(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の液体吐出孔が配置された液体吐出孔面を有する液体吐出ヘッドを複数備えた液体吐出ヘッドブロックであって、
複数の前記液体吐出ヘッドのうち互いに隣り合う前記液体吐出ヘッドはそれぞれ、該液体吐出ヘッドの側面同士が空間を空けて対向して配置されており、かつ前記液体吐出ヘッドブロックを前記側面に交差する方向に移動させたときに前記液体吐出ヘッドの間の空間に周囲の空気を導く空気導入部を備えており、
前記液体吐出ヘッドの前記側面が金属板からなるとともに、液体の吐出を制御するドライバＩＣが前記金属板の内側の面に当接しており、
複数の前記液体吐出ヘッドのうち互いに隣り合う前記液体吐出ヘッドの間の空間に、空気の流れを前記金属板の前記ドライバＩＣの当接した部分の外側の前記側面に導く空気整流部を備えていることを特徴とする液体吐出ヘッドブロック。
【請求項２】
複数の前記液体吐出孔は、一方方向に長く配置されており、
前記液体吐出ヘッドは、前記一方方向に長い直方体状であり、
前記側面は、前記一方方向に長く配置されており、
互いに隣り合う前記液体吐出ヘッドの前記側面同士は、略平行に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドブロック。
【請求項３】
前記空気導入部は、前記液体吐出ヘッドブロックを前記側面に直交する方向に移動させたときに、隣接する前記液体吐出ヘッドの間の空間の空気を前記一方方向の一方から他方に流すように前記一方向の一方および他方の両方に設けられており、
前記液体吐出ヘッドの数が３つ以上であり、前記液体吐出ヘッドブロックを前記側面に直交する方向から見たとき、前記液体吐出ヘッドブロックを手前に移動させたときに前記一方方向の側の前記空気導入部が、手前の側の空間に空気を導く前記空気導入部よりも奥の側の空間に空気を導く前記空気導入部の方が大きいことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッドブロック。
【請求項４】
前記液体吐出ヘッドの前記側面と略同じ形状の空気整流プレートが、複数の前記液体吐出ヘッドの前記側面のうち最も外側の側面と略平行に、間に空間を空けて対向させて配置されているとともに、前記空気整流プレートと前記液体吐出ヘッドとの間の空間に周囲の空気を導入する第２空気導入部を備えていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドブロック。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドブロックと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドブロックを、前記記録媒体を搬送する方向に対して平行でない方向で、前記液体吐出ヘッドの前記側面に対して略直交する方向に往復運動させる往復機構部と、前記液体吐出ヘッドの駆動を制御する制御部とを備えていることを特徴とする記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出ヘッドブロックおよびそれを備えて、画像を印刷する記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェットプリンタやインクジェットプロッタなどの、インクジェット記録方式を利用した印刷装置が、一般消費者向けのプリンタだけでなく、例えば電子回路の形成や液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造、有機ＥＬディスプレイの製造といった工業用途にも広く利用されている。
【０００３】
このようなインクジェット方式の印刷装置には、液体を吐出させるための液体吐出ヘッドが印刷ヘッドとして搭載されている。この種の印刷ヘッドには、インクが充填されたインク流路内に加圧手段としてのヒータを備え、ヒータによりインクを加熱、沸騰させ、インク流路内に発生する気泡によってインクを加圧し、インク吐出孔より、液滴として吐出させるサーマルヘッド方式と、インクが充填されるインク流路の一部の壁を変位素子によって屈曲変位させ、機械的にインク流路内のインクを加圧し、インク吐出孔より液滴として吐出させる圧電方式が一般的に知られている。
【０００４】
また、このような液体吐出ヘッドには、記録媒体の搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に液体吐出ヘッドを移動させつつ記録を行なうシリアル式、および記録媒体より主走査方向に長い液体吐出ヘッドを固定した状態で、副走査方向に搬送されてくる記録媒体に記録を行なうライン式がある。ライン式は、シリアル式のように液体吐出ヘッドを移動させる必要がないので、高速記録が可能であるという利点を有する。
【０００５】
シリアル式、ライン式のいずれの方式の液体吐出ヘッドであっても、液滴を高い密度で印刷するには、液体吐出ヘッドに形成されている、液滴を吐出する液体吐出孔の密度を高くする必要がある。
【０００６】
そこで液体吐出ヘッドを、マニホールドおよびマニホールドから複数の液体加圧室をそれぞれ介して繋がる液体吐出孔を有した流路部材と、前記液体加圧室をそれぞれ覆うように設けられた複数の変位素子を有するアクチュエータユニットとを積層して構成したものが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。この液体吐出ヘッドでは、複数の液体吐出孔にそれぞれ繋がった液体加圧室がマトリックス状に配置され、それを覆うように設けられたアクチュエータユニットの変位素子を変位させることで、各液体吐出孔からインクを吐出させ、主走査方向に６００ｄｐｉの解像度で印刷が可能とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−３０５８５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に記載の液体吐出ヘッドをシリアル方式の記録装置に使用する場合に、多色印刷するためや、解像度を高くしたり、スループットをあげる為に、複数の液体吐出ヘッドを備えた液体吐出ヘッドブロックを記録媒体に対して往復させることが考えられる。そのような場合、複数の液体吐出ヘッドの間で空間は熱が逃げにくく、高温になることがあり、その温度のために、液体吐出ヘッド間、あるいは液体吐出ヘッド内で、吐出特性の変動が生じ、記録精度が劣化するという問題があった。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、液体吐出ヘッドの冷却が高率的に行える液体吐出ヘッドブロックおよびその液体吐出ヘッドブロックを用いた記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の液体吐出ヘッドブロックは、複数の液体吐出孔が配置された液体吐出孔面を有する液体吐出ヘッドを複数備えた液体吐出ヘッドブロックであって、複数の前記液体吐出ヘッドのうち互いに隣り合う前記液体吐出ヘッドはそれぞれ、該液体吐出ヘッドの側面同士が空間を空けて対向して配置されており、かつ前記液体吐出ヘッドブロックを前記側面に交差する方向に移動させたときに前記液体吐出ヘッドの間の空間に周囲の空気を導く空気導入部を備えており、前記液体吐出ヘッドの前記側面が金属板からなるとともに、液体の吐出を制御するドライバＩＣが前記金属板の内側の面に当接しており、複数の前記液体吐出ヘッドのうち互いに隣り合う前記液体吐出ヘッドの間の空間に、空気の流れを前記金属板の前記ドライバＩＣの当接した部分の外側の前記側面に導く空気整流部を備えていることを特徴とする。
【００１１】
また、複数の前記液体吐出孔は、一方方向に長く配置されており、前記液体吐出ヘッドは、前記一方方向に長い直方体状であり、前記側面は、前記一方方向に長く配置されており、互いに隣り合う前記液体吐出ヘッドの前記側面同士は、略平行に配置されていることが好ましい。
【００１２】
さらに、前記空気導入部は、前記液体吐出ヘッドブロックを前記側面に直交する方向に移動させたときに、隣接する前記液体吐出ヘッドの間の空間の空気を前記一方方向の一方から他方に流すように前記一方向の一方および他方の両方に設けられており、
前記液体吐出ヘッドの数が３つ以上であり、前記液体吐出ヘッドブロックを前記側面に直交する方向から見たとき、前記液体吐出ヘッドブロックを手前に移動させたときに前記一方方向の側の前記空気導入部が、手前の側の空間に空気を導く前記空気導入部よりも奥の側の空間に空気を導く前記空気導入部の方が大きいことが好ましい。
【００１４】
さらにまた、前記液体吐出ヘッドの前記側面と略同じ形状の空気整流プレートが、複数の前記液体吐出ヘッドの前記側面のうち最も外側の側面と略平行に、間に空間を空けて対向させて配置されているとともに、前記空気整流プレートと前記液体吐出ヘッドとの間の空間に周囲の空気を導入する第２空気導入部を備えていることが好ましい。
【００１５】
また、本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドブロックと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドブロックを、前記記録媒体を搬送する方向に対して平行でない方向で、前記液体吐出ヘッドの前記側面に対して略直交する方向に往復運動させる往復機構部と、前記液体吐出ヘッドの駆動を制御する制御部とを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の液体吐出ヘッドブロックによれは、複数の液体吐出孔が一方方向に長く配置された液体吐出孔面を有する、前記一方方向に長い直方体状の液体吐出ヘッドを複数備えた液体吐出ヘッドブロックであって、前記液体吐出ヘッドはそれぞれ、隣接するもの同士が前記一方方向に長い方の側面同士を略平行に、間に空間を空けて対向させて配置されており、かつ前記液体吐出ヘッドブロックを前記側面に直交する方向に移動させたときに前記液体吐出ヘッドの間の空間に周囲の空気を導く空気導入部を備えていることにより、前記液体吐出ヘッドブロックを前記側面に略直交する方向に動かして使用することにより、前記液体吐出ヘッドの間の前記空間に空気が流れ、液体吐出ヘッドの温度を下げることができる。
【００１７】
また、前記液体吐出ヘッドの前記側面が金属板からなるものであるとともに、液体の吐出を制御するドライバＩＣが前記金属板の内側の面に当接しており、隣接する前記液体吐出ヘッドの間の空間に、空気の流れを前記金属板の前記ドライバＩＣの当接した部分の外側の前記側面に導く空気整流部を備えている場合、発熱源である前記ドライバＩＣが当接している部分の前記金属板に空気の流れを集中させることができるので、廃熱の効率がよくなり、液体吐出ヘッドの温度を下げることができる。
【００１８】
さらに、前記空気導入部は、前記液体吐出ヘッドブロックを前記側面に直交する方向に移動させたときに、前記液体吐出ヘッドの間の空間の空気を前記一方方向の一方から他方に流すようになっている場合、熱の移動方向が一方方向になり、廃熱の効率がよくなり、液体吐出ヘッドの温度を下げることができる。
【００１９】
またさらに、前記液体吐出ヘッドの数が３つ以上であり、前記液体吐出ヘッドブロックを前記側面に直交する方向から見たとき、前記液体吐出ヘッドブロックを手前に移動させたときに前記一方方向の側の前記空気導入部が、手前の側の空間に空気を導く前記空気導入部よりも奥の側の空間に空気を導く前記空気導入部の方が大きい場合、複数ある前記液体吐出ヘッドの間の空間のそれぞれに、周囲の空気を導くことができるため、それぞれの液体吐出ヘッドを効率よく冷やすことができ、液体吐出ヘッドの温度を下げることができる。
【００２０】
さらにまた、前記液体吐出ヘッドの前記側面と略同じ形状の空気整流プレートが、複数の前記液体吐出ヘッドの前記側面のうち最も外側の側面と略平行に、間に空間を空けて対向させて配置されているとともに、前記空気整流プレートと前記液体吐出ヘッドとの間の空間に周囲の空気を導入する第２空気導入部を備えているので、液体吐出ヘッドの温度を下げることができる。
【００２１】
また、本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドブロックと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドブロックを、前記記録媒体を搬送する方向に対して平行でない方向で、前記液体吐出ヘッドの前記側面に対して略直交する方向に往復運動させる往復機構部と、前記液体吐出ヘッドの駆動を制御する制御部とを備えていることにより、液体吐出ヘッドの温度上昇により生じる、液体吐出ヘッドの間や、液体吐出ヘッド内で液体吐出特性の変動が抑制でき。記録品質が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施の形態に係る記録装置であるプリンタの概略構成図である。
【図２】図１の液体吐出ヘッドを構成するヘッド本体を示す平面図である。
【図３】図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。
【図４】図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。
【図５】図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。
【図６】図１の液体吐出ヘッドの斜視図である。
【図７】図６の液体吐出ヘッドのＸ−Ｘ線縦断面図である。
【図８】（ａ）は、本発明の液体吐出ヘッドブロックの一実施例を示した斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の平面図であり、（ｃ）は、（ａ）の液体吐出ヘッドブロックの一部を示した斜視図である。
【図９】本発明の液体吐出ヘッドブロックの他の実施例である。
【図１０】（ａ）は、本発明の液体吐出ヘッドブロックの他の実施例であり、（ｂ）は、本発明の液体吐出ヘッドブロックの他の実施例である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
図１は、本発明の一実施形態である記録装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。このカラーインクジェットプリンタ１（以下、プリンタ１とする）は、４つの液体吐出ヘッド２を備える液体吐出ヘッドブロック１８を備えている。これらの液体吐出ヘッド２の形状は、一方方向に長い直方体状であり、印作用紙Ｐ側に液体吐出孔面を有している。液体吐出孔面には、液体吐出孔８が前記一方方向に長く配置されている。
【００２４】
液体吐出ヘッドブロック１８には４つの液体吐出ヘッド２が搭載されており、液体吐出ヘッド２は、略平行に間に空間を空けて重なるように配置されている。液体吐出ヘッドブロック１８には印刷用紙Ｐの搬送方向に対して平行でない方向、例えば直交する方向で、前記一方方向に直交する方向に往復運動するようになっている。
【００２５】
プリンタ１には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、給紙ユニット１１４、搬送ユニット１２０および紙受け部１１６が順に設けられている。また、プリンタ１には、液体吐出ヘッド２や給紙ユニット１１４などのプリンタ１の各部における動作を制御するための制御部１００が設けられている。
【００２６】
給紙ユニット１１４は、複数枚の印刷用紙Ｐを収容することができる用紙収容ケース１１５と、給紙ローラ１４５とを有している。給紙ローラ１４５は、用紙収容ケース１１５に積層して収容された印刷用紙Ｐのうち、最も上にある印刷用紙Ｐを１枚ずつ送り出すことができる。
【００２７】
給紙ユニット１１４と搬送ユニット１２０との間には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、二対の送りローラ１１８ａおよび１１８ｂ、ならびに、１１９ａおよび１１９ｂが配置されている。給紙ユニット１１４から送り出された印刷用紙Ｐは、これらの送りローラによってガイドされて、さらに搬送ユニット１２０へと送り出される。
【００２８】
搬送ユニット１２０は、エンドレスの搬送ベルト１１１と２つのベルトローラ１０６および１０７を有している。搬送ベルト１１１は、ベルトローラ１０６および１０７に巻き掛けられている。搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラに巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これによって、搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラの共通接線をそれぞれ含む互いに平行な２つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら２つの平面のうち、液体吐出ヘッド２に近い方の平面が、印刷用紙Ｐを搬送する搬送面１２７である。
【００２９】
ベルトローラ１０６には、図１に示されるように、搬送モータ１７４が接続されている。搬送モータ１７４は、ベルトローラ１０６を矢印Ａの方向に回転させることができる。また、ベルトローラ１０７は、搬送ベルト１１１に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ１７４を駆動してベルトローラ１０６を回転させることにより、搬送ベルト１１１は、矢印Ａの方向に沿って移動する。
【００３０】
ベルトローラ１０７の近傍には、ニップローラ１３８とニップ受けローラ１３９とが、搬送ベルト１１１を挟むように配置されている。ニップローラ１３８は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ１３８の下方のニップ受けローラ１３９は、下方に付勢されたニップローラ１３８を、搬送ベルト１１１を介して受け止めている。２つのニップローラは回転可能に設置されており、搬送ベルト１１１に連動して回転する。
【００３１】
給紙ユニット１１４から搬送ユニット１２０へと送り出された印刷用紙Ｐは、ニップローラ１３８と搬送ベルト１１１との間に挟み込まれる。これによって、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の搬送面１２７に押し付けられ、搬送面１２７上に固着する。そして、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の回転に従って、液体吐出ヘッド２が設置されている方向へと搬送される。なお、搬送ベルト１１１の外周面１１３に粘着性のシリコンゴムによる処理を施してもよい。これにより、印刷用紙Ｐを搬送面１２７に確実に固着させることができる。
【００３２】
各液体吐出ヘッド２は、下端にヘッド本体１３を有している。ヘッド本体１３の下面には、液体を吐出する多数の液体吐出孔８が設けられている（図３参照）。
【００３３】
１つの液体吐出ヘッド２に設けられた液体吐出孔８からは、同じ色の液滴（インク）が吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド２の液体吐出孔８は一方方向（印刷用紙Ｐと平行で印刷用紙Ｐ搬送方向に直交する方向であり、液体吐出ヘッド２の長手方向）に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド２から吐出される液体の色は、それぞれ、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。各液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体１３の下面と搬送ベルト１１１の搬送面１２７との間にわずかな隙間をおいて配置されている。
【００３４】
搬送ベルト１１１によって搬送された印刷用紙Ｐは、液体吐出ヘッド２と搬送ベルト１１１との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド２を構成するヘッド本体１３から印刷用紙Ｐの上面に向けて液滴が吐出される。これによって、印刷用紙Ｐの上面には、制御部１００によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。
【００３５】
搬送ユニット１２０と紙受け部１１６との間には、剥離プレート１４０と二対の送りローラ１２１ａおよび１２１ｂならびに１２２ａおよび１２２ｂとが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１によって剥離プレート１４０へと搬送される。このとき、印刷用紙Ｐは、剥離プレート１４０の右端によって、搬送面１２７から剥離される。そして、印刷用紙Ｐは、送りローラ１２１ａ〜１２２ｂによって、紙受け部１１６に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Ｐが順次紙受け部１１６に送られ、紙受け部１１６に重ねられる。
【００３６】
なお、印刷用紙Ｐの搬送方向について最も上流側にある液体吐出ヘッド２とニップローラ１３８との間には、紙面センサ１３３が設置されている。紙面センサ１３３は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Ｐの先端位置を検出することができる。紙面センサ１３３による検出結果は制御部１００に送られる。制御部１００は、紙面センサ１３３から送られた検出結果により、印刷用紙Ｐの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド２や搬送モータ１７４等を制御することができる。
【００３７】
次に本発明の液体吐出ヘッド２について説明する。図６は液体吐出ヘッド２の斜視図である。液体吐出ヘッド２は液体吐出ヘッド本体１３と筐体９０とを含んでいる。筐体９０は金属製であり、一部に駆動信号が伝達される信号ケーブルが通る孔９９が開口している。図６の例では上面の一部に孔９９が開口しており、孔９９は制御部１００と繋がる駆動信号が伝達される信号ケーブル（不図示）が通っており、樹脂製のふたなどで塞がれる。液体吐出ヘッド２には液体導入孔９８が開口しており、液体導入孔９８から吐出する液体が入れられる。また、ヘッド本体２の一部にはサイドプレート９１がねじ留めや接着などにより付けられている。
【００３８】
図７は、図６に示した液体吐出ヘッド２のＸ−Ｘ線断面図である。液体吐出ヘッド本体１３には、流路部材４、分岐流路部材９３、圧電アクチュエータユニット２１、フレキシブルフラットケーブル（以下、ＦＰＣと略すことがある）９２、ドライバＩＣ５５およびサイドプレート９２が含まれる。液体吐出ヘッド本体１３には、分岐流路部材９３が重ねられており、分岐流路部材９３には、断熱性弾性部材９７が付けられたフレーム９６と、コネクタ９５が実装された基板９４とが固定されている。なお、フレーム９６は図７の断面図では、接続していないが、この断面以外の部分で固定されている。制御部１００から信号ケーブル（不図示）を介して基板２３２に送られた駆動信号は、コネクタ９５を介してＦＰＣ９２に送られる。ＦＰＣ９２に実装されたドライバＩＣ５５は、駆動信号を処理し、処理後の駆動信号はＦＰＣ９２を通じて、後述の圧電アクチュエータユニット２１の液体吐出素子５０を駆動し、流路部材４内部の液体を加圧することにより、液滴が吐出される。なお、基板９４は、例えば、吐出信号を複数のドライバＩＣ５５に分けたり、吐出信号の整流など行なってもよいが、基板９４を設けず、制御部１００からの信号ケーブルを直接ＦＰＣ９２に接続するようにしてもよい。ＦＰＣ９２は可撓性を有する帯状のもので、内部に金属の配線を有し、配線の一部は、ＦＰＣ９２の表面に露出しており、露出した配線により、コネクタ９５、ドライバＩＣ５５および圧電アクチュエータユニット２１と電気的に接続される。
【００３９】
ドライバＩＣ５５は、上述の駆動信号処理を行なう際に発熱する。この熱が流路部材４に伝わると流路部材４およびその内部の液体の中で温度差が生じる。液体は温度が変わると粘度が変化するため、加圧手段からの加圧が一定であっても、液滴の吐出速度や量が変わってしまう。吐出される液滴の速度や量が変わると、印刷用紙Ｐへの着弾位置がずれたり、着弾後に液滴が広がってできる画素の大きさが変わったりするため、印刷される画像の精度が低くなることがある。しかし、ドライバＩＣ５５が断熱性弾性部材９７によりＦＰＣ９２を介して押されて、金属製の筐体９０に押し当てられているため、発生した熱は主に筐体９０に伝わり、さらに筐体９０全体に速く広がり、外部に放熱されていく。
【００４０】
次に本発明の液体吐出ヘッド２を構成するヘッド本体１３について説明する。図２は、図１に示されたヘッド本体１３を示す上面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大上面図であり、ヘッド本体１３の一部である。図４は、図３と同じ位置の拡大透視図で、液体吐出孔８の位置が分かりやすいように、一部の流路を省略して描いている。なお、図３および図４において、図面を分かりやすくするために、圧電アクチュエータユニット２１の下方にあって破線で描くべき液体加圧室１０（液体加圧室群９）、しぼり１２および液体吐出孔８を実線で描いている。図５は図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。
【００４１】
ヘッド本体１３は、平板状の流路部材４と、流路部材４上に、アクチュエータユニットである圧電アクチュエータユニット２１とを有している。圧電アクチュエータユニット２１は台形形状を有しており、その台形の１対の平行対向辺が流路部材４の長手方向に平行になるように流路部材４の上面に配置されている。また、流路部材４の長手方向に平行な２本の仮想直線のそれぞれに沿って２つずつ、つまり合計４つの圧電アクチュエータユニット２１が、全体として千鳥状に流路部材４上に配列されている。流路部材４上で隣接し合う圧電アクチュエータユニット２１の斜辺同士は、流路部材４の短手方向について部分的にオーバーラップしている。このオーバーラップしている部分の圧電アクチェータユニット２１を駆動することにより印刷される領域では、２つの圧電アクチュエータユニット２１により吐出された液滴が混在して着弾することになる。
【００４２】
流路部材４の内部には液体流路の一部であるマニホールド５が形成されている。マニホールド５は流路部材４の長手方向に沿って延び細長い形状を有しており、流路部材４の上面にはマニホールド５の開口５ｂが形成されている。開口５ｂは、流路部材４の長手方向に平行な２本の直線（仮想線）のそれぞれに沿って５個ずつ、合計１０個形成されている。開口５ｂは、４つの圧電アクチュエータユニット２１が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド５には開口５ｂを通じて図示されていない液体タンクから液体が供給されるようになっている。
【００４３】
流路部材４内に形成されたマニホールド５は、複数本に分岐している（分岐した部分のマニホールド５を副マニホールド５ａということがある）。開口５ｂに繋がるマニホールド５は、圧電アクチュエータユニット２１の斜辺に沿うように延在しており、流路部材４の長手方向と交差して配置されている。２つの圧電アクチュエータユニット２１に挟まれた領域では、１つのマニホールド５が、隣接する圧電アクチュエータユニット２１に共有されており、副マニホールド５ａがマニホールド５の両側から分岐している。これらの副マニホールド５ａは、流路部材４の内部の各圧電アクチュエータユニット２１に対向する領域に互いに隣接してヘッド本体１３の長手方向に延在している。
【００４４】
流路部材４は、複数の液体加圧室１０がマトリクス状（すなわち、２次元的かつ規則的）に形成されている４つの液体加圧室群９を有している。液体加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。液体加圧室１０は流路部材４の上面に開口するように形成されている。これらの液体加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータユニット２１に対向する領域のほぼ全面にわたって配列されている。したがって、これらの液体加圧室１０によって形成された各液体加圧室群９は圧電アクチュエータユニット２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、各液体加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータユニット２１が接着されることで閉塞されている。
【００４５】
本実施形態では、図３に示されているように、マニホールド５は、流路部材４の短手方向に互いに平行に並んだ４列のＥ１〜Ｅ４の副マニホールド５ａに分岐し、各副マニホールド５ａに繋がった液体加圧室１０は、等間隔に流路部材４の長手方向に並ぶ液体加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に４列配列されている。副マニホールド５ａに繋がった液体加圧室１０の並ぶ列は副マニホールド５ａの両側に２列ずつ配列されている。
【００４６】
全体では、マニホールド５から繋がる液体加圧室１０は、等間隔に流路部材４の長手方向に並ぶ液体加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に１６列配列されている。各液体加圧室列に含まれる液体加圧室１０の数は、アクチュエータである変位素子５０の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。液体吐出孔８もこれと同様に配置されている。これによって、全体として長手方向に６００ｄｐｉの解像度で画像形成が可能となっている。すなわち、各副マニホールド５ａには平均すれば１５０ｄｐｉに相当する間隔で個別流路３２が接続されている。これは、６００ｄｐｉ分の液体吐出孔８を４つ列の副マニホールド５ａに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド５ａに繋がる個別流路３２が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド５ａの延在方向、すなわち主走査方向に平均１７０μｍ（１５０ｄｐｉならば２５．４ｍｍ／１５０＝１６９μｍ間隔である）以下の間隔で個別流路３２が形成されているということである。
【００４７】
圧電アクチュエータユニット２１の上面における各液体加圧室１０に対向する位置には後述する駆動電極３５がそれぞれ形成されている。駆動電極３５は液体加圧室１０より一回り小さく、液体加圧室１０とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータユニット２１の上面における液体加圧室１０と対向する領域内に収まるように配置されている。
【００４８】
流路部材４の下面の液体吐出面には多数の液体吐出孔８が形成されている。これらの液体吐出孔８は、流路部材４の下面側に配置された副マニホールド５ａと対向する領域を避けた位置に配置されている。また、これらの液体吐出孔８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータユニット２１と対向する領域内に配置されている。これらの液体吐出孔群７は圧電アクチュエータユニット２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータユニット２１の変位素子５０を変位させることにより液体吐出孔８から液滴が吐出できる。液体吐出孔８の配置については後で詳述する。そして、それぞれの領域内の液体吐出孔８は、流路部材４の長手方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。
【００４９】
ヘッド本体１３に含まれる流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャ（しぼり）プレート２４、サプライプレート２５、２６、マニホールドプレート２７、２８、２９、カバープレート３０およびノズルプレート３１である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路３２および副マニホールド５ａを構成するように、位置合わせして積層されている。ヘッド本体１３は、図５に示されているように、液体加圧室１０は流路部材４の上面に、副マニホールド５ａは内部の下面側に、液体吐出孔８は下面にと、個別流路３２を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、液体加圧室１０を介して副マニホールド５ａと液体吐出孔８とが繋がる構成を有している。
【００５０】
各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第１に、キャビティプレート２２に形成された液体加圧室１０である。第２に、液体加圧室１０の一端から副マニホールド５ａへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート２３（詳細には液体加圧室１０の入り口）からサプライプレート２５（詳細には副マニホールド５ａの出口）までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート２４に形成されたしぼり１２と、サプライプレート２５、２６に形成された個別供給流路６とが含まれている。
【００５１】
第３に、液体加圧室１０の他端から液体吐出孔８へと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載においてディセンダ（部分流路）と呼称される。ディセンダは、ベースプレート２３（詳細には液体加圧室１０の出口）からノズルプレート３１（詳細には液体吐出孔８）までの各プレートに形成されている。第４に、副マニホールド５ａを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート２７〜３０に形成されている。
【００５２】
このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド５ａからの液体の流入口（副マニホールド５ａの出口）から液体吐出孔８に至る個別流路３２を構成している。副マニホールド５ａに供給された液体は、以下の経路で液体吐出孔８から吐出される。まず、副マニホールド５ａから上方向に向かって、個別供給流路６を通り、しぼり１２の一端部に至る。次に、しぼり１２の延在方向に沿って水平に進み、しぼり１２の他端部に至る。そこから上方に向かって、液体加圧室１０の一端部に至る。さらに、液体加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、液体加圧室１０の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した液体吐出孔８へと進む。
【００５３】
圧電アクチュエータユニット２１は、図５に示されるように、２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電アクチュエータユニット２１全体の厚さは４０μｍ程度である。圧電セラミック層２１ａ、２１ｂのいずれの層も複数の液体加圧室１０を跨ぐように延在している（図３参照）。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる。
【００５４】
圧電アクチュエータユニット２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極３４、Ａｕ系などの金属材料からなる駆動電極３５を有している。駆動電極３５は上述のように圧電アクチュエータユニット２１の上面における液体加圧室１０と対向する位置に配置されている。駆動電極３５の一端は、液体加圧室１０と対向する領域外に引き出されて接続電極３６が形成されている。接続電極３６は例えばガラスフリットを含む金からなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。また、接続電極３６は、図示されていないＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、駆動電極３５には、制御部１００からＦＰＣを通じて駆動信号（駆動電圧）が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。
【００５５】
共通電極３４は、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極３４は、圧電アクチュエータユニット２１に対向する領域内の全ての液体加圧室１０を覆うように延在している。共通電極３４の厚さは２μｍ程度である。共通電極３４は図示しない領域において接地され、グランド電位に保持されている。本実施形態では、圧電セラミック層２１ｂ上において、駆動電極３５からなる電極群を避ける位置に駆動電極３５とは異なる表面電極（不図示）が形成されている。表面電極は、圧電セラミック層２１ｂの内部に形成されたスルーホールを介して共通電極３４と電気的に接続されているとともに、多数の駆動電極３５と同様に、ＦＰＣ上の別の電極と接続されている。
【００５６】
図５に示されるように、共通電極３４と駆動電極３５とは、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみを挟むように配置されている。圧電セラミック層２１ｂにおける駆動電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域は活性部と呼称され、その部分の圧電セラミックスには分極が施されている。本実施形態の圧電アクチュエータユニット２１においては、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみが活性部を含んでおり、圧電セラミック２１ａは活性部を含んでおらず、振動板として働く。この圧電アクチュエータユニット２１はいわゆるユニモルフタイプの構成を有している。
【００５７】
なお、後述のように、駆動電極３５に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この駆動電極３５に対応する液体加圧室１０内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路３２を通じて、対応する液体吐出口８から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータユニット２１における各液体加圧室１０に対向する部分は、各液体加圧室１０および液体吐出口８に対応する個別の変位素子５０（アクチュエータ）に相当する。つまり、２枚の圧電セラミック層からなる積層体中には、図５に示されているような構造を単位構造とする変位素子５０が液体加圧室１０毎に、液体加圧室１０の直上に位置する振動板２１ａ、共通電極３４、圧電セラミック層２１ｂ、駆動電極３５により作り込まれており、圧電アクチュエータユニット２１には変位素子５０が複数含まれている。なお、本実施形態において１回の吐出動作によって液体吐出口８から吐出される液体の量は５〜７ｐＬ（ピコリットル）程度である。
【００５８】
多数の駆動電極３５は、個別に電位を制御することができるように、それぞれがＦＰＣ上のコンタクトおよび配線を介して、個別にアクチュエータ制御手段に電気的に接続されている。
【００５９】
本実施形態における圧電アクチュエータユニット２１の駆動方法を、まず駆動電極３５に供給される駆動電圧（駆動信号）に関して説明する。駆動電極３５を共通電極３４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ｂに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この時圧電セラミック層２１ｂは、その厚み方向すなわち積層方向に伸長または収縮し、圧電横効果により積層方向と垂直な方向すなわち面方向には収縮または伸長しようとする。一方、残りの圧電セラミック層２１ａは、駆動電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域を持たない非活性層であるので、自発的に変形しない。つまり、圧電アクチュエータユニット２１は、上側（つまり、液体加圧室１０とは離れた側）の圧電セラミック層２１ｂを、活性部を含む層とし、かつ下側（つまり、液体加圧室１０に近い側）の圧電セラミック層２１ａを非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。
【００６０】
この構成において、電界と分極とが同方向となるように、アクチュエータ制御部により駆動電極３５を共通電極３４に対して正または負の所定電位とすると、圧電セラミック層２１ｂの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ａは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ｂは液体加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。
【００６１】
本実施の形態における実際の駆動手順のひとつは引き打ちと呼ばれるもので、予め駆動電極３５を共通電極３４より高い電位（以下高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に駆動電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位（以下低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、駆動電極３５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、ｂが元の形状に戻り、液体加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。このとき、液体加圧室１０内に負圧が与えられ、液体がマニホールド５側から液体加圧室１０内に吸い込まれる。その後再び駆動電極３５を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、ｂが液体加圧室１０側へ凸となるように変形し、液体加圧室１０の容積減少により液体加圧室１０内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を駆動電極３５に供給することになる。このパルス幅は、液体加圧室１０内において圧力波がマニホールド５から液体吐出孔８まで伝播する時間長さであるＡＬ（Acoustic Length）が理想的である。これによると、液体加圧室１０内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。
【００６２】
これとは逆に押し打ちと呼ばれる駆動方法も使用できる。押し打ちは、駆動電極３５を共通電極３４と同じ電位（低電位）にしておき吐出要求がある毎に駆動電極３５を共通電極３４より高い電位（高電位）とする。これにより、液体加圧室１０の体積増加により、液体吐出孔８から押し出された液柱が、液体加圧室１０内部が正圧状態から負圧状態に反転するときに合わせて、液体加圧室１０の体積を増加させて、液柱の根元を切断し、切り離された液滴を吐出する。
【００６３】
また、階調印刷においては、液体吐出孔８から連続して吐出される液滴の数、つまり液滴吐出回数で調整される液滴量（体積）で階調表現が行われる。このため、指定された階調表現に対応する回数の液滴吐出を、指定されたドット領域に対応する液体吐出孔８から連続して行なう。一般に、液体吐出を連続して行なう場合は、液滴を吐出させるために供給するパルスとパルスとの間隔をＡＬとすることが好ましい。これにより、先に吐出された液滴を吐出させるときに発生した圧力の残余圧力波と、後に吐出させる液滴を吐出させるときに発生する圧力の圧力波との周期が一致し、これらが重畳して液滴を吐出するための圧力を増幅させることができる。
【００６４】
以上説明してきたような液体吐出ヘッド２を複数並べた液体吐出ヘッドブロック１８を使用すると、ドライバＩＣ５５が発熱し、吐出特性にバラツキが生じるおそれがある。２つの液体吐出ヘッド２の間は熱がこもりやすい。また、３つ以上の液体吐出ヘッド２が並んでいる場合、中にある液体吐出ヘッド２の温度が上がるおそれがある。
【００６５】
このような熱を外部に逃がすために、図８（ａ）〜（ｃ）に示した本発明の液体吐出ヘッドブロック１８は、フレーム８０に複数の液体吐出孔が一方方向に長く配置された液体吐出孔面を有する、前記一方方向に長い直方体状の液体吐出ヘッド２を複数備えたものであり、液体吐出ヘッド２はそれぞれ、液体吐出孔面の前記一方方向に長い辺側に隣接する側面同士が略平行で、間に空間を空けて重なるように配置されており、かつ液体吐出ヘッドブロック１８を前記側面に直交する方向に移動させたとき、液体吐出ヘッド２の間の空間に、周囲の空気を導く空気導入部（第1の空気層入部）６０Ａから６０Ｃを備えている。空気導入部６０Ａから６０Ｃは、液体吐出ヘッドブロック１８を移動させた場合に、周囲の空気の流れを変える面を持っており、その面で流れる方向が変わった空気が、隣接する液体吐出ヘッド２の間の空間に導入される。
【００６６】
なお、フレーム８０は液体吐出ヘッド２の液体吐出孔のある面のあたる部分が開口している。
【００６７】
液体吐出ヘッドブロック１８を前記側面に垂直な方向である図８（ｂ）に示した矢印の方向へ、移動さえた場合、空気導入部６０Ａから６０Ｃにより形成されている開口より、液体吐出ヘッド２の横を通る空気を液体吐出ヘッド２の間の空間に導き、空気を主に図８（ｂ）の右側から左側に空気を流すことにより、液体吐出ヘッド２を、効果的に冷却することができる。
【００６８】
なお、実際の動作させるときの液体吐出ヘッド１８の移動方向は、特に前記側面に垂直でなくてもよく、空気が導入させるように移動させればよい。
【００６９】
また、液体吐出ヘッド１８では、側面が金属板からなるものであるとともに、ドライバＩＣ５５が前記金属板と反対側の面に当接させるとともに、液体吐出ヘッド２の間の空間に、空気の流れを前記金属板のドライバＩＣ５５の当接した部分に導く空気整流部６２を備えている。このようにすることにより、発熱源であるドライバＩＣ５５が当接している部分の外側の前記側面の前記金属板に空気の流れを集中し、しかも空気整流部６２の断面積がドライバＩＣのある部分で細くなっているため、空気の流れの流速が上がるので、廃熱の効率がよくなり、液体吐出ヘッドの温度を下げることができる。
【００７０】
また、液体吐出ヘッドの数が３つ以上である場合は、液体吐出ヘッド２の間の空間のそれぞれに空気導入部６０を備えるのが好ましい。そして、その際には、液体吐出ヘッドブロック１８を前記側面に直交する方向から見たとき、つまり図８（ｂ）の矢印と反対側から見たとき、液体吐出ヘッドブロック１８を手前に移動させた場合に、前記液体吐出ヘッドの間の空間に周囲の空気を送り込む側の前記空気導入部６０、すなわち図６（ａ）、（ｂ）の右側の空気導入部６０において、手前の空間に空気を導く前記空気導入部よりも奥の空間に空気を導く空気導入部６０の方が大きい方が好ましい。これは、空気導入部６０Ｂよりも空気導入部６０Ｃの方が外側に広がっており、空気導入部６０Ｃよりも空気導入部６０Ｃの方が外側に広がっており、空気導入部６０Ｂよりも空気導入部６０Ｃの方が外側に広がっていることが好ましい。このようにすることにより、複数ある液体吐出ヘッド２の間の空間のそれぞれに、周囲の空気を導くことができるため、それぞれの液体吐出ヘッド２を効率よく冷やすことができる。
【００７１】
また、液体吐出ヘッド２の前記側面と略同じ形状の空気整流プレート６４を、液体吐出ヘッド２の前記側面のうち最も外側の側面と略平行に、間に空間を空けて配置するとともに、空気整流プレート６４と液体吐出ヘッド２との間の空間に周囲の空気を導入する第２空気導入部６６を備えていることが好ましい。このようにすることで、液体吐出ヘッドブロック１８を手前に移動させたとき、一番後ろの液体吐出ヘッド２の裏の側面にも、空気が導入されるので、液体吐出ヘッド２の温度を下げることができる。また、手前の液体吐出ヘッド２にあたる空気が手前の空気整流プレート６４により阻害されるので、手前の液体吐出ヘッド２の冷却の状態が他の液体吐出ヘッド２と近くなる。
【００７２】
各空間へ空気を導く第１の空気導入部６０、第２の空気導入部６６により形成されている開口は、側面に直交する方向から見たとき、同じ面積になっていることが好ましい。つまり、図８（ｂ）において間隔Ａはすべて同じになっていることが好ましい。このようにすることにより、各空間に流れ込む空気の量が近くなり、各液体吐出ヘッド２の温度の差が少なくなる。
【００７３】
図９は、本発明の液体吐出ヘッドブロック２１８の他の例の斜視図である。液体吐出ヘッドブロック２１８では、蓋２６８が付いていることにより、第１の空気導入部２６０および第１の空気導入部２６６に導入された空気が逃げないようになっている。
【００７４】
図１０（ａ）は、本発明の液体吐出ヘッドブロック３１８の他の例の断面図である。液体吐出ヘッドブロック３１８を図の左右方向に移動させると、空気導入部３６０があることで、フレーム３８０に取り付けられた液体吐出ヘッド３０２の間の空間に空気が導かれることにより、下から上に流れる空気で液体吐出ヘッド３０２を冷却することができる。空気の流れが暖かい空気が移動する方向と同じであるため効率が良くなりこのましい。
【００７５】
図１０（ｂ）は、本発明の液体吐出ヘッドブロック４１８の他の例の断面図である。液体吐出ヘッドブロック４１８を図の左右方向に移動させると、空気導入部４６０があることで、フレーム４８０に取り付けられた液体吐出ヘッド４０２の間の空間に空気が導かれることにより、下から上に流れる空気で液体吐出ヘッド４０２を冷却することができる。
【００７６】
以上のような液体吐出ヘッドブロック１８は、例えば、以下のようにして作製する。
【００７７】
ロールコータ法、スリットコーター法などの一般的なテープ成形法により、圧電性セラミック粉末と有機組成物からなるテープの成形を行ない、焼成後に圧電セラミック層２１ａ、２１ｂとなる複数のグリーンシートを作製する。グリーンシートの一部には、その表面に共通電極３４となる電極ペーストを印刷法等により形成する。また、必要に応じてグリーンシートの一部にビアホールを形成し、その内部にビア導体を挿入する。
【００７８】
ついで、各グリーンシートを積層して積層体を作製し、加圧密着を行なう。加圧密着後の積層体を高濃度酸素雰囲気下で焼成し、その後有機金ペーストを用いて焼成体表面に個別電極２５を印刷して、焼成した後、Ａｇペーストを用いて接続電極３６を印刷し、焼成することにより、圧電アクチュエータユニット２１を作製する。
【００７９】
次に、流路部材４を、圧延法等により得られプレート２２〜３１を積層して作製する。プレート２２〜３１に、マニホールド５、個別供給流路６、液体加圧室１０およびディセンダなどとなる孔を、エッチングにより所定の形状に加工する。
【００８０】
これらプレート２２〜３１は、Ｆｅ―Ｃｒ系、Ｆｅ−Ｎｉ系、ＷＣ−ＴｉＣ系の群から選ばれる少なくとも１種の金属によって形成されていることが望ましく、特に液体としてインクを使用する場合にはインクに対する耐食性の優れた材質からなることが望ましため、Ｆｅ−Ｃｒ系がより好ましい。
【００８１】
圧電アクチュエータ２１と流路部材４とは、例えば接着層を介して積層接着することができる。接着層としては、周知のものを使用することができるが、圧電アクチュエータ２１や流路部材４への影響を及ぼさないために、熱硬化温度が１００〜１５０℃のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも１種の熱硬化性樹脂系の接着剤を用いるのがよい。このような接着層を用いて熱硬化温度にまで加熱することによって、圧電アクチュエータ２１と流路部材４とを加熱接合することができる。
【００８２】
この後必要に応じて圧電アクチュエータ上２１と制御部１００とを電気的に接続するために、接続電極３６にＦＰＣなどの電極を接合し、さらに、筐体９０、サイドプレート９１、分岐流路部材９３、基板９４、コネクタ９５、フレーム９６、断熱性弾性部材９７を組み付けて、液体吐出ヘッド２を得る。
【００８３】
さらに金属製のフレーム８０に液体吐出ヘッド２、空気導入部６０、整流部６２、第２の空気導入部６６をねじでこていすれば、液体吐出ヘッドブロック１８が得るられる。
【符号の説明】
【００８４】
１・・・プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
４・・・流路部材
５・・・マニホールド
５ａ・・・副マニホールド
５ｂ・・・開口
６・・・個別供給流路
８・・・液体吐出孔
９・・・液体加圧室群
１０・・・液体加圧室
１１ａ、ｂ、ｃ、ｄ・・・液体加圧室列
１２・・・しぼり
１３・・・ヘッド本体
１５ａ、ｂ、ｃ、ｄ・・・液体吐出孔列
１８、２１８、３１８、４１８・・・液体吐出ヘッドブロック
２１・・・圧電アクチュエータユニット
２１ａ・・・圧電セラミック層（振動板）
２１ｂ・・・圧電セラミック層
２２〜３１・・・プレート
３２・・・個別流路
３４・・・共通電極
３５・・・駆動電極
３６・・・接続電極
５０・・・変位素子
５５・・・ドライバＩＣ
６０、２６０、３６０、４６０・・・空気導入部
６２・・・整流部
６６、２６６・・・第２の空気導入部
８０、２８０、３８０・・・フレーム
９０・・・筐体
９１・・・サイドプレート
９２・・・フレキシブルフラットケーブル
９３・・・分岐流路部材
９４・・・基板
９５・・・コネクタ
９６・・・フレーム
９７・・・断熱性弾性部材
９８・・・液体導入孔
９９・・・孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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