(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体出入ポートから圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータにおいて、
前記流体出入ポートと連通し、前記圧力流体の導入されるシリンダ室を有したシリンダ本体と、
前記シリンダ本体の軸方向に沿って往復動作するスライドテーブルと、
前記シリンダ室に沿って摺動自在に配設されるピストンを有し、前記ピストンの変位作用下に前記スライドテーブルを往復動作させるシリンダ機構と、
前記スライドテーブルの変位方向と直交方向に回動し、該スライドテーブルに係合されるロック部材と、前記ロック部材を変位させる付勢手段とを有し、前記シリンダ本体の端部に設けられて前記スライドテーブルの往復動作を規制するロック機構と、
を備え、
前記ロック機構は、前記流体出入ポートから供給される圧力流体によって前記ロック部材による前記スライドテーブルの往復動作規制状態を解除する解除機構を備え、前記ロック部材は、前記付勢手段による付勢作用下に回動し、前記スライドテーブルの溝部に挿入され係合されると共に、回動動作の中心となる一端部には、外部に露呈して押圧可能な押圧部が設けられ、該押圧部を押圧することで前記付勢手段の付勢力に抗して前記ロック部材を回動させることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記解除機構は、前記圧力流体の供給作用下に軸方向に変位し、前記ロック部材を前記スライドテーブルから離間させる方向に回動させる変位体からなることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記解除機構は、前記スライドテーブルの変位作用下に前記溝部が前記ロック部材と臨む位置に到達した際、前記ロック部材による往復動作規制状態へと復帰させることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項４】
請求項２記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記流体出入ポートは、前記変位体の設けられた室と、前記シリンダ室とにそれぞれ連通し、前記流体出入ポートと前記シリンダ室との間には、前記シリンダ室への圧力流体の流量を絞る絞り手段が設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記付勢手段は、弾発力を有したスプリングであり、前記ロック部材の一端部に挿通された軸部を中心として該ロック部材を回動させる方向に付勢することを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項６】
請求項２記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記変位体には、前記軸方向に対して傾斜した傾斜部を備え、前記傾斜部が前記ロック部材に対して当接することを特徴とするリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体出入ポートから圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ワーク等の搬送手段として、例えば、流体圧シリンダ等のリニアアクチュエータが用いられている。本出願人は、シリンダ本体に沿ってスライドテーブルを直線状に往復運動させることにより、前記スライドテーブルに載置されたワークを搬送可能なリニアアクチュエータを提案している（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−１１００１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、前記の提案に関連してなされたものであり、大型化を抑制しつつ、スライドテーブルの軸方向への変位を確実に規制することが可能なリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記の目的を達成するために、本発明は、流体出入ポートから圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータにおいて、
前記流体出入ポートと連通し、前記圧力流体の導入されるシリンダ室を有したシリンダ本体と、
前記シリンダ本体の軸方向に沿って往復動作するスライドテーブルと、
前記シリンダ室に沿って摺動自在に配設されるピストンを有し、前記ピストンの変位作用下に前記スライドテーブルを往復動作させるシリンダ機構と、
前記スライドテーブルの変位方向と直交方向に変位し、該スライドテーブルに係合されるロック部材と、前記ロック部材を変位させる付勢手段とを有し、前記シリンダ本体の端部に設けられて前記スライドテーブルの往復動作を規制するロック機構と、
を備えることを特徴とする。
【０００６】
本発明によれば、シリンダ本体の端部に、スライドテーブルの往復動作を規制可能なロック機構を設け、該ロック機構は、前記スライドテーブルの変位方向と直交方向に変位し、該スライドテーブルに係合されるロック部材と、前記ロック部材を変位させる付勢手段とから構成されている。そして、ロック部材が付勢手段の付勢作用下にスライドテーブルに対して係合されることによって、前記スライドテーブルの往復動作が規制される。
【０００７】
従って、ロック機構では、ロック部材が、スライドテーブルの変位方向と直交方向に変位するため、リニアアクチュエータが該変位方向に大型化してしまうことが回避される。その結果、リニアアクチュエータが長手方向に大型化してしまうことを抑制しつつ、ロック機構を介してスライドテーブルの往復動作を確実に規制することができる。
【０００８】
また、ロック部材を、付勢手段による付勢作用下に回動させ、スライドテーブルの溝部に挿入して係合させるとよい。
【０００９】
さらに、ロック機構は、流体出入ポートから供給される圧力流体によってロック部材によるスライドテーブルの往復動作規制状態を解除する解除機構を備えるとよい。
【００１０】
さらにまた、解除機構は、圧力流体の供給作用下に軸方向に変位し、ロック部材を前記スライドテーブルから離間させる方向に回動させる変位体とするとよい。
【００１１】
またさらに、解除機構は、スライドテーブルの変位作用下に溝部がロック部材と臨む位置に到達した際、前記ロック部材による往復動作規制状態に復帰させるとよい。
【００１２】
また、流体出入ポートは、変位体の設けられた室と、シリンダ室とにそれぞれ連通し、前記流体出入ポートと前記シリンダ室との間には、前記シリンダ室への圧力流体の流量を絞る絞り手段が設けるとよい。
【００１３】
さらに、付勢手段は、弾発力を有したスプリングとするとよい。
【００１４】
さらにまた、ロック部材は、回動動作の中心となる一端部を、外部に露呈して設けるとよい。
【００１５】
またさらに、変位体には、軸方向に対して傾斜した傾斜部を備え、該傾斜部をロック部材に対して当接させるとよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００１７】
すなわち、シリンダ本体の端部に、スライドテーブルの往復動作を規制可能なロック機構を設け、前記ロック機構のロック部材が、スライドテーブルの変位方向と直交方向に変位し、スライドテーブルに係合されることによって該スライドテーブルの往復動作を規制することができるため、リニアアクチュエータが変位方向に大型化してしまうことが防止される。その結果、リニアアクチュエータが長手方向に大型化してしまうことを抑制しつつ、ロック機構を介してスライドテーブルの往復動作を確実に規制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータの全体断面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。
【図５】図１に示すリニアアクチュエータをロック機構側から見た正面図である。
【図６】図６Ａは、ロック機構によってスライドテーブルの変位が規制された変位規制状態を示す断面図であり、図６Ｂは、図６ＡのＶＩＢ−ＶＩＢ線に沿った断面図である。
【図７】図７Ａは、ロック機構によってスライドテーブルの変位規制状態が解除された状態を示す断面図であり、図７Ｂは、図７ＡのＶＩＩＢ−ＶＩＩＢ線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明に係るリニアアクチュエータについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００２０】
図１において、参照符号１０は、本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータを示す。
【００２１】
このリニアアクチュエータ１０は、図１〜図５に示されるように、シリンダ本体１２と、該シリンダ本体１２の上部に設けられ、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って直線状に往復動作するスライドテーブル１４と、前記シリンダ本体１２とスライドテーブル１４との間に介装され、前記スライドテーブル１４を長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って案内するガイド機構１６と、前記スライドテーブル１４の軸方向への変位量を調整自在なストローク調整機構１８と、前記スライドテーブル１４の変位動作を規制するロック機構２０とを含む。
【００２２】
シリンダ本体１２は、断面長方形状で長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って所定長さで形成され、その一側面には、圧力流体の供給・排出される第１及び第２ポート（流体出入ポート）２２、２４が該シリンダ本体１２の長手方向と直交するように形成され、他側面には、前記圧力流体の供給・排出される別の第３及び第４ポート（流体出入ポート）２６、２８が形成される（図２参照）。この第１〜第４ポート２２、２４、２６、２８は、後述する一対の第１及び第２貫通孔３４、３６と連通している。
【００２３】
なお、この第１及び第２ポート２２、２４、第３及び第４ポート２６、２８は、リニアアクチュエータ１０の設置環境において使用に適したいずれか一組のポートに対して選択的に配管（図示せず）が接続され使用される。例えば、第１及び第２ポート２２、２４を使用して圧力流体の供給・排出を行う場合には、第３及び第４ポート２６、２８に対して閉塞プラグ３０がそれぞれ装着される。
【００２４】
さらに、シリンダ本体１２の一側面及び他側面には、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿ってセンサ取付溝３２がそれぞれ形成され、図示しない検出センサが装着される（図４参照）。
【００２５】
また、シリンダ本体１２の内部には、図２に示されるように、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って貫通した一対の第１及び第２貫通孔３４、３６が形成され、第１貫通孔３４と第２貫通孔３６とは、所定間隔離間して略平行に並設されている。第１及び第２貫通孔３４、３６には、シールリング３８が外周面に装着されたピストン４０と、前記ピストン４０に連結されたピストンロッド４２とを含むシリンダ機構４４が収納される。なお、第１及び第２貫通孔３４、３６は、シリンダ本体１２の一端部から他端部まで一直線上に貫通している。
【００２６】
このシリンダ機構４４は、一対のピストン４０及びピストンロッド４２が第１及び第２貫通孔３４、３６にそれぞれ内装されることによって構成される。また、ピストン４０の外周面には、シールリング３８と隣接してマグネット４６が装着される。そして、マグネット４６は、センサ取付溝３２に装着される検出センサ（図示せず）によってその磁気が検出されることによりピストン４０の軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿った変位位置が検出される。
【００２７】
また、第１貫通孔３４の一端部は、キャップ４８によって閉塞され、第２貫通孔３６の一端部は、後述するロック機構２０の継手１０２によって閉塞される。一方、第１及び第２貫通孔３４、３６の他端部は、止め輪を介して保持されるロッドホルダ５０によって気密に閉塞される。なお、ロッドホルダ５０の外周面には、環状溝を介してＯリング５２が装着され、第１及び第２貫通孔３４、３６との間を通じた圧力流体の漏れを防止している。
【００２８】
さらに、第１貫通孔３４は、第１及び第２ポート２２、２４とそれぞれ連通し、第２貫通孔３６は、第３及び第４ポート２６、２８とそれぞれ連通し、さらに、第１貫通孔３４と第２貫通孔３６とは、その間に形成された一組の接続通路５４ａ、５４ｂを介して互いに連通している。
【００２９】
スライドテーブル１４は、図１及び図４に示されるように、テーブル本体５６と、該テーブル本体５６の一端部に連結されるストローク調整機構１８と、前記テーブル本体５６の他端部に連結されるエンドプレート５８とを備え、前記エンドプレート５８は、前記テーブル本体５６に対して直交するように連結される。
【００３０】
テーブル本体５６は、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って所定厚さで延在するベース部６０と、該ベース部６０の両側部から直交するように下方へと延在した一対のガイド壁６２ａ、６２ｂとからなり、前記ガイド壁６２ａ、６２ｂの内面には、後述するガイド機構１６のボール６３が案内される第１ボール案内溝６４が形成される。
【００３１】
また、テーブル本体５６の一端部には、一対のボルト６６ａを介して後述するストローク調整機構１８のホルダ部６８が固定され、他端部には、別のボルト６６ｂを介してエンドプレート５８が固定される（図３参照）。
【００３２】
このストローク調整機構１８は、テーブル本体５６における一端部の下面に設けられるホルダ部６８と、前記ホルダ部６８に対して螺合されるストッパボルト７０と、前記ストッパボルト７０の進退動作を規制するロックナット７２とを有し、シリンダ本体１２に設けられたガイド機構１６の端面に臨むように設けられる。
【００３３】
ホルダ部６８は、ブロック状に形成され、その略中央部にはストッパボルト７０の螺合されるねじ孔７４が形成されると共に、前記ホルダ部６８の下面には、所定深さだけ上方に窪み、後述するロック機構２０のロックプレート（ロック部材）１００が挿入される挿入溝（溝部）７６と、所定角度傾斜した傾斜面７８とが形成される（図５〜図７参照）。この挿入溝７６は、ホルダ部６８の下面において、エンドプレート５８側（矢印Ａ方向）となる他端部に断面矩形状で形成され、一方、傾斜面７８は、後述するロックナット７２側（矢印Ｂ方向）となる一端部に上方へ向かうように傾斜して形成される。
【００３４】
ストッパボルト７０は、例えば、外周面にねじの刻設された軸状のスタッドボルトからなり、ホルダ部６８のねじ孔７４に螺合された状態で、該ねじ孔７４から突出する長さで形成される。そして、ストッパボルト７０には、ホルダ部６８の端面から突出した部位にロックナット７２が螺合される。
【００３５】
そして、ストッパボルト７０をホルダ部６８に対して螺回させることにより、該ストッパボルト７０が軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って変位し、ガイド機構１６に接近・離間する。例えば、ストッパボルト７０を螺回させ所定長さだけガイド機構１６側（矢印Ａ方向）へと突出させた後、ロックナット７２を螺回することにより移動させ前記ホルダ部６８の側面に当接させることにより、前記ストッパボルト７０の進退動作が規制される。
【００３６】
エンドプレート５８は、図１及び図２に示されるように、テーブル本体５６の他端部に固定され、シリンダ本体１２の端面に臨むように設けられると共に、一組のロッド孔に挿通されたピストンロッド４２の端部がそれぞれ固定される。これにより、エンドプレート５８を含むスライドテーブル１４が、ピストンロッド４２と共にシリンダ本体１２の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って変位することとなる。
【００３７】
また、エンドプレート５８には、一方のロッド孔と他方のロッド孔との間となる位置に、ダンパ装着孔を介して弾性材料からなるダンパ８０が装着される。そして、ダンパ８０は、シリンダ本体１２側となるエンドプレート５８の他側面から突出しているため、エンドプレート５８がスライドテーブル１４と共に変位した際、ダンパ８０の端部が前記シリンダ本体１２の端面に当接し、前記エンドプレート５８と前記シリンダ本体１２とが直接当接した際に懸念される衝撃や衝撃音の発生が回避される。
【００３８】
ガイド機構１６は、図１、図３及び図４に示されるように、幅広扁平状のガイドブロック８２と、該ガイドブロック８２に設けられ、ボール６３を循環させる一対のボール循環部材８４ａ、８４ｂと、前記ガイドブロック８２の長手方向に沿った両端部にそれぞれ装着される一組のカバー８６と、前記カバー８６の表面をそれぞれ覆う一組のカバープレート８８とを含む。
【００３９】
ガイドブロック８２の両側面には、長手方向に沿って第２ボール案内溝９０が形成され、前記第２ボール案内溝９０に近接する部位には、ボール循環部材８４ａ、８４ｂの挿入される一対の装着溝が長手方向に沿って貫通している。第２ボール案内溝９０は、断面半円状に形成され、ガイド機構１６の上部にスライドテーブル１４が配置された際、第１ボール案内溝６４と対向する位置に形成される。
【００４０】
ボール循環部材８４ａ、８４ｂは、装着溝に対応して断面矩形状に形成され、その内部にボール６３の循環するボール循環孔９２が貫通すると共に、その両端部には、前記ボール６３の循環方向を反転させる反転部（図示せず）がそれぞれ設けられる。
【００４１】
すなわち、ボール６３が、ボール循環部材８４ａ、８４ｂにおいてボール循環孔９２から反転部を介して該ボール循環部材８４ａ、８４ｂの外側に設けられた第１及び第２ボール案内溝６４、９０へと１８０°方向変換して転動する。
【００４２】
そして、スライドテーブル１４が往復動作した際、ストローク調整機構１８を構成するストッパボルト７０がガイドブロック８２の端面に当接する。
【００４３】
ロック機構２０は、図１〜図７に示されるように、シリンダ本体１２の一端部に連結され、該シリンダ本体１２に対してスペーサ９４を介して連結されるエンドブロック９６と、該エンドブロック９６の内部で進退動作するサブピストン（変位体）９８と、前記エンドブロック９６の内部に回動自在に設けられるロックプレート１００と、該ロックプレート１００を付勢するスプリング（付勢手段）１３２と、前記エンドブロック９６の内部とシリンダ本体１２の第２貫通孔３６とを連通する継手１０２とを含む。
【００４４】
スペーサ９４は、所定厚さを有したプレート状に形成され、シリンダ本体１２とエンドブロック９６との間に挟持されると共に、シリンダ本体１２の第１貫通孔３４に臨む第１孔部１０４と、前記シリンダ本体１２の第２貫通孔３６に臨む第２孔部１０６とが形成される。なお、第１孔部１０４は、第１貫通孔３４に対して非同軸上に形成され、第２孔部１０６は、第２貫通孔３６と同軸上に形成される（図２参照）。
【００４５】
エンドブロック９６は、複数のボルト１０８を介してスペーサ９４と共にシリンダ本体１２の一端部に固定され、その両側面には、圧力流体の供給される供給ポート（流体出入ポート）１１０が形成される。この供給ポート１１０は、シリンダ本体１２の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）と略直交方向に延在し、エンドブロック９６の両側面に開口するように貫通している。そして、供給ポート１１０は、エンドブロック９６の両側面に開口した両端部のいずれか一方を封止ボルト１１２で閉塞し、開口した一方の端部のみを供給ポート１１０として選択的に使用する。なお、本実施の形態においては、供給ポート１１０は、シリンダ本体１２の第１及び第２ポート２２、２４と同じ一側面側を開口させ、第３及び第４ポート２６、２８の設けられた他側面側を封止ボルト１１２で閉塞して使用する場合について説明する（図２参照）。
【００４６】
また、エンドブロック９６の内部には、図２に示されるように、スペーサ９４の第１孔部１０４に臨むようにピストン室（室）１１４が形成され、その内部には、サブピストン９８が軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って変位自在に設けられる。また、ピストン室１１４は、その一端部が連通路１１８ａを介して供給ポート１１０に連通すると共に、他端部が前記第１孔部１０４と連通している。
【００４７】
サブピストン９８は、円筒状に形成され、その一端部には先端に向かって徐々に縮径する円錐部（傾斜部）１２０を備える。そして、サブピストン９８の円錐部１２０が、後述するロックプレート１００のピストン孔１３８又はスペーサ９４の第１孔部１０４に挿入自在に設けられる。
【００４８】
また、エンドブロック９６の内部には、シリンダ本体１２における第２貫通孔３６に臨むように装着孔１２２が形成され、該装着孔１２２は、その一端部が連通路１１８ｂを介して供給ポート１１０と連通し、他端部が、スペーサ９４の第２孔部１０６を介して前記第２貫通孔３６と連通するように形成されている。そして、装着孔１２２には継手１０２の一部が挿入される。
【００４９】
継手１０２は、装着孔１２２に挿入される小径部１２４と、該小径部１２４に対して拡径した大径部１２６とを備え、前記小径部１２４が、前記装着孔１２２、ロックプレート１００の継手孔１３６及びスペーサ９４の第２孔部１０６に挿入され、大径部１２６がシリンダ本体１２の第２貫通孔３６に挿入され封止する。すなわち、装着孔１２２、継手孔１３６、第２孔部１０６及び第２貫通孔３６が同軸上に形成されている。
【００５０】
また、継手１０２の内部には、小径部１２４及び大径部１２６を軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って貫通するように連通孔１２８が形成され、前記連通孔１２８の一端部が連通路１１８ｂを通じて供給ポート１１０と連通し、他端部が、シリンダ本体１２における第２貫通孔３６と連通している。また、連通孔１２８の小径部１２４側（矢印Ｂ方向）には、該連通孔１２８の他の部位と比較して縮径したオリフィス（絞り手段）１３０が設けられ、前記連通孔１２８を流通する圧力流体の流量が前記オリフィス１３０で絞られて第２貫通孔３６へと供給される。
【００５１】
すなわち、供給ポート１１０に供給される圧力流体は、ロック機構２０を構成するピストン室１１４に供給されると同時に、継手１０２の連通孔１２８を通じてシリンダ本体１２の第２貫通孔３６へと供給される。
【００５２】
さらに、継手１０２には、小径部１２４の外周側に、例えば、コイルスプリングからなるスプリング１３２が設けられ、エンドブロック９６とロックプレート１００との間に介装される。
【００５３】
ロックプレート１００は、図６Ａ及び図７Ａに示されるように、一定厚さで断面Ｕ字状に形成されたプレート体からなり、エンドブロック９６においてスペーサ９４側（矢印Ａ方向）となる端面に形成された凹部１３４に装着される。このロックプレート１００は、凹部１３４においてシリンダ本体１２の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）と略直交するように配置され、その一端部１００ａに、継手１０２の挿通される継手孔１３６が形成され、他端部１００ｂにはサブピストン９８の一部が挿入されるピストン孔１３８が形成される。そして、ロックプレート１００は、凹部１３４内において継手１０２が挿通された継手孔１３６を中心としてピストン孔１３８を有した他端部１００ｂ側が所定角度だけ回動自在に設けられる。
【００５４】
継手孔１３６には、継手１０２の小径部１２４が挿通され、ピストン孔１３８は、サブピストン９８から離間する方向、すなわち、スペーサ９４側（矢印Ａ方向）に向かって徐々に縮径したテーパ面１４０を有し、前記テーパ面１４０に対してサブピストン９８の円錐部１２０が当接している（図６Ｂ及び図７Ｂ参照）。
【００５５】
また、ロックプレート１００には、スプリング１３２の弾発力が付勢され、該弾発力によって継手孔１３６を有した一端部１００ａを中心として他端部１００ｂが上方（図６Ａ中、矢印Ｃ方向）に向かって所定角度だけ回動する。そして、図６Ａ及び図６Ｂに示されるように、ロックプレート１００の他端部１００ｂが、エンドブロック９６の上面から突出し、スライドテーブル１４に固定されたホルダ部６８の挿入溝７６に挿入されることによって前記スライドテーブル１４の軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿った変位動作が規制される。すなわち、スライドテーブル１４の変位が規制されたロック状態とすることができる。
【００５６】
この際、ロックプレート１００におけるピストン孔１３８の中心Ｐ１は、図６Ａに示されるように、サブピストン９８の中心Ｐ２に対して上方（矢印Ｃ方向）に位置した状態であり、前記サブピストン９８の円錐部１２０が、前記ピストン孔１３８の下部のみに当接した状態にある。換言すれば、ピストン孔１３８は、その中心Ｐ１がサブピストン９８の中心Ｐ２に対して所定距離だけ上方にオフセットした位置にある。
【００５７】
さらに、ロックプレート１００の一端部１００ａには、図６Ａ及び図７Ａに示されるように、凹部１３４を通じてエンドブロック９６の側面に露呈する押圧部１４２が設けられ、前記押圧部１４２は、例えば、作業者がリニアアクチュエータ１０の外部から押圧可能に設けられ、該押圧部１４２をエンドブロック９６の内部側（図６Ａ中、矢印Ｅ方向）に向かって押圧することによって前記ロックプレート１００を、その他端部１００ｂが下降する方向に手動で回動させることが可能である。この押圧部１４２は、ロックプレート１００の一端部１００ａにおいて、継手孔１３６より上方（矢印Ｃ方向）となる側面に設けられている。
【００５８】
本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、図１に示されるように、スライドテーブル１４を構成するエンドプレート５８が、シリンダ本体１２の端面に当接し、且つ、図６Ａ及び図６Ｂに示されるように、ロック機構２０を構成するロックプレート１００がホルダ部６８の挿入溝７６に挿入されてスライドテーブル１４の変位が規制された変位規制状態（ロック状態）を初期位置として説明する。
【００５９】
先ず、図示しない圧力流体供給源に接続された配管を、例えば、切換弁（図示せず）を介して供給ポート１１０及び第２ポート２４へと接続した後、前記圧力流体供給源から圧力流体を前記供給ポート１１０へと導入する。この場合、第２ポート２４は、前記切換弁の操作下に大気開放状態としておくと共に、第１ポート２２は、閉塞プラグ３０によって閉塞しておく。
【００６０】
この供給ポート１１０に供給された圧力流体は、図２に示されるように、連通路１１８ａを通じてピストン室１１４に供給されると共に、別の連通路１１８ｂを通じて継手１０２の連通孔１２８へと流通した後、シリンダ本体１２の第２貫通孔３６へと供給される。この際、連通孔１２８には、オリフィス１３０が設けられているため第２貫通孔３６に供給される圧力流体の流量は、ピストン室１１４に供給される圧力流体の流量に対して小さくなる。
【００６１】
そのため、先ず、ピストン室１１４に供給された圧力流体によってサブピストン９８がシリンダ本体１２側（矢印Ａ方向）へと押圧され、その円錐部１２０がロックプレート１００のピストン孔１３８に当接した状態で移動する。これにより、ロックプレート１００は、ピストン孔１３８のテーパ面１４０がサブピストン９８の円錐部１２０によってスプリング１３２の弾発力に抗して下方（矢印Ｄ方向）へと押し下げられ、それに伴って、図７Ａ及び図７Ｂに示されるように、前記ロックプレート１００の他端部１００ｂが、ホルダ部６８の挿入溝７６から離脱する。その結果、ロックプレート１００によるスライドテーブル１４の変位規制状態が解除され、該スライドテーブル１４が軸方向（矢印Ａ方向）に変位可能な状態となる。すなわち、サブピストン９８は、圧力流体の供給作用下に変位し、ロックプレート１００の他端部１００ｂを挿入溝７６から離間させる方向に回動させ、前記ロックプレート１００によるスライドテーブル１４の変位規制状態を解除可能な解除機構として機能する。
【００６２】
なお、ロック機構２０による該スライドテーブル１４の変位規制状態を解除させる場合、上述したような供給ポート１１０に供給された圧力流体によってサブピストン９８を変位させロックプレート１００を回動させる方法のほかに、作業者が、リニアアクチュエータ１０の外部からロックプレート１００の押圧部１４２を押圧することによって該ロックプレート１００を回動させ、その他端部１００ｂを挿入溝７６から離脱させるようにして解除することも可能である。
【００６３】
そして、ロック機構２０によるスライドテーブル１４の変位規制状態（ロック状態）が解除された後、第２貫通孔３６へ供給されている圧力流体がピストン４０を押圧可能な供給量に達し、接続通路５４ｂを通じて第１貫通孔３４へと同時に供給された圧力流体と共に一対のピストン４０をロッドホルダ５０側（矢印Ａ方向）に向かって押圧する。これにより、ピストン４０に連結されたピストンロッド４２及びエンドプレート５８と共に、スライドテーブル１４がシリンダ本体１２から離間する方向へと変位する。
【００６４】
この際、ガイド機構１６を構成するボール６３が、スライドテーブル１４の変位に伴ってボール循環通路に沿って転動することにより、前記スライドテーブル１４が前記ガイド機構１６によって軸方向に沿って案内される。
【００６５】
そして、スライドテーブル１４の一端部に設けられたストッパボルト７０の端部が、ガイド機構１６を構成するガイドブロック８２の端面に当接することにより、前記スライドテーブル１４の変位が停止した変位終端位置となる。この際、ロック機構２０では、供給ポート１１０を通じてピストン室１１４へ継続的に圧力流体が供給されているため、サブピストン９８がシリンダ本体１２側（矢印Ａ方向）へと付勢され続けており、それに伴って、ロックプレート１００の他端部１００ｂが下方（矢印Ｄ方向）へと押し下げられた状態、すなわち、ロック解除状態で保持される。
【００６６】
一方、上述した変位終端位置からスライドテーブル１４を前記とは反対方向（矢印Ｂ方向）に変位させる場合には、図示しない切換弁の切換作用下に第２ポート２４に対して圧力流体を供給すると同時に、供給ポート１１０に対しても所定流量で前記圧力流体を供給する。これにより、第２ポート２４から一対の第１及び第２貫通孔３４、３６へと供給された圧力流体によってピストン４０がロッドホルダ５０から離間する方向（矢印Ｂ方向）へと変位し、該ピストン４０と共にピストンロッド４２及びエンドプレート５８を介してスライドテーブル１４がシリンダ本体１２に接近する方向へと変位する。
【００６７】
そして、スライドテーブル１４を構成するエンドプレート５８に設けられたダンパ８０が、シリンダ本体１２の端面に当接することにより初期位置へと復帰する。
【００６８】
また、スライドテーブル１４が初期位置に向けて変位している間、供給ポート１１０に対して圧力流体が供給されているため、サブピストン９８の変位作用下にロックプレート１００が押し下げられるように回動し、前記スライドテーブル１４の変位規制状態が解除されたままの状態で維持される。
【００６９】
そして、スライドテーブル１４が初期位置に到達すると略同時に、供給ポート１１０に対する圧力流体の供給が図示しない切換手段によって停止され、ロックプレート１００がスプリング１３２の弾発力によって回動し、その他端部１００ｂが上方に開口したホルダ部６８の挿入溝７６へと挿入される（図６Ａ及び図６Ｂ参照）。これにより、スライドテーブル１４の軸方向（矢印Ａ方向）への変位が再び規制された変位規制状態（ロック状態）となる。
【００７０】
また、例えば、供給ポート１１０に対する圧力流体の供給停止等の何らかの原因で、スライドテーブル１４が初期位置へと復帰する以前に、スプリング１３２の弾発作用下にロックプレート１００の他端部１００ｂが上方（矢印Ｃ方向）へと移動し、エンドブロック９６の上面より突出してしまっている場合でも、前記スライドテーブル１４のホルダ部６８に設けられた傾斜面７８が、前記他端部１００ｂに当接し、該スライドテーブル１４がさらに変位することによってロックプレート１００がスプリング１３２の弾発力に抗して前記傾斜面７８によって徐々に下方（矢印Ｄ方向）へと押し下げられ、最終的には挿入溝７６へと挿入される。そのため、スライドテーブル１４が初期位置へと復帰する以前に、誤ってロックプレート１００の他端部１００ｂが上方（矢印Ｃ方向）へと突出した場合でも、前記ロックプレート１００にホルダ部６８が接触することによって所望の位置より手前で前記スライドテーブル１４の変位が規制されてしまうことが確実に回避される。
【００７１】
以上のように、本実施の形態では、シリンダ本体１２の一端部に、スライドテーブル１４の軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）への変位を規制可能なロック機構２０を設け、該ロック機構２０を、供給ポート１１０に供給される圧力流体によって変位するサブピストン９８と、該サブピストン９８の変位作用下に回動し、前記スライドテーブル１４に装着されたホルダ部６８の挿入溝７６に挿入されるロックプレート１００とから構成している。このロック機構２０は、ロックプレート１００がプレート状に形成されると共に、リニアアクチュエータ１０の軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）と略直交方向に回動自在に設けられているため、前記リニアアクチュエータ１０が軸方向に大型化してしまうことがなく、しかも、サブピストン９８がシリンダ本体１２の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に変位する構成としているため、高さ寸法が大型化してしまうことがない。その結果、リニアアクチュエータ１０が長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）及び高さ方向（矢印Ｃ、Ｄ方向）に大型化してしまうことを抑制しつつ、ロック機構２０を介してスライドテーブル１４の軸方向への変位を確実に規制することが可能となる。
【００７２】
また、ロック機構２０は、スライドテーブル１４の下方に形成された空間に配置されているため、デッドスペースとなっていた前記空間を有効に活用することができると共に、高さ寸法の増加を回避することができる。
【００７３】
さらに、ロック機構２０のサブピストン９８は、シリンダ機構４４のピストン４０を変位させるために供給される圧力流体の一部を利用して駆動させることができるため、前記サブピストン９８を駆動させるための圧力流体を別個に供給する場合と比較し、その配管レイアウトを簡素化できて好適である。
【００７４】
さらにまた、供給ポート１１０からシリンダ本体１２の第２貫通孔３６へと供給される圧力流体は、継手１０２の連通孔１２８にオリフィス１３０が設けられているため、ロック機構２０のピストン室１１４に供給される圧力流体の供給量に対して少なくなる。そのため、先行して所定流量をピストン室１１４に供給してサブピストン９８を変位させロックプレート１００によるスライドテーブル１４の変位規制状態を解除した後に、シリンダ機構４４のピストン４０を押圧して前記スライドテーブル１４を変位させることが可能となる。
【００７５】
換言すれば、オリフィス１３０を設けることによってピストン室１１４に供給される圧力流体の供給量と、第２貫通孔３６に供給される圧力流体の供給量との間に差を設け、サブピストン９８とピストン４０の動作し始める時間に時間差を設けている。これにより、ロック機構２０によるスライドテーブル１４のロック状態が解除された後に、前記スライドテーブル１４を確実に変位させることができる。
【００７６】
なお、本発明に係るリニアアクチュエータは、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【符号の説明】
【００７７】
１０…リニアアクチュエータ          １２…シリンダ本体
１４…スライドテーブル              １６…ガイド機構
１８…ストローク調整機構            ２０…ロック機構
３４…第１貫通孔                    ３６…第２貫通孔
４４…シリンダ機構                  ５６…テーブル本体
５８…エンドプレート                ６８…ホルダ部
７０…ストッパボルト                ７６…挿入溝
９４…スペーサ                      ９６…エンドブロック
９８…サブピストン                  １００…ロックプレート
１０２…継手                        １１０…供給ポート
１１４…ピストン室                  １１８ａ、１１８ｂ…連通路
１２０…円錐部                      １２８…連通孔
１３０…オリフィス                  １３２…スプリング
１３４…凹部                        １３６…継手孔
１３８…ピストン孔                  １４０…テーパ面
１４２…押圧部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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