(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシート貼付装置であって、
前記フレームを支持するフレーム支持手段と、
前記接着シートを前記フレームに向って供給するシート供給手段と、
前記シート供給手段から供給された接着シートを前記フレームの開口部内に前記接着剤層が表出する状態で押圧して貼付する押圧手段と、
前記押圧手段による貼付の際に、前記開口部内で接着シートに弛みを形成する弛み形成手段とを備え、
前記押圧手段は、軸方向の中央部分の直径が両端部分よりも大きい形状のローラであり、
前記弛み形成手段は、前記ローラの前記中央部分により構成されていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシート貼付装置であって、
前記フレームを支持するフレーム支持手段と、
前記接着シートを前記フレームに向って供給するシート供給手段と、
前記シート供給手段から供給された接着シートを前記フレームの開口部内に前記接着剤層が表出する状態で押圧して貼付する押圧手段と、
前記押圧手段による貼付の際に、前記開口部内で接着シートに弛みを形成する弛み形成手段とを備え、
前記弛み形成手段は、前記シート供給手段と前記押圧手段との間に位置するとともに、当該押圧手段で押圧される前の接着シートに付勢することで前記弛みを形成することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
前記弛み形成手段は、前記接着シートの両面に気圧差を生じさせることで前記接着シートを付勢することを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシート貼付装置であって、
前記フレームを支持するフレーム支持手段と、
前記接着シートを前記フレームに向って供給するシート供給手段と、
前記シート供給手段から供給された接着シートを前記フレームの開口部内に前記接着剤層が表出する状態で押圧して貼付する押圧手段と、
前記押圧手段による貼付の際に、前記開口部内で接着シートに弛みを形成する弛み形成手段とを備え、
前記接着シートは、前記フレームの開口部の直径よりも幅が狭い帯状に形成されており、
前記シート供給手段は、前記接着シートを長手方向に繰出して供給し、
前記フレーム支持手段と前記シート供給手段及び押圧手段とを相対移動させる移動手段をさらに備え、
前記弛み形成手段は、前記移動手段による相対移動速度を前記接着シートの繰出し速度に対して遅くすることで前記弛みを形成することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項５】
基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシートの貼付方法であって、
前記フレームを支持し、
前記接着シートを前記フレームに向って供給し、
軸方向の中央部分の直径が両端部分よりも大きい形状のローラで前記供給した前記接着シートを前記フレームに押圧することで、前記フレームの開口部内で前記接着シートに弛みを形成しつつ、前記接着シートを前記フレームに貼付することを特徴とするシート貼付方法。
【請求項６】
基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシートの貼付方法であって、
前記フレームを支持し、
前記接着シートを前記フレームに向って供給し、
この供給した前記接着シートを付勢することで前記フレームの開口部内で前記接着シートに弛みを形成しつつ、前記接着シートを前記フレームに押圧して貼付することを特徴とするシート貼付方法。
【請求項７】
基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシートの貼付方法であって、
フレーム支持手段と、シート供給手段と、押圧手段とを備えたシート貼付装置を用い、
前記フレーム支持手段で前記フレームを支持し、
前記シート供給手段で前記フレームの開口部の直径よりも幅が狭い帯状の接着シートを長手方向に繰出して前記フレームに向って供給し、
前記フレーム支持手段と前記シート供給手段及び前記押圧手段とを相対移動させる相対移動速度を前記接着シートの繰出し速度に対して遅くすることで、この供給した前記接着シートに前記開口部内で弛みを形成しつつ、前記押圧手段で前記接着シートを前記フレームに押圧して貼付することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着シートをフレームに貼付するシート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（Integrated Circuit）やＬＳＩ（Large Scale Integration）などの回路が一面に形成された半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）は、電子機器の小型化や軽量化を図るため、個々のチップに分割される前に厚さが５０μｍ前後にまで研削される。しかし、このようにウェハが薄くなると、それ自体の剛性が低下するため、その後の工程での取り扱いが困難になる。そこで、加工時の取り扱いを容易にするためのウェハの加工方法が検討されている（例えば、特許文献１参照）。このウェハの加工方法では、回路が形成された回路形成領域と、この回路形成領域を囲む外周余剰領域とを表面に備えたウェハを以下のように加工する。すなわち、ウェハの裏面のうち、回路形成領域に対応する領域に凹部を形成し、外周余剰領域を回路形成領域よりも厚くしてリング状補強部とすることで、ウェハの剛性を高めている。
【０００３】
一方、半導体製造工程において、ウェハとリングフレームとを一体化するために、マウント用シート（接着シート）をウェハとリングフレームとに貼付するマウント装置が利用されている（例えば、特許文献２参照）。このマウント装置では、減圧雰囲気とされた真空チャンバ内の基板載置テーブル上に、円板状のウェハを支持させるとともに、リングフレームに接着シートが貼り付けられた支持体（以下、単に支持体という場合がある）を傾斜状態のフレーム固定台上に載置して、ウェハをリングフレームの内部に位置させる。そして、真空チャンバ内を減圧して、貼付ローラでウェハと接着シートを予備的に接着した後、真空チャンバ内に大気を導入することにより、ウェハと接着シートを差圧により貼り付けている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１９４６１号公報
【特許文献２】特開２００８−６６６８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１に記載の加工方法が施されたウェハの裏面側に接着シートを貼付して、当該ウェハとリングフレームとを一体化するために、特許文献２に記載のマウント装置を用いることが考えられる。
しかしながら、減圧雰囲気で貼付ローラを用いて、凹部を有するウェハと、支持体とを予備的に接着すると、凹部に空間が形成された状態（凹部を塞ぐ状態）となり、凹部閉塞部分が形成されてしまう。この後、大気が導入されると、差圧により凹部閉塞部分がウェハの裏面に押し付けられて接着されるが、凹部閉塞部分を囲む周縁部分がリング状補強部に接着されているため、接着シートにおける凹部閉塞部分とウェハにおける凹部に張力が加わった状態で、ウェハと接着シートとが貼り付けられる。このため、５０μｍ前後にまで研削されたウェハは、凹部に加わった張力によって割れてしまうといった不都合が発生じる。また、上記のような状態で接着シートに貼り付けられたウェハをダイシングすると、接着シートの弾性復元力によりチップ間隔が不均一になってしまい、これら各チップをピックアップする時に正確な位置を支持することができず、支持したチップを正確な位置にボンディングすることができなくなり、ボンディング不良を発生する不都合が生じる。
【０００６】
本発明の目的は、フレームと被着体とを一体化する工程において、接着シートに余分な張力を発生させることなく一体化することを可能にする支持体を形成可能なシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明のシート貼付装置は、基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシート貼付装置であって、前記フレームを支持するフレーム支持手段と、前記接着シートを前記フレームに向って供給するシート供給手段と、前記シート供給手段から供給された接着シートを前記フレームの開口部内に前記接着剤層が表出する状態で押圧して貼付する押圧手段と、前記押圧手段による貼付の際に、前記開口部内で接着シートに弛みを形成する弛み形成手段とを備え、前記押圧手段は、軸方向の中央部分の直径が両端部分よりも大きい形状のローラであり、前記弛み形成手段は、前記ローラの前記中央部分により構成されている、という構成を採用している。
【０００８】
また、本発明のシート貼付装置は、基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシート貼付装置であって、前記フレームを支持するフレーム支持手段と、前記接着シートを前記フレームに向って供給するシート供給手段と、前記シート供給手段から供給された接着シートを前記フレームの開口部内に前記接着剤層が表出する状態で押圧して貼付する押圧手段と、前記押圧手段による貼付の際に、前記開口部内で接着シートに弛みを形成する弛み形成手段とを備え、前記弛み形成手段は、前記シート供給手段と前記押圧手段との間に位置するとともに、当該押圧手段で押圧される前の接着シートに付勢することで前記弛みを形成する、という構成を採用している。
そして、本発明のシート貼付装置では、前記弛み形成手段は、前記接着シートの両面に気圧差を生じさせることで前記接着シートを付勢することが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置は、基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシート貼付装置であって、前記フレームを支持するフレーム支持手段と、前記接着シートを前記フレームに向って供給するシート供給手段と、前記シート供給手段から供給された接着シートを前記フレームの開口部内に前記接着剤層が表出する状態で押圧して貼付する押圧手段と、前記押圧手段による貼付の際に、前記開口部内で接着シートに弛みを形成する弛み形成手段とを備え、前記接着シートは、前記フレームの開口部の直径よりも幅が狭い帯状に形成されており、前記シート供給手段は、前記接着シートを長手方向に繰出して供給し、前記フレーム支持手段と前記シート供給手段及び押圧手段とを相対移動させる移動手段をさらに備え、前記弛み形成手段は、前記移動手段による相対移動速度を前記接着シートの繰出し速度に対して遅くすることで前記弛みを形成する、という構成を採用している。
また、本発明のシート貼付装置の一態様では、前記フレーム支持手段における前記フレームの開口部に対応する位置には、支持凹部が設けられている、こととしてもよい。
【０００９】
一方、本発明のシート貼付方法は、基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシートの貼付方法であって、前記フレームを支持し、前記接着シートを前記フレームに向って供給し、軸方向の中央部分の直径が両端部分よりも大きい形状のローラで前記供給した前記接着シートを前記フレームに押圧することで、前記フレームの開口部内で前記接着シートに弛みを形成しつつ、前記接着シートを前記フレームに貼付する、という構成を採用している。
また、本発明のシート貼付方法は、基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシートの貼付方法であって、前記フレームを支持し、前記接着シートを前記フレームに向って供給し、この供給した前記接着シートを付勢することで前記フレームの開口部内で前記接着シートに弛みを形成しつつ、前記接着シートを前記フレームに押圧して貼付する、という構成を採用している。
さらに、本発明のシート貼付方法は、基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシートの貼付方法であって、フレーム支持手段と、シート供給手段と、押圧手段とを備えたシート貼付装置を用い、前記フレーム支持手段で前記フレームを支持し、前記シート供給手段で前記フレームの開口部の直径よりも幅が狭い帯状の接着シートを長手方向に繰出して前記フレームに向って供給し、前記フレーム支持手段と前記シート供給手段及び前記押圧手段とを相対移動させる相対移動速度を前記接着シートの繰出し速度に対して遅くすることで、この供給した前記接着シートに前記開口部内で弛みを形成しつつ、前記押圧手段で前記接着シートを前記フレームに押圧して貼付する、という構成を採用している。
【発明の効果】
【００１０】
以上のような発明によれば、フレームの開口部内に表出した接着シートに弛みを形成した状態で当該接着シートをフレームに貼付するので、フレームと被着体とを一体化する工程において、開口部内に表出した接着剤層に、表面に凹部が設けられた被着体を貼付する場合であっても、接着シートにおける凹部閉塞部分とウェハにおける凹部に張力が加わった状態で、ウェハと接着シートとが貼り付けられることを防止することが可能になる。これにより、凹部に加わった張力によってウェハが割れるといった不都合や、接着シートの弾性復元力によりボンディング不良が発生するといった不都合を解消することができる。
【００１１】
また、接着シートを付勢することで弛みを形成すれば、付勢力を調整することにより、任意の弛みを形成できる。さらに、押圧手段として、軸方向の中央部分の直径が両端部分よりも大きい形状のローラを適用し、このローラの中央部分を弛み形成手段として機能させれば、押圧手段と弛み形成手段を別々に設ける必要がなく、部品点数を抑えることができる。また、接着シートの両面に気圧差を生じさせることで弛みを形成すれば、接着シートを傷つけることがなく弛みを形成することができる。そして、フレームの開口部よりも幅が狭い帯状の接着シートを長手方向に繰出して供給するとともに、フレーム支持手段とシート供給手段との相対移動速度を、接着シートの繰出速度よりも遅くすることで弛みを形成すれば、速度制御のみで任意の弛みを形成できる。さらに、フレーム支持手段に支持凹部を設ければ、弛んだ接着シートの接着層がフレーム支持手段に付着することがなく、接着シート貼付後のフレームを容易に取り外して搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置の部分断面図。
【図２】図１の押圧ユニットの側面図。
【図３】図１のシート貼付装置で形成された支持体を示す斜視図。
【図４】（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、支持体とウェハとが一体化された状態を示す断面図。
【図５】本発明の第２実施形態に係るシート貼付装置の部分断面図。
【図６】本発明の第３実施形態に係るシート貼付装置の部分断面図。
【図７】本発明の第４実施形態に係るシート貼付装置の部分断面図。
【図８】支持体の変形例を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図４において、本実施形態のシート貼付装置１は、フレームとしてのリングフレームＲＦに接着シートとしてのマウント用シートＭＳを貼付して支持体Ｈを形成するものである。この支持体Ｈは、図示しない後工程において、凹部Ｗ１１，Ｗ２１を有するウェハＷ１，Ｗ２（図４（Ａ），（Ｂ）参照）、あるいは、バンプＷ３２の間に形成された凹部Ｗ３１を有するウェハＷ３（図４（Ｃ）参照）と一体化される。マウント用シートＭＳは、図示しない基材シートの一方の面に図示しない接着剤層が積層された構成を有し、例えば、図３に示すように開口部ＲＦ１よりも大きく、かつ、リングフレームＲＦからはみ出すことのない外形に予め切断されている。
そして、シート貼付装置１は、リングフレームＲＦを載置して保持するフレーム支持手段としてのテーブル２と、マウント用シートＭＳをリングフレームＲＦに向けて供給するシート供給手段としての繰出ユニット３と、この繰出ユニット３で繰り出されたマウント用シートＭＳをリングフレームＲＦに押圧して貼付する押圧ユニット４と、テーブル２を図１中左右方向に相対移動させる移動手段としての単軸ロボット５とを備えて構成されている。
【００１４】
テーブル２の上面には、平面視で円形状の支持凹部としてのテーブル凹部２１と、このテーブル凹部２１の周縁に設けられてリングフレームＲＦが載置されるフレーム載置部２２とが設けられている。テーブル凹部２１は、リングフレームＲＦがフレーム載置部２２に載置された際に、開口部ＲＦ１の下方に位置し、その大きさ、深さは、開口部ＲＦ１に弛んだ状態で貼付されたマウント用シートＭＳが当接しないよう設定されている。また、テーブル凹部２１の下部には、吸引孔２３を介してフレーム載置部２２に載置されたリングフレームＲＦを吸引することで固定可能な吸引手段２４が設けられている。
【００１５】
繰出ユニット３は、図示しないフレームに支持されている。このフレームには、剥離シートＲＬに貼付されたマウント用シートＭＳをロール状に巻回して支持する支持ローラ３１と、剥離シートＲＬおよびマウント用シートＭＳを案内する２個のガイドローラ３２と、図１中左下方に傾斜して剥離シートＲＬからマウント用シートＭＳを剥離するピールプレート３３とが設けられている。さらに、フレームにはモータ３６によって駆動する駆動ローラ３４と、駆動ローラ３４との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ３５と、図示しない駆動手段によって剥離シートＲＬを回収する回収ローラ３７とが設けられている。
【００１６】
押圧ユニット４は、図２にも示すように、マウント用シートＭＳをリングフレームＲＦに向かって押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ４１と、押圧ローラ４１を回転可能に支持する回転軸４２と、回転軸４２を支持する支持部４３と、この支持部４３に出力軸４４Ａが固定され、押圧ローラ４１を図１中上下方向に移動させる位置制御可能な直動モータ４４とを備えて構成され、この直動モータ４４が繰出ユニット３の図示しないフレームに対して直接または間接的に連結されている。
【００１７】
押圧ローラ４１は、弾性を有する材料により、軸方向の中央部分４１１から両端部分４１２に向かうにしたがって径が徐々に小さくなる、いわゆるクラウン形状に形成されており、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材で構成される。このため、押圧ローラ４１でマウント用シートＭＳがリングフレームＲＦに押圧されると、マウント用シートＭＳは、接着材層が開口部ＲＦ１から表出し、かつ、この表出した部分が押圧ローラ４１のクラウン形状に沿って弛んだ状態で貼付される。すなわち、押圧ローラ４１の中央部分４１１は、弛み形成手段として機能する。つまり、中央部分４１１の膨らみによって、ピールプレート３３で剥離シートＲＬから剥離されたマウント用シートＷＳは、その中央領域が他の領域に比べて図１中下方に押し下げられながらリングフレームＲＦに押圧されることとなり、弛んだ状態で貼付される。
【００１８】
単軸ロボット５は、テーブル２の下方において図１の左右方向に延びて設けられ、テーブル２の下面に固定されたスライダ５１をスライド駆動することで、テーブル２を図１中右側から左側に向って移動させて、テーブル２と繰出ユニット３及び押圧ローラ４１とを相対移動させつつ、繰出ユニット３から繰り出されたマウント用シートＭＳを押圧ローラ４１で押圧することで、このマウント用シートＭＳがリングフレームＲＦに貼付されるようになっている。
【００１９】
以上のシート貼付装置１において、リングフレームＲＦにマウント用シートＭＳを貼付する手順を説明する。
まず、図１中実線で示すように、テーブル２のフレーム載置部２２にリングフレームＲＦを載置して固定し、単軸ロボット５でテーブル２を図１中右側から左側に向って移動させる。そして、テーブル２が所定の位置に到達したことが図示しない検知手段によって検知されると、直動モータ４４の駆動によって押圧ローラ４１を下降させるとともに、モータ３６の駆動によってマウント用シートＭＳを所定の速度で繰り出す。これにより、押圧ローラ４１でマウント用シートＭＳをリングフレームＲＦに押圧し、単軸ロボット５によるテーブル２の移動を継続することで、マウント用シートＭＳをリングフレームＲＦの上面に貼付する。この際、押圧ローラ４１がクラウン形状なので、開口部ＲＦ１内のマウント用シートＭＳは、リングフレームＲＦの上面（マウント用シートＭＳの貼付面）より図１中下方に押し出され、図３に示すように弛んだ状態で貼付される。また、押圧ローラ４１がリングフレームＲＦに押し付けられるとリングフレームＲＦの形状に倣って変形し、マウント用シートＭＳの外周部分は、リングフレームＲＦに面接触する状態で貼付される。
【００２０】
この後の工程については、図示しないが、開口部ＲＦ１に表出したマウント用シートＭＳの接着層には、例えば図４（Ａ）〜（Ｃ）に示すようなウェハＷ１，Ｗ２，Ｗ３の凹部Ｗ１１，Ｗ２１，Ｗ３１が形成された面が貼付され、ウェハＷ１，Ｗ２，Ｗ３とリングフレームＲＦとが一体化される。この一体化に際しては、真空を利用した方法など、様々な方法を選択できる。このようにして、リングフレームＲＦと一体化されたウェハＷ１，Ｗ２，Ｗ３は、さらに後の工程で、ダイシングされ、チップにされる。
【００２１】
以上のような第１実施形態によれば、次のような効果がある。
シート貼付装置１は、リングフレームＲＦにマウント用シートＭＳを貼付する際に、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１内において接着剤層が表出し、かつ、この表出部分に弛みが形成される状態で貼付する。このため、後工程で、ウェハＷ１，Ｗ２，Ｗ３の凹部Ｗ１１，Ｗ２１，Ｗ３１を有する面に、マウント用シートＭＳを貼付したときに、マウント用シートＭＳの凹部Ｗ１１，Ｗ２１，Ｗ３１に貼付された部分に余分な張力が発生することを抑制することができ、ウェハが割れてしまうことを防止できる上、ウェハＷ１を個片化した際に、チップ間隔が不均一になることを防止して、適切にチップをピックアップできる。また、クラウン形状の押圧ローラ４１を用いて押圧により弛みを形成しているため、弛みの形成状態を一定にできるとともに、部品点数の増加を抑制できる。また、テーブル２にテーブル凹部２１を設けているため、マウント用シートＭＳを弛ませて貼付した際にテーブル２にマウント用シートＭＳが貼付されてしまうことを防止できる。
【００２２】
次に、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
図５において、本発明の第２実施形態に係るシート貼付装置１Ａと第１実施形態のシート貼付装置１との相違点は、押圧ユニット４の代わりに押圧ユニット４Ａを設けた点と、弛み形成手段としての気体噴付手段６Ａを新たに設けた点である。
押圧ユニット４Ａは、押圧ユニット４のクラウン形状の押圧ローラ４１の代わりに、クラウン形状を有さない円柱状の押圧手段としての押圧ローラ４１Ａを設けた構成となっている。
気体噴付手段６Ａは、繰出ユニット３と押圧ローラ４１Ａとの間に繰出されるマウント用シートＭＳに気体Ｐを噴き付け可能に設けられ、噴き付けのタイミングや強さを制御する図示しない制御手段とともに、繰出ユニット３の図示しないフレームに一体的に支持されている。
【００２３】
そして、シート貼付装置１Ａにおいて、リングフレームＲＦにマウント用シートＭＳを貼付する際には、図５に示すように、テーブル２を図中右側から左側に向って移動させつつ、繰出ユニット３から繰出されるマウント用シートＭＳに気体噴付手段６Ａにより気体Ｐの噴き付けを行いながら、押圧ローラ４１ＡによりリングフレームＲＦに貼付する。この気体Ｐの噴き付けにより、開口部ＲＦ１に繰り出されたマウント用シートＭＳに弛みが形成される。この弛みが形成されつつ繰出されるマウント用シートＭＳは、テーブル２の移動に伴い、押圧ローラ４１ＡによりリングフレームＲＦに押圧されて貼付される。ここで、押圧ローラ４１Ａは、開口部ＲＦ１内で弛んでいる部分に接触することなくリングフレームＲＦ上にマウント用シートＭＳを押圧して貼付する。なお、マウント用シートＭＳの弛みは気体Ｐを噴き付ける圧力の大きさにより調整することができる。
【００２４】
以上のような第２実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、シート貼付装置１Ａは、マウント用シートＭＳに気体Ｐを噴き付けることで、つまり、マウント用シートＭＳの両面に気圧差を生じさせることで、マウント用シートＭＳを弛ませる。このため、マウント用シートＭＳの弛んだ部分に接触することなく、当該マウント用シートＭＳの損傷を避けて貼付することができる。また、気体Ｐを噴き付ける圧力の大きさを変えるだけで、弛みの調整が容易に行える。
【００２５】
次に、本発明の第３実施形態を図面に基づいて説明する。
図６において、本発明の第３実施形態に係るシート貼付装置１Ｂと第２実施形態のシート貼付装置１Ａとの相違点は、気体噴付手段６Ａの代わりに弛み形成手段としての吸引手段６Ｂを設けた点である。
吸引手段６Ｂは、テーブル２のテーブル凹部２１内に設けられ、具体的には、フレーム載置部２２に載置されたリングフレームＲＦの開口部ＲF１中心の直下に設けられている。
【００２６】
そして、シート貼付装置１Ｂにおいて、リングフレームＲＦにマウント用シートＭＳを貼付する際には、第２実施形態と同様に、テーブル２を図中右側から左側に向って移動させつつ、吸引手段６Ｂにより吸引（矢印Ｑで示す）しながら、マウント用シートＭＳをリングフレームＲＦに貼付する。この後、テーブル２の移動と吸引を継続することにより、開口部ＲＦ１に繰り出されたマウント用シートＭＳに弛みが形成され、マウント用シートＭＳのリングフレームＲＦとの間に挟まれた部分が押圧ローラ４１Ａにより押圧されて貼付される。
【００２７】
以上のような第３実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、吸引手段６Ｂをテーブル２のテーブル凹部２１内に設けているため、吸引手段６Ｂを設置するための新たなスペースを設ける必要がなく、テーブル凹部２１の有効活用を図ることができる。また、吸引によりマウント用シートＭＳの両面に気圧差を生じさせることで、マウント用シートＭＳを弛ませるため、マウント用シートＭＳの損傷を防止できる。
【００２８】
次に本発明の第４実施形態を図面に基づいて説明する。
図７において、本発明の第４実施形態に係るシート貼付装置１Ｃと第２実施形態のシート貼付装置１Ａとの相違点は、気体噴付手段６Ａの代わりに弛み形成手段としての弛み形成押圧手段６Ｃを設けた点である。
【００２９】
弛み形成押圧手段６Ｃは、繰出ユニット３と押圧ユニット４Ａとの間に設けられており、出力軸６２Ｃを図７中上下方向に移動させる直動モータ６１Ｃと、出力軸６２Ｃに設けられた支持部６３Ｃと、この支持部６３Ｃに回転軸６５Ｃを中心に回転自在に設けられた弛み形成ローラ６４Ｃとを備えている。弛み形成ローラ６４Ｃは、軸方向の長さが開口部ＲＦ１の直径よりも短い円柱状に形成されている。
【００３０】
そして、シート貼付装置１Ｃにおいて、リングフレームＲＦにマウント用シートＭＳを貼付する際には、第２実施形態と同様に、テーブル２を図中右側から左側に向って移動させつつ、押圧ローラ４１Ａによりマウント用シートＭＳをリングフレームＲＦに貼付する。その後、弛み形成ローラ６４Ｃを下降させると、開口部ＲＦ１に繰り出されたマウント用シートＭＳに弛みが形成される。この弛みが形成されつつ繰出されるマウント用シートＭＳは、テーブル２の移動に伴い、押圧ローラ４１ＡによりリングフレームＲＦに押圧されて貼付される。
【００３１】
以上のような第４実施形態によれば、円柱状の弛み形成ローラ６４Ｃを用いて押圧により弛みを形成しているため、弛みの形成状態を一定にできるという効果がある。
【００３２】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３３】
すなわち、第１〜第４実施形態においては、以下のような構成としてもよい。
例えば、マウント用シートＭＳに貼付される被着体がウェハＷ１，Ｗ２，Ｗ３である場合を示したが、被着体はそれらに限定されるものではなく、ウェハＷ１，Ｗ２，Ｗ３以外にガラス板、鋼板、または、樹脂板、その他の板状部材や、板状部材以外のものも対象とすることができ、半導体ウェハは、シリコンウェハや化合物ウェハであってもよい。また、テーブル２に対して繰出ユニット３のみを移動させてもよいし、テーブル２と繰出ユニット３の両方を移動させてもよい。さらに、半球状の弛み形成手段と、この弛み形成手段から鍔状に延びる押圧手段とを有する部材をリングフレームＲＦに押し当てて、弛み形成手段でマウント用シートＭＳに弛みを形成しつつ、押圧手段でリングフレームＲＦに貼付してもよい。
【００３４】
また、第１，第４実施形態では、テーブル２の移動に伴い回転する押圧ローラ４１，４１Ａの代わりに、回転しない押圧部材を用いてもよい。また、第１，第４実施形態では、テーブル２の凹部２１に変形可能なスポンジなどの充填部材を充填してもよい。このような構成の場合、押圧ローラ４１，４１Ａにより、マウント用シートＭＳとともに充填部材を変形させることで、マウント用シートＭＳに弛みを形成することができる。また、第２，第３実施形態において、開口部ＲＦ１の中央が気体噴付手段６Ａや吸引手段６Ｂの真上に到達した際に、気体Ｐの噴き付けや吸引を開始してもよい。さらに、第４実施形態において、弛み形成ローラ６４Ｃを上下させるのではなく、リングフレームＲＦとの当接時に弛み形成ローラ６４Ｃ自体を変形させて、リングフレームＲＦ中央部に到達した際に、前記変形の復元力によりマウント用シートＭＳを押圧して弛ませてもよい。
また、図８に示すように、マウント用シートＭＳの代わりに、短辺が開口部ＲＦ１の直径よりも短くかつ長辺が開口部ＲＦ１の直径よりも長い長方形状のマウント用シートＭＳ１を貼付する場合、弛み形成手段としての図示しない制御手段により、テーブル２の移動速度をマウント用シートＭＳ１の繰出速度よりも遅くすることで、弛みを形成してもよい。
更に、移動手段は、単軸ロボット５によってテーブル２を移動させる構成以外に、図示しない駆動手段を用いて繰出ユニット３及び押圧ローラ４１を移動させてもよいし、テーブル２と繰出ユニット３及び押圧ローラ４１との両方を移動させてもよい。
【符号の説明】
【００３５】
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…シート貼付装置
２…テーブル（フレーム支持手段）
３…繰出ユニット（シート供給手段）
５…単軸ロボット（移動手段）
６Ａ…気体噴付手段（弛み形成手段）
６Ｂ…吸引手段（弛み形成手段）
６Ｃ…弛み形成押圧手段（弛み形成手段）
２１…テーブル凹部（支持凹部）
４１…押圧ローラ（押圧手段、弛み形成手段）
４１Ａ…押圧ローラ（押圧手段）
ＭＳ…マウント用シート（接着シート）
ＲＦ…リングフレーム（フレーム）
ＲＦ１…開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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