(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
室圧コントロールが実施される少なくとも２つの対象室と、それら対象室に空気を給気する給気ファンと、それら対象室から空気を排気する排気ファンとを備え、それら対象室のうちの室圧コントロールを中断する中断対象室の室圧を大気圧に戻す室圧コントロールシステムにおいて、
前記室圧コントロールシステムが、前記中断対象室に給気される空気の流量を調整可能な分離用第１ダンパと、前記中断対象室から排気される空気の流量を調整可能な分離用第２ダンパと、前記中断対象室の室圧に基づいて前記分離用第１ダンパおよび分離用第２ダンパのダンパ開度を操作するコントローラと、前記中断対象室の室圧を測定してその測定室圧を前記コントローラに出力する第１室圧センサとを含み、
前記中断対象室の室圧コントロールを中断する場合において前記コントローラは、前記中断対象室の上下限室圧と前記第１室圧センサから出力された該中断対象室の測定室圧とを比較する室圧比較手段と、前記中断対象室の上下限室圧と測定室圧とを比較した結果、前記測定室圧が前記上下限室圧の範囲内にある場合、前記第１および第２ダンパのダンパ開度を開状態から次第に閉じて全閉にする閉操作を行う第１閉操作手段と、前記測定室圧が前記上限室圧を上回った場合、前記第１ダンパのダンパ開度の前記閉操作を行いつつ前記第２ダンパのダンパ開度の前記閉操作を一時的に停止する第２閉操作手段と、前記測定室圧が前記下限室圧を下回った場合、前記第２ダンパのダンパ開度の前記閉操作を行いつつ前記第１ダンパのダンパ開度の前記閉操作を一時的に停止する第３閉操作手段とを実行することを特徴とする室圧コントロールシステム。
【請求項２】
前記コントローラは、前記上限室圧を上回っていた測定室圧が該上限室圧を上回らなくなった場合、前記第２閉操作手段を中断して前記第１閉操作手段を再開し、前記下限室圧を下回っていた測定室圧が該下限室圧を下回らなくなった場合、前記第３閉操作手段を中断して前記第１閉操作手段を再開する請求項１記載の室圧コントロールシステム。
【請求項３】
前記室圧コントロールシステムが、それら対象室から排気する空気の流量を調整して各対象室の室圧を設定室圧に保持する制御ダンパを含み、前記制御ダンパは、前記コントローラが前記第１〜第３閉操作手段を実行中に、前記中断対象室とその中断対象室を除く残余の対象室との室圧を設定室圧に保持するために、それら対象室から排気する空気の流量を調整する請求項１または請求項２に記載の室圧コントロールシステム。
【請求項４】
前記室圧コントロールシステムが、前記中断対象室を除く残余の対象室の室圧を測定してその測定室圧を前記コントローラに出力する第２室圧センサを含み、前記コントローラは、前記第１〜第３閉操作手段を実行中に、前記残余の対象室の設定室圧と前記第２室圧センサから出力された該残余の対象室の測定室圧とを比較し、前記残余の対象室の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、前記残余の対象室の測定室圧が設定室圧から外れた場合、前記第１〜第３閉操作手段を中断し、前記残余の対象室の測定室圧が設定室圧に戻った場合、前記第１〜第３閉操作手段を再開する請求項１ないし請求項３いずれかに記載の室圧コントロールシステム。
【請求項５】
前記室圧コントロールシステムが、前記中断対象室とその中断対象室を除く残余の対象室とに給気する空気の流量変化に対してその流量を一定に保持する定風量ユニットを含み、前記コントローラは、前記第１〜第３閉操作手段を実行時に、前記定風量ユニットから中断対象室に流入させる空気の流量を前記第１〜第３閉操作手段の実行直前の流量に保持する請求項１ないし請求項４いずれかに記載の室圧コントロールシステム。
【請求項６】
前記コントローラは、前記第１〜第３閉操作手段を実行中に、前記給気ファンのインバータをコントロールし、前記給気ファンから給気する空気の静圧を一定に保持した状態で該給気ファンから給気する空気の風量を所定の下がり勾配で減少させる給気ファン制御手段を含む請求項１ないし請求項５いずれかに記載の室圧コントロールシステム。
【請求項７】
前記コントローラは、前記給気ファン制御手段を実行中に、前記残余の対象室の設定室圧と前記第２室圧センサから出力された該残余の対象室の測定室圧とを比較し、前記残余の対象室の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、前記残余の対象室の測定室圧が設定室圧から外れた場合、前記給気ファン制御手段を中断し、前記残余の対象室の測定室圧が設定室圧に戻った場合、前記給気ファン制御手段を再開する請求項６記載の室圧コントロールシステム。
【請求項８】
前記コントローラは、前記残余の対象室の測定室圧が設定室圧に戻り、前記給気ファン制御手段を再開する場合、再開前の前記給気ファン制御手段の処理速度よりも再開後の該給気ファン制御手段の処理速度を上げる請求項７記載の室圧コントロールシステム。
【請求項９】
前記コントローラは、前記第１〜第３閉操作手段を実行中に、前記排気ファンのインバータをコントロールし、前記排気ファンから排気する空気の静圧を一定に保持した状態で前記排気ファンから排気する空気の風量を所定の下がり勾配で減少させる排気ファン制御手段を含む請求項１ないし請求項８いずれかに記載の室圧コントロールシステム。
【請求項１０】
前記コントローラは、前記排気ファン制御手段を実行中に、前記残余の対象室の設定室圧と前記第２室圧センサから出力された該残余の対象室の測定室圧とを比較し、前記残余の対象室の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、前記残余の対象室の測定室圧が設定室圧から外れた場合、前記排気ファン制御手段を中断し、前記残余の対象室の測定室圧が設定室圧に戻った場合、前記排気ファン制御手段を再開する請求項９記載の室圧コントロールシステム。
【請求項１１】
前記コントローラは、前記残余の対象室の測定室圧が設定室圧に戻り、前記排気ファン制御手段を再開する場合、再開前の前記排気ファン制御手段の処理速度よりも再開後の該排気ファン制御手段の処理速度を上げる請求項１０記載の室圧コントロールシステム。
【請求項１２】
前記上限室圧が、前記中断対象室の設定室圧の＋３〜＋１０Ｐａの範囲にあり、前記下限室圧が、前記中断対象室の設定室圧の−３〜−１０Ｐａの範囲にある請求項１ないし請求項１１いずれかに記載の室圧コントロールシステム。
【請求項１３】
前記コントローラは、前記第１〜第３閉操作手段を実行中に、前記分離用第１ダンパのダンパ開度と前記分離用第２ダンパのダンパ開度とのいずれか一方のダンパ開度が１〜１０％になった場合、他方のダンパのダンパ開度が１〜１０％になるまで、一方のダンパのダンパ開度の閉操作を中断し、他方のダンパのダンパ開度が１〜１０％になった場合、一方のダンパのダンパ開度の閉操作を再開する請求項１ないし請求項１２いずれかに記載の室圧コントロールシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、室圧コントロールが実施されたそれら対象室のうちの室圧コントロールを中断する中断対象室の室内気圧を大気圧に戻す室圧コントロールシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
隣接する複数の室の設定室圧を変動させる外乱がない場合、各室につながる排気装置に取り付けられた制御ダンパの風量調整手段によってそれら室の室圧を設定室圧に保持する第１室圧制御プロセスと、外乱が発生した場合、室圧の変動が予想される室に制御ダンパの風量調整手段を介して制御ダンパを通過する風量を予め設定した変更風量値にする第２室圧制御プロセスと、外乱が終息した場合、制御ダンパの風量調整手段を介して制御ダンパを通過する風量を設定室圧に保持する安定風量値に戻す室圧コントロール方法がある（特許文献１参照）。
【０００３】
この室圧コントロール方法は、室の設定室圧を変動させる外乱が発生した場合、室圧の変動が予想される室に制御ダンパの風量調整手段を介して制御ダンパを通過する風量を予め設定した変更風量値とし、外乱が終息した場合、制御ダンパの風量調整手段を介して制御ダンパを通過する風量を設定室圧に保持する安定風量値に戻すから、風量調整手段の変位幅を小さくすることができ、各室の室圧を設置室圧に速やかに戻すことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１９８６５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
複数の室のうちのいずれかの室を薫蒸処理や熱処理等をする場合、それらの処理をする室に対する室圧コントロールを中断する必要があるが、前記公報に開示の室圧コントロール方法では、薫蒸処理や熱処理等をする室に対して実施されていた室圧コントロールを一気に中断すると、その室や他の室の給気風量と排気風量とのバランスが著しく崩れ、それら室が過度な陰圧や過度な陽圧となり、室内から汚染物質が流出したり、室外から室内に塵埃や微粉、ガス、細菌等の不要物が流入する場合がある。また、室が過度な陰圧や過度な陽圧になると、周壁に極度な荷重がかかり、周壁が倒壊したり、周壁を接続するシール部に亀裂が発生する場合がある。
【０００６】
本発明の目的は、複数の対象室のうちの室圧コントロールを中断する中断対象室を除く残余の対象室の室圧を設定室圧に保持しつつ、その中断対象室の室圧を大気圧に戻すことができる室圧コントロールシステムを提供することにある。本発明の他の目的は、中断対象室の室圧をスムーズかつ短時間に大気圧に戻すことができる室圧コントロールシステムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するための本発明の前提は、室圧コントロールが実施される少なくとも２つの対象室と、それら対象室に空気を給気する給気ファンと、それら対象室から空気を排気する排気ファンとを備え、それら対象室のうちの室圧コントロールを中断する中断対象室の室圧を大気圧に戻す室圧コントロールシステムである。
【０００８】
前記前提における本発明の特徴は、室圧コントロールシステムが、中断対象室に給気される空気の流量を調整可能な分離用第１ダンパと、中断対象室から排気される空気の流量を調整可能な分離用第２ダンパと、中断対象室の室圧に基づいて分離用第１ダンパおよび分離用第２ダンパのダンパ開度を操作するコントローラと、中断対象室の室圧を測定してその測定室圧をコントローラに出力する第１室圧センサとを含み、中断対象室の室圧コントロールを中断する場合においてコントローラは、中断対象室の上下限室圧と第１室圧センサから出力された中断対象室の測定室圧とを比較する室圧比較手段と、中断対象室の上下限室圧と測定室圧とを比較した結果、測定室圧が上下限室圧の範囲内にある場合、第１および第２ダンパのダンパ開度を開状態から次第に閉じて全閉にする閉操作を行う第１閉操作手段と、測定室圧が上限室圧を上回った場合、第１ダンパのダンパ開度の閉操作を行いつつ第２ダンパのダンパ開度の閉操作を一時的に停止する第２閉操作手段と、測定室圧が下限室圧を下回った場合、第２ダンパのダンパ開度の閉操作を行いつつ第１ダンパのダンパ開度の閉操作を一時的に停止する第３閉操作手段とを実行することにある。
【０００９】
本発明の一例としてコントローラは、上限室圧を上回っていた測定室圧が上限室圧を上回らなくなった場合、第２閉操作手段を中断して第１閉操作手段を再開し、下限室圧を下回っていた測定室圧が下限室圧を下回らなくなった場合、第３閉操作手段を中断して第１閉操作手段を再開する。
【００１０】
本発明の他の一例としては、室圧コントロールシステムがそれら対象室から排気する空気の流量を調整して各対象室の室圧を設定室圧に保持する制御ダンパを含み、制御ダンパは、コントローラが第１〜第３閉操作手段を実行中に、中断対象室とその中断対象室を除く残余の対象室との室圧を設定室圧に保持するために、それら対象室から排気する空気の流量を調整する。
【００１１】
本発明の他の一例としては、室圧コントロールシステムが中断対象室を除く残余の対象室の室圧を測定してその測定室圧をコントローラに出力する第２室圧センサを含み、コントローラは、第１〜第３閉操作手段を実行中に、残余の対象室の設定室圧と第２室圧センサから出力された残余の対象室の測定室圧とを比較し、残余の対象室の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、残余の対象室の測定室圧が設定室圧から外れた場合、第１〜第３閉操作手段を中断し、残余の対象室の測定室圧が設定室圧に戻った場合、第１〜第３閉操作手段を再開する。
【００１２】
本発明の他の一例としては、室圧コントロールシステムが中断対象室とその中断対象室を除く残余の対象室とに給気する空気の流量変化に対してその流量を一定に保持する定風量ユニットを含み、コントローラは、第１〜第３閉操作手段を実行時に、定風量ユニットから中断対象室に流入させる空気の流量を第１〜第３閉操作手段の実行直前の流量に保持する。
【００１３】
本発明の他の一例としてコントローラは、第１〜第３閉操作手段を実行中に、給気ファンのインバータをコントロールし、給気ファンから給気する空気の静圧を一定に保持した状態で給気ファンから給気する空気の風量を所定の下がり勾配で減少させる給気ファン制御手段を含む。
【００１４】
本発明の他の一例としてコントローラは、給気ファン制御手段を実行中に、残余の対象室の設定室圧と第２室圧センサから出力された残余の対象室の測定室圧とを比較し、残余の対象室の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、残余の対象室の測定室圧が設定室圧から外れた場合、給気ファン制御手段を中断し、残余の対象室の測定室圧が設定室圧に戻った場合、給気ファン制御手段を再開する。
【００１５】
本発明の他の一例としてコントローラは、残余の対象室の測定室圧が設定室圧に戻り、給気ファン制御手段を再開する場合、再開前の給気ファン制御手段の処理速度よりも再開後の給気ファン制御手段の処理速度を上げる。
【００１６】
本発明の他の一例としてコントローラは、第１〜第３閉操作手段を実行中に、排気ファンのインバータをコントロールし、排気ファンから排気する空気の静圧を一定に保持した状態で排気ファンから排気する空気の風量を所定の下がり勾配で減少させる排気ファン制御手段を含む。
【００１７】
本発明の他の一例としてコントローラは、排気ファン制御手段を実行中に、残余の対象室の設定室圧と第２室圧センサから出力された残余の対象室の測定室圧とを比較し、残余の対象室の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、残余の対象室の測定室圧が設定室圧から外れた場合、排気ファン制御手段を中断し、残余の対象室の測定室圧が設定室圧に戻った場合、排気ファン制御手段を再開する。
【００１８】
本発明の他の一例としてコントローラは、残余の対象室の測定室圧が設定室圧に戻り、排気ファン制御手段を再開する場合、再開前の排気ファン制御手段の処理速度よりも再開後の排気ファン制御手段の処理速度を上げる。
【００１９】
本発明の他の一例としては、上限室圧が中断対象室の設定室圧の＋３〜＋１０Ｐａの範囲にあり、下限室圧が中断対象室の設定室圧の−３〜−１０Ｐａの範囲にある。
【００２０】
本発明の他の一例としてコントローラは、第１〜第３閉操作手段を実行中に、分離用第１ダンパのダンパ開度と分離用第２ダンパのダンパ開度とのいずれか一方のダンパ開度が１〜１０％になった場合、他方のダンパのダンパ開度が１〜１０％になるまで、一方のダンパのダンパ開度の閉操作を中断し、他方のダンパのダンパ開度が１〜１０％になった場合、一方のダンパのダンパ開度の閉操作を再開する。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係る室圧コントロールシステムによれば、中断対象室の測定室圧が上下限室圧の範囲内にある場合、第１および第２ダンパのダンパ開度を開状態から次第に閉じて全閉にする閉操作を実行するから、中断対象室の室圧コントロールを中断する場合において、中断対象室およびそれを除く残余の対象室の給気風量と排気風量とのバランスが崩れず、それら対象室の室圧が過度に陰圧や陽圧になることはなく、残余の対象室の室圧を設定室圧に保持しつつ、中断対象室の室圧をスムーズかつ短時間に大気圧に戻すことができる。システムは、中断対象室の室圧コントロールを中断する場合において、それら対象室からの汚染物質の流出を防ぐことができ、室外からそれら対象室への塵埃や微粉、ガス、細菌等の不要物の流入を防ぐことができる。システムは、中断対象室の測定室圧が上限室圧を上回った場合、第１ダンパのダンパ開度の閉操作を実行しつつ第２ダンパのダンパ開度の閉操作を一時的に停止するから、中断対象室の測定室圧のそれ以上の上昇を防ぐことができ、中断対象室の測定室圧を設定室圧の範囲内に戻しつつ、中断対象室の室圧をスムーズに大気圧に戻すことができる。このシステムは、測定室圧が所定の下限室圧を下回った場合、第２ダンパのダンパ開度の閉操作を実行しつつ第１ダンパのダンパ開度の閉操作を一時的に停止するから、中断対象室の測定室圧のそれ以上の下降を防ぐことができ、中断対象室の測定室圧を設定室圧の範囲内に戻しつつ、中断対象室の室圧をスムーズに大気圧に戻すことができる。
【００２２】
上限室圧を上回っていた測定室圧が上限室圧を上回らなくなった場合、第２閉操作手段を中断して第１閉操作手段を再開し、下限室圧を下回っていた測定室圧が下限室圧を下回らなくなった場合、第３閉操作手段を中断して第１閉操作手段を再開する室圧コントロールシステムは、測定室圧が上下限室圧の範囲内に戻った場合に第１閉操作手段が再開され、第１閉操作手段において分離用第１ダンパおよび分離用第２ダンパのダンパ開度の閉操作が行われるから、中断対象室の室圧コントロールを中断する場合において中断対象室の室圧を短時間に大気圧に戻すことができる。
【００２３】
それら対象室から排気する空気の流量を調整して各対象室の室圧を設定室圧に保持する制御ダンパを含み、第１〜第３閉操作手段を実行中に、制御ダンパが中断対象室とその中断対象室を除く残余の対象室との室圧を設定室圧に保持する室圧コントロールシステムは、第１〜第３閉操作手段を実行中に制御ダンパを利用してそれら対象室の室圧が設定室圧に保持されるから、中断対象室の室圧コントロールを中断する場合において、中断対象室およびそれを除く残余の対象室の給気風量と排気風量とのバランスが崩れず、それら対象室の室圧が過度に陰圧や陽圧になることはなく、残余の対象室の室圧を設定室圧に保持しつつ、中断対象室の室圧をスムーズに大気圧に戻すことができる。このシステムは、制御ダンパによって測定室圧を設定室圧に保持しつつ、第１閉操作手段において第１ダンパおよび第２ダンパのダンパ開度の閉操作が行われるから、中断対象室の室圧を短時間に大気圧に戻すことができる。
【００２４】
中断対象室を除く残余の対象室の室圧を測定してその測定室圧をコントローラに出力する第２室圧センサを含み、第１〜第３閉操作手段を実行中に、残余の対象室の測定室圧が設定室圧から外れた場合、第１〜第３閉操作手段を中断し、残余の対象室の測定室圧が設定室圧に戻った場合、第１〜第３閉操作手段を再開する室圧コントロールシステムは、残余の対象室の測定室圧が設定室圧から外れると、第１〜第３閉操作手段を中断するから、残余の対象室の給気風量と排気風量とのバランスを取ることができ、残余の対象室の室圧を設定室圧に保持しつつ、中断対象室の室圧を大気圧に戻すことができる。このシステムは、中断対象室の室圧コントロールを中断する場合において、残余の対象室からの汚染物質の流出を防ぐことができ、室外から残余の対象室への塵埃や微粉、ガス、細菌等の不要物の流入を防ぐことができる。
【００２５】
中断対象室とその中断対象室を除く残余の対象室とに給気する空気の流量変化に対してその流量を一定に保持する定風量ユニットを含み、第１〜第３閉操作手段を実行時に、定風量ユニットから中断対象室に流入させる空気の流量を第１〜第３閉操作手段の実行直前の流量に保持する室圧コントロールシステムは、空気の流量に変化があった場合、その流量を一定に保持するように定風量ユニットが作動すると、中断対象室の室圧が所定の上限室圧を大きく上回ったり、下限室圧を大きく下回り、中断対象室の室圧をスムーズかつ短時間に大気圧に戻すことができないが、定風量ユニットから中断対象室に流入させる空気の流量を第１〜第３閉操作手段の実行直前の流量に保持するから、空気の流量に変化があったとしても、中断対象室の定風量ユニットが作動することはなく、定風量ユニットが中断対象室の室圧を大気圧に戻す妨げになることはなく、中断対象室の室圧をスムーズかつ短時間に大気圧に戻すことができる。
【００２６】
第１〜第３閉操作手段を実行中に、給気ファンのインバータをコントロールし、給気ファンから給気する空気の静圧を一定に保持した状態で給気ファンから給気する空気の風量を所定の下がり勾配で減少させる室圧コントロールシステムは、中断対象室の室圧コントロールを中断する場合において、給気ファンから給気する空気の静圧を一定に保持しつつ、中断対象室に給気する不要になる空気の風量分を所定の下がり勾配で減少させるから、中断対象室およびそれを除く残余の対象室の給気風量と排気風量とのバランスが崩れず、それら対象室の室圧が過度に陰圧や陽圧になることはなく、残余の対象室の室圧を設定室圧に保持しつつ、中断対象室の室圧をスムーズかつ短時間に大気圧に戻すことができる。
【００２７】
給気ファン制御手段を実行中に、残余の対象室の測定室圧が設定室圧から外れた場合、給気ファン制御手段を中断し、残余の対象室の測定室圧が設定室圧に戻った場合、給気ファン制御手段を再開する室圧コントロールシステムは、残余の対象室の給気風量と排気風量とのバランスが崩れず、残余の対象室の室圧を設定室圧に保持しつつ、中断対象室の室圧を大気圧に戻すことができる。このシステムは、中断対象室の室圧コントロールを中断する場合において、残余の対象室からの汚染物質の流出を防ぐことができ、室外から残余の対象室への塵埃や微粉、ガス、細菌等の不要物の流入を防ぐことができる。
【００２８】
残余の対象室の測定室圧が設定室圧に戻り、給気ファン制御手段を再開する場合、再開前の給気ファン制御手段の処理速度よりも再開後の給気ファン制御手段の処理速度を上げる室圧コントロールシステムは、再開後の給気ファン制御手段の処理速度を上げることにより、給気ファン制御手段の下がり勾配に追従させた状態で中断対象室に給気する不要になる空気の風量分を減少させることができ、中断対象室およびそれを除く残余の対象室の給気風量と排気風量とのバランスが崩れず、残余の対象室の室圧を設定室圧に保持しつつ、中断対象室の室圧をスムーズかつ短時間に大気圧に戻すことができる。
【００２９】
第１〜第３閉操作手段を実行中に、排気ファンのインバータをコントロールし、排気ファンから排気する空気の静圧を一定に保持した状態で排気ファンから排気する空気の風量を所定の下がり勾配で減少させる室圧コントロールシステムは、中断対象室の室圧コントロールを中断する場合において、排気ファンから排気する空気の静圧を一定に保持しつつ、中断対象室から排気する不要になる空気の風量分を所定の下がり勾配で減少させるから、中断対象室およびそれを除く残余の対象室の給気風量と排気風量とのバランスが崩れず、それら対象室の室圧が過度に陰圧や陽圧になることはなく、残余の対象室の室圧を設定室圧に保持しつつ、中断対象室の室圧をスムーズかつ短時間に大気圧に戻すことができる。
【００３０】
排気ファン制御手段を実行中に、残余の対象室の測定室圧が設定室圧から外れた場合、排気ファン制御手段を中断し、残余の対象室の測定室圧が設定室圧に戻った場合、排気ファン制御手段を再開する室圧コントロールシステムは、残余の対象室の給気風量と排気風量とのバランスが崩れず、残余の対象室の室圧を設定室圧に保持しつつ、中断対象室の室圧を大気圧に戻すことができる。このシステムは、中断対象室の室圧コントロールを中断する場合において、残余の対象室からの汚染物質の流出を防ぐことができ、室外から残余の対象室への塵埃や微粉、ガス、細菌等の不要物の流入を防ぐことができる。
【００３１】
残余の対象室の測定室圧が設定室圧に戻り、排気ファン制御手段を再開する場合、再開前の排気ファン制御手段の処理速度よりも再開後の排気ファン制御手段の処理速度を上げる室圧コントロールシステムは、再開後の排気ファン制御手段の処理速度を上げることにより、排気ファン制御手段の下がり勾配に追従させた状態で中断対象室から排気する不要になる空気の風量分を減少させることができ、中断対象室およびそれを除く残余の対象室の給気風量と排気風量とのバランスが崩れず、残余の対象室の室圧を設定室圧に保持しつつ、中断対象室の室圧をスムーズかつ短時間に大気圧に戻すことができる。
【００３２】
上限室圧が中断対象室の設定室圧の＋３〜＋１０Ｐａの範囲にあり、下限室圧が中断対象室の設定室圧の−３〜−１０Ｐａの範囲にある室圧コントロールシステムは、上限室圧および下限室圧を前記範囲とし、測定室圧が前記上限室圧を上回った場合、第１ダンパのダンパ開度の閉操作を実行しつつ第２ダンパのダンパ開度の閉操作を一時的に停止し、測定室圧が前記下限室圧を下回った場合、第２ダンパのダンパ開度の閉操作を実行しつつ第１ダンパのダンパ開度の閉操作を一時的に停止するから、中断対象室の測定室圧のそれ以上の上昇を防ぐことができるとともに、中断対象室の測定室圧のそれ以上の下降を防ぐことができ、中断対象室の測定室圧を設定室圧の範囲内に戻しつつ、中断対象室の室圧をスムーズに大気圧に戻すことができる。
【００３３】
第１〜第３閉操作手段を実行中に、分離用第１ダンパのダンパ開度と分離用第２ダンパのダンパ開度とのいずれか一方のダンパ開度が１〜１０％になった場合、他方のダンパのダンパ開度が１〜１０％になるまで、一方のダンパのダンパ開度の閉操作を中断し、他方のダンパのダンパ開度が１〜１０％になった場合、一方のダンパのダンパ開度の閉操作を再開する室圧コントロールシステムは、分離用第１ダンパのダンパ開度と分離用第２ダンパのダンパ開度とのバランスをとることで、中断対象室の室圧コントロールを中断する場合において、中断対象室およびそれを除く残余の対象室の給気風量と排気風量とのバランスが崩れず、それら対象室の室圧が過度に陰圧や陽圧になることはなく、残余の対象室の室圧を設定室圧に保持しつつ、中断対象室の室圧をスムーズかつ短時間に大気圧に戻すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】一例として示す室圧コントロールシステムの構成図。
【図２】第２クリーンルームの室圧を大気圧に戻す場合の室圧の時間的な変化の一例を示す図。
【図３】システムにおいて実行される室圧コントロール方法の一例を説明するフローチャート。
【図４】他の一例として示す室圧コントロールシステムの構成図。
【図５】システムにおいて実行される室圧コントロール方法の一例を説明するフローチャート。
【図６】図５から続くフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
一例として示す室圧コントロールシステムの構成図である図１等の添付の図面を参照し、本発明にかかる室圧コントロールシステムの詳細を説明すると、以下のとおりである。図１では、第１クリーンルーム１１（前処理室）と第２クリーンルーム１２（作業室）とをそれら側方から示している。
【００３６】
この実施の形態では、クリーンルーム１１，１２の設定室圧が室外の気圧よりも高く、クリーンルーム１１，１２の室圧を大気圧に戻す減圧コントロール方法を例として説明する。また、この実施の形態では、第２クリーンルーム１２を中断対象室（実行中の室圧コントロールを薫蒸処理や熱処理等の理由で中断し、室圧を大気圧に戻す室）とし、第１クリーンルーム１１を中断対象室を除く残余の対象室（実行中の室圧コントロールを継続する室）としてこのシステム１０Ａが実施する減圧コントロール方法を説明する。
【００３７】
図１（後記する図４を含む）では隣り合う２室のクリーンルーム１１，１２を図示しているが、クリーンルームを隣り合う２室に限定するものではなく、隣り合う３室以上の第１〜第ｎクリーンルームまたは独立した３室以上の第１〜第ｎクリーンルームに対してこのシステム１０Ａ（後記するシステム１０Ｂを含む）の減圧コントロール方法を適用することもできる。システム１０Ａ（システム１０Ｂを含む）の減圧コントロール方法は、クリーンルームのみならず、他のあらゆる用途の室に対して適用することもできる。室圧コントロールシステム１０Ａは、第１クリーンルーム１１の室圧を設定室圧に保持しつつ、第２クリーンルーム１２に実行中の室圧コントロールを中断し、クリーンルーム１２の室圧を大気圧に戻す。
【００３８】
室圧コントロールシステム１０Ａ（減圧コントロール方法）は、第１および第２クリーンルーム１１，１２と、それらクリーンルーム１１，１２に空気を供給する給気ダクト１３と、それらクリーンルーム１１，１２から室外に空気を排出する排気ダクト１４と、それらクリーンルーム１１，１２に空気を給気する給気ファン１５と、それらクリーンルーム１１，１２から空気を排気する排気ファン１６と、分離用第１ダンパ１７および分離用第２ダンパ１８と、第１および第２室圧センサ１９，２０と、コントローラ２１（制御装置）とから形成されている。
【００３９】
それらクリーンルーム１１，１２は、天井２２と床２３と周壁２４とに囲繞された所定容積の気密な空調空間を有し、天井２２、床２３、周壁２４によって室外と仕切られている。天井２２には、給気ダクト１３から供給される空気をクリーンルーム１１，１２に取り入れるための給気口（図示せず）が施設されている。周壁２４には、クリーンルーム１１，１２の空気を排気ダクト１４に取り入れるための排気口（図示せず）が施設されている。周壁２４には、図示はしていないが、室外からクリーンルーム１１，１２に出入りするための扉やクリーンルーム１１，１２どうしを行き来する扉が設置されている。扉には、クリーンルーム１１，１２の気密を保持するためにエアタイトのそれが使用されている。
【００４０】
このシステム１０Ａでは、その稼動中にそれらクリーンルーム１１，１２の室圧が厳密に管理され、室圧があらかじめ設定された設定室圧に維持されている。なお、それらクリーンルーム１１，１２の設定室圧に特に限定はなく、クリーンルーム１１，１２の用途や容積等によって設定室圧を自由に決定することができる。第１および第２クリーンルーム１１，１２の設定室圧が室外の気圧よりも低い場合がある。この場合、システム１０Ａではクリーンルーム１２の室圧を大気圧に戻す昇圧コントロール方法を実施する。
【００４１】
給気ダクト１３は、基幹ダクト２５と、基幹ダクト２５から分岐する２本の第１および第２分岐ダクト２６，２７とから形成されている。基幹ダクト２５には、クリーンルーム１１，１２に所定量の空気を給気する給気ファン１５（給気用送風機）が設置されている。第１分岐ダクト２６は、第１クリーンルーム１１の天井２２に施設された給気口（図示せず）につながり、クリーンルーム１１に連結され、第２分岐ダクト２７は、第２クリーンルーム１２の天井２２に施設された給気口（図示せず）につながり、クリーンルーム１２に連結されている。第２分岐ダクト２７には、分離用第１ダンパ１７が設置されている。
【００４２】
排気ダクト１４は、基幹ダクト２８と、基幹ダクト２８から分岐する２本の第１および第２分岐ダクト２９，３０とから形成されている。基幹ダクト２８には、クリーンルーム１１，１２から室外に所定量の空気を排気する排気ファン１６（排気用送風機）が取り付けられている。第１分岐ダクト２９は、第１クリーンルーム１１の周壁２４に施設された排気口（図示せず）につながり、クリーンルーム１１に連結され、第２分岐ダクト３０は、第２クリーンルーム１２の周壁２４に施設された排気口（図示せず）につながり、クリーンルーム１２に連結されている。
【００４３】
給気ファン１５は、所定風量の空気を第１および第２クリーンルーム１１，１２に強制的に給気する。給気ファン１５には、インバータ（図示せず）が取り付けられ、給気ダクト１３（基幹ダクト２５）の静圧を測定する静圧センサ（図示せず）が設置されている。給気ファン１５のインバータは、インターフェイス３１（有線または無線）を介してコントローラ２１に接続され、ファン１５の風量（風速）をコントローラ２１に出力するとともに、ファン１５の稼働中に静圧センサが測定した給気ダクト１３の測定静圧をコントローラ２１に出力する。給気ファン１５は、インバータのＰＩＤ制御またはＰＤ制御によってその風量が変更される。
【００４４】
排気ファン１６は、所定風量の空気を第１および第２クリーンルーム１１，１２から強制的に排気する。排気ファン１６には、インバータ（図示せず）が取り付けられ、排気ダクト１４（基幹ダクト２８）の静圧を測定する静圧センサ（図示せず）が設置されている。排気ファン１６のインバータは、インターフェイス３１を介してコントローラ２１に接続され、ファン１６の風量（風速）をコントローラ２１に出力するとともに、ファン１６の稼働中に静圧センサが測定した排気ダクト１４の測定静圧をコントローラ２１に出力する。排気ファン１６は、インバータのＰＩＤ制御またはＰＤ制御によってその風量が変更される。
【００４５】
分離用第１ダンパ１７および分離用第２ダンパ１８は、制御器（図示せず）と、モジュトロールモータ（図示せず）と、モータの駆動力によって旋回する旋回羽根３２，３３と、旋回羽根３２，３３の旋回によって開閉される空気流路（図示せず）とから形成されている。分離用第１ダンパ１７は、旋回羽根３２の旋回角度（ダンパ開度）によって第２クリーンルーム１２（中断対象室）に給気される空気の流量を調整する。分離用第２ダンパ１８は、旋回羽根３３の旋回角度（ダンパ開度）によって第２クリーンルーム１２（中断対象室）から排気される空気の流量を調整する。それらダンパ１７，１８は、その制御器がインターフェイス３１を介してコントローラ２１に接続され、旋回羽根３２，３３の旋回角度をコントローラ２１に出力する。
【００４６】
第２室圧センサ２０は、第１クリーンルーム１１に設置され、インターフェイス３１を介してコントローラ２１に接続されている。第２室圧センサ２０は、第１クリーンルーム１１の室圧を測定し、測定室圧をコントローラ２１に出力する。第１室圧センサ１９は、第２クリーンルーム１２に設置され、インターフェイス３１を介してコントローラ２１に接続されている。第１室圧センサ１９は、第２クリーンルーム１２の室圧を測定し、測定室圧をコントローラ２１に出力する。
【００４７】
コントローラ２１は、演算処理を行う中央処理装置と各種条件を記憶可能な主記憶装置（メモリ）とを有するコンピュータである。コントローラ２１には、図示はしていないが、各種条件を入力するための入力装置、入力確認のための表示装置がインターフェイスを介して接続されている。コントローラ２１は、分離用第１ダンパ１７や分離用第２ダンパ１８に開度制御信号を出力する。
【００４８】
それらダンパ１７，１８は、コントローラ２１から制御器に出力された開度制御信号によってモジュトロールモータが回転し、それによって旋回羽根３２，３３が所定角度に旋回する。旋回羽根３２，３３の旋回角度を変えることで、ダンパ１７，１８の空気流路の開度が変わり、空気流路を通過する空気の流量を全開と全閉との間で変えることができる。また、ダンパ１７，１８の空気流路の開度を全閉にすることで、空気流路を通過する空気の流量を０にすることができ、第２クリーンルーム１２に給気する空気の流量を０にすることができるとともに、第２クリーンルーム１２から排気する空気の流量を０にすることができる。
【００４９】
コントローラ２１の主記憶装置には、第１および第２クリーンルーム１１，１２の設定室圧が格納されている。コントローラ２１の主記憶装置には、第２クリーンルーム１２の上限室圧および下限室圧が格納されている。上限室圧は、第２クリーンルーム１２の設定気圧＋３〜＋１０Ｐａの範囲、好ましくは、＋５Ｐａである。下限室圧は、第２クリーンルーム１２の設定気圧−３〜−１０Ｐａの範囲、好ましくは、−５Ｐａである。
【００５０】
コントローラ２１の主記憶装置には、給気ファン１５が稼働中の給気ダクト１３（基幹ダクト２５）の設定静圧が格納され、排気ファン１６が稼働中の排気ダクト１４（基幹ダクト２８）の設定静圧が格納されている。コントローラ２１の主記憶装置には、分離用第１ダンパおよび分離用第２ダンパ１７，１８を閉操作する場合の旋回羽根３２，３３の旋回速度が格納されている。
【００５１】
図２は、第２クリーンルーム１２の室圧を大気圧に戻す場合の室圧の時間的な変化の一例を示す図であり、図３は、このシステム１０Ａにおいて実行される減圧コントロール方法の一例を説明するフローチャートである。図２では、測定室圧が上限室圧を上回った場合や測定室圧が下限室圧を下回った場合を点線で示す。
【００５２】
図２，３に基づいて、このシステム１０Ａが実施する減圧コントロール方法を説明すると、以下のとおりである。システム１０Ａを起動すると、コントローラ２１は、給排気ファン１５，１６の風量を設定風量に保持し、第１および第２クリーンルーム１１，１２に対する室圧コントロールを実行する（Ｓ−１０）。
【００５３】
このシステム１０Ａでは、矢印Ｘ１で示すように、給気ファン１５によって給気ダクト１３からクリーンルーム１１，１２へ所定風量の空気が供給され、矢印Ｘ２で示すように、排気ファン１６によってクリーンルーム１１，１２から排気ダクト１４へ所定流量の空気が排出されている。システム１０Ａの通常運転時では、それらクリーンルーム１１，１２の室圧がコントローラ２１によって設定室圧に保持される。なお、室圧コントロールの実行中、コントローラ２１は、第１および第２ダンパ１７，１８の旋回羽根３２，３３の旋回角度（ダンパ開度）を原則として全開に保持する。
【００５４】
第２クリーンルーム１２（中断対象室）に対して薫蒸処理や熱処理等を行う場合、第１クリーンルーム１１（残余の対象室）に対する室圧コントロールを継続しつつ、第２クリーンルーム１２を大気圧に戻す必要がある。第２クリーンルーム１２を大気圧に戻す場合、室圧コントロール中断信号がコントローラ２１に送信される。コントローラ２１は、室圧コントロール中断信号の有無によって第２クリーンルーム１２の室圧コントロールを中断し、クリーンルーム１２の室圧を大気圧に戻すかを判断する（Ｓ−１１）。第２クリーンルーム１２の室圧コントロールを中断しない場合（室圧コントロール中断信号無の場合）、コントローラ２１は、第１および第２クリーンルーム１１，１２に対する室圧コントロールを継続し、システム１０Ａの通常運転を続行してそれらクリーンルーム１１，１２の室圧を設定室圧に保持する。
【００５５】
なお、システム１０Ａの稼働中において第１および第２室圧センサ１９，２０は、それらクリーンルーム１１，１２の室圧を測定し、測定した測定室圧をコントローラ２１に出力している。また、給気ファン１５のインバータは、ファン１５の風量（風速）をコントローラ２１に出力し、静圧センサが測定した給気ダクト１３（基幹ダクト２５）の測定静圧をコントローラ２１に出力している。排気ファン１６のインバータは、ファン１６の風量（風速）をコントローラ２１に出力し、静圧センサが測定した排気ダクト１４（基幹ダクト２８）の測定静圧をコントローラ２１に出力している。第１および第２ダンパ１７，１８の制御部は、旋回羽根３２，３３の旋回角度をコントローラ２１に出力している。
【００５６】
第２クリーンルーム１２の室圧コントロールを中断し、クリーンルーム１２の室圧を大気圧に戻す場合（室圧コントロール中断信号有の場合）、コントローラ２１は、減圧コントロール方法を実施する。コントローラ２１は、クリーンルーム１２に設定された上限室圧と第１室圧センサ１９から出力されたクリーンルーム１２の測定室圧とを比較するとともに、クリーンルーム１２に設定された下限室圧と第１室圧センサ１９から出力されたクリーンルーム１２の測定室圧とを比較し（室圧比較手段）（Ｓ−１２）、クリーンルーム１２の測定室圧が上下限室圧の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。
【００５７】
コントローラ２１は、第２クリーンルーム１２の上下限室圧と測定室圧とを比較した結果、測定室圧が上限室圧の範囲内にあるとともに、測定室圧が下限室圧の範囲内にあると判断した場合、第１および第２ダンパ１７，１８の旋回羽根３２，３３の旋回角度（ダンパ開度）を開状態（全開状態）から一定の旋回速度で次第に閉じて全閉にする閉操作を実行する（第１閉操作手段）（Ｓ−１４）。
【００５８】
コントローラ２１は、第１閉操作手段を実行中に、給気ファン１５の設定静圧と測定静圧とを比較しつつ、ファン１５のインバータをコントロールし、測定静圧が設定静圧になるように静圧を一定に保持した状態で、ファン１５から給気する空気の風量を一定の下がり勾配で減少させ、ファン１５から給気する空気の風量から第２クリーンルーム１２に給気する不要になる空気の風量分だけ減少させる（給気ファン制御手段）（Ｓ−１４）。さらに、第１閉操作手段を実行中に、排気ファン１６の設定静圧と測定静圧とを比較しつつ、ファン１６のインバータをコントロールし、測定静圧が設定静圧になるように静圧を一定に保持した状態で、ファン１６によって排気する空気の風量を一定の下がり勾配で減少させ、ファン１５によって排気する空気の風量から第２クリーンルーム１２から排気する不要になる空気の風量分だけ減少させる（排気ファン制御手段）（Ｓ−１４）。なお、給気ファン制御手段や排気ファン制御手段においてコントローラ２１は、ＰＩＤ制御またはＰＤ制御によるフィードバック制御を行う。
【００５９】
コントローラ２１は、第１閉操作手段と給排気ファン制御手段とを実行中に、第１クリーンルーム１１の設定室圧と第２室圧センサ２０から出力されたクリーンルーム１１の測定室圧とを比較し、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１５）。コントローラ２１は、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲内にある場合、第１閉操作手段と給排気ファン制御手段とを続行する（Ｓ−１６）。
【００６０】
次に、コントローラ２１は、第１および第２ダンパ１７，１８の旋回羽根３２，３３の旋回角度（ダンパ開度）が全閉になったかを判断する（Ｓ−１７）。コントローラ２１は、それらダンパ１７，１８の旋回羽根３２，３３の旋回角度が全閉になったと判断すると、第２クリーンルーム１２の室圧が大気圧になったものとし、このシステム１０Ａの減圧コントロール方法を終了する。なお、第２クリーンルーム１２の室圧が大気圧になった後も第１クリーンルーム１１の室圧は設定室圧に保持される。ステップ１７（Ｓ−１７）においてコントローラ２１は、ダンパ１７，１８の旋回羽根３２，３３の旋回角度が全閉になっていないと判断すると、ステップ１２（Ｓ−１２）からの手順を実施する。
【００６１】
ステップ１７（Ｓ−１７）においてコントローラ２１は、第１閉操作手段を実行中に、分離用第１ダンパ１７の旋回羽根２１の旋回角度（ダンパ開度）と分離用第２ダンパ１８の旋回羽根３３の旋回角度（ダンパ開度）とのいずれか一方の旋回角度（ダンパ開度）が１〜１０％になった場合、それらダンパ１７，１８の旋回羽根３２，３３の旋回角度（ダンパ開度）を比較し、他方のダンパの旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）が１〜１０％になるまで、一方のダンパの旋回羽根の閉操作を中断し、他方のダンパの旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）が１〜１０％になった場合、一方のダンパの旋回羽根の閉操作を再開する（閉操作待機・再開手段）。
【００６２】
たとえば、第１ダンパ１７の旋回羽根３２の旋回角度が全開１００％に対して１〜１０％になった場合、第２ダンパ２８の旋回羽根３３の旋回角度が全開１００％に対して１〜１０％になっていない場合、第２ダンパ１８の旋回羽根３３の旋回角度が１〜１０％になるまで、第１ダンパ１７の旋回羽根３２の閉操作を中断し、第２ダンパ１８の旋回羽根３３の旋回角度が１〜１０％になった場合（たとえば、第１ダンパ１７の旋回羽根３２の旋回角度が１０％であり、第２ダンパ１８の旋回羽根３３の旋回角度が１０％のみならず、８％、５％、３％、１％等になった場合）、第１ダンパ１７の旋回羽根３２の閉操作を再開する。
【００６３】
ステップ１５（Ｓ−１５）においてコントローラ２１は、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲から外れた場合、実行中の第１閉操作手段と給排気ファン制御手段とを中断し（Ｓ−１８）、ステップ１５（Ｓ−１５）からの手順を実施する。ステップ１５（Ｓ−１５）においてコントローラ２１は、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、クリーンルーム１１の室圧が設定室圧の範囲内に戻ったと判断すると、第１閉操作手段と給排気ファン制御手段とを再開する（Ｓ−１６）。
【００６４】
給排気ファン制御手段を再開する場合においてコントローラ２１は、再開前の給気ファン制御手段の処理速度よりも再開後の給気ファン制御手段の処理速度を上げるとともに、再開前の排気ファン制御手段の処理速度よりも再開後の排気ファン制御手段の処理速度を上げる（処理速度増加手段）。処理速度を上げる一例としては、ＰＩＤ制御またはＰＤ制御の内のＰの傾きを変える場合、測定室圧の単位時間当たりのサンプリング回数を増やす場合等がある。コントローラ２１は、給排気ファン制御手段を再開する場合において給排気ファン制御手段の処理速度を再開前のそれと同じにする場合もある。
【００６５】
ステップ１３（Ｓ−１３）においてコントローラ２１は、第２クリーンルーム１２の上下限室圧と測定室圧とを比較した結果、図２に点線で示すように、測定室圧が上下限室圧の範囲内になく、測定室圧が上限室圧を上回っていると判断した場合、第１ダンパ１７の旋回羽根３２の旋回角度（ダンパ開度）を開状態（全開状態）から一定の旋回速度で次第に閉じる閉操作を実行しつつ、第２ダンパ１８の旋回羽根３３の旋回角度（ダンパ開度）の閉操作を一時的に停止する（第２閉操作手段）（Ｓ−１９）。
【００６６】
コントローラ２１は、第２閉操作手段を実行中に、給気ファン１５の設定静圧と測定静圧とを比較しつつ、ファン１５のインバータをコントロールし、測定静圧が設定静圧になるように静圧を一定に保持した状態で、ファン１５から給気する空気の風量を一定の下がり勾配で減少させ、ファン１５から給気する空気の風量から第２クリーンルーム１２に給気する不要になる空気の風量分だけ減少させる（給気ファン制御手段）（Ｓ−１９）。さらに、第２閉操作手段を実行中に、排気ファン１６の設定静圧と測定静圧とを比較しつつ、ファン１６のインバータをコントロールし、測定静圧が設定静圧になるように静圧を一定に保持した状態で、ファン１６によって排気する空気の風量を一定の下がり勾配で減少させ、ファン１５によって排気する空気の風量から第２クリーンルーム１２から排気する不要になる空気の風量分だけ減少させる（排気ファン制御手段）（Ｓ−１９）。
【００６７】
コントローラ２１は、第２閉操作手段と給排気ファン制御手段とを実行中に、第１クリーンルーム１１の設定室圧と第２室圧センサ２０から出力されたクリーンルーム１１の測定室圧とを比較し、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−２０）。コントローラ２１は、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲内にあると判断した場合、第２閉操作手段と給排気ファン制御手段とを続行し（Ｓ−２１）、ステップ１２（ステップ１２）からの手順を実施する。
【００６８】
ステップ２０（Ｓ−２０）においてコントローラ２１は、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲から外れた場合、実行中の第２閉操作手段と給排気ファン制御手段とを中断し（Ｓ−２２）、ステップ２０（Ｓ−２０）からの手順を実施する。ステップ２０（Ｓ−２０）においてコントローラ２１は、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲内に戻ったと判断すると、第２閉操作手段と給排気ファン制御手段とを再開する（Ｓ−２１）。
【００６９】
給排気ファン制御手段を再開する場合においてコントローラ２１は、ステップ１６（Ｓ−１６）と同様に、再開前の給気ファン制御手段の処理速度よりも再開後の給気ファン制御手段の処理速度を上げるとともに、再開前の排気ファン制御手段の処理速度よりも再開後の排気ファン制御手段の処理速度を上げる（処理速度増加手段）。コントローラ２１は、給排気ファン制御手段を再開する場合において給排気ファン制御手段の処理速度を再開前のそれと同じにする場合もある。
【００７０】
ステップ１３（Ｓ−１３）においてコントローラ２１は、第２クリーンルーム１２の上下限室圧と測定室圧とを比較した結果、図２に点線で示すように、測定室圧が上下限室圧の範囲内になく、測定室圧が上限室圧を下回っていると判断した場合、第２ダンパ１８の旋回羽根３３の旋回角度（ダンパ開度）を開状態（全開状態）から一定の旋回速度で次第に閉じる閉操作を実行しつつ、第１ダンパ１７の旋回羽根３２の旋回角度（ダンパ開度）の閉操作を一時的に停止する（第３閉操作手段）（Ｓ−１９）。
【００７１】
コントローラ２１は、第３閉操作手段を実行中に、給気ファン１５の設定静圧と測定静圧とを比較しつつ、ファン１５のインバータをコントロールし、測定静圧が設定静圧になるように静圧を一定に保持した状態で、ファン１５から給気する空気の風量を一定の下がり勾配で減少させ、ファン１５から給気する空気の風量から第２クリーンルーム１２に給気する不要になる空気の風量分だけ減少させる（給気ファン制御手段）（Ｓ−１９）。さらに、第３閉操作手段を実行中に、排気ファン１６の設定静圧と測定静圧とを比較しつつ、ファン１６のインバータをコントロールし、測定静圧が設定静圧になるように静圧を一定に保持した状態で、ファン１６によって排気する空気の風量を一定の下がり勾配で減少させ、ファン１５によって排気する空気の風量から第２クリーンルーム１２から排気する不要になる空気の風量分だけ減少させる（排気ファン制御手段）（Ｓ−１９）。
【００７２】
コントローラ２１は、第３閉操作手段と給排気ファン制御手段とを実行中に、第１クリーンルーム１１の設定室圧と第２室圧センサ２０から出力されたクリーンルーム１１の測定室圧とを比較し、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−２０）。コントローラ２１は、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲内にあると判断した場合、第３閉操作手段と給排気ファン制御手段とを続行し（Ｓ−２１）、ステップ１２（ステップ１２）からの手順を実施する。
【００７３】
ステップ２０（Ｓ−２０）においてコントローラ２１は、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲から外れた場合、実行中の第３閉操作手段と給排気ファン制御手段とを中断し（Ｓ−２２）、ステップ２０（Ｓ−２０）からの手順を実施する。ステップ２０（Ｓ−２０）においてコントローラ２１は、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲内に戻った場合、第３閉操作手段と給排気ファン制御手段とを再開する（Ｓ−２１）。
【００７４】
給排気ファン制御手段を再開する場合においてコントローラ２１は、ステップ１６（Ｓ−１６）と同様に、再開前の給気ファン制御手段の処理速度よりも再開後の給気ファン制御手段の処理速度を上げるとともに、再開前の排気ファン制御手段の処理速度よりも再開後の排気ファン制御手段の処理速度を上げる（処理速度増加手段）。コントローラ２１は、給排気ファン制御手段を再開する場合において給排気ファン制御手段の処理速度を再開前のそれと同じにする場合もある。
【００７５】
システム１０Ａは、第２クリーンルーム１２の測定室圧が上下限室圧の範囲内にある場合、第１および第２ダンパ１７，１８の旋回羽根３２，３３の旋回角度（ダンパ開度）を開状態（全開状態）から次第に閉じて全閉にする閉操作を実行するから、第２クリーンルーム１２の室圧コントロールを中断する場合において、第１クリーンルーム１１や第２クリーンルーム１２の給気風量と排気風量とのバランスが崩れず、それらクリーンルーム１１，１２の室圧が過度に陰圧や陽圧になることはなく、第１クリーンルーム１１の室圧を設定室圧に保持しつつ、第２クリーンルーム１２の室圧をスムーズかつ短時間に大気圧に戻すことができる。システム１０Ａは、第２クリーンルーム１２の室圧コントロールを中断する場合において、第１クリーンルーム１１や第２クリーンルーム１２からの汚染物質の流出を防ぐことができ、室外からそれらクリーンルーム１１，１２への塵埃や微粉、ガス、細菌等の不要物の流入を防ぐことができる。
【００７６】
システム１０Ａは、第２クリーンルーム１２の測定室圧が上限室圧を上回った場合、第１ダンパ１７の旋回羽根３２の旋回角度の閉操作を実行しつつ、第２ダンパ１８の旋回羽根３３の旋回角度の閉操作を一時的に停止するから、第２クリーンルーム１２の測定室圧のそれ以上の上昇を防ぐことができ、クリーンルーム１２の測定室圧を設定室圧の範囲内に戻しつつ、クリーンルーム１２の室圧をスムーズに大気圧に戻すことができる。システム１０Ａは、測定室圧が所定の下限室圧を下回った場合、第２ダンパ１８の旋回羽根３３の旋回角度の閉操作を実行しつつ、第１ダンパ１７の旋回羽根３２の旋回角度の閉操作を一時的に停止するから、第２クリーンルーム１２の測定室圧のそれ以上の下降を防ぐことができ、クリーンルーム１２の測定室圧を設定室圧の範囲内に戻しつつ、クリーンルーム１２の室圧をスムーズに大気圧に戻すことができる。
【００７７】
図４は、他の一例として示す室圧コントロールシステム１０Ｂの構成図であり、図５は、システム１０Ｂにおいて実行される減圧コントロール方法の一例を説明するフローチャートである。図６は、図５から続くフローチャートである。このシステム１０Ｂが図１のそれと異なるところは、定風量ユニット３４，３５と高速制御ダンパ３６，３７とを有する点にあり、その他の構成は図１のシステム１０Ａと同一であるから、図１と同一の符号を付すことで、このシステム１０Ｂのその他の構成の詳細な説明は省略する。
【００７８】
減圧コントロール方法を実施する室圧コントロールシステム１０Ｂは、第１および第２クリーンルーム１１，１２と、それらクリーンルーム１１，１２に空気を供給する給気ダクト１３と、それらクリーンルーム１１，１２から室外に空気を排出する排気ダクト１４と、それらクリーンルーム１１，１２に空気を給気する給気ファン１５と、それらクリーンルーム１１，１２から空気を排気する排気ファン１６と、分離用第１ダンパ１７および分離用第２ダンパ１８と、第１および第２室圧センサ１９，２０と、コントローラ２１（制御装置）と、第１および第２定風量ユニット３４，３５（ＣＡＶ）と、第１および第２高速制御ダンパ３６，３７（ＰＣＤ）（制御ダンパ）とから形成されている。
【００７９】
第１定風量ユニット３４は、第１クリーンルーム１１に連結された第１分岐ダクト２６（給気ダクト１３）に設置されている。第２定風量ユニット３５は、第２クリーンルーム１２に連結された第２分岐ダクト２７（給気ダクト１３）に設置されている。第１および第２定風量ユニット３４，３５は、モータダンパおよび制御器と、それらを収容する筐体とから形成されている（図示せず）。第２定風量ユニット３５の制御器は、インターフェイス３１を介してコントローラ２１に接続されている。それらユニット３４，３５のダンパは、モジュトロールモータ（回転機）と、モータの駆動力を介して旋回する旋回羽根と、旋回羽根の旋回によって開閉される空気流路とから形成されている。それらユニット３４，３５では、制御器からの制御信号によってモジュトロールモータが回転するとともに旋回羽根が所定角度に旋回する。
【００８０】
定風量ユニット３４，３５の制御器は、演算処理を行う中央処理部と各種条件を記憶可能な記憶部とを有するマイクロプロセッサである。定風量ユニット３４，３５の制御器は、空気流路を通過する空気通過量があらかじめ設定された値となるように、空気流路に対する羽根の開度を調整する。定風量ユニット３４，３５の制御器の記憶部には、ダクト２６，２７の設定気圧と、定風量ユニット３４，３５の空気流路を通過する空気通過量との相関関係が格納され、設定気圧に対応する空気通過量と、その空気通過量に対応するダンパの旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）との相関関係が格納されている。システム１０Ｂの通常運転時において、それらユニット３４，３５は、分岐ダクト２６，２７の内部気圧の変動に対してユニット３４，３５内を通る空気通過量を調整  し、クリーンルーム１１，１２に供給する空気量を一定に保持する。
【００８１】
第１高速制御ダンパ３６は、第１クリーンルーム１１に連結された第１分岐ダクト２９（排気ダクト１４）に設置されている。第２高速制御ダンパ３７は、第２クリーンルーム１２に連結された第２分岐ダクト３０（排気ダクト１４）に設置されている。それら制御ダンパ３６，３７は、制御器（図示せず）と、モジュトロールモータ（図示せず）と、モータの駆動力によって旋回する旋回羽根３８，３９と、旋回羽根３８，３９の旋回によって開閉される空気流路（図示せず）とから形成されている。
【００８２】
制御ダンパ３６の制御器には、第１クリーンルーム１１の室圧を測定する第３室圧センサ４０が接続されている。室圧センサ４０は、第１クリーンルーム１１の室圧を測定し、測定室圧を制御ダンパ３６の制御部に出力する。制御ダンパ３７の制御器には、第２クリーンルーム１２の室圧を測定する第４室圧センサ４１が接続されている。室圧センサ４１は、第２クリーンルーム１２の室圧を測定し、測定室圧を制御ダンパ３７の制御器に出力する。
【００８３】
それら制御ダンパ３６，３７の制御器は、演算処理を行う中央処理部と各種条件を記憶可能な記憶部とを有するマイクロプロセッサである。制御ダンパ３６，３７の制御器は、空気流路を通過する空気通過量があらかじめ設定された値となるように、空気流路に対する羽根の開度を調整する。制御ダンパ３６，３７の制御器の記憶部には、クリーンルーム１１，１２の設定気圧と、ダンパ３６，３７の空気流路を通過する空気通過量との相関関係が格納され、設定気圧に対応する空気通過量と、その空気通過量に対応するダンパの旋回羽根３８，３９の旋回角度（ダンパ開度）との相関関係が格納されている。
【００８４】
第１高速制御ダンパ３６は、制御器から出力された開度制御信号によってモジュトロールモータが回転し、旋回羽根３８が所定角度（ダンパ開度）に旋回することによって第１クリーンルーム１１から排気される空気の流量を調整する。第２高速制御ダンパ３７は、制御器から出力された開度制御信号によってモジュトロールモータが回転し、旋回羽根３９が所定角度（ダンパ開度）に旋回することによって第２クリーンルーム１２から排気される空気の流量を調整する。システム１０Ｂの通常運転においてそれら制御ダンパ３６，３７は、クリーンルーム１１，１２の室圧を設定室圧の範囲に保持する。
【００８５】
図５，６に基づいて、このシステム１０Ｂが実施する減圧コントロール方法を説明すると、以下のとおりである。システム１０Ｂを起動すると、コントローラ２１は、給排気ファン１５，１６の風量を設定風量に保持し、第１および第２クリーンルーム１１，１２に対する室圧コントロールを実行する（Ｓ−３０）。システム１０Ａの通常運転時では、それらクリーンルーム１１，１２の室圧がコントローラ２１によって設定室圧に保持される。
【００８６】
システム１０Ｂの通常運転時では、分岐ダクト２５，２７（給気ダクト１３）の内部を流れる空気に圧力変動が生じたとしても、定風量ユニット３４，３５によってダクト２５，２７の空気通過量が一定に保持され、常時一定量の空気がそれらクリーンルーム１１，１２に供給される。また、クリーンルーム１１，１２の測定室圧が設定室圧の範囲から外れたとしても、第１および第２高速制御ダンパ３６，３７によってクリーンルーム１１，１２から排気される空気の流量が調整され、クリーンルーム１１，１２の室圧が設定室圧の範囲に保持される。なお、室圧コントロールの実行中（通常運転時）、コントローラ２１は、第１および第２ダンパ１７，１８の旋回羽根３２，３３の旋回角度（ダンパ開度）を全開に保持する。
【００８７】
コントローラ２１は、第２クリーンルーム１２の室圧コントロールを中断し、クリーンルーム１２の室圧を大気圧に戻すかを判断する（Ｓ−３１）。第２クリーンルーム１２の室圧コントロールを中断しない場合（室圧コントロール中断信号無の場合）、コントローラ２１は、第１および第２クリーンルーム１１，１２に対する室圧コントロールを継続し、システム１０Ｂの通常運転を続行してそれらクリーンルーム１１，１２の室圧を設定室圧に保持する。
【００８８】
第２クリーンルーム１２の室圧コントロールを中断し、クリーンルーム１２の室圧を大気圧に戻す場合（室圧コントロール中断信号有の場合）、コントローラ２１は、第１〜第３閉操作手段の実行時に定風量ユニット３５の制御器に制御信号を出力し、ユニット３５からクリーンルーム１２に給気する空気の流量を第１〜第３閉操作手段の実行直前の流量に保持する（Ｓ−３２）。なお、定風量ユニット３４は、クリーンルーム１１に供給する空気量を一定に保持する（Ｓ−３３）。また、高速制御ダンパ３６，３７は、クリーンルーム１１，１２の室圧を設定室圧の範囲に保持する（Ｓ−３４）。
【００８９】
コントローラ２１は、第２クリーンルーム１２に設定された上限室圧と第１室圧センサ１９から出力されたクリーンルーム１２の測定室圧とを比較するとともに、クリーンルーム１２に設定された下限室圧と第１室圧センサ１９から出力されたクリーンルーム１２の測定室圧とを比較し（室圧比較手段）（Ｓ−３５）、クリーンルーム１２の測定室圧が上下限室圧の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−３６）。
【００９０】
コントローラ２１は、第２クリーンルーム１２の上下限室圧と測定室圧とを比較した結果、測定室圧が上限室圧の範囲内にあるとともに、測定室圧が下限室圧の範囲内にあると判断した場合、第１および第２ダンパ１７，１８の旋回羽根３２，３３の旋回角度（ダンパ開度）を開状態（全開状態）から一定の旋回速度で次第に閉じて全閉にする閉操作を実行する（第１閉操作手段）（Ｓ−３７）。
【００９１】
コントローラ２１は、第１閉操作手段を実行中に、給気ファン１５の設定静圧と測定静圧とを比較しつつ、ファン１５のインバータをコントロールし、測定静圧が設定静圧になるように静圧を一定に保持した状態で、ファン１５から給気する空気の風量を一定の下がり勾配で減少させる（給気ファン制御手段）（Ｓ−３７）。さらに、第１閉操作手段を実行中に、排気ファン１６の設定静圧と測定静圧とを比較しつつ、ファン１６のインバータをコントロールし、測定静圧が設定静圧になるように静圧を一定に保持した状態で、ファン１６によって排気する空気の風量を一定の下がり勾配で減少させる（排気ファン制御手段）（Ｓ−３７）。
【００９２】
コントローラ２１は、第１閉操作手段と給排気ファン制御手段とを実行中に、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較し、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−３８）。コントローラ２１は、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲内にある場合、第１閉操作手段と給排気ファン制御手段とを続行する（Ｓ−３９）。
【００９３】
コントローラ２１は、第１および第２ダンパ１７，１８の旋回羽根３２，３３の旋回角度（ダンパ開度）が全閉になったかを判断する（Ｓ−４０）。コントローラ２１は、それらダンパ１７，１８の旋回羽根３２，３３の旋回角度が全閉になったと判断すると、第２クリーンルーム１２の室圧が大気圧になったものとし、このシステム１０Ｂの減圧コントロール方法を終了する。なお、第２クリーンルーム１２の室圧が大気圧になった後も第１クリーンルーム１１の室圧は設定室圧に保持される。ステップ４０（Ｓ−４０）においてコントローラ２１は、ダンパ１７，１８の旋回羽根３２，３３の旋回角度が全閉になっていないと判断すると、ステップ３５（Ｓ−３５）からの手順を実施する。
【００９４】
ステップ４０（Ｓ−４０）においてコントローラ２１は、第１閉操作手段を実行中に、分離用第１ダンパ１７の旋回羽根２１の旋回角度（ダンパ開度）と分離用第２ダンパ１８の旋回羽根３３の旋回角度（ダンパ開度）とのいずれか一方の旋回角度（ダンパ開度）が１〜１０％になった場合、それらダンパ１７，１８の旋回羽根３２，３３の旋回角度（ダンパ開度）を比較し、他方のダンパの旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）が１〜１０％になるまで、一方のダンパの旋回羽根の閉操作を中断し、他方のダンパの旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）が１〜１０％になった場合、一方のダンパの旋回羽根の閉操作を再開する（閉操作待機・再開手段）。
【００９５】
ステップ３８（Ｓ−３８）においてコントローラ２１は、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲から外れた場合、実行中の第１閉操作手段と給気ファン制御手段とを中断する（Ｓ−４１）。この場合、高速制御ダンパ３６は、第１クリーンルーム１１の室圧を設定室圧に戻し（Ｓ−４２）、コントローラ２１は、ステップ３８（Ｓ−３８）からの手順を実施する。
【００９６】
ステップ３８（Ｓ−３８）においてコントローラ２１は、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、制御ダンパ３６によってクリーンルーム１１の室圧が設定室圧の範囲内に戻ったと判断すると、第１閉操作手段と給排気ファン制御手段とを再開する（Ｓ−３９）。
【００９７】
給排気ファン制御手段を再開する場合においてコントローラ２１は、再開前の給気ファン制御手段の処理速度よりも再開後の給気ファン制御手段の処理速度を上げるとともに、再開前の排気ファン制御手段の処理速度よりも再開後の排気ファン制御手段の処理速度を上げる（処理速度増加手段）。コントローラ２１は、給排気ファン制御手段を再開する場合において給排気ファン制御手段の処理速度を再開前のそれと同じにする場合もある。
【００９８】
ステップ３６（Ｓ−３６）においてコントローラ２１は、第２クリーンルーム１２の上下限室圧と測定室圧とを比較した結果、測定室圧が上下限室圧の範囲内になく（図２援用）、測定室圧が上限室圧を上回っていると判断した場合、第１ダンパ１７の旋回羽根３２の旋回角度（ダンパ開度）を開状態（全開状態）から一定の旋回速度で次第に閉じる閉操作を実行しつつ、第２ダンパ１８の旋回羽根３３の旋回角度（ダンパ開度）の閉操作を一時的に停止する（第２閉操作手段）（Ｓ−４３）。
【００９９】
コントローラ２１は、第２閉操作手段を実行中に、給気ファン１５の設定静圧と測定静圧とを比較しつつ、ファン１５のインバータをコントロールし、測定静圧が設定静圧になるように静圧を一定に保持した状態で、ファン１５から給気する空気の風量を一定の下がり勾配で減少させる（給気ファン制御手段）（Ｓ−４３）。さらに、第２閉操作手段を実行中に、排気ファン１６の設定静圧と測定静圧とを比較しつつ、ファン１６のインバータをコントロールし、測定静圧が設定静圧になるように静圧を一定に保持した状態で、ファン１６によって排気する空気の風量を一定の下がり勾配で減少させる（排気ファン制御手段）（Ｓ−４３）。
【０１００】
コントローラ２１は、第２閉操作手段と給排気ファン制御手段とを実行中に、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較し、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−４４）。コントローラ２１は、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲内にあると判断した場合、第２閉操作手段と給排気ファン制御手段とを続行し（Ｓ−４５）、ステップ３５（ステップ３５）からの手順を実施する。
【０１０１】
ステップ４４（Ｓ−４４）においてコントローラ２１は、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲から外れた場合、実行中の第２閉操作手段と給気ファン制御手段とを中断する（Ｓ−４６）。この場合、高速制御ダンパ３６は、第１クリーンルーム１１の室圧を設定室圧に戻し（Ｓ−４７）、コントローラ２１は、ステップ４４（Ｓ−４４）からの手順を実施する。
【０１０２】
ステップ４４（Ｓ−４４）においてコントローラ２１は、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、制御ダンパ３６によってクリーンルーム１１の室圧が設定室圧の範囲内に戻ったと判断すると、第２閉操作手段と給排気ファン制御手段とを再開する（Ｓ−４５）。
【０１０３】
給排気ファン制御手段を再開する場合においてコントローラ２１は、ステップ３９（Ｓ−３９）と同様に、再開前の給気ファン制御手段の処理速度よりも再開後の給気ファン制御手段の処理速度を上げるとともに、再開前の排気ファン制御手段の処理速度よりも再開後の排気ファン制御手段の処理速度を上げる（処理速度増加手段）。コントローラ２１は、給排気ファン制御手段を再開する場合において給排気ファン制御手段の処理速度を再開前のそれと同じにする場合もある。
【０１０４】
ステップ３６（Ｓ−３６）においてコントローラ２１は、第２クリーンルーム１２の上下限室圧と測定室圧とを比較した結果、測定室圧が上下限室圧の範囲内になく、測定室圧が上限室圧を下回っていると判断した場合、第２ダンパ１８の旋回羽根３３の旋回角度（ダンパ開度）を開状態（全開状態）から一定の旋回速度で次第に閉じる閉操作を実行しつつ、第１ダンパ１７の旋回羽根３２の旋回角度（ダンパ開度）の閉操作を一時的に停止する（第３閉操作手段）（Ｓ−４３）。
【０１０５】
コントローラ２１は、第３閉操作手段を実行中に、給気ファン１５の設定静圧と測定静圧とを比較しつつ、ファン１５のインバータをコントロールし、測定静圧が設定静圧になるように静圧を一定に保持した状態で、ファン１５から給気する空気の風量を一定の下がり勾配で減少させる（給気ファン制御手段）（Ｓ−４３）。さらに、第３閉操作手段を実行中に、排気ファン１６の設定静圧と測定静圧とを比較しつつ、ファン１６のインバータをコントロールし、測定静圧が設定静圧になるように静圧を一定に保持した状態で、ファン１６によって排気する空気の風量を一定の下がり勾配で減少させる（排気ファン制御手段）（Ｓ−４３）。
【０１０６】
コントローラ２１は、第３閉操作手段と給排気ファン制御手段とを実行中に、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較し、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−４４）。コントローラ２１は、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲内にあると判断した場合、第３閉操作手段と給排気ファン制御手段とを続行し（Ｓ−４５）、ステップ３５（ステップ３５）からの手順を実施する。
【０１０７】
ステップ４４（Ｓ−４４）においてコントローラ２１は、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、クリーンルーム１１の測定室圧が設定室圧の範囲から外れた場合、実行中の第３閉操作手段と給気ファン制御手段とを中断する（Ｓ−４６）。この場合、高速制御ダンパ３６は、第１クリーンルーム１１の室圧を設定室圧に戻し（Ｓ−４７）、コントローラ２１は、ステップ４４（Ｓ−４４）からの手順を実施する。
【０１０８】
ステップ４４（Ｓ−４４）においてコントローラ２１は、第１クリーンルーム１１の設定室圧と測定室圧とを比較した結果、制御ダンパ３６によってクリーンルーム１１の室圧が設定室圧の範囲内に戻ったと判断すると、第３閉操作手段と給排気ファン制御手段とを再開する（Ｓ−４５）。
【０１０９】
給排気ファン制御手段を再開する場合においてコントローラ２１は、ステップ３９（Ｓ−３９）と同様に、再開前の給気ファン制御手段の処理速度よりも再開後の給気ファン制御手段の処理速度を上げるとともに、再開前の排気ファン制御手段の処理速度よりも再開後の排気ファン制御手段の処理速度を上げる（処理速度増加手段）。コントローラ２１は、給排気ファン制御手段を再開する場合において給排気ファン制御手段の処理速度を再開前のそれと同じにする場合もある。
【０１１０】
このシステム１０Ｂは、図１のシステム１０Ａが有する効果に加え、以下の効果を有する。システム１０Ｂは、第１〜第３閉操作手段を実行中に第１および第２高速制御ダンパ３６，３７を利用してそれらクリーンルーム１１，１２の室圧を設定室圧に保持するから、クリーンルーム１２の室圧コントロールを中断する場合において、クリーンルーム１１，１２の給気風量と排気風量とのバランスが崩れず、それらクリーンルーム１１，１２の室圧が過度に陰圧や陽圧になることはなく、クリーンルーム１１の室圧を設定室圧に保持しつつ、クリーンルーム１２の室圧をスムーズに大気圧に戻すことができる。システム１０Ｂは、それら制御ダンパ３６，３７によってクリーンルーム１１，１２の室圧を設定室圧に保持しつつ、第１閉操作手段において第１ダンパ１７および第２ダンパ１８の旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）の閉操作が行われるから、クリーンルーム１２の室圧コントロールを中断する場合において、クリーンルーム１２の室圧を短時間に大気圧に戻すことができる。
【０１１１】
システム１０Ｂは、空気の流量に変化があった場合、その流量を一定に保持するように定風量ユニット３５が作動すると、クリーンルーム１２の室圧コントロールを中断する場合において、クリーンルーム１２の室圧が所定の上限室圧を大きく上回ったり、下限室圧を大きく下回り、クリーンルーム１２の室圧をスムーズかつ短時間に大気圧に戻すことができないが、定風量ユニット３５からクリーンルーム１２に流入させる空気の流量を第１〜第３閉操作手段の実行直前の流量に保持するから、空気の流量に変化があったとしても、クリーンルーム１２のユニット３５が作動することはなく、ユニット３５がクリーンルーム１２の室圧を大気圧に戻す妨げになることはなく、クリーンルーム１２の室圧をスムーズかつ短時間に大気圧に戻すことができる。
【符号の説明】
【０１１２】
１０Ａ  室圧コントロールシステム
１０Ｂ  室圧コントロールシステム
１１    第１クリーンルーム
１２    第２クリーンルーム
１３    給気ダクト
１４    排気ダクト
１５    給気ファン
１６    排気ファン
１７    分離用第１ダンパ
１８    分離用第２ダンパ
１９    第１室圧センサ
２０    第２室圧センサ
２１    コントローラ
３４    第１定風量ユニット
３５    第２定風量ユニット
３６    第１高速制御ダンパ
３７    第２高速制御ダンパ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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