(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導体層と樹脂絶縁層とが交互に積層され、第１主面及び該第１主面の反対側に位置する第２主面とを有するとともに、前記第１主面側及び第２主面側に、前記導体層と電気的に接続されてなる金属端子を有する配線基板の電気検査用装置であって、
前記第１主面側の金属端子と電気的に接続され、先端部が第１の測定面に露出してなる複数の第１のプローブ、及び先端部が前記第１の測定面に露出し、検査時に前記配線基板の前記第１主面側の非検査領域に位置するように構成されてなる空気管を有する第１の電気検査用治具と、
前記第２主面側の金属端子と電気的に接続され、先端部が第２の測定面に露出してなる複数の第２のプローブを有する第２の電気検査用治具とを備え、
前記第１の電気検査用治具と前記第２の電気検査用治具とは、前記第１の測定面及び前記第２の測定面とが対向するようにして対向配置され、
前記第１の電気検査用治具の外周部には弾性体シートが貼付され、検査時に前記弾性体シートが前記配線基板に対して密着し、前記配線基板の前記非検査領域が気密に保持されるように構成したことを特徴とする、配線基板の電気検査用装置。
【請求項２】
前記弾性体シートは、シリコンゴムで構成されることを特徴とする請求項１に記載の配線基板の電気検査用装置。
【請求項３】
導体層と樹脂絶縁層とが交互に積層され、第１主面及び該第１主面の反対側に位置する第２主面とを有するとともに、前記第１主面側及び第２主面側に、前記導体層と電気的に接続されてなる金属端子を有する配線基板を作製する工程と、
前記配線基板を、請求項１又は２に記載された電気検査用装置の、前記第１の電気検査用治具及び前記第２の電気検査用治具間に位置させ、前記第１の電気検査用冶具の前記第１の測定面において、前記第１の電気検査用治具の前記空気管の先端部を前記配線基板の前記第１主面側の非検査領域に位置させるとともに、前記非検査領域に前記空気管から空気を吹き付け、前記非検査領域に空気圧が負荷された状態で、前記第１の電気検査用治具の前記複数の第１のプローブを、前記配線基板の検査領域となる前記第１主面側の金属端子に接触させ、前記第２の電気検査用冶具の前記第２の測定面において、前記第２の電気検査用治具の前記複数の第２のプローブを、前記配線基板の前記第２主面側の金属端子と電気的に接触させ、前記配線基板の前記検査領域の電気検査を行う工程と、
を備えることを特徴とする、配線基板の製造方法。
【請求項４】
前記配線基板の前記非検査領域の金属端子は、前記配線基板の半導体素子搭載領域を構成する金属端子であることを特徴とする、請求項３に記載の配線基板の製造方法。
【請求項５】
前記配線基板の検査領域は、前記配線基板の半導体素子搭載領域の外方に位置する信号線領域であることを特徴とする、請求項３又は４に記載の配線基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気検査用装置、及び配線基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント基板などの配線基板の製造工程においては、その配線パターンの電気的良否等の電気的特性を検査するために電気検査用装置が用いられている。このような電気検査用装置は一対の電気検査用治具を含み、各治具は、測定面に対して先端部が露出してなるプローブを有している。配線基板の電気的特性を検査するに際しては、配線基板を一対の電気検査用治具で、互いの測定面が対向するようにして挟み込み、各電気検査用治具のプローブを配線基板に接触させることにより、配線パターンの電気的良否等の電気的特性を測定する（特許文献１）。なお、検査によって得られた電気信号（主として電流）は例えばテスター等によって計測する。
【０００３】
また、配線基板の主面及び裏面において金属端子が形成されてなるような場合は、上述のようにして一対の電気検査用治具で、互いの測定面が対向するようにして挟み込むとともに、各電気検査用治具のプローブを金属端子に接触させることにより、金属端子と電気的に連通した配線パターンの電気的良否等の電気的特性を測定する。
【０００４】
この場合、配線基板の略中心に位置する電源−グランド領域に属する金属端子にプローブを接触させ、主として配線基板内部に形成された配線パターンの電気的良否等の電気的特性を測定する場合は、配線基板に対して、上方から接触する電気検査用治具のプローブと、下方から接触する電気検査用プローブとの圧接位置がほぼ一致するとともに、押圧力もほぼ一致するため、配線基板が比較的薄く、剛性が低い場合においても、上述した電気的特性の測定に際して配線基板が反ることは少ない。
【０００５】
一方、配線基板の電源−グランド領域の外方に位置し、配線基板の比較的端部に位置する信号線領域に属する金属端子にプローブを接触させ、主として配線基板の信号線の電気的良否等の電気的特性を測定する場合、当該電気的特性は四端子法で測定するため、配線基板に対して、上方から接触する電気検査用治具のプローブは、配線基板の測定すべき信号線領域の金属端子のみに接触する一方、下方から接触する電気検査用プローブは、配線基板の略中心から端部にまで亘って接触する。
【０００６】
したがって、配線基板に対して、上方から接触する電気検査用治具のプローブと、下方から接触する電気検査用プローブとの圧接位置が一致しないとともに、押圧力も一致しなくなるため、配線基板が比較的薄く、剛性が低い場合において、上述した電気的特性の測定に際して配線基板が反ってしまう。この結果、配線基板の金属端子に対して各電気検査用治具のプローブが部分的に接触しないような場合が生じるため、信号線の電気的良否等の電気的特性を測定できない場合が生じていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−１７０５８２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、配線基板の検査位置に依存することなく、配線基板の電気的特性の検査を高精度に行うことが可能な電気検査用装置を提供するとともに、この電気検査用装置を用いることにより、電気的特性の検査を高精度に行うことが可能な配線基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成すべく、本発明は、
導体層と樹脂絶縁層とが交互に積層され、第１主面及び該第１主面の反対側に位置する第２主面とを有するとともに、前記第１主面側及び第２主面側に、前記導体層と電気的に接続されてなる金属端子を有する配線基板の電気検査用装置であって、
前記第１主面側の金属端子と電気的に接続され、先端部が第１の測定面に露出してなる複数の第１のプローブ、及び先端部が前記第１の測定面に露出し、検査時に前記配線基板の前記第１主面側の非検査領域に位置するように構成されてなる空気管を有する第１の電気検査用治具と、
前記第２主面側の金属端子と電気的に接続され、先端部が第２の測定面に露出してなる複数の第２のプローブを有する第２の電気検査用治具とを備え、
前記第１の電気検査用治具と前記第２の電気検査用治具とは、前記第１の測定面及び前記第２の測定面とが対向するようにして対向配置され、
前記第１の電気検査用治具の外周部には弾性体シートが貼付され、検査時に前記弾性体シートが前記配線基板に対して密着し、前記配線基板の前記非検査領域が気密に保持されるように構成したことを特徴とする、配線基板の電気検査用装置に関する。
【００１０】
また、本発明は、
導体層と樹脂絶縁層とが交互に積層され、第１主面及び該第１主面の反対側に位置する第２主面とを有するとともに、前記第１主面側及び第２主面側に、前記導体層と電気的に接続されてなる金属端子を有する配線基板を作製する工程と、
前記配線基板を、請求項１又は２に記載された電気検査用装置の、前記第１の電気検査用治具及び前記第２の電気検査用治具間に位置させ、前記第１の電気検査用冶具の前記第１の測定面において、前記第１の電気検査用治具の前記空気管の先端部を前記配線基板の前記第１主面側の非検査領域に位置させるとともに、前記非検査領域に前記空気管から空気を吹き付け、前記非検査領域に空気圧が負荷された状態で、前記第１の電気検査用治具の前記複数の第１のプローブを、前記配線基板の検査領域となる前記第１主面側の金属端子に接触させ、前記第２の電気検査用冶具の前記第２の測定面において、前記第２の電気検査用治具の前記複数の第２のプローブを、前記配線基板の前記第２主面側の金属端子と電気的に接触させ、前記配線基板の前記検査領域の電気検査を行う工程と、
を備えることを特徴とする、配線基板の製造方法に関する。
【００１１】
本発明によれば、先端部が第１の測定面に露出してなる複数の第１のプローブ、及び先端部が第１の測定面に露出し、検査時に配線基板の第１の主面における非検査領域に位置するように構成されてなる空気管を有する第１の電気検査用治具と、先端部が第２の測定面に露出してなる複数の第２のプローブを有する第２の電気検査用治具とを備え、第１の電気検査用治具と第２の電気検査用治具とは、第１の測定面及び第２の測定面とが対向するようにして対向配置されていることを特徴とする、配線基板の電気検査用装置を準備し、これを用いて、導体層と樹脂絶縁層とが交互に積層され、第１主面及び該第１主面の反対側に位置する第２主面とを有するとともに、前記第１主面側及び第２主面側に、前記導体層と電気的に接続されてなる金属端子を有する配線基板の配線パターンの電気的良否等、配線パターンの電気的特性を測定するようにしている。
【００１２】
具体的には、配線基板を、電気検査用装置の、第１の電気検査用治具及び第２の電気検査用治具間に位置させ、第１の電気検査用冶具の第１の測定面において、第１の電気検査用治具の空気管より、配線基板の第１の主面における非検査領域に空気を吹き付けるとともに、第１の電気検査用治具の複数の第１のプローブを、配線基板の第１の主面における検査領域の金属端子に接触させ、第２の電気検査用冶具の第２の測定面において、第２の電気検査用治具の複数の第２のプローブを、配線基板の第２の主面における金属端子と電気的に接触させ、配線基板の検査領域の電気検査を行うようにしている。
【００１３】
したがって、例えば配線基板の第１の主面における電源−グランド領域の外方に位置し、配線基板の比較的端部に位置する信号線領域に属する金属端子に、配線基板の上方から第１の電気検査用治具の複数の第１のプローブを接触させ、配線基板の信号線の電気的良否等の電気的特性を四端子法で測定する場合においても、上記第１の電気検査用治具は、配線基板の第１の主面における検査領域である信号線領域の金属端子に接触させる上記複数の第１のプロ−ブに加えて、配線基板の非検査領域に空気管から空気を吹き付けるようにしている。
【００１４】
このため、配線基板に対して、下方から第２の電気検査用治具の複数の第２のプローブを、配線基板の略中心から端部にまで亘って接触させた場合において、配線基板の非検査領域は、配線基板の略中心に相当し、第１の電気検査用治具は、当該略中心において空気管より吹き付けられた空気による空気圧が負荷されるので、配線基板に対して、上方から接触する第１の電気検査用治具の第１の複数のプローブ及び空気圧と、下方から接触する第２の電気検査用プローブとの押圧力がほぼ一致するようになる。
【００１５】
結果として、配線基板が比較的薄く、剛性が低い場合においても、上述した電気的特性の測定に際して配線基板が反ってしまうことがない。したがって、配線基板の金属端子に対して各電気検査用治具のプローブが部分的に接触しないような場合を回避でき、信号線の電気的良否等の電気的特性を測定できないような状態を回避することができる。
【００１６】
なお、配線基板の第１の主面における電源−グランド領域を検査領域とし、この領域の電気的特性を検査する場合は、背景技術でも述べたように、本来的に第１の電気検査用治具の第１のプローブと、第２の電気検査用治具の第２のプローブとの圧接位置及び押圧力はほぼ一致するが、第１の電気検査用治具が上述のような空気管を有することによって、上記押圧力は、空気管からの空気による空気圧に起因してその一致度合いが向上する。したがって、本発明によれば、電源−グランド領域の電気的特性の検査精度をも向上させることができる。
【００１７】
但し、本発明の作用効果は、上述のように、配線基板の比較的端部に位置する信号線領域を検査領域とし、この検査領域の電気的特性を検査する場合において、より顕著に奏されることになる。
【００１８】
本発明の一例において、配線基板の非検査領域の金属端子は、配線基板の半導体素子搭載領域を構成する金属端子とすることができる。これは、一般に配線基板の半導体素子搭載領域（電源−グランド領域）が、その略中心部に位置するという、上述した配線基板の構造に起因するものである。
【００１９】
また、本発明では、第１の電気検査用治具の第１の測定面の外周部には弾性体シートを貼付し、検査時に前記弾性体シートが前記配線基板に対して密着し、前記配線基板の前記非検査領域が気密に保持されるような構成とする。この場合、特に上述したような信号線領域の電気的特性を検査する場合において、上方から接触する第１の電気検査用治具の空気管から吹き付けられた空気が、気密に保持された非検査領域に保持されるようになるので、当該非検査領域における空気圧を十分に高く保持することができ、下方から接触する第２の電気検査用治具の第２のプローブの押圧力が比較的高いような場合においても、配線基板が比較的薄く、剛性が低い場合においても、上述した電気的特性の測定に際して配線基板が反ってしまうのをより確実に防止することができる。
【００２０】
したがって、配線基板の金属端子に対して各電気検査用治具のプローブが部分的に接触しないような場合をより確実に回避でき、信号線の電気的良否等の電気的特性を確実に測定することができる。
【発明の効果】
【００２１】
以上説明したように、本発明によれば、配線基板の検査位置に依存することなく、配線基板の電気的特性の検査を高精度に行うことが可能な電気検査用装置を提供するとともに、この電気検査用装置を用いることにより、電気的特性の検査を高精度に行うことが可能な配線基板の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】実施形態における配線基板の平面図である。
【図２】同じく、実施形態における配線基板の平面図である。
【図３】図１及び２に示す配線基板をＩ−Ｉ線に沿って切った場合の断面の一部を拡大して示す図である。
【図４】図１及び２に示す配線基板をＩＩ−ＩＩ線に沿って切った場合の断面の一部を拡大して示す図である。
【図５】実施形態における電気検査用装置の概略構成を示す図である。
【図６】図５に示す電気検査用装置を用いて、図１に示す配線基板の電気検査を行う様子を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
【００２４】
（配線基板）
最初に、本発明の方法に使用する配線基板の構成について説明する。但し、以下に示す配線基板はあくまでも例示であって、導体層と樹脂絶縁層とをそれぞれ少なくとも１層有する配線基板であれば特に限定されるものではない。
【００２５】
図１及び２は、本実施形態における配線基板の平面図であり、図１は、前記配線基板を上側から見た場合に状態を示し、図２は、前記配線基板を下側から見た場合の状態を示している。また、図３は、図１及び２に示す前記配線基板をＩ−Ｉ線に沿って切った場合の断面の一部を拡大して示す図であり、図４は、図１及び２に示す前記配線基板をＩＩ−ＩＩ線に沿って切った場合の断面の一部を拡大して示す図である。
【００２６】
図１〜４に示す配線基板１は、耐熱性樹脂板（たとえばビスマレイミド−トリアジン樹脂板）や、繊維強化樹脂板（たとえばガラス繊維強化エポキシ樹脂）等で構成された板状コア２の両表面に、所定のパターンに形成された金属配線７ａをなすコア導体層Ｍ１，Ｍ１１（単に導体層ともいう）がＣｕメッキによりそれぞれ形成されている。これらコア導体層Ｍ１，Ｍ１１は板状コア２の表面の大部分を被覆する面導体パターンとして形成され、電源層または接地層として用いられるものである。  
【００２７】
他方、板状コア２には、ドリル等により穿設されたスルーホール１２が形成され、その内壁面にはコア導体層Ｍ１，Ｍ１１を互いに導通させるスルーホール導体３０が形成されている。また、スルーホール１２は、エポキシ樹脂等の樹脂製穴埋め材３１により充填されている。
【００２８】
また、コア導体層Ｍ１，Ｍ１１の上層には、熱硬化性樹脂組成物６にて構成された第１のビア層（ビルドアップ層：絶縁層）Ｖ１，Ｖ１１がそれぞれ形成されている。さらに、その表面にはパターン化された金属配線７ｂをなす第１の導体層Ｍ２，Ｍ１２がＣｕメッキによりそれぞれ形成されている。なお、コア導体層Ｍ１，Ｍ１１と第１の導体層Ｍ２，Ｍ１２とは、それぞれビア３４により層間接続がなされている。同様に、第１の導体層Ｍ２，Ｍ１２の上層には、熱硬化性樹脂組成物６を用いた第２のビア層（ビルドアップ層：絶縁層）Ｖ２，Ｖ１２がそれぞれ形成されている。
【００２９】
第２のビア層Ｖ２及びＶ１２上には、それぞれ金属端子パッド１０，１７を有する第２の導体層Ｍ３，Ｍ１３が形成されている。これら第１の導体層Ｍ２，Ｍ１２と第２の導体層Ｍ３，Ｍ１３とは、それぞれビア３４により層間接続がなされている。ビア３４は、ビアホール３４ｈとその内周面に設けられたビア導体３４ｓと、底面側にてビア導体３４ｓと導通するように設けられたビアパッド３４ｐと、ビアパッド３４ｐと反対側にてビア導体３４ｈの開口周縁から外向きに張り出すビアランド３４ｌとを有している。
【００３０】
以上のように、板状コア２の第１の主面ＭＰ１上には、コア導体層Ｍ１、第１のビア層Ｖ１、第１の導体層Ｍ２および第２のビア層Ｖ２が順次に積層され、第１の配線積層部Ｌ１を形成している。また、板状コア２の第２の主面ＭＰ２上においては、コア導体層Ｍ１１、第１のビア層Ｖ１１、第１の導体層Ｍ１２および第２のビア層Ｖ１２が順次に積層され、第２の配線積層部Ｌ２を形成している。そして、第１の主表面ＣＰ１上には複数の金属端子パッド１０が形成されており、第２の主表面ＣＰ２上には、複数の金属端子パッド１７が形成されている。
【００３１】
金属端子パッド１７は、配線基板１をマザーボードやソケット等にピングリッドアレイ（ＰＧＡ）あるいはボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）により接続するための裏面ランド（ＰＧＡパッド、ＢＧＡパッド）として利用されるものであって、配線基板１の略中心部を除く外周部に形成され、前記略中央部を囲むようにして矩形状に配列されている。
【００３２】
さらに、第１の主表面ＣＰ１上には開口部８ａを有するソルダーレジスト層８が形成されており、金属端子パッド１０は開口部８ａを介してソルダーレジスト層８から露出している。また、第２の主表面ＣＰ２上にも開口部１８ａを有するソルダーレジスト層１８が形成されており、金属端子パッド１７は開口部１８ａを介してソルダーレジスト層１８から露出している。
【００３３】
また、開口部８ａ内には、たとえばＳｎ−Ｐｂ、Ｓｎ−Ａｇ、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ等のはんだからなる、はんだバンプ１１が金属端子パッド１０と電気的に接続するようにして形成されている。さらに、開口部１８ａ内には図示しないはんだボールやピン等が金属端子パッド１７と電気的に接続するようにして形成されている。
【００３４】
なお、図１〜４から明らかなように、本実施形態における配線基板１は矩形の略板形状を呈しており、その大きさは、例えば約３５ｍｍ×約３５ｍｍ×約１ｍｍとすることができる。
【００３５】
また、図１に示すはんだバンプ１１は、配線基板１の半導体素子搭載領域を構成し、図中、白丸で示すはんだバンプ１１は、半導体素子搭載領域の、電源−グランド領域を構成し、黒丸で示すはんだバンプ１１は、半導体素子搭載領域の、信号線領域を構成する。
【００３６】
（電気検査用治具及び配線基板の製造方法）
次に、本発明の電気検査用装置の一例、及びこの電気検査用装置を用いた配線基板の製造方法について説明する。なお、本実施形態においては、上述した配線基板１の、半導体素子搭載領域の外方に位置する信号線領域の電気検査を行う場合を想定している。
【００３７】
図５は、本実施形態における電気検査用装置の概略構成を示す図であり、図６は、図５に示す電気検査用装置を用いて、図１に示す配線基板の電気検査を行う様子を示した図である。なお、これらの図においては、本実施形態の電気検査用装置の特徴、及びこの電気検査用装置を用いて配線基板を測定する際の特徴を明確にすべく、電気検査用装置及びこの電気検査用装置を用いた電気検査の様子は断面図として表している。
【００３８】
図５に示すように、本実施形態の電気検査用装置４０は、第１の電気検査用治具４１及び第２の電気検査用治具４２を有している。
【００３９】
第１の電気検査用治具４１は、第１の筐体４１１、プローブ支持材４１２及び第２の筐体４１３を有している。また、第１の筐体４１１内において、内方から外方に延在する、すなわち、第１の筐体４１１の下面から第１の筐体４１１外のテスター等に接続されるようにして設けられた複数の第１の配線４１４と、複数の第１の配線４１４それぞれと電気的に接続されるとともに、プローブ支持材４１２によって保持され、さらに第２の筐体４１３内を下方に延在し、その先端部が第１の測定面４１Ａに露出してなる複数の第１のプローブ４１５を有している。
【００４０】
また、第１の筐体４１１内には、同じく内方から外方に延在する、すなわち、第１の筐体４１１の下面から外方に延在する、弾性部材で形成された複数の空気配管４１７が設けられているとともに、複数の空気配管４１７それぞれと接続された空気管４１６が設けられてる。空気管４１６は、プローブ支持材４１２によって保持され、さらに第２の筐体４１３内を下方に延在し、その先端部が第１の測定面４１Ａに露出している。空気管４１６は、プローブ支持材４１２によって保持させるとともに、以下に説明するように、その先端部を配線基板の非検査領域に位置させる必要があることから、一般には剛性の高い、例えばＳＵＳ等から構成する。また、複数の空気配管４１７は、第１の筐体外でエアコンプレッサ等に接続されている。
【００４１】
さらに、第１の電気検査用冶具４１の第１の測定面４１Ａの外周部には、弾性体シート４１８が貼付され、以下に説明する配線基板の製造方法における電気検査時において、弾性体シート４１８が配線基板に対して密着し、配線基板の非検査領域が気密に保持されるように構成されている。弾性体シートは、配線基板に対する密着性が要求されることから、例えばシリコンゴムから構成することができる。
【００４２】
なお、プローブ支持材４１２は、第１の部材４１２Ａ，第２の部材４１２Ｂ，第３の部材４１２Ｃ及び第４の部材４１２Ｄの４つの部材が合体することによって構成されている。また、プローブ支持材４１２は、ビス４１９によって第１の筐体４１１に固定され、保持されている。
【００４３】
図５に示す電気検査用装置４０は、上述したように、配線基板１の信号線領域の電気検査を行うように構成されているため、複数の第１のプローブ４１５に対して、複数の空気管４１６はその内方に位置している。さらに、複数の第１のプローブは、例えば四端子法による測定に供することができるように、その数を４本とすることができる。
【００４４】
第２の電気検査用治具４２は、第１の筐体４２１、プローブ支持材４２２及び第２の筐体４２３を有している。また、第１の筐体４２１内において、内方から外方に延在する、すなわち、第１の筐体４２１の下面から第１の筐体４２１外のテスター等に接続されるようにして設けられた複数の第１の配線４２４と、複数の第１の配線４２４それぞれと電気的に接続されるとともに、プローブ支持材４２２によって保持され、さらに第２の筐体４２３内を上方に延在し、その先端部が第２の測定面４２Ａに露出してなる複数の第２のプローブ４２５を有している。
【００４５】
なお、プローブ支持材４２２は、第１の部材４２２Ａ，第２の部材４２２Ｂ，第３の部材４２２Ｃ及び第４の部材４２２Ｄの４つの部材が合体することによって構成されている。また、プローブ支持材４１２は、ビス４２９によって第１の筐体４２１に固定され、保持されている。
【００４６】
また、図５に示す電気検査用装置４０は、第１の電気検査用治具４１の第１の測定面４１Ａと第２の電気検査用治具４２の第２の測定面４２Ａとが対向するようにして構成されている。
【００４７】
図５においては、図１及び図２に示す配線基板のはんだバンプ１１及び図示しないはんだボールあるいはピン等の大きさに起因して、複数の第１のプローブ４１４の径が小さくなるように形成され、複数の第２のプローブ４２５の径が大きくなるように形成されている。但し、このようなプローブの大きさは、配線基板１に形成されたはんだバンプ等の大きさに起因するものであるので、はんだバンプ等の大きさに依存させて適宜変化させることができる。
【００４８】
次に、図５に示す電気検査用装置４０を用いた配線基板の製造方法（電気検査方法）について、図６に基づいて説明する。
【００４９】
最初に、セミアディティブ法、フルアディティブ法、又はサブトラクティブ法などの従来の工法を用いて図１〜図４に示すような配線基板１を製造する。次いで、図６に示すように、図１に示す配線基板１の半導体素子搭載領域が上側となるようにして、図５に示す電気検査用装置４０の、第１の電気検査用治具４１及び第２の電気検査用治具４２間、すなわち第１の測定面４１Ａ及び第２の測定面４２Ａ間に配線基板１を配置する。
【００５０】
その後、第１の電気検査用治具４１を下方に移動させて、配線基板１の第１の主表面ＣＰ１における半導体素子搭載領域の、非検査領域である電源−グランド領域に属するはんだバンプ１１に対して、空気配管４１７を介して空気管４１６より空気を吹き付け、非検査領域に対して空気圧を負荷するとともに、検査領域である半導体素子搭載領域の、信号線領域に属するはんだバンプ１１に対して複数の第１のプローブ４１５を接触させる。
【００５１】
同時に、第２の電気検査用治具４２を上方に移動させて、図２に示すように、配線基板１の半導体素子搭載領域と相対する側の、第２の主表面ＣＰ２における図示しないはんだボールあるいはピン等に第２のプローブ４２５を接触させる。これによって、配線基板１の検査領域である信号線領域に存在する信号線（配線パターン）の電気的導通を、第１の電気検査用治具４１及び第２の電気検査用治具４２を介して取ることができるようになり、信号線（配線パターン）の電気的良否等の電気的特性を検査することができる。
【００５２】
なお、検査によって得られた電気信号（主として電流）は例えばテスター等によって計測する。
【００５３】
本実施形態では、配線基板１を、電気検査用装置４０の、第１の電気検査用治具４１及び第２の電気検査用治具４２間に位置させ、第１の電気検査用冶具４１の第１の測定面４１Ａにおいて、第１の電気検査用治具４１の空気管４１６より、配線基板１の第１の主表面ＣＰ１における非検査領域である半導体素子搭載領域を構成する電源−グランド領域に対して空気を吹き付けて空気圧を負荷した状態で、第１の電気検査用治具４１の複数の第１のプローブ４１５を、配線基板１の検査領域である信号線領域のはんだバンプ１１に接触させている。また、第２の電気検査用冶具４２の第２の測定面４２Ａにおいて、第２の電気検査用治具４２の複数の第２のプローブ４２５を、配線基板１の第２の主表面ＣＰ２における図示しないはんだボール等と電気的に接触させ、配線基板１の検査領域である信号線領域の電気検査を行うようにしている。
【００５４】
したがって、配線基板１に対して、下方から第２の電気検査用治具４２の複数の第２のプローブ４２５を、配線基板１の略中心から端部にまで亘って接触させた場合においても、配線基板１の非検査領域である電源−グランド領域には、第１の電気検査用治具４１の空気管４１６から空気圧が負荷されるようになる。
【００５５】
結果として、配線基板１に対して、上方から接触する第１の電気検査用治具４１の第１の複数のプローブ４１５及び空気圧と、下方から接触する第２の電気検査用治具４２の第２のプローブ４２５との押圧力もほぼ一致するようになる。このため、配線基板１が比較的薄く、剛性が低い場合においても、上述した電気的特性の測定に際して配線基板１が反ってしまうことがない。したがって、配線基板１のはんだバンプ１１やはんだボール等に対して各電気検査用治具のプローブが部分的に接触しないような場合を回避でき、信号線領域の信号線（配線パターン）の電気的良否等の電気的特性を測定できないような状態を回避することができる。
【００５６】
なお、本実施形態では、上述のように、配線基板１の第１の主表面ＣＰ１における半導体素子搭載領域の外方に位置する信号線領域を検査領域とする場合について述べたが、配線基板１の第１の主表面ＣＰ１における電源−グランド領域を検査領域とし、この領域の配線パターン等の電気的良否等の電気的特性を検査する場合にも、本発明の電気検査用装置及び配線基板の製造方法は適用することができる。
【００５７】
但し、本発明の作用効果は、上述のように、配線基板１の比較的端部に位置する信号線領域を検査領域とし、この検査領域の電気的特性を検査する場合において、より顕著に奏されることになる。
【００５８】
また、図６に示すように、本実施形態では、第１の電気検査用治具の第１の測定面４１Ａの外周部には弾性体シート４１８を貼付し、検査時に弾性体シート４１８が配線基板１の第１の主表面ＣＰ１に対して密着し、配線基板１の、半導体素子搭載領域に相当する非検査領域が気密に保持されるような構成としている。この場合、特に上述したような信号線領域の電気的特性を検査する場合において、上方から接触する第１の電気検査用治具４１の空気管４１６から吹き付けられた空気が、気密に保持された非検査領域に保持されるようになるので、当該非検査領域における空気圧を十分に高く保持することができ、下方から接触する第２の電気検査用治具４２の第２のプローブ４２５の押圧力が比較的高く、配線基板１が比較的薄く、剛性が低い場合であっても、上述した電気的特性の測定に際して配線基板１が反ってしまうのをより確実に防止することができる。
【００５９】
したがって、配線基板１のはんだバンプ１１及びはんだボール等に対して各電気検査用治具４１及び４２のプローブ４１５及び４２５が部分的に接触しないような場合をより確実に回避でき、信号線の電気的良否等の電気的特性を測定を確実に行うことができるようになる。
【００６０】
但し、上述したような弾性体シート４１８は必須の構成要素ではなく、弾性体シート４１８が無い場合においても、空気管４１６より吹き付ける空気の圧力を適宜に調整すれば、特段の問題なく、上述した作用効果を奏することができる。但し、弾性体シート４１８によって、非検査領域を気密に保持することができれば、上述した作用効果を得るために必要な空気圧を簡易に実現することができる。
【００６１】
なお、図６に示すように、本実施形態では、弾性体シート４１８によって、配線基板１の非検査領域のみでなく、検査領域をも気密に保持しているが、非検査領域の大きさに比較して検査領域の大きさは十分に小さいので、このような場合においても、検査領域における電気的特性の検査に対して何ら影響を与えることなく、非検査領域に対して空気圧を負荷し、保持することができる。したがって、上述した作用効果を得ることができる。
【００６２】
以上、本発明を具体例を挙げながら詳細に説明してきたが、本発明は上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいてあらゆる変形や変更が可能である。
【符号の説明】
【００６３】
１  配線基板、
Ｍ１  コア導体層
Ｖ１  第１のビア層
Ｍ２  第１の導体層
Ｖ２  第２のビア層
Ｍ３  第２の導体層
Ｍ１１  コア導体層
Ｖ１１  第１のビア層
Ｍ１２  第１の導体層
Ｖ１２  第２のビア層
Ｍ１３  第２の導体層
７ａ，７ｂ  金属配線
８、１８  ソルダーレジスト層
８ａ、１８ａ  開口部
１１  はんだバンプ
３４  ビア
３４ｈ  ビアホール
３４ｌ  ビアランド
３４ｐ  ビアパッド
３４ｓ  ビア導体
４０  電気検査用装置
４１  第１の電気検査用治具
４２  第２の電気検査用治具
４１Ａ  第１の測定面
４２Ａ  第２の測定面
４１４  複数の第１の配線
４１５  複数の第１のプローブ
４１６  複数の空気管
４１７  複数の空気配管
４１８  弾性体シート
４２４  複数の第２の配線
４２５  複数の第２のプローブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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