(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の表面に塗工材を塗工するロッドを有する塗工装置において、
前記ロッドの外周面に、前記塗工材を保持する傾斜溝を、前記ロッドの軸線方向の中央部から左右対称に傾斜し、且つ前記ロッドの軸線方向に沿った所定の単位長さ当たりの傾斜溝の断面積の合計が、前記軸線方向の中央部よりも端部側が小さくなるように形成すると共に、前記ロッドの軸線方向の中央部には、左右対称に傾斜した傾斜溝が交差する交差部を設けたことを特徴とする塗工装置。
【請求項２】
請求項１に記載する塗工装置において、
前記傾斜溝の深さが、前記ロッドの軸線方向の中央部よりも端部側が浅くなるように形成されていることを特徴とする塗工装置。
【請求項３】
請求項１に記載する塗工装置において、
前記傾斜溝のピッチが、前記ロッドの軸線方向の中央部よりも端部側が大きくなるように形成されていることを特徴とする塗工装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載する塗工装置を用いて前記基材に前記塗工材を塗工して電極を製造したことを特徴とする電極製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、電池の製造工程において電極を形成する基材の表面に塗工材を塗工するための塗工装置及び電極製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電動機を駆動源として搭載したハイブリッド車両や電気自動車等の電動車両が普及しつつある。こうした電動車両には、充電や放電を行うための二次電池が搭載されている。二次電池の電極には、アルミ箔（正極側）や銅箔（負極側）などの基材の表面に、ロッドコータにより塗工材（ペーストやバインダ等）を塗工したものが用いられている。
【０００３】
このようなロッドコータは、図６に示すように、所定の搬送ラインに沿って連続的に搬送されるウェブＷの表面にコーティング剤１００を過剰に塗布するためのアプリケーションローラ１１と、ウェブＷの表面に塗布されたコーティング剤１００の一部を掻き落としてその膜厚を一定にするための計量ロッド１７とを備えており、例えば、下記の特許文献１に示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１９２０５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来のロッドコータには、次のような問題があった。
すなわち、上記計量ロッド１７は、図７に示すように、芯金１０１に、線径が０.０５〜１.５ｍｍの範囲のワイヤ１０２を巻回した線巻ロッドであるため、計量ロッド１７の回転に伴って、螺旋状に巻回されたワイヤの外周面により形成される螺旋状の溝により、コーティング剤１００が計量ロッド１７の軸線方向に移動して上流側端部におけるコーティング剤１００の塗工膜の厚みが下流側端部に比べて厚くなる傾向があった。このように、塗工膜に基材幅方向の塗工ムラが生じ、塗工品質が低下していた。
【０００６】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、基材幅方向における塗工ムラの発生を防止して塗工品質を向上させることができる塗工装置及び電極製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の塗工装置は、次のような特徴を有している。
（１）基材の表面に塗工材を塗工するロッドを有する塗工装置において、前記ロッドの外周面に、前記塗工材を保持する傾斜溝を、前記ロッドの軸線方向の中央部から左右対称に傾斜し、且つ前記ロッドの軸線方向に沿った所定の単位長さ当たりの傾斜溝の断面積の合計が、前記軸線方向の中央部よりも端部側が小さくなるように形成すると共に、前記ロッドの軸線方向の中央部には、左右対称に傾斜した傾斜溝が交差する交差部を設けたことを特徴とする。
（２）（１）に記載する塗工装置において、前記傾斜溝の深さが、前記ロッドの軸線方向
の中央部よりも端部側が浅くなるように形成されていることを特徴とする。
（３）（１）に記載する塗工装置において、前記傾斜溝のピッチが、前記ロッドの軸線方
向の中央部よりも端部側が大きくなるように形成されていることを特徴とする。
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の電極製造方法は、次のような特徴を有している。
（４）（１）乃至（３）のいずれか１つに記載する塗工装置を用いて前記基材に前記塗工材を塗工して電極を製造したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
上記特徴を有する塗工装置は、次のような作用及び効果を奏する。
（１）基材の表面に塗工材を塗工するロッドを有する塗工装置において、前記ロッドの外周面に、前記塗工材を保持する傾斜溝を、ロッドの軸線方向に沿った所定の単位長さ当たりの傾斜溝の断面積の合計が、前記軸線方向の中央部よりも端部側が小さくなるように形成したので、基材幅方向の中央部と端部とで塗工膜を同じ厚みとすることができ、基材幅方向における塗工ムラの発生を防止して塗工品質を向上させることができるなど優れた効果を奏する。
また、前記傾斜溝が前記ロッドの軸線方向の中央部から左右対称に傾斜し、且つ前記ロッドの軸線方向に沿った所定の単位長さ当たりの前記傾斜溝の断面積の合計が、前記軸線方向の中央部よりも両端部側が小さくなるようにして形成されているので、ロッドの回転に伴って傾斜溝に案内されて塗工材が中央部から両端部側に向けて左右均等に流れ、それにより基材幅方向における塗工厚みの均一化をより一層図ることができる。
【００１１】
（２）（１）に記載する塗工装置において、前記傾斜溝の深さが、前記ロッドの軸線方向の中央部よりも端部側が浅くなるように形成されているので、一層基材幅方向における塗工ムラの発生を防止して塗工品質を向上させることができる。
（３）（１）に記載する塗工装置において、前記傾斜溝のピッチが、前記ロッドの軸線方向の中央部よりも端部側が大きくなるように形成されているので、一層基材幅方向における塗工ムラの発生を防止して塗工品質を向上させることができる。
【００１３】
上記特徴を有する電極製造方法は、次のような作用及び効果を奏する。
（４）（１）乃至（３）のいずれか１つに記載する塗工装置を用いて前記基材に前記塗工材を塗工して電極を製造したので、基材幅方向の中央部と両端部とで塗工膜を同じ厚みとすることができ、基材幅方向における塗工ムラのない基材を用いて高性能な電池を製造することができるなど優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施形態に係る塗工装置を示す全体構成図である。
【図２】図１に示す塗工装置の塗工部を基材搬送方向から見た図である。
【図３】（Ａ）は、図２におけるＡ部の拡大断面図であり、（Ｂ）は、図２におけるＢ部の拡大断面図である。
【図４】本実施形態に係る塗工装置（実施例１および実施例２）により塗工した結果を示す写真図である。
【図５】従来の塗工装置（比較例）により塗工した結果を示す写真図である。
【図６】従来例に係るロッドコータを示す全体構成図である。
【図７】従来例に係るロッドコータの計量ロッド付近を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係る塗工装置及び電極製造方法を具体化した実施形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。本実施形態の塗工装置は、電動車両に搭載するリチウムイオン二次電池の製造工程において、電極を形成する基材の表面に塗工材を塗工するためのものである。なお、以下の実施例において図は、適宜簡略化或いは変形誇張されて描画されており、各部の寸法比および形状等は必ずしも実施例と同一ではない。
【００１６】
＜塗工装置＞
まず、本実施形態に係る塗工装置の全体構成について、図１及び図２を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係る塗工装置を示す全体構成図である。図２は、図１に示す塗工装置の塗工部を基材搬送方向から見た図である。各図において、矢印Ｘは基材搬送方向を示し、矢印Ｙは基材幅方向を示す。
図において、塗工装置１０は、図１及び図２に示すように、基材１の塗工面１ａに塗工材２を塗工するロッドコータ２０と、ロッドコータ２０の上流側に配置されて基材１を塗工面１ａとは逆側から押圧する上流側押圧ローラ３０と、ロッドコータ２０の下流側に配置されて基材１を塗工面１ａとは逆側から押圧する下流側押圧ローラ４０と、上流側押圧ローラ３０と下流側押圧ローラ４０との間であってロッドコータ２０に対向する位置に配置され、基材１を塗工面１ａとは逆側からロッドコータ２０に向けて押圧するセンター押圧ローラ５０とを備えている。
本実施形態の基材１としては、アルミ箔や銅箔等の帯状金属箔が用いられている。また、塗工材２としては、ペーストやバインダ等の塗工液が用いられている。
【００１７】
前記ロッドコータ２０は、塗工材２を溜める液パン２１と、回転軸２２により回転可能に支持されたロッド２３とを備えている。ロッド２３の下部は、液パン２１内の塗工材２に浸っている。ロッド２３の基材幅方向Ｙ、すなわちロッド２３の軸線方向の長さＬ１は、基材１の幅方向よりも短く形成されている。また、ロッド２３の、基材幅方向Ｙの長さＬ１の外側における外周部には、それぞれ案内溝２４が形成され、その案内溝２４には、リング状のマスクテープ６０が嵌入されている。
【００１８】
ロッド２３の、基材幅方向Ｙの長さＬ１部分の外周面には、複数の螺旋状に延びる溝２５が所定間隔をおいて形成されている。この螺旋状の溝２５は、ロッド２３の基材幅方向Ｙ、すなわちロッド２３の軸線方向の中央部に設けられた交差部Ｃを挟んで左右に傾斜方向が異なるようにして形成されている。また、交差部Ｃにおいては、傾斜方向が異なる螺旋状の溝２５が交差するようにして形成されている。また、この螺旋状の溝２５の深さは、図３（Ａ）および（Ｂ）に示すように、ロッド２３の基材幅方向Ｙ、すなわちロッド２３の軸線方向の中央部付近Ａの部分に比べて両端部側部分Ｂの方が浅くなるように形成されており、つまり、溝２５の断面積Ｓは、ロッド２３の軸線方向の中央部付近Ａに比べて両端部側部分Ｂの方が小さくなるように形成されている。
したがって、ロッド２３の基材幅方向Ｙ、すなわちロッド２３の軸線方向に沿った所定の単位長さ内に位置する溝２５の断面積Ｓの合計は、ロッド２３の軸線方向の中央部付近Ａの断面積ＳＡの合計に比べて端部側部分Ｂの断面積ＳＢの合計の方が少なくなる。そして、断面積Ｓが少ない程、ロッド２３の外周面における塗工材２の保持量が少なくなる。
なお、溝２５の傾斜角度は、左右それぞれ１度〜５度の範囲の同じ角度に設定されている。
【００１９】
上流側押圧ローラ３０は、円柱形状をなしており、回転軸３１により回転可能に支持されている。下流側押圧ローラ４０は、円柱形状をなしており、回転軸４１により回転可能に支持されている。上流側押圧ローラ３０及び下流側押圧ローラ４０の両回転軸３１，４１は、ロッド２３の回転軸２２と平行であり、基材１への押圧力を変更すべく鉛直方向へ移動可能に設けられている。このとき、上流側押圧ローラ３０と下流側押圧ローラ４０とは、連結されて同時に鉛直方向へ移動するものであってもよく、それぞれが独立して鉛直方向へ移動するものであってもよい。
【００２０】
センター押圧ローラ５０は、円柱形状をなしており、回転軸５１により回転可能に支持されている。この回転軸５１は、ロッド２３の回転軸２２と平行に設けられており、ロッド２３の回転軸２２の鉛直方向上側に位置している。センター押圧ローラ５０の基材幅方向Ｙの長さＬ２は、基材１の幅方向と同程度かそれ以上の長さに形成されている。また、回転軸５１には、基材１を押圧するセンター押圧ローラ５０の押圧力を所定値に保つダンパ機構５５が設けられている。このダンパ機構５５は、例えば所定のバネ定数を有する弾性部材により構成されている。
【００２１】
次に、上記構成を有する塗工装置１０を使用して、基材の塗工面に塗工材を塗工する塗工工程について説明する。
本実施形態の塗工工程では、ロッドコータ２０の液パン２１に、塗工材２を供給しながら、図示しないモータによりロッド２３の回転軸２２を回転駆動する。このとき、ロッド２３の下部は、液パン２１内の塗工材２に浸っており、ロッド２３の溝２５内には、塗工材２が入り込んでいる。したがって、ロッド２３を回転させると、ロッド２３の下部では塗工材２を表面に付着させて巻き上げる。一方、ロッド２３の上部では、巻き上げた塗工材２によりロッド２３と基材１との間にビードＤを形成しながら、基材１の塗工面１ａに塗工材２を塗工する。
【００２２】
この際、ロッド２３は、ロッド２３の回転に伴って、塗工材２が溝２５に案内されてロッド２３の両端に向かって流れる方向に回転駆動される。つまり、ロッド２３の中央部が下流側、ロッド２３の両端側が上流側となる。
したがって、ロッド２３の外周面には、ロッド２３の基材幅方向Ｙ、すなわちロッド２３の軸線方向の中央に設けられた交差部Ｃを挟んで左右の傾斜方向が異なるようにして複数の螺旋状の溝２５が形成されているため、塗工材２は、ロッド２３の回転に伴って、螺旋状の溝２５に案内されて左右に分散されて流れ、つまり、ロッド２３の中央部から左右の端部に向かって流れ、その結果、基材幅方向Ｙの全幅にわたって均一に塗工材２を基材１の塗工面１ａに塗工することができる。
特に、本実施例においては、螺旋状の溝２５の深さが、図３（Ａ）および（Ｂ）に示すように、ロッド２３の基材幅方向Ｙ、すなわちロッド２３の軸線方向の中央部付近Ａの部分に比べて両端部側部分Ｂの方が浅くなるように形成されており、つまり、溝２５の断面積Ｓは、ロッド２３の軸線方向の中央部付近Ａの部分に比べて両端部部分Ｂの方が小さくなるように形成されているため、一層基材幅方向Ｙの全幅にわたって均一に塗工材２を基材１の塗工面１ａに塗工することができる。
【００２３】
また、上流側押圧ローラ３０、下流側押圧ローラ４０及びセンター押圧ローラ５０は、搬送される基材１をロッドコータ２０に向けて押圧している。ここで、センター押圧ローラ５０には、基材１を押圧する押圧力を所定値に保つダンパ機構５５が設けられている。これにより、センター押圧ローラ５０が基材１を押しすぎて塗工膜が薄くなったり、押圧力が弱すぎて塗工膜が厚くなることはない。ところで、搬送される基材１の水平方向となす角度αが１０°以上になると、ロッド２３と基材１との間に形成可能なビードＤのスペースを確保するのが困難になり、必要な厚さの塗工膜を形成できないおそれが生じてしまう。そこで、本実施形態では、ダンパ機構５５により、ロッドコータ２０のロッド２３とセンター押圧ローラ５０との間に搬送される基材１の水平方向となす角度αを、１０°以下に調整している。これにより、ロッド２３と基材１との間に必要量のビードＤを確実に形成して、必要な厚さの塗工膜を確実に形成できるようにしている。
【００２４】
＜実施例＞
本発明者等は、実験により、ロッド２３の軸線方向の中央に設けられた交差部Ｃを挟んで左右の傾斜方向が異なるようにして形成された螺旋状の溝２５、および螺旋状の溝２５の深さを中央部と端部とで異ならしたことによる塗工ムラの防止効果を確認した。具体的には、比較例に示す従来の塗工装置により得られる塗工膜と、下記の実施例１および実施例２により得られる塗工膜とに対して、分光エリプソメトリーにより膜厚のムラを観察した。この分光エリプソメトリーは、薄膜表面に光を入射して薄膜表面で反射させ、その入射光と反射光との偏光状態の変化から薄膜の膜厚を観察する方法である。なお、本実験では、乾燥工程を経た後の塗工膜の膜厚のムラを観察した。
【００２５】
＜実施例１＞
溝の加工条件
ロッドの直径：１０ｍｍ
ピッチ：０．０４ｍｍ
深さ：５μｍ
傾斜角度：左右２度  交差部Ｃの幅：２ｍｍ
幅制御方法：テフロン（登録商標）マスクテープ（厚さ：５０μｍ）
塗工材：ＳＢＲバインダ水溶液（濃度：６〜２０ｗｔ％）
基材の搬送速度：１０〜５０ｍ／ｍｉｎ
基材の搬送速度に対するロッドの外周速度：１．３倍
本実施例１においては、ロッド２３の外周面に、上記条件に従って、ロッド２３の軸線方向の中央に設けられた交差部Ｃを挟んで左右の傾斜方向が異なるようにして螺旋状の溝２５を形成し、このロッド２３を用いた塗工装置１０を使用して、基材１の塗工面１ａに上記塗工材２を塗工した。
＜実施例２＞
溝の加工条件
ロッドの直径：１０ｍｍ
ピッチ：０．０４ｍｍ
深さ：５μｍ（中央部）、３μｍ（上流側端部部分）
傾斜角度：左２度
幅制御方法：テフロン（登録商標）マスクテープ（厚さ：５０μｍ）
塗工材：ＳＢＲバインダ水溶液（濃度：６〜２０ｗｔ％）
基材の搬送速度：１０〜５０ｍ／ｍｉｎ
基材の搬送速度に対するロッドの外周速度：１．３倍
本実施例２においては、ロッド２３の外周面に、溝２５を、上記条件に従って、ロッド２３の全体に渡って左方向に傾斜し、且つロッド２３の軸線方向の中央部付近の部分に比べて上流側端部部分の方が浅くなるようにして形成し、このロッド２３を用いた塗工装置１０を使用して、基材１の塗工面１ａに上記塗工材２を塗工した。なお、ここで上流側端部部分とは、ロッド２３の回転に伴って、左方向に傾斜した螺旋状の溝２５により案内されて塗工材２が移動する際の上流側のロッド２３の端部である。
＜比較例＞
溝の加工条件
ロッドの直径：１０ｍｍ
ピッチ：０．０４ｍｍ
深さ：５μｍ
傾斜角度：左２度
幅制御方法：テフロン（登録商標）マスクテープ（厚さ：５０μｍ）
塗工材：ＳＢＲバインダ水溶液（濃度：６〜２０ｗｔ％）
基材の搬送速度：１０〜５０ｍ／ｍｉｎ
基材の搬送速度に対するロッドの外周速度：１．３倍
比較例においては、ロッド２３の外周面に、溝２５を、上記条件に従って、ロッド２３全体に渡って左方向に傾斜する形成し、このロッド２３を用いた塗工装置１０を使用して、基材１の塗工面１ａに上記塗工材２を塗工した。
【００２６】
この測定結果を図４および図５に示すが、実施例１および実施例２で塗工した塗工膜は、図４に示すように、基材幅方向Ｙの全幅にわたって均一に塗工材２を基材１の塗工面１ａに塗工することができた。
つまり、実施例１の、ロッド２３の外周面に、ロッド２３の軸線方向の中央に設けられた交差部Ｃを挟んで左右の傾斜方向が異なるようにして螺旋状の溝２５が形成されている場合、および実施例２の、ロッド２３の外周面に、溝２５を、上記条件に従って、ロッド２３の全体に渡って左方向に傾斜し、且つロッド２３の軸線方向の中央部付近の部分に比べて上流側端部部分の方が浅くなるようにして形成した場合の、いずれの場合においても、基材１の幅方向の中央部と両端部とで塗工膜を同じ厚みとすることができ、基材１の幅方向における塗工ムラの発生が防止しできて塗工品質が向上することなどが確認できた。
【００２７】
それに対して、比較例で塗工した塗工膜は、図５に示すように、塗工膜の一部にムラが発生し、基材幅方向Ｙの全幅にわたって均一に塗工材２を基材１の塗工面１ａに塗工することができなかった。
この実験結果から、本実施形態の塗工装置１０によれば、従来の塗工装置（比較例）に比べて、基材幅方向Ｙにおける塗工ムラの発生を効果的に防止でき、塗工品質を確実に向上させることができることが確認できた。
つまり、上述の本実施形態では、ロッド２３の外周面に、ロッド２３の軸線方向の中央に設けられた交差部Ｃを挟んで左右の傾斜方向が異なり、且つ、ロッド２３の軸線方向の中央部付近Ａの部分に比べて両端部部分Ｂの方が浅くなるようにして溝２５が形成されているため、基材１の幅方向の中央部と両端部とで塗工膜をより一層均一とすることができ、基材１の幅方向における塗工ムラの発生が完全に防止しできることが明かとなった。
【００２８】
特に、電池の製造工程では、結合層としてのバインダを塗工した後、活物質を含むペーストを塗工する２層塗工を行う場合がある。このような２層塗工では、バインダを薄膜で
均一に塗工する必要がある。こうした場合に、本実施形態の塗工方法を使用することで、バインダの薄膜塗工をムラ無く行うことが可能となる。こうした塗工ムラの無い二次電池は、電極表面において安定した反応性が得られ、安定した電池性能を発揮するものとなる。
なお、電池は、本実施形態の塗工工程を経た後、乾燥工程などの複数の製造工程を経てリチウム二次電池として組み立てられる。
【００２９】
以上、詳細に説明したように、本実施形態によれば、ロッド２３の軸線方向の中央に設けられた交差部Ｃを挟んで左右の傾斜方向が異なるようにして形成された螺旋状の溝２５けたため、基材幅方向Ｙの中央部と両端部とで塗工膜を同じ厚みとすることができ、基材幅方向Ｙにおける塗工ムラの発生を防止して塗工品質を向上させることができる。
【００３０】
また、本実施形態では、螺旋状の溝２５の深さを、ロッド２３の基材幅方向Ｙ、すなわちロッド２３の軸線方向の中央部付近Ａの部分に比べて端部側部分Ｂの方が浅くなるように形成されており、つまり、溝２５の断面積Ｓは、ロッド２３の軸線方向の中央部付近Ａの部分に比べて端部側部分Ｂの方が小さくなるように形成されているので、一層基材幅方向Ｙにおける塗工ムラの発生を防止して塗工品質を向上させることができる。
【００３１】
なお、上記した実施形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。
例えば、上述した実施形態では、ロッド２３は、その外周面に、ロッド２３の軸線方向の中央に設けられた交差部Ｃを挟んで左右の傾斜方向が異なり、且つ、ロッド２３の軸線方向の中央部付近Ａの部分に比べて端部側部分Ｂの方が浅くなるようにして溝２５が形成されていたが、これに限定されることなく、ロッド２３は、その外周面に、ロッド２３の軸線方向の中央に設けられた交差部Ｃを挟んで左右の傾斜方向が異なる同じ深さの溝２５が形成されていても差し支えないし、また、ロッド２３は、その外周面全体に、一方向に傾斜し、且つ溝２５の断面積が、ロッド２３の軸線方向の中央部付近Ａの部分に比べて上流側端部部分の方が小さくなるような溝２５が形成されていても差し支えない。
【００３２】
また、上述した実施形態では、螺旋状の溝２５は、ロッド２３の基材幅方向Ｙ、すなわちロッド２３の軸線方向の中央部付近Ａの部分に比べて端部側部分Ｂの方が浅くなるように形成、つまり、溝２５の断面積Ｓは、ロッド２３の軸線方向の中央部付近Ａの部分に比べて端部側部分Ｂの方が小さくなるように形成されているが、これに限定されることはない。たとえば、同じ断面積Ｓの溝２５を、ロッド２３の基材幅方向Ｙ、すなわちロッド２３の軸線方向の中央部付近Ａの部分のピッチに比べて端部側部分Ｂの方のピッチが大きくなるように形成しても差し支えない。この場合、ロッド２３の端部側部分Ｂの方が中央部付近Ａに比べて溝のピッチが大きいため、ロッドの軸線方向に沿った所定の単位長さ当たりの傾斜溝の断面積の合計が、前記軸線方向の中央部よりも端部側が小さくなり、溝２５の断面積Ｓを変えた前述の実施形態と同様の効果を期待することができる。
さらに、ロッド２３の基材幅方向Ｙ、すなわちロッド２３の軸線方向の中央部付近Ａの部分と端部側部分Ｂとで、溝の断面積とピッチの両方を変えても差し支えない。
【符号の説明】
【００３３】
１…基材
１ａ…塗工面
２…塗工材
１０…塗工装置
２０…ロッドコータ
２１…液パン
２２…回転軸
２３…ロッド
２５…溝
Ｘ…基材搬送方向
Ｙ…基材幅方向
【図１】
0005644737.tif 000002
【図２】
0005644737.tif 000003
【図３】
0005644737.tif 000004
【図６】
0005644737.tif 000005
【図７】
0005644737.tif 000006
【図４】
0005644737.tif 000007
【図５】
0005644737.tif 000008