(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一列に並んで設けられた複数の電極部から成る電極部列を有した基板を保持する基板保持部と、
基板保持部に保持された基板上の電極部にＡＣＦテープの切片を貼着する２つの貼着ヘッドと、
２つの貼着ヘッドを作動させて電極部列を構成する各電極部にＡＣＦテープの切片を貼着するＡＣＦテープ切片貼着制御手段と、
ＡＣＦテープ切片貼着制御手段に制御された２つの貼着ヘッドがＡＣＦテープの切片を基板上の各電極部に貼着するのに応じ、各電極部とその電極部にＡＣＦテープの切片を貼着した貼着ヘッドとの対応関係データを作成する対応関係データ作成手段とを備えたことを特徴とするＡＣＦ貼着装置。
【請求項２】
請求項１に記載のＡＣＦ貼着装置と、
装着ヘッドにより、ＡＣＦ貼着装置によってＡＣＦテープの切片が貼着された各電極部への部品の装着を行う部品装着装置と、
部品装着装置によって部品が装着された各電極部における部品の装着状態に基づいて、部品の装着状態が不良な電極部があるかどうかの判定を行う判定手段と、
判定手段により部品の装着状態が不良な電極部があると判定された場合に、その電極部にＡＣＦテープの切片を貼着した貼着ヘッドを対応関係データ作成手段によって作成された対応関係データに基づいて特定する貼着ヘッド特定手段と、
貼着ヘッド特定手段により特定された貼着ヘッドを注意対象として報知する報知手段とを備えたことを特徴とする部品実装システム。
【請求項３】
一列に並んで設けられた複数の電極部から成る電極部列を有した基板を保持する基板保持部と、基板保持部に保持された基板上の電極部にＡＣＦテープの切片を貼着する２つの貼着ヘッドとを備えたＡＣＦ貼着装置によるＡＣＦ貼着方法であって、
２つの貼着ヘッドを作動させて電極部列を構成する各電極部にＡＣＦテープの切片を貼着するＡＣＦテープ切片貼着工程と、
ＡＣＦテープ切片貼着工程において２つの貼着ヘッドがＡＣＦテープの切片を基板上の各電極部に貼着するのに応じ、各電極部とその電極部にＡＣＦテープの切片を貼着した貼着ヘッドとの対応関係データを作成する対応関係データ作成工程とを含むことを特徴とするＡＣＦ貼着方法。
【請求項４】
一列に並んで設けられた複数の電極部から成る電極部列を有した基板を保持する基板保持部と、基板保持部に保持された基板上の電極部にＡＣＦテープの切片を貼着する２つの貼着ヘッドとを備えたＡＣＦ貼着装置、ＡＣＦ貼着装置によってＡＣＦテープの切片が貼着された各電極部への部品の装着を行う部品装着装置を含んで構成される部品実装システムによる部品実装方法であって、
２つの貼着ヘッドを作動させて電極部列を構成する各電極部にＡＣＦテープの切片を貼着するＡＣＦテープ切片貼着工程と、
ＡＣＦテープ切片貼着工程において２つの貼着ヘッドがＡＣＦテープの切片を基板上の各電極部に貼着するのに応じ、各電極部とその電極部にＡＣＦテープの切片を貼着した貼着ヘッドとの対応関係データを作成する対応関係データ作成工程と、
ＡＣＦテープ切片貼着工程においてＡＣＦテープの切片が貼着された各電極部に部品装着装置が備える装着ヘッドによって部品の装着を行う部品装着工程と、
部品装着工程において部品が装着された各電極部における部品の装着状態に基づいて、部品の装着状態が不良な電極部があるかどうかの判定を行う判定工程と、
判定工程において部品の装着状態が不良な電極部があると判定された場合に、その電極部にＡＣＦテープの切片を貼着した貼着ヘッドを対応関係データ作成工程において作成した対応関係データに基づいて特定する貼着ヘッド特定工程と、
貼着ヘッド特定工程において特定した貼着ヘッドを注意対象として報知する報知工程とを含むことを特徴とする部品実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板が備える複数の電極部のそれぞれにＡＣＦテープの切片を貼着するＡＣＦ貼着装置、部品実装システム、ＡＣＦ貼着方法及び部品実装方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルの製造ラインによる液晶パネル製造作業では、基板の上面に設けられた複数の電極部のそれぞれにＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ）と呼ばれる異方性導電膜のテープ（ＡＣＦテープ）の切片を貼着するＡＣＦテープ貼着工程があり、このＡＣＦテープ貼着工程におけるＡＣＦテープの切片の貼着作業にはＡＣＦ貼着装置が用いられる。
【０００３】
ＡＣＦ貼着装置は、基板を保持する基板保持部と基板保持部に保持された基板上の電極部にＡＣＦテープの切片を貼着する貼着ヘッドを備えており、貼着ヘッドは基板保持部の上方に設けられたベース部、ベース部に対して昇降自在に設けられた押し付けツール、ＡＣＦテープの片面にセパレータと呼ばれる保護テープが貼り付けられた状態で供給されるテープ部材を押し付けツールの下方において水平方向に搬送するテープ搬送手段、テープ搬送手段によって搬送されるテープ部材のうちＡＣＦテープのみを切断してセパレータ上にＡＣＦテープの切片を形成するテープ切断手段を備え、テープ切断手段によってセパレータ上に形成されたＡＣＦテープの切片が押し付けツールの直下に位置するようにテープ搬送手段によってテープ部材を搬送した後、押し付けツールを下降させてＡＣＦテープの切片を基板に押し付けることによってＡＣＦテープの切片を基板に貼着するようになっている。
【０００４】
また、このようなＡＣＦ貼着装置の中には２つの貼着ヘッドを備え、一列に並んで設けられた複数の電極部から成る電極部列を有した基板に対し、２つの貼着ヘッドによるＡＣＦテープの切片の同時貼着を行って基板生産効率を向上させるようにしたものが知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−１６８１４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来のＡＣＦ貼着装置では、各電極部に対して２つの貼着ヘッドのどちらがＡＣＦテープの切片の貼着動作を行うかはそのときどきの状況に応じてその都度制御装置によって決定されるため、ＡＣＦテープの切片の貼着作業の後の検査において、電極部への装着状態が不良な部品が発見された場合に、その電極部へのＡＣＦテープの切片の貼着を行った貼着ヘッドをＡＣＦ貼着装置の動作プログラムからは特定（追跡）することができず、基板上における部品の装着不良が生じたときの十分な原因追究を行うことができないという問題点があった。
【０００７】
そこで本発明は、ＡＣＦテープの切片の貼着を行った貼着ヘッドを特定して基板上における部品の装着不良が生じたときの十分な原因追究を行うことができるＡＣＦ貼着装置、部品実装システム、ＡＣＦ貼着方法及び部品実装方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載のＡＣＦ貼着装置は、一列に並んで設けられた複数の電極部から成る電極部列を有した基板を保持する基板保持部と、基板保持部に保持された基板上の電極部にＡＣＦテープの切片を貼着する２つの貼着ヘッドと、２つの貼着ヘッドを作動させて電極部列を構成する各電極部にＡＣＦテープの切片を貼着するＡＣＦテープ切片貼着制御手段と、ＡＣＦテープ切片貼着制御手段に制御された２つの貼着ヘッドがＡＣＦテープの切片を基板上の各電極部に貼着するのに応じ、各電極部とその電極部にＡＣＦテープの切片を貼着した貼着ヘッドとの対応関係データを作成する対応関係データ作成手段とを備えた。
【０００９】
請求項２に記載の部品実装システムは、請求項１に記載のＡＣＦ貼着装置と、装着ヘッドにより、ＡＣＦ貼着装置によってＡＣＦテープの切片が貼着された各電極部への部品の装着を行う部品装着装置と、部品装着装置によって部品が装着された各電極部における部品の装着状態に基づいて、部品の装着状態が不良な電極部があるかどうかの判定を行う判定手段と、判定手段により部品の装着状態が不良な電極部があると判定された場合に、その電極部にＡＣＦテープの切片を貼着した貼着ヘッドを対応関係データ作成手段によって作成された対応関係データに基づいて特定する貼着ヘッド特定手段と、貼着ヘッド特定手段により特定された貼着ヘッドを注意対象として報知する報知手段とを備えた。
【００１０】
請求項３に記載のＡＣＦ貼着方法は、一列に並んで設けられた複数の電極部から成る電極部列を有した基板を保持する基板保持部と、基板保持部に保持された基板上の電極部にＡＣＦテープの切片を貼着する２つの貼着ヘッドとを備えたＡＣＦ貼着装置によるＡＣＦ貼着方法であって、２つの貼着ヘッドを作動させて電極部列を構成する各電極部にＡＣＦテープの切片を貼着するＡＣＦテープ切片貼着工程と、ＡＣＦテープ切片貼着工程において２つの貼着ヘッドがＡＣＦテープの切片を基板上の各電極部に貼着するのに応じ、各電極部とその電極部にＡＣＦテープの切片を貼着した貼着ヘッドとの対応関係データを作成する対応関係データ作成工程とを含む。
【００１１】
請求項４に記載の部品実装方法は、一列に並んで設けられた複数の電極部から成る電極部列を有した基板を保持する基板保持部と、基板保持部に保持された基板上の電極部にＡＣＦテープの切片を貼着する２つの貼着ヘッドとを備えたＡＣＦ貼着装置、ＡＣＦ貼着装置によってＡＣＦテープの切片が貼着された各電極部への部品の装着を行う部品装着装置を含んで構成される部品実装システムによる部品実装方法であって、２つの貼着ヘッドを作動させて電極部列を構成する各電極部にＡＣＦテープの切片を貼着するＡＣＦテープ切片貼着工程と、ＡＣＦテープ切片貼着工程において２つの貼着ヘッドがＡＣＦテープの切片を基板上の各電極部に貼着するのに応じ、各電極部とその電極部にＡＣＦテープの切片を貼着した貼着ヘッドとの対応関係データを作成する対応関係データ作成工程と、ＡＣＦテープ切片貼着工程においてＡＣＦテープの切片が貼着された各電極部に部品装着装置が備える装着ヘッドによって部品の装着を行う部品装着工程と、部品装着工程において部品が装着された各電極部における部品の装着状態に基づいて、部品の装着状態が不良な電極部があるかどうかの判定を行う判定工程と、判定工程において部品の装着状態が不良な電極部があると判定された場合に、その電極部にＡＣＦテープの切片を貼着した貼着ヘッドを対応関係データ作成工程において作成した対応関係データに基づいて特定する貼着ヘッド特定工程と、貼着ヘッド特定工程において特定した貼着ヘッドを注意対象として報知する報知工程とを含む。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、２つの貼着ヘッドがＡＣＦテープの切片を基板上の各電極部に貼着するのに応じ、各電極部とその電極部にＡＣＦテープの切片を貼着した貼着ヘッドとの対応関係データを作成するようになっており、基板上における部品の装着不良状態が生じたときには、対応関係データを参照することで、各電極部に貼着されたＡＣＦテープの切片が２つの貼着ヘッドのうちのどちらによって貼着されたかを特定（追跡）することができるので、部品が装着不良となった十分な原因追究を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施の形態における部品実装システムの構成図
【図２】本発明の一実施の形態における部品実装システムによる基板に対する部品実装作業の進行手順を示す図
【図３】本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置の正面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置の側面図
【図５】本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置の部分拡大斜視図
【図６】本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置の部分拡大正面図
【図７】本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置の部分拡大正面図
【図８】本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置の制御系統を示すブロック図
【図９】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置が実行するＡＣＦ貼着作業の手順を示す図
【図１０】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置が実行するＡＣＦ貼着作業の手順を示す図
【図１１】本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置により基板上の電極部列を構成する各電極部にＡＣＦを貼着するＡＣＦ貼着作業の手順を示すメインルーチンのフローチャート
【図１２】本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置により基板上の電極部列を構成する各電極部にＡＣＦを貼着するＡＣＦ貼着作業の手順を示すサブルーチンのフローチャート
【図１３】本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置のデータ記憶部に記憶される対応関係データの一例を示す図
【図１４】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置が実行するＡＣＦ貼着作業の手順を示す図
【図１５】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置が実行するＡＣＦ貼着作業の手順を示す図
【図１６】本発明の一実施の形態における部品実装システムが備える仮圧着装置の斜視図
【図１７】本発明の一実施の形態における仮圧着装置の平面図
【図１８】本発明の一実施の形態における仮圧着装置の側面図
【図１９】本発明の一実施の形態における仮圧着装置の部分拡大正面図
【図２０】本発明の一実施の形態における仮圧着装置の制御系統を示すブロック図
【図２１】本発明の一実施の形態における仮圧着装置が実行する仮圧着作業の流れを示すフローチャート
【図２２】本発明の一実施の形態における仮圧着装置のデータ記憶部に記憶される対応関係データの一例を示す図
【図２３】本発明の一実施の形態における部品実装システムが備える検査装置の制御系統を示すブロック図
【図２４】本発明の一実施の形態における検査装置が実行する検査工程の流れを示すフローチャート
【図２５】本発明の一実施の形態における検査装置のデータ記憶部に記憶される対応関係データの一例を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１に示す液晶パネル製造用の部品実装システム１は、長方形の基板（パネル）２の長辺及び短辺それぞれの端部に設けられた複数の電極部３Ｂ（各電極部は複数の電極３から成る）のそれぞれに駆動回路等の部品（電子部品）４を装着する部品実装作業を実行するものであり、電極部洗浄装置Ｍ１、ＡＣＦ貼着装置Ｍ２、仮圧着装置Ｍ３、第１の本圧着装置Ｍ４、第２の本圧着装置Ｍ５及び検査装置Ｍ６がこの順で連結されて成る。これらの装置Ｍ１〜Ｍ６はホストコンピュータＨＣによって統合制御されて動作し、ホストコンピュータＨＣから生産指令が出されているとき、上記装置Ｍ１〜Ｍ６の各々は部品実装作業の中における各担当分の作業工程を実行する。
【００１５】
部品実装システム１を構成する電極部洗浄装置Ｍ１は、外部から投入された液晶パネル基板としての基板２を受け取り、各電極部３Ｂの洗浄を行ったうえでその基板２を下流工程側のＡＣＦ貼着装置Ｍ２に搬出する。
【００１６】
ＡＣＦ貼着装置Ｍ２は、上流工程側の電極部洗浄装置Ｍ１から搬出された基板２を受け取り、基板２の各電極部３ＢにＡＣＦテープ５（図３）を短冊状に切断した切片（以下、ＡＣＦテープ切片５ｓと称する。図２参照）を貼着したうえで、その基板２を下流工程側の仮圧着装置Ｍ３に搬出する。ここで、ＡＣＦテープ５は片面に保護テープであるセパレータＳｐが貼り付けられたテープ部材Ｔｐとして供給される（図３中の拡大図参照）。
【００１７】
ここで、基板２上の複数の電極部３Ｂは、図２に示すように、一の長辺と一の短辺のそれぞれに一列に並んで設けられている。すなわち、基板２の一の長辺と一の短辺のそれぞれには、複数の電極部３Ｂから成る電極部列３Ｌが形成された状態となっている。
【００１８】
仮圧着装置Ｍ３は、ＡＣＦ貼着装置Ｍ２から搬出された基板２を受け取り、基板２の各電極部３Ｂに貼着されたＡＣＦテープ切片５ｓ上に部品４を装着（仮圧着）したうえで、その基板２を下流工程側の第１の本圧着装置Ｍ４に搬出する。
【００１９】
第１の本圧着装置Ｍ４は、仮圧着装置Ｍ３から搬出された基板２を受け取り、基板２の長辺側の各電極部３Ｂに仮圧着された部品４を熱圧着（本圧着）したうえで、その基板２を下流工程側の第２の本圧着装置Ｍ５に搬出する。
【００２０】
第２の本圧着装置Ｍ５は、第１の本圧着装置Ｍ４から搬出された基板２を受け取り、基板２の短辺側の各電極部３Ｂに仮圧着された部品４を熱圧着（本圧着）したうえで、その基板２を下流工程側の検査装置Ｍ６に搬出する。
【００２１】
検査装置Ｍ６は、第１の本圧着装置Ｍ４及び第２の本圧着装置Ｍ５から成る部品装着装置によって部品４が装着（圧着）された各電極部３Ｂにおける部品４の装着状態の検査及び種々の判定処理を行ったうえでその基板２を部品実装システム１の外部に搬出する。
【００２２】
図３、図４及び図５において、ＡＣＦ貼着装置Ｍ２は、基台１０、基台１０上に設けられた基板保持部移動機構１１によって移動自在に設けられて基板２を保持する基板保持部１２、基台１０の上方を水平方向に延びた横フレーム１３ａを有する門型フレーム１３、門型フレーム１３の横フレーム１３ａに沿って移動自在に設けられた２つの貼着ヘッド１４及び２つの貼着ヘッド１４の下方に設けられたバックアップステージ１５を備えている。以下、説明の便宜上、横フレーム１３ａの延びる方向であって２つの貼着ヘッド１４が移動する水平方向をＡＣＦ貼着装置Ｍ２の左右方向（Ｘ軸方向）とし、Ｘ軸方向と直交する水平方向をＡＣＦ貼着装置Ｍ２の前後方向（Ｙ軸方向）とする。また、上下方向をＺ軸方向とする。更に、左右方向（Ｘ軸方向）のうち、図３の紙面左側を左方、図３の紙面右側を右方とし、前後方向（Ｙ軸方向）のうち、図３の紙面手前側（オペレータＯＰが作業をする側であって、図４の紙面左方）を前方、図３の紙面奥側（図４の紙面右方）を後方とする。
【００２３】
図３、図４及び図５において、基板保持部移動機構１１はＸテーブル１１ａ、Ｙテーブル１１ｂ及びθテーブル１１ｃの相互の相対移動によって基板保持部１２を（すなわち基板２を）水平面内で移動させる。基板保持部１２は、基板２上の長辺側若しくは短辺側に設けられた電極部列３ＬがＸ軸方向に延びるように（すなわち複数の電極部３ＢがＸ軸方向に並ぶように）基板２を水平姿勢に保持する。
【００２４】
図４及び図６において、各貼着ヘッド１４は門型フレーム１３の横フレーム１３ａに沿った移動自在な平板状のベース部２０に、テープ搬送部２１、ツール昇降シリンダ２２によって昇降される押し付けツール２３、テープ切断部２４及び撮像カメラ２５を備えている。
【００２５】
図６において、テープ搬送部２１は、巻き掛けられたテープ部材Ｔｐを繰り出して供給するテープ供給リール３１、テープ供給リール３１より供給されるテープ部材Ｔｐを真空吸引して回収するテープ回収部３２及びテープ供給リール３１からテープ回収部３２までの間のテープ部材Ｔｐを案内する複数の案内ローラ（第１案内ローラ３３ａ、第２案内ローラ３３ｂ、第３案内ローラ３３ｃ及び一対の第４案内ローラ３３ｄ）から成る。
【００２６】
図６において、第１案内ローラ３３ａはベース部２０の左方上部に上下方向に延びて形成されたローラ移動溝２０ａ内を移動自在であるとともに、図示しない付勢部材によって上方に付勢されている。第２案内ローラ３３ｂは第１案内ローラ３３ａの下方のベース部２０の左側下部に設けられており、第３案内ローラ３３ｃは第２案内ローラ３３ｂの右方のベース部２０の右側下部に設けられている。一対の第４案内ローラ３３ｄは第３案内ローラ３３ｃの上方のベース部２０の右側中央部に左右方向に並んで設けられている。
【００２７】
図６において、テープ供給リール３１から供給されるテープ部材Ｔｐは、第１案内ローラ３３ａ、第２案内ローラ３３ｂ、第３案内ローラ３３ｃ及び一対の第４案内ローラ３３ｄによってこの順で案内され（一対の第４案内ローラ３３ｄではテープ部材Ｔｐは両面が左右方向から挟まれた状態となる）、テープ回収部３２に送られる。
【００２８】
図６において、テープ部材Ｔｐは、第１案内ローラ３３ａがローラ移動溝２０ａ内で上方に付勢されることによって適度なテンションが与えられ、第１案内ローラ３３ａと第２案内ローラ３３ｂの間ではベース部２０の左側領域を垂直方向に延びた姿勢に保持され、第２案内ローラ３３ｂと第３案内ローラ３３ｃの間では、ベース部２０の下側領域を左右方向（Ｘ軸方向）に延びた水平方向に延びた姿勢に保持される。またテープ部材Ｔｐは、第３案内ローラ３３ｃと一対の第４案内ローラ３３ｄの間及び一対の第４案内ローラ３３ｄとテープ回収部３２との間では、ベース部２０の右側領域を垂直方向に延びた姿勢に保持される。
【００２９】
図６において、テープ搬送部２１は、テープ回収部３２によってテープ部材Ｔｐを吸引するとともに一対の第４案内ローラ３３ｄでテープ部材Ｔｐの流れの下流側へ送りながらテープ供給リール３１からテープ部材Ｔｐを繰り出すことによってテープ部材Ｔｐを順方向（第２案内ローラ３３ｂと第３案内ローラ３３ｃとの間の水平搬送領域を左から右に流れる方向。図６中に示す矢印Ａ）に搬送することができ、テープ回収部３２によってテープ部材Ｔｐを吸引するとともに一対の第４案内ローラ３３ｄでテープ部材Ｔｐの流れの上流側へ送りながらテープ供給リール３１によりテープ部材Ｔｐを巻き取ることによってテープ部材Ｔｐを逆方向（上記水平搬送領域を右から左に流れる方向）に搬送することができる。
【００３０】
図６において、押し付けツール２３はツール昇降シリンダ２２により所定の初期位置（図６に示す位置）とその下方のテープ押し付け位置との間で移動され、押し付けツール２３は、初期位置にあるときには第２案内ローラ３３ｂと第３案内ローラ３３ｃによって水平方向に案内されるテープ部材Ｔｐよりも上方の位置に位置し（図３参照）、テープ押し付け位置にあるときには、第２案内ローラ３３ｂと第３案内ローラ３３ｃによって水平方向に案内されるテープ部材Ｔｐよりも下方の位置に位置する。
【００３１】
このように本実施の形態において、テープ搬送部２１は、ベース部２０に設けられ、ＡＣＦテープ５の片面にセパレータＳｐが取り付けられたテープ部材Ｔｐを押し付けツール２３の下方において水平方向に搬送するテープ搬送手段として機能する。
【００３２】
図６において、押し付けツール２３にはヒータ２３ｈが内蔵されており、このヒータ２３ｈを作動させることによって押し付けツール２３の全体を加熱することができる。
【００３３】
図６において、テープ切断部２４は第３案内ローラ３３ｃと一対の第４案内ローラ３３ｄの間の位置に設けられており、第３案内ローラ３３ｃと一対の第４案内ローラ３３ｄの間を垂直に延びるテープ部材Ｔｐの右方領域に設けられたカッター２４ａ及びテープ部材Ｔｐの左方領域においてカッター２４ａと水平方向に対向する位置（すなわちカッター２４ａとの間でテープ部材Ｔｐを挟む位置）に設けられた背板部２４ｂを有して成る。
【００３４】
図６において、カッター２４ａは左方の切断位置と右方の待機位置との間で水平方向（すなわち、テープ部材Ｔｐの面に直交する方向）に移動自在であり、切断位置に位置した状態において、セパレータＳｐを切断することなく、ＡＣＦテープ５のみを切断する。なお、カッター２４ａがＡＣＦテープ５に押し付けられたとき、背板部２４ｂはテープ部材Ｔｐの左面のセパレータＳｐを支持してテープ部材Ｔｐに対するカッター２４ａの押し付け荷重の反力をとる当て板として機能する。
【００３５】
図７において、第３案内ローラ３３ｃと一対の第４案内ローラ３３ｄの間を垂直方向に延びるテープ部材Ｔｐの右面のＡＣＦテープ５は、その先端部がカッター２４ａによるＡＣＦテープ５の切断位置Ｍよりも長さＬｓだけ引き上げられた状態でテープ切断部２４によって切断される。この長さＬｓは、基板２上のＡＣＦテープ切片５ｓを貼着しようとする電極部３ＢのＸ軸方向の寸法に対応する長さであり、ＡＣＦテープ５がテープ切断部２４によって切断されることによって、セパレータＳｐ上に長さＬｓのＡＣＦテープ切片５ｓが形成される。
【００３６】
図６において、撮像カメラ２５はベース部２０の右側下方に撮像視野を下方に向けて設けられており、ベース部２０の水平方向への移動に応じて移動し、基板保持部１２に保持された基板２の左右両端部に設けられた位置決め用のマーク（図示せず）の撮像を行う。
【００３７】
各貼着ヘッド１４の門型フレーム１３の横フレーム１３ａに対する左右方向（Ｘ軸方向）への移動は、ＡＣＦ貼着装置Ｍ２が備える制御装置４０（図３及び図８）が図示しないアクチュエータ等から成るベース部移動機構４１（図８）の作動制御を行うことによってなされる。
【００３８】
基板保持部１２に保持された基板２の移動（位置決め）動作は、制御装置４０が図示しないアクチュエータ等から成る基板保持部駆動機構４２（図８）の作動制御を行うことによってなされる。
【００３９】
テープ搬送部２１によるテープ部材Ｔｐの搬送動作は、制御装置４０がテープ供給リール３１を駆動する供給リール駆動モータ４３（図４及び図８）とテープ回収部３２を駆動するテープ回収部駆動機構４４（図４及び図８）及び一対の第４案内ローラ３３ｄを駆動するローラ駆動機構４５（図４及び図８）の作動制御を行うことによってなされる。
【００４０】
テープ部材ＴｐにおけるＡＣＦテープ５の先頭部の位置は、回転数検出センサ４６（図８）によって検出される一対の第４案内ローラ３３ｄのうちの一方の回転数の情報と、この一方の第４案内ローラ３３ｄの半径のデータ等から制御装置４０において算出される。
【００４１】
テープ切断部２４におけるカッター２４ａの左右方向への移動動作、すなわちカッター２４ａによるＡＣＦテープ５の切断動作は、制御装置４０がカッター２４ａを左右方向に移動させるカッター駆動シリンダ４７（図８）の作動制御を行うことによってなされる。
【００４２】
押し付けツール２３の昇降動作は、制御装置４０がツール昇降シリンダ２２の作動制御を行うことによってなされる（図８）。また、押し付けツール２３に内蔵されたヒータ２３ｈによる押し付けツール２３の加熱動作は、制御装置４０がヒータ作動機構４８（図８）の作動制御を行うことによってなされる。
【００４３】
撮像カメラ２５による撮像動作制御は制御装置４０によってなされる（図８）。撮像カメラ２５によって撮像された画像データは制御装置４０に送られ、制御装置４０の画像認識部４０ａ（図８）において画像認識される。
【００４４】
図８において、制御装置４０には入出力装置としてのタッチパネル４９が接続されており、オペレータＯＰはこのタッチパネル４９を介してメッセージを受けることができるとともに、タッチパネル４９を介して必要な指令入力を行うことができる。
【００４５】
図８において、制御装置４０には貼着動作プログラム記憶部４０ｂが設けられている。貼着動作プログラム記憶部４０ｂにはこのＡＣＦ貼着装置Ｍ２が部品実装システム１の部品実装作業の中で担当するＡＣＦ貼着作業（基板２にＡＣＦテープ切片５ｓを貼着する作業）を実行するための貼着動作プログラムが記憶されており、部品実装システム１のホストコンピュータＨＣからＡＣＦ貼着装置Ｍ２に生産指令が出されているときは、制御装置４０は貼着動作プログラム記憶部４０ｂから読み出した貼着動作プログラムを実行してＡＣＦ貼着装置Ｍ２の各部を作動させる。
【００４６】
ＡＣＦ貼着装置Ｍ２の制御装置４０が実行する貼着動作プログラムには、各貼着ヘッド１４がＡＣＦテープ５からＡＣＦテープ切片５ｓを切り出して基板２上の電極部３Ｂに貼着する手順のほか、基板２に設けられた電極部列３Ｌを構成する各電極部３Ｂに貼着されるＡＣＦテープ切片５ｓがどの（左右のうちのどちらの）貼着ヘッド１４によって貼着されるかが規定されている。但し、電極部列３Ｌを構成する電極部３Ｂの数が奇数個である場合には、その電極部列３Ｌの真ん中に位置する電極部３Ｂにはどの貼着ヘッド１４によってＡＣＦテープ切片５ｓが貼着されるかは、その時々の状況によってその都度制御装置４０によって決定されるため、貼着動作プログラムには規定されていない。
【００４７】
制御装置４０は、基板２上の電極部列３Ｌを構成する各電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓを貼着する場合には、先ず、電極部列３Ｌがバックアップステージ１５の直上に位置するように基板保持部１２を移動させて基板２の位置決めを行った後、ベース部２０を左右方向（Ｘ軸方向）に移動させて、押し付けツール２３の左端がＡＣＦテープ切片５ｓを貼着しようとする電極部３Ｂの左端の直上に位置するように貼着ヘッド１４の位置決めを行う（図９（ａ））。
【００４８】
制御装置４０は、貼着ヘッド１４の位置決めと並行して、テープ搬送部２１によってテープ部材Ｔｐを順方向に搬送し（図９（ａ）中に示す矢印Ｂ１）、ＡＣＦテープ５の先頭部がテープ切断部２４によるＡＣＦテープ５の切断位置Ｍを通り過ぎて電極部３ＢのＸ軸方向の長さに相当する長さＬｓだけ上方の位置に位置した状態になるようにＡＣＦテープ５の先頭部の位置決めを行う（図９（ａ））。そして、カッター駆動シリンダ４７の作動制御を行ってカッター２４ａを待機位置から切断位置に移動させ（図９（ａ）中に示す矢印Ｃ）、ＡＣＦテープ５の切断を行って、セパレータＳｐ上に長さＬｓのＡＣＦテープ切片５ｓを形成させる（図９（ａ））。
【００４９】
制御装置４０は、セパレータＳｐ上に長さＬｓのＡＣＦテープ切片５ｓを形成させたら、テープ搬送部２１によってテープ部材Ｔｐを逆方向に搬送し（図９（ｂ）中に示す矢印Ｂ２）、セパレータＳｐ上に形成させたＡＣＦテープ切片５ｓを押し付けツール２３の下方（これからＡＣＦテープ切片５ｓを貼着しようとする電極部３Ｂの直上）に位置決めする（図９（ｂ））。
【００５０】
制御装置４０は、ＡＣＦテープ切片５ｓの位置決めを行ったら、ツール昇降シリンダ２２の作動制御を行って押し付けツール２３をテープ押し付け位置まで下降させ（図９（ｃ）中に示す矢印Ｄ１）、ヒータ２３ｈで予め加熱しておいた押し付けツール２３によってＡＣＦテープ切片５ｓをセパレータＳｐごとバックアップステージ１５に下面が支持された基板２の縁部に押し付けて、ＡＣＦテープ切片５ｓを基板２上の電極部３Ｂに貼着させる（図９（ｃ））。
【００５１】
制御装置４０は、押し付けツール２３によって基板２上の電極部３ＢにＡＣＦテープ５を貼着させた押し付けツール２３を初期位置まで上昇させる（図１０（ａ）。図中に示す矢印Ｄ２）。図１０（ａ）に示すように、押し付けツール２３を初期位置に上昇させても、第２案内ローラ３３ｂと第３案内ローラ３３ｃの間のテープ部材Ｔｐは、ＡＣＦテープ切片５ｓが電極部３Ｂに貼着されていることから、下方に引っ張られた状態が維持される。
【００５２】
制御装置４０は押し付けツール２３を初期位置まで上昇させたら、貼着ヘッド１４を左方に移動させつつ（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｅ）、テープ搬送部２１によってテープ部材Ｔｐを順方向に搬送する（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｂ３）。これにより、基板２上に貼着されたＡＣＦテープ切片５ｓの上面に貼り付いているセパレータＳｐは上方に引っ張り上げられながら、電極部３Ｂに貼着されたＡＣＦテープ切片５ｓから剥離される（図１０（ｃ））。
【００５３】
このように各貼着ヘッド１４は、ＡＣＦテープ切片５ｓの供給媒体であるテープ部材Ｔｐの搬送動作を行ってＡＣＦテープ切片５ｓを基板２上の電極部３Ｂの上方に位置させたうえでＡＣＦテープ切片５ｓを基板２に押し付けてＡＣＦテープ切片５ｓを電極部３Ｂに貼着する。
【００５４】
ＡＣＦ貼着装置Ｍ２により基板２上に形成された電極部列３Ｌを構成する各電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓを貼着する作業（ＡＣＦ貼着方法及びこれを含む部品実装方法）を実行する場合、制御装置４０は、図１１のメインルーチンのフローチャートに示すように、先ず、上流側の電極部洗浄装置Ｍ１から送られてきた基板２を図示しない基板搬入機構によって搬入し、基板保持部１２の上面に保持させる（図１１に示すステップＳＴ１）。
【００５５】
制御装置４０は、基板２の搬入及び保持を行ったら、基板２上に形成された電極部列３Ｌがバックアップステージ１５の直上に位置するように（図４中に一点鎖線で示す基板２参照）、基板保持部移動機構１１を作動させて基板保持部１２を移動させ、基板２の位置決めを行う（図１１に示すステップＳＴ２）。この基板２の位置決めの際、制御装置４０は２つの貼着ヘッド１４をそれぞれＸ軸方向に移動させ、各貼着ヘッド１４に備えられた撮像カメラ２５によって、基板２の左右両端部に設けられた位置決め用のマークをひとつずつ撮像する。そして、得られた位置決め用のマークの画像データを画像認識部４０ａにおいて画像認識することによって、基板２のバックアップステージ１５に対する位置ずれを求め、位置ずれが起きている場合には基板２の位置決めを改めて行う。
【００５６】
制御装置４０は基板２の位置決めを行ったら、２つの貼着ヘッド１４の作動制御を行って、バックアップステージ１５の直上に位置させた電極部列３Ｌを構成する各電極部３Ｂを対象とするＡＣＦテープ切片５ｓの貼着作業を行う（図１１に示すステップＳＴ３）。
【００５７】
このステップＳＴ３のＡＣＦテープ切片５ｓの貼着作業では、制御装置４０は、図１２のサブルーチンのフローチャートに示すように、はじめに、２つの電極部３Ｂに対して２つのＡＣＦテープ切片５ｓを同時に貼着するペア貼着動作（第１の貼着動作）が１回又は複数回実行されるように２つの貼着ヘッド１４を作動させる（図１２に示すステップＳＴ１１）。これにより電極部列３Ｌが偶数個の電極部３Ｂから成る場合には電極部列３Ｌを構成する全ての電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓが貼着され、電極部列３Ｌを構成する電極部３Ｂの数が奇数個である場合には電極部列３Ｌを構成する複数の電極部３Ｂの中からひとつを除いた全ての電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓが貼着される。
【００５８】
制御装置４０は、次に電極部列３Ｌを構成する電極部３Ｂの数が偶数個であるか否かの判断を行い（図１２に示すステップＳＴ１２）、その結果、電極部３Ｂの数が奇数個であった場合には、１つの貼着ヘッド１４により残りの１つの電極部３Ｂに対して１つのＡＣＦテープ切片５ｓを貼着する単独貼着動作（第２の貼着動作）が１回実行されるようにするが、その前に、前回単独貼着動作を行った貼着ヘッド１４のフラグＦの読み出しを行う（図１２に示すステップＳＴ１３）。ここで、フラグは単独貼着動作を行った貼着ヘッド１４を識別するための符号であり、本実施の形態では、２つの貼着ヘッド１４の一方を第１の貼着ヘッド１４、他方を第２の貼着ヘッド１４とする場合に、第１の貼着ヘッド１４のフラグを「０」、第２の貼着ヘッド１４のフラグを「１」と定めている。
【００５９】
制御装置４０は、ステップＳＴ１３で貼着ヘッド１４のフラグＦを読み出したら、次いで、その読み出したフラグＦが「０」であるかどうかの判断を行う（図１２に示すステップＳＴ１４）。その結果、フラグＦが「０」でなかった（すなわち前回単独貼着動作を行ったのは第２の貼着ヘッド１４であった）場合は、制御装置４０は、前回単独貼着動作を実行した貼着ヘッド１４とは反対側の貼着ヘッド１４である第１の貼着ヘッド１４により単独貼着動作を実行する（図１２に示すステップＳＴ１５）。これにより電極部列３Ｌを構成する複数の電極部３Ｂの中の残りのひとつの電極部３ＢにもＡＣＦテープ切片５ｓの貼着がなされ、電極部列３Ｌを構成する全ての電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓが貼着される。第１の貼着ヘッド１４によるＡＣＦテープ切片５ｓの貼着を行ったら、フラグＦに「０」を代入して処理を終了する（図１２に示すステップＳＴ１６）。
【００６０】
一方、ステップＳＴ１４でフラグＦが「０」であった（すなわち前回単独貼着動作を行ったのは第１の貼着ヘッド１４であった）場合には、制御装置４０は、前回単独貼着動作を実行した貼着ヘッド１４とは反対側の貼着ヘッド１４である第２の貼着ヘッド１４により単独貼着動作を実行する（図１２に示すステップＳＴ１７）。これにより電極部列３Ｌを構成する複数の電極部３Ｂの中の残りのひとつの電極部３ＢにもＡＣＦテープ切片５ｓの貼着がなされ、電極部列３Ｌを構成する全ての電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓが貼着される。第２の貼着ヘッド１４によるＡＣＦテープ切片５ｓの貼着を行ったら、フラグＦに「１」を代入して処理を終了する（図１２に示すステップＳＴ１８）。
【００６１】
このように、電極部列３Ｌを構成する電極部３Ｂの数が奇数個であり、２つの貼着ヘッド１４により、２つの電極部３Ｂに対して２つのＡＣＦテープ切片５ｓを同時に貼着するペア貼着動作（第１の貼着動作）を１回又は複数回実行した後、１つの貼着ヘッド１４により、残りの１つの電極部３Ｂに対して１つのＡＣＦテープ切片５ｓを貼着する単独貼着動作（第２の貼着動作）を１回実行するようにするようになっている場合には、単独貼着動作を２つの貼着ヘッド１４に交互に行わせるようにすることにより、２つのテープ供給リール３１の交換時期を一致させることができ、これによりテープ供給リール３１の交換作業をやり易くすることができる。
【００６２】
上記のように、本実施の形態において、ＡＣＦ貼着装置Ｍ２の制御装置４０は、２つの貼着ヘッド１４を作動させて電極部列３Ｌを構成する各電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓを貼着するＡＣＦテープ切片貼着制御手段として機能する。また、上記のステップＳＴ１２〜ステップＳＴ１８は、２つの貼着ヘッド１４を作動させて電極部列３Ｌを構成する各電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓを貼着するＡＣＦテープ切片貼着工程となっている。
【００６３】
制御装置４０は、ステップＳＴ１６又はステップＳＴ１８の工程が終了したら、貼着動作プログラムの内容（ペア貼着動作における電極部３Ｂとその電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓを貼着する貼着ヘッド１４の左右の別の識別符号（Ｌ，Ｒ）の対応関係が記録されたデータ）と、ステップＳＴ１５又はステップＳＴ１７の工程においてどちらの貼着ヘッド１４によって単独貼着動作を実行したかの情報（単独貼着動作における電極部３Ｂとその電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓを貼着した貼着ヘッド１４の左右の別の識別符号（Ｌ，Ｒ）の対応関係が記録されたデータ）に基づいて、各電極部３Ｂとその電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓ貼着した貼着ヘッド１４との対応関係データを作成し（図１２に示すステップＳＴ１９）、サブルーチンによる処理を終了してメインルーチンに戻る。また、前述のステップＳＴ１２の判断工程で、電極部３Ｂの数が偶数個であった場合においても、サブルーチンによる処理を終了してメインルーチンへ戻る。
【００６４】
上記対応関係データは、例えば、図１３に示すように、各基板２に付される基板ＩＤ（０００００１，０００００２，・・・）、基板２上の電極部列３Ｌの横（Ｓ）と縦（Ｇ）の別及び基板２上の各電極部３Ｂに個別に付される電極部位置番号（００１，００２、・・・）から特定される電極部３Ｂの位置と、ＡＣＦテープ切片５ｓの貼着を行った貼着ヘッド１４の左右の別の識別符号（Ｌ，Ｒ）との組み合わせから成る。なお、この対応関係データは、制御装置４０が備えるデータ記憶部４０ｃ（図８）に記憶されるとともに、ホストコンピュータＨＣを介して下流工程側の仮圧着装置Ｍ３に送られる。
【００６５】
このように、本実施の形態において、ＡＣＦ貼着装置Ｍ２の制御装置４０は、ＡＣＦテープ切片貼着制御手段としての自身（制御装置４０）に制御された２つの貼着ヘッド１４がＡＣＦテープ切片５ｓを基板２上の各電極部３Ｂに貼着するのに応じ、各電極部３Ｂとその電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓを貼着した貼着ヘッド１４との対応関係データを作成する対応関係データ作成手段として機能する。
【００６６】
また、本実施の形態において、上記ステップＳＴ１９は、ステップＳＴ１２〜ステップＳＴ１８のＡＣＦテープ切片貼着工程において２つの貼着ヘッド１４がＡＣＦテープ切片５ｓを基板２上の各電極部３Ｂに貼着するのに応じ、各電極部３Ｂとその電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓを貼着した貼着ヘッド１４との対応関係データを作成する対応関係データ作成工程となっている。
【００６７】
ここで、図１４（ａ），（ｂ），（ｃ）及び図１５（ａ），（ｂ），（ｃ）を用いて、５個（すなわち奇数個）の電極部３Ｂが設けられている電極部列３Ｌに対するＡＣＦテープ切片５ｓの貼着作業を連続して行う場合の２つの貼着ヘッド１４の動作手順の一例を説明する。ここでは説明の便宜上、電極部列３Ｌには左方（図１４及び図１５の紙面左方）から第１電極部３Ｂａ、第２電極部３Ｂｂ、第３電極部３Ｂｃ、第４電極部３Ｂｄ及び第５電極部３Ｂｅがこの順で並んで設けられているものとし、２つの貼着ヘッド１４のうち、相対的に左方に位置する貼着ヘッド１４を左側貼着ヘッド１４Ｌ、相対的に右方に位置する貼着ヘッド１４を右側貼着ヘッド１４Ｒと称する。
【００６８】
制御装置４０は、先ず、左側貼着ヘッド１４Ｌによる第２電極部３ＢｂへのＡＣＦテープ切片５ｓの貼着と右側貼着ヘッド１４Ｒによる第５電極部３ＢｅへのＡＣＦテープ切片５ｓの貼着とを同時に行い（図１４（ａ））、次いで左側貼着ヘッド１４Ｌによる第１電極部３ＢａへのＡＣＦテープ切片５ｓの貼着と右側貼着ヘッド１４Ｒによる第４電極部３ＢｄへのＡＣＦテープ切片５ｓの貼着とを同時に行う（図１４（ｂ）。前述のサブルーチンのステップＳＴ１１に相当する工程）。これによりペア貼着動作が終了し、電極部列３Ｌを構成する５つの電極部３Ｂのうち、第３電極部３Ｂｃを除く４個の電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓが貼着された状態となる。
【００６９】
制御装置４０は、電極部列３Ｌを構成する電極部３Ｂの数が偶数個であるかどうかの判断を行い（前述のステップＳＴ１２に相当する工程）、ここでは電極部３Ｂの数は５個すなわち奇数個であることから、前回単独貼着動作を行った貼着ヘッド１４のフラグＦの読み出しを行う（前述のステップＳＴ１３に相当する工程）。ここで、前回単独貼着動作を行った貼着ヘッド１４が右側貼着ヘッド１４ＲであってフラグＦが「０」でなかったとすると、前回とは反対側の左側貼着ヘッド１４Ｌによる第３電極部３ＢｃへのＡＣＦテープ切片５ｓの貼着を行ったうえで（図１４（ｃ）。前述のステップＳＴ１５に相当する工程）、貼着ヘッド１４のフラグＦに「０」を代入する（前述のステップＳＴ１６に相当する工程）。これにより電極部列３Ｌを構成する各電極部３ＢへのＡＣＦテープ切片５ｓの貼着作業が終了する。
【００７０】
制御装置４０は、電極部列３Ｌを構成する各電極部３ＢへのＡＣＦテープ切片５ｓの貼着作業が終了し、次の電極部列３Ｌ（奇数個の電極部３Ｂを有する電極部列３Ｌ。この「次の電極部列３Ｌ」は同一基板２におけるもう一方の電極部列３Ｌである場合もあるし、次の基板２が備える電極部列３Ｌである場合もある）を構成する各電極部３ＢへのＡＣＦテープ切片５ｓの貼着作業を実行するときは、前回行った奇数個の電極部３Ｂを有する電極部列３Ｌを対象としたＡＣＦテープ切片５ｓの貼着作業の場合と同様に、左側貼着ヘッド１４Ｌによる第２電極部３ＢｂへのＡＣＦテープ切片５ｓの貼着と右側貼着ヘッド１４Ｒによる第５電極部３ＢｅへのＡＣＦテープ切片５ｓの貼着とを同時に行い（図１５（ａ））、次いで左側貼着ヘッド１４Ｌによる第１電極部３ＢａへのＡＣＦテープ切片５ｓの貼着と右側貼着ヘッド１４Ｒによる第４電極部３ＢｄへのＡＣＦテープ切片５ｓの貼着とを同時に行う（図１５（ｂ）。前述のステップＳＴ１１に相当する工程）。これによりペア貼着動作が終了し、電極部列３Ｌを構成する５つの電極部３Ｂのうち、第３電極部３Ｂｃを除く４個の電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓが貼着された状態となる。
【００７１】
制御装置４０は、電極部列３Ｌを構成する電極部３Ｂの数が偶数個であるかどうかの判断を行い（前述のステップＳＴ１２に相当する工程）、ここでは電極部３Ｂの数は５個すなわち奇数個であることから、前回、ひとつ目の電極部列３Ｌについて単独貼着動作を行った貼着ヘッド１４のフラグＦの読み出しを行う（前述のステップＳＴ１３に相当する工程）。ここで、前回単独貼着動作を行った貼着ヘッド１４は左側貼着ヘッド１４ＬであってフラグＦは「０」であるので、前回とは反対側の右側貼着ヘッド１４Ｒによる第３電極部３ＢｃへのＡＣＦテープ切片５ｓの貼着を行ったうえで（図１５（ｃ）。前述のステップＳＴ１７に相当する工程）、貼着ヘッド１４のフラグＦに「１」を代入する（前述のステップＳＴ１８に相当する工程）。これによりふたつ目の電極部列３Ｌを構成する各電極部３ＢへのＡＣＦテープ切片５ｓの貼着作業が終了する。
【００７２】
制御装置４０は、上記手順により、サブルーチンによる処理を終了してメインルーチンに戻った（ステップＳＴ３の工程が終了した）ら、現在作業対象としている基板２上に、まだＡＣＦテープ切片５ｓの貼着を行っていない電極部列３Ｌがあるかどうかの判断を行う（図１１に示すステップＳＴ４）。そして、その結果、現在作業対象としている基板２上にまだＡＣＦテープ切片５ｓの貼着を行っていない電極部列３Ｌがあった場合にはステップＳＴ２に戻ってその電極部列３Ｌがバックアップステージ１５の直上に位置するように基板２の位置決めを行い、現在作業対象としている基板２上にまだＡＣＦテープ切片５ｓの貼着を行っていない電極部列３Ｌがなかった場合には、図示しない基板搬出機構によって、基板保持部１２に保持された基板２（各電極部３ＢへのＡＣＦテープ切片５ｓの貼着が終了した基板２）を下流側に設置された仮圧着装置に搬出し（図１１に示すステップＳＴ５）、基板２の１枚当たりのＡＣＦ貼着作業を終了する。
【００７３】
次に、部品実装システム１を構成する仮圧着装置Ｍ３について説明する。図１６、図１７及び図１８において仮圧着装置Ｍ３は、基台５１上に、基板２の位置決めを行う基板位置決め部５２、部品４の供給を行う部品供給部５３、部品供給部５３より供給される複数の部品４をそれぞれ異なる部品受け取り手段（後述する受け取りノズル８７）によって受け取ってその受け取った各部品４を所定のピックアップ位置に移送する部品移送部５４及び部品移送部５４によってピックアップ位置に移送された部品４をピックアップして基板位置決め部５２により位置決めされた基板２に装着（仮圧着）する部品装着部５５を備えている。以下、説明の便宜上、オペレータＯＰから見て基台５１の左右方向を仮圧着装置Ｍ３のＸ軸方向、オペレータＯＰから見て基台５１の前後方向を仮圧着装置Ｍ３のＹ軸方向、基台５１の上下方向を仮圧着装置Ｍ３のＺ軸方向とする。また、オペレータＯＰから見て基台５１の右側を右方、左側を左方とし、オペレータＯＰから見て基台５１の手前側を前方、奥側を後方とする。
【００７４】
図１７及び図１８において、基板位置決め部５２は、基台５１に対してＸ軸方向に相対移動自在に設けられたＸテーブル６１、Ｘテーブル６１に対してＹ軸方向に移動自在に設けられたＹテーブル６２、Ｙテーブル６２に対してＺ軸回りに回転自在に設けられたθテーブル６３及びθテーブル６３の上面に設けられた基板支持テーブル６４を備えて成る。
【００７５】
図１６及び図１９において、部品供給部５３は、部品４を載せた部品供給テープＢＴを搬送する左右２つのテープ搬送部７１と、左右のテープ搬送部７１それぞれが搬送する部品供給テープＢＴから部品４を打ち抜く左右２つの部品打ち抜き部７２を備えて成る。
【００７６】
図１６及び図１９において、左右のテープ搬送部７１はそれぞれ、部品供給テープＢＴの供給（繰出し）を行うテープ供給リール７１ａと、テープ供給リール７１ａより供給される部品供給テープＢＴを巻き取るテープ巻取りリール７１ｂと、テープ供給リール７１ａより供給される部品供給テープＢＴよりカバーテープＣＴを剥がして巻き取るカバーテープ巻取りリール７１ｃから成る。各テープ搬送部７１では、テープ供給リール７１ａ、テープ巻き取りリール７１ｂ及びカバーテープ巻取りリール７１ｃが同期して回転することにより、テープ供給リール７１ａからの部品供給テープＢＴの供給、テープ巻き取りリール７１ｂによる部品供給テープＢＴの巻き取り及びカバーテープ巻き取りリール７１ｃによる部品供給テープＢＴからのカバーテープＣＴの巻き取りが行われ、カバーテープＣＴが剥がされた部品供給テープＢＴの一部が水平面内方向（Ｘ軸方向）に搬送される。
【００７７】
図１８及び図１９において、左右の部品打ち抜き部７２は、基台５１に対して固定された下側金型７２ａと、下側金型７２ａの上方を上下動される上側金型７２ｂから成る。下側金型７２ａと上側金型７２ｂの間には、テープ搬送部７１によって水平面内方向に搬送される部品供給テープＢＴが通っており、上側金型７２ｂを下側金型７２ａに対して下降させることにより、部品供給テープＢＴから部品４を打ち抜くことができる。
【００７８】
図１６及び図１９において、部品移送部５４は、基台５１上をＸ軸方向に延びて設けられたＸ軸ガイド８１、Ｘ軸ガイド８１に対してＹ軸方向に相対移動自在に設けられた左右のＹ軸テーブル８２、各Ｙ軸テーブル８２に対してＸ軸方向に移動自在に設けられた左右のＸ軸テーブル８３及び各Ｘ軸テーブル８３上に設けられた左右２つの移送ヘッド８４を備えている。
【００７９】
図１８及び図１９において、各移送ヘッド８４はＸ軸テーブル８３に対してＺ軸回りに回転自在に設けられており、テーブル駆動モータ８５によって駆動されて水平面内で回転されるインデックス型のターンテーブル８６と、ターンテーブル８６から上方に延びて設けられた複数（ここでは７つ）の受け取りノズル８７（前述の部品受け取り手段）を備えている。なお、これら複数の受け取りノズル８７は、図示しないアクチュエータによって、ターンテーブル８６に対して個別に昇降させることができる。
【００８０】
各移送ヘッド８４は、ターンテーブル８６を一定角度回転させることによって、複数の受け取りノズル８７のうちのいずれかひとつを部品打ち抜き部７２の下側金型７２ａの下方の位置（この位置を以下、「部品供給位置」と称する）に位置させる動作、部品供給位置に位置させた受け取りノズル８７を上昇させる動作（図１８中に破線で示す受け取りノズル８７参照）、部品供給位置で上昇させた受け取りノズル８７により、部品打ち抜き部７２によって打ち抜かれた部品４を下方から支持して受け取った後、その受け取りノズル８７を下降させる動作から成る一連の動きを繰り返す。このようにして移送ヘッド８４は、部品供給テープＢＴから連続的に打ち抜かれる複数の部品４をそれぞれ異なる受け取りノズル８７によって次々と受け取る。
【００８１】
各移送ヘッド８４は、複数の受け取りノズル８７によって部品打ち抜き部７２によって打ち抜かれた複数の部品４を受け取ったら部品装着部５５の側の所定の位置へ移動し、部品４を受け取った複数の受け取りノズル８７のうちのひとつを所定の位置（この位置を以下、「ノズル移動位置」と称する）に位置させることによって、部品装着部５５による部品４のピックアップ位置（このピックアップ位置は後述する左右の装着ヘッド９３に対応して左右２つある）に部品４を移送する。
【００８２】
左右の移送ヘッド８４はそれぞれ、対応するピックアップ位置（左側の移送ヘッド８４には左側のピックアップ位置が対応し、右側の移送ヘッド８４には右側のピックアップ位置が対応する）に移送した部品４が部品装着部５５によってピックアップされたら、ターンテーブル８６を一定角度回転させて、部品４がピックアップされた受け取りノズル８７の隣に位置する受け取りノズル８７によってピックアップ位置に部品４が新たに移送されるようにする。
【００８３】
図１６、図１７及び図１８において、部品装着部５５は、基台５１に立設された左右一対の支柱９１ａ及びこれら一対の支柱９１ａに掛け渡されて基台５１の横方向（Ｘ軸方向）に延びた横部材９１ｂから成る門型フレーム９１と、門型フレーム９１の横部材９１ｂに沿ってＸ軸方向に移動自在に設けられた左右のＸ軸移動体９２と、各Ｘ軸移動体９２に対してＹ軸方向に移動自在に設けられた左右２つの装着ヘッド９３と、基台５１に設けられて装着ヘッド９３の下方に位置するバックアップ部９４と、バックアップ部９４に設けられたカメラ９５を有して成る。
【００８４】
図１６及び図１８において、装着ヘッド９３は下方に延びたひとつの吸着ノズル９３ａを備えている。左右２つの装着ヘッド９３が備える各吸着ノズル９３ａは、図示しないエア供給源からの真空圧の供給を受けて部品４の真空吸着及びその解除動作を行う。
【００８５】
図１８においてバックアップ部９４は、基板位置決め部５２と部品供給部５３の間をＸ軸方向に延びて設けられたＸ軸部材９４ａと、Ｘ軸部材９４ａに沿って水平移動自在に設けられたスライダ９４ｂと、スライダ９４ｂの上部からＹ軸方向前方に張り出して設けられたバックアップステージ９４ｃ（図１８も参照）から成る。
【００８６】
左右の装着ヘッド９３はそれぞれ、部品移送部５４の対応する移送ヘッド８４によって対応するピックアップ位置（左側の装着ヘッド９３には左側の移送ヘッド８４及び左側のピックアップ位置が対応し、右側の装着ヘッド９３には右側の移送ヘッド８４及び右側のピックアップ位置が対応する）に移送された部品４を吸着ノズル９３ａによって真空吸着し、基板位置決め部５２により位置決めされた基板２の各電極部３Ｂに部品４を装着する。このとき基板２の電極部３Ｂの下方にはバックアップ部９４のバックアップステージ９４ｃが位置され、装着ヘッド９３は部品４を電極部３Ｂごとバックアップステージ９４ｃに押し付けるようにする（図１８）。なお、この仮圧着装置Ｍ３が位置決めする基板２の長辺側の各電極部３Ｂと短辺側の各電極部３Ｂには、仮圧着装置Ｍ３の上流工程側に設置されたＡＣＦ貼着装置Ｍ２によってＡＣＦテープ切片５ｓが貼着された状態となっている（図１７参照）。
【００８７】
図１８において、カメラ９５はバックアップ部９４が備えるスライダ９４ｂの下部（バックアップステージ９４ｃの下方）に取り付けられたカメラ支持部９４ｄによって撮像視野を上方に向けた状態で支持されている。図１８に示すように、バックアップステージ９４ｃにはカメラ９５の光軸に沿って上下方向に延びた貫通孔９４ｅが設けられており、カメラ９５は基板位置決め部５２により位置決めされた基板２の各電極部３Ｂに設けられた電極部側マーク（図示せず）と装着ヘッド９３の吸着ノズル９３ａに吸着された各部品４に設けられた部品側マーク（図示せず）を、貫通孔９４ｅを介して下方から同時に視認することができるようになっている。
【００８８】
基板位置決め部５２による基板２の位置決め動作（基板位置決め部５２を構成するＸテーブル６１の基台５１に対するＸ軸方向への移動動作、Ｙテーブル６２のＸテーブル６１に対するＹ軸方向への移動動作及びθテーブル６３のＹテーブル６２に対するＺ軸回りの回転動作）は、仮圧着装置Ｍ３が備える制御装置１００（図２０）が図示しないアクチュエータ等から成る基板位置決め部駆動機構１０１（図２０）の作動制御を行うことによってなされる。
【００８９】
部品供給部５３を構成する左右のテープ搬送部７１による部品供給テープＢＴの搬送動作は、制御装置１００が図示しないアクチュエータ等から成るテープ搬送機構１０２（図２０）の作動制御を行うことによってなされる。部品供給部５３を構成する左右の部品打ち抜き部７２による部品供給テープＢＴからの部品４の打ち抜き動作は、制御装置１００が図示しないアクチュエータ等から成る部品打ち抜き部駆動機構１０３（図２０）の作動制御を行うことによってなされる。
【００９０】
部品移送部５４を構成する左右の移送ヘッド８４による部品４の移送動作（Ｘ軸ガイド８１に対する各Ｙ軸テーブル８２のＹ軸方向への移動動作、各Ｙ軸テーブル８２に対するＸ軸テーブル８３のＸ軸方向への移動動作、各Ｘ軸テーブル８３に対するターンテーブル８６のＺ軸回りの回転動作及びターンテーブル８６に対する各受け取りノズル８７の昇降動作）は、制御装置１００が前述のテーブル駆動モータ８５を含むアクチュエータ等から成る部品移送部駆動機構１０４（図２０）の作動制御を行うことによってなされる。
【００９１】
部品装着部５５における左右の装着ヘッド９３の移動動作（門型フレーム９１の横部材９１ｂに対する各Ｘ軸移動体９２のＸ軸方向への移動動作及び各Ｘ軸移動体９２に対する装着ヘッド９３のＹ軸方向への移動動作）は、制御装置１００が図示しないアクチュエータ等から成る装着ヘッド移動機構１０５（図２０）の作動制御を行うことによってなされる。
【００９２】
各装着ヘッド９３による部品４の吸着及びその解除動作は、制御装置１００が前述の図示しないエア供給源と繋がるアクチュエータ等から成る真空吸着動作制御機構１０６（図２０）の作動制御を行って吸着ノズル９３ａ内に真空圧を供給し、或いは吸着ノズル９３ａ内に正圧を供給して吸着ノズル９３ａ内の真空破壊を行うことによってなされる。
【００９３】
カメラ９５による撮像動作は制御装置１００によって制御され（図２０）、カメラ９５の撮像動作によって得られた画像データは制御装置１００の画像認識部１００ａ（図２０）に送られて画像認識がなされる。
【００９４】
図２０において、制御装置１００には入出力装置としてのタッチパネル１０７が接続されており、オペレータＯＰはこのタッチパネル１０７を介してメッセージを受けることができるとともに、タッチパネル１０７を介して必要な指令入力を行うことができる。
【００９５】
図２０において、制御装置１００には仮圧着動作プログラム記憶部１００ｂが設けられている。仮圧着動作プログラム記憶部１００ｂにはこの仮圧着装置Ｍ３が部品実装システム１の部品実装作業の中で担当する仮圧着作業（基板２に部品４を仮圧着する作業）を実行するための仮圧着動作プログラムが記憶されており、部品実装システム１のホストコンピュータＨＣから仮圧着装置Ｍ３に生産指令が出されているときは、制御装置１００は仮圧着動作プログラム記憶部１００ｂから読み出した仮圧着動作プログラムを実行して仮圧着装置Ｍ３の各部を作動させる。
【００９６】
仮圧着装置Ｍ３の制御装置１００が実行する仮圧着動作プログラムには、基板２上の各電極部３Ｂに装着される部品４がどの（左右のうちのどちらの）装着ヘッド９３によって装着されるかが規定されている。これに対し、部品移送部５４を構成する左右の移送ヘッド８４が部品供給部５３から受け取った部品４をピックアップ位置に移送する際にどの受け取りノズル８７を用いるかはそのときどきの状況によってその都度制御装置１００によって決定されるため、部品移送部５４が備える左右の移送ヘッド８４のどの受け取りノズル８７によって部品４をピックアップ位置に移送させるかは仮圧着動作プログラムには規定されていない。
【００９７】
仮圧着装置Ｍ３の制御装置１００は、仮圧着動作プログラム記憶部１００ｂに記憶された仮圧着動作プログラムに従って基板２に部品４を装着させる場合には、先ず、上流工程側の装置であるＡＣＦ貼着装置Ｍ２より送られてきた基板２（この基板２が備える各電極部３ＢにはＡＣＦテープ切片５ｓが貼着されている）を図示しない基板搬入装置によって仮圧着装置Ｍ３内に搬入した後、基板位置決め部５２の基板支持テーブル６４上に載置させ、基板位置決め部駆動機構１０１の作動制御を行って基板２を所定の位置に位置決めする（図２１に示すステップＳＴ２１）。
【００９８】
制御装置１００は、基板２の位置決めを行ったら左右の移送ヘッド８４をそれぞれ部品供給部５３の側に移動させ、各移送ヘッド８４が備える複数の受け取りノズル８７のうち、まだ部品４の受け取りを行っていないもののひとつをその移送ヘッド８４に対応する部品供給位置（左側の移送ヘッド８４であれば左側の部品供給位置、右側の移送ヘッド８４であれば右側の部品供給位置）に位置させる（図２１に示すステップＳＴ２２）。
【００９９】
このステップＳＴ２２では、制御装置１００は、各移送ヘッド８４が備える複数の受け取りノズル８７のうちのいずれを部品供給位置に位置させて部品４の受け取りを行うかをそのときどきの状況に応じてその都度決定する。
【０１００】
制御装置１００は、左右の移送ヘッド８４それぞれが備える複数の受け取りノズル８７のひとつを対応する部品供給位置に位置させたら、左右のテープ搬送部７１を作動させて部品供給テープＢＴの搬送を行いつつ、対応する部品打ち抜き部７２（左側のテープ搬送部７１に対しては左側の部品打ち抜き部７２、右側のテープ搬送部７１に対しては左側の部品打ち抜き部７２）を作動させて部品供給テープＢＴから部品４を打ち抜くことによって部品供給部５３による左右２箇所の部品供給位置への部品４の供給を行い、部品供給部５３の左右２箇所の部品供給位置に供給された（部品打ち抜き部７２によって打ち抜かれた）部品４が各部品供給位置に位置させた左右の移送ヘッド８４それぞれの受け取りノズル８７によって受け取られるようにする（図２１に示すステップＳＴ２３）。
【０１０１】
制御装置１００は、上記の受け取りノズル８７による部品４の受け取りを、各移送ヘッド８４が受け取ることができる全部の部品４の受け取りが終了したかどうかの判断を行い（図２１に示すステップＳＴ２４）、その結果、各移送ヘッド８４が受け取ることができる全部の部品４の受け取りが終了していなかった場合にはステップＳＴ２２に戻って各移送ヘッド８４が備える複数の受け取りノズル８７のうち、まだ部品４を受け取っていない受け取りノズル８７を部品供給位置に位置させて部品４の受け取りを行い、各移送ヘッド８４が受け取ることができる全部の部品４の受け取りが終了していた場合には、次のステップＳＴ２５に進む。
【０１０２】
ここで、移送ヘッド８４が受け取ることができる全部の部品４の受け取りが終了している状態とは、通常はその移送ヘッド８４が備える全ての受け取りノズル８７が部品４を受け取った状態をいうが、何らかの要因によって部品４の受け取りができない、或いは部品４の受け取りをさせないと定めている受け取りノズル８７がある場合には、その受け取りノズル８７以外の受け取りノズル８７が部品４を受け取った状態をいう。
【０１０３】
制御装置１００は、左右の移送ヘッド８４がそれぞれ受け取ることができる全部の部品４の受け取りが終了したことを検知したら、左右の移送ヘッド８４をそれぞれ部品装着部５５の側へ移動させて、部品４を受け取った状態の複数の受け取りノズル８７のひとつを前述のノズル移動位置に位置させる。これにより部品供給部５３から供給された部品４がピックアップ位置に移送された状態となる（図２１に示すステップＳＴ２５）。
【０１０４】
制御装置１００は、部品移送部５４を構成する左右の移送ヘッド８４により部品４を左右のピックアップ位置に移送したら、左右の装着ヘッド９３をそれぞれ対応するピックアップ位置の直上に移動させ、吸着ノズル９３ａによって、ピックアップ位置に移送された部品４を吸着させてピックアップする（図２１に示すステップＳＴ２６）。なお、各移送ヘッド８４による部品４の受け取りから左右の装着ヘッド９３による部品４のピックアップに至る一連の工程は基板２の搬入と並行して行ってもよい。
【０１０５】
制御装置１００は、各装着ヘッド９３に部品４をピックアップさせたら、その部品４の基板２への装着（仮圧着）を行う（図２１に示すステップＳＴ２７）。
【０１０６】
装着ヘッド９３による部品４の基板２への装着では、制御装置１００は先ず、部品４を吸着させた装着ヘッド９３を基板位置決め部５２によって位置決めされた基板２の側に移動させ、基板２の電極部３Ｂの直上に部品４が位置するようにしたうえで、カメラ９５により基板２に設けられた電極部側マークと部品４に設けられた部品側マークを下方から同時に視認（撮像）する。そして、画像認識部１００ａにより両マークの画像認識を行って、これら両マークが上下に合致するように装着ヘッド９３を移動させ、これにより部品４と基板２の電極部３Ｂとの位置合わせを行ってから（この位置合わせ時においては、前述のように、電極部３Ｂの下方にバックアップステージ９４ｃが位置した状態となっている。図１８参照）、吸着ノズル９３ａを下降させる。これにより部品４が電極部３Ｂに押し付けられて部品４が電極部３Ｂに装着（仮圧着）される。
【０１０７】
制御装置１００は、装着ヘッド９３により部品４を基板２の電極部３Ｂ上に装着したら、装着動作プログラムの内容（電極部３Ｂとその電極部３Ｂに装着する部品４のピックアップ位置への移送を行ったターンテーブル８６の左右の別の識別符号（Ｌ，Ｒ）との対応関係及び電極部３Ｂとその電極部３Ｂへの部品４の装着を行った装着ヘッド９３の左右の別の識別符号（Ｌ，Ｒ）との対応関係が記録されたデータ）と、制御装置１００がステップＳＴ２２において、移送ヘッド８４が備える複数の受け取りノズル８７のうちのひとつを部品供給位置に位置させる際に決定した情報（電極部３Ｂとその電極部３Ｂに装着する部品４のピックアップ位置への移送を行った受け取りノズル８７の識別番号（０１，０２，・・・，０７）との対応関係が記録されたデータ）に基づいて、各電極部３Ｂとその電極部３Ｂへの部品４の装着に関与した装着関連ツール（ターンテーブル８６、受け取りノズル８７及び装着ヘッド９３）との対応関係を、ＡＣＦ貼着装置Ｍ２の制御装置４０が作成し、ホストコンピュータＨＣを介して送られてきた対応関係データに追記する（図２１に示すステップＳＴ２８。図２２）。
【０１０８】
なお、この各電極部３Ｂと、その電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓを貼着した貼着ヘッド１４及びその電極部３Ｂへの部品４の装着に関与したツールとの対応関係が記録された新たな対応関係データ（図２２）は、制御装置１００が備えるデータ記憶部１００ｃ（図２０）に記憶されるとともに、ホストコンピュータＨＣを介して下流工程側の検査装置Ｍ６にも送られる。
【０１０９】
制御装置１００は、ステップＳＴ２８が終了したら、現在、部品４の装着対象となっている基板２に対する全部の部品４の装着が終了しているか否かの判断を行う（図２１に示すステップＳＴ２９）。仮圧着装置Ｍ３は、基板２の長辺側の各電極部３Ｂに部品４を仮圧着した後、次いで基板位置決め部５２によって基板２を９０度回転させて基板２の短辺側の各電極部３Ｂに部品４を仮圧着するので、現在、部品４の装着対象となっている基板２に対する全部の部品４の装着が終了したか否かは、基板２の長辺側及び短辺側の電極部３Ｂの全てに部品４が装着されたかどうかによって判断する。
【０１１０】
制御装置１００は、ステップＳＴ２９において、現在、部品４の装着対象となっている基板２に対する全部の部品４の装着が終了していないと判断した場合には、左右の移送ヘッド８４により受け取った全部の部品４の基板２への装着が終了したか否かの判断を行う（図２１に示すステップＳＴ３０）。そして、その結果、左右の移送ヘッド８４により受け取った全部の部品４の基板２への装着が終了していないと判断した場合にはステップＳＴ２５に戻り、まだ基板２に装着されていない部品４を有している側の移送ヘッド８４のターンテーブル８６を一定角度回転させることによって、部品４をピックアップ位置に移送する。
【０１１１】
一方、制御装置１００は、ステップＳＴ３０において、左右の移送ヘッド８４により受け取った全部の部品４の基板２への装着が終了していると判断した場合にはステップＳＴ２２に戻り、移送ヘッド８４を部品供給部５３側に移動させて受け取りノズル８７を部品供給位置に位置させて部品４の受け取りを行う。そして、制御装置１００は、ステップＳＴ２９において、現在、部品４の装着対象となっている基板２に対する全部の部品４の装着が終了していると判断した場合には、仮圧着装置Ｍ３から基板２を搬出して（図２１に示すステップＳＴ３１）、基板２の１枚当たりの仮圧着作業を終了する。
【０１１２】
このように仮圧着装置Ｍ３は、装着ヘッド９３により、ＡＣＦ貼着装置Ｍ２によってＡＣＦテープ切片５ｓが貼着された各電極部３Ｂへの部品４の装着を行う部品装着装置として機能する。
【０１１３】
また、ステップＳＴ２１〜ステップＳＴ３１の仮圧着作業は、ステップＳＴ１２〜ステップＳＴ１８のＡＣＦテープ切片貼着工程においてＡＣＦテープ切片５ｓが貼着された各電極部３Ｂに装着ヘッド９３によって部品４の装着を行う部品装着工程となっている。
【０１１４】
上記のようにして仮圧着装置Ｍ３から搬出された基板２は第１の本圧着装置Ｍ４に搬入され、基板２の長辺側の電極部３Ｂに仮圧着された部品４が本圧着された後、第１の本圧着装置Ｍ４から搬出されて、第２の本圧着装置Ｍ５に搬入される。そして、第２の本圧着装置Ｍ５において基板２の短辺側の電極部３Ｂに仮圧着された部品４が本圧着された後、第２の本圧着装置Ｍ５から搬出されて検査装置Ｍ６に搬入される。
【０１１５】
検査装置Ｍ６は、その制御装置１２０（図２３）によって撮像動作の制御がなされる検査カメラ１２１を備えており（図２３）、検査カメラ１２１の撮像動作によって得られた画像データは制御装置１２０の画像認識部１２０ａ（図２３）において画像認識される。
【０１１６】
検査装置Ｍ６が行う検査工程は、図２４のフローチャートに示すように、先ず、検査カメラ１２１を基板２の上方で走査させながら検査カメラ１２１に撮像動作を行わせ、得られた画像データの画像認識を行うことによって、基板２に装着された部品４の電極部３Ｂ上の目標装着位置からの位置ずれ量（ΔＸ：Ｘ軸方向へのずれ量、ΔＹ：Ｙ軸方向へのずれ量：Δθ：θ方向、すなわちＺ軸回りのずれ量）の計測を行う（図２４に示すステップＳＴ４１）。そして、計測した各部品４についての位置ずれ量を、ホストコンピュータＨＣを介して仮圧着装置Ｍ３から送られてきた対応関係データに追記したうえで（図２５）、その対応関係データをデータ記憶部１２０ｂ（図２３）に記憶する（図２４に示すステップＳＴ４２）。
【０１１７】
検査装置Ｍ６の制御装置１２０は、仮圧着装置Ｍ３から送られてきた対応関係データに各部品４の位置ずれ量を追記して新たな対応関係データを作成したら、その新たな対応関係データに基づいて、基板２に装着された各部品４のうち、電極部３Ｂ上の目標装着位置からの位置ずれ量が予め定めた閾値を超えるなど、部品４の装着状態が不良な電極部があるかどうかの判定を行う（図２４に示すステップＳＴ４３）。
【０１１８】
このように検査装置Ｍ６の制御装置１２０は、仮圧着装置Ｍ３によって部品４が装着（仮圧着）された各電極部３Ｂにおける部品４の装着状態に基づいて、部品４の装着状態が不良な電極部３Ｂがあるかどうかの判定を行う判定手段として機能する。
【０１１９】
また、上記ステップＳＴ４１〜ステップＳＴ４３は、仮圧着工程（部品装着工程）において部品４が装着（仮圧着）された各電極部３Ｂにおける部品４の装着状態に基づいて、部品４の装着状態が不良な電極部３Ｂがあるかどうかの判定を行う判定工程となっている。
【０１２０】
検査装置Ｍ６の制御装置１２０は、ステップＳＴ４３において、部品４の装着状態が不良な電極部３Ｂがないと判定した場合には検査工程を終了し、部品４の装着状態が不良な電極部３Ｂがあると判定した場合には、その電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓを貼着した貼着ヘッド１４と、その電極部３Ｂへの部品４の装着に関与したツールとしてのターンテーブル８６、受け取りノズル８７及び装着ヘッド９３とを対応関係データに基づいて特定し（図２４に示すステップＳＴ４４）、その特定した貼着ヘッド１４、ターンテーブル８６、受け取りノズル８７及び装着ヘッド９３を注意対象として、検査装置Ｍ６が備えるタッチパネル１２２（図２３）を介してオペレータＯＰに報知したうえで（図２４に示すステップＳＴ４５）、検査工程を終了する。
【０１２１】
ここで、検査装置Ｍ６の制御装置１２０は、貼着ヘッド１４については左右の別の識別符号（Ｌ，Ｒ）、ターンテーブル８６については左右の別の識別符号（Ｌ，Ｒ）、受け取りノズル８７については各ターンテーブル８６上での識別番号（０１，０２，・・・，０７）、装着ヘッド９３については左右の別の識別符号（Ｌ，Ｒ）を特定してタッチパネル１２２に表示する。
【０１２２】
このように、検査装置Ｍ６の制御装置１２０は、判定手段としての自身（検査装置Ｍ６の制御装置１２０）により部品４の装着状態が不良な電極部３Ｂがあると判定された場合に、その電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓを貼着した貼着ヘッド１４を対応データ作成手段（ＡＣＦ貼着装置Ｍ２が備える制御装置４０）によって作成された対応関係データに基づいて特定する貼着ヘッド特定手段として機能し、検査装置Ｍ６のタッチパネル１２２は、貼着ヘッド特定手段としての検査装置Ｍ６の制御装置１２０によって特定された貼着ヘッド１４を注意対象としてオペレータＯＰに報知する報知手段として機能する。
【０１２３】
また、上記ステップＳＴ４４は、ステップＳＴ４３の判定工程において部品４の装着状態が不良な電極部３Ｂがあると判定された場合に、その電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓを貼着した貼着ヘッド１４をステップＳＴ１９の対応関係データ作成工程において作成した対応関係データに基づいて特定する貼着ヘッド特定工程となっており、ステップＳＴ４５は、その特定した貼着ヘッド１４を注意対象として報知する報知工程となっている。
【０１２４】
なお、検査装置Ｍ６の制御装置１２０は、ホストコンピュータＨＣ経由でＡＣＦ貼着装置Ｍ２の制御装置４０と仮圧着装置Ｍ３の制御装置１００に報知内容を送信し、ＡＣＦ貼着装置Ｍ２のタッチパネル４９及び仮圧着装置Ｍ３のタッチパネル１０７を介して報知内容をオペレータＯＰに報知するようにしてもよい。
【０１２５】
以上説明したように、本実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置Ｍ２及びこれを含む部品実装システム１（ＡＣＦ貼着方法及びこれを含む部品実装方法）では、２つの貼着ヘッド１４がＡＣＦテープ切片５ｓを基板２上の各電極部３Ｂに貼着するのに応じ、各電極部３Ｂとその電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓを貼着した貼着ヘッド１４との対応関係データを作成するようになっており、基板２上における部品４の装着不良が生じたときには、対応関係データを参照することで、各電極部３Ｂに貼着されたＡＣＦテープ切片５ｓが２つの貼着ヘッド１４のうちのどちらによって貼着されたかを特定（追跡）することができるので、部品４が装着不良となった十分な原因追究を行うことができる。
【０１２６】
なお、上述の実施の形態では、基板２に設けられた電極部列３Ｌが奇数個の電極部３Ｂから成る場合であって、２つの電極部３Ｂに対して２つのＡＣＦテープ切片５ｓを同時に貼着するペア貼着動作（第１の貼着動作）を１回又は複数回実行した後、１つの貼着ヘッド１４により残りの１つの電極部３Ｂに対して１つのＡＣＦテープ切片５ｓを貼着する第２の貼着動作を１回実行する場合を説明し、このような場合に即して本発明の効果（２つの貼着ヘッド１４がＡＣＦテープ切片５ｓを基板２上の各電極部３Ｂに貼着するのに応じ、各電極部３Ｂとその電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓを貼着した貼着ヘッド１４との対応関係データを作成することによる効果）を述べたが、本発明の効果はこのようなケースにだけ現れるものではない。
【０１２７】
例えば、ＡＣＦ貼着装置Ｍ２が備える２つのテープ供給リール３１それぞれが段取り替え等の理由により使用途中で一旦取り外されていた場合等、テープ部材Ｔｐの残量に差があり、そのまま同数ずつＡＣＦテープ切片５ｓを電極部３Ｂに貼着していくと、２つのテープ供給リール３１のテープ部材Ｔｐの交換のタイミングがずれてしまうような場合には、上記第１の貼着動作と第２の貼着動作の組み合わせによってＡＣＦテープ切片５ｓを電極部３Ｂに装着する手順ではなく、２つのテープ供給リール３１の使用割合を任意に設定可能とすること、或いは各テープ供給リール３１の使用状況をテープ供給リール３１の識別子と関連付けて管理している場合はＡＣＦテープ切片５ｓの貼り付け回数、すなわち残りのテープ部材Ｔｐの長さを管理することができるので、残りの貼り付け可能回数を計算することで、テープ部材Ｔｐの残量が多い方のテープ供給リール３１からのテープ部材Ｔｐの使用が優先される手順に変更することが好ましい。
【０１２８】
このような場合においても、２つの貼着ヘッド１４がＡＣＦテープ切片５ｓを基板２上の各電極部３Ｂに貼着するのに応じ、各電極部３Ｂとその電極部３ＢにＡＣＦテープ切片５ｓを貼着した貼着ヘッド１４との対応関係データを作成することによって、各電極部３Ｂに貼着されたＡＣＦテープ切片５ｓが２つの貼着ヘッド１４のうちのどちらによって貼着されたかを特定（追跡）することができるので、部品４が装着不良となった場合はその十分な原因追究を行うことができるようになる。
【産業上の利用可能性】
【０１２９】
ＡＣＦテープの切片の貼着を行った貼着ヘッドを特定して基板上における部品の装着不良が生じたときの十分な原因追究を行うことができるＡＣＦ貼着装置、部品実装システム、ＡＣＦ貼着方法及び部品実装方法を提供する。
【符号の説明】
【０１３０】
１  部品実装システム
２  基板
４  部品
５ｓ  ＡＣＦテープ切片（ＡＣＦテープの切片）
３Ｂ  電極部
３Ｌ  電極部列
１２  基板保持部
１４  貼着ヘッド
４０  制御装置（ＡＣＦテープ切片貼着制御手段、対応関係データ作成手段）
９３  装着ヘッド
１２０  制御装置（判定手段、貼着ヘッド特定手段、報知手段）
１２２  タッチパネル（報知手段）
Ｍ２  ＡＣＦ貼着装置
Ｍ３  仮圧着装置（部品装着装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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