(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導入された空気を過冷却して除湿する第一の冷却手段と、該第一の冷却手段で冷却された空気を加熱する加熱手段と、該加熱手段で加熱された空気を蒸気により加湿する蒸気加湿手段とを備えた空調機と、
該空調機から給気されて内部で循環する空気を冷却し得るようにした第二の冷却手段と、該第二の冷却手段で冷却された空気を加湿する水加湿手段を備えた少なくとも一つの被空調空間を備え、
前記空調機内の蒸気加湿手段へ蒸気が供給される蒸気管路の噴霧量制御弁の開度を、前記空調機内の蒸気加湿手段で加湿されるか、若しくは前記第一の冷却手段で除湿された空気の露点温度と、前記第二の冷却手段へ冷水を供給するか、若しくは冷水を排出する冷水管路に設けた流量制御弁への弁開度指令、並びに前記水加湿手段へ加湿水を供給する加湿水管路に設けた加湿水噴霧量制御弁の弁開度指令に基いて求めた設定露点温度との差を基に制御するよう構成したことを特徴とする空調システム。
【請求項２】
導入された空気を過冷却して除湿する第一の冷却手段と、該第一の冷却手段で冷却された空気を加熱する加熱手段と、該加熱手段で加熱された空気を蒸気により加湿する蒸気加湿手段とを備えた空調機と、
該空調機から給気されて内部で循環する空気を冷却し得るようにした第二の冷却手段と、該第二の冷却手段で冷却された空気を加湿する水加湿手段を備えた少なくとも一つの被空調空間を備え、
前記空調機内の蒸気加湿手段へ蒸気が供給される蒸気管路の噴霧量制御弁の開度を、前記空調機内の蒸気加湿手段で加湿されるか、若しくは前記第一の冷却手段で除湿された空気の露点温度と、前記第二の冷却手段へ冷水を供給するか、若しくは冷水を排出する冷水管路に設けた流量制御弁への弁開度指令、並びに前記水加湿手段へ加湿水を供給する加湿水管路に設けた加湿水噴霧量制御弁の弁開度指令に基いて求めた設定露点温度との差を基に制御するよう構成し、
前記空調機から被空調空間へ空気を送るラインに設けたダンパの開度を、前記第二の冷却手段の流量制御弁への弁開度指令に対応して制御し得るよう構成したことを特徴とする空調システム。
【請求項３】
導入された空気を加熱する第一の加熱手段と、該第一の加熱手段で加熱された空気を水加湿する第一の水加湿手段と、該第一の水加湿手段で加湿しない場合に空気を過冷却して除湿する第一の冷却手段と、該第一の冷却手段からの空気を加熱する第二の加熱手段とを備えた空調機と、
該空調機から給気されて内部で循環する空気を冷却し得るようにした第二の冷却手段と、該第二の冷却手段で冷却された空気を加湿する第二の水加湿手段を備えた少なくとも一つの被空調空間を備え、
前記第一の加熱手段に熱媒が供給される熱媒管路の流量制御弁の開度を、前記空調機内の第二の加熱手段の空気流れ方向下流側の第一の水加湿手段で加湿されるか、若しくは前記第一の冷却手段で除湿された空気の露点温度と、前記第二の冷却手段へ冷水を供給するか、若しくは冷水を排出する冷水管路に設けた流量制御弁への弁開度指令、並びに前記第二の水加湿手段へ加湿水を供給する加湿水管路に設けた加湿水噴霧量制御弁の弁開度指令に基づいて求めた設定露点温度との差を基に制御するよう構成したことを特徴とする空調システム。
【請求項４】
、
導入された空気を加熱する第一の加熱手段と、該第一の加熱手段で加熱された空気を水加湿する第一の水加湿手段と、該第一の水加湿手段で加湿しない場合に空気を過冷却して除湿する第一の冷却手段と、該第一の冷却手段からの空気を加熱する第二の加熱手段とを備えた空調機と、
該空調機から給気されて内部で循環する空気を冷却し得るようにした第二の冷却手段と、該第二の冷却手段で冷却された空気を加湿する第二の水加湿手段を備えた少なくとも一つの被空調空間を備え、
前記第一の加熱手段に熱媒が供給される熱媒管路の流量制御弁の開度を、前記空調機内の第二の加熱手段の空気流れ方向下流側の第一の水加湿手段で加湿されるか、若しくは前記第一の冷却手段で除湿された空気の露点温度と、前記第二の冷却手段へ冷水を供給するか、若しくは冷水を排出する冷水管路に設けた流量制御弁への弁開度指令、並びに前記第二の水加湿手段へ加湿水を供給する加湿水管路に設けた加湿水噴霧量制御弁の弁開度指令に基いて求めた設定露点温度との差により制御するよう構成し、
前記空調機から被空調空間へ空気を送るラインに設けたダンパの開度を、前記第二の冷却手段の流量制御弁への弁開度指令に対応して制御し得るよう構成したことを特徴とする空調システム。
【請求項５】
複数の空調空間を対象とし、検出した被空調空間の温度と被空調空間の設定温度の偏差から、該偏差に対応した第二の冷却手段の流量制御弁の弁開度指令を算出する第一の手段と、
検出した被空調空間の湿度と被空調空間の設定湿度の偏差から、該偏差に対応した水加湿手段の加湿水噴霧量制御弁の弁開度指令を算出する第二の手段と、
前記第一の手段からの第二の冷却手段の流量制御弁に対する弁開度指令、前記第二の手段からの前記水加湿手段の加湿水噴霧量制御弁に対する弁開度指令、検出した被空調空間の温度、被空調空間の設定温度、設定された被空調空間の温湿度制御レベル、第二の冷却手段の流量制御弁の流量制御弁開度設定下限値、前記空調機内の蒸気加湿手段で加湿される空気の設定露点温度下限値、前記空調機内の蒸気加湿手段で加湿される空気の設定露点温度上限値、設定露点温度変更量、第二の冷却手段の流量制御弁の流量制御弁開度設定値の不感帯、温湿度制御レベルが二番目の被空調空間の不感帯温度差、温湿度制御レベルが一番下の被空調空間の不感帯温度差、前記水加湿手段における噴霧量制御弁の噴霧量制御弁開度設定下限値及び噴霧量制御弁開度設定上限値から空調機の設定露点温度を算出する第三の手段と、
該第三の手段からの設定露点温度及び前記蒸気加湿手段により加湿された空気の露点温度の偏差から前記蒸気加湿手段の噴霧量制御弁の弁開度指令を算出して前記蒸気加湿手段の噴霧量制御弁に与える第四の手段を設けた請求項１又は２に記載の空調システム。
【請求項６】
、
複数の被空調空間を対象とし、検出した被空調空間の温度と被空調空間の設定温度の偏差から、該偏差に対応した第二の冷却手段の流量制御弁の弁開度指令を算出する第一の手段と、
検出した被空調空間の湿度と被空調空間の設定湿度の偏差から、該偏差に対応した第二の水加湿手段の噴霧量制御弁の弁開度指令を算出する第二の手段と、
前記第一の手段からの第二の冷却手段の流量制御弁に対する弁開度指令、前記第二の手段からの前記第二の水加湿手段の噴霧量制御弁に対する弁開度指令、検出した被空調空間の温度、被空調空間の設定温度、設定された被空調空間の温湿度制御レベル、第二の流量制御弁の流量制御弁開度設定下限値、前記第一の水加湿手段で加湿される空気の設定露点温度下限値、前記第一の水加湿手段で加湿される空気の設定露点温度上限値、前記第一の水加湿手段で加湿される空気の設定露点温度変更量、第二の冷却手段の流量制御弁の流量制御弁開度設定値の不感帯、温湿度制御レベルが二番目の被空調空間の不感帯温度差、温湿度制御レベルが一番下の被空調空間の不感帯温差度、前記第二の水加湿手段における噴霧量制御弁の噴霧量制御弁開度設定下限値及び噴霧量制御弁開度設定上限値から空調機の設定露点温度を算出する第三の手段と、
該第三の手段からの設定露点温度及び前記空調機内の第一の水加湿手段により加湿された、若しくは第一の冷却手段で除湿された後、第二の加熱手段を通過した空気の露点温度の偏差から前記第一の加熱手段の流量制御弁の弁開度指令を算出して前記第一の加熱手段の流量制御弁に与える第四の演算制御手段を設けた請求項３又は４に記載の空調システム。
【請求項７】
検出した被空調空間の圧力と該被空調空間の設定圧力との偏差から、該偏差に対応したダンパＰＩＤ開度を算出する第五の手段と、
該第五の手段からのダンパＰＩＤ開度、前記第二の冷却手段の流量制御弁の弁開度指令、該第二の冷却手段の流量制御弁における流量制御弁開度設定下限値、第二の冷却手段の流量制御弁における流量制御弁開度設定値の不感帯、ダンパのダンパ開度上限値、ダンパのダンパ開度バイアス量上限値、ダンパ開度バイアス量下限値、ダンパ開度バイアス量変更量からダンパ開度バイアス量を算出する第六の手段と、
該第六の手段からのダンパ開度バイアス量と前記第五の手段からのダンパＰＩＤ開度からダンパ開度を求め、空調機から被空調空間へのライン中に設けられたダンパの開度を制御する第七の手段を設けた請求項２又は４に記載の空調システム。
【請求項８】
前記空調機から被空調空間へ供給される給気の温度を、被空調空間で循環する空気の温度よりも低くなるよう構成した請求項１乃至７の何れかに記載の空調システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は空調システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルームは、半導体のような高集積回路の製造室や、遺伝子工学研究室等として用いられている。このため、クリーンルームには、高い清浄度の空気を供給して内部を所定の温度及び湿度に維持すると共に、この空気を迅速に入れ替えて除塵する必要がある。又、外部からの塵埃などの侵入を防ぐためや、すきま風を排して精密温調を実現するため、クリーンルームを正圧に保つ必要もある。而して、斯かるクリーンルームに空気を供給する空調システムの従来の一例としては、例えば図１９に示すシステムがある。
【０００３】
図１９中、１ａ，１ｂ，１ｃは複数のクリーンルームで、クリーンルーム１ａ，１ｂ内には内室２ａ，２ｂが設置されている。内室２ａ，２ｂは六面を仕切られていると共に、その床面３ａ，３ｂはパンチングメタル等の多孔板により構成されており、内室２ａ，２ｂの床面３ａ，３ｂと、クリーンルーム１ａ，１ｂの底面との間には空気流路４ａ，４ｂが形成されている。内室２ａ，２ｂの天井部５ａ，５ｂには、ＨＥＰＡフィルタのような高性能フィルタ６ａ，６ｂを介して、軸流ファン７ａ，７ｂが設置されており、高性能フィルタ６ａ，６ｂにより清浄化した冷却空気を内室２ａ，２ｂへ供給し得るようになっている。
【０００４】
クリーンルーム１ａ，１ｂの外壁内面と内室２ａ，２ｂ外壁面との間の空間である空気流通路８ａ，８ｂには、内室２ａ，２ｂの床面３ａ，３ｂ近傍に位置する冷却コイル９ａ，９ｂが設置されており、冷却コイル９ａ，９ｂでは、中途部に冷水の流量を制御する流量制御弁１０ａ，１０ｂを備えたラインである冷水管路１１ａ，１１ｂから送給された冷水により、空気流通路８ａ，８ｂを通過する空気を冷却し得るようになっている。１２ａ，１２ｂは冷却コイル９ａ，９ｂから送出された冷水を冷熱源に戻すラインである冷水戻り管路である。
【０００５】
又、空気流通路８ａ，８ｂ内には、冷却コイル９ａ，９ｂよりも空気流れ方向下流側において、空気を加湿冷却するための、複数の加湿水噴霧ノズル１３ａ，１３ｂを備えた加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂが配置されている。加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂには、加湿水管路１５ａ，１５ｂが接続されており、加湿水管路１５ａ，１５ｂの中途部には、加湿水噴霧ノズル１３ａ，１３ｂにおける加湿水の噴霧量を制御する噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂが配置されている。
【０００６】
クリーンルーム１ｃの底面よりも所定高さ上部には、パンチングメタル等の多孔板から成る床面３ｃが敷設されて当該床面３ｃとクリーンルーム１ｃの底面との間には、空気流路４ｃが形成されている。床面３ｃの一側部上に配置したケーシング１７内には、冷却コイル９ｃが設置されており、冷却コイル９ｃでは、中途部に冷水の流量を制御する流量制御弁１０ｃを備えたラインである冷水管路１１ｃから送給された冷水により、ケーシング１７内を通過する空気を冷却し得るようになっている。１２ｃは冷却コイル９ｃから送出された冷水を冷熱源に戻す冷水戻り管路である。なお、冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃは除湿を行わないドライコイルである。
【０００７】
又、ケーシング１７内には、冷却コイル９ａ，９ｂよりも空気流れ方向下流側において、空気を加湿冷却するための複数の加湿水噴霧ノズル１３ｃを備えた加湿水噴霧器１４ｃが配置されている。加湿水噴霧器１４ｃには、加湿水管路１５ｃが接続されており、加湿水管路１５ｃの中途部には、加湿する水の噴霧量を制御する噴霧量制御弁１６ｃが配置されている。
【０００８】
ケーシング１７内の空気流れ方向下流側には、ケーシング１７上面に近接してファン１８が設置されており、冷却コイル９ｃで冷却されて冷却空気は、加湿水噴霧器１４ｃの加湿水噴霧ノズル１３ｃから噴霧された加湿水により所定の状態に加湿され、ファン１８からケーシング１７上面に接続したダクト１９へ送出され、クリーンルーム１ｃ内の上部に並列に配置された複数のＨＥＰＡフィルタのような高性能フィルタ２０に送給され、高性能フィルタ２０で清浄化されてクリーンルーム１ｃ内に供給されるようになっている。
【０００９】
クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ内及びクリーンルーム１ｃ内には所定の生産装置２１ａ，２１ｂ，２１ｃが設置されており、生産装置２１ａ，２１ｂ，２１ｃには、排気管２２ａ，２２ｂ，２２ｃを介してファン２３ａ，２３ｂ，２３ｃが接続されている。又、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂに面した壁面、及びクリーンルーム１ｃに面した壁面には、内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃの内圧を一定の正圧に保持し得るよう、差圧ダンパ２４ａ，２４ｂ，２４ｃが設けられている。
【００１０】
２５ａ，２５ｂはクリーンルーム１ａ，１ｂ内に設置した内室２ａ，２ｂ内の温度を検出する温度検出器、２５ｃはクリーンルーム１ｃ内に設置した、クリーンルーム１ｃ内の温度を検出する温度検出器であり、温度検出器２５ａ，２５ｂ，２５ｃで検出した温度（室温）ｔａ，ｔｂ，ｔｃはクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ外部に設けた冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃへ与え得るようになっている。
【００１１】
冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃでは、温度検出器２５ａ，２５ｂ，２５ｃで検出した温度ｔａ，ｔｂ，ｔｃから、内室２ａ，２ｂの設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ或はクリーンルーム１ｃの設定温度ｔｃｏを差引いて温度偏差を求め、その温度偏差の大きさに対応した流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度調整量を求め、その弁開度調整量に対応した弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃを流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃに与えてその開度を制御し得るようになっている。温度偏差の絶対値が大きい場合、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開閉量は多くなり、温度偏差の絶対値が小さい場合、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開閉量は少なくなる。
【００１２】
２７ａ，２７ｂはクリーンルーム１ａ，１ｂ内に設置した内室２ａ，２ｂ内の湿度を検出する湿度検出器、２７ｃはクリーンルーム１ｃ内に設置した、クリーンルーム１ｃ内の湿度を検出する湿度検出器であり、湿度検出器２７ａ，２７ｂ，２７ｃで検出した湿度はクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内に設置した加湿水コントローラ２８ａ，２８ｂ，２８ｃへ与え得るようになっている。
【００１３】
加湿水コントローラ２８ａ，２８ｂ，２８ｃでは、湿度検出器２７ａ，２７ｂ，２７ｃで検出した湿度ｈａ，ｈｂ，ｈｃから、内室２ａ，２ｂの設定湿度ｈａｏ，ｈｂｏ或はクリーンルーム１ｃの設定湿度ｈｃｏを差引いて湿度偏差を求め、その湿度偏差の大きさに対応した噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃの弁開度調整量を求め、その弁開度調整量に対応した弁開度指令Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃを噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃに与えてその開度を制御し、加湿水噴霧ノズル１３ａ，１３ｂ，１３ｃからの加湿水の噴霧量を制御し得るようになっている。湿度偏差の絶対値が大きい場合、噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃの開閉量は多くなり、湿度偏差の絶対値が小さい場合、噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃの開閉量は少なくなる。
【００１４】
２９はクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃに温調した空気（導入外気）を給気として送給する空調機、いわゆる外気調和機である。空調機２９のケーシング３０内には、空気流れ方向上流側から下流側に向けて、中性能フィルタ３１、冷却除湿コイル３２、加熱コイル３３、蒸気噴霧ノズル３４を備えた蒸気加湿器３５、ファン３６、ＨＥＰＡフィルタのような高性能フィルタ３７が、順次配置されている。
【００１５】
冷却除湿コイル３２では、冷水管路３９から送給された冷水によって、後述のファン３６の吸引力によりケーシング３０内に導入された外気ＯＡを露点温度以下に過冷却して除湿し得るようになっている。又、加熱コイル３３には、中途部に温水の流量を制御する流量制御弁４０を備えた温水管路４１が接続されており、加熱コイル３３では、温水管路４１から送給された温水により、冷却除湿コイル３２で過冷却され除湿されてクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃの要求する所定の露点温度に調整された空気を、所定温度まで加熱して再熱し得るようになっている。又、蒸気加湿器３５には、蒸気噴霧ノズル３４からの蒸気の噴霧量を制御する噴霧量制御弁４２を中途部に備えた蒸気管路４３が接続されており、蒸気加湿器３５では、蒸気管路４３から送給された蒸気を蒸気噴霧ノズル３４から噴霧し、空調機２９内の空気を所定の湿度に加湿し得るようになっている。
【００１６】
クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃは、それが特に半導体高集積回路の製造室やフラットパネルディスプレイ等の製造室の場合には、室内の機器発熱が非常に大きくて室内で働く人間は少人数であるため、室内の発汗や呼気由来の潜熱負荷は無視できることとなり、外気由来の潜熱変動（露点温度変動と同じ意味）を空調機で調整できれば精密温調の湿度変動を防止できることとなる。上記空調機２９はこれを実現できるものである。
【００１７】
４４はファン３６と高性能フィルタ３７との間に位置するよう、ケーシング３０内に設置されてファン３６から吐出された空気の露点温度を検出する露点温度検出器であり、露点温度検出器４４で検出した空気の露点温度Ｈｒはケーシング３０外部に設けた露点温度コントローラ４５へ与え得るようになっている。なお、露点温度検出器４４の替りに湿度検出器を用いることもできる。
【００１８】
露点温度コントローラ４５では、露点温度検出器４４で検出した空気の露点温度Ｈｒから、一定値に固定された空気の設定露点温度Ｈｓｐを差引いて露点温度偏差を検出し、その露点温度偏差の大きさに対応した噴霧量制御弁４２の弁開度調整量を求め、その弁開度調整量に対応した弁開度指令Ｗｘを噴霧量制御弁４２に与え、噴霧量制御弁４２の開度を調整し得るようになっている。湿度偏差の絶対値が大きい場合、噴霧量制御弁４２の開閉量は多くなり、湿度偏差の絶対値が小さい場合、噴霧量制御弁４２の開閉量は少なくなる。
【００１９】
ケーシング３０の出側には、高性能フィルタ３７で清浄化された空気を給気として送給するための主ダクト４６が接続されている。主ダクト４６はダクト４６ａ，４６ｂ，４６ｃに分岐しており、ダクト４６ａ，４６ｂ，４６ｃは、空調機２９からの空気をクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃ下部（空気流れ方向上流側）に供給し得るようになっている。
【００２０】
なお、図示していないが、冷却除湿コイル３２へ供給される冷水の流量及び加熱コイル３３へ供給される温水の流量は、ケーシング３０内の各所定位置の温度を基に流量制御弁３８，４０の開度が調整されて冷水又は温水の流量制御が行われるようになっている。特に、冷却除湿コイル３２へ供給される冷水流量を調整する流量制御弁３８へは、露点温度検出器４４で検出した空気の露点温度Ｈｒの測定値により、設定値との露点温度偏差を演算して開度制御するのが有利である。これにより、夏期、中間期の過冷却や顕熱冷却による給気露点制御が確実となる。  
【００２１】
図１９に示す従来の空調システムでは、外部からケーシング３０内に導入された外気ＯＡは、中性能フィルタ２５においてごみを粗取りされ、夏期は、冷却除湿コイル３２において冷却除湿コイル３２の入口空気の露点以下の温度に過冷却されて除湿され、除湿されて所定の露点温度に調整された空気は加熱コイル３３において所定温度まで加熱されて昇温され、冬期は、加熱コイル３３により所定温度に加熱された後、蒸気加湿器３５の蒸気噴霧ノズル３４から噴霧される蒸気により、所定状態に加湿される。而して、蒸気加湿器３５下流側の空気は、ファン３６で加圧のうえ送出され、高性能フィルタ３７により微小なごみを除去され清浄化されて空調された空気としてケーシング３０から送出され、主ダクト４６からダクト４６ａ，４６ｂ，４６ｃを経てクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内に給気される。なお、夏期においては、蒸気加湿器３５により空気を加湿することは行わず、冬期においては、冷却除湿コイル３２により空気を過冷却除湿することは行わない。
【００２２】
外気ＯＡに含まれる粒子径０．５μｍ以上のごみは数百万個／ｃｆｔであるが、中性能フィルタ３１及び高性能フィルタ３７でごみが除去される結果、空調機２９から送出される空気には、ごみは殆んどない状態となる。又、ケーシング３０に導入された外気ＯＡを冷却除湿コイル３２で過冷却して除湿するのは、精密空調で温湿度の主な外乱となる導入空気の露点温度を所定の値に制御するためであり、例えば、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内の露点温度を１０．５℃とすることで、２３℃乾球温度において相対湿度を約４５％に保持するためである。更に、加熱コイル３３において空気を所定温度に再熱するのは、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ内やクリーンルーム１ｃ内の温度を所定の状態に保つための制御を行う際に、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ内やクリーンルーム１ｃ内の負荷が変動しても、冷却コイル９ａ、９ｂ、９ｃの冷水との熱交換により精密に調整可能とするよう、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ内やクリーンルーム１ｃ内の室側負荷に通常連動しない導入外気（給気）の循環空気還気との温度差による冷却分を少なくして、安定した制御を行うためである。更に又、空調機２９の蒸気加湿器３５で蒸気により空気の加湿を行うのは、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの加湿水噴霧器１４ａ,１４ｂ,１４ｃからの水の噴射により、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの湿度を所定の状態に保持しようとした場合、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの負荷が小さいと、噴射された水の蒸発により当該クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの温度が低下しすぎ、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃを所定の温度に維持することができないためである。
【００２３】
空調機２９のケーシング３０から主ダクト４６、ダクト４６ａ，４６ｂを通りクリーンルーム１ａ，１ｂに送給された空気（給気）は、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂから内室２ａ，２ｂの床面３ａ，３ｂに形成された多数の孔を通り空気流路４ａ，４ｂに送出された空気（循環空気還気）と合流し、空気流通路８ａ，８ｂに配置されている冷却コイル９ａ，９ｂにより所定温度に冷却された後、加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂの加湿水噴霧ノズル１３ａ，１３ｂから噴霧された水により加湿され且つ噴霧された水の蒸発により冷却されて空気流通路８ａを上昇し、軸流ファン７ａ，７ｂにより加圧されて高性能フィルタ６ａ，６ｂにより更に細かいごみを除去されて内室２ａ，２ｂ内に吹込まれる。而して、内室２ａ，２ｂ内に吹込まれた空気は、内室２ａ，２ｂに配置された生産装置２１ａ，２１ｂから発生する熱を吸収して熱負荷を処理すると共に、内室２ａ，２ｂ内をクリーンな状態に保持する。内室２ａ，２ｂから床面３ａ，３ｂの孔を通り空気流路４ａ，４ｂに送出された空気（循環空気還気）は、空調機２９からの空気（給気）と合流して、再び上述のように循環する。
【００２４】
空調機２９のケーシング３０から主ダクト４６、ダクト４６ｃを通りクリーンルーム１ｃに送給された空気（給気）は、クリーンルーム１ｃにおける床面３ｃの多数の孔を通り空気流路４ｃに送出された空気（循環空気還気）と合流し、クリーンルーム１ｃ内に設置したケーシング１７内に配置されている冷却コイル９ｃにより所定温度に冷却された後、加湿水噴霧器１４ｃの加湿水噴霧ノズル１３ｃから噴霧された水により加湿され且つ噴霧された水の蒸発により冷却され、ファン１７により加圧されてケーシング１７からダクト１８へ送出され、ダクト１８から高性能フィルタ１９へ送給されて更に細かいごみを除去され、クリーンルーム１ｃ内へ吹込まれてクリーンルーム１ｃに配置された生産装置２１ｃから発生する熱を吸収して熱負荷を処理すると共に、クリーンルーム１ｃ内をクリーンな状態に保持する。クリーンルーム１ｃの上方から床面３ｃの孔を通って空気流路４ｃに送出された空気（循環空気還気）は空調機２９からの空気と合流して、再び上述のように循環する。
【００２５】
クリーンルーム１ａ，１ｂ内の内室２ａ，２ｂ内に設置された生産装置２１ａ，２１ｂからは、ファン２３ａ，２３ｂにより排気が行われ、クリーンルーム１ｃ内に設置された生産装置２１ｃからは、ファン２３ｃにより排気が行われ、更には、クリーンルーム１ａ，１ｂ内の内室２ａ，２ｂの室圧は差圧ダンパ２４ａ，２４ｂにより調整され、クリーンルーム１ｃ内の室圧は差圧ダンパ２４ｃにより調整される。このため、クリーンルーム１ａ，１ｂ内の内室２ａ，２ｂの室圧及びクリーンルーム１ｃ内の室圧は所定の圧力に保持される。
【００２６】
上記設備において蒸気加湿器３５で加湿される空気の露点温度制御、及びクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃで冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃにより冷却される空気の温度制御、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃで加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃの加湿水噴霧ノズル１３ａ，１３ｂ，１３ｃから噴霧される空気の湿度制御は以下に述べるようにして行われる。
【００２７】
すなわち、空調機２９のケーシング３０内においてファン３６から吐出されて露点温度検出器４４により検出された空気の露点温度Ｈｒは露点温度コントローラ４５へ与えられ、露点温度コントローラ４５では、空気の露点温度Ｈｒから空気の設定露点温度Ｈｓｐを差引かれて露点温度偏差が求められ、この露点温度偏差が比例積分演算されて得られた弁開度指令Ｗｘは噴霧量制御弁４２へ与えられて、噴霧量制御弁４２は所定の開度に制御される。このため、蒸気管路４３から蒸気加湿器３５の蒸気噴霧ノズル３４へ供給される蒸気が所定の流量に制御され、空気の湿度は所定の湿度になる。その結果、空調機２９では、加熱コイル３３で所定の温度に制御された空気は、蒸気加湿器３５で所定の露点温度（乾球温度が一定なら相対湿度は一定値になる。）に制御される。又、図示しないが、除湿側としても、前記露点温度偏差が別の比例積分演算され得られた弁開度指令により、冷水流量制御弁３８が所定の開度に制御され、夏期から中間期において、空調機２９から供給される空気を所定の露点温度に制御することにすると更に有利である。具体的には、外気状態により露点温度を中心にした比例勾配を逆に切り換えるようにして別の比例積分演算をすればよい。
【００２８】
クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ内の温度ｔａ，ｔｂ及びクリーンルーム１ｃ内の温度ｔｃは、温度検出器２５ａ，２５ｂ，２５ｃにより検出されて冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃへ与えられ、冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃでは、検出された温度ｔａ，ｔｂ，ｔｃから予め設定された、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏが差引かれて温度偏差が求められ、この温度偏差が比例積分演算されて得られた弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃが流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃへ与えられて、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃは所定の開度に制御される。このため、冷水管路１１ａ，１１ｂ，１１ｃから冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃへ供給される冷水の流量は所定の流量に制御され、その結果、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内の空気は冷却されて所定の温度に制御される。
【００２９】
又、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ内の湿度ｈａ，ｈｂ及びクリーンルーム１ｃ内の湿度ｈｃは、湿度検出器２７ａ，２７ｂ，２７ｃにより検出されて加湿水コントローラ２８ａ，２８ｂ，２８ｃに与えられ、加湿水コントローラ２８ａ，２８ｂ，２８ｃでは、検出された湿度ｈａ，ｈｂ，ｈｃから予め設定されたクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの設定湿度ｈａｏ，ｈｂｏ，ｈｃｏが差引かれて湿度偏差が求められ、この湿度偏差が比例積分演算されて得られた弁開度指令Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃが噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃへ与えられて、噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃは所定の開度に制御される。このため、加湿水管路１５ａ，１５ｂ，１５ｃを経て加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃの加湿水噴霧ノズル１３ａ，１３ｂ，１３ｃから噴霧される水は所定の流量に制御され、その結果、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内の所定の温度に冷却された空気は加湿されて所定の湿度に制御されると共に、噴霧された水の蒸発により所定の温度に冷却される。
【００３０】
従って、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ内の生産装置２１ａ，２１ｂ及びクリーンルーム１ｃ内の生産装置２１ｃの熱負荷が処理されて、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃ内の温度は所定の温度に精密に制御される。又、空気は、夏期は空調機２９において冷却除湿コイル３２で過冷却により除湿されて所定の露点温度に調整され、又、冬期は、空調機２９において蒸気加湿器３５により加湿されて所定の露点温度に調整されて、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃに導入されているため、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃは所定の湿度及び温度に精密に制御される。
【００３１】
なお、図１９の空調システムには示してないが、空調機２９のケーシング３０内の複数箇所には温度検出器が設置されており、温度検出器により検出した温度を基に、冷却除湿コイル３２へ冷水を供給する冷水管路３９の流量制御弁３８、加熱コイル３３に温水を供給する温水管路４１の流量制御弁４０も適宜、開度制御が行われる。
【００３２】
空調システムの従来の他の例としては、例えば図２０に示すシステムがある。図２０中、図１９のシステムと異なるところは、ダクト４６ａ，４６ｂ，４６ｃに図示してない駆動装置により開閉可能なダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃを設けて、空調機２９からクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃへ供給される空気の流量をも調整し得るようにした点である。図２０中、４８はクリーンルーム１ａにおける内室２ａの圧力（室圧：大気基準の差圧）Ｐａを検出するための圧力検出器、４９はＰＩＤ演算器である。図２０の実施例では、特に半導体や液晶基板等を製造する室の場合、大空間としてクリーンルームの内室２ａ、２ｂは連続している場合があり、工程の生産装置内での製品製造状況により、排気系のファン２３ａ、２３ｂ等の風量が変化し、排気分の外気導入給気を受け持つ空調機２９のファン３６から送られてくる給気を、代表する内室２ａの室圧の計測値と設定値との偏差により、ダクト４６ａ，４６ｂ、又内室間の空気流れにより間接的に影響を受けるダクト４６ｃの給気量をダンパ４７ａ，４７ｂ、４７ｃを同開度で制御するのである。  
【００３３】
なお、図２０に記載してある具体的数値は、内室２ａ（代表室）Ｐａの計測信号が入力されたＰＩＤ演算器４９により演算され、各生産装置からの排気量が減じて、例えばダンパ開度が５０％でのダクト４６ａ，４６ｂ，４６ｃの合計風量で導入外気が給気されれば、圧力Ｐａが設定値と測定値との偏差がゼロになると、ＰＩＤ演算器４９からダンパ開度Ｄｐｉｄが出力される場合、空調機２９からクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに空気を供給するダクト４６ａ，４６ｂ，４６ｃに設けてある全てのダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃのダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄを５０％とする場合の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃ及び噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃ並びにダンパ４７ａ，４７ｂ，４７Ｃ等の開度情報、露点温度或はその機器により検出された指示値等である。
【００３４】
図２０の空調システムの場合、その作動は、基本的には図１９の空調システムと略同様である。すなわち、空調機２９では、噴霧量制御弁４２の開度を制御して蒸気加湿器３５の蒸気噴霧ノズル３４から噴霧される蒸気量を制御し、ケーシング３０へ導入されて図１９の場合におけると同様処理された空気を所定の露点温度に制御し、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃでは、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度を制御して冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃに供給される冷水の流量を制御し、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに導入された空気と内室２ａ，２ｂ或はクリーンルーム１ｃ内部からの循環空気還気とを合流させた空気を所定の温度に冷却し、この冷却された空気に、噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃの開度を制御して加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃの加湿水噴霧ノズル１３ａ，１３ｂ，１３ｃで流量制御された水を噴霧して、冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃで冷却された後の水を所定の湿度に制御すると共に、水の蒸発により空気を所定の温度に冷却し、この空気を内室２ａ，２ｂに導入して、或は、クリーンルーム１ｃの上部に供給して、生産装置２１ａ，２１ｂ，２１ｃから発生する熱を吸収し、その熱負荷を処理する。
【００３５】
斯かる運転の際には、ダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃの開度は、クリーンルームとして適正な対外気正圧値としての内室２ａの圧力が、予め設定圧力ＰｏとしてＰＩＤ演算器４９に設定されている。而して、ＰＩＤ演算器４９では、内室２ａの圧力Ｐａと設定圧力Ｐｏの差を採って圧力偏差が求められ、求められた圧力偏差は比例積分調整されて各ダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃの開度を決めるが、例えば前述のように各ダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃの開度が排気量の減少により５０％となる場合は、そのようにダンパ開度調整値が求められ、この調整量により、ダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃの開度が、所定のダンパ開度Ｄｐｉｄ＝５０％となるように制御される。ここで、ダンパ開度Ｄｐｉｄ＝５０％は、例えば開度と流量の割合が同じであるリニア特性のダンパの場合、ダンパ４７ａ,４７ｂ,４７ｃが全開の場合の流量を１００％とした場合、その半分の開度であり、且つ半分の流量でもある。
【００３６】
クリーンルームの温度や湿度を制御するシステムとしては特許文献１〜３がある。特許文献１の空調システムにおいては、熱処理した空気を対応する被空調空間に供給する室内機と、対応する室内機の運転を制御する室内機制御装置と、外気を熱処理して室内機又は被空調空間に供給する外調機と、外調機の運転を制御する制御装置とを有しており、外調機制御装置は、外調機、室内給気センサ、内部センサ、排気センサ、外調機給気センサ及び設定器から受信する室内給気温度、内部温度、排気温度、外調機給気温度、設定温度等のデータに基づいて、外調機の運転を制御するようにしている。
【００３７】
特許文献２の外気冷房システムにおいては、還流する室内空気の温度とその室内空気の絶対湿度から外気冷房で吹き出される給気の温度と絶対湿度を設定し、他方導入する外気の温度と絶対湿度の状態から室内の還流空気の加湿量を決定すると共に還流空気と外気ＯＡの混合量を制御するようにしている。
【００３８】
特許文献３の空調制御システムにおいては、クリーンルーム等、恒温恒湿の室に対して加湿する場合、安定した制御の下で省エネ効果の高い精密な湿度コントロールを実現するために、外気を処理する空調機の出口付近に露点温度センサと風量計を設置し、空調機を経た導入外気の絶対湿度と導入外気量を検出し、湿度コントローラの演算によって、クリーンルームの設定湿度（絶対湿度）と導入外気との絶対湿度の差に、導入外気量を乗じた量を所要加湿量とし、加湿手段によって当該所要加湿量を循環空気系の循環空気に付加するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００３９】
【特許文献１】特開２００５−１５６１４８号公報
【特許文献２】特開２００３−１４８７８２号公報
【特許文献３】特開平８−８２４３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００４０】
図１９の従来の空調システムでは、空調機２９からクリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃに至るダクト４６ａ,４６ｂ,４６ｃには、空気流量を調整するためのダンパは設けられておらず、図２０の従来の空調システムでは、空調機２９からクリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃに至るダクト４６ａ,４６ｂ,４６ｃにダンパ４７ａ,４７ｂ,４７ｃは設けられてはいるが、何れのダンパ４７ａ,４７ｂ,４７ｃとも同一の開度となるよう制御されていた。従って、図１９、図２０の何れの空調システムにおいても、空調機２９から各クリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃへ供給される空気の分配量は均等であり、クリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃの熱負荷の分布状況によらず一定であった。
【００４１】
又、空調機２９に設けた蒸気加湿器３５へ蒸気を供給する蒸気管路４３に設けた噴霧量制御弁４２を制御するための空気の設定露点温度Ｈｓｐは、クリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃの熱負荷の分布状況に関係なく固定された一定値（例えば、９℃）であった。
【００４２】
更に、各クリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃの各室の熱負荷Ｑは、冷却コイル９ａ,９ｂ,９ｃでの空気の冷却量Ａと、空調機２９からダクト４７ａ,４７ｂ,４７ｃを経てクリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃ内に導入された空気（給気）の冷却量Ｂと、加湿水噴霧器１４ａ,１４ｂ,１４ｃからクリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃ内に噴霧された水が蒸発することにより冷却される冷却量Ｃの和になる（Ｑ＝Ａ＋Ｂ＋Ｃ）。然るに、上述のように、空調機２９からクリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃに給気される空気の単位時間当りの量は同じで一定であるため、熱負荷の小さい室では、冷却コイル９ａ,９ｂ,９ｃによる空気の冷却量及び加湿水噴霧器１４ａ,１４ｂ,１４ｃから噴霧された水の蒸発による空気の冷却量も少なくする必要がある。
【００４３】
因みに、クリーンルーム１ａの内室２ａの負荷が大きい場合、流量制御弁１０ａの開度は大きくしてクリーンルーム１ａを循環する空気の冷却コイル９ａでの冷却は大きくし、
クリーンルーム１ｂの内室２ｂの負荷が内室２ａの負荷よりも低い中の場合、流量制御弁１０ｂの開度は流量制御弁１０ａよりも絞ってクリーンルーム１ｂを循環する空気の冷却コイル９ｂでの冷却は冷却コイル９ａの場合よりも若干下げる必要がある。又、クリーンルーム１ｃの負荷が内室２ｂの負荷よりも更に低い、３室のうち最小の場合、流量制御弁１０ｃの開度は流量制御弁１０ｂよりも更に絞ってクリーンルーム１ｃを循環する空気の冷却コイル９ｃでの冷却は空気の冷却コイル９ｂの場合よりも更に下げて略零の最小としなければならず、加湿水噴霧器１４ｃから噴霧される水の量も噴霧量制御弁１６ｃを絞って少なくしなければならない。なぜなら、クリーンルーム１ａ,１ｂの内室２ａ,２ｂ、クリーンルーム１ｃ内の室温ｔａ,ｔｂ,ｔｃは２３℃に保持することを要求されているが、クリーンルーム１ｃの熱負荷が３室のうち、最も少ない場合、湿度を確保するために、加湿水噴霧器１４ｃから噴霧される水の量を増やすと、水の蒸発によりクリーンルーム１ｃが冷えすぎ、室温ｔｃを２３℃に確保できなくなるからである。
【００４４】
このように、熱負荷の小さいクリーンルーム１ｃでは、室の相対湿度を所定の値（湿度ｈｃ＝４５％）にするために、加湿水噴霧器１４ｃによる加湿を行うと水の蒸発により室温ｔｃが下がり過ぎるため、加湿水噴霧器１４ｃでの加湿を行うことができず、従って、熱負荷の小さいクリーンルーム１ｃの湿度ｈｃを確保するには、空調機２９における蒸気加湿器３５での加湿を多くする必要があり、その結果、蒸気加湿器３５での蒸気の消費量が増加する。
【００４５】
又、空調機２９の蒸気加湿器３５での加湿量Ｘは、ファン２３ａ,２３ｂ,２３ｃによるクリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃからの排気に伴う蒸気の損失量α×Ｂからクリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃでの加湿量β×Ｃを引いたものである（Ｘ＝α×Ｂ−β×Ｃ）。ここで、Ｂ,Ｃは上述のＱの式中にあるものと同じものであり、α,βは係数である。この式のうち先ずＢについて説明すると、室内温湿度が一定で導入外気の温湿度も一定なので、導入外気による冷却量は、導入外気量と比例しており、室を正圧に保つ漏れ空気も排気と考えると導入外気量と等しくなり、排気も室内温湿度一定であれば、室内潜熱が無ければ一定露点となる。上記α×Ｂで、αの係数を乗じれば、排気に同伴された空気が含む水蒸気量と比例することは明らかである。次にＣについて説明すると、導入外気が露点一定であり、循環空気の露点も室内潜熱がないことから一定なので、クリーンルーム内で噴霧され断熱変化する噴霧水による冷却量Ｃは、噴霧量に比例していることは明らかである。よって、クリーンルームでの加湿量は、Ｃに比例する。而して、空調機２９からダクト４７ａ,４７ｂ,４７ｃを経てクリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃ内に導入された空気（給気）の量はＢに比例して一定であるが、加湿水噴霧器１４ａ,１４ｂ,１４ｃからクリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃ内に噴霧された水が蒸発することにより冷却される冷却量Ｃが少なくなる場合を想定して、蒸気加湿器３５での加湿量Ｘは上述したように大きめな設定露点温度Ｈｓｐ＝９℃として設定しておく必要がある。
【００４６】
又、クリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃの熱負荷が大きい場合は、加湿水噴霧器１４ａ,１４ｂ,１４ｃからの水の噴霧量を多くできるため、室の湿度を所定の値に保持することができるが、クリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃの熱負荷が小さくなると、該当する室では、加湿水噴霧器１４ａ,１４ｂ,１４ｃから噴霧される水の量を低くしなければならず、所定の室度を保持することができないため、熱負荷の低いクリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃの湿度を確保するため、空調機２９の設定露点温度Ｈｓを高めの固定値に設定して、蒸気加湿器３５で噴霧される蒸気の量を増加する必要があり、従って、十分な省エネルギを達成することが困難である。
【００４７】
特許文献１では、室内機及び外調機と、室内機及び外調機を夫々制御するための制御装置を備えて夫々独立して制御を行うことで、例えば、過冷却再熱等のエネルギ消費量が多くなる弊害を抑えるために、室内機の動作状況に応じて外調機の制御パラメータを変更できるよう、外調機の制御装置には、パラメータ変更部を備えている。このパラメータ変更部では、外調機の設定給気温度をパラメータの一つとして設定変更するようにしている。しかし、工場のクリーンルームのように、大風量を循環させることにより、排気や給気が生産装置の可動状態で大きく変動する多数のエリアや室が存在する建物において精密温調を行う場合、大風量を循環する側に水による加湿を行う際には、中間期や冬期は加湿を行うことで断熱加湿しながら空気の温度が低下するので、エリアや室の冷却が可能となる。
【００４８】
しかし、各エリアや室に設置された生産装置の種類は一般的には、異なるため、その排気や発熱による熱負荷の程度もエリアや室毎に異なっていることが多く、大多数のエリアや室の熱負荷が大きいのに、あるエリアや室の熱負荷が少ないか或は殆んどないような場合には、精密な調温をするためには、当該エリアや室では冷却し過ぎないよう、外調機の設定給気温度を上げる必要がある。そうすると、外調機の設定給気温度を下げられず、最小のエネルギ消費を図ることはできない。
【００４９】
又、引用文献１では、多数のエリアや室に対応して給気の分配の設定を変更するようにはしておらず、外気を各エリアや室に対して均一に分配するようにしているため、前記したように、熱負荷の小さいエリアや室が存在すると、当該エリアや室を加湿したくても噴霧された水の蒸発による冷却により温度が低下しすぎるという問題が生じ、従って、外調機での加湿を行う必要があり、その結果、外調機での消費エネルギの削減に限界がある。更に、特許文献２、３は空調機からの給気を行う室は１室であり、給気の分配については特に考慮を払う必要がないため、本発明とは直接的な関連はない。
【００５０】
本発明は、上述の実情に鑑み、複数のクリーンルームのうち熱負荷が他のクリーンルームよりも小さいクリーンルームにおいても、湿度を所定の値に保持するために、当該クリーンルームに水を噴霧した場合に、水の蒸発によりクリーンルームの温度が低くなり過ぎないようにして省エネルギを図ると共に、クリーンルームの温度制御の精度を良好にすることを目的としてなしたものである。
【課題を解決するための手段】
【００５１】
請求項１の空調システムは、
導入された空気を過冷却して除湿する第一の冷却手段と、該第一の冷却手段で冷却された空気を加熱する加熱手段と、該加熱手段で加熱された空気を蒸気により加湿する蒸気加湿手段とを備えた空調機と、
該空調機から給気されて内部で循環する空気を冷却し得るようにした第二の冷却手段と、該第二の冷却手段で冷却された空気を加湿する水加湿手段を備えた少なくとも一つの被空調空間を備え、
前記空調機内の蒸気加湿手段へ蒸気が供給される蒸気管路の噴霧量制御弁の開度を、前記空調機内の蒸気加湿手段で加湿されるか、若しくは前記第一の冷却手段で除湿された空気の露点温度と、前記第二の冷却手段へ冷水を供給するか、若しくは冷水を排出する冷水管路に設けた流量制御弁への弁開度指令、並びに前記水加湿手段へ加湿水を供給する加湿水管路に設けた加湿水噴霧量制御弁の弁開度指令に基いて求めた設定露点温度との差を基に制御するよう構成したものである。
【００５２】
請求項２の空調システムは、
導入された空気を過冷却して除湿する第一の冷却手段と、該第一の冷却手段で冷却された空気を加熱する加熱手段と、該加熱手段で加熱された空気を蒸気により加湿する蒸気加湿手段とを備えた空調機と、
該空調機から給気されて内部で循環する空気を冷却し得るようにした第二の冷却手段と、該第二の冷却手段で冷却された空気を加湿する水加湿手段を備えた少なくとも一つの被空調空間を備え、
前記空調機内の蒸気加湿手段へ蒸気が供給される蒸気管路の噴霧量制御弁の開度を、前記空調機内の蒸気加湿手段で加湿されるか、若しくは前記第一の冷却手段で除湿された空気の露点温度と、前記第二の冷却手段へ冷水を供給するか、若しくは冷水を排出する冷水管路に設けた流量制御弁への弁開度指令、並びに前記水加湿手段へ加湿水を供給する加湿水管路に設けた加湿水噴霧量制御弁の弁開度指令に基いて求めた設定露点温度との差を基に制御するよう構成し、
前記空調機から被空調空間へ空気を送るラインに設けたダンパの開度を、前記第二の冷却手段の流量制御弁への弁開度指令に対応して制御し得るよう構成したものである。
【００５３】
請求項３の空調システムは、
導入された空気を加熱する第一の加熱手段と、該第一の加熱手段で加熱された空気を水加湿する第一の水加湿手段と、該第一の水加湿手段で加湿しない場合に空気を過冷却して除湿する第一の冷却手段と、該第一の冷却手段からの空気を加熱する第二の加熱手段とを備えた空調機と、
該空調機から給気されて内部で循環する空気を冷却し得るようにした第二の冷却手段と、該第二の冷却手段で冷却された空気を加湿する第二の水加湿手段を備えた少なくとも一つの被空調空間を備え、
前記第一の加熱手段に熱媒が供給される熱媒管路の流量制御弁の開度を、前記空調機内の第二の加熱手段の空気流れ方向下流側の第一の水加湿手段で加湿されるか、若しくは前記第一の冷却手段で除湿された空気の露点温度と、前記第二の冷却手段へ冷水を供給するか、若しくは冷水を排出する冷水管路に設けた流量制御弁への弁開度指令、並びに前記第二の水加湿手段へ加湿水を供給する加湿水管路に設けた加湿水噴霧量制御弁の弁開度指令に基づいて求めた設定露点温度との差を基に制御するよう構成したものである。
【００５４】
請求項４の空調システムは、
導入された空気を加熱する第一の加熱手段と、該第一の加熱手段で加熱された空気を水加湿する第一の水加湿手段と、該第一の水加湿手段で加湿しない場合に空気を過冷却して除湿する第一の冷却手段と、該第一の冷却手段からの空気を加熱する第二の加熱手段とを備えた空調機と、
該空調機から給気されて内部で循環する空気を冷却し得るようにした第二の冷却手段と、該第二の冷却手段で冷却された空気を加湿する第二の水加湿手段を備えた少なくとも一つの被空調空間を備え、
前記第一の加熱手段に熱媒が供給される熱媒管路の流量制御弁の開度を、前記空調機内の第二の加熱手段の空気流れ方向下流側の第一の水加湿手段で加湿されるか、若しくは前記第一の冷却手段で除湿された空気の露点温度と、前記第二の冷却手段へ冷水を供給するか、若しくは冷水を排出する冷水管路に設けた流量制御弁への弁開度指令、並びに前記第二の水加湿手段へ加湿水を供給する加湿水管路に設けた加湿水噴霧量制御弁の弁開度指令に基いて求めた設定露点温度との差により制御するよう構成し、
前記空調機から被空調空間へ空気を送るラインに設けたダンパの開度を、前記第二の冷却手段の流量制御弁への弁開度指令に対応して制御し得るよう構成したものである。
【００５５】
請求項５の空調システムは、
複数の空調空間を対象とし、検出した被空調空間の温度と被空調空間の設定温度の偏差から、該偏差に対応した第二の冷却手段の流量制御弁の弁開度指令を算出する第一の手段と、
検出した被空調空間の湿度と被空調空間の設定湿度の偏差から、該偏差に対応した水加湿手段の加湿水噴霧量制御弁の弁開度指令を算出する第二の手段と、
前記第一の手段からの第二の冷却手段の流量制御弁に対する弁開度指令、前記第二の手段からの前記水加湿手段の加湿水噴霧量制御弁に対する弁開度指令、検出した被空調空間の温度、被空調空間の設定温度、設定された被空調空間の温湿度制御レベル、第二の冷却手段の流量制御弁の流量制御弁開度設定下限値、前記空調機内の蒸気加湿手段で加湿される空気の設定露点温度下限値、前記空調機内の蒸気加湿手段で加湿される空気の設定露点温度上限値、設定露点温度変更量、第二の冷却手段の流量制御弁の流量制御弁開度設定値の不感帯、温湿度制御レベルが二番目の被空調空間の不感帯温度差、温湿度制御レベルが一番下の被空調空間の不感帯温度差、前記水加湿手段における噴霧量制御弁の噴霧量制御弁開度設定下限値及び噴霧量制御弁開度設定上限値から空調機の設定露点温度を算出する第三の手段と、
該第三の手段からの設定露点温度及び前記蒸気加湿手段により加湿された空気の露点温度の偏差から前記蒸気加湿手段の噴霧量制御弁の弁開度指令を算出して前記蒸気加湿手段の噴霧量制御弁に与える第四の手段を設けたものである。
【００５６】
請求項６の空調システムは、
複数の被空調空間を対象とし、検出した被空調空間の温度と被空調空間の設定温度の偏差から、該偏差に対応した第二の冷却手段の流量制御弁の弁開度指令を算出する第一の手段と、
検出した被空調空間の湿度と被空調空間の設定湿度の偏差から、該偏差に対応した第二の水加湿手段の噴霧量制御弁の弁開度指令を算出する第二の手段と、
前記第一の手段からの第二の冷却手段の流量制御弁に対する弁開度指令、前記第二の手段からの前記第二の水加湿手段の噴霧量制御弁に対する弁開度指令、検出した被空調空間の温度、被空調空間の設定温度、設定された被空調空間の温湿度制御レベル、第二の流量制御弁の流量制御弁開度設定下限値、前記第一の水加湿手段で加湿される空気の設定露点温度下限値、前記第一の水加湿手段で加湿される空気の設定露点温度上限値、前記第一の水加湿手段で加湿される空気の設定露点温度変更量、第二の冷却手段の流量制御弁の流量制御弁開度設定値の不感帯、温湿度制御レベルが二番目の被空調空間の不感帯温度差、温湿度制御レベルが一番下の被空調空間の不感帯温差度、前記第二の水加湿手段における噴霧量制御弁の噴霧量制御弁開度設定下限値及び噴霧量制御弁開度設定上限値から空調機の設定露点温度を算出する第三の手段と、
該第三の手段からの設定露点温度及び前記空調機内の第一の水加湿手段により加湿された、若しくは第一の冷却手段で除湿された後、第二の加熱手段を通過した空気の露点温度の偏差から前記第一の加熱手段の流量制御弁の弁開度指令を算出して前記第一の加熱手段の流量制御弁に与える第四の演算制御手段を設けたものである。
【００５７】
請求項７の空調システムは、
検出した被空調空間の圧力と該被空調空間の設定圧力との偏差から、該偏差に対応したダンパＰＩＤ開度を算出する第五の手段と、
該第五の手段からのダンパＰＩＤ開度、前記第二の冷却手段の流量制御弁の弁開度指令、該第二の冷却手段の流量制御弁における流量制御弁開度設定下限値、第二の冷却手段の流量制御弁における流量制御弁開度設定値の不感帯、ダンパのダンパ開度上限値、ダンパのダンパ開度バイアス量上限値、ダンパ開度バイアス量下限値、ダンパ開度バイアス量変更量からダンパ開度バイアス量を算出する第六の手段と、
該第六の手段からのダンパ開度バイアス量と前記第五の手段からのダンパＰＩＤ開度からダンパ開度を求め、空調機から被空調空間へのライン中に設けられたダンパの開度を制御する第七の手段を設けたものである。
【００５８】
請求項８の空調システムは、前記空調機から被空調空間へ供給される給気の温度を、被空調空間で循環する空気の温度よりも低くなるよう構成したものである。
【発明の効果】
【００５９】
本発明の請求項１〜請求項８の空調システムによれば、被空調空間に対応した第二の冷却手段の流量制御弁の開度の情報より、熱負荷を知ることができ、且つ、被空調空間の熱負荷を総合的に判断して、最も負荷が小さい室においても熱負荷が所定の値以上ある場合は、設定露点温度を下げるようにしているため、空調機の加熱、加湿エネルギについて省エネルギを図ることができる。又、これにより空調機から被空調空間へ供給される空気中の水蒸気分圧が減少して供給風量中の水分が減少するため、被空調空間の湿度を所定の値に保持する場合には、被空調空間で水加湿手段から噴霧される水の量が増加し、この噴霧された水の蒸発により被空調空間の冷却量が増加するため、被空調空間側の冷水による冷却が減少して冷水による冷却の省エネルギを図ることができ、しかも、被空調空間の温度制御の精度も向上する。
【００６０】
又、請求項２、４、７では、熱負荷の大きさにより空調機からの空気の量を調整することができるため、熱負荷が大きくて空調機からの空気が多量となる系統では、第二の冷却手段の流量制御弁の弁開度は絞られ、熱負荷が小さくて空調機からの空気が少量となる系統では、第二の冷却手段の流量制御弁の弁開度は開くよう制御が行われる。このため、熱負荷が相違していても、各系統の第二の冷却手段の流量制御弁の弁開度差は少なくなって均一化し、冷水による冷却量の偏在を平滑化して緩和することができる。
【００６１】
従って、空調機における蒸気加湿手段での加熱、加湿エネルギの節減を図ることがで
きると共に、被空調空間における水加湿手段での水の噴霧量を適切に増加させることにより、噴霧された水の蒸発による冷却量が増加するため、第二の冷却手段の冷水流量を減少させて冷却エネルギを節減でき、しかも、空調機から給気される空気の量を被空調空間の熱負荷により調整するようにしているため、より一層効率的に省エネルギを達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の空調システムの実施例１であり、システム全体を示す構成図である。
【図２】図１の空調システムにおける制御系統のブロック図である。
【図３】図１の空調システムにおける制御時のフローチャートである。
【図４】（ａ）は図３のフローチャートに続くフローチャートで、最も厳しい温湿度制御の場合のフローチャートであり、（ｂ）は（ａ）のフローチャートの演算結果をまとめた表である。
【図５】（ａ）は図３のフローチャートに続くフローチャートで、二番目に厳しい温湿度制御の場合のフローチャートであり、（ｂ）は（ａ）のフローチャートの演算結果をまとめた表である。
【図６】図３のフローチャートに続くフローチャートで、最も緩い温湿度制御の場合のフローチャートである。
【図７ａ】図４ａ、図５ａ、図６に示すフローチャートに続くフローチャートである。
【図７ｂ】図７ａのフローチャートに続くフローチャートである。
【図８】流量制御弁の実際の開度Ａｐｖｉと個別判断指令ｙｉの関係を示すグラフで、流量制御弁が開閉しない不感帯を説明するためのグラフである。
【図９】クリーンルームの内室若しくはクリーンルームの検出した温度Ｔｐｖｉと個別判断指令ｙｉの関係を示すグラフで、クリーンルームの内室若しくはクリーンルームの温度において流量制御弁が開閉しない不感帯温度を説明するためのグラフである。
【図１０】本発明の空調システムの実施例２であり、システム全体を示す構成図である。
【図１１】図１０の空調システムにおける全運転状態の制御時のフローチャートである。
【図１２】図１０の空調システムにおける制御系統のブロック図である。
【図１３】図１２のブロック図により制御を行う際のフローチャートである。
【図１４】図１０に示す本発明の空調システムの実施例２のサブルーチンＩＩにおいて、空調機から供給される空気の流量の分配をクリーンルームの熱負荷により変更すると共に、流量制御弁及び噴霧量制御弁の開度情報の読み取りに関する、数値を入れた具体例であり、必要箇所にはその位置の露点温度或は機器により検出された露点温度や指示値を具体的に記載した例である。
【図１５】図１０に示す本発明の空調システムの実施例２のサブルーチンＩＩにおいて、図１４に示す状態から、空調機より給気される空気の設定露点温度を変更する場合における数値を入れた具体例であり、必要箇所にはその位置の露点温度或は機器により検出された露点温度や指示値を具体的に記載した例である。
【図１６ａ】図１０に示す本発明の空調システムの実施例２において、空気線図を作成する際の状態点の乾球温度及び絶対湿度を測定する位置を説明するための図である。
【図１６ｂ】図１０に示す空調システムにおいて、図１６ａに示す測定点、及び同様な位置で図２０に示す従来の空調システムにおいて測定を行った際に得られる空気線図である。
【図１７】本発明の空調システムの実施例３であり、システム全体を示す構成図である。
【図１８ａ】図１７に示す本発明の空調システムの実施例３において、空気線図を作成する際の状態点の乾球温度及び絶対湿度を測定する位置を説明するための図である。
【図１８ｂ】図１７に示す空調システムにおいて、図１８ａに示す測定点、及び同様な位置で従来の空調システムにおいて測定を行った際に得られる空気線図である。
【図１９】従来の空調システムの一例であり、外調機からクリーンルームに至るダクトにダンパが設けられていない空調システム全体を示す構成図である。
【図２０】外調機からクリーンルームに至るダクトにダンパが設けられている従来の空調システムの他の例であり、外調機からクリーンルームに至るダクトにダンパが設けられているシステム全体を示す構成図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６３】
以下、本発明の実施例を添付図面を参照しつつ説明する。以下の説明で「熱負荷が大きい」とは、クリーンルーム１ａ，１ｂ内の内室２ａ，２ｂに設置した生産装置２１ａ，２１ｂ若しくはクリーンルーム１ｃに設置した生産装置２１ｃでの発熱量が所定の一の値よりも多いことをいい、「熱負荷が小さい」とは、クリーンルーム１ａ，１ｂ内の内室２ａ，２ｂに設置した生産装置２１ａ，２１ｂ若しくはクリーンルーム１ｃに設置した生産装置２１ｃでの発熱量が前記一の値よりも小さい他の値よりも少ないことをいい、前記一の値と他の値との中間の値の場合は、熱負荷が「大きい」と「小さい」の中間の場合である。又、生産装置２１ａ，２１ｂ，２１ｃの熱負荷が大きい場合としては、冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃへ供給される冷水の流量を制御する流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度が大きい場合、或は、加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃからクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに噴霧される水の量を制御する噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃの開度が大きい場合、若しくは、温度検出器２５ａ，２５ｂで検出したクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの室温ｔａ，ｔｂ、温度検出器２５ｃで検出したクリーンルーム１ｃの室温ｔｃが高いことである。
【００６４】
図１〜図９は請求項１、５、８に対応する本発明の実施例１である。図中、図１９に示すものと同一のものには同一の符号が付してある。又、実施例１の説明で、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃは請求項１、４、７の「被空調空間」、冷却除湿コイル３２は請求項１の「第一の冷却手段」、加熱コイル３３は請求項１の「加熱手段」、蒸気加湿器３５は請求項１、４の「蒸気加湿手段」、加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃは請求項１、４の「水加湿手段」、冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃは請求項１、４の「第二の冷却手段」、噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃは請求項１の「加湿水噴霧量制御弁」である。更に、冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃは請求項４の「第一の手段」、加湿水コントローラ２８ａ，２８ｂ，２８ｃは請求項４の「第二の手段」、設定露点温度コントローラ５１は請求項４の「第三の手段」、露点温度コントローラ４５は請求項４の「第四の手段」である。
【００６５】
而して、実施例１では、ダクト４６ａ，４６ｂ，４６ｃにはダンパが設けられておらず、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃには、空調機２９から単位時間当たり等量の空気が供給される例である。而して、本図示例において特徴とするところは、以下の点である。
【００６６】
すなわち、実施例１の空調システムでは、図１に示すように、設定露点温度コントローラ５１が設けられ、温度検出器２５ａ，２５ｂ，２５ｃで検出したクリーンルーム１ａ，１ｂにおける内室２ａ，２ｂの温度ｔａ，ｔｂ，ｔｃは冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃ以外に、設定露点温度コントローラ５１へ与え得るようになっている。又、温度ｔａ，ｔｂ，ｔｃと設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏとから、冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃで求められて冷水管路１１ａ，１１ｂ，１１ｃの流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃへ与えられる弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃも設定露点温度コントローラ５１へ与え得るようになっている。更に、加湿水コントローラ２８ａ，２８ｂ，２８ｃにおいて、湿度検出器２７ａ，２７ｂ，２７ｃで検出したクリーンルーム１ａ，１ｂにおける内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃの湿度ｈａ，ｈｂ，ｈｃと設定湿度ｈａｏ，ｈｂｏ，ｈｃｏから求められ、加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃの加湿水噴霧ノズル１３ａ，１３ｂ，１３ｃに与えられる弁開度指令Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃも設定露点温度コントローラ５１に与え得るようになっている。
【００６７】
而して、設定露点温度コントローラ５１においては、与えられた前記データ及び後述の設定されたデータを基に空調機２９の蒸気加湿器３５での設定露点温度Ｈｓｐを求め、この設定露点温度Ｈｓｐを露点温度コントローラ４５ヘ与えて、設定露点温度Ｈｓｐ及び、露点温度検出器４４で検出した、空調機２９のファン３６出側における空気の露点温度Ｈｒを基に、蒸気加湿器３５に蒸気を送給する蒸気管路４３の噴霧量制御弁４２に対する弁開度指令Ｗｘを求め、この弁開度指令Ｗｘにより、噴霧量制御弁４２の開度を制御し得るように構成してある。
【００６８】
冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃ及び加湿水コントローラ２８ａ，２８ｂ，２８ｃ並びに設定露点温度コントローラ５１、露点温度コントローラ４５の詳細は図２に示されている。なお、以下の説明では、図が複雑になるため、図１、図２のうちどちらかの図にのみに示してある記号もあるが、実際には図１、図２の系統の両方に必要である。又、設定される各データは図示してない上位コントローラから与えられる。更に、図２では、図の簡略化のため、３台の冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃを一つの図で示し、又、３台の加湿水コントローラ２８ａ，２８ｂ，２８ｃを一つの図で示してあるが、図示例の場合、実際は３台である。
【００６９】
冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃには、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ内やクリーンルーム１ｃで維持すべき温度を、設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏとして設定し得るようになっていると共に（図１、図２参照）、温度検出器２５ａ，２５ｂで検出したクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの温度ｔａ，ｔｂ、温度検出器２５ｃで検出したクリーンルーム１ｃ内の温度ｔｃを与え得るようになっている（図１、図２参照）。而して、冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃの減算部５２では、検出した温度ｔａ，ｔｂ，ｔｃと設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏの差を採って温度偏差Δｔａ，Δｔｂ，Δｔｃを求め、得られた温度偏差Δｔａ，Δｔｂ，Δｔｃを比例積分微分演算（比例積分演算の１種）して制御する機能を有する部分、すなわち、ＰＩＤ制御部５３へ与え得るようになっている。
【００７０】
冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃのＰＩＤ制御部５３では、温度偏差Δｔａ，Δｔｂ，Δｔｃを比例積分微分演算して、弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃを求め、この弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃは、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃへ冷水を供給する冷水管路１１ａ，１１ｂ，１１ｃの流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃへ与え得るようになっていると共に（図１参照）、設定露点温度コントローラ５１の設定露点温度算出部５４へ与え得るようになっている（図２参照）。
【００７１】
湿度コントローラ２８ａ,２８ｂ,２８ｃには、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ内やクリーンルーム１ｃで維持すべき湿度を、設定湿度ｈａｏ，ｈｂｏ，ｈｃｏとして設定し得るようになっていると共に（図１、図２参照）、湿度検出器２７ａ，２７ｂで検出したクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの湿度ｈａ，ｈｂ、湿度検出器２７ｃで検出したクリーンルーム１ｃ内の湿度ｈｃを与え得るようになっている（図１、図２参照）。而して、加湿水コントローラ２８ａ，２８ｂ，２８ｃの減算部５５では、検出した湿度ｈａ，ｈｂ，ｈｃと設定湿度ｈａｏ，ｈｂｏ，ｈｃｏの差を採って湿度偏差Δｈａ，Δｈｂ，Δｈｃを求め、得られた湿度偏差Δｈａ，Δｈｂ，Δｈｃを比例積分微分演算して制御する機能を有する部分、すなわち、ＰＩＤ制御部５６へ与え得るようになっている。
【００７２】
加湿水コントローラ２８ａ，２８ｂ，２８ｃのＰＩＤ制御部５６では、湿度偏差Δｈａ，Δｈｂ，Δｈｃを比例積分微分演算して、加湿水の弁開度指令Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃを求め、この弁開度指令Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃは、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの加湿水噴霧器１４ａ,１４ｂ,１４ｃへ加湿水を送給する加湿水管路１５ａ,１５ｂ,１５ｃに設けた噴霧量制御弁１６ａ,１６ｂ,１６ｃへ与え得るようになっていると共に（図１参照）、設定露点温度コントローラ５１の設定露点温度算出部５４へ与え得るようになっている（図２参照）。
【００７３】
設定露点温度コントローラ５１の設定露点温度算出部５４には、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの室温設定値である設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ、クリーンルーム１ｃの室温設定値である設定温度ｔｃｏを設定し得るようになっている（図２参照）。又、設定露点温度コントローラ５１の設定露点温度算出部５４には、温度検出器２５ａ，２５ｂ，２５ｃで検出したクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの室温である温度ｔａ，ｔｂ、クリーンルーム１ｃの室温である温度ｔｃを与え得るようになっている（図１、図２参照）。
【００７４】
設定露点温度コントローラ５１の設定露点温度算出部５４には、クリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃに対応した各流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの流量制御弁開度設定下限値Ａａｕ，Ａｂｕ，Ａｃｕを設定し得るようになっている（図２参照）。流量制御弁開度設定下限値Ａａｕ，Ａｂｕ，Ａｃｕは、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの全開時の開度（単位：％）の例えば約２０％とする。これは、流量制御弁開度設定下限値Ａａｕ，Ａｂｕ，Ａｃｕを小さくし過ぎると、各流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度調整範囲が大きくなった場合、制御がうまくいかない虞があるためである。この流量制御弁開度設定下限値Ａａｕ、Ａｂｕ、Ａｃｕは、流量制御弁の型式や弁特性によって異なることは云うまでもない。
【００７５】
更に、設定露点温度コントローラ５１の設定露点温度算出部５４には、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの温湿度制御レベルＬａ１，Ｌａ２，Ｌａ３，Ｌｂ１，Ｌｂ２，Ｌｂ３，Ｌｃ１，Ｌｃ２，Ｌｃ３を設定し得るようになっている（図２参照）。
【００７６】
ここで、温湿度制御レベルＬａ１，Ｌａ２，Ｌａ３，Ｌｂ１，Ｌｂ２，Ｌｂ３，Ｌｃ１，Ｌｃ２，Ｌｃ３はクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの維持したい温度及び湿度による重み付けである。すなわち、Ｌａ１、Ｌｂ１はクリーンルーム１ａ、１ｂの内室２ａ、２ｂにおける、又、Ｌｃ１はクリーンルーム１ｃにおける温湿度制御レベルで、例えば室内温調条件として、温度２３℃±０．５℃、相対湿度４５％±５％の場合であり、製品が晒されたり製造装置の温度管理が最も要求されるゾーンであったりする（最も厳しい温湿度制御レベル）。又、温度管理が最も要求されるゾーンには製造装置が多く設けられており、発熱による熱負荷も多い傾向がある。Ｌａ２、Ｌｂ２はクリーンルーム１ａ、１ｂの内室２ａ、２ｂにおける、又、Ｌｃ２はクリーンルーム１ｃにおける温湿度制御レベルで、例えば室内温調条件として、温度２３℃±１℃、相対湿度４５％±１０％の場合であり、製品が隔離された場所であったり製造装置のメンテナンス側ゾーンであったりする（二番目に厳しい温湿度制御レベル）。Ｌａ３、Ｌｂ３はクリーンルーム１ａ、１ｂの内室２ａ、２ｂにおける、又、Ｌｃ３はクリーンルーム１ｃにおける温湿度制御レベルで、例えば室内温調条件として、温度２３℃±２℃、相対湿度４５％±１５％の場合であり、製造装置がこれから設置される予備ラインゾーンであったりする（三番目に厳しい（最も緩い）温湿度制御レベル）。
【００７７】
更に、設定露点温度コントローラ５１の設定露点温度算出部５４には、蒸気加湿器３５で空気を加湿する際の、設定露点温度下限値Ｈｓｐｍｉｎ、設定露点温度上限値Ｈｓｐｍａｘ、設定露点温度変更量ΔＨｓｐを設定し得るようになっており（図２参照）、更に又、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃに関する流量制御弁開度設定値の不感帯Ａｄｉｆ、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃのうち、二番目に厳しい温湿度制御レベルＬａ２，Ｌｂ２，Ｌｃ２の不感帯温度（温湿度制御レベルが二番目の室の不感帯温度）Ｔ２ｄｉｆαｉ、Ｔ２ｄｉｆβｉ、最も緩い温湿度制御レベルＬａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３の不感帯温度（温湿度制御レベルが三番目の室の不感帯温度）Ｔ３ｄｉｆαｉ、Ｔ３ｄｉｆβｉを設定し得るようになっている（図２参照）。但し、Ｔ２ｄｉｆαｉとＴ２ｄｉｆβｉは任意に設定でき、０≦Ｔ２ｄｉｆαｉ＜Ｔ２ｄｉｆβｉ≦１である。又、Ｔ３ｄｉｆαｉとＴ３ｄｉｆβｉは任意に設定でき、１≦Ｔ３ｄｉｆαｉ＜Ｔ３ｄｉｆβｉ≦１．５である。なお、「不感帯」については後述する。
【００７８】
更に又、設定露点温度コントローラ５１の設定露点温度算出部５４には、クリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃに対応した各噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃの噴霧量制御弁開度設定下限値Ｗｍｉｎ、噴霧量制御弁開度設定上限値Ｗｍａｘ、を設定し得るようになっている（図２参照）。
【００７９】
設定露点温度コントローラ５１の設定露点温度算出部５４では、冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃにおけるＰＩＤ制御部５３からの弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏ、温度検出器２５ａ，２５ｂ，２５ｃで検出されたクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの温度ｔａ，ｔｂ，ｔｃ、湿度コントローラ２８ａ,２８ｂ,２８ｃにおけるＰＩＤ制御部５６からの弁開度指令Ｗａ,Ｗｂ,Ｗｃ、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの温湿度制御レベルＬａ１，Ｌａ２，Ｌａ３，Ｌｂ１，Ｌｂ２，Ｌｂ３，Ｌｃ１，Ｌｃ２，Ｌｃ３、各流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの流量制御弁開度設定下限値Ａａｕ，Ａｂｕ，Ａｃｕ、設定露点温度下限値Ｈｓｐｍｉｎ又は設定露点温度上限値Ｈｓｐｍａｘ若しくは設定露点温度変更量ΔＨｓｐ、流量制御弁開度不感帯Ａｄｉｆ、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃのうち、二番目に厳しい温湿度制御レベルＬａ２，Ｌｂ２，Ｌｃ２の不感帯温度Ｔ２ｄｉｆαｉ，Ｔ２ｄｉｆβｉ、最も緩い温湿度制御レベルＬａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３の不感帯温度Ｔ３ｄｉｆαｉ，Ｔ３ｄｉｆβｉ、各噴霧量制御弁１６ａ,１６ｂ,１６ｃの噴霧量制御弁開度設定下限値Ｗｍｉｎ、噴霧量制御弁開度設定上限値Ｗｍａｘを基に、空調機２９の蒸気加湿器３５での設定露点温度Ｈｓｐが求められ、求められた設定露点温度Ｈｓｐは露点温度コントローラ４５の減算部５７に与えられるようになっている（図１、図２参照）。
【００８０】
露点温度コントローラ４５の減算部５７には、設定露点温度Ｈｓｐの他に、空調機２９のファン３６の下流側で露点温度検出器４４により検出された空気の露点温度Ｈｒを与え得るようになっている（図１、図２参照）。
【００８１】
露点温度コントローラ４５の減算部５７では、空調機２９内の露点温度検出器４４により検出された、加湿された空気の露点温度Ｈｒと設定露点温度コントローラ５１からの設定露点温度Ｈｓｐとの差が採られて空気の設定露点温度偏差（Ｈｒ−Ｈｓｐ＝ΔＨ）が求められ、求められた設定露点温度偏差ΔＨはＰＩＤ制御部５８に与えられるようになっている。又、ＰＩＤ制御部５８では、空気の設定露点温度偏差ΔＨが比例積分微分演算されて、空調機２９の蒸気加湿器３５へ蒸気を供給する蒸気管路４３の噴霧量制御弁４２の弁開度指令Ｗｘが求められ、求められた弁解度指令Ｗｘにより、噴霧量制御弁４２の開度を所定の開度に調整し得るようになっている。
【００８２】
次に、実施例１の作動について、先ず図２をも参照しつつ説明する。なお、空調機２９における外気ＯＡの流れや空調機２９での各機器の作動、空調機２９からクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃに供給される空気（給気）の流れ、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃにおける循環する空気の流れは図１９の場合と略同様であるため、説明は省略する。又、冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃ及び加湿水コントローラ２８ａ，２８ｂ，２８ｃ並びに設定露点温度コントローラ５１、露点温度コントローラ４５に入力される各データのうち、温度検出器２５ａ，２５ｂ，２５ｃで検出したクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃの温度ｔａ，ｔｂ，ｔｃ、湿度検出器２７ａ，２７ｂ，２７ｃで検出したクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃの湿度ｈａ，ｈｂ，ｈｃ、空調機２９における露点温度検出器４４で検出した空気の露点温度Ｈｒ以外のデータは図示してない上位コントローラから与えられる。
【００８３】
運転時においては、冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃには、図示してない上位コントローラからクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ内やクリーンルーム１ｃで維持すべき温度が、設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏとして設定されていると共に、温度検出器２５ａ，２５ｂで検出したクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの温度ｔａ，ｔｂ、温度検出器２５ｃで検出したクリーンルーム１ｃ内の温度ｔｃが与えられている。而して、冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃの減算部５２では、検出した温度ｔａ，ｔｂ，ｔｃと設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏの差を採って温度偏差Δｔａ，Δｔｂ，Δｔｃが求められ、得られた温度偏差Δｔａ，Δｔｂ，Δｔｃは、冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃのＰＩＤ制御部５３へ与えられる。
【００８４】
ＰＩＤ制御部５３では、温度偏差Δｔａ，Δｔｂ，Δｔｃが比例積分微分演算されて、弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃが求められ、弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃは、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃへ与えられて流動制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃは所定の開度に制御される。このため、冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃへ供給される冷水の流量が制御され、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃの温度(室温）は所定の温度に制御される。又、ＰＩＤ制御部５３で得られた弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃは、同時に、設定露点温度コントローラ５１の設定露点温度算出部５４へも与えられる（図２参照）。
【００８５】
又、運転時においては、加湿水コントローラ２８ａ，２８ｂ，２８ｃには、図示してない上位コントローラからクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃで維持すべき湿度が、設定湿度ｈａｏ，ｈｂｏ，ｈｃｏとして設定されていると共に、湿度検出器２７ａ，２７ｂで検出したクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，ｂの湿度ｈａ，ｈｂ、クリーンルーム１ｃの湿度ｈｃが与えられている。而して、加湿水コントローラ２８ａ，２８ｂ，２８ｃの減算部５５では、検出した湿度ｈａ，ｈｂ，ｈｃと設定湿度ｈａｏ，ｈｂｏ，ｈｃｏの差を採って湿度偏差Δｈａ，Δｈｂ，Δｈｃが求められ、得られた湿度偏差Δｈａ，Δｈｂ，Δｈｃは、加湿水コントローラ２８ａ，２８ｂ，２８ｃのＰＩＤ制御部５６へ与えられる。
【００８６】
ＰＩＤ制御部５６では、湿度偏差Δｈａ，Δｈｂ，Δｈｃが比例積分微分演算されて、弁開度指令Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃが求められ、弁開度指令Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃは、噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃへ与えられて噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃは所定の開度に制御される。このため、加湿水は、加湿水管路１５ａ，１５ｂ，１５ｃから加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃの加湿水噴霧ノズル１３ａ、３ｂ，１３ｃへ供給され、加湿水噴霧ノズル１３ａ，１３ｂ，１３ｃからクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに噴霧され、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内を循環する空気は加湿されて所定の湿度に制御される。又、ＰＩＤ制御部５６で得られた弁開度指令Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃは、同時に、設定露点温度コントローラ５１の設定露点温度算出部５４へも与えられる（図２参照）。
【００８７】
設定露点温度コントローラ５１の設定露点温度算出部５４には、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ、クリーンルーム１ｃの設定温度ｔｃｏが設定されている。又、設定露点温度コントローラ５１の設定露点温度算出部５４には、温度検出器２５ａ，２５ｂ，２５ｃで検出したクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの室温である温度ｔａ，ｔｂ、クリーンルーム１ｃの室温である温度ｔｃが与えられ、各流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの流量制御弁開度設定下限値Ａａｕ，Ａｂｕ，Ａｃｕが設定されている。
【００８８】
更に、設定露点温度コントローラ５１の設定露点温度算出部５４には、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの温湿度制御レベルＬａ１，又はＬａ２若しくはＬａ３、温湿度制御レベルＬｂ１又はＬｂ２若しくはＬｂ３、温湿度制御レベルＬｃ１又はＬｃ２若しくはＬｃ３が設定されており、設定露点温度下限値Ｈｓｐｍｉｎ、設定露点温度上限値Ｈｓｐｍａｘ、設定露点温度変更量ΔＨｓｐが設定されており、流量制御弁開度設定値の不感帯Δｄｉｆが設定されている。更に又、設定露点温度算出部５４には、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃのうち、二番目に厳しい温湿度制御レベルＬａ２，Ｌｂ２，Ｌｃ２の不感帯温度Ｔ２ｄｉｆαｉ，Ｔ２ｄｉｆβｉ、最も緩い三番目の温湿度制御レベルＬａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３の不感帯温度Ｔ３ｄｉｆαｉ，Ｔ３ｄｉｆβｉが設定されている。又更に、設定露点温度算出部５４には、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに対応した各噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃの噴霧量制御弁開度設定下限値Ｗｍｉｎ、噴霧量制御弁開度設定上限値Ｗｍａｘ、が設定されている。
【００８９】
設定露点温度コントローラ５１の設定露点温度算出部５４では、冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃにおけるＰＩＤ制御部５３からの弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏ、温度検出器２５ａ，２５ｂ，２５ｃで検出されたクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの温度ｔａ，ｔｂ，ｔｃ、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの温湿度制御レベルＬａ１又はＬａ２若しくはＬａ３，温湿度制御レベルＬｂ１又はＬｂ２若しくはＬｂ３、温湿度制御レベルＬｃ１又はＬｃ２若しくはＬｃ３、各流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの流量制御弁開度設定下限値Ａａｕ，Ａｂｕ，Ａｃｕ、設定露点温度下限値Ｈｓｐｍｉｎ又は設定露点温度上限値Ｈｓｐｍａｘ又は設定露点温度変更量ΔＨｓｐ、流量制御弁開度設定値の不感帯Ａｄｉｆ、温湿度制御レベルＬａ２，Ｌｂ２，Ｌｃ２の不感帯温度Ｔ２ｄｉｆαｉ，Ｔ２ｄｉｆβｉ、温湿度制御レベルＬａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３の不感帯温度Ｔ３ｄｉｆαｉ，Ｔ３ｄｉｆβｉ、噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃの噴霧量制御弁開度設定下限値Ｗｍｉｎ、噴霧量制御弁開度設定上限値Ｗｍａｘを基に、空調機２９の蒸気加湿器３５における蒸気噴霧ノズル３４から噴霧される蒸気の量を定めるための設定露点温度Ｈｓｐが求められ、求められた設定露点温度Ｈｓｐは露点温度コントローラ４５の減算部５７に与えられる。なお、設定露点温度算出部５４で演算される設定露点温度Ｈｓｐは、温湿度制御レベルの如何によって用いられる設定項目は異なる。設定露点温度Ｈｓｐの算出の詳細については、図３、図４（ａ）、図５（ａ）、図６、図７ａ、図７ｂのフローチャートにより後述する。
【００９０】
露点温度コントローラ４５の減算部５７には、設定露点温度コントローラ５１からの設定露点温度Ｈｓｐの他に、空調機２９におけるファン３６の下流側で露点温度検出器４４により検出された、蒸気により加湿された空気の露点温度Ｈｒが与えられ、減算部５７では、蒸気により加湿された空気の露点温度Ｈｒと設定露点温度Ｈｓｐとの差が採られて設定露点温度偏差ΔＨが求められ、求められた設定露点温度偏差ΔＨはＰＩＤ制御部５８に与えられ、ＰＩＤ制御部５８では、設定露点温度偏差ΔＨが比例積分微分演算されて蒸気加湿器３５へ蒸気を送給する蒸気管路４３に設けられた噴霧量制御弁４２の弁開度指令Ｗｘが求められ、求められた弁開度指令Ｗｘは、空調機２９の噴霧量制御弁４２に与えられて、その開度は所定の開度に調整される。これにより、冷却除湿コイル３２で過冷却されて加熱コイル３３で再熱された空気に蒸気噴霧ノズル３４から蒸気が噴霧されて空気が所定の露点温度になるまで加湿される。このとき、空調機２９の蒸気加湿器３５下流側における空気の乾球温度は、クリーンルーム１ａ，１ｂ、１ｃの空気流路４ａ，４ｂ，４ｃからの循環空気還気の温度よりも低い温度である。
【００９１】
次に、設定露点温度コントローラ５１の設定露点温度算出部５４における設定露点温度Ｈｓｐの演算の手順を図３、図４（ａ）、図５（ａ）、図６、図７ａ、図７ｂをも参照しつつ説明する。なお、設定露点温度Ｈｓｐの演算に際しては、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの温湿度制御レベルＬａ１，Ｌｂ１，Ｌｃ１，Ｌａ２，Ｌｂ２，Ｌｃ２，Ｌａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３に応じた開度重み付けについても考慮される。すなわち、温湿度制御レベルＬａ１，Ｌｂ１，Ｌｃ１の場合は、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度下限値は上述のように例えば１０％と、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの制御性を考慮した値に設定されており、設定露点温度Ｈｓｐは流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度により決定される。温湿度制御レベルＬａ２，Ｌｂ２，Ｌｃ２の場合は、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度下限値は０％で、設定露点温度Ｈｓｐはクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの温度やクリーンルーム１ｃの温度により決定される。温湿度制御レベルＬａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３の場合は、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度下限値は０％で、設定露点温度Ｈｓｐは、温湿度制御レベルＬａ２，Ｌｂ２，Ｌｃ２の場合と同様、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの温度やクリーンルーム１ｃの温度により決定される。
【００９２】
而して、温湿度制御レベルＬａ１，Ｌｂ１，Ｌｃ１の場合は、温度制御幅が温度２３℃±０．５℃と厳しいため、弁の制御性を考慮した開度下限値、例えば１０％が温湿度制御レベルに応じた重み付けとして与えられ、温湿度制御レベルＬａ２，Ｌｂ２，Ｌｃ２の場合及び温湿度制御レベルＬａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３の場合は、温度制御幅が温度２３℃±１℃、２３℃±２℃と緩いため、弁の制御性を考慮せず開度下限値０％が温湿度制御レベル
に応じた重み付けとして与えられる。これにより、温湿度制御レベルＬａ１，Ｌｂ１，Ｌｃ１の場合は、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの制御性を考慮した開度下限値、例えば１０％が与えられ、且つ流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度を制御信号として用いることにより、他の温湿度制御レベルＬａ２，Ｌｂ２，Ｌｃ２の場合及び温湿度制御レベルＬａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３の場合と比べて、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度の制御信号に重み付けを与えられていることが明らかである。′
【００９３】
図３、図４（ａ）、図５（ａ）、図６、図７ａ、図７ｂのフローチャートに従って空調機２９の設定露点温度Ｈｓｐの演算を行う場合について説明すると、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃについて上位コンピュータにより与えられた温湿度制御レベルＬａ１，Ｌｂ１，Ｌｃ１，Ｌａ２，Ｌｂ２，Ｌｃ２，Ｌａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３の何れかからクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃについて以下に述べるような手順により、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度や室温について順次所定の演算を一巡し、それらの結果から総合的な判断に基いて今回の設定露点温度Ｈｓｐを決定し、次いで上記したと同様の手順によりクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃの全ての室について順次、次回の演算を一巡し、それらの結果から総合的な判断に基いて次回の設定露点温度Ｈｓｐを決定し、以下同様の手順により一定時間間隔（例えば１０分毎）にその回の設定露点温度Ｈｓｐを決定することになる。なお、以下の図２、図４（ａ）、図５（ａ）、図６、図７ａ、図７ｂの説明で、図２に示す記号と同一の記号は同一の意義を有する。
【００９４】
各機器の運転が開始されると、設定露点温度コントローラ５１には、上位コンピューから、例えば、ｉ＝１番目の室であるクリーンルーム１ａの内室２ａに関しては、温湿度制御レベルＬａ１又はＬａ２或はＬａ３の何れかが与えられ、ｉ＝２番目の室であるクリーンルーム１ｂの内室２ｂに関しては、温湿度制御レベルＬｂ１又はＬｂ２或はＬｂ３の何れかが与えられ、ｉ＝３番目の室であるクリーンルーム１ｃに関しては、温湿度制御レベルＬｃ１又はＬｃ２或はＬｃ３の何れかが与えられる（図３のＳ１）。
【００９５】
例えば、クリーンルーム１ａの内室２ａの温湿度制御レベルが、最も厳しい温湿度制御レベルＬａ１の場合、先ず、ｉ番目の検討において、流量制御弁１０ａの実際に開いている開度Ａｐｖｉの検討※１が行われる（図４（ａ）のＳ２）。すなわち、検討※１では、流量制御弁１０ａの実際に開いている開度Ａｐｖｉは、Ａｐｖｉ＞Ａａｕ＋Ａｄｉｆか否か検討され、ＹＥＳの場合は、設定露点温度Ｈｓｐを下げるため、個別判断指令ｙｉ＝２が出力される。又、ＮＯの場合は、流量制御弁１０ａの実際に開いている開度Ａｐｖｉの検討※２が行われる（図４（ａ）のＳ３）。すなわち、検討※２では、流量制御弁１０ａの実際に開いている開度Ａｐｖｉは、Ａｐｖｉ＞Ａａｕか否か検討され、ＹＥＳの場合は、設定露点温度Ｈｓｐを維持するため、個別判断指令ｙｉ＝１が出力される。又、ＮＯの場合は、設定露点温度Ｈｓｐを上げるため、個別判断指令ｙｉ＝０が出力される。温湿度制御レベルＬａ１の場合は、流量制御弁１０ａの実際の開度や流量制御弁開度設定下限値Ａａｕや流量制御弁開度設定値の不感帯Ａｄｉｆを考慮した制御を行っているが、これは、流量制御弁１０ａの開度に対して重み付けを行うことを意味している。なお、ここでは、クリーンルーム１ａの内室２ａの温湿度制御レベルを最も厳しいＬａ１と設定して演算を行う場合について説明しているが、クリーンルーム１ｂの内室２ｂやクリーンルーム１ｃの温湿度制御レベルが最も厳しいＬｂ１，Ｌｃ１の場合も同様にして演算が行われる。又、温湿度制御レベルＬａ１の場合、Ｓ２のステップから明らかなように、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度余地を残すことになる。図４（ａ）のフローチャートに示す演算結果をまとめると図４（ｂ）の表に示すようになる。
【００９６】
クリーンルーム１ａの内室２ａの温湿度制御レベルが二番目に厳しい温湿度制御レベルＬａ２の場合、例えば、先ず、ｉ番目の検討において検出したクリーンルーム１ａの内室２ａの実際の温度（室温（図１、図２のｔａに相当））Ｔｐｖｉの検討※３が行われる（図５（ａ）のＳ４）。すなわち、検討※３では、クリーンルーム１ａの内室２ａの実際の温度Ｔｐｖｉは、Ｔｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ２ｄｉｆαｉか否か検討され、ＹＥＳの場合は設定露点温度Ｈｓｐを下げるため、個別判断指令ｙｉ＝２が出力される。ＮＯの場合は、クリーンルーム１ａの内室２ａの実際の温度Ｔｐｖｉの検討※４が行われる（図５（ａ）のＳ５）。すなわち、検討※４では、クリーンルーム１ａの内室２ａの実際の温度Ｔｐｖｉは、Ｔｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ２ｄｉｆβｉか否か検討され、ＹＥＳの場合は設定露点温度Ｈｓｐを維持するため、個別判断指令ｙｉ＝１が出力される。又、ＮＯの場合は、設定露点温度Ｈｓｐを上げるため、個別判断指令ｙｉ＝０が出力される。温湿度制御レベルＬａ２の場合、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度は０％を許容することになる。なお、図５（ａ）では、ｉ番目の検討はクリーンルーム１ａの内室２ａについて行う場合について説明しているが、実際にはＴｉｏはｉ番目の検討時のクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ又はクリーンルーム１ｃの設定温度で、設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏの何れかに相当する。図５（ａ）のフローチャートに示す演算結果をまとめると図５（ｂ）の表に示すようになる。
【００９７】
クリーンルーム１ａの内室２ａの温湿度制御レベルが三番目に厳しい（最も緩い）温湿度制御レベルＬａ３の場合、例えば、先ず、ｉ番目の検討において検出したクリーンルーム１ａの内室２ａの温度（室温（図１、図２のｔａに相当））Ｔｐｖｉの検討※５が行われる（図６のＳ６）。すなわち、検討※５では、クリーンルーム１ａの内室２ａの実際の温度Ｔｐｖｉは、Ｔｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ３ｄｉｆαｉか否か検討され、ＹＥＳの場合は設定露点温度Ｈｓｐを下げるため、個別判断指令ｙｉ＝２が出力される。ＮＯの場合は、クリーンルーム１ａの内室２ａの実際の温度Ｔｐｖｉの検討※６が行われる（図６のＳ７）。すなわち、検討※６では、クリーンルーム１ａの内室２ａの実際の温度Ｔｐｖｉは、Ｔｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ３ｄｉｆβｉか否か検討され、ＹＥＳの場合は設定露点温度Ｈｓｐを維持するため、個別判断指令ｙｉ＝１が出力される。又、ＮＯの場合は、設定露点温度Ｈｓｐを上げるため、個別判断指令ｙｉ＝０が出力される。温湿度制御レベルＬａ３の場合、温湿度制御レベルＬａ２とは、不感帯温度の数値のみが異なる。なお、図６では、ｉ番目の検討はクリーンルーム１ａの内室２ａについて行う場合について説明しているが、実際にはＴｉｏはｉ番目の検討時のクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ又はクリーンルーム１ｃの設定温度で、設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏの何れかに相当する。又、クリーンルーム１ｂ，１ｃの内室２ｂ，２ｃ，クリーンルーム１ｃの温湿度制御レベルがＬｂ２，Ｌｃ２，Ｌｂ３，Ｌｃ３の場合も上述した図４ａ、図５ａ、図６に示すようにして演算を行う。図６のフローチャートに示す演算結果をまとめると、前述の図５（ｂ）の表に示すようになる。
【００９８】
温湿度制御レベルＬａ１，Ｌｂ１，Ｌｃ１，Ｌａ２，Ｌｂ２，Ｌｃ２，Ｌａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３や流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度、室温ｔａ，ｔｂ，ｔｃを基に求められた個別判断指令ｙｉ＝０，１，２は、図７ａに示すように集積されて、総合判断に供せられる。すなわち、例えば、ｉ番目であるクリーンルーム１ａの内室２ａの総合判断指令Ｙｉ＝Ｙ（ｉ−１）×ｙｉとなる。Ｙ（ｉ−１）は（ｉ−１）番目の総合判断指令である。而して、データはクリーンルーム１ａのデータ、クリーンルーム１ｂのデータ、クリーンルーム１ｃのデータと順次、ｉ＝１，２，３・・・Ｎのように蓄積されてｉ＝Ｎ（図７ａのＳ８）か否か判断されるが、ｉ＝Ｎ（Ｎは全ての室についての総数であり、本例の場合は、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂとクリーンルーム１ｃの合計３室）がＮＯの場合は、まだ全ての室（クリーンルーム１ａ，１ｂの内２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃ）の個別判断指令ｙｉ、延いては総合判断指令Ｙｉ＝Ｙ（ｉ−１）×ｙｉが得られていないため、次の室の個別判断指令ｙ（ｉ＋１）を求めるために図３のＳ１に戻り、例えば、次のクリーンルーム１ｂの内室２ｂについて、クリーンルーム１ａの内室２ａと同様な手順で演算が行われて、クリーンルーム１ｂの内室２ｂの個別判断指令ｙｉ、延いてはクリーンルーム１ａ，１ｂの合計の総合判断指令Ｙｉ＝Ｙ（ｉ−１）×ｙｉが求められる。
【００９９】
更に、Ｓ８でｉ＝ＮがＮＯの場合は、前記したと同様にして更に次の室であるクリーンルーム１ｃの個別判断指令ｙｉ、延いてはクリーンルーム１ａ，１ｂ及びクリーンルーム１ｃの合計の総合判断指令Ｙｉ＝Ｙ（ｉ−１）×ｙｉが求められる。Ｓ８でｉ＝ＮがＹＥＳの場合は、全ての室（３室）の個別判断指令ｙｉを基とした総合判断指令Ｙｉ＝Ｙ（ｉ−１）×ｙｉが求められるため、次のステップに移行し、図７ａのＳ９に示すように、今回の設定露点温度Ｈｓｐを上げるか、そのまま維持するか、下げるかを決める最終判断指令Ｙが０か１か２以上として決定される。
【０１００】
而して、図７ａのＳ９における最終判断指令Ｙ＝０の場合は、空調機２９のファン３６出口下流側における設定露点温度Ｈｓｐのｊ回目の操作上の上限値の検討※７が行われる（図７ａのＳ１０）。すなわち、Ｓ１０でＨｓｐ（ｊ）＜Ｈｓｐｍａｘか否か検討され、ＹＥＳの場合は、図７ｂのＳ１１で、噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃの弁開度指令Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃの検討※８が行われる。検討※８でクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃにおける噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃの弁開度指令Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃ＞Ｗｍｉｎか否か検討され、ＹＥＳの場合は、設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ）をＨｓｐ（ｊ）＝Ｈｓｐ（ｊ−１）＋ΔＨｓｐだけ上げることになる。ここで、Ｗｍｉｎは噴霧量制御弁開度設定下限値であり、又、設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ）は、図２の設定露点温度Ｈｓｐと同一であり、Ｈｓｐ（ｊ−１）は前回の（Ｊ−１）回目に求めた設定露点温度、ΔＨｓｐは、今回変更する露点温度変更分である。
【０１０１】
Ｓ９で最終判断指令Ｙ＝１の場合は、図７ｂのように、設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ）は前回の設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ−１）と同一で、設定露点温度Ｈｓｐはそのまま維持することになる。すなわち、Ｈｓｐ（ｊ）＝Ｈｓｐ（ｊ−１）である。
【０１０２】
図７ａのＳ９で最終判断指令Ｙ≧２の場合は、空調機２９のファン３６出口下流側における設定露点温度Ｈｓｐのｊ回目の操作上の下限値の検討※９が行われる（図７ａのＳ１２）。すなわち、Ｓ１２でＨｓｐ（ｊ）＞Ｈｓｐｍｉｎか否か検討され、ＹＥＳの場合は、図７ｂのＳ１３で、噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃの弁開度指令Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃの検討※１０が行われる。検討※１０でクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃにおける噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃの弁開度指令Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃ＜Ｗｍａｘか否か検討され、ＹＥＳの場合は、設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ）をＨｓｐ（ｊ）＝Ｈｓｐ（ｊ−１）−ΔＨｓｐだけ下げることになる。
【０１０３】
Ｓ１０、Ｓ１１、Ｓ１２、Ｓ１３でＮＯの場合は、Ｙ＝１の場合と同様、設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ）は前回の設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ−１）と同一で、Ｈｓｐ（ｊ）＝Ｈｓｐ（ｊ−１）であり、設定露点温度Ｈｓｐはそのまま維持することになる。
【０１０４】
なお、総合判断指令ＹｉをＹ１として計算する際、式左側最初の項Ｙ（ｉ−１）がＹ（１−１）つまりＹ０が必要になるが、このＹ０は、Ｙ０＝１とする。この意味合いは、現状の設定露点温度をそのまま維持するところから始めるということである。この総合判断指令Ｙｉ＝Ｙ（ｉ−１）×ｙｉの式の特徴は、各室の個別判断指令ｙｉに０と１と２を用いることと、これらを乗じることで、一つでも個別判断指令ｙｉに０があれば、つまり設定露点温度が低すぎる室が一つでもあれば総合判断指令も０となり設定露点温度を上げる指令が出せること、全ての室の個別判断指令ｙｉが１であれば、つまり全ての部屋が現状の設定露点温度が適している場合は、総合判断指令Ｙｉも１となり設定温露点度を維持すること、それ以外では総合判断指令Ｙｉは２以上の解となり、設定露点温度を下げる動作が確実にできることである。
【０１０５】
本実施例１のようにクリーンルームがクリーンルーム１ａの内室２ａ、クリーンルーム１ｂの内室２ｂ、クリーンルーム１ｃの３室の場合は、前記手順で演算した結果、具体的には、最終判断指令Ｙは、以下のようになる。すなわち、ｉ＝１（クリーンルーム１ａの１室の場合）の総合判断指令Ｙ１＝Ｙ０×ｙ１＝１×ｙ１（この場合、Ｙ０＝１、ｙ１はクリーンルーム１ａの個別判断指令）、ｉ＝２（クリーンルーム１ａ，１ｂの２室の場合）の総合判断指令Ｙ２＝Ｙ１×ｙ２＝Ｙ０×ｙ１×ｙ２＝１×ｙ１×ｙ２（この場合、ｙ２はクリーンルーム１ｂの内室２ｂの個別判断指令）、ｉ＝３（クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの３室の場合）の総合判断指令Ｙ３＝Ｙ２×ｙ３＝Ｙ０×ｙ１×ｙ２×ｙ３＝１×ｙ１×ｙ２×ｙ３＝ｙ１×ｙ２×ｙ３であり、３室の総合判断指令Ｙ３が最終判断指令Ｙとなる。このため、Ｙ＝ｙ１×ｙ２×ｙ３となる。なお、最終判断指令Ｙが２以上になるのは、例えば、個別判断指令ｙｉがｙ１＝ｙ２＝ｙ３＝２の場合で、総合判断指令Ｙ３＝８となるためである。
【０１０６】
Ｓ９において最終判断指令Ｙ＝０の場合は、前述のように、ｊ回目（今回）の設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ）と操作上の設定露点温度の上限値Ｈｓｐｍａｘが、Ｈｓｐ（ｊ）＜Ｈｓｐｍａｘか否か検討され（Ｓ１０）、ＹＥＳの場合は、Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃ＞Ｗｍｉｎか否か検討され（Ｓ１１）、Ｓ９において最終判断指令Ｙ≧２の場合は、ｊ回目（今回）の設
定露点温度Ｈｓｐ（ｊ）と設定露点温度の操作上の下限値Ｈｓｐｍｉｎが、Ｈｓｐ（ｊ）＞Ｈｓｐｍｉｎか否か検討され（Ｓ１２）、ＹＥＳの場合は、Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃ＜Ｗｍａｘか否か検討される（Ｓ１３）。
【０１０７】
而して、Ｙ＝０であり、且つＳ１０において、Ｈｓｐ（ｊ）＜ＨｓｐｍａｘがＹＥＳであり、Ｓ１１において、Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃ＞ＷｍｉｎがＹＥＳの場合は、個別判断指令ｙｉが１室でも０があり、且つ、設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ）は、設定露点温度の上限値Ｈｓｐｍａｘに対し低い（湿度が低い）ということである。このため、対応する室が湿度を保持すべく加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃからの加湿水の噴霧量が増え、噴霧された水の蒸発により冷えすぎになる虞があるので導入外気の湿度、すなわち、空調機２９のファン３６下流側の露点温度を上昇させなければならない。このため、設定露点温度Ｈｓｐは改められて、例えばＨｓｐ（ｊ）＝Ｈｓｐ（ｊ−１）＋ΔＨｓｐ（例えば露点温度は０．１℃だけ上昇）となる。
【０１０８】
すなわち、Ｓ１０、Ｓ１１でＹＥＳの場合、今回の設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ）は、前回（本図示例では１０分前）の設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ−１）よりもΔＨｓｐだけ高くなり、空調機２９の蒸気加湿器３５において蒸気の噴霧量を増加させては空気の露点温度を前回よりも上昇させることになる。これはクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃのうち、何れかの室に冷えすぎのおそれがあるのでその室の冷えすぎを防止すると共に、当該室の湿度を確保するためである。今回の設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ）及び前回の設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ−１）は、図１、図２では何れもＨｓｐとして表示されている（以下の説明でも同様である）。なお、ｊはｊ＝１，２，・・・Ｊと一定時間間隔（本図示例では１０分間）で変化する時間項であり、本図示例では前述したように、例えば１０分間隔で設定露点温度Ｈｓｐを改めることになる。なお、具体的には、例えば、Ｊ＝１でクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃの３室（ｉ＝１〜３）の前述した演算を一斉に行って総合判断指令Ｙを求め、１０分後に次回のＪ＝２でクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃの３室（ｉ＝１〜３）の演算を前述したと同様に一斉に行って総合判断指令Ｙを求めることになり、以下同様に演算を繰り返す。
【０１０９】
Ｓ９において最終判断指令Ｙ＝１の場合、或はＳ１０で、Ｈｓｐ（ｊ）＜ＨｓｐｍａｘがＮＯの場合、Ｓ１１でＷａ，Ｗｂ，Ｗｃ＞ＷｍｉｎがＮＯの場合、Ｓ１２でＨｓｐ（ｊ）＞ＨｓｐｍｉｎがＮＯの場合、Ｓ１３でＷａ，Ｗｂ，Ｗｃ＜ＷｍａｘがＮＯの場合は、設定露点温度Ｈｓｐは前回（（ｊ−１）番目）の設定露点温度と等しく、Ｈｓｐ（ｊ）＝Ｈｓｐ（ｊ−１）となるのは前述のとおりである。すなわち、今回の設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ）は、前回（本図示例では１０分前）の設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ−１）と等しく、空調機２９の蒸気加湿器３５からの蒸気の噴霧量は、現在噴霧している量を維持し、変更しない。これは流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃが最適なバルブ開度にあるか、若しくはクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃが最適な温度及び湿度状態にあるためである。
【０１１０】
Ｓ９において最終判断指令Ｙ≧２で且つ、Ｓ１２においてＨｓｐ（ｊ）＞ＨｓｐｍｉｎがＹＥＳ、Ｓ１３においてＷａ，Ｗｂ，Ｗｃ＜ＷｍａｘがＹＥＳの場合、設定露点温度Ｈｓｐは改められてＨｓｐ（ｊ）＝Ｈｓｐ（ｊ−１）−ΔＨｓｐとなり、前回の設定露点温度よりもΔＨｓｐ（例えば０．１℃）だけ低くなる。すなわち、今回の設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ）は、前回（本図示例では１０分前）の設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ−１）よりも低く、空調機２９の蒸気加湿器３５における蒸気の噴霧量は、今まで噴霧していた量よりも少なくして露点温度を低下させる。これは流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃのバルブ開度が大きい状態で且つ、噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃが大きい状態か若しくは、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃが設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏよりも高い温度状態にあるためである。
【０１１１】
上述のようにして求められた設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ）のうち、温湿度制御レベルＬａ１，Ｌａ２，Ｌａ３，Ｌｂ１，Ｌｂ２，Ｌｂ３，Ｌｃ１，Ｌｃ２，Ｌｃ３に対応した所定の設定露点温度Ｈｓｐ（ｊ）は、設定露点温度コントローラ５１から設定露点温度Ｈｓｐとして出力されて、露点温度コントローラ４５に与えられる。設定露点温度Ｈｓｐが露点温度コントローラ４５に与えられた場合の作動は前述したとおりである。又、システムが停止しているか否か判断され（図７ｂのＳ１４）、ＹＥＳの場合、運転は終了し、ＮＯの場合は、一定時間後（本図示例では１０分後）に次の順番（図３のＳＴＡＲＴの下の「ｉ番目のデータ」の部分）に移行して再び図３のＳ１に戻り、クリーンルーム１ａの室２ａについて演算を開始し、制御を続行する。
【０１１２】
実施例１においては、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内の熱負荷が大きくなった場合には弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃが大きくなり、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度が大きくなって冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃでの冷却が増加する。そこで、この場合は、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃでの加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃからの水の噴霧量を増加させて水の蒸発による冷却を増やすことになるが、この場合は、加湿水の噴霧によりクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内の湿度も高くなる。このため、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内の湿度を一定に保持するには、空調機２９の蒸気加湿器３５による蒸気の噴霧量を減少させるべく、設定露点温度Ｈｓｐ延いては噴霧量制御弁４２の弁開度指令Ｗｘが小さくなって噴霧量制御弁４２が絞られ、空調機２９の蒸気加湿器３５から噴霧される蒸気は減少するよう制御される。このため、加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃからの水の噴霧量が増加してクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの水の蒸発による冷却が大きくなるため、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃは絞られて冷水の流量が減少するため、冷水の消費量は節減される。
【０１１３】
又、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内の熱負荷が減少した場合には弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃは小さくなり、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度が絞られて冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃでの冷却が低下することになる。しかし、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度が絞られすぎると、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの温湿度制御を良好に行うことが難しい。一方、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃでの加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃからの加湿水の噴霧量を減少させて水の蒸発による冷却を減少させると、加湿水の噴霧によるクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内の湿度は低くなる。このため、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内の湿度を一定に保持するには、空調機２９の蒸気加湿器３５による蒸気の噴霧量を増加させるべく、設定露点温度Ｈｓｐ延いては噴霧量制御弁４２の弁開度指令Ｗｘが大きくなって噴霧量制御弁４２が開かれため、空調機２９の蒸気加湿器３５から噴霧される蒸気は増加するよう制御される。このため、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの湿度を所定の値にするための加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃからの加湿水の噴霧量が減少するよう制御が行われてクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの水の蒸発による冷却が低くなるため、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃは開かれる。
【０１１４】
実施例１では、空調機２９の設定露点温度Ｈｓｐを変更できるため、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの空気を冷却する冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃへの冷水流量を制御する流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃの情報により空調機２９における設定露点温度Ｈｓｐを決定できる。すなわち、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃのうち一室でも流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度が所定の値よりも小さい場合は、設定露点温度Ｈｓｐを上げ、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度が所定の値よりも大きい場合は、空調機２９の設定露点温度Ｈｓｐを下げ、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ全室で流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度が小さい場合と大きい場合の中間の場合は、空調機２９の設定露点温度Ｈｓｐは変更しないことになる。
【０１１５】
以上から、実施例１では、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに対応した流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度情報より、熱負荷を知ることができ、且つ、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの熱負荷を総合的に判断して、最も負荷が小さい室においても熱負荷が所定の値以上ある場合は、設定露点温度Ｈｓｐを下げるようにしているため、空調機２９の加熱、加湿エネルギについて省エネルギを図ることができる。又、これにより空調機２９からクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃへ供給される蒸気量が減少するため、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの湿度を所定の値に保持するためには、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃで加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃから噴霧される水の量が増加し、この噴霧された水の蒸発によりクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの冷却量が増加するため、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ側の冷水による冷却が減少して冷水による冷却の省エネルギを図ることができ、しかも、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの温度制御の精度も向上する。
【０１１６】
次に、前述した流量制御弁開度設定値の不感帯Ａｄｉｆについて図８により説明すると、図８では、横軸は流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの実際の開度Ａｐｖｉ（＝弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ）を示し、縦軸は設定露点温度Ｈｓｐの個別判断指令ｙｉを示している。而して、図４（ａ）のフローチャートでＳ２がＹＥＳ（Ａｐｖｉ＞Ａａｕ＋Ａｄｉｆ）の場合は、個別判断指令ｙｉ＝２を示し、この場合は、設定露点温度Ｈｓｐは下げることになり、例えば、流量制御弁１０ａの弁開度指令Ｖａは、「流量制御弁開度設定下限値Ａａｕ＋流量制御弁開度設定値の不感帯Ａｄｉｆ」から弁開度１００％までの範囲が該当する（図８の線イ参照）。
【０１１７】
図４（ａ）のフローチャートでＳ２がＮＯ（Ａｐｖｉ＞Ａａｕ＋Ａｄｉｆでない）で、Ｓ３がＹＥＳ（Ａｖｉ＞Ａａｕ）の場合は、個別判断指令ｙｉ＝１を示し、この場合は設定露点温度Ｈｓｐはそのまま維持することになり、例えば、流量制御弁１０ａの弁開度指令Ｖａは流量制御弁開度設定下限値Ａａｕと、「流量制御弁開度設定下限値Ａａｕ＋流量制御弁開度設定値の不感帯Ａｄｉｆ」との間となる（図８の線口参照）。この線ロの範囲を流量制御弁開度設定値の不感帯Ａｄｉｆといい、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度が、線ロの間にある場合は、設定露点温度Ｈｓｐを維持することになる。
【０１１８】
図４（ａ）のフローチャートでＳ２がＮＯ（Ａｐｖｉ＞Ａａｕ＋Ａｄｉｆでない）で、且つ、Ｓ３がＮＯ（Ａｖｉ＞Ａａｕでない）の場合は、個別判断指令ｙｉ＝０を示し、この場合は設定露点温度Ｈｓｐを上げることになり、例えば、流量制御弁１０ａの弁開度指令Ｖａは全閉（０％）から流量制御弁開度設定下限値Ａａｕの間に該当する（図８の線ハ参照）。流量制御弁１０ｂ，１０ｃの開度Ａｐｖｉ（＝弁開度指令Ｖｂ，Ｖｃ）の場合も同様である。
【０１１９】
続いて、前述した不感帯温度差Ｔ２ｄｉｆαｉ，Ｔ２ｄｉｆβｉ，Ｔ３ｄｉｆαｉ，Ｔ３ｄｉｆβｉについて図９により説明すると、図９では、横軸はクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ若しくはクリーンルーム１ｃの温度Ｔｐｖｉ（＝室温ｔａ，ｔｂ，ｔｃ）、縦軸は設定露点温度の個別判断指令ｙｉである。而して、図５（ａ）のフローチャートで、Ｓ４がＹＥＳ（Ｔｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ２ｄｉｆαｉ（又はＴｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ３ｄｉｆαｉ））の場合は、クリーンルーム１ａ、１ｂの内室２ａ，２ｂ若しくはクリーンルーム１ｃの温度Ｔｐｖｉは高いため、個別判断指令ｙｉ＝２となり、設定露点温度Ｈｓｐを下げることになる（図９の線ニ参照）。
【０１２０】
図５（ａ）のフローチャートで、Ｓ４がＮＯ（Ｔｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ２ｄｉｆαｉでない（又はＴｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ３ｄｉｆαｉでない））で、Ｓ５がＹＥＳ（Ｔｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ２ｄｉｆβｉ（又はＴｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ３ｄｉｆβｉ））の場合は、個別判断指令ｙｉ＝１となり、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ若しくはクリーンルーム１ｃの温度Ｔｐｖｉは適温であるため、設定露点温度Ｈｓｐを維持することになる（図９の線ホ参照）。而して、温度Ｔｐｖｉが、Ｔｉｏ−Ｔ２ｄｉｆαｉとＴｉｏ−Ｔ２ｄｉｆβｉ（又はＴｓｐｉ−Ｔ３ｄｉｆαｉとＴｓｐｉ−Ｔ３ｄｉｆβｉ）との間の場合は、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃの温度ｔａ，ｔｂ，ｔｃが変化しても、設定露点温度Ｈｓｐは変えることなく維持される（図９の線ホ参照）。このＴ２ｄｉｆαｉとＴ２ｄｉｆβｉを温湿度制御レベルが二番目の室の不感帯温度差といい、Ｔ３ｄｉｆαｉとＴ３ｄｉｆβｉを温湿度制御レベルが三番目の室の不感帯温度差という。
【０１２１】
図５（ａ）のフローチャートで、Ｓ４がＮＯ（Ｔｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ２ｄｉｆαｉでない（又はＴｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ３ｄｉｆαｉでない））の場合で、Ｓ５がＮＯ（Ｔｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ２ｄｉｆβｉでない（又はＴｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ３ｄｉｆβｉでない））の場合は、個別判断指令ｙｉ＝０の場合を示し、この場合は、設定露点温度Ｈｓｐは上げることになる（図９の線へ参照）。
【実施例１】
【０１２２】
図１０〜図１５、図１６ａ、図１６ｂは請求項２、５、７、８に対応する本発明の実施例２である。図中、図２０と同一のものには同一の符号が付してある。又、実施例２の説明で、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃは請求項２、４、６、７の「被空調空間」、冷却除湿コイル３２は請求項２の「第一の冷却手段」、加熱コイル３３は請求項２の「加熱手段」、蒸気加湿器３５は請求項２、４の「蒸気加湿手段」、加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃは請求項２、４の「水加湿手段」、冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃは請求項２、４、６の「第二の冷却手段」である。更に、冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃは請求項４の「第一の手段」、加湿水コントローラ２８ａ，２８ｂ，２８ｃは請求項４の「第二の手段」、設定露点温度コントローラ５１は請求項４の「第三の手段」、露点温度コントローラ４５は請求項４の「第四の手段」である。更に又、ＰＩＤ検出器４９は請求項６の「第５の手段」、設定露点温度コントローラ５１内のダンパ開度バイアス量演算部６５は請求項６の「第六の手段」、ダンパ開度コントローラ６２ａ，６２ｂ，６２ｃは請求項６の「第七の手段」である。
【０１２３】
而して、本図示例の特徴とするところは、図２０の従来の空調システムと同様、図１の空調システムにおけるダクト４６ａ，４６ｂ，４６ｃに駆動装置により開閉可能なダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃを設けて、該ダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃの開度を調整することにより、空調機２９からクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃへ供給される空気の流量をも調整し、これにより、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度を調整して流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃに供給する冷水量を減少させ、省エネルギを図ること、及び内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃの室圧を確実に所定の値に保持し得るようにしたことである。
【０１２４】
すなわち、空調機２９から主ダクト４６、ダクト４６ａ，４６ｂ，４６ｃを経てクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃに導入される空気（給気）の温度は、最大で２０℃程度である。又、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの空気流路４ａ，４ｂ、クリーンルーム１ｃの空気流路４ｃを通る循環空気還気は、熱負荷の大きい室では、約２３℃程度以上に昇温されていることがある。従って、空調機２９の加熱コイル３３で再熱された後においても２０℃と循環空気還気よりも低温の空気を利用するのが省エネルギ上、好ましく、そのためには、流量制御弁１０ａ，１ｂ，１０ｃの弁開度の他に、ダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃの開度を考慮して、蒸気加湿器３５へ蒸気を供給する蒸気管路４３の流量制御弁４２の制御を行うのが望ましいのである。
【０１２５】
又、図１０の空調システムにおいても、図２０の示す従来の空調システムと同様、クリーンルーム１ａにおける内室２ａの圧力（室圧）Ｐａを検出するための圧力検出器４８、ＰＩＤ演算器４９が設けられているが、制御系統は、図２０の空調システムとは異なっている。ＰＩＤ演算器４９及び設定露点温度コントローラ５１並びにダンパ開度コントローラ６２ａ，６２ｂ，６２ｃの詳細は図１２に示されている。なお、以下の説明では、図が複雑になるため、図１０、図１２のうちどちらかの図にのみに示してある記号もあるが、実際には図１０、図１２の系統の両方に必要である。又、設定される各データは図示してない上位コントローラより付与される。なお、図１２では、図の簡略化のため、３台のダンパ開度コントローラ６２ａ，６２ｂ，６２ｃを１基で示してあるが、図示例の場合、実際は３基である。
【０１２６】
ＰＩＤ演算器４９は、図１２に示すように、圧力検出器４８から与えられた内室２ａの圧力Ｐａと設定された内室２ａの設定圧力Ｐｏの差である圧力偏差ΔＰを求める減算部６３と、減算部６３で求められた圧力偏差ΔＰを比例積分微分演算してダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄを求めるＰＩＤ制御部６４を備えている。又、図１２に示すように、実施例２では、設定露点温度コントローラ５１には、図２に示す設定露点温度算出部５４以外に、ダンパ開度バイアス量演算部６５を備えている。而して、設定露点温度コントローラ５１のダンパ開度バイアス量演算部６５には、ＰＩＤ演算器４９におけるＰＩＤ制御部６４からのダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄと、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃのダンパ開度演算時に用いる流量制御弁開度設定下限値Ｂａｕ，Ｂｂｕ，Ｂｃｕと、同じく流量制御弁開度設定値の不感帯Ｂａｄｉｆ，Ｂｂｄｉｆ，Ｂｃｄｉｆと、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃと、ダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃｃのダンパ開度上限値Ｄｏと、同じくダンパ開度バイアス量上限値Ｄｂｍａｘ、ダンパ開度バイアス量下限値Ｄｂｍｉｎ、ダンパ開度バイアス量変更量Ｄｂを設定し得るようになっている。
【０１２７】
設定露点温度コントローラ５１のダンパ開度バイアス量演算部６５では、ＰＩＤ演算器４９のＰＩＤ制御部６４から与えられたダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄ、設定された流量制御弁開度設定下限値Ｂａｕ，Ｂｂｕ，Ｂｃｕ、流量制御弁開度設定値の不感帯Ｂａｄｉｆ，Ｂｂｄｉｆ，Ｂｃｄｉｆ、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ、ダンパ開度上限値Ｄｏ、ダンパ開度バイアス量上限値Ｄｂｍａｘ、ダンパ開度バイアス量下限値Ｄｂｍｉｎ、ダンパ開度バイアス量変更量ΔＤｂからダンパ開度バイアス量Ｄｂｉａ，Ｄｂｉｂ，Ｄｂｉｃを演算し、演算したダンパ開度バイアス量Ｄｂｉａ，Ｄｂｉｂ，Ｄｂｉｃはダンパ開度コントローラ６２ａ，６２ｂ，６２ｃのダンパ開度演算部６６へ与え得るようになっている。又、ＰＩＤ演算器４９のＰＩＤ制御部６４からのダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄもダンパ開度コントローラ６２ａ，６２ｂ，６２ｃのダンパ開度演算部６６へ与えられるようになっている。
【０１２８】
ダンパ開度コントローラ６２ａ，６２ｂ，６２ｃのダンパ開度演算部６６では、ダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄとダンパ開度バイアス量Ｄｂｉａ，Ｄｂｉｂ，Ｄｂｉｃを基に、ダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃを演算し、演算したダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃは、ダンパ開度指令としてダクト４６ａ，４６ｂ，４６ｃに設けたダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃの駆動装置に与え得るようになっている。
【０１２９】
実施例２の空調システムにおける概略の運転手順は図１１に示されており、運転が開始されると先ず省エネ運転設定ＯＮが検討される（Ｓ２１）。而して、省エネ運転設定がＹＥＳの場合は、サブルーチンＩの運転を開始する。サブルーチンＩでは、空調機２９から主ダクト４６、ダクト４６ａ，４６ｂ，４６ｃを経てクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ、２ｂ、クリーンルーム１ｃに導入される空気（給気）についての設定露点温度の変更を行う。具体的には、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度を見て、空調機２９の蒸気加湿器３５に蒸気を供給する温水管路４１に設けられている噴霧量制御弁４２の開度を制御して、蒸気加湿器３５に供給する蒸気の流量を調整して蒸気加湿器３５で加湿される空気の露点温度を制御することが行われ、前述したように省エネルギ及びにクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの温度制御の精度の向上に役立つ。手順は実施例１と同様である。
【０１３０】
又、サブルーチンＩが終了後にサブルーチンＩＩに移行する。この場合は、ダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃによりクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃに分配される空気（給気）の流量を調整することになる。すなわち、例えば熱負荷が高い室では循環空気還気を冷却するため、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度が大きくなり、多量の冷水が必要となるが、ダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃによりクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃに分配される空気（給気）を増量すれば、当該給気は、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃにおける空気流路４ａ，４ｂ，４ｃの循環空気還気の温度よりも低いため、循環空気還気を冷却するのに用いることができる。このため、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度を絞ることができ、冷水の流量を減少させることができる。
【０１３１】
サブルーチンＩＩでは、サブルーチンＩＩが開始されてから、例えば３０分経過しているか否か検討され（Ｓ２２）、ＹＥＳの場合は、省エネ運転設定ＯＮの前に戻って次回の省エネ運転設定ＯＮに備え、ＮＯの場合は３０分経過するまでは、サブルーチンＩＩの運転が継続される。云うまでもなくこの経過時間は、ケースにより変更されるが、１分未満ではハンチングする虞があるので、分単位が望ましい。
【０１３２】
次に、実施例２で、ダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃ求める手順を図１２、図１３をも参照しつつ説明するが、ここでは、サブルーチンＩＩの運転となる。以下の説明では、ダンパの開度に関連する記号の単位は％である。なお、図１３においてＺ１で示す範囲は、図１２の設定露点温度コントローラ５１におけるダンパ開度バイアス量演算部６５での演算となり、Ｚ２で示す範囲は、図１２のダンパ開度コントローラ６２ａ，６２ｂ，６２ｃにおけるダンパ開度演算部６６での演算になる。又、図１２と図１３に示す記号で同一の記号は同一のものを示している。更に、図１３の各記号の添字ｋは、図１２の各記号の添字ａ，ｂ，ｃの順にループ演算することをまとめて示している。
【０１３３】
運転時には一定時間間隔（例えば、１０分間隔）でｉ番目の種々のデータが与えられる。ｉ番目のデータとしては、例えば、クリーンルーム１ａの内室２ａの設定圧力Ｐｏ、圧力検出器４８により検出した内室２ａの圧力Ｐａ、流量制御弁開度設定下限値Ｂａｕ，Ｂｂｕ，Ｂｃｕ、流量制御弁開度設定値の不感帯Ｂａｄｉｆ，Ｂｂｄｉｆ，Ｂｃｄｉｆ、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ、ダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃのダンパ開度上限値Ｄｏ、ダンパ開度バイアス量上限値Ｄｂｍａｘ、ダンパ開度バイアス量下限値Ｄｂｍｉｎ、ダンパ開度バイアス量変更量ΔＤｂがある（図１２参照）。而して、これらのデータからｉ番目の所定の演算が行われる。
【０１３４】
すなわち、ＰＩＤ演算器４９の減算部６３には、上位コントローラからクリーンルーム１ａの内室２ａの設定圧力Ｐｏが設定されると共に、圧力検出器４８により検出した内室２ａの圧力Ｐａが与えられる。而して、ＰＩＤ演算器４９の減算部６３においては、圧力Ｐａと設定圧力Ｐｏの差が採られて圧力偏差ΔＰが求められ、求められた圧力偏差ΔＰはＰＩＤ制御部６４で比例積分微分演算されてダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄが算出され、ダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄは設定露点温度コントローラ５１のダンパ開度バイアス量演算部６５に与えられる。又、同時にダンパＰＩＤ開度ＤｐｉｄはＰＩＤ演算器４９からダンパ開度コントローラ６２ａ，６２ｂ，６２ｃにも与えられる（図１２参照）。
【０１３５】
而して、図１３のＺ１の範囲の演算は、図１２の設定露点温度コントローラ５１におけるダンパ開度バイアス量演算部６５で行われ、図１３のＺ２の範囲の演算は、ダンパ開度コントローラ６２ａ，６２ｂ，６２ｃにおけるダンパ開度演算部６６で行われる。
【０１３６】
設定露点温度コントローラ５１のダンパ開度バイアス量演算部６５においては、ダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄの他に流量制御弁開度設定下限値Ｂａｕ，Ｂｂｕ，Ｂｃｕ、流量制御弁開度設定値の不感帯Ｂａｄｉｆ，Ｂｂｄｉｆ，Ｂｃｄｉｆ、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ、ダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃのダンパ開度上限値Ｄｏ、ダンパ開度バイアス量上限値Ｄｂｍａｘ、ダンパ開度バイアス量下限値Ｄｂｍｉｎ、ダンパ開度バイアス量変更量ΔＤｂが入力されており、これらのデータからダンパ開度バイアス量Ｄｂｉａ，Ｄｂｉｂ，Ｄｂｉｃが演算されてダンパ開度コントローラ６２ａ，６２ｂ，６２ｃに与えられる（図１２参照）。
【０１３７】
例えば、ｉ番目のダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄとダンパ開度上限値ＤｏがＤｐｉｄ＞Ｄｏか否か検討され（図１３のＳ３１）、ＹＥＳの場合は優先処理が行われる。すなわち、優先処理となった場合は、ダンパ開度バイアス量Ｄｂｉａ，Ｄｂｉｂ，Ｄｂｉｃが「前回の値＋ΔＤｂ」として求められる。ここで、優先処理とは、ＰＩＤ演算器４９の指示値が大きくて、ＰＩＤ演算器４９がダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃに大きな開度を要求している場合、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内の陽圧を確保するためには、当該室には、多量の給気が必要となる。従って、バイアスによってダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃの開度を小さくして給気を絞っては危険であるため、バイアスを全系統で増加する処理を行う。
【０１３８】
優先処理で演算されたダンパ開度バイアス量Ｄｂｉａ，Ｄｂｉｂ，ＤｂｉｃはダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄと加算され、ダンパ開度Ｄｃａ或はＤｃｂ又はＤｃｃ＝Ｄｐｉｄ＋Ｄｂｉａ或はＤｂｉｂ又はＤｂｉｃとして演算され、このダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃにより、ダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃの開度が制御される。
【０１３９】
又、Ｄｐｉｄ＞ＤｏがＮＯの場合は、ダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃごとの個別処理が、ループ演算ｋとして行われる。ｋはクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃのダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃに対応して、ａ，ｂ，ｃのループで順次繰り返されることである。すなわち、Ｓ３１でＤｐｉｄ＞ＤｏがＮＯの場合は、弁開度指令Ｖｋ＜Ｂｋｕ−Ｂｋｄｉｆか否か検討される（図１３のＳ３２）。ここで、ｋはａ，ｂ，ｃの何れかを意味し、順次繰り返されることになる。Ｖｋは図１２の弁開度指令Ｖａ又はＶｂ若しくはＶｃのことであり、Ｂｋｕは、図１２の流量制御弁開度設定下限値Ｂａｕ又はＢｂｕ若しくはＢｃｕのことである。
【０１４０】
Ｓ３２でＶｋ＜Ｂｋｕ−ＢｋｄｉｆがＹＥＳの場合は、ダンパ開度バイアス量Ｄｂｉｋ＞Ｄｂｍｉｎか否か検討され（図１３のＳ３３）、ＹＥＳの場合は、ダンパ開度バイアス量が「Ｄｂｉｋ＝前回の値−ΔＤｂ」として演算される。ここで、ｋはａ又はｂ若しくはｃの順で循環したものをまとめて示している。以下の説明でも同様である。
【０１４１】
Ｓ３２でＶｋ＜Ｂｋｕ−ＢｋｄｉｆがＮＯの場合は、弁開度指令Ｖｋ＜Ｂｋｕか否か検討され（図１３のＳ３４）、ＹＥＳの場合は、ダンパ開度バイアス量は「Ｄｂｉｋ＝前回の値」となる。
【０１４２】
Ｓ３４でＶｋ＜ＢｋｕがＮＯの場合は、ダンパ開度バイアス量Ｄｂｉｋ＜Ｄｂｍａｘか否か検討され（図１３のＳ３５）、ＹＥＳの場合は、ダンパ開度バイアス量は「Ｄｂｉｋ＝前回の値＋ΔＤｂ」として演算される。
【０１４３】
Ｓ３３でＤｂｉｋ＞ＤｂｍｉｎがＮＯの場合、Ｓ３５でＤｂｉｋ＞ＤｂｍｉｎがＮＯの場合は、Ｓ３４でＶｋ＜ＢｋｕがＹＥＳの場合と同様、ダンパ開度バイアス量は「Ｄｂｉｋ＝前回の値」となる。
【０１４４】
ｋがａ，ｂと順次ループした後、ｋ＝ｃになれば、ループ演算は終了し、ダンパ開度Ｄｃａ或はＤｃｂ又はＤｃｃ＝Ｄｐｉｄ＋Ｄｂｉａ或はＤｂｉｂ又はＤｂｉｃとして演算され、このダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃにより、ダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃの開度が制御される。
【０１４５】
ダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃの演算が終了した場合は、終了か否か検討され（Ｓ３６）、ＹＥＳの場合は次回のダンパ開度の調整を行うまで制御は終了し、ＮＯの場合は次の順番に移行し、ｉ＋１番目のデータの入力が開始され、前述の手順が繰り返される。      
【０１４６】
本実施例２においては、実施例１と同様の作用効果を奏し得る他、冷水用の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ及び加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃに供給される加湿水の流量を制御する噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃの弁開度指令Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃにより、蒸気加湿器３５に蒸気を供給する蒸気管路４３の噴霧量制御弁４２の開度を制御して設定露点温度Ｈｓｐを制御すると共に、前記流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃによりダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃのダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃを制御して各クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに分配して給気される空気の単位時間当たりの流量も制御するようにしている。この場合、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに分配して給気される空気の温度は、冷却除湿コイル３２で過冷却されて除湿されて加熱コイル３３により加熱され２０℃となっているが、、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの循環空気還気（２３℃）よりも低温である。
【０１４７】
このため、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃのうち熱負荷の大きいクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの系統では、ダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃを開いてクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに導入される空調機２９からの空気（給気）を増やすことで、この給気された空気によるクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの冷却効果が向上する。従って、ダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃを大きくして給気される空気を増加させた系統の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃを絞って冷水の流量を減少させることが可能となる。
【０１４８】
又、熱負荷の小さいクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの系統では、ダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃの開度が小さくなってクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに導入される空調機２９からの空気（給気）が減少し、この給気された空気によるクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの冷却効果が下降する。このため、ダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃを小さくして給気される空気を減少させた系統の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃは開いて大きくなるため、冷水の流量が増加する。
【０１４９】
従って、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの空調機２９から給気される空気を均等に分配することにより、当該空気による冷却が熱負荷の大小に拘らず同一である実施例１に対して、実施例２では、熱負荷の大きさにより空調機２９からの空気の量を調整することができるため、熱負荷が大きくて空調機２９からの空気が多量となる系統では、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃは絞られ、熱負荷が小さくて空調機２９からの空気が少量となる系統では、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃは開くよう制御が行われる。このため、熱負荷が相違していても、各系統の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度差は少なくなって均一化し、冷水による冷却量の偏在を平滑化して緩和することができる。
【０１５０】
前述したように、熱負荷が大きいクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃでは、空調機２９から給気される空気の流量が増加するため、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃからファン２３ａ，２３ｂ，２３ｃにより排気される湿潤空気の流出量や、間仕切り等の隙間からクリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃ外へ漏洩する湿潤空気の漏洩量が増加する（給気される空気の量と排気される空気の量は同じになるように制御するため。）。一方、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内の湿度は所定の値（４５％）に維持する必要があるが、空調機２９から給気される空気の湿度は、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内の循環空気還気よりも湿度が低いため、ファン２３ａ，２３ｂ，２３ｃにより排気される湿潤空気の流出量や、間仕切り等の隙間からクリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃ外へ漏洩する湿潤空気の漏洩量が増加すると、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内の湿度は低くなる。このため、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃからの水の噴霧量は増加させる必要があり、噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃの開度は大きくなるよう制御される。従って、噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃから噴霧された水によりクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内は所定の湿度に維持させると共に、加湿水の蒸発による空気の冷却量は増加し、その結果、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度は小さくなるよう制御される。
【０１５１】
又、同様に熱負荷が小さいクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃでは、空調機２９から給気される空気の流量が減少するため、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃからファン２３ａ，２３ｂ，２３ｃにより排気される湿潤空気の流出量や、間仕切り等の隙間からクリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃ外へ漏洩する湿潤空気の漏洩量が減少する。一方、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内の湿度は所定の値（４５％）に維持する必要があるが、空調機２９から給気される空気の湿度は、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内の循環空気還気よりも湿度が低いため、ファン２３ａ，２３ｂ，２３ｃにより排気される湿潤空気の流出量や、間仕切り等の隙間からクリーンルーム１ａ,１ｂ,１ｃ外へ漏洩する湿潤空気の漏洩量が減少すると、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内の湿度は高くなる。このため、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃからの水の噴霧量を減少させる必要があり、噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃの開度は絞られるよう制御される。従って、噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃから噴霧された少量の水によりクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内は所定の湿度に維持されると共に、加湿水の蒸発による空気の冷却量は減少し、その結果、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度は大きくなるよう制御される。
【０１５２】
従って、実施例２では、実施例１の場合と同様に、蒸気加湿器３５での加熱、加湿エネルギの節減を図ることができると共に、加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃでの水の噴霧量が増加することから、当該噴霧される水の蒸発により各クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃを冷却することができるため、冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃにおける冷水流量を節減することができて冷却エネルギを節減でき、加えて空調機２９から給気される空気の量を各クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの熱負荷により調整するようにしているため、より一層効率的に省エネルギを達成することができる。
【０１５３】
次に、図１０に示す実施例２の空調システムの動作フローについて、図１４、図１５により説明する。図１４、図１５は実施例２のサブルーチンＩＩにおいて、各クリーンルーム１ａ、１ｂ，１ｃの熱負荷に対応してダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃの開度を調整することにより、空調機２９からクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに供給される空気の流量の分配を変更する場合を示している。図１４、図１５中には、ダクト４６ａ，４６ｂ，４６ｃに設けてある全てのダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃの開度を制御する場合の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃ及び噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃ並びにダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃ等の開度情報、露点温度或は機器により検出された指示値等を具体的に記載した数値を入れた具体例が示されている。
【０１５４】
なお、空調機２９からクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに空気を供給するダクト４６ａ，４６ｂ，４６ｃにダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃが設けてある場合に、全てのダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃのダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄを５０％とする場合の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃ及び噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃ並びにダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃ等の開度情報、露点温度或はその機器により検出された指示値等を具体的に記載した数値の例は、従来の図２０の従来の空調システムに示してある。
【０１５５】
而して、図１４においては、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃのうち熱負荷が最も少ないクリーンルーム１ｃの系統の流量制御弁１０ｃの開度（弁開度指令Ｖｃ＝２０％）は少ないので、ダンパ開度バイアス量Ｄｂｉｃを１０％減らし、ダンパ開度Ｄｃｃ＝Ｄｐｉｄ＋Ｄｂｉｃ＝５０％−１０％＝４０％となる。又、ダンパ開度Ｄｃｃを絞ることにより、空調機２９から給気される空気（クリーンルーム１ｃ内の循環空気還気よりも温度及び湿度が低い）の流量が減少し、且つ、ファン２３ｃにより排出される空気の流出量も減るため、クリーンルーム１ｃ内の循環空気還気からの水分の損失量も減少し、このため、加湿水管路１５ｃにおける噴霧量制御弁１６ｃの開度（弁開度指令Ｗｃ）は、他のクリーンルーム１ａ，１ｂの系統の噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂの開度よりも小さく、Ｗｃ＝１０％となる。これにより、クリーンルーム１ｃの湿度調整が良好に行われる。更に、噴霧量制御弁１６ｃの開度が小さくなることにより、クリーンルーム１ｃを所定の温度に冷却するべく、流量制御弁１０ｃの開度は、空調機２９から給気される空気を、図２０に示すダクト４７ａ，４７ｂ，４７ｃのダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄを均等にしてクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに均等に分配する場合における流量制御弁１０ｃの開度がＶｃ＝１０％であったのに対しＶｃ＝２０％と大きくなる。
【０１５６】
熱負荷が大のクリーンルーム１ａでは、クリーンルーム１ａよりも熱負荷が少ないクリーンルーム１ｂ，１ｃの系統と逆の動作となる。このため、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度のばらつきは、図２０に示すように空調機２９から給気される空気をクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに均等に分配する場合の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度（Ｖａ＝７０％、Ｖｂ＝４０％、Ｖｃ＝１０％）に比べて少なくなり、特に、流量制御弁１０ｃの開度が大きくなったため、空調機２９から給気される空気をクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに均等に分配する場合に比較して、その設定露点温度Ｈｓｐを図１５に示すように、低下させることが可能となった。
【０１５７】
図１５で設定露点温度Ｈｓｐを変更するのは次のようにして行われる。すなわち、図１４に示す制御で、流量制御弁１０ｃの弁開度指令Ｖｃは、図２０に示す１０％から２０％と大きくなり、冷水の流量が多量になる。而して、冷水の流量を削減するためには、クリーンルーム１ｃにおける加湿水噴霧器１４ｃからの加湿水の噴霧量を増加する必要がある。しかるに、加湿水噴霧器１４ｃからの加湿水の噴霧量を増加すると、クリーンルーム１ｃの湿度が高くなり、所定の湿度に維持できないため、設定露点温度Ｈｓｐを下げて（図１４ではＨｓｐ＝７℃、図１５ではＨｓｐ＝５℃）空調機２９での蒸気加湿器３５からの蒸気の噴霧量を削減させる。又、空調機２９における蒸気加湿器３５の噴霧量制御弁４２の開度が減少して（図１４ではＷｘ＝８０％、図１５ではＷｘ＝７０％）蒸気による加湿が減少するため、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの湿度を維持するべく、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃの噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃの開度が大きくなる（図１４では、Ｗａ＝３０％、Ｗｂ＝２０％、Ｗｃ＝１０％、図１５では、Ｗａ＝４０％、Ｗｂ＝３０％、Ｗｃ＝２０％）
【０１５８】
この結果、空調機２９における蒸気加湿器３５での蒸気の消費量が削減され（図１４では、噴霧量制御弁４２の弁開度指令Ｗｘ＝８０％、図１５では弁開度指令Ｗｘ＝７０％）、又、流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃのトータルの冷水流量も削減される（図１４では、Ｖａ＋Ｖｂ＋Ｖｃ＝７０％＋４０％＋１０％＝１２０％、図１５では、Ｖａ＋Ｖｂ＋Ｖｃ＝５０％＋３０％＋１０％＝９０％）。更に又、空調機２９から給気されてクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに分配される空気の分配を適正化することにより、これらの効果は更に上昇する。
【０１５９】
前記実施例２において制御を行う場合の空気線図をクリーンルーム１ｂについて、図２０に示す従来の空調システムとの比較で示すと図１６ｂのようになる。今回の空調システムの各計測点は図１６ａに●Ｉから●ＶＩＩとして示してあり、従来の各計測点は図２０に◆Ｉから◆ＶＩＩとして示してある。又、各計測点の状態は図１６ｂにプロットしてあり、●印と◆印の何れにおいても、Ｉは空調機２９に導入される外気ＯＡの状態、ＩＩは空調機２９に取込まれて加熱コイル３３で加熱された後の空気の状態、ＩＩＩは蒸気加湿器３５で加湿された後の空気の状態、ＩＶは空調機２９からクリーンルーム１ｂ内に給気された空気とクリーンルーム１ｂの空気流路４ｂから循環してきた循環空気還気が混合した空気の状態、Ｖは流量制御弁１０ｂを通る冷水により冷却された後の空気の状態、ＶＩは噴霧量制御弁１６ｂからの水により加湿されると共に、水が蒸発して冷却された後の空気の状態、ＶＩＩは、クリーンルーム１ｂの内室２ｂに排出されて空気流路４ｂを流れる空気の状態である。
【０１６０】
この図１６ｂから◆ＩＩＩと●ＩＩＩとの差Ｈ１は、図１０の実施例２の空調システムと図２０の従来の空調システムの蒸気加湿器３５における蒸気の使用量の差となり、図１０の実施例２の場合、図２０の場合に比べて差Ｈ１だけ蒸気の使用量を削減できることが明らかである。●Ｖと◆Ｖとの差Ｔ１は、図１０の実施例２の空調システムと図２０の従来の空調システムの加湿水噴霧器１４ｂにおいて噴霧された水の蒸発量による冷却量の差となり、図１０の実施例２の場合、図２０の場合に比べて差Ｔ１だけ冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃにおける冷水の使用量を削減できることが明らかである。クリーンルーム１ａ，１ｂにおいても、空気線図は略図１６ｂのようになる。但し、差Ｈ１、Ｔ１は熱負荷により異なる。
【実施例２】
【０１６１】
図１７、図１８ａ、図１８ｂは請求項３、４、６、６、７、８に対応する本発明の実施例３である。図中、図２０と同一のものには同一の符号が付してある。又、実施例３の説明で、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃは請求項３、５、６、７の「被空調空間」、加熱コイル７０は請求項３、５の「第一の加熱手段」、ワッシヤ６７は請求項３の「第一の水加湿手段」、冷却コイル７１は請求項３の「第一の冷却手段」、再熱コイル７２は請求項３の「第二の加熱手段」、温水管路７５は請求項３の「熱媒管路」、加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃは請求項３、５の「第二の水加湿手段」、冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃは請求項３、５、６の「第二の冷却手段」である。更に、冷水コントローラ２６ａ，２６ｂ，２６ｃは請求項５の「第一の手段」、加湿水コントローラ２８ａ，２８ｂ，２８ｃは請求項５の「第二の手段」、設定露点温度コントローラ５１は請求項５の「第三の手段」、露点温度コントローラ４５は請求項５の「第四の手段」である。更に又、ＰＩＤ検出器４９は請求項６の「第５の手段」、設定露点温度コントローラ５１内のダンパ開度バイアス量演算部６５は請求項６の「第六の手段」、ダンパ開度コントローラ６２ａ，６２ｂ，６２ｃは請求項６の「第七の手段」である。
【０１６２】
而して、実施例３において実施例２と異なる主なところは、空調機２９において空気を加湿するために、実施例２の蒸気加湿器３５に替えて、水加湿のためのワッシヤ６７を用いるようにしたことである。又、ワッシヤ６７を用いることにより、空調機２９のファン３６上流側の機器の配置が実施例２とは異なっている。而して、空調機２９のケーシング３０内には、空気流れ方向上流側からワッシヤ６７側へ向けて、中性能フィルタ６８、予熱コイル６９、加熱コイル７０が順次配置されている。又、ワッシヤ６７の空気流れ方向下流側には、冷却コイル７１、再熱コイル７２が順次配置されている。
【０１６３】
予熱コイル６９では、中途部に温水の流量を制御する流量制御弁７３を備えた温水管路７４から送給された温水によって、ケーシング３０内にファン３６の吸引力により導入された外気ＯＡを予熱し得るようになっている。加熱コイル７０では、中途部に温水の流量を制御する流量制御弁７５を備えた温水管路７６から送給された温水により、予熱コイル６９で予熱されて送給されてきた空気を加熱し得るようになっている。又、流量制御弁７５には、露点温度コントローラ４５において、設定露点温度Ｈｓｐ及び空気の露点温度Ｈｒを基に求めた弁開度指令Ｗｘを与えて、流量制御弁７５の開度を制御し得るようになっている。
【０１６４】
ワッシヤ６７では、中途部に水の流量を制御する流量制御弁７７を備えた温水管路７８から送給された水により、加熱コイル７０で加熱されて送給されてきた空気を噴霧し得るようになっている。冷却コイル７１では、中途部に冷水の流量を制御する流量制御弁７９を備えた冷水管路８０から送給された冷水により、ワッシヤ６７からの空気を露点温度以下に過冷却して除湿し得るようになっている。再熱コイル７２では、中途部に温水の流量を制御する流量制御弁８１を備えた温水管路８２から送給された温水により、冷却コイル７１で過冷却して除湿された、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃの要求する所定の露点温度に調整された空気を、所定温度まで加熱して再熱し得るようになっている。図中、図１０に示す符号と同一のものには同一の符号が付してある。
【０１６５】
実施例３においても、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ側の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃ、噴霧量制御弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃ、ダンパ４７ａ，４７ｂ，４７ｃの制御は、実施例２に示す空調システムと略同じである。而して、実施例３においては、ワッシヤ６７の系統の流量制御弁７７は全開であり、設定露点温度Ｈｓｐの制御は、ワッシヤ６７前段の加熱コイル７０の加熱量で調整する。すなわち、露点温度コントローラ４５においては、設定露点温度コントローラ５１からの設定露点温度Ｈｓｐと空調機２９におけるファン３６下流側における空気の露点温度Ｈｒの差を採って設定露点偏差を求め、この設定露点偏差を比例積分処理して弁開度指令Ｗｘを求め、この弁開度指令Ｗｘを流量制御弁７５に与えて開度の制御を行い、加熱コイル７０へ供給される温水の流量を制御し、空気を所定の温度に加熱する。すなわち、空調機２９に取込まれた外気ＯＡは、中性能フィルタ６８でごみを粗取りされ、予熱コイル６９で予熱され、加熱コイル７０で所定の温度に加熱され、ワッシヤ６７において水により洗浄されてＮＨ３、ＮＯｘ、ＳＯｘ等のガス成分を除去され、冷却コイル７１で過冷却されて飽和状態に除湿され、再熱コイル７２で所定の温度に加熱され、ファン３６により加圧されて高性能フィルタ３７で細かいごみを除去されたうえ、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに供給される。又、ワッシヤ６７から噴霧された水の蒸発により空調機２９内の空気は冷却される。
【０１６６】
実施例３でも実施例１、２と同様な作用効果を奏することができる他、以下に述べるような作用効果を奏することもできる。すなわち、実施例３において制御を行う場合の空気線図をクリーンルーム１ｂについて、従来の空調システムとの比較で示すと図１８ｂのようになる。なお、ここでは従来の空調システムは図示してないが、図１７の空調システムと異なるところは、設定露点温度コントローラ５１が設けられてはおらず、設定露点温度Ｈｓｐが固定値である点である。
【０１６７】
今回の空調システムの各計測点は、図１８ａに●ＸＩから●ＸＶＩＩＩとして示し、又、従来の計測点は、図１８ａに◆ＸＩから◆ＸＶＩＩＩとして併記している（正確には、従来は図１８ａとは設定露点温度コントローラ５１がない等、異なるが便宜上本図を利用している。）。又、図１８ｂの空気線図には、各計測点の状態がプロットしてあり、●印と◆印の何れにおいても、ＸＩは空調機２９に導入される外気ＯＡの状態、ＸＩＩは空調機２９に取込まれて加熱コイル７０で加熱された後の空気の状態、ＸＩＩＩはワッシヤ６７で水洗された後の空気の状態、ＸＩＶは再熱コイル７２で再熱された後の空気の状態、ＸＶは空調機２９からクリーンルーム１ｂ内に給気された空気とクリーンルーム１ｂの空気流路４ｂから循環してきた循環空気還気が混合した空気の状態、ＸＶＩは流量制御弁１０ｂを通る冷水により冷却された後の空気の状態、ＸＶＩＩは噴霧量制御弁１６ｂからの水により加湿されると共に、水が蒸発して冷却された後の空気の状態、ＸＶＩＩＩは、クリーンルーム１ｂの内室２ｂに排出されて空気流路４ｂを流れる空気の状態である。
【０１６８】
この図１８ｂから◆ＸＩＩと●ＸＩＩとの差Ｈｌｌは、実施例３において加熱コイル７０での加熱量が少ないことを示しており、温水（又は蒸気）が削減できることを示している。なお、加熱コイル７０での加熱は２３℃以上を要求されるため、高質な温熱が必要となる。又、●ＸＩＩＩと◆ＸＩＩＩとの差Ｈ１２は、ワッシヤ６７でワッシヤされた後の空気の加熱量は増加していることを示しており、ここでは温度は２３℃以下であるため、低質の温熱で良く、影響は少ないものと考えられる。又、水は生産装置２１ｂの冷却水として逆に使用することができるという利点がある。図１８ｂの●ＸＩＶと◆ＸＩＶとの差Ｈ１３は、クーリングルーム１ｂの冷却コイル９ｂで冷却された後の空気の状態を示しており、冷却コイル９ｂへ供給する冷水の量が節減できたことを示している。
【０１６９】
なお、本発明の実施例では、蒸気加湿器３５の噴霧量制御弁４２の制御や加熱コイル７０の流量制御弁７５は弁開度指令Ｗｘにより行い、加湿水噴霧器１４ａ，１４ｂ，１４ｃの制御は弁開度指令Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃにより行う場合について説明したが、弁開時間により行うこともできること（この場合には、例えば露点温度コントローラ４５や加湿水コントローラ２８ａ，２８ｂ，２８ｃにタイマを設けておく必要がある。）、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得ることは勿論である。
【符号の説明】
【０１７０】
１ａ，１ｂ，１ｃ    クリーンルーム（被空調空間）
９ａ，９ｂ，９ｃ    冷却コイル（第二の冷却手段）
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ        流量制御弁
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ        冷水管路
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ        加湿水噴霧器（水加湿手段）（第二の水加湿手段）
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ        噴霧量制御弁
２６ａ，２６ｂ，２６ｃ        冷水コントローラ（第一の手段）
２８ａ，２８ｂ，２８ｃ        湿度コントローラ（第二の手段）
２９  空調機
３２  コイル（第一の冷却手段）
３３  再熱コイル（再熱手段）
３５  蒸気加湿器（蒸気加湿手段）
４２  噴霧量制御弁
４３  蒸気管路
４５  露点温度コントローラ（第四の手段）
４６ａ，４６ｂ，４６ｃ        ダクト（ライン）
４７ａ，４７ｂ，４７ｃ        ダンパ
４９  ＰＩＤ演算器（第五の手段）
５１  設定露点温度コントローラ（第三の手段）
６２ａ，６２ｂ，６２ｃ        ダンパ開度コントローラ（第七の手段）
６５  ダンパ開度バイアス量演算部（第六の手段）
６７  ワッシヤ（第一の加湿手段）
７０  加熱コイル（第一の加熱手段）
７１  冷却コイル（第一の冷却手段）
７２  再熱コイル（加熱手段）
７３  流量制御弁
７４  温水管路
７５  流量制御弁
７６  温水管路（熱媒管路）
ｔａ，ｔｂ，ｔｃ        温度（室温）
ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏ  設定温度
Δｔａ，Δｔｂ，Δｔｃ  温度偏差（偏差）
ｈａ，ｈｂ，ｈｃ        湿度
ｈａｏ，ｈｂｏ，ｈｃｏ    設定湿度
Δｈａ，Δｈｂ，Δｈｃ    湿度偏差（偏差）
Ｈｓｐ        設定露点温度
Ｈｒ  露点温度
ΔＨ  露点偏差（偏差）
Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃ        弁開度指令
Ｗｘ    弁開度指令
Ｗｍｉｎ    噴霧量制御弁開度設定下限値
Ｗｍｉｘ    噴霧量制御弁開度設定上限値
Ｂａｕ，Ｂｂｕ，Ｂｃｕ    流量制御弁開度設定下限値
Ｌａ１，Ｌａ２，Ｌａ３，Ｌｂ１，Ｌｂ２，Ｌｂ３，Ｌｃ１，Ｌｃ２，Ｌｃ３    温湿度制御レベル
Ａａｕ，Ａｂｕ，Ａｃｕ    流量制御弁開度設定下限値
Ａｄｉｆ  流量制御弁開度設定値の不感帯
Ｂａｕ，Ｂｂｕ，Ｂｃｕ    流量制御弁開度設定下限値
Ｂａｄｉｆ，Ｂｂｄｉｆ，Ｂｃｄｉｆ    流量制御弁開度設値の不感帯
Ｔ２ｄｉｆαｉ，Ｔ２ｄｉｆβｉ，Ｔ３ｄｉｆαｉ，Ｔ３ｄｉｆβｉ  不感帯温度差
Ｈｓｐｍａｘ    設定露点温度上限値
Ｈｓｐｍｉｎ    設定露点温度下限値
ΔＨｓｐ        設定露点温度変更量
Ｐａ    圧力
Ｐｏ    設定圧力
ΔＰ    圧力偏差（偏差）
Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ        弁開度指令
Ｄｏ    ダンパ開度上限値
Ｄｐｉｄ        ダンパＰＩＤ開度
Ｄｂｉａ，Ｄｂｉｂ，Ｄｂｉｃ    ダンパ開度バイアス量
Ｄｂｍａｘ  ダンパバイアス量上限値
Ｄｂｍｉｎ  ダンパバイアス量下限値
ΔＤｂ  ダンパバイアス量変更量
Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃ    ダンパ開度
【図１】
0005443204.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７ａ】
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【図７ｂ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６ａ】
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【図１６ｂ】
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【図１７】
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【図１８ａ】
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【図１８ｂ】
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【図１９】
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【図２０】
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