(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを撮像する、露光時間が可変の撮像装置と、
所定の発光周波数で発光制御されて前記ワークに対して照明光を照射する照明装置と、
前記撮像装置の合焦位置を制御して前記合焦位置を合焦軸方向の位置情報として出力する位置制御システムと、
前記位置制御システムによる合焦位置の制御に際して室内光の点灯周波数が第１の周波数及び第２の周波数のいずれであるかに基づいて前記撮像装置の露光時間を前記室内光の点灯周期の整数倍となるように設定する制御装置とを備え、
前記照明装置の発光周波数は、前記第１の周波数及び第２の周波数の公倍数に設定される
ことを特徴とする画像測定装置。
【請求項２】
前記制御装置は、
前記照明装置を消灯した状態で前記室内光の点灯周波数を検出する
ことを特徴とする請求項１記載の画像測定装置。
【請求項３】
前記制御装置は、
前記撮像装置の露光時間を、前記第１の周波数に対応した点灯周期の整数倍に設定した場合と、前記第２の周波数に対応した点灯周期の整数倍となるように設定した場合について、それぞれ前記位置制御システムを制御して異なる複数の合焦位置において前記撮像装置による撮像を行い、
得られた画像の平均明るさの変動率を計算し、
前記撮像装置の露光時間を、前記平均明るさの変動率が低い方の周波数に対応した点灯周期の整数倍に設定する
ことを特徴とする請求項２記載の画像測定装置。
【請求項４】
前記第１の周波数は１００Ｈｚ、前記第２の周波数は１２０Ｈｚであることを特徴とする請求項３記載の画像測定装置。
【請求項５】
前記照明装置の発光周波数は、６００Ｈｚであることを特徴とする請求項４記載の画像測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象を撮像する事によって測定対象を測定する画像測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
オートフォーカス機能を備えた画像測定装置では、カメラ等の撮像装置又はその光学系を光軸方向に移動させながら順次測定対象の画像を取得し、最もコントラストの大きい画像が取得された光軸方向位置を測定対象に対する合焦位置とする（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１６８６０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような画像測定装置において、撮像装置のフレームレートと撮像範囲を照らす照明の発光周波数との組合せによっては、フリッカが生じて取得画像の明るさにばらつきが生じることがある。この場合、光量の少ない画像は画素間での明暗差が少ない為、合焦位置かどうかに関わらずコントラストが小さくなり、逆に光量の多い画像はコントラストが大きくなる。このため、コントラストから合焦位置を判断する事が困難となり、オートフォーカスの信頼性を低下させてしまうという問題があった。
【０００５】
このような問題を解決すべく、画像測定装置は、撮像装置との組合せでちらつきを生じない照明装置を備えているのが一般的である。しかしながら、この場合においても、画像測定装置の態様によっては外乱光の影響を排除する事が困難な場合も数多く存在する。排除が困難であり、かつ問題となりやすい外乱光として、インバータ式でない蛍光灯（以下、室内灯）が挙げられる。室内灯は、電源周波数が５０Ｈｚである地域では１００Ｈｚ、６０Ｈｚである地域では１２０Ｈｚで明滅を繰り返しており、測定結果やオートフォーカス結果に悪影響を及ぼす。又、照明装置自体にちらつきがある場合もある。
【０００６】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、高精度なオートフォーカス処理が可能な画像測定装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る画像測定装置は、ワークを撮像する、露光時間が可変の撮像装置と、所定の発光周波数で発光制御されてワークに対して照明光を照射する照明装置と、撮像装置の合焦位置を制御して合焦位置を合焦軸方向の位置情報として出力する位置制御システムと、位置制御システムによる合焦位置の制御に際して室内光の点灯周波数が第１の周波数及び第２の周波数のいずれであるかに基づいて撮像装置の露光時間を室内光の点灯周期の整数倍となるように設定する制御装置とを備え、照明装置の発光周波数は、第１の周波数及び第２の周波数の公倍数に設定される。
【０００８】
この様な構成においては、一定周期で明滅を繰り返す外乱光の影響を排除し、一定の明るさの画像を取得することで、高精度なオートフォーカス処理を行うことが可能となる。又、電源周波数の異なる地域においても共通に使用する事が可能である。
【０００９】
本発明の一実施形態において、制御装置は、照明装置を消灯した状態で室内光の点灯周波数を検出する様にしても良い。
【００１０】
又、本発明の一実施形態において、制御装置は、撮像装置の露光時間を、第１の周波数に対応した点灯周期の整数倍に設定した場合と、第２の周波数に対応した点灯周期の整数倍となるように設定した場合について、それぞれ位置制御システムを制御して異なる複数の合焦位置において撮像装置による撮像を行い、得られた画像の平均明るさの変動率を計算し、撮像装置の露光時間を、平均明るさの変動率が低い方の周波数に対応した点灯周期の整数倍に設定する様にしても良い。
【００１１】
この様な構成においては、複雑な操作を必要とせず自動で撮像装置のフレームレート及び照明装置の発光周波数を決定する事が可能となり、高精度なオートフォーカス処理を、どのような地域においても容易に行うことが可能となる。
【００１２】
又、本発明の一実施形態において、第１の周波数は１００Ｈｚ、第２の周波数は１２０Ｈｚである。
【００１３】
又、本発明の一実施形態において、照明装置の発光周波数は、６００Ｈｚである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、高精度なオートフォーカス処理が可能な画像測定装置の提供が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る画像測定装置の全体図である。
【図２】同装置の構成を示すブロック図である。
【図３】同装置の一部の構成を表すブロック図である。
【図４】同装置におけるオートフォーカスの方法を示す図である。
【図５】従来の画像測定装置における室内灯の点灯周波数と露光時間との関係を示すタイミングチャートである。
【図６】従来の画像測定装置におけるコントラストとカメラのＺ座標との関係示す図である。
【図７】従来の画像測定装置における室内灯の点灯周波数と露光時間との関係を示すタイミングチャートである。
【図８】従来の画像測定装置における室内灯の点灯周波数と露光時間との関係を示すタイミングチャートである。
【図９】本発明の実施形態に係る画像測定装置における室内灯の点灯周波数と露光時間との関係の一例を示すタイミングチャートである。
【図１０】本発明の第１実施形態に係る画像測定装置におけるフレームレートの決定方法を示すフローチャートである。
【図１１】従来の画像測定装置における発光周波数と露光時間との関係を示すタイミングチャートである。
【図１２】本発明の第１実施形態に係る画像測定装置における発光周波数と露光時間との関係を示すタイミングチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
［第１実施形態］
次に、本発明の第１実施形態に係る画像測定装置の構成について図面を参照して詳細に説明する。
【００１７】
図１は、本施形態に係る画像測定装置の全体図である。画像測定装置は、ワーク３を撮像する撮像装置としてカメラ１４１が搭載された画像測定機１と、この画像測定機１と電気的に接続されたコンピュータ（以下、「ＰＣ」と呼ぶ。）２とを備えている。
【００１８】
画像測定機１は、次のように構成されている。即ち、試料移動手段１１の上には、試料台１２がその上面をベース面として水平面と一致するように載置され、試料移動手段１１の両側端から立設されたアーム支持体１３ａ，１３ｂの上端でＸ軸ガイド１３ｃを支持している。試料台１２は、試料移動手段１１によってＹ軸方向に駆動される。Ｘ軸ガイド１３ｃには、撮像ユニット１４がＸ軸方向に駆動可能に支持されている。撮像ユニット１４の下端には、カメラ１４１が装着されている。
【００１９】
尚、本実施形態においては試料台１２上に配置されたワーク３を撮像する形式をとっているが、当然他の形式でも良く、例えば床に設置されたワークを横方向から撮像する様な形式でも良い。又、カメラ１４１としてはＣＣＤ、ＣＭＯＳ等種々のカメラを使用可能である。
【００２０】
図２は、本施形態に係る画像測定装置のブロック図である。本実施形態において、画像測定装置は、例えば画像測定機１の内部にコントローラ１５を備えており、コントローラ１５は位置制御システム１５１及び照明制御装置１５２を備えている。また、撮像ユニット１４はワーク３に光を照射する照明装置１４２を備えている。本実施形態においては、照明装置１４２はＰＷＭ（Ｐｕｌｓｅ  Ｗｉｄｔｈ  Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）制御のＬＥＤである。ＰＣ２は位置制御システム１５１を介してカメラ１４１の焦点位置を制御する。また、ＰＣ２は、カメラ１４１にフレームレートを指定する信号を送信し、照明制御装置１５２に照明装置１４２のＰＷＭ周波数指令を送信する。カメラ１４１は照明装置１４２からの照明光及び室内光が照射されたワーク３を、指定されたフレームレートで撮像し、画像情報をＰＣ２に送信する。この際、位置制御システム１５１からはカメラ１４１の位置情報が送信される。尚、本実施形態においては、照明装置１４２としてＰＷＭ制御のＬＥＤ照明を用いているが、当然種々の照明が使用可能である。
【００２１】
次に、本実施形態に係る画像測定装置における撮像ユニット１４の構成について説明する。図３は、本実施形態に係る画像測定装置の一部の構成を示すブロック図である。本実施形態において、撮像ユニット１４は、カメラ１４１と、カメラ１４１のＺ座標を検出し、出力するリニアエンコーダ１４３と、カメラ１４１をＺ軸方向に駆動するカメラ駆動機構１４４と、カメラ駆動機構１４４を駆動するＺ軸モータ１４５とを備えている。Ｚ軸モータ１４５は、画像測定機１に備えられたパワーユニット１６を介して位置制御システム１５１により制御される。又、リニアエンコーダ１４３は、スケールまたは検出ヘッドがカメラ１４１と連動してＺ軸方向に移動する様に取り付けられている。位置制御システム１５１はラッチカウンタ及びＺ値ラッチバッファを備えており、トリガ信号に応じてリニアエンコーダ１４３からカメラ１４１のＺ座標情報を取得し、Ｚ値ラッチバッファに保持する。カメラ１４１は、ＵＳＢケーブルを介してＰＣ２と、専用ＤＩＯ（デジタル入出力）を介して位置制御システム１５１とそれぞれ接続されている。
【００２２】
位置制御システム１５１はパワーユニット１６に対してＺ軸駆動命令を出力する。パワーユニット１６はＺ軸モータ１４５に駆動電力を供給し、Ｚ軸モータ１４５は、カメラ駆動機構１４４によってカメラ１４１を駆動する。カメラ１４１は任意のフレームレートで撮像を行い、ＵＳＢケーブルを介してＰＣ２に画像情報を送信する。この際、カメラ１４１から位置制御システム１５１へトリガ信号として垂直同期信号が出力される様にしても良い。この場合、位置制御システム１５１は垂直同期信号を受信し、これに応じてリニアエンコーダ１４３からカメラ１４１のＺ座標を取得する。取得されたＺ座標はＺ値ラッチバッファに保持され、ラッチカウンタが更新される。保持されたＺ値は読み出し命令に応じてＰＣ２に送信される。尚、本実施形態においてはカメラ１４１をＺ軸方向に駆動しているが、カメラ１４１に設けられたレンズ等の光学系を調整する事によっても同様の動作が可能である。また、本実施形態においては、デジタルシリアル通信手段としてＵＳＢインターフェイスを使用しているが、Ｇｉｇ−Ｅ、ＦｉｒｅＷｉｒｅ等他の手段を用いることも当然可能である。
【００２３】
次に、本実施形態に係る画像測定装置のオートフォーカスの方法について説明する。図４は、本実施形態に係る画像測定装置のオートフォーカスの方法を説明する為の図であり、横軸はカメラ１４１のＺ座標を、縦軸はコントラストをそれぞれ表している。
【００２４】
本実施形態に係る画像測定装置のオートフォーカスにおいては、複数のＺ座標において撮像を行い、それぞれの座標位置における画像からコントラストを算出し、算出された複数のコントラストの中で最も高い数値を示した画像が取得されたＺ座標が合焦位置と判断される。図４の例においては、７か所のＺ座標（Ｚ１〜Ｚ７）において撮像を行っており、それぞれのＺ座標におけるコントラスト（Ｐ１〜Ｐ７）が計算されている。図４の例においては、Ｚ４におけるコントラストＰ４が最も高くなるため、Ｚ４が合焦位置と判断され、カメラ１４１のＺ座標はＺ４に合わされることになる。
【００２５】
次に、従来のコントラスト式のオートフォーカスにおける問題点について説明する。前述の通り、このような画像測定装置において、ワーク３には照明装置１４２からの光の他に、外乱光が照射されていることがある。この様な画像測定装置は多くの場合室内において使用され、外乱光は室内灯からの光となる。室内灯は一定の周期で明滅を繰り返しており、カメラ１４１のフレームレートとの関係によって、取得画像にちらつきを生じてしまう場合がある。
【００２６】
このちらつきの問題について、図５〜８を参照して説明する。一般に、インバータ式以外の蛍光灯（以下、室内灯）の点灯周波数は電源周波数に依存しており、電源周波数が５０Ｈｚである地域では１００Ｈｚ、電源周波数が６０Ｈｚである地域では１２０Ｈｚとなっている。図５は、カメラ１４１のフレームレートを６０ｆｐｓに設定して撮像を行った時の室内灯の点灯周波数とフレームレートとの関係を示している。尚、上段は電源周波数が６０Ｈｚであった場合、下段は電源周波数が５０Ｈｚであった場合について示している。
【００２７】
図５の上段に示す通り、カメラ１４１は露光開始から１／６０ｓ（約１６．７ｍｓｅｃ）の間受光を行っており、受光が終了するとＰＣ２に画像を転送する。ＰＣ２への画像転送が終了すると再び露光を開始し、以下、同様の動作を繰り返す。なお、図５では、画像転送時間が比較的長い時間設定されているが、ここではフレーム周期（フレームレートの逆数）と露光時間とが、ほぼ等しく設定された例を示しており、フレームレートと点灯周波数との誤差により両者の位相が徐々にずれることを強調して示している。
【００２８】
前述の通り、電源周波数が６０Ｈｚの場合には、室内灯の点灯周波数は１２０Ｈｚとなる。従って、露光時間が１／６０＝１６．７ｍｓに設定されている場合、カメラ１４１では、受光開始から終了までの間に、室内灯の２周期分の光量が受光される。これにより、仮に、室内灯の点灯周期とフレーム周期とがずれていってもカメラ１４１により受光される画像は、全て同じ明るさとなる。
【００２９】
これに対し、電源周波数が５０Ｈｚであった場合、即ち、室内灯の点灯周波数が１００Ｈｚであった場合、室内灯は１０ｍｓｅｃ周期で明滅を繰り返す。従って、図５の下段に示す通り、カメラ１４１の露光時間が、室内灯の点灯周期の整数倍とならない。従って、カメラ１４１による撮像の度に受光される光量が異なってしまい、取得された画像にちらつきが生じる。
【００３０】
前述の通り、コントラスト式のオートフォーカスにおいては、カメラ１４１によって取得された画像からコントラストを計算している。従って、カメラ１４１による画像にちらつきが生じた場合、コントラストを正しく計算する事が困難となる。
【００３１】
図６は、本来ちらつきが生じなければ取得されていたコントラストと、ちらつきによって誤差を生じたコントラストとを比較する図であり、縦軸にはコントラストを、横軸にはカメラのＺ座標を示している。尚、点線で表した曲線が本来のコントラスト、実線で表した曲線が誤差を生じたコントラストである。図６に示す通り、取得された画像にちらつきが生じることにより、コントラストのピークが本来の位置と異なった場所に移動している。その結果、コントラストＰ３’がコントラストＰ４’より大きくなってしまい、本来の合焦位置であるＺ４で無く、Ｚ３が合焦位置と判断されてしまう。
【００３２】
図７は、基本的には図５と同様の図を示しているが、図５ではカメラのフレームレートが６０ｆｐｓに設定されていたのに対し、図７では５０ｆｐｓに設定されている点において異なっている。この場合、図５のケースとは逆に、室内灯の点灯周波数が１００Ｈｚであるときにはカメラ１４１による取得画像間においてちらつきを生じないが、１２０Ｈｚの時にはちらつきを生じる。
【００３３】
図８も、基本的に図５及び図７と同様の図を示しているが、図８ではカメラのフレームレートが２０ｆｐｓに設定されている。この場合には、室内灯の点灯周波数が１００Ｈｚの場合、１２０Ｈｚの場合共に、露光時間５０ｍｓが室内灯の点灯周期の整数倍となるので、ちらつきを生じない。しかしながら、このようなフレームレートで撮像を行った場合、撮像のスピードを大幅に落とす事となるため、オートフォーカスに膨大な時間がかかってしまう。
【００３４】
この様な問題を解決すべく、本発明においては、室内灯の点灯周波数に合わせてカメラ１４１の露光時間を調整している。この調整方法を図９に示す。図９は、基本的には図５と同様であるが、電源周波数が６０Ｈｚである場合にはカメラの露光時間を１／６０ｓに、５０Ｈｚの場合には１／５０ｓに設定している点において異なっている。この様に電源周波数に応じて柔軟に露光時間を調整する事によって、外乱光によるちらつきを生じない画像の取得が可能となる。尚、図９においてはカメラ１４１の露光時間が室内灯の点灯周波数の１周期分の時間の２倍の時間となっているが、必ずしも２倍である必要は無く、整数倍でさえあればよい。実用的には、露光時間を短く、即ち、フレームレートを大きく設定する事によってオートフォーカス動作の高速化を図ることが考えられる。具体的には、電源周波数が６０Ｈｚである場合にはカメラの露光時間を１／１２０ｓに、電源周波数が５０Ｈｚである場合にはカメラの露光時間を１／１００ｓに設定する事が考えられる。又、ワーク３に対し、室内灯以外の外乱光が照射される場合には、露光時間を長く、即ち、フレームレートを小さく設定する事によって、ノイズを抑制し、オートフォーカス動作の信頼性を向上させることも考えられる。なお、本実施形態では、カメラ１４１の露光時間が室内灯の点灯周期の整数倍に設定されていれば良く、フレームレートには、関係しない。このように設定することにより、フレーム周期中の露光開始タイミングが不定であっても、常に一定の光量の露光がなされるので、ちらつきが生じない。
【００３５】
次に、ソフトウェアを用いて室内灯の点灯周波数を自動的に検出する方法について説明する。
【００３６】
図１０に室内灯の点灯周期を検出する処理のフローを示す。図１０は、上記の電源周波数が６０Ｈｚである場合にはカメラのフレームレートを１２０ｆｐｓに、電源周波数が５０Ｈｚである場合にはカメラのフレームレートを１００ｆｐｓに設定するフレームレートの調整方法を、ソフトウェアを用いて行う時のフローチャートである。フレームレートの調整が開始されるとＰＣ２は、まず外乱光の影響を確認する為に照明装置１４２を消灯する（Ｓ１）。次に、カメラ１４１のフレームレートを１００ｆｐｓに設定する（Ｓ２）。次にカメラ１４１による撮像を行い、ワーク３の画像を取得し、平均明るさの変動率を計算する（Ｓ３）。このステップＳ３において、ワーク３の画像は３枚以上取得すると良い。次にカメラ１４１のフレームレートを１２０ｆｐｓに変更し（Ｓ４）、ワーク３の画像の取得及び平均明るさの変動率の計算を行う（Ｓ５）。最後にカメラ１４１のフレームレートを１００ｆｐｓに設定した時の平均明るさの変動率と、１２０ｆｐｓに設定した時の平均明るさの変動率とを比較し、カメラ１４１のフレームレートを平均明るさの変動率が小さかった方のフレームレートに設定する（Ｓ６）。尚、カメラ１４１のフレームレートは、先に６０ｆｐｓに設定してから５０ｆｐｓに変更しても良い。又、ステップＳ６において、比較した平均明るさの変動率が共に所定の閾値以上であった場合には、フレームレートを６０ｆｐｓに設定しても良い。又、算出した平均明るさ変動率が共に低かった場合には、フレームレートを手動で設定する様にしても良い。又、以上に示したような方法を、画像測定装置や、専用のソフトウェアの起動時に行うことも可能である。
【００３７】
次に、本実施形態に係る画像測定装置の照明装置１４２の動作について説明する。本実施形態においては、照明装置１４２としてＰＷＭ制御のＬＥＤを使用しており、又、ＰＷＭ周波数を、１２０と１００の最小公倍数である６００Ｈｚの整数倍に設定している。理由については、以下に説明する。
【００３８】
図１１は、ＰＷＭ周波数を４８０Ｈｚに設定した時の照明装置１４２の発光時間とカメラ１４１の露光時間との関係を示すタイミングチャートである。尚、上段にはカメラ１４１のフレームレートが６０ｆｐｓであった場合について、下段にはカメラのフレームレートが５０ｆｐｓであった場合について示している。
【００３９】
図１１の上段に示す通り、ＰＷＭ周波数が４８０Ｈｚ、カメラ１４１のフレームレートが６０ｆｐｓであった場合、ＰＷＭ周波数がカメラ１４１のフレームレートの８倍となる。従って、カメラ１４１によって照明装置１４２からの光が８パルス分受光される事となり、撮像された画像の光量は全て等しくなる。これに対し、図１１の下段に示す通り、カメラ１４１のフレームレートが５０ｆｐｓであった場合には、ＰＷＭ周波数はカメラのフレームレートの９．６倍となる。従って、照明装置１４２のＰＷＭ周波数がフレームレートの整数倍で無くなる為、図５の下段の例の様に、カメラ１４１のフレームレートと照明装置１４２の照射サイクルとの間に誤差が発生し、取得される画像間にちらつきが生じてしまう。この様な場合、図５及び図６を参照して説明した時と同様に、取得されるコントラストと本来のコントラストとの間に誤差が生じ、オートフォーカスの精度を損なうこととなる。
【００４０】
これに対し、本実施形態に係る画像測定装置においては、照明装置１４２の発光周波数を６００Ｈｚの倍数に設定している。この様に、照明装置１４２の発光周波数を６００Ｈｚの倍数に設定した時の様子を図１２に示す。図１２は基本的には図１１と同じであるが、照明装置１４２の発光周波数が６００Ｈｚに設定されている点において異なっている。図１２の上段からもわかるとおり、カメラ１４１のフレームレートが６０ｆｐｓであった場合には、カメラ１４１の一回分の露光時間においてワーク３が照明装置１４２によって照射される光量は、照明装置１４２の１０パルス分の光量となる。又、カメラ１４２のフレームレートが５０ｆｐｓであった場合には、照明装置１４２の１２パルス分の光量が受光される。従って、カメラ１４１のフレームレートが５０ｆｐｓに設定されている場合においても６０ｆｐｓに設定されている場合においても、常に一定の光量で受光できることとなる。
【００４１】
この様な構成によれば、カメラ１４１のフレームレートが変化した場合においてもちらつきのない、適切な画像を取得する事が可能となる。又、スイッチング方式のパワー回路で照明を点灯させる場合、原理的にスイッチングによるリップルが生じる。このリップルによっても照明がちらつき、入力画像にフリッカが生じ得るが本実施形態の様な構成によれば解決できる。
【００４２】
尚、本実施例においてはカメラのフレームレートを１００ｆｐｓと１２０ｆｐｓとから選択している為、照明装置１４２の発光周波数を６００Ｈｚに設定しているが、選択する複数のフレームレートの公倍数であればよく、例えばカメラのフレームレートを５０ｆｐｓと６０ｆｐｓとから選択する場合には、その最小公倍数である３００Ｈｚに設定するようなことも可能である。又、カメラ１４１のフレームレートを５０ｆｐｓ、６０ｆｐｓ以外の値に設定する場合、照明装置１４２の発光周波数を自動でカメラ１４１のフレームレートの整数倍に調整する事も可能である。更に、照明装置１４２は、例えばカメラ１４１からの垂直同期信号を受信して、露光時間内に一定のパルス分だけ照明装置１４２を発光させる様なことも考えられる。
【００４３】
更に、例えばスイッチング方式のパワー回路において、ごく微小な電流あるいは電圧を制御する場合、スイッチングを間引きすることによって、効率を改善したり、スイッチング制御素子が持っている実力以上に微小な電流あるいは電圧を制御している様に見せかける方法がある。この場合にも、間引きする周期を一定にし、その周波数をフレームレートの公倍数に設定すれば、入力画像にフリッカが生じることがなくなる。
【符号の説明】
【００４４】
１…画像測定機、２…コンピュータ（ＰＣ）、３…ワーク、１１…試料移動手段、１２…試料台、１３ａ、ｂ…アーム支持体、１３ｃ…Ｘ軸ガイド、１４…撮像ユニット、１５…コントローラ、１６…パワーユニット、１４１…カメラ、１４２…照明装置、１４３…リニアエンコーダ、１４４…カメラ駆動機構、１４５…Ｚ軸モータ、１５１…位置制御システム、１５２…照明制御装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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