(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置検出用電極、該位置検出用電極が形成された入力領域の外側で延在する配線、および該配線の端部に設けられた実装端子を一方面側に備えたガラス基板と、該ガラス基板の一方面で前記入力領域を封止するシール材と、を有するタッチパネルの製造方法であって、
前記ガラス基板よりサイズが大きな大型ガラス基板の一方面において前記ガラス基板が切り出される領域に前記位置検出用電極、前記配線および前記実装端子を形成する機能層形成工程と、
前記大型ガラス基板の一方面に対して、前記実装端子および前記配線を覆うレジスト系の保護膜を形成する保護膜形成工程と、
前記大型ガラス基板の一方面において前記保護膜と一部が重なる位置に前記シール材を設けるシール工程と、
前記大型ガラス基板を前記ガラス基板のサイズに切断する切断工程と、
前記ガラス基板にエッチングを行なうエッチング工程と、
前記保護膜のうち、少なくとも前記実装端子を覆う部分を除去する保護膜除去工程と、
を有していることを特徴とするタッチパネルの製造方法。
【請求項２】
前記シール材は、前記ガラス基板の一方面に対向基板を貼り合せる接着剤であり、
前記シール工程では、前記シール材によって前記大型ガラス基板の一方面と前記対向基板とを貼り合せることを特徴とする請求項１に記載のタッチパネルの製造方法。
【請求項３】
前記シール工程では、前記入力領域の周りを囲む枠状に前記シール材を設けることを特徴とする請求項２に記載のタッチパネルの製造方法。
【請求項４】
前記対向基板において前記ガラス基板の一方面に対向する面にも位置検出用電極が形成されていることを特徴とする請求項３に記載のタッチパネルの製造方法。
【請求項５】
前記シール工程では、前記対向基板として当該対向基板よりサイズの大きな大型対向基板を前記大型ガラス基板と貼り合わせ、
前記切断工程では、前記大型ガラス基板を前記ガラス基板のサイズに切断するとともに、前記大型対向基板を前記対向基板のサイズに切断することを特徴とする請求項２乃至４の何れか一項に記載のタッチパネルの製造方法。
【請求項６】
前記対向基板は、ガラス製であり、
前記エッチング工程では、前記ガラス基板にエッチングを行なうとともに、前記対向基板に対してもエッチングを行なうことを特徴とする請求項２乃至５の何れか一項に記載のタッチパネルの製造方法。
【請求項７】
位置検出用電極、該位置検出用電極が形成された入力領域から外側に延在する配線、および該配線の端部に設けられた実装端子を一方面側に備えたガラス基板と、該ガラス基板の一方面で前記入力領域を覆うシール材と、を有するタッチパネルであって、
前記ガラス基板は、少なくとも前記シール材と前記配線との間にレジスト系の保護膜を有し、前記保護膜は前記シール材の一部と重なっていることを特徴とするタッチパネル。
【請求項８】
前記ガラス基板の側端面は平滑面であることを特徴とする請求項７に記載のタッチパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネルの製造方法およびタッチパネルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
タッチパネルには、静電容量方式や抵抗膜方式等々、各種の方式のものがあるが、いずれの方式のタッチパネルでも、ガラス基板の一方面に、位置検出用電極と、位置検出電極が形成された入力領域から基板縁に向けて延在する配線とが形成された構造が採用されることがある。また、配線の端部には実装端子が設けられており、かかる実装端子にはフレキシブル配線基板等が接続されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
かかる構造のタッチパネルを製造するには、大型ガラス基板の状態で位置検出用電極、配線および実装端子を形成した後、大型ガラス基板を切断する方法が採用される。しかしながら、大型ガラス基板を切断すると、ガラス基板の切断端面にマイクロクラックや傷が発生し、かかるマイクロクラックや傷は、ガラス基板が破損する原因となる。
【０００４】
一方、ガラス基板に発生したマイクロクラックや傷を消失させる方法として、ガラス基板にエッチングを行なうことが提案されている。より具体的には、２枚の大型ガラス基板をシールした状態で貼り合わせた大型パネルを単品サイズのパネルに切断した後、シール部分から張り出している配線等を保護膜で覆い、その後、単品サイズのパネルに対してエッチングすることが提案されている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１１６８５０号公報
【特許文献２】特開２００４−９１２９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献２に記載の方法では、２枚のガラス基板がシール材で貼り合わされた単品パネルの状態で保護膜を形成するため、保護膜の形成に多大な手間がかかるという問題点がある。また、２枚のガラス基板がシール材で貼り合わされた単品パネルの状態では、シール部分近傍に保護膜を確実に形成するのは困難である。このため、シール部分近傍で配線が露出した状態のままエッチングされるおそれがあり、この場合、配線がエッチングされて断線するという問題点がある。
【０００７】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、切断したガラス基板の端部に発生するマイクロクラックや傷をエッチングにより除去する場合でも、シール部分の外側に位置する配線が断線することを確実に防止することのできるタッチパネルの製造方法、およびかかる方法で製造したタッチパネルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明は、位置検出用電極、該位置検出電極が形成された入力領域の外側で延在する配線、および該配線の端部に設けられた実装端子を一方面側に備えたガラス基板と、該ガラス基板の一方面で前記入力領域を封止するシール材と、を有するタッチパネルの製造方法であって、前記ガラス基板よりサイズが大きな大型ガラス基板の一方面において前記ガラス基板が切り出される領域に前記位置検出用電極、前記配線および前記実装端子を形成する機能層形成工程と、前記大型ガラス基板の一方面に対して、前記実装端子および前記配線を覆うレジスト系の保護膜を形成する保護膜形成工程と、前記大型ガラス基板の一方面において前記保護膜と一部が重なる位置に前記シール材を設けるシール工程と、前記大型ガラス基板を前記ガラス基板のサイズに切断する切断工程と、前記ガラス基板にエッチングを行なうエッチング工程と、前記保護膜のうち、少なくとも前記実装端子を覆う部分を除去する保護膜除去工程と、を有していることを特徴とする。
【０００９】
本発明では、大型ガラス基板に対してシール材を設ける前に保護膜を形成するため、保護膜を形成するのに多大な手間がかからない。また、保護膜については、シール材によるシール予定領域の少なくとも外周縁と重なる部分まで形成し、保護膜と一部が重なる位置にシール材を設ける。このため、シール部分近傍にまで保護膜を確実に形成することができるので、シール領域の外側で配線が保護膜から露出するという事態を確実に回避することができる。それ故、切断した後のガラス基板をエッチングしてマイクロクラックを除去する際、配線がエッチングされて断線することを確実に防止することができる。この場合、シール材と配線との間に保護膜が残ることになるが、かかる箇所に保護膜が残っても支障はない。
【００１０】
本発明において、シール材がガラス基板の一方面において入力領域全体を覆っている構成の他、ガラス基板の一方面に対向基板が配置されている構成を採用することができる。
【００１１】
後者の場合、前記シール材は、前記ガラス基板の一方面に対向基板を貼り合せる接着剤であり、前記シール工程では、前記シール材によって前記大型ガラス基板の一方面と前記対向基板とを貼り合せることになる。
【００１２】
本発明において、前記シール工程では、前記入力領域の周りを囲む枠状に前記シール材を設けることが好ましい。この場合、前記対向基板において前記ガラス基板の一方面に対向する面にも位置検出用電極が形成されている構成を採用することができる。かかる構成によれば、抵抗膜方式のタッチパネルに適用することができる。
【００１３】
本発明において、前記シール工程では、前記対向基板として当該対向基板よりサイズの大きな大型対向基板を前記大型ガラス基板と貼り合わせ、前記切断工程では、前記大型ガラス基板を前記ガラス基板のサイズに切断するとともに、前記大型対向基板を前記対向基板のサイズに切断することが好ましい。このように構成すると、タッチパネルを効率よく製造することができる。
【００１４】
本発明において、前記対向基板がガラス製である場合、前記エッチング工程では、前記ガラス基板にエッチングを行なうとともに、前記対向基板に対してもエッチングを行なうことが好ましい。このように構成すると、切断した対向基板からもマイクロクラックを除去することができる。
【００１５】
本発明に係る方法で製造されたタッチパネルは、位置検出用電極、該位置検出用電極が形成された入力領域から外側に延在する配線、および該配線の端部に設けられた実装端子を一方面側に備えたガラス基板と、該ガラス基板の一方面で前記入力領域を覆うシール材と、を有するタッチパネルであって、前記ガラス基板は、少なくとも前記シール材と前記配線との間にレジスト系の保護膜を有していることを特徴とする。すなわち、本発明では、保護膜については、シール材によるシール予定領域の少なくとも外周縁と重なる部分まで形成し、保護膜と一部が重なる位置にシール材を設ける。このため、シール材と配線との間に保護膜が残ることになる。
【００１６】
また、本発明に係るタッチパネルにおいて、前記ガラス基板の側端面は平滑面である構成を採用することができる。すなわち、本発明では、ガラス基板に対してエッチングを行なうため、ガラス基板の端面は平滑面になっている。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態１に係るタッチパネルを備えた入力機能付き電気光学装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係るタッチパネルを備えた入力機能付き電気光学装置の断面構成を示す説明図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係るタッチパネルに形成した電極の平面的なレイアウトを模式的に示す説明図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係るタッチパネルの製造方法を示す説明図である。
【図５】本発明の実施の形態１に係るタッチパネルの製造工程の途中における第１大型ガラス基板の様子を示す説明図である。
【図６】本発明の実施の形態１に係るタッチパネルの製造方法において、大型のパネル構造体を切断して単品サイズのパネル構造体とした状態の説明図である。
【図７】本発明の実施の形態２に係るタッチパネルの製造方法を示す説明図である。
【図８】本発明の実施の形態２に係るタッチパネルの製造方法で採用したシール構造の説明図である。
【図９】本発明に係る入力機能付き電気光学装置を用いた電子機器の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。また、以下に説明するタッチパネルは、第１ガラス基板１０と第２ガラス基板２０とを備えており、第１ガラス基板１０が本発明における「ガラス基板」に相当し、第２ガラス基板２０が本発明における「対向基板」に相当する。従って、第１ガラス基板１０を多数取りするための第１大型ガラス基板１１０が本発明における「大型ガラス基板」に相当し、第２ガラス基板２０を多数取りするための第２大型ガラス基板２１０が本発明における「大型対向基板」に相当する。
【００１９】
［実施の形態１］
（全体構成）
図１は、本発明の実施の形態１に係るタッチパネルを備えた入力機能付き電気光学装置の斜視図である。図２は、本発明の実施の形態１に係るタッチパネルを備えた入力機能付き電気光学装置の断面構成を示す説明図であり、図２（ａ）、（ｂ）は、入力機能付き電気光学装置全体の断面図、および張出領域を拡大して示す説明図である。
【００２０】
図１および図２（ａ）において、本形態の入力機能付き電気光学装置１００は、概ね、液晶装置等からなる画像生成装置５と、この画像生成装置５において表示光を出射する側の面に重ねて配置されたタッチパネル１とを有しており、画像生成装置５とタッチパネル１とは粘着剤層等によって接着されている。画像生成装置５は電気光学パネル５ａ（表示パネル）としての液晶パネルを備えている。タッチパネル１および電気光学パネル５ａはいずれも矩形の平面形状を備えており、タッチパネル１および入力機能付き電気光学装置１００を平面視したときの中央領域が入力領域２ａであり、入力領域２ａより外側に位置する部分が周辺領域２ｂである。また、画像生成装置５および入力機能付き電気光学装置１００において入力領域２ａと平面視で重なる領域が画像形成領域である。タッチパネル１において、タッチパネル１の端部１ｅが位置する側にはフレキシブル配線基板３３が接続され、電気光学パネル５ａにおいてタッチパネル１の端部１ｅが位置する側にはフレキシブル配線基板７３が接続されている。
【００２１】
画像生成装置５は、透過型や半透過反射型のアクティブマトリクス型の液晶表示装置であり、電気光学パネル５ａに対してタッチパネル１が配置されている側とは反対側（表示光の出射側とは反対側）にはバックライト装置（図示せず）が配置されている。バックライト装置は、例えば、電気光学パネル５ａに対してタッチパネル１が配置されている側とは反対側に重ねて配置された透光性の導光板と、導光板の側端部に向けて白色光等を出射する発光ダイオード等の光源とを備えており、光源から出射された光は、導光板の側端部から入射した後、導光板内を伝搬しながら電気光学パネル５ａに向けて出射される。導光板と電気光学パネル５ａとの間には、光散乱シートやプリズムシート等のシート状光学部材が配置されることもある。
【００２２】
図２（ａ）、（ｂ）に示すように、画像生成装置５において、電気光学パネル５ａに対して表示光の出射側には第１偏光板８１が重ねて配置され、その反対側に第２偏光板８２が重ねて配置されている。電気光学パネル５ａは、表示光の出射側とは反対側に配置された透光性の第１基板５０と、この第１基板５０に対して表示光の出射側で対向配置された透光性の第２基板６０とを備えている。第１基板５０と第２基板６０とは、矩形枠状のシール材７１により貼り合わされており、第１基板５０と第２基板６０との間においてシール材７１で囲まれた領域内に液晶層５５が保持されている。第１基板５０において、第２基板６０と対向する面には複数の画素電極５８がＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜やＩＺＯ（Indium Zinc Oxide）膜等の透光性導電膜により形成され、第２基板６０において、第１基板５０と対向する面には共通電極６８がＩＴＯ膜等の透光性導電膜により形成されている。また、第２基板６０にはカラーフィルターが形成されている。なお、画像生成装置５がＩＰＳ(In Plane Switching)方式や、ＦＦＳ（Fringe Field Switching）方式である場合、共通電極６８は第１基板５０の側に設けられる。また、第１基板５０が第２基板６０に対して表示光の出射側に配置されることもある。第１基板５０において、第２基板６０の縁から張り出した張出領域５９には駆動用ＩＣ７５がＣＯＧ実装されているとともに、張出領域５９にはフレキシブル配線基板７３が接続されている。なお、第１基板５０には、第１基板５０上のスイッチング素子と同時に駆動回路を形成することもある。
【００２３】
（タッチパネル１の詳細構成）
本形態のタッチパネル１は、第１ガラス基板１０（ガラス基板）と第２ガラス基板２０（対向基板）とを備えた抵抗膜方式のタッチパネルである。第１ガラス基板１０と第２ガラス基板２０とは、第１面１１、２１同士が所定の隙間を介して対向するように、第２ガラス基板２０の外周縁に沿って矩形枠状に設けられた接着用のシール材３１（接着剤）によって貼り合わされている。第２ガラス基板２０は入力操作側に配置され、第１ガラス基板１０は画像生成装置５の側に配置されている。このため、第２ガラス基板２０は、第２面２２を入力操作側に向けており、第１ガラス基板１０は、第２面１２を画像生成装置５の側に向けている。抵抗膜方式のタッチパネル１では、入力を行なう際、第２ガラス基板２０を押圧し、押圧個所で第２ガラス基板２０を第１ガラス基板１０に向けて撓ませる必要がある。このため、第２ガラス基板２０は、第１ガラス基板１０より厚さが薄く、可撓性を備えている。
【００２４】
第１ガラス基板１０の第１面１１において、第２ガラス基板２０の縁から張り出した張出領域１３にはフレキシブル配線基板３３が接続されている。かかるフレキシブル配線基板３３は、タッチパネル１から外部に信号を出力するための配線部材である。
【００２５】
（タッチパネル１の電極構成）
図３は、本発明の実施の形態１に係るタッチパネル１に形成した電極の平面的なレイアウトを模式的に示す説明図であり、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は各々、タッチパネル１の第１ガラス基板１０と第２ガラス基板２０とに形成された電極の平面的な位置関係を示す説明図、第１ガラス基板に形成された電極の平面的構成を模式的に示す説明図、および第２ガラス基板に形成された電極の平面的構成を模式的に示す説明図である。なお、図３（ａ）には、第１ガラス基板１０に形成された帯状電極を実線で示し、第２ガラス基板２０に形成された帯状電極を点線で示し、図３（ｂ）、（ｃ）には、第１ガラス基板１０と第２ガラス基板２０とに形成された面状の押圧位置検出用の電極（抵抗膜／位置検出用電極）を一点鎖線で示してある。また、以下の説明では、タッチパネル１に用いた第１ガラス基板１０および第２ガラス基板２０の基板面で互いに交差する方向（本形態では、直交する方向）を各々Ｘ方向およびＹ方向として説明する。
【００２６】
図１および図２（ａ）に示すように、本形態のタッチパネル１では、第１ガラス基板１０の第１面１１の入力領域２ａの全体にわたって面状の押圧位置検出用の第１電極１５（第１抵抗膜／位置検出用電極）が設けられ、第２ガラス基板２０の第１面２１にも、入力領域２ａの全体にわたって面状の押圧位置検出用の第２電極２５（第２抵抗膜／位置検出用電極）が設けられている。本形態において、第１電極１５および第２電極２５はいずれも、ＩＴＯ膜等の透光性導電膜からなる。
【００２７】
第１ガラス基板１０の第１面１１では、第１電極１５においてＹ方向で対向する両端部の各々に対して一対の第１帯状電極１６ａ、１６ｂが設けられている。第１帯状電極１６ａ、１６ｂは、第１電極１５においてＹ方向で対向する両端部の上層に積層された金属電極であり、銀や銀合金等からなる。このため、第１帯状電極１６ａ、１６ｂは、第１電極１５に比較してシート抵抗が低い。第１ガラス基板１０の４つの角部のうち、１つの角部付近には、入力領域２ａから外側に延在する４本の配線１６０（１６０ｅ、１６０ｆ、１６０ｇ、１６０ｈ）が設けられており、一対の第１帯状電極１６ａ、１６ｂのうち、一方の第１帯状電極１６ａは配線１６０ｅの一方端から、Ｙ方向の一方側に位置する基板辺に平行に延在している。また、配線１６０ｇからは中継電極１６ｓがＸ方向の一方側に位置する基板辺に沿って延在しており、他方の第１帯状電極１６ｂは、中継電極１６ｓの先端部からＹ方向の他方側に位置する基板辺に沿って延在している。また、配線１６０（配線１６０ｅ、１６０ｆ、１６０ｇ、１６０ｈ）において、第１ガラス基板１０の端部（基板縁）に位置する部分によって実装端子１６１（実装端子１６１ｅ、１６１ｆ、１６１ｇ、１６１ｈ）が構成されており、かかる実装端子１６１（実装端子１６１ｅ、１６１ｆ、１６１ｇ、１６１ｈ）には、図１および図２（ａ）に示すフレキシブル配線基板３３が電気的に接続されることになる。なお、本形態では、配線１６０と重なる位置には、第１電極１５を構成する透光性導電膜も形成されている。
【００２８】
第２ガラス基板２０の第１面２１では、第２電極２５においてＸ方向で対向する両端部の各々に対して一対の第２帯状電極２６ａ、２６ｂが設けられている。本形態において、第２帯状電極２６ａ、２６ｂは、第２電極２５においてＸ方向で対向する両端部の上層に積層された金属電極であり、第１帯状電極１６ａ、１６ｂと同様、銀や銀合金等からなる。このため、第２帯状電極２６ａ、２６ｂのシート抵抗は、第２電極２５に比較してシート抵抗が低い。第２ガラス基板２０の端部には２つの基板間導通用端子２６ｆ、２６ｈが設けられており、一対の第２帯状電極２６ａ、２６ｂのうち、一方の第２帯状電極２６ａは基板間導通用端子２６ｆの一方端から、Ｘ方向の一方側に位置する基板辺に沿って延在している。また、基板間導通用端子２６ｈからは中継電極２６ｓがＹ方向の一方側に位置する基板辺に沿って延在しており、他方の第２帯状電極２６ｂは、中継電極２６ｓの先端部からＸ方向の他方側に位置する基板辺に沿って延在している。
【００２９】
このように構成した第１ガラス基板１０に第２ガラス基板２０を対向配置すると、第２ガラス基板２０に設けられた基板間導通用端子２６ｆ、２６ｈは、第１ガラス基板１０に設けられた配線１６０ｆ、１６０ｈにおいて実装端子１６１ｆ、１６１ｈが位置する側とは反対側の端部と重なる。
【００３０】
図２（ａ）に示すシール材３１において、配線１６０（配線１６０ｅ、１６０ｆ、１６０ｇ、１６０ｈ）と部分的に重なる領域に塗布された部分には、表面に金属層が設けられたプラスチックビーズ等からなる基板間導通材（図示せず）が配合されている。従って、第２ガラス基板２０の基板間導通用端子２６ｆ、２６ｈと、第１ガラス基板１０の配線１６０ｆ、１６０ｈとは、基板間導通材を介して導電接続することになる。それ故、第１帯状電極１６ａは、配線１６０ｅ、実装端子１６１ｅおよびフレキシブル配線基板３３を介して入力位置検出回路に電気的に接続され、第１帯状電極１６ｂは、中継電極１６ｓ、配線１６０ｇ、実装端子１６１ｇおよびフレキシブル配線基板３３を介して入力位置検出回路に電気的に接続される。また、第２帯状電極２６ａは、基板間導通用端子２６ｆ、配線１６０ｆ、実装端子１６１ｆおよびフレキシブル配線基板３３を介して入力位置検出回路に電気的に接続され、第２帯状電極２６ｂは、中継電極２６ｓ、基板間導通用端子２６ｈ、配線１６０ｈ、実装端子１６１ｈおよびフレキシブル配線基板３３を介して入力位置検出回路に電気的に接続される。
【００３１】
かかるタッチパネル１において、第１ガラス基板１０および第２ガラス基板２０はいずれも平面矩形である。また、シール材３１は、第１ガラス基板１０および第２ガラス基板２０の外周縁に沿うように配置されている。このため、シール材３１は矩形枠状に設けられ、かかるシール材３１は、入力領域２ａの周りを外側で囲んでいる。ここで、第１ガラス基板１０および第２ガラス基板２０は、切断後にエッチングされているため、側端面１０ｓ、２０ｓは平滑面になっている。また、第１ガラス基板１０の張出領域１３において、シール材３１と配線１６０との間には、後述する保護膜４５が残っている。
【００３２】
（動作）
本形態のタッチパネル１において、入力操作を行う際、利用者は第２ガラス基板２０の所定位置を指やペン等で押圧する。その結果、押圧個所では、第２ガラス基板２０が第１ガラス基板１０の側に撓み、第１電極１５と第２電極２５とが接触する。ここで、Ｘ方向の接触位置を検出するには、第２帯状電極２６ａ、２６ｂを介して第２電極２５にＸ方向の電圧を印加し、入力位置検出回路において、第１ガラス基板１０に設けられた第１電極１５を介して電位を監視する。従って、第２ガラス基板２０が押圧されて第１電極１５と第２電極２５とが接触した際、第２電極２５での抵抗分割により、Ｘ方向での接触位置を検出することができる。
【００３３】
また、Ｙ方向の接触位置を検出するには、入力位置検出回路から第１帯状電極１６ａ、１６ｂを介して第１電極１５にＹ方向の電圧を印加し、入力位置検出回路において、第２ガラス基板２０に設けられた第２電極２５を介して電位を監視する。従って、第２ガラス基板２０が押圧されて第１電極１５と第２電極２５とが接触した際、第１電極１５での抵抗分割により、Ｙ方向での接触位置を検出することができる。
【００３４】
（タッチパネル１の製造方法）
図４は、本発明の実施の形態１に係るタッチパネル１の製造方法を示す説明図であり、大型ガラス基板から単品サイズのタッチパネル１を形成する様子を示してある。図５は、本発明の実施の形態１に係るタッチパネル１の製造工程の途中における第１大型ガラス基板の様子を示す説明図である。なお、図５において、図５（ａ−１）、（ｂ−１）、（ｃ−１）は、第１ガラス基板１０を多数取りするための第１大型ガラス基板１１０のうち、第１ガラス基板１０が１枚切り出される領域の断面図であり、図５（ａ−２）、（ｂ−２）、（ｃ−２）は、第１大型ガラス基板１１０のうち、第１ガラス基板１０が１枚切り出される領域の平面図である。図６は、本発明の実施の形態１に係るタッチパネル１の製造方法において、大型のパネル構造体を切断して単品サイズのパネル構造体とした状態の説明図であり、図６（ａ）、（ｂ）は、単品サイズのパネル構造体全体の断面図、および張出領域を拡大して示す説明図である。
【００３５】
本形態のタッチパネル１を製造するにあたっては、図４および図５を参照して以下に説明するように、第１ガラス基板１０（ガラス基板）および第２ガラス基板２０（対向基板）として、第１ガラス基板１０よりサイズが大きな第１大型ガラス基板１１０（大型ガラス基板）、および第２ガラス基板２０よりサイズが大きな第２大型ガラス基板２１０（大型対向基板）を用い、第１大型ガラス基板１１０と第２大型ガラス基板２１０とを貼り合わせた後、切断し、タッチパネル１を製造する。かかる切断を行なうと、第１ガラス基板１０の端部および第２ガラス基板２０の端部に、ガラス基板の破損の原因となるマイクロクラックや傷が発生する。そこで、本形態では、第１ガラス基板１０および第２ガラス基板２０とはシール材３１で封止されていることを利用して、第１ガラス基板１０および第２ガラス基板２０に発生したマイクロクラックおよび傷を除去する。
【００３６】
より具体的には、まず、図４（ａ）および図５（ａ−１）、（ａ−２）に示すように、第１大型ガラス基板１１０の一方の面のうち、第１ガラス基板１０として切り出される領域１１１の各々に、図３を参照して説明した第１電極１５、配線１６０および実装端子１６１等を機能層１９として形成する機能層形成工程を行なう。
【００３７】
次に、図４（ｂ）および図５（ｂ−１）、（ｂ−２）に示す保護膜形成工程において、第１大型ガラス基板１１０の一方面に対して、ディスペンサーによる塗布、スクリーン印刷、インクジェット法等によって、実装端子１６１および配線１６０を覆うようにレジストを塗布した後、硬化させ、レジスト系の保護膜４５を形成する。その際、保護膜４５は、シール材３１によりシール予定領域の外周縁よりもわずかに内側まで形成する。但し、配線１６０ｆ、１６０ｈにおいて実装端子１６１ｆ、１６１ｈが位置する側とは反対側の端部は、基板間導通用端子２６ｆ、２６ｈとの導通に用いられる。従って、保護膜４５は、配線１６０のうち、実装端子１６１が位置する側のみを覆うように形成し、実装端子１６１が位置する側とは反対側の端部と重なる位置には形成しない。かかる保護膜４５としては、アクリル樹脂、フェノール樹脂、ノボラック樹脂、エポキシ樹脂等を用いることができ、かかる樹脂であれば、アルカリ処理液で除去可能である。
【００３８】
次に、図４（ｃ）、（ｄ）に示すシール工程において、第１大型ガラス基板１１０の一方面に対して保護膜４５と一部が重なる位置にシール材３１を設ける。より具体的には、図４（ｃ）および図５（ｃ−１）、（ｃ−２）に示すように、第１大型ガラス基板１１０の一方面に対して保護膜４５と一部が重なる位置にシール材３１を塗布した後、図４（ｄ）に示すように、第１大型ガラス基板１１０の一方面に対して第２大型ガラス基板２１０を重ね、その後、シール材３１を固化させる。その結果、第１大型ガラス基板１１０と第２大型ガラス基板２１０とがシール材３１で貼り合わされた大型のパネル構造体３００が構成される。その際、第２大型ガラス基板２１０には、図２（ａ）および図３を参照して説明した第２電極２５等を予め形成しておく。なお、第２大型ガラス基板２１０の側にシール材３１を塗布した後、第１大型ガラス基板１１０と第２大型ガラス基板２１０とをシール材３１で貼り合わせて大型のパネル構造体３００を構成してもよい。かかる方法でも、シール材３１については、第１大型ガラス基板１１０の側に塗布した場合と同一の位置に形成する。
【００３９】
次に、図４（ｄ）、（ｅ）に示す切断工程において、パネル構造体３００を単品サイズのタッチパネル１に切断する。より具体的には、図４（ａ）〜（ｄ）に一点鎖線で示す切断予定線３０１に沿ってスクライブ溝を形成した後、ブレークバーを当てて応力を加え、第１大型ガラス基板１１０を単品サイズの第１ガラス基板１０のサイズに切断し、第２大型ガラス基板２１０を単品サイズの第２ガラス基板２０のサイズに切断する。その結果、単品サイズのパネル構造体１ａが形成される。
【００４０】
次に、図４（ｆ）に示すエッチング工程において、パネル構造体１ａの状態で第１ガラス基板１０および第２ガラス基板２０にエッチングを行なう。本形態では、エッチングとしてウエットエッチングを行ない、第１ガラス基板１０および第２ガラス基板２０をエッチングし、切断工程によって第１ガラス基板１０および第２ガラス基板２０の側端面１０ｓ、２０ｓ（切断面）に発生したマイクロクラックや傷を除去する。それ故、第１ガラス基板１０および第２ガラス基板２０の側端面１０ｓ、２０ｓは平滑面になる。かかるエッチングは、エッチング液中にパネル構造体１ａ（第１ガラス基板１０および第２ガラス基板２０）を浸漬して行われる。エッチング液としては、フッ酸液、フッ化硝酸液、ケイフッ化水素酸、フッ化アンモニウム、フッ化水素酸等のフッ酸系エッチング液をも用いることができる。より具体的には、フッ化水素酸と硝酸の混合水溶液、フッ化水素酸とフッ化アンモニウムの混合水溶液、フッ化水素酸とフッ化アンモニウムと硝酸の混合水溶液、フッ化水素酸と水素二フッ化アンモニウムの水溶液、フッ化水素酸と水素二フッ化アンモニウムと硝酸の水溶液等を使用することができる。
【００４１】
かかるエッチングの際、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、第１ガラス基板１０において第１電極１５が形成されている領域、および第２ガラス基板２０において第２電極２５が形成されている領域は、シール材３１により封止されている。このため、第１ガラス基板１０の第１電極１５、および第２ガラス基板２０の第２電極２５はエッチングされない。また、第１ガラス基板１０の張出領域１３では、配線１６０および実装端子１６１のうち、シール材３１から外側に張り出している部分が保護膜４５によって覆われて保護されているので、配線１６０および実装端子１６１は、エッチングされない。
【００４２】
次に、図４（ｇ）に示す保護膜除去工程では、保護膜４５のうち、少なくとも実装端子１６１を覆う部分を除去する。本形態では、保護膜４５として、アルカリ処理液で除去可能なレジストを用いたため、エッチング後のパネル構造体１ａの張出領域１３をアルカリ処理液と接触させて保護膜４５を除去する。その結果、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、実装端子１６１が露出した状態になるので、フレキシブル配線基板３３を実装端子１６１に電気的に接続することができる。その際、シール材３１と配線１６０との間に位置する保護膜４５については除去できず、シール材３１と配線１６０との間に保護膜４５の一部が残ることになるが、かかる箇所に保護膜４５が残っても支障はない。
【００４３】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、第１大型ガラス基板１１０においてシール材３１を設ける前に保護膜４５を形成するため、保護膜４５を形成するのに多大な手間がかからない。また、保護膜４５については、シール材３１によるシール予定領域の少なくとも外周縁と重なる部分まで形成し、保護膜４５と一部が重なる位置にシール材３１を設ける。このため、シール部分近傍にまで保護膜４５を確実に形成することができるので、シール領域の外側で配線１６０が保護膜４５から露出するという事態を確実に回避することができる。それ故、切断した後の第１ガラス基板１０および第２ガラス基板２０をエッチングしてマイクロクラックを除去する際、配線１６０がエッチングされて断線することを確実に防止することができる。
【００４４】
また、エッチング後、保護膜４５を除去して実装端子１６１を露出させれば、実装端子１６１にフレキシブル配線基板３３を電気的接続することができる。このように保護膜４５を除去する際、シール材３１と配線１６０との間に位置する保護膜４５については除去できず、シール材３１と配線１６０との間やシール材３１の近傍に保護膜４５の一部が残ることになるが、かかる箇所に保護膜４５が残っても支障はない。
【００４５】
また、本形態において、シール工程では、入力領域２ａの周りを囲む枠状にシール材３１が設けられる。このため、対向基板として用いた第２ガラス基板２０において、第１ガラス基板１０の一方面に対向する面にも第２電極２５（位置検出用電極）が形成されている構成を採用することができる。従って、抵抗膜方式のタッチパネル１に本発明を適用することができる。また、本形態において、シール工程では、第２ガラス基板２０（対向基板）として第２ガラス基板２０よりサイズの大きな第２大型ガラス基板２１０を第１大型ガラス基板１１０と貼り合わせ、切断工程では、第１大型ガラス基板１１０を第１ガラス基板１０のサイズに切断するとともに、第２大型ガラス基板２１０を第２ガラス基板２０のサイズに切断する。このため、タッチパネル１を効率よく製造することができる。また、エッチング工程では、第１ガラス基板１０にエッチングを行なうとともに、第２ガラス基板２０に対してもエッチングを行なう。従って、第１ガラス基板１０および第２ガラス基板２０の双方からマイクロクラックや傷を除去することができる。
【００４６】
［実施の形態２］
図７は、本発明の実施の形態２に係るタッチパネル１の製造方法を示す説明図であり、大型ガラス基板から単品サイズのタッチパネル１を形成する様子を示してある。図８は、本発明の実施の形態２に係るタッチパネル１の製造方法で採用したシール構造の説明図であり、図８（ａ）、（ｂ）は、エッチング工程を行なう際の張出領域の様子を示す説明図、および保護膜除去工程後の張出領域の様子を示す説明図である。
【００４７】
実施の形態１では、シール材３１によって第１ガラス基板１０（ガラス基板）に第２ガラス基板２０（対向基板）を貼り合わせたが、以下に説明するように、第２ガラス基板２０を用いずに、シール材３１で第１ガラス基板１０の入力領域全体を覆ってシールするタイプのタッチパネルに本発明を適用してもよい。すなわち、静電容量型のタッチパネルでは、１枚のガラス基板で構成することもできるので、かかる静電容量型のタッチパネルに本発明を適用してもよい。なお、以下の説明では、実施の形態１で説明した要素に対応する要素には同一の符号を付して説明する。
【００４８】
本形態では、まず、図７（ａ）に示すように、第１大型ガラス基板１１０の一方の面のうち、第１ガラス基板１０として切り出される領域１１１の各々に、第１電極１５（位置検出用電極）、配線１６０および実装端子１６１等を機能層１９として形成する機能層形成工程を行なう。
【００４９】
次に、図７（ｂ）に示す保護膜形成工程において、実施の形態１と同様、第１大型ガラス基板１１０の一方面に対して、ディスペンサーによる塗布、スクリーン印刷、インクジェット法等によって、実装端子１６１および配線１６０を覆うようにレジストを塗布した後、硬化させ、レジスト系の保護膜４５を形成する。その際、保護膜４５は、シール材３１によりシール予定領域の外周縁よりもわずかに内側まで形成する。かかる保護膜４５としては、実施の形態１と同様、アクリル樹脂、フェノール樹脂、ノボラック樹脂、エポキシ樹脂等を用いることができ、かかる樹脂であれば、アルカリ処理液で除去可能である。
【００５０】
次に、図７（ｃ）に示すシール工程において、第１大型ガラス基板１１０の一方面に対して保護膜４５と一部が重なる位置にシール材３１を設ける。本形態では、入力領域２ａ全体を覆うようにシール材３１を設ける。
【００５１】
次に、切断工程において、実施の形態１と同様、第１大型ガラス基板１１０を単品サイズの第１ガラス基板１０に切断する。より具体的には、図７（ａ）〜（ｃ）に一点鎖線で示す切断予定線３０１に沿ってスクライブ溝を形成した後、ブレークバーを当てて応力を加え、第１大型ガラス基板１１０を単品サイズの第１ガラス基板１０のサイズに切断する。
【００５２】
次に、エッチング工程において、実施の形態１と同様、第１ガラス基板１０にエッチングを行ない、切断工程によって第１ガラス基板１０の側端面１０ｓ（切断面）に発生したマイクロクラックや傷を除去する。
【００５３】
かかるエッチングの際、図８（ａ）に示すように、第１ガラス基板１０において入力領域２ａは、シール材３１により封止されている。このため、第１ガラス基板１０の第１電極１５（位置検出用電極）はエッチングされない。また、第１ガラス基板１０の張出領域１３では、配線１６０および実装端子１６１のうち、シール材３１から外側に張り出している部分が保護膜４５によって覆われて保護されているので、配線１６０および実装端子１６１は、エッチングされない。
【００５４】
次に、図８（ｂ）に示すように、保護膜除去工程において、保護膜４５のうち、少なくとも実装端子１６１を覆う部分を除去する。本形態では、保護膜４５として、アルカリ処理液で除去可能なレジストを用いたため、エッチング後のパネル構造体１ａの張出領域１３をアルカリ処理液と接触させて保護膜４５を除去する。その結果、実装端子１６１が露出した状態になるので、図１および図２（ａ）を参照して説明したフレキシブル配線基板３３を実装端子１６１に電気的に接続することができる。その際、シール材３１と配線１６０との間に位置する保護膜４５については除去できず、シール材３１と配線１６０との間に保護膜４５の一部が残ることになるが、かかる箇所に保護膜４５が残っても支障はない。
【００５５】
以上説明したように、本形態でも、実施の形態１と同様、第１大型ガラス基板１１０においてシール材３１を設ける前に保護膜４５を形成するため、保護膜４５を形成するのに多大な手間がかからない。また、保護膜４５については、シール材３１によるシール予定領域の少なくとも外周縁と重なる部分まで形成し、保護膜４５と一部が重なる位置にシール材３１を設ける。このため、シール部分近傍にまで保護膜４５を確実に形成することができるので、シール領域の外側で配線１６０が保護膜４５から露出するという事態を確実に回避することができる。それ故、切断した後の第１ガラス基板１０および第２ガラス基板２０をエッチングしてマイクロクラックを除去する際、配線１６０がエッチングされて断線することを確実に防止することができる。また、エッチング後、保護膜４５を除去して実装端子１６１を露出させれば、実装端子１６１にフレキシブル配線基板３３を電気的接続することができる。このように保護膜４５を除去する際、シール材３１と配線１６０との間に位置する保護膜４５については除去できず、シール材３１と配線１６０との間やシール材３１の近傍に保護膜４５の一部が残ることになるが、かかる箇所に保護膜４５が残っても支障はない。
【００５６】
［他の実施の形態］
上記実施の形態では、画像生成装置５として液晶装置を用いたが、画像生成装置５としては有機エレクトロルミネッセンス装置を用いてもよい。
【００５７】
［電子機器への搭載例］
上述した実施形態に係る入力機能付き電気光学装置１００を適用した電子機器について説明する。図９は、本発明を適用した入力機能付き電気光学装置１００を備えた電子機器の説明図である。図９（ａ）に、入力機能付き電気光学装置１００を備えたモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を示す。パーソナルコンピューター２０００は、表示ユニットとしての入力機能付き電気光学装置１００と本体部２０１０を備える。本体部２０１０には、電源スイッチ２００１およびキーボード２００２が設けられている。図９（ｂ）に、入力機能付き電気光学装置１００を備えた携帯電話機の構成を示す。携帯電話機３０００は、複数の操作ボタン３００１、スクロールボタン３００２、および表示ユニットとしての入力機能付き電気光学装置１００を備える。スクロールボタン３００２を操作することによって、入力機能付き電気光学装置１００に表示される画面がスクロールされる。図９（ｃ）に、入力機能付き電気光学装置１００を適用した情報携帯端末（ＰＤＡ：Personal Digital Assistants）の構成を示す。情報携帯端末４０００は、複数の操作ボタン４００１、電源スイッチ４００２、および表示ユニットとしての入力機能付き電気光学装置１００を備える。電源スイッチ４００２を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が入力機能付き電気光学装置１００に表示される。
【００５８】
なお、入力機能付き電気光学装置１００が適用される電子機器としては、図９に示すものの他、デジタルスチールカメラ、液晶テレビ、ビューファインダー型、モニター直視型のビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、銀行端末等の電子機器等が挙げられる。そして、これらの各種電子機器の表示部として、前述した入力機能付き電気光学装置１００が適用可能である。
【符号の説明】
【００５９】
１・・タッチパネル、２ａ・・入力領域、５・・液晶装置（画像生成装置）、１０・・第１ガラス基板、１５・・第１電極、２０・・第２ガラス基板、２５・・第２電極、３１・・シール材、４５・・保護膜、１００・・入力機能付き電気光学装置、１１０・・第１大型ガラス基板、２１０・・第２大型ガラス基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図９】
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【図４】
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【図７】
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