(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が出し入れされ、入れられた基板を検査する第１検査機及び第２検査機と、
前記第１検査機を載せる第１台であって、該第１検査機に対して前記基板が出し入れされる第１出入位置と、前記第１出入位置よりも上方であって、前記第１出入位置で入れられた基板を検査中の前記第１検査機を位置させるための第１検査位置と、に移動可能な前記第１台と、
前記第１台の下方に配置されると共に前記第２検査機を載せる第２台であって、該第２検査機に対して前記基板が出し入れされる第２出入位置と、前記第２出入位置よりも下方であって、前記第２出入位置で入れられた基板を検査中の第２検査機を位置させるための第２検査位置と、に移動可能な前記第２台と、
前記第１出入位置と前記第１検査位置とに前記第１台を昇降させると共に、前記第２出入位置と前記第２検査位置とに前記第２台を昇降させる昇降機構と、
を備える検査装置。
【請求項２】
前記第２検査機は、前記基板が入れられる際に前記第１台側へ移動することで開けられる蓋部を備え、
前記第１検査位置は、開けられた前記蓋部から前記第１台が退避する位置である請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記昇降機構は、
前記第１台を前記第１検査位置に、前記第２台を前記第２出入位置に、一体に上昇させ、
前記第１台を前記第１出入位置に、前記第２台を前記第２検査位置に、一体に降下させる
請求項１又は２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記昇降機構は、前記第１検査機に対して前記基板への検査開始の操作がなされると、前記第１台を前記第１検査位置に上昇させる請求項１〜３のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項５】
前記昇降機構は、前記第２検査機に対して前記基板への検査開始の操作がなされると、前記第２台を前記第２検査位置に降下させる請求項１〜４のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項６】
前記第１検査機及び前記第２検査機の検査終了を表示する表示部を備え、
前記昇降機構は、前記第１検査機及び前記第２検査機のうち、先に検査が終了した検査機を、検査開始の順番に関わらず、当該検査機の出入位置に昇降可能に構成されている請求項１〜５のいずれか１項に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、プリント基板に対して電気的な検査を行う基板検査装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許４８５８６５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、検査機を上下に並べた構成において、基板を出し入れする作業性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の発明は、基板が出し入れされ、入れられた基板を検査する第１検査機及び第２検査機と、前記第１検査機を載せる第１台であって、該第１検査機に対して前記基板が出し入れされる第１出入位置と、前記第１出入位置よりも上方であって、前記第１出入位置で入れられた基板を検査中の前記第１検査機を位置させるための第１検査位置と、に移動可能な前記第１台と、前記第１台の下方に配置されると共に前記第２検査機を載せる第２台であって、該第２検査機に対して前記基板が出し入れされる第２出入位置と、前記第２出入位置よりも下方であって、前記第２出入位置で入れられた基板を検査中の第２検査機を位置させるための第２検査位置と、に移動可能な前記第２台と、前記第１出入位置と前記第１検査位置とに前記第１台を昇降させると共に、前記第２出入位置と前記第２検査位置とに前記第２台を昇降させる昇降機構と、を備える。
【０００６】
請求項２の発明では、前記第２検査機は、前記基板が入れられる際に前記第１台側へ移動することで開けられる蓋部を備え、前記第１検査位置は、開けられた前記蓋部から前記第１台が退避する位置である。
【０００７】
請求項３の発明では、前記昇降機構は、前記第１台を前記第１検査位置に、前記第２台を前記第２出入位置に、一体に上昇させ、前記第１台を前記第１出入位置に、前記第２台を前記第２検査位置に、一体に降下させる。
【０００８】
請求項４の発明では、前記昇降機構は、前記第１検査機に対して前記基板への検査開始の操作がなされると、前記第１台を前記第１検査位置に上昇させる。
【０００９】
請求項５の発明では、前記昇降機構は、前記第２検査機に対して前記基板への検査開始の操作がなされると、前記第２台を前記第２検査位置に降下させる。
【００１０】
請求項６の発明では、前記第１検査機及び前記第２検査機の検査終了を表示する表示部を備え、前記昇降機構は、前記第１検査機及び前記第２検査機のうち、先に検査が終了した検査機を、検査開始の順番に関わらず、当該検査機の出入位置に昇降可能に構成されている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の請求項１の構成によれば、第１台及び第２台が昇降しない場合に比べ、基板を出し入れする作業性が向上する。
【００１２】
本発明の請求項２の構成によれば、第１台が退避しない場合に比べ、第２検査機の蓋部が第１台に干渉することを抑制できる。
【００１３】
本発明の請求項３の構成によれば、単一の昇降機によって、第１台及び第２台の昇降を行うことができる。
【００１４】
本発明の請求項４の構成によれば、第１台を上昇させる操作が不要となる。
【００１５】
本発明の請求項５の構成によれば、第２台を降下させる操作が不要となる。
【００１６】
本発明の請求項６の構成によれば、先に検査が終了した検査機に対して、検査開始の順番に関わらず、基板の出し入れ作業を行える。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本実施形態に係る検査装置の構成を示す斜視図である。
【図２】図１の構成において、可動体を降下させた状態を示す斜視図である。
【図３】本実施形態に係る検査装置の構成を示す側面図である。
【図４】図３の構成において、第２検査機の蓋部を開けた状態を示す側面図である。
【図５】図３の構成において、可動体を降下させた状態を示す側面図である。
【図６】図５の構成において、第１検査機の蓋部を開けた状態を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に、本発明に係る実施形態の一例を図面に基づき説明する。
【００１９】
（本実施形態に係る検査装置１０）
まず、本実施形態に係る検査装置１０の構成を説明する。図１及び図２は、検査装置１０の構成を示す斜視図である。図３〜図６は、検査装置１０の構成を示す側面図である。なお、下記の説明で用いるＸ方向、−Ｘ方向、Ｙ方向（上方）、−Ｙ方向（下方）、Ｚ方向及び−Ｚ方向は、図中に示す矢印方向である。また、図中の「○」の中に「×」が記載された記号は、紙面の手前から奥へ向かう矢印を意味し、図中の「○」の中に「・」が記載された記号は、紙面の奥から手前へ向かう矢印を意味する。さらに、図３〜図６において、検査装置１０における可動部分（可動体４０）を分かりやすくするため、ドットを付している。
【００２０】
検査装置１０は、図１に示されるように、本体フレーム２０と、本体フレーム２０の内部に配置され本体フレーム２０に対して上下方向（−Ｙ、Ｙ方向）に昇降可能な可動体４０と、を備えている。さらに、検査装置１０は、可動体４０の上部に配置された第１検査機７０と、可動体４０の下部に配置された第２検査機８０と、可動体４０の下方（−Ｙ方向）に配置され可動体４０を昇降させる昇降機９０（昇降機構の一例）と、を備えている。
【００２１】
第１検査機７０及び第２検査機８０は、基板Ｋ（回路基板）に対して電気的な検査をする装置である。電気的な検査としては、例えば、インサーキット検査、ファンクション検査などがある。第１検査機７０及び第２検査機８０は、具体的には、それぞれ、検査機本体７２、８２と、検査機本体７２、８２の上部に開閉可能に設けられた蓋部７４、８４と、を有している。蓋部７４、８４は、検査機本体７２、８２のＺ方向端部で支持部（ヒンジ部）７３、８３によって支持されている。これにより、蓋部７４、８４のＺ方向端部を支点に−Ｚ方向端部が上方（Ｙ方向）へ回転することで、蓋部７４、８４が開けられる。また、蓋部７４、８４は、開けられた状態からＺ方向端部を支点に−Ｚ方向端部が下方（−Ｙ方向）へ回転することで閉められる。
【００２２】
検査機本体７２、８２は、箱状に形成されており、蓋部７４、８４が開けられた状態において上部が開放される。検査機本体７２、８２の開放された上部に対して、検査対象である基板Ｋが出し入れされる。そして、検査機本体７２、８２内に基板Ｋが入れられた後、蓋部７４、８４が閉められた状態において、当該基板Ｋに対して電気的な検査が行われる。
【００２３】
なお、検査機本体７２、８２には、検査開始の操作をするための操作部（図示省略）が設けられている。また、作業者は、検査装置１０の−Ｚ方向側の側面に対して対面した状態で、第１検査機７０及び第２検査機８０に対して基板Ｋの出し入れ作業を行う。
【００２４】
本体フレーム２０は、検査装置１０における固定部分であり、板状の底部２２と、底部２２の４隅から上方へ立設された４つの支柱２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃ、２４Ｄ（以下、２４Ａ〜２４Ｄ）と、４つの支柱２４Ａ〜２４Ｄの各々の上端部を連結する４つの梁２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄと、を有している。
【００２５】
底部２２は、昇降機９０が載せられる部分であり、四角形状の底板２２Ｅと、底板２２Ｅの周囲を囲んで枠状をなす４つの底梁２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄ（以下、２２Ａ〜２２Ｄという）と、を有している。４つの底梁２２Ａ〜２２Ｄは、その４隅で、脚部２１によって、検査装置１０が設置される床面（図示省略）上に支持されている。
【００２６】
支柱２４Ａ〜２４Ｄの各々は、具体的には、４つの底梁２２Ａ〜２２Ｄの接続部分である隅部の各々で上方に立設されている。底梁２２ＡのＺ方向側部分には、支柱２４Ａに対向する対向柱２８Ａが、支柱２４Ａとの間に後述のコロ４７Ａ、４９Ａが配置可能な隙間を有して立設されている。底梁２２Ａの−Ｚ方向側部分には、支柱２４Ｂに対向する対向柱２８Ｂが、支柱２４Ｂとの間に後述のコロ４７Ｂ、４９Ｂが配置可能な隙間を有して立設されている。対向柱２８Ａ及び対向柱２８Ｂの上端部は、梁２６Ａに連結されている。
【００２７】
底梁２２Ｃの−Ｚ方向側部分には、支柱２４Ｃに対向する対向柱２８Ｃが、支柱２４Ｃとの間に後述のコロ４７Ｃが配置可能な隙間を有して立設されている。底梁２２ＣのＺ方向側部分には、支柱２４Ｄに対向する対向柱２８Ｄが、支柱２４Ｄとの間に後述のコロ４７Ｄが配置可能な隙間を有して立設されている。対向柱２８Ｃ及び対向柱２８Ｄの上端部は、梁２６Ｃに連結されている。
【００２８】
対向柱２８Ａの上下方向中間部と対向柱２８Ｂの上下方向中間部との間には、対向柱２８Ａと対向柱２８Ｂとを連結する上下一対の上梁２７Ａ及び下梁２９Ａが配置されている。上梁２７Ａと下梁２９Ａとの間には、上梁２７Ａ及び下梁２９Ａを斜めに連結する前後一対のレール部材２３Ａ、２５Ａが設けられている。一対のレール部材２３Ａ、２５Ａは、下端側が下梁２９Ａの−Ｚ方向側に接続され、上端側が上梁２７ＡのＺ方向側に接続されている。すなわち、一対のレール部材２３Ａ、２５Ａは、上方へいくにつれて徐々にＺ方向側にずれるように傾斜している。これにより、一対のレール部材２３Ａ、２５Ａは、後述のコロ４３Ａを、上方へいくにつれて徐々にＺ方向側にずれるように案内する構成とされている。
【００２９】
また、対向柱２８Ｃの上下方向中間部と対向柱２８Ｄの上下方向中間部との間には、対向柱２８Ｃと対向柱２８Ｄとを連結する上下一対の上梁２７Ｃ及び下梁（図示省略）が配置されている。当該下梁は、下梁２９Ａに対するＸ方向側に配置された梁である。上梁２７Ｃと当該下梁との間には、上梁２７Ｃ及び当該下梁を斜めに連結する前後一対のレール部材２３Ｃ、２５Ｃが設けられている。一対のレール部材２３Ｃ、２５Ｃは、下端側が当該下梁の−Ｚ方向側に接続され、上端側が上梁２７ＣのＺ方向側に接続されている。すなわち、一対のレール部材２３Ｃ、２５Ｃは、上方へいくにつれて徐々にＺ方向側にずれるように傾斜している。これにより、一対のレール部材２３Ｃ、２５Ｃは、後述のコロ４３Ａの反対側（Ｘ方向側）に配置されたコロ（図示省略）を、上方へいくにつれて徐々にＺ方向側にずれるように案内する構成とされている。
【００３０】
可動体４０は、検査装置１０における可動部分であり、本体フレーム２０の内側の空間に収容された状態で、検査装置１０における固定部分としての本体フレーム２０に対して上下方向（−Ｙ、Ｙ方向）に昇降可能に構成されている。具体的には、可動体４０は、板状の底部４２と、底部４２の４隅から上方（Ｙ方向）へ立設された４つの支柱４４Ａ、４４Ｂ、４４Ｃ、４４Ｄ（以下、４４Ａ〜４４Ｄ）と、４つの支柱４４Ａ〜４４Ｄの各々の上端部を連結する３つの梁４６Ａ、４６Ｃ、４６Ｄと、を有している。
【００３１】
底部４２は、四角形状の底板４２Ｅと、底板４２Ｅの周囲を囲んで枠状をなす４つの底梁４２Ａ、４２Ｂ、４２Ｃ、４２Ｄ（以下、４２Ａ〜４２Ｄという）と、を有している。４つの支柱４４Ａ〜４４Ｄの各々は、具体的には、４つの底梁４２Ａ〜４２Ｄの接続部分である隅部の各々で上方（Ｙ方向）に立設されている。
【００３２】
支柱４４Ａと支柱４４Ｂとの間には、支柱４４Ａの上下方向中間部と支柱４４Ｂの上下方向中間部とをＺ方向に連結する連結梁４５Ａが設けられている。支柱４４Ｃと支柱４４Ｄとの間には、支柱４４Ｃの上下方向中間部と支柱４４Ｄの上下方向中間部とをＺ方向に連結する連結梁４５Ｃが設けられている。
【００３３】
連結梁４５Ａ及び連結梁４５Ｃ上には、第１検査機７０を載せる第１台５０がＺ方向に移動可能に設けられている。第１台５０は、連結梁４５Ａ及び連結梁４５Ｃに対してＺ方向に移動可能に設けられた平面視にてコの字状の移動部材５２と、第１検査機７０が載せられる載せ板５４と、を有している。
【００３４】
移動部材５２は、連結梁４５Ａ上にＺ方向に移動可能に配置されＺ方向に長さを有する棒状の移動部５２Ａと、連結梁４５Ｃ上にＺ方向に移動可能に配置されＺ方向に長さを有する棒状の移動部５２Ｂと、移動部５２Ａの−Ｚ方向部分と移動部５２Ｂの−Ｚ方向部分とを連結する連結部５２Ｃと、を有している。
【００３５】
載せ板５４は、矩形状をしており、−Ｚ方向端部が移動部材５２の連結部５２Ｃに固定されている。載せ板５４のＺ方向端部は、−Ｚ方向端部よりも高い位置に配置されており、載せ板５４は傾斜している。載せ板５４のＺ方向端部は、連結梁４５Ａ及び連結梁４５Ｃの各々から上方（Ｙ方向）へ立設された支持部材５６で支持されている。載せ板５４の−Ｚ方向端部には、載せ板５４に載せられた第１検査機７０の−Ｚ方向への移動（落下）を規制する規制部材５８が設けられている。
【００３６】
さらに、底部４２の底板４２Ｅ上には、第２検査機８０を載せる第２台６０が設けられている。第２台６０は、第２検査機８０が載せられる載せ板６４を有している。載せ板６４は、矩形状をしており、−Ｚ方向端部が可動体４０の底梁４２Ｂに固定されている。載せ板６４のＺ方向端部は、−Ｚ方向端部よりも高い位置に配置されており、載せ板６４は傾斜している。載せ板６４のＺ方向端部は、可動体４０の底板４２Ｅから上方（Ｙ方向）へ立設された２つの支持部材６６（図２、図３参照）で支持されている。載せ板６４の−Ｚ方向端部には、載せ板６４に載せられた第２検査機８０の−Ｚ方向への移動（落下）を規制する規制部材６８が設けられている。
【００３７】
このように、本実施形態では、第１台５０に第１検査機７０が載せられ、第１台５０の下方にある第２台６０に第２検査機８０が載せられることで、第１検査機７０及び第２検査機８０が上下に並んで配置される。これにより、第１検査機７０及び第２検査機８０が水平方向に並んで配置される場合に比べ、検査装置１０の設置面積（占有面積）が小さくなる。
【００３８】
また、第１検査機７０及び第２検査機８０の各々は、傾斜した載せ板５４、６４に載せられて傾いた状態で設置されるので、水平方向に向いた状態で設置される場合に比べ、第１検査機７０及び第２検査機８０の占有面積が小さくなる。
【００３９】
さらに、第１検査機７０及び第２検査機８０は、上面が作業者側を向くように傾いた状態で設置されるので、第１検査機７０及び第２検査機８０に対する基板Ｋの出し入れ作業がしやすくなっている。
【００４０】
また、本実施形態では、可動体４０の梁４６Ａの側面におけるＺ方向端部及び−Ｚ方向端部には、それぞれ、支柱２４Ａと対向柱２８Ａとの間に配置されるコロ４７Ａ、支柱２４Ｂと対向柱２８Ｂとの間に配置されるコロ４７Ｂが設けられている。すなわち、コロ４７Ａとコロ４７Ｂとによって、対向柱２８Ａ及び対向柱２８Ｂが挟まれている。
【００４１】
可動体４０の底梁４２Ａの側面におけるＺ方向端部及び−Ｚ方向端部には、それぞれ、支柱２４Ａと対向柱２８Ａとの間に配置されるコロ４９Ａ、支柱２４Ｂと対向柱２８Ｂとの間に配置されるコロ４９Ｂが設けられている。すなわち、コロ４９Ａとコロ４９Ｂとによって、対向柱２８Ａ及び対向柱２８Ｂが挟まれている。
【００４２】
可動体４０の梁４６Ｃの側面におけるＺ方向端部及び−Ｚ方向端部には、それぞれ、支柱２４Ｃと対向柱２８Ｃとの間に配置されるコロ４７Ｃ、支柱２４Ｄと対向柱２８Ｄとの間に配置されるコロ４７Ｄが設けられている。すなわち、コロ４７Ｃとコロ４７Ｄとによって、対向柱２８Ｃ及び対向柱２８Ｄが挟まれている。
【００４３】
可動体４０の底梁４２Ｃの側面におけるＺ方向端部及び−Ｚ方向端部には、それぞれ、支柱２４Ｃと対向柱２８Ｃとの間に配置されるコロ（図示省略）、支柱２４Ｄと対向柱２８Ｄとの間に配置されるコロ（図示省略）が設けられている。すなわち、これらのコロによって、対向柱２８Ｃ及び対向柱２８Ｄが挟まれている。
【００４４】
コロ４７Ａ、４７Ｂ、４７Ｃ、４７Ｄ、４９Ａ、４９Ｂ等が、支柱２４Ａ〜２４Ｄの各々と対向柱２８Ａ〜２８Ｄの各々との間で案内されることで、可動体４０は、本体フレーム２０に対して、上下方向（−Ｙ、Ｙ方向）に昇降可能とされている。そして、可動体４０に設けられた第１台５０は、第１検査機７０に対して基板Ｋが出し入れされる第１出入位置（図２、図５及び図６に示す位置）と、第１出入位置よりも上方であって、第１出入位置で入れられた基板Ｋを検査中の第１検査機７０を位置させるための第１検査位置（図１、図３及び図４に示す位置）と、に移動可能とされている。
【００４５】
第２台６０は、第２検査機８０に対して基板Ｋが出し入れされる第２出入位置（図１、図３及び図４に示す位置）と、第２出入位置よりも下方であって、第２出入位置で入れられた基板Ｋを検査中の第２検査機８０を位置させるための第２検査位置（図２、図５及び図６に示す位置）と、に移動可能とされている。
【００４６】
本実施形態では、第１台５０及び第２台６０は、単一の構造物（可動体４０）に設けられているため、一体に移動（変位）する。従って、本実施形態では、第１台５０が第１出入位置に位置する状態において、第２台６０は、第２検査位置に位置する。また、第１台５０が第１検査位置に位置する状態において、第２台６０は、第２出入位置に位置する。
【００４７】
さらに、本実施形態では、第１台５０の移動部材５２の移動部５２Ａの側面及び移動部５２Ｂの側面には、それぞれ、一対のレール部材２３Ａ、２５Ａの間に配置されたコロ４３Ａと、一対のレール部材２３Ｃ、２５Ｃの間に配置されたコロ（図示省略）と、が設けられている。
【００４８】
これにより、第１台５０は、上昇するにつれて徐々にＺ方向側にずれ、降下するにつれて徐々に−Ｚ方向側にずれるようになっている。そして、第１検査位置（図２、図５及び図６に示す位置）は、第２検査機８０における開けられた蓋部８４から第１台５０が、Ｚ方向側に退避する位置とされている。すなわち、第１台５０は、第２検査機８０における開けられた蓋部８４が干渉しない位置に退避するようになっている。
【００４９】
昇降機９０（昇降機構の一例）は、第１台５０を第１出入位置と第１検査位置とに昇降させると共に、第２台６０を第２出入位置と第２検査位置とに昇降させる装置である。具体的には、昇降機９０は、互いの長手方向中央部が回転可能に連結されて側面視（Ｘ方向視）にてＸ字状をなす２組のリンク部材９１Ａ、９２Ａと、リンク部材９１Ａ、９２Ａの下端部が連結された底部９４と、リンク部材９１Ａ、９２Ａの上端部が連結された持上部９６と、を有している。
【００５０】
２つのリンク部材９１Ａは、互いに対向して配置されており、２つのリンク部材９２Ａも、同様に、互いに対向して配置されている。なお、２つのリンク部材９１Ａの一方の図示を省略している。
【００５１】
底部９４は、具体的には、２つのリンク部材９１Ａの下端部を回転可能に支持し、２つのリンク部材９２Ａの下端部を回転可能且つ−Ｚ方向（Ｚ方向）に移動可能に支持している。
【００５２】
持上部９６は、具体的には、２つのリンク部材９２Ａの上端部を回転可能に支持し、２つのリンク部材９１Ａの上端部を回転可能且つ−Ｚ方向（Ｚ方向）に移動可能に支持している。
【００５３】
リンク部材９１Ａの上端部とリンク部材９２Ａの上端部との間隔が狭くなるように、リンク部材９１Ａ、９２Ａが駆動部（図示省略）によって立ち上がることにより、持上部９６が上昇する。これにより、第１台５０が第１検査位置に位置し、第２台６０が第２出入位置に位置するように、可動体４０を持ち上げる。
【００５４】
また、リンク部材９１Ａの上端部とリンク部材９２Ａの上端部との間隔が広くなるように、リンク部材９１Ａ、９２Ａが駆動部（図示省略）によって傾倒することにより、持上部９６が降下する。これにより、第１台５０が第１出入位置に位置し、第２台６０が第２検査位置に位置するように、可動体４０を降下させる。
【００５５】
なお、本体フレーム２０の支柱２４Ｃには、昇降機９０を操作するための操作部９８が設けられている。操作部９８には、第１操作ボタン９８Ａと、第２操作ボタン９８Ｂ、及び第３操作ボタン９８Ｃが設けられている。
【００５６】
第１台５０が第１出入位置に位置する停止状態（第２台６０が第２検査位置に位置する停止状態）において、第１操作ボタン９８Ａが操作されると、昇降機９０の持上部９６が上昇し、第１台５０を第１検査位置に移動させる（第２台６０を第２出入位置に移動させる）。
【００５７】
第１台５０が第１検査位置に位置する停止状態（第２台６０が第２出入位置に位置する停止状態）において、第１操作ボタン９８Ａが操作されると、昇降機９０の持上部９６が降下し、第１台５０を第１出入位置に移動させる（第２台６０を第２検査位置に移動させる）。
【００５８】
なお、第２操作ボタン９８Ｂは、可動体４０（第１台５０及び第２台６０）が上昇（又は降下）している状態において操作されることで、降下（又は昇降）する。また、第３操作ボタン９８Ｃは、緊急停止用の操作ボタンであり、可動体４０（第１台５０及び第２台６０）が昇降している状態において操作されることで、昇降動作が停止する。
【００５９】
さらに、検査装置１０は、図３に示されるように、第１検査機７０及び第２検査機８０の検査状態（検査状況）や検査結果を表示する表示部１４を備えている。表示部１４は、具体的には、第１検査機７０の検査状態を示す第１表示装置（ディスプレイ）１４Ａと、第２検査機８０の検査状態を示す第２表示装置（ディスプレイ）１４Ｂと、を有している。なお。表示部１４は、図１及び図２において図示を省略している。
【００６０】
第１表示装置１４Ａ及び第２表示装置１４Ｂの各々は、例えば、第１検査機７０の後方側、第２検査機８０の後方側に配置されており、支柱４４Ａに固定されている。第１表示装置１４Ａ及び第２表示装置１４Ｂは、表示画面（表示部分）が−Ｚ方向側を向いており、検査装置１０の−Ｚ方向側の側面に対面する作業者が視認できるようになっている。なお、第１表示装置１４Ａ及び第２表示装置１４Ｂは、可動体４０の昇降に伴って位置が変動しても、作業者が視認できるように位置及び向き（傾き）が調整されている。すなわち、第１表示装置１４Ａ及び第２表示装置１４Ｂは、第１台５０が第１検査位置及び第１出入位置のいずれの位置に位置する場合でも、（第２台６０が第２出入位置及び第２検査位置のいずれの位置に位置する場合でも、）作業者が視認できるようになっている。
【００６１】
第１表示装置１４Ａ及び第２表示装置１４Ｂの各々は、例えば、第１検査機７０及び第２検査機８０における検査作業が実行中か、終了した（停止した）か、を表示する。また、第１表示装置１４Ａ及び第２表示装置１４Ｂの各々は、例えば、第１検査機７０及び第２検査機８０における基板Ｋに対する検査結果が、良好か、不良かを表示する。従って、作業者は、この表示に基づき、後述の検査手順のように、基板Ｋの取り出し作業や、昇降機９０の昇降操作を行う。なお、単一の表示部で、第１検査機７０及び第２検査機８０の検査状態（検査状況）や検査結果を表示するようになっていてもよい。
【００６２】
（検査装置１０を用いた検査手順（検査方法））
次に、本実施形態に係る作用として、検査装置１０を用いた検査手順の一例を説明する。ここでは、最初に、第１台５０が第１検査位置に位置し、第２台６０が第２出入位置に位置するもの（図３に示す状態）として説明する。
【００６３】
当該検査手順では、まず、図４に示されるように、作業者が、第２出入位置に位置する第２台６０上の第２検査機８０の蓋部８４を開ける。続いて、作業者は、第２検査機８０の検査機本体８２内へ、開放された上部から基板Ｋを入れて蓋部８４を閉める。そして、作業者は、検査機本体８２の操作部（図示省略）を操作して検査を開始する。
【００６４】
次に、作業者が、本体フレーム２０にある操作部９８の第１操作ボタン９８Ａを操作すると、図５に示されるように、可動体４０が降下する。これにより、第１台５０が第１出入位置に位置し、第２台６０が第２検査位置に位置する。このとき、第２検査機８０において基板Ｋに対する検査が実施されている状態となっている。
【００６５】
次に、図６に示されるように、作業者が、第１出入位置に位置する第１台５０上の第１検査機７０の蓋部７４を開ける。続いて、作業者が、第１検査機７０の検査機本体７２内へ、開放された上部から基板Ｋを入れて蓋部７４を閉める。そして、作業者は、検査機本体７２の操作部（図示省略）を操作して検査を開始する。
【００６６】
次に、作業者が、本体フレーム２０にある操作部９８の第１操作ボタン９８Ａを操作すると、図３に示されるように、可動体４０が上昇する。これにより、第１台５０が第１検査位置に位置し、第２台６０が第２出入位置に位置する。このとき、第１検査機７０において基板Ｋに対する検査が実施されている状態となっている。作業者が、第２表示装置１４Ｂにて第２検査機８０における基板Ｋへの検査の終了を確認すると、作業者は、第２検査機８０の蓋部８４を開けて、検査が終了した基板Ｋを取り出し、次に検査を行う基板Ｋを検査機本体８２へ入れて、蓋部８４を閉める。再び、作業者は、検査機本体８２の操作部（図示省略）を操作して検査を開始する。
【００６７】
以上の手順を繰り返すことで、第１検査機７０及び第２検査機８０において基板Ｋへの検査が行われる。
【００６８】
なお、例えば、第２検査機８０の検査開始後に、第１検査機７０での検査開始した場合に、第１検査機７０において検査開始直後に基板Ｋの不良が発見されると、第２検査機８０での検査が終了する前に、第１検査機７０の検査が終了する場合がある。すなわち、第１検査機７０及び第２検査機８０において検査が終了する順番は、第１検査機７０及び第２検査機８０において検査を開始した順番と関係ない。従って、作業者は、第１表示装置１４Ａ及び第２表示装置１４Ｂによって、第１検査機７０及び第２検査機８０のうち、検査の終了を先に確認できたほうの台（第１台５０又は第２台６０）を出入位置（第１出入位置又は第２出入位置）に移動させて、基板Ｋの出し入れ作業（入れ替え作業）を行う。このようにすることにより、検査を終了した検査機（第１検査機７０、第２検査機８０）に対して、基板Ｋの出し入れ作業を迅速に行える。
【００６９】
以上のように、本実施形態では、第２検査機８０に対して基板Ｋを出し入れする際には、第１検査機７０は第１検査位置に上昇した状態となっており、第１検査機７０が基板Ｋの出し入れ作業の邪魔になりにくい。一方、第１検査機７０に対して基板Ｋを出し入れする際には、第２検査機８０は第２検査位置に降下した状態となっており、第２検査機８０が基板Ｋの出し入れ作業の邪魔になりにくい。
【００７０】
このため、本実施形態に係る検査装置１０によれば、基板Ｋを出し入れする作業性が向上する。また、第１検査機７０及び第２検査機８０の一方に対して、基板Ｋの出し入れ作業を行っている際には、第１検査機７０及び第２検査機８０の他方は、基板Ｋに対する検査を行っているので、検査効率が向上する。
【００７１】
さらに、本実施形態では、第１台５０は、第１出入位置から第１検査位置へ上昇すると、Ｚ方向に退避するので、第２検査機８０の蓋部８４を開けた場合でも、蓋部８４が第１台５０に干渉することが抑制される。
【００７２】
また、第１台５０及び第２台６０は、単一の可動体４０に設けられているので、一体に移動する。このため、本実施形態のように、単一の昇降機９０によって、第１台５０及び第２台６０の昇降が行え、検査装置１０の装置構成が小型化、簡素化される。
【００７３】
（変形例）
上記実施形態では、第１台５０及び第２台６０は、単一の可動体４０に設けられて一体に昇降するようになっていたが、これに限られず、第１台５０及び第２台６０は、別体に構成されて、独立して昇降するようになっていてもよい。この場合では、第１台５０及び第２台６０の各々を昇降させる昇降機が必要となる。
【００７４】
上記実施形態では、第１台５０の載せ板５４及び第２台６０の載せ板６４が傾斜していたが、これに限られない。載せ板５４及び載せ板６４が水平方向に沿って配置され、第１検査機７０及び第２検査機８０が水平方向に向いた状態で配置されていてもよい。
【００７５】
上記実施形態では、第１検査機７０及び第２検査機８０の蓋部７４、８４は、回転により開閉されていたが、これに限られない。蓋部７４、８４は、例えば、上方へのスライドにより開けられる構成であってもよい。
【００７６】
上記実施形態では、第１台５０は、第２検査機８０の蓋部８４に干渉しないように、Ｚ方向に退避するようになっていたが、これに限られない。例えば、Ｘ方向又は−Ｘ方向に退避する構成であってもよい。また、第２検査機８０の蓋部８４に干渉しない程度に間隔をあけて、上方へ退避する構成であってもよい。
【００７７】
上記実施形態では、可動体４０の昇降操作を行う操作部９８と、第１検査機７０及び第２検査機８０の検査開始を行う操作部と、が別々に設けられていたが、これに限られない。
【００７８】
例えば、操作部９８が、検査開始の操作と、可動体４０の昇降操作とを兼ねる構成であってもよい。具体的には、例えば、第２検査機８０に対して基板Ｋへの検査開始の操作が、操作部９８においてなされると、第２台６０が第２検査位置に降下されるように構成される。この構成によれば、第２台６０を降下させる操作が不要となる。
【００７９】
さらに、第１検査機７０に対して基板Ｋへの検査開始の操作が、操作部９８においてなされると、第１台５０が第１検査位置に上昇されるように構成される。この構成によれば、第１台５０を上昇させる操作が不要となる。
【００８０】
本発明は、上記の実施形態に限るものではなく、種々の変形、変更、改良が可能である。例えば、上記に示した変形例は、適宜、複数を組み合わせて構成しても良い。
【符号の説明】
【００８１】
１０   検査装置
１４   表示部
５０   第１台
６０   第２台
７０   第１検査機
８０   第２検査機
８４   蓋部
９０   昇降機（昇降機構の一例）
Ｋ     基板
【要約】
【課題】検査機を上下に並べた構成において、基板を出し入れする作業性を向上させる。
【解決手段】基板が出し入れされ、入れられた基板を検査する第１検査機及び第２検査機と、第１検査機を載せる第１台であって、第１検査機に対して基板が出し入れされる第１出入位置と、第１出入位置よりも上方であって、第１出入位置で入れられた基板を検査中の第１検査機を位置させるための第１検査位置と、に移動可能な第１台と、第１台の下方に配置されると共に第２検査機を載せる第２台であって、第２検査機に対して基板が出し入れされる第２出入位置と、第２出入位置よりも下方であって、第２出入位置で入れられた基板を検査中の第２検査機を位置させるための第２検査位置と、に移動可能な第２台と、第１出入位置と第１検査位置とに第１台を昇降させると共に、第２出入位置と第２検査位置とに第２台を昇降させる昇降機構と、を備える。
【選択図】図１【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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