(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機材料が保存された材料保存部と、
有機材料が収容されたるつぼを有機材料の気化点未満の温度に予熱する材料予熱部と、
前記材料保存部から一定量の有機材料が供給され、前記材料予熱部に配置されたるつぼに有機材料を伝達する材料移送部と、
搬入されたるつぼに熱を供給して前記るつぼに収容された有機材料を蒸発させる材料蒸発部と、
前記材料予熱部で予熱されたるつぼを前記材料蒸発部に搬入したり、又は前記材料蒸発部から有機材料が消耗されたるつぼを搬出するるつぼ移送部と、を含み、
前記材料移送部は、
前記材料保存部から供給される有機材料を一時的に収容するバケットと  
前記材料保存部の下側における前記材料保存部から有機材料が供給される充填位置と前記材料予熱部の上側における前記材料予熱部に有機材料を伝達する伝達位置との間で、前記バケットを往復移送させる移送ユニットと、を含むことを特徴とする連続薄膜蒸着装置。
【請求項２】
前記材料保存部は、
有機材料が保存されたホッパーと、
前記ホッパーに一定の振幅の振動を供給するホッパー振動部と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の連続薄膜蒸着装置。
【請求項３】
前記材料予熱部は、
ヒータが装着され前記るつぼをそれぞれ収容する第１収容部及び第２収容部と、
前記第１収容部又は前記第２収容部を前記材料移送部と前記材料蒸発部との間の任意の位置に選択的に位置させる位置設定ユニットと、を含むことを特徴とする請求項１に記載の連続薄膜蒸着装置。
【請求項４】
前記位置設定ユニットは、前記第１収容部又は前記第２収容部を、
前記材料移送部から有機材料が伝達される伝達位置、前記材料蒸発部の下側で前記材料蒸発部への搬入又は搬出を待機する待機位置、前記伝達位置と前記待機位置との間に備えられ、前記るつぼを予熱する予熱位置の間で回転させることを特徴とする請求項３に記載の連続薄膜蒸着装置。
【請求項５】
前記材料予熱部は、
前記第１収容部又は前記第２収容部で予熱されるるつぼ内の有機材料の温度を感知する予熱用センサをさらに含むことを特徴とする請求項３に記載の連続薄膜蒸着装置。
【請求項６】
前記バケットは、
前記バケットの下部に設けられ、前記充填位置では閉鎖されて有機材料を収容し、前記伝達位置では開放されて有機材料を放出するドア部を備えることを特徴とする請求項１に記載の連続薄膜蒸着装置。
【請求項７】
前記材料蒸発部は、
前記るつぼを収容する胴体部と、前記胴体部の側部を囲んで備えられるヒータと、前記胴体部の上部に形成され、前記ヒータから熱が供給される間、蒸発した有機材料が噴射されるノズルと、を含むことを特徴とする請求項１に記載の連続薄膜蒸着装置。
【請求項８】
前記材料蒸発部は、
前記るつぼから蒸発される有機材料の蒸発速度を測定するセンサをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の連続薄膜蒸着装置。
【請求項９】
前記材料蒸発部の上側に設けられ、蒸発される有機材料により前記材料保存部、前記材料移送部、前記材料予熱部、及び前記材料蒸発部が汚染されることを防止するための汚染防止部をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の連続薄膜蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、連続薄膜蒸着装置に関し、より詳しくは、長時間有機材料を蒸発させて基板上に薄膜形態で蒸着させることができる連続薄膜蒸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機発光表示素子は、代表的な平板ディスプレイ素子であって、基板に形成される透明陽電極層と金属陰電極層との間に有機発光層を含む有機薄膜が介される構造からなる。したがって、このような有機発光表示素子を有する基板の製造において、有機発光層を含む有機薄膜を形成するために有機物蒸着工程が行われる。
【０００３】
このような有機薄膜を基板に蒸着させるためには、一般的に真空熱蒸着法が用いられている。真空熱蒸着法は、薄膜蒸着装置の真空チャンバ内に備えられた有機材料にヒータなどを利用して熱を加え、内部に収容された有機材料を基板に向かって蒸発させることにより、基板に一定の厚さの有機薄膜を形成させる方法である。
【０００４】
図１は、従来の薄膜蒸着装置の一例を示す図である。
【０００５】
図１を参照すると、従来の薄膜蒸着装置は、基板に蒸着される有機材料を収容しているるつぼ１０と、るつぼ１０の原料物質を加熱するためのヒータ２０と、ヒータ２０の内側でるつぼ１０を昇降させる移送ユニット３０と、気化した有機材料を噴射するノズル４０とを含む。
【０００６】
しかしながら、従来の薄膜蒸着装置は、るつぼ１０内に収容可能な有機材料の量が限定されるため、有機材料を頻繁に再充填しなければならなく、そのために充填過程では毎回薄膜蒸着装置の稼動を停止しなければならないという問題がある。なお、るつぼ１０の容量を増大させる方案もあるが、るつぼ１０の容量を無制限に増大させることもできず、るつぼ１０の容量を増大させると、それに対応して装置に関連した構成品も全体的に向上した性能を発揮できるものを採用する必要がある。これにより、装置の全体サイズが増加し、製造コストが上昇するという問題がある。
【０００７】
一方、るつぼ１０の容量を増大させると、るつぼ１０内に大量の有機材料を収容することが可能である。しかし、この時、るつぼ１０内の有機材料が長時間ヒータ２０によって加熱されるため、有機材料自体の変性危険性がかなり大きいという問題がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
これにより、本発明の目的は、このような従来の問題点を解決するためのものであって、有機材料を収容するるつぼを大容量に製作せず、一定の容量のるつぼ自体を入れ替えて有機材料を連続的に供給するように構成することにより、蒸着装置の稼働時間を延長させることができ、るつぼの容量を適宜維持及び供給してるつぼ内の有機材料が熱によって変性されることを防止できる連続薄膜蒸着装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記のような目的を達成するために、本発明の連続薄膜蒸着装置は、有機材料が保存された材料保存部と、有機材料が収容されたるつぼを有機材料の気化点未満の温度に予熱する材料予熱部と、前記材料保存部から一定量の有機材料が供給され、前記材料予熱部に配置されたるつぼに有機材料を移送する材料移送部と、搬入されたるつぼに熱を供給して前記るつぼに収容された有機材料を蒸発させる材料蒸発部と、前記材料予熱部で予熱されたるつぼを前記材料蒸発部に搬入したり、又は前記材料蒸発部から有機材料が消耗したるつぼを搬出するるつぼ移送部と、を含むことを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る連続薄膜蒸着装置において、望ましくは、前記材料保存部は、有機材料が保存されたホッパーと、前記ホッパーに一定振幅の振動を供給するホッパー振動部を含む。
【００１１】
本発明に係る連続薄膜蒸着装置において、望ましくは、前記材料予熱部は、ヒータが装着され前記るつぼをそれぞれ収容する第１収容部及び第２収容部と、前記第１収容部又は前記第２収容部を前記材料移送部と前記材料蒸発部との間の任意の位置に選択的に位置させる位置設定ユニットと、を含む。
【００１２】
本発明に係る連続薄膜蒸着装置において、望ましくは、前記位置設定ユニットは、前記第１収容部又は前記第２収容部を、前記材料移送部から有機材料が伝達される伝達位置、前記材料蒸発部の下側で前記材料蒸発部への搬入又は搬出を待機する待機位置、前記伝達位置と前記待機位置との間に備えられ、前記るつぼを予熱する予熱位置の間で回転させる。
【００１３】
本発明に係る連続薄膜蒸着装置において、望ましくは、前記材料予熱部は、前記第１収容部又は前記第２収容部で予熱されるるつぼ内の有機材料の温度を感知する予熱用センサをさらに含む。
【００１４】
本発明に係る連続薄膜蒸着装置において、望ましくは、前記材料移送部は、前記材料保存部から供給される有機材料を一時的に収容するバケットと、前記材料保存部の下側における前記材料保存部から有機材料が供給される充填位置と前記材料予熱部の上側における前記材料予熱部に有機材料を伝達する伝達位置との間で、前記バケットを往復移送させる移送ユニットと、を含む。
【００１５】
本発明に係る連続薄膜蒸着装置において、望ましくは、前記バケットは、前記バケットの下部に設けられ、前記充填位置では閉鎖されて有機材料を収容し、前記伝達位置では開放されて有機材料を放出するドア部を備える。
【００１６】
本発明に係る連続薄膜蒸着装置において、望ましくは、前記材料蒸発部は、前記るつぼを収容する胴体部と、前記胴体部の側部を囲んで備えられるヒータと、前記胴体部の上部に形成され、前記ヒータから熱が供給される間、蒸発した有機材料が噴射されるノズルと、を含む。
【００１７】
本発明に係る連続薄膜蒸着装置において、望ましくは、前記材料蒸発部は、前記るつぼから蒸発される有機材料の蒸発速度を測定するセンサをさらに含む。
【００１８】
本発明に係る連続薄膜蒸着装置において、望ましくは、前記材料蒸発部の上側に設けられ、蒸発される有機材料により前記材料保存部と、前記材料移送部と、前記材料予熱部と、前記材料蒸発部の汚染を防止するための汚染防止部と、をさらに含む。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の連続薄膜蒸着装置によると、装置の稼働時間を長時間延長させることができる。
【００２０】
なお、本発明の連続薄膜蒸着装置によると、るつぼ内の有機材料が長時間熱に露出されることを回避して熱により変性されることを防止することができる。
【００２１】
なお、本発明の連続薄膜蒸着装置によると、全体的に蒸着工程にかかる時間を減らすことができる。
【００２２】
なお、本発明の連続薄膜蒸着装置によると、有機材料の蒸発量を正確に制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】従来の薄膜蒸着装置の一例を示す図である。
【図２】本発明の一実施例による連続薄膜蒸着装置を示す図である。
【図３】図２における連続薄膜蒸着装置の材料予熱部を示す図である。
【図４】図２における連続薄膜蒸着装置の材料予熱部の動作原理を説明する図である。
【図５】図２における連続薄膜蒸着装置の材料移送部の動作原理を説明する図である。
【図６】図２における連続薄膜蒸着装置の材料蒸発部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明に係る連続薄膜蒸着装置の実施例を添付の図面を参照して詳しく説明する。ただし、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。
【００２５】
図２は、本発明の一実施例による連続薄膜蒸着装置を示す図であり、図３は、図２における連続薄膜蒸着装置の材料予熱部を示す図であり、図４は、図２における連続薄膜蒸着装置の材料予熱部の動作原理を説明する図であり、図５は、図２における連続薄膜蒸着装置の材料移送部の動作原理を説明する図であり、図６は、図２における連続薄膜蒸着装置の材料蒸発部を示す図である。
【００２６】
図２〜図６を参照すると、本実施例の連続薄膜蒸着装置１００は、るつぼを連続的に供給しながら、るつぼ内の有機材料を蒸発させて基板に薄膜形態で蒸着させるためのものであり、材料保存部１１０と、材料予熱部１２０と、材料移送部１３０と、材料蒸発部１４０と、るつぼ移送部１５０と、汚染防止部１６０と、を含む。
【００２７】
前記材料保存部１１０は、基板に蒸着される有機材料が固体又は液体状態で保存されており、ホッパー１１１と、ホッパー振動部１１２とを含む。
【００２８】
ホッパー１１１は、約３０日以上使用可能な量の有機材料を常温状態で保存し、後述するバケット１３１に一定量(例えば、約８０ｃｃ)の有機材料を伝達できる開口部が下側に備えられている。
【００２９】
ホッパー振動部１１２は、ホッパー１１１に一定の振幅の振動を供給するものであり、本実施例では、ホッパー１１１を左右方向に振る振動を供給する。何ら振動もなくバケット１３１に有機材料が伝達されると、バケット１３１に充填される有機材料の上部表面が山状又は谷状に形成されて表面積が均一にならない。有機材料の蒸発量は、外部との境界となる表面の表面積に比例するので、外部との境界となる有機材料の表面積が変更されると、後述する材料蒸発部１４０で有機材料の蒸発量を適切に制御できなくなり、基板に蒸着される有機薄膜の厚さなど有機薄膜の品質に問題が生じることになる。
【００３０】
なお、ホッパー振動部１１２の振動によってバケット１３１に移送される有機材料を一定量に捕集することができ、一定量の有機材料をバケット１３１に充填することができる。有機材料の移送量が一定でないと、材料蒸発部１４０で有機物の残量による蒸発量を適切に制御することができず、基板に蒸着される有機薄膜の厚さなど有機薄膜の品質に問題が生じることになる。
【００３１】
したがって、ホッパー振動部１１２によりホッパー１１１を左右方向に振ることで、バケット１３１に充填される有機材料の上部表面を平坦にして、常に均一な表面積を確保することができ、一定の有機材料の量を材料蒸発部１４０に供給して蒸発される有機材料の蒸発量を正確に制御することができる。
【００３２】
ホッパー１１１を左右方向に直線往復させるホッパー振動部１１２は一般的な直線駆動ユニットで構成でき、直線駆動ユニットは直線往復運動か可能なものであれば制限がない。空気圧シリンダ、リニアモータ又は回転モータとボールねじを組み合わせた構成など、通常の技術者によく知られている構成を採用できるので、構成についての詳細な説明は省略する。
【００３３】
前記材料予熱部１２０は、るつぼ１０が材料蒸発部１４０に搬入される前、有機材料が収容されているるつぼ１０を有機材料の気化点未満の温度に予熱する。
【００３４】
材料保存部１１０から移送された有機材料は常温状態に置かれている。このような低い温度にあった有機材料をすぐに材料蒸発部１４０に搬入すると、有機材料を蒸発させるためにかなりの時間がかかる。したがって、るつぼ１０が材料蒸発部１４０に搬入される前に材料予熱部１２０により有機材料を所定の温度に予熱させると、材料蒸発部１４０内での有機材料の蒸発時間を短縮することができ、全体的に蒸着工程時間を減らすことができる。
【００３５】
材料予熱部１２０は、るつぼ１０をそれぞれ収容できる第１収容部１２１と第２収容部１２２に分けられる。第１収容部１２１と第２収容部１２２にはるつぼ１０を予熱できるヒータ１２４が装着されている。
【００３６】
材料予熱部１２０は、第１収容部又は第２収容部を材料移送部と材料蒸発部との間の任意の位置に選択的に位置させる位置設定ユニット１２３を含み、本実施例での位置設定ユニット１２３は第１収容部１２１と第２収容部１２２を回転させることができるように構成される。
【００３７】
図４を参照すると、位置設定ユニット１２３は、第１収容部１２１及び第２収容部１２２のうちいずれか(例えば、第１収容部１２１)を材料移送部１３０から有機材料が伝達される伝達位置(Ｐ１)に位置させる(図４の(ａ))。その後、位置設定ユニット１２３により第１収容部１２１を約９０度回転させてるつぼ１０を予熱する予熱位置(Ｐ３)に位置させる(図４の(ｂ))。この時、予熱位置(Ｐ３)の上側には、第１収容部１２１で予熱されるるつぼ１０内の有機材料の温度を感知する予熱用センサ１２５が備えられており、予め決められた適正温度に有機材料が予熱されるかを感知する。
【００３８】
その後、位置設定ユニット１２３により第１収容部１２１を予熱位置(Ｐ３)から約９０度回転させ、第２収容部１２２が材料蒸発部１４０の下側に位置するようにして材料蒸発部１４０から搬出されるるつぼ１０を待機する待機位置(Ｐ２)に位置させる(図４の(ｃ))。この時、有機材料が消耗したるつぼ１０がるつぼ移送部１５０により第２収容部１２２に移送される。その後、位置設定ユニット１２３により第１収容部１２１を待機位置(Ｐ２)から約１８０度回転させ、第１収容部１２１が材料蒸発部１４０の下側に位置するようにして材料蒸発部１４０に搬入されるるつぼ１０を材料蒸発部１４０の下側で待機する待機位置(Ｐ２)に位置させる(図４の(ｄ))。
【００３９】
るつぼ１０を予熱する予熱位置(Ｐ３)は伝達位置(Ｐ１)と待機位置(Ｐ２)との間に備えられ、位置設定ユニット１２３は第１収容部１２１又は第２収容部１２２が伝達位置(Ｐ１)、待機位置(Ｐ２)、予熱位置(Ｐ３)のいずれかに位置するように第１収容部１２１又は第２収容部１２２を回転させる。
【００４０】
本実施例の位置設定ユニット１２３は、回転運動が可能なものであれば制限がなく、空気圧シリンダ、回転モータとベルトを組み合わせた構成など通常の技術者によく知られている構成を採用できるので、これ以上の詳細な説明は省略する。
【００４１】
前記材料移送部１３０は、材料保管部１１０から一定量の有機材料が供給され、材料予熱部１２０に配置されたるつぼ１０に有機材料を伝達し、バケット１３１と移送ユニット１３２とを含む。
【００４２】
前記バケット１３１は、材料保管部１１０から供給される有機材料を一時的に収容し、下部にドア部１３３を備える。
【００４３】
前記移送ユニット１３２は、バケット１３１を直線往復移送させる。図５を参照すると、バケット１３１は、材料保管部１１０の下側で材料保存部１１０から有機材料が供給される充填位置(Ｐ４)に位置する(図５の(ａ))。その後、移送ユニット１３２によりバケット１３１は材料予熱部１２０の上側に直線移送され、材料予熱部１２０に収容されたるつぼ１０に有機材料を伝達する伝達位置(Ｐ１)に位置する(図５の(ｂ))。このように、移送ユニット１３２は充填位置(Ｐ４)と伝達位置(Ｐ１)との間でバケット１３１を直線往復移送させる。
【００４４】
バケット１３１の下部には、ドア部１３３が備えられている。充填位置(Ｐ４)では、材料保存部１１０から供給される有機材料を収容するために閉鎖されており、伝達位置(Ｐ１)では、材料予熱部１２０のるつぼ１０に有機材料を伝達するために開放されて有機材料を放出する。
【００４５】
移送ユニット１３２も、直線往復運動が可能な様々な形態の直線駆動ユニットであれば良いので、構成に関する詳細な説明は省略する。
【００４６】
前記材料蒸発部１４０は、搬入されたるつぼ１０に熱を供給してるつぼ１０に収容された有機材料を蒸発させ、胴体部１４１と、ヒータ１４２と、ノズル１４３と、を含む。
【００４７】
前記胴体部１４１は、るつぼ移送部１５０によって搬入されたるつぼ１０を収容する。
【００４８】
前記ヒータ１４２は、胴体部１４１の側部を囲んで備えられ有機材料を蒸発させることができる熱エネルギーを供給する。ヒータ１４２は、有機材料を蒸発させることができる熱エネルギーを供給できるものであれば制限がなく、例えば、コアヒータ又はランプヒータなどを用いることができる。本実施例では、コアヒータを用いるが、胴体部１４１の外側から抵抗熱線が巻かれて形成される。この時使用される抵抗熱線はＴａ、Ｗ、Ｍｏ金属又はこれらの合金線からなるものである。
【００４９】
前記ノズル１４３は、胴体部１４１の上部に形成され、ヒータ１４２から熱が供給される間、蒸発した有機材料が噴射される。ノズル１４３は、例えば、一定の長さを有する直線形状の貫通ホールで形成され、一定の直径を有する円形状の貫通ホールで形成される。
【００５０】
なお、材料蒸発部１４０は、るつぼ１０から蒸発される有機材料の蒸発量を測定するセンサ１４４をさらに含む。測定された蒸発量により蒸発速度を制御することにより、所望の厚さの有機薄膜を蒸着させることができる。
【００５１】
前記るつぼ移送部１５０は、材料予熱部１２０で予熱されたるつぼ１０を材料蒸発部１４０に搬入するか、又は材料蒸発部１４０から有機材料が消耗したるつぼ１０を搬出する。予熱が完了したるつぼ１０を上昇させて材料蒸発部１４０内に搬入し、有機材料が消耗したるつぼ１０を下降させて材料蒸発部１４０から搬出する。
【００５２】
なお、るつぼ移送部１５０は、材料蒸発部１４０内で有機材料をヒータ１４２に近づく方向に、又はヒータ１４２から遠ざかる方向にるつぼ１０を往復させながら昇降させる。るつぼ移送部１５０を用いてるつぼ１０内の有機材料とヒータ１４２との間の距離を調節することにより、蒸発される有機材料の量を制御することができる。
【００５３】
即ち、蒸発される有機材料の量が予め設定された基準量よりも少ないと、るつぼ１０をヒータ１４２に近づく方向に移送させてヒータ１４２により有機材料に十分な熱が供給されるようにして、有機材料の蒸発量を増加させることができ、蒸発される有機材料の量が予め設定された基準量よりも多いと、るつぼ１０をヒータ１４２から遠ざかる方向に移送させてヒータ１４２により有機材料に供給される熱を減らすことにより、有機材料の蒸発量を減少させることができる。
【００５４】
るつぼ移送部１５０は、直線往復運動が可能なものであれば制限がなく、空気圧シリンダ、リニアモータ、回転モータとボールねじを組み合わせた構成など通常の技術者によく知られている構成を採用できるので、これ以上の詳細な説明は省略する。
【００５５】
前記汚染防止部１６０は、材料蒸発部１４０の上側に設けられ、蒸発される有機材料によって材料保存部１１０、材料移送部１３０、材料予熱部１２０及び材料蒸発部１４０が汚染されることを防止する。ヒータ１４２によりるつぼ１０に熱が供給される間、るつぼ１０に収容された有機材料や不純物がチャンバ内に付着することを防止する。
【００５６】
チャンバ内部にくっ付く有機材料や不純物は、基板が蒸着されるチャンバ内部を汚染させる。長時間蒸着装置を稼働すると、チャンバ内部にくっ付く有機材料や不純物は汚染源の役割をし、これにより製品の不良率が高くなる。したがって、一時的に蒸着装置の稼動を停止しチャンバ内部を掃除した後工程を再開しなければならないが、このような場合、装置の歩留まりが低下するという問題が発生することになる。
【００５７】
このように、汚染防止部１６０は、チャンバ内部に有機材料が付着することを遮断し、汚染発生時、汚染防止部１６０自体を入れ替えることが可能であるので、チャンバ内部の汚染を防止し、長時間連続的な生産を可能にして装置の歩留まりを向上させることができる。
【００５８】
上述のように構成された本実施例に係る連続薄膜蒸着装置は、有機材料を収容するるつぼを入れ替えながら、材料蒸発部で有機材料が連続的に蒸発するように構成することで、装置の稼働時間を長時間延長させることができる効果が得られる。
【００５９】
なお、上述のように構成された本実施例に係る連続薄膜蒸着装置は、装置を長時間使用するために、るつぼの容量を無制限的に増大させることなく、一定の容量の有機材料を収容するるつぼ自体を入れ替えることにより、るつぼ内の有機材料が長時間熱に露出されることを回避して熱により変性されることを防止できる効果が得られる。
【００６０】
なお、上述のように構成された本実施例に係る連続薄膜蒸着装置は、有機材料が材料蒸発部に搬入される前に材料予熱部により有機材料を所定の温度に予熱させることにより、全体的に蒸着工程にかかる時間を減らすことができる効果が得られる。
【００６１】
なお、上述のように構成された本実施例に係る連続薄膜蒸着装置は、ホッパー振動部によりホッパーを左右方向に振りながら有機材料を供給して、るつぼに収容される有機材料の上部表面積を均一に維持することにより、有機材料の蒸発量を正確に制御できる効果が得られる。
【００６２】
図２に示された実施例において、ホッパー振動部は、ホッパーに左右方向に一定の振幅の振動を供給するもので説明したが、ホッパー振動部は上下方向、又は円弧方向に一定の振幅の振動を供給するように構成することもできる。
【００６３】
図２に示された実施例において、材料予熱部は、第１収容部と第２収容部を回転させるもので説明したが、材料予熱部は、第１収容部と第２収容部を直線往復移動しながら位置変更されるように構成することもできる。
【００６４】
本発明の権利範囲は、上述した実施例及び変形例に限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲内で様々な形態の実施例で実現することができる。 
【符号の説明】
【００６５】
１００：連続薄膜蒸着装置
１１０：材料保存部
１２０：材料予熱部
１３０：材料移送部
１４０：材料蒸発部
１５０：るつぼ移送部
【図１】
0005569756.tif 000002
【図２】
0005569756.tif 000003
【図３】
0005569756.tif 000004
【図４】
0005569756.tif 000005
【図５】
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【図６】
0005569756.tif 000007