(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体に対向する媒体対向面と、
前記記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
前記媒体対向面に配置された端面を有し、前記コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって前記情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する主磁極と、
磁性材料よりなり、前記媒体対向面において前記主磁極の前記端面に対して記録媒体の進行方向の後側に配置された端面を有する第１のシールドと、
磁性材料よりなり、前記媒体対向面において前記主磁極の前記端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された端面を有する第２のシールドと、
非磁性材料よりなり、前記主磁極と前記第１および第２のシールドとの間に設けられたギャップ部と、
磁性材料よりなり、前記主磁極に対して記録媒体の進行方向の後側に配置されて前記第１のシールドと前記主磁極に接する第１の帰磁路部と、
磁性材料よりなり、前記主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されて前記第２のシールドと前記主磁極に接する第２の帰磁路部とを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドであって、
前記第１の帰磁路部は、前記媒体対向面から離れた位置にあって前記主磁極に接する端面を有し、前記主磁極、ギャップ部、第１のシールドおよび第１の帰磁路部によって囲まれた第１の空間が形成されるように、前記第１のシールドと前記主磁極とを接続し、
前記第２の帰磁路部は、前記媒体対向面から離れた位置にあって前記主磁極に接する端面を有し、前記主磁極、ギャップ部、第２のシールドおよび第２の帰磁路部によって囲まれた第２の空間が形成されるように、前記第２のシールドと前記主磁極とを接続し、
前記第１の帰磁路部の前記端面と前記主磁極との間に第１の界面が形成され、
前記第２の帰磁路部の前記端面と前記主磁極との間に第２の界面が形成され、
前記第１の界面は、前記媒体対向面に最も近い第１の端部を有し、前記第２の界面は、前記媒体対向面に最も近い第２の端部を有し、前記第２の端部は、前記第１の端部に対して、前記媒体対向面により近い位置に配置され、
前記第２の帰磁路部は、前記媒体対向面から離れた位置にあって前記第２の帰磁路部の前記端面を含むヨーク層と、前記第２のシールドおよびヨーク層に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されて、前記第２のシールドと前記ヨーク層とを接続する接続部とを有し、
前記コイルは、前記第１の空間を通過するように延びる１つ以上の第１のコイル要素と、前記第２の空間を通過するように延びる１つ以上の第２のコイル要素とを含み、
前記１つ以上の第２のコイル要素は、前記第２のシールドと前記ヨーク層との間を通過する少なくとも１つの第１の特定のコイル要素を含むことを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項２】
前記１つ以上の第１のコイル要素は、２つ以上の第１のコイル要素であり、
前記１つ以上の第２のコイル要素は、２つ以上の第２のコイル要素であり、
前記２つ以上の第１のコイル要素は、前記媒体対向面に垂直な方向に並び、
前記少なくとも１つの第１の特定のコイル要素は、前記２つ以上の第１のコイル要素よりも数が少ないことを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項３】
前記２つ以上の第２のコイル要素は、前記少なくとも１つの第１の特定のコイル要素に対して、前記記録媒体の進行方向の前側に配置された少なくとも１つの第２の特定のコイル要素を含むことを特徴とする請求項２記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項４】
前記コイルは、前記１つ以上の第１のコイル要素を含んで前記第１の帰磁路部の一部の周りに巻かれた第１の部分と、前記１つ以上の第２のコイル要素を含んで前記第２の帰磁路部の一部の周りに巻かれた第２の部分とを含むことを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項５】
前記コイルは、前記主磁極の周りに巻かれていることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項６】
更に、磁性材料よりなり、前記媒体対向面において前記主磁極の前記端面に対してトラック幅方向の両側に配置された２つの端面を有する２つのサイドシールドを備えたことを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項７】
前記第２の帰磁路部は、前記媒体対向面に向いた端面を有し、この端面は、前記媒体対向面から離れた位置に配置されていることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、垂直磁気記録方式によって記録媒体に情報を記録するために用いられる垂直磁気記録用磁気ヘッドに関し、特に、主磁極と２つのシールドを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録再生装置における記録方式には、信号磁化の向きを記録媒体の面内方向（長手方向）とする長手磁気記録方式と、信号磁化の向きを記録媒体の面に対して垂直な方向とする垂直磁気記録方式とがある。垂直磁気記録方式は、長手磁気記録方式に比べて、記録媒体の熱揺らぎの影響を受けにくく、高い線記録密度を実現することが可能であると言われている。
【０００３】
一般的に、垂直磁気記録用の磁気ヘッドとしては、長手磁気記録用の磁気ヘッドと同様に、読み出し用の磁気抵抗効果素子（以下、ＭＲ（Magnetoresistive）素子とも記す。）を有する再生ヘッドと、書き込み用の誘導型電磁変換素子を有する記録ヘッドとを、基板上に積層した構造のものが用いられる。記録ヘッドは、記録媒体の面に対して垂直な方向の磁界を発生する主磁極を備えている。主磁極は、例えば、一端部が記録媒体に対向する媒体対向面に配置されたトラック幅規定部と、このトラック幅規定部の他端部に連結され、トラック幅規定部よりも大きな幅を有する幅広部とを有している。トラック幅規定部は、ほぼ一定の幅を有している。垂直磁気記録方式の記録ヘッドには、高記録密度化のために、トラック幅の縮小と、記録特性、例えば重ね書きの性能を表わすオーバーライト特性の向上が求められる。
【０００４】
ところで、ハードディスク装置等の磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドは、一般的に、スライダに設けられる。スライダは、上記媒体対向面を有している。この媒体対向面は、空気流入端（リーディング端）と空気流出端（トレーリング端）とを有している。そして、空気流入端から媒体対向面と記録媒体との間に流入する空気流によって、スライダは記録媒体の表面からわずかに浮上するようになっている。このスライダにおいて、一般的に、磁気ヘッドは媒体対向面における空気流出端近傍に配置される。磁気ディスク装置において、磁気ヘッドの位置決めは、例えばロータリーアクチュエータによって行なわれる。この場合、磁気ヘッドは、ロータリーアクチュエータの回転中心を中心とした円軌道に沿って記録媒体上を移動する。このような磁気ディスク装置では、磁気ヘッドのトラック横断方向の位置に応じて、スキューと呼ばれる、円形のトラックの接線に対する磁気ヘッドの傾きが生じる。
【０００５】
特に、長手磁気記録方式に比べて記録媒体への書き込み能力が高い垂直磁気記録方式の磁気ディスク装置では、上述のスキューが生じると、あるトラックへの信号の記録時に、記録対象のトラックに隣接する１以上のトラックに記録された信号が消去されたり減衰したりする現象（以下、隣接トラック消去と言う。）が生じる場合がある。高記録密度化のためには、隣接トラック消去の発生を抑制する必要がある。
【０００６】
上述のようなスキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制すると共に記録密度を向上させる技術としては、主磁極の近傍に１つ以上のシールドを設ける技術が有効である。例えば、特許文献１や特許文献２には、媒体対向面において主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された端面を有するシールドと、媒体対向面において主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の後側に配置された端面を有するシールドと、媒体対向面において主磁極の端面に対してトラック幅方向の両側に配置された２つの端面を有する２つのシールドとを備えた磁気ヘッドが開示されている。４つのシールドの端面は、媒体対向面において主磁極の端面の周りを囲むように配置されている。
【０００７】
磁気ヘッドにおいて、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側というのは空気流出端（トレーリング端）側であり、主磁極に対して記録媒体の進行方向の後側というのは空気流入端（リーディング端）側である。以下、主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された端面を有するシールドをトレーリングシールドと呼び、主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の後側に配置された端面を有するシールドをリーディングシールドと呼ぶ。
【０００８】
一般的に、１つ以上のシールドを備えた磁気ヘッドでは、主磁極のうちの媒体対向面から離れた部分と１つ以上のシールドとを接続する磁性層が設けられる。そして、１つ以上のシールドと上記磁性層は、主磁極の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体に達することを阻止する機能を有している。また、１つ以上のシールドと上記磁性層は、主磁極の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束を、主磁極に還流させる機能も有している。１つ以上のシールドを備えた磁気ヘッドによれば、隣接トラック消去の発生を抑制することが可能になると共に、記録密度のより一層の向上が可能になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】米国特許第６，９５４，３４０  Ｂ２号明細書
【特許文献２】特開２００５−１８２９８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、記録媒体に記録される記録ビットの端部の位置は、媒体対向面に配置された主磁極の端面のうち、記録媒体の進行方向の前側に配置された端部の位置によって決まる。そのため、リーディングシールドとトレーリングシールドを備えた磁気ヘッドでは、記録ビットの端部の位置を精度よく規定するためには、特にトレーリングシールドが多くの磁束を取り込むことができることが重要である。
【００１１】
また、記録密度を高めるために記録信号の周波数が高くなってくると、磁気ヘッドには、主磁極の端面より発生される磁束の方向の変化の速度の向上が求められる。リーディングシールドとトレーリングシールドを備えた磁気ヘッドでは、この要求に応えるためには、特に、多くの磁束を取り込むトレーリングシールドと主磁極とを経由する磁路の長さを短くすることが有効である。
【００１２】
しかし、従来は、トレーリングシールドと主磁極とを経由する磁路の長さを短くする工夫はなされていなかった。
【００１３】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、媒体対向面において主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された端面を有するシールドと主磁極とを経由する磁路の長さを短くすることができるようにした垂直磁気記録用磁気ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、記録媒体に対向する媒体対向面と、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、媒体対向面に配置された端面を有し、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する主磁極とを備えている。磁気ヘッドは、更に、磁性材料よりなり、媒体対向面において主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の後側に配置された端面を有する第１のシールドと、磁性材料よりなり、媒体対向面において主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された端面を有する第２のシールドと、非磁性材料よりなり、主磁極と第１および第２のシールドとの間に設けられたギャップ部とを備えている。磁気ヘッドは、更に、磁性材料よりなり、主磁極に対して記録媒体の進行方向の後側に配置されて第１のシールドと主磁極に接する第１の帰磁路部と、磁性材料よりなり、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されて第２のシールドと主磁極に接する第２の帰磁路部とを備えている。
【００１５】
第１の帰磁路部は、媒体対向面から離れた位置にあって主磁極に接する端面を有し、主磁極、ギャップ部、第１のシールドおよび第１の帰磁路部によって囲まれた第１の空間が形成されるように、第１のシールドと主磁極とを接続している。第２の帰磁路部は、媒体対向面から離れた位置にあって主磁極に接する端面を有し、主磁極、ギャップ部、第２のシールドおよび第２の帰磁路部によって囲まれた第２の空間が形成されるように、第２のシールドと主磁極とを接続している。そして、第１の帰磁路部の前記端面と主磁極との間に第１の界面が形成され、第２の帰磁路部の前記端面と主磁極との間に第２の界面が形成されている。第１の界面は、媒体対向面に最も近い第１の端部を有し、第２の界面は、媒体対向面に最も近い第２の端部を有している。第２の端部は、第１の端部に対して、媒体対向面により近い位置に配置されている。
【００１６】
第２の帰磁路部は、媒体対向面から離れた位置にあって第２の帰磁路部の前記端面を含むヨーク層と、第２のシールドおよびヨーク層に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されて、第２のシールドとヨーク層とを接続する接続部とを有している。コイルは、第１の空間を通過するように延びる１つ以上の第１のコイル要素と、第２の空間を通過するように延びる１つ以上の第２のコイル要素とを含んでいる。１つ以上の第２のコイル要素は、第２のシールドとヨーク層との間を通過する少なくとも１つの第１の特定のコイル要素を含んでいる。
【００１７】
本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、１つ以上の第１のコイル要素は、２つ以上の第１のコイル要素であり、１つ以上の第２のコイル要素は、２つ以上の第２のコイル要素であってもよい。この場合、２つ以上の第１のコイル要素は、媒体対向面に垂直な方向に並び、少なくとも１つの第１の特定のコイル要素は、２つ以上の第１のコイル要素よりも数が少なくてもよい。また、２つ以上の第２のコイル要素は、少なくとも１つの第１の特定のコイル要素に対して、記録媒体の進行方向の前側に配置された少なくとも１つの第２の特定のコイル要素を含んでいてもよい。
【００１８】
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、コイルは、１つ以上の第１のコイル要素を含んで第１の帰磁路部の一部の周りに巻かれた第１の部分と、１つ以上の第２のコイル要素を含んで第２の帰磁路部の一部の周りに巻かれた第２の部分とを含んでいてもよい。
【００１９】
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、コイルは、主磁極の周りに巻かれていてもよい。
【００２０】
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、更に、磁性材料よりなり、媒体対向面において主磁極の端面に対してトラック幅方向の両側に配置された２つの端面を有する２つのサイドシールドを備えていてもよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドでは、第２の帰磁路部の端面と主磁極との間の第２の界面の第２の端部は、第１の帰磁路部の端面と主磁極との間の第１の界面の第１の端部に対して、媒体対向面により近い位置に配置されている。また、第２の空間を通過するように延びる１つ以上の第２のコイル要素は、第２のシールドとヨーク層との間を通過する少なくとも１つの第１の特定のコイル要素を含んでいる。これらのことから、本発明によれば、媒体対向面において主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された端面を有する第２のシールドと主磁極とを経由する磁路の長さ、すなわち第２のシールド、第２の帰磁路部および主磁極を経由する磁路の長さを短くすることが可能になり、その結果、主磁極の端面より発生される磁束の方向の変化の速度の向上が可能になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第１の部分を示す平面図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分の第１層を示す平面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分の第２層を示す平面図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分の第３層を示す平面図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける主磁極の媒体対向面の近傍の部分を示す斜視図である。
【図８】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける主磁極の媒体対向面の近傍の部分を示す断面図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの複数の第１のコイル要素を示す平面図である。
【図１０】本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの複数の第２のコイル要素を示す平面図である。
【図１１】本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。
【図１２】本発明の第４の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。
【図１３】本発明の第５の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。
【図１４】本発明の第６の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。
【図１５】本発明の第６の実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分の第１層を示す平面図である。
【図１６】本発明の第６の実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分の第２層を示す平面図である。
【図１７】本発明の第７の実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの複数の第２のコイル要素を示す平面図である。
【図１８】本発明の第８の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。
【図１９】本発明の第９の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。
【図２０】本発明の第１０の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。
【図２１】本発明の第１０の実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分の第１層を示す平面図である。
【図２２】本発明の第１０の実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分の第２層を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
［第１の実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、図１ないし図６を参照して、本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの構成について説明する。図１は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図１は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面を示している。図１において記号Ｔで示す矢印は、記録媒体の進行方向を表している。図２は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。図３は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第１の部分を示す平面図である。図４は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分の第１層を示す平面図である。図５は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分の第２層を示す平面図である。図６は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分の第３層を示す平面図である。図２ないし図６において記号ＴＷで示す矢印は、トラック幅方向を表している。
【００２４】
図１および図２に示したように、本実施の形態に係る垂直磁気記録用磁気ヘッド（以下、単に磁気ヘッドと記す。）は、アルミニウムオキサイド・チタニウムカーバイド（Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣ）等のセラミック材料よりなり、上面１ａを有する基板１と、この基板１の上面１ａ上に配置されたアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）等の絶縁材料よりなる絶縁層２と、この絶縁層２の上に配置された磁性材料よりなる下部再生シールド層３と、この下部再生シールド層３の上に配置された絶縁膜である下部再生シールドギャップ膜４と、この下部再生シールドギャップ膜４の上に配置された再生素子としてのＭＲ（磁気抵抗効果）素子５と、このＭＲ素子５の上に配置された絶縁膜である上部再生シールドギャップ膜６と、この上部再生シールドギャップ膜６の上に配置された磁性材料よりなる上部再生シールド層７とを備えている。
【００２５】
ＭＲ素子５の一端部は、記録媒体に対向する媒体対向面３０に配置されている。ＭＲ素子５には、ＡＭＲ（異方性磁気抵抗効果）素子、ＧＭＲ（巨大磁気抵抗効果）素子あるいはＴＭＲ（トンネル磁気抵抗効果）素子等の磁気抵抗効果を示す感磁膜を用いた素子を用いることができる。ＧＭＲ素子としては、磁気的信号検出用の電流を、ＧＭＲ素子を構成する各層の面に対してほぼ平行な方向に流すＣＩＰ（Current In Plane）タイプでもよいし、磁気的信号検出用の電流を、ＧＭＲ素子を構成する各層の面に対してほぼ垂直な方向に流すＣＰＰ（Current Perpendicular to Plane）タイプでもよい。
【００２６】
下部再生シールド層３から上部再生シールド層７までの部分は、再生ヘッドを構成する。磁気ヘッドは、更に、非磁性材料よりなり、上部再生シールド層７の上に配置された非磁性層８と、非磁性層８の上に配置された記録ヘッドとを備えている。非磁性層８は、例えばアルミナによって形成されている。記録ヘッドは、コイルと、主磁極１５と、第１のシールド１６Ａと、２つのサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃと、第２のシールド１６Ｄと、ギャップ部とを備えている。
【００２７】
コイルは、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する。コイルは、第１の部分１０と第２の部分２０とを含んでいる。第１の部分１０と第２の部分２０は、いずれも、銅等の導電材料によって形成されている。第１の部分１０と第２の部分２０は、直列または並列に接続されている。主磁極１５は、媒体対向面３０に配置された端面を有し、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。図１は、媒体対向面３０に配置された主磁極１５の端面と交差し、媒体対向面３０および基板１の上面１ａに垂直な断面（以下、主断面と言う。）を示している。コイルについては、後で詳しく説明する。
【００２８】
シールド１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄは、いずれも磁性材料によって形成されている。シールド１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄの材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。
【００２９】
２つのサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃは、主磁極１５のトラック幅方向ＴＷの両側に配置されている。第１のシールド１６Ａは、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側（リーディング端側）に配置されている。第２のシールド１６Ｄは、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側（トレーリング端側）に配置されている。サイドシールド１６Ｂ，１６Ｃは、第１のシールド１６Ａと第２のシールド１６Ｄを磁気的に連結している。
【００３０】
第１のシールド１６Ａは、媒体対向面３０において主磁極１５の端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置された端面を有している。第２のシールド１６Ｄは、媒体対向面３０において主磁極１５の端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置された端面を有している。２つのサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃは、主磁極１５のトラック幅方向ＴＷの両側に配置された２つの端面を有している。媒体対向面３０において、シールド１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄの端面は、主磁極１５の端面の周りを囲むように配置されている。
【００３１】
磁気ヘッドは、更に、第１および第２の帰磁路部を備えている。第１および第２の帰磁路部は、いずれも磁性材料によって形成されている。第１および第２の帰磁路部の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。第１の帰磁路部は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向の後側に配置されて第１のシールド１６Ａと主磁極１５とに接触し、第１のシールド１６Ａと主磁極１５とを磁気的に連結している。第２の帰磁路部は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されて第２のシールド１６Ｄと主磁極１５とに接触し、第２のシールド１６Ｄと主磁極１５とを磁気的に連結している。
【００３２】
第１の帰磁路部は、磁性層３１〜３６を有している。磁性層３１は、非磁性層８の上に配置されている。磁性層３２，３３は、いずれも磁性層３１の上に配置されている。磁性層３２は、媒体対向面３０の近傍に配置されている。磁性層３３は、磁性層３２に対して、媒体対向面３０からより遠い位置に配置されている。磁性層３１，３２は、それぞれ、媒体対向面３０に向いた端面を有し、これらの端面は、媒体対向面３０から離れた位置に配置されている。
【００３３】
磁気ヘッドは、更に、磁性層３１の周囲において非磁性層８の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５１と、磁性層３１の上面の一部の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５２とを備えている。絶縁層５１，５２は、例えばアルミナによって形成されている。第１の部分１０の少なくとも一部は、絶縁層５２の上に配置されている。第１の部分１０は、平面渦巻き形状をなして、第１の帰磁路部の一部である磁性層３３の周りに巻かれている。
【００３４】
磁気ヘッドは、更に、第１の部分１０の巻線間および周囲ならびに磁性層３３の周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５３と、絶縁層５３および磁性層３２の周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５４とを備えている。第１の部分１０、磁性層３２，３３および絶縁層５３，５４の上面は平坦化されている。絶縁層５３は、例えばフォトレジストによって形成されている。本実施の形態では、特に、絶縁層５４は、磁性層３２を構成する磁性材料よりも硬い無機絶縁材料、例えばアルミナによって形成されている。
【００３５】
磁性層３４は、磁性層３２および絶縁層５４の上に配置されている。磁性層３５は、磁性層３３の上に配置されている。磁性層３４は、媒体対向面３０に配置された端面を有している。磁気ヘッドは、更に、磁性層３４，３５の周囲において第１の部分１０および絶縁層５３の上面の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５５を備えている。絶縁層５５は、例えばアルミナによって形成されている。磁性層３４，３５および絶縁層５５の上面は、平坦化されている。
【００３６】
第１のシールド１６Ａは、磁性層３４の上に配置されている。磁性層３６は、磁性層３５の上に配置されている。磁気ヘッドは、更に、第１のシールド１６Ａおよび磁性層３６の周囲において磁性層３４の上面の一部および絶縁層５５の上面の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５６を備えている。絶縁層５６は、例えばアルミナによって形成されている。
【００３７】
主磁極１５は、基板１の上面１ａにより近い端部である下端部１５Ｌと、下端部１５Ｌとは反対側の上面１５Ｔと、トラック幅方向ＴＷの両側に配置された第１および第２の側部ＳＰ１，ＳＰ２とを有している。サイドシールド１６Ｂは、主磁極１５の第１の側部ＳＰ１に対向する第１の側壁ＳＷ１を有している。サイドシールド１６Ｃは、主磁極１５の第２の側部ＳＰ２に対向する第２の側壁ＳＷ２を有している。
【００３８】
ギャップ部は、非磁性材料よりなり、主磁極１５と、シールド１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄとの間に設けられている。ギャップ部は、主磁極１５と第１のシールド１６Ａおよびサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃとの間に配置された第１のギャップ層１７と、主磁極１５と第２のシールド１６Ｄとの間に配置された第２のギャップ層１８とを含んでいる。
【００３９】
サイドシールド１６Ｂ，１６Ｃは、第１のシールド１６Ａの上に配置され、第１のシールド１６Ａの上面に接している。第１のギャップ層１７は、サイドシールド１６Ｂ，１６Ｃの側壁、第１のシールド１６Ａの上面および絶縁層５６の上面に沿って配置されている。第１のギャップ層１７は、非磁性材料によって形成されている。第１のギャップ層１７を構成する非磁性材料は、絶縁材料でもよいし、非磁性金属材料でもよい。第１のギャップ層１７を構成する絶縁材料としては、例えばアルミナが用いられる。第１のギャップ層１７を構成する非磁性金属材料としては、例えばＲｕが用いられる。第１のギャップ層１７には、磁性層３６の上面を露出させる開口部が形成されている。
【００４０】
主磁極１５は、第１のシールド１６Ａおよび絶縁層５６の上面と主磁極１５との間に第１のギャップ層１７が介在するように、第１のシールド１６Ａおよび絶縁層５６の上に配置されている。また、図２に示したように、主磁極１５とサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃとの間にも、第１のギャップ層１７が介在している。
【００４１】
媒体対向面３０から離れた位置において、主磁極１５の下端部１５Ｌは、磁性層３６の上面に接している。主磁極１５は、金属磁性材料によって形成されている。主磁極１５の材料としては、例えば、ＮｉＦｅ、ＣｏＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。主磁極１５の形状については、後で詳しく説明する。
【００４２】
磁気ヘッドは、更に、主磁極１５、第１のシールド１６Ａおよびサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃの周囲に配置された非磁性材料よりなる図示しない非磁性層を備えている。本実施の形態では、特に、図示しない非磁性層は、アルミナ等の非磁性絶縁材料よりなる。
【００４３】
磁気ヘッドは、更に、媒体対向面３０から離れた位置において、主磁極１５の上面１５Ｔの一部の上に配置された非磁性金属材料よりなる非磁性金属層６１と、この非磁性金属層６１の上面の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層６２とを備えている。非磁性金属層６１は、例えばＲｕ、ＮｉＣｒまたはＮｉＣｕによって形成されている。絶縁層６２は、例えばアルミナによって形成されている。
【００４４】
第２のギャップ層１８は、主磁極１５、非磁性金属層６１および絶縁層６２を覆うように配置されている。第２のギャップ層１８は、非磁性材料によって形成されている。第２のギャップ層１８の材料は、アルミナ等の非磁性絶縁材料でもよいし、Ｒｕ、ＮｉＣｕ、Ｔａ、Ｗ、ＮｉＢ、ＮｉＰ等の非磁性導電材料でもよい。
【００４５】
第２のシールド１６Ｄは、サイドシールド１６Ｂ，１６Ｃおよび第２のギャップ層１８の上に配置され、サイドシールド１６Ｂ，１６Ｃおよび第２のギャップ層１８の上面に接している。媒体対向面３０において、第２のシールド１６Ｄの端面の一部は、主磁極１５の端面に対して、第２のギャップ層１８の厚みによる所定の間隔を開けて配置されている。第２のギャップ層１８の厚みは、５〜６０ｎｍの範囲内であることが好ましく、例えば３０〜６０ｎｍの範囲内である。主磁極１５の端面は、第２のギャップ層１８に隣接する辺を有し、この辺はトラック幅を規定している。
【００４６】
第２の帰磁路部は、ヨーク層４０と磁性層４１〜４５とを有している。ヨーク層４０は、媒体対向面３０から離れた位置において主磁極１５の上に配置されている。磁性層４１〜４５は、第２のシールド１６Ｄとヨーク層４０とを接続する。
【００４７】
コイルの第２の部分２０は、第１層２１、第２層２２および第３層２３を含んでいる。第１層２１の一部は、第２のシールド１６Ｄとヨーク層４０との間を通過している。磁気ヘッドは、更に、第２のシールド１６Ｄ、ヨーク層４０および第２のギャップ層１８と第１層２１との間に介在する絶縁材料よりなる絶縁膜６３と、第１層２１、第２のシールド１６Ｄおよびヨーク層４０の周囲に配置された絶縁材料よりなる図示しない絶縁層とを備えている。絶縁膜６３および図示しない絶縁層は、例えばアルミナによって形成されている。第１層２１、第２のシールド１６Ｄ、ヨーク層４０、絶縁膜６３および図示しない絶縁層の上面は平坦化されている。
【００４８】
磁性層４１は、第２のシールド１６Ｄの上に配置されている。磁性層４１は、媒体対向面３０に向いた端面を有し、この端面は、媒体対向面３０から離れた位置に配置されている。磁性層４２は、ヨーク層４０の上に配置されている。
【００４９】
第２層２２は、第１層２１の上方に配置されている。第２層２２の一部は、磁性層４１と磁性層４２との間を通過している。磁気ヘッドは、更に、第１層２１および磁性層４１，４２と第２層２２との間に介在する絶縁材料よりなる絶縁膜６４と、第２層２２および磁性層４１，４２の周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層６５とを備えている。絶縁膜６４および絶縁層６５は、例えばアルミナによって形成されている。第２層２２、磁性層４１，４２、絶縁膜６４および絶縁層６５の上面は平坦化されている。
【００５０】
磁性層４３は、磁性層４１の上に配置されている。磁性層４３は、媒体対向面３０に向いた端面を有し、この端面は、媒体対向面３０から離れた位置に配置されている。磁性層４４は、磁性層４２の上に配置されている。
【００５１】
第３層２３は、第２層２２の上方に配置されている。第３層２３の一部は、磁性層４３と磁性層４４との間を通過している。磁気ヘッドは、更に、第２層２２および磁性層４３，４４と第３層２３との間に介在する絶縁材料よりなる絶縁膜６６と、第３層２３および磁性層４３，４４の周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層６７とを備えている。絶縁膜６６および絶縁層６７は、例えばアルミナによって形成されている。第３層２３、磁性層４３，４４、絶縁膜６６および絶縁層６７の上面は平坦化されている。磁気ヘッドは、更に、第３層２３を覆うように配置された絶縁材料よりなる絶縁膜６８を備えている。絶縁膜６８は、例えばアルミナによって形成されている。
【００５２】
磁性層４５は、磁性層４３，４４および絶縁膜６８の上に配置され、磁性層４３と磁性層４４とを接続している。磁性層４５は、媒体対向面３０に向いた端面を有し、この端面は、媒体対向面３０から離れた位置に配置されている。磁気ヘッドは、更に、磁性層４５の周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層６９を備えている。絶縁層６９は、例えばアルミナによって形成されている。磁性層４５および絶縁層６９の上面は平坦化されている。
【００５３】
磁気ヘッドは、更に、非磁性材料よりなり、磁性層４５を覆うように配置された保護層７０を備えている。保護層７０は、例えば、アルミナ等の無機絶縁材料によって形成されている。
【００５４】
以上説明したように、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、記録媒体に対向する媒体対向面３０と再生ヘッドと記録ヘッドとを備えている。再生ヘッドと記録ヘッドは、基板１の上に積層されている。再生ヘッドは、記録ヘッドに対して、記録媒体の進行方向Ｔの後側（リーディング端側）に配置されている。
【００５５】
再生ヘッドは、再生素子としてのＭＲ素子５と、媒体対向面３０側の一部がＭＲ素子５を挟んで対向するように配置された、ＭＲ素子５をシールドするための下部再生シールド層３および上部再生シールド層７と、ＭＲ素子５と下部再生シールド層３との間に配置された下部再生シールドギャップ膜４と、ＭＲ素子５と上部再生シールド層７との間に配置された上部再生シールドギャップ膜６とを備えている。
【００５６】
記録ヘッドは、第１および第２の部分１０，２０を含むコイルと、主磁極１５と、第１のシールド１６Ａと、２つのサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃと、第２のシールド１６Ｄと、ギャップ部と、第１および第２の帰磁路部とを備えている。
【００５７】
２つのサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃは、媒体対向面３０の近傍において、主磁極１５のトラック幅方向ＴＷの両側に配置されている。また、２つのサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃは、主磁極１５のトラック幅方向ＴＷの中心に対して対称な位置に配置されている。第１のシールド１６Ａは、媒体対向面３０の近傍において、サイドシールド１６Ｂ，１６Ｃに対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。第２のシールド１６Ｄは、媒体対向面３０の近傍において、サイドシールド１６Ｂ，１６Ｃに対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。
【００５８】
第１のシールド１６Ａは、媒体対向面３０において主磁極１５の端面の端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置された端面を有している。２つのサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃは、媒体対向面３０において主磁極１５の端面に対してトラック幅方向ＴＷの両側に配置された２つの端面を有している。第２のシールド１６Ｄは、媒体対向面３０において主磁極１５の端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置された端面を有している。
【００５９】
ギャップ部は、主磁極１５と第１のシールド１６Ａおよびサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃとの間に配置された第１のギャップ層１７と、主磁極１５と第２のシールド１６Ｄとの間に配置された第２のギャップ層１８とを含んでいる。
【００６０】
第１の帰磁路部は、磁性材料よりなり、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。また、第１の帰磁路部は、第１のシールド１６Ａと主磁極１５に接している。第１の帰磁路部は、磁性層３１〜３６を有している。
【００６１】
また、第１の帰磁路部は、媒体対向面３０から離れた位置にあって主磁極１５に接する端面、すなわち磁性層３６の上面を有している。第１の帰磁路部の前記端面（磁性層３６の上面）と主磁極１５との間には、第１の界面Ｓ１０が形成されている。図１に示したように、第１の帰磁路部は、主磁極１５、ギャップ部（ギャップ層１７）、第１のシールド１６Ａおよび第１の帰磁路部によって囲まれた第１の空間Ｓ１が形成されるように、第１のシールド１６Ａと主磁極１５とを接続し、これにより、第１のシールド１６Ａと主磁極１５とを磁気的に連結している。
【００６２】
第１の帰磁路部において、磁性層３４，３２は、第１のシールド１６Ａと磁性層３１とを磁気的に連結している。磁性層３４は、媒体対向面３０において第１のシールド１６Ａの端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置された端面を有している。前記主断面において、磁性層３１は、媒体対向面３０に垂直な方向について第１のシールド１６Ａよりも大きな長さを有している。前記主断面において、磁性層３４，３２は、媒体対向面３０に垂直な方向について第１のシールド１６Ａよりも大きく磁性層３１よりも小さな長さを有している。
【００６３】
本実施の形態では、磁性層３１，３２は、媒体対向面３０に露出していない。磁性層３１，３２は、それぞれ、媒体対向面３０に向いた端面を有し、これらの端面は、媒体対向面３０から離れた位置に配置されている。磁性層３１の上記端面と媒体対向面３０との間には絶縁層５１の一部が介在している。磁性層３２の上記端面と媒体対向面３０との間には絶縁層５４の一部が介在している。
【００６４】
第２の帰磁路部は、磁性材料よりなり、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。また、第２の帰磁路部は、第２のシールド１６Ｄと主磁極１５に接している。第２の帰磁路部は、ヨーク層４０と磁性層４１〜４５とを有している。
【００６５】
また、第２の帰磁路部は、媒体対向面３０から離れた位置にあって主磁極１５に接する端面を有している。ヨーク層４０は、媒体対向面３０から離れた位置にあって第２の帰磁路部の前記端面である下面を含んでいる。磁性層４１〜４５は、第２のシールド１６Ｄとヨーク層４０とを接続する接続部を構成している。この接続部は、第２のシールド１６Ｄおよびヨーク層４０に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。第２の帰磁路部の前記端面（ヨーク層４０の下面）と主磁極１５との間には、第２の界面Ｓ２０が形成されている。図１に示したように、第２の帰磁路部は、主磁極１５、ギャップ部（ギャップ層１８）、第２のシールド１６Ｄおよび第２の帰磁路部によって囲まれた第２の空間Ｓ２が形成されるように、第２のシールド１６Ｄと主磁極１５とを接続し、これにより、第２のシールド１６Ｄと主磁極１５とを磁気的に連結している。
【００６６】
本実施の形態では、磁性層４１，４３，４５は、媒体対向面３０に露出していない。磁性層４１，４３，４５は、それぞれ、媒体対向面３０に向いた端面を有し、これらの端面は、媒体対向面３０から離れた位置に配置されている。磁性層４１の上記端面と媒体対向面３０との間には絶縁層６５の一部が介在している。磁性層４３の上記端面と媒体対向面３０との間には絶縁層６７の一部が介在している。磁性層４５の上記端面と媒体対向面３０との間には絶縁層６９の一部が介在している。
【００６７】
図１に示したように、第１の界面Ｓ１０は、媒体対向面３０に最も近い第１の端部Ｅ１を有し、第２の界面Ｓ２０は、媒体対向面３０に最も近い第２の端部Ｅ２を有している。第２の端部Ｅ２は、第１の端部Ｅ１に対して、媒体対向面３０により近い位置に配置されている。
【００６８】
コイルの第１の部分１０の一部は、空間Ｓ１を通過している。コイルの第２の部分２０の一部は、空間Ｓ２を通過している。以下、図３ないし図６を参照して、第１の部分１０および第２の部分２０について詳しく説明する。
【００６９】
図３は、第１の部分１０を示す平面図である。第１の部分１０は、第１の帰磁路部の一部である磁性層３３の周りに１回以上巻かれている。また、第１の部分１０は、第１の空間Ｓ１を通過するように延びる１つ以上の第１のコイル要素を含んでいる。なお、コイル要素とは、コイルの巻線の一部である。第１の部分１０が磁性層３３の周りに２回以上巻かれている場合には、第１の部分１０は、第１の空間Ｓ１を通過するように延びる２つ以上の第１のコイル要素を含む。本実施の形態では、特に、第１の部分１０は、磁性層３３の周りに約３回巻かれ、第１の部分１０は、第１の空間Ｓ１を通過するように延びる３つの第１のコイル要素１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを含んでいる。第１のコイル要素１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは、媒体対向面３０側からこの順に、媒体対向面３０に垂直な方向に並んでいる。第１の部分１０は、第２の部分２０に電気的に接続されたコイル接続部１０Ｅを有している。
【００７０】
図４は、第２の部分２０の第１層２１を示す平面図である。第１層２１は、第２の帰磁路部の一部であるヨーク層４０の周りに１回巻かれている。第１層２１は、第２の空間Ｓ２内のうち特に第２のシールド１６Ｄとヨーク層４０との間を通過するコイル要素２１Ａを含んでいる。また、第１層２１は、第１の部分１０のコイル接続部１０Ｅに電気的に接続されたコイル接続部２１Ｓと、第２層２２に電気的に接続されたコイル接続部２１Ｅとを有している。コイル接続部２１Ｓは、第１層２１と第１の部分１０との間の複数の層を貫通する図示しない柱状の接続層を介してコイル接続部１０Ｅに電気的に接続されている。接続層は、銅等の導電材料によって形成されている。
【００７１】
図５は、第２の部分２０の第２層２２を示す平面図である。第２層２２は、第２の帰磁路部の一部である磁性層４２の周りに１回巻かれている。第２層２２は、第２の空間Ｓ２内のうち特に磁性層４１と磁性層４２との間を通過するコイル要素２２Ａを含んでいる。また、第２層２２は、絶縁膜６４を貫通して第１層２１のコイル接続部２１Ｅに電気的に接続されたコイル接続部２２Ｓと、第３層２３に電気的に接続されたコイル接続部２２Ｅとを有している。
【００７２】
図６は、第２の部分２０の第３層２３を示す平面図である。第３層２３は、第２の帰磁路部の一部である磁性層４４の周りに約１回巻かれている。第３層２３は、第２の空間Ｓ２内のうち特に磁性層４３と磁性層４４との間を通過するコイル要素２３Ａを含んでいる。また、第３層２３は、絶縁膜６６を貫通して第２層２２のコイル接続部２２Ｅに電気的に接続されたコイル接続部２３Ｓを有している。図３ないし図６に示した例では、第１の部分１０と第２の部分２０は、直列に接続されている。
【００７３】
コイル要素２１Ａ，２２Ａ，２３Ａは、本発明における１つ以上の第２のコイル要素に対応する。１つ以上の第２のコイル要素は、第２のシールド１６Ｄとヨーク層４０との間を通過する少なくとも１つの第１の特定のコイル要素を含んでいる。本実施の形態では、１つ以上の第２のコイル要素は、２つ以上の第２のコイル要素であり、特に３つのコイル要素２１Ａ，２２Ａ，２３Ａである。そのうちのコイル要素２１Ａが、第１の特定のコイル要素である。また、コイル要素２２Ａ，２３Ａは、コイル要素２１Ａに対して、記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。従って、コイル要素２２Ａ，２３Ａが第２の特定のコイル要素である。
【００７４】
次に、図７および図８を参照して、主磁極１５の形状について詳しく説明する。図７は、主磁極１５の媒体対向面３０の近傍の部分を示す斜視図である。図８は、主磁極１５の媒体対向面３０の近傍の部分を示す断面図である。図７に示したように、主磁極１５は、媒体対向面３０に配置された端面とその反対側の端部とを有するトラック幅規定部１５Ａと、トラック幅規定部１５Ａの端部に接続された幅広部１５Ｂとを含んでいる。また、図７および図８に示したように、主磁極１５は、基板１の上面１ａにより近い端部である下端部１５Ｌと、下端部１５Ｌとは反対側の上面１５Ｔと、第１の側部ＳＰ１と、第２の側部ＳＰ２とを有している。幅広部１５Ｂにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅は、トラック幅規定部１５Ａにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅よりも大きい。
【００７５】
トラック幅規定部１５Ａにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅は、媒体対向面３０からの距離によらずにほぼ一定である。幅広部１５Ｂにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅は、例えば、トラック幅規定部１５Ａとの境界位置ではトラック幅規定部１５Ａにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅と等しく、媒体対向面３０から離れるに従って、徐々に大きくなった後、一定の大きさになっている。ここで、媒体対向面３０に垂直な方向についてのトラック幅規定部１５Ａの長さをネックハイトと呼ぶ。ネックハイトは、例えば０〜０．３μｍの範囲内である。ネックハイトが０の場合は、トラック幅規定部１５Ａがなく、幅広部１５Ｂの端面が媒体対向面３０に配置される。
【００７６】
下端部１５Ｌは、媒体対向面３０に近い順に、連続するように配置された第１の部分１５Ｌ１、第２の部分１５Ｌ２および第３の部分１５Ｌ３を含んでいる。第１の部分１５Ｌ１は、媒体対向面３０に配置された端部を有している。第１および第２の部分１５Ｌ１，１５Ｌ２は、２つの面が交わってできるエッジでもよいし、２つの面を連結する面でもよい。第３の部分１５Ｌ３は、実質的に媒体対向面３０に垂直な方向に延在する面になっている。上面１５Ｔは、媒体対向面３０に近い順に、連続するように配置された第４の部分１５Ｔ１、第５の部分１５Ｔ２および第６の部分１５Ｔ３を含んでいる。第４の部分１５Ｔ１は、媒体対向面３０に配置された端部を有している。
【００７７】
図８に示したように、第１および第２の部分１５Ｌ１，１５Ｌ２における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面３０から離れるに従って小さくなっている。媒体対向面３０に垂直な方向に対する第２の部分１５Ｌ２の傾斜角度θＬ２は、媒体対向面３０に垂直な方向に対する第１の部分１５Ｌ１の傾斜角度θＬ１よりも大きい。第１のシールド１６Ａは、ギャップ部（第１のギャップ層１７）を介して第１の部分１５Ｌ１に対向する上面を有している。この第１のシールド１６Ａの上面における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面３０から離れるに従って小さくなっている。
【００７８】
また、第４および第５の部分１５Ｔ１，１５Ｔ２における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面３０から離れるに従って大きくなっている。媒体対向面３０に垂直な方向に対する第５の部分１５Ｔ２の傾斜角度θＴ２は、媒体対向面３０に垂直な方向に対する第４の部分１５Ｔ１の傾斜角度θＴ１よりも大きい。第６の部分１５Ｔ３は、実質的に媒体対向面３０に垂直な方向に延在している。第２のシールド１６Ｄは、ギャップ部（第２のギャップ層１８）を介して第４および第５の部分１５Ｔ１，１５Ｔ２に対向する下面を有している。第２のシールド１６Ｄの下面における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面３０から離れるに従って大きくなっている。
【００７９】
第１の部分１５Ｌ１の傾斜角度θＬ１および第４の部分１５Ｔ１の傾斜角度θＴ１は、いずれも、１５°〜４５°の範囲内であることが好ましい。第２の部分１５Ｌ２の傾斜角度θＬ２および第５の部分１５Ｔ２の傾斜角度θＴ２は、いずれも、４５°〜８５°の範囲内であることが好ましい。
【００８０】
また、図７に示したように、媒体対向面３０に配置された主磁極１５の端面は、第２のギャップ層１８に隣接する第１の辺Ａ１と、第１の辺Ａ１の一端部に接続された第２の辺Ａ２と、第１の辺Ａ１の他端部に接続された第３の辺Ａ３とを有している。第１の辺Ａ１はトラック幅を規定する。記録媒体に記録される記録ビットの端部の位置は、第１の辺Ａ１の位置によって決まる。媒体対向面３０に配置された主磁極１５の端面のトラック幅方向ＴＷの幅は、主磁極１５の下端１５Ｌに近づくに従って、すなわち基板１の上面１ａに近づくに従って小さくなっている。第２の辺Ａ２と第３の辺Ａ３がそれぞれ基板１の上面に垂直な方向に対してなす角度は、例えば７°〜１７°の範囲内であり、１０°〜１５°の範囲内であることが好ましい。第１の辺Ａ１の長さは、例えば０．０５〜０．２０μｍの範囲内である。
【００８１】
ここで、図８に示したように、媒体対向面３０における主磁極１５の厚み（基板１の上面１ａに垂直な方向の長さ）をＤ１とし、第３の部分１５Ｌ３と第６の部分１５Ｔ３との距離をＤ２とする。また、基板１の上面１ａに垂直な方向における第１の部分１５Ｌ１の両端間の、同方向の長さをＤＬ１とする。また、基板１の上面１ａに垂直な方向における第２の部分１５Ｌ２の両端間の、同方向の長さをＤＬ２とする。また、基板１の上面１ａに垂直な方向における第４の部分１５Ｔ１の両端間の、同方向の長さをＤＴ１とする。また、基板１の上面１ａに垂直な方向における第５の部分１５Ｔ２の両端間の、同方向の長さをＤＴ２とする。例えば、Ｄ１は０．０５〜０．２μｍの範囲内であり、Ｄ２は０．４〜０．８μｍの範囲内である。また、例えば、ＤＬ１は０より大きく０．３μｍ以下であり、ＤＬ２は０．１５〜０．３μｍの範囲内である。また、例えば、ＤＴ１は０より大きく０．３μｍ以下であり、ＤＴ２は０．１５〜０．３μｍの範囲内である。
【００８２】
なお、図７には、第２の部分１５Ｌ２と第３の部分１５Ｌ３の境界位置と媒体対向面３０との間の距離と、第５の部分１５Ｔ２と第６の部分１５Ｔ３の境界位置と媒体対向面３０との間の距離が、いずれも、トラック幅規定部１５Ａと幅広部１５Ｂとの境界位置と媒体対向面３０との間の距離すなわちネックハイトと等しい例を示している。しかし、第２の部分１５Ｌ２と第３の部分１５Ｌ３の境界位置と媒体対向面３０との間の距離と、第５の部分１５Ｔ２と第６の部分１５Ｔ３の境界位置と媒体対向面３０との間の距離は、それぞれ、ネックハイトよりも小さくてもよいし、大きくてもよい。
【００８３】
図２に示したように、媒体対向面３０において、トラック幅方向ＴＷにおける主磁極１５の第１および第２の側部ＳＰ１，ＳＰ２の間隔は、基板１の上面１ａに近づくに従って小さくなっている。同様に、媒体対向面３０において、トラック幅方向ＴＷにおけるサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃにおける第１および第２の側壁ＳＷ１，ＳＷ２の間隔は、基板１の上面１ａに近づくに従って小さくなっている。媒体対向面３０において、第１の側部ＳＰ１と第１の側壁ＳＷ１は実質的に平行であり、第２の側部ＳＰ２と第２の側壁ＳＷ１も実質的に平行である。媒体対向面３０において、第１の側部ＳＰ１と第１の側壁ＳＷ１との間隔と、第２の側部ＳＰ２と第２の側壁ＳＷ２との間隔は等しい。ここで、これらの間隔をＧ１とする。Ｇ１は、例えば２０〜８０ｎｍの範囲内である。また、媒体対向面３０において、主磁極１５の下端部１５Ｌと第１のシールド１６Ａとの間隔をＧ２とする。Ｇ２は、Ｇ１よりも大きく、Ｇ１の３倍以下である。この関係は、側壁ＳＷ１，ＳＷ２を有するサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃを形成した後に第１のギャップ層１７および主磁極１５を形成することによって実現される。
【００８４】
次に、本実施の形態に係る磁気ヘッドの作用および効果について説明する。この磁気ヘッドでは、記録ヘッドによって記録媒体に情報を記録し、再生ヘッドによって、記録媒体に記録されている情報を再生する。記録ヘッドにおいて、第１および第２の部分１０，２０を含むコイルは、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する。第１の部分１０によって発生された磁界に対応する磁束は、第１の帰磁路部と主磁極１５を通過する。第２の部分２０によって発生された磁界に対応する磁束は、第２の帰磁路部と主磁極１５を通過する。従って、主磁極１５は、第１の部分１０によって発生された磁界に対応する磁束と第２の部分２０によって発生された磁界に対応する磁束とを通過させる。
【００８５】
なお、第１および第２の部分１０，２０は、直列に接続されていてもよいし、並列に接続されていてもよい。いずれにしても、主磁極１５において、第１の部分１０によって発生された磁界に対応する磁束と第２の部分２０によって発生された磁界に対応する磁束が同じ方向に流れるように、第１および第２の部分１０，２０は接続される。
【００８６】
主磁極１５は、上述のようにコイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させて、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。
【００８７】
シールド１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄは、磁気ヘッドの外部から磁気ヘッドに印加された外乱磁界を取り込む。これにより、外乱磁界が主磁極１５に集中して取り込まれることによって記録媒体に対して誤った記録が行なわれることを防止することができる。また、シールド１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄは、主磁極１５の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体に達することを阻止する機能を有している。
【００８８】
また、シールド１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄと第１および第２の帰磁路部は、主磁極１５の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束を還流させる機能を有している。具体的に説明すると、主磁極１５の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束の一部は、シールド１６Ａと第１の帰磁路部を通過して主磁極１５に還流する。また、主磁極１５の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束の他の一部は、シールド１６Ｄと第２の帰磁路部を通過して主磁極１５に還流する。
【００８９】
媒体対向面３０において、シールド１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄの端面は、主磁極１５の端面の周りを囲むように配置されている。従って、本実施の形態によれば、主磁極１５の端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側および後側ならびにトラック幅方向ＴＷの両側において、主磁極１５の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体に達することを抑制することができる。これにより、本実施の形態によれば、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。第１および第２のシールド１６Ａ，１６Ｄは、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することに寄与する他に、記録磁界の勾配を大きくすることに寄与する。サイドシールド１６Ｂ，１６Ｃは、特に隣接トラック消去を抑制することへの寄与が大きい。このようなシールド１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄの機能により、本実施の形態によれば、記録密度を高めることができる。
【００９０】
また、本実施の形態では、図２に示したように、媒体対向面３０において、トラック幅方向ＴＷにおける主磁極１５の第１および第２の側部ＳＰ１，ＳＰ２の間隔すなわち主磁極１５の端面の幅は、基板１の上面１ａに近づくに従って小さくなっている。本実施の形態によれば、この特徴によっても、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。
【００９１】
また、本実施の形態では、媒体対向面３０において、トラック幅方向ＴＷにおけるサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃにおける第１および第２の側壁ＳＷ１，ＳＷ２の間隔は、主磁極１５の第１および第２の側部ＳＰ１，ＳＰ２の間隔と同様に、基板１の上面１ａに近づくに従って小さくなっている。従って、本実施の形態によれば、媒体対向面３０において、第１の側部ＳＰ１と第１の側壁ＳＷ１との間隔、ならびに第２の側部ＳＰ２と第２の側壁ＳＷ２との間隔を、小さく、且つ均一にすることが可能になる。これにより、サイドシールド１６Ｂ，１６Ｃによって、主磁極１５の端面より発生されてトラック幅方向ＴＷの両側に広がる磁束を、効果的に取り込むことができる。その結果、本実施の形態によれば、特にサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃの機能を高めることが可能になり、スキューに起因した隣接トラック消去の発生をより効果的に抑制することが可能になる。
【００９２】
ところで、シールド１６Ａ〜１６Ｄで取り込んだ磁束を吸収できるような、体積が大きい磁性層がシールド１６Ａ〜１６Ｄに磁気的に接続されていないと、シールド１６Ａ〜１６Ｄによって多くの磁束を取り込むことはできない。本実施の形態では、第１のシールド１６Ａと主磁極１５とを磁気的に連結する第１の帰磁路部（磁性層３１〜３６）と、第２のシールド１６Ｄと主磁極１５とを磁気的に連結する第２の帰磁路部（ヨーク層４０および磁性層４１〜４５）を備えている。このような構成により、シールド１６Ａ〜１６Ｄで取り込んだ磁束は、第１および第２の帰磁路部を経由して主磁極１５に流れ込む。本実施の形態では、シールド１６Ａ〜１６Ｄに対して、体積が大きい磁性層である第１および第２の帰磁路部と主磁極１５が磁気的に接続されている。従って、本実施の形態によれば、シールド１６Ａ〜１６Ｄによって多くの磁束を取り込むことが可能になり、その結果、前述のシールド１６Ａ〜１６Ｄの効果を効果的に発揮させることができる。
【００９３】
また、本実施の形態では、第１の帰磁路部とは別に第１のシールド１６Ａが設けられている。前記主断面において、第１の帰磁路部を構成する磁性層３１〜３６のうち主磁極１５から最も遠い磁性層３１は、媒体対向面３０に垂直な方向について第１のシールド１６Ａよりも大きな長さを有している。コイルの第１の部分１０は、空間Ｓ１を通過している。このような構造により、本実施の形態によれば、磁性層３１が第１のシールドを兼ねた構造に比べて、第１のシールド１６Ａと主磁極１５とを十分に近付けることが可能になり、その結果、第１のシールド１６Ａの機能を高めることが可能になる。
【００９４】
ここで、磁性層３４，３２の役割について説明する。まず、磁性層３４，３２がなく、第１のシールド１６Ａと磁性層３１が磁気的に連結されていない場合を考える。この場合、第１のシールド１６Ａまたはサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃで取り込まれて下方に向かった磁束は、磁性層３１の方へ流れることができないため、上方に向かうように戻る。その結果、第１のシールド１６Ａまたはサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃにおいて、下方に向かう磁束と上方に向かう磁束が生じ、その結果、第１のシールド１６Ａまたはサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃで取り込まれた磁束の一部が媒体対向面３０の外部に漏れ出す。これにより、隣接トラック消去が生じるおそれがある。これに対し、磁性層３４，３２によって第１のシールド１６Ａと磁性層３１が磁気的に連結されていると、サイドシールド１６Ｂ，１６Ｃで取り込まれた磁束は上方と下方へ分流し、第１のシールド１６Ａで取り込まれた磁束は主に下方に向かう。これにより、第１のシールド１６Ａまたはサイドシールド１６Ｂ，１６Ｃで取り込まれた磁束の一部が媒体対向面３０の外部に漏れ出すことによる隣接トラック消去の発生が防止される。
【００９５】
ところで、磁性層３２の端面が媒体対向面３０に露出していると、コイルの第１の部分１０が発生する熱によって絶縁層５３が膨張し、その結果、媒体対向面３０の一部である磁性層３２の端面が突出するおそれがある。これに対し、本実施の形態では、磁性層３２と媒体対向面３０との間に、磁性層３２よりも硬い絶縁層５４が存在している。この絶縁層５４は、磁性層３２よりも広い領域に存在している。そのため、絶縁層５４は、第１の部分１０が発生する熱による磁性層３２の位置の変化を抑制する機能を有する。よって、本実施の形態によれば、第１の部分１０が発生する熱によって媒体対向面３０の一部が突出することを抑制することができる。
【００９６】
また、前記主断面において、媒体対向面３０に垂直な方向についての第１のシールド１６Ａの長さが大きすぎると、主磁極１５から第１のシールド１６Ａへの磁束の漏れが多くなり、主磁極１５によって多くの磁束を媒体対向面３０まで導くことができなくなる。そのため、前記主断面において、媒体対向面３０に垂直な方向についての第１のシールド１６Ａの長さは大きすぎないようにする必要がある。この場合、前記主断面において、媒体対向面３０に垂直な方向についての磁性層３４，３２の長さが第１のシールド１６Ａの長さと等しいか、それより小さい場合には、磁性層３４，３２によって第１のシールド１６Ａから磁性層３１へ多くの磁束を導くことができなくなる。これに対し、本実施の形態では、前記主断面において、磁性層３４，３２は、それぞれ、媒体対向面３０に垂直な方向について第１のシールド１６Ａよりも大きく磁性層３１よりも小さな長さを有している。これにより、本実施の形態によれば、磁性層３４，３２によって第１のシールド１６Ａから磁性層３１へ多くの磁束を導くことが可能になる。
【００９７】
ところで、記録媒体に記録される記録ビットの端部の位置は、媒体対向面３０に配置された主磁極１５の端面のうち、記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置された端部の位置によって決まる。そのため、記録ビットの端部の位置を精度よく規定するためには、第１および第２のシールド１６Ａ，１６Ｄのうち、特に第２のシールド１６Ｄが多くの磁束を取り込むことができることが重要である。本実施の形態では、第２のシールド１６Ｄは、第１のシールド１６Ａよりも体積が大きく、これにより、第１のシールド１６Ａよりも多くの磁束を取り込むことができる。
【００９８】
また、記録密度を高めるために記録信号の周波数が高くなってくると、磁気ヘッドには、主磁極１５の端面より発生される磁束の方向の変化の速度の向上が求められる。この要求に応えるためには、特に、多くの磁束を取り込む第２のシールド１６Ｄと主磁極１５とを経由する磁路の長さ、すなわち第２のシールド１６Ｄ、第２の帰磁路部および主磁極１５を経由する磁路の長さを短くすることが有効である。本実施の形態では、以下で説明する理由により、第２のシールド１６Ｄ、第２の帰磁路部および主磁極１５を経由する磁路の長さを短くすることが可能になる。
【００９９】
本実施の形態では、第２の帰磁路部の端面と主磁極１５との間の第２の界面Ｓ２０の第２の端部Ｅ２は、第１の帰磁路部の端面と主磁極１５との間の第１の界面Ｓ１０の第１の端部Ｅ１に対して、媒体対向面３０により近い位置に配置されている。これにより、第２のシールド１６Ｄと第２の界面Ｓ２０との間の距離を小さくすることができる。本実施の形態では、特に、第１のコイル要素１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは、媒体対向面３０に垂直な方向に並び、第２のシールド１６Ｄとヨーク層４０との間を通過する第１の特定のコイル要素２１Ａは、第１のコイル要素１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃよりも数が少ない。第２の特定のコイル要素であるコイル要素２２Ａ，２３Ａは、コイル要素２１Ａに対して、記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。このような第１および第２のコイル要素の配置により、上述のように、第２の界面Ｓ２０の第２の端部Ｅ２を、第１の界面Ｓ１０の第１の端部Ｅ１に対して、媒体対向面３０により近い位置に配置することが可能になる。第２の帰磁路部の磁路の長さを小さくするためには、特に、第２の界面Ｓ２０の第２の端部Ｅ２を媒体対向面３０により近い位置に配置することが重要である。
【０１００】
また、本実施の形態では、第２の空間Ｓ２を通過するように延びる１つ以上の第２のコイル要素は、第２のシールド１６Ｄとヨーク層４０との間を通過する少なくとも１つの第１の特定のコイル要素２１Ａを含んでいる。これにより、１つ以上の第２のコイル要素が、第２のシールド１６Ｄとヨーク層４０との間を通過する第１の特定のコイル要素を含まない場合に比べて、記録媒体の進行方向Ｔについての第２の帰磁路部と主磁極１５の間の最大の距離を小さくすることができる。なお、コイル要素２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの厚みは小さくすることが可能なので、コイル要素２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃが記録媒体の進行方向Ｔに並んでいる方が、コイル要素２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃが媒体対向面３０に垂直な方向に並ぶ場合に比べて、第２の帰磁路部の磁路の長さを小さくすることが可能になる。
【０１０１】
これらのことから、本実施の形態によれば、第２の帰磁路部の磁路の長さを小さくすることができる。従って、本実施の形態によれば、多くの磁束を取り込む第２のシールド１６Ｄと主磁極１５とを経由する磁路の長さ、すなわち第２のシールド１６Ｄ、第２の帰磁路部および主磁極１５を経由する磁路の長さを短くすることができ、その結果、主磁極１５の端面より発生される磁束の方向の変化の速度の向上が可能になる。
【０１０２】
以下、本実施の形態におけるその他の効果について説明する。本実施の形態では、主磁極１５の下端１５Ｌは、媒体対向面３０に近い順に、連続するように配置された第１の部分１５Ｌ１、第２の部分１５Ｌ２および第３の部分１５Ｌ３を含んでいる。主磁極１５の上面１５Ｔは、媒体対向面３０に近い順に、連続するように配置された第４の部分１５Ｔ１、第５の部分１５Ｔ２および第６の部分１５Ｔ３を含んでいる。第１および第２の部分１５Ｌ１，１５Ｌ２における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面３０から離れるに従って小さくなっている。第４および第５の部分１５Ｔ１，１５Ｔ２における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面３０から離れるに従って大きくなっている。これにより、本実施の形態によれば、媒体対向面３０における主磁極１５の厚みを小さくすることができることから、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。しかも、本実施の形態によれば、媒体対向面３０から離れた位置では主磁極１５の厚みを大きくすることができることから、主磁極１５によって多くの磁束を媒体対向面３０まで導くことができ、その結果、オーバーライト特性等の記録特性を向上させることができる。
【０１０３】
本実施の形態における主磁極１５では、第１および第４の部分１５Ｌ１，１５Ｔ１の傾斜角度θＬ１，θＴ１を小さくすることによって、媒体対向面３０の位置の変動に伴う記録特性の変動を抑制することができる。しかも、この主磁極１５では、第２および第５の部分１５Ｌ２，１５Ｔ２の傾斜角度θＬ２，θＴ２を大きくすることによって、図８に示した媒体対向面３０における主磁極１５の厚みＤ１を小さくしながら、第３の部分１５Ｌ３と第６の部分１５Ｔ３との距離Ｄ２を大きくすることができ、その結果、スキューに起因した問題の発生を防止でき、且つ記録特性を向上させることができる。このように、本実施の形態によれば、媒体対向面３０の位置の変動に伴う記録特性の変動を抑制しながら、スキューに起因した問題の発生を防止し、且つ記録特性を向上させることが可能になる。
【０１０４】
［第２の実施の形態］
次に、図９および図１０を参照して、本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図９は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの複数の第１のコイル要素を示す平面図である。図１０は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの複数の第２のコイル要素を示す平面図である。
【０１０５】
本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第１の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態に係る磁気ヘッドでは、コイルは、主磁極１５の周りに約３回巻かれている。本実施の形態におけるコイルは、図３に示した第１の実施の形態における第１の部分１０の代りに、図９に示した３つの線形状部分１１，１２，１３を有している。また、本実施の形態におけるコイルは、図４ないし図６に示した第１の実施の形態における第１層ないし第３層２１，２２，２３の代りに、図９に示した形状の第１層ないし第３層２１，２２，２３を有している。
【０１０６】
図９に示したように、線形状部分１１，１２，１３は、それぞれ、第１の空間Ｓ１を通過するように延びる第１のコイル要素１１Ａ，１２Ｂ，１３Ｃを含んでいる。第１のコイル要素１１Ａ，１２Ｂ，１３Ｃは、媒体対向面３０側からこの順に、媒体対向面３０に垂直な方向に並んでいる。
【０１０７】
図１０に示したように、本実施の形態における第１層ないし第３層２１，２２，２３は、それぞれ、第２の空間Ｓ２を通過するように延びる第２のコイル要素２１Ａ，２２Ａ，２３Ａを含んでいる。コイル要素２１Ａは、特に第２のシールド１６Ｄとヨーク層４０との間を通過している。コイル要素２２Ａは、特に磁性層４１と磁性層４２との間を通過している。コイル要素２３Ａは、特に磁性層４３と磁性層４４との間を通過している。第１の実施の形態と同様に、コイル要素２１Ａが第１の特定のコイル要素であり、コイル要素２２Ａ，２３Ａが第２の特定のコイル要素である。
【０１０８】
線形状部分１１，１２，１３と、第１層ないし第３層２１，２２，２３は、それらの間の複数の層を貫通する５つの柱状の接続層８０を介して、主磁極１５の周りにヘリカル状に巻かれたコイルが形成されるように電気的に接続されている。
【０１０９】
本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１の実施の形態と同様である。
【０１１０】
［第３の実施の形態］
次に、図１１を参照して、本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図１１は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図１１は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面、特に前記主断面を示している。
【０１１１】
本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第１の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態に係る磁気ヘッドでは、磁性層４１，４３，４５が、それぞれ、媒体対向面３０に配置された端面を有している。図１１には、コイルが、第１の実施の形態と同様に第１の部分１０と第２の部分２０を有するものである例を示している。しかし、本実施の形態におけるコイルは、第２の実施の形態と同様に主磁極１５の周りにヘリカル状に巻かれたものであってもよい。
【０１１２】
本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１または第２の実施の形態と同様である。
【０１１３】
［第４の実施の形態］
次に、図１２を参照して、本発明の第４の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図１２は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図１２は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面、特に前記主断面を示している。
【０１１４】
本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第１の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態に係る磁気ヘッドでは、磁性層３１，３２が、それぞれ、媒体対向面３０に配置された端面を有している。また、本実施の形態では、第１の実施の形態における磁性層３４，３５および絶縁層５５が設けられていない。第１のシールド１６Ａは、磁性層３２の上に配置されている。磁性層３６は、磁性層３３の上に配置されている。絶縁層５６は、コイルの第１の部分１０および絶縁層５３の上面の上に配置されている。
【０１１５】
図１２には、コイルが、第１の実施の形態と同様に第１の部分１０と第２の部分２０を有するものである例を示している。しかし、本実施の形態におけるコイルは、第２の実施の形態と同様に主磁極１５の周りにヘリカル状に巻かれたものであってもよい。
【０１１６】
本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１または第２の実施の形態と同様である。
【０１１７】
［第５の実施の形態］
次に、図１３を参照して、本発明の第５の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図１３は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図１３は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面、特に前記主断面を示している。
【０１１８】
本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第４の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態に係る磁気ヘッドでは、第４の実施の形態（第１の実施の形態）における絶縁膜６３，６４，６６，６８と、絶縁層６５，６７，６９は設けられていない。本実施の形態では、コイルの第２の部分２０の第１層２１は、第２のギャップ層１８の上に配置されている。本実施の形態における第２のギャップ層１８は、アルミナ等の絶縁材料によって形成されている。本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第１層２１を覆うように配置された絶縁材料よりなる絶縁層７１を備えている。絶縁層７１は、例えばアルミナによって形成されている。第２のシールド１６Ｄ、ヨーク層４０および絶縁層７１の上面は平坦化されている。
【０１１９】
本実施の形態では、第２の部分２０の第２層２２は、絶縁層７１の上に配置されている。本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第２層２２を覆うように配置された絶縁材料よりなる絶縁層７２を備えている。絶縁層７２は、例えばアルミナによって形成されている。第２の部分２０の第３層２３は、絶縁層７２の上に配置されている。磁気ヘッドは、更に、第３層２３および絶縁層７２を覆うように配置された絶縁材料よりなる絶縁層７３を備えている。絶縁層７３は、例えばフォトレジストによって形成されている。
【０１２０】
本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第４の実施の形態（第１の実施の形態）における磁性層４１〜４５の代りに、磁性層４６を備えている。磁性層４６は、第２のシールド１６Ｄ、ヨーク層４０および絶縁層７３の上に配置され、第２のシールド１６Ｄとヨーク層４０とを接続している。また、磁性層４６は、媒体対向面３０に配置された端面を有している。本実施の形態における第２の帰磁路部は、ヨーク層４０と磁性層４６によって構成されている。磁性層４６は、第２の帰磁路部における接続部を構成する。保護層７０は、磁性層４６を覆うように配置されている。
【０１２１】
図１３には、コイルが、第４の実施の形態（第１の実施の形態）と同様に第１の部分１０と第２の部分２０を有するものである例を示している。しかし、本実施の形態におけるコイルは、第２の実施の形態と同様に主磁極１５の周りにヘリカル状に巻かれたものであってもよい。
【０１２２】
本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第４の実施の形態と同様である。
【０１２３】
［第６の実施の形態］
次に、図１４ないし図１６を参照して、本発明の第６の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図１４は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図１４は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面、特に前記主断面を示している。図１５は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分の第１層を示す平面図である。図１６は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分の第２層を示す平面図である。
【０１２４】
本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第１の実施の形態におけるコイルの第２の部分２０の代りに、第２の部分１２０を備えている。第２の部分１２０は、第１層１２１と第２層１２２とを含んでいる。第２層１２２は、第１層１２１の上方に配置されている。
【０１２５】
また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第１の実施の形態における絶縁膜６３，６４，６６，６８の代りに、それぞれ絶縁材料よりなる絶縁膜９１，９３，９４および絶縁層９２を備えている。また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第１の実施の形態における磁性層４３，４４と絶縁層６７を備えていない。本実施の形態における第２の帰磁路部は、ヨーク層４０と磁性層４１，４２，４５とによって構成されている。
【０１２６】
図１５に示したように、第１層１２１は、ヨーク層４０の周りに２回巻かれている。第１層１２１は、第２の空間Ｓ２内のうち特に第２のシールド１６Ｄとヨーク層４０との間を通過する２つの第２のコイル要素１２１Ａ，１２１Ｂを含んでいる。第２のコイル要素１２１Ａ，１２１Ｂは、媒体対向面３０側からこの順に、媒体対向面３０に垂直な方向に並んでいる。本実施の形態では、コイル要素１２１Ａ，１２１Ｂが第１の特定のコイル要素である。
【０１２７】
絶縁膜９１は、第２のシールド１６Ｄ、ヨーク層４０および第２のギャップ層１８と第１層１２１との間に介在している。絶縁層９２は、第１層１２１の巻線間に配置されている。絶縁膜９１は例えばアルミナによって形成され、絶縁層９２は例えばフォトレジストによって形成されている。第１層１２１、第２のシールド１６Ｄ、ヨーク層４０、絶縁膜９１および絶縁層９２の上面は平坦化されている。
【０１２８】
また、第１層１２１は、第１の部分１０のコイル接続部１０Ｅに電気的に接続されたコイル接続部１２１Ｓと、第２層１２２に電気的に接続されたコイル接続部１２１Ｅとを有している。コイル接続部１２１Ｓは、第１層１２１と第１の部分１０との間の複数の層を貫通する図示しない柱状の接続層を介してコイル接続部１０Ｅに電気的に接続されている。
【０１２９】
図１６に示したように、第２層１２２は、磁性層４２の周りに約１回巻かれている。第２層１２２は、第２の空間Ｓ２内のうち特に磁性層４１と磁性層４２との間を通過する第２のコイル要素１２２Ａを含んでいる。コイル要素１２２Ａの媒体対向面３０に垂直な方向についての幅は、同方向についての各コイル要素１２１Ａ，１２１Ｂの幅よりも大きい。コイル要素１２２Ａは、第１の特定のコイル要素であるコイル要素１２１Ａ，１２１Ｂに対して、記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。従って、本実施の形態では、コイル要素１２２Ａが第２の特定のコイル要素である。
【０１３０】
絶縁膜９３は、第１層１２１、絶縁層９２および磁性層４１，４２と第２層１２２との間に介在している。絶縁膜９３は例えばアルミナによって形成されている。第２層１２２、磁性層４１，４２、絶縁膜９３および絶縁層６５の上面は平坦化されている。また、第２層１２２は、絶縁膜９３を貫通して第１層１２１のコイル接続部１２１Ｅに電気的に接続されたコイル接続部１２２Ｓを有している。
【０１３１】
絶縁膜９４は、第２層１２１を覆うように配置されている。絶縁膜９４は例えばアルミナによって形成されている。磁性層４５は、磁性層４１，４２および絶縁膜９４の上に配置され、磁性層４１と磁性層４２とを接続している。
【０１３２】
本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１の実施の形態と同様である。
【０１３３】
［第７の実施の形態］
次に、図１７を参照して、本発明の第７の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図１７は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの複数の第２のコイル要素を示す平面図である。
【０１３４】
本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第６の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態に係る磁気ヘッドでは、コイルは、主磁極１５の周りに約３回巻かれている。本実施の形態におけるコイルは、図４に示した第６の実施の形態（第１の実施の形態）における第１の部分１０の代りに、図９に示した第２の実施の形態における３つの線形状部分１１，１２，１３を有している。また、本実施の形態におけるコイルは、図１５および図１６に示した第６の実施の形態における第１層１２１および第２層１２２の代りに、図１７に示した形状の第１層ないし第３層２１１，２１２，２１３を有している。
【０１３５】
第１層２１１と第２層２１２は、同一平面上に配置されている。第１層２１１と第２層２１２は、それぞれ、第２の空間Ｓ２内のうち特に第２のシールド１６Ｄとヨーク層４０との間を通過する第２のコイル要素２１１Ａ，２１２Ａを含んでいる。第２のコイル要素２１１Ａ，２１２Ａは、媒体対向面３０側からこの順に、媒体対向面３０に垂直な方向に並んでいる。本実施の形態では、コイル要素２１１Ａ，２１２Ａが第１の特定のコイル要素である。
【０１３６】
第３層２１３は、第１層２１１および第２層２１２の上方に配置されている。第３層２１３は、第２の空間Ｓ２内のうち特に磁性層４１と磁性層４２との間を通過する第２のコイル要素２１３Ａを含んでいる。コイル要素２１３Ａの媒体対向面３０に垂直な方向についての幅は、同方向についての各コイル要素２１１Ａ，２１２Ａの幅よりも大きい。コイル要素２１３Ａは、第１の特定のコイル要素であるコイル要素２１１Ａ，２１２Ａに対して、記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。従って、本実施の形態では、コイル要素２１３Ａが第２の特定のコイル要素である。
【０１３７】
線形状部分１１，１２，１３と、第１層ないし第３層２１１，２１２，２１３は、それらの間の複数の層を貫通する５つの柱状の接続層８０を介して、主磁極１５の周りにヘリカル状に巻かれたコイルが形成されるように電気的に接続されている。
【０１３８】
本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第６の実施の形態と同様である。
【０１３９】
［第８の実施の形態］
次に、図１８を参照して、本発明の第８の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図１８は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図１８は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面、特に前記主断面を示している。
【０１４０】
本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第６の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態に係る磁気ヘッドでは、磁性層４１，４５が、それぞれ、媒体対向面３０に配置された端面を有している。図１８には、コイルが、第６の実施の形態と同様に第１の部分１０と第２の部分１２０を有するものである例を示している。しかし、本実施の形態におけるコイルは、第７の実施の形態と同様に主磁極１５の周りにヘリカル状に巻かれたものであってもよい。
【０１４１】
本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第６または第７の実施の形態と同様である。
【０１４２】
［第９の実施の形態］
次に、図１９を参照して、本発明の第９の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図１９は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図１９は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面、特に前記主断面を示している。
【０１４３】
本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第６の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態に係る磁気ヘッドでは、第４の実施の形態と同様に、磁性層３１，３２が、それぞれ、媒体対向面３０に配置された端面を有している。また、本実施の形態では、第６の実施の形態（第１の実施の形態）における磁性層３４，３５および絶縁層５５が設けられていない。第１のシールド１６Ａは、磁性層３２の上に配置されている。磁性層３６は、磁性層３３の上に配置されている。絶縁層５６は、コイルの第１の部分１０および絶縁層５３の上面の上に配置されている。
【０１４４】
図１９には、コイルが、第６の実施の形態と同様に第１の部分１０と第２の部分１２０を有するものである例を示している。しかし、本実施の形態におけるコイルは、第７の実施の形態と同様に主磁極１５の周りにヘリカル状に巻かれたものであってもよい。
【０１４５】
本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第６または第７の実施の形態と同様である。
【０１４６】
［第１０の実施の形態］
次に、図２０ないし図２２を参照して、本発明の第１０の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図２０は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図２０は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面、特に前記主断面を示している。図２１は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分の第１層を示す平面図である。図２２は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分の第２層を示す平面図である。
【０１４７】
本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第９の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態に係る磁気ヘッドでは、第９の実施の形態（第６の実施の形態）におけるコイルの第２の部分１２０の代りに、第２の部分２２０を備えている。第２の部分２２０は、第１層２２１と第２層２２２とを含んでいる。第２層２２２は、第１層２２１の上方に配置されている。
【０１４８】
また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第６の実施の形態における絶縁膜９１，９３，９４および絶縁層９２の代りに、それぞれ絶縁材料よりなる絶縁膜１９１，１９２，１９３，１９５および絶縁層１９４を備えている。また、本実施の形態に係る磁気ヘッドでは、磁性層４１，４５が、それぞれ、媒体対向面３０に配置された端面を有している。
【０１４９】
図２１に示したように、第１層２２１は、ヨーク層４０の周りに１回巻かれている。第１層２２１は、第２の空間Ｓ２内のうち特に第２のシールド１６Ｄとヨーク層４０との間を通過する第２のコイル要素２２１Ａを含んでいる。本実施の形態では、コイル要素２２１Ａが第１の特定のコイル要素である。
【０１５０】
絶縁膜１９１は、第２のシールド１６Ｄ、ヨーク層４０および第２のギャップ層１８と第１層２２１との間に介在している。絶縁膜１９１は例えばアルミナによって形成されている。第１層２２１、第２のシールド１６Ｄ、ヨーク層４０および絶縁膜１９１の上面は平坦化されている。絶縁膜１９２は、第１層２２１を覆うように配置されている。
【０１５１】
また、第１層２２１は、第１の部分１０のコイル接続部１０Ｅに電気的に接続されたコイル接続部２２１Ｓと、第２層２２２に電気的に接続されたコイル接続部２２１Ｅとを有している。コイル接続部２２１Ｓは、第１層２２１と第１の部分１０との間の複数の層を貫通する図示しない柱状の接続層を介してコイル接続部１０Ｅに電気的に接続されている。
【０１５２】
図２２に示したように、第２層２２２は、磁性層４２の周りに約２回巻かれている。第２層２２２は、第２の空間Ｓ２内のうち特に磁性層４１と磁性層４２との間を通過する２つの第２のコイル要素２２２Ａ，２２２Ｂを含んでいる。第２のコイル要素２２２Ａ，２２２Ｂは、媒体対向面３０側からこの順に、媒体対向面３０に垂直な方向に並んでいる。図２１に示したコイル要素２２１Ａの媒体対向面３０に垂直な方向についての幅は、同方向についての各コイル要素２２２Ａ，２２２Ｂの幅よりも大きい。コイル要素２２２Ａ，２２２Ｂは、第１の特定のコイル要素であるコイル要素２２１Ａに対して、記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。従って、本実施の形態では、コイル要素２２２Ａ，２２２Ｂが第２の特定のコイル要素である。
【０１５３】
絶縁膜１９３は、絶縁膜１９２および磁性層４１，４２と第２層２２２との間に介在している。絶縁層１９４は、第２層２２２の巻線間に配置されている。絶縁膜１９３は例えばアルミナによって形成され、絶縁層１９４は例えばフォトレジストによって形成されている。第２層２２２、磁性層４１，４２、絶縁膜１９３および絶縁層１９４の上面は平坦化されている。また、第２層２２２は、絶縁膜１９３を貫通して第１層２２１のコイル接続部２２１Ｅに電気的に接続されたコイル接続部２２２Ｓを有している。
【０１５４】
絶縁膜１９５は、第２層２２２を覆うように配置されている。絶縁膜１９５は例えばアルミナによって形成されている。
【０１５５】
図２０には、コイルが、第９の実施の形態と同様に第１の部分１０と第２の部分２２０を有するものである例を示している。しかし、本実施の形態におけるコイルは、第７の実施の形態と同様に主磁極１５の周りにヘリカル状に巻かれたものであってもよい。
【０１５６】
本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第９の実施の形態と同様である。
【０１５７】
なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されず、種々の変更が可能である。例えば、請求の範囲の要件を満たす限り、第１および第２のコイル要素、ならびに第１および第２の特定のコイル要素の数は、各実施の形態に示した例に限らず、任意である。
【０１５８】
また、実施の形態では、基体側に再生ヘッドを形成し、その上に、記録ヘッドを積層した構造の磁気ヘッドについて説明したが、この積層順序を逆にしてもよい。
【符号の説明】
【０１５９】
１５…主磁極、１６Ａ…第１のシールド、１６Ｂ，１６Ｃ…サイドシールド、１６Ｄ…第２のシールド、２１Ａ，２２Ａ，２３Ａ…コイル要素、４０…ヨーク層、Ｓ１０…第１の界面、Ｓ２０…第２の界面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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