(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
作業台の平坦な載置面上に載置されて所定の処理が施されると共に、前記載置面上に載置された際に山部と谷部とが存在する形状とされ且つ平面視が略矩形とされたフラットパネルディスプレイ用ガラス基板であって、
前記載置面上に載置された際に、該載置面との間に、少なくとも隣接する二辺に開放する通気路が形成される形状とされていると共に、前記載置面と接触する複数の谷部が形成され、これらの谷部は、隣接する二辺にそれぞれ平行な何れの方向に対しても不連続とされていることを特徴とするフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。
【請求項２】
前記少なくとも隣接する二辺に開放する通気路が連通していることを特徴とする請求項１に記載のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。
【請求項３】
前記通気路は、外周側の多方向に向かって形成されることを特徴とする請求項１または２に記載のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。
【請求項４】
前記複数の谷部は、不規則的に散在していることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板に係り、詳しくは、セッター等の作業台の平坦な載置面上に当該ガラス基板を載置（移載）した際に、該載置面上で当該ガラス基板を正確に位置決めするための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、プラズマディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ（サーフェイスエミッションディスプレイを含む）、液晶ディスプレイ、及びエレクトロルミネッセンスディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（以下、ＦＰＤともいう）は、ＦＰＤ用ガラス基板を原板として加工等されたパネルガラスを用いて製作される。その場合、原板となるＦＰＤ用ガラス基板（以下、単にガラス基板ともいう）の表面には、所要の素子が形成されるが、この素子形成に際しては、ガラス基板に対して熱処理を施すのが通例である。
【０００３】
この熱処理は、セッターに代表される作業台の平坦な載置面上にガラス基板を載置した状態で、加熱炉内に搬送する手法により行われるのが一般的であるが、ガラス基板に対して適正な熱処理を施すには、当該セッターの載置面に対してガラス基板を適切な姿勢で正確に位置決めした状態を維持することが必要となる。このような要請に応じるには、セッターの載置面上にガラス基板を載置（移載）した際、すなわちガラス基板を載置した直後に、載置面上で当該ガラス基板に滑りが生じないような対策を講じることが重要となる。
【０００４】
その対策の一例として、例えば特許文献１の図１に開示されているように、セッターの載置面上にガラス基板を載置した状態で、当該ガラス基板が一方向に対してのみ円弧状に湾曲した形状をなすようにし、このガラス基板の両端における平行な二辺を載置面に接触させることが行われている。また、同文献の図３には、セッターの載置面上において、当該ガラス基板が中央部の広領域に単一の山部を有する形状にして、このガラス基板の四辺周辺部を載置面に接触させることが開示されている。
【０００５】
さらに、例えば特許文献２には、セッターの載置面上において、当該ガラス基板が一の辺に沿う方向に連続する山部と谷部とを交互に有する波形状をなすようにして、当該ガラス基板を、セッターの載置面上の複数箇所で線接触させることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−７３６４号公報
【特許文献２】特開２００９−２２７４７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述の特許文献１の図１に開示された対策では、ガラス基板が自重により平坦な状態に近づく変形を来たす際に、その変形の度合いが大きいことに起因して、載置面との間の空気層がガラス基板を持ち上げる力を生じさせる。そして、ガラス基板がこのような形状であることに由来して、上記の空気層から空気が抜け出るための時間が長くなり、この事と相俟って、ガラス基板が載置面上に載せられた直後に滑りが生じ易くなる。
【０００８】
また、上述の特許文献１の図３に開示された対策によれば、ガラス基板が自重により平坦な状態に近づく変形を来たした場合には、載置面との間の空気層が閉鎖状態となって空気の抜け路がなくなるため、ガラス基板を持ち上げる力が増大して、上記の滑りの問題がより一層深刻化する。
【０００９】
さらに、上記の特許文献２に開示された対策によれば、セッターの載置面上でガラス基板が波形状となって複数の直線状の通気路が形成されるが、これらの通気路は、一方向にのみ空気流動を生じさせるに過ぎないものとなる。そのため、これらの通気路の一方向への空気流動が阻害された場合には、もはや他方向に空気が抜け出ることは有り得なくなるため、その通気路内で空気層が閉鎖状態となり、この空気層の存在により、上記の滑りの問題が生じ得る。なお、通気路の空気流動を阻害する要因としては、ガラス基板が近年の大型薄肉化に伴って予測に反して変形して通気路を塞ぐことや、セッターの載置面が平坦性を維持しつつも一部領域に規則性をもって溝部や凸部を有する場合があり、これが通気路を塞ぐことなどが挙げられる。
【００１０】
そして、特に、この波形状のガラス基板は、全ての通気路が概ね同一の条件で形成されているため、一つの通気路のみが空気流動を阻害されることは想定し難く、むしろ全ての通気路が一律に一方向への空気流動を阻害されて他方向に空気が全く抜け出なくなる可能性が高いと推認できる。このような事態が発生した場合には、多くの空気層が閉鎖状態となるため、上記の滑りの問題はさらに深刻化する。
【００１１】
以上のように、セッター等の作業台の載置面上でガラス基板に滑りが生じると、両者間での正確な位置決めがされていないことになるため、ガラス基板に対する適正な熱処理等の処理が妨げられて、高品位のパネルガラス等が得られなくなるという致命的な問題に発展する。
【００１２】
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、セッター等の作業台の載置面上にガラス基板を載置した場合における滑りの問題を解消して、正確な位置決めがなされるようにし、これによりガラス基板に適正な処理が施されるようにすることを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記技術的課題を解決するために創案された本発明は、作業台の平坦な載置面上に載置されて所定の処理が施されると共に、前記載置面上に載置された際に山部と谷部とが存在する形状とされ且つ平面視が略矩形とされたフラットパネルディスプレイ用ガラス基板であって、前記載置面上に載置された際に、該載置面との間に、少なくとも隣接する二辺に開放する通気路が形成される形状とされていると共に、前記載置面と接触する複数の谷部が形成され、これらの谷部は、隣接する二辺にそれぞれ平行な何れの方向に対しても不連続とされていることに特徴づけられる。
【００１４】
このような構成によれば、セッター等の作業台の載置面上にガラス基板が載置された際には、載置面とガラス基板との間に、当該ガラス基板の少なくとも二辺（少なくとも直角な二辺）に開放する通気路が形成されることになるため、載置面とガラス基板との間に介在される空気は、ガラス基板の一方向のみならずこれと直角な他方向からも抜け出ることができる。これにより、ガラス基板の一方向から空気が抜け出る通気路と、他方向から空気が抜け出る通気路とが、一律に空気流動を阻害される確率は極めて小さくなる。その結果、これらの通気路に、当該ガラス基板を持ち上げるに足る閉鎖状態の空気層が生じ難くなり、ガラス基板の滑りが抑制されるため、載置面に対するガラス基板の正確な位置決めが可能となって、加熱処理等の処理が適正に行われ得る。
【００１５】
この場合、ガラス基板における前記少なくとも隣接する二辺に開放する通気路は、連通していることが好ましい。
【００１６】
このようにすれば、例えば、ガラス基板の一の辺に開放する通気路がその途中や開放端近傍で閉ざされた場合であっても、その通気路内の空気は、上記の一の辺と直角な他の辺に開放する通気路から抜け出ることができるため、これらの通気路に跨って大きな閉鎖状態の空気層が生成される事態が回避され、載置面上でのガラス基板の滑りをより一層確実に抑制することが可能となる。
【００１７】
以上の構成において、前記通気路は、外周側の多方向に向かって形成されることが好ましい。
【００１８】
このようにすれば、空気が抜け難い部位であるガラス基板の中央領域に、単一の空気層または独立した複数の空気層が形成されても、その空気層からは、外周側の多方向に向かう通気路を通過して空気が効率良く抜け出ることになるため、ガラス基板の載置面上での滑りが効果的に回避され得る。
【００１９】
本発明では、既述のように、当該ガラス基板には、前記載置面と接触する複数の谷部が形成され、これらの谷部は、当該ガラス基板の隣接する二辺にそれぞれ平行な何れの方向に対しても不連続とされている。                                                                   
【００２０】
このようにすれば、載置面とガラス基板との間において、複数の谷部の相互間に形成される通気路を、当該ガラス基板の少なくとも二辺に開放させることが容易に行えるようになり、そのような形状を有するガラス基板の作製が簡易化される。なお、これら複数の谷部は、あらゆる方向に不連続であることがより好ましく、そのようにした場合には、複数の谷部の相互間に形成される通気路が、何れかの谷部によって塞がれることを阻止できると共に、全ての通気路が連通することになる。したがって、この場合には、載置面とガラス基板との間から、空気が迅速且つ円滑に抜け出ることになり、ガラス基板に滑りを生じさせる要因が可及的に低減する。
【００２１】
このような構成において、前記複数の谷部は、不規則的に散在していることが好ましい。
【００２２】
このようにすれば、ガラス基板の自重による変形が適度に分散されるため、全ての通気路が一挙に押圧変形を受けて空気流動が悪化するという事態が抑止される。
【発明の効果】
【００２３】
以上のように本発明によれば、セッター等の作業台の載置面上にガラス基板が載置された際には、載置面とガラス基板との間に介在される空気が、ガラス基板の一方向のみならずこれと直角な他方向からも抜け出ることができるため、これらの通気路に、当該ガラス基板を持ち上げるに足る閉鎖状態の空気層が生じ難くなる。これにより、ガラス基板の滑りが抑制されるため、載置面に対するガラス基板の正確な位置決めが可能となって、加熱処理等の処理が適正に行われ得る。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１実施形態に係るガラス基板を誇張して模式的に示す概略斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るガラス基板を平面視で捉えた場合における載置面との接触状態を模式的に示す概略平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るガラス基板の一部における載置面との高さ関係を示す概略断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係るガラス基板を誇張して模式的に示す概略斜視図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係るガラス基板を誇張して模式的に示す概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態に係るフラットパネルディスプレイ用ガラス基板を添付図面を参照して説明する。
【００２６】
図１は、本発明の第１実施形態に係るガラス基板１がセッター２の平坦な載置面２ａ上に載置されている状態を誇張して例示したものである。このガラス基板１は、平面視が略矩形状をなし、一辺の寸法が４００〜５０００ｍｍ、この一辺と直角な他辺の寸法が８００〜５０００ｍｍであって、平均板厚が０．５〜３．０ｍｍである。このガラス基板１は、同図に示すようにセッター２の載置面２ａ上に載置された後、図外の加熱炉に搬送されて加熱処理を受ける。
【００２７】
同図に示すように、ガラス基板１がセッター２の載置面２ａ上に載置された際には、山部１ａと谷部１ｂとが不規則的に散在しており、載置面２ａとガラス基板１と間には、該ガラス基板１の四つの辺１１、１２、１３、１４に開放する通気路３が形成されている。これらの通気路３は、ガラス基板１における外周側の多方向に向かって形成されている。このガラス基板１の山部１ａ及び谷部１ｂの高さや広さは一律には揃っておらず、それぞれが相違している。なお、同図においては、それぞれの通気路３を通過する主たる空気の流れ方向を、矢印Ａで示している。
【００２８】
詳述すると、ガラス基板１は、複数の谷部１ｂの全部または一部（少なくとも３つの谷部１ｂ）が載置面２ａに接触することにより、載置面２ａ上に支持されており、その接触している谷部１ｂの相互間に形成される空隙のうち四辺１１、１２、１３、１４まで到達している部位が、通気路３となっている。この通気路３の流路面積の大きさは、山部１ａの高さや広さなどに応じて異なっている。ここで、山部１ａと谷部１ｂとの区別に関しては、この実施形態では、山部１ａと谷部１ｂとが滑らかに連続している場合には、谷部１ｂの底端部から山部１ａの頂端部までの高さ方向中央を基準として、谷部１ｂと山部１ａとに区分されている。
【００２９】
図２は、上記のガラス基板１における平面視での形態を模式的に示す概略図である。同図において、クロスハッチングを付した領域Ｂは、ガラス基板１の谷部１ｂの最も低い部位であって載置面２ａと接触している部位を示し、点線で囲まれた領域Ｃは、ガラス基板１の山部１ａの頂端部周辺を示している。そして、クロスハッチングを付した領域Ｂの相互間には、間隙が形成されているが、主たる空気の流れ方向、つまり通気路３における空気の抜け出る方向は、矢印Ａで示す多方向となる。
【００３０】
この場合、複数の谷部１ｂ（特に、クロスハッチングを付した複数の領域Ｂ）は、ガラス基板１の一辺１１（１３）と平行な方向に連続しておらず、且つ、その一辺１１（１３）に隣接する他辺１２（１４）と平行な方向にも連続していない。したがって、それらの谷部１ｂの周囲に形成される全ての通気路３は、相互に連通している。なお、この複数の通気路３については、載置面２ａとガラス基板１との間から空気を抜け出させることが可能であれば、それらの一部が非連通であってもよい。
【００３１】
図３は、セッター２の載置面２ａ上にガラス基板１が載置された状態での一の方向におけるガラス基板１の湾曲形状を示す概略断面図である。同図を参照して、ガラス基板１の形状を説明すると、符号Ｈは、載置面２ａとガラス基板１との間の最大すきまであり、この最大すきまＨは、０．１５ｍｍ以下である。また、符号ｈは、山部１ａと、その両隣の谷部１ｂのうちの高い方の谷部１ｂとの高低差であり、これらの高低差ｈのうちの最大値ｈmaxは、０．００３〜０．１ｍｍ、好ましくは、０．００７〜０．１ｍｍである。そして、ガラス基板１の長さをＬとした場合に、ｈmax／Ｌは、０．００２％未満であると共に、このような関係を満たす山部１ａ及び谷部１ｂは、単位面積（１ｍ2）当たり一箇所以上に存在している。
【００３２】
以上のような構成であると、ガラス基板１がセッター２の平坦な載置面２ａ上に載置された際には、ガラス基板１と載置面２ａとの間に、ガラス基板１の四辺１１、１２、１３、１４に開放する通気路３が相互に異なる方向を指向するように形成されるため、載置面２ａとガラス基板１との間に介在される空気は、ガラス基板１の一方向のみならずこれと異なる他方向からも抜け出ることができる。したがって、自重によってガラス基板１が変形した場合であっても、複数の通気路３が一律に空気流動を阻害されることはないため、ガラス基板１を持ち上げるに足る閉鎖状態の空気層が載置面２ａとの間に生じなくなる。これにより、ガラス基板１を載置面２ａに移載した直後における載置面２ａ上での当該ガラス基板１の滑りが抑制されるため、載置面２ａに対するガラス基板１の正確な位置決めが可能となって、この後における加熱処理等の処理が適正に行われ得る。
【００３３】
また、ガラス基板１における一の辺に開放する通気路３が、その途中や開放端近傍で閉じられた場合であっても、ガラス基板１と載置面２ａとの間に存在する空気は、ガラス基板１の他の辺に開放する通気路３を通じて抜け出ることができる。したがって、ガラス基板１と載置面２ａとの間に、閉鎖状態の大きな空気層が形成されなくなり、このように一部の通気路３が閉鎖された場合にも、載置面２ａ上でのガラス基板１の滑り抑止効果、ひいてはガラス基板１の正確な位置決めが確保され得る。
【００３４】
図４は、本発明の第２実施形態に係るガラス基板１がセッター２の載置面２ａ上に載置された際の状態を例示している。この第２実施形態に係るガラス基板１が上述の第１実施形態に係るそれと相違している点は、ガラス基板１に山部１ａと谷部１ｂとが規則的に配列され、且つ、山部１ａの高さ及び広さ並びに谷部１ｂの深さ及び広さが略同一に形成されているところにある。したがって、この第２実施形態に係るガラス基板１の四辺１１、１２、１３、１４にそれぞれ開放する通気路３の方向性は、対応する各辺と略直角な方向となり、且つ、全ての通気路３の流路面積等が同一条件になる。このような構成によっても、既述の場合と同様の作用が行われ得ることにより、載置面２ａ上でのガラス基板１の滑り抑止効果、ひいては載置面２ａに対するガラス基板１の正確な位置決めが確保される。その他の構成は、上述の第１実施形態に係るガラス基板１と同一であるので、これと共通の構成要件については図４に同一符号を付し、その説明を省略する。
【００３５】
図５は、本発明の第３実施形態に係るガラス基板１がセッター２の載置面２ａ上に載置された際の状態を例示している。この第３実施形態に係るガラス基板１が上述の第１、第２実施形態に係るそれと相違している点は、対角線上における一方側の隣り合う二辺１１１、１２の周辺に山部１ａと谷部１ｂとが形成され、他方側の隣り合う二辺１３，１４の周辺には殆ど山部及び谷部が形成されていないことにより、上記一方側の隣り合う二辺１１、１２のみに通気路３が開放されているところにある。このような構成によっても、載置面２ａとガラス基板１との間に介在される空気は、ガラス基板１の一方向のみならずこれと直角な他方向からも抜け出ることができるため、載置面２ａ上でのガラス基板１の滑り抑止効果、ひいては載置面２ａに対するガラス基板１の正確な位置決めが確保される。その他の構成は、上述の第１、第２実施形態に係るガラス基板１と同一であるので、これらと共通の構成要件については図５に同一符号を付し、その説明を省略する。
【００３６】
以上の第１、第２、第３実施形態に係るガラス基板１は、例えば、以下のようにフロート法を利用して製造される。すなわち、フロートバス内で溶融ガラスを帯状のガラス基板元材に成形した後、軟質の状態にあるガラス基板元材を下方から支持して徐冷炉等に搬送する回転ローラの外周面に、複数の凸部を点在するように形成しておく。このようにすれば、帯状のガラス基板元材には、回転ローラの凸部との接触により山部が形成され、その他の部位が谷部となる。そして、この帯状のガラス基板元材が固化された後、耳部などの不要部分を切除し、さらに複数枚に分割することにより、上述のガラス基板１を得ることができる。なお、回転ローラの外周面に形成される複数の凸部の配列状態を規則的あるいは不規則的にしたり、それらの凸部の大きさをそれぞれ異ならせるなどすれば、上記例示した複数種のガラス基板１を作製することが可能である。
【符号の説明】
【００３７】
１  フラットパネルディスプレイ用ガラス基板（ガラス基板）
１ａ  山部
１ｂ  谷部
２  セッター（作業台）
２ａ  載置面
３  通気路
１１、１２、１３、１４  ガラス基板の辺
【図１】
0005614350.tif 000002
【図２】
0005614350.tif 000003
【図３】
0005614350.tif 000004
【図４】
0005614350.tif 000005
【図５】
0005614350.tif 000006