(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ発振する露光用のレーザ装置の状態を監視する監視端末と、データベースを有するサーバ装置と、前記データベースの内容に基づく出力情報をオペレータに対して画面表示する表示手段を有する表示端末とが通信回線を介して接続され、
前記通信回線を介して、少なくとも、前記監視端末と表示端末と前記サーバ装置との間でデータ通信を実施し、前記レーザ装置を管理するレーザ装置管理システムであって、
前記レーザ装置を制御するとともに、当該レーザ装置から当該レーザ装置の状態を示す状態情報を取得するレーザ制御装置が設けられ、
前記監視端末は、
前記レーザ装置に関係するイベントが発生したときに、当該レーザ装置の前記状態情報として、動作電圧および動作ガス圧を、当該レーザ装置から前記レーザ制御装置を介して取得して前記サーバ装置へ送信する処理手段を具備し、
前記サーバ装置は、
前記監視端末から送信された前記動作電圧および動作ガス圧を前記データベースに保存する保存手段と、
前記データベースの内容に基づき、前記イベントが発生したレーザ装置の前記動作電圧および動作ガス圧の出力情報を生成して前記表示端末へ送信する生成手段と
を具備し、
前記表示端末は、
前記イベントが発生したレーザ装置の前記動作電圧および動作ガス圧の出力情報を画面表示する表示手段と、
前記イベントが発生したレーザ装置の前記動作電圧または動作ガス圧のパラメータ値を設定する設定手段と、
前記設定された前記動作電圧または動作ガス圧のパラメータ値を前記サーバ装置に前記通信回線を介して送信する処理手段と
を具備し、
前記サーバ装置は、
前記表示端末から送信された前記動作電圧または動作ガス圧のパラメータ値を前記監視端末に前記通信回線を介して送信する送信手段を具備し、
前記監視端末は、
前記サーバ装置から送信された前記動作電圧または動作ガス圧のパラメータ値を前記レーザ制御装置に転送する転送手段を具備し、
前記レーザ制御装置は、
前記監視端末から転送された前記動作電圧または動作ガス圧のパラメータ値に応じて前記レーザ装置の前記動作電圧または動作ガス圧を変更する制御手段
を具備する
ことを特徴とするレーザ装置管理システム。
【請求項２】
複数のレーザ装置を管理するレーザ装置管理システムであって、
前記レーザ装置に関係するイベントが発生したときに、当該イベントが発生したレーザ装置の識別情報が、前記レーザ制御装置から前記監視端末、前記サーバ装置を経由して前記表示端末に送られ、
前記表示端末で、前記イベントが発生したレーザ装置の前記動作電圧または動作ガス圧のパラメータ値が設定されると、前記イベントが発生したレーザ装置の識別情報が、前記表示端末から、前記サーバ装置を経由して前記監視端末に送られ、前記監視端末から、前記動作電圧または動作ガス圧のパラメータ値が、前記識別情報で示されるレーザ装置を制御するレーザ制御装置に転送される
ことを特徴とする請求項１記載のレーザ装置管理システム。
【請求項３】
前記レーザ制御装置から前記レーザ装置の状態情報が外部記憶媒体を介して前記監視端末に転送されること
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項４】
前記レーザ制御装置と前記監視端末とが通信回線によって接続され、
前記レーザ制御装置から前記レーザ装置の状態情報が前記通信回線を介して前記監視端末に転送されること
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項５】
前記監視端末と前記表示端末が同一の監視・表示端末として構成され、  
前記レーザ制御装置と前記監視・表示端末とが通信回線によって接続され、
前記レーザ制御装置から前記レーザ装置の状態情報が前記通信回線を介して前記監視・表示端末に転送されること
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項６】
前記監視端末、前記サーバ装置、前記表示端末は、送信すべきデータを暗号化する暗号化処理手段をそれぞれ具備するとともに、受信したデータを復号化する復号化処理手段をそれぞれ具備すること
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項７】
前記通信回線に複数の監視端末と複数の表示端末が接続され、  
前記サーバ装置は、複数の監視端末からのアクセスを制御するとともに、複数の表示端末からのアクセスを制御するアクセス制御手段を具備する
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項８】
前記サーバ装置は、前記監視端末で実行すべき監視端末プログラムおよび前記表示端末で実行すべき表示端末プログラムを格納する記憶手段を備え、
前記監視端末は、前記サーバ装置から送信された前記監視端末プログラムを実行する監視端末プログラム実行手段を備えるとともに、
前記表示端末は、前記サーバ装置から送信された前記表示端末プログラムを実行する表示端末プログラム実行手段を備える
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項９】
前記サーバ装置は、前記レーザ制御装置で実行すべき装置プログラムを格納する記憶手段を備え、
前記監視端末は、前記サーバ装置から送信された前記装置プログラムを前記レーザ制御装置に転送する転送手段を備え、
前記レーザ制御装置は、前記監視端末から転送された前記装置プログラムを実行する装置プログラム実行手段を備える
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項１０】
前記監視端末は、
前記レーザ装置で所定の放電パルス数に達するごとに、当該レーザ装置の前記状態情報として、動作電圧および動作ガス圧を、当該レーザ装置から前記レーザ制御装置を介して取得して前記サーバ装置へ送信する処理手段を具備する
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項１１】
前記監視端末と前記サーバ装置は、
同一の工場内に設けられること
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項１２】
前記監視端末と露光機が通信回線によって接続されている
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項１３】
複数のレーザ装置を管理するレーザ装置管理システムであって、
前記サーバ装置は、前記監視端末で実行すべき監視端末プログラムを、前記レーザ装置の識別情報に対応して複数種類格納するとともに、前記表示端末で実行すべき表示端末プログラムを、前記レーザ装置の識別情報に対応して複数種類格納する記憶手段と、
前記複数種類の監視端末プログラムの中から、前記レーザ装置の識別情報に対応する監視端末プラグラムを選択して、当該識別情報で示されるレーザ装置を監視する監視端末に送信するとともに、前記複数種類の表示端末プログラムの中から、前記レーザ装置の識別情報に対応する表示端末プログラムを選択して、当該識別情報で示されるレーザ装置に関する表示を行う表示端末に送信する配布手段とを備え、
前記監視端末は、前記サーバ装置から送信された前記監視端末プログラムを実行する監視端末プログラム実行手段を備えるとともに、
前記表示端末は、前記サーバ装置から送信された前記表示端末プログラムを実行する表示端末プログラム実行手段を備える
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項１４】
前記サーバ装置の生成手段は、
前記データベースに保存されている状態情報のうち、過去一定時間の状態情報に基づいて、前記レーザ装置の状態を診断し、該診断結果を示す出力情報を生成して前記表示端末へ送信する
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項１５】
前記サーバ装置の生成手段は、
前記データベースに保存されている最新の状態情報と予め設定された診断基準とに基づいて、前記レーザ装置の状態を診断し、該診断結果を示す出力情報を生成して前記表示端末へ送信する
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項１６】
前記監視端末の処理手段は、
前記レーザ装置がガスレーザ装置であった場合に、当該ガスレーザ装置における放電パルスの回数を示す情報を状態情報として取得して、前記サーバ装置へ送信し、
前記サーバ装置の前記生成手段は、
前記データベースに記憶されている最新の放電パルスの回数を示す情報に基づいて、前記ガスレーザ装置の状態の異常を予測し、該予測結果を示す出力情報を生成して前記表示端末へ送信する
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項１７】
前記監視端末の処理手段は、
前記レーザ装置がガスレーザをレーザ発振するガスレーザ装置であった場合に、当該ガスレーザ装置に使用されている部品の寿命に影響を与える当該ガスレーザ装置の放電パルスの回数を含む稼働状況を示す情報を、前記状態情報として取得して前記サーバ装置へ送信し、
前記サーバ装置の生成手段は、
前記データベースに記憶されている状態情報に基づいて、前記部品の寿命を予測し、該予測結果を示す出力情報を生成して前記表示端末へ送信する
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、稼働時に部品の消耗等により運転状況が変化する半導体製造装置あるいは露光用のレーザ装置を遠隔で管理するレーザ装置管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、工場に配置される半導体製造装置に用いられる露光用のエキシマレーザ装置などのレーザ装置では、例えば放電電極などの部品の消耗等に起因して運転状況が変化することにより、レーザ出力特性が所望の特性にならない。このため、上記工場に対して遠隔地に存在する保守要員は、定期的に上記工場に出張し、消耗した部品の交換や、ショット数（レーザ発振数）に応じた動作電圧の設定変更などの保守作業を実施している。
【０００３】
また、上記レーザ装置においては突発的な不具合が発生することもあり、このような場合にも、上記工場に出張して保守作業を実施している。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した従来のレーザ装置においては、次のような問題点があった。
【０００５】
（１）突発的な不具合発生時に、交換部品、保守要員等の人員などのリソースを迅速に調達することができないため、半導体製造装置を長時間停止させてしまう。同様に、工場の現地において得られる限られた情報だけでは適切な不具合解析を行うことができず、半導体製造装置の長時間停止が発生する場合があった。
【０００６】
（２）レーザ装置の例えば放電電極やウインドウなどの個体差などにより、設計時に予め設定された定期メンテナンスの間隔では、的確な保守が行えない場合がある。例えば、消耗部品は、レーザ装置の稼働状況によっては、設定寿命と同程度の寿命となる場合もあれば、設定寿命よりも早く寿命に達してしまう場合もある。このため、従来では、レーザ出力特性に影響を与えないように、メンテナンス間隔を実際の設定寿命よりも短く設定しなければならず、消耗部品が設定寿命と同程度の寿命となる場合においては、性能上十分使用できるにも係わらず、当該消耗部品を新規な部品と交換しなければならず、部品（資源）を有効に利用することができなかった。
【０００７】
（３）レーザ装置では、上述したように放電電極の消耗などにより運転状況が変わるため、この運転状況に応じて、レーザ発振させるためのパラメータを再設定する必要があるが、メンテナンス間隔が長いため、ベストチューニングが行えない場合がある。
【０００８】
また、上述した（１）の問題点を解決すべく、オペレータが遠隔地において、レーザ装置を操作および管理できるようにした装置（システム）が実現されている。
【０００９】
このような装置（システム）としては、特開平７−１４２８０１号公報に記載されたレーザ装置が知られている。
【００１０】
このレーザ装置では、インタフェース変換器を介して通信網に接続されたエキシマレーザ発振器が、オペレータが把握すべき情報を前記通信網に接続された遠隔操作管理用の端末機器へ送信すると、該端末機器は、受信した情報を画面表示する。そして、オペレータは、画面表示された受信情報（オペレータが把握すべき情報）を参照して、エキシマレーザ発振器の内部情報（チャンバ内圧力値等の制御変数）を収集、分析を行う。
【００１１】
また、上記エキシマレーザ発振器近傍に位置する操作管理用のコンピュータ機器、およびコンピュータ機器としての上記端末機器それぞれにおいて、操作管理用ソフトウェアをインストールして、該ソフトウェアを実行することにより、ソフトウェアの機能をコントローラとしての機能として使用している。これにより、エキシマレーザ発振器におけるＲＯＭ内のプログラムを書き換えることなく、ソフトウェアの内容を変えることで、コントローラとしての機能を変更している。
【００１２】
しかしながら、上記公報に記載された装置では、次のような問題点がある。
【００１３】
（１）オペレータ自身によって、画面表示された受信情報を基に、エキシマレーザ発振器の内部情報を分析しなければならず、その作業が面倒である。また、場合によっては誤った分析をしてしまう可能性もあり、エキシマレーザ発振器の正確な保守および管理を行うことができない。
【００１４】
（２）コンピュータ機器または端末機器によって実行される操作管理用ソフトウェアを変更する場合には、バージョンアップ毎に、当該ソフトウェアをインストールし直さなければならない。特に、複数のコンピュータ機器または端末機器が存在する場合には、全ての機器に対して、バージョンアップ後のソフトウェアをインストールし直さなければならない。
【００１５】
本発明は、こうした実状に鑑みてなされたものであり、遠隔地において、レーザ装置の状態を示す情報を、予め設定されるイベント毎にデータ収集することにより、消耗部品の寿命の予測やレーザ装置のトラブルの事前予測を行うことのできるレーザ装置管理システムを提供することを解決課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記解決課題を達成するため、請求項１に係る発明では、レーザ発振する露光用のレーザ装置の状態を監視する監視端末と、データベースを有するサーバ装置と、前記データベースの内容に基づく出力情報を出力する出力手段を有する出力端末とが通信回線を介して接続され、前記通信回線を介して、少なくとも、前記監視端末及び表示端末と前記サーバ装置との間でデータ通信を実施するレーザ装置管理システムであって、
前記監視端末は、前記レーザ装置に関係する予め設定されたイベントが発生したときに、当該レーザ装置の状態を示す状態情報を、当該レーザ装置から取得して前記サーバ装置へ送信する処理手段を具備し、
前記サーバ装置は、前記処理手段から送信された前記状態情報を前記データベースに保存する保存手段と、前記データベースの内容に基づく出力情報を生成して前記出力端末へ送信する生成手段とを具備することを特徴とする。
【００１７】
この請求項１に係る発明を図１２を参照して説明する。
【００１８】
レーザ制御装置１０、１０Ａは、例えば、下記に示す特定のイベントが発生する毎に、レーザ装置の状態を示す情報（ここでは保守情報とする）をレーザ装置から取得する。
【００１９】
つまり、特定のイベントには、
（１）一定時間経過、一定運転時間経過、一定放電パルス数の発振
（２）エラーまたはワーニングの発生
（３）メイテナンス作業の完了（操作記録）、ガス交換などのレーザ装置固有の定期作業の完了
が含まれている。
【００２０】
レーザ制御装置１０、１０Ａは、上述した特定のイベントが発生する毎に、装置ＩＤと保守データを含む保守情報をＬＡＮ８０を介して監視端末２０へ送信する（処理Ｐ８１）。
【００２１】
監視端末２０は、受信した保守情報をネットワーク５０を介してサーバ装置３０へ送信する（処理Ｐ３、Ｐ４）。
【００２２】
サーバ装置３０では、データベース更新処理機能２１２によって、受信した受信データ（つまり保守情報）に基づいてデータベース３３を更新する（処理Ｐ５）。このとき、装置ＩＤ毎に、保守データを更新することになる。
【００２３】
また、サーバ装置３０は、データベースを更新した場合には、表示データ作成＆通信機能２１３によって、更新後のデータベースに基づいて、表示端末４０へ出力する表示データを作成し処理Ｐ６）、該作成した表示データを、表示データ作成＆通信機能２１３によって、ネットワーク５０を介して表示端末４０へ送信する（処理Ｐ７、Ｐ８）。
【００２４】
表示端末４０では、受信した表示データを表示装置４５に表示する（処理Ｐ９）
以上説明したように、請求項１に係る発明によれば、例えば、一定時間経過、一定放電パルス数の発振などの特定のイベント発生毎に、保守情報が、サーバ装置３０へ送信され、ここで蓄積され、さらに表示端末４０に表示される。従って、遠隔地においても、定期的にレーザ装置の状態を示す情報をデータ収集することができることとなり、レーザ装置の状態を定期的にかつ正確に把握することができる。
【００２５】
また、請求項２に係る発明では、送信元装置から送信されたレーザ装置の状態を示す状態情報を記憶するデータベースと、該データベースの内容に基づく出力情報を生成して送信先装置へ送信する生成手段とを有するサーバ装置が接続されている通信回線と接続され、この通信回線を介して前記サーバ装置との間でデータ通信を実施する監視端末および表示端末を具備し、
前記監視端末は、レーザ発振する露光用のレーザ装置に関係する予め設定されたイベントが発生したときに、当該レーザ装置の状態を示す状態情報を、当該レーザ装置から取得して前記通信回線へ送信する処理手段を備え、
前記表示端末は、前記通信回線を介して受信した前記サーバ装置からのデータベースの内容に基づく出力情報を出力する出力手段を具備することを特徴とする。
【００２６】
この請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明を別の視点から捉えた発明であるので、上記請求項１に係る発明と同様の処理が行われる。したがって、請求項２に係る発明においても、上記請求項１に係る発明と同様の作用効果を得ることができる。
【００２７】
また、請求項３に係る発明では、請求項１又は２に係る発明において、前記サーバ装置の生成手段は、前記データベースに保存されている状態情報のうち、過去一定時間の状態情報に基づいて、前記レーザ装置の状態を診断し、該診断結果を示す出力情報を生成して前記出力端末へ送信することを特徴とする。
【００２８】
また、請求項４に係る発明では、請求項１又は２発明において、前記サーバ装置の生成手段は、前記データベースに保存されている最新の状態情報と予め設定された診断基準とに基づいて、前記レーザ装置の状態を診断し、該診断結果を示す出力情報を生成して前記出力端末へ送信することを特徴とする。
【００２９】
また、請求項５に係る発明では、請求項１又は２に係る発明において、前記監視端末の処理手段は、前記レーザ装置がガスレーザ装置であった場合に、当該ガスレーザ装置における放電パルスの回数を示す情報を状態情報として取得して、前記サーバ装置へ送信し、前記サーバ装置の前記生成手段は、前記データベースに記憶されている最新の放電パルスの回数を示す情報に基づいて、前記ガスレーザ装置の状態の異常を予測し、該予測結果を示す出力情報を生成して前記出力端末へ送信することを特徴とする。
【００３０】
また、第６発明では、第１又は第２発明において、前記監視端末の処理手段は、前記レーザ装置がガスレーザをレーザ発振するガスレーザ装置であった場合に、当該ガスレーザ装置に使用されている部品の寿命に影響を与える当該ガスレーザ装置の放電パルスの回数を含む稼働状況を示す情報を、前記状態情報として取得して前記サーバ装置へ送信し、前記サーバ装置の生成手段は、前記データベースに記憶されている状態情報に基づいて、前記部品の寿命を予測し、該予測結果を示す出力情報を生成して前記出力端末へ送信することを特徴とする。
【００３１】
これら請求項３乃至６に係る発明を図１４を参照して説明する。
【００３２】
図示しないレーザ制御装置は、イベントが発生すると、レーザ装置に関する保守情報を取得して、ＬＡＮ８０を介して監視＆表示端末９０へ転送する。
【００３３】
監視＆表示端末９０は、レーザ制御装置から送信された装置ＩＤと保守データを含む保守情報を受信すると、この保守情報を、ネットワーク５０を介してサーバ装置３０へ転送する（処理Ｐ３０１、Ｐ３０２）
サーバ装置３０では、ネットワーク５０を介して転送されてきた保守情報を受信すると、データベース更新処理機能２１２によって、当該保守情報を基にデータベース３３を更新すると共に（処理Ｐ３０３）、装置状況判定機能２２３によって、データベース３３に蓄積された保守情報を基にレーザ装置の状態を診断する（処理Ｐ３０４）。
【００３４】
次に、サーバ装置３０は、警告通知機能２２４によって、装置状況判定機能２２３により判定された判定結果に基づくレーザ装置の状況を警告情報として、ネットワーク５０を介して監視＆表示端末９０へ通知する（処理Ｐ３０５、Ｐ３０６）。
【００３５】
ところで、監視＆表示端末９０では、ネットワーク５０を介して転送されてきたサーバ装置３０からの警告情報を受信すると、表示端末通信＆表示プログラム２２２を実行することにより、当該受信した警告情報に基づく警告内容を表示装置に表示する。
【００３６】
これによって、監視＆表示端末９０の表示装置を参照している利用者、たとえば保守要員者は、表示された警告内容を基に、レーザ装置のトラブルを早期に発見して、所定の保守作業を行うことができる。
【００３７】
ところで、装置状況判定機能２２３によるレーザ装置の状態の判定には、各種の方法があるので、これらの判定方法について説明する。
【００３８】
（１）保守データと予め設定された判定基準とを比較し、この比較結果に応じて、レーザ装置の状況を判定する。たとえば、保守データに含まれる例えば「放電（あるいは発振）パルス数」と判定基準となるパルス数とを比較し、放電（あるいは発振）パルス数が判定基準値を超えていた場合には、その旨を、一方、放電（あるいは発振）パルス数が判定基準値の例えば７０％や８０％に達していた場合は、その旨を、判定結果とする。
【００３９】
ここで、具体的な判定例を下記に示す。
【００４０】
（Ａ）「消耗部品の稼働時間や放電（あるいは発振）パルス数が規定の値を超えた又は近づいた」という旨の判定。
【００４１】
この判定は、消耗部品の寿命を予測していることを意味し、実際の値が規定の値を超えた場合には消耗部品は寿命に達して部品交換が必要であることを意味し、一方、実際の値が規定の値に近接している場合は、消耗部品は近い将来寿命に達することを意味している。しかし、定期的に保守情報を収集しているので、実際の値が規定の値を超える以前に、消耗部品が近い将来寿命に達するということを把握することができるので、早急に対処することが可能となる。
【００４２】
（Ｂ）「装置稼働時間、放電（あるいは発振）パルス数が規定の定期メンテナンス間隔を超えた又は近づいた」という旨の判定。
【００４３】
（２）過去一定期間中に発生したイベントに応じて記憶されている保守データに含まれる「放電（あるいは発振）パルス数」に基づいて、時系列的な変化つまり、時間（期間）に対する放電パルス数の特性を示すグラフを求め、この特性グラフの傾斜の割合を基に、レーザ装置の状態を判定するようにする。この特性グラフの傾斜の割合率が、予め設定された傾斜の割合を超えた場合には、異常である旨を、一方、予め設定された傾斜の割合よりも小さい場合は、その旨を、判定結果とする。
【００４４】
ここで、具体的な判定例を下記に示す。
【００４５】
（Ａ）「レーザ光の波長や放電電圧などの光品質に関連する値のバラツキが規定の値を超えた又は近づいた」という旨の判定。
【００４６】
なお、この場合、判定せずに、上記特性グラフを長期トレンド情報として出力するようにしても良い。
【００４７】
以上説明したように、請求項３及び４に係る発明によれば、イベント毎に発生したレーザ装置の状態を示す情報に基づいて、当該レーザ装置の状態を診断することができる。また、請求項５に係る発明によれば、レーザ装置の状態の異常を予測することができる。さらに、請求項６に係る発明によれば、部品の寿命を予測することができる。
【００４８】
また、請求項７に係る発明では、請求項１又は２に係る発明において、前記サーバ装置は、前記監視端末が実行すべき所定の処理を遂行させる第１のプログラムを記憶すると共に、前記表示端末が実行すべき所定の処理を遂行させる第２のプログラムを記憶する記憶手段と、前記監視端末または表示端末からの送信要求に応答して、前記第１のプログラムを前記監視端末へ送信するか、または前記第２のプログラムを前記出力端末へ送信するプログラム送信手段とを、更に具備し、前記監視端末は、前記プログラム送信手段により送信された第１のプログラムを実行する第１の実行手段を更に具備し、前記出力端末は、前記プログラム送信手段により送信された第２のプログラムを実行する第２の実行手段を更に具備することを特徴とする。
【００４９】
次に、請求項７に係る発明を図２０を参照して説明する。
【００５０】
サーバ装置の管理者は、サーバ装置３０において、例えば、レーザ制御装置により実行されるプログラムがバージョンアップされた場合は、その変更内容に応じて、自己が記憶しているデータのプロパティ（フォーマット、項目数）および解析手法を示すデータを変更すると共に、監視端末プログラム２５２Ａおよび表示端末プログラム２５２Ｂを変更する。
【００５１】
そして、サーバ装置３０は、プログラムがバージョンアップされた旨を表示端末あるいは監視端末へ送信する。
【００５２】
例えば、表示端末４０は、表示装置に画面表示された「表示端末プログラムがバージョンアップされた旨」に基づき、ユーザＩＤおよびパスワードなどユーザ認証に必要な情報と共に当該プログラムをダウンロードする旨を入力する。
【００５３】
これらのデータは、ネットワーク５０を介してサーバ装置３０に送信されるので、サーバ装置３０は、受信したユーザＩＤおよびパスワードに対応する表示端末へバージョンアップされた表示端末プログラム２５２Ｂを送信する。
【００５４】
表示端末４０では、受信したバージョンアップされた表示端末プログラム２５２Ｂを、外部記憶装置４３にダウンロードすると共に、配布プログラム実行機能２５３によって、ダウンロードされた表示端末プログラム２５２Ｂを実行することにより、バージョンアップされた表示端末プログラム２５２Ｂの実行に基づいた表示データの表示を行うことができる。
【００５５】
以上説明したように、請求項７に係る発明によれば、レーザ装置の制御ソフトウェアが変更された場合であっても、サーバ装置において、表示端末用または監視端末用のプログラムの該当する箇所を修正し、当該各端末によって、バーションアップされた当該プログラムをダウンロートすれば良いので、各端末側でのプログラムの修正は不要になる。
【００５６】
また、請求項８に係る発明では、請求項１又は２に係る発明において、前記出力端末は、前記レーザ装置の出力特性に影響を与えるパラメータの値を前記サーバ装置へ送信する第１の送信手段を更に具備し、前記サーバ装置は、前記第１の送信手段からのパラメータを前記監視端末へ送信する第２の送信手段を更に具備し、前記監視端末は、前記第２の送信手段からのパラメータをレーザ装置へ転送する転送手段を更に具備することを特徴とする。
【００５７】
次に、請求項８に係る発明を図２１を参照して説明する。
【００５８】
例えば、保守要員が、表示端末４０に表示された表示内容を監視することにより、レーザ装置の運転状況に変化があったと認識して、一定の放電エネルギーを得るために、入力装置４６を操作して、当該レーザ装置の装置ＩＤの入力と共に、当該レーザ装置のパラメータの値を変更して、パラメータの変更要求を指示したとする。このとき変更されたパラメータを装置パラメータ２６４Ｂとする。
【００５９】
この装置パラメータ２６４Ｂおよび装置ＩＤは、ネットワーク５０を介してサーバ装置３０に入力される。
【００６０】
すると、サーバ装置３０では、装置パラメータ２６４Ｂを配布するために、プログラム＆パラメータ配布機能２６４を実行することにより、受信した装置パラメータ２６４Ｂおよび装置ＩＤを、当当該装置ＩＤで示されるレーザ装置を制御しているレーザ制御装置を管理している監視端末（例えば監視端末２０）へ送信する。
【００６１】
監視端末２０は、受信した装置パラメータ２６４Ｂを、受信した装置ＩＤで示されるレーザ装置を制御しているレーザ制御装置（例えばレーザ制御装置１０）へ転送する。
【００６２】
このレーザ制御装置１０は、外部記憶装置１７Ｂからメモリ１７Ａへ、プログラム＆パラメータダウンロード機能２６１を遂行させるためのプログラムをロードし、実行することにより、転送されてきた装置パラメータ２６４Ｂをダウンロードする。
【００６３】
以上説明したように、請求項８に係る発明によれば、レーザ装置を制御するためのプログラムやパラメータの保守作業も遠隔地から実施することが可能となり、よってレーザ装置の保守作業の効率を向上させることが可能となる。
【００６４】
また、請求項９に係る発明では、請求項１又は２に係る発明において、イベントは一定時間経過であることを特徴とする。
【００６５】
また、請求項１０に係る発明では、請求項１又は２に係る発明において、イベントは一定時間運転であることを特徴とする。
【００６６】
また、請求項１１に係る発明では、請求項１又は２に係る発明において、イベントは一定の放電パルス数であることを特徴とする。
【００６７】
また、請求項１２に係る発明では、請求項１又は２に係る発明において、イベントはエラー発生であることを特徴とする。
【００６８】
また、請求項１３に係る発明では、請求項１又は２に係る発明において、イベントは警告であることを特徴とする。
【００６９】
また、請求項１４に係る発明では、請求項１又は２に係る発明において、イベントはメンテナンス作業実施後の操作記録であることを特徴とする。
【００７０】
また、請求項１５に係る発明では、請求項１又は２に係る発明において、イベントはレーザ装置固有の定期作業終了であることを特徴とする。
【００７１】
また、請求項１６に係る発明では、請求項１又は２に係る発明において、イベントはマニュアルログ取得指令であることを特徴とする。
【００７２】
さらに、請求項１７に係る発明では、請求項１又は２に係る発明において、イベントは通信によるリモートログ取得指令であることを特徴とする。
【００７３】
これら請求項９乃１７に係る発明では、上述した予め設定されたイベント毎にレーザ装置の状態を示す情報がデータ収集される。このため、これらのイベント毎に定期的にレーザ装置の状態を示す情報がデータ収集されるので、当該レーザ装置の状態を早急に把握することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】図１は本発明の第１の実施形態に係るレーザ装置管理システムの構成を示す構成図である。
【図２】図２は第１の実施形態におけるレーザ制御装置１０の構成を示す構成図である。
【図３】図３はレーザ装置のイベントを説明するための図である。
【図４】図４は第１の実施形態における監視端末２０の構成を示す構成図である。
【図５】図５は第１の実施形態におけるサーバ装置３０の構成を示す構成図である。
【図６】図６はサーバ装置３０に蓄積されるデータベースの一例を示す図である。
【図７】図７は第１の実施形態における表示端末４０の構成を示す構成図である。
【図８】図８は第１の実施形態に係るレーザ装置管理システムを機能的に示した図である。
【図９】図９は第１の実施形態に係るレーザ装置管理システムにおけるデータ通信処理動作を示すシーケンス図である。
【図１０】図１０は第１の実施形態に係るレーザ装置管理システムにおける保守作業の実施を説明するための図である。
【図１１】図１１は本発明の第２の実施形態に係るレーザ装置管理システムの構成を示す構成図である。
【図１２】図１２は第２の実施形態に係るレーザ装置管理システムを機能的に示した図である。
【図１３】図１３は本発明の第３の実施形態に係るレーザ装置管理システムの構成を示す構成図である。
【図１４】図１４は第３の実施形態に係るレーザ装置管理システムを機能的に示した図である。
【図１５】図１５は第３の実施形態に係るレーザ装置管理システムにおけるデータ通信処理動作を示すシーケンス図である。
【図１６】図１６は第４の実施形態に係るレーザ装置管理システムを機能的に示した図である。
【図１７】図１７は本発明の第５の実施形態に係るレーザ装置管理システムの構成を示す構成図である。
【図１８】図１８は第５の実施形態に係るレーザ装置管理システムを機能的に示した図である。
【図１９】図１９は第５の実施形態に係るレーザ装置管理システムにおけるアクセス制御処理操作を示すフローチャートである。
【図２０】図２０は第６の実施形態に係るレーザ装置管理システムを機能的に示した図である。
【図２１】図２１は第７の実施形態に係るレーザ装置管理システムを機能的に示した図である。
【図２２】図２２は第８の実施形態に係るレーザ装置管理システムの構成を示す構成図である。
【図２３】図２３は第９の実施形態に係るレーザ装置管理システムの構成を示す構成図である。
【図２４】図２４は第１０の実施形態に係るレーザ装置管理システムを機能的に表現した図である。
【図２５】図２５は装置ＩＤ／装置プログラムバージョンＩＤ対応表５１０の一例を示す図である。
【図２６】図２６は監視端末２０による保守情報の転送を説明するための図である。
【図２７】図２７は表示端末４０による保守情報の表示を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００７５】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【００７６】
図１は、本発明に係るレーザ装置管理システムの構成図を示している。
【００７７】
このレーザ装置管理システムは、露光機１の露光光源であるレーザ装置２を制御すると共に、イベント毎にレーザ装置２の状態を示す情報を当該レーザ装置から取得するレーザ制御装置１０と、レーザ制御装置１０が取得したレーザ装置２の状態を示す情報をサーバ装置３０へ転送する監視端末２０と、受信した情報をデータベースに蓄積すると共に加工して出力するサーバ装置３０と、装置の状態を表示する表示端末４０とが、それぞれネットワーク５０を介して接続されている。ここでは、露光機１とレーザ制御装置１０とで半導体製造装置６０が構成されている。
【００７８】
なお、図１においては、１台の監視端末２０のみが示されているが、複数の監視端末がネットワーク５０に接続されていても良い。また、監視端末２０は、１台の半導体製造装置（あるいはレーザ装置）を監視するようになっているが、複数の半導体製造装置を監視するようにしても良い。この場合、複数の半導体製造装置は、同一の工場に配置されている場合や、複数の工場に分散して配置されている場合がある。
【００７９】
表示端末４０においては、遠隔保守管理用の端末を想定しているので、保守要員が配置されている。従って、表示端末４０は、半導体製造装置６０の近傍に存在している必要はないものの、一定期間内（一定時間内）に保守点検できる地点に存在していることが好ましい。
【００８０】
ここで、監視端末２０、サーバ装置３０、表示端末４０および半導体製造装置６０は同一地域（同一国）に存在している必要はない。
【００８１】
例えば、サーバ装置３０はＡ国に存在し、監視端末２０、表示端末４０および半導体製造装置６０はＢ国に存在していても良い。また、上記各構成要素は各々異なる州に存在していても良い。
【００８２】
ネットワーク５０は、電話回線やＩＳＤＮ（サービス統合ディジタル網）などの公衆回線を想定している。勿論、専用回線であっても良い。このようなネットワーク５０の利用形態としてはインターネットやイントラネットやファクシミリ（ＦＡＸ）が考えられる。ネットワーク５０をインターネットとして利用する場合のデータ通信は、ＯＳＩ参照モデルに準拠した通信プロトコル、例えばＴＣＰ／ＩＰ通信プロトコルに従って行われる。
【００８３】
図２はレーザ制御装置１０の詳細な構成図を示している。
【００８４】
レーザ制御装置１０においては、ユーティリティ制御部１１、波長制御部１２、エネルギー制御部１３および主制御部１４は、ローカルエリアネットワーク（以下、ＬＡＮという。）１５Ａに接続されている。ＬＡＮ１５Ａは、例えば、１０ＢＡＳＥケーブルや１００ＢＡＳＥケーブルを使用したイーサネット（登録商標）で構成されている。
【００８５】
また、エネルギー制御部１３は、シリアル入出力（以下、ＳＩＯという。）ポートあるいはパラレル入出力（以下、ＰＩＯという。）ポート１６Ａを介して露光機１と接続されている。
【００８６】
また、主制御部１４、メモリ１７Ａ、外部記憶装置１７Ｂ、ＳＩＯあるいはＰＩＯポート（以下、ＳＩＯ／ＰＩＯポートという。）１６Ｂおよびシリアル通信ポートあるいはパラレル通信ポート（以下、シリアル／パラレル通信ポートという）１８は、バス１５Ｂに接続されている。
【００８７】
さらに、主制御部１４とハンディターミナル１９とは例えば無線通信回線で接続されている。
【００８８】
ユーティリティ制御部１１は、放電ガス圧の制御、冷却水の管理、換気用ファンの管理を行うものであり、以下の監視項目を監視する。
【００８９】
すなわち、監視項目としては、例えば、放電ガス圧、供給ガス圧、ガスのリークチェック、冷却水の温度、冷却水の流量、換気用ファンの流量がある。なお、前記供給ガス圧としては、例えば、フッ素（Ｆ２）ガス、クリプトン（Ｋｒ）とネオン（Ｎｅ）の混合ガス、ヘリウム（Ｈｅ）ガス、窒素（Ｎ２）ガス、アルゴン（Ａｒ）ガスなどの各ガス圧がある。
【００９０】
波長制御部１２は、レーザ光の波長および線幅の計測および制御を行う。具体的には、レーザ光の波長及び線幅を計測するモニタモジュールによるモニタ結果を取得すると共に、このモニタ結果に応じてレーザ光の波長および線幅が所定値になるように制御する。
【００９１】
エネルギー制御部１３は、ＳＩＯ／ＰＩＯポート１６Ａを介して入力される露光機１からの出力高電圧を示すデータに基づいて、放電エネルギー制御、放電タイミング（トリガ）制御、高電圧電源の起動、停止、指令値の設定などの高電圧管理を行うものであり、以下の監視項目を監視する。
【００９２】
すなわち、上記監視項目としては、例えば、放電エネルギーの検出、不正な放電（発振）の検出、放電（発振）パルス数のカウント、高電圧、エネルギーばらつき（平均、σ）、高電圧電源の状態である。
【００９３】
上述したユーティリティ制御部１１、波長制御部１２およびエネルギー制御部１２は、半導体製造装置６０あるいはレーザ装置２について予め設定されたイベントが発生した場合に、自己の制御部による監視結果を示す情報を取得する。
【００９４】
この情報は、半導体製造装置６０あるいはレーザ装置２の状態を示す情報（以下、状態情報という。）であり、これらの装置を保守するための情報（以下、保守情報という）でもある。
【００９５】
そこで、以下の説明においては、「状態情報」を「保守情報」ということにする。この保守情報の詳細については後述する。
【００９６】
ハンディターミナル１９は、入力インタフェースの機能を果たすものであり、
例えば、保守情報取得命令などのコマンドの発行、パラメータの設定、レーザ状態の参照の指示を行う。前記保守情報取得命令は、詳細については後述するが、レーザ装置２に関係するイベントを発生させる場合に用いられる命令であり、マニュアルログ取得命令である。
【００９７】
外部記憶装置１７Ｂには、主制御部１４がデータ処理するのに必要な処理手順を示すプログラム、主制御部１４がレーザ装置１０に関係する保守情報を取得するために必要なデータが格納されている。外部記憶装置１７Ｂは、磁気ディスク、光ディスク、フレキシブルディスクなどの記憶手段を有している。
【００９８】
メモリ１７Ａには、外部記憶装置１７Ｂからロードされたプログラムを記憶する領域、主制御部１４がデータ処理するのに必要な領域（例えばワークエリア）が含まれている。
【００９９】
シリアル／パラレル通信ポート１８は、監視端末２０との間でシリアルあるいはパラレルの伝送方式でデータ通信を行うためのポートである。このデータ通信を行うための伝送媒体としては、例えば、１０ＢＡＳＥケーブルや１００ＢＡＳＥケーブルを使用したイーサネット（登録商標）がある。
【０１００】
主制御部１４は、ＳＩＯポートとＰＩＯポートとを有するＳＩＯ／ＰＩＯポート１６Ｂを介して、露光機１（レーザ装置）との間でデータ通信を行うことにより、当該露光機１の状態を監視している。すなわち、主制御部１４は、レーザ操作、メンテナンス管理、ログ処理およびエラー処理を実行する。また、主制御部１４は、プログラム管理、パラメータ管理も行う。
【０１０１】
さらに、主制御部１４は、上記各制御部からの保守情報の取得および監視端末２０へのイベント情報の送信を行うものであり、具体的には、次の処理を実行する。
【０１０２】
（１）ハンディターミナル１９からの保守情報取得命令に基づいて該当する制御部にイベント情報の取得を依頼する。
【０１０３】
（２）ＬＡＮ１５Ａを介して入力されるユーティリティ制御部１１、波長制御部１２およびエネルギー制御部１２から送信された保守情報を、監視対象としているレーザ装置を示す装置識別情報（以下、装置ＩＤという。）に対応付けてメモリ１７Ａに格納するとともに、必要に応じて外部記憶装置１７Ｂに格納する。
【０１０４】
（３）上記保守情報および装置ＩＤを、シリアル／パラレル通信ポート１８を介して監視端末２０へ送信する。
【０１０５】
ここで、上述した保守情報について詳細に説明する。
【０１０６】
この保守情報としては、稼働状況を示す情報、品質情報、保守部品稼働状況を示す情報、エラー履歴を示す情報などがある。
【０１０７】
稼働状況を示す情報には、放電（あるいは発振）パルス数、レーザ装置の稼働時間および運転時間をそれぞれ示す情報が含まれる。  
品質情報には、光品位、放電電圧およびレーザ光の波長をそれぞれ示す情報が含まれる 
保守部品稼働状況を示す情報には、保守部品の交換後の放電（あるいは発振）パルス数やレーザ装置の稼働時間をそれぞれ示す情報が含まれる。
【０１０８】
このような保守情報は、オペレータによる上記保守情報取得命令や特定のイベントなどの予め設定されたイベントが発生する毎にレーザ制御装置１０によって取得される。
【０１０９】
ここで、特定のイベントには、以下の内容が含まれている。
【０１１０】
（１）一定時間経過、一定運転時間経過、一定放電パルス数の発振。
【０１１１】
（２）エラーまたはワーニングの発生。
【０１１２】
（３）メイテナンス作業の完了（操作記録）、ガス交換などのレーザ装置固有の定期作業の完了。
【０１１３】
一方、上記保守情報取得命令には、「ＢＥＡＭ」、「ＷＤＩＡ」、「ＰＯＷＥＲ」および「ＷＬＣ」をそれぞれ示す命令が含まれている。
【０１１４】
「ＢＥＡＭ」を示す命令は、高電圧、放電エネルギー、ビーム状態（レーザの波長、レーザの線幅）をそれぞれ示す情報を上記保守情報としてレーザ制御装置１０に取得させる場合に用いられる。
【０１１５】
「ＷＤＩＡ」を示す命令は、波長制御情報およびモニタモジュールの出力であるモニタ情報を上記保守情報としてレーザ制御装置１０に取得させる場合に用いられる。
【０１１６】
「ＰＯＷＥＲ」を示す命令は、ｎバースト分の電源のモニタ状態（放電電圧、放電エネルギー）を示す情報を上記保守情報としてレーザ制御装置１０に取得させる場合に用いられる。
【０１１７】
「ＷＬＣ」を示す命令は、ｎバースト分のビーム状態（レーザ光の波長、レーザ光の線幅）を示す情報を上記保守情報としてレーザ制御装置１０に取得させる場合に用いられる。
【０１１８】
ここで、レーザ制御装置１０によって取得されてメモリ１７Ａに記憶される、イベントに応じた保守情報の一例を図３に示す。
【０１１９】
図３において、符号７１で示される項目はイベントを示し、符号７１Ａはイベントの名称を示し、符号７１Ｂで示される項目はイベントの内容を示している。
【０１２０】
符号７２で示される項目はイベント毎の保守情報を示している。
【０１２１】
この実施形態では、符号Ｅ１〜Ｅ１１で示すように１１通りのイベントに応じて保守情報がメモリ１７Ａに記憶される。
【０１２２】
ここで、符号Ｅ１〜５の行におけるビーム状態を示すデータは、ガス圧、レーザ光の波長およびレーザ光の線幅を示している。
【０１２３】
符号Ｅ３の行におけるエラーコード（＊１）は、エラー内容に応じたデータを示している。
【０１２４】
符号Ｅ４の行におけるエラーコード（＊２）は、光品位の異常内容に応じたデータを示している。
【０１２５】
符号Ｅ６の行における各モジュールの保守情報は、消耗品交換後の時間、パルス数を示している。
【０１２６】
符号Ｅ７の行におけるレーザの制御状態を示すデータは、交換したものが手動であるか、あるいは露光機と連動しているかを示している。
【０１２７】
符号Ｅ８の行におけるＷＬはレーザ光の波長を示し、ＢＷはレーザ光の線幅を示している。
【０１２８】
符号Ｅ９の行における波長制御情報は、レーザ光の波長が一定となるように制御するためのパラメータを示し、モニタデータはレーザ光の波長を計測するモニタモジュールによるモニタ結果（モニタデータ）を示している。
【０１２９】
符号Ｅ１０の行における電源のモニタ情報は、要求発行後のｎバースト分の放電電圧、および放電エネルギーを示している。
【０１３０】
符号Ｅ１１の行におけるビーム状態を示すデータ（＊３）は要求発行後のｎバースト分のレーザ光の波長、およびレーザ光の線幅を示している。
【０１３１】
符号Ｅ８〜１１におけるＬｏｇ取得要求操作端末操作とは、ハンディターミナル１９による保守情報取得命令の入力操作のことである。
【０１３２】
なお、上述した保守情報は装置ＩＤと組みになって（対になって）、メモリへの記憶やデータ通信などのデータ処理が行われる。そこで、以降の説明においては、上述した「保守情報」を「保守データ」とし、「この保守データと装置ＩＤとが組みになったもの」を新たな「保守情報」とする。従って、保守情報は装置ＩＤを含むものとし、必要に応じて装置ＩＤが含んでいる旨を併記する。
【０１３３】
ここで定義した内容において、保守データはレーザ制御装置１０と監視端末２０との間のみでデータ通信され、一方、保守情報は、監視端末２０とサーバ装置３０との間、および後述するようにサーバ装置３０と表示端末４０との間でそれぞれデータ通信されるので、用語が混乱することはない。
【０１３４】
図４は、監視端末２０の詳細な構成図を示している。
【０１３５】
監視装置２０は、パーソナルコンピュータ等のコンピュータから構成され、図４に示すように、中央処理装置（以下、ＣＰＵという。）２１と、外部記憶装置２２と、メインメモリ２３と、入力装置２４と、表示装置２５と、シリアル／パラレル通信ポート２６と、ネットワークインタフェース（以下、ネットワークＩＦという。）２７とがバス２８を介してそれぞれ接続されている。
【０１３６】
外部記憶装置２２は、磁気ディスク、光ディスク、フレキシブルディスクなどの記憶手段から構成され、ＣＰＵ２１が保守情報を取得するための処理手順を示すプログラムを含む各種のプログラム、必要に応じて保守情報を格納する。
【０１３７】
メインメモリ２３は、ＲＡＭ等の記憶手段から構成され、外部記憶装置２２からロードされたプログラム、ＣＰＵ２１によって取得された保守情報等の各種のデータを記憶する。
【０１３８】
入力装置２４は、キーボードやマウスなどの入力手段で構成され、所定のプログラムの起動を含む各種の命令を与えるためのものである。
【０１３９】
表示装置２５は、ディスプレイ等の表示手段で構成され、所定の表示情報を表示する。勿論、保守情報が表示される場合もある。
【０１４０】
シリアル／パラレル通信ポート２６は、レーザ制御装置１０との間で、シリアルあるいはパラレルの伝送方式によりデータの送受信を行う。因みに、レーザ制御装置１０との間のデータ通信は、例えば、１０ＢＡＳＥケーブルや１００ＢＡＳＥケーブルを使用したイーサネット（登録商標）を介して行われる。
【０１４１】
ネットワークＩＦ２７は、所定の通信プロトコルに従って、ネットワーク５０を介してサーバ装置３０との間でデータの送受信を行う。
【０１４２】
ＣＰＵ２１は、バス２８を介して上記各構成要素２２〜２７を制御する。例えば、ＣＰＵ２１は、イベントが発生する毎に、シリアル／パラレル通信ポート２６を介して入力されたレーザ制御装置１０からの保守情報（装置ＩＤを含む）を、メインメモリ２３に格納すると共にネットワークＩＦ２７を介してサーバ装置３０へ送信する。
【０１４３】
図５は、サーバ装置３０の詳細な構成図を示している。
【０１４４】
サーバ装置３０は、コンピュータから構成され、図５に示すように、ＣＰＵ３１と、ネットワークＩＦ３２と、データベース３３と、外部記憶装置３４と、メインメモリ３５とがバス３６を介してそれぞれ接続されている。
【０１４５】
ネットワークＩＦ３２は、所定の通信プロトコルに従って、監視端末２０および表示端末４０との間でデータの送受信を行う。
【０１４６】
データベース３３は、ネットワークＩＦ３２を経て入力された保守情報を蓄積する。このデータベース３３の内容は後述する。
【０１４７】
外部記憶装置３４は、例えばデータベース３３の内容を更新するための処理手順、データベース３３の内容に基づく出力情報を生成するための処理手順を含む各種のデータ処理の処理手順を示すプログラムを格納する。
【０１４８】
メインメモリ３５は、ＲＡＭ等の記憶手段から構成され、外部記憶装置３４からロードされたプログラムを記憶する記憶領域、ＣＰＵ３１による出力データの生成などデータ加工する際に必要な記憶領域を備えている。
【０１４９】
ＣＰＵ３１は、バス３６を介して上記各構成要素３２〜３５を制御する。例えば、ＣＰＵ３１は、ネットワークＩＦ３２を介して入力された監視端末２０からの保守情報のうちの保守データを、当該装置ＩＤに対応付けてデータベース３３に蓄積すると共に、当該保守情報をネットワークＩＦ３２を介して表示端末４０へ送信する。また、ＣＰＵ３１は、データベース３３の内容を基に、データを加工して出力データを生成し、該生成された出力データをネットワークＩＦ３２を介して表示端末４０へ送信する。
【０１５０】
ここで、データベース３３の内容の一例を図６に示す。
【０１５１】
データベース３３には、図６に示すように、複数の装置ＩＤ＃１〜＃ｎの各装置ＩＤ毎に保守データが蓄積される。
【０１５２】
同図６において、符号１１０で示される項目はイベントを示し、上述した図３のイベント項目７１に対応し、符号１２０で示される項目はイベント毎の保守データ（レーザ装置の状態を示す情報）を示し、上述した図３の項目７２の記憶内容に対応している。そして、上述した図３の項目７２の記憶内容と図６の項目１２０の記憶内容とは整合性が保たれるようになっている。
【０１５３】
図７は、表示端末４０の詳細な構成図を示している。
【０１５４】
表示端末２０は、パーソナルコンピュータなどのコンピュータから構成され、図７に示すように、ＣＰＵ４１と、ネットワークＩＦ４２と、外部記憶装置４３と、メインメモリ４４と、表示装置４５と、入力装置４６とがバス４７を介してそれぞれ接続されている。
【０１５５】
ネットワークＩＦ４２は、所定の通信プロトコルに従って、ネットワーク５０を介してサーバ装置３０との間でデータの送受信を行う。
【０１５６】
外部記憶装置４３は、保守情報を表示装置４５に表示させるための処理手順を示すプログラムを含む各種のプログラムを格納する。
【０１５７】
メインメモリ４４は、ＲＡＭ等の記憶手段から構成され、ネットワークＩＦ４２を介して入力されたサーバ装置３０からの出力データ（保守情報）、入力装置４６から入力された指令等のデータ、外部記憶装置４３からロードされたプログラムを記憶する。
【０１５８】
表示装置４５は、ディスプレイ等の表示手段で構成され、サーバ装置３０から送信された出力データを表示する。なお、ここでは、サーバ装置３０からの出力データを表示装置４５に表示する場合を考えるので、以降の説明においては、出力データは、表示データとする。
【０１５９】
入力装置４６は、キーボードやマウスなどの入力手段で構成され、所定のプログラムの起動を含む各種の命令を与えるためのものである。
【０１６０】
ＣＰＵ４１は、バス４７を介して上記各構成要素４２〜４６を制御する。例えば、ＣＰＵ４１は、ネットワークＩＦ４２を介して入力されたサーバ装置３０からの表示データを、メインメモリ２３に格納すると共に表示装置４５に表示させる。
【０１６１】
ところで、ネットワーク５０を介してのデータ通信はＯＳＩ参照モデルに準拠した通信プロトコル、例えばＴＣＰ／ＩＰ通信プロトコルに従って行われるようになっているので、上述した監視端末２０のネットワークＩＦ２７、サーバ装置３０のネットワークＩＦ３２、表示端末４０のネットワークＩＦ４２は、ＴＣＰ／ＩＰ通信プロトコルに従ってデータ通信ができるようになっている。
【０１６２】
なお、ネットワーク５０が電話回線の場合には、上記各ネットワークＩＦには、通信制御装置（ＣＣＵ）および網制御装置（ＮＣＵ）から成るモデムが必要となる。
【０１６３】
次に、上述したレーザ装置管理システムにおける保守情報の表示について図８および図９を参照して説明する。
【０１６４】
なお、図８はレーザ装置管理システムを機能的に表現した図を示し、図９はレーザ装置管理システムの処理動作を示すシーケンス図を示している。
【０１６５】
ここでは、以下の条件で処理する場合を想定している。
【０１６６】
レーザ制御装置１０と監視端末２０とはＬＡＮなどの通信回線で接続されていないものとする。
【０１６７】
監視端末２０は、外部記憶装置２２から通信プログラム２１１をメインメモリ２３にロードして実行する。
【０１６８】
サーバ装置３０は、外部記憶装置３４からデータベース更新処理機能２１２と表示データ作成及び通信処理機能２１３とをそれぞれ実施するためのプログラムをメインメモリ３５にロードして実行する。
【０１６９】
表示端末４０は、外部記憶装置４３から通信及び表示プログラム２１４をメインメモリ４４にロードして実行する。
【０１７０】
表示端末４０を利用する利用者は、レーザ制御装置１０の保守情報を必要としている者、例えば保守要員であるとする。
【０１７１】
今、予め決められたイベントとしての例えばガス交換、あるいは半導体製造装置６０がアラームを発生して異常停止するなど、予め設定されたイベントが発生した場合（図９のＳ１参照）、レーザ制御装置１０においては、ユーティリティ制御部１１、波長制御部１２およびエネルギー制御部１２は、自己の制御部による監視結果を示す情報を保守データとして取得して、ＬＡＮ１５Ａを介して主制御部１４へ送信する。
【０１７２】
主制御部１４は、受信した保守データと監視しているレーザ装置の装置ＩＤを対応付けて保守情報としてメモリ１７Ａに記憶する（図９のＳ２参照）。
【０１７３】
オペレータは、予め決められたイベント毎（例えばガス交換毎）、あるいは半導体製造装置６０の異常停止した際に、レーザ制御装置１０に対してハンディターミナル１９を操作して保守情報取得命令を与える。具体的には、上述した図３に示した符号Ｅ１〜符号Ｅ１１で示される全てのイベントまたは任意の所望のイベントについての保守情報を取得させるべく命令を入力する。
【０１７４】
レーザ制御装置１０は、図８に示すように、与えられた指令に基づいて、メモリ１７Ａに記憶されている保守情報をフレキシブルディスク（ＦＤ）等の外部記憶媒体に書き込みを行う（処理Ｐ１）
次に、オペレータは、上記処理Ｐ１で保守情報が書き込まれた外部記憶媒体を監視端末１０上の外部記憶装２２置に挿入し（処理Ｐ２）（図９のＳ３参照）、その後、監視端末１０の入力装置２４を操作してデータ収集用プログラムを起動させる。
【０１７５】
ＣＰＵ２１は、データ収集用プログラムを実行することにより、外部記憶装置２２に挿入された外部記憶媒体から保守情報をメインメモリ２３に読み込むと共に、通信プログラム２１１を実行することにより、読み込んだ保守情報をネットワークＩＦ２７を介してネットワーク５０へ送信する（処理Ｐ３）（図９のＳ４参照）。ネットワークＩＦ２７から送信される送信データはネットワーク５０を介してサーバ装置３０へ送信される（処理Ｐ４）。
【０１７６】
なお、図８においては、監視端末２０は、１つのレーザ制御装置１０からの保守情報のみをデータ処理するようになっているが、複数のレーザ制御装置からの保守情報をデータ処理することもできる。
【０１７７】
サーバ装置３０では、データベース更新処理機能２１２によって、ネットワークＩＦ３２を介して受信した受信データ（つまり保守情報）をデータベース３３に保存する（処理Ｐ５）（図９のＳ５参照）。
【０１７８】
保守情報のデータベース３３への保存に際しては、装置ＩＤ毎に保存データが保存されるようになっているので、複数の監視端末から同時に保守情報が送信されてきた場合には、受信した保守情報に含まれている装置ＩＤを基に、どのレーザ装置からの保守データであるかを認識して、当該装置ＩＤ毎に、対応する保守データの該当する内容を更新する。
【０１７９】
サーバ装置３０は、データベースを更新した場合には、表示データ作成＆通信機能２１３によって、更新後のデータベースに基づいて、表示端末４０へ出力する表示データを作成する（処理Ｐ６）（図９のＳ６参照）。この表示データには装置ＩＤも含まれている。
【０１８０】
このような表示データは、監視端末２０から送信された保守情報に基づいてデータベースが更新される毎のタイミングで作成され、しかも、当該更新されたデータベースの内容に基づいて予め設定されたフォーマットに従って作成される。
【０１８１】
そして、サーバ装置３０は、作成した表示データを、表示データ作成＆通信機能２１３によって、ネットワークＩＦ３２を介して表示端末４０へ送信する（図９のＳ７参照）。この送信された表示データは、ネットワーク５０を介して表示端末４０に入力される（処理Ｐ７、Ｐ８）。
【０１８２】
表示端末４０では、ネットワークＩＦ４２を介して表示データを受信すると、この表示データをメインメモリ４４に記憶すると共に、外部記憶装置からメインメモリ４４に表示プログラムをロードして実行する。
【０１８３】
次に、表示端末４０は、表示プログラムを実行することにより、メインメモリ４４に記憶されている表示データを解釈して表示装置４５に表示する（処理Ｐ９）（図９のＳ８参照）。
【０１８４】
ここで、表示内容の一例を以下に示す。
【０１８５】
（１）保守部品の交換後の使用時間、放電パルス数をトレンド表示する。
【０１８６】
（２）レーザ光の波長や放電電圧などの光品質に関連する値のバラツキをトレンド表示する。
【０１８７】
（３）放電パルス数やレーザ装置の稼働時間などの生産に関連する情報をトレンド表示する。
【０１８８】
上述した処理を終了した時点では、表示端末４０の表示装置４５に表示されているのは、サーバ装置３０によって作成されたデフォルトの表示データに基づく表示内容である。
【０１８９】
そこで、表示端末４０を利用している利用者は、デフォルトの表示データには含まれないデータ例えば過去の履歴情報を要求する場合には、入力装置４６を操作して、表示すべくレーザ装置（レーザ制御装置）の装置ＩＤと共に、何れのイベントについての履歴情報を要求するかということを入力する。
【０１９０】
この要求指示は、ネットワークＩＦ４２、ネットワーク５０を介してサーバ装置３０に送信される（処理Ｐ１０、Ｐ１１）。
【０１９１】
サーバ装置３０では、表示端末４０からの要求に応じて、データベース３３から該当するイベントについての保守データの履歴を読み出して、表示データを作成する。この表示データは、上述した処理Ｐ７、Ｐ８と同様に、ネットワークＩＦ３２、ネットワーク５０を介して表示端末４０に送信される。
【０１９２】
表示端末４０では、上記処理Ｐ９と同様に、履歴が表現されている表示データを表示する。
【０１９３】
この場合の履歴の表示内容の一例を以下に示す。
【０１９４】
（１）放電（あるいは発振）パルス数を折れ線グラフ形式で表示する。
【０１９５】
（２）エラー履歴を表形式で表示する。
【０１９６】
これによって、長期的な保守データの傾向を知ることができる。
【０１９７】
上述したように、レーザ装置に関係するイベントが発生する毎に、当該イベントに応じた保守情報に基づいてデータベースが更新されると共に、該更新後のデータベースに基づいて表示データが作成され、さらに例えば保守要員が利用している表示端末に表示されるので、当該保守要員は、表示された内容を参照して、部品の交換やエラー箇所の修理等の保守作業を実施することが可能となる。
【０１９８】
次に、このような保守情報に基づいた保守作業の実施について図１０を参照して説明する。
【０１９９】
ここでは、レーザ装置としてのガスレーザ装置において、放電回数つまりパルス数が要因となって劣化（消耗）する部品（例えば放電電極）の保守作業を例にして説明する。
【０２００】
図１０において、基準となる時点をｔ０とし、一定期間経過した時点を時点ｔ１、時点ｔ２、時点ｔ３、時点ｔ４とする。また、時点ｔ３は従来における例えば定期保守点検の時期であるとする。
【０２０１】
さて、時点ｔ０から新たな部品を用いて継続的にレーザ発振されている場合には、表示端末４０によって、上述したように、保守部品の交換後の使用時間や、放電パルス数のトレンド表示、あるいはレーザ光の波長や放電電圧などの光品質に関連する値のバラツキのトレンド表示を行うことができる。
【０２０２】
このため、保守要員は、このようなトレンド表示を参照することにより、例えば時点ｔ２の近傍において、時点ｔ２を経過した時点ｔ５で部品交換時期であると予測（ケース１）したり、あるいは例えば時点ｔ３の近傍において、時点ｔ３を経過した時点ｔ６で部品交換時期であると予測（ケース２）することができる。
【０２０３】
このようにして部品交換時期であると予測した時点ｔ５あるいは時点ｔ６において、保守要員は、レーザ装置が設置されている現場で部品交換などの保守作業を実施することができる。
【０２０４】
これに対し、従来においては、定期的に保守作業を実施するようにしているので、例えば時点ｔ３でレーザ装置が設置されている現場に出向いて、部品交換をしていた。しかし、上記ケース１のように時点ｔ５で部品交換しなければならない場合であっても、時点ｔ３でしか部品交換されないこととなり、このため、時点ｔ５〜時点ｔ３の期間中においては、レーザ出力特性が低下し、最終的な製品の品質も保証されないことになる。
【０２０５】
一方、上記ケース２のように時点ｔ６で部品交換をしても良い場合であっても、時点ｔ３で部品交換しなけらばならないこととなり、このため、この時点ｔ３において品質上何ら問題なく、時点ｔ５まで使用することができる部品を交換しなければならず、資源（部品）を有効に利用することができない。
【０２０６】
なお、上記実施形態では、サーバ装置３０は、データベースの更新毎のタイミングで、更新後のデータベースに基づいて表示データを作成するようになっているが、これに限定されることなく、次のようにしても良い。
【０２０７】
すなわち、データベースが更新されなくとも、一定時間経過（つまり一定時間毎）などのイベントに基づいて表示データが作成されるようにしても良い。
【０２０８】
また、上記実施形態では、サーバ装置３０は、更新後のデータベースに基づいて表示データを作成して、表示端末４０へ自動送信するようにしているが、これに限定されることなく、次のようにしても良い。
【０２０９】
すなわち、サーバ装置３０は、表示端末４０から送信されたレーザ装置の装置ＩＤおよび表示データ更新要求を受信し、この更新要求に応答して、表示データを作成して表示端末４０へ送信する。この場合は、表示端末４０からの表示データ更新要求の受信毎のタイミングで表示データが作成され、しかも要求内容に応じた表示データが作成される。
【０２１０】
また、上記実施形態では、監視端末２０と表示端末４０とがそれぞれ独立した構成になっているが、これに限定されることなく、監視端末２０の機能と表示端末４０の機能とを１つの端末で実現するようにしても良い。
【０２１１】
さらに、上記実施形態では、監視端末２０、サーバ装置３０および表示端末４０は、１つのネットワーク５０に接続されているが、これに限定されることなく、これらはネットワーク接続が可能で有れば、グローバル的に接続されていても良い。
【０２１２】
例えば、第１のネットワークに監視端末２０およびサーバ装置３０が接続され、第２のネットワークに表示端末４０が接続され、さらに第１のネットワークと第２のネットワークとが通信回線で接続されて、結果的に、サーバ装置３０と表示端末４０とがデータ通信を実施することができれば良い。
【０２１３】
このように表示端末４０は、ネットワーク接続が可能で有れば、監視端末２０の近傍以外やの場所、サーバ装置の近傍以外の場所であっても構わない。
【０２１４】
以上説明したように、本実施形態によれば、以下の作用効果を得ることができる。
【０２１５】
（１）レーザ装置の状態を示す情報についての緻密なデータ収集が可能になるため、従来において突発的に発生していた不具合のうちの幾つかは事前に予測可能になる。
【０２１６】
（２）緻密なデータ収集が可能になるため、消耗部品の寿命についての正確な予測が可能になる。このため、従来において定期的に部品交換していた消耗部品であっても、性能上使用可能な場合は部品交換をする必要がないこととなり、資源（部品）を有効に利用することができる。
【０２１７】
（３）レーザ装置の状態についての詳細な情報を緻密な間隔（定期的）で収集することができるので、レーザの状態をより緻密にチューニングすることが可能になる。よって、レーザ出力特性などの性能を長期的に維持することができると共に、部品の長寿命化を図ることができる。
【０２１８】
［第２の実施の形態］
図１１は、第２の実施形態に係るレーザ装置管理システムの構成図を示している。
【０２１９】
このレーザ装置管理システムは、図１に示した第１の実施形態のレーザ装置管理システムの構成において、半導体製造装置６０Ａを追加し、複数の半導体製造装置６０、６０Ａ（つまりレーザ制御装置１０、１０Ａ）と監視端末２０とがＬＡＮ８０を介して接続された構成になっている。なお、同図において、図１に示した構成要素と同様の機能を果たす部分には同一符号を付している。
【０２２０】
この第２の実施形態においては、基本的には、第１の実施形態と同様の処理が行われるものの、多少異なっている処理もある。
【０２２１】
次に、この異なっている処理について、レーザ装置管理システムを機能的に表現した様子を示している図１２を参照して説明する。
【０２２２】
なお、レーザ制御装置１０、１０Ａは、外部記憶装置１７Ｂから通信プログラム２１５、２１６をメインメモリ２３にロードして実行する（図２参照）。
【０２２３】
上述した第１の実施形態では、レーザ制御装置１０から監視端末２０への上記保守情報の転送に外部記憶媒体（フレキシブルディスク）を用いているのに対し、第２の実施形態では、レーザ制御装置１０、１０Ａは、上記保守情報をＬＡＮ８０を介して監視端末２０へ送信する（処理Ｐ８１）。この処理Ｐ８１が終了した後は、図８を参照して説明した第１の実施形態と同様の処理が行われる（処理Ｐ３〜Ｐ１１）。
【０２２４】
このようなレーザ装置管理システムにおいては、上述したように一定時間経過、一定放電パルス数の発振などの特定のイベント発生時に、レーザ制御装置１０がレーザ装置から保守情報を取得して、ＬＡＮ８０を介して監視端末２０へ送信することにより、その後、第１の実施形態と同様の処理が実施される。従って、当該特定のイベント発生毎に定期的に保守情報がサーバ装置３０へ送信され、さらに表示端末４０に表示されることになる。
【０２２５】
勿論、第１の実施形態と同様に、レーザ制御装置におけるオペレータによるハンディターミナル１９の保守情報取得命令の入力指示に基づいて、保守情報を取得することもできる。
【０２２６】
なお、第２の実施形態では、上記特定のイベント以外に、ネットワーク５０に接続されている端末、例えば表示端末４０の入力装置４６による所望の装置ＩＤとともに保守情報取得命令の入力指示が行われ場合に、保守情報を取得するようにしても良い。この場合の装置ＩＤおよび保守情報取得命令は、ネットワーク５０を介して監視端末２０に入力され、さらに監視端末２０からＬＡＮ８０を介して、当該所望の装置ＩＤで示されるレーザ装置を制御しているレーザ制御装置１０へ転送される。
【０２２７】
勿論、監視端末２０を利用している利用者が、監視端末２０の入力装置４６を操作して、所望の装置ＩＤとともに保守情報取得命令を入力して、保守情報を要求しても良い。
【０２２８】
以上説明したように、第２の実施形態によれば、上記第１の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【０２２９】
さらに第２の実施形態では、例えば一定の放電パルス数発振などの特定のイベントが発生する毎に、レーザ装置の状態を示す情報（つまり保守情報）が、データベース化されかつ表示端末４０に表示されるので、上記第１の実施形態と比較して、表示端末４０を利用している保守要員は、定期的に表示される表示内容によって、レーザ装置の状態を定期的にかつ正確に把握することができる。
【０２３０】
このとこは、保守要員は、表示内容を基にレーザ装置の不具合や部品の寿命を早めに把握することができることを意味している。
【０２３１】
［第３の実施の形態］
図１３は、第３の実施形態に係るレーザ装置管理システムの構成図を示している。
【０２３２】
第３の実施形態では、サーバ装置３０によって、データベース内の保守情報に基づいて半導体製造装置あるいはレーザ装置の状況を判定し、必要に応じて警告を保守要員に対して通知するようにしたシステムを想定している。
【０２３３】
このレーザ装置管理システムは、図１１に示した第２の実施形態のレーザ装置管理システムの構成において、監視端末２０および表示端末４０を削除し、監視＆表示端末９０を追加した構成になっている。なお、同図において、図１に示した構成要素と同様の機能を果たす部分には同一符号を付している。
【０２３４】
監視＆表示端末９０は、図４に示した監視装置２０と同様のハードウェア構成になっており、監視端末２０の機能および表示端末４０の機能を有している。
【０２３５】
係る構成のレーザ装置管理システムを機能的に表現した様子を図１４に示す。この図１４においては、半導体製造装置については省略している。
【０２３６】
同図１４において、監視＆表示端末９０は、外部記憶装置２２からメインメモリ２３に、監視端末通信プログラム２２１および表示端末通信＆表示プログラム２２２をロードし、プログラム２２１を実行することにより、上記監視端末２０と同様の機能を果たし、一方、プログラム２２２を実行することにより、表示端末４０と同様の機能を果たす。
【０２３７】
サーバ装置３０は、外部記憶装置３４からメインメモリ３５に、データベース更新処理機能２１２、装置状況判定機能２２３および警告通知機能２２４をそれぞれ示すプログラムをロードし、これらのプログラムを実行することにより、該当する機能を遂行する。
【０２３８】
装置状況判定機能２２３は、データベース３３に蓄積された保守情報を基に、レーザ装置にトラブルが発生しているか、または近い将来トラブルが発生しそうであるかを判定する機能である。
【０２３９】
警告通知機能２２４は、装置状況判定機能２２３の判定を受けて、レーザ装置の状況を警告情報としてネットワーク５０を介して監視＆表示端末９０に通知する機能である。
【０２４０】
監視＆表示端末９０は、ＬＡＮ８０を介して転送されてきたレーザ制御装置からの保守情報を受信すると、監視端末通信プログラム２２１を実行することにより、当該保守情報をネットワーク５０を介してサーバ装置３０へ転送する。
【０２４１】
次に、第３の実施形態でのレーザ装置管理システムの処理について上記図１４および図１５を参照して説明する。なお、図１５は、処理動作を示すシーケンス図を示している。
【０２４２】
図示しないレーザ制御装置は、イベントが発生すると（図１５のＳ１１参照）、レーザ装置に関する保守情報を取得して（図１５のＳ１２参照）、ＬＡＮ８０を介して監視＆表示端末９０へ転送する（図１５のＳ１３参照）。
【０２４３】
監視＆表示端末９０は、監視端末通信プログラム２２１を実行することにより、受信した保守情報をネットワーク５０を介してサーバ装置３０へ転送する（処理Ｐ３０１、Ｐ３０２）（図１５のＳ１４参照）。
【０２４４】
サーバ装置３０では、ネットワーク５０を介して転送されてきた保守情報を受信すると、データベース更新処理機能２１２によって、当該保守情報を基にデータベース３３を更新する（処理Ｐ３０３）（図１５のＳ１５参照）。
【０２４５】
次に、サーバ装置３０は、装置状況判定機能２２３によって、データベース３３に蓄積された保守情報を基にレーザ装置の状況を判定（つまり、レーザ装置の状態を診断）すると共に（処理Ｐ３０４）（図１５のＳ１６参照）、警告通知機能２２４によって、当該判定結果に基づくレーザ装置の状況を警告情報として、ネットワーク５０を介して監視＆表示端末９０へ通知する（処理Ｐ３０５、Ｐ３０６）（図１５のＳ１７参照）。
【０２４６】
ところで、監視＆表示端末９０では、ネットワーク５０を介して転送されてきたサーバ装置３０からの警告情報を受信すると、表示端末通信＆表示プログラム２２２を実行することにより、当該受信した警告情報に基づく警告内容を表示装置に表示する。
【０２４７】
これによって、監視＆表示端末９０の表示装置を参照している利用者、たとえば保守要員者は、表示された警告内容を基に、レーザ装置のトラブルを早期に発見して、所定の保守作業を行うことができる。
【０２４８】
ところで、装置状況判定機能２２３によるレーザ装置の状態の判定には、各種の方法があるので、これらの判定方法について説明する。
【０２４９】
（１）保守データと予め設定された判定基準とを比較し、この比較結果に応じて、レーザ装置の状況を判定する。たとえば、保守データに含まれる例えば「放電（あるいは発振）パルス数」と判定基準となるパルス数とを比較し、放電（あるいは発振）パルス数が判定基準値を超えていた場合には、その旨を、一方、放電（あるいは発振）パルス数が判定基準値の例えば７０％や８０％に達していた場合は、その旨を、判定結果とする。
【０２５０】
ここで、具体的な判定例を下記に示す。
【０２５１】
（Ａ）「消耗部品の稼働時間や放電（あるいは発振）パルス数が規定の値を超えた又は近づいた」という旨の判定。
【０２５２】
この判定は、消耗部品の寿命を予測していることを意味し、実際の値が規定の値を超えた場合には消耗部品は寿命に達して部品交換が必要であることを意味し、一方、実際の値が規定の値に近接している場合は、消耗部品は近い将来寿命に達することを意味している。しかし、定期的に保守情報を収集しているので、実際の値が規定の値を超える以前に、消耗部品が近い将来寿命に達するということを把握することができるので、早急に対処することが可能となる。
【０２５３】
（Ｂ）「装置稼働時間、放電（あるいは発振）パルス数が規定の定期メンテナンス間隔を超えた又は近づいた」という旨の判定。
【０２５４】
（２）過去一定期間中に発生したイベントに応じて記憶されている保守データに含まれる「放電（あるいは発振）パルス数」に基づいて、時系列的な変化つまり、時間（期間）に対する放電パルス数の特性を示すグラフを求め、この特性グラフの傾斜の割合を基に、レーザ装置の状態を判定するようにする。この特性グラフの傾斜の割合率が、予め設定された傾斜の割合を超えた場合には、異常である旨を、一方、予め設定された傾斜の割合よりも小さい場合は、その旨を、判定結果とする。
【０２５５】
具体的な判定例を下記に示す。
【０２５６】
（Ａ）「レーザ光の波長や放電電圧などの光品質に関連する値のバラツキが規定の値を超えた又は近づいた」という旨の判定。
【０２５７】
なお、この場合、判定せずに、上記特性グラフを長期トレンド情報として出力するようにしても良い。
【０２５８】
上記第３の実施形態では、サーバ装置３０は、監視＆表示端末９０へ警告情報を送信するようになっているが、これに限定されることなく、次のようにしても良い。
【０２５９】
すなわち、ファクシミリ（ＦＡＸ）や電子メール（Ｅ−ｍａｉｌ）によって、上記監視＆表示端末９０または予め設定された端末へ警告情報を送信する。
【０２６０】
この場合、上記予め設定された端末は、監視＆表示端末９０が設置されている構内においてネットワーク５０と接続された端末でも良いし、ネットワーク５０と単独で接続されている端末でも良い。
【０２６１】
また、サーバ装置３０は、装置ＩＤに対応して、ＦＡＸ番号や電子メールアドレスなどの通知先を記憶している必要がある。これによって、サーバ装置３０は、データベース内の保守情報を基に判定した判定結果（つまりレーザ装置の状況）を警告通知する場合に、当該保守情報に含まれている装置ＩＤに対応して記憶されているＦＡＸ番号や電子メールアドレスを取得して、この通知先へ警告情報を送信することができる。
【０２６２】
以上説明したように、第３の実施形態によれば、上記第２の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【０２６３】
さらに第３の実施形態では、サーバ装置４０の判定処理による判定結果が警告情報として表示装置４０に表示されるので、レーザ装置の不具合や部品の寿命を保守要員自身が把握するようにした上記第２の実施形態と比較して、保守要員は、表示装置４０に表示された表示内容を監視することにより、レーザ装置の不具合や部品の寿命を早期に発見することができる。また、レーザ装置の不具合や部品の寿命の警告内容によっては、保守作業を実施するなどして、トラブルに迅速に対応することができる。
【０２６４】
［第４の実施の形態］
第４の実施形態に係るレーザ装置管理システムは、図１１に示した第２の実施形態と同様の構成になっている。
【０２６５】
この第４の実施形態では、ネットワーク５０はインターネットであるものとし、保守情報などの各種の情報の漏洩を防止するために通信データを暗号化してデータ通信するようにしたシステムを想定している。
【０２６６】
図１６は、第４の実施形態に係るレーザ装置管理システムを機能的に表現した図を示している。なお、図１６においては、半導体製造装置については省略している。
【０２６７】
このレーザ装置管理システムは、図１２に示した第２の実施形態のレーザ装置管理システムの機能構成において、次の機能を追加した構成になっている。
【０２６８】
監視端末２０は暗号化処理機能２３１を有している。サーバ装置３０は復号化処理機能２３２および暗号化＆復号化処理機能２３３を有している。表示端末４０は暗号化＆復号化処理機能２３４を有している。これら各機能を実施するための処理手順を示すプログラムは、該当する構成要素の外部記憶装置に格納され、必要に応じて、メインメモリにロードされ実行される。
【０２６９】
この第４の実施形態においては、基本的には、図１２に示した第２の実施形態と同様の処理が実施されるものの、データを送受信するに際し、暗号化または復号化を実施する点で第２の実施形態と異なっている。
【０２７０】
次に、第２の実施形態と異なる処理について図１６を参照して説明する。
【０２７１】
すなわち、監視端末２０は、レーザ制御装置からの保守情報を受信すると、外部記憶装置２２からメインメモリ２３に、暗号化処理機能２３１を実施するための処理手順を示すプログラムをロードして実行することにより、受信した保守情報について暗号化処理を施した後、サーバ装置３０へ転送する。
【０２７２】
サーバ装置３０は、暗号化された保守情報を受信すると、復号化処理機能２３２によって、この暗号化された保守情報について復号化処理を施す。この復号化された保守情報を基にデータベース３３は更新される。
【０２７３】
そして、サーバ装置３０は、データベース内の保守情報に基づいて作成した表示データを、暗号化＆復号化処理機能２３３によって暗号化する。この暗号化された表示データは、ネットワーク５０を介して表示端末４０へ転送される。
【０２７４】
表示端末４０では、転送されてきた暗号化された表示データを、暗号化＆復号化処理機能２３４によって復号化した後、表示装置４５に表示する。
【０２７５】
なお、表示端末４０は、サーバ装置３０に保守情報取得を要求する場合は、装置ＩＤおよび保守情報取要求を得暗号化＆復号化処理機能２３４によって暗号化した後、データ転送する。一方、サーバ装置３０では、暗号化された装置ＩＤおよび保守情報取要求を、暗号化＆復号化処理機能２３３によって復号化して、表示データの作成を実施することになる。
【０２７６】
なお、第４の実施形態においては、監視端末２０および表示端末４０とサーバ装置３０のそれぞれに対となる圧縮／伸長処理機能を追加し、この圧縮／伸長処理機能を用いることによって、送信時に、送信データに対して圧縮処理を施し、一方、圧縮されたデータに対して、受信時に伸長処理を施すことができる。
【０２７７】
以上説明したように、第４の実施形態によれば、上記第２の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【０２７８】
さらに第４の実施形態では、レーザ装置についての保守情報は、データ圧縮および暗号化の処理が施されて、監視端末２０からサーバ装置３０へ、またサーバ装置３０から表示端末４０へ送信されるので、サーバ装置３０と監視端末２０および表示端末４０との間に使用されるネットワーク５０は、専用回線を使用する必要はなく、インターネットなどの安価な公衆回線を使用することができる。
【０２７９】
また、保守情報がデータ圧縮されてデータ通信されるので、通信データ量を削減し、通信時間を短縮することができる。
【０２８０】
［第５の実施の形態］
図１７は、第５の実施形態に係るレーザ装置管理システムの構成図を示している。
【０２８１】
このレーザ装置管理システムは、図１１に示した第２の実施形態のレーザ装置管理システムの構成において、監視端末２０と同様の機能を果たす監視端末２０Ｎと、表示端末４０と同様の機能を果たす表示端末４０Ｎとを追加した構成になっている。なお、同図において、図１１に示した構成要素と同様の機能を果たす部分には同一符号を付している。
【０２８２】
この第５の実施形態では、複数の監視端末および複数の表示端末がネットワーク５０に接続され、監視端末を利用するユーザも表示端末を利用するユーザも、いわゆる複数のクライアントが保守情報に基づく表示データを参照するために、サーバ装置にアクセスするようにしたシステムを想定している。
【０２８３】
図１８は、レーザ装置管理システムを機能的に表現した図を示している。この図１８においては、半導体製造装置については省略している。
【０２８４】
このレーザ装置管理システムは、図１６に示した第４の実施形態のレーザ装置管理システムの機能構成において、サーバ装置３０にアクセス制御機能２４１、２４２を追加した構成になっている。これら各機能を遂行させるためのプログラムは、それぞれ該当する構成要素の外部記憶装置に格納され、必要に応じてメインメモリにロードされ実行される。
【０２８５】
アクセス制御機能２４１は、複数の監視端末からのアクセスを制御するものであり、アクセス制御機能２４２は、複数の表示端末からのアクセスを制御するものである。勿論、２つのアクセス制御機能に分けることなく、１つのアクセス制御機能によって、複数の監視端末及び表示端末からのアクセスを制御するようにしても良い。
【０２８６】
この第５の実施形態においては、基本的には、図１６に示した第４の実施形態と同様の処理が実施されるものの、サーバ装置３０に対するアクセスを制御する点で第４の実施形態と異なっている。
【０２８７】
次に、第４の実施形態と異なる処理について図１９を参照して説明する。なお、図１９はサーバ装置にけるアクセス制御の処理動作を示すフローチャートを示している。
【０２８８】
最初に、複数の監視端末２０、２０Ｎや複数の表示端末４０、４０などの複数のユーザは、サーバ装置３０に対してアクセス許可を要求する場合は、ユーザＩＤおよびパスワードを入力してサーバ装置３０へ送信する。
【０２８９】
ここでは、表示端末４０がアクセス許可要求を発行するものとし、この表示端末４０においては、監視端末２０の管理下にある半導体製造装置あるいはレーザ装置のうちの、装置ＩＤ＝＃１で示される装置についての表示データを要求することができるものとする。また、ユーザＩＤ＝ＸＸ４０、パスワード＝ＹＹ４０を有するユーザＡは、サーバ装置３０に対するアクセス権を有する正当なユーザであるものとする。
【０２９０】
また、サーバ装置３０においては、ユーザＩＤ＝ＸＸ４０とパスワード＝ＹＹ４０と装置ＩＤ＝＃１とが対応付けられて記憶されているものとする。
【０２９１】
サーバ装置３０は、ユーザＡからのユーザＩＤ（ＸＸ４０）及びパスワード（ＹＹ４０）を受信した場合（ステップＳ２１）、自己に記憶されているユーザＩＤとパスワードの組み合わせのデータに基づいて、受信したユーザＩＤとパスワードは正当な組み合わせか否かを判断し（ステップＳ２２）、正当であると判断した場合は、当該ユーザに対して装置ＩＤを要求する。
【０２９２】
これに応答した前記ユーザは、半導体製造装置あるいはレーザ装置を示す所望の装置ＩＤを入力してサーバ装置３０へ送信する。なお、ステップＳ２２において正当な組み合わせであると判断された場合は、当該ユーザＡは、サーバ装置３０に対するアクセス権を有する正当なユーザであることになる。
【０２９３】
サーバ装置３０は、ユーザＡの入力による所望の装置ＩＤを受信した場合（ステップＳ２３）、自己に記憶されている装置ＩＤとユーザＩＤの組み合わせのデータに基づいて、前記受信した装置ＩＤと既に受信しているユーザＩＤ（ＸＸ４０）は正当な組み合わせか否かを判断する（ステップＳ２４）。
【０２９４】
ステップＳ２４において、装置ＩＤ「＃１」とユーザＩＤ「ＸＸ４０」の組み合わせが正当であると判断したサーバ装置３０は、当該ユーザＡに対してアクセス許可を通知する（ステップＳ２５）。
【０２９５】
一方、ステップＳ２２においてユーザＡからのユーザＩＤ及びパスワードの組み合わせが不当な場合、ステップＳ２４において、ユーザＩＤ「ＸＸ４０」と他のレーザ装置を示す装置ＩＤ（＃２）の組み合わせが不当な場合、サーバ装置３０は、当該ユーザＡに対してアクセス禁止を通知する（ステップＳ２６）。
【０２９６】
アクセス許可を受信したユーザＡは、イベントに応じた保守情報に基づく、デフォルトの表示データ、あるいは過去の履歴情報の表示データなどの保守情報に関する表示データの要求をサーバ装置３０に送信することができる。
【０２９７】
なお、上記第５の実施形態では、アクセス許可が与えられた後、保守情報に関する表示データの要求を行うようにしているが、これに限定されることなく、当該表示データの要求と共に装置ＩＤをサーバ装置３０へ送信するようにしても良い。
【０２９８】
この場合、アクセス許可と判断された場合には該当する装置ＩＤに対応する表示データが作成されて、ユーザに対して送信され、一方、アクセス禁止と判定された場合はその旨がユーザに通知される。
【０２９９】
以上説明したように、第５の実施形態によれば、上記第４の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【０３００】
また、第５の実施形態では、サーバ装置３０は、装置ＩＤ、ユーザＩＤ、パスワードを基にユーザを認証した上で、表示データ（つまり保守情報）を要求元に送信するようにしているので、複数のユーザからの表示データの送信要求がサーバ装置３０に送信された場合であっても、異なるユーザ間でのデータ漏洩を防止することができる。例えば、ユーザＡの表示端末に、ユーザＢが保守および管理すべきレーザ装置についての表示データが表示されるという事態を防止することができる。この場合は、ユーザＡの表示端末には、当該ユーザＡが保守および管理すべきレーザ装置についての表示データが表示される。
【０３０１】
さらに第５の実施形態によれば、サーバ装置３０にアクセスする表示端末４０は、装置ＩＤ、ユーザＩＤ、パスワードを基に認証された上で、データ圧縮および暗号化された表示データを受信するようになっているので、データの機密性が確保される。このことは、表示端末４０としては汎用コンピュータを使用することができ、またネットワーク５０としては汎用の通信回線、例えば公衆回線を使用することができることを意味している。
【０３０２】
［第６の実施の形態］
第６の実施形態に係るレーザ装置管理システムは、図１１に示した第２の実施形態と同様の構成になっている。
【０３０３】
この第６の実施形態では、監視端末２０および表示端末４０によって、各端末の機能を遂行するためのプログラムをサーバ装置３０からダウンロードし、このダウンロードしたプログラムを実行するようにしたシステムを想定している。
【０３０４】
図２０は、第６の実施形態に係るレーザ装置管理システムを機能的に表現した図を示している。
【０３０５】
この遠隔保守システムは、図１２に示した第２の実施形態のレーザ装置管理システムの機能構成において、監視端末２０に配布プログラム実行機能２５１を追加し、サーバ装置３０にプログラム配布機能２５２を追加し、表示端末４０に配布プログラム実行機能２４３を追加した機能構成になっている。これら各機能を遂行させるためのプログラムは、それぞれ該当する構成要素の外部記憶装置に格納され、必要に応じてメインメモリにロードされ実行される。
【０３０６】
なお、同図において、図１２に示した構成要素と同様の機能を果たす部分には同一符号を付している。また、半導体製造装置については省略している。
【０３０７】
プログラム配布機能２５２は、監視端末２０に対して監視端末プログラム２５２Ａを配布し、表示端末２０に対しては表示端末プログラム２５２Ｂを配布する機能である。配布プログラム実行機能２５１、２５３は配布されたプログラムを実行する機能である。監視端末プログラム２５２Ａ、表示端末プログラム２５２Ｂは、バージョン毎に予め外部記憶装置３４に格納される。
【０３０８】
また、この場合のサーバ装置３０には、上述した保守情報に加えて、データのプロパティ（フォーマット、項目数）および解析手法（例えば、部品の寿命の予測や、不具合の事前予測を実施するたに保守情報を解析する処理機能）そのものも保存されている。
【０３０９】
この第６の実施形態は、基本的には、第２の実施形態と同様の処理が行われるものの、プログラム配布処理が行われる点で第２の実施形態と異なっている。
【０３１０】
次に、サーバ装置３０によるプログラム配布処理について説明する。
【０３１１】
レーザ制御装置が実行するプログラム、例えば保守情報を取得して外部へ出力するための処理手順を示すプログラムがバージョンアップされて、データのプロパティ（フォーマット、項目数）が変更されたとする。
【０３１２】
この場合は、監視端末２０、サーバ装置３０および表示端末４０においても、上記バージョンアップされたプログラムの実行により有効となるデータのプロパティ（フォーマット、項目数）の整合性が取れていないとデータの解析をすることができないことになる。
【０３１３】
そこで、第６の実施形態では、サーバ装置３０において、例えば、サーバ装置の管理者によって、上記レーザ制御装置が実行するプログラムの変更内容に応じて、上記データのプロパティおよび解析手法を変更すると共に、監視端末プログラム２５２Ａおよび表示端末プログラム２５２Ｂを変更する。
【０３１４】
そして、サーバ装置３０は、プログラムがバージョンアップされた旨を表示端末あるいは監視端末へ送信する。
【０３１５】
例えば、表示端末４０は、表示装置に画面表示された「表示端末プログラムがバージョンアップされた旨」に基づき、ユーザＩＤおよびパスワードなどユーザ認証に必要な情報と共に当該プログラムをダウンロードする旨を入力する。
【０３１６】
これらのデータは、ネットワーク５０を介してサーバ装置３０に送信されるので、サーバ装置３０は、受信したユーザＩＤおよびパスワードに対応する表示端末へバージョンアップされた表示端末プログラム２５２Ｂを送信する。
【０３１７】
表示端末４０では、受信したバージョンアップされた表示端末プログラム２５２Ｂを、外部記憶装置４３に格納する。つまり、この表示端末プログラム２５２Ｂは、ネットワーク５０を介して外部記憶装置４３にダウンロードされる。
【０３１８】
表示端末４０では、配布プログラム実行機能２５３によって、ダウンロードされた表示端末プログラム２５２Ｂを実行することにより、新規の表示端末プログラム２５２Ｂ又はバージョンアップされた表示端末プログラム２５２Ｂの実行に基づいた表示データの表示を行うことができる。
【０３１９】
同様にして、監視端末２０においても、変更後のデータのプロパティを実行可能なバージョンアップされた監視端末プログラム２５２Ａが、サーバ装置３０からネットワーク５０を介してダウンロードされる。
【０３２０】
なお、従来においては、監視端末プログラム２５２Ａや表示端末プログラム２５２Ｂを利用するために、監視端末２０および表示端末４０が設置されている場所で、当該プログラムのインストール作業を実施していた。また、これらの端末は複数の場所に分散されている可能性が高いため、端末の機能を変更したり、端末プログラムの保守を実施する場合には、端末が設置されている場所で該当するプログラム（例えばバージョンアップされたプログラム）のインストール作業なを実施する必要があり、面倒であった。
【０３２１】
以上説明したように、第６の実施形態によれば、第２の実施形態と同様の作用効果が得られる。
【０３２２】
また、第６の実施形態では、表示端末４０は、サーバ装置３０から表示端末プログラムをダウンロードして、実行することができるので、表示端末プログラムがバージョンアップされた場合であっても、バージョンアップが行われる毎に、その表示端末プログラムをサーバ装置からダウンロードすることにより、常に最新の表示端末プログラムを実行することができる。
【０３２３】
このため、例えば、サーバ装置３０に表示端末用の表示プログラムを複数用意することによって、様々な保守情報の解析手段（例えば、部品の寿命の予測や、不具合の事前予測を実施するたに保守情報を解析する処理機能）を容易に提供することが可能となる。このことは、端末プログラムの変更および保守を容易にできることを意味している。
【０３２４】
さらに、第６の実施形態では、サーバ装置３０は、複数の工場に配置されている半導体製造装置、あるいはレーザ装置の状態情報を保存しているのみでなく、データのプロパティ（フォーマット、項目数）および上記解析手法そのものも保持しているので、サーバ装置３０は、これらデータのプロパティおよび解析手法の内容に応じた表示データを、表示データ送信を要求した表示端末へ送信することができる。
【０３２５】
このため、レーザ装置の制御ソフトウェア（つまりレーザ制御装置が実行するソフトウェア）が変更されて、データのプロパティが変更されたとしても、サーバ装置３０において、表示端末プログラムの当該データのプロパティに対応する箇所を修正し、この修正済の表示端末プログラムを表示端末へ配布すれば良いこととなり、よって表示端末側での表示端末プログラムの修正は不要になる。
【０３２６】
［第７の実施の形態］
第７の実施形態に係るレーザ装置管理システムは、図１１に示した第２の実施形態と同様の構成になっている。
【０３２７】
この第７の実施形態では、サーバ端末４０によって、半導体製造装置あるいはレーザ装置を制御するためのプログラムやパラメータを変更するようにしたシステムを想定している。
【０３２８】
図２１は、第７の実施形態に係るレーザ装置管理システムを機能的に表現した図を示している。
【０３２９】
このレーザ装置管理システムは、図１２に示した第２の実施形態のレーザ装置管理システムの機能構成において、レーザ制御装置１０、１０Ａにプログラム＆パラメータダウンロード機能２６１、２６２を追加し、監視端末２０にプログラム＆パラメータ転送機能２６３を追加し、サーバ装置３０にプログラム＆パラメータ配布機能２６４を追加した構成になっている。これら各機能を遂行させるためのプログラムは、それぞれ該当する構成要素の外部記憶装置に格納され、必要に応じてメインメモリにロードされ実行される。
【０３３０】
なお、同図において、図１２に示した構成要素と同様の機能を果たす部分には同一符号を付している。また、表示端末４０については省略している。
【０３３１】
プログラム＆パラメータ配布機能２６４は、レーザ制御装置１０、１０Ａに対して、レーザ制御装置において実行されるプログラムを示す装置プログラム２６４Ａやレーザ制御装置において設定されるパラメータを示す装置パラメータ２６４Ｂを配布する機能である。
【０３３２】
プログラム＆パラメータ転送機能２６３は、レーザ制御装置１０、１０Ａへ装置プログラム２６４Ａあるいは装置パラメータ２６４Ｂを転送するための機能である。
【０３３３】
プログラム＆パラメータダウンロード機能２６１、２６２は、転送されてきた装置プログラム２６４Ａあるいは装置パラメータ２６４Ｂをダウンロードするための機能である。
【０３３４】
装置プログラム２６４Ａや装置パラメータ２６４Ｂは、予め外部記憶装置３４に格納される。
【０３３５】
この第６の実施形態は、基本的には、第２の実施形態と同様の処理が行われるものの、プログラム＆パラメータ配布処理が行われる点で第２の実施形態と異なっている。
【０３３６】
次に、サーバ装置３０によるプログラム＆パラメータ配布処理について説明する。
【０３３７】
例えば、保守要員が、表示端末４０に表示された表示内容を監視することにより、レーザ装置の運転状況に変化があったと認識して、一定の放電エネルギーを得るために、入力装置４６を操作して、当該レーザ装置の装置ＩＤの入力と共に、当該レーザ装置のパラメータの値を変更して、パラメータの変更要求を指示したとする。このとき変更されたパラメータを装置パラメータ２６４Ｂとする。
【０３３８】
この装置パラメータ２６４Ｂおよび装置ＩＤは、ネットワーク５０を介してサーバ装置３０に入力される、メインメモリ３５に記憶される。
【０３３９】
すると、サーバ装置３０では、装置パラメータ２６４Ｂを配布するために、外部記憶装置３４からメインメモリ３５へ、プログラム＆パラメータ配布機能２６４をロードして、実行する。
【０３４０】
これによって、メインメモリ３５に既に記憶されている装置パラメータ２６４Ｂおよび装置ＩＤが、当当該装置ＩＤで示されるレーザ装置を制御しているレーザ制御装置を管理している監視端末（例えば監視端末２０）へ送信される。
【０３４１】
この装置パラメータ２６４Ｂ及び装置ＩＤはネットワーク５０を介して監視端末２０に入力される。監視端末２０は、受信した装置パラメータ２６４Ｂを、受信した装置ＩＤで示されるレーザ装置を制御しているレーザ制御装置（例えばレーザ制御装置１０）へ転送する。
【０３４２】
このレーザ制御装置１０は、外部記憶装置１７Ｂからメモリ１７Ａへ、プログラム＆パラメータダウンロード機能２６１を遂行させるためのプログラムをロードし、実行することにより、転送されてきた装置パラメータ２６４Ｂをダウンロードする。
【０３４３】
上記同様にして、装置プログラム２６４Ａについても、サーバ装置３０からレーザ制御装置１０にダウンロードすることができる。
【０３４４】
なお、上述したようにレーザ装置の運転状況に応じてパラメータの値を変更する理由は下記の通りである。
【０３４５】
すなわち、レーザ装置の求められている一定の放電エネルギーを出力するためには、電圧とガス圧を調整すれば良い。しかし、電圧とガス圧とはトレードオフの関係にある。また、長期トレンドの動作ガス圧の上昇が、レーザチャンバの寿命を決定している。
【０３４６】
そこで、導入初期は、動作電圧を低めに設定し、一方、動作ガス圧は高めに設定する。劣化等により動作ガス圧が上昇したことが検出された場合、動作電圧を高めに設定すれば、再び動作ガス圧は低くなる。このように動作電圧をレーザ装置の状態（動作ガス圧）に応じて変化させて使用した方が、動作電圧を固定して使用した場合よりも、レーザチャンバの寿命を伸ばすことができる。
【０３４７】
このため、第７の実施形態では、上述したように遠隔地に位置する表示端末４０において、レーザ装置の状態を示す情報（保守データ）について、たとえば一定の放電パルス数発振毎に発生するイベントに応じてデータ収集が可能となる。
【０３４８】
この結果、保守要員は、定期的にデータ収集された保守データを基に、動作電圧、動作ガス圧および発振負荷を把握することにより、放電電極やウインドウなどの機差（固体差）の影響などを考慮した当該レーザ装置に最適な動作電圧のパラメータ値を設定することができることとなり、よってレーザ装置の寿命を伸ばすことができる。
【０３４９】
ところで、従来においては、劣化等により動作ガス圧が上昇したことが検出された場合、ショット数に応じて動作電圧を再設定する方法が採用されているが、この場合、機差、レーザ装置の運転状況によっては、最適な効果を得られない場合があった。
【０３５０】
以上説明したように、第７の実施形態によれば、第２の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【０３５１】
さらに第７の実施形態では、レーザ装置を制御するためのプログラムやパラメータの保守作業も遠隔地から実施することが可能となり、よってレーザ装置の保守作業の効率を向上させることが可能となる。
【０３５２】
［第８の実施の形態］
図２２は、第８の実施形態に係るレーザ装置管理システムの構成図を示している。
【０３５３】
このレーザ管理システムは、基本的には、図１１に示した第２の実施形態のレーザ装置管理システムの構成と同様であるものの、監視端末にサーバ装置の機能を持たせている点で第２の実施形態と異なっている。
【０３５４】
すなわち、このレーザ装置管理システムは、１つの工場３１０に、複数の半導体製造装置３１１−１、３１１−２、・・・、３１１−ｎと、監視端末３１２とがＬＡＮ３１３を介して接続されている。また、監視端末３１２はローカル的にサーバ装置３１４との間でデータ通信を行う。ここでは、監視端末３１２は擬似的にサーバ装置３１４の機能を有していることになる。
【０３５５】
サーバ装置３１４と複数の表示端末３１５、３１６とがネットワーク３１７を介して接続されている。また、サーバ３１４と表示端末３１８とがネットワーク３１９を介して接続されている。
【０３５６】
さらに、表示端末３１８と、工場３１０Ａ、３１０Ｂ内のサーバ装置とがネットワーク３１９を介して接続されている。
【０３５７】
上述した各構成要素の機能は、図１１に示した第２の実施形態のレーザ装置管理システムと同様の機能を有している。したがって、ここでは、その説明を省略する。
【０３５８】
この第８の実施形態によれば、サーバ装置を監視端末に持たせたので、工場内でデータをクローズすることができる。
【０３５９】
［第９の実施の形態］
図２３は、第９の実施形態に係るレーザ装置管理システムの構成図を示している。
【０３６０】
このレーザ管理システムは、基本的には、図１１に示した第２の実施形態のレーザ装置管理システムの構成と同様であるものの、露光機がＬＡＮに接続される点で第２の実施形態と異なっている。
【０３６１】
すなわち、このレーザ装置管理システムは、１つの工場４１０に、複数の半導体製造装置４１１、４１２、４１３と、監視端末４１４とがＬＡＮ４１５を介して接続されている。また、監視端末４１４は、ネットワーク４１６を介してサーバ装置４１７と接続されている。
【０３６２】
複数の半導体製造装置４１１、４１２、４１３においては、露光機４１１Ａ、４１２Ａ、４１３ＡがＬＡＮ４１５に接続されている。これら各露光機を経由してレーザ制御装置により取得された保守情報を監視端末４１４へ送信する。このとき、各露光機の状態も合わせて監視端末４１４へ送信することができる。
【０３６３】
また、サーバ装置４１７には、複数の表示端末４１８Ａ、４１８Ｂ、４１８Ｃがネットワーク４１６を介して接続されていると共に、工場４１０Ａ、４１０Ｂの監視装置がネットワーク４１６を介して接続されている。
【０３６４】
工場４１０Ａ、４１０Ｂ内にも、工場４１０内の構成要素と同様の構成になっている。
【０３６５】
上述したした半導体製造装置、監視端末、サーバ装置は、図１１に示した第２の実施形態のレーザ装置管理システムと同様の機能を有しているので、ここでは、その説明を省略する。
【０３６６】
この第９の実施形態によれば、露光機経由でデータを収集する場合、既存のコンピュータ統合生産システム（ＣＩＭ）回線を使用できる。また、レーザ装置に加えて、露光機の情報も合わせて管理することができる。
【０３６７】
［第１０の実施の形態］
この第１０の実施形態では、異なるバージョンの複数のプログラム間で上位互換性が維持されない場合のレーザ装置管理システムを想定している。
【０３６８】
すなわち、装置プログラムのバージョンが、エンドユーザやレーザ装置（あるいは、このレーザ装置を制御するレーザ制御装置）の種類により複数存在した場合に、常に最新のバージョンに対応する監視端末プログラムあるいは表示端末プログラムを全ての監視端末あるいは表示端末に対して適用すると不都合な場合がある。すなわち、異なるバージョンの複数の監視端末プログラム間あるいは複数の表示端末プログラム間において上位互換性が保たれないような場合である。
【０３６９】
そこで、第１０の実施形態では、例えば上位互換性が保たれないような場合であっても、各レーザ装置毎に、正確に保守情報を収集し、表示することができるレーザ装置管理システムを想定している。
【０３７０】
この第１０の実施形態に係るレーザ装置管理システムは、第６の実施形態と同様に、図１１に示した第２の実施形態のレーザ装置管理システムと同様の構成になっている。
【０３７１】
図２４は、第１０の実施形態に係るレーザ装置管理システムを機能的に表現した図を示している。
【０３７２】
図２４に示したレーザ装置管理システムは、図２０に示した第６の実施形態のレーザ装置管理システムの機能構成において、図１２に示した第２の実施形態におけるレーザ制御装置１０を追加し、また、サーバ装置３０の機能を変更した構成になっている。なお、同図において、図２０に示した構成要素と同様の機能を果たす部分には同一符号を付している。
【０３７３】
サーバ装置３０の機能構成において、装置ＩＤ／装置プログラムバージョンＩＤ対応表（以下、ＩＤ対応表という。）５１０と、プログラム選択機能５２０と、機能選択機能５３０とを追加し、また、表示データ作成＆通信機能２２３を複数（Ｎ個）の表示データ作成＆通信機能５４０−１〜５４０−Ｎに変更し、さらに、監視プログラム２５２Ａを複数（Ｎ個）の監視プログラム５５０−１〜５５０−Ｎに変更した構成になっている。
【０３７４】
ＩＤ対応表５１０は、図２５に示すように、装置ＩＤを記憶する領域６１０と、該領域６１０に記憶されている装置ＩＤで示されるレーザ制御装置によって実行される装置プログラムのバージョンを示す識別情報（以下、装置プログラムバージョンＩＤという。）を記憶する領域６２０とから構成されている。
【０３７５】
なお、図２５において、装置プログラムバージョンＩＤの「Ｖｅｒ．Ｎｏ」の値が大きいものほど、装置プログラムのバージョンが新しいものとする。
【０３７６】
プログラム選択機能５２０は、ＩＤ対応表５１０の内容を参照して、監視端末２０から指定された装置ＩＤに対応する装置プログラムバージョンＩＤを特定すると共に、Ｎ個の監視端末プログラム５５０−１〜５５０−Ｎの中から、前記特定した装置プログラムバージョンＩＤに対応する監視端末プログラムを選択する。
【０３７７】
機能選択機能５３０は、ＩＤ対応表５１０の内容を参照して、表示端末４０から指定された装置ＩＤに対応する装置プログラムバージョンＩＤを特定すると共に、Ｎ個の表示データ作成＆通信機能５４０−１〜５４０−Ｎの中から、前記特定した装置プログラムバージョンＩＤに対応する表示データ作成＆通信機能を選択する。
【０３７８】
Ｎ個の表示データ作成＆通信機能５４０−１〜５４０−Ｎは、複数の装置プログラムバージョンＩＤに対応して設けられ、表示データを作成するための表示データ作成機能および作成した表示データを送信するための通信機能である。装置プログラムバージョンＩＤが例えば１０通り存在すれば、１０個（Ｎ＝１０）の表示データ作成＆通信機能が存在する。
【０３７９】
なお、この第１０の実施形態では、装置プログラムバージョンＩＤに対応する装置プログラムによる処理の違いを表示データ作成機能で吸収する一方、表示端末プログラムは、表示データ作成機能で作成された表示データを表示する機能を有し、装置プログラムバージョンＩＤに対応する装置プログラムによる表示端末プログラム自身のプログラム内容の違いはないものとしている。
【０３８０】
したがって上述した例では、装置プログラムバージョンＩＤが例えば１０通り存在している場合においては、１つの表示端末プログラムのみが存在している。
【０３８１】
勿論、サーバ装置３０に、複数の装置プログラムバージョンＩＤに対応する複数の表示端末プログラムを設けるようにしても良い。この場合は、図２５に示したＩＤ対応表５１０と表示端末４０によって指定される装置ＩＤとに基づいて、表示端末プログラムが選択されることになる。
【０３８２】
Ｎ個の監視端末プログラム５５０−１〜５５０−Ｎは、複数の装置プログラムバージョンＩＤに対応して設けられ、監視端末２０が実行すべき処理の処理手順を示すプログラムである。装置プログラムバージョンＩＤが例えば１０通り存在すれば、１０個（Ｎ＝１０）の監視端末プログラムが存在する。
【０３８３】
なお、上述したＩＤ対応表５１０、プログラム選択機能５２０、機能選択機能５３０、Ｎ個の表示データ作成＆通信機能５４０−１〜５４０−Ｎ、およびＮ個の監視プログラム５５０−１〜５５０−Ｎは、外部記憶装置３４に格納され、必要に応じてメインメモリ３５にロードされ実行される（図５参照）。
【０３８４】
この第１０の実施形態では、装置プログラムバージョンＩＤ＝「Ｖｅｒ．１」〜「Ｖｅｒ．５」にそれぞれ対応して、表示データ作成＆通信機能５４０−１〜５４０−５、および監視端末プログラム５５０−１〜５５０−５が選択されるものとする。例えば、装置プログラムバージョンＩＤ＝「Ｖｅｒ．４」の場合は、表示データ作成＆通信機能５４０−４、および監視端末プログラム５５０−４がそれぞれ選択されるものとする。
【０３８５】
レーザ制御装置１０では、制御対象であるレーザ装置を制御するための処理手順を示すプログラム（つまり装置プログラム）、当該装置プログラムのバージョンに対応する装置プログラムバージョンＩＤおよび当該レーザ装置の装置ＩＤを外部記憶装置１７Ｂに格納し、必要に応じてメモリ１７Ａにロードする（図２参照）。
【０３８６】
かかる構成のレーザ装置管理システムの処理について、図２６および図２７を参照して説明する。
【０３８７】
なお、図２６は、監視端末２０による保守情報の転送を説明するための図を示し、図２７は、表示端末４０による保守情報の表示を説明するための図を示している。
【０３８８】
最初に、監視端末２０による保守情報の転送について説明する。
【０３８９】
最初に、図２６に示すように、レーザ制御装置１０は、たとえば自己装置が実行する装置プログラムがバージョンアップされた場合に、当該装置プログラムの装置プログラムバージョンＩＤと、制御対象のレーザ装置に対応する装置ＩＤを監視端末２０へ送信する（処理Ｐ４０１）。
【０３９０】
ここでは、装置ＩＤ＝＃１で示されるレーザ装置を制御するレーザ制御装置１０の装置プログラムのバージョンが「Ｖｅｒ．３」から「Ｖｅｒ．４」に更新されたものとする。従って、処理Ｐ４０１では、装置ＩＤ＝＃１および装置プログラムバージョンＩＤ＝Ｖｅｒ．４が、レーザ制御装置１０から監視端末２０へ送信されたことになる。
【０３９１】
監視端末２０はでは、レーザ制御装置１０から取得した装置ＩＤ＝＃１および装置プログラムバージョンＩＤ＝Ｖｅｒ．４をサーバ装置３０へ転送する。これら各データは、ネットワーク５０を経てサーバ装置３０によって受信される（処理Ｐ４０２、Ｐ４０３）。
【０３９２】
サーバ装置３０においては、プログラム選択機能５２０によって、複数の監視端末プログラム５５０−１〜５５０−Ｎの中から、受信した装置プログラムバージョンＩＤ＝Ｖｅｒ．４に対応する監視端末プログラムを選択すると共に、既に受信している装置ＩＤ＝＃１および装置プログラムバージョンＩＤ＝Ｖｅｒ．４に基づいて、ＩＤ対応表５１０を更新する（処理Ｐ４０４）。
【０３９３】
この処理Ｐ４０４では、例えば装置プログラムバージョンＩＤ＝Ｖｅｒ．４に基づいて監視端末プログラム５５０−４が選択されるとともに、ＩＤ対応表５１０における装置ＩＤ＝＃１に対応する領域６２０の欄は、「Ｖｅｒ．３」から「Ｖｅｒ．４」に更新される。
【０３９４】
次に、サーバ装置３０では、プログラム配布機能２５０によって、プログラム選択機能５２０により選択された監視端末プログラム５５０−４を、外部記憶装置３４からメインメモリ３５へロードして監視端末２０へ送信する（処理Ｐ４０５）。この監視端末プログラム５５０−４は、ネットワーク５０を経て監視端末２０の外部記憶装置２２にダウンロードされる。
【０３９５】
監視端末２０は、ダウンロードされた監視端末プログラム５５０−４を外部記憶装置２２からメインメモリ２３にロードして実行し、さらにレーザ制御装置１０から保守情報（保守データおよび装置ＩＤ）を取得すると共に（処理Ｐ４０６）、該取得した保守情報をサーバ装置３０へ転送する。この保守情報は、ネットワーク５０を経てサーバ装置３０によって受信される（処理Ｐ４０７、Ｐ４０８）。
【０３９６】
このようにして保守情報を受信したサーバ装置３０では、データベース更新処理機能２１２によって、受信した保守情報に基づいてデータベース３３を更新する（処理Ｐ４０９）。
【０３９７】
次に、表示端末４０による保守情報の表示について説明する。
【０３９８】
ここでは、表示端末４０には、予め表示端末プログラム２５２Ｂがダウンロードされているものとする。また、表示端末４０は装置ＩＤ＝＃１で示されるレーザ装置の状態を監視するものとする。
【０３９９】
表示端末４０は、監視したいレーザ装置の保守情報を表示させるべく、表示要求を当該レーザ装置の装置ＩＤ（この例では、＃１）と共にサーバ装置３０へ送信する（処理Ｐ４１１、Ｐ４１２）。これら各データは、ネットワーク５０を経てサーバ装置３０によって受信される。
【０４００】
サーバ装置３０においては、機能選択機能５３０が、ＩＤ対応表５１０を参照して、受信した装置ＩＤ＝＃１を基に装置プログラムバージョンＩＤを特定すると共に、該特定した装置プログラムバージョンＩＤに対応する表示データ作成＆通信機能を選択する（処理Ｐ４１３）。
【０４０１】
この処理Ｐ４１３では、ＩＤ対応表５１０を基に装置ＩＤ＝＃１に対応する装置プログラムバージョンＩＤ＝Ｖｅｒ．４が特定されると共に、この装置プログラムバージョンＩＤ＝Ｖｅｒ．４を基に、複数の表示データ作成＆通信機能の中から表示データ作成＆通信機能５４０−４が選択される。
【０４０２】
次に、サーバ装置３０では、機能選択機能５３０によって選択された表示データ作成＆通信機能５４０−４と、データベース３３に保存されているデータとに基づいて表示データを作成して（処理Ｐ４１４）、表示端末４０へ送信する（処理Ｐ４１５、Ｐ４１６）。この表示データは、ネットワーク５０を経て表示端末４０によって受信される。
【０４０３】
表示端末４０では、既にダウンロードされている表示端末プログラム２５２Ｂを配布プログラム実行機能２５３によって実行することにより、サーバ装置３０からの表示データを表示装置４５に表示する。
【０４０４】
以上説明したように、第１０の実施形態によれば、装置プログラムバージョンを取得して、そのバージョンに対応する表示データ作成＆通信機能あるいは監視端末プログラムを選択することにより、各レーザ装置それぞれが実行する装置プログラムのバージョンが異なる場合であっても、正確に保守情報の収集と表示を実施することができる。
【符号の説明】
【０４０５】
２  レーザ装置
１０  レーザ制御装置
２０  監視端末
３０  サーバ装置
４０  表示端末
５０  ネットワーク
８０  ＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク）
９０  監視及び表示端末
２１１、２１５、２１６  通信プログラム
２１２  データベース更新処理機能
２１３  表示データ作成及び通信機能
２１４  通信及び表示プログラム
２２１  監視端末通信プログラム
２２２  表示端末通信及び表示プログラム
２２３  装置状況判定機能
２２４  警告通知機能
２３１  暗号化処理機能
２３２  復号化処理機能
２３３、２３４  暗号化及び復号化処理機能
２４１、２４２  アクセス制御機能
２５０  プログラム配布機能
２５１  配布プログラム実行機能
２５２Ａ  監視端末プログラム
２５２Ｂ  表示端末プログラム
２５３  配布プログラム実行機能
２６１、２６２  プログラム及びパラメータダウンロード機能
２６３  プログラム及びパラメータ転送機能
２６４Ａ  プログラム及びパラメータ配布機能
５１０  装置ＩＤ／装置プログラムバージョンＩＤ対応表
５２０  プログラム選択機能
５３０  機能選択機能
５４０−１〜５４０−Ｎ  表示データ作成及び通信機能
５５０−１〜５５０−Ｎ  監視端末プログラム
【図１】
0005454978.tif 000002
【図２】
0005454978.tif 000003
【図３】
0005454978.tif 000004
【図４】
0005454978.tif 000005
【図５】
0005454978.tif 000006
【図６】
0005454978.tif 000007
【図７】
0005454978.tif 000008
【図８】
0005454978.tif 000009
【図９】
0005454978.tif 000010
【図１０】
0005454978.tif 000011
【図１１】
0005454978.tif 000012
【図１２】
0005454978.tif 000013
【図１３】
0005454978.tif 000014
【図１４】
0005454978.tif 000015
【図１５】
0005454978.tif 000016
【図１６】
0005454978.tif 000017
【図１７】
0005454978.tif 000018
【図１８】
0005454978.tif 000019
【図１９】
0005454978.tif 000020
【図２０】
0005454978.tif 000021
【図２１】
0005454978.tif 000022
【図２２】
0005454978.tif 000023
【図２３】
0005454978.tif 000024
【図２４】
0005454978.tif 000025
【図２５】
0005454978.tif 000026
【図２６】
0005454978.tif 000027
【図２７】
0005454978.tif 000028