(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板を共有する、タッチパネルと液晶表示パネルとを備え、
当該タッチパネル及び液晶表示パネルのうちのいずれか一方のパネルが前記タッチパネルと前記液晶表示パネルとの、前記透明基板の両主面間における位置合せの基準とされ、前記透明基板の両主面間において他方のパネルが前記一方のパネルに位置合せされるように形成された液晶表示装置であって、
前記透明基板の、前記他方のパネル側の主面上には、前記透明基板の、前記一方のパネル側の主面上に配置された第１のアライメントマークに位置合せされるように形成された第２のアライメントマークが配置されており、当該第２のアライメントマークは透明部材から構成されていることを特徴とする液晶表示装置。
【請求項２】
前記透明部材は、前記透明基板に設けられた凸形状部であることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置。
【請求項３】
前記透明部材は、前記透明基板の、前記他方のパネル側の主面側において、前記凸形状部を設けるべき領域の周囲にある前記透明基板を除去することにより、形成されていることを特徴とする請求項２に記載の液晶表示装置。
【請求項４】
前記透明部材は、前記透明基板の、前記他方のパネル側の主面上に堆積された透明膜から、前記第２のアライメントマークが配置されるべき前記主面上の領域の周囲にある前記透明膜を除去することにより、形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置。
【請求項５】
前記透明基板の、前記他方のパネル側の主面側には、前記第２のアライメントマークを覆うように不透明部材がさらに配置されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の液晶表示装置。
【請求項６】
前記第２のアライメントマークは、レーザ光の照射による黒化処理によって、不透明化されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の液晶表示装置。
【請求項７】
透明基板を共有する、タッチパネル及び液晶表示パネルのうちのいずれか一方のパネルを前記タッチパネルと前記液晶表示パネルとの、前記透明基板の両主面間における位置合せの基準とし、前記透明基板の両主面間において他方のパネルを前記一方のパネルに位置合せされるように形成された構造において、前記透明基板の、前記他方のパネル側の主面上に、前記透明基板の、前記一方のパネル側の主面上に配置された第１のアライメントマークに位置合せされるように形成された第２のアライメントマークが配置された液晶表示装置の製造方法であって、
前記透明基板の、前記他方のパネル側の主面の全面に透明部材を形成する工程と、
前記第１のアライメントマークに位置合せするように前記透明部材をパターニングし、そのパターニングの結果、残存する前記透明部材を前記第２のアライメントマークとする工程と
を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記透明基板の、前記他方のパネル側の主面の全面に配置された前記透明部材上に、前記透明部材を通して第１のアライメントマークに位置合せされたレジストパターンを形成する工程をさらに含み、
前記レジストパターンを用いて、前記透明部材をパターニングすることを特徴とする請求項７に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項９】
透明基板を共有する、タッチパネル及び液晶表示パネルのうちのいずれか一方のパネルを前記タッチパネルと前記液晶表示パネルとの、前記透明基板の両主面間における位置合せの基準とし、前記透明基板の両主面間において他方のパネルを前記一方のパネルに位置合せされるように形成された構造において、前記透明基板の、前記他方のパネル側の主面上に、前記透明基板の、前記一方のパネル側の主面上に配置された第１のアライメントマークに位置合せされるように形成された第２のアライメントマークが配置された液晶表示装置の製造方法であって、
前記第１のアライメントマークに位置合せするように、前記透明基板の、前記他方のパネル側の主面をパターニングし、そのパターニングの結果、形成された凸形状部を前記第２のアライメントマークとする工程
を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記透明基板の、前記他方のパネル側の主面上に、前記透明基板を通して第１のアライメントマークに位置合せされたレジストパターンを形成する工程をさらに含み、
前記レジストパターンを用いて、前記透明基板をパターニングすることを特徴とする請求項９に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記第２のアライメントマークを覆うように不透明部材を配置する工程をさらに含むことを特徴とする請求項７〜１０のいずれか１項に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記第２のアライメントマークにレーザ光を照射して黒化させることにより、前記第２のアライメントマークを不透明化する工程をさらに含むことを特徴とする請求項７〜１０のいずれか１項に記載の液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネル機能を備えた液晶表示装置及びその液晶表示装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示パネルに情報表示機能以外の機能としてタッチパネル機能を付与し、利用者に対する利便性の向上が図られた高機能な液晶表示装置が提供されている（例えば、特許文献１を参照）。【０００３】
具体的には、このような液晶表示装置として、文字及び画像を含んだ情報を表示する表示部としての液晶表示パネルと、この液晶表示パネルの表示面側またはその反対側に組み付けられたタッチパネルと、を備えたものが提供されている。【０００４】
そして、このような液晶表示装置では、液晶表示パネルによる情報表示機能に加え、タッチパネルによる操作入力機能が設けられることにより、利用者からの指示入力に応じた情報表示などの様々なサービスを利用者に提供することが可能とされている。【０００５】
つまり、液晶表示装置が液晶表示パネルの表示面に操作入力画面を表示するとともに、タッチパネルが操作入力画面に対する利用者からの操作入力を検知するように構成されていた。そして、液晶表示装置がタッチパネルによる検知結果に応じて、上記表示面を、操作入力画面から利用者が望んだ情報を表示した表示画面に変更することにより、利用者が所望する情報を表示可能に構成されている。【０００６】
ところで、液晶表示パネルに、静電容量方式のタッチパネル（マルチタッチ）がインセル（Ｉｎ  ｃｅｌｌ）化される、高付加価値を有する液晶表示装置は、その生産の可能性が非常に高く、さらに、従来からのタッチパネル機能を備えた液晶表示装置と比較して、その工数を大きく削減し、その部材費を大きく低減できるという効果が予想されている。以下、このような液晶表示装置について説明する。【０００７】
図１１は、上で述べた液晶表示装置の概略構成図である。図１１に示すように、この液晶表示装置５００は、液晶表示パネル５０５と、タッチパネル５０６と、を備えている。そして、液晶表示パネル５０５は、ＴＦＴ基板５０１と、カラーフィルタ基板５０２と、ガラス基板５０３と、から構成されている。また、タッチパネル５０６は、ガラス基板５０３と、保護膜５０４と、から構成されている。【０００８】
図１１に示すように、液晶表示装置５００では、液晶表示パネル５０５と、タッチパネル５０６と、がこの順で形成されており、上で述べたように、液晶表示パネル５０５にタッチパネル５０６がインセル化されている。【０００９】
そして、ガラス基板５０３の裏面側に配置されるカラーフィルタ基板５０２上の既存パターンと、ガラス基板５０３の表面側に配置される保護膜５０４下の設計パターンとの間においては、それらパターン間に最適な相対位置関係を設定するためのアライメントが要求される。以下、このアライメントについて説明する。【００１０】
図１２は、ガラス基板５０３の裏面側と表面側との間におけるアライメントを説明するための図である。図１２に示すように、カラーフィルタ基板５０２上にはアライメントマーク５１が形成されている。このアライメントマーク５１は、その平面形状が十字形状となっている（図１２のＩを参照）。【００１１】
そして、ガラス基板５０３上の設計パターンは、アライメントマーク５１を基準として、その位置合せが行なわれる。【００１２】
ガラス基板５０３上には、アライメントマーク５１に対して最適な位置関係となった設計パターンが形成され、その一部にアライメントマーク５２が含まれることになる。このアライメントマーク５２も、その平面形状が十字形状となっている（図１２のＪを参照）。【００１３】
このようなアライメントマーク５１及びアライメントマーク５２は、例えば、次のようにして形成することができる。図１３は、アライメントマーク５１及びアライメントマーク５２の形成手順を説明するための図である。【００１４】
先ず、図１３の（ａ）に示すように、ガラス基板５０３上に金属膜５２ｂが堆積される。この金属膜５２ｂは、ガラス基板５０３の全面に堆積される。【００１５】
次に、図１３の（ｂ）に示すように、金属膜５２ｂ上にレジストパターン５３が形成される。このレジストパターン５３は、カラーフィルタ基板５０２上において複数のアライメントマーク５１が形成されているアライメント領域の上方に堆積された金属膜５２ｂを除去するためのパターンである。なお、レジストパターン５３の設計パターンは、アライメントマーク５１を基準とする位置合せは行なわれない。【００１６】
次に、図１３の（ｃ）に示すように、レジストパターン５３に従って金属膜５２ｂが除去される、すなわち、カラーフィルタ基板５０２上のアライメント領域の上方の金属膜５２ｂが除去される。このようにして金属膜５２ｂが除去された後、レジストパターン５３が除去される。【００１７】
次に、図１３の（ｄ）に示すように、残存する金属膜５２ｂ上にレジストパターン５４が形成される。このレジストパターン５４は、アライメントマーク５２を形成するためのパターンである。レジストパターン５４の設計パターンは、アライメントマーク５１を基準とする位置合せが行なわれている。【００１８】
次に、図１３の（ｅ）に示すように、レジストパターン５４に従って金属膜５２ｂが除去される、すなわち、ガラス基板５０３上にアライメントマーク５２が形成される。【００１９】
次に、図１３の（ｆ）に示すように、金属膜５２ｂが除去された後、レジストパターン５４が除去される。【００２０】
最後に、図１３の（ｇ）に示すように、ガラス基板５０３及びアライメントマーク５２上に保護膜５０４が堆積される。【００２１】
また、図１１及び図１２に示したアライメントマーク５１及びアライメントマーク５２は、次のようにして形成することができる。図１４は、アライメントマーク５１及びアライメントマーク５２の形成手順を説明するための図である。【００２２】
先ず、図１４の（ａ）に示すように、ガラス基板５０３上に金属膜５２ｂが堆積される。この金属膜５２ｂの堆積の際、カラーフィルタ基板５０２上のアライメント領域の上方には、このアライメント領域の上方に金属膜５２ｂが堆積されることを防止するための堆積防止マスク５５が配置されている。このため、カラーフィルタ基板５０２上のアライメント領域の上方は、この堆積防止マスク５５の影に入り、金属膜５２ｂが堆積されることはない。【００２３】
次に、図１４の（ｂ）に示すように、金属膜５２ｂが堆積された後、堆積防止マスク５５が取り除かれる。【００２４】
次に、図１４の（ｃ）に示すように、金属膜５２ｂ上にレジストパターン５４が形成される。このレジストパターン５４は、アライメントマーク５２を形成するためのパターンである。レジストパターン５４の設計パターンは、アライメントマーク５１を基準とする位置合せが行なわれている。【００２５】
次に、図１４の（ｄ）に示すように、レジストパターン５４に従って金属膜５２ｂが除去される、すなわち、ガラス基板５０３上にアライメントマーク５２が形成される。【００２６】
次に、図１４の（ｅ）に示すように、金属膜５２ｂが除去された後、レジストパターン５４が除去される。【００２７】
最後に、図１４の（ｆ）に示すように、ガラス基板５０３及びアライメントマーク５２上に保護膜５０４が堆積される。【００２８】
また、上で述べた液晶表示装置には他にも、次のようなものがある。図１５は、上で述べた液晶表示装置の他の概略構成図である。図１５に示すように、この液晶表示装置６００は、タッチパネル６０５と、液晶表示パネル６０６と、を備えている。そして、タッチパネル６０５は、保護膜６０１と、ガラス基板６０２と、から構成されている。また、液晶表示パネル６０６は、ガラス基板６０２と、カラーフィルタ基板６０３と、ＴＦＴ基板６０４と、から構成されている。【００２９】
図１５に示すように、液晶表示装置６００では、タッチパネル６０５と、液晶表示パネル６０６と、がこの順で形成されており、上で述べたように、液晶表示パネル６０６にタッチパネル６０５がインセル化されている。【００３０】
そして、ガラス基板６０２の裏面側に配置される保護膜６０１上の既存パターンと、ガラス基板６０２の表面側に配置されるカラーフィルタ基板６０３下の設計パターンとの間においては、それらパターン間に最適な相対位置関係を設定するためのアライメントが要求される。以下、このアライメントについて説明する。【００３１】
図１６は、ガラス基板６０２の裏面側と表面側との間におけるアライメントを説明するための図である。図１６に示すように、保護膜６０１上にはアライメントマーク６１が形成されている。このアライメントマーク６１は、その平面形状が十字形状となっている（図１６のＫを参照）。【００３２】
そして、ガラス基板６０２上の設計パターンは、アライメントマーク６１を基準として、その位置合せが行なわれる。【００３３】
ガラス基板６０２上には、アライメントマーク６１に対して最適な位置関係となった設計パターンが形成され、その一部にアライメントマーク６２が含まれることになる。このアライメントマーク６２も、その平面形状が十字形状となっている（図１６のＬを参照）。【００３４】
このようなアライメントマーク６１及びアライメントマーク６２は、例えば、次のようにして形成することができる。図１７は、アライメントマーク６１及びアライメントマーク６２の形成手順を説明するための図である。【００３５】
先ず、図１７の（ａ）に示すように、ガラス基板６０２上に金属膜６２ｂが堆積される。この金属膜６２ｂは、ガラス基板６０２の全面に堆積される。【００３６】
次に、図１７の（ｂ）に示すように、金属膜６２ｂ上にレジストパターン６３が形成される。このレジストパターン６３は、保護膜６０１上において複数のアライメントマーク６１が形成されているアライメント領域の上方に堆積された金属膜６２ｂを除去するためのパターンである。なお、レジストパターン６３の設計パターンは、アライメントマーク６１を基準とする位置合せは行なわれない。【００３７】
次に、図１７の（ｃ）に示すように、レジストパターン６３に従って金属膜６２ｂが除去される、すなわち、保護膜６０１上のアライメント領域上方の金属膜６２ｂが除去される。このようにして金属膜６２ｂが除去された後、レジストパターン６３が除去される。【００３８】
次に、図１７の（ｄ）に示すように、残存する金属膜６２ｂ上にレジストパターン６４が形成される。このレジストパターン６４は、アライメントマーク６２を形成するためのパターンである。レジストパターン６４の設計パターンは、アライメントマーク６１を基準とする位置合せが行なわれている。【００３９】
次に、図１７の（ｅ）に示すように、レジストパターン６４に従って金属膜６２ｂが除去される、すなわち、ガラス基板６０２上にアライメントマーク６２が形成される。【００４０】
次に、図１７の（ｆ）に示すように、金属膜６２ｂが除去された後、レジストパターン６４が除去される。【００４１】
最後に、図１７の（ｇ）に示すように、ガラス基板６０２及びアライメントマーク６２上にカラーフィルタ基板６０３が形成される。【００４２】
また、図１５及び図１６に示したアライメントマーク６１及びアライメントマーク６２は、次のようにして形成することができる。図１８は、アライメントマーク６１及びアライメントマーク６２の形成手順を説明するための図である。【００４３】
先ず、図１８の（ａ）に示すように、ガラス基板６０２上に金属膜６２ｂが堆積される。この金属膜６２ｂの堆積の際、保護膜６０１上のアライメント領域の上方には、このアライメント領域の上方に金属膜６２ｂが堆積されることを防止するための堆積防止マスク６５が配置されている。このため、保護膜６０１上のアライメント領域の上方は、この堆積防止マスク６５の影に入り、金属膜６２ｂが堆積されることはない。【００４４】
次に、図１８の（ｂ）に示すように、金属膜６２ｂが堆積された後、堆積防止マスク６５が取り除かれる。【００４５】
次に、図１８の（ｃ）に示すように、金属膜６２ｂ上にレジストパターン６４が形成される。このレジストパターン６４は、アライメントマーク６２を形成するためのパターンである。レジストパターン６４の設計パターンは、アライメントマーク６１を基準とする位置合せが行なわれている。【００４６】
次に、図１８の（ｄ）に示すように、レジストパターン６４に従って金属膜６２ｂが除去される、すなわち、ガラス基板６０２上にアライメントマーク６２が形成される。【００４７】
次に、図１８の（ｅ）に示すように、金属膜６２ｂが除去された後、レジストパターン６４が除去される。【００４８】
最後に、図１８の（ｆ）に示すように、ガラス基板６０２及びアライメントマーク６２上にカラーフィルタ基板６０３が形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４９】
【特許文献１】日本国公開特許公報「特開２００８−９０５４号公報（２００８年１月７日公開）」
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００５０】
しかしながら、上で述べたような液晶表示装置には未だ、その工数を削減し、その部材費を低減できる余地が残されている。【００５１】
例えば、図１２に示したように、ガラス基板５０３の裏面側に配置されるカラーフィルタ基板５０２上の既存パターンと、ガラス基板５０３の表面側に配置される保護膜５０４下の設計パターンとの間においては、それらパターン間にアライメントが要求される。【００５２】
しかしながら、このアライメントを行なうためには、図１３の（ｂ）及び図１３の（ｃ）に示したように、カラーフィルタ基板５０２上のアライメント領域の上方に堆積された金属膜５２ｂを除去し、ガラス基板５０３の裏面側に形成されたアライメントマーク５１が検出可能となるようにしなければならない。【００５３】
また、図１４の（ａ）に示したように、堆積防止マスク５５を別途、作製しなければならない。その工数やその部材費を削減することが好ましいことはいうまでもない。【００５４】
このようなことは、図１６に示した場合でも同様にいえることである。【００５５】
上記課題に鑑み、本発明の目的は、その工数やその部材費を削減することができる液晶表示装置及びその液晶表示装置の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００５６】
上記目的を達成するために、本発明の液晶表示装置は、タッチパネルと液晶表示パネルとを備え、当該タッチパネル及び液晶表示パネルのうちのいずれか一方のパネルが前記タッチパネルと前記液晶表示パネルとの間における位置合せの基準とされ、他方のパネルが前記一方のパネルに位置合せされた液晶表示装置であって、前記他方のパネルには、前記一方のパネル上に配置された第１のアライメントマークに位置合せされた第２のアライメントマークが配置されており、当該第２のアライメントマークは透明部材から構成されている。【００５７】
上記の液晶表示装置では、第１のアライメントマークに位置合せするように透明部材をパターニングする際に、透明部材を介して先に形成された第１のアライメントマークを検出し、その検出された第１のアライメントマークを基準として透明部材をパターニングすることができる。【００５８】
このため、従来では必要であった、先に形成された第１のアライメントマークを基準とするパターニング以前に、第２のアライメントマークを構成する部材を部分的に除去するという工程が不要となり、その結果、液晶表示装置の工数やその部材費の削減を図ることができる。【００５９】
本発明の液晶表示装置の製造方法は、タッチパネル及び液晶表示パネルのうちのいずれか一方のパネルを前記タッチパネルと前記液晶表示パネルとの間における位置合せの基準とし、他方のパネルを前記一方のパネルに位置合せした構造において、前記他方のパネルに、前記一方のパネル上に配置された第１のアライメントマークに位置合せされた第２のアライメントマークが配置された液晶表示装置の製造方法であって、前記他方のパネルを構成する透明基板の全面に透明部材を配置する工程と、前記第１のアライメントマークに位置合せするように前記透明部材をパターニングし、そのパターニングの結果、前記透明基板上に残存する前記透明部材を前記第２のアライメントマークとする工程とを含む。【００６０】
上記の液晶表示装置の製造方法では、第１のアライメントマークに位置合せするように透明部材をパターニングする際に、透明部材を介して先に形成された第１のアライメントマークを検出し、その検出された第１のアライメントマークを基準として透明部材をパターニングすることができる。【００６１】
このため、従来では必要であった、先に形成された第１のアライメントマークを基準とするパターニング以前に、第２のアライメントマークを構成する部材を部分的に除去するという工程が不要となり、その結果、液晶表示装置の工数やその部材費の削減を図ることができる。【００６２】
本発明の液晶表示装置の製造方法は、タッチパネル及び液晶表示パネルのうちのいずれか一方のパネルを前記タッチパネルと前記液晶表示パネルとの間における位置合せの基準とし、他方のパネルを前記一方のパネルに位置合せした構造において、前記他方のパネルに、前記一方のパネル上に配置された第１のアライメントマークに位置合せされた第２のアライメントマークが配置された液晶表示装置の製造方法であって、前記第１のアライメントマークに位置合せするように、前記他方のパネルを構成する透明基板をパターニングし、そのパターニングの結果、前記透明基板上に形成された凸形状部を前記第２のアライメントマークとする工程を含む。【００６３】
上記の液晶表示装置の製造方法では、第１のアライメントマークに位置合せするように透明基板をパターニングする際に、透明基板を介して先に形成された第１のアライメントマークを検出し、その検出された第１のアライメントマークを基準として透明基板をパターニングすることができる。【００６４】
このため、従来では必要であった、先に形成された第１のアライメントマークを基準とするパターニング以前に、第２のアライメントマークを構成する部材を部分的に除去するという工程が不要となり、その結果、液晶表示装置の工数やその部材費の削減を図ることができる。
【発明の効果】
【００６５】
本発明の液晶表示装置は、タッチパネルと液晶表示パネルとを備え、当該タッチパネル及び液晶表示パネルのうちのいずれか一方のパネルが前記タッチパネルと前記液晶表示パネルとの間における位置合せの基準とされ、他方のパネルが前記一方のパネルに位置合せされた液晶表示装置であって、前記他方のパネルには、前記一方のパネル上に配置された第１のアライメントマークに位置合せされた第２のアライメントマークが配置されており、当該第２のアライメントマークは透明部材から構成されている。【００６６】
それゆえ、その工数やその部材費を削減することができる液晶表示装置及びその液晶表示装置の製造方法を提供することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の一実施形態における液晶表示装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】上記の液晶表示装置のガラス基板の裏面側と表面側との間におけるアライメントを説明するための図である。
【図３】上記の液晶表示装置の製造方法の各工程を表わす図であり、（ａ）〜（ｆ）は各工程終了後の状態を表わす断面図である。
【図４】上記の液晶表示装置のガラス基板の裏面側と表面側との間における他のアライメントを説明するための図である。
【図５】上記の液晶表示装置の他の製造方法の各工程を表わす図であり、（ａ）〜（ｅ）は各工程終了後の状態を表わす断面図である。
【図６】本発明の他の実施形態における液晶表示装置の概略構成を示す断面図である。
【図７】上記の液晶表示装置のガラス基板の裏面側と表面側との間におけるアライメントを説明するための図である。
【図８】上記の液晶表示装置の製造方法の各工程を表わす図であり、（ａ）〜（ｆ）は各工程終了後の状態を表わす断面図である。
【図９】上記の液晶表示装置のガラス基板の裏面側と表面側との間における他のアライメントを説明するための図である。
【図１０】上記の液晶表示装置の他の製造方法の各工程を表わす図であり、（ａ）〜（ｅ）は各工程終了後の状態を表わす断面図である。
【図１１】従来の液晶表示装置の概略構成を示す断面図である。
【図１２】上記の液晶表示装置のガラス基板の裏面側と表面側との間におけるアライメントを説明するための図である。
【図１３】上記の液晶表示装置の製造方法の各工程を表わす図であり、（ａ）〜（ｇ）は各工程終了後の状態を表わす断面図である。
【図１４】上記の液晶表示装置の他の製造方法の各工程を表わす図であり、（ａ）〜（ｆ）は各工程終了後の状態を表わす断面図である。
【図１５】従来の液晶表示装置の概略構成を示す断面図である。
【図１６】上記の液晶表示装置のガラス基板の裏面側と表面側との間におけるアライメントを説明するための図である。
【図１７】上記の液晶表示装置の製造方法の各工程を表わす図であり、（ａ）〜（ｇ）は各工程終了後の状態を表わす断面図である。
【図１８】上記の液晶表示装置の他の製造方法の各工程を表わす図であり、（ａ）〜（ｆ）は各工程終了後の状態を表わす断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００６８】
以下図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一または類似の部分には同一または類似の符号が付してある。ただし、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関係、各層の厚みの比率等は現実のものとは異なるものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている。
【００６９】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における液晶表示装置の概略構成を示す断面図である。図１に示すように、本実施の形態における液晶表示装置１００は、液晶表示パネル１０５と、タッチパネル１０６と、を備えている。
【００７０】
液晶表示パネル１０５は、ＴＦＴ基板１０１と、カラーフィルタ基板１０２と、ガラス基板１０３と、から構成されている。また、タッチパネル１０６は、ガラス基板１０３と、保護膜１０４と、から構成されている。
【００７１】
ガラス基板１０３は、その裏面側（一方の主面側）にＴＦＴ基板１０１及びカラーフィルタ基板１０２が配置されており、その表面側（他方の主面側）に保護膜１０４が配置されている。
【００７２】
すなわち、ガラス基板１０３及び、その裏面側に配置されたＴＦＴ基板１０１及びカラーフィルタ基板１０２が液晶表示パネル１０５を構成している。また、ガラス基板１０３及び、その表面側に配置された保護膜１０４がタッチパネル１０６を構成している。
【００７３】
そして、液晶表示装置１００では、液晶表示パネル１０５と、タッチパネル１０６と、がこの順で形成されており、液晶表示パネル１０５にタッチパネル１０６がインセル化されている。
【００７４】
ＴＦＴ基板１０１は、ＴＦＴ及び画素電極がマトリクス状に配置された、ガラス等の透明な絶縁基板から構成されている。
【００７５】
カラーフィルタ基板１０２は、ガラス基板１０３に対向する側に設けられた複数のブラックマトリクス（ＢＭ）及びブラックマトリクスによって区画化された領域に設けられたカラーフィルタとが配置された、ガラス等の絶縁基板から構成されている。
【００７６】
また、ＴＦＴ基板１０１とカラーフィルタ基板１０２との間には、液晶材料が封入されている液晶層（図示省略）が挟み込まれている。
【００７７】
そして、ガラス基板１０３の裏面側に配置されるカラーフィルタ基板１０２上の既存パターンと、ガラス基板１０３の表面側に配置される保護膜１０４下の設計パターンとの間においては、それらパターン間に最適な相対位置関係を設定するためのアライメントが要求される。以下、このアライメントについて説明する。
【００７８】
図２は、ガラス基板１０３の裏面側と表面側との間におけるアライメントを説明するための図である。図２に示すように、カラーフィルタ基板１０２上にはアライメントマーク（第１のアライメントマーク）１１が形成されている。このアライメントマーク１１は、その平面形状が十字形状となっている（図２のＡを参照）。また、そのサイズは５０μｍ×５０μｍである。
【００７９】
もちろん、アライメントマーク１１の平面形状は、十字形状に限られるものではない。例えば、その平面形状及びサイズは、四角形状（５０μｍ×５０μｍ）、丸形状（直径５０μｍ）であってもよい。要は、アライメントマーク１１の平面形状及びそのサイズは、アライメントマーク１１の検出方法に適した平面形状及びそのサイズを選択すればよい。
【００８０】
さらに、アライメントマーク１１は例えば、カラーフィルタ基板１０２上に配置されたブラックマトリクス用金属膜を用いればよい。そうすることにより、アライメントマーク１１を形成するための金属膜を別途、堆積する必要がなく、そのため、液晶表示装置１００の工数やその部材費をより削減することができる。
【００８１】
そして、ガラス基板１０３上の設計パターンは、アライメントマーク１１を基準として、その位置合せが行なわれる。
【００８２】
ガラス基板１０３上には、アライメントマーク１１に対して最適な位置関係となった設計パターンが形成され、その一部にアライメントマーク（第２のアライメントマーク）１２が含まれることになる。このアライメントマーク１２も、その平面形状が十字形状となっている（図２のＢを参照）。
【００８３】
もちろん、アライメントマーク１２の平面形状は、上で述べたアライメントマーク１１と同様に、十字形状に限られるものではない。例えば、その平面形状及びサイズは、四角形状（５０μｍ×５０μｍ）、丸形状（直径５０μｍ）であってもよい。要は、アライメントマーク１２の平面形状及びそのサイズは、アライメントマーク１２の検出方法に適した平面形状及びそのサイズを選択すればよい。
【００８４】
さらに、液晶表示装置１００では、アライメントマーク１２は、ＩＴＯや、ＩＺＯ、ＺｎＯ等の公知の透明導電膜（透明部材）から構成されている。そして、アライメントマーク１２上には、後述する不透明膜（不透明部材）１３が配置されている。
【００８５】
不透明膜１３の平面形状は少なくとも、アライメントマーク１２の平面形状全体を覆うような形状であれば、どのような形状であっても構わない。
【００８６】
次に、アライメントマーク１１、アライメントマーク１２及び不透明膜１３の形成手順について説明する。図３は、アライメントマーク１１、アライメントマーク１２及び不透明膜１３の形成手順を説明するための図である。
【００８７】
先ず、図３の（ａ）に示すように、ガラス基板１０３上に透明導電膜１２ａが堆積される。この透明導電膜１２ａは、ガラス基板１０３の全面に堆積される。
【００８８】
透明導電膜１２ａは例えば、タッチパネル１０６を構成するタッチ電極用透明導電膜を用いればよい。このタッチ電極用透明導電膜は、ガラス基板１０３上に形成されるものである。そうすることにより、アライメントマーク１２を形成するための透明導電膜を別途、堆積する必要がなく、そのため、液晶表示装置１００の工数やその部材費をより削減することができる。
【００８９】
次に、図３の（ｂ）に示すように、透明導電膜１２ａ上にレジストパターン１４が形成される。このレジストパターン１４は、アライメントマーク１２を形成するためのパターンである。レジストパターン１４の設計パターンは、アライメントマーク１１を基準とする位置合せが行なわれている。
【００９０】
ここで、従来の液晶表示装置５００では、図１３の（ｂ）で示したように、金属膜５２ｂ上にレジストパターン５３が形成されていた。そして、レジストパターン５３は、カラーフィルタ基板５０２上におけるアライメント領域の上方に堆積された金属膜５２ｂを除去するためのパターンであった。
【００９１】
これは、ガラス基板５０３上の全面に金属膜５２ｂが堆積された状態では、カラーフィルタ基板５０２上のアライメントマーク５１を検出することができないからであった。
【００９２】
すなわち、従来の液晶表示装置５００では、アライメントマーク５１を基準としてガラス基板５０３上の設計パターンの位置合せを行なうためには、上で述べたように、一旦、カラーフィルタ基板５０２上におけるアライメント領域の上方に堆積された金属膜５２ｂを除去する工程が必要であった。
【００９３】
このことは、液晶表示装置５００の工数を削減し、その部材費を低減する上で、非常に大きな課題であった。
【００９４】
これに対し、液晶表示装置１００では、アライメントマーク１２を透明導電膜１２ａから構成することにより、図３の（ｂ）に示したように、ガラス基板１０３上の全面に堆積された透明導電膜１２ａを通してアライメントマーク１１を検出し、アライメントマーク１１を基準としてガラス基板１０３上の設計パターンの位置合せを行なうことができる。
【００９５】
そうすることにより、図１３の（ｂ）で示したような、アライメントマーク５１を検出するために金属膜５２ｂを一旦除去する工程が不要となり、その結果、液晶表示装置１００の工数を削減し、その部材費を低減することができる。
【００９６】
次に、図３の（ｃ）に示すように、レジストパターン１４に従って透明導電膜１２ａが除去される、すなわち、ガラス基板１０３上にアライメントマーク１２が形成される。
【００９７】
次に、図３の（ｄ）に示すように、ガラス基板１０３及びアライメントマーク１２上に金属膜１３ａが堆積される。この金属膜１３ａは、ガラス基板１０３の全面に堆積される。そして、金属膜１３ａの堆積後、金属膜１３ａ上にレジストパターン１５が形成される。
【００９８】
金属膜１３ａは、透明導電膜１２ａから構成されたアライメントマーク１２を不透明化するためのものである。アライメントマーク１１と同様、アライメントマーク１２の上方の設計パターンは、アライメントマーク１２を基準として、その位置合せが行なわれる。このため、アライメントマーク１２が検出可能となるよう、アライメントマーク１２の不透明化が必要となる。
【００９９】
金属膜１３ａは例えば、ガラス基板１０３上に形成される、タッチパネル１０６を構成する金属配線用の金属膜を用いればよい。そうすることにより、アライメントマーク１２を不透明化するための金属膜を別途、堆積する必要がなく、そのため、液晶表示装置１００の工数やその部材費をより削減することができる。
【０１００】
次に、図３の（ｄ）に示すように、金属膜１３ａ上にレジストパターン１５が形成される。このレジストパターン１５は、アライメントマーク１２を不透明化する不透明膜１３を形成するためのパターンである。レジストパターン１５の設計パターンは、例えば、アライメントマーク１２を基準とする位置合せが行なわれている。もちろん、アライメントマーク１１を基準とする位置合せが行なわれてもよい。
【０１０１】
また、上で述べたように、不透明膜１３の平面形状は少なくとも、アライメントマーク１２の平面形状全体を覆うような形状であれば、どのような形状であっても構わない。これは、不透明膜１３の平面形状が少なくともアライメントマーク１２の平面形状全体を覆うような形状であれば、アライメントマーク１２の平面形状が不透明化され、その検出が可能となるからである。
【０１０２】
次に、図３の（ｅ）に示すように、レジストパターン１５に従って金属膜１３ａが除去される、すなわち、ガラス基板１０３上に不透明膜１３が形成される。そして、金属膜１３ａが除去された後、レジストパターン１５が除去される。
【０１０３】
最後に、図３の（ｆ）に示すように、ガラス基板１０３及び不透明膜１３上に保護膜１０４が堆積される。
【０１０４】
以上説明したように、本発明の実施形態１における液晶表示装置１００によれば、アライメントマーク１２を透明導電膜１２ａから構成することにより、ガラス基板１０３上の全面に堆積された透明導電膜１２ａを通してアライメントマーク１１を検出し、アライメントマーク１１を基準としてガラス基板１０３上の設計パターンの位置合せを行なうことができる。
【０１０５】
このため、アライメントマーク１１を検出するために透明導電膜１２ａを一旦除去する工程が不要となり、その結果、液晶表示装置１００の工数を削減し、その部材費を低減することができる。
【０１０６】
（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２について説明する。本実施の形態においては、上記の実施の形態１と同様、ガラス基板（透明基板）１０３の裏面側に配置されるカラーフィルタ基板１０２上の既存パターンと、ガラス基板１０３の表面側に配置される保護膜１０４下の設計パターンとの間においては、それらパターン間に最適な相対位置関係を設定するためのアライメントが要求される。
【０１０７】
本実施の形態が上記の実施の形態１と異なる点は、アライメントに用いるアライメントマークの形成手順である。図４は、ガラス基板１０３の裏面側と表面側との間におけるアライメントを説明するための図である。
【０１０８】
図４に示すように、カラーフィルタ基板１０２上にはアライメントマーク１１が形成されている。このアライメントマーク１１は、その平面形状が十字形状となっている（図４のＣを参照）。なお、アライメントマーク１１は、上記の実施の形態１と同一であるため、ここでは説明を省略する。
【０１０９】
ガラス基板１０３上には、アライメントマーク１１に対して最適な位置関係となった設計パターンが形成され、その一部にアライメントマーク（第２のアライメントマーク）１６が含まれることになる。このアライメントマーク１６も、その平面形状が十字形状となっている（図４のＤを参照）。
【０１１０】
ここで、アライメントマーク１６が上記の実施の形態１のアライメントマーク１２と異なる点は、ガラス基板１０３上に、そのガラス基板１０３の一部から凸形状を形成し、その凸形状（凸形状部）をアライメントマーク１６に用いた点である。
【０１１１】
凸形状の形成は例えば、ガラス基板１０３の薄膜化の際に合わせて同時に行なえばよい。そうすることにより、アライメントマーク１６を形成するためのガラス基板１０３の薄膜化を別途、行なう必要がなく、そのため、液晶表示装置１００の工数やその部材費をより削減することができる。
【０１１２】
なお、アライメントマーク１６の平面形状は、上で述べたアライメントマーク１１と同様に、十字形状に限られるものではない。例えば、その平面形状及びサイズは、四角形状（５０μｍ×５０μｍ）、丸形状（直径５０μｍ）であってもよい。要は、アライメントマーク１６の平面形状及びそのサイズは、アライメントマーク１６の検出方法に適した平面形状及びそのサイズを選択すればよい。
【０１１３】
そして、アライメントマーク１６上には、上記の実施の形態１と同様、不透明膜１３が配置されている。なお、不透明膜１３は、上記の実施の形態１と同一であるため、ここでは説明を省略する。
【０１１４】
次に、アライメントマーク１１、アライメントマーク１６及び不透明膜１３の形成手順について説明する。図５は、アライメントマーク１１、アライメントマーク１６及び不透明膜１３の形成手順を説明するための図である。
【０１１５】
先ず、図５の（ａ）に示すように、ガラス基板１０３上にレジストパターン１７が形成される。このレジストパターン１７は、アライメントマーク１６を形成するためのパターンである。レジストパターン１７の設計パターンは、アライメントマーク１１を基準とする位置合せが行なわれている。
【０１１６】
次に、図５の（ｂ）に示すように、レジストパターン１７に従ってガラス基板１０３が除去される、すなわち、ガラス基板１０３上にその一部を用いた凸形状からなるアライメントマーク１６が形成される。
【０１１７】
次に、図５の（ｃ）に示すように、ガラス基板１０３及びアライメントマーク１６上に金属膜１３ａが堆積される。そして、金属膜１３ａの堆積後、金属膜１３ａ上にレジストパターン１８が形成される。なお、金属膜１３ａは、上記の実施の形態１と同一であるため、ここでは説明を省略する。
【０１１８】
続いて、金属膜１３ａ上にレジストパターン１８が形成される。このレジストパターン１８は、アライメントマーク１６を不透明化する不透明膜１３を形成するためのパターンである。レジストパターン１８の設計パターンは、例えば、アライメントマーク１６を基準とする位置合せが行なわれている。もちろん、アライメントマーク１１を基準とする位置合せが行なわれてもよい。
【０１１９】
次に、図５の（ｄ）に示すように、レジストパターン１８に従って金属膜１３ａが除去される、すなわち、ガラス基板１０３上に不透明膜１３が形成される。そして、金属膜１３ａが除去された後、レジストパターン１８が除去される。
【０１２０】
最後に、図５の（ｅ）に示すように、ガラス基板１０３及び不透明膜１３上に保護膜１０４が堆積される。
【０１２１】
以上説明したように、本発明の実施形態２における液晶表示装置１００によれば、アライメントマーク１６をガラス基板１０３の一部である凸形状から構成することにより、ガラス基板１０３を通してアライメントマーク１１を検出し、アライメントマーク１１を基準としてガラス基板１０３上の設計パターンの位置合せを行なうことができる。
【０１２２】
このため、液晶表示装置１００の工数を削減し、その部材費を低減することができる。
【０１２３】
（実施の形態３）
次に、本発明の実施の形態３について説明する。図６は、本発明の実施の形態３における液晶表示装置の概略構成を示す断面図である。図６に示すように、本実施の形態における液晶表示装置２００は、タッチパネル２０５と、液晶表示パネル２０６と、を備えている。
【０１２４】
タッチパネル２０５は、保護膜２０１と、ガラス基板２０２と、から構成されている。また、液晶表示パネル２０６は、ガラス基板２０２と、カラーフィルタ基板２０３と、ＴＦＴ基板２０４と、から構成されている。
【０１２５】
ガラス基板２０２は、その裏面側（一方の主面側）に保護膜２０１が配置されており、その表面側（他方の主面側）にカラーフィルタ基板２０３及びＴＦＴ基板２０４が配置されている。
【０１２６】
すなわち、ガラス基板２０２及び、その裏面側に配置された保護膜２０１がタッチパネル２０５を構成している。また、ガラス基板２０２及び、その表面側に配置されたカラーフィルタ基板２０３及びＴＦＴ基板２０４が液晶表示パネル２０６を構成している。
【０１２７】
そして、液晶表示装置２００では、タッチパネル２０５と、液晶表示パネル２０６と、がこの順で形成されており、液晶表示パネル２０６にタッチパネル２０５がインセル化されている。
【０１２８】
カラーフィルタ基板２０３は、ガラス基板２０２に対向する側に設けられた複数のブラックマトリクス（ＢＭ）及びブラックマトリクスによって区画化された領域に設けられたカラーフィルタとが配置された、ガラス等の絶縁基板から構成されている。
【０１２９】
ＴＦＴ基板２０４は、ＴＦＴ及び画素電極がマトリクス状に配置された、ガラス等の透明な絶縁基板から構成されている。
【０１３０】
また、カラーフィルタ基板２０３とＴＦＴ基板２０４との間には、液晶材料が封入されている液晶層（図示省略）が挟み込まれている。
【０１３１】
そして、ガラス基板２０２の裏面側に配置される保護膜２０１上の既存パターンと、ガラス基板２０２の表面側に配置されるカラーフィルタ基板２０３下の設計パターンとの間においては、それらパターン間に最適な相対位置関係を設定するためのアライメントが要求される。以下、このアライメントについて説明する。
【０１３２】
図７は、ガラス基板２０２の裏面側と表面側との間におけるアライメントを説明するための図である。図７に示すように、保護膜２０１上にはアライメントマーク（第１のアライメントマーク）２１が形成されている。このアライメントマーク２１は、その平面形状が十字形状となっている（図７のＥを参照）。また、そのサイズは５０μｍ×５０μｍである。
【０１３３】
もちろん、アライメントマーク２１の平面形状は、十字形状に限られるものではない。例えば、その平面形状及びサイズは、四角形状（５０μｍ×５０μｍ）、丸形状（直径５０μｍ）であってもよい。要は、アライメントマーク２１の平面形状及びそのサイズは、アライメントマーク２１の検出方法に適した平面形状及びそのサイズを選択すればよい。
【０１３４】
さらに、アライメントマーク２１は例えば、保護膜２０１上に配置された、タッチパネル２０５を構成する金属配線用の金属膜を用いればよい。そうすることにより、アライメントマーク２１を形成するための金属膜を別途、堆積する必要がなく、そのため、液晶表示装置２００の工数やその部材費をより削減することができる。
【０１３５】
そして、ガラス基板２０２上の設計パターンは、アライメントマーク２１を基準として、その位置合せが行なわれる。
【０１３６】
ガラス基板２０２上には、アライメントマーク２１に対して最適な位置関係となった設計パターンが形成され、その一部にアライメントマーク（第２のアライメントマーク）２２が含まれることになる。このアライメントマーク２２も、その平面形状が十字形状となっている（図７のＦを参照）。
【０１３７】
もちろん、アライメントマーク２２の平面形状は、上で述べたアライメントマーク２１と同様に、十字形状に限られるものではない。例えば、その平面形状及びサイズは、四角形状（５０μｍ×５０μｍ）、丸形状（直径５０μｍ）であってもよい。要は、アライメントマーク２２の平面形状及びそのサイズは、アライメントマーク２２の検出方法に適した平面形状及びそのサイズを選択すればよい。
【０１３８】
さらに、液晶表示装置２００では、アライメントマーク２２は、アルカリ樹脂や、エポキシ樹脂等の公知の透明樹脂膜（透明部材）から構成されている。そして、アライメントマーク２２上には、後述する不透明膜（不透明部材）２３が配置されている。
【０１３９】
不透明膜２３の平面形状は少なくとも、アライメントマーク２２の平面形状全体を覆うような形状であれば、どのような形状であっても構わない。
【０１４０】
次に、アライメントマーク２１、アライメントマーク２２及び不透明膜２３の形成手順について説明する。図８は、アライメントマーク２１、アライメントマーク２２及び不透明膜２３の形成手順を説明するための図である。
【０１４１】
先ず、図８の（ａ）に示すように、ガラス基板２０２上に透明樹脂膜２２ａが塗布される。この透明樹脂膜２２ａは、ガラス基板２０２の全面に塗布される。
【０１４２】
透明樹脂膜２２ａは例えば、ガラス基板２０２上に配置される、カラーフィルタ基板２０３の柱を構成する感光性の透明樹脂膜を用いればよい。そうすることにより、アライメントマーク２２を形成するための透明樹脂膜を別途、塗布する必要がなく、そのため、液晶表示装置２００の工数やその部材費をより削減することができる。
【０１４３】
次に、図８の（ｂ）に示すように、透明樹脂膜２２ａ上にレジストパターン２４が形成される。このレジストパターン２４は、アライメントマーク２２を形成するためのパターンである。レジストパターン２４の設計パターンは、アライメントマーク２１を基準とする位置合せが行なわれている。
【０１４４】
液晶表示装置２００では、アライメントマーク２２を透明樹脂膜２２ａから構成することにより、ガラス基板２０２上の全面に塗布された透明樹脂膜２２ａを通してアライメントマーク２１を検出し、アライメントマーク２１を基準としてガラス基板２０２上の設計パターンの位置合せを行なうことができる。
【０１４５】
次に、図８の（ｃ）に示すように、レジストパターン２４に従って透明樹脂膜２２ａが除去される、すなわち、ガラス基板２０２上にアライメントマーク２２が形成される。
【０１４６】
次に、図８の（ｄ）に示すように、ガラス基板２０２及びアライメントマーク２２上に金属膜２３ａが堆積される。この金属膜２３ａは、ガラス基板２０２の全面に堆積される。そして、金属膜２３ａの堆積後、金属膜２３ａ上にレジストパターン２５が形成される。
【０１４７】
金属膜２３ａは、透明樹脂膜２２ａから構成されたアライメントマーク２２を不透明化するためのものである。アライメントマーク２１と同様、アライメントマーク２２の上方の設計パターンは、アライメントマーク２２を基準として、その位置合せが行なわれる。このため、アライメントマーク２２が検出可能となるよう、アライメントマーク２２の不透明化が必要となる。
【０１４８】
金属膜２３ａは例えば、ガラス基板２０２上に配置される、カラーフィルタ基板２０３上に配置されたブラックマトリクス用金属膜を用いればよい。そうすることにより、不透明膜２３を形成するための金属膜を別途、堆積する必要がなく、そのため、液晶表示装置２００の工数やその部材費をより削減することができる。
【０１４９】
続いて、金属膜２３ａ上にレジストパターン２５が形成される。このレジストパターン２５は、アライメントマーク２２を不透明化する不透明膜２３を形成するためのパターンである。レジストパターン２５の設計パターンは、例えば、アライメントマーク２２を基準とする位置合せが行なわれている。もちろん、アライメントマーク２１を基準とする位置合せが行なわれてもよい。
【０１５０】
また、上で述べたように、不透明膜２３の平面形状は少なくとも、アライメントマーク２２の平面形状全体を覆うような形状であれば、どのような形状であっても構わない。これは、不透明膜２３の平面形状が少なくともアライメントマーク２２の平面形状全体を覆うような形状であれば、アライメントマーク２２の平面形状が不透明化され、その検出が可能となるからである。
【０１５１】
次に、図８の（ｅ）に示すように、レジストパターン２５に従って金属膜２３ａが除去される、すなわち、ガラス基板２０２上に不透明膜２３が形成される。そして、金属膜２３ａが除去された後、レジストパターン２５が除去される。
【０１５２】
最後に、図８の（ｆ）に示すように、ガラス基板２０２及び不透明膜２３上にカラーフィルタ基板２０３が形成される。
【０１５３】
以上説明したように、本発明の実施形態３における液晶表示装置２００によれば、アライメントマーク２２を透明樹脂膜２２ａから構成することにより、ガラス基板２０２上の全面に塗布された透明樹脂膜２２ａを通してアライメントマーク２１を検出し、アライメントマーク２１を基準としてガラス基板２０２上の設計パターンの位置合せを行なうことができる。
【０１５４】
このため、アライメントマーク２１を検出するために透明樹脂膜２２ａを一旦除去する工程が不要となり、その結果、液晶表示装置２００の工数を削減し、その部材費を低減することができる。
【０１５５】
なお、本実施の形態では、アライメントマーク２２を金属膜２３ａで被覆することにより、アライメントマーク２２の不透明化を行なったが、本発明はこれに限られるものではない。
【０１５６】
例えば、透明樹脂膜２２ａからなるアライメントマーク２２にレーザ光を照射して黒化（黒化処理）することにより、アライメントマーク２２の不透明化を行なってもよい。
【０１５７】
（実施の形態４）
次に、本発明の実施の形態４について説明する。本実施の形態においては、上記の実施の形態３と同様、ガラス基板２０２の裏面側に配置される保護膜２０１上の既存パターンと、ガラス基板２０２の表面側に配置されるカラーフィルタ基板２０３下の設計パターンとの間においては、それらパターン間に最適な相対位置関係を設定するためのアライメントが要求される。
【０１５８】
本実施の形態が上記の実施の形態３と異なる点は、アライメントに用いるアライメントマークの形成手順である。図９は、ガラス基板２０２の裏面側と表面側との間におけるアライメントを説明するための図である。
【０１５９】
図９に示すように、保護膜２０１上にはアライメントマーク２１が形成されている。このアライメントマーク２１は、その平面形状が十字形状となっている（図９のＧを参照）。なお、アライメントマーク２１は、上記の実施の形態３と同一であるため、ここでは説明を省略する。
【０１６０】
ガラス基板２０２上には、アライメントマーク２１に対して最適な位置関係となった設計パターンが形成され、その一部にアライメントマーク２６（第２のアライメントマーク）が含まれることになる。このアライメントマーク２６も、その平面形状が十字形状となっている（図９のＨを参照）。
【０１６１】
ここで、アライメントマーク２６が上記の実施の形態３のアライメントマーク２２と異なる点は、ガラス基板２０２上に、ガラス基板２０２の一部から凸形状を形成し、その凸形状をアライメントマーク２６に用いた点である。
【０１６２】
凸形状の形成は例えば、ガラス基板２０２の薄膜化の際に合わせて同時に行なえばよい。そうすることにより、アライメントマーク２６を形成するためのガラス基板２０２の薄膜化を別途、行なう必要がなく、そのため、液晶表示装置２００の工数やその部材費をより削減することができる。
【０１６３】
なお、アライメントマーク２６の平面形状は、上で述べたアライメントマーク２１と同様に、十字形状に限られるものではない。例えば、その平面形状及びサイズは、四角形状（５０μｍ×５０μｍ）、丸形状（直径５０μｍ）であってもよい。要は、アライメントマーク２６の平面形状及びそのサイズは、アライメントマーク２６の検出方法に適した平面形状及びそのサイズを選択すればよい。
【０１６４】
そして、アライメントマーク２６上には、上記の実施の形態３と同様、不透明膜２３が配置されている。なお、不透明膜２３は、上記の実施の形態３と同一であるため、ここでは説明を省略する。
【０１６５】
次に、アライメントマーク２１、アライメントマーク２６及び不透明膜２３の形成手順について説明する。図１０は、アライメントマーク２１、アライメントマーク２６及び不透明膜２３の形成手順を説明するための図である。
【０１６６】
先ず、図１０の（ａ）に示すように、ガラス基板２０２上にレジストパターン２７が形成される。このレジストパターン２７は、アライメントマーク２６を形成するためのパターンである。レジストパターン２７の設計パターンは、アライメントマーク２１を基準とする位置合せが行なわれている。
【０１６７】
次に、図１０の（ｂ）に示すように、レジストパターン２７に従ってガラス基板２０２が除去される、すなわち、ガラス基板２０２上にその一部を用いた凸形状からなるアライメントマーク２６が形成される。
【０１６８】
次に、図１０の（ｃ）に示すように、ガラス基板２０２及びアライメントマーク２６上に金属膜２３ａが堆積される。そして、金属膜２３ａの堆積後、金属膜２３ａ上にレジストパターン２８が形成される。なお、金属膜２３ａは、上記の実施の形態３と同一であるため、ここでは説明を省略する。
【０１６９】
続いて、金属膜２３ａ上にレジストパターン２８が形成される。このレジストパターン２８は、アライメントマーク２６を不透明化する不透明膜２３を形成するためのパターンである。レジストパターン２８の設計パターンは、例えば、アライメントマーク２６を基準とする位置合せが行なわれている。もちろん、アライメントマーク２１を基準とする位置合せが行なわれてもよい。
【０１７０】
次に、図１０の（ｄ）に示すように、レジストパターン２８に従って金属膜２３ａが除去される、すなわち、ガラス基板２０２上に不透明膜２３が形成される。そして、金属膜２３ａが除去された後、レジストパターン２８が除去される。
【０１７１】
最後に、図１０の（ｅ）に示すように、ガラス基板２０２及び不透明膜２３上にカラーフィルタ基板２０３が形成される。
【０１７２】
以上説明したように、本発明の実施形態４における液晶表示装置２００によれば、アライメントマーク２６をガラス基板２０２の一部である凸形状から構成することにより、ガラス基板２０２を通してアライメントマーク２１を検出し、アライメントマーク２１を基準としてガラス基板２０２上の設計パターンの位置合せを行なうことができる。
【０１７３】
このため、液晶表示装置２００の工数を削減し、その部材費を低減することができる。
【０１７４】
なお、本実施の形態では、アライメントマーク２６を金属膜２３ａで被覆することにより、アライメントマーク２６の不透明化を行なったが、本発明はこれに限られるものではない。
【０１７５】
例えば、ガラス基板２０２の凸形状からなるアライメントマーク２６にレーザ光を照射して黒化（黒化処理）することにより、アライメントマーク２６の不透明化を行なってもよい。
【０１７６】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【０１７７】
このように、本発明の液晶表示装置は、タッチパネルと液晶表示パネルとを備え、当該タッチパネル及び液晶表示パネルのうちのいずれか一方のパネルが前記タッチパネルと前記液晶表示パネルとの間における位置合せの基準とされ、他方のパネルが前記一方のパネルに位置合せされた液晶表示装置であって、前記他方のパネルには、前記一方のパネル上に配置された第１のアライメントマークに位置合せされた第２のアライメントマークが配置されており、当該第２のアライメントマークは透明部材から構成されている。
【０１７８】
前記透明部材は、前記他方のパネルを構成する透明基板に設けられた凸形状部であることが好ましい。特に、前記透明部材は、前記透明基板の前記一方のパネルに対向する主面側において、前記凸形状部を設けるべき領域の周囲にある前記透明基板を除去することにより、形成されていることがより好ましい。
【０１７９】
この場合、凸形状の形成を透明基板の薄膜化の際に合わせて同時に行なうことができるので、第２のアライメントマークを形成するための透明基板の薄膜化を別途、行なう必要がなく、そのため、液晶表示装置の工数やその部材費をより削減することができる。
【０１８０】
前記透明部材は、前記他方のパネルを構成する透明基板の前記一方のパネルに対向する主面上に堆積された透明膜から、前記第２のアライメントマークが配置されるべき前記主面上の領域の周囲にある前記透明膜を除去することにより、形成されていることが好ましい。
【０１８１】
この場合、例えば、透明部材にタッチパネルを構成するタッチ電極用透明導電膜を用いればよい。そうすることにより、第２のアライメントマークを形成するための透明部材を別途、堆積する必要がなく、そのため、液晶表示装置の工数やその部材費をより削減することができる。
【０１８２】
前記他方のパネルには、前記第２のアライメントマークを覆うように不透明部材がさらに配置されていることが好ましい。
【０１８３】
この場合、透明部材から構成された第２のアライメントマークを不透明化することができる。
【０１８４】
このため、第２のアライメントマーク上方の設計パターンについては、第２のアライメントマークを基準として、その位置合せを行なうことが可能となる。
【０１８５】
したがって、第２のアライメントマーク上方の設計パターンについて、その位置合せ精度を向上させることができる。
【０１８６】
前記第２のアライメントマークは、レーザ光の照射による黒化処理によって、不透明化されていることが好ましい。
【０１８７】
この場合、第２のアライメントマークを覆う不透明部材が不要となるので、液晶表示装置の工数やその部材費をより削減することができる。
【０１８８】
本発明の液晶表示装置の製造方法は、タッチパネル及び液晶表示パネルのうちのいずれか一方のパネルを前記タッチパネルと前記液晶表示パネルとの間における位置合せの基準とし、他方のパネルを前記一方のパネルに位置合せした構造において、前記他方のパネルに、前記一方のパネル上に配置された第１のアライメントマークに位置合せされた第２のアライメントマークが配置された液晶表示装置の製造方法であって、前記他方のパネルを構成する透明基板の全面に透明部材を配置する工程と、前記第１のアライメントマークに位置合せするように前記透明部材をパターニングし、そのパターニングの結果、前記透明基板上に残存する前記透明部材を前記第２のアライメントマークとする工程とを含む。
【０１８９】
前記透明基板の全面に配置された前記透明部材上に、前記透明部材を通して第１のアライメントマークに位置合せされたレジストパターンを形成する工程をさらに含み、前記レジストパターンを用いて、前記透明部材をパターニングすることが好ましい。
【０１９０】
この場合、パターニングされる透明部材を通して第１のアライメントマークを検出し、その検出された第１のアライメントマークにレジストパターンを位置合せする。
【０１９１】
このため、その検出された第１のアライメントマークを基準として透明部材をパターニングすることができる。
【０１９２】
本発明の液晶表示装置の製造方法は、タッチパネル及び液晶表示パネルのうちのいずれか一方のパネルを前記タッチパネルと前記液晶表示パネルとの間における位置合せの基準とし、他方のパネルを前記一方のパネルに位置合せした構造において、前記他方のパネルに、前記一方のパネル上に配置された第１のアライメントマークに位置合せされた第２のアライメントマークが配置された液晶表示装置の製造方法であって、前記第１のアライメントマークに位置合せするように、前記他方のパネルを構成する透明基板をパターニングし、そのパターニングの結果、前記透明基板上に形成された凸形状部を前記第２のアライメントマークとする工程を含む。
【０１９３】
前記透明基板上に、前記透明基板を通して第１のアライメントマークに位置合せされたレジストパターンを形成する工程をさらに含み、前記レジストパターンを用いて、前記透明基板をパターニングすることが好ましい。
【０１９４】
この場合、パターニングされる透明基板を通して第１のアライメントマークを検出し、その検出された第１のアライメントマークにレジストパターンを位置合せする。
【０１９５】
このため、その検出された第１のアライメントマークを基準として透明基板をパターニングすることができる。
【０１９６】
前記第２のアライメントマークを覆うように不透明部材を配置する工程をさらに含むことが好ましい。
【０１９７】
この場合、透明部材や透明基板から構成された第２のアライメントマークを不透明化することができる。
【０１９８】
このため、第２のアライメントマーク上方の設計パターンについては、第２のアライメントマークを基準として、その位置合せを行なうことが可能となる。
【０１９９】
したがって、第２のアライメントマーク上方の設計パターンについて、その位置合せ精度を向上させることができる。
【０２００】
前記第２のアライメントマークにレーザ光を照射して黒化させることにより、前記第２のアライメントマークを不透明化する工程をさらに含むことが好ましい。
【０２０１】
この場合、透明部材や透明基板から構成された第２のアライメントマークを覆う不透明部材が不要となるので、液晶表示装置の工数やその部材費をより削減することができる。
【産業上の利用可能性】
【０２０２】
本発明は、タッチパネル機能を備えた液晶表示装置に適用できる。具体的には、液晶表示装置として、例えば、アクティブマトリクス型の液晶表示装置に用いることができると共に、電気泳動型ディスプレイ、ツイストボール型ディスプレイ、微細なプリズムフィルムを用いた反射型ディスプレイ、デジタルミラーデバイス等の光変調素子を用いたディスプレイの他、発光素子として、有機ＥＬ発光素子、無機ＥＬ発光素子、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）等の発光輝度が可変の素子を用いたディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）、プラズマディスプレイにも利用することができる。
【符号の説明】
【０２０３】
１１、２１    アライメントマーク（第１のアライメントマーク）
１２、１６、２２、２６    アライメントマーク（第２のアライメントマーク、凸形状部）
１２ａ    透明導電膜（透明部材）
１３、２３    不透明膜（不透明部材）
１４、１５、１７、１８、２４、２５、２７、２８    レジストパターン
２２ａ    透明樹脂膜（透明部材）
１００、２００    液晶表示装置
１０１、２０４    ＴＦＴ基板
１０２、２０３    カラーフィルタ基板
１０３、２０２    ガラス基板（透明基板）
１０４、２０１    保護膜
１０５、２０６    液晶表示パネル
１０６、２０５    タッチパネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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