(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁膜上に形成された第１のＳｉＧｅ層を、第１の領域と該領域に接続された第２の領域を有し、且つ第１及び第２の領域の接続方向と直交する方向の幅を第２の領域よりも第１の領域の方で広くした、島状に加工する工程と、
前記島状に加工されたＳｉＧｅ層を熱酸化することにより、前記第１及び第２の領域のＧｅ組成を共に高めると共に、前記第１の領域のＧｅ組成よりも前記第２の領域のＧｅ組成を高くする工程と、
前記Ｇｅ組成が高められた第２の領域を、熱処理により融解する工程と、
前記融解した第２の領域を、前記第１の領域との界面から再結晶化させる工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記第１の領域はＭＯＳトランジスタのソース／ドレイン領域の一方を形成し、前記第２の領域は前記ＭＯＳトランジスタのソース／ドレイン領域の他方とチャネルを形成するものであることを特徴とする請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記第１のＳｉＧｅ層を形成するために、前記絶縁膜上にＳｉ層が形成された基板のＳｉ層上に、前記第１のＳｉＧｅ層よりＧｅ組成の低いＳｉＧｅ材料層を形成した後、酸素雰囲気中で熱酸化処理を施すことを特徴とする請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記熱酸化処理を施す前に、前記ＳｉＧｅ材料層上にＳｉ層又はＳｉＯ2 膜を形成することを特徴とする請求項３記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記第２の領域を再結晶化させる工程の後に、前記第２の領域上の一部にゲート絶縁膜を介してゲート電極を形成し、次いで前記ゲート電極の側面に側壁絶縁膜を形成し、次いで前記第１及び第２の領域上に前記第２の領域のＧｅ組成とは異なる組成のＳｉＧｅ層で形成され、前記第２の領域に格子歪みを付与するための歪みストレッサー層を形成することを特徴とする請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記第２の領域を互いに平行配置された複数個に形成することを特徴とする請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
絶縁膜上に形成された第１のＳｉＧｅ層を、第１の領域と該領域に接続された第２の領域を有する島状に加工する工程と、
前記第１の領域を、絶縁膜で形成されたマスクで保護する工程と、
前記第１のＳｉＧｅ層の前記マスクで保護されていない第２の領域を熱酸化することにより、前記第２の領域のＧｅ濃度を高めると共に、前記第１の領域よりも前記第２の領域のＧｅ組成を高くする工程と、
前記Ｇｅ組成が高められた第２の領域を、熱処理により融解する工程と、
前記融解した第２の領域を、前記第１の領域との界面から再結晶化させる工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項８】
前記第２の領域を熱酸化する工程の前に、前記第１のＳｉＧｅ層の前記マスクで保護されていない第２の領域に第２のＳｉＧｅ層をエピタキシャル成長することを特徴とする請求項７記載の半導体装置の製造方法。
【請求項９】
絶縁膜上に形成された第１のＳｉＧｅ層を、第１の領域と該領域に接続された第２の領域を有する島状に加工する工程と、
前記第２の領域を、絶縁膜で形成された第１のマスクで保護する工程と、
前記第１のＳｉＧｅ層の前記第１のマスクで保護されていない第１の領域に、該領域よりも低Ｇｅ組成の第２のＳｉＧｅ層をエピタキシャル成長する工程と、
前記第１のＳｉＧｅ層及び前記第２のＳｉＧｅ層を、絶縁膜で形成された第２のマスクで保護する工程と、
前記第２のマスクで保護された第１のＳｉＧｅ層を、熱処理により融解する工程と、
前記融解した第１のＳｉＧｅ層を、前記第２のＳｉＧｅ層との界面から再結晶化させる工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１０】
前記第１のＳｉＧｅ層を島状に加工する工程の後で、前記第２の領域を第１のマスクで保護する工程の前に、前記第１のＳｉＧｅ層を熱酸化することにより、該ＳｉＧｅ層のＧｅ組成を高めることを特徴とする請求項９記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、島状に加工されたＳｉＧｅ層を絶縁膜上に作製するための半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＳＧＯＩ基板上にマルチゲートＭＯＳＦＥＴを作製し、（１１０）面において一軸性の圧縮歪みを加えることにより、電流値が大幅に増加することが報告されている（例えば、非特許文献１参照）。この種のＳＧＯＩマルチゲートＭＯＳＦＥＴを作製する場合、まずＳＧＯＩ基板を作製する。次いで、このＳＯＩ基板上にＳｉＧｅ層をエピタキシャル成長させ、酸化濃縮を行うことで、所望のＧｅ組成のＳＧＯＩ基板を作製することが可能である。しかし、現状この方法では次の二つの問題がある。【０００３】
第１の問題点は、ＳＯＩ基板上にＳｉよりも格子定数の大きいＳｉＧｅ層をエピタキシャル成長させるので、ＳｉＧｅ層には圧縮歪みしかかからないことである。ＣＭＯＳ回路を作る上で、ｐ−ＭＯＳＦＥＴに関しては一軸の圧縮歪みをかけることが最も大きな電流増加をもたらすので問題はない。しかし、ｎ−ＭＯＳＦＥＴを作る上では、二軸の引っ張り歪みをかけることが最良であることが知られており（例えば、非特許文献２参照）、ＳｉＧｅ層の圧縮歪みは望ましくない。つまり、Ｃ−ＭＯＳ回路を作製するには、歪みが緩和されたＳＧＯＩ基板を用い、ストレッサー等によりｐＭＯＳ側では圧縮歪みを、ｎＭＯＳ側では引っ張り歪みを与えるか、若しくはｎＭＯＳのＳｉＧｅ層のみを緩和させた後に、ストレッサー等により引っ張り歪みを与えることが有効である。ところが、歪みが緩和された高品質なＳＧＯＩ基板を形成するのは極めて困難であった。【０００４】
第２の問題点は、ＳＧＯＩ基板のＳｉＧｅ層を酸化濃縮していくことでＧｅの組成が高くなるにつれ、歪み起因による欠陥や転位が発生することである。特に、チャネル内における欠陥や転位は移動度劣化やリークの原因となり、素子特性及び信頼性のうえで重要な問題となる。従って、ＳＧＯＩ基板上へのＣＭＯＳ回路形成においては、歪み緩和と欠陥低減技術の両立が必須となる。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】T.Irisawa et al., IEEE Trans. Electron Devices, 53, 2809(2006)
【非特許文献２】C. S. Smith, Phys. Rev., 94, 42(1954)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、絶縁膜上に形成するＳｉＧｅ層の格子歪みを緩和させると共に欠陥を低減させることができ、Ｇｅ又はＳｉＧｅをチャネルとするトランジスタの素子特性の向上に寄与し得る半導体装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係わる半導体装置の製造方法は、絶縁膜上に形成された第１のＳｉＧｅ層を、第１の領域と該領域に接続された第２の領域を有し、且つ第１及び第２の領域の接続方向と直交する方向の幅を第２の領域よりも第１の領域の方で広くした、島状に加工する工程と、前記島状に加工されたＳｉＧｅ層を熱酸化することにより、前記第１及び第２の領域のＧｅ組成を共に高めると共に、前記第１の領域のＧｅ組成よりも前記第２の領域のＧｅ組成を高くする工程と、前記Ｇｅ組成が高められた第２の領域を、熱処理により融解する工程と、前記融解した第２の領域を、前記第１の領域との界面から再結晶化させる工程と、を含むことを特徴とする。【０００８】
また、本発明の別の一態様に係わる半導体装置の製造方法は、絶縁膜上に形成された第１のＳｉＧｅ層を、第１の領域と該領域に接続された第２の領域を有する島状に加工する工程と、前記第１の領域を絶縁膜で形成されたマスクで保護する工程と、前記第１のＳｉＧｅ層の前記マスクで保護されていない第２の領域を熱酸化することにより、前記第２の領域のＧｅ濃度を高めると共に、前記第１の領域よりも前記第２の領域のＧｅ組成を高くする工程と、前記Ｇｅ組成が高められた第２の領域を、熱処理により融解する工程と、前記融解した第２の領域を、前記第１の領域との界面から再結晶化させる工程と、を含むことを特徴とする。【０００９】
また、本発明の別の一態様に係わる半導体装置の製造方法は、絶縁膜上に形成された第１のＳｉＧｅ層を、第１の領域と該領域に接続された第２の領域を有する島状に加工する工程と、前記第２の領域を絶縁膜で形成された第１のマスクで保護する工程と、前記第１のＳｉＧｅ層の前記マスクで保護されていない第１の領域に該領域よりも低Ｇｅ組成の第２のＳｉＧｅ層をエピタキシャル成長する工程と、前記第１のＳｉＧｅ層及び前記第２のＳｉＧｅ層を絶縁膜で形成された第２のマスクで保護する工程と、前記第２の絶縁膜マスクで保護された第１のＳｉＧｅ層を、熱処理により融解する工程と、前記融解した第１のＳｉＧｅ層を、前記第２のＳｉＧｅ層との界面から再結晶化させる工程と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、絶縁膜上に形成するＳｉＧｅ層の格子歪みを緩和させると共に欠陥を低減させることができる。従って、Ｇｅ又はＳｉＧｅをチャネルとするトランジスタの素子特性の向上に寄与することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図。
【図２】第１の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図。
【図３】第１の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図。
【図４】第１の実施形態の変形例を説明するための断面図。
【図５】第１の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図６】第１の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図７】第１の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図８】第１の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図９】第１の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図１０】第１の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図１１】第１の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図１２】第１の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図１３】第１の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図１４】第１の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図１５】第１の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図１６】第１の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図１７】Ｓｉ組成と温度をパラメータとしたときのＳｉＧｅの相状態を示す図。
【図１８】再結晶化後のＳｉＧｅ層のＴＥＭ分析の結果を示す図。
【図１９】図１８の各ポイントにおける回折格子パターンを示す図。
【図２０】ラマン分光結果を示す図。
【図２１】第１の実施形態の変形例を説明するためのもので、マルチチャネルＦｉｎの製造工程を示す平面図。
【図２２】第２の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図２３】第２の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図２４】第２の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図２５】第２の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図２６】第２の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図２７】第２の実施形態の変形例を説明するための断面図と平面図。
【図２８】第３の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図２９】第３の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図３０】第３の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図３１】第３の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図。
【図３２】第３の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図。
【図３３】第３の実施形態の変形例の製造工程を示す断面図と平面図。
【図３４】第３の実施形態の変形例の製造工程を示す断面図と平面図。
【図３５】第３の実施形態の変形例を説明するための平面図。
【図３６】第３の実施形態の変形例を説明するための平面図。
【図３７】第４の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図３８】第４の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す断面図と平面図。
【図３９】第５の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す平面図。
【図４０】第５の実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す平面図。
【図４１】第５の実施形態の変形例の製造工程を示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の詳細を図示の実施形態によって説明する。
【００１３】
なお、以下の実施形態では、トライゲートＦｉｎＦＥＴを例にして説明するが、本発明はトライゲートＦｉｎに限らず、複数のゲート電極を有する他のマルチゲート構造に適用することができる。複数のゲート電極を有する構造としては、例えばチャネルの上下或いは両側面にゲート電極が配置されたダブルゲート構造、チャネルの周囲をゲート電極で取り囲むゲートオールアラウンド構造などがある。チャネルのサイズ（Ｆｉｎ幅）が１０ｎｍ程度以下のものは特にナノワイヤートランジスターとも呼ばれる。
【００１４】
また、基板に垂直に板状に形成されたメサ構造のチャネル（Ｆｉｎ）の両側にゲートを形成した構造はＦｉｎＦＥＴ、更に左右の側面と上面の三面にゲートが形成された構造はトライゲートゲートＦＥＴと呼ばれる。これらの構造は、総称してマルチゲート構造とよばれ、通常の平面型の単一ゲート構造に比べ、ゲートによるチャネルキャリアの静電支配力が増大するため、チャネルの不純物濃度を低く抑えた状態でも短チャネル効果を抑制できるという特徴を有する。
【００１５】
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態に係わる半導体装置の製造方法を、図１から図１６（ａ）（ｂ）を参照して説明する。
【００１６】
なお、図１から図４は、Ｆｉｎ形成前のＳＯＩ基板及びＳＧＯＩ基板の断面図を示している。さらに、図５（ａ）（ｂ）から図１６（ａ）（ｂ）は、断面図（ａ）と平面図（ｂ）を示し、（ａ）は（ｂ）のＡ−Ａ’断面に相当している。
【００１７】
また、本実施形態では、単一のＳＧＯＩＦｉｎのみを示しているが、必ずしも単一Ｆｉｎに限らず、ソース／ドレイン間に複数のＦｉｎを有するマルチＦｉｎであってもかまわない。このマルチＦｉｎの場合には、複数のＦｉｎに跨るソース／ドレイン領域の幅（Ｆｉｎ配列方向の幅）は、Ｆｉｎ数にもよるが１００ｎｍ以下のものを形成することが望ましい。
【００１８】
まず、図１に示すように、Ｓｉ等の支持基板１１、埋め込み絶縁膜１２、及びＳＯＩ層１３を有するＳＯＩ基板を用意する。ここで、ＳＯＩ層の厚さは典型的には１０ｎｍから１００ｎｍの範囲であり、また、基板主面は（１００）面である。但し、（１００）面以外の主面のＳＯＩ基板であっても差し支えない。
【００１９】
次いで、図２に示すように、ＳＯＩ層１３上に、厚さ２０ｎｍ〜２００ｎｍのＳｉ1-x Ｇｅx 層１４（０＜ｘ≦１）、厚さ５ｎｍ程度のＳｉキャップ層１５を順次ＣＶＤにてエピタキシャル成長することにより、Ｓｉ／Ｓｉ1-x Ｇｅx／ＳＯＩ基板を作製する。
【００２０】
次いで、Ｓｉ／Ｓｉ1-x Ｇｅx ／ＳＯＩ基板が所望のＧｅ組成、膜厚となるまで酸化濃縮を行う。ここで、酸化濃縮法について説明する。高温かつ酸素雰囲気中において絶縁膜上にＳｉとＧｅを有する基板、例えばＳｉ／Ｓｉ1-x Ｇｅx ／ＳＯＩを酸化すると、基板表面に形成されるＳｉＯ2 中のＧｅとＳｉの自由エネルギーの違いにより、ＧｅはＳｉＯ2 から排斥され、Ｓｉのみが選択的に酸素と反応してＳｉＯ2 を形成する。そのため、通常の酸化プロセスによりＳｉＧｅ層のＳｉのみが消費されてＧｅの濃度が高くなり、ＳｉＧｅ層中のＧｅ組成は酸化が進むにつれて高くなる。これを酸化濃縮と呼ぶ。また、酸化濃縮によって生じたＳｉＯ2／Ｓｉ1-yＧｅy／ＳｉＯ2／Ｓｉ基板のことを、ＳＧＯＩ（Silicon Germanium on insulator）基板と呼ぶこととする。
【００２１】
この酸化濃縮法を用いて、初めは１１００℃以上の酸素雰囲気中でアニールすることで、ＳｉＧｅ層１４とＳｉ層１３，１５においてＳｉとＧｅを十分に拡散させながら酸化濃縮を行う。ここで、Ｇｅ組成が高くなることでＳｉＧｅ層が溶融してしまうことを避けるために、次第に温度を下げて酸化濃縮を行っても良い。これにより図３に示すように、所望のＧｅ組成（０．１＜ｙ≦１）、膜厚（５〜１００ｎｍ程度）のＳＧＯＩ層１６、及び熱酸化膜１７を持つＳＧＯＩ基板１０が得られる。
【００２２】
なお、ここで必ずしも酸化濃縮を行わなくともよい。この場合、前記図１に示すＳＯＩ基板上にＳｉ1-x Ｇｅx 層１４（０．１＜ｘ≦１）を５〜１００ｎｍ程度、ＳｉＯ2 層１８を積層した、図４に示すようなＳＧＯＩ基板を設けるようにしても良い。このＳＧＯＩ基板も、以降の処理で図３のＳＧＯＩ基板１０の代わりに用いることができるが、以下では図３のＳＧＯＩ基板を用いた例で説明する。
【００２３】
次に、チャネルへのドーパント導入のためにイオン注入を行う。まずＳＧＯＩ基板１０を覆っている熱酸化膜１７の膜厚を、弗化水素酸等により調整、若しくは熱酸化膜の代わりに窒化膜等を堆積する。続いて、保護膜としての熱酸化膜１７若しくは窒化膜１７’の上から、イオン注入により、ｎ−ＭＯＳＦＥＴであればＢ（ホウ素）等を、ｐ−ＭＯＳＦＥＴであればＰ（リン）やＡｓ（砒素）等を導入する。そして、イオン注入後に活性化アニールを行う。この工程は省略も可能である。
【００２４】
次いで、熱酸化膜１７若しくは窒化膜１７’に対してエキシマレーザー、若しくはＥＢ（Electron Beam）リソグラフィを行う。続いて、熱酸化膜１７若しくは窒化膜１７’をハードマスクとし、ＲＩＥ（Reactive Ion Etching）を用いて、図５（ａ）（ｂ）に示すように、ＳｉＧｅ層１６を第１の領域２１と第２の領域２２とが接続された島状に加工する。こうして、図５（ａ）（ｂ）に示すようにＳＧＯＩ基板１０’を得る。第１の領域２１は、第２領域に比べてＡ−Ａ’軸方向と直交する方向の幅が広い。
【００２５】
なお、以下においては、幅の広い第１の領域２１を総じてソース領域、及び幅の狭い第２の領域２２を総じてＦｉｎ領域と呼ぶこととする。このとき、Ｆｉｎ領域２２に関して、側面に（１１０）面が形成されるように、島状の加工を行う。
【００２６】
次いで、ハードマスク１７，１７’を除去してから、ＳＧＯＩ基板１０’を、酸素雰囲気，８００℃以上の温度にて立体的に酸化濃縮を行うことにより、図６（ａ）（ｂ）に示すように、熱酸化膜１９を形成すると共に、Ｇｅ組成が高められたソース領域３１とＦｉｎ領域３２を形成する。ここで、ハードマスク１７，１７’の除去工程は省略可能である。熱酸化膜はソース領域、Ｆｉｎ領域の上面、両側面いずれにもそれぞれほぼ同じ厚さ形成されるので、酸化膜に対する残りのＳｉＧｅの体積は、Ｆｉｎ領域の方がソース領域より相対的に小さい。その結果、Ｆｉｎ領域２２の方がソース領域２１よりもＧｅ組成の増え方がより大きくなる。従って、図５におけるソース領域２１とＦｉｎ領域２２は、それぞれ図６（ａ）（ｂ）に示すような相対的にＧｅ組成の低いソース領域３１と、相対的にＧｅ組成の高いＦｉｎ領域３２へと濃縮され、Ｇｅ組成の勾配が形成される。
【００２７】
このとき、その後の溶融、再結晶化の際の熱処理における温度の選択幅を考慮すると、Ｇｅ組成の勾配は４０％以上の差が形成されるのが望ましい。これは、図１７に示す、ＳｉＧｅの固液相図より、ある温度において液相線と固相線の間隔が最大Ｓｉ組成の差（即ちＧｅ組成の差）４０％程度に相当しているためである。例えば、初期Ｇｅ組成がソース領域２１とＦｉｎ領域２２共に２０％であり、Ｆｉｎ幅が３０ｎｍ、ソース領域幅が５０ｎｍ、そしてＦｉｎ領域もソース領域も高さが３０ｎｍである例で示す。この場合、ＳｉＯ2 が２３ｎｍ程度形成されるような酸化濃縮を行うことで、Ｆｉｎ領域３２のＧｅ組成が９０％、ソース領域３１のＧｅ組成が５０％になる。
【００２８】
以上のようにして、ソース領域３１とＦｉｎ領域３２にＧｅの組成勾配を持ち、かつ熱酸化膜１９で覆われたＳＧＯＩ−Ｆｉｎを絶縁膜上に形成したＳＧＯＩ基板１０”を得ることができる。この最終的なＦｉｎ領域３２の幅は５〜２０ｎｍ、高さが５〜５０ｎｍ、Ｇｅ組成は０．３＜ｚ≦１が応用上重要である。
【００２９】
次いで、ＳＧＯＩ基板１０”を希ガス、若しくは窒素ガス雰囲気中の高温にてアニールする。雰囲気中に若干の酸素（体積比１％程度以下）が含まれていても良い。ここで高温とは、Ｇｅ組成の低いソース領域３１は溶融せずに、Ｇｅ組成の高いＦｉｎ領域３２のみが溶融するような温度を指す。このとき、図７（ａ）（ｂ）に示すように熱酸化膜１９が被覆となって内部のＳｉやＧｅの脱離や液状化による流出を防ぎつつ、Ｆｉｎ領域３２のみが液相３３となり、ソース領域３１は固相状態にある。例えば、上記のＧｅ組成の例で示すと、ＳｉＧｅの二元系相図である図１７を参照して１０２０℃以上、１０５０℃未満にてアニールすればよいことが分かる。このときＧｅ９０％のＦｉｎ領域３２は液相にあたり、Ｇｅ５０％のソース領域３１は固相状態である。
【００３０】
このようにＧｅ組成の高いＦｉｎ領域３２のみが液相３３となり、Ｇｅ組成の低いソース領域３１は固相が残っている状態から温度をゆっくり下げていくことで、ソース領域３１中の固相を種結晶とした再結晶化が起こる。このとき、図８（ａ）（ｂ）に示すようにソース領域３１から順に固相３４へと結晶化していき、Ｆｉｎ領域３２が固相３４へと変わる。ソース領域３１から遠い側のＦｉｎ先端領域３５は液相、若しくは二相共存状態である過渡状態を経る。さらに温度を下げていくと、図８（ａ）（ｂ）のような過渡状態を経て最終的には、ソース領域３１とＦｉｎ領域３２を含めた全領域が固相３４へと変わり再結晶化が完了する。この再結晶化の過程でチャネル領域となるＦｉｎ領域３２は完全に溶融していることから圧縮歪みは緩和する。さらに、再結晶化が起きたことで、溶融前に存在した結晶欠陥や転位は除去されることになる。
【００３１】
次いで、熱酸化膜１９を弗化水素酸にて除去した後、図９（ａ）（ｂ）に示すようにゲート絶縁膜４１、ゲート電極４２、ゲート電極のハードマスク４３を堆積する。ここで、ゲート絶縁膜４１に関しては、例えば、ＨｆＯ2 ，ＨｆＳｉＯＮ、ＨｆＳｉＯ2 ，ＨｆＯ2 ，ＨｆＡｌＯｘ，ＺｒＯ2 ，Ａｌ2Ｏ3 ，ＬａＡｌＯ，ＬａＡｌＯ3 及び、これら高誘電率材料とＳｉＯ2 又はＧｅＯ2 からなる界面層との積層構造、或いはＳｉ酸窒化膜（ＳｉＯＮ）を用いることも可能である。当然ながら、通常の熱酸化膜（ＳｉＯ2 ）を用いることも可能である。また、ゲート電極４２として、Ｎｉシリサイド，Ｎｉジャーマノイド（Ｎｉ１−ｘＧｅｘ），Ｎｉジャーマノシリサイド（ＮｉＳｉ（Ｇｅ）），Ｐｔシリサイド，Ｐｔジャーマノイド，Ｐｔジャーマノシリサイド，ＮｉＰｔシリサイド，ＮｉＰｔジャーマノイド，ＮｉＰｔジャーマノシリサイド，Ｗシリサイド，ＴｉＮ，ＴｉＳｉＮ，ＴａＮ，ＴａＳｉＮ，ＷＮ，ＡｌＮ，Ｔｉ，Ａｌ，Ｍｏ等を用いることも可能である。またハードマスク４３に関しては、酸化膜や窒化膜などの絶縁膜等を用いることも可能である。
【００３２】
次いで、図１０（ａ）（ｂ）に示すように、ＥＢ、若しくはエキシマレーザーによるリソグラフィを行い、ゲート電極４２及びゲート絶縁膜４１に対してＲＩＥを行うことで積層ゲート領域を形成する。
【００３３】
次いで、図１１（ａ）（ｂ）に示すように窒化膜等の側壁用絶縁膜４４を堆積した後、基板全面をＲＩＥにてエッチングする。これにより、図１２（ａ）（ｂ）に示すゲート側壁のみに絶縁膜４４を残し、側壁絶縁膜を形成することができる。
【００３４】
次いで、図１３（ａ）（ｂ）に示すように、ソース領域３１、及びＦｉｎ領域３２のうち積層ゲート領域が堆積されていない残りのＦｉｎ領域に、Ｓｉ1-s Ｇｅs（０＜ｓ＜１）をＣＶＤにより選択エピタキシャル成長する。ここで、ストレッサー４５となるＳｉ1-sＧｅs 膜は、チャネル領域となるＦｉｎ領域３２のＧｅ組成ｚに比べて、Ｇｅ組成比で０．２以上の差があるのが望ましい。ｐＭＯＳに関しては、圧縮歪みをかけるためにｚ＜ｓ、ｎＭＯＳに関しては引っ張り歪みをかけるためにｓ＜ｚとする。
【００３５】
次いで、ソース／ドレイン領域にＰ，Ｂ，Ａｓ，Ｓ，Ｎ，Ｅｒ等のイオン注入を行い、活性化アニールを行う。この工程は、場合によってはストレッサーを形成する前に行ってもよい。
【００３６】
次いで、図１４（ａ）（ｂ）に示すように金属層４６を堆積させる。この金属層４６に関しては、Ｎｉ，Ｐｔ等を用いることも可能である。その後、熱処理によってジャーマナイド、シリサイド、若しくはジャーマノシリサイドさせる。これにより、図１５（ａ）（ｂ）に示すように、歪みストレッサーの効果を残すためにも部分的にジャーマノシリサイド領域４７を形成する。反応しなかった金属層は塩酸等にて除去し、ソース／ドレイン領域の形成を行う。
【００３７】
次いで、図１６（ａ）（ｂ）に示すように、層間絶縁膜４８を堆積した後、ゲート電極及びソース／ドレイン電極へのコンタクトホールを形成する（ソース／ドレイン電極へのコンタクトのみ表示）。このコンタクトホールを導電性材料で埋め込みビア４９を形成し、それぞれの電極を形成した後、層間絶縁膜上に配線を形成することによりＭＯＳトランジスタを有する回路が完成する。
【００３８】
ここで、本実施形態で説明した方法によりＳｉＧｅ層を再結晶化した結果について述べる。
【００３９】
ＳＯＩ層厚さが５６ｎｍのＳＯＩ基板を用意し、ＣＶＤにてＳｉ0.9 Ｇｅ0.1 を６０ｎｍ、Ｓｉを５ｎｍエピタキシャル成長し、次にこれを１１５０℃で５３分酸化した。これを分光エリプソメトリーで評価した結果、膜厚が５７ｎｍのＳＧＯＩ基板を得た。次いで、このＳＧＯＩ基板にＥＢリソグラフィを行い、ＲＩＥにてＳＧＯＩ層をエッチングすることでＦｉｎ領域、及びソース領域の形成を行った。ＲＩＥ後のソース領域、及びＦｉｎ領域の構造を評価するためにＳＥＭで観察を行った結果、ソース領域については一辺２３０ｎｍの正方形に形成されており、Ｆｉｎ幅は８５ｎｍ、Ｆｉｎ長さは１μｍに形成されていたことを確認した。また、ラマン分光装置によりＧｅ組成の評価を行ったところ、８．０％であった。以上をまとめると、ソース領域の一辺２３０ｎｍ、Ｆｉｎ幅８５ｎｍ、Ｆｉｎ高さ５７ｎｍ、Ｆｉｎ長さ１μｍ、Ｇｅ組成８．０％のＳＧＯＩ基板１０”が得られた。
【００４０】
次に、この試料を、９００℃，酸素雰囲気１００％の条件で２時間４２分酸化した。これをラマン分光によって評価した結果、Ｆｉｎ幅８５ｎｍ、長さ１μｍのＦｉｎ領域のＧｅ組成は８８％（Ｓｉ組成は１２％）に酸化濃縮されているのが分かった。さらに、このときの歪みは、圧縮歪みを正、伸縮歪みを負とすると、平均して２．２％であった。また、このときのソース領域のＧｅ組成は、酸化膜がＦｉｎ領域と同じ膜厚が形成されていると仮定して３６％（Ｓｉ組成は６４％）と求められた。この結果を下に図１７のＳｉとＧｅの二元系相図を参照して、ソース領域は固相、Ｆｉｎ領域は完全に融解する温度である１０９０℃にまでＮ2 雰囲気１００％にて昇温した。なお、図１７において、Ｓは固相状態、Ｌは液相状態を示している。さらに、目標温度になった後、直ちに加熱を止めることで降温してＦｉｎ領域の再結晶化を図った。このときの温度の下降レートは、１０００℃以上では平均９℃／ｍｉｎ、９００℃以上では平均６℃／ｍｉｎで下降していた。
【００４１】
熱処理による再結晶化後の歪み評価をラマン分光にて行い、結晶性の評価をＴＥＭ分析にて行った。その結果をそれぞれ図２０及び図１８，図１９に示す。上記のＦｉｎ幅８５ｎｍ、長さ１μｍのＦｉｎ領域の歪みは、図２０に示すように、平均して−０．１％であることが分かった。測定精度を考慮すると、この結果は、ほぼ完全に緩和したことを意味する。このようにして、ほぼ完全に緩和したＳｉＧｅ−Ｆｉｎ領域が得られた。また、降温後のソース領域及びＦｉｎ領域のＴＥＭ分析の結果を図１８に示す。図１８のＴＥＭ像より、１μｍにわたってＳｉＧｅ層のＦｉｎが一様であり、なおかつその電子線回折像である図１９（ａ）〜（ｄ）より、単結晶であることが確認された。なお、図１９（ａ）〜（ｄ）は図１８の各ポイントａ〜ｄに対応している。また、図１９（ｃ）と（ｄ）においては、ＴＥＭ試料作製時の湾曲によるものと思われる歪みによって、Ｆｉｎ部が長手方向に湾曲しているがこれは単結晶であることは確認している。
【００４２】
これらの結果より、ソース領域から１μｍの全体にわたって一様な単結晶が得られていることが分かる。また、これらのＴＥＭ像から観察できる範囲において、Ｆｉｎ内部に転位や面欠陥等は確認されなかった。以上の結果から、本実施形態の主要な効果である歪み緩和と、欠陥の無い単結晶領域が得られたことが確認された。
【００４３】
このように本実施形態によれば、ＳｉＧｅをチャネルとするＦｉｎ型ＭＯＳトランジスタのチャネル内の歪みを緩和させ、且つ欠陥を低減させることができる。従って、素子特性の向上に寄与することが可能となり、例えば１６ｎｍノードの微細化に適用可能である。
【００４４】
ここで、絶縁膜上のＳｉＧｅ層を溶融して再結晶化する方法として、絶縁膜の一部に開口を設け、この開口内にＳｉ等を埋め込み形成しておき、このＳｉをシードとしてＳｉＧｅ層を再結晶化する方法が知られている（例えば、Applied Physics Letters Vol.84, No.14, p2563）。しかし、この方法では、絶縁膜に開口を設ける工程、更には開口内にＳｉを埋め込む等の工程が必要となり、工程の複雑化を招く。さらに、絶縁膜に開口を設けたシード部を必要とすることから、面積的にも不利となる。また、レーザや電子ビームでアニールする方法もある（例えば、特開２００１−２９８１９４号公報）。しかし、この方法では、結晶粒界がチャネルとなる中央部に生じてしまい、チャネル内に結晶粒界が残る可能性がある。これは例えば、移動度の劣化などのトランジスタの素子特性に悪影響を及ぼすと考えられる。
【００４５】
これに対し本実施形態では、絶縁膜上のＳｉＧｅのＧｅ組成の違いを利用して、ＳｉＧｅ層の第１の領域をシードとして第２の領域を再結晶化しているので、絶縁膜に開口を設ける必要はなく、しかもチャネルとすべき第２の領域に結晶粒界が残ることもない。
【００４６】
また、本実施形態は、ソース領域とＦｉｎ領域に幅のアスペクト比を持たせ、酸化濃縮を行うことでＧｅの組成勾配を形成することを特徴としている。この場合には、酸化プロセスのみを行うため簡便なプロセスと言える。
【００４７】
マルチチャネルＦｉｎに適用する場合、前記図５（ａ）（ｂ）に示す工程において、図２１（ａ）に示すように、ＳｉＧｅ層１６を第１の領域２１と複数の第２の領域２２とが接続された島状に加工する。第２の領域２２は接続方向と直交する方向の幅が狭いものであり、複数本が平行に配置されている。第１の領域２１は、第１及び第２の領域２１，２２の接続方向と直交する方向の幅が広いものであり、複数の第２の領域２２の一方の端部に接続されている。
【００４８】
これ以降は、図６から図１６に示す工程と同様の工程であるが、ゲート部は図２１（ｂ）に示すように、複数の第２の領域３２に跨るように形成し、ソース・ドレイン部は図２１（ｃ）に示すように、複数の第２の領域３２に跨るように形成すればよい。
【００４９】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態に係わる半導体装置の製造方法を、図２２（ａ）（ｂ）から図２６（ａ）（ｂ）を参照して説明する。なお、図１〜図３と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明は省略する。また、図２２（ａ）（ｂ）から図２６（ａ）（ｂ）は、断面図（ａ）と平面図（ｂ）を示し、（ａ）は（ｂ）のＡ−Ａ’断面に相当している。
【００５０】
初めに、第１の実施形態において説明した方法によりＳＧＯＩ基板を作製する。前記図３に示すようなＳＧＯＩ基板１０を作製した後、ＥＢ若しくはエキシマレーザーを用いたリソグラフィを行い、ＲＩＥを用いて図２２（ａ）（ｂ）に示す長方形のメサ領域５０を形成する。
【００５１】
なお、メサ領域５０は、最終的にソース領域となる第１の領域５１と最終的にチャネル領域及びドレイン領域となる第２の領域５２が接続されたものとする。第１及び第２の領域５１，５２の幅は同じである。更に、メサ領域５０の組成は第１の実施形態のＳｉ1-y Ｇｅy 層１６と同じで、メサ領域の側面の面方位は第１の実施形態と同様である。
【００５２】
次いで、図２３（ａ）（ｂ）に示すように、メサ領域５０の上部を覆う熱酸化膜１７を弗化水素酸によって完全に除去した後、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜をＣＶＤにてウェハー全面に堆積し、フォトリソグラフィーとＲＩＥにより第１の領域５１上に窒化膜５３、酸化膜５３’による保護膜を形成する。
【００５３】
次いで、ＳＧＯＩ基板を酸素雰囲気、８００℃以上の温度において熱酸化を行う。すると、図２４（ａ）（ｂ）に示すように、Ｆｉｎ領域６２の上面、側面は酸化されてＧｅ組成が増大するが、ソース領域６１は窒化膜５３で覆われているおり殆ど酸化されずにＧｅ組成は変化しない。或いは、酸化されたとしても酸化膜厚はＦｉｎ領域６２に比べて十分に少ない。その結果、ソース領域６１のＧｅ組成が低く、Ｆｉｎ領域６２のＧｅ組成ｚが高くなっているＳＧＯＩ−Ｆｉｎを形成できる。そして、最終的には、ソース領域６１は窒化膜５３にて覆われ、Ｆｉｎ領域６２は熱酸化膜５４に覆われた状態となる。また、最終的なＦｉｎの幅や高さなどの構造は、第１の実施形態と同様である。即ち、Ｆｉｎ領域６２の幅は５〜２０ｎｍ、高さが５〜５０ｎｍ、Ｇｅ組成は０．３＜ｚ≦１が応用上重要である。
【００５４】
次いで、図２５（ａ）（ｂ）に示すように、Ｇｅ組成に勾配を持ったＦｉｎを希ガス、若しくは窒素ガス雰囲気中の高温にてアニールを行う。また、雰囲気中に若干の酸素（体積比１％程度以下）が含まれていても良い。ここで高温とは、Ｇｅ組成の低いソース領域６１は溶融せずに、Ｆｉｎ領域６２のみが溶融するような高温を指す。このとき、図２５（ａ）（ｂ）に示すように熱酸化膜５４及び窒化膜５３が被覆となっている。従って、内部のＳｉやＧｅの脱離や液状化による流出を防ぎつつ、Ｆｉｎ領域６２のみが液相となり、ソース領域６１は固相状態にある。この温度の決定に関しての具体的な例は第１の実施形態を参照して、ここでは省くこととする。
【００５５】
次いで、図２５（ａ）（ｂ）に示されるＦｉｎ領域６２が液相となった後、温度を徐々に下げていくことで図２６（ａ）（ｂ）に示されるように、Ｇｅ組成の低いソース領域６１からＦｉｎ領域６２へと順に固相へと再結晶化していく。ここで、図２６（ａ）（ｂ）は過渡状態を表しており、Ｆｉｎ先端領域は未だ液相、若しくは、二相共存状態である。さらに温度を下げていくと、最終的にはＦｉｎ先端領域も固相へと変わり再結晶化が完了する。
【００５６】
再結晶化が完了した後は、図２６（ａ）（ｂ）における窒化膜５３を１５０℃程度の燐酸にて除去後、熱酸化膜５４を弗化水素酸で除去する。その後のゲート積層膜の堆積、ゲートリソグラフィ、ソース／ドレイン領域形成などは第１の実施形態の図９以降と同様であるのでここでは省くこととする。
【００５７】
このように本実施形態によれば、ソース領域５１をマスクしておき、Ｆｉｎ領域５２を酸化濃縮することにより、ソース領域６１よりもＦｉｎ領域６２のＧｅ組成を高めることができ、これを利用してＦｉｎ領域６２のみを溶融させて再結晶化させることができる。従って、先に説明した第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【００５８】
また、本実施形態では、長方形状のメサをＳＧＯＩ基板上に形成した後、ソース領域５１に保護膜としての窒化膜５３を形成する。保護膜形成後には、酸化濃縮のみを行い、Ｇｅ組成の勾配を形成する。この場合、初めに長方形状にメサを形成するため、第１の実施形態のような幅の広いソース領域を形成する必要がなく微細化に適している。従って、シングルチャネルにおいては、第１の実施形態に比べてより微細化可能である点で適している。
【００５９】
なお、本実施形態の変形例として、前記図２３（ａ）（ｂ）の工程の後に、図２７（ａ）（ｂ）に示すように、窒化膜５３に覆われていないＦｉｎ領域５２上にＣＶＤを用いて、Ｓｉ1-t Ｇｅt 層５５（０＜ｔ≦１）を選択的にエピタキシャル成長する。これ以降は、先と同様に、８００℃以上の温度において立体酸化濃縮を行うことにより、ソース領域６１のＧｅ組成が低く、Ｆｉｎ領域６２のＧｅ組成ｚが高くなっているＳＧＯＩ−Ｆｉｎを形成することができる。
【００６０】
この変形例では、保護膜形成後にＳｉＧｅ膜をエピタキシャル成長した後、酸化濃縮を行い、Ｇｅ組成の勾配を形成する。ソース領域５１の保護膜５３を形成した後にＳｉＧｅ層５５のエピタキシャル成長を行うことにより、プロセスは複雑になる欠点があるが、ＲＩＥ直後の長方形幅、又はＧｅ組成が小さい場合には有効である。
【００６１】
特に、Ｆｉｎ領域の幅が小さい場合において、ＲＩＥ等のリソグラフィ時に生じるＦｉｎ側面のエッジラフネスにより、酸化濃縮の際にチャネルが分断されるという可能性がある。これに対し、本変形例のようにＳｉＧｅ層５５のエピタキシャル成長を行うことでチャネル幅を大きくし、その後に酸化濃縮を行えばエッジラフネスの問題は軽減できる。また、ＲＩＥ直後の前記図２３（ａ）（ｂ）の状態で酸化濃縮によりＧｅ組成を高くすると、ソース領域５１のＧｅ組成も高くなってしまい、溶融時の温度選択幅が狭まる可能性がある。これらはプロセスのばらつきを考える上で問題となる。従って、ソース領域５１の保護膜５３を形成した後に、ＳｉＧｅ層５５のエピタキシャル成長を行う本変形例は、プロセスが複雑になる短所もあるが、微細化により有効であるといえる。
【００６２】
（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態に係わる半導体装置の製造方法を、図２８（ａ）（ｂ）から図３２を用いて説明する。なお、図２８（ａ）（ｂ）から図３０（ａ）（ｂ）は、断面図（ａ）と平面図（ｂ）を示し、（ａ）は（ｂ）のＡ−Ａ’断面に相当している。
【００６３】
初めに、第１の実施形態において説明した方法によりＳＧＯＩ基板を作製する。前記図３に示すようなＳＧＯＩ基板１０を作製した後、ＥＢ若しくはエキシマレーザーを用いたリソグラフィを行い、ＲＩＥを用いて、第２の実施形態と同様に前記図２２（ａ）（ｂ）に示すような長方形のメサ領域（第１のＳｉＧｅ層）５０を形成する。
【００６４】
このメサ領域５０の幅や高さ、面方位などの構造は、第１の実施形態の最終的なＦｉｎ幅、高さと同様であり、メサ領域５０の組成は第１の実施形態のソース層６２と同じくＳｉ1-z Ｇｅzとする。即ち、この最終的なＦｉｎ領域の幅５２は５〜２０ｎｍ、高さが５〜５０ｎｍ、Ｇｅ組成は０．３＜ｚ≦１が応用上重要である。
【００６５】
なお、メサ領域５０は、最終的にソース領域となる第１の領域５１と最終的にチャネル領域及びドレイン領域となる第２の領域５２が接続されたものとする。第１及び第２の領域５１，５２の幅は同じである。
【００６６】
次いで、図２８（ａ）（ｂ）に示すように、Ｆｉｎ領域５２上に窒化膜７３をＣＶＤにて堆積する。その後、図２９（ａ）（ｂ）に示すようにソース領域５１上に、ソース領域５１及びＦｉｎ領域５２におけるＧｅ組成ｚよりも低いｔ＜ｚとなるＳｉ1-t Ｇｅt 層（第２のＳｉＧｅ層）７４をＣＶＤにてエピタキシャル成長する。ここで、後の工程である溶融のプロセスを考えると、ｔはｚよりも０．４以上小さいことが望ましい。これにより、Ｓｉ1-t Ｇｅt 層７４と、Ｆｉｎ領域５２及びソース領域５１との間にＧｅ組成の勾配が形成される。
【００６７】
次いで、図３０（ａ）（ｂ）に示すように、Ｓｉ1-t Ｇｅt 層７４及び窒化膜７３上にさらに窒化膜を堆積して、ＳＧＯＩ−Ｆｉｎを被覆する窒化膜７５を形成する。続いて、ＳＧＯＩ−Ｆｉｎが完全に覆われたＳＧＯＩ基板を、希ガス若しくは窒素ガス雰囲気中の高温にてアニールを行う。また、雰囲気中に若干の酸素（体積比１％程度以下）が含まれていても良い。ここで、高温とはＧｅ組成の低いＳｉ1-t Ｇｅt 層７４は溶融せずに、Ｇｅ組成ｚの高いＦｉｎ領域５２とソース領域５１を含むメサ領域５０のみが溶融する温度を指す。このとき、窒化膜７５が被覆となって、内部のＳｉやＧｅの脱離や液状化による流出を防ぎつつ、Ｆｉｎ領域５２とソース領域５１を含むメサ領域５０のみが液相となり、Ｓｉ1-t Ｇｅt 層７４は固相、若しくは部分溶融状態にある。この温度の決定に関しての具体的な例は第１の実施形態を参照して、ここでは省くこととする。
【００６８】
次いで、図３１に示されるＦｉｎ領域５２とソース領域５１を含むメサ領域５０が液相となった後、温度を徐々に下げていく。これにより、図３２に示されるようにＧｅ組成の低いＳｉ1-t Ｇｅt 層７４からソース領域５１、Ｆｉｎ領域５２へと順に固相へと再結晶化していく。ここで図３２は過渡状態を表しており、Ｆｉｎ先端領域は未だ液相、若しくは二相共存の状態を表している。さらに温度を下げていくと、最終的にはＦｉｎ先端領域も固相へと変わり再結晶化が完了する。再結晶化が完了した後は、第１の実施形態と同様に、図３２における窒化膜７５を１５０℃程度の燐酸にて除去する。その後のゲート積層膜の堆積、ゲートリソグラフィ、ソース／ドレイン領域形成などは第１の実施形態の図９以降と同様であるのでここでは省くこととする。
【００６９】
このように本実施形態によれば、ソース領域５１上にＧｅ濃度の低いＳｉＧｅ層７４を形成することにより、ソース領域５１及びＦｉｎ領域５２を含むメサ領域５０のＧｅ組成をＳｉＧｅ層７４のＧｅ組成よりも高めることができ、これを利用してメサ領域５０のみを溶融させて再結晶化させることができる。従って、先に説明した第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【００７０】
また、本実施形態では、初めに長方形のメサをＳＧＯＩ基板上に形成する。そのため、幅の大きいソース領域を形成する必要がないため、第１の実施形態よりも微細化に適しているといえ、この微細化の面では第２の実施形態と同様である。
【００７１】
また、本実施形態では、Ｆｉｎ領域５２のみに保護膜７３を形成し、ソース領域５１にＳｉＧｅ層７４のエピタキシャル成長を行うことにより、Ｆｉｎ領域（実際にはソース領域５１とＦｉｎ領域５２）とソース領域（実際にはＳｉＧｅ層７４）にＧｅ組成の勾配を形成する。このため、第１の実施形態に比べてエピタキシャル成長工程が増える点で、プロセスが複雑になる。さらに、第２の実施形態に比べて、酸化濃縮を行わないがエピタキシャル成長の工程が増えているので、プロセス上の工程数からすると同程度と考えられる。
【００７２】
しかし、ソース領域のＧｅ組成を自由に選択してエピタキシャル成長できる点で、その他の酸化濃縮プロセスのみを用いる場合に比べてＦｉｎ領域とソース領域の間のＧｅ組成の勾配を最も形成しやすい。そのため、溶融時の温度選択幅が広いという点で、最も安定した溶融、再結晶化プロセスが見込めるといえる。
【００７３】
なお、本実施形態の変形例として、前記図３に示すＳＧＯＩ基板の代わりに前記図４に示す基板を用いることもできる。
【００７４】
前記図４に示すようなＳＧＯＩ基板を作製した後、ＥＢ若しくはエキシマレーザーを用いたリソグラフィを行い、ＲＩＥを用いて図３３（ａ）（ｂ）に示す長方形のメサ領域８０を形成する。
【００７５】
次いで、図３４（ａ）（ｂ）に示すように、メサ領域８０に対して酸化濃縮を行うことにより、Ｇｅ組成の高いメサ領域８１と熱酸化膜８２を形成する。
【００７６】
次いで、熱酸化膜８２を除去した後に、前記図２８（ａ）（ｂ）に示すように、メサ領域８１のＦｉｎ領域上に窒化膜７３をＣＶＤにて堆積する。これ以降は、先の工程と同様にしてＦｉｎ領域の溶融再結晶化を行うことができる。
【００７７】
この変形例では、Ｆｉｎ領域の保護膜形成前に酸化濃縮を行うことで、溶融する領域のＧｅ組成を高めている。このため、第３の実施形態に比べて、よりＧｅ組成の高いＦｉｎ領域を得ることが可能であり、ソース領域上に形成するＳｉＧｅ層７４とメサ領域８１とのより高いＧｅ組成の勾配を形成しやすい。ここで、第３の実施形態においてもＧｅ組成の高い基板を用いれば同じであるが、この場合には酸化膜が多く形成されるため酸化時間が長くなると考えられる。その点、立体的に酸化濃縮される本変形例を用いれば、酸化時間の短縮化が可能であると考えられる。
【００７８】
また、第２及び第３の実施形態をマルチチャネルＦｉｎに適用する場合、図３５（ａ）又は（ｂ）に示すように、ＳｉＧｅからなるメサ領域５０を複数の短冊状の島に加工する。次いで、第３の実施形態の場合は、図３６（ａ）（ｂ）に示すように、Ｆｉｎ領域５２を窒化膜７３でマスクする。これ以降は、前記図２９（ａ）（ｂ）から図３２に示す工程でＦｉｎ領域の溶融再結晶化を行うことができる。さらに、第２の実施形態の場合は、図３６（ａ）（ｂ）とは逆にソース領域５１を窒化膜５３でマスクした後、前記図２４（ａ）（ｂ）から図２６（ａ）（ｂ）に示す工程で、Ｆｉｎ領域の酸化濃縮及び溶融再結晶化を行うことができる。
【００７９】
なお、第１から第３の実施形態において、ＳｉＧｅの融解と再結晶化に要する時間は、再結晶時の相分離によるＧｅ組成分布を避けるため、なるべく急速に行うことが望ましい。従って、ＲＴＡ（Rapid Thermal Annealing）や、スパイクＲＴＡ、更にはフラッシュランプやレーザーを用いた急速昇降温装置などを用いて、Ｇｅの拡散が顕著となる９００℃以上の温度への保持時間が１分以内、さらに好ましくは１０秒以内であることが望ましい。
【００８０】
（第４の実施形態）
本実施形態は第１から第３の実施形態で述べた立体チャネルトランジスタの製造方法のうち、Ｆｉｎ領域の溶融、再結晶化後のプロセスに関しての変形例である。具体的には、第１から第３の実施形態においては再結晶化を行ったＦｉｎ領域をチャネル領域としているが、本実施形態においては再結晶化によって緩和したＦｉｎ領域を歪みストレッサーとしている。そして、Ｆｉｎ領域のまわりにＳｉＧｅ膜をエピタキシャル成長してＳｉＧｅチャネルを形成する。以上のことより、第１から第３の実施形態全てに関して本実施形態は適用可能である。
【００８１】
本発明の第４の実施形態による半導体装置の製造方法を、図３７（ａ）（ｂ）及び図３８（ａ）（ｂ）を用いて説明する。なお、図３７（ａ）（ｂ）及び図３８（ａ）（ｂ）は、断面図（ａ）と平面図（ｂ）を示し、（ａ）は（ｂ）のＡ−Ａ’断面に相当している。
【００８２】
まず、ＳＧＯＩ基板の作製及びＦｉｎ領域の再結晶化に関しては、第１の実施形態から第３の実施形態と同様であるためここでは省く。再結晶化後のＳＧＯＩ基板は、例えば前記図８（ａ）（ｂ）に示すように、ソース領域３１はＦｉｎ領域３２に比べてＧｅ組成は低く、それぞれの領域は全て熱酸化膜或いは窒化膜から構成される絶縁膜１９で被覆されている。
【００８３】
この絶縁膜１９を弗化水素酸或いは熱燐酸によって除去した後、図３７（ａ）（ｂ）に示すようにチャネル領域９１となる０＜ｕ＜１なるＳｉ1-u Ｇｅu 層をＣＶＤによってエピタキシャル成長する。ここで、Ｆｉｎ領域３２のＧｅ組成をｚとおくと、ｐ−ＭＯＳＦＥＴを作製する場合にはｚ＜ｕとしてチャネル領域９１に圧縮歪みを、ｎ−ＭＯＳＦＥＴを作製する場合にはｕ＜ｚとしてチャネル領域９１に引っ張り歪みを加えるようにエピタキシャル成長を行う。ここで、ｎ−ＭＯＳＦＥＴ及びｐ−ＭＯＳＦＥＴのどちらの場合においても、エピタキシャル成長したチャネル領域９１のＧｅ組成ｕは、再結晶化したストレッサー層（Ｆｉｎ領域３２）のＧｅ組成ｚと０．２以上の差があることが望ましい。即ち、何れの場合でも絶対値の記号を用いて｜ｚ−ｕ｜≧０．２が望ましい。
【００８４】
次いで、第１の実施形態と同様に積層ゲート、側壁絶縁膜の形成を行うが、これらに関しても、第１の実施形態の図９（ａ）（ｂ）から図１２（ａ）（ｂ）と同様であるため、ここでは省く。そして、図３８（ａ）（ｂ）に示すようにゲート絶縁膜４１及びゲート電極４２からなるゲート積層部、ゲート側壁絶縁膜４４を形成した後に、第１の実施形態と同様にソース／ドレイン領域にイオン注入する。その後、再結晶化アニールを行い、全面に金属層を堆積し、熱処理を加えてジャーマノシリサイド領域４７を形成する。
【００８５】
これ以降は、層間絶縁膜を堆積し、ソース／ドレイン領域、及びゲート電極のコンタクトホールの形成を行うが、この工程も第１の実施形態と同様であるので、ここでは省略する。
【００８６】
このように本実施形態では、第１〜第３の実施形態で作製されたＦｉｎ領域を歪みストレッサーとした立体チャネルトランジスタの形成が可能となる。そしてこの場合、Ｆｉｎ領域は格子歪みが緩和されると共に結晶欠陥が低減されているため、ｐＭＯＳ側では圧縮歪みを、ｎＭＯＳ側では引っ張り歪みを与えることが容易となる。従って、Ｃ−ＭＯＳ回路を作製するのに有効である。
【００８７】
（第５の実施形態）
本発明の第５の実施形態による半導体装置の製造方法を、図３９（ａ）〜（ｅ）及び図４０（ｆ）（ｇ）を用いて説明する。
【００８８】
本実施形態は、第１から第４の実施形態にて述べた立体チャネルトランジスタの製造方法を用いたＣ−ＭＯＳＦＥＴの製造方法を示す。ここで具体的に図を用いて示す例は第２の実施形態を用いた方法であるが、そのほかの全ての実施形態、即ち第１，第３，第４の実施形態を用いてもかまわない。以下ではそれぞれの図はＳＧＯＩ基板の平面図を表す。また図の上側のＦｉｎ領域をｐ−ＭＯＳＦＥＴ、下側のＦｉｎ領域をｎ−ＭＯＳＦＥＴとするプロセスを記述するが、ｎ−ＭＯＳＦＥＴとｐ−ＭＯＳＦＥＴの位置が逆でもかまわない。
【００８９】
まず、第１の実施形態で述べたようにＳＧＯＩ基板１０を作製する。
【００９０】
次いで、図３９（ａ）に示すように、ＲＩＥにてメサ状に加工を施し、メサ領域１００及び２００を形成する。ここで図には示さないが、ｎ−ＭＯＳＦＥＴ及びｐ−ＭＯＳＦＥＴを形成するために、それぞれのチャネル領域にイオン注入を行う。具体的には、メサ領域１００にイオン注入を行う場合には、メサ領域２００に絶縁膜等を堆積したのち、メサ領域１００にｎ−ＭＯＳＦＥＴを作製する場合にはホウ素等を、ｐ−ＭＯＳＦＥＴを作製する場合にはリンや砒素などをイオン注入する。
【００９１】
次いで、図３９（ｂ）に示すように、第２の実施形態と同様に、メサ領域１００の第１の領域（ソース領域）１０１及びメサ領域２００の第２の領域（ソース領域）２０１をマスクするように、窒化膜３０１をＣＶＤにて堆積する。
【００９２】
ついで、第２の実施形態に示したように酸化濃縮、溶融、再結晶化までのプロセスを行い、図３９（ｃ）に示すように、格子緩和したＳｉＧｅチャネルを持つＦｉｎ領域１１２及び２１２を得る。ここで、１１１及び２１１は、Ｇｅ組成の低いソース領域である。
【００９３】
次いで、酸化濃縮によって生じた熱酸化膜１１３，２１３、及びソース領域形成のための窒化膜３０１を弗化水素酸、及び熱燐酸によってそれぞれ除去する。続いて、図３９（ｄ）に示すように、第１の実施形態で示した方法でゲート積層及びゲート側壁を含むゲート領域１２０，２２０をそれぞれ形成する。
【００９４】
次いで、図３９（ｅ）に示すように、ｎ型のＦｉｎＦＥＴ領域とｐ型のＦｉｎＦＥＴ領域それぞれに対し、ＳｉＧｅ歪みストレッサー１３０，２３０をＣＶＤにてエピタキシャル成長する。
【００９５】
ここで、それぞれの濃度のＳｉＧｅストレッサー層を形成する場合、もう一方のＦｉｎ領域及びソース／ドレイン領域を絶縁膜等で被覆し、ＳｉＧｅストレッサー層を形成したい方のＦｉｎ領域、及びソース／ドレイン領域にエピタキシャル成長を行うこととする。それぞれｐ−ＦｉｎＦＥＴ領域、及びｎ−ＦｉｎＦＥＴ領域のＧｅ組成は同じプロセスを経ているので、組成は同じであるからこれをｚとおく。このとき、ｐ−ＦｉｎＦＥＴには圧縮歪みストレッサーとなる０＜ｚ＜ｓとなるＳｉ1-s Ｇｅs 層１３０を、ｎ−ＦｉｎＦＥＴには引っ張り歪みストレッサーとなる０＜ｓ’＜ｚとなるＳｉ1-s’Ｇｅs’層２３０を形成する。ここで、それぞれｓ及びｓ’は、ｚと０．２以上の差があることが望ましい。即ち、ｚ−ｓ’≧０．２，ｓ−ｚ≧０．２となるのが望ましい。
【００９６】
次いで、第１の実施形態で説明したように、図４０（ｆ）に示すように、ソース領域１１１，２１１及びＦｉｎ領域上１１２，２１２に、金属を堆積してジャーマノシリサイド領域１４０及び２４０をそれぞれ形成する。
【００９７】
次いで、第１の実施形態と同様にして、層間絶縁膜の堆積、ソース／ドレイン及びゲート電極のコンタクトホールの形成を行う。図４０（ｇ）に示すように、このコンタクトホールを導電性材料で埋め込みビア１５０及び２５０を形成し、それぞれの電極を形成した後、層間絶縁膜上に配線を形成してＣ−ＭＯＳトランジスタを有する回路が完成する。
【００９８】
このように本実施形態によれば、第１〜第３の実施形態で作製されたＦｉｎ領域ｉ対し、ｎ−ＭＯＳとｐ−ＭＯＳで異なる歪みストレッサー１３０，２３０を形成することにより、各々のＭＯＳに適した歪みチャネルを有するＣ−ＭＯＳを作製することができる。そしてこの場合、Ｆｉｎ領域１１２，２１２は格子歪みが緩和されると共に結晶欠陥が低減されている。このため、ｐＭＯＳ側では圧縮歪みを、ｎＭＯＳ側では引っ張り歪みを与えることが容易となり、Ｃ−ＭＯＳ回路を作製するのに有効である。
【００９９】
第５の実施形態におけるＣ−ＭＯＳの作製方法においては、それぞれｎ−ＭＯＳ及びｐ−ＭＯＳにおいてＦｉｎ領域のＧｅ組成が同じとなるように作製されるが、以下にＧｅ組成がｎとｐとで異なるような作製方法を示す。図４１（ａ）に示すように、Ｇｅ組成を高くしたい側のメサ領域２５０を、もう一方のメサ領域１５０に比べて幅を大きく形成する。若しくは、同じ幅でＲＩＥを行った後にエピタキシャル成長を行っても良い。
【０１００】
次いで、図４１（ｂ）に示すように、Ｇｅ組成の低くなる方のみを絶縁膜１７０にて被覆して酸化濃縮を行う。これにより、幅の大きい方のメサ領域２５０のみが酸化濃縮されるため、図４１（ｂ）では上側のメサ領域２６０のみＧｅ組成が高くなる。これにより、ｎとｐとでＧｅ組成の異なる、同じ幅のＳＧＯＩ−Ｆｉｎを得ることができる。
【０１０１】
次いで、酸化濃縮によって生じた熱酸化膜２６３を弗化水素酸にて除去した後、図４１（ｃ）に示すように、ソース領域１５１，２６１を被覆するように、絶縁膜３０１を堆積する。以下のプロセスは第５の実施形態の図３９（ｂ）以降と同様になるので、ここでは省略する。
【０１０２】
以上の方法により、ｎ−ＭＯＳＦＥＴとｐ−ＭＯＳＦＥＴとでＧｅ組成の異なるＣ−ＭＯＳを作製することが可能となる。
【０１０３】
（変形例）
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。例えば、全ての実施形態において（００１）面を主面とするＳＯＩ基板から、側面に（１１０）面を有するＦｉｎ領域の形成を行っている。しかし、（００１）面と等価な｛００１｝面を主面とする半導体基板上に（１１０）面と等価な｛１１０｝面を側面とするフィンを形成することも可能である。｛１１０｝面に関して、ｐＭＯＳＦＥＴにおいて圧縮歪みをかけた場合、特に電流駆動力の増大させることができる。ここで、｛００１｝面は、（００１）面，（０１０）面，（１００）面，（００-1）面，（０-1０）面，（-1００）面の何れかを示すミラー指数の包括表現である。また、｛１１０｝面は、（１１０）面，（１０１）面，（０１１）面，（-1-1０）面，（-1０-1）面，（０-1-1）面，（-1１０）面，（１-1０）面，（１０-1）面，（-1０１）面，（０１-1）面，（０-1１）の何れかを示すミラー指数の包括表現である。｛１１１｝面は、（１１１）面，（-1１１）面，（１-1１）面，（１１-1）面，（-1-1-1）面，（１-1-1）面，（−１１−１）面，（-1-1１）面のいずれかを示すミラー指数の包括表現である。
【０１０４】
また上記のミラー指数にしたがって、｛１００｝面を主面とする基板上に、｛００１｝面を側面に有するＦｉｎ領域の形成も可能である。この場合には、特にｎＭＯＳにおいて、電流駆動力を増大させることができる。
【０１０５】
また、例えば第１の領域や第２の領域を選択的にマスクする絶縁膜材料は、仕様に応じて適宜変更可能である。また、支持基板は必ずしもＳｉに限るものではなく、他の半導体基板を用いることも可能である。さらに、支持基板としてサファイア等の結晶基板を用いることも可能であり、この場合、支持基板上に直接ＳｉＧｅ層を形成することができる。
【０１０６】
また、第４の実施形態では、Ｆｉｎ領域を歪みストレッサーとし、そのＦｉｎ領域のまわりにＳｉＧｅ膜をエピタキシャル成長してＳｉＧｅチャネルを形成したが、ＳｉＧｅ層をエピタキシャル成長する代わりにＳｉ層をエピタキシャル成長しても良い。この場合、歪みＳｉチャネルを利用したＭＯＳＦＥＴを作製することが可能となる。
【０１０７】
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
【符号の説明】
【０１０８】
１１…支持基板
１２…埋め込み酸化膜
１３…ＳＯＩ層
１４…Ｓｉ1-x Ｇｅx 層
１５…Ｓｉキャップ層
１６…Ｓｉ1-y Ｇｅy 層（第１のＳｉＧｅ層）
１７，５４，８２…熱酸化膜
１８…ＳｉＯ2 膜
１０，１０’，１０”…ＳＧＯＩ基板
２１，５１…ソース領域（第１の領域）
２２，５２…Ｆｉｎ領域（第２の領域）
３１，６１…Ｇｅ組成の低いソース領域（第１の領域）
３２，６２…Ｇｅ組成の高いＦｉｎ領域（第２の領域）
３３…液相
３４…固相
３５…Ｆｉｎ先端領域
４１…ゲート絶縁膜
４２…ゲート電極
４３…ハードマスク
４４…ゲート側壁絶縁膜
４５…Ｓｉ1-s Ｇｅs 歪みストレッサー
４６…金属層
４７…ジャーマノシリサイド領域
４８…層間絶縁膜
４９…ビアコンタクト
５０，８０…メサ領域（第１のＳｉＧｅ層）
５３…窒化膜（絶縁膜マスク）
５５，７４…Ｓｉ1-t Ｇｅt 層（第２のＳｉＧｅ層）
７３…窒化膜（第１の絶縁膜マスク）
７５…窒化膜（第２の絶縁膜マスク）
８１…Ｇｅ組成の高いメサ領域
９１…Ｓｉ1-u Ｇｅu 層（チャネル領域）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図１８】
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【図１９】
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