(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部屋の気圧である室圧を検出する室圧検出手段と、
前記室圧検出手段による検出値が予め設定された設定室圧となるように、給気通路および排気通路を介して前記部屋に対する給排気を行う給排気手段と、
前記給排気手段による給排気の開始過程において、前記給気通路または前記排気通路を閉状態から開状態へ移行させることで前記給気通路または前記排気通路の通気量を変化させる通気量制御手段と、
前記通気量制御手段による前記給気通路または前記排気通路の閉状態から開状態への移行終了までに要する時間を、前記通気量制御手段による通常の開閉所要時間よりも長くなるように調整することで、前記通気量制御手段による通気量の変化速度を制御する変化速度制御手段と、を備え、
前記変化速度制御手段は、前記給排気手段による給排気の開始後、前記給気通路または前記排気通路の開度が前記設定室圧に対応する開度よりも小さく且つ前記室圧を前記設定室圧とは逆方向へ変化させる要因の影響を打ち消し可能な通気量を確保可能な開度である所定の開度に達してから、前記通気量の変化速度制御を開始する、
室圧制御システム。
【請求項２】
前記変化速度制御手段は、前記通気量が予め設定された設定通気量となった場合に、前記通気量変化速度の制御を終了する、
請求項１に記載の室圧制御システム。
【請求項３】
前記給排気手段は、前記給気通路および排気通路を介して複数の部屋に対する給排気を行い、
前記通気量制御手段は、前記複数の部屋の夫々に対して個別に前記給気通路または前記排気通路を閉状態から開状態へ移行させ、
前記変化速度制御手段は、前記複数の部屋の夫々に対する通気量の変化速度を個別に制御し、何れかの部屋に対する通気量が設定通気量に達した場合に、設定通気量に達した部屋に係る通気量変化速度の制御を終了し、設定通気量に達していない部屋に係る通気量変化速度の制御を継続する、
請求項１又は２に記載の室圧制御システム。
【請求項４】
前記通気量制御手段は、前記給気通路または前記排気通路を開閉する弁を有し、前記弁の通電比率を調整することによって前記給気通路または前記排気通路の通気量を変化させる、
請求項１から３の何れか一項に記載の室圧制御システム。
【請求項５】
前記変化速度制御手段は、前記給排気手段による給排気の開始後、前記給気通路または前記排気通路の開度が前記所定の開度に達するまでに要する時間として予め設定された所定の基準時間が経過したときに前記通気量の変化速度制御を開始する、
請求項１から４の何れか一項に記載の室圧制御システム。
【請求項６】
部屋の気圧である室圧を検出する室圧検出手段と、
前記室圧検出手段による検出値が予め設定された設定室圧となるように、給気通路および排気通路を介して前記部屋に対する給排気を行う給排気手段と、
前記給排気手段による給排気の開始過程において、前記給気通路または前記排気通路を閉状態から開状態へ移行させることで前記給気通路または前記排気通路の通気量を変化させる通気量制御手段と、
前記通気量制御手段による前記給気通路または前記排気通路の閉状態から開状態への移行終了までに要する時間を、前記通気量制御手段による通常の開閉所要時間よりも長くなるように調整することで、前記通気量制御手段による通気量の変化速度を制御する変化速度制御手段と、
前記給気通路における通気量と前記排気通路における通気量との差を取得する風量差取得手段と、を備え、
前記変化速度制御手段は、前記給排気手段による給排気の開始後、前記風量差取得手段によって取得された前記通気量の差が、前記給気通路または前記排気通路の開度が前記設定室圧に対応する開度よりも小さく且つ前記室圧を前記設定室圧とは逆方向へ変化させる要因の影響を打ち消し可能な通気量を確保可能な開度である所定の開度に達したと判断される、所定の風量差に達してから、前記通気量の変化速度制御を開始する、
室圧制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、室圧制御システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、清浄な環境、湿度が管理された環境、または有害物の外部への排出を避けるべき環境を必要とする施設（例えば、医薬品工場等）において室圧が不安定となることを防止するために、可変風量給排気ファンのＰＩ制御を行ってパラメータを最適化する方法が用いられている。また、このような施設における給排気開始時に、給気側ダンパの動作速度を緩やかにすることで、給気量の急激な増加を抑制し、室圧の急激な上昇を抑える技術がある（特許文献１を参照）。
【０００３】
また、給気ダンパと高気密ダンパ、排気ダンパと高気密ダンパが夫々一対で設けられた室圧制御装置において、給排気開始時に、給気ダンパの風量設定値を徐々に大きくすることで、給気風量の増加を緩やかにし、室圧の急激な上昇を抑制し、更に、室圧の設定値の高い部屋から順に高気密ダンパと排気ダンパ、および高気密ダンパと給気ダンパを開くことで、室圧設定の低い部屋が室圧設定の高い部屋の室圧を上回ってしまうことを防止する技術がある（特許文献２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４２４２６８４号公報
【特許文献２】特開平１０−１５４０１７号公報
【特許文献３】特開平１０−８３２２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来、医薬品工場等の清浄な環境を必要とする施設において、部屋の気圧（以下、「室圧」とも言う）を、大気圧や給気通路の気圧や排気通路の気圧に対して異なる所定の気圧に保つことで、室内が清浄な空気で満たされた状態を保持する室圧制御技術が用いられている。そして、前述したような清浄な空気が供給される部屋では、部屋内の滅菌や改修等を行うために、部屋に対する給排気を一旦停止したり、再開したりする必要がある。
【０００６】
しかし、従来の室圧制御システムでは、制御対象の部屋と給気通路または排気通路との気圧差や、制御対象の部屋と給気通路または排気通路を介して接続された他の部屋との室圧差、気密ダンパの開閉時間の差、排気側に有害物質を捕集するフィルタが設けられているような場合に、給気ファンよりも静圧の大きな排気ファンが選定される、等の要因によって、給排気開始時に風量が不足し、短時間ではあるが室圧が制御の目標方向と逆方向へ変化してしまう現象が発生していた。図８は、従来の室圧制御において発生する、室圧を陽圧とすることを目標とする給排気の開始後、短時間だけ室圧が陰圧となってしまう現象を示す図である。このような現象は、クロスコンタミネーション（相互汚染）の原因となる可能性もあり、製造環境の管理や生産の効率化の観点から見て好ましいものではない。
【０００７】
本発明は、上記した問題に鑑み、部屋に対する給排気の開始時に、室圧制御の目標値方向への室圧変化を確保することが可能な室圧制御システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、部屋に対する給排気の開始後、給気通路または排気通路の開度が所定の開度
に達するまでは通常の速度で給気通路または排気通路を開き、給気通路または排気通路の開度が所定の開度に達した後に給気通路または排気通路の開閉所要時間を調整することで、部屋に対する給排気の開始時に、室圧制御の目標値方向への室圧変化を確保することが可能な室圧制御システムを提供することを可能とした。
【０００９】
より具体的には、本発明は、部屋の気圧である室圧を検出する室圧検出手段と、前記室圧検出手段による検出値が予め設定された設定室圧となるように、給気通路および排気通路を介して前記部屋に対する給排気を行う給排気手段と、前記給排気手段による給排気の開始過程において、前記給気通路または前記排気通路を閉状態から開状態へ移行させることで前記給気通路または前記排気通路の通気量を変化させる通気量制御手段と、前記通気量制御手段による前記給気通路または前記排気通路の閉状態から開状態への移行終了までに要する時間を、前記通気量制御手段による通常の開閉所要時間よりも長くなるように調整することで、前記通気量制御手段による通気量の変化速度を制御する変化速度制御手段と、を備え、前記変化速度制御手段は、前記給排気手段による給排気の開始後、前記給気通路または前記排気通路の開度が所定の開度に達してから、前記通気量の変化速度制御を開始する、室圧制御システムである。
【００１０】
ここで、本発明における室圧制御の対象となる部屋は、例えば、医薬品工場等の清浄な環境を必要とする施設の部屋（クリーンルーム）等である。本発明に係る室圧制御システムでは、このような部屋に対して、外部または空調機等から空気の供給を受けるための給気通路、および外部または空調機等へ空気を排出する排気通路が設けられており、室内の気圧（以下、「室圧」と称する）が設定室圧となるように、給排気手段による給排気が行われる。
【００１１】
ここで、給排気が停止されていた部屋に対する給排気を開始または再開するにあたって、ダンパや弁等を用いて閉状態となっていた給気通路または排気通路（以下、まとめて給排気通路ともいう。）が開状態へ移行される。このとき、変化速度制御手段によって給排気通路の閉状態から開状態への移行終了までに要する時間を調整する（例えば、所要時間を通常の開閉よりも長くすることで、通気量の変化を緩やかにする）ことで、給排気の開始過程において室圧が設定室圧を外れる等して乱れることを防止することが出来る。
【００１２】
なお、通気量制御手段としては、例えば、給排気通路を一定の速度で開閉することで通気量を変化させるダンパや弁等が用いられる。通気量制御手段として給排気通路を一定の速度で開閉する装置が用いられる場合、モータ等の駆動手段の駆動をダンパや弁における羽根に伝達するギアのギア比や、前記駆動手段の通電比率（通電時間）を調整することによって、通気量の変化速度を制御することが可能である。
【００１３】
しかし、上記説明した通り、制御対象の部屋と給排気通路との気圧差や、制御対象の部屋と給排気通路を介して接続された他の部屋との室圧差、気密ダンパの開閉時間の差、等の要因によって、給排気開始時に、短時間ではあるが室圧が制御の目標方向（設定室圧の方向）と逆方向へ変化してしまう現象（例えば、設定室圧が陽圧であるにも拘らず、給排気開始直後に室圧が陰圧に変化してしまう現象）が発生することがあった。
【００１４】
そこで、本発明では、給排気手段による給排気の開始後、通気量制御手段によって制御される給排気通路の開度が所定の開度に達してから、変化速度制御手段による変化速度制御を開始する。換言すると、本発明では、給排気手段による給排気の開始後、給排気通路の開度が所定の開度に達するまで、変化速度制御手段による変化速度制御を開始しない。このようにすることで、本発明では、設定室圧の方向へ室圧を調整するために十分な通気量を、給排気の開始後速やかに確保し、室圧が設定室圧の方向と逆方向へ変化してしまう現象の発生を防止することとした。
【００１５】
ここで、本発明において、前記所定の開度は、前記室圧を前記設定室圧とは逆方向へ変化させる要因の影響を打ち消し可能な通気量を確保可能な開度であってもよい。室圧を設定室圧とは逆方向へ変化させる要因の影響を打ち消し可能な通気量を確保可能な開度とは、例えば、設定室圧が陽圧である場合、図８に示された給排気開始直後の陰圧部分を上回る通気量を確保可能な開度である。給排気の開始後、このような開度に達するまで変化速度制御を行わないことで、室圧を前記設定室圧とは逆方向へ変化させる要因の影響を打ち消し可能な通気量を速やかに確保し、上記説明した現象の発生を効果的に防止することが出来る。
【００１６】
また、本発明において、前記変化速度制御手段は、前記通気量が予め設定された設定通気量となった場合に、前記通気量変化速度の制御を終了してもよい。給排気の開始後、部屋に対する通気量が予め設定された通気量となった場合に、通気量変化速度の制御を終了させることで、以降の室圧の制御を、給排気手段を中心とする制御、即ち、対象となる部屋の室圧に追従して給排気量が調整される制御に移行させることが出来る。
【００１７】
また、本発明において、前記給排気手段は、前記給気通路および排気通路を介して複数の部屋に対する給排気を行い、前記通気量制御手段は、前記複数の部屋の夫々に対して個別に前記給気通路または前記排気通路を閉状態から開状態へ移行させ、前記変化速度制御手段は、前記複数の部屋の夫々に対する通気量の変化速度を個別に制御し、何れかの部屋に対する通気量が設定通気量に達した場合に、設定通気量に達した部屋に係る通気量変化速度の制御を終了し、設定通気量に達していない部屋に係る通気量変化速度の制御を継続してもよい。
【００１８】
清浄な環境を必要とする製薬工場等の施設では、清浄な空気で満たされる複数の部屋が形成される。これらの部屋は、一般に、給気通路および排気通路に対して複数の部屋が並列に接続されることで形成されているが、その部屋で行われる工程やその部屋の用途に応じて、部屋毎に必要とされる清浄度、ひいては要求される室圧が異なる。このような複数の部屋において室圧が制御されている場合、部屋ごとに室圧が維持されることが好ましい。
【００１９】
そして、複数の部屋の室圧が制御される場合、室圧または風量の設定値、部屋の容積と部屋への給排気量の収支により、設定値に達するために必要な時間が異なる。ある部屋が先に設定通気量に達したことで、他の部屋に対する通気量変化速度制御を終了させた場合、風量の急激な変化が生じる虞がある。そこで、本発明では、複数の部屋の室圧が陽圧に制御される場合、ある部屋が先に設定通気量に達した場合でも、未だ風量が不足している部屋への給排気については、通気量変化速度制御を継続して行うこととした。また、本発明では、複数の部屋の室圧が陰圧に制御される場合、ある部屋が先に設定通気量に達した場合でも、風量が過剰な部屋への給排気については、通気量変化速度制御を継続して行うこととしている。なお、先に設定通気量に達した部屋については、給排気手段による通常の給排気量制御で室圧を設定室圧に維持することが可能であるため、通気量の変化速度制御を終了させる。
【００２０】
本発明によれば、共通の給気通路および排気通路を介して接続された複数の部屋のうち、何れかの部屋の室圧が設定通気量に達した場合にも、設定通気量に達していない部屋については、通気量変化速度の制御を継続することで、一部の部屋の通気量変化速度制御の終了の影響を受けて他の部屋の室圧が乱れることを防止し、結果として設定通気量および設定室圧に到達するまでの時間を短縮することが可能となる。なお、本発明は、製薬工場や半導体の製造工場、低露点室、原子力関連施設のような、陽圧、陰圧を問わず室圧の制御を要するあらゆる分野の施設に適用される。
【００２１】
また、本発明は、変化速度制御を開始する契機として、上記説明した、所定の開度に達することを条件とする方法に代えて、給排気の風量差が所定の風量差となったことを条件とする方法を採用してもよい。即ち、本発明は、部屋の気圧である室圧を検出する室圧検出手段と、前記室圧検出手段による検出値が予め設定された設定室圧となるように、給気通路および排気通路を介して前記部屋に対する給排気を行う給排気手段と、前記給排気手段による給排気の開始過程において、前記給気通路または前記排気通路を閉状態から開状態へ移行させることで前記給気通路または前記排気通路の通気量を変化させる通気量制御手段と、前記通気量制御手段による前記給気通路または前記排気通路の閉状態から開状態への移行終了までに要する時間を、前記通気量制御手段による通常の開閉所要時間よりも長くなるように調整することで、前記通気量制御手段による通気量の変化速度を制御する変化速度制御手段と、前記給気通路における通気量と前記排気通路における通気量との差を取得する風量差取得手段と、を備え、前記変化速度制御手段は、前記給排気手段による給排気の開始後、前記風量差取得手段によって取得された前記通気量の差が、所定の風量差に達してから、前記通気量の変化速度制御を開始する、室圧制御システムであってもよい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、部屋に対する給排気の開始時に、室圧制御の目標値方向への室圧変化を確保することが可能な室圧制御システムを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】実施形態に係る室圧制御システムの構成を示す図である。
【図２】実施形態における給排気開始処理の流れを示すフローチャートである。
【図３】実施形態に係る室圧制御システムにおいて給排気開始処理を行った場合の、ＶＳＴ弁の開度、対象区画の風量および室圧の関係を示す図である。
【図４】実施形態に係る室圧制御システムにおいて、複数の区画に対して給排気開始処理を行った場合の、ＶＳＴ弁の開度と対象区画の室圧との関係を、区画毎に示す図である。
【図５】実施形態における、タイマを用いた給排気開始処理の流れを示すフローチャートである。
【図６】実施形態における、給排気の風量差を用いた給排気開始処理の流れを示すフローチャートである。
【図７】実施形態に係る室圧制御システムの構成を示す図である。
【図８】従来の室圧制御において発生する、室圧を陽圧とすることを目標とする給排気の開始後、短時間だけ室圧が陰圧となってしまう現象を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
＜第一の実施の形態＞
本発明の一実施の形態として、給気量に対応して排気量を制御して室圧を制御するシステムを図１に示す。図１は、本実施形態に係る室圧制御システムの構成を示す図である。
【００２５】
本実施の形態における室圧制御システムは、給気通路１０１、１０２のいずれかに接続され、排気通路１０３、１０４（還気路として機能する）のいずれかに接続されている複数の部屋であるＡ区画からＦ区画の、それぞれの区画（本発明の「部屋」に相当）の気圧を検出する室圧検出手段である区画内差圧発信器１と、それぞれの区画内差圧発信器１による検出値が設定値に保たれるように各区画から排出される空気の量を制御する給排気手段である可変風量制御弁（ＶＡＶ弁）２と、各区画への給気の停止過程又は開始過程に各区画への給気量を変化させる通気量制御手段である可変ストローク時間制御弁（ＶＳＴ弁）３と、ＶＳＴ弁を制御する変化速度制御手段であるＶＳＴ制御部（図示は省略する）と
、を有する。
【００２６】
給気通路１０１、１０２は、給気通路１００から分岐している通路である。給気通路１００には、例えば冷却コイル、加熱コイル及びファンから構成されるトランジスターインバータ駆動の空調機１０と、空気浄化手段の一種である中性能フィルタ１１と、給気通路１００の気圧を検出する気圧検出手段である風路設置の差圧発信器１２と、給気通路１００の給気量を所定の流量に維持する一定風量弁（ＣＡＶ弁）１３とが設けられている。
【００２７】
給気通路１０１は、風路設置の差圧発信器１２とＣＡＶ弁１３との間の給気通路１００から分岐している給気通路であって、Ａ区画からＥ区画の五つの区画を並列に接続する給気通路である。給気通路１０１には、給気通路１０１の給気量を所定の流量に維持するＣＡＶ弁１４と、給気通路１０１を気密に遮断することが可能な高気密ダンパ１５と、Ａ区画からＥ区画のそれぞれの区画に対応して設けられている五つのＶＳＴ弁３と、Ａ区画からＥ区画のそれぞれの区画に対応して各区画の吹き出し口を構成する五つの高性能フィルタ付き給気ユニット１６とが設けられている。
【００２８】
給気通路１０２は、給気通路１０１と同様に、風路設置の差圧発信器１２とＣＡＶ弁１３との間の給気通路１００から分岐している給気通路であって、Ｆ区画に接続されている給気通路である。給気通路１０２には、給気通路１０２の給気量を所定の流量に維持するＣＡＶ弁１７と、給気通路１０２を気密に遮断することが可能な高気密ダンパ１８と、ＶＳＴ弁３と、Ｆ区画の吹き出し口を構成する高性能フィルタ付き給気ユニット１９とが設けられている。
【００２９】
排気通路１０３は、Ａ区画、Ｂ区画、Ｃ区画、及びＦ区画の四つの区画を並列に接続する排気通路である。排気通路１０３には、Ａ区画の吸い込み口を構成する室内設置型のフィルタ付き排気ユニット２０と、他の三つの各区画のそれぞれの吸い込み口を構成する天井設置型のフィルタ付き排気ユニット２１と、四つの各区画に対応して設けられているＶＡＶ弁２と、排気通路１０３を気密に遮断することが可能な高気密ダンパ２２と、排気ファン２３とが設けられている。
【００３０】
排気通路１０４は、Ｄ区画及びＥ区画の二つの区画を並列に接続する排気通路であり、空調機１０の給気側に接続され、これらの区画の排気を空調機１０に還気する排気通路である。排気通路１０４には、各区画のそれぞれの吸い込み口を構成する室内設置型のフィルタ付き排気ユニット２４と、各区画に対応して設けられているＶＡＶ弁２と、排気通路１０４を気密に遮断することが可能な高気密ダンパ２５と、還気ファン２６とが設けられている。
【００３１】
なお、空調機１０の給気側には、外気を供給するための外気供給通路１０５が接続されている。また、排気ファン２３及び還気ファン２６は、インバータを有さず、定風量で運転する送風手段である。
【００３２】
室圧を設定室圧に制御するに際し、対象室と室外との差圧が、制御用のパラメータとして用いられることが多い。室外圧力の計測対象としては、ピット内等に設けられた導管において測定された大気圧や、風路において測定された気圧等を用いることが出来る。本実施形態では、室圧と、対象室に接続される風路（ここでは給気通路１００）の気圧との差圧が用いられる。風路設置の差圧発信器１２は、給気通路１００の気圧を検出し、検出値を電気信号として区画内差圧発信器１に発信する機器である。区画内差圧発信器１は、区画の室圧を検出し、風路設置の差圧発信器１２からの電気信号を受けて、給気通路１００の気圧と区画の室圧との差圧に対応する電気信号をＶＡＶ弁２に発信する機器である。なお、風路設置の差圧発信器１２は、給気通路１００の気圧の検出値を電気信号として空調
機１０にも発信する。
【００３３】
ＶＡＶ弁２は、区画内差圧発信器１から送られる、差圧に対応する電気信号に応じて自動的に風量を調節する可変風量制御弁である。ＶＡＶ弁２は、バタフライ弁と、このバタフライ弁の羽根を駆動させるモータと、このモータの回転駆動を前記バタフライ弁に伝達するギアと、前記バタフライ弁の開度を前記電気信号に応じて制御するフィードバック制御手段とから構成されている。前記モータは、モータの回転軸が９０度回転するのに要する時間は例えば０．３秒程度、前記ギアのギア比は１００分の１程度である。この場合、ＶＡＶ弁２の、前記バタフライ弁が９０度回転するのに要する時間（全開から全閉までの最短時間、以下「ストローク時間」とも言う）は、３０秒程度に設定されている。
【００３４】
ＶＳＴ弁３は、給気の停止過程又は開始過程において、給気量を所定の速度で変化させる可変ストローク時間制御弁である。ＶＳＴ弁３は、バタフライ弁と、このバタフライ弁の羽根を駆動するモータと、このモータの回転駆動を前記バタフライ弁に伝達するギアと、前記モータの通電比率を制御するＶＳＴ制御部とから構成されている。即ち、ＶＳＴ弁３は、実際には、ＶＳＴ制御されるＣＡＶである。前記モータは、モータの回転軸が９０度回転するのに要する時間が例えば０．３秒程度、前記ギアのギア比は６００分の１程度である。
【００３５】
前記ＶＳＴ制御部は、両端に電圧が加えられる抵抗を接触移動する摺動子の位置に比例した電圧を出力するポテンショメータと、ポテンショメータの抵抗値に比例してモータへの通電とその遮断とを一定のパルス間隔で交互に繰り返す操作信号を発信する電力スイッチング素子と、前記操作信号に応じてモータへの通電とその遮断とを操作するトランジスタリレーとによって構成されている。
【００３６】
この場合、ＶＳＴ弁３のストローク時間は、通電比率が１００％の時は１８０秒程度であり、通電比率が小さくなると長くなり、例えば通電比率が１０％の時では１８００秒程度である。このように、ＶＳＴ弁３は、モータへの通電とその遮断によるモータの通電比率を適宜調整することにより、制御時における全開から全閉まで又は全閉から全開までの所要時間を１８０秒以上の所望の時間に制御することが可能である。
【００３７】
ＣＡＶ弁１３、１４、１７は、高性能フィルタ付き給気ユニット１６、１９に備えられている高性能フィルタの経時的な目詰まりによる圧力損失の増加が原因で低下する給気量に対応して給気通路の給気量を増加させ、圧力損失の増加による給気量の低下を補償し、所定の給気量を維持する一定風量弁である。高気密ダンパ１５、１８、２２、２５は、ストローク時間が２０〜３０秒程度のダンパである。高性能フィルタ付き給気ユニット１６、１９及び高性能フィルタ付き排気ユニット２０、２１、２４は、空気浄化手段である高性能フィルタが備え付けられているユニットである。
【００３８】
本実施の形態の室圧制御システムの作動状態を説明する。まず、所定の流量の空気が各区画に供給されている定常状態におけるシステムの作動状態を説明する。
【００３９】
本実施の形態では、Ａ区画からＦ区画は、図示するように区画の容積が異なる。区画の容積は、例えばその区画での作業に応じて設定される。これらの区画のそれぞれは、必要とされる清浄度が隣接する区画に対して異なる区画であり、この必要とされる清浄度に応じて各区画の室圧が設定されている。各区画の室圧の設定値は、各区画と給気通路１００との差圧によって定められている。本実施の形態では、Ａ区画の室圧の設定値は２０Ｐａであり、Ｂ区画の室圧の設定値は０Ｐａであり、Ｃ区画の室圧の設定値は１０Ｐａであり、Ｄ区画の室圧の設定値は２０Ｐａであり、Ｅ区画の室圧の設定値は４０Ｐａであり、Ｆ区画の室圧の設定値は２０Ｐａである。本実施の形態の定常状態の運転では、高気密ダン
パ１５、１８、２２、２５、及びＶＳＴ弁３は全開となっている。
【００４０】
外気供給通路１０５から外気が空調機１０に供給される。また、空調機１０には、後述する排気通路１０４から還気が供給される。空調機１０に供給された空気は、温度と湿度が調節され、中性能フィルタ１１に送られる。中性能フィルタ１１では、空気中から塵埃が除去される。
【００４１】
給気通路１００における給気量は、風路設置の差圧発信器１２による検出値が所定の値を維持するように、空調機１０におけるトランジスターインバータで電源周波数を制御し、空調機１０の回転数が制御されることにより、決定される。
【００４２】
温度と湿度が調節され塵埃が除去された給気通路１００の清浄空気は、ＣＡＶ弁１３、１４、１７に送られる。ＣＡＶ弁１３は、下流側に接続される他の区画や低露点空気製造装置等に必要な所定の流量の清浄空気を通す。ＣＡＶ弁１４は、Ａ区画からＥ区画の室圧を維持するのに必要とされる所定の流量の清浄空気を給気通路１０１に供給する。ＣＡＶ弁１７は、Ｆ区画の室圧を維持するのに必要とされる所定の流量の清浄空気を給気通路１０２に供給する。
【００４３】
このように、空調機１０による給気通路１００の給気量の制御、及び各ＣＡＶ弁による給気量の制御によって、Ａ区画からＦ区画の各区画には、室圧の設定値を維持するのに十分な流量の空気が常時供給される。
【００４４】
給気通路１０１に供給された清浄空気は、高性能フィルタ付き給気ユニット１６の高性能フィルタを通って、Ａ区画からＥ区画の各区画に供給される。このように、Ａ区画からＥ区画の各区画には、所定の流量の清浄空気が給気通路１０１から供給される。
【００４５】
同様に、給気通路１０２に供給された清浄空気は、高性能フィルタ付き給気ユニット１９の高性能フィルタを通って、Ｆ区画に供給される。このように、Ｆ区画には、所定の流量の清浄空気が給気通路１０２から供給される。
【００４６】
区画内差圧発信器１は、各区画の室圧を検出し、風路設置の差圧発信器１２の検出値との差に対応する電気信号をＶＡＶ弁２に送信する。ＶＡＶ弁２は、室圧と給気通路１００の気圧との差圧の偏差に対応する電気信号を受信して、検出値から求められた差圧が設定値になるように、前記バタフライ弁の操作量をＰＩＤ動作によって求め、排気量を制御する。
【００４７】
このようなＶＡＶ弁２の排気量の制御により、Ａ区画からＥ区画の各区画では、各区画の室圧が所望の値に保たれるように、各区画への給気量に応じた量の空気が、高性能フィルタ付き排気ユニット２０、２１、２４の高性能フィルタを介して各区画から排出される。このようにして、Ａ区画からＥ区画の各区画の室圧は設定値に対応して一定に維持されている。
【００４８】
同様に、このようなＶＡＶ弁２の排気量の制御により、Ｆ区画では、Ｆ区画の室圧が所望の値に保たれるように、Ｆ区画への給気量に応じた量の空気が、高性能フィルタ付き排気ユニット２１の高性能フィルタを介してＦ区画から排出される。このようにして、Ｆ区画の室圧は設定値に対応して一定に維持されている。
【００４９】
なお、ＶＡＶ弁２の制御周期、すなわち、前記電気信号がＶＡＶ弁２に入力され、設定値との制御偏差が求められ、ＶＡＶ弁２の操作量が求められ、ＶＡＶ弁２の操作が行われ、再び前記電気信号がＶＡＶ弁２に入力されるまでの時間は、約３００ミリ秒である。
【００５０】
Ａ区画、Ｂ区画、Ｃ区画、及びＦ区画から排出された空気は、排気通路１０３を通り、排気ファン２３から外気に放出される。Ｄ区画及びＥ区画から排出された空気は、排気通路１０４を通り、還気ファン２６から空調機１０に送られる。還気ファン２６から空調機１０に送られた還気は、給気用の清浄空気に再利用される。
【００５１】
本実施の形態のシステムでは、外気供給通路１０５からの外気は、還気量の変化を補償し、給気量を担保するために取り入れられる。最低外気供給量は、還気の変化量に応じて設定されるが、還気の変化量は、予め設定することができるので、以下に説明する給気の停止過程及び開始過程においても、本実施の形態では最低外気供給量は確保される。
【００５２】
次に、所望の区画の改修や滅菌等の処置を行うために、定常状態から所望の区画への給気を停止するための本実施の形態のシステムの作動状態を説明する。なお、ＶＳＴ弁３には、ＶＡＶ弁の制御動作に影響を与えないストローク時間が設定される。ＶＳＴ弁３のストローク時間は、各区画の容積や気密性に応じて、ＶＳＴ弁３ごとに異なる時間に設定されていても良いし、全てのＶＳＴ弁３について、最も遅いストローク時間を要する区画に対応するＶＳＴ弁３のストローク時間に設定されていても良い。
【００５３】
ＶＳＴ弁３は、前述したように、定常状態では全開状態で保持されている。所望の区画での改修又は滅菌等の処置を行おうとする場合では、対象となる区画と給気通路を同じくするＶＳＴ弁３を一括して、全開から全閉に操作する。この操作が行われるＶＳＴ弁３は、設定されたストローク時間に応じて、ＶＡＶ弁２のストローク時間に比べてゆっくりとした速度で閉じる。
【００５４】
ＶＳＴ弁３が閉じている間、給気通路１０１、１０２の給気量は変わらないが、このＶＳＴ弁３に対応する区画への給気量は低下し、室圧の検出値も低下する。閉じているＶＳＴ弁３に対応するＶＡＶ弁２は、前述した検出値の低下に応じて、室圧が設定値に基づいて一定に維持されるように、排気量が低下する方向に作動する。
【００５５】
ＶＳＴ弁３は、前述したストローク時間でゆっくりと作動することから、ＶＡＶ弁２の一制御周期の間に変化する区画への給気量の変化量が小さく、この給気量の変化に応じて変化する室圧の低下も小さい。したがって、ＶＡＶ弁２の一制御周期の間には、室圧は、ＶＡＶ弁２の操作のみによって設定値への回復が可能な程度を超えて変化することはない。したがって、ＶＳＴ弁３が全閉するまで、このＶＳＴ弁３に対応する区画の室圧は一定に維持される。
【００５６】
ＶＳＴ弁３が全閉したことを確認したら、対応する高気密ダンパを全閉に操作し、対象となる区画を完全に遮断する。
【００５７】
図２は、本実施形態における給排気開始処理の流れを示すフローチャートである。本フローチャートに示された処理は、上記説明した給気停止の後、改修、滅菌等の処置の終了を受けて、各区画を再び設定室圧とするために行われる。なお、本フローチャートに示された処理には、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、その他の具体的な処理手法や処理順序が採用されてもよい。
【００５８】
ステップＳ１０１からステップＳ１０３では、各区画に対する給排気が開始され、ＶＳＴ弁３が、所定の開度に達するまで、ＶＳＴ制御が行われない通常の速度で開かれる。給排気開始処理は、対象区画に対応する高気密ダンパが全閉から全開に操作されることで開始される（ステップＳ１０１）。そして、高気密ダンパの開放によって給排気が開始されると、ＶＳＴ弁３が全閉状態から全開状態に向けて、ＶＳＴ弁のＣＡＶのモータへの電源
が連続的にＯＮにされる（即ち、通電比率１００％で動作される）ことで、ＶＳＴ制御が施されていない通常の速度で開き始める（ステップＳ１０２）。
【００５９】
通常の速度での開弁は、ＶＳＴ弁３の開度が所定の開度に達するまで継続され、ＶＳＴ弁３の開度が所定の開度に達すると、ＶＳＴ制御を開始すべく、処理はステップＳ１０４へ進む（ステップＳ１０３）。なお、本実施形態では、運用前試験の結果、対象区画の室圧を設定室圧とは逆方向へ変化させる要因の影響を打ち消すことが出来る通気量（風量）を確保可能であると判断された開度が、所定の開度として設定される。例えば、開度としては、１０％から２０％までの開度が設定される。また、ＶＳＴ弁３の開度は、開度計を用いて計測されてもよい。ここで用いられる開度計は、市販の自動ダンパに付属品として設けられているものであってもよい。その後、処理はステップＳ１０４へ進む。
【００６０】
図３は、本実施形態に係る、設定室圧が陽圧である室圧制御システムにおいて給排気開始処理を行った場合の、ＶＳＴ弁３の開度、対象区画の風量および室圧の関係を示す図である。図３に示したグラフによれば、給排気開始処理が開始された直後、所定の開度に達するまでＶＳＴ制御を行わないことで、図８に示した従来技術のように、処理開始直後に室圧が陰圧となってしまう現象を回避できることが分かる。
【００６１】
なお、本実施形態では、ＶＳＴ制御の開始タイミング、即ちＶＳＴ制御が開始されるＶＳＴ弁３の所定の開度は、対象区画毎に設置されたＶＳＴ弁３毎に、予め、制御装置のパラメータとして、制御装置に接続された記憶装置に保持されている。このようにすることで、設定室圧を設定するのみで、安定した室圧制御を行うことが出来る。
【００６２】
ステップＳ１０４からステップＳ１０６では、ＶＳＴ制御が開始され、対象区画の室圧および対象区画への通気量（風量）が設定値（設定室圧および設定通気量）に達するまで、ＶＳＴ制御が継続される。ＶＳＴ制御が開始されると、ＶＳＴ弁３は、設定されたストローク時間に応じて、ＶＡＶ弁２のストローク時間に比べてゆっくりとした速度で開く（ステップＳ１０４）。ＶＳＴ弁３の閉操作時と同様に、ＶＡＶ弁２の一制御周期の間には、室圧は、ＶＡＶ弁２の操作のみによって設定室圧への回復が可能な程度しか変化しない。したがって、このＶＳＴ弁３に対応する区画の室圧は、ＶＳＴ弁３が設けられた給気通路の通気量が設定通気量に達する前に（即ち、開度が１００％となる前に）室圧が設定室圧に達した場合であっても、一定（例えば、設定室圧）に維持される。ＶＳＴ制御が開始されると、対象区画への室圧および通気量が取得および監視される（ステップＳ１０５）。そして、対象区画への室圧および通気量が、予め設定された設定値に達すると、ＶＳＴ制御は解除される（ステップＳ１０６）。その後、処理はステップＳ１０７へ進む。
【００６３】
なお、本実施形態において、「通気量が設定通気量に達する」とは、通気量が所定の通気量の範囲内となることを含むものとする。本実施形態においてＶＳＴ弁に用いられるＣＡＶでは、基準となる通気量の±５％が不感帯であるため、通気量が、設定された通気量を中心とする±５％の範囲内に達した場合に、設定通気量に達したと判断し、ＶＳＴ制御が解除される。
【００６４】
ステップＳ１０７およびステップＳ１０８では、ＶＳＴ制御の延長要否が判定され、ＶＳＴ制御の延長が必要である場合に、ＶＳＴ制御が延長される。ステップＳ１０６において説明したＶＳＴ制御の解除が行われると、室圧および通気量が設定値に達していない対象区画の有無が判定される（ステップＳ１０７）。ここで、全ての対象区画が設定値に達している場合、ＶＳＴ制御を完全に終了させた場合でも、上記説明した、定常状態における室圧制御システムの作動状態で、対象区画の室圧を維持することが可能である。
【００６５】
しかし、室圧および通気量が設定値に達していない対象区画が残っている場合、一律に
全ての区画に対するＶＳＴ制御を終了してしまうと、風量の急激な増加等が生じてしまう虞がある。
【００６６】
図４は、本実施形態に係る室圧制御システムにおいて、複数の区画に対して給排気開始処理を行った場合の、ＶＳＴ弁３の開度と対象区画の室圧との関係を、区画毎に示す図である。図４に示したグラフによれば、給排気開始処理が開始された後、一部の区画について通気量が設定通気量に達し、ＶＳＴ制御が解除されると、通気量が設定通気量に達していない区画において、室圧の乱れ（通気量の急激な増加）が発生する可能性があることが分かる（図４において破線で示したグラフを参照）。
【００６７】
このような問題を防止するため、本実施形態に係る室圧制御システムでは、ステップＳ１０７において設定値に達していない対象区画が有ると判定されると、設定値に達していない対象区画に対するＶＳＴ制御が延長される（ステップＳ１０８）。なお、設定値に達した区画については、ＶＳＴ制御は終了される。その後、処理はステップＳ１０５へ進み、全ての対象区画が設定値に到達するまで、ＶＳＴ制御が延長される。
【００６８】
上記説明した給排気開始処理によれば、複数の区画を対象とした室圧制御での給排気の開始時に、設定室圧が陽圧であれば室圧を陰圧にすることなく、設定室圧が陰圧であれば室圧を陽圧にすることなく、且つ、給気通路１０１、１０２または排気通路１０３、１０４で接続された他の区画との室圧の関係が逆転することなく、室圧を設定室圧まで制御することが可能である。更に、上記説明した給排気開始処理によれば、設定値に達していない区画についてＶＳＴ制御が延長されるため、室圧制御システムの運転モードの変更（給排気の開始／停止）に要する時間を短縮することが出来る（図４を参照）。
【００６９】
なお、図２を用いて説明した給排気開始処理では、室圧と風量の値からＶＳＴ制御の開始、解除等の制御契機を判断していたが、このような方法に代えて、タイマを用いたＶＳＴ制御の開始、解除等の制御を行ってもよい。
【００７０】
図５は、本実施形態における、タイマを用いた給排気開始処理の流れを示すフローチャートである。なお、本フローチャートに示された処理には、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、その他の具体的な処理手法や処理順序が採用されてもよい。
【００７１】
ステップＳ２０１からステップＳ２０３では、各区画に対する給排気が開始され、ＶＳＴ弁３が、所定の開度に達するまで、ＶＳＴ制御が行われない通常の速度で開かれる。ステップＳ２０１およびステップＳ２０２に示した処理の具体的な内容は、図２を用いて説明したステップＳ１０１およびステップＳ１０２の処理と概略同様であるため、説明を省略する。
【００７２】
通常の速度での開弁は、ＶＳＴ弁３の開度が所定の開度に達するまで継続され、ＶＳＴ弁３の開度が所定の開度に達すると、ＶＳＴ制御を開始すべく、処理はステップＳ２０４へ進む（ステップＳ２０３）。ここでは、図２を用いて説明したステップＳ１０３の処理と異なり、ＶＳＴ弁３の開度は、実際にセンサ等を用いて取得されたＶＳＴ弁３の開度ではなく、ＶＳＴ弁３の開放が開始されてからの経過時間を監視することによって、判断される。即ち、ＶＳＴ弁３の開放が開始されてからの経過時間が、予め設定されたＶＳＴ遅延時間に達した場合に、ＶＳＴ弁３の開度が所定の開度に達したと判断され、ＶＳＴ制御が開始される。
【００７３】
ＶＳＴ遅延時間は、ＶＳＴ弁３の開度と経過時間との関係において、ＶＳＴ弁３の開度が対象区画の室圧を設定室圧とは逆方向へ変化させる要因の影響を打ち消すことが出来る通気量（風量）を確保可能な開度となる時間であり、システムに予め設定される。ＶＳＴ
弁３の開度と経過時間との関係は、実運転の前に行われる試運転調整段階において室圧や風量等の時間変動を逐次監視することで取得される。ＶＳＴ遅延時間は、このようにして取得されたＶＳＴ弁３の開度と経過時間との関係に基づいて決定され、システムに予め設定される。給排気開始処理の開始後ＶＳＴ遅延時間が経過すると、ＶＳＴ弁３の開度が所定の開度に達したと判断され、処理はステップＳ２０４へ進む。
【００７４】
なお、本実施形態においても、ＶＳＴ制御の開始タイミング、即ちＶＳＴ遅延時間は、対象区画毎に設置されたＶＳＴ弁３毎に、予め、制御装置のパラメータとして、制御装置に接続された記憶装置に保持されている。このようにすることで、設定室圧を設定するのみで、安定した室圧制御を行うことが出来る。
【００７５】
ステップＳ２０４からステップＳ２０６では、ＶＳＴ制御が開始され、対象区画の室圧および対象区画への通気量（風量）が設定値に達するまで、ＶＳＴ制御が継続される。ＶＳＴ制御の具体的な内容については、図２に示したステップＳ１０４等において説明した通りであるため、説明を省略する。ＶＳＴ制御が開始されると、ＶＳＴ制御の開始からの経過時間または給排気開始処理の開始からの経過時間が監視される（ステップＳ２０５）。ここでは、図２を用いて説明したステップＳ１０５の処理と異なり、対象区画の室圧および通気量（風量）は、実際にセンサ等を用いて取得された室圧および通気量ではなく、ＶＳＴ制御が開始されてからの経過時間または給排気開始処理が開始されてからの経過時間を監視することによって、判断される。即ち、ＶＳＴ制御が開始されてからの経過時間または給排気開始処理が開始されてからの経過時間が、予め設定されたＶＳＴ解除時間に達した場合に、対象区画の室圧および通気量が設定値に達したと判断され、ＶＳＴ制御が解除される。
【００７６】
ＶＳＴ解除時間は、対象区画の室圧および通気量と経過時間との関係において、室圧が設定室圧に達し且つ通気量が適切な通気量となる時間であり、システムに予め設定される。ＶＳＴ解除時間が設定されることで、例えば、設定室圧が陽圧である場合に、給気通路における通気量が所定値となり、対象区画への通気量がオーバーシュートすることを防止することが出来る。対象区画の室圧および通気量と経過時間との関係は、上記説明したＶＳＴ遅延時間と同様、実運転の前に行われる試運転調整段階において室圧や風量等の時間変動を逐次監視することで取得される。ＶＳＴ解除時間は、このようにして取得された、対象区画の室圧および通気量と経過時間との関係に基づいて決定され、システムに予め設定される。ＶＳＴ解除時間が経過すると、対象区画への室圧および通気量が予め設定された設定値に達したと判断され、ＶＳＴ制御は解除される（ステップＳ２０６）。その後、処理はステップＳ２０７へ進む。
【００７７】
ステップＳ２０７およびステップＳ２０８では、ＶＳＴ制御の延長要否が判定され、ＶＳＴ制御の延長が必要である場合に、ＶＳＴ制御が延長される。ステップＳ２０６において説明したＶＳＴ制御の解除が行われると、区画毎に個別に設定されたＶＳＴ解除時間が経過していない区画（即ち、室圧および通気量が設定値に達していない対象区画）の有無が判定される（ステップＳ２０７）。全ての対象区画についてＶＳＴ解除時間が経過している場合、ＶＳＴ制御を完全に終了させた場合でも、定常状態における室圧制御システムの作動によって、対象区画の室圧を維持することが可能である。
【００７８】
ステップＳ２０７においてＶＳＴ解除時間が経過していない対象区画が有ると判定されると、ＶＳＴ解除時間が経過していない対象区画に対するＶＳＴ制御が延長される（ステップＳ２０８）。なお、ＶＳＴ解除時間が経過した区画については、ＶＳＴ制御は終了される。その後、処理はステップＳ２０５へ進み、全ての対象区画についてＶＳＴ解除時間が経過するまで、ＶＳＴ制御が延長される。
【００７９】
室圧と風量の値からＶＳＴ制御の開始、解除等の制御契機を判断する方法（図２を参照）に代えて、タイマを用いたＶＳＴ制御の開始、解除等の制御を行うことで（図５を参照）、室圧を取得するためのセンサ、風量を取得するためのセンサ等を一部省略することが出来、少ない入力に基づいて、試運転の結果に基づいた安定した制御を行うことが可能となる。
【００８０】
なお、ＶＳＴ制御の開始、解除等の制御契機の判断は、図２または図５に示された方法に代えて、給排気の風量差に基づいて行われてもよい。
【００８１】
図６は、本実施形態における、給排気の風量差を用いた給排気開始処理の流れを示すフローチャートである。なお、本フローチャートに示された処理には、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、その他の具体的な処理手法や処理順序が採用されてもよい。
【００８２】
ステップＳ３０１からステップＳ３０３では、各区画に対する給排気が開始され、ＶＳＴ弁３が、所定の開度に達するまで、ＶＳＴ制御が行われない通常の速度で開かれる。ステップＳ３０１およびステップＳ３０２に示した処理の具体的な内容は、図２を用いて説明したステップＳ１０１およびステップＳ１０２の処理と概略同様であるため、説明を省略する。
【００８３】
通常の速度での開弁は、ＶＳＴ弁３の開度が所定の開度に達するまで継続され、ＶＳＴ弁３の開度が所定の開度に達すると、ＶＳＴ制御を開始すべく、処理はステップＳ３０４へ進む（ステップＳ３０３）。ここでは、図２を用いて説明したステップＳ１０３の処理と異なり、ＶＳＴ弁３の開度は、給気通路１０１、１０２の通気量と排気通路１０３、１０４の通気量との差（給排気の風量差）を監視することによって、判断される。即ち、給気通路１０１、１０２の通気量と排気通路１０３、１０４の通気量との差が、予め設定された設定風量差に達した場合に、ＶＳＴ弁３の開度が所定の開度に達したと判断され、ＶＳＴ制御が開始される。
【００８４】
ここで、設定風量差は、ＶＳＴ弁３の開度と給排気の風量差との関係において、対象区画の室圧を設定室圧とは逆方向へ変化させる要因の影響を打ち消すことが出来るＶＳＴ弁３の開度が確保されたと判断出来る風量差であり、システムに予め設定される。なお、給気通路１０１、１０２の通気量および排気通路１０３、１０４の通気量は、給気通路１０１、１０２および排気通路１０３、１０４に設けられた風速計９で風速を測定し、測定された風速を風量（単位：平方メートル／時間）に換算することで取得できる。給排気の風量差が設定風量差に達すると、処理はステップＳ３０４へ進む。
【００８５】
なお、本実施形態において、設定風量差は、対象区画毎に設置されたＶＳＴ弁３毎に、予め、制御装置のパラメータとして、制御装置に接続された記憶装置に保持されている。このようにすることで、設定室圧を設定するのみで、安定した室圧制御を行うことが出来る。
【００８６】
ステップＳ３０４では、ＶＳＴ制御が開始される。なお、ステップＳ３０４以降の処理は、図２に示したステップＳ１０４以降の処理と同様であるため、説明を省略する。その後、本フローチャートに示された処理は、対象区画の室圧および通気量が設定値に達するまで継続される。
【００８７】
なお、本実施の形態では、給気通路１０１、１０２、及び排気通路１０３、１０４に対応して高気密ダンパを設ける構成としたが、個々のＶＳＴ弁３及びＶＡＶ弁２に対応して高気密ダンパを設ける構成とすると、同一の給気系統の特定の区画のみの給気を、室圧を維持したまま停止し又は開始することが可能である。
【００８８】
また、本実施形態では、図２のフローチャートに示した処理、または図５のフローチャートに示した処理の何れの処理を採用するかに拘らず、給排気開始処理からの経過時間を監視し、所定の時間が経過した場合に、運転モードの変更（給排気開始）が完了していない場合であってもＶＳＴ制御を解除、または給排気開始処理を終了させることとしてもよい。このようにすることで、給排気状態の変更を伴う運転モードの変更処理（ここでは、給排気開始処理）において、室圧制御システムおよび施設の安全性を確保することが出来る。
【００８９】
また、本実施の形態では、区画内差圧発信器１が、各区画の室圧と給気通路１００の気圧との差圧に応じた電気信号を発信する構成としたが、本発明ではこの構成に限定されず、例えば区画内差圧発信器１と風路設置の差圧発信器１２とのそれぞれがＶＡＶ弁２に検出値に応じた電気信号を発信し、ＶＡＶ弁２において検出値から差圧を求める構成としても良い。
【００９０】
また、本実施の形態では、給気の停止過程又は開始過程において、各区画への給気量をＶＳＴ弁３によって制御する構成とした。このような構成は、室圧が正圧である場合に好適であるが、本発明では、室圧は負圧であっても良い。室圧を負圧に維持する場合では、給気の停止過程又は開始過程において、空調機１０のファンの回転数によって室圧を一定に維持することも可能である。
【００９１】
本実施の形態における室圧制御システムは、所定の給気量を維持し、排気量を制御することによって室圧を制御するシステムにおいて、排気量の制御に影響を与えない速度で開閉するＶＳＴ弁３を設けたことから、定常状態において室圧を維持する制御によって、給気の停止過程又は開始過程における室圧を維持するように制御することができる。したがって、給気の停止過程又は開始過程において室圧を設定値に保つことができ、給気通路及び排気通路に対して複数の部屋が並列に接続されている場合においても、複数の部屋の間におけるクロスコンタミネーション（相互汚染）を防止することができる。
【００９２】
また、本実施の形態における室圧制御システムは、複数の部屋に清浄な空気が供給され、それぞれの部屋に個別に設定されている室圧を、給気中のいかなる場合でも維持することができることから、製薬工場や半導体工場等のような、厳密な清浄環境を要する施設に適用することができる。
【００９３】
＜第二の実施の形態＞
本発明の他の実施の形態として、排気量に対応して給気量を制御して室圧を負圧に制御するシステムを図７に示す。
【００９４】
本実施の形態の室圧制御システムは、ＣＡＶ弁１３、１４及び１７が取り外され、給気通路１０１にはＡからＥの五つの各区画に対応するＶＡＶ弁３２が設けられ、給気通路１０２にはＦ区画に対応するＶＡＶ弁３２が設けられ、排気通路１０３には、ＡからＣ及びＦの四つの各区画に対応するＶＳＴ弁３３が設けられ、また高気密ダンパ２２と排気ファン２３との間にＣＡＶ弁３４が設けられ、排気通路１０４には、Ｄ及びＥの二つの各区画に対応するＶＳＴ弁３３が設けられ、また高気密ダンパ２５と還気ファン２６との間にＣＡＶ弁３７が設けられ、排気ファン２３及び還気ファン２６をトランジスターインバータ駆動のファンとし、トランジスターインバータで電源周波数を制御して、排気通路１０３の総通気量及び排気通路１０４の総通気量を制御する以外は、第一の実施の形態の室圧制御システムと同様に構成されている。
【００９５】
本実施の形態の室圧制御システムでは、排気ファン２３とＣＡＶ弁３４によってＡから
Ｃ及びＦの各区画の排気量が一定に保たれ、還気ファン２６とＣＡＶ弁３７によってＤ及びＥの各区画の排気量が一定に保たれる。これに対して各区画への給気量は、区画内差圧発信器１から送られる電気信号によって、給気通路１００の気圧に対して負圧に設定されている区画毎の室圧を維持するように、ＶＡＶ弁３２により自動的に制御される。
【００９６】
排気の停止過程や排気の開始過程では、ＶＳＴ弁３３を第一の実施の形態と同様に作動させる。これにより、各区画の室圧を給気通路１００の気圧に対して負圧に維持した状態で、排気の停止及び排気の開始を行うことができる。
【符号の説明】
【００９７】
１  区画内差圧発信器
２、３２  ＶＡＶ弁
３、３３  ＶＳＴ弁
１０  空調機
１１  中性能フィルタ
１２  風路設置の差圧発信器
１３、１４、１７、３４、３７  ＣＡＶ弁
１５、１８、２２、２５  高気密ダンパ
１６、１９  高性能フィルタ付き給気ユニット
２０、２１、２４  フィルタ付き排気ユニット
２３  排気ファン
２６  還気ファン
１００〜１０２  給気通路
１０３、１０４  排気通路
１０５  外気供給通路
【図１】
0005614949.tif 000002
【図２】
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【図３】
0005614949.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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