(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ剥離装置に用いられるテープ巻取り部であって、
シャフトと、
前記シャフトの端部に取り付けられ、当該シャフトの軸方向に長さを有し、前記シャフトの軸方向と直交する方向に互いに対向する一対の巻取り片であって、周囲にテープが巻き付けられる一対の巻取り片と
を備え、
前記一対の巻取り片は、それぞれの長手方向の両端部よりも略中央部が、対向する巻取り片に向けて突出する形状を有しており、
前記一対の巻取り片は、前記略中央部で互いに連結され、互いに揺動可能に構成されていること
を特徴とするテープ巻取り部。
【請求項２】
前記一対の巻取り片は、それぞれ、前記略中央部を挟んだ両側に２つの平板部分を有することを特徴とする請求項１に記載のテープ巻取り部。
【請求項３】
前記一対の巻取り片は、それぞれ、長尺部材を前記略中央部で屈曲したものであることを特徴とする請求項１又は２に記載のテープ巻取り部。
【請求項４】
前記シャフトの前記端部は、当該シャフトの軸方向に対して傾斜する一対の傾斜面を有し、
当該一対の傾斜面は、前記一対の巻取り片の間に挿入されていることを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載のテープ巻取り部。
【請求項５】
ウエハを保持するテーブルと、
剥離用テープを供給するテープ供給部と、
前記テープ供給部から供給された剥離用テープを前記ウエハの表面の保護テープに貼り付け、前記剥離用テープと共に前記保護テープをウエハから剥離する剥離機構と、
前記剥離機構によって前記ウエハから剥離した前記剥離用テープおよび前記保護テープを巻取るための、請求項１から４のいずれか１項に記載のテープ巻取り部と
を備えたことを特徴とするテープ剥離装置。
【請求項６】
請求項１から４までのいずれか１項に記載のテープ巻取り部からのテープ取り外し方法であって、
前記一対の巻取り片の前記シャフトから遠い側の端部同士を、互いに接近する方向に付勢して、前記一対の巻取り片を揺動させることにより、前記テープを前記一対の巻取り片からの取り出し方向にせり出させること
を特徴とするテープ取り外し方法。
【請求項７】
前記一対の巻取り片に取り付けたネジ部を締め付けることにより、前記一対の巻取り片を揺動させることを特徴とする請求項６に記載のテープ取り外し方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程において、半導体ウエハの表面に貼られた保護テープを剥離するために用いられるテープ剥離装置、そのテープ剥離装置で用いられるテープ巻取り部、および、そのテープ巻取り部からのテープ取り外し方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体ウエハの裏面を研磨等するバックグラインド工程では、半導体ウエハの表面に、パターンを保護するための保護テープが貼り付けられる。保護テープは、バックグラインド工程が終了した後で半導体ウエハから剥離されるが、この剥離工程においてテープ剥離装置が用いられる。
【０００３】
テープ剥離装置は、半導体ウエハの表面の保護テープに剥離用テープを貼り付け、この剥離用テープと一緒に保護テープをウエハから剥離する。ウエハから剥離された保護テープは、剥離用テープと共に、テープカス（廃棄テープ）としてテープ巻取り部に巻取られて回収される（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２０９０８２号公報（段落００５５〜００６６、図６〜９参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、テープ巻取り部は、一般に、四角形断面を有するシャフトの周囲に円管部材（巻取り部材）を嵌合させたものであり、シャフトの回転に伴って、円管部材の周囲にテープカスを巻取るよう構成されている。テープカスの巻取り量が規定量に達した場合には、円管部材をシャフトから引き抜いて、巻取ったテープカスとシャフトの間に隙間を生じさせ、その後、テープカスをシャフトから取り外す。
【０００６】
しかしながら、このような構成では、テープカスの巻取り量が増えるにつれて、テープカスが円管部材を締め付ける力（締め付け力）が増大し、円管部材をシャフトから引き抜くことが困難になる。そのため、巻取ったテープカスをテープ巻取り部から取り外せない場合がある。
【０００７】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、テープ巻取り部におけるテープの巻取り量が多い場合であっても、テープを確実に取り外すことができるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るテープ巻取り部は、テープ剥離装置に用いられるものであって、シャフトと、当該シャフトの端部に取り付けられ、当該シャフトの軸方向に長さを有し、シャフトの軸方向と直交する方向に互いに対向する一対の巻取り片であって、周囲にテープが巻き付けられる一対の巻取り片とを備える。これら一対の巻取り片は、それぞれの長手方向の両端部よりも略中央部が、対向する巻取り片に向けて突出する形状を有している。また、これら一対の巻取り片は、それぞれの長手方向の略中央部で互いに連結されて、互いに揺動可能に構成されている。
【０００９】
また、本発明に係るテープ剥離装置は、ウエハを保持するテーブルと、剥離用テープを供給するテープ供給部と、テープ供給部から供給された剥離用テープを前記ウエハの表面の保護テープに貼り付け、剥離用テープおよび保護テープをウエハから剥離する剥離機構と、剥離機構によってウエハから剥離した剥離用テープおよび保護テープを巻取るための上記のテープ巻取り部とを備える。
【００１０】
また、本発明に係るテープ巻取り部からのテープ取り外し方法では、上記のテープ巻取り部において、一対の巻取り片のシャフトから遠い側の端部同士を、互いに接近する方向に付勢して、一対の巻取り片を揺動させることにより、テープを当該一対の巻取り片からの取り出し方向にせり出させる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、テープ巻取り部におけるテープの巻取り量が多い場合であっても、テープを確実に取り外すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態におけるテープ剥離装置の基本構成を示す側面図である。
【図２】本発明の実施の形態におけるテープ剥離装置の基本構成を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態におけるテープ剥離装置のテープ巻取り部の要部構成を示す分解斜視図（Ａ）および斜視図（Ｂ）である。
【図４】本発明の実施の形態におけるテープ巻取り部の使用時の状態を示す斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態におけるテープ剥離装置の基本動作を説明するための図である。
【図６】本発明の実施の形態におけるテープ巻取り部の作用を説明するための図である。
【図７】本発明の実施の形態におけるテープ巻取り部の構成例を説明する模式図である。
【図８】比較例のテープ巻取り部の構成（Ａ）と動作（Ｂ）を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下では、本発明の実施の形態におけるテープ巻取り部を備えたテープ剥離装置について、図面を参照して説明する。図１および図２は、本実施の形態におけるテープ剥離装置１の基本構成を示す側面図および斜視図である。テープ剥離装置１は、半導体製造工程のバックグラインド工程で半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープを、バックグラインド工程が終了したのちに剥離するものである。
【００１４】
図１において、テープ剥離装置１は、ウエハ（半導体ウエハ）Ｗを保持するテーブル５と、剥離用テープ１１を供給するテープ供給部３と、このテープ供給部３から供給された剥離用テープ１１をウエハＷの表面の保護テープ１０に貼り付け、この剥離用テープ１１と一緒に保護テープ１０をウエハＷから剥離する剥離機構４と、剥離機構４によって剥離した剥離用テープ１１および保護テープ１０を巻取るテープ巻取り部２とを備えている。
【００１５】
テーブル５は、水平な板面を有し、例えば真空吸着によりウエハＷを保持する。ウエハＷの表面（素子形成面）には、パターンを保護するための保護テープ１０が貼り付けられている。このウエハＷは、裏面側をテーブル５に向けた状態で保持されている。
【００１６】
テープ供給部３は、未使用の剥離用テープ１１（粘着テープ）を、ロール状に巻き付けた状態で保持するものである。テープ供給部３は、外周面において剥離用テープ１１を保持する供給ローラ３１を有している。この供給ローラ３１は、テープ剥離装置１の筺体１５（図６参照）に回転自在に取り付けられている。
【００１７】
テープ供給部３とテーブル５との間には、テープ供給部３から供給された剥離用テープ１１を、テーブル５に保持されたウエハＷまで案内するためのガイドローラ６１が設けられている。ここでは、ガイドローラ６１は、ウエハＷの上面の高さと略同じ高さに配置されている。
【００１８】
剥離機構４は、テーブル５の板面に沿って移動可能な可動フレーム４０を有しており、この可動フレーム４０には、剥離ローラ４１が回転自在に取り付けられている。剥離機構４は、また、剥離ローラ４１をテーブル５上のウエハＷに対して押圧するためのシリンダ等の押圧部４２を備えている。剥離ローラ４１は、テープ供給部３から供給された剥離用テープ１１を、ウエハＷの表面の保護テープ１０に押圧することにより、剥離用テープ１１を保護テープ１０に接着する。
【００１９】
テープ巻取り部２は、剥離用テープ１１と、後述するように剥離用テープ１１と共にウエハＷから剥離した保護テープ１０とを、テープカス１２として巻取るものである。テープ巻取り部２は、テープカス１２を巻取る巻取り体２０と、この巻取り体２０が先端部に取り付けられたシャフト２５とを有している。シャフト２５は、テープ剥離装置１の筺体１５（図６）に回転可能に支持されており、図示しないモータにより、テープカス１２を巻取り体２０に巻取る方向（矢印Ｒで示す方向）に回転する。テープ巻取り部２の詳細については、後述する。
【００２０】
テープ巻取り部２とテーブル５との間には、剥離機構４からテープ巻取り部２までテープカス１２を案内するガイドローラ６２，６３が設けられている。ガイドローラ６２，６３は、テープカス１２を挟み込むように対をなして配置されている。
【００２１】
図３は、テープ巻取り部２の構成を示す分解斜視図（Ａ）および斜視図（Ｂ）である。図３（Ａ）に示すように、巻取り体２０は、一対の巻取り片２１，２２を組み合わせたものである。巻取り片２１，２２は、いずれも、シャフト２５の軸方向（Ｘ方向とする）に長さを有する長尺部材であって、当該軸方向に直交する方向に互いに対向している。巻取り片２１，２２は、長さおよび幅が互いに同じである。
【００２２】
巻取り片２１は、長手方向（Ｘ方向）の両端部よりも略中央部が、巻取り片２２に向けて突出する形状を有している。より具体的には、巻取り片２１は、平板状部材を平仮名の「く」の字状に屈曲させた形状、すなわち、長手方向の略中央部を挟んで２つの平板部分２１ａ，２１ｂを組み合わせた形状を有している。
【００２３】
同様に、巻取り片２２は、長手方向（Ｘ方向）の両端部よりも略中央部が、巻取り片２１に向けて突出する形状を有している。より具体的には、巻取り片２２は、平板状部材を平仮名の「く」の字状に屈曲させた形状、すなわち、長手方向の略中央部を挟んで２つの平板部分２２ａ，２２ｂを組み合わせた形状を有している。
【００２４】
これら巻取り片２１，２２は、それぞれの長手方向の略中央部において、支持ピン２４により、洗濯バサミのように揺動可能に支持されている。より具体的には、巻取り片２１の略中央部（屈曲部）の凸となった側には、巻取り片２１の幅方向（Ｘ方向に直交する方向）に延在する支持ピン２４を挿通する一対の軸支持部２１ｃが配設されている。また、巻取り片２２の略中央部（屈曲部）の凸となった側にも、支持ピン２４を挿通する左右一対の軸支持部２２ｃが配設されている。
【００２５】
巻取り片２１，２２を組み合わせると、当該巻取り片２１，２２の幅方向において、巻取り片２１の一対の軸支持部２１ｃと、巻取り片２２の一対の軸支持部２２ｃとが一列に配列される。これら軸支持部２１ｃ，２２ｃに、支持ピン２４が挿通される。これにより、巻取り片２１，２２は、長手方向の略中央部で支持ピン２４により互いに連結され、互いに揺動可能となる。
【００２６】
シャフト２５の先端部２６は、巻取り片２１，２２の間（より具体的には、平板部分２１ｂ，２２ｂの間）に挿入され、この先端部２６には、上述した支持ピン２４を挿通する軸孔２６ｃが形成されている。
【００２７】
支持ピン２４を、巻取り片２１の軸支持部２１ｃ、巻取り片２２の軸支持部２２ｃおよびシャフト２５の先端部２６の軸孔２６ｃに挿通することにより、図３（Ｂ）に示すように、巻取り片２１，２２およびシャフト２５は互いに一体となる。この状態で、シャフト２５は、図示しないモータにより、上述した回転方向（矢印Ｒ）に回転する。
【００２８】
通常の使用状態、すなわちテープカス１２の巻取りを行う状態では、巻取り片２１，２２の平板部分２１ｂ，２２ｂは、シャフト２５の先端部２６に形成された傾斜面２６ａ，２６ｂにそれぞれ当接している。また、上述したように、巻取り片２１，２２は、洗濯バサミのように長手方向略中央部で連結されているため、例えば、巻取り片２１，２２の先端側（シャフト２５から遠い側）を閉じるように外力を加えると、巻取り片２１，２２の後端側（シャフト２５に近い側）が開く。
【００２９】
巻取り片２１，２２の周囲には、図４に示すように、剥離用テープ１１（または、剥離用テープ１１と保護テープ１０とが一体となったもの）からなるテープカス１２が巻き付けられる。なお、剥離用テープ１１の最先端（テープ端）は、例えば、別の粘着テープにより、巻取り片２１，２２に固定されている。
【００３０】
次に、本実施の形態のテープ剥離装置１の基本動作について説明する。
図５（Ａ）〜（Ｄ）は、本実施の形態のテープ剥離装置１の基本動作を示す図である。図５（Ａ）に示すように、剥離用テープ１１は、テープ供給部３の供給ローラ３１に保持されており、この供給ローラ３１から、ガイドローラ６１、剥離ローラ４１およびガイドローラ６２，６３を経由して、巻取り部２の巻取り片２１，２２（巻取り体２０）に巻き付けられている。
【００３１】
バックグラインド工程で裏面の研磨等が行われたウエハＷは、図示しない搬送機構により搬送され、テーブル５上に載置される。ウエハＷは、裏面側をテーブル５に向けて、テーブル５上で吸着保持される。ウエハＷの表面には、パターン等を保護するための保護テープ１０が貼り付けられている。
【００３２】
次に、図５（Ｂ）に示すように、剥離ローラ４１が、押圧部４２（図１）によりテーブル５上のウエハＷの表面（保護テープ１０）に押し当てられた状態で、可動フレーム４０により、ウエハＷの表面に沿ってＡ方向に移動する。これにより、剥離用テープ１１は、ウエハＷの表面の保護テープ１０に貼り付けられる。
【００３３】
次いで、図５（Ｃ）に示すように、テープ巻取り部２のシャフト２５（図３）が回転し、剥離用テープ１１の巻取りを開始する。さらに、剥離ローラ４１が、押圧部４２（図１）によりウエハＷに更に強く押し当てられた状態で、可動フレーム４０により、ウエハＷの表面に沿って逆方向（Ｂ方向）に移動する。これにより、剥離用テープ１１と共に保護テープ１０がウエハＷの表面から剥離する。
【００３４】
これにより、図５（Ｄ）に示すように、保護テープ１０が剥離用テープ１１と共にウエハＷの表面から完全に剥離する。ウエハＷの表面から剥離した保護テープ１０は、剥離用テープ１１と共に、テープ巻取り部２の巻取り体２０（巻取り片２１，２２）にテープカス１２として巻取られる。
【００３５】
ここで、テープ巻取り部２におけるテープカス１２の巻取り量が所定量に達すると、テープ巻取り部２からテープカス１２を取り外す必要がある。
【００３６】
図６（Ａ）〜（Ｃ）は、テープ巻取り部２からのテープカス１２の取り外し方法を説明するための模式図である。図６（Ａ）には、シャフト２５の回転により、巻取り片２１，２２の周囲にテープカス１２が巻き付けられている状態を示す。この状態では、巻取り片２１，２２の平板部分２１ｂ，２２ｂは、先端部２６の傾斜面２６ａ，２６ｂに当接している。
【００３７】
図６（Ｂ）に示すように、テープ巻取り部２からテープカス１２を取り外す際には、使用者が、巻取り片２１，２２の平板部分２１ａ，２２ａの先端（シャフト２５から遠い側の端部）を、互いに接近するように付勢して、巻取り片２１，２２を揺動させる。
【００３８】
これにより、巻取り片２１，２２は、図６（Ｂ）に矢印Ｓで示す方向に揺動し、巻取り片２１，２２の平板部分２１ｂ，２２ｂが、テープカス１２に当接して、矢印Ｃで示す方向（取り出し方向）に付勢する。これにより、テープカス１２は、矢印Ｃで示す取りだし方向にスライドする。
【００３９】
巻取り片２１，２２の平板部分２１ａ，２２ａが互いに当接するまで揺動した状態では、テープカス１２は、平板部分２１ａ，２２ａの先端の近傍までせり出している。そのため、図６（Ｃ）に示すように、使用者は、テープカス１２を、巻取り片２１，２２から容易に取り出すことができる。
【００４０】
このように構成されているため、テープカス１２の巻取り量が増加し、テープカス１２が巻取り片２１，２２を締め付ける力が増大した場合においても、テープカス１２を巻取り片２１，２２から容易に取り外すことができる。
【００４１】
なお、上記の図６（Ｂ）の工程では、使用者が巻取り片２１，２２を手で揺動させてもよいが、テープカス１２による巻取り片２１，２２の締め付け力が強力な場合には、使用者の手だけでは巻取り片２１，２２を揺動させることができない可能性がある。
【００４２】
そのため、図７（Ａ）に示すように、巻取り片２１，２２を貫通するネジ７１と、このネジ７１に螺号するナット７２とからなるネジ締結部を設け、図７（Ｂ）に示すように、ネジ７１とナット７２とを締め付けることで、巻取り片２１，２２を揺動させてもよい。
【００４３】
本実施の形態の効果について、比較例を参照して説明する。
図８（Ａ）および（Ｂ）は、比較例のテープ巻取り部８を示す分解斜視図および斜視図である。この比較例のテープ巻取り部８は、図８（Ａ）に示すように、四角形断面を有するシャフト８１の周囲に円管部材８２を嵌合させたものである。図８（Ｂ）に示すように、シャフト７１の回転により、円管部材８２の周囲に、テープカス１２が巻取られる。
【００４４】
この比較例において、テープ巻取り部８からテープカス１２を取り外す際には、まず、円管部材８２をシャフト８１から引き抜き、テープカス１２とシャフト８１との間に隙間を生じさせて、テープカス１２をシャフト８１から引き抜く。
【００４５】
しかしながら、この比較例のテープ巻取り部８では、テープカス１２の巻取り量が増加し、テープカス１２による円管部材８２の締め付け力が増大すると、シャフト８１から円管部材８２を引き抜くことが困難になる。そのような場合には、テープカス１２をテープ巻取り部８から取り外すことができない。
【００４６】
これに対し、上述した本実施の形態のテープ巻取り部２（図６等）では、巻取り片２１，２２が略中央部で互いに連結されて揺動可能に構成されているため、テープカス１２の巻取り量が増加して、テープカス１２による巻取り片２１，２２の締め付け力が増大した場合であっても、使用者が巻取り片２１，２２の先端側を閉じることにより、テープカス１２を巻取り片２１，２２からの取り出し方向にせり出させて、容易に取り外すことができる。
【００４７】
以上説明したように、本実施の形態によれば、一対の巻取り片２１，２２が、長手方向の略中央部で連結されて互いに揺動可能に構成されており、また、各巻取り片２１，２２が、長手方向の両端部よりも略中央部が相手の巻取り片（２２，２１）に向けて突出する形状を有しているため、巻取り片２１，２２を揺動させることで、巻取られたテープカス１２を取り出し方向にせり出させ、テープカス１２を容易に取り出すことができる。
【００４８】
また、テープカス１２の巻取り時には、一対の巻取り片２１，２２の先端（シャフト２５から遠い側の端部）と後端（シャフト２５に近い側の端部）が、テープカス１２を幅方向両側から案内する役割を果たすため、巻取り中にテープカス１２が巻取り片２１，２２から脱落することがない。
【００４９】
また、巻取り片２１，２２を、それぞれ、長手方向の略中央部を挟んだ両側に２つの平板部分を有する構成とすることにより、簡単な構成でテープカス１２をせり出させる効果を奏することができる。
【００５０】
また、シャフト２５の先端部２６に、当該シャフト２５の方向に対して傾斜する一対の傾斜面２６ａ，２６ｂを設け、これら傾斜面２６ａ，２６ｂを巻取り片２１，２２の間に挿入することにより、巻取り時の巻取り片２１，２２の揺動位置を傾斜面２６ａ，２６ｂにより規制することができる。
【００５１】
また、テープカス１２を取り外す際に、巻取り片２１，２２に取り付けたネジ部（７１，７２）を利用すれば、テープカス１２による締め付け力が特に大きい場合であっても、巻取り片２１，２２を揺動させることができる。
【００５２】
なお、上記の説明では、巻取り片２１，２２が、いずれも平板状部材を「く」の字状に屈曲させた形状を有していたが、このような形状に限定されるものではない。すなわち、巻取り片２１，２２は、長手方向の略中央部が、対向する巻取り片２２，２１に向けて突出する形状を有していればよい。
【００５３】
また、巻取り片２１，２２は、それぞれの長手方向の略中央部で互いに連結されていると説明したが、「長手方向の略中央部」とは、正確に長手方向中心である必要はなく、長手方向の両端域でなければよい。
【００５４】
また、巻取り片２１，２２を互いに連結するための構成、および、これらをシャフト２５の先端部２６に取り付けるための構成は、図３〜４を参照して説明した構成に限定されるものではない。例えば、支持ピン２４を用いる代わりに、シャフト２５の先端部２６の両側端面に凸部を設けてもよい。
【符号の説明】
【００５５】
１  テープ剥離装置、  １０  保護テープ、  １１  剥離用テープ、  １２  テープカス、  ２  テープ巻取り部、  ２０  巻取り体、  ２１，２２  巻取り片、  ２４  支持ピン、  ２５  シャフト、  ２６  先端部、  ３  テープ供給部、  ３１  供給ローラ、  ４  剥離機構、  ４０  可動フレーム、  ４１  剥離ローラ、  ４２  押圧部、  ５  テーブル、  ６１，６２，６３  ガイドローラ、  Ｗ  ウエハ。
【図１】
0005631681.tif 000002
【図２】
0005631681.tif 000003
【図３】
0005631681.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0005631681.tif 000009