(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
自己吸着型シートが両面接着シートを介してバックプレートに貼り付けられて構成されるとともに、前記自己吸着型シートにガラス基板が吸着保持されるガラス基板の保持用膜体において、
前記自己吸着シート及び前記両面接着シートが、各々同一面内に配置された複数枚の前記自己吸着型シート及び前記両面接着シートからなり、該複数枚の自己吸着型シート及び両面接着シートは、隣接する自己吸着型シート及び両面接着シートがそれぞれ所定の隙間をもって前記バックプレートに貼り付けられているガラス基板の保持用膜体。
【請求項２】
自己吸着型シートが両面接着シートを介してバックプレートに貼り付けられて構成されるとともに、前記自己吸着型シートにガラス基板が吸着保持されるガラス基板の保持用膜体において、
前記両面接着シートが、同一面内に配置された複数枚の両面接着シートからなり、少なくとも２枚重ねに貼着され、同一面内の複数枚の両面接着シートは、それぞれ所定の隙間をもって貼り付けられるとともに、両面接着シートの間の所定の隙間が、両面接着シートの積層方向に隣接する両面接着シートの間の所定の隙間と、両面接着シートの積層方向において重ならないガラス基板の保持用膜体。
【請求項３】
前記所定の隙間が、０．５ｍｍ±０．５ｍｍである請求項１又は２に記載のガラス基板の保持用膜体。
【請求項４】
前記ガラス基板のサイズが、３１３０ｍｍ×２８８０ｍｍ以上である請求項１〜３のいずれか１項に記載のガラス基板の保持用膜体。
【請求項５】
前記保持用膜体のサイズが、３２００ｍｍ×３０００ｍｍ以上である請求項４に記載のガラス基板の保持用膜体。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載のガラス基板の保持用膜体によってガラス基板を吸着保持し、該ガラス基板の被研磨面を研磨パッドに押し付けて、ガラス基板の被研磨面を必要な平坦度に研磨するガラス基板の研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板を加工する際に、ガラス基板を保持するガラス基板の保持用膜体、及びガラス基板の研磨方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ用に適用されるガラス基板は、その表面の微小な凹凸やうねりが画像に歪みを与える原因となるために、その微小な凹凸やうねりが研磨装置によって除去される。このような研磨装置として、研磨定盤に貼り付けられた研磨パッドに、研磨ヘッドに保持されたガラス基板を押し当てるとともに、研磨定盤及び研磨ヘッドを相対的に回転させてガラス基板を研磨する研磨装置を、本願出願人が特許文献１において開示している。
また、特許文献１の研磨装置では、研磨ヘッドに取り付けられる自己吸着型の保持用膜体にガラス基板を吸着保持させることにより、ガラス基板を研磨ヘッドに取り付けるようにしている。【０００３】
ところで、最近では、液晶ディスプレイ用のガラス基板の大型化に伴い、このガラス基板を研磨ヘッドに吸着保持させるための保持用膜体のサイズも大型化している。この保持用膜体は、多孔質性の自己吸着型シートが両面接着シートを介してバックプレートに貼り付けられることにより構成され、この自己吸着型シートにガラス基板が吸着保持される。【０００４】
しかしながら、特にＧ１０と称されるサイズ（３１３０ｍｍ×２８８０ｍｍ）のマザーガラス基板を研磨加工する場合、そのサイズのガラス基板を保持する保持用膜体の製造において、自己吸着型シートやバックプレートは、それに対応したサイズの製品を既存の製造設備で製造することができるが、自己吸着型シートをバックプレートに接着する両面接着シートは、既存の製造設備では製造することができず、製造する場合には新規設備投資が必要となり、製造コストが増大してしまうという問題があった。【０００５】
そこで、従来では、既存のサイズの両面接着シートを少なくとも２枚使用して、自己吸着型シートをバックプレートに接着保持していた。【０００６】
自己吸着型シートとしては特許文献２において示されるように、ポリウレタン樹脂で形成された軟質プラスチックシートとしてのポリウレタンシートを例示できる。特許文献２のポリウレタンシートは、その表面層に微多孔が形成され、表面層に水等の液体を含ませることで、表面層の微多孔に浸入した液体の表面張力により研磨定盤に研磨パッドを接着するものであるが、このポリウレタンシートによってガラス基板を自己吸着保持することもできるため、自己吸着型シートとして使用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】日本国特開２００４−１２２３５１号公報
【特許文献２】日本国特開２００７−７８２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、複数枚の両面接着シートを使用する従来の保持用膜体においては、隣接する両面接着シートの端部を隙間無く貼り付けることは難しい。【０００９】
図９（Ａ）は、自己吸着型シート１が２枚の両面接着シート２、２を介してバックプレート３に貼着され、自己吸着型シート１にガラス基板Ｇが吸着保持された断面図が示されている。隣接する両面接着シート２、２の端部同士を隙間無く貼り付けるために、図９（Ａ）に示すように両面接着シート２、２の端部同士を若干量重なるように接着すると、その重なった部分が凸状となり、これが自己吸着型シート１を介してガラス基板Ｇに凸状部４となって転写される。凸状部４が転写された状態でガラス基板Ｇを研磨すると、研磨後のガラス基板Ｇは、この凸状部４となった部分が図９（Ｂ）に示すように逆に凹状部４Ａとなって現れるので、加工表面の平坦性が損なわれ、ガラス基板Ｇの品質が低下するという問題があった。なお、図９（Ａ）では、天地逆さまの図が示されており、実際にはガラス基板Ｇが下方位置にある状態で研磨される。【００１０】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、研磨後のガラス基板の品質を向上させることができるガラス基板の保持用膜体、及びガラス基板の研磨方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、大型のガラス基板を吸着保持する保持用膜体を対象としているため、請求項で述べる１枚の自己吸着型シートとは、大型のガラス基板に対応し得る寸法のものである。また、複数枚の両面接着シートの１枚の両面接着シートは、既存の製造設備で製造することができる最大寸法、又はその寸法よりも若干小さい寸法のものである。【００１４】
本発明は、前記目的を達成するために、自己吸着型シートが両面接着シートを介してバックプレートに貼り付けられて構成されるとともに、前記自己吸着型シートにガラス基板が吸着保持されるガラス基板の保持用膜体において、前記自己吸着シート及び前記両面接着シートが、各々同一面内に配置された複数枚の前記自己吸着型シート及び前記両面接着シートからなり、該複数枚の自己吸着型シート及び両面接着シートは、隣接する自己吸着型シート及び両面接着シートがそれぞれ所定の隙間をもって前記バックプレートに貼り付けられているガラス基板の保持用膜体を提供する。【００１５】
本発明によれば、同一面内に配される複数枚の自己吸着型シートを、複数枚の自己吸着型シート毎に貼着されるとともに同一面内に配される両面接着シートを使用してバックプレートに接着させてもよく、このとき、隣接する自己吸着型シート及び両面接着シートをそれぞれ所定の隙間をもってバックプレートに貼り付ける。このような保持用膜体によって保持されて研磨されたガラス基板は、前記隙間が転写されて研磨されることで、その表面に凸状部が形成されるものの、ガラス基板の表面に形成される凸状部の高さ量は、従来の凹状部の深さ量と比較してその絶対量が小さくなるので、ガラス基板の平坦性を損なわせるものではない。これにより、本発明の保持用膜体によれば、研磨後のガラス基板の品質を向上させることができる。【００１６】
本発明は、前記目的を達成するために、自己吸着型シートが両面接着シートを介してバックプレートに貼り付けられて構成されるとともに、前記自己吸着型シートにガラス基板が吸着保持されるガラス基板の保持用膜体において、前記両面接着シートが、同一面内に配置された複数枚の両面接着シートからなり、該複数枚の両面接着シートは、隣接する両面接着シートがそれぞれ所定の隙間をもって前記自己吸着型シート及び前記バックプレートに貼り付けられているガラス基板の保持用膜体を提供する。【００１７】
本発明によれば、同一面内に配される複数枚の両面接着シートを使用して１枚の自己吸着型シートをバックプレートに接着させてもよいが、このとき、両面接着シートは少なくとも２枚重ねに貼着されてもよい。そして、同一面内の複数枚の両面接着シートは、それぞれ所定の隙間をもって貼り付けられるとともに、同一平面内の両面接着シートの間の所定の隙間が、両面接着シートの積層方向に隣接する両面接着シートの間の所定の隙間と、両面接着シートの積層方向において重ならないように貼り付けられる。【００１８】
このような保持用膜体によって保持されて研磨されたガラス基板は、前記隙間が転写されて研磨されることで、その表面に凸状部が形成されるが、両面接着シートの積層方向に隣接する前記隙間は、両面接着シートの積層方向に重ならない（すなわち、図面上において上下方向に重ならず左右方向にずれている）ため、隙間による転写量を抑えることができる。よって、本発明によれば、ガラス基板の表面に形成される凸状部の高さを低く抑えることができるので、研磨後のガラス基板の品質がより一層向上する。【００１９】
本発明によれば、前記所定の隙間は、０．５ｍｍ±０．５ｍｍに設定されることが好ましい。すなわち、本発明で言う所定の隙間は０ｍｍを含み、０〜１．０ｍｍが好ましい。隙間が０ｍｍの場合には、研磨後のガラス基板への転写による凹状部、凸状部が発生せず、また、隙間が１．０ｍｍ以下であれば、ガラス基板への転写によって形成された凸状部は、ディスプレイ用ガラス基板の品質に影響を与えないので好ましい。【００２０】
また、本発明によれば、前記ガラス基板のサイズは、３１３０（ｍｍ）×２８８０（ｍｍ）以上であることが好ましい。すなわち、本発明の保持用膜体は、Ｇ１０サイズと称されるサイズ以上のサイズのガラス基板を保持し、そのガラス基板を研磨することができる。【００２１】
また、本発明によれば、前記保持用膜体のサイズは、３２００（ｍｍ）×３０００（ｍｍ）以上であることが好ましい。上述したＧ１０サイズ以上のガラス基板を保持するには、３２００（ｍｍ）×３０００（ｍｍ）以上のサイズを有する保持用膜体を使用することが好ましい。【００２２】
本発明は、前記目的を達成するために、本発明のガラス基板の保持用膜体によってガラス基板を吸着保持し、該ガラス基板の被研磨面を研磨パッドに押し付けて、ガラス基板の被研磨面を必要な平坦度に研磨することを特徴とするガラス基板の研磨方法を提供する。【００２３】
これにより、本発明によれば、研磨後のガラス基板の品質を向上させることができる。
【発明の効果】
【００２４】
以上説明したように本発明によれば、同一面内に配された複数枚の両面接着シートの隣接する両面接着シートを、それぞれ所定の隙間をもってバックプレートに貼り付けることで、研磨後のガラス基板の品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１は実施の形態のガラス基板の保持用膜体が適用されたガラス基板の研磨装置の斜視図である。
【図２】図２は図１に示した研磨装置の要部構造を示す拡大断面図である。
【図３】図３は第１の実施の形態の保持用膜体の斜視図である。
【図４】図４は図３に示した保持用膜体の断面図である。
【図５】図５は図３に示した保持用膜体にガラス基板が吸着保持された断面図である。
【図６】図６（Ａ）は隙間をもって貼着した２枚の両面接着シートによって自己吸着型シートをバックプレートに貼着した断面図であり、図６（Ｂ）はガラス基板の表面に形成された凸状部の説明図である。
【図７】図７は第２の実施の形態の保持用膜体の断面図である。
【図８】図８は第３の実施の形態の保持用膜体の断面図である。
【図９】図９（Ａ）は２枚の両面接着シートの端部を重ねて自己吸着型シートをバックプレートに貼着した断面図であり、図９（Ｂ）はガラス基板の表面に形成された凹状部の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、添付図面に従って本発明に係るガラス基板の保持用膜体、及びガラス基板の研磨方法の好ましい実施の形態について説明する。
【００２７】
図１は、実施の形態のガラス基板の保持用膜体が適用されるガラス基板の研磨装置１０の斜視図が示されている。また、図２には、研磨装置１０の要部構造を示す拡大断面図が示されている。
【００２８】
この研磨装置１０は、矩形状に製造されたマザーガラス基板（例えば、一辺が３１３０ｍｍ×２８８０ｍｍ（Ｇ１０サイズ）以上、厚み０．７ｍｍ）Ｇの被研磨面Ａを液晶ディスプレイ用ガラス基板に必要な平坦度に研磨する研磨装置であり、その構成は、ガラス基板Ｇを実施の形態の保持用膜体１２を介してその下面で保持する研磨ヘッド１４と、アルミニウム製のプレート１６を介して研磨パッド１８をその上面で保持する研磨テーブル２０とから構成されている。マザーガラス基板（以下、ガラス基板と称する）Ｇは、自己吸着作用のあるバッキング材等からなる保持用膜体１２に保持されるとともに、研磨ヘッド１４によって被研磨面Ａが研磨パッド１８に押し付けられることにより、被研磨面Ａが必要な平坦度に研磨される。保持用膜体１２は、上記サイズの大型のガラス基板Ｇを吸着保持するために、３２００（ｍｍ）×３０００（ｍｍ）以上のサイズを有することが好ましい。なお、保持用膜体１２の詳細構造については後述する。
【００２９】
研磨中においては図２に示すように、研磨テーブル２０とプレート１６とに貫通形成された多数のスラリ供給孔２２、２２…から、酸化セリウム水溶液等の研磨スラリが研磨パッド１８の下面側から供給される。これにより、研磨パッド１８が研磨スラリによって浸された状態となり、この状態でガラス基板Ｇが研磨される。スラリ供給孔２２、２２…は、研磨テーブル２０とプレート１６において密にかつ均一に形成されているため、研磨パッド１８に研磨スラリが均一に供給される。なお、研磨パッド１８としては、例えば発泡ポリウレタンタイプやスウェードタイプのものが使用され、プレート１６に貼着されている。また、研磨パッド１８は１枚ものでもよいが、ガラス基板Ｇのサイズに対応してそのサイズも大きいことから、複数枚の分割パッドを組み合わせて１枚の研磨パッド１８とすることもできる。更に、研磨テーブル２０には多数の吸引孔２４、２４…が貫通形成されており、これらの吸引孔２４、２４…は不図示のサクションポンプにバルブを介して接続されている。したがって、前記バルブを開放することにより、サクションポンプの吸引力が吸引孔２４、２４…に伝達されるので、プレート１６が研磨テーブル２０の上面に吸着保持される。また、前記バルブを閉鎖することにより、サクションポンプの吸引力が解除されるので、研磨パッド１８のメンテナンス、交換の際に研磨テーブル２０から研磨パッド１８をプレート１６とともに取り外すことができる。
【００３０】
図１に示すように研磨ヘッド１４の上部中央には、スピンドル２６が固定され、このスピンドル２６には回転／昇降装置２８が連結されている。回転／昇降装置２８は、研磨装置１０全体を統括制御する制御部３０によって、ガラス基板Ｇの研磨に好適な回転数及び下降動作（押圧力）に制御されている。
【００３１】
図３には、第１の実施の形態の保持用膜体１２の斜視図が示され、図４には、保持用膜体１２の断面図が示されている。また、図５には、保持用膜体１２にガラス基板Ｇが吸着保持された断面図が示されている。なお、図３の保持用膜体１２は、天地逆さまで示されている。
【００３２】
これらの図に示すように保持用膜体１２は、１枚の自己吸着型シート３２が同一面内に配された２枚の両面接着シート３４、３４を介してアルミニウム製のバックプレート３６に貼り付けられて構成されるとともに、図５に示すように自己吸着型シート３２にガラス基板Ｇが吸着保持される。なお、図３〜図５には、１枚の自己吸着型シート３２を２枚の両面接着シート３４、３４を使用してバックプレート３６に接着した保持用膜体１２を例示したが、１枚の自己吸着型シート３２を同一面内に配された３枚以上の両面接着シート３４、３４…を使用してバックプレート３６に接着した保持用膜体１２であってもよい。
【００３３】
自己吸着型シート３２は、特許文献２に開示されているようなポリウレタン樹脂で形成されたポリウレタンシートであり、その厚さは約０．８ｍｍである。このポリウレタンシートは、その表面層に微多孔が形成され、表面層に水等の液体を含ませることにより、表面層の微多孔に浸入した液体の表面張力によってガラス基板Ｇを吸着保持することができる。また、両面接着シート３４は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の基材３８の両面に接着剤４０、４０が塗布されることにより構成され、その厚さは約０．２ｍｍである。
【００３４】
図３〜図５に示す保持用膜体１２では、１枚の自己吸着型シート３２に、同一面内に配された両面接着シート３４、３４が２枚使用され、２枚の両面接着シート３４、３４は、所定の隙間ｓをもって自己吸着型シート３２及びバックプレート３６に貼り付けられている。
【００３５】
このように構成された保持用膜体１２によれば、２枚の両面接着シート３４、３４を使用して１枚の自己吸着型シート３２をバックプレート３６に接着させるが、このとき、両面接着シート３４、３４を所定の隙間ｓをもって自己吸着型シート３２及びバックプレート３６に貼り付ける。
【００３６】
このような保持用膜体１２によって保持されて研磨されたガラス基板Ｇは、図６（Ａ）に示すように隙間ｓに位置する自己吸着型シート３２の一部分３２ａが、研磨時の押圧力等により隙間ｓに入り込むため、その隙間ｓに対応する自己吸着型シート３２の吸着面に凹状部３２ｂが生じる。したがって、その凹状部３２ｂに吸着保持されているガラス基板Ｇの一部分Ｇ１が凸状となって変形し、これがガラス基板Ｇの被研磨面に凹状部５となって転写される。凹状部５が転写された状態でガラス基板Ｇを研磨すると、その凹状部５が研磨されないことから、研磨後のガラス基板Ｇは、この凹状部５となった部分が図６（Ｂ）に示すように逆に凸状部５Ａとなって現れる。しかし、ガラス基板Ｇの表面に形成される凸状部５Ａの高さ量ａは、図９に示した従来の凹状部４Ａの深さ量ｂと比較してその絶対量が小さくなるので、ガラス基板Ｇの平坦性を損なわせるものではない。
【００３７】
これにより、第１の実施の形態の保持用膜体１２によれば、研磨後のガラス基板Ｇの品質を向上させることができる。
【００３８】
なお、保持用膜体１２のバックプレート３６には、図５に示すようにドーナツ形状の弾性シート材４２が取り付けられ、この弾性シート材４２の外周には複数の係合部材４４、４４…が固定されている。保持用膜体１２は、弾性シート材４２を張設してこれらの係合部材４４、４４…を図１の研磨ヘッド１４のフック部（不図示）に係合させることにより研磨ヘッド１４に装着される。
【００３９】
図７には、第２の実施の形態の保持用膜体１１２の断面図が示されており、図３に示した保持用膜体１２と同一類似の部材については同一の符号を付して説明する。
【００４０】
保持用膜体１１２は、自己吸着型シート３２Ａ、３２Ａ及び両面接着シート３４、３４が各々同一面内に配されるとともに各々２枚使用され、かつ各々２枚の自己吸着型シート３２Ａ、３２Ａ及び両面接着シート３４、３４が、所定の隙間ｓをもってバックプレート３６に貼り付けられている。なお、図７には、各々２枚の自己吸着型シート３２Ａ、３２Ａと両面接着シート３４、３４とをバックプレート３６に接着した保持用膜体１１２を例示したが、各々３枚以上の自己吸着型シート３２Ａ、３２Ａ…と両面接着シート３４、３４…とをバックプレート３６に接着した保持用膜体１１２であってもよい。
【００４１】
このように構成された保持用膜体１１２によれば、２枚の自己吸着型シート３２Ａ、３２Ａを、２枚の自己吸着型シート３２Ａ、３２Ａ毎に貼着された両面接着シート３４、３４を使用してバックプレート３６に接着させるが、このとき、自己吸着型シート３２Ａ、３２Ａ及び両面接着シート３４、３４を所定の隙間ｓをもってバックプレート３６に貼り付ける。
【００４２】
このような保持用膜体１１２によって保持されて研磨されたガラス基板Ｇは、図６（Ａ）、図６（Ｂ）で示したように、隙間ｓが転写されて研磨されることで、その表面に凸状部５Ａが形成されるものの、凸状部５Ａの高さ量ａは、図９（Ｂ）に示した凹状部４Ａの深さ量ｂと比較してその絶対量が小さくなるので、ガラス基板Ｇの平坦性を損なわせるものではない。
【００４３】
これにより、第２の実施の形態の保持用膜体１１２によれば、研磨後のガラス基板Ｇの品質を向上させることができる。
【００４４】
なお、隙間ｓの形成方向は、ガラス基板Ｇの元となる板ガラスを製造するフロート製造装置によるガラスリボンの引き出し方向と同一とすることが好ましい。すなわち、隙間ｓによってガラス基板Ｇに生じる凹状溝の方向を、ガラスリボンの引き出しによって生じる、板ガラスの表面に生じる筋の方向と同一とすることにより、凸状溝が目立たなくなるので好ましい。
【００４５】
また、所定の隙間ｓは、０．５ｍｍ±０．５ｍｍに設定されることが好ましい。すなわち、実施例で規定する所定の隙間ｓは０ｍｍを含み、０〜１．０ｍｍが好ましい。隙間が０ｍｍの場合には、研磨後のガラス基板Ｇに転写による凹状部４Ａ、凸状部５Ａが発生せず、また、隙間が１．０ｍｍ以下であれば、ガラス基板Ｇに転写によって形成された凸状部５Ａは、ディスプレイ用ガラス基板Ｇの品質に影響を与えない。
【００４６】
図８には、第３の実施の形態の保持用膜体２１２の断面図が示されており、図３に示した保持用膜体１２と同一類似の部材については同一の符号を付して説明する。
【００４７】
保持用膜体２１２は、１枚の自己吸着型シート３２に両面接着シート３４Ａ、３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｂが２枚重ねに貼着されている。また、自己吸着型シート３２に直接貼り付けられた同一面内の両面接着シート３４Ａ、３４Ａは所定の隙間ｓ１をもって貼り付けられ、これらの両面接着シート３４Ａ、３４Ａに貼り付けられた同一面内の両面接着シート３４Ｂ、３４Ｂも同様に所定の隙間ｓ２をもって貼り付けられている。更に、２枚重ねに貼着された各々の両面接着シート３４Ａ、３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｂ間の隙間ｓ１、ｓ２が両面接着シートの積層方向に重ならない（すなわち、図面上において上下方向に重ならず左右方向にずれる）ように、両面接着シート３４Ａ、３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｂが貼着されている。
【００４８】
なお、実施の形態の保持用膜体２１２では、４枚の両面接着シート３４Ａ、３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｂを使用し、これらの両面接着シート３４Ａ、３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｂを２枚重ねに配置した例を示しているが、両面接着シートを６枚以上使用して３枚重ね以上に配置した保持用膜体であってもよい。
【００４９】
このように構成された保持用膜体２１２によれば、４枚の両面接着シート３４Ａ、３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｂを使用して１枚の自己吸着型シート３２をバックプレート３６に接着させるが、このとき、両面接着シート３４Ａ、３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｂは少なくとも２枚重ねに貼着され、そして、両面接着シート３４Ａ、３４Ａは所定の隙間ｓ１をもって貼り付けられ、これらの両面接着シート３４Ａ、３４Ａに貼り付けられた同一面内の両面接着シート３４Ｂ、３４Ｂも同様に所定の隙間ｓ２をもってバックプレート３６に貼り付けられるとともに、２枚重ねに貼着された各々の両面接着シート３４Ａ、３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｂ間の隙間ｓ１、ｓ２が両面接着シートの積層方向に重ならない（すなわち、図面上において上下方向に重ならず左右方向にずれる）ように貼り付けられる。
【００５０】
このような保持用膜体２１２によって保持されて研磨されたガラス基板Ｇは、隙間ｓ１、ｓ２が転写されて研磨されることで、その表面に二つの凸状部５Ａ、５Ａ（図６参照）が形成されるが、二つの隙間ｓ１、ｓ２は、両面接着シートの積層方向に重ならない（すなわち、図面上において上下方向に重ならず左右方向にずれている）ため、隙間ｓ１、ｓ２による転写量を抑えることができる。すなわち、両面接着シート３４Ａ、３４Ａの隙間ｓ１の下方には、この隙間ｓ１による自己吸着型シート３２の変形を補強すべく、図中右側の両面接着シート３４Ｂが隙間ｓ１を塞ぐように配置されているからであり、また、両面接着シート３４Ｂ、３４Ｂの隙間ｓ２の上方には、この隙間ｓ２による自己吸着型シート３２の変形を補強すべく、図中左側の両面接着シート３４Ａが隙間ｓ２を塞ぐように配置されているからである。
【００５１】
よって、実施の形態の保持用膜体２１２によれば、ガラス基板Ｇの表面に形成される凸状部５Ａ（図６参照）の高さを低く抑えることができるので、研磨後のガラス基板Ｇの品質がより一層向上する。
【００５２】
なお、隙間ｓ１、ｓ２は、図３の隙間ｓと同一であることが好ましい。また、隙間ｓ１、ｓ２の形成方向は、ガラス基板Ｇの元となる板ガラスを製造するフロート製造装置によるガラスリボンの引き出し方向と同一とすることが好ましい。
【符号の説明】
【００５３】
１          自己吸着型シート
２          両面接着シート
３          バックプレート
４          凸状部
４Ａ        凹状部
５          凹状部
５Ａ        凸状部
１０        研磨装置
１２、１１２、２１２      保持用膜体
１４        研磨ヘッド
１６        プレート
１８        研磨パッド
２０        研磨テーブル
２２        スラリ供給孔
２４        吸引孔
２６        スピンドル
２８        回転／昇降装置
３０        制御部
３２        自己吸着型シート
３４、３４Ａ、３４Ｂ      両面接着シート
３６        バックプレート
３８        基材
４０        接着剤
４２        弾性シート材
４４        係合部材
Ｇ          ガラス基板
【図１】
0005529258.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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