(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持部と振動部とから構成され、振動部に電極が形成される圧電振動片と、
前記圧電振動片を囲う枠部と、
前記圧電振動片の前記保持部と枠部とに設けられて前記圧電振動片を支持する支持部とを備え、
前記支持部が金属膜であり、前記保持部と前記枠部とを少なくとも３箇所で支持しており、
前記支持部のうちの２つは、前記支持部の一方の端部が前記保持部に設けられた接続用電極に接合され、前記支持部の他方の端部が前記枠部に設けられた搭載用電極と接合されており、
前記接続用電極と前記搭載用電極とが前記支持部を介して電気的に接続している
ことを特徴とする圧電振動素子。
【請求項２】
前記圧電振動片が、音叉型、四角形状平板型、丸形状平板型、のいずれか１つから選択される形状からなることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動素子。
【請求項３】
前記圧電振動片が、屈曲振動モード、厚み滑りモード、輪郭モードのいずれかに対応する振動モードで振動するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動素子。
【請求項４】
保持部と振動部とから構成され、振動部に電極が形成される四角形状の圧電振動片と、
前記圧電振動片を囲う枠部と、
前記圧電振動片の前記保持部と枠部とに接合されて前記圧電振動片を支持する支持部とを備え、
前記支持部が金属膜であり、前記圧電振動片の対角線を結ぶように前記保持部と前記枠部とを少なくとも２箇所で支持しており、
前記支持部のうちの２つは、前記支持部の一方の端部が前記保持部に設けられた接続用電極に接合され、前記支持部の他方の端部が前記枠部に設けられた搭載用電極と接合されており、
前記接続用電極と前記搭載用電極とが前記支持部を介して電気的に接続している
ことを特徴とする圧電振動素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器に用いられる圧電振動素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、コンピュータ，携帯電話又は小型情報機器等の電子機器には、電子部品の一つとして圧電振動子又は圧電発振器が搭載されている。この圧電振動子又は圧電発振器は、基準信号源やクロック信号源として用いられる。又、圧電振動子や圧電発振器は、その内部に水晶からなる圧電振動素子が搭載されている。
以下、圧電材料に水晶を用いた圧電振動素子について説明する。
【０００３】
図４は、従来の圧電振動素子を用いた圧電振動子の一例を示す分解斜視図である。図４に示すように、従来の圧電振動子は、一例として、圧電振動素子４００と凹部を有する蓋部材４４０と一方の主面に凹部を有しつつ他方の主面に外部端子Ｇを有する素子搭載部材４５０とから構成されている。
この従来の圧電振動素子４００は、圧電振動片４１１とこの圧電振動片４１１を囲む枠部４１２とから構成されている。なお、圧電振動素子４００は、圧電振動片４１１と枠部４１２とが一体で構成されている。また、その圧電振動片４１１の表面に設けられた励振用電極４２１と、接続用電極４２２と、導配線パターン４２３とにより概略構成される（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
図４に示すように、圧電振動片４１１は、平面視略四角形の平板でありかつ励振用電極４２１が設けられた振動部４１１ａと、この振動部４１１ａと枠部４１２とに繋がる支持部４１１ｄとにより構成されている。
【０００５】
振動部４１１ａは、平面視略四角形の平板に形成されており、両主面に励振用電極４２１が形成されている。この励振用電極４２１は、互いに向かい合うように振動部４１１ａの主面に設けられている。
保持部４１１ｂは、枠部４１２と振動部４１１ａの１辺につながった状態となっている。
この枠部４１２は、両主面の縁側に金属膜が環状に設けられ、この環状の金属膜の内側であって振動部４１１ａとつながる部分に２つ一対の接続用電極４２２が設けられている。
それぞれの接続用電極４２２は、振動部４１１ａの主面に設けられた励振用電極４２１に導配線パターン４２３を介して電気的に接続している。
なお、枠部４１２の両主面に設けられた前記金属膜は、例えば、一方の金属膜が凹部を有する蓋部材４４０との接合に用いられ、他方の金属膜が外部端子Ｇを有しつつ凹部を有するベース部４５０との接続に用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−９６７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このような構造の圧電振動素子は、振動部４１１ａで発生する振動が枠部４１２まで伝播してしまい、温度特性やＣＩ値を悪化させる恐れがある。
【０００８】
そこで、本発明では、前記した問題を解決し、温度特性やＣＩ値を向上させる圧電振動素子を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するため、本発明は、圧電振動素子であって、保持部と振動部とから構成され、振動部に電極が形成される圧電振動片と、前記圧電振動片を囲う枠部と、前記圧電振動片の前記保持部と枠部とに設けられて前記圧電振動片を支持する支持部とを備え、前記支持部が金属膜であり、前記保持部と前記枠部とを少なくとも３箇所で支持しており、前記支持部のうちの２つは、前記支持部の一方の端部が前記保持部に設けられた接続用電極に接合され、前記支持部の他方の端部が前記枠部に設けられた搭載用電極と接合されており、前記接続用電極と前記搭載用電極とが前記支持部を介して電気的に接続していることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、前記圧電振動片が、音叉型、四角形状平板型、丸形状平板型、のいずれか１つから選択される形状であってもよい。
また、本発明は、前記圧電振動片が、屈曲振動モード、厚み滑りモード、輪郭モードのいずれかに対応する振動モードで振動するように構成されていてもよい。
【００１１】
また、本発明は、圧電振動素子であって、保持部と振動部とから構成され、振動部に電極が形成される四角形状の圧電振動片と、前記圧電振動片を囲う枠部と、前記圧電振動片の前記保持部と枠部とに接合されて前記圧電振動片を支持する支持部とを備え、前記支持部が金属膜であり、前記圧電振動片の対角線を結ぶように前記保持部と前記枠部とを少なくとも２箇所で支持しており、前記支持部のうちの２つは、前記支持部の一方の端部が前記保持部に設けられた接続用電極に接合され、前記支持部の他方の端部が前記枠部に設けられた搭載用電極と接合されており、前記接続用電極と前記搭載用電極とが前記支持部を介して電気的に接続していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
このような圧電振動素子によれば、保持部と振動部とから構成され、振動部に電極が形成される圧電振動片と、前記圧電振動片を囲う枠部と、前記圧電振動片の前記保持部と枠部とに設けられて前記圧電振動片を支持する支持部とを備え、前記支持部が金属膜であり、前記保持部と前記枠部とを少なくとも３箇所で支持して構成されているので、圧電振動片が支持部である金属膜で浮かせた状態となって振動部からの振動が枠部に伝わりにくくなり、振動部の振動を阻害する不要な振動の発生が軽減され、温度特性やＣＩ値を向上させることができる。
【００１３】
また、圧電振動片の形状が音叉型、四角形状平板型、丸形状平板型、のいずれか１つから選択される形状であっても、圧電振動片が支持部である金属膜で浮かせた状態となっているため、振動部からの振動が枠部に伝わりにくくなり、振動部の振動を阻害する不要な振動の発生が軽減され、温度特性やＣＩ値を向上させることができる。
【００１４】
また、圧電振動片が屈曲振動モード、厚み滑りモード、輪郭モードのいずれかに対応する振動モードで振動するように構成されていても、圧電振動片が支持部である金属膜で浮かせた状態となっているため、振動部からの振動が枠部に伝わりにくくなり、振動部の振動を阻害する不要な振動の発生が軽減され、温度特性やＣＩ値を向上させることができる。
【００１５】
また、本発明は、圧電振動素子が、保持部と振動部とから構成され、振動部に電極が形成される四角形状の圧電振動片と、前記圧電振動片を囲う枠部と、前記圧電振動片の前記保持部と枠部とに接合されて前記圧電振動片を支持する支持部とを備え、前記支持部が金属膜であり、前記圧電振動片の対角線を結ぶように前記保持部と前記枠部とを少なくとも２箇所で支持して構成されるので、圧電振動片が支持部である金属膜で浮かせた状態となって振動部からの振動が枠部に伝わりにくくなり、振動部の振動を阻害する不要な振動の発生が軽減され、温度特性やＣＩ値を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】（ａ）は本発明の実施形態に係る圧電振動素子の一例を示す斜視図であり、（ｂ）は本発明の実施形態に係る圧電振動素子を用いた圧電振動子の一例を示す模式図である。
【図２】本発明の実施形態に係る圧電振動素子の変形例の一例を示す斜視図であって、（ａ）は圧電振動片の形状が四角形となる圧電振動素子の斜視図であり、（ｂ）は圧電振動片の形状が円形となる圧電振動素子の斜視図であり、（ｃ）は圧電振動片の形状が四角形であって対角線上で支持する圧電振動素子の斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係る圧電振動素子のさらなる変形例の一例を示す斜視図であって、（ａ）は支持部が、枠部及び保持部の両主面に設けられた状態の一例を示す斜視図であり、（ｂ）は他の圧電振動子の一例を示す斜視図である。
【図４】従来の圧電振動素子を用いた圧電振動子の一例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明を実施するための最良の形態（以下、「実施形態」という。）について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各構成要素について、状態をわかりやすくするために、誇張して図示している。
【００１８】
図１（ａ）に示すように、本発明の第一の実施形態に係る圧電振動素子１０１は、圧電振動片１１０ａと、その圧電振動片１１０ａに設けられた励振用電極１２１ａと接続用電極１２２ａ，１２２ｂと、周波数調整用電極１２３と、導配線パターン１２４ａと、枠部１３０と、支持部１４０とから主に構成されている。
【００１９】
圧電振動片１１０ａは、音叉形状となっており、基部となる保持部１１１と保持部１１１から延出する２本一対の振動部１１２と、励振用電極１２１ａと接続用電極１２２ａと周波数調整用電極１２３ａと導配線パターン１２４ａとにより概略構成される。この振動部１１２には、対向する平面同士に同極となる励振用電極１２１が設けられている。
また、保持部１１１は、平面視略四角形の平板となっている。振動部１１２は、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂとから成る。第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂは、保持部１１１の一辺から同一方向に延設されており、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂの長さ方向にはそれぞれ溝部ＧＬが設けられている。溝部ＧＬは、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂの両主面に、保持部１１１との境界部分から振動部１１２の先端に向って、振動部１１２の長さ方向と平行に所定の長さで２本設けられている。このような圧電振動片１１０ａは、保持部１１１と振動部１１２とが一体となって音叉形状を成しており、フォトリソグラフィ技術と化学エッチング技術により製造される。
【００２０】
第一の振動腕部１１２ａに設けられる電極は、励振用電極１２１ａと周波数調整用電極１２３ａとから成る。励振用電極１２１ａは、第一の振動腕部１１２ａの溝部ＧＬ内表面を含む一方の主面と、第一の振動腕部１１２ａの溝部ＧＬ内表面を含む他方の主面に設けられている。また、励振用電極１２１ａは、第二の振動腕部１１２ｂに対向する第一の振動腕部１１２ａの内側側面と、この側面に対向する第一の振動腕部１１２ａの外側側面とに異極となるように設けられている。周波数調整用電極１２３ａは、第一の振動腕部１１２ａの先端部の両主面に設けられている。
【００２１】
第二の振動腕部１１２ｂに設けられる電極は、励振用電極１２１ａと周波数調整用電極１２３ａとから成る。励振用電極１２１ａは、第二の振動腕部１１２ｂの溝部ＧＬ内表面を含む一方の主面と、第二の振動腕部１１２ｂの溝部ＧＬ内表面を含む他方の主面に設けられている。また、励振用電極１２１ａは、第一の振動腕部１１２ａに対向する第二の振動腕部１１２ｂの内側側面と、この側面に対向する第二の振動腕部１１２ｂの外側側面とに異極となるように設けられている。周波数調整用電極１２３ａは、第二の振動腕部１１２ａの先端部の両主面に設けられている。
【００２２】
基部となる保持部１１１は、接続用電極１２２ａ及び１２２ｂが設けられる。接続用電極１２２ａは、保持部１１１の振動部１１２が形成されている辺とは反対側にあたる辺の一方の角端部及び保持部１１１の一方の主面から他方の主面にわたって設けられている。また、接続用電極１２２ｂは、保持部１１１の振動部１１２が形成されている辺とは反対側にあたる辺の他方の角端部及び保持部１１１の一方の主面から他方の主面にわたって設けられている。
また、保持部１１１及び振動部１１２には、所定の電極間を電気的に接続させるための導配線パターン１２４ａが設けられている。
【００２３】
接続用電極１２２ａは、保持部１１１の一方の主面に設けられた導配線パターン１２４ａにより、第一の振動腕部１１２ａの一方の主面に設けられた励振用電極１２１ａと電気的に接続し、かつ、第二の振動腕部１１２ｂの外側側面に設けられた励振用電極１２１ａと電気的に接続している。また、第二の振動腕部１１２ｂの外側側面に設けられた励振用電極１２１ａは、周波数調整用電極１２３ａを介して、第二の振動腕部１１２ｂの内側側面に設けられた励振用電極１２１ａと電気的に接続している。更に、第一の振動腕部１１２ａの一方の主面に設けられた励振用電極１２１ａは、第一の振動腕部１１２ａの内側側面に設けられた導配線パターン１２４ａにより、第一の振動腕部１１２ａの他方の主面に設けられた励振用電極１２１ａと電気的に接続されている。
【００２４】
接続用電極１２２ｂは、保持部１１１の他方の主面に設けられた導配線パターンにより、第二の振動腕部１１２ｂの他方の主面に設けられた励振用電極１２１ａと電気的に接続し、かつ、第一の振動腕部１１２ａの外側側面に設けられた励振用電極１２１ａと電気的に接続している。また、第一の振動腕部１１２ａの外側側面に設けられた励振用電極１２１ａは、周波数調整用電極１２３ａを介して、第一の振動腕部１１２ａの内側側面に設けられた励振用電極１２１ａと電気的に接続している。更に、第二の振動腕部１１２ａの他方の主面に設けられた励振用電極１２１ａは、第二の振動腕部１１２ｂの内側側面に設けられた導配線パターン１２４ａにより、第一の振動腕部１１２ａの一方の主面に設けられた励振用電極１２１ａと電気的に接続されている。
【００２５】
これら励振用電極１２１ａ、接続用電極１２２ａ，１２２ｂ、周波数調整用電極１２３ａ及び導配線パターン１２４ａは、フォトリソグラフィ技術により形成され、Ｃｒ層の上にＡｕ層が設けられた積層構造となっている。
【００２６】
この音叉型の圧電振動片１１０ａを振動させる場合、接続用電極１２２ａ及び１２２ｂに交番電圧を印加する。印加後のある電気的状態を瞬間的にとらえると、第一の振動腕部１１２ａの両主面に設けられた励振用電極１２１ａはプラス電位となり、両側面に設けられた励振用電極１２１ａはマイナス電位となり、プラスからマイナスに電界が生じる。このときの第二の振動腕部１１２ｂの両主面の励振用電極１２１ａはマイナス電位となり、両側面に設けられた励振用電極１２１ａはプラス電位という第一の振動腕部１１２ａの励振用電極１２１ａに生じた極性とは反対の極性となり、プラスからマイナスに電界が生じる。この交番電圧により生じた電界によって、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂに伸縮現象が生じ、振動部１１２に設定した共振周波数の屈曲振動モードとなる。尚、この共振周波数は、音叉型の圧電振動片１１０ａに設けられた周波数調整用電極１２３ａを構成する金属の量を増減させて調整することができる。
【００２７】
枠部１３０は、例えば、四角い環状状態で形成されており、圧電振動片１１０ａを囲うように設けられる。
この枠部１３０は、例えば、四角形となる環状状態において、四隅のうちの隣り合う２隅に搭載用電極１３１が設けられている。この搭載用電極１３１は、異極となる第一搭載用電極１３１ａと第二搭載用電極１３１ｂとから構成されており、圧電振動片１１０ａに設けられる接続用電極１２２ａ，１２２ｂと対向する位置に設けられている。
また、この搭載用電極１３１は、枠部１３０の表裏主面に電気的に接続するように設けられている。
【００２８】
支持部１４０は、圧電振動片１１０ａの保持部１１１と枠部１３０とに設けられて圧電振動片１１０ａを支持する役割を果たす。この支持部１４０は、金属膜であり、保持部１１１と枠部１３０とを少なくとも３箇所で支持している。
このとき、３つの支持部１４０のうちの１つの支持部１４０は、例えば、圧電振動片１１０ａに設けられた接続用電極１２２ａと枠部１３０に設けられた搭載用電極１３１ａと電気的に接続している。また、残りの２つの支持部１４０のうち、一つの支持部１４０は、例えば、圧電振動片１１０ａに設けられた接続用電極１２２ｂと枠部１３０に設けられた搭載用電極１３１ｂと電気的に接続している。
なお、この支持部１４０は、電解めっき又は無電解めっきにて設けられた金属膜であっても良い。例えば、支持部１４０は、金めっきで構成することができる。
【００２９】
ここで、図１（ｂ）に示すように、本発明の実施形態に係る圧電振動素子１０１は、例えば、凹部を有する素子搭載部材Ｓに搭載され蓋部材Ｆで気密封止される圧電振動子に用いることができる。例えば、圧電振動素子１０１は、枠部１３０に設けた搭載用電極１３１ａ、１３１ｂが素子搭載部材Ｓの凹部内に設けられた搭載パッド（図示せず）に導電性接着剤Ｄを介して接合されることで、素子搭載部材Ｓに搭載される。この状態で、蓋部材Ｆは、凹部を封止するように素子搭載部材Ｓに接合される。これにより、本発明の実施形態に係る圧電振動素子１０１は、凹部内に気密封止され、所定の周波数で発振できるように素子搭載部材Ｓと電気的に接続した状態となる。
【００３０】
このような圧電振動素子１０１は、保持部１１１と振動部１１２とから構成され、振動部１１２に電極が形成される圧電振動片１１０ａと、圧電振動片１１０ａを囲う枠部１３０と、圧電振動片１１０ａの保持部１１１と枠部１３０とに設けられて圧電振動片１１０ａを支持する支持部１４０とを備え、支持部１４０が金属膜であり、保持部１１１と枠部１３０とを少なくとも３箇所で支持して構成されているので、圧電振動片１１０ａが支持部１４０である金属膜で浮かせた状態となって振動部１１２からの振動が枠部１３０に伝わりにくくなり、振動部１１２の振動を阻害する不要な振動の発生が軽減され、温度特性やＣＩ値を向上させることができる。
【００３１】
（実施形態の変形例）
なお、前記圧電振動子１０１において、本発明の圧電振動素子に用いられる圧電振動片の形状を変形して用いることができる。例えば、図２（ａ）に示すように、圧電振動片１１０ｂは、外形形状が四角形状平板型に形成されており、両主面に励振用電極１２１ｃが形成されている。このような圧電振動片１１０ｂは、厚み滑りモードで振動するようになっている。
この場合、圧電振動片１１０ｂは、励振用電極１２１ｃが設けられる部分が振動部１１２ｃとなり、それ以外の部分が保持部１１１ｂとなる。この保持部１１１ｂには、２つ一対の接続用電極１２２ｃが異極となるように設けられている。また、それぞれの接続用電極１２２ｃが１つの励振用電極１２１ｃと導配線パターン１２４ｂを介して電気的に接続している。
【００３２】
また、他の例として、図２（ｂ）に示すように、圧電振動片１１０ｃは、外形形状が丸形状平板型に形成されており、両主面に励振用電極１２１ｄが形成されている。
この場合、圧電振動片１１０ｃは、励振用電極１２１ｄが設けられる部分が振動部１１２ｄとなり、それ以外の部分が保持部１１１ｃとなる。この保持部１１１ｃには、２つ一対の接続用電極１２２ｄが異極となるように設けられている。また、それぞれの接続用電極１２２ｄが１つの励振用電極１２１ｄと導配線パターン１２４ｃを介して電気的に接続している。
【００３３】
また、他の例として、図２（ｃ）に示すように、圧電振動片１１０ｄは、外形形状が四角形状平板型に形成されており、両主面に励振用電極１２１ｅが形成されている。このような圧電振動片１１０ｄは、輪郭モードで振動するようになっている。
この場合、圧電振動片１１０ｄは、励振用電極１２１ｅが設けられる部分が振動部１１２ｅとなり、それ以外の部分が保持部１１１ｄとなる。この保持部１１１ｄには、２つ一対の接続用電極１２２ｅが対角線上に位置するように、かつ、異極となるように設けられている。また、それぞれの接続用電極１２２ｅが１つの励振用電極１２１ｅと導配線パターン１２４ｄを介して電気的に接続している。
輪郭モードで構成される圧電振動片１１０ｄの場合は、２つの支持部１４０で対角線上の２つの接続用電極１２２ｅと接続するように構成することができる。
【００３４】
これらのように圧電振動片１１０ｂ，１１０ｃ，１１０ｄが構成されても、支持部１４０である金属膜で浮かせた状態となっているため、振動部１１２ｃ，１１２ｄからの振動が枠部１３０に伝わりにくくなり、振動部１１２ｃ，１１２ｄの振動を阻害する不要な振動の発生が軽減され、温度特性やＣＩ値を向上させることができる。
【００３５】
（実施形態のさらなる変形例）
なお、本発明の圧電振動素子に用いられる圧電振動片の形状をさらに変形して用いることができる。例えば、図３（ａ）に示すように、本発明の圧電振動素子１０１ｂに用いられる圧電振動片１１０ｅは、音叉型に形成されており、５つの支持部１４０で枠部１３０に支持されている。
この支持部１３０は、圧電振動片１１０ｅ及び枠部１３０の一方の主面に３箇所設けられており、他方の主面に２箇所設けられている。
また、それぞれの支持部１４０は、対向することがないように位置をずらして設けられている。これは、一方の主面の支持部１４０と他方の主面の支持部１４０とが対向して設けられると、エッチング技術で圧電振動片１１０ｅ及び枠部１３０の形状を形成する際に、エッチング技術により除去すべき圧電材料が除去できなくなる恐れがある。そのために、一方の主面の支持部１４０と他方の主面の支持部１４０とは、向かい合わないように位置をずらして設けられる。
このように圧電振動素子１０１ｂを構成しても、支持部１４０である金属膜で浮かせた状態となっているため、振動部１１２ｃ，１１２ｄからの振動が枠部１３０に伝わりにくくなり、振動部１１２ｃ，１１２ｄの振動を阻害する不要な振動の発生が軽減され、温度特性やＣＩ値を向上させることができる。
【００３６】
また、このような圧電振動素子１０１ｂの場合、図３（ｂ）に示すように、素子搭載部材Ｓと蓋部材Ｆとで圧電振動素子１０１ｂを挟んだ構成の圧電振動子としても良い。
また、この場合、素子搭載部材Ｓと蓋部材Ｆとには、圧電振動片の振動部を囲うように凹部がそれぞれ形成されており、枠部に設けられる搭載用電極１３１が、凹部内に位置して設けられている。
このような圧電振動子であっても、本発明の圧電振動素子１０１ｂを用いることができる。
【００３７】
なお、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、適宜、変更可能である。
例えば、圧電振動素子には、水晶や圧電セラミックなどの圧電材料を用いることができる。また、周波数調整用電極には、別途、Ｐｔ（パラジウム）、Ａｕ（金）等の金属材料を用いて、厚みを厚くしても良い。
また、本発明の圧電振動素子は、前記のとおり、凹部を有する所定の素子搭載部材及び蓋部材を用い、凹部内に本発明の圧電振動素子を搭載し、蓋部材で凹部を気密封止して圧電振動子を構成しても良い。
また、本発明の圧電振動素子は、前記圧電振動子に少なくとも発振回路を備えた集積回路素子を接続して圧電発振器としても良い。
【符号の説明】
【００３８】
１０１    圧電振動素子
１１０ａ  圧電振動片
１１１    保持部
１１２    振動部
１２１ａ  励振用電極
１１２ａ  第一の振動腕部
１１２ｂ  第二の振動腕部
１２２ａ，１２２ｂ  接続用電極
１２３    周波数調整用電極
１２４ａ  導配線パターン
１３０    枠部
１３１    搭載用電極
１４０    支持部
【図１】
0005508046.tif 000002
【図２】
0005508046.tif 000003
【図３】
0005508046.tif 000004
【図４】
0005508046.tif 000005