(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に被加工物が積載されるテーブルと、テーブルより下方に位置してテーブルを往復動させる駆動装置とを備える加工装置に設けられ、前記駆動装置を覆うカバー装置であって、
前記加工装置は、テーブル上に加工液を供給しながらテーブル上の被加工物を加工するようになっており、
前記テーブルの往復動方向の一方側に位置して前記駆動装置を上方から覆う移動カバーおよび固定カバーを備え、
前記移動カバーは、前記テーブルと一体的に往復動するように前記テーブルに前記往復動方向に結合されており、かつ、前記移動カバーの上面には、前記テーブルから加工液が流入するようになっており、
前記固定カバーの上面は、前記移動カバーよりも下方に位置し、前記移動カバーの上面における前記往復動方向の一方側の端部から落下する加工液を受けるようになっており、
前記固定カバーの前記上面には、前記移動カバーの前記往復動方向の一方側の端部よりも前記往復動方向の他方側において立ち上り部が設けられ、該立ち上り部は、前記固定カバーの前記上面から上方に立ち上るとともに前記往復動方向の一方側を向く加工液阻止面を有し、
上下方向に関して、前記立ち上がり部の上縁の高さから前記移動カバーの下面まで延びる空間が設けられ、該空間は、水平方向である前記往復動方向に、前記立ち上がり部から、前記移動カバーにおける前記往復動方向の一方側の端まで連続して延びて確保されており、そのまま、前記移動カバーの外側へ前記往復動方向の一方側に開放されており、前記移動カバーが前記往復動方向の他方側へ移動する時に、前記移動カバーと立ち上がり部との間で前記往復動方向に空気が圧縮されないようになっている、ことを特徴とするカバー装置。
【請求項２】
前記移動カバーは、前記水平方向である前記往復動方向と直交する別の水平方向における一方側部分と、当該別の水平方向における他方側部分と、を有し、
前記一方側部分の上面は、当該別の水平方向の一方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜しており、前記他方側部分の上面は、当該水平方向の他方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜している、ことを特徴とする請求項１に記載のカバー装置。
【請求項３】
上面に被加工物が積載されるテーブルと、テーブルより下方に位置してテーブルを水平方向に往復動させる駆動装置とを備える加工装置に設けられ、前記駆動装置を覆うカバー装置であって、
前記加工装置は、テーブル上に加工液を供給しながらテーブル上の被加工物を加工するものであり、
前記テーブルの往復動方向一方側に位置して前記駆動装置を上方から覆う第１の移動カバー、第１の固定カバーおよび第２の移動カバーと、前記テーブルの往復動方向一方側に位置して前記駆動装置を往復動方向一方側から覆う第２の固定カバーと、を備え、
第１の移動カバーは、前記テーブルと一体的に往復動するように前記テーブルに水平方向に結合されており、かつ、第１の移動カバーの上面には、前記テーブルから加工液が流入するようになっており、
第１の固定カバーの上面は、第１の移動カバーよりも下方に位置し、第１の移動カバーの上面における往復動方向一方側の端部から落下する加工液を受けるようになっており、
第１の固定カバーの前記上面には、移動カバーの往復動方向一方側の端部よりも往復動方向他方側において立ち上り部が設けられ、該立ち上り部は、第１の固定カバーの前記上面から上方に立ち上るとともに往復動方向一方側を向く加工液阻止面を有し、
第２の移動カバーは、第１の固定カバーよりも下方に位置し、前記テーブルと一体的に往復動するように前記テーブルに水平方向に結合されており、
第２の固定カバーは、第２の移動カバーの上面の下方において往復動方向一方側を向く側面を有する、ことを特徴とするカバー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、上面に被加工物が積載されるテーブルと、テーブルを往復動させる駆動装置とを備える加工装置に設けられ、当該駆動装置を覆うカバー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
加工装置は、例えば、平面研削盤である。平面研削盤では、次のように被加工物を加工（研削）する。テーブルに被加工物を積載する。テーブルを駆動装置により水平方向に往復動させながら、回転している砥石で被加工物を研削する。
【０００３】
このような加工装置では、テーブル上の被加工物または砥石に加工液（研削液）を供給しながら、被加工物を加工する。そのため、加工液が、テーブルから、テーブルの下方に配置された駆動装置へ流入しないようにカバーを設けている。
【０００４】
なお、本願の先行技術文献として、下記の特許文献１、２がある。特許文献１では、加工液が供給される回転工具と、これを回転可能に支持するハウジングとの間にラビリンスシール構造を設けている。特許文献２では、加工液が供給される研削盤のカバーを、テーブルの移動に合わせて伸縮可能に構成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１５３４２６号公報
【特許文献２】特開２００５−１０３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来においては、加工液が駆動装置へ流入することを完全に防ぐことができなかった。例えば、加工液の供給量が多い場合には、加工液が駆動装置内に流入することがあった。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、往復動しているテーブル上に加工液を供給しながら、テーブル上の被加工物を加工する場合に、テーブルより下方にある駆動装置内へ加工液が流入することをより確実に防止できるカバー装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述の目的を達成するため、第１の発明によると、上面に被加工物が積載されるテーブルと、テーブルより下方に位置してテーブルを往復動させる駆動装置とを備える加工装置に設けられ、前記駆動装置を覆うカバー装置であって、
前記加工装置は、テーブル上に加工液を供給しながらテーブル上の被加工物を加工するようになっており、
前記テーブルの往復動方向一方側に位置して前記駆動装置を上方から覆う移動カバーおよび固定カバーを備え、
移動カバーは、前記テーブルと一体的に往復動するように前記テーブルに水平方向に結合されており、かつ、移動カバーの上面には、前記テーブルから加工液が流入するようになっており、
固定カバーの上面は、移動カバーよりも下方に位置し、移動カバーの上面における往復動方向一方側の端部から落下する加工液を受けるようになっており、
前記固定カバーの前記上面には、移動カバーの往復動方向一方側の端部よりも往復動方向他方側において立ち上り部が設けられ、該立ち上り部は、前記固定カバーの前記上面から上方に立ち上るとともに往復動方向一方側を向く加工液阻止面を有し、
上下方向に関して、前記立ち上がり部の上縁の高さから移動カバーの下面まで延びる空間が設けられ、該空間は、往復動方向に関して、移動カバーの上面における往復動方向一方側の端部から前記立ち上がり部まで連続して延びている。
【０００９】
本発明の好ましい実施形態によると、前記移動カバーは、往復動方向と直交する水平方向における一方側部分と、当該水平方向における他方側部分と、を有し、
前記一方側部分の上面は、当該水平方向の一方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜しており、前記他方側部分の上面は、当該水平方向の他方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜している。
【００１０】
上述の目的を達成するため、第２の発明によると、上面に被加工物が積載されるテーブルと、テーブルより下方に位置してテーブルを水平方向に往復動させる駆動装置とを備える加工装置に設けられ、前記駆動装置を覆うカバー装置であって、
前記加工装置は、テーブル上に加工液を供給しながらテーブル上の被加工物を加工するものであり、
前記テーブルの往復動方向一方側に位置して前記駆動装置を上方から覆う第１の移動カバー、第１の固定カバーおよび第２の移動カバーと、前記テーブルの往復動方向一方側に位置して前記駆動装置を往復動方向一方側から覆う第２の固定カバーと、を備え、
第１の移動カバーは、前記テーブルと一体的に往復動するように前記テーブルに水平方向に結合されており、かつ、第１の移動カバーの上面には、前記テーブルから加工液が流入するようになっており、
第１の固定カバーの上面は、第１の移動カバーよりも下方に位置し、第１の移動カバーの上面における往復動方向一方側の端部から落下する加工液を受けるようになっており、
第１の固定カバーの前記上面には、移動カバーの往復動方向一方側の端部よりも往復動方向他方側において立ち上り部が設けられ、該立ち上り部は、前記固定カバーの前記上面から上方に立ち上るとともに往復動方向一方側を向く加工液阻止面を有し、
第２の移動カバーは、第１の固定カバーよりも下方に位置し、前記テーブルと一体的に往復動するように前記テーブルに水平方向に結合されており、
第２の固定カバーは、第２の移動カバーの上面の下方において往復動方向一方側を向く側面を有する、ことを特徴とするカバー装置が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
上述した第１の発明では、前記固定カバーの前記上面には、移動カバーの往復動方向一方側（駆動装置と反対側）の端部よりも往復動方向他方側において立ち上り部が設けられ、該立ち上り部は、前記固定カバーの前記上面から上方に立ち上るとともに往復動方向一方側を向く加工液阻止面を有するので、移動カバーから固定カバーに流れてきた加工液は、加工液阻止面により駆動装置側へ流れることが防止される。
【００１２】
さらに、第１の発明では、上下方向に関して、前記立ち上がり部の上縁の高さから移動カバーの下面まで延びる空間が設けられ、該空間は、往復動方向に関して、移動カバーの上面における往復動方向一方側の端部から前記立ち上がり部まで連続して延びているので、移動カバーが駆動装置側（往復動方向他方側）へ移動することで、移動カバーと立ち上がり部との間で往復動方向に空気が圧縮されることがない。従って、駆動装置側へ流れ込む空気流（例えば、図３（Ｃ）の空気流Ａ）の発生が防止される。その結果、加工液が、このような空気流に巻き込まれて駆動装置側へ進入することが防止される。
【００１３】
よって、第１の発明では、テーブルの駆動装置内へ加工液が流入することをより確実に防止できる。
【００１４】
上述した第２の発明では、第１の移動カバーから第１の固定カバーに流れて来た加工液は、第１の固定カバーの加工液阻止面により、駆動装置側（往復動方向他方側）へ進入することが防止される。
【００１５】
また、第２の発明では、仮に、第２の移動カバーの上面へ加工液が進入した場合に、第２の移動カバーは、往復動方向他方側でテーブルに結合されているので、第２の移動カバー上の加工液が、駆動装置側（往復動方向他方側）へ進入することが防止される。
【００１６】
さらに、第２の発明では、第１の固定カバーよりも下方に第２の移動カバーを設けており、この第２の移動カバー上の加工液が進入し、当該加工液が、第２の移動カバーにおける往復動方向一方側の端部から落下した場合には、当該加工液は、第２の固定カバーの側面により、駆動装置側（往復動方向他方側）へ進入することが防止される。
【００１７】
よって、第２の発明では、テーブルの駆動装置内へ加工液が流入することをより確実に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態によるカバー装置を備えた加工装置を示す。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ矢視断面図である。
【図３】（Ａ）と（Ｂ）は、本発明の実施形態による図１の部分拡大図であり、（Ｃ）は、比較対象の構成図である。
【図４】（Ａ）は、図１のＩＶＡ−ＩＶＡ矢視図であり、（Ｂ）は、図１のＩＶＢ−ＩＶＢ矢視断面図であり、（Ｃ）は、図１のＩＶＣ−ＩＶＣ矢視断面図である。
【図５】テーブル３が往復動方向一方側（図の左側）へ最も移動した状態を示す。
【図６】（Ａ）〜（Ｄ）は、図４（Ｃ）のＸ−Ｘ矢視図であり、それぞれ、第１の移動カバー、第１の固定カバー、第２の移動カバー、第２の固定カバーを示す。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の好ましい実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
【００２０】
図１は、本発明の実施形態によるカバー装置１０を備える加工装置２０の構成図である。図２は、図１のＩＩ−ＩＩ矢視断面図である。なお、図１は、図２のＡ−Ａ矢視断面図に相当する。
【００２１】
加工装置２０は、水平面である上面３ａに被加工物１が積載されるテーブル３と、テーブル３より下方に位置してテーブル３を水平方向に往復動させる駆動装置５とを備える。加工装置２０は、テーブル３の上面３ａに加工液を供給しながらテーブル３上の被加工物１を加工するようになっている。図１の例では、加工装置２０は、平面研削盤であり、被加工物１を研削加工する工具２または被加工物１に加工液（研削液）を供給しつつ、駆動装置５がテーブル３を往復動させながら、回転している工具（砥石）２により被加工物１を研削する装置である。
【００２２】
駆動装置５は、駆動モータ７、減速軸９、傘歯車１１ａ、１１ｂ、回転軸１３、歯車１５ａ、１５ｂ、および偏心ピン１７を備える。駆動モータ７は、自身の出力軸７ａを回転駆動する。駆動モータ７は、好ましくはサーボモータである。出力軸７ａと減速軸９には、それぞれ傘歯車１１ａ、１１ｂが固定されている。出力軸７ａは、これらの傘歯車１１ａ、１１ｂを介して、減速軸９を回転させる。減速軸９と回転軸１３には、それぞれ歯車１５ａ、１５ｂが固定されている。減速軸９は、これらの歯車１５ａ、１５ｂを介して回転軸１３を回転させる。回転軸１３には、自身の回転中心に対し偏心した偏心ピン１７が固定されている。偏心ピン１７は、テーブル３の長孔３ｂ（図２を参照）に嵌合している。この嵌合により、回転軸１３が回転すると、偏心ピン１７の回転によりテーブル３が図１の左右方向に往復動させられる。なお、テーブル３は、図示しないガイド（例えば、ＬＭガイド）によりテーブル３の往復動方向（以下、単に往復動方向という）に案内させられる。
【００２３】
カバー装置１０は、駆動装置５を覆うために、第１の移動カバー１９、第１の固定カバー２１、第２の移動カバー２３、および第２の固定カバー２５を備える。これらの第１の移動カバー１９、第１の固定カバー２１、第２の移動カバー２３、および第２の固定カバー２５を１組のカバー装置１０として、同じ構成を持つ２組のカバー装置１０が、テーブル３の往復動方向一方側（図１の左側）と往復動方向他方側（図１の右側）にそれぞれ設けられる。
２組のカバー装置１０は、同様の構成を有するので、以下において、図１の左側に設けた組のカバー装置１０を説明し、図１の右側に設けた組のカバー装置１０の説明を省略する。
【００２４】
第１の移動カバー１９は、テーブル３の往復動方向一方側に位置して駆動装置５を上方から覆う。第１の移動カバー１９は、テーブル３と一体的に往復動するようにテーブル３に水平方向に結合されている。また、第１の移動カバー１９の上面１９ａには、テーブル３の上面３ａから加工液が流入するようになっている。
【００２５】
第１の固定カバー２１の上面２１ａは、第１の移動カバー１９の上面１９ａよりも下方に位置する。また、第１の固定カバー２１の上面２１ａは、第１の移動カバー１９の上面１９ａにおける往復動方向一方側の端部１９ｃから落下する加工液を受けるようになっている。
【００２６】
第１の固定カバー２１の上面２１ａには、第１の移動カバー１９の上面１９ａの往復動方向一方側の端部１９ｃよりも往復動方向他方側において立ち上り部２７が設けられている。図１の例では、立ち上り部２７は、第１の固定カバー２１の上面２１ａにおける往復動方向他方側の端部に設けられている。立ち上り部２７は、第１の固定カバー２１の上面２１ａから上方に立ち上るとともに往復動方向一方側を向く加工液阻止面２７ａを有する。
【００２７】
第１の固定カバー２１は、その上面２１ａにおける往復動方向一方側の端部から下方に延びて往復動方向一方側を向く側面２１ｂを有する。
【００２８】
図３（Ａ）は、図５の左側のカバー装置１０における部分拡大図である（なお、図５は、テーブル３が往復動方向一方側（図の左側）へ最も移動した状態を示す）。図３（Ａ）において破線で囲んだ空間Ｓ１は、上下方向に関して、立ち上り部２７の上縁の高さから第１の移動カバー１９の下面まで連続して延びている。また、この空間Ｓ１は、往復動方向に関して、第１の移動カバー１９の上面１９ａにおける往復動方向一方側の端部１９ｃから立ち上り部２７まで連続して延びている。さらに、この空間Ｓ１は、往復動方向に直交する水平方向に関して、第１の固定カバー２１の上面２１ａにおける当該水平方向の一端から当該水平方向の他端まで連続して延びている。
【００２９】
第２の移動カバー２３の上面２３ａは、第１の固定カバー２１よりも下方に位置する。第２の移動カバー２３は、テーブル３と一体的に往復動するようにテーブル３に水平方向に結合されている。
【００３０】
第２の移動カバー２３において、上面２３ａを形成している部分の往復動方向他方側（駆動装置５側）端部は、テーブル３の側面３ｃに水密に結合されている。これにより、仮に、第１および第２の移動カバー１９、２３の間に加工液が進入しても、第２の移動カバー２３の上面２３ａにおける駆動装置５側の端部から駆動装置５内へ当該加工液が進入（落下）することがなくなる。なお、第１の移動カバー１９において、上面１９ａを形成している部分の往復動方向他方側（駆動装置５側）端部も、テーブル３の側面３ｃに水密に結合されている。
【００３１】
第１および第２の移動カバー１９、２３がテーブル３と共に往復動方向一方側へ移動すると、第１および第２の移動カバー１９、２３の上面１９ａ、２３ａと第１の固定カバー２１の上面２１ａとが上下に重複する範囲が増加し、第１および第２の移動カバー１９、２３がテーブル３と共に往復動方向他方側へ移動すると、第１および第２の移動カバー１９、２３の上面１９ａ、２３ａと第１の固定カバー２１の上面２１ａとが上下に重複する範囲が減少するようになっている。
【００３２】
第２の固定カバー２５は、第２の移動カバー２３の上面２３ａの下方において往復動方向一方側を向く側面２５ａを有する。
【００３３】
図３（Ｂ）は、図５の左側のカバー装置１０における部分拡大図である。図３（Ｂ）において破線で囲んだ空間Ｓ２は、上下方向に関して、第２の固定カバー２５の側面２５ａにおける上縁の高さから第２の移動カバー２３の下面まで連続して延びている。また、この空間Ｓ２は、往復動方向に関して、第２の移動カバー２３の上面２３ａにおける往復動方向一方側の端部２３ｃから第２の固定カバー２５の側面２５ａまで連続して延びている。さらに、この空間Ｓ２は、往復動方向に直交する水平方向に関して、第２の固定カバー２５の側面２５ａにおける当該水平方向の一端から当該水平方向の他端まで連続して延びている。
【００３４】
図４（Ａ）は、図１のＩＶＡ−ＩＶＡ矢視図である。図４（Ｂ）は、図１のＩＶＢ−ＩＶＢ矢視断面図である。図４（Ｃ）は、図１のＩＶＣ−ＩＶＣ矢視断面図である。なお、図４において、カバー装置１０以外の構成は図示を省略している。
【００３５】
図４（Ａ）、図４（Ｂ）のように、第１の移動カバー１９の上面１９ａおよび第１の固定カバー２１の上面２１ａは、それぞれ、逆Ｖ字型を形成するように水平面に対し傾斜している。具体的には、次の通りである。
【００３６】
第１の移動カバー１９は、往復動方向と直交する水平方向における一方側部分２９と、当該水平方向における他方側部分３１と、を有する。一方側部分２９の上面１９ａは、当該水平方向の一方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜している。他方側部分３１の上面１９ａは、当該水平方向の他方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜している。
【００３７】
同様に、第１の固定カバー２１は、図４（Ｂ）のように、往復動方向と直交する水平方向における一方側部分３３と、当該水平方向における他方側部分３５と、を有する。一方側部分３３の上面２１ａは、当該水平方向の一方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜している。他方側部分３５の上面２１ａは、当該水平方向の他方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜している。
【００３８】
図４（Ｃ）のように、第２の移動カバー２３の上面２３ａも、逆Ｖ字型を形成するように水平面に対し傾斜している。具体的には、次の通りである。
第２の移動カバー２３は、往復動方向と直交する水平方向における一方側部分３７と、当該水平方向における他方側部分３９と、を有する。一方側部分３７の上面２３ａは、当該水平方向の一方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜している。他方側部分３９の上面２３ａは、当該水平方向の他方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜している。
【００３９】
上述のように、第１の移動カバー１９、第１の固定カバー２１、および第２の移動カバー２３の上面１９ａ、２１ａ、２３ａは、逆Ｖ字型になっているので、加工液を、往復動方向と直交する水平方向に関して駆動装置５の外側へ導くことができ、かつ、各カバー１９、２１、２３の薄板状に形成してもこれらの強度を確保できる。
【００４０】
図４（Ａ）、図４（Ｂ）、図４（Ｃ）のように、第１の移動カバー１９は、往復動方向と直交する水平方向の両端部において、第１の移動カバー１９の上面１９ａから下方に延びる側面１９ｂを有する。
同様に、第１の固定カバー２１は、往復動方向と直交する水平方向の両端部において、第１の固定カバー２１の上面２１ａから下方に延びる側面２１ｃを有する。これら側面２１ｃの間に駆動装置５が設けられている。
【００４１】
図５は、テーブル３が往復動方向一方側へ最も移動した状態を示す。なお、図１は、テーブル３が往復動方向他方側へ最も移動した状態を示す。
【００４２】
図１の状態と図５の状態のいずれにおいても、第１の移動カバー１９の上面１９ａにおける往復動方向一方側の端部１９ｃは、立ち上り部２７よりも往復動方向一方側に位置している。これにより、立ち上がり部２７よりも往復動方向他方側に、第１の移動カバー１９の上面１９ａから加工液が落下しない。
図１の状態と図５の状態のいずれにおいても、第２の移動カバー２３の上面２３ａにおける往復動方向一方側の端部は、第２の固定カバー２５の側面２５ａよりも往復動方向一方側に位置している。これにより、第２の固定カバー２５の側面２５ａよりも往復動方向他方側に、第２の移動カバー２３の上面２３ａから加工液が落下しない。
【００４３】
上述した実施形態のカバー装置１０によると、特に、以下の効果（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）が得られる。
【００４４】
（Ａ）第１の固定カバー２１の上面２１ａには、第１の移動カバー１９の上面１９ａの往復動方向一方側の端部１９ｃよりも往復動方向他方側に位置する立ち上り部２７が設けられ、該立ち上り部２７は、第１の固定カバー２１の上面２１ａから上方に立ち上るとともに往復動方向一方側を向く加工液阻止面２７ａを有するので、第１の移動カバー１９から第１の固定カバー２１に流れてきた加工液は、加工液阻止面２７ａにより駆動装置５側へ流れることが防止される。
【００４５】
（Ｂ）上述した空間Ｓ１（図３（Ａ）を参照）を確保することで、第１の移動カバー１９が駆動装置５側（すなわち、往復動方向他方側）へ移動する時に、加工液が、この移動で発生する空気流に巻き込まれて、駆動装置５側へ進入することが防止される。具体的には、次の通りである。
【００４６】
仮に、図３（Ｃ）のように、第１の移動カバー１９の往復動方向一方側端部１９ｃに下方に折り曲げられた折り返し部Ｂが形成されている場合には、この折り返し部Ｂにより、第１の移動カバー１９の上面１９ａにおける往復動方向一方側端部１９ｃから落下する加工液が、駆動装置５側（往復動方向他方側）へ進入することが防止されるようにも考えられる。
【００４７】
ところが、第１の移動カバー１９が駆動装置５側へ移動する時に、折り返し部Ｂと立ち上り部２７との間で、空気が、当該移動方向に圧縮され、駆動装置５内へ流れ込む。その結果、図３（Ｃ）において矢印Ａで示す空気流が発生し、加工液が、この空気流Ａに巻き込まれて当該空気流Ａと共に駆動装置５側へ進入してしまう。
【００４８】
そこで、本実施形態では、空間Ｓ１が、上下方向に関して、立ち上り部２７の上縁の高さから第１の移動カバー１９の下面まで連続して延びているとともに、往復動方向に関して、第１の移動カバー１９の上面１９ａにおける往復動方向一方側の端部１９ｃから立ち上り部２７まで連続して延びるようにしたので、第１の移動カバー１９が駆動装置５側へ移動することで、空気が、第１の移動カバー１９と立ち上り部２７との間で往復動方向に圧縮されることがない。従って、駆動装置５側（往復動方向他方側）へ流れ込む空気流の発生が防止される。その結果、加工液が、このような空気流に巻き込まれて駆動装置５内へ進入することが防止される。
【００４９】
なお、上述した図３（Ｂ）の空間Ｓ２によっても、空間Ｓ１と同様の効果が得られる。すなわち、第２の固定カバー２５の側面２５ａより往復動方向一方側に、加工液（例えば、ミスト状の加工液）が存在する場合に、当該加工液が、上述の空気流Ａと同様の空気流に巻きこまれて側面２５ａより往復動方向他方側に進入することが防止される。
【００５０】
（Ｃ）第１および第２の移動カバー１９、２３と、第１および第２の固定カバー２１、２５とにより、駆動装置５側（往復動方向他方側）へ加工液が進入することがより確実に防止される。具体的には、次の通りである。
【００５１】
上述のように、第１の移動カバー１９の上面１９ａから第１の固定カバー２１の上面２１ａに流れて来た加工液は、第１の固定カバー２１の加工液阻止面２７ａにより、第１の固定カバー２１の上面２１ａから駆動装置５側（往復動方向他方側）へ進入することが防止される。
【００５２】
また、仮に、第２の移動カバー２３の上面２３ａへ加工液が進入した場合に、テーブルの側面３ｃにより、第２の移動カバー２３の上面２３ａの加工液が駆動装置５側（往復動方向他方側）へ進入することが防止される。
【００５３】
さらに、第２の移動カバー２３の上面２３ａにおける往復動方向一方側の端部から加工液が下方に落ちた場合に、当該加工液は、第２の固定カバー２５の側面２５ａにより、駆動装置５側（往復動方向他方側）へ進入することが防止される。
【００５４】
このような４層のカバー構造を設けたので、加工液が多量であったり、加工液がミスト化しても、駆動装置５内へ加工液が進入することを防止できる。
【００５５】
上述では、図１の左側に設けた組のカバー装置１０を説明したが、図１の右側に設けた組のカバー装置１０の構成は、図１の左側に設けた組のカバー装置１０と同じ構成を有する。
【００５６】
すなわち、図１の右側に設けた組のカバー装置１０の構成については、上述において、往復動方向一方側を往復動方向他方側に読み替え、往復動方向他方側を往復動方向一方側に読み替え、他の点は、上述と同じである。
【００５７】
図６（Ａ）は、図４（Ｃ）のＸ−Ｘ矢視図（図４（Ｃ）における右側から見た図）であるが、カバー装置１０のうち第１の移動カバー１９のみを示している。また、図６（Ａ）では、駆動装置５を破線で透視して示し、他の構成については、テーブル３のみを示している。図６（Ａ）のように、前記各組のカバー装置１０における第１の移動カバー１９の側面１９ｂは、テーブル１９の側面３ｄと１つの連続する側面を構成している。
【００５８】
図６（Ｂ）は、図４（Ｃ）のＸ−Ｘ矢視図であるが、カバー装置１０のうち第１の固定カバー２１のみを示している。また、図６（Ｂ）では、駆動装置５を破線で透視して示し、他の構成については、図示を省略している。図６（Ｂ）のように、前記各組のカバー装置１０における第１の固定カバー２１の側面２１ｃは、１つの連続する側面を構成している。
【００５９】
図６（Ｃ）は、図４（Ｃ）のＸ−Ｘ矢視図であるが、カバー装置１０のうち第２の移動カバー２３のみを示している。また、図６（Ｃ）では、駆動装置５を破線で透視して示し、他の構成については、図示を省略している。図６（Ｂ）のように、前記各組のカバー装置１０における第２の移動カバー２３の側面２３ｂは、１つの連続する側面を構成している。
【００６０】
図６（Ｄ）は、図４（Ｃ）のＸ−Ｘ矢視図であるが、カバー装置１０のうち第２の固定カバー２５のみを示している。また、図６（Ｃ）では、駆動装置５を破線で透視して示し、他の構成については、図示を省略している。図６（Ｃ）のように、前記各組のカバー装置１０における第２の固定カバー２５の側面２５ｂは、１つの連続する側面を構成している。
【００６１】
なお、図４（Ｃ）における左側から見た場合においても、第１の移動カバー１９の側面１９ｂ、テーブル３の側面３ｄ、第１の固定カバー２１の側面２１ｃ、第２の移動カバー２３の側面２３ｂ、および第２の固定カバー２５の側面２５ｂは、図６（Ａ）〜図６（Ｄ）の場合と同様に構成されている。
【００６２】
本発明は上述した実施の形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、以下の変更例１〜３を、任意に選択して組み合わせて採用してもよいし、以下の変更例１〜４のいずれかを単独で採用してよい。この場合、他の点は、上述と同じであってよい。
【００６３】
（変更例１）
上述では、加工装置２０は、平面研削盤であったが、他の工作機械であってもよい。すなわち、加工装置２０は、水平面である上面３ａに被加工物１が積載されるテーブル３と、テーブル３より下方に位置してテーブル３を水平方向に往復動させる駆動装置５とを備え、テーブル３の上面３ａに加工液（冷却用または潤滑用の液体）を供給しながらテーブル３上の被加工物１を切削工具または研削工具で切削加工または研削加工するようになっているもの（例えば、フライス盤）であればよい。
【００６４】
（変更例２）
駆動装置５は、テーブル３より下方に位置して、テーブル３を水平方向に往復動させることができさえすれば、上述した構成以外の構成を有していてもよい。
【００６５】
（変更例３）
上述において、第２の移動カバー２３と第２の固定カバー２５を省略してもよい。
【００６６】
（変更例４）
第１の移動カバー１９、第１の固定カバー２１、第２の移動カバー２３、第２の固定カバー２５を設ける場合には、上述の空間Ｓ１、Ｓ２を確保しなくてもよい。
【符号の説明】
【００６７】
１  被加工物、３  テーブル、３ａ  テーブルの上面、３ｂ  テーブルの長孔、３ｃ、３ｄ  テーブルの側面、５  駆動装置、１９  第１の移動カバー、１９ａ  第１の移動カバーの上面、１９ｂ  第１の移動カバーの側面、１９ｃ  第１の移動カバーの往復動方向端部、２０  加工装置、２１  第１の固定カバー、２１ｂ  側面、２３  第２の移動カバー、２５  第２の固定カバー、２５ａ  第２の固定カバーの側面、２７  立ち上り部、２７ａ  加工液阻止面、２９  第１の移動カバーの一方側部分、３１  第１の移動カバーの他方側部分、３３  第１の固定カバーの一方側部分、３５  第１の固定カバーの他方側部分、３７  第２の移動カバーの一方側部分、３９  第２の移動カバーの他方側部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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