(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートの一方の面に接着材層が積層された接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置であって、
前記被着体を支持する被着体支持手段と、
前記被着体の外形形状よりも大きな外形形状を有する前記接着シートを供給するシート供給手段と、
前記被着体を囲む位置に配置されるとともに、当該被着体の中央方向に向かって移動可能な移動部材を有し、前記供給された接着シートを当該移動部材の上面に貼付することで当該接着シートを支持する接着シート支持手段と、
前記接着シート支持手段に支持された接着シートに対して前記被着体の反対側に設けられた押圧部材を前記被着体の一方の面に直交する方向に移動させることで、前記接着シートを介して前記移動部材を前記被着体の中央方向に向かって移動させ、前記接着シートを前記被着体の一方の面に貼付する貼付手段と、を備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記接着シート支持手段は、前記移動部材を前記中央方向に向かって移動させる制御機構を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
基材シートの一方の面に接着材層が積層された接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法であって、
前記被着体を支持する工程と、
前記被着体の外形形状よりも大きな外形形状を有する前記接着シートを供給する工程と、
前記被着体を囲む位置に配置されるとともに、当該被着体の中央方向に向かって移動可能な移動部材を用い、前記供給された接着シートを当該移動部材の上面に貼付することで当該接着シートを支持する工程と、
前記支持された接着シートに張力が作用するとき、または、張力が作用する前に、前記移動部材を移動させるとともに、前記接着シートに対し前記被着体の反対側に設けられた押圧部材を前記被着体の一方の面に直交する方向に移動させることで、前記接着シートを介して前記移動部材を前記被着体の中央方向に向かって移動させ、前記接着シートを前記被着体の一方の面に貼付する工程とを有することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材シートの一方の面に接着材層が積層された接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（Integrated Circuit）やＬＳＩ（Large Scale Integration）などの回路が一面に形成された半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）は、電子機器の小型化や軽量化を図るため、個々のチップに分割される前に厚さが５０μｍ前後にまで研削される。しかし、このようにウェハが薄くなると、それ自体の剛性が無くなるため、その後の工程での取り扱いが困難になる。そこで、加工時の取り扱いを容易にするためのウェハの加工方法が検討されている（例えば、特許文献１参照）。このウェハの加工方法では、回路が形成された回路形成領域と、この回路形成領域を囲む外周余剰領域とを表面に備えたウェハを加工する際に、ウェハの裏面のうち、回路形成領域に対応する領域に凹部を形成することで、この凹部の外側にリング状補強部を形成している。
【０００３】
一方、半導体製造工程において、ウェハに保護シートを貼付するシート貼付装置が利用されている（例えば、特許文献２参照）。このシート貼付装置では、ウェハを下部チャンバのウェハ載置テーブルに供給し、上部チャンバの吸着テーブルを水平姿勢にする。次に、円周カッタで切り抜かれた保護シートの非粘着面を吸着テーブルの下面で吸着保持して、吸着テーブルを傾斜姿勢にする。この後、上部チャンバを下降させて下部チャンバに重ねるとともに、吸着テーブルの傾斜下がり端をウェハ載置テーブルのウェハに圧接する。そして、両チャンバ内を真空にして、吸着テーブルを水平の姿勢に揺動させることで、吸着テーブルの下面に吸着保持されている保護シートをウェハの上面に加圧接着させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１９４６１号公報
【特許文献２】特開２００１−１４８４１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１に記載の加工方法が施されたウェハに接着シートを貼付するために、特許文献２に記載のシート貼付装置を用いることが考えられる。この場合、減圧雰囲気において、吸着テーブルを水平姿勢に揺動させることで接着シートをウェハに接着すると、凹部に空間を形成した状態（凹部を塞ぐ状態）で接着シートがウェハに貼付されてしまう。このため、リング状補強部と凹部底面とで形成される角部に確実に接着シートを貼付することはできず、凹部空間を塞ぐ接着シートは、余分な張力が加えられた状態で凹部全体に貼付される。
そして、上記のような状態のウェハを搬送したり、表面処理等の加工を施したりすると、外力が加わったときに接着シートの弾性復元力も手伝ってウェハが割れ易くなってしまうという不都合が生じる。
【０００６】
本発明の目的は、接着シートに余分な張力を発生させることなく接着シートを被着体に貼付可能なシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明のシート貼付装置は、基材シートの一方の面に接着材層が積層された接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置であって、前記被着体を支持する被着体支持手段と、前記被着体の外形形状よりも大きな外形形状を有する前記接着シートを供給するシート供給手段と、前記被着体を囲む位置に配置されるとともに、当該被着体の中央方向に向かって移動可能な移動部材を有し、前記供給された接着シートを当該移動部材の上面に貼付することで当該接着シートを支持する接着シート支持手段と、前記接着シート支持手段に支持された接着シートに対して前記被着体の反対側に設けられた押圧部材を前記被着体の一方の面に直交する方向に移動させることで、前記接着シートを介して前記移動部材を前記被着体の中央方向に向かって移動させ、前記接着シートを前記被着体の一方の面に貼付する貼付手段と、を備えている、という構成を採用している。
【０００８】
この際、本発明のシート貼付装置では、前記接着シート支持手段は、前記移動部材を前記中央方向に向かって移動させる制御機構を備えている、ことが好ましい。
【０００９】
一方、本発明のシート貼付方法は、基材シートの一方の面に接着材層が積層された接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法であって、前記被着体を支持する工程と、前記被着体の外形形状よりも大きな外形形状を有する前記接着シートを供給する工程と、前記被着体を囲む位置に配置されるとともに、当該被着体の中央方向に向かって移動可能な移動部材を用い、前記供給された接着シートを当該移動部材の上面に貼付することで当該接着シートを支持する工程と、前記支持された接着シートに張力が作用するとき、または、張力が作用する前に、前記移動部材を移動させるとともに、前記接着シートに対し前記被着体の反対側に設けられた押圧部材を前記被着体の一方の面に直交する方向に移動させることで、前記接着シートを介して前記移動部材を前記被着体の中央方向に向かって移動させ、前記接着シートを前記被着体の一方の面に貼付する工程とを有する、という方法を採用している。
【発明の効果】
【００１０】
以上のような本発明によれば、移動部材に接着シートを支持させた状態で、当該接着シートを被着体に貼付することができるので、例えば、背景技術で記載したような凹部が設けられた被着体の当該凹部に接着シートを貼付する場合でも、接着シートに張力が作用するとき、または、張力が作用する前に、移動部材が被着体に向かって移動することで、接着シートに余分な張力を発生させることなく当該接着シートを被着体の凹部全体に貼付することができる。したがって、このように接着シートが貼付されたウェハを搬送したり、表面処理等の加工を施すときに少々の外力が加わったとしても、弾性復元力が当該ウェハの割れを助長するといった不都合を防止することができる。
【００１１】
ここで、接着シートは、ある程度の張力が加えられないと被着体に皺や気泡なく貼付することはできない。本発明でいう「余分な張力」とは、例えば、上記のように被着体の割れを助長するといった、被着体に所定の処理を施す各過程において支障を来たすような張力のことをいう。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置の部分断面図。
【図２】（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、第１実施形態のシート貼付装置の動作説明図。
【図３】（Ａ），（Ｂ）は、第１実施形態のシート貼付装置の動作説明図。
【図４】本発明の第２実施形態に係るシート貼付装置の部分断面図。
【図５】（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、第２実施形態のシート貼付装置の動作説明図。
【図６】（Ａ），（Ｂ）は、本発明の第３実施形態に係るシート貼付装置の動作説明図。
【図７】（Ａ），（Ｂ）は、本発明の第４実施形態に係るシート貼付装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
図１において、シート貼付装置１は、被着体としてのウェハＷ１に接着シートＳを貼付するものである。ここで、ウェハＷ１は、図２（Ａ）にも示すように、外縁部がそれ以外の部分よりも厚くなるように研削されることで、厚さ方向（裏面側）に突出した環状の凸部Ｗ１１が外縁部に形成され、凸部Ｗ１１で囲まれた内側に凹部Ｗ１２が形成されるとともに、その表面（研削面の反対側であり、図１の下側の面）Ｗ１３に回路が形成された半導体ウェハである。ウェハＷ１の凹部Ｗ１２の底面Ｗ１５および内周面Ｗ１６と、凸部Ｗ１１の頂面Ｗ１４とには、接着シートＳが貼付される。接着シートＳは、基材シートの一方の面に接着剤層が積層された構成を有し、ウェハＷ１の外形形状よりも大きい外形に予め切断されている。なお、表面Ｗ１３には、図示しない保護シートが貼付されている。
そして、シート貼付装置１は、接着シートＳを供給するシート供給手段２と、このシート供給手段２から供給される接着シートＳをウェハＷ１に貼付する貼付手段としての減圧貼付手段３と、ウェハＷ１等を移動させる移動手段４と、接着シートＳのウェハＷ１からはみ出している部分を切断する切断手段５とを備えている。なお、以下の説明において、図１中右側を上流側、同図左側を下流側ということがある。
【００１４】
シート供給手段２は、図示しないフレームに支持されている。このフレームには、剥離シートＲＬ上に所定間隔を隔てて仮着された接着シートＳをロール状に巻回して支持する支持ローラ２１と、剥離シートＲＬおよび接着シートＳを案内する２個のガイドローラ２２と、図１中左下方に傾斜して剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離するピールプレート２３とが設けられている。さらに、フレームには、モータ２６によって駆動する駆動ローラ２４と、駆動ローラ２４との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２５と、図示しない駆動手段によって剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２７と、ピールプレート２３で剥離された接着シートＳを後述する変形許容部材３４１に押圧して貼付する押圧ローラ２８とが設けられている。
【００１５】
減圧貼付手段３は、減圧状態でウェハＷ１に接着シートＳを貼付するとともに、差圧を利用してウェハＷ１に接着シートＳを押圧して貼付するものであり、上面が開口された箱状の下チャンバ３１と、下面が開口された箱状に形成され、下チャンバ３１の上面に当接して空間Ａ（図２参照）を形成可能な上チャンバ３２とを備えている。なお、空間Ａは、下チャンバ３１の上面に設けられたパッキン３１１によって密閉可能となっている。
【００１６】
下チャンバ３１の内部には、ウェハＷ１を支持する被着体支持手段３３と、接着シートＳを支持する接着シート支持手段３４とが設けられている。
被着体支持手段３３は、ウェハＷ１が載置されるとともに直動モータ３３２で昇降する略円板状の内側テーブル３３１を備えている。内側テーブル３３１は、図示しない保持手段によって、ウェハＷ１をその上面で所定位置に保持可能に設けられている。
接着シート支持手段３４は、ゴムや樹脂等で構成された弾性変形可能な部材によりリング状に形成され、上面で接着シートＳを支持可能な移動部材としての変形許容部材３４１と、この変形許容部材３４１を保持するとともに一対の直動モータ３４３で昇降する保持部３４２とを備えている。保持部３４２は、筒状の保持部本体３４４と、この保持部本体３４４の下端面の上流側と下流側を結ぶ下端連結部３４５とを備えている。なお、変形許容部材３４１は、接着シートＳよりも弾性率が小さい材質のものが採用されている。
【００１７】
上チャンバ３２は、板状の上面部３２１と、この上面部３２１の外縁から下方に延びる側面部３２２とにより形成されている。上面部３２１には、気圧調整孔３２３を介して空間Ａを減圧可能な気圧調整手段３６と、上チャンバ３２を昇降させる直動モータ３２４が設けられている。さらに、上面部３２１における図１中上方には、接着シートＳを上方から押さえる上押さえ手段３７が設けられている。この上押さえ手段３７は、図２に示すように、直動モータ３７１の出力軸に取り付けられるとともに、貫通孔３７４を有する保持部３７２と、この保持部３７２の外縁側に設けられるとともに、内径がウェハＷ１の内周面Ｗ１６の直径よりも接着シートＳの厚みの２倍分小径に形成されたリング状の凸部押さえ部材３７３と、保持部３７２の図１中下面にばね等の付勢手段３７５を介して設けられるとともに、貫通孔３７６を有する保持部３７７と、この保持部３７７の外縁側に設けられるとともに、外径がウェハＷ１の内周面Ｗ１６の直径よりも接着シートＳの厚みの２倍分小径に形成されたリング状の凹部押さえ部材３７８とを備えている。
【００１８】
移動手段４は、図１の左右方向に延びて設けられた単軸ロボットからなり、この単軸ロボットのスライダ４１が下チャンバ３１の下面に固定され、下チャンバ３１を上流側および下流側に移動可能に構成されている。
切断手段５は、直動モータ５１によって昇降可能に支持された回転モータ５２と、この回転モータ５２の出力軸から水平方向に延びた保持部５３と、この保持部５３の先端部分から斜め下方に延びるように設けられて接着シートＳを切断するカッタ５４とを備えている。
【００１９】
以上のシート貼付装置１において、ウェハＷ１に接着シートＳを貼付する手順を説明する。
まず、下チャンバ３１がシート供給手段２よりも上流側に位置している状態において、被着体支持手段３３でウェハＷ１が図示しない保持手段によって所定の位置に位置決めされて保持される。このとき、変形許容部材３４１の上面は、ウェハＷ１の頂面Ｗ１４よりも上方に位置するように位置決めされている。
そして、移動手段４で下チャンバ３１を下流側に移動させつつ、シート供給手段２から繰り出した接着シートＳを押圧ローラ２８で押圧することで、接着シートＳが変形許容部材３４１の上面に貼付される。この後、図１に示すように、下チャンバ３１が上チャンバ３２の真下まで到達したときに移動手段４での移動を停止させる。
【００２０】
次に、図２（Ａ）に示すように、上チャンバ３２を下降させて空間Ａを密閉するとともに、気圧調整手段３６により空間Ａを真空状態を含む減圧状態とする。
そして、図２（Ｂ）に示すように、直動モータ３７１の駆動によって、凹部押さえ部材３７８を下降させて接着シートＳをウェハＷ１の底面Ｗ１５に押圧し、底面Ｗ１５の外縁領域に接着シートＳを押圧する。このとき、凹部押さえ部材３７８と変形許容部材３４１との間が拘束されているので、凹部押さえ部材３７８よりも外側に位置する接着シート部分に張力が発生しようとしても、変形許容部材３４１がその張力によってウェハＷ１の中央側に弾性変形することで、接着シートＳに余計な張力が発生することを抑制することができる。
その後も直動モータ３７１を駆動し続けることで、図２（Ｃ）に示すように、付勢手段３７５の付勢力に抗して凸部押さえ部材３７３が接着シートＳをウェハＷ１の頂面Ｗ１４に押圧して貼付する。このとき、変形許容部材３４１も直動モータ３４３の駆動によって下降させる。
この後、気圧調整孔３２３から空間Ａに大気を導入すると、気圧によってウェハＷ１の底面Ｗ１５全面に接着シートＳが貼付されることとなる。以上により、接着シートＳがウェハＷ１の底面Ｗ１５および内周面Ｗ１６と、凸部Ｗ１１の頂面Ｗ１４とに貼付される。
【００２１】
この後、凸部押さえ部材３７３および凹部押さえ部材３７８を接着シートＳから離間させるとともに、上チャンバ３２を下チャンバ３１から離間させる。次に、下チャンバ３１を下流側に移動させ、図３（Ａ）に示すように、接着シートＳのウェハＷ１からはみ出している部分に切断手段５のカッタ５４で切り込みを入れる。そして、カッタ５４を回転モータ５２により回転させることで、接着シートＳのはみ出し部分を切断する。この後、搬送手段６で接着シートＳが貼付されたウェハＷ１を別の工程に搬送するとともに、変形許容部材３４１の上面に残された接着シートＳ部分を図示しない回収手段で回収し、以降上記同様の動作が繰り返されることとなる。
【００２２】
以上のような第１実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、シート貼付装置１は、接着シートＳに加わる張力によって変形許容部材３４１が変形されるため、ウェハＷ１に貼付された接着シートＳに余計な張力が発生することを抑制でき、ウェハを搬送したり、表面処理等で加工したりしても少々の外力が加わったとしてもウェハＷが割れてしまうような不都合を防止できる。また、変形許容部材３４１をゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材により構成したため、変形許容部材３４１を変形させるための制御機構などを設ける必要がなく、構成の簡略化を図ることができる。
【００２３】
次に、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
図４は、第２実施形態に係るシート貼付装置１Ｂを示す部分断面図である。
第２実施形態のシート貼付装置１Ｂと第１実施形態のシート貼付装置１との相違点は、シート供給手段２の代わりにシート供給手段２Ｂを設けたことと、減圧貼付手段３を図４の紙面垂直方向に移動可能に設けたことと、切断手段５を下チャンバ３１の上方において上下移動可能に設けた点である。
シート供給手段２Ｂは、図示しないフレームに支持されている。このフレームには、帯状シートＳ１をロール状に巻回して支持する支持ローラ２１１Ｂと、モータ２１３Ｂにより駆動する上流駆動ローラ２１２Ｂと、上流駆動ローラ２１２Ｂとの間に帯状シートＳ１を挟み込むピンチローラ２１４Ｂと、図示しないモータによって駆動し、切断手段５により切断された接着シートＳがくりぬかれた帯状シートＳ１を回収する回収ローラ２２１Ｂと、モータ２２３Ｂにより駆動する下流駆動ローラ２２２Ｂと、下流駆動ローラ２２２Ｂとの間に帯状シートＳ１を挟み込むピンチローラ２２４Ｂと、図示しない移動手段により図４中上下方向と左右方向とに往復移動可能な往復本体部２３１Ｂと、この往復本体部２３１Ｂに支持されたガイドローラ２３２Ｂと、回転モータ２３４Ｂによって回転可能に設けられた駆動ローラ２３３Ｂとを備えている。
【００２４】
そして、シート貼付装置１Ｂにおいて、接着シートＳをウェハＷ１に貼付する際には、まず、下チャンバ３１が上チャンバ３２の下方に位置している状態において、変形許容部材３４１の上面で帯状シートＳ１を支持する。次いで、上チャンバ３２を下降させて空間Ａを密閉する。このとき、帯状シートＳ１は、上チャンバ３２と下チャンバ３１とに挟まれるが、パッキン３１１によって空間Ａの密閉度は保たれる。そして、第１実施形態の図２と同様の制御をすることにより、接着シートＳがウェハＷ１の凹部Ｗ１２全体と頂面Ｗ１４とに貼付される（図５（Ａ）参照）。
【００２５】
次に、図５（Ａ）に示すように、上チャンバ３２を下チャンバ３１から離間させるとともに、切断手段５のカッタ５４を下降させる。そして、カッタ５４を回転させることで接着シートＳのはみ出し部分を切断して、図５（Ｂ）に示すように、カッタ５４を上昇させる。この後、図５（Ｃ）に示すように、往復本体部２３１Ｂを下降させた後、駆動ローラ２３３Ｂを回転させつつ右方向に移動させる。これにより、接着シートＳをウェハＷ１の頂面Ｗ１４に押圧して貼付しながら、下チャンバ３１の上面に接着している帯状シートＳ１を浮上させる。図５（Ｃ）中二点鎖線で示す位置に往復本体部２３１Ｂが位置すると、ウェハＷ１は、図示しない搬送手段によって別の工程に搬送される。そして、回転モータ２３４Ｂの回転をロックした状態として往復本体部２３１Ｂを左方向に移動させるとともに、上流、下流駆動ローラ２１２Ｂ、２２２Ｂを回転させ、新しい帯状シートＳ１を上チャンバ３２の下方に位置させる。
【００２６】
以上のような第２実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、シート貼付装置１Ｂは、予め所定形状に切断された接着シートＳを採用することなく、帯状シートＳ１を採用することができるので、汎用性が向上するという効果がある。
【００２７】
次に、本発明の第３実施形態を図面に基づいて説明する。
図６（Ａ），（Ｂ）は、第３実施形態に係るシート貼付装置１Ｃの動作説明図である。
第３実施形態のシート貼付装置１Ｃと第１実施形態のシート貼付装置１との相違点は、減圧貼付手段３の代わりに、貼付手段としての押付貼付手段３Ｃを設けた点である。
押付貼付手段３Ｃの貼付基台３１Ａ上には、被着体支持手段３３Ｃと、接着シート支持手段３４とが設けられている。また、被着体支持手段３３Ｃの上方には、押付手段３８Ｃが設けられている。押付手段３８Ｃは、平面形状がウェハＷ１と略等しい形状であって、緩やかな曲面の押付面３８２Ｃを有するとともに、直動モータ３８３Ｃで昇降可能な押付部材３８１Ｃと、押付部材３８１Ｃの外周側に設けられるとともに、図示しない駆動手段によって昇降可能に設けられた頂面押付部材３８４Ｃとを備えている。なお、押付部材３８１Ｃおよび頂面押付部材３８４Ｃは、弾性変形可能な部材によって構成されている。
【００２８】
そして、シート貼付装置１Ｃにおいて、接着シートＳをウェハＷ１に貼付する際には、図６（Ａ）に示すように、変形許容部材３４１で支持している接着シートＳを、ウェハＷ１の頂面Ｗ１４との間に微少な隙間が形成される位置まで近接させる。
この後、押付部材３８１Ｃの押付面３８２Ｃにより、接着シートＳのシート中央部をウェハＷ１の凹部Ｗ１２に押し付けると、押付部材３８１Ｃが徐々に弾性変形してこの押し付けられた部分が凹部Ｗ１２に貼付される。この貼付に伴って、未貼付シート部分にウェハＷ１の中央部側への張力が発生するが、変形許容部材３４１がその張力によってウェハＷ２の中央側に弾性変形することで、接着シートＳに余計な張力が発生することを抑制することができる。次いで、図示しない駆動手段の駆動によって頂面押付部材３８４Ｃを介して接着シートＳを頂面Ｗ１４に貼付する。そして、第１実施形態と同様の方法により、ウェハＷ１からはみ出た接着シートＳを切断手段５で切断する。
【００２９】
以上のような第３実施形態によれば、第１実施形態の減圧貼付手段を省略することができ、構成の簡略化を図ることができる。
【００３０】
次に、本発明の第４実施形態を図面に基づいて説明する。
図７（Ａ），（Ｂ）は、第４実施形態に係るシート貼付装置１Ｄの動作説明図である。
第４実施形態のシート貼付装置１Ｄと第３実施形態のシート貼付装置１Ｃとの相違点は、凹部Ｗ１２を有するウェハＷ１の代わりに凹部を有さないウェハＷ２が貼付対象である点である。
押付貼付手段３Ｄの貼付基台３１Ａ上には、被着体支持手段３３Ｃと、接着シート支持手段３４とが設けられている。また、被着体支持手段３３Ｃの上方には、押付手段３８Ｄが設けられている。押付手段３８Ｄは、平面形状がウェハＷ２と略等しい形状であって、緩やかな曲面の押付面３８２Ｄを有するとともに、直動モータ３８３Ｄで昇降可能な押付部材３８１Ｄを備えている。なお、押付部材３８１Ｄは、弾性変形可能な部材によって構成されている。
【００３１】
そして、シート貼付装置１Ｄにおいて、接着シートＳをウェハＷ２に貼付する際には、図７（Ａ）に示すように、ウェハＷ２の裏面Ｗ２１を、変形許容部材３４１で支持されている接着シートＳよりも下側に位置させる。
この後、押付部材３８１Ｄの押付面３８２Ｄにより、接着シートＳのシート中央部をウェハＷ２の裏面Ｗ２１に押し付けると、押付部材３８１Ｄが徐々に弾性変形してこの押し付けられた部分が裏面Ｗ２１に貼付される。この貼付に伴って、未貼付シート部分にウェハＷ２の中央部側への張力が発生するが、変形許容部材３４１がその張力によってウェハＷ２の中央側に弾性変形することで、接着シートＳに余計な張力が発生することを抑制することができる。そして、第１実施形態と同様の方法により、ウェハＷ１からはみ出た接着シートＳを切断手段５で切断する。
【００３２】
以上のような第４実施形態によっても、ウェハＷ２に貼付された接着シートＳに余計な張力が発生することを抑制できる。
【００３３】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３４】
すなわち、第１〜第３実施形態においては、以下のような構成としてもよい。
例えば、被着体がウェハＷ１である場合を示したが、被着体はそれらに限定されるものではなく、ウェハＷ１以外にガラス板、鋼板、または、樹脂板、その他の板状部材や、板状部材以外のものも対象とすることができる。
【００３５】
また、変形許容部材３４１のような変形可能な部材に代えて、変形許容部材３４１と略等しい形状の移動部材の先端をウェハＷ１の中央側に移動させるスライド機構等を採用し、ウェハＷ１に接着シートＳを貼付するときに制御機構により、あるいは、接着シートＳに作用する張力により、移動部材をウェハＷ１の中央に向けて移動させてもよい。なお、制御機構により移動部材を移動させるタイミングは、接着シートＳに張力が作用するときと同時であってもよいし、張力が作用する前であってもよい。また、このような移動手段は、自ら変形せずに移動することにより、接着シートＳに余計な張力が発生することを抑制できることから、接着シートＳに作用する張力により変形する材料で形成されていてもよいし、変形しない材料で形成されていてもよい。
また、移動部材は上記の構成以外に、接着シートＳが貼付される面に複数のベアリング等の回転部材を配置した構成としてもよい。この場合、凹部押さえ部材３７８よりも外側に位置する接着シート部分に張力が発生しようとしたときに、この回転部材が張力によって回転することで、接着シートＳに余計な張力が発生することを抑制することができる。
さらに、シート供給手段２Ｂを第３実施形態のシート貼付装置１Ｃに設けてもよい。
【符号の説明】
【００３６】
１，１Ｂ，１Ｃ…シート貼付装置
２，２Ｂ…シート供給手段
３…減圧貼付手段
３Ｃ，３Ｄ…押付貼付手段（貼付手段）
５…切断手段
３３…被着体支持手段
３４…接着シート支持手段
３４１…変形許容部材（移動部材）
Ｓ…接着シート
Ｗ１，Ｗ２…ウェハ（被着体）
【図１】
0005551418.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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