(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流動する熱溶融半田を収納する外壁を有する半田槽と、
基板に半田付けされる電子部品のリード部が存在する側に先端部が突出して前記半田槽に収納され、内部が空洞の円筒形の噴流ノズルと、
この噴流ノズルの外側における表面に設けられ、前記先端部から始まり途中で終了する複数の溝と、
前記噴流ノズルの内部に圧送して前記熱溶融半田を前記先端部から前記リード部まで噴き上げさせる流速調整手段と、
前記熱溶融半田の酸化反応で生じた酸化物を含み噴き上げられた前記熱溶融半田を前記半田槽に還流させる前記噴流ノズルと前記半田槽の外壁との間に設けられた隙間とを備えた半田噴流装置。
【請求項２】
流動する熱溶融半田を収納する外壁を有する半田槽と、
基板に半田付けされる電子部品のリード部が存在する側に先端部が突出して前記半田槽に収納され、内部が空洞の円錐形の噴流ノズルと、
この噴流ノズルの外側における表面に設けられ、前記先端部から始まり途中で終了する複数の溝と、
前記噴流ノズルの内部に圧送して前記熱溶融半田を前記先端部から前記リード部まで噴き上げさせる流速調整手段と、
前記熱溶融半田の酸化反応で生じた酸化物を含み噴き上げられた前記熱溶融半田を前記半田槽に還流させる前記噴流ノズルと前記半田槽の外壁との間に設けられた隙間とを備えた半田噴流装置。
【請求項３】
互いに最も離れて設けられた前記複数の溝は、前記噴流ノズルの前記先端部中心に対して狭角で配置した請求項１または請求項２に記載の半田噴流装置。
【請求項４】
前記溝の幅は１mm以上２mm以下であることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の半田噴流装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プリント配線板の局部半田付けなどに用いる半田噴流装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品が高密度実装された基板においては、良好な半田付け部位を確保するためには、半田表面に膜状に発生する酸化膜をノズル開口部の溶融はんだ表面から取り除く必要がある。例えば、特開平６−３２６４５４号公報図１（特許文献１参照）には、噴流ノズル内の酸化膜が半田付部分に付着しないように、噴流ノズル２１の側壁部２１ａに上端を切り欠いた逃げ口２３が形成され、逃げ口２３からは噴流ノズル２１の底の穴から吹き上げられた溶融半田５が溢れるようにした構造の局部半田付装置が開示されている。
【０００３】
特開２００３ー３２６４５４号公報図１（特許文献２参照）には、噴流ノズル３の形状を錐状にし、噴流ノズル３内の容積を小さくし、噴流速度を速くすると共に噴流ノズル３の上端部３ｅに切欠き部４を設け、切欠き部４の部分から半田を流れ落すことで常に半田が半田浴槽から循環するようにした、はんだ付け装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−３２６４５４号公報（第１図、段落〔０００８〕）
【特許文献２】特開２００３−３１１３９７号公報（第１図、段落〔０００５〕）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら特許文献１に記載の局部半田付け装置１では、先端が比較的幅広の四角開口の噴流ノズル２１を使用しているので、狭い領域の半田付けを行う高密度実装基板に適用する場合には、溶融半田５の表面状態が可動時に不均一になり、電子部品間に半田ブリッジによる半田付け不良などが発生するという課題があった。
【０００６】
また、特許文献２に記載のものは、噴流ノズル３の上端部３ｅに切欠き部４を設けているので、切欠き部４の部分からはんだを流れ落すようにしているものの、上端部３ｅの半田表面が側壁部３付近で半田面が不均一になり、局部半田付け装置としては、適用することが困難であるという課題があった。
【０００７】
また、熱溶融した半田表面に膜状に発生する酸化膜をノズル表面に発生させないため、噴流ノズルから溶融した半田をオーバーフローさせる必要があるが、可動式の局部半田付け装置の噴流ノズルとして用いる場合には、オーバーフローさせると周辺の表面実装部品に溶融した半田が接触し、半田ブリッジのような半田付け不良を誘発させる原因となる。
【０００８】
この発明は、上記課題を解決するためになされたもので、実装基板の電子部品の実装密度が高くても、熱溶融半田の最表層面で生じた酸化膜が電子部品の半田付け部位に付着することを軽減すると共に半田付け時の品質、信頼性および作業性を向上することができる半田噴流装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明に係る半田噴流装置は、流動する熱溶融半田を収納する外壁を有する半田槽と、基板に半田付けされる電子部品のリード部が存在する側に先端部が突出して前記半田槽に収納され、内部が空洞の円筒形の噴流ノズルと、この噴流ノズルの外側における表面に設けられ、前記先端部から始まり途中で終了する複数の溝と、前記噴流ノズルの内部に圧送して前記熱溶融半田を前記先端部から前記リード部まで噴き上げさせる流速調整手段と、前記熱溶融半田の酸化反応で生じた酸化物を含み噴き上げられた前記熱溶融半田を前記半田槽に還流させる前記噴流ノズルと前記半田槽の外壁との間に設けられた隙間とを備えたものである。
【００１１】
また、流動する熱溶融半田を収納する外壁を有する半田槽と、基板に半田付けされる電子部品のリード部が存在する側に先端部が突出して前記半田槽に収納され、内部が空洞の円錐形の噴流ノズルと、この噴流ノズルの外側における表面に設けられ、前記先端部から始まり途中で終了する複数の溝と、前記噴流ノズルの内部に圧送して前記熱溶融半田を前記先端部から前記リード部まで噴き上げさせる流速調整手段と、前記熱溶融半田の酸化反応で生じた酸化物を含み噴き上げられた前記熱溶融半田を前記半田槽に還流させる前記噴流ノズルと前記半田槽の外壁との間に設けられた隙間とを備えたものである。
【発明の効果】
【００１３】
この発明によれば、実装基板の電子部品の実装密度が高くても、熱溶融半田の最表層面で生じた酸化膜が電子部品の半田付け部位に付着することがないので、半田付け時の品質、信頼性および作業性を飛躍的に向上することができる半田噴流装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】この発明の実施の形態１による半田噴流装置の断面模式図である。
【図２】この発明の実施の形態１による半田噴流装置の噴流ノズルの説明図であり、図２（ａ）は噴流ノズルの外観図、図２（ｂ）は噴流ノズルの平面図である。
【図３】この発明の実施の形態１による半田噴流装置の熱溶融半田酸化膜の除去手順を説明する図である。
【図４】この発明の実施の形態１による半田噴流装置の円筒型噴流ノズルの内寸と溝深さとの関係を説明する図である。
【図５】この発明の実施の形態１による半田噴流装置の円筒型噴流ノズルの内寸と溝深さとの関係を説明する図である。
【図６】この発明の実施の形態２による半田噴流装置の断面模式図である。
【図７】この発明の実施の形態２による半田噴流装置の噴流ノズルの説明図であり、図７（ａ）は噴流ノズルの外観図、図７（ｂ）は噴流ノズルの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
実施の形態１．
以下、この発明の実施の形態１について図に用いて説明する。図１は、この発明の実施の形態１による半田（はんだ）噴流装置の外観図である。１は棒状半田（はんだ）などを熱で溶融させた液体状の熱溶融半田、２は流動する熱溶融半田１を収納する内部が空洞の円筒形の上部タンク（半田槽）、３は上部タンク２の内部に収納され、内部が空洞の円筒型（円筒形）の噴流ノズル、３ａは噴流ノズル３の先端に設けられた細長の溝である。３ｂは噴流ノズル３の先端の空洞領域を示し、上面開口部(先端部)と呼称する。
【００１６】
４は噴流ノズル３に近接して設置され、上部タンク２を構成すると共に噴流ノズル３を適宜固定する上部タンク２の外壁、５は上部タンク２底面の空洞領域の一部に設けられ、噴流ノズル３の内部に熱溶融半田１を送り込み、噴流ノズル３の先端の上面開口部３ｂから熱溶融半田１を噴出させる噴出孔、６は流動する熱溶融半田１を圧送させることで噴出孔５を介して上部タンク２に熱溶融半田１を送り込む下部タンク（半田槽）、７は下部タンク６に設置し、回転するプロペラで下部タンク６の熱溶融半田１の流速を調整する流速調整手段、８は下部タンク６の熱溶融半田１を熱溶融状態に維持する加熱手段、９は熱溶融半田１の流速を調整する流速調整手段７や熱溶融半田１の熱溶融状態を維持する加熱手段８に対して流速管理や温度管理を行う制御部（制御ボックス）である。
【００１７】
１０はリード挿入型部品や表面実装部品などからなる電子部品、１０ａは電子部品１０のそれぞれのリード端子(リード部)であり、パッケージなどから突出したリード端子１０ａと電子部品１０とが固化した熱溶融半田１で電気接続される。１１は電子部品１０を載置し、搬送手段（図示せず）で基材面に亘って搬送方向に相対的に可動するプリント配線板などで構成された基板である。なお、ｄ１は噴流ノズル３の内径（内寸）を示し、ｄ２は噴流ノズル３の外径（外寸）を示すものとする。
【００１８】
図２は、この発明の実施の形態１による半田噴流装置の噴流ノズルの説明図であり、図２（ａ）は噴流ノズルの外観図、図２（ｂ）は噴流ノズルの平面図である。図２（ａ）において、Ｌ１は噴流ノズル３に設けられた溝３ａの長さ（寸法）を示す。図２（ｂ）において、Ｗ１は噴流ノズル３の溝３ａの幅、Ｄ１は噴流ノズル３の溝３ａの深さ、θは２個配置した溝３ａ間の噴流ノズル３の先端内径中心に対する角度である。図中、図１と同一符号は、同一又は相当部分を示す。
【００１９】
次に動作について図１及び図２を用いて説明する。上部タンク２の内側には、先端（上面）が開口した筒型の噴流ノズル３が設けられ、この噴流ノズル３は、上部タンク２から上方に少し突出している。この噴流ノズル３の外側の表面には溝３ａが上面開口部３ｂの縁から下部に向かって噴流ノズル３の表面に直線的に刻み込まれている。この溝３ａは、熱溶融半田１が噴流ノズル３の空洞領域から湧き上がって、溢れだし、その後噴流ノズル３の外側表面を伝わって上部タンク２に流れ込むとき、熱溶融半田１の流速を部分的に変化させる役目を担う。すなわち、基板１１の表面に載置されたリード部１０ａの半田付け領域の熱溶融半田１の熱溶融状態を不均一にさせることで、熱溶融半田１の表面に発生した熱溶融半田１の不要異物を流れ落とす。このようにして、流動する熱溶融半田１の最表層面で酸化反応が生じ、この反応で生じた熱溶融半田１の表層酸化膜を除去する。
【００２０】
次に酸化膜の除去手順について説明する。図３（ａ）〜図３（ｄ）は、この発明の実施の形態１による半田噴流装置の熱溶融半田酸化膜の除去過程を説明する図である。図中、図１と同一符号は、同一又は相当部分を示す。なお、１ａは熱溶融半田１の最表層面で生じた熱溶融半田１の酸化膜を示し、通常、酸化膜は微粒子同士が熱溶融半田１の最表層で部分的に凝縮又は分散状態のゾルゲル状態で存在し、内層は熱溶融半田１だけが比較的高い温度で流動している。したがって、最表層は、内層が流動しているものの一種の平衡状態を保っている。
【００２１】
まず、図３(a)に示すように、半田付け作業開始時に、熱溶融半田１が円筒型の噴流ノズル３の内部を通って開口された上方に向かって湧き上がってくる。そのとき、熱溶融半田１の最表層の一部又は全部は、半田付け作業の待機中や時間経過に伴い発生した薄い酸化膜１ａが覆った状態となっている。
【００２２】
図３（ｂ）に示すように熱溶融半田１が噴流ノズル３の開口部３ｂまで達し、湧き上がると、溢れた熱溶融はんだ１は噴流ノズル３表面を伝って上部タンク２へ戻る。そのとき、溝３ａがある領域を溢れた熱溶融半田１が通過することで、噴流ノズル３の表面に流れていた流速に部分的な変化が生じ、不均一な流れが生じる。
【００２３】
図３（ｃ）に示すように熱溶融半田１の表面に発生していた酸化膜１ａは噴流ノズル３の表面に発生した不均一な熱溶融半田１の流れによって流れ落ちる。
【００２４】
以上から、図３（ｄ）に示すように半田付け品質に適した新鮮な熱溶融半田１が噴流ノズル３の上面開口部３ｂに発生し、半田付け作業を開始、又は継続できる。
【００２５】
次に熱溶融半田１の流速を部分的に変化させる役目を担う溝３ａの構成について説明する。溝３ａの深さ（Ｄ１）は噴流ノズル３の外側表面より０．５ｍｍ〜３ｍｍ程度刻まれた溝３ａとすることが好ましい。溝３ａの深さ（Ｄ１）は噴流ノズル３の開口径（ｄ１）によって異なり、熱溶融半田１を形成する溶融はんだ材の合金組成によっても異なる。
【００２６】
図４は、この発明の実施の形態１による半田噴流装置の円筒型噴流ノズルの内寸と溝深さとの関係を説明する図である。図４では目安となる噴流ノズル３の内径（ｄ１）と噴流ノズル３の溝３ａの深さ（Ｄ１）との関係をはんだ材の種類（組成）ごとに分けて表示している。一般に共晶半田に比べて鉛フリー系のＳｎ−Ａｇ系及びＳｎ−Ｃｕ系は粘性があるので、例えば、最適な噴流ノズル３の溝深さ（Ｄ１）の適正値下限値に着目すると図５に示すように、はんだ材の粘性が低いほど溝深さ（Ｄ１）は浅くて良く、噴流ノズル３の内径（ｄ１）が大きくなるほど溝深さ（Ｄ１）は深くする必要があることが解かる。なお、噴流ノズル３の外径（ｄ２）−内径（ｄ１）は一定としている。
【００２７】
溝深さ（Ｄ１）の適正値を決める条件としては、溝３ａは噴流ノズル３の表面に２本刻む必要がある。また、上面開口部３ｂを中心にそれぞれの溝３ａは互いに狭角の角度（θ）を保って配置することが好ましい。溝３ａが１個であると点設置となり、酸化膜１ａは安定して流れ落ちない。また、溝３ａが２個の場合であっても、４０度以上の広角で離れている場合には酸化膜１ａは安定して流れ落ちない。溝３ａの長さ（Ｌ１）は、熱溶融半田１の合金組成や噴流ノズル３の開口径（内径）には直接作用せず、１０ｍｍ〜４０ｍｍまでの長さであれば支障がない。１０ｍｍ以下であると酸化膜１ａは安定して流れ落ちない。
【００２８】
また、溝３ａの幅（Ｗ１）は、熱溶融半田１の合金組成や噴流ノズル３の開口径（ｄ１）には直接作用せず１ｍｍ〜２ｍｍ程度で良い。１ｍｍ以下の場合、酸化膜１ａの領域が比較的広がった状態の場合には流れ落ちず、２ｍｍ以上の場合には噴流ノズル３の表面に流れ落ちる熱溶融半田１の表面状態が荒れ、良好な半田付け作業が困難となる場合がある。すなわち、酸化膜１ａの粒径と領域を考慮した細幅（Ｗ１）とすることが好ましい。
【００２９】
以上から細幅の溝３ａを接近させて複数個配置することにより、比較的遠い位置にあるゾルゲル状態の酸化膜１ａを溝３ａ側に引き付け平衡状態を解除させることで酸化膜１ａを取り除く。取り除かれた酸化膜１ａは噴流ノズル３の外側と上部タンク２の外壁４との隙間を通過してから還流し、薄い酸化膜１ａは分散状態となるので再生された酸化膜１ａは熱溶融半田１と見なすことができる。
【００３０】
なお、実施の形態１では溝３ａは２個としたが、互いに最外位置にある２個の溝３ａが狭角関係にあれば、その内側に細幅の溝３ａをさらに付加して配置しても１ｍｍ〜２ｍｍ程度の細幅であれば同様な効果を奏する。
【００３１】
この発明の実施の形態１による半田噴流装置によれば、円筒型の噴流ノズル３の外側表面に２個の溝３ａを狭角にして設けたので、噴流ノズル３表面の酸化膜１ａが電子部品１０の半田付け部位（リード部）１０ａに付着することがないので、半田付け時の品質、信頼性および作業性を向上することができる効果がある。
【００３２】
実施の形態２．
以下、この発明の実施の形態２について図に用いて説明する。図６は、この発明の実施の形態１による半田（はんだ）噴流装置の外観図である。１は棒状半田（はんだ）などを熱で溶融させた液体状の熱溶融半田、２は流動する熱溶融半田１を収納する内部が空洞の円筒形の上部タンク（半田槽）、３０は上部タンク２の内部に収納され、内部が空洞の上部が円錐型（円錐形）で下部が円筒型の噴流ノズル、３０ａは噴流ノズル３０の上部先端に設けられた細長の溝である。３０ｂは噴流ノズル３０の先端の空洞領域を示し、上面開口部（先端部）と呼称する。
【００３３】
４は噴流ノズル３０に近接して設置され、上部タンク２を構成すると共に噴流ノズル３０を適宜固定する上部タンク２の外壁、５は上部タンク２底面の空洞領域の一部に設けられ、噴流ノズル３０の内部に熱溶融半田１を送り込み、噴流ノズル３０の先端の上面開口部３０ｂから熱溶融半田１を噴出させる噴出孔、６は流動する熱溶融半田１を圧送させることで噴出孔５を介して上部タンク２に熱溶融半田１を送り込む下部タンク（半田槽）、７は下部タンク６に設置し、回転するプロペラで下部タンク６の熱溶融半田１の流速を調整する流速調整手段、８は下部タンク６の熱溶融半田１を熱溶融状態に維持する加熱手段、９は熱溶融半田１の流速を調整する流速調整手段７や熱溶融半田１の熱溶融状態を維持する加熱手段８に対して流速管理や温度管理を行う制御部（制御ボックス）である。
【００３４】
１０はリード挿入型部品や表面実装部品などからなる電子部品、１０ａは電子部品１０のそれぞれのリード端子(リード部)であり、パッケージなどから突出したリード端子１０ａと電子部品１０とが固化した熱溶融半田１で電気接続される。１１は電子部品１０を載置し、搬送手段（図示せず）で基材面に亘って搬送方向に相対的に可動するプリント配線板などで構成された基板である。なお、ｄ１は噴流ノズル３０の内径（内寸）を示し、ｄ２は噴流ノズル３０の上部が円錐部分である上面開口部３０ｂの外径（外寸）を示すものとする。図中、図１と同一符号は、同一又は相当部分を示す。
【００３５】
図７は、この発明の実施の形態２による半田噴流装置の噴流ノズルの説明図であり、図７（ａ）は噴流ノズルの外観図、図７（ｂ）は噴流ノズルの平面図である。図７（ａ）において、Ｌ１は噴流ノズル３０に設けられた溝３０ａの長さ（寸法）を示す。図７（ｂ）において、Ｗ１は噴流ノズル３０の溝３０ａの幅、Ｄ１は噴流ノズル３０の溝３０ａの深さ、θは２個配置した溝３０ａ間の噴流ノズル３０の先端内径中心に対する角度である。図中、図１又は図６と同一符号は、同一又は相当部分を示す。
【００３６】
次に動作について図６及び図７を用いて説明する。上部タンク２の内側には、先端（上面）が開口した筒型の噴流ノズル３０が設けられ、この噴流ノズル３０は、上部タンク２から上方に少し突出している。この噴流ノズル３０の外側の表面には溝３０ａが上面開口部３０ｂの縁から下部に向かって噴流ノズル３０の表面に直線的に刻み込まれている。この溝３０ａは、熱溶融半田１が噴流ノズル３０の空洞領域から湧き上がって、溢れだし、その後噴流ノズル３０の外側表面を伝わって上部タンク２に流れ込むとき、熱溶融半田１の流速を部分的に変化させる役目を担う。すなわち、基板１１の表面に載置されたリード部１０ａの半田付け領域の熱溶融半田１の熱溶融状態を不均一にさせることで、熱溶融半田１の表面に発生した熱溶融半田１の不要異物を流れ落とす。このようにして、流動する熱溶融半田１の最表層面で酸化反応が生じ、この反応で生じた熱溶融半田１の表層酸化膜を除去する。
【００３７】
この発明の実施の形態２における円錐型に開口した噴流ノズル３０以外の構成は実施の形態１で説明した半田噴流装置と同一である。また半田噴流装置の熱溶融半田酸化膜の除去手順、円筒型噴流ノズル３０の内寸と溝深さとの関係については、実施の形態１で説明した半田噴流装置と同様であるので説明を省略する。
【００３８】
次に熱溶融半田１の流速を部分的に変化させる役目を担う溝３０ａの構成について説明する。溝３０ａの深さ（Ｄ１）は噴流ノズル３０の外側表面より０．５ｍｍ〜３ｍｍ程度刻まれた溝３０ａとすることが好ましい。溝３０ａの深さ（Ｄ１）は噴流ノズル３０の開口径（ｄ１）によって異なり、熱溶融半田１を形成する溶融はんだ材の合金組成によっても異なる。
【００３９】
溝深さ（Ｄ１）の適正値を決める条件としては、溝３０ａは噴流ノズル３０の表面に２本刻む必要がある。また、開口部３０ｂを中心にそれぞれの溝３０ａは互いに狭角の角度（θ）を保って配置することが好ましい。溝３０ａが１個であると酸化膜１ａは安定して流れ落ちない。また、溝３０ａが２個の場合であっても、４０度以上の広角で離れている場合には酸化膜１ａは安定して流れ落ちない。溝３０ａの長さ（Ｌ１）は、熱溶融半田１の合金組成や噴流ノズル３０の開口径（内径）には直接作用せず、１０ｍｍ〜４０ｍｍまでの長さであれば支障がない。１０ｍｍ以下であると酸化膜１ａは安定して流れ落ちない。
【００４０】
また、溝３０ａの幅（Ｗ１）は、熱溶融半田１の合金組成や噴流ノズル３０の開口径（ｄ１）には直接作用せず１ｍｍ〜２ｍｍ程度で良い。１ｍｍ以下の場合、酸化膜１ａの領域が比較的広がった状態の場合には流れ落ちず、２ｍｍ以上の場合には噴流ノズル３の表面に流れ落ちる熱溶融半田１の表面状態が荒れ、良好な半田付け作業が困難となる場合がある。すなわち、酸化膜１ａの粒径と領域を考慮した細幅（Ｗ１）とすることが好ましい。
【００４１】
以上から細幅の溝３０ａを接近させて複数個配置することにより、比較的遠い位置にあるゾルゲル状態の酸化膜１ａを溝３０ａ側に引き付け平衡状態を解除させることで酸化膜１ａを取り除く。取り除かれた酸化膜１ａは噴流ノズル３０の外側と上部タンク２の外壁４との隙間を通過してから還流し、薄い酸化膜１ａは分散状態となるので再生された酸化膜１ａは熱溶融半田１と見なすことができる。
【００４２】
この発明の実施の形態２による半田噴流装置によれば、上部が円錐型の噴流ノズル３０の外側表面に２個の溝３ａを狭角にして設けたので、噴流ノズル３０表面の酸化膜１ａが電子部品１０の半田付け部位（リード部）１０ａに付着することがないので、半田付け時の品質、信頼性および作業性を向上することができる効果がある。
【００４３】
実施の形態２では、噴流ノズル３０は、上部が円錐状のノズルと下部が円筒上のノズルとを組み合わせて噴流ノズルとしたが、駆動トルクが大きい流速調整手段７や熱容量の大きい加熱手段８を用いることにより、噴流ノズル３０全体を円錐状としても同様な効果を奏する。
【００４４】
実施の形態１及び２では、半田槽は上部タンク２と下部タンク６とに分けて説明したが半田槽２、６は一体化構成しても良くさらに噴流ノズル３、３０を一体化構成に付加しても良い。
【符号の説明】
【００４５】
１・・熱溶融半田  １ａ・・酸化膜  ２・・上部タンク（半田槽）
３・・噴流ノズル  ３ａ・・溝  ３ｂ・・上面開口部（先端部）
４・・外壁  ５・・噴出孔  ６・・下部タンク（半田槽）  ７・・流速調整手段
８・・加熱手段  ９・・制御部  １０・・電子部品  １０ａ・・リード部
１１・・基板（プリント配線板）
３０・・噴流ノズル  ３０ａ・・溝  ３０ｂ・・上面開口部（先端部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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