(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部空間を画成する壁部を有するパッケージと、
前記内部空間に回動可能に収容された可動板と、
前記可動板の一方の面側に設けられた磁石と、
前記内部空間に露出しないように前記壁部に埋設され、前記磁石と対向するかまたは前記磁石が内側に位置し、前記可動板を回動駆動させるための駆動用コイルと、
前記駆動用コイルを介して前記可動板の厚さ方向に対向して配置された一対の軟磁性体と、を有していることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記可動板の挙動を検知するための挙動検知用コイルを有する請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記挙動検知用コイルは、前記駆動用コイルよりも前記可動板側に設けられている請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記可動板の厚さ方向おいて、前記駆動用コイルは、その最内周が、前記可動板に接近する方向に漸増するように設けられている請求項１ないし３のいずれか１項に記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記パッケージは、箱状の本体と、前記本体の開口を覆うように設けられた窓部とを有し、前記コイルは、前記本体に埋設されており、前記本体は、低温焼成セラミックスで構成されている請求項１ないし４のいずれか１項に記載のアクチュエータ。
【請求項６】
内部空間を画成する壁部を有するパッケージと、
一方の面側に光反射性を有する光反射部を備え、前記内部空間に回動可能に収容された可動板と、
前記可動板の前記光反射部とは反対の面側に設けられた磁石と、
前記内部空間に露出しないように前記壁部に埋設され、前記磁石と対向するかまたは前記磁石が内側に位置し、前記可動板を回動駆動させるための駆動用コイルと、
前記駆動用コイルを介して前記可動板の厚さ方向に対向して配置された一対の軟磁性体と、を有していることを特徴とする光スキャナ。
【請求項７】
内部空間を画成する壁部を有するパッケージと、
一方の面側に光反射性を有する光反射部を備え、前記内部空間に回動可能に収容された可動板と、
前記可動板の前記光反射部とは反対の面側に設けられた磁石と、
前記内部空間に露出しないように前記壁部に埋設され、前記磁石と対向するかまたは前記磁石が内側に位置し、前記可動板を回動駆動させるための駆動用コイルと、
前記駆動用コイルを介して前記可動板の厚さ方向に対向して配置された一対の軟磁性体と、を有する光スキャナを備えることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、レーザープリンタ等にて光走査により描画を行うための光スキャナとして、捩り振動子で構成されたアクチュエータを用いたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１には、絶縁基板と、この絶縁基板に支持されたスキャナ本体とを有するアクチュエータが開示されている。スキャナ本体は、枠状の外側可動板と、この外側可動板の内側に設けられた内側可動板とを有している。また、外側可動板および内側可動板には、それぞれ、コイルが設けられており、各コイルに電力を供給することにより、外側可動板および内側可動がそれぞれ回動するように構成されている。すなわち、特許文献１のアクチュエータは、電磁駆動型のアクチュエータである。
【０００３】
このような特許文献１のアクチュエータにおいては、絶縁基板のアクチュエータ側の面上に、ワイヤボンディングにより前記コイルと電気的に接続されたボンディングパッドを設けるとともに、反対側に装置外部に突出するようにコネクタピンを設け、これらを絶縁基板を貫通するように設けられた導体ポストを介して電気的に接続することにより、アクチュエータ外部に設けられた電源から、各コイルに電力を供給することができるように構成されている。
【０００４】
ここで、このようなアクチュエータにおいては、光スキャナ本体を気密的に収容するのが通常である。これにより、機密空間内を減圧した状態や、アルゴン等の希ガスを充填した状態とすることにより、光スキャナ本体の安定した駆動を達成することができたり、光スキャナへの埃等の付着を防止することができたりする。そこで、特許文献１のアクチュエータにおいて、光スキャナ本体が設けられている空間を気密空間とするために、絶縁基板と枠状のヨークとで形成された凹部（光スキャナが設けられている空間）の開口を塞ぐようにガラス基板等の窓部を設けることが考えられる。
【０００５】
しかしながら、特許文献１のアクチュエータにおいては、光スキャナ本体に設けられたコイルを装置外部の電源と電気的に接続するために、前述したようなコネクタピンや導体ポストを形成しているため、例えば、絶縁基板と導体ポストとの間に、アクチュエータの内外を連通する空隙が形成されやすく、光スキャナが設けられた空間の気密性を確保することができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平８−３２２２２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、確実に、内部空間（可動板が設けられている空間）の気密性を確保することができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータは、内部空間を画成する壁部を有するパッケージと、
前記内部空間に回動可能に収容された可動板と、
前記可動板の一方の面側に設けられた磁石と、
前記内部空間に露出しないように前記壁部に埋設され、前記磁石と対向するかまたは前記磁石が内側に位置し、前記可動板を回動駆動させるための駆動用コイルと、
前記駆動用コイルを介して前記可動板の厚さ方向に対向して配置された一対の軟磁性体と、を有していることを特徴とする。
これにより、内部空間（可動板が設けられている空間）の気密性を確保することができるアクチュエータを提供することができる。
【０００９】
本発明のアクチュエータでは、前記可動板の挙動を検知するための挙動検知用コイルを有することが好ましい。
これにより、可動板の挙動を検知することができる。
【００１１】
本発明のアクチュエータでは、前記挙動検知用コイルは、前記駆動用コイルよりも前記可動板側に設けられていることが好ましい。
これにより、駆動用コイルと挙動検知用コイルとを互いに絶縁した状態で、より接近させて配置することができる。そのため、パッケージ（アクチュエータ）の小型化を図ることができる。
【００１２】
本発明のアクチュエータでは、前記可動板の厚さ方向おいて、前記駆動用コイルは、その最内周が、前記可動板に接近する方向に漸増するように設けられていることが好ましい。
これにより、駆動用コイルから発生する磁界を、効率的に、磁石に作用させることができる。そのため、可動板を円滑に回動させることができるとともに、アクチュエータの省電力駆動を行うことができる。
【００１３】
本発明のアクチュエータでは、前記パッケージは、箱状の本体と、前記本体の開口を覆うように設けられた窓部とを有し、前記コイルは、前記本体に埋設されており、前記本体は、低温焼成セラミックスで構成されていることが好ましい。
これにより、簡単に、本体にコイルを埋設することができる。すなわち、アクチュエータの製造の簡易化を図ることができる。
【００１４】
本発明の光スキャナは、内部空間を画成する壁部を有するパッケージと、
一方の面側に光反射性を有する光反射部を備え、前記内部空間に回動可能に収容された可動板と、
前記可動板の前記光反射部とは反対の面側に設けられた磁石と、
前記内部空間に露出しないように前記壁部に埋設され、前記磁石と対向するかまたは前記磁石が内側に位置し、前記可動板を回動駆動させるための駆動用コイルと、
前記駆動用コイルを介して前記可動板の厚さ方向に対向して配置された一対の軟磁性体と、を有していることを特徴とする。
これにより、内部空間（可動板が設けられている空間）の気密性を確保することができる光スキャナを提供することができる。
【００１５】
本発明の画像形成装置は、内部空間を画成する壁部を有するパッケージと、
一方の面側に光反射性を有する光反射部を備え、前記内部空間に回動可能に収容された可動板と、
前記可動板の前記光反射部とは反対の面側に設けられた磁石と、
前記内部空間に露出しないように前記壁部に埋設され、前記磁石と対向するかまたは前記磁石が内側に位置し、前記可動板を回動駆動させるための駆動用コイルと、
前記駆動用コイルを介して前記可動板の厚さ方向に対向して配置された一対の軟磁性体と、を有する光スキャナを備えることを特徴とする。
これにより、内部空間（可動板が設けられている空間）の気密性を確保することができる光スキャナを備えた画像形成装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明のアクチュエータの好適な実施形態を示す断面図である。
【図２】図１に示すアクチュエータが備える振動体の平面図である。
【図３】図１に示すアクチュエータの平面図である。
【図４】図１に示すアクチュエータが備える駆動用コイルが発生する磁界を示す断面図である。
【図５】図１に示すアクチュエータの駆動を説明する断面図である。
【図６】図１に示すアクチュエータの製造方法を説明する断面図である。
【図７】図１に示すアクチュエータの製造方法を説明する断面図である。
【図８】図１に示すアクチュエータの製造方法を説明する断面図である。
【図９】本発明のアクチュエータの第２実施形態を示す断面図である。
【図１０】本発明のアクチュエータの第３実施形態を示す断面図である。
【図１１】本発明のアクチュエータの第４実施形態を示す断面図である。
【図１２】本発明のアクチュエータの第５実施形態を示す断面図である。
【図１３】本発明のアクチュエータの第６実施形態を示す断面図である。
【図１４】本発明の画像形成装置の構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明のアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
＜第１実施形態＞
まず、本発明のアクチュエータの第１実施形態について説明する。
図１は、本発明のアクチュエータの好適な実施形態を示す断面図、図２は、図１に示すアクチュエータが備える振動体の平面図、図３は、図１に示すアクチュエータの平面図、図４は、図１に示すアクチュエータが備える駆動用コイルが発生する磁界を示す断面図、図５は、図１に示すアクチュエータの駆動を説明する断面図、図６ないし図８は、それぞれ、図１に示すアクチュエータの製造方法を説明する断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図１、図４〜図８中の上側を「上」、下側を「下」と言う。また、図３および図４では、説明の便宜上、構成要件の一部の図示を省略している。
【００１８】
図１に示すように、アクチュエータ１は、パッケージ２と、パッケージ２に収容された振動体３と、振動体３を駆動する駆動手段４と、振動体３の挙動を検知する挙動検知手段５とを有している。
図２に示すように、振動体３は、枠状の支持部３１と、支持部３１の内側に設けられた可動板３２と、支持部３１と可動板３２とを連結する一対の連結部３３、３４とで構成されている。
【００１９】
可動板３２は、板状をなしている。また、可動板３２の平面視形状は、円形である。なお、可動板３２の平面視形状は、特に限定されず、例えば、楕円であってもよいし、矩形であってもよいし、異形であってもよい。
可動板３２の上面（後述するパッケージ２の窓部２２側の面）には、光反射性を有する光反射部３２１が形成されている。これにより、アクチュエータ１を後述するような光スキャナとして用いることができる。
【００２０】
一方、可動板３２の下面（後述する駆動用コイル４２側の面）には、永久磁石（磁石）４１が設けられている。このような可動板３２は、一対の連結部３３、３４によって、支持部３１に両持ち支持されている。
一対の連結部３３、３４は、それぞれ、長手形状（棒状）をなしており、弾性変形可能である。また、一対の連結部３３、３４は、可動板３２を介して対向するように設けられている。このような一対の連結部３３、３４は、可動板３２を支持部３１に対して回動可能とするように、可動板３２と支持部３１とを連結している。また、一対の連結部３３、３４は、互いに同軸的に設けられており、この軸を（以下、「回動中心軸Ｘ」とも言う）を中心として、可動板３２が、一対の連結部３３、３４を捩れ変形させつつ、支持部３１に対して回動する。
【００２１】
このような振動体３は、例えば、シリコンを主材料として構成されていて、支持部３１、可動板３２および各連結部３３、３４が一体的に形成されている。シリコンを主材料とすることで、優れた回動特性を実現できるとともに、優れた耐久性を発揮することができる。また、微細な処理（加工）が可能であり、アクチュエータ１の小型化を図ることができる。
このような振動体３は、パッケージ２に収容されている。
【００２２】
図１に示すように、パッケージ２は、凹部２１１が形成された本体２１と、凹部２１１を覆うように設けられた窓部２２とを有している。
本体２１に形成された凹部２１１は、前述した振動体３を収容する収容空間として機能する。図１に示すように、凹部２１１は、第１の凹部２１１ａと、第１の凹部２１１ａよりも開口面積の小さい第２の凹部２１１ｂとで構成されている。
【００２３】
第１の凹部２１１ａは、本体２１の上面（窓部２２側の面）に開口するように形成されており、第２の凹部２１１ｂは、第１の凹部２１１ａの底面の中央部に開口するように形成されている。このように、大きさの違う２つの凹部２１１ａ、２１１ｂを形成することにより、凹部２１１の深さ方向の途中に、段差部２１１ｃを形成することができる。このような段差部２１１ｃに、振動体３の支持部３１を固定することにより、凹部２１１内に、振動体３を、可動板３２が回動可能な状態で収容することができる。
【００２４】
なお、上述の観点からすれば、第１の凹部２１１ａの平面視形状（開口形状）は、振動体３の支持部３１の外形よりもサイズの大きい相似形をなしていることが好ましい。一方、第２の凹部２１１ｂの平面視形状は、振動体３の支持部３１の内形とサイズが等しいか、サイズが若干大きい相似形をなしている、または可動板３２および連結部３３、３４のの外形よりサイズが若干大きい相似形をなしていることが好ましい。これにより、本体２１に、内側に振動体３を収容でき、かつ振動体３を確実に支持することのできる凹部２１１を簡単に形成することができる。
【００２５】
このような本体２１は、例えば、低温焼成セラミックス（ＬＴＣＣ）で構成されている。この本体２１には、後述するように、駆動用コイル４２および挙動検知用コイル５１が埋設されているが、本体２１を低温焼成セラミックスで構成することにより、簡単に、本体２１に駆動用コイル４２および挙動検知用コイル５１を埋設することができる。すなわち、本体２１を低温焼成セラミックスで構成することにより、アクチュエータ１の製造の簡易化を図ることができる。なお、本体２１の製造方法（駆動用コイル４２および挙動検知用コイル５１の埋設方法）については、その一例を後に述べる。
【００２６】
窓部２２は、板状をなしており、本体２１に形成された凹部２１１の開口を覆うように設けられている。このような窓部２２は、例えば、テンパックスガラス、パイレックスガラス（「パイレックス」は登録商標）等のガラスで構成されており、実質的に無色透明である（すなわち、光透過性を有している）。これにより、アクチュエータ１の外部に設けられた光源（例えば、後述する光源装置９１）から射出された光を、窓部２２を介してパッケージ２内に入射させ、入射した光を振動体３の可動板３２に設けられた光反射部３２１により反射し、反射した光を窓部２２を介してパッケージの外部へ導くことができる。
【００２７】
本体２１と窓部２２の接合は、例えば、次のようにして行うことができる。すなわち、本体２１が低温焼成セラミックスで構成され、窓部２２がテンパックスガラス、パイレックスガラス（「パイレックス」は登録商標）等のガラスで構成されている場合には、図１に示すように、本体２１と窓部２２との間に、シリコンで構成された接合膜２３を設け、本体２１と接合膜２３とを陽極接合するとともに、窓部２２と接合膜２３とを陽極接合することにより、本体２１と窓部２２とを接合膜２３を介して接合することができる。なお、接合膜２３は、例えば、本体２１の上面に、スパッタ等を用いて形成することも可能で、この場合にはシリコン膜付き本体２１と窓部２２を陽極接合することができる。
このような接合方法によれば、簡単かつ確実に本体２１と窓部２２とを接合することができ、内部空間Ｓ（収容空間）を気密状態とすることができる。また、このような接合方法は、減圧雰囲気下や、希ガス雰囲気下でも簡単に行うことができるため、簡単に、パッケージ２の内部空間Ｓを減圧状態や、希ガス充填状態にすることができる。
【００２８】
駆動手段４は、振動体３の可動板３２を回動中心軸Ｘを中心に回動させるための手段である。このような駆動手段４は、永久磁石４１と、駆動用コイル（コイル）４２とを有している。
図１および図２に示すように、永久磁石４１は、可動板３２の下面（光反射部３２１と反対側の面）に設けられている。これにより、永久磁石４１によって、光反射部３２１での光走査が阻害されてしまうのを防止することができる。永久磁石４１は、例えば、接着剤を介して可動板３２に固定されている。
【００２９】
永久磁石４１は、長手形状をなし、その長手方向に磁化している。このような永久磁石４１は、回動中心軸Ｘに対して直交する方向に延在するように設けられている。すなわち回動中心軸Ｘの一方側がＳ極、他方側がＮ極となるように、永久磁石４１が可動板３２に設けられている。
このような永久磁石４１としては、特に限定されず、例えば、ネオジウム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石などの、硬磁性体を着磁したものを好適に用いることができる。
【００３０】
駆動用コイル４２は、永久磁石４１の下側（直下）に、永久磁石４１と対向するように設けられている。すなわち、駆動用コイル４２は、通電により発生する磁界を永久磁石４１に作用させ、可動板３２を回動させることができるように設けられている。また、図３に示すように、駆動用コイル４２は、非駆動状態（図１の状態）の可動板３２の平面視（以下、単に「可動板３２の平面視」とも言う）にて、永久磁石４１を包含するように設けられている。このように駆動用コイル４２を設けることにより、駆動用コイル４２が発生する磁界を永久磁石４１に効率的に作用させることができるため、可動板３２を円滑に回動させることができる。
【００３１】
図１に示すように、駆動用コイル４２は、パッケージ２の本体２１に埋設されている。言い換えれば、駆動用コイル４２は、パッケージ２の内部空間Ｓを画成する壁部に埋設されている。また、駆動用コイル４２は、内部空間Ｓに露出していない。このように、駆動用コイル４２をパッケージ２の本体２１に埋設することにより、次のような効果を発揮することができる。すなわち、従来では、駆動用コイルがパッケージの収容空間内に設けられていたため、パッケージ外にある電源と駆動用コイルとを電気的に接続するために、パッケージの本体に、パッケージの内外を連通する貫通孔（スルーホール）を形成するとともに、形成した貫通孔内に導体ポストを形成し、この導体ポストを介して前記電源と駆動用コイルとを電気的に接続する必要があった。
【００３２】
しかしながら、このような方法では、導体ポストとパッケージの本体との間に、パッケージの内外を連通するような空隙が形成され易く、パッケージの内部空間の気密性を確保することができないという問題がある。
これに対して、本実施形態のアクチュエータ１では、駆動用コイル４２が、パッケージ２の本体２１に埋設されているため（すなわち、内部空間Ｓに設けられていないため）、従来のようなパッケージ２の内外を連通する貫通孔を形成する必要ない。そのため、パッケージ２の内部空間Ｓの気密性を確実に確保することができる。
【００３３】
また、駆動用コイル４２をパッケージ２の本体２１に埋設しているため、後述するようなアクチュエータ１の駆動の際の駆動用コイル４２への通電によって発生する熱が、振動体３に伝わることを効果的に抑制することができる。これにより、振動体３の熱膨張が抑制されるため、アクチュエータ１は、長時間にわたって、所望の振動特性を発揮することができる。
【００３４】
なお、駆動用コイル４２の両端は、例えば、本体２１の底面２１２からパッケージ２の外部に露出している（図示せず）。パッケージ２の外部には、駆動用コイル４２に電力を供給する図示しない電源が設けられており、駆動用コイル４２は、前記露出した部分（両端部）を介して、前記電源と電気的に接続されている。なお、前記電源として、アクチュエータ１が搭載される装置が有する電源を用いてもよい。
【００３５】
このような駆動手段４は、次のようにして可動板３２を回動させる。
まず、前記電源から、駆動用コイル４２に交流電力を供給する。これにより、図４（ａ）に示すような、駆動用コイル４２が上側（永久磁石４１側）がＮ極、下側（永久磁石４１と反対側）がＳ極となる第１の磁界を発生する状態と、図４（ｂ）に示すような、駆動用コイル４２が上側がＳ極、下側がＮ極となる第２の磁界を発生する状態とが、交互にかつ周期的に発生する。
【００３６】
第１の磁界では、永久磁石４１側がＳ極であるため、図５（ａ）に示すように、永久磁石４１のＮ極側が駆動用コイル４２に引きつけられ、反対にＳ極側が駆動用コイル４２から遠ざかるように、可動板３２が回動中心軸Ｘを中心に時計回りに回動する（第１の状態）。
反対に、第２の磁界では、永久磁石４１側がＮ極であるため、図５（ｂ）に示すように、永久磁石４１のＳ極側が駆動用コイル４２に引きつけられ、反対にＮ極側が駆動用コイル４２から遠ざかるように、可動板３２が回動中心軸Ｘを中心に反時計回りに回動する（第２の状態）。
このような第１の状態および第２の状態とを交互に繰り返すことにより、可動板３２が回動中心軸Ｘを中心に回動する。
【００３７】
挙動検知手段５は、振動体３の可動板３２の挙動を検知する手段である。このような挙動検知手段５は、永久磁石４１と、挙動検知用コイル５１と、図示しない誘起電力計測部（検流計）とを有している。このような挙動検知手段５は、永久磁石４１の作用によって挙動検知用コイル５１が発生する誘起電力の周期的な変化に基づいて、可動板３２の挙動を検知するように構成されている。
【００３８】
挙動検知用コイル５１は、駆動用コイル４２の上側に、駆動用コイル４２と絶縁された状態で設けられている。このように、挙動検知用コイル５１を、駆動用コイル４２の上側に設けることにより、挙動検知用コイル５１と永久磁石４１との離間距離を短くすることができる。そのため、挙動検知用コイルが発生する誘起電力を大きくすることができ、可動板３２の挙動を、正確に検知することができる。
【００３９】
また、挙動検知用コイル５１は、駆動用コイル４２と同軸的に設けられている。これにより、駆動用コイル４２と挙動検知用コイル５１とを互いに絶縁した状態で、より接近させて配置することができる。そのため、パッケージ２（アクチュエータ１）の小型化を図ることができる。
また、挙動検知用コイル５１は、その内側に永久磁石４１を位置させるように設けられている。さらには、非駆動状態の可動板３２の厚さ方向（すなわち、図１中の上下方向）において、挙動検知用コイル５１は、その中心が永久磁石４１の中心と一致するように設けられている。これにより、後述するように、可動板３２の回動によって挙動検知用コイル５１が発生する誘起電力がより大きくなるため、可動板３２の挙動をより正確に検知することができる。
【００４０】
このような挙動検知用コイル５１は、パッケージ２の本体２１に埋設されている。言い換えれば、挙動検知用コイル５１は、パッケージ２の内部空間Ｓを画成する壁部に埋設されている。また、挙動検知コイル５１は、内部空間Ｓに露出していない。このように、挙動検知用コイル５１をパッケージ２の本体２１に埋設することにより、前述した駆動用コイル４２を本体２１に埋設するのと同様の効果を発揮することができる。すなわち、アクチュエータ１では、挙動検知用コイル５１が、パッケージ２の本体２１に埋設されているため（すなわち、内部空間Ｓに設けられていないため）、従来のようなパッケージ２の内外を連通する貫通孔を形成する必要ない。そのため、パッケージ２の内部空間Ｓの気密性を確実に確保することができる。
挙動検知用コイル５１の両端は、例えば、本体２１の底面２１２からパッケージ２の外部に露出している（図示せず）。パッケージ２の外部には、前記誘起電力計測部が設けられており、挙動検知用コイル５１は、前記露出した部分（両端部）を介して、前記誘起電力計測部と電気的に接続されている。
【００４１】
このような挙動検知手段５は、次のようにして可動板３２の挙動を検知する。
挙動検知用コイル５１は、永久磁石４１の磁界によって誘起電力を発生する。挙動検知用コイル５１が発生する誘起電力の値は、可動板３２の回動（それに伴う永久磁石４１の回動）に伴って周期的に変化するため、この周期的に変化する誘起電力を前記誘起電力計測部により計測し、計測された誘起電力の値（大きさ）に基づいて可動板３２の挙動検知を行う。これにより、正確に、可動板３２の挙動を検知することができる。
【００４２】
特に、実施形態では、アクチュエータ１の非駆動状態にて、永久磁石４１が、挙動検知用コイル５１の内側に位置するように設けられている（非駆動状態の可動板３２の厚さ方向において、永久磁石４１が、その中心が挙動検知用コイル５１の中心と一致するように設けられている）ため、可動板３２の回動速度が最も速くなるときに、永久磁石４１が挙動検知用コイル５１に最も接近する。そのため、挙動検知用コイル５１が発生する誘起電力がより大きくなる。これにより、より正確に、可動板３２の挙動を検知することができる。
【００４３】
以上のようなアクチュエータ１は、例えば、次のようにして製造することができる。
図６ないし図８は、アクチュエータ１の製造法方を説明するための図である。なお、以下では、説明の便宜上、図６ないし図８中の上側を「上」、下側を「下」と言う。また、図６は、図３中Ａ−Ａ線断面図に対応する図である。
【００４４】
［振動体３の形成工程］
まず、図６（ａ）に示すように、振動体３を形成するためのシリコン基板１００を用意する。そして、図６（ｂ）に示すように、シリコン基板１００の上面に、支持部３１、可動板３２および一対の連結部３３、３４の平面視形状に対応する形状をなすレジストマスクＭを形成する。
【００４５】
次いで、レジストマスクＭを介して、シリコン基板１００をエッチングする。その後、レジストマスクＭを除去する。これにより、図６（ｃ）に示すように、支持部３１、可動板３２および一対の連結部３３、３４が一体的に形成されたシリコン基板１００が得られる。
なお、エッチング方法としては、例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウェットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。なお、以下の各工程におけるエッチングにおいても、同様の方法を用いることができる。
【００４６】
次に、図６（ｄ）に示すように、可動板３２の上面に、金属膜を形成し、光反射部３２１を形成する。これにより、振動体３が得られる。金属膜の形成方法としては、特に限定されず、真空蒸着、スパッタリング（低温スパッタリング）、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射法、金属箔の接合等が挙げられる。
次に、図６（ｅ）に示すように、可動板３２の下面に、接着剤を介して永久磁石４１を固定する。なお、可動板３２の下面に、接着剤を介して硬磁性体を固定し、その後、この硬磁性体を着磁することにより、永久磁石４１としてもよい。
【００４７】
［パッケージ２の形成工程］
パッケージ２の窓部２２は、テンパックスガラス、パイレックスガラス（「パイレックス」は登録商標）等のガラスで構成された板状の部材を所定のサイズに加工することにより得られる。
一方、パッケージ２の本体２１は、次のようにして得られる。
本体２１は、低温焼成セラミック多層基板を製造するのと同様の方法で製造することができる。すなわち、本体２１は、複数のグリーンシート６１を形成する第１工程と、各グリーンシート６１に導電パターンＰを形成する第２工程と、導電パターンＰが形成された複数のグリーンシート６１を積層して積層体６を形成する第３工程と、積層体６を焼成する第４工程とを、順に実行することにより製造することができる。
【００４８】
（第１工程）
まず、ガラスセラミック粉末やバインダ等を含むガラスセラミック組成物を分散媒でスラリー化し、これをキャリアフィルムの上に塗布することにより塗布膜を形成する。次いで、この塗布膜を乾燥することによって、グリーンシート６１が得られる。図７（ａ）に示すように、本工程では、このようなグリーンシート６１を複数枚、用意する。なお、分散媒としては、例えば界面活性剤やシランカップリング剤等を用いることができ、ガラスセラミック粉末を均一に分散させるものであれば良い。また、キャリアフィルムの上に塗布膜を形成する方法としては、特に限定されず、ドクターブレード法やリバースロールコータ法等の各種シート成形法を用いることができる。
【００４９】
ガラスセラミック粉末としては、例えば、アルミナやフォルステライト等のセラミック粉末にホウ珪酸系ガラスを混合したガラス複合セラミックを用いることができる。このようなガラスセラミック粉末の平均粒径としては、特に限定されないが、０．１μｍ以上、５μｍ以下程度であることが好ましい。なお、ガラスセラミック粉末としては、ＺｎＯ−ＭｇＯ−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２系の結晶化ガラスを用いた結晶化ガラスセラミック、ＢａＯ−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２系セラミック粉末やＡｌ２Ｏ３−ＣａＯ−ＳｉＯ２−ＭｇＯ−Ｂ２Ｏ３系セラミック粉末等を用いた非ガラス系セラミックを用いても良い。
【００５０】
また、バインダとしては、ガラスセラミック粉末の結合剤として機能し、第４工程で容易に除去できる有機高分子が好適に用いられる。このようなバインダとしては、例えばブチラール系、アクリル系、セルロース系等のバインダ樹脂を用いることができる。アクリル系のバインダ樹脂としては、例えばアルキル（メタ）アクリレート、アルコキシアルキル（メタ）アクリレート、ポリアルキレングリコール（メタ）アクリレート、シクロアルキル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリレート化合物の単独重合体を用いることができる。なお、バインダは、例えばアジピン酸エステル系可塑剤、ジオクチルフタレート（ＤＯＰ）、ジブチルフタレート（ＤＢＰ）フタル酸エステル系可塑剤、グリコールエステル系可塑剤等の可塑剤を含有しても良い。
【００５１】
ここで、図７（ａ）に示すように、上述の方法により得られた複数のグリーンシート６１には、形状の異なる３種類のグリーンシート６１ａ、６１ｂ、６１ｃが含まれている。３種類のグリーンシート６１ａ、６１ｂ、６１ｃは、外形（平面視形状）が互いに同じであるが、以下の点で相違する。
すなわち、グリーンシート６１ａには、その中央部に開口（孔）６１１ａが貫通形成されており、グリーンシート６１ｂには、その中央部に開口６１１ａよりも開口面積の小さい開口６１１ｂが貫通形成されており、グリーンシート６１ｃには、上記のような開孔は形成されていない。グリーンシート６１ａに形成された開口６１１ａは、本体２１の第１の凹部２１１ａを形成するための開口であり、グリーンシート６１ｂに形成された開口６１１ｂは、本体２１の第２の凹部２１１ｂを形成するための開口である。
このような形状の異なる３種類のグリーンシート６１ａ、６１ｂ、６１ｃを用意し、これらグリーンシート６１ａ、６１ｂ、６１ｃをこの順で上側から積層することにより、この積層体の形状を本体２１の形状とすることができる。
【００５２】
（第２工程）
次いで、グリーンシート６１に、駆動用コイル４２および挙動検知用コイル５１となる導電パターンＰおよび導体ポストを形成する。
具体的には、第１工程で得られた複数のグリーンシート６１のうち、必要なグリーンシート６１に、打ち抜き加工やレーザー加工によって、数十μｍ以上数百μｍ以下程度の孔径からなる図示しないビアホール（円形孔、円錐孔）を貫通形成する。次いで、グリーンシートに形成された前記ビアホールの内部に、スクリーン印刷等の各種印刷法によって、銀、金、銅等の金属粉末の導体性ペーストを充填して導体ポストを形成するとともに、グリーンシート６１の表面に導体ペーストを塗布し導体層を形成する。
【００５３】
次いで、導体層の表面にフォトレジストを塗布し、所定パターンに露光・現像することにより、導体層の表面にレジスト膜を形成する。次いで、このレジスト膜を介して導体層をエッチングし、レジスト膜を除去することにより、図７（ｂ）に示すように、表面に導電パターンＰが形成されたグリーンシート６１が得られる。前述したように、グリーンシート６１に形成された導体ポストや導電パターンは、駆動用コイル４２または挙動検知用コイル５１の一部を構成するものであるため、駆動用コイル４２および挙動検知用コイル５１の配線のパターンに対応して、必要なグリーンシート６１に、導体ポストや導電パターンを形成する。
【００５４】
（第３工程）
本工程では、複数のグリーンシート６１を積層し、積層体を形成する。
具体的には、複数のグリーンシート６１を、図７（ｂ）に図示されている順番で、順に積層する。すなわち、図７（ｂ）中、最も下側に位置するグリーンシート（１層目のグリーンシート）６１を図示しない剛性部材によって位置決めした状態で、そのすぐ上側に位置するグリーンシート（２層目のグリーンシート）６１を、１層目のグリーンシート６１上に積層する。以後同様に、複数のグリーンシート６１を順に積層し、導電パターンＰを内蔵するグリーンシート６１の積層体６が形成される。なお、複数のグリーンシート６１を積層する際に、加熱および加圧を行うことにより、より一体化された積層体６を得ることができる。
【００５５】
（第４工程）
次いで、積層体６を高温焼成炉内に入れて、焼結させる。焼成温度は、例えば８００℃〜９００℃であって、グリーンシート６１の組成に応じて適宜変更される。導電パターンＰとしてＣｕを用いる場合には、酸化防止のため還元雰囲気中で焼成するのが好ましい。銀、金等を用いる場合には大気中で焼成しても良い。
【００５６】
これにより、図８（ａ）に示すように、低温焼成セラミック多層基板で構成され、駆動用コイル４２および挙動検知用コイル５１が埋設された本体２１が得られる。このような製法によれば、駆動用コイル４２および挙動検知用コイル５１が埋設された本体２１を簡単に製造することができる。
本体２１が得られた後、本体２１の上面に、スパッタ等によりシリコンで構成された接合膜２３を形成する。
【００５７】
［パッケージ２への振動体３の収容工程］
次いで、振動体３をパッケージ２の本体２１に固定する。具体的には、図８（ｂ）に示すように、振動体３の支持部３１を、パッケージ２の本体の段差部２１１ｃに固定（接合）する。支持部３１の段差部２１１ｃへの固定は、例えば、接着剤を用いて行ってもよいし、陽極接合により行ってもよい。
【００５８】
次いで、本体２１の開口を覆うように、窓部２２を本体２１の上面に被せ、接合膜２３と本体２１、および接合膜２３と窓部２２を、それぞれ、陽極接合により接合する。これにより、本体２１と窓部２２とが接合され、パッケージ２の内部に、気密性を有する内部空間Ｓが形成される。
なお、本工程を、例えば、減圧下で行うことにより、内部空間Ｓを減圧状態とすることができ、また、希ガス雰囲気下で行うことにより、内部空間Ｓを希ガス充填状態とすることができる。どのような環境下（雰囲気下）で本工程を行うかは、アクチュエータ１に求める特性に応じて、適宜選択することができる。
以上の工程により、図８（ｃ）に示すように、アクチュエータ１が得られる。
【００５９】
＜第２実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第２実施形態について説明する。
図９は、本発明のアクチュエータの第２実施形態を示す断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図９中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【００６０】
以下、第２実施形態のアクチュエータ１について、前述した実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第２実施形態にかかるアクチュエータ１は、挙動検知手段５が省略されている以外は、第１実施形態のアクチュエータ１とほぼ同様である。なお、図９にて、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００６１】
すなわち、本実施形態のアクチュエータ１では、パッケージ２の本体２１には、駆動用コイル４２のみが埋設されている。また、駆動用コイル４２は、アクチュエータ１が非駆動状態の時に、その内側に永久磁石４１の少なくとも一部（本実施形態では、永久磁石４１の下側の部分）が位置するように設けられている。なお、永久磁石４１の全部が駆動用コイル４２の内側に位置するように、駆動用コイル４２を設けることが、さらに好ましいい。このように、駆動用コイル４２の内側に永久磁石４１の一部または全部が位置するように、駆動用コイル４２を設けることにより、通電により駆動用コイル４２が発生する磁界を、永久磁石４１により効率的に作用させることができる。
このような第２実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００６２】
＜第３実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第３実施形態について説明する。
図１０は、本発明のアクチュエータの第３実施形態を示す断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図１０中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
以下、第３実施形態のアクチュエータ１について、前述した実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第３実施形態にかかるアクチュエータ１は、第２の凹部２１１ｂの形状および駆動用コイル４２の形状が異なる以外は、前述した第２実施形態のアクチュエータ１とほぼ同様である。なお、図１０にて、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００６３】
図１０に示すように、駆動用コイル４２は、紙面上下方向（可動板３２の厚さ方向）において、永久磁石４１に接近するにつれてコイルの最内周（内部空間の横断面積）が漸増するようなテーパ状をなしている。さらには、可動板３２の中心と交わり、回動中心軸Ｘと直交する面における断面（すなわち、図１０に示す断面）において、駆動用コイル４２は、その最内周が、可動板３２の回動の際に、可動板３２の端が描く円弧状の軌跡Ｒに沿うように形成されている。言い換えれば、駆動用コイル４２は、その最内周が、回動中心軸Ｘを中心とし、可動板３２の半径よりも若干大きい半径を有する円弧上に沿うように形成されている。
【００６４】
駆動用コイル４２をこのような形状とすることにより、駆動用コイル４２が発生する磁界を可動板３２に設けられた永久磁石４１に効率的に作用させることができる。より具体的には、永久磁石４１の姿勢は、可動板３２の回動に伴って変化するが、駆動用コイル４２を上述のような形状とすることにより、永久磁石４１の姿勢に関係なく（可動板３２の回動中絶えず）、駆動用コイル４２から発生する磁界を、効率的に、永久磁石４１に作用させることができる。そのため、可動板３２を円滑に回動させることができるとともに、アクチュエータ１の省電力駆動を行うことができる。
【００６５】
図１０に示すように、第２の凹部２１１ｂは、その開口から底部（底面）に向けて、横断面積が漸増するようなテーパ状をなしている。また、可動板３２の中心と交わり、回動中心軸Ｘと直交する面における断面（すなわち、図１０に示す断面）において、第２の凹部２１１ｂは、その側面が、可動板３２の回動の際に、可動板３２の端が描く円弧状の軌跡Ｒに沿うように形成されている。すなわち、第２の凹部２１１ｂは、駆動用コイル４２の形状に対応する形状をなしている。このように、第２の凹部２１１ｂの形状を駆動用コイル４２の形状と対応させることにより、本体２１に、駆動用コイル４２を埋設するスペースを十分に確保することができる。すなわち、アクチュエータ１の大型化を防止しつつ、確実に、駆動用コイル４２をパッケージ２の本体２１に埋設することができる。
このような第３実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００６６】
＜第４実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第４実施形態について説明する。
図１１は、本発明のアクチュエータの第４実施形態を示す断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図１１中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
以下、第４実施形態のアクチュエータ１について、前述した実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第４実施形態にかかるアクチュエータ１は、パッケージ２の本体２１に、軟磁性体４３、４４が埋設されている以外は、前述した第２実施形態のアクチュエータとほぼ同様である。なお、図１１にて、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００６７】
図１１に示すように、本実施形態のアクチュエータ１は、パッケージ２の本体２１に埋設された一対の軟磁性体４３、４４を有している。一対の軟磁性体４３、４４は、通電により駆動用コイル４２が発生する磁力線（磁束）を導く機能を有している。このような軟磁性体４３、４４を設けることにより、駆動用コイル４２が発生する磁界（図４に示すような磁界）の強度を強くすることができるため、可動板３２を円滑に回動させることができるとともに、アクチュエータ１の省電力駆動を行うことができる。
【００６８】
特に、本実施形態では、一対の軟磁性体４３、４４が、本体２１に埋設されているため、本体２１のスペースを有効活用することができるとともに、一対の軟磁性体４３、４４を駆動用コイル４２により接近させて設けることができる。そのため、アクチュエータ１の小型化を図りつつ、通電により駆動用コイル４２が発生する磁界（図４に示すような磁界）の強度をより強くすることができる。
【００６９】
軟磁性体４３は、板状をなしており、駆動用コイル４２の下側に設けられている。一方、軟磁性体４４は、第２の凹部２１１ｂの周囲を囲むような枠状をなし、駆動用コイル４２の上側に設けられている。すなわち、一対の軟磁性体４３、４４は、駆動用コイル４２を介して互いに対向するように設けられている。このように、一対の軟磁性体４３、４４を、駆動用コイル４２を介して互いに対向するように設けることにより、通電により駆動用コイル４２が発生する磁力線（磁束）をより効率的に導くことができ、駆動用コイル４２が発生する磁界（図４に示すような磁界）の強度をより強くすることができる。そのため、可動板３２を円滑に回動させることができるとともに、アクチュエータ１の省電力駆動を行うことができる。
【００７０】
軟磁性体４３、４４は、それぞれ、軟磁性材料を主材料として構成されている。このような軟磁性材料としては、特に限定されず、Ｆｅ、各種Ｆｅ合金（ケイ素鉄、パーマロイ、アモルファス、センダスト）などが挙げられる。
このような第４実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００７１】
＜第５実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第５実施形態について説明する。
図１２は、本発明のアクチュエータの第５実施形態を示す断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図１２中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
以下、第５実施形態のアクチュエータ１について、前述した実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第５実施形態にかかるアクチュエータ１は、パッケージ２の内部空間Ｓに、軟磁性体４５が埋設されている以外は、前述した第２実施形態のアクチュエータとほぼ同様である。なお、図１２にて、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００７２】
図１２に示すように、本実施形態のアクチュエータ１は、パッケージ２の内部空間Ｓに設けられた軟磁性体４５を有している。軟磁性体４５は、通電により駆動用コイル４２が発生する磁力を高める磁心としての機能を有している。
軟磁性体４５は、板状をなしており、第２の凹部２１１ｂの底面に設けられている。また、軟磁性体４５は、駆動用コイル４２の内側に位置してもいる。このような軟磁性体４５を設けることにより、通電により駆動用コイル４２が発生する磁力線（磁束）をより効率的に導くことができ、駆動用コイル４２が発生する磁界（図４に示すような磁界）の強度をより強くすることができる。そのため、可動板３２を円滑に回動させることができるとともに、アクチュエータ１の省電力駆動を行うことができる。
また、軟磁性体４５をパッケージ２の内部空間Ｓに設けることにより、前述した第４実施形態のように、軟磁性体４５をパッケージ２の本体２１に埋設する必要がなく、アクチュエータ１の製造を簡易化することもできる。
【００７３】
軟磁性体４５は、軟磁性材料を主材料として構成されている。このような軟磁性材料としては、特に限定されず、Ｆｅ、各種Ｆｅ合金（ケイ素鉄、パーマロイ、アモルファス、センダスト）などが挙げられる。
このような第５実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００７４】
＜第６実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第６実施形態について説明する。
図１３は、本発明のアクチュエータの第６実施形態を示す断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図１３中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
以下、第５実施形態のアクチュエータ１について、前述した実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第５実施形態にかかるアクチュエータ１は、駆動用コイル４２の配置が異なる以外は、前述した第１実施形態のアクチュエータとほぼ同様である。なお、図１３にて、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００７５】
図１３に示すように、本実施形態のアクチュエータ１では、駆動用コイル４２が、パッケージ２の外側に設けられている。具体的には、駆動用コイル４２は、パッケージ２の本体２１の底面２１２に設けられている。
このような第６実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００７６】
以上説明したようなアクチュエータは、可動板に光反射部を備えているため、例えば、加速度センサ、角速度センサなどのＭＥＭＳ応用センサや、レーザープリンタ、バーコードリーダー、走査型共焦点レーザー顕微鏡、イメージング用ディスプレイ等の画像形成装置に備える光スキャナ、光スイッチ、光アッテネータなどの光学デバイスに用いることができる。
【００７７】
本発明の光スキャナは、可動板に光反射部を備えている以外は、本発明のアクチュエータと同様の構成である。なお、本発明の光スキャナの実施形態としては、前述した実施形態と同様であるため、詳細な説明を省略する。このような光スキャナは、例えば、プロジェクタ、レーザープリンタ、イメージング用ディスプレイ、バーコードリーダー、走査型共焦点顕微鏡などの画像形成装置に好適に適用することができる。その結果、優れた描画特性を有する画像形成装置を提供することができる。
【００７８】
具体的に、図１４に示すようなプロジェクタ９について説明する。なお、説明の便宜上、スクリーンＳＣの長手方向を「横方向」といい、長手方向に直角な方向を「縦方向」という。
プロジェクタ９は、レーザーなどの光を照出する光源装置９１と、クロスダイクロイックプリズム９２と、１対の本発明の光スキャナ９３、９４（例えば、前述した各実施形態のアクチュエータ１と同様の構成の光スキャナ）と、固定ミラー９５とを有している。
【００７９】
光源装置９１は、赤色光を照出する赤色光源装置９１１と、青色光を照出する青色光源装置９１２と、緑色光を照出する緑色光源装置９１３とを備えている。
クロスダイクロイックプリズム９２は、４つの直角プリズムを貼り合わせて構成され、赤色光源装置９１１、青色光源装置９１２、緑色光源装置９１３のそれぞれから照出された光を合成する光学素子である。
【００８０】
このようなプロジェクタ９は、赤色光源装置９１１、青色光源装置９１２、緑色光源装置９１３のそれぞれから、図示しないホストコンピュータからの画像情報に基づいて照出された光をクロスダイクロイックプリズム９２で合成し、この合成された光が、光スキャナ９３、９４によって走査され、さらに固定ミラー９５によって反射され、スクリーンＳＣ上でカラー画像を形成するように構成されている。
【００８１】
ここで、光スキャナ９３、９４の光走査について具体的に説明する。
まず、クロスダイクロイックプリズム９２で合成された光は、光スキャナ９３によって横方向に走査される（主走査）。そして、この横方向に走査された光は、光スキャナ９４によってさらに縦方向に走査される（副走査）。これにより、２次元カラー画像をスクリーンＳＣ上に形成することができる。このような光スキャナ９３、９４として本発明の光スキャナを用いることで、極めて優れた描画特性を発揮することができる。
ただし、プロジェクタ９としては、光スキャナにより光を走査し、対象物に画像を形成するように構成されていれば、これに限定されず、例えば、固定ミラー９５を省略してもよい。
【００８２】
以上、本発明のアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明のアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。また、例えば、本発明のアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置では、前述した実施形態を、適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００８３】
１……アクチュエータ  ２……パッケージ  ２１……本体  ２１１……凹部  ２１１ａ……第１の凹部  ２１１ｂ……第２の凹部  ２１１ｃ……段差部  ２１２……底面  ２２……窓部  ２３……接合膜  ３……振動体  ３１……支持部  ３２……可動板  ３２１……光反射部  ３３、３４……連結部  ４……駆動手段  ４１……永久磁石  ４２……駆動用コイル  ４３、４４、４５……軟磁性体  ５……挙動検知手段  ５１……挙動検知用コイル  ６……積層体  ６１、６１ａ、６１ｂ、６１ｃ……グリーンシート  ６１１ａ、６１１ｂ……開口  ９……プロジェクタ  ９１……光源装置  ９１１……赤色光源装置  ９１２……青色光源装置  ９１３……緑色光源装置  ９２……クロスダイクロイックプリズム  ９３、９４……光スキャナ  ９５……固定ミラー  １００……シリコン基板  Ｍ……レジストマスク  Ｓ……内部空間  ＳＣ……スクリーン  Ｐ……導電パターン  Ｒ……軌跡  Ｘ……回動中心軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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