(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸素含有ガスを酸素ポンプにより低酸素分圧に精製するための酸素分圧制御方法であって、精製対象ガスの酸素分圧が高いときに、酸素ポンプの固体電解質の作動温度を高く設定し、精製対象ガスの酸素分圧が低減したときに、前記固体電解質の作動温度をより低く設定することを特徴とする酸素分圧制御方法。
【請求項２】
酸素ポンプの固体電解質の作動温度を、作動温度範囲及びガスの酸素分圧範囲のマトリクス状分布からなる温度−酸素分圧域の内、酸素イオン輸率が１に近い電解伝導領域内の温度とすることを特徴とする請求項１に記載の酸素分圧制御方法。
【請求項３】
酸素ポンプにより精製しているガスの酸素分圧が、電解伝導領域における前記作動温度での酸素分圧範囲の下限値に到達または接近したときに、固体電解質の作動温度をより低くして酸素ポンプを作動させることを特徴とする請求項２に記載の酸素分圧制御方法。
【請求項４】
酸素ポンプにおける固体電解質の作動温度及び精製しているガスの酸素分圧を測定し、該ガスの酸素分圧が前記電解伝導領域における酸素分圧の下限値に到達または接近したことを、予め準備した電解伝導領域の分布データと、前記作動温度及び酸素分圧の測定値との比較に基づいて検知することを特徴とする請求項３に記載の酸素分圧制御方法。
【請求項５】
酸素ポンプで精製しているガスの酸素分圧を測定し、該ガスの酸素分圧が前記電解伝導領域における酸素分圧の下限値に到達または接近したことを、前記酸素分圧の測定値の変化率が所定値より低減したことにより検知することを特徴とする請求項３に記載の酸素分圧制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、酸素含有ガスを酸素ポンプにより低酸素分圧に精製するための酸素分圧制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
固体電解質を含む電気化学的な酸素ポンプを有する酸素分圧制御装置により、酸素分圧を制御した雰囲気ガスを用いて、単結晶試料等を作成する方法が知られている（例えば、特許文献１，２）。
【０００３】
特許文献２に示された図４の酸素分圧制御装置は、バルブ１０２を通った不活性ガスの流量を設定値に制御するマスフローコントローラ（ＭＦＣ）１０３と、このマスフローコントローラ１０３を通った不活性ガスを目的の酸素分圧に制御可能な電気化学的な酸素ポンプ１０４と、酸素ポンプ１０４で制御された不活性ガスの酸素分圧を検出して試料育成装置などの次工程（装置）に供給する供給ガス用の酸素センサ１０５を有する。
【０００４】
さらにこの装置は、所望の酸素分圧値を設定する酸素分圧設定部１０６と、酸素センサ１０５による検出値を酸素分圧設定部１０６による設定値と比較して酸素ポンプ１０４から送り出される不活性ガスの酸素分圧を所定値に制御する制御部１０７と、酸素センサ１０５による検出値を表示する酸素分圧表示部１０８を備える。
【０００５】
酸素ポンプ１０４は、図５に示すように、酸素イオン伝導性を有する固体電解質筒状体１０４ａの内外両面に電極１０４ｂ、１０４ｃを形成している。固体電解質筒状体１０４ａは、例えばジルコニア系の固体電解質であり、図示しないヒーターで加熱される。固体電解質筒状体１０４ａの一方の開口から他方の開口に向けて軸方向に不活性ガスを供給する。不活性ガスは、例えばアルゴンであり、通常は微量の酸素（１０-1〜１０-2Ｐａ［１０-6〜１０-7atm］程度）を含んでいる。直流電源Ｅに対し、外面の電極１０４ｃを＋極に接続し、内面の電極１０４ｂを−極に接続して、両電極間に電圧を印加すると、固体電解質筒状体１０４ａ内を流れる不活性ガス中の酸素分子（Ｏ2）が電気的に還元されてイオン（Ｏ2-）化され、固体電解質を通して再び酸素分子（Ｏ2）として固体電解質筒状体１０４ａの外部に放出される。固体電解質筒状体１０４ａの外部に放出された酸素分子は、空気等の補助ガスと共に排気される。固体電解質筒状体１０４ａに供給されたＡｒ＋Ｏ2（１０-1〜１０-2Ｐａ程度）の不活性ガスは、酸素分子が低減されて目的の酸素分圧に制御された処理済みガス（精製ガス）となり、次工程（装置）に給送される。
【０００６】
なお、図４の酸素ポンプ１０４は、低酸素分圧状態の制御や微調整等のために、必要に応じて、固体電解質筒状体１０４ａの内外両面の電極１０４ｂ、１０４ｃ間に上記と逆極性の直流電圧を印加してポンプ動作を行わせることも可能である。すなわち、外面の電極１０４ｃに−極を印加し、内面の電極１０４ｂに＋極を印加すると、固体電解質筒状体１０４ａの外面に沿って流れる空気などのガス中の酸素分子（Ｏ2）が固体電解質によって電気的に還元されてイオン（Ｏ2-）化され、固体電解質を通して再び酸素分子（Ｏ2）として固体電解質筒状体１０４ａの内部に放出される。この場合、固体電解質筒状体１０４ａの内部を流れる不活性ガスの酸素分圧が上昇して、外部に給送される。
【０００７】
このような酸素ポンプにより酸素分圧を制御したガスを供給すれば、結晶育成、合金化、熱処理、半導体製造工程などが酸素分圧を制御した不活性ガスなどの雰囲気下で行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−３２６８８７号公報
【特許文献２】国際公開ＷＯ ２００８／０６８８４４ Ａ１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
このような酸素ポンプで使用される固体電解質の特性は、例えば、図６のグラフに示されている。このグラフは、酸素ポンプを作動させる際の固体電解質の作動温度及び固体電解質の電気伝導度の変化を直交軸上に表示したものであり、横軸に絶対温度の逆数（１０4／Ｔ（Ｋ-1）、縦軸に電気伝導度（Ω-1・ｃｍ-1）を取り、複数の固体電解質（酸素イオン伝導体）の特性を示している。縦軸の電気伝導度にイオン輸率を乗じた値が、固体電解質を通過する酸素イオンの量に対応するものである。したがって、このグラフは、酸素ポンプの作動効率が温度依存性を有することを示している。
【００１０】
図７は、酸素ポンプを作動させる際の固体電解質の作動温度及びガスの酸素分圧によって特定されるイオン輸率を示す図である。固体電解質には、例えば図７のグラフに示すように、イオン輸率≧０．９９と定義される電解伝導領域がある。酸素ポンプをこの領域内で作動させれば、高いイオン輸率に基づき効率的な酸素除去性能が得られるが、この領域外の作動では固体電解質を通じて移動する電子の割合が多くなり、酸素の排出作用が十分には得られない。
【００１１】
従来の酸素分圧制御においては、固体電解質の温度を一定の値で固定して酸素ポンプを作動させていた。その結果、効率的に制御できる酸素分圧の上下限が、固体電解質の電解伝導領域により制限されていた。特に、酸素分圧が電解伝導領域の下限に接近すると、酸素分圧の低減効率が低下し、目標とする酸素分圧への到達に長時間を要したり、効率アップのために大掛かりな装置を必要とするという問題があった。
【００１２】
そこで、本発明は、このような従来技術の問題点を解決し、高い作動効率で酸素分圧の低減を行うことができる酸素分圧制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、前記目的を達成するため、酸素含有ガスを酸素ポンプにより低酸素分圧に精製するための酸素分圧制御方法であって、精製対象ガスの酸素分圧が高いときに、酸素ポンプの固体電解質の作動温度を高く設定し、精製対象ガスの酸素分圧が低減したときに、前記固体電解質の作動温度をより低く設定することを特徴とする酸素分圧制御方法を提供するものである。
【００１４】
効率よく酸素ポンプを作用させるためには、酸素ポンプの固体電解質の電気伝導率及び酸素イオン輸率が高い方が有利となる。これらの内、固体電解質の電気伝導率は、酸素ポンプの作動温度が高ければ、高くなる。したがって、作動温度を高くして、高い電気伝導率にすることにより、効率よく酸素ポンプを作動して目標とする酸素分圧への到達時間を短縮することが考えられる。
【００１５】
しかしながら、酸素ポンプの作動温度が高い程、高い酸素イオン輸率が得られる酸素分圧の範囲が狭くなる。つまり、作動温度を高くして酸素分圧を低下させていくと高イオン輸率の範囲から外れて酸素イオン輸率が低下しがちとなる。その場合は、酸素ポンプの効率が悪くなり、到達可能な酸素分圧の下限値が高くなってしまう。
【００１６】
これに関し、本発明に係る酸素分圧制御方法においては、精製対象ガスの酸素分圧が高いときに、酸素ポンプの固体電解質の作動温度を高く設定し、精製対象ガスの酸素分圧が低減したときに、前記固体電解質の作動温度をより低く設定する。このように、精製対象ガスの酸素分圧が高いときに、酸素ポンプの固体電解質の作動温度を高く設定するので、固体電解質の高い電気伝導率が得られ、酸素ポンプの作動効率が高くなる。このときは、精製対象ガスの酸素分圧が高いので、高イオン輸率の範囲内で酸素ポンプを効率よく作動させることができる。そして、精製対象ガスの酸素分圧が低減したときに、固体電解質の作動温度をより低く設定する。このように、固体電解質の作動温度を低くすることにより、高い酸素イオン輸率が得られる酸素分圧の範囲は広くなり、電解伝導領域の下限を超えてイオン輸率が低下するのを回避し、高い作動効率で酸素分圧の低減を行うことができる。また、高い酸素イオン輸率が得られる酸素分圧の範囲は広くなる結果、従来より低い酸素分圧への到達が可能となる。この場合、固体電解質の電気伝導率は或る程度低下するが、精製対象ガスの酸素分圧が低く、従って排出すべき酸素の絶対量が少なくなっているので、この低下はさほど問題とならず、より低い酸素分圧への到達が可能となるというメリットが大きい。
【００１７】
上記酸素分圧制御方法は、酸素ポンプの固体電解質の作動温度を、作動温度範囲及びガスの酸素分圧範囲のマトリクス状分布からなる温度−酸素分圧域の内、酸素イオン輸率が１に近い電解伝導領域内の温度とすることができる。この電解伝導領域は、イオン輸率≧０．９９と定義されるので、このように、固体電解質の作動温度を電解伝導領域内の温度とすることにより、高い酸素イオン輸率が確実に得られ、精製対象ガスの酸素分圧の高低に応じた作動温度の設定と相俟って、酸素ポンプの高い作動効率と、低い酸素分圧への到達が可能となる。
【００１８】
さらに上記酸素分圧制御方法は、酸素ポンプにより精製しているガスの酸素分圧が、電解伝導領域における前記作動温度での酸素分圧範囲の下限値に到達または接近したときに、固体電解質の作動温度をより低くして酸素ポンプを作動させるものとすることができる。
【００１９】
電解伝導領域は、例えば図７のグラフのように、横軸に温度の逆数、縦軸に酸素分圧の対数をとったときに、縦軸に近い側を頂点とするようにＶ字を横向きにした横Ｖ字形（またはその一部分）の境界線を有し、その境界線内の領域が電解伝導領域に相当する。
【００２０】
したがって、酸素ポンプを当初の作動温度のまま作動させ続けると、前記温度−酸素分圧域における酸素分圧の下限を超えて低下すると、酸素ポンプに与えた電流のうち、酸素イオンの移動に使われる割合が減少し、電子の移動に使われる割合が増加する。その結果、酸素ポンプの出力酸素分圧は、それ以上の低減を行うことができなくなる限界値またはこれに近い値となる。これに対し、本発明方法のように、前記温度−酸素分圧域における酸素分圧の下限値に到達または接近したときに、酸素ポンプの作動温度をより低い作動温度に移動させれば、電解伝導領域が示す横Ｖ字形境界線の下限までの余裕範囲が得られ、その結果、電解伝導領域下限への接近による効率低下を回避し、高い作動効率で酸素分圧の低減を行うことができる。また、移動後の作動温度での作動で、より低い酸素分圧まで到達させることができ、従来技術が達成し得なかった低い酸素分圧まで高い効率を維持することができる。
【００２１】
また、固体電解質は、作動可能な温度範囲では、作動温度が高いほど、電気伝導率が高く、多量の電流を流すことができ、高い酸素排出速度を示す。したがって、所定の酸素分圧を得るための操作の初期段階またはこれに近い段階では、酸素ポンプの作動温度を高くして高効率で酸素を排出し、出力酸素分圧がその作動温度における電解伝導領域の下限値に到達または接近したときに、酸素ポンプの作動温度を低くしてより低い酸素分圧まで到達させることによって、目標とする超低酸素分圧に短時間で到達することができる。このようにすれば、超低酸素分圧までの精製工程を高効率で行うことができる。
【００２２】
さらに必要に応じて、上記のいずれかの方法において、酸素ポンプの作動における出力酸素分圧が前記電解伝導領域における酸素分圧の下限に到達または接近したときに、より低い作動温度に移動する操作を、複数回繰り返すことができる。こうすることにより、作動温度の移動の都度、電解伝導領域が示す横Ｖ字形境界線の下限までの余裕範囲が得られ、高い作動効率で酸素分圧の低減を行うことができる。また、より低い酸素分圧までの到達が可能となり、その結果、さらに低い超低酸素分圧の精製ガスを得ることができる。
【発明の効果】
【００２３】
以上のように、本発明によれば、高い作動効率で酸素分圧の低減を行うことができる酸素分圧制御方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態に係る酸素分圧制御方法を実施するための装置を示すブロック図である。
【図２】本発明に係る酸素分圧制御方法に関し、固体電解質の温度と到達酸素分圧との関係を示すグラフである。
【図３】図２に示した制御についての変更態様を示すグラフである。
【図４】従来の酸素分圧制御装置の一例を示すブロック図である。
【図５】固体電解質を用いた酸素ポンプの原理の説明図である。
【図６】酸素ポンプで使用される固体電解質の温度（逆数）と電気伝導係数（対数）との関係を示すグラフである。
【図７】固体電解質の温度（逆数）と到達酸素分圧（対数）とによって特定されるイオン輸率を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照しつつ説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る酸素分圧制御方法を実施するための装置を示すブロック図である。この酸素分圧制御装置１は、精製対象ガスである原料ガスを低酸素分圧に制御したガスに精製するガス精製部１０と、ガスを環流させるための循環路４と、該循環路中に設けられた循環ポンプ５とを備えており、精製中のガスを循環させて精製度を上げる循環タイプとなっている。精製されたガスは、循環路４での循環後または循環と並行して、精製ガスを用いる処理装置Ｆに供給される。
【００２６】
循環路４は、ガス精製部１０の上流側及び下流側に接続された共通流路４１と、処理装置Ｆを経る作動流路４２と、処理装置Ｆを経ない流路を形成するバイパス流路４３とを備えている。ガス精製部１０の下流側の共通流路４１は、酸素センサ２２、循環用ポンプ５及び制御弁６１を経て作動流路４２及びバイパス流路４３に接続している。作動流路４２及びバイパス流路４３の終端は、制御弁６２を経て、ガス精製部１０の上流側の共通流路４１に接続している。また、ガス精製部１０の上流側の共通流路４１には、レギュレータ（ＲＥＧ）１２、マスフローコントローラ（ＭＦＣ）１３が設けられている。
【００２７】
循環路４の始端４１０（図の上左端）は、装置外のガス供給源に接続されるようになっており、該供給源から不活性ガス等の原料ガスが供給される。また、循環路４の始端４１０の直ぐ下流側には、制御弁１１が設けられている。
【００２８】
制御弁１１は、始端４１０からの原料ガス流と、共通流路４１からの精製ガス流との切り換え及びガス流の遮断の制御をするようになっている。レギュレータ１２は、酸素ポンプ及び酸素センサに接続された共通流路４１の圧力を一定に保持し、マスフローコントローラ１３は、制御弁１１を通過した原料ガスの流量を設定値に制御する。
【００２９】
酸素ポンプ２１は、図５に示したのと同様に固体電解質、電圧印可機構等を備えたポンプユニットで構成され、この実施形態では、３個のポンプユニット２１０を備えている。各ポンプユニット２１０は、酸化ジルコニウム製の筒状の固体電解質２１１の内外面に白金の電極層を設け、直流電源の−極を内側、＋極を外側に接続している。酸素センサ２２は、酸素ポンプ２１により制御された酸素分圧を検知して検知信号を発する。ガス精製部１０はさらに、酸素ポンプ２１を収容する精製室２７を備えている。
【００３０】
精製室２７内には、加熱部２８が設けられている。加熱部２８は、酸素ポンプ２１の各ポンプユニット２１０に対して作用し、各固体電解質２１１を温度制御下に加熱するように構成されている。この加熱部２８は、例えば、固体電解質２１１の外周にシースヒータを装着し、その外側を断熱材で覆ったもの等とすることができる。加熱部２８の温度制御は、酸素ポンプ２１の作動状態に応じて制御部２３により行われるようになっている。制御部２３は、統括部２３ａ、温度操作部２３ｂ及び演算部２３ｃを備えており、酸素ポンプ２１の作動状態を演算部２３ｃで判別し、統括部２３ａの指令の下に温度操作部２３ｂが加熱部２８の温度を操作する。その制御については後述する。
【００３１】
図１に示した酸素分圧制御装置１は、次のようにして使用される。目標とする酸素分圧を、酸素分圧設定部２４に入力する。酸素ポンプ２１は、加熱装置２８により所定温度に加熱され、固体電解質２１１に所定の電圧を印加される。
【００３２】
初期段階では、ガス精製部１０は、制御弁６１，６２により共通流路４１からバイパス流路４３に流れる循環経路に設定される。この状態で、制御弁１１を開き、循環ポンプ５を作動させることにより、共通流路４１の始端４１０から原料ガスを導入する。原料ガスは、短時間に目的とする酸素分圧に到達できるように、或る程度低い酸素分圧とされ、高純度ガス（酸素分圧が約１０-2Ｐａ）程度の低酸素分圧とするのが望ましい。
【００３３】
導入された原料ガスは、レギュレータ１２、マスフローコントローラ１３により圧力及び流量が制御され、酸素ポンプ２１において酸素が除去されることにより酸素分圧が低下する。その酸素分圧は酸素センサ２２により検知され、酸素分圧表示部２５に表示される。
【００３４】
こうしてガスはバイパス流路４３から共通流路４１へと循環し、酸素ポンプ２１による酸素除去が繰り返される。酸素分圧制御部２３は、検知された酸素分圧と、酸素分圧設定部２４によって設定された目標値との比較に基づいて、各々の作動電流を調節し、ガス循環に基づいて、酸素分圧を目標値に近づけて行く。例えば、温度６００℃において約１０-25Ｐａ程度の従来到達可能な酸素分圧であれば、このようにして得ることができる。
【００３５】
求める酸素分圧がこのような値であれば、共通流路４１からバイパス流路４３に流れる循環によって酸素分圧表示部２５が示す酸素分圧が上記値に到達したところで、制御弁６１，６２を切り換えて、ガス流を共通流路４１から作動流路４２を流れる経路とする。これにより、所定酸素分圧のガスは、処理装置Ｆへと流れ、処理装置Ｆにおいて目的とする処理が行われることとなる。
【００３６】
図示の装置は、高い作動効率で酸素分圧の低減を行うと共に、従来到達し得なかった酸素分圧への到達を実現するものであり、次のようにして作動することを特徴とする。酸素ポンプの作動工程を、固体電解質の温度（逆数）と到達酸素分圧（対数）との関係を示すグラフ上で見れば、図２のようになる。すなわち、酸素イオンの輸率が１に近い電解伝導領域において、酸素ポンプを所定の温度で作動させ続けると出力ラインＬ１に示すように、酸素ポンプの出力酸素分圧が電解伝導領域における酸素分圧の下限値（下限ラインＬｓ）またはその近傍に到達する。このままでは、到達酸素分圧の低減に限界が生じ、従来技術のものと同程度となる。
【００３７】
これに対し、本発明においては、温度−酸素分圧域における酸素分圧の下限値に到達または接近したときに、酸素ポンプの作動温度をより低くして作動させ、例えば制御ラインＬ２を描くようにする。これは、図２において、酸素ポンプの作動温度を電解伝導領域の酸素分圧下限ラインＬｓに沿う方向に移動させることを意味する。
【００３８】
この移動はまた、例えば図３に示すような複数段の温度変化を伴う制御ラインＬ３を描くことにより、または連続的若しくは多段の微小段の温度変化により、電解伝導領域の酸素分圧下限ラインＬｓに沿う方向に行うこともできる。
【００３９】
このようにして酸素ポンプの作動温度をより低い温度に移動させれば、電解伝導領域が示す横Ｖ字形境界線の下限までの余裕範囲が得られ、その結果、移動後の作動温度での作動で、電解伝導領域の下限への接近による効率低下を回避し、高い作動効率で酸素分圧の低減を行うことができる。また、より低い酸素分圧まで到達させることができ、従来技術が達成し得なかった超低酸素分圧の精製ガスを得ることができる。
【００４０】
これらの制御は、加熱部２８に対する制御部２３の作動によって行われる。制御部２３の演算部２３ｃは、酸素ポンプにより得られる酸素分圧が電解伝導領域における酸素分圧の下限値に到達または接近したことを検知する。この検知は、例えば、演算部２３ｃにおいて、予め準備した電解伝導領域の分布データと、精製装置の作動温度及び酸素分圧の測定値とを比較することにより行うことができる。すなわち、図７に例示したように、固体電解質の材質等にしたがって電解伝導領域の分布データが定まるので、精製装置の作動温度及び酸素分圧の測定値と分布データとの比較により、電解伝導領域に対する現在の制御位置を判別することができる。これをモニタ等することにより、酸素ポンプにより得られる酸素分圧が電解伝導領域における酸素分圧の下限値に到達または接近したことを検知することができる。
【００４１】
上記検知はまた、演算部２３ｃにおいて、酸素ポンプにおける酸素分圧の測定値の変化率が所定値より低減したことを判別することにより行うことができる。酸素ポンプによる酸素分圧の低減効率は、電解伝導領域の下限値に接近するほど低下する。したがって、予め酸素分圧の低減効率についての下限値を設定しておき、酸素ポンプによる酸素分圧をモニタ等しながら、低減効率を算出し、その低減効率、すなわち変化率が、設定した下限値に到達または接近したことにより、電解伝導領域における酸素分圧の下限値に到達または接近したことを検知することができる。酸素分圧の低減効率は、例えば、酸素ポンプに流れる電流に対する酸素分圧の低下量として算出することができる。
【００４２】
このようにして酸素分圧が電解伝導領域における下限値に到達または接近したことが検知されると、統括部２３ａは温度操作部２３ｂに対して指令信号を発し、これにしたがって温度操作部２３ｂは、加熱部２８による固体電解質２１１の加熱温度を所定値だけ下げる操作をする。その温度低下の値やパターンは予め設定しておくことができる。
【００４３】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。例えば、酸素分圧が目標値よりも低くなった場合には、固体電解質に印加する電圧の極性を逆にして酸素ポンプ内に酸素を取り込むことにより、目標値の酸素分圧を得ることができる。
【００４４】
上記実施形態では、筒状をなす固体電解質の内側を、精製すべきガスの供給側とし、固体電解質の外側を酸素の排出側としたが、これを逆にして、固体電解質の外側を、精製すべきガスの供給側、内側を酸素の排出側とすることもできる。また、固体電解質を平面または曲面の板状とすることもできる。この場合は、固体電解質の一方の側及び他方の側のいずれかを、精製すべきガスの供給側、反対の側を酸素の排出側とすることができる。そして、固体電解質の供給側及び排出側のガスが相互に混合しないように、固体電解質に隣接する仕切り部材をガス精製部に設けるのが望ましい。
【符号の説明】
【００４５】
１：      酸素分圧制御装置
４：      循環路
１０：    ガス精製部
２１：    酸素ポンプ
２３：    制御部
２８：    加熱部
２３ａ：  統括部
２３ｂ：  温度操作部
２３ｃ：  演算部
２１１：  固体電解質
Ｆ：      処理装置
【図４】
0005550530.tif 000002
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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