(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光ビームを反射させる反射面を有する第１可動部の外側に第２可動部を設け、前記第１可動部と前記第２可動部とを弾性を有する第１梁により連結して前記第１可動部を前記第１梁の廻りに捩り振動可能に支持し、また、前記第２可動部の外側に第３可動部を設け、前記第２可動部と前記第３可動部とを弾性を有すると共に前記第１梁の長手方向に交差する第２梁により連結して前記第２可動部を前記第２梁の廻りに捩り振動可能に支持し、更に、前記第３可動部の外側に固定部を設け、前記第３可動部と前記固定部とを弾性を有すると共に前記第１梁及び前記第２梁の長手方向にそれぞれ交差する第３梁により連結して前記第３可動部を捩り振動可能に支持し、前記第３可動部を振動させて前記第１可動部と前記第２可動部とを共振させ前記光ビームを偏向する２次元光走査装置において、
前記第３可動部の可動電極と前記固定部の固定電極とを対向して配置し、
かつ、前記可動電極と前記固定電極との間に電圧を印加して前記可動電極と前記固定電極との間の静電気力により前記第３可動部を前記第３梁の廻りに振動させて前記第１可動部と前記第２可動部とを共振させる加振制御部を備え、
前記加振制御部は、前記第１可動部を前記第１梁の廻りに共振させる主走査駆動信号に、前記第２可動部を前記第２梁の廻りに共振させる副走査駆動信号を乗算した第１乗算駆動信号と、前記主走査駆動信号の位相を１８０度をずらした信号に前記副走査駆動信号の位相を１８０度ずらした信号を乗算した第２乗算駆動信号とを加算して、前記可動電極と前記固定電極との間に印加する駆動信号を生成することを特徴とする２次元光走査装置。
【請求項２】
更に、前記第３可動部の捩り角度位置を検出する位置検出部を設け、前記加振制御部は前記位置検出部により検出される前記第３可動部の捩り角度位置に基づいて、前記主走査駆動信号と前記副走査駆動信号とを調整することを特徴とする請求項１に記載の２次元光走査装置。
【請求項３】
前記位置検出部は前記第３可動部に設けた可動電極と前記固定部に設けた薄膜電極との間の静電容量の変化に基づいて前記第３可動部の捩り角度位置を検出することを特徴とする請求項２に記載の２次元光走査装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、共振揺動する可動部に設けた反射面により光源からの光ビームを主走査方向と副走査方向との２方向に偏向する２次元光走査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、共振揺動する可動部に設けた反射面により光源からの光ビームを偏向する２次元光走査装置として、例えば、特許文献１にあるように、反射面を設けた第１可動部の外側に第２可動部を設け、第１可動部と第２可動部とを第１梁により捩り振動可能に連結し、また、第２可動部の外側に第３可動部を設け、第２可動部と第３可動部とを第２梁により捩り振動可能に連結し、更に、第３可動部の外側に固定部を設け、第３可動部と固定部とを第３梁により捩り振動可能に連結した装置が知られている。この装置では、固定部に圧電素子を設け、圧電素子により第３可動部を第３梁の廻りに振動させて、反射面を設けた第１可動部を第１梁及び第２梁の廻りに共振させて、光ビームを主走査方向と副走査方向との２方向に偏向している。
【０００３】
また、特許文献２にあるように、反射面を設けた第１可動部の外側に第２可動部を設け、第１可動部と第２可動部とを第１梁により捩り振動可能に連結し、また、第２可動部の外側に固定部を設け、第２可動部と固定部とを第２梁により捩り振動可能に連結した装置が知られている。この装置では、第１可動部と第２可動部とに櫛歯電極を設け、また、第２可動部と固定部とに櫛歯電極を設けて、静電気力により第１可動部と第２可動部とをそれぞれ振動させて、光ビームを主走査方向と副走査方向との２方向に偏向している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１９９０９９号公報
【特許文献２】特開２００９−１８０８９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、こうした従来の特許文献１の装置では、圧電素子の剛性が高く、第３可動部を振動させる際に大きな振幅を付与し難く、変位が十分ではないため、低電圧で第１可動部や第２可動部の大きな２次元振幅を得ることが難しいという問題があった。
【０００６】
また、特許文献２の装置では、共振により第１可動部や第２可動部の角度振幅が大きくなると、対向する櫛歯電極同士の重なりが減少し、また、各櫛歯電極が対向する期間は周期運動の中の一瞬であり、静電気力により加振力を付与できる時間が短く、大きな振幅を得るのが難しいという問題があった。また電極と薄膜電極との間に電圧を印加しており、対向面積が狭いため静電気力が小さく、大きな加振力を得るのが難しいという問題もあった。
【０００７】
本発明の課題は、より大きな振幅が容易に得られる２次元光走査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
かかる課題を達成すべく、本発明は課題を解決するため次の手段を取った。即ち、
光源からの光ビームを反射させる反射面を有する第１可動部の外側に第２可動部を設け、前記第１可動部と前記第２可動部とを弾性を有する第１梁により連結して前記第１可動部を前記第１梁の廻りに捩り振動可能に支持し、また、前記第２可動部の外側に第３可動部を設け、前記第２可動部と前記第３可動部とを弾性を有すると共に前記第１梁の長手方向に交差する第２梁により連結して前記第２可動部を前記第２梁の廻りに捩り振動可能に支持し、更に、前記第３可動部の外側に固定部を設け、前記第３可動部と前記固定部とを弾性を有すると共に前記第１梁及び前記第２梁の長手方向にそれぞれ交差する第３梁により連結して前記第３可動部を捩り振動可能に支持し、前記第３可動部を振動させて前記第１可動部と前記第２可動部とを共振させ前記光ビームを偏向する２次元光走査装置において、
前記第３可動部の可動電極と前記固定部の固定電極とを対向して配置し、
かつ、前記可動電極と前記固定電極との間に電圧を印加して前記可動電極と前記固定電極との間の静電気力により前記第３可動部を前記第３梁の廻りに振動させて前記第１可動部と前記第２可動部とを共振させる加振制御部を備えたことを特徴とする２次元光走査装置がそれである。
【０００９】
前記加振制御部は、前記第１可動部を前記第１梁の廻りに共振させる主走査駆動信号と、前記第２可動部を前記第２梁の廻りに共振させる副走査駆動信号とに応じて、前記可動電極と前記固定電極との間に印加する駆動信号を生成する。その際、前記加振制御部は、前記主走査駆動信号に前記副走査駆動信号を乗算した第１乗算駆動信号と、前記主走査駆動信号の位相を１８０度をずらした信号に前記副走査駆動信号の位相を１８０度ずらした信号を乗算した第２乗算駆動信号とを加算して、前記駆動信号を生成する。
【００１０】
更に、前記第３可動部の捩り角度位置を検出する位置検出部を設け、前記加振制御部は前記位置検出部により検出される前記第３可動部の捩り角度位置に基づいて、前記主走査駆動信号と前記副走査駆動信号とを調整する。その際、前記位置検出部は前記第３可動部に設けた可動電極と前記固定部に設けた薄膜電極との間の静電容量の変化に基づいて前記第３可動部の捩り角度位置を検出する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の２次元光走査装置は、第３可動部を大きな振幅で振動させないので、第３可動部の振幅が最大の時でも可動電極と固定電極との重なりが大きく外れることを抑制でき、可動電極と固定電極との間に確実に静電気力が発生するので、第１可動部と第２可動部とをより大きな振幅で共振振動させることができると共に、対向した面積の大きい電極間による静電気力により第３可動部を振動させるので、より大きな振幅で振動させるのが容易であるという効果を奏する。
【００１２】
また、位置検出部を備えたものでは、駆動信号に位置検出部の検出する周波数成分を含まないようにすることができるので、駆動信号によるノイズが静電容量の変化に基づいて検出した捩り角度位置の信号に重畳しても、位置検出部で信号成分をノイズの影響を受けずに分離でき、駆動信号によるノイズの影響を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態としての２次元光走査装置の概略構成図である。
【図２】本実施形態のスキャナの概略拡大構成図である。
【図３】図２のａａ拡大断面図である。
【図４】図２のｂｂ拡大断面図である。
【図５】図２のｃｃ拡大断面図である。
【図６】本実施形態の駆動信号、主走査駆動信号、副走査駆動信号、主走査シフト駆動信号、副走査シフト駆動信号を示す説明図である。
【図７】本実施形態の第３可動部の振幅と駆動信号との関係を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下本発明を実施するための形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１に示すように、１はスキャナで、スキャナ１は半導体レーザ等の図示しない光源からの光ビームをスクリーンや検出するバーコード等に向けて反射する。スキャナ１は、本実施形態では、図２に示すように、光ビームを反射する反射面２が設けられた第１可動部４を備え、第１可動部４の外側には四角枠状の第２可動部６が設けられている。第１可動部４と第２可動部６とは一対の第１梁８，１０により連結されている。
【００１５】
一対の第１梁８，１０は弾性を有すると共に、一対の第１梁８，１０は同一直線上に配置されており、第１梁８，１０の長手方向の中心線上に第１可動部４の重心が配置されて、図２に矢印Ａで示すように、第１可動部４を第１梁８，１０の廻りに捩り振動可能に支持している。図２に矢印Ａで示すように、第１可動部４を一対の第１梁８，１０の廻りに捩り振動させて、反射面２により光ビームを反射して主走査方向（Ｘ方向）に偏向することができるように構成されている。
【００１６】
また、第２可動部６の外側には四角枠状の第３可動部１２が設けられている。第２可動部６と第３可動部１２とは一対の第２梁１４，１６により連結されている。一対の第２梁１４，１６は弾性を有すると共に、一対の第２梁１４，１６は同一直線上に配置されている。
【００１７】
第２梁１４，１６の長手方向と第１梁８，１０の長手方向とは交差して、本実施形態では直交して形成されており、第１梁８，１０の長手方向の中心線と第２梁１４，１６の長手方向の中心線との交点上に、第１可動部４の重心と第２可動部６の重心とが配置されて、図２に矢印Ｂで示すように、第２可動部６を第２梁１４，１６の廻りに捩り振動可能に支持している。
【００１８】
図２に矢印Ｂで示すように、第２可動部６を一対の第２梁１４，１６の廻りに捩り振動させて、反射面２により光ビームを反射して副走査方向（Ｙ方向）に偏向することができるように構成されている。
【００１９】
更に、第３可動部１２の外側には四角枠状の固定部１８が設けられている。第３可動部１２と固定部１８とは一対の第３梁２０，２２により連結されている。一対の第３梁２０，２２は弾性を有すると共に、一対の第３梁２０，２２は同一直線上に配置されている。第３梁２０，２２の長手方向と第１梁８，１０及び第２梁１４，１６の長手方向とはそれぞれ交差して、本実施形態ではそれぞれ４５度をなすように交差して形成されている。
【００２０】
また、第３梁２０，２２の長手方向の中心線は第１梁８，１０の長手方向の中心線と第２梁１４，１６の長手方向の中心線との交点を通るように配置されて、図２に矢印Ｃで示すように、第３可動部１２を第３梁２０，２２の廻りに捩り振動可能に支持している。尚、第１可動部４、第２可動部６、第３可動部１２、固定部１８は、同一平面上に設けられている。
【００２１】
第３可動部１２と固定部１８との間には、一対の櫛歯２４，２６が対向して設けられている。一対の櫛歯２４，２６は第３可動部１２から固定部１８に向かって、一対の第３梁２０，２２の長手方向と直交方向に突出された多数の矩形状の櫛歯部２８，３０を備えると共に、固定部１８から第３可動部１２に向かって、一対の第３梁２０，２２の長手方向と直交方向に突出された多数の矩形状の櫛歯部３２，３４を備えている。
【００２２】
第３可動部１２側の各櫛歯部２８，３０と固定部１８側の各櫛歯部３２，３４とは、隙間を空けて互い違いに、第３可動部１２側の各櫛歯部２８，３０と固定部１８側の各櫛歯部３２，３４とが互いに間に入り込むように配置されている。尚、各櫛歯部２８，３０，３２，３４は、第３可動部１２と固定部１８との同一平面上に対向して設けられている。
【００２３】
図３に示すように、第３可動部１２側の櫛歯部２８は一体の可動電極２８ａとして形成され、固定部１８側の櫛歯部３２は固定電極３６と絶縁膜３８と薄膜電極４０とが順に積層されて形成されている。
【００２４】
また、図４に示すように、第３可動部１２側の櫛歯部３０は一体の可動電極３０ａとして形成され、固定部１８側の櫛歯部３４は固定電極４２と絶縁膜４４と薄膜電極４６とが順に積層されて形成されている。
【００２５】
第３可動部１２側の櫛歯部２８，３０の可動電極２８ａ，３０ａと、固定部１８側の櫛歯部３２，３４の固定電極３６，４２との間に電圧を印加すると、静電気力により第３可動部１２側の櫛歯部２８，３０が固定部１８側の櫛歯部３２，３４の固定電極３６，４２に引き寄せられて、第３可動部１２が一対の第３梁２０，２２の廻りに図５の矢印（図２の矢印Ｃ）のように捩られる。
【００２６】
また、その際、第３可動部１２側の櫛歯部２８，３０の可動電極２８ａ，３０ａと第３可動部１２側の櫛歯部３２，３４の薄膜電極４０，４６との間の静電容量が変化し、静電容量の変化を検出することにより、第３可動部１２の第３梁２０，２２廻りの捩り角度位置を検出することができる。
【００２７】
図１、図３、図４に示すように、第３可動部１２側の櫛歯部２８，３０の可動電極２８ａ，３０ａと、固定部１８側の櫛歯部３２，３４の固定電極３６，４２とは、加振制御部５０の増幅器５２に接続されている。また、第３可動部１２側の櫛歯部２８，３０の可動電極２８ａ，３０ａと固定部１８側の櫛歯部３２，３４の薄膜電極４０，４６とは、位置検出部５４に接続されている。
【００２８】
加振制御部５０は、主走査駆動信号生成部５６と副走査駆動信号生成部５８とを備え、主走査駆動信号生成部５６は主走査周波数の主走査駆動信号Ｖａを第１乗算器６０に出力し、この主走査駆動信号Ｖａに対して位相を１８０度ずらした主走査シフト駆動信号Ｖｃを第２乗算器６２に出力する。
【００２９】
主走査駆動信号Ｖａは、第１可動部４を一対の第１梁８，１０の廻りに捩り振動させる際に、共振を生じさせる固有振動数に応じた主走査周波数ｆｘ（周期Ｔｘ）の信号であり、第１可動部４や第１梁８，１０の慣性モーメントやバネ定数により定まる。また、この主走査駆動信号Ｖａはデューティー比が０％を超え５０％を超えない信号として生成されている。デューティー比は、図６に示すように、ハイレベルの期間ＯＮとローレベルの期間ＯＦＦとの比（＝ＯＮ／（ＯＮ＋ＯＦＦ））である。主走査駆動信号Ｖａのデューティー比は、０％を超え５０％を超えない範囲で実験等により決定すればよい。尚、本実施形態では、デューティー比は２５％程度としている。
【００３０】
図５に示すように、第３可動部１２が一対の第３梁２０，２２の廻りに捩り振動した際、１周期（１往復の捩り振動）で、第３可動部１２側の櫛歯部２８，３０の可動電極２８ａ，３０ａは、固定部１８側の櫛歯部３２，３４の固定電極３６，４２を２回横切る。
【００３１】
静電気力により第３可動部１２側の櫛歯部２８，３０の可動電極２８ａ，３０ａを固定部１８側の櫛歯部３２，３４の固定電極３６，４２に引き寄せるように、電圧を印加する。よって、第３可動部１２の１周期（１往復の捩り振動）で、２回電圧を印加して、第３可動部１２を捩り振動させることができる。
【００３２】
デューティー比が５０％を超えない主走査駆動信号Ｖａと、この主走査駆動信号Ｖａの位相を１８０度ずらした主走査シフト駆動信号Ｖｃとを生成して、主走査駆動信号Ｖａと主走査シフト駆動信号Ｖｃとを後述するように加算して、共振周波数の２倍の周波数を有する信号を生成する。これにより、第３可動部１２の１周期（１往復の捩り振動）で、２回電圧を印加できる。
【００３３】
一方、副走査駆動信号生成部５８は副走査周波数の副走査駆動信号Ｖｂを第１乗算器６０に出力し、この副走査駆動信号Ｖｂに対して位相を１８０度ずらした副走査シフト駆動信号Ｖｄを第２乗算器６２に出力する。
【００３４】
副走査駆動信号Ｖｂは、第２可動部６を一対の第２梁１４，１６の廻りに捩り振動させる際に、共振を生じさせる固有振動数に応じた副走査周波数ｆｙ（周期Ｔｙ）の信号であり、第１可動部４と第２可動部６や第２梁１４，１６の慣性モーメントやバネ定数により定まる。また、本実施形態では、この副走査駆動信号Ｖｂはデューティー比を５０％の信号として生成されるが、これに限らず、実験等により決定すればよい。
【００３５】
前述した主走査駆動信号Ｖａ及び主走査シフト駆動信号Ｖｃと同様、固有振動数に応じた副走査周波数ｆｙで第３可動部１２を振動させる際、第３可動部１２の１周期（１往復の捩り振動）で、２回電圧を印加して、第３可動部１２を揺動させることができる。
【００３６】
第１乗算器６０は、主走査駆動信号生成部５６からの主走査駆動信号Ｖａと、副走査駆動信号生成部５８からの副走査駆動信号Ｖｂとを乗算して、第１乗算駆動信号Ｖ１を生成する。副走査駆動信号Ｖｂには予めバイアス電圧が付加されており、乗算することにより、主走査駆動信号Ｖａは副走査駆動信号Ｖｂの周期に応じてハイレベルとローレベルとの電圧になる。
【００３７】
第２乗算器６２は、主走査駆動信号生成部５６からの主走査シフト駆動信号Ｖｃと、副走査駆動信号生成部５８の副走査シフト駆動信号Ｖｄとを乗算して、第２乗算駆動信号Ｖ２を生成する。副走査シフト駆動信号Ｖｄには予めバイアス電圧が付加されており、乗算することにより、主走査シフト駆動信号Ｖｃは副走査シフト駆動信号Ｖｄの周期に応じてハイレベルとローレベルとの電圧になる。
【００３８】
第１乗算器６０からの第１乗算駆動信号Ｖ１と、第２乗算器６２からの第２乗算駆動信号Ｖ２とは加算器６４に入力され、両信号が加算されて、増幅器５２に出力され、増幅器５２で増幅されて、スキャナ１に出力される。第１乗算器６０からの第１乗算駆動信号Ｖ１と、第２乗算器６２からの第２乗算駆動信号Ｖ２とが加算されることにより、図６に示す駆動信号Ｖが生成されて、増幅器５２に出力される。
【００３９】
位置検出部５４は、第３可動部１２側の櫛歯部２８，３０の可動電極２８ａ，３０ａと固定部１８側の櫛歯部３２，３４の薄膜電極４０，４６との静電容量の変化に基づいて、第３可動部１２の捩り角度位置を検出する。その際、静電容量は、第３可動部１２の１往復の捩り振動で、１周期の変化を示す。
【００４０】
位置検出部５４により検出された捩り角度位置に基づいて、主走査振幅調整部６６は主走査駆動信号生成部５６からの主走査駆動信号Ｖａ及び主走査シフト駆動信号Ｖｃの振幅（電圧）を調整する。また、位置検出部５４により検出された捩り角度位置に基づいて、主走査位相調整部６８は主走査駆動信号生成部５６からの主走査駆動信号Ｖａ及び主走査シフト駆動信号Ｖｃの位相を調整する。
【００４１】
更に、位置検出部５４により検出された捩り角度位置に基づいて、副走査振幅調整部７０は副走査駆動信号生成部５８からの副走査駆動信号Ｖｂ及び副走査シフト駆動信号Ｖｄの振幅（電圧）を調整する。また、位置検出部５４により検出された捩り角度位置に基づいて、副走査位相調整部７２は副走査駆動信号生成部５８からの副走査駆動信号Ｖｂ及び副走査シフト駆動信号Ｖｄの位相を調整する。
【００４２】
次に、前述した本実施形態の２次元光走査装置の作動について説明する。
まず、図６に示すように、主走査駆動信号生成部５６は主走査周波数ｆｘ（周期Ｔｘ）の主走査駆動信号Ｖａを第１乗算器６０に出力し、主走査駆動信号Ｖａに対して位相が１８０度ずれた主走査シフト駆動信号Ｖｃを第２乗算器６２に出力する。副走査駆動信号生成部５８は副走査周波数ｆｙ（周期Ｔｘ）の副走査駆動信号Ｖｂを第１乗算器６０に出力し、副走査駆動信号Ｖｂに対して位相が１８０度ずれた副走査シフト駆動信号Ｖｄを第２乗算器６２に出力する。
【００４３】
第１乗算器６０は、主走査駆動信号生成部５６からの主走査駆動信号Ｖａと、副走査駆動信号生成部５８からの副走査駆動信号Ｖｂとを乗算して生成した第１乗算駆動信号Ｖ１を加算器６４に出力する。第２乗算器６２は、主走査駆動信号生成部５６からの主走査シフト駆動信号Ｖｃと、副走査駆動信号生成部５８からの副走査シフト駆動信号Ｖｄとを乗算して生成した第２乗算駆動信号Ｖ２を加算器６４に出力する。
【００４４】
加算器６４は第１乗算駆動信号Ｖ１と第２乗算駆動信号Ｖ２とを加算して生成した駆動信号Ｖを増幅器５２に出力し、増幅器５２はこの駆動信号Ｖを増幅して、第３可動部１２側の櫛歯部２８，３０の可動電極２８ａ，３０ａと固定部１８側の櫛歯部３２，３４の固定電極３６，４２との間に印加する。これらの可動電極２８ａ，３０ａと固定電極３６，４２との対向面積は広いため、大きい静電気力を発生できる。
【００４５】
これにより、図７に示すように、第１乗算駆動信号Ｖ１と第２乗算駆動信号Ｖ２とが加算された駆動信号Ｖが第３可動部１２側の櫛歯部２８，３０の可動電極２８ａ，３０ａと固定部１８側の櫛歯部３２，３４の固定電極３６，４２との間に印加され、第３可動部１２が第３梁２０，２２の廻りに捩り振動する。
【００４６】
第３可動部１２の捩り振動の成分には、主走査周波数ｆｘと副走査周波数ｆｙとの成分が含まれているので、主走査周波数ｆｘの振動成分により、第１可動部４が共振して、第１可動部４が一対の第１梁８，１０の廻りに大きな振幅で捩り振動する。これにより、反射面２に照射された光ビームは主走査方向に偏向される。
【００４７】
また、副走査周波数ｆｙの振動成分により、第２可動部６が共振して、第２可動部６が一対の第２梁１４，１６の廻りに大きな振幅で捩り振動する。これにより、反射面２に照射された光ビームは副走査方向に偏向される。
【００４８】
第３可動部１２は、図５に示すように、第３梁２０，２２の廻りに捩り振動するが、その捩り振動の振幅（捩り角度）は小さく、第３可動部１２側の櫛歯部２８，３０の可動電極２８ａ，３０ａと固定部１８側の櫛歯部３２，３４の固定電極３６，４２との重なりは大きく外れない。
【００４９】
可動電極２８ａ，３０ａと固定電極３６，４２とに電圧を印加すると、可動電極２８ａ，３０ａと固定電極３６，４２との間に電圧の大きさに応じた静電気力が発生し、可動電極２８ａ，３０ａが固定電極３６，４２に引き寄せられる。
【００５０】
第３可動部１２の最大の振幅（最大の捩り角度）時でも、可動電極２８ａ，３０ａと固定電極３６，４２との重なりが確保され、静電気力による捩りトルクが確実に発生する。例えば、可動電極２８ａ，３０ａと固定電極３６，４２との重なりが外れた状態では、可動電極２８ａ，３０ａと固定電極３６，４２とに電圧が印加されても、静電気力が発生せず、捩りトルクが生じないので、大きな振幅を得ることはできない。
【００５１】
駆動信号Ｖの電圧を大きくして静電気力を大きくし、これにより第３可動部１２の振幅（捩り角度）が大きくなっても、第３可動部１２側の櫛歯部２８，３０の可動電極２８ａ，３０ａと固定部１８側の櫛歯部３２，３４の固定電極３６，４２との重なりが確保される。よって、第３可動部１２を大きな静電気力で大きな振幅で振動させて、第１可動部４と第２可動部６とを大きな振幅で共振振動させることができる。
【００５２】
また、可動電極２８ａ，３０ａと固定電極３６，４２との静電気力により第３可動部１２を捩り振動させるので、第３可動部１２をより大きな振幅（捩り角度）で捩り振動させるのが容易である。
【００５３】
一方、位置検出部５４が、第３可動部１２側の櫛歯部２８，３０の可動電極２８ａ，３０ａと固定部１８側の櫛歯部３２，３４の薄膜電極４０，４６との静電容量の変化に基づいて、第３可動部１２の捩り角度位置を検出する。第３可動部１２の捩り振動には、主走査周波数ｆｘと副走査周波数ｆｙとの成分が含まれており、図７に実線で示すように、第３可動部１２は主走査周波数ｆｘで振動すると共に、副走査周波数ｆｙでうねるような振動（図７に破線で示す振動成分）をする。
【００５４】
位置検出部５４は、検出した静電容量の変化に基づいて検出した捩り角度位置の信号から、フィルタリング処理により主走査周波数ｆｘと副走査周波数ｆｙとの成分に分離する。主走査周波数ｆｘの成分は第１可動部４の捩り角度位置に対応しており、これに基づいて、主走査振幅調整部６６が主走査駆動信号Ｖａと主走査シフト駆動信号Ｖｃとの振幅を調整する。また、主走査位相調整部６８が主走査駆動信号Ｖａと主走査シフト駆動信号Ｖｃとの位相を調整する。これにより、第１可動部４の振幅や位相タイミングが調整される。
【００５５】
副走査周波数ｆｙの成分は第２可動部６の捩り角度位置に対応しており、これに基づいて、副走査振幅調整部７０が副走査駆動信号Ｖｂと副走査シフト駆動信号Ｖｄとの振幅を調整する。また、副走査位相調整部７２が副走査駆動信号Ｖｂと副走査シフト駆動信号Ｖｄとの位相を調整する。これにより、第２可動部６の振幅や位相タイミングが調整される。
【００５６】
位置検出部５４は主走査周波数ｆｘと副走査周波数ｆｙとの成分を検出し、主走査周波数ｆｘは第１可動部４の共振周波数に、副走査周波数ｆｙは第２可動部６の共振周波数に対応している。これに対し、生成された駆動信号Ｖは主走査周波数ｆｘと副走査周波数ｆｙとの成分を含まないため、駆動信号Ｖによるノイズが静電容量の変化に基づいて検出した捩り角度位置の信号に重畳しても、位置検出部５４でフィルタリング処理により主走査周波数ｆｘと副走査周波数ｆｙとの信号成分はノイズの影響を受けずに分離できるので駆動信号Ｖによるノイズの影響を抑制できる。
【００５７】
以上本発明はこの様な実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々なる態様で実施し得る。
【符号の説明】
【００５８】
１…スキャナ      ２…反射面
４…第１可動部    ６…第２可動部
８，１０…第１梁  １２…第３可動部
１４，１６…第２梁    １８…固定部
２０，２２…第３梁    ２４，２６…櫛歯
２８，３０，３２，３４…櫛歯部  ２８ａ，３０ａ…可動電極
３６，４２…固定電極    ３８，４４…絶縁膜
４０，４６…薄膜電極    ５０…加振制御部
５２…増幅器      ５４…位置検出部
５６…主走査駆動信号生成部      ５８…副走査駆動信号生成部
６０…第１乗算器    ６２…第２乗算器
６４…加算器        ６６…主走査振幅調整部
６８…主走査位相調整部    ７０…副走査振幅調整部
７２…副走査位相調整部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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