(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理装置（ポンプ）を使用してユースポイント（ノズル）から着色フォトレジストを吐出して処理を行う工程において、前記処理装置（ポンプ）の動作とユースポイント（ノズル）の動作（吐出）に関する異常を検出する方法であって、
予め、前記処理装置の制御条件（圧力）を設定値に定め、また、プロセスデータＢに基づき基準値を定め、
次に、前記処理装置からプロセスデータＡ（圧力）を含む動作データと前記ユースポイントからプロセスデータＢ（圧力）を収集し、
次に、前記プロセスデータＡから特徴量Ａ（平均値、最大値、最小値）を算出し、
前記特徴量Ａが前記設定値と一致した場合、前記処理装置が正常に稼動したと判断し、前記特徴量Ａを前記基準値とし、
次に、前記プロセスデータＢから特徴量Ｂ（平均値、最大値、最小値）を算出し、
前記特徴量Ｂと前記基準値を比較して、前記ユースポイントの動作の異常を判断することを特徴とする異常検出方法。
【請求項２】
請求項１に記載の異常検出方法で前記処理装置（ポンプ）の動作と前記ユースポイント（ノズル）の動作（吐出）に関する異常を判断するシステムであって、
前記処理装置からプロセスデータＡ（圧力）を含む動作データと前記ユースポイントからプロセスデータＢ（圧力）を収集する手段と、
前記処理装置の制御条件（圧力）を設定値に定め、また、プロセスデータＢに基づき基準値を定め、次に、前記プロセスデータＡから特徴量Ａ（平均値、最大値、最小値）を算出し、プロセスデータＢに基づいて設定した基準値は、前記特徴量Ａが前記設定値と一致した場合、前記処理装置が正常に稼動したと判断し、前記特徴量Ａを前記基準値とし、
次に、前記プロセスデータＢから特徴量Ｂ（平均値、最大値、最小値）を算出し、前記特徴量Ｂと前記基準値を比較して、前記ユースポイントの動作の異常を判断する手段を備えることを特徴とする異常検出システム。
【請求項３】
請求項２に記載の異常検出システムが、更に異常発生時の動作データ及びプロセスデータと異常発生の原因データからなる原因特定データファイルを有し、異常検出時に異常発生の原因を特定することを特徴とする異常検出システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体や液晶パネルなどの製造処理装置の動作を監視して製造処理装置の動作データや製造状況データを収集し、収集したデータから製造装置の動作や製造状況を解析し、異常を検出する方法及び異常検出システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
背景技術として、液晶パネルに用いられるカラーフィルタの場合を例として説明する。図１はカラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を断面で示した図である。カラーフィルタ１は、ガラス基板２上にブラックマトリックス（以下、ＢＭ）３、レッドＲの着色画素（以下、Ｒ画素）４ａ、グリーンＧの着色画素（以下、Ｇ画素）４ｂ、ブルーＢの着色画素（以下、Ｂ画素）４ｃ、透明電極５、及びフォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ  Ｓｐａｃｅｒ）（以下、ＰＳ）６、バーテイカルアライメント（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）（以下、ＶＡ）７が順次形成されたものである。
【０００３】
上記構造のカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグラフィー法、印刷法、インクジェット法が知られているが、図２は一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程を示すフロー図である。カラーフィルタは、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックス（ＢＭ）を形成処理する工程（Ｃ１）、ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する工程（Ｃ３）、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程（Ｃ４）、露光処理する工程（Ｃ５）、現像処理する工程（Ｃ６）、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ７）、透明電極を成膜処理する工程（Ｃ８）、ＰＳ、ＶＡを形成処理する工程（Ｃ９）がこの順に行われ製造される。
【０００４】
例えば、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順に画素が形成される場合には、カラーフィルタ用ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）から、着色フォトレジストを硬化処理する工程間（Ｃ７）ではレッドＲ、グリーンＧ、ブルーＢの順に着色レジストを変更して３回繰り返されてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が形成される。
【０００５】
上記カラーフィルタの製造工程において発生する不良の例として、洗浄工程における異物付着、着色レジスト塗布及び予備乾燥工程では着色レジストの塗布ムラやピンホール、露光工程では露光量の過不足やマスクの位置あわせ不良、現像工程では現像の過不足や現像ムラなどがある。
【０００６】
上記不良の発生を抑制したり、発生した不良品を検出するために、製造処理装置の動作状況や、製造状況を監視したり、検査装置で不良品を検出して品質を保証している。
【０００７】
半導体や液晶パネルなどの製造における製造処理装置（以下、処理装置）において、処理装置の動作状況を示す処理装置の動作データ（以下、動作データ）や、洗浄液の流量、温度、圧力といった製造条件、言い換えれば、プロセス条件データ（以下、プロセスデータ）を数ｍｓ周期で高速に収集、解析するＥＥＳ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）がある。ＥＥＳとは，処理装置から装置の動作データやプロセスデータを収集し、正常な動作や正常なプロセス条件で製造プロセスが行われているかをデータでチェックし，処理装置の信頼性や生産性を向上させるシステムである。
【０００８】
ＥＥＳを用いたプロセス異常の解析方法として、例えば、次のようなものがある。
【０００９】
正常運転時のプロセスデータとの差異から異常検出を行い、異常の有無判定、異常原因
の決定を行う（特許文献１）。
【００１０】
ある区間で切り出したプロセスデータから特徴量（平均、最大、最小など）を抽出し、プロセス−品質モデルを作成し、異常の有無判定や、故障発生の予測を行う（特許文献２）。
【００１１】
プロセスデータから抽出した特徴量を用いてデータマイニングや多変量解析による解析からプロセス−品質モデルを作成し、異常の有無判定を行う（特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開昭６２−４２２０４号公報
【特許文献２】特開２００５−１９７３２３号公報
【特許文献３】特開２００４−１８６４４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ＥＥＳを用いたプロセス異常の解析方法において、参考文献１に示される方法においては、プロセスデータごとに異常判定を行うため複数の要因が絡み合って発生する異常を検出することは困難となる。また、処理装置を動作させるにあたり、プロセス条件の変更により、基準となる値が変動するため、プロセス条件が変更される度に基準値の変更を行わなければならない。
【００１４】
また、参考文献２に示される方法においては、抽出した特徴量から品質モデルを作成する場合、装置の設定値と特徴量の比較などを行うが、プロセスデータによっては設定値と直接比較が難しいものも存在する。さらに、異常の有無の判定は可能だが、どのような異常が装置のどの箇所で発生しているかといった予測は不可能となっている。
【００１５】
また、特許文献３に記載されている方法は、異常の有無の判定は可能で、しかも検査データを用いているためにどのような異常が発生しているかといった予測も可能となっている。しかしながら、一般的に、良品が出来ている時においてもプロセスデータにバラツキが発生しているため、求められたプロセスデータは、必ずしも正確なものとは言い切れない。
【００１６】
そこで本発明は、関連する処理装置の動作を示す動作データ（例えばポンプの動作）や、ユースポイントでの圧力などの処理状況を指すプロセスデータの特徴量を抽出し、動作データの特徴量と設定値を比較し、更に、直接設定値と比較できないプロセスデータの特徴量についても正常／異常の判断が可能で、プロセス条件に左右されることなく、プロセス処理の正常／異常を判断する方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明の請求項１に係る発明は、処理装置（ポンプ）を使用してユースポイント（ノズル）から着色フォトレジストを吐出して処理を行う工程において、前記処理装置（ポンプ）の動作とユースポイント（ノズル）の動作（吐出）に関する異常を検出する方法であって、予め、前記処理装置の制御条件（圧力）を設定値に定め、また、プロセスデータＢに基づき基準値を定め、次に、前記処理装置からプロセスデータＡ（圧力）を含む動作データと前記ユースポイントからプロセスデータＢ（圧力）を収集し、次に、前記プロセスデータＡから特徴量Ａ（平均値、最大値、最小値）を算出し、前記特徴量Ａが前記設定値と一致した場合、前記処理装置が正常に稼動したと判断し、前記特徴量Ａを前記基準値とし、次に、前記プロセスデータＢから特徴量Ｂ（平均値、最大値、最小値）を算出し、前記特徴量Ｂと前記基準値を比較して、前記ユースポイントの動作の異常を判断することを特徴とする異常検出方法である。
【００１８】
本発明の請求項２に係る発明は、請求項１に記載の異常検出方法で前記処理装置（ポンプ）の動作と前記ユースポイント（ノズル）の動作（吐出）に関する異常を判断するシステムであって、前記処理装置からプロセスデータＡ（圧力）を含む動作データと前記ユースポイントからプロセスデータＢ（圧力）を収集する手段と、前記処理装置の制御条件（圧力）を設定値に定め、また、プロセスデータＢに基づき基準値を定め、次に、前記プロセスデータＡから特徴量Ａ（平均値、最大値、最小値）を算出し、プロセスデータＢに基づいて設定した基準値は、前記特徴量Ａが前記設定値と一致した場合、前記処理装置が正常に稼動したと判断し、前記特徴量Ａを前記基準値とし、次に、前記プロセスデータＢから特徴量Ｂ（平均値、最大値、最小値）を算出し、前記特徴量Ｂと前記基準値を比較して、前記ユースポイントの動作の異常を判断する手段を備えることを特徴とする異常検出システムである。
【００１９】
本発明の請求項３に係る発明は、請求項２に記載の異常検出システムが、更に異常発生時の動作データ及びプロセスデータと異常発生の原因データからなる原因特定データファイルを有し、異常検出時に異常発生の原因を特定することを特徴とする異常検出システムである。
【発明の効果】
【００２１】
動作データの特徴量と設定値を比較して処理装置の動作不良を検出することが出来、またプロセスデータの特徴量と処理装置に動作に基づいて求めた基準値を比較することによって製造状況の正常／異常の判定を行うことが可能となる。更に、動作データ及びプロセスデータと異常発生の原因データを蓄積することによって異常の発生原因を予測することが出来るため、不良品の発生を抑制することが可能となる。
【００２２】
異常を発見した場合、異常の発生箇所を特定することが可能となるため、処理装置の修理復旧や、メンテナンスなどの異常原因に対する素早い対応が可能となり、生産効率の低下を防ぐことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】カラーフィルタ基板の一例を断面で示した図。
【図２】一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程のフロー図。
【図３】本発明に係る異常検出方法が適用される異常検出システムの構成の概略を示す図
【図４】本発明に係る異常検出方法における波形データの一例を示す図。
【図５】本発明に係る異常検出方法における波形データの区間の抽出方法の一例を示す図
【図６】本発明に係る異常検出方法における出力側でのアナログデータの特徴量の算出例        を説明するための図。
【図７】本発明に係る異常検出方法における判定のフローを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本発明に係るによる異常検出方法及び異常検出システムの実施形態を、カラーフィルタのガラス基板を製造する場合を例として説明する。
【００２５】
図３に本発明に係るによる異常検出方法が適用される異常検出システムの構成の概略を示す。
【００２６】
異常検出システムは、データ収集やデータ処理を行うパソコン（以下、ＰＣ）１４と、ＬＣＳ（Ｌｉｎｅ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）１３から取得したＩＤ情報１５と、処理装置１１からＥＳＳ１２によって収集した動作データとプロセスデータ１６と、動作データとプロセスデータ１６からプロセス単位で作成された波形データ１７と、波形データ１７から動作データの特徴量を算出するための動作データの波形データ１９と、プロセ
スデータの特徴量を算出するためのプロセスデータの波形データ１８とを有している。また、作成した動作データの特徴量を算出するための装置の波形データ１９から特徴量を算出した動作データの特徴量情報２１と、プロセスデータの特徴量を算出するためのプロセスデータの波形データ１８から特徴量を算出したプロセスデータの特徴量情報２０を有しており、更に図示しないが原因特定データを蓄積する原因特定データファイルを有している。ＰＣ１４は収集したデータを波形データとしてＰＣ１４の端末上にリアルタイムで表示する機能を持っている。
【００２７】
ＥＥＳ１２で収集される動作データとプロセスデータ１６は、ポンプの動作、ポンプの圧力、ステージの振動、洗浄液流量などのデータはアナログデータであり、装置の動作信号はデジタルデータであって、両データは波形データとしてデータ収集ＰＣ端末１４上にリアルタイムで表示され、収集した波形が正常かどうかを判断することで、装置が正常に動いているかどうかの判断を行う手段にも用いることが出来る。
【００２８】
図４は波形データの一例を示す図で、ガラス基板に着色レジストを塗布する場合を例として示したもので、レジスト供給ポンプの動作時間と着色レジストの吐出量のデータが収集され、収集したデータから横軸がｍｓ（ミリ秒）で示される経時時間、縦軸がｍｌ（ミリリットル）で示される吐出量を示す波形データが作られる。
【００２９】
設定値と特徴量及び基準値について説明する。
【００３０】
ＥＥＳ１２で収集される動作データとプロセスデータ１６のアナログデータやデジタルデータには、その動作データとプロセスデータを収集している間にプロセス処理を行った基板ＩＤ、及びそのプロセス処理を行う処理装置の制御条件（以下設定値と呼ぶ）が紐付けられて収集される。ここで言う設定値とは、例えば上記レジスト供給ポンプの場合には波形データの平均値、最大値、最小値や波形データの立ち上がり時の傾き、波形データが定常状態になるまでの時間等を示す値であって、処理装置毎に設定される。
【００３１】
動作データとプロセスデータ１６に紐付けられる基板ＩＤ及び設定値はライン管理システムと呼ばれる上位システムであるＬＣＳ１３から取得することができる（ライン管理システムとは、工場内の装置の生産状況、生産実績などのデータをリアルタイムに収集し管理するシステムで、収集しているデータに基板ＩＤや装置の設定値なども含めることで、プロセス処理を行っている際の基板ＩＤ、設定値の取得が可能となる）。
【００３２】
波形データが正常かどうかを判断する方法の一つとして、この処理に適した制御条件を予め定めた設定値に対して収集したアナログデータを比較する方法がある。アナログデータはプロセス処理中の連続したデータを表示するのに対して、設定値は局所もしくは、平均の値を示すので、アナログデータの特徴量（平均値、最大値、最小値、波形データの立ち上がり時の傾きなど）を抽出して比較する。
【００３３】
あるプロセス処理中のアナログデータの値から特徴量を抽出し、その抽出した値と設定値を比較し、抽出した値が正常な範囲内にあるかを判定することで、アナログデータの正常／異常の判断が可能となる。
【００３４】
正常／異常の判断の結果、異常と判断された場合、データ収集ＰＣ端末上に異常が見られたプロセス処理中のアナログデータ（波形データ）や、後で述べる波形データ中の抽出した区間や算出した特徴量を表示しアラームを発生する。
【００３５】
処理装置の設定値とアナログデータの特徴量を比較する場合には、直接制御しているアナログデータに対しては、比較が可能であるが、直接制御していないアナログデータに対
しては設定値との比較が困難となる。即ち、例えば、ポンプの動作を制御している場合、ポンプ動作を示すアナログデータの特徴量に対しては設定値との比較が可能だが、ユースポイント（例えば着色レジストの吐出ノズルにおける吐出圧力）については、動作そのものを制御しているわけではないので設定値の設定が出来ないため、設定値との比較が出来ない。
【００３６】
更に、ユースポイントのアナログデータに異常が発生した場合、ユースポイントのアナログデータのみでは、異常発生の箇所の切り分け（異常発生の原因となっている箇所の特定）が困難となる（上記例においてユースポイントのアナログデータで異常が検知された場合、ポンプそのものに異常が発生しているのかユースポイントまでの間（例えば、着色レジストの配管内）で異常が発生しているのかの切り分けができない）。
【００３７】
また、ユースポイントのアナログデータ（例えば、圧力に相当するプロセスデータ）に対して動作データの設定値に対応したプロセスデータの基準値、即ち、例えばポンプの波形データが定常状態になるまでの時間の設定値に対応した圧力の定常状態になるまでの時間を基準値として設定しておくことで、特徴量との比較が可能になるが、その場合プロセス条件の変更（例えば、着色レジストの変更によるプロセス条件の変更）、経時変化などで、設定値に対する出力値が変化することもあるため、設定の条件の変更に併せて判定条件を設定する必要がある。そこで、プロセスデータのアナログデータに基づいた基準値を作成し、前記設定の条件を変更するたびに判定条件を設定する代わりとする。アナログデータに基づいた基準値を用いるため、プロセス条件の変更、経時変化に追従した判定条件の設定が可能となる。
【００３８】
特徴量の算出方法について説明する。
【００３９】
先ず、特徴量の算出を行う必要があるが、ＥＥＳ１２では、着色レジストの塗布装置の場合、塗布前、塗布中、塗布後などのプロセス動作毎にアナログデータを区切って収集している。しかし、プロセス動作毎のアナログデータの変化が大きく、平均値の算出、特定の部分のピークの抽出などが困難となるため、特徴量を算出する際には、プロセス動作の中で細かく区間を区切って波形データを抽出する必要がある。即ち、動作データを示す波形データの区間を区切って設定値に対応する数値を動作データの特徴量として算出する。
【００４０】
図５は区間の抽出方法の一例を示す図である。図５（ａ）は着色レジストを供給するためのポンプの時間経過と内圧の関係を示す波形データで、矢印３１で示す時点でＯＵＴバルブが開き、矢印３２はＯＵＴバルブが開いてから４秒後の時点を示す。このようなイベントがあった場合のプロセス動作の中で細かく区間を区切って特徴量を算出する。図５（ｂ）は図５（ａ）における矢印３１で示す時点でＯＵＴバルブが開いたタイミングから矢印３２で示すＯＵＴバルブが開いてから４秒後の時点までを示す波形データ３３を拡大した図である。この場合抽出する特徴量は、立ち上がりのタイミング３４やピークが現れるタイミング３５や定常状態となるタイミング３６における時刻や内圧の値や平均値から特徴量を算出する。このようにアナログデータを区切って収集するタイミングは、デジタルデータのＯＮ／ＯＦＦのタイミング（上記図５の場合は、デジタルデータとしてはＯＵＴバルブが開いたタイミングを指す）やアナログデータが任意の閾値を超えた瞬間のタイミング、これらのタイミングから一定時間経過したタイミングなどを用いる。処理装置毎に区間の抽出と特徴量の算出を行うことによって、処理装置毎の動作の正常／異常の判断を行うことが出来る。
【００４１】
区間抽出後に算出する特徴量には、既に設定されている設定値に対応する波形データの平均値、最大値、最小値や波形データの傾きや波形データの立ち上がりのタイミングや波形データが定常状態になるまでの時間や波形データのピークの出現タイミングが考えられ
る。
【００４２】
動作データ、プロセスデータ両方の特徴量の値を求め、動作データの正常／異常の判定を行う場合は、上位システムから得られる装置の設定値と抽出した区間でのアナログデータの特徴量の比較を行い正常／異常の判定を行う。プロセスデータの正常／異常の判定を行う際には、抽出した区間でのプロセスデータのアナログデータの特徴量とプロセスデータの基準値とを比較して判定を行う。
【００４３】
プロセスデータのアナログデータの特徴量の算出例について図６を用いて説明する。図６に示される２つの波形データの内、４１は上記ポンプの時間経過と内圧（左目盛）の関係を示す波形データで、４２は同じ時間経過における着色レジストの吐出ノズルにおける吐出圧力（右目盛）を示す波形データである。３５はポンプのＯＵＴバルブが開いたタイミング（図５中の３５と同じ）、３６はポンプの内圧がピークとなるタイミング（図５中の３６と同じ）、３７は吐出ノズルにおける吐出圧力が立ち上がるタイミング、３８は吐出ノズルにおける吐出圧力がピークとなるタイミングを示す。
【００４４】
動作データの特徴量算出と同じようにプロセスデータの特徴量の算出においても、イベントがあった場合の波形データの中で細かく区間を区切って基準値に対応する数値をプロセスデータの特徴量として算出する。図６に示される着色レジストの吐出ノズルにおける吐出圧力の波形データ４２から、ポンプのＯＵＴバルブが開いたタイミング３５から吐出ノズルにおける吐出圧力が立ち上がるタイミング３７までの時間経過４３や、吐出圧力が立ち上がるタイミング３７から吐出圧力がピークとなるタイミング３８までの時間経過４４や、ポンプの内圧がピークとなったタイミングにおける吐出圧力４５や吐出圧力がピークとなるタイミング３８や、吐出圧力のピークとなった時点での吐出圧力値４６を算出し、プロセスデータの特徴量とする。
【００４５】
プロセスデータの基準値の設定方法を説明する。
【００４６】
動作データの特徴量と設定値が一致する場合に処理装置が正常に稼動したと仮定して、この仮定の場合の出力をプロセスデータの基準値として予め定める。即ち、処理装置の動作を示すアナログデータが設定値内にある時に処理装置の動作に基づく出力のアナログデータから特徴量を求め、特徴量毎に基準値を設定する。基準値の設定は、例えば着色レジストの変更などのプロセス条件を変更した当初が望ましい。基準値としては例えば上記吐出圧力に相当するプロセスデータに対しては、以下に示すように特徴量毎に基準値を設定する。基準値の設定方法は入力側ポンプのＯＵＴバルブが開いたタイミング３５から吐出ノズルにおける吐出圧力が立ち上がるタイミング３７までの時間経過４３はポンプが立ち上がり時間の１５０％以内としたり、吐出圧力が立ち上がるタイミング３７から吐出圧力がピークとなるタイミング３８までの時間経過４４はポンプの立ち上がるタイミングからポンプの内圧がピークとなったタイミングまでの時間経過の１１０％以内としたり、ポンプの内圧がピークとなったタイミングにおける吐出圧力４５は、ポンプ内圧のピーク圧力の７０％以上とすることによって処理装置の動作データからプロセスデータの基準値を設定することも出来る。このように処理装置の動作を示す波形データに基づいてプロセスデータの基準値を設定することによって、着色レジストの変更に伴うプロセス条件を変更する場合にも、ポンプの波形データからプロセスデータの特徴量と比較する基準値を設定することが可能となり、処理装置の経時変化により動作データの値が変化しても、プロセスデータは同じ基準で判定することが可能となる。この基準値設定は、プロセス条件を変更する度に人手を介さずに設定することが出来る。
【００４７】
正常／異常の判定方法について説明する。
【００４８】
図７に判定のフローを示す。尚、動作データの特徴量と比較する設定値はＬＣＳから取得することが出来、プロセスデータの特徴量と比較する基準値は既に上記方法で設定されているものとする。開始（Ｓ１）後、先ず特徴量を抽出する波形データの区間を抽出する（Ｓ２）。動作データから特徴量の算出（Ｓ３）を行った後、全ての動作データの特徴量の算出が行われた場合には（Ｓ４のＹＥＳ）、動作データの特徴量と設定値を比較し（Ｓ５）、正常の範囲内であれば（Ｓ６のＹＥＳ）、次にプロセスデータの特徴量を算出し（Ｓ７）、すべての特徴量を算出した場合には（Ｓ８のＹＥＳ）、算出したプロセスデータの特徴量と基準値を比較し、基準値に対して正常な範囲内であれば（Ｓ９のＹＥＳ）、直ちに終了する。
【００４９】
ステップ（Ｓ４）において、全ての動作データの特徴量を算出していない場合は（Ｓ４のＮＯ）、ステップ（Ｓ３）に戻り特徴量の算出を行う。
【００５０】
ステップ（Ｓ６）において、動作データの特徴量と設定値を比較し正常な範囲内でない場合は（Ｓ６のＮＯ）、アラームを発生（Ｓ１０）し、異常発生の波形データ、区間、特徴量の表示を行い（Ｓ１１）、更に、異常が発生した区間、特徴量での異常部分の特定情報があるかどうかを判定し（Ｓ１２）、特定情報があった場合は（Ｓ１２のＹＥＳ）、異常発生部分及びメンテナンス方法を表示し（Ｓ１３）、直ちに終了する（Ｓ１４）。
【００５１】
ステップ（Ｓ９）において、プロセスデータ特徴量と基準値を比較し正常な範囲内ではない場合は（Ｓ９のＮＯ）、動作データの場合同様、アラームを発生（Ｓ１０）し、異常発生の波形データ、区間、特徴量の表示を行い（Ｓ１１）、更に、異常が発生した区間、特徴量での異常部分の特定情報があるかどうかを判定し（Ｓ１２）、特定情報があった場合は（Ｓ１２のＹＥＳ）、異常発生部分及びメンテナンス方法を表示し（Ｓ１３）、直ちに終了する（Ｓ１４）。
【００５２】
ステップ（Ｓ１２）において、特定情報がない場合は（Ｓ１２のＮＯ）、直ちに終了する（Ｓ１４）。この場合には、異常発生部分を手動で探索して異常を修正し、更にメンテナンス情報をシステムに記憶させ、新たな異常部分の特定情報とする。上記判定フローは、１つの波形データ毎に行われる。
【００５３】
異常発生時の対処方法について説明する。異常が発生した場合はアラームを発生し、ＰＣ端末上に入力側、出力側どちらの異常かを表示し、更に関連する波形を表示する。また、抽出した区間、特徴量毎に異常の発生原因を登録する。
【００５４】
本発明を実施するための形態をカラーフィルタのガラス基板を製造する場合を例として示したが、これに限定することなく、広く製造工程における処理装置の異常や製造状況の異常を検出する場合に適用できる。
【００５５】
以上のように本発明による異常検出方法及び異常検出システムによれば、製造工程における処理装置の動作異常や製造状況の異常を判定することが可能となり、不良発生の原因データを蓄積することによって不良の発生原因を特定することが出来るため、不良品の発生を抑制することが可能となる。
【００５６】
異常を発見した場合には、異常の発生箇所を特定することが可能となり、処理装置の修理復旧や、メンテナンスなどの異常原因に対する素早い対応が可能となり、生産効率の低下を防ぐことが出来る。
【符号の説明】
【００５７】
１・・・カラーフィルタ
２・・・ガラス基板
３・・・ブラックマトリックス
４ａ・・・レッドＲの着色画素
４ｂ・・・グリーンＧの着色画素
４ｃ・・・ブルーＢの着色画素
５・・・透明電極
６・・・フォトスペーサー
７・・・バーテイカルアライメント
１１・・・処理装置
１２・・・ＥＳＳ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）
１３・・・ＬＣＳ（Ｌｉｎｅ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）
１４・・・パソコン（ＰＣ）
１５・・・ＩＤ情報
１６・・・動作データとプロセスデータ
１７・・・波形データ
１８・・・プロセスデータの波形データ
１９・・・動作データの波形データ
２０・・・動作データの特徴量情報
２１・・・プロセスデータの特徴量情報
３１・・・ＯＵＴバルブが開いた時点を示す矢印
３２・・・ＯＵＴバルブが開いてから４秒後の時点を示す矢印
３３・・・拡大する波形データ
３４・・・立ち上がりのタイミング
３５・・・ピークが現れるタイミング
３６・・・定常状態となるタイミング
３７・・・吐出ノズルにおける吐出圧力が立ち上がるタイミング
３８・・・吐出ノズルにおける吐出圧力がピークとなるタイミング
４１・・・ポンプの時間経過と内圧の関係を示す波形データ
４２・・・着色レジストの吐出ノズルにおける吐出圧力を示す波形データ
４３・・・ポンプのＯＵＴバルブが開いたタイミングから吐出ノズルにおける吐出圧力が
立ち上がるタイミングまでの時間経過
４４・・・吐出圧力が立ち上がるタイミングから吐出圧力がピークとなるタイミングまで
の時間経過
４５・・・ポンプの内圧がピークとなったタイミングにおける吐出圧力
４６・・・吐出圧力がピークとなった時点での吐出圧力値
【図１】
0005504838.tif 000002
【図２】
0005504838.tif 000003
【図３】
0005504838.tif 000004
【図４】
0005504838.tif 000005
【図５】
0005504838.tif 000006
【図６】
0005504838.tif 000007
【図７】
0005504838.tif 000008