(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光を被測定物に投光する光路に配置され、所定間隔で平行な縞を有する格子縞スリットと、
前記平行な縞が配置された方向に、前記格子縞スリットを移動させる駆動部と、
前記格子縞スリットを通過した前記光源からの光が投光された前記被測定物を撮影する撮影部と、
前記格子縞スリットを平行な縞の配置間隔に相当する距離と、その配置間隔に相当する距離に所定の値を加算させた距離又は減算させた距離だけ、前記駆動部で原点位置から移動させて、それぞれの移動位置で前記撮影部が撮影した複数枚の格子縞の画像と、前記原点位置で前記撮影部が撮影した格子縞の画像とを比較し、その比較結果に基づいて、前記格子縞スリットを格子縞の１配置間隔分だけ前記駆動部で駆動させるのに必要な駆動信号の駆動量を判断し、その判断に基づいて、前記被測定物の立体形状を測定するのに必要な駆動信号の駆動量を判定する制御部とを備えた
立体形状測定装置。
【請求項２】
それぞれの移動位置で前記撮影部が撮影した複数枚の格子縞の画像と、前記原点位置で前記撮影部が撮影した格子縞の画像とを比較する処理は、画像の一致度が最も高い画像を選び、その選んだ画像の撮影時の前記格子縞スリットの駆動量を、前記格子縞スリットを格子縞の１配置間隔分だけ前記駆動部で駆動させるのに必要な駆動信号の駆動量とする
請求項１記載の立体形状測定装置。
【請求項３】
前記格子縞スリットを格子縞の１配置間隔を２πとしたとき、前記被測定物の立体形状を測定するのに必要な駆動信号の駆動量は、前記格子縞スリットを（１／２）πだけ移動させる駆動量と、前記格子縞スリットをπだけ移動させる駆動量と、前記格子縞スリットを（３／２）πだけ移動させる駆動量であり、
それぞれの駆動量を、前記判断した、１配置間隔分だけ前記駆動部で駆動させるのに必要な駆動信号の駆動量から得る
請求項２記載の立体形状測定装置。
【請求項４】
前記駆動部は、パルス信号の供給により駆動されるパルスモータであり、
前記制御部は、前記格子縞スリットを格子縞の１配置間隔分だけ前記駆動部で駆動させるのに必要な駆動信号の駆動量として、駆動させるのに必要なパルス数を判断する
請求項１〜３のいずれか１項に記載の立体形状測定装置。
【請求項５】
光源からの光を被測定物に投光する光路に配置され、所定間隔で平行な縞を有する格子縞スリットと、
前記平行な縞が配置された方向に、前記格子縞スリットを移動させる駆動部と、
前記格子縞スリットを通過した前記光源からの光が投光された前記被測定物を撮影する撮影部と、
前記格子縞スリットを平行な縞の配置間隔に相当する距離と、その配置間隔に相当する距離に所定の値を加算させた距離又は減算させた距離だけ、前記駆動部で原点位置から移動させて、それぞれの移動位置で前記撮影部が撮影した複数枚の格子縞の画像と、前記原点位置で前記撮影部が撮影した格子縞の画像とを比較し、その比較結果に基づいて、前記格子縞スリットを格子縞の１配置間隔分だけ前記駆動部で駆動させるのに必要な駆動信号の駆動量を判断し、その判断に基づいて、前記被測定物の立体形状を測定するのに必要な駆動信号の駆動量を判定する制御部とを備えた
検査装置。
【請求項６】
所定間隔で平行な縞を有する格子縞スリットを、光源からの光を被測定物に投光する光路に配置した上で、前記平行な縞が配置された方向に、前記格子縞スリットを移動させる駆動処理と、
前記格子縞スリットを通過した前記光源からの光が投光された前記被測定物を撮影する撮影処理と、
前記格子縞スリットを平行な縞の配置間隔に相当する距離と、その配置間隔に相当する距離に所定の値を加算させた距離又は減算させた距離だけ、前記駆動処理で原点位置から移動させて、それぞれの移動位置で前記撮影処理により撮影した複数枚の格子縞の画像と、前記原点位置で前記撮影処理により撮影した格子縞の画像とを比較し、その比較結果に基づいて、前記格子縞スリットを格子縞の１配置間隔分だけ前記駆動処理で駆動させるのに必要な駆動信号の駆動量を判断する判断処理と、
その判断に基づいて、前記被測定物の立体形状を測定するのに必要な駆動信号の駆動量を設定する設定処理とを行う
立体形状測定用調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば回路基板などの検査を行うのに適用して好適な、立体形状の検査や測定を行う立体形状測定装置、及びその立体形状測定装置を適用した検査装置、並びに立体形状測定装置や検査装置に適用される立体形状測定用調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回路基板などの被検査物の形状を検査する検査装置として、その回路基板をビデオカメラなどの撮影装置で撮影した静止画像を画像解析して、検査するものが普及している。
この場合、例えば基板を平面的に撮影した静止画像を１枚、取得することで、平面的な形状、つまり二次元（２Ｄ）の検査が行える。また、被検査物に格子縞を投光した上で、その格子縞の投光位置の位相を変化させながら、複数枚の撮影を行って、その複数枚の静止画像を画像解析することで、立体形状、つまり三次元（３Ｄ）の検査が行える。この三次元形状検査は、位相シフト法と称される。
【０００３】
この位相シフト法による三次元検査を行うためには、格子縞の投光位置の位相を正確に制御する必要がある。即ち、格子縞の１配置間隔（１ピッチ）に相当する距離（位相）を２πとし、移動前の状態を原点としたとき、格子縞を原点から（１／２）π，π（３／２）πに相当する距離だけ移動させた状態と、原点の状態との４つの状態で、静止画像を撮影する。
そして、そのそれぞれの格子縞の位相の静止画像を画像解析して、被写体（被測定物）の立体形状を測定する。位相シフト法による三次元検査を行うための装置構成例については、後述する実施の形態で説明する。
【０００４】
このような三次元検査は、例えば回路基板にクリーム状の半田を塗布したときの塗布状態が正しい状態か否か検査することに適用できる。即ち、平面的に半田の塗布状態を見たのでは、必要な領域に正しく塗布されているように見えても、立体的に見た場合には、半田が塗布された厚さが不十分である可能性があり、三次元形状検査を行うことで、正しいか否か的確に検査が行える。
【０００５】
特許文献１には、被検査物に格子縞を投光した上で、その格子縞の投光位置の位相を変化させて、立体形状を測定する位相シフト法を適用した測定装置の例についての記載がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−２２７６５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、位相シフト法を適用して立体形状を測定する上では、被検査物に投光させる格子縞を、原点位置から正確に（１／２）π，π（３／２）πの位相に相当する距離だけ移動させる必要がある。即ち、格子縞は、一定間隔で格子縞が形成されたスリットを用意して、そのスリットを駆動手段で駆動して、格子縞の投光位置を上述した位相量に相当する分だけ移動させる構成としてある。ここで、格子縞の移動量を原点位置から正確に（１／２）π，π（３／２）πの位相に相当する距離だけ移動させるが、比較的微小な移動量であり、正確に移動させるためには、事前に装置のスリットをスライドさせる機構のキャリブレーション調整が必要である。あるいは、格子縞スリットの位置を検出するための高精度な検出機構を設けて、その検出機構で高精度に検出しながら、スリットを駆動させる必要がある。このスリット駆動系の精度には、スリットそのものをスライドさせる機構の精度以外に、スリット上の格子縞の精度や、光学系全体の精度も影響し、簡単には調整できない問題があった。
【０００８】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、位相シフト法を適用して測定する装置で格子縞の位置調整が容易に行えるようにして、立体形状を測定や検査する際の精度を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、格子縞スリットを、平行な縞の配置間隔に相当する距離と、その配置間隔に相当する距離に所定の値を加算させた距離又は減算させた距離だけ、駆動部で原点位置から移動させる。そして、それぞれの移動位置で撮影した複数枚の格子縞の画像と、原点位置で撮影した格子縞の画像とを比較し、その比較結果に基づいて、格子縞スリットを格子縞の１配置間隔分だけ駆動させるのに必要な駆動信号の駆動量を判断する。その判断に基づいて、被測定物の立体形状を測定するのに必要な駆動信号の駆動量を設定する。
【００１０】
このようにしたことで、複数枚の格子縞の画像を撮影するだけで、格子縞スリットを移動させる際の正確な駆動量が判る。即ち、判断した１配置間隔の駆動量を基準として、必要な格子縞スリットの駆動位相での駆動量を得ることで、各位相位置となるように正確に格子縞スリットを駆動できるようになる。従って、正確な格子縞スリットの位置設定が可能になり、正確な立体形状の測定や検査が行える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によると、格子縞スリットの位置を検出や計測するための専用の機構を必要としない簡単な構成で、正確に格子縞スリットを必要な位相量だけ駆動でき、簡単な構成で正確な立体形状の測定や検査が行える効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施の形態による装置全体の構成例を示す原理図である。
【図２】本発明の一実施の形態による装置構成例を示す斜視図である。
【図３】本発明の一実施の形態による格子縞の位相変化例を示す説明図である。
【図４】本発明の一実施の形態による格子縞の光強度変化例を示す特性図である。
【図５】本発明の一実施の形態による調整処理例を示すフローチャートである。
【図６】本発明の一実施の形態による調整用撮影時の駆動例を示す説明図である。
【図７】本発明の一実施の形態による検出状態の例を示す特性図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下の順序で、本発明の一実施の形態の例を説明する。
１．装置構成の説明（図１，図２）
２．格子縞の説明（図３，図４）
３．調整処理の説明（図５〜図７）
【００１４】
［１．装置構成の説明］
図１及び図２を参照して、本実施の形態の例の立体形状測定装置を説明する。本実施の形態の例の立体形状測定装置は、回路基板に半田を塗布した状態を検査する検査装置として構成してある。
図１及び図２に示すように、検査装置は、被検査物を載せるテーブル１０を備え、そのテーブル１０に載せられた被測定物（被検査物）である基板２０を、撮影部であるカメラ３０で撮影する。テーブル１０の真上に配置されたカメラ３０には、撮像レンズ部３１が取り付けてあり、テーブル１０上の基板２０を撮影する。図２に示すように、撮像レンズ部３１の周囲には、上段照明部３２と下段照明部３３とが配置してあり、被検査物を照明しながらカメラ３０で撮影する。下段照明部３３は、円形の開口部３３ａを備え、その開口部３３ａ内に被検査物である基板２０が配置されるようにしてある。
【００１５】
図１に示すように、カメラ３０で撮影して得た静止画像データは、画像メモリ１３に記憶させる。記憶された静止画像データを制御部１１の制御で読み出して、画像解析部１４で形状を測定する。この例では検査装置として構成してあり、予め登録された基板２０の状態と一致するかどうか画像解析部１４での解析処理で判断して、その判断結果を、制御部１１が出力する。
【００１６】
図１では、制御部１１で得られた判断結果を、表示部１６に供給して表示させる構成としてある。また、判断結果を外部に出力させて、製造ラインの管理用のコンピュータ装置などに伝える構成としてもよい。また、制御部１１には操作部１７が接続してあり、操作部１７の操作により、各種調整などが行える。
【００１７】
この装置で検査を行う際には、基板２０の平面形状を検査する２Ｄ検査と、基板２０の立体形状を検査する３Ｄ検査の双方が可能である。
２Ｄ検査を行う場合には、被検査物である基板２０の検査領域を、カメラ３０で撮影して、１枚の静止画像データを得ることで検査が行える。
３Ｄ検査を行う場合には、被検査物である基板２０の検査領域を、カメラ３０で撮影するが、後述する格子縞スリット４６で格子縞を基板２０に投影した状態で、その格子縞の位相を変えて、４枚の静止画像データを得る。格子縞の位相を変える処理については後述する。そして、その４枚の静止画像データを画像解析して、基板２０の検査領域の立体形状を判断する。判断結果は制御部１１が取得する。
【００１８】
次に、３Ｄ検査を行う場合に必要な格子縞の投影構成について説明する。
図２に示すように、３Ｄ用投影部４０がテーブル１０の斜め上に配置してあり、その３Ｄ用投影部４０から格子縞を投影する。
図１を参照して、格子縞を投影する構成について説明すると、投光機４１からの光を、投影レンズ４２を介して、被検査物である基板２０の表面に斜めから照射する。このとき、投光機４１と投影レンズ４２との間に、格子縞スリット４６を配置してある。
【００１９】
格子縞スリット４６には、一定間隔（ピッチ）で格子縞が平行に形成させてあり、投光機４１からの光を投影させることで、その格子縞が被検査物である基板２０の表面に投影される。
格子縞スリット４６は、スライドテーブル４５により、投光機４１からの光の光軸と直交する方向にスライド可能に配置してある。このスライドする方向は、格子縞スリット４６上の格子縞が平行に並んだ方向へのスライドでもある。
【００２０】
図１に示したように、スライドテーブル４５は、ネジ取り付け部４５ａがボールネジ４４に取り付けてある。ボールネジ４４は、モータ４３により回転する構成としてあり、モータ４３によるボールネジ４４の回転で、スライドテーブル４５が平行移動する構成としてある。本実施の形態の場合には、モータ４３として、パルスモータを使用してあり、駆動パルス発生部１２から駆動パルスが供給されることで、そのパルス数に相当した量だけボールネジ４４を回転駆動させる。従って、モータ４３に供給するパルス数と、スライドテーブル４５の平行移動量とには相関関係があり、モータ４３に供給するパルス数で、スライド量を制御できる。
【００２１】
なお、図１に示すように、投影レンズ４２と格子縞スリット４６とで形成される角度αと、投影レンズ４２と被検査物（基板２０）とで形成される角度βとは、シャインプルーフの原理を利用した角度としてある。即ち、シャインプルーフの原理を利用した角度とすることで、斜めから角度を持って投影される格子縞が、基板２０上のどの位置でもフォーカスが合った状態となるようにしてある。
【００２２】
［２．格子縞の説明］
次に、図３及び図４を参照して、格子縞スリット４６に形成された格子縞の構成と、その格子縞の使用例について説明する。
図３は、格子縞の一部を拡大して示した図であり、（１／２）πずつ位相をシフトさせた状態を並べて示してある。図３の例では、左右方向に各縞が配置してあり、上下方向に一定の間隔で平行に縞が並んでいる。
モータ４３によるスライドテーブル４５の駆動で、上下方向に格子縞の位置がシフトする。
このような格子縞が形成されていることで、この格子縞が投影された画像を撮影した場合、格子縞が並んだ方向で見た光強度の変化は、図４に示した状態となる。即ち、図４に示した光強度の変化特性Ｌは、スリット４６の縞の白色の部分で最も強い強度の箇所Ｌ１となり、スリット４６の縞の黒色の部分で最も弱い強度の箇所Ｌ２となり、一定周期で変化する曲線の特性となっている。
【００２３】
図３では、図３の左端の位相０を原点としたとき、その位置から縞の１周期（１ピッチ）だけシフトした位置を２π位相がシフトした位置としてある。立体形状を測定する３Ｄ検査時には、次の４状態の格子縞を投影した状態の静止画像を得る。即ち、位相０の原点の状態と、１周期の１／４だけシフトした（１／２）π位相シフトした状態と、１周期の１／２だけシフトしたπ位相シフトした状態と、１周期の３／４だけシフトした（３／４）π位相シフトした状態との４状態を設定する。そして、１／４位相ずつ順にシフトした、それぞれの状態の格子縞が投影された状態の被検査物を、個別に撮影する。従って、３Ｄ検査時には、同一検査領域を４回、カメラ３０で撮影することになる。
【００２４】
また、後述するように、格子縞をシフトさせる量を調整するキャリブレーション時には、図３の左端に示した位相０の原点状態と、図３の右端に示した２π位相がシフトした状態とを設定する。但し、２π位相がシフトした状態は、その状態の位置の近傍を複数設定して、調整を行う。その調整処理の詳細は後述する。
【００２５】
［３．調整処理の説明］
次に、図５〜図７を参照して、格子縞スリット４６の位置をシフトさせるためのキャリブレーション時の処理例について説明する。
このキャリブレーション処理は、例えば検査装置の製造時又は設置時などの、実際に使用する前の段階で、少なくとも１回行う。また、検査装置の使用開始後であっても、必要なときやユーザ操作で指示があった場合にも、このキャリブレーション処理を随時行うようにしてもよい。
図５のフローチャートは、キャリブレーション処理の流れを示したもので、制御部１１の制御で実行される。なお、このキャリブレーション処理時のカメラ３０での撮影時には、被検査物は載せない状態でよく、格子縞の白い部分と黒い部分が明確に区別できて撮影されればよい。
【００２６】
図５に従って説明すると、まず、格子縞スリット４６を原点位置（位相０）として、カメラ３０で撮影して、１枚の静止画データを得、画像メモリ１３に記憶させる（ステップＳ１１）。
そして、格子縞スリット４６の格子縞の１周期分（位相２π）だけシフトさせるように、制御部１１は駆動パルス発生部１２に指示を送り、該当するシフト量だけシフトさせる駆動処理を行う（ステップＳ１２）。このシフトさせた状態でもカメラ３０で撮影して、１枚の静止画データを得、画像メモリ１３に記憶させる（ステップＳ１３）。その後、制御部１１は、シフトさせた状態で規定された枚数の撮影を行ったか否か判断する判断処理を行う（ステップＳ１４）。ここでの規定の枚数とは、例えば５枚とする。この判断で規定枚数撮影していない場合には、モータ４３の駆動パルスを発生させて、スライドテーブル４５及び格子縞スリット４６をスライドさせ（ステップＳ１５）、ステップＳ１３の撮影処理に戻る。このステップＳ１５でのスライド時には、ここまで撮影したときの位置とは若干シフトした位置を設定する。
【００２７】
そして、ステップＳ１４で規定枚数撮影したと判断した場合には、制御部１１は、画像メモリ１３に記憶された原点位置（位相０）の画像と、各シフト位置で撮影した５枚の画像とを比較する（ステップＳ１６）。その比較で、原点位置の画像と最も近い画像を判断する判断処理を行う（ステップＳ１７）。
制御部１１は、その判断で得られた原点位置の画像と最も近い画像が、位相２πだけ正確にシフトした状態での画像と判定する。その判定した画像を撮影した際のモータの駆動パルス数を判断し、その駆動パルス数を、位相２π移動させる際の調整されたパルス数とし、そのパルス数の１／４のパルス数をメモリ１５に記憶させる（ステップＳ１８）。
【００２８】
そして、実際に３Ｄ検査を行うために、格子縞を（１／４）πずつシフトさせて撮影を行う際には、その格子縞を（１／４）πずつシフトさせる際のパルスモータ４３に供給するパルス数を、メモリ１５に記憶させたパルス数とする。
【００２９】
図６は、図５のフローチャートで、ステップＳ１３での撮影と、ステップＳ１５での格子縞スリット４６をシフトさせる処理を複数回繰り返すときの、モータ４３の駆動例を示したものである。
この例では、例えば初期状態では、モータ４３に供給するパルス数が２０００パルスであるとき、格子縞の１周期分だけ、格子縞スリット４６がシフトするものとする。このとき、２０００パルスに対して５０パルス間隔で±１００パルスの供給によるシフト位置を設定して撮影する。即ち、１９００パルス、１９５０パルス、２０００パルス、２０５０パルス、２１００パルスの位置を設定する。
【００３０】
図６の駆動例の流れは、この状態を示したもので、まず原点位置で撮影をした後、駆動パルスを２０００パルス供給したシフト位置で撮影し、その後、逆方向に２０００パルス供給して、原点位置に戻す。
次に、駆動パルスを１９５０パルス供給したシフト位置で撮影し、その後、逆方向に１９５０パルス供給して、原点位置に戻す。
次に、駆動パルスを１９００パルス供給したシフト位置で撮影し、その後、逆方向に１９００パルス供給して、原点位置に戻す。
次に、駆動パルスを２０５０パルス供給したシフト位置で撮影し、その後、逆方向に２０５０パルス供給して、原点位置に戻す。
次に、駆動パルスを２１００パルス供給したシフト位置で撮影し、その後、逆方向に２１００パルス供給して、原点位置に戻す。
このように、それぞれのシフト位置で撮影を行った後、原点位置に戻してから、新たなシフト位置に移動させて、駆動時の誤差が蓄積しないようにして、正確な測定が行えるようにしてある。
【００３１】
図７は、このようにして複数回撮影して得た画像と、原点位置の画像とを比較した場合の、一致度を示した図である。図７において、横軸はモータ４３に供給するパルス数を示し、縦軸は誤差数であり、誤差数が少ない程、原点位置の画像と一致していることを示す。
例えば、この例では、パルス数１９５０のときに、誤差数が最も少なくなり、それよりも少ないパルス数（１９００）の場合の画像や、それよりも多いパルス数（２０００，２０５０，２１００）の場合の画像には、誤差数が多くなっている。
このとき、パルス数１９５０を、格子縞スリット４６を位相２πだけシフトする際の駆動パルス数として確定し、そのパルス数１９５０の１／４のパルス数（４８８）を、（１／４）πシフトさせるパルス数に設定してメモリ１５に記憶させる。
そして、実際に３Ｄ検査を行う際に格子縞スリット４６を（１／４）πずつシフトさせる際には、その記憶されたパルス数ずつモータ４３に供給して、シフトさせる。
【００３２】
このようにしてキャリブレーション処理を行うことで、検査装置が持つカメラ３０で撮影した画像を処理するだけで、正確なキャリブレーション処理が可能になる。従って、格子縞スリット４６のシフト位置を検出するための計測手段を検査装置が持つ必要がなく、簡単な構成で正確な格子縞スリットのシフト処理が行え、簡単な構成で３Ｄ検査時の測定精度が向上する。
【００３３】
なお、図５のフローチャートに示した処理では、約２πシフトさせた状態で、設定された駆動パルス数に対して、シフト量を増やした状態で２回と、シフト量を減らした状態で２回の、合計５回の撮影を行うようにした。そして、その５回の撮影画像の中から、原点の画像と誤差量が最も少ないものを、２πシフトさせた状態と検出するようにした。
これに対して、例えば図７に示したような、各シフト位置での画像の誤差数の変化のカーブを求め、そのカーブで最も誤差量が少なくなる位置を算出して、より正確なパルス数を算出するようにしてもよい。
【００３４】
具体的には、例えば図７に示した例の場合、５枚の画像を比較した場合には、パルス数１９５０でシフトさせた画像が、最も誤差数が少なくなっている。ここで、各画像の誤差数を結んだ曲線を図７のように算出して、パルス数１９６０のときが、最も誤差数が少なくなると算出された場合に、パルス数１９６０を、シフト量２πの駆動パルス数として決定する。このような算出処理を行うことで、より正確な駆動パルス数が得られる。
なお、このような算出処理で、最も誤差数が少なくなると思われるパルス数が得られた場合には、実際にそのパルス数で駆動させて、算出した誤差数に近い状態になるかどうか確かめた上で、確定させるようにしてもよい。
【００３５】
また、算出で誤差数が少ない位置を求めるのではなく、例えばパルス数１９５０とパルス数２０００のときが、誤差数が少ないと判断したときに、その間のパルス数１９７５で駆動させて測定するようにして、正確なパルス数を実測で得るようにしてもよい。
【００３６】
また、上述した５回などの決められた回数のシフト位置の設定で、得られた誤差数が、２πのシフト量に対応した誤差数でないと思われる場合には、パルス数をより増加又はより減少させて、再度、撮影を行って、誤差数が減るシフト位置を探すようにしてもよい。
【００３７】
また、上述した実施の形態では、格子縞スリットを駆動させる駆動部として、パルスモータを備えた駆動部としたが、その他の駆動部として構成してもよい。例えば、一定の電圧信号の印加で回転駆動されるモータを使用してもよい。この場合には、駆動用の電圧信号を印加する時間を、パルス数の代わりに調整することになる。
【００３８】
また、電圧の印加で撓む圧電素子（ピエゾ素子など）を使用して、格子縞スリットを移動させる駆動部とし、その圧電素子に印加する電圧値の調整を、同様の処理で行うようにしてもよい。即ち、電圧値と圧電素子の撓みによる移動位置とが直線的に比例している場合には、格子縞の１ピッチに相当する電圧値を判断して、その１ピッチの電圧値の１／４の電圧値，１／２の電圧値，３／４の電圧値を、３Ｄ用の各位相の電圧値とすればよい。電圧値と移動位置との関係が直線的でない場合には、補正テーブルなどを使って補正すればよい。
【００３９】
また、上述した実施の形態では、回路基板を検査する検査装置に適用したが、格子縞を使った位相シフト法により立体形状を測定する立体形状測定装置であれば、その他の用途の装置に適用してもよい。
また、図１や図２に示した装置形状は、好適な一例であり、同様の原理で測定や検査を行う装置であれば、その他の形状であってもよい。
【符号の説明】
【００４０】
１０…テーブル、１１…制御部、１２…駆動パルス発生部、１３…画像メモリ、１４…画像解析部、１５…メモリ、１６…表示部、１７…操作部、２０…基板（被検査物）、３０…カメラ、３１…撮像レンズ部、３２…上段照明部、３３…下段照明部、３３ａ…開口部、４０…３Ｄ用投影部、４１…投光機、４１ａ…投影光出力部、４２…投影レンズ、４３…モータ、４４…ボールネジ、４５…スライドテーブル、４５ａ…ネジ取り付け部、４６…格子縞スリット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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