(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アームと、前記アームの先端に力覚センサを介して設けられたエンドエフェクタとを有する一対のロボットを備えたロボットシステムにおける前記力覚センサの校正方法であって、
前記一対のロボットを撮像して前記一対のロボットの位置補正を行い、前記一対のロボットのエンドエフェクタ同士を当接させる当接工程と、
前記当接工程の実行による一方のロボットの力覚センサの第一の検出信号及び他方のロボットの力覚センサの第二の検出信号を求める測定工程と、
前記他方のロボットの力覚センサが出力した第二の検出信号が、前記一方のロボットの力覚センサの第一の検出信号に基づく力又はモーメントを示す値と同一の値に変換されるように前記検出信号を力又はモーメントを示す値に変換する前記他方のロボットの変換データを更新する校正工程と、
を備えたことを特徴とする力覚センサの校正方法。
【請求項２】
前記当接工程では、前記一対のロボットが面対称の姿勢でエンドエフェクタ同士を当接させることを特徴とする請求項１に記載の力覚センサの校正方法。
【請求項３】
前記各エンドエフェクタには、互いに嵌合可能な凹凸部が形成されており、
前記当接工程では、前記各エンドエフェクタの凹凸部を互いに嵌合させて位置決めすることを特徴とする請求項１又は２に記載の力覚センサの校正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロボットシステムのロボットに搭載された力覚センサの校正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
アームの先端に力覚センサを介してハンド等のエンドエフェクタが設けられたロボットを備えた産業用のロボットシステムが知られている。この種のロボットシステムでは、ロボットにより部品の組立を行う場合、組付け作業の際に手首部分に生じる力やモーメント成分を力覚センサにより検出し、ハンドを含むロボットの姿勢制御を行う。
【０００３】
力覚センサの製造段階において、外力に対する出力のバラツキが発生するために、その出力を校正しなければならない。そのため、６軸の力覚センサであれば、力Ｆｘ，Ｆｙ，Ｆｚ、モーメントＭｘ，Ｍｙ，Ｍｚの各軸毎に錘など用いて力を付与し、その出力に基づいて校正する。この校正された力覚センサをアームに装着して使用することになる。
【０００４】
一方で、力覚センサが搭載されたロボットの使用時に、誤って過大な負荷がかかり、塑性変形等が生じ測定精度を低下させてしまうことがある。その場合には、一旦、アームから力覚センサを取り外し、再校正作業を行っていたため、手間がかかるものであった。これに対して、力覚センサを搭載した状態で力覚センサの校正を行うものが提案されている（特許文献１参照）。この特許文献１では、まず、予め力覚センサが正常に機能している際に基準データを取得しておく。そして、力覚センサの校正が必要となった際には、ロボットの姿勢を所定のパターンで変化させることで、力覚センサの姿勢を変化させて力覚センサの出力信号の変化量を求め、これを基準データと比較し、更新することで校正を行う。これにより、力覚センサをロボットに装着したままで校正できるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−２３７２９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した従来の校正方法では、基準データを事前に取得しなければならない。また、アームの先端に設けられているエンドエフェクタが、基準データを取得した際のエンドエフェクタではなかった場合には、エンドエフェクタを交換しなければならず、手間がかかるといった問題があった。
【０００７】
そして、近年、ロボットシステムが一対のロボットを備えて協調作業するようにしたものが提案されており、ロボットの数が多く、より簡易に力覚センサを校正する方法が望まれていた。
【０００８】
そこで、本発明は、エンドエフェクタを交換せずに、力覚センサをアームの先端に装着したままで校正できる簡易な力覚センサの校正方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の力覚センサの校正方法は、アームと、前記アームの先端に力覚センサを介して設けられたエンドエフェクタとを有する一対のロボットを備えたロボットシステムにおける前記力覚センサの校正方法であって、前記一対のロボットを撮像して前記一対のロボットの位置補正を行い、前記一対のロボットのエンドエフェクタ同士を当接させる当接工程と、前記当接工程の実行による一方のロボットの力覚センサの第一の検出信号及び他方のロボットの力覚センサの第二の検出信号を求める測定工程と、前記他方のロボットの力覚センサが出力した第二の検出信号が、前記一方のロボットの力覚センサの第一の検出信号に基づく力又はモーメントを示す値と同一の値に変換されるように前記検出信号を力又はモーメントを示す値に変換する前記他方のロボットの変換データを更新する校正工程と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、校正済みの力覚センサを基準に校正対象の力覚センサを校正していることとなるので、基準のエンドエフェクタを取り付けて事前に基準データを取得しておく必要はなく、また、エンドエフェクタを交換する必要もなく、校正が簡易になる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態に係るロボットシステムの概略構成を示す説明図である。
【図２】力覚センサの校正方法を説明するための図である。（ａ）は力Ｆｘ（Ｆｙ）の校正方法の一例を示す図、（ｂ）はモーメントＭｙ（Ｍｘ）の校正方法の一例を示す図、（ｃ）は力Ｆｚの校正方法の一例を示す図、（ｄ）はモーメントＭｚの校正方法の一例を示す図である。
【図３】別の実施の形態の力覚センサの校正方法を説明するための図である。（ａ）は校正済みの力覚センサに作用する力Ｆｘを使用して校正対象の力覚センサの力Ｆｚの校正方法の一例を示す図、（ｂ）は校正済みの力覚センサの力Ｆｘを利用した校正対象の力覚センサのモーメントＭｙの校正方法の一例を示す図である。
【図４】本発明のさらに別の実施の形態に係るロボットシステムの概略構成を示す説明図である。
【図５】力覚センサの校正方法を説明するための図であり、（ａ）はロボットの位置補正を行う前を示す図、（ｂ）はロボットの位置補正を行った後を示す図である。
【図６】さらに別の実施の形態の力覚センサの校正方法を説明するための図であり、（ａ）はロボットの位置補正を行う前を示す図、（ｂ）はロボットの位置補正を行った後を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明の実施の形態に係るロボットシステムの概略構成を示す説明図である。図１に示すように、ロボットシステム１００はロボット１０１，１０２を一対備えている。一対のロボット１０１，１０２を用いることで、協調作業が可能となる。一対のロボット１０１，１０２は、同一の構成であり、仮想垂直面Ｐに対して面対称に架台２００の水平面上に設けられている。一方のロボット１０１は、多関節のアーム４ａと、アーム４ａの先端（手首部）に力覚センサ１を介して取り付けられたエンドエフェクタとしてのハンド３ａと、を有している。また、他方のロボット１０２は、多関節のアーム４ｂと、アーム４ｂの先端（手首部）に力覚センサ２を介して取り付けられたエンドエフェクタとしてのハンド３ｂと、を有している。各アーム４ａ，４ｂの基端は、架台２００の水平面に固定されている。各アーム４ａ，４ｂは、水平関節、垂直関節などを有する多関節のものであり、各関節には、不図示のモータ等の駆動部が設けられている。また、ロボットシステム１００は、力測定装置５、ロボット制御装置６及びコントローラ７を備えている。
【００１３】
力覚センサ１，２は、例えば６軸の力覚センサであり、互いに直交する３つの力成分Ｆｘ，Ｆｙ，Ｆｚ及びそれらの軸回りの３つのモーメントＭｘ，Ｍｙ，Ｍｚを検出するためのものである。各力覚センサ１，２は、不図示の複数の検出素子を有し、各検出素子から検出信号ｄ１，ｄ２である電圧が出力される。以下、力覚センサ１が出力する電圧を第１の検出信号ｄ１、力覚センサ２が出力する電圧を第２の検出信号ｄ２とする。
【００１４】
力測定装置５は、第１の検出信号ｄ１及び第２の検出信号ｄ２を入力する。そして、力測定装置５は、第１の変換データｃ１に基づいて、入力した第１の検出信号ｄ１を、力またはモーメントを示す値である第１の測定値Ｄ１に変換する演算を行う演算部５１を有している。また、力測定装置５は、第１の検出信号ｄ１を第１の測定値Ｄ１に変換する第１の変換データｃ１を記憶する記憶部５２を有している。つまり、演算部５１は、記憶部５２から第１の変換データｃ１を読み出して、第１の検出信号ｄ１を第１の測定値Ｄ１に変換する。また、力測定装置５の演算部５１は、第２の変換データｃ２に基づいて、入力した第２の検出信号ｄ２を、力またはモーメントを示す値である第２の測定値Ｄ２に変換する演算を行う。また、力測定装置５の記憶部５２は、第２の検出信号ｄ２を第２の測定値Ｄ２に変換する第２の変換データｃ２を記憶している。つまり、演算部５１は、記憶部５２から第２の変換データｃ２を読み出して、第２の検出信号ｄ２を第２の測定値Ｄ２に変換する。記憶部５２に記憶されている変換データｃ１，ｃ２は、例えば検出信号ｄ１，ｄ２を示す電圧値を力又はモーメントを示す測定値Ｄ１，Ｄ２に変換するための行列、変換式、変換テーブルなどの変換パラメータである。
【００１５】
コントローラ７は、システム全体を統括して制御するものであり、入力した各測定値Ｄ１，Ｄ２に基づき、各ロボット１０１，１０２に対する動作指令ｉ１，ｉ２をロボット制御装置６に出力する。ロボット制御装置６は、ロボット１０１，１０２に設けられている不図示のモータに動作指令ｉ１，ｉ２に対応する電流Ｉ１，Ｉ２を供給してモータを動作させ、ロボット１０１，１０２を動作させるものである。
【００１６】
ところで、力覚センサ１，２は、過大な負荷や経年変化による劣化があり、精度が低くなり、校正が必要になる場合がある。本実施の形態では、力覚センサ１は、校正済みの力覚センサであり、力覚センサ２は、校正対象の力覚センサである。ここで、校正済みの力覚センサとは、過大な負荷や経年変化による劣化がほとんどなく、精度が保たれた力覚センサである。力覚センサ２は、過大な負荷や経年変化による劣化があり、精度低下が疑われる力覚センサとする。以下、校正対象の力覚センサ２が出力する検出信号ｄ２を力又はモーメントを示す値に変換するための変換データｃ２を更新する力覚センサの校正方法について説明する。
【００１７】
図２は、力覚センサ２の校正方法を説明するための図である。ここで、力覚センサ１，２は、Ｘ軸方向の力Ｆｘ、Ｙ軸方向の力Ｆｙ、Ｚ軸方向の力Ｆｚ、Ｘ軸方向のモーメントＭｘ、Ｙ軸方向のモーメントＭｙ、Ｚ軸方向のモーメントＭｚを検出できる６軸の力覚センサとして説明する。
【００１８】
＜１．力Ｆｘ（Ｆｙ）の校正方法＞
図２（ａ）に力Ｆｘ（Ｆｙ）の校正方法の一例を示す。まず、コントローラ７は、ロボット制御装置６を介して、一対のロボット１０１，１０２のエンドエフェクタ同士であるハンド３ａ，３ｂ同士を当接させるように各ロボット１０１，１０２を動作させる（当接工程）。この場合、一対のロボット１０１，１０２がＹ−Ｚ平面（仮想面）Ｐ１に対して面対称の姿勢になるように各ロボット１０１，１０２を動作させる。そして、ロボット１０１をＸ方向に移動させ、ロボット１０２を−Ｘ方向へ移動させてハンド３ａ，３ｂ同士を接触させる。そのときに力覚センサ１，２に生じるＸ軸方向の力Ｆｘの大きさは、作用・反作用の法則より同一となる。
【００１９】
次に、力測定装置５の演算部５１は、当接工程の実行による一方のロボット１０１の校正済みの力覚センサ１の検出信号ｄ１を、変換データｃ１を用いて力Ｆｘを示す測定値Ｄ１に変換する（測定工程）。図２（ａ）の場合は、測定値Ｄ１は、−ｆｘである。
【００２０】
次に、力測定装置５の演算部５１は、測定工程で得られた測定値Ｄ１に基づき、当接工程により反作用によって他方のロボット１０２のハンド３ｂに作用している力Ｆｘを示す値ｆｘを求める（算出工程）。具体的には、測定値Ｄ１が−ｆｘであり、ハンド３ｂには反作用でｆｘが作用しているので、演算部５１は、測定値Ｄ１の符合を反対にする演算を行うことで値ｆｘを求める。
【００２１】
次に、力測定装置５の演算部５１は、当接工程で他方のロボット１０２の力覚センサ２が出力した検出信号ｄ２が、算出工程で得られた力Ｆｘを示す値ｆｘと同一の値に変換されるように、変換データｃ２を更新する（校正工程）。これにより、力覚センサ２の力Ｆｘが校正されたこととなる。また、アーム４ａ、４ｂをＺ軸方向に９０°回転させれば、同様に力覚センサ２の力Ｆｙも校正できることがわかる。
【００２２】
＜２．モーメントＭｙ（Ｍｘ）の校正方法＞
図２（ｂ）にモーメントＭｙ（Ｍｘ）の校正方法の一例を示す。この場合、当接工程として、校正済みの力覚センサ１が搭載されたハンド３ａを有するロボット１０１と、校正対象の力覚センサ２が搭載されたハンド３ｂを有するロボット１０２とをＹ−Ｚ平面Ｐ１に対して所定の角度をもって面対称の姿勢になるように移動する。アーム４ａをＸ方向に移動し、アーム４ｂを−Ｘ方向へ移動させて双方のアームのハンド３ａ，３ｂ同士を接触させる。所定の角度を持って接触させることにより、力覚センサ１，２の取り付け面から距離がある箇所で力を生じるために、力覚センサ１によりモーメント−ｍｙが検出されることになる。以下、＜１．Ｆｘ（Ｆｙ）の校正方法＞と同様にして、ＭｘおよびＭｙを校正できることがわかる。
【００２３】
つまり、力測定装置５の演算部５１は、当接工程の実行による一方のロボット１０１の校正済みの力覚センサ１の検出信号ｄ１を、変換データｃ１を用いてモーメントＭｙを示す測定値Ｄ１（−ｍｙ）に変換する（測定工程）。次に、力測定装置５の演算部５１は、測定工程で得られた測定値Ｄ１に基づき、当接工程により反作用によって他方のロボット１０２のハンド３ｂに作用しているモーメントＭｙを示す値ｍｙを求める（算出工程）。次に、力測定装置５の演算部５１は、当接工程で他方のロボット１０２の力覚センサ２が出力した検出信号ｄ２が、算出工程で得られたモーメントＭｙを示す値ｍｙと同一の値に変換されるように、変換データｃ２を更新する（校正工程）。これにより、力覚センサ２のモーメントＭｙが校正されたこととなる。モーメントＭｘについても同様である。
【００２４】
＜３．力ＦｚおよびモーメントＭｚの校正方法＞
図２（ｃ）に力Ｆｚの校正方法の一例、図２（ｄ）にモーメントＭｚの校正方法の一例を示す。この場合、当接工程として、校正済みの力覚センサ１が搭載されたハンド３ａを有するロボット１０１と、校正対象の力覚センサ２が搭載されたハンド３ｂを有するロボット１０２とをＸ−Ｙ平面（仮想面）Ｐ２に対して面対称の姿勢になるように移動する。力Ｆｚの校正は、アーム４ａをＺ方向に移動し、アーム４ｂを−Ｚ方向へ移動させてＦｚの力を発生させることにより行う。モーメントＭｚの校正は、例えば６軸垂直多関節ではＪ６軸にあたる箇所を回転させて、Ｍｚの力を発生させることにより行う。
【００２５】
以上、本実施の形態によれば、校正済みの力覚センサ１を基準に校正対象の力覚センサ２を校正したこととなる。したがって、力覚センサ２を校正する際には、基準となるエンドエフェクタを取り付けて事前に基準データを取得しておく必要はなく、また、エンドエフェクタを交換する必要もない。これにより、力覚センサ２の校正が簡易となり、また、力覚センサ２をアーム４ｂの先端に装着したままで高精度に校正できる。
【００２６】
なお、Ｙ−Ｚ平面（仮想面）Ｐ１とＸ−Ｙ平面（仮想面）Ｐ２とは異なる仮想面としているが、同一の仮想面であってもよく、この場合、図１に示す仮想垂直面Ｐとすればよい。
【００２７】
ここで、生産工程の変更などにより、エンドエフェクタとアームの変更等が起きる場合がある。エンドエフェクタとアームの長さが変わると、想定した接触点からずれてしまい校正精度が低下してしまう可能性がある。その対策として、ロボット制御装置にエンドエフェクタとアームの形状をパラメータに入れて位置補正を行えば良いが、手間がかかる。
【００２８】
そこで、本実施の形態では、図１及び図２に示したように、校正済みの力覚センサ１が搭載されたロボット１０１と、校正対象の力覚センサ２が搭載されたロボット１０２とを仮想垂直面Ｐに対して面対称の姿勢とし、ハンド３ａ，３ｂ同士を接触させている。ハンド３ａ（３ｂ）およびアーム４ａ（４ｂ）の形状変更されたとしても接触位置が面対称になるため、ハンド３ａ（３ｂ）およびアーム４ａ（４ｂ）の形状によらず、容易に校正が可能となる。以上から、力覚センサ２をロボット１０２に装着したままで校正できる簡易な方法を提供できることがわかる。
【００２９】
次に、別の実施の形態の校正対象の力覚センサ２の校正方法について説明する。これまで示した校正方法は、力覚センサ１，２の同じ軸同士の方法であった。しかしながら、その方法だけに限らず、校正対象の力覚センサ２に作用している力又はモーメントが測定できれば、力覚センサ２の校正が可能である。
【００３０】
図３に、別の実施の形態の力覚センサ２の校正方法を説明するための図を示す。以下、図３を参照しながら説明する。図３（ａ）に、校正済みの力覚センサ１に作用する力Ｆｘを使用して校正対象の力覚センサ２の力Ｆｚの校正方法の一例を示す。当接工程として、校正済みの力覚センサ１が搭載されたハンド３ａと、校正対象の力覚センサ２が搭載されたハンド３ｂとを直交するように移動させる。そして、アーム４ａを−Ｚ方向に移動させ、アーム４ｂをＺ方向に移動させてハンド３ａ，３ｂ同士を当接させる。これにより、校正済みの力覚センサ１には−ｆｘの力が発生し、校正対象の力覚センサ２には、ｆｘと同じ大きさの力ｆｚが発生する。これを利用して力覚センサ２を校正する。
【００３１】
具体的に説明すると、力測定装置５の演算部５１は、当接工程の実行による一方のロボット１０１の校正済みの力覚センサ１の検出信号ｄ１を、変換データｃ１を用いて力Ｆｘを示す測定値Ｄ１（−ｆｘ）に変換する（測定工程）。次に、力測定装置５の演算部５１は、測定工程で得られた測定値Ｄ１（−ｆｘ）に基づき、当接工程により反作用によって他方のロボット１０２のハンド３ｂに作用している力Ｆｚを示す値ｆｚを求める（算出工程）。次に、力測定装置５の演算部５１は、当接工程で他方のロボット１０２の力覚センサ２が出力した検出信号ｄ２が、算出工程で得られた力Ｆｚを示す値ｆｚと同一の値に変換されるように、変換データｃ２を更新する（校正工程）。
【００３２】
次に、図３（ｂ）に、校正済みの力覚センサ１の力Ｆｘを利用した校正対象の力覚センサ２のモーメントＭｙの校正方法の一例を示す。当接工程として、校正済みの力覚センサ１が搭載されたハンド３ａと、校正対象の力覚センサ２が搭載されたハンド３ｂとを直交するように移動させる。そして、アーム４ａをＸ方向に移動させ、アーム４ｂを−Ｘ方向に移動させて、ハンド３ａ，３ｂ同士の先端部を当接させる。これにより、校正済みの力覚センサ１には値ｆｚの力Ｆｚが発生し、校正対象の力覚センサ２には値ｍｙのモーメントＭｙが発生する。そのモーメントＭｙの値ｍｙの大きさは、ハンド３ｂの長さをＬとするとｍｙ＝ｆｚ×Ｌとなる。これを利用して力覚センサ２を校正する。
【００３３】
具体的に説明すると、力測定装置５の演算部５１は、当接工程の実行による一方のロボット１０１の校正済みの力覚センサ１の検出信号ｄ１を、変換データｃ１を用いて力Ｆｚを示す測定値Ｄ１（ｆｚ）に変換する（測定工程）。次に、力測定装置５の演算部５１は、測定工程で得られた測定値Ｄ１（ｆｚ）に基づき、当接工程により反作用によって他方のロボット１０２のハンド３ｂに作用しているモーメントＭｙを示す値ｍｙを、ｍｙ＝ｆｚ×Ｌの演算により求める（算出工程）。次に、力測定装置５の演算部５１は、当接工程で他方のロボット１０２の力覚センサ２が出力した検出信号ｄ２が、算出工程で得られたモーメントＭｙを示す値ｍｙと同一の値に変換されるように、変換データｃ２を更新する（校正工程）。このようにして、６軸力覚センサであれば、６×６＝３６通りの校正方法が可能である。
【００３４】
次に、さらに別の実施の形態の力覚センサの校正方法について説明する。この実施の形態では、さらにカメラによる位置補正を利用して校正対象の力覚センサ２を校正する。図４は、本発明のさらに別の実施の形態に係るロボットシステムの概略構成を示す説明図である。水平多関節、垂直多間接などから構成されるアームは、ロボット制御装置からの位置指令に対して誤差を生じる恐れがある。そこで、図４に示すロボットシステム１００Ａは、図１のロボットシステム１００に示す各装置と同様の装置を備えると共に、カメラ８及びカメラ８の画像を処理するビジョン測定装置９を備えている。
【００３５】
図５は、力覚センサの校正方法を説明するための図であり、図５（ａ）はロボット１０１，１０２の位置補正を行う前を示す図、図５（ｂ）はロボット１０１，１０２の位置補正を行った後を示す図である。当接工程において、図５（ａ）に示すように、ハンド３ａとハンド３ｂとが、所定の校正位置からずれる場合がある。そこで、カメラ８を利用して、以下の手順で各ロボット１０１，１０２の位置補正を行う。
【００３６】
当接工程において、まずカメラ８により一対のロボット１０１，１０２のハンド３ａ，３ｂを撮像して画像を取得する。ビジョン測定装置９はカメラ８から送信された画像を処理して、所定の校正位置からの誤差を計算する。その計算結果をコントローラ７に送り、ロボット制御装置６を通してアーム４ａ、４ｂに位置指令を与え、一対のロボット１０１，１０２の位置補正を行う。再度、カメラ８により、ハンド３ａ、３ｂの画像を取得し、所定の校正位置からの誤差が許容範囲内であれば位置修正作業は終了となる。そして、図５（ｂ）に示すように、一対のロボット１０１，１０２のハンド３ａ，３ｂ同士を当接させる。なお、測定工程、算出工程、校正工程は、上述した実施の形態と同様であるので説明を省略する。
【００３７】
このようにして、カメラ８によるハンド３ａ，３ｂおよびアーム４ａ，４ｂの位置補正を含んだ校正を行うことで、力覚センサ２の校正作業をより高精度で実行することが可能となる。
【００３８】
次に、さらに別の実施の形態の力覚センサの校正方法について説明する。図６は、さらに別の実施の形態の力覚センサの校正方法を説明するための図であり、図６（ａ）はロボット１０１，１０２の位置補正を行う前を示す図、図６（ｂ）はロボット１０１，１０２の位置補正を行った後を示す図である。この実施の形態では、各ハンド３ａ，３ｂに互いに嵌合可能な位置決め用の凹凸部１０ａ，１０ｂを形成している。ここで、ハンド３ａの凹凸部１０ａとハンド３ｂの凹凸部１０ｂとの嵌め合い公差は、校正精度の許容範囲内に収まる位置誤差になるように設計されている。
【００３９】
当接工程において、各ハンド３ａ，３ｂの凹凸部１０ａ，１０ｂが互いに嵌合するように、コントローラ７を手動操作して、ロボット制御装置６を通じて、アーム４ａ，４ｂを微修正することができる。これにより、各ハンド３ａ，３ｂの位置決めがなされる。その他の方法としては、凹凸部１０ａ，１０ｂの嵌合作業の際に生じるハンド３ａの校正済みの力覚センサ１の値を用いて、アーム４ａをインピーダンス制御により動作させることも可能である。力覚センサによるインピーダンス制御は公知技術であるため説明は省略する。手動または校正済みの力覚センサ１によるインピーダンス制御により位置補正作業が終了となる。なお、測定工程、算出工程、校正工程は、上述した実施の形態と同様であるので説明を省略する。
【００４０】
このようにして、ハンド３ａ，３ｂの凹凸部１０ａ，１０ｂを利用してハンド３ａ，３ｂの位置決めを行うことで、力覚センサ２の校正作業をより高精度で実行することが可能となる。
【符号の説明】
【００４１】
１  校正済みの力覚センサ
２  校正対象の力覚センサ
３ａ，３ｂ  ハンド（エンドエフェクタ）
４ａ，４ｂ  アーム
１００，１００Ａ  ロボットシステム
１０１，１０１  ロボット
【図１】
0005550468.tif 000002
【図２】
0005550468.tif 000003
【図３】
0005550468.tif 000004
【図４】
0005550468.tif 000005
【図５】
0005550468.tif 000006
【図６】
0005550468.tif 000007