(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子に回転θ方向の回転磁界を作るθ軸電機子巻線と回転θの軸方向である直動Ｚ方向に進行磁界を作るＺ軸電機子巻線を備えるとともに、可動子に界磁とする永久磁石を備え、
前記θ軸電機子巻線がθ方向に複数個並べられたθ軸コイルにより構成されるとともに、前記Ｚ軸電機子巻線がＺ方向に複数個並べられた円筒状のＺ軸コイルにより構成され、
前記可動子が前記固定子に対してθ方向とＺ方向の両方向に相対的に移動するθＺアクチュエータにおいて、
前記θ軸コイルの内側に設けた空心部のＺ方向長さをＬα、前記Ｚ軸電機子巻線のＺ方向長さをＬＺとした場合、
Ｌα  ＜  ＬＺ
とし、
前記Ｚ軸コイルと前記θ軸コイルとの間に、複数の前記Ｚ軸コイルを結線する渡り線を配置したことを特徴とするθＺアクチュエータ。
【請求項２】
前記固定子に円筒状の電機子コアを設けるとともに、
前記θ軸電機子巻線のＺ方向長さをＬθ、前記電機子コアのＺ方向長さをＬＣとした場合、ＬθとＬＣが等しい長さとなるように構成したことを特徴とする請求項１記載のθＺアクチュエータ。
【請求項３】
ＬＺとＬθが等しい長さとなるように構成したことを特徴とする請求項１記載のθＺアクチュエータ。
【請求項４】
前記θ軸電機子巻線の内径をＤ、前記θ軸コイルの断面形状の曲率半径をＲとした場合、
Ｒ  ＜  Ｄ／２
になるように前記θ軸コイルを形成することを特徴とする請求項１記載のθＺアクチュエータ。
【請求項５】
前記θ軸コイルの断面形状を内径側に窪みを有する形状に形成し、
前記Ｚ軸コイルと前記θ軸コイルの間の前記窪みに、前記渡り線を配置したことを特徴とする請求項１記載のθＺアクチュエータ。
【請求項６】
前記θ軸コイルの断面形状を平板状に形成することを特徴とする請求項１記載のθＺアクチュエータ。
【請求項７】
前記θ軸電機子巻線に電流を供給するθ軸リード線と、前記Ｚ軸電機子巻線に電流を供給するＺ軸リード線を、一本のケーブルにまとめたことを特徴とする請求項１記載のθＺアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、電子部品、液晶ガラス基板などの製造装置や検査装置などの回転θ方向と直動Ｚ方向（回転θの軸方向）の位置決めを行うθＺアクチュエータに関する。  
【背景技術】
【０００２】
従来のθＺアクチュエータとして、固定子に電機子コア、θ軸電機子巻線、Ｚ軸電機子巻線を備え、電機子コアに設けたθ方向とＺ方向のスロットにθ軸電機子巻線とＺ軸電機子巻線を配置して構成したものがある。また、θ軸電機子巻線を複数個の楕円環状のθ軸コイルで構成し、Ｚ軸電機子巻線を複数個の円筒状のＺ軸コイルで構成し、Ｚ軸コイルを結線する渡り線をθ軸コイルの空心に配置したものがある。以下、従来技術のθＺアクチュエータについて説明する。
図１１は従来技術におけるθＺアクチュエータの側面から見た断面図、図１２と図１３は図１１におけるＡ−Ａ断面図とＢ−Ｂ断面図である。また、図１４はＺ軸電機子巻線の渡り線の配置を示す巻線展開図、図１５は側面から見た固定子の断面拡大図である。図において、１００が固定子、１０１がＺ軸電機子巻線、１０２がθ軸電機子巻線、１０３が電機子コア、２００が可動子、２０１が界磁ヨーク、２０２ｓが磁極表面をＳ極とする永久磁石、２０２ｎが磁極表面をＮ極とする永久磁石、１１１〜１１６がＺ軸コイル、１２１〜１２３がθ軸コイル、１３１〜１３３が渡り線である。
従来技術のθＺアクチュエータは、外周側に固定子１００、内周側に可動子２００が配置され、可動子２００が固定子１００に対し、θ方向とＺ方向の両方向に移動するものである。ここで、可動子２００は固定子１００に対しθ方向とＺ方向の両方向に支持案内されるとともに、θ方向の角度とＺ方向の位置がエンコーダ等のセンサにより検出される。なお、それら構成要素については、図示を省略している。可動子２００は、界磁ヨーク２０１の外周表面の上側に永久磁石２０２ｓ、下側に永久磁石２０２ｎが配置され構成されている。永久磁石２０２ｓと永久磁石２０２ｎは各個数が２０個であり、Ｚ方向にずれて配置されるとともに、θ方向にもずれて配置されている。このように配置されることで、Ｚ方向に２極、θ方向に４０極の磁極を形成している。
一方、固定子１００は、永久磁石２０２ｓ、２０２ｎと空隙を介して、内周側からＺ軸電機子巻線１０１、θ軸電機子巻線１０２、電機子コア１０３が配置され構成されている。ここで、Ｚ軸電機子巻線１０１、θ軸電機子巻線１０２、電機子コア１０３は、各間に所定の絶縁層を挟み、モールド樹脂（図示なし）によって一体に固定されている。図１４に示すように、Ｚ軸電機子巻線１０１は６種類の円筒状のＺ軸コイル１１１〜１１６をＺ方向に９個並べて三相巻線を構成し、その相順は下からＵ（１１１）、Ｗ（１１２、１１５と巻方向が逆）、Ｖ（１１３）、Ｕ（１１４、１１１と巻方向が逆）、Ｗ（１１５）、Ｖ（１１６、１１３と巻方向が逆）、Ｕ（１１１）、Ｗ（１１２）、Ｖ（１１３）となっている。Ｚ軸コイル１１１〜１１６の間隔は電気角６０度であるため、３個分のＺ方向長さが永久磁石２０２ｓと永久磁石２０２ｎの間隔（電気角１８０度）と一致している。θ軸電機子巻線１０２は、３種類の楕円環状のθ軸コイル１２１〜１２３をθ方向に３０個並べて三相巻線を構成し、その相順は＋θ方向に沿ってＵ（１２１）、Ｗ（１２２）、Ｖ（１２３）、Ｕ（１２１）、Ｗ（１２２）、Ｖ（１２３）、・・・となっている。θ軸コイル１２１〜１２３の間隔は電気角２４０度であるため、３個分のθ方向角度が永久磁石２０２ｓと永久磁石２０２ｎの間隔の４倍（電気角７２０度）と一致している。
また、Ｚ軸コイル１１１〜１１６の同相同士のコイルを結線する渡り線１３１〜１３３は、図１４に示すようにθ軸コイル１２１〜１２３の空心部に配置され、図１５に示すようにＺ軸コイル１１１〜１１６の下方に引き出されるように配置されている。このように渡り線１３１〜１３３が引き出されることで、Ｚ軸電機子巻線１０１のＺ方向長さ（Ｚ軸コイル１１１〜１１６のＺ方向長さの総和）をＬＺ、θ軸コイル１２１〜１２３の空心部のＺ方向長さをＬαとした場合、ＬＺ＜Ｌαの関係になるように寸法が決定されている。
このように構成されたθＺアクチュエータは、θ軸電機子巻線１０２に三相交流電流を通電すると回転磁界が発生し、Ｚ軸電機子巻線１０１に三相交流電流を通電すると進行磁界が発生する。それら磁界と可動子２００の磁極との電磁作用によって、可動子２００はθ方向にトルク、Ｚ方向に推力を発生し、両方向に移動することができる。
また、Ｚ軸コイル１１１〜１１６の渡り線１３１〜１３３をθ軸コイル１１１〜１１６の空心部に配置しているので、Ｚ軸コイル１１１〜１１６とθ軸コイル１１１〜１１６との間に渡り線を通すための隙間を設けることが不要な構造となっている。つまり、余計な隙間を径方向に設ける必要がなく、θＺアクチュエータを小径化することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２０８８５号公報（第３−５頁、図１）
【特許文献２】特開２００８−２３６８１８号公報（第３−５頁、図２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のθＺアクチュエータには以下のような問題があった。
Ｚ軸コイルを結線する渡り線をθ軸コイルの空心部に通して下方に引き出すために、θ軸コイルの空心部のＺ方向長さＬαを長くする必要があった。そのため、Ｚ軸電機子巻線のＺ方向長さＬＺとの関係をＬＺ＜Ｌαにしなければならず、ＬＺよりもθ軸電機子巻線のＺ方向長さ（図１５中のＬθであり、Ｚ軸コイルのＺ方向長さと同じ）をかなり長くしなければならなかった。その結果、固定子の高さが大きくなってしまった。偏平なθＺアクチュエータを要求される用途では、固定子の高さをできるだけ小さくしなければならないため、特にこの問題が顕著に現れた。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、固定子の高さを小さくし、偏平にすることができるθＺアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
本発明は、固定子に回転θ方向の回転磁界を作るθ軸電機子巻線と回転θの軸方向である直動Ｚ方向に進行磁界を作るＺ軸電機子巻線を備えるとともに、可動子に界磁とする永久磁石を備え、前記θ軸電機子巻線がθ方向に複数個並べられたθ軸コイルにより構成されるとともに、前記Ｚ軸電機子巻線がＺ方向に複数個並べられた円筒状のＺ軸コイルにより構成され、前記可動子が前記固定子に対してθ方向とＺ方向の両方向に相対的に移動するθＺアクチュエータにおいて、前記θ軸コイルの内側に設けた空心部のＺ方向長さをＬα、前記Ｚ軸電機子巻線のＺ方向長さをＬＺとした場合、
Ｌα  ＜  ＬＺ
となるように構成した。
本発明によると、前記固定子に円筒状の電機子コアを設けるとともに、
前記θ軸電機子巻線のＺ方向長さをＬθ、前記電機子コアのＺ方向長さをＬＣとした場合、ＬθとＬＣが等しい長さとなるように構成した。
本発明によると、ＬＺとＬθが等しい長さとなるように構成した。
本発明によると、複数の前記Ｚ軸コイルを結線する渡り線を、前記θ軸コイル間に配置した。
本発明によると、前記θ軸電機子巻線の内径をＤ、前記θ軸コイルの断面形状の曲率半径をＲとした場合、
Ｒ  ＜  Ｄ／２
になるように前記θ軸コイルを形成するとともに、前記Ｚ軸コイルと前記θ軸コイルの間に、複数の前記Ｚ軸コイルを結線する渡り線を配置した。
本発明によると、前記θ軸コイルの断面形状を内径側に窪みを有する形状に形成するとともに、前記Ｚ軸コイルと前記θ軸コイルの間の前記窪みに、複数の前記Ｚ軸コイルを結線する渡り線を配置した。
本発明によると、前記θ軸コイルの断面形状を平板状に形成するとともに、前記Ｚ軸コイルと前記θ軸コイルの間に、複数の前記Ｚ軸コイルを結線する渡り線を配置した。
本発明によると、前記θ軸電機子巻線に電流を供給するθ軸リード線と、前記Ｚ軸電機子巻線に電流を供給するＺ軸リード線を、一本のケーブルにまとめた。
なお、「等しい長さ」とは、数学的な厳密な意味ではなく、「ほぼ等しい長さ」を含むものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によると、θ軸コイルの空心部のＺ方向長さＬαとＺ軸電機子巻線のＺ方向長さＬＺの関係がＬα＜ＬＺとなるように構成しているので、θ軸電機子巻線のＺ方向長さＬθを小さくすることができ、固定子の高さを小さくすることができる。よって、偏平なθＺアクチュエータを実現することができる。
本発明によると、θ軸電機子巻線のＺ方向長さＬθと電機子コアのＺ方向長さＬＣがほぼ等しい長さとなるように構成しているので、電機子コアを含む固定子の高さを小さくすることができる。よって、偏平なθＺアクチュエータを実現することができる。
本発明によると、ＬＺとＬθがほぼ等しい長さとなるように構成しているので、Ｚ軸電機子巻線とθ軸電機子巻線を合わせたＺ方向長さが最小となり、固定子の高さを最も小さくすることができる。よって、偏平なθＺアクチュエータを実現することができる。
本発明によると、Ｚ軸コイルを結線する渡り線をθ軸コイル間に配置しているので、θ軸電機子巻線のＺ方向長さＬθを小さくすることができ、固定子の高さを小さくすることができる。よって、偏平なθＺアクチュエータを実現することができる。
本発明によると、θ軸コイルの断面形状の曲率半径Ｒをθ軸電機子巻線の内径Ｄの関係がＲ＜Ｄ／２となるように構成しているので、θ軸コイルとＺ軸コイルとの間に空間が生まれ、そこにＺ軸コイルを結線する渡り線を配置することができる。よって、θ軸電機子巻線のＺ方向長さＬθを小さくすることができ、固定子の高さを小さくすることができる。よって、偏平なθＺアクチュエータを実現することができる。
本発明によると、θ軸コイルの断面形状を内径側に窪みを有する形状に形成しているので、その窪みにＺ軸コイルを結線する渡り線を配置することができる。よって、θ軸電機子巻線のＺ方向長さＬθを小さくすることができ、固定子の高さを小さくすることができる。よって、偏平なθＺアクチュエータを実現することができる。
本発明によると、θ軸コイルを平板状に形成しているので、円筒状のＺ軸コイルとの間に空間が生まれ、そこにＺ軸コイルを結線する渡り線を配置することができる。よって、θ軸電機子巻線のＺ方向長さＬθを小さくすることができ、固定子の高さを小さくすることができる。よって、偏平なθＺアクチュエータを実現することができる。
本発明によると、θ軸リード線とＺ軸リード線を一本のケーブルにまとめているので省配線化できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明のθＺアクチュエータの斜視図
【図２】本発明の第１実施例におけるθＺアクチュエータの側面から見た断面図
【図３】本発明の第１実施例における渡り線の配置を示す巻線展開図
【図４】本発明の第１実施例における固定子の側面から見た断面拡大図
【図５】本発明の第２実施例における固定子の側面から見た断面拡大図
【図６】本発明の第３実施例におけるθ軸コイルの断面形状図
【図７】本発明の第３実施例における渡り線の配置を示す展開図
【図８】本発明の第４実施例におけるθ軸コイルの断面形状図
【図９】本発明の第５実施例におけるθ軸コイルの断面形状図
【図１０】本発明の第６実施例におけるケーブルの構成を示す図
【図１１】従来のθＺアクチュエータの側面から見た断面図
【図１２】図１１におけるＡ−Ａ断面図
【図１３】図１１におけるＢ−Ｂ断面図
【図１４】従来の渡り線の配置を示す巻線展開図
【図１５】従来の固定子の側面から見た断面拡大図
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例１】
【０００９】
図１は本発明の第１実施例におけるθＺアクチュエータの斜視図である。図２は側面から見た断面図、図３は渡り線の配置を示す巻線展開図、図４は固定子の側面から見た断面拡大図である。これら図において構成要素はすべて従来技術と同じであるため、同一の符号を付している。なお、図１では電機子コア１０３を除いた図となっている。また、図１におけるＡ−Ａ断面、Ｂ−Ｂ断面は図１２、図１３と同じである。
本発明の特徴は、楕円環状のθ軸コイル１２１〜１２３の空心部のＺ方向長さＬαとＺ軸電機子巻線１０１のＺ方向長さＬＺの関係をＬα＜ＬＺとなるように構成し、かつ、Ｚ軸コイル１１１〜１１６を結線する渡り線１３１〜１３３を、θ軸コイル１２１〜１２３間に配置させたことである。
図１に示すように、θＺアクチュエータは外周側に固定子１００、内周側に可動子２００が配置され、可動子２００が固定子１００に対し、θ方向とＺ方向の両方向に移動するものである。可動子２００は、界磁ヨーク２０１の外周表面の上側に永久磁石２０２ｓ、下側に永久磁石２０２ｎが配置され構成されている。永久磁石２０２ｓと永久磁石２０２ｎは各個数２０個であり、Ｚ方向にずれて配置されるとともに、θ方向にもずれて配置されている。このように配置されることで、Ｚ方向に２極、θ方向に４０極の磁極を形成している。
一方、固定子１００は、永久磁石２０２ｓ、２０２ｎと空隙を介して、内周側からＺ軸電機子巻線１０１、θ軸電機子巻線１０２、電機子コア１０３が配置され構成されている。ここで、Ｚ軸電機子巻線１０１、θ軸電機子巻線１０２、電機子コア１０３は、各間に所定の絶縁層を挟み、モールド樹脂（図示なし）によって一体に固定されている。Ｚ軸電機子巻線１０１、θ軸電機子巻線１０２の詳細な構造は従来技術で示したものと同じであるため説明を省略する。以下、本発明の主要な部分となる渡り線１３１〜１３３の配置と固定子１００の断面形状について説明する。
θ軸コイル１２１〜１２３はθ方向の幅が従来技術に比べやや小さく形成されており、θ軸コイル１２１〜１２３の各間に隙間が設けられている。そして、Ｚ軸コイル１１１〜１１６の同相同士のコイルを結線する渡り線１３１〜１３３がその隙間を通るようにして配置されている。このように構成とすることで、Ｚ軸電機子巻線１０１のＺ方向長さ（Ｚ軸コイル１１１〜１１６のＺ方向長さの総和）ＬＺとθ軸コイル１２１〜１２３の空心部のＺ方向長さＬαとの関係をＬα＜ＬＺとすることができる。その結果、θ軸電機子巻線１０２のＺ方向長さ（θ軸コイルのＺ方向長さと同じ）Ｌθが従来のものに比べ小さくなっている。
また、電機子コア１０３のＺ方向長さＬＣとθ軸電機子巻線１０２のＺ方向長さＬθがほぼ等しくなるように構成されている。
【００１０】
以上のような構成のθＺアクチュエータは、従来技術と同様、θ軸電機子巻線１０２に三相交流電流を通電すると回転磁界が発生し、Ｚ軸電機子巻線１０１に三相交流電流を通電すると進行磁界が発生する。それら磁界と可動子２００の磁極との電磁作用によって、可動子２００はθ方向にトルク、Ｚ方向に推力を発生し、両方向に移動することができる。
【００１１】
以上のような構成により、θ軸電機子巻線のＺ方向長さＬθを小さくすることができ、電機子コアを含む固定子の高さを小さくすることができる。よって、偏平なθＺアクチュエータを実現することができる。
【実施例２】
【００１２】
図５は第２実施例における固定子の側面から見た断面拡大図である。
第２実施例が第１実施例と異なる点は、Ｚ軸電機子巻線１０１のＺ方向長さＬＺとθ軸電機子巻線１０２のＺ方向長さＬθをほぼ等しい長さとなるように構成した点である。なお、Ｚ軸コイル１１１〜１１６を結線する渡り線１３１〜１３３は、実施例１と同じ配置となっている。
【００１３】
このような構成により、Ｚ軸電機子巻線とθ軸電機子巻線を合わせたＺ方向長さが最小となるので、固定子の高さを最も小さくすることができる。よって、偏平なθＺアクチュエータを実現することができる。
【実施例３】
【００１４】
図６は第３実施例におけるθ軸コイルの断面形状図である。図７は渡り線の配置を示す巻線展開図である。図において、１２１ａはθ軸コイルである。
第３実施例が第１〜２実施例と異なる点は、θ軸コイル１２１ａの断面形状の曲率半径Ｒを、θ軸電機子巻線１０２の内径Ｄの１／２よりも小さくなるように形成した点である。θ軸コイル１２１ａの断面形状をＲ＜Ｄ／２とすることで、θ軸コイル１２１ａとＺ軸コイル１１１〜１１６との間に空間が生まれる。その空間に、Ｚ軸コイル１１１〜１１６を結線する渡り線１３１を配置している。なお、他のθ軸コイルや渡り線も同様にして構成している。
【００１５】
このような構成により、θ軸コイルの空心部のＺ方向長さＬαを大きくする必要が無くなり、θ軸電機子巻線のＺ方向長さＬθとともに固定子の高さを小さくすることができる。よって、偏平なθＺアクチュエータを実現することができる。
【実施例４】
【００１６】
図８は第４実施例におけるθ軸コイルの断面形状図である。図において、１２１ｂはθ軸コイルである。
第４実施例が第１〜３実施例と異なる点は、θ軸コイル１２１ｂの断面形状を内径側に窪みを有する形状に形成した点である。図８はθ軸コイル１２１ｂを２つの鈍角を有する形状に形成した例である。その結果、θ軸コイル１２１ｂの頂点付近とＺ軸コイル１１１〜１１６との間に空間が生まれる。その空間に、Ｚ軸コイル１１１〜１１６を結線する渡り線１３１を配置している。なお、他のθ軸コイルや渡り線も同様にして構成している。
【００１７】
このような構成により、θ軸コイルの空心部のＺ方向長さＬαを大きくする必要が無くなり、θ軸電機子巻線のＺ方向長さＬθとともに固定子の高さを小さくすることができる。よって、偏平なθＺアクチュエータを実現することができる。
【実施例５】
【００１８】
図９は第５実施例におけるθ軸コイルの断面形状図である。図において、１２１ｃはθ軸コイルである。
第５実施例が第１〜４実施例と異なる点は、θ軸コイル１２１ｃの断面形状を平板状に形成した点である。θ軸コイル１２１ｃを平板状に形成したことで、その左右両側でＺ軸コイル１１１〜１１６との間に空間が生まれる。その空間に、Ｚ軸コイル１１１〜１１６を結線する渡り線１３１を配置している。なお、他のθ軸コイルや渡り線も同様にして構成している。
【００１９】
このような構成により、θ軸コイルの空心部のＺ方向長さＬαを大きくする必要が無くなり、θ軸電機子巻線のＺ方向長さＬθとともに固定子の高さを小さくすることができる。よって、偏平なθＺアクチュエータを実現することができる。
【実施例６】
【００２０】
図１０は第６実施例におけるケーブルの構成を示す図である。図において、１５０がＺ軸リード線、１６０がθ軸リード線、１７０がケーブルである。
Ｚ軸電機子巻線１０１は、渡り線１３１〜１３３が引き出された先でＺ軸リード線１５０と接続されている。Ｚ軸リード線１５０は、三相であるためにＵ相、Ｖ相、Ｗ相の３本で構成されている。また、θ軸リード線１６０も、三相であるためにＵ相、Ｖ相、Ｗ相の３本で構成されている。そして、Ｚ軸リード線１５０とθ軸リード線１６０は、ケーブル１７０によって一本にまとめられている。なお、必要に応じてアース線（図示なし）もケーブル１７０内に収納される。
【００２１】
このような構成により、Ｚ軸リード線とθ軸リード線のリード線を１本のケーブルにまとめているので、θＺアクチュエータを省配線化できる。
【００２２】
なお、実施例１〜６では、可動子を内径側、固定子を外径側に配置する構成としたが、可動子を外径側、固定子を内径側に配置する構成としても、本発明の効果が得られることは言うまでもない。また、可動子に界磁とする永久磁石、固定子に電機子とする巻線を配置する構成としたが、可動子に電機子とする巻線、固定子に界磁とする永久磁石を配置する構成としても良い。また、Ｚ軸電機子巻線、θ軸電機子巻線ともに三相として説明したが、単相や二相としても良い。また、固定子に電機子コアを設ける構造としたが、電機子コアを設けないコアレス形としても良い。また、Ｚ軸電機子巻線を内径側、θ軸電機子巻線を外径側に配置する構成としたが、Ｚ軸電機子巻線を外径側、θ軸電機子巻線を内径側に配置する構成としても良い。また、可動子の永久磁石をＺ方向とθ方向にずらして配置（千鳥状に配置）したが、永久磁石の配置はこれだけによらず、可動子にトルクと推力の両方向の力が発生するように配置されていれば、本発明の効果が得られることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
本発明のθＺアクチュエータは従来のものに比べ偏平にできるので、例えば、光学ステージや各種ロボットの駆動にも使用することができる。
【符号の説明】
【００２４】
１００  固定子
１０１  Ｚ軸電機子巻線
１０２  θ軸電機子巻線
１０３  電機子コア
１１１〜１１６  Ｚ軸コイル
１２１〜１２３、１２１ａ、１２１ｂ、１２１ｃ  θ軸コイル
１３１〜１３３  渡り線
１５０  Ｚ軸リード線
１６０  θ軸リード線
１７０  ケーブル
２００  可動子
２０１  界磁ヨーク
２０２ｓ、２０２ｎ  永久磁石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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