(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
整列された複数のネジを分離するための自動分離モジュールと、
前記自動分離モジュールに接続されており、前記自動分離モジュールによって分離されたネジを輸送するための輸送管を有する自動輸送モジュールと、
前記自動輸送モジュールに接続されており、前記輸送管によって輸送されたネジを支持するための第１のスプリングボール機構と、前記第１のスプリングボール機構によって支持されたネジをワークに締付するためのドライバーとを有する自動締付モジュールと、
を備え、
前記自動分離モジュールは、回転板及び回転ユニットを有し、前記整列された複数のネジは、前記回転板の第１の開口に逐一進入し、前記回転ユニットは、前記回転板を回転させ、前記第１の開口及びその内部のネジを所定の位置に移転させ、
前記第１の開口は、前記回転板の回転方向に垂直する方向から見てＴ字形である開口形状を有し、
前記自動輸送モジュールは、前記輸送管に接続された第１の接続管をさらに備え、前記自動締付モジュールは、前記輸送管に接続されるための第２の接続管をさらに備えることを特徴とするネジ自動締付機械。
【請求項２】
前記第１の開口は、斜孔であることを特徴とする請求項１に記載のネジ自動締付機械。
【請求項３】
前記自動輸送モジュールにはさらに空気圧パイプが設けられ、前記空気圧パイプが第２の開口を有しており、前記第１の開口及びその内部のネジが前記第２の開口に回転移動することで、前記第１の開口の斜度によりその内部のネジが前記第２の開口内に移動し、前記回転ユニットが前記回転板を逆反転させることにより前記第１の開口が元の位置に復帰することで、前記回転板が前記第２の開口を閉鎖するようにすることを特徴とする請求項２に記載のネジ自動締付機械。
【請求項４】
前記自動輸送モジュールは、外部の空気圧装置に接続されて空気圧を取得するための空気圧ジョイントをさらに備え、前記空気圧が前記空気圧ジョイントの吹き付け口を介して前記空気圧パイプの空気圧貫通孔及び前記第２の開口内に入るとともに前記第２の開口内のネジが前記輸送管を介して前記自動締付モジュール内に輸送されることを特徴とする請求項３に記載のネジ自動締付機械。
【請求項５】
前記自動輸送モジュールは、前記空気圧パイプ及び前記空気圧ジョイントに接続され、前記空気圧の大きさを調整するための空気圧調節バルブをさらに備えることを特徴とする請求項４に記載のネジ自動締付機械。
【請求項６】
前記自動輸送モジュールは、両端がそれぞれ前記空気圧パイプ及び前記輸送管に接続された第１の接続管をさらに備え、前記自動締付モジュールは、前記輸送管に接続されるための第２の接続管をさらに備えることを特徴とする請求項３に記載のネジ自動締付機械。
【請求項７】
前記輸送管は、可撓管であり、前記第１の接続管及び前記第２の接続管は、剛性管であることを特徴とする請求項６に記載のネジ自動締付機械。
【請求項８】
前記第１のスプリングボール機構は、３組のスプリングと、３つのボールと、３つのＴ字形ネジとからなり、前記３組のスプリングと前記第２の接続管との間は９０度で隔てられることを特徴とする請求項６に記載のネジ自動締付機械。
【請求項９】
前記第１の接続管の第１の接続孔、前記輸送管の導通孔及び前記第２の接続管の第２の接続孔の断面形状は、Ｔ字形であることを特徴とする請求項６に記載のネジ自動締付機械。
【請求項１０】
前記自動締付モジュールは、作業ヘッドをさらに備え、前記第１のスプリングボール機構は、前記作業ヘッド内に設けられ、前記第２の接続管に位置合わせされていることを特徴とする請求項６に記載のネジ自動締付機械。
【請求項１１】
前記作業ヘッドは、本体、端部及び貫通孔を有し、前記本体が前記端部に接続され、前記端部の直径が前記本体の直径よりも小さく、前記貫通孔が前記本体及び前記端部を貫通することを特徴とする請求項１０に記載のネジ自動締付機械。
【請求項１２】
前記輸送管によって輸送されたネジは、前記第２の接続管を介して前記貫通孔箇所に輸送され、前記第１のスプリングボール機構は、前記貫通孔箇所のネジを支持し、
前記第１のスプリングボール機構は、前記第２の接続管と同一水平高度に位置合わせされていることを特徴とする請求項１１に記載のネジ自動締付機械。
【請求項１３】
前記ドライバーは、前記本体から前記貫通孔内に進入することで前記貫通孔箇所のネジを吸着するとともに、吸着されたネジを前記端部に移動して回転させることにより前記ワークに締付することを特徴とする請求項１２に記載のネジ自動締付機械。
【請求項１４】
前記自動締付モジュールは、前記作業ヘッド内に設けられ、前記第１のスプリングボール機構からのネジを支持するための第２のスプリングボール機構をさらに備えることを特徴とする請求項１０に記載のネジ自動締付機械。
【請求項１５】
前記自動締付モジュールは、前記ドライバーが設けられるドライバーベースと、前記ドライバーベースに接続され、空気圧を生成することで動力を前記自動締付モジュールに供給し、前記ドライバーベース及び前記ドライバーを移動させるための空気圧シリンダーと、をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のネジ自動締付機械。
【請求項１６】
前記自動分離モジュールに接続されるとともに、前記複数のネジを整列させ、前記整列された複数のネジを前記自動分離モジュールにより逐一分離するための自動整列モジュールをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のネジ自動締付機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ネジ締付機械に関し、特に自動化されたネジ締付機械に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、数多くの電子、電機、機械器具、玩具や家具製品等の製造業において、ワークの結合及び固定については、往々にしてネジの締付により達成している。従って、ネジは、日常生活や産業において欠かせない役割を果たしており、各分野に幅広く利用されており、市場規模が極めて大きい。
【０００３】
従来、ワークに対するネジ締付動作は、通常、作業者が一方の手でネジを持ちつつ、他方の手で電動ドライバー又はエアドライバーを持って行うため、極めて手間がかかる。従来のネジ締付方法に比して、ネジ自動締付機械では、手でネジを持つ過程が省略され、ネジのネジドライバーへの搭載工程が減少するため、ネジ自動締付機械の効率が大幅に向上している。
【０００４】
一般的に、ネジ自動締付機械のネジ供給方法は、吹き付け式と吸着式の二種類に分けられる。通常、吹き付け式は、作業が連続的であるため、ネジ締付を１回行うたびに、ネジ自動締付機械の作業ヘッドがネジを吸着するために往復動作する必要はなく、吸着式に対して全体効率が優れている。しかしながら、吹き付け式自体はネジの外形及び細長比（長さと直径との比）に制約されるため、吹き付け式による輸送にすべてのネジが適用されるわけではない。以下、例を挙げて説明する。
【０００５】
図１Ａは、従来技術における輸送管、及び吹き付け式輸送に適用されるネジの立体模式図を示す。図１Ｂは、図１Ａの従来技術における輸送管、及び吹き付け式輸送に適用されるネジの平面模式図を示す。
【０００６】
図に示すように、吹き付け式では、ネジ１２を空気圧により輸送管１０の導通孔１１を介してネジ自動締付機械の作業ヘッド（図示せず）に輸送する。ネジ１２の長さＬ１が直径Ｄ１よりも大きいため、ネジ１２は、輸送管１０の導通孔１１内において転倒又は詰まりが発生することはない。
【０００７】
図２Ａは、従来技術における輸送管、及び吹き付け式輸送に適用されないネジの立体模式図を示す。図２Ｂは、図２Ａの従来技術における吹き付け式輸送に適用されないネジの平面模式図を示す。
【０００８】
図に示すように、ネジ１３の長さＬ２が直径Ｄ２よりも小さいため、輸送管１０の導通孔１１内においてネジ１３の転倒又は詰まりが発生する。従って、ネジ１３は、吹き付け式輸送に適用されない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで、以上のとおりの事情に鑑み、上述従来技術の欠点を解決するために、ネジが転倒又は詰まる問題が発生することを解消することは、極めて重要な課題となっている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、整列された複数のネジを回転板によって逐一分離し、分離されたネジをＴ字形の導通孔を有する輸送管を介して順次輸送するとともに、前記輸送管によって輸送されたネジをスプリングボール機構で支持することにより、輸送されたネジをワークに締付するネジ自動締付機械を提供する。これにより、本発明に係る自動締付機械は、ネジの長さ不足により輸送管又は作業ヘッドの貫通孔内に転倒又は詰まりが発生することを回避することができ、自動化程度及び生産効率の高いネジ自動締付機械を提供することができる。
【００１１】
また、本発明は、整列された複数のネジを分離するための自動分離モジュールと、前記自動分離モジュールに接続されており、前記自動分離モジュールによって分離されたネジを輸送するための輸送管を有する自動輸送モジュールと、前記自動輸送モジュールに接続されており、前記輸送管によって輸送されたネジを支持するための第１のスプリングボール機構と、前記第１のスプリングボール機構によって支持されたネジをワークに締付するためのドライバーとを有する自動締付モジュールと、を備えるネジ自動締付機械を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１Ａ】従来技術における輸送管、及び吹き付け式輸送に適用されるネジの立体模式図を示す。
【図１Ｂ】図１Ａの従来技術における輸送管、及び吹き付け式輸送に適用されるネジの平面模式図を示す。
【図２Ａ】従来技術における輸送管、及び吹き付け式輸送に適用しないネジの立体模式図を示す。
【図２Ｂ】図２Ａの従来技術における吹き付け式輸送に適用されないネジの平面模式図を示す。
【図３】本発明に係るネジ自動締付機械の立体模式図を示す。
【図４Ａ】本発明に係る自動整列モジュール、自動分離モジュール及び自動輸送モジュールの作動方式の立体模式図を示す。
【図４Ｂ】本発明に係る自動整列モジュール、自動分離モジュール及び自動輸送モジュールの作動方式の立体模式図を示す。
【図４Ｃ】本発明に係る自動整列モジュール、自動分離モジュール及び自動輸送モジュールの作動方式の立体模式図を示す。
【図４Ｄ】本発明に係る自動整列モジュール、自動分離モジュール及び自動輸送モジュールの作動方式の立体模式図を示す。
【図５Ａ】本発明に係る自動輸送モジュールにおける輸送管及びその輸送されたネジの異なる方向における立体模式図を示す。
【図５Ｂ】本発明に係る自動輸送モジュールにおける輸送管及びその輸送されたネジの異なる方向における立体模式図を示す。
【図６Ａ】本発明に係る自動締付モジュールにおける第１の作業ヘッド及びスプリングボール機構等の素子の立体模式図を示す。
【図６Ｂ】図６Ａの自動締付モジュールにおける第１の作業ヘッド及びスプリングボール機構等の素子の他の立体模式図を示す。
【図６Ｃ】図６Ｂの自動締付モジュールにおける第１の作業ヘッド及びスプリングボール機構等の素子の断面模式図を示す。
【図７Ａ】本発明に係る自動締付モジュールにおける第２の作業ヘッド及びスプリングボール機構等の素子の立体模式図を示す。
【図７Ｂ】図７Ａの自動締付モジュールにおける第２の作業ヘッド及びスプリングボール機構等の素子の他の立体模式図を示す。
【図７Ｃ】図７Ｂの自動締付モジュールにおける第２の作業ヘッド及びスプリングボール機構等の素子の断面模式図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、具体的な実施例を用いて本発明の実施形態を説明する。この技術分野に精通した者は、本明細書の記載内容によって簡単に本発明のその他の利点や効果を理解できる。本発明は、その他の異なる実施例によって応用を加えることが可能である。
【００１４】
図３は、本発明に係るネジ自動締付機械の立体模式図を示す。
図３に示すように、ネジ自動締付機械１００は、３軸ステージ２００のステージ２０１に設けられており、自動整列モジュール１１０と、自動分離モジュール１２０と、自動輸送モジュール１３０と、自動締付モジュール１４０とを備える。
【００１５】
自動整列モジュール１１０は、キャリア２３０に設けられ、複数のネジ（図示せず）を整列するためのものであり、振動板選別機構又はロッカーアーム式整列機構を利用して実現することができる。
【００１６】
自動分離モジュール１２０は、自動整列モジュール１１０に接続されており、整列された複数のネジを逐一分離する。
【００１７】
自動輸送モジュール１３０は、自動分離モジュール１２０に接続されており、自動分離モジュール１２０によって分離されたネジを輸送するための輸送管１３９を有する。
【００１８】
自動締付モジュール１４０は、自動輸送モジュール１３０に接続されており、３軸ステージ２００又はロボットアームに設けられる。３軸ステージ２００を例にすると、３軸ステージ２００は、支持フレーム２０２、第１のスライドレール２１１、第２のスライドレール２１２及び第３のスライドレール２１３を備える。第１のスライドレール２１１は、支持フレーム２０２に設けられ、自動締付モジュール１４０を左右（例えばＸ軸方向）に移動させる。第２のスライドレール２１２は、第１のスライドレール２１１に設けられ、自動締付モジュール１４０を上下（例えばＺ軸方向）に移動させる。第３のスライドレール２１３は、ステージ２０１に設けられ、ワーク２２０を前後（例えばＹ軸方向）に移動させる。これにより、３軸ステージ２００は、自動締付モジュール１４０及びワーク２２０の位置を調整することができる。
【００１９】
上記自動締付モジュール１４０は、第２の接続管１４１、作業ヘッド１４２、ドライバー１４３、電動装置１４３ａ、ドライバーベース１４４及び空気圧シリンダー１４５を備える。第２の接続管１４１の両端は、それぞれ輸送管１３９及び作業ヘッド１４２に接続される。作業ヘッド１４２内の第１のスプリングボール機構（図示せず）は、輸送管１３９によって輸送されたネジを支持し、作業ヘッド１４２の端部は、ワーク２２０に当接される。
【００２０】
ドライバー１４３は、エアドライバー又は電動ドライバーであってもよく、電動装置１４３ａ（例えば電動モータ）又は空気装置により回転を行うことで、第１のスプリングボール機構によって支持されたネジをワーク２２０又はその溝内に締付する。ドライバーベース１４４にはドライバーが設けられる。空気圧シリンダー１４５は、ドライバーベース１４４に接続され、空気圧を生成し動力を自動締付モジュール１４０に供給することで、ドライバーベース１４４及びドライバー１４３を移動させる。図４Ａないし図４Ｄは、本発明に係る自動整列モジュール、自動分離モジュール及び自動輸送モジュールの作動方式の立体模式図を示す。
【００２１】
図４Ａに示すように、自動整列モジュール１１０は、それらの整列されたネジ１１１を搭載するための搭載部材１１２を備える。自動分離モジュール１２０は、回転板１２１及び回転ユニット１２２を有し、回転板１２１は、第１の開口１２３を有し、第１の開口１２３は、斜孔であってもよく、回転ユニット１２２は、回転板１２１を回転させるためのモータ又は回転シリンダー等の機構であってもよい。自動輸送モジュール１３０は、空気圧パイプ１３１、空気圧ジョイント１３２及び空気圧調節バルブ１３３を備える。
【００２２】
自動整列モジュール１１０は、複数の整列されたネジ１１１を震動又はスラスト等により自動分離モジュール１２０の方向へ移動させることで、複数の整列されたネジ１１１を逐一回転板１２１の第１の開口１２３内に進入させる。
【００２３】
図４Ｂに示すように、回転ユニット１２２は、回転板１２１を回転させることにより第１の開口１２３及びその中のネジ１１１を所定の位置に移転させる。この実施例において、回転ユニット１２２は、第１の回転方向１２４に基づいて回転板１２１を回転させることにより第１の開口１２３及びその中のネジ１１１を空気圧パイプ１３１に移転させる。
【００２４】
図４Ｃないし図４Ｄに示すように、空気圧パイプ１３１は、第２の開口１３４及び空気圧通気口１３６を備える。空気圧ジョイント１３２は、外部の空気圧装置（図示せず）に接続し空気圧を取得するための吹き付け口１３５を備える。空気圧調節バルブ１３３は、空気圧パイプ１３１及び空気圧ジョイント１３２に接続され、空気圧の大きさを調整する。
【００２５】
自動輸送モジュール１３０は、両端がそれぞれ空気圧パイプ１３１及び輸送管（図示せず）に接続された第１の接続管１３７を備えてもよい。また、第１の接続管１３７は、断面形状がＴ字形である第１の接続孔１３８を備える。
【００２６】
上記図４Ｂにおける第１の開口１２３及びその中のネジ１１１は、図４Ｄにおける空気圧パイプ１３１の第２の開口１３４に移動することで、第１の開口１２３の斜度によりその中のネジ１１１が第２の開口１３４内に移動する。
【００２７】
次に、回転ユニット１２２は、第２の回転方向１２５に応じて回転板１２１を逆回転させ、第１の開口１２３を元の位置に復帰させることで、回転板１２１が第２の開口１３４を閉鎖し、空気圧の漏洩を回避することができる。
【００２８】
さらに、空気圧が空気圧ジョイント１３２の吹き付け口１３５を介して空気圧通気口１３６及び第２の開口１３４内に進入し、空気圧通気口１３６が第２の開口１３４と連通することで、第２の開口１３４内におけるネジ１１１は、第１の接続管１３７の第１の接続孔１３８及び輸送管の導通孔を介して自動締付モジュール（図示せず）に輸送される。
【００２９】
図５Ａないし図５Ｂは、本発明に係る自動輸送モジュールにおける輸送管及びその輸送されたネジの異なる方向における立体模式図を示す。
【００３０】
図５Ａないし図５Ｂに示すように、輸送管１３９の両端がそれぞれ第１の接続管１３７及び第２の接続管１４１に容易に接続されるように、輸送管１３９は、可撓管であってもよく、上記図４Ｄ及び図３の第１の接続管１３７及び第２の接続管１４１は、剛性管であってもよい。ネジ１１１の長さは、直径よりも小さいが、その他の実施例において、ネジ１１１の長さは、直径よりも大きくてもよい。
【００３１】
ネジ１１１の形状は、Ｔ字形であり、輸送管１３９の導通孔１３９ａの断面形状もＴ字形である。これにより、ネジ１１１は、輸送管１３９を介して自動締付モジュールの作業ヘッド（図示せず）に安定して輸送することができる。従って、ネジ１１１の長さ不足によりネジ１１１が輸送管１３９を介して作業ヘッドに輸送される過程においてネジが転倒又は詰まる問題が発生することを解消することができる。
【００３２】
図６Ａは、本発明に自動締付モジュールにおける第１の作業ヘッド及びスプリングボール機構等の素子の立体模式図を示す。図６Ｂは、図６Ａの自動締付モジュールにおける第１の作業ヘッド及びスプリングボール機構等の素子の他の立体模式図を示す。図６Ｃは、図６Ｂの自動締付モジュールにおける第１の作業ヘッド及びスプリングボール機構等の素子の断面模式図を示す。
【００３３】
図に示すように、自動締付モジュール１４０は、第２の接続管１４１、作業ヘッド１４２、ドライバー１４３及び第１のスプリングボール機構１４９のほか、さらに図３のドライバーベース１４４及び空気圧シリンダー１４５を備える。
【００３４】
第２の接続管１４１の両端は、それぞれ作業ヘッド１４２及び図５Ａないし図５Ｂの輸送管１３９に接続され、第２の接続管１４１の第２の接続孔１４１ａの断面形状は、Ｔ字形である。
【００３５】
作業ヘッド１４２は、本体１４６、端部１４７及び貫通孔１４８を備える。本体１４６は、端部１４７に接続され、貫通孔１４８は、本体１４６及び端部１４７を貫通する。
【００３６】
端部１４７の直径は、本体１４６の直径よりも小さく、ドライバー１４３が吸着されたネジ１１１を螺入しようとする場合、端部１４７は、ネジ１１１が比較的に小さい凹溝又は溝に容易に螺入されるように、図３のワーク２２０におけるネジ１１１を螺入しようとする位置点に位置決め当接されることができる。
【００３７】
第１のスプリングボール機構１４９は、作業ヘッド１４２内に設けられ、第２の接続管１４１に位置合わせされる。第１のスプリングボール機構１４９は、３組のスプリング１５１、３つのボール１５２、及び３つのＴ字形ネジ１５３からなり、３組のスプリング１５１及び第２の接続管１４１は、互いに９０度で隔てられる。それらのスプリング１５１は、それぞれそれらのＴ字形ネジ１５３に嵌設され、それらのボール１５２に接触される。それらのボール１５２は、貫通孔１４８に位置し、第２の接続管１４１を介して貫通孔１４８に輸送されたネジ１１１を支持する。それらのＴ字形ネジ１５３は、それらのスプリング１５１を締め付け又は緩め、それらのボール１５２を適当な位置に位置決めする。
【００３８】
上記図５Ａないし図５Ｂの輸送管１３９によって輸送されたネジ１１１は、図６Ａないし図６Ｃの第２の接続管１４１を介して貫通孔１４８に輸送され、第１のスプリングボール機構１４９が貫通孔１４８におけるネジ１１１を支持する。
【００３９】
ドライバー１４３は、本体１４６から貫通孔１４８内に進入することで貫通孔１４８におけるネジ１１１を吸着するとともに、吸着されたネジ１１１を端部１４７に移動し回転させることで図３のワーク２２０に締付する。一般的に、ドライバー１４３及びネジ１１１は、いずれも磁気性を有してもよく、これによりドライバー１４３がネジ１１１を強く吸着し、貫通孔１４８内におけるネジ１１１の落下、転倒又は詰まりの発生が回避される。
【００４０】
図７Ａは、本発明に係る自動締付モジュールにおいて、第２の作業ヘッド及びスプリングボール機構等の素子の立体模式図を示す。図７Ｂは、図７Ａの自動締付モジュールにおける第２の作業ヘッド及びスプリングボール機構等の素子の他の立体模式図を示す。図７Ｃは、図７Ｂの自動締付モジュールにおける第２の作業ヘッド及びスプリングボール機構等の素子の断面模式図を示す。
【００４１】
図７Ａないし図７Ｃは、上記図６Ａないし図６Ｃの作業ヘッド及びスプリングボール機構等の素子とほぼ同様であるため、相違点についてのみ以下のように説明する。
【００４２】
図７Ａないし図７Ｃの自動締付モジュール１４０は、第２のスプリングボール機構１５０を備えてもよい。第２のスプリングボール機構１５０は、作業ヘッド１４２内に設けられ、第１のスプリングボール機構１４９からのネジ１１１を支持する。これにより、第１のスプリングボール機構１４９及び第２のスプリングボール機構１５０は、ネジ１１１を支持する二重保障を提供することができ、貫通孔１４８内におけるそれらのネジ１１１の落下、転倒又は詰まりの発生を回避することができる。
【００４３】
第２のスプリングボール機構１５０は、３組のスプリング１５４、３つのボール１５５、及び３つのＴ字形ネジ１５６からなり、３組のスプリング１５４は、互いに１２０度で隔てられる。それらのスプリング１５４は、それぞれそれらのＴ字形ネジ１５６に嵌設され、それらのボール１５５に接触される。それらのボール１５５は、貫通孔１４８に位置し、第１のスプリングボール機構１４９からのネジ１１１を支持する。それらのＴ字形ネジ１５６は、それらのスプリング１５４を締め付け又は緩め、それらのボール１５５を適当な位置に位置決めする。
【００４４】
上述した実施例は、本発明の原理、特徴及びその効果を例示的に説明するものに過ぎず、所属する技術分野において通常知識を有する者により本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の修正や変更が施されることが可能であり、そうした修正や変更は、本発明の特許請求の範囲に入るものである。
【符号の説明】
【００４５】
１０  輸送管
１１  導通孔
１２、１３  ネジ
１００  ネジ自動締付機械
１１０  自動整列モジュール
１１１  ネジ
１１２  搭載部材
１２０  自動分離モジュール
１２１  回転板
１２２  回転ユニット
１２３  第１の開口
１２４  第１の回転方向
１２５  第２の回転方向
１３０  自動輸送モジュール
１３１  空気圧パイプ
１３２  空気圧ジョイント
１３３  空気圧調節バルブ
１３４  第２の開口
１３５  吹き付け口
１３６  空気圧通気口
１３７  第１の接続管
１３８  第１の接続孔
１３９  輸送管
１３９ａ  導通孔
１４０  自動締付モジュール
１４１  第２の接続管
１４１ａ  第２の接続孔
１４２  作業ヘッド
１４３  ドライバー
１４３ａ  電動装置
１４４  ドライバーベース
１４５  空気圧シリンダー
１４６  本体
１４７  端部
１４８  貫通孔
１４９  第１のスプリングボール機構
１５０  第２のスプリングボール機構
１５１、１５４  スプリング
１５２、１５５  ボール
１５３、１５６  Ｔ字形ネジ
２００  三軸ステージ
２０１  ステージ
２０２  支持フレーム
２１１  第１のスライドレール
２１２  第２のスライドレール
２１３  第３のスライドレール
２２０  ワーク
２３０  キャリア
Ｄ１、Ｄ２  直径
Ｌ１、Ｌ２  長さ
【図１Ａ】
0005607198.tif 000002
【図１Ｂ】
0005607198.tif 000003
【図２Ａ】
0005607198.tif 000004
【図２Ｂ】
0005607198.tif 000005
【図３】
0005607198.tif 000006
【図４Ａ】
0005607198.tif 000007
【図４Ｂ】
0005607198.tif 000008
【図４Ｃ】
0005607198.tif 000009
【図４Ｄ】
0005607198.tif 000010
【図５Ａ】
0005607198.tif 000011
【図５Ｂ】
0005607198.tif 000012
【図６Ａ】
0005607198.tif 000013
【図６Ｂ】
0005607198.tif 000014
【図６Ｃ】
0005607198.tif 000015
【図７Ａ】
0005607198.tif 000016
【図７Ｂ】
0005607198.tif 000017
【図７Ｃ】
0005607198.tif 000018