(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロボットアームと、
前記ロボットアームに設けられ、前記ロボットアームを駆動させる１以上のアクチュエータと、
前記ロボットアームの内最も基端側に位置するアクチュエータの基部に設けられたセンサ固定治具と、
前記センサ固定治具に略同一円周上に配置され、それぞれの長手方向が放射状の向きとなるように設けられ、前記ロボットアームを構成する構造材料よりも固有振動数が大きい圧電体を有する複数のひずみセンサと、を有する
ことを特徴とするロボット。
【請求項２】
前記センサ固定治具は、
前記ロボットアームの筐体又はロボットの筐体の内側に設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載のロボット。
【請求項３】
前記ひずみセンサは、
前記センサ固定治具に少なくとも３つ設けられている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のロボット。
【請求項４】
前記少なくとも３つのひずみセンサは、
同一円周上に等間隔に配置され、各ひずみセンサが放射状の向きとなるように配置されている
ことを特徴とする請求項３に記載のロボット。
【請求項５】
前記センサ固定治具は、
中央に開口を有する円環形状に形成されている
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のロボット。
【請求項６】
前記ひずみセンサは、
圧電体として水晶が用いられたセンサである
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロボットアームを有するロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
ロボットの分野では、ロボット自身あるいはロボットの周囲に存在する物体に対して過剰な負荷が生じることを回避することが求められている。このため、ロボットに対する接触（外力）の有無を検出することが必要となる。
【０００３】
例えば、特許文献１には、ロボットアームの基端に外力を検出するための力検出器を取り付け、力検出器の検出結果に基づいてロボットアームの動作を停止させたり、過度な外力がかかった場合に外力が低減する方向にロボットアームを動作させる等の技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２１２８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ロボットの機能性の向上を図るためには、ロボットアームに対する接触の有無等を高精度に検出することが要求される。
【０００６】
上記従来技術では、力検出器として６軸力センサを用いており、ロボットアームに作用する実際の外力の大きさを検出するため、ロボットアームの接触に対する応答性が遅いことが考えられる。また、軽度の接触や瞬間的な接触等の場合に十分な検出をすることができないことも考えられる。
【０００７】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、ロボットの機能性を向上できるロボットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明のロボットは、ロボットアームと、前記ロボットアームに設けられ、前記ロボットアームを駆動させる１以上のアクチュエータと、前記ロボットアームの内最も基端側に位置するアクチュエータの基部に設けられたセンサ固定治具と、前記センサ固定治具に略同一円周上に配置され、それぞれの長手方向が放射状の向きとなるように設けられ、前記ロボットアームを構成する構造材料よりも固有振動数が大きい圧電体を有する複数のひずみセンサと、を有することを特徴としている。
【０００９】
また、前記センサ固定治具は、前記ロボットアームの筐体又はロボットの筐体の内側に設けられていることが好ましい。
【００１０】
また、前記ひずみセンサは、前記センサ固定治具に少なくとも３つ設けられていることが好ましい。
【００１１】
また、前記少なくとも３つのひずみセンサは、同一円周上に等間隔に配置され、各ひずみセンサが放射状の向きとなるように配置されていることが好ましい。
【００１２】
また、前記センサ固定治具は、中央に開口を有する円環形状に形成されていることが好ましい。
【００１３】
また、前記ひずみセンサは、圧電体として水晶が用いられたセンサであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ロボットの機能性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施の形態のロボットを備えたロボットシステムの全体構成を概念的に表すシステム構成図である。
【図２】ロボットの構成を表すロボットの上面図である。
【図３】ロボットコントローラの機能構成を表す機能ブロック図である。
【図４】異常検出部の機能構成を表す機能ブロック図である。
【図５】センサ部、ハイパスフィルタ部、及び比較判定部の詳細を説明するための説明図である。
【図６】アームが異常のない状態で実行する所定の動作、及び、その間のセンサの出力値を説明するための説明図である。
【図７】稼働時においてアームが実行する所定の動作、及び、その間のセンサの出力値を説明するための説明図である。
【図８】アームの異常の有無を検出する手法の一例を説明するための説明図である。
【図９】ロボットコントローラが実行する制御手順を表すフローチャートである。
【図１０】物体の接触検出に適用する変形例において、稼働時においてアームが実行する所定の動作を表す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照しつつ説明する。本実施形態は、本発明のロボットを、一例として、ロボットアームの異常検出に適用した場合の例である。
【００１７】
図１は、本実施形態のロボットを備えたロボットシステムの全体構成を概念的に表すシステム構成図である。図２は、本実施形態のロボットの構成を表すロボットの上面図である。
【００１８】
図１及び図２において、本実施形態におけるロボットシステム１は、複数の物品Ｐを搬送するベルトコンベア２の一方側に設けられたロボット１００と、このロボット１００を制御するロボットコントローラ１５０とを備えている。ロボット１００は、双腕ロボットであり、基台１０１、胴体部１０２、２つのアーム１０３Ｌ，１０３Ｒ（ロボットアーム）、及び、２つのセンサ部１２０Ｌ，１２０Ｒを有している。
【００１９】
基台１０１は、設置面（床部等）に対し図示しないアンカーボルト等により固定されている。胴体部１０２は、回転軸Ａｘ１周りに回転駆動するアクチュエータＡｃ１が設けられた第１関節部を有している。この胴体部１０２は、基台１０１に対し第１関節部を介して旋回可能に設置されており、第１関節部に設けられたアクチュエータＡｃ１の駆動により上記設置面と略水平な方向に沿って旋回する。また、この胴体部１０２は、別体として構成されたアーム１０３Ｌ，１０３Ｒを、それぞれ一方側（図１及び図２中右側）及び他方側（図１及び図２中左側）において支持する。
【００２０】
アーム１０３Ｌは、胴体部１０２の一方側に設けられたマニピュレータであり、肩部１０４Ｌ、上腕Ａ部１０５Ｌ、上腕Ｂ部１０６Ｌ、下腕部１０７Ｌ、手首Ａ部１０８Ｌ、手首Ｂ部１０９Ｌ、フランジ１１０Ｌ、及びハンド１１１Ｌと、これら各部をそれぞれ回転駆動させるアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ８がそれぞれ設けられた第２〜第８関節部とを有している。
【００２１】
肩部１０４Ｌは、胴体部１０２に対し第２関節部を介して回転可能に連結されており、第２関節部に設けられたアクチュエータＡｃ２の駆動により上記設置面に対して略水平な回転軸Ａｘ２周りに回転する。上腕Ａ部１０５Ｌは、肩部１０４Ｌに対し第３関節部を介して旋回可能に連結されており、第３関節部に設けられたアクチュエータＡｃ３の駆動により回転軸Ａｘ２に対して直交する回転軸Ａｘ３周りに旋回する。上腕Ｂ部１０６Ｌは、上腕Ａ部１０５Ｌの先端に対し第４関節部を介して回転可能に連結されており、第４関節部に設けられたアクチュエータＡｃ４の駆動により回転軸Ａｘ３に対して直交する回転軸Ａｘ４周りに回転する。下腕部１０７Ｌは、上腕Ｂ部１０６Ｌに対し第５関節部を介して旋回可能に連結されており、第５関節部に設けられたアクチュエータＡｃ５の駆動により回転軸Ａｘ４に対して直交する回転軸Ａｘ５周りに旋回する。手首Ａ部１０８Ｌは、下腕部１０７Ｌの先端に対し第６関節部を介して回転可能に連結されており、第６関節部に設けられたアクチュエータＡｃ６の駆動により回転軸Ａｘ５に対して直交する回転軸Ａｘ６周りに回転する。手首Ｂ部１０９Ｌは、手首Ａ部１０８Ｌに対し第７関節部を介して旋回可能に連結されており、第７関節部に設けられたアクチュエータＡｃ７の駆動により回転軸Ａｘ６に対して直交する回転軸Ａｘ７周りに旋回する。フランジ１１０Ｌは、手首Ｂ部１０９Ｌの先端に対し第８関節部を介して回転可能に連結されており、第８関節部に設けられたアクチュエータＡｃ８の駆動により回転軸Ａｘ７に対して直交する回転軸Ａｘ８周りに回転する。ハンド１１１Ｌは、フランジ１１０Ｌの先端に対し取り付けられており、フランジ１１０Ｌの回転により従動的に回転する。
【００２２】
アーム１０３Ｒは、胴体部１０２の他方側に設けられたマニピュレータであり、上記アーム１０３Ｌと同様の構造を備えている。このアーム１０３Ｒは、肩部１０４Ｒ、上腕Ａ部１０５Ｒ、上腕Ｂ部１０６Ｒ、下腕部１０７Ｒ、手首Ａ部１０８Ｒ、手首Ｂ部１０９Ｒ、フランジ１１０Ｒ、及びハンド１１１Ｒと、これら各部をそれぞれ回転駆動させるアクチュエータＡｃ９〜Ａｃ１５がそれぞれ設けられた第９〜第１５関節部とを有している。
【００２３】
肩部１０４Ｒは、胴体部１０２に対し第９関節部を介して回転可能に連結されており、第９関節部に設けられたアクチュエータＡｃ９の駆動により上記設置面に対して略水平な回転軸Ａｘ９周りに回転する。上腕Ａ部１０５Ｒは、肩部１０４Ｒに対し第１０関節部を介して旋回可能に連結されており、第１０関節部に設けられたアクチュエータＡｃ１０の駆動により回転軸Ａｘ９に対して直交する回転軸Ａｘ１０周りに旋回する。上腕Ｂ部１０６Ｒは、上腕Ａ部１０５Ｒの先端に対し第１１関節部を介して回転可能に連結されており、第１１関節部に設けられたアクチュエータＡｃ１１の駆動により回転軸Ａｘ１０に対して直交する回転軸Ａｘ１１周りに回転する。下腕部１０７Ｒは、上腕Ｂ部１０６Ｒに対し第１２関節部を介して旋回可能に連結されており、第１２関節部に設けられたアクチュエータＡｃ１２の駆動により回転軸Ａｘ１１に対して直交する回転軸Ａｘ１２周りに旋回する。手首Ａ部１０８Ｒは、下腕部１０７Ｒの先端に対し第１３関節部を介して回転可能に連結されており、第１３関節部に設けられたアクチュエータＡｃ１３の駆動により回転軸Ａｘ１２に対して直交する回転軸Ａｘ１３周りに回転する。手首Ｂ部１０９Ｒは、手首Ａ部１０８Ｒに対し第１４関節部を介して旋回可能に連結されており、第１４関節部に設けられたアクチュエータＡｃ１４の駆動により回転軸Ａｘ１３に対して直交する回転軸Ａｘ１４周りに旋回する。フランジ１１０Ｒは、手首Ｂ部１０９Ｒの先端に対し第１５関節部を介して回転可能に連結されており、第１５関節部に設けられたアクチュエータＡｃ１５の駆動により回転軸Ａｘ１４に対して直交する回転軸Ａｘ１５周りに回転する。ハンド１１１Ｒは、フランジ１１０Ｒの先端に対し取り付けられており、フランジ１１０Ｒの回転により従動的に回転する。
【００２４】
なお、この例では、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒは、７つの関節部すなわち７自由度（冗長自由度）を有しているが、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの自由度は「７」に限られない。
【００２５】
これらアーム１０３Ｌ，１０３Ｒの肩部１０４Ｌ，１０４Ｒ、上腕Ａ部１０５Ｌ，１０５Ｒ、上腕Ｂ部１０６Ｌ，１０６Ｒ、下腕部１０７Ｌ，１０７Ｒ、手首Ａ部１０８Ｌ，１０８Ｒ、手首Ｂ部１０９Ｌ，１０９Ｒ、フランジ１１０Ｌ，１１０Ｒ、及びハンド１１１Ｌ，１１１Ｒを構成する構造材料は、例えば鉄やアルミニウム等の金属材料により構成されている。
【００２６】
また、図２に示すように、第１関節部の回転軸Ａｘ１と第２及び第９関節部の各回転軸Ａｘ２，Ａｘ９とは、上記設置面と略水平な方向に長さＤ１だけオフセットされるように、基台１０１に対して胴体部１０２が第１関節部から第２及び第９関節部にかけて水平前方にせり出すように形成されている。これにより、肩部１０４Ｌ，１０４Ｒの下方側の空間を作業スペースとすることができると共に、回転軸Ａｘ１を回転させることでアーム１０３Ｌ，１０３Ｒの可到範囲が拡大される。
【００２７】
さらに、第１１関節部の回転軸Ａｘ１１と第１２関節部の回転軸Ａｘ１２とは、上面視での位置が長さＤ２だけオフセットされるように、上腕Ｂ部１０６Ｒの形状が設定されている。そして、第１２関節部の回転軸Ａｘ１２と第１３関節部の回転軸Ａｘ１３とは、上面視での位置が長さＤ３だけオフセットされるように、下腕部１０７Ｒの形状が設定されており、回転軸Ａｘ１１と回転軸Ａｘ１３とが略水平となる姿勢をとったときに、回転軸Ａｘ１１と回転軸Ａｘ１３とのオフセット長さが（Ｄ２＋Ｄ３）となるようになっている。これにより、人間の「肘」に相当する第１２関節部を屈曲させたときに、人間の「上腕」に相当する上腕Ａ部１０５Ｒ及び上腕Ｂ部１０６Ｒと、人間の「下腕」に相当する下腕Ａ部１０７Ｒとの間のクリアランスを大きく確保することができ、ハンド１１１Ｒをより胴体部１０２に近づけた場合でもアーム１０３Ｒの動作自由度が拡大される。
【００２８】
またさらに、図２では明示していないが、アーム１０３Ｌについても同様に、第４関節部の回転軸Ａｘ４と第５関節部の回転軸Ａｘ５とは、上面視での位置が長さＤ２だけオフセットされるように、上腕Ｂ部１０６Ｌの形状が設定されている。そして、第５関節部の回転軸Ａｘ５と第６関節部の回転軸Ａｘ６とは、上面視での位置が長さＤ３だけオフセットされるように、下腕部１０７Ｌの形状が設定されており、回転軸Ａｘ４と回転軸Ａｘ６とが略水平となる姿勢をとったときに、回転軸Ａｘ４と回転軸Ａｘ６とのオフセット長さが（Ｄ２＋Ｄ３）となるようになっている。
【００２９】
センサ部１２０Ｌ，１２０Ｒは、それぞれ、図２に示すように、ロボット１００の外郭を構成する筐体（この例では胴体部１０２の外郭を構成する筐体）の内側に設けられ、円環形状に形成されたセンサ固定治具１２１と、少なくとも３つ（この例では３つ）の略直方体状のセンサ１２２（ひずみセンサ）とにより構成されている。センサ部１２０Ｌのセンサ固定治具１２１は、アーム１０３Ｌの内最も基端側に位置するアクチュエータＡｃ２の固定子の基部に取り付けられ、このセンサ固定治具１２１に設けられた３つのセンサ１２２は、アーム１０３Ｌにかかる力（詳細には、力の大きさそのものではなく、アーム１０３Ｌにかかる衝撃力に起因する振動等によるひずみ量）をそれぞれ検出可能となっている。センサ部１２０Ｒのセンサ固定治具１２１は、アーム１０３Ｒの内最も基端側に位置するアクチュエータＡｃ９の固定子の基部に取り付けられ、このセンサ固定治具１２１に設けられた３つのセンサ１２２は、アーム１０３Ｒにかかる力（詳細には、力の大きさそのものではなく、アーム１０３Ｒにかかる衝撃力に起因する振動等によるひずみ量）をそれぞれ検出可能となっている。このセンサ部１２０Ｌ，１２０Ｒの詳細については、後述する。
【００３０】
なお、この例では、センサ部１２０Ｌ，１２０Ｒのセンサ固定治具１２１を、胴体部１０２の筐体の内側にそれぞれ設けているが、これに限られず、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの筐体の内側にそれぞれ設けるようにしてもよい。また、この例では、センサ１２２を、センサ固定治具１２１に３つ設けているが、これに限られず、センサ固定治具１２１に４つ以上（例えば４つや５つ）設けるようにしてもよい。
【００３１】
上記のように構成されたロボット１００は、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒが上記ベルトコンベア２上の物品Ｐの両側より内側に向けて動作して、ハンド１１１Ｌ，１１１Ｒで物品Ｐを把持するように、各アクチュエータＡｃ１〜Ａｃ１５を含む各駆動部位の動作が、ロボットコントローラ１５０により制御されている。また、各アクチュエータＡｃ１〜Ａｃ１５は、それぞれ、図示しない配線を挿通可能な中空部を有する減速機一体型のサーボモータにより構成されており、各アクチュエータＡｃ１〜Ａｃ１５の回転位置は、各アクチュエータＡｃ１〜Ａｃ１５に内蔵された図示しないエンコーダからの信号として、ロボットコントローラ１５０に配線を介して入力されるようになっている。
【００３２】
図３は、ロボットコントローラ１５０の機能構成を表す機能ブロック図である。
【００３３】
図３において、ロボットコントローラ１５０は、図示しない演算器、記憶装置、入力装置等を備えたコンピュータにより構成されており、ロボット１００の各駆動部位や各センサ１２２と配線を介して相互通信可能に接続されている。このロボットコントローラ１５０は、動作指令部１５１、位置指令遮断部１５２、平滑化処理部１５３、サーボ部１５４、異常検出部１５５、把持トルク補償部１５６、及び重力トルク補償部１５７を有している。
【００３４】
動作指令部１５１は、入力装置を介して教示された各アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに対する教示情報（動作開始位置及び動作完了位置の情報）等に基づき、各アクチュエータＡｃ１〜Ａｃ１５に対する位置指令（動作指令）をそれぞれ算出し、位置指令遮断部１５２を介して平滑化処理部１５３にプールする。
【００３５】
平滑化処理部１５３は、所定の演算周期毎に、プールされた上記位置指令をサーボ部１５４に順次出力する。
【００３６】
サーボ部１５４は、各アクチュエータＡｃ１〜Ａｃ１５毎に、各アクチュエータＡｃ１〜Ａｃ１５のエンコーダの検出値による関節角度フィードバック回路Ｆｐと、各アクチュエータＡｃ１〜Ａｃ１５のエンコーダの検出値から得られる角速度検出値による関節角度フィードバック回路Ｆｖとを有している。このサーボ部１５４は、平滑化処理部１５３より順次入力される上記位置指令に基づき、上記所定の演算周期毎に、各アクチュエータＡｃ１〜Ａｃ１５に対するトルク指令Ｔｒｅｆを生成して出力する。
【００３７】
異常検出部１５５は、センサ部１２０Ｌ，１２０Ｒの各センサ１２２の出力値Ｖ（出力信号）に基づき、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに設けられたアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５や減速機等の回転部材の経年劣化等による異常の有無を検出する。なお、これに限られず、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒ自身の異常（アクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５や減速機等の回転部材の経年劣化等による異常や、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの筐体の異常等を含む）の有無を検出するようにしてもよい。この異常検出部１５５の詳細については、後述する。
【００３８】
位置指令遮断部１５２は、異常検出部１５５によりアーム１０３Ｌ，１０３ＲのアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等の異常が検出された場合に、動作指令部１５１から平滑化処理部１５３への上記位置指令の出力を遮断し、サーボ部１５４に伝達される位置指令を遮断する。なお、サーボ部１５４への位置指令が遮断されると、フィードバックにより出力されるトルク指令Ｔｒｅｆの値が減少して、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒは速やかに停止動作に入る。
【００３９】
把持トルク補償部１５６は、各アクチュエータＡｃ１〜Ａｃ１５に対するサーボ部１５４により生成される上記トルク指令Ｔｒｅｆに、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒが物品Ｐを把持するための把持補償トルクを付加する。
【００４０】
重力トルク補償部１５７は、各アクチュエータＡｃ１〜Ａｃ１５に対するサーボ部１５４により生成される上記トルク指令Ｔｒｅｆに、自重分の重力補償トルクを付加する。
【００４１】
図４は、異常検出部１５５の機能構成を表す機能ブロック図である。
【００４２】
図４において、異常検出部１５５は、ハイパスフィルタ部１６１、区間設定部１６２、規範波形記録部１６３、出力波形記録部１６７、比較判定部１６４、零点調整部１６５、及び閾値設定部１６６を有している。
【００４３】
ハイパスフィルタ部１６１は、センサ部１２０Ｌ，１２０Ｒの各センサ１２２の出力信号に含まれる、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの異常に起因する周波数以外の周波数成分（例えば外乱に起因する周波数成分等）を除去するために、各センサ１２２の出力信号の高周波振動成分をそれぞれ抽出する。このハイパスフィルタ部１６１の詳細については、後述する。
【００４４】
区間設定部１６２は、入力装置を介して入力された入力情報に基づき、規範波形記録部１６３によりセンサ１２２の出力値Ｖの時間履歴を波形で表した規範波形として記録する区間（以下適宜、単に「記録区間」と称する）を設定する。
【００４５】
規範波形記録部１６３は、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに異常のない状態で、区間設定部１６２で設定した記録区間に対応する所定の動作を、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒが行う間の、ハイパスフィルタ部１６１により抽出された高周波振動成分に基づく各センサ１２２の出力値Ｖの時間履歴を、各センサ１２２毎に規範波形（後述の図６（ｂ）参照）としてそれぞれ記録する。ここで、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに異常がない状態とは、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの筐体（構造部材やカバー部材あるいは配線等を含む）、及び、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに設けられたアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５や減速機等に、構造上及び機能上の欠陥・故障がなく、これらが正常に動作する状態で、且つ、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに意図しない接触や干渉が生じていない状態をいう。例えば、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの筐体、及び、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに設けられたアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５や減速機等が正常に動作することを点検した直後の状態や、初期不良のない初期稼働時の状態等が該当する。また、所定の動作とは、入力装置を介して教示された教示情報（動作開始位置及び動作完了位置の情報）等に基づいて上記動作指令部１５１により算出された位置指令に応じた動作である。
【００４６】
出力波形記録部１６７は、稼働時においてアーム１０３Ｌ，１０３Ｒが上記所定の動作を行う間の、ハイパスフィルタ部１６１により抽出された高周波振動成分に基づく各センサ１２２の出力値Ｖの時間履歴を、各センサ１２２毎に出力波形（後述の図７（ｂ）参照）としてそれぞれ記録する。本実施形態では、稼働時において可動範囲内に把持対象となる物品Ｐが存在しないとき（例えば物品Ｐの搬送開始直後や搬送を中断して行う点検時等）にアーム１０３Ｌ，１０３Ｒが所定の動作を行う間の、上記各センサ１２２の出力値Ｖの時間履歴を、各センサ１２２毎に出力波形として記録するようになっている。なお、これに限られず、稼働時において可動範囲内に把持対象となる物品Ｐが存在するときにアーム１０３Ｌ，１０３Ｒが上記所定の動作を行う間の、上記各センサ１２２の出力値Ｖの時間履歴を、各センサ１２２毎に出力波形として記録するようにしてもよい。
【００４７】
閾値設定部１６６は、入力装置を介して入力された入力情報に基づき、比較判定部１６４における異常有無の判定値となる閾値Ｄｔｈを設定する。
【００４８】
比較判定部１６４は、規範波形記録部１６３に各センサ１２２毎に記録された規範波形と、出力波形記録部１６７に各センサ１２２毎に記録された出力波形とを、各センサ１２２毎にそれぞれ比較することにより、各センサ１２２毎に規範波形と出力波形との差（詳細には当該差の絶対値）｜Ｄ｜をそれぞれ算出する。そして、各センサ１２２毎に算出した差｜Ｄ｜が、一定時間の間（この例ではアーム１０３Ｌ，１０３Ｒが上記所定の動作を１回行う間）に閾値設定部１６６により予め設定された閾値Ｄｔｈを超えた回数Ｎ（以下適宜、「超過回数Ｎ」と称する）を、各センサ１２２毎にそれぞれカウントする。なお、一定時間の間としては、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒが所定の動作を１回行う間に限られず、例えば入力装置を介して設定した時間の間等でもよい。そして、各センサ１２２毎にカウントした超過回数Ｎが、所定の判定回数Ｎｊを超えたかどうかを、各センサ１２２ごとにそれぞれ判定することにより、アーム１０３Ｌ，１０３ＲのアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等の異常の有無を判定する。この比較判定部１６４の詳細については、後述する。
【００４９】
零点調整部１６５は、アーム１０３Ｌ，１０３ＲのアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５の発熱等による周囲温度の変動や自己発熱によって生じる各センサ１２２の温度ドリフトの影響を抑制するために、区間設定部１６２で設定した記録区間に対応する上記所定の動作をアーム１０３Ｌ，１０３Ｒが実行する毎に、各センサ１２２に対しリセット信号をそれぞれ出力して、各センサ１２２の零点調整をそれぞれ行う。
【００５０】
図５は、センサ部１２０Ｌ，１２０Ｒ、ハイパスフィルタ部１６１、及び比較判定部１６４の詳細を説明するための説明図である。なお、この図５中では、上記規範波形記録部１６３及び出力波形記録部１６７等の図示を省略している。
【００５１】
図５において、前述したように、センサ部１２０Ｌ，１２０Ｒは、それぞれ、胴体部１０２の筐体の内側に設けられ、円環形状に形成されたセンサ固定治具１２１と、センサ固定治具１２１に設けられた３つの略直方体状のセンサ１２２とにより構成されている。センサ部１２０Ｌ，１２０Ｒのセンサ固定治具１２１は、略中央に、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに設けられたアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等の配線を挿通可能な開口１２１Ａをそれぞれ有している。センサ部１２０Ｌの３つのセンサ１２２は、センサ固定治具１２１の内側の面、すなわち上記アクチュエータＡｃ２の固定子の基部への取り付け面ではない方の面（図２中左側の面、図５中紙面手前側の面）に、略同一円周上に略等間隔に配置され、各センサ１２２が放射状の向きとなるように配置されている。センサ部１２０Ｒの３つのセンサ１２２は、センサ固定治具１２１の内側の面、すなわち上記アクチュエータＡｃ９の固定子の基部への取り付け面ではない方の面（図２中右側の面、図５中紙面手前側の面）に、略同一円周上に略等間隔に配置され、各センサ１２２が放射状の向きとなるように配置されている。
【００５２】
本実施形態では、各センサ１２２として、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの各部を構成する構造材料である上記金属材料よりも固有振動数（あるいは剛性）が大きい材質の圧電体を有する力センサ、この例では圧電体として水晶が用いられたセンサが、それぞれ使用されている。これは、一般に、固有振動数が大きい力センサほど、より高い周波数成分を含んだ変動力を検出することができ、水晶は、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの各部を構成する構造材料である上記金属材料よりも固有振動数（あるいは剛性）が大きいためである。したがって、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの各部の構造材料に伝わる微小な高周波振動（速い変形）までも検知することができる。
【００５３】
なお、各センサ１２２としては、圧電体として水晶が用いられたセンサに限られず、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの各部を構成する構造材料よりも固有振動数が大きい圧電体を有する力センサであればよい。ここで、１つのセンサ１２２は、センサ固定治具１２１に生じた一方向のひずみを検出するのに対し、アーム１０３Ｌ，１０３ＲのアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５や減速機等の回転部材の異常による異常振動や衝撃等は、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの各部の構造材料を通じてセンサ固定治具１２１に対し複数の方向から伝わる。したがって、上記のように各センサ固定治具１２１に３つのセンサ１２２を設けることにより、各センサ固定治具１２１に生じた３方向のひずみを検出することができる。センサ部１２０Ｌの各センサ１２２は、それぞれ、アーム１０３Ｌにかかる力に起因するセンサ固定治具１２１のラジアル方向のひずみ量を電圧として検出し、センサ部１２０Ｒの各センサ１２２は、それぞれ、アーム１０３Ｒにかかる力に起因するセンサ固定治具１２１のラジアル方向のひずみ量を電圧として検出する。各センサ部１２２で得られた電圧は、アンプ部１２３を介してそれぞれ増幅され、ハイパスフィルタ部１６１の各ハイパスフィルタ１６１Ａ（後述）にそれぞれ入力されるようになっている。
【００５４】
ハイパスフィルタ部１６１は、センサ１２２の出力信号の高周波振動成分を抽出可能な複数のハイパスフィルタ１６１Ａ（又は高周波数帯域を通過帯域とするバンドパスフィルタでもよい）を有しており、これら各ハイパスフィルタ１６１Ａにより、アンプ部１２３を介して増幅された各センサ１２２の出力信号の高周波振動成分をそれぞれ抽出する。なお、各ハイパスフィルタ１６１Ａは、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの異常に起因する周波数以外の周波数成分（例えばアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５の動作等の接触以外の事象に起因する周波数成分等）を除去できるように、カットオフ周波数が決定されている。
【００５５】
比較判定部１６４は、上述したように、各センサ１２２毎にカウントした上記超過回数Ｎが判定回数Ｎｊを超えたかどうかを、各センサ１２２毎に判定することにより、アーム１０３Ｌ，１０３ＲのアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等の異常の有無を判定する。具体的には、各センサ１２２に係わる超過回数Ｎのうち、全てのセンサ１２２に係わる超過回数Ｎが判定回数Ｎｊ以内である場合には、アクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等に異常がないと判定し、各センサ１２２に係わる超過回数Ｎのうち、いずれか１つのセンサ１２２に係わる超過回数Ｎが判定回数Ｎｊを超えた場合には、アクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等に異常があると判定する。
【００５６】
なお、比較判定部１６４は、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの動作速度に応じて上記判定回数Ｎｊを変更しつつ上記判定を行っている。すなわち、アーム１０３Ｌ，１０３ＲのアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５や減速機等の回転部材に経年劣化による異常等があり、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒが動作する際に周期的な異常振動や衝撃等を生じる場合、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの動作速度が速い場合には周期的な異常振動等の回数は多くなり、動作速度が遅い場合には周期的な異常振動等の回数は少なくなる。このため、上記判定回数Ｎｊを一定の値とした場合には、動作速度によっては異常の誤検出を招くことになる。そこで本実施形態では、比較判定部１６４がアーム１０３Ｌ，１０３Ｒの動作速度に応じて判定回数Ｎｊを変更しつつ上記判定を行うことで、このような誤検出を防止している。
【００５７】
図６は、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒが異常のない状態で実行する所定の動作、及び、その間のセンサ１２２の出力値Ｖを説明するための説明図である。
【００５８】
図６（ａ）には、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒが異常のない状態で実行する所定の動作の一例を模式的に表している。図６（ａ）に示す例では、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒは、例えば教示時に、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに異常がない状態、且つ、把持対象である物品Ｐが存在せず、ロボット１００の周囲（アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの可動範囲内）に障害物が存在しないような環境下、すなわちアーム１０３Ｌ，１０３Ｒに対する物体の接触がない状態で、ロボットコントローラ１５０からの上記位置指令に応じた所定の動作、すなわち教示された動作開始位置（図６（ａ）中左側に示す位置）から教示された動作完了位置（図６（ａ）中右側に示す位置）までの動作を実行している。なお、動作完了位置は、ハンド１１１Ｌ，１１１Ｒが上記ベルトコンベア２により搬送される物品Ｐのうち最小の物品Ｐを把持可能な位置に設定されている。
【００５９】
図６（ｂ）には、横軸に時間ｔをとり、縦軸にセンサ１２２の出力値Ｖをとって、上記図６（ａ）に示す動作に対応して規範波形記録部１６３に記録された規範波形の一例を表している。図６（ｂ）に示す例では、規範波形記録部１６３には、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒが異常のない状態で前述の記録区間に対応する上記図６（ａ）に示す動作を１回行う間のセンサ１２２の出力値Ｖの時間履歴が、規範波形として記録されている。なお、規範波形の記録は、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに異常がない状態であればいつでも可能であるが、本実施形態ではロボット１００への所定の動作の教示時に記録する場合を一例として説明する。
【００６０】
図７は、稼働時においてアーム１０３Ｌ，１０３Ｒが実行する所定の動作、及び、その間のセンサ１２２の出力値Ｖを説明するための説明図である。
【００６１】
図７（ａ）には、稼働時においてアーム１０３Ｌ，１０３Ｒが実行する所定の動作の一例を模式的に表している。図７（ａ）に示す例では、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒは、稼働時において可動範囲内に把持対象である物品Ｐが存在しないとき（例えば物品Ｐの搬送開始直後や搬送を中断して行う点検時等）に、アーム１０３Ｌ，１０３ＲのアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５や減速機等の回転部材に経年劣化による異常のある状態で、ロボットコントローラ１５０からの上記位置指令に応じた上記所定の動作、すなわち教示された動作開始位置（図７（ａ）中左側に示す位置）から教示された動作完了位置（図７（ａ）中右側に示す位置）までの動作を実行している。なお、この図７（ａ）に示す例では、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒは、上記のように可動範囲内に把持対象である物品Ｐが存在しないときに上記所定の動作を実行する場合を示しているので、ハンド１１１Ｌ，１１１Ｒで物品Ｐを把持することなく、上記図６（ａ）と同様の動作完了位置まで動作を実行している。なお、図示はしていないが、把持対象である物品Ｐが存在する場合には、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒは、動作開始位置から上記ベルトコンベア２上の物品Ｐの両側より内側に向けて動作し、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに対して物品Ｐが接触したら、その位置で動作を停止してハンド１１１Ｌ，１１１Ｒで物品Ｐを把持するようになっている。
【００６２】
図７（ｂ）には、横軸に時間ｔをとり、縦軸にセンサ１２２の出力値Ｖをとって、上記図７（ａ）に示す動作に対応して出力波形記録部１６７に記録された出力波形の一例を表している。図７（ｂ）に示す例では、出力波形記録部１６７には、アーム１０３Ｌ、１０３ＲがアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５や減速機等の回転部材に経年劣化による異常のある状態で上記図７（ａ）に示す動作を１回行う間のセンサ１２２の出力値Ｖの時間履歴が、出力波形として記録されている。ここで、この例のように、アーム１０３Ｌ，１０３ＲのアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５や減速機等の回転部材に経年劣化による異常等がある場合には、異常箇所が回転位相中に周期的にあらわれるためアーム１０３Ｌ，１０３Ｒが動作する際に周期的な異常振動や衝撃等を生じ易い。一般に、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに異常振動や衝撃等が生じたときには、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに当該異常振動や衝撃等に起因する衝撃力が伝達されるので、異常振動や衝撃等が生じていないときに比べて、センサ１２２の出力値Ｖが大きくなる傾向にある。したがって、アクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５や減速機等の回転部材に経年劣化による異常等がある場合には、出力波形中にセンサ１２２の出力値Ｖが大きくなる区間が周期的に存在することになる。図７（ｂ）に示す出力波形中には、周期的にセンサ１２２の出力値Ｖが大きくなる区間が４箇所存在している。
【００６３】
図８は、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの異常の有無を検出する手法の一例を説明するための説明図である。図８（ａ）には、横軸に時間ｔをとり、縦軸にセンサ１２２の出力値Ｖをとって、上記図６（ｂ）に対応する規範波形を表すと共に、上記図７（ｂ）に対応する出力波形を表している。図８（ｂ）には、横軸に時間ｔをとり、縦軸に上記差｜Ｄ｜をとって、差｜Ｄ｜の時系列変化を波形で表している。
【００６４】
図８（ａ）（ｂ）において、上述したように、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに異常がある場合、出力波形中にセンサ１２２の出力値Ｖが大きくなる区間が周期的に存在する。したがって、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに異常のない状態で規範波形記録部１６３に記録した教示時の規範波形と、出力波形記録部１６７に記録した稼働時の出力波形との２つの波形同士を比較することで、規範波形に対する出力波形の周期的な変動を検出することができるので、アーム１０３Ｌ，１０３ＲのアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等に異常があるかどうかを検出することができる。すなわち、規範波形と出力波形との差｜Ｄ｜がアーム１０３Ｌ，１０３Ｒが上記所定の動作を１回行う間に前述の閾値Ｄｔｈを超えた超過回数Ｎが、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの動作速度に応じた前述の判定回数Ｎｊを超えたかどうかを判定することにより、のアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等の異常の有無を判定することができる。具体的には、超過回数Ｎが判定回数Ｎｊ以内である場合には、アクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等に異常がないと判定し、超過回数Ｎが判定回数Ｎｊを超えた場合に、アクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等に異常があると判定することができる。図８（ａ）（ｂ）に示す例では、上記超過回数Ｎは図８（ｂ）に示すように「４」であるので、上記判定回数Ｎｊが「３」以下である場合に、アクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等に異常があると判定される。
【００６５】
図９は、ロボットコントローラ１５０が実行する制御手順を表すフローチャートである。
【００６６】
図９において、このフローに示す処理は、例えば入力装置を介して所定の動作開始操作が行われることによって開始される。まずステップＳ１０で、ロボットコントローラ１５０は、入力装置を介して入力された入力情報に基づき、ロボット１００の動作モードが、教示を行う「教示モード」と、稼働を行う「稼働モード」とのうち、「教示モード」であるかどうかを判定する。ロボット１００の動作モードが「教示モード」である場合には、ステップＳ１０の判定が満たされて、ステップＳ２０に移る。
【００６７】
ステップＳ２０では、ロボットコントローラ１５０は、区間設定部１６２において、入力装置を介して入力された入力情報に基づき、前述の記録区間を設定する。
【００６８】
その後、ステップＳ３０で、ロボットコントローラ１５０は、零点調整部１６５において、各センサ１２２に対し上記リセット信号を出力して、各センサ１２２の零点調整を行う。
【００６９】
そして、ステップＳ４０に移り、ロボットコントローラ１５０は、入力装置を介して教示された各アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに対する教示情報（動作開始位置及び動作完了位置の情報）等に基づいて動作指令部１５１において算出した各アクチュエータＡｃ１〜Ａｃ１５に対する位置指令を、各アクチュエータＡｃ１〜Ａｃ１５に対して出力して、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに異常のない状態、且つ、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに対する物体の接触のない状態で、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに当該位置指令に応じた所定の動作（図６（ａ）参照）を開始させる。
【００７０】
その後、ステップＳ５０で、ロボットコントローラ１５０は、規範波形記録部１６３において、各センサ１２２毎に規範波形の記録を開始する。したがって、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに異常のない状態且つ物体の接触のない状態で、上記ステップＳ２０で設定した記録区間に対応する上記ステップＳ４０で開始した所定の動作をアーム１０３Ｌ，１０３Ｒが行う間は、規範波形記録部１６３は、上記アンプ部１２３を介して増幅され、上記各ハイパスフィルタ１６１Ａにより抽出された高周波振動成分に基づく各センサ１２２の出力値Ｖの時間履歴を、各センサ１２２毎に規範波形として記録する。
【００７１】
そして、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒが動作完了位置まで動作したら、ステップＳ６０に移り、ロボットコントローラ１５０は、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに動作を完了させる。
【００７２】
その後、ステップＳ７０で、ロボットコントローラ１５０は、規範波形記録部１６３において、各センサ１２２についての規範波形の記録を完了する。そして、このフローに示す処理を終了する。なお、このフローに示す処理は、入力装置を介して所定の動作開始操作が行われる度に、ロボットコントローラ１５０により実行される。
【００７３】
一方、上記ステップＳ１０において、ロボット１００の動作モードが「稼働モード」であった場合には、ステップＳ１０の判定が満たされず、ステップＳ８０に移る。
【００７４】
ステップＳ８０では、ロボットコントローラ１５０は、閾値設定部１６６において、入力装置を介して入力された入力情報に基づき、前述の閾値Ｄｔｈを設定する。
【００７５】
そして、ステップＳ９０に移り、ロボットコントローラ１５０は、零点調整部１６５において、上記ステップＳ３０と同様、各センサ１２２の零点調整を行う。
【００７６】
その後、ステップＳ１００で、ロボットコントローラ１５０は、入力装置を介して教示された各アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに対する教示情報（動作開始位置及び動作完了位置の情報）等に基づいて動作指令部１５１において算出した各アクチュエータＡｃ１〜Ａｃ１５に対する位置指令を、各アクチュエータＡｃ１〜Ａｃ１５に対して出力して、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの可動範囲内に把持対象である物品Ｐが存在しないときに、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに当該位置指令に応じた所定の動作（図７（ａ）参照）を開始させる。
【００７７】
そして、ステップＳ１１０に移り、ロボットコントローラ１５０は、出力波形記録部１６７において、各センサ１２２毎に出力波形の記録を開始する。したがって、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの可動範囲内に把持対象である物品Ｐが存在しないときに、上記ステップＳ４０で開始した所定の動作をアーム１０３Ｌ，１０３Ｒが行う間は、出力波形記録部１６７は、上記アンプ部１２３を介して増幅され、上記各ハイパスフィルタ１６１Ａにより抽出された高周波振動成分に基づく各センサ１２２の出力値Ｖの時間履歴を、各センサ１２２毎に出力波形として記録する。
【００７８】
その後、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒが動作完了位置まで動作したら、ステップＳ１２０に移り、ロボットコントローラ１５０は、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに動作を完了させる。
【００７９】
そして、ステップＳ１３０に移り、ロボットコントローラ１５０は、出力波形記録部１６７において、各センサ１２２についての出力波形の記録を完了する。
【００８０】
その後、ステップＳ１４０で、ロボットコントローラ１５０は、比較判定部１６４において、上記規範波形記録部１６３に各センサ１２２毎に記録された規範波形と、上記出力波形記録部１６７に各センサ１２２毎に記録された出力波形とを、各センサ１２２毎に比較することにより、各センサ１２２毎に前述の差｜Ｄ｜を算出する。そして、各センサ１２２毎に算出した差｜Ｄ｜が、上記ステップＳ１００で開始しステップＳ１２０で完了した所定の動作をアーム１０３Ｌ，１０３Ｒが１回行う間に、上記ステップＳ８０で設定した閾値Ｄｔｈを超えた超過回数Ｎを、各センサ１２２毎にカウントする。そして、各センサ１２２毎にカウントした超過回数Ｎが、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの動作速度に応じて設定した判定回数Ｎｊを超えたかどうかを、各センサ１２２毎に判定することにより、アーム１０３Ｌ，１０３ＲのアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等の異常の有無を判定する。具体的には、全てのセンサ１２２に係わる超過回数Ｎが判定回数Ｎｊ以内である場合には、アクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等に異常がないと判定し、いずれか１つのセンサ１２２に係わる超過回数Ｎが判定回数Ｎｊを超えた場合には、アクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等に異常があると判定する。
【００８１】
そして、ステップＳ１５０に移り、ロボットコントローラ１５０は、上記ステップＳ１４０でアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等に異常があると判定されたかどうかを判定する。アクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等に異常がないと判定されていた場合には、ステップＳ１５０の判定が満たされず、このフローに示す処理を終了する。一方、アクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等に異常があると判定されていた場合には、ステップＳ１５０の判定が満たされて、ステップＳ１６０に移る。
【００８２】
ステップＳ１６０では、ロボットコントローラ１５０は、位置指令遮断部１５２において、動作指令部１５１から平滑化処理部１５３への上記位置指令の出力を遮断すると共に、サーボ部１５４により生成される前述のトルク指令Ｔｒｅｆを各アクチュエータＡｃ１〜Ａｃ１５に出力して、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに教示された動作を停止させると共に、図示しない報知部において、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの異常を外部に報知する。その後、このフローに示す処理を終了する。
【００８３】
以上説明したように、本実施形態のロボット１００は、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒを有しており、それらアーム１０３Ｌ，１０３Ｒの最も基端部に位置するアクチュエータＡｃ２，Ａｃ９の基部に設けられたセンサ固定治具１２１には、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの各部を構成する構造材料（上記の例では鉄やアルミニウム等の金属材料）よりも固有振動数が大きい圧電体を有するセンサ１２２が（上記の例では３つ）設けられている。センサ１２２をアーム１０３Ｌ，１０３Ｒの各部を構成する構造材料よりも固有振動数が大きい圧電体を有するセンサとしたことにより、次の効果を得ることができる。すなわち、アーム１０３Ｌ，１０３ＲのアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５や減速機等の回転部材に経年劣化による異常等がある場合、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒが動作する際に周期的な異常振動や衝撃等を生じる場合がある。そこでアーム１０３Ｌ，１０３Ｒの各部の構造材料よりも固有振動数が大きい圧電体を有するセンサ１２２を設けることによって、上記異常によりアーム１０３Ｌ，１０３Ｒの各部の構造材料に生じた高い周波数の異常振動や衝撃を検出することができ、アーム１０３Ｌ，１０３ＲのアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等の異常の有無をも検出することができるので、ロボット１００の機能性を向上することができる。
【００８４】
さらに、センサ１２２をアーム１０３Ｌ，１０３Ｒの内最も基端側に位置するアクチュエータＡｃ２，Ａｃ９の基部に設けるので、その先端側にある全てのアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５や減速機等の回転部材による異常振動等を検出することができる。すなわち、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの全体について異常を検出することができる。
【００８５】
また、本実施形態では、センサ固定治具１２１を胴体部１０２の筐体の内側に設けている。これにより、各センサ１２２を筐体内に設けることができるので、筐体外部の物体の接触や衝突等によるセンサ１２２の破損等を防止できる。また、筐体外部の液滴や粉塵等からセンサ１２２を保護できる効果もある。
【００８６】
また、本実施形態では特に、センサ１２２は、センサ固定治具１２１に３つ設けられている。そして、３つのセンサが、同一円周上に等間隔に配置され、各センサ１２２が放射状の向きとなるように配置されている。センサ１２２を３つ設けることにより、センサ固定治具１２１に生じた３方向のひずみを検出することができ、異常振動や衝撃等を高精度に検出することができる。また、３つのセンサ１２２を、同一円周上に等間隔、且つ、放射状の向きとなるように配置することにより、センサ１２２の検出感度を一方向に偏らせることなく、周方向に略均一にすることができる。したがって、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの各部の構造材料を通じてセンサ固定治具１２１に対し複数の方向から伝わる異常振動や衝撃等を、高精度に検出することができる。
【００８７】
また、本実施形態では特に、センサ固定治具１２１は、略中央に開口１２１Ａを有する円環形状に形成されている。アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの基端側に位置するセンサ固定治具１２１を、略中央に開口１２１Ａを有する円環形状に形成することにより、アーム１０３Ｌ，１０３ＲのアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等の配線をセンサ固定治具１２１の開口１２１Ａ内に挿通して（胴体部１０２側に）引き回すことができる。これにより、配線を筐体の外部に露出させることなく引き回すことができるので、配線を保護できると共に、ロボット１００の外観性も向上できる。
【００８８】
また、本実施形態では特に、各センサ１２２は、圧電体として水晶が用いられたセンサである。これにより、アーム１０３Ｌ，１０３ＲのアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５や減速機等の回転部材の経年劣化による異常等によりアーム１０３Ｌ，１０３Ｒの各部の構造材料に生じた高い周波数の異常振動や衝撃を確実に検出することができ、アーム１０３Ｌ，１０３ＲのアクチュエータＡｃ２〜Ａｃ１５等の異常の有無をより高精度に検出することができる。
【００８９】
なお、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。以下、そのような変形例を説明する。
【００９０】
（１）物体の接触検出に適用する場合
上記実施形態では、本発明のロボットをアーム１０３Ｌ，１０３Ｒの異常検出に適用したが、これに限られず、本発明のロボットをアーム１０３Ｌ，１０３Ｒに対する物体の接触検出に適用してもよい。
【００９１】
本変形例では、ロボットコントローラ１５０の図示しない接触検出部が、上記センサ部１２０Ｌ，１２０Ｒの各センサ１２２の出力値Ｖ（出力信号）に基づき、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに対する物体の接触の有無を検出する。なお、本明細書では、「もの」として認識しうる対象物を物体と定義する。したがって、物体には、ロボット１００による把持対象である物品Ｐ、ロボット１００自身、前述のベルトコンベア２などの作業機器、壁などの建造物の一部、人体などの生物体等が含まれる。
【００９２】
ここで、前述したように、センサ部１２０Ｌ，１２０Ｒの各センサ１２２は、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒにかかる力を検出している。アーム１０３Ｌ，１０３Ｒにかかる力としては、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒ自身の動作によって生じる内力、及び、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに外部から作用する外力が考えられる。アーム１０３Ｌ，１０３Ｒが前述の図６（ａ）に示すような物体の接触がない状態において動作する間は、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに外力が作用していないので、各センサ１２２は、内力に起因する振動だけを検出する。一方、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに対して物体が接触した際には、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに内力に加え外力が作用するので、各センサ１２２は、内力及び外力に起因する振動を検出する。このため、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに対して物体が接触した際には、外力に起因する分だけセンサ１２２の出力値Ｖが大きくなる。そこで本変形例では、接触検出部が、稼働時においてアーム１０３Ｌ，１０３Ｒが所定の動作を行う際のセンサ１２２の出力値Ｖと、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒが物体の接触のない状態で所定の動作を行う間のセンサ１２２の出力値Ｖとして予め記録された規範波形とを比較することにより、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに対する物体の接触の有無を判定する。
【００９３】
図１０には、稼働時においてアーム１０３Ｌ，１０３Ｒが実行する所定の動作の一例を模式的に表している。図１０に示す例では、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒは、稼働時において、ロボット１００の周囲（アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの可動範囲内）に障害物Ｂが存在する環境下で、ロボットコントローラ１５０からの上記位置指令に応じた所定の動作、すなわち教示された動作開始位置（図１０中左側に示す位置）から教示された動作完了位置までの動作を実行している。このとき、接触検出部は、上記のような手法を用いてアーム１０３Ｌ，１０３Ｒに対する物体の接触の有無を判定する。そして、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒが動作開始位置からベルトコンベア２（図１０では図示省略）上の物品Ｐの両側より内側に向けて動作し、動作完了位置まで動作するまでの間に接触検出部によりアーム１０３Ｌ，１０３Ｒに対する物体（この例では障害物Ｂ）の接触が検出された場合には、ロボットコントローラ１５０は、その位置（図１０中右側に示す位置）でアーム１０３Ｌ，１０３Ｒの動作を停止させる。
【００９４】
なお、この例では、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに対する障害物Ｂの接触を検出して、当該接触を検出した際に動作を停止させるように制御する場合を例にとって説明したが、これに限られず、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに対する物品Ｐの接触を検出して、当該接触を検出した際に動作を停止させてハンド１１１Ｌ，１１１Ｒで物品Ｐを把持させるように制御することもできる。
【００９５】
本変形例においても、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。また、センサ１２２により、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに作用した外力を検出することができるので、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒに対する物体の接触の有無を検出することができる。さらに、前述したようにセンサ１２２をアーム１０３Ｌ，１０３Ｒの内最も基端側に位置するアクチュエータＡｃ２，Ａｃ９の基部に設けているので、その先端側での接触を検出することができる。すなわち、アーム１０３Ｌ，１０３Ｒの全体について接触を検出することができる。したがって、ロボット１００自身あるいはロボット１００の周囲に存在する物体に対して過剰な負荷が生じることを回避することができる。
【００９６】
（２）単腕ロボットに適用する場合
以上においては、本発明を２つのアーム１０３Ｌ、１０３Ｒを有する双腕ロボットであるロボット１００に適用していたが、これに限られず、本発明を１つのロボットアームを有する単腕ロボットに適用してもよい。この場合も、上記実施形態や（１）の変形例と同様の効果を得ることができる。
【００９７】
また、以上既に述べた以外にも、上記実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用しても良い。
【００９８】
その他、一々例示はしないが、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。
【符号の説明】
【００９９】
１００            ロボット
１０３Ｌ，Ｒ      アーム（ロボットアーム）
１２１            センサ固定治具
１２１Ａ          開口
１２２            センサ（ひずみセンサ）
Ａｃ２〜１５      アクチュエータ
【図１】
0005418491.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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