(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層に所定間隔毎に凹部が形成された接着シートを被着体の一方の面に貼付するシート貼付装置において、
前記被着体の他方の面側から当該被着体を支持可能な支持手段と、前記接着シートを支持手段に支持された被着体上に供給する供給手段と、前記接着シートを基材シート側から押圧して前記被着体に貼付する押圧手段とを備え、
前記押圧手段は、軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第１弾性部材と、前記ローラ本体の表面に形成されるとともに、前記第１弾性部材の厚みよりも小さく設定され且つ、前記凹部の平面形状に対応する形状に設けられた隆起部とを備えたシート貼付ローラと、前記接着シートを被着体に押圧している前記第１弾性部材が前記隆起部の表面高さと同一高さとなるように、予め入力されたデータ、ローラ本体又は隆起部の位置を監視するセンサ、隆起部の表面が所定の位置以下に下がらないように規制するガイド手段若しくは、予め設定された所定のトルクに基づいて前記シート貼付ローラに押圧力を付与する押圧力付与手段とを有することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層に所定間隔毎に凹部が形成された接着シートを被着体の一方の面に貼付するシート貼付装置において、
前記被着体の他方の面側から当該被着体を支持可能な支持手段と、前記接着シートを支持手段に支持された被着体上に供給する供給手段と、前記接着シートを基材シート側から押圧して前記被着体に貼付する押圧手段とを備え、
前記押圧手段は、軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第１弾性部材と、前記ローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記第１弾性部材の厚みよりも小さく設定され且つ、前記凹部の平面形状に対応する形状に設けられた第２弾性部材とを備えたシート貼付ローラと、前記接着シートを被着体に押圧している前記第１弾性部材が前記第２弾性部材の表面高さと同一高さとなるように、予め入力されたデータ、ローラ本体又は第２弾性部材の表面位置を監視するセンサ、第２弾性部材の表面が所定の位置以下に下がらないように規制するガイド手段若しくは、予め設定された所定のトルクに基づいて前記シート貼付ローラに押圧力を付与する押圧力付与手段とを有することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層に所定間隔毎に凹部が形成された接着シートを被着体の一方の面に貼付するシート貼付方法において、
前記接着シートを貼付するためのシート貼付ローラは、軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第１弾性部材と、前記ローラ本体の表面に形成されるとともに、前記第１弾性部材の厚みよりも小さく設定され且つ、前記凹部の平面形状に対応する形状に設けられた隆起部とを備え、
前記シート貼付ローラにより接着シートを押圧し、第１弾性部材における接着シートを被着体に押圧している部分を前記隆起部の表面と同一高さとなるように、予め入力されたデータ、ローラ本体又は隆起部の位置を監視するセンサ、隆起部の表面が所定の位置以下に下がらないように規制するガイド手段若しくは、予め設定された所定のトルクに基づいて押圧力付与手段を介して圧縮変形させて前記被着体に接着シートを貼付する工程を行うことを特徴とするシート貼付方法。
【請求項４】
基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層に所定間隔毎に凹部が形成された接着シートを被着体の一方の面に貼付するシート貼付方法において、
前記接着シートを貼付するためのシート貼付ローラは、軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第１弾性部材と、前記ローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記第１弾性部材の厚みよりも小さく設定され且つ、前記凹部の平面形状に対応する形状に設けられた第２弾性部材とを備え、
前記シート貼付ローラにより接着シートを押圧し、第１弾性部材における接着シートを被着体に押圧している部分を、前記第２弾性部材の表面と同一高さとなるように、予め入力されたデータ、ローラ本体又は第２弾性部材の表面位置を監視するセンサ、第２弾性部材の表面が所定の位置以下に下がらないように規制するガイド手段若しくは、予め設定された所定のトルクに基づいて押圧力付与手段を介して圧縮変形させて前記被着体に接着シートを貼付する工程を行うことを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置及びシート貼付方法に係り、更に詳しくは、接着剤層に凹部が形成された接着シートを被着体に貼付することができるシート貼付装置及びシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、「ウエハ」と称する場合もある）としては、その回路面側に電気的な導通を確保するための半田バンプ（以下、「バンプ」という）が形成されたタイプのものがある。また、ウエハは、回路面側に保護用の接着シートが貼付されて裏面研削等の処理が施される。かかる接着シートとして、例えば、図６（Ａ）に示されるものを用いることが考えられる。同図の接着シートＳは、同図中紙面直交方向に延びる帯状の基材シートＢＳと、この基材シートＢＳに積層されて面内に凹部Ｃを有する接着剤層ＡＤとを備え、凹部Ｃ内に全てのバンプＢが受容されるように接着剤層ＡＤをウエハＷ上面に貼付可能となっている。ウエハＷに貼付された接着シートＳは、カッター刃によりウエハＷ外縁に沿って切断され、ウエハＷ形状に対応した平面形状に形成される。
【０００３】
ここで、接着シートＳを基材シートＢＳ側から押圧してウエハＷに貼付するため、図６（Ａ）及び（Ｂ）に示されるように、基材シートＢＳ上を転動可能なシート貼付ローラ１００を利用することが考えられる。また、図７（Ａ）及び（Ｂ）に示されるように、接着シートＳを押圧するにあたり、凹部Ｃに対応する領域の基材シートＢＳを押圧しないように、陥没領域１０５Ａを表面に形成したシート貼付ローラ１０５を用いることも考えられる。
【０００４】
更に、公知の接着シートを押圧して貼付するローラとして、当該接着シートの形状に対応する領域が表面から突出した形状をなすローラ（特許文献１参照）、或いは、接着シートの内部より外周側に対応する領域の弾性を小さく設定したローラ（特許文献２参照）が例示される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３１５０２０号公報
【特許文献２】特開平１１−３５０１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、図６（Ａ）のシート貼付ローラ１００を金属のような硬い素材とした場合、バンプＢを介してウエハＷに局所的に強いストレスが加わり、ウエハが損傷する、という不都合がある。
ここで、同図（Ｂ）のように、シート貼付ローラ１００の素材を弾性変形可能とすれば、前記不都合を解消し得るものの、この場合、バンプＢの突出形状に沿って接着シートＳに凹凸が形成される。その結果、接着シートＳを下側にしてテーブル等に載置し、ウエハＷ上面（裏面）を研削すると、接着シートＳに形成された凹凸によってウエハＷを吸着保持することができず、正確な研削が行えなかったり、ウエハＷを破損させてしまったりする上、接着シートＳの凹凸に追従するようにウエハＷ裏面にも凹凸が形成され、均一な厚みに研削できなくなる、という不都合を生じる。
【０００７】
また、図７（Ａ）のシート貼付ローラ１０５を用いた場合、接着シートＳには張力が付与されながら貼付が行われるため、同図（Ｂ）に示されるように、凹部Ｃの底部とウエハＷの上面とが離間しているので、基材シートＢＳが延びて陥没領域１０５Ａ内に入り込むように変形する。このため、同図（Ｃ）に示されるように、接着シートＳ貼付後、基材シートＢＳが弛んだような状態となり、接着シートＳを下側にしてウエハＷ裏面を研削すると、弛んだ接着シートＳが重なって当該ウエハＷを均一な厚みに研削できなくなるばかりではなく、接着シートＳは確実に吸着保持できるものの、ウエハＷが移動を許容されるため、当該ウエハを確実に固定することができず、正確な研削が行えなかったり、ウエハＷを破損させてしまったりする、という不都合を生じる。
【０００８】
ここで、特許文献１のローラにあっては、図７（Ａ）のシート貼付ローラ１０５と同様の不都合があり、特許文献２にあっては、図６（Ａ）のシート貼付ローラ１００と同様の不都合を招来することとなる。
【０００９】
［発明の目的］
本発明の目的は、凹部を有する接着シートを貼付するときに、被着体の損傷を防止でき、貼付される接着シートが変形して貼付されることを抑制できるシート貼付装置及びシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記目的を達成するため、本発明は、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層に所定間隔毎に凹部が形成された接着シートを被着体の一方の面に貼付するシート貼付装置において、
前記被着体の他方の面側から当該被着体を支持可能な支持手段と、前記接着シートを支持手段に支持された被着体上に供給する供給手段と、前記接着シートを基材シート側から押圧して前記被着体に貼付する押圧手段とを備え、
前記押圧手段は、軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第１弾性部材と、前記ローラ本体の表面に形成されるとともに、前記第１弾性部材の厚みよりも小さく設定され且つ、前記凹部の平面形状に対応する形状に設けられた隆起部とを備えたシート貼付ローラと、前記接着シートを被着体に押圧している前記第１弾性部材が前記隆起部の表面高さと同一高さとなるように、予め入力されたデータ、ローラ本体又は隆起部の位置を監視するセンサ、隆起部の表面が所定の位置以下に下がらないように規制するガイド手段若しくは、予め設定された所定のトルクに基づいて前記シート貼付ローラに押圧力を付与する押圧力付与手段とを有する、という構成を採っている。
【００１３】
また、本発明は、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層に所定間隔毎に凹部が形成された接着シートを被着体の一方の面に貼付するシート貼付装置において、
前記被着体の他方の面側から当該被着体を支持可能な支持手段と、前記接着シートを支持手段に支持された被着体上に供給する供給手段と、前記接着シートを基材シート側から押圧して前記被着体に貼付する押圧手段とを備え、
前記押圧手段は、軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第１弾性部材と、前記ローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記第１弾性部材の厚みよりも小さく設定され且つ、前記凹部の平面形状に対応する形状に設けられた第２弾性部材とを備えたシート貼付ローラと、前記接着シートを被着体に押圧している前記第１弾性部材が前記第２弾性部材の表面高さと同一高さとなるように、予め入力されたデータ、ローラ本体又は第２弾性部材の表面位置を監視するセンサ、第２弾性部材の表面が所定の位置以下に下がらないように規制するガイド手段若しくは、予め設定された所定のトルクに基づいて前記シート貼付ローラに押圧力を付与する押圧力付与手段とを有する、という構成を採っている。
【００１４】
更に、本発明は、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層に所定間隔毎に凹部が形成された接着シートを被着体の一方の面に貼付するシート貼付方法において、
前記接着シートを貼付するためのシート貼付ローラは、軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第１弾性部材と、前記ローラ本体の表面に形成されるとともに、前記第１弾性部材の厚みよりも小さく設定され且つ、前記凹部の平面形状に対応する形状に設けられた隆起部とを備え、
前記シート貼付ローラにより接着シートを押圧し、第１弾性部材における接着シートを被着体に押圧している部分を前記隆起部の表面と同一高さとなるように、予め入力されたデータ、ローラ本体又は隆起部の位置を監視するセンサ、隆起部の表面が所定の位置以下に下がらないように規制するガイド手段若しくは、予め設定された所定のトルクに基づいて押圧力付与手段を介して圧縮変形させて前記被着体に接着シートを貼付する工程を行う、という方法を採っている。
【００１５】
また、本発明は、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層に所定間隔毎に凹部が形成された接着シートを被着体の一方の面に貼付するシート貼付方法において、
前記接着シートを貼付するためのシート貼付ローラは、軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第１弾性部材と、前記ローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記第１弾性部材の厚みよりも小さく設定され且つ、前記凹部の平面形状に対応する形状に設けられた第２弾性部材とを備え、
前記シート貼付ローラにより接着シートを押圧し、第１弾性部材における接着シートを被着体に押圧している部分を、前記第２弾性部材の表面と同一高さとなるように、予め入力されたデータ、ローラ本体又は第２弾性部材の表面位置を監視するセンサ、第２弾性部材の表面が所定の位置以下に下がらないように規制するガイド手段若しくは、予め設定された所定のトルクに基づいて押圧力付与手段を介して圧縮変形させて前記被着体に接着シートを貼付する工程を行う、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、接着シートを押圧して貼付するときに、第１弾性部材の押圧する部分がローラ本体の表面と同一高さに変形する、つまり、シート貼付ローラの押圧位置において、ローラ本体表面と第１弾性部材とを直線状に形成することが可能となる。これにより、凹部外側の接着剤層を被着体に押圧して接着シートの貼付を良好に行うことができ、且つ、被着体がバンプを有するウエハであっても、ローラ本体によってバンプに付与される押圧力を抑制してウエハの割れや損傷を回避することが可能となる。しかも、シート貼付ローラの押圧位置で接着シートがローラ本体側に膨らんだり、凸凹するように変形したりすることを抑制することができ、ウエハに貼付された接着シートの平滑化を図ることが可能となる。この結果、接着シート貼付後にウエハの裏面研削を行っても、従来のようにウエハの厚みが不均一になったり、ウエハを破損させたりすることを防止することができる。
【００１７】
また、第１弾性部材の押圧する部分が第２弾性部材の表面と同一高さに変形する場合であっても、前述した効果が得ることができる。また、バンプの高さが比較的高くても、当該バンプに第２弾性部材を介して押圧力が付与されるので、ウエハに与えるストレスを緩和し、ウエハが損傷することをより良く回避することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】接着シートの説明図。
【図３】シート貼付ローラの側面図。
【図４】（Ａ）、（Ｂ）は、シート貼付ローラの作用説明図。
【図５】（Ａ）、（Ｂ）は、変形例に係るシート貼付ローラの作用説明図。
【図６】（Ａ）、（Ｂ）は、従来例に係るシート貼付ローラの不具合説明図。
【図７】（Ａ）〜（Ｃ）は、他の従来例に係るシート貼付ローラの不具合説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「上」、「下」は、図１を基準として用いる。
【００２０】
図１及び図２において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷを支持可能に設けられた支持手段１１と、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に帯状の接着シートＳが仮着された原反Ｒを繰り出して支持手段１１上に接着シートＳを供給する供給手段１２と、ウエハＷを搬送可能に設けられた搬送手段１５と、ウエハＷに接着シートＳを貼付した後に当該ウエハＷの外縁に沿って接着シートＳを切断する切断手段１６と、支持手段１１に支持されたウエハＷに接着シートＳを押圧して貼付する押圧手段１８と備えて構成されている。
【００２１】
前記ウエハＷは、その一方の面（上面）に複数のバンプＢが形成され、これらバンプＢは、半導体チップの電極であって所定の高さを有している。
【００２２】
前記接着シートＳは、基材シートＢＳと、この基材シートＢＳの一方の面（図２中上面）に積層された接着剤層ＡＤとを備えている。接着剤層ＡＤには、接着シートＳの延出方向に所定間隔毎に凹部Ｃが形成されている（凹部の底面には接着剤がないが、あってもよい）。各凹部Ｃは、ウエハＷの面内に収まり、且つ、ウエハＷ上のバンプＢを全て受容可能な形状及びサイズに形成されている。なお、このような接着シートＳは、例えば特開２００５−１２３３８２号公報に記載の接着シートを採用することができる。
【００２３】
前記支持手段１１は、ウエハＷの外周縁形状と略同形の外周縁を有するとともに、ウエハＷを他方の面（図１中下面）側から吸着して支持可能な支持面２１を有する内側テーブル２２と、内側テーブル２２との間に隙間を形成するように断面視凹状に設けられた外側テーブル２５と、トルク制御や位置制御が可能であり内側テーブル２２を昇降可能な駆動機器としての直動モータ２７とを備え、内側テーブル２２は、接着シートＳの厚み、ウエハＷの厚み、バンプＢの高さに応じて昇降可能に設けられている。
【００２４】
前記供給手段１２は、フレームＦに設けられてロール状に巻回された原反Ｒを支持する支持ローラ３３と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ３４と、支持ローラ３３と回収ローラ３４との間に配置された複数のガイドローラ３６〜３９と、駆動機器としてのモータＭ１を介して回転可能な駆動ローラ４１と、当該駆動ローラ４１との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ４２と、原反Ｒの繰出途中で剥離シートＲＬを折り返して当該剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離する剥離板４３と、押圧手段１８によって接着シートＳをウエハＷに貼付するときの接着シートＳに付与される張力を検出するロードセル４４と、このロードセル４４が接続された張力測定ローラ４６と、ロードセル４４の検出値が所定値となるように剥離板４３を移動させる駆動手段４７と、駆動機器としてのブレーキシュー５０、５１を介して接着シートＳを挟み込み接着シートＳの繰出を抑制するシリンダ５３、５４と、剥離板４３とガイドローラ３７〜３９とロードセル４４と張力測定ローラ４６とシリンダ５３、５４とを支持するフレームＦ１と、ウエハＷの外側の不要接着シートＳ１を巻き取る巻取手段５６とを備えて構成されている。供給手段１２は、剥離板４３で剥離シートＲＬから剥離された接着シートＳを支持面２１の上方に臨むように供給可能となっている。
【００２５】
前記駆動手段４７は、駆動機器としての単軸ロボット５８を含み、当該単軸ロボット５８の図示しないスライダがフレームＦ１に取り付けられ、図示しない制御手段を介してロードセル４４によって検出された接着シートＳの張力によって、フレームＦ１を上下方向に昇降可能に支持している。
【００２６】
前記巻取手段５６は、接着シートＳの切断によってウエハＷの外側に生ずる不要シート部分Ｓ１を挟み込んで剥離する一対のピンチローラ６０と、フレームＦ２に支持され、駆動機器としてのモータＭ２によって回転して不要シート部分Ｓ１を巻き取る巻取ローラ６３とを備えて構成されている。なお、ピンチローラ６０は、駆動機器としてのリニアモータ６５のスライダ６５Ａ上に支持されてＸ軸方向に移動可能に設けられている。
【００２７】
前記搬送手段１５は、ウエハＷを吸着保持可能な吸着パッド６８と、この吸着バッド６８をＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動可能な図示しない多関節ロボット等の駆動機器とを備えている。
【００２８】
前記切断手段１６は、支持手段１１の上方に設けられ、カッター刃７８と、このカッター刃７８をアーム７９を介して支持し、カッター刃７８を回転させる駆動機器としての回動モータ８０と、回動モータ８０を上下動させる図示しない駆動機器とを備えている。
【００２９】
前記押圧手段１８は、リニアモータ６５の図示しないスライダを介してＸ軸方向に移動可能なフレーム８４と、このフレーム８４の上面側に設けられ、トルク制御や位置制御が可能な駆動機器であって押圧力付与手段としての直動モータ８５と、この直動モータ８５の出力軸に回転可能に支持され、直動モータ８５の作動により上下動可能に設けられたシート貼付ローラ８６とを備えている。シート貼付ローラ８６は、内側テーブル２２と相互に連動して接着シートＳの厚み、ウエハＷの厚み、バンプＢの高さに応じて昇降可能に設けられている。なお、シート貼付ローラ８６は、内側テーブル２２と相互に連動して接着シートＳに所定の押圧力を付与可能に構成してもよい。
【００３０】
前記シート貼付ローラ８６は、図３に示されるように、円柱又は円筒状のローラ本体９０と、このローラ本体９０の外周側に配置され、ゴムや樹脂等の弾性を有する素材からなる第１弾性部材９１とを備えている。第１弾性部材９１には、ローラ本体９０の表面を露出する開口９１Ａが形成されている。この開口９１Ａは、展開した形状が接着シートＳの凹部Ｃの平面形状に対応する形状に設けられている。つまり、第１弾性部材９１は、接着シートＳ貼付時に、凹部Ｃ以外の領域に対応する接着シートＳの基材シートＢＳ側に当接して押圧可能となっている。ローラ本体９０は、開口９１Ａの内部領域が隆起した隆起部９０Ａを備えた形状とされ、その隆起部９０Ａの高さは第１弾性部材９１の厚みより小さく設定されている。
【００３１】
次に、本実施形態における接着シートＳの貼付方法について説明する。
【００３２】
初期設定において、原反Ｒを支持ローラ３３から所定長さ引き出し、図１に示されるように、上昇位置にある剥離板４３で剥離シートＲＬを剥離し、接着シートを巻取ローラ６３に固定する一方、剥離シートＲＬを回収ローラ３４に固定する。
【００３３】
電源が投入されると、モータＭ１、Ｍ２が作動し、所定長さに亘って接着シートＳを巻き取るとともに、回収ローラ３４で剥離シートＲＬを巻き取ることで、剥離板４３で剥離シートＲＬから剥離された接着シートＳが支持面２１上方に臨むように繰り出される。次いで、各モータＭ１、Ｍ２の作動を停止し、ブレーキシュー５０、５１がガイドローラ３７、３９にそれぞれ当接して接着シートＳの繰り出しを抑制する。
【００３４】
そして、搬送手段１５がウエハＷを内側テーブル２２の支持面２１上に載置する。なお、接着シートＳの凹部Ｃの位置とウエハＷの位置とは、図示しないセンサや制御手段を介して一致するように予め設定される。ウエハＷが載置されると、押圧手段１８の直動モータ８５を作動してシート貼付ローラ８６により接着シートＳを基材シートＢＳ側から押圧しつつ、リニアモータ６５の作動により押圧手段１８を図１中左側に移動する。このシート貼付ローラ８６の移動に伴って、接着シートＳには張力が加わり、張力測定ローラ４６に引張力が付与される。そこで、ロードセル４４がその張力変化を検知しつつ、図示しない制御手段が所定張力を維持するようにフレームＦ１を単軸ロボット５８によって下降させることで、接着シートＳが外側テーブル２５及びウエハＷの各上面にそれぞれ貼付される。これにより接着シートＳは、所定の張力が付与された状態で、ウエハＷに貼付される。
【００３５】
ここで、接着シートＳを貼付する際、第１弾性部材９１の開口９１Ａと、接着シートＳの凹部Ｃとが一致するようシート貼付ローラ８６の回転及び移動が図示しない制御手段により制御される。これにより、第１弾性部材９１によって接着剤層ＡＤがウエハＷ上面に押圧され、それらをしっかりと貼付することができる。また、図４（Ｂ）に示されるように、第１弾性部材９１において接着シートＳをウエハＷに押圧している部分（同図中下端部）が、ローラ本体９０の表面と同一高さに圧縮変形するように直動モータ８５によってシート貼付ローラ８６が制御される。つまり、内側テーブル２２の昇降が抑制された状態で、シート貼付ローラ８６における接着シートＳに当接している第１弾性部材９１の下端部と、ローラ本体９０の隆起部９０Ａ下端とが同一直線上に位置することとなる。この制御は、予め入力されたデータを基にしてもよいし、図示しないセンサによってローラ本体９０又は隆起部９０Ａ下端の位置を監視するようにしてもよいし、隆起部９０Ａが所定の位置以下に下がらないように規制する図示しないガイド手段に、第１弾性部材９１の弾性復元力以上の力で押え付けるようにしてもよいし、予め設定された所定のトルクで押え付けるようにしてもよい。これにより、ローラ本体９０によってバンプＢを介してウエハＷに局所的に強いストレスを与えることを抑制でき、ウエハＷが損傷することを防止することができる。しかも、接着シートＳに加わる張力によって当該接着シートＳが開口９１Ａ内に入り込むように変形したり、バンプＢに沿うように変形したりすることを抑制でき、貼付される接着シートＳを平滑に維持することが可能となる。
【００３６】
接着シートＳの貼付が完了すると、ウエハＷの外周縁に沿うようにカッター刃７８を移動させ、回動モータ８０の作動により、ウエハＷの外周縁に沿って接着シートＳを切断する。接着シートＳの切断後、搬送手段１５により、接着シートＳが貼付されたウエハＷを内側テーブル２２から取り去って後工程等に搬送する。その後、シート貼付ローラ８６が上昇し、ピンチローラ６０を図１中左側に移動させて外側テーブル２５から接着シートＳを離間させた後、ブレーキシュー５０、５１がガイドローラ３７、３９から離れ、フレームＦ１が上昇する。フレームＦ１が上昇すると同時に、シート貼付ローラ８６及びピンチローラ６０が初期位置に復帰しながら不要シートＳ１を巻取ローラ６３で巻き取ることで、新たな接着シートＳの供給繰り出しを行い、以降上記同様の動作が行われることとなる。
【００３７】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３８】
例えば、前記実施形態において隆起部９０Ａを形成した部分に換え、図５に示されるように第２弾性部材９２を設けてもよい。第２弾性部材９２は、ゴムや樹脂等の弾性を有する素材からなり、ローラ本体９０の外周側に配置されるとともに、凹部Ｃの平面形状に対応する形状に設けられる。この構成によっても、前記実施形態と同様の作用、効果が得られる他、バンプＢの高さが接着剤層ＡＤの厚みよりも少々大きくても、第２弾性部材９２を介してバンプＢが押圧されるので、ウエハＷに与えるストレスを緩和することが可能となる。
【００３９】
更に、前記切断手段や搬送手段は、前記実施形態と同様の機能を発揮し得る限りにおいて、種々の変更が可能である。
【００４０】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【００４１】
更に、本発明における被着体としては、半導体ウエハに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。
また、シート貼付ローラ８６の昇降が抑制された状態で、接着シートＳに当接している第１弾性部材９１の下端部と、ローラ本体９０の隆起部９０Ａ下端とが同一直線上に位置するように、直動モータ２７によって内側テーブル２２を制御してもよい。この場合、押圧力付与手段は、直動モータ２７となる。この制御は、予め入力されたデータを基にしてもよいし、図示しないセンサによってウエハＷを押圧している第１弾性部材９１の下端部を監視するようにしてもよいし、第１弾性部材９１が所定の位置以下に下がらないように規制する図示しないガイド手段に、第１弾性部材９１の弾性復元力以上の力で押し付けるようにしてもよいし、予め設定された所定のトルクで押し付けるようにしてもよい。更に、直動モータ８５と直動モータ２７とを相互に制御して上記同様に、接着シートＳをウエハＷに押圧している部分である第１弾性部材９１の下端部と、ローラ本体９０の隆起部９０Ａ下端とが同一直線上に位置するように制御してもよい。この場合、押圧力付与手段は、直動モータ８５、２７となる。
【符号の説明】
【００４２】
１０  シート貼付装置
１１  支持手段
１２  供給手段
１５  搬送手段
１６  切断手段
１８  押圧手段
２７  直動モータ（押圧力付与手段）
８５  直動モータ（押圧力付与手段）
８６  シート貼付ローラ
９０  ローラ本体
９１  第１弾性部材
９２  第２弾性部材
ＡＤ  接着剤層
ＢＳ  基材シート
Ｃ  凹部
Ｓ  接着シート
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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