(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一基板上に、複数種の画面サイズに対応した画素のピッチ幅が異なるカラーフィルタが面付けされ、前記画素のピッチ幅が最も広い部分と最も狭い部分の比が１．５から８の範囲である多面付けカラーフィルタ基板の製造方法において
前記画素の製造がフォトリソグラフィー法によるものであり、前記基板上に溶剤を７５〜９０質量％含む感光性樹脂組成物を塗布した後該感光性樹脂組成物を減圧下にて溶剤を乾燥する減圧乾燥工程を有し、前記減圧乾燥工程において２００Ｐａ以下に減圧する過程において１０００Ｐａから２００Ｐａに到達するまでにかかる時間を５秒から２０秒の範囲とした事を特徴とする多面付けカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載した製造方法により製造され、画素ピッチ幅が最も広い画面サイズに対応したカラーフィルタの画素膜厚を１とした場合に、画素ピッチ幅がそれよりも狭い画面サイズに対応したカラーフィルタの画素膜厚が１〜１．１５であることを特徴とする多面付けカラーフィルタ基板。
【請求項３】
請求項２に記載する多面付けカラーフィルタ基板を断裁したカラーフィルタを使用した事を特徴とするカラー表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はカラー液晶表示装置や有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ等に用いられる、多面付けカラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ基板並びにそれを用いたカラー表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタは、ガラス基板上にＢＭ（ブラックマトリクス）、着色画素をフォトリソグラフィー法、インクジェット法などの方法でパターニングし、必要に応じてオーバーコート層、透明電極、柱状スペーサ等を形成して作成されている。近年、液晶テレビの普及に伴い液晶表示装置の大型化が進み、それに伴ってカラーフィルタを形成するガラス基板についても大型化が進んでいる。通常、カラーフィルタは第４世代（Ｇ４：６８０ｍｍ×８８０ｍｍ）、第５世代（Ｇ５：１０００ｍｍ×１２００ｍｍ）、第６世代（Ｇ６：１５００ｍｍ×１８００ｍｍ）、第８世代（Ｇ８：２１６０ｍｍ×２４００ｍｍ）、第１０世代（Ｇ１０：２８５０ｍｍ×３０５０ｍｍ）と呼ばれる大型ガラス基板の上に、同じ画面サイズ、同じ画素ピッチ幅を有するカラーフィルタを複数形成（多面付け）して生産される。多面付けされたカラーフィルタ基板は、個別に裁断した後それぞれＴＦＴ基板と貼り合わせられる場合（例えば、特許文献１参照）と、多面付けされたままの状態で多面付けされたＴＦＴ基板と張り合わせた後個別に断裁される場合がある。
【０００３】
しかしながら、決まった大きさ（世代）のガラス基板にカラーフィルタを多面付けする場合、カラーフィルタの画面サイズによっては、大型ガラス基板に余白（前記画面サイズのカラーフィルタが形成できないガラス部分）が生じる場合があり、資源の有効利用並びにコストダウンの観点からも、その余白を有効利用するために異なる小さな画面サイズのカラーフィルタを面付けして生産したいという要望がある。
【０００４】
一方、カラーフィルタの着色画素の大きさは画面サイズと画素ドット数により異なり、例えば同じフルハイビジョン（１２８０×７２０画素）対応のカラーフィルタでは、画面サイズが大きくなるとそれに比例して一つの画素の大きさおよび画素ピッチ幅も大きくなる。このため、ガラス基板上に複数種の画面サイズを有するカラーフィルタが面付けされている多面付けカラーフィルタ基板上には異なる大きさの画素が存在する、すなわち異なるピッチ幅の画素が存在することになる。
【０００５】
このようなカラーフィルタ基板では、画素ピッチ幅が広い面付けのカラーフィルタ部分と画素ピッチ幅が狭い面付けのカラーフィルタ部分で、出来上がった画素の膜厚が異なるという問題が発生する。すなわち、画素ピッチが広いカラーフィルタに比べ、画素ピッチ幅が狭いカラーフィルタの画素膜厚は厚く仕上がってしまう問題が発生している。この現象は画素ピッチの差が大きくなるほど、膜厚の差も大きくなる傾向を持っている。
【０００６】
この原因としては、着色画素を形成する際に塗布する感光性着色組成物（レジスト）が開口部へ流れ込む現象が考えられ、ピッチが広い画素に比べて狭い画素の方がレジストの流れ込みによる画素膜厚への影響が大きいためと考えられる。例えば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色の着色画素を有するカラーフィルタでは、特に、３色目の画素を形成する際には、両サイドの開口部に画素がすでに形成されており、開口部の窪みへレジストが流れ込む量が１〜２色目と比べ大量になるため、膜厚差が更に広がる状況である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−２１９７３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は上記した問題点に鑑みてなされたもので、１枚の大型ガラス基板上に画素ピッチ幅が異なる複数種のカラーフィルタが面付けされるカラーフィルタ基板において、画素ピッチ幅の違いによって生じる画素膜厚の差を低減する事が可能な製造方法、及びその方法により製造されたカラーフィルタ、並びに、このカラーフィルタを用いて作成された液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置を提供することを課題としている。
【０００９】
本発明者らは、画素のピッチ幅の違いにより生じる膜厚差を低減することを目的として鋭意検討を行い、カラーフィルタ製造に係る特定のパラメーターを一定の範囲にコントロールすることでこの問題点を解決できることを見出した。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
すなわち、本発明の請求項１に係る第１の発明は、
同一基板上に、複数種の画面サイズに対応した画素のピッチ幅が異なるカラーフィルタが面付けされ、前記画素のピッチ幅が最も広い部分と最も狭い部分の比が１．５から８の範囲である多面付けカラーフィルタ基板の製造方法において
前記画素の製造がフォトリソグラフィー法によるものであり、前記基板上に溶剤を７５〜９０質量％含む感光性樹脂組成物を塗布した後該感光性樹脂組成物を減圧下にて溶剤を乾燥する減圧乾燥工程を有し、前記減圧乾燥工程において２００Ｐａ以下に減圧する過程において１０００Ｐａから２００Ｐａに到達するまでにかかる時間を５秒から２０秒の範囲とした事を特徴とする多面付けカラーフィルタ基板の製造方法である。
【００１１】
次に、本発明の請求項２に係る第２の発明は、
請求項１に記載した製造方法により製造され、画素ピッチ幅が最も広い画面サイズに対応したカラーフィルタの画素膜厚を１とした場合に、画素ピッチ幅がそれよりも狭い画面サイズに対応したカラーフィルタの画素膜厚が１〜１．１５であることを特徴とする多面付けカラーフィルタ基板である。
【００１２】
次に、本発明の請求項３に係る第３の発明は、請求項２に記載する多面付けカラーフィルタ基板を断裁したカラーフィルタを使用した事を特徴とするカラー表示装置である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係わる多面付けカラーフィルタ基板及びカラーフィルタによれば、画素を形成する感光性樹脂組成物（レジスト）を乾燥させる際、減圧乾燥における減圧速度を適切な範囲に調整する事で画素部へレジストの流れ込み量が制御され、小さな開口部に流れ込む感光性着色組成物の量を、大きな開口部に流れ込む感光性着色組成物の量より小さくすることが可能である。それにより、各画面サイズに対応したカラーフィルタでの画素ピッチ幅の違いによって生じる画素膜厚の差を低減する事が可能となり、画面サイズが異なるカラーフィルタ間での画素の膜厚差は小さいものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係る、一例の多面付けカラーフィルタ基板を説明する平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明のカラーフィルタ基板の製造方法を一実施形態に基づいて以下に詳細に説明する。なお、以下の説明においては、赤色（Ｒ）、緑色Ｇ）、青色（Ｂ）の三原色の画素が形成されている通常のカラーフィルタを取り上げて説明するが、本発明に係るカラーフィルタは、それ以外にシアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）等の補色や更にはホワイト（Ｗ）を組み合わせたものであってもかまわない。
【００１６】
本発明は、多面付けカラーフィルタ基板の製造方法であり、対象とするカラーフィルタ基板は、図１にその一例を示すように、大型ガラス基板等の同一基板（１）上に、例えば大きな画面サイズのカラーフィルタＡ（２）と小さな画面サイズのカラーフィルタＢ（３）の様に、複数種の画面サイズに対応した画素のピッチ幅が異なるカラーフィルタが面付けされたものである。更に、本発明の製造方法は、各カラーフィルタの画素のピッチ幅が最も広い部分と最も狭い部分の比が１．５から８の範囲である多面付けカラーフィルタ基板の製造方法として好ましく適用できる。
【００１７】
ここで基板（１）とは大型のガラス基板である。画素のピッチ幅とは、１画素を構成する最小単位あたりの長さであり、通常、４２型のカラーフィルタにおいては、４５０μｍ程度、１５．６型のカラーフィルタにおいては２２０μｍ程度である。ここでは、画素ピッチ幅は着色画素の長軸方向のピッチと幅とする。
【００１８】
まず、本発明の製造方法に係る、着色画素の製造はフォトリソグラフィー法による。カラーフィルタの着色画素を形成する感光性樹脂組成物は、少なくとも着色顔料、着色染料のいずれかないし両方あるいは透明体質顔料を含み、透明樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤、溶剤からなる感光性着色組成物であって、大型ガラス基板等の基板上に溶剤を７５〜９０質量％含むこの感光性樹脂組成物を塗布した後、この感光性樹脂組成物を減圧下にて溶剤を乾燥する。その後、公知のプレベーク、露光、現像、ポストベーク等の工程を経てパターニングされ、色数の分だけ同様の操作を繰り返すことでカラーフィルタ基板が製造される。
【００１９】
本発明の製造方法では、上記した、溶剤を７５〜９０質量％含む感光性樹脂組成物を乾燥させる減圧乾燥工程において、２００Ｐａ以下に減圧する過程において１０００Ｐａから２００Ｐａに到達するまでにかかる時間を５秒から２０秒の範囲とする減圧乾燥方法が好ましい。このことによって、画素ピッチ幅が最も広い画面サイズに対応したカラーフィルタの画素膜厚を１とした場合に、画素ピッチ幅がそれよりも狭い画面サイズに対応したカラーフィルタの画素膜厚を１〜１．１５とすることが可能となる。
【００２０】
感光性樹脂組成物の全質量に対する溶剤の質量は７５〜９０％であり、より好ましくは８０〜８８％である。感光性樹脂組成物の全質量に対する溶剤の質量が９０％を超えると、本発明に係る減圧乾燥方法を用いた場合、溶剤の突沸によるピンホールが発生するなどの不具合が生じやすい。また、溶剤の質量が７５％以下の感光性樹脂組成物を本発明の製造方法に使用した場合、ガラス基板上にムラが発生することなく均一に塗布する事が難しい問題がある。また、感光性樹脂組成物の粘度については３〜７×１０−３Ｐａｓとなるよう溶剤添加量を調整する事がガラス基板上にムラが発生することなく均一に塗布する上で好ましい。
【００２１】
本発明に係る感光性樹脂組成物である着色組成物に含有される着色顔料としては、一般に市販されている有機顔料を用いることができ、形成するフィルタセグメントの色相に応じて、染料、天然色素、無機顔料を併用することができる。有機顔料としては、発色性が高く、且つ耐熱性、特に耐熱分解性の高いものが好適に用いられる。有機顔料は、１種を単独で、または２種以上を混合して用いることができる。また、有機顔料は、ソルトミリ
ング、アシッドペースティング等により微細化したものであってもよい。
【００２２】
以下に、本発明に係る着色組成物に使用可能な有機顔料の具体例を、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号で示す。この着色組成物を用いて赤色フィルタセグメントを形成する場合には、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ７、９、１４、４１、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、８１：１、８１：２、８１：３、１２２、１２３、１４６、１４９、１６８、１７７、１７８、１７９、１８４、１８５、１８７、１９２、２００、２０２、２０８、２１０、２１６、２２０、２２３、２２４、２２６、２４０、２４２、２５４、２５５、２６４、２７２等の赤色顔料を用いることができる。赤色着色組成物には、黄色顔料、オレンジ色顔料を併用することができる。
【００２３】
この着色組成物を用いて緑色フィルタセグメントを形成する場合には、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７、１０、３６、３７、５８等の緑色顔料を用いることができる。緑色着色組成物には黄色顔料を併用することができる。
【００２４】
この着色組成物を用いて青色フィルタセグメントを形成する場合には、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、１６、６４、８０等の青色顔料を用いることができる。青色着色組成物には紫色顔料を併用することができる。
【００２５】
また、透明樹脂とは、前記着色顔料、体質顔料を分散させる樹脂であって、画素パターン露光後の現像において、未露光部がアルカリ性現像液により溶解除去出来る樹脂をいう。具体的には、アルキルアクリレート、環状アクリレート、環状メタクリレート、ヒドロキシエチルエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート等のアクリル系モノマーとエチレン性の不飽和基を有するラジカル重合性のモノマーからなるアクリル系透明樹脂、フルオレン骨格を有するエポキシアクリレート透明樹脂、多官能エポキシ樹脂にエチレン性の不飽和基を有するラジカル重合性のモノマーを付加させたタイプの樹脂を使用することが出来る。ただし、上記樹脂に限定されるものではない。
【００２６】
また、光重合性モノマーとは、露光することで重合するモノマーであって、具体的には多官能アクリレート一群、すなわちペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、プロピレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートのカプロラクトン付加物のヘキサ（メタ）アクリレート、メラミン（メタ）アクリレートなどが上げられる。
【００２７】
また、光重合開始剤としては、例えば、４−フェノキシジクロロアセトフェノン、４−ｔ−ブチル−ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン等のアセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタール等のベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド等のベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサンソン、２−クロルチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４−ジイソプロピルチオキサンソン等のチオキサンソン系光重合開始剤、２，４，６−トリクロロ−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ピペロニル−−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−−ビス（トリクロロメチル）−６−スチリルｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−トリクロロメチル−（ピペロニル）−６−トリアジン、２，４−トリクロロメチル（４’−メトキシスチリル）−６−トリアジン等のトリアジン系光重合開始剤、１，２-オクタンジオン，１-〔４-（フェニルチオ）-，２-（Ｏ-ベンゾイルオキシム）〕、Ｏ-（アセチル）-Ｎ-（１-フェニル-２-オキソ-２-（４'-メトキシ-ナフチル）エチリデン）ヒドロキシルアミン等のオキシムエステル系化合物、カルバゾール系光重合開始剤、イミダゾール系光重合開始剤等が挙げられる。上記光重合開始剤は、１種を単独で、あるいは２種以上を混合して用いられる。
【００２８】
また、感光性樹脂組成物には、前述したように基板上の塗布を容易にするため、一定量の溶剤を含有させる。溶剤としては、例えば、シクロヘキサノン、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチルベンゼン、エチレングリコールジエチルエーテル、キシレン、エチルセロソルブ、メチル−ｎアミルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルケトン、３−エトキシプロピオン酸エチル、石油系溶剤等が挙げられ、これらを単独で、もしくは混合して用いる。
【００２９】
感光性樹脂組成物には、塗工性向上、感度の向上、密着性の向上などを目的として、連鎖移動剤、界面活性剤、シランカップリング剤等の添加剤を添加しても良い。
【００３０】
感光性樹脂組成物は、各成分を混合し、シェーカー、デスパー、サンドミル、アトライター等の各種分散装置を用いて分散することにより製造することができる。
【００３１】
本発明に係る多面付けカラーフィルタ基板においては、予めガラス基板上に複数の画面サイズに対応した画素ピッチの異なるブラックマトリクスパターンが形成してある基板に対して、着色画素を前記感光性樹脂組成物を用いて塗布、乾燥、パターン露光、現像、焼成させることにより形成することができる。
【００３２】
最後に、得られた多面付けカラーフィルタ基板は、ＴＦＴ基板と張り合わせる直前か、張り合わせた後にダイアモンドカッター等を用いて、小切れのカラーフィルタ基板に断裁される。
【実施例】
【００３３】
以下に、本発明の具体的実施例につて説明する。なお、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例に限定されるものではない。なお、実施例および比較例中、「部」および「％」とは「質量部」および「質量％」をそれぞれ意味する。
【００３４】
［感光性着色組成物の製造］
まず、実施例および比較例で用いたアクリル樹脂溶液および顔料分散体の調製について説明する。樹脂の分子量は、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィ）により測定したポリスチレン換算の質量平均分子量である。
【００３５】
［アクリル樹脂溶液の調製］
反応容器にシクロヘキサノン３７０部を入れ、容器に窒素ガスを注入しながら８０℃に
加熱して、同温度でメタクリル酸２０．０部、メチルメタクリレート１０．０部、ｎ−ブチルメタクリレート５５．０部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート１５．０部、２，２'−アゾビスイソブチロニトリル４．０部の混合物を１時間かけて滴下して重合反応を行った。滴下終了後、さらに８０℃で３時間反応させた後、アゾビスイソブチロニトリル１．０部をシクロヘキサノン５０部に溶解させたものを添加し、さらに８０℃で１時間反応を続けて、アクリル樹脂溶液を得た。室温まで冷却した後、アクリル樹脂溶液約２ｇをサンプリングして１８０℃、２０分加熱乾燥して不揮発分を測定し、測定結果に基づき、先に合成したアクリル樹脂溶液に不揮発分が３０％になるようにシクロヘキサノンを添加して、アクリル樹脂溶液を調製した。得られたアクリル樹脂の質量平均分子量Ｍｗは４００００であった。
【００３６】
［着色顔料分散体の調製］
表１に示す組成の混合物を均一に撹拌混合し、直径１ｍｍのガラスビーズを用いて、サンドミルで５時間分散した後、５μｍのフィルタで濾過し、赤色顔料分散体ＰＲ、緑色顔料分散体ＰＧ、および青色顔料分散体ＰＢを調製した。このときの各数値の単位は質量％である。
【００３７】
【表１】
0005482390.tif 000002
・ＰＲ２５４（Ｃ．Ｉ．  Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２５４）：
ジケトピロロピロール系顔料（チバ・ジャパン社製「イルガフォーレッドＢ−ＣＦ」）
・ＰＲ１７７（Ｃ．Ｉ．  Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １７７）：
アントラキノン系顔料（チバ・ジャパン社製「クロモフタールレッドＡ２Ｂ」）
・ＰＧ３６（Ｃ．Ｉ．  Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６）：
ハロゲン化銅フタロシアニン系顔料（東洋インキ製造社製「リオノールグリーン６ＹＫ」）
・ＰＢ１５：６（Ｃ．Ｉ．  Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６）：
ε型銅フタロシアニン顔料（ＢＡＳＦ社製「ヘリオゲンブルーＬ−６７００Ｆ」）
・ＰＹ１５０（Ｃ．Ｉ．  Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １５０）：
ニッケルアゾ錯体系顔料（ランクセス社製「Ｅ４ＧＮ」）
・樹脂型顔料分散剤：日本ルーブリゾール社製「ソルスパース２００００」）
・アクリル樹脂溶液：先に調製したアクリル樹脂溶液
・有機溶剤：シクロヘキサノン
［感光性着色組成物の調製］
表２に示す処方（質量％）で各材料を混合・攪拌し、１μｍのフィルタで濾過して、赤色、緑色、青色感光性樹脂組成物をそれぞれ調製した。それぞれ、約８４％の溶剤を含んでいる。
【００３８】
【表２】
0005482390.tif 000003
・着色顔料分散体  ：  先に調整した顔料分散体ＰＲ、ＰＧ、ＰＢ
・アクリル樹脂溶液  ：  先に調整したアクリル樹脂溶液
・光重合性モノマー  ：  東亞合成社製「アロニックスＭ４０２」
・光開始剤  ：  チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「イルガキュア  ３７９」
・増感剤  ：  保土ヶ谷化学社製「ＥＡＢ−Ｆ」）
・増感剤  ：  チバ・ジャパン社製「ＤＡＲＯＣＵＲ  ＴＰＯ」
・界面活性剤  ：  ビックケミー社製「ＢＹＫ３３０」２％シクロヘキサノン溶液
・有機溶剤  ：  ＰＧＭＡｃ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）
・有機溶剤  ：  ＥＥＰ（エチル―３―エトキシプロピオネート）
・有機溶剤  ：  シクロヘキサノン
［多面付けカラーフィルタ基板及びカラーフィルタの製造］
表３に示す画素ピッチを持つ、画面サイズが大きなカラーフィルタＡと画面サイズが小さいカラーフィルタＢを組み合わせた多面付けカラーフィルタＣＦ１〜ＣＦ５をそれぞれ作成した。
【００３９】
【表３】
0005482390.tif 000004
［ブラックマトリックス付基板の製造］
透明基板として大型ガラス基板を用い、ガラス基板上に市販の黒色感光性着色組成物を塗布、乾燥した。その上に、表３に示した面付けに対応するマトリックスパターンの形成されたフォトマスクを使用し、高圧水銀灯の光を５０ｍＪ／ｃｍ２照射にて所定の回数ステッピング露光を行った。その後アルカリ現像液にて６０秒間現像し、更に、２３０℃３０分焼成し、ガラス基板上に画素ピッチの異なる複数のブラックマトリックスを形成した。この時ブラックマトリクスの膜厚は１．５μｍであった。ブラック膜厚層の厚さは1〜３μｍ、より好ましくは１．１〜２．２μｍに設定する事が望ましい、膜厚が１μｍ以下では十分な遮光性を得ることが難しく、３μｍを越えると着色層を本発明の減圧乾燥方法により作成した際にムラが発生しやすい。
【００４０】
［着色画素の製造］
前記ブラックマトリックス付ガラス基板上に、スリットコータにより、表２の赤色感光性着色組成物を塗布し、減圧乾燥を行った。通常、減圧乾燥工程ではまず粗引きポンプにて大気圧（約１０１３２５Ｐａ）から１０００〜２００００Ｐａまで粗引き後、主ポンプに切り替え１０〜２００Ｐａまで減圧を行う。本発明者らは１０００Ｐａから２００Ｐａへ減圧するまでにかかる時間により画素へのレジストの流れ込み量が変化する事を見出し調整を実施し、表４に示す減圧乾燥条件１〜６にて減圧乾燥を行った。減圧乾燥後、前記した表３に示した面付けに対応するパターンの形成されたフォトマスクを使用し、高圧水銀灯の光を５０ｍＪ／ｃｍ２照射にて所定の回数露光を行った。その後アルカリ現像液にて６０秒間現像し、２３０℃３０分焼成し赤色の着色画素を得た。感光性樹脂組成物として緑色感光性着色組成物、青色感光性着色組成物を使用して、それ以外の条件は同様にして、赤色着色画素に隣接する位置に緑色着色画素、更に、同様にして緑色着色画素に隣接する位置に青色着色画素を作成した。減圧乾燥条件１〜４で減圧乾燥したものを本発明の実施例、減圧乾燥条件５，６で減圧乾燥したものを比較例とした。
【００４１】
【表４】
0005482390.tif 000005
実施例および比較例の内容と結果について表５に示す。表５に示すように、減圧乾燥条件と多面付けカラーフィルタの組み合わせにて、実施例１〜８及び比較例１〜６の多面付けカラーフィルタを作製し、画素膜厚を測定した。表５には、それぞれの多面付けカラーフィルタの赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）各画素の膜厚の測定値と、画素ピッチ幅が広い画面サイズに対応したカラーフィルタＡの画素膜厚を１とした場合の、画素ピッチ幅がそれよりも狭い画面サイズに対応したカラーフィルタＢの画素膜厚である、画素膜厚比Ｂ／Ａの計算値を示した。
【００４２】
【表５】
0005482390.tif 000006
＜比較結果＞
その結果、実施例１〜８の本発明の製造方法に係る多面付けカラーフィルタ基板においては、画素膜厚が画素のピッチ幅が広いカラーフィルタの画素膜厚を１とした場合に、画素ピッチ幅が狭いカラーフィルタの画素膜厚を１〜１．１５と低いバラツキ内に抑えることができたが、比較例１〜６では特に青色画素の膜厚が大きくなり、画素膜厚比が大きくなる結果となった。
【符号の説明】
【００４３】
１・・・基板    ２・・・カラーフィルタＡ（大）    ３・・・カラーフィルタＢ（小）
１０・・・多面付けカラーフィルタ基板
【図１】
0005482390.tif 000007