(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
コア及び該コアの外周に積層されたクラッドを備える光ファイバと、該光ファイバに接続され、該光ファイバとの界面で伝送する光の一部を漏洩する光透過部材とを有し、入射端に入射されて前記光透過部材を通過した光を出射端から出射する光ファイバセンサ、
第１基板、及び
開口部が設けられた第２基板を有し、
上下方向に重ねて配設した前記第１基板と前記第２基板との間に前記光ファイバセンサを、前記開口部の領域内に前記光透過部材が位置するように配置させ、
上方から荷重が印加されたとき、前記光ファイバセンサの前記光透過部材及びその近傍部分に前記開口部側に凸となる曲げが生じ、前記光ファイバセンサを伝送する光に前記荷重に応じた損失が発生することを特徴とする重量計測素子。
【請求項２】
前記第１基板又は第２基板のうち上部に配置された基板上に配置される荷重均一化基板を有することを特徴とする請求項１に記載の重量計測素子。
【請求項３】
前記開口部の開口長が１０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の重量計測素子。
【請求項４】
前記第１基板の硬度が前記第２基板の硬度より低いことを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の重量計測素子。
【請求項５】
前記光透過部材は、前記光ファイバのコア径と異なるコア径を有するヘテロコア部であることを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の重量計測素子。
【請求項６】
前記光透過部材は、前記光ファイバのコアの屈折率あるいはクラッドの屈折率と同等の屈折率を持つ光透過部材からなることを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の重量計測素子。
【請求項７】
請求項１から６の何れか１項に記載の重量計測素子と、
前記光ファイバセンサの入射端に設けられた光源と、
前記光ファイバセンサの出射端に設けられた受光部とを備えることを特徴とする重量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、重量を計測するための重量計測素子及びそれを用いた重量計に関し、特に光ファイバセンサを用いた重量計測素子及びそれを用いた重量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
被計量物の重量を計測する重量計には、例えば、台座などに重量が作用したときに変形する圧縮バネを用いて計測する方法が広く用いられている。【０００３】
通常は、圧縮バネの変形の大きさに応じて指示針を回動あるいは移動させ、指示針が被計測物の重量に対応する重量数値を指し示すように構成されている。【０００４】
しかし、従来の圧縮バネを用いた重量計は、重量計測の精度を高めることが難しく、高精度を実現しようとすると構造が複雑となり、製造コストが高価となる。さらに、電気信号を用いない機械的な重量計においては、遠隔計測や計測データ処理などが困難である。【０００５】
そこで、圧縮バネの変形量を電気的な信号に変換し、重量を電気的に計測する重量計測素子が広く一般的に用いられている。この場合、例えば、被計測物の重さを電気信号に変換し、電気信号の変化量などから重量を計測する重量計なども知られている。【０００６】
しかし、電気的センサを用いた重量計は、少量の水がかかっただけで容易に漏電するおそれがあり、防水対策を万全に講じる必要がある。さらに、電気的に感知して電気信号を授受するので、防爆施設などにおいては使用することができない。【０００７】
そこで、光ファイバを用いた重量計が提案されている。例えば、特開２００２−１８８９５２号公報及び特開２００２−１６８６７７号公報には、被計測物の荷重を受けて変形する荷重受け部及びこの荷重受け部を基板上で支持する支持部を有する受感部と、荷重受け部の変形に応じて歪みを付加されるセンシングファイバと、基準となる出力光を得るためのリファレンスファイバとを備え、両ファイバに光信号を分波して伝送し、両ファイバの位相差から被計測物の重量を計測する重量計が開示されている。【０００８】
なお、ヘテロコア型の光ファイバセンサについては、国際公開９７／４８９９４号パンフレット及び特開２００３−２１４９０６号公報に詳細が開示されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記従来の光ファイバを用いた重量計は、被計測物の荷重を受けて変形する荷重受け部に応じた歪みがセンシングファイバに付加されないと計測できないため、被計測物が大型設備や大型車両等の重量が非常に重い物に限定されるという問題がある。【００１０】
本発明は、以上の点に鑑み、光ファイバセンサを用いて、軽重量物も計測可能な重量計測素子及び重量計を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の重量計測素子は、コア及び該コアの外周に積層されたクラッドを備える光ファイバと、該光ファイバに接続され、該光ファイバとの界面で伝送する光の一部を漏洩する光透過部材とを有し、入射端に入射されて前記光透過部材を通過した光を出射端から出射する光ファイバセンサ、第１基板、及び開口部が設けられた第２基板を有し、上下方向に重ねて配設した前記第１基板と前記第２基板との間に前記光ファイバセンサを、前記開口部の領域内に前記光透過部材が位置するように配置させ、上方から荷重が印加されたとき、前記光ファイバセンサの前記光透過部材及びその近傍部分に前記開口部側に凸となる曲げが生じ、前記光ファイバセンサを伝送する光に前記荷重に応じた損失が発生することを特徴とする。【００１２】
本発明の重量計測素子によれば、本重量計側素子の上方から荷重が印加されたとき、光ファイバセンサの光透過部材及びその近傍部分に開口部側に凸となる曲げが生じ、光ファイバセンサを伝送する光に荷重に応じた損失が発生する。従って、光ファイバセンサを伝送する光に発生した損失を計測することにより、印加された荷重を推定して、被計測物の重量を計測することが可能となる。【００１３】
第１基板及び第２基板の素材をそれぞれ適宜選択して、印加される荷重の範囲において、光ファイバセンサの光透過部材及びその近傍部分に開口部側に凸となる曲げが、荷重に応じて生じるよう構成することにより、前記範囲において荷重を精度良く推定して、被計測物の重量を計測することが可能となる。【００１４】
第１基板を柔軟素材（弾性係数の高い素材）から構成することにより、印加される荷重が軽荷重であっても、開口部の領域内の第１基板が開口部側に凸となるように変形して、光ファイバセンサの光透過部材及びその近傍部分に開口部側に凸となる曲げが生じ得る。従って、上記従来の光ファイバを用いた重量計とは異なり、被計測物が軽重量物であっても計測可能となる。【００１５】
第１基板を復元性が良好な素材から構成することにより、印加される荷重が経時的に変化する場合などであっても、開口部の領域内の第１基板が荷重に応じて開口部側に凸となるように即時的に変形する。従って、被計測物の重量が経時的に変化する場合であっても計測可能となる。また、被計測物の重量計測の再現性が良好となる。【００１６】
さらに、構成が簡易であるので、安価に重量計測素子を得ることが可能となる。【００１７】
なお、第１基板と第２基板の何れが上方に配設されてもよい。さら、第１基板と第２基板との間に薄板状や薄膜状の部材を有してもよい。【００１８】
また、本発明の重量計測素子において、前記第１基板又は第２基板のうち上部に配置された基板上に配置される荷重均一化基板を有することが好ましい。【００１９】
この場合、荷重均一化基板の上面に印加される荷重が不均一であったとしても、荷重均一化基板によって荷重が均一化されて下部の基板に伝達される。そのため、被計測物の重量をより精度良く計測することができる。【００２０】
また、本発明の重量計測素子において、前記開口部の開口長が１０ｍｍ以下であることが好ましい。【００２１】
第２基板の開口長が１０ｍｍを超えると、曲げが生じ得る光ファイバセンサの範囲が長くなり過ぎる。そのため、荷重が印加しても、光ファイバセンサを伝送する光に発生する損失の変化が精度良く計測可能な程度に、光ファイバセンサの光透過部材及びその近傍部分に曲げが生じないおそれがある。【００２２】
また、本発明の重量計測素子において、第１基板１の硬度が第２基板２の硬度より低いことが好ましい。【００２３】
この場合、第１基板が第２基板２より柔らかいので、第２基板に荷重が印加されたとき、光ファイバセンサの光透過部材及びその近傍部分に安定な曲げを、荷重に応じて生じさせることができる。また、荷重が除去されたとき、第１基板の沈み込みの戻りが早い、即ち、光ファイバセンサの光透過部材及びその近傍部分の曲げの戻りが早い。従って、より精度良く即時的に重量計測を行うことが可能となる。【００２４】
また、本発明の重量計測素子において、前記光透過部材は、前記光ファイバのコア径と異なるコア径を有するヘテロコア部であることが好ましい。【００２５】
また、本発明の重量計測素子において、前記光透過部材は、前記光ファイバのコアの屈折率あるいはクラッドの屈折率と同等の屈折率を持つ光透過部材からなることが好ましい。【００２６】
これらの場合、放電による融着などにより簡易に光透過部材を有する光ファイバセンサを得ることができるので、重量計測素子を簡易かつ安価に得ることが可能となる。【００２７】
本発明の重量計は、前記本発明の重量計測素と、前記光ファイバセンサの入射端に設けられた光源と、前記光ファイバセンサの出射端に設けられた受光部とを備えることを特徴とする。【００２８】
本発明の重量計によれば、前記本発明の重量計測素子が有する効果を備えた重量計を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る重量計の模式構成図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る重量計を構成する重量計測素子の斜視図である。
【図３】重量計測素子の構成を説明する構成説明図である。
【図４】（ａ）は重量計測素子の平面図であり、（ｂ）、（ｃ）は共に（ａ）中のＸ−Ｘ´における断面図であり、（ｂ）は荷重が印加されていない状態を、（ｃ）は荷重が印加されている状態をそれぞれ示す。
【図５】（ａ）は重量計測素子を構成する光ファイバセンサのセンサ部近傍の斜視図であり、（ｂ）はセンサ部近傍の長手方向の断面図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）は本発明の第２実施形態に係る重量計測素子のセンサ部ＳＰ近傍の長手方向の断面図である。
【図７】本発明の第３実施形態に係る重量計の構成を示す模式構成図である。
【図８】本発明の第４実施形態に係る重量計の構成を示す模式構成図である。
【図９】本発明の第５実施形態に係る重量計の構成を示す模式構成図である。
【図１０】本発明の第６実施形態に係る重量計の構成を示す模式構成図である。
【図１１】（ａ）は比較例に係る重量計測素子の構成を示す模式図であり、（ｂ）は実施例１，２に係る重量計測素子の構成を示す模式図である。
【図１２】実施例１に係る重量計における損失の時間変化を示すグラフである。
【図１３】実施例１に係る重量計における損失の値を荷重に対してプロットしたグラフである。
【図１４】実施例２に係る重量計における損失の時間変化を示すグラフである。
【図１５】実施例２に係る重量計における損失の値を荷重に対してプロットしたグラフである。
【図１６】比較例に係る重量計における損失の時間変化を示すグラフである。
【図１７】比較例に係る重量計における損失の値を荷重に対してプロットしたグラフである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下に、本発明の重量計測素子及びこれを用いた重量計に係る実施形態について、図面を参照して説明する。【００３１】
〔第１実施形態〕
図１を参照して、本発明の第１実施形態に係る重量計は、光ファイバ２０ａ，２０ｂを含み構成された光ファイバセンサ（センサファイバ）の一部を有する重量計測素子ＷＭと、光ファイバセンサの光入射端である光ファイバ２０ａ端部に設けられた光源１１と、光ファイバセンサの光出射端である光ファイバ２０ｂ端部に設けられた受光部１２とを備えている。重量計測素子ＷＭは、光ファイバ２０ａ，２０ｂの中途部に設けられている。【００３２】
光源１１は、例えば、半導体発光ダイオード（ＬＥＤ）、半導体レーザなどの発光素子を有しており、センサ光を出射する。受光部１２は、例えば、フォトダイドード（ＰＤ）や電荷結合素子（ＣＣＤ）などの受光素子を有する光マルチメータであり、光出射端から出射されるセンサ光を検出する。【００３３】
図２を参照して、光ファイバセンサは、光ファイバ２０ａ，２０ｂと、該光ファイバ２０ａ，２０ｂの中途部に接続され、光ファイバ２０ａ，２０ｂとの界面４０（図４（ｂ）参照）で伝送する光の一部を漏洩する光透過部材であるセンサ部ＳＰとから構成されている。【００３４】
図２から図４を参照して、重量計測素子ＷＭは、第１基板１、第２基板２、及び荷重均一化基板３を備えている。【００３５】
第１基板１は、樹脂製ゴムなどの柔軟素材からなる板状部材であり、ここでは、厚みが１ｍｍ〜４ｍｍ程度のクロロプレンゴムあるいはシリコーンゴムなどから構成されている。第１基板１は、第２基板２と当接する上面、及び図示しない基台と当接する下面が、少なくも水平面であることが好ましい。【００３６】
第１基板１の上面には、光ファイバセンサが戴置されている。なお、ここでは、光ファイバセンサは、第１基板１上で一直線状に載置されている。しかし、光ファイバセンサは、第１基板１の上面で一定の曲線を描くよう安定的に載置されていてもよい。【００３７】
ただし、光ファイバセンサの両端から適度な張力を印加することにより、光ファイバセンサをその長手方向に沿って常に一直線状とすることが容易に可能となる。よって、光ファイバセンサを一直線状に配置することが設置の簡易化の観点から好ましい。【００３８】
光ファイバセンサは、コア２１及びコア２１の外周に設けられたクラッド２２を備えた光ファイバ２０ａ，２０ｂ（図５（ｂ）参照）の中途部に、伝送する光の一部の外界との相互作用を可能にする光透過部材からなるセンサ部ＳＰを有する構成であり、少なくともセンサ部（光透過部材）ＳＰ及びその近傍部分（以下、「センサ部ＳＰ及びその近傍部分」を「センサ部ＳＰ近傍」という）が第１基板１上に載るように配置されている。【００３９】
光ファイバセンサを構成する光ファイバ２０ａ，２０ｂにおいて、上記のように光ファイバ２０ａの光入射端に光源１１が設けられ、光ファイバ２０ｂの光出射端に受光部１２が設けられている。【００４０】
第２基板２は、樹脂製ゴムなどの柔軟素材からなる板状部材であり、ここでは、厚さが１ｍｍ〜４ｍｍ程度のクロロプレンゴムあるいはシリコーンゴムなどから構成されている。第２基板２は、光ファイバセンサ上に配置されている。第２基板２は、第１基板１と当接する下面、及び荷重均一化基板３と当接する上面は、少なくも水平面であることが好ましい。【００４１】
第２基板２には、例えば、センサ部ＳＰとなる光透過部材の光透過方向の長さ以上１０ｍｍ以下程度の開口径を有する円形の開口部２ａが設けられている。開口部２ａの形状は円形に限らず、四角形などの多角形形状や楕円などの曲線形状等の任意の形状であってもよい。【００４２】
上方視において開口部２ａの領域内に光ファイバセンサのセンサ部ＳＰが位置するように、光ファイバセンサ及び第２基板２が配置される。【００４３】
荷重均一化基板３は、硬質部材からなる板状部材であり、ここでは、厚さが１ｍｍ〜４ｍｍ程度のアクリル板などから構成されている。荷重均一化基板３は、第２基板２上に配置されている。荷重均一化基板３は硬質部材からなり、少なくともその硬度は第２基板２の硬度よりも高い。荷重均一化基板３は、第２基板２と当接する下面が少なくも水平面であることが好ましい。なお、図４（ａ）では荷重均一化基板３は省略して図示されている。【００４４】
図５（ａ）及び図５（ｂ）を参照して、光ファイバセンサは、ここでは、光ファイバ２０ａと光ファイバ２０ｂとの間に、センサ部ＳＰが設けられた構成である。センサ部ＳＰは、伝送する光の一部の外界との相互作用を可能にする光透過部材であるヘテロコア部３０からなる。【００４５】
光ファイバ２０ａ，２０ｂは、コア２１と、その外周部に設けられたクラッド２２とを有し、ヘテロコア部３０は、光ファイバ２０ａ，２０ｂのコア径ａｌと異なるコア径ｂｌを有するコア３１と、その外周部に設けられたクラッド３２とを有する。【００４６】
ヘテロコア部３０におけるコア３１の径ｂｌは、ここでは、光ファイバ２０ａ，２０ｂのコア２１の径ａｌより小さく、例えば、コア径ａｌが９μｍの場合、コア径ｂｌは５μｍである。また、ヘテロコア部３０の長さｃｌは、例えば１ｍｍ〜２ｍｍ程度である。なお、コア径ｂｌは、例えば３μｍや４μｍであってもよい。光ファイバ２０ａ，２０ｂとヘテロコア部３０とのクラッド径は同一又は略同一であり、例えば共に１２５μｍである。【００４７】
センサ部ＳＰを構成するヘテロコア部３０と光ファイバ２０ａ，２０ｂは、長手方向に直交する界面４０でコア同士が接合するように略同軸に、例えば汎用化されている放電による融着などにより、接合されている。【００４８】
光ファイバ２０ａ，２０ｂ及びヘテロコア部３０としては、シングルモード光ファイバ及びマルチモード光ファイバの何れをも使用可能であり、これらを組み合わせて使用してもよい。【００４９】
なお、光ファイバセンサの破損防止のため、保護用の被膜を光ファイバセンサに設けることが好ましい。また、第１基板１や第２基板２と光ファイバセンサとの間に、光ファイバセンサ保護用の薄膜を配設してもよい。【００５０】
光ファイバ２０ａ，２０ｂの中途部にヘテロコア型のセンサ部ＳＰが接合されて構成を有する光ファイバセンサにおいて、センサ部ＳＰのコア径ｂｌと光ファイバ２０ａ，２０ｂのコア径ａｌとが界面４０で異なっている。この界面４０でのコア径の差に起因して、図５（ａ）に示すように、光ファイバセンサを伝送される光の一部がセンサ部ＳＰのクラッド３２へ漏洩し、リーク光Ｗが発生する。【００５１】
コア径ａｌ，ｂｌの相違が小さくなるようにコア２１，３１の組み合わせを設定すると、リークＷが小さくなり、大部分の光は再びコア２１に入射し、伝送される光の損失（ロス）が小さくなる。コア径ａｌ，ｂｌの差が大きくなるようにコア２１，３１の組み合わせを設定すると、リークＷが大きくなり、伝送されるセンサ光の損失が大きくなる。【００５２】
ヘテロコア型のセンサ部ＳＰを有する光ファイバセンサにおいて、リークＷの大きさ、即ちセンサ光の損失量は、センサ部ＳＰ近傍の光ファイバセンサの屈曲、より正確には、光ファイバセンサが描く曲線の界面４０での曲率の変動により鋭敏に変化し、曲率が大きいほど大きくなる。【００５３】
次に、上記のように構成された重量計測素子ＷＭの動作について説明する。【００５４】
図４（ｂ）に示す断面図を有する重量計測素子ＷＭの荷重均一化基板３の上に図示しない計測対象物を載せると、計測対象物の重量に応じた荷重が荷重均一化基板３に印加され、この荷重が荷重均一化基板３の下部に配置された第２基板２へと伝達される。このとき、荷重均一化基板３の上面に印加される荷重が不均一であったとしても、下部へ伝達される荷重は、均一化されて、第２基板２へ略均等に伝達される。【００５５】
第２基板２に荷重が印加されたとき、図４（ｃ）に示すように、開口部２ａを除く部分では第１基板１は第２基板２に押されて沈み込むが、開口部２ａ内では押されないので第１基板１は元の厚さを保持しようとする。この結果、第１基板１は、開口部２ａの領域内では、開口部２ａに凸となるように上面が盛り上る。そして、光ファイバセンサは、第１基板１の上面に載置されているので、開口部２ａの領域内に位置する光ファイバセンサのセンサ部ＳＰ近傍に、第２基板２に設けられた開口部２ａ側に凸となるよう、即ち上向きに凸となる曲げが生じる。【００５６】
光ファイバセンサのセンサ部ＳＰ近傍に生じた曲げに起因して、光ファイバセンサに伝送されるセンサ光の損失が変化する。即ち、荷重均一化基板３又は第２基板２に荷重が印加されたとき、光ファイバセンサを伝送する光の損失が変化する構成となっている。【００５７】
計測対象物の所定の重量範囲において、荷重の大きさに応じて、光ファイバセンサのセンサ部ＳＰ近傍の曲げの大きさが１対１対応で変化するように構成することにより、荷重の大きさに応じてセンサ光の損失が１対１対応で変化する。【００５８】
従って、このようにして重量計測素子を構成し、荷重の大きさとセンサ光の損失の大きさの関係を予め調べておくことで、計測対象物を戴置したときに発生するセンサ光の損失の大きさから、計測対象物の重量を算出することができる。【００５９】
荷重の大きさとセンサ光の損失の大きさの関係を示すデータと計測時のセンサ光の損失データからの計測対象物の重量の算出は、例えば、損失データを重量値に換算する所定のプログラムを組み込んだコンピュータなどにより実現できる。【００６０】
本実施形態に係る重量計測素子ＷＭと、それを用いて構成された重量計は、荷重均一化基板３に印加される荷重に応じて光ファイバセンサを伝送する光に対して損失を発生させる構成となっており、安価な構成で高精度な重量計測が実現することができる。【００６１】
重量計測素子ＷＭは、電気的に重量計測を行っていないので、例えば防爆施設などにおける重量計測に用いられる重量計に好適に利用可能である。【００６２】
なお、第２基板２の開口部２ａの開口長、ここでは開口径が１０ｍｍ以下であることが好ましい。【００６３】
第２基板２の開口部２ａの開口径が１０ｍｍを超えると、センサ部ＳＰの長さｃｌ（図５（ｂ）参照）と比較して十分に大きくなり過ぎ、荷重が印加しても光損失の変化が精度良く計測可能な程度に光ファイバセンサの曲げが発生しないおそれがある。【００６４】
一方、第２基板２の開口部２ａの開口径の下限については特に限定はないが、例えば、１ｍｍ以上であることが好ましい。開口径が１ｍｍより小さくなるにつれて、伝送する光の損失が発生するような光ファイバセンサの曲げを生じさせることが困難となる可能性がある。なお、光ファイバセンサのセンサ部ＳＰ近傍の曲率半径（擬似曲率半径）は、最大で開口部２ａの開口径の半分程度となる。【００６５】
また、第１基板１の硬度が第２基板２の硬度より低いことが好ましい。第１基板１が第２基板２より柔らかいことで、第２基板２に荷重が印加されたときに、光ファイバセンサのセンサ部ＳＰ近傍に安定な曲げを発生させることができ、光ファイバセンサのセンサ部ＳＰ近傍の曲げを荷重に応じて生じさせることができる。また、荷重が除去されたとき、第１基板１の沈み込みの戻りが早い、即ち、光ファイバセンサのセンサ部ＳＰ近傍の曲げの戻りが早いので、より精密な重量計測を行うことが可能となる。【００６６】
例えば、第１基板１がクロロプレンゴム（硬度８０程度）からなり、第２基板２がシリコーンゴム（硬度６５程度）からなる構成を好ましく用いることができる。【００６７】
なお、第１基板１の盛り上がりが第２基板２の厚さを超えると、光ファイバセンサが荷重均一板３に当接して、再現性の良好な計測結果を得ることができない。また、第１基板１の盛り上がりが微小になり過ぎると、光ファイバセンサのセンサ部ＳＰ近傍に生じる曲げが極小となり、精度良い計測結果を得ることができない。従って、第１基板１と第２基板２の素材や硬度は、計測する荷重範囲に応じて適宜定めればよい。例えば、車両等の重量物を計測する場合には、第１基板１と第２基板２の硬度を高いものとし、微小物等の軽量物を計測する場合には、、第１基板１と第２基板２の硬度を低いものとすることが好ましい。【００６８】
また、第２基板２は、開口部２０ａの端部に接触する光ファイバセンサを破損しないよう、ゴム等の柔軟素材からなることが好ましいが、これに限定されない。例えば、開口部２ａの端部をＲ形状に形成することや、開口部２ａの端部に保護部材を設けることにより、第２基板２を硬質素材から構成することも可能である。【００６９】
また、本実施形態では、１枚の荷重均一基板３に対して、センサ部ＳＰが領域内に位置する開口部２ａを１つ設ける場合について説明したが、これに限定されない。例えば、１枚の荷重均一基板３に対して、センサ部ＳＰが領域内にそれぞれ位置する開口部２ａを複数設けてもよい。この場合、１本の光ファイバセンサに複数のセンサ部ＳＰを設けること、複数本の光ファイバセンサを用いることの何れも可能である。【００７０】
また、本実施形態では、光ファイバセンサ、光ファイバセンサの下方に配置される第１基板１、及び開口部２ａが設けられ、該開口部２ａの領域内にセンサ部ＳＰを位置させて光ファイバセンサの上方に配置される第２基板２、第２基板２上に配置される荷重均一化基板３を有し、荷重均一化基板３に荷重が印加されたとき、光ファイバセンサのセンサ部ＳＰ近傍に開口部２ａ側に凸となる曲げが生じ、光ファイバセンサを伝送する光に荷重に応じた損失が発生する重量計測素子ＷＭについて説明した。【００７１】
しかし、光ファイバセンサ、光ファイバセンサの上方に配置される第１基板１、及び開口部２ａが設けられ、該開口部２ａの領域内にセンサ部ＳＰを位置させて光ファイバセンサの下方に配置される第２基板２、第１基板１上に配置される荷重均一化基板３を有し、荷重均一化基板３に荷重が印加されたとき、光ファイバセンサのセンサ部ＳＰ近傍に開口部２ａ側に凸となる曲げが生じ、光ファイバセンサを伝送する光に荷重に応じた損失が発生する重量計測素子であってもよい。【００７２】
〔第２実施形態〕
センサ部ＳＰとして、第１実施形態に記載の構成以外の構成を採用することも可能である。【００７３】
そこで、本発明の第２実施形態に係る重量計測素子ＷＭは。図６（ａ）を参照して、センサ部ＳＰを構成する光透過部材であるヘテロコア部３０のコア３１の径ｂｌが、光ファイバ２０ａ，２０ｂのコア２１の径ａｌよりも大きな構成となっている。【００７４】
また、本発明の第２実施形態の変形に係る重量計測素子ＷＭは。図６（ｂ）を参照して、センサ部ＳＰとして、光ファイバ２０ａ，２０ｂのコア２１の屈折率あるいはクラッド２２の屈折率と同等の屈折率を持つ材料からなる、ヘテロコア部ではない光透過部材３０ａが光ファイバ２０ａ，２０ｂの中途部に接合されてなる構成となっている。【００７５】
センサ部ＳＰ以外の重量計測素子ＷＭの構成は、実質的に第１実施形態と同様である。【００７６】
本実施形態の重量計測素子ＷＭと、これを用いて構成された重量計は、荷重均一化基板３に印加される荷重に応じて光ファイバセンサを伝送する光に対して損失を発生させる構成となっており、安価で高精度な重量計を実現することができる。【００７７】
〔第３実施形態〕
本発明の第３実施形態に係る重量計においては、図７を参照して、光ファイバセンサが、光カプラ１６において、光ファイバ２０ａが光ファイバ２０ｂと光ファイバ２０ｃとに分岐するよう構成されている。光ファイバ２０ｂの端部には銀を蒸着して形成された反射部（鏡）１５が設けられ、光ファイバ２０ａ端部が光ファイバセンサの光入射端、光ファイバ２０ｃ端部が光ファイバセンサの光出射端となる。光ファイバ２０ａ，２０ｂの中途部に重量計測素子ＷＭが設けられている。【００７８】
光ファイバ２０ａの端部にセンサ光を出射する光源１１が設けられ、、光ファイバ２０ｃの端部に、この出射端から出射されるセンサ光を検出する受光部１２が設けられている。【００７９】
上記以外の構成は、実質的に第１実施形態と同様である。また、第２実施形態の構成も適用可能である。【００８０】
第３実施形態に係る重量計は、荷重均一化基板３に印加される荷重に応じて光ファイバセンサを伝送する光に対して損失を発生させる構成となっており、安価で高精度な重量計を実現することができる。【００８１】
特に、反射部１５で反射したセンサ光は、再びセンサ部ＳＰを通過するため、一方向に通過させただけの光と比較してより多くの相互干渉の情報を含んだ光が計測され、より高感度に重量計測を行うことができる。【００８２】
〔第４実施形態〕
本発明の第４実施形態に係る重量計においては、図８を参照して、光ファイバセンサの一端部である光ファイバ２０ａの端部に、ＯＴＤＲ（Optical time-domain reflectometer）装置７０が接続されている。ＯＴＤＲ装置７０から入射されたセンサ光の後方へのレイリー散乱光をＯＴＤＲ装置７０自身が検出する。【００８３】
上記以外の構成は、実質的に第１実施形態と同様である。また、第２，３実施形態の構成も適用可能である。【００８４】
第４実施形態の重量計は、荷重均一化基板３に印加される荷重に応じて光ファイバセンサを伝送する光に対して損失を発生させる構成となっており、安価で高精度な重量計を実現することができる。【００８５】
〔第５実施形態〕
本発明の第５実施形態に係る重量計においては、複数個の重量計測素子ＷＭが１本の光ファイバセンサ上に直列に接続された構成となっている。【００８６】
図９を参照して、ここでは、光ファイバ２０ａ，２０ｂの中途部に第１重量計測素子ＷＭ１が設けられ、光ファイバ２０ｂ，２０ｃの中途部に第２重量計測素子ＷＭ２が設けられ、さらに光ファイバ２０ｃ，２０ｄの中途部に第３重量計測素子ＷＭ３が設けられている。即ち、ここでは、３個の重量計測素子ＷＭ１〜ＷＭ３が１本の光ファイバセンサ上に直列に接続された構成となっている。【００８７】
光ファイバ２０ａには、ＯＴＤＲ装置７０が接続されている。ＯＴＤＲ装置７０からセンサ光が入射されると、複数個の重量計測素子ＷＭ１〜ＷＭ３のそれぞれにおいて後方へのレイリー散乱光が発生し、これをＯＴＤＲ装置７０が検出する。【００８８】
上記以外の構成は、実質的に第１実施形態と同様であり、重量計測素子ＷＭ１〜ＷＭ３はそれぞれ第１実施形態と同様の構成とすることができる。また、第２から第４の各実施形態に適用可能である。【００８９】
第５実施形態の重量計は、荷重均一化基板３に印加される荷重に応じて光ファイバセンサを伝送する光に対して損失を発生させる構成となっており、安価で高精度な重量計を実現することができる。【００９０】
特に、複数個の重量計測素子ＷＭ１〜ＷＭ３で同時に重量を計測することが可能である。【００９１】
〔第６実施形態〕
本発明の第６実施形態に係る重量計においては、図１０を参照して、光ファイバセンサの光入射端である光ファイバ２０ａの端部に、白色光などのセンサ光を出射する白色光源１１ａが設けられている。そして、光ファイバセンサの光出射端である光ファイバ２０ｂの端部に、この光出射端から出射されるセンサ光を検出する光マルチメータなどの受光部１２が設けられている。このように、センサ光として、半導体発光ダイオード又は半導体レーザの発光する単一波長あるいは狭い波長領域の光のほかに、白色光を用いることができる。【００９２】
上記以外の構成は、実質的に第１実施形態と同様である。また、第２から第５の各実施形態の構成も適用可能である。【００９３】
第６実施形態の重量計は、荷重均一化基板３に印加される荷重に応じて光ファイバセンサを伝送する光に対して損失を発生させる構成となっており、安価で高精度な重量計を実現することができる。【００９４】
〔実施例〕
実施例１として、図１１（ｂ）に示すように、上記の第１実施形態に係る重量計を作成した。第１基板１として、３０ｍｍ×３０ｍｍの大きさで厚みが１ｍｍであり、硬度８０（ＪＩＳ  Ｋ６３０１  Ａ）のクロロプレンゴムからなるシートを用いた。第２基板２として、３０ｍｍ×３０ｍｍの大きさで厚みが１ｍｍであり、硬度８０（ＪＩＳ  Ｋ６３０１  Ａ）のクロロプレンゴムからなるシートを用いた。第２基板２には開口径３ｍｍの円形状の開口部２ａを設けた。第１基板１上にセンサ部ＳＰが配置されるように光ファイバセンサを配置し、センサ部ＳＰが開口部２ａ内に配置されるように、第２基板２を配置した。また、光ファイバセンサとして、コア径ａｌが９μｍ、クラッド径が１２５μｍの光ファイバ２０ａ，２０ｂと、コア径ｂｌが５μｍ、クラッド径が１２５μｍ、長さｃｌが１ｍｍ〜２ｍｍのセンサ部ＳＰとからなるものを用いた。【００９５】
また、第１基板１として、３０ｍｍ×３０ｍｍの大きさで厚みが２ｍｍであり、硬度６５（ＪＩＳ  Ｋ６３０１  Ａ）のシリコーンゴムからなるシートを用い、上記以外は実施例１と同様にした重量計を、実施例２として作成した。【００９６】
また、比較例として、図１１（ａ）に示すように、第１基板１００である３０ｍｍ×３０ｍｍの大きさで厚みが１ｍｍのクロロプレンゴムからなるシート上にセンサ部ＳＰが配置されるように、光ファイバセンサ２０ａ，２０ｂを配置し、センサ部ＳＰに当接するように、２０ｍｍ×３ｍｍの大きさで厚さが０．５ｍｍである直方体形状のウレタンゴムからなる押圧部材１０１を配置し、これらを覆うように第２基板１０２である３０ｍｍ×３０ｍｍの大きさで厚みが１ｍｍのクロロプレンゴムからなるシートを配置した。【００９７】
実施例１，２及び比較例に係る重量計に対して、２０秒毎に、荷重を０，１，６．１，１１．２，１６．３，２１．４，２６．５，３１．６，２６．５，２１．４，１６．３，１１．２，６．１，１，０（ｋｇｆ）と、一度０ｋｇｆから３１．６ｋｇｆまで増加させた後、再び０ｋｇｆに減らすように変化させたときの光ファイバセンサを伝送される光の損失を計測した。なお、図１２から図１７において、損失の値は、荷重が印加していないときの損失の値を基準（０ｄＢ）としている。【００９８】
実施例１に係る重量計は、損失の時間変化を示すグラフである図１２を参照して、２０秒毎に変化させた荷重に対応して、損失が階段状に変化することが確認された。【００９９】
損失の値を荷重に対してプロットしたグラフである図１３を参照して、荷重が増加するときの損失に対して、荷重が減少するときの損失がやや大きいが、３０ｋｇｆ程度までの荷重に対して損失は一様に変化することが確認された。【０１００】
実施例２に係る重量計は、損失の時間変化を示すグラフである図１４を参照して、実施例１と同様に損失が階段状に変化していることが確認された。【０１０１】
損失の値を荷重に対してプロットしたグラフである図１５を参照して、荷重が増加するときと荷重が減少するときの損失の差が実施例１より小さい。第１基板１の硬度が第２基板２の硬度より低くなるように構成とすることで、荷重が除去されるときの第１基板１の沈み込みの戻りが早く、即ち、光ファイバセンサのセンサ部ＳＰ近傍の曲げの戻りが早くなり、より精密な重量計測を行うことが可能となることが確認された。また、損失の値が荷重に対して直線状に変化する領域が増えており、より精密な計測に貢献しうることが確認された。【０１０２】
比較例に係る重量計は、損失の時間変化を示すグラフである図１６を参照して、押圧部材１０１により荷重がセンサ部ＳＰに集中し、５ｋｇｆ程度までの軽い荷重の領域では実施例１，２より大きな損失が得られる。しかし、５ｋｇｆ程度で飽和してしまい、５ｋｇを超えると、実施例１，２のような階段状の損失の変化にはならなかった。【０１０３】
また、損失の値を荷重に対してプロットしたグラフである図１７を参照して、荷重が増加するときと荷重が減少するときの損失の差が大きく、特に荷重を０に近づけるときの損失が小さくなる戻りが遅いことが確認された。【０１０４】
本発明は、上記の各実施形態に限定されず、各実施形態を適宜組み合わせた形態などであってもよく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。【０１０５】
例えば、荷重均一化基板３を有さない構成とすることも可能である。しかし、この場合、均一化がなされないまま荷重が第２基板２に直接印加されるため、重量計測の精度が劣るため、荷重均一化基板３を有することが好ましい。ただし、計測対象物の底部形状等によって、荷重が第２基板２に略均等に印加される場合には、荷重均一化基板３は必要としない。【０１０６】
また、荷重均一化基板３上に載置等される被計測物の重量を計測することに限定されない。例えば、各実施形態の重量計測素子ＷＭを水圧計に用いてもよい。この場合、重量計測素子ＷＭを格納するステンレス等からなる筐体を設け、この筐体の上部に開口を形成する。そして、開口を介して印加される水圧によって光ファイバセンサのセンサ部ＳＰ近傍に発生する曲げから、水圧を求める。重量計測素子ＷＭは、電気を用いないため、特別な防水対策を施す必要がなく、水圧計への利用に適している。さらに、防水され大気と連通した穴を筐体の下部に形成することにより、大気圧との差圧を計測することも可能となる。
【産業上の利用可能性】
【０１０７】
本発明の重量計測素子及びそれを用いた重量計は、例えば防爆施設などにおいて用いられる重量計に好適に利用可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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