(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１経路と、
該第１経路に沿って荷を搬送すると共に該搬送される荷を移載可能な第１移載手段を有する搬送車と、
前記第１経路の鉛直下方に配置されたポートと、
前記第１経路よりも下方に且つ前記ポートの鉛直上方から外れた位置に配置されており、前記荷を載置可能な載置部と、
前記載置される荷を移載可能な第２移載手段と
を備え、
前記第１移載手段は、前記荷を縦移載方式で前記ポートとの間で移載可能であり、
前記第２移載手段は、前記荷を前記載置部と前記ポートとの間で移載可能であり、
前記第２移載手段の本体部は、前記載置部の上方且つ前記搬送車の本体部より低い高さに配置されており、
第２移載手段の各部は、前記第１移載手段が前記荷を前記ポートとの間で移載する時、前記ポートの鉛直上方から外れた位置にある
ことを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記載置部を通る第２経路と、
前記第２経路上で前記荷を搬送する搬送手段と
を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記第２移載手段は、
前記搬送される荷を保持可能な保持手段と、
該保持手段を、前記第２経路の上方及び前記第１経路の下方の間で水平移動可能な水平移動手段と、
前記第１経路の下方に移動された前記保持手段が保持している荷を、昇降可能な昇降手段と
を備えることを特徴とする請求項２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記ポートは、昇降可能なリフターにおける載置面から構成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記第２経路の下方を通る第３経路を更に備え、
該第３経路には、前記リフターが下降する際に前記リフターが下方へ通過するのを許容する口又は切れ込みが設けられており、前記リフターが通過するのに伴って前記リフターに載置された前記荷を受ける支持部を含む
ことを特徴とする請求項４に記載の搬送システム。
【請求項６】
前記リフター及び前記支持部は、前記荷が前記支持部に載置された状態において、前記リフターが前記第３経路の下方から上方に向けて前記口又は切込みを通過するのに伴って前記支持部に載置された前記荷を前記リフターで受けるように構成されていることを特徴とする請求項５に記載の搬送システム。
【請求項７】
前記リフターが昇降する軌道に隣接して配置されており、前記荷を保管するストッカ及び前記荷に対して所定種類の処理を施す処理装置のうち少なくとも一方の装置を更に備え、
前記少なくとも一方の装置及び前記リフターは、前記リフターが前記少なくとも一方の装置に対する出入用の位置に停止した際に、前記少なくとも一方の装置と前記リフターとの間で、前記荷を移載可能に構成されていることを特徴とする請求項４から６のいずれか一項に記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）等の荷を、ビークル等の搬送手段により搬送する搬送システムの技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の搬送システムとして、例えばコンベアと、ロードポートを有するＦＯＵＰアドバンスプレートアセンブリとを備えており、ＦＯＵＰアドバンスプレートアセンブリによりロードポートを昇降させることで、コンベアとの間でＦＯＵＰを移載可能である搬送システムがある（特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】国際公開ＷＯ２００６／０９１５９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した特許文献１によれば、ＦＯＵＰの搬送がコンベアだけで行われる場合であって、ロードポートの昇降距離が比較的長い場合に、コンベアとの間で、１つのＦＯＵＰの移載が迅速に行われても、多数のＦＯＵＰの移載では、荷の数に比例してその昇降時間が増大してしまい、搬送効率が低下するという技術的課題がある。
【０００５】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、簡単な構成により効率良くＦＯＵＰ等の荷を搬送することを可能ならしめる搬送システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１搬送システムは上記課題を解決するために、第１経路と、該第１経路に沿って一の荷を搬送すると共に該搬送される一の荷を移載可能な第１移載手段を有する搬送車と、少なくとも一箇所において、前記第１経路の側方における前記第１経路よりも下方を通る第２経路と、該第２経路上で前記一の荷と同一又は異なる他の荷を搬送する搬送手段と、前記一箇所における前記第２経路よりも下方に配置されたポートと、少なくとも前記一箇所において前記搬送される他の荷を横移載方式で前記ポートとの間で移載可能な第２移載手段とを備え、前記第１移載手段は、前記一の荷を縦移載又は横移載方式で前記ポートとの間で移載可能である。
【０００７】
本発明の第１搬送システムによれば、第１又は第２移載手段により、搬送車又は搬送手段と、ポートとの間で荷を移載可能である。ここで「ポート」は、例えばＦＯＵＰ等の荷を移載する場合に、荷が少なくとも一時的に載置される一時載置用棚等のバッファである。このようなポートは、例えば、ストッカ等の入出庫の際に載置可能なように、ストッカ等の入出庫口の付近に設けられる入出庫ポートであってもよい。搬送車は、例えば天井走行型のビークルであり、例えば天井に敷設されたレール等の第１経路に沿って走行する。搬送車は、例えば本体部と、第１移載手段とを有する。ここで「第１移載手段」は、例えばＦＯＵＰ等の一の荷を保持するグリップ機構と、該グリップ機構を昇降させるホイスト機構とを備える。本体部は、一の荷を、グリップ機構及びホイスト機構ごと収容すると共に、第１経路に沿って走行するための走行機能を備える。第１移載手段は、例えばポートに対応する移載位置において、一の荷を、縦移載方式でポートとの間で移載可能である。ここで「縦移載方式」は、一の荷を、例えば移載位置に停止した搬送車の鉛直下方にあるポートに移載するための方式であって、ホイスト機構のみで移載可能である。或いは、第１移載手段は、例えば本体部からホイスト機構及びグリップ機構を横方向にせり出させるスライダ機構を更に備えており、例えば移載位置において、一の荷を、横移載方式でポートとの間で移載可能である。ここで「横移載方式」は、一の荷を、例えば移載位置に停止した搬送車の側方における、該搬送車よりも下方にあるポートに移載するための方式であって、ホイスト機構及びスライダ機構により移載可能である。
【０００８】
搬送車及びポート間の移載について、一の荷が搬送車からポートへ移載される場合に、例えば、先ず搬送車により、一の荷が移載位置まで搬送される。次に、搬送車におけるホイスト機構又は／及びスライダ機構により、グリップ機構に保持されている一の荷が、ポートへ移載可能な位置（即ち、ポートの直上）に移動される。この後、一の荷がグリップ機構から解放され、ポートに載置（即ち、移載）される。
【０００９】
また、一の荷がポートから搬送車へ移載される場合に、例えば、先ず搬送車が移載位置まで移動されると共に、ホイスト機構又は／及びスライダ機構により、グリップ機構が、該ポート上の一の荷を保持可能な位置に移動される。次に、該一の荷がグリップ機構に保持され、搬送車に移載される。
【００１０】
第１搬送システムに係る搬送手段は、例えばローラコンベア、ベルトコンベア等のコンベア機構であり、第２経路上で、例えばＦＯＵＰ等の他の荷を搬送する。ここで「他の荷」は、一の荷と同一又は異なる荷である。第２移載手段は、例えば第１移載手段と同様に、グリップ機構と、ホイスト機構と、スライダ機構とを有し、例えばポートに対応する移載位置において、搬送手段により搬送される他の荷を、横移載方式でポートとの間で移載可能である。ここで「横移載方式」は、他の荷を、例えば移載位置における第２経路よりも下方にあるポートに移載するための方式であって、ホイスト機構及びスライダ機構により移載可能である。第２移載手段は、例えば移載位置に設けられている。
【００１１】
搬送手段及びポート間の移載について、他の荷が搬送手段からポートへ移載される場合に、例えば、先ず搬送手段により、他の荷が、移載位置まで搬送される。次に、第２移載手段におけるホイスト機構又は／及びスライダ機構により、グリップ機構が、該第２経路上の他の荷を保持可能である位置に移動される。次に、グリップ機構により、該他の荷が保持される。次に、グリップ機構に保持されている他の荷が、ポートへ移載可能な位置（即ち、ポートの直上）に移動される。この後、他の荷がグリップ機構から解放され、ポートに載置（即ち、移載）される。
【００１２】
また、他の荷がポートから搬送手段へ移載される場合に、例えば、先ず第２移載手段におけるホイスト機構又は／及びスライダ機構により、グリップ機構が、該ポート上の他の荷を保持可能な位置に移動される。次に、グリップ機構により、該他の荷が保持される。次に、ホイスト機構又は／及びスライダ機構により、グリップ機構に保持されている他の荷が、搬送手段へ移載可能な位置（即ち、移載位置に当たる第２経路の直上）に移動される。この後、他の荷がグリップ機構から解放され、該第２経路に載置（即ち、移載）される。
【００１３】
尚、第１搬送システムは、例えば上述した搬送車及びポート間、若しくは搬送手段及びポート間で、荷の移載を行うだけでなく、ポートを介して、搬送車及び搬送手段間で移載を行うことも可能である。
【００１４】
第１及び第２経路、並びにポートの構成について、第２経路は、少なくとも一箇所において、第１経路の側方における、該第１経路よりも下方を通る。ポートは、該一箇所における第２経路よりも下方であって、具体的には、例えば該一箇所における第１経路の鉛直下方に配置される。ここで「一箇所」は、例えば上述した「移載位置」である。このように第１及び第２経路、並びにポートを構成することで、２つの経路（即ち、第１及び第２経路）で、多数の荷を搬送すると共に、可動ポートを介して、搬送車及び搬送手段間で、荷を移載することができる。
【００１５】
尚、ポートが、例えば移載位置に停止した搬送車の鉛直下方に配置される場合に、縦移載方式で移載可能であるため、搬送車は、スライダ機構を備えない。このため、オーバーヘッドホイスト等のスライダ機構を装備する場合と比較して、搬送速度を増速することができる。
【００１６】
以上のように、第１及び第２経路で多数の荷を搬送すると共に、第１及び第２移載手段により、ポートを介して、搬送車及び搬送手段の相互間で、荷の移載を迅速に行うので、比較的簡単な構成により効率良く荷を搬送することができる。
【００１７】
本発明の第１搬送システムの一態様では、前記第２移載手段は、前記一箇所における前記第２経路の上方に敷設されている。
【００１８】
この態様によれば、例えば移載位置における第２経路に他の荷が載置されると、載置された他の荷が、第２移載手段におけるグリップ機構により迅速に保持されるので、移載時間を短縮することができる。
【００１９】
本発明の第１搬送システムの他の態様では、前記第２移載手段は、前記搬送される他の荷を保持可能な保持手段と、該保持手段を、前記第２経路の上方及び前記第１経路の下方の間で水平移動可能な水平移動手段と、前記第１経路の下方に移動された前記保持手段が保持している荷を、昇降可能な昇降手段とを備える。
【００２０】
この態様によれば、第２移載手段は、例えば上述したグリップ機構である保持手段と、例えば上述したスライダ機構である水平移動手段と、例えば上述した昇降機構である昇降手段とを備える。これらの機構は、例えば初期設定として、移載時を除いて、移載位置における第２経路の上方に配置されている。
【００２１】
ポートが、例えば移載位置における第１経路の下方に配置されており、第２移載手段が、例えば移載位置における第２経路の上方に敷設されている。この場合に、搬送手段からポートへ他の荷を移載するには、例えば昇降手段により、保持手段が、第２経路上の他の荷を保持可能な位置まで下降され、保持手段により、第２経路上の他の荷が保持される。次に、水平移動手段により、保持手段が第２経路の上方から第１経路の下方に移動される。次に、昇降手段により、保持手段が、ポートへ移載可能な位置（即ち、ポートの直上）に移動される。この後、他の荷が保持手段から解放され、ポートに載置（即ち、移載）される。
【００２２】
また、ポートから搬送手段へ他の荷を移載するには、例えば昇降手段及び水平移動手段により、保持手段が、第１経路の下方に移動されると共に、ポート上の他の荷を保持可能な位置（即ち、ポートの直上）に移動される。次に、保持手段により、ポート上の他の荷が保持される。次に、昇降手段及び水平移動手段により、保持手段が、移載位置における第２経路の上方に移動されると共に、移載位置における第２経路へ移載可能な位置（即ち、該第２経路の直上）に移動される。この後、他の荷が保持手段から解放され、該第２経路上に載置（即ち、移載）される。
【００２３】
以上のように、第２移載手段を構成することで、搬送手段（言い換えれば、第２移載手段）及びポート間で、横移載方式による移載を行うことができる。
【００２４】
本発明の第１搬送システムの他の態様では、前記ポートは、昇降可能なリフターにおける載置面から構成されている。
【００２５】
この態様によれば、ポートは、例えば荷を載置するための載置面を備える載置部である。リフターは、例えば該載置部と、レールと、アクチュエータとを有し、アクチュエータの駆動により、鉛直方向と平行に延びるレールに沿って、載置部（即ち、ポート）を上下移動させる。このようなリフターは、例えば、ストッカの側面に沿って設けられたレールに沿って昇降し、該側面に鉛直に配列された複数の入出庫口のうちの一つに対向する位置で又は該側面に一つ設けられた入出庫口に対向する位置で停止可能とされる。
【００２６】
リフターの動作について、具体的には、例えば第２移載手段からポートへ他の荷が移載される場合に、例えば、先ずアクチュエータの駆動により、ポートが、レールに沿って最上の配置位置まで移動される。次に、他の荷を保持している保持手段が、昇降手段及び水平移動手段により、最上の配置位置にあるポートへ移載可能な位置（即ち、ポートの直上）に移動される。該移載可能な位置は、昇降手段により移動される距離が最短となるように設定されている。この後、他の荷が保持手段から解放され、ポートに載置（即ち、移載）される。ポートに対応する高さに移動される。
【００２７】
また、ポートから第２移載手段へ他の荷が移載される場合に、例えば、先ずアクチュエータの駆動により、他の荷を載置しているポートが、レールに沿って最上の配置位置まで移動される。この後、保持手段が、昇降手段及び水平移動手段により、最上の配置位置にあるポート上の他の荷を保持可能な位置（即ち、ポートの直上）に移動される。次に、保持手段により、ポート上の他の荷が保持され、第２移載手段に移載される。
【００２８】
以上のように、移載に伴って、ポートを機能させることで、第２移載手段又は搬送車と、ポートとの間で移載される荷の移動距離が最短となり、移載時間を短縮することができる。
【００２９】
この態様では、少なくとも一箇所において前記第２経路の下方を通る第３経路を更に備え、該第３経路には、前記リフターが下降する際に前記リフターが下方へ通過するのを許容する口又は切れ込みが設けられており、前記リフターが通過するのに伴って前記リフターに載置された前記一の荷又は他の荷を受ける支持部を含んでもよい。
【００３０】
このように構成すれば、リフターは、例えば口又は切れ込みを介して、支持部をその上方から下方へ通過することで、支持部との間で荷（即ち、一の荷又は他の荷）を移載する。該移載動作について、具体的には、例えば荷を載置しているリフター（実際には、載置部（即ち、ポート））が、口又は切れ込みを通過して、支持部の下方へ移動される。これに伴って、リフターに載置された荷が、リフターに代わって支持部に支持される。このように、リフターを下方へ移動させるといった比較的簡単な構成により、ＤＬＴ（Ｄｉｒｅｃｔ  Ｌｏａｄ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）方式で、ポートから第３経路へ効率良く荷を移載することができる。また、上述した第３経路へ荷を移載する動作の逆の動作により、ＤＬＴ方式で、第３経路からリフターへ（更にはポート等へ）荷を効率良く移載することも可能である。
【００３１】
前記第３経路に前記支持部を含んでいる態様では、前記リフター及び前記支持部は、前記一の荷又は他の荷が前記支持部に載置された状態において、前記リフターが前記第３経路の下方から上方に向けて前記口又は切込みを通過するのに伴って前記支持部に載置された前記一の荷又は他の荷を前記リフターで受けるように構成されていてもよい。
【００３２】
このように構成すれば、リフターは、例えば口又は切れ込みを介して、荷（即ち、一の荷又は他の荷）を載置した状態にある支持部をその下方から上方へ通過することで、支持部から荷を移載する。該移載動作について、具体的には、例えば支持部の下方にあるリフターが、口又は切れ込みを通過して、支持部の上方へ移動される。これに伴って、支持部に載置されている荷が、支持部に代わってリフターに支持される。このように、リフターを上下移動させるといった比較的簡単な構成により、第３経路との間の移載を行うことで、更に効率良く荷をＤＬＴ方式で移載することができる。
【００３３】
前記ポートがリフターにおける載置面から構成されている態様では、前記リフターが昇降する軌道に隣接して配置されており、前記一又は他の荷を保管するストッカ及び前記一又は他の荷に対して所定種類の処理を施す処理装置のうち少なくとも一方の装置を更に備え、前記少なくとも一方の装置及び前記リフターは、前記リフターが前記少なくとも一方の装置に対する出入用の位置に停止した際に、前記少なくとも一方の装置と前記リフターとの間で、前記一又は他の荷を移載可能に構成されていてもよい。
【００３４】
このように構成すれば、ストッカ及び処理装置のうち少なくとも一方の装置は、例えば出入用の位置に隣接して、リフターとの間で荷を移載するための移載面が設定されている。少なくとも一方の装置又はリフターは、例えば外内移動手段を備える。外内移動手段は、例えば少なくとも一方の装置とリフターとの間で、荷（即ち、一の荷又は他の荷）を移載可能である。外内移動手段は、例えばリフターにおける載置面を回動させる回動機構、スライドさせるスライド機構、又は該載置面と少なくとも一方の装置における移載面との間で移載可能なロボットアーム等を備える。
【００３５】
少なくとも一方の装置がストッカであって、リフターからストッカへ荷が移載される場合に、例えば、先ず荷を載置しているリフター（実際には、載置面）が、出入用の位置まで上下移動される。次に、例えば回動機構である外内移動手段により、載置面が回動され、載置面上の荷が、ストッカにおける移載面に移動（即ち、移載）される。
【００３６】
また、ストッカからリフターへ荷が移載される場合に、例えば、先ず空荷の状態にあるリフター（実際には、載置面）が、出入用の位置まで上下移動される。次に、ストッカにおける移載面に載置されている荷が、例えばロボットアームである外内移動手段により、リフターに移載される。
【００３７】
以上のように、例えば外内移動手段により、少なくとも一方の装置とリフターとの間で、効率良く迅速に荷を移載することができる。
【００３８】
本発明の第２搬送システムは上記課題を解決するために、荷をその底側から支持可能な第１支持部を有し、昇降可能な可動ポートと、(i)該可動ポートの上方を通過する第１経路に沿って一の荷を搬送すると共に該搬送される一の荷を縦移載又は横移載方式で前記可動ポートとの間で移載可能な第１搬送系、並びに(ii)少なくとも一箇所において、前記第１経路の側方における前記第１経路よりも下方を通る第２経路上で前記一の荷と同一又は異なる他の荷を搬送すると共に少なくとも前記一箇所において前記搬送される他の荷を横移載方式で前記可動ポートとの間で移載可能な第２搬送系のうち少なくとも一方と、少なくとも一箇所において前記第１又は第２経路の下方を通る第３経路とを備え、該第３経路には、前記可動ポートが下降する際に前記第１支持部が下方へ通過するのを許容する口又は切れ込みが設けられており、前記第１支持部が通過するのに伴って前記第１支持部に載置された前記一の荷又は他の荷を受ける第２支持部を含む。
【００３９】
本発明の第２搬送システムによれば、例えば第１搬送系又は第２搬送系又は第３経路と、可動ポートとの間で荷を移載可能である。ここで「可動ポート」は、例えばＦＯＵＰ等の荷を移載する場合に、荷が少なくとも一時的に載置される一時載置用棚等のバッファである。可動ポートは、例えば第１支持部と、レールと、アクチュエータとを有するリフターであり、アクチュエータの駆動により、鉛直方向と平行に延びるレールに沿って、第１支持部を上下移動させる。このような可動ポートは、例えば、ストッカ等の入出庫の際に載置可能なようにストッカ等の入出庫口の付近に設けられる入出庫ポートであってもよい。この場合、可動ポートであるリフターは、例えば、ストッカの側面に沿って設けられたレールに沿って昇降し、該側面に鉛直に配列された複数の入出庫口のうちの一つに対向する位置で又は該側面に一つ設けられた入出庫口に対向する位置で停止可能とされる。
【００４０】
第１搬送系は、例えばＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）（即ち、天井走行型の搬送車）であり、例えば天井に敷設されたレール等の第１経路に沿って走行する。この場合に、第１搬送系は、例えば本体部と、第１移載手段とを有する。ここで「第１移載手段」は、例えばＦＯＵＰ等の一の荷を保持するグリップ機構と、該グリップ機構を昇降させるホイスト機構とを備える。本体部は、一の荷を、グリップ機構及びホイスト機構ごと収容すると共に、第１経路に沿って走行するための走行機能を備える。第１移載手段は、例えば可動ポートに対応する移載位置において、一の荷を、縦移載方式でポートとの間で移載可能である。ここで「縦移載方式」は、一の荷を、例えばホイスト機構のみで、第１搬送系と、可動ポートとの間で移載可能である。更に、第１移載手段は、例えば本体部からホイスト機構及びグリップ機構を横方向にせり出させるスライダ機構を更に備えており、例えば移載位置において、一の荷を、横移載方式でポートとの間で移載可能である。ここで「横移載方式」は、一の荷を、例えばホイスト機構及びスライダ機構により、第１搬送系と、可動ポートとの間で移載可能である。
【００４１】
第２搬送系は、例えば搬送手段と、第２移載手段とを備える。搬送手段は、例えばローラコンベア、ベルトコンベア等のコンベア機構であり、第２経路上で、例えばＦＯＵＰ等の他の荷を搬送する。ここで「他の荷」は、一の荷と同一又は異なる荷である。第２移載手段は、例えば第１移載手段と同様に、グリップ機構と、ホイスト機構と、スライダ機構とを有し、例えばポートに対応する移載位置において、移載位置に搬送される他の荷を、横移載方式でポートとの間で移載可能である。ここで「横移載方式」は、他の荷を、例えばホイスト機構及びスライダ機構により、第２搬送系と、可動ポートとの間で移載可能である。
【００４２】
第３経路は、例えばＤＬＴ（Ｄｉｒｅｃｔ  Ｌｏａｄ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）を構成する一要素であり、例えば搬送手段を含む。第３経路における搬送手段は、例えばローラコンベア、ベルトコンベア等のコンベア機構であって、第２支持部を含んでおり、第３経路上で、荷（即ち、一の荷又は他の荷）を搬送する。
【００４３】
第１及び第２支持部は、例えば荷の底面における相異なる部分（典型的には、中央寄り部分と周辺寄り部分）を支持するように構成されており、どちらか一方で荷を支持することが可能である。
【００４４】
可動ポートにおける第１支持部は、口又は切れ込みを介して、第２支持部をその上方から下方へ通過することで、第２支持部との間で荷を移載する。具体的には、例えば荷を載置している第１支持部が、口又は切れ込みを通過して、第２支持部の下方へ移動される。これに伴って、第１支持部に載置された荷が、第１支持部に代わって、第２支持部に支持される。このように、例えばリフターを下方へ移動させるといった比較的簡単な構成により、ＤＬＴ方式で、可動ポートから第３経路へ効率良く移載することができる。また、上述した第３経路へ荷を移載する動作の逆の動作により、ＤＬＴ方式で、第３経路から可動ポートへ荷を効率良く移載することも可能である。
【００４５】
第１から第３経路、並びに可動ポートの構成について、第１経路は、可動ポートの上方であって、具体的には、例えば可動ポートの鉛直上方を通過する。第２経路は、少なくとも一箇所において、第１経路の側方における、該第１経路よりも下方を通る。第３経路は、少なくとも一箇所において、第１及び第２経路の下方であって、具体的には、例えば第１経路が通過する可動ポートの鉛直下方に配置される。ここで「一箇所」は、例えば上述した「移載位置」である。このように第１から第３経路、並びに可動ポートを構成することで、３つの経路（即ち、第１から第３経路）で、多数の荷を搬送すると共に、可動ポートを介して、第１搬送系、第２搬送系、及び第３経路の相互間で、荷を移載することができる。
【００４６】
尚、第１経路が、例えば可動ポートの鉛直上方に配置される場合に、縦移載方式で移載可能であるため、搬送車は、スライダ機構を備えない。このため、オーバーヘッドホイスト等のスライダ機構を装備する場合と比較して、搬送速度を増速することができる。
【００４７】
第１から第３経路、並びに可動ポートは、例えば上述したように構成される。この場合に、可動ポートを介して、第１経路から第３経路へ荷を移載するには、例えば、先ず可動ポートにおける第１支持部が、例えばレールに沿って最上の配置位置まで移動される。次に、第１搬送系における第１移載手段により、第１経路に沿って搬送される荷が保持され、縦移載方式で、最上の配置位置にある第１支持部に移載される。次に、第１経路からの荷を載置した状態にある第１支持部が、第３経路における口又は切れ込みを介して、第２支持部の下方へ移動されると、第１支持部上の荷が、第１支持部に代わって第２支持部に支持（即ち、移載）される。
【００４８】
また、可動ポートを介して、第３経路から第２経路へ荷を移載するには、例えば、先ず可動ポートにおける第１支持部が、第３経路における第２支持部の下方へ移動される。次に、第３経路における搬送手段により、該第２支持部まで、荷が搬送される。次に、第１支持部が、口又は切れ込みを介して、第２支持部の上方へ移動されると、第２支持部に載置されている荷が、第２支持部に代わって第１支持部に支持（即ち、移載）される。次に、第１支持部が、レールに沿って最上の配置位置まで移動される。次に、第２搬送系における第２移載手段により、第１支持部上の荷が保持され、横移載方式で、第２搬送系における搬送手段に移載される。
【００４９】
以上のように、第１から第３経路で多数の荷を搬送すると共に、第１移載手段、第２移載手段、及び口及び切れ込みを介する移載により、可動ポートを介して、第１搬送系、第２搬送系、及び第３経路の相互間で、荷の移載を迅速に行うので、比較的簡単な構成により効率良く荷を搬送することができる。
【００５０】
本発明の第２搬送システムの一態様では、前記第１支持部及び前記第２支持部は、前記一の荷又は他の荷が前記第２支持部に載置された状態において、前記第１支持部が前記第３経路の下方から上方に向けて前記口又は切込みを通過するのに伴って前記第２支持部に載置された前記一の荷又は他の荷を前記第１支持部で受けるように構成されている。
【００５１】
この態様によれば、第１支持部が、口又は切れ込みを介して、荷（即ち、一の荷又は他の荷）を載置した状態にある第２支持部をその下方から上方へ通過することで、第２支持部から荷を移載する。該移載動作について、具体的には、例えば第２支持部の下方にある第１支持部が、口又は切れ込みを通過して、第２支持部の上方へ移動される。これに伴って、第２支持部に載置されている荷が、第２支持部に代わって第１支持部に支持される。このように、第１支持部を上下移動させるといった比較的簡単な構成により、第３経路との間の移載を行うことで、更に効率良く荷をＤＬＴ方式で移載することができる。
【００５２】
本発明の第２搬送システムの他の態様では、前記可動ポートが昇降する軌道に隣接して配置されており、前記一又は他の荷を保管するストッカ及び前記一又は他の荷に対して所定種類の処理を施す処理装置のうち少なくとも一方の装置を更に備え、前記少なくとも一方の装置及び前記可動ポートは、前記可動ポートが前記少なくとも一方の装置に対する出入用の位置に停止した際に、前記少なくとも一方の装置と前記可動ポートとの間で、前記一又は他の荷を移載可能に構成されている。
【００５３】
このように構成すれば、ストッカ及び処理装置のうち少なくとも一方の装置は、例えば出入用の位置に隣接して、可動ポートとの間で荷（即ち、一の荷又は他の荷）を移載するための移載面が設定されている。少なくとも一方の装置又は可動ポートは、例えば外内移動手段を備える。外内移動手段は、例えば少なくとも一方の装置と可動ポートとの間で、荷を移載可能である。外内移動手段は、例えば可動ポートにおける載置面を回動させる回動機構、スライドさせるスライド機構、又は該載置面と少なくとも一方の装置における移載面との間で移載可能なロボットアーム等を備える。
【００５４】
少なくとも一方の装置がストッカであって、可動ポートからストッカへ荷が移載される場合に、例えば、先ず荷を載置している可動ポート（実際には、載置面）が、出入用の位置まで上下移動される。次に、例えば回動機構である外内移動手段により、載置面が回動され、載置面上の荷が、ストッカにおける移載面に移動（即ち、移載）される。
【００５５】
また、ストッカから可動ポートへ荷が移載される場合に、例えば、先ず空荷の状態にある可動ポート（実際には、載置面）が、出入用の位置まで上下移動される。次に、ストッカにおける移載面に載置されている荷が、例えばロボットアームである外内移動手段により、可動ポートに移載される。
【００５６】
以上のように、例えば外内移動手段により、少なくとも一方の装置と可動ポートとの間で、効率良く迅速に荷を移載することができる。
【００５７】
尚、本発明の第２搬送システムにおいても、上述した本発明の第１搬送システムにおける各種態様と同様の各種態様を採ることが可能である。
【００５８】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５９】
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００６０】
実施形態に係る搬送システムの構成について図１から図７を参照して説明する。
【００６１】
先ず、実施形態に係る搬送システムの概要について図１を参照して説明する。ここに図１は、実施形態に係る搬送システムの外観を示す。
【００６２】
図１において、搬送システム１００は、レール１、ビークル２、第１コンベア３０、移載機構４０、第２コンベア５０、ポートＰ１及びＰ２、ストッカ１０、並びにコントローラ２０１を備える。コントローラ２０１は、制御手段の一例としてプロセッサ、メモリ等を含んで構成され且つ搬送システム１００の各部と接続されている。コントローラ２０１は、半導体素子製造工程に基づいて、ＦＯＵＰ３の搬送及び移載を、後に詳述するように管理又は制御する。
【００６３】
ＦＯＵＰ３は、本発明に係る「一の荷」及び「他の荷」の一例として搬送の対象とされ、内部に、不図示の各種基板を複数収納可能である。ＦＯＵＰ３は、上面に、ビークル２又は移載機構４０により保持されるフランジ３ａを有し、底面に、ポートＰ１又はＰ２上の位置決めピン１１ａに係合される不図示の凹部を有する。ＦＯＵＰ３は、ビークル２、第１コンベア３０、及び第２コンベア５０により、ストッカ１０や図示しない製造装置、ＯＨＴバッファ、大型ストッカ等に搬送される。
【００６４】
レール１は、本発明に係る「第１経路」の一例として、ビークル２が走行するための軌道の役割を果たす。ビークル２は、本発明に係る「搬送車」の一例として、例えばリニアモータにより駆動されるＯＨＴであり、ＦＯＵＰ３を、例えば搬送方向Ｄ１へ搬送する。ビークル２は、ホイスト機構５を有する。
【００６５】
図２は、図１の搬送システムを側方（即ち、図１における右側方）から視た側面を図式的に示す。図２において、ホイスト機構５は、本発明に係る「第１移載手段」の一例として、本体部５ａ、ベルト６、グリップ７、及び不図示のモータを備える。ベルト６において、一端が本体部５ａの図示しない巻き軸に固着されており、他端がグリップ７に固定されている。グリップ７は、フランジ３ａを把持可能に、両端部が内側に向けて屈曲されている。グリップ７は、フランジ３ａを把持する把持状態と、フランジ３ａを解放する解放状態との間で変位可能である。本体部５ａは、ベルト６の繰り出し又は巻き上げ動作により、グリップ７を上下移動させることで、ＦＯＵＰ３を上下移動させる。ビークル２は、ホイスト機構５によりＦＯＵＰ３を上下移動させる縦移載方式で、ポートＰ１又はＰ２との間で、ＦＯＵＰ３を移載する。尚、ビークル２は、グリップ７のポートＰ１又はＰ２に対する位置（例えば、水平二方向及び回転方向についての位置）を微調整する調整機構を更に備えていてもよい。
【００６６】
図１において、第１コンベア３０は、本発明に係る「搬送手段」の一例として、複数のコンベア部分３１、不図示の一対の支持壁、及びアクチュエータを備える。複数のコンベア部分３１は、一対の支持壁の内側に、第２経路Ｒ２（図１において一点鎖線で示される）に沿って、且つ第２経路Ｒ２の両側に対を成すように取り付けられている。複数のコンベア部分３１の各々は、例えばキャタピラー（登録商標）式コンベアであり、ＦＯＵＰ３の底面における端部（即ち、第２経路Ｒ２の延伸方向に対する左又は右端部）を支持する。第２経路Ｒ２の両側に位置する一対のコンベア部分３１の各々は、ＦＯＵＰ３を１つ載置可能に夫々構成されている。第１コンベア３０は、アクチュエータの駆動により、ＦＯＵＰ３が載置されている一対のコンベア部分３１を同時に回動させることで、ＦＯＵＰ３を、例えば搬送方向Ｄ２へ搬送する。
【００６７】
第２経路Ｒ２は、第１コンベア３０により搬送されるＦＯＵＰ３の経路である。図２において、第２経路Ｒ２（即ち、図２において一点鎖線の円で示される）は、レール１の側方（即ち、図２において、レール１の左側方）であって、レール１に沿って走行するビークル２よりも下方に延びている。
【００６８】
図２において、移載機構４０は、本発明に係る「第２移載手段」の一例として、本体部４０ａ、水平移動部４１、及び上下移動部４２を備えており、ＦＯＵＰ３を水平及び上下方向に移動させる横移載方式で、ポートＰ１又はＰ２との間で、ＦＯＵＰ３を移載する。
【００６９】
図４は、図１の搬送システムの上面を図式的に示す。図４において、本体部４０ａは、ポートＰ１又はＰ２に対応する移載位置ＣＶ２１又はＣＶ２２（即ち、図４において、一点鎖線で示されるエリア）における第２経路Ｒ２の上方に設けられている。本体部４０ａには、水平移動部４１が水平移動可能に取り付けられている。水平移動部４１には、上下移動部４２が水平移動可能に取り付けられている。
【００７０】
図３は、図１の搬送システムの側面を、移載機構４０による横移載の動作状態と共に模式的に示す。図３において、水平移動部４１は、本発明に係る「水平移動手段」の一例として、本体部４１ａ、レール４１ｂ、及び図示しないアクチュエータを備える。本体部４１ａの底面には、図示しない凹部が形成されており、該凹部にレール４１ｂが嵌合されている。レール４１ｂは、第２経路Ｒ２の上方と、本体部４１ａの側方（即ち、図３における右側方）との間で移動する。レール４１ｂの下部には、上下移動部４２の上部が嵌合されている。水平移動部４１は、アクチュエータを駆動して、レール４１ｂに沿って、上下移動部４２を、レール４１ｂが移動可能な位置より更に側方へ移動させる。このように、水平移動部４１は、レール４１ｂを介して、上下移動部４２を、第２経路Ｒ２の上方と、レール１の下方との間で段階的に水平移動させる。
【００７１】
上下移動部４２は、本発明に係る「昇降手段」の一例として、ホイスト４２ａ、ベルト４２ｂ、及びグリップ４２ｃを備える。ホイスト４２ａは、本発明に係る「保持手段」の一例として、図示しないモータを備え、モータの駆動により、ベルト４２ｂを繰り出す又は巻き上げる動作を行う。ベルト４２ｂについて、一端がホイスト４２ａにおける図示しない巻き軸に固着されており、他端がグリップ４２ｃに固定されている。グリップ４２ｃは、ＦＯＵＰ３上面のフランジ３ａを把持可能に、両端部が内側に向けて屈曲されている。グリップ４２ｃは、フランジ３ａを把持する把持状態と、フランジ３ａを解放する解放状態との間で変位可能である。ホイスト４２ａは、ベルト４２ｂの繰り出し又は巻き上げ動作により、グリップ４２ｃを上下移動させる。尚、上下移動部４２は、グリップ４２ｃのポートＰ１又はＰ２に対する位置（例えば、水平二方向及び回転方向についての位置）を微調整する調整機構を更に備えていてもよい。
【００７２】
本実施形態では、搬送システム１００は、２つのポートＰ１及びＰ２を備えている。図１において、ポートＰ１が、ビークル２の搬送方向Ｄ１、第１コンベア３０の搬送方向Ｄ２、及び第２コンベア５０の搬送方向Ｄ３の上流側に配置され、ポートＰ２が、その下流側に配置されている。各ポートＰ１及びＰ２は、本発明に係る「リフター」及び「可動ポート」の一例として、ビークル２、第１コンベア３０（実際には、移載機構４０）、第２コンベア５０、及びストッカ１０の相互間で、ＦＯＵＰ３を移載するためのポートである。各ポートＰ１及びＰ２は、ＦＯＵＰ３を載置するための載置面１１を備える。載置面１１は、本発明に係る「第１支持部」の一例として、ＦＯＵＰ３の中央部をその底側から支持する。載置面１１の上面には、位置決めピン１１ａが取り付けられている。位置決めピン１１ａは、移載されるＦＯＵＰ３の凹部に係合される。
【００７３】
図１において、各ポートＰ１又はＰ２は、本実施形態では、昇降機構１２及びスライド機構１６を備える。昇降機構１２は、ストッカ１０における２つの開口Ｈ１及びＨ２に対応して、２つ設けられている。昇降機構１２は、各ポートＰ１及びＰ２に対して、一対のレール１３、支持部１４、及び不図示のアクチュエータを備える。一対のレール１３は、ストッカ１０の外壁（即ち、図１における正面）において、各開口Ｈ１及びＨ２の両側に、その長手方向が上下方向に取り付けられている。支持部１４は、各ポートＰ１及びＰ２における載置面１１を支持する。支持部１４の一端部は、一対のレール１３に嵌合されている。昇降機構１２は、アクチュエータを駆動して、支持部１４を一対のレール１３に沿って上下移動させることで、各ポートＰ１及びＰ２を、後述の第１載置部２１ａ又は２１ｄに対向する位置に独立して移動させる。ストッカ１０との間でＦＯＵＰ３を移載する場合に、昇降機構１２は、ポートＰ１又はＰ２を、開口Ｈ１又はＨ２に対応する移載位置に停止させる。移載位置は、本発明に係る「出入用の位置」の一例であり、ポートＰ１又はＰ２と、ストッカ１０との間でＦＯＵＰ３を移載可能な位置である。
【００７４】
図４において、スライド機構１６は、外内移動手段の一例として、２つのポートＰ１及びＰ２に対応して、２つ設けられている。スライド機構１６は、各ポートＰ１及びＰ２に対して、不図示の一対のローラ、輪状の回動帯、及びアクチュエータを備える。輪状の回動帯は、一対のローラを取り巻くように、一対のローラに取り付けられている。輪状の回動帯の一部は、各ポートＰ１及びＰ２における載置面１１として機能する。昇降機構１２により、ポートＰ１又はＰ２が、ストッカ１０における移載位置（即ち、図５において、点線で示される上下位置）に停止されると、スライド機構１６は、アクチュエータを駆動して、一対のローラを回転させることで、輪状の回動帯を回動させる。この回動により、ポートＰ１又はＰ２上のＦＯＵＰ３が、後述する開口Ｈ１又はＨ２を介して、ストッカ１０における第１載置部２１ａ又は２１ｄに水平移動される。又は、第１載置部２１ａ又は２１ｄ上のＦＯＵＰ３が、ポートＰ１又はＰ２における載置部１１上の位置決めピン１１ａに係合されるように、水平移動される。このように、スライド機構１６は、ポートＰ１又はＰ２と、ストッカ１０との間でＦＯＵＰ３を移載する。
【００７５】
第２コンベア５０は、複数のコンベア部分５１、不図示の一対の支持壁、及びアクチュエータを備える。複数のコンベア部分５１は、一対の支持壁の内側に、第３経路Ｒ３（即ち、図１において一点鎖線で示される）に沿って、且つ第３経路Ｒ３の両側に対を成すように取り付けられている。複数のコンベア部分３１の各々は、例えばキャタピラー（登録商標）式コンベアであり、本発明に係る「支持部」及び「第２支持部」の一例として、ＦＯＵＰ３の底面における端部（即ち、第３経路Ｒ３の延伸方向に対する左又は右端部）を支持する。第３経路Ｒ３の両側に位置する一対のコンベア部分５１の各々は、ＦＯＵＰ３を１つ載置可能に夫々構成されている。第２コンベア５０は、アクチュエータの駆動により、ＦＯＵＰ３が載置されている一対のコンベア部分５１を同時に回動させることで、ＦＯＵＰ３を、例えば搬送方向Ｄ３へ搬送する。
【００７６】
第３経路Ｒ３は、第２コンベア５０により搬送されるＦＯＵＰ３の経路である。図２において、第３経路Ｒ３（即ち、図２において一点鎖線の円で示される）は、レール１及び第２経路Ｒ２の下方に、詳細には、レール１の鉛直下方に延びている。
【００７７】
図４において、複数のコンベア部分５１は、本実施形態では、第３経路Ｒ３に沿った長さが異なる、第１コンベア部分５１ａ、及び第２コンベア部分５１ｂから構成される。第２コンベア５０において、ポートＰ１に対応する移載位置ＣＶ３１（即ち、図４において一点鎖線で示されるエリア）には、１つの第１コンベア部分５１ａと、２つの第２コンベア部分５１ｂとが係っている。２つの第２コンベア部分５１ｂは、その間に貫通口Ｃ１（即ち、図４において、エリアＣＶ３１内に一点鎖線で示されるエリア）を隔てて、不図示の支持壁に取り付けられている。貫通口Ｃ１は、本発明に係る「口又は切れ込み」の一例として、ポートＰ１（実際には、支持部１４）が第２コンベア部分５１ｂを貫通するための開口である。昇降機構１２は、この貫通口Ｃ１を介して、ポートＰ１を、移載位置ＣＶ３１におけるコンベア部分５１（即ち、第１コンベア部分５１ａ及び２つの第２コンベア部分５１ｂ）の上方及び下方間で移動させる。尚、第２コンベア５０について、ポートＰ１に対応する移載位置ＣＶ３１と同様に、ポートＰ２に対応する移載位置ＣＶ３２が設定されており、移載位置ＣＶ３２には、１つの第１コンベア部分５１ａと、２つの第２コンベア部分５１ｂとが係っている。
【００７８】
第２コンベア５０及びポート（即ち、ポートＰ１又はＰ２）間におけるＦＯＵＰ３の移載について、図２から図４を参照して説明する。図２において、第２コンベア５０からポートＰ１又はＰ２へＦＯＵＰ３を移載する場合に、昇降機構１２は、載置面１１を、コンベア部分５１の下方から上方へ移動させる。この際、載置面１１が、第１コンベア部分５１ａ及び第２コンベア部分５１ｂ間に入り込み、昇降機構１２における支持部１４が、２つの第２コンベア部分５１ｂ間に入り込む。続いて、載置面１１が更に上方へ移動され、第１コンベア部分５１ａ及び２つの第２コンベア部分５１ｂに支持されていないＦＯＵＰ３の中央部が、載置面１１に支持されることで、ＦＯＵＰ３がコンベア部分５１（即ち、第２コンベア５０）から載置面１１（即ち、ポートＰ１又はＰ２）に移載される。
【００７９】
ポートＰ１又はＰ２から第２コンベア５０へＦＯＵＰ３を移載する場合に、昇降機構１２は、ＦＯＵＰ３を支持している載置面１１を、コンベア部分５１の上方から下方まで移動させる。この際、ＦＯＵＰ３の中央部を支持している載置面１１が、第１コンベア部分５１ａ及び第２コンベア部分５１ｂ間に入り込み、昇降機構１２における支持部１４が、２つの第２コンベア部分５１ｂ間に入り込む。続いて、載置面１１が更に下方へ移動され、載置面１１に支持されていないＦＯＵＰ３の両端部が、第１コンベア部分５１ａ及び２つの第２コンベア部分５１ｂに支持されることで、ＦＯＵＰ３が載置面１１（即ち、ポートＰ１又はＰ２）からコンベア部分５１（即ち、第２コンベア５０）に移載される。
【００８０】
図５は、図１のストッカの正面を図式的に示す。図５において、ストッカ１０は、本体部１０ａ、及び保管庫内搬送部２０を備えており、ポートＰ１及びＰ２が昇降する軌道Ｇ３及びＧ４に隣接して配置されている。
【００８１】
本体部１０ａは、４つの段Ｆ１〜Ｆ４に鉛直方向に均等に分断されている。４つの段Ｆ１〜Ｆ４のうち最上段Ｆ１における一側面（即ち、図１における前面）には、所定の水平距離を隔てて２つの開口Ｈ１及びＨ２が設けられている。各開口Ｈ１及びＨ２は、ＦＯＵＰ３を本体部１０ａの外内に出し入れ可能なサイズに形成されている。図４において、２つの開口Ｈ１及びＨ２は、レール１、第２経路Ｒ２、及び第３経路Ｒ３に沿って並んでいる。ストッカ１０における移載位置は、開口Ｈ１又はＨ２と、載置面１１に載置されたＦＯＵＰ３とが対向するように、ポートＰ１又はＰ２が配置される上下位置である。
【００８２】
図１において、保管庫内搬送部２０は、本体部１０ａ内に、複数の載置部２１、及びストッカ内昇降機構２５を備える。保管庫内搬送部２０は、複数の載置部２１を総括的に制御して、各段Ｆ１〜Ｆ４において、複数のＦＯＵＰ３を独立して搬送（即ち、保管庫内搬送）すると共に、ストッカ内昇降機構２５を上下移動させることで、複数段Ｆ１〜Ｆ４間で、複数のＦＯＵＰ３を相互に移動させる。
【００８３】
図６は、複数の載置部の配列を示し、図７は、図６の複数の載置部の回転後の状態を示す。図６及び図７は、具体的には、図５におけるＡ１−Ａ１断面に相当しており、ストッカ１０の最上段Ｆ１に配列される複数の載置部２１を示している。図６において、本体部１０ａの内部におけるエリアＩＮ１又はＩＮ２は、開口Ｈ１又はＨ２に隣接している。また、空間Ｓ１又はＳ２（即ち、図５に一点鎖線で示される）は、エリアＩＮ１又はＩＮ２を含む鉛直に延びる空間である。本体部１０ａの外部において、開口Ｈ１又はＨ２に隣接するエリアには、ポートＰ１又はＰ２が配置されている。
【００８４】
保管庫内搬送部２０の構成について、図６及び図７を参照して詳しく説明する。図６において、保管庫内搬送部２０は、複数の載置部２１により、複数の載置部２１間でＦＯＵＰ３を水平移動させることで、各階Ｆ１〜Ｆ４において独立して保管庫内搬送を行う。複数の載置部２１は、各階Ｆ１〜Ｆ４において、空間Ｓ１及びＳ２を除くエリアＣ１（即ち、図６及び図７において太線で示される）に、水平二方向（即ち、図６における左右方向及び上下方向）に広がるように６つ配列されている。各載置部２１は、回転載置部２１ａ〜２１ｆであって、これら６つの回転載置部２１ａ〜２１ｆのうち、空間Ｓ１又はＳ２に隣接する２つの回転載置部は、第１載置部２１ａ及び２１ｄとして夫々設定されている。
【００８５】
複数の載置部２１は、本実施形態では、各段Ｆ１〜Ｆ４における６つの載置部２１の他に、空間Ｓ１及びＳ２の各々に、１つずつ配置されている。空間Ｓ１及びＳ２に配置されている２つの載置部２１は、複数段Ｆ１〜Ｆ４に共通の回転載置部２１ｏ及び２１ｐであり、ストッカ内昇降機構２５により、空間Ｓ１又はＳ２内で上下移動される。
【００８６】
ストッカ内昇降機構２５は、空間Ｓ１及びＳ２に夫々設けられている。ストッカ内昇降機構２５は、空間Ｓ１又はＳ２に対して、例えば、不図示の一対のレール、支持部２６と、不図示のアクチュエータとを備える。一対のレールは、空間Ｓ１又はＳ２内に、その長手方向が上下方向に取り付けられている。支持部２６は、空間Ｓ１又はＳ２における回転載置部２１ｏ又は２１ｐを支持する。支持部２６の端部は、一対のレールに嵌合されている。ストッカ内昇降機構２５は、アクチュエータを駆動して、支持部２６を一対のレールに沿って上下移動させることで、回転載置部２１ｏ又は２１ｐを、各段Ｆ１〜Ｆ４における第１載置部２１ａ又は２１ｄに対向する位置（以下、単に「各段Ｆ１〜Ｆ４に対応する位置」と言う）に独立して移動させる。ストッカ内昇降機構２５により、各段Ｆ１〜Ｆ４に対応する位置に移動された回転載置部２１ｏ又は２１ｐは、各段Ｆ１〜Ｆ４における第１載置部２１ａ又は２１ｄとの間で、ＦＯＵＰ３を独立して水平移動させる。また、最上段Ｆ１に対応する位置（即ち、エリアＩＮ１又はＩＮ２）に移動された回転載置部２１ｏ又は２１ｐは、ポートＰ１又はＰ２との間で、開口Ｈ１又はＨ２を介してＦＯＵＰ３を独立して水平移動させる。
【００８７】
図６に示すように、２つの回転載置部２１ｏ及び２１ｐが、エリアＩＮ１又はＩＮ２にある場合に、８つの載置部２１（即ち、載置部２１ａ〜２１ｆ，２１ｏ及び２１ｐ）は、相互間でＦＯＵＰ３を水平移動させる。８つの載置部２１の各々は、ローラ２３と、不図示のアクチュエータとを有する。ローラ２３は、アクチュエータにより回転される。各ローラ２３の上面は、ＦＯＵＰ３が収容又は載置される載置面として機能する。ＦＯＵＰ３の水平移動について、具体的には、ＦＯＵＰ３が載置部２１ｂに収容又は載置されている場合に、載置部２１ｂにおけるローラ２３が右回転されると、ＦＯＵＰ３が載置部２１ｂの右隣りの載置部２１ｃへ水平移動される。また、この場合に、載置部２１ｂにおけるローラ２３が左回転されると、ＦＯＵＰ３が載置部２１ｂの左隣りの載置部２１ｅへ水平移動される。尚、各載置部２１は、ローラ２３の回転によるローラコンベア式移動を行うが、その他に、ベルト等の回動によるベルトコンベア式移動を行ってもよい。
【００８８】
８つの載置部２１、即ち、８つの回転載置部２１ａ〜２１ｆ，２１ｏ及び２１ｐの各々は更に、ターンテーブル２４と、不図示のアクチュエータとを有し、ＦＯＵＰ３の移動方向及びその姿勢を９０度回転させる。ターンテーブル２４は、ローラ２３の下方に配置されており、不図示の軸受けを介して、ローラ２３を固定している。ターンテーブル２４は、アクチュエータにより水平面内で９０度回転され、ローラ２３を水平面内で９０度回転させる。具体的には、図６の状態にある８つの回転載置部２１ａ〜２１ｆ，２１ｏ及び２１ｐにおいて、ターンテーブル２４が９０度右回転されると、図７に示すように、ローラ２３が一体となって９０度右回転される。この回転により、回転載置部２１ａ〜２１ｆ，２１ｏ及び２１ｐに収容又は載置されているＦＯＵＰ３の移動方向及びその姿勢が９０度右回転される。また、ターンテーブル２４が９０度左回転されると、ローラ２３が一体となって９０度左回転される。この回転により、回転載置部２１ａ〜２１ｆ，２１ｏ及び２１ｐに収容又は載置されているＦＯＵＰ３の移動方向及びその姿勢が９０度左回転される。
（搬送車及び搬送手段間の移載動作）
【００８９】
次に、本実施形態に係る搬送システムにおける、搬送車及び搬送手段間の移載動作について、図２から図４を参照して説明する。
【００９０】
図２において、ビークル２から第１コンベア３０への移載時には、ＦＯＵＰ３を保持した状態にあるビークル２が、レール１における移載位置ＣＶ３１又はＣＶ３２（即ち、図４で示される）で停止される。すると、昇降機構１２により、ポートＰ１又はＰ２が、最も高い上下位置に移動される。この後、ホイスト機構５により、ＦＯＵＰ３を保持した状態にあるグリップ７が、ポートＰ１又はＰ２における載置面１１の直上に移動される。すると、移動されたグリップ７により、ＦＯＵＰ３が解放され、載置面１１に移載される。この際、載置面１１上面の位置決めピン１１ａがＦＯＵＰ３の凹部に係合される。
【００９１】
この後、図３において、水平移動部４１及び上下移動部４２により、解放状態にあるグリップ４２ｃが、載置面１１上のＦＯＵＰ３の直上に移動される。すると、移動されたグリップ４２ｃにより、ＦＯＵＰ３が保持される。続けて、水平移動部４１及び上下移動部４２により、ＦＯＵＰ３を保持した状態のグリップ４２ｃが、移載位置ＣＶ２１又はＣＶ２２（即ち、図４で示される）に係るコンベア部分３１の直上に移動される。すると、移動されたグリップ４２ｃにより、ＦＯＵＰ３が解放され、移載位置ＣＶ２１又はＣＶ２２に係るコンベア部分３１に移載される。これにより、一連の移載動作が終了される。尚、第１コンベア３０からビークル２への移載時には、上述した手順と逆の手順で、ポートＰ１又はＰ２を介して、第１コンベア３０からビークル２へＦＯＵＰ３が移載される。
【００９２】
このように、ポートＰ１又はＰ２を介して、ビークル２と第１コンベア３０（実際には、移載機構４０）との間で、ＦＯＵＰ３が移載されるので、２つの経路（即ち、レール１及び第２経路Ｒ２）で多数のＦＯＵＰ３を効率良く搬送すると共に、２つの経路間で迅速に移載することができる。また、レール１の鉛直下方にポートＰ１又はＰ２が設けられているので、ビークル２に横移載を行うための機構を備える必要がなく、ビークル２が該機構の重量分軽量化されるので、その搬送速度を増速することができる。従って、比較的簡単な構成により、効率良くＦＯＵＰ３を搬送することができる。
（搬送手段及び第３経路間の移載動作）
【００９３】
次に、本実施形態に係る搬送システムにおける、搬送手段及び第３経路間の移載動作について、図２から図４を参照して説明する。
【００９４】
図２において、第１コンベア３０から第２コンベア５０への移載時には、先ず第１コンベア３０により、ＦＯＵＰ３が、第１コンベア３０における移載位置ＣＶ２１又はＣＶ２２（即ち、図４で示される）まで搬送される。すると、水平移動部４１及び上下移動部４２により、解放状態にあるグリップ４２ｃが、移載位置ＣＶ２１又はＣＶ２２に係るコンベア部分３１上のＦＯＵＰ３の直上に移動され、ＦＯＵＰ３を保持する。続けて、ＦＯＵＰ３を保持した状態のグリップ４２ｃが、移載位置ＣＶ３１又はＣＶ３２における載置面１１の直上に移動される。これと相前後して、昇降機構１２により、載置面１１を有するポートＰ１又はＰ２が、最も高い上下位置に移動される。続いて、移動されたグリップ４２ｃにより、ＦＯＵＰ３が解放され、載置面１１に移載される。
【００９５】
この後、図３において、コントローラ２０１により、第２コンベア５０における移載位置ＣＶ３１又はＣＶ３２（即ち、図４で示される）に、ＦＯＵＰ３が無いことが検出される。すると、昇降機構１２により、ＦＯＵＰ３を載置した状態の載置面１１が、貫通口Ｃ１を介してコンベア部分５１の下方に移動され、ＦＯＵＰ３が、載置面１１からコンベア部分５１へ移載される。この後、第２コンベア５０により、ＦＯＵＰ３が搬送方向Ｄ３へ搬送される。すると、移載位置ＣＶ３１又はＣＶ３２を通過するＦＯＵＰ３を避けて、昇降機構１２により、載置面１１が、貫通口Ｃ１を介してコンベア部分５１の上方に移動される。これにより、一連の移載動作が終了される。尚、第２コンベア５０から第１コンベア３０への移載時には、上述した手順と逆の手順で、ポートＰ１又はＰ２を介して、第２コンベア５０から第１コンベア３０へＦＯＵＰ３が移載される。
【００９６】
このように、ポートＰ１又はＰ２を介して、第１コンベア３０（実際には、移載機構４０）と第２コンベア５０との間でＦＯＵＰ３が移載されるので、上下に位置する２つの経路（即ち、第２経路Ｒ２及び第３経路Ｒ３）で多数のＦＯＵＰ３を効率良く搬送すると共に、２つの経路間で迅速に移載することができる。また、第２コンベア５０において、載置面１１の通過を許容する貫通口Ｃ１を設けるという比較的簡単な構成により、より迅速にＦＯＵＰ３を移載することができる。
【００９７】
尚、本実施形態では、ポートＰ１又はＰ２を介して、ポートＰ１又はＰ２に対応する移載位置が設定されている、ビークル２、第１コンベア３０（実際には、移載機構４０）、及び第２コンベア５０の相互間でＦＯＵＰ３を移載することができる。
【００９８】
加えて、本実施形態では、第１コンベア３０及び第２コンベア５０間で、単に１つのＦＯＵＰ３を移載するが、移載の過程で、移載される又は移載されたＦＯＵＰ３に、ポートＰ１又はＰ２の軌道Ｇ３又はＧ４に隣接する、例えばストッカ１０や処理装置等の装置における処理を施してもよい。
（第３経路からの入庫動作、及び搬送車への出庫動作）
【００９９】
次に、本実施形態に係る搬送システムにおける、第３経路から保管庫間への入庫動作、及び保管庫から搬送車への出庫動作ついて、図２から図４、及び図６を参照して説明する。尚、以下説明において、初期設定として、ポートＰ１が入庫専用のポートとして機能し、ポートＰ２が出庫専用のポートとして機能するように設定されている。
【０１００】
第２コンベア５０からストッカ１０への入庫時には、先ずコントローラ２０１により、第２コンベア５０における移載位置ＣＶ３１（即ち、図４に示される）より上流側に、ストッカ１０に入庫すべきＦＯＵＰ３があることが検出される。すると、移載位置ＣＶ３１を通過するＦＯＵＰ３を避けて、昇降機構１２により、ポートＰ１における載置面１１が、貫通口Ｃ１を介してコンベア部分５１の下方に移動される。この後、第２コンベア５０により、入庫すべきＦＯＵＰ３が、移載位置ＣＶ３１まで搬送される。すると、昇降機構１２により、載置面１１が、貫通口Ｃ１を介してコンベア部分５１の上方に移動され、入庫すべきＦＯＵＰ３が、コンベア部分５１から載置面１１へ移載される。続いて、入庫すべきＦＯＵＰ３を載置した状態の載置面１１が、ストッカ１０おける移載位置に移動される。この後、回転載置部２１ｏが、最上段Ｆ１におけるエリアＩＮ１（即ち、図６に示される）にない場合に、ストッカ内昇降機構２５により、回転載置部２１ｏが、エリアＩＮ１に移動される。すると、スライド機構１６により、載置面１１上の入庫すべきＦＯＵＰ３が、開口Ｈ１を介して本体部１０ａ内へ水平移動され、回転載置部２１ｏに移載される。
【０１０１】
続いて、ストッカ内昇降機構２５により、最上段Ｆ１にある回転載置部２１ｏが、入庫されたＦＯＵＰ３を収容すべき段Ｆ２に対応する位置に上下移動される。この後、保管庫内搬送部２０により、回転載置部２１ｏにおけるローラ２３が回動され、回転載置部２１ｏ上のＦＯＵＰ３が、回転載置部２１ｏから第１載置部２１ａへ水平移動される。すると、第１載置部２１ａ上のＦＯＵＰ３が、所望の載置部２１へ移動（即ち、保管庫内搬送）される。これにより、一連の入庫動作が終了される。
【０１０２】
ストッカ１０からビークル２への出庫時には、先ず保管庫内搬送部２０により、所望の載置部２１上の出庫すべきＦＯＵＰ３が、第１載置部２１ｄに移動（即ち、保管庫内搬送）される。続いて、出庫すべきＦＯＵＰ３が載置されている段Ｆ２に対応する位置に、回転載置部２１ｐがない場合に、保管庫内搬送に並行又は相前後して、ストッカ内昇降機構２５により、回転載置部２１ｐが段Ｆ２に対応する位置に上下移動される。すると、保管庫内搬送部２０により、第１載置部２１ｄにおけるローラ２３が回転され、第１載置部２１ｄ上のＦＯＵＰ３が、段Ｆ２に対応する位置にある回転載置部２１ｐへ水平移動される。すると、ストッカ内昇降機構２５により、段Ｆ２にある回転載置部２１ｐが最上段Ｆ１におけるエリアＩＮ２（即ち、図６に示される）に移動される。すると、ストッカ１０おける移載位置に、ポートＰ２における載置部１１がない場合に、昇降機構１２により、載置部１１が、ストッカ１０における移載位置に移動される。この後、保管庫内搬送部２０により、回転載置部２１ｐにおけるローラ２３が回転され、回転載置部２１ｐ上のＦＯＵＰ３が、開口Ｈ２を介して本体部１０ａ外へ水平移動され、載置面１１に移載される。すると、昇降機構１２により、載置面１１を有するポートＰ１又はＰ２が、最も高い上下位置に移動される。
【０１０３】
続いて、該最も高い上下位置への移動に並行又は相前後して、第１コンベア３０により、空荷の状態にあるビークル２が、第１コンベア３０における移載位置ＣＶ２２（即ち、図４に示される）で停止される。すると、ホイスト機構５により、解放状態にあるグリップ７が、載置面１１上のＦＯＵＰ３の直上に移動される。すると、移動されたグリップ７により、ＦＯＵＰ３が保持（即ち、移載）される。これにより、一連の出庫動作が終了される。
【０１０４】
このように、第２コンベア５０とビークル２との間でＦＯＵＰ３が移載される過程で、ストッカ１０に対する入出庫が行われるが、スライド機構１６により、ポートＰ１又はＰ２と、ストッカ１０との間でＦＯＵＰ３が迅速に移載されるので、入出庫を伴う場合であっても、効率良くＦＯＵＰ３を搬送することができる。
【０１０５】
また、スライド機構１６を備えるポートＰ１又はＰ２と、ストッカ内昇降機構２５により複数段Ｆ１〜Ｆ４間で上下移動される載置部２１ｏ又は２１ｐとの間で、ＦＯＵＰ３が水平移動されるので、ポートＰ１及びＰ２を、入庫直後及び出庫直前に空荷の状態とすることができる。また、各段Ｆ１〜Ｆ４において保管庫内搬送を独立して行うので、複数のＦＯＵＰ３を短時間で保管庫内搬送することができる。これにより、ポートＰ１又はＰ２における１つのＦＯＵＰ３に要する入庫時間及び出庫時間が短縮されると共に、保管庫内搬送時間が最短されるので、入出庫を伴う場合であっても、更に効率良くＦＯＵＰ３を搬送することができる。
【０１０６】
尚、ストッカ１０の代わりに、処理装置を備えてもよい。この場合に、第１コンベア３０及び第２コンベア５０間の移載の過程に、ＦＯＵＰ３に対して、処理装置による所定種類の処理が施される。
【０１０７】
加えて、本実施形態では、第１コンベア３０及び第２コンベア５０は、複数のコンベア部分３１又は５１から構成されるが、複数のコンベア部分３１又は５１の代わりに、複数のローラを備えてもよい。
【０１０８】
更に、本実施形態では、ポート及びストッカ１０間で移載するための手段として、スライド機構１６を備えるが、スライド機構１６の代わりに、ポートＰ１又はＰ２と、回転載置部２１ｏ又は２１ｐとの間を移動するロボットハンド等を備えてもよい。
【０１０９】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送システムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】実施形態に係る搬送システムの外観を示す斜視図である。
【図２】図１の搬送システムを側面側から視た側面図である。
【図３】図２の第２移載手段による横移載を示す側面図である。
【図４】図１の搬送システムを上面側から視た上面図である。
【図５】図１のストッカの正面を図式的に示す正面図である。
【図６】図１の複数の載置部の配列を示す断面図である。
【図７】図６の複数の載置部の回転後の状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【０１１１】
１…レール、２…ビークル（天井走行車）、３…ＦＯＵＰ（荷）、１０…ストッカ、１２…昇降機構、１６…スライド機構、３０…第１コンベア、４０…移載機構、５０…第２コンベア、１００…搬送システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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