(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の終端器を挿抜可能に保持する保持器と、
上記保持器により保持された複数の終端器と複数のＲＦコネクタの端末の画像を得て、画像処理によりそれぞれの端末位置を計測する画像処理装置と、
調芯機構に保持される把持部と、ＲＦコネクタへの終端器の挿入圧力および挿入ストロークを一定に保つ緩衝機構とが設けられ、上記終端器を挿抜可能なロボットハンドと、
上記調芯機構に保持される計測用コネクタと、上記ＲＦコネクタへの計測用コネクタの挿入圧力および挿入ストロークを一定に保つ緩衝機構とが設けられ、上記計測用コネクタをＲＦコネクタに挿抜可能な計測用ハンドと、
上記把持部およびロボットハンドを３軸方向に移動可能な移動機構と、
上記画像処理装置により計測された終端器およびＲＦコネクタの端末位置に基いて、上記ロボットハンドをＲＦコネクタの端末に移動させて上記終端器の挿抜を行うとともに、上記計測用ハンドをＲＦコネクタの端末に移動させて上記計測用コネクタの挿抜を行う制御装置と、
を備えたコネクタ自動挿抜装置。
【請求項２】
複数の終端器を挿抜可能に保持する保持器と、
上記保持器により保持された複数の終端器と複数のＲＦコネクタの端末の画像を得て、画像処理によりそれぞれの端末位置を計測する画像処理装置と、
上記終端器を把持する把持部と把持部を３次元方向に移動させる駆動部を有したロボットハンドと、
計測用コネクタを３次元方向に移動可能な計測用ハンドと、
上記ロボットハンドにおける把持部の把持または解放動作、上記ロボットハンド及び計測用ハンドの移動動作を制御する制御装置と、
を備え、
上記制御装置は、上記画像処理装置により計測された終端器の端末位置にロボットハンドの把持部を移動して終端器を把持し、上記終端器を引き抜いた後、
上記画像処理装置により計測されたＲＦコネクタの端末位置に計測用ハンドを移動させ、上記計測用コネクタをＲＦコネクタに接続するとともに、上記ロボットハンドを用いて画像処理装置により計測されたＲＦコネクタの端末位置に上記終端器を移動させ、終端器をＲＦコネクタに接続する処理を行う、
ことを特徴としたコネクタ自動挿抜装置。
【請求項３】
上記把持部により終端器が把持された状態を検知する検知センサを備え、
上記検知センサは、把持部に取付けられた光ファイバと光ファイバを介して光信号を入出力する検知部とを有し、検知部により検知される光量に基づいて終端器の把持の有無を検知することを特徴とした請求項１または請求項２に記載のコネクタ自動挿抜装置。
【請求項４】
上記把持部は、相互に接近または離間するように移動することにより、終端部を把持または解放する少なくとも三爪のチャックを有し、当該爪の移動に応じて終端器との距離が相対的に変化することを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載のコネクタ自動挿抜装置。
【請求項５】
上記制御装置はメモリと演算部を有し、
上記画像処理装置は、カメラユニットと信号処理部を有し、
上記信号処理部はカメラユニットの撮影画像に基づいてＲＦコネクタの端末中心位置及びＲＦコネクタに装着された終端器の端末中心位置を求め、メモリにＲＦコネクタの端末中心位置及びＲＦコネクタに装着された終端器の端末中心位置を格納し、
上記演算部は、上記信号処理部で求められた終端器の端末中心位置とＲＦコネクタの端末中心位置の位置ずれ量に基づいて、上記終端器をＲＦコネクタに位置合わせする、
ことを特徴とした請求項１から請求項４の何れか１項に記載のコネクタ自動挿抜装置。
【請求項６】
上記ロボットハンドの駆動部は、ＲＦコネクタの挿抜方向に可動するエアスライダと電動アクチュエータを備えて構成され、
上記制御装置は、エアスライダを用いて把持部を昇降させた後、電動アクチュエータを用いてＲＦコネクタから終端器を挿抜させることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか１項に記載のコネクタ自動挿抜装置。
【請求項７】
終端器の保持器に配列された複数の終端器の画像に基づいてそれぞれの終端器の位置計測を行うステップ、
複数のＲＦコネクタの画像に基づいてそれぞれのＲＦコネクタの位置計測を行うステップ、
ロボットハンドにより上記終端器を把持し、計測用ハンドにより特定の上記ＲＦコネクタに計測用コネクタを装着するとともに、当該特定のＲＦコネクタ以外の上記ＲＦコネクタに終端器を装着するステップ、
上記計測用コネクタを用いたＲＦ信号の計測が完了した後、特定の上記ＲＦコネクタから計測用コネクタを引き抜くステップ、
次に計測する特定のＲＦコネクタの位置にロボットハンドを移動した後、上記ロボットハンドによりＲＦコネクタに装着された終端器を把持し、次に計測する特定の上記ＲＦコネクタから終端器を引き抜くステップ、
上記計測用コネクタを引き抜いたＲＦコネクタの位置に、ロボットハンドにより上記ＲＦコネクタから引き抜いた終端器を移動させるステップ、
上記ロボットハンドにより終端器の移動位置で上記ＲＦコネクタから引き抜いた終端器をＲＦコネクタに装着するステップ、
の順序で、コネクタを挿抜するコネクタ挿抜機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、高周波機器のＲＦ（Radio Frequency）コネクタを自動的に挿抜する自動挿抜装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の終端器及びＲＦコネクタの端末位置をカメラ画像により計測する画像処理装置と、終端器を把持する把持部と把持部を３次元方向に移動させる駆動部を有したロボットハンドと、ＲＦコネクタのＲＦ特性を計測する計測用ケーブルを、３次元方向に移動可能な計測用ハンドと、ロボットハンドにおける把持部の把持または解放動作、ロボットハンド及び計測用ハンドの移動動作を制御する制御装置とを備えたコネクタ自動挿抜装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１６１９９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のコネクタ自動挿抜装置では、終端器端末の位置計測データに基いてロボットハンドを移動し、被計測対象のＲＦコネクタから自動的に終端器を抜き、被計測対象のＲＦコネクタに計測用ケーブルの端末を自動挿入してから、ＲＦ特性の自動計測を行った後、再び被計測対象のＲＦコネクタに終端器を自動挿入する動作を、全てのＲＦコネクタについて繰り返し行っていた。
【０００５】
しかしながら、終端器端末の位置をカメラ画像により計測する前に、被計測対象となる全てのＲＦコネクタに対して、予め手作業で終端器を装着しておく作業が必要であった。このため、手作業による終端器の挿入に作業時間を要するばかりか、手加減によって終端器の挿入圧力や挿入高さがＲＦコネクタ毎に僅かに異なり、この差異によりＲＦコネクタ毎のＲＦ特性が変化して、計測結果の再現性が劣化してしまうという問題があった。
【０００６】
この発明は、係る問題点を解決するためになされたものであり、予め手作業でＲＦコネクタに終端器を装着することなく、複数のＲＦコネクタに対して終端器を自動挿抜してＲＦコネクタのＲＦ特性計測を行うコネクタ自動挿抜装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明によるコネクタ自動挿抜装置は、複数の終端器を挿抜可能に保持する保持器と、保持器により保持された複数の終端器と複数のＲＦコネクタの端末の画像を得て、画像処理によりそれぞれの端末位置を計測する画像処理装置と、調芯機構を有した把持部と、ＲＦコネクタへの終端器の挿入圧力および挿入ストロークを一定に保つ緩衝機構と、把持部を移動可能な移動機構とが設けられ、終端器を挿抜可能なロボットハンドと、計測用コネクタと、計測用コネクタを移動可能な移動機構とが設けられ、計測用コネクタをＲＦコネクタに挿抜する計測用ハンドと、画像処理装置により計測された終端器およびＲＦコネクタの端末位置に基いて、ロボットハンドをＲＦコネクタの端末に移動させて終端器の挿抜を行うとともに、計測用ハンドをＲＦコネクタの端末に移動させて計測用コネクタの挿抜を行う制御装置と、備えたものである。
【発明の効果】
【０００８】
この発明によれば、予め手作業でＲＦコネクタに終端器を装着することなく、複数のＲＦコネクタに対して終端器を自動挿抜して、ＲＦコネクタのＲＦ特性計測を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】この発明の実施の形態１によるコネクタ自動挿抜機構の構成を示す図である。
【図２】この発明の実施の形態１によるコネクタ自動挿抜機構の構造を示す図である。
【図３】この発明の実施の形態１によるコネクタ自動挿抜機構における、制御装置の処理フローを示す図である。
【図４】この発明の実施の形態１によるコネクタ自動挿抜機構の、終端器引き抜き動作を示す図である。
【図５】この発明の実施の形態１によるコネクタ自動挿抜機構の、計測用コネクタの接続動作を示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
実施の形態１．
以下、この発明に係る実施の形態１によるコネクタ自動挿抜装置について、図を用いて説明する。
【００１１】
図１は、実施の形態１によるコネクタ自動挿抜装置の構成を示す図である。図において、コネクタ自動挿抜機構は、ＲＦコネクタ１３及び終端器１１の端末の位置情報を取得する画像処理装置２０と、電動アクチュエータロボット１と、把持部２４の設けられたロボットハンド２１と、ＳＭＡ−ＳＭＡアダプタ１６の装着された計測用制御ケーブル８と、計測用コネクタ９と、ＳＭＡ−ＳＭＡアダプタ１６の装着された計測用ハンド２２と、制御装置２３と、終端器把持検知用光ファイバセンサ５と、終端器専用パレット１８とを具備したものである。ＲＦコネクタ１３は、供試体１２の被測定端子である。ＲＦコネクタ１３及び終端器１１は、双方が嵌合する嵌合部の端部に面取り部が形成されている。
【００１２】
制御装置２３は、画像処理装置２０により計測された終端器１１およびＲＦコネクタ１３の端末位置に基いて、ロボットハンド２１をＲＦコネクタ１３の端末に移動させて終端器１１の挿抜を行うとともに、計測用ハンド２２をＲＦコネクタ１３の端末に移動させて計測用コネクタ９の挿抜を行う処理を行う、演算部（ＣＰＵ）が設けられている。
【００１３】
画像処理装置２０は、カメラユニット１０と、画像処理部２５から構成される。カメラユニット１０は、ＲＦコネクタ１３及び終端器１１の画像を撮像する。画像処理部２５は、カメラユニット１０により撮像した画像から、画像処理によりＲＦコネクタ１３及び終端器１１の端末の位置情報を計測する。電動アクチュエータロボット１は、水平面内（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向）及び鉛直方向（Ｚ軸方向）の３軸方向に可動する可動部と、可動部を移動可能に支持する固定部からなる。電動アクチュエータロボット１の可動部には、ロボットハンド２１と、計測用ハンド２２と、カメラユニット１０と、検出センサを構成する終端器把持検知用光ファイバセンサ５が取り付けられている。終端器把持検知用光ファイバセンサ５は、光ファイバ２７と検知部２８から構成される。検知部２８は、光電変換器とＣＰＵまたは論理回路を備えている。
【００１４】
ＳＭＡ−ＳＭＡアダプタ１６は計測用ハンド２２に保持されている。計測用コネクタ９は一端にＸＰＩ規格の雌コネクタが設けられ、他端に雌ねじを有したＳＭＡ規格の嵌合コネクタが設けられたＸＰＩ−ＳＭＡ変換アダプタを構成する。ＳＭＡ−ＳＭＡアダプタ１６の両端には、ＳＭＡ規格の雄ねじの嵌合コネクタが設けられている。ＳＭＡ−ＳＭＡアダプタ１６の一端側の嵌合コネクタには、雌ねじの嵌合コネクタを有した計測用コネクタ９が螺合して結合される。ＳＭＡ−ＳＭＡアダプタ１６の他端側の嵌合コネクタには、雌ねじの嵌合コネクタを有した計測用制御ケーブル８が螺合して結合されている。終端器１１がＸＰＩ規格の雌コネクタ構造をなしている。ＲＦコネクタ１３は計測用コネクタ９および終端器１１が嵌合するＸＰＩ規格の雄コネクタ構造をなしている。なお、コネクタの規格はここに示すものに限るものではなく、他の規格のものであっても良い。
【００１５】
供試体１２は、複数のＲＦコネクタ１３が設けられており、ＲＦコネクタ１３には終端器１１が挿抜される。また、供試体１２において、ＲＦ特性の計測を行うべき測定個所のＲＦコネクタ１３については、計測用コネクタ９が挿入接続され、計測装置２６によるＲＦ特性の計測が行われる。計測装置２６は、計測用制御ケーブル８およびＳＭＡ−ＳＭＡアダプタ１６を介して計測用コネクタ９との間で、ＲＦ信号の入出力を行い、供試体１２のＲＦ特性の計測を行う。
【００１６】
供試体１２の例としては、ＡＰＡＡ（Active Phased Array Antenna；アクティブフェーズドアレイアンテナ）に用いられる、送受信モジュールのようなＲＦ機器がある。
ＡＰＡＡは、複数のアンテナ素子と、それぞれのアンテナ素子に接続される送受信モジュールと、送受信モジュールの動作を制御する制御装置から構成される。送受信モジュールは、アンテナ素子に接続されてＲＦ信号を送信または受信する複数のＲＦコネクタが設けられる。このＲＦコネクタは、アンテナ素子面と平行な平面内に、複数個配列されている。
【００１７】
計測用コネクタ９は、供試体１２の複数のＲＦコネクタ１３のうち、測定個所となる１つのＲＦコネクタ１３に装着される。また、供試体１２においては、ＲＦ特性を計測しない隣接するＲＦコネクタ１３からの漏れによる電波干渉を防ぐため、ＲＦ特性の測定個所のＲＦコネクタを除く全てのＲＦコネクタ１３について、終端器１１が装着される。１台のＡＰＡＡについてＲＦコネクタ１３は数十個程度設けられているので、ＲＦ特性の計測に要する時間に比して、ＲＦコネクタ１３から終端器１１を人手作業で抜き差しするには、多大な時間を要することとなる。
【００１８】
終端器専用パレット１８は、予め終端器１１が装着された終端器の保持器である。終端器専用パレット１８は、格子状に配列された複数の挿入孔３０が設けられており、供試体１２に装着される終端器１１の全数が、予め何れかの挿入孔３０に差し込まれて配置されている。コネクタ自動挿抜装置は、終端器専用パレット１８から終端器１１を抜いて、測定個所以外のＲＦコネクタ１３に全数差し込むこととなる。
【００１９】
供試体１２のＲＦコネクタ１３は、隣接するＲＦコネクタ１３に装着された終端器１１および計測用コネクタ９と干渉しない程度に、比較的狭いピッチで配列されている。ＲＦコネクタ１３に終端器１１および計測用コネクタ９を挿入する際、終端器１１および計測用コネクタ９とＲＦコネクタ１３との嵌合状態が悪いと、供試体１２におけるＲＦ特性が変化し、計測結果の再現性が劣化する。特に、ＲＦコネクタ１３として、ＸＰＩ規格のコネクタを狭ピッチで配列する場合、コネクタの嵌合状態が悪いと、ＶＳＷＲ（Voltage Standing Wave Ratio；電圧定在波比）特性に不測の変化を生じることとなる。
従って、予め手作業でＲＦコネクタ１３に終端器１１を装着することなく、複数のＲＦコネクタ１３に対して終端器１１を自動挿抜して、ＲＦコネクタ１３のＲＦ特性計測を行う機構が必要となる。また、ＲＦコネクタ１３に不要な機械的ストレスを与えることなく、かつスムーズで高速に、終端器１１および計測用コネクタ９の挿抜を行う機構が必要となる。
【００２０】
このため、この実施の形態１によるコネクタ自動挿抜装置では、次の（１）、（２）を目的として構成されている。
（１）ＲＦコネクタ１３への終端器１１の自動挿抜の実現
（２）ＲＦコネクタ１３への終端器１１および計測用コネクタ９の挿抜時における、繰り返し計測再現性の向上
【００２１】
次に、実施の形態１に係るコネクタ自動挿抜装置におけるロボットハンドおよび計測用ハンドの詳細構造について説明する。
図２は、実施の形態１に係るコネクタ自動挿抜装置におけるロボットハンドおよび計測用ハンドの詳細構造を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図、（ｄ）は把持部を下方から見た部分詳細図である。
【００２２】
図において、電動アクチュエータロボット１の可動部には、エアスライダ２と計測側エアスライダ６の２式のエアスライダが駆動部として取り付けられている。電動アクチュエータロボット１は、図示しない電動モータやリニアモータなどの電動アクチュエータによって可動する。
エアスライダ２の先端には、バッファ機構１４が取り付けられている。バッファ機構１４の先端には、誤差吸収ユニット１５が取付けられ、誤差吸収ユニット１５の先端に三爪チャック３が保持されている。エアスライダ２、バッファ機構１４、誤差吸収ユニット１５、および三爪チャック３は、ロボットハンド２１を構成する。
【００２３】
バッファ機構１４は、終端器１１をＲＦコネクタ１３へ挿入する際の、挿入圧力および挿入ストロークを一定に保つ緩衝機構として機能する。バッファ機構１４は、例えばＺ軸方向へ所定の可動ストロークが規定された可動部と、可動部に対しＺ軸方向に所定の押圧力を与えるばねと、可動ストロークの上限または下限位置で可動部の位置を保持するロック機構から構成されている。
また、誤差吸収ユニット１５は、例えば直径１ｍｍの所定の誤差吸収範囲内で、ＸＹの２次元平面内（水平面内）の円周範囲をテーブルがスライド可能な調芯機構を構成する。誤差吸収ユニット１５は、内部にばねが設けられ、ばねの復元作用により誤差吸収範囲のセンタ位置に向かってテーブルが付勢されて、自律的にスライドするように構成されている。また、誤差吸収ユニット１５は、電動アクチュエータまたはエアアクチュエータによってテーブルに加圧力を加えることで、テーブルがセンタ位置に自動復帰し、なおかつセンタ位置でロックされた状態を得ることができる。
【００２４】
エアスライダ２は、電動アクチュエータロボット１の可動部に対し鉛直方向（Ｚ軸方向）に可動する。また、三爪チャック３は、水平面内で可動方向が１２０°間隔で異なる３つの爪３１を有する。各爪３１には、それぞれ鉛直下方に突出して終端器側フィンガ４が保持されている。３つの終端器側フィンガ４は、各爪３１の移動に伴い、水平面内で相互に離間または接近するように移動する。三爪チャック３、爪３１、および終端器側フィンガ４は、把持部２４を構成する。把持部２４の終端器側フィンガ４は、ロボットハンド２１の移動に応じて３軸方向に可動することができる。１つの終端器側フィンガ４には、終端器把持検知用光ファイバセンサ５の光ファイバ２７が取付けられている。
【００２５】
三爪チャック３における爪３１の移動に応じて、終端器側フィンガ４と終端器１１との距離Ｌが相対的に変化する。終端器１１が３つの終端器側フィンガ４に把持されている状態で、光ファイバ２７の端面の直下に終端器端末の上面が位置するように、光ファイバ２７が終端器側フィンガ４に保持されている。
終端器把持検知用光ファイバセンサ５は、光ファイバ２７の端面から光を出射し、物体で反射して戻ってきた光を再び光ファイバ２７の端面で受光する。光ファイバ２７の端面で受光した光は検知部２８に入力され、受光した光の強度が計測されて、物体すなわち終端器１１の有無を検知する。
【００２６】
例えば、検知部２８に入力された光信号は光電変換により電気信号に変換される。検知部２８は、光電変換後の電気信号を電圧信号に変換し、電圧の大きさに基づいて光の強度変化を求める。
この電圧が所定の閾値以上であるときに、検知部２８のＣＰＵまたは論理回路が、終端器側フィンガ４に対して終端器１１が所定の距離内に存在すると判断し、終端器１１がＲＦコネクタ１３に確実に接続されていることを検知する。
また、この電圧が所定の閾値よりも小さいとき、検知部２８のＣＰＵまたは論理回路は終端器側フィンガ４に対して終端器１１が所定距離以遠に位置すると判断し、終端器側フィンガ４による終端器１１の把持が解放されたことを検知する。
【００２７】
計測側エアスライダ６の先端には、バッファ機構１４が取り付けられている。バッファ機構１４の先端には、誤差吸収ユニット１５が取付けられ、誤差吸収ユニット１５の先端に計測用コネクタ取付け部７０が保持されている。計測側エアスライダ６、バッファ機構１４、誤差吸収ユニット１５、および計測用コネクタ取付け部７０は、計測用ハンド２２を構成する。
バッファ機構１４および誤差吸収ユニット１５は、ロボットハンド２１を構成する上述のものと同じ構成のものが用いられる。
【００２８】
エアスライダ６は、鉛直方向（Ｚ軸方向）に可動し、計測用コネクタ取付け部７０を電動アクチュエータロボット１に対して鉛直方向に移動させる。計測用コネクタ取付け部７０には、ＳＭＡ−ＳＭＡアダプタ１６が保持されている。計測用制御ケーブル８と計測用コネクタ９は、計測用ハンド２２の計測用コネクタ取付け部７０に保持されたＳＭＡ−ＳＭＡアダプタ１６によって、取り着け取り外し可能に装着される。従って、計測用制御ケーブル８及び計測用コネクタ９は計測側ハンド７に保持されて、計測側ハンド７の移動に応じて３軸方向に可動することができる。
【００２９】
カメラユニット１０は、電動アクチュエータロボット１における可動部のＺ軸可動方向と並列に取り付けられている。カメラユニット１０の下部には、テレセントリック系レンズ１７が設けられている。テレセントリック系レンズ１７は、供試体の終端器１１を少なくとも４つ同時に撮像出来る高さに取付けられている。また、カメラユニット１０の周辺には、照明１９が備えられている。
カメラユニット１０は、電動アクチュエータロボット１の移動に応じて２軸方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向）に可動し、終端器１１及びＲＦコネクタ１３のＸＹ面内の位置座標を計測する。
【００３０】
計測用コネクタ９の３次元位置座標と三爪チャック３の３次元位置座標は、エアスライダ６、計測側ハンド７、および電動アクチュエータロボット１の可動部の駆動による３次元方向の移動に伴い、正確に位置座標が計測されるように図示しない位置計測センサが設けられている。
【００３１】
また、制御装置２３には記憶装置が設けられている。記憶装置のメモリには、予め計測用コネクタ９と三爪チャック３との、ＸＹ面内における相対位置座標が格納されている。
勿論、この相対位置座標は、適宜校正可能なことは言うまでもない。
【００３２】
計測用コネクタ９は、供試体１２のＲＦコネクタ１３に嵌合し、接続される。計測用コネクタ９がＲＦコネクタ１３に接続されると、計測用コネクタ９の接続されたＲＦコネクタ１３を除き、それ以外の全ての供試体１２のＲＦコネクタ１３に、終端器１１が取付けられる。
計測用コネクタ９がＲＦコネクタ１３に接続されると、計測用制御ケーブル８を通じて、計測装置２６と供試体１２との間でＲＦ信号が入出力される。制御装置２３は、計測装置２６を通じて供試体１２の通過特性や反射特性を計測する。
【００３３】
この実施の形態１は以上のように構成され、多数のＲＦコネクタ１３を有する供試体１２をコネクタ自動挿抜装置に接続した後、コネクタ自動挿抜機構が全てのＲＦコネクタ１３に自動的に終端器１１を取付け、ＲＦコネクタ１３に対して終端器１１や計測用コネクタ９を自動で挿抜することで、多数（数十個程度）の被測定端子（ＲＦコネクタ１３）を有した供試体１２について、ＲＦ特性の自動測定を行うことが可能となる。
【００３４】
また、従来の試験方法では、終端器や計測用制御ケーブルの着脱を人手により実施していたので、着脱時に手ぶれが発生し、測定再現性が低下していた。また、手動で終端器や制御ケーブルを着脱するのに伴って、作業効率が著しく悪かったという課題があった。
しかしながら、この実施の形態１のコネクタ自動挿抜機構は、Ｚ軸アクチュエータロボット１と、計測側エアスライダ６と、計測側ハンド７と、カメラユニット１０と、終端器専用パレット１８を用いて、終端器１１やＲＦコネクタ１３の位置に基づいて終端器１１や計測用コネクタ９をＲＦコネクタ１３に接続するため、繰り返し位置決めを行う際に高い位置決め精度を確保出来る。このことから、手動で位置決めを行う場合に比べて、測定再現性の向上も可能になるという効果がある。
【００３５】
さらに、終端器１１及び計測用コネクタ９の内径は、ＲＦコネクタ１３とのコネクタ嵌合時に把持力を持たせるためにすり割り構造となっており、結果としてＲＦコネクタ１３に対してマイナスの寸法公差となっている。
また、画像処理装置２０のカメラユニット１０は、高画素数の高精細カメラによって構成されるが、終端器１１及びＲＦコネクタ１３のコネクタの位置ずれを補正しても、カメラ解像度に応じて数十μ単位での補正誤差が発生する。
【００３６】
このため、数十μの誤差がある状態で、無理やりコネクタを嵌合させることができても、終端器１１及び計測用コネクタ９に不要な機械的ストレスを与えて挿抜寿命を減らし、また、ＲＦ特性の計測再現性をも低下させることとなる。
しかしながら、この実施の形態１のコネクタ自動挿抜機構では、手先に適度なコンプライアンス（柔らかさ）を与える誤差吸収ユニット１５やバッファ機構１４を用いて、ロボットハンド２１や計測用ハンド２２を構成することにより、ＲＦコネクタ１３の中心軸に馴染ませながら終端器１１や計測用コネクタ９の位置を合わせ込み、なおかつ一定の挿入圧力を加えながら所定の挿入ストローク（深さ）で終端器１１や計測用コネクタ９をＲＦコネクタ１３に嵌合させるので、恰も人手で行うような挿入動作が可能となる。
【００３７】
なお、計測用制御ケーブル８を取り外す際に、計測用コネクタ９を計測側ハンド７から取り外してしまうと、カメラユニット１０及び三爪チャック３と計測用コネクタ９との相対位置関係がずれてしまう。このように計測用制御ケーブル８と計測用コネクタ９を同時に取付け取り外しする場合、アクチュエータロボットへの座標教示のためのティーチング作業及びポジションファイルのプログラム制御の書き換え作業が必要となる。例えば、ＲＦコネクタ挿抜寿命時（５００回毎）に交換する際、都度ティーチング作業が必要となる。このティーチング作業及びポジションファイルのプログラム制御の書き換え作業時間は非常に膨大なものとなる。
例えば、計測用ハンドのティーチング作業では、電動アクチュエータロボット１の水平方向の機械的な位置合わせ（例えば計測基準点への位置合わせ）を行ってから、計測用ハンドをＺ軸方向に移動させて計測用コネクタをティーチング専用のＲＦコネクタにストレートに挿入しつつ、コネクタ同士の垂直方向の嵌合量を設定して、ＲＦコネクタを挿入するティーチング作業を行うこととなる。
【００３８】
しかしながら、実施の形態１のコネクタ自動挿抜機構では、１回／日の計測装置２６の０点出しのキャリブレーションを行う際、ＳＭＡ−ＳＭＡアダプタ１６を計測用ハンド２２の計測用コネクタ取付け部７０に固定しておくことによって、計測用制御ケーブル８を取り外すことなく、計測用コネクタ９のみを取り外して、ＳＭＡ−ＳＭＡアダプタ１６の先端で０点出しのキャリブレーションを行うことが可能となる。
更に、ＳＭＡ−ＳＭＡアダプタ１６を計測用ハンド２２に常時固定しておくことによって、計測用コネクタ９を一度取り外してから再度取付ける時に、ＳＭＡ−ＳＭＡアダプタ１６とのねじ結合によって計測用コネクタ９を常に同じ位置に取付けることができる。かくして、アクチュエータロボットへの座標教示のためのティーチング作業及びポジションファイルのプログラム制御の書き換え作業が一切不要となる。
【００３９】
次に、動作について説明する。
図３は、図１、２に示した実施の形態１によるコネクタ自動挿抜機構を用いて、終端器１１及び計測用制御ケーブル８の接続動作を行う場合の、制御装置２３の処理動作例を示すフローチャートである。
また、図４、５は、コネクタ自動挿抜機構における動作状態の遷移を示す図であり、図４は終端器引き抜き動作を示し、図５は計測用コネクタの接続動作を示す。また、図４（ａ）はカメラユニット１０により終端器専用パレット１８の終端器１１の端末位置を計測している状態を示す図であり、図４（ｂ）は、把持部２４を構成する３つの終端器側フィンガ４が、終端器専用パレット１８から終端器１１を引き抜いている状態を示す図である。図５（ａ）はカメラユニット１０によりＲＦコネクタ１３の端末位置を計測している状態を示す図であり、図５（ｂ）は計測側ハンド７によりＲＦコネクタ１３に計測用コネクタ９を接続している状態を示す図である。ここでは、コネクタ自動挿抜機構において、供試体１２のＲＦ特性を測定する場合を例に説明する。
【００４０】
まず、コネクタ自動挿抜機構により、予め供試体１２の中で最初に測定する１つのＲＦコネクタ１３を除く、全てのＲＦコネクタ１３について、終端器１１を装着する。
この際、図４（ａ）のように、電動アクチュエータロボット１を水平方向（ＸＹ面内方向）に可動して、カメラユニット１０のカメラを、複数の終端器１１が格子状に配列した終端器専用パレット１８上の上方に移動させる。
【００４１】
ここで、終端器１１を引き抜くための前準備として、電動アクチュエータロボット１を水平方向（ＸＹ面内方向）に可動して、カメラユニット１０のカメラを、終端器１１の上方に移動させ、照明１９は、終端器１１の上面を照らす。終端器１１を取る場所や順序は、予め制御装置２３の制御シーケンスプログラムに規約されている。
【００４２】
特定の終端器１１の上方に移動したカメラユニット１０は、終端器１１の画像を４つずつ同時に撮影する。１度の撮影により４つ単位で撮影された終端器１１のカメラ画像の信号は、撮影毎に画像処理部２５に送られる。
画像処理部２５は、撮影されたカメラ画像に基づいて４つずつの終端器１１の外形を認識すると、それぞれの終端器１１の外形の中心位置を検出し、それぞれの位置座標を計測する。
【００４３】
計測された中心位置の位置座標は終端器１１の端末位置に相当し、４つずつの終端器１１についてそれぞれ検出された中心位置の位置座標は制御装置２３に送信される。
なお、終端器１１の外形認識は、例えば予め画像処理部２５に設定されたパターン画像とのパターンマッチングにより行う。また、終端器１１の外形の理想的な中心位置の位置座標は、予めポジションファイルとして制御装置２３の処理プログラムにプログラム入力されている。
【００４４】
制御装置２３は、画像処理部２５により検出された各終端器１１の中心位置の位置座標と予めポジションファイルとしてプログラム入力されていた位置データとを比較する。比較の結果、検出された各終端器１１の中心位置の位置座標が予めポジションファイルとしてプログラム入力されていた位置データに対して位置ずれしている場合、制御装置２３のＣＰＵはこのずれ量を演算して、このずれ量だけアクチュエータロボット１を水平面内（ＸＹ面内）で移動させるための位置補正をそれぞれ掛ける（ステップＳ１）。
また、各補正した位置座標は、終端器１１の端末位置として制御装置２３のメモリに一時記憶される。
この際、各終端器１１の補正した位置座標は４つずつ得られるので、１つずつ終端器１１の端末画像を得て位置補正を行う場合に比べて処理効率が良い。
【００４５】
次に、ＲＦコネクタ１３に終端器１１及び計測用コネクタ９を挿入させるための前準備として、図５（ａ）のように、電動アクチュエータロボット１を可動して、カメラユニット１０をＲＦコネクタ１３の上方に移動させる。
【００４６】
ＲＦコネクタ１３の上方に移動したカメラユニット１０は、ＲＦコネクタ１３の画像を２つずつ同時に撮影する。１度の撮影により２つ単位で撮影されたＲＦコネクタ１３のカメラ画像の信号は、撮影毎に画像処理部２５に送られる。画像処理部２５は、撮影されたカメラ画像に基づいて各ＲＦコネクタ１３の外形を認識して、各ＲＦコネクタ１３の中心位置を検出し、それぞれの検出した中心位置を制御装置２３に送信する。
また、終端器１１の外形の理想的な中心位置の位置座標は、予めポジションファイルとして制御装置２３の処理プログラムにプログラム入力されている。
【００４７】
制御装置２３は、画像処理部２５により検出された各ＲＦコネクタ１３の中心位置の位置座標と、予めポジションファイルとしてプログラム入力されていた位置データとを比較する。比較の結果、検出された各終端器１１の中心位置の位置座標が予めポジションファイルとしてプログラム入力されていた位置データに対して位置ずれしている場合、制御装置２３のＣＰＵはこのずれ量を演算して、このずれ量だけアクチュエータロボット１を水平面内（ＸＹ面内）で移動させるための位置補正を掛ける（ステップＳ２）。
また、補正した位置座標は、各ＲＦコネクタ１３の端末位置として制御装置２３のメモリに一時記憶される。
なお、各ＲＦコネクタ１３の補正した位置座標は２つずつ得られるので、１つずつＲＦコネクタ１３の端末画像を得て位置補正を行う場合に比べて処理効率が良い。
【００４８】
次に、実際に終端器１１をＲＦコネクタ１３に取付けるため、電動アクチュエータロボット１を所定量移動して、三爪チャック３を終端器１１の端末における中心軸の上方に移動させる。この所定の移動量は、ステップＳ１の処理により設定された終端器１１の端末位置と、予め制御装置２３のメモリに格納されたカメラユニット１０と三爪チャック３との相対位置座標に基づいて設定される。
【００４９】
この位置状態で、制御装置２３は、電動アクチュエータロボット１及び終端器側エアシリンダ２をＺ軸方向に高精度に位置決めして、三爪チャック３を予め設定された所定量下降させる。
この際、まず終端器側エアシリンダ２をＺ軸方向に可動させて、予め設定された所定位置Ｚ１まで三爪チャック３を粗い位置決め精度で移動させる。
【００５０】
引き続いて、電動アクチュエータロボット１をＺ軸方向に可動させて、予め設定された所定位置Ｚ２まで三爪チャック３を高い位置決め精度で移動させる。このようにして、３本の終端器側フィンガ４が終端器１１を把持出来る位置まで、三爪チャック３を移動させる。
終端器側エアシリンダ２を用いているのでＺ軸方向の移動速度を早めることが可能となり、併せて、電動アクチュエータロボット１を用いているのでＺ軸方向の位置決め精度を高くすることが可能となる。
【００５１】
続いて、制御装置２３は三爪チャック３を可動し、三爪チャック３に取付けた３本の終端器側フィンガ４が水平面内で相互接近するように移動して、図４（ｂ）に示すように、３本の終端器側フィンガ４が終端器１１を把持する。
【００５２】
このとき、３本の終端器側フィンガ４が終端器１１を中心軸でより正確に把持するために、誤差吸収ユニット１５が可動する。
【００５３】
更にこのとき、３本の終端器側フィンガ４の内、１本に内蔵した終端器把持検知用の光ファイバセンサ５を用いて、終端器１１が終端器側フィンガ４から所定距離内にあるか否かを計測することによって、終端器１１を確実に把持したことを検知する。
【００５４】
終端器１１を把持した状態で、三爪チャック３と、それに取付けた３本の終端器側フィンガ４を、電動アクチュエータロボット１及び終端器側エアシリンダ２で所定量上昇させる。これによって、終端器１１を終端器専用パレット１８から引き抜くとともに、把持した終端器１１を終端器専用パレットの周辺から退避させる。
【００５５】
次に、ＲＦコネクタ１３に終端器１１を挿入させるため、制御装置２３は電動アクチュエータロボット１を水平面内（ＸＹ面内）で所定量移動して、終端器１１をＲＦコネクタ１３の端末における中心軸の上方に移動させる。この所定の移動量は、１番目に計測するＲＦコネクタ１３以外の特定のＲＦコネクタ１３について、ステップＳ２の処理により設定された端末位置と、予め制御装置２３のメモリに格納された、カメラユニット１０と終端器１１との相対位置座標に基づいて設定される。
【００５６】
次いで、制御装置２３は、電動アクチュエータロボット１及び終端器側エアスライダ２を所定量まで下降させて、把持した終端器１１をＲＦコネクタ１３に嵌合させる（ステップＳ３）。
このとき、誤差吸収ユニット１５が可動して、ＲＦコネクタ１３及び終端器１１双方の面取り部に馴染ませながら、嵌合させていく。
また、このとき終端器側エアスライダ２の先端にしたバッファ機構１４が可動して、Ｚ軸方向のストローク及び挿入圧力を一定に保ったまま、ＲＦコネクタ１３に嵌め込まれた終端器１１を更に押し下げることで、終端器１１がＲＦコネクタ１３に完全に嵌合することとなる。
【００５７】
続いて、制御装置２３は三爪チャック３の３本の終端器側フィンガ４を開き、把持していた終端器１１を解放させる。
【００５８】
３本の終端器側フィンガ４の内、１本に内蔵した終端器把持検知用の光ファイバセンサ５を用いて、把持していた終端器１１を確実に解放したか否かを検知させる。
【００５９】
更に、制御装置２３は、三爪チャック３と、それに取付けた３本の終端器側フィンガ４を、電動アクチュエータロボット１及び終端器側エアシリンダ２で所定量上昇させる。そして、再びステップＳ３に戻り、自動測定したい１番目に計測するＲＦコネクタ１３以外の全てのＲＦコネクタ１３について、上記操作を繰り返し行う。
【００６０】
次に、１番目に計測するＲＦコネクタ１３に計測用コネクタ９を挿入させるため、制御装置２３は電動アクチュエータロボット１を水平面内（ＸＹ面内）で所定量移動して、計測用コネクタ９をＲＦコネクタ１３の端末における中心軸の上方に移動させる。この所定の移動量は予め制御装置２３のメモリに格納された、カメラユニット１０と計測用コネクタ９との相対位置座標に基づいて設定される。
なお、計測用コネクタ９は、上述したように計測側ハンド７のＳＭＡ−ＳＭＡアダプタ１６に保持固定されている。
【００６１】
次いで、制御装置２３は電動アクチュエータロボット１及び計測側エアシリンダ６を所定量まで下降させて、計測用コネクタ９を１番目に計測するＲＦコネクタ１３に嵌合させる（ステップＳ４）。
このとき、誤差吸収ユニット１５が可動して、ＲＦコネクタ１３及び計測用コネクタ９双方の面取り部に馴染ませながら嵌合させていく。
【００６２】
また、このとき計測側エアシリンダ６の先端に内蔵したバッファ機構１４が可動して、Ｚ軸方向のストローク及び挿入圧力を一定に保ったまま、ＲＦコネクタ１３に嵌め込まれた計測用コネクタ９を更に押し下げることで、計測用コネクタ９がＲＦコネクタ１３に完全に嵌合することとなる。
【００６３】
制御装置２３は、計測用コネクタ９及びＳＭＡ−ＳＭＡアダプタ１６を介した計測用制御ケーブル８と接続された計測装置２６を用いて、ＲＦ特性の自動測定を行う（ステップＳ５）。
【００６４】
自動測定終了後、制御装置２３は電動アクチュエータロボット１及び計測側エアスライダ６を所定量上昇させて、計測用コネクタ９を抜く（ステップＳ６）。
この際、電動アクチュエータロボット１を最初に可動して計測用コネクタ９を高精度でＺ軸方向に移動させた後、計測側エアスライダ６により計測用コネクタ９を高速度にＺ軸方向に移動させる。
【００６５】
次に、２番目に計測するＲＦコネクタ１３に装着された終端器１１を把持して、１番目に計測を終えたＲＦコネクタ１３に終端器１１を装着するため、制御装置２３は電動アクチュエータロボット１を所定量移動して、三爪チャック３を２番目に計測するＲＦコネクタ１３の端末の中心線上に移動させる（ステップＳ７）。
【００６６】
続いて、制御装置２３は三爪チャック３を可動し、それに取付けた３本の終端器側フィンガ４が水平面内で相互接近するように移動して、図４（ｂ）に示すように、３本の終端器側フィンガ４が終端器１１を把持する。
【００６７】
このとき、３本の終端器側フィンガ４が終端器１１を中心軸でより正確に把持するために、誤差吸収ユニット１５が可動する。
【００６８】
更にこのとき、３本の終端器側フィンガ４の内、１本に内蔵した終端器把持検知用の光ファイバセンサ５を用いて、終端器１１が終端器側フィンガ４から所定距離内にあるか否かを計測することによって、把持した終端器１１を確実に把持したことを検知する。（ステップＳ８）
【００６９】
終端器１１を把持した状態で、三爪チャック３と、それに取付けた３本の終端器側フィンガ４を、電動アクチュエータロボット１及び終端器側エアシリンダ２で所定量上昇させる。これによって、終端器１１を２番目のＲＦコネクタ１３から引き抜くとともに、把持したまま被測定端子周辺から退避させる（ステップＳ９）。
【００７０】
次に、１番目に計測したＲＦコネクタ１３に対して、把持した終端器１１を装着する（ステップＳ１０）。この装着動作は、ステップＳ３と同様にして処理動作が行われる。
【００７１】
次に、２番目に計測するＲＦコネクタ１３に計測用コネクタ９を挿入させる（ステップＳ１１）。この装着動作は、ステップＳ４と同様にして処理動作が行われる。
【００７２】
続いて、制御装置２３は、計測用コネクタ９及びＳＭＡ−ＳＭＡアダプタ１６を介した計測用制御ケーブル８と接続された計測装置２６を用いて、ＲＦ特性の自動測定を行う（ステップＳ１２）。
【００７３】
自動測定終了後、制御装置２３は電動アクチュエータロボット１及び計測側エアスライダ６を所定量上昇させて、計測用コネクタ９を抜く（ステップＳ１３）。
この際、電動アクチュエータロボット１を最初に可動して計測用コネクタ９を高精度でＺ軸方向に移動させた後、計測側エアスライダ６により計測用コネクタ９を高速度にＺ軸方向に移動させる。
【００７４】
ＲＦコネクタ１３が複数個ある場合、ステップＳ１３から再びステップＳ７に戻り、自動測定したい全てのＲＦコネクタ１３について、上記操作を繰り返し行う。
【００７５】
次に、自動測定したい全てのＲＦコネクタ１３について、ＲＦ特性の自動測定が完了し、計測用コネクタ９が引き抜かれてＺ軸方向に退避した後、ＲＦコネクタ１３に装着されている全ての終端器１１を終端器専用パレット１８へ移動する。
終端器１１を取る場所や順序は、予め制御装置２３の制御シーケンスプログラムに規約されている（ステップＳ１４）。
【００７６】
以上の処理フローを端的に説明すると、次のステップ（１）〜（８）のようになる。この内、ステップ（４）〜（７）を順次繰り返し行うことによって、ＲＦコネクタの挿抜とＲＦ特性計測が連続して自動的に実行される。
（１）終端器専用パレット１８の終端器１１の画像に基づいて終端器１１の位置計測を行うステップ（ステップＳ１）。
（２）各ＲＦコネクタ１３の端末画像に基づいてＲＦコネクタ１３の位置計測を行うステップ（ステップＳ２）。
（３）計測された各ＲＦコネクタ１３に終端器１１を装着するステップ（ステップＳ３）。
（４）ＲＦコネクタ１３に計測用ハンド２２により計測用コネクタ９を装着するステップ（ステップＳ４）。
（５）計測用コネクタ９を介して計測装置２６によるＲＦ信号の計測を行うステップ（ステップＳ５）。計測が完了した後、ＲＦコネクタ１３から計測用コネクタ９を引き抜くステップ（ステップＳ６）。
（６）計測用コネクタ９を引き抜いたＲＦコネクタ１３の位置に、ロボットハンド２１により次に計測するＲＦコネクタ１３から終端器１１を抜くステップ（ステップＳ７）。
（７）ロボットハンド２１により終端器１１の移動位置で終端器１１をＲＦコネクタ１３に装着するステップ（ステップＳ８〜Ｓ１０）。
（８）計測用コネクタ９を介して計測装置２６によるＲＦ信号の計測を行い、計測が完了した後、ＲＦコネクタ１３から計測用コネクタ９を引き抜くステップ（ステップＳ１１〜Ｓ１３）。同様にして、全てのＲＦコネクタ１３について計測用コネクタ９および終端器１１の挿抜を行い、ＲＦ信号の計測を行うステップ（ステップＳ７〜Ｓ１３）。
（９）全ＲＦコネクタ１３のＲＦ信号の計測が完了した後、ロボットハンド２１により終端器専用パレット１８へ終端器１１を戻すステップ（ステップＳ１４）。
なお、ステップ（３）と（４）は動作順序が逆になっても良い。
【００７７】
以上説明した通り、この実施の形態１によれば、制御装置２３のプログラム制御によって、画像処理装置２０を用いて終端器専用パレット１８に配列した終端器１１の位置情報を取得する。
更に、画像処理装置２０を用いてＲＦコネクタ１３の位置情報を取得する。
また、電動アクチュエータロボット１とバッファ付エアスライダ（終端器側エアスライダ２、計測側エアスライダ６）と誤差吸収ユニット１５を併用した２段式ロボットハンドを用いて、自動的に終端器１１を取付け取り外しする。
更に、ＲＦコネクタ１３へ、電動アクチュエータロボット１とバッファ付エアスライダと誤差吸収ユニット１５を併用した計測用ハンド７を用いて、計測用ケーブル８をＲＦコネクタ１３に自動的に接続する。
【００７８】
すなわち、実施の形態１によるコネクタ自動挿抜装置は、複数の終端器１１を挿抜可能に保持する終端器専用パレット１８と、終端器専用パレット１８により保持された複数の終端器１１と複数のＲＦコネクタ１３の端末の画像を得て、画像処理によりそれぞれの端末位置を計測する画像処理装置２０と、誤差吸収ユニット１５に保持される把持部２４とＲＦコネクタ１３への終端器１１の挿入圧力および挿入ストロークを一定に保つバッファ機構１４とが設けられて終端器１１を挿抜可能なロボットハンド２１と、誤差吸収ユニット１５に保持される計測用コネクタ９と、ＲＦコネクタ１３への計測用コネクタ９の挿入圧力および挿入ストロークを一定に保つバッファ機構１４とが設けられ、計測用コネクタ９をＲＦコネクタ１３に挿抜可能な計測用ハンド７と、把持部２４およびロボットハンド２１を３軸方向に移動可能な電動アクチュエータロボット１と、画像処理装置により計測された終端器１１およびＲＦコネクタ１３の端末位置に基いて、ロボットハンド２１をＲＦコネクタ１３の端末に移動させて終端器１１の挿抜を行うとともに、計測用ハンド７をＲＦコネクタ１３の端末に移動させて計測用コネクタ９の挿抜を行う制御装置２３とを備える。
【００７９】
また、実施の形態１によるコネクタ自動挿抜装置は、複数の終端器１１を挿抜可能に保持する終端器専用パレット１８と、終端器専用パレット１８により保持された複数の終端器１１と複数のＲＦコネクタ１３の端末の画像を得て、画像処理によりそれぞれの端末位置を計測する画像処理装置２０と、終端器１１を把持する把持部２４と把持部２４を３次元方向に移動させる駆動部を有したロボットハンド２１と、計測用コネクタ９を３次元方向に移動可能な計測用ハンド２２と、ロボットハンド２１における把持部２４の把持または解放動作、ロボットハンド２１及び計測用ハンド２２の移動動作を制御する制御装置２３とを備え、制御装置２３は、画像処理装置２０により計測された終端器１１の端末位置にロボットハンド２１の把持部２４を移動して終端器１１を把持し、終端器１１を引き抜いた後、画像処理装置２０により計測されたＲＦコネクタ１３の端末位置に計測用ハンド２２を移動させ、計測用コネクタ９をＲＦコネクタ１３に接続するとともに、ロボットハンド２１を用いて画像処理装置２０により計測されたＲＦコネクタ１３の端末位置に終端器１１を移動させ、終端器１１をＲＦコネクタ１３に接続する処理を行う。
【００８０】
これによって、予め手作業でＲＦコネクタに終端器を装着することなく、複数のＲＦコネクタに対して終端器を自動挿抜して、ＲＦコネクタのＲＦ特性計測を行うことが可能となる。
また、狭ピッチの多数のＲＦコネクタ１３について、不要な機械的ストレスを与えること無く、スムーズ且つ高速に終端器及びＲＦコネクタを自動挿抜させることで、電気特性を維持しつつ、自動で連続的に計測再現性の高いＲＦ特性の測定を行うことが可能となる。特に、複数の送受信モジュールを有しＲＦコネクタを多数備えたアクティブフェーズドアレイアンテナのような供試体について、有用なコネクタ自動挿抜装置を得ることができる。
【符号の説明】
【００８１】
１  電動アクチュエータロボット、２  終端器側エアスライダ、３  三爪チャック、４  終端器側フィンガ、５  終端器把持検知用光ファイバセンサ、６  計測側エアスライダ、７  計測用ハンド、８  計測用制御ケーブル、９  ＸＰＩ−ＳＭＡ変換アダプタ、１０  画像処理装置用カメラユニット（カメラ）、１１  終端器、１２  供試体、１３  被測定端子（ＲＦコネクタ）、１４  バッファ機構、１５  誤差吸収ユニット、１６  ＳＭＡ−ＳＭＡアダプタ、１７  テレセントリック系レンズ、１８  終端器専用パレット、１９  照明、２０  画像処理装置、２３  制御装置（計算機）、２５  画像処理部、２６  計測装置、２７  光ファイバ、２８  検知部、３１  爪。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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