(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板の表面を区画する隔壁と、前記基板と前記隔壁により区画された基板上の領域とを有するマイクロアレイ用基板の形成方法において、
基板上に感光性組成物から得られる塗膜を形成する工程（１）、前記隔壁に対応するよう前記塗膜を露光する工程（２）、前記工程（２）で得た露光後の塗膜を現像しパターン化塗膜を形成する工程（３）及び着色剤を含有する組成物から得られる塗膜により前記パターン化塗膜を被覆する工程（４）、を有することを特徴とするマイクロアレイ用基板の形成方法。
【請求項２】
前記工程（３）により形成されたパターン化塗膜が、酸性成分を含有する、請求項１のマイクロアレイ用基板の形成方法。
【請求項３】
前記感光性組成物が、カルボキシル基を有する重合体（Ａ）、多官能性単量体（Ｂ）、感光性重合開始剤（Ｃ）及び有機溶剤（Ｄ）を含有する、請求項１又は請求項２のマイクロアレイ用基板の形成方法。
【請求項４】
前記、着色剤を含有する組成物が、水溶性染料（Ｅ）、酸の作用により架橋反応する水溶性架橋剤（Ｆ）、水溶性重合体（Ｇ）及び水を含有する、請求項３のマイクロアレイ用基板の形成方法。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のマイクロアレイ用基板の形成方法により形成される、マイクロアレイ用基板。
【請求項６】
請求項５のマイクロアレイ用基板と、前記領域に固定化されたプローブ分子とを有する、マイクロアレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロアレイ用基板の形成方法、感光性組成物、着色剤を含有する組成物、マイクロアレイ用基板及びマイクロアレイに関する。更に詳しくは、生体関連物質との相互作用を計測したり、反応を利用したりするためのデバイス等に用いられるマイクロアレイ用基板の形成方法、感光性組成物、着色剤を含有する組成物、マイクロアレイ用基板及びマイクロアレイに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
マイクロアレイとは、例えば、基体上に、核酸、タンパク質、ペプチド、糖鎖、低分子化合物、細胞、組織などの物質をプローブ分子として搭載し、ターゲット分子である生体関連物質との相互作用を計測したり、反応を利用したりするためのデバイスである。また、マイクロアレイでは、プローブ分子を固定化するための区画された複数の反応領域（キャビティ）を有する基板（マイクロアレイ用基板）を用いる。
【０００３】
プローブ分子とターゲット分子との相互作用や反応を検出する方法として、通常、プローブ分子とターゲット分子との相互作用や反応の際に放出される蛍光を、必要に応じ蛍光標識剤等を用いて、検出する技術がある。例えば、蛍光標識を用いた反応では、マイクロアレイ全体に誘起光照射を行い、個々のキャビティから発せられる蛍光を測定器により受光して反応の有無や状態を検知する（特許文献１乃至５）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２１４８８９号公報
【特許文献２】ＷＯ０６／１０１２２９号公報
【特許文献３】特開２００１−３４３３８５号公報
【特許文献４】特開２００６−３２０３０７号公報
【特許文献５】ＷＯ０７／０４８０３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年マイクロアレイは、一括した処理でより多くの情報を得るために、集積量を上げる試みがなされている。集積量を上げるにつれて、各キャビティ間の距離がより近くなるため、各キャビティから発せられる蛍光の混色がより顕著になり検知が困難になってきている。即ち、集積量を上げるにつれてより隔壁が狭化してキャビティ間の光を十分に分離できなくなるという問題がある。これに対して、測定光領域に吸収帯を有する成分（吸光剤や着色剤等）を含有させた感光性組成物をリソグラフィー法により隔壁を形成することにより、光学的にキャビティ間を分離する方法が考えられる。
【０００６】
前記着色剤等を含有させた感光性組成物から得られる塗膜は、測定光領域の波長だけでなく、リソグラフィー法で用いられる露光光の波長に対して、少なからず吸収する。このように露光光の波長に塗膜が吸収帯を有すると、塗膜の基板近辺まで十分に露光光が届かず、前記感光性組成物がネガ型なら逆テーパー状の隔壁が、前記感光性組成物がポジ型なら順テーパー状の隔壁が形成される。
【０００７】
逆テーパー状の隔壁では、隔壁の底部の幅が狭いため隔壁の強度が弱くなり、例えば、プローブ分子とターゲット分子との相互作用や反応を行う際の熱水などの熱に耐えられない。一方、順テーパー状の隔壁では以下の（１）〜（３）の問題がある。（１）マイクロアレイの集積量を上げることができない。（２）十分な大きさのキャビィティが得られないためプローブ分子を固定化が困難である。（３）隔壁により基板を被覆するため、基板側に蛍光の測定器を形成できない。
【０００８】
本発明は上述の問題を解決するためになされたものであり、着色剤を含有し且つ矩形な隔壁を有するマイクロアレイ用基板の形成方法の提供、着色剤を含有し且つ矩形な隔壁を有するマイクロアレイ用基板の提供および該マイクロアレイ用基板を有するマイクロアレイの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は以下のとおりである。
［１］基板と、前記基板の表面を区画する隔壁と、前記基板と前記隔壁により区画された基板上の領域とを有するマイクロアレイ用基板の形成方法において、
基板上に感光性組成物から得られる塗膜を形成する工程（１）、前記隔壁に対応するよう前記塗膜を露光する工程（２）、前記工程（２）で得た露光後の塗膜を現像しパターン化塗膜を形成する工程（３）及び着色剤を含有する組成物から得られる塗膜により前記パターン化塗膜を被覆する工程（４）、を有することを特徴とするマイクロアレイ用基板の形成方法。
［２］前記工程（３）により形成されたパターン化塗膜が、酸性成分を含有する、前記［１］のマイクロアレイ用基板の形成方法。
［３］前記感光性組成物が、カルボキシル基を有する重合体（Ａ）、多官能性単量体（Ｂ）、感光性重合開始剤（Ｃ）及び有機溶剤（Ｄ）を含有する、前記［１］又は前記［２］のマイクロアレイ用基板の形成方法。
［４］前記、着色剤を含有する組成物が、水溶性染料（Ｅ）、酸の作用により架橋反応する水溶性架橋剤（Ｆ）、水溶性重合体（Ｇ）及び水を含有する、前記［３］のマイクロアレイ用基板の形成方法。
［５］前記［１］〜前記［４］のマイクロアレイ用基板の形成方法により形成される、マイクロアレイ用基板。
［６］前記［５］のマイクロアレイ用基板と、前記領域に固定化されたプローブ分子とを有する、マイクロアレイ。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のマイクロアレイ用基板の形成方法によれば、着色剤を含有し且つ矩形な隔壁を有するマイクロアレイ用基板を得ることができる。さらに、本発明のマイクロアレイは前記マイクロアレイ用基板を有していることから、プローブ分子とターゲット分子との相互作用や反応を良好に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の「マイクロアレイ用基板の形成方法」を模式的に示した図である。
【図２】マイクロアレイ用基板を模式的に示した図である。
【図３】実施例１のマイクロアレイ用基板の隔壁の断面の写真（電子顕微鏡）である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明に係るマイクロアレイ用基板の形成方法、感光性組成物、着色剤を含有する組成物、マイクロアレイ用基板及びマイクロアレイについて、詳細に説明する。
【００１３】
［１］マイクロアレイ用基板の形成方法
本発明のマイクロアレイ用基板の形成方法は、基板と、前記基板の表面を区画する隔壁と、前記基板と前記隔壁により区画された基板上の領域とを有するマイクロアレイ用基板の形成方法において、
基板上に感光性組成物から得られる塗膜を形成する工程（１）、前記隔壁に対応するよう前記塗膜を露光する工程（２）、前記工程（２）で得た露光後の塗膜を現像しパターン化塗膜を形成する工程（３）及び着色剤を含有する組成物から得られる塗膜により前記パターン化塗膜を被覆する工程（４）、を有することを特徴とする。
【００１４】
露光光の波長に対して吸収のある塗膜から、露光、現像により隔壁の形成を行うと、基板近辺まで十分に露光光が届かなく、結果、逆テーパー状若しくはテーパー状の隔壁が形成されることとなる。
この問題に対して、本発明のマイクロアレイ用基板の形成方法では、最初に、露光光の波長に対して吸収の少ない塗膜から、露光、現像により、矩形なパターン化塗膜を形成後、当該パターン化塗膜を着色することにより、矩形で着色剤を含有する隔壁を形成するというものである。
【００１５】
［１−１］工程（１）
工程（１）では、図１（１）に示すように、基板０１上に、感光性組成物を塗布して、必要に応じて加熱処理（プレベーク）を行い、塗膜１１を形成する工程である。
【００１６】
基板０１としては、無機材料でも有機材料でもよく、これらの複合材料であってもよい。また、基板０１は、その表面側と他面側とが異なる材料からなってもよい。基板を構成する材料としては、シリコン、二酸化ケイ素及びガラス（ホウケイ酸ガラス、表面改質ガラス、石英ガラス等を含む）等のケイ素を主成分とする無機材料が挙げられる。また、ポリプロピレン及びポリアクリルアミド（アクリルアミドによって表面が活性化されたポリアクリルアミドを含む）等の有機材料が挙げられる。また、前記塗膜との密着性を更に向上させるのに適した反応性部位（例えば、活性なアミノ基など）を有する基板を用いることができる。更に、前記基板としては、固体撮像素子（ＣＭＯＳイメージセンサーなど）などの受光素子を有する基板を用いることができる。受光素子を有する基板を用いた場合には、プローブ分子とターゲット分子との相互作用や反応の際に放出される蛍光を基板自体に受光させることができる。
【００１７】
本発明のマイクロアレイ用基板の形成方法における感光性組成物としては、着色剤を含有していても、含有していなくてもどちらでも良い。しかしながら、通常、着色剤は露光光の波長に対して、少なからず吸収するため、着色剤が含有していると、後述する工程（３）で矩形なパターンを得ることができないことから、前記感光性組成物には、着色剤を含有していない方が好ましい。
【００１８】
本発明のマイクロアレイ用基板の形成方法における感光性組成物としては、ネガ型感光性組成物（以下、単に「ネガ型」ともいう）でもよく、ポジ型感光性組成物（以下、単に「ポジ型」ともいう）でもよい。ネガ型とは、感光性組成物から得られる塗膜において、露光光の照射部分が、現像後パターンとして残る感光性組成物のことである。一方、ポジ型とは、感光性組成物から得られる塗膜において、露光光の非照射部分が、現像後パターンとして残る感光性組成物のことである。
【００１９】
また、本発明のマイクロアレイ用基板の形成方法における感光性組成物には、通常、均一な塗膜を形成するために、溶剤を含有している。該溶剤としては、水などの無機溶剤や有機溶剤が挙げられるが、該感光性組成物中に通常含まれる重合体の溶解性の点から、通常、有機溶剤が用いられる。
【００２０】
本発明のマイクロアレイ用基板の形成方法における感光性組成物としては、感光性組成物由来の成分が隔壁の内部に含有するため、熱水に対する安定性に優れた隔壁が得られるネガ型が好ましい。
【００２１】
前記ポジ型としては、例えば、特開２００９−１３３９２４号公報、特開２００１−２８１８６２号公報、特開平１１−１０６６０６号公報、特開２００８−１９２７７４号公報、特開２００４−３０９７７６号公報、特開２００４−１２５８１５号公報、特開２００７−２７９０７３号公報及び２００７−１８２５５５号公報等に記載の感光性組成物を用いることができる。
より具体的には、（１）酸の作用により現像液に対する溶解性が変化する重合体、感光性酸発生剤及び溶剤を含有する組成物、（２）アルカリ可溶性重合体、ナフトキノンジアジド化合物及び溶剤を含有する組成物、等がある。
【００２２】
ネガ型としては、例えば、特開２００７−２９３３０６号公報、特開２００３−２１５８０２号公報、特開２００４−１０６６０号公報、特開２００３−２５８４２２号公報、特開２００４−１７１０２６号公報、特開２００４−２１２９８３号公報、ＷＯ０４／１１１７３４号公報、ＷＯ０５／０３６２６９号公報、特開２００４−１９８９０６号公報及び特開２００５−２６６４７４号公報等に記載の感光性組成物が挙げられる。
より具体的には、（３）重合体、多官能性単量体、感光性重合開始剤及び溶剤を含有する組成物（４）重合体、エポキシ化合物やメラミン化合物などの架橋剤、感光性酸発生剤及び溶剤を含有する組成物、等がある。
【００２３】
ネガ型のなかでも、前記（３）に記載の組成物が熱水に対する安定性に優れた隔壁が得られることから好ましい。さらに、後述のとおりパターン化塗膜は酸性成分を含有する方が好ましいことから、重合体はカルボキシル基を有する重合体が好ましい。
なお、カルボキシル基を有する重合体（Ａ）、多官能性単量体（Ｂ）、感光性重合開始剤（Ｃ）及び有機溶剤（Ｄ）を含有する組成物の詳細については、後述の『［２］感光性組成物』にて述べる。
【００２４】
前記感光性組成物の塗布方法としては、均一に塗布できる方法であればどのような方法であってもよく、例えば、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法（スピンコート法）、スリットダイ塗布法、バー塗布法、インクジェット法等の適宜の方法を採用することができる。特にスピンコート法またはスリットダイ塗布法は、均一な膜厚の塗膜を得ることができるため好ましい。
また、プレベークの条件は、各成分、特に溶剤の種類及び使用量等によって適宜選択可能であるが、通常、６０〜１６０℃で３０秒間〜１５分間である。
【００２５】
このようにして得られた塗膜１１の膜厚は、目的とする隔壁の高さにより適宜選択されるが、通常、１０〜１００μｍ、好ましくは１０〜７０μｍである。
【００２６】
［１−２］工程（２）
工程（２）は、図１（２）に示すように、前記工程（１）で得られた塗膜１１を、目的とする隔壁の形状に対応するよう、必要に応じパターン化マスク２０を介して、露光光３０を露光し、潜像１２を有する塗膜を形成する工程である。
【００２７】
露光光としては、半導体レーザー、メタルハライドランプ、高圧水銀灯（ｇ線、ｈ線、ｉ線等）、エキシマレーザー、極端紫外線及び電子線等が挙げられる。これらの中でも、高解像度でパターンを形成できる点からｇ線又はｉ線が好ましい。
また、前記露光光３０の露光量は、露光光の種類、塗膜の膜厚及び種類並びに目的とする隔壁の形状により適宜選択されるが、高圧水銀灯の場合、通常、１００〜１５００ｍＪ／ｃｍ２である。
【００２８】
前記工程（１）で用いる感光性組成物がネガ型の場合、前記塗膜１１はネガ型となるため、前記塗膜１１は露光した箇所がパターン化する。このため、目的とする隔壁に対応する箇所がそれ以外の箇所よりも露光光に対する透過率が大きくなるよう設計したパターン化マスク２０を介して、前記塗膜１１に露光する。
一方、前記工程（１）で用いる感光性組成物がポジ型の場合、前記塗膜はポジ型となるため、前記塗膜１１は露光しない箇所がパターン化する。このため、目的とする隔壁に対応する箇所がそれ以外の箇所よりも露光光に対する透過率が小さくなるよう設計されたパターン化マスクを介して、前記塗膜１１に露光する。
また、目的とする隔壁の大きさによって露光方法は適宜選択可能であり、微細な隔壁を形成する際は、通常、縮小投影法により露光する。
【００２９】
露光後、必要に応じて、加熱処理（以下、「ＰＥＢ」ともいう）することも可能である。ＰＥＢ条件は、各成分の種類及び使用量等によって適宜選択可能であるが、通常、３０〜３００℃で１分間〜５時間である。
【００３０】
［１−３］工程（３）
工程（３）は、図１（３）に示すように、前記工程（２）で得られた露光後の塗膜に、現像液を接触させることにより、相対的に現像液への溶解性の高い箇所を除去、つまり、潜像１２を現像し、パターニングされた塗膜（パターン化塗膜１３）を形成する工程である。
【００３１】
前記現像液としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア、エチルアミン、ｎ−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジエチルアミノエタノール、ジ−ｎ−プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ［４．３．０］−５−ノナンなどの塩基性化合物の水溶液を用いることができる。また、前記塩基性化合物の水溶液にメタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤を適当量添加した水溶液を現像液として使用することもできる。現像液を接触する方法としては、例えば液盛り法、ディッピング法、揺動浸漬法、シャワー法等の適宜の方法を利用することができる。
【００３２】
その後、パターン化塗膜１３は、通常、水により洗浄処理する。また、パターン化塗膜中に残存する、パターン化塗膜を十分に硬化させることを目的に、光を全面に照射（後露光）することもできる。前記後露光における露光量は、通常、１〜１５００ｍＪ／ｃｍ２である。さらに、パターン化塗膜を十分に硬化させることを目的に、加熱処理（後ベーク）をすることも可能である。後ベークの条件は、各成分の種類及び使用量等によって適宜選択可能であるが、通常、３０〜３００℃で１分〜５時間である。
【００３３】
また、パターン化塗膜１３は酸性成分を含有するのが好ましい。本発明のマイクロアレイ用基板の形成方法では、工程（３）の後、工程（４）にてパターン化塗膜１３の表面だけを選択的に着色剤を含有する組成物から得られる塗膜１４にて被覆する。この工程（４）の際、前記塗膜１４は基板表面上に形成されると、例えば、基板表面にプローブを固定化するための処理が行われている場合や、基板にＣＭＯＳイメージセンサーなどの受光素子を形成している場合に、それらの機能を阻害することになるため好ましくない。このように、パターン化塗膜１３の表面にのみ前記塗膜１４を形成するには、着色剤を含有する組成物が、パターン化塗膜１３中に含有する化学的活性種と化学的作用するようにすれば達成できる。
【００３４】
酸性成分は化学的活性種としてパターン化塗膜１３中に安定に存在できる点、及び酸の作用により架橋反応する架橋剤は取り扱いが容易なことから着色剤を含有する組成物中の成分として用いやすい点から、パターン化塗膜に含有する化学的活性種としては酸性成分が好ましい。よって、パターン化塗膜１３は酸性成分を含有するのが好ましい。
【００３５】
前記酸性成分としては、感光性組成物由来の成分が挙げられ、例えば、カルボキシル基やスルホ基などの酸性を付与する基を有する重合体や、露光や熱により酸を発生する感光性酸発生剤などが挙げられる。これらの中でも、良好な形状のパターン化塗膜を形成できることから、カルボキシル基を有する重合体が好ましい。
【００３６】
［１−４］工程（４）
工程（４）は、図１（４）に示すように、着色剤を含有する組成物から得られる塗膜１４により、必要に応じて加熱処理を行い、前記工程（３）で得られたパターン化塗膜１３を被覆する工程である。
【００３７】
前記着色剤を含有する組成物としては、着色剤を含有しており且つ前記パターン化塗膜１３を被覆できる組成物であれば特に制限無く用いることができるが、通常、前記パターン化塗膜を被覆するために溶剤を含有する。該溶剤としては、パターン化塗膜を良好に被覆できるように、着色剤を均一に溶解若しくは分散できるものであれば制限無く用いることができる。
【００３８】
本発明のマイクロアレイ用基板の形成方法においては、前記パターン化塗膜の形状により、マイクロアレイ用基板の隔壁の形状を決定する方が、簡便なため好ましいことから、前記溶剤により、前記パターン化塗膜が溶解すると、目的とする隔壁の形状を得ることができない。よって、前記溶剤としては、前記パターン化塗膜を溶解させないものが好ましい。また、前述のとおり、前記パターン化塗膜を形成するための感光性組成物に含有する溶剤としては通常有機溶剤を用いることから、感光性組成物に有機溶剤が含有している場合、前記パターン化塗膜は、通常、有機溶剤に溶解する。このため、前記溶剤としては水を含む成分を用いることで、前記パターン化塗膜の溶剤による溶解を防ぐことができる。
【００３９】
前記着色剤は、隔壁によって区画された領域同士の間の光学的分離をするために配合する成分である。よって、着色剤の種類は、プローブ分子とターゲット分子との相互作用や反応により放出する光の波長領域に吸光領域を有するものであれば特に限定されないが、通常、有機顔料及び無機顔料などの顔料並びに染料などがある。
【００４０】
前記有機顔料としては、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｄｙｅｒｓ ａｎｄ Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ 社発行）においてピグメントに分類されている化合物、無機顔料としては、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら（赤色酸化鉄（ＩＩＩ））、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等がある。
前記染料としては、えば、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｄｙｅｒｓ ａｎｄ Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ 社発行）において染料に分類されている化合物でよく、赤色や青色、緑色、黄色、橙色、紫色、茶色、黒色の水溶性染料（Ｅ）や含金属染料、塩基性染料、カチオン染料、直接染料、反応染料等がある。
これら着色剤は、それぞれ単独で用いてもよく、２種以上を混合して用いても良い。
【００４１】
また、前述のように着色剤を含有する組成物中に溶剤として水を含有する場合、これら着色剤の中でも、前記パターン化塗膜を良好に被覆できることから、水溶性染料（Ｅ）が好ましい。
【００４２】
前記、着色剤を含有する組成物に含まれる着色剤の含有割合は、用いる着色剤の種類、目的とする隔壁の透過率により適宜選択されるが、通常、着色剤を含有する組成物の全成分を１００質量％とするとき、０．５質量％〜８０質量％、好ましくは１０質量％〜３０質量％である。
【００４３】
また、本発明のマイクロアレイ用基板の形成方法における着色剤を含有する組成物には、塗膜１４に水を除く着色剤などの成分を保持するために、通常、架橋剤を含有する。該架橋剤としては、メラミン系架橋剤などの活性メチレン基を有する化合物及びエポキシ基を有する化合物等酸の作用により架橋反応する架橋剤、並びにエチレン性重合性基を有する化合物等のラジカル種の作用により架橋反応する架橋剤などが挙げられる。これらの中でも、前述のとおり、パターン化塗膜１３に酸性成分を含有する場合は、酸の作用により架橋反応する架橋剤が好ましい。
【００４４】
前述のとおり、着色剤を含有する組成物中に溶剤として水を含有する場合、架橋剤としては、均一な塗膜１４を形成するために、水溶性架橋剤を用いることが好ましい。よって、前記架橋剤としては、酸の作用により架橋反応する水溶性架橋剤（Ｆ）が好ましい。
【００４５】
さらに、本発明のマイクロアレイ用基板の形成方法における着色剤を含有する組成物には、前記塗膜１４を均一に形成するために、通常、重合体を含有する。該重合体としては、着色剤やその他成分と均一に混合するような重合体であれば、どのような重合体でもよいが、特に、着色剤を含有する組成物が溶剤を含有する場合、該溶剤に対して均一に溶解する重合体を用いる。
前述のとおり、着色剤を含有する組成物中に溶剤として水を含有する場合、重合体としては、均一な塗膜１４を形成するために、水溶性重合体（Ｇ）を用いることが好ましい。
【００４６】
上述のとおり、着色剤を含有する組成物としては、水溶性染料（Ｅ）、酸の作用により架橋反応する水溶性架橋剤（Ｆ）、水溶性重合体（Ｇ）及び水を含有することが好ましい。なお、該組成物の詳細については、後述の『［３］着色剤を含有する組成物』にて述べる。
【００４７】
前記着色剤を含有する組成物の塗布方法は、前記パターン化塗膜を均一に被覆できる方法であればどのような方法であってもよく、例えば、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法（スピンコート法）、スリットダイ塗布法、バー塗布法、インクジェット法等の適宜の方法を採用することができる。特にスピンコート法またはスリットダイ塗布法は、前記パターン化塗膜を均一に被覆できることから好ましい。
【００４８】
前記加熱処理は前記着色剤を固定化するために行われる処理であり、特に、パターン化塗膜が酸性成分を含有し、且つ、着色剤を含有する組成物中に、酸の作用により架橋反応する架橋剤を含有する場合、該酸性成分と該架橋剤との化学的作用を促進するために行われる処理である。
その条件は、着色剤を含有する組成物中に含まれる成分の種類によって適宜選択可能であるが、通常、１００℃〜１５０℃で１分間〜５分間である。
【００４９】
このようにして得られた塗膜１４の膜厚は、前記着色剤の量や種類、目的とする隔壁の透過率により適宜選択されるが、通常、０．１μｍ〜１０μｍ、好ましくは０．１μｍ〜１μｍである。
【００５０】
このようにして着色剤を含有する組成物から得られる塗膜１４により被覆されたパターン化塗膜１５を隔壁として用いることにより、基板と、前記基板の表面を区画する隔壁と、前記基板と前記隔壁により区画された基板上の領域（以下、「キャビティ」ともいう）とを有するマイクロアレイ用基板を形成する。
【００５１】
［２］感光性組成物
本発明の感光性組成物は、（Ａ）重合体、（Ｂ）多官能性単量体、（Ｃ）感光性重合開始剤及び（Ｄ）有機溶剤を含有する。また、本発明の感光性組成物には、通常、着色剤などの露光光の波長に対して吸収する成分を含有しない。
【００５２】
［２−１］重合体（Ａ）
本発明の感光性組成物に含まれる重合体（Ａ）は、隔壁として存在させるために含有するものである。また、前記重合体（Ａ）は前記工程（３）の現像処理の際、現像液とともに除去される必要がある。このため、前記重合体（Ａ）のゲルパーミエーションクロマトグラフィーによるポリスチレン換算重量平均分子量（以下、単に「Ｍｗ」ともいう）は、通常、３，０００〜３００，０００、好ましくは５，０００〜１００，０００である。
【００５３】
前記重合体（Ａ）としては、上記の条件を満たすものであればどのような重合体を用いても良いが、熱水に対する耐熱性や微細な隔壁を得ることができる点から、前記重合体（Ａ）は、カルボキシル基と重合性の不飽和結合基を有する単量体（以下、「単量体（ａ１）」という）と、他の基と重合性の不飽和結合を有する単量体（以下、「単量体（ａ２）」という）とを含む単量体を用いて得られた重合体であることが好ましい。
【００５４】
単量体（ａ１）としては、下記（１）〜（５）が挙げられる。これらの単量体（ａ１）は、１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
（１）（メタ）アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノカルボン酸類；
（２）マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸又はその無水物類；
（３）３価以上の不飽和多価カルボン酸又はその無水物類；
（４）こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕等の２価以上の多価カルボン酸のモノ〔（メタ）アクリロイロキシアルキル〕エステル類；
（５）ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート等の両末端にカルボキシ基と水酸基とを有する化合物のモノ（メタ）アクリレート類；
【００５５】
単量体（ａ２）としては、下記（１）〜（１２）が挙げられる。これらの単量体（ｂ２）は、１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
（１）スチレン、α−メチルスチレン、ｏ−ビニルトルエン、ｍ−ビニルトルエン、ｐ−ビニルトルエン、ｐ−クロルスチレン、ｏ−メトキシスチレン、ｍ−メトキシスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｏ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｍ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｐ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の芳香族ビニル化合物類；
（２）ｐ−イソプロペニルフェノール、インデン、１−メチルインデン、アセナフチレン等の重合性芳香族化合物類；
【００５６】
（３）メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ｉ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｉ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、２−メトキシエチル（メタ）アクリレート、２−フェノキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシジエチレングルコール（メタ）アクリレート、メトキシトリエチレングルコール（メタ）アクリレート、メトキシプロピレングルコール（メタ）アクリレート、メトキシジプロピレングルコール（メタ）アクリレート、トリシクロ〔５．２．１．０２，６〕デカジエニル（メタ）アクリレート、トリシクロ〔５．２．１．０２，６〕デカニル（メタ）アクリレート、トリシクロ〔５．２．１．０２，６〕デセニル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタジエニル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類；
【００５７】
（４）２−アミノエチル（メタ）アクリレート、２−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、２−アミノプロピル（メタ）アクリレート、２−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、３−アミノプロピル（メタ）アクリレート、３−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類；
（５）グリシジル（メタ）アクリレート等の不飽和カルボン酸グリシジルエステル類；
（６）酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル類；
（７）ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル等の不飽和エーテル類；
【００５８】
（８）（メタ）アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン等のシアン化ビニル化合物類；
（９）（メタ）アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリルアミド等の不飽和アミド類；
（１０）マレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド等の不飽和イミド類；
（１１）１，３−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類；
（１２）ポリスチレン、ポリメチル（メタ）アクリレート、ポリ−ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノ（メタ）アクリロイル基を有するマクロモノマー類；
【００５９】
前記重合体（Ａ）を構成する全構成単位を１００質量％とした場合、前記単量体（ｂ１）に由来する構成単位の含有割合は、５質量％以上含まれることが好ましく、５〜３０質量％がより好ましく、１０〜２５質量％が特に好ましい。塩基性化合物の水溶液を現像液として用いる場合、この範囲では、隔壁形成に適した現像特性を得ることができる。
【００６０】
前記重合体（Ａ）は、１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。また、前記重合体（Ａ）の含有割合は、形成される隔壁の高さや塗布方法により適宜選択するが、通常、感光性組成物に含まれる全成分を１００質量％とするとき、５〜３０質量％である。
【００６１】
［２−２］多官能性単量体（Ｂ）
多官能性単量体（Ｂ）とは、少なくとも２個以上の重合性のエチレン性不飽和結合基を有する単量体のことである。多官能性単量体（Ｂ）は、光の作用により感光性重合開始剤（Ｃ）から発生した活性種と作用して重合を開始し、３次元的に架橋構造を形成しうる成分である。これにより感光性組成物から得られる塗膜において、光を当てた箇所は、現像液に対して溶けにくくなる。
【００６２】
本発明の感光性組成物に含まれる多官能性単量体（Ｂ）の含有量は、感光性組成物から得られる塗膜の露光光に対する透過率等により適宜選らばれるが、前記重合体（Ａ）を１００質量部とするとき、多官能性単量体（Ｂ）の含有量は、通常、１〜１００質量部の範囲内で用いられる。
【００６３】
多官能性単量体（Ｂ）としては、特開２００６−２８５０３５号公報及び特開２００９−１９２６１３号公報に記載の多官能性単量体等を挙げられる。具体的には、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルキレングリコールのジ（メタ）アクリレート類；ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリアルキレングリコールのジ（メタ）アクリレート類；グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の３価以上の多価アルコールのポリ（メタ）アクリレート類やそれらのジカルボン酸変性物；ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等のオリゴ（メタ）アクリレート類；両末端ヒドロキシポリ−１，３−ブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトン等の両末端ヒドロキシル化重合体のジ（メタ）アクリレート類；トリス〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕フォスフェート類等を挙げることができる。
【００６４】
これらの多官能性単量体（Ｂ）のうち、３価以上の多価アルコールのポリ（メタ）アクリレート類やこれらのジカルボン酸変性物、具体的には、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が好ましく、特に、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート及びジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが熱水に対する耐性に優れた隔壁を形成することが可能であるため好ましい。
【００６５】
［２−３］感光性重合開始剤（Ｃ）
本発明の感光性組成物に含まれる感光性重合開始剤（Ｃ）とは、半導体レーザー、メタルハライドランプ、高圧水銀灯（ｇ線、ｈ線、ｉ線等）、エキシマレーザー、極端紫外線及び電子線等の露光光により、前記多官能性単量体（Ｂ）が重合を開始しうる活性種を発生することができる化合物のことである。
【００６６】
前記感光性重合開始剤（Ｃ）としては、特開２００６−２８５０３５号公報及び特開２００９−１９２６１３号公報に記載の感光性重合開始剤等を挙げられる。具体的には、アシルホスフィンオキサイド系化合物、ビイミダゾール系化合物、ベンゾイン系化合物、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、トリアジン系化合物、Ｏ−アシルオキシム型化合物等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。特に本発明における感光性重合開始剤（Ｃ）としては、良好な形状の隔壁を形成できることから、ビイミダゾール系化合物又はアセトフェノン系化合物が好ましい。
【００６７】
アシルホスフィンオキサイド系化合物としては、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−フェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−２，５−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−４−エトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−４−プロピルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−２−ナフチルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−１−ナフチルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−４−クロルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−２，４−ジメトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−デシルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−４−オクチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−２，５−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロル−３，４，５−トリメトキシベンゾイル）−２，５−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロル−３，４，５−トリメトキシベンゾイル）−４−エトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２−メチル−１−ナフトイル）−２，５−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２−メチル−１−ナフトイル）−４−エトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２−メチル−１−ナフトイル）−２−ナフチルホスフィンオキサイド、ビス（２−メチル−１−ナフトイル）−４−プロピルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２−メチル−１−ナフトイル）−２，５−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２−メトキシ−１−ナフトイル）−４−エトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２−クロル−１−ナフトイル）−２，５−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルホスフィンオキサイド等が挙げられる。
【００６８】
アセトフェノン系化合物としては、２，２−ジメトキシアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノプロパン−１−オン、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル−（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン等が挙げられる。
【００６９】
ビイミダゾール系化合物としては、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニル）−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニル）−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４，６−トリクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４，６−トリブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール等が挙げられる。
【００７０】
ベンゾイン系化合物としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、２−ベンゾイル安息香酸メチル等が挙げられる。
【００７１】
ベンゾフェノン系化合物としては、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等が挙げられる。
α−ジケトン系化合物としては、ジアセチル、ジベンゾイル、メチルベンゾイルホルメート等が挙げられる。
多核キノン系化合物としては、アントラキノン、２−エチルアントラキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン等が挙げられる。
キサントン系化合物としては、キサントン、チオキサントン、２−クロロチオキサントン等が挙げられる。
【００７２】
トリアジン系化合物としては、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−ｎ−ブトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。
【００７３】
Ｏ−アシルオキシム型化合物としては、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−［２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）メトキシベンゾイル］−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）等が挙げられる。
【００７４】
前記感光性重合開始剤（Ｃ）の含有量は、本発明の感光性組成物から得られる塗膜の露光光に対する透過率等により適宜選らばれるが、前記重合体（Ａ）を１００質量部とするとき、感光性重合開始剤（Ｃ）の含有量は、通常、１〜１５０質量部、好ましくは２０〜６０質量部の範囲内で用いられる。
【００７５】
［２−４］有機溶剤（Ｄ）
本発明の感光性組成物に含まれる有機溶剤（Ｄ）は、本発明の感光性組成物中に含まれる有機溶剤（Ｄ）以外の他の成分を均一に溶解させることができ、且つこれら他の成分と反応しない化合物であれば限定されない。
【００７６】
前記有機溶剤（Ｄ）としては、エチレングリコール等のアルコール類；テトラヒドロフラン等の環状エーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテル等の多価アルコールのアルキルエーテル類；プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等の多価アルコールのアルキルエーテルアセテート類；トルエン等の芳香族炭化水素類；メチルエチルケトン等のケトン類；酢酸エチル等のエステル類などが挙げられる。これらの有機溶剤は１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００７７】
また、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ、Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチルホルムアニリド、Ｎ−メチルアセトアミド、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、１−オクタノール、１−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、フェニルセロソルブアセテートなどの高沸点の有機溶剤も用いることができる。
【００７８】
本発明の感光性組成物中に含まれる有機溶剤（Ｄ）の含有量は、塗布方法や隔壁の高さなどに応じて適宜決めることができる。
【００７９】
［２−５］その他成分
本発明の感光性組成物には、必要に応じて、熱重合禁止剤、界面活性剤、接着助剤、溶解性調整剤、導電性粒子、粘度調整剤などを用いることができる。
【００８０】
前記熱重合禁止剤は、本発明の感光性組成物を保管中に、前記感光性重合開始剤（Ｄ）が熱により活性種を発生させ、前記多官能性単量体（Ｃ）へ作用することを防止するために用いる成分である。熱重合禁止剤としては、例えば、ピロガロール、ベンゾキノン、ヒドロキノン、モノベンジルエーテル、メチルヒドロキノン、アミルキノン、アミロキシヒドロキノン等がある。
【００８１】
界面活性剤は、本発明の感光性組成物の基板に塗布する際の塗布性、消泡性、レベリング性を向上させるために用いる成分である。界面活性剤として、例えば、市販されているものとして、ＦＴＸ−２０４Ｄ、ＦＴＸ−２０８Ｄ、ＦＴＸ−２１２Ｄ、ＦＴＸ−２１６Ｄ，ＦＴＸ−２１８、ＦＴＸ−２２０Ｄ、ＦＴＸ−２２２Ｄ（以上（株）ネオス製）、ＢＭ−１０００、ＢＭ−１１００（以上、ＢＭケミー社製）、メガファックＦ１４２Ｄ、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１８３（以上、大日本インキ化学工業（株）製）、フロラードＦＣ−１３５、同ＦＣ−１７０Ｃ、同ＦＣ−４３０、同ＦＣ−４３１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−１１２、同Ｓ−１１３、同Ｓ−１３１、同Ｓ−１４１、同Ｓ−１４５（以上、旭硝子（株）製）、ＳＨ−２８ＰＡ、同−１９０、同−１９３、ＳＺ−６０３２、ＳＦ−８４２８（以上、東レダウコーニングシリコーン（株）製）等がある。
【００８２】
接着助剤は、隔壁と基板との密着性を向上させるために用いる成分である。接着助剤としては、官能性シランカップリング剤が好ましい。なお、官能性シランカップリング剤とは、カルボキシル基、メタクリロイル基、イソシアネート基、エポキシ基などの反応性置換基を有するシランカップリング剤を意味する。上記官能性シランカップリング剤としては、トリメトキシシリル安息香酸、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−イソシアナートプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン等がある。
【００８３】
溶解性調整剤は、本発明の感光性組成物から得られる塗膜の現像液に対する溶解性を調整するために用いる成分である。溶解性調整剤としては、低分子カルボン酸が好ましい。低分子カルボン酸としては、酢酸、プロピオン酸、ｎ−酪酸、ｉｓｏ−酪酸、ｎ−吉草酸、ｉｓｏ−吉草酸、安息香酸、ケイ皮酸などのモノカルボン酸；乳酸、２−ヒドロキシ酪酸、３−ヒドロキシ酪酸、サリチル酸、ｍ−ヒドロキシ安息香酸、ｐ−ヒドロキシ安息香酸、２−ヒドロキシケイ皮酸、３−ヒドロキシケイ皮酸、４−ヒドロキシケイ皮酸、５−ヒドロキシイソフタル酸、シリンギン酸などのヒドロキシモノカルボン酸；シュウ酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、マレイン酸、イタコン酸、ヘキサヒドロフタル酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、１，２−シクロヘキサンジカルボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、ブタンテトラカルボン酸、１，２，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸などの多価カルボン酸；無水イタコン酸、無水コハク酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバニル酸、無水マレイン酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルテトラヒドロフタル酸、無水ハイミック酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、無水ベンゾフェノンテトラカルボン酸、エチレングリコールビス無水トリメリテート、グリセリントリス無水トリメリテート等の酸無水物等がある。
【００８４】
粘度調整剤は、本発明の感光性組成物の粘度を調整することにより、その塗布性を改良する目的で用いる。粘度調整剤としては、ベンナイト及びシリカゲル等がある。
【００８５】
［３］着色剤を含有する組成物
本発明の着色剤を含有する組成物は、水溶性染料（Ｅ）、酸の作用により架橋反応する水溶性架橋剤（Ｆ）（以下、「水溶性架橋剤（Ｆ）」ともいう）、水溶性重合体（Ｇ）及び水を含有することを特徴とする。前記工程（１）で用いる感光性組成物が水に溶解しにくい重合体を含有する組成物である場合、該感光性組成物から得られるパターン化塗膜は、水に溶解しにくくなる。本発明の着色剤を含有する組成物は、水を含有する組成物であることから、着色剤を含有する組成物から得られる塗膜により該パターン化塗膜を被覆する際、着色剤を含有する組成物により、パターン化塗膜が溶解による変形することを防ぐことができる。
【００８６】
［３−１］水溶性染料（Ｅ）
前記水溶性染料（Ｅ）は、隔壁に、プローブ分子とターゲット分子との相互作用や反応により放出する光の波長領域に吸光領域を付与するために用いるものである。
前記水溶性染料（Ｅ）としては、プローブ分子とターゲット分子との相互作用や反応により放出する光の波長領域に吸光領域を有し、且つ、水に均一に溶解できるものであればよい。前記「水に均一に溶解できる」とは、さらに詳しくは、水１００ｇに対して、水溶性染料（Ｅ）が５ｇ以上均一に溶解できることを示す。
【００８７】
前記水溶性染料（Ｅ）としては、例えば、カチオン染料、反応性染料、酸性染料、直接染料であって、上記の条件を満たすものが挙げられる。より具体的には、ニトロソ染料（例えば、ナフロールグリーン）、ニトロ染料（例えば、Ｂ等ナフトールイエローＳ、ポーラーイエローブラウン等）、アゾ染料（例えば、ダイヤクロンスカーレットＲＮ、ダイヤミラレッドＢ、ダイヤミラブリリアントレッドＢＢ、ダイヤミラブリリアントバイオレット５Ｒ、ダイヤミラブリリアントレッドＧＧ、ダイヤミラブリリアントオレンジＦＲ、ダイヤミラブリリアントオレンジ３Ｒ、ダイアクリルブリリアントレッドＧＴＬ−Ｎ、ダイアクリルレッドＧＬ−Ｎ、ダイアクリルブリリアントレッドＧＲＬ−Ｎ、ビクトリアスカーレット３Ｒ、スルホンアシドブルーＲ、スプラミンレッドＧＧ、スプラミンレッドＢ、スプラミンブルーＲ、ポーラーレッドＧ、ポーラーオレンジＲ、メタクロームレッド５Ｇ、メタクロームブリリアントブルーＢＬ、スプラノールオレンジＲＲ、スプラノールブリリアントレッド等）、チアゾール染料（例えば、ダイアクリルレッドＣＳ−Ｎ、チアジンレッドＲ、シリウススカーレットＢ、チオフラビンＴ等）、
【００８８】
ジフェニルメタン染料（例えば、オーラミン等）、トリフェニルメタン染料（例えば、ビクトリアピユアブルーＢＯＨ、クリスタルバイオレット、メチルバイオレット、エチルバイオレット、スピリツトブルー、ブリリアントブルーＲ、アシドバイオレット６Ｂ、アシッドフクシン、マラカイトグリーン等）、キサンテン染料（例えば、ピロニンＧ、ローダミンＳ、エオシンＧ、エリスロシン、ローズベンガルＢ、ローダミンＢ、ローダミン３ＧＯ等）、アクリジン染料（例えば、アクリジンオレンジ２Ｇ、オイクリシン２ＧＮＸ等）、アジン染料（例えば、ニユートラルバイオレット、ニユートラルレッド、アゾカーミンＧ、サフラニンＴ、インドシアニンＢ等）、オキサジン染料（例えば、メルドラズブルー、ニールブルーＡ、ガロシアニン等）、ジオキサジン染料（シリウスライトブルーＦＦＲＬ、シリウスライトブルーＦ３ＧＬ等）、チアジン染料（メチレンブルー、メチレングリーンＢ、アズレＣ等）、アントラキノン染料（例えば、ダイアシドライトブルーＢＲ、アリザリンダイレクトバイオレットＥＦＦ、スプラセンバイオレット４ＢＦ、アリザリンスカイブルーＢ、アリザリンシアニングリーンＧ、カーボラングリーンＧ、アリザリンサフイロールＢ、アリザリンシアニングリーン５Ｇ、アリザリンブリリアントピユアブルーＲ、ブリリアントアリザリンライトレッド４Ｂ、アリザリンウラノール２Ｂ等）、フタロシアニン染料（例えば、ヘリオゲンブルーＳＢＰ等）、シアニン染料等（例えば、ダイアクリルブリリアントレッド３ＧＮ、ダイアクリルブリリアントピンクＧＮ、ダイアクリルブリリアントピンクＲＮ、ダイアクリルブリリアントレッド６ＢＮ等）が挙げられる。
【００８９】
これら水溶性染料の中でも、５００ｎｍ〜６００ｎｍの波長領域の吸光を目的とする場合、矩形な形状の隔壁を形成できる点から、トリフェニルメタン染料が好ましく、トリフェニルメタン染料の中でもクリスタルバイオレッドがより好ましい。
【００９０】
前記水溶性染料（Ｅ）の含有量は、水溶性染料（Ｅ）の種類や水溶性染料（Ｅ）以外の成分の種類により適宜選択される。本発明の感光性組成物の場合、水溶性染料（Ｅ）の含有量は、水溶性重合体（Ｇ）１００質量部に対して、通常、１〜８０質量部、好ましくは１０〜３０質量部、より好ましくは２５〜３０質量部である。
【００９１】
［３−２］水溶性架橋剤（Ｆ）
前記水溶性架橋剤（Ｆ）は、水を除く着色剤などの成分を保持するため、及びパターン化塗膜１３に酸性成分を含有する場合は、パターン化塗膜１３の表面にのみ前記塗膜１４を形成するため、用いるものである。
前記水溶性架橋剤（Ｆ）としては、酸の作用により架橋反応し、且つ、水に均一に溶解できるものであればよい。前記「水に均一に溶解できる」とは、さらに詳しくは、水１００ｇに対して、水溶性架橋剤（Ｆ）が１ｇ以上均一に溶解できることを示す。
【００９２】
前記水溶性架橋剤（Ｆ）としては、前記の条件を満たせばどのような架橋剤であってもよいが、例えば、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル等のグリシジルエーテル系誘導体；
商品名「エラストロンＢＮ−６９（第一工業製薬（株）製）」、商品名「エポクロスＷＳ−５００（（株）日本触媒製）」等のオキサゾリン系誘導体；
商品名「ケミタイトＰＺ−３３」（日本触媒（株）製）等のアジリジン系誘導体；
商品名「カルボジライトＶ−０２」（日清紡（株）製）等のカルボジライト系誘導体；
ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン及び商品名「サイメル３２７」（日本サイテックインダストリーズ社製）等のメラミン系誘導体、
商品名「オルガチックスＡＩ１３５」（松本製薬工業（株）製）等の金属キレート系誘導体；グリコールウリル系誘導体；等が挙げられる。
【００９３】
これら水溶性架橋剤のなかでも、活性メチレン基を有するメラミン系誘導体や、グリコールウリル系誘導体が、耐熱水性に優れた隔壁を形成できることから好ましい。
【００９４】
前記水溶性架橋剤（Ｆ）の含有量は、水溶性架橋剤（Ｆ）の種類や水溶性架橋剤（Ｆ）以外の成分の種類により適宜選択される。本発明の感光性組成物の場合、水溶性架橋剤（Ｆ）の含有量は、水溶性重合体（Ｇ）１００質量部に対して、通常、５０〜５００質量部である。
【００９５】
［３−３］水溶性重合体（Ｇ）
前記水溶性重合体（Ｇ）は、前記着色剤を含有する組成物を均一塗布するために用いられるものである。
前記水溶性重合体（Ｇ）としては、酸の作用により架橋反応し、且つ、水に均一に溶解できるものであればよい。前記「水に均一に溶解できる」とは、さらに詳しくは、水１００ｇに対して、水溶性重合体（Ｇ）が１ｇ以上均一に溶解できることを示す。
【００９６】
前記水溶性重合体（Ｇ）は、前記の条件を満たせばどのような重合体であってもよいが、例えば、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、エチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、カルボキシエチルセルロース、カルボキシプロピルセルロース、カルボキシエチルセルロース、カルボキシアルキルセルロースの水溶性塩等のセルロース類、酸性セルロース類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポリアクリルアミド類、水溶性ポリアミド、ポリアクリル酸の水溶性塩、ポリビニルエーテル／無水マレイン酸重合体、エチレンオキサイド重合体、スチレン／マレイン酸の共重合体、マレイネート樹脂、ゼラチン、アラビアゴム等が挙げられる。これらの中でも良好な隔壁を形成できることからポリビニルアルコールなどの水酸基を有する重合体が好ましい。
【００９７】
また、前記水溶性重合体（Ｇ）のゲルパーミエーションカラムクロマトグラフィーによるポリスチレン換算重量平均分子量は、通常、２００００以下である。
【００９８】
［３−４］その他成分
本発明の着色剤を含有する組成物には、前記『［２］感光性組成物』と同様に、必要に応じて、重合体、熱重合禁止剤、界面活性剤、接着助剤、溶解性調整剤、導電性粒子、粘度調整剤などを用いることができる。
【００９９】
［４］マイクロアレイ用基板
本発明のマイクロアレイ用基板は（１）前記『［１］マイクロアレイ用基板の形成方法』により得られるものである。
本発明のマイクロアレイ用基板は、前記『［１］マイクロアレイ用基板の形成方法』により得られるものであることから、隔壁の内部に含まれる着色剤の量に比べ、前記隔壁の表層に含まれる着色剤の量が相対的に多くなる。
【０１００】
前記隔壁の高さは、通常、１０〜１００μｍである。また、幅５μｍにおける波長５５０ｎｍの光に対する隔壁の透過率は、通常、５０％Ｔ以下、好ましくは３０％Ｔ以下である。また、隔壁の幅は、通常、５〜５０μｍである。
【０１０１】
本発明のマイクロアレイ用基板において、隔壁により区画された複数の領域（キャビティ）において、マイクロアレイ用基板の上面から見た形状は、どのような形状であってもよいが、マイクロアレイ用基板の集積度の点から、三〜八角形又は円形が好ましい。また、隣り合うキャビティ間の距離は、隔壁の透過率により適宜決定されるが、通常、１〜１００μｍである。
【０１０２】
［５］マイクロアレイ
本発明のマイクロアレイは、前記『［４］マイクロアレイ用基板』と、隔壁により区画された複数の領域（キャビティ）に固定化されたプローブ分子とを有することを特徴とする。
【０１０３】
前記プローブ分子としては、ターゲット分子である生体関連物質の種類により適宜選択されるものである。例えば、ポリリシン、コラーゲン、ラミニン、含シアル酸オリゴ糖、マンノース結合性レクチン、インテグリンファミリーリガンド、ペプチド、抗原、抗体又は核酸、タンパク質、糖鎖、低分子化合物、細胞、組織等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
プローブ分子を固定する方法は特に限定されず、化学結合を用いた固定であってもよく、物理吸着を用いた固定であってもよく、更にその他の方法による固定であってもよい。
【０１０４】
前記プローブ分子を固定化するために、予め前記キャビティ内の表面（基板の表面及び隔壁の表面を含む）に対して、プローブ分子の配置を助けるための表面処理を施すことができる。
【実施例】
【０１０５】
以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形態を更に具体的に説明する。但し、本発明は、これらの実施例に何ら制約されるものではない。なお、「部」及び「％」は、特記しない限り質量基準である。
【０１０６】
［１］組成物の調製
［合成例１］重合体（Ａ１）の合成
窒素置換したフラスコ中に、２，２’−アゾビスイソブチロニトリルを５部、乳酸エチルを１５０部仕込み、重合開始剤が溶解するまで攪拌した。この溶液に、メタクリル酸を１０部、ｐ−イソプロペニルフェノールを１５部、イソボロニルアクリレートを４０部、ｎ−ブチルアクリレートを５部、トリシクロ［５．２．１．０２．６］デカニルメタクリレートを１５部、フェノキシトリプロピレングリコールアクリレートを１５部仕込み、ゆるやかに攪拌を開始し、８０℃まで昇温した。その後、８０℃で６時間保持して重合することにより、重合体（Ａ１）の溶液を得た。なお、重合体（Ａ１）のゲルバーミエーションカラムクロマトグラフィーによるポリスチレン換算の重量平均分子量は１００００であった。
【０１０７】
［参考例１］ 感光性組成物の調製
重合体（Ａ１）を１００部、多官能性単量体として、商品名「アロニックスＭ８１００」（東亜合成（株）製）を６０部、多官能性単量体として、商品名「アロニックスＭ３２０」を１０部、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾールを４部、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノプロパン−１−オンを１０部、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンを０．２部、ジグリセリンＥＯ付加物フルオロノネニルエーテル（商品名「ＦＴＸ−２１８」、ネオス社製）を０．３部及び乳酸エチルを１５０部と、を混合して、均一な溶液を調製した。この溶液を、孔径１０μｍのカプセルフィルターでろ過して参考例１の感放射線性組成物を得た。
【０１０８】
［参考例２］感光性組成物の調製
ｐ−ヒドロキシスチレン／スチレン／ビニル安息香酸＝１８／８０／２（モル比）からなる共重合体（ポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）＝１０，０００）を１００部、２−［２−（フラン−２−イル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンを１部、ヘキサメトキシメチルメラミンを２５部、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを５部及び乳酸エチルを１４５部と、を混合して、均一な溶液を調製した。この溶液を、孔径１０μｍのカプセルフィルターでろ過して参考例２の感放射線性組成物を得た。
【０１０９】
［参考例３］着色剤を含有する組成物の調製
水溶性架橋剤として、商品名「サイメル３２７」（日本サイテックインダストリーズ社製）を３５部、ポリビニルアルコール（商品名「ＰＶＡ２０５」、クラレ（株）社製）を１５部、クリスタルバイオレットを５０部、水を４５０部及びプロピレングリコールモノメチルエーテルを４５０部と、を混合して、参考例３の着色剤を含有する組成物を調製した。
【０１１０】
［２］マイクロアレイ用基板の形成
［実施例４］実施例４のマイクロアレイ用基板の形成
シリコンウエハ上にスピンコート法にて、参考例１の感光性組成物を塗布し、次いで、ホットプレートにて１３０℃で５分間加熱して、膜厚４５μｍの塗膜を得た。
続いて、得られた塗膜に、パターン化マスクを介して、超高圧水銀灯（ＯＳＲＡＭ社製、ＨＢＯ、出力１、０００Ｗ）を用いて、４００ｍＪ／ｃｍ２の露光光を露光した。
続いて、露光後の塗膜を、２．３８重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を現像液として、室温で現像を行った後、流水洗浄し、更に窒素ブローした。
得られた、パターン化塗膜を有する基板上にスピンコート法にて、参考例３の着色剤を含有する組成物を塗布し、次いで、ホットプレートにて１１０℃で９０秒間加熱した。その後流水にて基板上を洗浄した。その後、オーブンにて１７０℃で１時間加熱して、厚さ３５μｍ、ピッチ３０μｍ、一辺２５μｍの正方形状の凹部を有するパターン化塗膜を得た。
【０１１１】
［実施例５］実施例５のマイクロアレイ用基板の形成
シリコンウエハ上にスピンコート法にて、参考例２の感光性組成物を塗布し、次いで、ホットプレートにて１１０℃で３分間加熱して、膜厚２０μｍの塗膜を得た。
続いて、得られた塗膜に、パターン化マスクを介して、超高圧水銀灯（ＯＳＲＡＭ社製、ＨＢＯ、出力１、０００Ｗ）を用いて、１０００ｍＪ／ｃｍ２の露光光を露光した。
続いて、露光後の塗膜を、２．３８重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を現像液として、室温で現像を行った後、流水洗浄し、更に窒素ブローした。その後、ホットプレートにて１１０℃で５分間加熱した。
得られた、パターン化塗膜を有する基板上にスピンコート法にて、参考例３の着色剤を含有する組成物を塗布し、次いで、ホットプレートにて１１０℃で９０秒間加熱した。その後流水にて基板上を洗浄した。その後、オーブンにて１７０℃で１時間加熱して、厚さ２０μｍ、ピッチ３０μｍ、一辺２５μｍの正方形状の凹部を有するパターン化塗膜を得た。
【０１１２】
［３］マイクロアレイ用基板の評価
（１）隔壁の形状
前記『［２］マイクロアレイ用基板の形成』で得たマイクロアレイ用基板の隔壁の断面を、走査型電子顕微鏡（日立社製、型式「Ｓ−４２００」）にて形状観察した。また、光学顕微鏡で着色剤に由来する層の形成の有無を観察した。隔壁の形状及び色の評価は、以下の基準にて行った。結果を下記表１に示す。
「○」：隔壁の表層部に着色剤に由来する層が確認でき、且つ矩形の形状である。
「△」：隔壁の表層部に着色剤に由来する層の確認又は矩形の形状の確認ができない。
「×」：隔壁の表層部に着色剤に由来する層は確認できず、且つ矩形の形状でない。
【０１１３】
（２）隔壁の耐水性評価
前記『［２］マイクロアレイ用基板の形成』で得たマイクロアレイ用基板を、水に浸漬し、５５℃で２４時間保温した。その後、窒素ブローにて水を除去した。次いで、浸漬後の隔壁を走査型電子顕微鏡（日立社製、型式「Ｓ−４２００」）にて観察した。隔壁の耐水性評価は、下記基準にて行った。結果を下記表１に示す。
「○」：１０個の各キャビティ内を観察した際に隔壁と基板と剥がれを確認できない。
「×」：１０個の各キャビティ内を観察した際に隔壁と基板と剥がれを１つ以上確認で
きた。
【０１１４】
（３）波長５５０ｎｍでの透過率の測定
ガラス基板上にスピンコート法にて、実施例１の感光性組成物を塗布した。その後、ホットプレートにて１３０℃で５分間加熱し、マスクを介さず、超高圧水銀灯（ＯＳＲＡＭ社製、ＨＢＯ、出力１、０００Ｗ）を用いて、３００ｍＪ／ｃｍ２の紫外光を照射した。その後、２．３８重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を現像液として、室温で現像を行った後、流水洗浄した。このようにして厚さ５μｍの実施例１の感光性組成物から得られる塗膜（以下、「第１塗膜」という）を得た。次に、前記第１塗膜上にスピンコート法により実施例２の着色剤を含有する組成物を塗布した。その後、ホットプレートにて１１０℃で９０秒間加熱し、流水洗浄することにより厚さ０．３ｕｍの実施例２の着色剤を含有する組成物から得られる塗膜（以下、「第２塗膜」という）を形成した。このようにしてして得られたガラス基板上に第１塗膜及び第２塗膜の順で形成した基板を用いて、分光光度計（日立社製、型式「Ｕー２０１０形」）を用いて、波長５５０ｎｍでの透過率を測定した。結果を表１に示す。
【０１１５】
【表１】
0005418433.tif 000002
【符号の説明】
【０１１６】
０１；基板
１１；感光性組成物から得られる塗膜
１２；潜像
１３；パターン化塗膜
１４；着色剤を含有する組成物から得られる塗膜
１５；被覆されたパターン化塗膜
２０；パターン化マスク
３０；露光光
１０１；キャビティの縦
１０２；キャビティの横
１０３；キャビティの深さ
２００；隔壁
３００；基板
【図１】
0005418433.tif 000003
【図２】
0005418433.tif 000004
【図３】
0005418433.tif 000005