(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流通する流路を有したボディと、該ボディに設けられ圧力センサの配置されるセンサ室と、前記流路から前記センサ室まで延在した貫通孔とを備えた圧力検出器において、
前記貫通孔には、軸方向に沿って変位自在に設けられ、前記流体の圧力を前記圧力センサに対して伝達可能な圧力伝達体を備え、前記圧力伝達体の一端部が、前記貫通孔における前記流路側の端部まで延在し、前記流体に対して常に露出し、一方、前記圧力伝達体の他端部が前記圧力センサに対して直接当接すると共に、前記貫通孔と前記圧力センサの間には、前記センサ室と前記貫通孔との間の流体の流通を遮断するシール部材を備え、前記シール部材は、該シール部材の外周部及び前記ボディに臨む側面の少なくとも一部において、外方に向かって突出する環状突起部を有し、前記環状突起部が、前記シール部材の外周部において前記ボディと当接し、前記シール部材の内周部において前記ボディ及び前記圧力伝達体にそれぞれ当接することを特徴とする圧力検出器。
【請求項２】
請求項１記載の圧力検出器において、
前記シール部材は、中央部に前記圧力伝達体の挿入される孔部を有することを特徴とする圧力検出器。
【請求項３】
請求項１又は２記載の圧力検出器において、
前記圧力伝達体の他端部は、前記圧力センサ側に向かって凸状に膨出した曲面状に形成されることを特徴とする圧力検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路内を流通する流体の圧力を検出する圧力検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば、半導体製造、医療品及び医薬品製造、食品加工、並びに化学工業等の製造工程において、薬液や純水等の液体が使用されており、該液体を流通させるための配管に対して圧力検出器を接続し、該圧力検出器によって前記配管内を流通する流体の圧力の測定が行われている。
【０００３】
このような圧力検出器としては、例えば、特許文献１に開示されているように、腐食性流体の流通する流体流動回路に対して接続され、内部に設けられた圧力センサと前記腐食性流体の流通する孔部との間に円盤膜を設けることで前記圧力センサを前記腐食性流体に対して隔離し、前記圧力センサが直接流体に接触することを防止すると共に、前記円盤膜を介して伝達される圧力を前記圧力センサによって検出している。
【０００４】
また、特許文献２には、管継手の内部に圧力センサを内蔵した流体圧力センサが開示されており、前記圧力センサと流体の流通する流路との間にダイヤフラムを設けることで、前記圧力センサを前記流体から隔離している。
【０００５】
さらに、特許文献３に開示された圧力センサには、上流側接続口から下流側接続口に続く流路の中間部上面を窪ませその頂部を開口させ、前記流路の開口部に臨むようにセンサ本体の受圧面を配置することにより流体の圧力測定を行なっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特表平１１−５１２８２７号公報
【特許文献２】特開平９−１６６５１２号公報
【特許文献３】特開２００５−２０７９４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１の構成では、円盤膜が、腐食性流体の流通する孔部に対して上方へとオフセットして配置されているため、前記円盤膜と前記孔部との間にデッドスペースが生じる。また、同様に、特許文献２の構成では、ダイヤフラムと流体通路との間にデッドスペースが生じることとなる。このようなデッドスペースでは、流体の円滑な流れが妨げられ、液溜まりやゴミの滞留等が生じるおそれがある。そのため、例えば、圧力検出器を、半導体製造装置で使用される超純水等の流体の圧力測定のために用いると、デッドスペースにおいて細菌等の発生要因にもなり得る。また、デッドスペースには、流体中の気泡（エア）が付着しやすく、この気泡によってエア溜まりが生じ、高精度な圧力測定を行うことができないという問題が生じる。
【０００８】
また、特許文献３の構成においては、上述したデッドスペースの問題を回避するために、流路の中央部に山状の湾曲部を設けているが、この湾曲部を流れる流体の流路抵抗となるために圧力損失が増大し、また、十分な流量が確保できないという問題が生じる。
【０００９】
さらに、特許文献１〜３に記載された圧力検出器では、流体の流通する流路から圧力センサまでの距離が非常に近く、しかも、円盤膜やダイヤフラム等を介して配置されているに過ぎないので、例えば、流体の温度が変化した場合に、圧力センサの測定に影響を与えることが懸念される。
【００１０】
本発明は、前記の課題を考慮してなされたものであり、流体の円滑な流れを妨げるデッドスペースを回避し、且つ、前記流体の温度変化による影響を防止することで、高精度に前記流体の圧力を測定可能な圧力検出器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記の目的を達成するために、本発明は、流体が流通する流路を有したボディと、該ボディに設けられ圧力センサの配置されるセンサ室と、前記流路から前記センサ室まで延在した貫通孔とを備えた圧力検出器において、前記貫通孔には、軸方向に沿って変位自在に設けられ、前記流体の圧力を前記圧力センサに対して伝達可能な圧力伝達体を備え、前記圧力伝達体の一端部が、前記貫通孔における前記流路側の端部まで延在し、前記流体に対して常に露出し、一方、前記圧力伝達体の他端部が前記圧力センサに対して直接当接すると共に、前記貫通孔と前記圧力センサの間には、前記センサ室と前記貫通孔との間の流体の流通を遮断するシール部材を備え、前記シール部材は、該シール部材の外周部及び前記ボディに臨む側面の少なくとも一部において、外方に向かって突出する環状突起部を有し、前記環状突起部が、前記シール部材の外周部において前記ボディと当接し、前記シール部材の内周部において前記ボディ及び前記圧力伝達体にそれぞれ当接することを特徴とする。
【００１２】
本発明によれば、圧力検出器において、流体の流通する流路と圧力センサの設けられるセンサ室とを連通する貫通孔に、圧力伝達体を変位自在に設け、前記圧力伝達体の一端部を前記貫通孔における流路側の端部まで延在させ、しかも、前記流体に対して常に露出するように配置している。そして、圧力伝達体の一端部は、流路を流通する流体の圧力によって押圧され、圧力センサ側に向かって変位することで前記圧力が検出される。
【００１３】
このように、圧力伝達体を貫通孔の端部まで設けることで、該貫通孔においてデッドスペースが生じることがなく、該デッドスペースで生じる液溜りや細菌等の発生や気泡の発生を確実に防止して高精度な圧力検出を行うことができる。
【００１４】
また、圧力センサと流路との間に圧力伝達体を設けることで、流体と前記圧力センサとを所定距離だけ離間させて配置することができるため、前記流体の温度による圧力センサの検出精度の低下を防止し、高精度に圧力を検出することが可能となる。
【００１６】
さらにまた、シール部材は、中央部に圧力伝達体の挿入される孔部を有するとよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００２２】
すなわち、圧力検出器において、流体の流通する流路と圧力センサの設けられるセンサ室とを連通する貫通孔に、圧力伝達体を変位自在に設け、前記圧力伝達体の一端部を前記貫通孔における流路側の端部まで延在させ、しかも、前記流体に対して常に露出するように配置することにより、前記貫通孔におけるデッドスペースの発生を防止し、該デッドスペースで生じる液溜りや細菌等の発生や気泡の発生を確実に防止して高精度な圧力検出を行うことができる。また、圧力センサを流体に対して離間させて設けることができるため、前記流体の温度による圧力センサの検出精度の低下を防止し、高精度に圧力を検出することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る圧力検出器の全体断面図である。
【図２】図１の圧力検出器における棒状部材及びシール部材を上方から見た外観斜視図である。
【図３】図１の圧力検出器におけるシール部材の外縁部近傍の領域Ｃを示す拡大断面図である。
【図４】図１の圧力検出器における棒状部材の頭部近傍の領域Ｄを示す拡大断面図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係る圧力検出器の全体断面図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態に係る圧力検出器の全体断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明に係る圧力検出器について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。図１において、参照符号１０は、本発明の第１の実施の形態に係る圧力検出器を示す。
【００２５】
この圧力検出器１０は、図１〜図４に示されるように、圧力流体の供給・排出される第１及び第２ポート１２、１４を有したボディ１６と、前記ボディ１６の上部に設けられる圧力センサ１８と、前記ボディ１６の上部を閉塞する蓋部材２０とを含む。なお、例えば、圧力流体としては、半導体装置に用いられる薬液や純水等が使用される。
【００２６】
ボディ１６は、例えば、樹脂製材料から形成され、その一側部に第１ポート１２が開口し、他側部に第２ポート１４が開口している。この第１及び第２ポート１２、１４は、水平方向に開口し、その外周面には締結部材２２ａ、２２ｂの螺合されるねじ２４が刻設されている。
【００２７】
そして、第１及び第２ポート１２、１４には、その外周側にそれぞれ配管２６が挿入された後、該配管２６に挿通させた円筒状の締結部材２２ａ、２２ｂをねじ２４に対して螺合させることで、前記配管２６が前記第１及び第２ポート１２、１４に対してそれぞれ連結される。
【００２８】
なお、第１ポート１２は、例えば、配管２６を介して図示しない流体供給源に接続され、一方、第２ポート１４は、配管２６を介して前記圧力流体の必要とされる別の装置へと接続されている。
【００２９】
第１ポート１２と第２ポート１４との間には、両者を接続するように流路２８が一直線状に形成され、前記流路２８を通じて前記第１ポート１２と前記第２ポート１４とが連通している。
【００３０】
また、ボディ１６には、流路２８の略中央部に形成され、該流路２８に対して直交して上方に向かって延在する貫通孔３０が形成され、前記貫通孔３０には棒状部材（圧力伝達体）３２が変位自在に挿入される。貫通孔３０は、軸方向に沿って略同一直径で形成され、流路２８からボディ１６の上部に形成されたセンサ室３４まで延在することで互いに連通させている。
【００３１】
棒状部材３２は、例えば、弾性を有した樹脂製材料から略一定径で形成された軸体からなり、貫通孔３０に対して変位自在な程度に挿入される。この棒状部材３２は、軸状の本体部３６と、該本体部３６の上部に形成された頭部３８とからなり、前記本体部３６は、貫通孔３０の内周径に略同一となる外周径を有し、一方、頭部３８は、前記本体部３６に対して半径外方向に拡径した円盤状に形成される。なお、本体部３６の長さは、貫通孔３０の軸方向に沿った長さに対して若干だけ長く形成され、該本体部３６の下端部が、前記貫通孔３０と流路２８との境界部位となるように配置される。これにより、貫通孔３０の内部に、圧力流体が流入するデッドスペースが生じることがない。また、棒状部材３２の頭部３８は、その上部が上方に向かって凸状に膨出した曲面状に形成される。
【００３２】
また、棒状部材３２の材質は、流路２８を流通する圧力流体の種類に応じて耐水性又は耐薬品性を有するものを用いてもよい。
【００３３】
センサ室３４は、上方に向かって開口した有底状に形成され、その底部には、流路２８側に向かって窪んだシール装着部４０が形成される。このシール装着部４０には、例えば、弾性材料から形成されるシール部材４２が装着される。
【００３４】
シール部材４２は、例えば、ゴム等の弾性材料から形成され、円環状に形成されたベース部４４と、前記ベース部４４の外周側に形成され該ベース部４４に対して直交方向に突出した外縁部４６と、前記ベース部４４に対して半径内方向に延在した薄膜状のスカート部４８とを有する。なお、このシール部材４２は、テフロン（登録商標）等の弾性材料で形成するようにしてもよい。
【００３５】
ベース部４４は、例えば、所定厚さを有した平板状に形成され、シール装着部４０の底面に当接すると共に、その上面には圧力センサ１８が当接する。すなわち、ベース部４４は、圧力センサ１８とシール装着部４０との間に挟持される。また、ベース部４４の下面には、図３に示されるように、例えば、下方に向かって断面半円状に突出した環状の第１突起部（環状突起部）５０が形成され、前記第１突起部５０は、シール装着部４０の底面に当接する。これにより、第１突起部５０によってシール部材４２のベース部４４とボディ１６との間を通じた圧力流体の漏出が防止される。
【００３６】
外縁部４６は、シール装着部４０に形成された環状溝５１に挿入され、その外周面に沿って形成された一対の第２突起部（環状突起部）５２ａ、５２ｂが前記環状溝５１の壁面に当接する。第２突起部５２ａ、５２ｂは、例えば、外縁部４６の外周面に対して半径外方向に断面半円状に突出すると共に、互いに離間して形成される。そして、第２突起部５２ａ、５２ｂが環状溝５１に当接することで、シール部材４２の外縁部４６と環状溝５１との間を通じて圧力流体がセンサ室３４側へと流通することが防止される。
【００３７】
スカート部４８には、その中央に孔部５３（図４参照）が形成され、該孔部５３に棒状部材３２が挿通される。そして、シール部材４２は、シール装着部４０に装着された状態で、外縁部４６が後述するホルダ５４を介してボディ１６に対して固定され、スカート部４８は、棒状部材３２の頭部３８と前記ボディ１６との間に挟持されることで保持される。
【００３８】
また、スカート部４８における孔部５３近傍には、図４に示されるように、下面から下方へと突出した環状の第３突起部（環状突起部）５６が形成されると共に、上面から上方へと突出した環状の第４突起部（環状突起部）５８が形成される。そして、第３突起部５６は、ボディ１６のシール装着部４０に対して当接し、前記シール装着部４０とスカート部４８との間を通じた圧力流体の漏出を防止し、第４突起部５８は、棒状部材３２の頭部３８に当接することで、前記スカート部４８と前記頭部３８との間を通じた圧力流体の漏出を防止している。
【００３９】
圧力センサ１８は、例えば、外部からの押圧力を電気信号へと変換して外部へと出力可能に形成され、センサ室３４内においてシール部材４２及び棒状部材３２の上部に設けられるセンサ部６０と、前記センサ部６０に接続された端子６２とを備え、前記端子６２が基板６４に対して電気的に接続される。なお、基板６４には、圧力センサ１８で検出された圧力値を外部へと出力するためのリード線７４が接続されている。
【００４０】
センサ部６０は、圧力を受圧する受圧面として機能する下面の中央に棒状部材３２の頭部３８が当接し、周縁部にシール部材４２のベース部４４が当接するように設けられる。そして、センサ部６０は、ボルト６６で基板６４を締結しているホルダ５４によってセンサ室３４内に固定される。
【００４１】
蓋部材２０は、センサ室３４を覆うようにボディ１６の上部に連結され、その中央部にはリード線７４の挿通される取出孔６８が形成される。そして、取出孔６８にリード線７４を挿通し、押え部材７０と共にナット７２を締め付けることで前記リード線７４が蓋部材２０に対して固定される。
【００４２】
本発明の第１の実施の形態に係る圧力検出器１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００４３】
先ず、ボディ１６の流路２８に圧力流体の流通していない初期状態においては、棒状部材３２の下端部には前記圧力流体の圧力が付与されていないため、該棒状部材３２が圧力センサ１８側へと押圧され変位することがなく、頭部３８によって圧力センサ１８が押圧されていない状態にある。そのため、圧力センサ１８では圧力が検出されることはない。
【００４４】
次に、上流側となる第１ポート１２から圧力流体が供給され、該圧力流体が流路２８を通じて第２ポート１４へと流通する際、流路２８内の圧力流体の圧力によって棒状部材３２の下端部が上方へと押圧され、前記棒状部材３２が貫通孔３０に沿って軸方向に圧縮される。これにより、棒状部材３２の頭部３８によって圧力センサ１８のセンサ部６０が押圧され、該センサ部６０によって押圧力（押圧量）に基づいた電気信号が端子６２から基板６４へと出力される。これにより、圧力センサ１８において流体の圧力が検出され、リード線７４を通じて外部へと出力される。
【００４５】
一方、上述した状態から圧力流体の圧力が低下した場合には、該流体による棒状部材３２に対する押圧力が低下するため、それに伴って、前記棒状部材３２の上方への圧縮状態が解除され、圧力センサ１８に対する押圧力（押圧量）が低下することで、前記押圧力に基づいた電気信号が出力されることで、前記圧力流体の圧力が低下したことが確認される。
【００４６】
すなわち、棒状部材３２は、流路２８を流通する圧力流体の圧力に応じて貫通孔３０に沿って変位自在に設けられている。
【００４７】
また、この場合、流路２８から棒状部材３２の外周面と貫通孔３０との間へと圧力流体が流入してくることがあるが、圧力センサ１８のセンサ部６０と前記棒状部材３２との間には、弾性材料からなるシール部材４２が設けられているため、前記圧力流体が前記圧力センサ１８側（センサ室３４側）へと流入することが防止される。
【００４８】
詳細には、シール部材４２において、ベース部４４にはボディ１６に当接する第１突起部５０が設けられているため、圧力流体がシール装着部４０の環状溝５１側へと漏出することが防止され、外縁部４６には一対の第２突起部５２ａ、５２ｂが設けられているため、環状溝５１からセンサ室３４側へと前記圧力流体が漏出することが防止され、さらに、スカート部４８の下面及び上面にそれぞれ第３及び第４突起部５６、５８が設けられているため、棒状部材３２とシール部材４２との間を通じて前記センサ室３４側へと前記圧力流体が漏出することが防止される。
【００４９】
以上のように、第１の実施の形態では、圧力検出器１０において、圧力流体の流通する流路２８と圧力センサ１８の配置されるセンサ室３４とを連通する貫通孔３０に対して棒状部材３２を変位自在に設け、且つ、前記棒状部材３２の下端部が、前記貫通孔３０の端部まで延在するように設け、前記圧力流体の圧力が前記棒状部材３２を介して前記圧力センサ１８へと伝達される。これにより、貫通孔３０の内部に、棒状部材３２を配置することで、該貫通孔３０においてデッドスペースが生じることを回避することができる。その結果、デッドスペースが生じた際に懸念される液溜りや細菌等の発生や気泡の発生を確実に防止し、圧力流体の圧力を高精度に検出することが可能となる。
【００５０】
また、圧力センサ１８のセンサ部６０を、圧力流体の流通する流路２８から所定距離だけ離間させて配置することができるため、前記圧力流体の温度による圧力センサ１８の検出精度の低下を防止し、高精度に圧力を検出することが可能となる。
【００５１】
さらに、棒状部材３２が圧力流体の圧力を受ける構成としているため、シール部材４２が前記圧力を受けることがなく、前記シール部材４２が過度な変形をした場合に懸念される耐久性の低下を回避することができる。
【００５２】
さらにまた、流路２８は、軸方向に沿って一直線状に形成され、従来技術に係る圧力検出器のような湾曲部及び突部を前記流路２８上に設ける必要がないため、前記圧力流体を円滑に流通させることが可能となり、該圧力流体の圧力を高精度に検出することができる。
【００５３】
またさらに、圧力流体に直接触れる棒状部材３２と、該圧力流体に直接的に触れることのないシール部材４２とを別部材で構成することで、前記棒状部材３２と前記シール部材４２とを別の材質から形成することが可能となる。そのため、例えば、圧力流体が薬液等である場合には、耐薬品性を有する材質から棒状部材３２のみを形成し、シール部材４２は、テフロン（登録商標）等の弾性を有する材質で形成することができ好適である。
【００５４】
また、棒状部材３２の頭部３８が、上方に向かって膨出した曲面状に形成されているため、前記頭部３８の中心で圧力センサ１８のセンサ部６０を確実に押圧することが可能となる。
【００５５】
次に、第２の実施の形態に係る圧力検出器１００を図５に示す。なお、上述した第１の実施の形態に係る圧力検出器１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００５６】
この第２の実施の形態に係る圧力検出器１００では、上述した第１の実施の形態に係る棒状部材３２とシール部材４２とが一体的に形成された圧力伝達体１０２を備える点で、第１の実施の形態に係る圧力検出器１０と相違している。
【００５７】
この圧力検出器１００では、図５に示されるように、圧力流体の圧力を受ける棒状部１０４と、該棒状部１０４の上部に一体的に形成され、ボディ１６の貫通孔３０とセンサ室３４との液密を保持するシール部１０６とを有した圧力伝達体１０２を備え、前記棒状部１０４が前記ボディ１６の貫通孔３０に変位自在に挿入されると共に、シール部１０６は、前記センサ室３４に形成されたシール装着部４０に装着される。
【００５８】
棒状部１０４は、軸状の本体部３６を有し、貫通孔３０に挿入された際、その下端部が流路２８に臨むように配置される。一方、本体部３６の上部には、シール部１０６を構成するスカート部４８が接合されている。なお、棒状部１０４について、第１の実施の形態に係る圧力検出器１０の棒状部材３２と同様の構成については、その詳細な説明は省略する。
【００５９】
シール部１０６は、その略中央部に薄膜状のスカート部４８が形成され、その中央部が棒状部１０４の上部に対して一体的に接合されている。なお、シール部１０６について、第１の実施の形態に係る圧力検出器１０のシール部材４２と同様の構成については、その詳細な説明は省略する。
【００６０】
この棒状部１０４及びシール部１０６からなる圧力伝達体１０２は、例えば、ポリプロピレンやテフロン（登録商標）等の弾性を有する樹脂製材料から形成され、前記棒状部１０４の上端部が圧力センサ１８のセンサ部６０へと当接している。
【００６１】
そして、ボディ１６の流路２８に圧力流体が流通することで、圧力伝達体１０２における棒状部１０４の下端部が前記圧力流体の圧力によって上方へと押圧され、前記棒状部１０４が貫通孔３０に沿って微小だけ変位する。これにより、圧力伝達体１０２の棒状部１０４によって圧力センサ１８のセンサ部６０が押圧され、該センサ部６０によって押圧力（押圧量）に基づいた電気信号が端子６２から基板６４へと出力される。これにより、圧力センサ１８において流体の圧力が検出され、リード線７４を通じて外部へと出力されることとなる。
【００６２】
この際、圧力伝達体１０２は、棒状部１０４と共にシール部１０６のスカート部４８が変位し、該棒状部１０４との接合部位を支点として撓むように変形する。
【００６３】
以上のように、第２の実施の形態に係る圧力検出器１００では、ボディ１６の流路２８を流通する圧力流体の圧力によって圧力伝達体１０２の棒状部１０４が押圧されることで、該棒状部１０４の上端部によって圧力センサ１８のセンサ部６０が押圧され圧力が検出される。そのため、ボディ１６の貫通孔３０に対して圧力伝達体１０２の棒状部１０４を挿入することで、該貫通孔３０においてデッドスペースが生じることを回避することができる。その結果、デッドスペースが生じた際に懸念される液溜りや細菌等の発生や気泡の発生を確実に防止し、圧力流体の圧力を高精度に検出することができる。
【００６４】
また、棒状部１０４及びシール部１０６が一体的に形成された圧力伝達体１０２を用いることで、部品点数を削減して構造の簡素化を図ることができ、それに伴って、組付工数の削減を図ることも可能となる。
【００６５】
さらに、圧力センサ１８のセンサ部６０を、流体の流通する流路２８から所定距離だけ離間させて配置することができるため、前記流体の温度による圧力センサ１８の検出精度の低下を防止し、高精度に圧力を検出することが可能となる。
【００６６】
さらにまた、圧力伝達体１０２における棒状部１０４が圧力流体の圧力を受ける構成としているため、シール部１０６が前記圧力を受けることがなく、前記シール部１０６が過度な変形をした場合に懸念される耐久性の低下を回避することができる。
【００６７】
次に、第３の実施の形態に係る圧力検出器１２０を図６に示す。なお、上述した第１の実施の形態に係る圧力検出器１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００６８】
この第３の実施の形態に係る圧力検出器１２０では、中央に孔部を有していないシール部材１２２を備えると共に、該シール部材１２２の中央に対して下方から棒状部材３２の頭部３８が当接するように配置している点で、第１及び第２の実施の形態に係る圧力検出器１０、１００と相違している。
【００６９】
この圧力検出器１２０では、図６に示されるように、ボディ１６の貫通孔３０に挿入され、圧力流体の圧力を受ける棒状部材３２と、該棒状部材３２の上部を覆うように設けられたシール部材１２２とを備え、前記シール部材１２２は、例えば、ゴム等の弾性材料から形成され、円環状に形成されたベース部４４と、前記ベース部４４の外周側に形成され該ベース部４４に対して直交方向に突出した外縁部４６と、前記ベース部４４に対して半径内方向に延在した薄膜状のスカート部１２４とからなる。なお、棒状部材３２に関しては、上述した第１の実施の形態に係る圧力検出器１０の棒状部材３２と同一の構成であるため、その詳細な説明は省略する。
【００７０】
そして、ボディ１６のシール装着部４０にシール部材１２２が装着され、貫通孔３０に挿入された棒状部材３２の頭部３８が前記シール部材１２２のスカート部１２４の下面に対して当接している。
【００７１】
このような圧力検出器１２０においては、ボディ１６の流路２８に圧力流体が流通することで、棒状部材３２の下端部が前記圧力流体の圧力によって上方へと押圧され、該棒状部材３２が貫通孔３０に沿って微小だけ変位する。これにより、棒状部材３２の上端部によってシール部材１２２のスカート部１２４が撓むことで上方へと押圧され、圧力センサ１８のセンサ部６０を押圧する。これにより、棒状部材３２及びシール部材１２２による押圧力（押圧量）に基づいた電気信号がセンサ部６０から端子６２を通じて基板６４へと出力される。これにより、圧力センサ１８において流体の圧力が検出され、リード線７４を通じて外部へと出力される。
【００７２】
以上のように、第３の実施の形態に係る圧力検出器１２０では、ボディ１６を流路２８を流通する圧力流体の圧力によって棒状部材３２が押圧されることで、該棒状部材３２の上端部に当接したシール部材１２２のスカート部１２４を介して圧力センサ１８のセンサ部６０が押圧され圧力が検出される。そのため、ボディ１６の貫通孔３０に対して棒状部材３２を挿入することで、該貫通孔３０におけるデッドスペースの発生を回避することができる。その結果、デッドスペースが生じた際に懸念される液溜りや細菌等や気泡の発生を確実に防止し、圧力流体の圧力を高精度に検出することができる。
【００７３】
また、棒状部材３２と及びシール部材１２２とを異なる材質から別個に形成することができるため、圧力検出器１２０における組立性を向上させることができると共に、例えば、圧力流体の種類に応じた最適な材質で、棒状部材３２を形成することが可能となる。
【００７４】
なお、本発明に係る圧力検出器は、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【符号の説明】
【００７５】
１０、１００、１２０…圧力検出器    １６…ボディ
１８…圧力センサ                    ２０…蓋部材
２８…流路                          ３０…貫通孔
３２…棒状部材                      ３４…センサ室
３６…本体部                        ３８…頭部
４０…シール装着部                  ４２、１２２…シール部材
４４…ベース部                      ４６…外縁部
４８、１２４…スカート部            ６０…センサ部
１０２…圧力伝達体                  １０４…棒状部
１０６…シール部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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