(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体処理装置の取付け面に取り付けられて被処理物が挿脱される開口部を形成し、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の外部側に配置された密閉容器たるポッドの蓋を開閉することにより、前記開口部を介しての前記ポッド内に対する前記被処理物の挿脱の実施を可能とするロードポート装置であって、
前記ポッドが載置可能な載置テーブルと、
前記載置テーブルに載置された状態の前記ポッドの前記蓋を保持可能であって、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、
前記ドアを支持し、前記ドアに対して前記開口部への開閉動作を行わせるドア駆動機構と、を有し、
前記ドア駆動機構は、所定の軌跡で移動可能であって前記所定の軌跡の一方の端部と他方の端部とを結ぶ直線に対して所定の交差角度で交差する方向に延在するカム溝を有して前記ドアを支持するスライダと、前記カム溝と係合するカムフォロアを支持して前記カムフォロアから離れた位置に配置される回転軸を回転中心として前記カムフォロアを所定の角度範囲で回転動作させるエア駆動式のロータリーシリンダからなる駆動源と、を有し、
前記駆動源の前記回転軸は前記スライダと向かい合い、
前記カム溝は前記所定の軌跡に対して交差し、
前記エア駆動式のロータリーシリンダによる前記カムフォロアの前記所定の角度範囲での動作は、前記カムフォロアが前記カム溝内で下端から上端そして下端に移動して前記カムフォロアが上に凸の軌跡で動作するようにされており、前記所定の角度範囲における両端角において前記カムフォロアは動作軌跡の下端である前記カム溝の鉛直下方端に位置することを特徴とするロードポート装置。
【請求項２】
前記所定の角度範囲の両端において、前記所定の交差角度は直角であり、前記カムフォロアの前記回転動作の軌跡の接線は前記所定の軌跡の一方の端部と他方の端部とを結ぶ前記直線に対して直交することを特徴とする請求項１に記載のロードポート装置。
【請求項３】
半導体処理装置の取付け面に取り付けられて被処理物が挿脱される開口部を形成し、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の外部側に配置された密閉容器たるポッドの蓋を開閉することにより、前記開口部を介しての前記ポッド内に対する前記被処理物の挿脱の実施を可能とするロードポート装置であって、
前記ポッドが載置可能な載置テーブルと、
前記載置テーブルに載置された状態の前記ポッドの前記蓋を保持可能であって、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、
前記ドアを支持し、前記ドアに対して前記開口部への開閉動作を行わせるドア駆動機構と、を有し、
前記ドア駆動機構は、前記ドアを支持し、鉛直方向に延在するカム溝を有し、且つ水平方向に移動可能なスライダと、前記カム溝と係合するカムフォロアを有して前記カムフォロアとは異なる位置に配置される回転軸を回転中心として前記カムフォロアを所定の角度範囲で回転移動させるエア駆動式のロータリーシリンダからなる駆動源と、を有し、
前記所定の角度範囲は前記回転軸に対して水平０°から鉛直上方９０°を通過して更に水平１８０°に至る範囲であり、前記エア駆動式のロータリーシリンダによる前記カムフォロアの前記所定の角度範囲での動作は、前記カムフォロアが前記カム溝内で下端から上端そして下端に移動して前記カムフォロアが上に凸の軌跡で動作するようにされており、
前記カム溝は前記動作軌跡に対して交差し、
前記所定の角度範囲における両端角である０°及び１８０°において前記カムフォロアは動作軌跡の下端である前記カム溝の下方端に位置することを特徴とするロードポート装置。
【請求項４】
前記ロータリーシリンダを前記ドアの進退方向に沿って位置調整可能なロータリーシリンダ位置調整機構を更に有することを特徴とする請求項３に記載のロードポート装置。
【請求項５】
前記所定の角度範囲の両端において、前記カム溝の延在方向及び前記カムフォロアの前記回転動作の軌跡の接線は、前記ドア駆動機構が前記ドアに前記開口部の開閉動作を行わせる際の前記スライダの動作方向と直交することを特徴とする請求項３或いは４の何れかに記載のロードポート装置。
【請求項６】
前記スライダ及び前記駆動源は、前記ドア駆動機構において、前記取付け面に垂直な方向に前記ドア駆動する第１のドア駆動ユニットを構成し、前記ドア駆動機構は前記第１のドア駆動ユニットを支持すると共に前記第一のドア駆動ユニットによる前記ドアの駆動方向とは異なる方向に前記第１のドア駆動ユニットを駆動する第２のドア駆動ユニットを更に有することを特徴とする請求項１乃至５何れか一に記載のロードポート装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造プロセス等において、ポッドと呼ばれる密閉型の搬送容器の内部に保持されたウエハを半導体処理装置間に移載する、或いはウエハを該半導体処理装置より該ポッドに移載する際に用いられる所謂FIMS（Front-Opening Interface Mechanical Standard）システム、即ちロードポート装置に関する。より詳細には、付随するドア開閉用の駆動機構に特徴を有するロードポート装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造プロセスは、近年では各種処理装置の内部、ウエハを収容して各処理装置間でのウエハ搬送を可能とするポッド、及び該ポッドより各処理装置への基板の受け渡しを行う微小空間、の３空間のみを高清浄状態に保つことで、プロセスを通じての清浄度の管理を行う手法が一般的となっている。このようなポッドは、ウエハを内部に収容し且つ一側面にウエハ挿脱用の開口を有する本体部と、該開口を閉鎖してポッド内部を密閉空間とする蓋と、から構成される。また、該微小空間は、前述したポッドの開口と対向可能な開口部と、該開口部と向かい合い半導体処理装置側に配置される第二の開口部と、を有する。
【０００３】
ロードポート装置は、この開口部が形成された隔壁となる部材即ちサイドベースと称呼される壁と、該開口部を閉鎖するドアと、該ドアの動作を司るドア駆動機構と、ポッドが載置される載置テーブルと、から構成される。載置台は、ポッドの開口と開口部とを向かい合わせるようにポッドを支持可能であり、且つポッドと共に蓋をドアと近接或いは離間させる。ドアは、ポッドの蓋を保持可能であり、ドア駆動機構によって蓋を保持した状態で開口部を開放、閉鎖すると共に、開口部と第二の開口部との間の空間より下方に退避或いは該空間への侵入をさせられる。微小空間内にはロボットが配置され、該ロボットは開口部−ポッド開口を介してポッド内部に対する侵入及び退避が可能であって、第二の開口部も介して該ポッド内部と該半導体処理装置との間でウエハの移載を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−０４７８３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
半導体製造工程においては、生産性の向上等を目的として、用いるウエハの大口径化が進められている。このため、前述したポッド、微小空間、及び処理装置内部の空間各々も大型化され、これに伴ってロードポート装置における開口部の拡大とそれに伴うドアの大型化も要請される。この様なドアの大型化によって、ドアの重量は増加し、更にドア駆動機構もドア重量に対応可能な起動力が必要となる。ここで、従来からあるドア駆動機構としては、特許文献１に開示されるサーボモータとボールネジ等からなる構造が知られている。
【０００６】
ここで、ドア等の重量が増加した場合、必然的に駆動機構に求められる駆動力も大きくなる。しかし、このような駆動力の大きなモータを用い、直接的にドアの駆動を為した場合、例えば位置制御上の問題が生じると、ギア等に過負荷が生じてしまい極端な場合にはドア、ドア駆動機構等が破損する可能性も存在する。また、例えばポッドロード時にドアとポッドとが当接する構成の場合、先の過負荷の問題を考慮するとドア或いはポッドに精度の高い位置制御が求められる。この場合、駆動力の大きさはドア等の停止位置精度を高める上ではマイナス因子となり得るので、従来とは異なった停止位置制御の確立も求められる。
【０００７】
本発明は以上の状況に鑑みて為されたものであり、大型化したドアの開閉動作を確実に実行可能であって、異常時においても構成物に過負荷を生じさせない駆動機構を有し且つ精度の高いドアの開口部開閉動作を可能とするロードポート装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係るロードポート装置は、半導体処理装置の取付け面に取り付けられて被処理物が挿脱される開口部を形成し、取付け面に対して半導体処理装置の外部側に配置された密閉容器たるポッドの蓋を開閉することにより、開口部を介してのポッド内に対する被処理物の挿脱の実施を可能とするロードポート装置であって、ポッドが載置可能な載置テーブルと、載置テーブルに載置された状態のポッドの蓋を保持可能であって、取付け面に対して半導体処理装置の内部側から開口部の開閉を行うドアと、ドアを支持し、ドアに対して開口部への開閉動作を行わせるドア駆動機構と、を有し、ドア駆動機構は、所定の軌跡で移動可能であって所定の軌跡の一方の端部と他方の端部とを結ぶ直線に対して所定の交差角度で交差する方向に延在するカム溝を有してドアを支持するスライダと、カム溝と係合するカムフォロアを支持してカムフォロアから離れた位置に配置される回転軸を回転中心としてカムフォロアを所定の角度範囲で回転動作をさせるエア駆動式のロータリーシリンダからなる駆動源と、を有し、駆動源の回転軸はスライダと向かい合い、カム溝は所定の軌跡に対して交差し、エア駆動式のロータリーシリンダによるカムフォロアの所定の角度範囲での動作は、カムフォロアがカム溝内で下端から上端そして下端に移動してカムフォロアが上に凸の軌跡で動作するようにされており、所定の角度範囲における両端角においてカムフォロアは動作軌跡の下端であるカム溝の鉛直下方端に位置することを特徴としている。
【０００９】
なお、上述したロードポート装置にあって、前記所定の角度範囲の両端において、前記所定の交差角度は直角であり、前記カムフォロアの前記回転動作の軌跡の接線は前記所定の軌跡の一方の端部と他方の端部とを結ぶ前記直線に対して直交することが好ましい。
【００１０】
或いは、本発明に係るロードポート装置は、半導体処理装置の取付け面に取り付けられて被処理物が挿脱される開口部を形成し、取付け面に対して半導体処理装置の外部側に配置された密閉容器たるポッドの蓋を開閉することにより、開口部を介してのポッド内に対する被処理物の挿脱の実施を可能とするロードポート装置であって、ポッドが載置可能な載置テーブルと、載置テーブルに載置された状態のポッドの蓋を保持可能であって、取付け面に対して半導体処理装置の内部側から開口部の開閉を行うドアと、ドアを支持し、ドアに対して開口部への開閉動作を行わせるドア駆動機構と、を有し、ドア駆動機構は、ドアを支持し、鉛直方向に延在するカム溝を有し、且つ水平方向に移動可能なスライダと、カム溝と係合するカムフォロアを有してカムフォロアとは異なる位置に配置される回転軸を回転中心としてカムフォロアを所定の角度範囲で回転移動させるエア駆動式のロータリーシリンダからなる駆動源と、を有し、所定の角度範囲は回転軸に対して水平０°から鉛直上方９０°を通過して更に水平１８０°に至る範囲であり、エア駆動式のロータリーシリンダによるカムフォロアの所定の角度範囲での動作は、カムフォロアがカム溝内で下端から上端そして下端に移動してカムフォロアが上に凸の軌跡で動作するようにされており、カム溝は動作軌跡に対して交差し、所定の角度範囲における両端角である０°及び１８０°においてカムフォロアは動作軌跡の下端であるカム溝の下方端に位置することを特徴としている。
【００１１】
なお、上述したロードポート装置にあっては、ロータリーシリンダをドアの進退方向に沿って位置調整可能なロータリーシリンダ位置調整機構を更に有することが好ましい。或いは、所定の角度範囲の両端において、カム溝の延在方向及びカムフォロアの回転動作の軌跡の接線は、ドア駆動機構がドアに開口部の開閉動作を行わせる際のスライダの動作方向と直交することが好ましい。更に、カム溝は所定の軌跡に対して交差し、カムフォロアが所定の角度範囲の両端にある際にカムフォロアはカム溝の下方の端部に位置することが好ましい。
【００１２】
上述したロードポート装置にあっては、更には、前述したスライダ及びロータリーシリンダは、ドア駆動機構において、取付け面に垂直な方向にドア駆動する第一のドア駆動ユニットを構成し、ドア駆動機構は第一のドア駆動ユニットを支持すると共に第一のドア駆動ユニットによるドアの駆動方向とは異なる方向に前記第一のドア駆動ユニットを駆動する第二のドア駆動ユニットを更に有することがより好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ドアの駆動異常時においても、ドア駆動機構等に過負荷が加わることを無くすることが可能となる。また、ドアの停止位置制御が容易であり、従来構成とは異なり駆動源が停止した場合であっても外力に抗してその停止位置を保持することが可能となる。更に、ドアの開閉時において、動作端での移動速度が低く且つ動作途中での移動速度を高くすることとなり、ドアの駆動速度を容易に高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係るロードポート装置にポッドを載置してこれらを側面から見た状態の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示す構成に関して、説明容易化のためにドアを除いた状態を半導体装置側取付け面側から見た場合の概略構成を示す斜視図である。
【図３】図１に示す構成における第一及び第二の駆動ユニットについて、主要部構成を模式的に示す斜視図である。
【図４】図１に示す構成における第一及び第二の駆動ユニットについて、主要部構成を模式的に示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の実施形態について、以下に図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形態におけるロードポート装置に関し、ポッド２を載置テーブル上に載置した状態を側面から見た場合の概略構成を示している。また、図２は、該ロードポート装置に関して、説明容易化のためにドアを除いた状態を上述した取付け面側から見た場合の概略構成を示す斜視図である。図３は第一のドア駆動ユニット３３及び第二のドア駆動ユニット３５を一部透視化して拡大して示した図、図４は第一のドア駆動ユニット３３から第一の駆動源３８を除き且つ該第一の駆動ユニット３３が配置される方向から第一のドア駆動ユニット３３及び第二のドア駆動ユニット３５を見た場合の拡大図を示している。本形態におけるロードポート装置１は、I形プレート１１、メインベース１３、載置テーブル１５、ドア１７、及びドア駆動機構１９を有する。なお、実際の構成では、ドア駆動機構１９、及び載置テーブル１５に付随するポッド駆動機構２５を覆って、これらからの発塵の飛散を防止する不図示のカバーが載置テーブル１５の下部に配置される。当該カバーはこれら構成を収容する密閉空間を形成する。また、前述した開口部が設けられる取付け面を有する半導体処理装置については、本実施形態と直接的な関係を有さないことからここでの図を用いた説明は省略する。なお、以下で述べる取付け面は、上述した半導体処理装置内部の微小空間と外部空間とを連通させる壁の一面であって、内部が前述した微小空間となる該半導体処理装置の外部側に向かう面である。本発明に係るロードポート装置は、半導体処理装置の筐体の外面である該取付け面に対して、接続部材等を介して取付け、固定される。
【００１６】
次に個々の構成について説明する。メインベース１３は板状体からなり、取付け面と当接して該取付け面に固定される断面I字形の接続プレート１１によって、該取付け面から垂直に突き出すように支持される。一対のメインベース１３は、各々の間に配置されて両端部が各々に接触する棒状の連結シャフト２３によって一体化される。メインベース１３は、載置テーブル１５及びドア駆動機構１９を支持する。ドア駆動機構１９等は、向かい合った一対のメインベース１３の間に配置される。載置テーブル１５は、メインベース１３に固定されるテーブル固定部２７、該テーブル固定部２７に支持されるポッド駆動機構２５、及び該ポッド駆動機構２５に支持されるポッド支持テーブル２９を有する。ポッド２はポッド支持テーブル２９上に載置、固定される。ポッド駆動機構２５は、ポッド支持テーブル２９を不図示の開口部に対して垂直な方向Ｍに沿って移動させ、これによりポッド２を開口部に対して接近或いは離間させる。
【００１７】
ドア駆動機構１９は、ドアアーム３１を介してドア１７を支持する。ドア駆動機構１９は、ドア１７の開口部に向かう第一の方向Ｄ１に沿った駆動を行う第一のドア駆動ユニット３３、及び該第一の方向に対して異なる第二の方向Ｄ２に沿ってドア１７を駆動する第二のドア駆動ユニット３５を有する。なお、本形態では第二の方向は第一の方向に対して直交する方向であって、第一の方向は水平方向に、且つ第二の方向は鉛直方向に設定される。第一のドア駆動ユニット３３は、一対の第一のガイドレール３７、第一の駆動源３８、第一のスライダ４３、第一のカムフォロア４７を有する。一対の第一のガイドレール３７の各々は、第一の方向Ｄ１に沿って延在して第二のスライダ５３に固定され、第一のスライダ４３を第一の方向Ｄ１に沿って摺動可能に支持する。第一のスライダ４３はドアアーム３１を実際に支持しており、該第一のスライダ４３の第一の方向Ｄ１に沿った移動に応じてドアアーム３１及びドア１７の開口部に対する開閉動作が為される。
【００１８】
また、第一のスライダ４３は、第一の方向Ｄ１に対して直交する方向に延在して配置される第一のカム溝４３ａを有する。第一のカムフォロア４７は第一のカム溝４３ａに挿貫される。第一のカムフォロア４７は第一の駆動源３８によって回動可能に支持されており、該第一の駆動源３８による第一のカムフォロア４７の回転軸は第一のスライダ４３に対向する。また、この回転軸は第一のカムフォロア４７から離れた位置に配置され、回転軸の回転に応じて該第一のカムフォロア４７は該回転軸の周りを回転、所謂公転移動する。ここで、該回転軸が対向するスライダ４３における対向領域を該回転軸に垂直な平面とした場合、該平面はカム溝４７が延在し、且つ第一のカムフォロア４７によって該カム溝４７が移動する平面の領域に対応する。なお、本実施形態では第一の駆動源３８として、所謂加圧空気等によって動作するロータリーシリンダを用いている。また、第一の駆動源３８は一対の第一のガイドレール３７が固定されている第二のスライダ５３に対してＬ字型アーム及びネジ等から構成される第一の締結手段４９によって固定されている。なお、該締結手段は第一の駆動源３８の第一のガイドレール３７に対する固定位置が調整可能とされており、第一の駆動源３８の第一の駆動源位置調整機構としても機能する。
【００１９】
次に、第一のドア駆動ユニット３３の実際の動作について述べる。図３において実線で示される状態は、ドア１７が開口部を閉鎖する位置に停止した状態での第一のドア駆動ユニット３３を示す。この時、第一の駆動源３８であるロータリーシリンダは、回転角度０°の状態にあり、第一のカムフォロア４７は第一のカム溝４３ａの図中下端部に位置する。この状態では、第一のカムフォロア４７は回転軸に対して水平な位置となっている。ドア１７を開口部から第一の方向Ｄ１（方向Ｍ）に沿って離間させる場合、第一の駆動源３８は第一のカムフォロア４７を図１或いは図４における第一の回転方向Ｒ１に沿って回動させる。第一のカムフォロア４７が第一のカム溝４３ａに挿貫された状態でこの回動動作が為される。従って、該回動の際に第一のカムフォロア４７は第一のカム溝４３ａ内で下端−上端−下端の移動を為し、当該移動に応じて第一のスライダ４３を第一の方向Ｄ１に沿って移動させる。なお、第一の駆動源３８が回転角度１８０°に至ると、第一のカムフォロア４７は第一のカム溝４３ａの下端に至る。
【００２０】
本形態では、上述したように、第一の駆動源３８の回転軸を、第一のスライダ４３に対向する位置に配置している。より詳細には、第一のカム溝４３ａ、具体的にはその両内周面がドア１７の進退方向即ち第一のスライダ４７の移動方向に対して直交し、更には、ロータリーシリンダの回転軌跡に関して回転角度０°及び１８０°の位置における接線もドア１７の進退方向と直交することとしている。これにより、ドア１７の進退における両動作端の各々で、ドア１７が第一の方向Ｄ１に沿った意図しない動作を防止することが可能となる。即ち、回転角度範囲０°及び１８０°の各々が第一のスライダ４３の動作端部に対応することとなり、該第一のスライダ４３、ひいてはドア１７の停止精度を向上し、安定的に停止させることが容易となる。また、第一のカムフォロア４７の回転方向Ｒ１及びその逆方向の移動軌跡における動作において、その動作の第一の方向Ｄ１に沿った速度成分に応じて、第一のスライダ４３が移動することとなる。従って、第一のスライダ４３は、移動範囲における両端の停止位置より最も離れた中央位置で最も早く移動し、両端の停止位置に近づくにつれて移動速度が低下することとなる。このため、停止異常が生じ易い停止位置近傍でのドア１７の動作が安定的に行われる。また、回転軸と第一のカム溝４３ａとの位置関係より、第一のカムフォロア４７の移動軌跡の半径を小さく抑えることが可能となり、第一の駆動源３８のトルクを大きく用いることが可能となる。
【００２１】
なお、本実施形態において、第一の駆動源３８としてロータリーシリンダを用いている。これにより、モータ制御等の電気的な位置制御の場合のような異常時の過負荷の発生は防止できるが、これをモータ制御としても停止位置精度の向上等の効果は得られる。また、本形態では、第一の方向Ｄ１は水平方向であって、第一のスライダ４３は水平方向に移動することとしている。しかし、本発明はこれに限定されず、第一の方向Ｄ１が水平方向に対して傾いた構成であっても良い。この場合、第一のカム溝４３ａが水平面に交差しており、第一のカム溝４３ａの下方、好ましくは下方端部が第一の駆動源３８の回転動作における０°及び１８０°に対応していれば良い。これにより、重力が作用する第一のカムフォロア４７を第一のカム溝４３ａの下端面にて規制することが可能となり、例えば所謂エア抜け等によって第一の駆動源３８たるロータリーシリンダからの付勢がなくなった場合であっても、第一のスライダ４３及びドア１７はその停止位置を保持する。
【００２２】
また、本発明では、上述した第一の駆動源位置調整機構（４９）によって、第一のスライダ４３及び第一の駆動源３８の第一のガイドレール３７に対する保持位置が調整可能となっている。本発明では、ドア１７の第一の方向Ｄ１における動作範囲は、第一のカムフォロア４７の回転半径によって規定される。従って、該第一の駆動源位置調整機構によってドア１７の停止位置を調整した場合であっても、その動作範囲は常に一定となる。ロードポート装置１が取付けられる半導体処理装置側の微小空間内部にはウエハ搬送用のロボット等が配置され、該微小空間内に許容されるドア１７の動作領域も厳密に規定される。しかし、本発明の場合、ドア１７の動作範囲はドア１７の停止位置に応じて一義的に決まるため、ドアの停止位置を設定する際に従来構成において必要であって、ドア停止のための複雑な動作パラメータの変更は一切必要なくなる。
【００２３】
次に、第二のドア駆動ユニット３５について説明する。第一二のドア駆動ユニット３５は、一対の第二のガイドレール３９、該一対の第二のガイドレール３９に挟まれて第二の方向Ｄ２に沿って駆動可能に配置されるロッドレスシリンダからなる第第二の駆動源４０、及び前述した第二のスライダ５３を有する。第二の駆動源４０であるロッドレスシリンダは、一対の第二のガイドレール３９の延在方向である第二の方向Ｄ２(本形態では鉛直方向)に沿って第二のスライダ５３を昇降移動させる。前述したように第二のスライダ５３は一対の第一のガイドレール３７を支持しており、第二のスライダ５３の昇降移動によって、ドアアーム３１及びドア１７の鉛直方向(第二の方向Ｄ２に沿う方向)の移動が行われる。なお、第二のドア駆動ユニット３５の構成に関しては本実施形態の態様に限られず、公知の直動駆動系によって種々の構成より構築することが可能である。また、前述した第一のドア駆動ユニット３３に準じた構成とすることも可能である。
【００２４】
また、上述した実施形態において、第一のドア駆動ユニット３３について、第一のスライダ４３は水平方向に直線的に延在する第一のガイドレール３７上を移動することとしている。しかし、例えば、該第一のガイドレール３７を円弧状に形成し、第一のスライダ４３が円弧状の軌跡等を描いて移動する構成としても良い。微小空間内には所謂ダウンフローが形成されているが、このような円弧状の軌跡を描かせることにより、ドア１７をより早く開口部下方に移動させることが可能となり、該ダウンフローをドア１７の存在が乱すことによって塵等がポッド内部に移送される可能性を低減することができる。従って、本発明に係るスライダは、所定の軌跡に沿って移動可能であるとされることが好ましい。
【００２５】
また、この場合、第一のカム溝４３ａは第一のスライダ４３が移動する際の所定の軌跡の一方の停止端と他方の停止端とを結ぶ直線に対して、所定の交差角度を有して交差するように延在すれば良い。軸中心の回転力を供する第一の駆動源３８を用い、その回転軸を第一のスライダ４７と対向させ、更に回動時の所定の角度範囲の両端角を第一のスライダ４３の動作端と一致させることで、本発明の好適な効果は得られる。また、第一のカム溝４３ａを水平面と交差するように延在させ、且つ所定の角度範囲における両端角において第一のカム溝４３ａの下端に第一のカムフォロア４７が位置する構成とすることにより、上述したように第一の駆動源３８の動作異常時においても、外力に抗した状態にて第一のスライダ４３を容易に停止状態に保持することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
以上述べたように、本発明は半導体処理装置に対して好適に用いるロードポート装置に関している。しかしながら、本発明の利用可能性は当該処理装置に限定されず、例えば液晶ディスプレイのパネルを扱う処理装置等、半導体に準じた各種処理が行われる種々の処理装置に用いられる所謂ロードポート装置に対しても適用可能である。
【符号の説明】
【００２７】
１：ロードポート装置、  ２：ポッド、  １１：Ｉ形プレート、  １３：メインベース、  １５：載置テーブル、  １７：ドア、  １９：ドア駆動機構、  ２３：連結シャフト、  ２５：ポッド駆動機構、  ２７：テーブル固定部、  ２９：ポッド支持テーブル、  ３１：ドアアーム、  ３３：第一のドア駆動ユニット、  ３５：第二のドア駆動ユニット、  ３７：第一のガイドレール、  ３８：第一の駆動源、  ３９：第二のガイドレール、  ４０：第二の駆動源、  ４３：第一のスライダ、  ４３ａ：第一のカム溝、  ４７：第一のカムフォロア、  ４９：第一の締結手段、  ５３：第二のスライダ
【図１】
0005408800.tif 000002
【図２】
0005408800.tif 000003
【図３】
0005408800.tif 000004
【図４】
0005408800.tif 000005