。なお、搬送用ロボット４Ａを交換する際には、当該ロボット４Ａの電気的接続状態の検出が無効とされるので、他方の搬送用ロボット４Ｂの運転を継続することができる。
【００７２】
一方、中央領域２３Ｂおよびロボット周辺領域２３Ｃは、空間分離手段６Ａによりロボット周辺領域２３Ａと分離されており、ファンフィルタユニット２０Ｂ，２０Ｃにより清浄空気が供給され続けているので、クリーン環境が維持される。なお、このとき、ファンフィルタユニット２０Ｂ，２０Ｃにより清浄空気が供給され続けている中央領域２３Ｂおよびロボット周辺領域２３Ｃの内圧は、ファンフィルタユニット２０Ａによる清浄空気の供給が停止したロボット周辺領域２３Ａの内圧よりも十分に高い。したがって、ロボット周辺領域２３Ａから中央領域２３Ｂ側へのパーティクルの侵入は確実に防止され、かかる点においても、中央領域２３Ｂおよびロボット周辺領域２３Ｃのクリーン環境が適切に維持される。
【００７３】
搬送用ロボット４Ａの交換等の作業が終了すると、ロボット周辺領域２３Ａを清掃し、ファンフィルタユニット２０Ａを稼動させる。このとき、図１６に表れているように、ファンフィルタユニット２０Ａの運転再開後しばらくの間は、当該ファンフィルタユニット２０Ａの風量をファンフィルタユニット２０Ｂ，２０Ｃの風量よりも小さくする。ファンフィルタユニット２０Ａの運転再開後しばらくの間、ロボット周辺領域２３Ａはクリーン度が低く、中央領域２３Ｂおよびロボット周辺領域２３Ｃに比べて多数のパーティクルが存在するところ、ファンフィルタユニット２０Ｂ，２０Ｃの風量の大小関係より、中央領域２３Ｂおよびロボット周辺領域２３Ｃの内圧は、ロボット周辺領域２３Ａの内圧よりも高くなっており、ロボット周辺領域２３Ａから中央領域２３Ｂ側へのパーティクルの侵入は防止される。
【００７４】
次いで、ロボット周辺領域２３Ａのクリーン度が十分に高められると、ファンフィルタユニット２０Ａの風量をファンフィルタユニット２０Ｂ，２０Ｃの風量と同程度まで増加させるとともに、空間分離手段６Ａのロールカーテン６２を巻取り、当該空間分離手段６Ａが機能しない状態にする。そして、継続運転している左側の搬送用ロボット４Ｂとの干渉を防止しつつ、右側の搬送用ロボット４Ａを稼動させる。
【００７５】
このようなことから理解できるように、右側の搬送用ロボット４Ａの交換等を行っている最中においても、左側の搬送用ロボット４Ｂにより、クリーン環境下でワーク搬送を継続することができる。また、搬送用ロボット４Ａの交換等の後には、クリーン環境を維持したまま、２台の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂによるワーク搬送を継続することができる。
【００７６】
左側の搬送用ロボット４Ｂが故障等により停止した場合にも、上記と同様のことがいえる。すなわち、左側の空間分離手段６Ｂを機能させることにより、搬送用ロボット４Ｂの交換等の最中においても、右側の搬送用ロボット４Ａは、クリーン環境下でワーク搬送を継続することが可能である。左側の搬送用ロボット４Ｂの復旧後には、クリーン環境を維持したまま、２台の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂによるワーク搬送を継続することができる。
【００７７】
上記構成のワーク搬送システムＡ１においては、２台の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂを備え、これら搬送用ロボット４Ａ，４Ｂにより、ワーク収納室１Ａ，１Ｂ，１Ｃと、ワーク処理室３との間で、並行して２系統でのワークＷの搬送処理を行うことができる。したがって、本実施形態のワーク搬送システムＡ１によれば、より高いスループットを実現することができ、本システム全体を効率よく稼働させることができる。
【００７８】
２台の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂは、ワーク収納室１の配列方向Ｘ１−Ｘ２における中央位置から同じ距離の位置に配置されている。このため、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂについて左右対称の動作をさせることが可能であり、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂの制御が比較的に容易である。
【００７９】
搬送用ロボット４Ａ，４Ｂは、ワーク処理室３に正対する位置から配列方向Ｘ１−Ｘ２に偏倚した位置に配置されている。このため、搬送室２の側壁２ａに対する搬送用ロボット４Ａ，４Ｂの干渉を防止しつつ、当該ロボット４Ａ，４Ｂを側壁２ａに近接させることができる。したがって、ワーク収納室９１とワーク処理室９３とが離間する方向Ｙ１−Ｙ２（図１参照）の寸法を小さくすることができ、フットプリント（ワーク搬送システムＡ１の占有床面積）の低減を図ることができる。
【００８０】
また、本実施形態のようにクリーン環境下でワークＷの搬送を行う場合には、フットプリントの低減により、クリーン環境を維持すべき室内空間を小さくすることができるので、クリーン環境の維持にかかるコストの削減にも資する。さらに、クリーン環境形成手段としてのファンフィルタユニット２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃと通気床２１を搬送室２の上部と下部に配置した構成によれば、フットプリントの低減に寄与する。
【００８１】
ワーク搬送システムＡ１においては、２台の搬送用ロボット４（４Ａ，４Ｂ）により２系統のワーク搬送が行われるところ、仮に１台の搬送用ロボット４が部品故障などにより適正に動作しなくなった場合、当該故障した搬送用ロボット４への通電が遮断されるため、当該故障した搬送用ロボット４が暴走して制御不能に陥ることはない。したがって、２台のうち一方の搬送用ロボット４が故障しても、他方の搬送用ロボット４によりワークＷの搬送処理を継続することができる。このことは、本システム全体を効率よく稼働するのに資する。
【００８２】
さらに、ワーク搬送システムＡ１においては、上述したように、本システムの稼働中に右側の搬送用ロボット４Ａが故障した場合には、空間分離手段６Ａを機能させることにより、ロボット周辺領域２３Ａと中央領域２３Ｂとを分離することができる。また、左側の搬送用ロボット４Ｂが故障した場合には、空間分離手段６Ｂを機能させることにより、ロボット周辺領域２３Ｃと中央領域２３Ｂとを分離することができる。したがって、本システムＡ１をクリーン環境下で使用する場合、２台のうち一方の搬送用ロボット４が故障しても、これに対応するように搬送室２内の空間を分離することにより、他方の搬送用ロボット４によるクリーン環境下でのワークＷの搬送処理を継続しつつ、故障した搬送用ロボット４の交換等を行うことができる。このことは、本システム全体を効率よく稼働するのに資する。
【００８３】
本実施形態では、空間分離手段６Ａ，６Ｂは、ガイドレール６０に沿って上下スライド可能なロールカーテン６２が巻取り軸６１に巻回された構成であるため、当該空間分離手段６Ａ，６Ｂの占有スペースを小さくすることができる。また、空間分離手段６Ａ，６Ｂは、ガイドレール６０とロールカーテン６２との間を密閉するフィン６３（ゴム材６３ａおよびゴムシート６３ｂを含む）を備えている。このため、ロールカーテン６２による比較的簡単な空間分離手法を採用しつつ、各空間分離手段６Ａ，６Ｂを機能させた場合には、クリーン環境下にある空間のクリーン度を適切に維持することができる。
【００８４】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の技術的範囲は上記した実施形態に限定されるものではない。本発明に係るワーク搬送システムの各部の具体的な構成は、発明の思想から逸脱しない範囲内で種々な変更が可能である。
【００８５】
上記実施形態においては、３つのワーク収納室を具備する場合を例に挙げたが、ワーク収納室の数はこれに限定されず、たとえば４つまたは５つのワーク収納室を具備するワーク搬送システムにも本発明は適用可能である。
【００８６】
図１７は、４つのワーク収納室１を具備するワーク搬送システムを示す。図１７に示されたワーク搬送システムＡ２において、２台の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂは、左右両端のワーク収納室１Ａ，１Ｄに正対して配置される。右側の搬送用ロボット４Ａは、ワーク収納室１Ａと、これに隣接するワーク収納室１Ｂと、ワーク処理室３との間でワークＷを搬送し、左側の搬送用ロボット４Ｂは、ワーク収納室１Ｄと、これに隣接するワーク収納室１Ｃと、ワーク処理室３との間でワークＷを搬送する。右側の空間分離手段６Ａは、ワーク収納室１の配列方向Ｘ１−Ｘ２においてワーク収納室１Ａ，１Ｂの間に設けられ、左側の空間分離手段６Ｂは、上記配列方向Ｘ１−Ｘ２においてワーク収納室１Ｃ，１Ｄの間に設けられている。
【００８７】
図１８は、５つのワーク収納室１を具備するワーク搬送システムを示す。図１８に示されたワーク搬送システムＡ３において、右側の搬送用ロボット４Ａは、右から２番目（右寄り）のワーク収納室１Ｂに正対する位置に配置され、左側の搬送用ロボット４Ｂは、左から２番目（左寄り）のワーク収納室１Ｄに正対する位置に配置される。右側の搬送用ロボット４Ａは、ワーク収納室１Ａ，１Ｂおよび中央のワーク収納室１Ｃとワーク処理室３との間でワークＷを搬送し、左側の搬送用ロボット４Ｂは、ワーク収納室１Ｄ，１Ｅおよび中央のワーク収納室１Ｃとワーク処理室３との間でワークＷを搬送する。右側の空間分離手段６Ａは、ワーク収納室１の配列方向Ｘ１−Ｘ２においてワーク収納室１Ｂ，１Ｃの間に設けられ、左側の空間分離手段６Ｂは、上記配列方向Ｘ１−Ｘ２においてワーク収納室１Ｃ，１Ｄの間に設けられている。
【００８８】
ワーク搬送システムＡ２，Ａ３においては、ワーク収納室１の数量、および各搬送用ロボット４Ａ，４Ｂによりアクセス可能なワーク収納室１の関係が、上記実施形態のワーク搬送システムＡ１と異なっているが、その他の構成についてはワーク搬送システムＡ１と同様である。したがって、これらワーク搬送システムＡ２，Ａ３においても、ワーク搬送システムＡ１に関して上述したのと同様の利点を享受することができる。
【符号の説明】
【００８９】
Ａ１，Ａ２，Ａ３    ワーク搬送システム
Ｏ１      垂直軸（第１の垂直軸）
Ｏ２      垂直軸（第２の垂直軸）
Ｏ３      垂直軸（第３の垂直軸）
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ    ワーク収納室
２        搬送室
３        ワーク処理室
４        搬送用ロボット（ワーク搬送用ロボット）
４Ａ      搬送用ロボット（第１のワーク搬送用ロボット）
４Ｂ      搬送用ロボット（第２のワーク搬送用ロボット）
５        コントローラ
６Ａ      空間分離手段（第１の空間分離手段）
６Ｂ      空間分離手段（第２の空間分離手段）
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ    側壁
２ｅ，２ｆ    ドア
２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ    ファンフィルタユニット（清浄空気供給部）
２１      通気床（排気部）
２３Ａ    ロボット周辺領域（第１のロボット周辺領域）
２３Ｂ    中央領域
２３Ｃ    ロボット周辺領域（第２のロボット周辺領域）
４０      固定ベース
４１      昇降ベース
４２      下段アーム（第１のアーム）
４３      上段アーム（第２のアーム）
４４      ハンド
５０      メイン制御部
５１Ａ，５１Ｂ    サーボ制御部
５２      ティーチペンダント
５３      電源装置
５４      スイッチ装置
６０      ガイドレール
６１      巻取り軸
６２      ロールカーテン（遮蔽部材）
６３      フィン（シール部）
【図１】
0005498241.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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