(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
母体となるＡｌ2 Ｏ3 にドープ剤としてＳｃが添加される下記組成式（Ａ）で表されることを特徴とする紫外線発光材料。
（Ａｌ1-x Ｓｃx ）2 Ｏ3 …（Ａ）
（但し、上記式（１）中のｘは、０＜ｘ＜１を満たす）
【請求項２】
前記組成式（Ａ）中のｘが、０．０００７８〜０．０４０の範囲にあることを特徴とする請求項１記載の紫外線発光材料。
【請求項３】
Ａｌ（ＯＨ）3 粉末にドープ剤としてＳｃＣｌ3 粉末を混合し、焼成して得られる粉末状発光材料であることを特徴とする請求項１又は２記載の紫外線発光材料。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかに記載の紫外線発光材料を所定の発光パタン形状に形成した蛍光体層を有する陽極と、
電子を放出する陰極と、
前記陽極と前記陰極との間に設けられ、前記陰極から電子を引き出して加速制御する加速制御電極と、を外囲器内に真空封止して備え、
前記陰極から放出された前記電子を前記加速制御電極で加速制御し、前記陽極に高電圧を印可して前記蛍光体層に前記電子を射突させて当該蛍光体層を発光させることを特徴とする紫外線光源。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、紫外線（特に波長２８０ｎｍ未満のＵＶ−Ｃ）を発光する紫外線発光材料及び紫外線光源に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
紫外線は、細菌細胞内に吸収されると細胞内の核蛋白構造が化学変化して細菌生命の維持や新陳代謝に障害をきたし、増殖能力の消失や原形質の破壊が起こることで死滅すると考えられており、特にＵＶ−Ｃ領域である２５４ｎｍの近紫外線（殺菌線ともいう）は最も殺菌力が高いとされている。そして、このような細菌の殺菌原理を応用した病院・食品加工・上下水道の殺菌用光源や、光触媒による環境汚染物質の分解処理法の光源など、幅広い分野での利用が期待できる。
【０００３】
ところで、近紫外線を発光する近紫外線光源として、殺菌線の由来でもある水銀を用いた低圧水銀ランプ（ピーク波長：２５４ｎｍ）を用いた殺菌装置が広く普及しているが、漏洩時に環境や人体に及ぼす影響により、水銀の使用はＲｏＨＳ指令等で規制されている。
【０００４】
このため、低圧水銀ランプで使用される水銀に代わる化学的に安定・無害な新規の発光源として、例えば下記特許文献１に開示されるような六方晶窒化ホウ素（ｈＢＮ）を用いた紫外線発光材料の開発が行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−９０９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、低圧水銀ランプと特許文献１に開示されるｈＢＮを発光源とするＣＬ（Cathode luminescence）方式の紫外線光源（以下、「ｈＢＮ紫外線光源」という）との比較結果（出力スペクトルの波長、殺菌性能、寿命特性）について説明する。
【０００７】
（Ａ．出力スペクトルの波長比較について）
図７（ａ）は、低圧水銀ランプと特許文献１に開示されるｈＢＮ紫外線光源との紫外線スペクトル及び殺菌効果の波長依存性とを比較したグラフである。
【０００８】
図示のように、低圧水銀ランプにおける出力スペクトルのピーク波長は、所謂、殺菌線の出力スペクトルである２５４ｎｍであるのに対し、ｈＢＮ紫外線光源における出力スペクトルのピーク波長は２２３ｎｍであり、低圧水銀ランプのピーク波長と比して３０ｎｍ程度短波長側にシフトしたスペクトル特性を示している。そして、各光源における紫外線スペクトルのピーク波長と、ＪＩＳ−Ｚ−８８１１で規定される殺菌効果相対値と比較すると、ｈＢＮ紫外線光源では、殺菌用途として波長が短すぎるため、低圧水銀ランプのような殺菌効果を得ることができなかった。
【０００９】
（Ｂ．殺菌性能の比較について）
図７（ｂ）は、低圧水銀ランプと、ｈＢＮ紫外線光源との発光強度及び殺菌能力の比較を示した表である。
【００１０】
図示のように、低圧水銀ランプの発光強度は１０．０ｍＷ／ｃｍ2 であるのに対し、ｈＢＮ紫外線光源の発光強度は０．９ｍＷ／ｃｍ2 と、低圧水銀ランプと比べて１／１０程度の発光強度しか得られていないことがわかる。
【００１１】
また、下記（手順１）〜（手順３）に示す算出手順に従って、低圧水銀ランプとｈＢＮ紫外線光源の殺菌効率及び殺菌能力を算出した。
（手順１）発光スペクトルの全積分値が１となるように（∫ｆ（λ）ｄλ＝１）規格化したスペクトルｆ（λ）を算出する。
（手順２）各波長の殺菌効果相対値をＸ（λ）として、∫Ｘ（λ）ｆ（λ）ｄλを「殺菌効率」として定める。
（手順３）「発光強度」と算出した「殺菌効率」との積を「殺菌能力」として定める。
【００１２】
上記方法により算出された各光源の殺菌効率及び殺菌能力を比較すると、殺菌効率及び殺菌能力共に、低圧水銀ランプの方がｈＢＮ紫外線光源よりも優れていることが確認された。
【００１３】
以上のように、ｈＢＮ紫外線光源の場合、低圧水銀ランプのように人体に影響を及ぼすような物質（水銀）を使用していないため、環境面では非常に優れ、さらには面発光による発光面の大面積化が図れるが、発光強度、紫外線スペクトルのピーク波長、寿命特性等を鑑みると、低圧水銀ランプと比べて劣るという問題があった。
【００１４】
本願発明者等は、上記２種類の紫外線発光材料の問題点を改善しつつ、両発光材料の長所を兼ね備えた新規の紫外線発光材料及び紫外線光源の開発に取り組み、鋭意研究の結果、低圧水銀ランプのピーク波長に近い波長と発光強度を有し、さらにｈＢＮ紫外線光源のような面発光による発光効率の向上が図れる紫外線発光材料及びこれを用いた紫外線光源の開発に成功した。
【００１５】
そこで、本発明は上述した問題点を解消するため、人体に悪影響を及ぼすことなく、殺菌性能の向上及び発光効率の向上が図れる紫外線発光材料及び紫外線光源を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記した目的を達成するために、請求項１記載の紫外線発光材料は、母体となるＡｌ2 Ｏ3 にドープ剤としてＳｃが添加される下記組成式（Ａ）で表されることを特徴とする。
（Ａｌ1-x Ｓｃx ）2 Ｏ3 …（Ａ）
（但し、上記式（１）中のｘは、０＜ｘ＜１を満たす）
【００１７】
請求項２記載の紫外線発光材料は、請求項１記載の紫外線発光材料において、前記組成式（Ａ）中のｘが、０．０００７８〜０．０４０の範囲にあることを特徴とする。
【００１８】
請求項３記載の紫外線発光材料は、請求項１又は２記載の紫外線発光材料において、Ａｌ（ＯＨ）3 粉末にドープ剤としてＳｃＣｌ3 粉末を混合し、焼成して得られる粉末状発光材料であることを特徴とする。
【００１９】
請求項４記載の紫外線光源は、請求項１〜３の何れかに記載の紫外線発光材料を所定の発光パタン形状に形成した蛍光体層を有する陽極と、
電子を放出する陰極と、
前記陽極と前記陰極との間に設けられ、前記陰極から電子を引き出して加速制御する加速制御電極と、を外囲器内に真空封止して備え、
前記陰極から放出された前記電子を前記加速制御電極で加速制御し、前記陽極に高電圧を印可して前記蛍光体層に前記電子を射突させて当該蛍光体層を発光させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の紫外線発光材料によれば、低圧水銀ランプのように水銀を使用していないため人体に影響を及ぼすことがなく、またｈＢＮ紫外線発光材料と比して殺菌性能の向上及び発光効率の向上を図ることができる。
【００２１】
また、紫外線発光材料を合成する際に、Ａｌ（ＯＨ）3 粉末とＳｃＣｌ3 粉末とを混合した後に焼成することで、発光性能が安定するとともに、紫外線光源に適用しやすい粉末状の紫外線発光材料を合成することができる。
【００２２】
さらに、上記紫外線発光材料を用いた紫外線光源によれば、面発光による発光効率が高い水銀フリーな紫外線発光材料を用いているため、半導体分野（フォトリソグラフィーの高細密化）、情報分野（次世代大容量光ディスク）、医療、生体分野（眼科治療、ＤＮＡ切断、表面改質、殺菌処理等）等の多岐にわたる産業分野において多大な利益を寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る紫外線発光材料を用いた紫外線光源の概略断面図である。
【図２】合成した紫外線発光材料のＳＥＭ写真である。
【図３】作製した粉末状合成物をＸ線回折スペクトル（ＸＲＤ）で分析したときの分析結果を示すチャートである。
【図４】本例の紫外線発光材料における（Ａｌ1-x Ｓｃx ）2 Ｏ3 のｘの値と発光強度との関係を示したグラフである。
【図５】本例の（Ａｌ1-x Ｓｃx ）2 Ｏ3 紫外線光源の出力スペクトル及び発光強度との関係と、殺菌効果の波長依存性との関係を示すグラフである。
【図６】本例の（Ａｌ1-x Ｓｃx ）2 Ｏ3 紫外線光源と、比較対象となるｈＢＮ紫外線光源との発光強度、出力スペクトルのピーク波長、殺菌効率、殺菌能力、殺菌能力相対値を比較した表である。
【図７】（ａ）は、低圧水銀ランプと特許文献１に開示されるｈＢＮ紫外線光源との紫外線スペクトル及び殺菌効果の波長依存性とを比較したグラフであり、（ｂ）は低圧水銀ランプとｈＢＮ紫外線光源との紫外線強度及び殺菌能力の比較を示した表である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明を実施するための形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではなく、この形態に基づいて当業者等によりなされる実施可能な他の形態、実施例及び運用技術等はすべて本発明の範疇に含まれる。
【００２５】
まず、本発明の紫外線発光材料を用いた紫外線光源について説明する。本例の紫外線光源は、紫外線発光材料に高電圧（数ｋＶ以上）で発光させる面状光源であり、発光の安定化、小型化、発光の均一性の改善を図ったものである。
【００２６】
［紫外線光源の構成］
図１に示す紫外線光源１は、内部が真空状態に気密保持された箱状（直方体形状）の外囲器２内に陽極３、シールド電極４（第２グリッド）、加速制御電極（第１グリッド）５、陰極６が所定間隔をおいて配設された極管構造をなしている。
【００２７】
外囲器２は、透光性を有する石英ガラス若しくはＹＡＧ（Yttrium Aluminum Garnet ）からなる矩形状の第１基板（陽極基板）７と、ソーダライムガラスからなる矩形状の第２基板（背面基板）８を所定間隔をおいて対向配置し、これら基板７、８の外周部分に、ソーダライムガラス等の絶縁材料からなる枠状の側面板９をフリットガラスにより気密封止して組み立てたものである。外囲器２内は、図示しない排気管より真空排気され、内部に設けられる各種電極（陽極３、シールド電極４、加速制御電極５、陰極６等）が高真空雰囲気に保持される。
【００２８】
図１の例における陽極３は、例えばＡｌ薄膜等からなる枠状の導体部分における開口部分に蛍光体層３ａが所定形状（矩形状等）をなして被着形成されている。陽極３には、不図示のリード端子を介して常時数ｋＶ以上の高電圧が印加されており、陰極６から放出される電子が蛍光体層３ａの表面に射突することにより蛍光体層３ａが発光する。
【００２９】
シールド電極４は、例えば４２６合金等の導電性金属からなり、外囲器２内における加速制御電極５の上方に所定距離をおいて並設される。シールド電極４は、加速制御電極５と対向する表面に加速制御電極５よりも目の細かいメッシュ状又はスリット状の開口部４ａを有している。シールド電極４は、不図示のリード端子によって外囲器２の封着部分を気密に貫通して外部へ導出され、加速制御電極４よりも高い電圧、例えば２０〜３０Ｖの電圧が常時印加される。  
【００３０】
加速制御電極５は、例えば４２６合金等の導電性金属からなる。加速制御電極５は、陽極３と陰極６との間に所定間隔をおいて外囲器２内に設けられており、表面には目の細かいメッシュ状又はスリット状の開口部５ａを有している。この開口部５ａが形成された加速制御電極５の表面の面積は、蛍光体層３ａの蛍光体パタン（発光パタン）の面積よりも小さくなっている。これにより、発光部以外への無効な電流を減らしている。また、加速制御電極５は、不図示のリード端子によって外囲器２の封着部分を気密に貫通して外部へ導出されている。
【００３１】
陰極６は、外囲器２内の加速制御電極５と背面基板８との間に、陽極３の長手方向に沿って張架して設けられる。本例の陰極６は、加熱により電子を放出するフィラメント状の線状陰極であって、一般的に直熱型陰極と呼ばれるものが使用される。また、陰極６は、不図示のリード端子によって外囲器２の封着部分を気密に貫通して外部へ導出される。
【００３２】
陰極６は、紫外線光源１と紫外線照射対象物とを相対移動させる場合、短手方向に陰極６を張架させると、主方向（長手方向）に周期的な輝度ムラが発生するため、長手方向に張架するのが好ましく、これによって主方向（長手方向）に均一発光させることができる。陰極６としては、上記線状の直熱型陰極の他、フィールドエミッション（電界放出素子）、カーボンナノチューブ等の電子源でも同様な効果が得られる。
【００３３】
また、外囲器２内における陰極６を挟んで加速制御電極５と対面する背面基板８寄りには、例えば４２６合金等の導電性金属からなる背面電極１０が設けられている。
【００３４】
背面電極１０は、加速制御電極５と共通になっており、陰極６からの距離が加速制御電極５と陰極６との間の距離と同等かそれ以上離れて配置されている。すなわち、背面電極１０は、陰極６と背面電極１０との間の距離と、陰極６と加速制御電極５との間の距離における比が、陰極６と背面電極１０との間の距離≧陰極６と加速制御電極５との間の距離となるように配設される。そして、背面電極１０は、プラスの電位になることにより、陰極６から出る電子流を広げる効果がある。
【００３５】
なお、背面電極１０と加速制御電極５が共通になっているのは、製造上作り易いためであるが、背面電極１０と加速制御電極５を分離した構成することも可能である。その場合には、背面電極１０と加速制御電極５は別々に制御される。これにより、さらに電子流のシールド状態が良好な条件を作り出すことも可能である。なお、上記背面電極１０の構成を省くこともできる。
【００３６】
［紫外線発光材料］
次に、蛍光体層３ａに形成される紫外線発光材料について説明する。
本例の紫外線発光材料は、母体となるＡｌ2 Ｏ3 にドープ剤としてＳｃが添加され、その組成は下記組成式（Ａ）で表される。
【００３７】
組成式（Ａ）：（Ａｌ1-x Ｓｃx ）2 Ｏ3 
なお、上記組成式（Ａ）において、ｘは０＜ｘ＜１の範囲であり、好ましくはｘ＝０．０００７８〜０．０４０がよい。
【００３８】
本例の紫外線発光材料は、原料となるＡｌ（ＯＨ）3 が焼成時の温度上昇に伴いＡｌ2 Ｏ3 が生成されると、この生成過程において母体となるＡｌ2 Ｏ3 における一部のＡｌがＳｃに置換する反応（所謂、固相反応）が起こることで、上記組成式（Ａ）で表される合成物（コランダム）が生成される。なお、生成物のｍｏｌ数は、重量から換算することで得られる。
【００３９】
また、本例の紫外線発光材料を作製するにあたり、単結晶のものよりも粉末状の方が、デバイス作製を行う上で加工しやすく、また単結晶を粉砕して粉末にすると結晶が破壊されるので、所望する効率の発光を示さなくなる虞がある。
【００４０】
従って、本例の紫外線発光材料の原料となるＡｌ（ＯＨ）3 及びＳｃＣｌ3 を共に粉末材料を用いて合成することで、紫外線発光材料の粒径が約１〜１０μｍ程度の粉末状材料として合成することができる。
【００４１】
図２は、合成した紫外線発光材料のＳＥＭ写真である。図示のように、合成された紫外線発光材料は、単結晶を粉砕したときのような角張った歪な形状ではなく、表面が滑らかな粒形を成していることがわかる。
【００４２】
さらに、上記組成式（Ａ）の組成からなる紫外線発光材料において、ドープ剤として添加されるスカンジウムの比率を高くすることでスカンジウムの濃度が増加し、これに伴いスカンジウム原子同士の相互作用が起こる、所謂、濃度消光が生じてしまうことがある。そのため、上記組成式（Ａ）では、ｘが０＜ｘ＜１の範囲、好ましくはｘが０．０００７８〜０．０４０の範囲となるように規定している。
【実施例】
【００４３】
次に、本発明に係る紫外線発光材料の合成工程及びこの紫外線発光材料を用いた紫外線光源の製造工程について具体的な実施例に沿って説明する。なお、下記に示す製造方法は、本発明を限定するものではなく、前・後記の趣旨に照らし合わせて設計や手順等を適宜変更することは何れも本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【００４４】
［紫外線発光材料の製造方法］
本例の紫外線発光材料の製造方法では、下記の原料を用いた。
・Ａｌ（ＯＨ）3 粉末：１．５４ｇ
・ＳｃＣｌ3 粉末：２９．８ｍｇ
【００４５】
まず、原料を混合してアルミナるつぼに移し、電気炉にセットして１５００℃で２時間焼成して合成物を得た。加熱中の雰囲気は大気中でよい。次に、室温まで戻した合成物を乳鉢に移し、陽極基板７上の陽極３に印刷形成する際に適した大きさになるまでほぐして粉末状とした。
【００４６】
図３は、この粉末状合成物をＸ線回折スペクトル（ＸＲＤ）で分析したときの分析結果を示すチャートである。上記作製工程において、単にＡｌ2 Ｏ3 粉末とＳｃ2 Ｏ3 粉末とが混ざっている状態であると、例えばＳｃ2 Ｏ3 が０．５％混合されたＡｌ2 Ｏ3 とＳｃ2 Ｏ3 の単なる混合物の場合は、３１．５°にＳｃ2 Ｏ3 の最強線が現れるが、合成した合成物では、（Ａｌ1-x Ｓｃx ）2 Ｏ3 のｘが０．００７８あるにも拘わらずＳｃ2 Ｏ3 の最強線が検出されず、Ａｌ2 Ｏ3 のコランダムのみのスペクトルが検出された。従って、粉末合成物中には、Ｓｃ2 Ｏ3 の結晶が含有されておらず、Ａｌ2 Ｏ3 のコランダムのみからなる結晶相であることが確認できた。
【００４７】
また、得られた粉末状合成物をＸ線蛍光スペクトル（ＸＲＦ）で分析した結果、粉末にＳｃ原子が含有されていることが確認された。
【００４８】
以上のことから、合成されたＡｌ2 Ｏ3 のコランダム結晶にはＳｃ原子が含まれており、また作成した粉末状合成物に六方晶Ｓｃ2 Ｏ3 結晶は含まれておらず、合成した粉末状合成物は、上記組成式（Ａ）で表されるコランダム構造を有した合成物であることが確認された。
【００４９】
［紫外線光源の製造方法］
まず、上記粉末状合成物を紫外線発光材料と、蛍光表示管（ＶＦＤ）製造時に使用される一般的な有機溶剤及びバインダーとを混合して紫外線光源に使用可能な蛍光体ペーストを作製した。次に、作製した蛍光体ペーストを陽極基板に対しスクリーン印刷法によって所定の発光パタンを形成した後に焼成し、蛍光体ペーストに含有されるバインダー及び有機溶剤を分解消失させた。
【００５０】
次に、一般的な蛍光表示管の製造方法に則り、作製した蛍光体ペーストを所定の発光パタンで印刷した陽極３を内面側に形成した陽極基板７と、背面電極１０を内面側に形成した背面基板８との間に、シールド電極４、加速制御電極５、陰極６を所定間隔で配置した状態で気密封止し、面発光可能な紫外線光源を製造した。
【００５１】
［性能検証］
次に、上記のように作製した紫外線光源の性能を検証した。本例の紫外線発光材料の比較対象として、特開２００７−９０９５号公報に開示される六方晶窒化ホウ素単結晶（ｈＢＮ）粉末を紫外線発光材料として使用した。そして、このｈＢＮ粉末を本例の紫外線発光材料と同様に蛍光体ペーストにし、本例の紫外線光源と同製法で作製した紫外線光源を使用した。
【００５２】
なお、各光源の測定条件は、アノードを５ｋＶ−０．１５ｍＡで駆動し、発光面積を１ｃｍ2 、測定距離を１０ｍｍとした。また、対比される殺菌効率及び殺菌能力の算出方法は、従来技術でも説明したように、ＪＩＳ−Ｚ−８８１１で規定される殺菌効果相対値を用いた算出方法（手順１〜手順３）を使用した。
【００５３】
（Ｓｃ組成比に対する発光強度）
図４は、本例の紫外線発光材料における（Ａｌ1-x Ｓｃx ）2 Ｏ3 のｘの値と発光強度との関係を示したグラフである。なお、今回の実験範囲では、（Ａｌ1-x Ｓｃx ）2 Ｏ3 のｘの範囲を０．０００７８〜０．００４０として規定し、各点における放射照度は以下の通りである。
・Ａ点（ｘ＝０．０００７８）の発光強度：２．６４ｍＷ／ｃｍ2 
・Ｂ点（ｘ＝０．００１６）の発光強度：３．０３ｍＷ／ｃｍ2 
・Ｃ点（ｘ＝０．００４１）の発光強度：４．６８ｍＷ／ｃｍ2 
・Ｄ点（ｘ＝０．００７９）の発光強度：４．９８ｍＷ／ｃｍ2 
・Ｅ点（ｘ＝０．０２０）の発光強度：５．０２ｍＷ／ｃｍ2 
・Ｆ点（ｘ＝０．０４０）の発光強度：２．９１ｍＷ／ｃｍ2 
【００５４】
図示のように、同条件によって作製したｈＢＮ紫外線光源の放射照度が０．３８ｍＷ／ｃｍ2 であった。これにより、本例の（Ａｌ1-x Ｓｃx ）2 Ｏ3 紫外線光源は、ｈＢＮ紫外線光源に比べて約１０〜１５倍程度の発光強度が得られていることが確認できた。
【００５５】
（出力スペクトルのピーク波長及び発光強度の対比）
図５は、本例の（Ａｌ1-x Ｓｃx ）2 Ｏ3 紫外線発光材料を用いた紫外線光源の出力スペクトル及び発光強度との関係と、殺菌効果の波長依存性との関係を示すグラフである。また、図６は、本例の（Ａｌ1-x Ｓｃx ）2 Ｏ3 紫外線光源と、比較対象となるｈＢＮ紫外線光源との発光強度、出力スペクトルのピーク波長、殺菌効率、殺菌能力、殺菌能力相対値を比較した表である。
【００５６】
図５、図６に示すように、比較対象であるｈＢＮ紫外線光源における出力スペクトルのピーク波長は２２１ｎｍ、発光強度が０．３８ｍＷ／ｃｍ2 であるのに対し、本例の（Ａｌ1-x Ｓｃx ）2 Ｏ3 紫外線光源における出力スペクトルのピーク波長が２３３ｎｍ、発光強度が５．７ｍＷ／ｃｍ2 であった。これにより、本例の（Ａｌ1-x Ｓｃx ）2 Ｏ3 紫外線光源のピーク波長は、ｈＢＮ紫外線光源のピーク波長よりも殺菌線（２５４ｎｍ）に近付いていることが確認された。
【００５７】
（殺菌効率、殺菌能力及び殺菌能力相対値の対比）
図６に示すように、比較対象であるｈＢＮ紫外線光源における殺菌効率が０．３６、殺菌能力が０．１４であるのに対し、本例の（Ａｌ1-x Ｓｃx ）2 Ｏ3 紫外線光源では殺菌効率が０．５４、殺菌能力が３．１であることが確認された。なお、殺菌能力が「１」高くなると、同一条件による細菌の死滅数が２倍（すなわち、殺菌時間が１／２）となる。また、殺菌能力相対値としては、ｈＢＮ紫外線光源を「１」としたときに、本例の（Ａｌ1-x Ｓｃx ）2 Ｏ3 紫外線光源は「２３」となることが確認された。従って、本例の（Ａｌ1-x Ｓｃx ）2 Ｏ3 紫外線光源は、ｈＢＮ紫外線光源よりも格段に殺菌効率及び殺菌能力が高いことが確認された。
【００５８】
以上のように、本例の（Ａｌ1-x Ｓｃx ）2 Ｏ3 紫外線光源は、ｈＢＮ紫外線光源と比べてピーク波長及び発光強度が共に低圧水銀ランプに近付き、また殺菌効率及び殺菌能力がｈＢＮ紫外線光源と比べて優れていることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明によれば、人体に影響を及ぼすことなく、殺菌性能の向上及び発光効率の向上が図れる紫外線発光材料を提供することができるため、この紫外線発光材料を用いて作製した紫外線光源が利用可能な種々の装置（ＴＡ方式プリンタ、ＵＶ樹脂硬化装置、殺菌装置、オゾン洗浄装置、表面改質装置、脱臭装置、蛍光分析装置、紙幣識別装置、検査鑑別器、捕虫用装置等）に対して非常に有用である。
【符号の説明】
【００６０】
１…紫外線光源
２…外囲器
３…陽極（３ａ…蛍光体層）
４…シールド電極（４ａ…開口部）
５…加速制御電極（５ａ…開口部）
６…陰極
７…第１基板（陽極基板）
８…第２基板（背面基板）
９…側面板
１０…背面電極
【図１】
0005569987.tif 000002
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図２】
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