(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子線装置の装置条件を設定する機能を複数表示する操作画面を備えた荷電粒子線装置において、
前記操作画面上に、カスタムウィンドウを設け、
当該カスタムウィンドウ中に、前記操作画面上に表示された機能を表示することにより、ルーチンワークの各手順にかかる複数のカスタムウィンドウを作成でき、
前記複数のカスタムウィンドウで経過した時間をユーザ毎に記録管理でき、
ルーチンワークにかかる各手順の経過時間をユーザ毎に表示できることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項２】
請求項１の荷電粒子線装置において、
前記操作画面上に、前記カスタムウィンドウに表示する機能の候補を表示する候補ウィンドウを設けることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項３】
請求項２の荷電粒子線装置において、
前記候補ウィンドウに表示された機能は、前記機能の使用履歴の分類に基づいて表示されることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項４】
請求項３の荷電粒子線装置において、
前記候補ウィンドウに表示される機能の順番は、前記機能の使用履歴からしよう回数の多い順に表示されることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項５】
請求項３の荷電粒子線装置において、
前記候補ウィンドウに表示される機能の順番は、前記カスタムウィンドウに表示された機能に基づいて決まることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項６】
請求項１の荷電粒子線装置において、
前記カスタムウィンドウ中の複数の機能を１つの機能に置換えすることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項７】
請求項１の荷電粒子線装置において、
前記カスタムウィンドウ中に設けられた機能に制限を設けることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項８】
請求項１の荷電粒子線装置において、
前記カスタムウィンドウ中の機能を使用した時間を記録する記録装置を設けることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項９】
請求項１の荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子線装置使用時に、前記カスタムウィンドウを呼び出す呼び出し機能を設けたことを特徴とする荷電粒子線装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は荷電粒子線装置及びその操作画面に関し、特に荷電粒子線装置の操作画面作成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
荷電粒子線装置は、ニーズが多様化しており、様々な顧客のニーズに対応するために非常に多くの機能を搭載している。そのため、ユーザは非常に多くの機能から目的の機能を見つけることが困難であったり、その機能を利用するための操作が複雑となっている。
【０００３】
操作が煩雑な装置に対し、特許文献１のような手法により、操作性向上を図ったものが存在している。
【０００４】
また、非常に高額である荷電粒子線装置は、関係部外者へリースするなど、複数のユーザで共有して使用されることが非常に多い。そして、単純な検査作業などに使用される場合、初心者が使用するといった機会が増えてきている。そのことから、装置の設定状態をユーザ毎に管理する必要があると同時に、装置管理者は、使用者に対して装置の機能制限や、使用者の使用状況を把握，使用効率を改善したいというニーズが多くある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−３２８５６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ＧＵＩ上に散在する機能を、一箇所に集約することで操作性向上を図った場合、非常に多くの機能を使用するユーザは、集約する作業自体が手間となってしまうことが問題である。また、観察する試料や、使用するユーザが変わった場合、使用する機能も大きく変わることから、再度機能を集約する作業が発生してしまい、操作性を向上させるための作業自体が大きな手間となってしまう。さらに、初心者が使用する場合には、どの機能を集約すればよいかが分らず、集約による操作性向上の恩恵を受けることが難しい。
【０００７】
また、初心者が利用する場合や、関係部外者へリースする場合などは、不適切な操作（誤操作含む）による、装置や試料に対するトラブルが懸念される。装置管理者は上記問題発生を常に危惧している。
【０００８】
例えば、フィラメント電流を流しすぎると、フィラメント寿命が極端に低下し、部品交換が必要となったり、加速電圧や真空度の適切な設定外での使用や、長時間の観察（電子ビームの照射）を行った場合、試料がダメージを受けてしまう。また、スティグマやアライメント設定を変更すると、正常な像が取得できなくなり、再度煩雑な調整が必要となるなど、装置の使用率を低下させてしまう問題がある。
【０００９】
さらに、検査などのルーチンワークにおいては、操作者の熟練度の差による作業時間の違いや、作業プロセスの問題点などによるスループット低下を管理者は把握することが難しく、管理者はＰＤＣＡサイクルによる、プロセス改善を図ることが困難であった。また、検査内容や作業者の変更によって、使用方法に関する教育の経費，時間が増加することも問題であった。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するために、荷電粒子線装置の装置条件を設定する機能を複数表示する操作画面を備えた荷電粒子線装置において、前記操作画面上に、カスタムウィンドウを設け、当該カスタムウィンドウ中に、前記操作画面上に表示された機能を表示することを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。
【００１１】
また、カスタムウィンドウ中に設けられた機能に制限を設けた。さらに、カスタムウィンドウ中の機能を使用した時間を記録する記録装置を設けた。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、複数のユーザが使用する場合、同一ユーザが毎回違った目的で使用しても、ユーザ毎に目的にあった操作性の良いＧＵＩを作成、使用可能であり、ユーザの操作負担が軽減される。また、装置の操作や機能の管理制限によって、操作ミスによる装置や試料のトラブルを回避可能である。それによって、初心者を含めてユーザの幅を大きく広げることが可能となり、操作性向上に大きく効果がある。
【００１３】
上記の効果によって、作業時間短縮，装置利用率向上を望むことができる。また、装置の操作状況を分析可能であるため、検査作業などにおいては作業プロセスの改善（作業の効率化）などに寄与する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】走査電子顕微鏡の基本構成を説明した図。
【図２】本発明のシステム構成を説明した図。
【図３】本発明の一例であるＧＵＩ操作画面。
【図４】候補表示のために参照する履歴の分類例を示した図。
【図５】本発明の一例であるＧＵＩ操作画面。
【図６】本発明の一例であるＧＵＩ操作画面。
【図７】本発明の一例であるＧＵＩ操作画面（操作時間詳細分析画面）。
【図８】使用履歴の分布図。
【図９】クラスタリング手法であるk-means法のアルゴリズムの説明図。
【図１０】k-means法の初期値。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。なお、荷電粒子線装置の一例として走査電子顕微鏡（以下ＳＥＭと略す）を例にとって説明するが、本発明はＳＥＭ以外にも、電子線を用いた外観検査装置，集束イオンビーム装置等、計測，検査，加工を行う荷電粒子線装置一般に対して適用することができる。
【００１６】
図１は、ＳＥＭの一実施例の基本構成例を説明した図である。電子銃１より放出された一次電子線４は、アノード２により制御・加速され、コンデンサレンズ３および対物レンズ６によって試料ステージ９上に設置された試料１８に収束・照射される。これらのコントロールは、主制御部１５によって行われる。一次電子線４の経路には、偏向器５が設けてあり、コンピュータ部１６に接続されたマウス２０もしくはキーボード２１，専用操作パネル２３から設定された任意の設定倍率にしたがって、偏向制御部１９から所定の偏向電流が供給され、これにより一次電子線４が偏向され、試料の表面を二次的に走査する。観察位置への移動は、ステージ制御部１０が試料ステージ９をコントロールすることで、任意の位置への位置決めが可能な構成となっている。
【００１７】
試料に電子線を照射することで発生した二次電子７は、二次電子検出器１１によって検出され、増幅器１２によって増幅され、画像記憶部１３に記憶される。この時の画像信号は、表示部１７に表示される。
【００１８】
上記で述べた構成において、装置全体の制御や、装置で得られたデータを解析処理するためのコンピュータ部では、制御・データ解析処理を実施するためのプログラムが動作する。プログラムはＧＵＩを有しており、様々な装置状態を視覚的に通知したり、装置制御やデータ解析処理のための指示をユーザから受ける。
【実施例１】
【００１９】
図２に、ＧＵＩを有した制御・データ解析処理プログラムのシステム構成及び利用形態を示す。ＧＵＩ部２４はＧＵＩ操作部２５，ＧＵＩ作成部２６，操作候補表示部２７から構成される。
【００２０】
ＧＵＩ操作部２５はユーザ２８から、電子顕微鏡の制御や、データ解析処理の指示を受ける。
【００２１】
ＧＵＩ作成部２６はユーザ２８が好みのＧＵＩ部２４を作成することを実現する。作成したＧＵＩはＧＵＩ再構成部２９によって、ＧＵＩ操作部２５に反映される。また、作成したＧＵＩの構成情報３０を外部記憶に保持し管理することで、ユーザ２８は好みのＧＵＩを再度利用することができる。
【００２２】
操作候補表示部２７はユーザがＧＵＩを作成する際に、候補を列挙しＧＵＩ作成を補助する機能を提供する。操作候補表示部２７は、操作予測部３１によって、現状のユーザの操作情報と、操作記録部３２によって記録蓄積された操作履歴３３から、装置利用目的を推測し操作候補を表示する。
【００２３】
上記構成において、図３にＧＵＩの構成を示し、実際の動作詳細を説明する。ＧＵＩ上には制御や処理を指示するボタン３４，各パラメータを設定するテキストボックス３５など様々な機能が存在している。
【００２４】
本発明の特徴である以下の２つのウィンドウがある。
（１）ユーザが自由に機能を集約することができるウィンドウ（以下、カスタムウィンド
ウ３６と略す）
（２）ユーザの装置使用目的を過去の使用履歴から推測し、ユーザが追加したい機能の候
補を自動的に列挙するウィンドウ（以下、候補ウィンドウ４７と略す）
【００２５】
ユーザは様々な位置に散在する機能に対して、カスタムウィンドウ３６への追加の指示を行うと、通常のウィンドウに散在する機能と同等の機能（例ではスライダー３７）がカスタムウィンドウ３６に生成される。そのとき、機能毎の判断を容易に行うために、機能に対する項目名（例ではスライダー３８の項目名「設定５」）も一緒に生成することができる。このカスタムウィンドウ３６に生成された同等物（スライダー３７）は、オリジナルの機能（スライダー３８）とまったく同じ動作をする。
【００２６】
次に、画面上に散在する機能を、ユーザがカスタムウィンドウへ追加するときの方法について説明する。ユーザはカスタムウィンドウ３６へ追加したい機能に対して、ポインティングデバイスなどを用いて機能を特定する。そして、通常、機能を利用する操作以外の操作を行い、図３（ａ）のように、ポップアップメニュー３９を表示し、追加指示を行う。
【００２７】
また、カスタムウィンドウ３６へ機能を追加する際には、ユーザの操作目的を推測し、操作候補を予測して列挙する候補ウィンドウ４７からも同様に追加することができる（図３（ｂ））。
【００２８】
追加した機能は、ユーザの好みで自由に配置を変更したり、削除できる。ここで、カスタムウィンドウ３６に追加できる機能とは、ボタン３４，テキストボックス３５，スライダ３８，チェックボックス４１，ラジオボタン４２，コンボボックス４３、など様々な操作インタフェースを意味する。また、作成されたカスタムウィンドウ３６は、保存・呼び出し機能４０によって、その機能や配置をファイル，データベースに保存管理する。ファイルやデータベースでカスタムウィンドウ３６の構成を管理することで、ユーザ変わった場合や、同じユーザでも使用方法が異なる場合にカスタムウィンドウ３６を切り替えできる。
【００２９】
次に、候補ウィンドウ４７の候補列挙方法について説明する。候補ウィンドウ４７に表示する機能の候補４８，４９，５０，５１は、記録管理される操作履歴より推測され表示される。操作履歴は、ユーザが使用した機能名，設定したパラメータ数値，使用した順番を常に記録したものであり、１回の観察ごとに生成することができる。本発明は、１回の観察毎（試料毎）に行う操作の特徴の違いに着目したものであるため、観察目的や試料が変更された場合や、ユーザが変わった場合には、操作履歴を新たに生成することが好ましい。よって、観察試料が変更される試料交換操作をトリガとし、履歴を更新する。試料交換操作以外に観察試料を変更できる方法がある場合には、その場合も操作履歴を新たにすることが好ましい。候補の列挙を行うとき、生成された複数の操作履歴を、操作の特徴（機能の設定パラメータ範囲，機能など）をベクトルとして分類を行う。分類した履歴を参照し候補の列挙を決定する。
【００３０】
図４に、検出器の種類５５，真空度５６，加速電圧５７で使用履歴を分類した場合の例を示す。操作履歴５３は観察における操作の履歴であり、各パラメータによって操作履歴群５４に分類される。
【００３１】
検出器の種類５５は、二次電子検出器（以下ＳＥと略す）、反射電子検出器（以下、ＢＳＥと略す）、波長分散型検出器（以下、ＷＤＸと略す）、エネルギー分散型検出器（以下、ＥＤＸと略す）など様々なものがあり、観察したいサンプルや分析したい内容によって使い分ける。
【００３２】
加速電圧５７は、試料のチャージアップ状態や、試料ダメージの影響，表面情報の鮮鋭さなどで調節する必要がある。
【００３３】
真空度５６も同様である。特に水分を含有する試料を、無加工で観察したい場合には、低真空に設定する。
【００３４】
このような設定パラメータで操作履歴を分類することで、ある程度同じ試料で観察した操作履歴に分類することができる。これを使って、現在の操作状態や設定値によって分類された操作履歴を参照すると、現在の観察を行っている操作と相関の高い操作が予測できる。予測した相関の高い機能を、候補ウィンドウへ表示することで、ＧＵＩ作成を補助することができる。
【００３５】
例えば、水分を含有した試料を無加工で観察する場合、低真空に設定する。また、電子線照射による試料ダメージを抑える必要がある場合、加速電圧を低く設定する。検出器はＥＤＸを用いて、元素分析を行う。そして、元素分析を行うためにプローブ電流を高く設定し、フォーカスを調整を実施し、画面キャプチャを行う。それらの操作情報は一つの操作履歴に記録される。そして、別のユーザが同じような水分を含有した試料で元素分析を実施すときを、ＧＵＩ作成機能を使って新たにＧＵＩを作成すると、加速電圧，検出器，真空度を上記の設定と同じような設定とした段階で、その分類パラメータによって今まで記録された操作履歴は分類される。その分類された操作履歴群５８の一部に、上記の履歴も含まれており、候補ウィンドウ４７に、候補を列挙できる。上記の例だと、プローブ電流の設定機能や、画面キャプチャを行う機能を表示する。ユーザはこの候補ウィンドウに表示された機能を、新しく作成したＧＵＩに集約することで、関連した機能を探す手間を省き、ＧＵＩ作成を効率よく行うことができる。
【００３６】
上記で述べた分類ベクトルは様々な種類があるが、本発明は分類ベクトル数，分類ベクトルの種類を限定したものではない。
【００３７】
使用履歴の分類について簡単に説明する。分類に際し、真空度，加速電圧，プローブ電流など数値データは連続的（厳密に言えば離散数値）であり、分類が難しい。そこで、一般的なクラスタリング手法を用いて分類することとする。クラスタリング手法には、階層的手法である、最短距離法，最長距離法，群平均法，ウォード法などがあり、分割最適化手法として、k-means法がある。
【００３８】
k-means法のアルゴリズムは以下である。
過程Ａ：Ｋ個のクラスターの中心（初期値）をランダムに設定する。
過程Ｂ：それぞれの個体をもっとも近い中心にクラスタリングする。
過程Ｃ：クラスターごとに中心（重心）を計算しなおす。
過程Ｄ：上記クラスターの中心が変化しなければ終了。それ以外は過程Ｂへ戻る。
【００３９】
具体例について、図８，図９を用いて説明する。実際の観察では、真空度，加速電圧，フィラメント電流，観察倍率などさまざまな設定値があるが、例として、真空度，加速電圧の２次元に絞った場合を示す。
【００４０】
図８では、装置使用履歴のデータを、Ｘ軸に加速電圧（Ｖacc）、Ｙ軸に真空（Ｖacuum）値をプロットした。図９は、上記k-means法の手順を説明した図である（クラスター数を５とした）。この計算を繰り返すことにより、使用履歴の分類ができる。
【００４１】
なお、上記手法においては、（１）の初期値をランダムで設定する場合、クラスタリング結果は局所解に陥る（不適切に分類される）ことが知られており、初期値の設定が大切である。電子顕微鏡における各種設定値の履歴において、k-means法で分類を行う場合、上記のような事態を回避するために、適正設定値を用いることが一案として考えられる。適正値の例を図１０に示す（加速電圧，倍率，検出器の三次元分類の場合の例）。この適正値として、正しく観察することができた際に用いられたデータを使用することができる。
【実施例２】
【００４２】
実施例１に、ＧＵＩを作成する際の補助として、操作の候補を列挙する機能を示したが、この機能はＧＵＩ作成補助だけでなく、ユーザが通常操作を行う際の補助として利用しても良い。ユーザが通常操作を行う際の補助として利用する場合には、現在行っている操作の次に行う操作の頻度を使用履歴からカウントし、頻度が高いものから列挙することで、現在行っている操作の次に行う操作を予測できる。これにより、通常の操作における操作性の向上を図ることができる。
【実施例３】
【００４３】
実施例１では特に明記していないが、カスタムウィンドウ３６へ機能を追加する手段として、マウスや、キーボード，タッチパッドなどのデバイスを使用したり、それらを組み合わせて指示しても良い。また、カスタムウィンドウへ機能を追加する操作は、マウスのクリック以外にもドラッグアンドドロップや、機能表の一覧から追加するものを選択して実施してもよい。機能表一覧を用いる場合には、追加する場合の条件をその表で指定しても良い。
【実施例４】
【００４４】
実施例１において、カスタムウィンドウ３６へ機能を追加する際に、ユーザが自由な位置へ配置できることを説明したが、自動的に配置を行っても良い。例えば、操作履歴から使用頻度を算出して、使用頻度に応じて順番を並べ替えたり、機能の特徴毎（変更すると試料に影響があるものとそうでないものなど）にタブ４５へ分類してもよい。
【実施例５】
【００４５】
ユーザがＧＵＩ作成機能を使用してＧＵＩを作成したとき、その作成したＧＵＩ上の機能のうち、複数の操作を組み合わせて、一つの処理を実現する場合は、同時に実施可能な機能の組み合わせと判断し、同時に実施する同等の機能へと置き換えも可能とする。例えば、電子顕微鏡では、オートフォーカスを行う機能や、オートスティグマを行う機能がある。また、それらを組み合わせて同時にオートフォーカスと、オートスティグマを実施するオートスティグマフォーカス機能など、複合機能が存在する。ユーザがカスタムウィンドウ３６へ機能を追加するとき、上記の様にオートフォーカス機能と、オートスティグマ機能をそれぞれ追加した場合、それらを自動的にオートフォーカススティグマ機能へと置き換える。これにより、ユーザの操作回数を減らすことができる。
【実施例６】
【００４６】
実施例１で使用する操作履歴のひとつとして、使用した機能の時間を保持してもよい。時間帯によって使用する機能がまったく違う場合には、時間を使用履歴の分類に用いることで、時間に合わせた候補ウィンドウ４７を表示可能となる。
【実施例７】
【００４７】
実施例１において、操作履歴の分類の一つにユーザ名を示しているが、ユーザ名による分類を行うことも選択できる。例えば、ある程度操作履歴を持っているユーザであれば、ユーザ名による分類を行うことで、使用履歴に基づいた自分の操作の癖までも反映した候補ウィンドウ４７を表示できるが、過去に操作履歴の無い新規のユーザが使用した場合は、候補ウィンドウ４７を表示できない。そのような場合は選択的に、ユーザ名による分類を行わないことで、仕様履歴の無いユーザが観察を行う際に、他者の使用履歴から観察の候補ウィンドウ４７を列挙することができる。
【実施例８】
【００４８】
実施例１乃至２において、候補ウィンドウ４７へ、候補を表示する際に、表示する操作候補に優先順位を持たせ、優先順位の高いものだけを表示したり、表示順序や配置を動的に変更しても良い。優先順位の算出例を以下に示す。
１．操作履歴を参照して、操作回数の多いものから順に並べて表示する（操作頻度）。
２．最近行った操作を基準として、操作履歴を参照して、その操作の次に行われる操作の
回数を数え上げ、操作回数の多いものを順に並べて表示する（最近操作と相関）。
【実施例９】
【００４９】
上記の利用形態は、カスタムウィンドウ３６を作成するユーザと、実際に使用するユーザが同一であり、操作性向上のための実施例について説明した。次に、カスタムウィンドウ３６を作成するユーザが管理者で、使用する一般ユーザに対して機能制限を設けたり、操作手順をウィザード形式で利用しやすい環境を提供する場合の利用形態について説明する。
【００５０】
カスタムウィンドウ３６を作成する管理者は、一般ユーザに対して実施させたい操作を、手順を追って判りやすく進められるように、図５に示す対話形式のカスタムウィンドウ（以下ウィザードウィンドウ５９と略す）を作成する。ウィザードウィンドウ５９を作成できるのは管理者であり、一般ユーザは変更することはできない。また、ウィザードウィンドウ５９利用時には、ウィザードウィンドウ５９以外の操作を一切禁止することで実質の機能制限を行う。その際の管理者と一般ユーザの区別は、パスワードやその他の認証方式を用いて区別する。但し、機能制限の有無は管理者が選択できるものとし、ウィザードウィンドウ５９以外の操作を行うことも選択できることが好ましい。
【００５１】
ウィザードウィンドウ５９の作成は、実施例１と同様に、散在している機能をウィザードウィンドウ内５９に配置して行う。その際、図５に示すように、検査や観察手順の詳細な解説や、注意事項などの説明文章や、図や写真６１をウィザードウィンドウ内５９に配置することもできる。解説や注意事項などの説明の文章６０は、追加指示を行うことで、新たにテキストエディタが表示され文章を入力することができる。また、図や写真６１も同様に追加指示を行うことで編集するエディタが表示され、操作手順を示す矢印などの図を作成し配置できる。図，写真６１に関してはエディタで作成することも可能であるが、ファイルなどから読み込み，貼り付けることもできる。これにより、一般ユーザに対して実際の作業結果の写真などを示すことで、正しい操作を促したり、結果が正しいかを確認することができる。その際、追加した機能（例ではスライダー６４）や説明文６０，図，写真６１などの位置やサイズは自由にドラッグアンドドロップで変更できることが好ましい。
【００５２】
ウィザードウィンドウ５９には進むボタン６２と、戻るボタン６３のボタンがあらかじめ配置されており、進むボタン６２を操作する毎に、次の操作を示したウィザードウィンドウ５９が現れる。逆に戻るボタン６３を操作すると、一つ前のウィザードウィンドウ５９に戻ることができる。このように、一つのウィンドウに対して単純な作業を指示し、手順を追って進めることで、一般ユーザが初心者でも操作が可能となる。また、管理者がウィザードウィンドウ５９を作成する場合にも、進むボタン６２，戻るボタン６３を操作し、一つの手順ずつ作成することができる。また、作成したウィザードウィンドウ５９はその構成を保存，読み出しすることができ、読み出した構成を再度編集することもできる。
【実施例１０】
【００５３】
実施例９において、ウィザードウィンドウ５９以外の操作を禁止することで、一般ユーザに対して機能制限できることを説明したが、それ以外にも機能の設定パラメータ範囲を管理者が自由に設定し、制限できる範囲を変更できるようにしても良い。例えば、観察試料を破壊してしまう危険性がある、試料室真空度や加速電圧設定，ステージの座標値設定値の制限である。図６（ａ）はパラメータを設定できる機能（例ではスライダー６４）に対して、パラメータ制限設定メニュー６６を表示して、パラメータ制限値６７の上下限値を設定する場合の例である。ユーザがこの設定した値を逸脱したパラメータを入力するとエラーを表示する。この設定パラメータ範囲は、ウィザードウィンドウ５９内に配置された機能毎に違った値を設定できる。つまり、ウィザードウィンドウ５９で作業を進める中で、パラメータを変更する作業が複数回出てきた場合でも、それぞれ違った範囲を指定できることを意味する。
【実施例１１】
【００５４】
一般ユーザがウィザードウィンドウ５９を使用して、観察もしくは作業を進めるときに、その一つのウィンドウ毎に時間制限を設けることができる。特に、電子顕微鏡で観察，検査を行う場合には、電子ビームの照射時間や、真空排気開始からの時間経過によって、検査，測定などの結果が変わってしまったり、試料にダメージを与えてしまうことがある。操作毎に管理者が時間を制限することで、時間経過の影響による問題を排除することができる。具体的には、図６（ｂ）に示すように、時間制限設定メニュー６９を表示して、その一つの手順における操作制限時間を指定する。一般ユーザが指定された時間内に次の手順へ進めなかった場合、保存した観察結果を無効としたり、作業を再度やり直しさせるといった指定を詳細設定ボタン７１で設定する。
【実施例１２】
【００５５】
実施例９において、管理者が作成したウィザードウィンドウは、その一つの手順毎に経過した時間を記録しても良い。記録した時間はユーザや、作業毎に記録管理され、図７に示すようにグラフ７３で表示される。ウィザードウィンドウ５９の一手順ごとに、グラフ７３は色分け７５されて表示される。よって、各手順の経過時間の傾向を視覚的に把握することができる。また、ユーザ名７４毎に結果を表示し、作業時間の違いを知らしめることができる。これにより、管理者はどのプロセスを改善すればよいのか、どのユーザを教育すればよいのかを簡単に分析することができる。これはスループットが重要視される検査などのルーチンワークで重要である。また、エクスポート機能７６を使用すれば、管理者は計測管理されたデータをファイル形式（ＥＸＥＬやＣＶＳ形式など）で出力することもできる。
【実施例１３】
【００５６】
実施例９において、ウィザードウィンドウ５９をあらかじめ作成しておき、作成したウィンドウを明示的に呼び出せることを示した。明示的に呼び出す以外に、保存したウィザードウィンドウ５９を、計画的に自動で表示しても良い。電子顕微鏡が検査などのルーチンワークに使用される場合、日時によって検査項目が変化することが考えられる。その日程をあらかじめ、登録しておけば、検査項目に適したウィザードウィンドウ５９を日程に合わせて自動で変更する事ができる。
【符号の説明】
【００５７】
１  電子銃
２  アノード
３  コンデンサレンズ
４  一次電子線
５  偏向器
６  対物レンズ
７  二次電子
８  寸法校正用試料
９  試料ステージ
１０  ステージ制御部
１１  二次電子検出器
１２  増幅器
１３  画像記憶部
１４  測長処理部
１５  主制御部
１６  コンピュータ部
１７  表示部
１８  試料
１９  偏向制御部
２０  マウス
２１  キーボード
２２  記憶媒体（データベース格納エリア）
２３  専用操作パネル
２４  ＧＵＩ部
２５  ＧＵＩ操作部
２６  ＧＵＩ作成部
２７  操作候補表示部
２８  ユーザ
２９  ＧＵＩ再構成部
３０  ＧＵＩ構成情報
３１  操作予測部
３２  操作記録部
３３  操作履歴
３４  ボタン
３５  テキストボックス
３６  カスタムウィンドウ
３７，６４  スライダー（複製）
３８  スライダー
３９  ポップアップメニュー
４０  保存・呼び出し機能
４１  チェックボックス
４２  ラジオボタン
４３  コンボボックス
４４  既存ＧＵＩ
４５  タブ
４６  機能名（複製）
４７  候補ウィンドウ
４８  スライダー（候補）
４９，５０  ボタン（候補）
５１  ラジオボタン（候補）
５２  ラジオボタン（複製）
５３  １回の観察における操作履歴
５４  分類された操作履歴群
５５  検出器の種類
５６  真空度
５７  加速電圧
５８  ＥＤＸ検出器，低加速電圧，低真空で観察した操作履歴群
５９  ウィザードウィンドウ
６０  説明文
６１  図，写真
６２  進むボタン
６３  戻るボタン
６５  手順番号
６６  パラメータ制限設定メニュー
６７  パラメータ制限値
６８  パラメータ制限有無設定
６９  時間制限設定メニュー
７０  時間制限設定値
７１  詳細設定ボタン
７２  時間制限有無設定
７３  グラフ
７４  ユーザ名
７５  色分け（手順毎）
７６  エクスポート機能
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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