(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の鏡面プレート（１０）と複数の鏡面プレートが積層されたベースプレート（１３）とからなる積層鏡面プレート（３０）を組み立てる方法であって、該方法は
−  ベースプレート（１３）にマウントせしめられる第一の鏡面プレートを配設し
−  運搬機器に第二の鏡面プレートを配設し
−  スペーサーを該第二の鏡面プレートの表面に配設し
−  該第二の鏡面プレートを該第一の鏡面プレートに整合せしめるための該スペーサーを伴う該第二の鏡面プレートからなる運搬機器を配設し、該第二の鏡面プレートは該第一の鏡面プレートの予め決められた位置及び形状から該第一の鏡面プレートの計測された位置及び形状の偏差を補償するために該第一の鏡面プレートの計測された位置及び形状に基づいて該第一の鏡面プレートに相対して整合せしめられ
−  該スペーサーを該第一の鏡面プレートに接着することにより該第一の鏡面プレートに該第二の鏡面プレートを取り付け、該スペーサーが該第一の鏡面プレート及び該第二の鏡面プレート間の予め決められた距離を決定し
−  取り付けられた該第二の鏡面プレートから該運搬機器を除去せしめることにより該第二の鏡面プレートの裏面を暴露せしめ
−  裏面が暴露せしめられた後に取り付けられた該第二の鏡面プレートの位置及び形状を計測する
ステップからなる前記方法。
【請求項２】
少なくとも第三の鏡面プレートが該第二の鏡面プレートに取り付けられるように該ベースプレートの上に複数個の鏡面プレートを積層するために請求項１に従ったステップが繰り返されること、を特徴とする請求項１に記載する方法。
【請求項３】
第一の鏡面プレートが該ベースプレートの上に積層せしめられる該第一のプレートである場合、
−  該ベースプレート（１３）を配設し
−  該運搬機器に該第一の鏡面プレートを配設し
−  スペーサーを該第一の鏡面プレートの表面に配設し
−  該第一の鏡面プレートを該ベースプレートに整合せしめるための該スペーサーを伴う該第一の鏡面プレートからなる運搬機器を位置せしめ
−  該スペーサーを該ベースプレートに接着することにより該ベースプレートに該第一の鏡面プレートを接着せしめ
−  取り付けられた該第一の鏡面プレートから該運搬機器を除去することにより該第一の鏡面プレートの裏面を暴露せしめ
−  該裏面が暴露せしめられた後に該第一の鏡面プレートの位置及び形状を計測せしめる
ステップを更に含む請求項１または２のいずれか少なくとも１に記載する方法。
【請求項４】
該鏡面プレートは該運搬機器及び該ベースプレート（１３）状に配設された参照項目（１４、１５）を利用する機械的及び光学的整合方法により整合せしめられる、請求項１乃至３のいずれか少なくとも１に記載する方法。
【請求項５】
該鏡面プレートが積層せしめられた該ベースプレートは該積層鏡面プレートを光学台と整合せしめるためのキャリヤープレートとして使用される、請求項１乃至４のいずれか少なくとも１に記載する方法。
【請求項６】
取り付けられた該鏡面プレートの位置及び形状を計測するステップにおいて裏面が暴露せしめられた後、該位置及び形状は計算機ホログラム及び干渉分光法を使用して要求された精度で計測せしめられる、請求項１乃至５のいずれか少なくとも１に記載する方法。
【請求項７】
該運搬機器はマンドレルであって、該方法は更に該マンドレルにより予め決められた形状に該鏡面プレートを形成せしめるステップからなる、請求項１乃至６のいずれか少なくとも１に記載する方法。
【請求項８】
該鏡面プレートはガラス鏡面プレートであって該マンドレルはガラススランピングマンドレル（１１）である、請求項７に記載する方法。
【請求項９】
離層により該運搬機器に該鏡面プレートの該裏面を着脱可能に取り付け、該離層の付着係数は該スペーサー手段を伴う該鏡面プレートからなる該運搬機器を位置せしめる該ステップの間中固定された位置に該鏡面プレートを保持する値に設定せしめられ、該鏡面プレートを取り付ける該ステップの後に該付着係数の該値は該取り付けられた鏡面プレートから該運搬機器が除去できる値に設定せしめられている、請求項１乃至８のいずれか少なくとも１に記載する方法。
【請求項１０】
該スペーサーはスペーサーリブからなる、請求項１乃至９のいずれか少なくとも１に記載する方法。
【請求項１１】
該ベースプレート又は該スペーサー手段は該鏡面プレート材と同じ材料から構成される、請求項１乃至１０のいずれか少なくとも１に記載する方法。
【請求項１２】
該鏡面プレートが請求項１乃至１１のいずれか少なくとも１により組み立てられた複数の鏡面プレートを伴う装置。
【請求項１３】
複数の鏡面プレート（１０）と複数の鏡面プレートが積層されたベースプレート（１３）とからなる積層鏡面プレート（３０）を組み立てる方法であって、該方法は
−  第一の鏡面プレートをマンドレルの上に配置せしめ
−  該マンドレルにより該第一の鏡面プレートを予め決められた形状に形成せしめ
−  スペーサーを形成された該第一の鏡面プレートの表面に取り付け
−  形成された該第一の鏡面プレートを該ベースプレート又はそれにマウントせしめられた鏡面プレートに整合せしめるために該マンドレルを使用せしめる
ステップからなる前記方法。
【請求項１４】
該第一の鏡面プレートの厚さは該鏡面の表面積と比較して小さい、請求項１０又は１３に記載の方法。
【請求項１５】
該マンドレルはガラススランピングマンドレル（１１）であって該鏡面プレートはガラス鏡面プレートである、請求項１３又は１４に記載の方法。
【請求項１６】
光学ユニットを組み立てる方法であって、前記光学ユニットは第一の光学的積層鏡面プレート（３０）と第二の光学的積層鏡面プレート（３１）を具備し、前記第一の光学的積層鏡面プレート及び前記第二の光学的積層鏡面プレートはベースプレートの上に積層された複数の鏡面プレート（１０）からなり、前記方法は
−  微小操作手段の上に該第一の光学的積層鏡面プレート及び該第二の光学的積層鏡面プレートのベースプレート（１３）を介して該第一の光学的積層鏡面プレート（３０）及び該第二の光学的積層鏡面プレート（３１）をマウントせしめ、該第一の光学的積層鏡面プレート（３０）及び該第二の光学的積層鏡面プレート（３１）は縦列形態に配置せしめられ、該第一の光学的積層鏡面プレート（３０）及び該第二の光学的積層鏡面プレート（３１）は微小操作手段により互いに相対して位置せしめられることができ、
−  Ｘ線方法により該第一の光学的積層鏡面プレート（３０）を該第二の光学的積層鏡面プレート（３１）に相対して整合せしめ、
−  該第一の光学的積層鏡面プレート及び該第二の光学的積層鏡面プレートのベースプレート（１３）を介して該第一の積層鏡面プレート及び該第二の積層鏡面プレートを接続することにより、該第二の光学的積層鏡面プレート（３１）に相対して該第一の光学的積層鏡面プレート（３０）の整合せしめられた位置を保証せしめ、
−  接続手段を該第一及び第二の光学的積層鏡面プレートの接続されたベースプレートに取り付け
−  光学台へインターフェースを平衡にマウントせしめることにより接続手段を接続せしめる、
ことからなる前記方法。
【請求項１７】
該第一の積層鏡面プレートは放物線形状をしたガラス鏡面プレートを具備し、該第二の積層鏡面プレートは双曲線形状をしたウォルター１要素を形成しているガラス鏡面プレートを具備している、請求項１６記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は複数個の鏡面プレートとその上に複数の鏡面プレートが積層されたベースプレートから構成される積層鏡面プレートの組み立て方法に関する。更に、本発明は２個以上の積層鏡面プレートを硬質ユニットに組み立てる方法について言及する。
【０００２】
特に、しかし包括的でなく、本発明はＸ線での宇宙の特定領域の観測、即ち積層鏡面プレートに基づく光学的モジュールからなる宇宙望遠鏡を使用した高エネルギ粒子の観測を含む宇宙観測に適用される。それにもかかわらず、本発明は多くの他の分野、即ち石版装置（ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｉｃ  ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ）のためのＵＶ光学機器、医用検査装置、材料評価及び特性評価装置、画像Ｘ線蛍光分析器、等にも適用できる。
【０００３】
しかしながら明確にするため、下記は本発明の好適な適用について主に言及するが、その範囲は下記に限定されるわけではない、即ち、下記ではスランプしたガラス鏡面プレートを組み込んだＸ線光学モジュールについて述べる。
【０００４】
数メートルの光学直径（ｏｐｔｉｃａｌ  ｄｉａｍｅｔｅｒ）を必要とする高精度Ｘ線光学ユニットはその製造困難性及び非実用的な大きさにより、単一の大きい一体式の鏡面シェルを使うことは通常実現的でない。その代わりに、複数の鏡面シェルが小さいセグメントに分割され、かかる光学機器の必要な分解能及び測定感度を実現するために的確且つ正確に、しかしながらロバスト且つ頑丈に、鏡面プレートの積層を組み立てなくてはならない。
【背景技術】
【０００５】
これら鏡面プレートの板厚は通常かかる表面直径と比較しても極めて薄く、例えばドイツ工業標準規格Ａ４の表面積であって、厚さ０．５ｍｍ未満の薄板又は同軸シェルが用いられる。鏡面の必要とする厚さ（又は薄さ）は、かかる鏡面プレートが自重及びあらゆる不注意な取り扱い又は摩擦力により変形容易であることに起因して、焦点を合わすための面形状を犠牲にすることなく光学機器に鏡面プレートを取り付けられる程度のものである。数秒の角度分解能を有する高精度測定器は薄鏡が整合せしめられそしてマイクロメーター又はそれらのごく一部のレベルにおける精度でマウントせしめられることを要する。かかる鏡面の典型的な基本設計は軸長２００ｍｍまでで与えられ、例えば垂れ下がった状態において、低い次数の軸面形状誤差における山と谷との１マイクロメーター誤差は鏡面の軸傾斜における角度２秒の誤差、反射光において４秒の誤差を夫々生じ、そしてそれは更に（二重反射において）第二の鏡面から同様の誤差を合成せしめられる。面形状の歪みの大きさの限界はより高い空間周波数の誤差のためにより一層厳しい。これらの要求は積層工程の間誤差を潜在的に含むことにより複数の鏡面プレートを積層するときに特に厳しい。多様な技術が上述した要求を具備しようとするため、従来から提案されている。ＵＳ２００３／０１９４０５４Ａ１には医療用の鏡面の組み立てが記載されている。ＵＳ６４４９８２６Ｂ１は宇宙天文学のための積層鏡面プレートの組み立て方法が開示されている。包括的でない例として、下記文献においてそれらの記載についての更なる言及がされており、それらのほとんどが鏡面プレートの組み立てのための一次的なマウント構造を必要とする。Ｚｈａｎｇ，Ｗ．Ｗ．  ｅｔ．ａｌ．（Ｃｏｎｓｔｅｌｌａｔｉｏｎ−Ｘ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ），２００７，Ｐｒｏｃ．ＳＰＩＥ，Ｖｏｌ．６６８８．ｐ．６６８８０２），Ｃｈａｎ  ｅｔ．ａｌ．（Ｏｐｔｏ−ｍｅｃｈａｎｉｃｓ  ｏｆ  ｔｈｅ  Ｃｏｎｓｔｅｌｌａｔｉｏｎ−Ｘ  ＳＸＴ  Ｍｉｒｒｏｒｓ：Ｃｈａｌｌｅｎｇｅｓ  ｉｎ  Ｍｏｕｎｔｉｎｇ  ａｎｄ  Ａｓｓｅｍｂｌｉｎｇ  ｔｈｅ  Ｍｉｒｒｏｒ  Ｓｅｇｍｅｎｔｓ），２００８，Ｐｒｏｃ．ＳＰＩＥ  Ｖｏｌ．７０１１，７０１１１４）及びＰｏｄｇｏｒｓｋｉ  ｅｔ．ａｌ．（Ａ  Ｍｏｕｎｔｉｎｇ  ａｎｄ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ  Ａｐｐｒｏａｃｈ  ｆｏｒ  ｃｏｎｓｔｅｌｌａｔｉｏｎ−Ｘ  Ｍｉｒｒｏｒ  Ｓｅｇｍｅｎｔｓ）２００８，Ｐｒｏｃ．  Ｏｆ  ＳＰＩＥ  Ｖｏｌ．７０１１，７０１１１２−１。
【０００６】
最初に平坦なシート（例えばガラス製）は必要形状に形成されなければならない。平坦ガラスシートは適切な形状をしたマンドレル上におかれ、しかる後にオーブンでガラスシートが軟化し自重で屈曲する温度に加熱せしめる。かかる温度はガラスシートがその表面仕上げを維持するのに充分低いが、シートが支持マンドレルの形状に合致するのに充分高い。
【０００７】
他の方法はガラスプレートを形成するためにガス圧を利用するものである。ガラスプレートは２個のマンドレル間に挟まれ、空気クッションが上方マンドレルとガラスプレートの上方側面との間、及び、ガラスプレートの下方側面とマンドレル下方との間に夫々ある。
【０００８】
一旦鏡面プレートが形成されると、それらは検査及び計測せしめられるために分離運搬機器（ｈａｎｄｌｉｎｇ  ｔｏｏｌ）によりスランピングマンドレルから除去され、しかる後に光学モジュール又はユニット構造に整合及びマウントせしめられる。これら薄手鏡面プレートの柔軟性を考慮すると、要求される角度数秒及び数ミクロンの計測精度を達成することは更に困難である。従来方法はかかる精度を実現するためにスランプした鏡面プレートの一時マウントを採用している。鏡面プレートの一時マウントは鏡面プレートの最終的な恒久マウントにより付随せしめられる。しかしながら、一時マウント装置は鏡面プレートへの更なる歪みを生じさせうる。この一時マウント装置はプレートのＸ線光学モジュールへの結合する間、鏡面プレートの運搬もまた必要とされる。
【０００９】
従来技術において、望遠鏡製造のために特に、最終結合に先立って鏡面プレート対を光学モジュールに運搬及び整合せしめる他の方法が提案されている。主な提案は下記のとおりである。即ち、所謂“受動的”アプローチにおいては、鏡面プレートは光学モジュールへの整合及び結合の間は最小歪みの位置を保持する。重力による歪みを最小にするため、プレートは細いワイヤーで吊るされ、しかる後に一時構造に背面を接着せしめられる。組み立ては恒久接着せしめられる光学モジュール構造へ鏡面プレートを位置及び整合せしめるのに使用される。運搬構造への一時的な接着は後者を開放するために最終的には破壊される。
【００１０】
所謂“能動的整合”アプローチにおいては、鏡面プレートの柔軟性に利点があり、真円度及び焦点の調整は整合の間に鏡面プレートをわずかに変形せしめることにより行われる。接着ピンは最初に鏡面プレートに接着せしめられ、しかる後に光学モジュールボックス内で鏡面プレートを保持及び位置せしめるために使用される。オンライン計測はプレートの実際の位置を計測するのに使用される。一旦最適位置に到達せしめられると、接着クリップは光学モジュールボックスのレールに接着せしめられる。
【００１１】
両アプローチは鏡面プレートに取り付けられるレールを伴う箱のような構造を必要とする。
【００１２】
全体で、典型的な光学モジュールは例えばウォルター１形態においておよそ１００個の鏡面対を含む。例えば合計６０個のかかるモジュールが完成した開口望遠鏡を形成する。かかる鏡面対（例えば２個の積層鏡面プレートはウォルター１形態のため直列形態に配設される）は通常２個の対応する鏡面を対でマウント及び整合することにより組み立てられ、夫々の積層鏡面プレートの１個（例えば２個の積層鏡面プレートであった場合）は平行に組み立てられる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
上記簡潔に要約されたこれら従来技術は上述した要求を充分には充たしえない。例えばスランピング工程の後に、新しく分離した運搬機器上に鏡面プレートを正確に配置することはスランプした鏡面プレートの光軸が決定しづらいので（曲率が大きいこと及びプレートの焦点距離が長いことに起因するので）困難な手順である。加えて、鏡面プレートの最終的な恒久接着により付随した計測精度を達成するためにスランプした鏡面プレートを一時的にマウントすることは、追加的な一時マウントステップが自重及び不注意な取り扱い又は摩擦力による鏡面プレートの更なる歪みを生じうるので誤差要因となる。最終的な整合及び接着前にプレート位置を決定することは鏡面プレートの最終位置を高精度に決定することにはならない。更に、積層段階において鏡面プレートを固定するために箱のような構造である必要性は鏡面プレート形状または表面の一部が箱のようにマウントしている構造により覆われていることによるので、整合された鏡面プレート全体の面形状及び位置の正確な計測は考慮する必要はない。
【００１４】
更に、積層している鏡面プレートに対する現在のアプローチの困難性により、２個の対応する積層鏡面プレート（例えば、積層鏡面プレートがウォルター１形態として一つの光学ユニットに後に組み合わされる）は互いの積層鏡面プレートの対となる２個の対応する鏡面をマウント及び整合せしめることにより平行に組み立てられる。しかしながら、２個の積層鏡面プレート間の重要な整合は積層の時にしか実施されることができず、互いに２個の積層鏡面プレートを正確に整合することが困難である可視光計測法のみを使用する。いくつかの従来技術による方法においては、従来の運搬機器の溝を介して暴露される鏡面エリアが制限されていることに起因し、整合している間は鏡面の微小部分しか抽出されず、また、計測に利用できないという欠点がある。
【００１５】
従って、高精度な積層鏡面プレートを形成するための鏡面プレートの組み立て方法を提供すること及び高精度な光学ユニットに２個以上の積層鏡面プレートを整合及び組み立てる方法を提供することにより上述した技術的課題を解決する必要性がある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
従来技術の上記課題を考慮して、複数の鏡面プレートと複数の鏡面プレートを積層したベースプレートとを含む積層鏡面プレートをより高精度に組み立てる方法を提供することが本発明の目的である。少なくとも２個の光学的積層鏡面プレートを含む光学ユニットをより高精度に組み立てる方法を提供することが本発明の更なる目的である。
【００１７】
これらの目的は請求項１、請求項１４及び請求項１７の方法に基づく要旨により達成される。従属請求項は本発明の好ましい実施例を示している。
【００１８】
本発明の態様によると、複数の鏡面プレート及び上に複数の鏡面プレートが積層せしめられた固定ベースプレートからなる積層鏡面プレートの組み立て方法が提案されている。ベースプレートを含むプレート、例えば積層の所謂“底”又は“頂面”でのプレート、はその前面反射面が熟慮された形状である様な方式で形成せしめられうる。換言すると、鏡面プレートは光湾曲（ｌｉｇｈｔ  ｃｕｒｖａｔｕｒｅ）及び／又は同軸シェルを有してもよい。この方法はベースプレートを配設するステップを含み、ベースプレートに鏡面プレートがマウントされる。ベースプレートはその上に鏡面プレートが組み立てられる固定キャリアプレート又は構造基板として機能する。例として、鏡面プレートはガラス鏡面プレートであってよいが本発明はそれに限定されない。鏡面プレートは例えばシリコン、鉄、金属合金、セラミックス又はガラスセラミックス鏡面プレートでも同等に良好である。かかる方法は更に、運搬機器に第二の鏡面プレートを配設するステップ含む。かかる方法は更に、スペーサーを第二の鏡面プレートの表面に配設するステップを含む。好ましくは、スペーサーはスペーサーリブとして形成される。リブはプレートの結合部分を構成或いはそれらは分離せしめてもよい。
【００１９】
かかる方法は更に第二の鏡面プレートを第一の鏡面プレートに整合せしめるためのスペーサーを伴う第二の鏡面プレートを含む運搬機器を位置せしめるステップを含み、第二の鏡面プレートは第一の鏡面プレートの所望位置及び形状から第一の鏡面プレートの計測された位置及び形状の偏差を補償するための第一の鏡面プレートの計測された位置及び形状に基づいて第一の鏡面プレートに対して整合せしめられる。換言すると、ｎ番目の鏡面プレートがマウントされた後、その位置及び形状は、積層プレート上の所望位置及びｎ番目の鏡面プレートの形状から任意の偏差を測定するために計測される。鏡面プレート形状はプレート形状及び面形状を含む。ｎ番目の鏡面プレートの計測された位置及び形状は先のｎ番目のプレートの位置及び形状の計測された誤差及び偏差を補償するために続くｎ＋１番目の鏡面プレート位置及びマウントするために使用されてもよい。それ故に、続くプレートを位置及び整合せしめるときに前のプレートで得られた計測データを使用することにより、積層過程における誤差の蓄積が回避される。
【００２０】
かかる方法は更にスペーサーを第一の鏡面プレートに接着することにより第二の鏡面プレートを第一の鏡面プレートに取り付ける工程を含み、スペーサーが第一と第二の鏡面プレート間の所望の距離を決定する。かかる方法は更に取り付けられた第二の鏡面プレートから運搬機器を除去することにより第二の鏡面プレートの裏面を暴露するステップを含む。かかる方法は更に第二の鏡面プレートの裏面が暴露された後に取り付けられた第二の鏡面プレートの位置及び形状を計測するステップを含む。第二の鏡面の裏面は運搬機器が除去された後に充分に暴露され利用可能となる一方で、第二の鏡面プレートの表面はスペーサーを含み、かかるスペーサーは前のプレートと対向し、それにマウントせしめられている。
【００２１】
実際のプレート位置及び形状は整合及び接着が完了した後で計測され、それ故に一時マウントが使用される場合の更なるマウント工程により鏡面プレート計測がゆがめられることが防止される。マウントされた鏡面プレートの最終的な位置及び形状は従ってより正確に計測されることができる。
【００２２】
箱のようなマウント構造は使用されないので、前のプレートにマウントせしめられた鏡面プレートの完成した表面が計測のために暴露され、計測が容易であり、好ましくは鏡面プレートの位置及び形状の正確な計測のために光学的計測法又は表面形状測定装置を使用する。鏡面プレートの計測された位置及び形状は組み立てられた第二の鏡面プレートの所望位置及び形状から任意の偏差を補償するために続くプレートを連続して位置せしめるのに使用してもよい。
【００２３】
上記によれば、前の鏡面プレートへ鏡面プレートをマウントすることが記載されており、前の鏡面プレートは既にマウントされている。本発明の他の態様によると、これらのステップは少なくとも第三の鏡面プレートが第二の鏡面プレートへ取り付けられるように、ベースプレートの上に複数の鏡面プレートを積層するために繰り返されてもよい。例として、積層鏡面プレートは２０から３０個の鏡面プレートを含んでもよい。
【００２４】
第一の鏡面プレートを直接ベースプレートに組み立てるため、かかる方法は更に下記ステップ、即ち、ベースプレートを配設し、運搬機器に第一の鏡面プレートを配設し、スペーサーを第一の鏡面プレートの表面に配設し、第一の鏡面プレートにベースプレートを整合せしめるためのスペーサーを伴う第一の鏡面プレートからなる運搬機器を位置せしめ、ベースプレートへスペーサーを接着することによりベースプレートへ第一の鏡面プレートを取り付け、接着された第一の鏡面プレートから運搬機器を除去することにより第一の鏡面プレートの裏面を暴露せしめ、裏面が暴露せしめられた後に第一の鏡面プレートの位置及び形状を計測せしめる、ステップを含んでもよい。
【００２５】
換言すると、ベースプレートの上への第一の鏡面プレートの組み立ては連続する鏡面プレートの組み立てと、第一の鏡面プレートがベースプレートそれ自身に対して整合せしめられ、直接その上にマウントされる点で主に相違する。
【００２６】
本発明の他の態様によると、鏡面プレートの薄さは鏡面表面積に比べて小さく、例えば３００ｃｍ２の与えられた鏡面表面積で１ｍｍ又はそれ以下である。
【００２７】
リブスペーシングは要求される角度、分解能、材料特性及び寸法に従って選択される。
【００２８】
好ましくは、鏡面プレートは運搬機器及びベースプレートに配設された参照項目（ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ  ｉｔｅｍ）を利用する機械的及び光学的整合方法により整合せしめられる。機械的及び光学的整合方法は要求される精度を達成せしめる。一般的に、かかる大きさは角度１秒及び１ミクロンのオーダーである。
【００２９】
例として、参照項目は正確な角度計測のための光学的鏡面、又は機械的／触知的スキャン用の表面マークであってもよい。機械的／触知的スキャン用の正確に角度計測又は表面マークするための光学的鏡面であってもよい。これらの参照項目は第二の鏡面プレートの裏面が暴露された後に取り付けられた第二の鏡面プレートの位置及び形状を計測する上述したステップに使用されてもまた良い。
【００３０】
本発明の他の態様によると、上に鏡面プレートが積層されたベースプレートは光学台へ積層鏡面プレートを接続するためのキャリアプレートとして使用されてもよい。ベースプレート又は“背面板”は積層する間のみの一時的手段として設計及び使用されるだけでなく、積層工程それ自身の間使用される光学的モジュールベースプレートが光学台又は他の積層鏡面プレートへ後に鏡面プレート組み立てを接続するための構造要素として保持及び使用されてもよい。換言すると、最初の鏡面プレートをベースプレートに直接取り付けることを含む、結合工程の間全ての鏡面プレートの接着は恒久的である。従って本発明には一つの正確なベースプレートのみが必要であるという利点がある。更に、本発明にはプレートが自動的にプレート結合の完了した光学的モジュール構造インターフェースに整合せしめられるという利点がある。上述した利点は特に複数の積層鏡面プレートを含む大型システムに対して重要である。精密部品の製造及び整合過程における省力は重要である。
【００３１】
本発明の他の態様によると、裏面が暴露された後に取り付けられた鏡面プレートの位置及び形状を計測するステップにおいて、かかる位置及び形状は計測装置又は表面形状測定装置を使用して計測されてもよい。好ましくは、位置及び形状を計測するためのかかる光学的方法は計算機ホログラム及び干渉分光法を含む。位置及び形状は要求される精度に計測され、好適には角度１秒以下及び１ミクロン以下である。
【００３２】
本発明の他の態様によると、運搬機器はマンドレルであって良く、かかる方法は更にマンドレルにより所望形状への鏡面プレートを成型及び／又は加工するステップを含んでもよい。プレート材料に応じて、多様な形式のマンドレルが所望形状へプレートをスランピング、電気成形又はプレートを加工するために存在する。本発明の他の態様によると、鏡面プレートは電気成形により得られてもよい。本発明の他の態様によると、鏡面プレートはガラス鏡面プレートであってよく、マンドレルはガラススランピングマンドレルであってよい。換言すると、初期平坦鏡面シート（例えばガラス製）は適切な形状をしたマンドレル上にそれらを載置することにより要求された形状に形成される。マンドレル及び鏡面シートはしかる後にシートが軟化し自重で屈曲する温度にオーブンで加熱される。かかる温度はシートがそれらの表面仕上げを維持できるのに充分低いが、シートが支持マンドレルの形状に一致するのに充分高い。
【００３３】
形成された鏡面プレートをベースプレート及び／又は既に積層プレートにマウントせしめられた先の鏡面プレートに位置及び整合せしめることと同様に、所望形状に初期平坦鏡面シートを成形するために同じ機器を使用することは積層精度を増加するとともにコスト削減となる。スランピング工程の後、形成された鏡面プレートは既に正確に運搬機器に整合せしめられている。運搬機器の光軸（鏡面プレートを形成するためのマンドレルとなる）は鏡面プレートに対して高精度であることが要求される。また鏡面プレートも同様である。マンドレルにより形成された鏡面プレートを直接位置及び整合せしめることにより追加的な歪み及び形成された鏡面プレートを他の運搬機器に移動せしめることに起因する運搬誤差を回避せしめる。例として、プレートを細いワイヤーで吊るし鏡面プレートを位置せしめるためにそれを一時構造へ接着又は接着クリップを貼着するような更なる運搬工程があらゆる不注意な取り扱いに又は単なる鏡面プレートの自重による鏡面プレート歪みから回避せしめる。
【００３４】
例えば、従来技術の上述したアプローチに従ったマンドレル間のガス流れにおけるスランピングにより形成されたガラスプレートを使うこともまた可能である。この場合ガラスプレートは運搬機器の上に位置せしめられなくてはならない。
【００３５】
本発明の他の態様によると、かかる方法は更に分離層により鏡面プレートの裏面を運搬機器に取り外し自在に取り付けるステップを含み、分離層の付着係数はスペーサー手段を伴う鏡面プレートからなる運搬機器を位置せしめるステップの間固定した位置に鏡面プレートを保持する値に設定せしめられ、付着係数の値は鏡面プレートを取り付けるステップの後に取り付けられた鏡面プレートから運搬機器を除去することを可能にせしめる値である。
【００３６】
好ましくは、ベースプレート及び／又はスペーサー手段は鏡面プレートの材料と同じ材料から製造される。積層鏡面プレートの全ての構成要素は同一の熱膨張係数（ＣＴＥ）及び同一の光学的特性を有することを保証する。あるいは、ベースプレート及びスペーサーは製造中及び作動中与えられた熱環境に対する許容限界内にある熱膨張係数（ＣＴＥ）を有する材料から製造されてもよい。
【００３７】
本発明の他の態様によると、複数の鏡面プレート及び上に複数の鏡面プレートが積層されたベースプレートからなる積層鏡面プレートを組み立てる方法が提案され、かかる方法は、マンドレルの上に第一の鏡面プレートを載置するステップと、マンドレルにより所望形状に第一の鏡面を成型せしめるステップと、スペーサーを形成された第一の鏡面の表面に取り付けるステップと、形成された第一の鏡面プレートをベースプレート又はそれにマウントされた鏡面プレートに整合するためにマンドレルを使用するステップと、を含む。
【００３８】
本発明の他の態様によると、光学的ユニットを組み立てる方法が提案されており、前記光学ユニットは前記第一の積層光学鏡面プレート及び第二の積層光学鏡面プレートを有し、前記第一の積層鏡面及び前記第二の積層鏡面プレートはベースプレートの上に積層された複数の鏡面プレートからなる。かかる方法は微小操作手段の上にそれらのベースプレートを介して第一の光学的積層鏡面プレート及び第二の光学的積層鏡面プレートを積層するステップを含み、第一及び第二の光学的積層鏡面プレートは直列に配設され、（例えば直列形態に配設せしめられ）、第一及び第二の光学的積層鏡面プレートは微小操作手段により互いに相対して位置せしめられうる。かかる方法はＸ線計測法により第二の光学的積層鏡面プレートに対して第一の光学的積層鏡面プレートを整合するステップを含む。
【００３９】
第一及び第二の積層鏡面プレート間の整合はＸ線計測を用いて行われ、２個の積層鏡面プレートからなる完成したシステムの実際の光学的性能及び撮像特性がそれらのベースプレートで２個の積層鏡面プレートを保持している微小ポジショナーを使って互いに相対して２個の積層を正確に整合せしめるＸ線で計測される。かかる整合方法は本来全ての鏡面を同時に検討し、高精度及び厳密に直接計測を実行せしめる。従来の方法によると、第一積層の鏡面プレートと第二積層の鏡面プレートとの間のこの重要な整合は積層する時に可視的光学手法を使用して行われる。これはいくつかの潜在的な誤差要因となりうる。即ち第一に、Ｘ線計測法は不可能であり、従って凡庸な（回折限界による）可視光計測法が採用されなければならない。第二に、鏡面の微小な断片のみが採取せしめられ、（運搬機器の溝で暴露せしめられた領域に制限されて）計測に利用可能である。第三に、従来技術の方法においては更なるステップが積層した後に、鏡面プレートが光学的モジュール構造へ恒久マウントせしめられるまで要求され、鏡面プレートを再整合できる可能性を有しない。Ｘ線計測法は可能であるが、必ずしも要求されない。もし適切ならば、従来の光学的及び触知的方法が適用せしめられてもよい。
【００４０】
本発明の他の態様によると、かかる方法は第一の積層鏡面プレートと第二の積層鏡面プレートをそれらのベースプレートを介して接続することにより第二の光学的積層鏡面プレートと相対して整合せしめた第一の光学的積層鏡面プレートの位置を保証するステップを更に含んでもよい。更に、関節（ｊｏｉｎｔ）ベースプレートが光学台（例えば平衡な台を使用した）への取り付けのための接合面をもまた含んでもよい。
【００４１】
本発明の他の態様によると、第一の積層鏡面プレートは放物線形状をしたガラス鏡面プレートであってもよく、第二の積層鏡面プレートはウォルター１要素を形成する双曲線形状をしたガラス鏡面プレートであってもよい。換言すると、直列に配置せしめられた２個の積層は放物線及び双曲線形状の回転面を兼ね備えている。本来全ての鏡面プレートを同時に検討することにより、整合方法である本発明は最も重要なねじれ角（例えば放物線及び双曲線との間の角度）の計測を高精度及び厳密に直接行うという更なる利点がある。
【００４２】
上記により、かかる発明が達成しようとしていた目標を達成することを容易に理解することができる。特に、その全ての利点を繰り返すことはないが、積層鏡面プレートを組み立てるための精度を大幅に改善するのと同様に２個かそれ以上の積層鏡面プレートをウォルター１形態のような光学ユニットへマウントするにも拘らず、鏡面プレートの組み立てのための全体の製造コストを大幅に減少せしめることが可能である。
【００４３】
これはより高精度の望遠鏡を製造することを可能とするが、それによるコストの過度の増加は無い。それにもかかわらず、かかる発明は鏡面プレートの組み立てに限定するだけでなく光学的でない表面を伴う薄板を含む任意の薄板の組み立てもまた含むと明確に解されるべきである。上述した鏡面プレートの組み立て方法は特に高性能Ｘ線光学機器（例えばガラスＸ線光学ユニットを組み立てるための）での使用における積層鏡面プレートの組み立てに適している。しかしながら本発明はそれに限定されることはない。かかる発明は多様な他の分野においても適用されうる。本発明に従って組み立てられた積層鏡面プレート及び光学ユニットはリトグラフ装置のための高精度ＵＶ光学機器、医療診断装置のため、材料試験及び特性評価装置、及びイメージングＸ線蛍光分析装置にもまた使用されてもよい。
【００４４】
第一の光学的積層鏡面プレート及び第二の光学的積層鏡面プレートを有する光学機器を組み立てる上述した方法はタイプ１のウォルター望遠鏡（例えば、放物線形状をしたガラス鏡面プレートを有する第一の積層鏡面プレート及び双曲線型形状をしたガラス鏡面プレートを有する第二の積層鏡面プレート）の組み立てに限定されず、ウォルター２、カークパトリック−バエズ形状又は互いに相対して位置せしめられた少なくとも２個の積層鏡面プレートの整合に基づく他の形態の組み立てにもまた適用できる。
【００４５】
上述したように、多数のプレートからなる単一の積層が製造せしめられる。これは例えば２地点間のイメージング及び束密度（ｆｌｕｘ  ｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎ）或いはコリメーターに使用せしめられ、そしてリトグラフ装置に活用せしめられる。
【００４６】
最後に、与えられた数値及び適した材料の例は単に例示にすぎず、発明の範囲に何らの制限の構成要素とはならない。それらはいわゆる当業者の能力の範囲内での技術的選択である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
本発明を添付した図面を参照して例示として以下詳述する。
【図１】本発明の実施例に従った積層鏡面プレートの組み立てに含まれるステップのフローチャート。
【図２】本発明の実施例に従って直列形態に配設された２個の積層鏡面プレートに基づく光学ユニットの組み立てを含むステップのフローチャート。
【図３】ａ及びｂ  スランピング工程の前後におけるスランピングマンドレル及び鏡面プレート。
【図４】本発明の実施例に従ったスランピングマンドレル上にスペーサーリブが配設されたスランプした鏡面プレート。
【図５ａ】本発明の実施例に従ったベースプレートを伴う鏡面プレートを整合するためのスペーサーリブを取り付けた鏡面プレートを含むスランピングマンドレルの位置せしめる図。
【図５ｂ】本発明の実施例に従ったベースプレート及びスランピングマンドレル上の参照項目を利用している光学的及び機械的整合方法により鏡面プレートをベースプレートに整合することを表す図。
【図６】本発明の実施例に従ったマウントされた鏡面プレート及びマウントされた鏡面プレートから除去されたスランピングマンドレルを含むベースプレート。
【図７】本発明の実施例に従ったマウントされた鏡面プレートの暴露された面の位置及び面形状の計測。
【図８】本発明の実施例に従った既にベースプレートにマウントされた第一の鏡面プレートへ第二の鏡面プレートをマウントせしめる図。
【図９】本発明の実施例に従って組み立てられた積層鏡面プレート。
【図１０】本発明の実施例に従ったＸ線計測法を使用して２個の積層鏡面プレートを整合せしめることによるウォルター１要素の成型を表す図。
【図１１】本発明の実施例に従った２個の積層鏡面プレート及び後に望遠鏡システムに結合せしめるための接続手段を含む光学的ユニット。
【００４８】
図１は本願発明に関する鏡面プレートの組み立てについてのフローチャートを示す。
【００４９】
ステップＳ１において、運搬機器はその上に位置せしめられる鏡面プレートが配設される。第一の実施例によると、鏡面プレートはガラス鏡面プレートであり、かかる運搬機器はガラススランピングマンドレルである。ステップＳ２において、ガラス鏡面プレートはガラススランピングマンドレルにより所望形状に形成される。ステップ３において、スランピング過程の後に形成された鏡面プレートがまだスランピングマンドレル上に位置するにもかかわらず、スペーサーリブが鏡面プレート表面に取り付けられる。本実施例によると、ステップＳ４−Ｓ７は少なくとも１個の鏡面プレートが既にベースプレートに組み立てられている場合を記載している。ステップ４において、鏡面プレートがマウントされたベースプレートが配設されている。ステップＳ５において、スペーサーを備えた鏡面プレートを含む運搬機器、例えばスランピングマンドレル、は最後にベースプレートへ取り付けられる鏡面プレートとかかる鏡面プレートを一直線にするよう位置せしめられる。ステップ６において、鏡面プレートはマウントされた鏡面プレートの所望位置及び面形状から計測されたマウントされた鏡面プレートの位置及び面形状の偏差を補償するために計測したマウントされた鏡面プレートの位置及び面形状に基づいて既にマウントされた鏡面プレートと相対的に整合せしめられる。
【００５０】
ステップ７において、既に運搬機器上で位置せしめられた鏡面プレートはスペーサーリブをマウントされた鏡面プレートに接着することによりマウントされた鏡面プレートに取り付けられ、スペーサーリブは２つの鏡面プレート間の所望の間隙を作り出す。ステップ８において、運搬機器は取り付けられた第二の鏡面プレートから取り除かれ、それにより運搬機器と接していた鏡面プレートの表面が暴露される。ステップ９において、その表面が暴露された後、取り付けられた鏡面プレートの位置及び形状が計測される。
【００５１】
図１で示されるステップは２つの連続面１０の組み立てを示している。図１及び図８であらわされるような積層構造は“最小”となるかのように言及されうる本発明に従った光学的反射要素を構成している。実際、下記に記すように、積層されたプレートの数は通常数十のオーダーよりもはるかに大きい。例として２０から３０のプレートが積層される。従って、上述したステップＳ１−Ｓ９はベースプレートの上に複数の鏡面プレートを積層するために繰り返される。
【００５２】
上述のステップＳ４からＳ７に代わり、ベースプレートの上に直接第一の鏡面プレートをマウントするため、第一の鏡面プレートは下記のステップに従って組み立てられる。即ちベースプレートは、スペーサーリブを備えた第一の鏡面プレートを含む運搬機器がベースプレートを備えた第一の鏡面プレートを整合するために位置せしめられる、ことを含む。しかる後、第一の鏡面プレートはベースプレートにスペーサーリブを接着することによりベースプレートに取り付けられる。取り付けられた第一の鏡面プレートはしかる後、ステップＳ８及びＳ９に従って計測せしめられる。
【００５３】
上述したステップＳ１からＳ３及びＳ４からＳ９の序列は相互に独立して行われてもよい。換言すると、続く鏡面プレートの位置合わせ及び整合（ステップＳ１からＳ３）するための運搬機器として鏡面プレートが所望形状に形成された鏡面プレートの上にスランプしているマンドレルを使用することは鏡面プレートを鏡面プレートの組み立てにマウントする他の方法もまた使用せしめられてもよい。同様に、先の鏡面プレートの計測せしめられた位置及び形状に基づき鏡面プレートを鏡面プレートの組み立てに整合及びマウントせしめることは運搬機器としてのマンドレルの使用を必要としない。しかしながら、マンドレルは鏡面プレートの組み立てに既にマウントされた直前の鏡面プレートと相対して鏡面プレートを正確に位置せしめることに特に適しているので、両提案の併用は高精度の組み立て方法となる。
【００５４】
図２は本発明の実施形態に従った縦列形態に配設された２個の積層鏡面プレートに基づく光学ユニットを組み立てることを含むステップのフローチャートを示す。ステップ１０において、本発明の方法に従って組み立てられた２つの積層鏡面プレートが提供せしめられる。一の実施例によると、第一の積層鏡面プレートは放物形状のガラス鏡面プレートを含み、第二の積層鏡面プレートは双曲形状ガラス鏡面プレートを含む。ステップ１１において、第一の光学的積層鏡面プレート及び第二の光学的積層鏡面プレートは微小操作手段の上にそれらのベースプレートを介してマウントせしめられ、第一及び第二の光学的積層鏡面プレートは縦列形態に配設され、第一及び第二の光学的積層鏡面プレートは微小操作手段により互いに相対して位置せしめられる。ステップＳ１３において、第一の光学的積層鏡面プレートはＸ線計測により第二の光学的積層鏡面プレートに相対して整合せしめられる。ステップＳ１４において、第二の光学的積層鏡面プレートと相対する第一の光学的積層鏡面プレートの整合された位置はベースプレートを介して第一の積層鏡面プレートと第二の積層鏡面プレートとを接続することにより保証される。ステップＳ１５において、接続手段は第一及び第二の光学的積層鏡面プレートの接続されたベースプレートに取り付けられている。ステップＳ１６において、接続手段は光学台への平衡なマウント接触面により接続せしめられる。
【００５５】
実際のところ、接続手段は後の結合の間に歪み及び変位することを回避するベースプレートそれ自身の一部であってもよい。
【００５６】
図３ａから１１に基づく下記記載は上記ステップをより詳細に示したものである。
【００５７】
図３Ａ及び３Ｂに示すステップには、スランピング工程が示されている。図３ａはスランピング工程前におけるスランピングマンドレル１１及び鏡面プレート１０が摸式的に示されている。ガラススランピングの技術はガラスの粘性が温度で変化するという事実に基づく。温度が歪み点を超えて上昇するまでに、ガラスは自重で変形するのに充分軟化せしめられ、与えられた型にスランプする。最初の鏡面プレート１０は表示ガラスシートであり、例えばショットにより製造されるタイプＤ２６３Ｔ、である。選択されたガラスシートは典型的なＡ４サイズであり、厚さ０．３ｍｍから０．５ｍｍである。これらのシートは平坦であって、要求された形状に形成しなければならない。平坦ガラスシート１０は適切な形状でスランプしているマンドレル１１の上に配置され、しかる後にオーブンによりガラスシートが自重で軟化及び屈曲せしめられる温度に加熱せしめられる。かかる温度はシートがそれらの表面仕上げを維持できるのに充分低いが、支持マンドレル１１の形状に一致するのに充分高い温度である。一般的に、分離媒体は粘着を回避するためガラスシート１０及びマンドレル１１の間に必要とされる。要求されるＸ線反射性を得るため、入斜角及び高Ｚ材コーティング（例えばＰｔ、Ｉｒ又はＡｕ）が使用される。
【００５８】
図３ｂは、ガラス鏡面プレート１０がスランピングマンドレル１１によって定義されたような所望形状に形成されたスランピング過程の後の鏡面プレート１０を示す。反射している正面が所望形状、例えば回転面が放物線、楕円或いは双曲線、の表面を占めるように、鏡面プレート１０は湾曲せしめられうる。かかる形状は凸型又は凹型であってもよい。
【００５９】
スランプ工程の後、離層構成及びそれを形成するために使用される準備工程を微調整することにより、鏡面プレート１０はマンドレル１１に素早く接着せしめることができる。換言すると、ガラスシート１０とマンドレル１１の間の分離媒体の付着係数は、続くマンドレルの位置決め過程の間にマンドレル上で固定した位置において鏡面プレートを保持するのに十分な強度であって、鏡面プレートが積層鏡面プレートにマウントされた後にマンドレルから鏡面プレートが除去されるのに充分低い値に設定されている。
【００６０】
図４で図示されるステップにおいて、スペーサーリブ１２はスランピングマンドレル１１の上でスランプした鏡面プレート１０に配設される。スペーサーリブがまだスランピングマンドレル上にある時に、スペーサーリブ１２はかかるプレートの裏面に取り付けられる。スペーサーリブが一定の間隙で相隔たるように、スペーサーリブ１２は鏡面プレートの表面に接着せしめられる。スペーサーリブ１２は鏡面プレートと同様の素材からなる。
【００６１】
図５ａは鏡面プレート１０にベースプレート１３を整合せしめるためのスペーサーリブ１２を取り付けた鏡面プレート１０を含むスランピングマンドレル１１の位置決めのステップを図示している。スランピングマンドレル１１は積層鏡面プレートにスランプされた鏡面プレートを積層するための運搬機器として提供される。軽く取り付けられた鏡面プレート１０を備えたマンドレル１１はベースプレート１３に対して位置せしめられる。
【００６２】
スランピング工程により、前記製造工程において実際にマンドレルがプレート１０をスランプするのによく使われるので、鏡面プレート１０は運搬機器１１の上で既に整合せしめられる。スランピングマンドレル１１となる運搬機器の光軸は高精度であって、鏡面プレート１０の光軸としても既知である。マンドレル１１を鏡面プレート１０の積層鏡面プレートへのマウントするための運搬機器として使用することにより、スランプした鏡面プレートをマンドレル１１から他の運搬機器へ動かすことを要する新たな困難な整合工程を回避することができる。プレートの曲率半径が大きいこと及び焦点距離が長いことに起因してプレートの光軸を決定するのが困難であるため、かような工程は誤差を生じやすい。
【００６３】
離層（図示せず）の付着係数を調整することは、鏡面プレートがスランピング工程の後に充分にマンドレルに付着し、要求される後の取り扱いを許容することを保証する。同時に、かかる接着は所望の場面においてマンドレルから充分軽く分離せしめられる。従って、かかるスランピングマンドレル１１以外の分離精密金型（ｓｅｐａｒａｔｅ  ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ  ｔｏｏｌ）はスランプした鏡面プレート１０を位置合わせ及び整合するためには必要としない。
【００６４】
図５ｂで図示するステップにおいて、機械的及び光学的整合方法を使用することが図５ｂにおける矢印により示されている。本発明によると、運搬機器（例えばスランピングマンドレル）上の参照項目（１４、１５）及びベースプレートが使用される。光学ミラーのような光学参照が参照項目として使用される。マンドレル１１及びベースプレート１３の形状が高精度であることが知られているので、光学ミラーはマンドレル及びベースプレートに対して正確な位置で取り付けることができる。鏡面プレートが位置せしめられる表面の下方で運搬機器の隣接する２辺に光学参照１４は固定せしめられる。光学参照１５は運搬機器の対応する位置に固定せしめられる。図５ｂにおける矢印は例えば運搬機器の整合過程の間に光学ミラーにより反射されたレーザービームを示す。これらの参照項目を使うと、ベースプレートに対するマンドレル又は既に組み立てられた参照プレートの位置は要求される精度で決定され、それは例えば１マイクロメーターであってもよい。
【００６５】
結果として、運搬機器において手袋を必要とせず、原スランピングマンドレルが使用されうる。本発明に基づく参照項目を使用することにより、計測は（従来の積層方法における場合のような）狭小溝を介した小ビーム反射の回折限界によって制限はされない。
【００６６】
一旦鏡面プレート１０が正規の位置にあると鏡面プレート１０は従来の計測システムにより決定されるようにベースプレート１１と適切に整合せしめられ、スペーサーリブ１２はベースプレート１３または前記ステップにて積層された前記鏡面プレート１０に接着せしめられる。２つの連続面間の間隙はスペーサーリブ１２により決定される。接着が一旦硬化すると、運搬機器１１は鏡面プレート１０から分離せしめられる。接着物質（例えば接着剤又はセメント）は任意の間隙の橋梁に使用される。従って鏡面プレート１０の面形状は、プレートがマンドレル１１の型に沿って熱的にスランプせしめられる時からプレート１０が固く永久に構造支持又は前記プレートに接着せしめられる時まで、運搬機器１１により保持される。
【００６７】
図６はマウントされた鏡面プレートを含むベースプレートとマウントされた鏡面プレート１０から分離せしめられたスランピングマンドレル（例えば、鏡面プレート１０がマウントされた後）を図示している。運搬機器を取り除いた後、運搬機器と対向する前の鏡面は充分に暴露され、光学的撮像又は走査法（例えば計算機ホログラム（ＣＧＨ）及び干渉分光法）に基づいた計測のために利用可能となる。鏡面は充分に暴露され、光学的モジュールボックス又は鏡面全体又は面形状の正確な測定を妨げる一時的なマウンティング構造により部分的に覆われていない、ことを特徴とする
【００６８】
図７で図示されたステップにおいて、本発明の実施例に基づいてマウントされた鏡面プレートの暴露された表面の位置、トポグラフィー、面形状が計測される。トポグラフィーは他の試験方法によってもまた計測される。本計測ステップの間、鏡面プレートの実際のマウント位置及び全ての面形状誤差が正確に決定及び記録せしめられる。マンドレルに対向している鏡面プレートの面がマンドレルを除去されたことにより暴露せしめられた後、ベースプレート及び／又は積層鏡面プレート上に既にマウントされた鏡面プレートを伴う鏡面プレートを位置及び整合せしめるための参照項目として使用される光学参照１５は、取り付けられた鏡面プレートの位置及び形状を測定するためにもまた用いられる。マウントされた鏡面プレートの所望の位置及び面形状と実際の位置及び面形状との差が位置及び面形状誤差を決める。これら誤差はスランピング工程又は組み立てが微小角度誤差及び鏡面の局所的微小変形が生じうる箇所における鏡面の結合の間で発生しうる。測定した誤差に基づき、連続鏡面プレートの位置は前のプレートの計測された誤差を補償するため、続く組み立て工程の間にマウントせしめられるための連続鏡面プレートの理想的な位置が計算せしめられる。換言すると、先の又は前のプレート（ｎ番目のプレート）の位置決めにおける本工程での不可避な誤差は、続くプレート（ｎ＋１番目のプレート）を結合した時、即ち多数の鏡面プレート１０を含む積層工程において誤差の蓄積が回避せしめられる時、に補償される。従って、積分誤差量は偏差が各独立したプレート結合に対する公差内にあることを保証する。
【００６９】
図８で図示されたステップの間、マウント及び整合工程は、ベースプレート１３へ既にマウントせしめられた他の鏡面プレート１０に鏡面プレート１０をマウントすることを示す積層鏡面プレート上にマウントせしめるための次のプレートを伴って反復せしめられる。
【００７０】
次の鏡面プレート１０はマンドレル１１上でスランプされ、スペーサーリブ１２はマンドレルと接触しない鏡面に取り付けられ、しかる後に鏡面プレート１０は前のプレート１０と適切に整合せしめられ、整合及び接着せしめられる。前段階（ｎ番目の鏡面プレートの結合）で決定された全ての誤差が、続く（ｎ＋１番目の）鏡面プレートがマウントされる時に検討及び補正されるということが重要な要素である。
【００７１】
かかる工程は必要なプレートの数が積層されるまで反復せしめられ、そして積層鏡面プレート３０は図９に図示されるように充分に組み立てられる。積層されたプレート１０の上方のベースプレート又は構造支持体１３は後に光学台へ積層鏡面プレート３０を結合せしめるために使用される光学モジュールのための運搬プレートとして保持及び使用される。最初の一つを含め、結合工程の間全てのプレートの接着は恒久的である。結果、二つの肯定的な効果が得られる。即ち第一に、二つの異なる精密部品、即ち背面板及び光学モジュール構造ボックス、を必要とする従来の組み立てアプローチと対比して、一つの精密部品（光学モジュール基板１３）しか必要としないこと。第二に、プレート１０はプレート結合が完了すると光学モジュール構造インターフェースに自動的に整合せしめられること。従来技術においては、完成した積層プレートは機器（ｔｏｏｌ）から除去され、しかる後に構造ボックス内に正確に結合せしめられなければならない。これらの利点は多くの光学ユニットの使用を要求される大型望遠鏡システムに特に重要となる。製造における精密部品及び整合工程の留保は重要である。
【００７２】
図９は本発明の実施例に従ってＸ線計測を使用して二つの積層鏡面プレート３０、３１を整合することによりウォルター１（Ｗｏｌｔｅｒ−１）要素３５の成型を図示している。ウォルター１要素３５を製造するために、鏡面プレートの２個の積層３０、３１は直列的に結合しなければならない。第一の積層３０は放物線形状をしたプレートから構成され、第二の積層３０は双曲線形状をしたプレートから構成される。２個の積層は直列結合の中の微小操作装置にかかるベースプレート１３を介してマウントせしめられる。即ち、第一のベースプレートの１個のエッジと２個の角が第二のベースプレートの夫々の１個のエッジと２個の角と合うように、一方の積層鏡面プレート３１は他方の積層鏡面プレート３０の後に整合せしめられる。２個の積層鏡面プレート３０、３１の整合は重要でありそして誤差量の最も厳密な部分の一つである。放物線と双曲線との間のねじれ角で定義する長手角で特に、積層はシステムの要求される角度分解能の小さな断片に対して正確でなければならない。例えば５秒のＨａｌｆ  ｅｎｅｒｇｙ  ｗｉｄｔｈ（ＨＥＷ）を要求する宇宙での利用のためには、ねじれ角はおよそ１秒の精度でなくてはならない。この整合はプレートのＸ線効果位置及び面形状に応じて行われるべきである。本発明によると、かかる整合はオンラインＸ線測定法を使用してＸ線設備内で実施される。積層対の撮像特性は実時間で計測され、かかる整合はベースプレート１３で２個の積層プレート３０、３１を保持する微小ポジショナー（図示せず）を使用して実行される。一旦正しい整合が所定の公差内に入り、これがＸ線測定法により確かめられると、２個の積層３０、３１はベースプレート１３を介して恒久的に結合せしめられる。２層がウォルター１Ｘ線光学ユニット３５を形成している。
【００７３】
２個の積層鏡面プレート３０、３１の整合はＸ線測定法を使って実施されるので、完成形（Ｘ線光学ユニット、ウォルター１要素）の実際の性能はＸ線で計測され、２個の積層３０、３１は互いに精度よく整合せしめられる。整合方法は本来全ての鏡面プレートを同時に検討し、高精度及び厳密に最も重要なねじれ角（放物線と双曲線との間の角度）を測定することを含む、光学的性能の測定を直接行う。従来技術において放物線形状と双曲線形状の間のプレートの重要な整合を積層の時に可視光計測により行っていた。これは潜在的ないくつかの誤差要因となりうる。即ち第一に、Ｘ線計測法は不可能であり、従って可視光以下（回折制限により）の計測法を使用しなければならない。第二に、加えて鏡面の微小断片だけしかサンプルせしめられず、かかる方法（運搬機器の溝で暴露された領域に限る）にしか使用可能でない。第三に、積層後に、従来技術においてはいくつかの更なる工程を鏡面プレートが光学モジュール構造に恒久マウントされるまで要すると共に、鏡面プレートの再度の整合をすることができない。
【００７４】
図１１は本発明の実施例に基づく２個の積層鏡面プレート及び後に望遠鏡システムに結合するための媒介手段を含む光学ユニットが図示されている。
【００７５】
放物線及び双曲線積層プレートの恒久結合の後、最終的な光学ユニット４０が得られ、ベースプレート１３は単一の構成要素を形成し、鏡面プレートの２個の積層を精細な整合のもと保持せしめる。ベースプレート１３は一体化された接触面要素３６を包含せしめる。接続要素３６は良い機械的連結穴及び面を備える３個の剛性固定手段である。結果として生じる光学ユニット３５は平衡マウントを用いる適当な光学台上にマウントせしめられる。後に光学システム（例えば望遠鏡システム）に結合するために積層ベース鏡面プレートを用いることにより、更なる複雑構造ボックスは光学モジュールの構造的結合を提供するために必要とされない。
【００７６】
上述した実施例の構造の特性、構成要素及び具体的詳細は適用ごとに最適化された更なる態様を形成するために置き換え又は組み合わせてもよい。これらの改良は当業者であれば容易に想到することができ、それらは明確な全ての可能な組み合わせ無しに上述の記載より開示されたものと暗に意味せしめられるべきである。
【符号の説明】
【００７７】
１０：鏡面プレート
１１：マンドレル
１２：スペーサーリブ
１３：ベースプレート
１４：参照項目
１５：参照項目
３０：第一の積層鏡面プレート
３１：第二の積層鏡面プレート
３５：光学ユニット
４０：光学ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５ａ】
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【図５ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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