(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせてシートガラスを成形し、前記成形体から流下した前記シートガラスをローラ対により下方に引張りながら徐冷するガラス基板の製造方法であって、
前記ローラ対は、前記シートガラスを挟持するように配置された固定ローラと可動ローラから構成され、
前記固定ローラに対して前記シートガラス側に第1の力を付与し、該第1の力によって前記シートガラス側に付勢された前記固定ローラが所定の位置で停止するように規制手段によって規制され、
前記可動ローラに対して前記シートガラス側に第２の力を付与し、
前記第１の力は前記第２の力よりも大となるように設定することを特徴とするガラス基板の製造方法。
【請求項２】
前記シートガラスの反りを低減するように、前記固定ローラの前記シートガラス側への前進位置を前記規制手段によって規制して前記固定ローラの位置決めを行うことを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項３】
前記ローラ対は、前記シートガラスの流下方向に沿って複数段備えられ、複数段のローラ対のそれぞれの前記固定ローラの芯の位置が一直線上になるようにそれぞれの前記固定ローラの位置決めを行うことを特徴とする請求項２に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項４】
前記ローラ対は、前記シートガラスの流下方向に沿って複数段備えられ、製造されたシートガラスの反りに応じて、複数段のローラ対のそれぞれの前記固定ローラの位置を調整することを特徴とする請求項２に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項５】
前記成形体から流下した前記シートガラスを前記ローラ対により下方に引張りながら徐冷する際に形成される前記シートガラスの幅方向の温度プロファイルを、流れ方向に沿って所定の設定に制御することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項６】
前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた熱源を用いて、前記シートガラスに、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えて徐冷することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のガラス基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板を製造するガラス基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（以下、「ＦＰＤ」という。）に用いるガラス基板には、厚さが例えば０．５〜０．７ｍｍと薄いガラス板が用いられている。このＦＰＤ用ガラス基板は、例えば第１世代では３００×４００ｍｍのサイズであるが、第１０世代では２８５０×３０５０ｍｍのサイズになっている。
【０００３】
このような大きなサイズのＦＰＤ用ガラス基板を製造するには、オーバーフローダウンドロー法がよく使用される。オーバーフローダウンドロー法は、成形炉において熔融ガラスを成形体の上部から溢れ（オーバーフロー）させることにより成形体の下方においてシートガラス（板状ガラス）を成形する工程と、シートガラスを徐冷炉において徐冷する冷却工程とを含む。徐冷炉は、対になったローラ間にシートガラスを引き込み下方に搬送することにより所望の厚さに引き伸ばしながら、シートガラスを徐冷する。この後、シートガラスは、所定の寸法に切断され、次工程へ送られる。
【０００４】
このようなオーバーフローダウンドロー法を用いるガラス基板の製造方法が特許文献１に開示されている。特許文献１（特に段落００１８〜００２３を参照）には、成形体からオーバーフローされたシートガラスを挟持し、下方に引き下げる一対の引張りローラが開示されている。そして、この一対の引張りローラは、エアシリンダによって前進位置と後退位置との間を水平方向に移動される。つまり、この引張りローラを使用するときは前進挟持させ、使用しないときは後退開放させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平５−１９３９６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、成形体からオーバーフローされた熔融ガラスは、反り、歪が一定の品質基準を満たすように冷却（徐冷）される。具体的には、反り及び歪が所定の値になるように、流れ方向に沿ってシートガラスの幅方向の温度プロファイルが予め設計されている。すなわち、予め設計された温度プロファイルとなるように温度管理を実行することにより、予め想定した反り、歪値のガラス基板を製造することができる。これによって、顧客先の反りおよび歪の品質基準を満たすガラス基板を製造することができる。したがって、シートガラスが設計された温度プロファイルとなるように、冷却装置やヒータなどを用いて厳密な温度管理を行っている。
【０００７】
ところが、徐冷工程において、上記のように設計された温度プロファイルとなるように厳密に温度管理を行っていても、その他の要因により製造されたガラス基板の反り、歪が予め想定した値からずれてしまい、その結果、品質基準を満たさなくなってしまう場合がある。例えば、上記のシートガラスを引き下げる引張りローラ対の配置が不適切な場合、シートガラスに対して不適切な応力がかかり、不適切な方向へ無理やり曲げられて引張られてしまう。また、ローラは次第に磨耗するので、適宜再配置（ローラ位置の再調整）が必要である。このように上記引張りローラが適切な位置に精度良く配置されていないと、所望の（予め想定した）反り値を有するガラス基板を得ることができない。
【０００８】
ところで、上記特許文献１には、後退していた引張りローラをエアシリンダにより前進させて、シートガラスを引張る（引き下げる）ことは記載されているが、具体的にはどのようにローラの位置決めをしているのかについては記載がない。
【０００９】
そこで、本発明は、設計された温度プロファイルを再現した場合に実現することができるガラス基板の平面度（反り量）を精度良く得ることが可能なガラス基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者は、成形体からオーバーフローして流下したシートガラスを下方に引張るローラ対を、シートガラスを挟持するように配置された固定ローラと可動ローラから構成し、固定ローラの位置を所定の適切な位置に精度良く位置決めでき、且つ容易に調整できるようにすることで、長期間の製造においてもシートガラスに不適切な（無理な）力が加わることがなく、上記課題を達成できることを知見し、以下の構成の発明を想到するに至った。
【００１１】
（構成１の発明）
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせてシートガラスを成形し、前記成形体から流下した前記シートガラスをローラ対により下方に引張りながら徐冷するガラス基板の製造方法であって、前記ローラ対は、前記シートガラスを挟持するように配置された固定ローラと可動ローラから構成され、前記固定ローラに対して前記シートガラス側に第1の力を付与し、該第1の力によって前記シートガラス側に付勢された前記固定ローラが所定の位置で停止するように規制手段によって規制され、前記可動ローラに対して前記シートガラス側に第２の力を付与し、前記第１の力は前記第２の力よりも大となるように設定することを特徴とするガラス基板の製造方法である。
【００１２】
（構成２の発明）
前記シートガラスの反りを低減するように、前記固定ローラの前記シートガラス側への前進位置を前記規制手段によって規制して前記固定ローラの位置決めを行うことを特徴とする構成１に記載のガラス基板の製造方法である。
【００１３】
（構成３の発明）
前記ローラ対は、前記シートガラスの流下方向に沿って複数段備えられ、複数段のローラ対のそれぞれの前記固定ローラの芯の位置が一直線上になるようにそれぞれの前記固定ローラの位置決めを行うことを特徴とする構成２に記載のガラス基板の製造方法である。
（構成４の発明）
前記ローラ対は、前記シートガラスの流下方向に沿って複数段備えられ、製造されたシートガラスの反りに応じて、複数段のローラ対のそれぞれの前記固定ローラの位置を調整することを特徴とする構成２に記載のガラス基板の製造方法である。
【００１４】
（構成５の発明）
前記成形体から流下した前記シートガラスを前記ローラ対により下方に引張りながら徐冷する際に形成される前記シートガラスの幅方向の温度プロファイルを、流れ方向に沿って所定の設定に制御することを特徴とする構成１乃至４のいずれか一項に記載のガラス基板の製造方法である。
【００１５】
（構成６の発明）
前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた熱源を用いて、前記シートガラスに、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えて徐冷することを特徴とする構成１乃至５のいずれか一項に記載のガラス基板の製造方法である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、徐冷工程において、成形体からオーバーフローして流下したシートガラスを下方に引張るローラ対を、シートガラスを挟持するように配置された固定ローラと可動ローラから構成し、固定ローラの位置を所定の適切な位置に精度良く位置決めでき、且つ容易に調整できるので、長期間の製造においてもシートガラスに不適切な（無理な）力が加わることがなく、予め想定した所望の、すなわち予め設計された温度プロファイルを再現した場合に実現することができるガラス基板の平面度（反り量）を精度良く得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明のガラス基板の製造方法のフローの一例を示す図である。
【図２】本発明における熔解工程乃至切断工程を行う装置の一例を模式的に示す図である。
【図３】図２に示す成形装置の概略の側面図である。
【図４】本発明における温度プロファイルの制御に用いるヒータユニットを説明する図である。
【図５】本発明における複数の温度プロファイルを説明する図である。
【図６】本発明におけるローラ配置の制御方法の第１の実施の形態を示す要部側面図である。
【図７】本発明におけるローラ配置の制御方法の第２の実施の形態を示す要部側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
（ガラス基板の製造方法の全体概要）
図１は、本発明の実施形態であるガラス基板の製造方法のフローを示す図である。
ガラス基板の製造方法は、熔解工程（ＳＴ１）と、清澄工程（ＳＴ２）と、均質化工程（ＳＴ３）と、供給工程（ＳＴ４）と、成形工程（ＳＴ５）と、冷却工程（ＳＴ６）と、切断工程（ＳＴ７）と、を主に有する。また、ガラス基板の製造方法は、研削工程、研磨工程、洗浄工程、検査工程、梱包工程等の他の工程を有する。梱包工程で積層された複数のガラス板は、納入先の業者（顧客）に搬送される。
【００１９】
図２は、熔解工程（ＳＴ１）〜切断工程（ＳＴ７）を行う装置を模式的に示す図である。当該装置は、図２に示すように、熔解装置１００と、成形装置２００と、切断装置３００とを主に有する。熔解装置１００は、熔解槽１０１と、清澄槽１０２と、攪拌槽１０３と、第１配管１０４と、第２配管１０５と、第３配管１０６とを有する。成形装置２００については後述する。
【００２０】
熔解工程（ＳＴ１）では、熔解槽１０１内に供給されたガラス原料を、図示されない火焔及び電気ヒータで加熱して熔解することで熔融ガラスＭＧを得る。清澄工程（ＳＴ２）は、清澄槽１０２において行われ、熔解槽１０１から第１配管１０４を通って供給された清澄槽１０２内の熔融ガラスＭＧを加熱することにより、熔融ガラスＭＧ中に含まれる酸素やＳＯ2の気泡が、清澄剤の酸化還元反応により成長し液面に浮上して放出される、あるいは、気泡中のガス成分が熔融ガラスＭＧ中に吸収されて、気泡が消滅する。
均質化工程（ＳＴ３）では、清澄槽１０２から第２配管１０５を通って供給された攪拌槽１０３内の熔融ガラスＭＧを、スターラ１０３ａを用いて攪拌することにより、ガラス成分の均質化を行う。
供給工程（ＳＴ４）では、熔融ガラスＭＧが、攪拌槽１０３から第３配管１０６を通って成形装置２００に供給される。
【００２１】
成形装置２００では、成形工程（ＳＴ５）及び冷却工程（ＳＴ６）が行われる。
成形工程（ＳＴ５）では、熔融ガラスＭＧをシートガラスＳＧ（図３参照）に成形し、シートガラスＳＧの流れを作る。本実施形態では、後述する成形体２１０を用いたオーバーフローダウンドロー法を用いている。この場合、シートガラスＳＧの流れ方向（図中Ｚ方向）は、鉛直下方となる。冷却工程（ＳＴ６）では、成形されて流れるシートガラスＳＧが所望の厚さになり、冷却に起因する反り、歪が生じないように冷却される。
切断工程（ＳＴ７）では、切断装置３００において、成形装置２００から供給されたシートガラスＳＧが所定の長さに切断されることで、板状のガラス基板Ｇを得る。
この後、ガラス基板Ｇの端面の研削・研磨が行われた後、ガラス基板Ｇの洗浄が行われ、さらに、気泡や脈理等の異常欠陥の有無が検査された後、検査合格品のガラス基板Ｇが最終製品として梱包される。
【００２２】
本実施形態において製造されるガラス基板Ｇは、例えば、液晶ディスプレイ用ガラス基板、有機ＥＬディスプレイ用ガラス基板、カバーガラスに好適に用いられる。また、このガラス基板は、その他、携帯端末機器などのディスプレイや筐体用のカバーガラス、タッチパネル板、太陽電池のガラス基板やカバーガラスとしても用いることができる。特に、ポリシリコンＴＦＴを用いた液晶ディスプレイ用ガラス基板に好適である。
また、ガラス基板Ｇの厚さは、例えば０．１ｍｍ〜１．５ｍｍである。好ましくは０．１〜１．２ｍｍ、より好ましくは０．３〜１．０ｍｍ、さらにより好ましくは０．３〜０．８ｍｍ、特に好ましくは０．３〜０．５ｍｍである。
さらに、ガラス基板Ｇの幅方向の長さは、例えば５００ｍｍ〜３５００ｍｍであり、１０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることが好ましく、２０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることがより好ましい。一方、ガラス基板Ｇの縦方向の長さも、例えば５００ｍｍ〜３５００ｍｍであり、１０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることが好ましく、２０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることがより好ましい。
【００２３】
（ガラス基板の組成）
ガラス基板Ｇに用いるガラスは、例えば、ボロシリケートガラス、アルミノシリケートガラス、アルミノボロシリケートガラス、ソーダライムガラス、アルカリシリケートガラス、アルカリアルミノシリケートガラス、アルカリアルミノゲルマネイトガラスなどを適用することができる。なお、本発明に適用できるガラスは上記に限定されるものではない。
【００２４】
ガラス基板Ｇのガラス組成は例えば以下のものを挙げることができる。以下示す組成の含有率表示は、質量％である。
ＳｉＯ２：５０〜７０％、 
Ａｌ２Ｏ３：０〜２５％、 
Ｂ２Ｏ３：1〜１５％、 
ＭｇＯ：０〜１０％、 
ＣａＯ：０〜２０％、 
ＳｒＯ：０〜２０％、 
ＢａＯ：０〜１０％、 
ＲＯ：５〜３０％（ただし、ＲはＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａの合量)、 
を含有する無アルカリガラスであることが、好ましい。
【００２５】
なお、本実施形態では無アルカリガラスとしたが、ガラス基板Ｇはアルカリ金属を微量含んだアルカリ微量含有ガラスであってもよい。アルカリ金属を含有させる場合、Ｒ'2Ｏの合計が０．１０％以上０．５％以下、好ましくは０．２０％以上０．５％以下 (ただし、Ｒ'はＬｉ、Ｎａ及びＫから選ばれる少なくとも１種であり、ガラス基板Ｇが含有するものである)含むことが好ましい。勿論、Ｒ’2Ｏの合計が０．１０％未満であってもよい。また、ガラスの熔解を容易にするために、比抵抗を低下させるという観点から、ガラス中の酸化鉄の含有量が０．０１〜０．２％（好ましくは０．０１〜０．０８％）であることがさらに好ましい。また、清澄剤として添加される酸化錫の含有量が０．０１〜１％（好ましくは０．０１〜０．５％）であることがさらに好ましい。
【００２６】
（成形装置の説明）
図３は、ガラス基板Ｇの成形装置２００の構成を示す側面図である。
成形装置２００は、成形工程（ＳＴ５）を行う成形炉２０１と、冷却工程（ＳＴ６）を行う徐冷炉２０２とを含む。
【００２７】
本実施形態で行う冷却工程（ＳＴ６）では、ガラス基板Ｇの反りおよび歪を低減するために、成形工程（ＳＴ５）で成形されたシートガラスＳＧの幅方向（図２に示す成形装置２００における水平方向）に沿って設けられた冷却ユニットおよびヒータユニットを用いて、シートガラスＳＧに、シートガラスＳＧの幅方向に沿って温度分布を与えながら冷却する徐冷処理を行う。
【００２８】
成形炉２０１及び徐冷炉２０２は、耐火レンガ、耐火断熱レンガ、あるいはファイバー系断熱材等の耐火物で構成された炉壁に囲まれて構成されている。成形炉２０１は、徐冷炉２０２に対して鉛直上方に設けられている。成形炉２０１及び徐冷炉２０２の炉壁で囲まれた炉内部空間には、成形体２１０と、雰囲気仕切り部材２２０と、冷却ローラ２３０と、冷却ユニット２４０と、搬送ローラ２５０ａ〜２５０ｃを含む複数の搬送ローラと、複数の温度調整装置とが設けられている。
【００２９】
成形体２１０は、図２に示すように、第３配管１０６を通して熔解装置１００から流れてくる熔融ガラスＭＧを、シートガラスＳＧに成形する。これにより、成形装置２００内で、鉛直下方のシートガラスＳＧの流れが作られる。成形体２１０は、耐火レンガ等によって構成された細長い構造体であり、図３に示すように断面が楔形状を成している。成形体２１０の上部には、熔融ガラスＭＧを導く流路となる溝２１２が設けられている。溝２１２は、成形体２１０に設けられた供給口において第３配管１０６と接続され、第３配管１０６を通して流れてくる熔融ガラスＭＧは、溝２１２を伝って流れる。溝２１２の深さは、熔融ガラスＭＧの流れの下流ほど浅くなっており、溝２１２から熔融ガラスＭＧが鉛直下方に向かって溢れ出るようになっている。
溝２１２から溢れ出た熔融ガラスＭＧは、成形体２１０の両側の側壁を伝わって流下する。側壁を流れた熔融ガラスＭＧは、成形体２１０の下方端部２１３（図３に示す）で合流し、１つのシートガラスＳＧが成形される。シートガラスＳＧは、図３に示すシートガラスＳＧの流下方向であるＺ方向に流れる。なお、成形体２１０の下方端部２１３の直下におけるシートガラスＳＧの温度は、１０5.7〜１０7.5ｐｏｉｓｅの粘度に相当する温度（例えば１０００〜１１３０℃）である。
【００３０】
成形体２１０の下方端部２１３の下方近傍には、雰囲気仕切り部材２２０が設けられている。雰囲気仕切り部材２２０は、一対の板状の断熱部材であって、シートガラスＳＧを厚さ方向（図中Ｘ方向）の両側から挟むように、シートガラスＳＧの厚さ方向の両側に設けられている。シートガラスＳＧと雰囲気仕切り部材２２０との間には、雰囲気仕切り部材２２０がシートガラスＳＧに接触しない程度に隙間が設けられている。雰囲気仕切り部材２２０は、成形炉２０１の内部空間を仕切ることにより、雰囲気仕切り部材２２０の上方の炉内部空間と下方の炉内部空間との間の熱の移動を遮断する。
【００３１】
雰囲気仕切り部材２２０の下方には空冷式の冷却ローラ２３０が設けられている。冷却ローラ２３０は、図３に示すように、シートガラスＳＧを厚さ方向の両側から挟むように、シートガラスＳＧの厚さ方向の両側に設けられている。なお、冷却ローラ２３０は、シートガラスＳＧの幅方向両端部の温度が約１０9・0ｐｏｉｓｅ以上の粘度に相当する温度（例えば９００℃以下）に低下するまで、冷却することが好ましい。
【００３２】
雰囲気仕切り部材２２０の下方に冷却ユニット２４０が設けられている。冷却ユニット２４０は、複数の冷却装置から構成されている。
【００３３】
天板２０２ａの下方の天板２０２ａと天板２０２ｂに挟まれた領域には、温度調整装置が設けられている。この領域には搬送ローラ２５０ａがシートガラスＳＧの厚さ方向の両側のそれぞれに設けられている。さらに、この領域には、熱源であるヒータユニット２７０が、温度調整装置としてシートガラスＳＧの厚さ方向の両側のそれぞれに設けられている。ヒータユニット２７０は、シートガラスＳＧの幅方向の温度プロファイルを制御するように、シートガラスの幅方向に沿って複数設けられたヒータを有する。ヒータはそれぞれ、加熱量が調整可能である。
【００３４】
天板２０ｂの下方に隣接する天板（図示されず）と天板２０２ｂに挟まれた領域には、さらに、別のヒータユニット２７０を用いた温度調整装置が設けられている。
【００３５】
図４は、上記ヒータユニット２７０を説明する図である。なお、図４では、搬送ローラ２５０ａの図示は省略されている。
ヒータユニット２７０は、シートガラスＳＧの幅方向に沿って５つのヒータ２７０ａ〜２７０ｅに分かれており、それぞれのヒータ２７０ａ〜２７０ｅがそれぞれ熱を発する。ヒータ２７０ａ〜２７０ｅは、例えば、クロム系発熱線等の熱源を備える。５つのヒータ２７０ａ〜２７０ｅのそれぞれの加熱量は個別に調整可能に構成されている。
【００３６】
上記冷却ローラ２３０、冷却ユニット２４０およびヒータユニット２７０により、例えば、以下のように、シートガラスＳＧが、予め設計された温度プロファイルに対応した温度分布を持つように、冷却する。図５は、本発明における複数の温度プロファイルを説明する図である。
粘性領域では、例えば、第１温度プロファイルＰ１が設計されている。粘弾性領域では、例えば、第２温度プロファイルＰ２、第３温度プロファイルＰ３および第４温度プロファイルＰ４が設計されている。
第１温度プロファイルＰ１は、シートガラスの幅方向の端部が端部に挟まれた中央領域の温度より低く、且つ、中央領域の温度が均一になるような温度プロファイルである。第１温度プロファイルＰ１により、幅方向の収縮を抑えつつ、シートガラスの板厚を均一にすることができる。
第２温度プロファイルＰ２は、シートガラスの幅方向の温度が中央部から端部に向かって漸減するような温度プロファイルである。第３温度プロファイルＰ３は、第２温度プロファイルＰ２と同様、シートガラスの幅方向の温度が中央部から端部に向かって漸減するような温度プロファイルであるが、温度勾配が第２温度プロファイルＰ２より低減されている。第４温度プロファイルＰ４は、ガラス歪点の近傍の温度領域において、シートガラスの幅方向の端部と中央部との温度勾配がさらに低減し、略均一になるような温度プロファイルである。第２温度プロファイルＰ２、第３温度プロファイルＰ３および第４温度プロファイルＰ４により、反り及び歪（残留応力）を低減できる。なお、シートガラスの中央領域は、板厚を均一にする対象の部分を含む領域であり、シートガラスの端部は、製造後に切断される対象の部分を含む領域である。
【００３７】
以上説明したとおり、成形体からオーバーフローされた熔融ガラスは、反り及び歪が生じないように、上述の徐冷工程が実施される。この徐冷工程においては、上述したように、反りが生じないように、流れ方向に沿ってシートガラスの幅方向の温度プロファイルが予め設計されており、シートガラスが設計された温度プロファイルとなるように、冷却装置やヒータなどを用いて厳密な温度管理を行っている。ところが、この徐冷工程において、上記のように設計された温度プロファイルとなるように厳密に温度管理を行っていても、その他の要因、例えば、上記のシートガラスを引き下げる搬送ローラ対の配置が不適切な場合、シートガラスに対して不適切な応力がかかり、その結果、製造されたガラス基板に反りが生じてしまい、予め想定した反り値を有するガラス基板を得ることができない。また、ローラは次第に磨耗するので、適宜再配置（ローラ位置の再調整）が必要である。このように上記搬送ローラが適切な位置に精度良く配置されていないと、所望の（予め想定した）反り値を有するガラス基板を得ることができない。
【００３８】
そこで、本発明では、成形体からオーバーフローして流下したシートガラスを下方に引張るローラ対を、シートガラスを挟持するように配置された固定ローラと可動ローラから構成し、固定ローラの位置を所定の適切な位置に精度良く位置決めでき、且つ容易に調整できるようにすることで、長期間の製造においてもシートガラスに不適切な（無理な）力が加わることがなく、上記課題を達成できることを特徴としている。以下、実施の形態に基づき説明する。
【００３９】
［第１の実施の形態］
図６は、本発明におけるローラ配置の制御方法に関わる第１の実施の形態を示す要部側面図である。
ここで示す固定ローラ１０と可動ローラ２０から構成されるローラ対は、前述の図３に示す成形装置２００における搬送ローラ２５０ａ〜２５０ｃに相当するものである。従って、上記ローラ対は、成形装置の徐冷炉内において、上方から流れてくるシートガラスを挟持し、シートガラスを引き出しながら下方に搬送する。
【００４０】
上記固定ローラ１０は、側面視略くの字状のアーム１１の一端（下方端）に取り付けられている。上記アーム１１は、支点１２を軸心として上記固定ローラ１０が円弧を描くように回動可能に構成されている。
上記固定ローラ１０を取り付けたローラ軸１０ａは、図示しない駆動源によって所定方向（図中の反時計方向）に回転する。通常、搬送ローラの材質は断熱材であり、ローラ軸の材質は金属であり、本実施形態においても同様の材質のものが使用される。
【００４１】
上記アーム１１の他端には、重り（分銅）２が取り付けられており、この重り２の荷重により、固定ローラ１０に対してシートガラスＳＧ側に向けて所定の力が付与されている。この力は、上記アーム１１の他端に加わる荷重によって調整でき、具体的には、重り２の数や取付位置によって調整する。
【００４２】
また、上記固定ローラ１０のローラ軸１０ａを支持するハウジングには係止部材１３が取り付けられており、この係止部材１３中をネジ１４が係合できるように係止部材１３内は螺刻されている。そして、ネジ１４の先端は所定位置に固定されたストッパー１５に当接する。従って、上記重り２の荷重によってシートガラスＳＧ側に付勢された固定ローラ１０は、上記ネジ１４の先端がストッパー１５に当接することで所定の位置で停止するように規制されるため、固定ローラ１０の前進位置をストッパーで規制して位置決めすることができる。上記ネジ１４のねじ込み量を変えると、上記係止部材１３とネジ１４との相対位置が変更されるので、固定ローラ１０の位置を微調整することもできる。なお、上記重り２を取り外すことにより、アーム１１を反時計方向に回動させて上記固定ローラ１０を退避する方向（シートガラスＳＧから離れる方向）に移動させることができる。
【００４３】
一方、上記可動ローラ２０は、側面視略くの字状のアーム２１の一端（下方端）に取り付けられ、上記アーム２１は、支点２２を軸心として上記可動ローラ２０が円弧を描くように回動可能に構成されている。
上記アーム２１の他端には、重り（分銅）２が取り付けられており、この重り２の荷重により、可動ローラ２０に対してシートガラスＳＧ側に向けて所定の力が付与されている。この力は、上記アーム２１の他端に加わる荷重によって調整でき、具体的には、重り２の数や取付位置によって調整できる。
【００４４】
上記可動ローラ２０は、図示しない駆動源によって所定方向（図中の反時計方向）に回転する。可動ローラ２０に加わる付勢力（推力）が固定ローラ１０に加わる付勢力（推力）よりも大きいと、固定ローラ１０がシートガラス面から退避する方向に押込まれるため、固定ローラ１０に対してシートガラスＳＧ側に向けて付与される所定の力が、可動ローラ２０に対してシートガラスＳＧ側に向けて付与される所定の力よりも大きくなるように、上記重り２による荷重を調整する必要がある。
【００４５】
本実施の形態によれば、成形体からオーバーフローして流下したシートガラスを下方に引張るローラ対を、シートガラスを挟持するように配置された固定ローラ１０と可動ローラ２０から構成し、固定ローラの位置は、所定の適切な位置、すなわちシートガラスを垂直に引き出すための基準位置に精度良く位置決めすることができ、しかもその調整が容易にできる。一方、可動ローラも、重りによる荷重によってシートガラスに向けて所定の力が付与されており、可動ローラに付与される力はシートガラスを挟持する力そのものであるため、ガラス割れを起こさず、しかしガラスを保持できる力が付与されるように、重りによる荷重を調整することができる。つまり、ローラ位置が所定の位置に精度良く位置決めされている固定ローラに可動ローラを従動させるように調整されればよい。また、ローラの磨耗等により、固定ローラ位置の再調整が必要な場合には、上記ネジ１４のねじ込み量の調節により、固定ローラ位置を容易に微調整することが可能である。
【００４６】
従って、長期間の製造においてもシートガラスに不適切な（無理な）力が加わることがなく、設計した温度プロファイルにより想定した所望の平面度（反り量）を有するガラス基板を安定して製造することができる。
また、徐冷工程において、通常、上記ローラ対は、シートガラスの流下方向に沿って複数段備えられるが、複数段のローラ対のそれぞれの前記固定ローラの芯の位置が例えば一直線上になるように配置することができる。また、製造されたシートガラスの反りに応じて、各段のそれぞれの固定ローラの芯位置を適宜調整してもよい。本実施の形態によれば、各段の固定ローラの位置決めを精度良く且つ容易に行うことができるので、複数段のローラ対を適切に配置することが可能になる。
【００４７】
［第２の実施の形態］
図７は、本発明におけるローラ配置の制御方法に関わる第２の実施の形態を示す要部側面図である。
本実施の形態では、固定ローラと可動ローラをエアシリンダによって前進あるいは後退（退避）させる。
本実施の形態においては、固定ローラ３０を支持するローラ軸３０ａの軸受３１の下部に、ベアリングを内蔵するハウジング３２が設けられており、このハウジング３２には、エアシリンダ３３の作動軸３４が取り付けられている。上記ハウジング３２内のベアリングはレール部材４０と係合している。従って、エアシリンダ３３の作動によって、レール部材４０上を上記枠体３２が水平方向に移動するに伴って、上記固定ローラ３０はシートガラスＳＧに向けて前進（あるいは後退）する。このとき、固定ローラの前進位置は、上記レール部材４０に取り付けられたストッパー４１によって所定の位置（つまりシートガラスを垂直に引き出すための基準位置）に規制される。
【００４８】
一方、可動ローラ５０側も、可動ローラ５０を支持するローラ軸５０ａの軸受５１の下部に、ベアリングを内蔵するハウジング５２が設けられており、このハウジング５２には、エアシリンダ５３の作動軸５４が取り付けられている。上記ハウジング５２内のベアリングは固定ローラ側と同じくレール部材４０と係合している。従って、エアシリンダ５３の作動によって、レール部材４０上を上記枠体５２が水平方向に移動するに伴って、上記可動ローラ５０はシートガラスＳＧに向けて前進（あるいは後退）する。また、固定ローラ３０に対してシートガラスＳＧ側に向けて付与される所定の力が、可動ローラ５０に対してシートガラスＳＧ側に向けて付与される所定の力よりも大きくなるように、エアシリンダにより付与される力を調整する必要がある。
【００４９】
本実施の形態においても、成形体からオーバーフローして流下したシートガラスを下方に引張るローラ対を、シートガラスを挟持するように配置された固定ローラ３０と可動ローラ５０から構成し、固定ローラの位置は、固定ローラの前進位置をストッパー４１で規制して、所定の適切な位置、すなわちシートガラスを垂直に引き出すための基準位置に精度良く位置決めすることができる。しかもその位置決めは容易にできる。一方、可動ローラ５０も、エアシリンダによってシートガラスに向けて所定の力が付与されており、可動ローラに付与される力はシートガラスを挟持する力そのものであるため、ガラス割れを起こさず、しかしガラスを保持できる力が付与されるように、エアシリンダの圧力（圧力調整弁）等により調整することができる。つまり、ローラ位置が所定の位置に精度良く位置決めされている固定ローラに可動ローラを従動させるように調整されればよい。また、ローラの磨耗等により、固定ローラ位置の再調整が必要な場合には、上記ストッパー４１の調節により、固定ローラ位置を容易に微調整することが可能である。
【００５０】
従って、長期間の製造においてもシートガラスに不適切な（無理な）力が加わることがなく、設計した温度プロファイルにより想定した所望の平面度（反り量）を有するガラス基板を安定して製造することができる。
【実施例】
【００５１】
以下、本発明を実施例によってさらに具体的に説明する。
本発明のガラス基板の製造方法を実施するための本実施形態の製造装置を用いて、ガラス基板を製造した。なお、前述の搬送ローラ（図３）は、前述の図６に示す実施形態によって構成し、そのローラの配置を調整した。また、ガラス原料は、以下の組成となるように調合した。
ＳｉＯ2  ６１％，
Ａｌ2Ｏ3  １７％，
Ｂ2Ｏ3  １１％，
ＣａＯ  ６％，
ＳｒＯ  ３％，
ＢａＯ  １％
【００５２】
製造したガラス基板のそれぞれについて、各１週間に渡って３時間毎に１枚（８枚／日）づつサンプリングし、各５６枚のサンプルにつき平面度（反り量）を測定し、それぞれの平均値を算出した。
その結果、本実施形態のガラス基板の製造装置により製造されたガラス基板の平面度は所定値以下に低減し、良好な結果が得られた。また、ガラス割れの発生の頻度も低減した。
なお、平面度については、レーザ変位計を用いて測定した。
これより、本発明によるガラス基板の製造方法の効果は明確である。
【００５３】
本実施形態では、熱源としてヒータを複数備えるヒータユニットを用いたが、熱源は、熱を放射する発熱源であるヒータに限られず、熱風をシートガラスＳＧに向けて提供する高温エアー吹き付け装置をシートガラスＳＧの幅方向に複数設けたものであってもよい。
【００５４】
以上、本発明のガラス基板の製造方法について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
【符号の説明】
【００５５】
１０、３０  固定ローラ
２０，５０  可動ローラ
１５，４１  ストッパー
３３，５３  エアシリンダ
１００  熔解装置
１０１  熔解槽
１０２  清澄槽
１０３  攪拌槽
１０４  第１配管
１０５  第２配管
１０６  第３配管
２００  成形装置
２０１  成形炉
２０２  徐冷炉
２０２ａ，２０２ｂ  天板
２１０  成形体
２１２  溝
２１３  下方端部
２２０  雰囲気仕切り部材
２３０  冷却ローラ
２４０  冷却ユニット
２４２  中央部冷却ユニット
２４２  冷却量調整ユニット
２４４  端部冷却ユニット
２５０ａ〜２５０ｃ  搬送ローラ
２７０  ヒータユニット
２７０ａ〜２７０ｅ  ヒータ
３００  切断装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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