(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力が変動し得る閉空間を有する装置本体に取り付けられて使用される内圧変動吸収装置であって、
圧力調整用空間を有する圧力調整部と、
前記閉空間と前記圧力調整用空間とを連通させるように前記装置本体と前記圧力調整部を接続可能なダクトと、を備え、
前記圧力調整部は、
変形自在な材質からなる筒状の胴部と、
前記ダクトの取付け部が設けられ、前記胴部の一端側の開口を塞ぐ第１蓋部と、
前記胴部の他端側の開口を塞ぐ第２蓋部と、
前記第１蓋部に対して前記胴部を着脱可能に固定する第１固定手段と、
前記第２蓋部に対して前記胴部を着脱可能に固定する第２固定手段と、を有し、前記胴部、前記第１蓋部及び前記第２蓋部によって前記圧力調整用空間が形成され、
前記胴部は、前記圧力調整用空間を実質的に膨張及び収縮させる有効収縮部において、筒の延びる方向と直交する方向の断面が、筒の延びる方向に一様の筒状である内圧変動吸収装置。
【請求項２】
前記第１蓋部及び前記第２蓋部は、底部と、この底部と一体的に形成された側部とをそれぞれ備えており、
前記第１固定手段は、前記胴部の一端部が前記第１蓋部の前記側部に外側から重ね合わされるように配置された状態で、前記胴部に対して前記第１蓋部を固定し、
前記第２固定手段は、前記胴部の他端部が前記第２蓋部の前記側部に外側から重ね合わされるように配置された状態で、前記胴部に対して前記第２蓋部を固定する請求項１に記載の内圧変動吸収装置。
【請求項３】
前記第１蓋部及び前記第２蓋部は、平面視で楕円形又は長円形の形状を有する請求項１又は２に記載の内圧変動吸収装置。
【請求項４】
前記ダクトを通過する空気に含まれる水分を除去する水分除去手段を備えている請求項１から３の何れか１項に記載の内圧変動吸収装置。
【請求項５】
前記水分除去手段は、前記ダクトに対して着脱可能な吸着部材を有している請求項４に記載の内圧変動吸収装置。
【請求項６】
所定の壁体に囲まれた閉空間である試験空間を有しており、前記試験空間内に載置され
た試料に熱負荷を付与可能な装置本体と、
前記装置本体に取り付けられた請求項１から５の何れか１項に記載の内圧変動吸収装置と、を備え、
前記内圧変動吸収装置の前記圧力調整用空間と前記試験空間とが前記ダクトを介して連通している環境試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内圧変動吸収装置及び環境試験装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、下記特許文献１に開示されているように、閉空間内の圧力変動を吸収するための装置である内圧変動吸収装置が知られている。具体的に、この種の内圧変動吸収装置は、圧力調整用空間を有する圧力調整部である袋と、試験室等の閉空間と圧力調整用空間とを連通させるダクトと、を備えていて、変形自在な材質からなる袋が膨張・収縮することにより、試験室等の閉空間内の圧力の変動を緩和する。袋は、箱体内に配設されるとともに、箱体の下端部に固定された接続管に気密状に取り付けられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２５７９５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記特許文献１に開示された内圧変動吸収装置では、袋の開口縁部を箱体に固定された接続管に被せるようにして袋を固定している。試験室等の閉空間の圧力変動を緩和するためにはある程度の容積が必要である一方で、接続管に取り付けるべく小さな開口が形成されるとともに開口に向かって先窄み形状に形成された袋が用いられているため、このような袋を接続管に取り付けられるようにするには袋の形状を専用に設計する必要がある。このため、前記内圧変動吸収装置では、消耗品である袋が高価なものになるという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、圧力調整部の構成部材のうち変形自在な材質からなる部材を単純な形状にすることによって低コスト化を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記の目的を達成するため、本発明は、圧力が変動し得る閉空間を有する装置本体に取り付けられて使用される内圧変動吸収装置であって、圧力調整用空間を有する圧力調整部と、前記閉空間と前記圧力調整用空間とを連通させるように前記装置本体と前記圧力調整部を接続可能なダクトと、を備え、前記圧力調整部は、変形自在な材質からなる筒状の胴部と、前記ダクトの取付け部が設けられ、前記胴部の一端側の開口を塞ぐ第１蓋部と、前記胴部の他端側の開口を塞ぐ第２蓋部と、前記第１蓋部に対して前記胴部を着脱可能に固定する第１固定手段と、前記第２蓋部に対して前記胴部を着脱可能に固定する第２固定手段と、を有し、前記胴部、前記第１蓋部及び前記第２蓋部によって前記圧力調整用空間が形成され、前記胴部は、前記圧力調整用空間を実質的に膨張及び収縮させる有効収縮部において、筒の延びる方向と直交する方向の断面が、筒の延びる方向に一様の筒状である内圧変動吸収装置である。
【０００７】
本発明では、圧力調整部によって閉空間内の圧力変動が緩和されるため、閉空間内に外気が侵入し難くすることができる。このため、外気に含まれている水分が装置本体内において結露することを抑制できる。例えば、閉空間内の温度が低下して内圧が低下したときには、圧力調整用空間内の空気が閉空間内に流入するので、内圧の低下が緩和されることにより、外気が閉空間内に吸い込まれ難くなる。一方、閉空間内の温度が上昇して内圧が上昇したときには、閉空間内の空気が圧力調整用空間内に流入するので、閉空間内の圧力上昇が緩和される。さらに、本発明では、圧力調整部において、変形自在な材質からなる胴部が筒状という単純な形状に形成されているため、胴部を安価に作成することができる。つまり、圧力調整部が、互いに分離された構成の胴部と第１蓋部と第２蓋部とを有する構成となっており、しかも、ダクトの取付け部が設けられた第１蓋部で胴部の一端側の開口を塞ぐ構成となっているため、胴部の形状が先窄み状に形成されている必要がなくなり、圧力調整用空間の容積を維持しつつ胴部を筒状という単純な形状に形成することができる。しかも、この胴部に対して第１蓋部及び第２蓋部を固定手段によって着脱可能に固定する構成となっているため、胴部が損傷したとしても容易に胴部を交換することができる。すなわち、変形自在な材質からなる胴部は消耗品であるため、この消耗品である胴部を安価に構成するとともに交換可能にすることにより、内圧変動吸収装置のランニングコストを抑えることが可能となる。
【０００８】
ここで、前記第１蓋部及び前記第２蓋部は、底部と、この底部の周縁部に形成された側部とをそれぞれ備えていてもよく、この場合には、前記第１固定手段は、前記胴部の一端部が前記第１蓋部の前記側部に外側から重ね合わされるように配置された状態で、前記胴部に対して前記第１蓋部を固定し、前記第２固定手段は、前記胴部の他端部が前記第２蓋部の前記側部に外側から重ね合わされるように配置された状態で、前記胴部に対して前記第２蓋部を固定するのが好ましい。
【０００９】
この態様では、筒状の胴部の端部が蓋部の側部に対して外側から重ね合わされるので、胴部の開口縁部を折り曲げる等しなくてもそのまま蓋部の側部に重ね合わせることができる。したがって、気密性を維持しつつ容易な固定方法で胴部と蓋部とを互いに固定することができる。
【００１０】
前記第１蓋部及び前記第２蓋部は、平面視で楕円形又は長円形の形状を有していてもよい。この態様では、第１蓋部及び第２蓋部が平面視で円形の形状を有する構成に比べて、圧力調整部を薄型に構成することができる。また、蓋部の周縁部に角になる部分が存在しないため、薄型の構成でありながら、気密性を確保しやすい構成とすることができる。
【００１１】
前記ダクトを通過する空気に含まれる水分を除去する水分除去手段を備えていてもよい。この態様では、ダクトを通して前記閉空間に戻る空気の水分が除去されているため、空気に水分が含まれているとしても、その量は少なくなっている。このため、閉空間内における圧力変動に起因する結露の発生を抑制することができる。
【００１２】
前記水分除去手段は、前記ダクトに対して着脱可能な吸着部材を有していてもよい。この態様では、水分除去手段による水分除去能力が低下した場合等でも吸着部材を交換することにより、水分除去能力を回復させることができる。しかも、吸着部材のみを交換すれば足りるため、交換作業が繁雑になることもない。
【００１６】
本発明は、所定の壁体に囲まれた閉空間である試験空間を有しており、前記試験空間内に載置された試料に熱負荷を付与可能な装置本体と、前記装置本体に取り付けられた前記内圧変動吸収装置と、を備え、前記内圧変動吸収装置の前記圧力調整用空間と前記試験空間とが前記ダクトを介して連通している環境試験装置である。
【００１７】
この環境試験装置では、装置本体において試験空間内の圧力が変動すると、それに応じて試験空間と圧力調整用空間との間で空気が行き来する。このことによって試験空間内での圧力変動を緩和することができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、本発明によれば、圧力調整部の構成部材のうち変形自在な材質からなる部材が単純な形状に形成されるため、低コスト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態に係る環境試験装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】前記環境試験装置に設けられた圧力調整部の構成を説明するための図である。
【図３】前記環境試験装置に設けられた圧力調整部の上側蓋部の形状を説明するための図である。
【図４】その他の実施形態に係る環境試験装置に設けられた圧力調整部の上側蓋部の形状を説明するための図である。
【図５】その他の実施形態に係る環境試験装置に設けられた圧力調整部の上側蓋部の形状を説明するための図である。
【図６】その他の実施形態に係る環境試験装置に設けられた圧力調整部の上側蓋部の形状を説明するための図である。
【図７】その他の実施形態に係る環境試験装置に設けられた圧力調整部の上側蓋部の構成を説明するための図である。
【図８】その他の実施形態に係る環境試験装置に設けられた圧力調整部の上側蓋部及び固定手段の構成を説明するための図である。
【図９】その他の実施形態に係る環境試験装置に設けられた内圧変動吸収装置の構成を説明するための図である。
【図１０】その他の実施形態に係る環境試験装置に設けられた内圧変動吸収装置の構成を説明するための図である。
【図１１】参考例に係る環境試験装置に設けられた圧力調整部の構成を説明するための図である。
【図１２】図１１に示された圧力調整部の変形例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２１】
図１は、本発明の実施形態に係る内圧変動吸収装置を備えた環境試験装置１の構成を概略的に示している。環境試験装置１は、試料Ｗに熱負荷を付与可能な試験装置本体（装置本体）２と、試験装置本体２に取り付けられる内圧変動吸収装置３とを備えている。本実施形態に係る環境試験装置１は、試料Ｗを低温と高温に交互に曝して試料Ｗに熱負荷を与えて試料Ｗの熱的強度を試験する熱衝撃試験装置として構成されている。試料Ｗとしては、例えば半導体チップが実装されたプリント基板等が挙げられる。
【００２２】
なお、環境試験装置１は、熱衝撃試験装置に限られるものではなく、試料Ｗを所定条件の雰囲気に曝し続けて試料に熱負荷を与える恒温槽や恒温恒湿槽、その他の環境試験装置として構成されていてもよい。この場合には、後述するように三槽式の試験装置に限られるものではなく、試験室と空調室とを備えた一槽式の試験装置であってもよい。
【００２３】
試験装置本体２は、三槽式の試験槽であり、試験される対象である試料Ｗが載置される試験室５と、図略の加熱手段により空気を加熱して熱風を試験室５に送出する高温室７と、図略の冷凍機により空気を冷却して冷風を試験室５に送出する低温室９とを含む。試験室５には、試料Ｗを出し入れするための試験室扉６が設けられている。高温室７及び低温室９は、試験室５内の空気温度及び湿度を調整する空調室であり、高温室７には、加熱手段（ヒータ）、加湿器、送風機等が配設され、低温室９には、冷凍機、送風機等が配設されている。
【００２４】
試験室５、高温室７および低温室９のそれぞれは、断熱材（断熱層）を内部に有する断熱パネル壁１１によって囲まれた閉空間であり、互いに熱的に遮断されている。
【００２５】
高温室７と試験室５とを区画する断熱パネル壁１１には、高温室７内（空調空間）から試験室５内（試験空間ＴＳ）に熱風を供給するための熱風供給口１３と、試験室５内の高温空気を高温室７内に戻すための熱風排出口１４とが形成されている。熱風供給口１３および熱風排出口１４には、熱風切換ダンパ１７が配置されている。この切換ダンパ１７によって熱風供給口１３および熱風排出口１４が開放されると、熱風は、熱風供給口１３を通して高温室７内から試験室５内に流入し、試験室５内を通過した後、熱風排出口１４を通って高温室７に戻る。すなわち、高温室７と試験室５との間で空気が循環する。これにより、試験室５内は高温雰囲気となる。試験室５内が高温雰囲気に設定される場合、試験室５内の温度は例えば１５０℃に設定される。
【００２６】
低温室９と試験室５とを区画する断熱パネル壁１１には、低温室９内（空調空間）から試験室５内（試験空間ＴＳ）に冷風を供給するための冷風供給口１５と、試験室５内の低温空気を低温室９内に戻すための冷風排出口１６とが形成されている。冷風供給口１５および冷風排出口１６には、冷風切換ダンパ１９が配置されている。この切換ダンパ１９によって冷風供給口１５および冷風排出口１６が開放されると、冷風は、冷風供給口１５を通して低温室９内から試験室５内に流入し、試験室５内を通過した後、冷風排出口１６を通って低温室９に戻る。すなわち、低温室９と試験室５との間で空気が循環する。これにより、試験室５内は低温雰囲気となる。試験室５内が低温雰囲気に設定される場合、試験室５内の温度は例えば−６０℃に設定される。なお、図１は、熱風切換ダンパ１７が開状態で、冷風切換ダンパ１９が閉状態のときを示している。
【００２７】
試験装置１の稼働中、試験室内の試料Ｗは、高温雰囲気および低温雰囲気に交互に曝されて熱負荷が与えられる。これにより、試料Ｗの熱強度、熱ストレス特性、耐久性等が試験される。高温雰囲気および低温雰囲気のサイクル数は、試料Ｗに応じて任意である。
【００２８】
内圧変動吸収装置３は、圧力調整用空間ＡＳを有する圧力調整部２１と、試験空間ＴＳと圧力調整用空間ＡＳと連通させるダクト２０とを含む。圧力調整部２１は、筒状の胴部２２と、胴部２２の一端側の開口を塞ぐ第１蓋部としての下側蓋部２３と、胴部２２の他端側の開口を塞ぐ第２蓋部としての上側蓋部２４とを有する。胴部２２の両端開口がそれぞれ蓋部２３，２４によって塞がれることにより、閉空間である圧力調整用空間ＡＳが形成されている。胴部２２、下側蓋部２３および上側蓋部２４は、それぞれ別個に作成されるとともに、その後に組み付けられる。
【００２９】
下側蓋部２３は、蓋部本体２３ａと、この蓋部本体２３ａに設けられたダクト２０の取付け部２３ｅとを備えている。取付け部２３ｅは、例えば金属管等の接続管によって構成されており、蓋部本体２３ａをその厚み方向に貫通するように設けられている。すなわち取付け部２３ｅは、圧力調整用空間ＡＳと外部とを連通するように下側蓋部２３の底部２３ｂに設けられている。取付け部２３ｅにおいて蓋部本体２３ａから外側に突出した部位にダクト２０の一端部が取り付けられることにより、圧力調整用空間ＡＳとダクト２０内とが連通する。接続管（取付け部２３ｅ）へのダクト２０の固定は、図示省略するが、ホースバンド等の締付け部材によって気密状になされている。
【００３０】
ダクト２０の他端部は、試験室５の側壁に設けられた接続管２９に接続されている。この接続管２９は、試験室５の一側壁を構成する断熱パネル壁１１を貫通する開口に嵌め込まれており、試験室５内（試験空間ＴＳ）と外部とを連通させる。接続管２９にダクト２０が取り付けられることにより、試験室５内（試験空間ＴＳ）とダクト２０内とが連通する。
【００３１】
接続管２９の内端部には、フランジ部３０が設けられており、このフランジ部３０は断熱パネル壁１１の内面に固定されている。接続管２９へのダクト２０の固定は、図示省略するが、ホースバンド等の締付け部材によって気密状になされている。
【００３２】
下側蓋部２３の蓋部本体２３ａは、図２に示すように、所定の大きさを有する底部２３ｂと、この底部２３ｂの周縁部に形成された側部２３ｃとを備えている。側部２３ｃは底部２３ｂと一体的に形成されている。底部２３ｂは、平面視で例えば楕円形に形成されており、その中央部に取付け部２３ｅが配置されている。側部２３ｃは、底部２３ｂから折り曲げられるように設けられており、底部２３ｂに対して交差する方向に張り出している。側部２３ｃ内の面積は、ダクト２０の取付け部２３ｅの断面積よりも大きい。このため、胴部２２の開口を小さくする必要がなく、胴部２２を先窄み形状にする必要がない。
【００３３】
下側蓋部２３の蓋部本体２３ａは、金属製、ＡＢＳ樹脂製、ガラスエポキシ樹脂製等、後述の締付け部材によって変形することがあるとしてもわずかである、変形し難い硬質のものである。蓋部本体２３ａが例えば板金製の場合には、絞り加工等によって底部２３ｂの周縁部に側部２３ｃを一体的に形成することができる。その他、蓋部本体２３ａを樹脂成形することにより、側部２３ｃを一体的に形成することも可能である。
【００３４】
上側蓋部２４は、取付け部２３ｅが設けられていない点を除いて下側蓋部２３と同様の構成である。すなわち、図２、図３に示すように、上側蓋部２４は、所定の大きさを有する底部２４ｂと、この底部２４ｂの周縁部に形成された側部２４ｃとを備えている。そして、上側蓋部２４は、下側蓋部２３とは逆向きに配設される。すなわち、下側蓋部２３が、側部２３ｃが底部２３ｂから上側に向かって突出する向きに配置される一方で、上側蓋部２４は、側部２４ｃが底部２４ｂから下側に向かって突出する向きに配置されている。
【００３５】
胴部２２は、変形自在な材質のものであり、例えばポリエチレン、ビニル樹脂、シリコン等の材質で厚みの薄いものによって構成することができる。胴部２２は、筒状に形成されており、その両端の開口の周長が上側蓋部２４及び下側蓋部２３の外周長さに対応した大きさとなっている。そして、胴部２２の両端開口を楕円形状に変形させることもできる。このため、下側の開口縁部を、下側蓋部２３の蓋部本体２３ａにおける側部２３ｃに外側から重ね合わせることができ、また上側の開口縁部を、上側蓋部２４の側部２４ｃに外側から重ね合わせることができる。なお、胴部２２は、１枚のシートを丸めて縁部を互いに止着することによって筒状に成形してもよく、あるいは筒状の形状で成形するようにしてもよい。
【００３６】
上側蓋部２４は、図略の支持体によって支持され、下側蓋部２３は図略の支持台に固定されている。すなわち、胴部２２自身では上側蓋部２４を支持することができないため、上側蓋部２４は図外の支持体に吊り下げられる等、外部の支持体によって支持されている。なお、箱状の支持体を設けておいて、その内部に圧力調整部２１を配設してもよい。
【００３７】
圧力調整部２１は、胴部２２を下側蓋部２３に対して固定するための第１固定手段３３と、胴部２２を上側蓋部２４に対して固定するための第２固定手段３４とを有する。
【００３８】
第１固定手段３３は、平型スチールバンド等のバンド状の締付け部材によって構成されており、胴部２２の下端部（一端部、下側の開口縁部）が重ね合わされた下側蓋部２３の側部２３ｃに外側から装着される。この締め付け部材は、周長を調整するためのねじ部３３ａを有しており、このねじ部３３ａを回すことにより締め付け部材による締め付けを強めることができる。
【００３９】
下側蓋部２３の側部２３ｃは底部２３ｂの外周部に設けられるとともに所定幅を有しており、その外面には胴部２２が面接触することが可能である。そして、下側蓋部２３の側部２３ｃは、変形し難い硬質のものであり、一方、胴部２２は容易に変形する材質である。このため、締め付け部材の長さを調節することにより、胴部２２が下側蓋部２３の側部２３ｃに沿うように外から締め付けることができる。これにより、胴部２２を下側蓋部２３に対して接着しない構成であっても胴部２２と下側蓋部２３との間の気密性が確保される。
【００４０】
第２固定手段３４は、第１固定手段３３と同様のバンド状の締付け部材によって構成されている。すなわち、第２固定手段３４は、ねじ部３４ａを有する平型スチールバンド等のバンド状の締付け部材によって構成されている。そして、第２固定手段３４は、胴部２２の上端部（他端部、上側の開口縁部）が重ね合わされた上側蓋部２４の側部２４ｃに外側から装着される。上側蓋部２４の側部２４ｃは、変形し難い硬質のものであり、一方、胴部２２は容易に変形する材質であるため、締め付け部材の長さを調節することにより、胴部２２が上側蓋部２４の側部２４ｃに沿うように外から締め付けることができる。これにより、胴部２２を上側蓋部２４に対して接着しない構成であっても胴部２２と上側蓋部２４との間の気密性が確保される。
【００４１】
第１固定手段３３及び第２固定手段３４による締め付けを緩めることにより、胴部２２を下側蓋部２３及び上側蓋部２４から容易に分離させることができる。すなわち、第１固定手段３３及び第２固定手段３４は、それぞれ、胴部２２を下側蓋部２３又は上側蓋部２４に対して着脱可能に固定することができる。
【００４２】
下側蓋部２３及び上側蓋部２４は、前述したように底部２３ｂ，２４ｂが楕円形に形成された形状であるが、これに限られるものではない。下側蓋部２３及び上側蓋部２４は、底部２３ｂ，２４ｂが例えば円形に形成された形状であってもよい。また、図４〜図６に示すように、上側蓋部２４（下側蓋部２３）は、底部２４ｂ（２３ｂ）が長円形に形成された形状であってもよい。図４に示す蓋部２４（２３）は、一対の円弧部３７，３７と、これら円弧部３７，３７を緩やかな曲線でつなぐ一対の連結部３８、３８とからなる外周部を有する底部２４ｂ（２３ｂ）を備えた構成である。図５に示す蓋部２４（２３）は、一対の円弧部３７，３７と、これら円弧部３７，３７を直線でつなぐ一対の連結部３８、３８とからなる外周部を有する底部２４ｂ（２３ｂ）を備えた構成である。図６に示す蓋部２４（２３）は、一対の円弧部３７，３７と、これら円弧部３７，３７を中央で折れ曲がった直線でつなぐ一対の連結部３８、３８とからなる外周部を有する底部２４ｂ（２３ｂ）を備えた構成である。
【００４３】
次に、試験装置本体２に取り付けられた内圧変動吸収装置３の作用について説明する。
【００４４】
試験室５内に載置された試料Ｗに熱的負荷を与える試験を行う場合において、高温曝しを行うときには、熱風切換ダンパ１７を開状態にし、冷風切換ダンパ１９を閉状態にする。これにより、高温室７からの熱風が試験室５内に導入され、試験室５と高温室７との間で高温空気が循環することにより、試験室５内（試験空間ＴＳ）が高温雰囲気となる。このとき、試験室５内の温度が高温になるにしたがって、試験室５内の圧力が上昇するため、それに伴い、試験室５内の高温空気がダクト２０を通って圧力調整部２１の圧力調整用空間ＡＳに流れ込む。これにより、圧力調整部２１の胴部２２が変形して圧力調整用空間ＡＳが膨張し、試験室５の内部圧力が上昇するのを緩和する。
【００４５】
一方、低温曝しを行うときには、熱風切換ダンパ１７を閉じるとともに、冷風切換ダンパ１９を開ける。これにより、低温室９からの冷風が試験室５内に導入され、試験室５と低温室９との間で低温空気が循環することにより、試験室５内（試験空間ＴＳ）が低温雰囲気となる。このとき、試験室５内の温度が低温になるにしたがって、試験室５内の圧力が低下するため、それに伴い、外気がすき間を通して試験室５内に吸い込まれて侵入しようとする。しかしながら、このとき、試験室５内の圧力低下に伴って圧力調整部２１内の空気がダクト２０を通って試験室５内に流れ込むため、試験室５内の圧力低下が抑制されて、外気の侵入が抑制される。
【００４６】
このようにして、試験装置本体２において試験室５内（試験空間ＴＳ）の圧力が変動すると、それに応じて試験空間ＴＳと圧力調整用空間ＡＳとの間で空気が行き来する。圧力調整部２１によって試験室５内の圧力変動が緩和されるため、試験室５内に外気が侵入し難い。このため、外気に含まれている水分が結露することを抑制できる。すなわち、試験室５内の温度が低下して内圧が低下したときには、圧力調整部２１内の空気が試験室５内に流入するので、内圧の低下が緩和されることにより、外気が試験室５内に吸い込まれ難くなる。一方、試験室５内の温度が上昇して内圧が上昇したときには、試験室５内の空気が圧力調整部２１内に流入するので、試験室５内の圧力上昇が緩和される。
【００４７】
また本実施形態では、圧力調整部２１において、変形自在な材質からなる胴部２２が筒状という単純な形状に形成されているため、胴部２２を安価に作成することができる。つまり、圧力調整部２１が、互いに分離された胴部２２と下側蓋部２３と上側蓋部２４とを有する構成となっており、しかも、ダクト２０の取付け部２３ｅよりも大きな底面積を有する下側蓋部２３で胴部２２の一端側の開口を塞ぐ構成となっているため、圧力調整用空間ＡＳの容積を維持しつつ胴部２２を筒状という単純な形状に形成することができる。しかも、この胴部２２に対して下側蓋部２３及び上側蓋部２４を固定手段３３，３４によって着脱可能に固定する構成となっているため、胴部２２が損傷したとしても容易に胴部２２を交換することができる。すなわち、変形自在な材質からなる胴部２２は消耗品であるため、この消耗品である胴部２２を安価に構成するとともに交換可能にすることにより、内圧変動吸収装置３のランニングコストを抑えることが可能となる。
【００４８】
また本実施形態では、筒状の胴部２２の端部が蓋部２３，２４の側部２３ｃ，２４ｃに対して外側から重ね合わされるので、胴部２２の開口縁部を折り曲げる等しなくてもそのまま蓋部２３，２４の側部２３ｃ，２４ｃに重ね合わせることができる。したがって、気密性を維持しつつ容易な固定方法で胴部２２と蓋部２３，２４とを互いに固定することができる。
【００４９】
また本実施形態では、下側蓋部２３及び上側蓋部２４が平面視で楕円形の形状を有しているので、平面視で円形の形状を有する構成に比べて、圧力調整部２１を薄型に構成することができる。また、蓋部２３，２４の周縁部に角になる部分が存在しないため、薄型の構成でありながら、気密性を確保しやすい構成とすることができる。
【００５０】
なお、本発明は、前記実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更、改良等が可能である。例えば、前記実施形態では、第１蓋部が下側となり、第２蓋部が上側になるように圧力調整部２１が構成されているが、これに限られるものではない。例えば、これと逆向き、すなわち、第１蓋部が上側となり、第２蓋部が下側になるように圧力調整部２１が構成されていてもよい。あるいは、圧力調整部２１は、第１蓋部と第２蓋部が互いに左右方向に対向する構成であってもよい。この場合の胴部２２は、横に長い形状となって、両端開口が横向きとなる。
【００５１】
また、図７に示すように、圧力調整部２１において、胴部２２と上側蓋部２４との間、及び胴部２２と下側蓋部２３との間にそれぞれパッキンシート４０が介装されていてもよい。このパッキンシート４０は、胴部２２と上側蓋部２４の側部２４ｃとの間のすき間、及び胴部２２と下側蓋部２３の側部２３ｃとの間のすき間を埋めて気密性をより向上させるためのものである。パッキンシート４０は、平面視でＣ字状に形成されており、蓋部２３，２４の側部２３ｃ，２４ｃの外面に貼り付けられる。パッキンシート４０は、変形が容易なため、蓋部２３，２４の形状及び大きさに合わせて変形させることができ、また必要に応じて端部同士が重なり合うように側部２３ｃ，２４ｃに沿わせることもできる。この場合には、側部２３ｃ，２４ｃの全周に亘ってパッキンシート４０が配設される。なお、パッキンシート４０は蓋部２３，２４に接着される一方で、胴部２２には接着されない。
【００５２】
前記実施形態では、第１固定手段３３（第２固定手段３４）が下側蓋部２３（上側蓋部２４）と別個に設けられる構成について説明したが、これに限られるものではない。例えば、図８に示すように、第２固定手段３４（第１固定手段３３）が上側蓋部２４（下側蓋部２３）に一体的に設けられる構成としてもよい。つまり、第２固定手段３４（第１固定手段３３）が上側蓋部２４（下側蓋部２３）と一体的に成形される構成や、第２固定手段３４（第１固定手段３３）が上側蓋部２４（下側蓋部２３）に接着されて固定される構成であってもよい。この場合には、固定手段３３，３４が蓋部２３，２４と一体的に形成されているため、内圧変動吸収装置の構成部品点数を減らすことができる。
【００５３】
図８に示す第２固定手段３４は、上側蓋部２４の側部２４ｃから外向きに突出した環状の複数の突部４２によって構成されている。この突部４２は上側蓋部２４を成形する際に一体的に成形されたものである。この環状突部４２が設けられた上側蓋部２４に胴部２２が被せられると、突部４２によって胴部２２が引き延ばされて突部４２に密着する。したがって、別個に固定手段を設けなくても、胴部２２を上側蓋部２４（下側蓋部２３）に固定することができる。この場合には、胴部２２の開口縁部を他の部位に比べて肉厚に構成するのが好ましい。
【００５４】
なお、環状の突部４２が形成された上側蓋部２４（下側蓋部２３）にさらにバンド状の締め付け部材を用いて胴部２２を固定することも可能である。すなわち、環状の突部４２が形成された上側蓋部２４（下側蓋部２３）の側部２４ｃ（２３ｃ）に胴部２２が被せられ、さらにその外側からバンド状の締め付け部材で胴部２２を固定することも可能である。この場合、環状の突部４２及びバンド状の締め付け部材が協同して、固定手段３４（３３）を構成することになる。
【００５５】
内圧変動吸収装置３は、図９に示すように、ダクト２０を通過する空気に含まれる水分を除去する水分除去手段４５を備えていてもよい。水分除去手段４５は、ダクト２０に配設されていて、水分を吸着する吸着部材（図示省略）を内蔵している。この構成であれば、ダクト２０を通して試験空間に戻る空気の水分が除去されるため、ダクト２０に流入する空気に水分が含まれているとしても、その量を少なくすることができる。
【００５６】
この吸着部材は、図１０に示すように、着脱可能であってもよい。具体的には、水分除去手段４５は、ダクト２０に固定されたケーシング４５ａと、このケーシング４５ａに着脱可能な装着部４５ｂとを有し、この装着部４５ｂに吸着部材が配設されている。装着部の側面（左右両側）には開口が形成されていて、この開口を通してダクト２０内の空気が装着部４５ｂ内に流入する。ケーシング４５ａ内には、装着部４５ｂを挿入するための挿入孔が形成されていて、この挿入孔はダクト２０内に連通している。そして、挿入孔に装着部４５ｂを挿入すると、装着部４５ｂ内の吸着部材が、ダクト２０内を流れる空気と接触可能となる。この態様では、水分除去手段４５による水分除去能力が低下した場合等でも吸着部材を交換することにより、水分除去能力を回復させることができる。しかも、吸着部材のみを交換すれば足りるため、交換作業が繁雑になることもない。
【００５７】
前記実施形態では、胴部２２が、両端が開口する筒状に形成された例について説明した。参考例として、図１１に示す胴部２２は、一端が閉じられた筒状に形成されている。この胴部２２は、両端が開口した筒状の部材の一端の開口を融着、接着等によって閉じたものである。
【００５８】
この圧力調整部２１に用いられる蓋部２３は、前記実施形態の圧力調整部２１に用いられた下側蓋部２３と同じ構造のものでもよいが、図１１には、蓋部２３として、蓋部本体２３ａの底部２３ｂが中空状の箱形に形成された例を示している。そして、底部２３ｂの上面（一面）に側部２３ｃが形成される一方、底部２３ｂの側面にダクト２０の取付け部２３ｅが設けられている。側部２３ｃの形状は前記実施形態で説明した形状と同様の形状である。底部２３ｂの上面における側部２３ｃの内側には開口が形成されており、底部２３ｂ内の空間はこの開口を通して、側部２３ｃに取付けられた胴部２２の内側空間（圧力調整用空間ＡＳ）と連通する。この中空構造の蓋部本体２３ａは、図２に示す両端が開口した筒状の胴部２２の一端側の開口を塞ぐのに用いられてもよい。
【００５９】
また、図１１に示す底部２３ｂは対向する一対の面（上面及び下面）が箱形に形成されているが、これに代え、一対の面（上面及び下面）が円形、楕円形、長円形等に形成されていてもよい。
【００６０】
ダクト２０の取付け部２３ｅは、底部２３ｂの側面に形成される構成に限られるものではなく、例えば図１２に示すように、側部２３ｃが設けられた面に形成されていてもよい。あるいは、取付け部２３ｅは、側部２３ｃが設けられた面（例えば上面）に対向する面（例えば下面）に設けられていてもよい。
【００６１】
また、図１１又は図１２に示した蓋部２３、その他変形例として説明した蓋部２３を、前記実施形態の下側蓋部２３（第１蓋部）として用いてもよい。
【符号の説明】
【００６２】
１  環境試験装置
２  試験装置本体
３  内圧変動吸収装置
５  試験室
２０  ダクト
２１  圧力調整部
２２  胴部
２３  下側蓋部
２３ａ  蓋部本体
２３ｂ  底部
２３ｃ  側部
２３ｅ  取付け部
２４  上側蓋部
２４ｂ  底部
２４ｃ  側部
３３  第１固定手段
３４  第２固定手段
４０  パッキンシート
４２  突部
４５  水分除去手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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