(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物を検査するテスターと、
検査を開始するために検査開始の信号を前記テスターに送出するコントローラと、
検査対象物が検査のために配置される第一のソケットを有する第一のインタフェースボードと、
検査対象物が検査のために配置される第二のソケットを有する第二のインタフェースボードと、
前記コントローラにより制御され、前記検査の終了に応じて検査済みの検査対象物を前記第一のソケットから取り除き、次に検査すべき検査対象物を第一のソケットに移動する第一のマニピュレータアームと、
前記コントローラにより制御され、前記検査の終了に応じて検査済みの検査対象物を前記第二のソケットから取り除き、次に検査すべき検査対象物を第二のソケットに移動する第二のマニピュレータアームと、
前記コントローラにより制御され、前記第一のインタフェースボード及び前記第二のインタフェースボードのそれぞれと、前記テスターとの間に設けられるスイッチであって、前記第一のソケットでの検査と前記第二のソケットでの検査との間で切替えを行うスイッチとを備え、
前記テスターは、それぞれの検査対象物の検査の終了時に、検査対象物が検査されたソケットを識別することなしに、検査終了の信号と共に、検査済みの検査対象物の検査結果を前記コントローラに送出し、
前記コントローラは、前記テスターからの検査終了の信号の受信に応答して、前記コントローラにより検出された前記第一のソケット又は前記第二のソケットにおける次の準備がされている検査対象物に切り替える制御信号を前記スイッチに送出し、
前記コントローラは、前記第二のソケットでの検査のときに、前記第一のマニピュレータアームを制御して前記第一のソケットから検査済みの検査対象物を取り除かせ、次に検査すべき検査対象物を前記第一のソケットに移動させ、前記第二のソケットでの検査の終了に応じて、前記テスターを前記第一のソケットに接続するように前記スイッチを制御し、
前記コントローラは、前記第一のソケットでの検査のときに、前記第二のマニピュレータアームを制御して前記第二のソケットから検査済みの検査対象物を取り除かせて、次に検査すべき検査対象物を前記第二のソケットに移動させ、前記第一のソケットでの検査の終了に応じて、前記テスターを前記第二のソケットに接続するように前記スイッチを制御する、
ことを特徴とする検査用システム。
【請求項２】
テスターが、検査対象物を検査するステップと、
コントローラが、検査を開始するために検査開始の信号を前記テスターに送出するステップと、
第一のインタフェースボードの第一のソケットに、検査のために検査対象物を配置するステップと、
第二のインタフェースボードの第二のソケットに、検査のために検査対象物を配置するステップと、
前記コントローラにより制御される第一のマニピュレータアームが、前記検査の終了に応じて検査済みの検査対象物を前記第一のソケットから取り除き、次に検査すべき検査対象物を第一のソケットに移動するステップと、
前記コントローラにより制御される第二のマニピュレータアームが、前記検査の終了に応じて検査済みの検査対象物を前記第二のソケットから取り除き、次に検査すべき検査対象物を第二のソケットに移動するステップと、
前記コントローラが、前記第一のインタフェースボード及び前記第二のインタフェースボードのそれぞれと、前記テスターとの間に設けられるスイッチを制御して、前記第一のソケットでの検査と前記第二のソケットでの検査との間で切替えを行うステップと、
前記テスターが、それぞれの検査対象物の検査の終了時に、検査対象物が検査されたソケットを識別することなしに、検査終了の信号と共に、検査済みの検査対象物の検査結果を前記コントローラに送出するステップと、
前記コントローラが、前記テスターからの検査終了の信号の受信に応答して、前記コントローラにより検出された前記第一のソケット又は前記第二のソケットにおいて次の準備がされている検査対象物に切り替える制御信号を前記スイッチに送出するステップと、
前記コントローラが、前記第二のソケットでの検査のときに、前記第一のマニピュレータアームを制御して前記第一のソケットから検査済みの検査対象物を取り除かせ、次に検査すべき検査対象物を前記第一のソケットに移動させ、前記第二のソケットでの検査の終了に応じて、前記テスターを前記第一のソケットに接続するように前記スイッチを制御するステップと、
前記コントローラが、前記第一のソケットでの検査のときに、前記第二のマニピュレータアームを制御して前記第二のソケットから検査済みの検査対象物を取り除かせて、次に検査すべき検査対象物を前記第二のソケットに移動させ、前記第一のソケットでの検査の終了に応じて、前記テスターを前記第二のソケットに接続するように前記スイッチを制御するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動化された製造システム及び方法全般に関し、より詳細には、自動化されたロボット式の半導体製造装置のシステム及び方法に関し、特に、インデックスタイムの遅延の低減等を含む、半導体製造装置に対する検査、品質制御及び改善のための自動化されたロボット式半導体製造装置のシステム及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動化された製造装置は、多くの産業において製造工程を合理化している。さらに、かかる自動化は、信頼性及び成果を高めている。自動化の不利な面は、装置の動作におけるタイミングの遅延である。特に、高価な製造装置が含まれる場合、検査下にある装置を転送することにおける機械的な動きの間のような、装置の動作における遅延は、機械的な操作、リセット等の間のアイドリング状態又は非検査使用の期間のため、かかる装置のコストの利益率を制限する。したがって、製造技術及び動作における運動量は、たとえば、次の検査部分をロボット式に置き換えるとき、高価な検査装置がアイドリング状態であって該当する検査機能を実行しない時間を制限することになっている。
【０００３】
半導体の製造では、半導体装置の検査装置は、費用のかかる最も重要な要件である。従来、かかる検査装置は、検査される装置を扱うためのロボット式のマニュピレータを含んでいた。このロボット式のマニュピレータシステムは、「ハンドラー」と一般的に呼ばれ、「マニュピレータ」と呼ばれる１以上のロボットアームで典型的に構成される。マニュピレータは、機械的に、検査の装置を取り上げ、該装置をインタフェース検査ボードソケットに挿入し、テスターに検査開始の信号を発生する。次いで、テスターは、その装置に関する検査を行い、検査結果及び検査終了の信号をハンドラーにリターンし、この信号によりハンドラーは、検査後のトレイ又は検査された装置を保持する容器に装置を配置する。この工程は、ハンドラーが検査のために利用可能な更なる装置があることを感知する限り繰り返される。このシステムは、全体として、「テストセル」と呼ばれることがある。
【０００４】
ハンドラーが検査されたばかりの装置を配置してそれを次の装置で置きかえるのに必要とされる時間の間、テスターは実質的にアイドリング状態のままである。このアイドリング時間は、特定のテスター及びシステムについて「インデックスタイム“index  time”」と呼ばれることがあり、検査を待っている装置及び検査された装置の機械的な操作に関わる。これら機械的な操作は、たとえば、検査されるべき装置が損傷、汚染、ドロップ等されていないことを保証するため、物理的かつ速度の制約を含めて様々な要素により動作速度において制限される。
【０００５】
装置を検査するために必要とされる時間は、特定の装置、検査、テスター及びシステムのための「検査時間」と呼ばれることがある。システムが製造キャパシティにおいて使用中であるとき、インデックスタイムの間に割り出しするか、さもなければ検査時間の間に検査する。
【０００６】
予め、検査装置の製造者は、機械的な動作の速度を増加するため、インデックスタイムを低減するために操作装置の設計に努力を注いできている。検査装置における扱いにおける機械的な動作の速度が時間を通して著しく向上しているが、ロボットハンドラーによる検査の間に検査装置を操作するのに必要とされる著しい機械的なインデックスタイムが残されている。さらに、機械的な操作装置の動作の増加される速度により、キャリブレーション、リプレースメント頻度、メンテナンス、パーツ等を含めて、装置のためにコストが増加する。多くのタイプの検査装置及びハンドラーの機械的な操作を高速にすることで対処される必要がある制約及び予防措置が与えられると、更なる機械的な動作の高速化は、経済的及び物理的な障害を受け易い。
【０００７】
何れの場合であっても、インデックスタイムを低減することで、特に検査装置の費用がかかる場合には、検査装置における投資の更に高い利益率を提供することができる。したがって、製造環境において検査動作に関わるインデックスタイムを更に低減することが当該技術分野及び技術における著しい改善である。特に、半導体装置の製造では、半導体装置の検査でインデックスタイムが低減される場合には、経済的及び他のゲイン及び利点が可能である。また、装置のハンドラー及び類似のロボット又は検査のための自動化されたコンポーネントの既存の機械的な動作における実質的な変更又は新たな開発なしに、低減されたインデックスタイムを達成するため、新たな改善されたシステム及び方法を提供することは改善である。
【０００８】
バックグランドの理解のため、従来の検査システム及び動作がここで記載される。  
図１を参照して、装置１０２を検査する従来のシステム１００は、テスター１０４、テスター１０４に接続され、検査下にある装置１０２に対するといったリソース（たとえば検査プロトコル、信号、及びテスターにより実行される手順）をテスター１０４が利用可能にするインタフェースボード１０６、及びロボット式のハンドラー１０８を含む。装置１０２は、単一の装置であるか、又は同時の動作のためにテスター及びテスターリソースに同時に接続される複数の装置であることを理解されたい。または、単数の用語「装置“device”」は、そのように同時に接続され、同時に検査される装置を示すために本明細書では使用されることを理解されたい。ロボット式のハンドラー１０８は、テスター１０４に通信可能に接続される。インタフェースボード１０６は、テスター１０４に通信可能に接続される。インタフェースボード１０６は、検査の間に装置１０２を受けて保持するための１つのテストソケット１１０を含む。
【０００９】
テストソケット１１０は、装置１０２が電気的な検査を受けている間に、検査下にある装置１０２とテスター１０４の間の電気的な接触が適切に維持されるように、検査下にある装置１０２のアライメントでマニュピレータアームを支持する物理的なメカニズムを提供する。典型的に、マニュピレータアーム１０９の精度は余りに粗く、検査下にある装置１０２とテスター１０４と関連するテスターリソースとの間にある適切な電気的なコンタクトを提供かつ保持することができず、テストソケット１１０は、検査の間の適切な電気的な接触を保持することが必要とされるファインアラインメントのメカニクスを提供する。
【００１０】
さらに、単一のインタフェースボードは、１を超えるテストソケットを有することができる。多数のソケットがインタフェースボードに存在するとき、それぞれのソケットは、１つのテスター１０４からそれぞれのテスターリソースの個別のセットに典型的に接続されている。実際に、テスター１０４は、それぞれのソケットに異なる検査を実行することができるが、それぞれのソケットに同じ検査を同時に実行することができる。特別のケースでは所定の例外が存在し、テスターリソースはテスターから多数の装置に同時に信号を駆動することができる。かかるリソースは、電源、デジタルドライバ、及びアナログ波形発生器を含む。それぞれのケースでは、リソースは、特定のテスターからの出力ソースと考えられ、かかる使用におけるテスターは特別に構成される必要があり、同時の方式で個別の検査を実行するために必要とされる機能を有する。大部分の従来のテスターは、かかる特別の構成又は機能性を有しておらず、何れの場合においても、かかる特別のテスターは、大部分の従来のテスターに比較したとき、著しくより高価及び／又は用途的に制限される。
【００１１】
ロボット式のハンドラー１０８は、検査されるべき１以上の装置のうちから、装置１０２を取り上げ、取り扱うために機械的に移動して動作する。ひとたび、検査されるべき装置１０２がマニピュレータアーム１０９により取り上げられると、ハンドラー１０８は、インタフェースボード１０６の適切なソケット１１０における位置への装置１０２の移送を制御する。次いで、テスター１０４は、装置１０２を検査するのを始める。検査がテスター１０４により完了された後、ハンドラー１０８は、ソケット１１０から装置１０２を機械的に除き、装置１０２を検査される装置の位置に移送する。
【００１２】
従来のシステム１００の動作において、検査される装置のセットは、人間のオペレータによりハンドラー１０８への入力でステージにのせられる。次いで、オペレータは、検査すべき装置を検索するのを開始し、テストソケット１１０に挿入することで次に利用可能な装置をステージに載せるようにハンドラー１０８に指示する。ひとたび、最初の装置１０２がテストソケット１１０に正しい位置にあり、検査の準備があることをハンドラー１０８が感知すると、ハンドラー１０８は、検査開始の信号をテスター１０４に発する。検査開始の信号に応答して、テスター１０４は、テストソケット１１０を介して検査下にある装置１０２を電気的にシミュレートし、装置１０２からの出力応答を測定するテストプログラムを実行する。テスター１０４は、出力応答を期待される応答データのセットに比較して、装置１０２の「合格“pass”」又は「不合格“fail”」のいずれかとして結果を判定する。
【００１３】
インタフェースボードが複数のテストソケットを含み、先に説明した所定の特定のテスターにより、テスターがテスターの異なるテスターリソースでの同時の検査が可能である場合、どのテストソケットが検査について準備がある装置を有し、どのテストソケットが有さないかを判定するため、テスターは、ハンドラーステータスを問い合わせる。次いで、テスターは、空のテストソケットからの不合格の検査結果を無視し、挿入された装置によるアクティブなテストソケットサイトのみを検査する。勿論、先に記載したように、これらの機能をもつかかる特別のテスターは、比較的一般的ではなく、高価であり、用途に制限される。
【００１４】
ひとたび、テストプログラムが装置１０２の検査を終了し、検査結果の合格／不合格の判定は、テスター１０４により行われると、テスター１０４は、装置１０２の検査結果データハンドラー１０８に伝達し、続いて、検査終了の信号がハンドラー１０８に伝達される。ハンドラー１０８は、テスター１０４から検査終了の信号を受け、ハンドラー１０８は、合格した装置及び不合格した装置のそれぞれの個別の保持領域のような、検査される装置の出力ステージ領域にまさに検査された装置１０２を配置するために検査結果データを使用する。
【００１５】
インタフェースボードが多数のテストソケットを含み、先に記載された所定の特別のテスターによるように、テスターがテスターの異なるテスターリソースによる同時の検査を可能である場合、テスターは、サイトに特化したアクティブなテストソケットのロケーションのそれぞれについて結果データを伝達し、ハンドラーは、これに応じて装置のそれぞれを配置する必要がある。さらに、かかる構成は、特別のテスター及びおそらく特別のハンドラー装置を必要とし、これらは、高価かつ制限された用途という問題を有する。
【００１６】
システム１００の進行中の動作において、ひとたびハンドラー１０８がまさに検査された装置１０２を配置すると、検査されるために残されている更なる未検査の装置がなくなるまで、若しくは、ハンドラーステータス又はテスターにおける何れかエラー状態が動作を停止するまで、若しくは、人間のオペレータが検査を停止するのを介入するまで、プロセスは連続的に繰り返す。
【００１７】
この従来のシステム１００における検査のそれぞれのケースでは、ハンドラー１０８は、その後に検査されるそれぞれの装置１０２を個々に取得し、移送する。装置の取り上げ、ソケット１１０へのセット、及び検査後の配置におけるハンドラー１０８の機械的な動作の間、テスター１０４は、検査を行うことなしにアイドル状態のままとなる。システム１００のインデックスタイムは、検査された装置を取り除いて配置し、それぞれ次の連続する検査されない装置を検査のために探し出し、挿入するとき、実質的に、ハンドラー１０８の機械的な動作のために必要とされる時間である。また、インデックスタイムは、テスター１０４からハンドラー１０８への検査終了の信号と、ハンドラー１０８からテスター１０４への次の検査開始信号との間の時間インターバルをも含む。
【００１８】
図４を参照して、装置を検査する従来のプロセス４００は、第一のマニュピレータを始動するステップ４０２を含む。ステップ４０２では、たとえば、信号は第一のマニュピレータを有するロボット式のハンドラーに伝達される。第一のマニュピレータが検査のために装置を取得して配置するアクションを始動すべきことをハンドラーに指示するため、信号は、テスター又は他のソースにより伝達される。装置は、たとえば、特定のテスターにより検査されるべき半導体装置又は何れか他の製造された部分又はエレメントである。
【００１９】
ステップ４０４では、第一のマニピュレータは、検査のために第一の装置を探して取り出すため、そのアームを機械的に移動させる。第一のマニピュレータは、第一の装置をグリップするか、第一の装置を持ち続ける。次いで、ステップ４０６で、第一のマニュピレータは、たとえば、検査のために第一の装置を適切に指向させる等、第一の装置を機械的に取り上げて操作する。ステップ４０８では、第一のマニュピレータは、第一の装置をテスターに接続されるインタフェースボードに機械的に移動させ、第一の装置をインタフェースボードのソケット又は他のテストセルに挿入する。
【００２０】
ひとたび第一の装置がソケット又は他のテストセルに位置されると、テスターは、装置の検査のステップ４１２を開始する。検査は、電力検査、論理検査、及び何れかの広く多様な他の品質制御又は装置の適合検査を含むことができる。検査は、実行されている検査に依存して、完了のためにある期間の時間を要する場合がある。検査の間、第一のマニュピレータは、検査のためにインタフェースボードでの位置に第一の装置を維持する。
【００２１】
検査ステップ４１２が完了したとき、テスターはハンドラーに合図し、第一のマニピュレータは、ステップ４１４で、ソケット又は他のテストセルから装置を機械的に除くために作動される。次いで、第一のマニピュレータは、ステップ４１６で、第一の装置を所望の検査後の位置に移動する。ステップ４１８で、第一の装置は、検査後の位置で第一のマニピュレータにより放される。
【００２２】
次いで、次の検査装置及び次の装置の検査に関してステップを繰り返すため、プロセス４００はステップ４０２に戻る。先に記載されたように、それぞれの装置を取り上げ、移動、配置、取り除き、及び分配するためにハンドラーの第一のマニュピレータの動作に必要とされるプロセス４００の間の時間は、検査システムの「インデックスタイム」と呼ばれる。第一のマニュピレータの動作のインデックスタイムの間、テスターは、検査が行われないアイドリング状態のままである。かかるプロセス４００で必要とされるインデックスタイムは、プロセス４００全体を遅延させ、制限する。
【００２３】
検査装置の従来のシステム及び方法の上述された説明から、従来のシステム及び方法で必要とされるインデックスタイムの低減は重要な利点を提供することを容易に理解することができる。さらに、特定のテスター及びハンドラー装置を必要とする低減は、異常に高価になり、用途的に制限される可能性がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２４】
本発明は、実際に被った問題及び困難なしに、上述された観点で改善及びニュアンスを含めて、これらの利点及び改善、並びに他の利点及び改善を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明の実施の形態は、検査用のシステムである。本システムは、テスター、検査下にある装置にテスターのリソースを相互接続するインタフェースボード、同じテスターリソースのセットに並列に配線される１以上のテストソケットのペア、ハンドラーに接続され、該ハンドラーにより制御される第一のマニピュレータアーム、ハンドラーに接続され、該ハンドラーにより制御される第二のマニピュレータアーム、及び、ハンドラー又はテスターにより制御され、それぞれのテストソケットのペア間で接続される１以上のスイッチを含んでいる。それぞれのスイッチは、インタフェースボードに搭載された関連されるテストソケットのペアのうちのいずれかのテストソケットの通信コネクションを選択的に実施する。
【００２６】
別の実施の形態では、それぞれのスイッチは、ハンドラーのマニピュレータアームの動作によりその後決定される、検査されるべき次の装置の位置に応答する。それぞれのマニピュレータアームは、関連されるテストソケットのペアのうちの他のテストソケットにおける検査下にある装置について受信された検査終了の信号の前に、利用可能な（空の）テストソケットに検査のための装置を位置させるために動作する。
【００２７】
更なる実施の形態では、コントローラは、第一のマニュピレーションアーム、第二のマニュピレーションアーム、スイッチ及びテスターに接続される。このコントローラは、自動かつ調整された方式でマニピュレータアームを制御する。調整は、スイッチ制御であり、テスターとの通信である。自動の動作は、マニピュレータアームの１つの故障した場合に継続される動作を提供する。
【００２８】
本発明の別の実施の形態は、検査用の方法である。本方法は、関連されるテストソケットのペアのうちの他のソケットにおける装置を検査するステップの終了に即座に応じて、テストソケットのうちの１つにおける装置を検査するステップ、及びその逆のステップを含む。
【００２９】
別の実施の形態では、本方法は、他のテストソケットにおける装置を検査するステップの間に、テストソケットのうちの１つで検査のための装置を置き換えるステップを含む。
【００３０】
更なる実施の形態は、最初のテストソケットと第二のテストソケットとの間の検査を切替えるステップを含む。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】テスター、テスターリソースを検査下において装置に相互接続するインタフェースボード、インタフェースボードの１つのテストソケット、１つのマニピュラーアームをもつ自動化されたハンドラーを含む検査のための従来のシステムを例示する図である。
【図２】本発明の所定の実施の形態に係る、テスター、テスターを検査下においてそのテストリソースに相互接続するインタフェースボード、同じテストリソースのセットに並行して接続され、インタフェースボードに搭載される２つのテストソケット、デュアルマニピュラーアームをもつ自動化されたハンドラーを含む検査用のシステムを例示する図である。
【図３】本発明の所定の実施の形態に係る、それらテストソケットの間の検査の切り替えのための、そのインタフェースボードの２つのテストソケットの間の検査下でテスター及びそのリソースを検査装置に相互接続するインタフェースボードのスイッチを含む、図２のシステムに実質的に類似する検査用のシステムを例示する図である。
【図４】連続する装置の検査が中断され、それぞれ連続する検査装置をマニピュレータアームが移動して置き換える動作の期間にアイドリング状態にあるように、検査のためのそれぞれ次の連続する検査装置をマニピュレータアームが移動し、置き換えるために必要とされるインデックスタイムを含む検査用の従来の方法を例示する。
【図５】本発明の所定の実施の形態に係る、要求される無視できるインデックスタイムを含む検査用の方法を例示する図であり、テストソケットのペア及び２つのマニピュレータアームがインタフェースボードでのテストソケットのそれぞれでの即座の連続した装置の検査に作用し、ソケットは、同じテスターリソースのセットを検査下にある装置に相互接続するインタフェースボードの同じテスターリソースのセットに並列に配線され、無視できるインデックスタイムは、他方のテストソケットで検査が実行される間に一方のテストソケットに装置を移動して置き換え、及び逆に、一方のテストソケットで検査が実行される間に他方のテストソケットに装置を移動して置き換えることで達成される。
【図６】本発明の所定の実施の形態に係る、同じテスターリソースのセットに並列に配線されたテストソケットのペアのそれぞれの間で選択するインタフェースボードのスイッチ、及び、他方のテストソケットで検査が実行される間に一方のテストソケットにおける検査のために装置を操作し、一方のテストソケットで検査が実行される間に他方のテストソケットにおける検査のために装置を操作する２つのマニピュレータアームを含む、インデックスタイムが無視できる、図５の方法に係る装置のデジタルピンを検査するシステムを例示する図である。
【図７】本発明の所定の実施の形態に係る、インタフェースボードのテストソケットのペアのうちのそれぞれのテストソケット間の電気接続の切り替えを制御する、図６のシステムでの使用のための電気回路及びハードウェアコンポーネントを例示する図であり、ペアの１つのソケットが時間的な所与の瞬間でテスターに接続されるように、スイッチが同じテスターリソースのセットに並列に配線されたテストソケットのペアのうちの１つの間で選択し、スイッチがテストソケットのうちの一方のテスターからの電気的な分離を提供し、他方のソケットは、テスターに電気的に接続され、検査における使用のために利用可能であり、逆に、スイッチがテストソケットのうちの他方のテスターからの電気的な分離を提供し、一方のソケットは、テスターに電気的に接続され、検査における使用のために利用可能である。
【図８】本発明の所定の実施の形態に係る、図５の方法に係る検査装置のデジタルパワーを検査する、図６のシステムに実質的に類似したシステムを例示する図である。
【図９】本発明の所定の実施の形態に係る、図５の方法に係る検査装置のアナログピンを検査する、図６及び図のシステムに実質的に類似したシステムを例示する図である。
【図１０】本発明の所定の実施の形態に係る、図５の方法に従って検査装置のアナログパワーを検査する、図６、図８及び図９のシステムに実質的に類似したシステムを例示する図である。
【図１１】本発明の所定の実施の形態に係る、図５、図６、図８、図９及び図１０の概念に実質的に従う、光学装置を検査するシステムを例示する図である。
【図１２】本発明の所定の実施の形態に係る、無視できるインデックスタイムが要求される、図５の方法、並びに図６、図８、図９、図１０及び図１１のシステムの検査サイクルにおけるタイミングの関係を例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
本発明は、例を通して説明され、添付図面における限定ではなく、同一の参照符号は類似のエレメントを示す。
【００３３】
図２を参照して、装置を検査するシステム２００は、テスター２０４、テスターリソースを検査下にある装置に相互接続するためにテスター２０４に通信可能に接続されるインタフェースボード２０６、及びロボット式のハンドラー２０８を含む。ロボット式のハンドラー２０８は、テスター２０４に通信可能に接続される。インタフェースボード２０６は、テスター並びに２以上のテストソケット２１０及び２１２に通信可能に接続される。テストソケット２１０及び２２１は、テスター２０４とのインタフェースボード２０６のコネクションを介して、テスター２０４及びテスター２０４のテスターリソースに平行に配線される。テストソケット２１０及び２１２の並列の接続のため、それぞれのソケット２１０，２１２は、テスター２０４及びテスター２０４の同じテストリソースに個別にインタフェースされるが、テスター２０４は、何れかの瞬間で、同じテスターリソースを介して、ソケット２１０，２１２の一方又は他方のみを検査することができる。
【００３４】
システム２００では、ハンドラー２０８及びテスター２０４は、ハンドラー１０８及びテスター１０４に関して図１及びシステム１００を参照して記載されるように、ハンドラー２０８が次の検査装置の機械的な置き換え動作を始動するように、テスター２０４による検査を始動するためにハンドラー２０８が検査開始信号を発生し、次いで、テスター２０４がハンドラー２０８に各種の結果データ及び検査終了での検査終了信号をリターンする点で、実質上通信する。（多数のソケットが個別のテストリソースを介して同時の検査を許容するテスターの異なる個別の検査リソースに配線される）マルチサイトコンフィギュレーションにおいてさえ、かかるマルチサイトコンフィギュレーションで抜けている装置を識別するために必要とされる同じ情報は、ハンドラー２０８によりテスター２０４に同様に伝達される。これらの通信は（テスターが異なるテストリソースを介して同時の検査を提供するか否かで）実質的に従来のものであるため、システム２００におけるテスター２０４は、同じテスターリソースの次の検査をそれらテスターリソースの先行する検査の終了に応じてテスターを介して即座に始動することができるように、それぞれの装置又は装置のセットについて順次的な検査機能を有する従来のテスターとすることができる。
【００３５】
ロボットハンドラー２０８は、ロボット式のハンドラー２０８による調整及び自動化された方式でそれぞれ接続及び制御される、第一のマニピュレータ２１２及び第二のマニピュレータ２１４を含む。第一のマニピュレータ２１２及び第二のマニピュレータ２１４のそれぞれは、（マニピュレータ２１２，２１４がそれぞれ機械的な操作で１を超える検査装置を操作する機能を有する場合）個別の検査装置（又は複数の装置）を操作可能である。第一のマニピュレータ２１２が検査されるべき第一の装置を取り上げ、インタフェースボード２０６のソケット２１０に検査されるべき第一の装置を位置したとき、他の第二のマニピュレータ２１４は、検査されるべき次の第二の装置を同時に探し出す。ソケット２１０における第一の装置の検査の間、第二のマニピュレータは、検査されるべき第二の装置を取り上げ、ソケット２１１に検査されるべき第二の装置を載せる。
【００３６】
先に使用された用語「ステージング“staging”」は、マニピュレータ２１４により扱われる第二の装置は、ソケット２１１に挿入されないが、ソケット２１１との電気的な接触をなすことなしに、ソケット２１１での挿入に機械的に接近して位置されることを意味する。次いで、ハンドラー２０８がテスター２０４から検査終了の信号を受けたとき、マニピュレータアーム２１２は、ソケット２１０から第一の装置を除き、マニピュレータアーム２１４は、第二の装置をソケット２１１に同時に挿入する。マニピュレータアーム２１４が第二の装置をソケット２１１に完全に挿入し、完全な電気的な接触が第二の装置とソケット２１１との間で行われるとすぐ、ハンドラー２０８は、次の検査開始の信号をテスター２０４に発し、検査はソケット２１１に挿入される装置で始まる。
【００３７】
何が伝達されか、何により制御されるか、及びテスター２０４で何が検査されるかの観点から、ソケット２１０とソケット２１１との間に差がなく、これは、これらソケットの両者がテスター２０４とその同じテスターリソースのセットに接続されるためである。しかし、テスター２０４は、それぞれの瞬間でソネット２１０，２１１のうちの一方に関して特定のテスターリソースを介して検査を行う。無視できるインデックスタイムは、テスター２０４がハンドラー２０８に発する検査終了の信号と、ハンドラー２０４によりテスター２０８に発せられる次の検査開始の信号との間のラグ期間においてテスター２０４で生じる。テスター２０８へのインタフェースボード２０６を介したソケット２１０，２１１のパラレルインタフェースのため、それぞれ同じテスターリソースのセットに配線されるソケット２１０，２１１の１つのみが何れかの瞬間で挿入される装置を有する。以下に、ソケットへの挿入に近い検査されるべきそれぞれ次の装置のステージの動作は、ソケットへの電気的な接続をなすことのない、「プレポジショニング“pre-positioning”」と呼ばれ、フレーズ「装置を位置させるマニピュレータ」とは、電気的な接触の完全な挿入又はソケットに相対的な装置のプレポジショニングのいずれかを含む。
【００３８】
システム２００では、検査がソケット２１１における第二の装置で開始したとき、システム２００の要件とし（及び従来のテスターの動作により構成であるとして）第一のマニピュレータ２１２は、ソケット２１０から第一の装置を既に取り除いており、まさに検査された第一の装置の配置に対する遅延なしに進み、次いで、検査のための次の検査されていない装置を探し出し、プレポジショニングを行う。次の検査されていない装置のプレポジショニングに対する、既に検査された第一の装置を引っ込めることにおけるマニピュレータ２１２の機械的な動きは、ソケット２１１における第二の装置が検査されている期間に生じる。他のマニピュレータ（マニピュレータ２１４又は２１２のそれぞれ）がアクティブな検査のためにソケットにおける次の装置を保持する期間にマニピュレータ（マニピュレータ２１２又はマニピュレータ２１４のいずれか）のこれら機械的な動きは、「マニピュレータインデックシング（manipulator  indexing）」とここでは呼ばれる。マニピュレータ２１２でのマニピュレータインデクシングは、マニピュレータ２１４がソケット２１１における第二の装置を検査することに従事している間であって、マニピュレータ２１４が機械的なインデクシングではない間に生じる。同様に、マニピュレータ２１４でのマニピュレータのインデクシングは、マニピュレータ２１２がソケット２１０における装置を検査することに従事している間であって、マニピュレータ２１２が機械的なインデクシングではない間に生じる。それぞれのマニピュレータの機械的な動作及び関連するマニピュレータのインデクシングは、利用可能及び検査待ちの更なる検査されていないマニピュレータのインデクシングが存在するか、システム２００の動作を停止するエラー状態がないか、又は人間のオペレータがシーケンスを中断するために介入していない限り繰り返される。
【００３９】
図３を参照して、装置３０２を検査するシステム３００は、テスター３０４、第一のマニピュレータ３１２と第二のマニピュレータ３１４を有するロボット式のハンドラー３０８、第一のソケット３１０及び第二のソケット３１１を有するインタフェースボード３０６、及びリレー３１６を含んでいる。ハンドラー３０８は、テスター３０４に通信可能に接続され、また、インタフェースボード３０６を介してリレー３１６に通信可能に接続される。インタフェースボード３０６は、テスター３０４、ハンドラー３０８、リレー３１６、並びにソケット３１０及び３１１に通信可能に接続される。第一のソケット３１０及び第二のソケット３１１は、リレー３１６を介して並列にテスター３０４に通信可能に接続され、テスター３０４は、ソケット３１０又はソケット３１１での検査の間に通信可能なコネクションで選択的に切替えられる。
【００４０】
リレー３１６は、第一のソケット３１０と第二のソケット３１１のそれぞれの間の検査の接続性を切替えるためのスイッチエレメント（詳細に図示せず）を含む。リレー３１６は、第一及び第二のソケット３１０，３１１へのテスター３０４からの信号の分離が著しいタイミング及びインピーダンスの問題を引き起こす非対称性を生じないため、（図２に示されるような）低周波の検査で必要とされない。（図２に示されるような）インタフェースボード３０６及びインタフェースボード２０６の設計におけるトレースレングスの整合のルールが常に実施されるべきである。これは、大部分の半導体装置の検査システムが検査下にあるテスターと装置の全てのインタフェースピンとの間の全ての信号接続の間の伝播遅延を較正するためにＴＤＲ（Time  Domain  Reflectometry）を使用するためである。分離した信号の不均等なトレースレングスの整合は、システム３００におけるようにリレーにより切替えられるときでさえ、ＴＤＲシステムを混乱させ、誤った較正データ及び無効な検査結果が得られる。さらに、及び可能性のある範囲にまで、所与のＴＤＲシステムにより必要とされる伝送線路のインピーダンスプロファイルは、テストセルインタフェースのハードウェアで観察されるべきである。
【００４１】
より高い周波数検査が行われる場合、テスター３０４からソケット３１０，３１１への信号の分離は、タイミング及びインピーダンスの問題が著しくなる可能性があるように非対称性が得られる可能性がある。かかる高周波検査の状況では、（図３の）システム３００は、異なる時間インターバルでソケット３１０及び３１１でのそれぞれの検査における検査信号のインピーダンスの非対称性を防止するため、適用できるとして、一方でテストソケット３１０と他方でテストソケット３１１の間でテスト信号を切り替える。インタフェースボード３０６の設計におけるトレースレングスの整合のルールを観察することで、正常なものとしてエラーなしにシステム３００でＴＤＲを実行することが可能となる。
【００４２】
システム３００では、ハンドラー３０８が次の検査装置の機械的な配置動作を始動するように、すなわちマニピュレータが検査のために次の装置を配置するように、ハンドラー３０８がテスター３０４による検査を始動するために検査開始信号を発し、次いで、テスター３０４が各種の結果データ及び検査終了での検査終了の信号をハンドラー３０８にリターンする点で、ハンドラー３０８及びテスター３０４は、ハンドラー１０８及びテスター１０４に関して図１及びシステム１００を参照して記載されるように実質上通信する。
【００４３】
さらにシステム３００において、ハンドラー３０８とリレー３１６との間の通信のコネクションは、適切なハンドラー３０８の動作のために従来の信号とテスター３０２との通信をハンドラー３０８に提供する。ハンドラー３０８自身は、ソケット３１０又はソケット３１１のいずれが検査待ちの次の装置を配置したかを検出する（又は「知る」）。ハンドラー３０８は、したがって、検査のための次の装置を保持しているソケット３１０又は３１１に従って、第一のソケット３１０又は第二のソケット３１１の間にテスター３０２とテスターリソースを切り替えるためにスイッチするリレー３１６を制御する。リレー３１６の制御のアルゴリズムは、マニピュレータ３１２，３１４を制御するハンドラー３０８の同じプログラムに統合される。特に、ひとたび検査終了の信号がテスター３０４からハンドラー３０８に発せられると、ハンドラー３０８は、制御信号をリレー３１６に送出し、ハンドラー３０８により検出されたようにソケット３１０又は３１１における次の準備がされている検査装置に従って切替える。テスター３０４の動作は、効果的に変更される必要はなく、これは、テスター３０４が次の装置の検査を単に継続し、テスター３０４の動作のために同じテスターリソースのセットに接続される１つのソケットとしてそれぞれのソケット３１０，３１１を個々に扱うためである。
【００４４】
テスターが２つの異なる物理的なソケット位置（ソケット３１０及びソケット３１１）が存在することを検出せず、指標を有さない（すなわち「気付いて“aware”」いない）。したがって、テスター３０８は、リレー３１６の切り替えを制御するために必要とされる情報を有さず、該情報を有する必要がない。ハンドラー３０８がリレー３１６の切り替えの制御に適用可能な情報を有するため、ハンドラー３０８は、リレー３１を切替える役割を果たすことができる。
【００４５】
代替的に、（所定の用途又は代替的な実施の形態で適用可能な場合があるように）テスター３０４がリレー３１６を制御する必要がある場合、テスター３０８で実行しているテストプログラムは、ハンドラー３０８に問合せし、スイッチングデータを受け、ソケットのうちでスイッチング及び検査装置の位置に関する判定をなすため、該データを情報に処理し、次いで、制御信号をリレーに送出する。この代替は、コード変更、再コンパイル、コード検査、相関、及びリリースを必要とする。スイッチングのテスター３０８の制御のかかるバリエーションは、ハンドラー３０８の設計にコストを更に追加させることが期待される。これは、ハンドラー３０８がハンドラー３０８のシステムソフトウェアで設定された更新されたコマンドを有することが必要とされないためである。この機能は、高価かつ時間のかかるものであるが、リレー３１６のスイッチングの制御及び多数のソケットにおける連続するそれぞれの装置の検査のための代替的な構成を犠牲にして実現することができる。
【００４６】
システム３００の動作では、第一のソケット３１０は、第一のソケット３１０に配置された装置の検査のため、リレー３１６を通してテスター３０４に通信可能に接続する。次いで、リレー３１６は、第一のソケット３１０にテスター３０４から通信の接続を切断させ、第二のソケット３１１にリレー３１６を通してテスター３０４に通信を接続する。このようにして、第一のソケット３１０における装置は、テスター３０８により検査され、第二のソケット３１１における別の装置の検査が即座に続く。第一のマニピュレータ３１２は、第二のソケット３１１における他の装置を検査する回数の間、第一のソケット３１０のための装置を第一のソケット３１０の内外に操作し、逆も同様である。システム３００は、したがって、第一のマニピュレータ３１２及び第二のマニピュレータ３１４が検査動作における装置の取り上げ、ソケットでの配置、及び取り除くためにそれぞれ機械的に動作するときにさもなければ受けるテスター３０８のアイドル時間を除く。
【００４７】
図５を参照して、本方法５００は、図２のシステム２００又は図３のシステム３００で動作する。本方法５００では、第一のマニピュレータは、ステップ５０２で始動される。テスターに接続されるインタフェースボードの第一のソケットでの検査のために第一の検査装置を探し出すのを始める。本方法５００におけるテスターは、第二のソケットに接続されるが、同時に第一のソケットとの通信の接続性がある。本方法５００は、高周波の検査環境で図３のシステム３００で生じるようなテスターの信号のリレーを含むことができ、又は代替的に、テストソケットの検査信号のリレーが存在しないようにテスターの信号を分離することができる。同じ方法５００は、リレーが存在するか否かにかかわらず、検査のマニピュレータの動作に適用される。
【００４８】
ステップ５０４では、第一のマニピュレータは、検査のために第一の装置に移動する。ステップ５０６で、第一のマニピュレータは、第一の装置を取り上げる。ステップ５０８で、第一のマニピュレータは、第一の装置を第一のインタフェースボードに移動し、ステップ５１０で、第一の装置を第一のインタフェースボードの第一のソケットに挿入する。
【００４９】
その後、ステップ５１２で、テスターは、第一のソケットを介して第一の装置の検査を始める。
【００５０】
ひとたび第一の装置がステップ５１０で第一のインタフェースボードに位置され、第一の装置を検査するステップ５１２が始動したとき、ステップ５２０で第二のマニピュレータが始動される。ステップ５２２で、第二のマニピュレータが第二の装置に移動する。ステップ５２４で第二のマニピュレータは第二の装置を取り上げ、ステップ５２６で第二の装置を第二のインタフェースボードに移動させる。ステップ５２８で、第二のマニピュレータは、（同時に、第一の装置の検査がリレーをもつシステムのコンフィギュレーションで生じるか、さもなければ、リレーがない場合に、第一の装置の検査後に第一のソケットから第一の装置を取り除き、第二の装置の第二のソケットへの挿入が終了することに即座に応じて）第二の装置をインタフェースボードの第二のソケットに挿入する。
【００５１】
第一の装置の検査の完了に応じて、ステップ５１４での第一のマニピュレータは、第一のインタフェースボードにおける第一のソケットから第一の装置を取り除く。第一の装置の検査の終了に即座に応答して、ステップ５３０で、テスターは、第二の装置の検査を始動する。検査の環境がテスターの高周波信号を含む場合、（図３の）リレーは、第二の装置の検査を開始するため、第一のソケットから第二のソケットのテスターの検査信号を切替える。先に記載されたように、低周波検査において、リレーは必ずしも必要ではなく、テスターの検査信号は、タイミング及びインピーダンスの問題の非対称の心配なしに、第一のソケットとそこにある装置との間、及び第二のソケットとそこにある装置との間で分割することができる。いずれの場合においても、第一の装置の検査は終了し、第二の装置の検査が即座に始まる。したがって、テスターのアイドル時間が仮想的に存在せず、方法５００におけるインデックスタイムが最小である。
【００５２】
ステップ５３０における第二の装置の検査の間、第一のマニピュレータは、ステップ５１４で第一のソケットから第一の装置を取り除く。第一のマニピュレータは、その後、ステップ５１６で、検査されている装置の検査後の位置のような第一の装置を移動する。ステップ５１８で、第一のマニピュレータは、第一の装置を開放する。ステップ５１２で次の装置が検査のために第一のマニピュレータにより取り上げられるために待っていることを示すハンドラーからの信号の指示に応じて、ステップ５０２で第一のマニピュレータが再び始動される。次いで、本方法５００は、本方法５００のステップを通して再び第一のマニピュレータに関して継続する。
【００５３】
第二の装置の検査がステップ５３０で終了したとき、本方法５００は、第一のマニピュレータに関して、（システムにリレーがない場合、検査の終了、及び第二のソケットからの第二の装置の取り除き、第一のソケットにおける次の連続する装置の挿入に応じて、又は、システムがリレーを含む場合、第二のソケットの検査の終了に応じてのテスターリソースの第一のソケットへの切替えに応じて）ステップ５１０に準じて第一のソケットに次の連続した検査装置を配置する。したがって、この次の連続する装置の即座の検査は、ステップ５１２を介して始動される。
【００５４】
次の連続する装置の検査の間、本方法５００は、第二のインタフェースボードから第二の装置を取り除くステップ５３２における第二のマニピュレータに関して継続する。つぎに、ステップ５３４では、第二のマニピュレータは、第二の装置を検査後の位置に移動させる。ステップ５３６では、第二の装置は、その位置で第二のマニピュレータにより解放される。
【００５５】
本方法５００は、ステップ５２０における第二のマニピュレータを再び始動することで、ステップ５１２で第一のソケットで検査する間、第二のマニピュレータに関して継続する。ステップ５１２で第一のインタフェースボードでの検査が進むとき、第二のマニピュレータは、本方法５００のステップ５２２，５２４，５２６及び５２８を通して進行する。ひとたび第一のインタフェースボードでの検査が終了すると、第二のマニピュレータは、本方法５００を介して、第二のインタフェースボードに次の連続する検査装置を配置し、ステップ５３０で装置の検査は進む。
【００５６】
勿論、第二の装置の検査の間、本方法５００は、ステップ５１４，５１６，５１８を通して第一のマニピュレータに関して継続し、本方法５００のステップ５０２に戻る。このようにして、テスターは、連続するステップ５１２，５３０においてそれぞれの装置の連続する検査を仮想的に連続的に実行する。ステップ５１２で検査が進行する間、第二のマニピュレータは、本方法５００のステップ５３２，５３４，５３６を通して移動し、再びステップ５２０に戻る。同様に、ステップ５３０で検査が次に進む間、第一のマニピュレータは、本方法５００のステップ５１４，５１６，５１８を通して移動し、ステップ５０２，５０４，５０６，５０８及び５１０に戻る。本方法５００は、（たとえば、検査管理者により手動的に、デフォルトのために自動的に、又はその他）中断されるまで、又は、さもなければ、全ての検査装置が本方法５００で検査及び操作されるまで、このように連続的に進む。
【００５７】
（図２及び図３の）上述したシステム２００，３００及び（図５の）方法５００によれば、様々な代替及び追加が可能である。特に、所定の従来のインタフェースボードは、テスターを介して多数の装置の同時の検査のための幾つかのテストソケット又はセルを有する場合がある。かかる例では、ロボット式のハンドラーは、複数の検査装置を同時に操作し、移動し、シングルパスにおいてインタフェースボードに配置するマニピュレータを有することができる。システム２００，３００は、テスターとのパラレルコネクションでのデュアルインタフェースボード（又は、適用可能である場合、パラレル接続されたソケット及び／又はインタフェースボードのセット）を同様に含むが、それぞれのインタフェースボードは、それぞれのボードの装置の同時の配置及び検査のための幾つかのソケットを有する。方法５００は、それにも拘らず、多数の装置がそれぞれのマニピュレータにより同時に扱われる点を除いて同様に進む。
【００５８】
他の代替では、２を超える多数のマニピュレータ、２を超える多数のインタフェースボードを利用することができる。かかる例では、それぞれのインタフェースボードは、同様に、多数の装置のそれぞれのボードでの同時の検査のための多数の検査ソケットを有する。インタフェースボードは、テスターに並行して通信可能に接続することができ、如何なる必要な遅延は、要求に応じて検査信号を切替える役割を果たす。
【００５９】
さらに、システム２００，３００、及び方法５００に従う検査ステップ及び手順は、多様な製造及び検査動作で利用することができる。たとえば、半導体製造装置は、システム及び方法で適切に検査される唯一のタイプの装置である。他の装置は、適切な光検査ボード、リレー及びテスターをもつ光学装置、適切な機械的及び物理的テストセル及びテスターをもつ機械的な装置、並びに広く多様な他の実現性を含むことができる。それぞれかかる実現性において、多数のマニピュレータ動作で結合されるテスターへの並列接続されたインタフェースは、検査プロセスにおけるインデックスタイムを低減及び除去することができる。
【００６０】
上述した観点で、本明細書での説明の範囲を制限すること無しに、例示的な半導体装置の検査のアレンジメントが与えられる。  
１．半導体装置の自動化された検査装置（ＡＴＥ）−例示的な実施の形態：  
図６を参照して、デジタルデバイス検査装置６００は、半導体チップ等を検査するために使用することができる。システム６００は、従来の自動化された検査装置（ＡＴＥ）６０２を含む。ＡＴＥ６０２は、電源（図示せず）により駆動され、ＡＴＥ６０２を介して適用可能な検査を制御及び実行するためにテストコンピュータ６０３を含む。ＡＴＥ６０２は、電源６０４、グランド６０６、及びデジタルピンエレクトロニクス６０８，６１０，６１２，６１４，６１６のためのコネクタポートを有する。ＡＴＥ６０２は、ＡＴＥ６０２のコミュニケーションポート６１９でのコネクタ６１８を介して、デュアルマニピュレータアームを有するロボット式デバイスマニピュレータ６３０に通信可能に接続される。ロボット式デバイスハンドラー６２０は、コネクタ６１８を介して、ＡＴＥ６０２からの信号及び検査情報を受信及び処理するためのロボット式のコントローラ６２２を含む。
【００６１】
デバイスハンドラー６２０のユーティリティポート６２４は、その制御ポート６２８でリレーコントロール６２６に接続する。また、リレーコントロール６２６は、ＡＴＥ６０２のグランド６０６のポートに接続する。出力制御信号は、リレーコントロール６２６のポート６２９から、リレーバンク６３０に接続される。
【００６２】
リレーバンク６３０は、たとえば、一連のリレースイッチ６３０ａ〜６３０ｅを含む。リレーバンク６３０及びリレーコントロール６２６の詳細は、本明細書で図７と共に更に詳細に後に記載される。図６と共に説明のため、それぞれのリレースイッチ６３０ａ〜６３０ｅは、第一のデバイスアンダーテスト（ＤＵＴ１）６４０及び第二のデバイスアンダーテスト（ＤＵＴ２）６５０のそれぞれ及び対応するデジタルピンに接続される。図６では、スイッチ６３０ａ〜６３０ｅは、ＤＵＴ１  ６４０に検査信号を伝達するために設定される。図５における方法５００に関して先に記載されるように、ＤＵＴ１  ６４０及びＤＵＴ２  ６５０の両者は、リレーバンク６３０にそれぞれのインタフェースボード（ｚ図６に図示せず）を介して接続される。このようにして、ＤＵＴ１  ６４０の検査が終了した後、リレーコントロール６２６は、ＤＵＴ２  ６５０を次に検査するため、リレーバンク６３０のスイッチ６３０ａ〜６３０ｅのスイッチに作用する。
【００６３】
リレーコントロール６２６は、ロボット式デバイスマニピュレータ６２４からの制御信号に基づいて、リレーバンク６３０のスイッチ６３０ａ〜６３０ｅのスイッチを選択する。ロボット式のデバイスマニピュレータ６２４は、たとえば、デバイスの検査が終了したとき、（前方及び後方に信号をやり取りすることで）ＡＴＥ６０２のテストコンピュータ６０３と通信する。この例では、ロボット式のマニピュレータ６２４は、ＡＴＥ６０２にリレーバンク６３０を通して接続されるインタフェースボードにおけるＤＵＴ１  ６４０の配置を終了することに応じて、ＡＴＥ６０２の検査プロセスを始動する。次いで、ＡＴＥ６０２は、ＡＴＥ６０２のテストコンピュータ６０３によりプログラム及び制御されるテストプロトコルに従って、検査を行う。
【００６４】
ＡＴＥ６０２によるＤＵＴ１  ６４０の検査の終了に応じて、ＡＴＥ６０２は、たとえば、ハンドラー６２０にＤＵＴ１  ６４０の検査結果を伝達することで、検査の終了をロボット式のデバイスハンドラー６２０に合図する。次いで、ハンドラー６２０は、ＡＴＥ６０２に接続されるインタフェースボードのそのソケットからＤＵＴ１  ６４０を除くために適切なものとして、マニピュレータアームを制御する。ＡＴＥ６０２からの検査終了の信号の受信に応じて、ハンドラー６２０は、リレーコントロール６２６に合図し、リレーコントロール６２６は、ＡＴＥ６０２にリレーバンク６３０を通してＤＵＴ２  ６５０を通信可能に接続するためにリレーバンク６３０のスイッチ６３０ａ〜６３０ｅをフリップする。次いで、ハンドラー６２０は、ＡＴＥ６０２に次の検査開始信号を発し、次いで、ＡＴＥ６０２は、ＤＵＴ６５０の検査を始動する。
【００６５】
図５における方法５００と共に記載されるように、ロボット式のデバイスハンドラー６２０は、装置が検査されるたびに、既に検査された装置を取り除いて移動し、検査のための新たな装置を探し出して配置するため、そのマニピュレータアームのうちの１つを操作する。このデバイスハンドラー６２０の動作は、リレーバンク６３０及びＡＴＥ６０２で調整され、他の装置が除かれて置き換えられている間に、ＡＴＥ６２０が実質的に連続して装置を検査することを保証する。
【００６６】
図７を参照して、図６を参照して記載されたようなリレー７００は、リレーコントロール６２６及びリレーバンク６３０を含む。図７における例示及びリレー７００の記載のため、リレーコントロール６２６及びリレーバンク６３０は、１つのスイッチ６３０ａをそれぞれ提供する。スイッチ６３０ａは、ｐｉｎＡ，ＤＵＴ１へのコネクタ６３２又はＰｉｎＡ，ＤＵＴ２へのコネクタ６３４といった２つの可能なコネクションの間で動作する。スイッチ６３０ａは、テスター（図７に図示せず）から１つの検査信号６３６へのかかるコネクタ６３２，６３４のいずれかの通信コネクションに作用する。リレー７００において典型的であるように、ロボット式のデバイスマニピュレータ（図７に図示せず）からの７２４ａ，７２４ｂとしての関連する信号入力により、スイッチ６３０ａは、それぞれのＤＵＴ１又はＤＵＴ２の検査のために要求に応じて、スイッチ６３０ａを通した信号６３６により、コネクタ６３２又は６３４のいずれかに接続する。
【００６７】
リレーコントロール６２６は、図６のロボット式のデバイスハンドラー６２０のユーティリティポート６２４（図７に図示せず）から、第一の制御信号７２４ａ及び第二の制御信号７２４ｂの入力を有する。それぞれの制御信号７２４ａ，７２４ｂは、「ダーリントンドライバ」又は等価なパワートランジスタドライバ７２６ａ，７２６ｂに接続する。これらのドライバ７２６ａ，７２６ｂは、たとえばＮＴＥ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，Ｉｎｃ．ｐａｒｔｓ  ｎｕｍｂｅｒ  ＮＴＥ２１５  Ｓｉｌｉｃｏｎ  ＮＰＮ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ  Ｄａｒｌｉｎｇｔｏｎ  Ｄｒｉｖｅｒから入手可能である。それぞれのドライバ７２６ａ，７２６ｂは、グランド及びリレーバンク７３０に接続する。
【００６８】
図７に示されるリレーバンク７３０は、図６のシステム６００で使用されるものよりも実質的に簡素化されており、検査下にあるそれぞれの装置の多数のピン（すなわちＤＵＴ１及びＤＵＴ２）は、リレーバンク６３０を通してテスター６０２に同時に接続される。それにも拘らず、図７のリレーバンク６３０は、図６における対応するリレーバンク６３０の１つのスイッチ６３０ａを例示している。スイッチ６３０ａは、コイル６３１ａ，６３１ｂの間のリレーバンク６３０に配置される。コイル６３１ａ，６３１ｂは、リレーコントロール６２６のそれぞれのトランジスタドライバ７２６ａ，７２６ｂの出力によりそれぞれ駆動される。リレーコントロール６２６は、このようにして、それぞれの検査の瞬間で検査信号６３６を介した検査のためにＰｉｎＡ，ＤＵＴ１  ６３２又はＰｉｎＡ，ＤＵＴ２  ６３４のいずれかを選択的に通信可能に接続するため、スイッチ６３０ａを切替える。
【００６９】
一般に実施の形態では、完全な検査プロトコルは、第一の検査装置で実行され、次いで、リレーコントロール６２６は、検査のための第二の装置へのスイッチングを引き起こし、その後に繰り返される。装置の検査の間、次の検査のための装置が探し出され、次の検査のためにインタフェースボードに配置される。次いで、装置の検査の終了に応じて、リレーコントロール６２６は、リレーバンク６３０を次の連続する検査のための装置に切り替え、それぞれ次の連続した装置の検査は、著しいインデックスタイムの遅延なしに、このような方式で始動して継続する。
【００７０】
図８を参照して、検査における装置のデジタルパワーのためのコネクションを示す図６のシステムが例示されている。特に、システム６００は、ＡＴＥ６０２、ロボット式のデバイスハンドラー６２０、リレーコントロール６２６、及び、パワーコネクタ８０２，８０４とグランドコネクタ８０６，８０８の間のスイッチ８３０ａ〜８３０ｄにわたり接続されるリレーバンク８３０、並びに、ＤＵＴ１  ６４０及びＤＵＴ２  ６５０のそれぞれのデジタルパワーピンを含む。図６のシステム６００によるように、図７のシステム６００は、他のＤＵＴが検査のためにテスター６０２にリレーバンク８３０のスイッチ８３０ａ〜８３０ｄにより通信可能に接続される間、ロボット式のマニピュレータがそれぞれのＤＵＴの操作及び置き換えによる、ＤＵＴ１  ６４０、これにＤＵＴ２  ６５０が続く検査の実質的に連続なシーケンシャルパワーを提供する役割を果たす。
【００７１】
図９を参照して、それぞれの装置、ＤＵＴ１  ６４０及びＤＵＴ２  ６５０を検査するアナログピンのコネクタを示す図６及び図８のシステム６００が例示されている。図９のシステム６００では、ＡＴＥ６０２は、アナログデジタイザコネクション９０２，９０４，９０６，９０８で、リレーバンク９３０のそれぞれのスイッチ９３０ｄ，９３０ｃ，９３０ｂ，９３０ａに接続する。スイッチ９３０ａ，９３０ｂ，９３０ｃ，９３０ｄのそれぞれは、そのアナログピンでそれぞれのＤＵＴ１  ６４０及びＤＵＴ２  ６５０に接続する。先の例示のシステム６００によれば、スイッチ９３０ａ，９３０ｂ，９３０ｃ，９３０ｄは、仮想的に中断されない連続において、それぞれのＤＵＴ１  ６４０及びＤＵＴ２  ６５０の検査のためにテスター６０２をそれぞれ通信可能に接続するため、マニピュレータ６３０を介して、リレーコントロール６２６により制御される。ＤＵＴの１つが検査されている間、他のＤＵＴは移動され、次の検査のための装置でハンドラー６２０により置き換えられる。
【００７２】
図１０を参照して、それぞれの装置、ＤＵＴ１  ６４０及びＤＵＴ２  ６５０を検査するアナログパワーのコネクションを示す図６，図８及び図９のシステム６００が例示されている。図１０のシステム６００では、ＡＴＥ６０２は、リレーコントロール６２６とリレーバンク１０３０のコイルにわたるユーティリティパワーコネクション１００２，１００４で接続する。スイッチ１０３０ｄ，１０３０ｃ，１０３０ｂ，１０３０ａは、テスター６０２のＤＵＴパワーコネクション１００６，１００８，１０１０，１０１２に接続される。先の説明と同様に、リレーバンク１０３０のそれぞれのスイッチ１０３０ｄ，１０３０ｃ，１０３０ｂ，１０３０ａは、そのアナログパワーピンで、それぞれのＤＵＴ１  ６４０及びＤＵＴ２  ６５０のそれぞれにテスター６０２を選択的に通信接続する。スイッチ１０３０ａ，１０３０ｂ，１０３０ｃ，１０３０ｄは、仮想的に中断されない連続で、それぞれのＤＵＴ１  ６４０及びＤＵＴ２  ６５０の検査のためにテスター６０２を通信的に接続するため、マニピュレータ６３０を介してリレーコントロール６２６により制御される。ＤＵＴの一方が検査されている間、他方のＤＵＴは、ハンドラー６２０により移動され、検査のために次の装置で置き換えられる。
【００７３】
図６〜図１０を参照して、リレーバンク６３０，８３０，９３０，１０３０の多数の１つは、即座の連続でＤＵＴ１  ６４０及びＤＵＴ２  ６５０のそれぞれ１つの検査を実行するため、システム６００で同時に利用することができることが例示され、理解することができる。ＤＵＴのうちの一方の検査の間、ハンドラー６２０は、他のＤＵＴを移動して置き換える。かかるアレンジメントでは、リレーコントロール６２６は、それぞれのＤＵＴがＤＵＴ１  ６４０及びＤＵＴ２  ６５０として連続的に検査される場合があるため、リレーバンク６３０，８３０，９３０，１０３０のそれぞれのスイッチングを制御する。ハンドラー６２０が検査のための新たな装置でＤＵＴを変えるため、他のＤＵＴの検査の間、システム６００のインデックスタイムは無視することができ、連続する装置の検査は、テスター６０２により実質的に連続する。
【００７４】
２．光デバイスの自動化された試験装置（ＡＴＥ）−例示的な実施の形態：  
図１１を参照して、光デバイスを検査する別の検査システム１１００は、テスター１１０２による連続的な検査を実行するため、類似のリレーエレメントを利用する。テスター１１０２は、ＣＣＤリセプタ及びＣＣＤイメージプロセッサを有するイメージキャプチャ１１０４を含んでいる。イメージキャプチャ１１０４は、テスター１１０２のテストコンピュータ１１０８に接続される。また、テスター１１０２は、電源１１０６及びコネクション１１１０，１１１２，１１１４を含む。
【００７５】
テスター１１０２のテストコンピュータ１１０８は、コネクタ１１１６を介してロボット式のマニピュレータ１１１８に通信接続する。ロボット式のマニピュレータ１１１８は、先に詳述されたようにリレーコントロール６２６へのコネクションを介して、マニピュレータ１１１８が、デュアルマニピュレータアームを有し、検査情報を受け、それぞれのデュアル装置、ＤＵＴ１  １０５０及びＤＵＴ２  １０４０の検査を制御することを含めて、実質的に先に記載されたようなものである。リレーコントロール６２６は、リレー１１３０のスイッチ１１３０ａのスイッチングを制御する。スイッチングは、テスター１１０２と、対応するＤＵＴ１  １０３２及びＤＵＴ２  １０３４のそれぞれのテストキャプチャエレメント１０３２，１０３４との間でリレー１１３０にわたり通信接続に作用する。（図６、図８、図９及び図１０の）システム６００の先に記載によれば、システム１１００は、即座の連続で、ＤＵＴ１  １０４０とＤＵＴ２  １０５０との間の検査を切替える。ＤＵＴのうちの一方の検査の間、他のＤＵＴは、マニピュレータ１１１８により移動され、次の検査のための装置で置き換えられる。このようにして、テスター１１０２は、無視できるアイドルインデックスタイムにより、それぞれ連続する次の装置での検査動作を実質的に継続する。
【００７６】
図１２を参照して、タイミングチャート１２００は、本明細書で記載されたタイプの検査システムにおける、それぞれ第一及び第二の装置（すなわちＤＵＴ１及びＤＵＴ２）の検査サイクルを例示している。他の装置が検査されている間に、デュアルマニピュレータアームを介して、マニピュレータが一方の装置を操作することができ、逆に、一方の装置が検査されている間に、デュアルマニピュレータアームを介して、マニピュレータが他の装置を操作することができるため、インデックスタイムが無視できるタイミングチャート１２００において顕著である。したがって、それぞれの瞬間で、検査のための装置は、検査のためにソケットに配置され、システムは、検査についてそのように準備されている装置の検査をそれぞれの瞬間で継続するため、装置の間に検査をスイッチする。ひとたび装置の検査が終了すると、他の装置は、次の装置への検査の切り替えに応じて、即座に検査することができる。
【００７７】
上述された仕様では、本発明は、特定の実施の形態を参照して記載されてきた。しかし、当業者であれば、様々な変更及び変形が以下の特許請求の範囲に記載されたような本発明の範囲から逸脱することなしになされることを理解されるであろう。これに応じて、明細書及び図面は、限定的な意味よりはむしろ例示的な意味で考えられるべきであり、全てのかかる変更は、本発明の範囲に含まれることが意図される。
【００７８】
問題に対する利益、他の利点及びソリューションは、特定の実施の形態に関して先に記載されている。しかし、問題に対する利益、利点、ソリューション、及び、利益、利点、又はソリューションに生じさせるか、より強調させることになるエレメントは、重要、必須、又は請求項のいずれか又は全ての本質的な特徴又はエレメントとして解釈されるべきではない。本明細書で使用されるように、用語「備える“comprise”、“comprising”」又はその他のバリエーションは、エレメントのリストを含むプロセス、方法、製品又は装置がそれらのエレメントのみを含まないが、明示的に列挙されないか又はかかるプロセス、方法、製品、又は装置に固有の他の装置を含む場合があるように、排他的ではない包含をカバーすることが意図される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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