(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＳＦ６ガスを使用するＳＦ６ガス使用機器から使用済ＳＦ６ガスを回収し貯蔵したＳＦ６ガス回収タンクの容積、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定重量データ、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相蒸気量データ、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相水分量データを入力する入力手段と、
ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６が気相ＳＦ６及び液相ＳＦ６の混合体であるときに、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データとＳＦ６ガス回収タンク内液相水分量データを座標軸として取得された線図状の相関関係を格納するデータベースと、
ＳＦ６ガス回収タンクの容積とＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定重量データと測定気相蒸気圧データとからＳＦ６ガス回収タンク内の気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積を演算し、貯蔵されている当該液相ＳＦ６について、ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体について格納されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データと液相水分量データの線図状の相関関係を用いて、入力された気相ＳＦ６水分量データから液相ＳＦ６の水分量を推算し、もって推算された液相ＳＦ６の水分量と入力された前記ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相ＳＦ６水分量データと演算された前記気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積から前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量を演算し、もしくは前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量が予め定めた管理規定値内にあるかを判定する演算処理手段と、
を備えることを特徴とする回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置。
【請求項２】
ＳＦ６ガスを使用するＳＦ６ガス使用機器から使用済ＳＦ６ガスを回収し貯蔵したＳＦ６ガス回収タンクの容積、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定重量データ、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相蒸気量データ、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相水分量データ、不純物として少なくとも空気を含んだ回収タンク内貯蔵ＳＦ６のＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相純度データを入力する入力手段と、
ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６が気相ＳＦ６及び液相ＳＦ６の混合体であるときに、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データとＳＦ６ガス回収タンク内液相水分量データを座標軸として取得された線図状の相関関係と、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内気相純度データとＳＦ６ガス回収タンク内液相純度データを座標軸として取得された線図状の相関関係とを格納するデータベースと、
ＳＦ６ガス回収タンクの容積とＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定重量データと測定気相蒸気圧データとからＳＦ６ガス回収タンク内の気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積を演算し、貯蔵されている当該液相ＳＦ６について、ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体について格納されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データと液相水分量データ又は気相純度データと液相純度データの線図状の相関関係を用いて、入力された気相ＳＦ６水分量データ及び気相ＳＦ６純度データから液相ＳＦ６の水分量及び純度を推算し、もって推算された液相ＳＦ６の水分量及び純度と入力された前記ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相水分量データ及びＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相純度データと演算された気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積から前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量及び純度を演算し、若しくは前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量及び純度が予めそれぞれ定めた管理規定値内にあるかを判定する演算処理手段と、
を備えることを特徴とする回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記データベースが、気相水分量データと液相水分量データ又は気相純度データと液相純度データとの相関関係から気相水分量又は気相純度について予め定められた所定の液相水分量又は液相水分量及び液相純度を格納し、前記演算処理手段が、前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量又は水分量及び純度を演算することを特徴とする回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置。
【請求項４】
入力手段が、ＳＦ６ガスを使用するＳＦ６ガス使用機器から使用済ＳＦ６ガスを回収し貯蔵したＳＦ６ガス回収タンクの容積、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定重量データ、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相蒸気量データ、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相水分量データを入力し、
データベースが、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６が気相ＳＦ６及び液相ＳＦ６の混合体であるときに、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データとＳＦ６ガス回収タンク内液相水分量データを座標軸として取得された線図状の相関関係を格納し、
演算処理手段が、ＳＦ６ガス回収タンクの容積とＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定重量データと測定気相蒸気圧データとからＳＦ６ガス回収タンク内の気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積を演算し、貯蔵されている当該液相ＳＦ６について、ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体について格納されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データと液相水分量データの線図状の相関関係を用いて、入力された気相ＳＦ６水分量データから液相ＳＦ６の水分量を推算し、もって推算された液相ＳＦ６の水分量と入力された前記ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相水分量データと演算された前記気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積から前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量を演算し、もしくは前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量が予め定めた管理規定値内にあるかを判定すること
を特徴とする回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算方法。
【請求項５】
入力手段が、ＳＦ６ガスを使用するＳＦ６ガス使用機器から使用済ＳＦ６ガスを回収し貯蔵したＳＦ６ガス回収タンクの容積、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定重量データ、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相蒸気量データ、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相水分量データ、不純物として少なくとも空気を含んだ回収タンク内貯蔵ＳＦ６のＳＦ６ガス回収タンク内測定気相純度データを入力し、
データベースが、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６が気相ＳＦ６及び液相ＳＦ６の混合体であるときに、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データとＳＦ６ガス回収タンク内液相水分量データを座標軸として取得された線図状の相関関係と、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内気相純度データとＳＦ６ガス回収タンク内液相純度データを座標軸として取得された線図状の相関関係とを格納し、
演算処理手段が、ＳＦ６ガス回収タンクの容積とＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定重量データと測定気相蒸気圧データとからＳＦ６ガス回収タンク内の気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積を演算し、貯蔵されている当該液相ＳＦ６について、ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体について格納されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データと液相水分量データ又は気相純度データと液相純度データの線図状の相関関係を用いて、入力された気相ＳＦ６水分量データ及び気相ＳＦ６純度データから液相ＳＦ６の水分量及び純度を推算し、もって推算された液相ＳＦ６の水分量及び純度と入力された前記ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相ＳＦ６水分量データ及びＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相純度データと演算された前記気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積から前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量及び純度を演算し、若しくは前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量及び純度が予めそれぞれ定めた管理規定値内にあるかを判定すること
を特徴とする回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算方法。
【請求項６】
請求項４又は５において、前記演算処理手段が、気相水分量データと液相水分量データ又は気相純度データと液相純度データとの相関関係から気相水分量又は気相純度について予め定められた所定の液相水分量又は液相純度を用いて前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量又は水分量及び純度を演算することを特徴とする回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回収された液化ＳＦ６ガス並びに回収されたＳＦ６混合体の含有量推算装置及びその含有量推算方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、高電圧を有する受変電設備に用いられるガス遮断器等のガス絶縁電気機器は、小型化の要請から機器内に電気絶縁効果のある絶縁ガスを封入した構成が適用されている。
【０００３】
この絶縁ガスとしては、取り扱いが容易であり、しかも絶縁性能が優れている六フッ化硫黄ガス（以下、ＳＦ６ガスと略称する。）が用いられており、受変電設備に用いられるガス遮断器、変圧器及び加速器等の電気機器内に封入されて用いられている。以下、このようなＳＦ６ガスを用いた機器をＳＦ６ガス使用機器と称する。
【０００４】
このＳＦ６ガスは電気絶縁性が優れているものの、地球温暖化係数が炭酸ガスの２３９００倍相当とされており、大気に放出された際には地球温暖化に寄与してしまうため、環境保全を主目的としてＳＦ６ガス使用機器の点検時または撤去時には使用済ＳＦ６ガスの回収や回収した使用済ＳＦ６ガスを再封入してのＳＦ６ガス使用機器の使用が行われている。
【０００５】
この際、回収した使用済ＳＦ６ガスは、ＳＦ６ガス使用機器に再封入するためには、絶縁性能を満足する純度が要求される。尚、この純度としては、一般的に容量パーセント濃度が９７ｖｏｌ％以上（「社団法人電気共同研究会「電力用ＳＦ６ガス取扱基準」電気共同研究第５４号第３号記載、以下基準という。」）が管理値として規定されている。
【０００６】
回収した使用済ＳＦ６ガスは、また、ＳＦ６ガス使用機器に再封入するためには不純物である水分を所定量以上含まないことが要求される。尚、このＳＦ６ガス中に含まれる水分量としては、上記基準により、電流の開閉を行わないＳＦ６ガス使用機器については５００ｖｏｌｐｐｍ以下、電流の開閉を行うＳＦ６ガス使用機器については１５０ｖｏｌｐｐｍ以下が管理値としてそれぞれ規定されている。ここで、水分量とは、ＳＦ６ガス中の水分の含有量を指す。
【０００７】
そして、回収したＳＦ６ガスは上記の管理値を満足するように適宜容量パーセント濃度又は水分量が管理されている。以下、ＳＦ６ガスの容量パーセント濃度をＳＦ６ガスの純度（％）と略称し、管理値として規定されたＳＦ６ガスの純度又は水分量の値を管理規定値と称する。
【０００８】
上述のＳＦ６ガス回収設備としては、従来、ＳＦ６ガス使用機器から使用済ＳＦ６ガスを回収するＳＦ６ガス回収装置と、回収したＳＦ６ガスを貯蔵するボンベ等のＳＦ６ガス回収タンクとにより構成されている。
【０００９】
また、ＳＦ６ガス回収装置には、内部のＳＦ６ガスの劣化により発生したＳＦ６分解ガスのＳＯ２、ＨＦ等のガス精製装置並びにＳＦ６ガス使用機器内に付着した水分及びＳＦ６の真空回収時に外気から混入した水分を除去精製するためのガス精製装置が接続されている。
【００１０】
上記のＳＦ６ガス回収装置は、ＳＦ６ガス使用機器より使用済ＳＦ６ガスを抜き取り、ＳＦ６ガス回収タンクに貯蔵する機能と、ＳＦ６ガス回収タンクよりＳＦ６ガスを抜き出して、ＳＦ６ガス使用機器に再封入する機能を併せ持っている。
【００１１】
ＳＦ６ガス回収タンクに貯蔵されたＳＦ６ガスの水分量は、ＳＦ６ガス回収タンクに接続された図示しない測定機器によって、規定された管理規定値以下に達しているかどうかが測定される。また、ＳＦ６ガス回収タンクに貯蔵されたＳＦ６ガスの純度についても、ＳＦ６ガス回収タンクに接続された図示しない測定機器によって、規定された管理規定値以上に達しているかどうかが測定される。
【００１２】
この際、貯蔵されたＳＦ６ガスは、水分量又は純度が管理規定値を満足する場合はそのままＳＦ６ガス使用機器へと再封入されるが、管理規定値を満足しない場合は上述に示した設備以外の高純度化のための専用のガス精製装置によって精製されるか若しくは破壊処分される。破壊処分した後に新規に管理規定値内を満足するＳＦ６ガスが外部よりＳＦ６ガス回収タンク又はＳＦ６ガス使用機器へと再封入される。
【００１３】
ところで、上述のＳＦ６ガス回収設備において、ＳＦ６ガス使用機器からＳＦ６ガス回収装置へ抜き出された使用済ＳＦ６ガスは、気体のままＳＦ６ガス回収タンクに回収する場合のＳＦ６ガス回収設備と、ＳＦ６ガス回収装置により液化された後にＳＦ６ガス回収タンクに回収する場合の液化ＳＦ６ガス回収設備とが採用されている。
【００１４】
これらのうち、液化されたＳＦ６ガス（以下、液化ＳＦ６ガスと略称する。）は、タンク内に回収する際、容積が気体の状態に比べて約１５０分の１に縮小され、ＳＦ６ガス回収タンク自体も減容化できるため、近年では使用対象となるＳＦ６ガスが比較的多量となる場合は、液化ＳＦ６ガス回収設備が適用されている。これにより、液化ＳＦ６ガス回収設備全体の大きさを縮小化できる効果を奏することができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
上述の液化ＳＦ６ガス回収設備を用いて液化したＳＦ６ガスをＳＦ６ガス回収タンクに回収した場合、ＳＦ６ガス回収タンク内のＳＦ６ガスは、一般的には気相と液相の混合体の状態で貯蔵される。以下、これらＳＦ６ガス回収タンク内の気相若しくは液相の状態のＳＦ６をそれぞれ気相ＳＦ６若しくは液相ＳＦ６と称する。
【００１６】
ＳＦ６ガス回収タンク内の気相ＳＦ６と液相ＳＦ６中にはそれぞれ異なる量の水分が含まれており、これらの水分量は、回収ＳＦ６ガスの純度を低下させる要因となっている。
【００１７】
また、封入されたＳＦ６ガスの９７ｖｏｌ％以上のＳＦ６ガスの回収率が上記基準にて規定されており、封入されたＳＦ６ガスの９７ｖｏｌ％以上を回収するためにＳＦ６ガス封入設備内を負圧真空化して回収を行うのであるが、ＳＦ６ガス封入・回収設備において、負圧化では特に大気中の空気が僅かながらＳＦ６に混入し、回収ＳＦ６ガスの純度を低下させる要因となっている。
【００１８】
このように、ＳＦ６ガス回収タンク内の気相ＳＦ６と液相ＳＦ６に含まれる水分量や空気等の不純物の含有量がそれぞれ異なり、また、気相ＳＦ６と液相ＳＦ６それぞれの純度も異なるので、ＳＦ６ガス回収タンクに回収したＳＦ６ガスの水分量又は純度の管理のためには、気相ＳＦ６と液相ＳＦ６それぞれの水分量又は純度をそれぞれ測定して管理する必要があった。
【００１９】
しかしながら、気相ＳＦ６の水分量は容易に測定できるのに対し、液相ＳＦ６の水分量の測定は容易には行えない問題があった。以下、この問題について詳述する。
【００２０】
液相ＳＦ６中には、空気及び水分が不純物として存在している。これら空気、水分は、液相ＳＦ６と沸点が違い、純度測定の為に少量の液相ＳＦ６を測定機器に流しながら気化させた場合には、気化ガス組成が均質にならず、測定機器による測定に影響を及ぼして測定値の信頼性が低下する。また、この測定値の変動が測定機器の電気的な固有のヒステリシスによるものか、又は測定気化ＳＦ６ガスの蒸発組成の不安定によるものなのかの判定も困難であり、測定値の補正が困難であった。
【００２１】
また、ＳＦ６に含まれる水分量は、空気の混入量の１０００〜３００００ｖｏｌｐｐｍとは異なり１０〜２５０ｖｏｌｐｐｍ程度と含有量が少なく、わずかな水分量の変化が測定値に影響を及ぼし、測定ガスの温度が違うと測定値に誤差が生じるために、容易に液相ＳＦ６の水分量の測定が行えなかった。
【００２２】
更に、以上の理由から、液相ＳＦ６中の水分量を測定するためには、液相ＳＦ６を気化して気相状態をした後に一定量且つ一定の温度制御にして水分測定装置に導入して測定することが必要となるが、この際液相ＳＦ６を気相にするためには加温機器が必要となり、この加温機器の温度調整の誤差が影響して気化したＳＦ６中の水分量の測定が困難となる問題もあった。
【００２３】
また、液相ＳＦ６の純度の測定は、温度変化による液密度等の関係が複雑等の理由により困難となり、測定手段が確立されておらず、液相ＳＦ６の純度の測定は上記の液相ＳＦ６中の水分量の測定と同様に気化した後に測定する必要があった。
【００２４】
上述のように、液相ＳＦ６の水分量又は純度測定では、測定ＳＦ６ガスのサンプリングや気化方法、気化ガスの温度制御等が必要になり、測定に多くの時間と高度な測定技術が求められ実質運用できず、ＳＦ６ガス回収作業現場でＳＦ６ガス回収タンクに回収した液相ＳＦ６の水分量又は純度測定は不経済的になる問題があった。
【００２５】
また、気相ＳＦ６と液相ＳＦ６の混在するＳＦ６混合体では、蒸気圧、ガス密度、液密度の関係が複雑になり、ＳＦ６の気相水分量、液相水分量又は気相純度、液相純度が判明してもＳＦ６混合体の水分量・純度・水分量及び空気の質量が判明できず、ＳＦ６ガス回収タンク内のＳＦ６の気相、液相、混合時の水分量、純度、水分量及び空気の質量については測定が困難とされてきた。
【００２６】
また、回収した液化ＳＦ６ガスの再封入においては、低純度のＳＦ６ガスが封入される恐れがあった。このため、ＳＦ６ガス回収タンク内の液相ＳＦ６及びＳＦ６混合体の純度を容易かつ経済的に推算できる手段の確立が求められていた。
【００２７】
本発明の目的は、簡便な構成で速やかにＳＦ６ガス回収タンクに回収された液相ＳＦ６の水分量又は水分量及び純度を推算でき、ＳＦ６ガス回収タンクに回収されたＳＦ６混合体の水分量又は水分量及び純度を演算でき、しかもＳＦ６ガス回収設備全体を小型化でき経済的な回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置を提供することにある。
【００２８】
また、本発明の目的は、容易かつ経済的に、しかも速やかにＳＦ６ガス回収タンクに回収された液相ＳＦ６の水分量又は水分量及び純度を推算でき、ＳＦ６ガス回収タンクに回収されたＳＦ６混合体の水分量又は水分量及び純度を演算できる回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２９】
本発明の回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置は、ＳＦ６ガスを使用するＳＦ６ガス使用機器から使用済ＳＦ６ガスを回収し貯蔵したＳＦ６ガス回収タンクの容積、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定重量データ、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相蒸気量データ、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相水分量データを入力する入力手段と、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６が気相ＳＦ６及び液相ＳＦ６の混合体であるときに、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データとＳＦ６ガス回収タンク内液相水分量データを座標軸として取得された線図状の相関関係を格納するデータベースと、ＳＦ６ガス回収タンクの容積とＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定重量データと測定気相蒸気圧データとからＳＦ６ガス回収タンク内の気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積を演算し、貯蔵されている当該液相ＳＦ６について、ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体について格納されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データと液相水分量データの線図状の相関関係を用いて、入力された気相ＳＦ６水分量データから液相ＳＦ６の水分量を推算し、もって推算された液相ＳＦ６の水分量と入力された前記ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相ＳＦ６水分量データと演算された前記気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積から前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量を演算し、もしくは前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量が予め定めた管理規定値内にあるかを判定する演算処理手段とを備えることを特徴としている。
【００３０】
本発明の回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置は、また、ＳＦ６ガスを使用するＳＦ６ガス使用機器から使用済ＳＦ６ガスを回収し貯蔵したＳＦ６ガス回収タンクの容積、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定重量データ、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相蒸気量データ、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相水分量データ、不純物として少なくとも空気を含んだ回収タンク内貯蔵ＳＦ６のＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相純度データを入力する入力手段と、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６が気相ＳＦ６及び液相ＳＦ６の混合体であるときに、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データとＳＦ６ガス回収タンク内液相水分量データを座標軸として取得された線図状の相関関係と、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内気相純度データとＳＦ６ガス回収タンク内液相純度データを座標軸として取得された線図状の相関関係とを格納するデータベースと、ＳＦ６ガス回収タンクの容積とＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定重量データと測定気相蒸気圧データとからＳＦ６ガス回収タンク内の気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積を演算し、貯蔵されている当該液相ＳＦ６について、ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体について格納されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データと液相水分量データ又は気相純度データと液相純度データの線図状の相関関係を用いて、入力された気相ＳＦ６水分量データ及び気相ＳＦ６純度データから液相ＳＦ６の水分量及び純度を推算し、もって推算された液相ＳＦ６の水分量及び純度と入力された前記ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相水分量データ及びＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相純度データと演算された気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積から前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量及び純度を演算し、若しくは前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量及び純度が予めそれぞれ定めた管理規定値内にあるかを判定する演算処理手段とを備えることを特徴としている。
【００３１】
本発明の回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置は、また、前記データベースが、気相水分量データと液相水分量データ又は気相純度データと液相純度データとの相関関係から気相水分量又は気相純度について予め定められた所定の液相水分量又は液相水分量及び液相純度を格納し、前記演算処理手段が、前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量又は水分量及び純度を演算することを特徴としている。
【００３２】
本発明の回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算方法は、入力手段が、ＳＦ６ガスを使用するＳＦ６ガス使用機器から使用済ＳＦ６ガスを回収し貯蔵したＳＦ６ガス回収タンクの容積、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定重量データ、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相蒸気量データ、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相水分量データを入力し、データベースが、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６が気相ＳＦ６及び液相ＳＦ６の混合体であるときに、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データとＳＦ６ガス回収タンク内液相水分量データを座標軸として取得された線図状の相関関係を格納し、演算処理手段が、ＳＦ６ガス回収タンクの容積とＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定重量データと測定気相蒸気圧データとからＳＦ６ガス回収タンク内の気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積を演算し、貯蔵されている当該液相ＳＦ６について、ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体について格納されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データと液相水分量データの線図状の相関関係を用いて、入力された気相ＳＦ６水分量データから液相ＳＦ６の水分量を推算し、もって推算された液相ＳＦ６の水分量と入力された前記ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相水分量データと演算された前記気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積から前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量を演算し、もしくは前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量が予め定めた管理規定値内にあるかを判定することを特徴としている。
【００３３】
本発明の回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算方法は、また、入力手段が、ＳＦ６ガスを使用するＳＦ６ガス使用機器から使用済ＳＦ６ガスを回収し貯蔵したＳＦ６ガス回収タンクの容積、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定重量データ、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相蒸気量データ、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相水分量データ、不純物として少なくとも空気を含んだ回収タンク内貯蔵ＳＦ６のＳＦ６ガス回収タンク内測定気相純度データを入力し、データベースが、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６が気相ＳＦ６及び液相ＳＦ６の混合体であるときに、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データとＳＦ６ガス回収タンク内液相水分量データを座標軸として取得された線図状の相関関係と、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内気相純度データとＳＦ６ガス回収タンク内液相純度データを座標軸として取得された線図状の相関関係とを格納し、演算処理手段が、ＳＦ６ガス回収タンクの容積とＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定重量データと測定気相蒸気圧データとからＳＦ６ガス回収タンク内の気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積を演算し、貯蔵されている当該液相ＳＦ６について、ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体について格納されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データと液相水分量データ又は気相純度データと液相純度データの線図状の相関関係を用いて、入力された気相ＳＦ６水分量データ及び気相ＳＦ６純度データから液相ＳＦ６の水分量及び純度を推算し、もって推算された液相ＳＦ６の水分量及び純度と入力された前記ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相ＳＦ６水分量データ及びＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６測定気相純度データと演算された前記気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積から前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量及び純度を演算し、若しくは前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量及び純度が予めそれぞれ定めた管理規定値内にあるかを判定することを特徴としている。
【００３４】
本発明の回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算方法は、また、前記演算処理手段が、気相水分量データと液相水分量データ又は気相純度データと液相純度データとの相関関係から気相水分量又は気相純度について予め定められた所定の液相水分量又は液相純度を用いて前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量又は水分量及び純度を演算することを特徴としている。
【発明の効果】
【００３５】
本発明の回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置は、上述のように、入力手段と、データベースと、演算処理手段により構成したので、簡便な構成で経済的にＳＦ６ガス回収タンクに回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の水分量を推算でき、しかもＳＦ６ガス回収設備全体を小型化できる。
【００３６】
また、本発明の回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算方法は、上述のように、予め格納した気相水分量データと液相水分量データとの線図状の相関関係のデータを用いて、入力された各データから液相ＳＦ６の水分量を推算するようにしたので、容易かつ経済的にしかも速やかにＳＦ６ガス回収タンクに回収された液相ＳＦ６ガスの水分量を推算してＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６混合体の水分量を演算することができる。
【００３７】
更に、本発明の回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置は、上述のように、入力手段と、データベースと、演算処理手段により構成したので、簡便な構成で経済的にＳＦ６ガス回収タンクに回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の水分量及び純度を推算でき、しかもＳＦ６ガス回収設備全体を小型化できる。
【００３８】
また、本発明の回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算方法は、上述のように、予め格納した気相水分量データと液相水分量データ又は気相純度データと液相純度データとの線図状の相関関係のデータを用いて、入力された各データから液相ＳＦ６の水分量及び純度を推算するようにしたので、容易かつ経済的にしかも速やかにＳＦ６ガス回収タンクに回収された液相ＳＦ６ガスの水分量及び純度を推算してＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６混合体の水分量及び純度を演算することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の実施例である回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置を設けるＳＦ６ガス回収設備の概略を示す図である。
【図２】本発明の実施例である回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置の概略をブロックで示す図である。
【図３】図１の含有量推算装置のデータベースに格納される各水分量データの相関関係をグラフで表した図である。
【図４】図１の含有量推算装置による演算に用いるＳＦ６ガス回収タンク内気相ＳＦ６の蒸気圧データとＳＦ６ガス密度データの関係をグラフで示す図である。
【図５】図１の含有量推算装置による演算に用いるＳＦ６ガス回収タンク内気相ＳＦ６の蒸気圧データとＳＦ６液密度データの関係をグラフで示す図である。
【図６】図１の含有量推算装置のデータベースに格納される各純度データの相関関係をグラフで表した図である。
【図７】図１の含有量推算装置を用いて行ったＳＦ６ガス回収タンク内液相及び混合体の純度、水分量の推算又は演算結果例を示す図である。
【図８】図１の含有量推算装置による液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の水分量又は水分量及び純度の含有量推算方法をフローチャートで示す図である。
【図９】含有量推算装置で用いる測定データを形成する場合の概略をブロックで示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。尚、以下後述するデータベースに格納されるＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データ、液相水分量データ、気相純度データ、液相純度データは、それぞれ予め複数個測定されて取得されており、気相水分量データと液相水分量データ又は気相純度データ又は液相純度データの相関関係がそれぞれ求められているものとして説明する。また、下記に示す数式において、同一のものはそれぞれ同記号で示して説明する。
【実施例】
【００４１】
本実施例の液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置１００としては、パーソナルコンピュータ等の計算装置が用いられ、図１に示すようなＳＦ６ガス回収設備５０に設けられる。
【００４２】
これらＳＦ６ガス回収設備５０は、ガス遮断器等のＳＦ６ガス使用機器５１から使用済ＳＦ６ガス５２を回収するＳＦ６ガス回収装置５３とＳＦ６ガス回収装置５３からのＳＦ６（５４）を回収して貯蔵するボンベ等の容器からなるＳＦ６ガス回収タンク５５から構成される。
【００４３】
ＳＦ６ガス回収タンク５５内に貯蔵するＳＦ６は、図１（ａ）に示すように気相ＳＦ６（５６Ａ）のみ即ち気体の状態のみで貯蔵される場合と、図１（ｂ）に示すようにＳＦ６ガス回収装置５３にて液化されたＳＦ６が気相ＳＦ６（５６Ａ）と液相ＳＦ６（５６Ｂ）の混合体５６で貯蔵される場合がある。
【００４４】
本実施例の液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置１００は、以下、図１（ｂ）に示すＳＦ６ガス回収装置５３にて液化されたＳＦ６が気相ＳＦ６（５６Ａ）と液相ＳＦ６（５６Ｂ）の混合体５６で貯蔵される場合について説明するが、図１（ａ）に示す気相ＳＦ６（５６Ａ）のみ即ち気体の状態のみで貯蔵される場合においても適用できる。
【００４５】
図１（ｂ）に示すように、液化ＳＦ６ガス回収設備５０は、ガス遮断器等のＳＦ６ガス使用機器５１から使用済ＳＦ６ガス５２を回収するＳＦ６ガス回収装置５３にて、使用済ＳＦ６ガス５２の一部が液化されてＳＦ６ガス回収タンク５５に回収されるように構成されている。この際、ＳＦ６ガス回収設備５０のＳＦ６ガス回収タンク５５内に回収されるＳＦ６は、気相ＳＦ６（５６Ａ）と液相ＳＦ６（５６Ｂ）からなる混合体５６の状態で貯蔵される。
【００４６】
実際には、後述する測定機器による各測定時にはＳＦ６ガス回収タンク５５内のＳＦ６の気相、液相状態が不明であるとして、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６について後述する測定が行われ、気体のみ即ち気相ＳＦ６ガスのみか気相ＳＦ６（５６Ａ）と液相ＳＦ６（５６Ｂ）からなる混合体５６であるかが測定後に判断される。
【００４７】
従って、ここでは測定前のＳＦ６についてはＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６と称し、測定によって気相ＳＦ６及び液相ＳＦ６との混合体５６であることが判明したときには気相ＳＦ６及び液相ＳＦ６の混合体と称する。
【００４８】
また、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６には、不純物として空気が混入しており、混入量が特定されなければならない。また、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６には、不純物として水分が含まれるが、水分は従来より水分除去装置によって排除し得ることが知られている。
【００４９】
いずれにしても、これらの不純物を含有するＳＦ６ガス回収タンク貯蔵ＳＦ６について全体として、あるいは液相ＳＦ６の水分量又は水分量及び純度が再使用のために精確に推測することが求められる。
【００５０】
ＳＦ６ガス回収タンク貯蔵ＳＦ６の気相ＳＦ６については、その水分量又は純度を容易に計測できることが従来より知られるところであるが、液相ＳＦ６の水分量又は純度については直接的に計測することが困難であるため直接的に計測されないでいた。
【００５１】
ＳＦ６ガス回収タンク５５には、図示しない各測定機器が接続される。この各測定機器からは、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定重量データ１１及び測定気相蒸気圧データ１２と、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６ガスの測定気相水分量データ１４の３つの測定データ１０がそれぞれ測定される。これらの測定によって、後述するようにＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６が気相ＳＦ６（５６Ａ）のみか上述した混合体５６かが判断される。
【００５２】
以下、本実施例である回収された液化ＳＦ６ガス及び回収されたＳＦ６混合体の含有量推算装置１００について、図２を用いて詳述する。
【００５３】
本実施例の液化ＳＦ６ガス及び回収されたＳＦ６混合体の含有量推算装置１００は、上述の各測定データ１１、１２、１４を含む測定データ１０を入力する入力手段１を備えている。含有量推算装置１００は、更に、データベース２、演算処理手段３及び出力手段４を備える。
【００５４】
データベース２には、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内の気相水分量データ６１とＳＦ６ガス回収タンク内の液相水分量データ６２を座標軸として取得された線図状の相関関係６３が格納される。
【００５５】
演算処理手段３は、ＳＦ６ガス回収タンクの容積１５とＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定重量データ１１と測定気相蒸気圧データ１２とからＳＦ６ガス回収タンク内の気相及び液相ＳＦ６（５６Ａ、５６Ｂ）それぞれの密度及び体積を演算し、液相ＳＦ６（５６Ｂ）が貯蔵されているときに、ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体５６について格納されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データ６１と液相水分量データ６２の線図状の相関関係６３を用いて、入力された気相ＳＦ６水分量データ１４から液相ＳＦ６の水分量６６を推算し、もって推算された液相ＳＦ６の水分量６６と入力された気相ＳＦ６水分量データ１４と演算された気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積からＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体５６の水分量６７を演算し、もしくはＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体５６の水分量６７がそれぞれ予め定めた管理規定値内にあるかを判定する。
【００５６】
出力手段４は、液相ＳＦ６の水分量６６の推算結果、ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体５６の水分量６７の演算結果及び混合体５６の水分量６７の判定結果を出力し、画面にそれらのデータを表示することを行う。
【００５７】
次に、混合形態にあるＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の気相及び液相のＳＦ６それぞれの密度及び体積についての演算手段、演算方法について説明する。多くの場合、ＳＦ６ガス回収タンク５５に回収されたＳＦ６は、有視化するための液面計付タンクにより気相及び液相の混合体の形態で回収されることが経験上判っている。
【００５８】
演算処理手段３は、ＳＦ６ガス回収タンクの容積１５とＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定重量データ１１と測定気相蒸気圧データ１２から気相ＳＦ６（５６Ａ）及び液相（５６Ｂ）それぞれの密度及び体積を演算することができ、ＳＦ６ガス回収タンク内に混合体５６が貯蔵されていることを判定することができる。
【００５９】
ＳＦ６ガス回収タンクの容積１５は、ＳＦ６ガス回収タンクの仕様から容易に分かる。また、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定重量データ１１は、空の状態のＳＦ６ガス回収タンク５５の測定重量とＳＦ６ガス回収完了後の回収ＳＦ６が貯蔵された状態のＳＦ６ガス回収タンク５５の測定重量との差を求めることにより容易に導出される。また、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定気相蒸気圧データ１２は、ＳＦ６ガス回収タンクに接続された圧力計等の測定機器によって容易に測定される。
【００６０】
そして、ＳＦ６混合体５６のＳＦ６ガス回収タンク内測定気相水分量データ１４は、水分測定装置等の測定機器によって容易に測定される。
【００６１】
本実施例の回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置１００は、また、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データ６１とＳＦ６ガス回収タンク内液相水分量データ６２と、これら水分量データ６１、６２を座標軸として取得された線図状の相関関係６３を格納するデータベース２を備える。以下、このデータベース２について詳述する。
【００６２】
データベース２に予め取得され格納される回収ＳＦ６の気相水分量データ６１は、水分測定装置等の測定機器を用いてＳＦ６ガス回収タンク５５内の気相ＳＦ６（５６Ａ）の水分量を測定することにより容易に取得される。また、データベース２に予め格納される液相水分量データ６２は、気相ＳＦ６（５６Ａ）を排出した状態で、ＳＦ６ガス回収タンク５５内の液相ＳＦ６（５６Ｂ）を一度気化し、気相ＳＦ６（５６Ａ）同様に測定機器により測定することで取得される。
【００６３】
以上の方法により、ＳＦ６ガス回収タンク内のＳＦ６についての気相水分量データ６１と液相水分量データ６２を予め複数個取得し、データベース２に格納する。これら予め格納される対応する気相水分量データ６１と液相水分量データ６２は、多数ある方が好ましいことは言うまでもない。
【００６４】
この際、これら複数の気相水分量データ６１と液相水分量データ６２を座標軸として図３に示すようなグラフにより表すことができることが分かった。そして、このグラフから線図状の相関関係６３が導出されることが分かった。また、この相関関係６３は、複数の気相水分量データ６１と液相水分量データ６２により導出され、傾きを持つ曲線６４で近似されるような線図状に表されることが分かった。
【００６５】
実際の液相ＳＦ６（５６Ｂ）の水分量推算には、相関関係６３は図３に示すような曲線６４を定式化した近似式６４Ａが導出され用いられる。図３において、再生されて再使用可能な再生ＳＦ６として液相ＳＦ６が用いられる場合には、管理規定値として液相ＳＦ６の水分量が採用され、液相ＳＦ６に加えて気相ＳＦ６が用いられる場合はＳＦ６混合体の水分量が採用される。
【００６６】
図３に表示した相関関係６３は、ＳＦ６ガス回収タンク５５内の液相及び気相のＳＦ６重量に依存することなく成立し、例えば気相水分量が８０ｖｏｌｐｐｍであっても液相水分量は２０ｖｏｌｐｐｍとなる。また、液相及び気相それぞれの密度及び体積を考慮して、管理規定値から液相の規定値を設定することができる。
【００６７】
本実施例の回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置１００は、上述したようにＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６が混合体として存在することを確認し、ＳＦ６ガス回収タンクの容積１５とＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６（５６）測定重量データ１１と測定気相蒸気圧データ１２とからＳＦ６ガス回収タンク５５内の気相及び液相ＳＦ６（５６Ａ、５６Ｂ）それぞれの密度及び体積を演算し（３１）、液相ＳＦ６（５６Ｂ）が貯蔵されているときに、ＳＦ６ガス回収タンク５５内ＳＦ６混合体５６について格納されたＳＦ６ガス回収タンク５５内気相水分量データ６１と液相水分量データ６２の線図状の相関関係６３を用いて、入力された水分量データ１４から液相ＳＦ６の水分量６６を推算し（３２）、もって推算された液相ＳＦ６の水分量６６と測定された気相ＳＦ６水分量データ１４と演算されたＳＦ６ガス回収タンク５５内貯蔵ＳＦ６（５６）の気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積から前記ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６混合体５６の水分量６７を演算し（３３）、もしくはＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６混合体５６の水分量６７が予め定めた管理規定値内にあるかを判定する（３４）演算処理手段３を備える。当然、水分量を演算することで判定に用いるようにしてもよい。
【００６８】
本実施例の回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置１００におけるＳＦ６ガス回収タンク５５内ＳＦ６混合体の水分量は、ＳＦ６ガス回収タンクの容積１５とＳＦ６ガス回収タンク５５内貯蔵ＳＦ６（５６）測定重量データ１１と測定気相蒸気圧データ１２と測定気相水分量データ１４から演算される。演算内容について、以下詳述する。
【００６９】
まず、ＳＦ６ガス回収タンク５５内の気相ＳＦ６（５６Ａ）の密度を算出する。気相ＳＦ６（５６Ａ）の密度は、予め測定されて導出されているＳＦ６ガス回収タンク内のＳＦ６蒸気圧とＳＦ６ガス密度との関係式に測定した気相蒸気圧１２を用いることより容易に導出される。実際には、図４に示すようにグラフ上に表すことにより求められる近似関係式により、上記測定気相ＳＦ６蒸気圧１２を用いてＳＦ６ガス回収タンク内の気相ＳＦ６（５６Ａ）の密度を導出する。尚、この気相ＳＦ６ガス密度は、ＳＦ６ガス回収タンク内の各飽和圧力毎の気相ＳＦ６ガス密度を測定したものである。
【００７０】
次に、液相ＳＦ６（５６Ｂ）の密度を算出する。液相ＳＦ６（５６Ｂ）の密度は、予め測定されて導出されているＳＦ６ガス回収タンク内のＳＦ６蒸気圧とＳＦ６液密度との関係式に測定した蒸気圧を用いることより容易に導出される。実際には、図５に示すようにグラフ上に表すことにより求められる近似相関式により、上記測定気相ＳＦ６蒸気圧を用いてＳＦ６ガス回収タンク内の液相ＳＦ６（５６Ｂ）の密度を導出する。尚、この液相ＳＦ６液密度は、ＳＦ６ガス回収タンク内の各飽和圧力毎の液相ＳＦ６液密度を測定したものである。
【００７１】
ここで、これら予め導出したＳＦ６蒸気圧と気相ＳＦ６密度との関係式や対応する密度と測定した蒸気圧データ、及びこれら予め導出したＳＦ６蒸気圧と液相ＳＦ６密度との関係式や対応する密度と測定した蒸気圧データは、データベース２に格納でき、演算処理手段３の演算用のデータとして用いることができる。
【００７２】
また、上述のように求めたＳＦ６ガス回収タンク５５内の気相ＳＦ６（５６Ａ）と液相ＳＦ６（５６Ｂ）の密度とＳＦ６ガス回収タンクの容積１５とＳＦ６ガス回収タンク５５内貯蔵ＳＦ６混合体５６の測定重量データ１１とによって、ＳＦ６ガス回収タンク５５内の気相ＳＦ６（５６Ａ）と液相ＳＦ６（５６Ｂ）それぞれの体積を演算する。具体的には、（数１）、（数２）及び（数１）並びに（質量）＝（密度）×（体積）から導出される（数３）による連立方程式により演算し、気相ＳＦ６（５６Ａ）と液相ＳＦ６（５６Ｂ）それぞれの体積をそれぞれ算出する。尚、これら気相ＳＦ６（５６Ａ）と液相ＳＦ６（５６Ｂ）の体積は、それぞれ純度が１００％であるとして算出されている。また、混合体質量ｍｔは空の状態のＳＦ６ガス回収タンク５５の測定重量とＳＦ６ガス回収完了後の回収ＳＦ６が貯蔵された状態のＳＦ６ガス回収タンク５５の測定重量との差を計算することにより容易に求めることができ、混合体体積ＶｔはＳＦ６ガス回収タンクの容積１５と同じで値でありＳＦ６ガス回収タンクの仕様から容易に分かる。
【００７３】
【数１】
0005396447.tif 000002
【００７４】
【数２】
0005396447.tif 000003
【００７５】
【数３】
0005396447.tif 000004
【００７６】
そして、上述のように算出した気相ＳＦ６（５６Ａ）と液相ＳＦ６（５６Ｂ）それぞれの体積及び密度並びに後述する測定気相純度データ１３若しくは推算して求めた液相純度によって、ＳＦ６ガス回収タンク５５内の気相ＳＦ６（５６Ａ）と液相ＳＦ６（５６Ｂ）の質量を算出することができる。例えば、気相ＳＦ６（５６Ａ）の質量を求める場合は、（気相ＳＦ６体積）×（気相ＳＦ６密度）×（気相純度データ）若しくは液相ＳＦ６（５６Ｂ）の質量を求める場合は、（液相ＳＦ６体積）×（液相ＳＦ６密度）×（推算した液相純度）のように計算して求める。尚、この際、標準状態にて換算した値を用いることもできる。
【００７７】
また、気相ＳＦ６（５６Ａ）中の水分量の質量は、上記算出した気相ＳＦ６（５６Ａ）の質量、測定した気相純度データ１３と気相水分量データ１４、及びＳＦ６分子量（１４６.０５）及び水分子量（１８.０１５）を用いることで求めることができる。例えば、（気相ＳＦ６（５６Ａ）の質量）÷（ＳＦ６の分子量）×（気相水分量データ）÷（気相純度データ）×（水分子量）のように計算して求める。
【００７８】
また、液相ＳＦ６（５６Ｂ）中の水分量の質量は、上記算出した液相ＳＦ６（５６Ｂ）の質量、推算した液相純度及び液相水分量、及びＳＦ６分子量（１４６.０５）及び水分子量（１８.０１５）を用いることで求めることができる。例えば、（液相ＳＦ６（５６Ａ）の質量）÷（ＳＦ６の分子量）×（推算した液相水分量）÷（推算した液相純度）×（水分子量）のように計算して求める。
【００７９】
本実施例の回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置１００における液相ＳＦ６の水分量６６の推算は、上述の図３に示すようにデータベース２に格納された気相水分量データ６１と液相水分量データ６２により取得された線図状の相関関係６３を用いて、測定した気相水分量データ１４より推算される。
【００８０】
本実施例の回収された液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置１００におけるＳＦ６ガス回収タンク５５内ＳＦ６混合体の水分量６７は、気相ＳＦ６（５６Ａ）のＳＦ６質量と液相ＳＦ６（５６Ｂ）のＳＦ６質量を合計し標準状態の体積に換算した値及び、気相ＳＦ６（５６Ａ）の水分量の質量と液相ＳＦ６（５６Ｂ）の水分量の質量を合計し標準状態の体積に換算した値により演算する。
【００８１】
上述のようにして演算されて算出されたＳＦ６ガス回収タンク内の液相ＳＦ６（５６Ｂ）の水分量６６とＳＦ６混合体５６の水分量６７は、図２に示すように演算処理手段３によって求められ（３２、３３）あるいは予め定めた管理規定値内にあるかの判定が行われる（３４）。
【００８２】
この際、ＳＦ６混合体５６の水分量６７の判定結果により、ＳＦ６ガス回収設備５０は、ＳＦ６混合体５６の水分量が管理値規定内にある場合は、ＳＦ６混合体５６をそのままのＳＦ６ガス使用機器５１へと再封入させるが、ＳＦ６混合体５６の水分量が管理規定置内に無い場合は、ＳＦ６混合体５６は上述の図示しないガス精製装置へと送られ精製されるか若しくは破壊処分した後に新規に管理規定値内の水分量であるＳＦ６ガスが外部よりＳＦ６ガス回収タンク５５に注入されＳＦ６ガス使用機器５１へと再封入される。
【００８３】
本実施例の含有量推算装置１００は、更に、演算処理手段３によって推算若しくは演算された液相ＳＦ６（５６Ｂ）の水分量６６及びＳＦ６ガス回収タンク５５内ＳＦ６混合体５６の水分量６７及びＳＦ６混合体５６の水分量６７が管理規定置内にあるかの判定の結果を画面表示するモニターディスプレイ等の出力手段４を備える。尚、各測定データ１１、１２、１４及びデータベースに格納された相関関係６３の数値や表等も出力手段４によって適宜画面表示できる。
【００８４】
本実施例の含有量推算装置１００は、また、上述のＳＦ６ガス回収タンク５５に接続された各測定機器からは、図１に示すようにＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定重量データ１１及び測定気相蒸気圧データ１２と、不純物として少なくとも空気を含んだＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定気相純度データ１３及び測定気相水分量データ１４の４つの測定データ１０がそれぞれ測定され、これらの測定によってＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６が気相ＳＦ６（５６Ａ）のみか上述した混合体５６かが判断されるようにしてもよい。以下、本実施例の別の適用例の含有量推算装置１００として、同様の構成は同符号で表して図面を用いて説明する。
【００８５】
本実施例の別の適用例の液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置１００は、上述の入力手段１が各測定データ１１、１２、１３、１４を含む測定データ１０並びにＳＦ６ガス回収タンクの容積１５を入力するように構成される。
【００８６】
また、データベース２には、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内の気相水分量データ６１とＳＦ６ガス回収タンク内の液相水分量データ６２を座標軸として取得された線図状の相関関係６３と、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内の気相純度データ２１とＳＦ６ガス回収タンク内の液相純度データ２２を座標軸として取得された線図状の相関関係２３が格納される。
【００８７】
演算処理手段３は、ＳＦ６ガス回収タンクの容積１５とＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定重量データ１１と気相蒸気圧データ１２とからＳＦ６ガス回収タンク内の気相及び液相ＳＦ６（５６Ａ、５６Ｂ）それぞれの密度及び体積を演算し、液相ＳＦ６（５６Ｂ）が貯蔵されているときに、ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体５６について格納されたＳＦ６ガス回収タンク内気相純度データ２１と液相純度データ２２の線図状の相関関係２３又は気相水分量データ６１と液相水分量データ６２の線図状の相関関係６３を用いて、入力された気相ＳＦ６純度データ１３又は気相ＳＦ６水分量データ１４から液相ＳＦ６の純度２６と水分量６６を推算し、もって推算された液相ＳＦ６の純度２６と水分量６６と測定された気相ＳＦ６の純度データ１３と水分量データ１４とＳＦ６ガス回収タンク内の気相及び液相ＳＦ６（５６Ａ、５６Ｂ）それぞれの密度及び体積からＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体５６の純度２７と水分量６７を演算し、もしくはＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体５６の純度２７と水分量６７がそれぞれ予め定めた管理規定値内にあるかを判定する。
【００８８】
出力手段４は、液相ＳＦ６の純度２６と水分量６６の推算結果、ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体５６の純度２７と水分量６７の演算結果及び混合体５６の純度２７と水分量６７の判定結果を出力し、画面にそれらのデータを表示することを行う。
【００８９】
この際、ＳＦ６混合体５６のＳＦ６ガス回収タンク内測定気相純度データ１３は、分析機器等の測定機器によって容易に測定される。尚、このＳＦ６混合体５６は、気相ＳＦ６（５６Ａ）と液相ＳＦ６（５６Ｂ）の他に不純物として図示しない空気を含む。空気の他の不純物としては、極微量の炭酸ガス等が含まれる場合もある。
【００９０】
また、本実施例の別の適用例の含有量推算装置１００のデータベース２は、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データ６１とＳＦ６ガス回収タンク内液相水分量データ６２と、これら水分量データ６１、６２を座標軸として取得された線図状の相関関係６３と、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内気相純度データ２１とＳＦ６ガス回収タンク内液相純度データ２２と、これら純度データ２１、２２を座標軸として取得された線図状の相関関係２３を格納する。
【００９１】
データベース２に予め取得され格納される回収ＳＦ６の気相純度データ２１は、分析機器等の測定機器を用いて回収タンク内の気相ＳＦ６（５６Ａ）の純度を測定することにより容易に取得される。また、データベース２に予め格納される液相純度データ２２は、気相ＳＦ６（５６Ａ）を排出した状態で、回収タンク内の液相ＳＦ６（５６Ｂ）を一度気化し、気相ＳＦ６（５６Ａ）同様に測定機器により測定することで取得される。
【００９２】
このようにして、ＳＦ６ガス回収タンク内のＳＦ６についての気相純度データ２１と液相純度のデータ２２及び気相水分量データ６１と液相水分量のデータ６２を予め複数個取得し、データベース２に格納する。これら予め格納される対応する気相純度２１と液相純度のデータ２２についても、多数ある方が好ましいことは言うまでもない。
【００９３】
この際、これら複数の気相純度データ２１と液相純度データ２２についても座標軸として図６にそれぞれ示すようなグラフにより表すことができることが分かった。そして、このグラフから線図状の相関関係２３が導出されることが分かった。また、この相関関係２３は、複数の気相純度データ２１と液相純度データ２２により導出され、曲線２４で近似されるような線図状に表されることが分かった。
【００９４】
より具体的には、上述した線図状の相関関係２３は、液相純度データが予め定めた規定値である気相純度データの座標と気相純度データが１００％ｖｏｌであるときに液相純度データが１００％ｖｏｌとなる座標とを結ぶ曲線で表される。実際の液相ＳＦ６（５６Ｂ）の純度推算には、相関関係２３は図６に示すような曲線２４で表される近似式２４Ａが導出され用いられる。また、図６には、相関関係２３は１つの曲線２４にて図示されているが、帯状範囲２５としてもよい。
【００９５】
図６において、現状において、再生されて再使用可能な再生ＳＦ６の管理規定値として純度９７％ｖｏｌが採用されている。再生ＳＦ６として液相ＳＦ６が用いられる場合には、管理規定値として液相ＳＦ６の純度が採用され、液相ＳＦ６に加えて気相ＳＦ６が用いられる場合はＳＦ６混合体の純度が採用される。
【００９６】
図６に表示した相関関係２３は、ＳＦ６ガス回収タンク５５内の液相及び気相のＳＦ６重量に依存することなく成立し、例えば気相純度が７５％ｖｏｌであっても液相純度は９７％ｖｏｌとなる。液相及び気相のＳＦ６それぞれの密度及び体積を考慮して、管理規定値から液相の規定値を設定することができる。
【００９７】
本実施例の別の適用例の含有量推算装置１００は、上述したようにＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６が混合体として存在することを確認し、ＳＦ６ガス回収タンクの容積１５とＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６（５６）測定重量データ１１と気相蒸気圧データ１２とからＳＦ６ガス回収タンク５５内の気相及び液相ＳＦ６（５６Ａ、５６Ｂ）それぞれの密度及び体積を演算し（３１）、液相ＳＦ６（５６Ｂ）が貯蔵されているときに、ＳＦ６ガス回収タンク５５内ＳＦ６混合体５６について格納されたＳＦ６ガス回収タンク内気相純度データ２１と液相純度データ２２又は気相水分量データ６１と液相水分量データ６２の線図状の相関関係２３、６３を用いて、入力された気相ＳＦ６純度データ１３、水分量データ１４から液相ＳＦ６の純度２６、水分量６６を推算し（３２）、もって推算された液相ＳＦ６の純度２６と水分量６６と測定された気相ＳＦ６の純度データ１３と水分量データ１４とＳＦ６ガス回収タンク内の気相及び液相ＳＦ６（５６Ａ、５６Ｂ）それぞれの密度及び体積から前記ＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体５６の純度２７と水分量６７を演算し（３３）、もしくはＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体５６の純度２７又は水分量６７がそれぞれ予め定めた管理規定値内にあるかを判定する（３４）演算処理手段３を備える。当然、純度又は水分量を演算することで判定に用いるようにしてもよい。
【００９８】
本実施例の別の適用例の含有量推算装置１００におけるＳＦ６ガス回収タンク５５内ＳＦ６混合体５６の水分量及び純度は、上述同様にＳＦ６ガス回収タンクの容積１５とＳＦ６ガス回収タンク５５内貯蔵ＳＦ６（５６）測定重量データ１１と測定気相蒸気圧データ１２と測定気相水分量データ１４と測定気相純度データ１３から演算される。
【００９９】
この際、上述のように算出した気相ＳＦ６（５６Ａ）と液相ＳＦ６（５６Ｂ）それぞれの体積、密度及び測定気相純度データ１３若しくは推算して求めた液相純度２６によって、ＳＦ６ガス回収タンク５５内の気相ＳＦ６（５６Ａ）と液相ＳＦ６（５６Ｂ）の質量を算出することができる。
【０１００】
例えば、気相ＳＦ６（５６Ａ）の質量を求める場合は、（気相ＳＦ６体積）×（気相ＳＦ６密度）×（気相純度データ）若しくは液相ＳＦ６（５６Ｂ）の質量を求める場合は、（液相ＳＦ６体積）×（液相ＳＦ６密度）×（推算した液相純度）のように計算して求める。尚、この際、標準状態にて換算した値を用いることもできる。
【０１０１】
この際、気相ＳＦ６（５６Ａ）に含まれる空気の質量は、例えば、（気相ＳＦ６（５６Ａ）の質量）÷（ＳＦ６の分子量）×（１００−（気相純度データ）−（気相水分量データ））÷（気相純度データ）×（空気分子量）のように計算して求めることができる。
【０１０２】
また、液相ＳＦ６（５６Ｂ）に含まれる空気の質量は、例えば、（液相ＳＦ６（５６Ｂ）の質量）÷（ＳＦ６の分子量）×（１００−（液相純度データ）−（液相水分量データ））÷（液相純度データ）×（空気分子量）のように計算して求めることができる。
【０１０３】
本実施例の別の適用例の含有量推算装置１００における液相ＳＦ６の純度２６と水分量６６の推算は、上述の図３、図６に示すようにデータベース２に格納された気相純度データ２１と液相純度データ２２又は気相水分量データ６１と液相純度データ６２により取得された線図状の相関関係２３、６３を用いて、測定した気相純度データ１３、気相水分量データ１４より推算される。
【０１０４】
本実施例の別の適用例の含有量推算装置１００におけるＳＦ６ガス回収タンク５５内ＳＦ６混合体の純度２７、水分量６７は、気相ＳＦ６（５６Ａ）のＳＦ６質量と液相ＳＦ６（５６Ｂ）のＳＦ６質量を合計し標準状態の体積に換算した値及び、気相ＳＦ６（５６Ａ）の水分量の質量と液相ＳＦ６（５６Ｂ）の水分量の質量を合計し標準状態の体積に換算した値及び、気相ＳＦ６（５６Ａ）の空気の質量と液相ＳＦ６（５６Ｂ）の空気の質量を合計し標準状態の体積に換算した値により演算する。
【０１０５】
以上のようにして、実際に行ったＳＦ６ガス回収タンク５５内の液相ＳＦ６（５６Ｂ）の純度２６と混合体５６の純度２７の演算結果例を図７に示す。同様にして演算したＳＦ６ガス回収タンク５５内の液相ＳＦ６（５６Ｂ）の水分量６６と混合体５６の水分量６７の結果例を図７に示す。この際、図７の例では、測定重量データ１１は４０Ｋｇ、測定温度データ１２は２.６ＭＰａ、測定気相純度データ１３は９８％及び測定気相水分量データは１２０ｐｐｍのデータを用いている。
【０１０６】
上述のようにして演算されて算出されたＳＦ６ガス回収タンク内の液相ＳＦ６（５６Ｂ）の純度２６又は水分量６６と混合体５６の純度２７又は水分量６７は、図２に示すように演算処理手段３によって求められ（３３）あるいは予め定めた管理規定値内にあるかの判定が行われる（３４）。
【０１０７】
この際、ＳＦ６混合体５６の純度２７又は水分量６７の判定結果により、液化ＳＦ６回収設備５０は、ＳＦ６混合体５６の純度２７又は水分量６７が管理値規定内にある場合は、ＳＦ６混合体５６をそのままのＳＦ６ガス使用機器５１へと再封入させるが、ＳＦ６混合体５６の純度２７又は水分量６７が管理規定置内に無い場合は、ＳＦ６混合体５６は上述の図示しないガス精製装置へと送られ精製されるか若しくは破壊処分した後に新規に管理規定値内の純度であるＳＦ６ガスが外部よりガス回収タンク５５に注入されＳＦ６ガス使用機器５１へと再封入される。尚、純度及び水分量の管理規定値をそれぞれ満たす場合に上記処理を行うようにしてもよい。
【０１０８】
本実施例の別の適用例の含有量推算装置１００は、更に、演算処理手段３によって推算若しくは演算された液相ＳＦ６（５６Ｂ）の純度２６並びに水分量６６及びＳＦ６ガス回収タンク５５内ＳＦ６混合体５６の純度２７並びに水分量６７及びＳＦ６混合体５６の純度２７並びに水分量６７が管理規定置内にあるかの判定の結果を画面表示するモニターディスプレイ等の出力手段４を備える。尚、ＳＦ６ガス回収タンクの容積１５、各測定データ１１、１２、１３、１４及びデータベースに格納された相関関係２３、６３の数値や表等も出力手段４によって適宜画面表示できる。
【０１０９】
以下、本実施例の液化ＳＦ６ガス回収装置における、回収された液相ＳＦ６ガスの水分量の推算及びＳＦ６ガス混合体の水分量を演算する手順について図８を用いて説明する。
【０１１０】
まず、ＳＦ６ガス回収タンクの容積１５、ＳＦ６ガス回収設備５０のＳＦ６ガス回収タンク５５に接続された図示しない測定機器によりそれぞれ測定されたＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定重量データ、ＳＦ６ガス回収タンク内測定気相蒸気圧データ、ＳＦ６混合体のＳＦ６ガス回収タンク内測定気相水分量データが入力手段１へそれぞれ入力される（１５、４１、４２、４３Ｂ）。
【０１１１】
この際、これら測定データ１０及びＳＦ６ガス回収タンクの容積１５により、ＳＦ６ガス回収タンク５５内のＳＦ６ガスが気体のみか、気相と液相の混合体かが判定される。
【０１１２】
次に、ＳＦ６ガス回収タンクの容積とＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の測定重量データと測定気相蒸気圧データを用いることにより、気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積が演算処理手段３の演算により算出される（４４）。
【０１１３】
次に、データベース２に予め測定されて取得され格納されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データとＳＦ６ガス回収タンク内液相水分量データを座標軸として取得した線図状の相関関係により、測定された気相水分量データの測定条件等に対応する液相水分量を推算するためのデータが構築され（４５Ａ）即ち近似曲線式が設定され、設定された近似曲線式が用いられ、測定された気相水分量データを用いて液相ＳＦ６の水分量が推算される（４６）。
【０１１４】
そして、演算された気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積、測定された気相水分量データ、推算された液相ＳＦ６の水分量を用いることによってＳＦ６混合体の水分量が演算される（４７）。最後に、演算されたＳＦ６混合体の水分量がそれぞれ予め定めた管理規定値内にあるかどうかが判定される（４８）。
【０１１５】
次に、本実施例の別の適用例の液化ＳＦ６ガス回収装置における、回収された液相ＳＦ６ガスの純度及び水分量の推算及びＳＦ６ガス混合体の純度及び水分量を演算する手順について図８を用いて説明する。
【０１１６】
まず、ＳＦ６ガス回収タンクの容積１５、ＳＦ６ガス回収設備５０のＳＦ６ガス回収タンク５５に接続された図示しない測定機器によりそれぞれ測定されたＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定重量データ、ＳＦ６ガス回収タンク内測定気相蒸気圧データ及び不純物として少なくとも空気を含んだＳＦ６混合体のＳＦ６ガス回収タンク内測定気相純度データ及び測定気相水分量データが入力手段１へそれぞれ入力される（１５、４１、４２、４３Ａ、４３Ｂ）。
【０１１７】
この際、これら測定データ１０及びＳＦ６ガス回収タンクの容積１５により、ＳＦ６ガス回収タンク５５内のＳＦ６ガスが気体のみか、気相と液相の混合体かが判定される。
【０１１８】
次に、ＳＦ６ガス回収タンクの容積、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６混合体の測定重量データと測定気相蒸気圧データを用いることにより、気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積が演算処理手段３の演算により算出される（４４）。
【０１１９】
次に、ＳＦ６ガス回収タンクの容積、データベース２に予め測定されて取得され格納されたＳＦ６ガス回収タンク内気相純度データとＳＦ６ガス回収タンク内液相純度データを座標軸として取得した線図状の相関関係又は予め測定されて取得され格納されたＳＦ６ガス回収タンク内気相水分量データとＳＦ６ガス回収タンク内液相水分量データを座標軸として取得した線図状の相関関係により、測定された気相純度データ又は気相水分量データの測定条件等に対応する液相純度又は液相水分量を推算するためのデータがそれぞれ構築され（４５Ｂ）即ち近似曲線式が設定され、設定された近似曲線式が用いられ、測定された気相純度データ又は気相水分量データを用いて液相ＳＦ６の純度及び水分量が推算される（４６）。
【０１２０】
そして、演算された気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度及び体積、測定された気相ＳＦ６の水分量データ及び純度データ、推算された液相ＳＦ６の水分量データ及び純度データを用いることによって、ＳＦ６混合体の純度及び水分量が演算される（４７）。最後に、演算されたＳＦ６混合体の純度及び水分量がそれぞれ予め定めた管理規定値内にあるかどうかが判定される（４８）。
【０１２１】
以上のように、本実施例の回収された液化ＳＦ６ガスの含有量推算方法は、ＳＦ６ガス回収タンクの容積、ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６混合体の測定重量データと測定気相蒸気圧データ及びタンク内貯蔵ＳＦ６混合体の測定気相水分量データ、又は測定気相純度データの５つの測定データで、液相ＳＦ６の純度及び水分量の推算とＳＦ６混合体の純度及び水分量の演算ができるので、この含有量推算方法を回収設備に用いれば、容易かつ経済的にしかも速やかに液相ＳＦ６の純度及び水分量の推算並びにＳＦ６混合体の純度及び水分量の演算ができる。
【０１２２】
本実施例の含有量推算装置１００は、図９に示すように、ガス回収装置５３とガス回収タンク５５間に脱水手段６を介在し、液化されたＳＦ６ガス５４の水分を脱水処理するようにして構成し、各測定データ１１、１２、１３、１４を測定するようにしてもよい。
【０１２３】
これは、水分がＳＦ６ガスに含まれることによって、各測定データ１１、１２、１３、１４が水分を含んだデータとなり、含有量推算装置の計算精度を低下することを防ぐためである。この脱水手段６を備えることにより、液化されたＳＦ６ガス５４の水分を除去することによって、計算精度の高い含有量推算装置を提供することができる。尚、本実施例の含有量推算装置は、上記の脱水手段６を備えなくても、十分に計算精度が高い含有量推算装置を提供することができる。
【０１２４】
本実施例の含有量推算装置１００は、上述の実施例で説明したように、入力手段と、データベースと、演算処理手段を含んで構成したので、簡便な構成で経済的にＳＦ６ガス回収タンクに回収された液化ＳＦ６ガスの水分量又は水分量及び純度の推算並びにＳＦ６混合体の水分量又は水分量及び純度の演算ができ、しかもＳＦ６回収設備全体を小型化できる。
【０１２５】
また、本実施例の含有量推算方法は、上述の実施例で説明したように、各データを入力し、予め測定されて取得されたＳＦ６ガス回収タンク内の気相純度データと液相純度データ又は気相水分量データと液相水分量データとの相関関係をそれぞれ格納し、格納された各純度データと各水分量データから液化ＳＦ６の水分量又は水分量及び純度を推算し、この水分量又は水分量及び純度からＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量又は水分量及び純度を演算するようにしたので、容易かつ経済的にしかも速やかにＳＦ６ガス回収タンクに回収された液化ＳＦ６ガスの水分量又は水分量及び純度を推算してＳＦ６ガス回収タンク内ＳＦ６混合体の水分量又は水分量及び純度を演算することができる。
【０１２６】
本実施例の含有量推算装置又は含有量推算方法により、ＳＦ６ガス回収タンク内液相ＳＦ６中の水分量又は水分量及び純度を容易に推算することができ、かつ、ＳＦ６混合体の水分量又は水分量及び純度を容易に演算することができるため、ＳＦ６ガス使用設備の水分量又は水分量及び純度の管理が容易となる。
【０１２７】
なお、本実施例の含有量推算装置又は含有量推算方法は、本発明の効果が達成できる範囲において、上述の各計算式に限定されず、別の計算式を用いてもよい。
【符号の説明】
【０１２８】
１…入力手段
２…データベース
３…演算処理手段
４…出力手段
６…脱水手段
１０…測定データ
１１…ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定重量データ
１２…ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定気相蒸気圧データ
１３…ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定気相純度データ
１４…ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の測定気相水分量データ
１５…ＳＦ６ガス回収タンクの容積
２１…格納気相純度データ
２２…格納液相純度データ
２３…予め格納された気相純度データと液相純度データとの相関関係
２４…２３の近似曲線
２４Ａ…曲線２４を定式化した近似式
２５…気相純度と液相純度の相関関係を表す帯状範囲
２６…液相ＳＦ６の純度
２７…ＳＦ６混合体の純度
３１…気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度、体積の演算
３２…液相ＳＦ６の水分量又は水分量及び純度の推算
３３…ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６混合体の水分量又は水分量及び純度の演算
３４…ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６混合体の水分量又は水分量及び純度が管理規定値内であるかの判定
４１…ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の重量の測定
４２…ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の気相蒸気圧データの測定
４３Ａ…ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の気相純度データの測定
４３Ｂ…ＳＦ６ガス回収タンク内貯蔵ＳＦ６の気相水分量データの測定
４４…気相及び液相ＳＦ６それぞれの密度、体積の演算
４５Ａ…測定された気相水分量データの測定条件等に対応する液相水分量を推算するためのデータの構築
４５Ｂ…測定された気相純度データ又は気相水分量データの測定条件等に対応する液相純度又は液相水分量を推算するためのデータの構築
４６…液相ＳＦ６の水分量又は水分量及び純度の推算
４７…ＳＦ６混合体の水分量又は水分量及び純度の演算
４８…演算されたＳＦ６混合体の水分量又は水分量及び純度が管理規定値内であるかの判定
５０…ＳＦ６ガス回収設備
５１…ＳＦ６ガス使用機器
５２…使用済ＳＦ６ガス
５３…ＳＦ６ガス回収装置
５４…ＳＦ６ガス回収装置からのＳＦ６
５５…ＳＦ６ガス回収タンク
５６…ＳＦ６混合体
５６Ａ…気相ＳＦ６
５６Ｂ…液相ＳＦ６
６１…格納気相水分量データ
６２…格納液相水分量データ
６３…予め格納された気相水分量データと液相水分量データとの相関関係
６４…６３の近似曲線
６４Ａ…曲線６４を定式化した近似式
６６…液相ＳＦ６の水分量
６７…ＳＦ６混合体の水分量
１００…液化ＳＦ６ガス及びＳＦ６混合体の含有量推算装置
【図１】
0005396447.tif 000005
【図２】
0005396447.tif 000006
【図３】
0005396447.tif 000007
【図４】
0005396447.tif 000008
【図５】
0005396447.tif 000009
【図６】
0005396447.tif 000010
【図７】
0005396447.tif 000011
【図８】
0005396447.tif 000012
【図９】
0005396447.tif 000013