(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の駆動リンクと、前記第１の駆動リンクと対向する第２の駆動リンクと、前記第１の駆動リンクおよび前記第２の駆動リンクのそれぞれに回転可能に連結された第３の駆動リンクとを有する第１のリンク機構と、
前記第１のリンク機構を駆動する駆動源と、
第１の従動リンクと、前記第１の従動リンクに接続され被搬送体を支持するための支持体とを有する第２のリンク機構と、
前記第１のリンク機構と前記第２のリンク機構との間を連結し、前記第１の駆動リンクの旋回運動を前記第１の駆動リンクとは反対方向への前記第１の従動リンクの旋回運動に変換するクロスリンク機構と
を具備し、
前記クロスリンク機構は、
前記第１の駆動リンクおよび前記第１の従動リンクの各々に回転可能に連結され、前記第３の駆動リンクと一体的に固定された第１の中継リンクと、
前記第１の駆動リンクおよび前記第１の従動リンクの各々に、前記第１の中継リンクとは異なる箇所で回転可能に連結され、前記第１の中継リンクとねじれの位置の関係にある第２の中継リンクとを有する
搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の搬送装置であって、
前記第１の駆動リンクは、前記駆動源により回転駆動可能な第１の端部と、前記第２の中継リンクと回転可能に連結される第２の端部とを有し、
前記第１の従動リンクは、前記支持体と回転可能に連結される第３の端部と、前記第１の中継リンクと回転可能に連結される第４の端部とを有する
搬送装置。
【請求項３】
請求項２に記載の搬送装置であって、
前記第２のリンク機構は、
前記第１の従動リンクと対向し、前記支持体と回転可能に連結された第２の従動リンクと、
前記第１の従動リンクおよび前記第２の従動リンクのそれぞれに回転可能に連結され、前記第２の中継リンクと一体的に固定された第３の従動リンクとをさらに有する
搬送装置。
【請求項４】
請求項２に記載の搬送装置であって、
前記第１のリンク機構は、前記第１の駆動リンクと、前記第１の駆動リンクと平行な第４の駆動リンクとを含む第１の平行リンク機構をさらに有し、
前記第２のリンク機構は、前記第１の従動リンクと、前記第１の従動リンクと対向し、前記支持体と回転可能に連結された第２の従動リンクとを有する第２の平行リンク機構で構成され、
前記クロスリンク機構は、前記第４の駆動リンクおよび前記第２の従動リンクのそれぞれに回転可能に連結され前記第１の中継リンクと平行な第３の中継リンクをさらに有する
搬送装置。
【請求項５】
ベース部に回転可能に連結される第１の端部と、前記第１の端部とは反対側の第２の端部と、前記第１の端部と前記第２の端部との間に設けられた第１の支点とを有する第１の駆動リンクと、
被搬送体を支持するための支持体に回転可能に連結される第３の端部と、前記第３の端部とは反対側の第４の端部と、前記第３の端部と前記第４の端部との間に設けられた第２の支点とを有する第１の従動リンクと、
前記ベース部に回転可能に連結される第５の端部と、前記第５の端部とは反対側の第６の端部とを有する第２の駆動リンクと、
前記第１の支点と前記第４の端部と前記第６の端部とにそれぞれ回転可能に連結され、前記第１の支点との連結位置に屈曲部を有する第１の中継リンクと、
前記第２の端部と前記第２の支点とにそれぞれ回転可能に連結される第２の中継リンクと
を具備する搬送装置。
【請求項６】
請求項５に記載の搬送装置であって、
前記支持体に回転可能に連結される第７の端部と、前記第７の端部とは反対側の第８の端部とを有する第２の従動リンクをさらに具備し、
前記第２の中継リンクは、前記第２の端部と前記第２の支点と前記第８の端部とにそれぞれ回転可能に連結され、前記第２の支点との連結位置に屈曲部を有する
搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体ウェーハ等の基板を搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体製造装置等の基板処理装置において、各種加工処理を行うプロセスチャンバに基板を出し入れするための搬送装置が用いられている。この種の搬送装置には多関節型の搬送アームが種々提案されている。例えば特許文献１には、２組の平行リンク機構と、各組の平行リンク機構各々の一端に回転可能に噛み合う一対の歯車とを有する搬送装置が記載されている。この搬送装置は、一方の組の平行リンク機構の回転を上記歯車を介して他方の組の平行リンク機構に伝達することで伸縮するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第２５３１２６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の搬送装置においては、関節部に歯車を用いているためダストが発生し易く、ダストの付着による基板の汚染や加工不良を招くという懸念がある。また、歯車の噛み合わせ部分が磨耗し、バックラッシが大きくなることで、搬送精度の低下を招くという問題もある。【０００５】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、関節部に歯車を使用しない新規な構造の搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る搬送装置は、第１のリンク機構と、駆動源と、第２のリンク機構と、クロスリンク機構とを具備する。
上記第１のリンク機構は、第１の駆動リンクと、上記第１の駆動リンクと対向する第２の駆動リンクと、上記第１の駆動リンクと上記第２の駆動リンクとの間に連結された第３の駆動リンクとを有する。
上記駆動源は、上記第１のリンク機構を駆動する。
上記第２のリンク機構は、第１の従動リンクと、上記第１の従動リンクに接続され被搬送体を支持するための支持体とを有する。
上記クロスリンク機構は、上記第１のリンク機構と上記第２のリンク機構との間を連結し、上記第１の駆動リンクの旋回運動を上記第１の駆動リンクとは反対方向への上記第１の従動リンクの旋回運動に変換する。【０００７】
本発明の他の形態に係る搬送装置は、第１の駆動リンクと、第１の従動リンクと、第２の駆動リンクと、第１の中継リンクと、第２の中継リンクとを具備する。
上記第１の駆動リンクは、ベース部に回転可能に連結される第１の端部と、上記第１の端部とは反対側の第２の端部と、上記第１の端部と上記第２の端部との間に設けられた第１の支点とを有する。
上記第１の従動リンクは、被搬送体を支持するための支持体に回転可能に連結される第３の端部と、上記第３の端部とは反対側の第４の端部と、上記第３の端部と上記第４の端部との間に設けられた第２の支点とを有する。
上記第２の駆動リンクは、上記ベース部に回転可能に連結される第５の端部と、上記第５の端部とは反対側の第６の端部とを有する。
上記第１の中継リンクは、上記第１の支点と上記第４の端部と上記第６の端部とにそれぞれ回転可能に連結され、上記第１の支点との連結位置に屈曲部を有する。
上記第２の中継リンクは、上記第１の端部と上記第２の支点とにそれぞれ回転可能に連結される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る搬送装置の基本構成を示す概略図である。
【図２】図１の搬送装置の一動作例を示す概略図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る搬送装置の基本構成を示す概略図である。
【図４】図２の搬送装置の一動作例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の一実施形態に係る搬送装置は、第１のリンク機構と、駆動源と、第２のリンク機構と、クロスリンク機構とを具備する。
上記第１のリンク機構は、第１の駆動リンクと、上記第１の駆動リンクと対向する第２の駆動リンクと、上記第１の駆動リンクと上記第２の駆動リンクとの間に連結された第３の駆動リンクとを有する。
上記駆動源は、上記第１のリンク機構を駆動する。
上記第２のリンク機構は、第１の従動リンクと、上記第１の従動リンクに接続され被搬送体を支持するための支持体とを有する。
上記クロスリンク機構は、上記第１のリンク機構と上記第２のリンク機構との間を連結し、上記第１の駆動リンクの旋回運動を上記第１の駆動リンクとは反対方向への上記第１の従動リンクの旋回運動に変換する。
【００１０】
上記搬送装置において、第１のリンク機構の駆動は、クロスリンク機構を介して、第２のリンク機構に伝達される。このとき、第１の駆動リンクの旋回運動は、第１の駆動リンクとは反対方向への第１の従動リンクの旋回運動に変換される。これにより、第１のリンク機構と第２のリンク機構との間に歯車を用いることなく、搬送装置の伸縮動作が可能となる。したがって上記搬送装置によれば、ダストの発生を抑えたクリーンな搬送環境を構築することができる。
【００１１】
上記クロスリンク機構は、第１の中継リンクと、第２の中継リンクとを有してもよい。上記第１の中継リンクは、上記第１の駆動リンクおよび上記第１の従動リンクに各々連結され、上記第３の駆動リンクと一体的に固定される。上記第２の中継リンクは、上記第１の駆動リンクおよび上記第１の従動リンクに各々連結され、上記第１の中継リンクとねじれの位置の関係にある。
これにより、第１のリンク機構と第２のリンク機構との相互に対称な動きを実現することができるので、被搬送体を高い位置精度で搬送することができる。
【００１２】
上記第１の駆動リンクは、上記駆動源と連結される第１の端部と、上記第２の中継リンクと連結される第２の端部とを有してもよい。この場合、上記第１の従動リンクは、上記支持体と連結される第３の端部と、上記第１の中継リンクと連結される第４の端部とを有する。
これにより、上記搬送装置の小型化・軽量化を図ることができる。
【００１３】
上記第２のリンク機構は、第２の従動リンクと、第３の従動リンクとをさらに有してもよい。上記第２の従動リンクは、上記第１の従動リンクと対向し、上記支持体と連結される。上記第３の従動リンクは、上記第１の従動リンクと上記第２の従動リンクとの間に連結され、上記第２の中継リンクと一体的に固定される。
【００１４】
これにより、第２のリンク機構に接続される支持体の姿勢と、第１の従動リンクの旋回角度位置とを相互に対応させることができる。
【００１５】
上記第１のリンク機構は、上記第１の駆動リンクと、上記第１の駆動リンクと平行な第４の駆動リンクとを含む第１の平行リンク機構をさらに有してもよい。この場合、上記第２のリンク機構は、上記第１の従動リンクと、上記第１の従動リンクと平行な第４の従動リンクとを有する第２の平行リンク機構で構成される。上記クロスリンク機構は、上記第１の平行リンク機構と上記第２の平行リンク機構との間を連結し、上記第１の中継リンクと平行な第３の中継リンクとをさらに有する。
これにより、第１の従動リンクに接続される支持体の姿勢を、第１の従動リンクの旋回角度に関係なく一定に維持することができる。
【００１６】
本発明の他の実施形態に係る搬送装置は、第１の駆動リンクと、第１の従動リンクと、第２の駆動リンクと、第１の中継リンクと、第２の中継リンクとを具備する。
上記第１の駆動リンクは、ベース部に回転可能に連結される第１の端部と、上記第１の端部とは反対側の第２の端部と、上記第１の端部と上記第２の端部との間に設けられた第１の支点とを有する。
上記第１の従動リンクは、被搬送体を支持するための支持体に回転可能に連結される第３の端部と、上記第３の端部とは反対側の第４の端部と、上記第３の端部と上記第４の端部との間に設けられた第２の支点とを有する。
上記第２の駆動リンクは、上記ベース部に回転可能に連結される第５の端部と、上記第５の端部とは反対側の第６の端部とを有する。
上記第１の中継リンクは、上記第１の支点と上記第４の端部と上記第６の端部とにそれぞれ回転可能に連結され、上記第１の支点との連結位置に屈曲部を有する。
上記第２の中継リンクは、上記第１の端部と上記第２の支点とにそれぞれ回転可能に連結される。
【００１７】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
【００１８】
＜第１の実施形態＞
図１および図２は、本発明の第１の実施形態に係る搬送装置の基本構成を示す概略図である。本実施形態の搬送装置１は、真空または大気中において、被搬送体として半導体ウェーハやガラス基板等（以下単に「基板」という。）を搬送する基板搬送装置として構成される。図中、Ｘ軸方向およびＹ軸方向はそれぞれ相互に直交する水平方向を示し、Ｚ軸方向はＸ軸およびＹ軸に直交する方向を示している。
【００１９】
搬送装置１は、第１のリンク機構１０と、第２のリンク機構２０と、クロスリンク機構３０とを有する。
【００２０】
第１のリンク機構１０は、支点１０１、支点１０２、支点１０３および支点１０４で各々回転可能に連結された複数の直線的なリンクで構成され、第１の駆動リンク１１と、第２の駆動リンク１２と、第３の駆動リンク１３と、ベース部１４とを有する。
【００２１】
第１の駆動リンク１１および第２の駆動リンク１２の各々の一端は、支点１０１および支点１０２を介してベース部１４にそれぞれ連結されている。ベース部１４は、第１のリンク機構１０の一部のリンクを構成する。ベース部１４は、図示しない駆動部に接続されており、上記駆動部は、第１の駆動リンク１１をＸＹ平面内で旋回させる第１の駆動軸１５ａと、ベース部１４を図中ＸＹ平面内で回転させる第２の駆動軸１５ｂとを有する。第１の駆動軸１５ａは、支点１０１を構成し、第１の駆動リンク１１の一端（第１の端部）と連結され、第１のリンク機構１０を駆動する。
【００２２】
上記駆動部は、第１の駆動軸１５ａを駆動する駆動源と、第２の駆動軸１５ｂを駆動する駆動源とを有する。これら駆動源の構成は特に限定されず、例えばモータやロータリシリンダ等の回転駆動源で構成される。また、上記駆動部は、ベース部１４および第１のリンク機構１０をＺ軸方向へ昇降させる昇降駆動源をさらに有していてもよい。
【００２３】
第１の駆動リンク１１と第２の駆動リンク１２とは相互に対向するアーム部材で形成され、第１の駆動リンク１１は、第２の駆動リンク１２よりも長いリンク長を有する。第３の駆動リンク１３は、第１の駆動リンク１１と第２の駆動リンク１２との間に配置されている。第３の駆動リンク１３の一端は、支点１０３を介して第２の駆動リンク１２の他端に連結され、第３の駆動リンク１３の他端は、支点１０４を介して第１の駆動リンク１１に連結されている。支点１０４は、第１の駆動リンク１１上であって、その端部以外の位置に形成されている。
【００２４】
第２のリンク機構２０は、支点２０１、支点２０２、支点２０３および支点２０４で各々回転可能に連結された複数の直線的なリンクで構成され、第１の従動リンク２１と、第２の従動リンク２２と、第３の従動リンク２３と、支持体２４とを有する。
【００２５】
第１の従動リンク２１の一端（第３の端部）は支点２０１を介して支持体２４に連結され、第２の従動リンク２２の一端は、支点２０２を介して支持体２４に連結されている。支持体２４は、第２のリンク機構２０の一部のリンクを構成する本体部２４ａと、図示しない基板を支持するためのハンド部２４ｂとを有する。
【００２６】
第１の従動リンク２１と第２の従動リンク２２とは相互に対向するアーム部材で形成され、第１の従動リンク２１は、第２の従動リンク２２よりも長いリンク長を有する。第３の従動リンク２３は、第１の従動リンク２１と第２の従動リンク２２との間に配置されている。第３の従動リンク２３の一端は、支点２０３を介して第２の従動リンク２２の他端に連結され、第３の従動リンク２３の他端は、支点２０４を介して第１の従動リンク２１に連結されている。支点２０４は、第１の従動リンク２１上であって、その他端以外の位置に形成されている。
【００２７】
第１の従動リンク２１、第２の従動リンク２２および第３の従動リンク２３は、それぞれ、第１の駆動リンク１１、第２の駆動リンク１２および第３の駆動リンク１３と同一のリンク長を有している。
【００２８】
クロスリンク機構３０は、第１のリンク機構１０と第２のリンク機構２０との間を連結し、第１のリンク機構１０の駆動力を第２のリンク機構２０へ伝達する。クロスリンク機構３０は、支点１０４、支点３０１、支点３０２および支点２０４で各々回転可能に連結された、第１の駆動リンク１１、第１の従動リンク２１、第１の中継リンク３１および第２の中継リンク３２で構成される。
【００２９】
第１の中継リンク３１および第２の中継リンク３２は、第１の駆動リンク１１と第１の従動リンク２１との間をそれぞれ連結する直線的なアーム部材で形成される。第１の中継リンク３１と第２の中継リンク３２とは相互にねじれの位置で交差する関係にあり、相互に干渉し合わない程度に図中Ｚ軸方向に離間している。
【００３０】
すなわち、第１の中継リンク３１の一端は、支点３０２を介して第１の従動リンク２１の他端（第４の端部）に連結される。第１の中継リンク３１の他端は、支点１０４を介して第１の駆動リンク１１に連結されるとともに、第３の駆動リンク１３と一体的に固定される。図１に示すように第１の中継リンク３１は、第３の駆動リンクに対して、支点１０４の回りに反時計方向に所定角度だけ回転した位置で固定される。
【００３１】
第１の中継リンク３１と第３の駆動リンク１３とは各々別部材で構成される例に限られず、共通の単一の部材で構成されてもよい。この場合、第１の中継リンク３１と第３の駆動リンク１３とにより「第１の中継リンク」が構成され、当該第１の中継リンクは、支点１０４における第１の駆動リンク１１との連結位置に上記所定角度で屈曲した屈曲部を有する。
【００３２】
同様に、第２の中継リンク３２の一端は、支点３０１を介して第１の駆動リンク１１の他端（第２の端部）に連結される。そして、第２の中継リンク３２の他端は、支点２０４を介して第１の従動リンク２１に連結されるとともに、第３の従動リンク２３と一体的に固定される。図１に示すように第２の中継リンク３２は、第３の従動リンクに対して、支点２０４の回りに時計方向に所定角度だけ回転した位置で固定される。
【００３３】
第２の中継リンク３２と第３の従動リンク２３とは各々別部材で構成される例に限られず、共通の単一の部材で構成されてもよい。この場合、第２の中継リンク３２と第３の従動リンク２３とにより「第２の中継リンク」が構成され、当該第２の中継リンクは、支点２０４における第１の従動リンク２１との連結位置に上記所定角度で屈曲した屈曲部を有する。
【００３４】
第１の中継リンク３１および第２の中継リンク３２は、それぞれ同一のリンク長で形成されている。また、第１の中継リンク３１と第３の駆動リンク１３とのなす角、および、第２の中継リンク３２と第３の従動リンク２３とのなす角も、それぞれ同一の角度に設定されている。
【００３５】
以上のように構成される本実施形態の搬送装置１は、図１に示すように、クロスリンク機構３０の中心を通る水平な基準線Ｌに関して対称に構成されている。したがって、第１のリンク機構１０および第２のリンク機構２０は、基準線Ｌに関して相互に軸対称に動作する。このようにクロスリンク機構３０は、第１の駆動リンク１１の旋回運動を、当該第１の駆動リンク１１とは反対方向への第１の従動リンク２１の旋回運動に変換する。
【００３６】
以下、本実施形態の搬送装置１の動作について説明する。
【００３７】
搬送装置１は、駆動軸１５ａを回転駆動させることで、第１の駆動リンク１１をＸＹ平面内で旋回させる。また、搬送装置１は、駆動軸１５ｂを回転駆動することで、ベース部１４をＸＹ平面内で回転させる。
【００３８】
例えば、駆動軸１５ａが時計回りに回転したとき、第１の駆動リンク１１および第２の駆動リンク１２は、支点１０１および支点１０２に関してそれぞれ時計回りに旋回する。このとき、第２のリンク機構２０は、クロスリンク機構３０を介して駆動力が伝達されて、第１の従動リンク２１および第２の従動リンク２２が、支点３０２および支点２０３に関してそれぞれ反時計回りに旋回する。これにより図２に示すように、クロスリンク機構３０を関節部として第１のリンク機構１０および第２のリンク機構２０が相互に離間する。
【００３９】
一方、駆動軸１５ａが反時計回りに回転したとき、第１および第２の駆動リンク１１，１２は、支点１０１および支点１０２に関してそれぞれ反時計回りに旋回する。このとき、第１および第２の従動リンク２１，２２は、支点３０２および支点２０３に関してそれぞれ時計回りに回転する。これにより、クロスリンク機構３０を関節部として第１のリンク機構１０および第２のリンク機構２０が相互に近接する。
【００４０】
本実施形態の搬送装置１においては、第１のリンク機構１０の駆動は、クロスリンク機構３０を介して、第２のリンク機構２０に伝達される。このとき、第１の駆動リンク１１の旋回運動は、第１の駆動リンク１１とは反対方向への第１の従動リンク２１の旋回運動に変換される。したがって、搬送装置１は、クロスリンク機構３０を中心として伸縮し、支持体２４は所定位置へ搬送される。これにより、支持体２４のハンド部２４ｂに支持された基板を所望の位置へ搬送することが可能となる。
【００４１】
本実施形態によれば、クロスリンク機構３０を介して第１のリンク機構１０から第２のリンク機構２０へ駆動力を伝達するようにしているので、歯車機構を用いることなく、搬送装置１の伸縮動作を実現することができる。これにより、ダストの発生を抑えたクリーンな搬送環境を構築することができ、ダストの付着による基板の汚染あるいは加工不良を抑制することができる。また、歯車部分の磨耗による搬送精度の劣化が問題となることもない。
【００４２】
また、本実施形態によれば、第１のリンク機構１０と第２のリンク機構２０との相互に対称な動きを実現することができるので、支持体２４上の基板を高い位置精度で搬送することができる。さらに、第１および第２の中継リンク３１，３２各々の一端が、それぞれ第１の駆動リンク１１および第１の従動リンク２１の他端に連結されているため、搬送装置１の小型化・軽量化を図ることができる。そして、第２のリンク機構２０が第１〜第３の従動リンク２１，２２，２３を含むリンク機構で構成されているため、支持体２４の姿勢と、第１の従動リンク２１の旋回角度位置とを相互に対応させることができる。
【００４３】
＜第２の実施形態＞
図３および図４は、本発明の第２の実施形態に係る搬送装置の基本構成を示す概略図である。本実施形態では、第１の実施形態の構成および作用と同様な部分についてはその説明を省略または簡略化し、第１の実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００４４】
本実施形態の搬送装置２は、第１のリンク機構４０と、第２のリンク機構５０と、クロスリンク機構６０とを有する。
【００４５】
第１のリンク機構４０は、支点１０１、支点１０２、支点１０３、支点１０４、支点４０１および支点４０２で各々回転可能に連結された複数の直線的なリンクで構成される。第１のリンク機構４０は、第１の駆動リンク１１と、第２の駆動リンク１２と、第３の駆動リンク１３と、第４の駆動リンク４４と、第５の駆動リンク４５とを有する。
【００４６】
第１の駆動リンク１１、第２の駆動リンク１２および第４の駆動リンク４４の各々の一端は、支点１０１、支点１０２および支点４０１を介してベース部１４にそれぞれ連結されている。第４の駆動リンク４４の両端は支点４０１と支点４０２とをそれぞれ構成し、第５の駆動リンク４５は、支点１０４と支点４０２との間に連結されている。
【００４７】
第４の駆動リンク４４は、第１の駆動リンク１１と同一のリンク長を有するとともに、第１の駆動リンク１１と平行に対向している。また、第５の駆動リンク４５が連結される支点１０４と支点４０２との距離は、ベース部１４上の支点１０１と支点４０１との距離と等しい。このため、第１の駆動リンク１１と、第４の駆動リンク４４と、第５の駆動リンク４５と、ベース部１４とにより、平行リンク機構７１（第１の平行リンク機構）が構成される。
【００４８】
第２のリンク機構５０は、支点２０１、支点５０１、支点５０２および支点３０２で各々回転可能に連結された複数の直線的なリンクで構成され、第１の従動リンク２１と、第２の従動リンク５２と、第３の従動リンク５３と、支持体２４とを有する。
【００４９】
第１の従動リンク２１および第２の従動リンク５２の各々の一端は、支点２０１および支点５０１を介して支持体２４にそれぞれ連結されている。第１の従動リンク２１の両端は支点２０１と支点３０２を構成し、第２の従動リンク５２の両端は支点５０１と支点５０２とをそれぞれ構成する。第３の従動リンク５３は、支点３０２と支点５０２との間に連結されている。
【００５０】
第２の従動リンク５２は、第１の従動リンク２１と同一のリンク長を有するとともに、第１の従動リンク２１と平行に対向している。また、第３の従動リンク５３が連結される支点３０２と支点５０２との距離は、支持体２４上の支点２０１と支点５０１との距離と等しい。このため、第１の従動リンク２１と、第２の従動リンク５２と、第３の従動リンク５３と、支持体２４とにより、平行リンク機構７２（第２の平行リンク機構）が構成される。
【００５１】
クロスリンク機構６０は、第１の中継リンク３１と、第２の中継リンク３２のほか、直線的な第３の中継リンク３３をさらに有する。第３の中継リンク３３は、第１の中継リンク３１と同一のリンク長を有するとともに、第１の中継リンク３１と平行に支点４０２と支点５０２との間に連結される。また、第３の従動リンク５３は、第５の駆動リンク４５と同一のリンク長を有するとともに、第５の駆動リンク４５と平行に対向している。このため、第１の中継リンク３１と、第５の駆動リンク４５と、第３の中継リンク３３と、第３の従動リンク５３とにより、平行リンク機構７３（第３の平行リンク機構）が構成される。
【００５２】
次に、本実施形態の搬送装置２の動作について説明する。
【００５３】
搬送装置２は、駆動軸１５ａを回転駆動させることで、第１の駆動リンク１１をＸＹ平面内で旋回させる。また、搬送装置２は、駆動軸１５ｂを回転駆動することで、ベース部１４をＸＹ平面内で回転させる。
【００５４】
例えば、駆動軸１５ａが時計回りに回転したとき、第１の駆動リンク１１、第２の駆動リンク１２および第４の駆動リンク４４は、支点１０１、支点１０２および支点４０１に関してそれぞれ時計回りに旋回する。このとき、第２のリンク機構５０は、クロスリンク機構６０を介して駆動力が伝達されて、第１の従動リンク２１および第２の従動リンク５２が、支点３０２および支点５０２に関してそれぞれ反時計回りに旋回する。これにより図４に示すように、クロスリンク機構６０を関節部として第１のリンク機構４０および第２のリンク機構５０が相互に離間する。
【００５５】
一方、駆動軸１５ａが反時計回りに回転したとき、第１、第２および第４の駆動リンク１１，１２，４４は、支点１０１、支点１０２および支点４０１に関してそれぞれ反時計回りに旋回する。このとき、第１および第２の従動リンク２１，５２は、支点３０２および支点５０２に関してそれぞれ時計回りに回転する。これにより、クロスリンク機構６０を関節部として第１のリンク機構４０および第２のリンク機構５０が相互に近接する。
【００５６】
本実施形態の搬送装置２においても、第１のリンク機構４０の駆動は、クロスリンク機構６０を介して、第２のリンク機構５０に伝達される。このとき、第１の駆動リンク１１の旋回運動は、第１の駆動リンク１１とは反対方向への第１の従動リンク２１の旋回運動に変換される。したがって、搬送装置２は、クロスリンク機構６０を中心として伸縮し、支持体２４は所定位置へ搬送される。これにより、支持体２４のハンド部２４ｂに支持された基板を所望の位置へ搬送することが可能となる。
【００５７】
本実施形態によれば、クロスリンク機構６０を介して第１のリンク機構４０から第２のリンク機構５０へ駆動力を伝達するようにしているので、歯車機構を用いることなく、搬送装置２の伸縮動作を実現することができる。これにより、ダストの発生を抑えたクリーンな搬送環境を構築することができ、ダストの付着による基板の汚染あるいは加工不良を抑制することができる。また、歯車部分の磨耗による搬送精度の劣化が問題となることもない。
【００５８】
また、本実施形態によれば、第１の駆動リンク１１と第１の従動リンク２１との相互に対称な動きを実現することができるので、支持体２４上の基板を高い位置精度で搬送することができる。そして、第１および第２の中継リンク３１，３２各々の一端が、それぞれ第１の駆動リンク１１および第１の従動リンク２１の他端に連結されているため、搬送装置２の小型化・軽量化を図ることができる。
【００５９】
さらに、本実施形態によれば、第１のリンク機構４０、第２のリンク機構５０およびクロスリンク機構６０によって、第１〜第３の平行リンク機構７１〜７３が構成されているため、支持体２４の軸方向（支点２０１と支点５０１を結ぶ線分）は、第５の駆動リンク４５および第３の従動リンク５３およびベース部１４の支点１５ａと支点４０１を結ぶ線分と常に平行な位置関係となる。これにより、支持体２４の姿勢を、第１の従動リンク２１の旋回角度に関係なく、一定に維持することができる。
【００６０】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されることはなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【００６１】
例えば第１の実施形態において、第１の中継リンク３１と第３の駆動リンク１３とのなす角、および／または、第２の中継リンク３２と第３の従動リンク２３とのなす角を適宜の値に設定することによって、搬送装置１の伸縮動作による支持体２４の移動軌跡を調整してもよい。同様に、各リンクの支点の位置や各リンクのリンク長等を調整することによっても、支持体２４の軌跡を同様に調整することができる。
【００６２】
また第２の実施形態において、第１〜第３の平行リンク機構７１〜７３は、図３に示した位置に構成される例に限られない。例えば、第１の平行リンク機構は、第１の駆動リンク１１に関して第２の駆動リンク１２側に構成されてもよい。この場合、第２の平行リンク機構は、第１の中継リンク３１に関して支点３０２側に構成され、第３の平行リンク機構は、第１の従動リンク２１に関して第１のリンク機構４０側に構成されることになる。
【符号の説明】
【００６３】
１、２…搬送装置
１０、４０…第１のリンク機構
２０、５０…第２のリンク機構
３０、６０…クロスリンク機構
１１…第１の駆動リンク
１２…第２の駆動リンク
１３…第３の駆動リンク
４４…第４の駆動リンク
４５…第５の駆動リンク
２１…第１の従動リンク
２２、５２…第２の従動リンク
２３、５３…第３の従動リンク
２４…支持体
３１…第１の中継リンク
３２…第２の中継リンク
３３…第３の中継リンク
７１〜７３…平行リンク機構
【図１】
0005550197.tif 000002
【図２】
0005550197.tif 000003
【図３】
0005550197.tif 000004
【図４】
0005550197.tif 000005