(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物及びその支持物の間に、これらの一方に配置された検出部と他方に配置された被検出部との組からなる位置検出部が複数設けられ、第１位置検出部が出力する第１検出信号と、第２位置検出部が出力する第２検出信号との信号組合せにより、前記被測定物の位置を検出するバーニア式位置検出装置において、
前記第１位置検出部及び前記第２位置検出部は、前記被測定物及び前記支持物の一方が他方に対して動いたとき、前記第１検出信号に準ずる符号と前記第２検出信号に準ずる符号とが、それぞれ交互に切り換わるように設定されている
ことを特徴とするバーニア式位置検出装置。
【請求項２】
１つの前記位置検出部が出力できる前記符号のパターンの総数をパターン分割数とした場合、前記した各位置検出部のパターン分割数が２の倍数に設定されている
ことを特徴とする請求項１に記載のバーニア式位置検出装置。
【請求項３】
前記被測定物の可動時に前記した２つの符号が同時に切り換わるとき、前記第１位置検出部及び前記第２位置検出部がとる位置を基準位置とすると、
前記第１位置検出部の被検出部と前記第２位置検出部の被検出部とのうち、一方を他方に対して前記基準位置から被測定物の移動方向にずらし配置することにより、前記した２つの符号が交互に値が切り換わるように設定した
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のバーニア式位置検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２つの検出手段から出力される検出信号の信号組合せにより、被測定物の位置を検出するバーニア式位置検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被測定物の位置を精度よく検出する位置検出装置として、図８及び図９に示すようなバーニア式位置検出装置８１（特許文献１等参照）が知られている。バーニア式位置検出装置８１には、円板状の回転板８２が軸８３回りに回転可能に設けられている。回転板８２には、径方向内側寄りの位置に内側スリット群８４が形成されている。内側スリット群８４は、特定の規則性を持って孔が並んだ内側単位スリット群８５が、軸８３回りに沿って複数組形成されている。
【０００３】
回転板８２には、径方向外側寄りの位置に外側スリット群８６が設けられている。外側スリット群８６も、特定の規則性を持って孔が並んだ外側単位スリット群８７が、軸８３回りに沿って複数組形成されている。
【０００４】
内側スリット群８４と対応する位置には、内側単位スリット群８５の各孔を検出して交番２進符号を出力する内側検出センサ８８が設けられている。また、外側スリット群８６と対応する位置には、外側単位スリット群８７の各孔を検出して交番２進符号を出力する外側検出センサ８９が設けられている。なお、交番２進符号は、図１０に示すように、「０」「１」の２値データであって、ある交番２進符号から、隣接する孔にて他の交番２進符号に変化するとき、１ビットだけ変化する符号値（符号体系）を言う。内側検出センサ８８及び外側検出センサ８９には、例えば光学センサが使用されている。
【０００５】
図９及び図１０に示すように、バーニア式位置検出装置８１では、１つのセンサ（内側検出センサ８８や外側検出センサ８９）が出力できる信号の組合せの総数をパターン分割数とすると、これらパターン分割数の最小公倍数が位置検出の分解能となる。例えば、内側検出センサ８８のパターン分割数を「３０」とし、外側検出センサ８９のパターン分割数を「８４」とすると、これらの最小公倍数「４２０」がセンサ分解能となる。そして、内側検出センサ８８のビットがどの値をとり、外側検出センサ８９のビットがどの値をとるのかを検出することにより、被測定物の位置を判定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−８８６０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、従来のバーニア式位置検出装置８１では、図１０を見ても分かるように、内側検出センサ８８及び外側検出センサ８９の出力は、同時にビットが切り換わるものとなっている。つまり、内側検出センサ８８のビットが切り換わるとき、外側検出センサ８９も同時にビットが切り換わってしまう。このため、バーニア式位置検出装置８１の位置検出能力が１センサの分解能に限定され、分解能に制限が生じてしまう問題があった。よって、位置検出の分解能を向上したいニーズがあった。
【０００８】
本発明の目的は、位置検出の分解能を向上することができるバーニア式位置検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記問題点を解決するために、本発明では、被測定物及びその支持物の間に、これらの一方に配置された検出部と他方に配置された被検出部との組からなる位置検出部が複数設けられ、第１位置検出部が出力する第１検出信号と、第２位置検出部が出力する第２検出信号との信号組合せにより、前記被測定物の位置を検出するバーニア式位置検出装置において、前記第１位置検出部及び前記第２位置検出部は、前記被測定物及び前記支持物の一方が他方に対して動いたとき、前記第１検出信号に準ずる符号と前記第２検出信号に準ずる符号とが、それぞれ交互に切り換わるように設定されていることを要旨とする。
【００１０】
この構成によれば、被測定物及び支持物の一方が他方に対して動いたとき、第１位置検出部の第１検出信号に準ずる符号と、第２位置検出部の第２検出信号に準ずる符号とが、それぞれ交互に値が切り換わるようになれば、各検出信号の符号の切り換わりが位置検出の単位となる。よって、被測定物の位置を検出するときの分解能を向上することが可能となる。
【００１１】
本発明では、１つの前記位置検出部が出力できる前記符号のパターンの総数をパターン分割数とした場合、前記した各位置検出部のパターン分割数が２の倍数に設定されていることを要旨とする。
この構成によれば、符号の組合せが一義的に決まるので、位置検出の精度を確保することが可能となる。
【００１２】
本発明では、前記被測定物の可動時に前記した２つの符号が同時に切り換わるとき、前記第１位置検出部及び前記第２位置検出部がとる位置を基準位置とすると、前記第１位置検出部の被検出部と前記第２位置検出部の被検出部とのうち、一方を他方に対して前記基準位置から被測定物の移動方向にずらし配置することにより、前記した２つの符号が交互に値が切り換わるように設定したことを要旨とする。
【００１３】
この構成によれば、例えば検出部を従来から位置や形状等を変更することなく、そのまま使用することが可能となる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、位置検出の分解能を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１実施形態のバーニア式位置検出装置の斜視図。
【図２】（ａ），（ｂ）は各位置検出センサから出力される検出信号の波形図。
【図３】バーニア式位置検出装置のブロック図。
【図４】バーニア式位置検出装置の具体的構造を示す構成図。
【図５】（ａ）はバーニア式位置検出装置の検出原理を説明する概念図、（ｂ）は各センサから出力される符号組合せと回転角度との関係を示す表。
【図６】符号組合せを確認するための表。
【図７】第２実施形態のバーニア式位置検出装置の構成図。
【図８】従来のバーニア式位置検出装置の斜視図。
【図９】スリット群の形成パターンを示す平面図。
【図１０】内外の交番２進符号のパターンを示す表。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
（第１実施形態）
以下、本発明を具体化したバーニア式位置検出装置の第１実施形態を図１〜図６に従って説明する。
【００１７】
図１に示すように、バーニア式位置検出装置１のケース２には、略円板状の回転板３が中心の軸４回りに回転可能に枢支されている。回転板３は、位置検出する物品の動きに同期して軸４回りに回転する。なお、ケース２が支持物に相当し、回転板３が被測定物に相当する。
【００１８】
ケース２と回転板３との間には、回転板３の回転角度（回転位置）を検出する位置検出センサ５が複数（本例は２つ）設けられている。２つの位置検出センサ５は、装置上下方向（回転板３の板厚方向）に並び配置されるとともに、例えば光学センサが使用される。本例の場合、図１の上側を第１位置検出センサ６とし、図１の下側を第２位置検出センサ７とする。なお、位置検出センサ５〜７が位置検出部に相当し、このうち第１位置検出センサ６が第１位置検出部に相当し、第２位置検出センサ７が第２位置検出部に相当する。
【００１９】
ケース２の内壁面８において上方寄りの位置には、第１位置検出センサ６のセンシング部品として第１センサ部６ａが設けられている。また、ケース２の内壁面８において第１センサ部６ａの下方には、第２位置検出センサ７のセンシング部品として第２センサ部７ａが設けられている。第１センサ部６ａ及び第２センサ部７ａは、投光部及び受光部を有し、投光部から出力した光の反射光を受光部で受光し、その受光量に応じた検出信号を出力する。なお、第１センサ部６ａ及び第２センサ部７ａが検出部を構成する。
【００２０】
回転板３は、２枚の略円板状の回転板９，１０を重ね配置することにより形成されている。本例の場合、図１の上側を第１回転板９とし、図１の下側を第２回転板１０とする。第１回転板９及び第２回転板１０は、同一軸心に配置されるとともに、同一厚さにて形成されている。
【００２１】
図１及び図４に示すように、第１回転板９の周縁において第１センサ部６ａと対向する位置には、第１センサ部６ａの光照射先として第１被検出突部６ｂが複数突設されている。第１被検出突部６ｂは、回転板３の回転方向に沿って等間隔に複数（本例は３つ）形成され、曲面状の斜面が一端から他端に向かって下る形状に形成されている。本例の第１被検出突部６ｂは、１つ当たり１２０度間隔で形成され、１周３６０度で計３つ形成されている。なお、第１被検出突部６ｂが被検出部を構成する。
【００２２】
図４に示すように、第２回転板１０の周縁において第２センサ部７ａと対向する位置には、第２センサ部７ａの光照射先として第２被検出突部７ｂが複数突設されている。第２被検出突部７ｂは、回転板３の回転方向に沿って等間隔に複数（本例は２つ）形成され、曲面状の斜面が一端から他端に向かって下る形状に形成されている。第２被検出突部７ｂは、１つ当たり１８０度間隔で形成され、１周３６０度で計２つ形成されている。よって、第２被検出突部７ｂは、回転板３の円周方向において第１被検出突部６ｂよりも幅が広く形成されている。なお、第２被検出突部７ｂが被検出部を構成する。
【００２３】
第１センサ部６ａは、回転板３（第１被検出突部６ｂ）の回転角度に応じて、図２（ａ）に示す鋸波状の第１検出信号Ｓ１を出力する。第１検出信号Ｓ１は、正の傾きを有する直線が１２０度のサイクルで繰り返し出現する波形となっている。第２センサ部７ａは、回転板３（第２被検出突部７ｂ）の回転角度に応じて、図２（ｂ）に示す鋸波状の第２検出信号Ｓ２を出力する。第２検出信号Ｓ２は、正の傾きを有する直線が１８０度のサイクルで繰り返し出現する波形となっている。
【００２４】
図３に示すように、バーニア式位置検出装置１には、回転板３の回転角度をバーニア方式により演算するコントローラ１１が設けられている。コントローラ１１には、第１センサ部６ａ及び第２センサ部７ａが接続されている。コントローラ１１は、第１センサ部６ａから出力される第１検出信号Ｓ１と、第２センサ部７ａから出力される第２検出信号Ｓ２との信号組合せを基に、回転板３の回転角度を演算し、その演算回転角度を他のＥＣＵに出力する。
【００２５】
図２及び図５（ａ），（ｂ）に示すように、コントローラ１１は、第１検出信号Ｓ１がどの範囲の値をとっているのかを確認することにより、第１回転板９（第１被検出突部６ｂ）の位置を検出する。なお、第１センサ部６ａが１つの第１被検出突部６ｂにおいて位置検出することができる位置単位の総数がパターン分割数である。
【００２６】
本例の場合、第１位置検出センサ６のパターン分割数は、「４」に設定されている。即ち、第１センサ部６ａが１つの第１被検出突部６ｂを位置検出するに当たり、位置を４箇所にて検出可能となっている。本例のコントローラ１１は、第１検出信号Ｓ１が０〜Ｖａのとき回転角度の符号を「０」と認識し、第１検出信号Ｓ１がＶａ〜Ｖｂのとき回転角度の符号を「１」と認識し、第１検出信号Ｓ１がＶｂ〜Ｖｃのとき回転角度の符号を「２」と認識し、第１検出信号Ｓ１がＶｃ〜Ｖｄのとき回転角度の符号を「３」と認識する。
【００２７】
また、コントローラ１１は、第２検出信号Ｓ２がどの範囲の値をとっているのかを確認することにより、第２回転板１０（第２被検出突部７ｂ）の位置を検出する。本例の第２位置検出センサ７のパターン分割数は、「６」に設定されている。即ち、第２センサ部７ａが１つの第２被検出突部７ｂを位置検出するに当たり、位置を６箇所にて検出可能となっている。
【００２８】
本例のコントローラ１１は、第２検出信号Ｓ２が０〜Ｖｅのとき回転角度の符号を「０」と認識し、第２検出信号Ｓ２がＶｅ〜Ｖｆのとき回転角度の符号を「１」と認識し、第２検出信号Ｓ２がＶｆ〜Ｖｇのとき回転角度の符号を「２」と認識し、第２検出信号Ｓ２がＶｇ〜Ｖｈのとき回転角度の符号を「３」と認識し、第２検出信号Ｓ２がＶｈ〜Ｖｉのとき回転角度の符号を「４」と認識し、第２検出信号Ｓ２がＶｉ〜Ｖｊのとき回転角度の符号を「５」と認識する。
【００２９】
そして、コントローラ１１は、第１センサ部６ａから割り出される符号がどの値をとり、第２センサ部７ａから割り出される符号がどの値をとるのかを確認することにより、回転板３の回転角度を判定する。なお、以降は便宜上、第１センサ部６ａから割り出される符号を第１符号とし、第２センサ部７ａから割り出される符号を第２符号と記す。また、パターン分割数は、回転検出において１つの位置検出センサ５が出力できる符号の総数と言うこともできる。
【００３０】
図４に示すように、回転板３の回転時において仮に第１符号と第２符号とが同時に切り換わるとき、第２回転板１０が第１回転板９に対してとる位置を基準位置とすると、本例の第２回転板１０（第２被検出突部７ｂ）は、第１回転板９（第１被検出突部６ｂ）に対して基準位置から回転方向に所定角度（略１５度）ずらした配置位置をとる。これは、回転板３が回転したとき、第１符号と第２符号とが、交互に値が切り換わるようにするためである。
【００３１】
第１位置検出センサ６及び第２位置検出センサ７の各パターン分割数は、ともに２で割り切れる数値に設定されている。これは、一方のパターン分割数が奇数をとると、符号組合せの際に奇数側の符号が余ってしまうので、符号組合せが成立しないためである。
【００３２】
図５（ｂ）に、回転板３の回転角度と、第１符号及び第２符号の組合せとの関係を示す。同図からも分かるように、回転板３の回転に応じて第１符号及び第２符号が交互に切り換わるようになると、第１位置検出センサ６及び第２位置検出センサ７のそれぞれにおいて符号が切り換わるときが分解能の単位となる。つまり、第１位置検出センサ６のパターン分割数「４」と第２位置検出センサ７のパターン分割数「６」との最小公倍数「１２」の２倍、即ち「２４」が、角度検出の分解能となることが分かる。
【００３３】
次に、本例のバーニア式位置検出装置１の動作を、図５を用いて説明する。
図５（ａ）に示す状態を回転開始の初期位置とする。このとき、図５（ｂ）に示すように、コントローラ１１は、第１センサ部６ａ及び第２センサ部７ａの両方から符号「０」を取得する。従って、コントローラ１１は、回転板３の回転角度を０度と検出する。
【００３４】
初期位置から回転板３が例えば紙面左方向（反時計回り方向）に回転したとする。このとき、第１センサ部６ａから求まる第１符号は、「０」を維持するものの、第２センサ部７ａから求まる第２符号は、「１」に切り換わる。よって、コントローラ１１は、回転板３の回転角度を１５度と検出する。
【００３５】
回転角度が１５度になってから回転板３が更に回転すると、第１センサ部６ａから求まる第１符号が「１」に切り換わるとともに、第２センサ部７ａから求まる第２符号は「０」を維持する。よって、コントローラ１１は、回転板３の回転角度を３０度と検出する。
【００３６】
そして、回転板３が更に回転を続けると、第１符号と第２符号とが交互に切り換わり、符号が切り換わるタイミングでコントローラ１１により回転角度が検出される。よって、第１位置検出センサ６のパターン分割数「４」と第２位置検出センサ７のパターン分割数「６」の最小公倍数「１２」の２倍、つまり「２４」の分解能で回転板３の回転角度を検出することが可能となる。
【００３７】
図６に、本例の符号組合せの確認表を示す。同図からも分かるように、第１センサ部６ａから求まる第１符号と第２センサ部７ａから求まる第２符号との組合せは、必ず一義的に決まることが確認できる。よって、問題なく回転板３の角度を分解能「２４」で検出することができることが分かる。
【００３８】
以上により、本例においては、第２回転板１０を第１回転板９に対し基準位置から所定角度（１５度）ずらすようにし、回転板３が回転したとき、第１位置検出センサ６から求まる第１符号と、第２位置検出センサ７から求まる第２符号とが、交互に値が切り換わるようにした。よって、第１位置検出センサ６のパターン分割数「４」と第２位置検出センサ７のパターン分割数「６」の最小公倍数「１２」の２倍、つまり「２４」の分解能で回転板３の回転角度を検出することが可能となるので、角度検出の分解能を向上することが可能となる。
【００３９】
本実施形態の構成によれば、以下に記載の効果を得ることができる。
（１）第２回転板１０を第１回転板９に対し基準位置から所定角度（１５度）ずらし位置し、第１位置検出センサ６から求まる第１符号と、第２位置検出センサ７から求まる第２符号とを、交互に値が切り換わるようにした。よって、角度位置検出の分解能を、従来よりも２倍に増やすことができる。
【００４０】
（２）第１位置検出センサ６及び第２位置検出センサ７のパターン分割数を、ともに２で割り切れる値とした。よって、第１位置検出センサ６から割り出される第１符号と、第２位置検出センサ７から割り出される第２符号との組合せが一義的に決まるので、角度検出の精度を確保することができる。
【００４１】
（３）第１回転板９を第２回転板１０に対して基準位置から回転方向に所定角度ずらし配置することで、２つの符号を交互に値が切り換わるようにした。よって、第１センサ部６ａや第２センサ部７ａに変更を加える必要がないので、第１センサ部６ａ及び第２センサ部７ａは従来のものをそのまま使用することができる。
【００４２】
（４）第１センサ部６ａや第２センサ部７ａから出力される検出信号Ｓ１，Ｓ２の値から直に位置検出するアナログ式であるので、バーニア式位置検出装置１の構造を簡素に済ますことができる。
【００４３】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態を図７に従って説明する。なお、第２実施形態は、第１実施形態に対して角度検出の機構をアナログ式からデジタル式に変更した実施例であって、他の基本的な構成は同じである。よって、本例は、第１実施形態と同一部分は同一符号を付して詳しい説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
【００４４】
図７に示すように、回転板３の径方向内側寄りの位置には、複数の孔が軸４回りに沿って並んだ内側スリット群３１が形成されている。内側スリット群３１には、特定の規則性を持って孔が並んだ配列パターンを有する内側単位スリット群３２が軸４回りに沿って複数形成されている。内側単位スリット群３２は、軸４回りに例えば計１４組形成されている。なお、内側単位スリット群３２が被検出部を構成する。
【００４５】
回転板３の径方向外側寄りの位置には、複数の孔が軸４回りに沿って並んだ外側スリット群３３が形成されている。外側スリット群３３には、特定の規則性を持って孔が並んだ配列パターンを有する外側単位スリット群３４が軸４回りに沿って複数形成されている。内側単位スリット群３２及び外側単位スリット群３４は、孔の配列パターンが異なるように形成されている。外側単位スリット群３４は、軸４回りに例えば計５組形成されている。なお、外側単位スリット群３４が被検出部を構成する。
【００４６】
内側スリット群３１と対応する位置には、内側単位スリット群３２の各孔を検出して、デジタルの交番２進符号（第１交番２進符号）を出力する内側センサ部３５が設けられている。また、外側スリット群３３と対応する位置にも、デジタルの交番２進符号（第２交番２進符号）を出力可能な外側センサ部３６が設けられている。交番２進符号は、「０」「１」からなる２値データであって、隣の符号に切り換わるとき、ビットが１のみ変化する符号値（符号体系）に相当する。なお、内側センサ部３５及び外側センサ部３６が検出部を構成する。
【００４７】
これらセンサ部３５，３６は、例えば光学センサが使用されている。この場合、これらセンサ部３５，３６は、回転板４の上面及び下面の一方に投光部を他方に受光部を有し、投光部から照射した光がスリットを抜けて受光部で受けることができるとオンする。よって、光を受けたものが「１」を出力し、光を受けないものが「０」を出力することにより、「０」「１」の２値データが構築される。
【００４８】
本例の場合、内側の第１位置検出センサ６のパターン分割数は、「３０」に設定され、外側の第２位置検出センサ７のパターン分割数は、「８４」に設定されている。ここで、本例の場合、第１位置検出センサ６は、内側スリット群３１及び内側センサ部３５により構成されている。第２位置検出センサ７は、外側スリット群３３及び外側センサ部３６により構成されている。
【００４９】
回転板３が回転すると、内側センサ部３５に対する内側単位スリット群３２の位置が変わり、内側センサ部３５で検出する光のパターンが切り換わり、更に外側センサ部３６に対する外側単位スリット群３４の位置も変わり、外側センサ部３６で検出する光のパターンも変わる。このため、内側センサ部３５及び外側センサ部３６からは、回転板３の回転角度に応じた２つの交番２進符号が出力される。コントローラ１１は、内側センサ部３５から入力した第１交番２進符号と、外側センサ部３６から入力した第２交番２進符号とを基に信号組合せを取得し、この信号組合せを確認することにより、回転板３の回転角度を検出する。
【００５０】
さて、本例においては、従来構成と比較して、外側スリット群３３を内側スリット群３１に対して回転方向に所定角度ずらし配置する。これにより、回転板３が回転したときには、内側センサ部３５からの符号と外側センサ部３６からの符号とが交互に切り換わる。よって、本例の場合は、内側のパターン分割数「３０」と、外側のパターン文化数「８４」の最小公倍数「４２０」の２倍、つまり「８４０」が分解能となる。よって、第１実施形態と同様に、回転角度検出の分解能を２倍に増やすことが可能となる。
【００５１】
本実施形態の構成によれば、第１実施形態に記載の（１）〜（３）に加え、以下の効果を得ることができる。
（５）回転板３にスリットを有する型のバーニア式位置検出装置１であっても、回転板３の回転角度検出の分解能を向上することができる。
【００５２】
（６）第１センサ部６ａや第２センサ部７ａから出力される交番２進符号を基に求めるデジタル式であるので、角度検出の精度をよくすることができる。
なお、実施形態はこれまでの構成に限らず、以下の態様に変更してもよい。
【００５３】
・第１実施形態において、被検出突部６ｂ，７ｂの個数は変更可能である。また、第２実施形態において、内側スリット群３１及び外側スリット群３３の各スリット数も適宜変更可能である。
【００５４】
・第１及び第２実施形態において、第１位置検出センサ６及び第２位置検出センサ７のパターン分割数は変更可能である。
・第１実施形態において、２枚の回転板９，１０は、同じ径を有することに限定されず、径が異なっていてもよい。
【００５５】
・第２実施形態において、符号は交番２進符号に限定されず、要は「０」「１」の２値データであればよい。
・第１及び第２実施形態において、例えば回転板３が固定側で、センサ部６ａ，７ａが回転側となっていてもよい。
【００５６】
・第１及び第２実施形態において、位置検出センサ５は、光学センサに限定されず、例えば磁気センサ等の他の種類を採用してもよい。
・第１及び第２実施形態において、位置検出部は、無接点式の位置検出センサ５に限定されず、例えばスイッチ等の有接点式でもよい。
【００５７】
・第１及び第２実施形態において、第１検出信号Ｓ１及び第２検出信号Ｓ２の信号波形は、正の傾きを有する直線状の波形に限定されず、例えば曲線をとるものでもよい。
・第１及び第２実施形態において、位置検出センサ５のパターン分割数は、２で割り切れない数値を採用してもよい。
【００５８】
・第１及び第２実施形態において、２つの符号を交互に値が切り換わるようにする場合、２つの回転板９，１０の一方を他方に対してずらすことに限定されない。例えば、２つのセンサ部６ａ，７ａのうち、一方を他方に対してずらし配置することで満足してもよい。
【００５９】
・第１及び第２実施形態において、仮に同じ符号組合せが出現したときは、その前後の符号組合せを確認することにより、回転角度を検出するように補正してもよい。こうすれば、角度検出の精度を確保することが可能となる。
【００６０】
・第１及び第２実施形態において、位置検出センサ５の個数は、２つに限らず、３つ以上設けてもよい。
・第１及び第２実施形態において、バーニア式位置検出装置１は、回転角度を検出する回転型に限定されず、直線移動する被測定物を検出するリニア型としてもよい。
【００６１】
次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について、それらの効果とともに以下に追記する。
（イ）請求項１、２のいずれかにおいて、前記被測定物の可動時に前記した２つの符号が同時に切り換わるとき、前記第１位置検出部及び前記第２位置検出部がとる位置を基準位置とすると、前記第１位置検出部の検出部と前記第２位置検出部の検出部とのうち、一方を他方に対して被測定物の移動方向にずらし配置することにより、前記した２つの符号が交互に値が切り換わるように設定した。この構成によれば、例えば被検出部を従来から位置や形状等を変更することなく、そのまま使用することが可能となる。
【００６２】
（ロ）請求項１〜３、前記技術的思想（イ）のいずれかにおいて、前記バーニア式位置検出装置は、回転動作する前記被測定物の回転角度を検出する。この構成によれば、回転する被測定物の回転角度を精度よく検出することが可能となる。
【符号の説明】
【００６３】
１…バーニア式位置検出装置、２…支持物としてのケース、３…被測定物としての回転板、５…位置検出部を構成する位置検出センサ、６…位置検出部（第１位置検出部）を構成する第１位置検出センサ、６ａ…検出部を構成する第１センサ部、６ｂ…被検出部を構成する第１被検出突部、７…位置検出部（第２位置検出部）を構成する第２位置検出センサ、７ａ…検出部を構成する第２センサ部、７ｂ…被検出部を構成する第２被検出突部、３２…被検出部を構成する内側単位スリット群、３４…被検出部を構成する外側単位スリット群、３５…検出部を構成する内側センサ部、３６…検出部を構成する外側センサ部、Ｓ１…第１検出信号、Ｓ２…第２検出信号。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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