(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定光を出射する光源と、
光強度を検出する複数個の光検出素子を有し、複数個の光検出素子によって光強度分布を検出する検出器と、
媒体と被測定粒子群とを含む被測定物を通過させる測定空間を光源と検出器との間に配置するための測定空間配置部と、
前記光源からの測定光を被測定物に照射することにより発生する光強度分布を検出器で検出して取得する光強度分布取得部と、
前記光強度分布取得部で取得された光強度分布を用いて、前記被測定物に含まれる被測定粒子群の粒度分布を算出する粒度分布算出部とを備える粒度分布測定装置であって、
前記光強度分布取得部は、前記被測定物が測定空間を通過しているか否かを各検出素子で検出される光強度のいずれかが一定値を上回っているか否かで判定し、その被測定物が測定空間を通過しているときには各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算するように検出していき、前記測定空間を通過している被測定物がなくなると、各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算することを停止する、ということを繰り返し、少なくとも１個の光検出素子において積算された光強度が閾値以上になったときに、各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算することを終了することを特徴とする粒度分布測定装置。
【請求項２】
前記測定空間に被測定物を供給するサンプル供給機構と、
前記測定空間を通過した被測定物を回収するサンプル回収機構と、
前記サンプル供給機構から被測定物を測定空間に供給するとともに、その後、前記サンプル回収機構により回収した被測定物をサンプル供給機構に戻して、再び被測定物を測定空間に供給するサンプル供給制御部とを備えることを特徴とする請求項１に記載の粒度分布測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学的手法（例えば、レーザ回折・散乱式等）を用いて被測定物に含まれる被測定粒子群の粒度分布を測定する粒度分布測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置においては、媒体（例えば、水や空気等）中に分散状態の被測定粒子群（例えば、粉体等）にレーザ光（測定光）を照射することにより、被測定粒子群で回折・散乱されたレーザ光の空間的な光強度分布を複数個の光検出素子で検出して、その光強度分布からフラウンホーファ回折理論やミーの散乱理論に基づく演算を行うことによって、被測定粒子群の粒度分布を算出する。
【０００３】
図４は、従来の粒度分布測定装置の概略構成の一例を示す図である。なお、図４中で、光学系の構成を表す模式図と、データサンプリング回路やコンピュータからなる信号処理系の構成を表すブロック図とを併記して示している。
粒度分布測定装置１０１は、測定空間を配置するための測定空間配置部１３と、測定空間に対してレーザ光を照射する照射光学系１２と、光強度分布を検出する検出光学系１４と、測定空間にエアロゾル（被測定物）Ｓを供給するサンプル供給装置２と、データサンプリング回路１５と、通信制御回路１６と、粒度分布測定装置１０１全体を制御するコンピュータ（制御部）１１７とを備える。
ここでは、被測定粒子群Ｐを空気（媒体）Ｌ中に分散させたエアロゾルＳを測定することにより、被測定粒子群Ｐの粒度分布を算出するものとする。
【０００４】
測定空間配置部１３は、下端部に下側接続口を、上端部に上側接続口を有する。そして、測定空間配置部１３の下側接続口は、エアロゾル移送パイプ２４ｆを介してサンプル供給装置２と接続されている。また、上側接続口は、吸引パイプ３１を介してポンプ３４と接続されている。
このような構成において、ポンプ３４が駆動することによって、サンプル供給機構２内のエアロゾルＳが、下側接続口から測定空間に流入し、そして、測定空間を下方から上方へ通過し、その後、上側接続口から流出するようになっている。
【０００５】
サンプル供給装置２は、鉛直方向となる回転軸２１ａを有する土台２５と、円板状のターンテーブル２１と、ターンテーブル２１の上方に配置されたホッパ２２、充填器２３及び移送機構２４とによって構成される。
ターンテーブル２１は、土台２５の回転軸２１ａを中心として図中矢印で示す向きに回転可能となっている。ターンテーブル２１の上面には、回転軸２１ａを中心とする円周状の溝２０が形成されている。
ホッパ２２は、内部に充填された被測定粒子群Ｐをターンテーブル２１の溝２０の内部に向けて落下させて供給するものである。
充填器２３は、溝２０の内部に供給された被測定粒子群Ｐに対して振動等を与えることによって、溝２０の内部に被測定粒子群Ｐを均一に充填するものである。
【０００６】
移送機構２４は、エジェクタ２４ａと、一端が下向きに開口するとともに他端がエジェクタ２４ａに接続された吸引パイプ２４ｂと、エジェクタ２４ａにボンベ２４ｃから高圧の空気を供給する空気供給パイプ２４ｄと、一端がエジェクタ２４ａに接続されるとともに他端が測定空間に向かって開口する噴出ノズル２４ｅが装着されたエアロゾル移送パイプ２４ｆとによって構成される。
このような移送機構２４によれば、吸引パイプ２４ｂにより吸引された被測定粒子群Ｐは、エジェクタ２４ａ内で高圧空気中に混入され、エアロゾル移送パイプ２４ｆを通って移送され、エアロゾル移送パイプ２４ｆの先端に装着された噴出ノズル２４ｅからエアロゾルＳとなって測定空間に噴出されるようになっている。
【０００７】
粒度分布測定装置１０１の左側部には、照射光学系１２が設置され、具体的にはレーザ光源１１と集光レンズ１２ａと空間フィルタ１２ｂとコリメータ１２ｃとが左からこの順に配置されている。
このような照射光学系１２の構成において、レーザ光源１１で発生されたレーザ光は、集光レンズ１２ａ、空間フィルタ１２ｂ、コリメータ１２ｃを通過して平行光とされ、前方向（図の左から右へ）に向かうように測定空間に照射される。
これにより、測定空間をエアロゾルＳが通過していれば、レーザ光は、測定空間の被測定粒子群Ｐで回折・散乱して、空間的に回折・散乱光の光強度分布パターンが生ずることになる。
【０００８】
粒度分布測定装置１０１の右側部には、検出光学系１４が設置され、具体的には集光レンズ１４ａとリングディテクタ（前方散乱光センサ）１４ｂとが左からこの順に配置されている。
リングディテクタ１４ｂは、互いに異なる半径を持つリング状ないしは半リング状の受光面を持つ６４個の光検出素子を、集光レンズ１４ａの光軸を中心とするように同心円状に配置してあり、各光検出素子には、それぞれの位置に応じた回折・散乱角度を持つ光が入射するようにしてある。したがって、各光検出素子の出力信号は、各回折・散乱角度ごとの光の強度を表すことになる。
このような検出光学系１４の構成において、前方向に対して６０°以内の回折・散乱光は、集光レンズ１４ａを介してリングディテクタ１４ｂの受光面上に集光されて、リング状の回折・散乱像を結ぶようになる。
【０００９】
また、前方向に対して６０°を越えることになる側方（後上方向）への散乱光は、側方散乱光センサ（図示せず）によって検出される。
さらに、前方向に対して６０°を越えることになる後方（後下方向）への散乱光は、５個の後方散乱光センサ（図示せず）によって検出される。
後方散乱光センサは、５個の光検出素子を、左から右へ一直線状に並ぶように配置してあり、各光検出素子には、それぞれの位置に応じた回折・散乱角度を持つ光が入射するようにしてある。したがって、各光検出素子の出力信号は、各回折・散乱角度ごとの光の強度を表すことになる。
リングディテクタ１４ｂ、側方散乱光センサ及び後方散乱光センサの７０個の各光検出素子の出力信号は、アンプ、マルチプレクサ及びＡ−Ｄ変換器からなるデータサンプリング回路１５によって順次デジタル化され、回折・散乱光の光強度分布データとして汎用のコンピュータ１１７に送信される。
【００１０】
コンピュータ１１７は、ＣＰＵ１４０とメモリ１６０とを備え、モニタ画面を有する表示装置５２と、キーボード５１ａやマウス５１ｂを有する入力装置５１とが連結されている。
ＣＰＵ１４０が処理する機能をブロック化して説明すると、光強度分布データを取得する光強度分布取得部１４１と、被測定粒子群Ｐの粒度分布を算出する粒度分布算出部４３と、サンプル供給装置２を制御するサンプル供給制御部４２とを有する。
また、メモリ１６０には、光強度分布データを記憶するための光強度分布記憶領域１６２と、粒子及び空気（媒体）Ｌの屈折率や、フラウンホーファ回折理論やミーの散乱理論に基づいた公知の演算式等を記憶するデータ記憶領域６１とを有する。
【００１１】
サンプル供給制御部４２は、測定者によって、エアロゾルＳを測定するように入力装置５１で入力されると、サンプル供給機構２から測定空間にエアロゾルＳを供給する制御を行う。
【００１２】
光強度分布取得部１４１は、エアロゾルＳが測定空間を通過していると判定すると、測定空間に照射光学系１２からのレーザ光を照射するとともに、リングディテクタ１４ｂ、側方散乱光センサ及び後方散乱光センサの７０個の各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算するように検出していき、エアロゾルＳが測定空間を通過していないと判定すると、７０個の各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算することを終了することで、光強度分布データを取得して光強度分布記憶領域１６２に記憶させる制御を行う。
ここで、図５（ａ）は、光強度分布取得部が取得した光強度分布データの一例を示す図である。縦軸は光強度であり、横軸は光検出素子の素子番号である。なお、縦軸の光強度は、リングディテクタ、側方散乱光センサ及び後方散乱光センサの各光センサにおける光検出素子で検出可能となる光強度の最大値を１００％としている。
【００１３】
粒度分布算出部４３は、光強度分布取得部１４１で得られた光強度分布データと、粒子及び空気Ｌの屈折率とを用いて、フラウンホーファ回折理論やミーの散乱理論に基づいた公知の演算を行うことによって、エアロゾルＳに含まれる被測定粒子群Ｐの粒度分布を算出する制御を行う。
ここで、図５（ｂ）は、粒度分布算出部４３で算出した粒度分布データの一例を示す図である。縦軸は粒子量であり、横軸は粒子径である。
【００１４】
ところで、リングディテクタ１４ｂ、側方散乱光センサ及び後方散乱光センサの７０個の各光検出素子からの光強度データの数値は、被測定粒子群Ｐの濃度に依存する。よって、ホッパ２２に充填することができる被測定粒子群Ｐの量が少ない場合には、低濃度の被測定粒子群Ｐを含むエアロゾルＳしか得られず、その結果、図５（ａ）に示すように光強度データの数値が小さくなる。したがって、良好な出力信号のＳ／Ｎのもとに被測定粒子群Ｐの粒度分布を算出することができないという問題があった。
そこで、低濃度の被測定粒子群Ｐを含むエアロゾルＳを測定する場合でも、光強度データの数値を大きくするために、測定空間を通過したエアロゾルＳを回収するサンプル回収機構３を備えた粒度分布測定装置１０１が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【００１５】
サンプル回収装置３は、吸引パイプ３１と、下室３２ａと上室３２ｂとからなる回収容器３２と、排気パイプ３３と、ポンプ３４とからなる。
吸引パイプ３１は、一端側３１ａが開口し噴出ノズル２４ｅに対向するように配置されるとともに、他端側３１ｂは回収容器３２の下室３２ａに接続してある。
回収容器３２の下室３２ａと上室３２ｂとは、フィルタ３２ｃにより仕切られている。フィルタ３２ｃは、空気を通過させるが、被測定粒子群Ｐを通過させないものである。そして、回収容器３２の上室は、排気パイプ３３を介してポンプ３４と接続されている。
このようなサンプル回収装置３によれば、ポンプ３４が駆動されると、測定空間の被測定粒子群Ｐが空気Ｌとともに吸引パイプ３１から吸引され、被測定粒子群Ｐは回収容器３２の下室３２ａに回収されることになる。そして、下室３２ａに回収された被測定粒子群Ｐは、サンプル供給装置２のホッパ２２に戻されることにより、再度測定に使用されるようになっている。
【００１６】
このような粒度分布測定装置１０１によれば、粒度分布算出部４３は、光強度分布取得部１４１で得られた１回目の光強度分布データと、光強度分布取得部１４１で得られた２回目の光強度分布データと、光強度分布取得部１４１で得られた３回目の光強度分布データとを積算して、積算した光強度分布データを用いて、エアロゾルＳに含まれる被測定粒子群Ｐの粒度分布を算出している。
ここで、図６（ａ）は、光強度分布取得部が取得した３回の光強度分布データの一例を示す図であり、図６（ｂ）は、積算した光強度分布データの一例を示す図であり、図６（ｃ）は、粒度分布算出部で算出した粒度分布データの一例を示す図である。
これにより、光強度データの数値を大きくすることができる。その結果、出力信号のＳ／Ｎが向上するので、被測定粒子群Ｐの粒度分布を高精度に算出している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特開２００８−１５７６３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
ところで、上述したような粒度分布測定装置１０１では、絶対量が少ない被測定粒子群Ｐを測定する場合に、予め、正確な被測定粒子群Ｐの粒度分布を得るために必要と思われる積算回数（ｎ）を、例えば３回と入力している。
しかしながら、被測定粒子群Ｐの絶対量を見て、測定者が積算回数（ｎ）を判断しても、積算した光強度データの数値がまだまだ小さいままであったり、今度は積算した光強度データの数値が大きくなりすぎたりすることがあった。
そこで、本発明は、最適な光強度の光強度分布を用いて、被測定物に含まれる被測定粒子群の粒度分布を算出することできる粒度分布測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記課題を解決するためになされた本発明の粒度分布測定装置は、測定光を出射する光源と、光強度を検出する複数個の光検出素子を有し、複数個の光検出素子によって光強度分布を検出する検出器と、媒体と被測定粒子群とを含む被測定物を通過させる測定空間を光源と検出器との間に配置するための測定空間配置部と、前記光源からの測定光を被測定物に照射することにより発生する光強度分布を検出器で検出して取得する光強度分布取得部と、前記光強度分布取得部で取得された光強度分布を用いて、前記被測定物に含まれる被測定粒子群の粒度分布を算出する粒度分布算出部とを備える粒度分布測定装置であって、前記光強度分布取得部は、前記被測定物が測定空間を通過しているか否かを各検出素子で検出される光強度のいずれかが一定値を上回っているか否かで判定し、その被測定物が測定空間を通過しているときには各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算するように検出していき、前記測定空間を通過している被測定物がなくなると、各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算することを停止する、ということを繰り返し、少なくとも１個の光検出素子において積算された光強度が閾値以上になったときに、各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算することを終了することを特徴とする。
【００２０】
ここで、「測定光」としては、レーザ光が好ましいが、これに限らず、ＬＥＤによる光、分光器で分光された光、干渉フィルタやバンドパスフィルタ等で波長範囲が制限された光を用いてもよい。
また、「媒体」としては、内部で被測定粒子群が分散できるものであればよく、例えば、水や油等の液体や、ゲルや、固体や、空気等の気体等が挙げられる。
また、「光強度」とは、光検出素子で検出される数値そのものではなくてもよく、被測定物を測定する前に既に検出されている初期余剰光の光強度が存在する場合もあるので、光検出素子で検出される数値と初期余剰光の数値との差分であることが好ましい。
【００２１】
本発明の粒度分布測定装置によれば、光強度分布取得部は、各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算するように検出していき、少なくとも１個の光検出素子において積算された光強度に基づいて、各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算することを終了するか否かを決定する。よって、光強度データの数値が小さいと、各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算することを継続して、光強度データの数値が大きくなりすぎる前に、各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算することを終了することになる。つまり、積算した光強度データの数値がまだまだ小さいままであったり、積算した光強度データの数値が大きくなりすぎたりすることがなくなる。
その後、粒度分布算出部は、光強度分布取得部で取得された光強度分布を用いて、被測定物に含まれる被測定粒子群の粒度分布を算出する。
【発明の効果】
【００２２】
以上のように、本発明の粒度分布測定装置によれば、最適な光強度の光強度分布を用いて、被測定物に含まれる被測定粒子群の粒度分布を算出することできる。
【００２３】
上記で、「閾値」とは、設計者等によって予め決められた任意の数値であり、例えば、光検出素子で検出可能となる最大値の５０％の大きさとなる。
【００２４】
そして、本発明の粒度分布測定装置においては、前記光強度分布取得部は、前記被測定物が測定空間に供給されているか否かを判定しながら光強度を積算しているから、有効な光強度のみを積算することになる。
【００２５】
さらに、本発明の粒度分布測定装置においては、前記測定空間に被測定物を供給するサンプル供給機構と、前記測定空間を通過した被測定物を回収するサンプル回収機構と、前記サンプル供給機構から被測定物を測定空間に供給するとともに、その後、前記サンプル回収機構により回収した被測定物をサンプル供給機構に戻して、再び被測定物を測定空間に供給するサンプル供給制御部とを備えるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施形態である粒度分布測定装置の全体構成を示す概略構成ブロック図である。
【図２】光強度分布データと粒度分布データとの一例を示す図である。
【図３】算出方法について説明するためのフローチャートである。
【図４】従来の粒度分布測定装置の全体構成を示す概略構成ブロック図である。
【図５】光強度分布データと粒度分布データとの一例を示す図である。
【図６】光強度分布データと粒度分布データとの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれる。
【００２８】
図１は、本発明の一実施形態である粒度分布測定装置の全体構成を示す概略構成ブロック図である。なお、粒度分布測定装置１０１と同様のものについては、同じ符号を付している。
粒度分布測定装置１は、測定空間を配置する測定空間配置部１３と、測定空間に対してレーザ光を照射する照射光学系１２と、光強度分布を検出する検出光学系１４と、測定空間にエアロゾル（被測定物）Ｓを供給するサンプル供給装置２と、データサンプリング回路１５と、通信制御回路１６と、粒度分布測定装置１全体を制御するコンピュータ（制御部）１７とを備える。
本実施形態は、被測定粒子群Ｐを空気（媒体）Ｌ中に分散させたエアロゾルＳを測定することにより、被測定粒子群Ｐの粒度分布を算出するものである。
【００２９】
コンピュータ１７は、ＣＰＵ４０とメモリ６０とを備え、モニタ画面を有する表示装置５２と、キーボード５１ａやマウス５１ｂを有する入力装置５１とが連結されている。
ＣＰＵ４０が処理する機能をブロック化して説明すると、光強度分布データを取得する光強度分布取得部４１と、被測定粒子群Ｐの粒度分布を算出する粒度分布算出部４３と、サンプル供給装置２を制御するサンプル供給制御部４２とを有する。
また、メモリ６０には、光強度分布データを記憶するための光強度分布記憶領域６２と、粒子及び空気（媒体）Ｌの屈折率や、フラウンホーファ回折理論やミーの散乱理論に基づいた公知の演算式等を記憶するデータ記憶領域６１とを有する。なお、光強度分布記憶領域６２には、７０個の各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算することを終了するための光強度の閾値Ｉｔｈが予め記憶されている。
【００３０】
サンプル供給制御部４２は、測定者によって、エアロゾルＳを測定するように入力装置５１で入力されると、サンプル供給機構２から測定空間にエアロゾルＳを供給するとともに、光強度分布取得部４１からの終了信号に基づいて、サンプル供給機構２から測定空間にエアロゾルＳを供給することを終了する制御を行う。
【００３１】
光強度分布取得部４１は、エアロゾルＳが測定空間を通過していると判定すると、測定空間に照射光学系１２からのレーザ光を照射するとともに、リングディテクタ１４ｂ、側方散乱光センサ及び後方散乱光センサの７０個の各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算するように検出していき、エアロゾルＳが測定空間を通過していないと判定すると、７０個の各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算することを停止し（図２（ａ）参照）、その後、エアロゾルＳが測定空間を通過していると判定すると、７０個の各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算するように検出していくことを再開するようにして、少なくとも１個の光検出素子（例えば、素子番号５９）において積算された光強度が閾値Ｉｔｈ以上になったときに、７０個の各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算することを終了することで、光強度分布データを取得して光強度分布記憶領域６２に記憶させるとともに、サンプル供給制御部４２に終了信号を送信する制御を行う（図２（ｂ）参照）。
【００３２】
このとき、エアロゾルＳが測定空間を通過しているか否かの判定を行う方法としては、光検出素子で検出される光強度のいずれかが一定値を上回っているか否かを目安にし、一定期間、一定値を下回っていると判定したときは、エアロゾルＳが測定空間を通過していないものとする。
そして、エアロゾルＳが測定空間を通過していると判定している際には、例えば、図２（ａ）に示す光強度分布データでは、全ての光検出素子において積算された光強度が閾値Ｉｔｈ未満であるので、各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算するように検出していくことになり、図２（ｂ）に示す光強度分布データになると、一（例えば、素子番号５９）の光検出素子において積算された光強度が閾値Ｉｔｈ以上であるので、各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算することを終了する。つまり、光強度分布取得部４１では、図２（ｂ）に示す光強度分布データが得られることになる。
【００３３】
粒度分布算出部４３は、光強度分布取得部４１で得られた光強度分布データと、粒子及び空気Ｌの屈折率とを用いて、フラウンホーファ回折理論やミーの散乱理論に基づいた公知の演算を行うことによって、エアロゾルＳに含まれる被測定粒子群Ｐの粒度分布を算出する制御を行う。
ここで、図２（ｃ）は、粒度分布算出部４３で算出した粒度分布データの一例を示す図である。縦軸は粒子量であり、横軸は粒子径である。棒グラフは粒子量を粒子径に関する微分値で表したものであり、白丸付きの曲線グラフは粒子量を粒子径に関する積算値で表したものである。
【００３４】
ここで、被測定粒子群Ｐの粒度分布を算出する算出方法について説明する。図３は、算出方法について説明するためのフローチャートである。
まず、ステップＳ１０１の処理において、測定者は、被測定粒子群Ｐをサンプル供給機構２に収容する。
次に、ステップＳ１０２の処理において、測定者は、エアロゾルＳを測定するように入力装置５１で入力する。
【００３５】
次に、ステップＳ１０３の処理において、サンプル供給制御部４２は、サンプル供給機構２から測定空間にエアロゾルＳを供給する。
次に、ステップＳ１０４の処理において、光強度分布取得部４１は、エアロゾルＳが測定空間を通過しているか否かを判定する。エアロゾルＳが測定空間を通過していないと判定すると、ステップＳ１０４の処理を繰り返す。
一方、エアロゾルＳが測定空間を通過していると判定すると、ステップＳ１０５の処理において、光強度分布取得部４１は、リングディテクタ１４ｂ、側方散乱光センサ及び後方散乱光センサの７０個の各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算するように検出していく。
【００３６】
次に、ステップＳ１０６の処理において、光強度分布取得部４１は、少なくとも１個の光検出素子において積算された光強度が閾値Ｉｔｈ以上になったか否かを判定する。全ての光検出素子において積算された光強度が閾値Ｉｔｈ以上になっていないと判定したときには、ステップＳ１０７の処理において、光強度分布取得部４１は、エアロゾルＳが測定空間を通過しているか否かを判定する。エアロゾルＳが測定空間を通過していると判定すると、ステップＳ１０５の処理に戻る。
一方、エアロゾルＳが測定空間を通過していないと判定すると、ステップＳ１０８の処理において、光強度分布取得部４１は、７０個の各光検出素子で検出される光強度をそれぞれ積算することを停止する。
そして、ステップＳ１０３の処理に戻る。つまり、１回目の測定では、光強度が閾値Ｉｔｈ以上にならなかったので、２回目の測定を行うことになる。
【００３７】
一方、ステップＳ１０６の処理において、少なくとも１個の光検出素子において積算された光強度が閾値Ｉｔｈ以上になったと判定したときには、ステップＳ１０９の処理において、サンプル供給制御部４２は、サンプル供給機構２から測定空間にエアロゾルＳを供給することを停止する。
次に、ステップＳ１１０の処理において、粒度分布算出部４３は、光強度分布取得部４１で得られた光強度分布データと、粒子及び空気Ｌの屈折率とを用いて、フラウンホーファ回折理論やミーの散乱理論に基づいた公知の演算を行うことによって、エアロゾルＳに含まれる被測定粒子群Ｐの粒度分布を算出する。
そして、ステップＳ１１０の処理が終了したときには、本フローチャートを終了させる。
【００３８】
以上のように、粒度分布測定装置１によれば、最適な強度の光強度分布を用いて、被測定物に含まれる被測定粒子群の粒度分布を算出することできる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明は、光学的手法を用いて被測定物に含まれる被測定粒子群の粒度分布を測定する粒度分布測定装置等に使用することができる。
【符号の説明】
【００４０】
１  粒度分布測定装置
１１  レーザ光源
１３  測定空間配置部
１４  検出器
４１  光強度分布取得部
４３  粒度分布算出部
【図１】
0005549390.tif 000002
【図２】
0005549390.tif 000003
【図３】
0005549390.tif 000004
【図４】
0005549390.tif 000005
【図５】
0005549390.tif 000006
【図６】
0005549390.tif 000007