(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状基材を空気圧により浮上させた状態で搬送する搬送ユニットが、前記板状基材の搬送方向に沿って並設され、
軟Ｘ線照射部からの軟Ｘ線の照射によりイオン化した空気にて前記板状基材に帯電した静電気を中和する静電気除去手段が設けられた板状基材用搬送装置であって、
前記静電気除去手段が、前記搬送方向に幅狭な扁平状のユニット状に形成されて、前記搬送方向に隣接する前記搬送ユニットの間に配置され、
前記静電気除去手段は、前記搬送方向に幅狭でかつ前記板状基材の搬送経路に臨む照射用開口を備えた軟Ｘ線照射空間を備えて、前記軟Ｘ線照射部が、前記軟Ｘ線照射空間内に、軟Ｘ線を照射するように設けられ、
前記軟Ｘ線照射空間の形成部材が、前記照射用開口を上部に備える有底筒状に形成されて、前記搬送経路の下方に配置され、
前記軟Ｘ線照射部が、前記軟Ｘ線照射空間の底部に、上方に向けて軟Ｘ線を照射する状態で設けられ、
前記軟Ｘ線照射空間の上方でかつ前記搬送経路の上部に、その搬送経路の横幅の全幅に亘り、かつ、前記搬送方向に沿って隣接する前記搬送ユニットの夫々の内部に延出する状態で位置する軟Ｘ線遮蔽部材が設けられている板状基材用搬送装置。
【請求項２】
前記静電気除去手段が、前記軟Ｘ線照射空間の形成部材、及び、前記軟Ｘ線照射部を備えている請求項１記載の板状基材用搬送装置。
【請求項３】
前記静電気除去手段が、前記搬送ユニットに連結支持されている請求項２記載の板状基材用搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、前記板状基材を空気圧により浮上させた状態で搬送する搬送ユニットが、前記板状基材の搬送方向に沿って並設され、軟Ｘ線照射部からの軟Ｘ線の照射によりイオン化した空気により前記板状基材に帯電した静電気を中和する静電気除去手段が設けられた板状基材用搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる板状基材用搬送装置は、板状基板として、例えば、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板を搬送する等、板状基材を搬送するのに用いられるものであり、そして、静電気除去手段が装備されているから、板状基材が浮上用の空気と接触する等により静電気を帯電しても、その帯電した静電気を、静電気除去手段によって除去できる。
つまり、軟Ｘ線照射部からの軟Ｘ線の照射によりイオン化された空気にて、板状基材に帯電した静電気を中和することによって、板状基材に帯電した静電気を除去できるのである。
【０００３】
ちなみに、板状基材に静電気が帯電していると、例えば、板状基材に対して処理装置によって回路形成のための処理を行う際に、その処理に悪影響を与える不都合や、回路形成用のパターンが板状基材に形成されている場合において、板状基材から静電気が放電することにより、板状基材に形成されている回路形成用のパターンが損傷する等、放電により板状基材に悪影響を与える不都合がある。
【０００４】
かかる板状基材用搬送装置の従来例として、静電気除去手段が、搬送ユニットに装備されたものがある、（例えば、特許文献１（段落〔００４７〕、図１）参照。）。
【０００５】
ちなみに、特許文献１の板状基材用搬送装置は、搬送ユニットが、基台と、その基台の上部を囲う囲い材とを備える状態に構成され、そして、基台には、板状基材を浮上させるためのガスを噴出する噴出孔、及び、板状基材を搬送方向に推進させるためのガスを噴出する噴出孔が形成され、さらに、基台の上面部には、板状基材の搬送方向に対して直交する方向の溝部が形成されて、その溝部に、帯電中和装置（静電気除去手段）が配設されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−６２９５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の板状基材用搬送装置においては、静電気除去手段を、搬送ユニットに装備するものであるため、搬送ユニットの構成が複雑になる不都合があった。
すなわち、静電気除去手段は、板状基材の搬送方向に並ぶ搬送ユニットの全てに装備する必要はなく、搬送方向に並ぶ搬送ユニットのうちの一部のものに装備すればよく、このため、搬送ユニットとして、静電気除去手段を装備する搬送ユニットと、静電気除去手段を装備しない搬送ユニットとの２つの形態の搬送ユニットを構成する必要があり、搬送ユニットの製作が煩雑になる不都合があった。
【０００８】
本発明は、上記実情に鑑みて為されたものであって、その目的は、静電気除去手段を装備しながらも、搬送ユニットの製作の簡略化を図ることができる板状基材用搬送装置を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の板状基材用搬送装置は
板状基材を空気圧により浮上させた状態で搬送する搬送ユニットが、前記板状基材の搬送方向に沿って並設され、
軟Ｘ線照射部からの軟Ｘ線の照射によりイオン化した空気にて前記板状基材に帯電した静電気を中和する静電気除去手段が設けられたものであって、その第１特徴構成は、
前記静電気除去手段が、前記搬送方向に幅狭な扁平状のユニット状に形成されて、前記搬送方向に隣接する前記搬送ユニットの間に配置され、
前記静電気除去手段は、前記搬送方向に幅狭でかつ前記板状基材の搬送経路に臨む照射用開口を備えた軟Ｘ線照射空間を備えて、前記軟Ｘ線照射部が、前記軟Ｘ線照射空間内に、軟Ｘ線を照射するように設けられ、
前記軟Ｘ線照射空間の形成部材が、前記照射用開口を上部に備える有底筒状に形成されて、前記搬送経路の下方に配置され、
前記軟Ｘ線照射部が、前記軟Ｘ線照射空間の底部に、上方に向けて軟Ｘ線を照射する状態で設けられ、
前記軟Ｘ線照射空間の上方でかつ前記搬送経路の上部に、その搬送経路の横幅の全幅に亘り、かつ、前記搬送方向に沿って隣接する前記搬送ユニットの夫々の内部に延出する状態で位置する軟Ｘ線遮蔽部材が設けられている点を特徴とする。
【００１０】
すなわち、静電気除去手段が、板状基材の搬送方向に幅狭な扁平状に形成される。そして、その静電気除去手段が、板状基材の搬送方向に隣接する搬送ユニットの間に配置されている。
つまり、板状基材の搬送方向に隣接する搬送用ユニットを、その搬送方向に小さな間隔を隔てて位置させるようにしても、板状基材を適正通り搬送できる点に鑑みて、静電気除去手段を、板状基材の搬送方向に幅狭な扁平状に形成して、板状基材の搬送方向に隣接する搬送ユニットの間に配置するのである。
【００１１】
このように、静電気除去手段を、板状基材の搬送方向に隣接する搬送ユニットの間に配置するものであるから、搬送ユニットに、静電気除去手段を装備する必要がないため、搬送ユニットの製作の簡略化を図れるのである。
つまり、搬送ユニットとしては、静電気除去手段を装備しない形態のものを構成すればよく、搬送ユニットとして、静電気除去手段を装備する搬送ユニットと、静電気除去手段を装備しない搬送ユニットとの２つの形態の搬送ユニットを構成する場合に較べて、搬送ユニットの製作の簡略化を図ることができるのである。
【００１２】
要するに、本願発明の第１特徴構成によれば、静電気除去手段を装備しながらも、搬送ユニットの製作の簡略化を図ることができる板状基材用搬送装置を提供できる。
【００１４】
また、軟Ｘ線照射部が、軟Ｘ線照射空間内に、軟Ｘ線を照射することになり、そして、軟Ｘ線照射空間の照射用開口より、板状基材の搬送経路付近の空気中に向けて軟Ｘ線が照射されて、板状基材の搬送経路付近の空気がイオン化されることになる。
つまり、軟Ｘ線照射部から照射される軟Ｘ線は、一般に、軟Ｘ線照射部から円錐状に拡がる状態となるが、軟Ｘ線照射部を、軟Ｘ線照射空間内に、軟Ｘ線を照射させるように設けることにより、軟Ｘ線照射部から照射される軟Ｘ線が、不必要な箇所に照射されることを極力回避しながら、板状基材の搬送経路付近の空気中に向けて軟Ｘ線を照射して、板状基材の搬送経路付近の空気をイオン化できる。
【００１５】
このように、軟Ｘ線照射部から照射される軟Ｘ線が、不必要な箇所に照射されることを極力回避しながら、板状基材の搬送経路付近の空気をイオン化できるものであるから、安全性を向上させた状態で、板状基材に帯電した静電気を除去できる。
【００１６】
説明を加えると、軟Ｘ線が人体に照射されても、直ちに、人体を損傷することはないものの、軟Ｘ線が人体に照射されることは極力回避することが望まれるものであり、軟Ｘ線照射部から照射される軟Ｘ線が、不必要な箇所に照射されることを極力回避することにより、軟Ｘ線が人体に照射されることを極力回避して、安全性を向上させることができる。
【００１７】
このように、本発明の第１特徴構成によれば、軟Ｘ線照射部から照射される軟Ｘ線が、不必要な箇所に照射されるのを極力回避して、安全性を向上させることができる板状基板用搬送装置を提供できる。
また、静電気除去手段が、ユニット状に構成されているから、静電気除去手段を、板状基材の搬送方向に隣接する搬送ユニットの間に設置する作業の簡素化を図ることができる。
つまり、静電気除去手段を、板状基材の搬送方向に隣接する搬送ユニットの間に設置する際には、ユニット状に構成されている静電気除去手段を、板状基材の搬送方向に隣接する搬送ユニットの間に位置させて、装着すればよく、静電気除去手段を、板状基材の搬送方向に隣接する搬送ユニットの間に設置する作業が、簡単な作業となる。
このように、本発明の第１特徴構成によれば、静電気除去手段を、板状基材の搬送方向に隣接する搬送ユニットの間に設置する作業の簡素化を図ることができる板状基材用搬送装置を提供できる。
また、照射用開口を上部に備える有底筒状に形成された軟Ｘ線照射部が、搬送経路の下方に配置され、そして、軟Ｘ線照射空間の底部に設けられた軟Ｘ線照射部が、上方に向けて軟Ｘ線を照射することにより、板状基材の搬送経路付近の空気をイオン化できる。
そして、搬送ユニットが、一般に、設置用脚にて支持された状態で、床面よりも上方側箇所に設置されることになるため、軟Ｘ線照射空間を、深さが深い有底筒状に形成することにより、軟Ｘ線照射部の設置数を少なくしながら、板状基材の搬送経路の横幅方向の全幅に亘り、軟Ｘ線を照射することができる。
つまり、板状基材は、近年では、例えば、横幅が２ｍとなる等、大型化の傾向にある。したがって、軟Ｘ線照射部から照射される軟Ｘ線が、軟Ｘ線照射部から円錐状に拡がる状態で照射されるものであるとしても、板状基材の搬送経路の横幅方向の全幅に亘り、軟Ｘ線を照射するには、複数の軟Ｘ線照射部を、板状基材の搬送経路の横幅方向に並べて設置することになる。
この場合、軟Ｘ線照射部を、板状基材の搬送経路から下方側に大きく離して設置すれば、軟Ｘ線照射部を、板状基材の搬送経路の横幅方向に並べて複数設置するにしても、その設置数を減少させることができるのであるが、上述の如く、軟Ｘ線照射空間を、深さが深い有底筒状に形成して、軟Ｘ線照射部を、板状基材の搬送経路から下方側に大きく離して設置できるため、軟Ｘ線照射部の設置数を少なくしながら、板状基材の搬送経路の横幅方向の全幅に亘り、軟Ｘ線を適切に照射することができる。
要するに、本発明の第１特徴構成によれば、軟Ｘ線照射部の設置数を少なくしながら、板状基材の搬送経路の横幅方向の全幅に亘り、軟Ｘ線を照射することができる板状基材用搬送装置を提供できる。
さらに、軟Ｘ線照射空間の上方でかつ搬送経路の上部に、その搬送経路の横幅の全幅に亘り、かつ、搬送方向に沿って搬送ユニットの内部に延出する状態で位置する軟Ｘ線遮蔽部材が設けられているから、搬送ユニットの点検調整等のために、作業者が搬送ユニットを上方から扱うことがあっても、軟Ｘ線照射部から照射された軟Ｘ線が作業者に照射されることを回避できる。
つまり、搬送ユニットは、一般に、その上部が開閉可能な蓋部にて覆われているため、軟Ｘ線照射部から照射された軟Ｘ線が搬送ユニットの上方に照射されることはないものの、搬送ユニットの点検調整等のために、搬送ユニットの上部の蓋部を開くことがあり、その状態においては、軟Ｘ線照射部から照射された軟Ｘ線が搬送ユニットの上方に照射されることになるが、軟Ｘ線遮蔽部材が設けられているため、軟Ｘ線照射部から照射された軟Ｘ線が作業者に照射されることを回避できるのである。
ちなみに、軟Ｘ線遮蔽部材を、搬送方向に沿って搬送ユニットの内部に延出する状態で位置させるに、その延出長さを、十分に大きくして、軟Ｘ線遮蔽部材の下方を通して、作業員が手指を突っ込んだときにも、作業員の手指が軟Ｘ線照射空間の上部に届くことを牽制できるようにしておけば、一層好適である。
要するに、本発明の第１特徴構成によれば、軟Ｘ線照射部から照射された軟Ｘ線が作業者に照射されることを回避できる板状基材用搬送装置を提供できる。
【００１８】
本発明の板状基材用搬送装置の第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、
前記静電気除去手段が、前記軟Ｘ線照射空間の形成部材、及び、前記軟Ｘ線照射部を備えている点を特徴とする。
【００１９】
すなわち、静電気除去手段が、軟Ｘ線照射空間の形成部材、及び、軟Ｘ線照射部を備えたユニット状に構成されているから、軟Ｘ線照射空間の形成部材、及び、軟Ｘ線照射部を備えた静電気除去手段を、板状基材の搬送方向に隣接する搬送ユニットの間に設置する作業の簡素化を図ることができる。
【００２０】
つまり、静電気除去手段を、板状基材の搬送方向に隣接する搬送ユニットの間に設置する際には、ユニット状に構成されている静電気除去手段を、板状基材の搬送方向に隣接する搬送ユニットの間に位置させて、装着すればよく、静電気除去手段を、板状基材の搬送方向に隣接する搬送ユニットの間に設置する作業が、簡単な作業となる。
【００２１】
要するに、本発明の第２特徴構成によれば、上記第１特徴構成による作用効果に加えて、静電気除去手段を、板状基材の搬送方向に隣接する搬送ユニットの間に設置する作業の簡素化を図ることができる板状基材用搬送装置を提供できる。
【００２２】
本発明の板状基材用搬送装置の第３特徴構成は、上記第２特徴構成に加えて、
前記静電気除去手段が、前記搬送ユニットに連結支持されている点を特徴とする。
【００２３】
すなわち、静電気除去手段が、搬送ユニットに連結支持されて、板状基材の搬送方向に隣接する搬送ユニットの間に設置されることになる。
【００２４】
つまり、静電気除去手段を、板状基材の搬送方向に隣接する搬送ユニットの間に設置するにあたり、静電気除去手段に、設置用の脚を備えさせて、搬送ユニットとは別に床面等に支持させるようにすることが考えられるが、床面等に支持された状態で設置される搬送ユニットに、静電気除去手段を連結支持することにより、静電気除去手段の設置構成の簡素化を図ることができる。
【００２５】
要するに、本発明の第３特徴構成によれば、上記第２特徴構成による作用効果に加えて、静電気除去手段の設置構成の簡素化を図ることができる板状基材用搬送装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】板状基材用搬送装置の一部切欠き側面図
【図２】静電気除去手段及び搬送ユニットの斜視図
【図３】片側の側板を外した状態の静電気除去手段の正面図
【図４】静電気除去手段の縦断側面図
【図５】搬送ユニットの搬送部の一部切欠き正面図
【図６】搬送ユニットの搬送部における要部の縦断正面図
【図７】参考の実施形態の静電気除去手段及び搬送ユニットの斜視図
【図８】（ａ）は、同形態の静電気除去手段の正面図、（ｂ）は、（ａ）におけるＶIIIｂ−ＶIIIｂ線断面図
【発明を実施するための形態】
【００４３】
〔第１実施形態〕
次に、本発明の板状基材用搬送装置の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、板状基材用搬送装置は、例えば、フラットパネルディスプレイ用の矩形状のガラス基板等、矩形状の板状基材１を搬送するように構成されるものであって、板状基材１を空気圧により浮上させた状態で搬送する搬送ユニットＵが、板状基材１の搬送方向に並設され、そして、板状基材１の搬送方向に幅狭な扁平状に形成された静電気除去手段Ｊが、板状基材１の搬送方向に隣接する搬送ユニットＵの間に配置されている。
尚、図１においては、搬送ユニットＵが、板状基材１の搬送方向に沿って少数並ぶ状態を例示するが、実際は、搬送ユニットＵが、板状基材１の搬送方向に多数並べられることになる。
【００４４】
静電気除去手段Ｊは、軟Ｘ線照射部Ｓからの軟Ｘ線の照射によりイオン化した空気により板状基材１に帯電した静電気を中和するものであって、その詳細は、後述する。
ちなみに、静電気除去手段Ｊを、板状基材１の搬送方向に多数並ぶ搬送ユニットＵのいずれの箇所に配置するかは、適宜設定されることになる。
【００４５】
搬送ユニットＵは、図２及び図５に示すように、板状基材１の下面に向けて清浄空気を供給して板状基材１を非接触状態で支持する送風式支持手段２と、板状基材１の下面を接触支持して板状基材１に対して搬送方向での推進力を付与する推進手段３とからなる搬送部Ｈを備えている。
すなわち、図１に示すように、搬送部Ｈが、設置用脚４Ａを備えた矩形状の主枠４に装備され、主枠４の左右両側部には、側壁部４Ｂが装備され、左右の側壁部４Ｂの上部には、板状蓋部５が、着脱自在に取付けられている。
ちなみに、主枠４の左右両側部とは、板状基材１の搬送方向と直交する横幅方向での左右両側部に対応する位置である。
【００４６】
推進手段３は、図２及び図５に示すように、板状基材１の下面における横幅方向の左端部を接触支持して板状基材１に対して搬送方向での推進力を付与する左側の推進部３Ｌと、板状基材１の下面における横幅方向の右端部を接触支持して板状基材１に対して搬送方向での推進力を付与する右側の推進部３Ｒとを備えている。
左右一対の推進部３Ｌ、３Ｒの夫々は、板状基材１の下面における搬送方向と直交する横幅方向の端部を接触支持する回転ローラ６を、搬送方向に沿って複数並設して、それら複数の回転ローラ６を、それらに対応して設けた電動モータ７にて回転駆動させることにより、板状基材１に対して搬送方向での推進力を付与するように構成されている。
【００４７】
送風式支持手段２は、図２に示すように、平面視において、推進手段３における一対の推進部３Ｌ、３Ｒの間に配設されて、板状基材１の下面における横幅方向の中間部に清浄空気を供給して板状基材１を空気圧により浮上させた状態、つまり、非接触状態で支持するように構成されている。
【００４８】
したがって、搬送部Ｈは、板状基材１の横幅方向の両端部を推進手段３における左右一対の推進部３Ｌ、３Ｒにて接触状態で支持し、かつ、板状基材１の横幅方向の中央部を送風式支持手段２にて非接触状態で支持することにより、板状基材１を、その搬送経路上に位置させる状態に支持し、そして、推進手段３における左右一対の推進部３Ｌ、３Ｒにて板状基材１の横幅方向の両端部に対して搬送方向での推進力を付与することにより、板状基材１を搬送経路に沿って移動させるように構成されている。
【００４９】
送風式支持手段２は、図２及び図５に示すように、板状基材１の横幅方向に並ぶ左右一対の送風支持部２Ｌ、２Ｒを備えている。
各送風支持部２Ｌ、２Ｒは、電動式の送風ファン９及び除塵フィルタ１０を装備するファンフィルタユニットを用いて構成される空気供給用の空気供給源１１と、空気供給源１１から供給されるチャンバ空間１２内の空気を噴出口１３（図６参照）から上方に向けて噴出するチャンバ部１４と、空気供給源１１から供給される空気をチャンバ部１４に案内する案内通路部１５と、噴出口１３から板状基材１の下面に向けて噴出された空気を板状基材１の下面に沿って流動案内する案内板部１６とを備えている。
【００５０】
そして、送風式支持手段２は、各送風支持部２Ｌ、２Ｒにおけるチャンバ部１４から板状基材１の下面に向けて噴出される空気の圧力にて、板状基材１を支持する作用と、チャンバ部１４から噴出された空気が、案内板部１６と板状基材１との間の空間を、板状基材１の横幅方向に流動することにより形成される空気層の圧力にて、板状基材１を支持する作用とにより、板状基材１を非接触状態で支持するように構成されている。
【００５１】
送風式支持手段２の左右一対の送風支持部２Ｌ、２Ｒが、間隔を隔てた状態で設けられて、それら一対の送風支持部２Ｌ、２Ｒの間に、案内板部１６に沿って流動する空気を案内板部１６の下方の空間に排気する中央側の排気路１７ａが形成され、また、一対の送風支持部２Ｌ、２Ｒ夫々が、左右の推進部３Ｌ、３Ｒに対して間隔を隔てた状態で備えられて、一対の送風支持部２Ｌ、２Ｒのうちの左方側の送風支持部２Ｌと、それに対向する左方側の推進部３Ｌとの間や、一対の送風支持部２Ｌ、２Ｒのうちの右方側の送風支持部２Ｒと、それに対向する右方側の推進部３Ｒとの間に、案内板部１６に沿って流動する空気を下方に排気する端部側の排気路１７ｂが形成されている。
【００５２】
中央側の排気路１７ａ及び端部側の排気路１７ｂにて下方に排気された空気は、空気供給源１１にて吸引されて、再び、空気供給源１１からチャンバ部１４に供給されることになる。
【００５３】
空気供給源１１は、図６に示すように、送風ファン９の上方を覆うように除塵フィルタ１０を配設して、送風ファン９を回転駆動させることにより、空気供給源１１の下方の空気を上方に向けて送風し、その送風される空気を、除塵フィルタ１０を通して清浄空気として、上部の供給口１８から上方に向けて供給するように構成されている。
【００５４】
案内通路部１５は、図６に示すように、空気供給源１１の供給口１８とチャンバ部１４の横側面に形成された導入口１９とを連通するダクト状に形成されるものであって、詳しくは、その上面部分が、横幅方向の内方側ほど高く位置するように傾斜状に形成されて、板状基材１の搬送方向視において、三角形状に形成されている。
【００５５】
チャンバ部１４は、板状基材１の搬送方向に沿う状態で設けられるものであって、チャンバ部１４の上部に、図６に示すように、上方に向けて空気を噴出する上述の噴出口１３が多数形成されることにより、空気供給源１１から供給された空気を上方に向けて噴出する空気噴出部２０が構成されている。
尚、図中、２１は、空気供給源１１から供給される空気の供給量が設定量以下になったことを検出する風量検出手段である。
【００５６】
案内板部１６は、図２及び図５に示すように、チャンバ部１４から板状基材１の横幅方向の内方側に伸びる内方側の案内板部１６ａと、チャンバ部１４から板状基材１の横幅方向の外方側に伸びる外方側の案内板部１６ｂとから構成され、外方側の案内板部１６ｂの板状基材１の横幅方向に沿う長さが、内方側の案内板部１６ａの板状基材１の横幅方向に沿う長さよりも、長く形成されている。
【００５７】
外方側の案内板部１６ｂにおける外方側の端部に、突条部２２が備えられている。この突条部２２は、上記搬送経路上に位置するように支持される板状基材１の下面より下方に位置する高さで、案内板部１６ｂの上面から上方に突出し、且つ、板状基材１の搬送方向に沿って長尺状に形成されている。
このように、外方側の案内板部１６ｂの外方側の端部に突条部２２を備えることによって、板状基材１を適切に非接触状態で支持できるようになっている。
【００５８】
つまり、チャンバ部１４から端部側の排気路１７ｂまでの距離が、チャンバ部１４から中央側の排気路１７ａまでの距離より長いため、チャンバ部１４から噴出された空気は内方側に流動し易く、外方側には流動し難いものとなる。
したがって、チャンバ部１４から噴出された空気によって、内方側の案内板部１６ａと板状基材１との間に形成される空気層の圧力は、十分に高い圧力になり、内方側の案内板部１６ａの上方箇所においては、板状基材１を適切に受け止めることができるものの、チャンバ部１４から噴出された空気によって、外方側の案内板部１６ｂと板状基材１との間に形成される空気層の圧力は、外方側の案内板部１６ｂの端部に突条部２２が存在しない場合には、十分に高い圧力になり難いものである。
【００５９】
そこで、外方側の案内板部１６ｂの端部に突条部２２を設けることによって、チャンバ部１４から外方側の案内板部１６ｂに沿って流動した空気が、突条部２２の存在により端部側の排気路１７ｂに向けて流動し難いようにすることにより、外方側の案内板部１６ｂと板状基材１との間に形成される空気層の圧力を高めて、外方側の案内板部１６ｂの上方箇所にても、板状基材１を適切に受け止めることができるようにしてある。
【００６０】
案内板部１６には、板状基材１を受止め支持するための複数の支持体２３が、内方側の案内板部１６ａにおける内方側の端部、外方側の案内板部１６ｂにおける横幅方向の中央部、及び、外方側の案内板部１６ｂにおける内方側の端部の夫々において、板状基材１の搬送方向に沿って設定間隔おきに並ぶ状態で設けられている。
【００６１】
これら支持体２３は、送風式支持手段２にて搬送経路上に位置するように支持される板状基材１の下面に接触しない高さで、案内板部１６の上面から上方に突出する状態で設けられるものであって、板状基材１を支持する送風式支持手段２の支持力が故障等により低下した場合等において、下方に撓んだ板状基材１を、案内板部１６の上面より上方で支持することになる。
さらに、これら支持体２３は、回転自在な樹脂製のボール体にて構成されており、支持した板状基材１が推進手段３の推進力にて移動し易い状態で支持するようになっている。
【００６２】
静電気除去手段Ｊは、図１〜図４に示すように、板状基材１の搬送方向に沿って幅狭でかつ板状基材１の搬送経路に臨む照射用開口Ｋを備えた軟Ｘ線照射空間Ｍを備えて、軟Ｘ線照射部Ｓが、軟Ｘ線照射空間Ｍに軟Ｘ線を照射するように設けられるものであり、本実施形態においては、板状基材１の搬送経路の横幅方向に沿って、左右一対の軟Ｘ線照射空間Ｍが設けられている。
【００６３】
左右一対の軟Ｘ線照射空間Ｍは、照射用開口Ｋを上部に備える有底筒状に形成されて、板状基材１の搬送経路の下方に配置されるものであり、軟Ｘ線照射部Ｓが、軟Ｘ線照射空間Ｍの底部に、上方に向けて軟Ｘ線を照射する状態で設けられている。
軟Ｘ線照射部Ｓは、軟Ｘ線を円錐状に照射するものであって、本実施形態においては、板状基材１の搬送方向視において、例えば、１３０度の角度で照射するように構成されている。
【００６４】
したがって、左右一対の軟Ｘ線照射空間Ｍの底部に設けられた軟Ｘ線照射部Ｓが、上方に向けて軟Ｘ線を照射することにより、板状基材１の搬送経路付近の空気をイオン化することにより、板状基材１に帯電した静電気を中和できる。
【００６５】
静電気除去手段Ｊの具体構成について説明を加えると、下枠２５Ｄ、上枠２５Ｕ、左枠２５Ｌ、及び、右枠２５Ｒからなる４角状の枠体２５が設けられ、この枠体２５の横幅方向の中央部には、下枠２５Ｄから立設される状態で中間枠２５Ｍが設けられている。つまり、静電気除去手段Ｊの主枠として機能する枠体２５が、下枠２５Ｄ、上枠２５Ｕ、左枠２５Ｌ、右枠２５Ｒ、及び、中間枠２５Ｍとから構成されている。
そして、枠体２５が、軟Ｘ線が透過不能な材料、例えば、軟Ｘ線が透過不能な厚さを備えたステンレス材やアルミニウム材にて構成されている。
【００６６】
この枠体２５の下方側部分には、左右一対の側板２６が、前後の両側に取付けられている。つまり、４枚の側板２６のうちの左側に位置する前後２枚の側板２６が、その端縁部を下枠２５Ｄ、左枠２５Ｌ、及び、中間枠２５Ｍの外面に重複させる状態で、下枠２５Ｄ、左枠２５Ｌ、及び、中間枠２５Ｍの内面部に付設された連結具２７にボルト連結されている。
また、４枚の側板２６のうちの右側に位置する前後２枚の側板２６が、その端縁部を下枠２５Ｄ、右枠２５Ｒ、及び、中間枠２５Ｍの外面に重複させる状態で、下枠２５Ｄ、右枠２５Ｒ、及び、中間枠２５Ｍの内面部に付設されたＬ字状の連結具２７にボルト連結されている。
【００６７】
そして、左右一対の側板２６が、軟Ｘ線が透過不能な材料、例えば、軟Ｘ線が透過不能な厚さを備えたアルミニウム板や塩化ビニル板にて構成されている。
【００６８】
枠体２５の横幅は、搬送ユニットＵの横幅と同幅に形成され、また、枠体２５の上下幅は、搬送ユニットＵの上下幅よりも大きく形成されている。
枠体２５における中間枠２５Ｍの前後の外面部には、搬送ユニットＵに対するＬ字状の接続具２８が付設され、図１に示すように、この接続具２８を搬送ユニットＵの主枠４にボルト連結することにより、側板２６を装備した枠体２５を、板状基材１の搬送方向に隣接する一対の搬送ユニットＵの間に位置させた状態で、隣接する一対の搬送ユニットＵに連結支持できるように構成されている。
【００６９】
そして、下枠２５Ｄ、左枠２５Ｌ、中間枠２５Ｍ、及び、前後の側板２６にて囲まれた空間、並びに、下枠２５Ｄ、右枠２５Ｒ、中間枠２５Ｍ、及び、前後の側板２６にて囲まれた空間を、左右一対の軟Ｘ線照射空間Ｍとして、それら左右一対の軟Ｘ線照射空間Ｍの底部には、下枠Ｄ２５の内面部に付設した支持ブラケット２９にて支持される状態で、軟Ｘ線照射部Ｓが設けられている。
【００７０】
このように構成された静電気除去手段Ｊは、左右一対の軟Ｘ線照射空間Ｍの形成部材Ｒとしての、枠体２５及び側板２６、並びに、軟Ｘ線照射部Ｓを備えるユニット状に構成されるものであって、そして、上述の如く、搬送ユニットＵに連結支持されることになる。
【００７１】
また、軟Ｘ線照射空間Ｍの上方でかつ板状基材１の搬送経路の上部に、その搬送経路の横幅の全幅に亘り、かつ、板状基材１の搬送方向に沿って搬送ユニットＵの内部に延出する状態で位置する板状の軟Ｘ線遮蔽部材３０が備えられている。
つまり、枠体２５における上枠２５Ｕの下方に、その上枠２５Ｕと平行姿勢の支持枠３１が、連結体３２によって上枠２５Ｕに連結される状態で設けられ、その支持枠３１に、板状の軟Ｘ線遮蔽部材３０が、接続具３３を用いて連結支持されている。
軟Ｘ線遮蔽部材３０は、軟Ｘ線が透過不能な材料、例えば、軟Ｘ線が透過不能な厚さを備えたアルミニウム板や塩化ビニル板にて構成されている。
【００７２】
軟Ｘ線遮蔽部材３０は、軟Ｘ線照射部Ｓが軟Ｘ線を照射している状態で、搬送ユニットＵの板状蓋部５を開いたときに、軟Ｘ線照射部Ｓから照射される軟Ｘ線が作業者に照射されるのを抑制するためのものであり、さらには、搬送ユニットＵの内部に延出する長さを十分に長くして、作業者が、搬送ユニットＵの搬送部Ｈと軟Ｘ線遮蔽部材３０との間の隙間を通して手指を挿通させたときに、その手指が、軟Ｘ線照射空間Ｍの上方に届くことを抑制する状態に設置されている。
【００７３】
本実施形態の静電気除去手段Ｊを搬送ユニットＵに設置する手順の一例について説明すると、一対の搬送ユニットＵを、静電気除去手段Ｊの配設スペースを隔てる状態で位置させ、その配設スペースに、静電気除去手段Ｊを挿入して、静電気除去手段Ｊを搬送ユニットＵに接続具２８を用いて連結することになる。
その後、軟Ｘ線遮蔽部材３０を、静電気除去手段Ｊに組付けることになる。
【００７４】
〔参考の実施形態〕
次に、参考の実施形態について説明するが、この参考の実施形態は、静電気除去手段Ｊの参考の構成を例示するものであって、その他の構成は上記第１実施形態と同様であるので、以下の説明においては、上記第１実施形態と異なる部分についてのみ説明して、上記第１実施形態と同様な部分についての説明を省略する。
【００７５】
この参考の実施形態においては、図７及び図８に示すように、軟Ｘ線照射空間Ｍが、上部に照射用開口Ｋを備える有底筒状に形成されて、板状基材１の搬送経路の下方に配置される下方空間部Ｍｄと、下部に照射用開口Ｋを備える有底筒状に形成されて、板状基材１の搬送経路の上方に配置される上方空間部Ｍｕとを備えるように形成されている。
【００７６】
そして、左右一対の軟Ｘ線照射部Ｓが、板状基材１の左右の横側部に、下方空間部Ｍｄ及び上方空間部Ｍｕに向けて軟Ｘ線を照射するように設けられている。
【００７７】
説明を加えると、下枠３５Ｄ、上枠３５Ｕ、左枠３５Ｌ、及び、右枠３５Ｒからなる４角状の枠体３５が設けられている。つまり、静電気除去手段Ｊの主枠として機能する枠体３５が、下枠３５Ｄ、上枠３５Ｕ、左枠３５Ｌ、及び、右枠３５Ｒから構成されている。
【００７８】
この枠体３５の内方のおける左右両端側箇所には、下枠３５Ｄと上枠３５Ｕとの間に亘る板状体３６が、下枠３５Ｄ及び上枠３５Ｕに連結される状態で設けられている。
また、左右一対の板状体３６の間に、断面形状逆Ｕ字状の上方長尺体３７Ｕ、及び、断面形状Ｕ字状の下方長尺体３７Ｄが、その端部を板状体３６にて閉塞される状態に板状体３６に接続される状態で設けられている。
【００７９】
枠体３５の横幅は、搬送ユニットＵの横幅と同幅に形成され、また、枠体２５の上下幅は、搬送ユニットＵの上下幅と概ね同じ大きさに形成されている。
尚、詳述はしないが、枠体３５は、板状基材１の搬送方向に隣接する一対の搬送ユニットＵの間に位置させた状態で、隣接する一対の搬送ユニットＵに連結支持できるように構成されている。
【００８０】
そして、左右の板状体３６と上方長尺体３７Ｕにて囲まれた空間を、軟Ｘ線照射空間Ｍの上方空間部Ｍｕとし、かつ、左右の板状体３６と下方長尺体３７Ｄにて囲まれた空間を、軟Ｘ線照射空間Ｍの下方空間部Ｍｄとして、左右一対の軟Ｘ線照射部Ｓが、左右の板状体３６の夫々に支持される状態で設けられている。
尚、本実施形態においては、上方長尺体３７Ｕが、上枠３５Ｕに対して連結ブラケット３８にて連結支持され、同様に、下方長尺体３７Ｄが、下枠３５Ｄに対して連結ブラケット３８にて連結支持されている。
【００８１】
このように構成された静電気除去手段Ｊは、軟Ｘ線照射空間Ｍの形成部材Ｒとしての、上方長尺体３７Ｕ、下方長尺体３７Ｄ及び板状体３６、並びに、軟Ｘ線照射部Ｓを備えるユニット状に構成されるものであって、そして、上述の如く、搬送ユニットＵに連結支持されることになる。
【００８２】
〔別実施形態〕
次に、別実施形態を列記する。
（１）上記第１及び参考の実施形態では、搬送ユニットとして、板状基材の横幅方向の両端部を接触状態で支持する推進手段と、板状基材の横幅方向の中央部を空気圧にて非接触状態で支持する送風式支持手段とを備えるものを例示したが、空気圧を利用して推進力を付与する形態のもの等、搬送ユニットとしては種々の形態のものを適用できる。
【００８３】
（２）上記第１及び参考の実施形態では、ユニット状に形成された静電気除去手段を、搬送ユニットに連結支持する場合を例示したが、ユニット状に形成された静電気除去手段に、設置用の脚を備えさせて、静電気除去手段を、搬送ユニットとは別個に、床面等に設置するようにしてもよい。
【００８４】
（３）上記第１及び参考の実施形態では、静電気除去手段をユニット状に形成する場合を例示したが、静電気除去手段を構成する構成部材を、隣接する搬送用ユニットの間に組付ける形態で実施してもよい。
【００８５】
（４）上記第１及び参考の実施形態では、静電気除去手段が、軟Ｘ線照射空間を備えて、軟Ｘ線照射部を、軟Ｘ線照射空間内に、軟Ｘ線を照射するように設けて、軟Ｘ線照射部から照射される軟Ｘ線が拡散されるのを抑制する場合を例示したが、静電気除去手段が、軟Ｘ線照射空間を備えない形態で実施してもよい。
【００８６】
この場合には、例えば、搬送ユニットの板状蓋部が開かれたことを検出する開き検出手段を設けて、板状蓋部が開かれると、軟Ｘ線照射部の照射を自動的に停止する照射停止手段を設けるとよい。
ちなみに、静電気除去手段が、軟Ｘ線照射空間を備える場合においても、上記照射停止手段を設けるようにしてもよい。
【００８７】
（５）上記参考の実施形態では、搬送される板状基材の下方箇所及び上方箇所の空気をイオン化するにあたり、軟Ｘ線照射部を、板状基材の搬送経路の横側部から軟Ｘ線を照射する場合を例示したが、板状基材の搬送経路の上部側箇所に設置されて、軟Ｘ線を下方に向けて照射する上側の軟Ｘ線照射部と、板状基材の搬送経路の下部側箇所に設置されて、軟Ｘ線を上方に向けて照射する下側の軟Ｘ線照射部とを装備する形態で実施してもよい。
【００８８】
（６）上記第１実施形態では、軟Ｘ線遮蔽部材を設けるにあたり、平坦状の板材にて、軟Ｘ線遮蔽部材を構成する場合を例示したが、軟Ｘ線遮蔽部材としては、板材の先端部を下方に湾曲させた状態に形成する等、軟Ｘ線遮蔽部材の具体構成は各種変更できる。
【符号の説明】
【００８９】
１    板状基材
３０  軟Ｘ線遮蔽部材
Ｊ    静電気除去手段
Ｋ    照射用開口
Ｍ    軟Ｘ線照射空間
Ｍｄ  下方空間部
Ｍｕ  上方空間部
Ｒ    形成部材
Ｓ    軟Ｘ線照射部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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