(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（ＩＩ）で表される化合物のｅｎｄｏ体又はｅｘｏ体であるトリシクロデカン誘導体化合物。
【化１】
0005504892.tif 000040
（式中、Ｙは独立して、炭素数１〜１０のアルキル基、ハロゲン原子、アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基又は水酸基を示し、Ｘ1はハロゲン原子を示し、ｍは０〜１５の整数を示す。）
【請求項２】
下記一般式（ＩＶ）で示されるトリシクロデカン誘導体化合物。
【化２】
0005504892.tif 000041
（式中、Ｒ5は、下記一般式（Ｖ）で示されるｅｎｄｏ体及び／又はｅｘｏ体である酸解離性官能基であり、Ｒ6は、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルケニル基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキロイルオキシ基、アリーロイルオキシ基、シアノ基、及びニトロ基からなる群から選ばれる置換基を表し；
Ｒ7は、ベンゼン構造を有する炭素数６〜１２の三価の置換基を表し；
ｋ０、ｊ０、ｍ０、ｎ０、ｘ０、ｙ０は０〜３の整数であり；
ｋ１、ｊ１、ｍ１、ｎ１、ｘ１、ｙ１は０〜３の整数であり；
ｋ２、ｊ２、ｍ２、ｎ２、ｘ２、ｙ２は０〜４の整数であり；
１≦ｋ０＋ｋ１＋ｋ２≦５、  １≦ｊ０＋ｊ１＋ｊ２≦５、  １≦ｍ０＋ｍ１＋ｍ２≦５、  １≦ｎ０＋ｎ１＋ｎ２≦５、  １≦ｘ０＋ｘ１＋ｘ２≦５、１≦ｙ０＋ｙ１＋ｙ２≦５、１≦ｋ１＋ｊ１＋ｍ１＋ｎ１＋ｘ１＋ｙ１≦１８、  １≦ｋ０＋ｋ１≦３、  １≦ｊ０＋ｊ１≦３、  １≦ｍ０＋ｍ１≦３、  1≦ｎ０＋ｎ１≦３、  １≦ｘ０＋ｘ１≦３、  １≦ｙ０＋ｙ１≦３の条件を満たす。
ただし、複数個のＲ5、Ｒ6は、各々同一でも異なっていてもよい。）
【化３】
0005504892.tif 000042
（式中、Ｙ及びｍは前記と同じである。）
【請求項３】
一般式（ＩＩ）で示される化合物のｅｎｄｏ体とｅｘｏ体とからなるトリシクロデカン誘導体化合物異性体混合物。
【化４】
0005504892.tif 000043
（式中、Ｙは独立して、炭素数１〜１０のアルキル基、ハロゲン原子、アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基又は水酸基を示し、Ｘ1はハロゲン原子を示し、ｍは０〜１５の整数を示す。）
【請求項４】
一般式（ＩＩ）で示される化合物のｅｎｄｏ体とｅｘｏ体とのモル比が０．０１〜３５（ｅｎｄｏ体／ｅｘｏ体）である請求項３に記載のトリシクロデカン誘導体化合物異性体混合物。
【請求項５】
溶媒の存在下、下記一般式（Ｉ）で示されるトリシクロデカニル基を有するアルコールのｅｎｄｏ体とｅｘｏ体との異性体混合物に、ホルムアルデヒド及びハロゲン化水素ガスを反応させて、対応する一般式（ＩＩ）で示されるトリシクロデカン誘導体化合物のｅｎｄｏ体とｅｘｏ体との異性体混合物を製造する方法。
【化５】
0005504892.tif 000044
（式中、Ｙ及びｍは前記と同じである。）
【化６】
0005504892.tif 000045
（式中、Ｙは独立して、炭素数１〜１０のアルキル基、ハロゲン原子、アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基又は水酸基を示し、Ｘ1はハロゲン原子を示し、ｍは０〜１５の整数を示す。）
【請求項６】
前記溶媒が、炭素数５〜２０の脂肪族炭化水素である請求項５に記載のトリシクロデカン誘導体化合物異性体混合物を製造する方法。
【請求項７】
一般式（Ｉ）で示されるアルコールのｅｎｄｏ体とｅｘｏ体とのモル比が０．０１〜３５（ｅｎｄｏ体／ｅｘｏ体）である請求項５又は６に記載のトリシクロデカン誘導体化合物異性体混合物を製造する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、新規なトリシクロデカン誘導体、これを原料とする樹脂及び樹脂組成物、ならびにその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
トリシクロデカン構造は、その誘導体は特異な機能を示すことから、フォトリソグラフィー分野におけるフォトレジスト用樹脂、反射防止膜用材料、ドライエッチング耐性向上剤、農医薬中間体等として有用である（例えば、特許文献１〜２）。また、クロロメチルエーテルを用いた保護基は、ポジ型低分子レジストの保護基やＡｒＦレジスト用樹脂のモノマーとして有用である（特許文献３）。しかしながら、トリシクロデカン構造を持つクロロメチルエーテルは、未だ報告されていない。【０００３】
ところで、半導体製造工程で用いられる機能性樹脂組成物は、光照射により照射部がアルカリ可溶性に変化する性質、エッチング耐性、基盤密着性、使用する光源に対する透明性などの特性をバランスよく備えている必要がある。光源がＫｒＦエキシマレーザー以降の短波長光源を使用する際には、一般的に化学増幅型レジストが使用され、その組成は、一般に主剤の機能性樹脂及び光酸発生剤、さらには数種の添加剤を含む溶液として使用される。その中で主剤である機能性樹脂が上記の各特性をバランス良く備えていることが重要であり、レジスト性能を決定付ける。【０００４】
光源がＫｒＦエキシマレーザー以降の短波長光源を使用する際には、化学増幅型レジストが使用されるが、その際、主剤である機能性樹脂は、一般的にアクリレートなどを繰り返し単位とする高分子である。しかし、単一の繰り返し単位で使用されることはない。理由として、単一の繰り返し単位ではエッチング耐性などの特性をすべて満たすことはできないからである。実際には、各特性を向上させるための官能基を有した繰り返し単位を複数、すなわち２種類以上の共重合体にして機能性樹脂にしてそれぞれ使用している。ＫｒＦエキシマレーザーリソグラフィ用レジストではヒドロキシスチレン系樹脂が、ＡｒＦエキシマレーザーリソグラフィ用レジストでは、２−アルキル−２−アダマンチルメタクリレートを基本骨格とするアクリル系樹脂が提案されており（特許文献４及び５参照）、その基本骨格は定まりつつある。【０００５】
しかしながら、近年のリソグラフィプロセスは急速に微細化が進んでおり、それぞれの光源について、波長の１／３程度までの線幅まで延命させることが要求されている。特に、ＡｒＦエキシマレーザーリソグラフィでは、液浸技術の適用により、それ以上の微細化が要求されている。それにともない、線幅が細くなるにつれて解像度やラインエッジラフネスなどに対する要求が厳しくなってきた。それらの原因として、各繰り返し単位の性質が大きく異なることによる機能性樹脂の不均一性などが原因として挙げられている（非特許文献１参照）。【０００６】
課題の解決のため、既存の樹脂に各種アクリレート化合物を共重合させたり、あるいは既存の樹脂の構造そのものを大きく変えるなどの検討がなされている。例えば、アダマンタンカルボン酸誘導体を含む、アルカリ可溶性で耐エッチング性のあるレジスト組成物が提案されている（特許文献６参照）。また、エッチング時の表面荒れやラインエッジラフネスが小さいなどの特徴を有したレジスト組成物として、２−（１−アダマンチル）−２−メタクリロイルオキシプロパンなどで代表されるアクリレートを基本骨格に含むアクリル酸エステル誘導体を主鎖に有する共重合体を提案している（特許文献７参照）。しかしながら、細線化における解像度やラインエッジラフネスなどを十分に満たすことが困難であるのが実状である。これらの事情から、機能性樹脂組成物としての基本特性に悪影響を与えることなく、解像度やラインエッジラフネスの向上を達成しうるアルカリ現像性や基盤密着性に優れた機能性樹脂組成物の開発が強く求められている。【０００７】
【特許文献１】特開２００６−１１３１４０号公報
【特許文献２】特開２００６−２０１４０２号公報
【特許文献３】特開２００７−３１４０２号公報
【特許文献４】特開平４−３９６６５号公報
【特許文献５】特開平１０−３１９５９５号公報
【特許文献６】特開２０００−１２２２９５号公報
【特許文献７】特開２００３−１６７３４６号公報
【非特許文献１】ＳＥＭＩＣＯＮ  ＪＡＰＡＮ  ＳＥＭＩ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ２００２，３−２７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の課題は、
（１）フォトリソグラフィー分野におけるフォトレジスト用樹脂の改質剤やドライエッチング耐性向上剤、農医薬中間体、その他各種工業製品用などとして有用な新規なトリシクロデカン誘導体化合物である（モノハロゲン置換メチル）（トリシクロデシル基含有アルキル）エーテル類及びその製造方法を提供すること、
（２）架橋型樹脂、光ファイバーや光導波路、光ディスク基板、フォトレジストなどの光学材料及びその原料、医薬・農薬中間体、その他各種工業製品などとして有用な、トリシクロデカン誘導体化合物を提供すること、及び
（３）ＫｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦエキシマレーザー、Ｆ２エキシマレーザーあるいはＥＵＶに代表される遠紫外線に感応する化学増幅型レジストとして、パターン形状、ドライエッチング耐性、耐熱性等のレジストとしての基本物性を損なわずに、解像度やラインエッジラフネスの向上を達成しうるアルカリ現像性や基盤密着性に優れた機能性樹脂、機能性樹脂組成物及びその原料化合物を提供すること、
にある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、新規なトリシクロデカン誘導体が上記の目的に適合した化合物であり、該誘導体から得られる成分を繰り返し単位に含む機能性樹脂、これを含有する樹脂組成物がフォトレジストとして有用であること、また特定のプロセスにより効率よく製造することが可能であることから、上記課題を解決しうることを見出した。【００１０】
すなわち、本発明は、
（１）下記一般式（ＩＩ）で表される化合物のｅｎｄｏ体又はｅｘｏ体であるトリシクロデカン誘導体化合物。【００１１】
【化１】
0005504892.tif 000002
【００１２】
（式中、Ｙは独立して、炭素数１〜１０のアルキル基、ハロゲン原子、アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基又は水酸基を示し、Ｘ1はハロゲン原子を示し、ｍは０〜１５の整数を示す。）【００１３】
（２）下記一般式（ＶＩ）で示される化合物のｅｎｄｏ体又はｅｘｏ体であるトリシクロデカン誘導体化合物。
【化２】
0005504892.tif 000003
【００１４】
（式中、Ｙ及びｍは、前記と同じである。Ｒ1〜Ｒ4はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜３のアルキル基を示す。）【００１５】
（３）一般式（ＶＩ）が、下記一般式（ＶＩＩＩ）又は（ＩＸ）である上記（２）に記載のトリシクロデカン誘導体化合物。
【化３】
0005504892.tif 000004
【００１６】
（４）下記一般式（ＩＩＩ）で示されるトリシクロデカン誘導体化合物。【００１７】
【化４】
0005504892.tif 000005
【００１８】
（式中、Ｒ5は、下記一般式（Ｖ）で示されるｅｎｄｏ体及び／又はｅｘｏ体である酸解離性官能基であり、Ｘ2は水素又はハロゲン原子であり、Ｌ1は単結合、炭素数１〜４の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基から選択される二価の有機基であり、ｌ1は０又は１である。）【００１９】
【化５】
0005504892.tif 000006
【００２０】
（式中、Ｙ及びｍは前記と同じである。）【００２１】
（５）下記一般式（ＩＶ）で示されるトリシクロデカン誘導体化合物。【００２２】
【化６】
0005504892.tif 000007
【００２３】
（式中、Ｒ5は、前記と同じであり、Ｒ6は、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルケニル基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキロイルオキシ基、アリーロイルオキシ基、シアノ基、及びニトロ基からなる群から選ばれる置換基を表し；
Ｒ7は、ベンゼン構造を有する炭素数６〜１２の三価の置換基を表し；
ｋ０、ｊ０、ｍ０、ｎ０、ｘ０、ｙ０は０〜３の整数であり；
ｋ１、ｊ１、ｍ１、ｎ１、ｘ１、ｙ１は０〜３の整数であり；
ｋ２、ｊ２、ｍ２、ｎ２、ｘ２、ｙ２は０〜４の整数であり；
１≦ｋ０＋ｋ１＋ｋ２≦５、  １≦ｊ０＋ｊ１＋ｊ２≦５、  １≦ｍ０＋ｍ１＋ｍ２≦５、  １≦ｎ０＋ｎ１＋ｎ２≦５、  １≦ｘ０＋ｘ１＋ｘ２≦５、１≦ｙ０＋ｙ１＋ｙ２≦５、１≦ｋ１＋ｊ１＋ｍ１＋ｎ１＋ｘ１＋ｙ１≦１８、  １≦ｋ０＋ｋ１≦３、  １≦ｊ０＋ｊ１≦３、  １≦ｍ０＋ｍ１≦３、  1≦ｎ０＋ｎ１≦３、  １≦ｘ０＋ｘ１≦３、  １≦ｙ０＋ｙ１≦３の条件を満たす。
ただし、複数個のＲ5、Ｒ6は、各々同一でも異なっていてもよい。）【００２４】
（６）一般式（ＩＩ）で示される化合物のｅｎｄｏ体とｅｘｏ体とからなるトリシクロデカン誘導体化合物異性体混合物。
（７）一般式（ＩＩ）で示される化合物のｅｎｄｏ体とｅｘｏ体とのモル比が０．０１〜３５（ｅｎｄｏ体／ｅｘｏ体）である上記（６）に記載のトリシクロデカン誘導体化合物異性体混合物。
（８）溶媒の存在下、下記一般式（Ｉ）で示されるトリシクロデカニル基を有するアルコールのｅｎｄｏ体とｅｘｏ体との異性体混合物に、ホルムアルデヒド及びハロゲン化水素ガスを反応させて、対応する一般式（ＩＩ）で示されるトリシクロデカン誘導体化合物のｅｎｄｏ体とｅｘｏ体との異性体混合物を製造する方法。【００２５】
【化７】
0005504892.tif 000008
【００２６】
（式中、Ｙ及びｍは前記と同じである。）【００２７】
（９）前記溶媒が、炭素数５〜２０の脂肪族炭化水素である上記（８）に記載のトリシクロデカン誘導体化合物異性体混合物を製造する方法。
（１０）一般式（Ｉ）で示されるアルコールのｅｎｄｏ体とｅｘｏ体とのモル比が０．０１〜３５（ｅｎｄｏ体／ｅｘｏ体）である上記（８）又は（９）に記載のトリシクロデカン誘導体化合物異性体混合物。【００２８】
（１１）一般式（ＶＩ）で示される化合物のｅｎｄｏ体とｅｘｏ体とからなり、該ｅｎｄｏ体と該ｅｘｏ体とのモル比が０．０１〜３５（ｅｎｄｏ体／ｅｘｏ体）であるトリシクロデカン誘導体化合物異性体混合物。
（１２）下記一般式（Ｘ）で示される構成単位を含む機能性樹脂。【００２９】
【化８】
0005504892.tif 000009
【００３０】
（式中、Ｒ1〜Ｒ4、Ｙ及びｍは前記と同じである。）【００３１】
（１３）一般式（Ｘ）で示される構成単位が、下記一般式（ＸＩ）で示される構成単位である上記（１２）に記載の機能性樹脂。【００３２】
【化９】
0005504892.tif 000010
【００３３】
（式中、Ｒ1〜Ｒ3は前記と同じである。）【００３４】
（１４）上記（１２）又は（１３）に記載の機能性樹脂と、放射線の照射により酸を発生する光酸発生剤を含有してなる機能性樹脂組成物。
【発明の効果】
【００３５】
本発明により、
（１）フォトリソグラフィー分野におけるフォトレジスト用樹脂の改質剤やドライエッチング耐性向上剤、農医薬中間体、その他各種工業製品用などとして有用な新規なトリシクロデカン誘導体化合物である（モノハロゲン置換メチル）（トリシクロデシル基含有アルキル）エーテル類及びその製造方法、
（２）架橋型樹脂、光ファイバーや光導波路、光ディスク基板、フォトレジストなどの光学材料及びその原料、医薬・農薬中間体、その他各種工業製品などとして有用な、トリシクロデカン誘導体化合物、及び
（３）ＫｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦエキシマレーザー、Ｆ２エキシマレーザーあるいはＥＵＶに代表される遠紫外線に感応する化学増幅型レジストとして、パターン形状、ドライエッチング耐性、耐熱性等のレジストとしての基本物性を損なわずに、解像度やラインエッジラフネスの向上を達成しうるアルカリ現像性や基盤密着性に優れた機能性樹脂、機能性樹脂組成物及びその原料化合物、
を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
［トリシクロデカン誘導体化合物（ＩＩ）］
下記一般式（ＩＩ）で表されるトリシクロデカン誘導体化合物は、下記一般式（ＩＩａ）及び（ＩＩｂ）で示されるｅｎｄｏ体及びｅｘｏ体の異性体を有する化合物である。【００３７】
【化１０】
0005504892.tif 000011
【００３８】
式中、Ｙは独立して、炭素数１〜１０のアルキル基、ハロゲン原子、アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基又は水酸基を示し、Ｘ1はハロゲン原子を示し、ｍは０〜１５の整数を示す。
Ｙのハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素及びヨウ素を挙げることができる。Ｙが炭素数１〜１０のアルキル基である場合、アルキル基は直鎖状、分岐状のいずれでもよく、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、各種ブチル基、各種ペンチル基、各種ヘキシル基、各種ヘプチル基、各種オクチル基、各種ノニル基及び各種デシル基を挙げることができる。また、アシルオキシ基はＲ12−ＣＯＯ−で示される基で、アルコキシカルボニル基はＲ12−ＯＣＯ−で示される基である。ここで、Ｒ12は炭素数１〜１０の直鎖状、分岐状、環状のいずれであってもよい炭化水素基を示し、炭化水素基としては、直鎖状あるいは分岐状のアルキル基のほか、シクロアルキル基、フェニル基、アダマンチル基、ノルボルニル基などの環状の炭化水素基が挙げられ、メチル基、エチル基、イソプロピル基、ｔｅｒｔ−ブチル基が好ましい。Ｙとしては、アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基が好ましく、３級のアルコキシカルボニル基が特に好ましい。
Ｘ1のハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素及びヨウ素を挙げることができ、通常は塩素、臭素であり、特に塩素が好適である。
また、ｍは０〜１５の整数を示し、ｍは０〜３の整数であることが好ましい。【００３９】
［トリシクロデカン誘導体化合物（ＩＩ）の製造方法］
本発明の一般式（ＩＩ）で示されるトリシクロデカン誘導体化合物のｅｎｄｏ体とｅｘｏ体との異性体混合物は、溶媒の存在下で、前記一般式（Ｉ）で示されるトリシクロデカニル基を有するアルコールの、下記一般式（Ｉａ）で示されるｅｎｄｏ体と下記一般式（Ｉｂ）で示されるｅｘｏ体との異性体混合物を原料とし、当該異性体混合物に、ホルムアルデヒド及びハロゲン化水素ガスを反応させて、製造することができる。【００４０】
【化１１】
0005504892.tif 000012
【００４１】
式中、Ｙ及びｍは前記と同じである。【００４２】
一般式（ＩＩａ）及び（ＩＩｂ）で示されるｅｎｄｏ体及びｅｘｏ体の異性体を有するトリシクロデカン誘導体化合物の異性体混合物は、一般式（Ｉ）で示されるトリシクロデカニル基を有するアルコールの、上記一般式（Ｉａ）で示されるｅｎｄｏ体と上記一般式（Ｉｂ）で示されるｅｘｏ体との異性体混合物が原料として用いられる。【００４３】
本発明の製造方法において、一般式（Ｉａ）で表されるｅｎｄｏ体からは一般式（ＩＩａ）で表されるｅｎｄｏ体が、一般式（Ｉｂ）で表されるｅｘｏ体からは一般式（ＩＩｂ）で表されるｅｘｏ体が得られる。一般式（Ｉａ）で表されるｅｎｄｏ体は対応するｅｎｄｏ体エステル化合物から、また一般式（Ｉｂ）で表されるｅｘｏ体は対応するｅｘｏ体エステル化合物から得ることができる。すなわち、一般式（Ｉａ）及び一般式（Ｉｂ）で表されるアルコール異性体混合物から得られる、トリシクロデカン誘導体化合物異性体混合物のｅｎｄｏ体とｅｘｏ体との比率は、該アルコール異性体混合物のｅｎｄｏ体とｅｘｏ体との比率と同じとなる。【００４４】
対応するエステル化合物混合物のｅｎｄｏ体／ｅｘｏ体の比率は、入手容易性から０．０１〜３５の範囲であることが好ましく、この場合には、得られる一般式（Ｉａ）及び一般式（Ｉｂ）で表されるアルコール異性体混合物並びに一般式（ＩＩａ）及び一般式（ＩＩＩｂ）で表されるトリシクロデカン誘導体化合物異性体混合物のｅｎｄｏ体／ｅｘｏ体の比率も０．０１〜３５の範囲となる。【００４５】
原料にｅｎｄｏ体、ｅｘｏ体のいずれか一方を用いることで、ｅｎｄｏ体の一般式（ＩＩａ）又はｅｘｏ体の一般式（ＩＩｂ）のいずれか一方で表されるトリシクロデカン誘導体化合物を得ることが可能であるが、通常、原料はｅｎｄｏ体、ｅｘｏ体からなる混合物として入手できるため、特に異性体分離を行わない限り、一般式（ＩＩａ）及び一般式（ＩＩｂ）で表されるトリシクロデカン誘導体化合物異性体混合物が得られる。いずれか一方の異性体を得るには、原料混合物あるいは目的物混合物を精密蒸留、カラム分離などの公知の方法で異性体分離すればよい。【００４６】
本発明の製造方法においては、溶媒及び必要に応じて用いられる乾燥剤の存在下に、上記原料の一般式（Ｉａ）及び（Ｉｂ）で表されるトリシクロデシル基を有するアルコールとホルムアルデヒド及び乾燥したハロゲン化水素（ガス）を反応させる。【００４７】
上記のホルムアルデヒドとして、ガス状のホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、トリオキサンなどが使用される。ホルムアルデヒドの量は、原料アルコール１モルに対して、通常１〜５モルである。【００４８】
ハロゲン化水素ガスは乾燥したものが好ましい。市販のボンベから供給する方法やハロゲン化ナトリウムと濃硫酸を反応させ発生したハロゲン化水素ガスを供給する方法が採用できる。ハロゲン化水素の量は、原料アルコール１モルに対して、通常１〜２０モルである。【００４９】
また、上記の乾燥剤は使用しなくてもよいが、使用する場合には一般的な乾燥剤が使用可能である。具体的には、無水硫酸マグネシウム、無水塩化鉄、無水塩化アルミニウム等無水無機塩；塩化カルシウム、モレキュラーシーブス、五酸化二リン、過塩素酸ナトリウム、活性アルミナ、シリカゲル、水素化カルシウム、水素化アルミニウムリチウムなどが挙げられる。乾燥剤の量は、原料アルコール１モルに対して、通常０．５〜５モルである。【００５０】
本発明の製造方法で用いられる溶媒としては、具体的には、ｎ−ヘキサン、ｎ−ヘプタン等の炭素数５〜２０の脂肪族炭化水素系溶媒、ジエチルエーテル、ジブチルエーテル等のエーテル系溶媒、ジクロロメタン、四塩化炭素等のハロゲン系炭化水素溶媒が挙げられるが、炭素数５〜２０の脂肪族炭化水素系溶媒が好ましく、特にｎ−ヘキサン、ｎ−ヘプタンが好ましい。また溶媒に対する水の溶解度が５質量％以下であることが反応中の副生成物の生成が抑えられることから好ましい。【００５１】
また、反応温度については、反応圧力における溶媒の沸点がＴ℃である場合、（Ｔ−７０）℃からＴ℃の範囲とした方が望ましい。その範囲に調整することにより、前記の副生成物の生成量を抑えることができる。【００５２】
反応圧力については、通常絶対圧力で０．０１〜１０ＭＰａであり、好ましくは常圧〜１ＭＰａである。反応時間については、通常１分〜２４時間であり、好ましくは３０分〜５時間である。【００５３】
目的とする反応生成物の精製については、蒸留、晶析、カラム分離などを採用することが可能であり、生成物の性状と副生成物の種類により精製方法を選択すればよい。【００５４】
［トリシクロデカン誘導体化合物（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）］
一般式（ＩＩａ）及び（ＩＩｂ）で表されるｅｎｄｏ体あるいはｅｘｏ体のトリシクロデカン誘導体化合物は、例えば各種カリックスレゾルシナレーンや各種多核ポリフェノール等とＫＯＨやＮａＯＨなどの塩基条件下で反応させることにより下記一般式（ＩＩＩ）、あるいは下記一般式（ＩＶ）で示されるトリシクロデカン誘導体化合物に誘導することができる。すなわち、一般式（ＩＩａ）及び（ＩＩｂ）で表される化合物は、ＫｒＦエキシマレーザーや電子線（ＥＢ）や極端紫外線（ＥＵＶ）露光技術に使用できるポジ型レジスト材料又は添加剤等のアルカリ水溶液に対する抑止性保護基の原料として有用である。【００５５】
【化１２】
0005504892.tif 000013
【００５６】
式（ＩＩＩ）中、Ｒ5は、下記一般式（Ｖ）で示されるｅｎｄｏ体及び／又はｅｘｏ体である酸解離性官能基であり、Ｘ2は水素又はハロゲン原子であり、Ｌ1は単結合、炭素数１〜４の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基から選択される二価の有機基であり、ｌ1は０又は１である。【００５７】
【化１３】
0005504892.tif 000014
【００５８】
Ｘ2のハロゲン原子は、フッ素、塩素、臭素及びヨウ素を挙げることができ、通常は塩素、臭素であり、特に塩素が好適である。Ｘ2としては、なかでも低アウトガス性や経済性の観点から、水素及び塩素が好ましい。Ｌ1の炭素数１〜４のアルキレン基のなかでも、溶媒可溶性、製膜性の観点からプロピレン、ｓｅｃ−ブチレン、ｔｅｒｔ−ブチレンが好ましい。
また、式（Ｖ）中、Ｙ及びｍは前記と同じである。【００５９】
式（ＩＶ）中、Ｒ5は、前記と同じであり、Ｒ6は、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルケニル基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキロイルオキシ基、アリーロイルオキシ基、シアノ基、及びニトロ基からなる群から選ばれる置換基を表し；
Ｒ7は、ベンゼン構造を有する炭素数６〜１２の三価の置換基を表し；
ｋ０、ｊ０、ｍ０、ｎ０、ｘ０、ｙ０は０〜３の整数であり；
ｋ１、ｊ１、ｍ１、ｎ１、ｘ１、ｙ１は０〜３の整数であり；
ｋ２、ｊ２、ｍ２、ｎ２、ｘ２、ｙ２は０〜４の整数であり；
１≦ｋ０＋ｋ１＋ｋ２≦５、  １≦ｊ０＋ｊ１＋ｊ２≦５、  １≦ｍ０＋ｍ１＋ｍ２≦５、  １≦ｎ０＋ｎ１＋ｎ２≦５、  １≦ｘ０＋ｘ１＋ｘ２≦５、１≦ｙ０＋ｙ１＋ｙ２≦５、１≦ｋ１＋ｊ１＋ｍ１＋ｎ１＋ｘ１＋ｙ１≦１８、  １≦ｋ０＋ｋ１≦３、  １≦ｊ０＋ｊ１≦３、  １≦ｍ０＋ｍ１≦３、  1≦ｎ０＋ｎ１≦３、  １≦ｘ０＋ｘ１≦３、  １≦ｙ０＋ｙ１≦３の条件を満たす。
ただし、複数個のＲ5、Ｒ6は、各々同一でも異なっていてもよい。
特に好ましいのは、製造の観点から、ｋ０＋ｋ１＝１、  ｊ０＋ｊ１＝１、ｍ０＋ｍ１＝１、  ｎ０＋ｎ１＝１、  ｘ０＋ｘ１＝１、  ｙ０＋ｙ１＝１の組み合わせである。【００６０】
［トリシクロデカン誘導体化合物（ＶＩ）］
本発明のトリシクロデカン誘導体化合物（ＶＩ）は、下記一般式（ＶＩ）で示される化合物である。【００６１】
【化１４】
0005504892.tif 000015
【００６２】
式中、Ｙ及びｍは、前記と同じである。Ｒ1〜Ｒ4はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜３のアルキル基を示す。炭素数１〜３のアルキル基は直鎖状、分岐状のいずれでもよく、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基が挙げられる。Ｒ1〜Ｒ4としては、Ｒ1〜Ｒ4が水素原子又はメチル基であることが好ましく、Ｒ1、Ｒ2及びＲ4が水素原子であり、Ｒ4がメチル基であることがより好ましい。【００６３】
本発明の一般式（ＶＩ）で表される化合物には、脂環構造に結合しているヒドロキシルメチレン基の位置に関して、各々式（ＶＩａ）及び（ＶＩｂ）で表される２種の異性体(ｅｎｄｏ体、ｅｘｏ体)が存在する。当該異性体の混合比（ｅｎｄｏ体／ｅｘｏ体）は、０．０１〜３５であることが好ましい。上記範囲であると、生産性に優れる。また、樹脂組成物の溶解性が向上することがある。【００６４】
【化１５】
0005504892.tif 000016
【００６５】
式中、Ｙ及びｍは前記と同じである。Ｚは下記一般式（ＶＩＩ）で示される基を示す。【００６６】
【化１６】
0005504892.tif 000017
【００６７】
式中、Ｒ1〜Ｒ4は前記と同じである。【００６８】
また、一般式（ＶＩ）で示されるトリシクロデカン誘導体化合物は、下記一般式（ＶＩＩＩ）又は一般式（ＩＸ）で示される化合物であることが好ましい。トリシクロデカン誘導体化合物が下記一般式（ＶＩＩＩ）あるいは一般式（ＩＸ）で示される化合物であると、生産性に優れ、また樹脂組成物として用いた際の各種レジスト性能に優れるという特長を有する。【００６９】
【化１７】
0005504892.tif 000018
【００７０】
［トリシクロデカン誘導体化合物（ＶＩ）の製造方法］
本発明における一般式（ＶＩ）で表されるトリシクロデカン誘導体は、塩基化合物存在下で、下記一般式（ＸＩＩ）で表される原料化合物とメタクリル酸やアクリル酸などのアクリル酸化合物と反応させることにより製造できる。なお、原料化合物のｅｎｄｏ体からはｅｎｄｏ体、ｅｘｏ体からはｅｘｏ体の一般式（ＶＩ）表されるトリシクロデカン誘導体が得られる。【００７１】
【化１８】
0005504892.tif 000019
【００７２】
式中、Ｒ4、Ｙ及びｍは前記と同じであり、Ｘ3はハロゲン原子を示す。ハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素及びヨウ素を挙げることができ、通常は塩素、臭素であり、特に塩素が好適である。【００７３】
一般式（ＸＩＩ）で示される化合物は、例えば、ヘキサンなどの炭化水素系溶媒及び必要に応じて用いられる乾燥剤の存在下に、下記一般式（ＸＩＩＩ）で表されるアルコールとホルムアルデヒド（パラホルムアルデヒドないしトリオキサン）及び乾燥したハロゲン化水素（ガス）を反応させることにより得られる。【００７４】
【化１９】
0005504892.tif 000020
【００７５】
式中、Ｙ及びｍは前記と同じである。【００７６】
《アクリル酸化合物》
アクリル酸化合物の具体例としては、アクリル酸、メタクリル酸、２−フルオロアクリル酸、トリフルオロアクリル酸、２−（トリフルオロメチル）アクリル酸などの酸化合物類、アクリル酸クロリド、メタクリル酸クロリド、２−フルオロアクリル酸クロリド、トリフルオロアクリル酸クロリド、２−（トリフルオロメチル）アクリル酸クロリドなどのアクリル酸ハライド類、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ｔ−ブチル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸−ｔ−ブチル、トリフルオロアクリル酸メチル、トリフルオロアクリル酸エチル、トリフルオロアクリル酸イソプロピル、トリフルオロアクリル酸−ｔ−ブチル、ペンタフルオロメタクリル酸メチル、ペンタフルオロメタクリル酸エチル、ペンタフルオロメタクリル酸イソプロピル、ペンタフルオロメタクリル酸−ｔ−ブチル、２−フルオロアクリル酸メチル、２−フルオロアクリル酸エチル、２−フルオロアクリル酸イソプロピル、２−フルオロアクリル酸−ｔ−ブチル、２−（トリフルオロメチル）アクリル酸メチル、２−（トリフルオロメチル）アクリル酸エチル、又は２−（トリフルオロメチル）アクリル酸イソプロピル、２−（トリフルオロメチル）アクリル酸−ｔ−ブチルなどのアクリル酸エステル類、アクリル酸ナトリウム、メタクリル酸ナトリウム、２−フルオロアクリル酸ナトリウム、トリフルオロアクリル酸ナトリウム、２−（トリフルオロメチル）アクリル酸ナトリウムなどのアクリル酸塩類、無水アクリル酸、無水メタクリル酸、無水ペルフルオロアクリル酸、無水ペルフルオロメタクリル酸、２，２’−ジフルオロアクリル酸無水物、２−フルオロアクリル酸無水物、２−トリフルオロメチルアクリル酸無水物などのアクリル酸無水物類が挙げられる。アクリル酸化合物としては、通常、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチルが用いられ、特にアクリル酸、メタクリル酸が好適に用いられる。使用量は、一般式（７）で表される原料化合物に対して１〜１００当量（必要なアクリルロイルオキシ基分を１当量とする）、好ましくは１〜１０当量である。それより少ないと収率が低下し、それより多いと経済的ではない。【００７７】
《塩基化合物》
添加する塩基化合物として、有機塩基であるアミン化合物が好ましい。アミン化合物の例としては、メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ｎ−プロピルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、トリ−ｎ−プロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、ジ−ｎ−ブチルアミン、ジイソブチルアミン、トリ−ｎ−ブチルアミン、ジフェニルアミン、１，５−ジアザビシクロ［４．３．０］ノネン−５、１，５−ジアザビシクロ［５．４．０］ウンデセン−５、ジアザビシクロ［２．２．２］オクタンなどのアミン類、同じく有機アミンであるアニリン、メチルアニリン、ジメチルアニリン、トルイジン、アニシジン、クロロアニリン、ブロモアニリン、ニトロアニリン、アミノ安息香酸などのアニリン類、ジメチルアミノピリジンなどのピリジン類、ピロール類、キノリン類、ピペリジン類などの含窒素複素環式化合物類が挙げられ、特にトリエチルアミンの効果が高くて好ましい。ナトリウムメトキシド、リチウムメトキシドなどの金属アルコキシド類、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化トリメチル−ｎ−プロピルアンモニウムなどの水酸化第四アンモニウム類、硫酸エチルアンモニウム、硝酸トリメチルアンモニウム、塩化アニリニウムなどのアミンの硫酸塩、硝酸塩、塩化物など、炭酸水素ナトリウムなどの無機塩基、臭化エチルマグネシウムなどのグリニヤール試薬が反応溶液中に存在していてもよい。【００７８】
これらの添加する塩基化合物の使用量は、一般式（ＸＩ）で表される原料化合物に対して１０当量以下が好ましい。それ以上多くとも添加効果はない。塩基化合物の添加方法としては、特に規定はない。アクリル酸化合物を添加する前に予め仕込んでおいてもよいし、またアクリル酸化合物を仕込んだ後に加えてもよいが、通常、アクリル酸化合物と同時に滴下しながら加えるのが望ましい。その際、反応温度が異常昇温しないように制御すると副反応の進行が抑えられるので望ましい。【００７９】
《その他の運転条件など》
溶媒として、原料及び目的物質の溶解性が高いものが望ましい。そのようなものとして、ジクロロメタン、クロロホルム、１，２−ジクロロエタンなどのハロゲン化合物、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、メチルｔ−ブチルエーテルなどのエーテル化合物、ベンゼン、ヘキサンなどの炭化水素化合物などが挙げられ、特にヘキサン、ヘプタンなどの炭化水素系溶剤が好ましい。
反応温度としては−７０〜２００℃、好ましくは−５０〜８０℃がよい。−７０℃より低いと反応速度が低下し、２００℃より高いと反応の制御が困難になることや副反応が進行して収率が低下する。【００８０】
反応終了後においては、反応液を水洗処理することにより、過剰のアクリル酸化合物類、酸や塩基などの添加物が除去される。このとき、洗浄水中に塩化ナトリウムや炭酸水素ナトリウム等、適当な無機塩が含まれていてもよい。また、未反応のアクリル酸化合物類をアルカリ洗浄により除去する。アルカリ洗浄には、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、炭酸ナトリウム水溶液、炭酸水素ナトリウム水溶液、アンモニア水などが挙げられるが、用いるアルカリ成分に特に規定はない。また、金属不純物を除去するために、酸洗浄しても良い。酸洗浄には、塩酸水溶液、硫酸水溶液、リン酸水溶液などの無機酸及びシュウ酸水溶液などの有機酸が挙げられる。また、洗浄に際し、一般式（ＶＩ）で表されるトリシクロデカン誘導体化合物の物性に応じて、反応液に有機溶媒を添加してもよい。添加する有機溶媒は、反応と同一のものを使用することもできるし、異なったものを使用することもできるが、通常、水との分離がよい極性の小さい溶媒を用いることが望ましい。【００８１】
本発明での各反応工程は、常圧、減圧又は加圧下で行なうことができる。また、反応は、回分式、半回分式、連続式などの慣用の方法により行なうことができる。各工程において、それぞれの誘導体を単離しても良いし、また単離することなく溶液状態のまま次の工程に使用しても良い。反応終了後、慣用の方法、例えば、濾過、濃縮、蒸留、抽出、晶析、再結晶、カラムクロマトグラフィー、活性炭による精製などの分離手段や、これらを組合せた分離手段により、容易に分離精製できる。蒸留を行う際には目的生成物の沸点より高い沸点を有する重合禁止剤を添加することが好ましい。【００８２】
［機能性樹脂］
本発明の機能性樹脂は、下記一般式（Ｘ）で示される成分を構成単位として含むものであり、なかでも下記一般式（ＸＩ）で示される成分を構成単位として含むものが好ましい。【００８３】
【化２０】
0005504892.tif 000021
【００８４】
式（Ｘ）中、Ｒ1〜Ｒ4、Ｙ及びｍは前記と同じである。【００８５】
本発明の機能性樹脂は、一般式（ＶＩ）で示されるトリシクロデカン誘導体化合物（モノマー）から単独重合又は共重合によって製造することができる。重合においては、一般的には、モノマーを溶媒に溶かし、触媒を添加して加熱あるいは冷却しながら重合反応を行う。重合反応は開始剤の種類、熱や光などの開始方法、温度、圧力、濃度、溶媒、添加剤などの重合条件によって依存する。本発明の機能性樹脂の重合においては、アゾイソブチロニトリルなどのラジカル発生剤を使用したラジカル重合や、アルキルリチウムなどの触媒を利用したイオン重合などが一般的である。その方法は常法に従って行うことができる。【００８６】
本発明において、一般式（ＶＩ）で示されるトリシクロデカン誘導体との共重合体の原料として、以下のものが挙げられる。２−メチル−２−アダマンチル（メタ）アクリレート、２−エチル−２−アダマンチル（メタ）アクリレート、２−（メタ）アクリルロイルオキシ−２−（１−アダマンチル）プロパン、２−（メタ）アクリルロイルオキシ−２−（１−アダマンチル）ブタン、３−（メタ）アクリルロイルオキシ−３−（１−アダマンチル）ペンタンなどのアダマンチルアクリレート誘導体、ヒドロキシスチレン、α−メチルスチレン、４−ｔ−ブトキシスチレン、４−ｔ−ブトキシカルボニルオキシスチレン、４−ｔ−ブトキシカルボニルメチルオキシスチレン、４−（２−ｔ−ブトキシカルボニルエチルオキシ）スチレンなどのヒドロキシスチレン誘導体、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸イソボルニル、（メタ）アクリル酸トリシクロデカニル、β−（メタ）アクリルロイルオキシγ−ブチロラクトン、β−（メタ）アクリルロイルオキシβ−メチル−γ−ブチロラクトン、α−（メタ）アクリルロイルオキシγ−ブチロラクトン、α−（メタ）アクリルロイルオキシα−メチル−γ−ブチロラクトン、α−（メタ）アクリルロイルオキシγ，γ−ジメチル−γ−ブチロラクトン、５−（メタ）アクリルロイルオキシ３−オキサトリシクロ［４．２．１．０４，８］ノナン−２−オン（＝９−（メタ）アクリルロイルオキシ２−オキサトリシクロ［４．２．１．０４，８］ノナン−３−オン）、６−（メタ）アクリルロイルオキシ３−オキサトリシクロ［４．３．１．１４，８］ウンデカン−２−オンなどが挙げられる。共重合体の原料は、単独で又は２種以上が存在することができる。【００８７】
本発明の機能性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定したポリスチレン換算重量平均分子量（以下、「Ｍｗ」という。）は、好ましくは１，０００〜１５０，０００、さらに好ましくは３，０００〜１００，０００である。また、機能性樹脂のＭｗとゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定したポリスチレン換算数平均分子量（以下、「Ｍｎ」という。）との比（Ｍｗ／Ｍｎ）は、通常、１〜１０、好ましくは１〜５である。本発明において、機能性樹脂は、単独で又は２種以上を混合して使用することができる。【００８８】
［機能性樹脂組成物］
本発明の機能性樹脂組成物は、上記の機能性樹脂と放射線の照射により酸を発生する光酸発生剤とを含有する組成物である。
光酸発生剤は、露光光波長に応じて、化学増幅型レジスト組成物の酸発生剤として使用可能なものの中から、レジスト塗膜の厚さ範囲、それ自体の光吸収係数を考慮した上で、適宜選択することができる。光酸発生剤は、単独あるいは２種以上を組合せて使用することができる。酸発生剤使用量は、樹脂１００質量部当り、好ましくは０．１〜２０質量部、さらに好ましくは０．５〜１５質量部である。【００８９】
遠紫外線領域において、利用可能な光酸発生剤としては、例えば、オニウム塩化合物、スルホンイミド化合物、スルホン化合物、スルホン酸エステル化合物、キノンジアジド化合物及びジアゾメタン化合物等が挙げられる。中でも、ＡｒＦエキシマレーザーのレーザー波長１９３ｎｍに対しては、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、ホスホニウム塩、ジアゾニウム塩、ピリジニウム塩等のオニウム塩化合物が好適である。【００９０】
ＡｒＦエキシマレーザーのレーザー波長１９３ｎｍに対して、好適に利用可能な光酸発生剤として、具体的には、トリフェニルスルホニウムトリフレート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムナフタレンスルホネート、（ヒドロキシフェニル）ベンジルメチルスルホニウムトルエンスルホネート、ジフェニルヨードニウムトリフレート、ジフェニルヨードニウムピレンスルホネート、ジフェニルヨードニウムドデシルベンゼンスルホネート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートなどを挙げることができる。【００９１】
露光により光酸発生剤から生じた酸のレジスト被膜中における拡散現象を制御し、非露光領域での好ましくない化学反応を抑制する作用を有する酸拡散制御剤を配合することができる。
酸拡散制御剤としては、レジストパターンの形成工程中の露光や加熱処理により塩基性が変化しない含窒素有機化合物が好ましい。このような含窒素有機化合物としては、例えば、ｎ−ヘキシルアミン、ｎ−ヘプチルアミン、ｎ−オクチルアミンなどのモノアルキルアミン類；ジ−ｎ−ブチルアミンなどのジアルキルアミン類；トリエチルアミンなどのトリアルキルアミン類；アニリン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、２−メチルアニリン、３−メチルアニリン、４−メチルアニリン、４−ニトロアニリン、ジフェニルアミン等の芳香族アミン類など；エチレンジアミンなどのアミン化合物、ホルムアミド、Ｎ,Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ,Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドンなどのアミド化合物、尿素などのウレア化合物、イミダゾール、ベンズイミダゾールなどのイミダゾール類、ピリジン、４−メチルピリジンなどのピリジン類のほか、１，４−ジアザビシクロ［２．２．２］オクタンなどを挙げることができる。酸拡散制御剤の配合量は、樹脂１００重量部当り、通常、１５重量部以下、好ましくは０．００１〜１０重量部、さらに好ましくは０．００５〜５重量部である。【００９２】
本発明の機能性樹脂組成物は、さらに溶剤を含むことができる。
通常使用される溶剤としては、例えば、２−ペンタノン、２−ヘキサノンなどの直鎖状ケトン類、シクロペンタノン、シクロヘキサノンなどの環状ケトン類、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートなどのプロピレングリコールモノアルキルアセテート類、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテートなどのエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルなどのプロピレングリコールモノアルキルエーテル類、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルなどのエチレングリコールモノアルキルエーテル類、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテルなどのジエチレングリコールアルキルエーテル類、酢酸エチル、乳酸エチルなどのエステル類、シクロヘキサノール、１−オクタノールなどのアルコール類、炭酸エチレン、γ−ブチロラクトンなどを挙げることができる。これらの溶剤は、単独あるいは２種以上を混合して使用することができる。【００９３】
さらに、本発明の機能性樹脂組成物には、必要に応じて、従来の化学増幅型レジスト組成物においても利用されていた種々の添加成分、例えば、界面活性剤、クエンチャー、増感剤、ハレーション防止剤、保存安定剤、消泡剤などの各種添加剤を含有させることもできる。好ましい増感剤としては、例えば、カルバゾール類、ベンゾフェノン類、ローズベンガル類、アントラセン類などを挙げることができる。【００９４】
利用可能な界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレートなどのノニオン系界面活性剤の他、以下の商品名で市販されている界面活性剤、メガファックスＦ１７３（大日本インキ化学工業製）、Ｌ−７０００１（信越化学工業製）、エフトップＥＦ３０１、ＥＦ３０３，ＥＦ３５２（トーケムプロダクツ製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１（住友スリーエム製）、アサヒガードＡＧ７１０、サーフロンＳ−３８２、ＳＣ１０１、ＳＣ１０２、ＳＣ１０３、ＳＣ１０４、ＳＣ１０５、ＳＣ１０６（旭硝子製）、ＫＰ３４１（信越化学工業製）、ポリフローＮｏ.７５、Ｎｏ．９５（共栄社化学製）などを挙げることができる。【００９５】
本発明の感放射線性を有する機能性樹脂組成物（以下、感放射線性樹脂組成物ともいう。）からレジストパターンを形成するには、前述により調製された組成物溶液を、スピンコータ、ディップコータ、ローラコータなどの適宜の塗布手段によって、例えば、シリコンウエハー、金属、プラスチック、ガラス、セラミックなどの基板上に塗布することにより、レジスト被膜を形成し、場合により予め５０℃〜２００℃程度の温度で加熱処理を行ったのち、所定のマスクパターンを介して露光する。塗膜の厚みは、例えば０．１〜２０μｍ、好ましくは０．３〜２μｍ程度である。露光には、種々の波長の光線、例えば、紫外線、Ｘ線などが利用でき、例えば、光源としては、Ｆ２エキシマレーザー（波長１５７ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザー（波長１９３ｎｍ）やＫｒＦエキシマレーザー（波長２４８ｎｍ）などの遠紫外線、極端紫外線（波長１３ｎｍ）、Ｘ線、電子線などを適宜選択し使用する。また、露光量などの露光条件は、感放射線性樹脂組成物の配合組成、各添加剤の種類などに応じて、適宜選定される。【００９６】
本発明においては、高精度の微細パターンを安定して形成するために、露光後に、５０〜２００℃の温度で３０秒以上加熱処理を行うことが好ましい。この場合、温度が５０℃未満では、基板の種類による感度のばらつきが広がるおそれがある。その後、アルカリ現像液により、通常、１０〜５０℃で１０〜２００秒、好ましくは２０〜２５℃で１５〜９０秒の条件で現像することにより、所定のレジストパターンを形成する。【００９７】
上記アルカリ現像液としては、例えば、アルカリ金属水酸化物、アンモニア水、アルキルアミン類、アルカノールアミン類、複素環式アミン類、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド類、コリン、１，８−ジアザビシクロ−［５．４．０］−７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ−［４．３．０］−５−ノネンなどのアルカリ性化合物を、通常、１〜１０重量％、好ましくは１〜３重量％の濃度となるよう溶解したアルカリ性水溶液が使用される。また、上記アルカリ性水溶液からなる現像液には、水溶性有機溶剤や界面活性剤を適宜添加することもできる。
【実施例】
【００９８】
以下、本発明を実施例及び比較例によりさらに詳しく説明するが、本発明はこれらの実施例によって何ら限定されるものではない。【００９９】
合成実施例１Ａ  ＴＣＤＣＭＥ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝０．５７）の合成
十分乾燥し、窒素置換した滴下漏斗、ジム・ロート氏冷却管、温度計、攪拌翼を設置した四つ口フラスコ（５００ｍｌ）に、窒素気流下で、ナトリウム水素化ビス（メトキシエトキシ）アルミニウム（８０．９ｇ）、１２５ｍｌのトルエンからなる溶液に、水冷下、三菱瓦斯化学製トリシクロデカン−２−カルボン酸エチル（ＴＣＤＥ）（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝０．５７）（４１．７ｇ）のトルエン（３３．３ｇ）溶液を添加した。その後、７０℃にて２時間撹拌した。反応終了後、冷却し、２０％塩酸を添加し、分液ロートにて水層を分離し、トルエン層に無水硫酸ナトリウムを添加し、室温にて撹拌後、ろ過処理を行った。得られたろ液から溶媒を除去し、下記化学式で示されるＴＣＤＨＭ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝０．５７）３１．９ｇを得た。なお、ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比はガスクロマトグラフィーにより確認した。得られた生成物の重クロロホルム溶媒中での1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフト値（δｐｐｍ，ＴＭＳ基準）は１．０−２．３（ｍ，１６Ｈ）、３．２−３．６（ｍ，２Ｈ）であった。
続けて、十分乾燥し、窒素置換した滴下漏斗、ジム・ロート氏冷却管、温度計、攪拌翼を設置した四つ口フラスコ（１０００ｍｌ）に、窒素気流下で、ＴＣＤＨＭ（３５．０ｇ）、６３２ｍｌのｎ−ヘキサンからなる溶液に、９２％パラホルムアルデヒド１３．７ｇを添加した。その後、氷冷下、塩化水素ガスを２．５時間吹き込みながら撹拌した。反応終了後、塩化水素ガスの吹き込みを停止し、室温に戻し、分液ロートにて不溶層を分離し、ｎ−ヘキサン層に無水硫酸ナトリウムを添加し、室温にて撹拌後、ろ過処理を行った。得られたろ液から溶媒を除去し、下記化学式で示される目的物のＴＣＤＣＭＥ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝０．５７）４０．０ｇを得た。なお、ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比はガスクロマトグラフィーにより確認した。
得られた生成物の重クロロホルム溶媒中での1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフト値（δｐｐｍ，ＴＭＳ基準）は１．０−２．３（ｍ，１５Ｈ）、３．３−３．６（ｍ，２Ｈ）、５．５（ｓ，２Ｈ）であった。【０１００】
【化２１】
0005504892.tif 000022
【０１０１】
合成実施例２Ａ  ＴＣＤＣＭＥの合成（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝３５）
三菱瓦斯化学製トリシクロデカン−２−カルボン酸エチル（ＴＣＤＥ）（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝３５）を使用し、合成実施例１Ａと同様に合成した。その結果、目的物であるＴＣＤＣＭＥ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝３５）３９．２ｇを得た。なお、ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比はガスクロマトグラフィーにより確認した。得られた生成物の重クロロホルム溶媒中での1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフト値（δｐｐｍ，ＴＭＳ基準）は１．０−２．３（ｍ，１５Ｈ）、３．３−３．５（ｍ，２Ｈ）、５．５（ｓ，２Ｈ）であった。【０１０２】
合成実施例３Ａ  ＴＣＤＣＭＥ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝０．０２）の合成
三菱瓦斯化学製トリシクロデカン−２−カルボン酸エチル（ＴＣＤＥ）（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝０．０２）を使用し、合成実施例１Ａと同様に合成した。その結果、目的物であるＴＣＤＣＭＥ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝０．０２）３９．２ｇを得た。なお、ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比はガスクロマトグラフィーにより確認した。得られた生成物の重クロロホルム溶媒中での1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフト値（δｐｐｍ，ＴＭＳ基準）は１．０−２．３（ｍ，１５Ｈ）、３．６（ｄ，２Ｈ）、５．５（ｓ，２Ｈ）であった。【０１０３】
合成実施例４Ａ  ＴＣＤＣＭＥ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝０．５７）の合成
ｎ−ヘキサンをｎ−ヘプタンに代えた以外は合成実施例１Ａと同様に合成を行った。その結果、反応中にパラホルムアルデヒドが昇華し、上部配管が閉塞したものの、収量は４０ｇで目的生成物が得られた。【０１０４】
合成実施例５Ａ  ＴＣＤＣＭＥ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝０．５７）の合成
ｎ−ヘキサンを塩化メチレンに代えた以外は合成実施例１Ａと同様に合成を行った。その結果、反応中にパラホルムアルデヒドが昇華し、上部配管が閉塞したものの、収量は３５ｇで目的生成物が得られた。【０１０５】
合成実施例１Ｂ  ＥｔＰ−３Ｂｒ４ＨＢＡの合成
十分乾燥し、窒素置換した滴下漏斗、ジム・ロート氏冷却管、温度計、攪拌翼を設置した四つ口フラスコ（１０００ｍｌ）に、窒素気流下で、３−ブロモ−４−ヒドロキシベンズアルデヒド（２０．１ｇ／１００ｍｍｏｌ）、炭酸カリウム（１３．８ｇ／１００ｍｍｏｌ）、２００ｍｌのＴＨＦからなる溶液に、α−ブロモ酪酸エチル１９．５ｇ（１００ｍｍｏｌ）のジメチルホルムアミド溶液１００ｍｌを滴下した。反応液を２４時間還流下で撹拌した。
反応終了後、溶媒を除去し、得られた固体を、ヘキサン／酢酸エチル＝１／３の混合溶媒を用い、カラムクロマトで精製した。フェノール性水酸基がエトキシカルボニルプロピル基で置換されたＥｔＰ−３Ｂｒ４ＨＢＡを１３．０ｇ得た。得られた生成物の重ＤＭＳＯ溶媒中での1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフト値（δｐｐｍ，ＴＭＳ基準）は１．１−１．３（ｍ，６Ｈ）、２．１（ｍ，２Ｈ）、４．２（ｍ，２Ｈ）、４．７（ｔ，１Ｈ）、７．１−７．９（ｍ，３Ｈ）、９．９（ｓ，１Ｈ）であった。【０１０６】
合成実施例２Ｂ  ＥｔＰ−３ＥｔＯ４ＨＢＡの合成
合成実施例１ＢのＥｔＰ−３Ｂｒ４ＨＢＡの合成例において、３−ブロモ−４−ヒドロキシベンズアルデヒドをｏ−エチルバニリンに代えた以外は合成実施例１Ｂと同様に合成した。その結果、フェノール性水酸基がエトキシカルボニルプロピル基で置換されたＥｔＰ−３ＥｔＯ４ＨＢＡを１０．０ｇ得た。得られた生成物の重ＤＭＳＯ溶媒中での1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフト値（δｐｐｍ，ＴＭＳ基準）は、１．１−１．３（ｍ，９Ｈ）、２．１（ｍ，２Ｈ）、３．２−３．３（ｍ，２Ｈ）、４．２（ｍ，２Ｈ）、４．７（ｔ，１Ｈ）、７．１−７．９（ｍ，３Ｈ）、９．９（ｓ，１Ｈ）であった。【０１０７】
合成実施例３Ｂ  ＣＰ−ＣＲ−６の合成
十分乾燥し、窒素置換した滴下漏斗、ジム・ロート氏冷却管、温度計、攪拌翼を設置した四つ口フラスコ（１０００ｍｌ）に、窒素気流下で、関東化学社製レゾルシノール（５．５ｇ、５０ｍｍｏｌ）と、合成実施例１Ｂで得られた下記化学式で示されるＥｔＰ−３Ｂｒ４ＨＢＡ（１５．８ｇ，５０ｍｍｏｌ）と、エタノール（３３０ｍｌ）を投入し、エタノール溶液を調整した。次いで濃塩酸（３５％）７５ｍｌを、滴下漏斗により室温で６０分かけて滴下した後、８０℃で４８時間攪拌した。反応終了後、室温に戻し、水酸化ナトリウム水溶液を添加して２４時間撹拌を行った。その後、この溶液を分液ロートに移し、ジエチルエーテルを加えて分液し、その水層を抜き取り、塩酸で中和を行い、析出する固形物を濾別、真空乾燥させることにより、その結果、下記化学式で示される目的生成物ＣＰ−ＣＲ−６を１１．５ｇ得た。この化合物は、ＬＣ−ＭＳで分析した結果、分子量１５１２を示した。また重ＤＭＳＯ溶媒中での1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフト値（δｐｐｍ，ＴＭＳ基準）は１．０−１．２（ｍ，１２Ｈ）、２．１−２．２（ｍ，８Ｈ）、４．６（ｓ，４Ｈ）、５．２−５．５（ｔ，４Ｈ）、６．０〜６．８（ｍ，２０Ｈ）、８．６（ｂｒｓ，８Ｈ）、１２．９（ｂｒｓ，４Ｈ）であった。【０１０８】
【化２２】
0005504892.tif 000023
【０１０９】
合成実施例４Ｂ  ＣＰ−ＣＲ−７の合成
合成実施例３ＢのＣＭ−ＣＲ−６の合成において、ＥｔＰ−３Ｂｒ４ＨＢＡをＥｔＰ−３ＥｔＯ４ＨＢＡに代えた以外は合成実施例３Ｂと同様に合成し、下記化学式で示される目的生成物ＣＰ−ＣＲ−７を１０．３ｇ得た。この化合物は、ＬＣ−ＭＳで分析した結果、目的物の分子量１３７７を示した。また重ＤＭＳＯ溶媒中での1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフト値（δｐｐｍ，ＴＭＳ基準）は１．０−１．２（ｍ，２４Ｈ）、２．１−２．２（ｍ，８Ｈ）、３．２−３．３（ｍ，８Ｈ）、４．６（ｓ，４Ｈ）、５．２−５．５（ｔ，４Ｈ）、６．０〜６．８（ｍ，２０Ｈ）、８．６（ｂｒｓ，８Ｈ）、１２．９（ｂｒｓ，４Ｈ）であった。【０１１０】
【化２３】
0005504892.tif 000024
【０１１１】
合成実施例５Ｂ  ＴＣＤＰ−ＣＲ−６の合成
十分乾燥し、窒素置換した滴下漏斗、ジム・ロート氏冷却管、温度計、攪拌翼を設置した四つ口フラスコ（１０００ｍｌ）に、窒素気流下で、合成実施例３Ｂで合成したＣＰ−ＣＲ−６（１５．１ｇ，１０ｍｍｏｌ）と、炭酸カリウム１３．８ｇ、ＴＨＦ（３３０ｍｌ）からなる溶液に、合成実施例１Ａで合成したＴＣＤＣＭＥ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝０．５７）（８．５６ｇ，４０ｍｍｏｌ）のＴＨＦ溶液１００ｍｌを投入し、テトラヒドロフラン溶液を調製した。次いで室温で６時間攪拌した。反応終了後、反応液を濃縮し、カラムクロマトグラフにより精製、カラム展開溶媒を留去、得られた固形物を濾別、真空乾燥させることにより、下記化学式で示される目的生成物ＴＣＤＰ−ＣＲ−６を１１．０ｇ得た。この化合物は、ＬＣ−ＭＳで分析した結果、目的物の分子量２２２４を示した。また重ＤＭＳＯ溶媒中での1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフト値（δｐｐｍ，ＴＭＳ基準）は１．０〜２．３（ｍ，７２Ｈ）、２．１−２．２（ｍ，８Ｈ）、４．７（ｓ，４Ｈ）、５．２−５．５（ｔ，４Ｈ）、５．６（ｓ，８Ｈ）、６．０〜６．８（ｍ，２８Ｈ）、８．６（ｂｒｓ，８Ｈ）であった。【０１１２】
【化２４】
0005504892.tif 000025
【０１１３】
合成実施例６Ｂ  ＴＣＤＰ−ＣＲ−７の合成
合成実施例５ＢのＴＣＤＰ−ＣＲ−６の合成において、ＣＰ−ＣＲ−６をＣＰ−ＣＲ−７に代えた以外は合成実施例５Ｂと同様に合成した。その結果、下記化学式で示される目的生成物ＴＣＤＰ−ＣＲ−７を１０．５ｇ得た。この化合物は、ＬＣ−ＭＳで分析した結果、目的物の分子量２０８９を示した。また重ＤＭＳＯ溶媒中での1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフト値（δｐｐｍ，ＴＭＳ基準）は１．０〜２．３（ｍ，８４Ｈ）、２．１−２．２（ｍ，８Ｈ）、３．２〜３．３（ｍ、８Ｈ）、４．７（ｓ，４Ｈ）、５．２−５．５（ｔ，４Ｈ）、５．６（ｓ，８Ｈ）、６．０〜６．８（ｍ，２８Ｈ）、８．６（ｂｒｓ，８Ｈ）であった。【０１１４】
【化２５】
0005504892.tif 000026
【０１１５】
合成実施例１Ｃ  ＣＲ−１の合成
十分乾燥し、窒素置換した滴下漏斗、ジム・ロート氏冷却管、温度計、攪拌翼を設置した四つ口フラスコ（１０００ｍｌ）に、窒素気流下で、関東化学社製レゾルシノール（２２ｇ、０．２ｍｏｌ）と、４−イソプロピルベンズアルデヒド（２９．６ｇ，０．２ｍｏｌ）と、脱水エタノール（２００ｍｌ）を投入し、エタノール溶液を調整した。この溶液を攪拌しながらマントルヒーターで８５℃まで加熱した。次いで濃塩酸（３５％）７５ｍｌを、滴下漏斗により３０分かけて滴下した後、引き続き８５℃で３時間攪拌した。反応終了後、放冷し、室温に到達させた後、氷浴で冷却した。１時間静置後、淡黄色の目的粗結晶が生成し、これを濾別した。粗結晶をメタノール５００ｍｌで２回洗浄し、濾別、真空乾燥させることにより、下記化学式で示される目的生成物ＣＲ−１（４５．６ｇ、収率９５％）を得た。この化合物は、ＬＣ−ＭＳで分析した結果、目的物の分子量９６０を示した。また重ジメチルスルホキシド溶媒中での1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフト値（δｐｐｍ，ＴＭＳ基準）は１．１〜１．２（ｍ，２４Ｈ）、２．６〜２．７（ｍ，４Ｈ）、５．５（ｓ，４Ｈ）、６．０〜６．８（ｍ，２４Ｈ）、８．４〜８．５（ｄ，８Ｈ）であった。【０１１６】
【化２６】
0005504892.tif 000027
【０１１７】
合成実施例２Ｃ  ＣＨＢＡＬの合成
温度を制御できる内容積５００ｍｌの電磁撹拌装置付オートクレーブ（ＳＵＳ３１６Ｌ製）に、無水ＨＦ７４．３ｇ（３．７１モル）、ＢＦ3５０．５ｇ（０．７４４モル）を仕込み、内容物を撹拌し、液温を−３０℃に保ったまま一酸化炭素により２ＭＰａまで昇圧した。その後、圧力を２ＭＰａ、液温を−３０℃に保ったまま、４−シクロヘキシルベンゼン５７．０ｇ（０．２４８モル）とｎ−ヘプタン５０．０ｇとを混合した原料を供給し、１時間保った後、氷の中に内容物を採取し、ベンゼンで希釈後、中和処理をして得られた油層をガスクロマトグラフィーで分析して反応成績を求めたところ、得られた油層をガスクロマトグラフィーで分析して反応成績を求めたところ、４−シクロヘキシルベンゼン転化率１００％、４−シクロヘキシルベンズアルデヒド選択率９７．３％であった。単蒸留により目的成分を単離し、ＧＣ−ＭＳで分析した結果、下記化学式で示される脂環を含む置換基を有するベンズアルデヒドである、目的物の４−シクロヘキシルベンズアルデヒド（以下、ＣＨＢＡＬと示す）を得た。その分子量は１８８であった。また重クロロホルム溶媒中での1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフト値（δｐｐｍ，ＴＭＳ基準）は、１．０〜１．６（ｍ，１０Ｈ）、２．５５（ｍ，１Ｈ）、７．３６（ｄ，２Ｈ）、７．８（ｄ，２Ｈ）、１０．０（ｓ，１Ｈ）であった。【０１１８】
【化２７】
0005504892.tif 000028
【０１１９】
合成実施例３Ｃ  環状ポリフェノール化合物（ＣＲ−１Ａ）の合成
十分乾燥し、窒素置換した滴下漏斗、ジム・ロート氏冷却管、温度計、攪拌翼を設置した四つ口フラスコ（１０００ｍｌ）に、窒素気流下で、関東化学社製レゾルシノール（２２ｇ、０．２ｍｏｌ）と、合成実施例２Ｃで合成した４−シクロヘキシルベンズアルデヒド（４６．０ｇ，０．２ｍｏｌ）と、脱水エタノール（２００ｍｌ）を投入し、エタノール溶液を調整した。この溶液を攪拌しながらマントルヒーターで８５℃まで加熱した。次いで濃塩酸（３５％）７５ｍｌを、滴下漏斗により３０分かけて滴下した後、引き続き８５℃で３時間攪拌した。反応終了後、放冷し、室温に到達させた後、氷浴で冷却した。１時間静置後、淡黄色の目的粗結晶が生成し、これを濾別した。粗結晶をメタノール５００ｍｌで２回洗浄し、濾別、真空乾燥させることにより、下記化学式で示される目的生成物ＣＲ−１Ａ（５０ｇ、収率９１％）を得た。この化合物は、ＬＣ−ＭＳで分析した結果、目的物の分子量１１２１を示した。また重クロロホルム溶媒中での1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフト値（δｐｐｍ，ＴＭＳ基準）は０．８〜１．９（ｍ，４０Ｈ）、３．２（ｍ，４Ｈ）、５．５，５．６（ｄ，４Ｈ）、６．０〜６．８（ｍ，２４Ｈ）、８．４，８．５（ｍ，８Ｈ）であった。【０１２０】
【化２８】
0005504892.tif 000029
【０１２１】
合成実施例４Ｃ  ＴＣＤ２５ＣＲ−１の合成
十分乾燥し、窒素置換した滴下漏斗、ジム・ロート氏冷却管、温度計、攪拌翼を設置した四つ口フラスコ（１０００ｍｌ）に、窒素気流下で、合成実施例１Ｃで合成したＣＲ−１を９．６ｇ（１０ｍｍｏｌ）と、トリエチルアミン２．０ｇ（２０ｍｍｏｌ）及びＮ−メチル−２−ピロリドン５００ｍｌからなる溶液に、合成実施例１Ａで合成したＴＣＤＣＭＥ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝０．５７）（４．３ｇ，２０ｍｍｏｌ）を滴下した。反応液を６時間室温で撹拌した。反応終了後、溶媒を除去し、得られた固体を、ヘキサン／酢酸エチル＝１／３の混合溶媒を用い、カラムクロマトで精製した。フェノール性水酸基の２５ｍｏｌ％がトリシクロデカニルメトキシメチル基で置換されたＴＣＤ２５ＣＲ−１を１３．０ｇ得た。
得られた生成物の重ジメチルスルホキシド溶媒中での1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフト値（δｐｐｍ，ＴＭＳ基準）は１．１〜１．３（ｍ，５４Ｈ）、２．６〜２．７（ｍ，４Ｈ）、３．３（ｍ，４Ｈ）、４．６〜４．９（ｍ，４Ｈ）、５．５（ｓ，４Ｈ）、６．０〜６．８（ｍ，２４Ｈ）、８．４〜８．５（ｄ，６Ｈ）であった。【０１２２】
合成実施例５Ｃ  ＴＣＤ２５ＣＲ−１Ａの合成
合成実施例４Ｃにおいて、ＣＲ−１を合成実施例３Ｃで合成した１１．２ｇ（１０ｍｍｏｌ）のＣＲ−１Ａに代えた以外は合成実施例４Ｃと同様に合成した。その結果、フェノール性水酸基の５０ｍｏｌ％がトリシクロデカニルメトキシメチル基で置換されたＴＣＤ２５ＣＲ−１Ａを１３．０ｇ得た。得られた生成物の重クロロホルム溶媒中での1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフト値（δｐｐｍ，ＴＭＳ基準）は０．８〜１．９（ｍ，７０Ｈ）、３．２（ｍ，４Ｈ）、３．３（ｍ，４Ｈ）、４．６〜４．９（ｍ，４Ｈ）、５．５，５．６（ｄ，４Ｈ）、６．０〜６．８（ｍ，２４Ｈ）、８．４〜８．５（ｍ，６Ｈ）であった。【０１２３】
合成実施例１Ｄ  テトラキス(２，３，６−トリメチルフェノール)−１，３，５−ベンゼントリカルボアルデヒドの合成
２，３，６−トリメチルフェノール３２７．９ｇ（２．４ｍｏｌ）（関東化学株式会社製）及び１，３，５−ベンゼントリカルボアルデヒド１６．２ｇ（０．１ｍｏｌ）（Ｃｈｅｍ．Ｂｅｒ．，１９５４，８７，５４に従って合成）を混合し約８０℃に加熱して溶解した。これに、硫酸（関東化学株式会社製）０．２ｍｌ、３−メルカプトプロピオン酸（関東化学株式会社製）１．６ｍｌを加え、撹拌しながら反応した。液体クロマトグラフィーにより転化率が１００％になったのを確認後、トルエン（関東化学株式会社製）１００ｍｌを加えた。冷却し析出した固体を減圧濾過し、６０℃の温水で撹拌洗浄し、シリカゲルカラムクロマトグラフィーで精製し、下記化学式（ＸＩＶ）で示される目的生成物（ＸＩＶ）を得た。化合物の構造は元素分析及び1Ｈ−ＮＭＲ測定（４００ＭＨｚ、ｄ−ＤＭＳＯ、内部標準ＴＭＳ）で確認した。その結果を第１表及び第２表に示す。【０１２４】
【化２９】
0005504892.tif 000030
【０１２５】
【表１】
0005504892.tif 000031
【０１２６】
【表２】
0005504892.tif 000032
【０１２７】
合成実施例２Ｄ
０．６ｇ（０．９ｍｍｏｌ）の化合物１０８にＮ−メチル−２−ピロリドン５ｍｌを加えた溶液に、先の方法で合成したＴＣＤＣＭＥ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝０．５７）（０．４ｇ，１．８ｍｍｏｌ）、トリエチルアミン０．１８ｇをゆっくり滴下し８０℃で３時間攪拌した。反応液を多量の水に加え再沈殿を繰り返したところ、白色粉末が得られた。これを減圧乾燥し、下記化学式（ＸＶ）で示される目的混合物（ＸＶ）を０．５ｇ得た。混合物の構造は1Ｈ−ＮＭＲ測定（４００ＭＨｚ、ｄ−ＤＭＳＯ、内部標準ＴＭＳ）で確認した。【０１２８】
【化３０】
0005504892.tif 000033
【０１２９】
化学式（ＸＶ）中、Ｒ13は下記化学式で示されるｅｎｄｏ体及びｅｘｏ体の酸解離性官能基である。【０１３０】
【化３１】
0005504892.tif 000034
【０１３１】
合成実施例１Ｅ  ＴＣＤＭＭＭ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝０．５７）の合成
２００ｍｌ四つ口フラスコに三菱瓦斯化学製メタクリル酸（ＭＱ２５０ｐｐｍ添加品）３．８０ｇ、トルエン８０ｍｌを仕込み、冷却下、窒素雰囲気下にてトリエチルアミン４．８４ｇを滴下した。次に、合成実施例１Ａと同様にして合成したＴＣＤＣＭＥ７．９０ｇを滴下し、室温にて３時間攪拌した。反応液は蒸留水５０ｍｌで洗浄後、１０％ＮａＣｌ水溶液５０ｍｌで洗浄した。無水ＭｇＳＯ4で乾燥処理を行い、濾過後、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシルアミンアルミニウム塩２００ｐｐｍを添加後。減圧蒸留し純度９８％、収率９８％で、下記化学式で示されるＴＣＤＭＭＭ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝０．５７）が得られた。なお、ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比はガスクロマトグラフィーにより確認した。得られた生成物の重クロロホルム溶媒中での1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフト値（δｐｐｍ，ＴＭＳ基準）は１．０−２．３（ｍ，１５Ｈ）、１．９（ｓ，３Ｈ）、３．３−３．６（ｍ，２Ｈ）、５．３−５．６（ｍ，２Ｈ）、５．６（ｓ，１Ｈ）、６．２（ｓ，１Ｈ）であった。【０１３２】
【化３２】
0005504892.tif 000035
【０１３３】
合成実施例２Ｅ  ＴＣＤＭＭＭ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝３５）の合成
合成実施例１Ｅにおいて、ＴＣＤＣＭＥを合成実施例２Ａと同様にして合成したＴＣＤＣＭＥに代えた以外は合成実施例１Ｅと同様に合成した。その結果、目的物であるＴＣＤＭＭＭ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝３５）が純度９８％、収率９８％で得られた。なお、ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比はガスクロマトグラフィーにより確認した。得られた生成物の重クロロホルム溶媒中での1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフト値（δｐｐｍ，ＴＭＳ基準）は、上記のＴＣＤＭＭＭ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝０．５７）のものと同じであった。【０１３４】
合成実施例３Ｅ  ＴＣＤＭＭＡ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝０．５７）の合成
合成実施例１Ｅにおいて、メタクリル酸を三菱瓦斯化学製アクリル酸（ＭＱ２５０ｐｐｍ添加品）に代えた以外は合成実施例１Ｅと同様に合成した。その結果、下記化学式で示される目的物のＴＣＤＭＭＡ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝０．５７）が純度９８％、収率９８％で得られた。ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比はガスクロマトグラフィーにより確認した。得られた生成物の重クロロホルム溶媒中での1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフト値（δｐｐｍ，ＴＭＳ基準）は１．０−２．３（ｍ，１５Ｈ）、３．３−３．６（ｍ，２Ｈ）、５．３−５．６（ｍ，２Ｈ）、５．６（ｓ，１Ｈ）、６．１（ｍ，１Ｈ）、６．２（ｓ，１Ｈ）であった。【０１３５】
【化３３】
0005504892.tif 000036
【０１３６】
合成実施例４Ｅ  機能性樹脂の合成
３．０ｇのＴＣＤＭＭＭ（ｅｎｄｏ／ｅｘｏ比＝０．５７）とγ−ブチロラクトンメタクリル酸エステル２．０ｇ、ヒドロキシアダマンチルメタクリル酸エステル１.５ｇを４５ｍＬのテトラヒドロフランに溶解し、アゾビスイソブチロニトリル０．２０ｇを加えた。１２時間還流した後、反応溶液を２ｌのｎ−ヘプタンに滴下した。析出した樹脂を濾別、減圧乾燥を行い白色な粉体状の下記化学式ＸＩＶで示される機能性樹脂を得た。この樹脂の分子量（Ｍｗ）は１２４００、分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）は１．９６であった。また、13Ｃ−ＮＭＲを測定した結果、下記化学式（ＸＶＩ）中の組成比（モル比）はｌ：ｍ：ｎ＝４０：４０：２０であった。なお、下記化学式（ＸＶＩ）はブロック共重合体を示すものではなく、各構成単位の比率を示すためのものである。【０１３７】
【化３４】
0005504892.tif 000037
【０１３８】
合成比較例１Ｅ
合成実施例４Ｅにおいて、ＴＣＤＭＭＭを２−メチル−２−アダマンチルメタクリレートに代えた以外は合成実施例４Ｅと同様に合成し、下記化学式（ＸＶＩＩ）で示される樹脂を得た。この樹脂の分子量（Ｍｗ）は１３５００であり、分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）は２．３０であった。【０１３９】
【化３５】
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【０１４０】
合成実施例５Ｅ
機能性樹脂溶液をシリコンウェファー上に塗布し、１１０〜１３０℃で６０秒間ベークして膜厚１００ｎｍのフォトレジスト層を形成した。ここで、機能性樹脂溶液は上記化学式（ＸＶＩ）の化合物：５部、トリフェニルスルホニウムノナフルオロメタンスルホナート：１部、トリブチルアミン：０．１部、ＰＧＭＥＡ：９２部を配合し調整した。
次いで、電子線描画装置（エリオニクス社製；ＥＬＳ−７５００，５０ｋｅＶ）で露光し、１１５℃で９０秒間ベーク（ＰＥＢ）し、２．３８質量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）水溶液で６０秒間現像し、ポジ型のパターンを得た。結果を第３表に示す。【０１４１】
合成比較例２Ｅ
合成実施例５Ｅにおいて、機能性樹脂溶液における化学式（ＸＶＩ）の化合物を化学式（ＸＶＩＩ）の化合物に代えた以外は、合成実施例５Ｅと同様にして、樹脂溶液を調整し、フォトレジスト層を形成した。合成実施例５Ｅと同様に現像し、ポジ型のパターンを得た。結果を第３表に示す。【０１４２】
【表３】
0005504892.tif 000039
【産業上の利用可能性】
【０１４３】
本発明により、（１）フォトリソグラフィー分野におけるフォトレジスト用樹脂の改質剤やドライエッチング耐性向上剤、農医薬中間体、その他各種工業製品用などとして有用な新規なトリシクロデカン誘導体化合物である（モノハロゲン置換メチル）（トリシクロデシル基含有アルキル）エーテル類及びその製造方法、（２）架橋型樹脂、光ファイバーや光導波路、光ディスク基板、フォトレジストなどの光学材料及びその原料、医薬・農薬中間体、その他各種工業製品などとして有用な、トリシクロデカン誘導体化合物、及び（３）ＫｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦエキシマレーザー、Ｆ２エキシマレーザーあるいはＥＵＶに代表される遠紫外線に感応する化学増幅型レジストとして、パターン形状、ドライエッチング耐性、耐熱性等のレジストとしての基本物性を損なわずに、解像度やラインエッジラフネスの向上を達成しうるアルカリ現像性や基盤密着性に優れた機能性樹脂、機能性樹脂組成物及びその原料化合物、を提供することができる。