(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電源を供給する定電流器と、
基板を固定する多数のクランプ、前記クランプそれぞれに装着されて電流情報を検出するホール電流センサ、及び前記ホール電流センサに連結されて前記電流情報を外部に無線送信する無線通信モジュールを含むカソードハンガー（ｃａｔｈｏｄｅ  ｈａｎｇａｒ）と、
めっき槽の上部に前記カソードハンガーが多数装着され、前記定電流器に連結された電流レールと、
前記定電流器から延長連結され、前記めっき槽のめっき液に沈殿されたアノード部と、
を含む基板めっき装置。
【請求項２】
前記カソードハンガーは、
前記電流レールにスライド移動式に支持できる水平支持台及び懸垂支持台と、
前記水平支持台の上部に備えられた給電部と、
前記給電部に結合された通電ベースと、
前記懸垂支持台の下部に備えられたレールガイドと、
前記レールガイドに位置する可変スライドと、をさらに含み、
前記基板を固定する多数のクランプが前記可変スライドに装着される請求項１に記載の基板めっき装置。
【請求項３】
前記無線通信モジュールは、前記懸垂支持台の一側に装着される請求項２に記載の基板めっき装置。
【請求項４】
前記無線通信モジュールは、
ジグビー（ｚｉｇｂｅｅ）、ブルートゥース（ｂｌｕｅ  ｔｏｏｔｈ）、ＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）、及びワイファイ（Ｗｉｆｉ）のうち何れか一つの近距離無線通信方式を利用する請求項１に記載の基板めっき装置。
【請求項５】
前記無線通信モジュールは、
前記ホール電流センサに連結されて前記クランプそれぞれに対する電流情報を受信し、前記電流情報を近距離無線通信方式の情報に変換処理する近距離無線通信処理部と、
前記変換処理された電流情報を外部に無線送信する近距離無線送受信部と、
を含む請求項１に記載の基板めっき装置。
【請求項６】
前記ホール電流センサは、前記クランプの一側を包むリングタイプのホール素子を用いて備えられる請求項１に記載の基板めっき装置。
【請求項７】
ハンガーに備えられた多数のクランプを用いてめっきしようとする基板を装着する段階と、
前記ハンガーに装着された無線通信モジュールと前記クランプそれぞれに備えられたホール電流センサを用いて、前記クランプそれぞれに流れる電流情報を実時間で検出する段階と、
外部の制御部が、前記無線通信モジュールから実時間で無線受信した前記電流情報が良好なめっきに関して予め設定された電流基準情報を満足するか否かを判断する段階と、
前記電流情報が前記電流基準情報を満足すると、前記制御部は該当ハンガーまたはクランプに装着された基板を良好なめっき膜を有する基板として処理する段階と、
を含む基板めっき制御方法。
【請求項８】
前記基板を装着する段階は、
前記クランプの通電接点の間に前記基板をかみ合うように装着する段階と、
前記基板をめっき液に沈殿した状態で、前記クランプを介して電流を印加する段階と、
をさらに含む請求項７に記載の基板めっき制御方法。
【請求項９】
前記電流情報を実時間で検出する段階は、
前記ホール電流センサが前記クランプそれぞれに印加される電流を実時間で検出し、前記無線通信モジュールに伝達する段階と、
前記無線通信モジュールが前記電流情報を前記制御部に無線送信する段階と、
前記制御部が前記電流情報を前記ハンガーまたは前記クランプそれぞれに対する実時間電流値、または平均電流値を合算した累積平均電流値でディスプレイする段階と、
をさらに含む請求項７に記載の基板めっき制御方法。
【請求項１０】
前記判断する段階において、前記電流基準情報は、印加電流範囲、電流偏差範囲、及び電流密度範囲を含む請求項７に記載の基板めっき制御方法。
【請求項１１】
前記無線通信モジュールは、ジグビー、ブルートゥース、ＲＦＩＤ、及びワイファイの何れか一つの近距離無線通信方式で前記電流情報を無線送信する請求項７に記載の基板めっき制御方法。
【請求項１２】
前記ホール電流センサは、前記クランプの一側を包むリングタイプのホール素子を用いて前記クランプに印加される電流を実時間で検出する請求項７に記載の基板めっき制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板めっき装置及びその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、印刷回路基板の金属配線を形成するために、基板上に金属膜をパターニング（ｐａｔｔｅｒｎｉｎｇ）して配線を形成する。この際、基板の全面に形成される金属膜は、アルミニウムまたは銅を用いて形成される。ここで、銅の場合、融点が高くて電気移動度に対して高い抵抗力を有することができ、半導体素子の信頼性を向上できるだけでなく、比抵抗が低くて信号伝達速度を増加させることができる利点があり、銅金属膜を主に使用する。
【０００３】
金属膜を形成する方法は、物理的な衝突を利用する物理気相蒸着法（ｐｈｙｓｉｃａｌｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ；ＰＶＤ）と、化学反応を利用する化学気相蒸着法（ｃｈｅｍｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ；ＣＶＤ）とに分けられる。ＰＶＤには、スパッタリング（ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）などがあり、ＣＶＤには、熱を用いた熱化学気相蒸着法（ｔｈｅｒｍａｌ  ＣＶＤ）及びプラズマを用いたプラズマ化学気相蒸着法（ｐｌａｓｍａ  ｅｎｈａｎｃｅｄ  ＣＶＤ；ＰＥＣＶＤ）などがある。
【０００４】
しかし、基板上に金属膜をパターニングする場合、蒸着方法より電気移動度に対する耐性に優れ、製造コストがより低い電気めっき法が好ましい。
【０００５】
従来、電気めっきの原理は、特許文献１に記載されたように、電解液が収容されためっき槽内にアノード（ａｎｏｄｅ）を形成する銅板とカソード（ｃａｔｈｏｄｅ）を形成する基板を浸漬させることにより、銅板から分離した銅イオン（Ｃｕ２＋）が基板に移動して金属膜が形成される。
【０００６】
このような電気めっき方法に関する一般的な例として、ウィークハンガーを用いた電気めっき方法は、めっきしようとする対象をウィークハンガーに装着し、垂直または水平レールに装着されて起動しながらめっき槽に満たされているめっき液に沈殿させた後、めっき対象をカソードとし、めっきしようとする金属または不溶解性金属をアノードとする。
【０００７】
その後、整流器を用いて電極に電流を印加すると、めっき液が電気分解され、めっき液に含まれた金属イオンが分離されてカソードであるめっき対象の表面に付着し、所定時間が経過すると、薄い金属膜を形成しながらめっきされる原理を利用したものである。
【０００８】
このような電気めっき方法は、今後、印刷回路基板の薄膜化の傾向に伴い、金属膜の厚さを均一に形成するための電流密度、めっき厚さ分布などを制御する必要がある。
【０００９】
具体的に、従来注目されている均一電着性（Ｔｈｒｏｗｉｎｇ  Ｐｏｗｅｒ）方法が挙げられる。このような均一電着性方法は、一台の整流器に多数のカソードハンガー（ｃａｔｈｏｄｅ  ｈａｎｇａｒ）が連結され、カソードハンガーにクランプがいくつに分けられ、挟み状に基板を固定して電流が流れる形態を有する。
【００１０】
しかし、このような均一電着性方法は、基板に銅金属膜を均一に形成するのが難しいという問題点がある。即ち、基板のめっき面積が広く、ハンガーにおける電流起動の変化、クランプ汚染、クランプ挟みの強度差などによって、基板にめっき電流分布が見出された。
【００１１】
このようなめっき電流の差によって基板の電流密度が変化し、めっき厚さ分布が不均一になる。
【００１２】
これによって、印刷回路基板の銅金属膜が全体的に不均一なめっき厚さ分布を有するため、表面品質が低下し、印刷回路基板の信頼度が低下する問題点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】韓国公開特許第２０１０−００３４３１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、前記の問題点を解消するために、実時間でめっきのための電流情報を検出し、制御する基板めっき装置を提供することを特徴とする。
【００１５】
本発明は、前記目的を果たすことができる基板めっき装置の制御方法を提供することを他の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
前記目的を果たすための本発明の基板めっき装置は、電源を供給する定電流器と、基板を固定する多数のクランプ、前記クランプそれぞれに装着されて電流情報を検出するホール電流センサ、及び前記ホール電流センサに連結されて前記電流情報を外部に無線送信する無線通信モジュールを含むカソードハンガー（ｃａｔｈｏｄｅ  ｈａｎｇａｒ）と、めっき槽の上部に前記カソードハンガーが多数装着され、前記定電流器に連結された電流レールと、前記定電流器から延長連結され、前記めっき槽のめっき液に沈殿されたアノード部と、を含む。
【００１７】
本発明の基板めっき装置における前記カソードハンガーは、前記電流レールにスライド移動式に支持できる水平支持台及び懸垂支持台と、前記水平支持台の上部に備えられた給電部と、前記給電部に結合された通電ベースと、前記懸垂支持台の下部に備えられたレールガイドと、前記レールガイドに位置する可変スライドと、をさらに含み、前記基板を固定する多数のクランプが前記可変スライドに装着される。
【００１８】
本発明の基板めっき装置における前記無線通信モジュールは、ジグビー（ｚｉｇｂｅｅ）、ブルートゥース（ｂｌｕｅ  ｔｏｏｔｈ）、ＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）、及びワイファイ（Ｗｉｆｉ）のうち何れか一つの近距離無線通信方式を利用する。
【００１９】
本発明の基板めっき装置における前記ホール電流センサは、前記クランプの一側を包むリングタイプのホール素子を用いて備えられる。
【００２０】
また、本発明の基板めっき装置を用いた基板めっき制御方法は、ハンガーに備えられた多数のクランプを用いてめっきしようとする基板を装着する段階と、前記ハンガーに装着された無線通信モジュールと前記クランプそれぞれに備えられたホール電流センサを用いて、前記クランプそれぞれに流れる電流情報を実時間で検出する段階と、外部の制御部が、前記無線通信モジュールから実時間で無線受信した前記電流情報が良好なめっきに関して予め設定された電流基準情報を満足するか否かを判断する段階と、前記電流情報が前記電流基準情報を満足すると、前記制御部は該当ハンガーまたはクランプに装着された基板を良好なめっき膜を有する基板として処理する段階と、を含む。
【００２１】
本発明の基板めっき装置を用いた基板めっき制御方法において、前記基板を装着する段階は、前記クランプの通電接点の間に前記基板をかみ合うように装着する段階と、前記基板をめっき液に沈殿した状態で、前記クランプを介して電流を印加する段階と、をさらに含む。
【００２２】
本発明の基板めっき装置を用いた基板めっき制御方法において、前記電流情報を実時間で検出する段階は、前記ホール電流センサが前記クランプそれぞれに印加される電流を実時間で検出し、前記無線通信モジュールに伝達する段階と、前記無線通信モジュールが前記電流情報を前記制御部に無線送信する段階と、前記制御部が前記電流情報を前記ハンガーまたは前記クランプそれぞれに対する実時間電流値、または平均電流値を合算した累積平均電流値でディスプレイする段階と、をさらに含む。
【００２３】
本発明の基板めっき装置を用いた基板めっき制御方法には、前記判断する段階において、前記電流基準情報として、印加電流範囲、電流偏差範囲、及び電流密度範囲を含む。
【００２４】
本発明の特徴及び利点は添付図面に基づいた以下の詳細な説明によってさらに明らかになるであろう。
【００２５】
本発明の詳細な説明に先立ち、本明細書及び特許請求の範囲に用いられた用語や単語は通常的かつ辞書的な意味に解釈されてはならず、発明者が自らの発明を最善の方法で説明するために用語の概念を適切に定義することができるという原則にしたがって本発明の技術的思想にかなう意味と概念に解釈されるべきである。
【発明の効果】
【００２６】
本発明による基板めっき装置を用いためっき制御方法によると、電気めっき過程でホール電流センサを用いてクランプに印加される電流に関する情報を実時間で検出することができる。
【００２７】
また、本発明による基板めっき装置を用いためっき制御方法は、ホール電流センサに連結された無線通信モジュールによって近距離無線通信で電流情報を実時間で受信し、ディスプレイするため、めっき不良を予防し、めっき膜厚さ分布の信頼度を向上させることができる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施例による基板めっき装置を示す例示図である。
【図２】本発明の一実施例による基板めっき装置のハンガーを示す例示図である。
【図３】本発明の一実施例によるセンサが装着されたクランプを示す例示図である。
【図４】本発明の一実施例による基板めっき装置のブロック図である。
【図５】本発明の一実施例による基板めっき装置の電流センサを示す回路図である。
【図６】本発明の一実施例による基板めっき装置を用いためっき制御方法を示すフローチャートである。
【図７】本発明のめっき制御方法によって実時間で電流情報を検出する過程を説明するための写真である。
【図８】本発明のめっき制御方法によってめっき不良有無を判断する過程を説明するための写真である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
本発明の目的、特定の長所及び新規の特徴は、添付図面と以下の詳細な説明及び好ましい実施例によってさらに明らかになるであろう。本明細書において、各図面の構成要素に参照番号を付け加えるに際し、同一の構成要素に限っては、たとえ異なる図面に示されても、できるだけ同一の番号を付けるようにしていることに留意しなければならない。また、第１、第２などの用語は、多様な構成要素を説明するために用いられることができるが、前記構成要素は、前記用語によって限定されてはならない。前記用語は、一つの構成要素を他の構成要素から区別するためにのみ用いられる。また、本発明を説明するにあたり、係わる公知技術についての具体的な説明が本発明の要旨を不明瞭にする可能性があると判断される場合には、その詳細な説明を省略する。
【００３０】
以下、添付された図面を参照して、本発明の好ましい実施例について詳細に説明する。
【００３１】
図１は、本発明の一実施例による基板めっき装置を示す例示図であり、図２は、本発明の一実施例による基板めっき装置のハンガーを示す例示図であり、図３は、本発明の一実施例によるセンサが装着されたクランプを示す例示図であり、図４は、本発明の一実施例による基板めっき装置のブロック図であり、図５は、本発明の一実施例による基板めっき装置の電流センサを示す回路図である。
【００３２】
本発明の一実施例による基板めっき装置は、図１に図示したように、電源を供給する定電流器１０と、基板１００を固定する多数のクランプ、各クランプに装着されたホール電流センサ２１２、及びホール電流センサ２１２に連結された無線通信モジュール２２０を備えたカソードハンガー（ｃａｔｈｏｄｅ  ｈａｎｇａｒ）２００と、めっき槽５０の上部にカソードハンガー２００をスライド方式で装着し、定電流器１０に連結された電流レール２０と、定電流器１０から延長連結され、めっき槽５０のめっき液５５に沈殿されたアノード部３０と、を含む。
【００３３】
このような本発明の一実施例による基板めっき装置は、めっき液に沈殿されたアノード部３０と電流レール２０を用いて電流経路を構成し、めっき液５５を媒体としてアノード部３０の金属陽イオンがカソードハンガー２００の基板１００に向けて移動してめっきを行う構造を有する。
【００３４】
定電流器１０は、アノード線とカソード線とを多数備え、アノード線はアノード部３０に連結され、カソード線は電流レール２０に連結される。
【００３５】
電流レール２０は、めっき槽５０の上部に備えられ、めっきしようとする基板１００を装着した多数のカソードハンガー２００がスライド方式で締結されて装着される。
【００３６】
カソードハンガー２００は、図２に図示されたように、電流レール２０にスライド移動式で支持できるようにする水平支持台２０１及び懸垂支持台２０２と、水平支持台２０１の上部に給電部２０３に結合される通電ベース２０４と、懸垂支持台２０２の下部に備えられたレールガイド２０５と、レールガイド２０５に位置する可変スライド２０６に装着され、基板１００を固定する多数のクランプ２１０と、各クランプ２１０の一側に装着されたホール電流センサ２１２、２１２´と、ホール電流センサ２１２に有線連結された無線通信モジュール２２０と、を含む。
【００３７】
このようなカソードハンガー２００は、水平支持台２０１と懸垂支持台２０２を用いて電流レール２０でスライド移動し、装着された基板１００が一定方向と速度で移動するようにする。このようなカソードハンガー２００は、電流レール２０に一定間隔で配置し、基板１００に同一の電流を印加することができる。
【００３８】
クランプ２１０は、基板１００の面積または長さに比例して設定された個数で一定間隔で一列に多数配置され、めっきしようとする基板１００を固定するとともに、カソード通電のための部材として用いられる。また、図３に図示されたように、クランプ２１０の通電接点２１１は、めっき液に沈殿されて基板１００に対するカソード通電を行う。
【００３９】
この際、クランプ２１０の一側に装着されたホール電流センサ２１２は、クランプ２１０を介して基板１００に流れる電流の情報を実時間で検出し、懸垂支持台２０２に備えられた無線通信モジュール２２０に伝達する。
【００４０】
ホール電流センサ２１２は、クランプ２１０の一側を包むリングタイプのホール素子を用いて形成されることができる。このようなホール電流センサ２１２は、図５に図示されたように、ホール電流センサ２１２に対して貫通し、直角に流れる電流（＋で図示する）に対する磁界を測定してクランプ２１０に印加される電流を実時間で検出することができ、これを懸垂支持台２０２に備えられた無線通信モジュール２２０に有線伝達する。
【００４１】
無線通信モジュール２２０は、ジグビー（ｚｉｇｂｅｅ）、ブルートゥース（ｂｌｕｅ  ｔｏｏｔｈ）、ＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）、ワイファイ（Ｗｉｆｉ）などの近距離無線通信方式が適用されたモジュールであって、図４に図示されたように、近距離無線通信処理部２２１と近距離無線送受信部２２２とを含んで構成される。
【００４２】
近距離無線通信処理部２２１は、ホール電流センサ２１２それぞれに連結された有線（不図示）を介して伝達した電流情報を近距離無線通信方式の情報に変換処理し、近距離無線送受信部２２２は、このように変換処理された電流情報を外部に備えられた制御部（不図示）に無線伝達する。ここで、制御部は、ＰＣ、ＰＤＡ、ノートパソコン、スマトフォンなどに構成されたコンピュータプロセッサ部が代表的に挙げられる。
【００４３】
外部の制御部は、無線受信した電流情報を分析して、各クランプ２１０に流れる電流量、電流密度及び累積電流量などのクランプ２１０それぞれに印加された電流情報としてモニターなどのようなディスプレイ装置（不図示）に表示することができる。
【００４４】
また、制御部は、このような電流情報を電流基準情報と比較して、各クランプ２１０に装着された基板１００に対して行われるめっき膜のめっき不良有無を判断して、判断結果をディスプレイ装置にディスプレイすることができる。
【００４５】
従って、本発明の一実施例による基板めっき装置は、ホール電流センサ２１２を用いて各クランプ２１０に流れる電流を実時間で検出し、各クランプ２１０に流れる電流の情報を知ることができ、短絡などの問題が生じたクランプの位置を知ることができる。
【００４６】
以下、本発明の一実施例による基板めっき装置を用いためっき制御方法について、図６〜図８を参照して説明する。図６は、本発明の一実施例による基板めっき装置を用いためっき制御方法を示すフローチャートであり、図７は、本発明のめっき制御方法によって実時間で電流情報を検出する過程を説明するための写真であり、図８は、本発明のめっき制御方法によってめっき不良有無を判断する過程を説明するための写真である。
【００４７】
本発明の一実施例による基板めっき装置を用いためっき制御方法は、先ずカソードハンガー２００にめっきしようとする基板１００を装着する（Ｓ６１０）。
【００４８】
具体的に、本発明の一実施例による基板めっき装置を用いためっき制御方法は、図２に図示された一定間隔で離隔された多数のカソードハンガー２００に基板１００を装着するが、特に、クランプ２１０の通電接点２１１の間に基板１００をかみ合うように装着する。
【００４９】
多数のクランプ２１０に基板１００を装着した後、クランプ２１０に装着された基板１００をめっき液で満たされためっき槽５０の直上部から直下部に下降させてめっき液５５に沈殿した状態で、定電流器１０に外部電源を印加する。
【００５０】
定電流器１０に外部電源を印加すると、カソードハンガー２００とアノード部３０を介して基板１００とめっき液５５にそれぞれカソード電流とアノード電流が供給されるとともに、カソードハンガー２００は、電流レール２０に沿って一方向に移動しながら基板１００に電気めっきが行われる。
【００５１】
この際、カソードハンガー２００に装着された無線通信モジュール２２０と各クランプ２１０に装着されたホール電流センサ２１２とを用いて、各クランプ２１０に流れる電流に関する情報を実時間で検出する（Ｓ６２０）。
【００５２】
即ち、ホール電流センサ２１２は、クランプ２１０に印加される電流を実時間で検出し、この検出された電流情報を懸垂支持台２０２に備えられた無線通信モジュール２２０に有線伝達する。無線通信モジュール２２０は、受信した電流情報を近距離無線通信処理部２２１で近距離無線通信方式の信号パターンに変換処理し、近距離無線送受信部２２２でこのように変換処理された電流情報を外部に無線伝達する。
【００５３】
このように無線伝達した電流情報が外部に備えられた制御部に受信されると、制御部は、図７に図示されたように、電流情報をディスプレイ装置を介してディスプレイすることができる。即ち、制御部は、無線伝達した電流情報に応じて、図７に図示されたグラフのように検出された電流値を実時間で表示することができる。
【００５４】
また、制御部は、図７に図示されたように、各クランプに対する平均電流値を合算した累積平均電流値を表示することができる。即ち、図７に図示された９６番ハンガーの１番から４番まで各クランプに対して所定時間検出された電流値に関する平均電流値を合算した累積平均電流が７３．５Ａであり、６７番ハンガーの１番から４番まで各クランプに対して所定時間検出された平均電流値を合算した累積平均電流が９４．５Ａであるという情報を実時間で表示することができる。
【００５５】
また、制御部は、図８に図示されたように、選択的に１番ハンガーに備えられた５個のクランプをＣＴ１〜ＣＴ５で示し、実時間で検出された電流値とそのグラフをディスプレイすることができる。ここで、図８には、１番ハンガーについてのみ図示したが、これに限定されず、基板を装着した多数のハンガーそれぞれに対してクランプを表示し、実時間に検出された電流値とそのグラフをディスプレイすることができる。
【００５６】
この際、制御部は、実時間で無線伝達した電流情報が良好なめっきに関して予め設定された電流基準情報を満足するか否かを判断する（Ｓ６３０）。
【００５７】
ここで、良好なめっきに関して予め設定された電流基準情報は、印加電流範囲、電流偏差範囲、電流密度範囲などを含むことができる。例えば、判定基準で６０μｍ±５μｍのめっき厚さを形成するための基準入力電流が１００Ａに設定された場合、１００Ａ値に対する±１０％の誤差範囲である９０Ａ〜１１０Ａの印加電流範囲が、良好なめっきのための電流基準情報として利用することができる。
【００５８】
従って、図７に図示された９６番ハンガーの累積平均電流が７３．５Ａであり、印加電流範囲を満足しないため、制御部は９６番ハンガーを不良ハンガーと判断し、９６番ハンガーに装着された基板を不良基板と表示することができる。
【００５９】
一方、６７番ハンガーの累積平均電流が９４．５Ａであり、印加電流範囲を満足するため、制御部は、６７番ハンガーを良好なハンガーと判断し、６７番ハンガーに装着された基板を良好な基板と表示することができる。
【００６０】
また、図８で実時間で検出された電流値とそのグラフに対して、制御部は、電流値が急に低下した「Ａ」のグラフ部分と他のクランプより電流偏差がはげしい「Ｂ」と「Ｃ」の部分に基づき、ハンガーまたはクランプが不良であり、装着された基板を不良と表示することができる。
【００６１】
このような判断段階（Ｓ６３０）の判断結果、無線伝達された電流情報が予め設定された電流基準情報を満足すると、制御部は、該当ハンガーまたはクランプに装着された基板を良好なめっき膜を有する基板として処理する（Ｓ６４０）。
【００６２】
これによって、ユーザは、良好なめっき膜を有する基板として処理された基板に対するめっき過程を終了し、当該ハンガーまたはクランプに装着された基板を分離して仕上げることができる。
【００６３】
一方、判断段階（Ｓ６３０）の判断結果、無線伝達した電流情報が予め設定された電流基準情報を満足しないと、制御部は、該当ハンガーまたはクランプに装着された基板を不良基板と判定して廃棄処理を行う（Ｓ６５０）。
【００６４】
このような過程を含む本発明の一実施例による基板めっき装置を用いためっき制御方法は、電気めっき過程でホール電流センサ２１２を用いてクランプに印加される電流に関する情報を実時間で検出する特徴を有する。
【００６５】
また、本発明のめっき制御方法は、ホール電流センサ２１２に連結された無線通信モジュール２２０によって近距離無線通信により電流情報を実時間で受信してディスプレイするため、電流未印加または電流偏差によるめっき不良を予防し、めっき膜厚さ分布の信頼度を向上することができる。
【００６６】
以上、本発明を具体的な実施例に基づいて詳細に説明したが、これは本発明を具体的に説明するためのものであり、本発明による基板めっき装置及びその制御方法は、これに限定されず、該当分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の技術的思想内にての変形や改良が可能であることは明白であろう。
【００６７】
本発明の単純な変形乃至変更はいずれも本発明の領域に属するものであり、本発明の具体的な保護範囲は添付の特許請求の範囲により明確になるであろう。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明は、めっき不良を予防し、めっき膜厚さ分布の信頼度を向上させることができる基板めっき装置及びその制御方法に適用可能である。
【符号の説明】
【００６９】
１０  定電流器
２０  電流レール
３０  アノード部
５０  めっき槽
５５  めっき液
１００  基板
２００  カソードハンガー
２０１  水平支持台
２０２  懸垂支持台
２０３  給電部
２０４  通電ベース
２０５  レールガイド
２０６  可変スライド
２１０  クランプ
２１１  通電接点
２１２、２１２´  ホール電流センサ
２２０  無線通信モジュール
２２１  近距離無線通信処理部
２２２  近距離無線送受信部
【図１】
0005524313.tif 000002
【図２】
0005524313.tif 000003
【図３】
0005524313.tif 000004
【図４】
0005524313.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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