(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光面側の第１ガラス基板と背面側の第２ガラス基板との間に、
太陽電池セルと前記太陽電池セルを封止する透光性中間膜層とを介在して成る合わせガラス構造の太陽電池モジュールにおいて、
前記第１ガラス基板の周縁部に、
片側を接着面とする封止シートを折り曲げて挿入部と外装部とを形成した封止部材を有し、
前記挿入部は前記封止シートを折り返して形成され、
前記外装部は前記挿入部に連なって形成され、
前記挿入部は前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板との間に挿入されて前記接着面が前記第１ガラス基板及び前記第２ガラス基板に接着され、
前記外装部は前記接着面が前記第１ガラス基板または前記第２ガラス基板の端面に接着されていることを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項２】
前記封止部材は一対の外装部を有しており、
一方の前記外装部は前記第１ガラス基板の前記端面に接着され、
他方の前記外装部は前記第２ガラス基板の端面に接着されることを特徴とする請求項１に記載の太陽電池モジュール。
【請求項３】
前記透光性中間膜層はエチレン酢酸ビニル共重合体を主成分とし、
前記封止部材は前記接着面上にエチレン酢酸ビニル共重合体の層が形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載の太陽電池モジュール。
【請求項４】
前記封止シートは樹脂フィルムを基材として、前記樹脂フィルムの前記接着面側に窒化珪素膜、酸化珪素膜、ＳｉＯＮ膜のいずれかを形成したフィルムであることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載の太陽電池モジュール。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の太陽電池モジュールの製造方法であって、
第１ガラス基板上の太陽電池セル上に前記透光性中間膜層となる中間膜シートを配置する工程と、
前記第１ガラス基板の外周部を囲むように前記封止部材を配置する工程と、
前記中間膜シート上に第２ガラス基板を配置する工程と、
前記中間膜シートを加熱して軟化させる工程と、
を含むことを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項６】
前記封止部材はあらかじめ前記封止シートを加熱して前記挿入部と前記外装部とを形成した後、
前記前記第１ガラス基板ないし前記第２ガラス基板の外周部に配置して封止を行うことを特徴とする請求項５に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項７】
前記封止部材の前記第１ガラス基板に対する前記接着面と反対側の面と、前記第２ガラス基板に対する前記接着面と反対側の面との間に、スペーサを挿入して封止を行うことを特徴とする請求項６に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、合わせガラスを用いた太陽電池モジュールの封止構造とその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
薄膜アモルファスシリコンや多結晶シリコンなどから成る太陽電池セルを用いた太陽電池モジュールは、ガラス基板等の透光性絶縁基板上に太陽電池セルを配置し、太陽電池セルを樹脂で封止して構成されている。通常、このガラス基板は太陽光の入射側となるため太陽電池モジュール前面側の基板に相当する。太陽電池セルの封止には、中間層膜を形成する封止樹脂で全体を被覆し、さらに封止樹脂の上にバックシートを重ねる方法が用いられている。封止樹脂としては、例えばエチレン・酢酸ビニル共重合樹脂（ＥＶＡ）が用いられ、バックシートには例えばポリフッ化ビニル樹脂（ＰＶＦ）が多く用いられる。この封止を行う封止工程では、封止樹脂を加熱しながらモジュール内部を減圧するとともに、ダイアフラムで加圧する方式の真空ラミネート装置が用いられることが多い。
また、特許文献１に示された太陽電池モジュールでは、バックシートに代わって背面側基板となるガラス基板が用いられており、いわゆる合わせガラス方式の太陽電池モジュールを構成している。このような太陽電池モジュールは、バックシートを用いるモジュールに比べて水蒸気の遮断性能が高い利点がある。
また、背面側ガラス基板の機械的強度を高めることにより、太陽電池モジュールに強度を持たせることができることから、複数配列した太陽電池セル間の隙間や、太陽電池セル自身の透光性を利用して、採光窓の建材として利用することも可能になる。こうした太陽電池モジュールは、用途の観点から、建材一体型太陽電池モジュールとも呼ばれている。
合わせガラス方式の太陽電池モジュールでは、太陽電池セルとそれを封止する封止樹脂層を囲むように、ガラス基板端部にシール部材が配置されている。このシール部材は、絶縁性、防水性に優れたポリイソブチレンあるいはブチルゴムを含有する材料から形成されており、ガラス基板間の周縁部に挿入されて、太陽電池セルへの水分の影響を抑制している。（例えば、特許文献１参照。）合わせガラス方式の太陽電池モジュール封止工程においても、真空ラミネート装置を用いる方法を適用することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０-１７１４００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のように、従来の合わせガラス方式太陽電池モジュールは、前面および背面のガラス基板間の周縁部にシール部材を配置してパネル状の太陽電池モジュールの封止を行う。このような太陽電池モジュールの封止工程において、ブチルゴムなどのシール部材は、真空ラミネート装置内での加熱および加圧により、熱膨張および軟化するとともに変形を生じる。この際、シール部材の厚さが薄くなると、封止領域でガラス基板内部の応力が過大となってガラス基板の割れが発生することがあった。さらに、この割れ現象は、原理的に基板サイズが大型になるほど発生しやすくなる性質を持つことから、大面積モジュールでは顕著な問題である。
この発明は、上記のような問題を解消するためになされたもので、封止工程においてガラス基板周縁部の応力が過大となることがなく、ガラス基板の割れを防止できる合わせガラス方式の太陽電池モジュールを得ることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の太陽電池モジュールは、受光面側の第１ガラス基板と背面側の第２ガラス基板との間に、太陽電池セルと太陽電池セルを封止する透光性中間膜層とを介在して成る合わせガラス構造を有しており、第１ガラス基板の周縁部に、片側を接着面とする封止シートを折り曲げて挿入部と外装部とを形成した封止部材を有し、挿入部は封止シートを折り返して形成され、外装部は前記挿入部に連なって形成され、挿入部は第１ガラス基板と第２ガラス基板との間に挿入されて接着面が第１ガラス基板及び第２ガラス基板に接着され、外装部は接着面が第１ガラス基板または第２ガラス基板の端面に接着されているものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明にかかる合わせガラス方式の太陽電池モジュールにおいて、ガラス基板端面の封止領域の空間に、封止シートを折り曲げて挿入し、これにより周縁部の封止を行う。そのため、封止工程においてガラス基板周縁部の応力が過大となることがなく、ガラス基板の割れを防止することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】実施の形態１における太陽電池モジュールの断面図である。
【図２】実施の形態１における封止部材の形状を示す斜視図である。
【図３】実施の形態１における封止部材の配置関係を示す斜視図である。
【図４】実施の形態１における太陽電池モジュールの封止状態を示す断面図である。
【図５】実施の形態２における封止部材の形状を示す斜視図である。
【図６】実施の形態２における封止部材の配置関係を示す斜視図である。
【図７】実施の形態３における構造の太陽電池モジュールの端部を拡大した断面図である。
【図８】実施の形態４における太陽電池モジュール端部を拡大した断面図である。
【図９】薄膜型太陽電池モジュールの構成を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
実施の形態１．
図1は、本発明の実施の形態1における合せガラス方式の太陽電池モジュール１００の断面図である。太陽電池セル１は光起電力を発生させる単位となる素子であり、受光面側となる前面側ガラス基板２上に配置されている。さらに、太陽電池セル１は透光性の中間膜層４によって全体が被覆されるとともに、中間膜層４を介して前面側ガラス基板２と背面側ガラス基板３に挟まれて封止されている。両ガラス基板の周縁部には封止部材５、および封止部材６が配置され、中間膜層４の外周部を外気から遮断している。封止部材５は１枚の封止シートを折り曲げて成型された部材であり、挿入部と外装部が形成されている。挿入部は前面側ガラス基板２と背面側ガラス基板３との間に挿入される部分で、接着面が前面側ガラス基板２及び背面側ガラス基板３に接着される。外装部は、前面側ガラス基板２または背面側ガラス基板３の端面に沿う部分で、接着面が前面側ガラス基板２または背面側ガラス基板３の端面に接着されている。封止部材５の水平接着面７は、前面側ガラス基板２と平行に対向する挿入部の接着面、垂直接着面８は前面側ガラス基板２の端面に対向する外装部の接着面である。封止部材５形成前の封止シートの片側は接着に適した表面を有しており、封止部材５形成によって成型されて、水平接着面７、垂直接着面８となる。
中間膜層４には、エチレン・酢酸ビニル共重合樹脂（ＥＶＡ）に代表される熱可塑性の樹脂が用いられる。中間膜層４は、封止工程の加熱により軟化して接着剤として機能するため、内部に太陽電池セル１を包含しながら、前面側ガラス基板２と背面側ガラス基板３の間を埋めて両基板を接着している。なお、図１では、太陽電池モジュール１００内に太陽電池セル１が１個含まれているのみであるが、実際には複数の太陽電池セルが行列を成すように、マトリクス状に配置される。
【０００９】
図２は、封止部材５および封止部材６の形状例を示す斜視図で、短冊状に裁断された、厚さ０．３〜０．８ｍｍの封止シートを折り曲げて形成した封止部材１０が示されている。
水平接着面１１はガラス基板面に対向する面、折り返し部１２は封止シートを屈曲させた略半円筒形部分、垂直接着面１３はガラス基板の端面に対向する面である。水平接着面１１は上下で一対となっており、水平接着面１１と折り返し部１２を有する部分は封止部材１０の挿入部を構成している。垂直接着面１３を有する部分は封止部材１０の外装部を構成する。同様に、垂直接着面１３も上下一対の構成を有している。
【００１０】
封止シートには、ポリフッ化ビニル樹脂（ＰＶＦ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）やポリエチレンテレフタレート樹脂（ＰＥＴ）の層を含む多層フィルムが用いられる。上記のようなフッ化物系の材料は、特に防湿性、機械特性に優れており、封止シートに用いることで優れた封止部材となる。また、封止部材１０の中間膜層４および前面側ガラス基板２、背面側ガラス基板３に接する水平接着面１１と折り返し部１２表面は、ＥＶＡからなる中間膜層４との接着性を向上させるため、ＥＶＡの被膜が形成されていることが望ましい。封止部材のガラス基板への接着は、溶融して界面へ侵入する中間膜層４の作用を期待することも出来るが、封止シート上のＥＶＡ被膜により、ガラス基板への確実な接着および中間膜層４との融着を生じて、ボイドの少ない太陽電池モジュール１００を実現することが出来る。
すなわち、封止部材１０はＥＶＡ被膜が形成された封止シートを裁断し、これを適度に加熱しながら折り曲げて形成される。封止部材１０のＥＶＡ被膜側は接着面となる。
封止部材１０は、前面側ガラス基板２に対する水平接着面１１と、背面側ガラス基板３に対する水平接着面１１を有しており、各接着面は封止部材１０を構成する封止シートを折り曲げて外気側では接着されないことから、それぞれの水平接着面１１における応力が互いに干渉することがない。そのため、封止工程で、前面側ガラス基板２、中間膜層４、背面側ガラス基板３がそれぞれ膨張、収縮してもガラス基板端部に応力が集中することがなく、中間膜層４が薄い場合でもガラス基板の割れを抑制することができる。
また、上記接着面の反対側の面にアルミニウム被膜を形成することにより、ガスバリア性を向上させることが出来る。その他、アルミニウム被膜の代わりに、封止シート上に窒化珪素膜、酸化珪素膜、またはＳｉＯＮ膜を形成してガスバリア性を高めても良い。これらの無機系バリア膜は、蒸着あるいはＰＥＴなどを介して積層したフィルムが適している。
無機系バリア膜は折り曲げ加工の際に微細なクラックを生じるため、折り曲げ加工後に封止部材５、６表面に形成しても良い。折り曲げ後の膜形成により、クラックの無い、ガスバリア性に優れた封止部材を実現することが出来る。ＥＶＡの透湿度が約１０ｇ／ｍ２・ｄａｙ（ＪＩＳ  Ｋ７１２９に基づく４０℃、９０%ＲＨ）とすると、封止シートの透湿度はそれ以下であることが望ましい。上記のように、アルミニウム被膜や各種無機材料膜を用いることにより、この目標値を容易に達成することが出来る。ガスバリア性の観点では、上記の無機系バリア膜を有するフッ化物系材料からなるフィルムが最適である。
水平接着面７、１１の面積はガラス基板の厚みに依存せず適宜設定可能であり、さらに垂直接着面８、１３に至る接着界面によってモジュール内から外気に至る経路の長い接着がなされるため、確実な封止が可能となる。
図３は、図２に示した形状の封止部材１０を４本使用して、長方形のモジュールの４辺に対応して並べた場合の配置関係を示す図である。短辺の封止部材１０Ａと長辺の封止部材１０Ｂをそれぞれ２本ずつ配置して、長方形のモジュールの外縁部を囲む構成としたものである。
【００１１】
背面側ガラス基板３は前面側ガラス基板２と異なる材質、異なる厚み、異なる寸法が許容されることから、建材一体型太陽電池モジュールとして利用する場合は、前面側ガラス基板２より強度の高い構成が使用される。例えば、板厚みを前面側ガラス基板２より厚くしたり、強度の高いガラスを用いたりすることが出来る。また、太陽電池セル１の裏面に反射層が無い場合などは、背面側ガラス基板３に光反射層となるコーティングが施されていても良い。背面側ガラス基板３の透明度が光起電力に寄与しない場合は、適宜、建材としての機能を付加するための着色、フィルム貼付などが可能であることは言うまでも無い。
ガラスからなる２枚の基板と、折り曲げた封止シートからなる封止部材５、６、１０を用いることにより、ガスバリア性の極めて高い太陽電池モジュールを実現することが可能になる。湿気が内部に入り込むと金属の配線や接続部分が腐食するおそれがあり、また、薄膜型の太陽電池セルや透明導電性薄膜層の劣化を引き起こす要因となるため、モジュールの信頼性を高める効果が得られる。また、ＣＩＧＳ型の太陽電池セルを用いた場合にはセルが湿気に対して特に敏感なため、特性安定化に寄与することが出来る。
【００１２】
次に、太陽電池モジュール１００の製造方法について述べる。
まず、前面側ガラス基板２上の太陽電池セル１の外周にある端面封止領域に、封止シートをあらかじめ折り曲げて形成した封止部材５、６を載せる（配置については図３参照）。
その上から、前面側ガラス基板２と同様のサイズの中間膜片と、背面側ガラス基板３を太陽電池セル１上に重ねて配置する。
図４は封止工程で太陽電池モジュール１００が形成された状態を示す断面図で、封止シートが外れないように、図４に示すような断面形状の治具Ｐが取り付けられている。前面側ガラス基板２下には図示されていないステージがあり、治具Ｐの下面はステージに対する位置関係を保持するように固定される。治具Ｐは、耐熱性をそなえ、かつ、加圧されてガラス基板間からはみだした中間膜により太陽電池モジュールに接着されることがないように、フッ素樹脂などの、耐熱性、耐薬品性、非粘着性を備えた材料で形成されることが好ましい。
封止工程では、ダイアフラムが治具Ｐと太陽電池モジュール１００全体を覆うように被せられてモジュール全体が外側から加圧されるとともに、太陽電池モジュール１００内が減圧される。このような状態で、真空ラミネート装置内でステージが加熱されて中間膜片が溶融し、太陽電池セル１を被覆するとともに、前面側ガラス基板２と背面側ガラス基板３を接着して中間膜層４を形成する。真空ラミネート封止工程により、溶融してガラス基板の端部方向に押し出された中間膜も、封止部材５、６と上下のガラス基板との接着に寄与する。また、封止部材５、６の継ぎ目から、余剰分の中間膜層が流出するようにしてもよい。継ぎ目に意図的に隙間を設けて中間膜層の排出口として利用し、流出してガラス基板間の外部で固化した中間膜層をカッター等で適宜切断することができる。上記の排出口は、ガラス基板間のガスを逃がすための経路としても利用できる。
また、封止前に封止部材５、６のギャップＧ内に短冊状のスペーサＳを挿入しておき、封止完了後に取り去ることによって、中間膜層４の厚みを精度良く制御することが可能である。スペーサＳの材料は、ステンレス薄板、アルミ箔、ポリイミド製耐熱フィルムなどから適宜選択すればよい。
なお、モジュールのガスバリア性を高めるため、隣り合う封止部材１０Ａ、１０Ｂの接触部分にできた隙間に、ブチルゴムやシリコーン樹脂を塗布してもよい。これにより封止部材の隙間から水蒸気を通しにくい構造を形成することができる。なお、中間膜層４に用いられる材料としては、ＥＶＡの他、低透湿性、接着性を有する樹脂であれば良く、ＥＶＡに限定されるものではない。
太陽電池セル１下の前面側ガラス基板２の側面に沿う外装部の高さは、ガラス基板の厚みより低くしてもよい。これによって、封止部材が、前面側ガラス基板２に入射する太陽光を遮ることを防ぐことが出来る。
【００１３】
次に、太陽電池モジュール１００が薄膜型太陽電池モジュールである場合の具体的な構成について述べる。図９は薄膜型太陽電池モジュール２００の構成を示す平面図である。
一枚の前面側ガラス基板２０２上に並設された、複数の薄膜太陽電池セル２０１が直列接続されて集積型太陽電池デバイスが構成され、集積型太陽電池デバイスの一端および他端にそれぞれ正極集電部および負極集電部が形成される。通常、薄膜太陽電池セル２０１は細長い矩形で、矩形の長辺は前面側ガラス基板２０２のほぼ全幅にわたる長さを有している。隣接する薄膜太陽電池セル間同士は、一方のセルの透明電極膜と他方のセルの背面電極膜とが互いに接続されて直列に接続される。直列に接続された一端の薄膜太陽電池セルの透明電極膜の端部上に薄膜太陽電池セルとほぼ同一長の線状のＰ型電極端子部２１０が形成される。また、他端の薄膜太陽電池セルの背面電極膜の端部に同様のＮ型電極端子部２２０が形成される。これらのＰ型電極端子部２１０およびＮ型電極端子部２２０が電極取り出し部となる。
Ｐ型電極端子部にはこの端子部と同形の銅箔からなるバスバーと呼ばれる正極集電部が、Ｐ型電極端子部２１０の全面に対して電気的かつ機械的に接合される。同様にＮ型電極端子部２２０と同形の負極集電部が、Ｎ型電極端子部２２０の全面に対して接合される。そして、正極集電部および負極集電部に対して、それぞれ正極リード線および負極リード線が接続される。正極リード線および負極リード線の他端は背面側のガラス基板を貫通する状態で引出される場合と、ガラス基板の周縁部から引出される場合がある。
モジュール外周端面を保護するために、ガラス基板外周にアルミニウム製のフレームを嵌めてモジュールを構成する。一方、フレームを省略したフレームレス方式の太陽電池モジュール１００が用いられることもある。この場合、フレーム分の重量とコストを低減することが出来る反面、ガラス基板端部が露出する場合にモジュールを破損し易い問題がある。上述の太陽電池モジュール１００においては、ガラス基板端部を封止部材５、６で被覆しているため、衝撃により破損しやすいガラス基板端部が剥き出しとならず、封止シートで保護されている。さらに、封止部材５、６の折り曲げられた挿入部がガラス基板間に挟み込まれるため、封止部材５、６とガラス基板との接着力が強く、剥がれにくい。なお、図３の封止部材１０Ａ、１０Ｂの配置例では、封止部材１０Ａの両端外延にガラス基板端部が露出する箇所が生じるため、封止部材１０Ａの形状を変更して垂直接着面８、１３に相当する部分を延長した態様を用いても良い。このような構造を用いることにより、端部保護用の部材を別途準備することなく、簡便にフレームレスのモジュールを実現することが出来る。
なお、太陽電池セル１は薄膜太陽電池に限定されるものではない。結晶系の半導体基板で作成した太陽電池セルを前面側ガラス基板２に貼り付けるタイプの太陽電池モジュールにおいても、太陽電池セル領域周囲の封止領域で同様の処理を行うことにより、モジュールの端面封止を行うことが可能である。
【００１４】
実施の形態２．
本実施の形態２の太陽電池モジュールは、実施の形態１と同様に合わせガラス構造のモジュールであり、実施の形態１と比較すると封止部材の形状が異なるものである。
図５は、本発明の実施の形態２における合わせガラス構造の太陽電池モジュールの端面封止に用いる封止部材２０の形状を示す斜視図である。モジュール形成時の継ぎ目となる水平接着面２１の両端が垂直接着面２３に対して４５°となるようにカットされた構成となっており、４本をつなぎ合わせて長方形の４辺を構成しやすく考慮したものである。図６は、この形状の封止部材２０Ａ、２０Ｂを並べた場合の配置関係を示す図で、モジュールの４辺を隙間無く囲む構成を得ることが出来る。
実施の形態１と同様に、折り返した形状の封止部材を用いているため、封止工程におけるガラス割れを抑制することができる。また、封止部材２０Ａ、２０Ｂの上記４５°カット面や、継ぎ目にブチルゴムやシリコーン樹脂を塗布することによって、ガスバリア性の高い封止構造を得ることが出来る。
【００１５】
実施の形態３．
本実施の形態３の太陽電池モジュールは、実施の形態１と同様に合わせガラス構造のモジュールであり、実施の形態１および実施の形態２と比較すると封止部材の形状が異なるものである。
図７は、本発明の実施の形態３における合せガラス構造の太陽電池モジュールの右側端部断面を拡大した断面図である。図７の封止部材３１は、前面側ガラス基板２と背面側ガラス基板３の端部を被覆する外装部が、垂直接着面からモジュールの外面となる主平面上に延長されて折り返された構造を有している。この方法により、ガラス基板端部の損傷に対する保護が強化され、モジュール施工時の作業性を向上することが出来る。また、ガラス基板端部における封止部材３１の剥離を抑制することが出来る。上述の実施の形態と同様に、折り返した形状の封止部材を用いているため、封止工程におけるガラス割れを抑制することができる。
なお、封止部材３１が前面側ガラス基板２外周を覆う幅は、封止部材３１が入射光を遮って受光面積が減少しないように考慮される。例えば、薄膜型太陽電池セルを用いる場合は、基板周囲のエッジデリーション領域より内側にかからないようにすればよい。
【００１６】
実施の形態４．
本実施の形態４の太陽電池モジュールは、実施の形態１と同様に合わせガラス構造のモジュールであり、上述の実施の形態２と比較すると封止部材の形状が異なるものである。
図８は、本発明の実施の形態４における合せガラス構造の太陽電池モジュール右側を拡大した断面図である。図８の封止部材３２は、外装部が背面側ガラス基板３の端部を被覆し、前面側ガラス基板２端面は被覆していない。
前述の封止工程では、溶融してガラス基板の端部方向に押し出された中間膜４が封止部材と上下のガラス基板の間に侵入する。このとき、中間膜４の分量が多いと、封止部材３２とガラス基板の間から中間膜層４のはみだしが生じる。封止部材３２を用いることにより、前面側ガラス基板２側へのはみだしが生じても、受光側の前面側ガラス基板２主面に中間膜層４が回り込むことを防ぐことができる。また、上述の実施の形態と同様に、折り返した形状の封止部材を用いているため、封止工程におけるガラス割れを抑制することができる。
さらに、引出し線を前面側ガラス基板２に沿って配置し、前面側ガラス基板２端部から取り出す場合に、引出し線が封止部材３２を貫通する必要が無い。封止工程において、引出し線の位置に対応してスペーサＳを省くことにより、封止部材３２を引出し線に沿って変形させることが出来る。したがって、封止部材３２を用いることによって、前面側ガラス基板２の外周から引出し線を取り出す方式では、太陽電池モジュール１００の封止工程の生産性を高めることが出来る。
【符号の説明】
【００１７】
１  太陽電池セル
２  前面側ガラス基板
３  背面側ガラス基板
４  中間膜層
５、６、１０、２０、３１、３２  封止部材
Ｓ  スペーサ
【図１】
0005452773.tif 000002
【図２】
0005452773.tif 000003
【図３】
0005452773.tif 000004
【図４】
0005452773.tif 000005
【図５】
0005452773.tif 000006
【図６】
0005452773.tif 000007
【図７】
0005452773.tif 000008
【図８】
0005452773.tif 000009
【図９】
0005452773.tif 000010