(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を吊り下げ状態で搬送する搬送車に設けられ、前記被搬送物を把持するための搬送車のグリッパ装置であって、
ベースプレートと、
該ベースプレートの上面に設けられたガイドレールと、
該ガイドレールに沿って互いに接近及び離間するように略水平方向に移動可能に係合された一対のガイドブロックと、
該ガイドブロックに固定され、前記ベースプレートの上面に沿って延在する水平部分と、該水平部分から前記ベースプレートより下方まで延在する垂直部分と、該垂直部分の下端側に設けられ前記被搬送物を把持するための爪部分とを夫々有する一対の把持部と
を備え、
前記ベースプレートは、前記ガイドレールの側方に形成された切欠部を有し、
前記垂直部分は、前記切欠部内を前記ガイドレールが延びる方向に沿って移動可能に設けられている
ることを特徴とする搬送車のグリッパ装置。
【請求項２】
前記切欠部は、前記ガイドレールの両側に前記ガイドレールが延びる方向に沿って形成された一対の貫通溝であり、
前記垂直部分は、前記一対の貫通溝内を前記ガイドレールが延びる方向に沿って移動可能に設けられた一対の板状体からなる
ことを特徴とする請求項１に記載の搬送車のグリッパ装置。
【請求項３】
前記ベースプレートの上面に設けられ、前記ガイドブロックを駆動する駆動部を更に備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送車のグリッパ装置。
【請求項４】
天井に敷設された軌道に沿って走行する搬送車であって、
請求項１から３のいずれか一項に記載のグリッパ装置と、
該グリッパ装置を巻き上げ及び巻き下げする昇降装置と
を備えることを特徴とする搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod：フープ）等の被搬送物を吊り下げ状態で搬送する例えばＯＨＴ（Overhead Hoist Transport：天井走行式無人搬送車）等の搬送車に設けられ、被搬送物を把持するための搬送車のグリッパ装置、及び搬送車の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のグリッパ装置として、例えばＦＯＵＰ等の被搬送物の上部（例えばフランジ）を、開閉可能に構成された一対の把持部によって把持するものが知られている（例えば特許文献１参照）。例えば特許文献１には、天板部の底面（或いは下面）にガイドレールが固着され、このガイドレールに装着された一対のガイドブロックの各々に下側から、支持プレート、フィンガ支持板及びフィンガからなる把持部が取り付けられた構成を有するグリッパ装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２９４３９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば上述した特許文献１に開示されたような従来の構成では、ガイドレールは天板部の下側に設けられており、構造上、ガイドレールは下側からのネジ止めによって天板部に固定されるのが一般的である。しかし、このような従来の構成では、被搬送物の重量や搬送中の振動などによってネジが破損したり、緩んでしまうおそれがあるという技術的問題点がある。このため、被搬送物の落下を防止するための点検・修理等を適宜行う必要があり、こうしたメンテナンス作業に要する時間や労力の低減が求められていた。
【０００５】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、被搬送物の落下を防止するための修理やメンテナンスの必要の少ない搬送車のグリッパ装置、及びこのようなグリッパ装置を備えた搬送車を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る搬送車のグリッパ装置は上記課題を解決するために、被搬送物を吊り下げ状態で搬送する搬送車に設けられ、前記被搬送物を把持するための搬送車のグリッパ装置であって、ベースプレートと、該ベースプレートの上面に設けられたガイドレールと、該ガイドレールに沿って互いに接近及び離間するように略水平方向に移動可能に係合された一対のガイドブロックと、該ガイドブロックに固定され、前記ベースプレートの上面に沿って延在する水平部分と、該水平部分から前記ベースプレートより下方まで延在する垂直部分と、該垂直部分の下端側に設けられ前記被搬送物を把持するための爪部分とを夫々有する一対の把持部とを備え、前記ベースプレートは、前記ガイドレールの側方に形成された切欠部を有し、前記垂直部分は、前記切欠部内を前記ガイドレールが延びる方向に沿って移動可能に設けられている。
【０００７】
本発明に係る搬送車のグリッパ装置（以下、「グリッパ装置」と適宜略称する）は、例えば、半導体製造工場等の施設における天井に敷設された軌道に沿って走行する例えばＯＨＴ等の搬送車に設けられ、例えばＦＯＵＰ等の被搬送物の上部（例えばフランジ）を、例えばチャック或いはフィンガ等である一対の把持部によって把持する。一対の把持部が被搬送物を把持することにより、搬送車は被搬送物を吊り下げ状態で搬送することが可能となる。
【０００８】
ベースプレートは、平板状の部材であり、例えば、搬送車の昇降部に巻き取りベルトを介して繋がっており、昇降部によって巻き取りベルトが巻き取られ或いは巻き出されることにより、垂直方向（即ち、鉛直方向）に昇降する。
【０００９】
一対の把持部は、ベースプレートに設けられたガイドレールに移動可能に係合した一対のガイドブロックに夫々固定されており、一対のガイドブロックがガイドレールに沿って互いに接近するように移動することにより被搬送物を把持する把持状態となり、一対のガイドブロックがガイドレールに沿って互いに離間するように移動することにより被搬送物を解放する解放状態となる。
【００１０】
本発明では特に、ガイドレール及び一対のガイドブロックはベースプレートの上面に設けられている。更に、一対の把持部の各々は、ガイドブロックの上面に固定され、ベースプレートの上面に沿って延在する水平部分と、該水平部分からベースプレートより下方まで延在する垂直部分と、該垂直部分の下端側に設けられ被搬送物を把持するための爪部分とを有する。
【００１１】
よって、ガイドレール及び一対のガイドブロックがベースプレートの上面に設けられているので、例えば、ガイドレール及び一対のガイドブロックがベースプレートの下面にネジ止めによって固定される場合と比較して、被搬送物の落下を防止するための修理やメンテナンスの必要を少なくすることができる。
【００１２】
更に、本発明によれば、一対の把持部によって被搬送物を把持して、被搬送物を吊り下げ状態とした場合に、被搬送物の重量や搬送中の振動によって、ベースプレートからガイドレールが外れてしまったり、ガイドレールからガイドブロックが外れてしまったり、或いは、ガイドブロックから把持部が外れてしまったりして、被搬送物が落下してしまうことを低減或いは防止できる。従って、フェールセーフ化を図ることが可能となる。
【００１３】
即ち、本発明によれば、ガイドレール及び一対のガイドブロックは、ベースプレートの上面に設けられているので、一対の把持部によって被搬送物を把持して、被搬送物を吊り下げ状態とした場合には、ガイドレールには、把持部及びガイドブロックを介して被搬送物の重量に応じた力が、ガイドレールの上面側からベースプレートに向かって働き、また、ガイドブロックには、把持部を介して被搬送物の重量に応じた力が、ガイドブロックの上面側からガイドレールに向かって働く。よって、被搬送物の重量によって、ベースプレートからガイドレールが外れてしまったり、ガイドレールからガイドブロックが外れてしまったりすることを確実に低減或いは防止できる。ここで、仮に、何らの対策も施さず、ガイドレールがベースプレートの下面に固定され、該ガイドレールに移動可能に係合された一対のガイドブロックの下面に一対の把持部が固定される場合には、ガイドレールには、被搬送物の重量に応じた力が、ガイドレールをベースプレートから離すように働き、また、ガイドブロックには、被搬送物の重量に応じた力が、ガイドブロックをガイドレールから離すように働いてしまう。この結果、被搬送物が落下してしまうおそれがある。
【００１４】
更に、本発明では、一対の把持部の各々は、ガイドブロックの上面に固定された水平部分を有するので、一対の把持部によって被搬送物を把持して、被搬送物を吊り下げ状態とした場合には、水平部分には、爪部部分及び垂直部分を介して被搬送物の重量に応じた力が、水平部分をガイドブロックに押し当てるように働く。よって、被搬送物の重量によって、ガイドブロックから把持部が外れてしまうことを低減或いは防止できる。
【００１５】
以上説明したように、本発明に係るグリッパ装置によれば、被搬送物の落下を防止するための修理やメンテナンスの必要を少なくすることができる。更に、フェールセーフ化を図ることも可能となる。
【００１６】
本発明に係る搬送車のグリッパ装置の一態様では、前記切欠部は、前記ガイドレールの両側に前記ガイドレールが延びる方向に沿って形成された一対の貫通溝であり、前記垂直部分は、前記一対の貫通溝内を前記ガイドレールが延びる方向に沿って移動可能に設けられた一対の板状体からなる。
【００１７】
この態様によれば、把持部の垂直部分が一対の板状体からなるので、把持部の小型化或いは軽量化を図ると共に把持部の強度を向上させることができる。
【００１８】
本発明に係る搬送車のグリッパ装置の他の態様では、前記ベースプレートの上面に設けられ、前記ガイドブロックを駆動する駆動部を更に備える。
【００１９】
この態様によれば、ガイドブロックを駆動する例えばモータ等を含んでなる駆動部が、ガイドレール及び一対のガイドブロックと同様に、ベースプレートの上面に設けられるので、当該グリッパ装置の小型化を図ることが可能となる。
【００２０】
本発明に係る搬送車は上記課題を解決するために、天井に敷設された軌道に沿って走行する搬送車であって、上述した本発明に係るグリッパ装置（但し、その各種態様を含む）と、該グリッパ装置を巻き上げ及び巻き下げする昇降装置とを備える。
【００２１】
本発明に係る搬送車によれば、上述した本発明に係るグリッパ装置を備えるので、被搬送物の落下を防止するための修理やメンテナンスの必要が少なくすることができる。更に、フェールセーフ化を図ることも可能となる。
【００２２】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する発明を実施するための形態から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】第１実施形態に係るグリッパ装置を備える搬送車の全体構成を示す側面図である。
【図２】第１実施形態に係るグリッパ装置の構成を示す断面図（把持状態）である。
【図３】第１実施形態に係るグリッパ装置の構成を示す断面図（解放状態）である。
【図４】第１実施形態に係るグリッパ装置の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００２５】
＜第１実施形態＞
第１実施形態に係るグリッパ装置について、図１から図４を参照して説明する。
【００２６】
先ず、本実施形態に係るグリッパ装置を備える搬送車の全体構成について、図１を参照して説明する。
【００２７】
図１は、第１実施形態に係るグリッパ装置を備える搬送車の全体構成を示す側面図である。
【００２８】
図１において、搬送車１０は、半導体製造工場等の施設における天井に敷設された軌道１に沿って走行し、半導体ウェハ等が収容されたＦＯＵＰ９００を吊り下げ状態で搬送する天井走行式無人搬送車（ＯＨＴ）である。尚、ＦＯＵＰ９００は、本発明に係る「被搬送物」の一例である。
【００２９】
搬送車１０は、走行部１１と、走行部１１内に設けられた昇降部１２と、ベルト１３と、グリッパ装置１００とを備えている。尚、グリッパ装置１００は、本発明に係る「搬送車のグリッパ装置」の一例である。昇降部１２は、本発明に係る「昇降装置」の一例である。
【００３０】
走行部１１は、軌道１に吊り下げられる形で取り付けられており、リニアモータによって駆動されることにより軌道１に沿って走行する。
【００３１】
昇降部１２は、走行部１１内に設けられており、ベルト１３を介して繋がっているグリッパ装置１００を昇降させることが可能に構成されている。具体的には、昇降部１２は、ベルト１３の一端に固定された巻き取り軸と、この巻き取り軸を回転させるモータとを有している。昇降部１２は、モータによって巻き取り軸を回転させることにより、ベルト１３を一端から巻き取り又は巻き出すことで、ベルト１３の他端に固定されたグリッパ装置１００（より具体的には、図２を参照して後述するベースプレート１１０）を昇降させる。
【００３２】
グリッパ装置１００は、ＦＯＵＰ９００を把持するためのグリッパ装置であり、本発明に係る「一対の把持部」の一例としての一対のチャック１４０を備えている。グリッパ装置１００は、ＦＯＵＰ９００の上部のフランジ９１０を一対のチャック１４０によって把持することが可能に構成されている。
【００３３】
次に、本実施形態に係るグリッパ装置の構成について、図２から図４を参照して説明する。
【００３４】
図２及び図３は、本実施形態に係るグリッパ装置の構成を示す断面図である。図４は、本実施形態に係るグリッパ装置の構成を示す斜視図である。尚、図２及び図３は、ガイドレール１２０が延びる方向に沿う直線によって、ガイドレール１２０、一対のガイドブロック１３０及び一対のチャック１４０が含まれるように、グリッパ装置１００を切断した場合の断面図である。図２は、一対のチャック１４０が把持状態である場合を示しており、図３は、一対のチャック１４０が解放状態である場合を示している。図４は、グリッパ装置１００を斜め上方から見た場合の斜視図である。図４では、図２及び図３に示すケース１９０の図示を省略してある。
【００３５】
図２から図４において、グリッパ装置１００は、ベースプレート１１０と、ベースプレート１１０の上面１１０ｕに設けられたガイドレール１２０と、ガイドレール１２０に移動可能に係合された一対のガイドブロック１３０と、一対のガイドブロック１３０に固定された一対のチャック１４０と、これらを含む当該グリッパ装置１００の各種構成部品を収容するケース１９０とを備えている。
【００３６】
ベースプレート１１０は、平板状の部材であり、昇降部１２にベルト１３を介して繋がっており、昇降部１２によってベルト１３が巻き取られ又は巻き出されることにより、垂直方向（即ち、鉛直方向、図中、Ｚ方向）に昇降する。尚、後述するように、本実施形態では、ベースプレート１１０には、ガイドレール１２０の両側に一対の貫通溝１１１（図４参照）が形成されている。
【００３７】
ガイドレール１２０は、ベースプレート１１０の上面１１０ｕに、一の方向（図中、Ｘ方向）に延びるように設けられた例えば金属からなるレールであり、後述する一対のガイドブロック１３０が移動可能に係合される。ガイドレール１２０は、一対のガイドブロック１３０の一方が係合する部分と、一対のガイドブロック１３０の他方が係合する部分との２つの部分を有している。
【００３８】
一対のガイドブロック１３０は、ガイドレール１２０に移動可能に係合する例えば金属からなるブロック状の部材である。ガイドブロック１３０は、ベースプレート１１０の上面１１０ｕに設けられた例えばモータを含んでなる駆動部１５０（図４参照）によって駆動されることにより、ガイドレール１２０上を移動することが可能に構成されている。
【００３９】
一対のチャック１４０は、一対のガイドブロック１３０に夫々固定されており、一対のガイドブロック１３０がガイドレール１２０に沿って互いに近づくように移動することによりＦＯＵＰ９００のフランジ９１０を把持する把持状態（即ち、図２に示す状態）となり、一対のガイドブロック１３０がガイドレール１２０に沿って互いに離れるように移動することによりＦＯＵＰ９００のフランジ９１０を解放する解放状態（即ち、図３に示す状態）となる。
【００４０】
一対のチャック１４０の各々は、ガイドブロック１３０の上面１３０ｕに固定され、ベースプレート１１０の上面１１０ｕに沿って延在する水平部分１４１と、水平部分１４１からベースプレート１１０より下方まで延在する垂直部分１４２と、垂直部分１４２の下端側からベースプレート１１０の中央に向かって延在する爪部分１４３とを有している。このように、一対のチャック１４０の各々は、水平部分１４１、垂直部分１４２及び爪部分１４３を有することにより、略コの字状或いは略Ｕ字状の断面形状を有している。図４に示すように、垂直部分１４２は、ベースプレート１１０におけるガイドレール１２０の両側に形成された一対の貫通溝１１１内を移動可能に設けられた一対の板状体からなる。
【００４１】
このように構成されたグリッパ装置１００によれば、ガイドレール１２０及び一対のガイドブロック１３０がベースプレート１１０の上面１１０ｕに設けられているので、例えば、ガイドレール１２０及び一対のガイドブロック１３０がベースプレート１１０の下面１１０ｄにネジ止めによって固定される場合と比較して、ＦＯＵＰ９００の落下を防止するための修理やメンテナンスの必要を少なくすることができる。
【００４２】
更に、このように構成されたグリッパ装置１００によれば、一対のチャック１４０によってＦＯＵＰ９００のフランジ９１０を把持して、ＦＯＵＰ９００を吊り下げ状態とした場合に、ＦＯＵＰ９００の重量や搬送中の振動によって、ベースプレート１１０からガイドレール１２０が外れてしまったり、ガイドレール１２０からガイドブロック１３０が外れてしまったり、或いは、ガイドブロック１３０からチャック１４０が外れてしまったりして、ＦＯＵＰ９００が落下してしまうことを低減或いは防止できる。従って、フェールセーフ化を図ることが可能となる。
【００４３】
即ち、本実施形態では特に、ガイドレール１２０及び一対のガイドブロック１３０はベースプレート１１０の上面１１０ｕに設けられ、更に、一対のチャック１４０の各々は、ガイドブロック１３０の上面１３０ｕに固定されているので、一対のチャック１４０によってＦＯＵＰ９００のフランジ９１０を把持して、ＦＯＵＰ９００を吊り下げ状態とした場合には、ガイドレール１２０には、チャック１４０及びガイドブロック１３０を介してＦＯＵＰ９００の重量に応じた力が、ガイドレール１２０の上面側からベースプレート１１０に向かって働き、また、ガイドブロック１３０には、チャック１４０を介してＦＯＵＰ９００の重量に応じた力が、ガイドブロック１３０の上面１３０ｕ側からガイドレール１２０に向かって働く。よって、ＦＯＵＰ９００の重量によって、ベースプレート１１０からガイドレール１２０が外れてしまったり、ガイドレール１２０からガイドブロック１３０が外れてしまったりすることを確実に低減或いは防止できる。ここで、仮に、何らの対策も施さず、ガイドレール１２０がベースプレート１１０の下面１１０ｄに固定され、ガイドレール１２０に移動可能に係合した一対のガイドブロック１３０の下面に一対のチャック１４０が固定される場合には、ガイドレール１２０には、ＦＯＵＰ９００の重量に応じた力が、ガイドレール１２０をベースプレート１１０から離すように働き、また、ガイドブロック１３０には、ＦＯＵＰ９００の重量に応じた力が、ガイドブロック１３０をガイドレール１２０から離すように働いてしまう。このため、ＦＯＵＰ９００が落下してしまうおそれがある。このようなＦＯＵＰ９００の落下は、特に、ＦＯＵＰ９００が大重量化した場合や、例えばガイドレール１２０をベースプレート１１０に固定するネジが緩んでしまっている場合など各部材間の固定が弱くなっている場合に生じやすくなる。
【００４４】
更に、本実施形態では特に、一対のチャック１４０の各々は、ガイドブロック１３０の上面１３０ｕに固定された水平部分１４１を有するので、一対のチャック１４０によってＦＯＵＰ９００のフランジ９１０を把持して、ＦＯＵＰ９００を吊り下げ状態とした場合には、水平部分１４１には、爪部分１４３及び垂直部分１４２を介してＦＯＵＰ９００の重量に応じた力が、水平部分１４１をガイドブロック１３０に押し当てるように働く。よって、ＦＯＵＰ９００の重量によって、ガイドブロック１３０からチャック１４０が外れてしまうことを低減或いは防止できる。
【００４５】
以上説明したように、本実施形態に係るグリッパ装置１００によれば、ＦＯＵＰ９００の落下を防止するための修理やメンテナンスの必要を少なくすることができる。更に、フェールセーフ化を図ることも可能となる。
【００４６】
加えて、本実施形態では特に、上述したように、チャック１４０の垂直部分１４２が一対の板状体からなるので、チャック１４０の小型化或いは軽量化を図ると共にチャック１４０の強度を向上させることができる。
【００４７】
更に加えて、本実施形態では特に、上述したように、ガイドブロック１３０を駆動する駆動部１５０が、ガイドレール１２０及び一対のガイドブロック１３０と同様に、ベースプレート１１０の上面１１０ｕに設けられているので、当該グリッパ装置１００の小型化を図ることが可能となる。
【００４８】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送車のグリッパ装置、及び該グリッパ装置を備える搬送車もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００４９】
１０…搬送車、１１…走行部、１２…昇降部、１３…ベルト、１００…グリッパ装置、１１０…ベースプレート、１１１…貫通溝、１２０…ガイドレール、１３０…ガイドブロック、１４０…チャック、９００…ＦＯＵＰ
【図１】
0005585249.tif 000002
【図２】
0005585249.tif 000003
【図３】
0005585249.tif 000004
【図４】
0005585249.tif 000005