(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子スイッチであって、
第１の電極と、
第２の電極と、
前記第１の電極と前記第２の電極の間に配置されて、ドーパントを含む活性領域
を備え、
前記活性領域内のドーパントの位置を変えるために、前記活性領域に適切な大きさ及び極性の電界を印加して、前記電子スイッチを通る電荷担体の流れを制御することによって、前記電子スイッチを、順方向整流器、逆方向整流器、対向型整流器、または、シャント型整流器として動作するように再構成することが可能である、電子スイッチ。
【請求項２】
前記活性領域がさらに、
前記電子スイッチを通る電荷担体の流れを制御する前記ドーパントを伝送するための少なくとも１つの材料から構成される少なくとも１つの主活性領域と、
前記少なくとも１つの主活性領域に前記ドーパントのソース／シンクを提供するための少なくとも１つの材料から構成される副活性領域
を備えることからなる、請求項１の電子スイッチ。
【請求項３】
前記少なくとも１つの主活性領域がさらに、半導電性の材料、または、電気的に絶縁性の材料、または、低いイオン伝導性を有する材料から構成される、請求項２の電子スイッチ。
【請求項４】
前記少なくとも１つの主活性領域がさらに、ドリフトによって前記少なくとも１つの主活性領域中または該主活性領域外に注入されるドーパントの関数として、低い導電性から高い導電性に可逆的に変化することができる導電性を有する薄膜から構成される、請求項２の電子スイッチ。
【請求項５】
前記副活性領域のドーパントが、前記少なくとも１つの主活性領域の導電性を、低い導電性から高い導電性へと、または、高い導電性から低い導電性へと変化させるために選択される、請求項２の電子スイッチ。
【請求項６】
前記ドーパントが、イオン化された格子間不純物原子もしは置換型不純物原子、カチオンドナー種、陰イオン空格子点、及び、アニオン受容体種からなるグループから選択される、請求項５の電子スイッチ。
【請求項７】
前記ドーパントが、水素、アルカリ、アルカリ土類カチオン、遷移金属カチオン、希土類カチオン、酸素アニオンもしくは酸素空格子点、カルコゲニドアニオンもしくはカルコゲニド空格子点、窒素アニオンもしくは窒素空格子点、ピニクチドアニオンもしくはピニクチド空格子点、または、ハロゲン化物アニオンもしくはハロゲン化物空格子点からなるグループから選択される、請求項６の電子スイッチ。
【請求項８】
前記少なくとも１つの主活性領域の前記少なくとも１つの材料、及び、前記副活性領域の前記少なくとも１つの材料が、
（１）酸化物、硫化物、セレン化物、窒化物、リン酸塩、ヒ化物、並びに、遷移金属と希土類金属とアルカリ土類金属とからなる臭化物、
（２）上記（１）に列挙された材料を互いに合成した合金、及び、
（３）少なくとも２つの異なる金属原子と少なくとも１つの電気的陰性元素の組み合わせを含む混合合成物
からなるグループから選択される、請求項２の電子スイッチ。
【請求項９】
前記少なくとも１つの主活性領域の前記少なくとも１つの材料、及び、前記副活性領域の前記少なくとも１つの材料が、チタン酸塩、ジルコン酸塩、ハフニウム酸（hafnate）、これら３つの酸化物の各対からなる合金もしくはこれら３つの酸化物全てを有する合金、及び、ＡＢＯ３タイプの化合物からなるグループから選択され、ここで、Ａは少なくとも１つの２価の元素を表し、Ｂは、チタン、ジルコニウム、ハフニウムのうちの少なくとも１つを表す、請求項８の電子スイッチ。
【請求項１０】
前記少なくとも１つの主活性領域の前記少なくとも１つの材料、及び、前記副活性領域の前記少なくとも１つの材料が、
TiO２／TiO２−ｘ、
ZrO２／ZrO２−ｘ、
HfO２／HfO２−ｘ、
SrTiO２／SrTiO２−ｘ、
GaN／GaN１−ｘ、
CuCl／CuCl１−ｘ、及び、
GaN／GaN：S
から選択される、請求項８の電子スイッチ。
【請求項１１】
前記第１及び第２の電極がいずれも、金属であるか、または、金属化合物であるか、または、前記第１及び第２の電極の一方が金属であり、他方が半導体である、請求項１〜１０のいずれかの電子スイッチ。
【請求項１２】
前記活性領域内のドーパントの位置を変えるために、前記活性領域に適切な大きさ及び極性の電界を印加することが、前記ドーパントを前記活性領域の特定の領域中へ移動させるか、または、該特定の領域から離れるように移動させるために、適切な大きさ及び極性の電圧を印加することを含む、請求項１〜１１のいずれかの電子スイッチ。
【請求項１３】
前記ドーパントが電極と活性領域との境界に近づくように該ドーパントの位置を変えることによって、該境界をオーミック様にし、前記ドーパントが電極と活性領域との境界から離れるように該ドーパントの位置を変えることによって、該境界をショットキー様にする、請求項１〜１１のいずれかの電子スイッチ。
【請求項１４】
平行なナノワイヤからなる第１の層と、
前記ナノワイヤからなる前記第１の層の上に横たわる平行なナノワイヤからなる第２の層と、
前記第１の層と前記第２の層の間に配置された中間の層
を備え、
少なくとも１つのナノワイヤ交差部において、請求項１の電子スイッチが、前記第１の電極として作用する前記第１の層のナノワイヤ、前記第２の電極として作用する前記第２の層のナノワイヤ、及び、前記活性領域として作用する前記中間の層によって形成される、ナノワイヤクロスバー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、ナノスケール電子デバイスに関連し、特に、クロスバーアレイをなすように実施されることができる再構成可能なダイオードスイッチに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、多大な研究開発の努力が、ナノスケールメモリなどのナノスケール電子デバイスを設計及び製造することに向けられている。ナノスケールエレクトロニクスは、マイクロスケールのフォトリソグラフィーベースのエレクトロニクスに比べて多くの利点を提供する可能性を有し、該利点には、特徴サイズ（または形状）の大幅な低減、セルフアセンブリーの可能性、及び、他の比較的低コストの非フォトリソグラフィーベースの製造方法の可能性が含まれる。しかしながら、ナノスケール電子デバイスの設計及び製造には、ナノスケール電子デバイスを大規模に商業生産し、及び、ナノスケール電子デバイスを、マイクロスケール及びより規模が大きなシステム、装置（またはデバイス）、及び製品に組み込む前に、対処する必要がある多くの新たな問題がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ナノメートルスケールの配線交差式デバイスにおけるスイッチングの研究によって、それらのデバイスは、可逆的にスイッチングされることができ、「オン対オフ」のコンダクタンスの比が１０３のオーダーであることがこれまでに報告されている。これらのデバイスは、クロスバー回路を構成して、超高密度不揮発性メモリを生成するための有望な手段を提供するために使用されてきた。ラッチを作成するために使用できるクロスワイヤースイッチの直列接続も実際に作製されているが、そのようなラッチは、論理回路、及びロジックとメモリの間の通信のための重要なコンポーネントである。クロスバーアレイをなすスイッチから完全に構成することができ、または、スイッチ及びトランジスタから構成されるハイブリッド構造として構成することができる新しいロジックファミリーが説明されている。これらの新しい論理ファミリーは、ＣＭＯＳ回路の計算効率を劇的に高める可能性を有しており、したがって、トランジスタを小さくすることなく、または、いくつかの用途において、（必要な場合に）ＣＭＯＳを置き換えることなく、桁違いの性能の改善を可能にする。しかしながら、現在製造されているデバイスの性能を改善することが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の種々の実施形態は、ナノスケールの再構成可能な２端子電子スイッチに向けられている。１実施形態では、電子スイッチは、第１の電極、第２の電極、及び、第１の電極と第２の電極の間に配置された活性領域を有し、少なくとも１つのドーパントを含む。該スイッチを通る電荷担体の流れを制御するために、活性領域内にドーパントを配置することによって、該スイッチを、順方向整流器、逆方向整流器、シャント型整流器（shunted rectifier）、または、対向型整流器（head-to-head rectifier）として動作するように再構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００５】
【図１Ａ】本発明のいくつかの実施形態にしたがって構成された２端子スイッチを示す。
【図１Ｂ】本発明のいくつかの実施形態にしたがって構成された４つの整流器に関連するトンネル障壁のプロファイルを示す。
【図２】本発明のいくつかの実施形態にしたがう、図１Ｂに示す４つの整流器に関連する電流対電圧曲線のグラフ、及び、整流器の対間のスイッチングの３つのモードを示す。
【図３】本発明のいくつかの実施形態にしたがって構成されたナノワイヤクロスバーアレイの等角図である。
【図４】本発明のいくつかの実施形態にしたがって構成されたクロスバーの交差部に配置されたスイッチを明らかにしているナノワイヤクロスバーの等角図である。
【図５Ａ】本発明のいくつかの実施形態にしたがう、酸素空格子点（oxygen vacancy）が果たす役目を実証するように構成された４つの別個のスイッチの等角図である。
【図５Ｂ】本明細書のいくつかの実施形態にしたがう、図５Ａに示すスイッチに関連する電流対電圧曲線のグラフを示す。
【図６】本発明のいくつかの実施形態にしたがって構成されたスイッチの等角図である。
【図７Ａ】本発明のいくつかの実施形態にしたがうPt／TｉO２／Ptスイッチの短絡切り替えから得られた実験結果を示す。
【図７Ｂ】本発明のいくつかの実施形態にしたがうPt／TｉO２／Ptスイッチの短絡切り替えから得られた実験結果を示す。
【図７Ｃ】本発明のいくつかの実施形態にしたがうPt／TｉO２／Ptスイッチの短絡切り替えから得られた実験結果を示す。
【図８Ａ】本発明のいくつかの実施形態にしたがうPt／TｉO２／Ptスイッチの開放切り替えから得られた実験結果を示す。
【図８Ｂ】本発明のいくつかの実施形態にしたがうPt／TｉO２／Ptスイッチの開放切り替えから得られた実験結果を示す。
【図８Ｃ】本発明のいくつかの実施形態にしたがうPt／TｉO２／Ptスイッチの開放切り替えから得られた実験結果を示す。
【図９Ａ】本発明のいくつかの実施形態にしたがうPt／TｉO２／Ptスイッチの反転切り替えから得られた実験結果を示す。
【図９Ｂ】本発明のいくつかの実施形態にしたがうPt／TｉO２／Ptスイッチの反転切り替えから得られた実験結果を示す。
【図９Ｃ】本発明のいくつかの実施形態にしたがうPt／TｉO２／Ptスイッチの反転切り替えから得られた実験結果を示す。
【発明を実施するための形態】
【０００６】
本発明の種々の実施形態は、不揮発性であり、かつ、再構成可能なダイオード整流状態をメムリスティブスイッチイング（memristive switching）に結合するナノスケール２端子電子スイッチに向けられている。本発明のいくつかの実施形態にしたがって構成されたスイッチは、２つの電極間に挟まれた活性領域から構成される。該活性領域と電極間の２つの境界（本明細書において、境界とは、境界部または境界面である）はショットキーコンタクト（Schottky contact。ショットキー接触ともいう）である。該活性領域は、適切な大きさ及び極性の電界を該アクティブ領域の両端（または全体）に印加することによって、４つの異なる整流状態のうちの１つに切り替えることが可能なダイオードである。該電界は、該境界におけるショットキーコンタクトが、オーミック様の障壁（オーム性の障壁に似た障壁）及び／またはショットキー様障壁（ショットキー障壁に似た障壁）を有するにように該コンタクトを変化させ、したがって、活性領域を構成して、スイッチを、４つのタイプの整流器、すなわち、順方向整流器、逆方向整流器、シャント型整流器、対向型整流器、のうちの１つとして動作させることが可能である。活性領域は、スイッチに印加される動作電圧が、該活性領域の整流状態を切り替えるために使用される電界の大きさを超えない場合には、特定の整流状態に留まる。
【０００７】
詳細な説明は次のように編成されている。第１のサブセクションでは、２端子の電子的に作動するスイッチが説明される。第２のサブセクションでは、それらのスイッチの整流状態の切り替えについて説明される。第３のサブセクションでは、これらのスイッチを作製するために使用可能な種々の材料が提示される。第４のサブセクションでは、それらのスイッチをクロスバーアレイをなすように実施するやり方が提示される。最後に、第５のサブセクションにおいて、白金電極及びTｉO２活性領域から構成されるスイッチが説明される。
【０００８】
Ｉ．２端子の電子的に作動するスイッチ
図１Ａは、本発明のいくつかの実施形態にしたがって構成された２端子スイッチ１００を示す。スイッチ１００は、３つの層、すなわち、第１の電極１０４と第２の電極１０６の間に挟まれた活性領域１０２から構成される。第１の電極１０４は電圧源１０８に接続され、第２の電極はグランド（アース）１１０に接続されている。活性領域１０２は、あるドーパントを含んでいるダイオードである。適切な大きさ及び極性の電界を印加することによって、該ドーパントの位置が変化する。その結果、活性領域１０２を、４つの異なるタイプの整流器、すなわち、順方向整流器、逆方向整流器、対向型整流器、シャント型整流器、のうちの１つとして動作させることができる。
【０００９】
活性領域１０２は、主活性領域もしくは主活性層と副活性領域もしくは副活性層から構成される。主活性領域は、電子的に半導体性であるか、または、名目上電子的に絶縁性（たとえば、電子的に絶縁性と公称されているもの）であって、弱いイオン導電体とすることもできる材料からなる薄膜から構成される。主活性領域の材料（以下、主活性材料という）は、スイッチ１００を通る電子の流れを制御するためのドーパントとして作用するイオンを輸送して集めることができる。基本的な動作モードは、適切な大きさ及び極性の電界を活性領域１０２全体に印加することである。電界（「ドリフト電界」とも呼ばれる）の大きさが、主活性材料中のドーパントの動きを可能にするためのある閾値を超えたときには、該ドーパントは、イオン輸送によって該主活性材料の中へとまたは該材料の外へと移動する（ドリフトする）ことができる。イオン種は、主活性材料の電気的ドーパントとして作用し、これによって、該主活性材料の整流状態を変化させるものの中から限定的に選択される。たとえば、整流器を、低導電性（すなわち、ドープされていない半導体または絶縁体−スイッチ「オフ」構成）から高導電性（すなわち、より高い導電性−スイッチ「オン」構成を提供するためにドープされている）へと、または、高導電性から低導電性（スイッチ「オン」からスイッチ「オフ」）へと変化させることができる。さらに、該主活性材料及びドーパントは、該ドーパントが該主活性材料中へとまたは該主活性材料の外へと移動することができるが、活性領域１０２が、適度な時間期間の間−おそらく、室温において何年間も−特定の整流状態に確実に留まるようにするために、あまりにもたやすくは移動しないように選択される。これによって、活性領域１０２が不揮発性であることが確保される。換言すれば、活性領域１０２は、メムリスティブであり（すなわち、メモリ抵抗性を有し）、ドリフト電界がなくなった後でもそれの整流状態を保持する。十分に大きなドリフト電界を印加すると、電子の流れ（電子流）とドーパントの両方がドリフト（移動）し、一方、該ドリフト電界よりも小さい大きさの電圧でバイアスをかけると、ドーパントのドリフトは無視できる程度になり、スイッチはそれの整流状態を保持することができる。
【００１０】
一方、副活性領域の材料（以下、副活性材料という）は、主活性材料のドーパントの供給源である薄膜から構成される。これらのドーパントを、水素、または、主活性材料の電子供与体として作用する、アルカリや遷移金属などの他の何らかの陽イオン（カチオン）などの不純物原子とすることができる。代替的に、それらのドーパントを、主活性材料中で帯電され、それゆえ、格子の電子供与体でもある陰イオン空格子点（anion vacancy）とすることができる。それらの陰イオンを主活性材料中に送り込んで、それらの陰イオンが電子受容体またはホールドナー（ホール供与体）になるようにすることもできる。
【００１１】
主活性材料を、ナノ結晶性物質、ナノ多孔性物質、またはアモルファス物質とすることができる。かかるナノ構造の材料中のドーパントの移動度は、大きな結晶性物質中のそれよりもはるかに高い。なぜなら、拡散が、粒界や孔を通って生じることができ、あるいは、アモルファス物質中の局所的な構造上の欠陥部を通って生じることができるからである。また、主活性材料の膜は薄いので、ドーパントが、該膜の内部または外部の領域に拡散して、該膜の導電率（または伝導度）を実質的に変化させるのに必要な時間は比較的短い。たとえば、拡散プロセスに必要な時間は、走行距離の二乗にしたがって変化するので、１ナノメートル拡散するのに要する時間は、１マイクロメートル拡散するのに要する時間の１００万分の１である。
【００１２】
活性領域１０２の主活性材料と副活性材料は、いずれかの側で金属電極１０４及び１０６と接触し、または、それらの電極の一方を半導体材料で、他方を金属で構成することができる。活性領域１０２が半導体材料から構成されているときは、金属電極と活性領域１０２の間の接触によって、活性領域１０２の自由電荷担体が枯渇する。したがって、活性領域１０２は、電子供与体の場合には正であり、電子受容体の場合には負であるドーパントのアイデンティティ（個性）に依存する正味の電荷を有する。電極／半導体からなるショットキー障壁及びオーミック障壁の伝統的な説明は、それらの材料がナノスケールのレベルで構造化されているという事実によって修正され、これによって、その構造上の及び電子的な特性は、長い距離（この長い距離に関して金属−半導体接触の理論が展開されてきた）にわたって平均化されない。したがって、ドープされていない電極／活性領域の境界は、電子的にショットキー障壁に似ており、「ショットキー様障壁」と呼ばれ、ドープされている電極／半導体の境界は、電子的にオーミック障壁に似ており、「オーミック様障壁」と呼ばれる。
【００１３】
主活性材料を通る電子の伝導は、オーミック様障壁を通り抜ける量子力学的トンネル効果によって行われる。半導体材料のドーパント濃度が小さい場合、または、該半導体材料が本質的に真性半導体である場合には、トンネル障壁は、高く幅が広いショットキー様障壁である。したがって、スイッチング材料１０２中の導電率（または伝導率）は小さく、装置１００は「オフ」状態にある。多数のドーパントが該半導体に注入されているときには、トンネル障壁はオーミック様障壁であり、トンネル障壁の幅そしておそらく高さもドーパントの電位によって小さくなり、この結果、導電率（または伝導率）が大きくなり、装置１００は「オン」状態にある。
【００１４】
４つの整流子の各々はそれぞれ異なるドーパント配列を有している。ドーパントが、電極／活性領域境界またはその近くに配置されているときには、該境界はオーミック様障壁を有している。したがって、電荷担体は、活性領域１０２の内外へとオーミック様障壁を簡単に通り抜けることができる。一方、電極／活性領域境界またはその近くにある活性領域１０２のドープされていない部分は、あまりに高いかまたは広いために、ほとんどの電荷担体が活性領域１０２を通過できないショットキー様障壁を有する。図１Ｂは、本発明のいくつかの実施形態にしたがう４つの整流器の各々に関連付けられているオーミック様障壁とショットキー様障壁の相対的な位置を示す。順方向整流器１１２及び逆方向整流器１１３は、両側のそれぞれの境界に配置されたオーミック様障壁とショットキー様障壁を有する。対向型整流器１１４は、活性領域１０２内に分布するドーパントが両方の境界にショットキー様障壁を残せるようにすることによって特徴付けられる。一方、シャント型整流器１１５は、両方の境界またはその近くに配置されたドーパントが両方の境界にオーミック様障壁を生成できるようにすることによって特徴付けられる。
【００１５】
適切な大きさ及び極性の電界を活性領域１０２（活性領域１０２の全体またはその両端）に印加することによって、一方の整流器から他方の整流器への切り替えを行うことができる。この電界によって、ドーパントは、電極／活性領域の境界領域の内部または外部へと移動させられ、これによって、装置１００の整流状態が変わる。たとえば、図１Ｂに示すように、適切な電界を用いて、シャント型整流器１１５の境界の近くに配置されたドーパントをそれらの境界の一方へと移動させて、シャント型整流器１１５を順方向整流器１１２または逆方向整流器１１３に変えることができる。４つの整流器の各々に関連する電流対電圧（Ｉ−Ｖ）特性曲線、及び一方の整流器から他方の整流器への切り替えについては、図２を参照してより詳細に後述する。
【００１６】
主活性材料の内外へと拡散する荷電化学種の能力は、活性領域１０２を金属または半導体電極に接続する境界の一方が非共有結合的に結合されている場合に大きく向上する。該材料内の間隙（void）によってそのような境界を生じさせることがき、または、そのような非共有結合的な結合は、境界が、電極または主活性材料またはこれらの両方と共有結合を形成しない材料を含む結果として生じうる。この非共有結合的に結合された境界は、主活性材料中のドーパントの移動に必要とされる原子再配列の活性化エネルギーを小さくする。この境界は、本質的に極めて薄い絶縁体であり、スイッチの全直列抵抗にほとんど何も追加しない。
【００１７】
主活性材料の１つの潜在的に有用な特性は、それを弱いイオン導電体（または弱いイオン伝導体。以下同じ）とすることができることである。弱いイオン導電体の定義は、用途−この用途のためにスイッチ１００が設計される−に依存する。ある格子におけるあるドーパントの移動度μｄと拡散係数Ｄは、次のアインシュタインの関係式によって特徴付けられるように、互いに正比例する。
Ｄ＝μｄｋＴ
ここで、ｋはボルツマン定数、Ｔは絶対温度である。したがって、格子内のドーパントの移動度μｄが高い場合には、拡散係数Ｄも大きい。一般に、スイッチ１００の活性領域１０２は、用途に応じて、１秒の何分の１〜数年の範囲とすることができるある時間期間の間特定の整流状態を維持するのが望ましい。したがって、イオン化されたドーパント拡散によって、活性領域１０２が一方の整流器から他方の整流器に意図に反して変わるのを回避するために、（活性領域１０２の状態を適切な電圧で意図的に設定することによってではなく）拡散係数Ｄは、所望の安定性のレベルを確保するのに十分小さいことが望ましい。したがって、弱いイオン導電体とは、ドーパント移動度μｄ及び拡散係数Ｄが、所望の条件下で必要とされる間、活性領域１０２の安定性すなわち不揮発性を確保するのに十分小さいイオン導電体である。一方、強いイオン導電体は、比較的大きなドーパント移動度を有し、かつ、拡散に対して不安定である。
【００１８】
II.スイッチの不揮発メムリスティブスイッチング
活性領域１０２は、不揮発性で、再構成可能であって、メムリスティブスイッチング性を有するダイオード整流状態を示す。図２は、本発明のいくつかの実施形態にしたがう、活性領域１０２の４つの整流器２０１〜２０４、及び、それらの整流器の対間の３つの切り替えモードのプロファイルの概要を示す。４つの整流器２０１〜２０４に加えて、図２は、該４つの整流器２０１〜２０４の各々に関連する回路図２０５〜２０８及びＩ−Ｖ特性グラフ２１０〜２１３を含んでいる。図２に示すように、スイッチ１００の４つの整流器２０１〜２０４の各々は、ドーパントのそれぞれ異なるプロファイル分布（分布形態）を示しており、したがって、グラフ２１０〜２１３の各々において表されているようにそれぞれに関連する異なるＩ−Ｖ特性を有している。電極／活性領域の接触部は、典型的には、高濃度にドープされている場合にはオーミック様であり、低濃度にドープされている場合には、整流作用を有し、すなわち、ショットキー様である。したがって、境界におけるドーパントの濃度によって電気的挙動が決まり、それゆえ、スイッチ１００を通る電子の伝達状態（電子輸送）が決まる。図２において、４つの異なる整流器２０１〜２０４は、それぞれ、順方向整流器、逆方向整流器、シャント型整流器、対向型整流器として特定されている。これらの整流器の各々の整流状態特性は、活性領域１０２内のドーパントの分布に依存する。
【００１９】
Ｉ−Ｖ特性曲線のグラフ２１０〜２１３は、異なる電圧の極性及び大きさに対するスイッチ１００の応答を明らかにしている。具体的には、グラフ２１０は、スイッチ１００が順方向整流器２０１として構成されている場合において、正極性の電圧が電圧２１４を超えているときに、第１の電極１０４から第２の電極へと電流が流れ、また、電圧が負極性のときに抵抗が大きいことを明らかにしている。グラフ２１１は、スイッチ１００が逆方向整流器２０２として構成されている場合において、負極性の電圧が電圧２１５を下回っているときに、第２の電極１０６から第１の電極１０４へと電流が流れ、また、電圧が正極性のときに抵抗が大きいことを明らかにしている。グラフ２１２は、スイッチ１００がシャント型整流器２０３として構成されている場合において、正極性の電圧と負極性の電圧の大きさ（絶対値）が電圧２１６と２１７をそれぞれ上回っているときに、電流が実質的に妨害されずにスイッチ１００を流れることを明らかにしている。最後に、グラフ２１３は、スイッチ１００が対向型整流器２０４として構成されている場合において、正極性の電圧と負極性の電圧が電圧２１８と２１９の間にあるときに、スイッチ１００の抵抗が大きいことを明らかにしている。グラフ２１０〜２１３は動作電圧の範囲だけを示していることに留意されたい。すなわち、グラフ２１０〜２１３に示されている整流器２０１〜２０４に印加される電圧の大きさは、整流器を異なる整流器に変えたり、スイッチ１００を破壊するほどには大きくない。
【００２０】
ドーパントは、適切なドリフト電界の下で移動可能である。なぜなら、活性領域１０２を、わずか数ナノメートルの厚さとすることができるからである。ドリフト電界下でのドーパントの移動に起因するドーパントのプロファイル（または分布状態）の再構成（再配置）は、４つの整流器間の電気的切り替えを引き起こす。図２に示すように、短絡によって順方向整流器２０１とシャント型整流器２０３間の切り替えが生じる。この切り替えでは、境界２２０は、高濃度にドープされており、電気的にバイアスされている間無視できる程度の変化しか生じずにオーミック様のままである。第１の電極１０４における適切な極性及び大きさのバイアスによって、ドーパントの一部が境界２２２に引き寄せられ、デバイスが順方向整流器２０１からシャント型整流器２０３に切り替えられる。これとは逆の極性でほぼ同じ大きさのバイアスの場合は、シャント型整流器２０３が元の順方向整流器２０１に切り替えられる。もちろん、斜め方向の矢印２２４によって示されている、逆方向整流器２０２とシャント型整流器２０３の間の切り替えも、このタイプの切り替えに属する。
【００２１】
開放によって、逆方向整流器２０２と対向型整流器２０４との間の切り換えが起こる。この場合、ドープされていない境界２２０は変化せず、ドープされている境界２２２だけが切り替わる。ドープされていない境界は、ドーパントをほとんど含んでおらず、オーミック様ではなく整流性を維持する。第１の電極１０４に対する適切な極性と大きさのバイアスによって、ドーパントは境界２２２から追い払われて（すなわち、境界２２２から遠ざけられて）、逆方向整流器２０２が対向型整流器２０４に切り替えられ、この逆も同様である。順方向整流器２０１と対向型整流器２０４の間の切り替えも開放による。
【００２２】
順方向整流器２０１と逆方向整流器２０２との間の反転には、電極１０４及び１０６に逆極性のバイアスを同時に印加することが伴う。たとえば、順方向整流器２０１から逆方向整流器２０２への切り替えは、電極１０４及び１０６に逆極性のバイアスを印加して、ドーパントを境界２２０から追い払い、同時に、ドーパントを境界２２２に引き寄せることによって達成される。逆方向整流器２０２から順方向整流器２０１への切り替えは、電極１０４及び１０６に逆極性のバイアスを印加して、ドーパントを境界２２２から追い払い、同時に、ドーパントを境界２２０に引き寄せることによって達成される。したがって、活性領域１０２にわたるドーパントのプロファイルは、本質的に反転され、このため、整流作用を行う配置（及び／または向き）をとり、その結果、逆方向整流器と順方向整流器との間の切り替えが生じる。
【００２３】
III．活性領域の材料
電極１０４及び１０６を、白金、金、銀、銅、または、任意の他の適切な金属、金属化合物（たとえば、ＢaＴiＯ３及びＢａ１−ｘＬａＸＴiＯ３などの何らかの灰チタン石）、または、半導体から構成することができる。活性領域１０２の主及び副活性材料を、酸化物、硫化物、セレニド（セレン化物）、窒化物、リン化物、ヒ化物、塩化物、並びに、遷移金属と希土類金属からなる臭化物とすることができ、これらは、アルカリ土類金属を含む場合も含まない場合もある。さらに、これらを互いに合成した種々の合金があり、それらの合金は、構成物が互いに対して可溶性である場合には広い範囲のそのような構成物を有することができる。さらに、活性領域１０２を、ある数の電気的陰性元素に結合された２つ以上の金属原子を含む混合合成物（または混合化合物）から構成することができる。ドーパントを、活性領域１０２中にドープされた陰イオン空格子点、または原子価が異なる元素とすることができる。材料の組み合わせの１つは、ドープされておらず定比性（または化学量論）に従う、したがって、良好な絶縁体である主活性材料と、高濃度の陰イオン空格子点、または、適切なバイアスが印加された状態で主活性材料中に移動することができる他のドーパントを含む同じかまたは関連する母材の二次的なソース（すなわち母材の供給源）／シンク（すなわち母材の受け側または回収側）との組み合わせである。
【００２４】
活性領域１０２を、少なくとも１つの酸素原子（O）及び少なくとも１つの他の元素を含む酸化物から構成することができる。具体的には、活性領域１０２を、チタニア（二酸化チタン）（TiO２）、酸化ジルコニウム（ZrO２）、及びハフニア（hafnia）（HfO２）から構成することができる。これらの材料は、シリコン（Ｓi）集積回路技術に適合する。なぜなら、それらの材料は、Ｓi中にドーピングを生じないからである。活性領域１０２の他の実施形態は、これらの酸化物が対をなす合金、または、３つの元素Ti、Zr、Hfが全て存在する合金を含む。たとえば、活性領域１０２を、TiｘZrｙHfｚO２から構成することができ、この場合、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１である。関連する合成物は、チタン酸塩、ジルコン酸塩、ハフネート（hafnate）を含む。たとえば、チタン酸塩は、ＡＴｉＯ３を含み、この場合、Ａは、二価の元素であるストロンチウム（Sr）、バリウム（Ba）、カルシウム（Ca）、マグネシウム（Mg）、亜鉛（Zn）、カドミウム（Cd）のうちの１つを表している。一般に、活性領域１０２を、ＡＢＯ３から構成することができ、この場合、Ａは２価の元素を表し、ＢはTi、Zr、及びHfを表している。活性領域１０２を、これらの種々の合成物、たとえば、CaａSrｂBaｃTiｘZrｙHfｚO３の合金（この場合、ａ＋ｂ＋ｃ＝１及びｘ＋ｙ＋ｚ＝１）から構成することもできる。別々にも、また、より複雑な合成物としても使用できる原子価が異なる遷移金属と希土類金属からなる種々の他の酸化物も存在する。それぞれの場合において、移動可能なドーパントを、酸素空格子点、または、活性領域１０２にドープされた異原子価元素とすることができる。酸素空格子点は、１つが浅いエネルギーレベルを、１つが深いエネルギーレベルを有するドーパントとして効果的に作用する。TiO２−ｘ中の約０．１％という比較的小さな不定比性（または非化学量論）の酸素空格子点でさえ、５×１０１９ドーパント／ｃｍ３にほぼ等しいので、酸素空格子点プロファイルの変更は、電子伝達（または電子輸送）に大きく影響する。
【００２５】
他の実施形態では、活性領域１０２を、何らかのイオン結合特性を有する遷移金属の硫化物またはセレン化物（またはセレニド）とすることができ、基本的には、該硫化物及びセレン化物は、上記の酸化物の類似物である。
【００２６】
他の実施形態では、活性領域１０２を、半導体窒化物（または半導電性窒化物）または半導体ハロゲン化物（または半導電性ハロゲン化物）とすることができる。たとえば、半導体窒化物（または半電導性窒化物）は、AIN、GaN、ScN、YN、LaN、希土類窒化物、並びに、これらの合成物とより複雑な混合金属窒化物からなる合金を含み、半導体ハロゲン化物（または半電導性ハロゲン化物）は、CuCl、CuBr、及びAgClを含む。活性領域１０２を、種々の遷移金属及び希土類金属のリン化物またはヒ化物とすることができる。これら全ての合成物において、移動可能なドーパントを、陰イオン空格子点または異原子価元素とすることができる。
【００２７】
種々のドーパントを用いることができ、それらのドーパントは、水素、アルカリ、アルカリ土類カチオン、遷移金属カチオン、希土類カチオン、酸素アニオンもしくは酸素空格子点、カルコゲニドアニオンもしくはカルコゲニド空格子点、窒素アニオンもしくは窒素空格子点、ピニクチドアニオン（pnictide anion）もしくはピニクチド空格子点、または、ハロゲン化物アニオンもしくはハロゲン化物空格子点からなるグループから選択される。
【００２８】
【表１】
0005475776.tif 000002
【００２９】
他の実施形態では、活性領域１０２を、直接遷移型半導体と間接遷移型半導体の種々の組み合わせを含む様々な半導体材料から構成することもできる。直接遷移型半導体は、価電子帯の最高点と伝導帯の最小点が同じ波数で生じることによって特徴付けられる。これとは対照的に、間接遷移型半導体は、価電子帯の最高点と伝導帯の最小点が異なる波数で生じることによって特徴付けられる。間接遷移型半導体及び直接遷移型半導体を、単体半導体及び化合物半導体とすることができる。間接遷移型半導体の単体半導体はSi及びゲルマニウム（Ge）を含み、化合物半導体はIII−Ｖ族の材料を含む。この場合、ローマ数字のIII及びＶは、元素周期表のIIIa及びＶa列中の元素を表す。化合物半導体を、アルミニウム（Al）、ガリウム（Ga）、インジウム（In）などのIIIa列の元素と、窒素（N）、リン（P）、ヒ素（As）、及びアンチモン（Sb）などのＶa列の元素との組み合わせから構成することができる。化合物半導体を、III及びＶ族の元素の相対的な量にしたがってさらに分類することもできる。たとえば、２成分半導体化合物は、実験式GaAs、InP、InAs、及びGaPを有する半導体を含み、３成分化合物半導体は、実験式GaAsｙP１−ｙを有する半導体を含み、この場合、ｙは、０より大きく１より小さい範囲にある。４成分化合物半導体は、実験式InｘGa１−ｘAsｙP１−ｙを有する半導体を含み、この場合、ｘ及びｙは、互いに独立して、０より大きく１より小さい範囲にある。 適切な化合物半導体の他のタイプは、II−VI族の材料を含み、この場合、II及びVIは、周期表のIIb及びVIa列中の元素を表す。たとえば、CdSe、ZnSe、ZnS、及びZnOは、典型的な２成分II-VI族化合物半導体の実験式である。
【００３０】
ドーパントをｐ型不純物とすることができ、これらの不純物は、活性領域１０２の電子バンドギャップに、「ホール」と呼ばれる空の電子エネルギーレベルを導入する原子である。これらの不純物は「電子受容体」とも呼ばれる。ドーパントをｎ型不純物とすることができ、これらの不純物は、活性領域１０２の電子バンドギャップに、充填された電子エネルギーレベルを導入する原子である。これらの不純物は「電子供与体」と呼ばれる。たとえば、ホウ素（Ｂ）、Al、及びGaは、Siの価電子帯の近くに空の電子エネルギーレベルを導入するｐ型の不純物であり、P、As、及びSbは、Siの伝導帯の近くに充填された電子エネルギーレベルを導入するｎ型の不純物である。III-V族の化合物半導体において、列VIの不純物は、III-V格子中の列Vの場所に取って代わり、ｎ型不純物として作用し、列IIの不純物は、III-V格子中の列III族の原子に取って代わってｐ型不純物を形成する。活性領域１０２の中程度（中間濃度）のドーピングは、約１０１５impurities／ｃｍ３（ここで、impuritiesは不純物）を超える不純物濃度を有することができ、一方、活性領域１０２のより高濃度のドーピングは、約１０１９impurities／ｃｍ３を超える不純物濃度を有することができる。
【００３１】
IV．ナノワイヤの実施
スイッチ１００を、ナノワイヤクロスバーアレイのナノワイヤの交差部に実施（実装）することができる。図３は、本発明のいくつかの実施形態にしたがって構成されたナノワイヤクロスバーアレイ３００の等角図である。クロスバーアレイ３００は、ほぼ並行なナノワイヤの第１の層３０２の上にほぼ平行なナノワイヤの第２の層３０４が横たわった構成である。第２の層３０４のナノワイヤは、幾何学的な位置関係において、第１の層３０２のナノワイヤに概ね垂直であるが、それらの層間の幾何学的配置上の角度はこれとは異なる場合もある。ナノワイヤの２つの層は、格子、すなわちクロスバーを形成し、第２の層３０４の各ナノワイヤは、第１の層３０２の全てのナノワイヤの上に横たわっており、２つのナノワイヤ間の最も近い接触部（または最も近い交差部）を表すナノワイヤ交差部において第１の層３０２の各ナノワイヤと密接に接触している。
【００３２】
図３に示されている個々のナノワイヤの断面は矩形であるが、ナノワイヤの断面は、正方形、円、楕円、または、より複雑な形状を有することができる。ナノワイヤはまた、多くの異なる幅または直径、並びにアスペクト比または偏心（または偏心率）を有することもできる。「ナノワイヤクロスバー」という用語は、ナノワイヤの他にも、サブマイクロスケール（１マイクロ未満のスケール）のワイヤ、マイクロスケールのワイヤ、または、これらより大きな寸法のワイヤからなる１つ以上の層を有するクロスバーを指す場合もある。
【００３３】
これらの層を機械式ナノインプリンティング技術によって作製することができる。代替的には、ナノワイヤを、化学的に合成して、ラングミュア−ブロジェット（Langmuir-Blodgett）プロセスを含む１つ以上の処理行程においてほぼ平行なナノワイヤの層として堆積させることができる。ナノワイヤを作製するための他の代替技術を使用することもできる。したがって、図３に示すように、第１の層と第２の層からなる２層ナノワイヤクロスバーを、多くの比較的簡単なプロセスのうちの任意のものによって製造することができる。多くの異なるタイプの導電性及び半導電性のナノワイヤを、金属物質及び半導体物質から、及び／または、これらのタイプの物質の組み合わせから、及び／または、他のタイプの物質から、化学的に合成することができる。ナノワイヤを電気回路に組み込むために、ナノワイヤクロスバーを、種々の異なる手段によって、マイクロスケールのアドレスリード線または他の電子リード線に接続することができる。ナノワイヤの交差部において、抵抗器などのナノスケールの電子部品、及び、他のよく知られている基本的な電子部品を、２つのオーバーラップしているナノワイヤを相互接続するように作製することができる。スイッチによって接続される任意の２つのナノワイヤは「クロスバー接合」と呼ばれる。
【００３４】
図４は、本発明のいくつかの実施形態にしたがう、ほぼ平行なナノワイヤの第１の層４０４とほぼ平行なナノワイヤの第２の層４０６の間に配置された中間の層４０２を表したナノワイヤクロスバー４００の等角図である。層４０２は、副層４０８及び４１０から構成される。副層４０８をドープされていない材料から、副層４１０をドープされた材料から、それぞれ構成することができる。層４０２を構成する材料とドーパントは、サブセクションIIIで述べたように、各ナノワイヤの交差部においてスイッチ４１２〜４１５を形成するように選択される。これらのナノワイヤを、半導体材料の適切な金属から構成することができ、該ナノワイヤは電極として機能する。たとえば、副層４０８をＴiＯ２から構成することができ、これより薄い副層４１０をＴiＯ２−ｘから構成することができる。この場合、副層４１０中の酸素空格子点はドーパントであり、それらのナノワイヤをPtから構成することができる。スイッチ４１４は、第１の層４０４内のナノワイヤ４１６、第２の層４０６内のナノワイヤ４１７、及び、ナノワイヤ４１６と４１７間の層４０２内の領域４１８によって形成される。スイッチ４１２〜４１５の各々を別個に動作させて、図２に関して説明した、順方向整流器、逆方向整流器、シャント型整流器、及び対向型整流器を作製することができる。
【００３５】
V．例
ＴiＯ２中の酸素空格子点は、バンドギャップが広い酸化物を、導電性のドープされた半導体として動作する材料に変換するｎ型ドーパントとして動作する。図２を参照して上述したように、スイッチ１００の２つの境界におけるドーパント濃度は、スイッチ１００が上記４つの整流器の１つとして動作するように該スイッチを構成する際に重要な役目を果たす。図５Ａは、本発明のいくつかの実施形態にしたがう、境界の特性を変える際に酸素空格子点が果たす役目を実証するように構成された４つの別個のスイッチ５０１〜５０４の等角図である。酸素空格子点を調整（または変更）することによって、クロスバー接合部を通る電子の流れが制御される。図５のスイッチ要素５０１〜５０４は、二酸化チタン層５１４によって垂直方向に分離されたPtの第１電極５０５〜５０８とPtの第２の電極５０９〜５１２から構成されている。第１の電極対５０５−５０６及び５０７−５０８は約１ｍｍだけ離れており、第２の電極対５１０−５１１及び５０９−５１２も約１ｍｍだけ離れている。二酸化チタン層５１４は、酸素空格子点がほとんどない厚さが約４ｎｍの薄いＴiＯ２層５１６、及び、多くの酸素空格子点を有する厚さが約１２０ｎｍのより厚いＴiＯ２−ｘ層５１８からなる二重層である。ＴiＯ２−ｘ層は、Hall measurement（ホール測定）から得られた約１０１９ｃｍ−３のキャリア濃度を有するｎ型半導体であり、ＴiＯ２層はほぼ定比性（化学量論性）を有する。
【００３６】
電極５０５〜５１２の任意の対はスイッチを形成するが、これらの対から、図５Ｂに示すようにＩ−Ｖ曲線を得ることができる。Ｉ−Ｖ曲線５２０は、第２の電極５１０及び５１１に対応し、Pt／ＴiＯ２−ｘ境界における２つのオーミック様障壁を明らかにしている。電極５１０と５１１の間の抵抗が小さいという事実は、バルク酸化物（または酸化物全体）が導電性であることを示している。これとは対照的に、Ｉ−Ｖ曲線５２２は、２つの第１の電極５０５と５０６の間の電子透過に対応し、対称的かつ非線形であって、Pt／ＴiＯ２境界における２つのショットキー様障壁を明らかにしている。Ｉ−Ｖ曲線５２０の電流よりもＩ−Ｖ曲線５２２の電流がはるかに小さいことは、体積抵抗（またはバルク抵抗）は本質的にこれら２つの場合で同じなので、スイッチを通る電子の伝送を支配しているのがショットキー様境界であることを示唆している。整流作用を示すＩ−Ｖ曲線５２４は、電極５０６及び５１０に対応し、対応する装置がPt／ＴiＯ２境界にショットキー様障壁を有し、かつ、Pt／ＴiＯ２−ｘ境界にオーミック様障壁を有するという事実に合致する。第１の電極５０６と第２の電極５１０間の電流レベルが、第１の電極５０５と５０６間の電流レベルよりも小さい理由についての１つの説明は、前者の有効接合表面積の方がはるかに小さいためであるというものである。図５Ｂ中の差し込み図５２６は、第１の電極５０６と第２電極５１０の間に形成されたスイッチの可逆的な切り替え動作を示す対数スケールのＩ−Ｖデータである。
【００３７】
スイッチの初期抵抗状態、すなわち、酸素空格子点プロファイルの初期状態によって、スイッチの整流状態の大部分が決まる。実際には、酸素空格子点プロファイルを、活性領域の構造、及び／または、気体種（ガス種）の堆積、焼きなまし環境（アニーリング環境）、境界における純金属（たとえばTi）の挿入などの活性領域の製造条件をうまく設計乃至設定することによって制御することができる。以下の説明では、実際のスイッチにおける３つの全てのタイプの切り替えの実現を表す結果が提供される。
【００３８】
以下の実験結果を伴う回路モデルはメモリスタ（メムリスタともいう）を備えている。「メモリスタ」という用語は、「メモリレジスタ」を短くしたものである。メモリスタは、電流の時間積分と電圧の時間積分間の関数関係を維持するあるクラスの受動性の２端子回路要素である。これにより、装置のメムリスタンス（memristance）機能にしたがって抵抗が変化することになる。特別に設計されたメモリスタは、電流を切り替えるのに有用な制御可能な抵抗をもたらす。メモリスタは、いわゆる「メムリスティブシステム」、すなわち、ニューロン発火などのいくつかの実験的に観察された現象に有用なあるクラスの数学モデルにおける特別な場合である。メモリスタの定義は、抵抗器、コンデンサー、及びインダクターに類似する基本的な回路変数のみに基づいている。それらのよりなじみのある素子とは異なり、必然的に非線形のメモリスタは種々の時間依存性の関数のうちの任意のものによって記述することができる。その結果、メモリスタは、時間に依存しない線形回路モデルには属しない。線形で時不変のメモリスタは単に従来の抵抗器である。
【００３９】
メモリスタは、形式的には２端子要素であって、それらの端子間の磁束φｍが装置を通過した電荷ｑの電荷量の関数である２端子要素として定義される。各メモリスタは、次式で示すような電荷に対する電荷依存性の磁束変化率を記述するメムリスタンス機能によって特徴付けられる。
Ｍ（ｑ）＝ｄφｍ／ｄｑ
【００４０】
磁束φｍは電圧の時間積分であり、電荷ｑは電流の時間積分であるというファラデーの電磁誘導の法則に基づいて、メムリスタンスを、
Ｍ（ｑ）＝Ｖ／Ｉ
と書くことができる。
【００４１】
したがって、メムリスタンスは、単に、電荷依存性の抵抗である。Ｍ（ｑ）が一定のときには、メムリスタンスはオームの法則Ｒ＝Ｖ／Ｉに単純化される。Ｍ（ｑ）が一定ではない場合には、ｑとＭ（ｑ）が時間とともに変化するのでこの式（の両辺）は等価ではない。電圧を時間の関数として解くと、
Ｖ（ｔ）＝Ｍ（ｑ（ｔ））Ｉ（ｔ）
が得られる。
【００４２】
この式は、電荷が変化しない限り、メムリスタンスは、電流と電圧の間の線形関係を画定することを明らかにしている。しかしながら、ゼロでない電流は、即座に変化する電荷をほのめかしている。交流は、ｑの最大の変化がＭの変化を引き起こさない限り、正味の電荷の移動を生じることなく有意な電圧を誘導することによって回路動作における線形依存性を明らかにしうる。さらに、メモリスタは、電流が流れないときには静的である。Ｉ（ｔ）及びＶ（ｔ）が０のときは、Ｍ（ｔ）は一定である。これは、メモリ効果の本質である。
【００４３】
図６は、図７〜図９を参照して後述する実験結果を得るために使用されたスイッチ６００であって、図７〜図９に示された結果を説明する際に参照されるスイッチ６００の全体の等角図である。図６に示すように、スイッチ６００は、Ptの第１電極６０４とPtの第２電極６０６の交差ポイントの間に配置されたＴｉＯ２活性領域６０２を備える。スイッチ６００は、第１の境界６０８と第２の境界６１０において非対称の酸素空格子点濃度を有するように作製された。電気的測定を実行する際に、第２の電極６０６が接地された。
【００４４】
図７〜図９は、スイッチ６００によって代表されるPt／ＴｉＯ２／Ptスイッチについての、本発明のいくつかの実施形態にしたがう短絡切り替え、開放切り替え、及び反転切り替えに対応する実験結果を示している。図７〜図９において、図７Ａのループ７００などのループは、負極性及び正極性の切り替え（スイッチング）電圧掃引を表している。各々の切り替え電圧掃引後に、チェック用Ｉ−Ｖを取得して、切り替え後の装置の整流状態を測定した。
【００４５】
図７Ａ〜図７Ｃは、本発明のいくつかの実施形態にしたがう、約５０×５０ｎｍ２のPt／TｉO２／Ptスイッチの短絡切り替えから得られた実験結果を示している。第１の境界６０８は、切り替えの間オーム様の状態を維持する第２の境界６１０よりも酸素空格子点が少ない。活性部分は第１の境界６０８であり、これが、スイッチ６００の電子伝達（電子輸送）を制御（支配）する。図７Ａにおいて、第１の電極６０４に加えられた約１．４Ｖの正のバイアス７０１が、酸素空格子点を第１の境界６０８から第２の境界６１０へと移動させ、装置を「オフ」に切り替える。「オフ」状態のスイッチ６００は、図７Ａの整流作用を示すＩ−Ｖ曲線７０２によって特徴付けられる。第１の電極６０８に加えられた約−１．８Ｖの負のバイアス７０３が、酸素空格子点を第１の境界６０８へと引き寄せ、第１の境界６０８において整流器を短絡し、装置を、Ｉ−Ｖ曲線７０４によって特徴付けられるコンダクタンス（導電率）のより高い状態に切り替える。バイアスの（印加時間の）長さ及び大きさに依存して、装置を、Ｉ−Ｖ曲線７０５〜７０７によって表される複数の「オン」状態に、及び、Ｉ−Ｖ曲線７０８〜７１０によって表される複数の「オフ」状態に実際に切り替えることができる。最初の２つの「オン」負電圧掃引と比べて、最後の２つの「オン」掃引は、実際に、図７ＡのＩ−Ｖ曲線７０９及び７１０によって表される導電（伝導）性がより低い「オン」状態に装置を切り替える。
【００４６】
図７Ｂは、本発明のいくつかの実施形態にしたがう、短絡切り替えの間のスイッチの切り替え動作を表す回路図である。図７Ｂの回路図において、整流器７１２はメモリスタ７１４と並列をなしており、該メモリスタの極性は一方の端部におけるバー（横棒）によって示されている。該バーを有するメモリスタ７１４の該端部に印加された正のバイアスがメモリスタ７１４を「オン」に切り替え、整流器７１２を短絡する。逆極性のバイアスはメモリスタ７１４を「オフ」に切り替え、整流器７１２を元の状態に戻す。「オン／オフ」のコンダクタンスの比は、マイクロスケールの装置及びナノスケールの装置の両方の場合に約１０３であり、ナノスケールの装置を、マイクロスケールの装置よりも約１００倍低い電流レベルで動作させることができることがわかった。
【００４７】
図７Ｃは、本発明のいくつかの実施形態にしたがう、短絡切り替えに対応するＩ−Ｖ曲線のグラフである。Ｉ−Ｖ曲線７１６は「オフ」状態のスイッチに対応し、Ｉ−Ｖ曲線７１８は「オン」状態のスイッチに対応する。
【００４８】
図８Ａ〜図８Ｃは、本発明のいくつかの実施形態にしたがう約５×５μｍ２のPt／TｉO２／Ptスイッチの開放切り替えから得られた実験結果を示している。図８Ａは、開放切り替えの結果を表すグラフである。２つの境界６０８及び６１０は非対称のドーパント分布を有する。（上部の電極を堆積する前にさらなる酸化のために空気にさらされた）より抵抗の高い第１の境界６０８は、切り替えの間、ショットキー様状態または整流状態に留まり、活性部分は第２の境界６１０である。第１の電極６０４から第２の電極６０６までの約−８Ｖの負の電圧バイアス８０１は、正に帯電した酸素空格子点を第２の境界６１０から追い払って、装置を「オフ」に切り替える。Ｉ−Ｖ曲線８０２〜８０４は、「オフ」状態が抵抗性であることを明らかにしている。「オフ」の掃引曲線８０８〜８１０には反時計回り方向の小さなループ８０５〜８０７が存在し、これらは、第２の境界６１０のより大きな「オフ」状態への切り替えの間における、第１の境界６０８の小さな「オン」状態への切り替えを反映している。約５Ｖの逆方向のバイアス８１１によって、第２の境界６１０がオーミック様障壁に切り替えられ、装置の電気的伝達性は、整流作用を有する第１の境界６０８によってのみ制限され、「オン」状態の場合には整流作用を有するＩ−Ｖ曲線８１２及び８１３が生成される。
【００４９】
図８Ｂは、本発明のいくつかの実施形態にしたがう開放切り替え中のスイッチの切り替え動作を表す回路図である。この開放切り替えの等価回路は、本来の整流器が直列に追加されていること以外は短絡切り替えの回路に類似しており、かかる整流器の直列接続は、メモリアーキテクチャにおけるクロストークを制限するために各クロスバー交差部におけるメモリセルにダイオードを付加するための効率的な手段であろう。さらに、このタイプの装置の動作電力は小さい。図４Ｂのマイクロスケールの装置を切り替えるために使用される１０−６Ａの電流及びこの装置で観察されるスケーラビリティに基づいて、ナノスケールの装置の場合には、１０−９Ａの電流レベルを期待することができる。このタイプの切り替えは高い再現性も有する。
【００５０】
図８Ｃは、本発明のいくつかの実施形態にしたがう開放切り替えに対応するＩ−Ｖ曲線のグラフである。「オン」と「オフ」の両方の状態についての対数スケールのＩ−Ｖ曲線が図８Ｃに示されており、およそ１０３のコンダクタンス比を明らかにしている。Ｉ−Ｖ曲線８１４は「オン」状態に対応し、Ｉ−Ｖ曲線８１６は「オフ」状態に対応する。
【００５１】
図９Ａ〜図９Ｃは、本発明のいくつかの実施形態にしたがう約５０×５０ｎｍ２のPt／TｉO２／Ptスイッチの反転切り替えから得られた実験結果を示している。図９Ａは、反転切り替えの結果を表すグラフである。活性領域６０２内の酸素空格子点の分布は対称的で、２つの境界６０８及び６１０における酸素空格子点の変化はほぼ同時に起こるが方向は逆である。第１の電極６０４に約４Ｖの正のバイアス９０１が印加されると、酸素空格子点は、第１の境界６０８から追い払われて、第２の境界６１０に引き寄せられ、この結果、第１の境界６０８における酸素空格子点よりも第２の境界６１０における酸素空格子点の方が多くなる。スイッチは、チェック用Ｉ−Ｖ曲線９０２及び９０４によって示されているように、ある整流方向を有する整流状態に切り替えられる。約−４Ｖの負のバイアス９０５が印加されると、活性領域６０２における酸素空格子点プロファイルが反転して、スイッチが逆の整流方向を有する抵抗状態に切り替わる。これは、Ｉ−Ｖ曲線９０６及び９０８によって表されている。
【００５２】
図９Ｂは、本発明のいくつかの実施形態にしたがう、反転切り替え中のスイッチの切り替え動作を表す回路図である。この回路図は、反転切り替えが、図７Ｂに示すようなシャント型スイッチを直列に対向させた２つのスイッチを設けることによって達成できることを明らかにしている。
【００５３】
図９Ｃは、本発明のいくつかの実施形態にしたがう反転切り替えに対応するＩ−Ｖ曲線のグラフである。Ｉ−Ｖ曲線９１０と９１２は、それぞれ、順方向整流状態と逆方向整流状態を表している。
【００５４】
酸素空格子点は、上述の３つの切り替えタイプの概念を説明するために使用された唯一のドーパントである。しかしながら、原理的には、移動度、電荷、及び拡散性（または拡散率）などの特性が異なる他のドーパント（たとえば、C及びN）をシステムに導入して、非対称装置を意図的に構成することができる。酸素空格子点のようなドーパントだけがスイッチを反転させるために十分でありうるドーパントである。なぜなら、装置が対称性を有しており、かつ、このタイプの切り替えには、２つの境界における同等であるが逆の変化が必要とされるからである。開放切り替え及び短絡切り替えに関しては、短絡の場合には一方の境界を高度に還元することによって、あるいは、開放の場合には該一方の境界を高度に酸化させることによって、切り替えの間その境界における変化が最小になるようにする。変化が生じない境界における酸素空格子点よりもはるかに移動度が小さい別のドーパントは、よりいっそう良好にこの目的に資するだろう。
【００５５】
上記説明は、説明を目的としたものであって、本発明を十分に理解できるようにするために特定の用語を使用した。しかしながら、本発明を実施するために特定の細部が必要ではないことは当業者には明らかであろう。本発明の特定の実施形態の上記説明は、例示と説明のために提示されたものである。それらは、本発明を網羅することも、本発明を開示した形態そのものに限定することも意図していない。上記の教示に照らして多くの修正形態及び変形形態が可能であることは明らかである。それらの実施形態は、本発明の原理及びそれの実用上の適用を最良に説明し、これによって、当業者が、意図する特定の用途に適するように本発明及び種々の実施形態を様々に改変して最良に利用できるようにするために、図示し説明されている。本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲及びそれの等価物によって画定されることが意図されている。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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