(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な第１及び第２の回転格子がそれぞれ形成された第１及び第２のトラックを有するディスクと、
前記第１及び第２のトラックに対向して配置され、前記第１の回転格子と第１の回折干渉光学系を構成する第１の固定格子及び前記第２の回転格子と第２の回折干渉光学系を構成する第２の固定格子をそれぞれ有し、該第１及び第２の回折干渉光学系から第１及び第２の検出信号をそれぞれ検出する第１及び第２の検出部とを備え、
前記第１及び第２の回転格子のうち、少なくとも一方は、前記回転軸から前記ディスクの径方向に延びる複数の径方向線をそれぞれ予め決められた湾曲度合いで周方向に向けて湾曲させた湾曲線に沿った形状の複数の湾曲スリットによって形成され、
前記第１及び第２の回転格子のスリット本数の差に基づいて前記ディスクの絶対値が求められるエンコーダ。
【請求項２】
請求項１記載のエンコーダにおいて、前記第１及び第２の回転格子のスリット本数の差は、１本であるエンコーダ。
【請求項３】
請求項１又は２記載のエンコーダにおいて、前記湾曲スリットは、前記回転軸を中心にして０度を超え３６０度未満の角度範囲内に形成されるエンコーダ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のエンコーダにおいて、前記第１及び第２の検出信号に基づいて、前記ディスクの１回転中の絶対位置を表す第１の位置データ及び該第１の位置データよりも高い分解能の第２の位置データを生成し、該第１及び第２の位置データに基づいて前記ディスクの絶対位置を前記第１の位置データよりも高い分解能で特定する位置データ生成部を更に備えるエンコーダ。
【請求項５】
請求項４記載のエンコーダにおいて、前記第１及び第２の回転格子は、それぞれ第１及び第２の湾曲スリットによって形成され、該第１及び第２の湾曲スリットの湾曲度合いは、該第１及び第２の湾曲スリットのピッチが実質的に等しくなるように、それぞれ設定されるエンコーダ。
【請求項６】
請求項５記載のエンコーダにおいて、前記第１の回転格子と前記第１の固定格子との間の第１のギャップ及び前記第２の回転格子と前記第２の固定格子との間の第２のギャップの大きさが実質的に等しいエンコーダ。
【請求項７】
請求項５又は６記載のエンコーダにおいて、前記第１の湾曲スリットは、前記第２の湾曲スリットの湾曲方向と逆の周方向に湾曲するエンコーダ。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれか１項に記載のエンコーダにおいて、前記第１及び第２の湾曲スリットは、それぞれ反射スリットであり、
前記第１及び第２の固定格子は、それぞれ前記ディスクの同一面側に配置されるエンコーダ。
【請求項９】
請求項８記載のエンコーダにおいて、前記ディスクは、最外周に、光学的な第３の回転格子が形成され該エンコーダの最大分解能を決定する第３のトラックを更に有し、
前記ディスクに、前記回転軸を中心として予め決められた角度間隔で径方向に延びる複数の径方向線が設定され、
前記第３の回転格子は、前記径方向線に沿って延びる放射スリットによって形成されるエンコーダ。
【請求項１０】
請求項９記載のエンコーダにおいて、前記放射スリットと前記第１及び第２の湾曲スリットのピッチが実質的に等しいエンコーダ。
【請求項１１】
請求項９又は１０記載のエンコーダにおいて、前記第１及び第２の固定格子を形成するスリットは、それぞれ前記第１及び第２の湾曲スリットが沿う湾曲線の接線と実質的に平行となるエンコーダ。
【請求項１２】
回転シャフトを回転させるモータ部と、
前記回転シャフトの絶対位置を測定するエンコーダとを備え、
前記エンコーダは、前記回転シャフトの回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な第１及び第２の回転格子がそれぞれ形成された第１及び第２のトラックを有するディスクと、
前記第１及び第２のトラックに対向して配置され、前記第１の回転格子と第１の回折干渉光学系を構成する第１の固定格子及び前記第２の回転格子と第２の回折干渉光学系を構成する第２の固定格子をそれぞれ有し、該第１及び第２の回折干渉光学系から第１及び第２の検出信号をそれぞれ検出する第１及び第２の検出部とを有し、
前記第１及び第２の回転格子のうち、少なくとも一方は、前記回転軸から前記ディスクの径方向に延びる複数の径方向線をそれぞれ予め決められた湾曲度合いで周方向に向けて湾曲させた湾曲線に沿った形状の複数の湾曲スリットによって形成され、
前記第１及び第２の回転格子のスリット本数の差に基づいて前記ディスクの絶対値が求められるサーボモータ。
【請求項１３】
回転シャフトを回転させるモータ部と、
前記回転シャフトの位置を測定するエンコーダと、
前記エンコーダが検出した位置に基づいて、前記モータ部の回転を制御する制御部と、を備え、
前記エンコーダは、前記回転シャフトの回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な第１及び第２の回転格子がそれぞれ形成された第１及び第２のトラックを有するディスクと、
前記第１及び第２のトラックに対向して配置され、前記第１の回転格子と第１の回折干渉光学系を構成する第１の固定格子及び前記第２の回転格子と第２の回折干渉光学系を構成する第２の固定格子をそれぞれ有し、該第１及び第２の回折干渉光学系から第１及び第２の検出信号をそれぞれ検出する第１及び第２の検出部とを有し、
前記第１及び第２の回転格子のうち、少なくとも一方は、前記回転軸から前記ディスクの径方向に延びる複数の径方向線をそれぞれ予め決められた湾曲度合いで周方向に向けて湾曲させた湾曲線に沿った形状の複数の湾曲スリットによって形成され、
前記第１及び第２の回転格子のスリット本数の差に基づいて前記ディスクの絶対値が求められるモータユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンコーダ、サーボモータ、及びモータユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、回折格子による光の回折を利用した光学式エンコーダが開示されている。
特許文献２には、３つのスリットを用い、Ｓ／Ｎ比（Ｓｉｇｎａｌ  ｔｏ  Ｎｏｉｓｅ  Ｒａｔｉｏ）を高めた光学式エンコーダが開示されている。
特許文献３には、簡易な構成でピッチ変動に起因する誤差を発生しないようにする光学式エンコーダが開示されている。このエンコーダは、螺旋状の格子部と、発光素子と、この発光素子から照射され、格子部を経由した光束を検出するための受光素子とを有している。このエンコーダは、受光素子の検出に基づいて格子部と受光素子との相対回転を検出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第５，５５９，６００号明細書
【特許文献２】特許第３５０９８３０号
【特許文献３】特開平６−３４７２９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、設計又は開発の自由度を高めることが可能な、エンコーダ、サーボモータ、及びモータユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的に沿う第１の発明に係るエンコーダは、回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な第１及び第２の回転格子がそれぞれ形成された第１及び第２のトラックを有するディスクと、
前記第１及び第２のトラックに対向して配置され、前記第１の回転格子と第１の回折干渉光学系を構成する第１の固定格子及び前記第２の回転格子と第２の回折干渉光学系を構成する第２の固定格子をそれぞれ有し、該第１及び第２の回折干渉光学系から第１及び第２の検出信号をそれぞれ検出する第１及び第２の検出部とを備え、
前記第１及び第２の回転格子のうち、少なくとも一方は、湾曲した形状の複数の湾曲スリットによって形成され、
前記第１及び第２の回転格子のスリット本数の差に基づいて前記ディスクの絶対値が求められる。【０００６】
第１の発明に係るエンコーダにおいて、前記第１及び第２の回転格子のスリット本数の差は、１本であることが好ましい。【０００７】
第１の発明に係るエンコーダにおいて、前記湾曲スリットは、前記回転軸から前記ディスクの径方向に延びる複数の径方向線をそれぞれ予め決められた湾曲度合いで周方向に向けて湾曲させた湾曲線に沿って形成されることが好ましい。【０００８】
第１の発明に係るエンコーダにおいて、前記湾曲スリットは、前記回転軸を中心にして０度を超え３６０度未満の角度範囲内に形成されることが好ましい。【０００９】
第１の発明に係るエンコーダにおいて、前記第１及び第２の検出信号に基づいて、前記ディスクの１回転中の絶対位置を表す第１の位置データ及び該第１の位置データよりも高い分解能の第２の位置データを生成し、該第１及び第２の位置データに基づいて前記ディスクの絶対位置を前記第１の位置データよりも高い分解能で特定する位置データ生成部を更に備えることができる。【００１０】
第１の発明に係るエンコーダにおいて、前記第１及び第２の回転格子は、それぞれ第１及び第２の湾曲スリットによって形成され、該第１及び第２の湾曲スリットの湾曲度合いは、該第１及び第２の湾曲スリットのピッチが実質的に等しくなるように、それぞれ設定されることが好ましい。【００１１】
第１の発明に係るエンコーダにおいて、前記第１の回転格子と前記第１の固定格子との間の第１のギャップ及び前記第２の回転格子と前記第２の固定格子との間の第２のギャップの大きさが実質的に等しいことが好ましい。【００１２】
第１の発明に係るエンコーダにおいて、前記第１の湾曲スリットは、前記第２の湾曲スリットの湾曲方向と逆の周方向に湾曲してもよい。【００１３】
第１の発明に係るエンコーダにおいて、前記第１及び第２の湾曲スリットは、それぞれ反射スリットであり、
前記第１及び第２の固定格子を、それぞれ前記ディスクの同一面側に配置することができる。【００１４】
第１の発明に係るエンコーダにおいて、前記ディスクは、最外周に、光学的な第３の回転格子が形成され該エンコーダの最大分解能を決定する第３のトラックを更に有し、
前記ディスクに、前記回転軸を中心として予め決められた角度間隔で径方向に延びる複数の径方向線が設定され、
前記第３の回転格子は、前記径方向線に沿って延びる放射スリットによって形成されることが好ましい。【００１５】
第１の発明に係るエンコーダにおいて、前記放射スリットと前記第１及び第２の湾曲スリットのピッチが実質的に等しいことが好ましい。【００１６】
第１の発明に係るエンコーダにおいて、前記第１及び第２の固定格子を形成するスリットは、それぞれ前記第１及び第２の湾曲スリットが沿う湾曲線の接線と実質的に平行となることが好ましい。【００１７】
前記目的に沿う第２の発明に係るサーボモータは、回転シャフトを回転させるモータ部と、
前記回転シャフトの絶対位置を測定するエンコーダとを備え、
前記エンコーダは、前記回転シャフトの回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な第１及び第２の回転格子がそれぞれ形成された第１及び第２のトラックを有するディスクと、
前記第１及び第２のトラックに対向して配置され、前記第１の回転格子と第１の回折干渉光学系を構成する第１の固定格子及び前記第２の回転格子と第２の回折干渉光学系を構成する第２の固定格子をそれぞれ有し、該第１及び第２の回折干渉光学系から第１及び第２の検出信号をそれぞれ検出する第１及び第２の検出部とを有し、
前記第１及び第２の回転格子のうち、少なくとも一方は、湾曲した形状の複数の湾曲スリットによって形成され、
前記第１及び第２の回転格子のスリット本数の差に基づいて前記ディスクの絶対値が求められる。【００１８】
前記目的に沿う第３の発明に係るモータユニットは、回転シャフトを回転させるモータ部と、
前記回転シャフトの位置を測定するエンコーダと、
前記エンコーダが検出した位置に基づいて、前記モータ部の回転を制御する制御部と、を備え、
前記エンコーダは、前記回転シャフトの回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な第１及び第２の回転格子がそれぞれ形成された第１及び第２のトラックを有するディスクと、
前記第１及び第２のトラックに対向して配置され、前記第１の回転格子と第１の回折干渉光学系を構成する第１の固定格子及び前記第２の回転格子と第２の回折干渉光学系を構成する第２の固定格子をそれぞれ有し、該第１及び第２の回折干渉光学系から第１及び第２の検出信号をそれぞれ検出する第１及び第２の検出部とを有し、
前記第１及び第２の回転格子のうち、少なくとも一方は、湾曲した形状の複数の湾曲スリットによって形成され、
前記第１及び第２の回転格子のスリット本数の差に基づいて前記ディスクの絶対値が求められる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係るエンコーダ、サーボモータ、及びモータユニットにおいては、エンコーダのディスクの設計又は開発の自由度を高めることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態に係るエンコーダを有するモータユニットの構成を示す説明図である。
【図２】同エンコーダの構成を示す説明図である。
【図３】同エンコーダが有するディスクを示す説明図である。
【図４】同エンコーダが有する光学検出機構の動作原理を示す動作原理図である。
【図５】同エンコーダが有するマスクとトラックの配置を示す配置図である。
【図６】同エンコーダが有する湾曲スリットを示す説明図である。
【図７Ａ】同エンコーダが有する位置データ生成部が生成する第１の位置データを示すグラフである。
【図７Ｂ】同エンコーダが有する位置データ生成部が生成する第１の三角波信号を示すグラフである。
【図７Ｃ】同エンコーダが有する位置データ生成部が生成する第２の位置データ（第２の三角波信号）を示すグラフである。
【図７Ｄ】同エンコーダが有する位置データ生成部が生成する第３の位置データ（第３の三角波信号）を示すグラフである。
【図８】同エンコーダの製造方法について説明するためのフロー図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係るエンコーダが有するディスクを示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能を有する構成要素は、原則として同一の符号で表し、これらの構成要素についての重複説明は、適宜省略する。
【００２２】
以下で説明する本発明の各実施形態では、回転型の光学式の絶対値エンコーダを有するモータユニットを例に挙げて説明する。つまり、各実施形態に係るエンコーダは、回転型のモータに適用され、モータの回転角度θを絶対位置ｘとして検出する。ここで説明する各実施形態に係るエンコーダは、例えば原動機やステアリング等のように一定の回転軸周りに回転する様々な回転体に対して適用可能である。
【００２３】
なお、本発明の各実施形態について以下の順序で説明する。
＜１．第１実施形態＞
（１−１．第１実施形態に係るモータユニット）
（１−２．第１実施形態に係るエンコーダ）
（１−２−１．ディスク１１０）
（トラックＴＡ〜ＴＣ）
（スリットＳＬＡ〜ＳＬＣの形状）
（１−２−２．検出部１３０Ａ〜１３０Ｃ）
（光学検出機構）
（１−２−３．湾曲スリットの構成）
（１のトラックＴ内の湾曲スリット）
（湾曲スリットと固定格子側のスリットの位置関係）
（複数のトラック間の関係における湾曲スリット）
（１−２−４．位置データ生成部）
（１−３．第１実施形態に係るモータユニットの動作）
（１−４．第１実施形態に係るエンコーダの製造方法）
（１−５．第１実施形態に係るエンコーダによる効果の例）
＜２．第２実施形態＞
【００２４】
＜１．第１実施形態＞
（１−１．第１実施形態に係るモータユニット）
まず、本発明の第１実施形態に係るモータユニット１の構成について説明する。
【００２５】
図１に示すように、本実施形態に係るモータユニット１は、サーボモータ１０と、制御部２０とを有する。このサーボモータ１０は、絶対値エンコーダ（以下、単に「エンコーダ」という場合がある）１００と、モータ部２００とを有する。
【００２６】
モータ部２００は、動力発生源の一例である。モータ部２００は、少なくとも一側に回転シャフト２０１を有する。モータ部２００は、この回転シャフト２０１を回転軸ＡＸ周りに回転させることにより、回転力を発生する。
【００２７】
なお、モータ部２００は、動力源として電気を使用する電動式モータに限られるものではない。モータ部２００は、例えば、油圧式モータ、エア式モータ、蒸気式モータ等の他の動力源を使用したモータであってもよい。ただし、説明の便宜上、以下ではモータ部２００が電動式モータである場合について説明する。
【００２８】
エンコーダ１００は、モータ部２００の回転シャフト２０１とは反対側の端部に配置され、この回転シャフト２０１に対応して回転する回転シャフト２０２（図２参照）に連結される。なお、この回転シャフト２０２は、回転シャフト２０１と一体に構成されている場合もある。このエンコーダ１００は、回転シャフト２０２の位置を検出することにより、回転シャフト２０１の絶対位置ｘ（回転絶対角度θ、モータ部２００の絶対位置ｘ等ともいう。）を検出し、その絶対位置ｘを表す位置データを出力する。
【００２９】
なお、エンコーダ１００の配置位置は特に限定されるものではない。例えば、エンコーダ１００は、回転シャフト２０１に直接連結されるように配置されてもよい。また、エンコーダ１００は、減速機や回転方向変換機などの他の機構を介して回転シャフト２０１等の回転体に連結されてもよい。
【００３０】
制御部２０は、エンコーダ１００から出力される位置データを取得する。制御部２０は、取得した位置データに基づいて、モータ部２００に印加する電流又は電圧等を制御することにより、モータ部２００の回転を制御する。この制御部２０は、例えばサーボアンプである。更に、制御部２０は、例えばプログラマブルロジックコントローラのような上位制御装置（図示せず）から上位制御信号を取得して、この上位制御信号に含まれた位置指令又は速度指令等に従うように、モータ部２００の回転を制御することも可能である。なお、モータ部２００が、油圧式、エア式、蒸気式などの他の動力源を使用する場合には、制御部２０は、それらの動力源の供給を制御することにより、モータ部２００の回転を制御することが可能である。
【００３１】
（１−２．第１実施形態に係るエンコーダ）
次に、図２及び図３を参照しつつ、本実施形態に係るエンコーダ１００の構成について説明する。
【００３２】
図２に示すように、本実施形態に係るエンコーダ１００は、回転シャフト１０１と、ディスク１１０と、検出部１３０Ａ〜１３０Ｃ（それぞれ、第１〜第３の検出部の一例）と、位置データ生成部１４０とを有する。
【００３３】
（１−２−１．ディスク１１０）
ディスク１１０は、図３に示すように円板状に形成される。ディスク１１０は、ディスク中心Ｏが回転軸ＡＸとほぼ一致するように配置される。ディスク１１０は、この回転軸ＡＸ周りに回転可能な回転シャフト１０１を介して、モータ部２００の回転シャフト２０２の一端に連結される。従って、ディスク１１０は、モータ部２００の回転に応じて回転軸ＡＸ周りに回転する。
【００３４】
図３に示すように、ディスク１１０は、３本のトラックＴＡ〜ＴＣ（それぞれ第１〜第３のトラックの一例）を有する。なお、このトラックの本数は、３本に限られるものではなく、エンコーダ１００に要求される検出精度や信号処理に応じて適宜複数本に設定される。
【００３５】
（トラックＴＡ〜ＴＣ）
トラックＴＡ〜ＴＣは、それぞれディスク１１０のディスク中心Ｏを中心とするリング状である。トラックＴＡ〜ＴＣの幅は、それぞれ予め決められた幅ｗＡ〜ｗＣで設定される。本実施形態では、各トラックＴＡ〜ＴＣの幅ｗＡ〜ｗＣは同一の幅ｗに設定される（ｗ＝ｗＡ＝ｗＢ＝ｗＣ）。ただし、これらトラック幅ｗＡ〜ｗＣは、異なっていても良い。
【００３６】
そして、各トラックＴＡ〜ＴＣは、それぞれ幅ｗの中心における径方向の位置（トラック半径ｒＡ〜ｒＣ）が異なるように配置される。つまり、トラックＴＡ〜ＴCは、ディス
ク中心Ｏを中心とした同心円状に形成され、ディスク中心Ｏから外周に向けてトラックＴＡ，ＴＢ，ＴＣの順で配置される（ｒＡ＜ｒＢ＜ｒＣ）。
【００３７】
図３に示すように、各トラックＴＡ〜ＴＣのそれぞれには、回転する光学回折格子である回転格子ＬＡ〜ＬＣ（それぞれ第１〜第３の回転格子の一例）が形成される。
【００３８】
回転格子ＬＡ〜ＬＣのそれぞれには、光学的な複数のスリットＳＬＡ〜ＳＬＣが形成されている。これら回転格子ＬＡ〜ＬＣは、それぞれ独立した個別の第１〜第３の回折干渉光学系の一部を構成する。
【００３９】
スリットＳＬＡ〜ＳＬＣは、それぞれは、光を反射する反射スリットである。スリットＳＬＡ〜ＳＬＣ以外の部位は、光を反射しない。
【００４０】
本実施形態のようにディスク１１０に反射スリットが使用される場合には、反射型の回折干渉光学系が形成される。従って、ディスク１１０に透過スリットが使用される場合に比べて、ディスク１１０と後述するマスク１２０との間のギャップｇの変動によるノイズや検出精度への影響が低減される。ただし、透過スリットを使用して回折干渉光学系を構成することは可能である。
【００４１】
各トラックＴＡ〜ＴＣは、トラック半径ｒＡ〜ｒＣが大きいほど、スリットＳＬＡ〜ＳＬＣの本数ｎＡ〜ｎＣが多くなるように形成されることが望ましい。つまり、トラックＴＡ〜ＴＣそれぞれのスリット本数は、トラック半径が「ｒＡ＜ｒＢ＜ｒＣ」であるため、「ｎＡ＜ｎＢ＜ｎＣ」となるように設定される。各トラックＴＡ〜ＴＣからは、それぞれスリット本数ｎＡ〜ｎＣに応じた繰り返し数の周期信号が得られる。この周期信号におけるディスク１１０の１回転（３６０°）あたりの繰り返し数を、それぞれ周期数ｍＡ〜ｍＣともいう。つまり、周期数ｍＡ〜ｍＣそれぞれは、各スリット本数ｎＡ〜ｎＣに応じた数となる。従って、各トラックＴＡ〜ＴＣのスリット本数ｎＡ〜ｎＣは、要求される精度の絶対位置ｘが検出可能なように、必要とされる分解能に応じた数に設定される。ただし、スリット本数ｎＡは、スリット本数ｎＢよりも１本だけ少ない。
【００４２】
スリットＳＬＡ〜ＳＬＣのピッチｐＬＡ〜ｐＬＣは、それぞれほぼ同じピッチｐに設定される（ｐ＝ｐＬＡ＝ｐＬＢ＝ｐＬＣ）。ここで、スリットのピッチｐＬＡ〜ｐＬＣは、トラックの幅ｗＡ〜ｗＣの中心部におけるスリットの間隔（ピッチ）である。このように複数のトラックＴＡ〜ＴＣの各ピッチｐＬＡ〜ｐＬＣをほぼ等しく設定することにより、その複数のトラックＴＡ〜ＴＣそれぞれの回折干渉光学系が共通化される。その結果、製造（設計又は開発の過程も含む）を容易にすることが可能である。
【００４３】
（スリットＳＬＡ〜ＳＬＣの形状）
ここで、スリットＳＬＡ〜ＳＬＣの形状について説明する。
【００４４】
スリットＳＬＡ（第１の湾曲スリットの一例）及びスリットＳＬＢ（第２の湾曲スリットの一例）は、予め決められた湾曲度合いで湾曲した「湾曲スリット」で形成される。この湾曲スリットについては、詳しく後述する。
【００４５】
スリットＳＬＣは、ディスク中心Ｏ（回転軸ＡＸ）を中心として予め決められた角度間隔で径方向に延びて設定される複数の径方向線（図６の径方向線ＬＩＮＥ１）に沿って形成される。このような形状のスリットを「放射スリット」ともいう。本実施形態においては、スリットＳＬＣの本数ｎＣがもっとも多く、トラックＴＣによって、エンコーダ１００の最大分解能が決定される。
ここで、同一本数のスリットを同一ピッチ（同一分解能）で形成する場合、放射スリットとするとトラック半径が小さく抑えられる。従って、スリットＳＬＣが放射スリットにより形成されることにより、湾曲スリットにより形成される場合よりもディスク径が小さく抑えられる。なお、トラックＴＣのスリットＳＬＣが湾曲スリットにより形成されることが否定されるものではなく、全トラックＴのスリットＳＬが湾曲スリットにより形成されてもよい。また、複数のトラックＴＡ〜ＴＣの少なくともいずれか１以上が湾曲スリットで形成されてもよい。
【００４６】
（１−２−２．検出部１３０Ａ〜１３０Ｃ）
次に、図２〜図５を参照しつつ、検出部１３０Ａ〜１３０Ｃについて説明しつつ、これらによる光学検出機構についてより具体的に説明する。
【００４７】
（光学検出機構）
図２に示すように、検出部１３０Ａは、トラックＴＡに対向して配置される。検出部１３０Ａは、トラックＴＡと共に第１の光学検出機構を構成する。検出部１３０Ｂは、トラックＴＢに対向して配置される。検出部１３０Ｂは、トラックＴＢと共に第２の光学検出機構を構成する。検出部１３０Ｃは、トラックＴＣに対向して配置される。検出部１３０Ｃは、トラックＴＣと共に第３の光学検出機構を構成する。
【００４８】
検出部１３０Ａ〜１３０Ｃによる各光学検出機構は、前述の通り、それぞれ独立した回折干渉光学系を有する点などで共通する。従って、ここでは、一の光学検出機構を例に説明し、光学検出機構毎に異なる点については、個別に追記することとする。
【００４９】
本明細書においては、検出部１３０Ａ〜１３０Ｃ、トラックＴＡ〜ＴＣ及び回転格子ＬＡ〜ＬＣをそれぞれ単に「検出部１３０」、「トラックＴ」及び「回転格子Ｌ」ともいう。また、回転格子Ｌに含まれるスリット（スリットＳＬＡ〜ＳＬＣ）を単に「スリットＳＬ」ともいう。また、そのスリットＳＬのピッチ（ピッチｐＬＡ〜ｐＬＣ）を単に「ピッチｐＬ」ともいう。また、スリット本数（スリット本数ｎＡ〜ｎＣ）を単に「スリット本数ｎ」ともいう。更に、この光学検出機構から得られる周期信号の周期数（周期数ｍＡ〜ｍＣ）を単に「周期数ｍ」ともいう。
【００５０】
図４に示すように、検出部１３０は、マスク１２０と、発光部１３１と、受光部１３２とを有する。なお、光学検出機構の動作原理について説明するための動作原理図であるため、光学検出機構を構成する各要素の配置関係は現実のものとは相違する。
【００５１】
マスク１２０は、ギャップｇを間にあけてディスク１１０に対向して配置される。マスク１２０は、エンコーダ１００を構成する枠体に固定される。即ち、ディスク１１０は、マスク１２０に対して相対的に回転する。また、マスク１２０は、光を遮蔽する材料で形成される。マスク１２０は、光を透過する複数のスリットＳＧ１，ＳＧ２をそれぞれ有する２の光学的な固定格子Ｇ１，Ｇ２（固定する回折格子）を有する。つまり、マスク１２０は、固定格子Ｇ１，Ｇ２のスリットＳＧ１，ＳＧ２において光を透過する。この固定格子Ｇ１，Ｇ２は、回転格子Ｌと共に３格子の回折干渉光学系を構成する。以下、固定格子Ｇ１を１次固定格子、固定格子Ｇ２を２次固定格子と呼ぶ。
【００５２】
１次固定格子Ｇ１と２次固定格子Ｇ２とは、同一のマスク１２０に形成される。ただし、１次固定格子Ｇ１と２次固定格子Ｇ２とは、別体のマスク１２０に形成されてもよい。別体のマスク１２０に形成される場合、ディスク１１０の同一面側において、１次固定格子Ｇ１と回転格子Ｌとの間の距離（ギャップｇ）と回転格子Ｌと２次固定格子Ｇ２との間の距離（ギャップｇ）とが等しくなるように、１次固定格子Ｇ１及び２次固定格子Ｇ２が配置されることが望ましい。
このように、回転格子Ｌからの距離が等しい２の固定格子Ｇ１，Ｇ２を使用し、かつ、回転格子ＬのスリットＳＬに反射型スリットを使用すると、ディスク１１０と検出部１３０との位置関係が変動しても、両固定格子Ｇ１，Ｇ２それぞれのギャップｇが一定になる。よって、ギャップｇの変動が回折干渉光学系に与える影響を低減することができる。
【００５３】
ここで、各光学検出機構の検出部１３０Ａ〜１３０Ｃそれぞれのギャップｇ（それぞれ第１〜第３のギャップの一例）の関係について説明する。
【００５４】
本実施形態では、各トラックＴＡ〜ＴＣのスリットＳＬＡ〜ＳＬＣのピッチｐＬＡ〜ｐＬＣが相互にほぼ等しくピッチｐＬに設定されるので、検出部１３０Ａ〜１３０Ｃとディスク１１０との間の各ギャップｇは、図２に示すように相互にほぼ等しく設定され得る。
【００５５】
このように検出部１３０Ａ〜１３０Ｃとディスク１１０との間の各ギャップｇがほぼ等しく設定される場合、検出部１３０Ａ〜１３０Ｃそれぞれに対してギャップｇに応じた回折干渉光学系を共通で設計又は開発することができる。
また、図４に示す検出部１３０Ａ〜１３０Ｃそれぞれのマスク１２０（第１〜第３のマスク）を一体として構成することにより、エンコーダ１００を製造（組み立て）する際のギャップｇの調整を各検出部１３０Ａ〜１３０Ｃに対し、一括して行うことができる。よって、エンコーダ１００の製造が容易となる。
【００５６】
なお、このような作用効果は、回転格子ＬＡ〜ＬＣのいずれか２つとそれに対応する固定格子Ｇ１，Ｇ２との間のギャップｇを揃えるだけでも、同様に奏される。ただし、ギャップｇが揃えられる光学検出機構は、トラックＴのピッチｐＬが相等しく設定された光学検出機構であることが望ましい。
【００５７】
次に、発光部１３１及び受光部１３２について説明しつつ、固定格子Ｇ１，Ｇ２それぞれについて説明する。
【００５８】
図４に示すように、発光部１３１は、光源を有して、マスク１２０に形成された１次固定格子Ｇ１に向けて光を照射する。発光部１３１が照射する光の波長や強度は特に限定されるものではない。ただし、この光の波長や強度は回折干渉光学系の特性や必要な位置分解能等に応じて適宜決定される。また、この照射光は、本実施形態では、拡散光が使用される。拡散光を使用することで、後述する１次固定格子Ｇ１の各スリットＳＧ１は実質的に線光源とみなされる。その結果、回折干渉効果が高まる。なお、このようにスリットＳＧ１を実質的に線光源とみなすことができれば、照射光として、平行光やレーザ光、集束光などを使用することも可能である。発光部１３１は、使用する光（例えば、平行光、レーザ光、集束光、及び拡散光）の特性等に応じて、拡散レンズなどの光学素子を有してもよい。
【００５９】
１次固定格子Ｇ１は、発光部１３１が照射する光が入射する位置に形成される。この１次固定格子Ｇ１は、透過型の複数のスリットＳＧ１を有している。これら複数のスリットＳＧ１は、入射した光を回折させる。その結果、各スリットＳＧ１を透過してそれぞれディスク１１０に照射される光は、各スリットＳＧ１を実質的な線光源とする光に変換される。
【００６０】
１次固定格子Ｇ１に形成された複数のスリットＳＧ１間のピッチｐＧ１は、回転格子Ｌの複数のスリットＳＬ間のピッチｐＬに対して「ｐＧ１＝ｉ×ｐＬ（ｉ＝１，２，３…）」の関係となるように形成される。ここで、特に「ｉ＝１，２」の場合に、得られる周期信号の強度が大きくなる場合が多い。更に言えば、「ｉ＝２」の場合に、周期信号の強度が「ｉ＝１」よりも大きくなる場合が多い。一方、周期信号の周期数ｍは、スリット本数ｎだけでなく、このｉによっても変化する。具体的には、周期数ｍは、少なくとも「ｉ＝１，２」の場合、「ｍ＝２×ｎ／ｉ」となる。以下では、説明の便宜上、「ｉ＝２」つまり「ｐＧ１＝２ｐＬ」であり「ｍ＝ｎ」である場合について説明する。
【００６１】
なお、１次固定格子Ｇ１を透過した光は、１次固定格子Ｇ１に入射する際の入射角に応じて、１次固定格子Ｇ１の幅方向に広がる。従って、回転格子ＬのスリットＳＬの幅は、この広がり角を考慮して、信号強度を向上させるために、１次固定格子Ｇ１のスリットＳＧ１の幅よりも広く設定されることが望ましい。その際、回転格子ＬのスリットＳＬの幅を、更に、１次固定格子Ｇ１を透過した光が到達すると予想される幅よりも広く設定することにより、この透過光のうち、スリットＳＬで反射される光量が増加するので、像の大きさの変動が抑えられる。あるいは、回転格子ＬのスリットＳＬの幅を、更に、１次固定格子Ｇ１を透過した光が到達すると予想される幅よりも狭く設定することにより、この透過光がスリットＳＬの透過光の光量の多いピーク位置で反射され、スリットＳＬの位置が多少ずれたとしてもスリットＳＬにて反射された光の像の大きさの変動が抑えられる。即ち、１次固定格子Ｇ１を透過した光が到達すると予想される幅よりも広く設定するか又は狭く設定することにより、１次固定格子Ｇ１と回転格子Ｌとの取り付け誤差に対する信号の安定性を、更に向上させることが可能である。
【００６２】
これと同様に、回転格子Ｌで反射した光は、回転格子Ｌに入射する際の入射角に応じて、回転格子Ｌの幅方向に広がる。従って、後述する２次固定格子Ｇ２のスリットＳＧ２の幅も、この広がり角を考慮して、信号強度を向上させるために、回転格子ＬのスリットＳＬの幅よりも広く設定されることが望ましい。その際、２次固定格子Ｇ２のスリットＳＧ２の幅を、更に、回転格子Ｌで反射した光が到達すると予想される幅よりも広く設定するか又は狭く設定することにより、２次固定格子Ｇ２と回転格子Ｌとの取り付け誤差に対する信号の安定性を、更に向上させることが可能であることも同様である。
ただし、１次固定格子Ｇ１、２次固定格子Ｇ２及び回転格子Ｌそれぞれのスリットの幅の関係は、十分な信号強度が確保でき、また、取り付け誤差に対する信号の安定性も十分に確保できる場合には、特に限定されるものではない。
【００６３】
１次固定格子Ｇ１が有する複数のスリットＳＧ１は、回転格子Ｌ及び２次固定格子Ｇ２と共に形成する回折干渉光学系の回折干渉効果を高めてノイズを低減するために、対向した位置におけるスリットＳＬと略平行になるように形成されることが望ましい。
【００６４】
つまり、図３に示すように、回転格子ＬＡ，ＬＢのスリットＳＬＡ，ＳＬＢが湾曲スリットであるため、検出部１３０Ａ，１３０Ｂの１次固定格子Ｇ１の複数のスリットＳＧ１，２次固定格子Ｇ２の複数のスリットＳＧ２も、湾曲スリットで形成されることが望ましい。一方、回転格子ＬＣのスリットＳＬＣが放射スリットであるため、検出部１３０Ｃの固定格子Ｇ１，Ｇ２の複数のスリットＳＧ１，ＳＧ２も、放射スリットで形成されることが望ましい。
【００６５】
この場合において、放射スリットについて特許文献１にも記載されているように、放射スリットのピッチｐＬはトラックＴの全周長に比べて十分に短いため、放射スリットを光学的には平行スリットとみなすことができる。従って、放射スリットに対応した検出部１３０Ｃの１次固定格子Ｇ１の複数のスリットＳＧ１を、相互に平行に隣接する「平行スリット」にすることが可能である。この平行スリット（放射スリットに対応する複数のスリットＳＧ１）は、放射スリットを平行スリットとみなした場合のその平行スリットと平行になるように配置されることが望ましい。同様に、湾曲スリットに対応した検出部１３０Ａ，１３０Ｂの１次固定格子Ｇ１の複数のスリットＳＧ１を、図５に示すように、平行スリットとすることも可能である。この平行スリット（湾曲スリットに対応する複数のスリットＳＧ１）は、図５に示すように、各湾曲スリットが延びる方向と一致するＬＩＮＥ２（後述）の接線ＬＩＮＥ３とほぼ平行になるように配置されることが望ましい。
このように放射スリット及び湾曲スリットに対応する両１次固定格子Ｇ１を、平行スリットとすることで、共通化することが可能となる。その結果、製造等を更に容易にすることが可能となるだけでなく、製造コストを低減することも可能である。
【００６６】
図４に示すように、１次固定格子Ｇ１で回折された光は、１次固定格子Ｇ１に対応する回転格子Ｌに照射される。回転格子Ｌに照射された光は、回転格子ＬのスリットＳＬで反射される。この際、反射される光は、回転格子Ｌで更に回折される。そして、この回転格子Ｌで回折された光は、２次固定格子Ｇ２に照射される。
【００６７】
２次固定格子Ｇ２は、回転格子Ｌで回折された光が入射する位置に形成される。この２次固定格子Ｇ２に形成されたスリットＳＧ２のピッチｐＧ２は、１次固定格子Ｇ１に形成されたスリットＳＧ１のピッチｐＧ１と同じに設定される。つまり、本実施形態では「ｐＧ１＝ｐＧ２＝２×ｐＬ」となる。更に、このスリットＳＧ２の形状や、回転格子ＬＡ，ＬＢのスリットＳＬＡ，ＳＬＢとの位置関係等も、上記１次固定格子Ｇ１のスリットＳＧ１と同様である。よって、これらの詳しい説明は省略する。
【００６８】
なお、この２次固定格子Ｇ２は、１次固定格子Ｇ１と異なり、２以上の領域（例えば図５に示す領域Ｇ２Ａ，Ｇ２Ｂ）に別れている。各領域のスリットＳＧ２のピッチｐＧ２は、その領域内では等しく形成される。領域の境界を挟んで互いに隣り合うスリットＳＧ２の間のピッチ（例えば図５に示す境界部ピッチｐｒ）は、ピッチｐＧ２より「ｐＧ２／４」だけ長く（又は短く）設定される。なお、説明の便宜上、以下では、図５に示すように２次固定格子Ｇ２が２の領域Ｇ２Ａ，Ｇ２Ｂに分割された場合について説明する。
【００６９】
２次固定格子Ｇ２に照射される光は、回転格子Ｌの複数のスリットＳＬそれぞれで回折された光が干渉した干渉縞状となる。干渉縞の明部の位置は、ディスク１１０が回転して１次固定格子Ｇ１と回転格子Ｌとの間の位置関係の変化に応じて、移動することになる。その結果、境界部ピッチｐｒがピッチｐＧ２より「ｐＧ２／４」だけ長く（又は短く）設定されているので、各領域Ｇ２Ａ，Ｇ２ＢそれぞれのスリットＳＧ２を通過する光の強度は、電気角で９０°ずれて正弦波状に増減する。
【００７０】
受光部１３２は、２次固定格子Ｇ２のスリットＳＧ２を透過した光を受光するように配置される。受光部１３２は、例えばフォトダイオードのような受光素子を有している。この受光素子により、受光した光の強度が電気信号に変換される。この場合において受光部１３２は、各領域Ｇ２Ａ，Ｇ２Ｂ毎に別々の電気信号を生成可能なように、例えば２の受光面を有する。
【００７１】
受光部１３２が生成する電気信号は、ディスク１１０がピッチｐに応じた分だけ回転する度に繰り返される略正弦波状の周期的な電気信号（「周期信号」ともいう。）となる。各領域Ｇ２Ａ，Ｇ２Ｂそれぞれに対応した周期信号は、領域Ｇ２Ａ及び領域Ｇ２Ｂに形成されたスリットＳＧ２をそれぞれ通過する光の強度と同様に、位相が９０°ずれた２の周期信号となる。
【００７２】
この２の周期信号を、それぞれ「Ａ相周期信号」、「Ｂ相周期信号」ともいう。そして、第１の光学検出機構、第２の光学検出機構、第３の光学検出機構それぞれで得られる２の周期信号をまとめて、ここでは「第１の検出信号」、「第２の検出信号」、「第３の検出信号」ともいう。
【００７３】
このように光学検出機構では、３格子の回折干渉光学系を構成する。よって、ギャップｇの大小に関わらずピッチｐＬ，ｐＧ１，ｐＧ２等との関係で干渉が生じれば、所望の周期信号を検出することができる。
【００７４】
ところで、幾何光学型エンコーダでは、単にスリットＳＬを透過した光を受光するため、ギャップｇを大きくすればするほど、回折成分や拡散成分の光の影響により、ノイズが増加する。そのため、ギャップｇは小さく設定される必要がある。これに対して、本実施形態に記載のような回折干渉光学系を使用したエンコーダ１００では、固定部材と回転部材との間のギャップｇを大きくすることができる。その結果、設計又は開発の自由度を高めることができると共に、衝撃等により固定部材と回転部材とが干渉する不具合が発生する可能性を低減することができる。
【００７５】
なお、本実施形態では、前述の通り、３格子（回転格子Ｌ及び固定格子Ｇ１，Ｇ２）の回折干渉光学系を例に説明している。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、２次固定格子Ｇ２の代わりにその２次固定格子Ｇ２のスリットＳＧ２それぞれの位置に受光面を有する帯状の受光素子を使用することで、擬似的に３格子の回折干渉光学系を形成することも可能である。更に言えば、１次固定格子Ｇ１の代わりにその１次固定格子Ｇ１のスリットＳＧ１それぞれの位置で発光する帯状又は線状の発光素子等を使用することで、擬似的に３格子の回折干渉光学系を形成することも可能である。その他、同様な回折干渉光学系を構成することができれば、格子の数は特に限定されない。
【００７６】
（１−２−３．湾曲スリットの構成）
次に、図５及び図６を参照しつつ、上記回転格子ＬＡ，ＬＢに使用される湾曲スリットについて、詳しく説明する。
【００７７】
（１のトラックＴ内の湾曲スリット）
まず、図６を参照しつつ、どちらか一方の湾曲スリット、つまり、トラックＴＡの回転格子ＬＡに形成されたスリットＳＬＡ、又はトラックＴＢの回転格子ＬＢに形成されたスリットＳＬＢを例に挙げて説明する。スリットＳＬＡとスリットＳＬＢとで異なる点については、個別に説明することとする。
【００７８】
回転格子ＬのスリットＳＬは、トラックＴに配置される。前述の通り、少なくとも１以上の回転格子ＬのスリットＳＬは、放射スリットと異なる湾曲した形状の湾曲スリットとして形成される。スリットＳＬは、回転軸ＡＸを中心として０度を超え３６０度未満の角度範囲内に形成される。
【００７９】
具体的には、湾曲スリットとして形成されるスリットＳＬ（ここでは単に「スリットＳＬ」という。）は、図６に示すように、ＬＩＮＥ２に沿って形成される。このＬＩＮＥ２は、ディスク中心Ｏ（回転軸ＡＸ）を中心とした径方向線ＬＩＮＥ１それぞれを、予め決められたの湾曲度合いＣで、周方向に向けて湾曲させた湾曲線である。
【００８０】
このような湾曲線ＬＩＮＥ２に沿ったスリットＳＬについては様々な形成例が考えられる。このスリットＳＬの一形成例について説明すると以下の通りである。
【００８１】
各スリットＳＬに対応する径方向線ＬＩＮＥ１は、そのトラックＴ中に配置されるべきスリット本数ｎで１回転の２π（３６０°）を予め決められた角度で分割された角度毎に、スリット本数ｎ分設定される。この各径方向線ＬＩＮＥ１が同一の周方向に同一の湾曲度合いＣで湾曲させることにより、各スリットＳＬの湾曲線ＬＩＮＥ２が設定される。このように設定された各湾曲線ＬＩＮＥ２に沿って、各スリットＳＬが予め決められた幅で形成されることになる。
【００８２】
更に具体的に式を使用してスリットＳＬの一形成例について説明する。
ディスク中心Ｏを原点、原点からの距離をｄ、原点を通る基準線からの角度をθ、トラックＴの内径及び外径をそれぞれｒＩＮ，ｒＯＵＴとする。そして、トラックＴの回転格子Ｌが含むスリット本数をｎとし、各スリットをｊ（ｊ＝０，１，２…，ｎ−１）で識別するものとする。すると、径方向線ＬＩＮＥ１は、極座標にて下記式１により表される。
ＬＩＮＥ１＝（ｄ，ｊ×２π／ｎ）      …（式１）
ただしｒＩＮ≦ｄ≦ｒＯＵＴ
【００８３】
そして、湾曲度合いをＣとし、かつ、回転格子Ｌの複数のスリットＳＬのピッチが所望のｐＬとなる半径（トラックＴの幅方向中心における半径）をｒ０とした場合、湾曲線ＬＩＮＥ２は、極座標にて下記式２により表される。スリットＳＬは、この湾曲線ＬＩＮＥ２に沿ってトラックＴの予め決められたの幅ｗ（＝ｒＯＵＴ−ｒＩＮ）内で形成される。
ＬＩＮＥ２＝（ｒ０（1−Ｃθ），θ＋ｊ×２π／ｎ）      …（式２）
ただしｒＩＮ≦ｒ０（1−Cθ）≦ｒＯＵＴ
【００８４】
この湾曲スリットの形成例の場合、湾曲度合いＣは、下記式３で表される。
Ｃ＝ｔａｎ［ｓｉｎ−１｛ｐＬ×ｎ／（２πｒ０）｝］      …（式３）
なお、トラックＴは、２次固定格子Ｇ２を透過した後に受光素子で受光した回転格子Ｌからの反射光が、十分な光量となるだけの幅ｗ（＝ｒＯＵＴ−ｒＩＮ）で形成されることが望ましい。本実施形態の回折干渉光学系では、トラックＴの幅ｗを例えば回転格子ＬのピッチｐＬの２０倍〜５０倍程度に設定すれば、十分な光量が得られる。従って、式３から判るように、湾曲スリットであるスリットＳＬは、ディスク中心Ｏを中心として１８０°以内の範囲に形成される。即ち、湾曲したスリットＳＬの１本１本は、トラックＴを１回転を超えて周回しないように形成される。このように湾曲スリットを形成することにより、ディスク１１０の強度を高めたり、スリットＳＬの形成を容易にしたりすることが可能である。
【００８５】
一般的に、本実施形態の回転格子Ｌが構成するような回折干渉光学系は、回転格子Ｌに含まれる複数のスリットＳＬのピッチがスリットＳＬの長さ方向の位置によらずに均一であるほど、得られる正弦波の周期信号のノイズが低減され、位置検出精度を向上させることができる。換言すれば、トラックＴの幅ｗの中心からスリットＳＬに沿ってトラック内形又は外形（内周又は外周）に向かって移動した場合における、その移動量に対するピッチｐＬの変化量が少ないほど、ノイズが低く抑えられ、検出精度が向上する。
【００８６】
この点、本実施形態のような湾曲スリットによれば、スリットＳＬが湾曲して形成されることにより、スリットＳＬの形成方向（湾曲線ＬＩＮＥ２が延びる方向）におけるスリットＳＬのピッチの変化量（ここでは「ピッチの変化率」ともいう。）を低減することができる。結果として、本実施形態によるエンコーダ１００によれば、各光学検出機構から得られる周期信号の検出精度を向上させて、位置検出精度を向上させることが可能である。
【００８７】
より具体的には、例えば、放射スリットであれば、径方向線ＬＩＮＥ１上にスリットＳＬが形成され、スリットＳＬの形成方向（径方向線ＬＩＮＥ１が延びる方向）における長さが、ほぼトラックＴの幅ｗと等しくなる。そのため、スリットＳＬの形成方向におけるスリットＳＬのピッチの変化率は比較的大きい。この比較的大きなピッチの変化率は、周期信号の検出精度の低下を招く。このような検出精度の低下は、スリット本数ｎが少ないほど大きい。これに対して、湾曲スリットであれば、スリットＳＬの形成方向（湾曲線ＬＩＮＥ２）における長さを、放射スリットに比べて湾曲度合いＣに対応した長さ分引き伸ばすことができる。その結果、スリットＳＬのピッチの変化率を比較的小さくすることができ、周期信号の検出精度を向上させることができる。
【００８８】
従って、本実施形態に係るエンコーダ１００は、このような湾曲スリットを使用することにより、周期信号の周期数ｍが異なる複数トラックＴＡ〜ＴＣを、設計開発等の自由度を低下させず、かつ、周期信号の検出精度を低下させることなく、設定することが可能である。よって、本実施形態によれば、湾曲スリットが使用されていないエンコーダに比べ、高精度かつ小型なエンコーダ１００を容易に形成することが可能である。
【００８９】
更に、一般に回折干渉光学系において、回転格子Ｌと固定格子Ｇ１，Ｇ２との間の最適ギャップｇは、発光部１３１が発する光の波長λと、回転格子Ｌの複数のスリットＳＬのピッチｐＬとに依存する。例えば、３格子の回折干渉光学系において、ｐＧ１＝ｐＬ＝ｐＧ２の場合には、ギャップｇは、下記式４を満たすときに最適になる。また、ｐＧ１＝２×ｐＬ＝ｐＧ２の場合には、ギャップｇは、下記式５を満たすときに最適になる。なお、ｋは正の整数である。
ｇ＝（２×ｋ−１）×ｐＬ２／４λ    …（式４）
ｇ＝（２×ｋ）×ｐＬ２／λ          …（式５）
【００９０】
ここで、本実施形態のような湾曲スリットによれば、複数のスリットＳＬのピッチｐＬは、スリット本数ｎと、トラック半径ｒ（＝ｒ０）と、湾曲度合いＣとの関数ｆを用いて、例えば式６のように表される。
ｐＬ＝ｆ（ｎ，ｒ，Ｃ）
＝（２πｒ／ｎ）×ｓｉｎ（ｔａｎ−１Ｃ）        …（式６）
【００９１】
従って、スリット本数ｎ（つまり周期信号の周期に対応）やトラック半径ｒを変更せずに、湾曲度合いＣを適宜設定するだけで、回折干渉光学系を構成するような最適な値にピッチｐを設定することが可能となる。その結果、トラック本数ｎやトラック半径ｒ等を自由に設定することが可能となり、小型化が容易で設計又は開発等も容易になる。
【００９２】
ところで、本実施形態と異なり、特許文献３に記載されたようなスリットＳＬがトラックＴ内を１回転以上周回して形成される場合、このようなスリットを「多重螺旋スリット」ともいう。このような多重螺旋スリットでは、半径方向に積層されるスリットＳＬの数が多くなり、トラックＴの幅ｗが大きくなって小型化が難しくなる。従って、設計・開発の自由度が減り、ひいては製造自体が難しくなる。これに対して、本実施形態に係るスリットＳＬは、多重螺旋スリットではなく、周回量が１回転未満の湾曲スリットで形成される。その結果、前述の通り、設計・開発の自由度を高めて、製造や小型化を容易にすることができる。より高い信号精度を得る観点から、湾曲スリットの周回量は、１／２回転以下が好ましく、１／４回転以下がより好ましい。
【００９３】
なお、ここで説明した湾曲スリット形成例や湾曲線ＬＩＮＥ２の式等は、あくまで一例である。上記のように周方向に湾曲した湾曲線ＬＩＮＥ２に沿ったスリットＳＬが形成されれば、その形成方法や設計方法等は、特に限定されるものでない。
【００９４】
（湾曲スリットと固定格子側のスリットの位置関係）
固定格子Ｇ１，Ｇ２として平行スリットを使用する場合、図５に示すように、固定格子Ｇ１，Ｇ２は、対応する回転格子ＬのスリットＳＬの湾曲線ＬＩＮＥ２の接線ＬＩＮＥ３と各スリットＳＧ１，ＳＧ２が平行になるように、配置される。なお、ここに言う「平行」とは、厳密な意味での平行ではない。即ち、「平行」とは、設計上、製造上の誤差が許容され、「実質的に平行」という意味である（以下、同様）。具体的には、例えば、―５度〜＋５度の範囲内で接線ＬＩＮＥ３と各スリットＳＧ１，ＳＧ２が交差していればよい。本実施形態のような湾曲スリットであれば、固定格子Ｇ１，Ｇ２の配置位置が多少ずれた場合でも、湾曲スリットのピッチの変化率が比較的小さいため、平行スリットである固定格子Ｇ１，Ｇ２と回転格子Ｌとを平行とみなすことができる領域を大きく確保することができる。よって、周期信号の検出精度を更に向上させつつ、製造等を非常に容易にすることができる。
【００９５】
（複数のトラック間の関係における湾曲スリット）
次に、複数のトラックＴＡ、ＴＢ間の関係における湾曲スリットについて、図２及び図３を参照しつつ説明する。
【００９６】
本実施形態では、図２に示すように、全てのトラックＴＡ〜ＴＣの回転格子ＬＡ〜ＬＣとそれに対する検出部１３０Ａ〜１３０Ｃのマスク１２０とのギャップｇは、ほぼ等しく設定される。一方、回折干渉光学系を形成するには、上記式４又は式５を満たすように、ギャップｇに対応したスリットＳＬのピッチｐＬを設定することが重要である。
【００９７】
そこで、本実施形態では、トラックＴＡのスリットＳＬＡにおける湾曲度合いＣは、図３に示すように、そのスリットＳＬＡのピッチｐＬＡが他のトラックＴＣのスリットＳＬＣのピッチｐＬＣと等しくなるように設定される。同様に、トラックＴＢのスリットＳＬＢにおける湾曲度合いＣも、そのスリットＳＬＢのピッチｐＬＢがスリットＳＬＣのピッチｐＬＣと等しくなるように設定される。
【００９８】
一方、前述のようにトラックＴＡのスリット本数ｎＡは、トラックＴＢのスリット本数ｎＢよりも１本だけ少ない。
【００９９】
これらの結果、全てのトラックＴＡ〜ＴＣにおけるスリットＳＬＡ〜ＳＬＢのピッチｐＬＡ〜ｐＬＣをそれぞれ等しくすることが可能となる。なお、ここに言う「等しい」とは、厳密な意味ではない。即ち、「等しい」とは、設計上、製造上の誤差が許容され、「実質的に等しい」という意味である（以下、同様）。具体的には、例えば±１０％の範囲内でピッチｐＬＡ〜ｐＬＣに誤差があってもよい。よって、検出部１３０Ａ〜１３０Ｃは、回折干渉光学系をそれぞれ形成しつつ、ギャップｇを等しくして配置され得る。なお、例えば±１０％の範囲内でギャップｇに誤差があってもよい。このように複数の検出部１３０Ａ〜１３０Ｃを等しいギャップｇで形成できる場合、検出部１３０Ａ〜１３０Ｃのギャップｇ方向での調整が容易になる。また、これら検出部１３０Ａ〜１３０Ｃを一体に形成することも可能となる。なお、検出部１３０Ａ〜１３０Ｃを一体に形成する場合、それぞれが有するマスク１２０も一体に１枚のマスクとして形成されてもよい。この場合、設計等の自由度を向上させ、かつ、製造を容易にすることが可能である。
【０１００】
（１−２−４．位置データ生成部）
次に、位置データ生成部１４０について説明する。
【０１０１】
前述の通り、位置データ生成部１４０は、検出部１３０Ａ〜１３０Ｃから、それぞれ正弦波状の第１の検出信号、第２の検出信号及び第３の検出信号を取得する。即ち、位置データ生成部１４０は、第１の検出信号、第２の検出信号及び第３の検出信号について、それぞれＡ相及びＢ相の２つの正弦波信号を取得する（図２参照）。
【０１０２】
位置データ生成部１４０は、第１〜第３の検出信号から、それぞれ図７Ｂ〜図７Ｄに示すような単調増加する第１〜第３の三角波信号（周期信号の一例）を生成する。この第１〜第３の三角波信号の周期は、それぞれ第１〜第３の検出信号の周期と同じである。第１及び第２の三角波信号から、図７Ａに示す第１の位置データが生成される。第２及び第３の三角波信号は、それぞれ図７Ｃ、図７Ｄに示す第２及び第３の位置データとなる。
【０１０３】
なお、位置データ生成部１４０による第１〜第３の三角波信号の生成方法は、特に限定されるものではない。位置データ生成方法としては、例えば、１）Ａ相及びＢ相の２つの正弦波信号の除算結果をａｒｃｔａｎ演算することにより電気角φを算出する方法、２）トラッキング回路を用いて２つの正弦波信号を電気角φに変換する方法、及び３）予め作成されたテーブルにおいてＡ相及びＢ相の信号の値に対応付けられた電気角φを特定する方法などが挙げられる。また、この際、位置データ生成部１４０は、まず、Ａ相及びＢ相の２つの正弦波信号を検出信号毎にアナログ−デジタル変換し、その変換後の２のデジタル信号を逓倍処理して分解能を向上させた後に、上記位置データ生成を行うことが望ましい。
位置データ生成部１４０は、生成した第１の位置データ、第２の位置データ及び第３の位置データからモータ部２００の絶対位置ｘを特定し、その絶対位置ｘを表した位置データを出力する。
【０１０４】
以下、より具体的に位置データ生成部１４０による絶対位置ｘを特定する処理の一例について説明する。なお、理解を容易にするためディスク１１０を簡略化し、ピッチが「ｐＧ１＝２×ｐＬ＝ｐＧ２」、スリットＳＬＡ、ＳＬＢ、ＳＬＣの本数がそれぞれ１５、１６、６４のディスクについて説明する。
【０１０５】
第１の位置データは、図７Ａに示すように、ディスクの１回転で電気角φＸ（０°〜３６０°）が１回単調に増加（又は減少）する。
即ち、第１の位置データは、ディスクの１回転あたりの大まかな絶対位置ｘを表すデータである。第１の位置データは、具体的には、以下のように生成される。
【０１０６】
第１の光学検出機構のトラックＴＡに形成されたスリットＳＬＡの本数ｎＡ（＝１５）は、第２の光学検出機構のトラックＴＢに形成されたスリットＳＬＢの本数ｎＢ（＝１６）よりも１本だけ少ない。従って、ディスクが１回転すると、第１の検出信号は、第２の検出信号よりも１周期だけ少なく出力される。即ち、ディスクが１回転すると、図７Ｂに示す第１の三角波信号は、図７Ｃに示す第２の三角波信号よりも１周期だけ少なく出力される。この第２の三角波信号から、第１の三角波信号を減算すると、図７Ａに示すように、ディスクの回転絶対角度θ（絶対位置ｘ）が３６０°で１周期の三角波状の電気信号（第１の位置データ）が生成される。
なお、位置データ生成部１４０による第１の位置データ生成方法は、特に限定されるものではない。
【０１０７】
第２の位置データ及び第３の位置データは、それぞれ第２及び第３の三角波信号である。第２の位置データは、図７Ｃに示すように、ディスクの１回転で電気角φＢ（０°〜３６０°）が１６回単調に増加（又は減少）する（つまり周期数ｍＢ＝１６）。第３位置データは、図７Ｄに示すように、ディスクの１回転で電気角φＣ（０°〜３６０°）が６４回単調に増加（又は減少）する（つまり周期数ｍＢ＝６４）。
【０１０８】
なお、図７Ａ〜図７Ｄは、線形に単調増加する各信号を示している。ただし、位置データ生成部１４０は、例えば、第１〜第３の三角波信号として階段状に単調増加する信号を生成してもよい。
【０１０９】
第１〜第３の位置データは、各周期数ｍＡ、ｍＢ、ｍＣに応じた分解能で絶対位置ｘを表すことになる。従って、第３の位置データは、第２の位置データよりも分解能が高く、第２の位置データは、第１の位置データよりも分解能が高い。
【０１１０】
そこで、位置データ生成部１４０は、第１の位置データ〜第３の位置データに基づいて、最も分解能が高い第３の位置データと同じレベルの分解能を有する絶対位置ｘを算出する。第１の位置データは、分解能が比較的低く、絶対位置を表す。位置データ生成部１４０は、この第１の位置データが表す絶対位置に、第２の位置データが表す比較的高分解能な位置を重畳することにより、第２の位置データと同じレベルの分解能の絶対位置ｘを算出することが可能である。そして、位置データ生成部１４０は、同様に、第２の位置データから算出された絶対位置ｘに、更にそれよりも分解能が高い第３の位置データが表す位置を重畳することにより、第３の位置データと同じレベルの分解能の絶対位置ｘを算出することが可能である。換言すれば、位置データ生成部１４０は、図７Ａ〜図７Ｄに示すように、最も分解能が高い第３の位置データが表す位置を、第２の位置データ及び第１の位置データを順次使用して、絶対位置ｘに変換する（バーニア方式）。
【０１１１】
なお、位置データ生成部１４０は、このような処理を行わずに、第１の位置データ、第２の位置データ及び第３の位置データの組み合わせに対する絶対位置ｘの参照テーブルを記憶しておき、当該参照テーブルを使用して絶対位置ｘを特定することも可能である。
また、位置データ生成部１４０は、制御部２０に設けられてもよい。
【０１１２】
（１−３．第１実施形態に係るモータユニットの動作）
次に、本実施形態に係るモータシステム１の動作について説明する。なお、各構成における動作や作用等については、各構成の説明で詳しく説明したので適宜省略して説明する。
【０１１３】
制御部２０は、上位制御装置等から上位制御信号を取得し、更にエンコーダ１００から、モータ部２００の絶対位置ｘを表す位置データを取得する。そして、制御部２０は、上位制御信号と位置データとに基づいてモータ部２００の駆動電流又は電圧を出力する。
【０１１４】
その結果、モータ部２００は、この駆動電流又は電圧に基づいて回転軸２０１を回転させる。すると、その回転軸２０１に対応する回転軸２０２に、回転軸１０１を介して連結されたエンコーダ１００のディスク１１０が回転する。一方、検出部１３０Ａ〜１３０Ｃは、このディスク１１０の回転に応じてそれぞれ周期信号を検出し、位置データ生成部１４０に出力する。そして、位置データ生成部１４０は、取得したこれらの信号に基づいて位置データを生成し、制御部２０に出力する。
【０１１５】
（１−４．第１実施形態に係るエンコーダの製造方法）
次に、図８を参照しつつ、本実施形態に係るエンコーダ１００の製造方法について説明する。
【０１１６】
図８に示すように、エンコーダ１００の製造方法では、まずステップＳ１０１が処理される。このステップＳ１０１（スリット数決定ステップの一例）では、ディスク１１０の１のトラックＴについて、そのトラックＴから得たい分解能に応じて、１回転で得るべき所望の周期信号の周期数ｍが決定される。そして、その周期に応じて、そのトラックＴに形成されるスリット本数ｎが設定される。そして、ステップＳ１０３に進む。
【０１１７】
ステップＳ１０３（径方向線設定ステップの一例）では、ステップＳ１０１で決定した数の径方向線ＬＩＮＥ１（図６参照）が、ディスク中心Ｏ（回転軸ＡＸ）を中心とした等角度で設定される。そして、ステップＳ１０５に進む。
【０１１８】
ステップＳ１０５（湾曲線設定ステップの一例）では、スリットＳＬのピッチｐＬが所望の値となるように湾曲度合いＣが設定される。そして、ステップＳ１０３で設定した複数の径方向線ＬＩＮＥ１が、設定された湾曲度合いＣで同一の周方向に向けて湾曲され、複数の湾曲線ＬＩＮＥ２が設定される。ただし、例えばトラックＴＣなどのような放射スリットの場合には、このステップＳ１０５では、湾曲度合いＣは０（湾曲させないことを意味）に設定されることになる。
【０１１９】
なお、このステップＳ１０５では、これから形成しようとしているトラックＴ（１のトラックの一例）のスリットＳＬのピッチｐＬが、既に形成されたトラックＴ又は後続して形成されるトラックＴ（他のトラックＴの一例）のスリットＳＬのピッチｐＬと等しくなるように、湾曲度合いＣが設定されることになる。このステップＳ１０５の処理後は、ステップＳ１０７に進む。
【０１２０】
ステップＳ１０７（スリット形成ステップの一例）では、ステップＳ１０５で設定した複数の湾曲線ＬＩＮＥ２に沿って、予め決められたの幅ｗで複数のスリットＳＬが、トラックＴ内で形成される。そして、ステップＳ１０９に進む。
【０１２１】
ステップＳ１０９では、所望の複数のトラックＴ全てにスリットＳＬが形成されたか否かが確認される。そして、スリットＳＬが未形成のトラックＴがあれば、ステップＳ１０１以降の処理が繰り返される。一方、全てのスリットＳＬが形成されていればステップＳ１１１に進む。
【０１２２】
ステップＳ１１１（マスク配置ステップの一例）では、少なくともピッチｐＬが等しい２以上のトラックＴに対して、回転格子Ｌと固定格子Ｇ１，Ｇ２との間のギャップｇが等しくなるように、マスク１２０を含む検出部１３０が配置される。
【０１２３】
なお、これらの処理と並行又は前後して、回転シャフト１０１をディスク１１０に連結する処理、各検出部１３０と位置データ生成部１４０とを連結する処理、各構成をケースに収納して固定又は回転可能に支持する処理等が行われて、エンコーダ１００が完成する。
【０１２４】
（１−５．第１実施形態に係るエンコーダユニットによる効果の例）
【０１２５】
本実施形態に係るエンコーダ１００等によれば、少なくとも１のトラックＴの複数のスリットＳＬが、湾曲線ＬＩＮＥ２に沿った湾曲スリットとして形成される。この湾曲スリットは、ディスク１１０の１回転あたりの大まかな絶対位置ｘを表す第１の位置データが光学的に得られると共に、湾曲線ＬＩＮＥ２の湾曲度合いＣを調整することにより、トラックＴの形成位置やトラックＴに含まれるスリット本数ｎを変更せずに、ピッチｐＬを調整することが可能である。従って、設計又は開発等の自由度を高めることが可能である。
【０１２６】
また、このエンコーダ１００等で使用される湾曲スリットについては、その湾曲度合いＣに応じた分スリットＳＬ１つ１つの長さを延長することができる。その結果、スリットＳＬのピッチｐＬのスリット形成方向における変化量を、低減することができる。このことは、各スリットＳＬのピッチｐＬをスリット形成方向で均一化すること、つまり、湾曲スリットである各スリットＳＬを平行スリットに近づけることが可能であることを意味する。一方、本実施形態に係るエンコーダ１００は、この湾曲スリットを利用した回折干渉光学系を利用する。回折干渉光学系では、複数のスリットＳＬが平行スリットに近いほど、検出信号のＳ／Ｎ比等を向上させることができ、検出精度を向上させることができる。従って、本実施形態に係るエンコーダ１００は、ディスク１１０に湾曲スリットを形成することで、複数のスリットＳＬを平行スリットに近づけることができるので、検出信号のＳ／Ｎ比等を向上させることができ、更には検出精度を向上させることが可能である。
【０１２７】
従って、本実施形態のエンコーダ１００によれば、回折干渉光を使用して、検出精度を向上させつつ、回折干渉光学系を構成する際の設計又は開発時の制限等を低減して、製造が容易なように設計又は開発等を行うことが可能となる。
【０１２８】
このような効果は、トラック半径ｒを大きく設定したり、周期信号の周期数ｍを小さく設定したりする場合に特に有効である。つまり、通常、トラック半径ｒを大きくすると、スリットＳＬのピッチｐＬを回折干渉光学系が形成可能なように十分に小さくする必要がある。すると、そのスリット本数ｎは、大きくならざるをえず、そのスリット本数ｎに対応した周期信号の周期数ｍも大きくなる。一方、同様に、周期数ｍを小さくする場合には、これと逆に、トラック半径ｒを小さくせざるをえない。しかしながら、前述のように本実施形態に係るエンコーダ１００では、湾曲度合いＣを調整することにより、スリット本数ｎ又はトラック半径ｒを独立して調整することが可能である。従って、設計又は開発する際の制約を大幅に低減して、小型化なども可能である。
【０１２９】
また、本実施形態の絶対値エンコーダ１００によれば、少なくとも１以上のトラックＴを湾曲スリットとすることで、２以上のトラックＴにおけるピッチｐＬを相等しくすることができる。その結果、それらのトラックＴに対する検出部１３０（つまりマスク１２０）と、トラックＴとの間のギャップｇをそれぞれ等しくすることができる。
従って、これらのトラックＴについて、回折干渉光学系をほぼ同様に設計又は開発等することが可能であり、また、これらのトラックＴに対応する検出部１３０について一括してギャップｇの調整を行うことが可能である。従って、製造（設計及び開発の過程も含む）を大幅に容易にすることが可能である。
【０１３０】
＜２．第２実施形態＞
次に、図９を参照しつつ、本発明の第２実施形態に係るモータユニットについて説明する。
【０１３１】
上記本発明の第１実施形態では、図３に示すように、湾曲スリットとして形成されるトラックＴＡ，ＴＢのスリットＳＬＡ，ＳＬＢの湾曲される向きが、同一の周方向である場合について説明した。しかし、本発明は、かかる例に限定されるものではなく、相隣接するトラック同士の湾曲方向を、周方向で逆にすることも可能である。そこで、ここでは、本発明の第２実施形態として、相隣接するトラック同士の湾曲方向が周方向で逆に設定された場合の例について説明する。なお、トラックの湾曲方向が周方向で逆に設定されること以外、本実施形態に係るエンコーダ等は、上記第１実施形態と同様に構成可能であるため、ここでは、第１実施形態との違いについて中心に説明する。
【０１３２】
図９に示すように、本実施形態に係るエンコーダが有するディスク６１０は、トラックＴＡ（少なくとも１のトラックの一例）に、図３に示した回転格子ＬＡの代わりに回転格子ＬＤを有する。そして、この回転格子ＬＤは、複数のスリットＳＬＤを有する。
【０１３３】
スリットＳＬＤの湾曲方向は、図３に示したスリットＳＬＡと異なり、隣接するトラックＴＢ（他のトラックの一例）のスリットＳＬＢの湾曲方向と逆の周方向に設定されている。つまり、スリットＳＬＢが、径方向線ＬＩＮＥ１を時計回り方向に湾曲させた湾曲線ＬＩＮＥ２に沿って形成されるのに対して、このスリットＳＬＤは、これとは逆に、径方向線ＬＩＮＥ１を反時計回り方向に湾曲させた湾曲線に沿って形成される。
【０１３４】
一方、各スリットＳＬから生じる回折干渉光は、各スリットＳＬの長手方向に対して略直角な方向に繰り返す干渉縞を形成する。従って、湾曲スリットのスリットＳＬの長手方向は、周方向に湾曲されるため、干渉縞は、隣接するトラックの方向に繰り返すように形成される場合がある。その結果、干渉縞が隣接トラックの回折干渉光学系とクロストークしてしまう恐れがある。また、そのようなクロストークを防ぐために、エンコーダの設計又は開発が制約を受ける場合がある。
【０１３５】
このような場合、本実施形態のように相隣接するトラックＴＡ，ＴＢの各スリットＳＬＤ，ＳＬＢの湾曲方向を互いに逆向きに設定することで、干渉縞が形成される向きを変更することが可能となり、クロストークが生じないような設計又は開発を容易に行うことが可能である。
【０１３６】
なお、本実施形態においても、上記第１実施形態で奏される他の格別な作用効果等を奏することが可能であることは、言うまでもない。
【０１３７】
以上、添付図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明した。しかしながら、本発明はこれらの実施形態の例に限定されないことは言うまでもない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、請求の範囲に記載された技術的思想の範囲内において、様々な変更や修正を行うことに想到できることは明らかである。従って、これらの変更後や修正後の技術も、当然に本発明の技術的範囲に属するものである。
なお、複数存在するトラックのうち、少なくとも２つ以上のトラックのピッチが実質的に等しくてもよく、異なるピッチのトラックが含まれてもよい。
【０１３８】
本明細書において、フローチャートに記述されたステップは、記載された順序に沿って時系列的に行われる処理はもちろん、必ずしも時系列的に処理されなくとも、並列的に又は個別的に実行される処理をも含む。また時系列的に処理されるステップでも、場合によっては適宜順序を変更することが可能である。
【符号の説明】
【０１３９】
１：モータユニット、１０：サーボモータ、２０：制御部、１００：エンコーダ、１０１：回転シャフト、１１０，６１０：ディスク、１２０：マスク、１３０，１３０Ａ，１３０Ｂ，１３０Ｃ：検出部、１３１：発光部、１３２：受光部、１４０：位置データ生成部、２００：モータ部、２０１，２０２：回転シャフト、ＡＸ：回転軸、Ｇ１：１次固定格子、Ｇ２：２次固定格子、Ｇ２Ａ，Ｇ２Ｂ：領域、Ｌ，ＬＡ，ＬＢ，ＬＣ，ＬＤ：回転格子、ＬＩＮＥ１：径方向線、ＬＩＮＥ２：湾曲線、ＬＩＮＥ３：接線、Ｏ：ディスク中心、ＳＧ１，ＳＧ２：スリット、ＳＬ，ＳＬＡ，ＳＬＢ，ＳＬＣ，ＳＬＤ：スリット、Ｔ，ＴＡ，ＴＢ，ＴＣ：トラック
【図１】
0005594496.tif 000002
【図２】
0005594496.tif 000003
【図３】
0005594496.tif 000004
【図４】
0005594496.tif 000005
【図５】
0005594496.tif 000006
【図６】
0005594496.tif 000007
【図７Ａ】
0005594496.tif 000008
【図７Ｂ】
0005594496.tif 000009
【図７Ｃ】
0005594496.tif 000010
【図７Ｄ】
0005594496.tif 000011
【図８】
0005594496.tif 000012
【図９】
0005594496.tif 000013