(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
箔帯の両端間をその長手方向に１回以上折り返して重ね合せ箔帯とし、折り返し後の重ね合せ箔帯をその一方端から他方端に向けて巻き始めて積層することで筒状体を得、該筒状体の周方向にコイルを巻回し、前記箔帯の幅方向に励磁して使用される磁心。
【請求項２】
請求項１記載の磁心において、
前記箔帯は、非晶質、金属ガラス、電磁鋼板、あるいはパーマロイ等金属磁性箔帯であることを特徴とする磁心。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の磁心において、
箔帯をその長手方向に折り返すときの折り返し長さが１００（ｃｍ）以下であることを特徴とする磁心。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の磁心において、
当該磁心に一次、二次コイルを巻回し、一次コイルに直流を印加したときの保持力に対して、一次コイルに所定周波数の交流を印加したときの保持力の比を損失増加比と定義し、かつ損失増加比が２以下であることを特徴とする磁心。
【請求項５】
箔帯の両端間をその長手方向に１回以上折り返して重ね合せ箔帯とし、折り返し後の重ね合せ箔帯をその一方端から他方端に向けて巻き始めて積層することで筒状体を得、該筒状体の周方向にコイルを巻回して使用する磁心の成形方法。
【請求項６】
請求項５記載の磁心の成形方法において、
前記箔帯は、非晶質、金属ガラス、電磁鋼板、あるいはパーマロイ等金属磁性箔帯であることを特徴とする磁心の成形方法。
【請求項７】
請求項５または請求項６記載の磁心の成形方法において、
積層後の筒状体を熱処理して固着したことを特徴とする磁心の成形方法。
【請求項８】
請求項５から請求項７のいずれかに記載の磁心の成形方法において、
積層後の筒状体を成形型に圧入し、熱処理して固着し所定の形状としたことを特徴とする磁心の成形方法。
【請求項９】
請求項５から請求項７のいずれかに記載の磁心の成形方法において、
積層後の筒状体を成形型に圧入し、ワニス、接着剤等により固着して所定の形状としたことを特徴とする磁心の成形方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主に非晶質箔、電磁鋼板等軟磁性金属箔を利用するインダクタ、モータ用等の磁心およびその成形法に関する。
【背景技術】
【０００２】
リアクトル用インダクタ、モータ磁心等、エネルギ損失低減が要請されている磁性材料応用製品においては、磁心損失が小さいことが必要である。磁心損失を小さくすれば、発熱のない小型のインダクタ、モータが実現可能であり、省エネルギ化への寄与が大きい。
【０００３】
磁心損失のうち、磁性材料特有の保磁力に起因するヒステリシス損失に着目したとき、保磁力の小さい磁性材料として非晶質、金属ガラス等が導入されている。このうち低保磁力であるとともに、飽和磁化が大きいことから、主に鉄系の非晶質箔を立体成型して用いる技術の検討がなされている。
【０００４】
磁性材料として非晶質箔を用い、これを立体成型して磁心を得る技術に関し、たとえば特許文献１では、非晶質箔体を巻き取り、これを軸としてそのまわりにソレノイドコイルを形成してインダクタとし、あるいは、この非晶質巻箔体を巻磁心とする。さらにはこの形状をそのまま、あるいは変形して占積率を上げてモータ磁心とする。
【０００５】
特許文献２では、巻き取った非晶質箔体のリングの一部を切断し、リング方向の磁化を制限することで透磁率を調整している。
【０００６】
さらに特許文献３では、磁心一周分を独立した非晶質帯の積層で構成し、端部を折り重ねる製造法を提案している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−１８４４２４号公報
【特許文献２】特開２０１１−２９４６５号公報
【特許文献３】特開２０１０−２６３３２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
以上述べたように、磁性材料として非晶質箔を用い、これを立体成型して磁心を得る技術には種々のものが知られている。
【０００９】
このうち特許文献１について、このような形成を行うと、コイルに交流通電した際、周波数に依存した負荷損失が発生し、保磁力起因のヒステリシス損失を大幅に上回るという課題のあることが判明した。この負荷損失は、見かけ上渦電流損失と同じ周波数の２乗に比例する挙動を示したため、ここではこれを渦電流損失と考えた。
【００１０】
この原因と対策について究明したところ、結果的には、コイルの発生磁界を打ち消すように巻磁心に円電流が流れると考え、特許文献２で提案しているように磁心の一部を切断してリングに切れ目をいれ測定したところ、渦電流は発生しなかった。すなわち、絶縁した箔体を通してあたかも渦電流が発生しており、一体のリングのように動作している。これを物理的に切断することで渦電流が流れなくなるように見えるのである。
【００１１】
また、特許文献３の手法によっても渦電流損失低減に有効であった。
【００１２】
このように、特許文献２、特許文献３の手法は、渦電流損失低減の観点では満足すべきものであった。然しながら、工業的に大量生産する上では不十分なものである。本発明に関わるインダクタ、モータは大量生産で安価であることを要求されているため、特許文献２、特許文献３のような磁心形成は現実的でない。ここでは、非晶質が硬く、切断作業が著しく困難であることが考慮されていない。
【００１３】
具体的に述べると、非晶質は鉄鋼などの金属結晶にくらべて固い。例えば特許文献２の外形２２ｍｍ、内径５ｍｍ、長さ３０ｍｍの円筒を形成する際、この一辺の切断にダイヤカッタを用いた場合、カッタ刃の消耗のため、磁心１０個程度で交換が必要になる。また切断時間も１個あたり１０分以上を要し、効率的でない。さらに切断に水冷却を使用すると非晶質が錆びる難点もある。
【００１４】
特許文献３の場合にも同じ課題を抱えている。先の外形２２ｍｍ、内径５ｍｍ、長さ３０ｍｍの円筒を形成するには厚さ２５μｍ、幅３０ｍｍの非晶質１２メートル分を平均長４ｃｍに分割して３００枚巻き込む必要がある。非晶質箔体は、切断は可能であるが、たとえ刃先に超硬材を用いても数百個分の磁心を製造するのみで刃材を交換しなければならない。これが製造価格にふくまれるため、安価な製造は難しい。
【００１５】
以上のことから本発明においては、箔体を巻回して成形利用する磁心において、渦電流損失を低減させる簡便な成形法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
以上のことから本発明においては、箔帯をその長手方向に折り返し、折り返し後の一方端から巻き始めて積層することで筒状体を得、該筒状体を前記箔帯の幅方向に励磁して使用される磁心を得る。
【００１７】
また箔帯は、非晶質、金属ガラス、電磁鋼板、あるいはパーマロイ等金属磁性箔帯である。
【００１８】
また、箔帯をその長手方向に折り返すときの折り返し長さが１００（ｃｍ）以下である。
【００１９】
また、磁心に一次、二次コイルを巻回し、一次コイルに直流を印加したときの保持力に対して、一次コイルに所定周波数の交流を印加したときの保持力の比を損失増加比と定義し、かつ損失増加比が２以下である。
【００２０】
以上のことから本発明においては、箔帯をその長手方向に折り返し、折り返し後の一方端を束ねて巻き始め、積層することで筒状体を得る磁心の成形方法とする。
【００２１】
また積層後の筒状体を熱処理して固着した。
【００２２】
また積層後の筒状体を成形型に圧入し、熱処理して固着し所定の形状とした。
【００２３】
また積層後の筒状体を成形型に圧入し、ワニス、接着剤等により固着して所定の形状とした。
【発明の効果】
【００２４】
本発明により、インダクタ、高効率モータを安価に実現し、使用資源、エネルギーの低減に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の折返し巻きの考え方を説明する図。
【図２】筒状磁心の磁気特性測定手法を示す図。
【図３】測定の結果得られた本発明に係る筒状磁心Ｇの磁気特性を示す図。
【図４】測定の結果得られた従来手法に係る筒状磁心Ｇの磁気特性を示す図。
【図５】折り曲げ単位長と損失増加比の関係を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施例について図面を用いて説明する。
【実施例１】
【００２７】
本発明においては、磁心を形成するときに折返し巻きの手法を採用する。そこで、最初に折返し巻きの考え方について、一般的な従来の巻き方と比較しながら図１を用いて説明する。
【００２８】
図１の横欄には左から巻き方、巻き始め位置、巻終り後構造を図示している。また、縦欄には、上から順に一般的な従来の巻き方と本発明の折返し巻きの例（２例）を記載している。いずれの場合にも、ここでは、帯状部材を使用して磁心を形成する。
【００２９】
ここで使用する帯状部材は、図１上段左に示すような部材であり、端部Ａから端部Ｂまでの長さＬｔのものである。一般的な従来の巻き方では、端部Ｂから巻き始めて順次積層し、最終的に右上欄のような断面が渦巻状の磁心を得る。いわば、ロールペーパのような筒形状の磁心である。
【００３０】
これに対し、本発明の折返し巻きでは、長さＬｔの帯状部材を一回以上折り返して重ね、重ね合わせた帯状部材を巻き上げる。中段の一回折りの例では帯状部材を折り曲げて、端部Ａの上に端部Ｂが重なる位置までもってくる。その上で、折り返し点である新たな端部Ｃを巻き始め点として順次積層し、最終的に右中段のような、断面が渦巻状の磁心を得る。この場合の形状も、外観的にはいわばロールペーパのような筒形状の磁心であるが、途中で切断されておらず連続している。
【００３１】
図１下段の多数回折りの例では、長さＬｔの帯状部材が端部Ａと端部Ｂの間がＮ回重ね巻きされている。このため、重ね巻きされた帯状部材の長さはＬｔ／Ｎであり、新たな端部ＣとＤの帯状部材が得られる。このＮ回折返し巻きされた新たな端部ＣとＤの帯状部材について、端部Ｄを巻き始め点として順次積層し、最終的に右下段のような、断面が渦巻状の磁心を得る。この場合の形状も、外観的にはいわばロールペーパのような筒形状の磁心であるが、途中で切断されておらず連続している。
【００３２】
本発明の折返し巻き磁心は、以上のようにして形成されるが、以下具体的な帯状部材の素材、形状（長さ、厚さ、幅）、折り返し回数を例示しながら、所望の磁心特性が得られることについて説明する。
【００３３】
なお、本発明では帯状部材を折返し巻きした後で、一方端から巻き上げている。このため、帯状部材としては箔のように薄く、かつ帯形状をしている必要がある。この特徴から、帯状部材を箔帯ということがある。
【００３４】
また、帯状部材あるいは箔帯を折り返し、さらには巻き上げた後の部材について、箔で形成された部材であることから箔体ということがある。
【００３５】
帯状部材あるいは箔帯の素材は、折り曲げに耐える柔らかさと強さ、および磁心としての電磁的性格を併せ持つものである必要があるが、具体的な素材名、性格については以下の事例で説明する。
【実施例２】
【００３６】
＜厚さ２５μｍ、幅３０ｍｍ、長さ１２ｍの非晶質箔帯を５０ｃｍで折返し巻＞
実施例２の帯状部材の素材、形状（長さ、厚さ、幅）、折り返し長さは、上記のとおりである。非晶質（アモルファス）箔帯は非常に薄いので、多数回折返し巻きをしても、その端部から巻き始めることが可能である。
【００３７】
具体的には、折り返しのときに、折り返し部（図１下欄のａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ）を適宜つぶし、その後端部Ｄについて折ピンで挟んで箔体を束ね、端部Ｄのピンを中心として巻き込んだ。ピン（端部Ｄ）と反対側の折り返し部（端部Ｃ）はゆるく保持し、巻き込みが進行するに伴い自然に折り曲げ位置を決定して巻き取った。
【００３８】
この折返し巻磁心の仕上がりサイズは、外径２３ｍｍ、内径８ｍｍの中空状磁心とした。巻上げ後の非晶質箔体端部（端部Ｃ）は、本体にテープ止めした。
【００３９】
なお、ここでは従来の一般的な巻き方との特性の相違を検証する意味もあって、この帯状部材を用いて図１の上段の巻き方による従来磁心も製作した。つまり、厚さ２５μｍ、幅３０ｍｍ、長さ６ｍの非晶質箔帯を、片側（端部Ｂ）から単純に巻き取り、巻磁心とした。この場合の外径は２２ｍｍ、内径は３ｍｍの中空状磁心とした。断面積はほぼ同一である。
＜磁気特性測定＞
上記のようにして作成された巻き磁心は、ロールペーパのような筒形状の磁心である。以後この形状を筒状磁心ということにする。磁気特性測定においては、図２に示すように、筒状磁心Ｇの周囲にコイルＬを巻き、筒状磁心Ｇの上下端部間にヨークＹを形成する。
【００４０】
具体的には、筒状磁心Ｇに絶縁テープを巻き、その上に２次コイル１０Ｔ、１次コイル３０Ｔを巻きつけた。コイル層間はテープで絶縁した。磁心は長さ３０ｍｍと短いため、反磁界補償ヨークＹで挟んで磁気特性を測定した。
【００４１】
図３は、測定の結果得られた本発明に係る筒状磁心Ｇの磁気特性を示している。磁気特性は、いわゆるＢ−Ｈ曲線である。ここでは２５００Ａ／ｍで直流のときの曲線ＢＨ１（０）と、２５００Ａ／ｍで５０Ｈｚの時の曲線ＢＨ１（５０）を示している。
【００４２】
また同様に、図４には、測定の結果得られた従来手法に係る筒状磁心Ｇの磁気特性を示している。ここでの測定条件は図３と同じである。ここには２５００Ａ／ｍで直流のときの曲線ＢＨ２（０）と、２５００Ａ／ｍで５０Ｈｚの時の曲線ＢＨ２（５０）を示している。
【００４３】
これらの特性を比較すると、図３の折返し巻磁心では、直流のときの曲線ＢＨ１（０）と、５０Ｈｚの時の曲線ＢＨ１（５０）で殆ど差がない。これに対し、図４の巻磁心では直流のときの曲線ＢＨ２（０）と、５０Ｈｚの時の曲線ＢＨ２（５０）に、大きな特性上の相違が見られる。具体的には、５０Ｈｚの時の曲線ＢＨ２（５０）では損失増大し、渦電流損失発生を示していることが理解できる。
【００４４】
ここでは磁心形状が変わると特性比較がしにくいため、渦電流損失を表すパラメータを定義する。同じ励磁電流で、直流での保磁力に相当する電流値と、５０Ｈｚでの保磁力電流値の比を定義する。具体的には、渦電流損失を表す保持力Ｈｃを直流のときの曲線ＢＨ（０）と、５０Ｈｚの時の曲線ＢＨ（５０）について求める。そのうえで、直流のときの保持力Ｈｃ（０）を分母、５０Ｈｚの時の保持力Ｈｃ（５０）を分子とする比を求め、これを損失増加比とする。なお、厳密には、励磁レベルを一致させる必要があるが、渦電流有無の判定に絞ればこの値のみでよい。
【００４５】
図３には、直流のときの保持力Ｈｃ１（０）と、５０Ｈｚの時の保持力Ｈｃ１（５０）を図示している。また図４には、直流のときの保持力Ｈｃ２（０）と、５０Ｈｚの時の保持力Ｈｃ２（５０）を図示している。
【００４６】
実測の結果によれば、損失増加比は、図４の従来手法による巻磁心が５．５８、図３の本発明による折返し巻磁心が１．５８であった。この値が１に近いほど、渦電流損失発生が少ないといえる。
【００４７】
なお、損失増加比の値が１に近いほどよいとはいえ、実際問題としては実用に耐えうる上限を定める必要もある。この観点から本発明では、損失増加比の許容値を５０Ｈｚにて渦電流損失とヒステリシス損失が同じ値となる損失増加比２．０以下とした。
【００４８】
本発明においては、さらに実施例２の条件（厚さ２５μｍ、幅３０ｍｍ、長さ１２ｍ）の非晶質箔帯（アモルファス）について、折り返し長さを変更したときの損失増加比を求めてみた。
【００４９】
表１は、この結果を表している。なお、ここではアモルファス厚さをｄ（μｍ）、幅をＷ（ｍｍ）、アモルファス箔長さをＬｔ（ｍ）、使用数量をＮ個、折返し巻きの単位長さをＬ（ｃｍ）としている。但し、損失増加比の許容値は５０Ｈｚにて渦電流損失とヒステリシス損失が同じ値となる損失増加比２．０以下とした。
【００５０】
【表１】
0005401523.tif 000002
【００５１】
表１の結果によれば、折返し巻きの単位長さＬ（ｃｍ）が１００（ｃｍ）以下である上位３ケースで、損失増加比が許容値に定めた２．０以下となっている。
【００５２】
図５は、表１の関係をグラフ表示したものであり、横軸に折り曲げ単位（折返し巻きの単位長さＬ：ｃｍ）、縦軸に損失増加比を示している。同一素材であっても、折り曲げ長さを短くするほど損失増加比が低くなる傾向を示すことが明らかになった。また、１００（ｃｍ）以下とすることが、許容値に定めた２．０以下とする上で、重要であった。
【００５３】
以下、帯状部材あるいは箔帯の種類、さらには厚さｄ（μｍ）、幅Ｗ（ｍｍ）、長さＬｔ（ｍ）などの条件を変更して、従来手法と本発明手法による効果の相違を損失増加比の観点から評価してみる。
【実施例３】
【００５４】
＜厚さ２０μｍ、幅３０ｍｍ、長さ１０ｍのパーマロイ箔帯を３０ｃｍで折返し巻＞パーマロイは表面が平滑で密に接触しやすいため、厚さ２５μｍの絶縁フィルムを挟み巻き込んだ。単純巻は損失増加比６．２０、折返し巻は損失増加比１．０５であった。
【実施例４】
【００５５】
＜厚さ２００μｍ、幅５ｍｍ、長さ３ｍの電磁鋼板帯を５０ｃｍで折返し巻＞
単純巻は損失増加比３．８０、折巻は損失増加比１．２２であった。
【実施例５】
【００５６】
＜厚さ２０μｍ、幅３０ｍｍ、長さ１０ｍのポリイミドテープに金属ガラスを４０μｍ形成した箔帯を３０ｃｍで折返し巻＞
単純巻は損失増加比５．２０、折巻は損失増加比１．５５であった。
【実施例６】
【００５７】
＜厚さ２５μｍ、幅３０ｍｍ、長さ１２ｍの非晶質箔帯を５０ｃｍで折返し巻＞
但し、折返し巻磁心を窒素中で３８０℃、３時間、長さ方向に８０００Ａ／ｍの磁界中で熱処理した。熱処理後は箔体に柔軟性はなくなり、固着した。これにコイルを２次：１次１０：３０Ｔで巻いて磁気測定を測定した。
【００５８】
熱処理を施さない場合（実施例２）に比較して、損失増加率は１．２９とほぼ同一で、保磁力は２０％低減した。
【００５９】
なお、電磁鋼板材についても８００℃、３時間窒素中熱処理、測定することで、保磁力は折巻直後より３０％低減することを確認した。
【実施例７】
【００６０】
＜厚さ２０μｍ、幅３０ｍｍ、長さ１０ｍのパーマロイ箔帯を厚さ２５μｍの絶縁フィルムを挟み巻き込んで長さ３０ｃｍで折返し巻＞
その後ワニスを真空含浸して固定した。これにコイルを２次：１次１０：３０Ｔで巻いて磁気測定を測定した。損失増加率は１．１５と含浸なしとほぼ同等であった。
【実施例８】
【００６１】
＜厚さ２５μｍ、幅３０ｍｍ、長さ１２ｍの非晶質箔帯を長さ３０ｃｍで折返し巻＞
これを円形に折巻し、そのまま成形後断面三角形となる成形型に挟み込み、径方向に０．０２Ｇｐａの圧力で圧縮した。圧縮後型をねじ固定し、これを型のまま窒素中で３８０℃、３時間熱処理することで型をはずしても断面の三角形を維持することを確認した。この成形折巻磁心にコイルを２次：１次１０：３０Ｔで巻いて磁気測定を測定した。損失増加率は１．６０と円形磁心より若干低下したが２は超えず、損失低減効果が加工によっても低下しないことを確認した。
＜本発明に至る経緯、検討過程の説明＞
特許文献２の構造で渦電流損失が低減することから、本発明者らは以下のように推論した。
【００６２】
まず、非晶質自体を箔の面内に磁化する場合、厚さが２５μｍと薄いことから、箔断面内に発生する渦電流は考慮不要である。これは渦電流損失が問題となる電磁鋼板では板厚が０．２〜０．５ｍｍと非晶質より厚いこと、材質比抵抗が電磁鋼板の５倍以上の１００μΩ・ｃｍであることから非晶質では表皮効果を生ずるスキンデプスが電磁鋼板の２倍以上大きく、箔体厚より十分大きいとから損失が問題にならないことによる。
【００６３】
この箔を図１の従来手法のように置き、端から巻き、その後立てた場合を想定する。図１従来手法の構造に示した矢印の方向に励磁すると、箔に沿って太矢印方向に誘導電流がながれようとする。もし端部ＡとＢが一部でも接触した場合誘導電流が生ずる。測定系は、図２のようにヨークで試料を挟み込み、反磁界を低減して測定している。ヨークは電磁鋼板など金属であるため、ここを通してＡ、Ｂ間短絡するおそれがある。そこでコアとヨーク間上下に絶縁紙を挟み測定したが、渦電流は変わらず生じた。
【００６４】
ここで直流励磁の渦電流は、箔間絶縁したばあい電圧がＡ、Ｂ間に発生し、ある程度で電流は止まる。ここで、磁界方向を逆転すると（負方向）、逆の電圧が生じる。連続的に正負方向に励磁した場合を考えると、端部が正負に電圧変動することからこの電圧の変動は励磁磁界に応じた渦電流の発生に見えると考えた。周波数が低く、緩和時間が十分短い場合は電圧発生するのみで損失は生じない。
【００６５】
しかし高周波になった場合、渦電流の速度が有限のため電圧変化に追随しなくなって端部間に定在波が生じる。この場合、定電流が発生し、渦電流損失が発生する。あるいは周長が長くなった場合を想定すると。線路が長いため周波数が５０Ｈｚ程度に低くても定在波が発生し、渦電流損失が生ずる。巻磁心はこの状況にある。
【００６６】
磁心の一辺を中心部に向かって切断すれば切断面が端部となり端部間隔は十分小さくなるので、渦電流損失は生じない。
【００６７】
ここで、図１の中断のように箔体をいちど折り返し巻き込んだ場合を考える。箔体総量は同じであるが、並行した箔には同電位の変化が生じるので、折り返し部に電圧が発生し端部となり、実効的に短い箔体となる。図１下段のようにさらに折り返し数を増やしていけば、この渦電流定在波区間はそれに応じ短かくなっていく。端部間隔が短くなれば、渦電流損失の生じない磁心が形成できる。この磁心は切断をしていないことから、安価に早く製造が可能できる。この特徴のある磁心を折返し巻磁心と呼ぶ。
【００６８】
非晶質材は鉄系であれば箔単体で用いることができる。また、鉄系金属ガラス、コバルト系非晶質材料は、極薄箔とするか、あるいは有機材テープに付着させ、同様に折返し巻磁心として用いることができる。これらの素材の条件としては、薄くできること、並びに軟磁性を備えていることである。このため、これらを総称して軟磁性箔体、あるいは軟磁性箔帯ということとする。
【符号の説明】
【００６９】
Ｇ；筒状磁心
Ｌ：コイル
Ｙ：ヨーク
ＢＨ１（０）：直流のときのＢＨ曲線（本発明）
ＢＨ１（５０）：５０Ｈｚの時のＢＨ曲線（本発明）
ＢＨ２（０）：直流のときのＢＨ曲線（従来手法）
ＢＨ２（５０）：５０Ｈｚの時のＢＨ曲線（従来手法）
Ｈｃ１（０）：直流のときの保持力（本発明）
Ｈｃ１（５０）：５０Ｈｚの時の保持力（本発明）
Ｈｃ２（０）：直流のときの保持力（従来手法）
Ｈｃ２（５０）：５０Ｈｚの時の保持力（従来手法）
ｄ：厚さ（μｍ）
Ｗ：幅（ｍｍ）
Ｌｔ：長さ（ｍ）
Ｌ：折返し巻きの単位長さ（ｃｍ）
【図１】
0005401523.tif 000003
【図２】
0005401523.tif 000004
【図３】
0005401523.tif 000005
【図４】
0005401523.tif 000006
【図５】
0005401523.tif 000007