(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
カーボン粒子とアルミナ粒子とを、これらの混合比（カーボン粒子／アルミナ粒子）が窒化アルミニウムを生成する際に要求される前記カーボン粒子と前記アルミナ粒子との化学両論的な混合比以上となるように混合して坩堝内に配置する工程と、
前記カーボン粒子及び前記アルミナ粒子に対して、窒素雰囲気下においてマイクロ波を照射し、前記アルミナ粒子を前記カーボン粒子で還元窒化して窒化アルミニウムを得るとともに、この窒化アルミニウムを昇華させ、非加熱状態の部材に付着させる工程とを具え、  
直径が３０ｎｍ〜２μｍであって、長さが１０μｍ〜２ｍｍである窒化アルミニウムワイヤーを製造することを特徴とする、窒化アルミニウムワイヤーの製造方法。
【請求項２】
前記混合比は、前記窒化アルミニウムを生成する際に要求される前記カーボン粒子と前記アルミナ粒子との化学両論的な混合比の４／３であることを特徴とする、請求項１に記載の窒化アルミニウムワイヤーの製造方法。
【請求項３】
前記坩堝の周囲において、マイクロ波透過性の断熱部材を配置する工程を具え、前記所定の部材は前記断熱部材であって、前記窒化アルミニウムは前記断熱部材に付着させることを特徴とする、請求項１又は２に記載の窒化アルミニウムワイヤーの製造方法。
【請求項４】
前記断熱部材はアルミナからなることを特徴とする、請求項３に記載の窒化アルミニウムワイヤーの製造方法。
【請求項５】
前記坩堝と前記断熱部材との間に、前記カーボン粒子及び前記アルミナ粒子を挟み込むようにしてマイクロ波吸収体を配置する工程を具えることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一に記載の窒化アルミニウムワイヤーの製造方法。
【請求項６】
前記マイクロ波吸収体はカーボンからなることを特徴とする、請求項５に記載の窒化アルミニウムワイヤーの製造方法。
【請求項７】
前記カーボン粒子は活性炭粒子であることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一に記載の窒化アルミニウムワイヤーの製造方法。
【請求項８】
前記窒化アルミニウムワイヤーは、六角柱状又は四角柱状であることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一に記載の窒化アルミニウムワイヤーの製造方法。
【請求項９】
前記窒化アルミニウムワイヤーは、複数の窒化アルミニウムワイヤーであって、これらがネットワーク状に形成されてなることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一に記載の窒化アルミニウムワイヤーの製造方法。
【請求項１０】
カーボン粒子とアルミナ粒子とを混合して配置する坩堝と、
前記カーボン粒子及び前記アルミナ粒子に対して、窒素雰囲気下においてマイクロ波を照射し、前記アルミナ粒子を前記カーボン粒子で還元窒化して窒化アルミニウムを得るとともに、この窒化アルミニウムを昇華させるためのマイクロ波照射装置と、
前記坩堝の周囲に設けられるとともに、昇華した前記窒化アルミニウムを付着させるマイクロ波透過性の断熱部材と、
を具えることを特徴とする、窒化アルミニウムワイヤーの製造装置。
【請求項１１】
前記断熱部材は、アルミナからなることを特徴とする、請求項１０に記載の窒化アルミニウムワイヤーの製造装置。
【請求項１２】
前記坩堝と前記断熱部材との間に、前記カーボン粒子及び前記アルミナ粒子を挟み込むようにして配置したマイクロ波吸収体を具えることを特徴とする、請求項１０又は１１に記載の窒化アルミニウムワイヤーの製造装置。
【請求項１３】
前記マイクロ波吸収体はカーボンからなることを特徴とする、請求項１２に記載の窒化アルミニウムワイヤーの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高絶縁性及び高伝熱性フィラーとして有用な、窒化アルミニウムワイヤーの製造方法及び製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
窒化アルミニウム（ＡｌＮ）は、六方晶ウルツ鉱構造のワイドギャップ物質で、ＡｌとＮとが共有結合的に結びついた優れたフォノン熱伝導体である。したがって、ＡｌＮは高絶縁性を有するとともに高熱伝導性を有するため、ＡｌＮ粒子は、電子部品装置や半導体装置の封止樹脂中に含有させるフィラーとして有効である。すなわち、ＡｌＮ粒子を封止樹脂中に含有させることによって、封止樹脂の絶縁性を担保しながら、封止樹脂の熱伝導性を高めることができる。
【０００３】
このため、電子部品や半導体チップを駆動させることによって生成した熱を効率良く伝搬させて、外部に放出させることができるようになる。結果として、封止樹脂の熱劣化や熱破損を抑制することができ、上記電子部品装置や半導体装置の寿命を大幅に向上させることができる。
【０００４】
ＡｌＮ粒子は、例えば特許文献１に記載されているように、アルミナ粉末とカーボン粉末とを窒素雰囲気下、１５５０℃の温度で６時間焼成することによって製造することができる。また、例えば特許文献２及び特許文献３に記載されているように、アルミナ粒子とカーボンブラックとを造粒して造粒体を得た後、この造粒体を乾燥し、さらに１６００℃で４２０分間、または１５５０℃で６時間焼成して製造することができる。
【０００５】
しかしながら、これらの方法では粒子状のＡｌＮしか製造することができず、樹脂中に含有させる場合においてその本来的な高熱伝導性を発揮できるようにするためには、比較的多量のＡｌＮ粒子を含有させなければならないという問題があった。また、近年においては、電子部品装置や半導体装置の小型化の要求が高まっており、これに伴って封止樹脂の強度向上に関する要求も高まっている。したがって、このような樹脂中に含有させるフィラーに対しても上述した高熱伝導性に加えて、高強度特性が要求されるようになっている。
【０００６】
また、上記方法では、ＡｌＮ粒子を製造するに際し、焼成温度が１５００℃〜１６００℃にも達し、さらに焼成時間が数時間にも及ぶため、製造歩留まりが極めて低く、またエネルギー消費量が高いという問題もあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開昭５９−５０００８号
【特許文献２】特開平１０−２４５２０７号
【特許文献３】特許第３７０６１７６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、熱伝導性フィラー及び高強度フィラーとして好適に用いることができる新規な形態のＡｌＮを簡易に提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、
カーボン粒子とアルミナ粒子とを、これらの混合比（カーボン粒子／アルミナ粒子）が窒化アルミニウムを生成する際に要求される前記カーボン粒子と前記アルミナ粒子との化学両論的な混合比以上となるように混合して坩堝内に配置する工程と、
前記カーボン粒子及び前記アルミナ粒子に対して、窒素雰囲気下においてマイクロ波を照射し、前記アルミナ粒子を前記カーボン粒子で還元窒化して窒化アルミニウムを得るとともに、この窒化アルミニウムを昇華させ、非加熱状態の部材に付着させる工程とを具え、  
直径が３０ｎｍ〜２μｍであって、長さが１０μｍ〜２ｍｍである窒化アルミニウムワイヤーを製造することを特徴とする、窒化アルミニウムワイヤーの製造方法に関する。
【００１１】
直径が３０ｎｍ〜２μｍであって、長さが１０μｍ〜２ｍｍであることを特徴とする、窒化アルミニウムワイヤーを製造することを特徴とする、窒化アルミニウムワイヤーの製造方法に関する。
【００１２】
さらに、本発明は、
カーボン粒子とアルミナ粒子とを混合して配置する坩堝と、
前記カーボン粒子及び前記アルミナ粒子に対して、窒素雰囲気下においてマイクロ波を照射し、前記アルミナ粒子を前記カーボン粒子で還元窒化して窒化アルミニウムを得るとともに、この窒化アルミニウムを昇華させるためのマイクロ波照射装置と、
前記坩堝の周囲に設けられるとともに、昇華した前記窒化アルミニウムを付着させるマイクロ波透過性の断熱部材と、
を具えることを特徴とする、窒化アルミニウムワイヤーの製造装置に関する。
【００１３】
本発明によれば、カーボン粒子とアルミナ粒子とを混合して坩堝内に配置した後、これらカーボン粒子及びアルミナ粒子に対して、窒素雰囲気下、マイクロ波を照射するようにしている。この場合、アルミナ粒子はカーボン粒子で還元窒化されて窒化アルミニウムに変換されるとともに、この窒化アルミニウムは昇華し、非加熱状態の部材、例えば坩堝の周囲に設けた、マイクロ波透過性の断熱部材に付着するようになる。
【００１４】
上記非加熱状態の部材、例えばマイクロ波透過性の断熱部材は低温に保持されているので、特に原因は明確となっていないが、昇華した窒化アルミニウムが付着して急冷されることにより、前記窒化アルミニウムはワイヤー状に析出するようになる。したがって、このような窒化アルミニウムワイヤーを樹脂中に含有させることにより、比較的少ない含有量においても高い熱伝導性及び高強度特性を付与することができるようになる。
【００１５】
なお、本発明における“非加熱状態”とは、所定の加熱手段を用いて積極的に加熱されていない状態を意味し、例えばカーボン粒子及びアルミナ粒子に対してマイクロ波を照射した場合に生じる輻射熱などによる加熱は排除しないものである。但し、このような輻射熱による加熱の効果は少なく、以下に説明するように、昇華した窒化アルミニウムが付着する部材の一例である断熱部材もマイクロ波透過性であるため、当該部材もほとんど加熱されることがない。したがって、昇華した窒化アルミニウムが付着する部材の温度は通常、室温（約２５℃）程度から数十度の範囲に保持されているものである。
【００１６】
また、本発明によれば、窒化アルミニウムワイヤーは直径が３０ｎｍ〜２μｍであって、長さが１０μｍ〜２ｍｍのように形成することができる。
【００１７】
本発明においては、上記窒化アルミニウム層を形成するに際し、マイクロ波装置を用い、このマイクロ波装置からマイクロ波を照射することにより実施しているので、上記窒化アルミニウム層の形成時間はマイクロ波の照射時間、すなわち数分から数十分のオーダである。したがって、製造歩留まりが高く、エネルギー消費量も極めて低くすることができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上、本発明によれば、熱伝導性フィラー及び高強度フィラーとして好適に用いることが可能な新規な形態のＡｌＮを簡易に提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の窒化アルミニウム系粒子の製造装置の一例を示す構成図である。
【図２】本発明の窒化アルミニウム系粒子の製造装置の他の例を示す構成図である。
【図３】実施例における窒化アルミニウムワイヤーのＸＲＤ測定結果である。
【図４】実施例における窒化アルミニウムワイヤーのＳＥＭ写真である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の詳細、並びにその他の特徴及び利点について、実施の形態に基づいて説明する。
【００２１】
図１は、本発明の窒化アルミニウムワイヤーの製造装置の一例を示す構成図である。なお、図１は、製造装置の断面を示したものであり、製造装置を構成する各部材、すなわち坩堝やマイクロ波透過性の断熱部材などは、中心線Ｉ−Ｉの周りに同心円状に形成された円柱状部材である。
【００２２】
図１に示すように、本実施形態における窒化アルミニウムワイヤーの製造装置１０は、坩堝１１と、この坩堝１１の周囲に設けられたマイクロ波透過性の断熱部材１２とを有している。坩堝１１は内側坩堝１１１及び外側坩堝１１２の２重構造になっており、内側坩堝１１１内には、原料Ｓとなるカーボン粒子及びアルミナ粒子が混合して配置されている。また、外側坩堝１１２内には、原料Ｓを挟むようにしてマイクロ波吸収体１３が配置されている。さらに、断熱部材１２の、内側坩堝１１１の上方に位置する部分は開口し、その内周面１２Ａが前記開口に対して露出している。
【００２３】
なお、図１においては、内側坩堝１１１の上部と外側坩堝１１２の上部との高さがほぼ同一となるようにして形成されているが、断熱部材１２の内周面１２Ａが前記開口に露出していれば、それらの高さの相対的関係については特に限定されるものではない。
【００２４】
また、カーボン粒子及びアルミナ粒子は、予め所定の混錬機を用いて十分に混合した後、内側坩堝１１１内に配置する。
【００２５】
カーボン粒子及びアルミナ粒子の大きさは特に限定されるものではなく、必要に応じて任意の大きさとすることができる。例えば、カーボン粒子は、平均粒子径（Ｄ５０）が０．０１μｍ〜１００μｍとすることができる。また、アルミナ粒子は、平均粒子径（Ｄ５０）が１μｍ〜１５０μｍとすることができる。
【００２６】
平均粒子径（Ｄ５０）は、レーザ回折法により求めた、質量基準の累積百分率が５０％に相当する粒子径を意味する。
【００２７】
坩堝１１は、汎用の坩堝材、例えば石英や黒鉛、窒化ホウ素、窒化アルミニウムなどから構成することができる。但し、石英はマイクロ波透過性であるため、マイクロ波を導入した場合に、マイクロ波を坩堝内に十分に閉じ込めておくことができず、以下に説明するような、カーボン粒子を十分に加熱することができない場合がある。したがって、アルミナ粒子の表層部分でのアルミナ粒子とカーボン粒子との反応（還元反応）を十分に行うことができない場合がある。
【００２８】
また、黒鉛は原料となるカーボン粒子と同様にマイクロ波吸収性が高く、部分的に溶解して反応系を汚染させてしまう恐れがあり、また、高強度のマイクロ波を照射することによって溶解破損してしまう場合がある。以上のことから、坩堝１１は、上述した欠点のない窒化ホウ素又は窒化アルミニウムから構成することが好ましい。
【００２９】
断熱部材１２は、坩堝１１を外界から熱的に遮断し、坩堝１１内にマイクロ波を導入し、坩堝１１内に配置した原料を加熱した場合において、その温度を簡易かつ十分に保持するためのものである。但し、断熱部材１２がマイクロ波を吸収してしまうと、反応の過程で断熱部材１２が部分的あるいは全体的に溶解して破損してしまう恐れがあるので、マイクロ波透過性の材料から構成する。マイクロ波透過性の材料としては、炭化ケイ素やアルミナなどを挙げることができるが、入手が容易であって安価であることからアルミナが好ましい。
【００３０】
マイクロ波吸収体１３は、マイクロ波照射による原料の加熱を補助するためのものであり、マイクロ波を吸収して加熱されるような材料から構成する。具体的には、本発明の原料と同じカーボンから構成することができる。この場合、マイクロ波吸収体１３を構成する材料を別途準備する必要がないため、目的とする窒化アルミニウム系粒子を得る際の操作をより簡易化することができる。
【００３１】
また、図１から明らかなように、坩堝１１の上方にはマイクロ波照射装置１５が配置され、このマイクロ波照射装置１５から発せられたマイクロ波が、導管１６を伝わって坩堝１１、すなわち内側坩堝１１１内に導入されるようになっている。
【００３２】
図１に示す製造装置１０は、マイクロ波照射装置１５及び導管１６を除いた坩堝１１及び断熱部材１２などは、マイクロ波が製造装置１０の外部に漏洩しないように、図示しない所定のアプリケータに収納するが、その内部雰囲気は窒素雰囲気とする。
【００３３】
次に、図１に示す製造装置を用いた場合の、窒化アルミニウム系粒子の製造方法について説明する。
【００３４】
最初に、上述したように、所定の混錬機でカーボン粒子及びアルミナ粒子を所定の混合比となるように混合した後、製造装置１０の内側坩堝１１１内に原料Ｓとして配置する。カーボン粒子及びアルミナ粒子の混合比は、目的とする反応を経ることによって目的とする窒化アルミニウム系粒子を得ることができれば特に限定されるものではないが、好ましくはカーボン粒子とアルミナ粒子との混合比（カーボン粒子／アルミナ粒子）が、窒化アルミニウムを生成する際に要求されるカーボン粒子とアルミナ粒子との化学量論的な混合比（カーボン粒子／アルミナ粒子）以上となるようにする。これによって、目的とする窒化アルミニウム系粒子を得る際の製造条件が緩和される。具体的には、照射すべきマイクロ波の強度を低下させることができ、照射時間を短縮することができる。
【００３５】
なお、この原因については現在明確ではないが、反応過程で生成あるいは雰囲気中に存在する酸素などがカーボン粒子に吸着してしまい、実際の反応に寄与するカーボン粒子の割合が実質的に減少してしまうためと考えている。したがって、カーボン粒子の割合を化学量論的な割合よりも大きくすることによって、実際の反応に寄与するカーボン粒子の実質的な割合が化学量論的な割合により近くなり、その結果、上述のように製造条件の自由度が向上するものと考えられる。但し、これらの事項は、あくまで本発明者らの考察に基づくものであって、本発明の範囲や進歩性に対して何ら影響を与えるものではない。
【００３６】
一例として、カーボン粒子とアルミナ粒子との混合比（カーボン粒子／アルミナ粒子）を、窒化アルミニウムを生成する際に要求されるカーボン粒子とアルミナ粒子との化学量論的な混合比（カーボン粒子／アルミナ粒子）の４／３倍、あるいはそれ以上とすることができる。
【００３７】
次いで、マイクロ波照射装置１５から、例えば周波数２．４５ＧＨｚのマイクロ波を、導管１６を伝搬させて内側坩堝１１１内に配置した原料Ｓに対して照射する。このとき、原料Ｓは上記マイクロ波を吸収することによって加熱される。一方、一部漏洩したマイクロ波がマイクロ波吸収体１３にも吸収されるようになり、これによってマイクロ波吸収体１３も加熱されるようになる。したがって、原料Ｓは、マイクロ波吸収体１３によっても間接的及び補助的に加熱されるようになる。また、原料Ｓは断熱部材１２によって外界と熱的に遮断されている。
【００３８】
結果として、原料Ｓ、すなわち反応系は、所定の温度で所定の時間保持することができ、原料Ｓにおけるアルミナ粒子がカーボン粒子で還元窒化されるとともに、得られた窒化アルミニウムは昇華して断熱部材１２の内周面１２Ａに付着するようになる。その結果、特に原因は明確でないが、昇華した窒化アルミニウムが急冷されることによって、昇華した窒化アルミニウムは内周面１２Ａ上でワイヤー状に析出するようになり、目的とする窒化アルミニウムワイヤーを製造できるようになる。
【００３９】
窒化アルミニウムワイヤーは、直径が３０ｎｍ〜２μｍであって、長さが１０μｍ〜２ｍｍとすることができる。また、その形状は六角柱状又は四角柱状とすることができる。さらに、複数の窒化アルミニウムワイヤーが絡み合ってネットワーク状に形成することができる。
【００４０】
なお、直径及び長さは、マイクロ波の照射強度などを制御することによって調節することができるが、その形状の制御方法は未だ明らかになっていない。
【００４１】
原料Ｓ、すなわちカーボン粒子及びアルミナ粒子からの窒化アルミニウムの生成は、以下に示すような炭素還元窒化の反応式に基づく。
Ａｌ２Ｏ３（ｓ）＋３Ｃ（ｓ）＋Ｎ２→２ＡｌＮ（ｓ）＋３ＣＯ（ｇ）
【００４２】
また、断熱部材１２の内周面１２Ａにおける窒化アルミニウムワイヤーの析出は、以下の反応式に基づく。
ＡｌＮ（ｓ）→ＡｌＮ（ｇ）→ＡｌＮ（ｓ）
【００４３】
なお、マイクロ波の照射時間は、数分から数十分である。また、マイクロ波の強度は、例えば図１に示すように、内側坩堝１１１の内径を８ｍｍ、高さを５３ｍｍ、外側坩堝１１２の内径を２０ｍｍ、高さを３５ｍｍとしたような場合、すなわち製造装置１０の大きさが数ミリメートルから数十ミリメートルのオーダである場合、数百Ｗのオーダとすることができる。
【００４４】
また、上述のように、カーボン粒子とアルミナ粒子との混合比（カーボン粒子／アルミナ粒子）を、窒化アルミニウムを生成する際に要求されるカーボン粒子とアルミナ粒子との化学量論的な混合比（カーボン粒子／アルミナ粒子＝３／１：上記反応式参照）あるいはそれ以上とすることによって、目的とする窒化アルミニウムワイヤーを得る際の製造条件が緩和され、照射すべきマイクロ波の強度を低下させることができ、照射時間を短縮することができる。
【００４５】
さらに、カーボン粒子は、活性炭粒子とすることができる。この場合においても、目的とする窒化アルミニウムワイヤーを得る際の製造条件を緩和することができる。具体的には、照射すべきマイクロ波の強度を低下させることができ、照射時間を短縮することができる。この理由についても特に明確ではないが、活性炭粒子が何らかの触媒作用を奏していることに起因すると推定される。但し、この事項は、あくまで本発明者らの考察に基づくものであって、本発明の範囲や進歩性に対して何ら影響を与えるものではない。
【００４６】
図２は、本発明の窒化アルミニウムワイヤーの製造装置の他の例を示す構成図である。図２に示すように、本実施形態における窒化アルミニウムワイヤーの製造装置２０は、断熱部材１２の開口に露出した内周面１２Ａの上部に、例えばアルミナなどのマイクロ波透過性の材料からなる蓋体１８が設けられ、前記開口が外部から遮蔽されている点で、図１に示す製造装置１０と異なるが、その他の構成要素については図１に示す製造装置１０と同一である。
【００４７】
したがって、窒化アルミニウムワイヤーを製造する際の工程も、上記製造装置１０を用いた場合と同様であるが、上述のように、製造装置２０においては、内周面１２Ａの上部に蓋体１８を設けているので、昇華した窒化アルミニウムの、開口に露出した内周面１２Ａに付着しきれなかった分を、外部に対して漏洩することなく、蓋体１８に付着させることができ、窒化アルミニウムワイヤーとして析出させることができる。この結果、昇華した窒化アルミニウムの回収効率を増大させることができ、窒化アルミニウムワイヤーの製造歩留まりを向上させることができる。
【００４８】
なお、蓋体１８はマイクロ波透過性の材料からなるので、断熱部材１２と同様の作用効果を奏する。かかる意味で、蓋体１８は断熱部材１２の一部として考えることもできる。
【００４９】
その他の特徴については、図１に示す製造装置１０を用いた場合と同様であるので、説明を省略する。
【実施例】
【００５０】
（実施例１）
活性炭（ノーリットSX-II）とマイクロンアルミナ(AX116、平均粒径：２０．６μｍ)とを４：１のモル比で秤量及び混合した原料Ｓを０．６gとし、マイクロ波吸収体１３として活性炭ノーリットSX-IIの１．０ｇを準備した。次いで、図１に示す製造装置１０を用い、上述した製造方法にしたがって断熱部材１２の内周面１２Ａ上に窒化アルミニウムワイヤーを得た。マイクロ波照射装置から照射されるマイクロ波の強度は４５０Ｗとし、照射時間を２０分とした。
【００５１】
図３は、得られた窒化アルミニウムワイヤーのＸＲＤ測定結果である。図３の上側のＸ線回折パターンは、本実施例で得られた窒化アルミニウムワイヤーのＸ線回折パターンに相当するものであり、図３の下側のＸ線回折パターンは、比較ために準備したＡｌＮ粉末のＸ線回折パターンである。両者のパターンを比較すると、ほぼ同様の回折パターンを有していることが分かる。したがって、本実施例で得た窒化アルミニウムワイヤーは、文言どおり窒化アルミニウムから構成されていることが分かる。
【００５２】
図４は、断熱部材１２の内周面１２Ａ上に形成された窒化アルミニウムワイヤーのＳＥＭ写真である。図４（ａ）から明らかなように、本実施例で得た窒化アルミニウムワイヤーは、複数の窒化アルミニウムワイヤーが複雑に絡み合って、ネットワーク状となっていることが分かる。また、その一部を拡大してみると、例えば図４（ｂ）に示すように、窒化アルミニウムワイヤーは四角柱状に形成されており、別の部分では、例えば図４（ｃ）に示すように、窒化アルミニウムワイヤーは六角柱状に形成されていることが分かる。
【００５３】
また、各ワイヤーの直径は約２μｍ程度であり、長さは例えば１０μｍから数ミリ、例えば約２ｍｍにまで達していることが判明した。
【００５４】
（実施例２）
マイクロ波の強度を３７５Ｗ及び３００Ｗとし、マイクロ波吸収体１３として活性炭（ノーリットSX-II）の量を１．５ｇ及び２．０ｇとした以外は、実施例１と同様にして窒化アルミニウムワイヤーを製造した。特に図示しないものの、本実施例においても窒化アルミニウムワイヤーは、窒化アルミニウムから構成され、マイクロ波の強度によらず、各ワイヤーの直径は約３０ｎｍ〜２μｍ、長さは例えば１０μｍ〜約２ｍｍにまで達していることが判明した。
【００５５】
（実施例３）
原料Ｓとマイクロ波吸収体１３に用いるカーボンとして活性炭（ノーリットSX-II）に代えて、純カーボン（トーカブラック＃１８５００／Ｆ）を用いた以外は、実施例１と同様にして窒化アルミニウムワイヤーを製造した。但し、マイクロ波吸収体１３に用いる純カーボン量を２．０ｇとした。特に図示しないものの、本実施例においても窒化アルミニウムワイヤーは、窒化アルミニウムから構成され、マイクロ波の強度によらず、各ワイヤーの直径は約３０ｎｍ〜２μｍ、長さは例えば１０μｍ〜２ｍｍにまで達していることが判明した。
【００５６】
以上、本発明を上記具体例に基づいて詳細に説明したが、本発明は上記具体例に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいてあらゆる変形や変更が可能である。
【符号の説明】
【００５７】
１０、２０  窒化アルミニウムワイヤーの製造装置
１１  坩堝
１１１  内側坩堝
１１２  外側坩堝
１３  マイクロ波吸収体
１４  石英ウール
１５  マイクロ波照射装置
１６  導管
１８  蓋体
【図１】
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【図２】
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【図３】
0005569844.tif 000004
【図４】
0005569844.tif 000005