(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吹き出し領域が通気性の材質で構成された袋状のサプライチャンバと、当該サプライチャンバを支持可能な筐体とを有し、清浄空気供給時に前記筐体の上面開口部から前記サプライチャンバ内に向けて清浄空気が供給されると、前記サプライチャンバが膨らんで自立し、前記吹き出し領域から清浄空気が吹き出される膜式自立サプライチャンバ装置であって、
前記開口部を閉塞可能で、かつ前記開口部周縁において起立可能な蓋体を有し、
前記サプライチャンバは、前記開口部を覆うように前記筐体に被せて、前記筐体に接続可能であり、
さらに前記サプライチャンバを前記筐体に接続した際には、前記蓋体は前記サプライチャンバ内に位置することを特徴とする、膜式自立サプライチャンバ装置。
【請求項２】
前記蓋体は、前記開口部の周縁部を中心軸として回動し、前記起立状態を維持するストッパーを有することを特徴とする、請求項１に記載の膜式自立サプライチャンバ装置。
【請求項３】
前記サプライチャンバにおける吹き出し領域を有する面、及び当該面と対向する面には、清浄空気供給時において自立状態のサプライチャンバを傾がせる、風向調整器具が各々設けられていることを特徴とする、請求項１または２に記載の膜式自立サプライチャンバ装置。
【請求項４】
前記風向調整器具は、前記サプライチャンバにおける前記各面の上下方向に固定された上ベルト、および下ベルトと、これら各ベルトの自由端を挿通させるコキとを有し、前記上ベルトの自由端は、前記コキを挿通した状態で、前記上ベルトに対して固定されていることを特徴とする、請求項３に記載の膜式自立サプライチャンバ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、送風機の空気供給圧力で自立する膜式サプライチャンバ装置において、空気供給停止時にサプライチャンバが必要以上に倒れない膜式自立サプライチャンバ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、送風機によって周囲の空気を吸込み、ＨＥＰＡフィルタ等で清浄化した空気を吹出すクリーンブース用のサプライチャンバ装置は、様々な形態で提供されているが、たとえば特許文献１には、サプライチャンバ全体が非通気性の布やシートで形成され，吹き出し面のみ通気性の布やシートで形成された、膜式自立サプライチャンバ装置が提案されている。
【０００３】
かかる従来技術によれば、クリーンエア供給時には、サプライチャンバが取り付けられているケーシング内のファンを作動させると、その内圧でサプライチャンバが膨らんで所定の形状が維持され，通気性の布やシートの部分から清浄空気を吹き出すようになっている。そしてファンを停止させると、内部圧力は外部と同一になり，サプライチャンバはその形状を失って，ほぼ扁平な袋状となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２８４１４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記従来技術において、サプライチャンバは、布やシートで構成されているため、装置全体として軽量化でき、しかも不使用時には、サプライチャンバ自体は扁平な袋状とすることができるため、ファン等を収納している筐体内にこれを収容することができるなど、コンパクト化も可能であった。
【０００６】
しかしながら、たとえば停電や故障時などで、意図せずにファンが停止すると、チャンバ内の内部圧力の低下により、図１１のようにサプライチャンバ１０１が萎んで倒れてしまい、仮に火気近傍で使用していた場合には２次災害の可能性がある。この点に関し、特許文献１には、自立状態を維持ないしは補助するために、サプライチャンバ内に伸縮自在なポールを、サプライチャンバの内部又は外部の両側に取り付けることが提案されている。これによって、そのようにファンが停止しても、図１１のようにサプライチャンバ１０１が倒れることは防止できる。
【０００７】
ただし、そのような伸縮自在なポールをサプライチャンバの内外に設けると、その分、別途部材を必要とし、また取り付けに際して時間、手間がかかってしまう。
【０００８】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、膜式自立サプライチャンバ装置において、従来技術にみられるような、不意の停止時においてサプライチャンバが倒れることを防止するための専用部材を不要とし、またそれを手当てするための格別な手間を省略することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するため、本発明は、吹き出し領域が通気性の材質で構成された袋状のサプライチャンバと、当該サプライチャンバを支持可能な筐体とを有し、清浄空気供給時に前記筐体の上面開口部から前記サプライチャンバ内に向けて清浄空気が供給されると、前記サプライチャンバが膨らんで自立し、前記吹き出し領域から清浄空気が吹き出される膜式自立サプライチャンバ装置であって、前記開口部を閉塞可能で、かつ前記開口部周縁において起立可能な蓋体を有し、前記サプライチャンバは、前記開口部を覆うように前記筐体に被せて、前記筐体に接続可能であり、さらに前記サプライチャンバを前記筐体に接続した際には、前記蓋体は前記サプライチャンバ内に位置することを特徴としている。
【００１０】
本発明によれば、使用時においては、サプライチャンバを筐体の開口部を覆うようにして当該筐体に接続し、蓋体を起立させた状態で開口部から清浄空気がサプライチャンバ内に供給される。そして停電や故障等が原因で、清浄空気の供給が停止すると、膨らんでいたサプライチャンバは萎むが、起立した蓋体はサプライチャンバ内に位置しているので、萎んだサプライチャンバは蓋体の頂上部に載る。したがって、サプライチャンバがそのまま倒れて筐体周囲に垂れ落ちてしまうことを防止できる。なおここでいう、蓋体の起立状態は、必ずしも開口部に対して垂直に起立している必要はない。
【００１１】
かかる蓋体の作用を鑑みれば、起立した蓋体の高さは高い方がよい。起立した蓋体の高さが、自立したサプライチャンバの高さと同じであれば、萎んでも全く垂れることはなく、また起立した蓋体の高さが、自立したサプライチャンバの高さの半分の高さであれば、萎んだサプライチャンバが筐体周囲に垂れかかることを防止できる。このことから、起立した蓋体の高さは、自立したサプライチャンバの高さの半分以上であることが好ましい。
【００１２】
前記蓋体としては、例えば、前記開口部の周縁部を中心軸として回動し、前記起立状態を維持するストッパーを有する構成を提案できる。
【００１３】
前記サプライチャンバにおける吹き出し領域を有する面、及び当該面と対向する面には、清浄空気供給時において自立状態のサプライチャンバを傾がせる、風向調整器具が各々設けられていてもよい。
【００１４】
前記風向調整器具としては、前記サプライチャンバにおける前記各面の上下方向に固定された上ベルト、および下ベルトと、これら各ベルトの自由端を挿通させるコキとを有し、前記上ベルトの自由端は、前記コキを挿通した状態で、前記上ベルトに対して固定されているものを提案できる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、筐体の蓋体を起立させることで、清浄空気の供給が不意に停止した際にサプライチャンバがそのまま倒れて筐体周囲に垂れ落ちてしまうことを防止できる。したがって、従来技術にみられるような、専用の防止部材は不要であり、また垂れ落ち防止手当てをするための格別な手間も不要である。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施の形態にかかる膜式自立サプライチャンバ装置の筐体の斜視図である。
【図２】稼動時の実施の形態にかかる膜式自立サプライチャンバ装置の前面側を示す斜視図である。
【図３】稼動時の実施の形態にかかる膜式自立サプライチャンバ装置の背面側を示す斜視図である。
【図４】実施の形態で用いた風向調整器具の正面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】実施の形態においてサプライチャンバが萎んだ状態を示す斜視図である。
【図７】実施の形態においてサプライチャンバに俯角をつけて斜め下方に炊き出し方向を調整した斜視図である。
【図８】実施の形態においてサプライチャンバに仰角をつけて斜め上方に炊き出し方向を調整した斜視図である。
【図９】サプライチャンバの前面側が予め俯角をつけられている例を示す斜視図である。
【図１０】サプライチャンバの上面に吹き出し領域を形成した例を示す斜視図である。
【図１１】従来技術においてサプライチャンバが萎んだ状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の好ましい実施の形態を説明すると、図１は、サプライチャンバを接続する前の筐体１０を示しており、この筐体１０は、パネル材によって四側面、及び底面が形成された、直方体の外形を有している。筐体１０内には、清浄空気を供給するためのファンやＨＥＰＡフィルタ（いずれも図示せず）が収納されている。筐体１０の底面が吸込口となっている。なおそのように筐体１０内にファンを設ける構成のみならず、ファンが筐体１０外部に設置されているものでもよい。なお筐体１０の底面には、キャスター１１が取り付けられており、筐体１０を所望の位置に移動させることができる。
【００１８】
筐体１０の上面には、細幅の枠体１２が設けられ、この枠体１２の内周縁部に、角筒状の接続部１３が形成されており、この接続部１３内に開口部１４が形成されている。接続部１３の一辺の縁部、すなわち開口部１４の周縁部には、例えばヒンジ等を介して、開口部１４を閉塞可能な蓋体２０が設けられている。したがって、蓋体２０は、開口部１４の一辺を中心軸として、図中の往復矢印で示したように、回動自在である。なお蓋体２０は、たとえば蓋体２０を閉じたときに開口部１４よりも前面側のみ数ｍｍ程度大きくなるように設定して、前面側に突出する部分を形成することで、当該突出部分を持って、容易に蓋体２０を引き上げて開けることができる。もちろんこれに限らず、適宜の把手部を蓋体２０に設けてもよい。また蓋体２０には、起立状態を維持するためのストッパー２１が設けられている。
【００１９】
図２、図３に示したように、サプライチャンバ３０は、その開口面端部内周を、筐体１の接続部１３の外周に取り付けることによって、筐体１０に接続される。サプライチャンバ３０の開口面端部内周を、接続部１３の外周に取り付けるにあたっては、たとえば面ファスナーを用いれば、極めて簡単に取り付けることができる。その他、適宜のフランジ部材でサプライチャンバ３０の開口面端部を挟み込んでボルトやナット等の締め付け部材によって締め付け固定してもよい。なお本実施の形態におけるサプライチャンバ３０は、シート材によって構成された、直方体の袋形状を有しており、筐体１０に接続する前、すなわちサプライチャンバ３０内に空気が供給されていない状態では、扁平な形態を有している。
【００２０】
サプライチャンバ３０全体を構成する材質には、例えばポリエステル繊維からなる織布を使用しているが、これに限らず、この種の膜式自立チャンバに用いられている公知の材質、特に繊維の磨耗等により発塵を招かないものを使用できる。ただし、折り曲げはできるが、ほとんど伸縮性のないシート材で構成することが好ましい。
【００２１】
サプライチャンバ３０の面（前面）３０ａの所定箇所には、通気性のある材質、例えば、ポリプロピレンからなる不織布を、ポリエステル繊維からなる織布で挟み込んで作られた３層構造の生地によって形成された、吹き出し領域３１が形成されている。なお面３０の通気面（吹出し領域３１）と非通気面とは、縫合により接合する。使用する糸は、人体に影響のあるような化学物質が発生せず、洗濯などで劣化しないものであることが好ましい。また、接着による接合でも構わない。使用する接着剤は、洗濯などで剥がれることがなく人体に影響のあるような化学物質が発生しないものが好ましい。
【００２２】
サプライチャンバ３０の、吹き出し領域３１を有する面（前面）３０ａにおける吹き出し領域３１の下方には、風向調整器具４０が設けられている。本実施の形態における風向調整器具４０は、図４、図５に示したように、上ベルト４１、および下ベルト４２と、これら各ベルトの自由端４１ａ、４２ａを挿通させるコキ４３とによって構成されている。コキ４３は、方形の枠体４３ａ内に、上桟４３ｂ、下桟４３ｃを有している。
【００２３】
上ベルト４１の一端部は、固定部Ｘにてサプライチャンバ３０の面（前面）３０ａに固定されており、上ベルト４１の他端部となる自由端４１ａは、サプライチャンバ３０側からコキ４３の上桟４３ｂを廻って、上方へ引き出され、上ベルト４１の上に重ねられて上ベルト４１に固定されている。一方、下ベルト４２の一端部は、固定部Ｙにてサプライチャンバ３０の面（前面）３０ａに固定されており、他端部となる自由端４２ａは、サプライチャンバ３０側から下桟４３ｃを廻って、下方へ引き出された状態のままである。したがって、図５の矢印のように、下ベルト４２の自由端４２ａを下方に引き出すことで、サプライチャンバ３０における面３０ａを、固定部Ｘ、Ｙ間で縮めることができる。なお固定部Ｘ、Ｙでの固定、上ベルト４１の他端部となる自由端４１ａの上ベルト４１への固定方法は、いずれも縫い付けである。
【００２４】
サプライチャンバ３０における面３０ａと対向する面３０ｂにおいても、風向調整器具４０と対向する位置に、風向調整器具４０と同一構成を有する風向調整器具４５が設けられている。
【００２５】
実施の形態にかかる膜式自立サプライチャンバ装置は、以上の構成を有しており、サプライチャンバ３０を筐体１０の接続部１３に接続するにあたっては、図２、図３に示したように、蓋体２０を起立させ、さらに蓋体２０が、サプライチャンバ３０の内側に位置するように、サプライチャンバ３０を接続する。なお説明の都合上、またサプライチャンバ３０の全体形状を示すため、図２、図３においては、サプライチャンバ３０が膨らんだ状態、すなわち筐体１０から、サプライチャンバ３０に対して清浄空気を供給している状態を示している。
【００２６】
運転時において、筐体１０から、サプライチャンバ３０に対して清浄空気が供給されると、図２、図３に示すように、その際の内圧でサプライチャンバ３０が膨らんで直方体のチャンバ形状となり、吹き出し領域３１から、水平方向に清浄空気が吹き出される。
【００２７】
そして停電や故障等によって、清浄空気の供給が停止すると、膨らんでいたサプライチャンバ３０は萎むが、起立した蓋体２０はサプライチャンバ３０の内側に位置しているので、萎んだサプライチャンバ３０は図６に示したように、蓋体２０の頂上部に載る。したがって、サプライチャンバ３０がそのまま倒れて、筐体１０の周囲に垂れ落ちてしまうことを防止することができる。
【００２８】
またそのようにサプライチャンバ３０が垂れ落ちるのを防止しているのは、元々筐体１０の開口部１４を閉塞する蓋体２０であるから、垂れ落ち防止のための専用の部材を用意したり、工夫を施す必要はない。
【００２９】
なお本実施の形態では、蓋体２０は、筐体１０の開口部１４の周縁部を中心軸として回動する構成のものを使用したが、これに限らず、蓋体２０には筐体１０とは別体のものを用い、かつ接続部１３の内周に、蓋体２０の一辺端部を受容することで、蓋体２０を起立させるガイドを設けてもよい。
【００３０】
ところで、この種の膜式自立チャンバ装置の清浄範囲は、利用分野や使用環境によって異なるにもかかわらず、従来は固定された清浄範囲に合わせてそのまま使用しており、汎用性に欠けているのが実情である。
【００３１】
しかしながら、実施の形態にかかる膜式自立サプライチャンバ装置は、風向調整器具４０、４５を有しているので、サプライチャンバ３０の吹き出し領域３１からの清浄空気の吹き出し方向を上下方向へ調整することができる。
【００３２】
図７は、吹き出し領域３１からの清浄空気の吹き出し方向を水平方向（図中の破線矢印で示した方向）から、俯角をつけて斜め下方（図中の破線矢印で示した方向）に吹き出させる状態を示している。このように吹き出し方向を斜め下方に吹き出させるには、サプライチャンバ３０の面（前面）３０ａ側に設けられた風向調整器具４０の下ベルトの自由端４２ａを下方に引っ張るだけでよい。そうすると、既述したように、風向調整器具４０における固定部Ｘ、Ｙ間で縮める方向で面（前面）３０ａを引っ張ることができ、それに伴って起立していたサプライチャンバ３０は、前面側に傾ぐ。これによって、吹き出し領域３１からの清浄空気の吹き出し方向を俯角方向へと調整することが可能である。なお図中、半円で示されたエリアＳは、吹き出された清浄空気によって清浄される清浄範囲を示している。
【００３３】
逆に、吹き出し領域３１からの清浄空気の吹き出し方向を水平方向から仰角をつけて斜め上方へ吹き出させるには、図８に示したように、サプライチャンバ３０の面（背面）３０ｂ側に設けられた風向調整器具４５の下ベルト４２の自由端４２ａを下方に引っ張ればよい。そうすると、面（背面）３０ｂを下方に引っ張ることができ、それによって起立していたサプライチャンバ３０は、背面側に傾ぎ、その結果、面（前面）３０ａは仰角をさけて斜め上方に向けさせることができる。これによって、吹き出し領域３１からの清浄空気の吹き出し方向を仰角方向へと調整することが可能である。
【００３４】
実際に下ベルト４２の自由端４２ａの引き出す長さと吹き出し角度との関係を、実機で調べた結果を次に示す。サプライチャンバ３０には、大きさが、チャンバ幅１１０ｃｍ×厚さ２０ｃｍ×高さ１３０ｃｍのものを使用し、吹き出し領域３１の幅が１００ｃｍ、同高さが１０５ｃｍとしたものを用いた。そして風向調整器具４０を、サプライチャンバ３０における面（前面）３０ａの吹き出し領域３１下部に取り付け、面（背面）３０ｂには、風向調整器具４０と対向する位置に風向調整器具４５を取り付けた。そして各風向調整器具４０、４５は、上ベルト４１と下ベルト４２を２０ｃｍ離して垂直方向に取付けた。コキ４３には、ＹＫＫ社製プラスチックコキ「ＬＭ２０Ｍ」を使用した。このような設定の下、運転時、すなわちサプライチャンバ３０が膨らんだ状態で、各風向調整器具４０、４５の各下ベルト４２の自由端４２ａを１０ｃｍまで下方に引っ張ることが可能であり、それによって、吹出し角度を最大±２８°（俯角、仰角とも２８°）まで調整することが可能であった。
【００３５】
次に、実施の形態にかかる膜式自立サプライチャンバ装置のサプライチャンバ３０の厚み（シート材の厚み）と、下ベルト４２の自由端４２ａと、風向調整角度の関係を表１に示す。
【００３６】
【表１】
0005631171.tif 000002
【００３７】
この表１の結果によれば、たとえば吹出し角度を±３０°（俯角、仰角とも３０°）に設定するには、サプライチャンバ３０の厚みに対して、下ベルト４２の自由端４２ａの引張り長さが、約５４％となるように、各風向調整器具４０、４５を取り付ければよいことが判る。
【００３８】
前記実施の形態で採用した風向調整器具４０、４５は、サプライチャンバの前面、背面に取り付けられ、各面の上下方向に一端部が固定された上ベルト４１、下ベルト４２と、これら各ベルトの自由端を挿通させるコキ４３とによって構成されていたが、ベルトの長さが調整できるものであれば、コキ４３に代えて、ボタンや面ファスナなどを用いてもよい。
【００３９】
なお各風向調整器具４０、４５の各下ベルト４２の自由端４２ａを、同時に下方に引っ張ることで、サプライチャンバ３０全体の高さを低くすることができ、それに伴って吹き出し領域３１からの吹き出し高さを、通常の状態から低くする事も可能である。
【００４０】
また前記実施の形態においては、サプライチャンバ３０の膨らんだ時の形状は、直方体形状であったが、これに限らず、たとえば図９に示したように、面（背面）３０ｂは垂直で、面（前面）３０ａが、予め下方斜めに傾いだ状態の形状のものを採用してもよい。かかる形状のサプライチャンバ３０を使用すれば、風向調整器具４０の調整により、前記実施の形態よりもさらに俯角をつけて斜め下方に清浄空気を吹き出すことができる。
【００４１】
さらにまた図１０に示した例のように、サプライチャンバ３０の膨らんだときの形状は直方体のままとし、吹き出し領域３１をサプライチャンバ３０の上面部分に形成してもよい。かかる構成のサプライチャンバ３０を使用すれば、真上に清浄空気を吹き出すことが可能であり、また面（前面）３０ａ側に取り付けた風向調整器具４０、並びに面（背面）３０ｂ側に取り付けた風向調整器具（図示せず）によって、垂直方向を中心として高い仰角で、前面側及び背面側に、清浄空気の吹き出し方向を調整することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明は、膜式自立サプライチャンバを用いて清浄空気を供給する分野で有用である。
【符号の説明】
【００４３】
１０    筐体
１１    キャスター
１２    枠体
１３    接続部
１４    開口部
２０    蓋体
２１    ストッパー
３０    サプライチャンバ
３０ａ  面（前面）
３０ｂ  面（背面）
４０、４５    風向調整器具
４１    上ベルト
４２    下ベルト
４３    コキ
【図１】
0005631171.tif 000003
【図２】
0005631171.tif 000004
【図３】
0005631171.tif 000005
【図４】
0005631171.tif 000006
【図５】
0005631171.tif 000007
【図６】
0005631171.tif 000008
【図７】
0005631171.tif 000009
【図８】
0005631171.tif 000010
【図９】
0005631171.tif 000011
【図１０】
0005631171.tif 000012
【図１１】
0005631171.tif 000013