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(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
蓋本体と装飾体とを備え、蓋本体は、通水用の円形の小孔が縦横に並べて多数形成してあり、装飾体は、蓋本体の通水用の小孔に係止する係止部と、小孔を覆う円形の傘部を有し、多種類の色付けがされており、通水用の小孔に係止部を係止させ蓋本体に装飾体を適宜取付けることで、蓋本体の表面にカラフルな模様を自由に表せるようにしたことを特徴とする集水桝の蓋。
【請求項２】
装飾体として、円形の傘部を有するものとは別に、文字をかたどった装飾体を備え、文字をかたどった装飾体は、裏面側に蓋本体の通水用の小孔に係止する係止部を有することを特徴とする請求項１記載の集水桝の蓋。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、手軽に装飾できる集水桝の蓋に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に住宅の敷地には、竪樋からの雨水を受けたり表面層の雨水を集めるために、集水桝（雨水桝ともいう）を設置している。集水桝はコンクリート等で上面が開放した箱状に形成して地面に埋め込まれ、上面は蓋を取付けて塞いである。これまでの集水桝の蓋は、樹脂やコンクリートを型に流し込んで成形した画一的なものしかなく、デザイン性に乏しいものであった。
【０００３】
外構デザインをする際に、集水桝の蓋にもデザイン性を持たせたいと考えるデザイナーは多く、またその家に暮らす人達の中にも画一的なデザインではつまらないと考える人が少なくない。しかし、オリジナルデザインを作るにはコストがかかりすぎるという難点がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は以上に述べた実情に鑑み、オリジナルデザインを簡単に作れる集水桝の蓋の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を達成するために請求項１記載の発明による集水桝の蓋は、蓋本体と装飾体とを備え、蓋本体は、通水用の円形の小孔が縦横に並べて多数形成してあり、装飾体は、蓋本体の通水用の小孔に係止する係止部と、小孔を覆う円形の傘部を有し、多種類の色付けがされており、通水用の小孔に係止部を係止させ蓋本体に装飾体を適宜取付けることで、蓋本体の表面にカラフルな模様を自由に表せるようにしたことを特徴とする。
【０００７】
請求項２記載の発明による集水桝の蓋は、請求項１記載の発明の構成に加え、装飾体として、円形の傘部を有するものとは別に、文字をかたどった装飾体を備え、文字をかたどった装飾体は、裏面側に蓋本体の通水用の小孔に係止する係止部を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１記載の発明による集水桝の蓋は、蓋本体に通水用の円形の小孔が縦横に並べて多数形成してあり、通水用の小孔に係止部を係止させて装飾体を適宜取付けることで、蓋本体の表面にカラフルな模様を自由に表せるようにしたので、オリジナルデザインを簡単に作ることができる。
【００１０】
請求項２記載の発明による集水桝の蓋は、装飾体として文字をかたどったものを備えるので、これを取付けることで蓋本体に様々な独自のメッセージを表すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（ａ）は本発明の集水桝の蓋の一実施形態を示す平面図、（ｂ）は同側面図、（ｃ）はＡ−Ａ断面図である。
【図２】図１の集水桝の蓋の分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１，２は、本発明の集水桝の蓋の一実施形態を示している。本集水桝の蓋は、蓋本体１に装飾体２，３を適宜取付けることで、様々な模様やメッセージ等を表したオリジナルデザインを簡単に作れるようにしたものである。
【００１３】
蓋本体１は、プラスチックで正方形の板状に形成してあり、略全域にわたって通水用の小孔４が縦横に一定の間隔で並べて多数形成されている。蓋本体１の外周部には、集水桝６の上端部の周囲を囲む囲み部７が下方に折り返すように設けてあり、四方の囲み部７にそれぞれ止めネジ８を有している。蓋本体１は、図１（ｃ）に示すように、地面９の中に埋め込んだ集水桝６に上方から被せ、周囲の止めネジ８を締め込んでその先端を集水桝６の側壁に突き当てることで、集水桝６に対して固定される。蓋本体１は、止めネジ８の長さを変えることで、集水桝６の大きさの違いに対応でき、また四角形の集水桝６だけでなく円形の集水桝６にも取付けることができる。
【００１４】
装飾体としては、多種類の色付けがされたカラーリベット２と、文字をかたどったもの３とが用意されている。カラーリベット２は、プラスチックで形成したもので、蓋本体１の通水用の小孔４に差し込まれる軸部５と、軸部５の上方に設けた傘部１０とを有し、好きな色のカラーリベット２を選択し、その軸部５を蓋本体１の通水用の小孔４に差し込むようにして好きな配置で取り付けることで、蓋本体１に様々な模様をカラフルに表すことができる。軸部５は、通水用の小孔４に差し込みやすいように先端部を面取りしてあり、また軸部５の径は小孔４の径よりも若干大きめにしてあり、小孔４に差し込むと容易に抜けないようにしてある。なお、図示の例では、複数のカラーリベット２，２，…で矢印の形の模様を形成しているが、模様の形は幾何学的な模様や動物や乗り物の形など、自由に変えることができる。
文字をかたどった装飾体３は、プラスチックで形成したもので、図２に示すように、裏面側に蓋本体１の通水用の小孔４に係止する軸部５が、複数形成されている。かかる装飾体３は、アルファベットや数字、ひらがな、カタカナなど多種類のものが用意されており、また色も様々あって、そのうちから好きなものを選択し、軸部５を蓋本体１の通水用の小孔４に差し込むようにして、蓋本体１上面の好きな位置に取付けることができる。なお、図示の例では、文字をかたどった装飾体３で「ＨＡＰＰＹ」のメッセージを表しているが、文字の並びは好きなようにでき、例えばその家の名字をカタカナで表したり、家を建てた日付を数字で表したりすることもできる。
【００１５】
以上に述べたように本集水桝の蓋は、カラーリベット２や文字をかたどった装飾体３を蓋本体１の通水用の小孔４を利用して自由に取付けることで、誰にでも簡単にオリジナルデザインの蓋が作れ、家の外回りがより楽しく、美しくなる。装飾体２，３は自由に付け替えることができ、デザインに飽きてきたらいつでも変更することができる。また、蓋本体１に通水用の小孔４が多数形成されているので、雨水を速やかに集水桝６に落とすことができ、また集水桝６の大きさや形状の違いにも対応でき、機能的にも優れたものとなっている。
【００１６】
本発明は以上に述べた実施形態に限定されない。蓋本体の形状や大きさ、材質等は任意であり、通水用の小孔の形状や間隔、個数、配置等も適宜変更することができる。例えば通水用の小孔は四角形の孔でもよいし、蓋本体の一部の領域にだけ通水用の小孔を設けてもよい。装飾体の形状や材質も適宜変更することができ、例えば記号やキャラクターの形であってもよい。
【符号の説明】
【００１７】
１  蓋本体
２  カラーリベット（装飾体）
３  文字をかたどった装飾体
４  通水用の小孔
５  軸部（係止部）
６  集水桝
【図１】
0005486366.tif 000002
【図２】
0005486366.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板偏平状からなる基板（１）の左右両側に垂直折れスジ（２）を設けて、左右の垂直折れスジ（２）の中央側に正面部（３）を設け、正面部（３）の左右両側に側辺折り返し部（４）を設け、当該正面部（３）に、対向して設けられた垂直切り込み（５）の上辺に水平折れスジ（６）と下辺に水平切り込み（７）とを設けた横長帯状からなる側辺折り返し部（４）を折り返した時に左右端が塞がれる開閉弁（８）を等間隔に並列して複数設け、基板（１）の下部に水平折れスジ（９）を設けて、正面部（３）の下側に連接突出した下辺折り返し部（１０）を設けたことを特徴とする窓用養生シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】    本発明は、一般住宅や集合住宅などの建物の外壁塗装時に窓を覆うために用いられる、窓用養生シートに関するものである。
【背景技術】
【０００２】    従来、外壁塗装時には建物の外壁以外の場所に塗料が付着することを防止するために、養生テープと養生シートを用いて、窓全体を覆って密閉してしまうのが一般的であった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】    そのために、次のような問題点があった。
（イ）室内外の空気が出入できないために、使用後や清掃後の浴室に換気扇では対応しきれない湿気がこもり、かびの発生の原因となった。
（ロ）また、使用後のトイレの換気ができないために、臭気がトイレ内に長時間滞留してしまい、複数名でのトイレ利用時に不快な臭害問題があった。
（ハ）これを解決するために、窓を覆った養生シートに、室内外の空気を通気させる目的で、刃物で縦に複数の切り込みを入れる方法があるが、切り込みに塗料が上方から落下直撃した際には、塗料が浸入してしまうという問題があると共に、開口面積が小さいために換気効果がほとんど得られないという問題があった。
（ニ）窓を開閉できるように養生する方法があるが、窓を開閉可能に養生するためには作業に相当な手間と時間を要するという問題があり、さらに、いつ上方から塗料が落ちてくるか分からないために、塗装作業中は窓を開けておくことができないという問題があった。
（ホ）以上のようなことから、建物の外壁塗装工事の期間中は、室内に湿気や臭気が滞留して不快な状況で過ごさなければならないという問題があったが、建物の保護と美化のために我慢を強いられていた。本発明は、これらの問題点を解決するためになされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】          （ロ）正面部（３）に、対向して設けられた垂直切り込み（５）の上辺に水平折れスジ（６）と下辺に水平切り込み（７）とを設けた横長帯状からなる側辺折り返し部（４）を折り返した時に左右端が塞がれる開閉弁（８）を等間隔に並列して複数設ける。
【発明の効果】
【０００５】    薄板偏平状からなる基板の両側の側辺折り返し部を正面部の背面側に垂直折れスジにて１８０度折り返し、正面部の下側に連接突出した下辺折り返し部を正面部の背面側に水平折れスジにて１８０度折り返し、正面部の周囲四方を養生テープで建物の窓または従来の養生シートを併用して窓の一部に貼付し、正面部に等間隔に並列に設けられた複数の横長帯状からなる開閉弁を上辺の水平折れスジにて折り曲げて斜めに起こすことで開閉弁が軒を形成し、各軒下に複数の開口部ができるとともに、開口部の左右端が正面部の背面側に折り返された側辺折り返し部によって塞がれ、尚且つ正面部下側の背面側に折り返された下辺折り返し部によって塗料受け部が形成されるので、上方から落ちてくる塗料は各軒で開口部への侵入を防止し、上方左右から開口部の左右端に斜めに落ちてくる塗料は背面左右の側辺折り返し部で侵入を防止し、開口部の左右端から入り込んで正面部と背面左右の側辺折り返し部との隙間を伝わって垂れて落ちる塗料は正面部下部の背面側に折り返された下辺折り返し部による塗料受け部で浸入を防止されるが、空気は開口部から自由に出入することができるので、塗装作業中であっても室内外の空気の換気ができて、室内に湿気や臭気が滞留することがなくなり、塗装期間中の不快な状況が解消されるとともに、冷房装置のない夏季の室内温度の低下が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】          （ロ）正面部（３）に、対向して設けられた垂直切り込み（５）の上辺に水平折れスジ（６）と下辺に水平切り込み（７）とを設けた横長帯状からなる側辺折り返し部（４）を折り返した時に左右端が塞がれる開閉弁（８）を等間隔に並列して複数設ける。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の基板の斜視図
【図２】同上側辺折り返し部と下辺折り返し部とを折り返した状態を示す斜視図
【図３】同上左下部の折り返し部分の拡大図
【図４】同上開閉弁を開いた使用時の状態を示す斜視図
【図５】同上中央横断面図
【図６】同上中央下部縦断面図
【図７】同上窓に貼付して開閉弁を開いた使用例を示す斜視図
【図８】同上使用例の左下部開口部の拡大図
【符号の説明】
【０００８】      １  基板
２  垂直折れスジ
３  正面部
４  側辺折り返し部
５  垂直切り込み
６  水平折れスジ
７  水平切り込み
８  開閉弁
９  水平折れスジ
１０  下辺折り返し部
１１  従来の養生シート
１２  窓
１３  養生テープ
１４  軒
１５  開口部
１６  塗料受け部
【図１】
0005585048.tif 000002
【図２】
0005585048.tif 000003
【図３】
0005585048.tif 000004
【図４】
0005585048.tif 000005
【図５】
0005585048.tif 000006
【図６】
0005585048.tif 000007
【図７】
0005585048.tif 000008
【図８】
0005585048.tif 000009
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
研削盤に付した加工物の冷却液用配管に三方継手を備え、直進する冷却液と交錯する側より、冷却液の流体圧力より低く調整された圧縮空気を先端部が冷却液流路中に設置された圧縮空気用先端ノズルに通して送り込み、三方継手と吐出口に至る隙間において、冷却液と圧縮空気を混ぜ合わせ、砥石及び加工物の研削面に噴き付ける研削盤の冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は研削盤による加工時の砥石の目詰まりを極力少なくし、加工物の発熱を抑制する冷却装置。
【背景技術】
【０００２】  従来の研削盤の冷却装置は、冷却液を吐出口より勢いよく砥石と加工物に噴き付けるという方法が行われている。例えば、吐出口より冷却液を噴き付け、別に備えたノズルより圧縮空気を噴き付けるという方法も可能であるが、圧縮空気の方向を定めるのは、専用のホルダーを付すとしても、安全性、操作性に問題が多く、現実には行われていない。研削盤加工において、作業者の安全性と操作性を考慮すると、研削盤の砥石カバー、主軸の周辺にそのような装置を設けることは困難である。【０００３】冷却液の噴き付けだけでは、砥石の目詰まりが生じ、加工物の仕上面にビビリや研削縞が出来てしまっていた。それを防ぐためには、砥石面を頻繁にドレッシングして、砥石表面の切刃を再生する必要があった。余計なドレッシングによる砥石及びダイアモンドの消耗は、経済的にも大きな負担となり、改善する必要があった。【０００４】  例えば、平面研削加工時に、仮に冷却液の量を多くして、砥石の切込量を増すと、加工物が発熱して、加工物の平板は変形し、平坦度の精度も著しく低下してしまう。精度を最重視する研削加工において、加工時の発熱は、生産性の向上の障壁になっていた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  非常に危険を伴う研削作業において、加工物の発熱を抑制して、作業者の安全性、操作性を損なうことなく、加工物の精度及び仕上り面の良好さを維持し、生産性を向上させ、経済的負担も軽い、簡単な冷却装置の開発。
【課題を解決するための手段】
【０００６】本発明は、冷却液の配管に三方継手を備え、直進する冷却液に交錯する側より、空気量を調整可能なバルブを配し、冷却液の流体圧力よりも低く調整された圧縮空気を先端部が冷却液流路中に設置された圧縮空気用先端ノズルを通して送り込み、三方継手と吐出口に至る隙間において冷却液と圧縮空気を混合する。吐出口から吐出された圧縮空気と混合した冷却液は、砥石の表面及び加工物の研削面に勢いよく噴き付けられ、瞬時に目詰まりを防ぎ、且つ冷却効果を増すようにしたものである。
【発明の効果】
【０００７】  研削盤の加工時に、作業者の安全性と操作性も従来同様に確保しつつ、圧縮空気を冷却液に混合して、砥石と加工物の研削面に噴き付けることにより、加工物の発熱を抑制し、砥石の目詰まりを減少させた。【０００８】  特に、平板の研削加工において、発熱による板の反りを極力少なくして、切込量を多くすることが可能になり、生産性の向上が著しく見られた。【０００９】  面積の広い平板の研削において、連続トラバース加工する際に、両端で砥石の磨耗量を見越した、より多くの切込量が可能となり、磨耗した砥石でも、いわゆる周速が落ちても、効率よく使用できるようになり、砥石の消費量が減少し、非常に大きな経済的効果があった。【００１０】  砥石の目詰まり、目潰しが減少したため、通常実施していた砥石のドレッシングの回数が減少し、砥石およびダイヤモンドの消耗が少なくなり、経済的効果が見られた。【００１１】  砥石の目詰まり、目潰しが減少したため、ドレッシング作業の回数を減らしても、ビビリや研削縞がなく、加工物の仕上面が良好になった。
【図面の簡単な説明】
【図１】は、本装置を平面研削盤に使用した際の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】  研削盤の冷却液の配管に、三方継手１を配し、直進する冷却液の流れに交錯する側より、減圧弁３と圧縮空気用開閉バルブ４の先に、圧縮空気用先端ノズル２を備え、圧縮空気用先端ノズル２の先端部は配管の冷却液流路中に設置されている。配管の三方継手１と吐出口６の間には冷却液用開閉バルブ５が設けられている。
減圧弁３及び圧縮空気用開閉バルブ４によって、圧縮空気の量を調節することができる。冷却液用開閉バルブ５は、圧縮空気の混合した冷却液の吐出量を調節することができる。
【００１３】  三方継手１と吐出口６に至る隙間にて、冷却液と圧縮空気を混合したものを吐出口６より、加工物７の研削面及び砥石８に噴き付けるものである。また、減圧弁３及び圧縮空気用開閉バルブ４によって、圧縮空気用先端ノズル２からの圧縮空気の量を調節することで、吐出口６より噴き付ける圧力を調整可能にすることができる。
【００１４】  供給する圧縮空気の圧力は、減圧弁３により、冷却液の流体圧力より低く調整することで、冷却液と圧縮空気が吐出口６に至る隙間で安定した混ざり方をする。
【符号の説明】
【００１５】  １    三方継手
２    圧縮空気用先端ノズル
３    減圧弁
４    圧縮空気用開閉バルブ
５    冷却液用開閉バルブ
６    吐出口
７    加工物
８    砥石
【図１】
0005549846.tif 000002
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ねじ溝ポンプのロータの表面及び該ロータ表面と対向するステータの表面の少なくとも一方の表面に、前記ロータと前記ステータ間の間隙を通る作動流体の逆流の抵抗となる０．０１乃至０．１ミリメートルの高さの微細な凹凸を形成し、該凹凸表面は粒径が１０乃至１００ミクロンの不定形セラミックス粒子によるブラストによって形成されたことを特徴とする分子ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は高速回転をするロータを有して分子流領域で作動する分子ポンプ、特にロータ
とステータの少なくとも一方にねじ溝を有するねじ溝ポンプ及び又はターボ分子ポンプ  
部とねじ溝ポンプ部とからなる複合分子ポンプの分子ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ねじ溝ポンプは、ロータとステータとが円筒状又は円錐状の表面を有して、これら表面
間に微小の間隙を介して互いに対向すると共に、これら表面の少なくとも一方にねじ溝を
刻設して形成されている。
【０００３】
これらねじ溝ポンプのロータ及びステータは、多くの場合、アルミ合金からなっている
。
【０００４】
このようなアルミ合金製のねじ溝ポンプを有する複合分子ポンプでは、プロセスガス（
排気を行なう対象のガス）がロータやステータに凝着・堆積するのを避けるために、これ
らロータやステータの表面に１乃至５０ミクロンの厚さのニッケル・すず合金膜を形成し
た例がある（特許文献１参照。）。
【０００５】
又、ターボ分子ポンプのロータ及びステータの動翼及び静翼にＳｉＯ２系又はＡｌ２Ｏ
３系のセラミックコーティングを施して、該ターボ分子ポンプのベーキング処理時に動翼
・静翼間の熱伝達が促進されるようにした例が知られている（特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−３０３２８９号公報
【特許文献２】特許第３６７２６３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ねじ溝ポンプのポンプ効率を向上する方法として、従来はロータ及びステータの対向す
る面を平滑面にすると共に、両平面間の間隙をできるだけ小さくしてポンプ効率の向上を
図っていた。
【０００８】
しかし、ロータとステータの対向する面間の間隙を小さくすることは設計技術上及び製
造技術上に多くの困難があり、又、前記間隙を小さくした場合にはプロセスガスの凝着・
堆積の影響を受け易くなり、ロータとステータとが擦れ合う危険性が増えるという問題が
あった。
【０００９】
本発明はこれらの問題点を解消し、ねじ溝ポンプのロータとステータの対向する面間の
間隙を小さくしなくても高いポンプ効率が得られるようなねじ溝ポンプ又は複合分子ポン
プの分子ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は上記の目的を達成すべく、ねじ溝ポンプのロータの表面及び該ロータ表面と対向するステータの表面の少なくとも一方の表面に、前記ロータと前記ステータ間の間隙を通る作動流体の逆流の抵抗となる０．０１乃至０．１ミリメートルの高さの微細な凹凸を形成し、該凹凸表面は粒径が１０乃至１００ミクロンの不定形セラミックス粒子によるブラストによって形成されたことを特徴とする分子ポンプ。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ねじ溝ポンプにおいて、ロータとステータの対向する両表面間の間隙
を従来よりも狭めることなしに、従来よりも高いポンプ効率が得られる効果を有している。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明を利用した複合分子ポンプの縦断面図ある。
【図２】前記複合分子ポンプのロータの一部横断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明を実施するための最良の形態の実施例を以下に示す。
【実施例１】
【００１４】
図１に本実施例の複合分子ポンプ１の縦断面図を示す。
【００１５】
複合分子ポンプ１は上部のターボ分子ポンプ部２と下部のねじ溝ポンプ部３とからなる
。
【００１６】
ねじ溝ポンプ部のロータ３ａはアルミ合金製で円柱状に形成されている。
【００１７】
ねじ溝ポンプ部のステータ３ｂは円筒状で、該ステータ３ｂの内周に前記ロータ３ａが
軸支されている。
【００１８】
前記ロータ３ａの外周部にはねじ溝３ｃが刻設されていて、ロータ３ａが高速回転をす
ることにより、該ねじ溝３ｃ内の流体の分子が排気口１ｂの方に送り出される。
【００１９】
尚、１ａは複合分子ポンプ１の吸気口であり、１ｃは駆動用モータである。
【００２０】
前記ステータ３ｂの内周面と前記ロータ３ａの外周面との間の間隙は０．２乃至０．３
ミリメートルで、従来のものの間隙と同等に形成されている。
【００２１】
又、前記ロータ３ａの外周表面は０．０１乃至０．１ミリメートルの高さの微細な凹凸
３ａ１を有する粗表面に形成されている。
【００２２】
この凹凸３ａ１は、セラミックスの微細な粉末をロータ３ａの表面にブラストすること
により形成されており、このセラミックスの粉末は例えばアルミナ等の粒径が１０乃至１
００ミクロンの不定形セラミックス粒子からなる。
【００２３】
このセラミックス粒子が前記ロータ３ａの外周面に部分的な掘り込みを行なって、微細
な凹凸３ａ１が形成されるようにした。
【００２４】
図２に前記ロータ３ａの一部横断面を示す。
【００２５】
次に本実施例の複合分子ポンプ１の作用及びその効果について説明する。
【００２６】
駆動用モータ１ｃを高速で回動すると、吸気口１ａより吸気された作動流体はターボ分
子ポンプ部２及びねじ溝ポンプ部３を経て、排気口１ｂより排気される。
【００２７】
ねじ溝ポンプ部３では、ロータ３ａの高速回転に伴い、ねじ溝３ｃ内の流体分子が排気
口１ｂ側に送られるが、ロータ３ａとステータ３ｂとの間には０．２乃至０．３ミリメー
トルの間隙が存している。
【００２８】
従来のねじ溝ポンプでは、このロータとステータ間の間隙を通って作動流体が逆流をし
、これがねじ溝ポンプのポンプ効率を低下させる要因となっていた。
【００２９】
しかし本発明のねじ溝ポンプ部３では、ロータ３ａの表面にある多数の微細な凹凸が前
記作動流体の逆流の抵抗となるので、該逆流量の減少により高いポンプ効率が得られる効
果をもたらす。
【００３０】
尚、本実施例ではねじ溝ポンプ部３のアルミ合金製のロータ３ａの表面に微細な凹凸３
ａ１を形成するとしたが、これはロータ３ａの表面にセラミックスメッキを施して凹凸を
有するセラミックス粒子層を形成してもよく、又は機械加工やエッチングによってロータ
３ａの表面に微細な凹凸を形成してもよい。
【００３１】
又、ロータ３ａの代りにステータ３ｂの表面に前記微細な凹凸を形成するようにしても
よい。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明は真空排気を行なうためのねじ溝ポンプ及びねじ溝ポンプ部を有する複合分子ポ
ンプに利用される。
【符号の説明】
【００３３】
１      分子ポンプ（複合分子ポンプ）
３      ねじ溝ポンプ（ねじ溝ポンプ部）
３ａ    ロータ
３ａ１  凹凸
３ｂ    ステータ
【図１】
0005549986.tif 000002
【図２】
0005549986.tif 000003