(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状被検査体を受ける矩形のパネル受け面を有するパネル受けと、前記被検査体の電極に押圧される複数の接触子を備えるプローブユニットと、前記パネル受けに受けられた被検査体を前記接触子に対し位置決めるアライメント装置とを含み、
前記アライメント装置は、前記パネル受け面の対向する一対の辺の一方及び他方にそれぞれ配置された第１のプッシャー機構及び第１の位置決め機構と、前記パネル受け面の対向する他の一対の辺の一方及び他方に、それぞれ、配置された第２のプッシャー機構及び第２の位置決め機構とを含み、
前記プッシャー機構及び前記位置決め機構のそれぞれは、前記パネル受け面の外側に位置された少なくとも1つの押圧部材と、該押圧部材をＸ方向又はＹ方向に変位させる少なくとも1つの駆動機構とを備え、
各位置決め機構の前記駆動機構は、前記Ｘ方向又はＹ方向における前記押圧部材の位置を解除可能に維持し、
前記プッシャー機構及び前記位置決め機構のそれぞれは、さらに、前記押圧部材が支持された移動体であって、前記駆動機構により駆動されて、前記Ｘ方向又はＹ方向に移動する、前記パネル受けに配置された移動体を備え、
前記押圧部材は、Ｚ方向へ延びる軸線の周りに回転可能に前記移動体に支持されている、平板状被検査体の試験装置。
【請求項２】
各位置決め機構は、回転角度位置を制御可能のモータを含む、請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
各位置決め機構の前記押圧部材は、少なくともその移動方向に、弾性変形し難い又は弾性変形しない材料で製作されている、請求項１及び２のいずれか１項に記載の試験装置。
【請求項４】
各位置決め機構の前記駆動機構は、駆動源と、該駆動源により駆動されて、前記Ｘ方向又はＹ方向における前記押圧部材の位置を前記駆動源と共同して解除可能に維持する機構とを含む、請求項１から３のいずれか１項に記載の試験装置。
【請求項５】
各位置決め機構の前記維持する機構は、前記駆動源から前記Ｘ方向又はＹ方向に延びて、前記駆動源により回転されるねじ棒と、該ねじ棒に螺合されたナットであって、前記押圧部材を前記Ｘ方向又はＹ方向に変位させるナットとを備える、請求項４に記載の試験装置。
【請求項６】
各プッシャー機構の前記駆動機構の駆動源は、圧力流体を用いて前記押圧部材を進退させるシリンダ機構を含む、請求項１から５のいずれか１項に記載の試験装置。
【請求項７】
さらに、圧力が互いに異なる第１及び第２の圧力流体源と、該第１及び第２の圧力流体源の圧力流体を前記プッシャー機構の前記駆動機構の駆動源に選択的に供給するバルブ装置とを含む、請求項１から６のいずれか１項に記載の試験装置。
【請求項８】
さらに、圧力が互いに異なる少なくとも２つの圧力流体を前記プッシャー機構の前記駆動機構の駆動源に選択的に供給する電空レギュレータを含む、請求項１から６のいずれか１項に記載の試験装置。
【請求項９】
さらに、前記パネル受けをＺ方向へ移動させるＺ移動機構を含む、請求項１から８のいずれか１項に記載の試験装置。
【請求項１０】
さらに、前記パネル受けに配置された浮上装置であって、前記アライメント装置により前記被検査体を変位させるときに、該被検査体を前記パネル受け面から浮上させる浮上装置を含む、請求項１から９のいずれか１項に記載の試験装置。
【請求項１１】
前記浮上装置は、一部が前記パネル受け面に対し突出及び退却可能のボールであって、前記パネル受けに配置されたボールと、該ボールの一部を前記パネル受け面に露出させるように付勢するばねとを含む、請求項１０に記載の試験装置。
【請求項１２】
前記パネル受けは、前記パネル受け面に開放する開放部と、該開放部を、圧力流体の供給源及び減圧タンクの少なくとも一方に選択的に接続するバルブとを含む、請求項１から１１のいずれか１項に記載の試験装置。
【請求項１３】
さらに、前記パネル受けが配置されたテーブルベースであって、矩形の第1の開口を有するテーブルベースを含み、
前記パネル受けは、前記第１の開口に対向可能の及び前記第１の開口に相似する矩形の第２の開口を共同して形成すると共に、前記パネル受け面を共同して形成する４つの移動片であって、前記第２の開口の大きさを可変可能に前記テーブルベースに配置された４つの移動片を備える、請求項１から１２のいずれか１項に記載の試験装置。
【請求項１４】
一対の移動片はＹ方向に間隔をおいてＸ方向に平行に伸びており、他の一対の移動片はＸ方向に間隔をおいてＹ方向に平行に伸びており、
前記移動片は、それらの移動片が、前記第２の開口を共同して形成すると共に、前記パネル受け面を共同して形成し、さらに前記第２の開口の大きさを可変可能に前記テーブルベースに配置されており、
隣り合う移動片は、Ｙ方向又はＸ方向へ独立して移動することを妨げられることなく、結合されている、請求項１３に記載の試験装置。
【請求項１５】
さらに、前記パネル受けが配置されたテーブルベースであって、矩形の第1の開口を有するテーブルベースと、該テーブルベースと前記パネル受けとの間に配置されて、前記移動片を前記Ｘ方向及びＹ方向に移動可能に前記テーブルベースに結合する結合機構とを含む、請求項１から１２のいずれか１項に記載の試験装置。
【請求項１６】
さらに、前記結合機構を介して各移動片を前記Ｘ方向又はＹ方向へ移動させる移動片移動機構であって、前記テーブルベースに配置された移動片移動機構を含む、請求項１５に記載の試験装置。
【請求項１７】
各移動片移動機構は、前記移動片を移動させる、回転角度位置を制御可能のモータを含む、請求項１６に記載の試験装置。
【請求項１８】
さらに、前記パネル受け及び前記プローブユニットを相寄り相離れる方向に移動させる上下移動機構を含む、請求項１から１７のいずれか１項に記載の試験装置。
【請求項１９】
さらに、前記被検査体のマーク部を上方から撮影するように前記プローブユニットに支持されたカメラ装置を含む、請求項１から１８のいずれか１項に記載の試験装置。
【請求項２０】
さらに、前記パネル受けを支持するフレームを含み、
前記プローブユニットは、前記フレーム又は前記パネル受けに支持されている、請求項１から１９のいずれか１項に記載の試験装置。
【請求項２１】
さらに、前記プローブユニットを前記パネル受けに支持させるユニット支持機構を含み、
該ユニット支持機構は、前記Ｘ方向又はＹ方向へ移動可能に前記パネル受けに受けられた第１の移動体であって、Ｙ方向又はＸ方向へ延びる第１の移動体と、前記Ｘ方向又はＹ方向とＺ方向とに斜めに移動可能に前記第１の移動体に結合された第２の移動体であって、前記Ｙ方向又はＸ方向へ延びる第２の移動体と、前記第２の移動体の最前進位置を規定するストッパと、前記第１の移動体を前記Ｘ方向又はＹ方向に移動させ、それにより前記第２の移動体を、前記Ｘ方向又はＹ方向に移動させると共に、Ｚ方向に変位させるプローブ移動機構とを備え、
前記プローブユニットは前記第２の移動体に支持されている、請求項１から２０のいずれか１項に記載の試験装置。
【請求項２２】
前記ユニット支持機構は、さらに、前記Ｙ方向又はＸ方向へ延びる移動体受けであって、前記パネル受けに前記Ｙ方向又はＸ方向へ移動可能に前記パネル受けに支持されて、前記第１の移動体を前記パネル受けに支持させる移動体受けと、該移動体受けをその長手方向に移動させて、前記パネル受けに対する前記Ｙ方向又はＸ方向における位置を解除可能に維持するユニット位置調整装置とを含む、請求項２１に記載の試験装置。
【請求項２３】
前記プローブユニットは、さらに、前記矩形の辺に沿って延びかつ前記ユニット支持機構に支持された支持ベースと、該支持ベースの長手方向に間隔をおいて該支持ベースにＺ方向へ移動可能に支持されたプローブブロックであって、複数の前記接触子を支持するプローブブロックとを含む、請求項２１及び２２のいずれか１項に記載の試験装置。
【請求項２４】
前記支持ベースは、Ｚ方向へ延びる軸線の周りに角度的に回転可能にユニット支持機構に支持されており、
前記プローブユニットは、さらに、前記支持ベースを前記パネル受けに対し角度的に回転させて、前記Ｚ方向へ延びる軸線の周りにおける前記パネル受けと前記プローブユニットとの位置関係を解除可能に維持する角度調整機構を備える、請求項２３に記載の試験装置。
【請求項２５】
各プローブ移動機構は、前記プローブブロックを、前記パネル受け面から後退した退避位置と、被検査体を前記アライメント装置により位置決めるためのアライメント位置と、前記接触子を被検査体の電極に接触させるコンタクト位置とに選択的に変位させて解除可能に維持する、位置制御可能のモータを含む、請求項２１から２４のいずれか1項に記載の試験装置。
【請求項２６】
前記プローブユニットが、前記矩形の隣り合う２つの辺に対応する箇所のそれぞれに配置されている、請求項１から２５のいずれか１項に記載の試験装置。
【請求項２７】
前記アライメント装置は、前記パネル受け面の対向する一対の辺の一方及び他方に、それぞれ、対応する辺の延在方向に間隔をおいて配置された複数の前記第１のプッシャー機構及び複数の前記第１の位置決め機構を含む、請求項１から２６のいずれか1項に記載の試験装置。
【請求項２８】
前記アライメント装置は、前記パネル受け面の対向する一対の辺の一方及び他方に、それぞれ、対応する辺の延在方向に間隔をおいて配置された一対の前記第１のプッシャー機構及び一対の前記第１の位置決め機構を含む、請求項１から２６のいずれか1項に記載の試験装置。
【請求項２９】
前記アライメント装置は、前記パネル受け面の対向する一対の辺の前記他方に、対応する辺の延在方向に間隔をおいて配置された一対の前記第１の位置決め機構を含む、請求項１から２６のいずれか1項に記載の試験装置。
【請求項３０】
前記第１のプッシャー機構は、対応する辺の方向に間隔をおいた複数の前記押圧部材を備え、
前記第１のプッシャー機構の前記駆動機構は、前記押圧部材をＸ方向又はＹ方向に変位させる駆動源と、前記複数の押圧部材をＹ方向又はＸ方向に間隔をおいて支持する支持部材であって、Ｚ方向へ延びる軸線の周りに回転可能に前記駆動源に支持された支持部材とを備える、請求項１から２６のいずれか1項に記載の試験装置。」
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体を試験する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルのような表示用パネルの点灯試験をする装置は、被検査体をこれに通電するためのプローブユニット、特に接触子の針先に対し位置決める位置決め機能（すなわち、アライメント機能）を備えている。
【０００３】
この種の装置は、一般に、検査ステージやワークテーブルのようなパネル受けと、ＸＹＺの３方向とＺ方向へ延びるθ軸線の周りに変位させるステージ移動機構と、パネル受けの上方に配置されたプローブユニットとを備える。
【０００４】
位置決め時、被検査体をパネル受けに解除可能に吸着した状態で、被検査体の電極と接触子の針先とが接触するように、パネル受けをステージ移動機構によりプローブユニットに対し変位させる。
【０００５】
しかし、そのような試験装置では、パネル受けのみならず、パネル受けを支持する装置、バックライトユニット等をもステージ移動機構により変位させなければならないから、ステージ移動機構が大型化し、試験装置が高価になる。
【０００６】
特に、近年のように大型の被検査体の試験をする装置では、ステージにより変位させる対象物の重量が、１トンを超えることがあり、したがってステージ移動機構がより大型化し、試験装置がより高価になることを避けることができない。
【０００７】
上記のような課題を解決するために、被検査体をパネル受けに対し変位させることにより、被検査体の電極と接触子の針先とが接触するように被検査体を位置決めるアライメント装置が提案されている（特許文献１）。
【０００８】
このアライメント装置は、パネル受け面の対向する一対の辺の一方に、対応する辺の延在方向に間隔をおいて配置された一対の第１のプッシャーを配置し、パネル受け面の対向する他の一対の辺の一方に、第２のプッシャーを配置している。各プッシャーは、被検査体の端面に押圧される押圧部材と、該押圧部材を被検査体に対しＸ方向又はＹ方向に進退させる移動機構とを備える。
【０００９】
位置決め時、被検査体は、各プッシャーの押圧部材が移動機構により被検査体のＸ方向又はＹ方向における端面に押圧されて、パネル受けに対し変位され、それにより被検査体の電極と接触子の針先とが接触するように位置決められる。
【００１０】
そのようなアライメント装置において、各プッシャーの移動機構として、空気や油のような圧力流体により押圧部材を進退させる機構を用いると、被検査体は、それらのプッシャーによりセンターリングをされて、パネル受けに対し位置決められる。
【００１１】
しかし、そのようなアライメント装置では、パネル受けに関して対向する側に配置された両プッシャー、又は対応する辺の延在方向に間隔をおいたプッシャーに供給される流体の圧力に僅かな差があっても、プッシャーによる押圧力に差が生じる。その結果、被検査体が正確に変位されず、正確な位置決めが行われない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００８−１８８７２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、被検査体の正確な位置決めが可能の、廉価な試験装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る、平板状被検査体の試験装置は、平板状被検査体を受ける矩形のパネル受け面を有するパネル受けと、前記被検査体の電極に押圧される複数の接触子を備えるプローブユニットと、前記パネル受けに受けられた被検査体を前記接触子に対し位置決めるアライメント装置とを含む。
【００１５】
前記アライメント装置は、前記パネル受け面の対向する一対の辺の一方及び他方にそれぞれ配置された第１のプッシャー機構及び第１の位置決め機構と、前記パネル受け面の対向する他の一対の辺の一方及び他方に、それぞれ、配置された第２のプッシャー機構及び第２の位置決め機構とを含む。
【００１６】
前記プッシャー機構及び前記位置決め機構のそれぞれは、前記パネル受け面の外側に位置された少なくとも1つの押圧部材と、該押圧部材をＸ方向又はＹ方向に変位させる少なくとも1つの駆動機構とを備える。各位置決め機構の前記駆動機構は、前記Ｘ方向又はＹ方向における前記押圧部材の位置を解除可能に維持する。
【００１７】
各位置決め機構は、回転角度位置を制御可能のモータを含むことができる。
【００１８】
各位置決め機構の前記押圧部材は、少なくともその移動方向に、弾性変形し難い又は弾性変形しない材料で製作されていてもよい。
【００１９】
各位置決め機構の前記駆動機構は、駆動源と、該駆動源により駆動されて、前記Ｘ方向又はＹ方向における前記押圧部材の位置を前記駆動源と共同して解除可能に維持する機構とを含むことができる。
【００２０】
各位置決め機構の前記維持する機構は、前記駆動源から前記Ｘ方向又はＹ方向に延びて、前記駆動源により回転されるボールねじと、該ボールねじに螺合されたナットであって、前記押圧部材を前記Ｘ方向又はＹ方向に変位させるナットとを備えることができる。
【００２１】
各プッシャー機構の前記駆動機構の駆動源は、圧力流体を用いて前記押圧部材を進退させるシリンダ機構を含むことができる。
【００２２】
本発明に係る試験装置は、さらに、圧力が互いに異なる第１及び第２の圧力流体源と、該第１及び第２の圧力流体源の圧力流体を前記プッシャー機構の前記駆動機構の駆動源に選択的に供給するバルブ装置とを含むことができる。
【００２３】
上記の代わりに本発明に係る試験装置は、さらに、圧力が互いに異なる少なくとも２つの圧力流体を前記プッシャー機構の前記駆動機構の駆動源に選択的に供給する電空レギュレータを含む、請求項１から６のいずれか１項に記載の試験装置。
【００２４】
前記プッシャー機構及び前記位置決め機構のそれぞれは、さらに、前記押圧部材が支持された移動体であって、前記駆動機構により駆動されて、前記Ｘ方向又はＹ方向に移動する、前記パネル受けに配置された移動体を備える。
【００２５】
前記押圧部材は、Ｚ方向へ延びる軸線の周りに回転可能に前記移動体に支持されている。
【００２６】
本発明に係る試験装置は、さらに、前記パネル受けをＺ方向へ移動させるＺ移動機構を含むことができる。
【００２７】
本発明に係る試験装置は、さらに、前記パネル受けに配置された浮上装置であって、前記アライメント装置により前記被検査体を変位させるときに、該被検査体を前記パネル受け面から浮上させる浮上装置を含むことができる。
【００２８】
前記浮上装置は、一部が前記パネル受け面に対し突出及び退却可能のボールであって、前記パネル受けに配置されたボールと、該ボールの一部を前記パネル受け面に露出させるように付勢するばねとを含むことができる。
【００２９】
前記パネル受けは、前記パネル受け面に開放する開放部と、該開放部を、圧力流体の供給源及び減圧タンクの少なくとも一方に選択的に接続するバルブとを含むことができる。
【００３０】
本発明に係る試験装置は、さらに、前記パネル受けが配置されたテーブルベースであって、矩形の第1の開口を有するテーブルベースを含ことができる。また、前記パネル受けは、前記第１の開口に対向可能の及び前記第１の開口に相似する矩形の第２の開口を共同して形成すると共に、前記パネル受け面を共同して形成する４つの移動片であって、前記第２の開口の大きさを可変可能に前記テーブルベースに配置された４つの移動片を備えることができる。
【００３１】
一対の移動片はＹ方向に間隔をおいてＸ方向に平行に伸びており、他の一対の移動片はＸ方向に間隔をおいてＹ方向に平行に伸びていてもよい。また、前記移動片は、それらの移動片が、前記第２の開口を共同して形成すると共に、前記パネル受け面を共同して形成し、さらに前記第２の開口の大きさを可変可能に前記テーブルベースに配置されていてもよい。さらに、隣り合う移動片は、Ｙ方向又はＸ方向へ独立して移動することを妨げられることなく、結合されていてもよい。
【００３２】
本発明に係る試験装置は、さらに、前記パネル受けが配置されたテーブルベースであって、矩形の第1の開口を有するテーブルベースと、該テーブルベースと前記パネル受けとの間に配置されて、前記移動片を前記Ｘ方向及びＹ方向に移動可能に前記テーブルベースに結合する結合機構とを含むことができる。
【００３３】
本発明に係る試験装置は、さらに、前記結合機構を介して各移動片を前記Ｘ方向又はＹ方向へ移動させる移動片移動機構であって、前記テーブルベースに配置された移動片移動機構を含むことができる。
【００３４】
各移動片移動機構は、前記移動片を移動させる、回転角度位置を制御可能のモータを含むことができる。
【００３５】
本発明に係る試験装置は、さらに、前記パネル受け及び前記プローブユニットを相寄り相離れる方向に移動させる上下移動機構を含むことができる。
【００３６】
本発明に係る試験装置は、さらに、前記被検査体のマーク部を上方から撮影するように前記プローブユニットに支持されたカメラ装置を含むことができる。
【００３７】
本発明に係る試験装置は、さらに、前記パネル受けを支持するフレームを含むことができる。また、前記プローブユニットは、前記フレーム又は前記パネル受けに支持されていてもよい。
【００３８】
本発明に係る試験装置は、さらに、前記プローブユニットを前記パネル受けに支持させるユニット支持機構を含むことができる。該ユニット支持機構は、前記Ｘ方向又はＹ方向へ移動可能に前記パネル受けに受けられた第１の移動体であって、Ｙ方向又はＸ方向へ延びる第１の移動体と、Ｘ方向又はＹ方向とＺ方向とに斜めに移動可能に前記第１の移動体に結合された第２の移動体であって、前記Ｙ方向又はＸ方向へ延びる第２の移動体と、前記第２の移動体の最前進位置を規定するストッパと、前記第１の移動体を前記Ｘ方向又はＹ方向に移動させ、それにより前記第２の移動体を、前記Ｘ方向又はＹ方向に移動させると共に、Ｚ方向に変位させるプローブ移動機構とを備えることができる。また、前記プローブユニットは前記第２の移動体に支持されていてもよい。
【００３９】
前記ユニット支持機構は、さらに、前記Ｙ方向又はＸ方向へ延びる移動体受けであって、前記パネル受けに前記Ｙ方向又はＸ方向へ移動可能に前記パネル受けに支持されて、前記第１の移動体を前記パネル受けに支持させる移動体受けと、該移動体受けをその長手方向に移動させて、前記パネル受けに対する前記Ｙ方向又はＸ方向における位置を解除可能に維持してもよい。
【００４０】
前記プローブユニットは、さらに、前記矩形の辺に沿って延びかつ前記ユニット支持機構に支持された支持ベースと、該支持ベースの長手方向に間隔をおいて該支持ベースにＺ方向へ移動可能に支持されたプローブブロックであって、複数の前記接触子を支持するプローブブロックとを含むことができる。
【００４１】
前記支持ベースは、Ｚ方向へ延びる軸線の周りに角度的に回転可能にユニット支持機構に支持されていてもよい。また、前記プローブユニットは、さらに、前記支持ベースを前記パネル受けに対し角度的に回転させて、前記Ｚ方向へ延びる軸線の周りにおける前記パネル受けと前記プローブユニットとの位置関係を解除可能に維持する角度調整機構を備えていてもよい。
【００４２】
プローブ移動機構は、前記プローブブロックを、前記パネル受け面から後退した退避位置と、被検査体を位置決めるためのアライメント位置と、前記接触子を被検査体の電極に接触させるコンタクト位置とに選択的に変位させて解除可能に維持する、位置制御可能のモータを含むことができる。
【００４３】
前記プローブユニットが、前記矩形の隣り合う２つの辺に対応する箇所のそれぞれに配置されていてもよい。
【００４４】
前記アライメント装置は、前記パネル受け面の対向する一対の辺の一方及び他方に、それぞれ、対応する辺の延在方向に間隔をおいて配置された複数の前記第１のプッシャー機構及び複数の前記第１の位置決め機構を含むことができる。
【００４５】
前記アライメント装置は、前記パネル受け面の対向する一対の辺の一方及び他方に、それぞれ、対応する辺の延在方向に間隔をおいて配置された一対の前記第１のプッシャー機構及び一対の前記第１の位置決め機構を含むことができる。
【００４６】
前記アライメント装置は、前記パネル受け面の対向する一対の辺の前記他方に、対応する辺の延在方向に間隔をおいて配置された一対の前記第１の位置決め機構を含むことができる。
【００４７】
前記第１のプッシャー機構は、対応する辺の方向に間隔をおいた複数の前記押圧部材を備えることができる。また、前記第１のプッシャー機構の前記駆動機構は、前記押圧部材をＸ方向又はＹ方向に変位させる駆動源と、前記複数の押圧部材をＹ方向又はＸ方向に間隔をおいて支持する支持部材であって、Ｚ方向へ延びる軸線の周りに回転可能に前記駆動源に支持された支持部材とを備えることができる。
【発明の効果】
【００４８】
位置決め時、被検査体は、各プッシャー機構及び各位置決め機構の各押圧部材が被検査体のＸ方向又はＹ方向における端面に押圧されることにより、パネル受けに対し変位され、それにより被検査体の電極と接触子の針先とが接触するように位置決められる。
【００４９】
そのような位置決め時、各位置決め機構の駆動機構がＸ方向又はＹ方向における前記押圧部材の位置を解除可能に維持するから、各位置決め機構の押圧部材のＸ方向又はＹ方向における位置は変位しない。このため、位置決め機構の押圧部材をＸ方向及びＹ方向における被検査体の基準位置を決定する部材として用いることができる。
【００５０】
上記の結果、本発明によれば、被検査体とプローブユニットとは、被検査体のＸ方向及びＹ方向における端面がプッシャー機構により位置決め機構の押圧部材に押圧されることにより、正確に位置決めされる。
【００５１】
また、各プッシャー機構及び各位置決め機構は、軽量な被検査体を変位させる構造であればよいから、軽量であり、パネル受けやバックライトユニット等の重量の大きい目的物を変位させる大型のアライメント装置が不要になることと相まって、試験装置が廉価になる。
【００５２】
さらに、プッシャー機構側の押圧部のみならず、基準位置を決定する位置決め機構側の押圧部材を被検査体に対して後退させることができるならば、パネル受けに対する被検査体の受け渡し作業が容易になる。
【００５３】
各位置決め機構の駆動機構がＸ方向又はＹ方向における前記押圧部材の位置を解除可能に維持する駆動源がパルスモータのような位置制御可能のモータを含むならば、各位置決め機構の押圧部材のＸ方向又はＹ方向における位置は、モータが回転されない限り変位しない。
【００５４】
各位置決め機構の押圧部材が、少なくともその移動方向に、弾性変形し難い又は弾性変形しない材料で製作されているならば、被検査体の縁部のＸ方向又はＹ方向の位置は、そのような押圧部材により正しく位置決められる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明に係る試験装置の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１に示す試験装置の正面図である。
【図３】図１に示す試験装置の平面図である。
【図４】図３における４−４線に沿って得た断面図である。
【図５】結合機構及び移動片移動機構の一実施例を説明すべく、パネル受けとこれを受けるテーブルベースとを分解して示す斜視図である。
【図６】図１に示す試験装置を、プローブユニットを除去して示す平面図である。
【図７】図３における７−７線に沿って得た断面図であって、パネル受けの下方の部材を省略した断面図である。
【図８】位置決め機構の一実施例をパネル受けの移動片と共に示す斜視図である。
【図９】図３における９−９線に沿って得た断面図であって、パネル受けの下方の部材を省略した断面図である。
【図１０】プッシャー機構の一実施例をパネル受けの移動片と共に示す斜視図である。
【図１１】プローブユニット及びその支持機構をパネル受けの移動片と共に示す正面図である。
【図１２】プローブユニットと被検査体との関係を説明するための斜視図である。
【図１３】プローブユニットとその支持機構とを分解して示す斜視図である。
【図１４】ユニット支持機構の一実施例をＸ方向における一方向から見た斜視図である。
【図１５】図１４のユニット支持機構を図１４とは逆の方向から見た斜視図である。
【図１６】位置決めが行われたときのプッシャー機構と位置決め機構との関係を示す図である。
【図１７】位置決め及びコンタクトが行われたとき、プッシャー機構、位置決め機構及び被検査体の関係を示す、一部を断面で示す正面図である。
【図１８】パネル受けと浮上装置との関係の一実施例を示す斜視図である。
【図１９】浮上装置の一実施例を示す断面図である。
【図２０】図１に示す試験装置による位置決めを説明するための図であって、被検査体をＸ方向に変位させる状態を説明する図である。
【図２１】図１に示す試験装置による位置決めを説明するための図であって、被検査体をθ軸線の周りに角度的に回転させる状態を説明する図である。
【図２２】プローブユニットの変位状態を説明する図であって、（Ａ）はプローブユニットが退避位置にあるときの状態を示し、（Ｂ）はプローブユニットが中間位置にあるときの状態を示し、（C）はプローブユニットがコンタクト位置にあるときの状態を示す。
【図２３】パネル受けの開放部の一実施例を、浮上装置の他の実施例と共に示す図である。
【図２４】本発明に係る試験装置の他の実施例を示す図である。
【図２５】他の位置決め方法を説明するための図である。
【図２６】さらに他の位置決め方法を説明するための図である。
【図２７】アライメント装置の他の実施例を示す図である。
【図２８】アライメント装置のさらに他の実施例を示す図である。
【図２９】結合機構の他の実施例を説明すべく、パネル受けとこれを受けるテーブルベースとを分解して示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００５６】
［用語の説明］
【００５７】
本発明においては、図２において、上下方向（パネル受けに受けられた被検査体に垂直の方向）をＺ方向又は上下方向といい、左右方向をＸ方向又は左右方向といい、紙背方向をＹ方向又は前後方向という。しかし、それらの方向は試験時の被検査体の姿勢に応じて異なる。
【００５８】
それゆえに、本発明に係る試験装置は、Ｘ方向及びＹ方向により規定されるＸＹ面が、水平面となる状態、水平面に対し傾斜した状態となる状態等、いずれの状態で使用してもよい。
【００５９】
［実施例］
【００６０】
図１〜図４を参照するに、試験装置１０は、液晶を封入した液晶表示パネルのような表示用パネルを平板状被検査体１２（図４，７，９等参照）とし、その被検査体１２を所定の電気回路に接続して、点灯検査のような電気的試験をする装置として用いられる。
【００６１】
被検査体１２は、矩形の形状を有しており、また矩形のいくつかの辺に対応する縁部の各々に複数の電極を備える。以下、理解を容易にするために、被検査体１２は、Ｘ方向に長い長方形の形状を有するものとして説明する。図示の例では、被検査体１２は、矩形の隣り合う辺に対応する２つの縁部のそれぞれに複数の電極を対応する縁部の長手方向に間隔をおいて有している。
【００６２】
［試験装置について］
【００６３】
試験装置１０は、機器ベースすなわちプラットホーム１４と、プラットホーム１４の上側に間隔をおいて配置されたテーブルベース１６と、テーブルベース１６の上側に配置されて、被検査体１２を受けるパネル受け１８と、パネル受け１８の上側に配置された複数のプローブユニット２０と、各プローブユニット２０をパネル受け１８に支持させるユニット支持機構２２と、パネル受け１８に受けられた被検査体１２のマーク部（後に説明する）を上方から撮影するようにプローブユニット２０に取り付けられた複数のカメラ装置２４と、パネル受け１８に受けられた被検査体１２をパネル受け１８に対し位置決める、後に説明するアライメント装置とを含む。
【００６４】
図示の例では、プローブユニット２０は矩形の隣り合う２つ辺に対応する箇所のそれぞれに配置されている。しかし、プローブユニット２０の配置箇所は、被検査体１２の電極の配置位置に応じて決定される。
【００６５】
図示の例では、また、ユニット支持機構２２が矩形の辺に対応する箇所のそれぞれに配置されている。しかし、ユニット支持機構２２は、プローブユニット２０が配置されていない箇所に配置しなくてもよい。
【００６６】
図示の例では、さらに、２つのカメラ装置２４が矩形の隣り合う２つ辺の一方に対応する箇所にその辺の長手方向に間隔をおいて配置されていると共に、１つのカメラ装置２４が隣り合う２つ辺の他方に対応する箇所に配置されている。しかし、２つのカメラ装置２４をプローブユニット２０のそれぞれにプローブユニット２０の長手方向に間隔をおいて配置してもよい。
【００６７】
プラットホーム１４は、試験装置１０のフレーム２５（図４参照）に支持される。しかし、プラットホーム１４は、フレーム２５の一部であってもよい。プラットホーム１４とテーブルベース１６とは、矩形の板の形状を有しており、またテーブルベース１６がプラットホーム１４の上方に位置する状態に、Ｚ（上下）方向に間隔をおいている。
【００６８】
テーブルベース１６は、複数の支柱２６（図４参照）により、プラットホーム１４に支持されており、また被検査体１２より大きい矩形の開口１６ａ（図１及び４参照）を有している。プラットホーム１４とテーブルベース１６との間には、既知のバックライトユニット２８（図４参照）が配置されている。
【００６９】
［パネル受けについて］
【００７０】
パネル受け１８は、図５に示すように、互いに井桁状又は卍型状に組み合わされた４つの移動片３０を備える。各移動片３０は、図４から図１０、図１２，１３に示すように、幅寸法の小さい長方形をした第１の片部３０ａと、幅寸法の小さい長方形をした第２の片部３０ｂとを、第１の片部３０ａが水平となり、第２の片部３０ｂの幅方向が上下方向となる状態に、Ｌ字状に結合している。
【００７１】
一対の移動片３０はＸＹ面内をＹ方向に間隔をおいてＸ方向に平行に伸びており、他の一対の移動片３０はＸＹ面内をＸ方向に間隔をおいてＹ方向に平行に伸びている。それらの移動片３０は、また、後に説明する結合機構６２により、テーブルベース１６と平行の面（ＸＹ面）内を二次元的（Ｘ方向及びＹ方向）に移動可能にテーブルベース１６に結合されている。
【００７２】
それら４つの移動片３０は、被検査体１２及び開口１６ａと相似する矩形の開口３２を共同して形成していると共に、矩形のパネル受け面３４を共同して第２の片部３０ｂの頂面に形成している。開口１６ａ及び３２は、バックライトユニット２８からの光がパネル受け面３４に受けられた被検査体１２に進むことを許すように対向されている。
【００７３】
そのような４つの移動片３０は、開口３２の大きさを可変可能に（すなわち、ＸＹ面内を二次元的に）移動可能に、後に説明する結合機構６２によりテーブルベース１６に結合されている。
【００７４】
隣り合う２つの移動片３０は、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）に一体となって移動可能に、及びＹ方向（又は、Ｘ方向）に個々に移動可能に、適宜な結合手段により結合されている。これにより、隣り合う移動片３０は、相手の移動片３０が独立してＹ方向（又は、Ｘ方向）へ移動することを妨げることなく、結合されている。
【００７５】
すなわち、各移動片３０は、隣りの一方の移動片３０に該隣りの一方の移動片３０の長手方向（Ｙ方向又はＸ方向）に独立して移動可能に結合されていると共に、隣りの他方の移動片３０に該他方の移動片３０の長手方向（Ｙ方向又はＸ方向）に一体的に移動可能に結合されている。
【００７６】
そのような結合手段として、例えば、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）に延びて開口３２の側に開放すると共に、截頭四角錘形の断面形状を有する、いわゆる蟻溝と、その蟻溝に滑動可能に嵌合された、截頭四角錘形の断面形状を有する、いわゆる蟻柄との組み合せを用いることができる。
【００７７】
蟻溝は隣り合う２つの移動片３０の一方の幅方向における開口３２の側の端縁部に形成され、蟻柄は隣り合う２つの移動片３０の他方の長手方向における一端縁部に形成される。
【００７８】
しかし、蟻溝と蟻柄との組み合わせに代えて、ガイドレールと、該ガイドレールに滑動可能に及び離脱不能に結合されたガイドとの組み合せのような、他の結合手段を用いてもよい。
【００７９】
各移動片３０には、図１８及び１９に示す複数の浮上装置３６が設けられている。浮上装置３６は、前記したアライメント装置により被検査体１２を変位させるときに、被検査体１２を共同してパネル受け面３４から浮上させて、アライメント時における被検査体１２の移動を円滑にする。
【００８０】
図１８及び１９に示す例では、各浮上装置３６は、開口部が第２の片部３０ｂの頂面（パネル受け面３４）に開放するように、第２の片部３０ｂに埋め込まれた有底の筒部材３８と、一部がパネル受け面３４に対し出没可能に筒部材３８に配置されたボール４０と、ボール４０の一部をパネル受け面３４に露出させるように付勢するばね４２と、ボール４０及びばね４２の間にあって、上下方向へ移動可能に筒部材３８に配置された円板状のボール受け４４と、筒部材３８内におけるボール４０の変位を規制するリング４６とを含む。
【００８１】
浮上装置３６は、被検査体１２を、ボール４０に受けて、パネル受け面３４から浮上させた状態に維持する。このため、ばね４２の付勢力は、被検査体１２をパネル受け面３４から浮上させる程度であればよい。
【００８２】
図２３に示すように、パネル受け１８は、また、パネル受け面３４に開放する複数の開放部４８と、それらの開放部４８を連通する連通穴５０とを各第２の片部３０ｂに備える。図示の例では、各開放部４８は、穴であるが、パネル受け面３４に開放して、第２の片部３０ｂの長手方向へ延びる溝のような他の開放部であってもよい。
【００８３】
各第２の片部３０ｂの連通穴５０は、パイプ５４によりオン・オフバルブ５２に接続されている。バルブ５２は、真空タンクのような減圧された減圧タンク５６に連結されており、バルブドライバー５８により駆動されて、減圧タンク５６と連通穴５０との間の空気の流路を選択的にオン・オフにする。
【００８４】
前記空気の流路がオンにされていると、開放部４８及び連通穴５０が減圧タンクに接続される。それにより、被検査体１２は、浮上装置３６のばね４２の付勢力に抗してボール４０を押し下げて、パネル受け面３４に変位不能に真空的に吸着される。この状態で、被検査体１２の点灯試験が行われる。
【００８５】
上記とは逆に、前記空気の流路がオフにされていると、開放部４８及び連通穴５０が減圧タンク５６から切り離される。これにより、被検査体１２はパネル受け面３４への吸着を解除され、ボール４０の一部はばね４２の付勢力によりパネル受け面３４からわずかに突出される。
【００８６】
上記の結果、被検査体１２は、パネル受け面３４からわずかに浮上される。この状態で、新旧の被検査体１２の交換と、新しい被検査体１２のアライメントとが行われる。アライメントは、後に説明するように、被検査体１２をアライメント装置により変位させることにより、行われる。アライメント時、被検査体１２は、ボール４０に当接しているのみであって、パネル受け面３４から浮上されているから、円滑かつ容易に変位する。
【００８７】
図２３に示すように、前記した浮上装置３６に代えて、圧縮空気源のような圧力流体源６０をバルブ５２に接続し、減圧タンク５６及び圧力流体源６０をバルブ５２により連通穴５０に選択的に接続してもよい。
【００８８】
上記の場合、バルブ５２として、切り換えバルブが用いられる。被検査体１２は、開放部４８が圧力流体源６０に接続されて、圧力流体源６０からの圧力流体が開放部４８から噴出されることにより、パネル受け面３４からわずかに浮上される。
【００８９】
［結合機構について］
【００９０】
図１，３，５等に示すように、前記した結合機構６２は、４つの移動片３０をＸ方向及びＹ方向に移動可能にテーブルベース１６に結合するために、テーブルベース１６とパネル受け１８との間に配置されている。
【００９１】
結合機構６２は、図示の例では、Ｘ方向に間隔をおいてＹ方向に平行に延びて、Ｘ方向へ移動可能にテーブルベース１６に配置された帯状の一対の第１のスライダ６４と、第１のスライダ６４の上方をＹ方向に間隔をおいてＸ方向に平行に延びて、Ｙ方向へ移動可能にテーブルベース１６に配置された帯状の一対の第２のスライダ６６とを備える。
【００９２】
図５に示すように、一方の第２のスライダ６６は結合部材６８によりＹ方向へ移動可能に一方の第１のスライダ６４に結合されており、他方の第２のスライダ６６は他の結合部材６８によりＹ方向へ移動可能に他方の第１のスライダ６４に結合されている。
【００９３】
スライダ６４及び６６のそれぞれは、テーブルベース１６の上面に備えられた一対のレール７０及び７０に、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）へ移動可能に、各スライダの一端部及び他端部において結合されている。
【００９４】
各結合部材６８は、対応する第1のスライダ６４に設けられかつその第1のスライダ６４の長手方向へ延びる一対のレール７２にＹ方向へ移動可能に結合されていると共に、対応する第２他のスライダ６６に設けられかつその第２スライダ６６の長手方向へ延びる他の一対のレール７２にＸ方向へ移動可能に結合されている。これにより、各結合部材６８は、テーブルベース１６に対し、ＸＹ面内を二次元的に移動可能である。
【００９５】
図示の例では、Ｙ方向へ延びる各移動片３０は、結合部材６８に変位不能に結合されており、Ｘ方向へ延びる各移動片３０は、Ｘ方向へ延びる第２のスライダ６６の残りの一対のレール７２に、Ｘ方向へ移動可能に結合されている。
【００９６】
スライダ６４及び６６のそれぞれは、移動片移動機構７４により、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）に移動されて、そのような移動方向における適宜位置に解除可能に維持される。
【００９７】
図示の例では、各移動片移動機構７４として、テーブルベース１６の上面に設置されたモータと、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）に延びる状態に前記モータに連結されて、該モータにより回転されるボールねじと、該ボールねじに螺合されかつスライダ６４又は６６に連結具により連結されたナットとを用いた機構を用いている。モータは、パルスモータのように回転角度位置を解除可能に維持するように、位置制御可能のモータである。
【００９８】
例えば、一対の第1のスライダ６４が対応する移動片移動機構７４により相寄り相離れる方向（Ｘ方向）へ移動されると、結合部材６８を介して第１のスライダ６４に連結された一方の（Ｙ方向へ延びる）一対の移動片３０が相寄り相離れる方向（Ｘ方向）へ結合部材６８と共に移動されると共に、その一方の移動片３０に前記した蟻溝と蟻臍等の結合手段により連結された他の（Ｘ方向へ延びる）一対の移動片３０がその一方の移動片３０の移動にともなってＸ方向へ移動される。
【００９９】
また、両第２のスライダ６６が対応する移動片移動機構７４により相寄り相離れる方向（Ｙ方向）へ移動されると、第２のスライダ６６に連結された前記他の（Ｘ方向へ延びる）一対の移動片３０が第２のスライダ６６と共に相寄り相離れる方向（Ｙ方向）へ移動されると共に、その移動片３０に前記した蟻溝と蟻臍等の結合手段により連結された前記一方の（Ｙ方向へ延びる）一対の移動片３０がその他方の移動片３０の移動にともなって長手方向（Ｙ方向）へ移動される。
【０１００】
このため、４つの移動片３０は、開口３２の大きさが図３及び図６に示す大きさとなるように、移動される。その結果、開口３２、ひいてはパネル受け面３４の大きさを試験すべき被検査体１２の大きさに応じて変更することができる。この作業は、被検査体１２の点灯試験に先だって行われる。
【０１０１】
［アライメント装置について］
【０１０２】
図２，４，７から１０，１６及び１７を参照するに、前記したアライメント装置は、パネル受け面３４の対向する一対の辺（Ｘ辺）の一方及び他方に、それぞれ、対応する辺の長手方向に間隔をおいて配置された一対の第１のプッシャー機構８０及び一対の第１の位置決め機構８２と、パネル受け面３４の対向する他の一対の辺（Ｙ辺）の一方及び他方に、それぞれ、配置された第２のプッシャー機構８４及び第２の位置決め機構８６とを含む。
【０１０３】
プッシャー機構８０，８４のそれぞれは、被検査体１２を、プッシャー機構が配置された側と反対の側に配置された位置決め機構８２又は８６に対し進退させる。これに対し、位置決め機構８２，８６のそれぞれは、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）における被検査体１２の基準位置を決定する。
【０１０４】
図７から１０に示すように、プッシャー機構８０，８４及び位置決め機構８２，８６のそれぞれは、パネル受け面３４と同じ高さ位置にあって、平面的に見てパネル受け面３４の外側に位置された押圧部材９０と、押圧部材９０が支持された支柱状の移動体９２と、移動体９２ひいては押圧部材９０をパネル受け面３４に対し進退させる駆動機構９４と、それらを支持する支持板９６とを備える。
【０１０５】
図示の例では、移動体９２は上下方向に延びて、支柱状の形状を有する。押圧部材９０は、取り付けピン９８により移動体９２の上端部にＺ方向へ延びる軸線の周りに回転可能に取り付けられたローラであるが、他の部材であってもよい。
【０１０６】
支持板９６は、パネル受け１８の移動片３０の第１の片部３０ａの上面に設けられた一対のレール１００に第１の片部３０ａの長手方向（Ｘ方向又はＹ方向）へ移動可能に組み付けられている。両レール１００は、第１の片部３０ａの幅方向（Ｙ方向又はＸ方向）に間隔をおいて、長手方向（Ｘ方向又はＹ方向）に平行に延びている。
【０１０７】
図７から１０に示すように、支持板９６は、ガイド１０２により一方のレール１００に組み付けられており、また他方のレール１００の上面に載置されている。このため、一方のレール１００はガイドレールとして作用する。他方のレール１００は、上方に開放する雌ねじ穴１０４をＸ方向（又は、Ｙ方向）の複数箇所のそれぞれに備えている。
【０１０８】
他方のレール１００には、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）に延びる長穴１０６を有する帯状の止め金具１０８が載置されていると共に、支持板９６に相対的移動不能に設けられている。止め金具１０８は、長穴１０６に上方から差し込まれて、雌ねじ穴１０４に螺合されたボルト１１０により、他方のレール１００に解除可能に取り付けられる。これにより、各支持板９６は、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）における所定の位置に解除可能に固定される。
【０１０９】
上記の結果、プッシャー機構８０，８４及び位置決め機構８２，８６のそれぞれは、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）における所定の位置に解除可能に固定される。このため、他方のレール１００は、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）におけるプッシャー機構及び位置決め機構の位置を解除可能に固定する固定レールとして作用する。
【０１１０】
しかし、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）におけるプッシャー機構及び位置決め機構の位置は、ボルト１１０を螺合する雌ねじ穴１０４と、ボルト１１０に対する止め金具１０８の位置を変更することにより、被検査体１２の種類、大きさ等に応じて選択することができる。
【０１１１】
各駆動機構９４は、支持板９６の幅方向（Ｙ方向又はＸ方向）に間隔をおいて支持板９６の長手方向（Ｘ方向又はＹ方向）に延びる一対のレール１１２と、各レール１１２に支持板９６の幅方向へ移動可能に嵌合されたスライダ１１４と、両スライダ１１４を連結する連結板１１６と、押圧部材９０を支持板９６の幅方向へ移動させる駆動源１１８とを備える。
【０１１２】
スライダ１１４は、連結板１１６の下面に取り付けられている。駆動源１１８は支持板９６の上面に取り付けられている。移動体９２は連結板１１６の上に直立状態に取り付けられている。しかし、移動体９２と連結板１１６とを一体的な構造としてもよい。
【０１１３】
図９及び１０に示すように、プッシャー機構８０，８４の各駆動源１１８は、空気圧シリンダや油圧シリンダのような流体圧シリンダ機構を用いている。このシリンダ機構は、そのシリンダが支持板９６に取り付けられ、ピストンロッドがスライダ１１４に連結されている。
【０１１４】
このため、プッシャー機構８０，８４の各駆動機構９４は、スライダ１１４を駆動源１１８により第２の片部３０ｂに対し進退させることにより、押圧部材９０をパネル受け面３４、ひいては被検査体１２に対してＸ方向又はＹ方向に進退させる。
【０１１５】
図７及び８に示すように、位置決め機構８２，８６の各駆動源１１８は、パルスモータのように回転角度位置を制御可能のモータを用いている。このため、位置決め機構８２，８６の各駆動機構９４は、さらに、対応する駆動源１１８から支持板９６の幅方向（Ｘ方向又はＹ方向）に延びて、対応する駆動源１１８により回転されるボールねじ１２０と、ボールねじ１２０に螺合されたナット１２２とを備える。ナット１２２は連結板１１６に取り付けられている。
【０１１６】
位置決め機構８２，８６の各駆動機構９４は、ボールねじ１２０を駆動源１１８により回転させることにより、ナット１２２を第２の片部３０ｂに対し進退させ、それにより押圧部材９０をパネル受け面３４、ひいては被検査体１２に対して（Ｘ方向又はＹ方向）に進退させる。
【０１１７】
図２０に示すように、プッシャー機構８０，８４の各駆動源（シリンダ機構）１１８は、２つの圧力流体源１２４，１２６に、バルブ装置１２８により選択的に接続される。圧力流体源１２４，１２６は互いに異なる圧力を有する圧縮された空気や油のような圧力流体を貯留している。
【０１１８】
バルブ装置１２８は、バルブドライバー１２９により選択的に駆動される複数のバルブを備えている。バルブ装置１２８内の各バルブは、バルブドライバー１２９により選択的に駆動されて、プッシャー機構８０，８４の駆動源１１８の１つを圧力流体源１２４，１２６に選択的に接続する。これにより、前記したシリンダ機構のピストンロッドがシリンダに対し進退されて、押圧部材９０がパネル受け面３４、ひいては被検査体１２に対し進退される。
【０１１９】
また、図２０に示すように、位置決め機構８２，８６の各駆動源（位置制御可能のモータ）１１８は、モータドライバー１３０により駆動されて、対応する押圧部材９０によりＸ方向（又は、Ｙ方向）における被検査体１２の基準位置を決定する。各基準位置は、被検査体１２の種類、大きさ等により予め決定される。
【０１２０】
上記のような構造を有するアライメント装置は、例えば図２０に示すように、Ｘ方向用の位置決め機構８６の押圧部材９０を、Ｘ方向に進退させて、Ｘ方向における被検査体１２の基準位置に維持すると共に、Ｘ方向用のプッシャー機構８４の押圧部材９０により被検査体１２をＸ方向用の位置決め機構８６の押圧部材９０に対し押す。これにより、被検査体１２はＸ方向のアライメントをされる。
【０１２１】
Ｙ方向における被検査体１２のアライメントは、Ｙ方向用の位置決め機構８２，８２及びＹ方向用のプッシャー機構８０，８０を上記のように動作させることにより、行われる。
【０１２２】
Ｚ方向へ延びるθ軸線の周りにおける被検査体１２のアライメントは、例えば図２１に示すように、Ｙ方向用の位置決め機構８２，８２及びＹ方向用のプッシャー機構８０，８４の押圧部材９０をそれぞれ矢印で示す方向へ移動させることにより、行うことができる。
【０１２３】
上記のようなアライメント時、各プッシャー機構の駆動源は、圧力の低い圧力流体源１２４に接続される。これにより、被検査体１２は、押圧部材９０により弱い力で挟まれる。その結果、被検査体１２が押圧部材９０に衝突するときに被検査体１２に作用する衝撃が小さく、その衝撃に起因する被検査体１２の破損が防止される。
【０１２４】
アライメントの間、被検査体１２は、図１８及び１９に示す浮上装置３６により、パネル受け面３４から浮上されている。このため、アライメント時に、被検査体１２が円滑に移動し、正確なアライメントが行われる。
【０１２５】
上記のように、アライメント時、各位置決め機構の押圧部材９０が被検査体１２の基準位置を決定することから、各位置決め機構の押圧部材９０は、少なくともその移動方向への弾性変形をし難い又はしない、若しくは摩耗をし難い又はしない材料、例えば硬質樹脂で製作されている。
【０１２６】
これにより、位置決め機構の押圧部材９０は、被検査体１２がプッシャー機構の押圧部材９０により押圧されても、駆動源として位置制御可能のモータを用いることとあいまって、基準位置を維持する。また、押圧部材９０の弾性変形を考慮することなく、駆動源としてのモータの回転量を決定することができるから、モータの位置制御が容易になる。
【０１２７】
しかし、押圧部材９０の弾性変形を考慮して、駆動源としてのモータの回転量を決定する場合には、位置決め機構の押圧部材９０は弾性変形可能の材料で製作されていてもよい。
【０１２８】
これに対し、プッシャー機構の押圧部材９０は、被検査体１２を破損しない程度の硬度を有する樹脂のような材料とすることができる。それゆえに、プッシャー機構の押圧部材９０は、弾性変形をしない材料及び弾性変形をする材料のいずれであってもよい。
【０１２９】
被検査体１２がプッシャー機構８０，８４により位置決め機構８２，８６の押圧部材９０に押圧されたとき、ボールねじ１２０とナット１２２とは、それらの間の摩擦力により、駆動源１１８が駆動されない限り、位置決め機構８２，８６の押圧部材９０の後退を阻止する。これにより、アライメントのための基準位置は変位しない。
【０１３０】
上記のように位置決め機構８２，８６の各駆動機構９４は、Ｘ方向又はＹ方向における押圧部材９０の最前進位置を変更可能に及び解除可能に維持する。Ｘ方向、Ｙ方向及びθ軸線の周りのアライメントが終了した状態を図１６及び１７に示す。
【０１３１】
アライメントが終了すると、各プッシャー機構の駆動源は、圧力の高い圧力流体源１２６に接続される。これにより、被検査体１２は押圧部材９０により強い力で挟まれる。被検査体１２は、点灯試験が終了するまで、押圧部材９０により強く挟まれた状態に維持される。
【０１３２】
［プローブユニットについて］
【０１３３】
図７，１１等に示すように、各プローブユニット２０は、矩形の辺に沿って（Ｘ方向又はＹ方向へ）延びかつユニット支持機構２２に支持された板状の支持ベース１３２と、支持ベース１３２の長手方向に間隔をおいて支持ベース１３２に取り付けられた複数の支持ブロック１３４と、各支持ブロック１３４にＺ方向へ移動可能に支持された移動ブロック１３６と、各移動ブロック１３６に取り付けられたプローブブロック１３８とを含む。
【０１３４】
支持ベース１３２は、複数のねじ部材（図示せず）によりユニット支持機構２２の上面に取り外し可能に取り付けられている。各支持ブロック１３４は、その上端部からパネル受け面３４の側に突出する突出部を有する。
【０１３５】
各移動ブロック１３６は、支持ベース１３２の前側（開口３２の側）に設けられて上下方向へ延びるレール１４０と、レール１４０の上下方向へ移動可能に結合されたガイド１４２とにより、支持ベース１３２に組み付けられており、また支持ブロック１３４の前記した突出部を上下方向に貫通して、移動ブロック１３６に螺合された調整ねじ１４４により上下方向における位置を調整可能とされている。
【０１３６】
各プローブブロック１３８は、図９及び図１１に示すように、Ｘ方向又はＹ方向に間隔をおいて整列された複数の接触子１４６を有しており、またそれら接触子１４６の針先をパネル受け１８に向けた状態に移動ブロック１３６に支持されている。
【０１３７】
［ユニット支持機構］
【０１３８】
図７，９，１１から１５等に示すように、ユニット支持機構２２は、パネル受け１８の第１の片部３０ａに配置された、第１の片部３０ａの長手方向に延びる板状の移動体受け１５０と、移動体受け１５０に配置された第１の移動体１５２と、パネル受け面３４に対し傾斜する方向へ移動可能に第１の移動体１５２に結合された第２の移動体１５４と、第２の移動体１５４の上端部に取り付けられた頂板１５６と、第１の移動体１５２を第１の片部３０ａの幅方向へ移動させるプローブ移動機構１５８と、第２の移動体１５４の最前進位置（開口３２の側の位置）を規制するストッパ１６０とを備える。
【０１３９】
移動体受け１５０は、移動体受け１５０の幅方向に間隔をおいて、移動体受け１５０の長手方向（Ｘ方向又はＹ方向）へ平行に伸びる状態に、第１の片部３０ａに設けられた一対又は複数対のレール１６２と、各レール１６２にその長手方向へ移動可能に支持されかつ移動体受け１５０の下側に組み付けられたガイド１６４とにより、第１の片部３０ａの上に結合されている。このため、移動体受け１５０は、第１の片部３０ａの長手方向へ移動可能である。
【０１４０】
第１の移動体１５２は、移動体受け１５０（第１の片部３０ａ）の長手方向に間隔をおいて、移動体受け１５０の幅方向へ平行に延びる状態に、移動体受け１５０に設けられた一対のレール１６６と、各レール１６６にそれらの長手方向へ移動可能に支持されかつ第１の移動体１５２の下側に組み付けられたガイド１６８とにより、移動体受け１５０の上に結合されている。このため、第１の移動体１５２は、移動体受け１５０（又は、第１の片部３０ａ）の幅方向へ移動可能である。
【０１４１】
第１及び第２の移動体１５２及び１５４は、第２の移動体１５４がパネル受け面３４の側に位置するように、パネル受け面３４に対し斜めに結合されている。このため、第１及び第２の移動体１５２及び１５４は、それぞれ、斜め下向き面及び斜め上向き面を有する。第２の移動体１５４は、第１の片部３０ａの長手方向へ延びていると共に、上部ほどパネル受け面３４の側となるように斜めに延びている。
【０１４２】
第２の移動体１５４は、また、第１の移動体１５２の斜め下向き面に設けられて、第１の片部３０ａの長手方向に間隔をおいて、第１の片部３０ａの幅方向へ平行に伸びる一対のレール１７０と、各レール１７０にその長手方向へ移動可能に結合されかつ第２の移動体１５４の斜め上向き面に設けられたガイド１７２とにより、第１の移動体１５２に結合されている。このため、第２の移動体１５４は、第１の移動体１５２に対し、斜めの方向へ移動可能である。
【０１４３】
頂板１５６は、第１の片部３０ａの長手方向に長い長方形の形状を有しており、また第２の移動体１５４の頂部に取り付けられている。プローブユニット２０は、頂板１５６の上に取り付けられて、第２の移動体１５４に支持されている。
【０１４４】
各プローブ移動機構１５８は、移動体受け１５０の上面に設置されたモータ１７４と、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）に延びる状態にモータ１７４に連結されて、モータ１７４により回転されるボールねじ１７６と、ボールねじ１７６に螺合されたナット１７８と、第２の移動体１５４に取り付けられて、ナット１７８を支持する結合具１８０とを用いた機構を用いている。
【０１４５】
モータ１７４は、パルスモータのように回転角度位置を解除可能に維持するように、位置制御可能のモータであり、またブラケット１８２を介して移動体受け１５０に支持されている。ボールねじ１７６は、モータ１７４の回転軸に連結されていると共に、他のブラケット１８４を介して移動体受け１５０に支持されている。
【０１４６】
第１及び第２の移動体１５２及び１５４は、また、斜め上方に延びて上端に開放するように第１の移動体１５２に形成された穴１８６と、穴１８６に上方から挿入されたロッド１８８とにより、斜め下向き面及び斜め上向き面に垂直の方向への相対的な変位、並びに第１及び第２の移動体１５２及び１５４の長手方向への相対的な変位を防止されている。
【０１４７】
第１及び第２の移動体１５２及び１５４は、ロッド１８８の周りに配置された圧縮コイルばね１９０により、第１及び第２の移動体１５２及び１５４がロッド１８８の長手方向に離間するように、相対的に付勢されている。実際には、第１の移動体１５２がロッド１８８の長手方向への変位をレール１６６及びガイド１６８により防止されているから、第２の移動体１５４がばね１９０により斜め上方へ付勢されている。
【０１４８】
図１１に示すように、ユニット支持機構２２は、また、第２の移動体１５４の最上昇位置を規制するように、第１及び第２の移動体１５２及び１５４に設けられたストッパ１９１及び１９３を備える。ストッパ１９１及び１９３は、第２の移動体１５４が上昇したときに互いに当接して、第２の移動体１５４の上昇を阻止するように、それぞれ、第１及び第２の移動体１５２及び１５４の斜め下向き面及び斜め上向き面に設けられている。
【０１４９】
上記のようなユニット支持機構２２において、第１の移動体１５２がモータ１７４の正転により被検査体１２に向けて移動されると、第２の移動体１５４も同方向に移動される。このとき、第２の移動体１５４をばね１９０の付勢力に抗して斜め下方に変位させる変位発生機構１９２（図７，１１，１３等参照）が第２の移動機構１５４に設けられている。
【０１５０】
図７，１１に示すように、変位発生機構１９２は、第２の移動体１５４の被検査体１２の側の斜め下向き面に設けられたコ字状のブラケット１９４と、第２の移動体１５４の長手方向へ延びる軸線の周りに回転可能に及びストッパ１６０に当接可能にブラケット１９４に取り付けられたローラ１９６とを備える。
【０１５１】
ユニット支持機構２２において、第１及び第２の移動体１５２及び１５４がモータ１７４により被検査体１２に向けて移動されると、ローラ１９６がストッパ１６０に当接する。
【０１５２】
第１及び第２の移動体１５２及び１５４がモータ１７４により被検査体１２に向けてさらに移動されると、第２の移動体１５４は、その前進をストッパ１６０により阻止されるから、第２の移動体１５４を斜め下方に変位させる変位力がレール１７０及びガイド１７２の嵌合部において発生する。
【０１５３】
そのような変位力により、第１の移動体１５４のさらなる前進にともなって、第２の移動体１５４は下方に移動される。その結果、プローブユニット２０が下方に移動されて、ブローブブロック１３８に備えられた接触子の針先が被検査体１２の電極に押圧される。
【０１５４】
このとき、被検査体１２が、押圧部材９０により強い力で挟まれていることと、パネル受け面３４に吸着されていることとが相まって、接触子の針先が被検査体１２の電極に押圧されても、被検査体１２がパネル受け１８及びプローブユニット２０に対し変位することが確実に防止される。
【０１５５】
上記状態で、モータ１７４が逆転されると、ローラ１９６がストッパ１６０に当接した状態で、第１の移動体１５２がパネル受け面３４及び第２の移動体１５４に対し後退される。この間、第２の移動体１５４は、ばね１９０の力により、第１の移動体１５２に対し上昇されて、被検査体１２から上方へ離間される。
【０１５６】
モータ１７４がさらに逆転されると、第１の移動体１５２は後退し続ける。しかし、第２の移動体１５４は、ストッパ１９３がストッパ１９１に当接することにより、上昇を停止し、その状態で第１の移動体１５２と共に、パネル受け面３４に対し退避位置に向けて後退される。
【０１５７】
上記のように、第２の移動体１５４及びプローブブロック１３８は、パネル受け面３４及び被検査体１２に対し、モータ１７４の正転により前進及び下降されて、前進及び下降した位置に解除可能に維持され、またモータ１７４の逆転により上昇及び後退されて、退避位置に解除可能に維持される。
【０１５８】
第２の移動体１５４、ひいてはプローブブロック１３８が退避位置に後退された状態において、パネル受け面３４に対する被検査体１２の交換が行われる。この際、被検査体１２がパネル受け面３４から浮上されていることと、プローブユニット２０がパネル受け面３４から大きく後退されていることとがあいまって、パネル受け面３４に対する被検査体１２の受け渡しが容易である。
【０１５９】
［カメラ装置について］
【０１６０】
図７，１１から１３等に示すように、各カメラ装置２４は、プローブユニット２０の支持ベース１３２に支持された逆Ｌ字状の支持ブロック２００と、支持ブロック２００にマーク部（図示せず）をその上方から撮影するように支持されたカメラ２０２とを備える。
【０１６１】
マーク部は、被検査体１２に設けられたマーク自体、特定の接触子の針先等である。カメラ２０２は、被検査体１２のマーク部近傍を撮影して、画像信号を発生するビデオカメラのようなエリアセンサであり、ＣＣＤエリアセンサを用いることができる。
【０１６２】
各カメラ２０２の出力信号は、図示しない制御装置において、画像処理をされ、試験装置１０、特にパネル受け１８やプローブユニット２０等に対する被検査体１２の位置ずれを求めることに用いられる。求めた位置ずれは、上記したアライメント装置を駆動させる信号に用いられる。
【０１６３】
［角度調整装置について］
【０１６４】
図１５に示すように、各ユニット支持機構２２は、さらに、移動体受け１５０をその長手方向に移動させて、パネル受け１８に対するＸ方向（又は、Ｙ方向）における位置を解除可能に維持する角度調整装置を含む。
【０１６５】
そのような角度調整装置は、支持ベース１３２を頂板１５６に対しＺ方向に延びる軸線の周りに角度的に回転可能に頂板１５６に支持させる結合軸２０６と、頂板の長手方向の端部の上面に固定されたナット２０８と、ナット２０８に螺合されて、支持ベース１３２の長手方向の端部の後面をＸ方向（又は、Ｙ方向）へ押す一対の調整ねじ２１０とを備える。
【０１６６】
上記の角度調整装置において、ナット２０８への両調整ねじ２１０のねじ込み量を、一方を大きくし、他方を小さくすると、支持ベース１３２は結合軸２０６の周りに角度的に回転されて、頂板１５６に対し変位する。このため、ナット２０８への両調整ねじ２１０のねじ込み量を調整することにより、対応する移動片３０に対する支持ベース１３２の姿勢を調整することができる。
【０１６７】
［ユニット位置調整装置について］
【０１６８】
図１２，１３，１５等に示すように、プローブユニット２０は、ユニット位置調整装置により、パネル受け１８の移動片３０に対しＸ方向（又は、Ｙ方向）へ移動されて、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）における位置を調整される。
【０１６９】
ユニット位置調整装置は、図示の例では、第１の片部３０ａに配置された位置制御可能のモータ２１２と、モータ２１２により回転されるボールねじ２１４と、ボールねじ２１４に螺合されたナット２１６と、ナット２１６及び移動体受け１５０に結合された結合具２１８とを含む。
【０１７０】
モータ２１２が正転されると、ナット２１６がＸ方向（又は、Ｙ方向）へ移動されることにより、移動体受け１５０が同方向へ移動される。モータ２１２が逆転されると、ナット２１６がＹ方向（又は、Ｘ方向）へ移動されることにより、移動体受け１５０が同方向へ移動される。
【０１７１】
これにより、移動体受け１５０、ひいてはプローブユニット２０は、移動片３０に対するＸ方向（又は、Ｙ方向）における位置を調整されて、その位置に解除可能に維持されるから、各接触子１４６の針先と被検査体１２の電極とを確実に接触させることができる。
【０１７２】
［試験装置の動作について］
【０１７３】
図２２（Ａ）に示すように、試験装置１０は、各プローブユニット２０と、各移動体１５２と、各第２の移動体１５４とが後退された状態で、パネル受け１８に対する被検査体１２の受け渡しが上方から行われる。
【０１７４】
次いで、図２２（Ｂ）に示すように、各押圧部材９０が前進されてアライメントが行われると共に、プローブブロック１３８が前進されて各接触子の針先が被検査体１２の電極の上方に移動される。この間、プッシャー機構８０，８４のそれぞれが低い流体圧力により作動されて、被検査体１２の破損が防止される。
【０１７５】
次いで、図２２（Ｃ）に示すように、各プローブブロック１３８が下降されて各接触子の針先が被検査体１２の電極に押圧される。この間、プッシャー機構８０，８４のそれぞれが高い流体圧力により作動されて、被検査体１２の変位が防止される。その状態で、被検査体１２に通電されて、被検査体１２の点灯試験が行われる。
【０１７６】
上記の点灯試験は、作業者が被検査体１２を上方から目視する目視点灯試験であってもよいし、ビデオカメラのようなエリアセンサを用いかつ制御装置において画像処理をする自動点灯試験であってもよい。
【０１７７】
点灯試験の間、被検査体１２は、アライメント装置により把持されていると共に、接触子１４６によりパネル受け面３４に押圧されるから、開放部４８を減圧タンク５６に接続しなくてもよい。この場合、減圧タンク５６は不要である。
【０１７８】
電気的試験が終了すると、各プローブユニット２０と、各第１の移動体１５２と、各第２の移動体１５４とが図２２（Ａ）に示す位置まで後退され、被検査体１２がパネル受け面３４から浮上された後、パネル受け１８に対する被検査体１２の受け渡しが行われる。
【０１７９】
［他の実施例］
【０１８０】
図２４を参照するに、試験装置２５０は、パネル受け１８及びプローブユニット２０を相寄り相離れる方向に移動させる上下移動機構として、ユニット支持機構２２の代わりに、パネル受け１８を上下方向に移動させるように支柱２６によりテーブルベース１６を支持するＺステージ２５２を用いている。
【０１８１】
Ｚステージ１５２は、いわゆる一般的な昇降機構であり、プラットホーム１４の代わりに装置のフレーム２５に支持されている。バックライトユニット２８は、Ｚステージ２５２に載置されている。プローブユニット２０は、プローブユニット２０をＸＹ面内で移動させるプローブステージ２５４を介してフレーム２５に支持されている。
【０１８２】
試験装置２５０は、パネル受け１８をＺステージ１５２によりプローブユニット２０に対し上下動させ、各プローブユニット２０をプローブステージ２５４によりＸＹ面内で移動させる点を除いて、試験装置１０と同様に作用しかつ同様に用いることができる。
【０１８３】
［アライメントの他の実施例］
【０１８４】
試験装置２５０におけるＺステージ２５２の代わりに、又はＺステージに加えて、従来の試験装置と同様に、パネル受け１８を、Ｘ，Ｙ又はＺの方向に移動させる機構、θ軸線の周りに角度的に回転させる機構等を備える場合、プローブユニット２０と被検査体１２とのアライメントを、上記以外の手法により行ってもよい。以下にそのようなアライメントの例について説明する。
【０１８５】
θ移動機構を備える場合、被検査体１２をプッシャー機構８０，８４及び位置決め機構８２，８６により把持した状態で被検査体１２をθ軸線の周りに角度的に回転させるとともに、パネル受け１８を両プローブユニット２０と共に、移動片移動機構７４のような適宜な機構により、Ｘ方向又はＹ方向に移動させる。
【０１８６】
θ移動機構とＹ移動機構とを備える場合、図２５に示すように、プッシャー機構８０，８４及び位置決め機構８２，８６により被検査体１２を把持した状態で、θ移動機構により被検査体１２をθ軸線の周りに角度的に回転させると共に、Ｙ移動機構により被検査体１２を両プローブユニット２０に対しＹ方向に変位させ、さらに両プローブユニット２０を被検査体１２に対しＸ方向に移動させる。
【０１８７】
θ移動機構とＸ移動機構とを備える場合、プッシャー機構８０，８４及び位置決め機構８２，８６により被検査体１２を把持した状態で、θ移動機構により被検査体１２をθ軸線の周りに角度的に回転させると共に、Ｘ移動機構により被検査体１２を両プローブユニット２０に対しＸ方向に変位させ、さらに両プローブユニット２０を被検査体１２に対しＹ方向に移動させる。
【０１８８】
θ移動機構とＸＹ移動機構とを備える場合、図２６に示すように、プッシャー機構８０，８４及び位置決め機構８２，８６により被検査体１２を把持した状態で、θ移動機構により被検査体１２をθ軸線の周りに角度的に回転させると共に、ＸＹ移動機構により被検査体１２を両プローブユニット２０に対しＸ方向に変位させる。この場合、両プローブユニット２０は変位させなくてもよい。
【０１８９】
パネル受け面３４の対向する一対の辺の一方に一対のプッシャー機構８４を対応する辺の延在方向に間隔をおいて配置する代わりに、図２７に示すように単一のプッシャー機構８４を配置してもよいし、また図示しないが3以上のプッシャー機構８４を配置してもよい。
【０１９０】
また、パネル受け面３４の対向する一対の辺の一方に一対のプッシャー機構８４を対応する辺の延在方向に間隔をおいて配置する代わりに、図２８に示すように、対応する辺の方向に間隔をおいた複数の押圧部材９０と、それらの押圧部材９０をＹ方向（又は、Ｘ方向）に間隔をおいて支持する支持部材２６０と、支持部材２６０をＸ方向又はＹ方向に変位させる駆動源１１８と、支持部材２６０をＺ方向へ延びる軸線の周りに回転可能に駆動源１１８に連結して支持させる枢軸ピン２６２とを備えてもよい。
【０１９１】
図２８に示す実施例において、各押圧部材９０は既に述べた移動体９２に支持されており、また移動体９２は支持部材２６０に支持されいる。
【０１９２】
［結合機構の他の実施例］
【０１９３】
図２９を参照するに、結合機構の他の実施例においては、３対の結合部材２７０，２７２，２７４を用いている。
【０１９４】
各結合部材２７０は、図５に示す結合部材６８と同様に、第１のスライダ６４に設けられた一対のレール７２にＹ方向へ移動可能に結合されていると共に、第２のスライダ６６に設けられた一対のレール７２にＸ方向へ移動可能に結合されている。
【０１９５】
各結合部材２７２は、第２のスライダ６６に設けられた他の一対のレール７２にＸ方向へ移動可能に結合されている。各結合部材２７４は、第１のスライダ６４に設けられた一対のレール７２にＹ方向へ移動可能に結合されており、またＹ方向へ延びる移動片３０に移動不能に取り付けられている。
【０１９６】
Ｙ方向へ延びる各移動片３０は、その下面に設けられた一対のレール２７６において結合部材２７０にＹ方向へ移動可能に結合されていると共に、結合部材２７４に移動不能に取り付けられている。
【０１９７】
Ｘ方向へ延びる各移動片３０は、その下面に設けられた一対のレール２７８において結合部材２７２にＸ方向へ移動可能に結合されていると共に、下面に移動不能に設けられた一対の補助結合部材２８０により第２のスライダ６６のレール７２にＸ方向へ移動可能に結合されている。
【０１９８】
結合機構の他の実施例において、一対の第1のスライダ６４が相寄り相離れる方向（Ｘ方向）へ移動されると、結合部材２７０を介して第１のスライダ６４に連結されたＹ方向へ延びる一方の移動片３０が相寄り相離れる方向（Ｘ方向）へ結合部材６８と共に移動されると共に、その一方の移動片３０に前記した蟻溝と蟻臍等の結合手段により連結されたＸ方向へ延びる他の移動片３０が前記一方の移動片３０の移動にともなってＸ方向へ移動される。
【０１９９】
また、両第２のスライダ６６が相寄り相離れる方向（Ｙ方向）へ移動されると、結合部材２７２を介して第２のスライダ６６に連結されたＸ方向へ延びる前記他の移動片３０が第２のスライダ２７２と共に相寄り相離れる方向（Ｙ方向）へ移動されると共に、その他の移動片３０に前記した蟻溝と蟻臍等の結合手段により連結されたＹ方向へ延びる前記一方の移動片３０が前記他の移動片３０の移動にともなって長手方向（Ｙ方向）へ移動される。
【０２００】
このため、４つの移動片３０は、開口３２の大きさが図３及び図６に示す大きさとなるように、移動される。その結果、開口３２、ひいてはパネル受け面３４の大きさを試験すべき被検査体１２の大きさに応じて変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【０２０１】
ユニット支持機構２２、結合機構６２、移動片移動機構７４、位置決め機構８２，８６、プローブ移動機構１５８等、２つの部材を相対的に移動させる機構の駆動源としてのモータは、回転式のモータ及びリニアモータのいずれであってもよい。
【０２０２】
同様に、各プッシャー機構の駆動源も、回転力又は推進力を、位置決め機構のモータより小ささい範囲内で、２段階に変更可能の回転式のモータ及びリニアモータのいずれであってもよい。
【０２０３】
しかし、圧縮空気の体積は圧力に応じて変化するから、プッシャー機構の駆動源として、圧縮空気を用いるシリンダ機構を用いると、アライメント時に、押圧部材が被検査体に衝突したときの衝撃が大きく低減される。それゆえに、圧縮空気を用いるシリンダ機構を用いることが好ましい。
【０２０４】
また、上記のようなモータ（電動機）を用いる代わりに、特に位置決め機構８２，８６の駆動源は、ボールねじ１２０とナット１２２とを用いる機構、ラックとピニオンとを用いる機構等とともに、それらの機構を駆動させる油圧モータのような他の駆動源を用いてもよい。
【０２０５】
パネル受け１８は、開口３２の大きさを変更不能の構造、例えば同じ大きさの被検査体専用の構造を有していてもよい。また、位置決め機構の構造も種々変更することができる。
【０２０６】
上記の実施例のように、２種類の流体圧力源１２４，１２６、バルブ装置１２８及びバルブドライバー１２９の代わりに、電圧制御により適宜な圧力の流体を出力可能の電空レギュレータ（すなわち、電空調整器）を用いてもよい。この場合、電空レギュレータは、互いに異なる少なくとも２つの圧力流体をプッシャー機構８０，８４の駆動機構の駆動源１１８に選択的に供給する。
【０２０７】
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
【符号の説明】
【０２０８】
１０，２５０  試験装置
１２  平板状被検査体
１４  プラットホーム
１６  テーブルベース
１６ａ，３２  開口
１８  パネル受け
２０  プローブユニット
２２  ユニット支持機構
２４  カメラ装置
２５  フレーム
２６  支柱
２８  バックライトユニット
３０  移動片
３０ａ，３０ｂ  第１及び第２の片部
３４  パネル受け面
３６  浮上装置
４０  ボール
４２  ばね
４８  開放部
５０  連通穴
５２  バルブ
５４  パイプ
５６  減圧タンク
５８  バルブドライバー
６０  圧力流体源
６２  結合機構
６４，６６  第１及び第２のスライダ
６８，２７０，２７２，２７４，２７６  結合部材
７０，７２，２７６，２７８  レール
７４  移動片移動機構
８０，８４  プッシャー機構
８２，８６  位置決め機構
９０  押圧部材
９２  移動体
９４  駆動機構
９６  支持板
９８  取り付けピン
１１４  スライダ
１１６  連結板
１１８  駆動源
１２０  ボールねじ
１２２  ナット
１２４，１２６  圧力流体源
１２８  バルブ装置
１２９  バルブドライバー
１３０  モータドライバー
１３２  支持ベース
１３４  支持ブロック
１３６  移動ブロック
１３８  プローブブロック
１４６  接触子
１５０  移動体受け
１５２，１５４  第１及び第２の移動体
１５６  頂板
１５８  プローブ移動機構
１６０  ストッパ
１６２，１６６，１７０  レール
１６４，１６８，１７２  ガイド
１７４  モータ
１７６  ボールねじ
１７８  ナット
１８０  結合具
１８６  穴
１８８  ロッド
１９０  圧縮コイルばね
１９２  変位発生機構
１９４  ブラケット
１９６  ローラ
２００  支持ブロック
２０２  カメラ
２０６  結合軸（角度調整装置）
２０８  ナット（角度調整装置）
２１０  調整ねじ（角度調整装置）
２１２  モータ（ユニット位置調整装置）
２１４  ボールねじ（ユニット位置調整装置）
２１６  ナット（ユニット位置調整装置）
２１８  結合具（ユニット位置調整装置）
２５２  Ｚステージ
２６０  支持部材
２６２  枢軸ピン
【図１】
0005631020.tif 000002
【図２】
0005631020.tif 000003
【図３】
0005631020.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
0005631020.tif 000008
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
0005631020.tif 000014
【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２９】
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【図７】
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【図２８】
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