(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のスロットを画定するカセットと、カセットおよび複数の半導体ウェハを収容する筐体と、取り付け構造を含むクッションと、を備える、複数の半導体ウェハを保持する収納容器であって、
各スロットは複数の半導体ウェハを個別に収容し、
筐体は、本体部分と、本体部分に対して気密的に固定される蓋部分とを含み、
取り付け構造は、１対の離間端部材と、これら離間端部材の間に延びる、凸形状を備えた長尺状の複数の弾性ウェハ収納構造とを含み、
各弾性ウェハ収納構造は１対の対向端部と、これらの端部の中間に位置する１対の離間縁部とを有し、これらの縁部は、前記複数の半導体ウェハのうちの１つの半導体ウェハのエッジを収容する通路を画定し、
クッションは、筐体の蓋部分に収まるとともに、その取り付け位置は、前記複数の半導体ウェハがカセットに収容され、該カセットが筐体の本体部分に収容され、かつ、蓋が本体部分に収まったときには、前記クッションの通路がカセットのスロットと整列するように位置付けられるとともに、カセット内の各半導体ウェハのエッジが前記弾性ウェハ収納構造の１つに対して当接し、かつ、該弾性ウェハ収納構造を蓋部分に向かって内側に変形させるような、位置とされており、
前記弾性ウェハ収納構造の各々の１対の対向端部の一方は、ほぼｖ字型またはｕ字型の圧縮バネを介して取り付け構造に接続され、前記弾性ウェハ収納構造が蓋部分に向かって内側に変形すると、圧縮バネが前記弾性ウェハ収納構造の長手方向に圧縮されて、前記弾性ウェハ収納構造が凸形状から平坦な形状に延びることとを特徴とする、収納容器。
【請求項２】
前記筐体の蓋部分によって、前記本体部分に向かって内側に開放する凹部が画定され、前記クッションは該凹部に収容される、請求項１記載の収納容器。
【請求項３】
前記凹部は、前記蓋部分の１対の離間壁の間に画定され、前記取り付け構造の各端部材は、これらの離間壁と個別に当接する、請求項２記載の収納容器。
【請求項４】
前記複数の弾性ウェハ収納構造は第１の複数の弾性ウェハ収納構造であり、
前記クッションはさらに、凸形状を備えた長尺状の第２の弾性ウェハ収納構造を複数含み、前記取り付け構造はさらに、その端部材の中間に配置される中心部材を含み、前記第１の複数の弾性ウェハ収納構造は、前記端部材の一方と中心部材との間に延び、前記第２の複数の弾性ウェハ収納構造は、該端部材の他方と中心部材との間に延びて、前記第１の複数の弾性ウェハ収納構造の各々が、前記第２の複数の弾性ウェハ収納構造の各々と横方向に整列するように配されることと、
前記第２の複数の弾性ウェハ収納構造の各々の１対の対向端部の一方は、ほぼｖ字型またはｕ字型の圧縮バネを介して取り付け構造に接続され、前記弾性ウェハ収納構造が蓋部分に向かって内側に変形すると、圧縮バネが前記弾性ウェハ収納構造の長手方向に圧縮されて、前記弾性ウェハ収納構造が凸形状から平坦な形状に延びることとを特徴とする、請求項１記載の収納容器。
【請求項５】
前記第１の複数の弾性ウェハ収納構造のほぼｖ字型またはｕ字型の圧縮バネ、および前記第２の複数の弾性ウェハ収納構造のほぼｖ字型またはｕ字型の圧縮バネは、前記中心部材に対して接続される、請求項４記載の収納容器。
【請求項６】
前記クッションを蓋部分に固定する少なくとも１つのスナップ式嵌合ツメ部は、前記中心部材から延びる、請求項４記載の収納容器。
【請求項７】
複数の半導体ウェハを内部に収容する筐体と、クッションと、を備える、複数の半導体ウェハを保持する収納容器であって、
筐体は、１対の対向側壁と、上面部と、底面部と、背面部と、開放前面と、開放前面を気密的に閉鎖するドアとを含み、該筐体はさらに、複数のスロットを画定する複数のウェハ棚を含み、各スロットは、これらの半導体ウェハを個別に収容することと、
クッションは、前記１対の離間端部材を含む取り付け構造と、これらの離間端部材の間に延びる、凸形状を備えた長尺状の複数の弾性ウェハ収納構造とを含み、
各弾性ウェハ収納構造は１対の対向端部と、これらの端部の中間に位置する１対の離間縁部とを有し、これらの縁部は、前記複数の半導体ウェハのうちの１つの半導体ウェハのエッジを収容する通路を画定し、
前記クッションがドアに収まるとともに、前記複数の半導体ウェハがスロットに収容されてドアで開放前面を閉じたときには、前記クッションの通路がスロットと整列するように位置付けられるとともに、前記スロット内の各半導体ウェハのエッジが前記凸形状の弾性ウェハ収納構造の１つに対して当接し、かつ、該弾性ウェハ収納構造をドアに向かって内側に変形させるような、位置とされており、
前記弾性ウェハ収納構造の各々の１対の対向端部の一方は、ほぼｖ字型またはｕ字型の圧縮バネを介して取り付け構造に接続され、前記弾性ウェハ収納構造が蓋部分に向かって内側に変形すると、圧縮バネが前記弾性ウェハ収納構造の長手方向に圧縮されて、前記弾性ウェハ収納構造が凸形状から平坦な形状に延びる、収納容器。
【請求項８】
前記ドアによって、前記筐体に向かって内側に開放する凹部が画定され、そして前記クッションは該凹部に収容される、請求項７記載の収納容器。
【請求項９】
前記凹部は、前記ドアの１対の離間壁の間に画定され、そして取り付け構造の端部材群の各々は、これらの離間壁と個別に当接する、請求項８記載の収納容器。
【請求項１０】
前記複数の弾性ウェハ収納構造は第１の複数の弾性ウェハ収納構造であり、
前記クッションはさらに、凸形状を備えた長尺状の第２の弾性ウェハ収納構造を複数含み、前記取り付け構造はさらに、その端部材の中間に配置される中心部材を含み、前記第１の複数の弾性ウェハ収納構造は、前記端部材の一方と中心部材との間に延び、前記第２の複数の弾性ウェハ収納構造は、該端部材の他方と中心部材との間に延びて、前記第１の複数の弾性ウェハ収納構造の各々が、前記第２の複数の弾性ウェハ収納構造の各々と横方向に整列するように配されることと、
前記第２の複数の弾性ウェハ収納構造の各々の１対の対向端部の一方は、ほぼｖ字型またはｕ字型の圧縮バネを介して取り付け構造に接続され、前記弾性ウェハ収納構造が蓋部分に向かって内側に変形すると、圧縮バネが前記弾性ウェハ収納構造の長手方向に圧縮されて、前記弾性ウェハ収納構造が凸形状から平坦な形状に延びる、請求項７記載の収納容器。
【請求項１１】
前記第１の複数の弾性ウェハ収納構造のほぼｖ字型またはｕ字型の圧縮バネ、および前記第２の複数の弾性ウェハ収納構造のほぼｖ字型またはｕ字型の圧縮バネは、前記中心部材に接続される、請求項１０記載の収納容器。
【請求項１２】
複数の基板を内部に収容し、内部空間を画定し、さらに開放面を有する筐体部分と、筐体部分の開放面を気密的に閉鎖するドアと、クッションと、を備える、複数の基板を保持する収納容器であって、
筐体部分はさらに、複数の棚を内部空間に含むことにより複数のスロットを画定し、各スロットは複数の基板を個別に収容し、
クッションは、１対の離間端部材を含む取り付け構造と、これら離間端部材の間に延びる、凸形状を備えた長尺状の複数の弾性板バネ構造とを含み、
各弾性板バネ構造は１対の対向端部を有し、
前記クッションは、ドアに収まるとともに、その取り付け位置は、前記複数の基板がスロットに収容されてドアで開放面を閉じると、前記スロット内の各基板のエッジが前記弾性板バネ構造の１つに対して当接し、かつ、該弾性板バネ構造をドアに向かって内側に変形させるような、位置とされており、
前記弾性板バネ構造の各々の１対の対向端部の一方は、ほぼｖ字型またはｕ字型の圧縮付勢要素を介して取り付け構造に接続され、前記弾性板バネ構造が蓋部分に向かって内側に変形すると、圧縮バネが前記弾性板バネ構造の長手方向に圧縮されて、前記弾性板バネ構造が凸形状から平坦な形状に延びる、収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は概して、基板および半導体ウェハの収納容器に関し、特にウェハおよび基板収納容器用のクッションデバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェハを半導体、特に集積回路に加工する場合、極めて多くの工程を行なう必要があり、さらにウェハを施設間で移送したり、施設内部で移送したりしなければならないことも多い。近年、半導体ウェハの寸法は直径３００ｍｍ以上に増大している。半導体ウェハの寸法が増大しているため、ウェハはこれまで以上に損傷を受けやすくなる。さらに、このようなウェハにおける回路の高密度化が急速に進んでいる。その結果、このようなウェハは極めて高価になり、搬送および処理が行なわれている間にウェハを汚染または破損から保護することが重要となっている。
【０００３】
特殊仕様の収納容器がウェハ搬送用に開発されている。１つの種類の収納容器は、外側筺体に収容され、かつ特許文献１に開示されるデバイスのような個別のオープンカセットを含んでおり、同特許文献に開示された内容は本願においても開示されたものとする。この構成において、ウェハは通常、カセットの端部に沿ってカセット内に垂直に収容される。次にカセットが外側筺体に収容され、この外側筺体は通常、下側の台座部分と、個別の上側カバーすなわちドアとを含む。水平に収納するウェハ収納容器として知られる別の種類の収納容器は、一般に一方の面が開放された筺体部分を含む。水平に収納するウェハ収納棚が収納容器壁に画定され、そしてドアが開放側面に気密的に嵌め込まれる。水平に収納するウェハ収納容器の一例が、特許文献２に開示されており、同特許文献に開示された内容は本願においても開示されたものとする。このような収納容器は、薄く、かつ脆いウェハに損傷を与え得る物理的衝撃の影響を軽減するように設計されているが、ウェハ収納容器は、衝撃軽減機能に関して強化する必要がある。
【特許文献１】米国特許第５７８２３６２号明細書
【特許文献２】米国特許第６６４４４７７号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、衝撃軽減機能を向上させたウェハ収納容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この産業分野における要求は、本発明のウェハクッションにより解決される。本発明の一実施形態によれば、複数の半導体ウェハを保持する収納容器は、複数のスロットを画定するカセットを備え、各スロットは、これらの半導体ウェハを個別に収容し、収納容器はさらに、カセットおよびウェハを収容する筐体を備える。筐体は、台座部分と、この台座部分に対して気密的に固定することができる蓋部分とを含む。収納容器はさらに、取り付け構造を有するクッションを備え、この取り付け構造は、１対の離間端部材と、これらの離間端部材の間に延びる、凸形状を備える長尺状の複数の弾性ウェハ収納構造とを含む。各ウェハ収納構造は１対の対向端部と、これらの端部の中間に位置する１対の離間縁部とを有する。これらの縁部は、各ウェハのエッジを収容する通路を画定する。クッションは、筐体の蓋部分に収まり、さらにウェハがカセットに収容されると、カセットが筐体の台座部分に収容され、かつ蓋が台座に収まるように配置される。また、クッションの通路はカセットのスロットと整列するように（ｉｎ  ｒｅｇｉｓｔｒｙ  ｗｉｔｈ）配され、カセット内の各ウェハのエッジは凸状のウェハ収納構造の各々に当接し、さらにその凸状のウェハ収納構造を蓋部分に向かって内側に変形させる。これらのウェハ収納構造の各ウェハ収納構造はさらにバネを含み、バネは、ウェハ収納構造の１対の対向端部の一方を取り付け構造に対して作動可能に接続するように作用して、ウェハ収納構造が蓋部分に向かって内側に変形すると、バネが圧縮されてウェハ収納構造が横方向に延伸可能となる。
【０００６】
特定の実施形態では、蓋部分によって、台座部分に向かって内側に開放する凹部が画定され、そしてクッションは凹部に収容される。凹部は、蓋部分の１対の離間壁の間に形成され、さらに取り付け構造の各端部材は、個々の離間壁に対して当接する。
【０００７】
他の実施形態では、クッションは、凸形状を備える長尺状の第２の複数のウェハ収納構造を含み、さらに取り付け構造は、その端部材の中間に配置される中心部材を含む。第１の複数のウェハ収納構造は、端部材の一方と中心部材との間に延び、そして第２の複数のウェハ収納構造は、端部材の他方と中心部材との間に延びて、第１の複数のウェハ収納構造の各々が、第２の複数のウェハ収納構造の各々と横方向に整列するように配される。第２の複数のウェハ収納構造の各々はさらにバネを含み、バネは、ウェハ収納構造の１対の対向端部の一方を取り付け構造に対して作動可能に接続するように作用して、ウェハ収納構造が蓋部分に向かって内側に変形すると、バネが圧縮されてウェハ収納構造が横方向に延伸可能となる。第１の複数のウェハ収納構造のバネ、および第２の複数のウェハ収納構造のバネは、中心部材に対して接続される。
【０００８】
本発明の別の実施形態では、複数の半導体ウェハを保持する収納容器は、複数のスロットを形成するカセットと、カセットおよびウェハを収容するように構成された筐体とを備え、各スロットはこれら複数の半導体ウェハを個別に収容するように構成されている。筐体は台座部分と、台座部分に対して気密的に固定することができる蓋部分とを含む。収納容器はさらにクッションを備え、クッションは、１対の離間端部材を有する取り付け構造と、この１対の離間端部材の間に延びる、凸形状を備える長尺状の複数の弾性ウェハ収納構造とを有する。各ウェハ収納構造は、１対の対向端部と、これらの端部の中間に位置する１対の離間縁部とを有する。これらの縁部は、各ウェハのエッジを収容する通路を画定し、クッションは、筐体の蓋部分に収まり、そしてウェハがカセットに収容されると、カセットが筐体の台座部分に収容され、かつ蓋が台座に収まるように配置される。さらに、クッションの通路はカセットのスロットと整列するように配され、カセット内の各ウェハのエッジは、凸形状のウェハ収納構造の各々に当接し、かつ当該ウェハ収納構造を蓋部分に向かって内側に変形させる。これらのウェハ収納構造の各々はさらに、該ウェハ収納構造を蓋部分に向かって圧縮したときに、その横方向の延伸を可能にする手段を含む。
【０００９】
特定の実施形態では、各ウェハ収納構造を蓋部分に向かって圧縮したときに該ウェハ収納構造の横方向の延伸を可能にする手段は、複数のバネを含み、各バネは、これらのウェハ収納構造を個々に取り付け構造に対して作動可能に接続するように作用する。クッションはさらに、凸形状を備えた長尺状の第２の複数のウェハ収納構造を含み、そして取り付け構造はさらに、これらの端部材の中間に配置される中心部材を含む。第１の複数のウェハ収納構造は、これらの端部材の一方と中心部材との間に延び、そして第２の複数のウェハ収納構造は、端部材の他方と中心部材との間に延びて、第１の複数のウェハ収納構造の各々が、第２の複数のウェハ収納構造の各々と横方向に整列するように配される。第２の複数のウェハ収納構造の各々は、該ウェハ収納構造を蓋部分に向かって圧縮したときに、ウェハ収納構造の横方向の延伸を可能にする手段を含む。この手段は、第２の複数のバネを含み、この第２の複数のバネの各バネは、第２の複数のウェハ収納構造の個別のウェハ収納構造を取り付け構造に対して作動可能に接続するように作用する。
【００１０】
別の実施形態によれば、複数の半導体ウェハを保持する収納容器は、ウェハを内部に収容するように構成された筐体を備え、筐体は１対の対向側壁と、上面部と、底面部と、背面部と、開放前面と、開放前面を気密的に閉鎖するドアとを含む。この筐体は、複数のスロットを画定する複数のウェハ棚を含み、各スロットは、ウェハを個別に収容する。クッションは、１対の離間端部材を有する取り付け構造と、これら離間端部材の間に延びる、凸形状を備えた長尺状の複数の弾性ウェハ収納構造とを含む。各ウェハ収納構造は、１対の対向端部と、これらの端部の中間に位置する１対の離間縁部とを有し、これらの縁部は、ウェハのエッジを収容する通路を画定する。クッションはドアに収まり、そしてウェハがスロットに収容されてドアで開放前面を閉じると、クッションの通路はスロットと整列するように配され、スロット内の各ウェハのエッジは凸形状のウェハ収納構造の個別のウェハ収納構造に当接し、さらに該ウェハ収納構造をドアに向かって内側に変形させる。これらのウェハ収納構造の各々はバネを有し、バネは、ウェハ収納構造の１対の対向端部の一方を取り付け構造に対して作動可能に接続するように作用して、ウェハ収納構造が蓋部分に向かって内側に変形すると、バネが圧縮されてウェハ収納構造が横方向に延伸可能となる。
【００１１】
別の実施形態では、複数の基板を保持する収納容器は、基板を内部に収容するように構成された筐体部分を含む。筐体部分は内部空間を画定し、かつ開放面を有する。筐体はさらに、複数の棚を内部空間に含むことにより複数のスロットを画定し、各スロットは、これらの基板を個別に収容し、そして収納容器はさらに、筐体部分の開放面を気密的に閉鎖するドアを備える。クッションは、１対の離間端部材を有する取り付け構造と、これら離間端部材の間に延びる、凸形状を備えた長尺状の複数の弾性板バネ構造とを含む。各板バネ構造は１対の対向端部を有する。クッションはドアに収まり、基板がスロットに収容されてドアで開放面を閉じると、スロット内の各ウェハのエッジは、これらの板バネ構造の個別の構造に当接して、該板バネ構造をドアに向かって内側に変形させるように配置される。これらの板バネ構造の各々はさらに付勢要素を含み、付勢要素は、板バネ構造の１対の対向端部の一方を取り付け構造に対して作動可能に接続するように作用して、板バネ構造が蓋部分に向かって内側に変形すると、付勢要素が圧縮されて板バネ構造を横方向に延伸可能にする。
【００１２】
本発明の実施形態の特徴および利点は、ウェハ収納容器内のウェハの移動が、ウェハのエッジがクッションと摩擦接触することにより防止されることである。
本発明の実施形態の別の特徴および利点は、満載の収納容器部分からドアが取り外されるときに、可撓性ガイド部材およびバネの復元力によって、ウェハを収納容器内の所定の位置に保持することができることである。これにより、ウェハがクッションに密着してしまう現象を防止し、そしてドアまたは蓋を取り外すときに、ウェハがドアまたは蓋の動きに追随して移動することによりウェハが割れてしまう可能性を無くすことができる。
【００１３】
本発明の実施形態のさらに別の特徴および利点は、ウェハ割れの発生を減らすことができ、かつドアを閉める際の力を小さくすることができることである。
本明細書に開示されるウェハ保管システムの実施形態の特徴および利点は、ウェハクッションをウェハキャリアに取り付け、次に取り外し、さらに再利用することができることである。
【００１４】
本発明のさらに別の目的、利点、および新規の特徴は、以下の記述に部分的に示され、そしてこの技術分野の当業者には、以下の記述を分析することにより部分的に明らかになる、または本発明を実施することにより習得することができる。本発明の目的および利点は、添付の請求項において詳細に示される手段および組み合わせによって実現され、そして達成される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１−７に示すウェハ搬送容器２０は、台座部分（ｂａｓｅ  ｐｏｒｔｉｏｎ）２４と、この台座部分と気密的に嵌合可能な蓋部分２６とを有する筺体２２を含む。蓋部分２６を台座部分２４の所定位置に固定するために、１つまたは複数の留め具（ｌａｔｃｈ  ａｓｓｅｍｂｌｙ）２８を備えている。
【００１６】
図２には、ウェハカセット３０を収納する台座部分２４が示されている。ウェハカセット３０は、１対の端壁３６，３８によって連結される側壁３２，３４を含む。カセット３０は通常、開放上面４０および開放底面（図示せず）を有する。側壁３２，３４はそれぞれ、複数の突出し、かつ平行に延びる隔壁（ｒｉｂ）４２を含み、これらの隔壁４２の間に複数の通路が画定される。側壁３２の複数の通路４４は、側壁３４の複数の通路４４と整列するように配されて複数のスロットを画定し、各スロットは円盤状のウェハ４６を収容し、かつ複数のウェハ４６をほぼ平行に間隔を空けて並ぶように保持する。筺体２２およびカセット３０についてのさらなる詳細は、米国特許第５，９９２，６３８号明細書に開示されており、同特許文献に開示された内容は本願においても開示されたものとする。
【００１７】
図１および３に示す蓋部分２６は、１対の平行側壁４８，５０と、端壁５２，５４と、上部壁５６とを含む。上部壁５６は、クッション６２を収容する凹部６０を形成する中央アーチ部分５８を有する。
【００１８】
図４および図５−７に示すように、クッション６２は、取り付け構造６４と、複数のウェハ収納構造６６とを含む。図４に示す実施形態における取り付け構造６４は、端部材６８，７０と中心部材７２とを含む。スナップ式連結部材７４は中心部材７２から延出し、かつ中間部分７６およびツメ部７８を含む。
【００１９】
各ウェハ収納構造６６は、外側表面８２を有する凸形本体部分８０を含む。１対の離間隔壁（ｓｐａｃｅｄ  ａｐａｒｔ  ｒｉｂｓ）８４，８６は、外側表面８２から各ウェハ収納構造６６の稜線（ｅｄｇｅｓ）８８，９０に近接し、かつ稜線８８，９０に沿って突出して、通路９２をこれらの稜線の間に形成することにより、図６に示すようにウェハ４６のエッジ９４を収容する。図４−６に示すように、各ウェハ収納構造６６は、クッション６２に対して外側に反って凸状をなすように予め成形され、適切な弾性材料により作製されて、板バネ構造を構成する。以下にさらに詳細に説明するように、ウェハ収納構造６６は、このような構成とすることにより変形することができるため、ウェハ４６のエッジ９４に押し付けられると凸形状が平坦になる。
【００２０】
各端部材６８，７０は、長尺状の本体部分９６を含み、本体部分９６は、当該部分から横方向に突出する１つまたは複数の固定用ツメ部９８を有する。図４−６に示す実施形態では、第１の複数（符号１００で示される）のウェハ収納構造６６が、端部材６８と中心部材７２との間に延び、さらに第２の複数（符号１０２で示される）のウェハ収納構造６６が、端部材７０と中心部材７２との間に延びることにより、第１の複数（符号１００で示される）の通路９２は、第２の複数（符号１０２で示される）の通路９２と同一線上に並べられる（ａｌｉｇｎｅｄ  ｗｉｔｈ）。本発明の一実施形態によれば、圧縮バネ１０６の形態をなす付勢要素１０４は、各ウェハ収納構造６６の内側端部１０８を中心部材７２に対して作動可能に接続するように作用する。図７に示すように、圧縮バネ１０６は、中心部材７２とウェハ収納構造６６との間に配置される、ほぼｖ字型またはｕ字型の不連続部分として構成することができる。
【００２１】
クッション６２は好ましくは、高純度ウェハを収納する容器の環境における使用に適する弾性エラストマーからなる単一部材として一体形成される。クッション６２に適するポリマー材料は、例えば、ウレタン、ポリブチレンテレフタレート、ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、スチレン系ブロック共重合体、スチレンブタジエンゴム、またはポリエーテルブロックポリアミドのような熱可塑性エラストマーを含む。さらに、例えば、炭素繊維のような導電性の合金化剤は、ポリマー材料と組み合わせることにより静電気を逃がすことができる。この技術分野の当業者であれば、クッション６２は、高純度ウェハを収納する容器の環境における使用に適した、他の任意の高弾性率を有する耐久性材料により形成可能であることも理解できるであろう。
【００２２】
図３に示すように、クッション６２は蓋部分２６の凹部６０に収容される。端部材６８，７０は凹部６０の対向壁１１０に当接する。固定用ツメ部９８は、対向壁１１０に形成される窪み（図示せず）に収容されて、クッション６２を凹部６０の所定位置に固定する。本発明の実施形態では、スナップ式連結部材７４を凹部６０の端部壁１１２に係合させ、そして端部壁１１２の上からスナップ式に嵌めて、クッション６２を所定位置に確実に固定する。
【００２３】
使用時には、ウェハ４６をカセット３０に入れ、カセット３０を次に台座部分２４に収めると、蓋部分２６を下方に降ろして所定位置に収める。ウェハ４６のエッジ９４は、第１の複数（符号１００で示される）および第２の複数（符号１０２で示される）の各ウェハ収納構造６６の通路９２に収容される。蓋部分２６をさらに下方に降ろして台座部分２４に載せると、ウェハ収納部分６６が蓋部分２６の方へ、ウェハ４６によって加えられる力Ｆによって変形するため、これらの収納部分の凸形状が平坦になる。ウェハ収納部分６６が平坦になると、外側端部１１４は、端部材６８，７０が凹部６０の対向壁１１０に当接することによって横方向の並進移動が抑止される。しかしながら、内側端部１０８は、付勢要素１０４の付勢に逆らって中心部材７２に向かって並進移動するため、これらのウェハ収納部分６６の各々が横方向に延伸することができる。図６および７に示すように、圧縮バネ１０６の横方向の圧縮量Ｃ、およびウェハ収納構造６６の凸形状の深さＤによってウェハ収納部分６６が横方向に延伸することができる距離が決まる。圧縮寸法Ｃおよび深さ寸法Ｄは、クッション６２の材料特性、およびウェハとクッションの種々の部分との相対的な形状によって決定される。
【００２４】
図４ａに示す別の実施形態では、クッション６２は、端部材６８，７０の間に延びる片側の複数（符号１１６で示される）のウェハ収納部材６６を含むことができる。この実施形態では、バネ１０６は、各ウェハ収納部材６６と、端部材６８，７０の一方または他方との間に配置される。使用時には、この実施形態のウェハ収納部材６６およびクッションは、ほぼ上述したように機能する。
【００２５】
本発明の別の実施形態による基板収納容器１１８を図８−１０に示す。収納容器１１８は、筺体部分１２０とドア１２２とを含む。筺体部分１２０は、１対の側壁１２４，１２６と、上部壁１２８と、下部壁１３０と、背面部１３２と、ドアフレーム１３６によって画定される開放前面１３４とを含む。筺体部分１２０によって内部空間１３８が画定され、内部空間１３８は、１対の離間基板支持体すなわち１対の離間ウェハ支持体１４０を含む。各支持体１４０は複数の突出平行隔壁１４２を有し、これらの隔壁の間に複数の通路１４４が画定される。各支持体１４０の通路１４４は、対向する支持体１４０の通路１４４と整列するように配されることにより、複数のスロットを画定し、各スロットに基板を収納し、そして基板をほぼ平行に離間して並ぶようにして保持する。筺体部分１２０およびドア１２２に関する詳細は、米国特許第６，２６７，２４５号明細書に開示され、同特許文献に開示された内容は本願においても開示されたものとする。
【００２６】
図１０に示すドア１２２は、内側壁１４６を含み、内側壁１４６によってクッション１５０を収納する凹部１４８が画定される。図９に示すクッション１５０は、取り付け構造１５２と、複数のウェハ収納構造１５４とを含む。図９に示す実施形態における取り付け構造１５２は、端部材１５６，１５８、および中心部材１６０を含む。
【００２７】
各ウェハ収納構造１５４は、外側表面１６４を有する凸形本体部分１６２を含む。１対の離間隔壁１６６，１６８は、各ウェハ収納構造１５４の綾線１７０，１７２に近接して、かつ綾線１７０，１７２に沿って外側表面１６４から突出し、通路１７４をこれら隔壁の間に画定することにより、ウェハまたは基板４６のエッジ９４を収容する。図９に示すように、各ウェハ収納構造１５４は、クッション１５０に対して外向きに反った凸形状に予め成形され、適切な弾性材料により作製されて板バネ構造を構成する。以下にさらに詳細に説明するように、ウェハ収納構造１５４は上述した構成とすることによって変形することができるため、ウェハまたは基板４６のエッジ９４に押し付けられると凸形状が平坦になる。
【００２８】
各端部材１５６，１５８は、長尺状の本体部分１７６を含み、本体部分１７６は、本体部分から横方向に突出する１つまたは複数の固定用ツメ部１７８を有する。第１の複数（符号１８０で示される）のウェハ収納構造１５４は、端部材１５６と中心部材１６０との間に延び、さらに第２の複数（符号１８２で示される）のウェハ収納構造１５４は、端部材１５８と中心部材１６０との間に延びて、第１の複数（符号１８０で示される）の通路１７４が第２の複数（符号１８２で示される）の通路１７４と同一線上に並べられる。本発明の一実施形態によれば、圧縮バネ１８６の形態をなす付勢要素１８４は、各ウェハ収納構造１５４の内側端部１８８を中心部材１６０に対して作動可能に接続するように作用する。圧縮バネ１８６は、中心部材１６０とウェハ収納構造１５４との間に配置されるほぼｖ字型またはｕ字型の不連続部分として構成することができる。
【００２９】
クッション１５０は、高純度ウェハを収納する容器の環境における使用に適する弾性エラストマーからなる単一部材として一体的に形成されることが好ましい。クッション１５０に適するポリマー材料は、例えば、ウレタン、ポリブチレンテレフタレート、ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、スチレン系ブロック共重合体、スチレンブタジエンゴム、またはポリエーテルブロックポリアミドのような熱可塑性エラストマーを含む。さらに、例えば、炭素繊維のような導電性の合金化剤をポリマー材料と組み合わせることにより静電気を逃がすことができる。この技術分野の当業者であれば、クッション１５０は、高純度ウェハを収納する容器の環境における使用に適した他の任意の高弾性率を有する耐久性材料により作製可能であることが理解できるであろう。
【００３０】
図１０に示すように、クッション１５０はドア１２２の凹部１４８に収容される。端部材１５６，１５８は、凹部１４８の対向壁１９０に当接する。固定用ツメ部１７８は、対向壁１９０に画定される凹部１９２に収容されて、クッション１５０を凹部１４８の所定位置に固定する。
【００３１】
使用時には、基板４６が支持体１４０に収容されると、ドア１２２を進めてドアフレーム１３６の所定位置に収納する。ウェハ４６のエッジ９４は、第１の複数（符号１８０で示される）および第２の複数（符号１８２で示される）の各ウェハ収納構造１５４の通路１７４に収容される。ドア１２２をさらに進めてドアフレーム１３６に収納すると、ウェハ収納部分１５４はドア１２２の方向に基板４６によって押されて変形するため、ウェハ収納部分の凸形状が平坦になる。ウェハ収納部分が平坦になると、外側端部２００は、端部材１５６，１５８が凹部１４８の対向壁１９０に当接することにより、横方向の並進移動が抑止される。しかしながら、内側端部１８８が、中心部材１６０に向かって、付勢要素１８４の付勢に逆らって並進移動するため、これらのウェハ収納部分１５４の各々は横方向に延伸することができる。
【００３２】
本発明について好適な実施形態を参照しながら説明してきたが、この技術分野の当業者であれば、形態および詳細に関する変更を、本発明の技術思想および技術範囲から逸脱しない限り加え得ることが理解できるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の一実施形態によるウェハ搬送容器を示す透視図。
【図２】図１のウェハ搬送容器の台座部分を示す透視図であり、カセットのスロットの１つに収容されるウェハを収納した搬送容器のカセットを示す。
【図３】図１の線３−３における図１のウェハ搬送容器の蓋部分を示す断面。
【図４】本発明の一実施形態によるクッションを示す透視図。
【図４Ａ】本発明の一実施形態によるクッションの別の態様を示す透視図。
【図５】図４の線４−４におけるクッションの断面。
【図６】図４のクッションを示す端面図であり、クッションがウェハに当接している様子を示す。
【図７】図５の一部を示す部分拡大図であり、図５において破線円で囲まれた領域を示す。
【図８】本発明の別の実施形態による基板収納容器を示す透視図。
【図９】図８の収納容器のクッションを示す透視図。
【図１０】図８の収納容器のドアおよびクッションアセンブリの分解図。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図４ａ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図９】
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