(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行部と、物品を昇降させる昇降装置と、側方移動機構とから成る天井走行車であって、  前記側方移動機構は、前記走行部に支持されたベース部と、前記昇降装置を支持する移動部とを備え、前記ベース部は、走行部の側方へ突き出した状態と走行部の下部に後退させた状態との間で、前記移動部を移動させ、
前記移動部が前記走行部の下部に後退した状態で、前記移動部もしくは前記昇降装置と、前記ベース部もしくは前記走行部、とを係合する係合装置を備えていることを特徴とする、天井走行車。
【請求項２】
前記移動部もしくは前記昇降装置は係合用の孔を備えた部材を有し、
前記係合装置は、前記孔に係合した状態と係合を解除した状態との間で出退する少なくとも１個のピンと、前記少なくとも１個のピンの出退機構とを備えていることを特徴とする、請求項１に記載の天井走行車。
【請求項３】
前記移動部は前記昇降装置を支持するトップ部と、前記ベース部と前記トップ部との中間のミドル部とから成り、
前記トップ部と前記ミドル部は各々、係合用の孔を備えた前記部材を有し、
前記係合装置は、前記少なくとも１個のピンを、前記トップ部と前記ミドル部の各々の係合用の孔に係合すると共に係合を解除することを特徴とする、請求項２に記載の天井走行車。
【請求項４】
前記係合装置は、前記少なくとも１個のピンを、前記トップ部と前記ミドル部の各々の係合用の孔に１ストロークで係合すると共に、１ストロークで係合を解除するように出退させることを特徴とする、請求項３に記載の天井走行車。
【請求項５】
前記少なくとも１個のピンは平面視での位置が異なる２個のピンから成り、前記トップ部と前記ミドル部とで、前記係合用の孔の平面視での位置が異なることを特徴とする、請求項４に記載の天井走行車。
【請求項６】
走行部と、物品を昇降させる昇降装置と、前記走行部に支持されたベース部と、前記昇降装置を支持しながら側方へ移動する移動部とを備えた側方移動機構、とから成る天井走行車からの飛び出しを防止する方法であって、
前記移動部を、走行部の側方へ突き出した状態と走行部の下部に後退させた状態との間で、移動させるためのステップと、
前記移動部が前記走行部の下部に後退した状態で、前記移動部もしくは前記昇降装置と、前記ベース部もしくは前記走行部、とを係合するためのステップ、とを実行することを特徴とする、天井走行車からの飛び出し防止方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は天井走行車から移載装置が不用意に飛び出すことを防止することに関する。
【背景技術】
【０００２】
出願人は、天井走行車に側方移動機構を設けて、物品を昇降させる昇降装置を側方へ移動させることを提案した（特許文献１：JP2008-127200A）。側方移動機構は例えばベルト駆動のスライドフォークからなり、仮にベルトが切断されると、スライドフォークの移動部が不用意に飛び出し、対向する天井走行車、あるいは周囲のバッファの支柱などと干渉するおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】JP2008-127200A
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この発明の課題は、側方移動機構に故障が発生しても、移動部が不用意に飛び出さないようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明は、走行部と、物品を昇降させる昇降装置と、側方移動機構とから成る天井走行車であって、
前記側方移動機構は、前記走行部に支持されたベース部と、前記昇降装置を支持する移動部とを備え、前記ベース部は、走行部の側方へ突き出した状態と走行部の下部に後退させた状態との間で、前記移動部を移動させ、
前記移動部が前記走行部の下部に後退した状態で、前記移動部もしくは前記昇降装置と、前記ベース部もしくは前記走行部、とを係合する係合装置を備えていることを特徴とする。
【０００６】
この発明はまた、走行部と、物品を昇降させる昇降装置と、前記走行部に支持されたベース部と、前記昇降装置を支持しながら側方へ移動する移動部とを備えた側方移動機構、とから成る天井走行車からの飛び出しを防止する方法であって、
前記移動部を、走行部の側方へ突き出した状態と走行部の下部に後退させた状態との間で、移動させるためのステップと、
前記移動部が前記走行部の下部に後退した状態で、前記移動部もしくは前記昇降装置と、前記ベース部もしくは前記走行部、とを係合するためのステップ、とを実行することを特徴とする。
【０００７】
この発明では、移動部もしくは昇降装置と、ベース部もしくは走行部とを係合するので、不用意に移動部あるいは昇降装置が飛び出すことはない。実施例では、移動部をベース部に係合する例を示すが、移動部を走行部に係合しても良く、また昇降部をベース部に係合しても良い。
【０００８】
好ましくは、前記移動部もしくは前記昇降装置は係合用の孔を備えた部材を有し、前記係合装置は、前記孔に係合した状態と係合を解除した状態との間で出退する少なくとも１個のピンと、前記少なくとも１個のピンの出退機構とを備えている。このようにすると、ピンの出退により簡単に係合とその解除とができる。なお係合用の孔を備えた部材は、例えば移動部自体としても、移動部に設けた別の部材としても良い。【０００９】
好ましくは、前記移動部は前記昇降装置を支持するトップ部と、前記ベース部と前記トップ部との中間のミドル部とから成り、前記トップ部と前記ミドル部は各々、係合用の孔を備えた前記部材を有し、前記係合装置は、前記少なくとも１個のピンを、前記トップ部と前記ミドル部の各々の係合用の孔に係合すると共に係合を解除する。このようにすると、トップ部とミドル部とを各々係合して固定できる。特にミドル部を駆動するベルト等の部材と、トップ部を駆動するベルト等の部材が別の部材である場合、ミドル部のみあるいはトップ部のみを係合しても、他方の部材が飛び出すことが考えれられる。これに対してトップ部とミドル部の双方を係合すると、いずれの部材も不用意に飛び出すことがない。【００１０】
より好ましくは、前記係合装置は、前記少なくとも１個のピンを、前記トップ部と前記ミドル部の各々の係合用の孔に１ストロークで係合すると共に、１ストロークで係合を解除するように出退させる。１ストロークで係合し１ストロークで係合を解除すると、係合及びその解除の中間の制御が不要で、制御の信頼性が増す。また１ストロークで係合とその解除とを行うと、高速で係合とその解除とができる。【００１１】
特に好ましくは、前記少なくとも１個のピンは平面視での位置が異なる２個のピンから成り、前記トップ部と前記ミドル部とで、前記係合用の孔の平面視での位置が異なる。このようにすると２個の孔を平面視で重ねて、１個のピンを長いストロークで昇降させる場合に比べ、短いストロークで確実にピンを昇降させることができる。  
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施例の天井走行車と周囲の走行レール及びバッファを示す正面図
【図２】実施例の天井走行車での側方移動機構の要部平面図
【図３】実施例の天井走行車で、側方移動機構と要部と係合装置とを示す側面図
【図４】図３のIII−III方向水平断面図
【図５】変形例での係合装置と側方移動機構の要部を示す側面図
【図６】変形例での係合装置と側方移動機構の要部を示す平面図
【図７】第２の変形例での係合装置と側方移動機構の要部を示す側面図
【図８】第２の変形例での係合装置のピンと側方移動機構の要部を示す平面図
【図９】第３の変形例での係合装置と側方移動機構の要部を示す側面図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。
【実施例】
【００１４】
図１〜図９に、実施例とその変形とを示す。図において、２は天井空間で、例えばクリーンルーム内の天井空間であり、図１の下方には図示しない半導体処理装置などがある。４はクリーンルームなどの天井で、支柱６と支持部材８とを介して、天井走行車２０のレール１０を支持している。レール１０は例えば走行レール１１と給電レール１２とから成り、支柱１５，１６はFOUP３５などの物品の仮置き用のバッファ１４を支持している。なおバッファ１４に代えて、適宜の自動倉庫あるいはストッカなどを配置しても良く、また図１の左右の走行レール１０，１０間のバッファ１４ａは設けなくても良い。さらに図１では、左右一対の走行レール１０，１０を設けているが、このうち一方のみを設けても良い。【００１５】
天井走行車２０は図示しない走行駆動部と受電部とを備え、走行駆動部は走行レール１１内に配置され、受電部は給電レール１２内に配置されて、レール１２内に設けられた非接触給電線などから受電する。走行駆動部と受電部とを合わせて走行部と呼ぶ。走行部からの軸により、スライドフォーク２１が支持され、そのベース部２２が走行部により支持されている。ベース部２２の下方にミドル部２４及びトップ部２６があり、図１の左右方向両側に出退して、旋回装置２８〜FOUP３５を側方へ移動させる。スライドフォーク２１が側方移動機構に当たり、ミドル部２４とトップ部２６とが移動体に当たる。またスライドフォーク２１は左右両側に突き出すものに代えて、左右一方のみに突き出すものでも良い。【００１６】
旋回装置２８は昇降装置３０を鉛直軸回りに旋回させ、設けなくても良く、また請求の範囲では、旋回装置２８を昇降装置の一部と見なす。昇降装置３０は昇降台３２をベルト、ロープ、ワイヤなどの吊持材により昇降させ、昇降台３２は例えば一対の爪３３，３３により、FOUP３５等の物品を把持もしくは解放する。ベース部２２もしくは走行部に、係合装置３４を取り付け、ミドル部２４並びにトップ部２６が不用意に側方に飛び出さないように係合する。係合装置３４の構成は、図３〜図９を参照し後述する。【００１７】
図２はスライドフォーク２１の構成例を示し、これに限るものではない。３６〜３８はベルトで、このうちベルト３６は駆動ベルト、ベルト３７，３８は従動ベルトである。４０は駆動プーリで、駆動モータ４１によりベルト３６を駆動し、ベルト３７，３８に対してアイドラープーリ４２，４３が設けられている。４４〜４９は、ベルト３６〜３８の固定端である。駆動プーリ４０と固定端４４，４６，４８はベース部２２に、アイドラープーリ４２，４３と固定端４５をミドル部２４に設ける。そして固定端４７，４９をトップ部２６に設ける。【００１８】
ベース部２２とミドル部２４との間に、ガイド体５０とレール５１とを設け、レール５１の例えば両端にストッパ５２，５３を設ける。ここではレール５１をミドル部２４に、ガイド体５０をベース部２２に設けるが、これらの配置を逆にしても良い。ミドル部２４とトップ部２６との間にも、同様にガイド体とレール並びにストッパを設ける。以上のように、駆動プーリ４０でベルト３６を駆動するとベルト３７，３８が従動し、ミドル部２４はベース部２２の左右側方へ移動し、トップ部２６は例えばミドル部２４の２倍のストロークで左右両側へ移動する。【００１９】
図３，図４に実施例での係合装置３４の構成を示す。ミドル部２４には側面視でＬ字状の係合部材５６が設けられ、トップ部２６にも同様に側面視でＬ字状の係合部材５７が設けられている。Ｌ字状の係合部材５６，５７の先端は水平で、２つの先端部は例えば高さ位置を変えて、平面視で重なるように配置してある。そして係合部材５６の先端に孔５８を、係合部材５７の先端には孔５９を設ける。係合装置３４は一対のピン５４，５５を鉛直方向に移動させることにより、孔５８，５９に対して出退させ、これらのピン５４，５５はプレート７０に取り付けられている。そしてプレート７０に例えば一対の軸６８，６８を取り付け、ガイド６６を介して磁性板６５に連結する。磁性板６５にはソレノイド６２の軸６３が連結され、軸６３はバネ６４により下向きに押圧されている。【００２０】
これらの結果、ソレノイド６２に通電するとコイルが励磁されて、図３のように磁性板６５が吸着され、ピン５４，５５が上昇して、孔５８，５９との係合が解除される。ソレノイド６２への通電がオフすると、バネ６４により軸６３が下側へ移動し、ピン５４，５５が孔５８，５９と係合する。これらのため、ソレノイド６２に通電しない限り、ベース部２２とトップ部２６の側方への移動が禁止される。またソレノイド６２は制御が簡単で、その動作は係合及び係合の解除共に１ストロークである。孔５８，５９に対してそれぞれピン５４，５５を設けたので、ピン５４，５５の昇降ストロークを短くできる。従って簡単な制御で確実かつ短時間に係合とその解除とができる。【００２１】
実施例では以下の効果が得られる。ベルト３６〜３８が何らかの原因により切断された場合でも、ソレノイド６２に通電しない限り、ミドル部２４もしくはトップ部２６が側方へ飛び出すことがない。このためトップ部２６〜昇降装置３０などが、対向するレール１０を走行している他の天井走行車と干渉することがない。同様に側方に設けたバッファ１４などと干渉することもない。ミドル部２４とトップ部２６の係合に用いるのは、例えば一対のピン５４，５５であり、これらは共通のソレノイド６２で駆動でき、制御が簡単で、かつ孔５８，５９毎にピン５４，５５を設けるので、ストロークを短くできる。なお実施例ではミドル部２４とトップ部２６とを係合したが、これに代えて旋回装置２８もしくは昇降装置３０をベース部２２に係合するようにしても良い。さらにベース部２２以外に走行部側に連結された部材がある場合、これらの部材に係合装置３４を取り付けても良い。【００２２】
図５，図６に変形例の係合装置を示し、他の点では図１〜図４の実施例と同様である。図５，図６では、係合部材７６，７７の先端部の高さを揃え、孔７８，７９の高さを揃える。この結果、ピン７４，７５は先端の高さ位置が共通となる。この場合もピンに必要なストロークは、孔７８，７９への出退であり、図１〜図４の実施例の場合と変わらない。【００２３】
図７，図８は第２の実施例を示し、８１，８２は新たな係合部材で、係合部材８１を例えばミドル部に、係合部材８２を例えばトップ部に取り付ける。係合部材８１，８２の先端に平面視で重なる孔８３，８４を設け、１本のピン８５を出退させる。このようにすると、実施例に比べ、図７の距離Ｓの分だけストロークが延び、より強力なソレノイドとより強力なバネとが必要になる。【００２４】
ここまでの実施例と変形例とでは、側方移動機構としてスライドフォーク２１を用いたが、スカラアームなどを用いてもよい。このような例を図９に示し、特に指摘した点以外は実施例と同様である。９０はスカラアームで、上部アーム９１と下部アーム９２とから成り、例えば上部アーム９１と下部アーム９２とを連結する軸の周囲に係合部材５６，５７を設け、図１〜図４の実施例と同様にして、一対のピン５４，５５を係合装置３４により出退させる。なお本体部９４と上部アーム９１とを接続する軸９６の側に、係合装置３４と係合部材５６，５７などを設けてもよい。
【符号の説明】
【００２５】
２  天井空間    ４  天井    ６  支柱    ８  支持部材    １０  レール
１１  走行レール    １２  給電レール    １４  バッファ
１５，１６  支柱    ２０  天井走行車    ２１  スライドフォーク
２２  ベース部    ２４  ミドル部    ２６  トップ部    ２８  旋回装置
３０  昇降装置    ３２  昇降台    ３３  爪      ３４  係合装置
３５  FOUP    ３６〜３８  ベルト    ４０  駆動プーリ
４１  駆動モータ    ４２，４３  アイドラープーリ
４４〜４９  固定端    ５０，６０  ガイド体    ５１，６１  レール
５２，５３  ストッパ    ５４，５５  ピン    ５６，５７  係合部材
５８，５９  孔    ６２  ソレノイド    ６３，６８  軸    ６４  バネ
６５  磁性板    ６６  ガイド    ７０  プレート    ７２，７３  ボルト
７４，７５  ピン    ７６，７７  係合部材    ７８，７９  孔
８１，８２  係合部材    ８３，８４  孔    ８５  ピン
９０  スカラーアーム    ９１  上部アーム    ９２  下部アーム
９４  本体部    ９５，９６  軸
【図１】
0005454985.tif 000002
【図２】
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【図３】
0005454985.tif 000004
【図４】
0005454985.tif 000005
【図５】
0005454985.tif 000006
【図６】
0005454985.tif 000007
【図７】
0005454985.tif 000008
【図８】
0005454985.tif 000009
【図９】
0005454985.tif 000010