(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の筺体本体を有し、第一、第二の底板とを有し、
前記筺体本体は、一端に位置する第一の開口と他端に位置する第二の開口をそれぞれ取り囲む第一、第二の環状接合面を有し、
前記筺体本体は、分離されると前記第一、第二の環状接合面がそれぞれ分割される複数の筺体部を有し、前記筺体本体は、隣接する前記筺体部の帯状接合面の間に紐状弾性部材が配置されて前記筺体部が互いに押圧されて構成され、
前記第一、第二の底板と前記第一、第二の環状接合面との間には環状弾性部材が配置されて前記第一、第二の底板と前記筺体本体とが押圧されて構成された気密容器であって、
前記環状弾性部材は、収容孔を有し、
前記紐状弾性部材は、両端が前記収容孔内に挿入された気密容器。
【請求項２】
少なくとも一個の前記環状弾性部材は、環状の弾性部材本体と、前記収容孔が形成された接続弾性部材とを有し、前記弾性部材本体と前記接続弾性部材とは分離可能に構成され、
前記弾性部材本体と前記接続弾性部材とは、互いに密着して押圧されると共に、前記第一の環状接合面と前記第一の底板の間、又は第二の環状接合面と前記第二の底板の間で密着して押圧された請求項１記載の気密容器。
【請求項３】
請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の気密容器と、
前記気密容器内に配置され、前記気密容器に形成された吸気口から前記気密容器内に進入した気体分子を真空排気する排気空間とを有する真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプケースのシール方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ドライポンプなどの真空ポンプは、特許文献１に示されるように、一般に、排気空間と、ポンプケースである気密容器とを有しており、排気空間は気密容器の内部に配置されている。図１４の符号１０２は気密容器の概略構成を示している。
通常、気密容器１０２は筒形ケース１３０とサイドカバー１４１，１４２から構成され、筒形ケース１３０は半筒形状の上部ケース１３１と下部ケース１３２から構成されている。
従来、気密容器を組み立てる際には、図１２，図１３，図１４(ｂ)に示す特殊形状の特形パッキン１１０が使用されている。
この特形パッキン１１０は、二個の円形パッキン部分１１０ａ、１１０ｂと二個の紐状パッキン部分１１０ｃとを有しており、二個の円形パッキン部分１１０ａ、１１０ｂは平行に配置され、二個の紐状パッキン部分１１０ｃの一端が、一方の円形パッキン部分１１０ａに固定され、他端が他方の円形パッキン部分１１０ｂに固定されている。
【０００３】
上部ケース１３１と下部ケース１３２とは、その間に特形パッキン１１０の紐状パッキン部分１１０ｃが配置されて筒型ケース１３０が構成され、筒型ケース１３０とサイドカバー１４１、１４２の間に円形パッキン部分１１０ａ、１１０ｂがそれぞれ配置されて組み立てられ、気密容器１０２が構成されており、上部ケース１３１と下部ケース１３２の間、筒型ケース１３０とサイドカバー１４１，１４２の間は特形パッキン１１０によって気密になるようにされている。
しかし、上部ケース１３１と下部ケース１３２とを合わせてネジで締め付けて固定する際に、紐状パッキン部分１１０ｃは幅方向に押圧され、圧縮されて長さが長くなる。そのため紐状パッキン部分１１０ｃと円形パッキン部分１１０ａ、１１０ｂとを接続した部分が円形パッキン部分１１０ａ、１１０ｂを配置するリング状の溝に収まらなくなり、筒形ケース１３０にサイドカバー１４１，１４２を取り付ける際に、紐状パッキン部分１１０ｃと円形パッキン部分１１０ａ、１１０ｂの接続部分を筒形ケース１３０とサイドカバー１４１，１４２との間に挟み込んでしまうという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１７１７６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、低コストで部品を組み立てて気密な気密容器を低コストで製造できる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために本発明は、筒状の筺体本体を有し、第一、第二の底板とを有し、前記筺体本体は、一端に位置する第一の開口と他端に位置する第二の開口をそれぞれ取り囲む第一、第二の環状接合面を有し、前記筺体本体は、分離されると前記第一、第二の環状接合面がそれぞれ分割される複数の筺体部を有し、前記筺体本体は、隣接する前記筺体部の帯状接合面の間に紐状弾性部材が配置されて前記筺体部が互いに押圧されて構成され、前記第一、第二の底板と前記第一、第二の環状接合面との間には環状弾性部材が配置されて前記第一、第二の底板と前記筺体本体とが押圧されて構成された気密容器であって、前記環状弾性部材は、収容孔を有し、前記紐状弾性部材は、両端が前記収容孔内に挿入された気密容器である。
また、本発明は、少なくとも一個の前記環状弾性部材は、環状の弾性部材本体と、前記収容孔が形成された接続弾性部材とを有し、前記弾性部材本体と前記接続弾性部材とは分離可能に構成され、前記弾性部材本体と前記接続弾性部材とは、互いに密着して押圧されると共に、前記第一の環状接合面と前記第一の底板の間、又は第二の環状接合面と前記第二の底板の間で密着して押圧された気密容器である。
また、本発明は、上記いずれかの気密容器と、前記気密容器内に配置され、前記気密容器に形成された吸気口から前記気密容器内に進入した気体分子を真空排気する排気空間とを有する真空ポンプである。
【発明の効果】
【０００７】
紐状弾性部材が筺体部に押圧されて長さが伸びても、先端の位置が環状弾性部材の収容孔内で移動するだけであり、気密容器組み立て中に発生するパッキンの挟み込みを防止できる。
成型された特形パッキンではなく、入手しやすい規格の紐状パッキンと円形パッキンを使用できるので、コストを下げることができる。
一般に三個以上の部品で構成される容器や配管などで、シールする面が交差するような構造をもつ場合に適応できるので、加圧や真空などの多くの産業分野で利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】(ａ)：本発明の真空ポンプの内部正面図  (ｂ)内部側面図
【図２】(ａ)〜(ｃ)：本発明の気密容器を説明するための模式的斜視図
【図３】(ａ)、(ｂ)：本発明の気密容器を説明するための模式的分解図
【図４】(ａ)、(ｂ)：筺体本体の一例の平面図、底面図
【図５】(ｃ)、(ｄ)：その筺体本体の第一、第二の筺体部の正面図
【図６】(ａ)、(ｂ)：紐状弾性部材  (ｃ)、(ｄ)：環状弾性部材
【図７】(ａ)〜(ｃ)：紐状弾性部材と環状弾性部材の位置関係を説明するための図
【図８】(ａ)、(ｂ)：筺体本体の他の例の平面図、底面図
【図９】(ｃ)、(ｄ)：その筺体本体の第一、第二の筺体部の正面図
【図１０】(ａ)〜(ｅ)：接続弾性部材と環状弾性部材の間の位置関係を説明するための図
【図１１】(ａ)、(ｂ)：紐状弾性部材と接続弾性部材と環状弾性部材の間の位置関係を説明するための図
【図１２】従来技術の弾性部材の平面図
【図１３】従来技術の弾性部材の側面図
【図１４】(ａ)：従来技術の気密容器  (ｂ)：従来技術の弾性部材  (ｃ)：従来技術の気密容器の分解図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１(ａ)、(ｂ)を参照し、符号１は、本発明の真空ポンプを示しており、図１(ａ)は、その内部を示した正面図、同図(ｂ)は内部を示した側面図である。
真空ポンプ１は、気密容器２と、排気空間３とを有している。
この真空ポンプ１はルーツ型真空ポンプであり、排気空間３は、離間して配置された二個の回転軸１３ａ、１３ｂを有している。
気密容器２は、有底筒形形状であり、横設されて有底筒形形状の二底面が鉛直に立設されるように配置されている。
排気空間３は、横方向に一列に並べられた複数の排気室９1〜９6を有している。回転軸１３ａ、１３ｂは水平に配置され、各排気室９1〜９6を気密に貫通し、その一端が大気中に配置されたモータ５に取り付けられている。
各回転軸１３ａ、１３ｂには、凸部とその間の凹部を三個ずつ有する三葉ロータ４ａ1〜４ａ6、４ｂ1〜４ｂ6がそれぞれ取り付けられている。各三葉ロータ４ａ1〜４ａ6、４ｂ1〜４ｂ6は二枚一組となって、排気室９1〜９6内に一組ずつ配置されている。図１(ｂ)では三葉ロータ４ａ1〜４ａ6、４ｂ1〜４ｂ6は省略されている。
【００１０】
モータ５は、回転軸１３ａ、１３ｂを逆方向に回転させるように構成されており、回転軸１３ａ、１３ｂの回転によって二枚一組の三葉ロータ４ａ1〜４ａ6、４ｂ1〜４ｂ6は、凸部と凹部が噛み合いながら、互いに逆方向に回転できるように構成されている。
気密容器２の内壁面は、回転する一組の三葉ロータ４ａ1〜４ａ6、４ｂ1〜４ｂ6にわずかな隙間を有して近接するように形成されており、各排気室９1〜９6内で一組の三葉ロータ４ａ1〜４ａ6、４ｂ1〜４ｂ6が互いに逆方向に回転するときに、三葉ロータ４ａ1〜４ａ6、４ｂ1〜４ｂ6が噛み合い始める部分に排気口７1〜７6が設けられ、噛み合いが解除される部分に吸気口６1〜６6が設けられ、吸気口６1〜６6から排気室９1〜９6内に進入した気体分子は三葉ロータ４ａ1〜４ａ6、４ｂ1〜４ｂ6の回転によって圧縮されて、三葉ロータ４ａ1〜４ａ6、４ｂ1〜４ｂ6と気密容器２の間を通って排気口７1〜７6に移動されるように構成されている。
【００１１】
一列に並んだ排気室９1〜９6のうち、初段の排気室９1の吸気口６1は排気対象の真空槽やターボ分子ポンプ等の高真空ポンプの排気口に接続されおり、他の排気室９2〜９6の吸気口６2〜６6は、前段の排気室９1〜９5の排気口７1〜７5に接続され、また、最後段の排気室９6の排気口７6は大気に開放されている。
従って、二枚一組の三葉ロータ４ａ1〜４ａ6、４ｂ1〜４ｂ6が各排気室９1〜９6内で互いに逆回転すると、初段の吸気口６1から初段の排気室９1内に進入した気体は、各排気室９1〜９6内を圧縮されながら移動し、最後段の排気室９6の排気口７6から大気に放出される。
【００１２】
次に、気密容器２の構造を説明する。
図２(ａ)は、気密容器２を模式的に示した斜視図であり、図２(ｂ)、(ｃ)、図３(ａ)、(ｂ)は気密容器２の構造を説明するための分解図である。図２(ａ)〜(ｃ)、図３(ａ)、(ｂ)では、吸気口６1，排気口７6、回転軸１３ａ、１３ｂが貫通する貫通孔等は省略してあり、外形も簡略化させ、有底円筒形で表している。
気密容器２は、図２(ａ)〜(ｃ)に示すように、無底筒形状の筺体本体３０と、筺体本体３０の一端である第一の開口８ａを蓋するための第一の底板４１と、他端である第二の開口８ｂを蓋するための第二の底板４２とを有している。
【００１３】
筺体本体３０の一端と他端を、第一、第二の環状接合面３ａ、３ｂと呼ぶと、第一、第二の環状接合面３ａ、３ｂが第一、第二の底板４１，４２の第一、第二の接続平面４１ａ、４２ｂと密着されている。
筺体本体３０は分解可能であり、両端部が第一、第二の環状接合面３ａ、３ｂの一部である複数の筺体部が、筺体部の厚さを幅とし、第一、第二の環状接合面３ａ、３ｂ間の距離を長さとする帯状接合面同士を接触させて構成されている。
ここでは、図３(ａ)、(ｂ)に示すように、横設された筺体本体３０は、上下に二分される第一、第二の筺体部３１，３２から構成されている。
第一の筺体部３１の帯状接合面を、第一の帯状接合面３１ｃ、３１ｃと呼び、第二の筺体部３２の帯状接合面を第二の帯状接合面３２ｃ、３２ｃと呼ぶと、第二の帯状接合面３２ｃ、３２ｃには、線状溝３２ｆ、３２ｆが、溝内部がその両端で部分的な第一、第二の環状接合面３ａ、３ｂに露出するように、第一、第二の帯状接合面３１ｃ、３１ｃ、３２ｃ、３２ｃが伸びる方向に沿って一本ずつ形成されている。
線状溝３２ｆ、３２ｆは、第二の帯状接合面３２ｃ、３２ｃの長手方向の縁の間に配置され、第二の帯状接合面３２ｃ、３２ｃの長手方向の縁は欠けないようにされている。
【００１４】
また、筺体本体３０の第一、第二の環状接合面３ａ、３ｂには、筺体本体３０の内周と外周の間に、第一、第二の開口８ａ、８ｂを取り囲む環状溝３ｄ、３ｅがそれぞれ形成されており、第一、第二の筺体部３１，３２を筺体本体３０を構成する状態から分解すると、第一、第二の環状接合面３ａ、３ｂは、二分された半環状接合面３１ａ、３２ａ、３１ｂ、３２ｂになり、環状溝３ｄ、３ｅは二分された半環状溝３１ｄ、３２ｄ、３１ｅ、３２ｅとなる。図５(ｃ)，(ｄ)に半環状溝３１ｄ、３２ｄ、３１ｅ、３２ｅを示す。
線状溝３２ｆ、３２ｆの端部は、半環状溝３２ｄ、３２ｅの端部に接続されており、第一、第二の筺体部３１，３２によって筺体本体３０を構成させると、第一、第二の筺体部３１，３２の帯状接合面３１ｃ、３１ｃと線状溝３２ｆ、３２ｆは向かい合い、直管状の管が形成される。図４(ａ)、(ｂ)の符号１６は、その管を示している。
向かい合う帯状接合面３１ｃ、３１ｃと線状溝３２ｆ、３２ｆの間には、図６(ａ)に示すような紐状弾性部材２１が一本ずつ配置されており、排気空間３が筺体本体３０内に位置するようにしながら第一、第二の筺体部３１，３２の第一、第二の帯状接合面３１ｃ、３１ｃ、３２ｃ、３２ｃ同士を密着させて筺体本体３０を構成させると、直管状の管１６，１６内に、紐状弾性部材２１が一本ずつ配置され、排気空間３が配置された状態の筺体本体３０が形成される。
【００１５】
図６(ａ)の紐状弾性部材２１のＡ−Ａ線切断断面図を同図(ｂ)に示す。紐状弾性部材２１の断面形状は円形であり、その直径は、線状溝３２ｆ、３２ｆの深さよりも大きくされている。
従って、第一、第二の筺体部３１，３２の第一、第二の帯状接合面３１ｃ、３１ｃ、３２ｃ、３２ｃを接触させる際には、紐状弾性部材２１は、第一、第二の筺体部３１，３２によって押圧されて変形する。その状態が維持されるようにネジ止めされると、紐状弾性部材２１は第一、第二の筺体部３１，３２と密着するため、第一、第二の筺体部３１，３２間が気密に互いに固定される。
紐状弾性部材２１は第一、第二の筺体部３１，３２からの押圧によって変形すると、押圧されないときよりも長くなる。
少なくとも押圧されたときの紐状弾性部材２１の長さは、直管状の管１６，１６の長さよりも長くなるようにされており、筺体本体３０を組み立てたときには紐状弾性部材２１の両端が直管状の管１６，１６の端部からはみ出ている。
ここでは、直管状の管１６，１６の大きさと、紐状弾性部材２１の直径とは、環状溝３ｄ、３ｅの幅よりも小さくされており、直管状の管１６，１６の端部は、環状溝３ｄ、３ｅの底面に位置し、第一、第二の環状接合面３ａ、３ｂに位置する環状溝３ｄ、３ｅの内周と外周は、欠けておらず、それぞれ環状に連続している。従って、紐状弾性部材２１の端部は、筺体本体３０の環状溝３ｄ，３ｅの底面から突き出されている。
【００１６】
図６(ｃ)は、環状溝３ｄ、３ｅに配置される環状弾性部材２２を示している。
この環状弾性部材２２は、そのＢ−Ｂ線截断断面図である同図(ｄ)に示すように断面形状は円形であり、その直径は紐状弾性部材２１の直径よりも大きくされ、環状弾性部材２２には、環状溝３ｄ、３ｅに配置されたときに筺体本体３０と接触する面に、紐状弾性部材２１の端部が入る大きさの収容孔１２が形成されている。
各環状弾性部材２２には、紐状弾性部材２１の個数と同数個の収容孔１２がそれぞれ形成されており、各収容孔１２は、環状弾性部材２２を環状溝３ｄ、３ｅに配置するときに、環状溝３ｄ、３ｅ底面から突き出された紐状弾性部材２１の端部が収容孔１２内にそれぞれ挿入される位置に配置されている。
紐状弾性部材２１の端部の、筺体本体３０から(ここでは環状溝３ｄ、３ｅ底面から)突き出される長さは、収容孔１２の深さと同程度になるようにされており、紐状弾性部材２１の筺体本体３０から突き出された部分は収容孔１２内に位置するようにされている。
【００１７】
図７(ａ)は、紐状弾性部材２１の端部が収容孔１２内に配置される前の紐状弾性部材２１と環状弾性部材２２との位置関係を示しており、同図(ｂ)は、配置された後の位置関係を示している。同図(ｃ)は、収容孔１２内部の紐状弾性部材２１の端部の位置を示している。
ここでは、収容孔１２は環状弾性部材２２を厚み方向に貫通する貫通孔であるが、有底の孔であってもよく、貫通孔でも有底孔でも、収容孔１２の深さは、気密な筺体本体３０を構成させたときに、紐状弾性部材２１の筺体本体３０から突き出された部分が収容孔１２内に収容できる深さであればよい。
このように環状溝３ｄ、３ｅに配置された環状弾性部材２２の直径は、環状溝３ｄ、３ｅの深さよりも大きくされており、環状弾性部材２２の上部は、第一、第二の環状接合面３ａ、３ｂよりも上方に突き出されている。
その状態で第一、第二の底板４１，４２を環状弾性部材２２の上にのせて接触させ、押圧すると、第一、第二の底板４１，４２の接合面４１ａ，４２ｂは環状弾性部材２２に接触する。
ここでは紐状弾性部材２１を収容孔１２に挿入するだけであったが、弾性部材と同等成分の硬化剤を収容孔１２に塗布して硬化接着しても良い。
【００１８】
ここでは、第一、第二の底板４１，４２の接合面４１ａ，４２ｂは平面であり、底板側の平面が環状弾性部材２２に接触する。
第一、第二の底板４１，４２が筺体本体３０に対して押圧されると、環状弾性部材２２は変形し、筺体本体３０と第一、第二の底板４１，４２は、環状弾性部材２２と密着して環状弾性部材２２を押圧する。
筺体本体３０と環状弾性部材２２とが密着された部分と、第一、第二の底板４１，４２と環状弾性部材２２とが密着された部分とは、それぞれ環状の形状になり、密着部分が第一、第二の開口８ａ、８ｂを取り囲んでおり、第一、第二の底板４１，４２と筺体本体３０の間は環状弾性部材２２を介して気密になり、外部雰囲気と内部雰囲気が分離された気密容器２が形成される。この状態では、排気空間３の動作によって、真空排気が可能になる。
以上は、環状弾性部材２２の環状な部分に収容孔１２が形成されていたが、環状の部分と収容孔が形成された部分とが離間していてもよい。その例を上記筺体本体３０の部材と同じ部材には同じ符号を付して説明すると、図８(ａ)、(ｂ)、図９(ｃ)、(ｄ)に示す筺体本体５０では、直管状の管１６，１６の端部は第一、第二の環状接合面３ａ、３ｂ上で、環状溝３ｄ、３ｅの外側に位置している。
【００１９】
図１０(ａ)〜(ｄ)の符号２０は、環状弾性体であり、環状の弾性部材本体２３と板状の接続弾性部材２４とを有している。接続弾性部材２４には、収容孔１３が設けられている。
弾性部材本体２３と接続弾性部材２４とは、一体に成形されて分離できないように構成してもよいし、分離して離間できるように構成してもよい。ここでは図１０(ａ)、(ｂ)に示すように分離可能に構成されている。
第一、第二の環状接合面３ａ、３ｂには、接続弾性部材２４を配置する補助溝１９が設けられている。
直管状の管１６，１６の端部は、補助溝１９の底部に位置して内部が露出されており、補助溝１９の環状溝３ｄ、３ｅ側の端部は、環状溝３ｄ、３ｅに接続され、直管状の管１６，１６の内部は、補助溝１９を介して環状溝３ｄ、３ｅに接続されている。
【００２０】
一つの補助溝１９は、隣接する二個の半環状接合面３１ａ，３２ａ（３１ｂ、３２ｂ）に渡って形成されており、第一、第二の筺体部３１、３２を分離すると、一つの補助溝１９は、二個の半補助溝１８になる。
接続弾性部材２４の側面には、弾性部材本体２３がはまり込む半円形で部分的なリング形状である凹部２８が設けられている。
筺体本体５０の直管状の管１６，１６内からはみ出た紐状弾性部材２１の端部を、収容孔１３内に入れ、凹部２８を環状溝３ｄ、３ｅ側に向けて接続弾性部材２４を補助溝１９に配置する。
この状態では、凹部２８が形成された部分は環状溝３ｄ又は３ｅ内に突き出されており、図１０(ｃ)、(ｄ)に示すように、環状の弾性部材本体２３は、一部が凹部２８にはめ込まれた状態で環状溝３ｄ、３ｅ内に配置する。
その状態の各弾性部材２１，２３，２４の位置関係を図１１(ａ)に示す。
【００２１】
凹部２８の厚み方向の両端には、接続弾性部材２４の収容孔１３が形成された部分よりも薄い部分が位置しており、凹部２８に弾性部材本体２３がはめ込まれた部分では、その接続弾性部材２４の薄い部分と、弾性部材本体２３の外周付近の部分と、接続弾性部材２４の薄い部分とが、厚さ方向に三層構造で積層されている。従って、環状弾性部材２０に、第一、第二の底板４１、４２と筺体本体５０とから、厚さ方向に押圧力が加わると、三層構造の部分では、三層が押圧されて密着し、弾性部材本体２３と接続弾性部材２４とは気密になる。
接続弾性部材２４の収容孔１３が形成された部分の厚みと、三層構造の部分の厚みと、弾性部材本体２３の厚みとは、互いに等しくなるようにされており、環状弾性部材２０の厚みは一定である。また、環状溝３ｄ、３ｅと補助溝１９の深さは同じであり、従って、第一、第二の環状接合面３ａ、３ｂよりも上の部分の環状弾性部材２０の高さは一定である。
第一、第二の環状接合面３ａ、３ｂのうち、第一、第二の筺体部３１、３２が接触する部分の、紐状弾性部材２１が密着する部分と環状の弾性部材本体２３が密着する部分との間の部分は接続弾性部材２４が密着し、第一、第二の筺体部３１，３２の間が気密にされている。
【００２２】
なお、図１０(ｅ)に示すように、環状の弾性部材本体２６に切り欠き２７を設け、収容孔１３を有する接続弾性部材２４に、収容孔１３が形成された部分の厚みよりも薄い突出部２５を設け、切り欠き２７に突出部２５を入れて環状弾性部材２０’を構成してもよい。
その場合、筺体本体５０を形成した後、収容孔１３内に管１６，１６からはみ出た紐状弾性部材２１の端部を収容させると共に、突出部２５が、接続部品用の補助溝１９の底面と環状溝３ｄ又は３ｅの底面に接触するように接続弾性部材２４を補助溝１９に配置して突出部２５を環状溝３ｄ又は３ｅ内に部分的に突き出させ、突出部２５が切り欠き２７に入り込むようにして弾性部材本体２４を環状溝３ｄ、３ｅに配置し、弾性部材本体２４の一部と突出部２５とが積層した環状弾性部材２０’を構成させる。
この環状弾性部材２０’の場合も、環状弾性部材２０’の接続弾性部材２４の部分が筺体本体５０の第一、第二の筺体部３１，３２が接合された表面に密着し、気密にされている。弾性部材２１，２４、２６の位置関係は図１１(ｂ)に示しておく。
【００２３】
以上は、筺体本体３０，５０を、二個の筺体部（第一、第二の筺体部３１，３２)で構成させたが、三個以上の筺体部で構成させてもよい。その場合、各環状弾性部材２０、２０’、２２に筺体部と同数の収容孔を形成するか、一個の環状弾性部材に対して一個の収容孔を有する接続弾性部材を筺体の個数と同数用いるなど、筺体部間に配置された紐状弾性部材の端部が収容孔内に配置されて気密になればよい。
なお、以上は気密容器２内が大気圧よりも低圧になる場合について説明したが、加圧空間を気密容器２内に配置し、気密容器２内が大気圧よりも高圧になってもよい。
【００２４】
要するに、本発明は、気密容器２内を大気から分離させる場合を広く含む。
なお、上記紐状弾性部材２１、環状弾性部材２２，２３，２６、接続弾性部材２４を構成させる材料は、エラストマー等の変形性と復元性のあるゴム状物質である。
【符号の説明】
【００２５】
１……真空ポンプ
２……気密容器
３ａ……第一の環状接合面
３ｂ……第二の環状接合面
８ａ……第一の開口
８ｂ……第二の開口
２０，２０’，２２……環状弾性部材
２１……紐状弾性部材
２３，２６……弾性部材本体
２４……接続弾性部材
３０，５０……筺体本体
３１，３２……筺体部
４１……第一の底板
４２……第二の底板
【図１】
0005385826.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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