(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板上に、第２の方向に延在し、前記第２の方向と交差する第１の方向に併設される複数のＸ電極と、
前記基板上に、前記Ｘの電極と交差して前記第１の方向に延在し、前記第２の方向に併設される複数のＹ電極とを有し、
前記複数のＹ電極の片側から駆動電圧を供給する静電容量方式のタッチパネルであって、
前記Ｘ電極および前記Ｙ電極の少なくとも一方の電極のそれぞれの端部には、それぞれ引き出し配線が接続され、
前記少なくとも一方の電極の引き出し配線が接続されていない側のそれぞれの端部と、絶縁膜を介して積層される検査電極を有し、
前記検査電極には、検査時には検査用の電圧が供給され、通常動作時には、前記少なくとも一方の電極に供給する駆動電圧と同相の電圧が供給されることを特徴とするタッチパネル。
【請求項２】
前記少なくとも一方の電極の引き出し配線が接続されていない側のそれぞれの端部には、それぞれ前記少なくとも一方の電極に接続される検査部が形成され、
前記少なくとも一方の電極に接続されるそれぞれの前記検査部は、前記絶縁膜を介して前記検査電極と積層されていることを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項３】
前記少なくとも一方の電極に接続されるそれぞれの前記検査部と、前記検査電極とは、有効タッチ領域の外側に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項４】
前記各Ｘ電極と前記各Ｙ電極は、それぞれ、延在方向にパッド部と細線部とが交互に並ぶようにして形成され、
平面的に観た場合に、前記各Ｘ電極のパッド部と前記各Ｙ電極のパッド部は重畳することなく配置され、かつ、前記各Ｘ電極の前記細線部と、前記各Ｙ電極の前記細線部とは交差しており、
前記各Ｘ電極の前記パッド部と前記細線部、および前記Ｙ電極の前記パッド部は、同じ層に形成され、
前記各Ｙ電極の前記細線部は、前記各Ｙ電極のパッド部よりも下層に形成され、前記各Ｙ電極のパッド部と前記各Ｙ電極の前記細線部との間の絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記各Ｙ電極のパッド部に接続されており、
前記検査電極は、前記Ｙ電極の前記細線部が形成される層と同じ層に形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のタッチパネル。
【請求項５】
平面的に観た場合に、前記各Ｘ電極のパッド部と前記各Ｙ電極のパッド部は重畳することなく配置され、かつ、前記各Ｘ電極の前記細線部と、前記各Ｙ電極の前記細線部とは交差しており、
前記各Ｘ電極の前記パッド部と前記細線部、および前記Ｙ電極の前記パッド部は、同じ層に形成され、
前記各Ｙ電極の前記細線部は、前記各Ｙ電極のパッド部よりも上層に形成され、前記各Ｙ電極のパッド部と前記各Ｙ電極の前記細線部との間の絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記各Ｙ電極のパッド部に接続されており、
前記検査電極は、前記Ｙ電極の前記細線部が形成される層と同じ層に形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のタッチパネル。
【請求項６】
平面的に観た場合に、前記各Ｘ電極のパッド部と前記各Ｙ電極のパッド部は重畳することなく配置され、かつ、前記各Ｘ電極の前記細線部と、前記各Ｙ電極の前記細線部とは交差しており、
前記Ｘ電極と前記Ｙ電極とは、絶縁膜を挟んで異なる層に形成され、前記Ｘ電極は、前記Ｙ電極よりも下層に形成されており、
前記検査電極は、前記Ｙ電極が形成される層と前記Ｘ電極が形成される層との間に形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のタッチパネル。
【請求項７】
基板と、
前記基板上に、第２の方向に延在し、前記第２の方向と交差する第１の方向に併設される複数のＸ電極と、
前記基板上に、前記Ｘの電極と交差して前記第１の方向に延在し、前記第２の方向に併設される複数のＹ電極とを有し、
前記複数のＹ電極の片側から駆動電圧を供給する静電容量方式のタッチパネルであって、
前記Ｘ電極および前記Ｙ電極の少なくとも一方の電極のそれぞれの端部には、それぞれ引き出し配線が接続され、
前記少なくとも一方の電極は、第１と第２のグループに分割され、前記第１のグループ内の前記少なくとも一方の電極のそれぞれの端部に接続される引き出し配線と、前記第２のグループ内の前記少なくとも一方の電極のそれぞれの端部に接続される引き出し配線とは、互いに異なる方向に引き出され、
前記第１のグループ内の前記少なくとも一方の電極の引き出し配線が接続されていない側のそれぞれの端部と、絶縁膜を介して積層される第１の検査電極と、
前記第２のグループ内の前記少なくとも一方の電極の引き出し配線が接続されていない側のそれぞれの端部と、絶縁膜を介して積層される第２の検査電極とを有し、
前記第１の検査電極と前記第２の検査電極には、検査時には検査用の電圧が供給され、通常動作時には、前記Ｙ電極に供給する駆動電圧と同相の電圧が供給されることを特徴とするタッチパネル。
【請求項８】
前記第１のグループ内の前記少なくとも一方の電極の引き出し配線が接続されていない側のそれぞれの端部、および、前記第２のグループ内の前記少なくとも一方の電極の引き出し配線が接続されていない側のそれぞれの端部には、それぞれ前記少なくとも一方の電極に接続される検査部が形成され、
前記第１のグループ内、および前記第２のグループ内の前記少なくとも一方の電極にそれぞれ接続される前記各検査部が、前記絶縁膜を介して前記第１の検査電極と前記第２の検査電極と積層されていることを特徴とする請求項７に記載のタッチパネル。
【請求項９】
前記第１のグループ内、および前記第２のグループ内の前記少なくとも一方の電極にそれぞれ接続される前記各検査部、前記第１の検査電極、並びに前記第２の検査電極は、有効タッチ領域の外側に形成されていることを特徴とする請求項７に記載のタッチパネル。
【請求項１０】
前記各Ｘ電極と前記各Ｙ電極は、それぞれ、延在方向にパッド部と細線部とが交互に並ぶようにして形成され、
平面的に観た場合に、前記各Ｘ電極のパッド部と前記各Ｙ電極のパッド部は重畳することなく配置され、かつ、前記各Ｘ電極の前記細線部と、前記各Ｙ電極の前記細線部とは交差しており、
前記各Ｘ電極の前記パッド部と前記細線部、および前記Ｙ電極の前記パッド部は、同じ層に形成され、
前記各Ｙ電極の前記細線部は、前記各Ｙ電極のパッド部よりも下層に形成され、前記各Ｙ電極のパッド部と前記各Ｙ電極の前記細線部との間の絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記各Ｙ電極のパッド部に接続されており、
前記第１の検査電極、並びに前記第２の検査電極は、前記Ｙ電極の前記細線部が形成される層と同じ層に形成されていることを特徴とする請求項７ないし請求項９のいずれか１項に記載のタッチパネル。
【請求項１１】
平面的に観た場合に、前記各Ｘ電極のパッド部と前記各Ｙ電極のパッド部は重畳することなく配置され、かつ、前記各Ｘ電極の前記細線部と、前記各Ｙ電極の前記細線部とは交差しており、
前記各Ｘ電極の前記パッド部と前記細線部、および前記Ｙ電極の前記パッド部は、同じ層に形成され、
前記各Ｙ電極の前記細線部は、前記各Ｙ電極のパッド部よりも上層に形成され、前記各Ｙ電極のパッド部と前記各Ｙ電極の前記細線部との間の絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記各Ｙ電極のパッド部に接続されており、
前記第１の検査電極、並びに前記第２の検査電極は、前記Ｙ電極の前記細線部が形成される層と同じ層に形成されていることを特徴とする請求項７ないし請求項９のいずれか１項に記載のタッチパネル。
【請求項１２】
平面的に観た場合に、前記各Ｘ電極のパッド部と前記各Ｙ電極のパッド部は重畳することなく配置され、かつ、前記各Ｘ電極の前記細線部と、前記各Ｙ電極の前記細線部とは交差しており、
前記Ｘ電極と前記Ｙ電極とは、絶縁膜を挟んで異なる層に形成され、前記Ｘ電極は、前記Ｙ電極よりも下層に形成されており、
前記第１の検査電極、並びに前記第２の検査電極は、前記Ｙ電極が形成される層と前記Ｘ電極が形成される層との間に形成されていることを特徴とする請求項７ないし請求項９のいずれか１項に記載のタッチパネル。
【請求項１３】
表示パネルと、
前記表示パネルの観察者側に配置されるタッチパネルとを備え、
前記タッチパネルは、請求項１ないし請求項１２のいずれか１項に記載のタッチパネルであることを特徴とする表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネル、および表示装置に係わり、特に、有効タッチ領域の外側の額縁領域の幅を狭くする際に有効な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示画面に使用者の指またはペンなどを用いてタッチ操作（接触押圧操作、以下、単にタッチと称する）して情報を入力する装置（以下、タッチセンサ又はタッチパネルとも称する）を備えた表示装置は、ＰＤＡや携帯端末などのモバイル用電子機器、各種の家電製品、現金自動預け払い機（Automated Teller Machine）等に用いられている。
このようなタッチパネルとして、タッチされた部分の抵抗値変化を検出する抵抗膜方式、あるいは容量変化を検出する静電容量方式、または光量変化を検出する光センサ方式などが知られている。
静電容量方式は、抵抗膜方式や光センサ方式と比較した場合に次のような利点がある。例えば、抵抗膜方式や光センサ方式では透過率が８０％程度と低いのに対し静電容量方式は約９０％と透過率が高く表示画質を低下させない点で有利である。また、抵抗膜方式では抵抗膜の機械的接触によりタッチ位置を検知するため、抵抗膜が劣化または破損するおそれがあるのに対し、静電容量方式では検出用電極が他の電極などと接触するような機械的接触がなく、耐久性の点からも有利である。
静電容量方式のタッチパネルとしては、例えば、下記特許文献１で開示されているような方式がある。この開示された方式では、縦横二次元マトリクス状に配置した検出用縦方向の電極（以下、Ｘ電極という。）と検出用横方向の電極（以下、Ｙ電極という。）とを設け、入力処理部で各電極の容量を検出する。タッチパネルの表面に指などの導体が接触した場合には、各電極の容量が増加するため、入力処理部でこれを検知し、各電極が検知した容量変化の信号を基に入力座標を計算する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−３１０５５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述の特許文献１に示す静電容量の方式のタッチパネルでは、Ｙ電極の一方の側から配線（以下、引き出し配線という。）を引き出し、フレキシブル配線基板と接続される端子に接続することにより、Ｙ電極の片側から駆動電圧を供給している。以下、このような方式を片側給電方式のタッチパネルという。
この片側給電方式のタッチパネルでは、Ｘ電極とＹ電極と、およびそれらの電極の引き出し配線に、断線または抵抗増大が生じた場合、パネル単体では検査が困難であるという問題点があった。
本発明は、前記従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、検出用電極の一方の側から給電するタッチパネルにおいて、検出用電極の断線または抵抗増大を検出することが可能となる技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかにする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記の通りである。
（１）基板と、前記基板上に、第２の方向に延在し、前記第２の方向と交差する第１の方向に併設される複数のＸ電極と、前記基板上に、前記Ｘの電極と交差して前記第１の方向に延在し、前記第２の方向に併設される複数のＹ電極とを有し、前記複数のＹ電極の片側から駆動電圧を供給する静電容量方式のタッチパネルであって、前記Ｘ電極および前記Ｙ電極の少なくとも一方の電極のそれぞれの端部には、それぞれ引き出し配線が接続され、前記少なくとも一方の電極の引き出し配線が接続されていない側のそれぞれの端部と、絶縁膜を介して積層される検査電極を有し、前記検査電極には、検査時には検査用の電圧が供給され、通常動作時には、前記少なくとも一方の電極に供給する駆動電圧と同相の電圧が供給される。
【０００６】
（２）基板と、前記基板上に、第２の方向に延在し、前記第２の方向と交差する第１の方向に併設される複数のＸ電極と、前記基板上に、前記Ｘの電極と交差して前記第１の方向に延在し、前記第２の方向に併設される複数のＹ電極とを有し、前記複数のＹ電極の片側から駆動電圧を供給する静電容量方式のタッチパネルであって、前記Ｘ電極および前記Ｙ電極の少なくとも一方の電極のそれぞれの端部には、それぞれ引き出し配線が接続され、前記少なくとも一方の電極は、第１と第２のグループに分割され、前記第１のグループ内の前記少なくとも一方の電極のそれぞれの端部に接続される引き出し配線と、前記第２のグループ内の前記少なくとも一方の電極のそれぞれの端部に接続される引き出し配線とは、互いに異なる方向に引き出され、前記第１のグループ内の前記少なくとも一方の電極の引き出し配線が接続されていない側のそれぞれの端部と、絶縁膜を介して積層される第１の検査電極と、前記第２のグループ内の前記少なくとも一方の電極の引き出し配線が接続されていない側のそれぞれの端部と、絶縁膜を介して積層される第２の検査電極とを有し、前記第１の検査電極と前記第２の検査電極には、検査時には検査用の電圧が供給され、通常動作時には、前記Ｙ電極に供給する駆動電圧と同相の電圧が供給される。
【発明の効果】
【０００７】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである。
本発明によれば、検出用電極の一方の側から給電するタッチパネルにおいて、検出用電極の断線または抵抗増大を検出することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施例１のタッチパネルを説明するための図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図である。
【図４】本発明の実施例１のタッチパネルの変形例を説明するための図である。
【図５】図４のＡ−Ａ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図である。
【図６】図４のＢ−Ｂ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図である。
【図７】本発明の実施例２のタッチパネルを説明するための図である。
【図８】本発明の実施例２のタッチパネルの変形例を説明するための図である。
【図９】図８のＦ−Ｆ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図である。
【図１０】図８のＧ−Ｇ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図である。
【図１１】本発明の実施例３のタッチパネルを説明するための図である。
【図１２】本発明の実施例４のタッチパネルのＸ電極を説明するための図である。
【図１３】本発明の実施例５のタッチパネルのＸ電極を説明するための図である。
【図１４】本発明の実施例４のタッチパネルの問題点を説明するための図である。
【図１５】本発明の実施例６のタッチパネルのＸ電極を説明するための図である。
【図１６】本発明の実施例７のタッチパネルの引き出し配線を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
なお、実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。また、以下の実施例は、本発明の特許請求の範囲の解釈を限定するためのものではない。
［実施例１］
図１は、本発明の実施例１のタッチパネルを説明するための図であり、図２は、図１のＡ−Ａ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図、図３は、図１のＢ−Ｂ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図である。
図１に示すように、本実施例のタッチパネルは、第２の方向（Ｙ方向）に延在し、第２の方向と交差する第１の方向（Ｘ方向）に所定の配列ピッチで併設される複数のＸ電極（Ｘ１〜Ｘ４）と、このＸ電極と交差して第１の方向に延在し、第２の方向に所定の配列ピッチで併設される複数のＹ電極（Ｙ１〜Ｙ６）とを有する。なお、図１の点線枠で示す部分が、有効タッチ領域である。
複数のＸ電極の各々は、細線部１ａと、この細線部１ａの幅よりも広い幅のパッド部１ｂとが第２の方向に交互に複数配置された電極パターンを有する。
図２、図３に示すように、複数のＸ電極は、絶縁膜１２上に配置され、その上層には保護膜１３が形成されている。
【００１０】
Ｙ電極の各々は、細線部２ａと、この細線部２ａの幅よりも広い幅のパッド部２ｂとが、第１の方向に交互に複数配置された電極パターンを有する。
平面的に観た場合に、各Ｘ電極のパッド部１ｂと各Ｙ電極のパッド部２ｂとは重畳することなく配置され、かつ、各Ｘ電極の細線部１ａと各Ｙ電極の細線部２ａとは交差している。
図２、図３に示すように、複数のＹ電極の各々の細線部２ａは、Ｘ電極の細線部１ａとパッド部１ｂとは異なる層に形成され、Ｘ電極の細線部１ａと平面的に交差している。複数のＹ電極の各々のパッド部２ｂは、Ｘ電極の細線部１ａとパッド部１ｂと同一の層に、Ｘ電極のパッド部１ｂとは分離して形成されている。本実施例において、Ｘ電極の細線部１ａは、Ｙ電極の細線部２ａよりも上層に形成されている。
複数のＹ電極の各々のパッド部２ｂは、保護膜１３で覆われている。Ｙ電極の細線部２ａは基板１１上に形成され、細線部２ａを挟んで隣り合う２つのパッド部２ｂに、絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ａを介してそれぞれ電気的に接続されている。なお、基板１１としては、例えばガラス等の透明な絶縁性基板が使用される。また、Ｘ電極と、Ｙ電極は、高い透過性を有する材料、例えばＩＴＯ（Ｉndium Ｔin Ｏxide）等の透明性導電材料で形成される。
【００１１】
本実施例のタッチパネルも、片側給電方式のタッチパネルであり、図１に示すように、Ｘ電極は、Ｘ１からＸ４の４本のＸ電極で構成されており、それぞれのＸ電極は、引き出し配線（ＬＸ１〜ＬＸ４）に接続され、基板１１の一辺に形成されたそれぞれの端子部（ＴＸ１〜ＴＸ４）に接続されている。
Ｙ電極は、Ｙ１からＹ６の６本のＹ電極で構成されており、それぞれのＹ電極は、一方の端部は、引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）に接続され、基板１１の一辺に形成されたそれぞれの端子部（ＴＹ１〜ＴＹ６）に接続されている。また、Ｙ電極の他方の端部は、検査部（ＰＹ１〜ＰＹ６）にそれぞれ接続されている。なお、引き出し配線（ＬＸ１〜ＬＸ４，ＬＹ１〜ＬＹ６）、および検査部（ＰＹ１〜ＰＹ６）は、有効タッチ領域（図２の矢印Ａで示す領域）外の領域に形成され、銀合金膜などのメタル層で形成される。
図１に示すように、本実施例では、検査部（ＰＹ１〜ＰＹ６）は、Ｙ電極の引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）が形成される領域とは、反対側の領域に形成される。そして、検査部（ＰＹ１〜ＰＹ６）の下側には、検査電極ＫＹが形成されている。検査電極ＫＹは、基板１１の一辺に形成された端子部ＴＫＹに接続される。
このように、本実施例では、検査部（ＰＹ１〜ＰＹ６）と、検査電極ＫＹとが、絶縁膜１２を挟んで対向している。即ち、検査電極ＫＹと検査部（ＰＹ１〜ＰＹ６）との間には容量が形成される。
検査部（ＰＹ１〜ＰＹ６）は、Ｘ電極の細線部１ａとパッド部１ｂ、およびＹ電極のパッド部２ｂと同じ層で、Ｘ電極とＹ電極と同様、ＩＴＯ等の透明導電膜で形成される。
検査電極ＫＹは基板１１上に、例えば、ＩＴＯ（Ｉndium Ｔin Ｏxide）等の透明性導電材料、あるいは、例えば、銀合金膜などのメタル層で形成される。
【００１２】
タッチパネルは、指タッチによる各電極の容量の変化を検出可能とするために、Ｘ電極とＹ電極が、それぞれ引き出し配線により、基板の一辺に設けた端子部に確実に接続されていることが必要であり、各電極上や、各引き出し配線の途中に断線または抵抗増大があると指タッチによる容量の検出ができなくなる。
本実施例では、製品の製造時に、端子部ＴＫＹから検査電極ＫＹに矩形波の電圧を入力する。すると、検査電極ＫＹと検査部（ＰＹ１〜ＰＹ６）との間に形成される容量を介して、検査電極ＫＹに入力された矩形波の電圧は、各Ｙ電極（Ｙ１〜Ｙ６）に入力される。このＹ電極（Ｙ１〜Ｙ６）に入力された矩形波の電圧を、各端子部（ＴＹ１〜ＴＹ６）において、観測することにより、Ｙ電極（Ｙ１〜Ｙ６）、および引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）の断線、抵抗増大を検出することができる。
これにより、本実施例では、製品の製造時には、Ｙ電極（Ｙ１〜Ｙ６）、および引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）の断線、抵抗増大を検出し、断線、抵抗増大が認められたタッチパネルを不良品として排除することができ、製造時の歩留まりの高いタッチパネルを実現することができる。
さらに、通常の動作時には、Ｙ電極（Ｙ１〜Ｙ６）に供給する駆動電圧と同一の電圧を検査電極ＫＹに供給する。これにより、検査部（ＰＹ１〜ＰＹ６）と、検査電極ＫＹとの間の容量結合を抑制することができる。
【００１３】
たとえば、Ｙ６のＹ電極上に指タッチをしたとき、指タッチによる容量変化がＹ６のＹ電極上に生じる。これをタッチパネルコントローラは検知してＹ６のＹ電極上に指タッチがなされたと判定する。
このような場合、仮に、Ｙ６のＹ電極とＹ５のＹ電極との間に、検査電極ＫＹを介して、クロストークが発生した場合、Ｙ５のＹ電極上の容量もわずかに変化しているとタッチパネルコントローラは検知する。そのため、Ｙ５のＹ電極とＹ６のＹ電極との間に指タッチがあったと誤って判定する。
このように、クロストークが発生した場合、本来指タッチした位置に対してずれた位置を判定することにより、位置判定の精度が損なわれてしまう。
したがって、検査電極ＫＹに、Ｙ電極（Ｙ１〜Ｙ６）に供給する駆動電圧を同一の電圧を供給することにより、検査部（ＰＹ１〜ＰＹ６）と、検査電極ＫＹとの間の容量結合を見かけ上キャンセルできるため、上記クロストークを抑制することができ、位置判定の精度の高いタッチパネルが実現きる。
【００１４】
［本実施例１のタッチパネルの変形例］
図４は、本発明の実施例１のタッチパネルの変形例を説明するための図であり、図５は、図４のＡ−Ａ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図、図６は、図４のＢ−Ｂ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図である。
図４ないし図６に示すタッチパネルでは、平面的に観た場合に、各Ｘ電極のパッド部１ｂと各Ｙ電極のパッド部２ｂとは重畳することなく配置され、かつ、各Ｘ電極の細線部１ａと各Ｙ電極の細線部２ａとは交差している。
複数のＹ電極の細線部２ａは、Ｘ電極の細線部１ａとパッド部１ｂとは異なる層に形成される。複数のＹ電極のパッド部２ｂは、Ｘ電極の細線部１ａとパッド部１ｂと同一の層に、Ｘ電極のパッド部１ｂとは分離して形成されている。複数のＸ電極の細線部１ａとパッド部１ｂ、および、複数のＹ電極のパッド部２ｂは、基板１１上に形成され、絶縁膜１２で覆われている。
複数のＹ電極の細線部２ａは、Ｘ電極の細線部１ａよりも上層の絶縁膜１２上に形成されており、複数のＹ電極の各々の細線部２ａは、細線部２ａを挟んで隣り合う２つのパッド部２ｂに、絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ａを介してそれぞれ電気的に接続されている。複数のＹ電極の各々の細線部２ａは、保護膜１３で覆われている。
図４ないし図６に示すタッチパネルでは、Ｙ電極は基板１１上に形成される。そのため、検査部（ＰＹ１〜ＰＹ６）も基板１１上に形成されるので、検査電極ＫＹは、複数のＹ電極の細線部２ａと同様、絶縁膜１２上に形成される。
図４ないし図６に示すタッチパネルにおいても、検査部（ＰＹ１〜ＰＹ６）、Ｘ電極、Ｙ電極は、ＩＴＯ等の透明導電膜で形成される。また、検査電極ＫＹは、例えば、ＩＴＯ（Ｉndium Ｔin Ｏxide）等の透明性導電材料、あるいは、例えば、銀合金膜などのメタル層で形成される。
【００１５】
［実施例２］
図７は、本発明の実施例２のタッチパネルを説明するための図である。
本実施例は、Ｘ１〜Ｘ４のＸ電極にも、検査部（ＰＸ１〜ＰＸ４）を形成し、検査部（ＰＸ１〜ＰＸ４）と絶縁層を挟んで、検査電極ＫＸを形成したものである。検査電極ＫＸは、基板１１の一辺に形成された端子部（図示せず）に接続される。即ち、本実施例は、Ｘ電極（Ｘ１〜Ｘ４）、および引き出し配線（ＬＸ１〜ＬＸ４）の断線、抵抗増大を検出するようにしたものである。
本実施例でも、検査部（ＰＸ１〜ＰＸ４）は、有効タッチ領域内のＸ電極の細線部１ａとパッド部１ｂ、およびＹ電極のパッド部２ｂと同じ層で、Ｘ電極とＹ電極と同様、ＩＴＯ等の透明導電膜で形成される。
検査電極ＫＸは、例えばＩＴＯ（Ｉndium Ｔin Ｏxide）等の透明性導電材料、あるいは、例えば、銀合金膜などのメタル層で形成される。
なお、本実施例のタッチパネルの構造が、図１ないし図３に示す構造の場合、検査部（ＰＸ１〜ＰＸ４）は、絶縁膜１２上に形成され、検査電極ＫＸは、基板１１上に形成される。また、本実施例のタッチパネルの構造が、図４ないし図６に示す構造の場合、検査部（ＰＸ１〜ＰＸ４）は、基板１１上に形成され、検査電極ＫＸは、絶縁膜１２上に形成される。
【００１６】
製品の製造時に、端子部ＴＫＸから検査電極ＫＸに矩形波の電圧を入力する。すると、検査電極ＫＸと検査部（ＰＸ１〜ＰＸ４）との間に形成される容量を介して、検査電極ＫＸに入力された矩形波の電圧は、各Ｘ電極（Ｘ１〜Ｘ４）に入力される。このＸ電極（Ｘ１〜Ｘ４）に入力された矩形波の電圧を、各端子部（ＴＸ１〜ＴＸ４）において、観測することにより、Ｘ電極（Ｘ１〜Ｘ４）、および引き出し配線（ＬＸ１〜ＬＸ４）の断線、抵抗増大を検出することができる。
これにより、本実施例でも、製品の製造時には、Ｘ電極（Ｘ１〜Ｘ４）、および引き出し配線（ＬＸ１〜ＬＸ４）の断線、抵抗増大、並びに、Ｙ電極（Ｙ１〜Ｙ６）、および引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ６）の断線、抵抗増大を検出し、断線、抵抗増大が認められたタッチパネルを不良品として排除することができ、製造時の歩留まりの高いタッチパネルを実現することができる。
さらに、通常の動作時には、Ｘ電極（Ｘ１〜Ｘ４）に供給する駆動電圧を同一の電圧を検査電極ＫＸに供給する。これにより、検査部（ＰＸ１〜ＰＸ４）と、検査電極ＫＸとの間の容量結合を抑制することができる。
【００１７】
［実施例２のタッチパネルの具体的な電極構造の他の例］
図８は、本発明の実施例２のタッチパネルの変形例を説明するための図であり、図９は、図８のＦ−Ｆ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図、図１０は、図８のＧ−Ｇ’接続線に沿った断面構造を示す要部断面図である。
図８ないし図１０に示すタッチパネルにおいても、平面的に観た場合に、各Ｘ電極のパッド部１ｂと各Ｙ電極のパッド部２ｂとは重畳することなく配置され、かつ、各Ｘ電極の細線部１ａと各Ｙ電極の細線部２ａとは交差している。
図８ないし図１０に示すタッチパネルは、図８ないし図１０に示すように、Ｘ電極とＹ電極とを絶縁膜１２を挟んで異なる層に形成したものであり、Ｘ電極が、Ｙ電極よりも下層でガラス基板１１上の観察者側の面に形成されている。
図８ないし図１０に示すタッチパネルの場合、Ｘ電極側の検査部（ＰＸ１〜ＰＸ４）は、基板１１上に形成され、Ｙ電極側の検査部（ＰＹ１〜ＰＹ６）は、絶縁膜１２上に形成される。したがって、ＫＸとＫＹの検査電極は、Ｘ電極とＹ電極との間の中間層に形成すればよい。
【００１８】
［実施例３］
図１１は、本発明の実施例３のタッチパネルを説明するための図である。
本実施例は、前述の実施例１のタッチパネルにおいて、Ｙ１〜Ｙ６のＹ電極を、Ｙ１〜Ｙ３のＹ電極と、Ｙ４〜Ｙ６のＹ電極との２つに分割し、Ｙ１〜Ｙ３のＹ電極の引き出し配線（ＬＹ１〜ＬＹ３）と、Ｙ４〜Ｙ６のＹ電極の引き出し配線（ＬＹ４〜ＬＹ６）と、互いに反対側から引き出すようにしたものである。そのため、本実施例では、検査電極ＫＹも、ＫＹ１とＫＹ２の２つに分割される。本実施例では、有効タッチ領域の額縁領域の幅を左右均一にすることができる。
なお、本実施例において、Ｘ電極も、２つに分割し、当該分割したグループＸ電極毎に、２つの検査電極ＫＸを設けるようにしてもよい。
本実施例では、検査電極（ＫＸ，ＫＹ）は、Ｙ電極が形成される層とＸ電極が形成される層との間に形成することが望ましい。
【００１９】
［実施例４］
図１２は、本発明の実施例４のタッチパネルのＸ電極を説明するための図である。
静電容量方式タッチパネルは、指タッチによるＸ電極、Ｙ電極の容量の変化で、指タッチの有無を判定している。このときの感度は、Ｘ電極、Ｙ電極自体の容量と抵抗の大きさに影響され、容量が大きいと、タッチしたときの容量変化を捕らえることができない。抵抗が大きい場合は、電極（Ｘ電極、Ｙ電極）に十分に充電が行えないことから、指タッチに対して反応値が小さくなり感度が悪くなる。
また、指タッチの反応値が、有効タッチ領域内でばらつくと部分的に感度が悪い領域が生じ、操作に影響を与える。特に、片側給電方式のタッチパネルでは、タッチパネルの長辺に平行な電極（本実施例では、Ｘ電極）は、配線長さが長いため、給電端から遠い遠端で負荷が増え、前述したような現象が現れる場合がある。
そこで、本実施例では、指タッチの反応値の遠近端差をなくすために、抵抗値に大きく関与する電極間をつなぐ細線部１ａに着目して、図１２に示すように、給電端から離れるに従い細線部１ａの幅を太くし、最遠端の細線部１ａｆの幅を、最近端の細線部１ａｎの幅の２倍（図１２において、Ｂ≧２×Ａ）以上としている。これにより、給電端から遠い遠端側と、給電端に近い近短側とで、指タッチに対する反応値を均一化することができる。
なお、前述の実施例では、Ｘ電極の細線部１ａについて、給電端から離れるに従い細線部１ａの幅を太くし、最遠端の細線部１ａの幅を、最近端の２倍（図１２において、Ｂ≧２×Ａ）以上としたが、Ｙ電極の細線部２ａについても、給電端から離れるに従い細線部２ａの幅を太くし、最遠端の細線部２ａの幅を、最近端の細線部２ａの幅の２倍としてもよい。
【００２０】
［実施例５］
図１３は、本発明の実施例４のタッチパネルのＸ電極を説明するための図である。
本実施例では、図１３に示すように、Ｘ電極における、給電端に最も近い近端側のパッド部１ｂｎの寸法（または面積）に比して、給電端から最も遠い遠端側のパッド部１ｂｆの寸法（または面積）を小さくし、さらに、浮遊電極１ｃを付加したものである。
これにより、充電時間を短くし、さらに、隣接間容量を小さくできるので、Ｘ電極における、給電端から最も遠いパッド部１ｂｆの、タッチに対する反応値を向上させることができる。
なお、前述の実施例では、Ｘ電極における、給電端から遠端側のパッド部１ｂｆの寸法（または面積）を小さくし、さらに、浮遊電極１ｃを付加するようにしたが、Ｙ電極における、給電端から遠端側のパッド部２ｂの寸法（または面積）を小さくし、さらに、浮遊電極を付加するようにしてもよい。
なお、本実施例では、Ｘ電極（またはＹ電極）における、給電端から最も遠い遠端側のパッド部１ｂ（またはパッド部２ｂ）の寸法（または面積）を小さくし、さらに、浮遊電極１ｃを付加するようにしたが、Ｘ電極（またはＹ電極）における、給電端から遠い遠端側の複数のパッド部１ｂ（またはパッド部２ｂ）の寸法（または面積）を小さくし、さらに、浮遊電極１ｃを付加するようにしてもよい。この場合、寸法（または面積）を小さくし、さらに、浮遊電極１ｃを付加するパッド部１ｂ（またはパッド部２ｂ）の個数は、Ｘ電極（またはＹ電極）において、指タッチに対する反応値が均一化されるように設定すればよい。また、Ｘ電極（またはＹ電極）のパッド部１ｂ（またはパッド部２ｂ）の寸法（または面積）を、給電端から遠ざかるにつれて、漸次小さくし、浮遊電極１ｃの寸法（または面積）を、給電端から遠ざかるにつれて、漸次大きくするようにしてもよい。
また、前述の実施例４の構成に、本実施例の構成を付加することにより、給電端から最も遠いパッド部１ｂｆの、タッチに対する反応値を向上させることができる。図１３では、この場合の構成を図示している。
【００２１】
［実施例６］
前述の実施例４の電極構造の場合、Ｘ電極の細線部１ａについて、給電端から離れるに従い細線部１ａの幅を太くするようにしているので、図１４に示すように、Ｘ電極における、給電端から最も遠い細線部１ａと交差する細線部２ａを持つＹ電極のパッド部２ｂの面積も小さくなる。なお、図１４は、本発明の実施例４のタッチパネルの問題点を説明するための図である。
図１５は、本発明の実施例６のタッチパネルのＸ電極を説明するための図である。
本実施例では、図１５のＡに拡大して示すように、Ｘ電極における、給電端から最も遠い細線部１ａに金属層ＭＴを積層して低抵抗化したものである。これにより、図１２に示す前述の実施例４の場合と比して、Ｘ電極における、給電端から最も遠い細線部１ａの配線幅を細くできるので、Ｘ電極、Ｙ電極をより認識し難くすることが可能である。さらに、Ｘ電極、Ｙ電極の大きさを均一にできるため、リニアリティを向上させることが可能である。
なお、前述の実施例では、Ｘ電極における、給電端から最も遠い細線部１ａに金属層ＭＴを積層して低抵抗化したが、Ｙ電極における、給電端から最も遠い細線部２ａに金属層ＭＴを積層して低抵抗化するようにしてもよい。
なお、本実施例において、Ｘ電極（またはＹ電極）における、給電端から最も遠い細線部１ａ（または細線部２ａ）に金属層ＭＴを積層して低抵抗化する代わりに、Ｘ電極（またはＹ電極）における、給電端から最も遠い細線部１ａ（または細線部２ａ）の膜厚を厚くして低抵抗化するようにしてもよい。この場合にも、Ｘ電極、Ｙ電極をより認識し難くすることが可能である。さらに、Ｘ電極、Ｙ電極の大きさを均一にできるため、リニアリティを向上させることが可能である。
なお、図１４では、Ｘ電極（またはＹ電極）における、給電端から最も遠い細線部１ａ（または細線部２ａ）に金属層ＭＴを積層するようにしたが、Ｘ電極（またはＹ電極）における、給電端から遠い遠端側の複数の細線部１ａ（または細線部２ａ）に金属層ＭＴを積層するようにしてもよい。この場合、金属層ＭＴを積層する細線部１ａ（または細線部２ａ）の個数は、Ｘ電極、Ｙ電極の大きさが均一になるように設定すればよい。
また、本実施例は、通常のタッチパネル、即ち、Ｘ電極（またはＹ電極）の細線部１ａ（または細線部２ａ）が均一の幅タッチパネルにも適用可能である。
【００２２】
［実施例７］
図１６は、本発明の実施例７のタッチパネルの引き出し配線を説明するための図である。
図１６に示すように、本実施例では、引き出し配線（ＬＸ１〜ＬＸ４，ＬＹ１〜ＬＹ６）に、１００ｋΩ以上の抵抗（Ｒ１）を接続し、有効タッチ領域内において、Ｘ電極の抵抗値のバラツキ、あるいはＹ電極の抵抗値のバラツキが表面化しないようにして、有効タッチ領域内における、タッチに対する反応値を均一化するようにしたものである。さらに、本実施例は、ノイズに対しても効果的である。
なお、前述の実施例１〜実施例３に示すタッチパネルでは、周辺部のＸ電極のパッド部１ｂ、およびＹ電極のパッド部２ｂの形状は、中央部のパッド部の半分となっている。
ところで、前述したように、指タッチの反応値がばらつく原因の一つは、給電端から遠い遠端で負荷が増えることである。しかしながら、実施例１〜実施例３に示すタッチパネルでは、Ｘ電極またはＹ電極における、給電端から最も遠いパッド部（１ｂ，２ｂ）は、半分の形状となっているので、負荷も略半分となる。そのため、前述の実施例４乃至実施例７が適用される細線部（１ａ，２ａ）、あるいはパッド部（１ｂ，２ｂ）は、Ｘ電極またはＹ電極における、給電端から最も遠い細線部の一つ前の細線部（１ａ，２ａ）、あるいはパッド部（１ｂ，２ｂ）であってもよい。
また、前述の実施例４乃至実施例７は、図１乃至図３に示すタッチパネル、図４ないし図６に示すタッチパネル、図８乃至図１０に示すタッチパネルにも適用可能である。
なお、前述したように、前述の各実施例のタッチパネルは、液晶表示装置、あるいは、有機ＥＬ表示装置の表示パネル上に配置され、表示画面に使用者の指またはペンなどを用いてタッチ操作により情報を入力する装置として使用される。
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
【符号の説明】
【００２３】
１ａ，２ａ  細線部
１ｂ，２ｂ  パッド部
１ｃ  浮遊電極
１１  基板
１２  絶縁膜
１２ａ  コンタクトホール
１３  保護膜
Ｘ１〜Ｘ４  Ｘ電極
Ｙ１〜Ｙ６  Ｙ電極
ＬＸ１〜ＬＸ５，ＬＹ１〜ＬＹ６  引き出し配線
ＴＸ１〜ＴＸ５，ＴＹ１〜ＴＹ６，ＴＫＹ  端子部
ＰＸ１〜ＰＸ５，ＰＹ１〜ＰＹ６  検査部
ＫＸ，ＫＹ，ＫＹ１，ＫＹ２  検査電極
ＭＴ  金属層
Ｒ１  抵抗
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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