(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性基板の一方の面にパターニングされたストライプ状の複数の透明な陽極と、前記透光性基板の他方の面に前記複数の陽極に対向して配列された複数の光取り出し用のレンズ素子と空気層とを面内方向において交互に有するレンズシートを設けてなるＥＬ素子の製造方法であって、
前記透光性基板と反対側に位置する前記複数の陽極の上面に感光性樹脂層を形成する感光性樹脂形成工程と、
前記レンズシートの前記透光性基板と反対側から入射された平行光線を前記レンズ素子表面での反射を用いて前記各レンズ素子毎に集光して前記感光性樹脂層に照射することで露光しかつ現像処理した後、露光された前記感光性樹脂層の部分を除去して複数の空間を形成すると同時に残された前記感光性樹脂層の未露光部分により前記陽極の上面に前記各空間の周壁が形成されるように取り囲む隔壁を形成する隔壁形成工程と、
前記各空間内に位置する前記陽極の上面と前記陽極と反対側に位置する前記隔壁の上面に発光層をそれぞれ形成する発光層形成工程と、
前記陽極の上面に形成された前記発光層の上面及び前記隔壁の上面に形成された前記発光層の上面に陰極をそれぞれ形成する陰極形成工程とを備え、
さらに前記レンズシートの前記透光性基板と反対側の面に、前記陽極の上面に形成された前記発光層から前記レンズ素子を通して出射される光を拡散する光拡散部材を形成する、
ことを特徴とするＥＬ素子の製造方法。
【請求項２】
前記レンズ素子が三角柱状であることを特徴とする請求項１記載のＥＬ素子の製造方法。
【請求項３】
前記レンズ素子が台形状であることを特徴とする請求項１記載のＥＬ素子の製造方法。
【請求項４】
前記レンズ素子が球面状であることを特徴とする請求項１記載のＥＬ素子の製造方法。
【請求項５】
前記レンズ素子が非球面状であることを特徴とする請求項１記載のＥＬ素子の製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れか１項に記載の製造方法で製造されたＥＬ素子。
【請求項７】
請求項１乃至５の何れか１項に記載の製造方法で製造されたＥＬ素子を用いてなる電子看板装置。
【請求項８】
請求項１乃至５の何れか１項に記載の製造方法で製造されたＥＬ素子を備える、
ことを特徴とする照明装置。
【請求項９】
請求項１乃至５の何れか１項に記載の製造方法で製造されたＥＬ素子を備える、
ことを特徴とする液晶ディスプレイ用バックライト装置。
【請求項１０】
画素単位での透過／遮光に応じて表示画像を規定する画像表示素子と、
前記画像表示素子の背面に、請求項８記載の照明装置または請求項９記載のバックライト装置をバックライトとして用いた、
ことを特徴とするディスプレイ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルタイプのディスプレイ装置、液晶用バックライトユニットなどの照明用光源、電飾、サイン用光源等に用いられる有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）素子の製造方法に関し、特に光取り出し効率を向上できるようにしたＥＬ素子の製造方法、ＥＬ素子、ＥＬ素子を用いた液晶ディスプレイ用バックライト装置、ＥＬ素子を用いた照明装置、ＥＬ素子を用いた電子看板装置、及びＥＬ素子を用いたディスプレイ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ＥＬ素子は、透光性基板と、この透光性基板上に設けられ、蛍光有機化合物を含む発光層を透明な２つの電極で挟んだ構造のものとから構成される。そして、両電極間に直流電圧を印加し、発光層に電子および正孔を注入して再結合させることにより励起子を生成し、この励起子の失活する際の光の放出を利用して発光させるようになっている。
【０００３】
従来、このようなＥＬ素子において、発光層から射出した光線が透光性基板から射出する際に、透光性基板上において全反射し、光線がロスするという問題があった。
この時の光の外部取り出し効率は、一般的に２０％程度と言われている。そのため、高輝度が必要となればなるほど投入電力が必要となるという問題があり、そればかりではなく、ＥＬ素子に及ぼす負荷が増大し、ＥＬ素子自体の信頼性を低下させることになる。
この光の外部取り出し効率を向上させる目的で、基板に微細な凹凸を形成し、全反射によるロスしている光線を外部に取り出すという方法が提案されている。
【０００４】
しかし、上記のようなＥＬ素子をディスプレイ装置に用いた場合は、発光層と、レンチキュラーレンズ（光集光用レンズ）の距離が遠くなってしまうため、光の取り出しはできるものの、画像がぼけてしまうという問題がある。
また、パッシブ型のディスプレイ装置の場合、画素毎の陰極用電極をストライプ状にセパレートするための陰極隔壁が必要になる（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１０−１０６７４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した従来の陰極隔壁は、一般的に感光性樹脂の露光時間と現像時間を調整し、陰極隔壁のテーパー角を調整する必要があり、また、露光はフォトマスクを使用するため、画素が高精細化すると陰極隔壁の作製が困難になり、さらに、ＥＬ発光画素とレンチキュラーレンズのアライメントが困難になるという問題がある。
【０００６】
本発明は上記のような問題を解決するためになされたもので、陰極用隔壁の作製を容易にし、ＥＬ発光画素と光集光用レンズのアライメントを簡単にした、ＥＬ素子の製造方法、ＥＬ素子、ＥＬ素子を用いた液晶ディスプレイ用バックライト装置、ＥＬ素子を用いた照明装置、ＥＬ素子を用いた電子看板装置、及びＥＬ素子を用いたディスプレイ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために請求項１の発明は、透光性基板の一方の面にパターニングされたストライプ状の複数の透明な陽極と、前記透光性基板の他方の面に前記複数の陽極に対向して配列された複数の光取り出し用のレンズ素子と空気層とを面内方向において交互に有するレンズシートを設けてなるＥＬ素子の製造方法であって、前記透光性基板と反対側に位置する前記複数の陽極の上面に感光性樹脂層を形成する感光性樹脂形成工程と、前記レンズシートの前記透光性基板と反対側から入射された平行光線を前記レンズ素子表面での反射を用いて前記各レンズ素子毎に集光して前記感光性樹脂層に照射することで露光しかつ現像処理した後、露光された前記感光性樹脂層の部分を除去して複数の空間を形成すると同時に残された前記感光性樹脂層の未露光部分により前記陽極の上面に前記各空間の周壁が形成されるように取り囲む隔壁を形成する隔壁形成工程と、前記各空間内に位置する前記陽極の上面と前記陽極と反対側に位置する前記隔壁の上面に発光層をそれぞれ形成する発光層形成工程と、前記陽極の上面に形成された前記発光層の上面及び前記隔壁の上面に形成された前記発光層の上面に陰極をそれぞれ形成する陰極形成工程とを備え、さらに前記レンズシートの前記透光性基板と反対側の面に、前記陽極の上面に形成された前記発光層から前記レンズ素子を通して出射される光を拡散する光拡散部材を形成することを特徴とする。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１記載のＥＬ素子の製造方法において、前記レンズ素子が三角柱状であることを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項１記載のＥＬ素子の製造方法において、前記レンズ素子が台形状であることを特徴とする。
請求項４の発明は、請求項１記載のＥＬ素子の製造方法において、前記レンズ素子が球面状であることを特徴とする。
請求項５の発明は、請求項１記載のＥＬ素子の製造方法において、前記レンズ素子が非球面状であることを特徴とする。
【０００９】
請求項６の発明は、ＥＬ素子であって、請求項１乃至５の何れか１項に記載の製造方法で製造されたものである。
請求項７の発明は、電子看板装置であって、請求項１乃至５の何れか１項に記載の製造方法で製造されたＥＬ素子を用いてなるものである。
請求項８の発明は、照明装置であって、請求項１乃至５の何れか１項に記載の製造方法で製造されたＥＬ素子を備えることを特徴とする。
請求項９の発明は、液晶ディスプレイ用バックライト装置であって、請求項１乃至５の何れか１項に記載の製造方法で製造されたＥＬ素子を備えることを特徴とする。
【００１０】
請求項１０の発明は、ディスプレイ装置であって、画素単位での透過／遮光に応じて表示画像を規定する画像表示素子と、前記画像表示素子の背面に、請求項８記載の照明用光源または請求項９記載のバックライト装置をバックライトとして用いたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、光を取り出す集光用のレンズ素子を利用して陰極用の隔壁を形成するようにしたので、ＥＬ素子の製造における隔壁の作製が容易になり、ＥＬ発光画素と光取り出し用レンズ素子のアライメントが簡単になる。これに伴い、ＥＬ素子、ＥＬ素子を用いたバックライト装置、照明装置、電子看板装置並びにディスプレイ装置を容易に提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
（実施の形態１）
以下、本発明にかかるＥＬ素子の製造方法の実施の形態について図１乃至図９を参照して説明する。
まず、図１に示すように、Ｚ軸方向に所定の厚さを有する平板状の透光性基板１の一方の面に、透光性基板１のＸ軸方向に延在するストライプ（帯状）の透明な複数の陽極２が透光性基板１のＹ軸方向に一定の間隔で形成されている。この陽極２は、マトリックス状に配列される図示省略の表示画素に対応して、周知の技術により形成されるものである。
次に、図２に示すように、透光性基板１の陽極２と反対の面にレンチキュラーレンズシート４を粘着層３を介して一体に接着する。このレンチキュラーレンズシート４は、透光性の基材４ａと、この基材４ａ上に、マトリックス状に配列される図示省略の表示画素に対応して配列してなる複数の光取り出し用のレンズ素子４ｂとから構成される。
この場合のレンズ素子４ｂは、縦断面形状が二等辺三角形の頂部をカットした台形状を呈している。そのため、互いに隣接するレンズ素子４ｂの間には空気層５が形成されている。また、粘着層３には光硬化型の樹脂を用いることも可能である。さらに、陽極２とレンチキュラーレンズシート４の間にある透光性基板２は省略することも可能である。
【００１３】
透光性基板１は、ガラスでもプラスチックでもよい。また、発光層３からの光をできるだけ透過させるためには、全光線透過率は５０パーセント以上であることが好ましい。
透明な陽極２は、ＩＴＯ、ＩＺＯなどを蒸着もしくはスパッタなどのドライプロセスで形成したものを使用する。ここで、蒸着する材料としては上述のものには限定されず、透明であって電気伝導性を有する材料のものであれば良い。厚さは１００００Å程度以下が好ましい。厚すぎると電気伝導性は向上するが、透明電極に局所的なスパイクが入りやすくなり、また全光線透過率が低下するという問題がある。局所的なスパイクはその突起の高さが、例えば１００nm程度存在するとその後の成膜工程にて問題を生じることがある。
粘着層３は粘着剤や接着剤を用いて形成する。粘着剤や接着剤には、ウレタン系、アクリル系、ゴム系、シリコーン系、ビニル系の樹脂等を用いることができる。また、粘着剤や接着剤には、１液型で押圧して接着するもの、熱や光で硬化させるものを用いることができ、２液もしくは複数の液を混合して硬化させるものを用いることができる。
粘着層３の形成方法において、接合面へ直接塗布する方法や、あらかじめドライフィルムとして準備したものを貼り合わせる方法がある。粘着層をドライフィルムとして準備した場合、製造工程上、簡易的に扱うことが可能となるため好ましい。
【００１４】
レンズ素子４ｂとしてはレンチキュラーレンズシートや三角プリズムが代表的である。
レンズ素子４ｂの形状としては、例えば三角プリズム形状が挙げられる。三角プリズムは正面方向への集光性が高いため、高輝度な光学シートを得ることができる。また、レンズ素子４ｂの形状としては、凸曲面形状が挙げられる。正面方向のみならず、様々な方向へと光を射出するため、視野範囲の広い光学シートを得ることができる。
レンズ素子４ｂの形状は、上述の形状に限らず、使用するディスプレイ装置に求められる配光特性によって適宜選択することができる。例えばマイクロレンズ形状や、三角錐、四角錘を含む多角錘形状などを選択しても良い。
また、レンズ素子４ｂのピッチは適宜決定できるが、近年のディスプレイにおける画素構造にアライメントさせ、画像のボケを防止するため、現実的には１０μｍ以上５００μｍ以下、望ましくは１０μｍ以上４００μｍ以下であることが求められる。
レンズ素子４ｂは、ＵＶ硬化樹脂などのような電子線硬化樹脂を用いて成形することができる。
また、レンズ素子４ｂは、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）、ＣＯＰ（シクロオレフィンポリマー）、アクリルニトリルスチレン共重合体、アクリロニトリルポリスチレン共重合体などを用いて、射出成型法、あるいは熱プレス成型法によって光偏向要素を形成することもできる。
【００１５】
次に、図３に示すように、透光性基板１の一方の面及び陽極２上に感光性樹脂層６を一定の厚さに形成する（特許請求の範囲に記載の感光性樹脂形成工程に相当する）。
この場合、感光性樹脂層６がドライシートタイプのものであれば、これを貼り付けることで感光性樹脂層６の形成が可能であり、また、ウェットタイプのものであれば、例えば塗布することによって形成することができる。
感光性樹脂層６は使用するレンチキュラーレンズの集光強度分布によって、ポジ型、あるいはネガ型かを選択することが可能であるが、通常のレンズ集光の場合はポジ型を使用することで本発明に用いることが可能となる。
【００１６】
次に、図４に示すように、レンチキュラーレンズシート４の基材４ａ側から平行光線１１を入射することにより、この平行光線１１を各レンズ素子４ｂごとに図４の矢印１２に示すように集光させて感光性樹脂層６に照射し露光する。
このように各レンズ素子４ｂで図４の矢印１２に示すような集光強度分布を作ることにより、感光性樹脂層６に露光部分と未露光部分を作る。
次に、露光処理された感光性樹脂層６を現像することにより、図５に示すように、露光部分を除去して、マトリックス状に配列される図示省略の表示画素に対応する陰極形成用の空間６ａを形成し、かつ、未露光部分に逆台形の断面形状を呈する陰極用の隔壁７を形成する（特許請求の範囲に記載の隔壁形成工程に相当する）。この隔壁７は、後述する陰極９の周囲を取り囲むように形成されるものである。
陰極用隔壁７は、図５に示すように、感光性樹脂によって、形成されるものである。この場合、隔壁７は台形形状であるが、陰極間の構造が電気的に分断されれば、隔壁７の形状は問わない。
【００１７】
次に、図６に示すように、空間６ａ内の陽極２の上面及び隔壁７の上面に、周知の真空蒸着等の薄膜形成手段により発光層８をそれぞれ形成する（特許請求の範囲に記載の発光層形成工程に相当する）。
次に、図７に示すように、空間６ａ内の発光層８の上面及び隔壁７上の発光層８の上面に、周知の真空蒸着等の薄膜形成手段により陰極９をそれぞれ形成する（特許請求の範囲に記載の陰極形成工程に相当する）。
発光層８としては、白色、青色、赤色、黄色、緑色等がある。そこで例えば、白色を表示する構造の一例として、ＩＴＯ／ＣｕＰｃ(銅フタロシアニン)／α−ＮＰＤにルブレン１％ドープ /ジナクチルアントラセンにペリレン１％ドープ／Ａｌｑ３／フッ化リチウム/陰極としてＡｌというような構成を挙げることができる。
しかし、この構成に限定されるものではなく、発光層から射出する光線の波長をＲ、Ｇ、Ｂとなるように適宜材料を選定すれば可能となる。また、フルカラーディスプレイ用途で使用する場合にはＲ、Ｇ、Ｂの塗り分けあるいは、白色光にカラーフィルターを重ねることによりフルカラー表示が可能となる。
また、キャリア輸送層、電子輸送層、正孔輸送層あるいは両キャリア輸送層についての使用は特に限定されるものではなく、都合に応じて使用することができる。
【００１８】
図８は、発光層８の部分で発光した光をレンチキュラーレンズシート４により取り出す場合の説明図である。
光の取り出しを行う場合は、陽極２と陰極９との間に電圧を印加して空間６ａ内の発光層８に電流を流す。これにより、発光層８で発光した光はレンチキュラーレンズシート４のレンズ素子４ｂを通して、表示光または照明光１２として取り出される。
この場合、陰極用の隔壁７を形成する時と光線の方向が逆となり、光線１２が取り出されることで光取り出し効率が向上する。
このようなＥＬ素子は、ＥＬ表示素子として利用できるほか、電子看板装置としても利用することができる。
【００１９】
（実施の形態２）
図９は、本発明方法により製造されたＥＬ素子のレンチキュラーレンズシート４の光出射側である基材４ａに光拡散部材１０を積層状態に設けたものである。
このようにＥＬ素子に光拡散部材１０を組み合わせることにより、例えば視野角を向上させたり、色味の角度依存性を排除することが可能となる。
このような光拡散部材１０付きのＥＬ素子は照明装置として利用できるほか、液晶ディプレイ装置のバックライト装置としても利用できる。
【００２０】
光拡散部材１０は、ヘイズ値が２０％以上であることが好ましい。ヘイズ値が２０％未満の場合は、拡散性能が不十分となり、面内輝度の均一性が悪化するため好ましくない。また、光拡散部材１０は、透明樹脂に光拡散領域が分散されて形成されている。
透明樹脂としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂などを用いることができ、例えば、ポリカーボネート樹脂、アクリル系樹脂、フッ素系アクリル樹脂、シリコーン系アクリル樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ポリスチレン樹脂、シクロオレフィンポリマー、メチルスチレン樹脂、フルオレン樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリプロピレン、アクリルニトリルスチレン共重合体、アクリロニトリルポリスチレン共重合体などを用いることができる。
【００２１】
光拡散領域は、光拡散粒子からなることが好ましい。好適な拡散性能を容易に得ることができるためである。
光拡散粒子としては、無機酸化物または樹脂からなる透明粒子を用いることができる。無機酸化物からなる透明粒子としては、例えば、シリカ、アルミナなどを用いることができる。また、樹脂からなる透明粒子としては、アクリル粒子、スチレン粒子、スチレンアクリル粒子及びその架橋体、メラミン・ホルマリン縮合物の粒子、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＦＡ（ペルフルオロアルコキシ樹脂）、ＦＥＰ（テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体）、ＰＶＤＦ（ポリフルオロビニリデン）、及びＥＴＦＥ（エチレン・テトラフルオロエチレン共重合体）等のフッ素ポリマー粒子、シリコーン樹脂粒子などを用いることができる。
また、上述した透明粒子から２種類以上の透明粒子を組み合わせて使用してもよい。さらにまた、透明粒子の大きさ、形状は、特に規定されない。
【００２２】
光拡散領域として光拡散粒子を用いた場合には、光拡散部材の厚さが０．０５〜５ｍｍであることが好ましい。
光拡散部材の厚みが０．０５〜５ｍｍである場合には、最適な拡散性能と輝度を得ることができる。逆に、０．０５ｍｍ未満の場合には、拡散性能が足りず、５ｍｍを超える場合には、樹脂量が多いため吸収による輝度低下が生じる。
なお、透明樹脂として熱可塑性樹脂を用いた場合には、光拡散領域として気泡を用いても良い。
すなわち、熱可塑性樹脂の内部に形成された気泡の内部表面が光の乱反射を生じさせ、光拡散粒子を分散させた場合と同等以上の光拡散機能を発現させることができる。そのため、光拡散部材の膜厚をより薄くすることが可能となる。
このような光拡散部材として、白色ＰＥＴや白色ＰＰなどを挙げることができる。白色ＰＥＴは、ＰＥＴと相溶性のない樹脂や酸化チタン（ＴｉＯ２）、硫酸化バリウム（ＢａＳＯ４）、炭酸カルシウムのようなフィラーをＰＥＴに分散させた後、該ＰＥＴを２軸延伸法で延伸することにより、該フィラーの周りに気泡を発生させて形成する。
なお、熱可塑性樹脂からなる光拡散部材は、少なくとも１軸方向に延伸されてなればよい。少なくとも１軸方向に延伸させれば、フィラーの周りに気泡を発生させることができるためである。
【００２３】
熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン−２、６−ナフレート、ポリプロピレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、シクロヘキサンジメタノール共重合ポリエステル樹脂、イソフタル酸共重合ポリエステル樹脂、スポログリコール共重合ポリエステル樹脂、フルオレン共重合ポリエステル樹脂等のポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン、脂環式オレフィン共重合樹脂等のポリオレフィン系樹脂、ポリメチルメタクリレート等のアクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリアミド、ポリエーテル、ポリエステルアミド、ポリエーテルエステル、ポリ塩化ビニル、シクロオレフィンポリマー、およびこれらを成分とする共重合体、またこれら樹脂の混合物などを用いることができ、特に制限されることはない。
光拡散領域として気泡を用いた場合には、光拡散部材の厚さが２５〜５００μｍであることが好ましい。
光拡散部材の厚さが２５μｍ未満の場合には、シートのこしが不足し、製造工程やディスプレイ内でしわを発生しやすくなるので好ましくない。また、拡散基材の厚さが５００μｍを超える場合には、光学性能についてはとくに問題ないが、剛性が増すためロール状に加工しにくい、スリットが容易にできないなど、従来の拡散板と比較して得られる薄さの利点が少なくなるので好ましくない。
【００２４】
図１０は、本発明におけるＥＬ素子のレンチキュラーレンズシートの例を示すものである。
図１０（ａ）は、シート状の透明基材４ａ上に、縦断面形状が台形を呈するレンズ素子４ｂを表示画素に対応して配列したものである。また、図１０（ｂ）は、シート状の透明基材４ａ上に、縦断面形状が頂部に２つの三角状頭部を有する台形のレンズ素子４ｂを表示画素に対応して配列したものである。さらに、図１０（ｃ）は、シート状の透明基材４ａ上に、縦断面形状が二等辺三角形のレンズ素子４ｂを表示画素に対応して配列したものである。
なお、光取り出し用のレンチキュラーレンズシートは様々であり、集光による光の強度分布を作ることができれば、これに限定するものではない。
【００２５】
（実施の形態３）
図１１は、図９に示す光拡散部材１０付きＥＬ素子の光拡散部材１０の光出射面側に液晶パネル（特許請求の範囲に記載の画像表示素子に相当する）１４を対向配置し、これにより、液晶ディプレイ装置２０を構成するようにしたものである。
【００２６】
以下、上記実施の形態にかかるＥＬ素子の実施例について述べる。
（実施例１）
ガラス基板裏面に、本発明に使用する光取り出しレンズシートを粘着材を介して接合した。この光取り出しレンズシートにおけるレンズ素子のレンズピッチ３００μmの略四角錘形状のものである。その後、ガラス基板のレンズシートと反対の面に、ＩＴＯ透明電極（ホール注入電極）をスパッタ法にて約１００nm厚に成膜した。得られたＩＴＯ薄膜を、フォトリソグラフィーの手法によりパターニング、エッチング処理し、３００μmの間隔でストライプ状パターンを構成するホール注入電極層を形成した。
次いで、配線電極として下地層（窒化チタン）と電極層（アルミニウム）をスパッタ法にて形成し、それぞれ、５０nmと、３００nmの膜厚に成膜し、フォトリソグラフィーによりパターニングを行った。発光層、下地層および電極層と電子注入電極が接する部分を除いてパッシベーション膜（ＳｉＯ2）を成膜（パターニング）した。その後、各電子注入電極を分離するために素子分離構造体を形成した。 本発明の場合のパッシベーション膜（ＳｉＯ2）は必要に応じて付与することが望ましい。
【００２７】
ＩＴＯ透明電極、下地層、電極層等が形成されている基板の表面をＵＶ／Ｏ3洗浄した後、レジスト膜をコーティングし、前記光取り出しレンズ方向から、UV露光を行った。UV露光後、レジストを現像し、逆台形状のテーパーの付いた構造物を作製した。その後、４，４'，４”−トリス（−Ｎ−（３−メチルフェニル）−Ｎ−フェニルアミノ）トリフェニルアミン（以下、ｍ−ＭＴＤＡＴＡ）を４０nmの厚さに蒸着し、ホール注入層とし、次いで、Ｎ，Ｎ'−ジフェニル−Ｎ，Ｎ'−ｍ−トリル−４，４'−ジアミノ−１，１'−ビフェニル（以下、ＴＰＤ）を３５nmの厚さに蒸着し、ホール輸送層とした。さらに、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム（以下、Ａｌｑ３）をで５０nmの厚さに蒸着して、電子注入輸送・発光層とした。
ＡｌＬｉ電子注入電極（Ｌｉ濃度：７．２at％）を５０nmの厚さに成膜した。このＥＬ素子基板を他のスパッタ装置に移し、Ａｌターゲットを用いたＤＣスパッタ法により、ＩＴＯ陽極と直行する方向で尚且つ３００μm毎のストライプ状にＡｌ保護電極を２００nmの厚さに成膜した。
最後にガラス封止板との接続後、点灯試験を行ったが、問題なく点灯した。また、光取り出しレンズの付与により、光取り出しレンズの無いものに対して、４２％程度の取り出し効率向上が見られた。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明にかかるＥＬ素子の製造過程で透光性基板上にストライプ状の透明陽極を配置した例を示す説明用斜視図である。
【図２】本発明にかかるＥＬ素子の製造過程で透光性基板にレンチキュラーレンズシートを設けた状態の説明用断面図である。
【図３】本発明にかかるＥＬ素子の製造過程で透明陽極側に感光性樹脂層を形成した場合の説明用断面図である。
【図４】本発明にかかるＥＬ素子の製造過程でレンチキュラーレンズシート側から平行光線を入射して感光性樹脂層を露光した場合の説明用断面図である。
【図５】本発明にかかるＥＬ素子の製造過程で露光済みの感光性樹脂層を現像して陰極用の隔壁を形成した場合の説明用断面図である。
【図６】本発明にかかるＥＬ素子の製造過程で隔壁側から発光層を形成した場合の説明用断面図である。
【図７】本発明にかかるＥＬ素子の製造過程で発光層に陰極を形成した場合の説明用断面図である。
【図８】本発明にかかるＥＬ素子の発光の際にレンチキュラーレンズシートを用いて光取り出しを行う場合の説明用断面図である。
【図９】本発明にかかるＥＬ素子のレンチキュラーレンズシート側に光拡散部材を設けた例を示す概略断面図である。
【図１０】本発明にかかるレンチキュラーレンズシートの例を示す説明図である。
【図１１】本発明にかかる光拡散部材付きＥＬ素子を用いて液晶ディプレイ装置を構成した場合の一例を示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００２９】
１……透光性基板、２……透明陽極、３……粘着層、４……レンチキュラーレンズシート、４ａ……基材、４ｂ……レンズ素子、５……空気層、６……感光性樹脂、７……陰極用隔壁、８……発光層、９……陰極、１０……光拡散部材、１４……液晶パネル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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