(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気絶縁性を有する基層と、
導電性を有し前記基層上に形成された複数の接続端子と、
電気絶縁性を有し、前記基層上における前記複数の接続端子の間に充填された表層と
を備える配線基板であって、
前記表層は、
開口部が形成された第１表面と、
前記開口部の内側において前記第１表面に対して前記基層側に窪んだ第２表面と
を有し、
前記複数の接続端子は、前記第２表面から露出し、
前記接続端子は、
導電性を有する第１金属からなる基部と、
導電性を有し前記第１金属とは異なる第２金属からなり、前記表層を貫通し前記基層に至るまで前記基部を被覆する被覆部と
を含むことを特徴とする配線基板。
【請求項２】
前記第２金属は、前記複数の接続端子における各接続端子間に発生するマイグレーションの進行が前記第１金属よりも遅いことを特徴とする請求項１に記載の配線基板。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の配線基板であって、
前記第１金属は、銀（Ａｇ）および銅（Ｃｕ）の少なくとも一方であり、
前記第２金属は、ニッケル（Ｎｉ）および錫（Ｓｎ）の少なくとも１つであることを特徴とする配線基板。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の配線基板を製造する、配線基板の製造方法であって、
前記第１金属からなる前記基部を前記基層上に形成し、
前記基部が形成された前記基層上に前記表層を形成し、
前記表層が形成された前記基層上における前記基部をエッチングすることによって、前記基部の側部および端部を退縮させ、前記基部と前記表層との間に、前記表層から前記基層に至る間隙を形成し、
前記間隙を形成した後、前記基部に対する無電解メッキによるメッキ処理によって、前記第２金属からなり前記表層を貫通し前記基層に至るまで前記基部を被覆する前記被覆部を、形成する、配線基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
配線基板には、半導体チップを実装可能に構成されたものが知られている（例えば、特許文献１，２を参照）。このような配線基板には、半導体チップと接続可能に構成された複数の接続端子が形成されている。
【０００３】
特許文献１には、メッキ材料による接続端子間の電気的な短絡を防止するために、複数の接続端子を露出させる開口を有する絶縁層を形成し、その開口における複数の接続端子の間に絶縁物を形成した後、複数の接続端子にメッキを施すことが記載されている。特許文献２には、ハンダによる接続端子間の電気的な短絡を防止するために、接続端子間に形成した絶縁層を接続端子の厚み以下になるまで薄くすることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１０３６４８号公報
【特許文献２】特開２０１１−１９２６９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１，２では、接続端子間に発生するマイグレーション（Migration、金属移行）による絶縁不良について十分に考慮されていなかった。接続端子間に発生するマイグレーションは、接続端子を形成する金属が時間の経過に伴って絶縁層に移行する現象であり、接続端子間における絶縁不良の原因となる。そのため、配線基板において、マイグレーションに起因する絶縁不良を防止することが可能な技術が望まれていた。そのほか、配線基板においては、微細化や、低コスト化、省資源化、製造の容易化、使い勝手の向上、耐久性の向上などが望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
本発明の一形態は、電気絶縁性を有する基層と；導電性を有し前記基層上に形成された複数の接続端子と；電気絶縁性を有し、前記基層上における前記複数の接続端子の間に充填された表層とを備える配線基板であって、前記表層は、開口部が形成された第１表面と、前記開口部の内側において前記第１表面に対して前記基層側に窪んだ第２表面とを有し、前記複数の接続端子は、前記第２表面から露出し、前記接続端子は、導電性を有する第１金属からなる基部と；導電性を有し前記第１金属とは異なる第２金属からなり、前記表層を貫通し前記基層に至るまで前記基部を被覆する被覆部とを含むことを特徴とする配線基板である。この形態によれば、基部を形成する第１金属が表層に移行するマイグレーションを、第２金属からなる被覆部によって抑制することができる。その結果、第１金属によるマイグレーションに起因する絶縁不良を防止することができる。
【０００７】
（１）本発明の一形態によれば、配線基板が提供される。この配線基板は、電気絶縁性を有する基層と；導電性を有し前記基層上に形成された複数の接続端子と；電気絶縁性を有し、前記基層上における前記複数の接続端子の間に充填された表層とを備える配線基板であって、前記接続端子は、導電性を有する第１金属からなる基部と；導電性を有し前記第１金属とは異なる第２金属からなり、前記表層を貫通し前記基層に至るまで前記基部を被覆する被覆部とを含む。この形態の配線基板によれば、基部を形成する第１金属が表層に移行するマイグレーションを、第２金属からなる被覆部によって抑制することができる。その結果、第１金属によるマイグレーションに起因する絶縁不良を防止することができる。
【０００８】
（２）上記形態の配線基板において、前記第２金属は、前記複数の接続端子における各接続端子間に発生するマイグレーションの進行が前記第１金属よりも遅いとよい。この形態の配線基板によれば、接続端子間に発生するマイグレーションの進行を抑制することができる。
【０００９】
（３）上記形態の配線基板において、前記第１金属は、銀（Ａｇ）および銅（Ｃｕ）の少なくとも一方であり、前記第２金属は、ニッケル（Ｎｉ）および錫（Ｓｎ）の少なくとも１つであるとしてもよい。この形態の配線基板によれば、銀および銅によるマイグレーションに起因する絶縁不良を防止することができる。
【００１０】
本発明は、配線基板以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、配線基板を備える装置、配線基板の製造装置、配線基板の製造方法などの形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】配線基板の構成を示す上面図である。
【図２】配線基板の構成を模式的に示す部分断面図である。
【図３】半導体チップを実装した配線基板の構成を模式的に示す部分断面図である。
【図４】配線基板における接続端子の詳細構成を模式的に示す拡大断面図である。
【図５】配線基板の製造方法を示す工程図である。
【図６】製造途中にある配線基板における接続端子の詳細構成を模式的に示す拡大断面図である。
【図７】製造途中にある配線基板における接続端子の詳細構成を模式的に示す拡大断面図である。
【図８】変形例における配線基板の構成を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
Ａ．実施形態：
図１は、配線基板１０の構成を示す上面図である。図２は、配線基板１０の構成を模式的に示す部分断面図である。図３は、半導体チップ２０を実装した配線基板１０の構成を模式的に示す部分断面図である。図２には、図１の矢視Ｆ２−Ｆ２で切断した配線基板１０の断面を図示した。図３には、半導体チップ２０を実装した配線基板１０を、図１の矢視Ｆ２−Ｆ２に対応する位置で切断した断面を図示した。
【００１３】
配線基板１０は、有機材料を用いて形成され、有機基板（オーガニック基板）とも呼ばれる板状の部材である。本実施形態では、配線基板１０は、図３に示すように、半導体チップ２０を実装可能に構成されたフリップチップ実装基板である。
【００１４】
配線基板１０は、図２および図３に示すように、基層１２０と、接続端子１３０と、表層１４０とを備える。本実施形態では、配線基板１０の基層１２０には、接続端子１３０が形成されていると共に、接続端子１３０を露出させた状態で表層１４０が形成されている。他の実施形態では、配線基板１０は、基層１２０上に複数の導体層と複数の絶縁層とを交互に積層した多層構造を有するとしてもよいし、このような多層構造を基層１２０の両面にそれぞれ有するとしてもよい。
【００１５】
図１には、相互に直交するＸＹＺ軸を図示した。図１のＸＹＺ軸は、他の図におけるＸＹＺ軸に対応する。図１のＸＹＺ軸のうち、基層１２０に対する表層１４０の積層方向に沿った軸をＺ軸とする。Ｚ軸に沿ったＺ軸方向のうち、基層１２０から表層１４０に向かって＋Ｚ軸方向とし、＋Ｚ軸方向の反対方向を−Ｚ軸方向とする。図１のＸＹＺ軸のうち、Ｚ軸に直交する層面方向に沿った２つの軸をＸ軸およびＹ軸とする。Ｘ軸に沿ったＸ軸方向のうち、図１の紙面左から紙面右に向かって＋Ｘ軸方向とし、＋Ｘ軸方向の反対方向を−Ｘ軸方向とする。Ｙ軸に沿ったＹ軸方向のうち、図１の紙面下方から紙面上方に向かって＋Ｙ軸方向とし、＋Ｙ軸方向の反対方向を−Ｙ軸方向とする。
【００１６】
配線基板１０の基層１２０は、絶縁性材料からなる板状の部材である。本実施形態では、基層１２０の絶縁性材料は、熱硬化性樹脂、例えば、ビスマレイミドトリアジン樹脂（Bismaleimide-Triazine Resin、ＢＴ）やエポキシ樹脂である。他の実施形態では、基層１２０の絶縁性材料は、繊維強化樹脂（例えば、ガラス繊維強化エポキシ樹脂）であってもよい。図１〜図３には図示しないが、基層１２０の内部に、スルーホール、スルーホール導体などを形成して、接続端子１３０に接続する配線の一部を構成してもよい。
【００１７】
配線基板１０の表層１４０は、ソルダレジストとも呼ばれる絶縁性材料からなる層である。表層１４０は、第１表面１４１と、第２表面１４２と、壁面１４８とを有する。
【００１８】
表層１４０の第１表面１４１は、開口部１５０が形成された表層１４０の表面である。本実施形態では、第１表面１４１は、Ｘ軸およびＹ軸に沿って＋Ｚ軸方向側を向いた面であり、表層１４０の＋Ｚ軸方向側の表面を構成する。
【００１９】
表層１４０の第２表面１４２は、開口部１５０の内側において第１表面１４１に対して基層１２０側に窪んだ表層１４０の表面である。本実施形態では、第２表面１４２は、Ｘ軸およびＹ軸に沿って＋Ｚ軸方向側を向いた面であり、開口部１５０の内側において表層１４０の＋Ｚ軸方向側の表面を構成する。図１および図２に示すように、第２表面１４２からは、接続端子１３０が露出している。
【００２０】
表層１４０の壁面１４８は、積層方向（Ｚ軸方向）に沿って第１表面１４１と第２表面１４２との間を繋ぐ面であり、開口部１５０を画定する。本実施形態では、壁面１４８は、図２に示すように、角張った形状で第１表面１４１および第２表面１４２に繋がる。他の実施形態では、壁面１４８は、第１表面１４１および第２表面１４２の少なくとも一方に対して曲面を介して繋がっていてもよい。
【００２１】
配線基板１０の接続端子１３０は、基層１２０上に形成された導電性材料からなる導体パターンである。本実施形態では、接続端子１３０の導体パターンは、基層１２０の表面上に形成された銅メッキ層を所望の形状にエッチングすることによって形成される。
【００２２】
接続端子１３０は、表層１４０から露出しており、本実施形態では、表層１４０の第２表面１４２から露出している。図２に示すように、本実施形態では、接続端子１３０は、第２表面１４２から＋Ｚ軸方向側に突出している。
【００２３】
接続端子１３０は、図３に示すように、ハンダＳＤを介して半導体チップ２０の接続端子２３２と接続可能に構成されている。配線基板１０に対する半導体チップ２０の実装時には、複数の接続端子１３０が半導体チップ２０の接続端子２３２に対してハンダ付けされると共に、開口部１５０における配線基板１０と半導体チップ２０との隙間には、アンダーフィル材３０が充填される。
【００２４】
本実施形態では、配線基板１０には、複数の接続端子１３０が設けられている。複数の接続端子１３０は、図１に示すように、Ｘ軸およびＹ軸にそれぞれ沿って行列状に配置されている。本実施形態では、複数の接続端子１３０の行列は、５行５列であるが、これに限るものではなく、ｎ行ｍ列（ｎおよびｍは１以上の自然数、ｎ＝ｍ＝１を除く）を満たす態様であればよい。他の実施形態では、複数の接続端子１３０は、隣り合う接続端子１３０同士を交互にずらして千鳥状に配置されていてもよい。
【００２５】
図４は、配線基板１０における接続端子１３０の詳細構成を模式的に示す拡大断面図である。図４には、図２に対応する接続端子１３０の１つを拡大して図示した。接続端子１３０は、基部１３２と、被覆部１３４とを備える。
【００２６】
接続端子１３０の基部１３２は、被覆部１３４によって表層１４０から隔離された状態で表層１４０を貫通すると共に、表層１４０から突出した部位である。本実施形態では、基部１３２は、被覆部１３４によって表層１４０から隔離された状態で、基層１２０から＋Ｚ軸方向に向けて表層１４０を貫通し、表層１４０の第２表面１４２よりも＋Ｚ軸方向側に突出する。基部１３２は、導電性を有する第１金属からなる。本実施形態では、基部１３２を形成する第１金属は、銅（Ｃｕ）であるが、他の実施形態では、導電性を有する他の材料（例えば、銀（Ａｇ））であってもよい。
【００２７】
本実施形態では、基部１３２は、側部１３２ａおよび端部１３２ｂを有する。基部１３２の側部１３２ａは、表層１４０側を向いた基部１３２の表面を構成し、端部１３２ｂに繋がる。基部１３２の端部１３２ｂは、基部１３２における＋Ｚ軸方向側の端を構成する。側部１３２ａおよび端部１３２ｂは、被覆部１３４によって被覆されている。
【００２８】
接続端子１３０の被覆部１３４は、表層１４０を貫通し基層１２０に至るまで基部１３２を被覆する部位である。本実施形態では、被覆部１３４は、基部１３２の側部１３２ａおよび端部１３２ｂを被覆する。本実施形態では、被覆部１３４は、導電性を有する第２金属からなる。本実施形態では、被覆部１３４を形成する第２金属は、接続端子１３０間の表層１４０に発生するマイグレーションの進行が第１金属よりも遅い。本実施形態では、被覆部１３４を形成する第２金属は、ニッケル（Ｎｉ）であるが、他の実施形態では、導電性を有する他の材料（例えば、錫（Ｓｎ））であってもよい。
【００２９】
図５は、配線基板１０の製造方法を示す工程図である。配線基板１０を製造する際には、配線基板１０における基層１２０および表層１４０などの各層を形成すると共に、接続端子１３０の基部１３２を形成する（工程Ｐ１１０）。本実施形態では、基層１２０の表面上に銅メッキ層を形成した後、この銅メッキ層を所望の形状にエッチングすることによって、接続端子１３０の基部１３２を形成する。
【００３０】
本実施形態では、接続端子１３０の基部１３２が形成された基層１２０上に光硬化型絶縁性樹脂を塗布した後、露光、現像を経て、表層１４０を形成する。表層１４０の開口部１５０は、露光時にマスクされた部分に相当し、現像時に未硬化部分を洗い流すことによって、表層１４０における第２表面１４２および壁面１４８を形成する。このように、本実施形態では、表層１４０における第１表面１４１、第２表面１４２および壁面１４８は、単一の層を構成する部位として一体的に形成される。他の実施形態では、表層１４０の開口部１５０を基部１３２に至るまで一旦、形成した後、この開口部１５０に光硬化型絶縁性樹脂を再度、充填することによって、表層１４０の第２表面１４２を形成してもよい。
【００３１】
図６は、製造途中にある配線基板１０における接続端子１３０の詳細構成を模式的に示す拡大断面図である。図６には、工程Ｐ１１０を終えた段階にある配線基板１０を図示した。
【００３２】
工程Ｐ１１０を終えた段階では、接続端子１３０の基部１３２は、表層１４０に隣接しつつ表層１４０を貫通すると共に、突出した状態で表層１４０から露出する。工程Ｐ１１０を終えた段階では、接続端子１３０の基部１３２は、側部１３２ｃおよび端部１３２ｄを有する。基部１３２の側部１３２ｃは、表層１４０側を向いた基部１３２の表面を構成する。側部１３２ｃにおける第２表面１４２よりも−Ｚ軸方向側は、表層１４０の内部に隣接する。側部１３２ｃにおける第２表面１４２よりも＋Ｚ軸方向側は、表層１４０から露出した状態にあり、端部１３２ｂに繋がる。基部１３２の端部１３２ｄは、基部１３２における＋Ｚ軸方向側の端を構成し、表層１４０から露出した状態にある。
【００３３】
図５の説明に戻り、工程Ｐ１１０を終えた後、接続端子１３０の基部１３２をエッチングすることによって、基部１３２の側部１３２ｃおよび端部１３２ｄを退縮させる（工程Ｐ１５０）。本実施形態では、工程Ｐ１５０において、基部１３２を形成する銅（Ｃｕ）に対して、過硫酸ナトリウムを含有するエッチング液が使用される。他の実施形態では、工程Ｐ１５０に用いるエッチング液は、硫酸過水や塩化鉄、塩化銅などの成分を含有するエッチング液であってもよい。
【００３４】
図７は、製造途中にある配線基板１０における接続端子１３０の詳細構成を模式的に示す拡大断面図である。図７には、工程Ｐ１５０を終えた段階にある配線基板１０を図示した。
【００３５】
工程Ｐ１５０では、基部１３２は、エッチングによって退縮し、基部１３２には、側部１３２ｃおよび端部１３２ｄに代えて、側部１３２ａおよび端部１３２ｂが形成される。これに伴って、基部１３２と表層１４０との間には、表層１４０から基層１２０に至る間隙ＧＰが形成される。間隙ＧＰは、基部１３２の全周にわたって形成されることが好ましい。
【００３６】
図５の説明に戻り、工程Ｐ１５０を終えた後、無電解メッキによるメッキ処理によって、接続端子１３０の被覆部１３４を形成する（工程Ｐ１７０）。本実施形態では、工程Ｐ１７０において、ニッケルメッキによって、基部１３２の側部１３２ａおよび端部１３２ｂに対して被覆部１３４を形成する。これによって、基部１３２と表層１４０との間の間隙ＧＰは、被覆部１３４によって埋まり、接続端子１３０は、図４に示した構成となる。他の実施形態では、導電性を有する他の材料（例えば、錫（Ｓｎ））を用いて被覆部１３４を形成してもよい。
【００３７】
工程Ｐ１７０を終えた後、配線基板１０を洗浄する（工程Ｐ１８０）。これによって、配線基板１０が完成する。
【００３８】
以上説明した実施形態によれば、接続端子１３０の基部１３２を形成する第１金属が表層１４０に移行するマイグレーションを、第２金属からなる接続端子１３０の被覆部１３４によって抑制することができる。その結果、第１金属によるマイグレーションに起因する絶縁不良を防止することができる。また、第２金属は、接続端子１３０間に発生するマイグレーションの進行が第１金属よりも遅いため、接続端子１３０間に発生するマイグレーションの進行を抑制することができる。
【００３９】
Ｂ．変形例：
図８は、変形例における配線基板１０ｂの構成を示す上面図である。配線基板１０ｂの説明において、第１実施形態の配線基板１０と同様の構成については同一符号を付すと共に説明を省略する。本変形例は、本明細書で説明する他の実施形態や他の変形例に適用することが可能である。変形例の配線基板１０ｂは、第１表面１４１、第２表面１４２、接続端子１３０および開口部１５０の形状がそれぞれ異なる点を除き、第１実施形態の配線基板１０と同様である。
【００４０】
配線基板１０ｂの第１表面１４１には、４つの開口部１５０が形成されている。４つの開口部１５０の各々は、＋Ｚ軸方向からみて長方形をなし、中央に矩形を取り囲むように配置されている。本変形例では、４つの開口部１５０の各々は、配線基板１０ｂの外縁に沿ってそれぞれ配置されている。
【００４１】
図８では、接続端子１３０にはハッチングが施されている。変形例における開口部１５０の内側には、複数の第２表面１４２および複数の接続端子１３０が形成されている。複数の接続端子１３０の各々は、長方形をなす開口部１５０における短辺方向に沿って開口部１５０の一端から他端に向けて帯状に形成され、接続端子１３０同士の間に第２表面１４２が形成されている。変形例の接続端子１３０は、第１実施形態と同様に、基部１３２と、被覆部１３４とを備える。
【００４２】
以上説明した変形例によれば、第１実施形態と同様に、接続端子１３０間に発生するマイグレーションの進行を抑制することができる。
【００４３】
Ｃ．他の実施形態：
本発明は、上述の実施形態や実施例、変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態、実施例、変形例中の技術的特徴は、上述の課題の一部または全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部または全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【符号の説明】
【００４４】
１０，１０ｂ…配線基板
２０…半導体チップ
３０…アンダーフィル材
１２０…基層
１３０…接続端子
１３２…基部
１３２ａ…側部
１３２ｂ…端部
１３２ｃ…側部
１３２ｄ…端部
１３４…被覆部
１４０…表層
１４１…第１表面
１４２…第２表面
１４８…壁面
１５０…開口部
２３２…接続端子
ＳＤ…ハンダ
ＧＰ…間隙
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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