(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライダと、
前記スライダが固定されている第１の面を有するジンバルと、
前記ジンバルにおける前記第１の面の反対面に固定されているロード・ビームと、
前記ロード・ビームの後ろ側に固定されている可変プレートと、
前記可変プレートに固定されているピエゾ素子と、
前記ピエゾ素子の後ろ側において前記可変プレートに固定され、前記ピエゾ素子から離間しているベース・プレートと、
を有し、
前記可変プレートは、
少なくとも一部が貫通している穴と、
前記穴の前側にあり、前記ロード・ビームに固定されている、第１セクションと、
前記穴の後ろ側にあり、前記ベース・プレートに固定されている第２セクションと、
前記第１セクションと前記第２セクションとを結合し、前記ピエゾ素子の動きに応じて前後方向において変形可能であり、左右方向において前記穴を挟む位置にある、第１及び第２のバネ部と、を有し、
前記ピエゾ素子は、前記第１セクションと前記第２セクションとの間に固定されており、
前記ベース・プレートは、その前端において、前記ピエゾ素子を避けながら前記第１セクションに向かって張り出す張り出し部を有し、
前記張り出し部の前端は、前記穴の後端よりも前側に位置し、且つ、前記バネ部よりも後ろ側に位置している、
ヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項２】
前記ベース・プレートは、前記張り出し部を前記前端の左右それぞれに有する、
請求項１に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項３】
前記ピエゾ素子は、前記穴内に固定されている、
請求項１に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項４】
前記ロード・ビームと前記ジンバルの積層方向において見て、前記バネ部と前記ベース・プレートとは重なっていない、
請求項１に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項５】
前記張り出し部の左右方向における外側端は、前記バネ部の前記左右方向における外側よりも外側に位置する、
請求項１に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項６】
前記張り出し部の前端は、前記ピエゾ素子の後端よりも前側に位置する、
請求項１に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項７】
前記ベース・プレートは左右対称の形状を有する、
請求項１に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項８】
前記張り出し部の左右方向における外側端の少なくとも一部は、前記可変プレートにおける前記一部と重なる部分よりも、外側に突出している、
請求項１に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項９】
前記ベース・プレートと前記可変プレートとの固定点は、前記穴の後端とスエージ孔の前端との間の中心よりも前側にある、
請求項１に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッド・ジンバル・アセンブリに関し、特に、ピエゾ素子を有するヘッド・ジンバル・アセンブリの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスク・ドライブ装置として、光ディスク、光磁気ディスク、あるいはフレキシブル磁気ディスクなどの様々な態様の記録ディスクを使用する装置が知られているが、その中で、ハードディスク・ドライブ（ＨＤＤ）は、コンピュータの記憶装置として広く普及し、現在のコンピュータ・システムにおいて欠かすことができない記憶装置の一つとなっている。この他、動画像記録再生装置、カーナビゲーション・システム、あるいは携帯電話など、ＨＤＤの用途は、その優れた特性により益々拡大している。
【０００３】
ＨＤＤで使用される磁気ディスクは、同心円状に形成された複数のデータ・トラックと複数のサーボ・トラックとを有している。各データ・トラックには、ユーザ・データを含む複数のデータ・セクタが記録されている。各サーボ・トラックはアドレス情報を有する。サーボ・トラックは、円周方向において離間して配置された複数のサーボ・データによって構成されており、各サーボ・データの間に１もしくは複数のデータ・セクタが記録されている。ヘッド素子部がサーボ・データのアドレス情報に従って所望のデータ・セクタにアクセスすることによって、データ・セクタへのデータ書き込み及びデータ・セクタからのデータ読み出しを行うことができる。
【０００４】
ヘッド素子部はスライダ上に形成されており、さらにそのスライダはアクチュエータのサスペンション上に固定されている。アクチュエータとヘッド・スライダのアセンブリを、ヘッド・スタック・アセンブリ（ＨＳＡ）と呼ぶ。また、サスペンションとヘッド・スライダのアセンブリを、ヘッド・ジンバル・アセンブリ（ＨＧＡ）と呼ぶ。磁気ディスクに対向するスライダ浮上面と回転している磁気ディスクとの間の空気の粘性による圧力が、サスペンションによって磁気ディスク方向に加えられる圧力とバランスすることによって、ヘッド・スライダは磁気ディスク上を浮上することができる。アクチュエータが揺動軸において揺動することによって、ヘッド・スライダを目的のトラックへ移動すると共に、そのトラック上に位置決めする。
【０００５】
磁気ディスクのＴＰＩ（Track Per inch）の増加に従い、ヘッド・スライダの位置決め精度の向上が求められている。しかし、ボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）によるアクチュエータの駆動は、その位置決め精度に限界が存在する。そのため、ロータリ・アクチュエータに小型のアクチュエータ（微動アクチュエータ）を実装し、より精細な位置決めを行う二段アクチュエータの技術が提案されている。
【０００６】
好ましい微動アクチュエータの一つとして、サスペンション上に固定されたピエゾ素子によりヘッド・スライダを微動する機構がある（例えば、特許文献１を参照）。このような微動アクチュエータは、ジンバル・タング、ロード・ビームあるいはベース・プレート上に固定された一つもしくは複数のピエゾ素子を有している。微動アクチュエータは、ピエゾ素子の伸縮によってヘッド・スライダを直接に、あるいは、サスペンションの一部を動かして、ヘッド・スライダの半径方向における高精度の位置決めを実現する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−３０７４４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
サスペンションの設計において、剛性を上げてその共振周波数を高くすることが重要である。これは、ピエゾ素子を実装するサスペンションにおいても同様である。一方、ピエゾ素子が実装されているサスペンションにおいては、ピエゾ素子の動き及びそれに伴うサスペンションの動き（変形）を妨げないことが重要である。従って、ヘッド・スライダの位置決めに使用するピエゾ素子が実装されているヘッド・ジンバル・アセンブリにおいて、ピエゾ素子の伸縮動作によるヘッド・スライダの位置決めを阻害することなく、サスペンションの剛性を上げることができるＨＧＡ構造が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様のヘッド・ジンバル・アセンブリは、スライダと、前記スライダが固定されている第１の面を有するジンバルと、前記ジンバルにおける前記第１の面の反対面に固定されているロード・ビームと、前記ロード・ビームの後ろ側に固定されている可変プレートと、前記可変プレートに固定されているピエゾ素子と、前記ピエゾ素子の後ろ側において前記可変プレートに固定され、前記ピエゾ素子から離間しているベース・プレートとを有する。前記可変プレートは、少なくとも一部が貫通している穴と、前記前記穴の前側にあり、前記ロード・ビームに固定されている、第１セクションと、前記穴の後ろ側にあり、前記ベース・プレートに固定されている第２セクションと、前記第１セクションと前記第２セクションとを結合し、前記ピエゾ素子の動きに応じて前後方向において変形可能であり、左右方向において前記穴を挟む位置にある、第１及び第２のバネ部と、を有する。前記ピエゾ素子は、前記第１セクションと前記第２セクションとの間に固定されている。前記ベース・プレートは、その前端において、前記ピエゾ素子を避けながら前記第１セクションに向かって張り出す張り出し部を有する。前記張り出し部の前端は、前記穴の後端よりも前側に位置する。この構成により、ピエゾ素子の伸縮に応じたサスペンションの動きを阻害することなく、サスペンションの剛性を上げることができる。
【００１０】
好ましい構成において、前記ベース・プレートは、前記張り出し部を前記前端の左右それぞれに有する。この構成により、サスペンションのバランスを維持しつつ、サスペンションの剛性を上げることができる。
好ましい構成において、前記ピエゾ素子は、前記穴内に固定されている。これにより、シンプルな構成で、所望位置にピエゾ素子を固定することができ、接着剤の付着領域を制限することができる。
【００１１】
好ましい構成において、前記ロード・ビームと前記ジンバルの積層方向において見て、前記バネ部と前記ベース・プレートとは重なっていない。これにより、バネ部とベース・プレートの接触によるバネ部の破損の可能性を大きく低減できる。
【００１２】
好ましい構成において、前記張り出し部の前端は、前記バネ部よりも後ろ側に位置している。これにより、バネ部とベース・プレートの接触によるバネ部の破損の可能性を大きく低減し、また、サスペンションの質量が大きくなりすぎることを避けることができる。
好ましい構成において、前記張り出し部の左右方向における外側端は、前記バネ部の前記左右方向における外側よりも外側に位置する。これにより、張り出し部がバネ部を保護する働きを示す。
【００１３】
好ましい構成において、前記張り出し部の前端は、前記ピエゾ素子の後端よりも前側に位置する。これにより、サスペンションの剛性を上げることができる。
好ましい構成において、前記ベース・プレートは左右対称の形状を有する。この構成により、サスペンションのバランスを維持しつつ、サスペンションの剛性を上げることができる。
【００１４】
好ましい構成において、前記張り出し部の左右方向における外側端の少なくとも一部は、前記可変プレートにおける前記一部と重なる部分よりも、外側に突出している。これにより、ヘッド・ジンバル・アセンブリの製造におけるサスペンションの位置決めや保持を容易に行うことができる。
【００１５】
好ましい構成において、前記ベース・プレートと前記可変プレートとの固定点は、前記穴の後端とスエージ孔の前端との間の中心よりも前側にある。これにより、サスペンションの剛性を上げることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ピエゾ素子の伸縮に応じたサスペンションの動きを阻害することなく、サスペンションの剛性を上げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本実施形態のＨＤＤの筐体のカバーがない状態を示す平面図である。
【図２】本実施形態のＨＧＡの構成を模式的に示す分解斜視図である。
【図３】本実施形態のＨＧＡの構成を模式的に示す平面図である。
【図４】本実施形態のＨＧＡにおいて、ピエゾ素子、可変プレート、そしてベース・プレートの構造を模式的に示す平面図である。
【図５】本実施形態のＨＧＡにおいて、可変プレートとベース・プレートの構造を模式的に示す平面図である。
【図６】本実施形態のＨＧＡにおいて、可変プレートとベース・プレートの構造を模式的に示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に、本発明の好ましい実施の形態を説明する。説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略及び簡略化がなされている。又、各図面において、同一要素には同一の符号が付されており、説明の明確化のため、必要に応じて重複説明は省略されている。本実施形態においては、ディスク・ドライブの一例として、ハードディスク・ドライブ（ＨＤＤ）について説明する。
【００１９】
本形態のＨＤＤは、ボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）による位置決め機構とサスペンション上の一つもしくは複数のピエゾ素子による位置決め機構（微動アクチュエータ）を有する二段アクチュエータを備えている。ピエゾ素子は、サスペンション上に固定されている。ピエゾ素子の伸縮に伴いサスペンションが変形し、ヘッド・スライダがディスク半径方向において微動する。
【００２０】
本形態のサスペンションは、ロード・ビームに固定された可変プレートと、その可変プレートに固定されているベース・プレートとを有している。ピエゾ素子は可変プレート上に固定されている。ピエゾ素子の伸縮動作と共に可変プレートが変形し、それにより、ロード・ビームがディスク半径方向において動く。ロード・ビームと共にそれに固定されているジンバル、そしてジンバル上のヘッド・スライダが、ディスク半径方向において微動する。
【００２１】
本形態のサスペンションは、可変プレートとベース・プレートの構造に特徴を有している。ベース・プレートの形状を、可変プレートの形状に合わせて適切に設計することで、ピエゾ素子の伸縮に伴う可変プレートの変形を阻害することなく、サスペンションの剛性を上げることができる。これによりサスペンションの共振周波数を高くして、ヘッド・スライダの位置決め精度を向上することができる。
【００２２】
本形態のサスペンション構造について具体的な説明を行う前に、図１を参照して、ＨＤＤの全体構成について説明を行う。ＨＤＤ１の機構的構成要素は、ベース１０２内に収容されている。ベース１０２内の各構成要素の制御は、ベース外に固定された回路基板上の制御回路が行う。ＨＤＤ１は、データを記憶するディスクである磁気ディスク１０１と、磁気ディスク１０１にアクセス（リードあるいはライト）するヘッド・スライダ１０５を有している。ヘッド・スライダ１０５は、ユーザ・データの磁気ディスク１０１への書き込み及び／又は読み出しを行うヘッド素子部と、そのヘッド素子部がその面上に形成されているスライダとを備えている。
【００２３】
アクチュエータ１０６は、ヘッド・スライダ１０５を支持し、揺動軸１０７を中心に揺動することで、回転している磁気ディスク１０１上でヘッド・スライダ１０５を移動する。駆動機構としてのボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）１０９は、アクチュエータ１０６を駆動する。
【００２４】
アクチュエータ１０６は、ヘッド・スライダ１０５が配置された長手方向におけるその先端部から、サスペンション１１０、アーム１１１及びボイス・コイル１１３の結合された各構成部材を備えている。サスペンション１１０とヘッド・スライダ１０５のアセンブリを、ヘッド・ジンバル・アセンブリ（ＨＧＡ）と呼ぶ。また、アクチュエータ１０６とヘッド・スライダ１０５のアセンブリを、ヘッド・スタック・アセンブリ（ＨＳＡ）と呼ぶ。
【００２５】
ベース１０２に固定されたスピンドル・モータ（ＳＰＭ）１０３は、所定の角速度で磁気ディスク１０１を回転する。磁気ディスク１０１に対向するスライダの浮上面と回転している磁気ディスク１０１との間の空気の粘性による圧力が、サスペンション１１０によって磁気ディスク１０１方向に加えられる圧力とバランスすることによって、ヘッド・スライダ１０５は磁気ディスク１０１上を浮上する。ヘッド・スライダ１０５の信号は、揺動軸１０７の近くにあるアーム・エレクトロニクス（ＡＥ）１８１により増幅される。ＡＥ１８１は、基板１８２上に実装されている。
【００２６】
ヘッド・スライダ１０５による非アクセス時、アクチュエータ１０６は、磁気ディスク１０１の外側にあるランプ１０４上で停止している。本発明は、ランプ１０４を有しておらず、非アクセス時にアクチュエータ１０６がディスク内周領域あるいはディスク外周領域に移動するＨＤＤ及びそのＨＧＡにも適用することができる。
【００２７】
本明細書のＨＳＡ及びＨＧＡの説明において、揺動軸１０７に垂直で、揺動軸１０７とヘッド・スライダ１０５との各中心を結ぶ方向を前後方向と呼ぶ。この方向は、磁気ディスク１０１の記録面に水平な方向である。さらに、ヘッド・スライダ１０５が固定されている位置を、揺動軸１０７の位置に対して、前側とする。アクチュエータ１０６において、サスペンション１１０はアーム１１１の前に固定され、ボイス・コイル１１３はアーム１１１の後に位置する。
【００２８】
揺動軸１０７に平行な方向を上下方向と呼ぶ。上下方向は、記録面の法線方向である。アクチュエータ１０６が複数のＨＧＡを有する構成において、複数のＨＧＡは上下方向に配列されている。サスペンション１１０と磁気ディスク１０１との間にヘッド・スライダ１０５が位置する。ＨＧＡに着目したとき、ヘッド・スライダ１０５に対して、サスペンション１１０が上側に位置すると定義する。また、揺動軸１０７及び上記前後方向に垂直な方向を、左右方向と呼ぶ。揺動軸１０７におけるアクチュエータ１０６の揺動方向は、左右方向である。
【００２９】
図２は、本形態のＨＧＡ２００の構成を示す分解斜視図である。ＨＧＡ２００は、サスペンション１１０とヘッド・スライダ１０５を有している。サスペンション１１０は、ジンバル２０２、ロード・ビーム２０３、可変プレート２０４、そしてベース・プレート２０５を有している。可変プレート２０４に形成されている穴２４１内に、ピエゾ素子２０６が固定されている。
【００３０】
ジンバル２０２の磁気ディスク対向面上にヘッド・スライダ１０５が固定される。典型的には、ヘッド・スライダ１０５は接着剤でジンバル２０２に固定される。ロード・ビーム２０３の磁気ディスク対向面上にジンバル２０２が固定されている。典型的には、ジンバル２０２は、ロード・ビーム２０３にレーザ・スポット溶接で固定される。ジンバル２０２において、ヘッド・スライダ１０５が固定される面の反対面に、ロード・ビーム２０３が固定される。
【００３１】
上記の方向定義に従えば、ジンバル２０２の上面にロード・ビーム２０３が固定され、下面にヘッド・スライダ１０５が固定される。ジンバル２０２（後方に延びるテール部２２１を含む）の上に伝送配線２０１が形成されている。伝送配線２０１は、ＦＰＣ構造を有する。伝送配線２０１は、ジンバル２０２上において、ヘッド・スライダ１０５と同じ面に固定されている。伝送配線２０１は、リード信号やライト信号の他、ピエゾ素子２０６を駆動制御する信号を伝送する。
【００３２】
ロード・ビーム２０３の後ろ側に、可変プレート２０４が固定される。図２の構成例では、ロード・ビーム２０３の後端は、可変プレート２０４に固定される。本構成例において、ロード・ビーム２０３の上面に、可変プレート２０４が固定される。可変プレート２０４はロード・ビーム２０３のいずれの面に固定されてもよい。典型的には、可変プレート２０４はロード・ビーム２０３に、レーザ・スポット溶接で固定される。
【００３３】
可変プレート２０４には、ベース・プレート２０５が固定される。本構成例においては、可変プレート２０４の上面に、ベース・プレート２０５が固定される。ベース・プレート２０５は、可変プレート２０４の下面に固定されてもよい。ベース・プレート２０５は、スエージ孔２５１を有している。典型的には、ベース・プレート２０５は、可変プレート２０４に、レーザ・スポット溶接で固定される。
【００３４】
ベース・プレート２０５は、スエージ孔２５１を有している。スエージ孔２５１は、ＨＧＡ２００をアーム１１１に固定するための孔である。かしめ固定において、スエージ孔２５１に球を通すことによりスエージ孔２５１の周囲の部分を変形し、ベース・プレート２０５、つまりＨＧＡ２００をアーム１１１に固定する。可変プレート２０４も、スエージ孔２５１と重なる穴２４１を有している。穴２４１は、スエージ孔２５１よりも大きい。これは、かしめ加工において球を通すための孔であり、可変プレート２０４はかしめにおいて実質的の変形することなく、固定には実質的に寄与しない。
【００３５】
ロード・ビーム２０３は、精密な薄板バネとして機能し、好ましくはステンレス鋼（ＳＵＳ）で形成される。ロード・ビーム２０３は、そのバネ性によりヘッド・スライダ１０５への荷重を発生させる。ジンバル２０２は、好ましくはステンレス鋼（ＳＵＳ）で形成される。ジンバル２０２の剛性はロード・ビーム２０３よりも低い。ジンバル２０２はヘッド・スライダ１０５を支持すると共に、自由に傾くことによってヘッド・スライダ１０５の姿勢制御に寄与する。
【００３６】
可変プレート２０４及びベース・プレート２０５も、同様に、好ましくはステンレス鋼（ＳＵＳ）で形成される。ステンレス鋼は、他の材料に比較してヤング率が高く、表面に不動態膜が形成されることで錆が発生しないことから、サスペンションの材料として好ましい材料である。
【００３７】
可変プレート２０４は、ロード・ビーム２０３の後端に固定される。可変プレート２０４はピエゾ素子２０６の動きと共に変形して、ロード・ビーム２０３を左右方向（ディスク半径方向）に振る。ロード・ビーム２０３の動きと共に、そこにジンバル２０２を介して固定されているヘッド・スライダ１０５がディスク半径方向において微動する。ピエゾ素子２０６と、サスペンション１１０においてピエゾ素子２０６の動きと共に変形することでヘッド・スライダ１０５を動かす部分とが、微動アクチュエータを構成する。
【００３８】
本構成において、ピエゾ素子２０６は、二つのセクション２６１ａ、２６１ｂを有している。セクション２６１ａ、２６１ｂは、それぞれ前後方向に伸縮する。セクション２６１ａ、２６１ｂは逆に分極されている。つまり、それらの分極軸は平行であり、その分極方向が逆である。セクション２６１ａ、２６１ｂには同一の駆動電圧が与えられ、逆方向において伸縮する。ピエゾ素子２０６のこの動きにより可変プレート２０４が変形して、その前端が左右方向において動く。
【００３９】
ピエゾ素子２０６には、伝送配線２０１上の１本の駆動信号線に接続されている。同一の駆動信号がセクション２６１ａ、２６１ｂに与えられ、セクション２６１ａ、２６１ｂは、同一に駆動信号に従って、互いに逆の伸縮動作を示す。本構成においては、１ピースのピエゾ素子２０６が二つのセクション２６１ａ、２６１ｂを有しているが、これら二つのセクションを異なるピースのピエゾ素子で形成してもよい。本発明は、ＨＧＡに実装するピエゾ素子の数を限定しない。
【００４０】
図３は、ＨＧＡ２００の構成を模式的に示す平面図である。図３において、左側の図はＨＧＡ２００を上側（ロード・ビーム側）から見た図であり、右側の図はＨＧＡ２００を下側（ヘッド・スライダ側）から見た図である。本構成のＨＧＡは、ランプ・ロード・アンロード用のＨＧＡであり、ロード・ビーム２０３はその前端に、ランプ１０４上を摺動するマージ・リップ２３１を有している。アクチュエータ１０６の待機位置が磁気ディスク１０１の内周あるいは外周領域上にあるＨＤＤにおいては、ロード・ビームはマージ・リップを有していない。本構成において、ＨＧＡ２００は、後方に延びるジンバル２０２のテール部２２１及びその上の伝送配線２０１を除き、左右対称の形状を有している。本発明は、左右非対称の形状を有するＨＧＡに適用することができる。
【００４１】
本形態のＨＧＡ２００は、可変プレート２０４及びベース・プレート２０５に特徴を有している。図４は、可変プレート２０４及びベース・プレート２０５を含む部分の拡大図であって、図３に示すＨＧＡ２００において破線で示す円内の部分の拡大図である。上側の図は、上側から見たＨＧＡ２００の部分的拡大図であり、図３の左側図における破線園内の部分の拡大図である。下側の図は、ＨＧＡ２００のディスク対向面における部分的拡大図であり、図３の右側図における破線園内の部分の拡大図である。
【００４２】
ピエゾ素子セクション２６１ａ、２０６ｂは、可変プレート２０４に形成されている穴２４１内において、左右方向に一列となって並んでいる。典型的には、ピエゾ素子２０６は、穴２４１内において、可変プレート２０４に接着剤で固定されている。図５は、可変プレート２０４と、その上に固定されているベース・プレート２０５とを示す平面図であり、ベース・プレート２０５側から見た図である。図５において、破線矩形は、穴２４１内に固定されるピエゾ素子２０６を示している。
【００４３】
穴２４１内には、ステージ２４２が形成されている。穴２４１内におけるステージ２４２の面（上面）は、可変プレート２０４の最上面と最下面との間の高さ位置にある。本構成例においては、ステージ２４２は６つのセクションに分割されている。ステージ２４２は、最上面にはベース・プレート２０５が固定され、最下面にはロード・ビーム２０３が固定されている。穴２４１及びステージ２４２は、エッチングにより形成することができる。穴２４１の内側壁の一部から突出している。穴２４１の一部が貫通しており、穴２４１内に貫通孔２４３が形成されている。
【００４４】
ピエゾ素子２０６は、穴２４１内において、ステージ２４２の上に載せられ、接着剤により穴２４１内で固定される。接着剤は、ステージ２４２にピエゾ素子２０６を接着する他、典型的には、穴２４１の内側壁にも接着する。ピエゾ素子２０６を穴２４１内に固定することができるのであれば、ステージ２４２の形状を特に限定するものではなく、また、ステージ２４２を形成しなくともよい。あるいは、ピエゾ素子２０６を、穴２４１の外において、可変プレート２０４の上面あるいは下面に固定してもよい。しかし、接着剤の流れを防ぎ、所望位置において接着剤を固化させるには、ピエゾ素子２０６を、穴２４１内のステージ２４２上で固定することが好ましい。
【００４５】
本構成例において、上下方向、つまり、可変プレート２０４とベース・プレート２０５の積層方向において見た場合、ピエゾ素子２０６は、貫通孔２４３の一部４３１を塞いでおり、貫通孔２４３の一部４３２ａ、４３２ｂは露出している。ピエゾ素子２０６の左右両側において、貫通孔２４３のスリット状の一部４３２ａ、４３２ｂが露出している。本例においては、貫通孔の部分４３１の前後方向のける長さは、貫通孔の部分４３２ａ、４３２ｂよりも大きい。孔４３２ａの左側及び孔４３２ｂの右側のそれぞれは、バネ部４３３ａ、４３３ｂで塞がれている。可変プレート２０４がピエゾ素子２０６の伸縮動作により所望の変形を行うことができるのであれば、ピエゾ素子２０６と貫通孔２４３との位置関係は、特に限定されない。また、貫通孔の部分４３１、４３２ａ、４３２ｂは、他の形状を有してもよい。
【００４６】
可変プレート２０４は、穴２４１を挟んで、前側の第１セクション４３４と後ろ側の第２セクション４３５とを有している。さらに、バネ部４３３ａ、４３３ｂは、第１セクション４３４と第２セクション４３５とを結合している。バネ部４３３ａ、４３３ｂは、ピエゾ素子２０６の伸縮に応じて変形し、可変プレート２０４の前端及びロード・ビーム２０３の、左右方向における傾きを実現する。
【００４７】
穴２４１内において、第１セクション４３４の後端にステージ２４２の一部が形成されており、第２セクション４３５の前端にステージ２４２の他の一部が形成されている。第１セクション４３４と第２セクション４３５とは、貫通孔２４３により、前後方向において分離されている。ピエゾ素子２０６の伸縮により、第１セクション４３４が、アーム１１１に固定される第２セクション４３５に対して左右に傾くことで、ロード・ビーム２０３及びヘッド・スライダ１０５をディスク半径方向において動かす。
【００４８】
バネ部４３３ａ、４３３ｂは、穴２４１を左右方向において挟む位置にある。バネ部４３３ａ、４３３ｂは、バネ特性を有し、ピエゾ素子２０６の伸縮動作に対して最も剛性が小さい部分である。好ましい本構成例において、バネ部４３３ａ、４３３ｂは、屈曲したＵ字状部分であって、可変プレート２０４の外側に向かって突き出ている。具体的には、バネ部４３３ａは左側、バネ部４３３ｂは右側に突き出ている。形成が容易であり、また、好ましいバネ特性を示す本形状は、バネ部の好ましい形状の一つである。この形状の他、バネ部は、Ｖ字状、Ｗ字状、Ｓ字状、あるいはこれらが前後方向において連続する形状など、バネ性を示す他の形状を有することができる。
【００４９】
ベース・プレート２０５は、ピエゾ素子２０６及び穴２４１の後ろ側において、可変プレート２０４の第２セクション４３５上に固定されている。ベース・プレート２０５は、ピエゾ素子２０６に接触することなく、また、穴２４１と重なることなく、それらから離間している。ベース・プレート２０５は、ピエゾ素子２０６の動作及び可変プレート２０４の変形を阻害しなければ、穴２４１の一部と重なっていてもよい。しかし、ピエゾ素子２０６が穴２４１に接着剤で固定される点及び製造較差を考慮すれば、ベース・プレート２０５は穴２４１の外側にあって、それと重ならないことが好ましい。
【００５０】
ベース・プレート２０５は、前端において、左右の張り出し部２５２ａ、２５２ｂを有している。好ましい本構成において、張り出し部２５２ａ、２５２ｂは、左右方向において線対称の形状を有している。これらは、非対称の形状を有していてもよい。張り出し部２５２ａ、２５２ｂは、ピエゾ素子２０６を避けながら第１セクション４３４（前方）に向かって張り出している。張り出し部２５２ａ、２５２ｂの前端５２１ａ、５２１ｂは、穴２４１の後端４１１の位置よりも前に位置している。このような形状を有する張り出し部２５２ａ、２５２ｂにより、サスペンション１１０の剛性が高まり、共振周波数を高くすることができる。
【００５１】
図５に例示するように、好ましい構成において、張り出し部２５２ａ、２５２ｂの前端５２１ａ、５２１ｂは、ピエゾ素子２０６の後端２６３よりも前に位置する。これにより、サスペンション１１０の剛性をさらに高めることができる。前方の張り出す張り出し部２５２ａ、２５２ｂが、バネ部４３３ａ、４３３ｂの動作を阻害しないようにすることが重要である。また、外部からの衝撃により、ロード・ビーム２０３が上下方向に振れ、バネ部４３３ａ、４３３ｂが上下方向において変形することがある。このとき、張り出し部２５２ａ、２５２ｂがバネ部４３３ａ、４３３ｂと接触すると、バネ部４３３ａ、４３３ｂが破損することが考えられる。
【００５２】
そのため、張り出し部２５２ａ、２５２ｂ（ベース・プレート２０５）は、ロード・ビーム２０３とジンバル２０２の積層方向（上下方向）において見て、バネ部４３３ａ、４３３ｂとは重なっていないことが好ましい。また、サスペンション重量の点から、大きすぎる張り出し部は好ましくないことから、張り出し部２５２ａ、２５２ｂの前端５２１ａ、５２１ｂは、バネ部４３３ａ、４３３ｂの後端３３１ａ、３３１ｂよりも後ろに位置していることが好ましい。
【００５３】
本構成例において、張り出し部２５２ａ、２５２ｂの前端５２１ａ、５２１ｂは左右方向に延びるフラットな面である。しかし、前端５２１ａ、５２１ｂは、他の形状を有することができる。例えば、前端は、上から見て、屈曲する形状を有していてもよい。張り出し部がいずれの形状を有する場合であっても、その前端位置（最前位置）が、上記条件を満足することが好ましい。
【００５４】
張り出し部２５２ａ、２５２ｂの間におけるベース・プレート２０５の前端２５３は、可変プレート２０４の穴２４１の後端４１１の後ろにある。前端２５３は、前後方向において後端４１１と対向している。上述のように、ベース・プレート２０５は、穴２４１の外側にあることが好ましく、前端２５３はこの条件の位置にある。
【００５５】
張り出し部２５２ａ、２５２ｂは、左右方向において見て、穴２４１の一部及びピエゾ素子２０６の一部と重なっている。好ましい構成において、張り出し部２５２ａ、２５２ｂの外側端５２２ａ、５２２ｂは、バネ部４３３ａ、４３３ｂの外側端３３２ａ、３３２ｂよりも外側に位置する。つまり、図６において、張り出し部２５２ａの左端５２２ａは、バネ部４３３ａの左端３３２ａよりも外側に突出して左の位置にある。また、張り出し部２５２ｂの右端５２２ｂは、バネ部４３３ｂの右端３３２ｂよりも外側に突出して右の位置にある。これにより、張り出し部２５２ａ、２５２ｂは、バネ部４３３ａ、４３３ｂを、他の物との衝突から保護する働きをより効果的に発揮することができる。
【００５６】
図６は、可変プレート２０４と、その上に固定されているベース・プレート２０５とを示す平面図であり、可変プレート側（下側）から見た図である。図６に示す好ましい構成において、張り出し部２５２ａ、２５２ｂは、可変プレート２０４において張り出し部２５２ａ、２５２ｂに重なる部分よりも外側に突出している。具体的には、張り出し部２５２ａ、２５２ｂの左右方向における外側端５２２ａ、５２２ｂは、可変プレート２０４における外側端２４７ａ、２４７ｂよりも外側にある。
【００５７】
また、張り出し部２５２ａ、２５２ｂの前端５２１ａ、５２１ｂは、可変プレート２０４における上記部分の前端（外側端の一部）２４８ａ、２４８ｂよりも前側（外側）にある。本例において、前端５２１ａ、５２１ｂは、前端２４８ａ、２４８ｂとバネ部４３３ａ、４３３ｂとの間にある。
【００５８】
張り出し部２５２ａ、２５２ｂの左右方向における外側端５２２ａ、５２２ｂは、可変プレート２０４における外側端２４７ａ、２４７ｂよりも外側にあることで、外側端５２２ａ、５２２ｂを、ＨＧＡ２００のハンドリングやＨＳＡの製造における位置決めに利用することができる。
【００５９】
図６において、点４５１ａ〜４５１ｈは、可変プレート２０４とベース・プレート２０５とを固定するレーザ・スポット溶接点を示している。少ない溶接点でバランスよく可変プレート２０４とベース・プレート２０５とを固定するためには、それぞれの穴２４１、２５１を囲む円周上に溶接点が存在していることが好ましい。図６の好ましい構成例において、点４５１ａ〜４５１ｆは、穴２４１、２５１を囲む円周上に存在している。
【００６０】
さらに、張り出し部２５２ａ、２５２ｂによる剛性強化をより効果的に行うためには、上記円周上の固定点の他、本構成のように、それらよりも前に位置する固定点４５１ｇ、４５１ｈを形成することが好ましい。固定点４５１ｇ、４５１ｈの前後方向における位置は、穴２４１、２５１の前端と穴２４１（貫通孔２４３）の後端との間における前後方向における中心よりも前にあり、張り出し部２５２ａ、２５２ｂによる剛性強化をより効果的に行う。さらに、好ましい本構成において、固定点４５１ｇ、４５１ｈは、点４５１ａ〜４５１ｆよりも外側に位置する。固定点４５１ｇは点４５１ａ〜４５１ｆよりも左、固定点４５１ｈは点４５１ａ〜４５１ｆよりも右に位置する。
【００６１】
図５に戻って、ベース・プレート２０５は前側に張り出し部２５２ａ、２５２ｂを有し、後端２５６は、円弧（半円形）の形状を有している。後端２５６のこの形状は、ベース・プレート２０５つまりサスペンション１１０の重量を低減に寄与する。好ましい構成においては、張り出し部２５２ａ、２５２ｂのそれぞれが、上述の形状を有する。張り出し部２５２ａ、２５２ｂの一方のみが上述の形状を有する構成においても、その一方の張り出し部は、上述の効果を奏することができる。
【００６２】
以上、本発明を好ましい実施形態を例として説明したが、本発明が上記の実施形態に限定されるものではない。当業者であれば、上記の実施形態の各要素を、本発明の範囲において容易に変更、追加、変換することが可能である。例えば、本発明はＨＤＤに特に有用であるが、それ以外のディスク・ドライブに適用してもよい。本発明は、ヘッド・スライダがリード素子のみを有するディスク・ドライブに適用することができる。本発明の適用範囲は、サスペンションに実装されるピエゾ素子の数に限定されることはない。
【符号の説明】
【００６３】
１  ハードディスク・ドライブ、１０１  磁気ディスク、１０２  ベース１０４  ランプ
１０５  ヘッド・スライダ、１０６  アクチュエータ、１０７  揺動軸
１１０  サスペンション、１１１  アーム、１１３  ボイス・コイル
１８１  アーム・エレクトロニクス、１８２  基板、２０１  伝送配線
２０２  ジンバル、２０３  ロード・ビーム、２０４  可変プレート
２０５  ベース・プレート、２０６  ピエゾ素子、２２１  テール部
２３１  マージ・リップ、２４１  穴、２４１  可変プレーの孔
２４２  ステージ、２４３  貫通孔
２４７ａ、２４７ｂ  可変プレートにおいて張り出し部と重なる部分の外側端
２４８ａ、２４８ｂ  可変プレートにおいて張り出し部と重なる部分の前端
２５１  スエージ孔、２５２ａ、２５２ｂ  張り出し部
２５３  張り出し部の間における前端、２５６ベース・プレートの後端
２６１ａ、２６１ｂ  ピエゾ素子セクション、２６３  ピエゾ素子の後端
３３１ａ、３３１ｂ  バネ部の後端、３３２ａ、３３２ｂ  バネ部の外側端
４１１  穴の後端、４３１、４３２ａ、４３２ｂ  貫通孔の一部
４３３ａ、４３３ｂ  バネ部、４３４  可変プレートの前側セクション
４３５  可変プレートの後ろ側セクション、４５１ａ〜４５１ｈ  固定点
５２１ａ、５２１ｂ  張り出し部の前端、５２２ａ、５２２ｂ  張り出し部の外側端
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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