(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体管路に設けられ超音波信号を送受信する第１振動子及び第２振動子と、
前記流体管路に流れる被計測流体の温度を測定する温度測定手段と、
前記振動子を駆動し超音波信号の送受信の伝播時間を計時する伝播時間測定手段と、
前記温度測定手段と前記伝播時間測定手段の測定タイミングを制御する制御手段と、
前記伝播時間測定手段で測定された超音波信号の伝播時間から流量を演算する流量演算手段と、
前記伝播時間測定手段で計時された伝播時間から被計測流体温度を算出し、この算出した温度に基づいて、前記流量演算手段で算出された流量を所望の温度での流量に温度補正する流量補正手段と、
を備えた流量計測装置において、
前記流量補正手段は、被計測流体の温度−伝播時間特性が特定できるまでは、前記温度測定手段で計測した温度に基づいて被計測流体の温度を算出し、被計測流体の温度−伝播時間特性の特定以降は、前記伝播時間測定手段で計時された伝播時間に基づいて被計測流体の温度を算出すること、
を特徴とする流量計測装置。
【請求項２】
前記温度測定手段は、定期的に被計測流体の温度を測定すると共に、温度−伝播時間特性は、前記温度測定手段の測定毎に特定され更新される請求項１記載の流量計測装置。
【請求項３】
前記温度測定手段は、定期的に被計測流体の温度を測定すると共に、測定された被計測流体の温度が前回、温度−伝播時間特性を更新した時に測定した温度から所定値以上変化した場合、温度−伝播時間特性は、今回測定された温度に基づいて特定され更新される請求項１記載の流量計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は超音波を利用してガス、水などの流体の流れを計測する流量計測装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種の流体の流量計測装置は、図５に示すようなものが一般的であった（例えば、特許文献１−請求項１参照）。この装置は被計測流体の流れる流路１１に設置した第１超音波振動子１２および第２超音波振動子１３と、被計測流体の実温度を測定する温度測定手段１８と、第１超音波振動子１２、第２超音波振動子１３を駆動し超音波信号の送受信の伝播時間を計時する伝播時間測定手段１４と、伝播時間測定手段１４での測定タイミングを制御する制御手段１７と、伝播時間測定手段１４で測定された伝播時間から流量を演算する流量演算手段１５と、温度測定手段１８で測定された温度に従い算出された流量を所望の温度での流量に温度補正する流量補正手段１６から構成されている。
【０００３】
この装置において制御手段１７は測定タイミングになれば伝播時間測定手段１４を動作させる。伝播時間測定手段１４は、制御手段１７の指示に基き第１超音波振動子１２と第２超音波振動子１３を駆動して両超音波振動子間で送受信される超音波信号の伝播時間を測定する。流量演算手段１５は、伝播時間測定手段１４で測定された伝播時間から流路１１を流れる被計測流体の流速及び流量を算出する。温度測定手段１８は被計測流体の実温度を測定する。流量補正手段１６は、流量演算手段１５で算出された流量を温度測定手段１８で測定した実温度から所望の温度での流量に補正するものであった。
【０００４】
また、従来のこの種の流体の流量計測装置は、図６に示すようなものも一般的であった（例えば、特許文献１−請求項４参照）。この装置は被計測流体の流れる流路１１に設置した第１超音波振動子１２および第２超音波振動子１３と、第１超音波振動子１２、第２超音波振動子１３を駆動し超音波信号の送受信の伝播時間を計時する伝播時間測定手段１４と、伝播時間測定手段１４での測定タイミングを制御する制御手段１７と、伝播時間測定手段１４で測定された伝播時間から流量を演算する流量演算手段１５と、伝播時間測定手段１４で測定された伝播時間から算出した流体の温度に従い流量演算手段１５で算出された流量を補正する流量補正手段１６から構成されている。
【０００５】
この装置において制御手段１７は測定タイミングになれば伝播時間測定手段１４を動作させる。伝播時間測定手段１４は、制御手段１７の指示に基き第１超音波振動子１２と第２超音波振動子１３を駆動して両超音波振動子間で送受信される超音波信号の伝播時間を測定する。流量演算手段１５は、伝播時間測定手段１４で測定された伝播時間から被計測流体の流速及び流量を算出する。流量補正手段１６は、流量演算手段１５で算出された流量を伝播時間測定手段１４で測定した伝播時間から算出される被計測流体の温度に基づき所望の温度での流量に補正していた。
【０００６】
ここで、一般的に気体の音速Ｃと温度Ｔは一次式で近似することができる。すなわち
Ｃ＝Ａ×Ｔ＋Ｃ０    Ａ：温度係数    Ｃ０：その気体の０℃での音速
と表すことができる。
【０００７】
また、超音波信号の伝播時間ｔは第１超音波振動子１２と第２超音波振動子１３の間の距離Ｌを流体の音速で割った値になるので、
ｔ＝Ｌ／Ｃ＝Ｌ／（Ａ×Ｔ＋Ｃ０）
と表すことができる。
【０００８】
従って、
Ｔ＝（Ｌ／ｔ−Ｃ０）／Ａ
となり、流路を流れる被計測流体が予め判明している場合は音速の温度係数Ａと０℃での音速Ｃ０が定数になるので、流体の温度Ｔは伝播時間ｔから算出することができる。
【０００９】
このようにして超音波の伝播時間から流体の温度を算出することで所望の温度での流量に補正していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００１−２４１９８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、温度測定手段１８を用いた上記従来の流量計測装置では、一般的に温度測定手段１８にサーミスタを用いるがサーミスタに電源供給する必要があるため消費電力が大きくなる課題があった。
【００１２】
また、温度測定手段１８を用いず伝播時間から被計測流体の温度を算出する上記従来の流量計測装置では、低消費電力は実現できるが被計測流体を特定しておく必要があるという課題があった。
【００１３】
すなわち、従来の流量計測装置では、低消費電力化と復数種類の被計測流体への対応が両立できないという課題があった。
【００１４】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、複数種類の被計測流体に対し、計測した流量を所望の温度での流量に低消費電力で補正できる流量計測装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前記従来の課題を解決するために、本発明の流量計測装置は、流体管路に設けられ超音波信号を送受信する第１振動子及び第２振動子と、前記流体管路に流れる被計測流体の温度を測定する温度測定手段と、前記振動子を駆動し超音波信号の送受信の伝播時間を計時する伝播時間測定手段と、前記温度測定手段と前記伝播時間測定手段の測定タイミングを制御する制御手段と、前記伝播時間測定手段で測定された超音波信号の伝播時間から流量を演算する流量演算手段と、前記伝播時間測定手段で計時された伝播時間から被計測流体温度を算出し、この算出した温度に基づいて、前記流量演算手段で算出された流量を所望の温度での流量に温度補正する流量補正手段と、を備えた流量計測装置において、前記流量補正手段は、被計測流体の温度−伝播時間特性が特定できるまでは、前記温度測定手段で計測した温度に基づいて被計測流体の温度を算出し、被計測流体の温度−伝播時間特性の特定以降は、前記伝播時間測定手段で計時された伝播時間に基づいて被計測流体の温度を算出すること、を特徴とするものである。
【００１６】
そして、複数回の伝播時間と被計測流体の実温度の測定結果から被計測流体の温度−伝播時間特性（又は、温度−音速特性でもよい）を特定し、伝播時間から被計測流体の温度を算出し、所望の温度での流量に温度補正するものである。
【００１７】
これによって、最初、被計測流体の温度−伝播時間特性が特定できるまでは、温度測定手段で計測した温度に基いて所望の温度での流量に温度補正することになるが、被計測流
体の温度−伝播時間特性を特定した以後は、伝播時間から被計測流体の温度を算出できるので、低消費電力化が実現できる。
【００１８】
更に、予め設定された温度−伝播時間特性がなくとも、被計測流体に応じて温度−伝播時間特性を学習するので複数種類の被計測流体への対応ができ、複数種類の被計測流体に対し、低消費電力な温度補正が実現できる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の流量計測装置によれば、温度測定手段で測定された温度と伝播時間測定手段で測定された伝播時間で被計測流体の温度−伝播時間特性を特定し、伝播時間のみで被計測流体の温度を算出することができるので、低消費電力化が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施の形態１、２、３における流量計測装置の構成図
【図２】本発明の実施の形態１における流量計測装置の動作フロー図
【図３】本発明の実施の形態２における流量計測装置の動作フロー図
【図４】本発明の実施の形態３における流量計測装置の動作フロー図
【図５】従来の超音波流量計の構成図
【図６】従来の超音波流量計の構成図
【発明を実施するための形態】
【００２１】
第１の発明は、流体管路に設けられ超音波信号を送受信する第１振動子及び第２振動子と、前記流体管路に流れる被計測流体の温度を測定する温度測定手段と、前記振動子を駆動し超音波信号の送受信の伝播時間を計時する伝播時間測定手段と、前記温度測定手段と前記伝播時間測定手段の測定タイミングを制御する制御手段と、前記伝播時間測定手段で測定された超音波信号の伝播時間から流量を演算する流量演算手段と、前記伝播時間測定手段で計時された伝播時間から被計測流体温度を算出し、この算出した温度に基づいて、前記流量演算手段で算出された流量を所望の温度での流量に温度補正する流量補正手段と、を備えた流量計測装置において、前記流量補正手段は、被計測流体の温度−伝播時間特性が特定できるまでは、前記温度測定手段で計測した温度に基づいて被計測流体の温度を算出し、被計測流体の温度−伝播時間特性の特定以降は、前記伝播時間測定手段で計時された伝播時間に基づいて被計測流体の温度を算出すること、を特徴とするものである。
【００２２】
そして、最初、被計測流体の温度−伝播時間特性（又は、温度−音速特性でもよい）が特定できるまでは、温度測定手段で計測した温度に基づいて所望の温度での流量に温度補正することになるが、被計測流体の温度−伝播時間特性が特定した以後は、伝播時間だけから被計測流体の温度を算出することができるので、低消費電力化が実現できる。更に予め設定された温度−伝播時間特性がなくとも、被計測流体に応じて温度−伝播時間特性を学習するので複数種類の被計測流体への対応ができる。従って複数種類の被計測流体に対し、低消費電力な温度補正が実現できる。
【００２３】
第２の発明は、第１の発明において、前記温度測定手段は、定期的に被計測流体の温度を測定すると共に、温度−伝播時間特性は、前記温度測定手段の測定毎に特定され更新されるものである。そして、定期的に被計測流体の温度−伝播時間特性を再度特定して更新することができるので、第１の発明より高精度な流量の温度補正が実現できる。
【００２４】
第３の発明は、第１の発明において、前記温度測定手段は、定期的に被計測流体の温度を測定すると共に、測定された被計測流体の温度が前回、温度−伝播時間特性を更新した時に測定した温度から所定値以上変化した場合、温度−伝播時間特性は、今回測定された温度に基づいて特定され更新されるものである。そして、温度変化があったと判定した場
合は被計測流体の温度−伝播時間特性を再度特定して更新することができるので、第１の発明より高精度な流量の温度補正が実現できる。
【００２５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
【００２６】
（実施の形態１）
図１は、本発明の第１の実施の形態における流量計測装置の構成図を示すものである。図２は、本発明の第１の実施の形態における流量計測装置の動作フロー図である。
【００２７】
図１において、流路１の途中に超音波を送受信する第１超音波振動子２（第１振動子）と第２超音波振動子３（第２振動子）が配置されている。温度測定手段８は、制御手段７からの指示に従い、流路１を流れる被計測流体の温度を測定する（以降、温度測定手段８で測定された温度を実温度と称す）。伝播時間測定手段４は、制御手段７からの指示に従い、第１超音波振動子２と第２超音波振動子３を駆動して両超音波振動子間を送受信する超音波信号の伝播時間を計測する。
【００２８】
流量演算手段５は、伝播時間測定手段４で測定された超音波信号の伝播時間から流路１に流れる流量を演算する。流量補正手段６は、流量演算手段５で算出された流量を、温度測定手段８で測定された流体の実温度や、伝播時間測定手段４で計測された伝播時間から算出した被計測流体の温度から、所望の温度での流量に温度補正する。制御手段７は、伝播時間測定手段４へ流量計測の指示を出力すると共に、温度測定手段８に流体の実温度測定の指示を出力する。
【００２９】
以上のように構成された流量計測装置について以下その動作、作用を図２を用いて説明する。
【００３０】
まず、Ｓ００１で流量計測が開始される。Ｓ００２で流量を計測するタイミングになれば制御手段７は伝播時間測定手段４に流量計測の指示を出力する。伝播時間測定手段４はＳ００３で制御手段７からの指示によりオンし、Ｓ００４で第１超音波振動子２と第２超音波振動子３を駆動し、Ｓ００５で両超音波振動子間を送受信する超音波信号の伝播時間を測定し出力する。Ｓ００６で流量演算手段５は伝播時間測定手段４から出力された伝播時間に基いて流路１を流れる流量を演算し出力する。流量補正手段６はＳ００７で伝播時間測定手段４から出力された伝播時間から被計測流体の音速を算出する。
【００３１】
ここで、被計測流体の音速をｖ、伝播時間をｔ、第１超音波振動子２と第２超音波振動子３の間の距離をＬとすると、
ｖ＝Ｌ／ｔ
の式により被計測流体の音速を算出することができる。
【００３２】
そして、流量補正手段６はＳ００８で被計測流体の温度−伝播時間特性を既に算出して特定済か否かを判定する。特定済と判定した場合、流量補正手段６はＳ０１２で特定済の温度−伝播時間特性から被計測流体の温度を伝播時間から算出する。Ｓ００８で特定済で無いと判断した場合は、制御手段７はＳ００９で被計測流体の実温度を測定するよう温度測定手段８に指示し、温度測定手段８は被計測流体の実温度を測定し、測定結果を流量補正手段６に出力する。
【００３３】
そして、Ｓ０１０で被計測流体の実温度を測定したのが１回目か２回目かを判定する。２回目の場合はＳ０１１で２点の（温度，音速）や（温度，伝播時間）から被計測流体の温度−音速測定や温度−伝播時間特性を算出し特定する。そしてＳ０１２で特定済の温度
−伝播時間特性から被計測流体の温度を伝播時間より算出する。Ｓ０１０で１回目と判定した場合は、Ｓ０１３で測定した実温度を被計測流体の温度とする。そして、Ｓ０１４で流量補正手段６はＳ０１２で算出した温度又はＳ００９及びＳ０１３で実測した温度に基き、所望温度での流量に温度補正を行う。そしてＳ００２に戻り次回の計測タイミングになれば伝播時間を測定することを繰り返す。
【００３４】
以上のように、最初、被計測流体の温度−伝播時間特性（または、温度−音速特性）が特定できるまでは、温度測定手段８で計測した温度に基づいて所望の温度での流量に温度補正することになるが、被計測流体の温度−伝播時間特性（または、温度−音速特性）を特定した以後は、伝播時間測定手段４で計測された伝播時間だけから被計測流体の温度を算出することができるので、低消費電力化が実現できる。更に、被計測流体に応じて温度−伝播時間特性を特定し、更新することで複数種類の被計測流体への対応ができる。従って、複数種類の被計測流体に対し、低消費電力な温度補正が実現できる。
【００３５】
（実施の形態２）
図３は、本発明の第２の実施の形態における流量計測装置の動作フロー図を示すものである。本実施の形態における流量計測装置の構成図は図１と同じである。
【００３６】
図１において、実施の形態１とは制御手段７が温度測定手段８に流体の実温度を測定することを指示するタイミングが異なる。本実施の形態では、被計測流体の温度−音速特性や温度−伝播時間特性が特定できていない場合に、実流量を測定する指示を出力していた。しかしながら本実施の形態において実施の形態１の場合に加えて、前回被計測流体の実温度を測定してから所定の時間が経過したと判定した場合も実温度を測定する指示を出力する。即ち、温度測定手段８は定期的に被測定流体の実温度を測定する。
【００３７】
以上のように構成された超音波流量計について以下その動作、作用を図３を用いて説明する。
【００３８】
まず、Ｓ００１で流量計測が開始される。Ｓ００２で流量を計測するタイミングになれば制御手段７は伝播時間測定手段４に流量計測の指示を出力する。伝播時間測定手段４はＳ００３で制御手段７からの指示によりオンし、Ｓ００４で第１超音波振動子２と第２超音波振動子３を駆動し、Ｓ００５で両超音波振動子間を送受信する超音波信号の伝播時間を測定し出力する。Ｓ００６で流量演算手段５は伝播時間測定手段４から出力された伝播時間に基いて流路１を流れる流量を演算し出力する。流量補正手段６はＳ００７で伝播時間測定手段４から出力された伝播時間から被計測流体の音速を算出する。
【００３９】
ここで、被計測流体の音速をｖ、伝播時間をｔ、第１超音波振動子２と第２超音波振動子３の間の距離をＬとすると、
ｖ＝Ｌ／ｔ
により被計測流体の音速を算出することができる。
【００４０】
そして、流量補正手段６はＳ００８で被計測流体の温度−伝播時間特性を既に算出して特定済か否かを判定する。特定済と判定した場合、更にＳ０１５で前回被計測流体の実温度測定からある時間が経過したか否かを判定する。Ｓ０１５である時間がまだ経過していないと判定した場合、流量補正手段６はＳ０１２で既に特定済の温度−伝播時間特性から被計測流体の温度を伝播時間から算出する。Ｓ００８でまだ特定していないと判定した場合、又はＳ０１５である時間以上経過していると判定した場合は、制御手段７はＳ００９で被計測流体の実温度を測定するよう温度測定手段８に指示し、温度測定手段８は被計測流体の実温度を測定し、測定結果を流量補正手段６に出力する。
【００４１】
そして、Ｓ０１６で被計測流体の実温度を測定したのが２回以上あるか否かを判定する。２回目以上の場合はＳ０１７で２点以上の（温度，音速）や（温度，伝播時間）から被計測流体の温度−音速測定や温度−伝播時間特性を算出し特定する。既に特定済の温度−音速測定や温度−伝播時間特性があった場合は、新しく算出した温度−音速測定や温度−伝播時間特性に更新することで温度−音速測定や温度−伝播時間特性を補正していくことができる。
【００４２】
そして、Ｓ０１２で特定済の温度−伝播時間特性から被計測流体の温度を伝播時間から算出する。Ｓ０１６で２回未満と判定した場合は、Ｓ０１３で温度測定手段８で測定した実温度を被計測流体の温度とする。そしてＳ０１４で流量補正手段６はＳ０１２で算出した温度又はＳ００９及びＳ０１３で実測した温度に基き、所望温度での流量に温度補正を行う。そしてＳ００２に戻り次回の計測タイミングになれば伝播時間を測定することを繰り返す。
【００４３】
以上のように、最初、被計測流体の温度−伝播時間特性（または、温度−音速特性）が特定できるまでは、温度測定手段８で計測した温度に基いて所望の温度での流量に温度補正することになるが、被計測流体の温度−伝播時間特性（または、温度−音速特性）が特定した以後は、伝播時間だけから被計測流体の温度を算出することができるので、低消費電力化が実現できる。
【００４４】
更に、被計測流体に応じて温度−伝播時間特性（または、温度−音速特性）を学習するので複数種類の被計測流体への対応ができる。従って複数種類の被計測流体に対し、低消費電力な温度補正が実現できる。
【００４５】
また、前回の実温度測定から所定時間が経過した場合、温度測定手段８は被計測流体の実温度を再計測し、定期的に被計測流体の温度−伝播時間特性（または、温度−音速特性）を再度特定して、更新することができる。
【００４６】
（実施の形態３）
図４は、本発明の第３の実施の形態における流量計測装置の動作フロー図を示すものである。本実施の形態における流量計測装置の構成図は図１と同じとなる。
【００４７】
図１において、実施の形態１とは制御手段７が温度測定手段８に流体の実温度を測定することを指示するタイミングが異なる。実施の形態１では、被計測流体の温度−音速特性や温度−伝播時間特性が特定できていない場合に、実流量を測定する指示を出力していた。しかしながら、本実施の形態においては実施の形態１の場合に加えて、被計測流体の温度が前回実温度を測定してからある値以上変化したと判定した場合も実温度を測定する指示を出力する。
【００４８】
以上のように構成された超音波流量計について以下その動作、作用を図４を用いて説明する。
【００４９】
まず、Ｓ００１で流量計測が開始される。Ｓ００２で流量を計測するタイミングになれば制御手段７は伝播時間測定手段４に流量計測の指示を出力する。伝播時間測定手段４はＳ００３で制御手段７からの指示によりオンし、Ｓ００４で第１超音波振動子２と第２超音波振動子３を駆動し、Ｓ００５で両超音波振動子間を送受信する超音波信号の伝播時間を測定し出力する。Ｓ００６で流量演算手段５は伝播時間測定手段４から出力された伝播時間に基いて流路１を流れる流量を演算し出力する。流量補正手段６は、Ｓ００７で伝播時間測定手段４から出力された伝播時間から被計測流体の音速を算出する。
【００５０】
ここで、被計測流体の音速をｖ、伝播時間をｔ、第１超音波振動子２と第２超音波振動子３の間の距離をＬとすると、
ｖ＝Ｌ／ｔ
により被計測流体の音速を算出することができる。
【００５１】
そして、流量補正手段６はＳ００８で被計測流体の温度−伝播時間特性を既に算出して特定済か否かを判定する。特定済と判定した場合、Ｓ０１２で特定済の温度−伝播時間特性から被計測流体の温度を伝播時間から算出する。そしてＳ０１８で前回測定した被計測流体の実温度から温度変化がある値以上あるか否かを判定する。温度変化がある値未満と判定した場合は、Ｓ０１４に進む。Ｓ００８でまだ特定していないと判定した場合、又はＳ０１８で温度変化がある値以上あったと判定した場合は、制御手段７はＳ００９で被計測流体の実温度を測定するよう温度測定手段８に指示し、温度測定手段８は被計測流体の実温度を測定し、測定結果を流量補正手段６に出力する。
【００５２】
そして、Ｓ０１６で被計測流体の実温度を測定したのが２回以上あるか否かを判定する。２回目以上の場合はＳ０１７で２点以上の（温度，音速）や（温度，伝播時間）から被計測流体の温度−音速測定や温度−伝播時間特性を算出し特定する。既に特定済の温度−音速測定や温度−伝播時間特性があった場合は、新しく算出した温度−音速測定や温度−伝播時間特性に更新することで温度−音速測定や温度−伝播時間特性を補正していくことができる。そしてＳ０１９で特定済の温度−伝播時間特性から被計測流体の温度を伝播時間から算出する。Ｓ０１６で２回未満と判定した場合は、Ｓ０１３で温度測定手段８で測定した実温度を被計測流体の温度とする。
【００５３】
そして、Ｓ０１４で流量補正手段６はＳ０１２又はＳ０１９で算出した温度、又はＳ００９及びＳ０１３で実測した温度に基き、所望温度での流量に温度補正を行う。そしてＳ００２に戻り次回の計測タイミングになれば伝播時間を測定することを繰り返す。
【００５４】
以上のように、最初、被計測流体の温度−伝播時間特性（または、温度−音速特性）が特定できるまでは、温度測定手段８で計測した温度に基いて所望の温度での流量に温度補正することになるが、被計測流体の温度−伝播時間特性（または、温度−音速特性）が特定した以後は、伝播時間だけから被計測流体の温度を算出することができるので、低消費電力化が実現できる。更に被計測流体に応じて温度−伝播時間特性（または、温度−音速特性）を学習するので複数種類の被計測流体への対応ができる。従って複数種類の被計測流体に対し、低消費電力な温度補正が実現できる。
【００５５】
更に、被計測流体の温度が前回の計測した実温度からある値以上変化したと判定した場合に被計測流体の実温度を再計測し、被計測流体の温度−伝播時間特性（または、温度−音速特性）を再学習して補正することができるので、請求項１より高精度な流量の温度補正が実現できる。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
以上のように、本発明にかかる流量計測装置は、最初、被計測流体の温度−音速特性、又は温度−伝播時間特性が特定できるまでは、温度測定手段で計測した温度に基いて所望の温度での流量に温度補正することになるが、被計測流体の温度−音速特性、又は温度−伝播時間特性が特定した以後は、伝播時間だけから被計測流体の温度を算出することができるので、低消費電力化が実現できるので、非常に低消費電力で汎用性の高い流量計測装置を実現することが可能となり、流量測定基準器及びガスメーターや水道メーター等の用途にも適用できる。
【符号の説明】
【００５７】
１  流路
２  第１超音波振動子（第１振動子）
３  第２超音波振動子（第２振動子）
４  伝播時間測定手段
５  流量演算手段
６  流量補正手段
７  制御手段
８  温度測定手段
【図１】
0005454389.tif 000002
【図２】
0005454389.tif 000003
【図３】
0005454389.tif 000004
【図４】
0005454389.tif 000005
【図５】
0005454389.tif 000006
【図６】
0005454389.tif 000007