(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電セラミック材料の焼結体からなる圧電素体と、
前記圧電素体に配置されており、前記圧電素体に電界を印加するための第一及び第二電極と、を備え、
前記第一電極は、前記圧電素体と同時焼成により前記圧電素体内に形成されている第一内部電極と、前記圧電素体の外表面上に形成されている第一外部電極と、を有し、
前記第二電極は、前記第一内部電極と対向するように前記圧電素体の外表面上に形成されている第二外部電極を有し、
前記第一内部電極は、Ｐｔからなり、
前記第一及び第二外部電極は、Ｃｒからなり且つ真空成膜法により形成されている電極層を含み、
前記圧電素体が前記第一電極により受ける応力と、前記圧電素体が前記第二電極により受ける応力と、がアンバランスであり、前記圧電素体の分極方向を正の方向とするときに、負側の抗電界が正側の抗電界よりも大きいことを特徴とする圧電素子。
【請求項２】
前記第二電極は、前記第一内部電極及び前記第一外部電極と対向するように前記圧電素体と同時焼成により前記圧電素体内に形成されており、Ｐｔからなる第二内部電極を更に有していることを特徴とする請求項１に記載の圧電素子。
【請求項３】
前記圧電素体は、略直方体形状を呈すると共に、前記外表面として、前記圧電素体の長手方向で互いに対向する一対の端面と、一対の前記端面を連結するように一対の前記端面の対向方向に延び且つ互いに対向する一対の第一側面と、一対の前記端面を連結するように一対の前記端面の対向方向に延び且つ互いに対向する一対の第二側面と、を有し、
一対の前記端面の対向方向での前記第二内部電極の長さが、一対の前記端面の対向方向での前記第一内部電極の長さに比して短いことを特徴とする請求項２に記載の圧電素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子として、圧電セラミック材料の焼結体からなる圧電素体と、圧電素体に配置されており、圧電素体に電界を印加するための一対の電極と、を備えたものが知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２００８／０７８４８７号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
圧電素子は、正負の電界が印加されることにより、圧電素体を伸縮させて使用されることがある。たとえば、圧電素子は、ハードディスク装置（ＨＤＤ）ヘッドサスペンションに、ヘッドスライダ駆動用のアクチュエータとして搭載され、ヘッドスライダを微細に変位させる。正の電界を印加することにより圧電素体が伸び、負の電界を印加することにより圧電素体が縮み、この圧電素体の伸縮により、ヘッドスライダの変位を増大させることができる。
【０００５】
圧電素体に負の電界が印加される場合、すなわち、分極方向とは反対の方向に電界が印加される場合、印加される負の電界は、負側の抗電界を超えて大きくすることはできない。すなわち、負側の抗電界を超えて電界が印加されると、圧電素体での分極状態が維持されなくなり、分極劣化が生じる。分極劣化の発生を防ぐためには、負側の抗電界を超えない範囲で電界を印加せざるを得ず、圧電素体が縮む方向での変位量を大きくすることには限界があった。
【０００６】
本発明は、分極劣化の発生を防ぎつつ、圧電素体の変位量、特に、圧電素体が縮む方向での変位量を増大させることが可能な圧電素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、圧電素子であって、圧電セラミック材料の焼結体からなる圧電素体と、圧電素体に配置されており、圧電素体に電界を印加するための第一及び第二電極と、を備え、第一電極は、圧電素体と同時焼成により圧電素体内に形成されている第一内部電極と、圧電素体の外表面上に形成されている第一外部電極と、を有し、第二電極は、第一内部電極と対向するように圧電素体の外表面上に形成されている第二外部電極を有し、圧電素体が第一電極により受ける応力と、圧電素体が第二電極により受ける応力と、がアンバランスであり、圧電素体の分極方向を正の方向とするときに、負側の抗電界が正側の抗電界よりも大きいことを特徴とする。
【０００８】
本発明では、圧電素体が第一電極により受ける応力と、圧電素体が第二電極により受ける応力と、がアンバランスであるため、特に、圧電素体における第一内部電極近傍の領域と圧電素体における第二外部電極近傍の領域とで内部応力がアンバランスな状態となり、圧電素体の分極方向を正の方向とするときに、負側の抗電界が正側の抗電界よりも大きくなる。したがって、印加可能な負の電界の範囲が拡大し、分極劣化の発生を防ぎつつ、圧電素体が縮む方向での変位量を増大させることができる。
【０００９】
第一内部電極は、Ｐｔからなっていてもよく、第一及び第二外部電極は、Ｃｒを含んでいてもよい。この場合、圧電素体における第一内部電極近傍の領域は、Ｐｔからなる第一内部電極により引張力を受けると共に、圧電素体における第二外部電極近傍の領域は、Ｃｒを含む第二外部電極により圧縮力を受ける。したがって、圧電素体に生じる内部応力がアンバランスな状態となり、圧電素体の分極方向を正の方向とするときに、負側の抗電界が正側の抗電界よりも大きくされる。
【００１０】
第一及び第二外部電極は、Ｃｒからなり且つ真空成膜法により形成されている電極層を含んでいてもよい。この場合、圧電素体における第二外部電極近傍の領域が受ける圧縮力が大きくなり、圧電素体に生じる内部応力がより一層アンバランスな状態となる。これにより、負側の抗電界がより一層負側に移動し、印加可能な負の電界の範囲がより一層拡大する。
【００１１】
第二電極は、第一内部電極及び第一外部電極と対向するように圧電素体と同時焼成により圧電素体内に形成されており、Ｐｔからなる第二内部電極を更に有していてもよい。この場合でも、分極劣化の発生を防ぎつつ、圧電素体が縮む方向での変位量を増大させることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、分極劣化の発生を防ぎつつ、圧電素体の変位量、特に、圧電素体が縮む方向での変位量を増大させることが可能な圧電素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。
【図２】本実施形態に係る圧電素子の断面構成を説明する図である。
【図３】本実施形態に係る圧電素子の構成を模式的に示す図である。
【図４】電界と分極との関係を示す線図である。
【図５】本実施形態の変形例に係る圧電素子を示す斜視図である。
【図６】本実施形態の変形例に係る圧電素子の断面構成を説明する図である。
【図７】本実施形態の変形例に係る圧電素子の構成を模式的に示す図である。
【図８】本実施形態の変形例に係る圧電素子の断面構成を説明する図である。
【図９】本実施形態の変形例に係る圧電素子の断面構成を説明する図である。
【図１０】本実施形態の変形例に係る圧電素子の断面構成を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００１５】
まず、図１及び図２を参照して、本実施形態に係る圧電素子１の構成を説明する。図１は、本実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。図２は、本実施形態に係る圧電素子の断面構成を説明する図である。
【００１６】
圧電素子１は、図１及び図２に示されるように、圧電素体３と、第一内部電極５と、第一外部電極７と、第二外部電極９と、を備えている。圧電素子１は、例えば、ハードディスク装置などに適用される。すなわち、デュアル・アクチュエータ方式のハードディスク装置において、ボイスコイルモータ以外の第二のアクチュエータとして、圧電素子１が用いられる。
【００１７】
圧電素体３は、略直方体形状を呈している。圧電素体３は、外表面として、互いに対向する一対の端面３ａ，３ｂと、互いに対向する一対の第一側面３ｃ，３ｄと、互いに対向する一対の第二側面３ｅ，３ｆと、を有している。圧電素体３の長手方向は、一対の端面３ａ，３ｂの対向方向である。一対の第一側面３ｃ，３ｄは、一対の端面３ａ，３ｂを連結するように一対の端面３ａ，３ｂの対向方向に延びている。一対の第一側面３ｃ，３ｄは、一対の第二側面３ｅ，３ｆの対向方向にも延びている。一対の第二側面３ｅ，３ｆは、一対の端面３ａ，３ｂを連結するように一対の端面３ａ，３ｂの対向方向に延びている。一対の第二側面３ｅ，３ｆは、一対の第一側面３ｃ，３ｄの対向方向にも延びている。
【００１８】
圧電素体３は、圧電セラミック材料の焼結体からなる。圧電セラミック材料としては、ＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ、Ｌａ）（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ３］、又はチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）などが挙げられる。
【００１９】
圧電素体３は、一対の第一側面３ｃ，３ｄの対向方向に複数の圧電体層が積層されて構成されている。圧電素体３では、複数の圧電体層の積層方向（以下、単に「積層方向」と称する。）が一対の第一側面３ｃ，３ｄの対向方向と一致する。各圧電体層は、たとえば、上述した圧電セラミック材料を含むセラミックグリーンシートの焼結体から構成される。実際の圧電素体３では、各圧電体層は、各圧電体層の間の境界が視認できない程度に一体化されている。
【００２０】
第一内部電極５は、一対の第一側面３ｃ，３ｄの対向方向に直交するように、圧電素体３内に配置されている。第一内部電極５は、たとえば、平面視で、略矩形形状を呈している。第一内部電極５は、圧電素体３と同時焼成により圧電素体３内に形成されている。第一内部電極５は、Ｐｔからなる。第一内部電極５は、Ｐｔからなる粒子を含む導電性ペーストの焼結体として構成される。
【００２１】
第一内部電極５は、一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での一つの端が端面３ａに露出している。本実施形態では、第一内部電極５は、一対の第二側面３ｅ，３ｆの対向方向での両端がそれぞれ第二側面３ｅ，３ｆに露出している。第一内部電極５は、一対の端面３ａ，３ｂの対向方向でのもう一つの端が端面３ｂに露出していない。第一内部電極５の厚みは、たとえば、０．２〜３μｍに設定される。
【００２２】
第一外部電極７は、第一電極部分７ａと、第二電極部分７ｂと、を有している。第一電極部分７ａは、端面３ａに配置されている。第二電極部分７ｂは、第一側面３ｃに配置されている。第一電極部分７ａと第二電極部分７ｂとは、圧電素体３上に一体的に形成されている。第一電極部分７ａは、端面３ａに露出する第一内部電極５の端をすべて覆うように配置されている。第一内部電極５は、端面３ａにおいて、第一電極部分７ａに直接的に接続される。これにより、第一外部電極７は、第一内部電極５に電気的に接続される。
【００２３】
第二外部電極９は、第一電極部分９ａと、第二電極部分９ｂと、第三電極部分９ｃと、を有している。第一電極部分９ａは、端面３ｂに配置されている。第二電極部分９ｂは、第一側面３ｃに配置されている。第三電極部分９ｃは、第一側面３ｄに配置されている。第一電極部分９ａと第二電極部分９ｂと第三電極部分９ｃとは、圧電素体３上に一体的に形成されている。第一電極部分９ａは、端面３ｂ全体を覆うように配置されている。第二電極部分９ｂは、第一内部電極５と対向するように第一側面３ｃ上に形成されている。第三電極部分９ｃは、第一内部電極５と対向するように第一側面３ｄ上に形成されている。
【００２４】
第一内部電極５と第二電極部分９ｂとの間隔（一対の第一側面３ｃ，３ｄの対向方向での間隔）及び第一内部電極５と第三電極部分９ｃとの間隔（一対の第一側面３ｃ，３ｄの対向方向での間隔）は、たとえば、５〜１００μｍに設定される。一対の第二側面３ｅ，３ｆには、第一外部電極７と第二外部電極９とは形成されていない。
【００２５】
第一外部電極７と第二外部電極９とは、第一電極層１１、第二電極層１２、及び第三電極層１３をそれぞれ含んでいる。すなわち、電極部分７ａ，７ｂと電極部分９ａ，９ｂ，９ｃとが、第一電極層１１、第二電極層１２、及び第三電極層１３をそれぞれ含んでいる。
【００２６】
第一電極層１１は、圧電素体３上に形成されており、Ｃｒからなる。第二電極層１２は、第一電極層１１上に形成されており、Ｎｉ−Ｃｕ合金からなる。第三電極層１３は、第二電極層１２上に形成されており、Ａｕからなる。第一電極層１１、第二電極層１２、及び第三電極層１３は、真空成膜法（たとえば、スパッタリング法又は蒸着法など）により形成されている。第一電極層１１の厚みは、たとえば、２０〜２００ｎｍに設定される。第二電極層１２の厚みは、たとえば、２０〜５００ｎｍに設定される。第三電極層１３の厚みは、たとえば、２０〜５００ｎｍに設定される。
【００２７】
第一内部電極５と第一外部電極７とは、圧電素体３に電界を印加するための第一電極Ｅ１として機能する。第二外部電極９は、圧電素体３に電界を印加するための第二電極Ｅ２として機能する。すなわち、圧電素子１は、圧電素体３に電界を印加するための一対の電極を備えている。圧電素子１では、圧電素体３における、第二電極部分９ｂと第一内部電極５とで挟まれた領域、及び、第一内部電極５と第三電極部分９ｃとで挟まれた領域が、活性領域となり、印加された電界に応じて変位する。
【００２８】
圧電素子１は、図３に示されるように、圧電素体３と、圧電素体３を挟むように配置された第一及び第二電極Ｅ１，Ｅ２と、を備えるように構成された圧電素子として模式的に表すことができる。第一電極Ｅ１は、実際には、第一内部電極５と第一外部電極７とを含むものの、第一外部電極７の面積が第一内部電極５の面積に比して極めて小さいことから、図３では、第一電極Ｅ１は、第一内部電極５のみからなるとして図示している。図３は、圧電素体３が一層の圧電素体であると仮定して、本実施形態に係る圧電素子の構成を模式的に示す図である。
【００２９】
図３に示されるように、圧電素体３における第一電極Ｅ１（第一内部電極５）近傍の領域は、第一電極Ｅ１（第一内部電極５）により引張力Ｆ１を受ける。圧電素体３における第二電極Ｅ２（第二外部電極９）近傍の領域は、第二電極Ｅ２（第二外部電極９）により圧縮力Ｆ２を受ける。したがって、圧電素子１では、圧電素体３に生じる内部応力がアンバランスな状態となり、圧電素体３の分極方向を正の方向とするときに、負側の抗電界が正側の抗電界よりも大きくなる。
【００３０】
以上のことから、圧電素子１によれば、印加可能な負の電界の範囲が拡大し、分極劣化の発生を防ぎつつ、圧電素体３が縮む方向での変位量を増大させることができる。
【００３１】
第一外部電極７と第二外部電極９とは、Ｃｒからなり且つ真空成膜法により形成されている第一電極層１１を含んでいる。これにより、圧電素体３における第二電極Ｅ２（第二外部電極９）近傍の領域が受ける圧縮力が大きくなり、圧電素体３に生じる内部応力がより一層アンバランスな状態となる。したがって、圧電素子１においては、負側の抗電界がより一層負側に移動し、印加可能な負の電界の範囲がより一層拡大する。
【００３２】
第一内部電極５と第二電極部分９ｂとの間隔及び第一内部電極５と第三電極部分９ｃとの間隔が大きいと、圧電素体３に対する引張力Ｆ１及び圧縮力Ｆ２の影響が小さくなってしまう。このため、第一内部電極５と第二電極部分９ｂとの間隔及び第一内部電極５と第三電極部分９ｃとの間隔は、１００μｍ以下であることが好ましい。
【００３３】
ここで、本実施形態に係る圧電素子１において、圧電素体３の分極方向を正の方向とするときに、負側の抗電界が正側の抗電界よりも大きいことを確認するために行った試験、及び、試験結果について説明する。
【００３４】
まず、試験に用いる圧電素子を作製した。
【００３５】
Ｐｔを含む導電性ペーストにより電極パターンが形成された複数のセラミックグリーンシート及び電極パターンが形成されていないセラミックグリーンシートからなる積層体を焼成することにより、厚みが５０μｍである圧電基板を作製した後、圧電基板を短冊状に切断する。内部電極の厚みは、１μｍである。圧電セラミック材料として、ＰＺＴを用いた。
【００３６】
短冊状の圧電基板の各主面及び各端面に対し、スパッタリング法により、Ｃｒからなり且つ厚みが１００ｎｍである第一電極膜、Ｎｉ−Ｃｕ合金からなり且つ厚みが３００ｎｍである第二電極膜、Ａｕからなり且つ厚みが１００ｎｍである第三電極膜、を順に形成する。分極処理の後、圧電基板を、平面視で１．０ｍｍ×０．３ｍｍのサイズの個品に切断する。これにより、図１及び図２に示された構成を備える圧電素子が得られた。
【００３７】
次に、得られた圧電素子に交流電界（Ｖ［ｋＶ／ｍｍ］）を印加し、分極（Ｐ［μＣ／ｃｍ２］）を測定した。この測定は、室温（２５℃）で行った。測定結果を図４に示す。
【００３８】
図４から分かるように、図１及び図２に示された構成を備える圧電素子では、負側の抗電界（−ＥＣ）が正側の抗電界（ＥＣ）よりも大きい。
【００３９】
続いて、図５及び図６を参照して、本実施形態の変形例に係る圧電素子１の構成を説明する。図５は、本実施形態の変形例に係る圧電素子を示す斜視図である。図６は、本実施形態の変形例に係る圧電素子の断面構成を説明する図である。
【００４０】
圧電素子１は、図５及び図６に示されるように、圧電素体３と、第一内部電極５と、第二内部電極１５と、第一外部電極７と、第二外部電極９と、を備えている。変形例の圧電素子１は、第二内部電極１５を備えている点で、上述した実施形態の圧電素子１と相違している。
【００４１】
第二内部電極１５は、一対の第一側面３ｃ，３ｄの対向方向に直交するように、一対の第一側面３ｃ，３ｄの対向方向において第一内部電極５と異なる位置（層）に配置されている。すなわち、第一内部電極５と第二内部電極１５とは、圧電素体３内において、一対の第一側面３ｃ，３ｄの対向方向に間隔を有して対向するように配置されている。
【００４２】
第二内部電極１５は、たとえば、平面視で、略矩形形状を呈している。第二内部電極１５は、第一内部電極５と同じく、圧電素体３と同時焼成により圧電素体３内に形成されている。第二内部電極１５は、Ｐｔからなる。第二内部電極１５は、Ｐｔからなる粒子を含む導電性ペーストの焼結体として構成される。第二内部電極１５の厚みは、たとえば、０．２〜３．０μｍに設定される。
【００４３】
第二内部電極１５は、一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での一つの端が端面３ｂに露出している。第二内部電極１５は、第一内部電極５と同じく、一対の第二側面３ｅ，３ｆの対向方向での両端がそれぞれ第二側面３ｅ，３ｆに露出している。第二内部電極１５は、一対の端面３ａ，３ｂの対向方向でのもう一つの端が端面３ａに露出していない。一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での第二内部電極１５の長さは、一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での第一内部電極５の長さに比して短く設定されている。
【００４４】
第一外部電極７は、第一電極部分７ａと、第二電極部分７ｂと、第三電極部分７ｃと、を有している。第三電極部分７ｃは、第一側面３ｄに配置されている。第一電極部分７ａ、第二電極部分７ｂ、及び第三電極部分７ｃは、圧電素体３上に一体的に形成されている。第三電極部分７ｃは、第二内部電極１５と対向するように第一側面３ｄ上に形成されている。第二外部電極９は、第一電極部分９ａと、第二電極部分９ｂと、を有している。第二電極部分９ｂは、第一内部電極５と対向するように第一側面３ｃ上に形成されている。一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での第三電極部分７ｃの長さと、一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での第二電極部分９ｂの長さと、は同等に設定されている。
【００４５】
第一内部電極５及び第二内部電極１５、並びに、第一外部電極７及び第二外部電極９（特に、第三電極部分７ｃ及び第二電極部分９ｂ）の、一対の第二側面３ｅ，３ｆの対向方向での幅は、それぞれ同等に設定されている。本変形例においても、第一外部電極７と第二外部電極９とは、第一電極層１１、第二電極層１２、及び第三電極層１３をそれぞれ含んでする。すなわち、電極部分７ａ，７ｂ，７ｃと電極部分９ａ，９ｂとが、第一電極層１１、第二電極層１２、及び第三電極層１３をそれぞれ含んでいる。
【００４６】
第一内部電極５と第一外部電極７とは、圧電素体３に電界を印加するための第一電極Ｅ１として機能する。第二内部電極１５と第二外部電極９とは、圧電素体３に電界を印加するための第二電極Ｅ２として機能する。本変形例の圧電素子１では、圧電素体３における、第二電極部分９ｂと第一内部電極５とで挟まれた領域、第一内部電極５と第二内部電極１５とで挟まれた領域、及び、第二内部電極１５と第三電極部分７ｃとで挟まれた領域が、活性領域となり、印加された電界に応じて変位する。
【００４７】
本変形例の圧電素子１も、図７に示されるように、圧電素体３と、圧電素体３を挟むように配置された第一及び第二電極Ｅ１，Ｅ２と、を備えるように構成された圧電素子として模式的に表すことができる。図７は、圧電素体３が一層の圧電素体であると仮定して、本実施形態の変形例に係る圧電素子の構成を模式的に示す図である。
【００４８】
図７に示されるように、圧電素体３における第一及び第二内部電極５，１５近傍の領域は、第一及び第二内部電極５，１５により引張力Ｆ１を受ける。圧電素体３における第一及び第二外部電極７，９近傍の領域は、第一及び第二外部電極７，９により圧縮力Ｆ２を受ける。一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での第二内部電極１５の長さが、一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での第一内部電極５の長さに比して短い。これにより、圧電素体３における第二内部電極１５により引張力Ｆ１を受ける面積が、圧電素体３における第一内部電極５により引張力Ｆ１を受ける面積に比して小さい。したがって、本変形例でも、圧電素体３に生じる内部応力がアンバランスな状態となり、圧電素体３の分極方向を正の方向とするときに、負側の抗電界が正側の抗電界よりも大きくなる。
【００４９】
以上のことから、本変形例の圧電素子１によれば、印加可能な負の電界の範囲が拡大し、分極劣化の発生を防ぎつつ、圧電素体３が縮む方向での変位量を増大させることができる。
【００５０】
以上、本発明の好適な実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
【００５１】
上述した本変形例では、一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での第二内部電極１５の長さが、一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での第一内部電極５の長さに比して短く設定されているが、これに限られない。たとえば、図８に示されるように、一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での第一内部電極５の長さが、一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での第二内部電極１５の長さに比して短く設定されていてもよい。
【００５２】
一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での、第一内部電極５の長さと第二内部電極１５の長さとが同等に設定され、一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での第三電極部分７ｃの長さと一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での第二電極部分９ｂの長さとが異なるように設定されていてもよい。図９に示されるように、一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での第三電極部分７ｃの長さが、一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での第二電極部分９ｂの長さに比して短く設定されていてもよい。図１０に示されるように、一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での第二電極部分９ｂの長さが、一対の端面３ａ，３ｂの対向方向での第三電極部分７ｃの長さに比して短く設定されていてもよい。
【００５３】
第一及び第二内部電極５，１５のそれぞれの数は、上述された実施形態及び変形例で開示された数に限られない。たとえば、複数の第一及び第二内部電極５，１５が、一対の第一側面３ｃ，３ｄの対向方向で交互に位置するように、圧電素体３内に配置されていてもよい。
【符号の説明】
【００５４】
１…圧電素子、３…圧電素体、５…第一内部電極、７…第一外部電極、９…第二外部電極、１１…第一電極層、１２…第二電極層、１３…第三電極層、１５…第二内部電極、Ｅ１…第一電極、Ｅ２…第二電極。
【要約】
【課題】分極劣化の発生を防ぎつつ、圧電素体が縮む方向での変位量を増大させることが可能な圧電素子を提供すること。
【解決手段】圧電素子１は、圧電セラミック材料の焼結体からなる圧電素体３と、圧電素体３に配置されており、圧電素体３に電界を印加するための第一及び第二電極Ｅ１，Ｅ２と、を備えている。第一電極Ｅ１は、圧電素体３と同時焼成により圧電素体３内に形成されている第一内部電極５と、圧電素体３の外表面上に形成されている第一外部電極７と、を有している。第二電極Ｅ２は、第一内部電極５と対向するように圧電素体３の外表面上に形成されている第二外部電極９を有している。圧電素体３が第一電極Ｅ１により受ける応力と、圧電素体３が第二電極Ｅ２により受ける応力と、がアンバランスであり、圧電素体３の分極方向を正の方向とするときに、負側の抗電界が正側の抗電界よりも大きい。
【選択図】図２【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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